(57)【要約】ミクロン構造の溝を有する光ファイバ固定用基板、マイクロリアクターチップ、マイクロ分析用基板等のガラス基板であって、欠けの発生を抑えることができる溝部を有するガラス基板及びその製造方法及びガラス基板作製用プレス型を提供する。  基板上に設けられた台地状平坦部に溝部を有するガラス基板作製用プレス型であって、上型と下型とを含み、前記上型か前記下型の少なくともいずれかに、前記台地状平坦部に対応し、かつ全周を金型基準面で囲まれた窪み部を設け、前記窪み部内に前記溝部に対応する凸部を形成することを特徴とする。
2004085321.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられた台地状平坦部に溝部を有するガラス基板作製用プレス型であって、上型と下型とを含み、前記上型か前記下型の少なくともいずれかに、前記台地状平坦部に対応し、かつ全周を金型基準面で囲まれた窪み部を設け、前記窪み部内に前記溝部に対応する凸部を形成することを特徴とするガラス基板作製用プレス型。
【請求項２】
前記窪み部と前記凸部との境界に円弧状面取りが形成される請求項１記載のガラス基板作製用プレス型。
【請求項３】
前記窪み部の深さが前記凸部の高さ以上である請求項１または２記載のガラス基板作製用プレス型。
【請求項４】
前記凸部がＶ溝に対応するものである請求項１または２記載のガラス基板作製用プレス型。
【請求項５】
前記凸部が流体の流路に対応するものである請求項１または２記載のガラス基板作製用プレス型。
【請求項６】
前記請求項１〜５のいずれか記載のガラス基板作製用プレス型を使用してガラスを加熱プレスすることを特徴とするガラス基板の製造方法。
【請求項７】
基板上に設けられた台地状平坦部内にミクロン構造の溝部が形成されたガラス基板において、該基板上に設けられた台地状平坦部と前記溝部との境界部に円弧状面取りが形成されたことを特徴とする溝部を有するガラス基板。
【請求項８】
前記溝部が流体の流路である請求項７記載の溝部を有するガラス基板。
【請求項９】
前記ガラス基板は、マイクロリアクターチップ又はマイクロ分析用基板である請求項８記載の溝部を有するガラス基板。
【請求項１０】
光ファイバの端部を接着固定するための溝部が形成されたガラス製の光ファイバ固定用基板において、前記基板は、平坦部を有する基板本体と、基板上に設けられ、前記溝部が形成された溝部形成部と該溝部形成部を挟むように該溝部形成部の両側に形成されるとともに前記平坦部よりも高さが高く形成された接着用凸部とからなる台地状平坦部、とから構成され、前記溝部の頂部、前記溝部と前記接着用凸部との境界部、及び前記接着用凸部の隅部に円弧状面取りが形成されたことを特徴とする光ファイバ固定用基板。
【請求項１１】
前記光ファイバ固定用基板の前記接着用凸部の外側には、肉落とし部が形成された請求項１０記載の光ファイバ固定用基板。
【請求項１２】
前記肉落とし部の隣接する面同士の境界部には、円弧状面取りが形成されている請求項１０または１１記載の光ファイバ固定用基板。
【請求項１３】
請求項１０、１１または１２記載の溝部を有する基板は、前記溝部成形用の凹凸部、前記接着用凸部成形用の凹部、及び前記肉落とし成形用の凸部が形成され、かつ前記凹凸部と前記凹部とが、前記凸部の平坦面を金型基準面とする周囲に囲まれた窪み部内に形成されている型部材によって熱と圧力とが加えられながら、１回のプレス工程により製造されることを特徴とする光ファイバ固定用基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明はマイクロリアクターチップ、マイクロ分析用基板、及び光ファイバ固定用基板等のように、基板上に設けられた台地状平坦部にミクロン構造の溝部が形成されたガラス基板及びその製造方法及びガラス基板作製用プレス型に関する。
【背景技術】  光通信の分野において、複数の光ファイバ同士又は複数の光ファイバと光導波路等の他の素子とを接続する際に、光ファイバの端部を並べて固定する光ファイバ固定用基板が従来から知られている（例えば、特開平１１−１９４２２６号公報（５−６頁、図１、図４））。
この光ファイバ固定用基板は、光ファイバの端部が係合（載置）されるＶ字状溝が形成された光ファイバ係合部と、この光ファイバ係合部の両側に形成された接着剤流動阻止部とを有し、光ファイバ係合に光ファイバの端部を係合させて、光ファイバ係合部に接着剤を充填した後、その上から押さえ部材を被せることにより、光ファイバの端部を光ファイバ固定用基板と押さえ部材とによって固定している。この時、光ファイバ係合部に充填した接着剤は、接着剤流動阻止部によって光ファイバ係合部からの漏れが阻止される。
また、この光ファイバ固定用基板はガラス製であり、砥石によって切削加工された成形型でプレス成形されることにより製造されるとともに、Ｖ字状溝の頂部には円弧状の面取りが形成されている。
しかしながら、前記特開平１１−１９４２２６号公報に開示された光ファイバ固定用基板は、Ｖ字状溝の頂部に円弧状の面取りが形成されてはいるものの、他の部位には面取りが形成されておらず、その部位が不用意に欠けて光ファイバを傷つける場合があるので、取り扱いが難しいという問題もあった。また、前記特開平１１−１９４２２６号公報に開示された光ファイバ固定用基板は、Ｖ字状溝の頂部のみ存在するため、他の部材に接触した場合に、頂部の欠けが発生し易いという問題があった。
ところで、光ファイバ固定用基板のようにミクロン構造（ミクロン単位）の溝を有し且つガラスを基材とする基板として、マイクロリアクターチップやマイクロ分析用基板が知られている。このマイクロリアクターチップやマイクロ分析用基板は、その平坦部に溶液を流すミクロン単位の溝が形成されているが、この溝が欠けた場合には、反応や解析に不具合が発生するという問題があった。また、これらの用途では、流量を厳密に制御する必要がある。流路を形成するために溝の上に平坦なガラス板等のカバーをのせるが、溝形状だけでなく、該平坦部も形状精度が出ていないと流量を充分に制御できないおそれがある。
【発明の開示】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、欠けの発生を抑えることができる溝部を有する基板及びその製造方法、それに好適なガラス基板作製用プレス型を提供することを目的とする。
本発明は、前記目的を達成するものであり、以下の要旨を有する。
（１）基板上に設けられた台地状平坦部に溝部を有するガラス基板作製用プレス型であって、上型と下型とを含み、前記上型か前記下型の少なくともいずれかに、前記台地状平坦部に対応し、かつ全周を金型基準面で囲まれた窪み部を設け、前記窪み部内に前記溝部に対応する凸部を形成することを特徴とするガラス基板作製用プレス型。
（２）前記窪み部と前記凸部との境界に円弧状面取りが形成される上記（１）記載のガラス基板作製用プレス型。
（３）前記窪み部の深さが前記凸部の高さ以上である上記（１）または（２）記載のガラス基板作製用プレス型。
（４）前記凸部がＶ溝に対応するものである上記（１）または（２）記載のガラス基板作製用プレス型。
（５）前記凸部が流体の流路に対応するものである上記（１）または（２）記載のガラス基板作製用プレス型。
（６）上記（１）〜（５）のいずれか記載のガラス基板作製用プレス型を使用してガラスを加熱プレスすることを特徴とするガラス基板の製造方法。
（７）基板上に設けられた台地状平坦部内にミクロン構造の溝部が形成されたガラス基板において、該基板上に設けられた台地状平坦部と前記溝部との境界部に円弧状面取りが形成されたことを特徴とする溝部を有するガラス基板。
（８）前記溝部が流体の流路である上記（７）記載の溝部を有するガラス基板。
（９）前記ガラス基板は、マイクロリアクターチップ又はマイクロ分析用基板である上記（８）記載の溝部を有するガラス基板。
（１０）光ファイバの端部を接着固定するための溝部が形成されたガラス製の光ファイバ固定用基板において、前記基板は、平坦部を有する基板本体と、基板上に設けられ、前記溝部が形成された溝部形成部と該溝部形成部を挟むように該溝部形成部の両側に形成されるとともに前記平坦部よりも高さが高く形成された接着用凸部とからなる台地状平坦部、とから構成され、前記溝部の頂部、前記溝部と前記接着用凸部との境界部、及び前記接着用凸部の隅部に円弧状面取りが形成されたことを特徴とする光ファイバ固定用基板。
（１１）前記光ファイバ固定用基板の前記接着用凸部の外側には、肉落とし部が形成された上記（１０）記載の光ファイバ固定用基板。
（１２）前記肉落とし部の隣接する面同士の境界部には、円弧状面取りが形成されている上記（１０）または（１１）記載の光ファイバ固定用基板。
（１３）上記（１０）、（１１）または（１２）記載の溝部を有する基板は、前記溝部成形用の凹凸部、前記接着用凸部成形用の凹部、及び前記肉落とし成形用の凸部が形成され、かつ前記凹凸部と前記凹部とが、前記凸部の平坦面を金型基準面とする周囲に囲まれた窪み部内に形成されている型部材によって熱と圧力とが加えられながら、１回のプレス工程により製造されることを特徴とする光ファイバ固定用基板の製造方法。
本発明によれば、上型か下型の少なくともいずれかに基板上に設けられた台地状平坦部に対応し、かつ全周を金型基準面で囲まれた窪み部を設け、前記窪み部内に溝部に対応する凸部を形成するため、前記窪み部で被成形物であるガラスが拘束された状態でプレス成形されるため金型面を忠実に転写し、形状精度に優れたガラス基板が得られる。
上記（２）記載の態様によれば、前記窪み部と前記凸部との境界に円弧状面取りが形成されるため、成形して得られるガラス基板は、基板の平坦部とミクロン構造（ミクロン単位）の溝部との境界部に円弧状面取りが形成されるので、溝部の欠けを抑えることができる。
上記（３）記載の態様によれば、前記窪み部の深さが前記凸部の高さ以上であるため、凸部の先端部分が破損や変形しにくくなるため溝金型取り扱いが容易となるほか、治具に使用した場合には溝内に載置される製品へのダメージを防止できる。
上記（４）記載の態様によれば、前記凸部がＶ溝に対応するものであるため、金型面を忠実に転写し、形状精度に優れた光ファイバ固定用基板を提供できる。
上記（５）記載の態様によれば、前記凸部が流体、例えば液体や気体の流路に対応するものであるため、成形して得られるガラス基板は、形状精度に優れたマイクロ流路とでき、しかも溝部の欠けを抑えることができる。
上記（６）記載の態様によれば、請求項１〜５のいずれか記載のガラス基板作製用プレス型を使用してガラスを加熱プレスすることを特徴とするため、形状精度に優れた、溝部を有するガラス基板を提供できる。
上記（７）記載の態様によれば、基板上に設けられた台地状平坦部とミクロン構造（ミクロン単位）の溝部との境界部に円弧状面取りを形成するので、溝部の欠けを抑えることができる。また、基板としては、請求項９に記載の如く、マイクロリアクターチップ又はマイクロ分析用基板を例示できる。マイクロリアクターチップは、ゲノム解析等の生化学的な分析や反応を実現するためのチップであり、また、マイクロ分析用基板はＤＮＡ解析時に使用する基板である。これらには、上記（８）記載の態様により流体、例えば、気体や溶液などの液体を流すためのミクロン単位の溝部が形成されているが、これらの溝部とチップ／基板上に設けられた台地状平坦部との境界部に円弧状面取りを形成することにより溝部の欠けを防止でき、反応、解析等に支障を与えない。
基板上に設けられた台地状平坦部にミクロン構造の溝部が形成されたガラス基板において、前記基板上に設けられた台地状平坦部と前記溝部との境界部に円弧状面取りが形成されたガラス基板の製造方法によれば、基板は、溝部成形用の凸部が形成された型部材によって熱と圧力とが加えられながら、１回のプレス工程により製造される。これにより、エッチングによって製造する基板の製造方法、又はプレス工程の後、切削加工を実施して製造する基板の製造方法と比較して、基板を簡単に製造できるので、大量生産が可能となる。
上記（１０）記載の態様は、溝部を有する基板のうち光ファイバ固定用基板を対象とする。この場合、欠けによる不具合の発生は、溝部の頂部の欠けに止まらず、溝部に近い部位に欠けが発生した場合には、それが溝部に入り込み光ファイバを傷つけるという問題が発生する。そこで、本発明によれば、基板を、溝なし平坦部を有する基板本体と、基板上に設けられ、溝部が形成された溝部形成部と、溝部形成部を挟むように溝部形成部の両側に形成されるとともに平坦部よりも高さが高く形成された接着用凸部とからなる台地状平坦部、とから構成し、溝部の頂部、溝部と接着用凸部との境界部、及び接着用凸部の隅部に円弧状面取りを形成した。
また、上記（１１）記載の態様の光ファイバ固定用基板は、接着用凸部の外側に肉落とし部を形成している。すなわち、溝の形成方向（頂部の形成方向）に直交する方向で切断した基板の断面において、接着用凸部の外側に、段部である肉落とし部を形成した。このように肉落とし部を形成することで、肉落とし部を成形するための成形型の凸部は、プレス時の基板の横流れを防止するようにはたらくため、溝部の形成精度が高くなる。これにより、大きめの基板から複数採りする際にも、溝部の成形精度が確保され、安定した品質で大量生産が可能になる。また、つなぎ目のない成形型によってプレス成形できるため、型構造を簡素化することができ、型のつなぎ目による基板品質への影響（バリや位置ばらつきの発生等）もない。
これに対して、肉落とし部のない特開平１１−１９４２２６号公報の光ファイバ固定用基板では、溝部両側の平坦部の両外側を拘束する形状に型を造る必要があるので、すなわち、下型は、プレスの際に横流れを防止するための胴型構造を採る必要があるので、型構造が複雑化し、型のつなぎ目が生ずるという欠点がある。また、上型は、肉落とし部を成形するための成形型の凸部が存在せず、すなわち、溝部両側を一律切削する型形状であり、台座部を成形する型と溝部を形成する型とを段差を設けて分割した、つなぎ目のある型構造を採っている。更に、特開平１１−１９４２２６号公報の型構造において、複数個採りを行なった場合には、各溝部の両側の平坦部外側をそれぞれ拘束することができないため、溝部の成形精度を確保することが難しくなる。
このような型構造の観点から見て、上記（１１）記載の態様は、特開平１１−１９４２２６号公報の光ファイバ固定用基板と比較して優位性がある。
更に、上記（１０）記載の態様又は上記（１１）記載の態様の光ファイバ固定用基板は、接着用凸部の高さを溝部の頂部の高さ以上に形成することができる。この場合には、接着用凸部が溝部の頂部の保護部材として作用し、溝部の頂部が不用意に他の部材に接触することを防止している。これにより、溝部の頂部の欠けを防止できる。
また、上記（１２）記載の態様によれば、前記肉落とし部の隣接する面同士の境界部に、円弧状面取りを形成したので、この境界部の欠けを防止でき、この境界部の欠けに起因する光ファイバの損傷を防止できる。
上記（１３）記載の態様の光ファイバ固定用基板の製造方法によれば、光ファイバ固定用基板は、溝部成形用の凹凸部、接着用凸部成形用の凹部、及び肉落とし成形用の凸部が形成され、かつ前記凹凸部と前記凹部とが、前記凸部の平坦面を金型基準面とする周囲に囲まれた窪み部内に形成されている型部材によって熱と圧力とが加えられながら、１回のプレス工程により製造される。これにより、エッチングによって製造する光ファイバ固定用基板の製造方法、又はプレス工程の後、切削加工を実施して製造する光ファイバ固定用基板の製造方法と比較して、光ファイバ固定用基板を簡単に製造できるので、大量生産が可能となる。
【図面の簡単な説明】  図１：  実施の形態の光ファイバ固定用基板を示した斜視図
図２：  図１の光ファイバ固定用基板をプレス成形するためのプレス型の断面を示した斜視図
図３：  光ファイバ固定用基板が大きめの基板に複数個同時に成形された説明図
図４：  プレス工程におけるプレス圧と型温度との関係を示したグラフ
図５：  マイクロリアクターチップやマイクロ分析用基板に形成された流路の拡大図
図６：  バスタブ構造を有するガラス基板作製用プレス型の断面図
図７：  複数のバスタブ構造を有するガラス基板作製用プレス型の断面図
【符号の説明】
１０…光ファイバ固定用基板、１２…Ｖ字状溝部、１２Ａ…頂部、１２Ｂ…谷部、１４…基板本体、１５…溝なし平坦部、１６…接着用凸部、１８…肉落とし部、１９…台地状平坦面、２０…プレス型、２２、２６…境界部、２４Ａ、２４Ｂ…隅部、４０…原料基板、８０…平坦部、８２…溝、Ｒ…面取り、１００…ガラス基板作製用プレス型、１０１…上型、１０２…下型、１０３…窪み部、１０４…基板上に設けられた台地状平坦部、１０５…凸部、１０６…平坦部と凸部の境界に形成された円弧状の面取り、１０７…金型基準面、１１０…ガラス基板作製用プレス型、１１１…上型、１１２…下型、１１３…窪み部、１１４…基板上に設けられた台地状平坦部、１１５…凸部、１１６…平坦部と凸部の境界に形成された円弧状の面取り、１１７…金型基準面
【発明を実施するための最良の形態】  以下添付図面に従って本発明に係る溝部を有する基板及びその製造方法及びガラス基板作製用プレス型の好ましい実施の形態について説明する。
図１に示す光ファイバ固定用基板１０は、略直方体形状に形成されるとともに、その平坦部には光ファイバ束の端部を接着固定するためのＶ字状溝部（溝部形成部）１２が形成されている。
Ｖ字状溝部１２、１２…は、頂部１２Ａと谷部１２Ｂとを交互に形成することによって形作られている。その谷部１２Ｂに接着固定される光ファイバとしては、コアとクラッドとからなる直径約１３０μｍの光ファイバを例示できる。これらの光ファイバは、例えば、溝深さ０．１５ｍｍで溝ピッチ０．１２７ｍｍで製作されているＶ字状溝部１２に接着固定されることにより、光ファイバ固定用基板１０に等間隔で整列配置される。
また、光ファイバ固定用基板１０は、Ｖ字状溝部１２の他、溝なし平坦部１５を有する基板本体１４と、Ｖ字状溝部１２を挟むようにＶ字状溝部１２の両側に形成されるとともに溝なし平坦部１５よりも高さが高く形成された接着用凸部１６、１６と、接着用凸部１６、１６の両外側に形成された肉落とし部１８、１８とから構成される。なお、図において台地状平坦部１９は、Ｖ字状溝部１２と、接着用凸部１６とから構成される。このように構成された光ファイバ固定用基板１０は、図２に示すプレス型（型部材）２０によって、１回のプレス工程により製造される。図中、３４Ａ、３４Ｂ、３４、３６、３８はそれぞれ、図１中の１２Ａ、１２Ｂ、１２、１６、１８に対応する。また、図１中の台地状平坦部１９に対応するのは、窪み部３９で、３４と３６から構成される。金型基準面は３２、３８を含む平面をいう。
図２のプレス型２０によってプレス成形された光ファイバ固定用基板１０は、図１の如く各隅部に円弧状の面取りが形成される。面取りは、Ｖ字状溝部１２の頂部１２Ａ、Ｖ字状溝部１２と接着用凸部１６、１６との境界部２２、接着用凸部１６、１６の隅部２４Ａ、２４Ｂ、及び肉落とし部１８、１８の隣接する面同士の境界部２６に形成される。このようにＶ字状溝部１２に近接する各隅部に円弧状の面取りを形成することにより、隅部が欠けてＶ字状溝部１２に入り込むことによる光ファイバの損傷を防止でき、また、光ファイバ固定用基板１０の取り扱いも容易になる。
図１において、符号２４Ａは、接着用凸部１６の溝なし平坦部１５側の隅部であり、符号２４Ｂは、接着用凸部１６の肉落とし部１８側の隅部である。また、隅部２４Ａに対向する接着用凸部１６の隅部Ａ、及び境界部２６に対向する境界部Ｂには面取り部が形成されていない。これは、後述する原料基板４０から基板１０を切断して得る際に、切断線に沿う部分であるからである。また、この隅部Ａ及び境界部Ｂに面取りが形成されていなくとも、この部分を形成する基板１０の切断面は、基板１０に光ファイバを係合した後に研磨されるため、隅部Ａ又は境界部Ｂが欠けていた場合でも、そのことによる影響は少ない。もちろんであるが、この部分に面取りを形成してもよい。これに対し、隅部２４Ａ及び境界部２６は、基板１０に光ファイバを係合した後であっても研磨される部分ではないので、この部分に面取りを形成することは必須である。更に、符号２７は、肉落とし部１８、１８の隣接する面同士の境界部であり、この境界部２７に面取りを形成してもよい。
なお、光ファイバ固定用基板１０に形成される前記面取りは、例えばＲ０．０５ｍｍ〜Ｒ０．５ｍｍであり、このような面取りを形成するための円弧状部が図２のプレス型２０の各隅部に予め形成されている。
光ファイバ固定用基板１０の材料としては、ソーダライムガラス、低アルカリガラス、無アルカリガラス、石英ガラス（合成石英ガラス、溶融石英ガラス）等のガラス材料を例示できる。また、光ファイバが１本の場合等は、光ファイバの上に被せるカバーがガタつくおそれがあるが、カバーの両端に脚部を形成した場合に、この脚部の受部として肉落とし部１８、１８が機能する。
プレス工程においては、図３の如く、光ファイバ固定用基板１０の最終製品の大きさよりも大きな原料基板４０をプレス成形し、その後に、図３の一点鎖線で示す切断線Ｃ、Ｃ…に沿って原料基板４０を碁盤目状にダイシングすることにより、一回のプレス工程によって複数（図３の場合は６個）の光ファイバ固定用基板１０、１０…を得る。
この場合、図３上で縦方向の切断線Ｃは、肉落とし部１８を形成する凹部の中央線に沿っているので、この切断線Ｃに沿ってダイシングしても、接着用凸部１６の隅部２４の円弧状面取りは確保される。よって、接着用凸部１６の欠けを防止できる。なお、原料基板４０の大きさは、図３の大きさに限定されるものではなく、例えば、１回のプレス工程で１個の光ファイバ固定用基板１０を得る場合には、それに対応する大きさの基板を使用すればよい。
一方、図２に示したプレス型２０は、板状に形成されるとともに、その表面に金型基準面となる平坦部３２、Ｖ字状溝部１２を成形する鋸歯状の凹凸部３４、接着用凸部１６を成形する凹部３６、及び肉落とし部１８を成形する凸部３８が形成されたつなぎ目のない型部材である。凸部３８の平坦面が金型基準面となる。また、凹部３６の底面は平坦であると好ましい。
このプレス型２０の材料はガラス状カーボン若しくは炭素−炭素複合体であり、精密研削加工機によって製作される。
図４は、ホウケイ酸ガラスの場合におけるプレス工程のプレス条件（型温度とプレス力）を経時的に示したグラフである。図４の縦軸は、型温度及びプレス力を示し、横軸は経過時間を示している。また、グラフＡは型温度の変化を示したグラフ、グラフＢはプレス力の変化を示したグラフである。
同図の如く、プレス型２０の温度を、プレス開始から約１５０秒後にガラス成型温度である約７２０℃まで上昇させる。その後、約７２０℃を約４５０秒まで保持させ、約４５０秒経過後に徐々に温度を下げていき、約６３０秒経過後に放物線を描くように温度を更に急勾配で下げていく。そして、ガラスと型部材を離型させ、原料基板４０を取り出す。
一方、プレス力に関しては、プレス開始から約３６０秒まで０．２ｋＮを維持させ、約３６０秒経過後に、プレス力を７ｋＮまで一気に上げる。そして、７ｋＮを約４５０秒まで保持させた後、約４５０秒経過後に更に９ｋＮまで一気に上げる。そして、９ｋＮを約６３０秒まで維持させ、その後、０．２ｋＮに一気に下げる。そして、プレス加工終了時まで０．２ｋＮを維持させる。図４のように温度及びプレス力を制御することによって、ガラス製の原料基板４０から歪みのない光ファイバ固定用基板１０を得ることができる。
以上述べたように実施の形態の光ファイバ固定用基板１０によれば、図１の如く、Ｖ字状溝部１２の頂部１２Ａ、Ｖ字状溝部１２と接着用凸部１６、１６との境界部２２、接着用凸部１６、１６の隅部２４Ａ、２４Ｂ及び肉落とし部１８、１８の隣接する面同士の境界部２６に円弧状の面取りを形成したので、隅部が欠けてＶ字状溝部１２に入り込むことによる光ファイバの損傷を防止でき、また、光ファイバ固定用基板１０の取り扱いも容易になる。
また、光ファイバ固定用基板１０は、接着用凸部１６、１６の高さをＶ字状溝部１２の頂部１２Ａの高さ以上に形成することができる。この場合には、接着用凸部１６、１６がＶ字状溝部１２の頂部１２Ａの保護部材として作用し、Ｖ字状溝部１２の頂部１２Ａが不用意に他の部材に接触することによる、Ｖ字状溝部１２の頂部１２Ａの欠けを防止できる。図１に示した光ファイバ固定用基板１０は、接着用凸部１６、１６の高さがＶ字状溝部１２の頂部１２Ａよりも高く形成されている。
更に、光ファイバ固定用基板１０は、接着用凸部１６、１６の両外側で接着用凸部１６、１６の長手方向に沿って肉落とし部１８、１８を形成している。すなわち、頂部１２Ａの形成方向に直交する方向で切断した光ファイバ固定用基板１０の断面（図１においてＸ−Ｘ線で切断した断面）において、接着用凸部１６の両外側に、段部である肉落とし部１８を形成した。
このように肉落とし部１８を形成することで、肉落とし部１８を成形するためのプレス型２０の凸部３８は、プレス時の基板の横流れを防止するようにはたらくため、Ｖ字状溝部１２の形成精度が高くなる。これにより、図３の如く、大きめの原料基板４０から光ファイバ固定用基板１０、１０…を複数採りする際にも、Ｖ字状溝部１２の成形精度が確保され、安定した品質で大量生産が可能になる。また、つなぎ目のない成形型によってプレス成形できるため、型構造を簡素化することができ、型のつなぎ目による基板品質への影響（バリや位置ばらつきの発生等）もない。
また、光ファイバ固定用基板１０の製造方法によれば、Ｖ字状溝部１２を成形する鋸歯状の凹凸部３４、接着用凸部１６を成形する凹部３６、及び肉落とし部１８を成形する凸部３８が形成されたつなぎ目のないプレス型２０によって、熱と圧力とを加えながら、１回のプレス工程により光ファイバ固定用基板１０を製造する。
これにより、エッチングによって製造する光ファイバ固定用基板の製造方法、又はプレス工程の後、切削加工を実施して製造する光ファイバ固定用基板の製造方法と比較して、光ファイバ固定用基板１０を簡単に製造できるので、大量生産が可能となる。
ところで、光ファイバ固定用基板１０のようにミクロン構造（ミクロン単位）の溝を有し且つガラスを基材とする基板として、マイクロリアクターチップやマイクロ分析用基板が知られている。
このマイクロリアクターチップやマイクロ分析用基板は、図５の如くその基板上に設けられた台地状平坦部８０に流体、例えば気体や溶液などの液体を流すミクロン単位の溝８２が形成されているが、この溝８２が欠けた場合には、反応や解析に不具合が発生する。
そこで、図５の如く基板上に設けられた台地状平坦部８０と溝８２との境界部に円弧状面取りＲを形成したので、溝８２の欠けを抑えることができる。
なお、マイクロリアクターチップやマイクロ分析用基板においても、溝８２を成形する凸部が形成された型部材によって熱と圧力とを加えながら、１回のプレス工程で製造するので、大量生産が可能となる。
図６のガラスプレス型１００は、上型１０１と下型１０２とを含む。上型１０１には窪み部１０３が形成され、窪み部１０３内には溝部に対応する凸部１０５が形成されている（以下、バスタブ構造ともいう）。窪み部１０３の全周を囲むように金型基準面１０７がある。窪み部１０３には平坦面１０４が形成されていると好ましい。また、窪み部１０３（図の場合、平坦面１０４）と凸部１０５との境界部には円弧状の面取り１０６が形成されている。図７のガラスプレス型１１０は、前記バスタブ構造が複数形成されている場合の態様を示す。図７の場合も窪み部１１３には平坦面１１４が形成され、さらに平坦面１１４内に溝部に対応する凸部１１５が形成されている。また、平坦面１１４と凸部１１５との境界部には円弧状の面取り１１６が形成されている。窪み部１１３の全周を囲むように金型基準面１１７がある。金型基準面は、通例、上型、下型のそれぞれの成形面を合せたときの合せ面である。
【産業上の利用可能性】  以上説明したように本発明に係る溝部を有するガラス基板によれば、マイクロリアクターチップ又はマイクロ分析用基板等のガラス基板上に設けられた台地状平坦部とミクロン構造の溝部との境界部に円弧状面取りを形成したので、溝部の欠けを抑えることができる。
また、本発明に係る溝部を有するガラス基板の製造方法によれば、溝部成形用の凸部が形成された型部材によって熱と圧力とを加えながら、１回のプレス工程によってガラス基板を製造するので、エッチングによって製造する基板の製造方法、又はプレス工程の後、切削加工を実施して製造する基板の製造方法と比較して、基板を簡単に製造でき、大量生産が可能となる。
本発明に係るガラス基板作製用プレス型を使用することにより、マイクロリアクターチップ等に必要な形状精度を有するガラス基板を簡単にしかも大量に生産できる。
また、本発明に係る光ファイバ固定用基板によれば、ガラス基板を、溝なし平坦部を有する基板本体と、溝部が形成された溝部形成部と、溝部形成部を挟むように溝部形成部の両側に形成されるとともに溝部の頂部の高さ以上に形成された接着用凸部と、接着用凸部の外側に形成された肉落とし部とから構成し、溝部の頂部、溝部と接着用凸部との境界部、接着用凸部の隅部、及び肉落とし部の隣接する面同士の境界部に円弧状面取りを形成したので、光ファイバ固定用基板の欠けに起因する光ファイバの損傷を防止できる。
更に、本発明に係る光ファイバ固定用基板の製造方法によれば、溝部成形用の凹凸部、接着用凸部成形用の凹部、及び肉落とし成形用の凸部が形成された型部材によって熱と圧力とを加えながら、１回のプレス工程によって光ファイバ固定用基板を製造するので、光ファイバ固定用基板を簡単に製造でき、大量生産が可能となる。
本発明に係るガラス基板作製用プレス型は、バスタブ構造を有するため、被成形物であるガラスが窪み部で拘束されながら成形されるので基板上に設けられた台地状平坦部、凸部を含めて正確にガラス基板に転写されるため、形状精度に優れたガラス基板を製造できる。特に１つの金型内にバスタブ構造が複数形成される場合にその効果が顕著である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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