(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線源からテーブルに載置された被検体に放射線を照射し、当該テーブルを３軸方向に動かして透視拡大率或いは観察位置を変更し、当該被検体から透過してくる放射線を放射線検出器で検出し、透視画像を収集する放射線検査装置において、
前記被検体に面接触させて熱を伝達する平板状の熱伝達部と、この熱伝達部に対し前記被検体が面接触する平板部分を除いて対称的に、当該熱伝達部内または当該熱伝達部の面部に密着させた状態で取り付け、当該熱伝達部を加熱または冷熱する熱発生源と、この熱発生源で加熱または冷却された当該熱伝達部或いは前記被検体の温度を検出する温度検出手段とで構成された発熱または冷熱ユニットと、
前記熱発生源に通電する熱発生源用電源とを備え、
前記被検体と一体となった前記発熱または冷却ユニットを前記テーブルに載置し、前記熱伝達部を介して前記被検体を加熱または冷却しつつ前記透視画像を収集することを特徴とする放射線検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の放射線検査装置において、
前記平板状の熱伝達部は、当該平板状の面が前記放射線源から照射される放射線の照射方向と直交するように配置し、
前記熱伝達部の面部のうち、前記被検体を面接触させる部分を除く面部に対称的に前記熱発生源を取り付けたことを特徴とする放射線検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の放射線検査装置において、
前記温度検出手段で検出された温度が予め定める所定の温度になったとき、前記透視画像を収集し記憶手段に保存する画像データ保存手段を付加したことを特徴とする放射線検査装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の放射線検査装置において、
前記透視画像を収集したときに、前記温度検出手段で検出された温度の数値データを含むファイル名を付して、収集した前記透視画像を記憶手段に保存する画像データ保存手段を付加したことを特徴とする放射線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検体を所定の温度に加熱または冷却した状態で当該被検体の透視画像または断層像を収集し保存する放射線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
新素材、マイクロデバイス、小型電子部品、複数部材接合部等の被検体を検査する場合、当該被検体を加熱または冷却した後、透過性の放射線を照射し、その透視画像または断層像を取得すれば、被検体の内部状態を含む挙動を把握でき、被検体の内部状態を解析する上で重要な検査となる。
【０００３】
従来、被検体を加熱または冷却し、光源を含む放射線等を透過させて検査する検査装置としては、幾つか提案されている。
【０００４】
その１つの検査装置は、斜め上方に配置された加熱装置から被検体に対して輻射熱を与える一方、真上の光源から被検体に光線を照射し、その被検体を通過した光線を真下の光線検出器で検出し映像信号に変換してモニタリングする構成である（特許文献１参照）
）。
【０００５】
他の検査装置としては、斜め下方に配置される熱光源から被検体に向けて輻射熱を与える一方、被検体の真上から当該被検体に向けてＸ線発生部からＸ線を照射し、被検体を透過してくるＸ線を真下の検出部で検出する構成である（特許文献２参照）。
【０００６】
さらに、別の検査装置としては、所要の間隔を隔てて被検体を囲むように第１の熱源及び第２の熱源を配置することによって被検体を加熱するとともに、Ｘ線発生部から被検体にＸ線を照射し、被検体を挟んで反対側のセンシング部でＸ線の透視画像を検出する構成である（特許文献３参照）。
【０００７】
さらに、もう１つの検査装置は、回転体に被検体を載せて回転させるとともに、被検体の上部から接触せずに覆い被せるように筒状をなす均熱部材を非回転状態にて配置し、当該筒状均熱部材の相対する壁部にそれぞれＸ線の透過窓を設け、回転させつつ被検体の断層像を取得する構成である。この検査装置は、均熱部材をぺルチェ素子で常温から±６０℃程度の範囲で加熱または冷却し、均熱部材からの輻射熱にって被検体を加熱または冷却する（特許文献４参照）。
【特許文献１】特開２００４−３４０９７３号公報（図２参照）
【特許文献２】特開２００３−１４９１７３号公報（図２参照）
【特許文献３】特開２００５−２７４１９４号公報（図１参照）
【特許文献４】特開２００５−２７４２７７号公報（図２参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、以上のような特許文献の技術は、何れも被検体が熱源または吸熱源と非接触、かつ、熱源または吸熱源の輻射熱を利用して加熱または冷却する構成であるので、熱源または吸熱源で加熱または冷却して被検体を所定温度まで昇温または下降させる場合、熱伝達速度が遅く、被検体が所望の温度になるまでに長時間かかる問題がある。
【０００９】
また、熱源と被検体とが完全に離れた状態となっていることから、大気中への熱放出量が大きくなり、加熱または冷却に要する熱量を大きくしないと、被検体を所望の温度に保持させることが難しい。さらに、加熱または冷却に要する熱量を大きくすると、加熱または冷却機構が大きくなり、検査装置が大型になり易い問題がある。
【００１０】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、被検体に対する熱源または吸熱源の熱放出量を低減化し、速やかに被検体を所望の温度に昇温または下降し、小型化に実現可能に寄与する放射線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
（１）  上記課題を解決するために、本発明は、放射線源からテーブルに載置された被検体に放射線を照射し、当該テーブルを３軸方向に動かして透視拡大率或いは観察位置を変更し、当該被検体から透過してくる放射線を放射線検出器で検出し、透視画像を収集する放射線検査装置において、前記被検体に面接触させて熱を伝達する平板状の熱伝達部と、この熱伝達部に対し前記被検体が面接触する平板部分を除いて対称的に、当該熱伝達部内または当該熱伝達部の面部に密着させた状態で取り付け、当該熱伝達部を加熱または冷熱する熱発生源と、この熱発生源で加熱または冷却された当該熱伝達部或いは前記被検体の温度を検出する温度検出手段とで構成された発熱または冷熱ユニットと、前記熱発生源に通電する熱発生源用電源とを備え、前記被検体と一体となった前記発熱または冷却ユニットを前記テーブルに載置し、前記熱伝達部を介して前記被検体を加熱または冷却しつつ前記透視画像を収集する放射線検査装置である。
【００１２】
（２）  また、本発明は、前記（１）項の発明に記載される前記平板状の熱伝達部としては、当該平板状の面が前記放射線源から照射される放射線の照射方向と直交するように配置し、前記熱伝達部の面部のうち、前記被検体を面接触させる部分を除く面部に対称的に前記熱発生源を取り付けた構成である。
【００１３】
（３）  さらに、本発明は、前記（１）項または前記（２）項の発明の構成に新たに、前記温度検出手段で検出された温度が予め定める所定の温度になったとき、前記透視画像を収集し記憶手段に保存する画像データ保存手段を付加した構成である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、被検体に対する熱源または吸熱源の熱放出量を低減化でき、速やかに被検体を所望の温度に昇温または下降させることができ、装置の小型化に貢献する放射線検査装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。  
（第１の実施の形態）
図１ないし図２は本発明に係る放射線検査装置の第１の実施の形態を説明する図であって、図１は放射線検査装置の全体構成図、図２は温度制御系を含む発熱ユニットの構成図である。
【００１６】
放射線検査装置は、被検体１を挟んだ状態でテーブル２上に載置する発熱ユニット３Ａと、温度制御器４と、テーブル２の例えば真下から被検体１に向けてＸ線５ａを照射するＸ線発生器５と、被検体１の例えば真上に配置され、被検体１を透過してくるＸ線５ａを検出して透視画像信号を出力するＸ線検出器６と、パソコンなどの画像データ保存端末７とで構成される。なお、Ｘ線発生器５とＸ線検出器６とを上下逆に配置した構成であっても構わない。
【００１７】
発熱ユニット３Ａの一部を構成する加熱手段としては、ヒータ３１ａａ，３１ａｂとヒータ電源３２とで構成される。ヒータ３１ａａ，３１ａｂは、それぞれ例えばセラミックヒータが用いられ、直列接続した状態でヒータ電源３２ａに接続する。
【００１８】
加熱手段を除く発熱ユニット３Ａは、図２に示すように所定の厚さを有する任意形状、例えば四角形の平板状に形成された熱伝達部３３ａを有する。熱伝達部３３ａは、例えばアルミニューム等の材料が用いられ、相対する２つの側端面側から内側中心方向に向けて断面凹形状をなす凹陥部または断面所定形状の盲貫孔が形成され、これら凹陥部または盲貫孔に熱伝達損失が生じないようにそれぞれヒータ３１ａａ，３１ａｂを嵌め込むか、或いは埋め込む。
【００１９】
そして、熱伝達部３３ａの各凹陥部に嵌め込んだヒータ３１ａａ，３１ａｂを覆うように熱伝達部３３ａの一方面部に高耐熱温度の紙基材からなる断熱材３４を貼着する。また、熱伝達部３３ａの適宜な一方端面から内側中心方向に盲貫孔が形成され、当該盲貫孔には温度検出器３５が挿入される。温度検出器３５としては、例えば熱電対や測温抵抗体が用いられるが、例えば非接触状態で熱伝達部３３ａの温度を測定する場合には赤外線温度検出器を用いてもよい。また、温度検出器３５は被検体１の温度を直接測定するようにしてもよい。
【００２０】
前記熱伝達部３３ａにおける断熱材３４設置面とは反対側面部は、被検体１の面部と面接触する面部であって、当該面部には複数の鋼製のねじ体３６ａ，３６ｂが突設されている。これらねじ体３６ａ，３６ｂには両面に高耐熱温度の紙基材からなる断熱材３７，３８を貼着した押え板３９が進退可能に装着される。押え板３９としては、例えばアルミニューム等の材料が用いられる。
【００２１】
発熱ユニット３Ａは、押え板３９と熱伝達部３３ａとで被検体１を挟み込んだ後、ナット４０ａ，４０ｂにて締め付け固定する。なお、熱伝達部３３ａと被検体１との間には熱伝達特性を改善するためにグリス等を塗布してもよい。
【００２２】
前記温度制御器４は、ヒータ電源３２ａをオン制御するとともに、前記温度検出器３５の検出温度を取り込んで表示し、かつ、検出温度が例えば所定の温度に達するようにヒータ電源３２ａを制御する。
【００２３】
Ｘ線発生器５は例えばテーブル２の下部から被検体１に向けてＸ線を照射するが、被検体１が発熱ユニット３Ａに挟み込まれた状態で設定されている。そのため、発熱ユニット３Ａとしては、平板状の熱伝達部３３ａの面方向がＸ線５ａの透視方向（Ｘ線５ａの照射方向）となるようにカーボン製のテーブル２上に載置される。
【００２４】
Ｘ線検出器６は、二次元分解能をもつ検出器であって、例えばＸ線Ｉ．Ｉ．（Ｘ線イメージ．インテンシファイア）とテレビカメラとで構成される。Ｘ線Ｉ．Ｉ．は、被検体１を透過してくるＸ線５ａを鮮明な可視光に変換する機能を持っている。テレビカメラは、Ｘ線Ｉ．Ｉ．で変換された可視光像を撮像し、映像化された透視画像信号に変換する。テレビカメラで撮像された透視画像信号はアナログ透視画像信号またはデジタル透視画像信号の何れにも変換可能である。
【００２５】
このＸ線検出器６にはパソコンなどの透視画像保存端末７が接続されている。  
画像データ保存端末７は、Ｘ線検出器６から透視画像信号を取り込んでディスク装置８に電子的に保存するが、Ｘ線検出器６からアナログ透視画像信号を取り込んだ場合には多値化（２５６値）によるデジタル透視画像信号に変換した後、ディスク装置８に保存する。
【００２６】
また、画像データ保存端末７には、温度検出器３５の出力端が接続され、温度検出器３５で検出された温度を取り込み、透視画像信号とともにディスク装置８に保存する。
【００２７】
前述したテーブル２には従来公知の位置調整機構（図示せず）が設けられている。位置調整機構は、テーブル２を直交する３軸方向，つまり上下方向、左右方向および前後方向に変位可能に動かすことにより、透視拡大率を可変し、或いは観察位置を変更することができる。
【００２８】
また、テーブル２と発熱ユニット３Ａの間には図示していないが角度調整機構が設けられている、角度調整機構は、発熱ユニット３Ａの傾斜角度や首振り角度を微調整するもので、Ｘ線５ａが被検体１に最適な透過方向で透過するように調整する機能を持っている。
【００２９】
次に、以上のように構成された放射線検査装置の動作について説明する。
【００３０】
操作者は、熱伝達部３３ａと押え板３９とで被検体１を挟み込んだ後、ナット４０ａ，４０ｂを螺進させながら押え板３９をねじ体３６ａ，３６ｂに沿って前進させ、被検体１を熱伝達部３３ａに押さえ付けるように締め付け固定する。
【００３１】
しかる後、操作者は、角度調整機構（図示せず）を介して発熱ユニット３Ａをテーブル２上に載置する。このとき、発熱ユニット３Ａは、平板状の熱伝達部３３ａの面方向がＸ線発生器５からのＸ線５ａの透視方向と一致するように設置する。
【００３２】
以上のように発熱ユニット３Ａをテーブル２上に載置した後、Ｘ線発生器５からＸ線５ａを照射し、Ｘ線発生器５とは反対側に配置されるＸ線検出器６で被検体１を透過してくるＸ線５ａを検出する。ここで、Ｘ線検出器６は、被検体１から出てくるＸ線５ａを検出した後、例えばデジタル化された透視画像信号に変換し出力する。画像データ保存端末７は、Ｘ線検出器６で変換された透視画像信号を取り込んで表示し、操作者は被検体１を透過してくるＸ線５ａの透視画像を見ながらテーブル２および発熱ユニット３Ａの位置及び角度の調整を実施する。
【００３３】
すなわち、テーブル２および発熱ユニット３Ａの位置および角度は、常温状態で所望の透視画像が得られるように、図示しない位置調整機構および角度調整機構を用いてテーブル２および発熱ユニット３Ａの微調整を行う。このとき、Ｘ線５ａの透視方向は、前述したように平板状の熱伝達部３３ａの面方向とし、熱伝達部３３ａが被検体１の透視画像にとって邪魔にならない範囲となるようにテーブル２および発熱ユニット３Ａの微調整を行いつつ、最適な透視状態に設定する。
【００３４】
また、操作者は、温度制御器４を操作することによってヒータ電源３２ａをオン状態とし、ヒータ３１ａａ，３１ａｂを発熱させる。このヒータ３１ａａ，３１ａｂによる発熱は、熱伝達部３３ａを経由して被検体１に伝わる。温度制御器４は、所定の周期ごとに温度検出器３５の検出温度を取り込んで表示するとともに、検出温度が所定の温度となるようにヒータ電源３２ａを制御し、ヒータ３１ａａ，３１ａｂの発熱を制御する。
【００３５】
これにより、熱伝達部３３ａに面接触している被検体１の温度を速やかに所定の温度に昇温する。このとき、発熱ユニット３Ａとしては、熱伝達部３３ａの外表面および押え板３９の両面にそれぞれ断熱材３４，３７，３８が貼着されているので、熱伝達部３３ａから外部に放出される熱量が小さく、また、押え板３９側の断熱材３８で被検体１からの放出熱を遮断するので、被検体１を効率よく加熱することができる。
【００３６】
なお、熱伝達部３３ａはそれ自身が発熱体であってもよい。その場合、温度検出器３５は熱伝達部３３ａまたは被検体１に密着するように取り付ける。
【００３７】
操作者は、温度制御器４に表示される現在温度を観察し、当該現在温度が所定の温度に達したとき、または透視画像が所望の透視状態或いは透視画像に変化が現れたとき、画像データ保存端末７に対して画像収集指令を入力する。画像データ保存端末７は、画像収集指令が入力されると、Ｘ線検出器６から出力される透視画像を取り込んでディスク装置８に保存する。
【００３８】
なお、画像データ保存端末７は透視画像の画質改善機能を備えている。画質改善機能としては、例えばノイズを含む透視画像である多値化変換されたデジタルデータフレームを複数回取り込み、各フレームの同一画素のデジタル値を加算平均処理することにより、透視画像に含むノイズを低減するとか、フレームに現れる透視画像の近隣画素間のデジタル値の差を強調することにより、透視画像のエッジを強調処理するなどである。
【００３９】
よって、操作者は、適宜に画像データ保存端末７の画質改善機能を透視画像に適用し、当該透視画像の画質を改善した後、ディスク装置８に保存する。
【００４０】
従って、以上のような実施の形態によれば、ヒータ３１ａａ，３１ａｂを埋め込んだ熱伝達部３３ａの外側表面に断熱材３４を貼着すると共に、当該熱伝達部３３ａの内側表面を被検体１に面接触させ、前記ヒータ３１ａａ，３１ａｂにて熱伝達部３３ａを加熱しつつ被検体１に伝達するので、被検体１の加熱に要する熱量を比較的少なくでき、また、ヒータ３１ａａ，３１ａｂの発熱を短時間に被検体１に伝達することが可能となり、被検体１の温度を迅速に所定の温度に加熱することができる。
【００４１】
さらに、被検体１への熱伝達面部を除く熱伝達部３３ａおよび押え板３の他の面部は断熱材３４，３７，３８で覆っており、かつ、熱伝達部３３ａが被検体１に面接触しているので、ヒータ３１ａａ，３１ａｂの発熱の外部消失熱量を小さく抑えることが可能であり、よって被検体１を効率良く加熱でき、被検体１全体を均一な温度に加熱することができ、装置の小型化にも貢献する。
【００４２】
さらに、熱伝達部３３ａおよび押え板３９の不必要な面部を断熱材３４，３７，３８で覆うことにより、被検体１の近傍にあるＸ線発生器５およびＸ線検出器６などの機器に与える温度の影響を軽減化できる。
【００４３】
また、被検体１、熱伝達部３３ａ、ヒータ３１ａａ、３１ａｂを一体にして発熱ユニット３Ａを構成し、発熱ユニット３Ａをあたかも１つの被検体のように扱うことができるので、操作が容易になるとともに加熱のための装置の改造も極めて容易になる。また、加熱手段を持たない装置へ容易に切換えることができ、汎用性の高い装置とすることができる。
【００４４】
（第１の実施の形態における変形例）
（１）  なお、上記実施の形態では、熱伝達部３３ａ側にセラミックヒータなどのヒータ３１ａａ，３１ａｂを設けたが、例えば押え板３９側にも同様に複数のヒータを設けてもよい。押え板３９側に複数のヒータを設けた場合、熱伝達部３３ａ側のヒータ３１ａａ，３１ａｂと押え板３９側の複数のヒータ、つまり４つのヒータを直列に接続し、ヒータ電源３２ａに接続する。また、押え板３９側に複数のヒータを設けた場合、押え板３９の内側表面に断熱材３８を貼らずに被検体１に直接接触させる構成とする。
【００４５】
このような構成によれば、被検体１の相対する２面を、熱伝達部３３ａ側のヒータ３１ａａ，３１ａｂと押え板３９側の複数のヒータで加熱するので、これらヒータから発する熱量を効果的に被検体１に伝達でき、より早期に被検体１の温度を所定温度、かつ、均一な温度に設定でき、小型化にも大きく貢献する。
【００４６】
（２）  また、他の変形例としては、例えば発熱ユニット３Ａ全体または被検体１の外部に面する周囲を、板材で囲い込んで空気の対流を防ぐ構成としてもよい。このとき、板材として、透視画像に写り込む部分にはＸ線透過性がよいカーボン板や紙基材の断熱材を用い、他の部分は断熱性のよいロックウール材等を用いる。
【００４７】
このような構成によれば、Ｘ線透視画像の画質をほとんど劣化させることなく、また被検体１の周りの空気対流で生じる被検体１の温度低下を防止でき、被検体１全体をより一層短時間で均一な温度とすることができる。
【００４８】
（３）  本発明に係る放射線検査装置に適用する発熱ユニット３Ａとしては、例えば図３に示すような構成のものであってもよい。
【００４９】
図３に示す発熱ユニット３Ａは、前述同様に熱伝達部３３ａと押え板３９とを用いて被検体１を挟み込む構成とした点は変わらないが、この変形例では、熱伝達部３３ａ内にヒータ３１ａａ，３１ａｂを設けることなく、また押え板３９の内側表面に貼着した断熱材３８を取り除いた状態で、当該熱伝達部３３ａと押え板３９とで被検体１を挟み込むものである。
【００５０】
そして、被検体１を挟んだ際当該熱伝達部３３ａと押え板３９との間に形成される空間部にセラミックヒータ等のヒータ３１ａｃ，３１ａｄと熱伝達体４１ａ、４１ｂとを重ね合わせて介在する。すなわち、熱伝達部３３ａと押え板３９との間に形成される空間部の一方側面から内側中央部分に配置される被検体１近傍に向けて、ヒータ３１ａｃ及び熱伝達体４１ａとを重ね合わせた状態で介在し、当該一方側面と相対する他方側面から内側中央部分の被検体１近傍に向けて、ヒータ３１ａｄ及び熱伝達体４１ｂとを重ね合わせた状態で介在する。
【００５１】
熱伝達体４１ａ，４１ｂとしては、例えば熱伝導性が良く高温状態でも弾力性を維持できる耐熱ゴムなどが使用される。
【００５２】
このような構成によれば、熱伝達部３３ａと押え板３９との間に形成される空間部の相対する側面から内側中央部分に挿入される２つのヒータ３１ａｃ，３１ａｄから発生する発熱が僅かな空隙を通して被検体１に付与され、また、２つのヒータ３１ａｃ，３１ａｄから発生する発熱が熱伝達部３３ａおよび押え板３９を通して当該熱伝達部３３ａ、押え板３９の内側面部から直接面接触状態で被検体１に付与することができる。その結果、被検体１の４面方向から被検体１を同時に加熱するので、被検体１以外の外部への熱損失を大幅に減少させることができ、被検体１を加熱するための供給電力を小さくでき、それに伴って装置の小型化にも貢献する。
【００５３】
また、被検体１の４面方向から当該被検体１を同時に加熱することから、ヒータ３１ａｃ，３１ａｄの発熱を被検体１に効率良く伝達でき、当該被検体１の温度をより短時間に均一な温度に近づけることができる。
【００５４】
（４）  さらに、上記実施形態では、熱伝達部３３ａと押え板３９とで被検体１を挟み込んだ状態に設定した後、ナット４０ａ，４０ｂを螺進させつつ押え板３９を前進させて被検体１を締め付け固定したが、締め付けの程度や何らかの原因で検査中に被検体１の位置が多少ずれることも考えられる。
【００５５】
そこで、本実施の形態の別の変形例としては、熱伝達部３３ａの内側面部および押え板３９の内側面部の何れか一方の面部または両面部の被検体１の下位相当位置から僅かな長さのストッパーを取り付け、被検体１の下位の位置決めに用いる構成であってもよい。
【００５６】
これにより、検査中に被検体１の位置ずれが無くなり、また被検体１が落下するような事態を未然に回避できる。さらに、熱伝達部３３ａと押え板３９との間に被検体１を設置する際、簡便、かつ、迅速に被検体１を位置決めしつつ設置できる。
【００５７】
（第２の実施の形態）
図４は本発明に係る放射線検査装置における第２の実施の形態を示す発熱ユニットの概略構成図である。  
この実施の形態では、テーブル２の上面部に平板状の熱伝達部３３ａと平板状の断熱材３４とを重ね合わせて水平に載置する発熱ユニット３Ｂの例である。
【００５８】
発熱ユニット３Ｂは、具体的には、水平に配置される例えば四角形の平板状の熱伝達部３３ｂの下面部に当該熱伝達部３３ｂとほぼ同様な形状の平板状の断熱材３４が貼着される。熱伝達部３３ｂには、例えばアルミニウムまたはカーボンなどのごとく熱伝導度が良く、Ｘ線吸収係数の少ない材質のものが平板状化して使用される。
【００５９】
そして、発熱ユニット３Ｂは、平板状の熱伝達部３３ｂの上面中央部分に被検体１を載置するとともに、当該熱伝達部３３ｂ上面部の被検体１を除く面部に対称的に４つのヒータ３１ａａ，３１ａｂ，３１ａｃ，３１ａｄ（３１ａｄは図示せず）を密着させた状態で配置し、これらヒータ３１ａａ，３１ａｂ，３１ａｃ，３１ａｄの発熱を熱伝達部３３ｂに均等に伝達し、被検体１を加熱する構成である。これらヒータ３１ａａ，３１ａｂ，３１ａｃ，３１ａｄは、直列に接続され、ヒータ電源３２ａに接続される。
【００６０】
さらに、発熱ユニット３Ｂは、平板状の熱伝達部３３ｂの上面部に測温抵抗体などの温度検出器３５が密着状態で配置する。温度検出器３５は、熱伝達部３３ｂによる被検体１への伝達温度を検出し、温度制御器４および画像データ保存端末７に送出する。
【００６１】
テーブル２に対する発熱ユニット３Ｂの配置例は、熱伝達部３３ｂの平板面部がＸ線発生器５から発するＸ線５ａの透視方向と直交するように配置され、かつ、図示しない角度調整機構を介してテーブル２上に配置される。
【００６２】
この実施の形態における放射線検査装置の動作について説明する。  
Ｘ線発生器５からＸ線５ａを照射し、図示しないテーブル２及び発熱ユニット３Ｂを挟んでＸ線発生器５とは反対側に配置されるＸ線検出器６で被検体１を透過してくるＸ線５ａを検出する。画像データ保存端末７は、前述したようにＸ線検出器６によって変換された透視画像信号を取り込んで表示する。操作者は、被検体１を透過してくるＸ線５ａの透視画像を見ながらテーブル２および発熱ユニット３Ｂの位置及び角度の調整を実施し、常温状態において適切な透視画像を得るように設定する。このとき、Ｘ線５ａは、断熱材３４、熱伝達部３３ｂおよび被検体１を透過するが、特に断熱材３４、熱伝達部３３ｂのＸ線透過距離が長くなり過ぎないように発熱ユニット３Ｂの角度を微調整し、適切な透視状態に設定する。
【００６３】
テーブル２及び発熱ユニット３Ｂの位置決めを行った後、温度制御器４からヒータ電源３２ａをオン状態とし、４つのヒータ３１ａａ，３１ａｂ，３１ａｃ，３１ａｄに電流を通電する。この通電によるヒータ３１ａａ，３１ａｂ，３１ａｃ，３１ａｄの発熱は熱伝達部３３ｂに伝導し、当該熱伝達部３３ｂに面接触状態で接する被検体１に伝達される。このとき、ヒータ３１ａａ，３１ａｂ，３１ａｃ，３ａｄは、熱伝達部３３ｂの上面部に対称的に配置されているので、熱伝達部３３ｂを通して４つの方向から被検体１を加熱する。その結果、被検体１は４つの方向から伝達されてくる伝達熱によって均一な温度に加熱される。
【００６４】
一方、Ｘ線発生器５から照射されたＸ線５ａは、断熱材３４、熱伝達部３３ｂおよび被検体１を透過し、Ｘ線検出器６に到達する。Ｘ線検出器６は、被検体１を透過してくるＸ線５ａを検出した後、例えばデジタル化された透視画像信号に変換し出力する。なお、Ｘ線検出器６は、アナログ化された透視画像信号を出力し、画像データ保存端末７側でデジタル透視画像信号に変換しても良い。
【００６５】
画像データ保存端末７は、画像収集指令が入力されると、Ｘ線検出器６から出力される透視画像を取り込み、温度検出器３５の検出温度とともに、ディスク装置８に保存する。
【００６６】
この実施の形態によれば、熱伝達部３３ｂの上面部に対称的に配置される４つのヒータ３１ａａ，３１ａｂ，３１ａｃ，３１ａｄから当該熱伝達部３３ｂを通して被検体１の大きな面積部分を加熱する一方、その被検体１の大きな面に垂直な方向からＸ線を照射し、被検体１の透視画像をＸ線検出器６で検出する。このとき、透視画像には、断熱材３４および熱伝達部３３ｂの画像も写り込むが、これら断熱材３４および熱伝達部３３ｂはＸ線吸収係数が小さいことから透視画像に与える影響は少ない。
【００６７】
このような構成とすることにより、被検体１に対する熱源の熱伝達速度を速めることにより、速やかに被検体１を所望の温度に昇温でき、小型化に実現可能な放射線検査装置を提供できる。
【００６８】
なお、この実施の形態では、平板状の熱伝達部３３ｂと平板状の断熱材３４との積層体上に密着状態で被検体１を載置した例であるが、さらに被検体１の上面部に押え板を配置した構成であってもよい。これにより、被検体１を熱伝達部３３ｂに向けて押さえることで密着度が上がり熱伝達を速めることができる。
【００６９】
その他、第１の実施の形態で述べた変形例と同様な変形が可能であり、かつ、第１の実施の形態と同様の効果を奏する。
【００７０】
（第３の実施の形態）
図５は本発明に係る放射線検査装置における第３の実施の形態を示す発熱ユニットの概略構成図である。  
この実施の形態では、図２ないし図４に示すヒータ３１ａａ，３１ａｂ，３１ａｃ，３１ａｄを取り除き、熱伝達部３３ｃ自体に対して直接通電し、熱伝達部３３ｃ自体を直接加熱する発熱ユニット３Ｃの例である。その他の構成は第２の実施の形態と同様である。
【００７１】
発熱ユニット３Ｃは、具体的には、水平に配置される例えば四角形の平板状の熱伝達部３３ｃの下面部に当該熱伝達部３３ｃとほぼ同様な形状の平板状の断熱材３４が貼着される。すなわち、発熱ユニット３Ｃは、第２の実施の形態と同様であるが、特にカーボン製の熱伝達部３３ｃが使用され、当該カーボン製の熱伝達部３３ｃが加熱電源３２ｂに接続される。これにより、加熱電源３２ｂによって熱伝達部３３ｃを直接発熱する。なお、断熱材３４としては、前述したように高耐熱温度の紙基材が使用される。
【００７２】
この実施の形態における動作について説明する。  
本実施の形態では、温度制御器４からの指令に基づいて加熱電源３２ｂをオン状態とし、カーボン製の熱伝達部３３ｃに電流を通電すると、熱伝達部３３ｃ自体が発熱し、被検体１が加熱する。熱伝達部３３ｃの構成材であるカーボンは、耐熱温度が高く、熱伝導度が良く、Ｘ線吸収が少ないので、Ｘ線の被検体１に対する透視画像に与える影響が少ない。その他の動作ついては前述した実施の形態と同様である。
【００７３】
従って、この実施の形態によれば、熱伝達部３３ｃ自体が発熱するので、熱伝達部３３ｃに密着している被検体１の接触面がほぼ均一に加熱でき、被検体１全体を均一な温度にすることができる。その他の効果については、第２の実施の形態と同じである。
【００７４】
なお、第３の実施の形態では、平板状の熱伝達部３３ｃと平板状の断熱材３４との積層体上に被検体１を載置した構成であるが、第２の実施の形態の変形例で述べたように被検体１の上面側に押え板を配置した構成であってもよい。これにより、被検体１と熱伝達部３３ｃとの熱伝達を高めることができる。
【００７５】
また、被検体１の上面側に密着状態でカーボン製の熱伝達部を設置した構成であってもよい。そして、被検体１が載置されるカーボン製の熱伝達部３３ｃと被検体１の上面側に配置されるカーボン製の熱伝達部とを直列に接続し、加熱電源３２ｂに接続する。なお、このとき、被検体１の上面側に配置されるカーボン製の熱伝達部の上面に断熱材３４と同様の断熱材を貼着する。
【００７６】
このような構成によれば、被検体１の上下２面が熱伝達部で加熱されるので、さらに被検体１全体の温度を均一な状態で加熱することができる。
【００７７】
その他については、第２の実施の形態と同様の効果を奏する。
【００７８】
（第４の実施の形態）
前述した各実施の形態では、ヒータ電源３２ａ，加熱電源３２ｂを用いて、熱伝達部３３ａ，３３ｂ、３３ｃを加熱する構成であるが、例えば熱伝達部３３ａ，３３ｂを冷熱手段を用いて所定温度に冷却する構成であってもよい。
【００７９】
冷熱手段としては、冷却効果のある面を熱伝達部３３ａ，３３ｂに密着状態で接続する例えばペルチエ素子と、このペルチエ素子に電流を通電するヒータ電源３２に代わるペルチエ素子用電源とで構成される。ペルチエ素子用電源は、ペルチエ素子の他、図２に示すように温度制御器４にも接続されている。
【００８０】
なお、ペルチエ素子は、被検体１の検査対象領域の透視画像と重なって写ることがないように熱伝達部３３ａ，３３ｂに接合する。すなわち、ペルチエ素子は、被検体１の透視画像と重複しないように、熱伝達部３３ａまたは３３ｂに貼着される。その他は第１、第２の実施の形態と同様の構成である。
【００８１】
この実施の形態における動作について説明する。  
操作者は、第１の実施の形態と同様に常温状態で所望の透視画像が得られるように、位置調整機構（図示せず）および角度調整機構（図示せず）にてテーブル２および冷熱ユニットの位置および角度を調整する。操作者は、温度制御器４を動作させるために必要な操作を行うと、オン指令に基づきペルチエ素子用電源がオン状態となり、ペルチエ素子に対して電流を通電する。その結果、ペルチエ素子は、被検体１の熱を吸熱し、被検体１の温度を降下させていく。このとき、温度制御器４は、温度検出器３５の検出温度が所定の設定温度となるようにペルチエ素子用電源を制御し、被検体１を所望の温度となるように冷却する。
【００８２】
操作者は、温度制御器４に表示される現在温度を観察するが、当該現在温度が所望の温度となったとき、または透視画像が所望とする状態或いは透視画像に変化が見られたとき、画像収集指令を画像データ保存端末７に入力する。画像データ保存端末７は、入力される画像収集指令に基づき、Ｘ線検出器６から透視画像を収集し、温度検出器３５で検出される現在温度データとともに、ディスク装置８に保存する。その他の動作の詳細については第１の実施の形態と同様であるので、それらの説明に譲る。
【００８３】
このような実施の形態によれば、ペルチエ素子を用いて、透視画像の観察に必要な部分にペルチエ素子の画像を写し込むことなく被検体１の透視画像を取り出すことができ、また、被検体１の温度を常温よりも低い所望の温度に下降させることができる。
【００８４】
（第４の実施の形態における変形例）
（１）  ペルチエ素子は、ペルチエ素子に流す電流の向きに応じて、当該ペルチエ素子の熱伝達部３３ａ，３３ｂに密着する面の温度を下降させたり、上昇させることができる。つまり、前述した第４の実施の形態と同じ構成において、ペルチエ素子用電源からペルチエ素子へ供給する電流の向きを第４の実施の形態とは反対の向きとなるようにすれば、ペルチエ素子の熱伝達部３３ａ，３３ｂに密着する面を発熱させることができる。
【００８５】
よって、ペルチエ素子用電源からの通電電流の向きに応じて、ペルチエ素子が吸熱または発熱し、熱伝達部３３ａ，３３ｂ等を常温よりも低い、または高い温度に変更することができる。
【００８６】
この変形例においては、ペルチエ素子およびペルチエ素子用電源は加・冷熱手段とも言える。
【００８７】
この変形例によれば、前述する第１および第２の実施の形態の構成を変更することなく、熱伝達部３３ａ，３３ｂの温度を、常温を境とし、自在に上下動させることができる。その他は第１および第２の実施の形態と同様の効果を奏する。
【００８８】
（２）  また、別の変形例としては、例えば図２に示す構成から断熱材３８を取り除き、前述した熱伝達部３３ａ，３３ｂ側に接続した第１のペルチエ素子とは別に、押え板３９にも同様に第２のペルチエ素子を密着するように接続させた構成であってもよい。
【００８９】
このような構成によれば、被検体１に対して、当該被検体１を挟み込む熱伝達部３３ａ，３３ｂと押え板３９とによる両面から吸熱または加熱制御を行うので、常温を境とし、被検体１全体をより均一な上下の所定温度に冷却または加熱することができる。
【００９０】
（第５の実施の形態）
図６は本発明に係る放射線検査装置における第５の実施の形態を説明する図であって、特に画像データ保存端末７による透視画像の保存例を示す構成図である。
【００９１】
画像データ保存端末７は、Ｘ線検出器６および温度検出器３５からデジタル化された透視画像および温度情報を取得する信号変換及びマルチプレクサ等の機能を持つインタフェース手段７ａと、被検体名称等を入力したり、画像収集指令を入力するキーボード、マウスなどの入力手段７ｂと、透視画像や温度情報を保存処理するＣＰＵで構成される画像保存処理部７ｃと、ディスク装置８と、表示部７ｄとで構成される。
【００９２】
ディスク装置８には、透視画像記憶部８ａとファイル名記憶部８ｂとが設けられている。なお、ファイル名記憶部８ｂは、透視画像を保存する際のファイル名を格納する領域であって、ディスク装置８の適宜な領域または別の適宜なメモリ、例えば一時的にデータを保存するバッフアメモリを用いてもよい。ファイル名記憶部８ｂには、操作者が入力手段７ｂから入力する被検体名称を記憶する被検体名称記憶領域８ｂａ、保存すべき透視画像を取得した際に温度検出器３５から取り込んだ検出温度を記憶する検出温度記憶領域８ｂｂ、透視画像を取得した時の日付データを記憶する日付記憶領域８ｂｃおよびファイル形式例えばビットマップによる画像ファイル形式データを記憶するファイル形式データ記憶領域８ｂｄ等によって構成されている。
【００９３】
このような構成の動作について説明する。
【００９４】
被検体１の検査時または検査の必要なタイミングで入力手段７ｂから被検体名称を入力するか、或いは表示部７ｄに表示されるメッセージのもとに被検体名称を入力すると、画像保存処理部７ｃは、被検体名称を取り込んでファイル名記憶部８ｂの被検体名称記憶領域８ｂａに格納する。
【００９５】
しかる後、画像保存処理部７ｃは、被検体１の検査の段階において、入力手段７ｂまたは温度制御器４から画像収集指令を受けると、インタフェース手段７ａを介して温度検出器３５のデジタル化された温度情報を取り込んで検出温度記憶領域８ｂｂに格納し、かつ、画像データ保存端末７の図示しない時計機能から日付データを取り込んで日付記憶領域８ｂｃに格納する。さらに、透視画像のファイル形式（ビットマップ）のファイル形式データをファイル形式データ記憶領域８ｂｄに格納する。
【００９６】
そして、画像保存処理部７ｃは、Ｘ線検出器６からインタフェース手段７ａを経由してデジタル透視画像を取り込んでディスク装置８の透視画像記憶部８ａに保存するが、このとき、前記ファイル名記憶部８ｂに格納されるデータを用いて自動的にファイル名を生成し、この生成されたファイル名を付して透視画像を保存する。
【００９７】
例えば一例を挙げると、「ｓａｍｐｌｅ１  １５０ｄｅｇ  ０６−０４−１５  １０−３０−２５．ｂｍｐ」なるファイル名を生成する。ここで、「ｓａｍｐｌｅ１」は被検体の名称、「１５０ｄｅｇ」は温度検出器３５で測定した検出温度、「０６−０４−１５」は日付２００６年４月１５日、「１０−３０−２５」は時刻１０時３０分２５秒、「ｂｍｐ」は透視画像の画像ファイル形式（ビットマップ）である。
【００９８】
このように被検体１の透視画像をディスク装置８に保存する際、以上のようなファイル名を生成し、当該透視画像をディスク装置８に保存すれば、操作者が被検体の名称を入力するか、或いは表示部７ｄに表示される複数種類の被検体１の中から選択入力するだけで、温度および日付を含めたファイル名とすることができ、当該ファイル名を見ただけでそれぞれの透視画像を収集したときの温度等を把握することができる。
【００９９】
（その他の変形例）
（１）  第１ないし第４の実施の形態では、透過性の放射線としてＸ線を用いているが、他の放射線、例えばγ線，中性子線，マイクロ波等を発生する機器を用いて、被検体１の透視画像を得る構成としてもよい。
【０１００】
（２）  また、第１ないし第４の実施の形態では、操作者が温度制御器４に表示される温度が所望の温度となったとき、または透視画像が所望とする状態或いは透視画像に変化が見られたとき、画像収集指令を画像データ保存端末７に入力し、透視画像を収集する例について説明したが、例えば温度制御器４に予め所定温度を設定し、温度検出器３５で検出される温度が所定温度となったとき、画像データ保存端末７に画像収集指令を送出する構成であってもよい。
【０１０１】
（３）  また、温度制御器４としては、予め時間と温度との関係（以下、温度プロファイルと呼ぶ）を設定し、温度検出器３５で検出される温度に基づき、前記温度プロファイルに従ってヒータ電源３２ａ、ペルチエ素子用電源を制御し、時間の経過とともに被検体１の加熱温度を変更させる構成であってもよい。
【０１０２】
（４）  第１ないし第４の実施の形態では、温度制御を行っているが、これは必須ではない。温度制御器４をなくし、温度表示器を付加し、ヒータ電源にヒータ電流（発熱量）を変えるダイヤルを付加するようにしてもよい。
【０１０３】
この構成で、操作者は、温度表示を見ながらダイヤルを回して温度を調整する。あるいは、ダイヤルを固定して温度を成り行きで変化させながら検査を行う。温度制御器４を省くことで、装置はより簡易なものになる。
【０１０４】
（５）  さらに、画像データ保存端末７としては、必ずしも一定間隔でない複数の時刻または必ずしも一定間隔でない複数の温度を設定しておき、これら設定時刻または設定温度となったとき、自動的に被検体１の透視画像を収集し、ディスク装置８に保存する構成としてもよい。
【０１０５】
このような構成によれば、操作者の操作に依存することなく、操作者の意図する透視画像を自動的に収集することができる。
【０１０６】
（６）  前述した第１ないし第４の実施の形態では、テーブル２及び発熱ユニット３Ａ，３Ｂ等の位置及び角度の微調整を実施する例について述べたが、例えば被検体１を載置するテーブル２または発熱ユニット３Ａ，３Ｂ自体を、Ｘ線の透視方向と直交する方向の所定の軸に対し、所定角度ごとに回転させつつ被検体１の透視画像を収集し保存すれば、１回転分の透視画像が揃った後に周知の再構成処理を実施することにより、多数の断層像を取得することができる。
【０１０７】
よって、このような構成によれば、再構成された被検体１の断層像から温度変化による当該被検体１の挙動を三次元的に把握することができる。
【０１０８】
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明に係る放射線検査装置の第１の実施の形態を示す全体構成図。
【図２】本発明に係る放射線検査装置の第１の実施の形態として説明する発熱ユニットの構成図であって、同図（ａ）は発熱ユニットの上面図、同図（ｂ）は発熱ユニットの側面図。
【図３】本発明に係る放射線検査装置の第１の実施の形態の変形例として説明する発熱ユニットの構成図であって、同図（ａ）は発熱ユニットの上面図、同図（ｂ）は発熱ユニットの側面図。
【図４】本発明に係る放射線検査装置の第２の実施の形態として説明する発熱ユニットの構成図であって、同図（ａ）は発熱ユニットの正面図、同図（ｂ）は同図（ａ）に示す発熱ユニットの右側面図。
【図５】本発明に係る放射線検査装置の第３の実施の形態として説明する加熱電源を含む発熱ユニットの構成図であって、同図（ａ）は発熱ユニットの正面図、同図（ｂ）は同図（ａ）に示す発熱ユニットの右側面図。
【図６】本発明に係る放射線検査装置の第５の実施の形態として説明する画像データ保存端末の一例を示す構成図。
【図７】透視画像のファイル名を自動生成するためのデータを記憶するファイル名記憶部のデータ記憶領域を示す図。
【符号の説明】
【０１１０】
１…被検体、２…テーブル、３Ａ，３Ｂ，３Ｃ…発熱ユニット（冷熱ユニット）、４…温度制御器、５…Ｘ線発生器、６…Ｘ線検出器、７…画像データ保存端末、７ａ…インタフェース手段、７ｃ…画像保存処理部、８…ディスク装置、８ａ…透視画像記憶部、８ｂ…フィルタ名記憶部、３１ａａ，３１ａｂ，３１ａｃ、３１ａｄ…ヒータ（熱発生源）、３２ａ…ヒータ電源、３２ｂ…加熱電源、３３ａ〜３３ｃ…熱伝達部、３４…断熱材、３５…温度検出器、３７，３８…断熱材、３９…押え板、４１ａ，４１ｂ…熱伝達体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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