(57)【要約】シール装着部（シール下部）に圧力が封じ込められることがあってもこの圧力を逃がすことができ、もってシールの装着状態が不安定となることがなく、シールがシール装着部から抜け出てしまうことがないアキュムレータを提供することを目的とし、ベローズキャップ等の作動部材を収容するハウシングの内面であって圧力流入口の周りに、作動部材が接離自在に当接するシールを装着するシール装着部と、シールを保持するシールホルダを装着するシールホルダ装着部とを設け、シール装着部に前記シールを装着し、シールホルダ装着部にシールホルダを溶接、接着、ネジ止め、係合または嵌合等の固定手段により装着するアキュムレータであって、シールの装着によりシール装着部に封じ込められる圧力をシール装着部の外部へ開放する圧力逃がし経路を設けたことを特徴とする。
2004102009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベローズ（７）およびベローズキャップ（８）等の作動部材（６）を収容するハウシング（２）の内面であって圧力流入口（１８）の周りに、前記作動部材（６）が接離自在に当接するシール（２０）を装着するシール装着部（１９）と、前記シール（２０）を保持するシールホルダ（２２）を装着するシールホルダ装着部（２１）とを設け、前記シール装着部（１９）に前記シール（２０）を装着し、前記シールホルダ装着部（２１）に前記シールホルダ（２２）を溶接、接着、ネジ止め、係合または嵌合等の固定手段により装着してなるアキュムレータ（１）であって、
前記シール（２０）の装着により前記シール装着部（１９）に封じ込められる圧力を前記シール装着部（１９）の外部へ開放する圧力逃がし経路（２６）を設けたことを特徴とするアキュムレータ。
【請求項２】
請求項１のアキュムレータにおいて、
圧力逃がし経路（２６）は、シールホルダ装着部（２１）およびこのシールホルダ装着部（２６）に装着されるシールホルダ（２２）間に隙間状のものとして設けられていることを特徴とするアキュムレータ。
【請求項３】
請求項２のアキュムレータにおいて、
シールホルダ（２２）をその円周上一部でシールホルダ装着部（２１）に溶接することにより、前記シールホルダ（２２）およびシールホルダ装着部（２１）間に圧力逃がし経路（２６）を設けたことを特徴とするアキュムレータ。
【請求項４】
請求項２のアキュムレータにおいて、
シールホルダ（２２）をその円周上複数箇所でシールホルダ装着部（２１）に溶接することにより、前記シールホルダ（２２）およびシールホルダ装着部（２１）間であってかつ溶接部（２５）同士間に複数の圧力逃がし経路（２６）を設けたことを特徴とするアキュムレータ。
【請求項５】
請求項１ないし４の何れかに記載したアキュムレータにおいて、
シールホルダ（２２）をシールホルダ装着部（２１）に対して隙間嵌めとすることにより前記シールホルダ（２２）およびシールホルダ装着部（２１）間に隙間（２７）を設け、前記隙間（２７）を圧力逃がし経路（２６）の一部となすことを特徴とするアキュムレータ。
【請求項６】
請求項１ないし４の何れかに記載したアキュムレータにおいて、
シールホルダ装着部（２１）の内面（２１ｂ）または前記内面（２１ｂ）と対向するシールホルダ（２２）の面（２２ｅ）に溝状または切欠状の凹部（２８）を設け、前記凹部（２８）を圧力逃がし経路（２６）の一部または全部となすことを特徴とするアキュムレータ。
【請求項７】
請求項１のアキュムレータにおいて、
圧力逃がし経路（２６）は、ハウジング（２）またはシールホルダ（２２）に貫通穴状のものとして設けられていることを特徴とするアキュムレータ。
【請求項８】
請求項１ないし７の何れかに記載したアキュムレータにおいて、
ハウジング（２）は、シェル（３）およびこのシェル（３）に連結されたオイルポート（５）を有し、前記オイルポート（５）の内面にシール装着部（１９）およびシールホルダ装着部（２１）が設けられていることを特徴とするアキュムレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、蓄圧装置または脈圧減衰装置等として用いられるアキュムレータに関するものである。本発明のアキュムレータは例えば自動車用アキュムレータとして用いられる。
【背景技術】
【０００２】  例えば自動車のブレーキ系統における配管内部の圧力およびこの配管に接続したアキュムレータ内部の圧力がゼロまたはゼロ近傍となるまで下降したときにアキュムレータの構成部品であるベローズがその内外圧力差によって径方向に膨張して破損することがないように、作動圧力の下降時にベローズキャップおよびオイルポート間でアキュムレータ内部の圧力をシールする機能を備えたアキュムレータが近年開発されている。【０００３】  しかしながら、この種のアキュムレータにおいては、図１３に示すように、シール５１を保持するシールホルダ５２がカシメ手段（カシメ部を符号５３で示す）によってハウジング５４の内側に固定されているために、ハウジング５４をカシメに際して変形させなければならず、カシメ作業に多くの手間と時間がかかる不都合がある（特許文献１参照）。【０００４】  そこで、本願発明者らは先に、図１４に示すように、シール５１を保持するシールホルダ５２をカシメではなくプロジェクション溶接によってハウジング５４の内側に固定する構造を開発した。この図１４のアキュムレータは以下のように構成されている。【０００５】  すなわち、図示しない圧力配管等に接続される圧力流入口５５を設けたハウジング５４の内部底面に、シール５１を装着するための環状のシール装着部５６が設けられており、その内周側に、シールホルダ５２を装着するための環状のシールホルダ装着部５７が設けられている。前者のシール装着部５６に対してシール５１は非接着で装着され、その外周面５１ａはシール装着部５６の内面５６ａに密接している。また、後者のシールホルダ装着部５７に対してシールホルダ５２は上記したようにプロジェクション溶接によって固定され、その外周面５２ａにシール５１の内周面５１ｂが密接している。【０００６】  ハウジング５４に対するシールホルダ５２のプロジェクション溶接は、シールホルダ装着部５７の底面５７ａに対してシールホルダ５２の下面５２ｂを溶接することによって行なわれ、更にこのプロジェクション溶接は、シールホルダ５２の円周上全周に亙って実施されている。このためシールホルダ５２には予め、図１５に示すように円周上全周に亙って環状のプロジェクション溶接用突起５８が設けられている。尚、シールホルダ５２の上端部５２ｃは予めラッパ状に形成されているので、装着後ここにシール５１が係合し、これによりシール５１が図上上方（矢印ｘ方向）に抜け出るのが防止される。したがってシールホルダ５２がシール５１を保持することになる。【０００７】  しかしかなから、この図１４のアキュムレータにおいては、上記したようにハウジング５４に対するシールホルダ５２のプロジェクション溶接がシールホルダ５２の円周上全周に亙って実施されているために、以下の不都合がある。【０００８】  すなわち、当該アキュムレータの製造組立時にシール装着部５６すなわちシール５１の下部に圧力が封じ込められるようなことがあると、この圧力は逃げ場がなく、シール５１の下部に封じ込められたままとなる。したがってシール５１の装着状態が不安定となり、これを原因として、シール５１がシールホルダ５２の上端部５２ａを通過してシール装着部５６から抜け出てしまう虞があ���。【０００９】
【特許文献１】：特開２００２−２７６６０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】  本発明は以上の点に鑑みて、シール装着部すなわちシールの下部に圧力が封じ込められることがあってもこの圧力を逃がすことができ、もってシールの装着状態が不安定となることがなく、シールがシール装着部から抜け出てしまうことがないアキュムレータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】  上記目的を達成するため、本発明の請求項１によるアキュムレータは、ベローズおよびベローズキャップ等の作動部材を収容するハウシングの内面であって圧力流入口の周りに、前記作動部材が接離自在に当接するシールを装着するシール装着部と、前記シールを保持するシールホルダを装着するシールホルダ装着部とを設け、前記シール装着部に前記シールを装着し、前記シールホルダ装着部に前記シールホルダを溶接、接着、ネジ止め、係合または嵌合等の固定手段により装着してなるアキュムレータであって、前記シールの装着により前記シール装着部に封じ込められる圧力を前記シール装着部の外部へ開放する圧力逃がし経路を設けたことを特徴とする。【００１２】  また、本発明の請求項２によるアキュムレータは、上記した請求項１のアキュムレータにおいて、圧力逃がし経路は、シールホルダ装着部およびこのシールホルダ装着部に装着されるシールホルダ間に隙間状のものとして設けられていることを特徴とする。【００１３】  また、本発明の請求項３によるアキュムレータは、上記した請求項２のアキュムレータにおいて、シールホルダをその円周上一部でシールホルダ装着部に溶接することにより、前記シールホルダおよびシールホルダ装着部間に圧力逃がし経路を設けたことを特徴とする。【００１４】  また、本発明の請求項４によるアキュムレータは、上記した請求項２のアキュムレータにおいて、シールホルダをその円周上複数箇所でシールホルダ装着部に溶接することにより、前記シールホルダおよびシールホルダ装着部間であってかつ溶接部同士間に複数の圧力逃がし経路を設けたことを特徴とする。【００１５】  また、本発明の請求項５によるアキュムレータは、上記した請求項１ないし４の何れかに記載したアキュムレータにおいて、シールホルダをシールホルダ装着部に対して隙間嵌めとすることにより前記シールホルダおよびシールホルダ装着部間に隙間を設け、前記隙間を圧力逃がし経路の一部となすことを特徴とする。【００１６】  また、本発明の請求項６によるアキュムレータは、上記した請求項１ないし４の何れかに記載したアキュムレータにおいて、シールホルダ装着部の内面または前記内面と対向するシールホルダの面に溝状または切欠状の凹部を設け、前記凹部を圧力逃がし経路の一部または全部となすことを特徴とする。【００１７】  また、本発明の請求項７によるアキュムレータは、上記した請求項１のアキュムレータにおいて、圧力逃がし経路は、ハウジングまたはシールホルダに貫通穴状のものとして設けられていることを特徴とする。【００１８】  更にまた、本発明の請求項８によるアキュムレータは、上記した請求項１ないし７の何れかに記載したアキュムレータにおいて、ハウジングは、シェルおよびこのシェルに連結されたオイルポートを有し、前記オイルポートの内面にシール装着部およびシールホルダ装着部が設けられていることを特徴とする。【００１９】  上記構成を備えた本発明の請求項１によるアキュムレータのように、シールの装着によりシール装着部に封じ込められる圧力をシール装着部の外部へ開放する圧力逃がし経路を設けると、シール装着部すなわちシールの下部に封じ込められる圧力をこの圧力逃がし経路から外部へ逃がすことが可能となる。【００２０】  圧力逃がし経路は、シールホルダ装着部およびシールホルダ間に隙間状のものとして設けられるが（請求項２，５）、隙間状のほか、溝状、切欠状または貫通穴状のものとして設けても良い（請求項６，７）。ハウジングに対するシールホルダの固定手段は、溶接、接着、ネジ止め、係合または嵌合等、その手段を問わないが、溶接の場合、シールホルダをその円周上一部でシールホルダ装着部に溶接すると、シールホルダおよびシールホルダ装着部間に圧力逃がし経路が形成される（請求項３）。また、シールホルダをその円周上複数箇所でシールホルダ装着部に溶接すると、シールホルダおよびシールホルダ装着部間であってかつ溶接部同士間に複数の圧力逃がし経路が形成される（請求項４）。圧力逃がし経路が複数形成されると、一の経路が塞がってしまった場合にも他の経路から圧力を逃がすことが可能となる。【００２１】  また、上記構成を備えた本発明の請求項５によるアキュムレータのように、シールホルダ装着部およびシールホルダ間に隙間嵌めにより形成される隙間を圧力逃がし経路の一部となすと、圧力逃がし経路の開口断面積が一部において増大する。したがって、シール装着部すなわちシールの下部に封じ込められる圧力を速やかにかつ確実に逃がすことが可能となる。【００２２】  また、上記構成を備えた本発明の請求項６によるアキュムレータのように、シールホルダ装着部の内面またはこの内面と対向するシールホルダの面に形成される溝状または切欠状の凹部を圧力逃がし経路の一部または全部となすと、圧力逃がし経路の開口断面積が一部または全部において増大する。したがって、シール装着部すなわちシールの下部に封じ込められる圧力を速やかにかつ確実に逃がすことが可能となる。
【発明の効果】
【００２３】  本発明は、以下の効果を奏する。【００２４】  すなわち、上記構成を備えた本発明の各請求項によるアキュムレータにおいては、シールの装着によりシール装着部に封じ込められる圧力をシール装着部の外部へ開放する圧力逃がし経路を設けるようにしたために、シール装着部すなわちシールの下部に封じ込められる圧力をこの圧力逃がし経路から外部へ逃がすことができる。したがって、シール装着部の圧力が封じ込めらたままとなってシールの装着状態が不安定となるのを防止することができ、これによりシールがシール装着部から抜け出てしまうのを防止することができる。【００２５】  また、請求項４に係るアキュムレータによると、圧力逃がし経路が複数形成されるために、一の経路が塞がってしまった場合にも他の経路から圧力を逃がすことができる。【００２６】  また、請求項５に係るアキュムレータによると、隙間嵌めにより圧力逃がし経路の開口断面積が一部において増大するために、圧力を速やかにかつ確実に逃がすことができる。【００２７】  また、請求項６に係るアキュムレータによると、凹部の形成により圧力逃がし経路の開口断面積が一部において増大するために、やはり圧力を速やかにかつ確実に逃がすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】  尚、本件出願には、以下の実施形態が含まれる。
（１）金属ベローズ型アキュムレータのオイルポートとシールホルダのプロジェクション溶接部を６点としたことを特徴とするシール抜け防止のためのシール下部の圧力逃げ機構。
（２）シールホルダのプロジェクション溶接部を６点にし、圧力の逃げ道を設け、シール下部の圧力の封じ込めを無くし、シール抜けを防止する。
（３）金属ベローズ型アキュムレータのシールホルダとオイルポートのプロジェクション溶接部を６点とし、シール下部に圧力がこもらない機構を設け、シール抜けを防止する。
（４）上記（１）ないし（３）の何れかにおいて、シールホルダとオイルポートとを隙間嵌めとして密閉を回避する（寸法公差上締り嵌め（密着）とならないように寸法設定する）。
（５）同じく上記（１）ないし（３）の何れかにおいて、オイルポートまたはシールホルダに縦溝を設置して密閉を回避する（オイルポートとシールホルダとの干渉部に垂直方向に溝を設置する）。
（６）上記（１）ないし（５）のように構成すると、シール下部の圧力封じ込めをなくすことができ、これによりシール抜けを防止することができる。【００２９】  また、本発明では、ハウジングに対するシールホルダの溶接法としてプロジェクション溶接が好適に利用されるが、これには限られず、その他の溶接法であっても良い。また上記したように、ハウジングに対するシールホルダの固定手段は溶接以外の、接着、ネジ止め、係合または嵌合等であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３０】［図１］本発明の第一実施例に係るアキュムレータの縦断面図である。
［図２］同アキュムレータの要部拡大縦断面図である。
［図３］同アキュムレータの横断面図である。
［図４］同アキュムレータにおける溶接工程の説明図である。
［図５］溶接用突起の断面形状の他の例を示す図であって、（Ａ）はシールホルダの縦断面図、（Ｂ）は同シールホルダの底面図である。
［図６］本発明の第二実施例に係るアキュムレータの要部縦断面図である。
［図７］本発明の第三実施例に係るアキュムレータの要部縦断面図である。
［図８］同アキュムレータの横断面図である。
［図９］本発明の第四実施例に係るアキュムレータの要部縦断面図である。
［図１０］同アキュムレータの横断面図である。
［図１１］本発明の第五実施例に係るアキュムレータの要部縦断面図である。
［図１２］本発明の第六実施例に係るアキュムレータの要部縦断面図である。
［図１３］従来例に係るアキュムレータの縦断面図である。
［図１４］他の従来例に係るアキュムレータの要部縦断面図である。
［図１５］同アキュムレータにおける溶接工程の説明図である。
【符号の説明】
【００３１】１  アキュムレータ
２  ハウジング
３  シェル
４  ガスエンドカバー
５  オイルポート
６  作動部材
７  ベローズ
８  ベローズキャップ
９  ガス室
１０  圧力室
１１  制振リング
１２  ガス注入口
１３  ガスプラグ
１４  六角ナット
１５  スペーサー
１６  取付部
１７  ねじ部
１８  圧力流入口
１９  シール装着部
１９ａ，２１ａ  底面
１９ｂ，２１ｂ  内部側面（内面）
２０  シール
２０ａ  基部
２０ｂ  シールリップ
２０ｃ，２２ｅ  外周面
２０ｄ  内周面
２０ｅ，２２ｆ  下面
２１  シールホルダ装着部
２２  シールホルダ
２２ａ  平面部
２２ｂ  透孔
２２ｃ  筒状部
２２ｄ  先端部
２２ｇ  溶接用突起
２３  ストッパ部
２４  チャンバ空間
２５  溶接部
２６  圧力逃がし経路
２７  隙間
２８  凹部
２９  貫通穴
【実施例】
【００３２】  つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説明する。【００３３】第一実施例・・・
図１は、本発明の第一実施例に係るアキュムレータ１の縦断面を示しており、その要部拡大図が図２に示されている。また、図３は同アキュムレータ１の横断面図、図４は溶接工程の説明図である。【００３４】  当該実施例に係るアキュムレータ１は金属ベローズ型のアキュムレータであって、以下のように構成されている。【００３５】  すなわち先ず、略円筒状を呈するシェル３の両端部にガスエンドカバー４およびオイルポート（広義のオイルポート）５が固定（溶接）されて、これらによってハウジング２が設けられており、このハウジング２の内部に、ベローズ７およびベローズキャップ８を備えた作動部材６が収容されている。ガスエンドカバー４はシェル３に対して一体に成形されたものであっても良く、オイルポート５もシェル３に対して一体に成形されたものであっても良い。【００３６】  上記ベローズ７は、その一端部（固定端部）をガスエンドカバー４に固定（溶接）されるとともに他端部（遊動端部）をベローズキャップ８に固定（溶接）されており、よってこのベローズ７およびベローズキャップ８よりなる作動部材６によってハウジング２の内部が作動部材６の内側のガス室９と外側の圧力室（液室）１０とに区分けされている。ベローズ７の他端部外周には、ベローズ７がシェル３に対してかじることがないよう、シェル３の内周面に摺動自在に接触する制振リング１１が取り付けられている。ベローズ７には、電着ベローズ、成形ベローズまたは溶接ベローズ等よりなる金属ベローズが用いられるが、アキュムレータ１の仕様や用途等によっては、その他の材質のベローズを用いることも可能である。ベローズキャップ８はベローズ７に対して一体に成形されたものであっても良い。また、ベローズ７はその一端部が、ガスエンドカバー４の外周縁部に設けられた内向きフランジ部４ａに固定されているが、このフランジ部４ａに代えてここに環状の取付部材（図示せず）が固定される場合には、この取付部材に対してベローズ７の一端部が固定される。【００３７】  上記ハウジング２の一部を構成するガスエンドカバー４に、ガス室９にガスを注入するためのガス注入口１２が設けられており、この注入口１２に、これを閉塞するためのガスプラグ１３が取り付けられて六角ナット１４により覆われている。したがって、ガスプラグ１３および六角ナット１４を固定する前に注入口１２からガス室９に所定圧力のガスを注入し、注入後にガスプラグ１３および六角ナット１４を固定（共に溶接）することにより、所定圧力のガスをガス室９に封入する。封入するガスの種類としては、窒素ガス等が好適である。尚、ガス室９の内部であってガスエンドカバー４の内側には、ガス室９の容積を調整するためのスペーサー１５が組み込まれている。【００３８】  また、同じくハウジング２の一部を構成するオイルポート５に、当該アキュムレータ１を図示しない油圧システム側の圧力配管等に接続するためのねじ部１７を備えた筒状の取付部１６が設けられており、この取付部１６に、配管側の圧力流体を圧力室１０に導入するための圧力流入口（狭義のオイルポート）１８が設けられている。したがって、当該アキュムレータ１を取付部１６において配管側に接続し、この配管側の圧力を圧力��入口１８から圧力室１０に導入する。【００３９】  図２に拡大して示すように、オイルポート５の内面（上面）に、シール２０を装着するための環状凹部状のシール装着部１９が設けられており、このシール装着部１９の内周側であってシール装着部１９と圧力流入口１８との間に、シールホルダ２２を装着するための環状凹部状のシールホルダ装着部２１が設けられている。シール装着部１９の外周側部位は、アキュムレータ１の作動時、作動部材６が伸張動作したときにこれが当接して停止するための環状平面状のストッパ部２３とされている。シール装着部１９の底面１９ａはストッパ部２３よりも一段低い平面状に形成されており、シールホルダ装着部２１の底面２１ａはシール装着部１９の底面１９ａよりも更に一段低い平面状に形成されている。したがってオイルポート５の内面にはその外周側から順に、ストッパ部２３、シール装着部１９およびシールホルダ装着部２１が半裁断面階段状に形成されている。【００４０】  シール２０は、所定のゴム状弾性体によって環状に形成されており、またその基部２０ａの一端に外向きのシールリップ２０ｂを一体成形したリップシールとして形成されている。このシール２０は圧入等の手段により非接着でオイルポート５のシール装着部１９に装着されており、装着後、その外周面２０ｃをもってシール装着部１９の内部側面（内面）１９ｂに密接し、その内周面２０ｄをもってシールホルダ２２の外周面２２ｅに密接する。またこのシール２０は、後記するようにシールホルダ２２の筒状部２２ｃの先端部（シールホルダ２２の先端部）２２ｄが径方向外方に向けて斜め（ラッパ状）に曲げられていることにより抜け止めされている。尚、このシール２０は上記したように、圧力室１０の圧力が極端に低下してベローズ７が大きく伸張したときにベローズキャップ８がこのシール２０に当接してシール作用をなすことにより、圧力室１０の圧力が更に低下するのを抑え、よってベローズ７が径方向に膨張してシェル３に対してかじるのを抑えるために設けられている。【００４１】  シールホルダ２２は、板金等の金属材料によって環状に形成されており、また平面中央に透孔２２ｂを設けた円板状の平面部２２ａの外周縁部に筒状部２２ｃを一体成形することによりその半裁断面を略Ｌ字形に形成されており、更に筒状部２２ｃの先端部２２ｄはシール２０を保持するために径方向外方に向けて斜め（ラッパ状）に曲げられている。【００４２】  また、このシールホルダ２２は、プロジェクション溶接（電気抵抗溶接）によってハウジング２のオイルポート５の内面すなわちシールホルダ装着部２１の底面２１ａに固定されており、この固定状態においてシールホルダ２２の内側すなわち筒状部２２ｃの内周側には、異音発生防止用のチャンバ空間２４が形成されている。【００４３】  図４に示すように、プロジェクション溶接は、シールホルダ２２の平面部２２ａの下面２２ｆに予め溶接用突起２２ｇを設けておき、この溶接用突起２２ｇをシールホルダ装着部２１の底面２１ａに突き当てた状態で電流を流すことにより溶接を行なうが、当該実施例では特に、この溶接用突起２２ｇがシールホルダ２２の円周上複数箇所に点状に配置され、この配置にしたがって���ロジェクション溶接が円周上複数箇所で点状に実施されるようになっている。したがって図３に示すように、溶接後シールホルダ２２には円周上複数箇所の溶接部２５が設けられ、各溶接部２５間は非溶接部とされ、シールホルダ２２およびオイルポート５間には、この非溶接部をその一部とする隙間状の圧力逃がし経路２６が形成されている。【００４４】  すなわち、上記したようにアキュムレータ１の製造組立時にシール装着部１９すなわちシール２０の下部に圧力が封じ込められるようなことがあると、この圧力は逃げ場がなくシール２０の下部に封じ込められたままとなり、よってシール２０の装着状態が不安定となってシール２０がシール装着部１９から抜け出てしまう虞があるが、当該アキュムレータ１によれば上記構成によって、シール装着部１９の圧力を外部へ放出可能な隙間状の圧力逃がし経路２６が形成されるために、この圧力逃がし経路２６を経由してシール装着部１９の圧力を外部へ逃がすことができる。【００４５】  図２に示すように、シール装着部１９の圧力は具体的には、シール装着部１９の底面１９ａ、内部側面１９ｂ、シール２０の下面２０ｃおよびシールホルダ２２の外周面２２ｃに囲まれる空間（図示せず）に蓄えられるが、この空間からシールホルダ装着部２１の内部側面（内面）２１ｂおよびシールホルダ２２の外周面２２ｃ間の隙間（図示せず）ならびにシールホルダ装着部２１の底面２１ａおよびシールホルダ２２の下面２２ｆ間の隙間（図示せず）を経由してシールホルダ２２の内周側へと放出される。したがって圧力逃がし経路２６は具体的には、シールホルダ装着部２１の内部側面２１ｂおよびシールホルダ２２の外周面２２ｅ間の隙間ならびにシールホルダ装着部２１の底面２１ａおよびシールホルダ２２の下面２２ｆ間の隙間によって構成されることになる。【００４６】  尚、図では、溶接用突起２２ｇないし溶接部２５が円周上六箇所に等配状に配置されているため、これに対応して圧力逃がし経路２６も円周上六箇所に等配状に形成されている。六本の圧力逃がし経路２６は放射状に配置され、求心方向へ向けて圧力を放出する。溶接用突起２２ｇの形状（溶接前の形状）は、図５に示すように断面円弧形などであっても良い。【００４７】  また、上記第一実施例では、圧力逃がし経路２６の一部がシールホルダ装着部２１の内部側面２１ｂおよびシールホルダ２２の外周面２２ｅ間の隙間によって構成されているために、この両面２１ｂ，２２ｅが寸法設定上締り嵌めとされていると圧力逃がし経路２６が狭く、よって圧力をうまく逃がせないことが懸念される。したがってこの場合には、以下のような対策を追加すると良い。【００４８】第二実施例（対策その一）・・・
上記第一実施例の構成に加えて、図６に示すように、シールホルダ装着部２１の内部側面２１ｂおよびシールホルダ２２の外周面２２ｅを寸法設定上径方向の隙間嵌めとして両面２１ｂ，２２ｅ間に隙間（径方向隙間）２７を形成し、この隙間２７を圧力逃がし経路２６の一部として使用する。このようにすれば、該部において圧力逃がし経路２６の開口断面積が実質増大するために、圧力を速やかに逃がすことが可能となる。隙間嵌めは、シールホルダ装着部２１の内部側面２１ｂの径寸法をシールホルダ２２の外周面２２ｅの径寸法よりも大きく設定して、両面２１ｂ，２２ｅ間に環状の隙間２７を形成するものである。【００４９】第三実施例（対策その二）・・・
上記第一実施例の構成に加えて、図７および図８に示すように、シールホルダ装着部２１の内部側面２１ｂに縦方向に延びる溝状または切欠状の凹部２８を形成し、この凹部２８を圧力逃がし経路２６の一部として使用する。このようにすれば、該部において圧力逃がし経路２６の開口断面積が実質増大するために、やはり圧力を速やかに逃がすことが可能となる。尚、上記第一実施例では、圧力逃がし経路２６が円周上複数箇所設定されているので、この凹部２８も円周上複数箇所形成するのが好適である。図では、圧力逃がし経路２６が円周上六箇所設定されているので、凹部２８も円周上六箇所形成されている。また、この凹部２８の配置は円周上、互いに隣り合う溶接部２５，２５同士の中間位置が良い。【００５０】第四実施例（対策その三）・・・
上記第一実施例の構成に加えて、図９および図１０に示すように、シールホルダ２２の外周面２２ｅに縦方向に延びる溝状の凹部２８を形成し、この凹部２８を圧力逃がし経路２６の一部として使用する。このようにすれば、該部において圧力逃がし経路２６の開口断面積が実質増大するために、やはり圧力を速やかに逃がすことが可能となる。尚、上記第一実施例では、圧力逃がし経路２６が円周上複数箇所設定されているので、この凹部２８も円周上複数箇所形成するのが好適である。図では、圧力逃がし経路２６が円周上六箇所設定されているので、凹部２８も円周上六箇所形成されている。また、この凹部２８の配置は円周上、互いに隣り合う溶接部２５，２５同士の中間位置が良い。【００５１】  また、上記第一ないし第四実施例では、圧力逃がし経路２６が、シールホルダ装着部２１およびシールホルダ２２間に隙間状または凹部状のものとして設けられているが、これに代えて、圧力逃がし経路２６はハウジング２またはシールホルダ２２に貫通穴状のものとして設けられても良い。実施例は以下のとおりである。【００５２】第五実施例・・・
図１１に示すように、ハウジング２を構成するオイルポート５に貫通穴２９を形成し、この貫通穴２９を圧力逃がし経路２６とする。貫通穴２９は、シール装着部１９の底面１９ａおよび圧力流入口１８の内面に開口し、シール装着部１９と圧力流入口１８とを連通させている。【００５３】第六実施例・・・
図１２に示すように、シールホルダ２２に貫通穴２９を形成し、この貫通穴２９を圧力逃がし経路２６とする。貫通穴２９は、シールホルダ２２の筒状部２２ｃの外周面および内周面に開口し、シール装着部１９とチャンバ空間２４とを連通させている。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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