(57)【要約】可動台１１は、部品移送部材１５を支持する。固定台１２は、可動台１１の下方に配設されて振動発生器１３を介して可動台１１を加振自在に支持する。振動発生器は、第１の弾性部材１８及び第１の弾性部材１８に取り付けられた圧電素子１９を備える。第１の弾性部材１８の一端側は可動台１１に、他端側は固定台１２に取り付けられる。支持部材１４は、第２の弾性部材２０を備える。第２の弾性部材２０の一端側は可動台１１に、他端側は固定台１２に取り付けられる。これにより、圧電駆動式パーツフィーダの高さを低くし、振動発生器１３に作用する応力を抑制し、高周波数駆動時であっても十分な振幅を確保するとともに振動発生器１３に作用する応力を抑制し、振動発生器１３の取り替えや共振周波数の変更及び調整を容易に行うことができる。
2004067413.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品移送トラックが形成された部品移送部材に対して、圧電素子が取り付けられた弾性部材を備える振動発生器によって振動を発生させ、部品を整列させて移送する圧電駆動式パーツフィーダにおいて、
前記部品移送部材を有する又は支持する可動台と、
前記可動台の下方に配設され、前記振動発生器を介して、前記可動台を加振自在に支持する固定台と、
第１の弾性部材及びこの第１の弾性部材に取り付けられた圧電素子を備え、前記第１の弾性部材の一端側が前記可動台に取り付けられ、前記第１の弾性部材の他端側が前記固定台に取り付けられた振動発生器と、
前記第１の弾性部材とは異なる第２の弾性部材を備え、前記第２の弾性部材の一端側が前記可動台に取り付けられ、前記第２の弾性部材の他端側が前記固定台に取り付けられた支持部材と、
を備えることを特徴とする圧電駆動式パーツフィーダ。
【請求項２】
前記第１の弾性部材及び前記第２の弾性部材は、平板状に形成された部分を備え、
前記第１及び第２の弾性部材における前記平板状に形成された部分が、ともに鉛直方向に対して略同角度傾斜して配設されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧電駆動式パーツフィーダ。
【請求項３】
前記第１の弾性部材は、略Ｌ字形状に形成され、
前記Ｌ字形状の一辺は、前記可動台及び全固定台に対して略垂直に配設され、
前記Ｌ字形状の他の一辺は、前記可動台に対して略平行に取り付けられていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧電駆動式パーツフィーダ。
【請求項４】
前記部品移送トラックが、直線状に形成された部分を備えることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧電駆動式パーツフィーダ。
【請求項５】
前記部品移送トラックが、スパイラル状に形成された部分を備えることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧電駆動式パーツフィーダ。
【請求項６】
前記部品移送トラックは、スパイラル状に形成された部分を備え、
前記第１の弾性部材は、略Ｌ字形状に形成されるとともに、上下に配設される前記可動台及び前記固定台の間で、略水平に配設され、
前記Ｌ字形状の１辺は、前記固定台の中心方向に向かって延在されるとともに、延在されるその端部が前記固定台に取り付けられ、
前記Ｌ字形状の他の一辺は、前記可動台に取り付けられていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧電駆動式パーツフィーダ。
【請求項７】
前記可動台の中心方向に延在している前記Ｌ字形状の一辺は、その一辺の幅方向が、前記第２の弾性部材が鉛直方向に対して傾斜している角度と略同角度、鉛直方向に対して傾斜していることを特徴とする請求の範囲第６項に記載の圧電駆動式パーツフィーダ。
【請求項８】
前記固定台は、第３の弾性部材を介してベースに対して支持され、
前記第３の弾性部材のバネ定数は、前記第１の弾性部材及び前記第２の弾性部材のバネ定数のいずれよりも小さいことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧電駆動式パーツフィーダ。
【請求項９】
前記振動発生器は、前記可動台と前記第１の弾性部材と前記第２の弾性部材とによって定まる固有振動数で共振振動させることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧電駆動式パーツフィーダ。
【請求項１０】
前記可動台の前記固定台に対する振動変位を検出する変位センサを備え、
前記変位センサでの検出結果に基づいて、前記振動発生器による駆動振動数又は駆動出力を調整することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧電駆動式パーツフィーダ。
【請求項１１】
前記第１の弾性部材は、取り替え自在に備えられ、
前記第１の弾性部材を、取り替え前の第１の弾性部材とは異なるバネ定数を有する他の第１の弾性部材に取り替え可能であることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧電駆動式パーツフィーダ。
【請求項１２】
前記可動台及び前記固定台に対する前記第１の弾性部材の取付角度を変更する取付角度変更器を備えることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の圧電駆動式パーツフィーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、部品移送トラックが形成された部品移送部材に対して、圧電素子が取り付けられた弾性部材を備える振動発生器によって振動を発生させ、部品を整列させて移送する圧電駆動式パーツフィーダに関する。
【背景技術】  従来、部品移送トラックが形成された部品移送部材に対して、圧電素子が取り付けられた弾性部材を備える振動発生器によって振動を発生させ、部品を整列させて移送する圧電駆動式パーツフィーダが知られている。例えば、特開昭６２−４１１８号公報や特開平９−１１０１３３号公報に記載されたものが知られている。特開昭６２−４１１８号公報に記載された圧電駆動式パーツフィーダは、加振体（振動発生器）の弾性板（弾性部材）と搬送体（部品移送部材）との間を、弾性板のヤング率よりも低いヤング率の連結板で連結し、これにより、部品移送部材に加わる振動振幅を増大させることを目的としたものである（図１６参照）。また、特開平９−１１０１３３号公報に記載の圧電駆動式パーツフィーダは、圧電素子を弾性板（弾性部材）に貼着した加振体（振動発生器）を横方向に配設し、これにより、パーツフィーダの高さを低くすることを目的としたものである（図１７参照）。
しかしながら、特開昭６２−４１１８号公報に記載の圧電駆動式パーツフィーダでは、高い周波数で共振させる場合、共振させたい周波数に応じて連結板のバネ剛性を高くせざるを得ない。このため、連結板を厚くするかあるいは有効長を短くする必要がある。その結果、振幅増大効果が減殺されてしまうことになる。また、連結板とともに加振体の弾性板のバネ剛性も高めることになるため、圧電素子が取り付けられた弾性板に加わる応力が増してしまい好ましくない。そして、連結板と弾性板とを直列に取り付けるため、パーツフィーダの高さも高くなってしまう。さらに、共振周波数の変更等の目的で連結板を取り替える場合、一旦、弾性板も取り外す必要があり、煩雑な組み直しの手間を生じるだけでなく、短い弾性板や連結板を取り付けて周波数設定や取付角度（振動角）の微調整を行う作業に大変困難を要する。また、この取り替え時に、取り替え対象でない連結板や加振体に大きな付加が加わり、その連結板等に塑性変形が生じてしまう事態を引き起こし易い。また、この構造の場合、搬送体の静的荷重が加振体に対して曲げ荷重として直接作用するため、圧電素子に負荷が発生してしまう。
また、特開平９−１１０１３３号公報に記載の圧電駆動式パーツフィーダの場合、圧電素子が貼着された弾性板が、パーツフィーダの中心側から外側に向かって（半径方向に向かって）直線状に配設されている。このため、搬送体用被振動体（可動台）が回転すると、弾性板の固定位置と搬送体用被振動体の回転中心とがずれていることによって（図１７参照）、弾性板に引っ張り応力が作用してしまうことになる。図１８は、当該パーツフィーダの振動時に弾性板に加わる力を説明する模式図である。本図に示すように、加振体が振動する際、搬送体用被振動体に縦向き連結部材を介して取り付けられる弾性体の端部は、点Ａの位置から、弾性体の固定側への取付位置である点Ｏ’を中心として、点Ｂ’の位置に移動しようとする。このとき、弾性板の端部が取り付けられている位置の上方に位置する搬送体用被振動体上の点Ａの位置は、搬送体用被振動体の中心である点Ｏを中心として点Ｂの位置に移動しようとする。このため、圧電素子が貼着された弾性体には、半径方向に引っ張り応力が発生してしまう。また、このとき、弾性体は実際にはＳ字状に曲がるため、さらに大きな応力が発生してしまうことになる。このように、特開平９−１１０１３３号公報に記載の圧電駆動式パーツフィーダの場合、圧電素子が取り付けられた弾性部材に過大な引っ張り応力が作用し易く、圧電素子にも負荷が加わり圧電素子の寿命が低下してしまうとともに、無駄な動力が必要となり効率が低下する。
【発明の開示】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、圧電駆動式パーツフィーダの高さを低くすることができるとともに振動発生器に作用する応力を抑制でき、また、高周波数駆動時であっても十分な振幅を確保できるとともに振動発生器に作用する応力を抑制でき、さらに、振動発生器の取り替えや共振周波数の変更及び調整を容易に行うことができる圧電駆動式パーツフィーダを提供することを目的とする。
本発明の１つの観点による圧電駆動式パーツフィーダは、
部品移送トラックが形成された部品移送部材に対して、圧電素子が取り付けられた弾性部材を備える振動発生器によって振動を発生させ、部品を整列させて移送する圧電駆動式パーツフィーダにおいて、
前記部品移送部材を有する又は支持する可動台と、
前記可動台の下方に配設され、前記振動発生器を介して、前記可動台を加振自在に支持する固定台と、
第１の弾性部材及びこの第１の弾性部材に取り付けられた圧電素子を備え、前記第１の弾性部材の一端側が前記可動台に取り付けられ、前記第１の弾性部材の他端側が前記固定台に取り付けられた振動発生器と、
前記第１の弾性部材とは異なる第２の弾性部材を備え、前記第２の弾性部材の一端側が前記可動台に取り付けられ、前記第２の弾性部材の他端側が前記固定台に取り付けられた支持部材と、
を備えることを特徴とする。
この構成によると、可動台は、別々に取り付けられる振動発生器及び支持部材を介して固定台に支持される。このため、振動発生器及び支持部材の高さをそれぞれ調整して設定することで圧電駆動式パーツフィーダの高さを低くすることができる。そして、可動台の静的荷重による曲げ荷重を分散でき、第１の弾性部材に取り付けられた圧電素子に作用する負荷を抑制できる。また、振動発生器の取付位置の制約が少ないため、第１の弾性部材に過大な引っ張り応力が生じることも抑制できる。
また、振動発生器及び支持部材が別々に取り付けられるため、振動発生器における第１の弾性部材のバネ定数を小さく設定し、支持部材における第２の弾性部材のバネ定数を組み合わせて調整することで、高い共振周波数を実現できる。このため、高周波数駆動時であっても十分な振幅を確保できるとともに振動発生器に作用する応力を抑制することができる。
また、第１の弾性部材及び第２の弾性部材をそれぞれ別々に取り替えることが容易に可能であり、取り替え時、取り替え対象でない弾性部材に損傷を生じてしまうことも防止できる。そして、支持部材の第２の弾性部材の枚数やバネ定数を変更することで、共振周波数を容易に変更できる。さらに、第１の弾性部材及び第２の弾性部材の各バネ定数を組み合わせて調整することで所望の共振周波数に合わせて細かく調整することができる。
したがって、圧電駆動式パーツフィーダの高さを低くすることができるとともに振動発生器に作用する応力を抑制でき、また、高周波数駆動時であっても十分な振幅を確保できるとともに振動発生器に作用する応力を抑制でき、さらに、振動発生器の取り替えや共振周波数の変更及び調整を容易に行うことができる圧電駆動式パーツフィーダを提供することができる。
なお、この発明における上記及びその他の目的、特徴、並びに利点は、添付図面と共に、以下の説明を読むことにより明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダを例示した概略図である。
図２は、図１に示す圧電駆動式パーツフィーダの上面図である。
図３は、本発明の第２実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダを例示した概略図である。
図４は、図３に示す圧電駆動式パーツフィーダの振動時における圧電バネの状態を説明する模式図である。
図５は、本発明の第３実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダの概略を例示した斜視図である。
図６は、本発明の第４実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダを例示した斜視図である。
図７は、図６に示す圧電駆動式パーツフィーダの可動台を除いた状態での斜視図である。
図８は、図６に示す圧電駆動式パーツフィーダにおける圧電バネ及び支持バネの鉛直方向に対する傾斜角を説明する模式図である。
図９は、図６に示す圧電駆動式パーツフィーダにおける振動時の圧電バネに加わる力を説明する模式図である。
図１０は、図６に示す圧電駆動式パーツフィーダにおける圧電バネの固定台に対する取付位置の違いによる圧電バネに生じる変位を説明する模式図である。
図１１は、図６に示す圧電駆動式パーツフィーダにおいて、圧電バネが平板状に形成されている場合（図１１（ａ））とＬ字形状に形成されている場合（図１１（ｂ））とにおける圧電バネに作用する応力の違いを説明する模式図である。
図１２は、図６に示す圧電駆動式パーツフィーダにおける圧電バネの取付構成に関する変形例を示す模式図である。
図１３は、本発明の第５実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダを例示した概略図である。
図１４は、本発明の第６実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダを例示した側面図である。
図１５は、本発明の第７実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダを例示した概略図である。
図１６は、従来の技術に係る圧電駆動式パーツフィーダを示す概略図である。
図１７は、従来の技術に係る圧電駆動式パーツフィーダを示す斜視図である。
図１８は、図１７に示す圧電駆動式パーツフィーダの振動時に弾性板に加わる力を説明する模式図である。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、本発明の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。ただし、説明の便宜のために本発明の好適な実施形態例のみを示し、本発明を限定するものではない。
なお、本発明は、部品移送トラックが形成された部品移送部材（トラフ、ボールなど）に対して、圧電素子が取り付けられた弾性部材（板バネなど）を備える振動発生器によって振動を発生させ、部品を整列させて次工程へと移送する圧電駆動式パーツフィーダに関し、広く適用可能なものである。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ１の概略を例示したものであって、図２は、圧電駆動式パーツフィーダ１の上面図である。第１実施形態においては、部品移送トラックが直線状に形成された部分を備える部品移送部材（トラフ等））を直線的に振動させながら部品を循環させつつ整列させて移送し、次工程に供給するリニア型パーツフィーダを例にとって説明する。
図１に示すように、圧電駆動式パーツフィーダ１は、可動台１１と、固定台１２と、振動発生器１３と、支持部材１４とを備えている。
可動台１１は、図２に示すように、部品移送トラック（部品移送路）が形成された部品移送部材（トラフ）１５を支持している（即ち、トラフ１５は、可動台１１の上面側に固定して取り付けられている）。図２に例示するトラフ１５は、矢印Ｃ方向に部品を移送するトラックが形成されて部品を還流させるリターントラフ１５ａと、部品を整列させて矢印Ｄ方向に移送するトラックが形成されたメイントラフ１５ｂとを備えている。トラフ１５の中央付近に対して図示しないホッパー等を介して投入された部品は、図中のトラフ１５上に矢印で示すようにトラフ１５上で還流されながら整列して移送され、図中に示す部品Ｅのようにメイントラフ１５の先端の排出シュート１６から次工程へと供給される。
固定台１２は、図１に示すように、可動台１１の下方に配設され、振動発生器１３及び支持部材１４を介して、可動台１１を加振自在に支持している。固定台１２は、ベース１７上に固定されている。また、固定台１２の中央部分には、振動発生器１３が配設されるためのスペース１２ａが形成されている。
振動発生器１３は、可動台１１と固定台１２との間の複数箇所に配設されており、各振動発生器１３は、第１の弾性部材１８及び第１の弾性部材１８に取り付けられた圧電素子１９を備えている。第１の弾性部材１８は、板バネ１８（以下、「圧電バネ１８」ともいう）として構成されており、この圧電バネ１８のバネ定数は設定したい共振周波数等の条件に応じて適宜選択することができる。
圧電バネ１８の一端１８ａ側は、可動台１１に取り付けられており、圧電バネ１８の他端１８ｂ側は、固定台１２に取り付けられている。即ち、一端１８ａは、可動台１１側の取付部１１ａに例えばボルト等により連結して固定されており、他端１８ｂは、固定台１２の取付部１２ｂに例えばボルト等により連結して固定されている。
また、圧電バネ１８は、平板状に形成されており、いずれの圧電バネ１８とも、同一角度傾斜して取り付けられている。この取付角度を変更することで、圧電バネ１８に振動を発生させた際の振動角を調整することができる。圧電バネ１８の取付角度の変更にあたっては、例えば、取付部１１ａ及び１２ｂを交換自在なブロック部材として形成することで、この取付部１１ａ及び１２ｂを圧電バネ１８の取付角度を変更する取付角度変更器とすることができる。この場合、取付角度変更器である取付部１１ａ及び１２ｂを所定の角度に形成された傾斜面を備えるものに変更することで、圧電バネ１８を所定の角度傾斜させて配設することができる。このように、取付角度変更器によって圧電バネ１８の取付角度を変更することで、容易に振動角を変更して所望の値に調整することができる。
なお、板バネ１８（第１の弾性部材）は、ボルト等による着脱によって取り替え自在に備えられているため、取り替え前の板バネ１８とは異なるバネ定数を有する他の板バネ（他の第１の弾性部材）に取り替えることが可能である。これにより、所望の共振周波数に応じて適宜板バネ（圧電バネ）１８を取り替えることで、容易に共振周波数を変更して所望の値に調整することができる。また、圧電バネ１８は、角振動発生器１３において、各１枚ずつ配設されているものでなくてもよく、重ねて配設する枚数を適宜選択し得る。
圧電素子１９は、例えば、圧電セラミックスを分極処理して一方の面にプラス極性の、また他方の面にマイナス極性の分極電位をもたせたものとして構成されている。各圧電バネ１８の表裏面に圧電素子１９が例えば接着により貼着等されることで、振動発生器１３であるバイモルフが構成されている。この圧電素子１９に所定の周波数の電圧を印加することによって、振動発生器１３に振動を発生させ、圧電駆動式パーツフィーダ１を駆動することができる。
支持部材１４は、第１の弾性部材（板バネ）１８とは異なる第２の弾性部材（板バネ）２０を備えている。第２の弾性部材である板バネ２０（以下、「支持バネ２０」ともいう）の一端２０ａ側が、取付部を介して可動台１１に取り付けられ、支持バネ２０の他端２０ｂ側が、取付部を介して固定台１２に取り付けられている。一端２０ａ及び他端２０ｂは、それぞれボルト等により、可動台１１及び固定台１２に対して着脱自在に取り付けられている。
また、第２の弾性部材である支持バネ２０も、第１の弾性部材である圧電バネ１８と同様に、平板状に形成されている。そして、支持バネ２０及び圧電バネ１８の平板状に形成された部分は、ともに鉛直方向に対して略同角度傾斜して配設されている（即ち、リニア型パーツフィーダである圧電駆動式パーツフィーダ１においては、支持バネ２０と圧電バネ１８は略平行に配設されている）。これにより、加振側である圧電バネ１８の振動と略同期して支持バネ２０を振動させ易く、圧電バネ１８と支持バネ２０との間で振動動作に干渉を生じることを抑制でき、可動台１１に対して効率よく振動を伝達することができる。
以上説明したように、圧電駆動式パーツフィーダ１によると、可動台１１は、別々に取り付けられる振動発生器１３及び支持部材１４を介して固定台１２に支持される。このため、振動発生器１３及び支持部材１４の高さをそれぞれ調整して設定することで圧電駆動式パーツフィーダ１の高さを低くすることができる。即ち、従来技術の特許文献１に記載された圧電駆動式パーツフィーダにように、高さが高くなってしまうことを防止できる。
また、可動台１１の静的荷重が、各々複数箇所に設けられる振動発生器１３及び支持部材１４によって分散して支持されるため、板バネ１８及び２０に発生する曲げ荷重を分散させることができる。このため、第１の弾性部材である板バネ１８に取り付けられた圧電素子に作用する静的荷重による負荷を抑制できる。また、従来技術の特許文献２に記載された圧電駆動式パーツフィーダのような振動発生器の取付位置の制約が少ないため、第１の弾性部材である板バネ１８に過大な引っ張り応力が生じることも抑制できる。
また、第１の弾性部材である板バネ１８及び第２の弾性部材である板バネ２０をそれぞれ別々に取り替えることが容易に可能であり、取り替え時に煩雑な組み直しの手間等を生じることもなく、取り替え作業の効率化が図れる。また、取り替え時に、取り替え対象でない弾性部材（板バネ）に大きな負荷が加わることも抑制でき、取り替え対象でない弾性部材の損傷を生じさせてしまうことも防止できる。
次に、圧電駆動式パーツフィーダ１を振動させる場合について説明する。圧電駆動式パーツフィーダ１において、可動台１１と第１の弾性部材１８と第２の弾性部材２０とによって定まる固有振動数ｆは、下式（１）のように求めることができる。
ｆ＝（１／２π）×｛（ｋ１＋ｋ２）／ｍ１｝１／２        （１）
ここで、ｋ１は、第１の弾性部材１８トータルでのバネ定数（図１の例では、２組の圧電バネ１８トータルでのバネ定数）であり、ｋ２は、第２の弾性部材２０トータルでのバネ定数（図１の例では、２組の支持バネ２０トータルでのバネ定数）である。また、ｍ１は、可動台１１の質量である。
圧電駆動式パーツフィーダ１の駆動させる場合は、式（１）で定まる固有振動数ｆと同じ周波数の交流電圧を圧電素子１９に印加する。これにより、振動発生器１３は、上記固有振動数ｆで当該圧電駆動式パーツフィーダ１を共振振動させることができる。したがって、可動台１１の質量ｍ１や第１及び第２の弾性部材のバネ定数（ｋ１、ｋ２）を組み合わせることで、種々の値の固有振動数ｆに設定することができ、共振周波数を広範囲で且つ細かく調整することができる。また、その所望の周波数にて共振させて十分な振幅を確保することができる。
なお、固有振動数ｆと同じ周波数の電圧が圧電素子１９に印加されると、圧電バネ１８に貼着された一方の圧電素子１９が伸びたときに、もう一方の圧電素子１９が縮もうとするように、各圧電素子１９は分極処理が行われている。このため、圧電バネ１８は、所定の周波数で撓む動作を繰り返すように加振される（振動する）。この振動による一端１８ａの振動変位に伴って可動台１１も振動する。そして、式（１）で定まる固有振動数ｆで共振して圧電駆動式パーツフィーダが振動し、部品移送部材上の部品が移送される。
また、圧電駆動式パーツフィーダ１によると、振動発生器１３及び支持部材１４が別々に取り付けられるため、振動発生器１３における圧電バネ１８のバネ定数を小さく設定し、支持部材１４における支持バネ２０のバネ定数を適宜組み合わせて調整することで、高い共振周波数を実現することができる。このため、高周波数駆動時であっても十分な振幅を確保できるとともに振動発生器１３に作用する応力を抑制することができる。
また、圧電駆動式パーツフィーダ１によると、支持バネ２０の枚数やバネ定数を変更することで、式（１）の固有振動数ｆに応じて駆動する共振周波数を容易に変更することができる。さらに、圧電バネ１８及び支持バネ２０の各バネ定数を組み合わせて調整することで所望の共振周波数（共振振動させたい周波数）に合わせて細かく調整することができる。
なお、本発明は、リニア型パーツフィーダだけでなく、部品移送トラックがスパイラル状に形成された部分を備える部品移送部材（ボウル等）を振動させながら部品を循環させつつ整列させて移送するボウル型パーツフィーダに関しても適用できるものである。ボウル型パーツフィーダに本発明を適用する場合、第１の弾性部材及び第２の弾性部材は、例えば、可動台及び固定台の周囲の複数箇所に配設される。この場合、第１及び第２の弾性部材における平板状に形成された部分が、ともに鉛直方向に対して略同角度傾斜して配設されていることが望ましい。これにより、第１の弾性部材と第２の弾性部材との間で振動動作に干渉を生じることを抑制でき、可動台に対して効率よく振動を伝達することができる。
（第２実施形態）
次に、図３及び図４を参照しながら、第２実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ２について説明する。図３に圧電駆動式パーツフィーダ２の概略図を示すように、リニア型パーツフィーダに適用された場合を例にとって説明する。なお、図３において、第１実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ１と同様の要素については、同一の符号を付して説明を割愛する。
圧電駆動式パーツフィーダ２は、圧電駆動式パーツフィーダ１と同様に構成されるが、第１の弾性部材である圧電バネ（板バネ）２１の構成が異なっている。図３に示すように、圧電駆動式パーツフィーダ２における圧電バネ２１は、略Ｌ字形状に形成されている。そして、Ｌ字形状の一辺２２は、可動台１１及び固定台１２に対して略垂直に配設され、Ｌ字形状の他の一辺２３は、可動台１１の下面に対して略平行に取り付けられている。
図４は、振動時における圧電バネ２１の状態を説明する図であり、可動台１１側の取付部２４に一辺２２が取り付けられ、固定台１２側の取付部２５に他の一辺２３の端部が取り付けられている状態を示す模式図である。本図に示すように、圧電素子１９に電圧を印加して圧電バネ２１を加振すると、可動台１１の上下方向の振動は、Ｌ字形状の圧電バネ２１のコーナー部分の角度が変化することにより生じることになる。このように、圧電バネ２１の弾性変形によりＬ字形状のコーナー部分の角度が変化することで、比較的小さい力であっても、可動台１１に対して効率よく振動を伝達することができる。
また、圧電駆動式パーツフィーダ２によると、振動の振幅は、外側に配設された第２の弾性部材である支持バネ２０の取付角度でほぼ決まるため、支持バネ２０の取付調整だけで振動振幅を調整することができる。また、圧電素子１９は、垂直に配設された一辺２２に取り付けられるため、圧電バネ２１における圧電素子１９の取付部分に静的荷重による曲げ応力が作用することも防止できる。即ち、圧電素子１９に過度な負荷が作用することを防止できる。
なお、以上説明した圧電駆動式パーツフィーダ２においても、第１実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ１と同様の作用効果を奏することができる。
（第３実施形態）
次に、第３実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ３について説明する。
図５は、圧電駆動式パーツフィーダ３の概略を示す斜視図である。圧電駆動式パーツフィーダ３は、第２実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ２と同様に構成されるが、リニア型パーツフィーダではなくボウル型パーツフィーダに適用されている点が異なる。
圧電駆動式パーツフィーダ３は、可動台２６と、固定台２７と、振動発生器２８と、支持部材３０とを備えている。振動発生器２８は、第１の弾性部材である圧電バネ３０及び圧電素子３１を備え、支持部材２９は、第２の弾性部材である支持バネ３２を備えている。そして、圧電駆動式パーツフィーダ２の場合と同様に、圧電バネ３０はＬ字形状に形成され、Ｌ字形状の一辺が可動台１１及び固定台１２に対して略垂直に配設され、他の一辺が可動台に略平行に取り付けられている。可動台１１上には、部品移送トラックがスパイラル状に形成された部分を備える図示しない部品移送部材（ボール等）が取り付けられ、固定台２７は、ベース３３に固定されている。なお、図５においては、他の弾性部材等を透視図で示している。
ボウル型パーツフィーダとして構成された圧電駆動式パーツフィーダ３においても、第２実施形態の場合と同様に、圧電バネ３０の弾性変形によりＬ字形状のコーナー部分の角度が変化することで、可動台２６に対して効率よく振動を伝達することができる。
なお、以上説明した圧電駆動式パーツフィーダ３においても、第１実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ１と同様の作用効果を奏することができる。
（第４実施形態）
次に、図６乃至図１２を参照しながら、第４実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ４について説明する。図６は、圧電駆動式パーツフィーダ４の斜視図であって、部品移送部材が取り付けられていない状態を示すものである。図７は、圧電駆動式パーツフィーダ４の可動台３４を除いた状態での斜視図である。第４実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ４は、部品移送トラックがスパイラル状に形成された部分を備えるボウル型パーツフィーダとして構成されている。
図６及び図７に例示する圧電駆動式パーツフィーダ４は、可動台３４と、固定台３５と、振動発生器３６と、支持部材３７とを備えている。振動発生器３６は、第１の弾性部材である圧電バネ３８と圧電バネ３８に取り付けられる圧電素子３９とを備え、支持部材３７は、第２の弾性部材である支持バネ４０を備えている。
支持バネ４０は、平板状に形成されて、圧電駆動式パーツフィーダ４の周囲４箇所に配設されている。そして、支持バネ４０の一端側が可動台３４に取り付けられ、その他端側が固定台３５に取り付けられている。なお、固定台３５は、ベース４１に固定して取り付けられている。
また、圧電バネ３８は、略Ｌ字形状に形成されるとともに、上下に配設される可動台３４及び固定台３５の間で、略水平に配設されている。そして、略Ｌ字形状の一辺４２は、固定台３５の中心方向に向かって延在されるとともに、延在されるその端部が固定台３５に取付部４４（固定台３５の中心付近で上方に突出して設けられる取付部４４）を介して取り付けられている。一方、Ｌ字形状の他の一辺４３は、可動台３４に取付部４５（可動台３４の周囲付近で下方に突出して設けられる取付部４５）を介して取り付けられている。
また、可動台３４の中心方向に延在しているＬ字形状の一辺４２は、その一辺４２の幅方向が、支持バネ４０が鉛直方向に対して傾斜している角度と略同角度、鉛直方向に対して傾斜している。図８は、圧電バネ３８及び支持バネ４０の鉛直方向に対する傾斜角を説明する模式図である。支持バネ４０の長手方向は、鉛直方向に対して角度θ傾斜している。そして、圧電バネ３８のＬ字形状の一辺４２の幅方向（図中両端矢印Ｗ方向）は、鉛直方向に対して、支持バネ４０と同じ角度θ傾斜している。このように、同角度傾斜していることで、圧電バネ３８と支持バネ４０との間で振動動作に干渉を生じることを抑制でき、圧電バネ３８に生じる捩じれ応力を低減し、可動台３４に対して効率よく振動を伝達することができる。
この圧電駆動式パーツフィーダ４によると、圧電バネ３８が水平に配設されるため、圧電駆動式パーツフィーダ４の高さをさらに低くすることができる。そして、Ｌ字形状の圧電バネ３８の弾性変形によりそのコーナー部分の角度が変化することで、比較的小さい力でスムーズに効率よく振動を可動台３４に伝達することができる。
図９は、圧電駆動式パーツフィーダ４の振動時に圧電バネ３８に加わる力を説明する模式図であるが、圧電バネ３８が振動する際、圧電バネ３８の他の一辺４２の端部は、点Ａの位置から点Ｏ’を中心として点Ｂ’の位置に移動しようとする。このとき、圧電バネ３８が取り付けられている位置の上方に位置する可動台３４上の点Ａの位置は、可動台３４の中心である点Ｏを中心として移動しようとする。しかし、Ｌ字形状のコーナー部分の角度が変化することで、可動台３４の回転中心と圧電バネ４２の可動台３４に対する取付位置とのずれを吸収でき、圧電素子３９が貼着されている圧電バネ３８の一辺４２に、過大な引っ張り応力が生じることを抑制できる。したがって、従来技術における特許文献２に記載の圧電駆動式パーツフィーダのように圧電素子に過度な負荷が加わることを防止でき、圧電素子の寿命が低下することを抑制できるとともに、無駄な動力を消費して効率が低下することも抑制できる。
また、圧電駆動式パーツフィーダ４においては、圧電バネ３８の固定台３５に対する取付位置（即ち、取付部４４に対する取付位置）を固定台３５の中心付近に設けることで、圧電バネ３８の変位を小さくすることができ、圧電バネ３８に作用する曲げ応力を低減することができる。
図１０は、圧電バネ３８の固定台３５に対する取付位置の違いによる圧電バネ３８に生じる変位を説明する模式図である。図１０（ａ）は、固定台３５の中心位置である点Ｏとほぼ一致する位置にて圧電バネ３８の一辺４２の端部を取り付けた場合の振幅を示す図であって、図１０（ｂ）は、点Ｏから離れた位置にて圧電バネ３８の一辺４２の端部を取り付けた場合の振幅を示す図である。図１０（ａ）及び図１０（ｂ）の場合のいずれも、圧電バネ３８の一辺４２の長さがｒの場合であって、可動台３４の周囲位置にて可動台の周方向変位Ｌを発生させる場合を示している。図１０（ｂ）の場合、可動台３４の周方向変位Ｌを、圧電バネ３８が角度θ２分撓むことで発生させている。一方、図１０（ａ）の場合、可動台３４の周方向変位Ｌを、圧電バネ３８が角度θ２よりも小さい角度θ１分撓むだけで発生させることができる。このため、圧電バネ３８の固定台３５に対する取付位置を固定台３５の中心位置付近に設けることで、圧電バネ３８の小さい変位で、可動台３４の所定の変位を確保することができる。従って、圧電バネ３８に作用する曲げ応力が小さくて済むことになる。
また、圧電駆動式パーツフィーダ４によると、圧電バネ３８がＬ字形状に形成されているため、単に平板状に形成されている圧電バネの場合と比べ、圧電駆動式パーツフィーダの周方向の変位を発生させる圧電バネの有効半径が同じであっても、圧電バネに作用する応力を低減することができる。
図１１は、圧電バネが平板状に形成されている場合（図１１（ａ））とＬ字形状に形成されている場合（図１１（ｂ））とにおける圧電バネに作用する応力の違いを説明する模式図である。図１１（ａ）の場合と図１１（ｂ）の場合とを比べると、圧電駆動式パーツフィーダの周方向の変位を発生させる圧電バネの有効半径は、いずれもｒ１で同じであるが、可動台側の取付位置と固定台側の取付位置との圧電バネに沿った距離は、図１１（ａ）の場合はＬ１で図１１（ｂ）の場合はＬ２と異なる。即ち、Ｌ字形状に形成された圧電バネ３８の場合（図１１（ｂ）の場合）、固定台３５側の取付部４４と可動台３４側の取付部４５との間の距離である圧電バネ３８の有効長Ｌ２が、平板状の圧電バネの場合（図１１（ａ）の場合）の圧電バネ有効長Ｌ１よりも長くすることができる。
ここで一般的に、板バネに作用する最大応力σｍａｘは、バネの有効長をＬｅ、バネの最大変位をδ、バネ厚みをｔ、バネのヤング率のＥとすると、下式（２）で求めることができる。
σｍａｘ＝（３・Ｅ・ｔ・δ）／Ｌｅ２      （２）
したがって、平板状の圧電バネよりもバネ有効長Ｌｅを長くすることができる（バネ有効長をＬ１よりもＬ２と長くすることができる）Ｌ字形状の圧電バネ３８の場合（図１１（ｂ）の場合）は、式（２）に示すように、圧電駆動式パーツフィーダの周方向の変位を発生させる圧電バネの有効半径が同じであっても、圧電バネに作用する応力を低減することができる。
また、圧電駆動式パーツフィーダ４においては、図１２に示すように、バネ押さえ部材を介して圧電バネ３８を固定台３５に取り付けるものであってもよい。図１２は、圧電バネ３８とバネ押さえ部材４６との取付状態を説明する模式図であるが、圧電バネ３８の一辺４２が、固定台３５側の取付部４４に対してバネ押さえ部材４６を介して螺合される取付ボルト４７によって取り付けられるものであってもよい。この場合、バネ押さえ部材４６は、取り付けられる圧電バネ３８と同角度、垂直方向に対して傾斜した傾斜面４６ａと、取付ボルト４７が水平方向に挿入して螺合されるボルト孔４６ｂと、を備えている。
この構成により、圧電バネ３８を圧電駆動パーツフィーダの中心側にて固定台３５に取り付ける取付ボルト４７を水平方向に着脱できるため、圧電バネ３８の取り外し及び取り付け作業を容易に行うことができる。なお、取付ボルト４７の着脱は、例えば、図７に示すように、固定台３５に形成された空隙部４８から所定の工具を挿入することで、行うことができる。また、取付ボルト４７が水平方向に設けられることで、可動台３４を圧電バネ３８から取り外すことなく、外側から（例えば、空隙部４８を通じて）圧電バネ３８の固定台３５への取り付けを解除することができる（可動台３４を取り外さずに、固定台３５を先に取り外すことができる）。これにより、圧電バネの取り付け及び取り外し作業の自由度が増し、作業効率向上が図れる。
なお、以上説明した圧電駆動式パーツフィーダ４においても、第１実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ１と同様の作用効果を奏することができる。
（第５実施形態）
次に、図１３を参照しながら、第５実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ５について説明する。図１３に圧電駆動式パーツフィーダ５の概略図を示すように、リニア型パーツフィーダに適用された場合を例にとって説明する。なお、図１３において、第２実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ２と同様の要素については、同一の符号を付して説明を割愛する。
圧電駆動式パーツフィーダ５は、圧電駆動式パーツフィーダ２と同様に構成されるが、固定台１２をベースに対して固定する形態が異なっている。圧電駆動式パーツフィーダ５においては、固定台１２は、第１及び第２の弾性部材（２０、２１）とは異なる第３の弾性部材４８を介してベース４９に対して支持されている。図１３に示す例においては、複数備えられる第３の弾性部材４８は、それぞれ板バネ４８として構成されている。そして、板バネ４８のバネ定数は、圧電バネ（第１の弾性部材）２１及び支持バネ（第２の弾性部材）２０のバネ定数のいずれよりも小さくなるものが選択されて取り付けられている。これにより、板バネ４８で固定台１２から伝わる振動が吸収され、固定台１２からベースに伝わる振動を抑制することができる。
なお、第１及び第２の弾性部材よりもバネ定数の小さい第３の弾性部材で固定台とベースとを結合することによる防振効果は、第１〜第４のいずれの実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダに対しても適用し得るものである。また、圧電駆動式パーツフィーダ５は、第２実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ２と同様の作用効果を奏することができる。
（第６実施形態）
次に、図１４を参照しながら、第６実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ６について説明する。図１４は圧電駆動式パーツフィーダ６の側面図であり、ボウル型パーツフィーダに適用された場合を例示したものである。
圧電駆動式パーツフィーダ６は、第３実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ３と同様に構成されており、圧電駆動式パーツフィーダ３と同様の要素については、同一の符号を付している。しかし、固定台２７をベースに対して固定する形態が、圧電駆動式パーツフィーダ３とは異なっている。圧電駆動式パーツフィーダ６においては、固定台２７は、複数のゴム部材５０を介してベース５１に対して固定されている。これにより、ゴム部材５０で固定台２７から伝わる振動が吸収され、固定台２７からベース５１に伝わる振動を抑制することができる。
なお、ゴム部材で固定台とベースとを結合することによる防振効果は、第１〜第４のいずれの実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダに対しても適用し得るものである。また、圧電駆動式パーツフィーダ６は、第３実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ３と同様の作用効果を奏することができる。
（第７実施形態）
最後に、図１５を参照しながら、第７実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ７について説明する。図１５に圧電駆動式パーツフィーダ７の概略図を示すように、リニア型パーツフィーダに適用された場合を例にとって説明する。なお、図１５において、第５実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ５と同様の要素については、同一の符号を付して説明を割愛する。
圧電駆動式パーツフィーダ７は、圧電駆動式パーツフィーダ５と同様に構成されるが、可動台１１の固定台１２に対する振動変位を検出する変位センサを備え、この変位センサでの検出結果に基づいて、振動発生器による駆動振動数を調整する点で異なっている。
図１５において、圧電駆動式パーツフィーダ７における一方の支持バネ２０の他端２０ｂ側には、変位センサの支持部材５２が取り付けられており、この支持部材５２は、支持バネ２０と同方向に延在して取り付けられている。そして、支持部材５２の先端側には、変位センサ５３が取り付けられている。これにより、この変位センサ５３が取り付けられている位置と支持バネ２０ｂとの間の距離を測定することができる。したがって、圧電駆動式パーツフィーダ７が振動すると、支持バネ２０の他端２０ｂ側は可動台１１に対して動かずに一端２０ａ側が振動し、これに伴い測定される上記距離が変化するため、可動台１１の固定台１２に対する振動変位を検出することができる。なお、変位センサ５３で直接測定される変位は、支持部材５３に対して取り付けられる変位センサ５３の位置によって異なるため、可動台１１の固定台１２に対する振動変位として把握したい位置に応じて適宜取り付けることが望ましい。また、変位センサ５３で測定した測定結果に基づいて支持バネ２０の寸法条件等から可動台１１の固定台１２に対する振動変位を演算して検出するようにしてもよい。
また、圧電駆動式パーツフィーダ７は、変位センサ５３での検出結果に基づいて振動発生器１３による駆動振動数を調整するコントローラ５４を備えている。コントローラ５４は、変位センサ５３からの信号を受信可能に変位センサ５３と接続されるとともに、パワーアンプ５５に対して駆動指令を送信可能となるように接続されている。なお、パワーアンプ５５は、コントローラ５４からの指令に基づいて、所定の周波数及び出力の電圧を圧電素子１９に対して印加する。
コントローラ５４は、図示しないハードウェア構成として、例えば、その内部に組み込まれているＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  Ｅｒａｓａｂｌｅ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、インターフェイス等を備えている。これらの各要素は、バスを介して相互に接続されている。
ＲＯＭは、読み出し専用の記憶装置であって、圧電駆動式パーツフィーダ７の動作を制御するための用いられる各種プログラムが格納されている。ＥＥＰＲＯＭは、読み出し・書き込み可能な不揮発性記憶装置であって、圧電駆動式パーツフィーダを後述するような圧電駆動式パーツフィーダ７として機能させるためのプログラムを含む各種ソフトウェアが格納されている。また、ＥＥＰＲＯＭには、オペレータによる入力を通じて設定等された各種データ等も格納される。ＣＰＵは、受信した信号や、ＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ，ＲＡＭ内の各種プログラムやデータに基づいて各種演算及び処理を行う。そして、インターフェイスを介しての信号の送受信を行う。ＲＡＭは、読み出し・書き込み可能な揮発性記憶装置であって、ＣＰＵでの各種演算結果等が記憶される。インターフェイスは、変位センサ５３からの信号の受信を可能にするとともに、パワーアンプ５５への指令の伝送を可能にするものである。これらのハードウェア及びソフトウェアが組み合わされることによって、後述の各部（５６〜５９）が、コントローラ５４内に構築されている（図１５参照）。
図１５における機能ブロック図に示すように、コントローラ５４は、比較部５６と、目標値記憶部５７と、制御部５８と、操作部５９とを備えている。操作部５９は、圧電駆動式パーツフィーダ７を操作するオペレータによる入力が可能な図示しないコントロールパネル等によって構成されている。オペレータは、操作部５９を操作することで、圧電駆動式パーツフィーダ７の所望の運転条件、即ち、可動台１１の固定台１２に対する振動運転の駆動周波数又は駆動振幅を入力し、所望の運転条件を設定することができるようになっている。
目標値記憶部５７は、操作部５９を通じてのオペレータによる入力に基づいて、圧電駆動式パーツフィーダ７の運転条件（駆動周波数又は駆動振幅）が記憶される。目標値記憶部５７は、ＲＡＭ又はＥＥＰＲＯＭ等のメモリにおける所定の記憶領域が割り当てられることで構成されている。
比較部５６は、変位センサ５３での検出結果と設定されている振動条件の目標値との比較を行う。即ち、受信された変位センサ５３からの信号と目標値記憶部５７に記憶されている目標値との比較を行う。比較部５６は、ＣＰＵ、及び、ＲＯＭ又はＥＥＰＲＯＭに格納されたプログラムによって実現される。
変位センサ５３からの信号としては、変位センサ５３で検出された圧電駆動式パーツフィーダ７の振動周波数の実績値（又は、これを算出可能な信号値を含む）、及び圧電駆動式パーツフィーダ７の振動の振幅の実績値（又は、これを算出可能な信号値を含む）が受信される。そして、比較部５６では、圧電駆動式パーツフィーダ７の運転時に、受信した振動周波数の実績値と、目標値記憶部５７に記憶されている駆動周波数設定値（オペレータが設定した所定の共振周波数）との比較を行い、その偏差を求める。また、比較部５６は、受信した振幅の実績値と、目標値記憶部５７に記憶されている駆動振幅設定値（オペレータが設定した所定の駆動振幅）との比較を行い、その偏差を求める。
制御部５８では、比較部５６で求められた振動周波数の実績値と駆動周波数設定値との偏差に応じて、駆動周波数を調整する指令を作成し、パワーアンプ５５に伝送する。パワーアンプ５５は、この駆動周波数指令に基づいて圧電素子１９の印加電圧の周波数を変更する。また、制御部５８では、比較部５６で求められた振幅の実績値と駆動振幅設定値との偏差に応じて、駆動振幅を調整する駆動出力の指令を作成し、パワーアンプ５５に伝送する。パワーアンプ５５は、この駆動出力指令に基づいて圧電素子１９の印加電圧の出力を変更する。制御部５８は、ＣＰＵ、及び、ＲＯＭ又はＥＥＰＲＯＭに格納されたプログラムによって実現される。
以上の構成により、圧電駆動式パーツフィーダ７は、変位センサ５３で検出した振動周波数の実績値が設定した所定の共振周波数に追従するように駆動周波数を調整してフィードバック制御を行うことができる。このため、微妙な周波数調整を行わなくても自動で所望の共振周波数で駆動させることができ、省電力化を図って無駄なく効率的な駆動も可能になる。また、変位センサ５３で検出した振幅の実績値が設定した所定の振幅に収束するように駆動出力を調整してフィードバック制御を行うこともできる。このため、弾性部材のバネ定数の使用環境温度による変化や可動台の質量によらず、常時共振周波数での定振幅制御が可能になる。
なお、以上説明した圧電駆動式パーツフィーダ７においても、第５実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダ５と同様の作用効果を奏することができる。また、変位センサ５３及びコントローラ５４を備える上記構成及びそれによる効果は、第５実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダに限らず、第１〜第４及び第６実施形態に係る圧電駆動式パーツフィーダに対しても適用できる。
上記第１〜第７実施形態にて説明したように、本発明に係る圧電駆動式パーツフィーダによると、圧電駆動式パーツフィーダの高さを低くすることができるとともに振動発生器に作用する応力を抑制でき、また、高周波数駆動時であっても十分な振幅を確保できるとともに振動発生器に作用する応力を抑制でき、さらに、振動発生器の取り替えや共振周波数の変更及び調整を容易に行うことができる。
以上、本発明の好適な実施形態例に関して説明したが、当然、本明細書を読み且つ理解することにより、変形例及び応用例が明らかになるであろう特許請求の範囲に含まれるものに係る変形例及び応用例、及びその均等物は、全て本発明の範囲に包含することを意図するものである。
例えば、次のように変更して実施してもよい。
第１〜第７実施形態において、部品移送部材（トラフ又はボウル等）は、可動台と一体に形成されるものであっても、可動台とは別体に形成されて可動台に対して支持されているものであっても、いずれにおいても本発明の作用効果を奏することができる。
また、第１〜第７実施形態において、第１の弾性部材に取り付けられる圧電素子は、第１の弾性部材の表裏面ともに取り付けられているものでなく、片面だけに取り付けられているものであっても本発明の作用効果を奏することができる。
また、第１〜第７実施形態において、振動発生器及び支持部材の取り付け個所及び取り付け個数は、適宜選択して任意に設定し得る。また、第１の弾性部材及び第２の弾性部材の配設個数も適宜選択して任意に設定し得る。
また、第１〜第７実施形態において、第１の弾性部材に取り付けられる圧電素子は、単層に構成されているものであっても、複数層に構成されているものであってもいずれでもよい。
また、また、第１〜第７実施形態は、部品移送部材（ボウル等）をねじり振動させながら部品を循環させつつ整列させて移送する楕円振動を用いたパーツフィーダにも適用できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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2004067413.tif 000012
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【国際調査報告】
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