(57)【要約】信号源の出力インピーダンスおよび負荷のインピーダンスが伝送線路の特性インピーダンスと異なる場合においても、正確な電力を負荷に印加できるようにする。負荷２に印加される電力は、測定系誤差要因（Ｅｒ１、Ｅｓ）、負荷２の負荷係数Ｘおよび入力信号ＲのＳパラメータによって表すことができる。よって、目標入力信号決定部７０により、負荷２に印加したい所望の電力、測定系誤差要因（Ｅｒ１、Ｅｓ）および負荷２の負荷係数Ｘに基づき、入力信号ＲのＳパラメータの目標値を決定することができる。さらに、入力信号レベル制御部８０が、この目標値を入力信号ＲのＳパラメータがとるように、入力信号のレベルを制御する。これは、増幅率可変アンプ１３の増幅率を変化させることにより行う。よって、インピーダンスが整合しているか否かに関わらず、負荷に所望の電力を印加することができる。
2004049564.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、
入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、
前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、
前記入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、
前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、
前記測定系誤差要因と、前記負荷が接続された時の前記入力信号測定手段および前記反射信号測定手段の測定結果とに基づき前記負荷に関する所定のベクトル電圧を測定する負荷測定手段と、
前記測定系誤差要因、前記負荷に関する所定のベクトル電圧および前記所望の電力に基づき、前記入力信号に関する所定のベクトル電圧の目標値を決定する目標値決定手段と、
前記入力信号に関する所定のベクトル電圧が前記目標値をとるように、前記入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御手段と、
を備えた電力供給装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電力供給装置であって、
前記反射信号測定手段は、前記電力供給装置に接続された校正用具から前記入力信号が反射された前記反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定し、
前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものである電力供給装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電力供給装置であって、
前記所定のベクトル電圧はＳパラメータあるいはパワーである電力供給装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電力供給装置を備えるネットワークアナライザ。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電力供給装置を備えるスペクトラムアナライザ。
【請求項６】
接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給方法であって、
入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定工程と、
前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定する反射信号測定工程と、
前記入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得工程と、
前記入力信号測定工程、前記反射信号測定工程および前記信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得工程と、
前記測定系誤差要因と、前記負荷が接続された時の前記入力信号測定工程および前記反射信号測定工程の測定結果とに基づき前記負荷に関する所定のベクトル電圧を測定する負荷測定工程と、
前記測定系誤差要因、前記負荷に関する所定のベクトル電圧および前記所望の電力に基づき、前記入力信号に関する所定のベクトル電圧の目標値を決定する目標値決定工程と、
前記入力信号に関する所定のベクトル電圧が前記目標値をとるように、前記入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御工程と、
を備えた電力供給方法。
【請求項７】
接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、前記入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有する電力供給装置における電力供給処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理と、
前記測定系誤差要因と、前記負荷が接続された時の前記入力信号測定手段および前記反射信号測定手段の測定結果とに基づき前記負荷に関する所定のベクトル電圧を測定する負荷測定処理と、
前記測定系誤差要因、前記負荷に関する所定のベクトル電圧および前記所望の電力に基づき、前記入力信号に関する所定のベクトル電圧の目標値を決定する目標値決定処理と、
前記入力信号に関する所定のベクトル電圧が前記目標値をとるように、前記入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項８】
接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、前記入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有する電力供給装置における電力供給処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理と、
前記測定系誤差要因と、前記負荷が接続された時の前記入力信号測定手段および前記反射信号測定手段の測定結果とに基づき前記負荷に関する所定のベクトル電圧を測定する負荷測定処理と、
前記測定系誤差要因、前記負荷に関する所定のベクトル電圧および前記所望の電力に基づき、前記入力信号に関する所定のベクトル電圧の目標値を決定する目標値決定処理と、
前記入力信号に関する所定のベクトル電圧が前記目標値をとるように、前記入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、負荷への電力の印加に関する。
【背景技術】  従来より、ネットワークアナライザ、スペクトラムアナライザ等において信号源から負荷に電力を印加することが行われている（例えば、特許文献１（特開平１１−３８０５４号公報）参照）。信号源と負荷とは伝送線路により結合されている。ここで、信号源の出力インピーダンス、負荷のインピーダンスおよび伝送線路の特性インピーダンスが存在する。信号源の出力インピーダンスおよび負荷のインピーダンスが伝送線路の特性インピーダンスと一致する場合は、正確な電力を負荷に印加することができる。
しかしながら、信号源の出力インピーダンスおよび負荷のインピーダンスが伝送線路の特性インピーダンスと異なる場合が多い。このような場合は、正確な電力を負荷に印加することができない。しかも、信号源の出力インピーダンスが伝送線路の特性インピーダンスと一致するような信号源を製造することは困難である。よって、正確な電力を負荷に印加することができないことが多い。
そこで、本発明は、信号源の出力インピーダンスおよび負荷のインピーダンスが伝送線路の特性インピーダンスと異なる場合においても、正確な電力を負荷に印加できるようにすることを課題とする。
【発明の開示】
本発明の電力供給装置によれば、接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、測定系誤差要因と、負荷が接続された時の入力信号測定手段および反射信号測定手段の測定結果とに基づき負荷に関する所定のベクトル電圧を測定する負荷測定手段と、測定系誤差要因、負荷に関する所定のベクトル電圧および所望の電力に基づき、入力信号に関する所定のベクトル電圧の目標値を決定する目標値決定手段と、入力信号に関する所定のベクトル電圧が目標値をとるように、入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御手段とを備えるように構成される。
負荷に印加される電力は、測定系誤差要因、負荷に関する所定のベクトル電圧および入力信号に関する所定のベクトル電圧によって表すことができる。よって、目標値決定手段により、負荷に印加したい所望の電力、測定系誤差要因および負荷に関する所定のベクトル電圧に基づき、入力信号に関する所定のベクトル電圧の目標値を決定することができる。さらに、入力信号レベル制御手段が、この目標値を入力信号に関する所定のベクトル電圧がとるように、入力信号のレベルを制御する。よって、インピーダンスが整合しているか否かに関わらず、負荷に所望の電力を印加することができる。
さらに、上記本発明の電力供給装置によれば、反射信号測定手段は、電力供給装置に接続された校正用具から入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定し、校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるように構成される。
また、上記本発明の電力供給装置によれば、所定のベクトル電圧はＳパラメータあるいはパワーであるように構成される。
さらに、本発明のネットワークアナライザまたはスペクトラムアナライザは上記電力供給装置を備えて構成される。
本発明の他の一態様によれば、接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給方法であって、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定工程と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定する反射信号測定工程と、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得工程と、入力信号測定工程、反射信号測定工程および信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得工程と、測定系誤差要因と、負荷が接続された時の入力信号測定工程および反射信号測定工程の測定結果とに基づき負荷に関する所定のベクトル電圧を測定する負荷測定工程と、測定系誤差要因、負荷に関する所定のベクトル電圧および所望の電力に基づき、入力信号に関する所定のベクトル電圧の目標値を決定する目標値決定工程と、入力信号に関する所定のベクトル電圧が目標値をとるように、入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御工程とを備えるように構成される。
本発明の他の一態様は、接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有する電力供給装置における電力供給処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理と、測定系誤差要因と、負荷が接続された時の入力信号測定手段および反射信号測定手段の測定結果とに基づき負荷に関する所定のベクトル電圧を測定する負荷測定処理と、測定系誤差要因、負荷に関する所定のベクトル電圧および所望の電力に基づき、入力信号に関する所定のベクトル電圧の目標値を決定する目標値決定処理と、入力信号に関する所定のベクトル電圧が目標値をとるように、入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明の他の一態様は、接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有する電力供給装置における電力供給処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理と、測定系誤差要因と、負荷が接続された時の入力信号測定手段および反射信号測定手段の測定結果とに基づき負荷に関する所定のベクトル電圧を測定する負荷測定処理と、測定系誤差要因、負荷に関する所定のベクトル電圧および所望の電力に基づき、入力信号に関する所定のベクトル電圧の目標値を決定する目標値決定処理と、入力信号に関する所定のベクトル電圧が目標値をとるように、入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明の実施の形態に係る電力供給装置１の構成を示したブロック図である。
図２は、図１に示す状態をシグナルフローグラフで表現した図である。
図３は、測定系誤差要因取得部５０の構成を示すブロック図である。
図４は、信号源１０に校正用具４が接続されている状態を示すブロック図（図４（ａ））、校正用具４の外観を示す図（図４（ｂ）〜（ｅ））である。
図５は、信号源１０に校正用具４が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現した図である。
図６は、信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６が接続されている状態を示す図である。
図７は、本発明の実施形態の動作を示すフローチャートである。
図８は、測定系誤差要因の測定の際の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の形態に係る電力供給装置１の構成を示したブロック図である。電力供給装置１には、負荷（Ｌｏａｄ）２が接続されている。電力供給装置１は、負荷２に電力ＰＬを供給する。負荷２は入力端子２ａを有する。
電力供給装置１は、信号源１０、測定系誤差要因記録部３０、負荷係数測定部４０、測定系誤差要因取得部５０、パワーメータ用端子６０、信号出力取得部６２、目標入力信号決定部７０、入力信号制御部８０を備える。
信号源１０は、負荷２に信号を供給する。信号源１０は、信号出力部１２、増幅率可変アンプ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）、出力端子１８を有する。
信号出力部１２は、入力信号を出力する。入力信号は、例えば、電圧が正弦波をとる信号である。
増幅率可変アンプ１３は、信号出力部１２が出力した入力信号の振幅を変化させる。なお、増幅率可変アンプ１３の出力振幅と入力振幅との比（増幅率）は可変である。増幅率可変アンプ１３の増幅率は、入力信号制御部８０により制御される。
ブリッジ１４ａは、信号出力部１２から出力された信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａに供給する。ブリッジ１４ａが供給する信号は、信号源１０による測定系誤差要因の影響を受けていない信号といえる。ブリッジ１４ｂは、入力信号が出力端子１８から出力され、さらに反射して戻ってきた反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂに供給する。なお、ブリッジ１４ａ、１４ｂはパワースプリッタあるいはカプラでもよい。
レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）は、ブリッジ１４ａを介して受けた信号のＳパラメータを測定する。よって、レシーバ（ＲＳ）１６ａは、信号源１０による測定系誤差要因の影響の生ずる前に、入力信号に関するＳパラメータを測定する。
レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）は、ブリッジ１４ｂを介して受けた信号のＳパラメータを測定する。よって、レシーバ（ＴＳ）１６ｂは、反射信号に関するＳパラメータを測定する。
出力端子１８は、入力信号を出力するための端子である。
測定系誤差要因記録部３０は、電力供給装置１の測定系誤差要因を記録する。測定系誤差要因は、Ｅｄ（ブリッジの方向性に起因する誤差）、Ｅｒ１、Ｅｒ２（周波数トラッキングに起因する誤差）、Ｅｓ（ソースマッチングに起因する誤差）、Ｅｔがある。図１に示す状態をシグナルフローグラフで表現したものを図２に示す。Ｘは電力供給装置１に接続される負荷２等の負荷係数である。
負荷係数測定部４０は、電力供給装置１に負荷２が接続された時のレシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）、の測定データ（Ｓパラメータ）と、測定系誤差要因記録部３０の記録する測定系誤差要因とに基づき、負荷２に関する負荷係数Ｘを測定する。ただし、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）の測定データはＲ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）の測定データはＴである（図２参照）。
負荷係数測定部４０は、下記の数式に従って負荷２の負荷係数Ｘを測定する。
【数１】
2004049564.tif 000003
測定系誤差要因取得部５０は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）、および信号出力取得部６２の測定結果に基づき測定系誤差要因（Ｅｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２、Ｅｓ）を取得する。測定系誤差要因の取得にあたっては、信号源１０に校正用具４、パワーメータ６を順々に接続していく。
測定系誤差要因取得部５０の構成を図３に示す。測定系誤差要因取得部５０は、切替器５２、第一測定系誤差要因取得部５４、第二測定系誤差要因取得部５６を有する。
切替器５２は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）およびレシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）から測定データ（例えばＳパラメータ）を受け、信号源１０に接続されるものの種類に応じ、これらの信号を、第一測定系誤差要因取得部５４および第二測定系誤差要因取得部５６のいずれか一つに出力する。
すなわち、切替器５２は、信号源１０に校正用具４が接続されている時は第一測定系誤差要因取得部５４に、信号源１０にパワーメータ６が接続されている時は第二測定系誤差要因取得部５６に、レシーバ（ＲＳ）１６ａおよびレシーバ（ＴＳ）１６ｂから受けた測定データ（例えばＳパラメータ）を出力する。
第一測定系誤差要因取得部５４は、信号源１０に校正用具４が接続されている時に、レシーバ（ＲＳ）１６ａおよびレシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定データを受け、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２（Ｅｒ１とＥｒ２との積）を取得する。信号源１０に校正用具４が接続されている状態を図４（ａ）に示す。校正用具４の端子４ａと信号源１０の出力端子１８とが接続されている。なお、ネットワークアナライザ１の信号源１０以外の部分は図４（ａ）においては省略している。校正用具４は、特開平１１−３８０５４号に記載のようにオープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の三種類の状態を実現する周知のものである。
校正用具４の外観は図４（ｂ）に示すようなものであり、校正用具４は、コネクタ４ａ、本体４ｂを有する。図４（ｃ）はオープン素子で端末４ｃは開放されているが浮遊容量Ｃが存在する。図４（ｄ）はショート素子で端末４ｄは短絡されている。図４（ｅ）はロード素子で端末４ｅは標準負荷（インピーダンス）Ｚ０で終端されている。
信号源１０に校正用具４が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現すれば図２に示すようになる。ここで、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データはＲ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定データはＴである。Ｘが、校正用具４の負荷係数となる。ＲとＴとの関係は、下記の数式の通りである
【数２】
2004049564.tif 000004
ここで、校正用具４が三種類接続されるため、ＲとＴとの組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もＥｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２という三種類の変数である。
第二測定系誤差要因取得部５６は、信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６が接続されている時に、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データ、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２（第一測定系誤差要因取得部５４の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部６２の出力（パワーＰ）を受け、Ｅｒ１、Ｅｒ２を取得する。
信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６が接続されている状態を図５に示す。なお、ネットワークアナライザ１の信号源１０およびパワーメータ用端子６０以外の部分は図６においては省略している。パワーメータ６の端子６ａは信号源１０の出力端子１８に接続されている。パワーメータ６の端子６ｂはパワーメータ用端子６０に接続されている。パワーメータ６は、端子６ａを介して受けた信号のパワーを測定する。信号出力取得部６２はパワーメータ用端子６０および端子６ｂを介して、パワーＰを取得し、第二測定系誤差要因取得部５６に出力する。
信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現したものを図６に示す。ここで、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データはＲ、パワーメータ６の測定データはＰである。図６から明らかなように、Ｐは入力信号に関するベクトル電圧であり、測定系誤差要因が生じた後に取得されたものである。ＲとＰとの関係は、下記の数式の通りである
【数３】
2004049564.tif 000005
ここで、Ｅｓは既知、Ｅｐは測定可能なので、Ｅｒ１を求めることができる。Ｅｒ１・Ｅｒ２は既知なので、Ｅｒ２もまた求めることができる。このように、Ｅｒ１・Ｅｒ２から、シグナルフローグラフ（図６参照）においては互いに逆向きのＥｒ１、Ｅｒ２を求めることができる。いわば、Ｅｒ１・Ｅｒ２において一体となっていたＥｒ１およびＥｒ２を分離できる。
第一測定系誤差要因取得部５４は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）およびレシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）の測定データを受け、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２を取得する。第二測定系誤差要因取得部５６は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）および信号出力取得部６２の測定データを受け、Ｅｒ１、Ｅｒ２を取得する。よって、第一測定系誤差要因取得部５４および第二測定系誤差要因取得部５６は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）および信号出力取得部６２の測定データに基づき測定系誤差要因（Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１、Ｅｒ２）を取得する。
パワーメータ用端子６０は、パワーメータ６の端子６ｂに接続される。信号出力取得部６２は、パワーメータ用端子６０および端子６ｂを介して、パワーＰを取得し、第二測定系誤差要因取得部５６に出力する。パワーＰは、信号源１０による測定系誤差要因の影響の生じた後に取得される信号といえる。
目標入力信号決定部７０は、測定系誤差要因（Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１、Ｅｒ２）、負荷２の負荷係数Ｘおよび負荷２に印加する所望の電力ＰＬの目標値に基づき、入力信号ＲのＳパラメータの目標値を決定する。
負荷２に印加する電力ＰＬは、下記の数式のように表される。
【数４】
2004049564.tif 000006
よって、入力信号ＲのＳパラメータは、下記の数式のように表される。
【数５】
2004049564.tif 000007
よって、上記の数式に電力ＰＬの目標値および、Ｅｒ１、Ｅｓ，Ｘを代入すれば、入力信号ＲのＳパラメータの目標値が求められる。入力信号ＲのＳパラメータがこの目標値になるようにすれば、電力ＰＬも目標値になる。
入力信号制御部８０は、入力信号ＲのＳパラメータが目標入力信号決定部７０により求められた目標値をとるように、入力信号のレベルを制御する。入力信号制御部８０は、増幅率可変アンプ１３の増幅率を変化させることにより、入力信号のレベルを制御する。
次に、本発明の実施形態の動作を説明する。図７は、本発明の実施形態の動作を示すフローチャートである。
まず、電力供給装置１は、測定系誤差要因（Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１、Ｅｒ２）を測定する（Ｓ１０）。測定された測定系誤差要因は、測定系誤差要因記録部３０に記録される。測定系誤差要因の測定の際の動作を図８のフローチャートを参照して説明する。
まず、信号源１０に三種類の校正用具４を接続する。信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａが測定する。入力信号は、出力端子１８を介して校正用具４に入力される。そして、校正用具４から反射された反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂが測定する。第一測定系誤差要因取得部５４はレシーバ（ＲＳ）１６ａおよびレシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定データを受け、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２（Ｅｒ１とＥｒ２との積）を取得する（Ｓ１０２）。
次に、信号源１０およびパワーメータ用端子６０にパワーメータ６を接続する。信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａが測定する。入力信号は、出力端子１８および端子６ａを介してパワーメータ６に入力される。パワーメータ６は、この入力信号のパワーＰを測定する。そして、信号出力取得部６２はパワーメータ用端子６０および端子６ｂを介して、パワーＰを取得し、第二測定系誤差要因取得部５６に出力する。第二測定系誤差要因取得部５６は、レシーバ（ＲＳ）１６ａの測定データ、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２（第一測定系誤差要因取得部５４の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部６２の出力（パワーＰ）を受け、Ｅｒ１、Ｅｒ２を取得する（Ｓ１０４）。
ここで、図７に戻り、電力供給装置１には負荷２が接続され（図１参照）、入力信号ＲのＳパラメータ、反射信号ＴのＳパラメータが実測される（Ｓ２０）。すなわち、信号出力部１２は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａが測定する。この測定により得られたデータがＲである。入力信号は、出力端子１８を介してＤＵＴ２に入力される。そして、ＤＵＴ２から反射された反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂが測定する。この測定により得られたデータがＴである。
次に、負荷係数測定部４０が負荷２の負荷係数Ｘを決定する（Ｓ３０）。すなわち、電力供給装置１に負荷２が接続された時のレシーバ（ＲＳ）１６ａ（入力信号測定手段）、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ（反射信号測定手段）、の測定データ（Ｓパラメータ）と、測定系誤差要因記録部３０の記録する測定系誤差要因とに基づき、負荷２の負荷係数Ｘを測定する。
そして、目標入力信号決定部７０が、測定系誤差要因（Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１、Ｅｒ２）、負荷２の負荷係数Ｘおよび負荷２に印加する電力ＰＬの目標値に基づき、入力信号ＲのＳパラメータの目標値を決定する（Ｓ４０）。
最後に、入力信号制御部８０が、入力信号ＲのＳパラメータが目標入力信号決定部７０により求められた目標値をとるように、入力信号のレベルを制御する。（Ｓ５０）。
本発明の実施形態によれば、負荷に印加される電力ＰＬは、測定系誤差要因（Ｅｒ１、Ｅｓ）、負荷２の負荷係数Ｘおよび入力信号ＲのＳパラメータによって表すことができる（数４参照）。よって、目標入力信号決定部７０により、負荷２に印加したい所望の電力、測定系誤差要因（Ｅｒ１、Ｅｓ）および負荷２の負荷係数Ｘに基づき、入力信号ＲのＳパラメータの目標値を決定することができる（数５参照）。さらに、入力信号レベル制御部８０が、この目標値を入力信号ＲのＳパラメータがとるように、入力信号のレベルを制御する。これは、増幅率可変アンプ１３の増幅率を変化させることにより行う。よって、インピーダンスが整合しているか否かに関わらず、負荷に所望の電力を印加することができる。
なお、上記の実施形態において、ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピーディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、電力供給装置１を実現できる。
【図１】
2004049564.tif 000008
【図２】
2004049564.tif 000009
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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