(57)【要約】本発明によれば、シリコン系低屈折率層と薄いシリコン系界面層を、光入射側から見て光電変換層の後方に順次形成することにより、十分な光閉じ込め効果を発揮し、かつ直列抵抗を小さく保つことが出来、高効率かつ低コストでシリコン系薄膜太陽電池を提供することができる。  前記シリコン系低屈折率層は、波長６００ｎｍにおける屈折率が２．５以下で、かつ厚さが３００Å以上であることが好ましく、シリコンオキサイドを代表とする、シリコンと酸素等の元素から成る合金層であることが好ましい。  また、前記薄いシリコン系界面層は、シリコンを主成分とする導電型層であり、厚さが１５０Å以下で、その層中に結晶質シリコン成分を含むことが好ましい。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光入射側から見て光電変換層の後方に導電型シリコン系低屈折率層、シリコン系界面層が順に配置されていることを特徴とするシリコン系薄膜太陽電池。
【請求項２】
前記シリコン系低屈折率層の波長６００ｎｍにおける屈折率が２．５以下であることを特徴とする、請求項１に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
【請求項３】
前記シリコン系低屈折率層中に占める、シリコンを除く最多構成元素の割合が２５原子％以上であることを特徴とする、請求項１ないし２に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
【請求項４】
前記最多構成元素は酸素であることを特徴とする、請求項３に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
【請求項５】
前記シリコン系低屈折率層の厚さが３００Å以上であることを特徴とする、請求項１ないし４に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
【請求項６】
前記シリコン系低屈折率層は、その層中に結晶質シリコン成分を含むことを特徴とする、請求項１ないし５に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
【請求項７】
前記シリコン系界面層の厚さが１５０Å以下であることを特徴とする請求項１ないし６に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
【請求項８】
前記シリコン系界面層は、その層中に結晶質シリコン成分を含むことを特徴とする、請求項７に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明はシリコン系薄膜太陽電池に関し、特に、光入射側から見た光電変換層の後方に光電変換層よりも屈折率の小さい層を配置することによって、光閉じ込め効果を発揮する薄膜太陽電池に関するものである。
【背景技術】  近年では薄膜太陽電池も多様化し、従来の非晶質薄膜太陽電池の他に結晶質薄膜太陽電池も開発され、これらを積層したハイブリッド薄膜太陽電池も実用化されている。
薄膜太陽電池は、一般に、基板上に順に積層された第１電極、１以上の半導体薄膜光電変換ユニット、および第２電極を含んでいる。そして、１つの光電変換ユニットはｐ型層とｎ型層でサンドイッチされたｉ型層を含んでいる。
ｉ型層は実質的に真性の半導体層であって光電変換ユニットの厚さの大部分を占め、光電変換作用は主としてこのｉ型層内で生じる。このため、このｉ型層は通常ｉ型光電変換層または単に光電変換層と呼ばれる。光電変換層は真性半導体層に限らず、ドープされた不純物によって吸収される光の損失が問題にならない範囲で微量にｐ型またはｎ型にドープされた層であってもよい。光電変換層は光吸収のためには厚い方が好ましいが、必要以上に厚くすればその製膜のためのコストと時間が増大することになる。
他方、ｐ型やｎ型の導電型層は光電変換ユニット内に拡散電位を生じさせる役目を果たし、この拡散電位の大きさによって薄膜太陽電池の重要な特性の１つである開放電圧の値が左右される。しかし、これらの導電型層は光電変換に直接寄与しない不活性な層であり、導電型層にドープされた不純物によって吸収される光は発電に寄与しない損失となる。したがって、ｐ型とｎ型の導電型層は、十分な拡散電位を生じさせ得る範囲内であれば、できるだけ小さな厚さにとどめておくことが好ましい。
ここで、上述のようなｐｉｎ（ｎｉｐ）型の光電変換ユニットまたは薄膜太陽電池は、それに含まれるｐ型とｎ型の導電型層が非晶質か結晶質かにかかわらず、その主要部を占める光電変換層が非晶質のものは非晶質ユニットまたは非晶質薄膜太陽電池と称され、光電変換層が結晶質のものは結晶質ユニットまたは結晶質薄膜太陽電池と称される。
薄膜太陽電池の変換効率を向上させる方法として、２以上の光電変換ユニットを積層してタンデム型にする方法がある。この方法においては、薄膜太陽電池の光入射側に大きなバンドギャップを有する光電変換層を含む前方ユニットを配置し、その後方に順に小さなバンドギャップを有する光電変換層を含む後方ユニットを配置することにより、入射光の広い波長範囲にわたって光電変換を可能にし、これによって太陽電池全体としての変換効率の向上が図られる。このようなタンデム型太陽電池の中でも、特に非晶質光電変換ユニットと結晶質光電変換ユニットを積層したものはハイブリッド薄膜太陽電池と称される。
例えば、ｉ型非晶質シリコンが光電変換し得る光の波長は長波長側において８００ｎｍ程度までであるが、ｉ型結晶質シリコンはそれより長い約１１００ｎｍ程度の波長までの光を光電変換することができる。ただし、光吸収係数の大きな非晶質シリコン光電変換層は光吸収のためには０．３μｍ程度以下の厚さでも十分であるが、光吸収係数の小さな結晶質シリコン光電変換層は長波長の光をも十分に吸収するためには１．５〜３μｍ程度の厚さを有することが好ましい。すなわち、結晶質光電変換層は、通常は非晶質光電変換層に比べて５〜１０倍程度の厚さを有することが望まれる。
非晶質シリコン単層の薄膜太陽電池においても、前述のハイブリッド薄膜太陽電池においても、光電変換層の厚さをできるだけ小さく保つことが生産性の向上すなわち低コスト化の点からは望ましい。このため、光入射側から見て光電変換層の後方に光電変換層よりも屈折率の小さな層を配置して特定波長の光を有効に反射させる、いわゆる光閉じ込め効果を利用した構造が一般的に用いられている。光入射側から見て光電変換層の後方に配置するとは、光電変換層に接してその裏面側に配置されていること、もしくは光電変換層の裏面に別の層を配置し、その層を挟んで裏面側に配置されていることを指す。
特開平２−７３６７２号公報には、光入射側から、透光性第１電極、非晶質シリコン半導体薄膜（以下単に半導体薄膜と呼ぶ）、厚さ１２００Å未満の酸化亜鉛膜、不透光性第２電極（金属電極）が順に積層された太陽電池の構造を開示している。酸化亜鉛膜は、半導体薄膜と金属電極との界面に珪化物が生じて吸収ロスが増えるのを防止する作用を有する。また、酸化亜鉛膜と半導体薄膜との間に屈折率差があるため、酸化亜鉛膜の厚さを１２００Å未満、好ましくは３００〜９００Åに限定すれば半導体薄膜／酸化亜鉛膜界面での反射率を向上させる効果を有する。このため、太陽電池の短絡電流密度が向上し、変換効率が向上する。しかしながら、酸化亜鉛膜はスパッタ、スプレーなどの手法で形成されるため、プラズマＣＶＤ法等で一般的に形成される半導体薄膜とは別設備を用いる必要があり、設備コストがかかり、生産タクトも長くなるという問題が発生する。さらに、特に酸化亜鉛膜の形成にスパッタ法を用いる場合、下地半導体薄膜へのスパッタダメージによる性能低下を引き起こす可能性がある、という問題も発生する。また、前述の半導体薄膜は、実施例によればｐ型ａ−ＳｉＣ：Ｈ膜、ノンドープａ−Ｓｉ：Ｈ膜、ｎ型ａ−Ｓｉ：Ｈ膜からなっている。この場合、ノンドープａ−Ｓｉ：Ｈ膜内に十分な拡散電位を生じさせるためには、ｎ型ａ−Ｓｉ：Ｈ膜の厚さとして一般的に１５０〜３００Åが必要であり、ｎ型ａ−Ｓｉ：Ｈ膜を通過する際の光の吸収ロスが無視できない。
特開平４−１６７４７３号公報には、光入射側から順に、透明電極／−導電型非晶質半導体層／真性非晶質半導体層／非晶質シリコンオキシナイトライドまたは非晶質酸化シリコン（以下、ａ−ＳｉＯＮまたはａ−ＳｉＯと記す）／金属酸化物層／高反射金属層／基板の構造を開示している。ただし、このａ−ＳｉＯＮ（ａ−ＳｉＯ）層は、金属酸化物層上に非晶質半導体層を形成する際に生じ得る、金属酸化物層の還元による吸収ロスの増加を防止する目的で形成されており、ａ−ＳｉＯＮ（ａ−ＳｉＯ）層と真性非晶質半導体層との屈折率差を利用して光閉じ込めを行えるとの記載はない。具体的には実施例においてａ−ＳｉＯＮ（ａ−ＳｉＯ）層の厚さを２００Åと薄く設定しているため、十分な光閉じ込め効果が期待できない。
特開平６−２６７８６８号公報には、ＣＯ２／（ＳｉＨ４＋ＣＯ２）の値が０．６以下である原料ガスの分解によることを特徴とする、シリコンの微結晶相を含むａ−ＳｉＯの成膜方法を開示している。この膜は１０−６Ｓ／ｃｍ以上の高い光導電率と低い吸収係数を示しており、非晶質シリコン系太陽電池の窓層に適していると記載されている。ただし、得られた膜の屈折率に関する記載はなく、さらに、その膜を光入射側から見て太陽電池の光電変換層の後方に配置し得るとの記載もない。本発明者らは、上記文献で得られた知見を元にｐｉｎ型シリコン系薄膜太陽電池のｎ型層に、ＳｉＨ４、ＣＯ２、Ｈ２およびＰＨ３を反応ガスに用いた高周波プラズマＣＶＤ法によるシリコンオキサイド層を適用することを検討した。その結果、シリコンオキサイド層を光電変換層の後方に配置し、ＣＯ２／ＳｉＨ４比を大きくする等の手法により、層中酸素量を増やして光電変換層との屈折率の差を大きくすれば、光閉じ込め効果が発揮され太陽電池の短絡電流が増大することを見出した。しかしながら、単にｎ型層としてシリコンオキサイドを用いるだけでは、太陽電池の直列抵抗が大きくなり、変換効率が低下してしまうという問題点があった。これはシリコンオキサイドと、裏面電極の一部であるＺｎＯ等の金属酸化物層との接触抵抗に起因すると考えられる。
このように、従来の技術ではシリコンオキサイドを代表とするシリコン系低屈折層と裏面電極の間に生じる接触抵抗に伴うと考えられる、太陽電池の直列抵抗の問題が解決されていなかった。
【発明の開示】
上述のような状況に鑑み、本発明は、光電変換層に比べて低い屈折率を有する層を、光電変換層の形成と別種の設備を用いることなく、光入射側から見て光電変換層の後方に配置することにより、十分な光閉じ込め効果を発揮でき、かつそのような低い屈折率を有する層が配置されていても太陽電池の直列抵抗を小さく保つことができる、高効率かつ低コストでシリコン系薄膜太陽電池を提供することを目的としている。
本発明によるシリコン系薄膜太陽電池は、光入射側から見て光電変換層の後方にシリコン系低屈折率層、シリコン系界面層が順に配置されたことを特徴とするシリコン系薄膜太陽電池である。
シリコン系低屈折率層は光電変換層内に拡散電位を生じさせる役割を果たし、不純物によりｐ型またはｎ型にドープされた層である。シリコン系低屈折率層は、その表面で光を有効に光電変換層側に反射させ、かつその層中での光の吸収ロスをできる限り小さく保つため、波長６００ｎｍにおける屈折率が２．５以下であって、かつその厚さが３００Å以上であることが好ましい。シリコン系低屈折率層は、シリコンオキサイドを代表とする、シリコンと酸素等の元素から成る合金層であり、その層中に占めるシリコンを除く最多構成元素の割合が、２５原子％以上であることが好ましく、また、光電変換層と同種の製法、すなわち高周波プラズマＣＶＤ等の方法で形成されることが好ましい。シリコン系低屈折率層は、その層自体の厚さ方向の抵抗を小さくするため、その層中に結晶質シリコン成分を含むことが好ましい。
シリコン系界面層は、シリコンを主成分とする導電型層である。シリコン系界面層は光電変換層内の拡散電位の発生に寄与する必要がないため、その層における光吸収損失をできるだけ小さく保つために、厚さが１５０Å以下であることが好ましく、より好ましくはその厚さを１００Å以下とすることが望ましい。さらに、裏面電極との接触抵抗を小さく保つために、その層中に結晶質シリコン成分を含むことが好ましい。
本発明者らは、シリコン系低屈折率層を光電変換層の後方に配置した場合に生ずる、太陽電池の直列抵抗が増大する問題を解決するため、最適な太陽電池の構造を鋭意検討した。その結果、シリコン系低屈折率層の後方に薄いシリコン系界面層を配置し、その後方に配置された金属酸化物層を含む裏面電極層との接触抵抗を改善することにより、太陽電池の直列抵抗が小さくなり、変換効率が改善されることを見出した。
本発明においては、シリコン系低屈折率層と裏面電極層との間に配置されたシリコン系界面層は、シリコン系低屈折率層、裏面電極層のいずれとも小さな接触抵抗を有し、その結果、太陽電池の直列抵抗を小さくしていると考えられる。特に、図１に示すようにシリコン系低屈折率層としてシリコンオキサイドを用い、その層中酸素量を増やして屈折率を２．５以下にまで下げた場合、シリコン系低屈折率層と裏面電極層の接触抵抗を下げるのは困難であるが、このような問題もシリコン系界面層を挿入することにより解決される。従って、シリコン系低屈折率層を光閉じ込めに最適な厚さと屈折率に設計できる。しかもシリコン系低屈折率層の屈折率は製膜条件を変更するだけで容易に調整できるため、屈折率を膜厚方向で周期的に変化させるなど、より精緻な光学設計による光閉じ込め効果の増大も期待できる。
以下に、本発明の実施の形態としてのシリコン系薄膜太陽電池を、図２を参照しつつ説明する。
透光性基板１の上に透明電極層２が形成されている。透光性基板１としては、ガラス、透明樹脂等から成る板状部材やシート状部材が用いられる。透明電極層２はＳｎＯ２、ＺｎＯ等の導電性金属酸化物から成ることが好ましく、ＣＶＤ、スパッタ、蒸着等の方法を用いて形成されることが好ましい。透明電極層２はその表面に微細な凹凸を有することにより、入射光の散乱を増大させる効果を有することが望ましい。透明電極層２の上には非晶質光電変換ユニット３が形成される。非晶質光電変換ユニット３は非晶質ｐ型シリコンカーバイド層３ｐ、ノンドープ非晶質ｉ型シリコン光電変換層３ｉ、ｎ型シリコン系界面層３ｎから成り立っている。非晶質光電変換ユニット３の上に結晶質光電変換ユニット４が形成されている。非晶質光電変換ユニット３、および結晶質光電変換ユニット４（以下、この両方のユニットをまとめて単に光電変換ユニットと称する）の形成には高周波プラズマＣＶＤ法が適している。光電変換ユニットの形成条件としては、基板温度１００〜３００℃、圧力３０〜１５００Ｐａ、高周波パワー密度０．０１〜０．５Ｗ／ｃｍ２が好ましく用いられる。光電変換ユニット形成に使用する原料ガスとしては、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６等のシリコン含有ガスまたは、それらのガスとＨ２を混合したものが用いられる。光電変換ユニットにおけるｐ型またはｎ型層を形成するためのドーパントガスとしては、Ｂ２Ｈ６またはＰＨ３等が好ましく用いられる。
結晶質光電変換ユニット４は結晶質ｐ型シリコン層４ｐ、結晶質ｉ型シリコン光電変換層４ｉ、ｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎ、およびｎ型シリコン系界面層４ｎから成り立っている。ｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎとしてはシリコンオキサイドが代表的に用いられ、その場合使用する原料ガスとしては、ＳｉＨ４、Ｈ２、ＣＯ２、ＰＨ３の混合ガスが適している。シリコン系低屈折率層４ｏｎには結晶質シリコン成分が含まれていてもよいし、含まれていなくてもよい。シリコン系低屈折率層４ｏｎの波長６００ｎｍにおける屈折率として２．５以下が好ましく用いられる。シリコン系低屈折率層４ｏｎ中の層中に占めるシリコンを除く最多構成元素の割合として２５原子％以上が好ましく用いられる。シリコン系低屈折率層４ｏｎの厚さは３００Å以上が好ましく用いられ、より好ましくは５００〜９００Åが用いられる。シリコン系低屈折率層４ｏｎとしてシリコンオキサイドを用いた場合、層中に占める酸素の割合または、その屈折率を実現するためには、ＣＯ２／ＳｉＨ４のガス比として、２〜１０程度が用いられる。シリコン系低屈折率層４ｏｎは膜厚方向に屈折率が一定でもよく、途中で屈折率が変化していてもよい。さらに、屈折率が周期的に増減するようになっていてもよい。なお、図２では光入射側から見て結晶質ｉ型シリコン光電変換層４ｉの後方に、結晶質ｉ型シリコン光電変換層４ｉに接してｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎが配置される構造を示しているが、結晶質ｉ型シリコン光電変換層４ｉとｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎの間にｎ型シリコン層等の別の層が挟まれて配置されていてもよい。また、シリコン系低屈折率層４ｏｎとしては、シリコンオキサイドの代わりに、シリコンナイトライド、シリコンカーバイド、シリコンオキシナイトライド、シリコンオキシカーバイド等、シリコンに窒素、炭素、酸素のいずれか一つ以上の元素が含まれる層であってもよい。
ｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎ上にｎ型シリコン系界面層４ｎが形成される。ｎ型シリコン系界面層４ｎには主として結晶質シリコンが用いられる。ｎ型シリコン系界面層４ｎは、ｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎと裏面電極５の接触抵抗を改善する目的で用いられ、この層における光吸収ロスを最小限にとどめるためにできるだけ小さな厚さを有することが望ましい。具体的には１５０Å以下、より好ましくは１００Å以下の厚さが用いられる。さらに、ｎ型シリコン系界面層４ｎには１〜１０２Ｓ／ｃｍ程度の導電率を有するものが用いられ得る。ｎ型シリコン系界面層４ｎには酸素、炭素、窒素のいずれか一つ以上の元素が、裏面電極５との接触抵抗を増大させない程度に含まれていてもよい。
ｎ型シリコン系界面層４ｎの上には裏面電極５が形成される。裏面電極５は透明反射層５ｔと裏面反射層５ｍとから成る。透明反射層５ｔにはＺｎＯ、ＩＴＯ等の金属酸化物が用いられ、裏面反射層５ｍにはＡｇ、Ａｌまたはそれらの合金が好ましく用いられる。裏面電極５の形成においては、スパッタ、蒸着等の方法が好ましく用いられる。なお、図２にはハイブリッド薄膜太陽電池の構造を記載しているが、光電変換ユニット４は必ずしも２つである必要はなく、非晶質または結晶質のシングル構造、３層以上の積層型太陽電池構造であってもよい。さらに、図２は透光性基板上に光電変換層、シリコン系低屈折率層、ｎ型シリコン系界面層が順に配置された構造を示しているが、金属等の導電性基板上または絶縁基板上に、ｎ型シリコン系界面層、シリコン系低屈折率層、光電変換層が順に堆積された、いわゆる逆タイプの構造であってもよい。
なお、本発明は、国等の委託研究の成果に係る特許出願（日本国、平成１５年度新エネルギー・産業技術総合開発機構「太陽光発電技術研究開発委託事業」、産業活力再生特別措置法第３０条の適用を受けるもの）に該当するものである。
【図面の簡単な説明】    図１  シリコン系低屈折率層の層中酸素量と屈折率の関係を表す図である。
図２  本発明によるシリコン系低屈折率層を含む薄膜太陽電池の模式的断面図である。
図３  各実施例および比較例にて作製したハイブリッド薄膜太陽電池の模式的断面図である。
図４  実施例１および比較例１で作製した太陽電池の裏面電極をエッチング除去して露出した表面から光を入射して測定した反射スペクトルを表す図である。
図５  シリコン系低屈折率層の屈折率とハイブリッド薄膜太陽電池の変換効率の関係を表す図である。
図６  シリコン系低屈折率層の厚さとハイブリッド薄膜太陽電池の変換効率の関係を表す図である。
図７  実施例１で得られた本発明のシリコン系薄膜太陽電池の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）写真による拡大断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】  以下に、本発明によるシリコン系薄膜太陽電池として実施例１、２および３を、図３を参照しつつ、比較例１および２と比較しながら説明する。
【実施例１】  図３は、各実施例及び各比較例にて作製したハイブリッド薄膜太陽電池を模式的に示す断面図である。
まず、０．７ｍｍ厚の青板ガラスから成る透光性基板１の一主面上に、ＳｎＯ２からなる表面に微細な凹凸構造を有する透明電極層２を熱ＣＶＤ法により形成した。
次に、非晶質光電変換ユニット３を形成するために、透明電極層２が形成された透光性基板１を高周波プラズマＣＶＤ装置内に導入し、所定の温度に加熱した後、厚さ１６０Åの非晶質ｐ型シリコンカーバイド層３ｐ、厚さ３０００Åのノンドープ非晶質ｉ型シリコン光電変換層３ｉ、及び厚さ３００Åのｎ型シリコン層３ｎを順次積層した。
さらに、結晶質光電変換ユニット４を形成するために、プラズマＣＶＤ装置を用いて、厚さ１５０Åのｐ型結晶質シリコン層４ｐ、厚さ１．４μｍの結晶質ｉ型シリコン光電変換層４ｉ、厚さ６００Åのｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎ、及び厚さ５０〜７０Åのｎ型結晶質シリコン系界面層４ｎを順次積層した。その際のｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎの製膜条件は、基板製膜面−電極間距離１０〜１５ｍｍ、圧力３５０〜１３００Ｐａ、高周波パワー密度０．１〜０．１３Ｗ／ｃｍ２、ＳｉＨ４／ＣＯ２／ＰＨ３／Ｈ２流量を各々１５／１２０／０．５／９０００ｓｃｃｍとした。また、これと同一の製膜条件でガラス上に２５００Å堆積したｎ型シリコン系低屈折率層の分光エリプソメトリにより測定した屈折率は、波長６００ｎｍにおいて１．９であった。一方、ｎ型シリコン系界面層４ｎの製膜条件は、基板製膜面−電極間距離１０〜１５ｍｍ、圧力３５０〜１３００Ｐａ、高周波パワー密度０．１１Ｗ／ｃｍ２、ＳｉＨ４／ＰＨ３／Ｈ２流量を各々２０／０．５／２５００ｓｃｃｍとした。また、これと同一の製膜条件でガラス上に２５００Å堆積したｎ型シリコン系界面層の導電率は１２Ｓ／ｃｍであった。
その後、裏面電極５として厚さ３００ÅのＺｎＯから成る透明反射層（図示せず）と厚さ２０００ÅのＡｇから成る裏面反射層（図示せず）をＤＣスパッタ法によって形成した。
さらに、透明電極層２を残して非晶質光電変換ユニット３、結晶質光電変換ユニット４、及び裏面電極５を島状に分離するために、ＹＡＧ第２高調波パルスレーザーを透光性基板１に照射することにより複数の裏面電極層分離溝５ａを形成した。図示はしていないが、裏面電極層分離溝５ａと垂直に交差する複数の裏面電極分離溝をも形成することにより、島状の分離領域を形成した。さらに、１本の裏面電極層分離溝５ａに隣接して島状の分離領域の外側にさらに裏面電極層分離溝を形成し、その内部に半田を浸透させて透明電極層２とのコンタクト領域６を形成することにより、ハイブリッド薄膜太陽電池を作製した。このハイブリッド薄膜太陽電池は有効面積が１ｃｍ２であり、実施例１では１枚の基板上に上記の太陽電池を合計２５個作製した。
実施例１で作製したハイブリッド薄膜太陽電池に、スペクトル分布ＡＭ１．５、エネルギー密度１００ｍＷ／ｃｍ２の擬似太陽光を、測定雰囲気及び太陽電池の温度が２５±１℃の下で照射し、透明電極層２にコンタクト領域６を通じて接触させた正極プローブ７と裏面電極５に接触させた負極プローブ８の間の電圧及び電流を測定することで、薄膜太陽電池の出力特性を測定した。表１に実施例１で作製した２５個のハイブリッド薄膜太陽電池の平均性能を示す。
太陽電池の一部を硝酸水溶液に浸し、裏面電極５をエッチング除去してｎ型シリコン系界面層４ｎを露出させた。この状態でｎ型シリコン系界面層４ｎ側から光を照射して測定した反射スペクトルを図４に示す。次に反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法によりｎ型シリコン系界面層４ｎを除去し、ｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎを露出させた。このシリコン系低屈折率層を分光エリプソメトリにより測定したときの屈折率は、波長６００ｎｍにおいて１．９３であった。また、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）で測定したシリコン系低屈折率層中の酸素量は４８原子％であった。
【実施例２】  実施例２においては、実施例１とほぼ同様の工程を実施したが、ｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎの製膜条件のみを変化させ、波長６００ｎｍにおける屈折率を１．６５〜２．６５の範囲で変化させた点が、実施例１とは異なっていた。シリコン系低屈折率層の屈折率とハイブリッド薄膜太陽電池の変換効率との関係を図５に示す。
【実施例３】  実施例３においては、実施例１とほぼ同様の工程を実施したが、ｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎの厚さを１００〜１０００Åの範囲で変化させた点が実施例１と異なっていた。シリコン系低屈折率層の厚さと得られたハイブリッド薄膜太陽電池の変換効率との関係を図６に示す。
（比較例１）
比較例１においては、以下の点のみが実施例１と異なっていた。ｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎとｎ型結晶質シリコン系界面層４ｎを順次積層する代わりに、厚さ１５０Åのｎ型結晶質シリコン層と厚さ６００ÅのＺｎＯ層を順次積層した。ＺｎＯ層の製膜はＤＣスパッタ法により行った。また、これと同一の製膜条件でガラス上に２５００Å堆積したＺｎＯ層を分光エリプソメトリにより測定した屈折率は、波長６００ｎｍにおいて１．９であった。表１に比較例１で作製した２５個のハイブリッド薄膜太陽電池の平均性能を示す。また、比較例１にて作製した太陽電池の一部を硝酸水溶液に浸し、裏面電極５をエッチング除去してｎ型結晶質シリコン層を露出させた。この状態でｎ型結晶質シリコン層側から光を照射して測定した反射スペクトルを図４に示す。
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（比較例２）
比較例２においては、ｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎ上のｎ型シリコン系界面層４ｎの形成を省略した点のみが実施例１と異なっていた。表１に比較例２で作製した２５個の集積化ハイブリッド薄膜太陽電池の平均性能を示す。
実施例１と比較例１の比較から、実施例１においては比較例１よりも短絡電流が４％以上改善されていることがわかる。これは、実施例１においては、結晶質ｉ型シリコン光電変換層４ｉの後方に到達した光の大半が結晶質ｉ型シリコン光電変換層４ｉとｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎの界面で結晶質ｉ型シリコン光電変換層４ｉ側に反射され、光吸収ロスの大きいｎ型結晶質シリコン系界面層４ｎを光が通過する割合が小さいのに対して、比較例１においては結晶質ｉ型シリコン光電変換層４ｉの後方にｎ型結晶質シリコン層とＺｎＯ層が順次積層されており、光吸収ロスの大きいｎ型結晶質シリコン層を光が通過する割合が大きいためである。加えて、実施例１においては比較例１のプロセス中で生じるようなＺｎＯ層のスパッタ時の下地結晶質シリコン層へのダメージを防止できるためである。
次に、実施例１と比較例２の比較から、実施例１においては比較例２よりも曲線因子が５％程度改善されていることがわかる。これは、実施例１においては、ｎ型シリコン系低屈折率層４ｏｎと透明反射層５ｔの間にｎ型結晶質シリコン系界面層４ｎを挿入することにより、太陽電池の直列抵抗が改善されているためである。
図４に示す、太陽電池特性測定時の光入射側と逆方向から光を照射して測定した反射スペクトルの測定結果から、裏面電極５をエッチング除去すれば、結晶質ｉ型シリコン光電変換層４ｉの後方に、それよりも屈折率の小さいシリコン系低屈折率層４ｏｎが配置されているか否かが検知可能であることがわかる。
図５に示す実施例２の結果から、シリコン系低屈折率層の屈折率には最適値があり、屈折率は２．５以下が好ましいことがわかる。この条件は、図１より層中酸素量２５原子％以上に対応していることがわかる。これは、屈折率が２．５を超える場合には隣接する結晶質ｉ型シリコン光電変換層との屈折率差が小さく光閉じ込め効果が小さいためである。また、図６に示す実施例３の結果から、シリコン系低屈折率層の厚さには最適値があり、厚さ３００Å以上が好ましいことがわかる。
以上のことから、本発明によれば、光電変換層よりも低い屈折率を有するシリコン系低屈折率層を、光電変換層の形成と別種の設備を用いることなく、光入射側から見て光電変換層の後方に形成することができるため、低コストで十分な光閉じ込め効果を発揮できる。さらにシリコン系低屈折率層の後方に薄いシリコン系界面層を配置することで太陽電池の直列抵抗を小さく保つことができる。この結果、高効率かつ低コストでシリコン系薄膜太陽電池を提供することができる。
【産業上の利用可能性】  本発明によれば、光電変換層よりも低い屈折率を有するシリコン系低屈折率層を、光電変換層の形成と別種の設備を用いることなく、光入射側から見て光電変換層の後方に形成することができるため、低コストで十分な光閉じ込め効果を発揮できる。さらにシリコン系低屈折率層の後方に薄いシリコン系界面層を配置することで太陽電池の直列抵抗を小さく保つことができる。
この結果、高効率かつ低コストでシリコン系薄膜太陽電池を提供することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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