(57)【要約】本発明の積層トランス１０は、中央及び周縁にそれぞれ形成された中央磁性パターン１１ａ及び周縁磁性パターン１２ａと中央及び周縁以外の部分に形成された非磁性体の誘電パターン１３ａとからなる混成シート１４ａと、同じく中央磁性パターン１１ｂ及び周縁磁性パターン１２ｂと誘電パターン１３ｂとからなる混成シート１４ｂと、誘電パターン１３ａの一方の面上に位置する一次巻線１５ａと、誘電パターン１３ｂの一方の面上に位置する二次巻線１５ｂと、混成シート１４ａ，１４ｂ、一次巻線１５ａ及び二次巻線１５ｂを挟持するとともに中央磁性パターン１１ａ，１１ｂ及び周縁磁性パターン１２ａ，１２ｂを介して互いに接する磁性シート１６ａ，１６ｂとを備えたものである。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央及び周縁を磁性パターンとし前記中央及び周縁以外の部分を非磁性体からなる誘電パターンとした混成シートと、前記誘電パターンの一方の面上かつ前記中央の周囲に位置する一次巻線と、前記誘電パターンの他方の面上かつ前記中央の周囲に位置する二次巻線と、前記混成シート、前記一次巻線及び前記二次巻線を挟持するとともに前記磁性パターンを介して互いに接する一対の磁性シートと、
を備えた積層型磁性部品。
【請求項２】
中央及び周縁を磁性パターンとし前記中央及び周縁以外の部分を非磁性体からなる誘電パターンとした混成シートが、前記一次巻線又は二次巻線と前記磁性シートとの間に介挿された、
請求項１記載の積層型磁性部品。
【請求項３】
前記混成シートが複数枚積層され、これらの混成シートの誘電パターンを挟んで位置する複数の一次巻線同士及び複数の二次巻線同士をそれぞれ接続するスルーホールが前記混成シートに設けられた、
請求項１又は２記載の積層型磁性部品。
【請求項４】
前記混成シートは、前記磁性パターンの膜厚と前記誘電パターンの膜厚とが等しい、
請求項１、２又は３記載の積層型磁性部品
【請求項５】
請求項１乃至５のいずれかに記載の積層型磁性部品を製造する方法であって、
基板上に磁性体ペーストを塗布し、このペーストを乾燥させて前記磁性シートを作成し、
別途、基板上に非磁性体ペーストを前記誘電パターンの形状に塗布するとともに、当該基板上に磁性体ペーストを前記磁性パターンの形状に塗布し、これらのペーストを乾燥させて前記混成シートを作成し、
この混成シート上又は前記磁性シート上に導電体ペーストを塗布し、このペーストを乾燥させて前記一次巻線及び前記二次巻線を作成し、
これによって得られた前記磁性シート及び前記混成シートを前記基板から剥がして積層し、かつ加圧して積層体とし、この積層体を焼成する、
積層型磁性部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、電磁気的な特性を有するシートを積層してコイル及びコアを形成した積層コイルに関する。
【背景技術】  近年、電子機器の小型化の急速な進展に伴い、軽く小さく、しかも薄い積層型磁性部品として積層トランスが注目されている（例えば下記特許文献１参照）。図６は、従来の積層トランスを示す分解斜視図である。図７は、積層後の図６におけるＶＩＩ−ＶＩＩ線縦断面図である。以下、これらの図面に基づき説明する。
従来の積層トランス８０は、一次巻線８１ａ，８１ｃが形成された一次巻線用の磁性シート８２ｂ，８２ｄと、二次巻線８１ｂ，８１ｄが形成された二次巻線用の磁性シート８２ｃ，８２ｅと、磁性シート８２ｂ〜８２ｅを挟持する磁性シート８２ａ，８２ｇとを備えたものである。
また、磁性シート８２ｅと磁性シート８２ｇとの間には、磁気飽和特性を改善するための磁性シート８２ｆが介挿されている。磁性シート８２ａ〜８２ｅには、一次巻線８１ａ，８１ｃを接続するスルーホール９０，９１，９２及び二次巻線８１ｂ，８１ｄを接続するスルーホール９３，９４，９５が設けられている。磁性シート８２ａの下面には、一次巻線用の外部電極９６，９７及び二次巻線用の外部電極９８，９９が設けられている。スルーホール９０〜９６内には導電体が充填されている。磁性シート８２ａ〜８２ｇが積層トランス８０のコアとなっている。
なお、図６及び図７は概略図であるので、厳密に言えば一次巻線８１ａ，８１ｃ及び二次巻線８１ｂ，８１ｄの巻数やスルーホール９０〜９６の位置が、図６と図７とで対応していない。
積層トランス８０の一次側では、外部電極９６→スルーホール９２→一次巻線８１ｃ→スルーホール９１→一次巻線８１ａ→スルーホール９０→外部電極９７、の順又はこの逆の順で電流が流れる。一方、積層トランス８０の二次側では、外部電極９９→スルーホール９５→二次巻線８１ｄ→スルーホール９４→二次巻線８１ｂ→スルーホール９３→外部電極９８、の順又はこの逆の順で電流が流れる。一次巻線８１ａ，８１ｃを流れる電流は、磁性シート８２ａ〜８２ｇに磁束１００（図７）を発生させる。その磁束１００は、巻数比に応じた起電力を二次巻線８１ｂ，８１ｄに発生させる。このようにして、積層トランス８０が動作する。
ここで、一次巻線８１ａ，８１ｃの自己インダクタンスをＬ１、二次巻線８１ｂ，８１ｄの自己インダクタンスをＬ２、一次巻線８１ａ，８１ｃと二次巻線８１ｂ，８１ｄとの相互インダクタンスをＭとすると、電磁結合係数ｋは次式で定義される。
ｋ＝｜Ｍ｜／√（Ｌ１・Ｌ２）      （ｋ≦１）
電磁結合係数ｋは、トランス性能の指標の一つであり、大きいほど洩れ磁束（洩れインダクタンス）が少ないので、電力変換効率が高い。
積層トランス８０では、一次巻線８１ａ，８１ｃと二次巻線８１ｂ，８１ｄとの間が磁性体層（磁性シート８２ｃ〜８２ｅ）であることにより、洩れ磁束１０１（図７）が発生するので、十分な電磁結合係数ｋを得られなかった。この問題を解決するために、スクリーン印刷又はペースト塗布によって一次巻線８１ａ，８１ｃ上及び二次巻線８１ｂ，８１ｄ上に誘電体層（図示せず）を設け、この誘電体層から拡散する物質によって磁性体層の透磁率を小さくする技術（以下「従来技術」という。）が考えられる。
〔解決すべき課題〕
しかしながら、この従来技術では次のような問題があった。
一次巻線８１ａ，８１ｃ上及び二次巻線８１ｂ，８１ｄ上に塗布された誘電体ペーストに、一次巻線８１ａ，８１ｃ及び二次巻線８１ｂ，８１ｄから導電性物質（例えばＡｇ粒子）が拡散することにより、一次巻線８１ａ同士、一次巻線８１ｃ同士、二次巻線８１ｂ同士、及び二次巻線８１ｄ同士の絶縁性が低下するおそれがあった。ペーストは、例えば有機溶媒などによって液体状になっているので、物質が拡散しやすいためである。
また、誘電体層を設けて洩れ磁束を減らしたとしても、一次巻線８１ａ，８１ｃと二次巻線８１ｂ，８１ｄとの間隔が「磁性体層＋誘電体層」になって広くなる。このことは、その間隔に洩れ磁束が入り込みやすくなるので、逆に電磁結合係数ｋを小さくする方向に作用する。したがって、従来技術では、電磁結合係数ｋを大きくすることが極めて困難であった。
〔発明の目的〕
そこで、本発明の目的は、巻線相互の絶縁性を維持したまま電磁結合係数を増大できる積層トランスを提供することにある。
【発明の開示】
本発明に係る積層型磁性部品は、中央及び周縁を磁性パターンとし中央及び周縁以外の部分を非磁性体からなる誘電パターンとした混成シートと、誘電パターンの一方の面上かつ中央の周囲に位置する一次巻線と、誘電パターンの他方の面上かつ中央の周囲に位置する二次巻線と、混成シート、一次巻線及び二次巻線を挟持するとともに磁性パターンを介して互いに接する一対の磁性シートとを備えたものである。
望ましくは、混成シートは一枚でも積層した複数枚でもよい。また、望ましくは、一次巻線と二次巻線とが混成シートの誘電パターンを挟んで対向していれば、混成シートの一方の面に一次巻線と二次巻線とを交互に配置し、他方の面に一次巻線と二次巻線とを交互に配置してもよい。混成シートが複数枚である場合は、これらの混成シートを挟んで一次巻線及び二次巻線を複数本設けることができる。望ましくは、これらの一次巻線同士及び二次巻線同士をそれぞれ接続するスルーホールを、混成シートに設けてもよい。なお、ここでいう「非磁性体」とは、少なくとも磁性シートよりも小さい透磁率を有する物質という意味である。「誘電シート」とは、少なくとも磁性シートよりも大きい抵抗率を有するシートという意味であり、誘電体シート又は絶縁シートと呼ばれる。
従来技術の積層型磁性部品では、一次巻線と二次巻線との間が磁性体層になっているため、この磁性体層に洩れ磁束が発生することにより、電磁結合係数が小さくなっていた。そこで、本発明に係る積層型磁性部品では、まず一次巻線と二次巻線との間を非磁性体層（誘電パターン）とした。これだけではコアを形成できないので、混成シートの中央及び周縁を磁性パターンとし、この磁性パターンで一対の磁性シートを接触させることにより、コアを形成した。したがって、本発明に係る積層型磁性部品では、一次巻線と二次巻線との間が非磁性体層（誘電パターン）であるので、洩れ磁束を抑制できる。しかも、従来技術と異なり、一次巻線上及び二次巻線上に誘電体ペーストを塗布して誘電体層を形成する必要がないので、一次巻線同士及び二次巻線同士の絶縁性が劣化することもなく、一次巻線と二次巻線との間隔も広がらない。
また、好ましい実施形態では、前述の混成シートを一次巻線又は二次巻線と磁性シートとの間に介挿してもよい。この混成シートは、一次巻線又は二次巻線の絶縁性を高める働きをする。
好ましい実施形態では、混成シートは、磁性パターンの膜厚と誘電パターンの膜厚とが等しい、としてもよい。この場合は、混成シートの膜厚がどこでも一定になるので、混成シートを挟持する一対の磁性シートも平坦になる。
本発明に係る積層型磁性部品の製造方法は、本発明に係る積層型磁性部品を製造する方法である。まず、基板上に磁性体ペーストを塗布し、このペーストを乾燥させて磁性シートを作成する。別途、基板上に非磁性体ペーストを誘電パターンの形状に塗布するとともに、この基板上に磁性体ペーストを磁性パターンの形状に塗布し、これらのペーストを乾燥させて混成シートを作成する。続いて、この混成シート上又は磁性シート上に導電体ペーストを塗布し、このペーストを乾燥させて一次巻線及び二次巻線を作成する。続いて、これによって得られた磁性シート及び混成シートを基板から剥がして積層し、かつ加圧して積層体とする。最後に、この積層体を焼成する。
本発明によれば、一次巻線と二次巻線との間を混成シートの誘電パターンとし、混成シートの中央及び周縁を磁性パターンとし、この磁性パターンで一対の磁性シートを接触させてコアを形成したことにより、一次巻線と二次巻線との間が非磁性体層である積層型磁性部品を実現できたので、洩れ磁束を抑制できる。しかも、従来技術と異なり、一次巻線上及び二次巻線上に誘電体ペーストを塗布して誘電体層を形成する必要がないので、一次巻線同士及び二次巻線同士の絶縁性が劣化することもなく、一次巻線と二次巻線との間隔も広がらない。したがって、巻線相互の絶縁性を維持したまま電磁結合係数を増大できる。更に、従来の磁性シートに代わって誘電パターンが介在することによって、一次巻線と二次巻線との絶縁性も向上できる。
また、誘電パターンと磁性パターンとの両方が一枚の混成シートに形成されていることにより、誘電体のみからなる誘電シートと磁性体のみからなる磁性シートとを積層して同じ構造を形成する場合に比べて、シート枚数を少なくできるとともに、積層方法も簡略化できる。
これに加え、前述の混成シートと同じものを一次巻線又は二次巻線と磁性シートとの間に介挿することにより、一次巻線又は二次巻線を電気的に保護できるので、絶縁性を向上できる。
一次巻線同士及び二次巻線同士をそれぞれ接続するスルーホールを混成シートに設けたことにより、一次巻線同士及び二次巻線同士をリード片などで接続する場合に比べて、簡単にこれらを接続できるので、製造を容易化できる。
磁性パターンの膜厚と誘電パターンの膜厚とが等しいことにより、混成シートの膜厚がどこでも一定になるので、混成シートを挟持する一対の磁性シートを平坦にできる。したがって、磁性シート上に配線パターン等を精度よく形成できる。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明に係る積層トランスの第一実施形態を示す分解斜視図であり、図２は、積層後の図１におけるＩＩ−ＩＩ線縦断面図である。
図３は、本発明に係る積層トランスの第二実施形態を示す分解斜視図であり、図４は、積層後の図３におけるＩＶ−ＩＶ線縦断面図である。また、図５は、図３の積層トランスの製造方法を示す工程図である。
図６は、従来の積層トランスを示す分解斜視図であり、図７は、積層後の図６におけるＶＩＩ−ＶＩＩ線縦断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】  次に、本発明に係る積層磁性部品の実施の形態として積層トランスを例にとって、具体的に説明する。図１は、本発明の第一実施形態（請求項１に対応）に係る積層トランスを示す分解斜視図である。図２は、積層後の図１におけるＩＩ−ＩＩ線縦断面図である。以下、これらの図面に基づき説明する。
本実施形態の積層トランス１０は、中央及び周縁にそれぞれ形成された中央磁性パターン１１ａ及び周縁磁性パターン１２ａと中央及び周縁以外の部分に形成された非磁性体の誘電パターン１３ａとからなる混成シート１４ａと、中央及び周縁にそれぞれ形成された中央磁性パターン１１ｂ及び周縁磁性パターン１２ｂと中央及び周縁以外の部分に形成された非磁性体の誘電パターン１３ｂとからなる混成シート１４ｂと、誘電パターン１３ａの一方の面上かつ中央の周囲に位置する一次巻線１５ａと、誘電パターン１３ｂの一方の面上かつ中央の周囲に位置する二次巻線１５ｂと、混成シート１４ａ，１４ｂ、一次巻線１５ａ及び二次巻線１５ｂを挟持するとともに中央磁性パターン１１ａ，１１ｂ及び周縁磁性パターン１２ａ，１２ｂを介して互いに接する一対の磁性シート１６ａ，１６ｂとを備えたものである。すなわち、一次巻線１５ａは誘電パターン１３ｂの他方の面上に位置し、二次巻線１５ｂは誘電パターン１３ｂの一方の面上に位置する、と言い換えることができる。
また、混成シート１４ａ，１４ｂ及び磁性シート１６ａには、一次巻線１５ａを接続するスルーホール１８，１９、及び二次巻線１５ｂを接続するスルーホール２０，２１が設けられている。磁性シート１６ａの下面には、一次巻線用の外部電極２２，２３及び二次巻線用の外部電極２４，２５が設けられている。スルーホール１８〜２１内には導電体が充填されている。中央磁性パターン１１ａ，１１ｂ、周縁磁性パターン１２ａ，１２ｂ及び磁性シート１６，１７が、積層トランス１０のコアとなっている。
なお、図１及び図２は概略図であるので、厳密に言えば一次巻線１５ａ及び二次巻線１５ｂの巻数やスルーホール１８〜２１の位置が、図１と図２とで対応していない。また、図２では、膜厚方向（上下方向）を幅方向（左右方向）よりも拡大して示している。
積層トランス１０の一次側では、外部電極２２→スルーホール１８→一次巻線１５ａ→スルーホール１９→外部電極２３、の順又はこの逆の順で電流が流れる。一方、積層トランス１０の二次側では、外部電極２４→スルーホール２０→二次巻線１５ｂ→スルーホール２１→外部電極２５、の順又はこの逆の順で電流が流れる。一次巻線１５ａを流れる電流は、磁性シート１６ａ，１６ｂに磁束２６（図２）を発生させる。その磁束２６は、巻数比に応じた起電力を二次巻線１５ｂに発生させる。このようにして、積層トランス１０が動作する。
積層トランス１０では、一次巻線１５ａと二次巻線１５ｂとの間が非磁性体層（誘電パターン１３ｂ）であることにより、洩れ磁束を抑制できる。しかも、従来技術と異なり、一次巻線１５ａ及び二次巻線１５ｂ上に誘電体ペーストを塗布して誘電体層を形成する必要がないので、一次巻線１５ａ同士及び二次巻線１５ｂ同士の絶縁性が劣化することもなく、一次巻線１５ａと二次巻線１５ｂとの間隔も広がらない。したがって、巻線相互の絶縁性を維持したまま電磁結合係数ｋを増大できる。これに加え、誘電パターン１３ｂが介在することによって、一次巻線１５ａと二次巻線１５ｂとの絶縁性も高まる。
また、混成シート１４ａは、中央磁性パターン１１ａ及び周縁磁性パターン１２ａの膜厚と、誘電パターン１３ｂの膜厚とが等しくなっている。混成シート１４ｂも同様である。そのため、混成シート１４ａ，１４ｂの膜厚がどこでも一定になるので、混成シート１４ａ，１４ｂを挟持する一対の磁性シート１６ａ，１６ｂも平坦になる。
なお、混成シート１４ｂの両面に一次巻線１５ａ及び二次巻線１５ｂをそれぞれ形成することにより、混成シート１４ａを省略することもできる。二次巻線１５ｂは、混成シート１４ｂ上ではなく、磁性シート１６ｂ上に形成してもよい。二次巻線１５ｂと磁性シート１６ｂとの間に、二次巻線１５ｂの絶縁性を高める混成シートを介挿してもよい。また、各構成要素の材料や寸法、全体の製造方法等についは、後述の第二実施形態に準ずる。
図３は、本発明に係る積層トランスの第二実施形態（請求項２乃至４に対応）を示す分解斜視図である。図４は、積層後の図３におけるＩＶ−ＩＶ線縦断面図である。以下、これらの図面に基づき説明する。
本実施形態の積層トランス３０は、中央及び周縁にそれぞれ形成された中央磁性パターン３１ａ及び周縁磁性パターン３２ａと中央及び周縁以外の部分に形成された非磁性体の誘電パターン３３ａとからなる一次巻線形成用の混成シート３４ａと、中央及び周縁にそれぞれ形成された中央磁性パターン３１ｂ及び周縁磁性パターン３２ｂと中央及び周縁以外の部分に形成された非磁性体の誘電パターン３３ｂとからなる二次巻線形成用の混成シート３４ｂと、中央及び周縁にそれぞれ形成された中央磁性パターン３１ｃ及び周縁磁性パターン３２ｃと中央及び周縁以外の部分に形成された非磁性体の誘電パターン３３ｃとからなる一次巻線形成用の混成シート３４ｃと、中央及び周縁にそれぞれ形成された中央磁性パターン３１ｄ及び周縁磁性パターン３２ｄと中央及び周縁以外の部分に形成された非磁性体の誘電パターン３３ｄとからなる二次巻線形成用の混成シート３４ｄと、中央及び周縁にそれぞれ形成された中央磁性パターン３１ｅ及び周縁磁性パターン３２ｅと中央及び周縁以外の中央に形成された非磁性体の誘電パターン３３ｅとからなる二次巻線保護用の混成シート３４ｅと、誘電パターン３３ａの一方の面上かつ中央の周囲に位置する一次巻線３５ａと、誘電パターン３３ｂの一方の面上かつ中央の周囲に位置する二次巻線３５ｂと、誘電パターン３３ｃの一方の面上かつ中央の周囲に位置する一次巻線３５ｃと、誘電パターン３３ｄの一方の面上かつ中央の周囲に位置する二次巻線３５ｄと、混成シート３４ａ〜３４ｅ、一次巻線３５ａ，３５ｃ及び二次巻線３５ｂ，３５ｄを挟持するとともに中央磁性パターン３１ａ〜３１ｅ及び周縁磁性パターン３２ａ〜３２ｅを介して互いに接する一対の磁性シート３６ａ，３６ｂとを備えたものである。
すなわち、一次巻線３５ａは誘電パターン３３ｂの他方の面上に位置し、二次巻線３５ｂは誘電パターン３３ｂの一方の面上に位置し、二次巻線３５ｂは誘電パターン３３ｃの他方の面上に位置し、一次巻線３５ｃは誘電パターン３３ｃの一方の面上に位置し、一次巻線３５ｃは誘電パターン３３ｄの他方の面上に位置し、二次巻線３５ｄは誘電パターン３３ｄの一方の面上に位置する、と言い換えることができる。
混成シート３４ａ〜３４ｃ及び磁性シート３６ａには、一次巻線３５ａ，３５ｃを接続するスルーホール４０，４１，４２が設けられている。混成シート３４ａ〜３４ｄ及び磁性シート３６ａには、二次巻線３５ｂ，３５ｄを接続するスルーホール４３，４４，４５が設けられている。磁性シート３６ａの下面には、一次巻線用の外部電極４６，４７及び二次巻線用の外部電極４８，４９が設けられている。スルーホール４０〜４５内には導電体が充填されている。中央磁性パターン３１ａ〜３１ｅ、周縁磁性パターン３２ａ〜３２ｅ及び磁性シート３６ａ，３６ｂが、積層トランス３０のコアとなっている。
なお、図３及び図４は概略図であるので、厳密に言えば一次巻線３５ａ，３５ｃ及び二次巻線３５ｂ，３５ｄの巻数やスルーホール４０〜４５の位置が、図３と図４とで対応していない。また、図４では、膜厚方向（上下方向）を幅方向（左右方向）よりも拡大して示している。
各構成要素の実際の寸法を例示する。磁性シート３６ａ，３６ｂは、膜厚が１００μｍ、幅が８ｍｍ、奥行きが６ｍｍである。混成シート３４ａ〜３４ｅは、膜厚が５０μｍ、幅が８ｍｍ、奥行きが６ｍｍである。一次巻線３５ａ，３５ｃ及び二次巻線３５ｂ，３５ｄは、膜厚が１５μｍ、線幅が２００μｍである。シートの積層枚数は、１０〜５０枚程度が実用的である。
積層トランス３０の一次側では、外部電極４６→スルーホール４２→一次巻線３５ｃ→スルーホール４１→一次巻線３５ａ→スルーホール４０→外部電極４７、の順又はこの逆の順で電流が流れる。一方、積層トランス３０の二次側では、外部電極４９→スルーホール４５→二次巻線３５ｄ→スルーホール４４→二次巻線３５ｂ→スルーホール４３→外部電極４８、の順又はこの逆の順で電流が流れる。一次巻線３５ａ，３５ｃを流れる電流は、中央磁性パターン３１ａ〜３１ｅ、周縁磁性パターン３２ａ〜３２ｅ及び磁性シート３６ａ，３６ｂに磁束５０（図４）を発生させる。その磁束５０は、巻数比に応じた起電力を二次巻線３５ｂ，３５ｄに発生させる。このようにして、積層トランス３０が動作する。
積層トランス３０では、一次巻線３５ａ，３５ｃと二次巻線３５ｂ，３５ｄとの間が非磁性体層（誘電パターン３３ｂ〜３３ｄ）であることにより、洩れ磁束を抑制できる。しかも、従来技術と異なり、一次巻線３５ａ，３５ｃと二次巻線３５ｂ，３５ｄ上に誘電体ペーストを塗布して誘電体層を形成する必要がないので、一次巻線３５ａ同士、一次巻線３５ｃ同士、二次巻線３５ｂ同士及び二次巻線３５ｄ同士の絶縁性が劣化することもなく、一次巻線３５ａ，３５ｃと二次巻線３５ｂ，３５ｄとの間隔も広がらない。したがって、巻線相互の絶縁性を維持したまま電磁結合係数ｋを増大できる。これに加え、誘電パターン３４ｂ〜３４ｄが介在することによって、一次巻線３５ａ，３５ｃと二次巻線３５ｂ，３５ｄとの絶縁性も高まる。
また、混成シート３４ａは、中央磁性パターン３１ａ及び周縁磁性パターン３２ａの膜厚と、誘電パターン３３ａの膜厚とが等しくなっている。混成シート３４ｂ〜３４ｅも同様である。そのため、混成シート３４ａ〜３４ｅの膜厚がどこでも一定になるので、混成シート３４ａ〜３４ｅを挟持する一対の磁性シート３６ａ，３６ｂも平坦になる。
図５は、図３の積層トランスの製造方法（請求項５に対応）を示す工程図である。以下、この図面に基づき説明する。
図５における混成シート（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ），（Ｅ），（Ｆ）は、図３における混成シート３４ｅ，３４ｄ，３４ｃ，３４ｂ，３４ａに対応する。図５における磁性シート（Ａ），（Ｇ）は、図３における磁性シート３６ｂ，３６ａに対応する。
まず、磁性体スラリーを作成する（工程６１）。磁性材料は例えばＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系である。続いて、ドクターブレード法を用いてＰＥＴ（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）フィルム上に磁性体スラリーを載置することにより、磁性シートを成形する（工程６２）。続いて、この磁性シートを切断することにより、磁束形成用の磁性シート（Ａ），（Ｇ）を得る（工程６３）。
別途、磁性体ペースト（例えばＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系）を作成するとともに（工程６４）、非磁性体ペースト（例えばガラスペースト）を作成する（工程６５）。続いて、スクリーン印刷法を用いてＰＥＴフィルム上に非磁性体ペーストを載置することにより、混成シート（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ），（Ｅ），（Ｆ）の誘電パターンを作成する（工程６６）。続いて、スクリーン印刷法を用いてＰＥＴフィルム上に磁性体ペーストを載置することにより、混成シート（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ），（Ｅ），（Ｆ）の磁性パターンを作成する（工程６７）。続いて、混成シート（Ｃ），（Ｄ），（Ｅ），（Ｆ）に対し、プレス等によりスルーホールを形成し（工程６８）、Ａｇ系導電ペーストをスクリーン印刷することにより、一次巻線及び二次巻線を形成するとともに、スルーホールに導電体を充填する（工程６９）。
続いて、工程６３で得られた磁性シート（Ａ），（Ｇ）、工程６７で得られた混成シート（Ｂ）、及び工程６９で得られた混成シート（Ｃ），（Ｄ），（Ｅ），（Ｆ）をＰＥＴフィルムから剥がして積層し、これらを静水圧プレスを用いて密着させて積層体とする（工程７０）。続いて、この積層体を所定の大きさに切断する（工程７１）。続いて、９００℃前後で同時焼成を実行する（工程７２）。最後に、外部電極を形成することにより、積層トランスが完成する（工程７３）。
なお、本発明は、言うまでもなく、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、混成シートの枚数、一次巻線及び二次巻線の本数は幾つでもよい。一次巻線及び二次巻線の形状は、螺旋状に限らず、Ｌ字状のものを多数重ねたものとしてもよい。
【実施例】  ここで、本実施形態における積層トランスと従来技術における積層トランスの電気特性の測定結果を比較して示す。本実施例として用いた本実施形態と従来技術における積層トランスの構成は以下の通りである。
▲１▼  従来技術によるトランス
一次側  ５ターン／層を１層：５ターン
二次側  ５ターン／層を２層：１０ターン
磁性体；初期透磁率１００を使用
▲２▼−１  新規構造  積層トランス１０
一次側  ５ターン／層を１層：５ターン
二次側  ５ターン／層を２層：１０ターン
磁性体；初期透磁率１００を使用
▲２▼−２  新規構造  積層トランス１０
一次側  ５ターン／層を１層：５ターン
二次側  ５ターン／層を２層：１０ターン
磁性体；初期透磁率５００を使用
▲３▼−１  新規構造  積層トランス３０
一次側  ５ターン／層を３層：１５ターン
二次側  ５ターン／層を６層：３０ターン
磁性体；初期透磁率１００を使用
▲３▼−２  新規構造  積層トランス３０
一次側  ５ターン／層を３層：１５ターン
二次側  ５ターン／層を６層：３０ターン
磁性体；初期透磁率５００を使用
そして、上記のような▲１▼〜▲３▼−２における電気特性値の結果は以下の表１に示す通りである。
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【産業上の利用可能性】  本発明に係る積層型磁性部品及びその製造方法によれば、シート成形技術及び厚膜形成技術を用いて混成シート、磁性シート、一次巻線及び二次巻線を作成できるので、本発明に係る積層型磁性部品を、精度よく、安価かつ大量に生産できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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