(57)【要約】本発明は、有機双安定材料を２つの電極間に配置したスイッチング素子であって、オン電流とオフ電流との比が大きく、かつ、しきい電圧が高く、ばらつきが少ない素子を提供する。  少なくとも２つの電極間に、印加される電圧に対して２種類の安定な抵抗値を持つ有機双安定材料からなる有機双安定材料層を配置してなるスイッチング素子において、前記有機双安定材料層と、少なくとも一方の前記電極との間に、有機材料層を設ける。この有機材料層には、導電性の微粒子が分散されていることが好ましい。
2004073079.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの電極間に、印加される電圧に対して２種類の安定な抵抗値を持つ有機双安定材料からなる有機双安定材料層を配置してなるスイッチング素子において、前記有機双安定材料層と、少なくとも一方の前記電極との間に、有機材料層が設けられていることを特徴とするスイッチング素子。
【請求項２】
前記有機材料層に導電性の微粒子が分散されている請求項１に記載のスイッチング素子。
【請求項３】
前記導電性の微粒子の平均粒径が５ｎｍ以下であり、かつ、前記有機材料層に接する電極の表面粗さＲａ以上である請求項２に記載のスイッチング素子。
【請求項４】
前記導電性の微粒子が、白金及び／又はロジウムからなる請求項２又は３に記載のスイッチング素子。
【請求項５】
前記有機材料層における、前記有機双安定材料層側の表面粗さＲａが１ｎｍ以下である請求項１〜４のいずれか１つに記載のスイッチング素子。
【請求項６】
前記有機材料層を構成する有機材料が、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリビニールアルコール、ポリスチレン、ポリビニルピロリドン、ポリイミド、ポリアクリル酸、ポリエチレンイミン、テトラメチルアンモニウム、クエン酸より選択される少なくとも１種である請求項１〜５のいずれか１つに記載スイッチング素子。
【請求項７】
前記有機材料層が塗布法により成膜されたものである請求項１〜６のいずれか１つに記載のスイッチング素子。
【請求項８】
前記有機双安定材料が、一つの分子内に、電子供与性の官能基と電子受容性の官能基とを有する化合物を少なくとも含有する請求項１〜７のいずれか１つに記載のスイッチング素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、有機ＥＬディスプレーパネルの駆動用スイッチング素子や、高密度メモリ等に利用される、有機双安定材料を２つの電極間に配置したスイッチング素子に関する。
【背景技術】  近年、有機電子材料の特性は目覚しい進展をみせている。特に、材料に電圧を印加していくと、ある電圧以上で急激に回路の電流が増加してスイッチング現象が観測される、いわゆる有機双安定材料は、有機ＥＬディスプレーパネルの駆動用スイッチング素子や、高密度メモリなどへの適用が検討されている。
図８には、上記のようなスイッチング挙動を示す有機双安定材料の、電圧−電流特性の一例が示されている。
図８に示すように、有機双安定材料は、高抵抗特性５１（ｏｆｆ状態）と、低抵抗特性５２（ｏｎ状態）との２つの電流電圧特性を持つものであり、あらかじめＶｂのバイアスをかけた状態で、電圧をしきい値電圧（Ｖｔｈ２）以上にすると、ｏｆｆ状態からｏｎ状態へ遷移し、別のしきい値電圧（Ｖｔｈ１）以下にすると、ｏｎ状態からｏｆｆ状態へと遷移して抵抗値が変化する、非線形応答特性を有している。
つまり、この有機双安定材料に、Ｖｔｈ２以上、又はＶｔｈ１以下の電圧を印加することにより、いわゆるスイッチング動作を行なうことができる。ここで、Ｖｔｈ１、Ｖｔｈ２は、パルス状の電圧として印加することもできる。
このような非線形応答を示す有機双安定材料としては、各種の有機錯体が知られている。例えば、Ｒ．Ｓ．Ｐｏｔｅｍｂｅｒ等は、Ｃｕ−ＴＣＮＱ（銅−テトラシアノキノジメタン）錯体を用い、電圧に対して、２つの安定な抵抗値を持つスイッチング素子を試作している（Ｒ．Ｓ．Ｐｏｔｅｍｂｅｒ  ｅｔ  ａｌ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．３４，（１９７９）４０５）。
また、熊井等は、Ｋ−ＴＣＮＱ（カリウム−テトラシアノキノジメタン）錯体の単結晶を用い、非線形応答によるスイッチング挙動を観測している（熊井等  固体物理３５（２０００）３５）。
更に、安達等は、真空蒸着法を用いてＣｕ−ＴＣＮＱ錯体薄膜を形成し、そのスイッチング特性を明らかにして、有機ＥＬマトリックスへの適用可能性の検討を行なっている（安達等  応用物理学会予稿集  ２００２年春  第３分冊  １２３６）。
また、上記のような２成分からなる電荷移動錯体に対して、Ｙａｎｇらは、極めて薄いＡｌ膜を２−アミノ−４，５−イミダゾール−ジカーボニトリルの薄膜で挟むことにより、単一成分からなる有機膜で上記電荷移動錯体と同様なスイッチング特性を得ている（Ｙａｎｇ  Ｙａｎｇ  ｅｔ  ａｌ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．８０，（２００３）３６２）。この構成では、それぞれが単一成分からなる薄膜であるため、従来の２成分系である電荷移動錯体と比較して、組成制御性が格段に改善されている。
しかしながら、上記のような単一分子からなる有機材料を用いたスイッチング素子にも以下の問題点があった。
即ち、図８に示されるｏｆｆ状態からｏｎ状態への転移が起こる電圧Ｖｔｈ２値に大きなばらつきが生じ、特性が安定しないことである。ばらつきの要因は未だ明らかではないが、有機材料膜と金属電極との界面に微細な凹凸があり、ｏｆｆ状態からｏｎ状態への転移が起こる際にはそこでの電界集中により電荷が有機材料膜へ注入されると考えられる。このとき、界面の凹凸は電極、有機材料膜の平坦度で定まるが、微細な凹凸については制御が困難なため、必然的にＶｔｈ２値にばらつきが生じているものと考えられる。
また、このスイッチング特性を他の素子を駆動することに応用する場合、有機双安定素子には駆動される素子の動作電圧を超えるＶｔｈ２値が要求される。この値は、例えば、有機ＥＬディスプレイパネルなどでは１０Ｖ以上必要であるが、上記の従来のスイッチング素子においてはＶｔｈ２値は３〜５Ｖと低いという問題点があった。
加えて、有機ＥＬディスプレーパネルやメモリなどに応用する場合、上記の双安定材料は単純マトリクスの構成で用いられることが通常である。このような単純マトリクスの構成では、絶縁性基板上（通常はガラス基板が用いられる）に局所的に電極がパターン形成され、下地として絶縁性基板と電極とが交互に現れ、上記の有機双安定材料は異なった２種類の物質上に、例えば蒸着によって形成されることになる。
ここで、上記の有機双安定材料は電子供与基、電子受容基の両方をもった分子量の比較的小さな分子であり、かつ分極が大きいために、粒状に成長しやすいという特徴がある。このため、金属電極上では小さな粒で緻密な膜を形成するものの、特に平坦でアモルファス構造をもったガラス基板上では大きな粒を形成しやすい。
このため従来の単純マトリクス構成では、ガラス基板上の有機双安定膜が大きな粒を形成するために、電極に隣接しているガラス基板上の有機双安定膜の粒界に起因する大きな漏れ電流が発生し、これがオフ電流を大きくするのでスイッチングのオン電流とオフ電流の比が非常に小さくなるという問題点があった。
本発明は、上記従来技術の問題点を鑑みてなされたもので、有機双安定材料を２つの電極間に配置したスイッチング素子において、Ｖｔｈ２値が大きくばらつきが少ない、かつオン電流とオフ電流との比が大きい有機双安定素子を得ることを目的とする。
【発明の開示】
すなわち、本発明のスイッチング素子は、少なくとも２つの電極間に、印加される電圧に対して２種類の安定な抵抗値を持つ有機双安定材料からなる有機双安定材料層を配置してなるスイッチング素子において、前記有機双安定材料層と、少なくとも一方の前記電極との間に、有機材料層が設けられていることを特徴とする。
本発明のスイッチング素子によれば、絶縁基板上に形成された、ｎｍオーダーの凹凸を有する電極表面上の凹凸が有機材料層により平滑化されると共に、有機双安定材料層は表面粗さの小さい有機材料層上に一様に成膜されることとなるので、均一かつ緻密な有機双安定材料層が形成できる。
これによって、ｏｆｆ状態からｏｎ状態に転移する際、通常の双安定素子に印加される電界は１０７〜１０８（Ｖ／ｍ）であるが、膜表面に凹凸がある場合はそこでの電界集中によって局所的には更に電界が増加する。この電界集中を制御することによってＶｔｈ２値の制御が可能となる。
また、このような構成とすることにより、従来のように絶縁性基板上と金属電極上との境界に大きな結晶粒をつくることもない。このために、絶縁性基板上に局所的に電極がパターン形成されるような場合でも、絶縁性基板と金属電極との境界に発生する、有機双安定材料層の大きな結晶粒の粒界に起因した漏れ電流がなくなるので、オフ電流を低減させることができ、オン電流とオフ電流との比が大きなスイッチング素子を得ることができる。
本発明においては、前記有機材料層に導電性の微粒子が分散されていることが好ましい。
この態様によれば、有機材料層に、適度な導電機能を付加することができるので、オン電流を大きくすることが可能になるという効果がもたらされる。
また、本発明においては、前記導電性の微粒子の平均粒径が５ｎｍ以下であり、かつ、前記有機材料層に接する電極の表面粗さＲａ以上であることが好ましい。
この態様によれば、図８におけるしきい値電圧Ｖｔｈ２を安定化することが可能となる。これは電界集中のばらつきを抑制することによってＶｔｈ２値のばらつきを小さくするものである。すなわち、この構成においては、微粒子分散層中の金属微粒子が電極の表面粗さ以上であるため、電界集中がそれらの金属微粒子で起こる。そして、金属微粒子の形状、大きさは予め制御可能であるため、Ｖｔｈ２値の制御が可能となる。これにより安定した転移特性を実現することが可能となる。一方、微粒子径が５ｎｍ以下とすることで、Ｖｔｈ２値を向上することができる。
また、本発明においては、前記導電性の微粒子が、白金及び／又はロジウムからなることが好ましい。
この態様によれば、導電性微粒子が酸化されにくく、大気中で安定に存在できるという効果がもたらされる。
また、本発明においては、前記有機材料層における、前記有機双安定材料層側の表面粗さＲａが１ｎｍ以下であることが好ましい。
この態様によれば、有機双安定材料層において表面凹凸に起因した電界集中をなくすることができ、その結果としてＶｔｈ２値を向上することができる。
また、本発明においては、前記有機材料層を構成する有機材料が、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリビニールアルコール、ポリスチレン、ポリビニルピロリドン、ポリイミド、ポリアクリル酸、ポリエチレンイミン、テトラメチルアンモニウム、クエン酸より選択される少なくとも１種であることが好ましい。
この態様によれば、上記の化合物は大気中で安定であり、かつスピンコート等、塗布法が適用しやすいので、特に本発明に好適に用いることができる。
また、本発明においては、前記有機材料層が塗布法により成膜されたものであることが好ましい。
この態様によれば、容易に電極表面を平滑化でき、特に表面粗さＲａが１ｎｍ以下の有機材料層の作成方法として好適である。
また、本発明においては、前記有機双安定材料が、一つの分子内に、電子供与性の官能基と電子受容性の官能基とを有する化合物を少なくとも含有することが好ましい。
この態様によれば、有機双安定材料が１成分系であるので、従来の２成分系からなる電荷移動錯体と比較して、組成制御性を格段に向上することができる。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明のスイッチング素子の一実施形態を示す概略構成図である。
図２は、本発明のスイッチング素子の他の実施形態を示す概略構成図である。
図３は、実施例１における、スイッチング素子の電流−電圧特性を示す図表である。
図４は、実施例２における、スイッチング素子の電流−電圧特性を示す図表である。
図５は、実施例３における、スイッチング素子の電流−電圧特性を示す図表である。
図６は、実施例４における、スイッチング素子の電流−電圧特性を示す図表である。
図７は、比較例３における、スイッチング素子の電流−電圧特性を示す図表である。
図８は、従来のスイッチング素子の電圧−電流特性の概念を示す図表である。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、図面を用いて本発明を詳細に説明する。図１、２は、本発明のスイッチング素子の一実施形態及び他の実施形態を示す概略構成図である。
図１に示すように、このスイッチング素子は、基板１０上に、電極層２１ａ、双安定材料層３０、有機材料層４０、電極層２１ｂが順次積層された構成となっている。
なお、本発明におけるスイッチング素子の構成は、図１のような構成には限定されず、例えば、図２に示すように、基板１０上に局部的に形成された電極層２１ａ、有機材料層４０、双安定材料層３０、電極層２１ｂが順次積層された構成となっていてもよい。
まず、上記のスイッチング素子を構成する材料について説明する。
基板１０としては特に限定されないが、絶縁性を有する従来公知のガラス基板等が好ましく用いられる。
電極層２１ａ、２１ｂとしては、アルミニウム、金、銀、ニッケル、鉄などの金属材料や、ＩＴＯ、カーボン等の無機材料、共役系有機材料、液晶等の有機材料、シリコンなどの半導体材料などが適宜選択可能であり、特に限定されない。
双安定材料層３０を構成する双安定材料としては、一つの分子内に電子供与性の官能基と、電子受容性の官能基とを有する化合物を少なくとも含有する有機双安定化合物が好適であるが、それに限定されるものではなく、双安定性を有する材料であればよい。
このような有機双安定化合物としては、アミノイミダゾール系化合物、ジシアノ系化合物、ピリドン系化合物、イミン系化合物、キノン系化合物、スチリル系化合物、スチルベン系化合物、ブタジエン系化合物等の公知の化合物が挙げられるが、特にそれに限定されることはない。
有機材料層４０としては、基板１０上に形成されたナノメーター（ｎｍ）オーダーの凹凸を有する電極層の表面上の凹凸が平滑化される材料であればよく特に限定されないが、例えば、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリビニールアルコール、ポリスチレン、ポリビニルピロリドン、ポリイミド、ポリアクリル酸、ポリエチレンイミン、テトラメチルアンモニウム、クエン酸などの有機材料が好適に使用可能である。
また、有機材料層４０には導電性を有する微粒子を分散させることが好ましい。導電性微粒子としては、例えば、白金、ロジウム、金、銅やアルミ等の微粒子を用いることができるが、なかでも白金又はロジウムを用いることが好ましい。
また、この導電性の微粒子の平均粒径が５ｎｍ以下であり、かつ、前記有機材料層に接する電極の表面粗さＲａ以上であることが好ましい。
これにより、電界集中のばらつきを抑制して図８におけるしきい値電圧Ｖｔｈ２のばらつきを小さくできる。すなわち、この構成においては、微粒子分散層中の金属微粒子が電極の表面粗さ以上であるため、電界集中がそれらの金属微粒子で起こる。そして、金属微粒子の形状、大きさは予め制御可能であるため、しきい値電圧Ｖｔｈ２の制御が可能となる。これにより安定した転移特性を実現することが可能となる。
例えば、ガラス基板上に真空蒸着により成膜したアルミニウム電極膜の表面粗さは、通常、表面粗さ（Ｒａ）１〜３ｎｍ程度の範囲にある。粗さが小さいほど電界集中が小さくＶｔｈ２値は大きくなり、粗さが大きいほどＶｔｈ２値は小さくなる。電極膜表面粗さより大きな導電性粒子を当該有機材料膜中に分散した場合、電界集中は当該導電性粒子で大きくなる。したがって、導電性粒子径のばらつきを電極膜表面粗さのばらつきより小さく抑制することにより、Ｖｔｈ２値のばらつきを小さくすることができる。
例えば、表面粗さＲａが１〜３ｎｍのばらつきのあるアルミニウム電極面上に平均粒径４±０．５ｎｍの金属微粒子を含む層を形成すると、電界集中はこの金属微粒子で起こるため、Ｖｔｈ２値の絶対値は減少するが、金属微粒子の大きさのばらつきを抑制することにより、Ｖｔｈ２値のばらつきは小さく抑制されるものである。
一方、微粒子径が５ｎｍを超えて大きくなると、Ｖｔｈ２値の減少が著しくなるので好ましくない。
なお、本発明における表面粗さＲａとは、ＪＩＳ−Ｂ０６０１に規定される測定値である。
次に、上記のスイッチング素子の製造方法について説明する。
上記の電極層２１ａ、有機材料層４０、双安定材料層３０、電極層２１ｂは、基板１０上に順次薄膜として形成されることが好ましい。
電極層２１ａ、２１ｂの形成方法としては、真空蒸着法等の従来公知の方法が好ましく用いられ、特に限定されない。特に図２に示すように基板１０上に局部的に第１の電極層２１ａを形成する場合には、真空蒸着によってシャドウマスクを用いて真空下で基板１０上へマスク蒸着することが好ましいが、これに限られず、フォトプロセス等、従来公知の方法が用いられる。
双安定材料層３０の形成方法としては、スピンコート法、電解重合法、化学蒸気堆積法（ＣＶＤ法）、単分子膜累積法（ＬＢ法）、ディップ法、バーコート法、インクジェット法、スクリーン印刷法等の有機薄膜の製法が用いられ特に限定されないが、上記の電極層と同じ真空蒸着法を用いることが好ましい。
蒸着時の基板温度は、使用する電極材料及び双安定材料によって適宜選択されるが、電極層２１ａ、２１ｂの形成においては０〜１５０℃が好ましく、双安定材料層３０の形成においては、０〜１００℃が好ましい。
双安定材料層３０を塗布法で形成する場合の塗布溶剤としては、ハロゲン系のジクロロメタン、ジクロロエタン、クロロホルム、エーテル系のテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、エチレングリコールジメチルエーテル、芳香族のトルエン、キシレン、アルコール系のエチルアルコール、エステル系の酢酸エチル、酢酸ブチル、ケトン系のアセトン、ＭＥＫ，その他アセトニトリル等が好ましく用いられるが、これらに限定されない。
上記の溶剤中に質量比で０．００１〜３０％の範囲で双安定材料を溶解させ、また必要に応じてバインダー樹脂を加えて塗布液とすればよい。バインダー樹脂としてはポリカーボネート、ポリエステル、ポリビニールアルコール、ポリスチレン等の材料が適用可能であり特に限定されない。
スピンコート条件としては通常、目標膜厚に応じて回転数２００〜３６００ｒｐｍの範囲で選定されるが、それに限定されるものではない。
有機材料層４０の形成方法としては、上記の双安定材料層３０の形成方法と同様に、真空蒸着法、スピンコート法、電解重合法、化学蒸気堆積法（ＣＶＤ法）、単分子膜累積法（ＬＢ法）、ディップ法、バーコート法、インクジェット法、スクリーン印刷法等の有機薄膜の塗布法が用いられ特に限定されない。
有機材料層４０を塗布法で形成する場合の塗布溶剤としては、特に微粒子として白金、ロジウム等の金属を用いる場合は、当該材料の分散が容易なアルコール系のエチルアルコール、メチルアルコール、プロピルアルコール、グリコール系のエチレングリコール、エーテル系のテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、エチレングリコールジメチルエーテル、もしくは純水が望ましいが、それに限定されない。
上記の溶剤中に有機材料を質量比で０．００１〜３０％の範囲で溶解させ、同時、もしくはそれに追加して、導電性微粒子を０．００１〜３０％の範囲で分散させて塗布液とすることができる。スピンコート条件としては通常、目標膜厚に応じて回転数２００〜３６００ｒｐｍの範囲で選定されるが、それに限定されるものではない。
この有機材料層４０は、双安定材料層３０と接する側の表面粗さＲａが１ｎｍ以下であることが好ましい。表面粗さＲａが１ｎｍを超えると、双安定材料層３０において表面凹凸に起因した電界集中が生じ、その結果としてＶｔｈ２値が向上できないので好ましくない。
また、各層の膜厚は、電極層２１ａ、２１ｂとしては５０〜２００ｎｍが好ましく、有機材料層４０としては３〜２００ｎｍ、双安定材料層３０としては２０〜１５０ｎｍが好ましい。
上記の製造方法によって得られる本発明のスイッチング素子では、有機材料層４０により表面の凹凸のない均一な平面を形成するために、有機双安定材料も大面積に渡り均一に形成され、膜全体にわたって緻密な膜を得る事が出来る。
これにより、単一の分子組成においてドナーとアクセプタの両方の機能を持った有機双安定材料を用いたスイッチング素子において、しきい値電圧Ｖｔｈ２を安定化し、向上させることが可能となる。また、絶縁性基板と金属電極との境界に存在する有機膜の粒界に起因した漏れ電流を低減させることができる。
以下、実施例を用いて、本発明のスイッチング素子について更に詳細に説明する。
【実施例１】  以下の手順で、図１に示すような構成のスイッチング素子を作成した。
基板１０としてガラス基板を用い、電極層２１ａとしてアルミニウムを真空蒸着法により、双安定材料層３０としてジシアノ系化合物をスピンコートにより、有機材料層４０をスピンコートにより、電極層２１ｂとしてアルミニウムを真空蒸着法により、順次薄膜を形成し、実施例１のスイッチング素子を形成した。
ジシアノ系化合物としては、下記の構造式の化合物を用いた。ジシアノ系化合物の塗布は、塗布溶剤としてＴＨＦを用い、ジシアノ系化合物を１．０ｗｔ％溶解させ、スピンコート法で回転数２４００ｒｐｍの条件で成膜した。
2004073079.tif 000003
また、有機材料層４０としては純水中に平均直径２ｎｍの白金微粒子を０．１ｗｔ％分散させ、ポリビニールアルコールを０．０５ｗｔ％溶解させた液を用い、スピンコート法で回転数３６００ｒｐｍの条件で成膜した。
なお、電極層２１ａ、双安定材料層３０、有機材料層４０、電極層２１ｂは、それぞれ、１００ｎｍ、８０ｎｍ、５ｎｍ、１００ｎｍの厚さとなるように成膜した。
また、蒸着装置は拡散ポンプ排気で、３×１０−６ｔｏｒｒの真空度で行ない、アルミニウムの蒸着は、抵抗加熱方式により成膜速度は３Å／ｓｅｃで行った。
【実施例２】  金属微粒子として平均直径４ｎｍの白金微粒子を用い、有機材料層４０の厚さを１０ｎｍとした以外は、実施例１と同一の条件で、実施例２のスイッチング素子を得た。
【実施例３】  ジシアノ系化合物として、下記の構造式の化合物を用い、各蒸着層の厚さを、電極層２１ａ、双安定材料層３０、有機材料層４０、電極層２１ｂが、それぞれ１００ｎｍ、１００ｎｍ、５ｎｍ、１００ｎｍの厚さとなるように、実施例１と同一の条件で成膜して、実施例３のスイッチング素子を得た。
2004073079.tif 000004
比較例１
有機材料層４０を形成しない他は、実施例１と同一の条件で成膜して、比較例１のスイッチング素子を得た。
比較例２
有機材料層４０を形成しないは、実施例３と同一の条件で成膜して、比較例２のスイッチング素子を得た。
試験例１
上記の実施例１、２、３のスイッチング素子について、電流−電圧特性を室温環境で各素子について２０点の測定を行い、図８における閾値電圧である、低閾値電圧Ｖｔｈ１、高閾値電圧Ｖｔｈ２を測定した。
結果をまとめて表１に示す。また、図３、４、５には、それぞれ、実施例１、２、３のスイッチング素子についての電流−電圧特性を示す。
なお、測定条件としては、各スイッチング素子には、１ＭΩの電気抵抗を直列に接続し、ＯＮ状態の電流を制限して過電流による素子の損傷を抑制した。
2004073079.tif 000005
表１から明らかなように、実施例１、２と比較例１を比較すると、Ｖｔｈ２の平均値は実施例１、２が比較例１より小さくなっているが、ばらつきは小さく抑制されており、本発明の効果が現れている。実施例３と比較例２においても同様の効果が認められている。
また、図３〜５から明らかなように、実施例１〜３においては、低閾値電圧Ｖｔｈ１が−０．１２〜０．３３Ｖ、高閾値電圧Ｖｔｈ２が２．６４〜３．５６Ｖ、及び低抵抗状態／高抵抗状態の比として約１０３以上の値が得られており、双安定特性として良好な結果が得られていた。
【実施例４】  以下の手順で、図２に示すような構成のスイッチング素子を作成した。
基板１０としてガラスを用い、ガラス基板１０の表面にシャドウマスクを用いて真空蒸着法によりアルミニウムをパターニングして第１の電極層２１ａを形成後、白金を分散させたポリビニルピロリドン膜をスピンコート法により塗布して有機材料層４０を形成した。
その後、順次、双安定材料層３０として下記に示すアミノイミダゾールジシアネートの蒸着、第２の電極層２１ｂとしてアルミニウムのマスク蒸着を行い、実施例４のスイッチング素子を形成した。
2004073079.tif 000006
なお有機材料層４０には、原料として１０％ポリビニルピロリドン溶液に平均粒径２ｎｍの白金微粒子（田中貴金属製）を４重量％混合したものを用い、これをエタノール溶媒で２０倍に希釈した溶液をスピンコート法により塗布し、１１０℃で１時間乾燥させた。
また、電極層２１ａ、有機材料層４０、双安定材料層３０、電極層２１ｂの膜厚が、それぞれ、１００ｎｍ、４０ｎｍ、８０ｎｍ、１００ｎｍとなるように成膜した。
また、電極層２１ａ、２１ｂとしてのアルミニウム及び双安定材料層３０としてのアミノイミダゾールジシアネートの蒸着は、拡散ポンプ排気で３１０−６ｔｏｒｒの真空度にして行ない、アルミニウムの蒸着は、抵抗加熱方式により成膜速度は３Å／ｓｅｃ、アミノイミダゾールジシアネートの蒸着は、抵抗加熱方式で成膜速度は２Å／ｓｅｃで行った。
【実施例５】  有機双安定層として下記のキノメタン系化合物を、また、電極層２１ｂとして金を用いた以外は実施例１と同一の条件で、電極層２１ａ、有機材料層４０、双安定材料層３０、電極層２１ｂの各層の膜厚が、それぞれ１００ｎｍ、４０ｎｍ、８０ｎｍ、１００ｎｍの厚さとなるように成膜して実施例５のスイッチング素子を得た。
2004073079.tif 000007
【実施例６】  有機材料層４０として白金を分散させないポリビニルピロリドン膜を形成した以外は、実施例４と同一の条件で成膜して、実施例６のスイッチング素子を得た。
比較例３
有機材料層４０を成膜しなかった他は実施例４と同一の条件で成膜して、比較例３のスイッチング素子を得た。
比較例４
有機材料層４０を成膜しなかった他は実施例５と同一の条件で成膜して、比較例４のスイッチング素子を得た。
試験例２
原子間力顕微鏡を用いて表面粗さＲａを評価したところ、比較例３、４ではアルミニウム電極膜表面においても１．４ｎｍあり、さらにはアルミニウム膜をパターニングに起因する凹凸も存在するのに対し、実施例４、５に用いた有機材料層４０の表面は、その表面粗さＲａが０．１ｎｍと、実施例６でも同様にＲａは０．１ｎｍ程度と滑らかであった。
次に、上記の実施例４〜６および比較例３、４のスイッチング素子について、マトリクス電極を用いて電流−電圧特性を室温環境で測定し、高抵抗状態から低抵抗状態への遷移を観測した。このときの、高抵抗状態から低抵抗状態へ遷移するしきい電圧Ｖｔｈ２、および図８におけるバイアス電圧Ｖｂにおける、低抵抗状態での電流値（ｏｎ電流）Ｉｏｎ、高抵抗状態での電流値（ＯＦＦ電流）Ｉｏｆｆを測定した結果を表２に示す。
なお、測定条件として、各スイッチング素子には、１ＭΩの範囲の電気抵抗を直列に接続し、ＯＮ状態の電流を制限して過電流による素子の損傷を抑制した。また、Ｖｂとしてはしきい電圧Ｖｔｈ２の半分の電圧を用いた。
2004073079.tif 000008
また、実施例４及び比較例３のスイッチング素子についての電流−電圧特性を図６及び図７に示す。
表２及び図６、７に示す結果から、実施例４、比較例３のスイッチング素子いずれにおいても高抵抗状態７１、８１、及び低抵抗状態７２、８２と双安定性が得られているが、しきい電圧、オン電流とオフ電流との比ともに明らかに本発明による実施例４のスイッチング素子の方が優れていることがわかる。
すなわち、図６に示す実施例４のスイッチング素子において、高抵抗状態７１ではｏｆｆ電流（高抵抗状態での電流）は３．８×１０−８Ａ／ｃｍ２程度となっているが、しきい電圧Ｖｔｈ２＝５．４Ｖにおいて高抵抗状態７１から低抵抗状態７２へ遷移し、低抵抗状態におけるｏｎ電流（低抵抗状態での電流）は１．１×１０−４Ａ／ｃｍ２となっている。この際の低抵抗状態／高抵抗状態の比として、約３×１０３が得られた。
これに対し比較例３では、高抵抗状態８１から低抵抗状態へと双安定性が得られているものの、しきい電圧Ｖｔｈ２＝１．８Ｖ、ｏｎ／ｏｆｆ比＝６と、ともに実施例４と比較して大変低い値にとどまっている。
また同様に、有機材料層４０のない比較例４ではしきい電圧Ｖｔｈ２＝４．６Ｖ、ｏｎ／ｏｆｆ比＝約１５０であるが、有機材料層４０のある実施例５では、それぞれしきい電圧Ｖｔｈ１＝７．２Ｖ、ｏｎ／ｏｆｆ比＝約６×１０３、実施例６ではＶｔｈ１＝８．０Ｖ、ｏｎ／ｏｆｆ比＝約７×１０３と、有機材料層のない素子に比べて格段に特性が改善されていることがわかる。
【産業上の利用可能性】  以上説明したように、本発明によれば、材料組成の変動を抑制して均一な双安定特性を得ることができ、量産に適するスイッチング素子を提供できる。したがって、このスイッチング素子は、有機ＥＬディスプレーパネルの駆動用スイッチング素子や、高密度メモリ等に好適に利用できる。
【図１】
2004073079.tif 000009
【図２】
2004073079.tif 000010
【図３】
2004073079.tif 000011
【図４】
2004073079.tif 000012
【図５】
2004073079.tif 000013
【図６】
2004073079.tif 000014
【図７】
2004073079.tif 000015
【図８】
2004073079.tif 000016
【国際調査報告】
2004073079.tif 000017
2004073079.tif 000018
2004073079.tif 000019
2004073079.tif 000020