(57)【要約】信号を受け取る複数のデバイス端子を有する電子デバイスを試験する試験装置であって、デバイス端子に与えるべき信号の動作を示す動作条件を、当該デバイス端子と対応付けて出力する動作条件出力部と、電子デバイスの試験に用いる試験信号を、動作条件が示す動作に基づき、電子デバイスに与えるテストモジュールとを備え、テストモジュールは、それぞれがいずれかのデバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子に試験信号をそれぞれ与える複数の装置端子と、それぞれのデバイス端子と、当該デバイス端子に接続される装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、動作条件に対応付けられたデバイス端子に接続される装置端子を、端子対応情報に基づいて選択し、選択した装置端子に対して、動作条件を設定する動作条件設定部とを有する。
2004104607.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号を受け取る複数のデバイス端子を有する電子デバイスを試験する試験装置であって、
前記デバイス端子に与えるべき前記信号の動作を示す動作条件を、当該デバイス端子と対応付けて出力する動作条件出力部と、
前記電子デバイスの試験に用いる試験信号を、前記動作条件が示す動作に基づき、前記電子デバイスに与えるテストモジュールと
を備え、
前記テストモジュールは、
それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子に前記試験信号をそれぞれ与える複数の装置端子と、
それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、
前記動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報に基づいて選択し、選択した前記装置端子に対して、前記動作条件を設定する動作条件設定部と
を有する試験装置。
【請求項２】
前記試験装置は、複数の前記電子デバイスを試験し、
前記動作条件出力部は、前記動作条件を設定する対象となる前記装置端子に接続されるべき前記電子デバイスを指定し、
前記テストモジュールは、前記複数の電子デバイスのそれぞれについて、当該電子デバイスに接続される前記装置端子を示すデバイス毎装置端子情報を格納するデバイス毎情報格納部を更に有し、
前記動作条件設定部は、前記動作条件出力部に指定された前記電子デバイスにおける、前記動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報及び前記デバイス毎装置端子情報に基づいて選択し、選択した前記装置端子に対して、前記動作条件を設定する請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記動作条件出力部は、前記動作条件を、複数の前記デバイス端子の集合である端子集合に対応付けて出力し、
前記端子対応格納部は、前記端子対応情報として、前記端子集合と、当該端子集合に含まれる前記デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す情報を格納し、
前記動作条件設定部は、前記端子対応情報に基づき、当該動作条件に対応付けられた前記端子集合に含まれる前記デバイス端子に接続される前記装置端子を選択し、選択した前記装置端子が前記動作条件出力部に指定された前記電子デバイスに接続される前記装置端子である場合に、当該装置端子に対して、前記動作条件を設定する請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
信号を出力する複数のデバイス端子を有する電子デバイスを試験する試験装置であって、
前記デバイス端子が出力する前記信号の期待値を示す動作条件を、当該デバイス端子と対応付けて出力する動作条件出力部と、
前記電子デバイスの出力信号を、前記動作条件が示す期待値と比較するテストモジュールと
を備え、
前記テストモジュールは、
それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子が出力する出力信号をそれぞれ入力する複数の装置端子と、
それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、
前記動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報に基づいて選択し、選択した前記装置端子から入力される前記出力信号の期待値として、前記動作条件を設定する動作条件設定部と
を有する試験装置。
【請求項５】
前記電子デバイスが有する前記複数のデバイス端子のそれぞれは、複数のドメインのいずれかに属するものであり、
当該試験装置は、
前記動作条件出力部と、
複数の前記テストモジュールと、
前記複数のテストモジュールを接続するマトリクスモジュールと
を備え、
前記複数のテストモジュールのそれぞれは、当該テストモジュールが有する前記装置端子から入力される前記出力信号と、当該装置端子についての前記期待値との不一致を示すフェイル信号を前記マトリクスモジュールへ出力するテストユニットを更に有し、
前記マトリクスモジュールは、
前記複数のドメインのそれぞれに対応して設けられ、当該ドメインに属する前記デバイス端子に対応するそれぞれの前記装置端子についての前記フェイル信号に基づいて、当該ドメインに属する少なくとも１つの前記装置端子について前記出力信号と前記期待値との不一致が生じたことを示すドメインフェイル信号を生成する複数のドメイン毎集約部と、
前記複数のドメインのそれぞれに対応して設けられ、当該ドメインに対応する前記ドメイン毎集約部により生成された前記ドメインフェイル信号を、当該ドメインに属する前記デバイス端子に接続された前記テストモジュールのそれぞれに分配する複数のドメイン毎分配部と
を有する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
それぞれの前記テストモジュールは、前記ドメインフェイル信号を受信した場合に、当該ドメインに属する前記電子デバイスのフェイル処理を行う請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
それぞれの前記テストモジュールが有する前記テストユニットは、同一のドメインに属する２以上の前記デバイス端子に接続された２以上の前記装置端子のいずれかについて前記出力信号と前記期待値とが不一致である場合に、前記フェイル信号を前記マトリクスモジュールへ出力するセグメントを複数含み、
前記ドメイン毎集約部は、当該ドメインに属する前記デバイス端子に接続されたそれぞれの前記セグメントから入力された前記フェイル信号に基づいて前記ドメインフェイル信号を生成し、
前記ドメイン毎分配部は、当該ドメインに対応する前記ドメイン毎集約部により生成された前記ドメインフェイル信号を、当該ドメインに属する前記デバイス端子に接続された前記セグメントのそれぞれに分配する
請求項５に記載の試験装置。
【請求項８】
前記試験装置は、複数の前記電子デバイスを試験し、
前記動作条件出力部は、試験を行う前記電子デバイス及び前記ドメインを指定し、
前記マトリクスモジュールは、
前記ドメインと、当該ドメインに属する前記デバイス端子に接続される前記セグメントとの対応を示すセグメント対応情報を格納するセグメント情報格納部と、
複数の前記電子デバイスのそれぞれについて、当該電子デバイスに接続される前記セグメントを示すデバイス毎セグメント情報をデバイス毎情報格納部と、
前記動作条件出力部により指定された前記ドメインに対応して前記セグメント情報格納部に格納された前記セグメント対応情報と、前記動作条件出力部により指定された前記電子デバイスに対応して前記デバイス毎情報格納部に格納された前記デバイス毎セグメント情報に基づいて、指定された前記電子デバイス及び前記ドメインに対応する前記セグメントを選択するセグメント選択部と
を備え、
前記ドメイン毎集約部は、前記セグメント選択部により選択された前記セグメントから入力された前記フェイル信号に基づいて前記ドメインフェイル信号を生成し、
前記ドメイン毎分配部は、前記ドメインフェイル信号を、前記セグメント選択部により選択された前記セグメントのそれぞれに分配する
請求項７に記載の試験装置。
【請求項９】
信号を受け取る複数のデバイス端子をそれぞれ有する複数の電子デバイスを試験する試験装置であって、
前記電子デバイスの試験に用いる試験信号を前記デバイス端子に与える場合における、前記試験信号の動作を示す動作条件を、当該デバイス端子と対応付け、かつ前記動作条件を設定する対象となる前記装置端子に接続されるべき前記電子デバイスを指定して出力する動作条件出力部と、
それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子に前記試験信号をそれぞれ与える複数の装置端子と、
それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、
前記複数の電子デバイスのそれぞれについて、当該電子デバイスに接続される前記装置端子を示すデバイス毎装置端子情報を格納するデバイス毎情報格納部と、
前記動作条件出力部に指定された前記電子デバイスにおける、前記動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報及び前記デバイス毎装置端子情報に基づいて選択し、選択した前記装置端子に対して、前記動作条件を設定する動作条件設定部と
を備える試験装置。
【請求項１０】
信号を出力する複数のデバイス端子をそれぞれ有する複数の電子デバイスを試験する試験装置であって、
前記電子デバイスが出力する出力信号の期待値を示す動作条件を、当該デバイス端子と対応付け、かつ前記動作条件を設定する対象となる前記装置端子に接続されるべき前記電子デバイスを指定して出力する動作条件出力部と、
それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子が出力する前記出力信号をそれぞれ入力する複数の装置端子と、
それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、
前記複数の電子デバイスのそれぞれについて、当該電子デバイスに接続される前記装置端子を示すデバイス毎装置端子情報を格納するデバイス毎情報格納部と、
前記動作条件出力部に指定された前記電子デバイスにおける、前記動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報及び前記デバイス毎装置端子情報に基づいて選択し、選択した前記装置端子に対して、前記動作条件を設定する動作条件設定部と
を備える試験装置。
【請求項１１】
信号を受け取る複数のデバイス端子を有する電子デバイスに、当該電子デバイスの試験に用いる試験信号を与えるテストモジュールであって、
それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子に前記試験信号をそれぞれ与える複数の装置端子と、
それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、
前記電子デバイスに与える前記試験信号の動作を示す動作条件を前記デバイス端子と対応付けて受け取り、当該動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報に基づいて選択し、選択した前記装置端子に対して、前記動作条件を設定する動作条件設定部と
を備えるテストモジュール。
【請求項１２】
信号を出力する複数のデバイス端子を有する電子デバイスが出力する出力信号を期待値と比較するテストモジュールであって、
それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子が出力する前記出力信号をそれぞれ入力する複数の装置端子と、
それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、
前記電子デバイスが出力する前記出力信号の期待値を示す動作条件を前記デバイス端子と対応付けて受け取り、当該動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を前記端子情報に基づいて選択し、選択した選択前記装置端子から入力される前記出力信号の期待値として、前記動作条件を設定する動作条件設定部と
を備えるテストモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、信号を受け取る複数のデバイス端子を有する電子デバイスを試験する試験装置に関する。特に本発明は、試験装置及びテストモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、複数の電子デバイスを同時に測定する場合において、測定装置の任意の入出力端子を、任意の電子デバイスに割付ける構成が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この測定装置では、レジスタを用いて構成された同時測定用ピン定義テーブルを用いて、測定装置の入出力端子の割付けを定める。
【特許文献１】特開平５−３２２９７８号公報（第４−６頁、第１−４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  しかし、従来の同時測定用ピン定義テーブルは、測定装置の入出力端子の数と等しい個数のレジスタにより構成される。そのため、測定装置の入出力端子の数が多い場合、必要なレジスタの数が増大し、試験装置のコストが上昇する場合があった。【０００４】  そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置及びテストモジュールを提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  本発明の第１の形態によると、信号を受け取る複数のデバイス端子を有する電子デバイスを試験する試験装置であって、前記デバイス端子に与えるべき前記信号の動作を示す動作条件を、当該デバイス端子と対応付けて出力する動作条件出力部と、前記電子デバイスの試験に用いる試験信号を、前記動作条件が示す動作に基づき、前記電子デバイスに与えるテストモジュールとを備え、前記テストモジュールは、それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子に前記試験信号をそれぞれ与える複数の装置端子と、それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、前記動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報に基づいて選択し、選択した前記装置端子に対して、前記動作条件を設定する動作条件設定部とを有する試験装置を提供する。【０００６】  前記試験装置は、複数の前記電子デバイスを試験し、前記動作条件出力部は、前記動作条件を設定する対象となる前記装置端子に接続されるべき前記電子デバイスを指定し、前記テストモジュールは、前記複数の電子デバイスのそれぞれについて、当該電子デバイスに接続される前記装置端子を示すデバイス毎装置端子情報を格納するデバイス毎情報格納部を更に有し、前記動作条件設定部は、前記動作条件出力部に指定された前記電子デバイスにおける、前記動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報及び前記デバイス毎装置端子情報に基づいて選択し、選択した前記装置端子に対して、前記動作条件を設定してもよい。【０００７】  前記動作条件出力部は、前記動作条件を、複数の前記デバイス端子の集合である端子集合に対応付けて出力し、前記端子対応格納部は、前記端子対応情報として、前記端子集合と、当該端子集合に含まれる前記デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す情報を格納し、前記動作条件設定部は、前記端子対応情報に基づき、当該動作条件に対応付けられた前記端子集合に含まれる前記デバイス端子に接続される前記装置端子を選択し、選択した前記装置端子が前記動作条件出力部に指定された前記電子デバイスに接続される前記装置端子である場合に、当該装置端子に対して、前記動作条件を設定してもよい。【０００８】  本発明の第２の形態によると、信号を出力する複数のデバイス端子を有する電子デバイスを試験する試験装置であって、前記デバイス端子が出力する前記信号の期待値を示す動作条件を、当該デバイス端子と対応付けて出力する動作条件出力部と、前記電子デバイスの出力信号を、前記動作条件が示す期待値と比較するテストモジュールとを備え、前記テストモジュールは、それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子が出力する出力信号をそれぞれ入力する複数の装置端子と、それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、前記動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報に基づいて選択し、選択���た前記装置端子から入力される前記出力信号の期待値として、前記動作条件を設定する動作条件設定部とを有する試験装置を提供する。【０００９】  前記電子デバイスが有する前記複数のデバイス端子のそれぞれは、複数のドメインのいずれかに属するものであり、当該試験装置は、前記動作条件出力部と、複数の前記テストモジュールと、前記複数のテストモジュールを接続するマトリクスモジュールとを備え、前記複数のテストモジュールのそれぞれは、当該テストモジュールが有する前記装置端子から入力される前記出力信号と、当該装置端子についての前記期待値との不一致を示すフェイル信号を前記マトリクスモジュールへ出力するテストユニットを更に有し、前記マトリクスモジュールは、前記複数のドメインのそれぞれに対応して設けられ、当該ドメインに属する前記デバイス端子に対応するそれぞれの前記装置端子についての前記フェイル信号に基づいて、当該ドメインに属する少なくとも１つの前記装置端子について前記出力信号と前記期待値との不一致が生じたことを示すドメインフェイル信号を生成する複数のドメイン毎集約部と、前記複数のドメインのそれぞれに対応して設けられ、当該ドメインに対応する前記ドメイン毎集約部により生成された前記ドメインフェイル信号を、当該ドメインに属する前記デバイス端子に接続された前記テストモジュールのそれぞれに分配する複数のドメイン毎分配部とを有してもよい。【００１０】  それぞれの前記テストモジュールは、前記ドメインフェイル信号を受信した場合に、当該ドメインに属する前記電子デバイスのフェイル処理を行ってもよい。【００１１】  それぞれの前記テストモジュールが有する前記テストユニットは、同一のドメインに属する２以上の前記デバイス端子に接続された２以上の前記装置端子のいずれかについて前記出力信号と前記期待値とが不一致である場合に、前記フェイル信号を前記マトリクスモジュールへ出力するセグメントを複数含み、前記ドメイン毎集約部は、当該ドメインに属する前記デバイス端子に接続されたそれぞれの前記セグメントから入力された前記フェイル信号に基づいて前記ドメインフェイル信号を生成し、前記ドメイン毎分配部は、当該ドメインに対応する前記ドメイン毎集約部により生成された前記ドメインフェイル信号を、当該ドメインに属する前記デバイス端子に接続された前記セグメントのそれぞれに分配してもよい。【００１２】  前記試験装置は、複数の前記電子デバイスを試験し、前記動作条件出力部は、試験を行う前記電子デバイス及び前記ドメインを指定し、前記マトリクスモジュールは、前記ドメインと、当該ドメインに属する前記デバイス端子に接続される前記セグメントとの対応を示すセグメント対応情報を格納するセグメント情報格納部と、複数の前記電子デバイスのそれぞれについて、当該電子デバイスに接続される前記セグメントを示すデバイス毎セグメント情報をデバイス毎情報格納部と、前記動作条件出力部により指定された前記ドメインに対応して前記セグメント情報格納部に格納された前記セグメント対応情報と、前記動作条件出力部により指定された前記電子デバイスに対応して前記デバイス毎情報格納部に格納された前記デバイス毎セグメント情報に基づい��、指定された前記電子デバイス及び前記ドメインに対応する前記セグメントを選択するセグメント選択部とを備え、前記ドメイン毎集約部は、前記セグメント選択部により選択された前記セグメントから入力された前記フェイル信号に基づいて前記ドメインフェイル信号を生成し、前記ドメイン毎分配部は、前記ドメインフェイル信号を、前記セグメント選択部により選択された前記セグメントのそれぞれに分配してもよい。【００１３】  本発明の第３の形態によると、信号を受け取る複数のデバイス端子をそれぞれ有する複数の電子デバイスを試験する試験装置であって、前記電子デバイスの試験に用いる試験信号を前記デバイス端子に与える場合における、前記試験信号の動作を示す動作条件を、当該デバイス端子と対応付け、かつ前記動作条件を設定する対象となる前記装置端子に接続されるべき前記電子デバイスを指定して出力する動作条件出力部と、それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子に前記試験信号をそれぞれ与える複数の装置端子と、それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、前記複数の電子デバイスのそれぞれについて、当該電子デバイスに接続される前記装置端子を示すデバイス毎装置端子情報を格納するデバイス毎情報格納部と、前記動作条件出力部に指定された前記電子デバイスにおける、前記動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報及び前記デバイス毎装置端子情報に基づいて選択し、選択した前記装置端子に対して、前記動作条件を設定する動作条件設定部とを備える試験装置を提供する。【００１４】  本発明の第４の形態によると、信号を出力する複数のデバイス端子をそれぞれ有する複数の電子デバイスを試験する試験装置であって、前記電子デバイスが出力する出力信号の期待値を示す動作条件を、当該デバイス端子と対応付け、かつ前記動作条件を設定する対象となる前記装置端子に接続されるべき前記電子デバイスを指定して出力する動作条件出力部と、それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子が出力する前記出力信号をそれぞれ入力する複数の装置端子と、それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、前記複数の電子デバイスのそれぞれについて、当該電子デバイスに接続される前記装置端子を示すデバイス毎装置端子情報を格納するデバイス毎情報格納部と、前記動作条件出力部に指定された前記電子デバイスにおける、前記動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報及び前記デバイス毎装置端子情報に基づいて選択し、選択した前記装置端子に対して、前記動作条件を設定する動作条件設定部とを備える試験装置を提供する。【００１５】  本発明の第５の形態によると、信号を受け取る複数のデバイス端子を有する電子デバイスに、当該電子デバイスの試験に用いる試験信号を与えるテストモジュールであって、それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子に前記試験��号をそれぞれ与える複数の装置端子と、それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、前記電子デバイスに与える前記試験信号の動作を示す動作条件を前記デバイス端子と対応付けて受け取り、当該動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を、前記端子対応情報に基づいて選択し、選択した前記装置端子に対して、前記動作条件を設定する動作条件設定部とを備えるテストモジュールを提供する。【００１６】  本発明の第６の形態によると、信号を出力する複数のデバイス端子を有する電子デバイスが出力する出力信号を期待値と比較するテストモジュールであって、それぞれがいずれかの前記デバイス端子と電気的に接続され、当該デバイス端子が出力する前記出力信号をそれぞれ入力する複数の装置端子と、それぞれの前記デバイス端子と、当該デバイス端子に接続される前記装置端子との対応を示す端子対応情報を格納する端子対応格納部と、前記電子デバイスが出力する前記出力信号の期待値を示す動作条件を前記デバイス端子と対応付けて受け取り、当該動作条件に対応付けられた前記デバイス端子に接続される前記装置端子を前記端子情報に基づいて選択し、選択した選択前記装置端子から入力される前記出力信号の期待値として、前記動作条件を設定する動作条件設定部とを備えるテストモジュールを提供する。【００１７】  なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明の効果】
【００１８】  本発明によれば、試験装置を、適切なコストで提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】［図１］本発明の一実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。
［図２］モジュールインターフェース２０２の構成の一例を示す図である。
［図３］デバイス毎情報格納部３１８の構成の一例を示す図である。
［図４］図４は、動作条件設定部３１６の構成の一例を示す図である。
［図５］図５は、テストユニット２０４の構成の一例を示す図である。
［図６］ピンマップの一例を示す図である。
［図７］ピングループマップの一例を示す図である。
［図８］デバイス毎装置端子情報の一例を示す図である。
［図９］マトリックス設定部２０８の構成の一例を示す図である。
［図１０］マトリックススイッチ部２１０の構成の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００２０】５０  電子デバイス
５２  デバイス端子
１００  試験装置
１０２  テスタ制御部
１０４  バススイッチ
１０６  デジタルモジュール
１０８  マトリックスモジュール
１１０  ロードボード
２０２  モジュールインターフェース
２０４  テストユニット
２０６  装置端子
２０８  マトリックス設定部
２１０  マトリックススイッチ部
３０２  デバイス端子選択部
３０４  端子対応格納部
３０６  ＤＵＴ選択部
３０８  ＤＵＴマップレジスタ
３１０  ＯＲ回路
３１２  ＡＮＤ回路
３１４  データレジスタ
３１６  動作条件設定部
３１８  デバイス毎情報格納部
４０２  ピンデータテーブル
４０４  セグメント
５０２  ドメイン指定部
５０４  セグメント情報格納部
５０６  ＤＵＴ選択部
５０８  デバイス毎情報格納部
５１０  セグメント選択部
６０２  ドメイン毎集約部
６０４  ドメイン毎分配部
６０６  セグメント指定部
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】  以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００２２】  図１は、本発明の一実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す。本例は、ＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）である複数の電子デバイス５０を効率よく試験する試験装置１００を、低いコストで提供することを目的とする。
本実施形態に係る電子デバイス５０は、複数のデバイス端子５２を備える。デバイス端子５２は、例えば電子デバイス５０の入出力端子（デバイスピン）である。電子デバイス５０は、例えば動作周波数等が異なる複数の入出力インターフェイスを備えてもよい。本実施形態に係る試験装置１００は、これらの複数の入出力インターフェイスを並行して試験することを目的として、それぞれの入出力インターフェイスに対応してドメインを設定し、ドメイン毎に独立して試験を行う機能を有する。より具体的には、試験装置１００は、電子デバイス５０が有する複数のデバイス端子５２のそれぞれを、複数のドメインのいずれかに属するものとして設定し、設定したドメイン毎に独立して試験を行う。【００２３】  試験装置１００は、テスタ制御部１０２、バススイッチ部１０４、複数のデジタルモジュール１０６、マトリックスモジュール１０８、及びロードボード１１０を備える。【００２４】  テスタ制御部１０２は、例えば試験装置１００の全体を制御するＣＰＵ等であり、電子デバイス５０のデバイス端子５２に与えるべき信号のタイミング及び／又はレベル等の動作を示す動作条件、又は、デバイス端子５２が出力する信号のタイミング及び／又はレベル等の期待値を示す動作条件を出力する。テスタ制御部１０２は、例えば予め設定されたプログラムに基づき、いずれかのデバイス端子５２を指定し、そのデバイス端子５２と対応付けて、動作条件を出力する。本例において、テスタ制御部１０２は、動作条件として、例えば、信号のエッジのタイミングを示す情報を出力する。【００２５】  尚、テスタ制御部１０２は、動作条件を出力する動作条件出力部の一例である。テスタ制御部１０２は、デバイス端子５２に対応して設定すべき試験条件の一例として、動作条件を出力する。テスタ制御部１０２は、電子デバイス５０に与えるべき信号の様々な動作を示す動作条件を、デバイス端子５２と対応付けて出力してよい。【００２６】  バススイッチ１０４は、複数のデジタルモジュール１０６及びマトリックスモジュール１０８のそれぞれと、テスタ制御部１０２とを電気的に接続する伝送路である。バススイッチ１０４は、テスタ制御部１０２から受け取る動作条件を、複数のデジタルモジュール１０６のそれぞれに、並列に与える。【００２７】  マトリックスモジュール１０８は、複数のデジタルモジュール１０６を電気的に接続するテストモジュールである。マトリックスモジュール１０８は、電子デバイス５０の試験中にいずれかのデジタルモジュール１０６が電子デバイス５０のフェイルを検出した場合に、当該電子デバイス５０を試験する各デジタルモジュール１０６に試験のフェイルを通知する。マトリックスモジュール１０８は、マトリックススイッチ部２１０及びマトリックス設定部２０８を有する。マトリックススイッチ部２１０は、マトリックス構造のスイッチング回路であり、それぞれのデジタルモジュール１０６を互いに接続する。マトリックススイッチ部２１０は、スイッチング回路の切換えを制御する切換制御信号をマトリックス設定部２０８から受け取り、これに応じて、複数のデジタルモジュール１０６を接続する組み合わせを変更する。マトリックス設定部２０８は、バ��スイッチ１０４を介してテスタ制御部１０２から受け取る指示に応じて、切換制御信号を出力する。【００２８】  デジタルモジュール１０６は、電子デバイス５０の試験に用いる試験信号を電子デバイス５０に与え、電子デバイス５０の出力信号を期待値と比較するテストモジュールであり、モジュールインターフェース２０２、テストユニット２０４、及び複数の装置端子２０６を有する。モジュールインターフェース２０２は、バススイッチ１０４を介してテスタ制御部１０２から受け取る動作条件に基づき、例えばテストユニット２０４の動作のタイミングを設定する。モジュールインターフェース２０２は、例えば、複数の装置端子２０６のそれぞれに対応してテストユニット２０４内に設けられたパーピンリソースに、装置端子２０６を指定してデータを書き込むことにより、例えば、この装置端子２０６に対するタイミングを設定する。モジュールインターフェース２０２は、動作条件に基づき、テストユニット２０４が出力する信号のレベルを設定してもよい。また、モジュールインターフェース２０２は、動作条件に基づき、電子デバイス５０から出力される出力信号と比較すべき信号レベルの期待値を設定してもよい。【００２９】  テストユニット２０４は、試験信号を出力するドライバ回路、及び電子デバイス５０の出力信号を受け取るコンパレータ回路を含むピンエレクトロニクス回路であり、装置端子２０６及びロードボード１１０を介して、電子デバイス５０と電気的に接続される。そして、テストユニット２０４は、モジュールインターフェース２０２により設定される動作条件に基づき、試験信号を出力する。また、テストユニット２０４は、モジュールインターフェース２０２により設定される動作条件に基づき、電子デバイス５０の出力信号を受け取り、動作条件が示す期待値と比較する。【００３０】  本例において、テストユニット２０４は、マトリックススイッチ部２１０を介して、他のデジタルモジュール１０６に設けられたテストユニット２０４と電気的に接続される。テストユニット２０４は、例えば、電子デバイス５０の出力信号に基づく信号を、マトリックススイッチ部２１０を介して、他のテストユニット２０４に供給する。より具体的には、テストユニット２０４は、当該デジタルモジュール１０６が有する装置端子２０６から入力される電子デバイス５０の出力信号と、当該装置端子２０６についての期待値との不一致を示すフェイル信号をマトリックスモジュール１０８へ出力し、マトリックスモジュール１０８を介て他のテストユニット２０４にフェイル信号を供給する。【００３１】  複数の装置端子２０６は、試験装置１００の入出力端子（テスタピン）であり、それぞれがいずれかのデバイス端子５２と、例えばパフォーマンスボード等の接続ユニットであるロードボード１１０を介して、電気的に接続される。それぞれの装置端子２０６は、接続されたデバイス端子５２に、テストユニット２０４から受け取る試験信号を、それぞれ与える。この場合、装置端子２０６は、例えば、動作条件に基づいてテストユニット２０４に設定されたタイミングで、試験信号を出力する。これにより、デジタルモジュール１０６は、例えば、動作条件が示すタイミングで、試験信号を、電子デバイス５０に与える。また、それぞれの装置端子２０６は、接続されたデバイス端子５２が出力する出力信号を入力する。この場合、デジタルモジュール１０６は、それぞれの装置端子２０６により入力された出力信号を、テスタ制御部１０２により設定された動作条件が示す期待値と比較する。本例によれば、電子デバイス５０に信号を入出力する動作条件を、適切に設定することができる。また、これにより、例えば、電子デバイス５０に信号を入出力するタイミングを、適切に設定することができる。【００３２】  以下、試験装置１００の動作について、更に詳しく説明する。本例において、試験装置１００は、ｐ個の電子デバイス５０を並列に試験する。これらの電子デバイス５０のそれぞれは、同一品種のＬＳＩであり、複数のデバイス端子５２をそれぞれ有する。それぞれの電子デバイス５０において、これらの複数のデバイス端子５２は、例えばＤＰ１、ＤＰ２、・・・番等の、共通のデバイス端子番号でそれぞれ指定される。また、これらのデバイス端子５２の少なくとも一部は、試験装置１００から試験信号を受け取る。また、これらのデバイス端子５２の少なくとも一部は、試験装置１００からの試験信号に応じて信号を出力する。【００３３】  また、試験装置１００は、同一又は同様の機能及び構成を有するｑ個のデジタルモジュール１０６を備える。それぞれのデジタルモジュール１０６は、ｎ個の装置端子２０６を有する。そのため、試験装置１００は、ｎ×ｑ個の装置端子２０６を有する。これらの装置端子２０６の少なくとも一部は、ｐ個の電子デバイス５０がそれぞれ有する複数のデバイス端子５２と電気的に接続される。尚、ｐ、ｑ、及びｎのそれぞれは、１以上の整数、１，２，３・・・のいずれかである。【００３４】  そして、例えば、テスタ制御部１０２が、ＤＰ１番のデバイス端子５２を指定して、動作条件を出力した場合、ｑ個のデジタルモジュール１０６に設けられたｑ個のモジュールインターフェース２０２及びテストユニット２０４は、ＤＰ１番のデバイス端子５２と接続される装置端子２０６に対して、動作条件を設定する。この場合、モジュールインターフェース２０２及びテストユニット２０４は、ｐ個の電子デバイス５０がそれぞれにおけるＤＰ１番のデバイス端子５２に対応して、ｐ個の装置端子２０６に対して、動作条件を設定する。【００３５】  この場合、ｑ個のデジタルモジュール１０６は、デバイス端子５２に対応付けて出力された動作条件を並列に展開処理し、このデバイス端子５２に対応する装置端子２０６の動作条件を設定する。そのため、本例によれば、テスタ制御部１０２は、動作条件が示すデータを、複数のデジタルモジュール１０６に対して、適切にブロードキャストして書き込むことができる。【００３６】  ここで、テスタ制御部１０２は、動作条件を設定する対象となる装置端子２０６に接続されるべき電子デバイス５０を指定して、動作条件を出力してもよい。例えば、テスタ制御部１０２は、ｐ個の電子デバイス５０の中からＣＰｘ番目の電子デバイス５０を指定して、デバイス端子番号がＤＰ１番のデバイス端子５２と対応付けられた動作条件を出力する。この場合、モジュールインターフェース２０２及びテストユニット２０４は、ＣＰｘ番目の電子デバイス５０における、ＤＰ１番のデバイス端子５２と接続される装置端子２０６に対して、動作条件の設定を行う。【００３７】  また、テスタ制御部１０２は、動作条件を、複数のデバイス端子５２の集合である端子集合（ピングループ）に対応付けて出力してもよい。例えば、テスタ制御部１０２は、ＤＰ１、ＤＰ３、及びＤＰ７番の３種類のデバイス端子５２を含む端子集合に対応付けて、動作条件を出力する。この場合、モジュールインターフェース２０２及びテストユニット２０４は、それぞれの電子デバイス５０について、これら３種類のデバイス端子５２と接続される装置端子２０６に対して、動作条件の設定を行う。これらの場合も、装置端子２０６に対して、適切に、動作条件を設定することができる。【００３８】  図２は、モジュールインターフェース２０２の構成の一例を示す。モジュールインターフェース２０２は、デバイス端子選択部３０２、端子対応格納部３０４、ＤＵＴ選択部３０６、デバイス毎情報格納部３１８、及び動作条件設定部３１６を有する。【００３９】  デバイス端子選択部３０２は、端子対応格納部３０４に格納されたデータを指定するアドレスを出力するアドレスデコーダであり、複数のデバイス端子５２（図１参照）のそれぞれと、これに対応して出力すべきアドレスとの対応を、予め格納する。そして、デバイス端子選択部３０２は、バススイッチ１０４を介してテスタ制御部１０２（図１参照）から受け取る動作条件に基づき、これと対応付けられたデバイス端子５２に対応するアドレスを、端子対応格納部３０４に与える。これにより、デバイス端子選択部３０２は、動作条件に対応するデバイス端子５２を選択し、このデバイス端子５２と対応付けられたデータを、端子対応格納部３０４に出力させる。【００４０】  本例において、デバイス端子選択部３０２は、端子集合と、アドレスとの対応を更に格納する。そして、テスタ制御部１０２が、動作条件を、端子集合に対応付けて出力した場合、デバイス端子選択部３０２は、その端子集合に対応するアドレスを、端子対応格納部３０４に与える。【００４１】  端子対応格納部３０４は、それぞれのデバイス端子５２と、そのデバイス端子５２に接続される装置端子２０６（図１参照）との対応を示す端子対応情報を格納するメモリである。本例において、端子対応格納部３０４は、この対応を示す情報であるピンマップを、端子対応情報の一部として格納する。端子対応格納部３０４は、それぞれのデバイス端子５２に対して予め対応付けられたアドレスに、このデバイス端子５２と接続される装置端子２０６を示すデータを格納する。そして、端子対応格納部３０４は、いずれかのデバイス端子５２に対応するアドレスをデバイス端子選択部３０２から受け取り、これに応じて、ピンマップに基づき、そのデバイス端子５２に接続される装置端子２０６を示すデータを出力する。【００４２】  本例において、端子対応格納部３０４は、それぞれのデジタルモジュール１０６（図１参照）に設けられるｎ個の装置端子２０６に対応して、それぞれのビットがそれぞれの装置端子２０６に対応付けられたｎビットのデータを、それぞれのアドレスに格納する。端子対応格納部３０４は、例えば、それぞれのアドレスにおいて、そのアドレスに対応するデバイス端子５２に接続される装置端子２０６を示すビットに、値１を格納する。【００４３】  また、端子対応格納部３０４は、端子集合と、その端子集合に含まれるデバイス端子５２に接続される装置端子２０６との対応を示す情報であるピングループマップを端子対応情報の一部として更に格納する。そして、端子集合に対応するアドレスをデバイス端子選択部３０２から受け取った場合、端子対応格納部３０４は、ピングループマップに基づき、この端子集合に対応する装置端子２０６を示すデータを出力する。他の例において、端子対応格納部３０４は、レジスタであってもよい。また、端子対応格納部３０４は、ピンマップ及びグループマップのそれぞれを、それぞれ格納する複数のメモリを有してもよい。【００４４】  本実施形態において、端子集合は、１又は複数のドメインに属する複数のデバイス端子５２の集合であってもよく、より好ましくは１又は複数のドメインに属する全てのデバイス端子５２の集合であってもよい。これによりテスタ制御部１０２は、いずれかの端子集合に対応付けて動作条件を出力することにより、当該端子集合に含まれる１又は複数のドメインに属する全デバイス端子５２に共通の動作条件を設定することができる。一方、テスタ制御部１０２は、いずれかのデバイス端子５２に対応付けて動作条件を出力することにより、各デバイス端子５２に対して個別に動作条件を設定することができる。したがって、試験装置１００は、同一の端子集合に属する全デバイス端子５２に共通する動作条件を設定した後、各デバイス端子５２に個別の動作条件を設定することにより、動作条件の設定を高速に行うことができる。【００４５】  ＤＵＴ選択部３０６は、ｐ個の電子デバイス５０（図１参照）の一部又は全てを、テスタ制御部１０２の指示に応じて選択するレジスタである。ＤＵＴ選択部３０６は、選択した電子デバイス５０を示す信号を、デバイス毎情報格納部３１８に与える。例えば、テスタ制御部１０２が、いずれかの電子デバイス５０を指定して動作条件を出力した場合、ＤＵＴ選択部３０６は、指定された電子デバイス５０を示す信号を出力する。【００４６】  デバイス毎情報格納部３１８は、複数の電子デバイス５０のそれぞれについて、その電子デバイス５０に接続される装置端子２０６を示すデバイス毎装置端子情報を格納する。そして、デバイス毎情報格納部３１８は、デバイス毎装置端子情報に基づき、ＤＵＴ選択部３０６により選択された電子デバイス５０に接続される装置端子２０６を示す信号を、動作条件設定部３１６に与える。【００４７】  動作条件設定部３１６は、ピンマップに基づく信号を端子対応格納部３０４から受け取り、デバイス毎装置端子情報に基づく信号を、デバイス毎情報格納部３１８から受け取る。そして、動作条件設定部３１６は、これらの信号に基づき、テスタ制御部１０２に指定された電子デバイス５０における、動作条件に対応付けられたデバイス端子５２に接続される装置端子２０６を選択する。これにより、動作条件設定部３１６は、当該装置端子２０６を、ピンマップ及びデバイス毎装置端子情報に基づいて選択する。【００��８】  そして、動作条件設定部３１６は、選択した装置端子２０６を示す信号を、バススイッチ１０４を介してテスタ制御部１０２から受け取る動作条件と共に、テストユニット２０４に与え、テストユニット２０４に、この装置端子２０６に対して、動作条件を設定させる。これにより、動作条件設定部３１６は、試験信号を与えるべきデバイス端子５２に対応して選択した装置端子２０６に対して、動作条件に基づき、例えばタイミングを設定する。また、信号を出力するデバイス端子５２に対応して選択した装置端子２０６に対して、当該装置端子２０６から入力される出力信号の期待値として、動作条件を設定する。【００４９】  ここで、動作条件設定部３１６は、選択した装置端子２０６がテスタ制御部１０２に指定された電子デバイス５０に接続される装置端子２０６である場合に、この装置端子２０６に対して、動作条件を設定してよい。また、動作条件設定部３１６は、グループマップに基づき、動作条件に対応付けられた端子集合に含まれるデバイス端子５２に接続される装置端子２０６を選択してもよい。本例によれば、装置端子２０６を適切に選択し、選択した装置端子２０６に対し、適切に動作条件を設定することができる。【００５０】  モジュールインターフェース２０２は、例えば、デバイス毎装置端子情報に基づき、特定の電子デバイス５０に接続される装置端子２０６を選択し、この装置端子２０６をイネーブル又はディセーブルにしてよい。これにより、モジュールインターフェース２０２は、例えば、試験結果がフェイルとなった電子デバイス５０を、試験装置１００から電気的に切り離してよい。本例によれば、それぞれの電子デバイス５０に接続されるデバイス端子５２を適切に選択することにより、複数の電子デバイス５０に対する試験を、高い自由度で行うことができる。【００５１】  尚、ここで、端子対応格納部３０４を、例えばテスタ制御部１０２内に設けるとすれば、試験装置１００に搭載可能な最大数の装置端子２０６に応じた記憶容量の端子対応格納部３０４が必要になる場合があり、試験装置１００のコストが増大する場合がある。しかし、本例によれば、試験装置１００に設けられる装置端子２０６の数に応じた、適切な記憶容量の端子対応格納部３０４を用いることができる。そのため、本例によれば、試験装置１００のコストが必要以上に増大するのを、防ぐことができる。これにより、試験装置１００を、適切なコストで提供することができる。【００５２】  図３は、デバイス毎情報格納部３１８の構成の一例を示す。デバイス毎情報格納部３１８は、複数のＤＵＴマップレジスタ３０８、及び複数のＯＲ回路３１０を有する。本例において、デバイス毎情報格納部３１８は、デジタルモジュール１０６（図１参照）に設けられる装置端子２０６（図１参照）の個数と等しい、ｎ個のＯＲ回路３１０を有する。また、デバイス毎情報格納部３１８は、電子デバイス５０（図１参照）の個数ｐよりも多い、ｍ個のＤＵＴマップレジスタ３０８を有する。デバイス毎情報格納部３１８は、ＤＵＴ選択部３０６から、テスタ制御部１０２（図１参照）に指定された電子デバイス５０を示す情報として、それぞれのビットが、それぞれのＤＵＴマップレジスタ３０８���対応した、ｍビットの信号を受け取る。【００５３】  ｍ個のＤＵＴマップレジスタ３０８のうちのｐ個は、ｐ個の電子デバイス５０と対応付けられる。ＤＵＴマップレジスタ３０８は、いずれかの電子デバイス５０と対応付けられた場合、その電子デバイス５０と接続される装置端子２０６を示す情報を格納する。ＤＵＴマップレジスタ３０８は、ｎ個の装置端子２０６に対応して、それぞれのビットがそれぞれの装置端子２０６に対応付けられたｎビットのデータをデバイス毎装置端子情報として格納する。【００５４】  ＤＵＴマップレジスタ３０８は、例えば、対応する電子デバイス５０に接続される装置端子２０６を示すビットに、値１を格納する。これにより、それぞれのＤＵＴマップレジスタ３０８は、それぞれの電子デバイス５０に対応するデバイス毎装置端子情報を格納する。そして、テスタ制御部１０２により指定された電子デバイス５０に対応するＤＵＴマップレジスタ３０８は、ＤＵＴ選択部３０６から受け取る信号に応じて、格納しているｎビットのデバイス毎装置端子情報を、ｎ個のＯＲ回路３１０に与える。【００５５】  ｎ個のＯＲ回路３１０のそれぞれは、ｎ個の装置端子２０６のそれぞれに対応して設けられており、デバイス毎装置端子情報における、その装置端子２０６に対応するビットを、それぞれのＤＵＴマップレジスタ３０８から受け取る。そして、それぞれのＯＲ回路３１０は、それぞれのＤＵＴマップレジスタ３０８から受け取るビットの論理和を、動作条件設定部３１６に与える。【００５６】  これにより、対応する装置端子２０６がテスタ制御部１０２に指定される電子デバイス５０に接続されるか否かを示す信号を、ＯＲ回路３１０は、動作条件設定部３１６に与える。また、これにより、デバイス毎情報格納部３１８は、テスタ制御部１０２に指定される電子デバイス５０に接続される装置端子２０６を示すｎビットの信号を、動作条件設定部３１６に与える。他の例において、デバイス毎情報格納部３１８は、ＤＵＴマップレジスタ３０８に代えて、デバイス毎装置端子情報を格納するメモリを有してもよい。【００５７】  図４は、動作条件設定部３１６の構成の一例を示す。動作条件設定部３１６は、データレジスタ３１４と、ｎ個の装置端子２０６（図１参照）に対応して設けられたｎ個のＡＮＤ回路３１２とを有する。データレジスタ３１４は、例えばフリップフロップであり、バススイッチ１０４を介してテスタ制御部１０２（図１参照）から受け取る動作条件を一端ラッチして、所定のタイミングでテストユニット２０４に与える。【００５８】  ｎ個のＡＮＤ回路３１２は、端子対応格納部３０４及びデバイス毎情報格納部３１８のそれぞれから受け取る信号に対するビット毎の論理積を、テストユニット２０４に出力する。これにより、動作条件設定部３１６は、テスタ制御部１０２に指定された電子デバイス５０（図１参照）における、動作条件に対応付けられたデバイス端子５２（図１参照）に接続される装置端子２０６を選択し、選択した装置端子２０６を示す信号を、テストユニット２０４に出力する。本例によれば、適切に、装置端子２０６を選択することができる。【００５９】  図５は、テストユニット２０４の構成の一例を示す。テス��ユニット２０４は、ｎ個の装置端子２０６（図１参照）に対応して設けられたｎ個のピンデータテーブル４０２と、複数のセグメント４０４とを有する。【００６０】  ピンデータテーブル４０２は、対応する装置端子２０６の動作条件を設定するレジスタである。それぞれのピンデータテーブル４０２は、動作条件設定部３１６から受け取るｎビットの信号に基づき、対応する装置端子２０６が選択された場合に、データレジスタ３１４から受け取る信号が示すデータを格納する。これにより、ピンデータテーブル４０２は、対応する装置端子２０６に対する動作条件を設定する。本例によれば、それぞれの装置端子２０６に対して、適切に動作条件を設定することができる。【００６１】  また、本例において、ピンデータテーブル４０２は、マトリックススイッチ部２１０から受け取るフェイル信号に応じて、対応する装置端子２０６をイネーブル又はディセーブルにする。例えば、いずれかの電子デバイス５０に対する試験がフェイルとなった場合、ピンデータテーブル４０２は、マトリックススイッチ部２１０の指示に応じて、その電子デバイス５０に接続される装置端子２０６をディセーブルにする。【００６２】  セグメント４０４は、予め定められた数の装置端子２０６に対応してそれぞれ設けられ、対応する装置端子２０６における信号の入出力を制御する。本実施形態において、セグメント４０４は、同一の電子デバイス５０における同一のドメインに属する１又は２以上のデバイス端子５２に接続された１又は２以上の装置端子２０６における信号の入出力を制御する。セグメント４０４は、例えば、対応する装置端子２０６に電気的に接続されたドライバ及びコンパレータを含み、その装置端子２０６に、電子デバイス５０（図１参照）に対して信号を入出力させる。【００６３】  本例において、セグメント４０４は、マトリックススイッチ部２１０と電気的に接続され、接続された１又は２以上の装置端子２０６の少なくとも１つについて、当該装置端子２０６から入力された電子デバイス５０の出力信号と期待値とが不一致である場合に、フェイル信号をマトリックスモジュール１０８へ出力する。マトリックススイッチ部２１０は、例えば、この出力信号に応じて、他のデジタルモジュール１０６（図１参照）に設けられたテストユニット２０４を制御する。【００６４】  以上において、一のセグメント４０４に対応する装置端子２０６は、同じ電子デバイス５０の同一ドメインに属するデバイス端子５２と電気的に接続される。これにより、セグメント４０４は、装置端子２０６を電子デバイス５０に接続する場合の割付けにおける、最小分割単位を定める。この場合、装置端子２０６の割付けを、セグメント４０４の単位で管理することにより、管理に必要なリソースを低減することができる。【００６５】  尚、セグメント４０４は、例えば、それぞれ１個の装置端子２０６に対応して設けられてもよい。この場合、それぞれの装置端子２０６を、高い自由度で、複数の電子デバイス５０に割付けることができる。【００６６】  図６は、端子対応格納部３０４が格納するピンマップの一例を示す。本例において、それぞれのデジタルモジュール１０６は、３２個（ｎ＝３２）の装置端子２０６を有し、それぞれの電子デバイス５０は、５１２個のデバイス端子５２を有する。【００６７】  端子対応格納部３０４は、それぞれのデバイス端子５２を示すデバイス端子番号１〜５１２に対して、そのデバイス端子５２に接続される装置端子２０６を示す装置端子番号を、その装置端子番号に対応するフィールドに値１を格納することにより示す。例えば、端子対応格納部３０４は、デバイス端子番号が１のデバイス端子５２に対して、装置端子番号が１５、及び３０の２個の装置端子２０６を指定するピンマップを格納する。本例によれば、デバイス端子５２と装置端子２０６との対応を、適切に格納することができる。【００６８】  端子対応格納部３０４は、例えば、試験装置１００の起動時に、テスタ制御部１０２（図１参照）からピンマップを受け取り、格納する。テスタ制御部１０２は、例えば、それぞれの電子デバイス５０のデバイス端子５２と、装置端子２０６との対応を示すピンアサインデータに基づき、ピンマップを作成する。テスタ制御部１０２は、ピンアサインデータにおける、それぞれの電子デバイス５０に対する同一のデバイス端子番号に対応する値を、すべての電子デバイス５０について論理和することにより、ピンマップを作成する。【００６９】  図７は、端子対応格納部３０４が格納するピングループマップの一例を示す。本例において、テスタ制御部１０２は、動作条件を、４０９６組の端子集合のいずれかと対応付けて出力する。【００７０】  端子対応格納部３０４は、それぞれの端子集合を示すピングループ番号１〜４０９６に対して、その端子集合に含まれるデバイス端子５２に接続される装置端子２０６を示す装置端子番号を、その装置端子番号に対応するフィールドに値１を格納することにより示す。例えば、端子対応格納部３０４は、ピングループ番号が１の端子集合に対して、装置端子番号が１、４、６、１０〜１２、１５〜１９、２１、２９〜３２の１６個の装置端子２０６を指定するピングループマップを格納する。本例によれば、端子集合に対応する複数の装置端子２０６に対し、例えば共通のタイミング又は信号のレベル等の動作条件を、効率よくブロードキャストして設定することができる。【００７１】  図８は、ＤＵＴマップレジスタ３０８が格納するデバイス毎装置端子情報の一例を示す。本例において、試験装置１００は、８個（ｐ＝８）の電子デバイス５０（図１参照）を、並列に試験する。また、このＤＵＴマップレジスタ３０８を含むデジタルモジュール１０６における、装置端子番号１〜１６の装置端子２０６は、第１番目の電子デバイス５０（ＤＵＴ１）と接続される。装置端子番号１７〜３２の装置端子２０６は、第２番目の電子デバイス５０（ＤＵＴ２）と接続される。【００７２】  第１〜８番目の電子デバイス５０（ＤＵＴ１〜８）のそれぞれに対応するＤＵＴマップレジスタ３０８は、対応する電子デバイス５０と接続される装置端子２０６を示すデバイス毎装置端子情報を、その装置端子２０６を示す装置端子番号のフィールドに値１を格納することにより、それぞれ示す。例えば、第１番目の電子デバイス５０に対応するデバイス毎情報格納部５０８は、装置端子番号が１〜１６のフィールドに、値１を格納する。本例によれば、それぞれのデジタルモジュール１０６において、それぞれの電子デバイス５０に接続される装置端子２０６を、適切に選択することができる。【００７３】  図９は、マトリックス設定部２０８の構成の一例を示す。マトリックス設定部２０８は、ドメイン指定部５０２、セグメント情報格納部５０４、ＤＵＴ選択部５０６、デバイス毎情報格納部５０８、及びセグメント選択部５１０を有する。【００７４】  前述したように、本例の試験装置１００（図１参照）は、それぞれ異なる複数種類の周波数（テスト・レート）の信号を用いて、例えば複数の入出力インターフェイスを備える電子デバイス５０（図１参照）を試験する機能を有する。試験装置１００は、電子デバイス５０毎に、それぞれ１又は複数のセグメント４０４（図５参照）を含む複数のドメインを予め設定し、それぞれのドメインに対し、それぞれ異なる周波数に基づくタイミングを設定する。それぞれのドメインに含まれる複数のセグメント４０４は、それぞれ異なるデジタルモジュール１０６（図１参照）に設けられてよい。そして、テスタ制御部１０２は、試験を行う電子デバイス５０及びドメインをマトリックスモジュール１０８に対して指定する。【００７５】  ドメイン指定部５０２は、デバイス端子選択部３０２（図２参照）と同一又は同様の機能を有するアドレスデコーダである。ドメイン指定部５０２は、複数のドメインのそれぞれと、出力すべきアドレスとの対応を予め格納する。そして、ドメイン指定部５０２は、いずれかのドメインを示す情報を、バススイッチ１０４を介してテスタ制御部１０２（図１参照）から受け取り、これに対応するアドレスを、セグメント情報格納部５０４に与える。【００７６】  セグメント情報格納部５０４は、それぞれのドメインと、それぞれのドメインに属するデバイス端子５２に接続されるセグメント４０４との対応を示すセグメント対応情報を格納する。セグメント情報格納部５０４は、ドメイン指定部５０２から受け取るアドレスに応じて、このアドレスに対応するドメインに含まれるセグメント４０４を示すセグメント対応情報を、セグメント選択部５１０に与える。このセグメント対応情報は、例えば各セグメント当たり１ビットからなるビット列であり、指定されたドメインに含まれるセグメント４０４に対応するビットが“１”、含まれないセグメント４０４に対応するビットが“０”の値をとる。【００７７】  ＤＵＴ選択部５０６は、ＤＵＴ選択部３０６と同一又は同様の機能を有し、テスタ制御部１０２により指定された電子デバイス５０を示す信号を、デバイス毎情報格納部５０８に与える。デバイス毎情報格納部５０８は、装置端子２０６（図１）に代えてセグメント４０４を示す情報を格納する他は、デバイス毎情報格納部３１８（図３参照）と同一又は同様の機能を有する。デバイス毎情報格納部５０８は、ＤＵＴ選択部５０６から受け取る信号に応じて、その電子デバイス５０に接続される装置端子２０６に対応するセグメント４０４を示すデバイス毎セグメント情報を、セグメント選択部５１０に与える。このデバイス毎セグメント情報は、例えば各セグメント当たり１ビットからなるビット列であり、指定された電子デバイス５０に接続されるセグメント４０４に��応するビットが“１”、含まれないセグメント４０４に対応するビットが“０”の値をとる。【００７８】  セグメント選択部５１０は、テスタ制御部１０２により指定されたドメインに対応してセグメント情報格納部５０４に格納されたセグメント対応情報と、テスタ制御部１０２により指定された電子デバイス５０に対応してデバイス毎情報格納部５０８に格納されたデバイス毎セグメント情報に基づいて、指定された電子デバイス５０及びドメインに対応するセグメント４０４を選択する。そして、セグメント選択部５１０は、選択したセグメント４０４を示す切換制御信号を、マトリックススイッチ部２１０に与える。セグメント選択部５１０は、切換制御信号として、例えば、セグメント情報格納部５０４から受け取るセグメント対応情報、及びデバイス毎情報格納部５０８から受け取るデバイス毎セグメント情報の、ビット毎の論理積を出力してよい。マトリックススイッチ部２１０は、切換制御信号に基づき、例えば、複数のテストユニット２０４（図１参照）を互いに接続するスイッチング回路を設定する。本例によれば、マトリックススイッチ部２１０を、適切に制御することができる。【００７９】  図１０は、マトリックススイッチ部２１０の構成の一例を示す。本例において、テスタ制御部１０２（図１参照）は、ｊ個のドメインを設定する。マトリックススイッチ部２１０は、ｊ個のドメインに対応して設けられた、それぞれｊ個のドメイン毎集約部６０２及びドメイン毎分配部６０４と、セグメント指定部６０６とを有する。【００８０】  また、本例において、試験装置１００（図１参照）は、ｉ個のセグメント４０４（図５参照）を有する。マトリックススイッチ部２１０は、ｉ個のセグメント４０４から、それぞれ１ビットのフェイル信号を受け取る。【００８１】  ここで、それぞれのセグメント４０４の装置端子２０６（図１参照）は、いずれかの電子デバイス５０と電気的に接続されている。そして、試験においてその電子デバイス５０がフェイルした場合、そのセグメント４０４は、当該フェイルを示すフェイル信号を、マトリックススイッチ部２１０に供給する。【００８２】  それぞれのドメイン毎集約部６０２は、当該ドメインに属するデバイス端子５２に対応するそれぞれの装置端子２０６についてのフェイル信号に基づいて、当該ドメインに属するいずれかの装置端子２０６について出力信号と期待値との不一致が生じたことを示すドメインフェイル信号を生成する。本実施形態に係るドメイン毎集約部６０２は、当該ドメインに属するデバイス端子５２に接続されたそれぞれのセグメント４０４から入力されたフェイル信号に基づいてドメインフェイル信号を生成する。
より具体的には、ドメイン毎集約部６０２は、ｉ個のセグメント４０４に対応するｉビットのフェイル信号から、対応するドメインに含まれるセグメント４０４に対応するフェイル信号を選択する。そして、ドメイン毎集約部６０２は、選択したフェイル信号のいずれかがフェイルを示す信号である場合に、当該ドメイン内にフェイルが発生したことを示す１ビットのドメインフェイル信号を、対応するドメイン毎分配部６０４に与える。このようにして、ドメイン毎集約部６０２は、対応するセグメント４０４から受け取るフェイル信号を集約する。【００８３】  ドメイン毎分配部６０４は、当該ドメインに対応するドメイン毎集約部６０２により生成されたドメインフェイル信号を、当該ドメインに属するデバイス端子５２に接続されたデジタルモジュール１０６のそれぞれに分配する。本実施形態に係るドメイン毎分配部６０４は、当該ドメインフェイル信号を、当該ドメインに属する装置端子２０６に接続されたセグメント４０４のそれぞれに分配する。
より具体的には、ドメイン毎分配部６０４は、あるドメインについてフェイルを示すドメインフェイル信号をドメイン毎集約部６０２から受け取った場合、当該ドメインに含まれるセグメント４０４を示すビットを値１としたドメインフェイル信号のｉビットのビット列を出力する。そして、このドメインフェイル信号のビット列の各ビットは、ｉ個のセグメント４０４のそれぞれに対応する。これにより、対応するドメインに含まれるいずれかのセグメント４０４がフェイル信号を出力した場合、ドメイン毎分配部６０４は、対応するドメインに含まれる全てのセグメント４０４に対して値１のドメインフェイル信号を出力する。これにより、ドメイン毎分配部６０４は、対応するセグメント４０４に、フェイル信号を分配することができる。【００８４】  セグメント指定部６０６は、ｊ個のドメイン毎分配部６０４がそれぞれ出力するｉビットの信号に対するビット毎の論理和を出力する。ドメイン毎分配部６０４は、この論理和を示すｉビットの信号におけるそれぞれのビットを、ｉ個のセグメント４０４のそれぞれに与える。【００８５】  これにより、いずれかのセグメント４０４がフェイル信号を出力した場合、マトリックススイッチ部２１０は、そのセグメント４０４と同じドメインに含まれる全てのセグメント４０４に対して、当該フェイルを通知することができる。この通知を受信したセグメント４０４は、例えば、対応する電子デバイス５０を、装置端子２０６から電気的に切り離す等の、電子デバイス５０の当該ドメインについてのフェイル処理を行なってもよい。本例によれば、複数のドメインを、適切に管理することができる。【００８６】  以上において、ドメイン毎集約部６０２及びドメイン毎分配部６０４のそれぞれは、マトリックス設定部２０８から受け取る切換制御信号に基づき、対応するドメインに応じて、例えば、スイッチング回路を設定する。これにより、ドメイン毎集約部６０２及びドメイン毎分配部６０４は、テスタ制御部１０２により指定された電子デバイス５０及びドメインに対応するセグメント４０４の間で適切にフェイル信号を授受できるように、各ドメイン毎集約部６０２及びドメイン毎分配部６０４を設定することができる。【００８７】  以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００８８】  本発明によれば、試験装置を、適切なコストで提供することができる。
【図１】
2004104607.tif 000003
【図２】
2004104607.tif 000004
【図３】
2004104607.tif 000005
【図４】
2004104607.tif 000006
【図５】
2004104607.tif 000007
【図６】
2004104607.tif 000008
【図７】
2004104607.tif 000009
【図８】
2004104607.tif 000010
【図９】
2004104607.tif 000011
【図１０】
2004104607.tif 000012
【国際調査報告】
2004104607.tif 000013
2004104607.tif 000014