(57)【要約】本発明は、排ガス中の高濃度アンモニアを接触分解する際に、還元剤の存在がなくとも高い分解能力を示し、かつ、一酸化炭素、二酸化炭素、一酸化窒素などの窒素酸化物を生成しない触媒及び該触媒を用いたアンモニアの分解方法を示すものである。本発明のアンモニア分解触媒は、Ｓｉ／Ａｌ（原子比）が１〜９０であり、比表面積が２００〜９００ｍ２／ｇである多孔質シリカアルミナに、周期表の第８族〜第１２族の金属元素から選ばれる少なくとも一つの金属元素を、イオン交換法により担持させたものである。【特許請求の範囲】
【請求項１】
０．００５〜５容量％のアンモニアを含むガスを触媒に接触させて、アンモニアを接触分解する触媒であって、該触媒が多孔質シリカアルミナを担体とし、これに周期表の第８族〜第１２族の金属元素から選ばれる少なくとも一つの金属元素をイオン交換法により担持したものであり、該多孔質シリカアルミナのＳｉ／Ａｌ（原子比）が１〜９０であり、その比表面積が２００〜９００ｍ２／ｇであることを特徴とするアンモニア分解触媒。
【請求項２】
周期表第８族〜第１２族の金属元素含有量が全触媒質量に対し０．０５〜１０質量％である請求の範囲第１項記載のアンモニア分解触媒。
【請求項３】
多孔質シリカアルミナが平均粒子径０．１〜２０μｍのものである請求の範囲第１項記載のアンモニア分解触媒。
【請求項４】
０．００５〜５容量％のアンモニアを含むガスを触媒に接触させて、アンモニアを接触分解するに際し、触媒として請求の範囲第１〜３項に記載のアンモニア分解触媒を用いることを特徴とするアンモニア分解方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、アンモニア含有排ガスの除害に有用なアンモニア分解触媒、特に、半導体製造装置やＬＣＤ製造装置等から、排出される排ガスに含有される高濃度のアンモニアを分解するアンモニア分解用触媒に関し、さらに該触媒を用いたアンモニアの分解方法に関する。
【背景技術】  半導体製造工場、青色ダイオード製造工場などでは、それらの製造中にアンモニアが使用されている。これらのガスは可燃性かつ有害性であることから、これらを含有する排ガスを、環境保護の観点から、大気中にそのまま放出することはできず、その危険性や有害性をなくするために除害処理が必要である。
排ガス処理には、湿式法、燃焼法あるいは乾式法がある。例えば、湿式法は薬液で排ガスを洗浄処理する方法であり、燃焼法は、バーナーなどにより、高温で燃焼し、無害なガスに処理する方法である。また、乾式法は、固体処理剤もしくは分解触媒の充填塔に排ガスを流通させ、除害対象ガスと処理剤との化学的作用、即ち、吸着及び／又は化学反応により、吸収する、もしくは触媒の働きにより、無害物質に分解する方法であり、金属水素化物含有排ガス、ハロゲン化物ガスあるいはアンモニア含有排ガスの処理で多く行われている。
しかしながら、湿式法の場合、排水中にアンモニアが排出されることとなり、この廃水を処理することが必要となる。また、燃焼法の場合では、アンモニアを燃焼する際に生じるＮＯｘの処理が問題となる。
一方、乾式法でアンモニアを除害するのに用いるアンモニア分解触媒は数多くの技術が知られている。
例えば、アンモニア分解触媒として、酸化銅、酸化クロム、酸化マンガン、酸化鉄、パラジウム、白金などを使用するもの（特開平１１−４２４２２号公報）、ゼオライトにクロム、銅もしくはコバルトを担持したもの（特開平０７−３２８４４０号公報）、あるいは周期表（亜族方式）の第８族の金属元素又は及び第１Ｂ族の金属元素を含むもの（特開平１０−２４９１６５号公報）が挙げられる。
しかしながら、酸化銅、酸化クロム、酸化マンガン、酸化鉄、パラジウムあるいは白金からなる分解触媒は、アンモニア分解に優れた能力を有するが、副反応として一酸化二窒素、二酸化窒素、一酸化窒素などの窒素酸化物を生成するために環境上、問題がある。
また、ゼオライトにクロム、銅もしくはコバルトを担持した分解触媒は、窒素酸化物の生成を可及的に抑えながら、アンモニアを分解することを目的としたものであるが、実際にテストした被処理ガスはアンモニアの濃度が３０ｐｐｍと非常に低濃度であり、酸素濃度も２％と非常に低濃度である。すなわち、かなり制限された条件で有効であることが示されているに過ぎない。半導体製造などで排出されるアンモニア濃度は、数容量％と非常に高く、かつ、酸素濃度も空気に近い濃度を有するために、上記の触媒では、一酸化二窒素、二酸化窒素、一酸化窒素などの窒素酸化物の生成は避けることができない。
周期表（亜族方式）の第８族の金属元素又は／及び第１Ｂ族の金属元素を含む触媒は、還元剤として水素を共存させることにより低温でアンモニアを分解でき、窒素酸化物を生じることがないが、水素の共存が必須であり、コスト面で不利である。
【発明の開示】
したがって、本発明の課題は、半導体製造工程等で発生する高濃度のアンモニアを含む排ガスの処理において、還元剤の存在がなくとも、高い分解能力を示し、かつ、一酸化二窒素、二酸化窒素、一酸化窒素などの窒素酸化物を生成しない触媒を提供すること、また、高濃度のアンモニアを含む排ガスを効率よく除害する方法を提供することである。
本発明者らは、上記課題を解決するため種々の研究開発を行った結果、特定性状の多孔質シリカアルミナを担体とし、これに周期表の第８族〜第１２族の金属元素から選ばれる少なくとも１つの金属元素をイオン交換法により、細孔内に担持させた触媒は、一酸化二窒素、二酸化窒素、一酸化窒素などの窒素酸化物の発生を抑制しながら、パーセントオーダーの高濃度アンモニアを効率的に分解できることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、０．００５〜５容量％のアンモニアを含むがガスを触媒に接触させて、アンモニアを接触分解する触媒であって、該触媒が多孔質シリカアルミナを担体とし、これに周期表の第８族〜第１２族の金属元素から選ばれる少なくとも一つの金属元素をイオン交換法により担持したものであり、該多孔質シリカアルミナのＳｉ／Ａｌ（原子比）が１〜９０であり、その比表面積が２００〜９００ｍ２／ｇであることを特徴とするアンモニア分解触媒である。
なお、上記触媒における周期表第８族〜第１２族の金属元素含有量が全触媒質量に対し０．０５〜１０質量％であること、また、多孔質シリカアルミナは平均粒子径が０．１〜２０μｍであるものが好ましい。
また、本発明は、０．００５〜５容量％のアンモニアを含むガスを触媒に接触させて、アンモニアを接触分解するに際し、上記触媒を使用することを特徴とするアンモニア分解方法である。
【発明を実施するための最良の形態】  本発明を適用することができるアンモニア含有ガスは特に制限はなく、例えば、半導体工場などの排気ガス、アンモニア含有排水のストリッピングにより発生するアンモニア含有ガスなどを挙げることができる。
本発明を適用できるアンモニア含有ガスのアンモニア濃度は、通常は５０ｐｐｍから５容量％であり、好適には０．１〜４容量％である。
本発明の触媒にアンモニア含有ガスと空気を接触させて、アンモニアを無害な窒素ガスと水に変換し、酸化分解する。反応は次式（Ｉ）のごとく進行する。
４ＮＨ３＋３Ｏ２→２Ｎ２＋６Ｈ２Ｏ          （Ｉ）
この酸化分解での温度は、アンモニアの濃度、触媒の性能、触媒との接触時間等により適宜決定されるが、好ましくは２００〜６００℃であり、さらに好ましくは３００〜５００℃である。
本発明で使用する多孔質シリカアルミナは、Ｓｉ／Ａｌ（原子比）が１〜９０であり、比表面積が２００〜９００ｍ２／ｇであればいずれでもよく、天然ゼオライト、合成ゼオライト、メタポーラスゼオライトから適宜選択される。なお、ゼオライトとしては、具体的には、モルデナイト、エリオナイト、クリプチノライト、ＺＳＭ−５、Ｙ型ゼオライト、βゼオライト、ＭＣＭ−４１などが挙げられる。
多孔質シリカアルミナのＳｉ／Ａｌ（原子比）は、１〜９０であり、好ましくは、２〜６０である。Ｓｉ／Ａｌ（原子比）が９０以上になると、イオン交換サイトの減少により、活性成分である金属元素の担持量が少なくなるので好ましくない。
また、多孔質シリカアルミナの比表面積は、２００〜９００ｍ２／ｇであり、好ましくは３００〜７００ｍ２／ｇである。２００ｍ２／ｇ未満の場合、性能が十分発揮されない。
多孔質シリカアルミナの平均粒子径は、好ましくは、０．１〜２０μｍである。多孔質シリカアルミナの平均粒子径が２０μｍ以上の場合、触媒とアンモニアが接触不足になりやすく、十分な性能を発揮しない恐れがある。
多孔質シリカアルミナは、ナトリウム交換タイプとして合成されることが多く、それを使用することができる。また、ナトリウム交換タイプから、イオン交換操作により、プロトンタイプとすることもできる。
また、多孔質シリカアルミナは市販品として入手可能であり、粉状物、それをペレット化したもの、さらにペレット化したものを粉砕して顆粒としたもので用いられる。なお、該多孔質シリカアルミナはその平均粒子径が０．１〜２０μｍのものを用いるのであるが、取り扱いの容易さからペレット状、あるいは顆粒状としたものが望ましい。
多孔質シリカアルミナに担持させる金属元素は、周期表の第８族〜第１２族に属する金属元素であり、Ｆｅ、Ｒｕ、Ｃｏ、Ｒｈ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｚｎ、Ｃｄなどを挙げることができる。これらは単独であっても複数を用いても良い。
これら金属元素は、イオン交換法により上記多孔質シリカアルミナに担持させることが好ましい。通常の含浸法、デップ法、スプレー法の場合、多孔質シリカアルミナの細孔内に金属元素が十分に担持されずに、担体の外表面のみに担持される恐れがある。外表面に担持されると、金属元素同士が凝集することにより、十分な性能が発揮できない。
周期表の第８族〜第１２族の金属元素は、硝酸塩、硫酸塩、酢酸塩、塩化物、アンモニウム錯塩などとして担持させる。
第８族〜第１２族金属元素成分の触媒中の含有量は、触媒全重量に対して０．０５〜１０質量％とするのが望ましく、好ましくは０．１〜５質量％である。なお、この金属元素成分の含有量が、０．０５質量％未満ではアンモニア分解が不充分となりやすく、また、１０質量％を超えると一層の処理性能向上効果が認められなくなるばかりでなく、多孔質シリカアルミナ細孔を塞いでしまい、十分な効果が得られなくなる。
通常のイオン交換法により、周期表の第８族〜第１２族の金属元素を多孔質シリカアルミナに担持させることができる。
粉末状の多孔質シリカアルミナに金族元素成分をイオン交換法により担持して得られた粉末状の触媒は、混練した後、押出し或いは打錠によって成型物とされる。ここで、機械的強度を確保するために、必要に応じて、シリカ、アルミナ、マグネシア、その他の強度改善に有効な無機バインダー類を加えられる。アンモニアを含むガスを分解処理する際に、充填塔に詰められたアンモニア分解触媒層に処理対象ガスを流通するため、触媒層での圧力損失を低減するために成型物とすることは必須であり、必要に応じてこれら成型物は破砕処理して、顆粒状となして使用してもよい。また、高ＳＶで使用する場合は、ハニカムなどの基材に粉末状の触媒をウォッシュコーティングすることにより、添着して使用してもよい。予め多孔質シリカアルミナは押出し、或いは打錠成型され、必要に応じて破砕、顆粒化された固形物にイオン交換法により第８族〜第１２族金属元素成分を担持することもできる。
本発明のアンモニア分解触媒を用いて、アンモニアを含むガスを接触させることによりアンモニア分解する方法について説明する。
アンモニア分解触媒を、ステンレス製流通式反応装置に充填し、アンモニアを含有するガスを反応器に流通させ、触媒層を２００〜６００℃に昇温し、アンモニアを分解する。なお、ガスの流通量としては、触媒、触媒の形状、触媒層の温度により適宜最適条件を設定するが、通常ＳＶ  １００〜８０００ｈｒ−１程度、好ましくはＳＶ  ２００〜７０００ｈｒ−１、さらに好ましくはＳＶ  ４００〜６０００ｈｒ−１とする。また、触媒層の温度を、あまり高くすると窒素酸化物が増え、あまり低くするとアンモニアの分解が十分でなくなる。
最適の触媒層の温度は反応装置よりの出口ガスをガスクロマトグラフ等によってこれらガスの状況を分析して確認することが好ましい。
さらに、アンモニア含有ガス中の酸素量としては、アンモニア１モルに対し０．７５モル以上であることが望ましく、通常２モル以上であれば好ましい。なお、処理ガス中の酸素量が不足する場合は、空気、酸素等をアンモニア含有ガスとともに、あるいはアンモニア含有ガスに添加して、反応装置に流通させる。その際の合計のガス流通量は上記に示す範囲とすることが好ましい。
【実施例】  以下、実施例により本発明を説明する。
（アンモニア分解触媒の性能評価）
空気中に含まれるアンモニアを分解する性能を測定することによって行った。
測定は常圧流通式反応装置によって行い、その測定装置、測定条件、測定操作法は次の通りである。
常圧流通式反応装置
石英製反応管：内径  ２５ｍｍ、長さ  ５００ｍｍ
測定条件
触媒使用量  ：２０ｃｃ（充填高さ４０ｍｍ）
ガスＳＶ    ：６２５〜５０００ｈｒ−１
反応圧力    ：１００ｋＰａ（約１大気圧）
反応温度    ：２００〜６００℃
反応ガス組成：アンモニア  １容量％（空気中）
入口及び出口ガスの分析
・ＮＨ３、Ｎ２Ｏ
装置      ：日立製作所製、１６４形ガスクロマトグラフィ（商品名）
カラム    ：Ｐｏｒａｐａｋ−Ｑ、径  ３ｍｍ、長さ  ３ｍ
検出器    ：熱伝対式検出器
ガス      ：窒素ガス  流量  ３０ｍｌ／ｍｉｎ
サンプル  ：１．０ｍｌ
・ＮＯ、ＮＯ２
装置      ：堀場製作所製、ＣＬＡ−５１０ＳＳ（商品名）
（多孔質シリカアルミナの評価）
・Ｓｉ／Ａｌ（原子比）の測定
ＩＣＰ（島津製作所製、ＩＣＰＳ−１０００（商品名））により分析した。
・比表面積の測定
Ｎ２吸着によるＢＥＴ表面積測定によった。
・平均粒子径
イオン交換水に多孔質シリカアルミナを分散させて、レーザー透過法により測定。なお、成形したものはメノウ乳鉢で微粉化して、２００メッシュの篩を通過したものを測定した。
（アンモニア分解触媒中の金属の分析）
ＩＣＰ（島津製作所製、ＩＣＰＳ−１０００（商品名））により分析した。
【実施例１】  Ｃｕ（ＮＯ３）２・３Ｈ２Ｏ（和光純薬製、試薬特級）８０ｇをイオン交換水に溶解し、１リットルとする。この硝酸銅溶液に、多孔質シリカアルミナ“ＺＳＭ−５ゼオライド”（Ｓｉ／Ａｌ（モル比）＝３０、比表面積５８０ｍ２／ｇ、平均粒子径１０μｍ、ズードケミーＡＧ製、商品名：Ｈ−ＭＦＩ−３０）５００ｇを分散させ、２４時間室温で撹拌して、イオン交換させた。得られたＣｕをイオン交換で吸蔵した多孔質シリカアルミナを濾取し、イオン交換水で洗浄して、表面に付着した硝酸銅を除去した後、径２ｍｍの球状に成形し、５００℃で１２時間焼成して、アンモニア分解触媒Ａ  ４９０ｇを得た。銅の含有量は３．０質量％であった。
このアンモニア分解触媒Ａを上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃、４００℃あるいは５００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１及び５，０００ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
【実施例２】  多孔質シリカアルミナとして、“βゼオライド”（Ｓｉ／Ａｌ（モル比）＝２５、比表面積２５０ｍ２／ｇ、平均粒子径３．８μｍ、ズードケミーＡＧ製、商品名：Ｈ−ＢＥＡ−２５）５００ｇを用いる他は実施例１と同様にして、銅含有量３．０質量％のアンモニア分解触媒Ｂ  ４８０ｇを得た。
このアンモニア分解触媒Ｂを上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
【実施例３】  多孔質シリカアルミナとして、“モルデナイト型ゼオライド”（Ｓｉ／Ａｌ（モル比）＝２０、比表面積４００ｍ２／ｇ、平均粒子径１０μｍ、ズードケミーＡＧ製、商品名：Ｈ−ＭＯＲ−２０）５００ｇを用いる他は実施例１と同様にして、銅含有量２．８質量％のアンモニア分解触媒Ｃ  ４９０ｇを得た。
このアンモニア分解触媒Ｃを上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
【実施例４】  多孔質シリカアルミナとして、“Ｙ型ゼオライド”（Ｓｉ／Ａｌ（モル比）＝５、比表面積２１０ｍ２／ｇ、平均粒子径１０μｍ、水澤化学製、商品名：Ｙ−４００）５００ｇを用いる他は実施例１と同様にして、銅含有量３．０質量％のアンモニア分解触媒Ｄ  ４８０ｇを得た。
このアンモニア分解触媒Ｄを上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
【実施例５】  Ｃｕ（ＮＯ３）２・３Ｈ２Ｏに代えて、Ｆｅ（ＮＯ３）３・９Ｈ２Ｏ（和光純薬製、試薬特級）１４０ｇを用いる他は、実施例１と同様にして、鉄含有量  ２．８質量％のアンモニア分解触媒Ｅ  ４９０ｇを得た。
このアンモニア分解触媒Ｅを上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通景（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
【実施例６】  Ｃｕ（ＮＯ３）２・３Ｈ２Ｏに代えて、Ｃｏ（ＮＯ３）２・６Ｈ２Ｏ（和光純薬製、試薬特級）１００ｇを用いる他は、実施例１と同様にして、コバルト含有量３．１質量％のアンモニア分解触媒Ｆ  ４９０ｇを得た。
このアンモニア分解触媒Ｆを上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
【実施例７】  Ｃｕ（ＮＯ３）２・３Ｈ２Ｏに代えて、Ｎｉ（ＮＯ３）２・６Ｈ２Ｏ（和光純薬製、試薬特級）１００ｇを用いる他は、実施例１と同様にして、ニッケル含有量２．８質量％のアンモニア分解触媒Ｇ  ４９０ｇを得た。
このアンモニア分解触媒Ｇを上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
【実施例８】  Ｃｕ（ＮＯ３）２・３Ｈ２Ｏに代えて、Ｚｎ（ＮＯ３）２・６Ｈ２Ｏ（和光純薬製、試薬特級）８０ｇを用いる他は、実施例１と同様にして、亜鉛含有量３．０質量％のアンモニア分解触媒Ｈ  ４８０ｇを得た。
このアンモニア分解触媒Ｈを上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
比較例１
アンモニア分解触媒として、市販の酸化銅−酸化マンガンの複合酸化物触媒（酸化銅含有量  ２５質量％、酸化マンガン含有量  ７５質量％、ズードケミー触媒製、商品名：Ｎ−１４０）を使用した。
複合酸化物触媒を上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
比較例２
Ｃｕ（ＮＯ３）３・３Ｈ２Ｏ（和光純薬製、試薬特級）９．２ｇをイオン交換水１００ｍｌに溶解させた水溶液を球形チタニア担体（球径２〜４ｍｍ、堺化学工業製、商品名：ＣＳ−２００−２４）１００ｇに含浸した後、５００℃で焼成して、銅／チタニア触媒（銅含有量３質量％）を得た。
この銅／チタニア触媒を上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
比較例３
アルミナ（球径１〜２ｍｍ、住友化学工業製、商品名：ＮＫＨＤ−１２）１００ｇに塩化パラジウムパラジウム（和光純薬製、試薬特級）０．１ｇ（金属Ｐｄとして）をイオン交換水１０ｍｌに溶解した溶液を含浸し、５００℃で焼成した。焼成物をヒドラジン１ｇ含む水溶液５００ｍｌ分散させ、液相還元して、パラジウム／アルミナ触媒を得た。
このパラジウム／アルミナ触媒を上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
比較例４
実施例１で用いたＺＳＭ−５ゼオライト９４ｇに銅３ｇを含む硝酸銅水溶液３０ｍｌを使用して、含浸法で銅を担持し、５００℃で焼成して、含浸法アンモニア分解触媒Ｉを得た。
このアンモニア分解触媒Ｉを上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
比較例５
多孔質シリカアルミナとして、“ＺＳＭ−５ゼオライト”（Ｓｉ／Ａｌ（モル比）＝９５、比表面積４００ｍ２／ｇ、平均粒子径７０μｍ、ズードケミーＡＧ製、商品名：Ｈ−ＭＦＩ−９０）５００ｇを用いる他は実施例１と同様にして、銅含有量２．３質量％のアンモニア分解触媒Ｊ  ４８０ｇを得た。
このアンモニア分解触媒Ｊを上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
比較例６
多孔質シリカアルミナとして、“βゼオライド”（Ｓｉ／Ａｌ（モル比）＝１５０、比表面積６２０ｍ２／ｇ、平均粒子径４５μｍ、ズードケミーＡＧ製、商品名：Ｈ−ＢＥＡ−１５０）５００ｇを用いる他は実施例１と同様にして、銅含有量１．８質量％のアンモニア分解触媒Ｋ  ４９０ｇを得た。
このアンモニア分解触媒Ｋを上記常圧流通式反応装置の石英製反応管に詰め、反応温度３００℃で、アンモニア含有ガス流通量（ＳＶ）６２５ｈｒ−１で通し、アンモニア分解活性を評価した。結果を第１表に示した。
2005018807.tif 000002
【産業上の利用可能性】  本発明のアンモニア分解触媒は、アンモニアを％オーダーの濃度で含むガス中のアンモニアを略完全に分解することが可能であり、高温でのアンモニアの分解であっても、酸化窒素のような有害成分が発生しない。したがって、本発明のアンモニア分解触媒および該触媒を用いるアンモニアの分解方法は、アンモニアを高濃度に含有する排ガスの除害に有用であり、その産業上への寄与は絶大である。
【国際調査報告】
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2005018807.tif 000004
2005018807.tif 000005
2005018807.tif 000006