(57)【要約】この発明は、簡便な構造でＸ線撮像が可能な装置を提供するものである。  この装置においては、まず、Ｘ線源１と第１の回折格子２との間に被検体１０を配置する。ついで、Ｘ線源１から第１の回折格子２に向けてＸ線を照射する。照射されたＸ線は、第１の回折格子２を通過する。このとき、第１の回折格子２では、タルボ効果を生じる。ここで、被検体１０によるＸ線の位相のずれがあるので、第１の回折格子２の自己像は、それに依存して変形している。続いて、Ｘ線は、第２の回折格子３を通過する。その結果、上記の変形した第１の回折格子２の自己像と第２の回折格子３との重ね合わせにより、Ｘ線に、一般的にはモアレ縞となる画像コントラストを生成することができる。生成したモアレ縞をＸ線画像検出器４により検出することができる。生成されたモアレ縞は、被検体１０により変調を受けている。したがって、検出されたモアレ縞を解析することにより、被検体１０およびその内部の構造を検出することができる。
2004058070.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２の回折格子と、Ｘ線画像検出器とを備え、前記第１の回折格子は、この第１の回折格子に照射されたＸ線によりタルボ効果を生じる構成となっており、前記第２の回折格子は、前記第１の回折格子により回折された前記Ｘ線を回折する構成となっており、前記Ｘ線画像検出器は、前記第２の回折格子により回折された前記Ｘ線を検出する構成となっていることを特徴とするＸ線撮像装置。
【請求項２】
前記第１および第２の回折格子は透過型のものであることを特徴とする請求項１記載のＸ線撮像装置。
【請求項３】
さらにＸ線源を備え、前記Ｘ線源は、前記第１の回折格子および前記第２の回折格子を介して前記Ｘ線画像検出器にＸ線を照射するものであることを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線撮像装置。
【請求項４】
さらに、前記Ｘ線源と前記第１の回折格子との間に被検体を配置できるようになっていることを特徴とする請求項３記載のＸ線撮像装置。
【請求項５】
前記Ｘ線源から前記第１の回折格子までの距離と前記第１の回折格子における周期との比は、前記Ｘ線源から前記第２の回折格子までの距離と前記第２の回折格子における周期との比にほぼ等しいことを特徴とする請求項３または４に記載のＸ線撮像装置。
【請求項６】
前記第１の回折格子は、照射されたＸ線に対して約８０°〜１００°の位相変調を与える構成となっていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載のＸ線撮像装置。
【請求項７】
前記第１および第２の回折格子における周期は互いにほぼ等しいことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のＸ線撮像装置。
【請求項８】
前記Ｘ線画像検出器で検出されるＸ線の画像には、モアレ縞が形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のＸ線撮像装置。
【請求項９】
前記第１または第２の回折格子は、相対的に回転可能とされており、これにより、前記モアレ縞の間隔が調整可能となっていることを特徴とする請求項８に記載のＸ線撮像装置。
【請求項１０】
前記第１の回折格子と前記第２の回折格子との間に被検体を配置できるようになっていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のＸ線撮像装置。
【請求項１１】
前記第１および第２の回折格子は、それぞれ、前記Ｘ線を回折させる回折部材を備えており、前記回折部材は、少なくとも一方向に延長されており、前記第１の回折格子または第２の回折格子は、これらの回折格子面に沿い、かつ、前記回折部材に交差する方向に沿って移動可能とされていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のＸ線撮像装置。
【請求項１２】
Ｘ線源と、第１および第２の回折格子と、Ｘ線画像検出器とを用い、さらに、以下のステップを備えるＸ線撮像方法；
（１）前記Ｘ線源と前記第１の回折格子との間、または、前記第１の回折格子と前記第２の回折格子との間に被検体を配置するステップ；
（２）前記Ｘ線源から前記第１の回折格子に向けてＸ線を照射するステップ；
（３）前記第１の回折格子により回折されてタルボ効果を生じた前記Ｘ線が前記第２の回折格子に照射されるステップ；
（４）前記第２の回折格子より、前記第１の回折格子で回折された前記Ｘ線が回折されるステップ；
（５）前記Ｘ線画像検出器が、前記第２の回折格子により回折された前記Ｘ線を検出するステップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、Ｘ線の位相を利用するＸ線撮像装置に関するものである。
【背景技術】  可視光の領域では、回折格子によりタルボ効果を生じさせ、さらにもう一枚の回折格子を併用してモアレ縞を生成させるタルボ干渉計が知られている。これによって、可視光の波面の可視化、すなわち位相を利用した画像コントラストの生成ができる。
一方、Ｘ線の領域でも位相を用いたＸ線撮像装置が研究開発されており、例えば特開平１０−２４８８３３号公報記載の文献が知られている。しかしながら、この技術では、装置構成が複雑、あるいは、シンクロトロン放射光という巨大なＸ線源が必要、という不都合があった。
【発明の開示】
本発明は、前記の事情に鑑みてなされたものである。本発明の目的は、簡便な構造により、Ｘ線の位相を利用したＸ線撮像が可能な装置を提供することである。
本発明のＸ線撮像装置は、第１および第２の回折格子と、Ｘ線画像検出器とを備え、前記第１の回折格子は、この第１の回折格子に照射されたＸ線によりタルボ効果を生じる構成となっており、前記第２の回折格子は、前記第１の回折格子により回折された前記Ｘ線を回折する構成となっており、前記Ｘ線画像検出器は、前記第２の回折格子により回折された前記Ｘ線を検出する構成となっているものである。
前記第２の回折格子が、前記第１の回折格子により回折されたＸ線を回折することにより、第１の回折格子の前面、あるいは、第１の回折格子と第２の回折格子の間に配置された被検体によるＸ線の位相変化に起因する画像コントラストを形成できる。Ｘ線画像検出器は、この画像コントラストを生じたＸ線を検出することができる。
前記第１および第２の回折格子は、透過型のものとすることができる。
前記Ｘ線撮像装置は、さらにＸ線源を備えてもよい。このＸ線源は、第１の回折格子および第２の回折格子を介してＸ線画像検出器にＸ線を照射するものである。
前記Ｘ線撮像装置は、Ｘ線源と第１の回折格子との間に被検体を配置できるようになっていてもよい。
Ｘ線源から第１の回折格子までの距離と、第１の回折格子における周期との比を、Ｘ線源から第２の回折格子までの距離と、第２の回折格子における周期との比にほぼ等しく設定することができる。
第１の回折格子は、照射されたＸ線に対して約８０°〜１００°の位相変調を与える構成となっていてもよい。
前記第１および第２の回折格子における周期を互いにほぼ等しくしてもよい。
前記Ｘ線画像検出器で検出されるＸ線の画像に、モアレ縞が形成されていてもよい。
前記第１または第２の回折格子を、相対的に回転可能とし、これにより、モアレ縞の間隔を調整可能としてもよい。
前記第１および第２の回折格子が、それぞれ、前記Ｘ線を回折させる回折部材を備え、前記回折部材が、少なくとも一方向に延長され、前記第１の回折格子または第２の回折格子が、これらの回折格子面に沿い、かつ、前記回折部材に交差する方向に沿って移動可能とされていてもよい。
本発明のＸ線撮像方法は、Ｘ線源と、第１および第２の回折格子と、Ｘ線画像検出器とを用い、さらに、以下のステップを備える。
（１）前記Ｘ線源と前記第１の回折格子との間、または、前記第１の回折格子と前記第２の回折格子との間に被検体を配置するステップ；
（２）前記Ｘ線源から前記第１の回折格子に向けてＸ線を照射するステップ；
（３）前記第１の回折格子により回折されてタルボ効果を生じた前記Ｘ線が前記第２の回折格子に照射されるステップ；
（４）前記第２の回折格子より、前記第１の回折格子で回折された前記Ｘ線が回折されるステップ；
（５）前記Ｘ線画像検出器が、前記第２の回折格子により回折された前記Ｘ線を検出するステップ。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明の一実施形態に係るＸ線撮像装置の概略的な構成を示す説明図である。
図２は、第１の回折格子の断面図である。
図３は、第２の回折格子の断面図である。
図４は、図１のＸ線撮像装置の側面図である。
図５は、実験例１におけるＸ線タルボ効果の実験結果を示す図であり、回折格子から測定面までの距離が３２ｃｍの時の図である。
図６は、実験例１におけるＸ線タルボ効果の実験結果を示す図であり、回折格子から測定面までの距離が６４ｃｍの時の図である。
図７は、実験例１におけるＸ線タルボ効果の実験結果を示す図であり、回折格子から測定面までの距離が９６ｃｍの時の図である。
図８は、実験例２におけるＸ線タルボ干渉計の実験結果を示す図である。
図９は、実験例３において得られた位相シフト微分像を示す図である。
図１０は、実験例３におけるトモグラフィで得られた立体画像である。
【発明を実施するための最良の形態】  本発明の一実施形態に係るＸ線撮像装置を以下に説明する。この撮像装置は、Ｘ線源１と、第１の回折格子２と、第２の回折格子３と、Ｘ線画像検出器４とを主要な構成として備えている（図１参照）。Ｘ線源１は、「第１の回折格子２にＸ線を照射したとき、タルボ効果を発生させうるだけの空間的干渉性」を有するものとする。例えば、「Ｘ線の発光点のサイズ（つまりＸ線源の開口径）を３０ミクロン程度とし、そのＸ線源から約５メートル以上の位置での空間的干渉性」がそれに相当する。Ｘ線源１、回折格子２および回折格子３によってタルボ干渉計が構成される条件は後述する。
第１の回折格子２は、基板２１と、この基板２１に取り付けられた複数の回折部材２２とを備えている（図２参照）。基板２１は、例えばガラスである。複数の回折部材２２は、いずれも一方向（図２中紙面の厚さ方向）に延びる線状とされている。複数の回折部材２２どうしの間隔（つまり回折格子の周期）ｄ（図２参照）は、この実施形態では、一定（つまり回折部材２２どうしは等間隔）とされている。複数の回折部材２２の素材としては、例えば金を用いることができる。回折部材２２としては、照射されるＸ線に対して約８０°〜１００°（理想的には９０°）の位相変調を与える、いわゆる位相型回折格子を構成するものであることが好ましい。つまり、回折部材２２は、その部分に照射されたＸ線の位相速度を変化させていることになる。Ｘ線はかならずしも単色である必要はなく、上記条件を満たす範囲のエネルギー幅（つまり波長スペクトル幅）を有しても構わない。
第２の回折格子３は、前記第１の回折格子２と同様に、基板３１と回折部材３２とを備えている（図３参照）。第２の回折格子３は、第１の回折格子２により回折されたＸ線を回折することにより、画像コントラストを形成する構成となっている。第２の回折格子３については、回折部材３２をより厚くした振幅型回折格子であることが望ましいが、第１の回折格子２と同様に構成することも可能である。
Ｘ線画像検出器４は、画像コントラストを生じたＸ線を検出するものである。このような検出器４は、従来のＸ線撮像装置に使われているものと同様でよいので、詳細な説明を省略する。
次に、第１・第２の回折格子２・３がタルボ干渉計を構成する条件を説明する。まず、可干渉距離１は、次のようになる。
2004058070.tif 000003
ここで、
λ：Ｘ線の波長（通常は中心波長）、
ａ：回折部材にほぼ直交する方向におけるＸ線源の開口径、
Ｌ：Ｘ線源から第１の回折格子までの距離（図４参照）、
Ｚ１：第１の回折格子から第２の回折格子までの距離、
Ｚ２：第２の回折格子から検出器までの距離
である。
また、第１の回折格子２と第２の回折格子３との距離Ｚ１は、第１の回折格子２が位相型回折格子であることを前提にすれば、次の条件をほぼ満たさねばならない。
2004058070.tif 000004
ただしｍは整数、ｄは前記した格子部材の周期である。ここで、１＝αｄとすると、式（１）におけるαは、α＞５（ｍ＋１／２）であることが望ましい。
つぎに、本実施形態のＸ線撮像装置の動作について説明する。
この撮像装置は、Ｘ線源１と第１の回折格子２との間に被検体１０（図１および図４参照）を配置した状態で使用する。ついで、Ｘ線源１から第１の回折格子２に向けてＸ線を照射する。すると、照射されたＸ線は、第１の回折格子２を通過する。このとき、第１の回折格子２では、タルボ効果を生じる。ここで、タルボ効果とは、平面波が回折格子を通過したとき、位相型回折格子の場合、式（２）で与えられる距離において回折格子の自己像を形成することである。今の場合、被検体１０によるＸ線の位相のずれがあるので、第１の回折格子２に入射するＸ線の波面が歪んでいる。したがって、第１の回折格子２の自己像はそれに依存して変形している。続いて、Ｘ線は、第２の回折格子３を通過する。その結果、上記の変形した第１の回折格子２の自己像と第２の回折格子３との重ね合わせにより、Ｘ線に画像コントラストを生成することができる。画像コントラストは一般にモアレ縞となっており、Ｘ線画像検出器４により検出することができる。生成されたモアレ縞は、被検体１０により変調を受けている。その変調量は、被検体１０による屈折効果によってＸ線が曲げられた角度に比例している。したがって、Ｘ線画像検出器４で検出されたモアレ縞を解析することにより、被検体１０およびその内部の構造を検出することができる。
なお、第１または第２の回折格子２・３の回折部材が、Ｘ線源とＸ線画像検出器を通る仮想的な軸のまわりに相対的に微小角θだけ回転して配置してあるとする。θの大きさによって、発生するモアレ縞の間隔が変わる。被検体１０が無いとすると、モアレ縞の間隔はｄ／θで与えられる。ここでｄは回折格子の周期である。微小角θを変えるための機構（例えば、第１の回折格子２および第２の回折格子３の一方を他方に対して相対的に回転させる機構）を備えれば、観察に好ましいようにモアレ縞を調整することが可能となる。また、微小角θをほぼゼロになるように調整すれば、被検体１０に対応する部分以外では（つまり非変調部分では）モアレ縞は現れない。その結果、得られたＸ線画像では、被検体１０によるコントラストのみが現れる。
また、前記の例では、被検体１０がＸ線源１と回折格子２との間に位置する場合を説明したが、被検体１０が回折格子２と回折格子３の間に位置する場合であっても、回折格子３の位置に生成される回折格子２の自己像が被検体１０により変形する。したがって、この場合でも、Ｘ線画像検出器４により、前記の例と本質的に同様に、被検体１０に起因して変調されたモアレ縞（画像コントラスト）を検出することができる。すなわち、本実施形態の装置では、被検体１０が回折格子２と回折格子３の間に位置する場合の撮像も有効である。
本実施形態の装置によれば、Ｘ線の吸収の大小にコントラスト生成を頼る一般的方法では観察しにくい被検体に対して、簡便な構成によってＸ線撮像を実現することができるという利点がある。
（実験例１）
Ｘ線を回折格子に照射することによってタルボ効果を生じさせた実験例１を示す。
（実験条件）
使用Ｘ線：波長０．１ｎｍのシンクロトロン放射光。
回折格子：厚さ１５０ミクロンのガラス板上に、厚さ約１ミクロンの金のパターンを周期ｄ＝８ミクロンで形成したもの。
位相型回折格子でタルボ効果が発生する条件は
2004058070.tif 000005
であるので、まずｍ＝０のときに対応して、第１の回折格子２から検出面までの距離Ｚが３２ｃｍのとき、回折格子の自己像が形成されるはずである。そこで、距離Ｚが３２ｃｍの位置に高解像度のＸ線画像検出器を配置し、画像を記録した。その結果が図５である。同様に、距離Ｚが６４ｃｍのときは上の条件から最もはずれるので、自己像が不明瞭になった（図６）。距離Ｚが９６ｃｍのとき、ｍ＝１の場合に相当し、回折格子の自己像が再び形成された（図７）。これにより、タルボ効果の発生が示された。
本実験例１では、自己像を直接観察する目的があったために高解像度のＸ線画像検出器を使用したが、タルボ干渉計として使用するときはモアレ縞が観察できればよいので、必ずしも高解像度のＸ線画像検出器は必要としない。
（実験例２）
ここでＸ線タルボ効果を利用した本実施形態の実験例２を示す。
（実験条件）
使用Ｘ線：波長０．１ｎｍのシンクロトロン放射光。
回折格子２：厚さ１５０ミクロンのガラス板上に、厚さ約１ミクロンの金のパターンを周期ｄ＝８ミクロンで形成したもの。
回折格子３：厚さ１５０ミクロンのガラス板上に、厚さ約８ミクロンの金のパターンを周期ｄ＝８ミクロンで形成したもの。
回折格子２および３の間隔Ｚ１を、回折格子２によるタルボ効果が現れる３２ｃｍとした。被検体１０として直径約１ｍｍのプラスチック球を用いた。
被検体１０は、Ｘ線源１と第１の回折格子２との間であって、かつ、第１の回折格子２の直前に配置した。
この状態で、Ｘ線源から照射されたＸ線を、回折格子３の直後に配置されたＸ線画像検出器４により検出した。その結果、図８に示される画像を得ることができた。この実験では、θ≒０°になるように調整したので、モアレ縞はほぼ発生しておらず、被検体としてのプラスチック球による位相のずれに対応するコントラストだけが現れている。この実験例では、球およびその内部に存在する気泡が明瞭に捉えられている。
なお、前記実験例２では、第１および第２の回折格子を透過型としたが、反射型でもよい。ただし、Ｘ線の反射量は一般に少ないので、透過型のほうが効率がよい。
また、前記実験例２では、第１・第２の回折格子２・３における周期を一様且つ同じとしたが、これは、図１に示す距離Ｚ１に比べて、Ｘ線源までの距離Ｌが十分に大きいという仮定が可能であったからである。一般的には、Ｘ線源１から第１の回折格子２までの距離と第１の回折格子における周期との比を、Ｘ線源１から第２の回折格子３までの距離と第２の回折格子３における周期との比にほぼ等しくするのが望ましい。
さらに、前記実験例２では、第１の回折格子が、照射されたＸ線に対して位相差を与える構成（位相型回折格子）となっているが、Ｘ線に対して強度差を与える構成（振幅型回折格子）であってもよい。この場合、回折部材がＸ線を吸収する構成とすればよい。この場合でも、前記した原理でタルボ干渉計を構成できる。
また、前記実験例２では、第１および第２の回折格子２および３を平板状としているが、球面状としてもよい。この場合、線源を曲率中心とする球面とすることが好ましい。
また、前記実施形態においては、被検体または撮像系（線源と各回折格子と検出器）のいずれかを回転させて複数の投影方向で画像を取得し、それらにトモグラフィによる処理を施すことにより、被検体およびその内部の構造を立体的に観察することもできる。なお、この場合、従来のトモグラフィと異なり、屈折率分布により立体像が形成されることになり、従来のトモグラフィの感度では描出しにくい構造を描出することが可能となる。
（実験例３）
ここで、本実施形態に係る装置を用いたトモグラフィの実験例を示す。
（実験条件）
実験例３の実験条件は、実験例２と同一である。
本実施形態を用いたトモグラフィでは、つぎの三つの手順が必要となる。手順１は、Ｘ線画像検出器４により検出されたＸ線画像（以下「モアレ縞画像」という）から、「被検体１０による屈折効果によってＸ線が曲げられる角度の分布像」（以下「位相シフト微分像」という）への変換である。手順２は、位相シフト微分像を積分することにより、位相のずれそのものを表す像（以下「位相シフト像」という）を取得することである。手順３は、複数の投影方向で得られる位相シフト像を用いて、トモグラフィにより立体像を再構成することである。
手順１には、縞走査法を用いる。この方法では、回折格子２あるいは３の一方を、他方に対して相対的に並進移動させる。並進方向は、移動させる回折格子の面にほぼ平行であり、かつ、回折部材にほぼ垂直な方向である。したがって、本実施形態の装置によりトモグラフィを行う場合は、第１の回折格子２または第２の回折格子３を移動させる移動機構を本実施形態の装置にさらに備えることが好ましい。
回折格子の並進移動に伴って、モアレ縞は移動し、並進距離が回折格子の１周期に達すると、モアレ縞画像は元に戻る。縞走査法は、モアレ縞画像の変化を１周期の整数分の１ずつ並進させながら記録し、それらを演算処理することにより位相シフト微分像ψ（ｘ，ｙ）を得るものである。（ｘ，ｙ）は画素の位置を示す座標である。上記並進移動量をξとして、モアレ縞画像Ｉ（ｘ，ｙ）は一般的に
2004058070.tif 000006
で与えられる。ここでＡｋ（ｋ＝０，１，…）は、回折格子の形状により決まる定数である。Δ（ｘ，ｙ）は、回折格子の歪、製作誤差、および配置誤差によって被検体とは関係なく発生するコントラストの寄与を表すものである。ｄは、並進移動させる回折格子の周期、Ｚ１は、回折格子２と回折格子３の間隔である。今、ξをステップｄ／Ｍ（Ｍ：整数）で変化させながらＭ枚のモアレ縞画像を取得するとする。式（３）においてｋ＞Ｎの項が十分小さく無視できるとすれば、Ｍ＞Ｎ＋１を満たすようにＭを選べば
2004058070.tif 000007
が満たされる。ａｒｇ［］は偏角の抽出を意味する。Ｉｐ（ｘ，ｙ）は、ξ＝ｐｄ／Ｍとしたときの式（３）の値である。ｄおよびＺ１は既知であり、Δ（ｘ，ｙ）は被検体が無いとき（すなわちψ（ｘ，ｙ）＝０）に同様の測定を行って予め求めることができる。したがって、以上よりψ（ｘ，ｙ）を得ることができる。
第２の回折格子３をＭ＝５で並進させて取得した画像から得られた位相シフト微分像ψ（ｘ，ｙ）を図９に示す。被検体１０には、直径約１ｍｍのプラスチック球（図８の例と同一）を用いた。図９には、プラスチック球の内部に含まれていた気泡も含めて、位相シフト微分像が良く描出されている。
位相シフト像Φ（ｘ，ｙ）と位相シフト微分像ψ（ｘ，ｙ）とは
2004058070.tif 000008
で関係付けられる。ここでｘは、上記縞走査法により回折格子を並進移動させる方向にあたる。これより、位相シフト像Φ（ｘ，ｙ）は、ψ（ｘ，ｙ）をｘ軸に沿って積分することにより与えられる。これが手順２である。
位相シフト像Φ（ｘ，ｙ）は、被検体の屈折率分布をｎ（ｘ，ｙ，ｚ）として
2004058070.tif 000009
で与えられる。ここでｚ軸は、Ｘ線が進む方向である。トモグラフィは、二次元画像である投影像を複数の投影方向から取得できる場合に、それらから被検体の三次元像を再構成する技術である。位相シフト像Φ（ｘ，ｙ）は、１−ｎ（ｘ，ｙ，ｚ）の投影像にあたるので、複数の投影方向から位相シフト分布像が得られれば、ｎ（ｘ，ｙ，ｚ）を示す立体像が再構成される（手順３）。なお、手順２と手順３は一括して同時に行ってもよい。図９のプラスチック球について、前記の手順を用いて立体画像を再構成した結果を図１０に示す。図１０の例は、プラスチック球を０．７２°ずつ回転して、図９にあたる画像を２５０枚取得し、これらの画像を用いて再構成した結果である。プラスチック球の内部を示すために、コンピュータ処理により一部を除いて表示している。
なお、このような撮像手法は、手順３まで進まなくては意味が無いものではなく、前記した実施形態のＸ線画像検出器４により直接得られた画像（生画像）、位相シフト微分像φ（ｘ，ｙ）、および位相シフト像Φ（ｘ，ｙ）のいずれも、撮像の目的に応じて十分に利用できるものである。
また、前記実施形態では、第１および第２の回折格子として基板に回折部材を取り付けた構造を示したが、この構造には限定されない。回折格子の構造としては、例えば、平板の両面に回折部材を取り付け、これにより、第１及び第２の回折部材とする構成でもよい。さらには、屈折率（または吸収率）が異なる二種類のフィルムあるいは箔を交互に多数積層し、それをフィルムあるいは箔の厚さ方向に切ることで回折格子を構成しても良い。
また、前記実施形態では、Ｘ線源１を含む構成としたが、Ｘ線源１が無い装置としてもよい。この場合は、使用時において、Ｘ線源と組み合わせればよい。
なお、前記実施形態および実施例の記載は単なる一例に過ぎず、本発明に必須の構成を示したものではない。各部の構成は、本発明の趣旨を達成できるものであれば、上記に限らない。
たとえば、前記した各実施形態における構成要素は、機能要素として存在していればよく、装置または部品としては、他の要素と統合されていてもよく、また、複数の部品によって一つの要素が実現されていてもよい。
【産業上の利用の可能性】
本発明によれば、簡便な構造でＸ線の位相を利用したＸ線撮像が可能な装置を提供することができる。
【図１】
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【図２】
2004058070.tif 000011
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2004058070.tif 000017
【図９】
2004058070.tif 000018
【図１０】
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【国際調査報告】
2004058070.tif 000020
2004058070.tif 000021