(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に液体を噴射塗布して薄膜を形成する塗布装置において、
複数のノズルを有し、これらノズル毎の圧電振動子の駆動により、各ノズルから前記基板上に液体を吐出するヘッドと、
前記ノズル毎に求められた、前記各圧電振動子の駆動電圧と前記各ノズルからの前記液体の吐出量との相関データが、前記ノズルに対応付けられて記憶された記憶手段と、
前記各ノズルから目標吐出量の前記液体を得るのに必要な前記各圧電振動子の駆動電圧を、前記ノズル毎に、当該ノズルに対応する前記相関データに基づいてそれぞれ求める演算手段と、
前記演算手段で求めた前記ノズル毎の駆動電圧をそれぞれ対応する前記ノズルの前記圧電振動子に対し設定する制御手段と、
前記演算手段で求められた前記駆動電圧が、前記各圧電振動子の駆動電圧の許容最大値および許容最小値の範囲内に収まっているか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段の判定結果が肯定の場合に、前記各圧電振動子の駆動を許容する制御手段と、
前記判定手段の判定結果が否定の場合に、警告を発する制御手段と、
を備えていることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
表示手段と、
前記相関データを相関グラフとして前記表示手段で表示させる制御手段と、
をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記判定手段の判定結果が否定の場合に、許容操作に応じて前記各圧電振動子の駆動を許容する制御手段、
をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記各圧電振動子の駆動電圧の許容最大値および許容最小値を、前記相関データから検出する検出手段をさらに有し、
前記判定手段は、前記演算手段で求められた駆動電圧が、前記検出手段で検出された許容最大値および許容最小値の範囲内に収まっているか否かを判定することを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
【請求項５】
基板上に液体を噴射塗布して薄膜を形成する塗布装置において、
複数のノズルを有し、これらノズル毎の圧電振動子の駆動により、各ノズルから前記基板上に液体を吐出するヘッドと、
前記ヘッドに設けられたヘッド制御部と、
前記ヘッド制御部との間でデータの送受信を行う主制御部と、
前記ヘッド制御部に設けられ、前記ノズル毎に求められた、前記各圧電振動子の駆動電圧と前記各ノズルからの前記液体の吐出量との相関データが、前記ノズルに対応付けられて記憶された記憶手段と、
前記主制御部に設けられ、前記記憶手段から前記相関データを取得し、前記各ノズルから目標吐出量の前記液体を得るのに必要な前記各圧電振動子の駆動電圧を、前記ノズル毎に、当該ノズルに対応する前記相関データに基づいてそれぞれ求める演算手段と、
前記ヘッドに設けられ、前記ヘッド制御部の制御下において、前記演算手段で求められた前記ノズル毎の駆動電圧をそれぞれ対応する前記ノズルの前記圧電振動子に加える駆動回路と、
前記主制御部に設けられ、前記演算手段で求められた前記駆動電圧が、前記各圧電振動子の駆動電圧の許容最大値および許容最小値の範囲内に収まっているか否かを判定し、判定結果が肯定の場合に前記各圧電振動子の駆動を許容し、前記判定結果が否定の場合に警告を発する制御手段と、
を備えていることを特徴とする塗布装置。
【請求項６】
複数のノズルを有し、これらノズル毎の圧電振動子の駆動により、各ノズルから液体を吐出するヘッドと、
前記ノズル毎に求められた、前記各圧電振動子の駆動電圧と前記各ノズルからの前記液体の吐出量との相関データが、前記ノズルに対応付けられて記憶された記憶手段と、
前記各ノズルから目標吐出量の前記液体を得るのに必要な前記各圧電振動子の駆動電圧を、前記ノズル毎に、当該ノズルに対応する前記相関データに基づいてそれぞれ求める演算手段と、
前記演算手段で求めた前記ノズル毎の駆動電圧をそれぞれ対応する前記ノズルの前記圧電振動子に対し設定する制御手段と、
前記演算手段で求められた前記駆動電圧が、前記各圧電振動子の駆動電圧の許容最大値および許容最小値の範囲内に収まっているか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段の判定結果が肯定の場合に、前記各圧電振動子の駆動を許容する制御手段と、
前記判定手段の判定結果が否定の場合に、警告を発する制御手段と、
を備えていることを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、基板上に液体を噴射塗布して機能性薄膜を形成する塗布装置、塗布装置の制御方法、および液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  一般に、液晶表示装置の製造工程では、ガラス基板の表面に配向膜やレジスト等の機能性薄膜が形成される。この機能性薄膜の形成には、その機能性薄膜の材料となる液体を基板上に噴射塗布するインクジェット方式の塗布装置（液体吐出装置ともいう）が用いられる。【０００３】  この塗布装置は、基板を搬送するための搬送テーブルを有し、搬送テーブルの上方に複数のヘッドを備えている。これらヘッドの下面には、内部の液室に連通する複数のノズルが穿設されており、これらノズルごとに設けられた駆動素子たとえば圧電振動子が駆動されることにより、各ノズルから基板上に液室内の液体が吐出される（例えば特開平９−１０５９３７号公報に記載されている）。【０００４】  このような塗布装置では、各ノズルの目標吐出量が設定されると、その設定された目標吐出量に対応する同じ大きさの駆動電圧が各圧電振動子に加えられる。【０００５】  しかしながら、各圧電振動子には特性のばらつきがあるため、各ノズルの吐出量は必ずしも目標吐出量に合致しない。【０００６】  このような不都合に対処するために、従来、作業員の手作業により次のような調整作業が行われる。
（１）各ノズルに対応する圧電振動子のそれぞれに対して同じ大きさの駆動電圧を加える。【０００７】  （２）各ノズルの吐出量が規定量であるか否かを、秤量装置などを用いて確認する。【０００８】  （３）確認した吐出量が規定量より少ないか多いかに応じて、各圧電振動子に加える駆動電圧を増減する。【０００９】  （４）調整後、各ノズルの吐出量が規定量であるか否かを、秤量装置などで再び確認する。【００１０】  （５）全てのノズルの吐出量が規定量に一致するまで、上記の作業を繰り返す。
【発明の開示】
【００１１】  上記の調整作業は、煩雑でしかも多くの時間を要し、塗布装置の生産性を向上させる上での大きな妨げとなっている。
【００１２】  また、調整作業に作業員の個人差が生じるので、吐出量調整の信頼性が低く、基板上に機能性薄膜を形成する場合にはその品質を安定させることが困難となる不具合があった。
【００１３】  この発明の目的は、各ノズルの液体の吐出量を目標吐出量に容易かつ迅速に設定することができ、ひいては生産性および品質の向上が図れる塗布装置、塗布装置の制御方法、および液体吐出装置を提供することである。
【００１４】
この発明の塗布装置は、基板上に液体を噴射塗布して薄膜を形成するものであって、複数のノズルを有し、これらノズルごとの駆動素子の駆動により、各ノズルから基板上に液体を吐出するヘッドと、上記各駆動素子の制御因子と上記各ノズルの吐出量との相関がそのノズル毎に求められ相関データとして記憶された記憶手段と、上記各ノズルから目標吐出量を得るのに必要な上記各駆動素子の制御因子を、上記相関データから求める演算手段と、この演算手段で求められた制御因子を上記各駆動素子に対し設定する制御手段と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、各実施形態の全体的な構成を示す図である。
【図２】図２は、各実施形態におけるヘッドの内部の構成を示す図である。
【図３】図３は、各実施形態における各ヘッドを下方から見た図である。
【図４】図４は、各実施形態における制御回路の要部のブロック図である。
【図５】図５は、各実施形態における相関データテーブルのフォーマットを示す図である。
【図６】図６は、第１の実施形態における表示画面を示す図である。
【図７】図７は、第１の実施形態の作用を説明するためのフローチャートである。
【図８】図８は、第２の実施形態における表示画面を示す図である。
【図９】図９は、第３の実施形態における表示画面を示す図である。
【図１０】図１０は、第４の実施形態における表示画面を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】  ［１］以下、この発明の第１の実施形態について図面を参照して説明する。
図１において、１は塗布装置のベースで、数個の支持脚２によって水平状態に支持されている。このベース１の両側部に取付板３がそれぞれ設けられ、その取付板３にそれぞれガイド部材４とスライド部材５を介して搬送テーブル６が移動可能に設けられている。搬送テーブル６には、ガラス基板あるいは半導体ウエハ等の基板Ｗが、着脱自在に載置されている。搬送テーブル６がベース１上を移動することにより、その移動に伴って基板Ｗが搬送される。【００１７】  また、ベース１上には、上記搬送テーブル６の移動方向と直交する方向にその搬送テーブル６を跨いで、支持枠７が設けられている。この支持枠７の内側に取付部材８が設けられ、その取付部材８に複数のヘッド９が並んで保持されている。これらヘッド９の全体の配列長は、基板Ｗの幅とほぼ同等あるいはそれより僅かに長く設定されている。【００１８】  ヘッド９の断面を図２に示し、各ヘッド９の下方から見た状態を図３に示している。すなわち、ヘッド９は、ヘッド本体１１の下面に可撓板１３が設けられている。この可撓板１３を覆う状態にノズルプレート１４が設けられ、そのノズルプレート１４には多数の液室１５が形成されている。そして、ノズルプレート１４は、各液室１５と対向する位置にノズル１６が設けられている。可撓板１３における各ノズル１６と対応する位置に駆動素子である圧電振動子１７がヘッド本体１１に内蔵して設けられている。これら圧電振動子１７にパルス状の電圧が加えられることにより各圧電振動子１７が振動し、その振動に伴って可撓板１３が変形し、その変形により各液室１５に吐出圧力が加わる。【００１９】  各液室１５はノズルプレート１４に形成された主管１８に通じ、その主管１８の一端側がヘッド本体１１内の流路１９を介して給液管２０に導通し、主管１８の他端側がヘッド本体１１内の流路２１を介して排液管２２に導通している。図示しない液体タンクに収容されているポリミイド溶液やレジスト溶液などの液体が、給液管２０および流路１９を通って主管１８に導入される。導入された液体は、各液室１５に流入し、各圧電振動子１７の振動に基づく可撓板１３の変形を受けて、ノズル１６から下方の搬送テーブル６上に載置された基板Ｗに向け吐出される。各液室１５に流入しなかった残りの液体は、流路２１および排液管２２を通って液体タンクに戻る。【００２０】  一方、ヘッド９の個々に対し、図４に示す駆動回路３０およびヘッド制御部４０が設けられている。
駆動回路３０は、各圧電振動子１７に対する矩形波状の駆動電圧Ｖａ，Ｖｂ，…Ｖｎを出力する電源回路たとえばシリアル−パラレル変換回路３１、このシリアル−パラレル変換回路３１から各圧電振動子１７に加わる駆動電圧Ｖａ，Ｖｂ，…Ｖｎをそれぞれ調整する電圧調整回路３２などを備えている。【００２１】  シリアル−パラレル変換回路３１は、ヘッド制御部４０から一定周期で繰り返し供給される矩形波状のシリアル信号電圧Ｖｏに応じて、各圧電振動子１７に対する駆動電圧Ｖａ，Ｖｂ，…Ｖｎをパラレルに出力する。各電圧調整回路３２は、ヘッド制御部４０からの指令に応じて、圧電振動子１７に加わる電圧のレベルを調整する。【００２２】  上記ヘッド制御部４０は、ＣＰＵ４１、メモリ（記憶手段）４２、通信ユニット４３を有している。メモリ４２は、上記各圧電振動子１７に加わる駆動電圧と上記各ノズル１６の吐出量との相関データを相関データテーブルとして記憶している。相関データテーブルは、図５に示すように、駆動電圧（ｖ）と吐出量（ｇ）との関係を、ノズル１６とそのノズル１６に対応する圧電振動子１７との組ごとにそれぞれ対応付けたもので、ノズル番号としていわゆるチャンネル番号ＣＨ０１，ＣＨ０２…を用いている。また、この相関データテーブルは、予め実験により取得したデータに基づいて作成される。通信ユニット４３は、ＣＰＵ４１と主制御部５０との間のデータの送受信を行う。ＣＰＵ４１は、主制御部５０からの指令に応じて、上記各電圧調整回路３２を制御する。なお、駆動電圧（ｖ）に対する吐出量（ｇ）は、ノズル１６から吐出された液体の重量を、秤量器を用いて計測することで取得することができる。またこのとき、１回当たりの吐出量が微少であるときには、複数回の吐出によって吐出された液体の総重量を計量し、この計量結果を吐出回数で除算することで１回当たりの吐出によって吐出された液体の重量を求めるようにするとよい。なお、吐出量の単位を、便宜上グラム（ｇ）としたが、設定する吐出量に合わせてマイクログラム（μｇ）、ナノグラム（ｎｇ）に変更すればよいことは言うまでもない。【００２３】  上記主制御部５０は、ＣＰＵ５１、操作部５２、表示部５３、メモリ５４、および通信ユニット５５を有し、各ヘッド制御部４０を統括的に制御するもので、管理室などに設置される。操作部５２は、各ノズル１６に対する目標吐出量の設定用である。通信ユニット５５は、ＣＰＵ５１と各ヘッド制御部４０との間のデータの送受信を行う。【００２４】  ＣＰＵ５１は、主要な機能として、次の（１）〜（９）を有している。
（１）操作部５２で目標吐出量Ｄｔが設定されたとき、あるいは各ヘッド９のいずれかが交換されてその旨の操作入力が操作部５２であったとき、各ヘッド制御部４０のメモリ４２から相関データを取得する手段。【００２５】  （２）上記取得した相関データから相関グラフを作成する手段。【００２６】  （３）各圧電振動子１７に加える駆動電圧の許容最大値および許容最小値を、上記取得した相関データから検出する検出手段。【００２７】  （４）上記作成した相関グラフを表示部５３で表示するとともに、その表示画面中に、上記検出した許容最大値および許容最小値を表示する制御手段。この表示例を図６に示している。【００２８】  （５）上記取得した相関データに基づいて、各ノズル１６から目標吐出量を得るのに必要な各圧電振動子１７の制御因子である駆動電圧Ｖｘを、全てのヘッド９の全てのノズル１６について求める演算手段。
（６）上記求められた駆動電圧Ｖｘが、上記検出された許容最大値および許容最小値の範囲内に収まっているか否かをヘッド９ごとに判定する判定手段。【００２９】  （７）上記判定結果が肯定の場合に、対応するヘッド９の各圧電振動子１７の駆動を許容する制御手段。【００３０】
（８）上記判定手段の判定結果が否定の場合、対応するヘッド９の主制御部５０における表示部５３で表示による警告を発する制御手段。
【００３１】
（９）上記判定結果が否定の場合、主制御部５０の操作部５２で許容の旨の操作があれば、対応するヘッド９の各圧電振動子１７の駆動を許容し、主制御部５０の操作部５２で禁止操作があれば、対応するヘッド９の各圧電振動子１７の駆動を禁止する制御手段。
【００３２】  つぎに、上記の構成の作用を図７のフローチャートを参照しながら説明する。
主制御部５０の操作部５２で目標吐出量Ｄｔが設定されると、その目標吐出量Ｄｔが主制御部５０のメモリ５４に更新記憶される。【００３３】  この目標吐出量Ｄｔの設定時（ステップ１０１のＹＥＳ）、あるいは各ヘッド９のいずれかが交換されてその旨の操作入力が操作部５２であったとき（ステップ１０２のＹＥＳ）、各ヘッド制御部４０のメモリ４２から主制御部５０に相関データが取得される（ステップ１０３）。そして、取得された相関データから、駆動電圧と吐出量の相関グラフが作成されるとともに（ステップ１０４）、各駆動電圧の許容最大値Ｖｍａｘおよび許容最小値Ｖｍｉｎが検出される（ステップ１０５）。各駆動電圧には吐出量が飽和してしまうレベルがある。すなわち、駆動電圧を増加させても吐出量がそれ以上増加しない上限の飽和レベルと、駆動電圧を減少させても吐出量がそれ以上減少しない下限の飽和レベルである。そして、全てのノズル１６から得られた上限の飽和レベルのうち、もっとも低い飽和レベルが、許容最大値Ｖｍａｘとして検出される。また、下限の飽和レベルのうちもっとも高い飽和レベルが、許容最小値Ｖｍｉｎとして検出される。【００３４】  作成された相関グラフ、および検出された許容最大値Ｖｍａｘ、許容最小値Ｖｍｉｎは、図６に示すように、表示部５３で表示される（ステップ１０６）。表示される情報は、各ヘッド９のうち、操作部５２で指定されたヘッド９についての情報である。操作部５２の指定を切換えることにより、全てのヘッド９についての情報を切換表示することができる。【００３５】  図６の相関グラフは分かり易いように４つの相関データのみ示しているが、実際にはヘッド９における全てのノズル１６についての相関データが表示される。許容最大値Ｖｍａｘおよび許容最小値Ｖｍｉｎは、相関グラフ中に点線で表示されるとともに、実際の値が相関グラフの横の表示窓に表示される。また、表示部５３の表示画面には、相関グラフおよび上記表示窓のほかに、目標吐出量Ｄｔ、ヘッド番号、ノズル番号、コメントのそれぞれ表示窓が存在する。目標吐出量Ｄｔの表示窓には、操作部５２で設定される目標吐出量Ｄｔの値が表示される。ヘッド番号の表示窓には、上記指定されたヘッド９に固有のヘッド番号が表示される。ノズル番号の表示窓には、相関グラフ中に表示されている各相関データのうち、操作部５２の操作でカーソル指定される相関データに対応するノズル１６のノズル番号が表示される。コメント表示窓には、後述する警告文などが表示される。このように、表示部５３は操作部５２と共に操作手段を構成する。【００３６】  一方、上記取得された相関データに基づいて、メモリ５４内の目標吐出量Ｄｔを各ノズル１６から得るのに必要な各圧電振動子１７の駆動電圧Ｖｘが、全てのヘッド９の各ノズル１６について求められる（ステップ１０７）。そして、求められた駆動電圧Ｖｘが、上記検出された許容最大値Ｖｍａｘおよび許容最小値Ｖｍｉｎの範囲内に収まっているか否かが、ヘッド９ごとに判定される（ステップ１０８）。【００３７】  各ノズル１６の駆動電圧Ｖｘが許容最大値Ｖｍａｘおよび許容最小値Ｖｍｉｎの範囲内に収まっていれば（ステップ１０８のＹＥＳ；判定結果が肯定）、対応するヘ��ド９の各圧電振動子１７の駆動が許容される（ステップ１０９）。この場合、対応するヘッド９のヘッド制御部４０に対し、主制御部５０から、各圧電振動子１７の駆動電圧Ｖｘのデータおよび駆動指令が送られる。このデータおよび駆動指令を受けたヘッド制御部４０は、各圧電振動子１７にそれぞれ駆動電圧Ｖｘが加わるように、各電圧調整回路３２を制御する。【００３８】  こうして、各圧電振動子１７が駆動されることにより、各ノズル１６から液体が吐出される。【００３９】  各ノズル１６の駆動電圧Ｖｘのうち、例えばノズル番号“３０”のノズル１６の駆動電圧Ｖｘが許容最大値Ｖｍａｘまたは許容最小値Ｖｍｉｎの範囲から外れていれば（ステップ１０８のＮＯ；判定結果が否定）、ノズル番号“３０”のノズル１６を有するヘッド９についての表示画面（図６）が表示部５３で表示され、その表示画面中のコメント表示窓に警告文が表示される（ステップ１１０）。この警告文は、ノズル番号“３０”のノズル１６から目標吐出量Ｄｔを得ることができない旨を、主制御部５０が設置されている管理室の作業員に知らせるためのものである。【００４０】
警告文が表示されている状態であっても、主制御部５０の操作部５２で許容の旨の操作があれば（ステップ１１１のＹＥＳ）、対応するヘッド９の各圧電振動子１７の駆動が許容される（ステップ１０９）。これは、ノズル番号“３０”のノズル１６から目標吐出量を得ることができなくても構わないと作業員が判断した場合であって、対応するヘッド９のヘッド制御部４０に対し、主制御部５０から、各圧電振動子１７の駆動電圧Ｖｘのデータおよび駆動指令が送られる。このデータおよび駆動指令を受けたヘッド制御部４０は、各圧電振動子１７にそれぞれ駆動電圧Ｖｘが加わるように、各電圧調整回路３２を制御する。
【００４１】  なお、上述した目標吐出量を得ることができなくても構わない場合とは、例えば、今回の塗布対象となる品種の基板では、ノズル番号“３０”のノズル１６が機能性薄膜の形成予定領域から外れた位置に位置し、このノズル１６から液体を吐出させる必要がない場合が考えられる。【００４２】
警告文が表示されている状態において、主制御部５０の操作部５２で禁止操作があれば（ステップ１１１のＮＯ）、対応するヘッド９の各圧電振動子１７の駆動が禁止される（ステップ１１２）。この場合、対応するヘッド９のヘッド制御部４０に対し、主制御部５０から駆動禁止指令が送られる。この駆動禁止指令を受けたヘッド制御部４０は、各圧電振動子１７の駆動を停止する。作業員は、ヘッド９を新品と交換するなどの適宜な処置を行うことができる。
【００４３】  以上のように、各ヘッド９における各圧電振動子１７の駆動電圧と各ノズル１６の吐出量との相関データを各ヘッド制御部４０のメモリ４２に記憶しておき、主制御部５０の操作部５２で目標吐出量Ｄｔが設定されたとき、あるいは各ヘッド９のいずれかが交換されてその旨の操作入力が操作部５２であったとき、各ヘッド制御部４０から上記相関データを取得し、各ノズル１６から目標吐出量Ｄｔを得るのに必要な各圧電振動子１７の駆動電圧Ｖｘを上記取得した各相関データから求め、求めた駆動電圧Ｖｘを圧電振動子１７に対し設定するようにしたので、従来のような駆動電圧印加、吐出量確認、駆動電圧増減、吐出量再確認などの煩雑で時間のかかる繰り返し作業を要することなく、各ノズル１６の液体の吐出量を目標吐出量Ｄｔに容易かつ迅速に設定することができる。【００４４】  したがって、塗布装置の生産性が大幅に向上するとともに、吐出量調整の信頼性が大幅に向上する。ひいては、基板上に形成される機能性薄膜の品質の向上が図れる。【００４５】  各ヘッド制御部４０から取得した相関データから相関グラフを作成し、作成した相関グラフを主制御部５０の表示部５３で表示するようにしているので、各ヘッド９における圧電振動子１７の駆動電圧とノズル１６の吐出量との相関データを作業員に的確に知らせることができる。【００４６】  取得した相関データから駆動電圧の許容最大値Ｖｍａｘおよび許容最小値Ｖｍｉｎを検出し、検出した許容最大値Ｖｍａｘおよび許容最小値Ｖｍｉｎを相関グラフと共に表示するので、駆動電圧および吐出量の制御の許容範囲を作業員に的確に知らせることができる。【００４７】  求めた駆動電圧Ｖｘが上記検出された許容最大値Ｖｍａｘおよび許容最小値Ｖｍｉｎの範囲内に収まっているか否かを判定し、この判定結果が肯定であれば圧電振動子１７の駆動を許容するとともに、たとえ判定結果が否定であっても、許容の旨の操作があれば圧電振動子１７の駆動を許容するので、目標吐出量が得られないことを承知した上での液体吐出が可能である。【００４８】  判定結果が否定の場合は、その旨を警告文として表示するので、目標吐出量が得られない状況にあることを作業員に適切に知らせることができる。【００４９】  なお、上記実施形態において、駆動素子は、圧電振動子に限らず、液室内において液体を瞬間的に沸騰させることによってノズルから吐出させる電気熱変換素子など、他のものであってもよい。
上記実施形態では、駆動素子の制御因子として、駆動素子に印加する矩形状波の駆動電圧の電圧値を例に説明したが、これに限らず、矩形波状の駆動電圧における矩形波の幅（印加時間）であってもよい。【００５０】  上記実施形態では、ノズルが千鳥状に配置されている例を示したが、ノズルが一直線状に配置されている場合でも、複数列に配置されている場合でも、実施が可能である。【００５１】  上記実施形態では、ヘッドが複数並べて配置されている例を示したが、ヘッドの数は１つでもよい。【００５２】  上記実施形態では、駆動電圧に対する許容最大値Ｖｍａｘおよび許容最小値Ｖｍｉｎを制御に用いたが、吐出量に対する許容最大値および許容最小値を制御に用いてもよい。【００５３】  一方、目標吐出量Ｄｔの設定に関しては、全てのヘッド９の全てのノズル１６に対して、互いに同じ値を設定してもよいし、互いに異なる値を設定してもよい。また、目標吐出量Ｄｔの設定に関しては、１つのノズル１６に対して、１つの値を設定してもよいし、複数の値を設定してもよい。これらの例を、第２の実施形態、第３の実施形態、および第４の実施形態として説明する。【００５４】  ［２］第２の実施形態。【００５５】  表示部５３で図８に示す画面が表示される。この表示画面および操作部５２により、ノズル１６毎に異なる目標吐出量Ｄｔが設定される。【００５６】  すなわち、表示画面において、“目標吐出量の表示窓”の近傍に“吐出量適用ボタン”が表示されている。この“吐出量適用ボタン”がカーソル指定され、その状態で操作部５２の実行キーがオンされることにより、“吐出量適用ボタン”が操作されたことになる。これにより、各ヘッド９のうち“ヘッド番号の表示窓”に表示された番号のヘッド９が指定され、その指定されたヘッド９における各ノズル１６のうち“ノズル番号の表示窓”に表示された番号のノズル１６に対して、“目標吐出量の表示窓”に表示された目標吐出量Ｄｔが設定される。【００５７】  例えば、ヘッド番号“１”のヘッド９を指定して、そのヘッド９におけるノズル番号“１”のノズル１６に目標吐出量Ｄｔ１を設定し、同じヘッド９におけるノズル番号“２”のノズル１６に目標吐出量Ｄｔ２（＞Ｄｔ１）を設定する場合、作業員によって次の操作が行われる。【００５８】  まず、“ヘッド番号の表示窓”に“１”が入力されるとともに、“ノズル番号の表示窓”に“１”が入力され、目標吐出量の表示窓に“Ｄｔ１”が入力される。そして、“吐出量適用ボタン”が操作される。次に、“ノズル番号の表示窓”に“２”が入力され、かつ“目標吐出量の表示窓”に“Ｄｔ２”が入力され、“吐出量適用ボタン”が操作される。これにより、目標吐出量Ｄｔ１，Ｄｔ２の設定が完了する。設定された目標吐出量Ｄｔ１，Ｄｔ２はメモリ５４に記憶される。【００５９】  目標吐出量Ｄｔ１，Ｄｔ２の設定が完了すると、主制御部５０により次の制御が実行される。すなわち、目標吐出量Ｄｔ１，Ｄｔ２を得るために必要な各駆動電圧Ｖｘが、各ヘッド制御部４０のメモリ４２から取得された相関データに基づいて求められる。そして、第１の実施形態で説明したステップ１０８の処理が、求められた各駆動電圧Ｖｘに対して実行される。さらに、ステッ���１０８の判定結果に応じて、ステップ１０９〜１１２の処理が実行される。【００６０】  ノズル１６毎に異なる目標吐出量Ｄｔを設定する状況としては、基板Ｗ上に溶液を塗布するに際し、その塗布領域の周縁部分に対する吐出量をその周縁部分の内側よりも少なくする場合が考えられる。【００６１】  薄膜の形成技術においては、塗布領域の周縁部分に形成される膜厚が、その周縁部分の内側に形成される膜厚よりも厚くなる傾向があることが知られている。このような状況では、塗布領域の周縁部分に対する吐出量をその周縁部分の内側よりも少なくする処置が実行される。【００６２】  他の構成および作用は、第１の実施形態と同じである。【００６３】  ［３］第３の実施形態。【００６４】  表示部５３で図９に示す画面が表示される。この表示画面および操作部５２により、複数のノズル１６に対し目標吐出量Ｄｔ１が一括的に設定され、残りの複数のノズル１６に対し目標吐出量Ｄｔ２が一括的に設定される。【００６５】  すなわち、表示画面において、“目標吐出量の表示窓”の近傍に“吐出量適用ボタン”が表示されるとともに、“ノズル番号の表示窓”の近傍にヘッド９の有するノズル１６の総数に対応する３２個のチェックボックスが表示されている。これらチェックボックスのうち、チェックマークが入力された各チェックボックスに対応する各ノズル１６に対し、“目標吐出量の表示窓”に入力されている目標吐出量Ｄｔが一括的に設定される。【００６６】  例えば、ヘッド番号“１”のヘッド９を指定して、そのヘッド９におけるノズル番号“１”〜“４”のノズル１６に目標吐出量Ｄｔ１を設定し、残りのノズル１６に目標出量Ｄｔ２を設定する場合、作業員によって次の操作が行われる。【００６７】  まず、“ヘッド番号の表示窓”に“１”が入力される。次に、表示画面上のカーソルがノズル番号“１”〜“４”に対応する各チェックボックス上に順次に移動され、その移動ごとに操作部５２の実行キーがオンされる。これにより、チェックボックスにチェックマークが入力される。カーソルがチェックボックス上にある間は、実行キーをオンする毎に、チェックマークの入力と消去が切り替わる。【００６８】  ノズル番号“１”〜“４”に対応する各チェックボックスにチェックマークが入力された後、“目標吐出量の表示窓”に目標吐出量Ｄｔ１が入力され、“吐出量適用ボタン”が操作される。これにより、ヘッド番号“１”のヘッド９におけるノズル番号“１”〜“４”のノズル１６に対し、目標吐出量Ｄｔ１が一括的に設定される。【００６９】  続いて、ノズル番号“１”〜“４”に対応する各チェックボックスのチェックマークが消去され、残りのノズル番号“５”〜“３２”に対応する各チェックボックスにチェックマークが入力される。そして、“目標吐出量の表示窓”に目標吐出量Ｄｔ２が入力され、“吐出量適用ボタン”が操作される。これにより、ヘッド番号“１”のヘッド９におけるノズル番号“５”〜“３２”のノズル１６に対し、目標吐出量Ｄｔ２が一括的に設定される。【００７０】  このように、複数のノズル１６に対して同じ目標吐出量Ｄｔを一括的に設定できるので、目標吐出量Ｄｔの設定が迅速になる。なお、上述で一括設定された目標吐出量Ｄｔ１，Ｄｔ２はメモリ５４に記憶される。【００７１】  複数のノズル１６に対して同じ目標吐出量Ｄｔを一括的に設定する状況として、第２の実施形態と同じく、基板Ｗ上に溶液を塗布するに際し、その塗布領域の周縁部分に対する吐出量をその周縁部分の内側よりも少なくする場合が考えられる。【００７２】  他の構成および作用は、第１の実施形態と同じである。【００７３】  ［４］第４の実施形態。【００７４】  表示部５３で図１０に示す画面が表示される。この表示画面および操作部５２により、１つのノズル１６に対して複数の目標吐出量Ｄｔが設定される。【００７５】  すなわち、表示画面において、３つの“目標吐出量の表示窓”が表示され、これら“目標吐出量の表示窓”と対応する位置にそれぞれ“タイミング設定の表示窓”が表示される。さらに、最下部の“目標吐出量の表示窓”の近傍に“吐出量適用ボタン”が表示される。“タイミング設定の表示窓”には、塗布開始点からの距離または吐出回数が入力される。【００７６】  第１の実施形態で説明したように、搬送テーブル６はガイド部材４に沿って移動する。この搬送テーブル６の移動に伴い、基板Ｗがヘッド９の下方を通過する。主制御部５０は、搬送テーブル６に付随して設けられたリニアエンコーダ等の位置検出器から得られる基板Ｗの位置情報と、基板Ｗ上における塗布領域の位置情報から、塗布領域における搬送方向先頭側の端部（塗布開始点）がヘッド９の下を通過するタイミング、搬送方向後尾側の端部（塗布終了点）がヘッド９の下を通過するタイミングを得る。また、主制御部５０は、塗布領域における塗布開始点がヘッド９の下を通過するタイミングで液体の吐出を開始し、塗布終了点がヘッド９の下に達するタイミングで液体の吐出を停止する。【００７７】  そして、主制御部５０は、ヘッド９の下を塗布開始点が通過してから塗布終了点が通過するまでの間、予め設定された数の液滴のドットが塗布されるように、各ノズル１６による液体の吐出を制御する。【００７８】  このように、塗布開始点からの移動距離や吐出回数を把握しながら吐出を制御するので、塗布開始点からの距離や吐出回数が指定されれば、それに合せて吐出量を切替えることが可能である。【００７９】  塗布領域に対し、基板Ｗの搬送方向に沿って例えば１００ドットの数の液滴を塗布する場合について説明する。ヘッド番号“１”のヘッド９におけるノズル番号“１０”のノズル１６によって最初の１ドットから１０ドットまでを目標吐出量Ｄｔ１で塗布し、次の１１ドットから９０ドットまでを目標吐出量Ｄｔ２で塗布し、最後の９１ドットから１００ドットまでを再び目標吐出量Ｄｔ１で塗布する場合、作業員によって次の操作が行われる。【００８０】  まず、“ヘッド番号の表示窓”に“１”が入力され、“ノズル番号の表示窓”に“１０”が入力される。次に、最上部の“目標吐出量の表示窓”に“Ｄｔ１”が入力され、最上部の“タイミング設定の表示窓”に“１”が入力される。また、上から２つ目の“目標吐出量の表示窓”に“Ｄｔ２”が入力され、上から２つ目の“タイミング設定の表示窓”に“１１”が入力される。さらに、最下部の“目標吐出量の表示窓”に“Ｄｔ１”が入力され、最下部の“タイミング設定の���示窓”に“９１”が入力される。そして、“吐出量適用ボタン”が操作される。なお、最上部の“タイミング設定の表示窓”は、無くてもよい。【００８１】  他のノズル１６に対しても、同様の設定を行うことができる。このようにして設定された目標吐出量Ｄｔ１，Ｄｔ２はメモリ５４に記憶される。【００８２】  全てのノズル１６に対する目標吐出量の設定が完了すると、主制御部５０により次の制御が実行される。すなわち、ノズル１６の個々に対して設定された目標吐出量Ｄｔ１，Ｄｔ２を得るために必要な駆動電圧Ｖｘがそれぞれ求められる。そして、第１の実施形態で説明したステップ１０８の処理が、求められた各駆動電圧Ｖｘに対し実行される。さらに、ステップ１０８の判定結果に応じて、ステップ１０９〜１１２の処理が実行される。【００８３】  １つのノズル１６に対して複数の目標吐出量Ｄｔを設定する状況として、第２および第３の実施形態と同じく、塗布領域の周縁部分に対する吐出量をその周縁部分の内側よりも少なくする場合が考えられる。【００８４】  なお、この第４の実施形態に対し、第２の実施形態を組み合わせることが可能である。また、この第４の実施形態に対し、第３の実施形態を組み合わせることも可能である。【００８５】  また、各実施形態の適用例としては、塗布領域の周縁部分に対する吐出量をその周縁部分の内側よりも少なくする場合に限らず、次の例がある。【００８６】  すなわち、基板Ｗ上の塗布領域内に、凸部等の障害物が存在し、この障害物の一部が１つのノズル１６による塗布ライン（塗布開始点から塗布終了点までのノズルの移動軌跡）上に対応する場合が考えられる。このような状況では、目標吐出量Ｄｔが同じ値に設定されたままでは、次の（１）（２）の不具合が生じてしまう。【００８７】  （１）凸部等の障害物の高さが、塗布領域内に形成しようとする薄膜の膜厚を越えてしまう場合でも、その障害物上に液体が不要に塗布されてしまう。このため、薄膜が障害物部分で盛り上がってしまう。【００８８】  （２）凸部等の障害物の高さが、塗布領域内に形成しようとする薄膜の膜厚よりも低い場合でも、その障害物上に液体が余計に塗布されてしまうことがある。この場合も、薄膜が障害物部分で盛り上がってしまう。【００８９】  このような状況では、ノズル１６からの液体の吐出量を、凸部等の障害物と対応する位置で減らせばよい（零を含む）。これにより、上記の不具合を解消できる。
【産業上の利用可能性】
【００９０】  液晶表示装置の製造工程において、ガラス基板の表面における機能性薄膜の形成に利用可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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