(57)【要約】自重でたわむ大型液晶表示装置用ガラス基板（６）を置いた場合に、大型液晶表示装置用ガラス基板（６）にできる複数の尾根を、複数列のピン状支持部材（１６、１８）ごとにて支持するようにした薄板支持体である。該薄板支持体に置くことにより、たわみ量が少なくなる。薄板支持体としては、ロボットのフォーク状エンドエフェクタとカセットがある。
2004113205.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
自重によってたわむ薄板が載置される薄板支持体であって、複数の支持部材とこれらを上部に備える少なくとも１つの基部とを有する薄板支持体において、
前記薄板が複数の山部を形成してたわむように配置された支持部材と、
前記薄板のたわみ量を減少させる手段と、
を有することを特徴とする薄板支持体。
【請求項２】
前記たわみ量を減少させる手段が、薄板支持体の基準水平面から異なる高さに支持部材の頂部があることを特徴とする請求項１の薄板支持体。
【請求項３】
前記たわみ量を減少させる手段が、前記支持部材の前記薄板との当接面が水平面に対して傾斜していることを特徴とする請求項１または２の薄板支持体。
【請求項４】
前記支持部材の少なくとも１つが吸着手段を有することを特徴とする請求項１から３いずれかに記載の薄板支持体。
【請求項５】
前記薄板が複数の尾根部を形成し、且つ、前記尾根部の１つを少なくとも２列に配列された前記支持部材が支持していることを特徴とする請求項１から４いずれかに記載の薄板支持体。
【請求項６】
前記薄板が尾根部を形成し、且つ、
前記たわみ量を減少させる手段が、薄板支持体の基準水平面から同じ高さに支持部材の頂部があることを特徴とする請求項１の薄板支持体。
【請求項７】
前記薄板の尾根部を３以上形成させることを特徴とする請求項５または６の薄板支持体。
【請求項８】
請求項５から７いずれかにおける支持部材の少なくとも１つが、吸着手段を有することを特徴とする請求項５から７いずれかに記載の薄板支持体。
【請求項９】
請求項１から９のいずれかに記載の薄板支持体が、薄板搬送機用エンドエフェクタであることを特徴とする薄板支持体。
【請求項１０】
請求項９のエンドエフェクタを具えたことを特徴とする薄板搬送用ロボット。
【請求項１１】
請求項１から８のいずれかに記載の薄板支持体が、薄板収納用カセットであることを特徴とする薄板支持体。
【請求項１２】
請求項１から８いずれかに記載の薄板支持体を備えた薄板加工システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  この発明は、自重によってたわむ薄板状物が複数の支持部材上に載置される台状体、板状体、棒状体あるいはこれらの組み合わせ体に関する。さらに詳しくは、ガラス板、プラスチック板などを水平に載置するための仮置き台、これらを収納するカセット、またこれら薄板を機械を用いて搬送する際に、それらの薄板状物が載置されて支持するフォーク状のエンドエフェクタ（ロボットハンド）に関するものである。
【背景技術】  近年、液晶表示装置、プラズマディスプレイ、プラズマ駆動液晶表示装置等に用いられるガラス基板は、表示装置そのものの大型化とともに、多数枚取りによる生産性向上のために、大面積化してきている。これらガラス基板は塵埃を嫌うためなるべく当接面の小さい部材で支持しなければならない。加えて軽量化のために０．７〜０．４ｍｍへと薄肉化してきており、水平状態でこれをピンなどの支持部材に載置して部分的に支持すると自重でたわみ、その支持には種々の工夫がなされている。
たとえば特開平９−８０４０４号公報には、ガラス基板を載置する広いステージ面に、その周辺部だけでなく中心部付近にも真空吸着口を設けて、ステージ中心部におけるガラス基板の浮き上がりを防止することでガラス基板を平面上に確実に固定しようとする方法が提案されている。しかし、この文献には、ガラス基板よりステージ面が小さい場合のガラス板のたわみを最小限にしようという思想は記述されていない。
また、特開平１０−１０９７５１号公報には、ガラス基板載置用エンドエフェクタの幅をガラス基板収納用カセットの内側の基板支持ポケットの先端に接触しない程度に大きくしてガラス基板の一辺の長さに近づけ、且つ、エンドエフェクタを二股にしてガラス基板が股部で垂れ下がってもエンドエフェクタの基部に接触しないように工夫しているが、ガラス基板の垂れ下がりを防止する方法は提案していない。
一方、ガラス基板を多数枚収納するカセットにおいてもガラス板のたわみは大きな問題で、近年開発されている一辺が１０００ｍｍから２０００ｍｍを越えるガラス基板用の大型カセットでは、その左右の内部側面に設ける小さなポケットではなく、図３のカセット５に示すように、左右の内部側面に設けられる基板支持のための基部として、水平に取り付けられ長さが２００ｍｍを越える櫛歯状のピン５１を持つ支持体を内側に向けて設置したり、また、特開平１１−３５０８９号公報に開示されたカセットのように、ガラス板の幅方向に棒状体を渡して棒上部の中央部を含む複数箇所に支持ピンを設けるなど、たわみを抑える工夫をしている。
このようなガラス板の大型化に対しては、もはや前記特開平１０−１０９７５１公報に記載のように載置用エンドエフェクタ１（図１６）の様に、単に二股にするだけでは対処できない状態となった。ここに、図中符号６はガラス基板、１１はエンドエフェクタの主部、１４は合成ゴム製支持部材、１５は樹脂製支持部材、２１はロボットアームをそれぞれ示す。
また、大型カセットの種類によっては、前記特開平１１−３５０８９号公報の場合は勿論、前記櫛歯状のピンを持つ基板支持のための基部がカセット内部側面の左右のみならず奥の面というにも設けられたものがあり、前記特開平９−８０４０４公報に記載された平板状のステージをエンドエフェクタとして用いたのではその奥のピンに干渉するばかりでなく、特開平１１−３５０８９号公報に開示されたカセットでは中央付近の支持ピン（基部に相当）に当たってガラス基板を奥まで挿入できないなどの不都合が生じる。さらに、ガラス基板の大型化による重量増加の影響を軽減するためには、エンドエフェクタ自体の重量の軽減も望まれている。
【発明の開示】
本願の発明者は、自重によってたわむ薄板が載置される薄板支持体であって、複数の支持部材とこれらを上部に備える基部とからなる薄板支持体において、前記薄板が複数の山部を形成してたわむように配置された支持部材と、前記薄板のたわみ量を減少させる手段とを有することによって、その薄板のたわみ量を大幅に減少させることができるということを見出し、本発明に至った。
前記特開平１０−１０９７５１に提案される様に、ガラス基板などの薄板を谷部が１つ、または山部が１つとなるようにたわませるのではなく、本発明者らは、薄板に複数の山部を形成させることにより、山部の高さ、即ち、たわみ量を小さくすることができることを見出し、さらに、複数の山部の高さを小さくするための手段、即ち、前記薄板のたわみ量を減少させる手段を見出した。
まず、複数の山部を形成させるには、例えば間隔が６０ｃｍ程度の体操用平行棒の上に１ｍ平方、厚さ１ｍｍ程度のプラスチック板を置くと自重でたわんでふた山を形成する。ガラス基板など剛性の高い材料でも薄い場合は、特開平１１−３５０８９号公報の図１に提案されるカセットのように、同じ高さの９本立てた棒材上に収納すると、山部が９個または尾根部３個を形成してたわむ。本発明は、このように複数の山部等を形成して自重でたわむ薄板に、さらにたわみ量を減少させる手段を施してなるべく薄板を平坦に保つことのできる支持体を提供しようするものである。
前記たわみ量を減少させる手段としての一つは、薄板支持体の基準水平面から支持部材の頂部が、異なる高さになるように複数の支持部材を配置することである。例えば、山部の頂上部、斜面部、谷部を支持する部材の頂部高さを変えることにより、複数の山部を形成させる。ここですべての高さを支持する必要はなく、ガラス基板などの薄板はある程度の剛性があるため、例えば、前記斜面部のみを単数または複数の支持部材で支持するという手段もある。このとき、支持部材の頂部は、薄板の傾斜にそって傾斜させてもよい。ここで基準水平面は、複数ある支持部材の頂部の高さを定めるための一定の水平面であれば、前記基部の上部面または下部面などの基部の一部を含む水平面でもよいし、或いは基部取り付け部の一部を含む水平面など、任意に基準面を設定することができる。
本発明では薄板がなす山部は複数あれば形状には制限はない。例えば、整列した複数の独立峰型の薄板の山部を形成させるために、支持部材を各山部の頂部を支持するように整列して配置する。また、山部の一種である複数の直線状の尾根部からなる波板状の山部群を形成させるためには、複数ある尾根部を支持するために、支持部材を列状に配置し列上での支持部材間隔を列間より広くする。或いは水面の円形波紋状型の円形尾根部群を形成させるためには、支持部材を同心円状に配置し、各円周上の支持部材間隔を各円周間より広くすればよい。
尾根部が複数の場合、これが３以上であれば大面積の薄板でもたわみを小さくすることができ好ましい。尚、直線状の尾根部を形成させる方向は、基部を一方向から見て平行、或いは直交、斜交するなど任意に設定してよい。
本発明の支持部材は、点状部品または小さい面積で薄板を支える部品である。その形状はボタン状、円柱状、半球状、角板状、横長棒片、或いは、直立した棒状物の上に前記のボタン状、半球状などの任意の支持部材を配設することもできる。この支持部材は、単に薄板を載置するための小さな台であってもよいし、一部に真空吸引口を設けてもよい。
前記たわみ量を減少させる手段が、１つの尾根部を複数列に配置された支持部材群であることを特徴とすることができる。ここで複数列とは、支持部材が、平行線上にあってもよいし小さい角度をなす直線上にあってもよいし、また、ゆるい複数の曲線上に配列されてもよい。この場合、たわみ量をさらに減少させる手段として、１つの尾根部を支える支持部材の複数列の間隔を広げて、尾根の高さを下げる支持部材の配置をすることができる。ここで支持部材は、列間で隣あって配置されてもよいし、交互に配置されてもよいし、同列上で等間隔であっても異なった間隔でもよい。
また、前記たわみ量を減少させる手段が、複数列のうちのいずれかの支持部材の頂部が他列のそれより高くてもよいし、同じであってもよい。特にふた山の尾根部を形成させ薄板の側辺部が垂れ下がりすぎる場合は薄板支持用基部上にある２列の支持部材のうち列方向の最も外側列に位置する支持部材を高くするか、逆に谷間部が低すぎる場合は外側支持部を低くし内側支持部を高くし谷間部を浅くする手段、同じ列上であっても列の始め部分と終わり部分のいずれか或いは双方を高くして前垂れと後ろ垂れのいずれか或いは双方のたわみ量を減少させる手段、薄板の厚さやたわみ状態に応じて支持部材の高さを任意に変えることのできる支持部材駆動手段、支持部材の頂部に角度つけて薄板の傾斜角度に合せる手段などを施すことができる。
また、前記支持部材の間に少なくとも１つに吸着手段を持たせることもできる。これにより強制的に薄板を支持部材に引きつけてガラス板の浮きを防止することができる。特に支持部材が同じ高さの場合、薄板を２列の支持部材間に吸着手段つき支持部材を配設して引き付ければ、尾根部の頂上部の高さを押さえ、谷間部の高さをあげる作用が働き、たわみを少なくすることができて好ましい。
さらに、前記たわみ量を減少させる手段は、前記尾根部を支持し、且つ、尾根方向に直交する方向に配置され、尾根幅に比べて小さい棒片状の支持部材とすることもできる。この棒片状の支持部材の頂面は水平であっても、尾根部をなす薄板の裏曲面にあわせてもよい。即ち、前記の棒片状の支持部材の上面は、たわんで傾斜している薄板の裏面にあわせて傾斜させることもできる。
前述のような手段によって薄板に複数の山部或いは尾根部の高低差を小さくした薄板支持体は、搬送機用フォーク状エンドエフェクタとして利用できる。フォーク状エンドエフェクタが有する基部の数は２ないし３以上であって、それぞれの基部が同一平面上に配置されてもよいし異なった高さの平面上に配置されてもよい。
また、エンドエフェクタの基部が３以上の場合は、それらの内の少なくとも１つは支持部材が１列であってもよく、この支持部材の作用は単なる置き台であっても、置き台であって且つ吸着手段を有してもよい。ここでエンドエフェクタの基部は長板状、角棒状、丸棒状、角パイプ状、丸パイプ状などであって、先端と根元とで太さが同じであっても、違ってもよい。
図１６に示した比較例は、内側両側面に薄板支持体の櫛歯状ピン５１が長く横に突出して設けられている大型のガラス基板用カセット５と、従来のＶ字状エンドエフェクタとの組み合わせように、エンドエフェクタの２つの基部外側間の距離を必要充分に広げることができないため、ガラス基板はこれに載置されると図４（ｃ）のように１つの尾根部を形成してたわむ。
これに対し本願の発明者は、それらのエンドエェクタの基部の側部の少なくとも一方に複数の薄板支持用水平方向突部を設けることにより、これと基部との上に支持部材を列状に配置することにより、複数の低い高さの尾根状のたわみを発現させることに成功し、新規な薄板搬送用エンドエフェクタを開発することができた。さらに、この水平方向突起部の長さをカセットの大きさに合わせて調節することは、たわみえを減少させる手段として有効である。
ここで前記水平方向突起部は、前記エンドエフェクタが薄板収納用カセット内に挿入され薄板を載置される位置に停止した際に、水平方向突起部の長手方向長さが薄板収納用カセット内の水平面内での複数の櫛歯状ピン間距離より十分小さく、且つ、前記水平方向突起部の厚みが前記カセットの棚段間距離に比べて充分に小さいことが好ましい。これによって、エンドエフェクタがカセット内を自由に移動でき、たわみの少ない大型薄板を支障なく、カセットや処理室への搬入搬出ができるようになった。ここで前記薄板支持用水平方向突部は、エフェクタ基部の上部表面高さと同一面をなしてもよいし、エフェクタ基部の上に小型の板片を取り付けたものでもよい。
次に、本願の発明者らは、本発明のエンドエフェクタを一部品として、コンピュータを持つ通常の薄板搬送用ロボットに搭載する事により、軌道演算手段及び駆動手段としてのコンピュータと、位置を検出するセンサを用い、自重によってたわむ薄板を大型カセットの内面や他のガラス基板に接触させず、且つ、目的場所に搬送載置するように、エンドエフェクタの軌道を制御し、もって大型の薄板を搬送して、種々に処理、加工する薄板加工システムをも実現した。本発明のエンドエェクタを搭載する搬送機は、前記ロボットに限らず、多関節ロボット、アーム搬送機、コンベア式搬送機等、自重によってたわむ薄板を搬送する機械すべてに応用することができる。
本発明においては、前記薄板支持用水平方向突部の上面のみならず、エンドエフェクタ上の必要な場所に、ゴム製の支持部材とプラスチックス製の支持部材とのいずれか或いは双方を配置して前記支持部材としてもよい。また、真空吸着口を有する支持部材を複数配置することにより、前記薄板をエンドエフェクタに固定したり、たわみの発現状態を制御してもよい。
また、本発明のエンドエフェクタは水平に保って薄板を搭載するのを常態とするが、搬送中は、薄板が風に煽られるのを避けるため、搬送方向前方側を若干低くすることが好ましい。また、公知の手段によって薄板を吸着してエンドエフェクタに固定すれば、薄板を垂直に保持したり、反転させてもよい。
本発明の薄板支持体として他の例に、薄板を１枚ごと少なくとも１つの棚段に載置して収納するカセットがある。すなわち、前記の複数列に配置した支持部材、または前記の棒状の支持部材を立てて、基部である梁または平板上に設け、本発明の手段によって、薄板に複数の山部または尾根部を形成させ、たわみ量を少なくさせる。ここで、尾根部を形成させる場合その方向は、薄板が出入する方向に直交であっても平行であっても斜行してもよい。薄板が、複数列上に配置された支持部材に載置されて複数の尾根部を形成してたわむ状態は、実験によって観察、測定するのが好ましいが、材料力学的計算によって計算して求めてもよい。
本発明の薄板支持体がエンドエフェクタである場合は、大型で重量物を載置して機敏に搬送する必要があるため、主に炭素繊維強化材料等比弾性率の高い材料を使用して形成することが好ましく、さらに、炭素繊維の中でも最も比弾性率の高いピッチ系炭素繊維を用いることが好ましい。同様に、本発明の薄板支持体が薄板収納用カセットである場合も、多数のガラス板を収納したカセットを搬送するため軽量高強度である前記炭素繊維強化材料やガラス繊維強化材料を用いることが好ましい。また、軽量化するためにこれら繊維強化材料をパイプ状に加工して用いることが好ましい。また、支持部材としては、硬質樹脂製支持部材、合成ゴム製支持部材、吸着口を持つ支持部材などがある。
なお、本発明にいう薄板とは、液晶表示用ガラス基板のみならず、プラスチックス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、プラズマ駆動液晶表示用ガラス基板、有機エレクトロルミネッセンス表示器用ガラス基板、無機エレクトロルミネッセンス表示器用ガラス基板や金属板など、自重によってたわむ公知の薄板を示す。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明の薄板支持体であるエンドエフェクタを有する搬送機、及び、本発明の薄板支持体であるガラス基板収納用カセットを備えた薄板加工システムの一例である。
図２は、本発明の一実施例でエンドエフェクタを、ガラス基板が収納されたカセットに挿入した状態で示す平面図である。
図３は、本発明の他の一実施例でエンドエフェクタを、ガラス基板が収納されたカセットに挿入した状態で示す平面図である。
図４（ａ）および（ｂ）は、本発明のエンドエフェクタによってそれぞれガラス基板を水平に支持した状態を示す垂直断面図であり、（ｃ）は、２本のエンドエフェクタの基部間隔が狭いエンドエフェクタによりガラス基板を支持した比較例の垂直断面図である。
図５は、本発明の支持部材を用いた一実施例のエンドエフェクタの断面図で（ａ）は基部が３本の場合、（ｂ）は基部が４本の場合である。
図６は、本発明の一実施例のエンドエフェクタの断面図で、支持部材の種類およびそれらの配列を変えた例である。
図７は、本発明の支持体において、中列に吸着口をもつ支持部材と両側に２列の支持部材を配置した各種基部の断面図で、（ａ）は基部が各棒、（ｂ）は基部が角パイプ、（ｃ）は基部がＨ型材料の例である。
図８は、本発明の支持体において、中列に樹脂製支持部材と両側に２列の合成ゴム製支持部材を配置した各種基部の断面図で、（ｄ）はＣ型材料、（ｅ）支持部材を具えた板片を持つ角パイプ、（ｆ）は吸着をもち且つ傾斜した頂部の支持部材を具えた例である。
図９は、本発明の２本の基部を持つエンドエフェクタに、高い支持部材と低い支持部材とを設けて左右側辺の垂れ下がりを少なくしたガラス板を載置した例の斜視図である。
図１０は、本発明の２本の基部を持つエンドエフェクタの斜視図で、高さの異なる２列の支持部材を備えた板片付き角パイプを基部とする例である。
図１１は、本発明のエンドエフェクタが、従来の櫛歯状基部を有するガラス基板収納用カセット内でガラス基板を支持している状態を示す断面図である。
図１２は、本発明のカセットの一例を示す斜視図である。
図１３は、図１２のカセットの断面図で、ガラス基板を収納している例である。
図１４は、本発明のガラス基板収納用カセットの他の例の斜視図である。
図１５は、奥に櫛歯状に複数の基部を有する本発明のガラス基板収納用カセットの立面図である。
図１６は、従来のエンドエフェクタと従来の大型のカセットとの組み合わせた例の平面図である。
発明を実施するための最良の実施形態
以下に、本発明の最良の実施形態の例を、図１から図１５に基づいて説明する。なお、以下の実施形態は本願発明の範囲を限定するものではない。即ち当業者であれば本願発明の原理の範囲で、他の実施形態を採用することが可能である。
図１は、本発明の薄板加工システムの一例としての、液晶基板の化学処理システムを示す。この実施例の加工処理システムでは、エンドエフェクタ１をアーム２１にハンドとして搭載したロボット型搬送機２が、薄板であるガラス基板６をカセット５から取り出して現像などの加工処理装置４に投入する。次いで、加工処理終了後、ロボット型搬送機２が、ガラス基板６を加工装置４から取り出してカセット５に返送し、カセット７内の棚段に載置する。尚、このカセットは図１２記載の本発明の薄板支持体である。
図２は、本発明の薄板搬送用エンドエフェクタの一実施例で、水平方向突部１２を持つエンドエフェクタ１を、カセット５内でガラス基板の下に挿入した状態を示す平面図である。２本の基部１１はそれぞれ長尺状のほぼ長方形に成形し、それらの基部１１の外側部に水平方向突部１２をそれぞれ５個ずつ設けた。各基部１１の表面には、合成ゴム製の支持部材１４を各水平方向突部１２に１個づつ、基部１１の内側部に樹脂製の支持部材１５を３個、真空吸着口１３を２個取り付け、また各エフェクタ主部１１の根元には、カセット５やガラス基板６を検出するためのセンサ１７（この例では反射型センサ）を１個取り付けた。同じ高さにある２つの基部１１の上部表面を基準面とすると、各支持部材１３，１４，１５の高さはすべて同じである。
本実施例の前に、櫛歯状ピン５１が長い大型のカセット５に適合させるために、２つの長方形の基部１１のみに支持部材１４や１５を配置してガラス基板をエンドエフェクタ１に載置しても図４（ｃ）の様に一山にしかならなかったが、支持部材１４を具えた水平方向突部１２を設け、櫛歯状ピン５１の先端より奥まで突出させることによって、支持部材１４の列と支持部材１５と１３の列の上にガラス基板が２つの尾根部を形成してたわみ、たわみ量は大幅に減少した。
尚、水平方向突部１２と櫛歯状ピン５１とは同じ高さでは干渉しあうので、エンドエフェクタ１をカセット５に挿入する場合は、上下方向にある櫛歯状ピン５１の間に挿入して櫛歯状ピン５１の水平方向の間に停止し、次に上に移動させてガラス基板を持ち上げる。この載置動作によって、カセット５の櫛歯状ピン５１上で中央部が谷状にたわんだガラス基板が、エンドエフェクタの基部１１上で低い尾根部を形成して大幅にたわみ量が減少し、見た目にはフラット状になる。ガラス基板をカセットから抜き出すときは、上下方向にある櫛歯状ピン５１の間をエンドエフェクタ１が水平移動する。ガラス基板をカセットに挿入するときは、この動作の逆を行えばよい。
図２に示す実施例の具体例として、カセット５にガラス基板６を収納するためのエンドエフェクタ１を下記寸法で設計制作した。材料はピッチ系炭素繊維複合材料である。
＜カセット５の内側寸法＞
間口１１２６ｍｍ×高さ９００ｍｍ×奥行き１３００ｍｍ、
＜基板支持体の櫛歯状ピン５１の寸法と数＞
櫛歯状ピン：長さ２３３ｍｍ×幅１５ｍｍ×高さ１４ｍｍのピン２４本、先端に合成ゴム製のキャップあり。
各櫛歯状ピンの間隔（内寸）：２２ｍｍ、
基板支持体：１１セットを両横内面及び奥内面に縦にして配列設置、
＜液晶表示器用ガラス基板＞
寸法：横１１００ｍｍ×縦１２５０ｍｍ×厚み０．６ｍｍ、
カセット内での下方たわみ：１３ｍｍ
＜エンドエフェクタ＞
基部１１：幅５４ｍｍ×厚み１０ｍｍ×長さ１０３７ｍｍ、２本、
水平方向突部１２：幅３０ｍｍ×長さ２８ｍｍ×厚み５ｍｍ、
エンドエフェクタ根元部：幅６４０ｍｍ×奥行き約３００ｍｍ、
２つの基部の内側間隔：４５６ｍｍに平行配置。
＜支持部材の配置＞
配置位置は図２に示す。合成ゴム製支持部材１４、合成樹脂製支持部材１５、真空吸引口を持つ吸着支持部材１３を配置し、またエフェクタ根元部にセンサ１７を設置した。
エフェクタ基部内側支持部材列間隔：４７２ｍｍ、
２つのエフェクタ基部外側（水平方向突部上）支持部材列間距離：６０８ｍｍ。
前記寸法の、図２に示す実施例のエンドエフェクタ１を用いてその中央部に前記ガラス基板６を支持すると、図２（ｂ）に示すようにガラス基板６はふた山状にたわみ、最頂部と最低部の高低差ｈｂは４．３ｍｍであった。尚、エンドエフェクタ１自体のたわみは３．１ｍｍで、合計７．５ｍｍであり、カセット５の上下の櫛歯状ピン５１間の２２ｍｍの間隙に対して、水平突起部１２は、ガラス基板６を載置してこれらピンを支障なくかわしてガラス基板６を搬入搬出することができた。
＜比較例＞
図２において、水平突起部１２を設けないで基部１１上の外側に支持部材１４を移し図示しないエンドエフェクタを製作した。従って、２つの基部１１の外側に支持部材１４が並ぶ列の間隔が小さくなり５５２ｍｍである。ガラス基板６をこれに載置したところ図４（ｃ）に示すようなひと山にたわみ、支持部材１５の位置では浮き上がり、最頂部と最低部の高低差ｈｃは３９ｍｍで、エンドエフェクタ１自体のたわみは３．８ｍｍであった。従って、上下のピン５１間は２２ｍｍであるからカセット５への搬入出ができない結果となった。
かくして、上記実施例と比較例との結果から明らかなように、本実施例のエンドエフェクタを用いることにより、ガラス基板６のたわみを３９ｍｍから４．３ｍｍへと、ほぼ９分の１に減少させることができた。また、大型のカセットにさらに多数毎のガラス基板６を収納できるため、液晶表示器の生産性向上とコストダウンに貢献することができるようになった。
図３に示す実施例は、カセット５内のガラス基板支持用の基部である櫛歯状支持ピン５１が短く、長方形のエンドエフェクタ１の２つの基部１１上に設けた合成ゴム製の支持部材１４の列と、樹脂製支持部材１５と吸着口付き支持部材１３からなる列の上に、ガラス基板６は尾根部を形成してふた山状にたわんだ例である。このエンドエフェクタ１によってもガラス基板のたわみはひと山の場合に比べて大幅に減少したのである。
図４（ａ）及び（ｂ）は、本発明の実施例のエンドエフェクタ１を水平にしてそれぞれガラス基板６を支持した状態を示す垂直断面図であり、ガラス基板６は低いふた山状にたわみ、高低差ｈａ、ｈｂは、比較例である図４（ｃ）の高低差ｈｃより何れも小さい。ここでは図４（ｂ）に、図２で示したエンドエフェクタ１の延在方向に直角な断面図で、エンドエフェクタの基部１１とその上の同じ高さの支持部材１４，１５上に載置したガラス基板６がふた山状にたわんでいる状態を示す。図４（ａ）の断面図は、２つの基部１１の外側に設けた水平突起部１２上に高い支持部材１６の列と基部１１の内側に設けた低い支持部材１８の列によってガラス基板はふた山を形成してたわんでいる状態を示す。図４の（ａ）の場合は、支持部材の高さをかえるという本発明のたわみを減少させる手段によって、（ｂ）の場合よりいっそう高低差が小さくなりｈａ＜ｈｂとすることができた。
図５は、本発明の複数の基部１１にガラス基板を載置した薄板支持体の例で、基部１１の延在方向に直角な断面図である。図５（ａ）は、エンドエフェクタ１が３本の基部１１からなる例であり、図５（ｂ）は基部１１が４本の例である。ここでは支持部材の高さは一定として基部１１に取り付け、基部１１自体の高さを変えてたわみを減少させた例で、一辺が２ｍ前後あるいはこれを越えるガラス基板を支持するために有効なものである。
図６は、一辺が１８００ｍｍを越えるガラス板６を３本の基部１１にガラス基板６を載置した本発明の薄板支持体の、基部延在方向に直角な断面図である。中央部の基部１１には合成ゴム製支持部材１４を２列同じ高さに配置し、その間に吸着口を持つ支持部材１３の列を同じ高さに配置している。この支持部材１３は、たわむガラス板６の尾根部の頂点をその裏から吸着して引きつけ、頂点が高くならない手段、即ち、たわみを減少させる手段が施されている。次に、両サイドの基部１１には、外側列に通常の支持部材１４を配し、内側列に吸着口を持つ支持部材１３の列を配置して、その上でガラス基板６が浮き上がらないように吸着して引きつけ、同時にその左右の端の垂れ下りを防止したもので、ここにもたわみを減少させる手段が施されている。
図７には、各種の本発明の基部１１に支持部材１４の２つの列と吸着口を持つ支持部材１３の列と配置した例を示す。
（ａ）は基部１１がムクの各棒で、構造が最も簡単で比重が比較的軽く弾性率の高いセラミック材料、炭素繊維強化材料、ガラス繊維強化材料などを使用して製作する。ここで基部１１は厚みが薄い板材であってもよい。
（ｂ）は基部１１が角パイプで、中が中空で軽いため大型のエンドエフェクタ用に使用されるものである。材質はアルミニウム合金、鋼材など金属でもよいが弾性率の高い炭素繊維強化材料などを使用して製作することが好ましい。角パイプは、高剛性を保ちながら軽量化でき、コストダウンも可能である。
（ｃ）は基部がＨ型材料で、材質はアルミニウム合金、鋼材など金属でもよいが弾性率の高いセラミック材料、炭素繊維強化材料、ガラス繊維強化材料などを使用して製作するのが好ましく、軽量化にも貢献する。
図８には、本発明の支持体において、中列に樹脂製支持部材と両側に２列の合成ゴム製支持部材を配置した各種基部の断面図で、図８（ｄ）はＣ型材料で、材質はアルミニウム合金、鋼材など金属でもよいが、弾性率の高いセラミック材料、炭素繊維強化材料、ガラス繊維強化材料などを使用して製作するのが好ましく、軽量化、コストダウンにも貢献する。
（ｅ）は支持部材１４，１５を備えた板片１９を持つ角パイプの例で、弾性率の高いセラミック材料、炭素繊維強化材料、ガラス繊維強化材料、或いはこれらを組み合わせるなどして製作するのが好ましく、軽量化、コストダウンにも貢献する。
（ｆ）は、吸着口を持ち且つ傾斜した頂部の支持部材１３を具えた基部１１の例で、これは紙面方向に横長で、薄板の傾斜したたわみを意図した状態に導くのに有効である。
図９は、図３のエンドエフェクタを改良した例を示す斜視図で、このエンドエフェクタの延在方向に垂直断面図である図４（ａ）に相当する。即ち、２つの基部１１の外側に高い支持部材１６の列と基部１１の内側に設けた低い支持部材１８の列によってガラス基板をふた山状にたわませている。この場合は、支持部材の高さをかえるという本発明のたわみを減少させる手段によって、図４の（ａ）、（ｂ）を比較してのべたように、図３の場合よりいっそう高低差を小さくすることができた。
図１０は、図９のエンドエフェクタをさらに大型ガラス板用に改良した例を示す斜視図である。即ち、２つの基部１１に板片１９を５枚づつ取り付け、その上の外側に高さ５ｍｍの支持部材１６の列と内側に設けた高さ４ｍｍの低い支持部材１８の列（２つの基部うえのそれぞれの支持部材１８の列間距離は６００ｍｍ）によってガラス基板をふた山状にたわませている。この場合は、支持部材の高さをかえるという本発明のたわみを減少させる手段に加えて、１本の基部の上の支持部材の列間距離を大きくして３００ｍｍにするという、たわみを減少させる手段によって、図３や図９の場合よりいっそう大判の１８００ｍｍ×２２００ｍｍ×０．６ｍｍガラス板の高低差を１０ｍｍ程度に少なくして載置することができた。本図のエンドエフェクは、図１２に示す本発明のカセットや、特開平１１−３５０８９号公報で提案しているカセットと組み合わせて使用することができる。
図１１は、櫛歯状ピン５１のあるカセット５内で、本発明のエンドエフェクタ１にガラス基板６を載置した場面の、エンドエフェクタの延在方向に直角な断面図である。ガラス基板６は、カセット５内の櫛歯状ピン５１上では、中央部が谷状に大きくたわんでいる。このエンドエフェクタは、２つの基部のそれぞれ内側上部に配列した低い支持部材１８と、外側部に設けた水平方向突起部１２の上部に配列した高い支持部材１６が特徴で、図２の場合に比べてガラス基板６の左右両端の垂れ下がりは少なくなった。尚、本図の例では、支持部材１６と１８の頂面は、尾根部が意図した傾斜になるように設計し、その傾斜にあわせてある。
図１２は、本発明の薄板支持体が、ガラス基板収納用カセット７である場合の斜視図である。ガラス基板を図１２の左手前、または右奥側から出し入れする。カセット７に備えられた基部である複数の梁５２の上に支持部材の２本ずつ３組が、頭頂に樹脂製の支持部材１５を設けた棒材が垂直に配置され、すべての梁を通して２列ずつ３組配置されている。最置したガラス基板は出し入れ方向で梁５２に直角方向に尾根を形成させることによって、カセット内においてもたわみ量が著しく少なくなった。本図のカセットは、一辺が１ｍを越えたり、厚みが０．６ｍｍ以下のたわみやすいガラス基板を収納するのに有効である。
図１３は、本発明の薄板支持体が、ガラス基板収納用カセット７の場合で、ガラス基板を挿入搬出する方向から見た図１２の断面図である。棒片５３上に同じ高さで２列に配置した支持部材１５上に、ガラス基板が３つの尾根部を形成して載置されている。
図１４は、本発明の間口１ｍ前後のガラス基板収納用カセット７の斜視図で、図２で用いたカセット５を次のように改造した。即ち、ガラス基板６を載置する櫛歯状ピン５１の先端にカセット中央に向かって下がる傾斜をつけたキャップ状の本発明の支持部材１５を付け、櫛歯状ピン５１の同じ長さの２３３ｍｍとし、奥の面中央に縦に長さ３５０ｍｍの櫛歯状ピン５１を新たに設けた。
図１５は、奥の面の中央に縦に櫛歯状ピン５１を配置した図１４のガラス基板収納用カセット５の断面図である。奥の面中央に縦に長さ３５０ｍｍの櫛歯状ピン５１を新たに設けた。ガラス基板のたわみ量が、本発明の改良によりふた山にたわんでたわみ量は減少した。
図１６は、従来の大型のカセットと従来のエンドエフェクタとの組み合わせた比較例の平面図である。このエンドエフェクタは幅が狭く、ガラス板を載置すると図４（ｃ）のようにひと山になり、高低差も大きかった。
以上、図示例に基づき説明したが、この発明は上述の例に限定されるものではなく、特許請求項の範囲の記載の範囲内で適宜変更することができる。
【産業上の利用可能性】  本願発明によれば、自重によりたわんでしまう液晶表示器用大型ガラス基板等の薄板を搬送したり、載置する際に、薄板が複数の山部ないし尾根部を形成してたわむように、複数の支持部材を基部上に配置することにより、このたわみ量を小さくすることができた。また、二つの長尺状の基部１１上に複数列の支持部材の列を設けだけでは複数の尾根部が形成されなかった場合、基部１１の外側に水平方向突部１２を設け、その上に支持部材１４の列を配置し、この基部１１の内側上部に支持部材１３，１５すると、２つの基部１１上のガラス基板にそれぞれ尾根部が発生した。さらに、１つの尾根部を支持する支持部材の列間距離を広げることによって、このたわみ量をさらに減少させることもできた。
さらに、複数の山部ないし尾根部を形成するように支持したガラス基板でも、垂れさがりに差がある場合、それが大きい側に配置した支持部材の列の高さをその反対側の列の支持部材より高くすると、垂れ下がりが持ち上げられ、高低差は減少する。
一辺が２ｍ前後の大型のガラス基板の場合は、エンドエフェクタの基部を４本以上にする場合が多いが、本発明の外側に突部を設けたエンドエフェクタは、エフェクタ主部に水平方向突部を設けることにより２本ないし３本に減少させることができコスト削減に寄与することができる。
また、本発明の薄板支持体がガラス基板用カセットであるとき、ガラス基板のたわみ量を減少させることができるためカセットの基部である棚段数を増やすことができ、生産性を向上させることができ、或いは、棚段数が同じならばカセットの高さを低くせることができ、軽量化とともにコストダウンが実現できる。
なお、本願発明に係るエンドエフェクタに保持される薄板は、液晶表示器用ガラス基板に限らずプラズマディスプレイ用ガラス基板、プラスチック板、金属板などあらゆる薄板形状物であってもよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2004113205.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【手続補正書】
【提出日】平成18年4月14日(2006.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定巾と長さを有する板体上へ凸状になした支持部材の多数を適当間隔に点在させると共に、これら支持部材上へ載置される一定広さのガラス基板等が複数の筋状畝山を形成するべく各支持部材の高さ寸法を適宜異ならしめてあることを特徴とする薄板支持体。
【請求項２】
板体を複数の帯状にして各板体を適当間隔に並設すると共に、各板体はその長さ方向における両端縁側個所へ少なくとも支持部材を備えしめるものとなし、且つ隣接する板体の夫々れ内方側の支持部材と、これに反する外方側の支持部材の高さを、後者が前者に対して低くなるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の薄板支持体。
【請求項３】
支持部材の頂部を水平面や傾斜壁面となしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の薄板支持体。
【請求項４】
支持部材の少なくとも１つに吸着手段を備えたことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の薄板支持体。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１つに記載の薄板支持体を備えしめたことを特徴とするロボットのエンドエフェクタ。
【請求項６】
請求項１〜４の何れか１つに記載の薄板支持体を備えしめたことを特徴とする薄板収納カセット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、自重によってたわむ薄板状物が複数の支持部材上に載置される台状体、板状体、棒状体あるいはこれらの組み合わせ体に関する。さらに詳しくは、ガラス板、プラスチック板などを水平に載置するための仮置き台、これらを収納するカセット、またこれら薄板を機械を用いて搬送する際に、それらの薄板状物が載置されて支持するフォーク状のエンドエフェクタ（ロボットハンド）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置、プラズマディスプレイ、プラズマ駆動液晶表示装置等に用いられるガラス基板は、表示装置そのものの大型化とともに、多数枚取りによる生産性向上のために、大面積化してきている。これらガラス基板は塵埃を嫌うためなるべく当接面の小さい部材で支持しなければならない。加えて軽量化のために０．７〜０．４ｍｍへと薄肉化してきており、水平状態でこれをピンなどの支持部材に載置して部分的に支持すると自重でたわみ、その支持には種々の工夫がなされている。
【０００３】
たとえば特許文献１には、ガラス基板を載置する広いステージ面に、その周辺部だけでなく中心部付近にも真空吸着口を設けて、ステージ中心部におけるガラス基板の浮き上がりを防止することでガラス基板を平面上に確実に固定しようとする方法が提案されている。しかし、この文献には、ガラス基板よりステージ面が小さい場合のガラス板のたわみを最小限にしようという思想は記述されていない。
【０００４】
また、特許文献２には、ガラス基板載置用エンドエフェクタの幅をガラス基板収納用カセットの内側の基板支持ポケットの先端に接触しない程度に大きくしてガラス基板の一辺の長さに近づけ、且つ、エンドエフェクタを二股にしてガラス基板が股部で垂れ下がってもエンドエフェクタの基部に接触しないように工夫しているが、ガラス基板の垂れ下がりを防止する方法は提案していない。
【０００５】
一方、ガラス基板を多数枚収納するカセットにおいてもガラス板のたわみは大きな問題で、近年開発されている一辺が１０００ｍｍから２０００ｍｍを越えるガラス基板用の大型カセットでは、その左右の内部側面に設ける小さなポケットではなく、図３のカセット５に示すように、左右の内部側面に設けられる基板支持のための基部として、水平に取り付けられ長さが２００ｍｍを越える櫛歯状のピン５１を持つ支持体を内側に向けて設置したり、また、特許文献３に開示されたカセットのように、ガラス板の幅方向に棒状体を渡して棒上部の中央部を含む複数箇所に支持ピンを設けるなど、たわみを抑える工夫をしている。
【０００６】
このようなガラス板の大型化に対しては、もはや前記特許文献２に記載のように載置用エンドエフェクタ１（図１６）の様に、単に二股にするだけでは対処できない状態となった。ここに、図中符号６はガラス基板、１１はエンドエフェクタの主部、１４は合成ゴム製支持部材、１５は樹脂製支持部材、２１はロボットアームをそれぞれ示す。
【０００７】
また、大型カセットの種類によっては、前記特許文献３の場合は勿論、前記櫛歯状のピンを持つ基板支持のための基部がカセット内部側面の左右のみならず奥の面というにも設けられたものがあり、前記特許文献１に記載された平板状のステージをエンドエフェクタとして用いたのではその奥のピンに干渉するばかりでなく、特許文献３に開示されたカセットでは中央付近の支持ピン（基部に相当）に当たってガラス基板を奥まで挿入できないなどの不都合が生じる。さらに、ガラス基板の大型化による重量増加の影響を軽減するためには、エンドエフェクタ自体の重量の軽減も望まれている。
【特許文献１】特開平９−８０４０４号公報
【特許文献２】特開平１０−１０９７５１号公報
【特許文献３】特開平１１−３５０８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本願の発明者は、自重によってたわむ薄板が載置される薄板支持体において、一定巾と長さを有する板体上へ凸状になした支持部材の多数を適当間隔に点在させると共に、これら支持部材の高さ寸法を適宜異ならしめることによって、その薄板のたわみ量を大幅に減少させることができるということを見出し、本発明に至った。
【０００９】
前記特許文献２に提案される様に、大面積化及び軽量化してきている塵埃を嫌うガラス基板などの薄板を谷部が１つ、または山部が１つとなるようにたわませるのではなく、本発明者らは、薄板に複数の筋状畝山を形成させることにより、山部の高さ、即ち、たわみ量を小さくすることができることを見出し、さらに、複数の筋状畝山の高さを小さくするための手段、即ち、前記薄板のたわみ量を減少させる手段を見出した。
【００１０】
まず、複数の筋状畝山は、例えば間隔が６０ｃｍ程度の体操用平行棒の上に１ｍ平方、厚さ１ｍｍ程度のプラスチック板を置くと自重でたわんでふた山を形成する。ガラス基板など剛性の高い材料でも薄い場合は、特許文献３の図１に提案されるカセットのように、同じ高さの９本立てた棒材上に収納すると、山部が９個または尾根部３個を形成してたわむ。本発明は、このように複数の山部等を形成して自重でたわむ薄板に、さらにたわみ量を減少させる手段を施してなるべく薄板を平坦に保つことのできる支持体を提供しようするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明における課題を解決するための手段は、薄板支持体を一定巾と長さを有する板体上へ凸状になした支持部材の多数を適当間隔に点在させると共に、これら支持部材上へ載置される一定広さのガラス基板等が複数の筋状畝山を形成するべく各支持部材の高さ寸法を適宜異ならしめる構成となしている。
この際、薄板支持体を、板体を複数の帯状にして各板体を適当間隔に並設すると共に、各板体はその長さ方向における両端縁側個所へ少なくとも支持部材を備えしめるものとなし、且つ隣接する板体の夫々れ内方側の支持部材と、これに反する外方側の支持部材の高さを、後者が前者に対して低くなるように構成したりする。
【００１２】
即ち、本発明では、板体を複数の帯状にして各板体を適当間隔に併設すると共に、各板体の長さ方向における両端縁側箇所へ少なくとも支持部材を備えしめるものとなすのである。例えば、山部の頂上部、斜面部、谷部を支持する部材の頂部高さを変えることにより、複数の山部を形成させる。ここですべての高さを支持する必要はなく、ガラス基板などの薄板はある程度の剛性があるため、例えば、前記斜面部のみを単数または複数の支持部材で支持するという手段もある。このとき、支持部材の頂部は、薄板の傾斜にそって傾斜させてもよい。ここで基準水平面は、複数ある支持部材の頂部の高さを定めるための一定の水平面であれば、前記基部の上部面または下部面などの基部の一部を含む水平面でもよいし、或いは基部取り付け部の一部を含む水平面など、任意に基準面を設定することができる。
【００１３】
本発明では薄板がなす山部は複数あれば形状には制限はない。例えば、整列した複数の独立峰型の薄板の山部を形成させるために、支持部材を各山部の頂部を支持するように整列して配置する。また、山部の一種である複数の直線状の尾根部からなる波板状の山部群を形成させるためには、複数ある尾根部を支持するために、支持部材を列状に配置し列上での支持部材間隔を列間より広くする。或いは水面の円形波紋状型の円形尾根部群を形成させるためには、支持部材を同心円状に配置し、各円周上の支持部材間隔を各円周間より広くすればよい。
【００１４】
尾根部が複数の場合、これが３以上であれば大面積の薄板でもたわみを小さくすることができ好ましい。尚、直線状の尾根部を形成させる方向は、基部を一方向から見て平行、或いは直交、斜交するなど任意に設定してよい。
【００１５】
本発明の支持部材は、点状部品または小さい面積で薄板を支える部品である。その形状はボタン状、円柱状、半球状、角板状、横長棒片、或いは、直立した棒状物の上に前記のボタン状、半球状などの任意の支持部材を配設することもできる。この支持部材は、単に薄板を載置するための小さな台であってもよいし、一部に真空吸引口を設けてもよい。
【００１６】
前記たわみ量を減少させる手段が、１つの尾根部を複数列に配置された支持部材群であることを特徴とすることができる。ここで複数列とは、支持部材が、平行線上にあってもよいし小さい角度をなす直線上にあってもよいし、また、ゆるい複数の曲線上に配列されてもよい。この場合、たわみ量をさらに減少させる手段として、１つの尾根部を支える支持部材の複数列の間隔を広げて、尾根の高さを下げる支持部材の配置をすることができる。ここで支持部材は、列間で隣あって配置されてもよいし、交互に配置されてもよいし、同列上で等間隔であっても異なった間隔でもよい。
【００１７】
また、前記たわみ量を減少させる手段が、複数列のうちのいずれかの支持部材の頂部が他列のそれより高くてもよいし、同じであってもよい。特にふた山の尾根部を形成させ薄板の側辺部が垂れ下がりすぎる場合は薄板支持用基部上にある２列の支持部材のうち列方向の最も外側列に位置する支持部材を高くするか、逆に谷間部が低すぎる場合は外側支持部を低くし内側支持部を高くし谷間部を浅くする手段、同じ列上であっても列の始め部分と終わり部分のいずれか或いは双方を高くして前垂れと後ろ垂れのいずれか或いは双方のたわみ量を減少させる手段、薄板の厚さやたわみ状態に応じて支持部材の高さを任意に変えることのできる支持部材駆動手段、支持部材の頂部に角度つけて薄板の傾斜角度に合せる手段などを施すことができる。
【００１８】
また、前記支持部材の間に少なくとも１つに吸着手段を持たせることもできる。これにより強制的に薄板を支持部材に引きつけてガラス板の浮きを防止することができる。特に支持部材が同じ高さの場合、薄板を２列の支持部材間に吸着手段つき支持部材を配設して引き付ければ、尾根部の頂上部の高さを押さえ、谷間部の高さをあげる作用が働き、たわみを少なくすることができて好ましい。
【００１９】
さらに、前記たわみ量を減少させる手段は、前記尾根部を支持し、且つ、尾根方向に直交する方向に配置され、尾根幅に比べて小さい棒片状の支持部材とすることもできる。この棒片状の支持部材の頂面は水平であっても、尾根部をなす薄板の裏曲面にあわせてもよい。即ち、前記の棒片状の支持部材の上面は、たわんで傾斜している薄板の裏面にあわせて傾斜させることもできる。
【００２０】
前述のような手段によって薄板に複数の山部或いは尾根部の高低差を小さくした薄板支持体は、搬送機用フォーク状エンドエフェクタとして利用できる。フォーク状エンドエフェクタが有する基部の数は２ないし３以上であって、それぞれの基部が同一平面上に配置されてもよいし異なった高さの平面上に配置されてもよい。
【００２１】
また、エンドエフェクタの基部が３以上の場合は、それらの内の少なくとも１つは支持部材が１列であってもよく、この支持部材の作用は単なる置き台であっても、置き台であって且つ吸着手段を有してもよい。ここでエンドエフェクタの基部は長板状、角棒状、丸棒状、角パイプ状、丸パイプ状などであって、先端と根元とで太さが同じであっても、違ってもよい。
【００２２】
図１６に示した比較例は、内側両側面に薄板支持体の櫛歯状ピン５１が長く横に突出して設けられている大型のガラス基板用カセット５と、従来のＶ字状エンドエフェクタとの組み合わせように、エンドエフェクタの２つの基部外側間の距離を必要充分に広げることができないため、ガラス基板はこれに載置されると図４（ｃ）のように１つの尾根部を形成してたわむ。
【００２３】
これに対し本願の発明者は、それらのエンドエェクタの基部の側部の少なくとも一方に複数の薄板支持用水平方向突部を設けることにより、これと基部との上に支持部材を列状に配置することにより、複数の低い高さの尾根状のたわみを発現させることに成功し、新規な薄板搬送用エンドエフェクタを開発することができた。さらに、この水平方向突起部の長さをカセットの大きさに合わせて調節することは、たわみえを減少させる手段として有効である。  
【００２４】
ここで前記水平方向突起部は、前記エンドエフェクタが薄板収納用カセット内に挿入され薄板を載置される位置に停止した際に、水平方向突起部の長手方向長さが薄板収納用カセット内の水平面内での複数の櫛歯状ピン間距離より十分小さく、且つ、前記水平方向突起部の厚みが前記カセットの棚段間距離に比べて充分に小さいことが好ましい。これによって、エンドエフェクタがカセット内を自由に移動でき、たわみの少ない大型薄板を支障なく、カセットや処理室への搬入搬出ができるようになった。ここで前記薄板支持用水平方向突部は、エフェクタ基部の上部表面高さと同一面をなしてもよいし、エフェクタ基部の上に小型の板片を取り付けたものでもよい。
【００２５】
次に、本願の発明者らは、本発明のエンドエフェクタを一部品として、コンピュータを持つ通常の薄板搬送用ロボットに搭載する事により、軌道演算手段及び駆動手段としてのコンピュータと、位置を検出するセンサを用い、自重によってたわむ薄板を大型カセットの内面や他のガラス基板に接触させず、且つ、目的場所に搬送載置するように、エンドエフェクタの軌道を制御し、もって大型の薄板を搬送して、種々に処理、加工する薄板加工システムをも実現した。本発明のエンドエェクタを搭載する搬送機は、前記ロボットに限らず、多関節ロボット、アーム搬送機、コンベア式搬送機等、自重によってたわむ薄板を搬送する機械すべてに応用することができる。
【００２６】
本発明においては、前記薄板支持用水平方向突部の上面のみならず、エンドエフェクタ上の必要な場所に、ゴム製の支持部材とプラスチックス製の支持部材とのいずれか或いは双方を配置して前記支持部材としてもよい。また、真空吸着口を有する支持部材を複数配置することにより、前記薄板をエンドエフェクタに固定したり、たわみの発現状態を制御してもよい。
【００２７】
また、本発明のエンドエフェクタは水平に保って薄板を搭載するのを常態とするが、搬送中は、薄板が風に煽られるのを避けるため、搬送方向前方側を若干低くすることが好ましい。また、公知の手段によって薄板を吸着してエンドエフェクタに固定すれば、薄板を垂直に保持したり、反転させてもよい。
【００２８】
本発明の薄板支持体として他の例に、薄板を１枚ごと少なくとも１つの棚段に載置して収納するカセットがある。すなわち、前記の複数列に配置した支持部材、または前記の棒状の支持部材を立てて、基部である梁または平板上に設け、本発明の手段によって、薄板に複数の山部または尾根部を形成させ、たわみ量を少なくさせる。ここで、尾根部を形成させる場合その方向は、薄板が出入する方向に直交であっても平行であっても斜行してもよい。薄板が、複数列上に配置された支持部材に載置されて複数の尾根部を形成してたわむ状態は、実験によって観察、測定するのが好ましいが、材料力学的計算によって計算して求めてもよい。
【００２９】
本発明の薄板支持体がエンドエフェクタである場合は、大型で重量物を載置して機敏に搬送する必要があるため、主に炭素繊維強化材料等比弾性率の高い材料を使用して形成することが好ましく、さらに、炭素繊維の中でも最も比弾性率の高いピッチ系炭素繊維を用いることが好ましい。同様に、本発明の薄板支持体が薄板収納用カセットである場合も、多数のガラス板を収納したカセットを搬送するため軽量高強度である前記炭素繊維強化材料やガラス繊維強化材料を用いることが好ましい。また、軽量化するためにこれら繊維強化材料をパイプ状に加工して用いることが好ましい。また、支持部材としては、硬質樹脂製支持部材、合成ゴム製支持部材、吸着口を持つ支持部材などがある。
【００３０】
なお、本発明にいう薄板とは、液晶表示用ガラス基板のみならず、プラスチックス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、プラズマ駆動液晶表示用ガラス基板、有機エレクトロルミネッセンス表示器用ガラス基板、無機エレクトロルミネッセンス表示器用ガラス基板や金属板など、自重によってたわむ公知の薄板を示す。
【発明の効果】
【００３１】
本願発明によれば、自重によりたわんでしまう液晶表示器用大型ガラス基板等の薄板を搬送したり、載置する際に、薄板が複数の山部ないし尾根部を形成してたわむように、複数の支持部材を基部上に配置することにより、このたわみ量を小さくすることができた。また、二つの長尺状の基部１１上に複数列の支持部材の列を設けだけでは複数の尾根部が形成されなかった場合、基部１１の外側に水平方向突部１２を設け、その上に支持部材１４の列を配置し、この基部１１の内側上部に支持部材１３，１５すると、２つの基部１１上のガラス基板にそれぞれ尾根部が発生した。さらに、１つの尾根部を支持する支持部材の列間距離を広げることによって、このたわみ量をさらに減少させることもできた。
【００３２】
さらに、複数の山部ないし尾根部を形成するように支持したガラス基板でも、垂れさがりに差がある場合、それが大きい側に配置した支持部材の列の高さをその反対側の列の支持部材より高くすると、垂れ下がりが持ち上げられ、高低差は減少する。
【００３３】
一辺が２ｍ前後の大型のガラス基板の場合は、エンドエフェクタの基部を４本以上にする場合が多いが、本発明の外側に突部を設けたエンドエフェクタは、エフェクタ主部に水平方向突部を設けることにより２本ないし３本に減少させることができコスト削減に寄与することができる。
【００３４】
また、本発明の薄板支持体がガラス基板用カセットであるとき、ガラス基板のたわみ量を減少させることができるためカセットの基部である棚段数を増やすことができ、生産性を向上させることができ、或いは、棚段数が同じならばカセットの高さを低くせることができ、軽量化とともにコストダウンが実現できる。
なお、本願発明に係るエンドエフェクタに保持される薄板は、液晶表示器用ガラス基板に限らずプラズマディスプレイ用ガラス基板、プラスチック板、金属板などあらゆる薄板形状物であってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下に、本発明の最良の実施形態の例を、図１から図１５に基づいて説明する。なお、以下の実施形態は本願発明の範囲を限定するものではない。即ち当業者であれば本願発明の原理の範囲で、他の実施形態を採用することが可能である。
【００３６】
図１は、本発明の薄板加工システムの一例としての、液晶基板の化学処理システムを示す。この実施例の加工処理システムでは、エンドエフェクタ１をアーム２１にハンドとして搭載したロボット型搬送機２が、薄板であるガラス基板６をカセット５から取り出して現像などの加工処理装置４に投入する。次いで、加工処理終了後、ロボット型搬送機２が、ガラス基板６を加工装置４から取り出してカセット５に返送し、カセット７内の棚段に載置する。尚、このカセットは図１２記載の本発明の薄板支持体である。
【００３７】
図２は、本発明の薄板搬送用エンドエフェクタの一実施例で、水平方向突部１２を持つエンドエフェクタ１を、カセット５内でガラス基板の下に挿入した状態を示す平面図である。２本の基部１１はそれぞれ長尺状のほぼ長方形に成形し、それらの基部１１の外側部に水平方向突部１２をそれぞれ５個ずつ設けた。各基部１１の表面には、合成ゴム製の支持部材１４を各水平方向突部１２に１個づつ、基部１１の内側部に樹脂製の支持部材１５を３個、真空吸着口１３を２個取り付け、また各エフェクタ主部１１の根元には、カセット５やガラス基板６を検出するためのセンサ１７（この例では反射型センサ）を１個取り付けた。同じ高さにある２つの基部１１の上部表面を基準面とすると、各支持部材１３，１４，１５の高さはすべて同じである。
【００３８】
本実施例の前に、櫛歯状ピン５１が長い大型のカセット５に適合させるために、２つの長方形の基部１１のみに支持部材１４や１５を配置してガラス基板をエンドエフェクタ１に載置しても図４（ｃ）の様に一山にしかならなかったが、支持部材１４を具えた水平方向突部１２を設け、櫛歯状ピン５１の先端より奥まで突出させることによって、支持部材１４の列と支持部材１５と１３の列の上にガラス基板が２つの尾根部を形成してたわみ、たわみ量は大幅に減少した。
尚、水平方向突部１２と櫛歯状ピン５１とは同じ高さでは干渉しあうので、エンドエフェクタ１をカセット５に挿入する場合は、上下方向にある櫛歯状ピン５１の間に挿入して櫛歯状ピン５１の水平方向の間に停止し、次に上に移動させてガラス基板を持ち上げる。この載置動作によって、カセット５の櫛歯状ピン５１上で中央部が谷状にたわんだガラス基板が、エンドエフェクタの基部１１上で低い尾根部を形成して大幅にたわみ量が減少し、見た目にはフラット状になる。ガラス基板をカセットから抜き出すときは、上下方向にある櫛歯状ピン５１の間をエンドエフェクタ１が水平移動する。ガラス基板をカセットに挿入するときは、この動作の逆を行えばよい。
【００３９】
図２に示す実施例の具体例として、カセット５にガラス基板６を収納するためのエンドエフェクタ１を下記寸法で設計制作した。材料はピッチ系炭素繊維複合材料である。
＜カセット５の内側寸法＞
間口１１２６ｍｍ×高さ９００ｍｍ×奥行き１３００ｍｍ、
＜基板支持体の櫛歯状ピン５１の寸法と数＞
櫛歯状ピン：長さ２３３ｍｍ×幅１５ｍｍ×高さ１４ｍｍのピン２４本、先端に合成ゴム製のキャップあり。
各櫛歯状ピンの間隔（内寸）：２２ｍｍ、
基板支持体：１１セットを両横内面及び奥内面に縦にして配列設置、
＜液晶表示器用ガラス基板＞
寸法：横１１００ｍｍ×縦１２５０ｍｍ×厚み０．６ｍｍ、
カセット内での下方たわみ：１３ｍｍ
＜エンドエフェクタ＞
基部１１：幅５４ｍｍ×厚み１０ｍｍ×長さ１０３７ｍｍ、２本、
水平方向突部１２：幅３０ｍｍ×長さ２８ｍｍ×厚み５ｍｍ、
エンドエフェクタ根元部：幅６４０ｍｍ×奥行き約３００ｍｍ、
２つの基部の内側間隔：４５６ｍｍに平行配置。
＜支持部材の配置＞
配置位置は図２に示す。合成ゴム製支持部材１４、合成樹脂製支持部材１５、真空吸引口を持つ吸着支持部材１３を配置し、またエフェクタ根元部にセンサ１７を設置した。
エフェクタ基部内側支持部材列間隔：４７２ｍｍ、
２つのエフェクタ基部外側（水平方向突部上）支持部材列間距離：６０８ｍｍ。
【００４０】
前記寸法の、図２に示す実施例のエンドエフェクタ１を用いてその中央部に前記ガラス基板６を支持すると、図２（ｂ）に示すようにガラス基板６はふた山状にたわみ、最頂部と最低部の高低差ｈｂは４．３ｍｍであった。尚、エンドエフェクタ１自体のたわみは３．１ｍｍで、合計７．５ｍｍであり、カセット５の上下の櫛歯状ピン５１間の２２ｍｍの間隙に対して、水平突起部１２は、ガラス基板６を載置してこれらピンを支障なくかわしてガラス基板６を搬入搬出することができた。
【００４１】
＜比較例＞
図２において、水平突起部１２を設けないで基部１１上の外側に支持部材１４を移し図示しないエンドエフェクタを製作した。従って、２つの基部１１の外側に支持部材１４が並ぶ列の間隔が小さくなり５５２ｍｍである。ガラス基板６をこれに載置したところ図４（ｃ）に示すようなひと山にたわみ、支持部材１５の位置では浮き上がり、最頂部と最低部の高低差ｈｃは３９ｍｍで、エンドエフェクタ１自体のたわみは３．８ｍｍであった。従って、上下のピン５１間は２２ｍｍであるからカセット５への搬入出ができない結果となった。
【００４２】
かくして、上記実施例と比較例との結果から明らかなように、本実施例のエンドエフェクタを用いることにより、ガラス基板６のたわみを３９ｍｍから４．３ｍｍへと、ほぼ９分の１に減少させることができた。また、大型のカセットにさらに多数毎のガラス基板６を収納できるため、液晶表示器の生産性向上とコストダウンに貢献することができるようになった。
【００４３】
図３に示す実施例は、カセット５内のガラス基板支持用の基部である櫛歯状支持ピン５１が短く、長方形のエンドエフェクタ１の２つの基部１１上に設けた合成ゴム製の支持部材１４の列と、樹脂製支持部材１５と吸着口付き支持部材１３からなる列の上に、ガラス基板６は尾根部を形成してふた山状にたわんだ例である。このエンドエフェクタ１によってもガラス基板のたわみはひと山の場合に比べて大幅に減少したのである。
【００４４】
図４（ａ）及び（ｂ）は、本発明の実施例のエンドエフェクタ１を水平にしてそれぞれガラス基板６を支持した状態を示す垂直断面図であり、ガラス基板６は低いふた山状にたわみ、高低差ｈａ、ｈｂは、比較例である図４（ｃ）の高低差ｈｃより何れも小さい。ここでは図４（ｂ）に、図２で示したエンドエフェクタ１の延在方向に直角な断面図で、エンドエフェクタの基部１１とその上の同じ高さの支持部材１４，１５上に載置したガラス基板６がふた山状にたわんでいる状態を示す。図４（ａ）の断面図は、２つの基部１１の外側に設けた水平突起部１２上に高い支持部材１６の列と基部１１の内側に設けた低い支持部材１８の列によってガラス基板はふた山を形成してたわんでいる状態を示す。図４の（ａ）の場合は、支持部材の高さをかえるという本発明のたわみを減少させる手段によって、（ｂ）の場合よりいっそう高低差が小さくなりｈａ＜ｈｂとすることができた。
【００４５】
図５は、本発明の複数の基部１１にガラス基板を載置した薄板支持体の例で、基部１１の延在方向に直角な断面図である。図５（ａ）は、エンドエフェクタ１が3本の基部１１からなる例であり、図５（ｂ）は基部１１が４本の例である。ここでは支持部材の高さは一定として基部１１に取り付け、基部１１自体の高さを変えてたわみを減少させた例で、一辺が２ｍ前後あるいはこれを越えるガラス基板を支持するために有効なものである。
【００４６】
図６は、一辺が１８００ｍｍを越えるガラス板６を３本の基部１１にガラス基板６を載置した本発明の薄板支持体の、基部延在方向に直角な断面図である。中央部の基部１１には合成ゴム製支持部材１４を２列同じ高さに配置し、その間に吸着口を持つ支持部材１３の列を同じ高さに配置している。この支持部材１３は、たわむガラス板６の尾根部の頂点をその裏から吸着して引きつけ、頂点が高くならない手段、即ち、たわみを減少させる手段が施されている。次に、両サイドの基部１１には、外側列に通常の支持部材１４を配し、内側列に吸着口を持つ支持部材１３の列を配置して、その上でガラス基板６が浮き上がらないように吸着して引きつけ、同時にその左右の端の垂れ下りを防止したもので、ここにもたわみを減少させる手段が施されている。
【００４７】
図７には、各種の本発明の基部１１に支持部材１４の２つの列と吸着口を持つ支持部材１３の列と配置した例を示す。
（ａ）は基部１１がムクの各棒で、構造が最も簡単で比重が比較的軽く弾性率の高いセラミック材料、炭素繊維強化材料、ガラス繊維強化材料などを使用して製作する。ここで基部１１は厚みが薄い板材であってもよい。
（ｂ）は基部１１が角パイプで、中が中空で軽いため大型のエンドエフェクタ用に使用されるものである。材質はアルミニウム合金、鋼材など金属でもよいが弾性率の高い炭素繊維強化材料などを使用して製作することが好ましい。角パイプは、高剛性を保ちながら軽量化でき、コストダウンも可能である。
（ｃ）は基部がＨ型材料で、材質はアルミニウム合金、鋼材など金属でもよいが弾性率の高いセラミック材料、炭素繊維強化材料、ガラス繊維強化材料などを使用して製作するのが好ましく、軽量化にも貢献する。
【００４８】
図８には、本発明の支持体において、中列に樹脂製支持部材と両側に２列の合成ゴム製支持部材を配置した各種基部の断面図で、図８（ｄ）はＣ型材料で、材質はアルミニウム合金、鋼材など金属でもよいが、弾性率の高いセラミック材料、炭素繊維強化材料、ガラス繊維強化材料などを使用して製作するのが好ましく、軽量化、コストダウンにも貢献する。
（ｅ）は支持部材１４，１５を備えた板片１９を持つ角パイプの例で、弾性率の高いセラミック材料、炭素繊維強化材料、ガラス繊維強化材料、或いはこれらを組み合わせるなどして製作するのが好ましく、軽量化、コストダウンにも貢献する。
（ｆ）は、吸着口を持ち且つ傾斜した頂部の支持部材１３を具えた基部１１の例で、これは紙面方向に横長で、薄板の傾斜したたわみを意図した状態に導くのに有効である。
【００４９】
図９は、図３のエンドエフェクタを改良した例を示す斜視図で、このエンドエフェクタの延在方向に垂直断面図である図４（ａ）に相当する。即ち、２つの基部１１の外側に高い支持部材１６の列と基部１１の内側に設けた低い支持部材１８の列によってガラス基板をふた山状にたわませている。この場合は、支持部材の高さをかえるという本発明のたわみを減少させる手段によって、図４の（ａ）、（ｂ）を比較してのべたように、図３の場合よりいっそう高低差を小さくすることができた。
【００５０】
図１０は、図９のエンドエフェクタをさらに大型ガラス板用に改良した例を示す斜視図である。即ち、２つの基部１１に板片１９を５枚づつ取り付け、その上の外側に高さ５ｍｍの支持部材１６の列と内側に設けた高さ４ｍｍの低い支持部材１８の列（２つの基部うえのそれぞれの支持部材１８の列間距離は６００ｍｍ）によってガラス基板をふた山状にたわませている。この場合は、支持部材の高さをかえるという本発明のたわみを減少させる手段に加えて、１本の基部の上の支持部材の列間距離を大きくして３００ｍｍにするという、たわみを減少させる手段によって、図３や図９の場合よりいっそう大判の１８００ｍｍ×２２００ｍｍ×０．６ｍｍガラス板の高低差を１０ｍｍ程度に少なくして載置することができた。本図のエンドエフェクは、図１２に示す本発明のカセットや、特開平１１−３５０８９号公報で提案しているカセットと組み合わせて使用することができる。
【００５１】
図１１は、櫛歯状ピン５１のあるカセット５内で、本発明のエンドエフェクタ１にガラス基板６を載置した場面の、エンドエフェクタの延在方向に直角な断面図である。ガラス基板６は、カセット５内の櫛歯状ピン５１上では、中央部が谷状に大きくたわんでいる。このエンドエフェクタは、２つの基部のそれぞれ内側上部に配列した低い支持部材１８と、外側部に設けた水平方向突起部１２の上部に配列した高い支持部材１６が特徴で、図２の場合に比べてガラス基板６の左右両端の垂れ下がりは少なくなった。尚、本図の例では、支持部材１６と１８の頂面は、尾根部が意図した傾斜になるように設計し、その傾斜にあわせてある。
【００５２】
図１２は、本発明の薄板支持体が、ガラス基板収納用カセット７である場合の斜視図である。ガラス基板を図１２の左手前、または右奥側から出し入れする。カセット７に備えられた基部である複数の梁５２の上に支持部材の２本ずつ３組が、頭頂に樹脂製の支持部材１５を設けた棒材が垂直に配置され、すべての梁を通して２列ずつ３組配置されている。最置したガラス基板は出し入れ方向で梁５２に直角方向に尾根を形成させることによって、カセット内においてもたわみ量が著しく少なくなった。本図のカセットは、一辺が１ｍを越えたり、厚みが０．６ｍｍ以下のたわみやすいガラス基板を収納するのに有効である。
【００５３】
図１３は、本発明の薄板支持体が、ガラス基板収納用カセット７の場合で、ガラス基板を挿入搬出する方向から見た図１２の断面図である。棒片５３上に同じ高さで２列に配置した支持部材１５上に、ガラス基板が３つの尾根部を形成して載置されている。
【００５４】
図１４は、本発明の間口１ｍ前後のガラス基板収納用カセット７の斜視図で、図２で用いたカセット５を次のように改造した。即ち、ガラス基板６を載置する櫛歯状ピン５１の先端にカセット中央に向かって下がる傾斜をつけたキャップ状の本発明の支持部材１５を付け、櫛歯状ピン５１の同じ長さの２３３ｍｍとし、奥の面中央に縦に長さ３５０ｍｍの櫛歯状ピン５１を新たに設けた。
【００５５】
図１５は、奥の面の中央に縦に櫛歯状ピン５１を配置した図１４のガラス基板収納用カセット５の断面図である。奥の面中央に縦に長さ３５０ｍｍの櫛歯状ピン５１を新たに設けた。ガラス基板のたわみ量が、本発明の改良によりふた山にたわんでたわみ量は減少した。
【００５６】
図１６は、従来の大型のカセットと従来のエンドエフェクタとの組み合わせた比較例の平面図である。このエンドエフェクタは幅が狭く、ガラス板を載置すると図４（ｃ）のようにひと山になり、高低差も大きかった。
【００５７】
以上、図示例に基づき説明したが、この発明は上述の例に限定されるものではなく、特許請求項の範囲の記載の範囲内で適宜変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の薄板支持体であるエンドエフェクタを有する搬送機、及び、本発明の薄板支持体であるガラス基板収納用カセットを備えた薄板加工システムの一例である。
【図２】本発明の一実施例でエンドエフェクタを、ガラス基板が収納されたカセットに挿入した状態で示す平面図である。
【図３】本発明の他の一実施例でエンドエフェクタを、ガラス基板が収納されたカセットに挿入した状態で示す平面図である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、本発明のエンドエフェクタによってそれぞれガラス基板を水平に支持した状態を示す垂直断面図であり、（ｃ）は、２本のエンドエフェクタの基部間隔が狭いエンドエフェクタによりガラス基板を支持した比較例の垂直断面図である。
【図５】本発明の支持部材を用いた一実施例のエンドエフェクタの断面図で（ａ）は基部が３本の場合、（ｂ）は基部が４本の場合である。
【図６】本発明の一実施例のエンドエフェクタの断面図で、支持部材の種類およびそれらの配列を変えた例である。
【図７】本発明の支持体において、中列に吸着口をもつ支持部材と両側に２列の支持部材を配置した各種基部の断面図で、（ａ）は基部が各棒、（ｂ）は基部が角パイプ、（ｃ）は基部がＨ型材料の例である。
【図８】本発明の支持体において、中列に樹脂製支持部材と両側に２列の合成ゴム製支持部材を配置した各種基部の断面図で、（ｄ）はＣ型材料、（ｅ）支持部材を具えた板片を持つ角パイプ、（ｆ）は吸着をもち且つ傾斜した頂部の支持部材を具えた例である。
【図９】本発明の２本の基部を持つエンドエフェクタに、高い支持部材と低い支持部材とを設けて左右側辺の垂れ下がりを少なくしたガラス板を載置した例の斜視図である。
【図１０】本発明の２本の基部を持つエンドエフェクタの斜視図で、高さの異なる２列の支持部材を備えた板片付き角パイプを基部とする例である。
【図１１】本発明のエンドエフェクタが、従来の櫛歯状基部を有するガラス基板収納用カセット内でガラス基板を支持している状態を示す断面図である。
【図１２】本発明のカセットの一例を示す斜視図である。
【図１３】図１２のカセットの断面図で、ガラス基板を収納している例である。
【図１４】本発明のガラス基板収納用カセットの他の例の斜視図である。
【図１５】奥に櫛歯状に複数の基部を有する本発明のガラス基板収納用カセットの立面図である。
【図１６】従来のエンドエフェクタと従来の大型のカセットとの組み合わせた例の平面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１        エンドエフェクタ
２        ロボット型搬送機
４        加工処理装置
５        カセット
６        ガラス基板
７        ガラス基板収納用カセット
１１        基部（エンドエフェクタ主部）  
１２        水平方向突部（水平突起部）  
１３、１４，１５，１６，１８        支持部材
１３’        真空吸着口
１７        センサ
１９        板片
２１        アーム
５１        櫛歯状ピン
５２        梁
５３        棒片
ｈａ、ｈｂ、ｈｃ        高低差
【国際調査報告】
2004113205.tif 000019
2004113205.tif 000020
2004113205.tif 000021
2004113205.tif 000022