(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象基板における任意の２つの測定部位にそれぞれ接触している２つの接触部の一方を介して測定用電圧を供給する電圧供給回路および当該測定用電圧の供給によって当該各測定部位の間に流れる電流を当該各接触部の他方を介して入力して検出する電流検出回路を有する計測部と、前記各接触部と前記計測部との間にそれぞれ配線された測定用ケーブルと、当該測定用ケーブルと前記電圧供給回路との接断および当該測定用ケーブルと前記電流検出回路との接断を行う接断部とを備えて、前記測定用電圧の値および前記電流の値に基づいて前記各測定部位の間の絶縁抵抗を測定可能に構成された測定装置であって、
前記各測定用ケーブルは、電圧供給専用の第１シールドケーブルと電流入力専用の第２シールドケーブルとでそれぞれ構成され、
前記接断部は、前記各接触部の一方と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと前記電圧供給回路とを接続状態とすると共に当該一方の接触部と当該計測部との間に配線された前記２シールドケーブルと前記電流検出回路とを非接続状態とし、かつ前記各接触部の他方と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと前記電圧供給回路とを非接続状態とすると共に当該他方の接触部と当該計測部との間に配線された前記２シールドケーブルと前記電流検出回路とを接続状態とする第１接断処理、および前記一方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと前記電圧供給回路とを非接続状態とすると共に当該一方の接触部と当該計測部との間に配線された前記２シールドケーブルと前記電流検出回路とを接続状態とし、かつ前記他方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと前記電圧供給回路とを接続状態とすると共に当該他方の接触部と当該計測部との間に配線された前記２シールドケーブルと前記電流検出回路とを非接続状態とする第２接断処理を実行し、
前記計測部は、第１接断処理の実行時および前記第２接断処理の実行時において前記測定用電圧の供給および前記電流の検出を行う測定装置。
【請求項２】
前記第１シールドケーブルおよび前記第２シールドケーブルと前記各接触部との接断を行うスイッチを備え、
前記スイッチは、前記第１接断処理の実行時において、前記一方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと当該一方の接触部とを接続状態とすると共に当該一方の接触部と当該計測部との間に配線された前記第２シールドケーブルと当該一方の接触部とを非接続状態とし、かつ前記他方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと当該他方の接触部とを非接続状態とすると共に当該他方の接触部と当該計測部との間に配線された前記第２シールドケーブルと当該他方の接触部とを接続状態とする第３接断処理を実行し、
前記第２接断処理の実行時において、前記一方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと当該一方の接触部とを非接続状態とすると共に当該一方の接触部と当該計測部との間に配線された前記第２シールドケーブルと当該一方の接触部とを接続状態とし、かつ前記他方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと当該他方の接触部とを接続状態とすると共に当該他方の接触部と当該計測部との間に配線された前記第２シールドケーブルと当該他方の接触部とを非接続状態とする第４接断処理を実行する請求項１記載の測定装置。
【請求項３】
前記各接触部は、前記第１シールドケーブルに接続される第１プローブ、および前記第２シールドケーブルに接続される第２プローブを備えてそれぞれ構成され、
前記スイッチは、前記一方の接触部における前記第１プローブと前記第１シールドケーブルとを接続状態とすると共に当該一方の接触部における前記第２プローブと前記第２シールドケーブルとを非接続状態とし、かつ前記他方の接触部における前記第１プローブと前記第１シールドケーブルとを非接続状態とすると共に当該他方の接触部における前記第２プローブと前記第２シールドケーブルとを接続状態とする処理を前記第３接断処理として実行し、
前記一方の接触部における前記第１プローブと前記第１シールドケーブルとを非接続状態とすると共に当該一方の接触部における前記第２プローブと前記第２シールドケーブルとを接続状態とし、かつ前記他方の接触部における前記第１プローブと前記第１シールドケーブルとを接続状態とすると共に当該他方の接触部における前記第２プローブと前記第２シールドケーブルとを非接続状態とする処理を前記第４接断処理として実行する請求項２記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象基板における任意の２つの測定部位の間の絶縁抵抗を測定する測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の測定装置として、特開平６−３３１６９９号公報において出願人が開示した回路基板測定装置が知られている。この回路基板測定装置は、プローブピンが取り付けられたアーム、およびアームから引き出されている測定信号供給ラインおよび信号検出ラインと外部入出力端子との接続を行うスイッチ手段を備えて、回路基板所定に対する所定の電気的検査を実行可能に構成されている。
【特許文献１】特開平６−３３１６９９号公報（第２−４頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記の回路基板測定装置には、以下の課題がある。すなわち、この回路基板測定装置を含むこの種の回路基板測定装置では、ノイズの影響を低減させるために、上記の測定信号供給ラインや信号検出ラインとして、シールドケーブル（例えば図４に示すシールドケーブル２００）が用いられている。この場合、同図に模式的に示すように、シールドケーブル２００の芯線２０１とシールド電極２０３との間には、容量および抵抗が存在する。このため、例えば、測定信号供給ラインを介して測定信号としての電圧を供給したときには、上記の容量に起因してシールドケーブル２００に電荷がチャージされる。ここで、この種の回路基板測定装置を用いて回路基板における任意の２つの測定ポイント間の絶縁抵抗を測定する際には、測定結果の信頼性を向上させる観点から、測定信号（測定用電圧）を供給する供給先を入れ替えて２回の測定を行うことがある。具体的には、２つの測定ポイントの一方（第１測定ポイント）に接触させたプローブ（第１プローブ）を介して測定用電圧を供給し、各測定ポイント間に流れる電流を各測定ポイントの他方（第２測定ポイント）に接触させたプローブ（第２プローブ）を介して入力して検出し、測定用電圧の値および電流の値に基づいて上記各測定ポイントの間の絶縁抵抗を測定する（１回目の測定）。次いで、第２測定ポイントに接触させた第２プローブを介して測定用電圧を供給し、上記各測定ポイント間に流れる電流を第１測定ポイントに接触させた第１プローブを介して入力して検出し、測定用電圧の値および電流の値に基づいて上記各測定ポイント間の絶縁抵抗を測定する（２回目の測定）。
【０００４】
この場合、１回目の測定と２回目の測定とでは、測定信号の供給先（測定ポイント）が入れ替えられているため、１回目の測定の際の電流の向きと２回目の際の電流の向きとが異なることとなる。一方、上記したように、シールドケーブル２００には、芯線２０１とシールド電極２０３との間の容量に起因する電荷がチャージされている。このため、図５に示すように、１回目の測定の際に芯線２０１とシールド電極２０３との間にチャージされた電荷が２回目の測定の際に流れることに起因して、測定される電流の値が本来の電流の値（電荷がチャージされてないとした場合の電流の値）よりも大きくなることがある。このため、絶縁抵抗を正確に測定するためには、チャージされた電荷が十分に少なくなって、測定される電流への影響が十分に少なくなるまで（例えば、電流が同図に示す破線の値になるまで）測定を継続する必要がある。このため、上記の回路基板測定装置には、この種の測定の効率向上が比較的困難であり、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、基板における絶縁抵抗の測定を効率的に行い得る測定装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の測定装置は、測定対象基板における任意の２つの測定部位にそれぞれ接触している２つの接触部の一方を介して測定用電圧を供給する電圧供給回路および当該測定用電圧の供給によって当該各測定部位の間に流れる電流を当該各接触部の他方を介して入力して検出する電流検出回路を有する計測部と、前記各接触部と前記計測部との間にそれぞれ配線された測定用ケーブルと、当該測定用ケーブルと前記電圧供給回路との接断および当該測定用ケーブルと前記電流検出回路との接断を行う接断部とを備えて、前記測定用電圧の値および前記電流の値に基づいて前記各測定部位の間の絶縁抵抗を測定可能に構成された測定装置であって、前記各測定用ケーブルは、電圧供給専用の第１シールドケーブルと電流入力専用の第２シールドケーブルとでそれぞれ構成され、前記接断部は、前記各接触部の一方と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと前記電圧供給回路とを接続状態とすると共に当該一方の接触部と当該計測部との間に配線された前記２シールドケーブルと前記電流検出回路とを非接続状態とし、かつ前記各接触部の他方と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと前記電圧供給回路とを非接続状態とすると共に当該他方の接触部と当該計測部との間に配線された前記２シールドケーブルと前記電流検出回路とを接続状態とする第１接断処理、および前記一方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと前記電圧供給回路とを非接続状態とすると共に当該一方の接触部と当該計測部との間に配線された前記２シールドケーブルと前記電流検出回路とを接続状態とし、かつ前記他方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと前記電圧供給回路とを接続状態とすると共に当該他方の接触部と当該計測部との間に配線された前記２シールドケーブルと前記電流検出回路とを非接続状態とする第２接断処理を実行し、前記計測部は、第１接断処理の実行時および前記第２接断処理の実行時において前記測定用電圧の供給および前記電流の検出を行う。
【０００７】
また、請求項２記載の測定装置は、請求項１記載の測定装置において、前記第１シールドケーブルおよび前記第２シールドケーブルと前記各接触部との接断を行うスイッチを備え、前記スイッチは、前記第１接断処理の実行時において、前記一方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと当該一方の接触部とを接続状態とすると共に当該一方の接触部と当該計測部との間に配線された前記第２シールドケーブルと当該一方の接触部とを非接続状態とし、かつ前記他方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと当該他方の接触部とを非接続状態とすると共に当該他方の接触部と当該計測部との間に配線された前記第２シールドケーブルと当該他方の接触部とを接続状態とする第３接断処理を実行し、前記第２接断処理の実行時において、前記一方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと当該一方の接触部とを非接続状態とすると共に当該一方の接触部と当該計測部との間に配線された前記第２シールドケーブルと当該一方の接触部とを接続状態とし、かつ前記他方の接触部と前記計測部との間に配線された前記第１シールドケーブルと当該他方の接触部とを接続状態とすると共に当該他方の接触部と当該計測部との間に配線された前記第２シールドケーブルと当該他方の接触部とを非接続状態とする第４接断処理を実行する。
【０００８】
また、請求項３記載の測定装置は、請求項２記載の測定装置において、前記各接触部は、前記第１シールドケーブルに接続される第１プローブ、および前記第２シールドケーブルに接続される第２プローブを備えてそれぞれ構成され、前記スイッチは、前記一方の接触部における前記第１プローブと前記第１シールドケーブルとを接続状態とすると共に当該一方の接触部における前記第２プローブと前記第２シールドケーブルとを非接続状態とし、かつ前記他方の接触部における前記第１プローブと前記第１シールドケーブルとを非接続状態とすると共に当該他方の接触部における前記第２プローブと前記第２シールドケーブルとを接続状態とする処理を前記第３接断処理として実行し、前記一方の接触部における前記第１プローブと前記第１シールドケーブルとを非接続状態とすると共に当該一方の接触部における前記第２プローブと前記第２シールドケーブルとを接続状態とし、かつ前記他方の接触部における前記第１プローブと前記第１シールドケーブルとを接続状態とすると共に当該他方の接触部における前記第２プローブと前記第２シールドケーブルとを非接続状態とする処理を前記第４接断処理として実行する。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の測定装置によれば、電圧供給専用の第１シールドケーブルおよび電流入力専用の第２シールドケーブルを各接触部と計測部との間に配線したことにより、電圧供給および電流入力の双方を共通のシールドケーブルを用いて行う従来の測定装置とは異なり、測定用電圧の供給先を入れ替えて２回の測定を行う際において、１回目の測定で第１シールドケーブルにチャージされた電荷が２回目の測定の際に流れない状態に維持することができる。このため、この測定装置によれば、２回目目の測定の際に、１回目の測定の際にチャージされた電荷の流れが減少するまで測定を継続する必要がない分、測定時間を短縮することができる結果、検査効率を十分に向上させることができる。
【００１０】
また、請求項２記載の測定装置によれば、第１接断処理の実行時において第３接断処理を実行し第２接断処理の実行時において第４接断処理を実行するスイッチを備えたことにより、測定時において使用しない第１シールドケーブルおよび第２シールドケーブルを接触部から電気的に切り離すことができるため、使用しないシールドケーブルに電荷がチャージされることに起因して電流の測定が不正確となる事態を確実に防止することができる。
【００１１】
また、請求項３記載の測定装置によれば、第１プローブおよび第２プローブを備えて各接触部を構成したことにより、これらの各プローブを用いて４端子法による測定を行うことができる。したがって、この測定装置によれば、絶縁抵抗の測定をはじめとして、各種の測定を行うことができるため、利便性を十分に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明に係る測定装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１３】
最初に、測定装置１の構成について説明する。図１に示す測定装置１は、本発明に係る測定装置の一例であって、ベアボード１００（本発明における測定対象基板の一例）における任意の２つの測定ポイントＰ１，Ｐ２（本発明における測定部位：以下、区別しないときには「測定ポイントＰ」ともいう）の間の絶縁抵抗Ｒを測定可能に構成されている。具体的には、測定装置１は、同図に示すように、本体部２、移動機構３ａ，３ｂ、プローブユニット４ａ，４ｂ（以下、区別しないときには「プローブユニット４」ともいう）、電圧供給用シールドケーブル５ａ，５ｂ、電流入力用シールドケーブル６ａ，６ｂ、およびリレーなどで構成されるスイッチ７ａ，７ｂを備えて構成されている。
【００１４】
本体部２は、操作部１１、表示部１２、計測部１３、スキャナユニット１４、記憶部１５および制御部１６を備えて構成されている。操作部１１は、電源スイッチや測定開始スイッチ等の各種のスイッチを備えて構成されて、各スイッチの操作に対応する操作信号Ｓｏを出力する。表示部１２は、制御部１６の制御に従って絶縁抵抗Ｒ等を表示する。
【００１５】
計測部１３は、電圧供給回路２１および電流検出回路２２を備えて構成されている。電圧供給回路２１は、制御部１６の制御に従い、ベアボード１００における任意の２つの測定ポイントＰにそれぞれ接触しているプローブユニット４ａ，４ｂ（後述するプローブピン４１ａ，４１ｂ）の一方を介して測定用電圧Ｖを供給する。電流検出回路２２は、測定用電圧Ｖの供給によって上記各測定ポイントＰ間に流れる電流Ｉを２つのプローブユニット４ａ，４ｂの他方を介して入力して検出し、電流Ｉの値を示す電流データＤｉを出力する。
【００１６】
スキャナユニット１４は、本発明における接断部の一例であって、複数のスイッチ（図示せず）を備えて構成され、制御部１６の制御に従って各スイッチをオン状態またはオフ状態に移行させる（具体的には、後述する第１接断処理および第２接断処理を実行する）ことにより、電圧供給用シールドケーブル５ａ，５ｂと電圧供給回路２１との接断（接続および非接続（切断））および電流入力用シールドケーブル６ａ，６ｂと電流検出回路２２との接断を行う。
【００１７】
記憶部１５は、制御部１６によって算出（測定）される絶縁抵抗Ｒを記憶する。制御部１６は、操作部１１から出力される操作信号Ｓｏに従い、本体部２を構成する各部、および移動機構３ａ，３ｂを制御する。また、制御部１６は、図２に示す絶縁抵抗測定処理７０を実行することにより、計測部１３の電流検出回路２２から出力される電流データＤｉによって特定される電流Ｉの値、および測定用電圧Ｖの値に基づき、プローブユニット４ａ，４ｂが接触しているベアボード１００における２つの測定ポイントＰの間の絶縁抵抗Ｒを測定する。また、制御部１６は、測定した絶縁抵抗Ｒを記憶部１５に記憶させると共に、絶縁抵抗Ｒを表示部１２に表示させる。
【００１８】
移動機構３ａ，３ｂは、制御部１６の制御に従ってプローブユニット４ａ，４ｂをそれぞれ移動させることにより、プローブユニット４ａのプローブピン４１ａ、およびプローブユニット４ｂのプローブピン４１ｂ（いずれも図１参照）をベアボード１００における予め指定された２つの測定ポイントＰにそれぞれ接触（プロービング）させる。プローブユニット４ａは、プローブピン４１ａと、プローブピン４１ａを保持する保持部４２ａとを備えて構成されている。また、プローブユニット４ｂは、プローブピン４１ｂ（以下、プローブピン４１ａ，４１ｂを区別しないときには「プローブピン４１」ともいう）と、プローブピン４１ｂを保持する保持部４２ｂ（以下、保持部４２ａ，４２ｂを区別しないときには「保持部４２」ともいう）とを備えて構成されている。この場合、この測定装置１では、移動機構３ａが、ベアボード１００の半分の領域（例えば、図１における左側半分の領域）内においてプローブユニット４ａを移動させ、移動機構３ｂが、ベアボード１００の他の半分の領域（例えば、同図における右側半分の領域）内においてプローブユニット４ｂを移動させる。
【００１９】
電圧供給用シールドケーブル５ａ，５ｂは、本発明における第１シールドケーブルに相当し、測定用電圧Ｖを供給するための専用の（電圧供給専用）のシールドケーブルであって、図４に示すように、芯線２０１、絶縁体２０２、シールド電極２０３および被覆体２０４をこの順序で巻層（積層）することによって構成されている。また、電流入力用シールドケーブル６ａ，６ｂは、本発明における第２シールドケーブルに相当し、電流Ｉを入力するための専用（電流入力専用）のシールドケーブルであって、上記した電圧供給用シールドケーブル５ａ，５ｂと同様に構成されている。この場合、電圧供給用シールドケーブル５ａおよび電流入力用シールドケーブル６ａが、プローブユニット４ａ（プローブユニット４ａ，４ｂの一方）と本体部２の計測部１３との間に配線され、電圧供給用シールドケーブル５ｂおよび電流入力用シールドケーブル６ｂが、プローブユニット４ｂ（プローブユニット４ａ，４ｂの他方）と計測部１３との間に配線されている。なお、電圧供給用シールドケーブル５ａおよび電流入力用シールドケーブル６ａによって本発明における測定用ケーブルの１つが構成され、電圧供給用シールドケーブル５ｂおよび電流入力用シールドケーブル６ｂによって本発明における測定用ケーブルの他の１つが構成される。
【００２０】
スイッチ７ａ，７ｂは、両者によって本発明におけるスイッチを構成し、各プローブユニット４ａ，４ｂにそれぞれ対応させられて配設されて、制御部１６の制御に従って動作することにより、スキャナユニット１４によって実行される第１接断処理の実行時において後述する第３接断処理を実行し、スキャナユニット１４によって実行される第２接断処理の実行時において後述する第４接断処理を実行する。
【００２１】
次に、測定装置１を用いてベアボード１００における２つの測定ポイントＰ１，Ｐ２の間の絶縁抵抗Ｒを測定する方法の一例について、図面を参照して説明する。
【００２２】
まず、測定対象のベアボード１００を図外の基板保持部に保持させる。次いで、操作部１１の測定開始スイッチを操作して、測定を開始させる。この際に、操作部１１が測定開始スイッチに対応する操作信号Ｓｏを出力し、制御部１６が、その操作信号Ｓｏに従って図２に示す絶縁抵抗測定処理７０を実行する。この絶縁抵抗測定処理７０では、制御部１６は、各部を制御することにより、ベアボード１００上における２つの測定ポイントＰ１，Ｐ２の間の抵抗測定を２回実行する。具体的には、制御部１６は、移動機構３ａ，３ｂを制御して、プローブユニット４ａ，４ｂの保持部４２ａ，４２ｂおよびプローブピン４１ａ，４１ｂを移動させることにより、図１に示すように、予め指定されたベアボード１００における２つの測定ポイントＰ１，Ｐ２にプローブピン４１ａ，４１ｂの先端部をそれぞれ接触（プロービング）させる（ステップ７１）。
【００２３】
続いて、制御部１６は、計測部１３の電圧供給回路２１を制御して測定用電圧Ｖの出力を開始させる（ステップ７２）。次いで、制御部１６は、スキャナユニット１４を制御して、第１接断処理を実行させる（ステップ７３）。この第１接断処理では、スキャナユニット１４は、例えば、電圧供給用シールドケーブル５ａの一端部（基端部）と電圧供給回路２１とを接続状態とすると共に、電流入力用シールドケーブル６ａの一端部と電流検出回路２２とを非接続状態とする。また、スキャナユニット１４は、電圧供給用シールドケーブル５ｂの一端部と電圧供給回路２１とを非接続状態とすると共に、電流入力用シールドケーブル６ｂの一端部と電流検出回路２２とを接続状態とする。
【００２４】
また、制御部１６は、第１接断処理の実行時において、スイッチ７ａ，７ｂを制御して、第３接断処理を実行させる（ステップ７４）。この第３接断処理では、スイッチ７ａは、図１に示すように、電圧供給用シールドケーブル５ａの他端部（先端部）とプローブユニット４ａのプローブピン４１ａとを接続状態とすると共に、電流入力用シールドケーブル６ａの先端部とプローブピン４１ａとを非接続状態とする。また、スイッチ７ｂは、電圧供給用シールドケーブル５ｂの先端部とプローブユニット４ｂのプローブピン４１ｂとを非接続状態とすると共に、電流入力用シールドケーブル６ｂの先端部とプローブピン４１ｂとを接続状態とする。これにより、電圧供給回路２１から出力された測定用電圧Ｖが、電圧供給用シールドケーブル５ａおよびプローブユニット４ａのプローブピン４１ａを介してベアボード１００上の測定ポイントＰ１（測定ポイントＰ１，Ｐ２の一方）に供給される。また、電流検出回路２２が、測定用電圧Ｖの供給によって各測定ポイントＰ１，Ｐ２の間に流れる電流Ｉを、プローブユニット４ｂのプローブピン４１ｂおよび電流入力用シールドケーブル６ｂを介して入力する。
【００２５】
続いて、電流検出回路２が、入力した電流Ｉを検出して、その電流値を示す電流データＤｉを出力する。次いで、制御部１６は、電流検出回路２２から出力された電流データＤｉを記憶部１５に記憶させる。以上により、１回目の測定が終了する。
【００２６】
続いて、制御部１６は、測定用電圧Ｖを供給する測定ポイントＰを、測定ポイントＰ１から測定ポイントＰ２に変更して２回目の測定を実行する。具体的には、制御部１６は、スキャナユニット１４を制御して、第２接断処理を実行させる（ステップ７５）。この第２接断処理では、スキャナユニット１４は、電圧供給用シールドケーブル５ａの一端部と電圧供給回路２１とを非接続状態とすると共に、電流入力用シールドケーブル６ａの一端部と電流検出回路２２とを接続状態とする。また、スキャナユニット１４は、電圧供給用シールドケーブル５ｂの一端部と電圧供給回路２１とを接続状態とすると共に、電流入力用シールドケーブル６ｂの一端部と電流検出回路２２とを非接続状態とする。
【００２７】
また、制御部１６は、第２接断処理の実行時において、スイッチ７ａ，７ｂを制御して、第４接断処理を実行させる（ステップ７６）。この第４接断処理では、スイッチ７ａは、電圧供給用シールドケーブル５ａの他端部とプローブユニット４ａのプローブピン４１ａとを非接続状態とすると共に、電流入力用シールドケーブル６ａの先端部とプローブピン４１ａとを接続状態とする。また、スイッチ７ｂは、電圧供給用シールドケーブル５ｂの先端部とプローブユニット４ｂのプローブピン４１ｂとを接続状態とすると共に、電流入力用シールドケーブル６ｂの先端部とプローブピン４１ｂとを非接続状態とする。これにより、電圧供給回路２１から出力された測定用電圧Ｖが、電圧供給用シールドケーブル５ｂおよびプローブユニット４ｂのプローブピン４１ｂを介してベアボード１００上の測定ポイントＰ２（測定ポイントＰ１，Ｐ２の他方）に供給される。また、測定用電圧Ｖの供給によって各測定ポイントＰ１，Ｐ２の間に流れる電流Ｉを、電流検出回路２２が、プローブユニット４ａのプローブピン４１ａおよび電流入力用シールドケーブル６ａを介して入力する。
【００２８】
次いで、電流検出回路２が、入力した電流Ｉを検出して、その電流値を示す電流データＤｉを出力する。続いて、制御部１６は、電流検出回路２２から出力された電流データＤｉを記憶部１５に記憶させる。以上により、２回目の測定が終了する。次いで、制御部１６は、記憶部１５に記憶させた電流データＤｉを読み出して、電流データＤｉによって特定される電流Ｉの値、および測定用電圧Ｖの値に基づき、上記２つの測定ポイントＰ１，Ｐ２の間の絶縁抵抗Ｒを測定（算出）する（ステップ７７）。続いて、制御部１６は、例えば、測定した２回の測定値に差が生じているときには、再測定を行い、差が生じていないときには、いずれか一方の絶縁抵抗Ｒ、または２つの絶縁抵抗Ｒの平均値を絶縁抵抗Ｒとして記憶部１５に記憶させると共に、その絶縁抵抗Ｒを表示部１２に表示させる（ステップ７８）。
【００２９】
ここで、この測定装置１では、測定用電圧Ｖを供給するための専用の電圧供給用シールドケーブル５ａ，５ｂと、電流Ｉを入力するための専用電流入力用シールドケーブル６ａ，６ｂとが各プローブユニット４ａ，４ｂと計測部１３との間にそれぞれ配線されている。このため、各プローブユニット４と計測部１３との間に１本のシールドケーブルしか配設されていない従来の測定装置とは異なり、測定用電圧Ｖの供給先を入れ替えて２回の測定を行ったとしても、１回目の測定で電圧供給用シールドケーブル５ａ（または５ｂ）にチャージされた電荷が２回目目の測定の際に流れない状態に維持される。このため、この測定装置１では、２回目目の測定の際に、１回目の測定の際にチャージされた電荷の流れが減少するまで測定を継続する必要がない分、測定を短時間で行うことが可能となっている。
【００３０】
次いで、制御部１６は、指定された他の測定ポイントＰが存在するか否かを判別し（ステップ７９）、存在するときには、上記したステップ７１〜７８繰り返して実行する。一方、指定された他の測定ポイントＰが存在しないときには、絶縁抵抗測定処理７０を終了する。
【００３１】
このように、この測定装置１によれば、測定用電圧Ｖを供給する供給専用の電圧供給用シールドケーブル５ａ，５ｂと、電流Ｉを入力する入力専用の電流入力用シールドケーブル６ａ，６ｂとを各プローブユニット４ａ，４ｂと計測部１３との間に配線したことにより、電圧供給および電流入力の双方を共通のシールドケーブルを用いて行う従来の測定装置とは異なり、測定用電圧Ｖの供給先を入れ替えて２回の測定を行う際において、１回目の測定で電圧供給用シールドケーブル５ａ（または５ｂ）にチャージされた電荷が２回目の測定の際に流れない状態に維持することができる。このため、この測定装置１によれば、２回目目の測定の際に、１回目の測定の際にチャージされた電荷の流れが減少するまで測定を継続する必要がない分、測定時間を短縮することができる結果、検査効率を十分に向上させることができる。
【００３２】
また、この測定装置１によれば、第１接断処理の実行時において第３接断処理を実行し、第２接断処理の実行時において第４接断処理を実行するスイッチ７ａ，７ｂを備えたことにより、測定時において使用しない電圧供給用シールドケーブル５ａ（または５ｂ）および電流入力用シールドケーブル６ａ（または６ｂ）をプローブユニット４（プローブピン４１）から電気的に切り離すことができるため、使用しないシールドケーブルに電荷がチャージされることに起因して電流Ｉの測定が不正確となる事態を確実に防止することができる。
【００３３】
なお、本発明は、上記した構成に限定されない。例えば、各プローブユニット４に１本のプローブピン４１が配設された構成例について上記したが、図３に示すように、プローブユニット３０４ａに２本のプローブピン３４１ａ，３４２ａを配設し、プローブユニット３０４ｂに２本のプローブピン３４１ｂ，３４２ｂを配設した構成を採用することもできる。なお、以下の説明において、上記した測定装置１の各構成要素と同じ構成要素については、同一の符号付して重複する説明を省略する。
【００３４】
この構成を採用した測定装置３０１では、図３に示すように、スイッチ７ａ，７ｂに代えて、スイッチ３０７ａ，３０７ｂが備えられている。なお、プローブピン３４１ａ，３４１ｂが本発明における第１プローブに相当し、プローブピン３４２ａ，３４２ｂが本発明における第２プローブに相当する。また、スイッチ３０７ａ，３０７ｂが本発明におけるスイッチに相当する。
【００３５】
この測定装置３０１では、上記した第３接断処理として、スイッチ３０７ａが、プローブユニット３０４ａ（プローブユニット３０４ａ，３０４ｂの一方）のプローブピン３４１ａと電圧供給用シールドケーブル５ａとを接続状態とすると共に、プローブユニット３０４ａのプローブピン３４２ａと電流入力用シールドケーブル６ａとを非接続状態とし、スイッチ３０７ｂが、プローブユニット３０４ｂ（プローブユニット３０４ａ，３０４ｂの他方）のプローブピン３４１ｂと電圧供給用シールドケーブル５ｂとを非接続状態とすると共に、プローブユニット３０４ｂのプローブピン３４２ｂと電流入力用シールドケーブル６ｂとを接続状態とする。また、第４接断処理として、スイッチ３０７ａが、プローブユニット３０４ａのプローブピン３４１ａと電圧供給用シールドケーブル５ａとを非接続状態とすると共に、プローブユニット３０４ａのプローブピン３４２ａと電流入力用シールドケーブル６ａとを接続状態とし、スイッチ３０７ｂが、プローブユニット３０４ｂのプローブピン３４１ｂと電圧供給用シールドケーブル５ｂとを接続状態とすると共に、プローブユニット３０４ｂのプローブピン３４２ｂと電流入力用シールドケーブル６ｂとを非接続状態とする。この測定装置３０１においても、測定時において使用しない電圧供給用シールドケーブル５ａ（または５ｂ）および電流入力用シールドケーブル６ａ（または６ｂ）を、プローブユニット３０４（プローブピン３４１，３４２）から電気的に切り離すことができるため、使用しないシールドケーブルに電荷がチャージされることに起因して電流Ｉの測定が不正確となる事態を確実に防止することができる。また、この測定装置３０１では、２本のプローブピン３４１ａ，３４２ａ（または、プローブピン３４１ｂ，３４２ｂ）を備えて各プローブユニット３０４ａ，３０４ｂが構成されているため、これらのプローブピン３４１ａ，３４２ａ（または、プローブピン３４１ｂ，３４２ｂ）を用いて４端子法による測定を行うことができる。したがって、この測定装置３０１によれば、上記した絶縁抵抗Ｒの測定をはじめとして、各種の測定を行うことができるため、利便性を十分に向上させることができる。
【００３６】
また、上記の絶縁抵抗測定処理７０において、測定用電圧Ｖの出力（ステップ７２）から第４接断処理の実行（ステップ７６）までの順序は，上記した順序に限らず、任意に入れ替えることができる。また、スイッチ（スイッチ７ａ，７ｂやスイッチ３０７ａ，３０７ｂ）を備えて、各プローブピン（プローブピン４１ａ，４１ｂやプローブピン３４１ａ，３４１ｂ，３４２ａ，３４２ｂ）と各シールドケーブル（電圧供給用シールドケーブル５ａ，５ｂや電流入力用シールドケーブル６ａ，６ｂ）とを接断する構成例について上記したが、スイッチを備えることなく、各プローブピンと各シールドケーブルとを直接接続した構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】測定装置１の構成を示す構成図である。
【図２】絶縁抵抗測定処理７０のフローチャートである。
【図３】測定装置３０１の構成を示す構成図である。
【図４】シールドケーブル２００の構成を示す構成図である。
【図５】本来の電流および測定される電流Ｉと測定開始からの経過時間との関係を示す関係図である。
【符号の説明】
【００３８】
１，３０１  測定装置
４ａ，４ｂ，３０４ａ，３０４ｂ  プローブユニット
５ａ，５ｂ  電圧供給用シールドケーブル
６ａ，６ｂ  電流入力用シールドケーブル
７ａ，７ｂ，３０７ａ，３０７ｂ  スイッチ
１３  計測部
１４  スキャナユニット
２１  電圧供給回路
２２  電流検出回路
４１ａ，４１ｂ，３４１ａ，３４１ｂ，３４２ａ，３４２ｂ  プローブピン
１００  ベアボード
Ｉ  電流
Ｐ１，Ｐ２  測定ポイント
Ｒ  絶縁抵抗
Ｖ  測定用電圧
【図１】
0005172435.tif 000002
【図２】
0005172435.tif 000003
【図３】
0005172435.tif 000004
【図４】
0005172435.tif 000005
【図５】
0005172435.tif 000006