(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに相対する第一表面及び第二表面を備える透明基底と、前記透明基底の第二表面の上に配置された複数の薄膜トランジスタ構造と、容量式タッチー・センサー構造と、を備えるタッチー回路基板であって、
前記容量式タッチー・センサー構造は、前記透明基底の第一表面の上に互いに平行するように配置された複数の第一導電電極、及び前記透明基底の第二表面の上に互いに平行するように配置されるとともに前記第一導電電極と絶縁的に直交する複数の第二導電電極を備え、前記複数の第一導電電極、前記複数の第二導電電極及び両者の間に挟んでいる透明基底が一緒に複数のセンサーコンデンサーを構成し、
前記複数の第二導電電極の上に各々に配置された複数のダイオードを更に備えることを特徴とするタッチー回路基板。
【請求項２】
前記透明基底の第二表面に配置された互いに平行する複数のゲートライン及び互いに平行し且つ前記ゲートラインと絶縁的に直交する複数のデータラインを更に備え、前記薄膜トランジスタは、前記データラインとゲートラインの直交所に配置され、前記複数の第一導電電極は、前記データラインと相応するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載のタッチー回路基板。
【請求項３】
相隣する２つのゲートラインの間に、前記薄膜トランジスタから遠く離れることに配置された共通信号ラインを更に備え、前記容量式タッチー・センサー構造の第二導電電極は、前記共通信号ラインの一部分であることを特徴とする請求項２に記載のタッチー回路基板。
【請求項４】
前記ダイオードは、第二半導体層及び第二金属電極を備え、前記第二金属電極は、前記第二導電電極の上に配置され、且つ１つの窓口を含んであって、前記窓口の両側の前記第二金属電極は、前記第二半導体層によって電気的に接続することを特徴とする請求項１に記載のタッチー回路基板。
【請求項５】
前記第二金属電極と第二導電電極との間に１つの第一絶縁層を更に備えることを特徴とする請求項４に記載のタッチー回路基板。
【請求項６】
前記第一絶縁層は、前記第二金属電極と第二導電電極とを電気的に接続することに用いられる接続孔を含むことを特徴とする請求項５に記載のタッチー回路基板。
【請求項７】
前記薄膜トランジスタ構造は、ゲート電極と、ソース電極と、ドレイン電極及び第一半導体層を備え、前記ゲート電極は、前記透明基底の第二表面に配置され、前記第一絶縁層を延びて前記ゲート電極を覆い、前記第一半導体層がゲート電極に対応して前記第一絶縁層の表面に配置され、前記ソース電極とドレイン電極に対向して、第一半導体層の両側に配置されることを特徴とする請求項６に記載のタッチー回路基板。
【請求項８】
前記ドレイン電極と電気的に接続され、且つ前記第二導電電極に接続されない部分を覆う画素電極及び前記第二金属電極と前記画素電極との間に配置された第二絶縁層を更に備えることを特徴とする請求項７に記載のタッチー回路基板。
【請求項９】
前記画素電極、前記第二金属電極及び両者の間に配置する第二絶縁層が一緒に1つの積蓄容量を構成することを特徴とする請求項８に記載のタッチー回路基板。
【請求項１０】
互いに対向配置された透明基板及びタッチー回路基板と、前記タッチー回路基板の１つの表面を覆う疎水性絶縁層と、前記疎水性絶縁層と透明基板との間に配置された非導電的な第一流体と、前記第一流体と前記透明基板の間に封入され、且つ前記第一流体と互いに混和しない導電的な第二流体と、を備えるタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイであって、
前記タッチー回路基板は、請求項１〜９のいずれかの一項に記載のタッチー回路基板であり、且つタッチー回路基板の透明基底の第二表面は、前記透明基板に向かうように配置されることを特徴とするタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイ。
【請求項１１】
互いに相対する第一表面及び第二表面を備える透明基底と、互いに平行し且つ前記透明基底の第一表面の上に配置された複数の第一導電電極と、前記透明基底の第二表面の上にマトリックス形で配置された複数の画素ユニットと、を備えるタッチー回路基板であって、
前記画素ユニットは、前記第一導電電極に垂直交差し、且つ前記画素ユニットを貫く１つの共通信号ラインと、前記共通信号ラインを覆う少なくとも１つの第一絶縁層及び１つの積蓄容量を備え、
前記積蓄容量は、前記共通信号ラインに対応して前記第一絶縁層の上に配置された１つの第二金属電極と、前記第二金属電極を覆う少なくとも１つの第二絶縁層と、前記画素ユニット内に設置されて且つ前記第二絶縁層を覆う１つの画素電極を備え、
前記共通信号ラインは第二導電電極として、前記第二導電電極、前記第一導電電極及びその間に挟んでいる透明基底が一緒にセンサーコンデンサーを構成し、
前記共通信号ラインに対応して配置されたダイオードを更に備えることを特徴とするタッチー回路基板。
【請求項１２】
前記ダイオードは、第二半導体層及び第二金属電極を備え、前記第二金属電極は、前記第二導電電極の上に配置され、且つ１つの窓口を含んであって、前記窓口の両側の前記第二金属電極は、前記第二半導体層によって電気的に接続することを特徴とする請求項１１に記載のタッチー回路基板。
【請求項１３】
前記第二金属電極と第二導電電極との間に、前記第二金属電極と第二導電電極とを電気的に接続することに用いられる接続孔を含む１つの第一絶縁層を更に備えることを特徴とする請求項１２に記載のタッチー回路基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチー回路基板（Ｔｏｕｃｈ−Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）及び前記タッチー回路基板を使うタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイ（Ｔｏｕｃｈ−Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ｅｌｅｃｔｒｏ−ｗｅｔｔｉｎｇ  Ｄｉｓｐｌａｙ）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、いろいろな光電技術が迅速に発展し、且つプロジェクション・ディスプレイ（Ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、可撓式ディスプレイ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｐｌａｙ）等のような次世代のフラットディスプレイに広く用いられている。なかでも、エレクトロウエッティングディスプレイ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−ｗｅｔｔｉｎｇ  Ｄｉｓｐｌａｙ）は、近年表示装置に応用された新技術であって、低消費電力・広視角・速い応答時間などの特性を有するので、研究及び重視程度が倍増する。
【０００３】
図１は、従来のエレクトロウエッティングディスプレイの電圧無印加時の状態を示す一部拡大断面図である。前記エレクトロウエッティングディスプレイ１０は、互いに対向配置された第一基板１１及び第二基板１８と、前記第一基板１１と第二基板１８との間に配置された第一流体１３と、第二流体１２と、疎水性絶縁層１５と、複数の突起（Ｐｉｘｅｌ  Ｗａｌｌ）１６と、マトリックス形の回路層１７と、を備える。前記回路層１７は、前記第二基板１８の表面に配置されており、複数の画素電極１４及び複数の薄膜トランジスタ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ，図示せず）を備える。前記複数の画素電極１４は、前記第二基板１８の表面にマトリックス形で配置されており、且つ前記薄膜トランジスタに対応的に電気接続される。前記疎水性絶縁層１５は、前記回路層１７を覆う。前記複数の突起１６は、格子構造で前記疎水性絶縁層１５の表面に配置されており、隣り合う突起１６が限定する最小ユニットは、1つの画素ユニットＲであって、且つ前記複数の画素ユニットＲは、前記複数の画素電極１４に対応的に配置される。前記第一流体１３は、隣り合う突起１６の間に封入され、一般的に不透明なオイルまたはセタンのようなパラフィンである。前記第二流体１２は、前記第一流体１３と前記第一基板１１の間に封入され、前記第一流体１３と互いに混和しない（Ｉｍｍｉｓｃｉｂｌｅ）透明導電性液体であって、水または塩の水溶液であることができ、例えば、水とエチルアルコールの混合物の中の塩化カリウムの水溶液である。
【０００４】
前記第二流体１２と前記画素電極１４に別々に電圧を印加し、前記第二流体１２と前記画素電極１４との間の電圧差が閾値電圧より小さい時、前記第二流体１２と前記第一流体１３が積み重ねて、且つ前記第一流体１３が前記疎水性絶縁層１５の上に平坦に配置されるため、入射光は、前記第一流体１３に吸収されて、前記エレクトロウエッティングディスプレイ１０の画素ユニットＲが暗い状態になる。
【０００５】
図２は、図１に示すエレクトロウエッティングディスプレイに電圧を印加した時の状態を示す一部拡大断面図である。前記第二流体１２と前記画素電極１４との間の電圧差が閾値電圧より大きい時、前記第二流体１２の表面張力が改変されて前記画素ユニットＲ内の第一流体１３を押し出し、前記第一流体１３を隣り合う突起１６側に移動させるため、入射光は、前記第二流体１２から出射することができ、従って前記エレクトロウエッティングディスプレイ１０の対応する画素ユニットＲが明るい状態になる。
【０００６】
しかし、タッチセンサー（Ｔｏｕｃｈ−Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ）技術が発展するに従って、次第に消費者の多くが、携帯電話、ノートパソコン、情報携帯端末などの表示装置にタッチセンサー機能を付加して人と機械界面との間の取り交わせ功能の強化を求めてきている。従って、タッチセンサー機能を有するエレクトロウエッティングディスプレイに対する需要もだんだん強くなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の第一目的は、前記課題を解決し、タッチセンサー機能を有するタッチー回路基板を提供することである。
【０００８】
本発明の第二目的は、前記課題を解決し、タッチセンサー機能を有するタッチー回路基板を採用したタッチーエレクトロウエッティングディスプレイを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記第一目的を達成するため、本発明は、互いに相対する第一表面及び第二表面を備える透明基底と、前記透明基底の第二表面の上に配置された複数の薄膜トランジスタ構造と、容量式タッチー・センサー構造と、を備えるタッチー回路基板であって、前記容量式タッチー・センサー構造は、前記透明基底の第一表面の上に互いに平行するように配置された複数の第一導電電極及び前記透明基底の第二表面の上に互いに平行するように配置されるとともに前記第一導電電極と絶縁的に交差する複数の第二導電電極を備え、前記複数の第一導電電極、前記複数の第二導電電極及びその間に挟んでいる透明基底が一緒に複数のセンサーコンデンサーを構成することを特徴とするタッチー回路基板を提供する。
【００１０】
前記第二目的を達成するため、本発明は、互いに対向配置された透明基板及びタッチー回路基板と、前記タッチー回路基板を覆う疎水性絶縁層と、前記疎水性絶縁層と前記透明基板との間に配置された非導電的な第一流体と、前記第一流体と前記透明基板の間に封入し、且つ前記第一流体と互いに混和しない導電的な第二流体と、を備えるタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイであって、前記タッチー回路基板は、互いに相対する第一表面及び第二表面を備える透明基底と、前記透明基底の第二表面の上に配置された複数の薄膜トランジスタ構造と、容量式タッチー・センサー構造と、を備え、前記容量式タッチー・センサー構造は、前記透明基底の第一表面の上に互いに平行することに配置された複数の第一導電電極及び前記透明基底の第二表面の上に互いに平行することに配置されるとともに前記第一導電電極と絶縁的に交差する複数の第二導電電極を備え、前記複数の第一導電電極、前記複数の第二導電電極及びその間に挟んでいる透明基底が一緒に複数のセンサーコンデンサーを構成することを特徴とするタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイを提供する。
【００１１】
前記第一目的を達成するため、本発明は、互いに相対する第一表面及び第二表面を備える透明基底と、互いに平行し且つ前記透明基底の第一表面の上に配置された複数の第一導電電極と、前記透明基底の第二表面の上にマトリックス形で配置された複数の画素ユニットと、を備えるタッチー回路基板であって、前記画素ユニットは、前記第一導電電極に垂直交差し且つ前記画素ユニットを貫く１つの共通信号ラインと、前記共通信号ラインを覆う少なくとも１つの第一絶縁層及び１つの積蓄容量を備え、前記積蓄容量は、前記共通信号ラインに対応して前記第一絶縁層の上に配置された１つの第二金属電極と、前記第二金属電極を覆う少なくとも１つの第二絶縁層と、前記画素ユニット内に設置されて且つ前記第二絶縁層を覆う１つの画素電極を備え、前記共通信号ラインは第二導電電極として、前記第二導電電極、前記第一導電電極及びその間に挟んでいる透明基底が一緒にセンサーコンデンサーを構成することを特徴とするタッチー回路基板を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
前記タッチー・エレクトロウエッティングディスプレイ及び前記タッチー回路基板は、透明基板に配置されて画素ユニットの明るい状態と暗い状態を切り替えることに用いられた薄膜トランジスタと１つの容量式タッチー・センサー構造を観察面とする透明基底の上に整合することにより、表示装置に基板を増加しなくても、容量式タッチー・センサー機能を有するタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図３は、本発明の第１実施形態に係るタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイ（Ｔｏｕｃｈ−ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ｅｌｅｃｔｒｏ−ｗｅｔｔｉｎｇ  Ｄｉｓｐｌａｙ）が暗い状態に処する構造を示す一部拡大断面図である。前記タッチー・エレクトロウエッティングディスプレイ２０は、互いに対向配置された透明基板２１及びタッチー回路基板２２と、前記透明基板２１と前記タッチー回路基板２２との間に配置された疎水性絶縁層２３と、複数の突起（Ｐｉｘｅｌ  Ｗａｌｌ）２４と、透光しない第一流体２５と、透光する第二流体２６と、を備える。前記タッチー回路基板２２は、透明基板であって、且つ容量式タッチー・センサー構造を構成するタッチー部（図示せず）及びエレクトロウエッティングディスプレイが明るい状態になるか又は暗い状態になるかを制御する制御部（図示せず）を備える。前記疎水性絶縁層２３は、前記透明基板２１に向かう前記タッチー回路基板２２の一つの表面を覆い、その材料は、ＡＦ１６００のような疎水性の透明アモルファス・フルオロポリマーである。前記複数の突起２４は、前記疎水性絶縁層２３の上に格子構造で配置され、隣り合う突起２４が限定する最小区域は、1つの画素ユニットＰである。前記第一流体２５は、各画素ユニットＰ内における疎水性絶縁層２３の上に均一的に分布し、その材料は、色付けされたオイルまたはヘキサデカンのようなアルカンである。前記第二流体２６は、前記第一流体２５と前記第一基板２１との間に封入され、前記第一流体２５と互いに混和しない（Ｉｍｍｉｓｃｉｂｌｅ）透明導電性液体であって、水または塩の水溶液であることができ、例えば水とエチルアルコールの混合物の中の塩化カリウムの水溶液である。
【００１４】
図４〜図６を一緒に参照してください。図４は、図３に示すタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイのタッチー回路基板の1つの画素ユニットＰの構造を示す平面図であって、図５は、図４の線Ｖ−Ｖに沿った断面拡大図であって、図６は、図４の線VI−VIに沿った断面拡大図である。前記タッチー回路基板２２は、相対的な第一表面（図に標識せず）と第二表面（図に標識せず）を備える透明基底２２０と、前記透明基底２２０の第二表面に配置された互いに平行する複数のゲートライン２３１と、前記ゲートライン２３１に絶縁的に直交する複数のデータライン２３２と、複数の共通信号ライン２３３と、前記複数のデータライン２３２に対応し且つ前記透明基底２２０の第一表面に配置される複数の駆動ライン２３４と、を備える。前記駆動ライン２３４は、前記タッチー・エレクトロウエッティングディスプレイ２０のＹ方向に沿った第一導電電極とする。前記複数の共通信号ライン２３３は、互いに平行し、且つ相隣する２つのゲートライン２３１の間に別々に配置され、それは前記タッチー・エレクトロウエッティングディスプレイ２０のＸ方向に沿った第二導電電極とする。前記共通信号ライン２３３、前記駆動ライン２３４及び両者の間の透明基底２２０は、一緒にタッチー・センサー機能を実現できるセンサーコンデンサーＣｓｅｎｓｅを形成する。前記センサーコンデンサーＣｓｅｎｓｅ、前記共通信号ライン２３３及び前記駆動ライン２３４は、容量式タッチー・センサー構造を構成する。
【００１５】
前記データライン２３２と前記ゲートライン２３１が交差して構成した最小区域は、前記画素ユニットＰに対応する。各画素ユニットＰは、1つの薄膜トランジスタ２４０と、1つの画素電極２５０と、1つの第二絶縁層２４６と、1つのダイオード２６０と、を備える。
【００１６】
前記薄膜トランジスタ２４０は、前記共通信号ライン２３３から遠く離れるゲートライン２３１とデータライン２３２が交差する所に配置される。前記薄膜トランジスタ２４０は、ゲート電極２４１と、第一絶縁層２４２と、第一半導体層２４３と、ソース電極２４４と、ドレイン電極２４５と、を備える。前記ゲート電極２４１は、前記透明基底２２０の第二表面に配置され、且つ前記ゲートライン２３１に電気接続する。前記第一絶縁層２４２は、前記ゲート電極２４１と、前記共通信号ライン２３３と、前記透明基底２２０の第二表面を覆う。前記第一半導体層２４３は、前記第一絶縁層２４２の上に前記ゲート電極２４１に対応して配置される。前記ソース電極２４４は、前記データライン２３２に電気接続し、且つ前記ドレイン電極２４５に対向して第一半導体層２４３の両側に配置される。
【００１７】
第一金属電極２６１と、第一絶縁層２４２と、第二半導体層２６３と、第二金属電極２６４と、第一接続孔２６５と、を備える前記ダイオード２６０は、前記共通信号ライン２３３に対応して配置される。前記第一金属電極２６１は、前記共通信号ライン２３３の一部分であって、前記第一絶縁層２４２に覆われる。前記第一接続孔２６５は、前記第一絶縁層２４２を貫いて、前記画素ユニットＰの辺縁に配置される。前記第二金属電極２６４は、前記第一絶縁層２４２の表面に前記第一金属電極２６１と対応的に配置され、前記第一接続孔２６５を通じて、前記第一金属電極２６１に電気接続する。前記第二金属電極２６４は、1つの窓口２６８を含む。前記第二半導体層２６３は、前記窓口２６８に対応して前記第一絶縁層２４２の上に配置される。前記窓口２６８の両側の第二金属電極２６４の一部分が前記第二半導体層２６３と重ねることにより、前記窓口２６８の両側の第二金属電極２６４は、前記第二半導体層２６３によって電気接続し、前記第一接続孔２６５に接続する第二金属電極２６４の一部分は、前記ダイオード２６０の正極として、他の一部分は、前記ダイオード２６０の負極とする。
【００１８】
前記第二絶縁層２４６は、前記薄膜トランジスタ２４０を覆い、且つ延び出して前記第一絶縁層２４２と前記ダイオード２６０の表面を覆って、前記薄膜トランジスタ２４０と前記ダイオード２６０を保護し、且つ前記ドレイン電極２４５に対応する所に前記第二絶縁層２４６を貫く第二接続孔２４７を有する。前記画素電極２５０は、前記ドレイン電極２４５と対応する前記第二絶縁層２４６を覆い、且つ延び出して前記ダイオード２６０の負極の表面を覆い、且つ前記第二接続孔２４７を介して、前記ドレイン電極２４５に電気接続する。前記画素電極２５０、前記第二金属電極２６４及び両者の間に配置される第二絶縁層２４６は、1つの積蓄容量Ｃｓｔを構成する。
【００１９】
図７は、図３に示すタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイの等効回路図である。前記第二流体２６に共通電圧を持続的に印加し、前記ゲートライン２３１が伝送するゲート電圧によって前記薄膜トランジスタ２４０のオンとオフ状態を制御し、前記薄膜トランジスタ２４０がオン状態になると、データ電圧は、前記データライン２３２と、前記薄膜トランジスタ２４０のソース電極２４４及びドレイン電極２４５を順番に通じてから前記画素電極２５０に印加する。前記画素電極２５０と前記第二流体２６との間の電圧差が閾値電圧より小さい時、前記第二流体２６と前記第一流体２５が積み重ねて、入射光は、前記第一流体２５に吸収されるため、前記エレクトロウエッティングディスプレイ２０が暗い状態になる。反して、前記画素電極２５０と前記第二流体２６との間の電圧差が閾値電圧より大きい時、第二流体２６が第一流体２５を押し出すことにより、前記第一流体２５が薄膜トランジスタ２４０領域に集まるため、入射光は、前記第二流体２６を通じて出射し、前記エレクトロウエッティングディスプレイ２０の対応する画素ユニットＰが明るい状態になる。
【００２０】
同時に、外部制御回路によって、容量式タッチー・センサー構造のＸ方向に沿った第二導電電極とする共通信号ライン２３３及びＹ方向に沿った第一導電電極とする駆動ライン２３４を交互に走査させ、何れかタッチ動作がない時、前記タッチー回路基板２２の各画素ユニットＰのセンサーコンデンサーＣｓｅｎｓｅの容量値が恒定する。ところが、フィンガー又はタッチペンで前記タッチー回路基板２２をタッチすると、フィンガー又はタッチペンと前記容量式タッチー・センサー構造との間にタッチコンデンサー（図示せず）が産生し、前記タッチコンデンサーは、タッチ区域のセンサーコンデンサーＣｓｅｎｓｅの容量値を改変させて、タッチ区域の位置を確定する。前記共通信号ライン２３３を前記容量式タッチー・センサー構造の第二導電電極とするため、前記共通信号ライン２３３が走査する時、前記走査信号は、前記ダイオード２６０をオンさせて、前記積蓄容量Ｃｓｔの１つの電極端に印加し、即ち前記ダイオード２６０の第二金属電極２６４の上に印加する。したがって、前記積蓄容量Ｃｓｔに共通電圧基準を提供する。前記共通信号ライン２３３が走査をしばらく停止する時、前記ダイオード２６０がオフされ、前記積蓄容量Ｃｓｔが共通電圧基準を維持して、影響を受けない。
【００２１】
前記タッチー・エレクトロウエッティングディスプレイ２０及び前記タッチー回路基板２２は、共に透明基板２１に配置され、且つ画素ユニットＰを明るい状態と暗い状態との間で互いに切り替えることに用いられる薄膜トランジスタと１つの容量式タッチー・センサー構造を観察面とする透明基底２２０の上に整合して、表示装置の基板を増加しなくても、容量式タッチー・センサー機能を有するタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイ２０を実現できる。
【００２２】
前記タッチー回路基板２２は、薄膜トランジスタ液晶表示装置（ＴＦＴ  ＬＣＤ）のような薄膜トランジスタマトリックスを含む他の表示装置に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】従来のエレクトロウエッティングディスプレイの電圧を印加しない時の状態を示す一部拡大断面図である。
【図２】図１に示すエレクトロウエッティングディスプレイに電圧を印加した時の状態を示す一部拡大断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイが暗い状態に処する構造を示す一部拡大断面図である。
【図４】図３に示したタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイのタッチー・回路基板の1つの画素ユニットＰの構造を示す平面図である。
【図５】図４の線Ｖ−Ｖに沿った断面拡大図である。
【図６】図４の線VI−VIに沿った断面拡大図である。
【図７】図３に示すタッチー・エレクトロウエッティングディスプレイの等効回路図である。
【符号の説明】
【００２４】
２０                  タッチー・エレクトロウエッティングディスプレイ
２１                  透明基板
２２                  タッチー回路基板
２３                  疎水性絶縁層
２４                  突起
２５                  第一流体
２６                  第二流体
Ｐ                    画素ユニット
２２０                透明基底
２３１                ゲートライン
２３２                データライン
２３３                共通信号ライン
２３４                駆動ライン
Ｃｓｅｎｓｅ          センサーコンデンサー
Ｃｓｔ                積蓄容量
２４０                薄膜トランジスタ
２４１                ゲート電極
２４２                第一絶縁層
２４３                第一半導体層
２４４                ソース電極
２４５                ドレイン電極
２４６                第二絶縁層
２４７                第二接続孔
２５０                画素電極
２６０                ダイオード
２６１                第一金属電極
２６３                第二半導体層
２６４                第二金属電極
２６５                第一接続孔
２６８                窓口
【図１】
0005172552.tif 000002
【図２】
0005172552.tif 000003
【図３】
0005172552.tif 000004
【図４】
0005172552.tif 000005
【図５】
0005172552.tif 000006
【図６】
0005172552.tif 000007
【図７】
0005172552.tif 000008