(57)【要約】光デバイス（１０）は、コア（４０）とクラッド（４２）とを有する光ファイバ（１５）と、光ファイバ（１５）の上面からガラス基板（１２）にかけて設けられたスリット（１８）と、該スリット（１８）内に挿入されたフィルタ部材（２０）と、分岐光（２４）を検出するＰＤアレイ（２８）とを有する。そして、スリット（１８）内における該スリット（１８）とフィルタ部材（２０）との隙間に第１の高分子ゲル材（５０）が充填されている。光ファイバアレイ（１６）とＰＤアレイ（２８）間であって、かつ、フィルタ部材（２０）にて分岐された光（２４）の光路上に第２の高分子ゲル材（５２）が介在されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光伝達手段（１５）に設けられたスリット（１８）と、
前記スリット（１８）内に挿入され、前記光伝達手段（１５）を伝搬する光（２２）の一部を分岐するフィルタ部材（２０）と、
前記スリット（１８）内に充填された光透過能を有するゲル材（５０）とを有することを特徴とする光デバイス。
【請求項２】
請求項１記載の光デバイスにおいて、
前記ゲル材（５０）は、ヤング率が１ＭＰａ以下であることを特徴とする光デバイス。
【請求項３】
請求項１又は２記載の光デバイスにおいて、
前記ゲル材（５０）は、屈折率が１．４１〜１．４８であることを特徴とする光デバイス。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の光デバイスにおいて、
前記ゲル材（５０）は、シリコーン系材料で構成されていることを特徴とする光デバイス。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の光デバイスにおいて、
前記光伝達手段（１５）の外部のうち、少なくとも前記フィルタ部材（２０）にて分岐された光（２４）の光路上に光素子（２８）が配され、
前記光伝達手段（１５）と前記光素子（２８）間であって、かつ、前記フィルタ部材（２０）にて分岐された光（２４）の光路上にゲル材（５２）が介在されていることを特徴とする光デバイス。
【請求項６】
請求項５記載の光デバイスにおいて、
前記光伝達手段（１５）の前記スリット（１８）内に充填されたゲル材（５０）と、前記光伝達手段（１５）と前記光素子（２８）間に介在するゲル材（５２）とが、共に同一材料で構成されていることを特徴とする光デバイス。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の光デバイスにおいて、
前記光伝達手段（１５）は、光ファイバであることを特徴とする光デバイス。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の光デバイスにおいて、
前記スリット（１８）の幅が１５〜５０μｍであることを特徴とする光デバイス。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の光デバイスにおいて、
前記スリット（１８）の基準面に対する角度が１５°〜２５°であることを特徴とする光デバイス。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の光デバイスにおいて、
前記フィルタ部材（２０）は、
石英基板（５４）と、
前記石英基板（５４）の主面に形成された多層膜（５６）とを有することを特徴とする光デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、１つ以上の光ファイバを有する光ファイバアレイ、又は１つ以上の光導波路等を有する光デバイスに関し、特に、これら光伝達手段を伝搬する信号光を途中でモニタする場合に好適な光デバイスに関する。
【背景技術】  現在の光通信技術において、通信品質の監視技術は重要な項目となっている。中でも、光出力の監視については、特に、波長多重通信技術の分野において重要な位置を占めている。
近年、このような光出力監視技術に対する小型化、高性能化、低コスト化の要求が高まりつつある。
従来では、例えば特開２００１−２６４５９４号公報に示すような技術が提案されている。この技術は、ガラス基板のＶ溝内に光ファイバを配置し、その後、ガラス基板に対して光ファイバを（その光軸に対して）斜めに横切るように平行溝を形成する。そして、前記平行溝内に光反射基体（光学部材）を挿入し、その隙間に紫外線硬化樹脂（接着剤）を充填するようにしている。
これにより、光ファイバを伝搬する信号光のうち、光反射基体で反射した光成分（反射光）がクラッド外に取り出されることになる。従って、この反射光を例えば受光素子にて検知することで、信号光のモニタが可能となる。
ところで、低損失で光ファイバ等の光路を接続する場合、光ファイバ接続用樹脂や、屈折率整合材料を使用している。
一般に、光ファイバ接続用樹脂は、光ファイバをある位置に固定する目的から、数ＭＰａ〜数ＧＰａ程度のヤング率を有する樹脂を選択して使用している。そのため、前記平行溝内に充填する樹脂として、光ファイバ接続用樹脂を使用した場合、数１０μｍ程度の幅を有する平行溝内に、こうしたヤング率の大きい硬い樹脂を充填することになるため、過大な応力が発生し、例えば信頼性の点で問題が生じるおそれがある。
また、前記平行溝内に充填する樹脂として、屈折率整合材料を使用した場合、一般に、このような屈折率整合材料は、粘性の低い液体状であるため、平行溝内に充填保持することが困難になり、歩留まりが低下するおそれがある。
本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、信号光のモニタ機能の信頼性を向上させることができ、歩留まりも向上させることができる光デバイスを提供することを目的とする。
【発明の開示】
本発明に係る光デバイスは、光伝達手段に設けられたスリットと、前記スリット内に挿入され、前記光伝達手段を伝搬する光の一部を分岐するフィルタ部材と、前記スリット内に充填された光透過能を有するゲル材とを有することを特徴とする。光伝達手段としては、例えば光ファイバや光導波路等が挙げられる。
ここで、ゲル材としては、高分子ゲル材料を用いることが好ましい。高分子ゲル材料とは、ゲル状態でヤング率が１ＭＰａ以下の低応力な高分子材料、樹脂材料を指す。ゲル状態とは、コロイド粒子や高分子溶質が相互作用のために独立した運動性を失って集合した構造をもち、それが固化した状態をいう。ゲルが分散媒を含んだままで固化したものをゼリーといい、狭義ではゲルはゼリーをさす。これに対してコロイド粒子が液体中に分散して流動性を示す状態をゾルと呼び、ゾルが固化することをゲル化という。
ゲル材は、上述のように、ヤング率が極めて小さい。従って、前記スリットにゲル材を充填しても、例えば熱変動による過剰な応力は発生しない。つまり、温度特性が良好となり、信号光のモニタ機能の信頼性の向上につながる。また、ゲル状態は、上述したように、一般に液体と固体の間に位置する状態である。従って、前記スリットにゲル材を充填しても、液体を用いる場合に生じる流動性による形状保持が困難になるという問題は生じない。これは、歩留まりの向上につながる。
前記ゲル材は、屈折率が１．４１〜１．４８であることが好ましい。これは、一般的に、光導波路や光ファイバ等の光伝達手段の屈折率が１．４４であり、これに近い材料を用いることを示す。特に、スリットを光軸に対して斜めに形成する場合は、光伝達手段の屈折率に対して、スリット内の充填材料の屈折率が±０．０４より大きくずれると、光伝達手段とフィルタ部材との間でエタロン効果（多重干渉）が発生し、モニタ機能や信号光の伝搬特性を著しく低下させるおそれがある。しかし、ゲル材の屈折率を１．４１〜１．４８とした場合は、スリットを光軸に対して斜めに形成した場合においても、上述のようなエタロン効果が小さくなり、モニタ機能や信号光の伝搬特性の低下を抑制することができる。
前記ゲル材は、シリコーン系材料で構成されていることが好ましい。シリコーン系は、光伝達手段の屈折率と整合し易いという利点がある。また、シリコーン系は、一般に保湿性が低い特性を有しており、特に、湿度による屈折率変化が生じにくいという利点を有する。
そして、前記構成において、前記光伝達手段の外部のうち、少なくとも前記フィルタ部材にて分岐された光の光路上に光素子を配し、前記光伝達手段と前記光素子間であって、かつ、前記フィルタ部材にて分岐された光の光路上にゲル材を介在するようにしてもよい。
光伝達手段上に光素子を設置する場合、光伝達手段と光素子間にヤング率の大きな充填剤や接着剤を用いると、光素子の表面にダメージを与えたり、過剰な応力の発生によって反射光や信号光の光軸ずれ等の不具合が生じるおそれがある。このことから、前記構成のように、光伝達手段と光素子間にゲル材を介在させることで、上述のような問題を回避することができる。ここで、光素子とは例えばＰＤ（Ｐｈｏｔｏｄｉｏｄｅ）が挙げられる。また光ファイバや光導波路を配してもよい。
更に、前記光伝達手段の前記スリット内に充填されたゲル材と、前記光伝達手段と前記光素子間に介在するゲル材とを、共に同一材料で構成することで、屈折率差による透過光の偏光依存性（ＰＤＬ）が小さくなるなど特性を向上させる上で有利になる。
前記スリットの幅は、１５〜５０μｍであることが好ましい。幅が狭すぎると、スリット内にフィルタ部材を挿入することが困難になるおそれがあり、幅が広すぎると、挿入損失が大きくなり、信号光の減衰量が多くなるおそれがあるからである。
前記スリットの基準面に対する角度は、１５°〜２５°であることが好ましい。前記角度が小さすぎると、フィルタ部材からの分岐光の広がりが大きくなりすぎてしまい、多チャンネルに適用した場合に、クロストークの悪化を招くおそれがある。一方、前記角度が大きすぎると、フィルタ部材からの分岐光の偏光依存性が大きくなり、特性の劣化につながるおそれがあるからである。
なお、前記フィルタ部材は、石英基板と、該石英基板の主面に形成された多層膜とを有して構成することができる。ここで、基板材料には例えば高分子材料（ポリイミド等）を用いてもよい。ポリイミド等を用いる場合、多層膜による応力の発生により、大きな反りが発生することがあるため、石英等の弾性係数の大きな透明無機材料を用いることが望ましい。
【図面の簡単な説明】  図１は、本実施の形態に係る光デバイスを正面から見て示す断面図である。
図２は、本実施の形態に係る光デバイスを側面から見て示す断面図である。
図３は、本実施の形態に係る光デバイスの分岐部を示す拡大図である。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、本発明に係る光デバイスを例えば４ｃｈインライン型パワーモニタモジュールに適用した実施の形態例を図１〜図３を参照しながら説明する。
本実施の形態に係る光デバイス１０は、図１に示すように、ガラス基板１２と、該ガラス基板１２に設けられた複数のＶ溝１４に固定された複数の光ファイバ１５からなる光ファイバアレイ１６と、図２に示すように、各光ファイバ１５の各上面からガラス基板１２にかけて設けられたスリット１８と、該スリット１８内に挿入されたフィルタ部材２０と、各光ファイバ１５を透過する光２２のうち、少なくともフィルタ部材２０等にて分岐された光（分岐光）２４を検出する活性層２６が複数配列されたＰＤ（フォトダイオード）アレイ２８と、該ＰＤアレイ２８が実装され、かつ、ＰＤアレイ２８を光ファイバアレイ１６に向けて固定するためのサブマウント３０と、少なくともＰＤアレイ２８を安定に固定するためのスペーサ３２とを有する。なお、図２に示すように、スリット１８の２つの端面とフィルタ部材２０の表面及び裏面は光ファイバ１５を透過する光２２の一部を分岐する分岐部３３として機能することになる。また、光ファイバ１５は、図３に示すように、コア４０とクラッド４２とを有する。
なお、ここでは、複数の光ファイバ１５にて光ファイバアレイ１６を構成した例を示しているため、「各光ファイバ１５」というときは、「４本の光ファイバの各々」という意味になる。しかし、１本の光ファイバ１５でも光ファイバアレイ１６を構成することができるため、この場合、「各光ファイバ」あるいは「複数の光ファイバ」は、「１本の光ファイバ」と読み替えればよい。
そして、本実施の形態に係る光デバイス１０は、図３に示すように、スリット１８内における該スリット１８とフィルタ部材２０との隙間に第１の高分子ゲル材５０が充填されて構成されている。更に、本実施の形態では、光ファイバアレイ１６とＰＤアレイ２８間であって、かつ、フィルタ部材２０にて分岐された光２４の光路上に第２の高分子ゲル材５２が介在されている。
第１及び第２の高分子ゲル材５０及び５２は、本実施の形態では、共に同一の材料、即ち、シリコーン系の材料にて構成されている。そして、これら第１及び第２の高分子ゲル材５０及び５２は、より好ましくは、ヤング率が１ＭＰａ以下であって、屈折率が１．４１〜１．４８である。
第１及び第２の高分子ゲル材５０及び５２のヤング率の測定方法は、以下のようにして行った。ヤング率の測定はＪＩＳＫ６８４９による引張り試験より公称ヤング率を算出した。
一方、ガラス基板１２に形成されるＶ溝１４の角度は、後にスリット１８を加工する際に光ファイバアレイ１６の各光ファイバに与える負荷を考えると４５°以上が好ましく、逆にフタ無し光ファイバアレイとするため、十分な接着剤量（＝接着強度）の確保のために９５°以下が好ましく、この実施の形態では７０°としている。
光ファイバアレイ１６のガラス基板１２への固定は、まず、光ファイバアレイ１６をＶ溝１４に収容載置し、この状態で紫外線硬化型接着剤を塗布し、光ファイバアレイ１６の裏面並びに上方から紫外線を照射して、前記接着剤を本硬化させることにより行う。
スリット１８の幅Ｗｆ（図３参照）は、１５〜５０μｍであることが望ましい。幅Ｗｆが狭すぎると、スリット１８内にフィルタ部材２０を挿入することが困難になるおそれがあり、幅Ｗｆが広すぎると、挿入損失が大きくなり、信号光２２の減衰量が多くなるおそれがあるからである。
スリット１８の深さＬｆは、１３０μｍ〜２５０μｍとすることが望ましい。深さＬｆが浅すぎると、スリット１８の底部が光ファイバ１５の途中で止まってしまう形となる可能性があるため、このスリット１８の底部を起点として光ファイバ１５にダメージを与える可能性がある。また、深さＬｆが深すぎるとガラス基板１２の強度の低下を招くために好ましくない。
スリット１８の傾斜角度α（図２参照）、即ち、鉛直面とのなす角は、１５°〜２５°であることが好ましい。傾斜角度αが小さすぎると、フィルタ部材２０からの分岐光２４の広がりが大きくなりすぎてしまい、多チャンネルに適用した場合に、クロストークの悪化を招くおそれがある。一方、傾斜角度αが大きすぎると、フィルタ部材２０からの分岐光２４の偏光依存性が大きくなり、特性の劣化につながるおそれがあるからである。
フィルタ部材２０は、石英基板５４と、該石英基板５４の主面に形成された分岐用の多層膜５６とを有する。フィルタ部材２０の材料は、該フィルタ部材２０のハンドリング等を考慮した場合、プラスチック材料、高分子材料、ポリイミド材料でもよいが、スリット１８の傾斜角度αが１５°〜２５°と大きいので、屈折により透過側の光軸がずれることを抑えるために光ファイバ１５（石英）と同じ屈折率の材料が好ましい。
ＰＤアレイ２８の構造は、図２に示すように、裏面入射型構造を採用した。活性層２６の上部（サブマウント３０側）はＡｕ半田や電極又は銀ペーストではなく異方性導電ペースト５８とした。この部分はＡｕ等のように反射率の高い材質ではなく、異方性導電ペースト５８や空気等のように反射率の低い状態であることがクロストークの観点から好ましい。もちろん、ＰＤアレイ２８として、表面入射型のＰＤアレイを使用してもよい。
裏面入射型のＰＤアレイ２８の受光部分（活性層２６）はφ約６０μｍとした。受光部分（活性層２６）の大きさはφ４０〜８０μｍであることが望ましい。これは、４０μｍ未満の場合、受光部分（活性層２６）の大きさが小さすぎるためにＰＤ受光効率の低下が懸念される。８０μｍ以上の場合、迷光を拾いやすくなり、クロストーク特性が悪化するおそれがあるためである。
また、ＰＤアレイ２８の表面には、Ａｕによる遮光マスク（図示せず）が設けられている。具体的には、ＰＤアレイ２８の表面がＡｕ膜にて覆われており、分岐光２４が入射される部分のみＡｕ膜が除去されている。特に、裏面入射方式のＰＤアレイ２８を用いる場合、Ａｕ膜が除去された部分の中心位置は、ＰＤアレイ２８の受光部に対して５０μｍ程度オフセットされている。これは、本実施の形態の場合、ＰＤアレイ２８に対して斜めに分岐光２４が入射されるために、ＰＤアレイ２８の表面でのビーム位置とＰＤアレイ２８の受光部でのビーム位置が異なるためである。また、前記遮光マスクの径は３０μｍ〜１００μｍであることが望ましい。これは、径が３０μｍ未満の場合、絞りが小さすぎるために光量を制限してしまう。また、１００μｍより大きい場合、隣接チャネルへ光が漏れてしまうため、クロストーク特性が悪化するおそれがあるからである。更に、前記遮光マスクの形状は円形でも構わないが、楕円形がより好ましい。ここでいう楕円形とは、楕円長軸が分岐光２４の進行方向と同一の楕円形を指す。これは、本実施の形態の場合、分岐部３３で分岐された分岐光２４の遮光マスクの位置でのスポット形状が楕円形をしているためである。
また、サブマウント３０の取付け構造として、光ファイバ１５−ＰＤアレイ２８−サブマウント３０という構成を取った。光ファイバ１５−サブマウント３０−ＰＤアレイ２８という構成も取り得るが、この場合、サブマウント３０が光ファイバ１５とＰＤアレイ２８間に存在してしまうため、分岐光２４の光路長が長くなり、分岐光２４の広がりが大きくなってしまい、ＰＤ受光効率やクロストークの観点で好ましくないからである。なお、サブマウント３０の構成材料はＡｌ２Ｏ３とした。
裏面入射型のＰＤアレイ２８は、活性層２６側（サブマウント３０側）にアノード電極、カソード電極が配置されており、サブマウント３０には共通のカソード電極と各チャンネルのアノード電極がＡｕ電極パターン６０でパターニングされている。各チャンネルのアノード電極及びカソード電極に対応する部分にＡｕバンプ６２を設け、活性層２６の部分には異方性導電ペースト５８を充填した。Ａｕバンプ６２は確実な導通を図る目的のほかに、活性層２６とサブマウント３０の電極間距離を離すことで、この部分の反射・散乱による迷光を小さくする目的で本構造を採用した。異方性導電ペースト５８は熱を加えることにより、異方性導電ペースト５８内にある銀等の導電物質がＡｕバンプ６２のような導電性のものに集まる性質がある。これにより、Ａｕ電極パターン６０との間にのみ導電性をもたらすのである。
なお、サブマウント３０の下面のうち、活性層２６に対応する部分にも屈折率差による反射を抑える目的で図示しないＳｉＮのコーティングを行った。またＰＤアレイ２８の表面にも屈折率差による偏光依存発生を抑えるためにＳｉＮ、Ａｌ２Ｏ３、ＴａＯ等により多層膜コートを行った。
また、サブマウント３０の実装面には、光ファイバアレイ１６とＰＤアレイ２８とのギャップを決定するためのスペーサ３２が例えば紫外線硬化型接着剤にて固着されている。
このように、本実施の形態に係る光デバイス１０は、スリット１８内における該スリット１８とフィルタ部材２０との隙間に第１の高分子ゲル材５０を充填している。高分子ゲル材料は、ヤング率が１ＭＰａ以下と極めて小さい。従って、スリット１８に第１の高分子ゲル材５０を充填しても、例えば熱変動による過剰な応力は発生しない。つまり、温度特性が良好となり、信号光２２のモニタ機能の信頼性の向上につながる。また、第１の高分子ゲル材５０は、ゲル状態、即ち、液体と固体の間に位置する状態である。従って、スリット１８に第１の高分子ゲル材５０を充填しても、液体を用いる場合に生じる流動性による形状保持が困難になるという問題は生じない。これは、歩留まりの向上につながる。
本実施の形態のように、スリット１８を光軸に対して斜めに形成する場合は、光ファイバ１５の屈折率に対して、スリット１８内の充填材料の屈折率が±０．０４より大きくずれると、光ファイバ１５とフィルタ部材２０との間でエタロン効果（多重干渉）が発生し、モニタ機能や信号光２２の伝搬特性を著しく低下させるおそれがある。しかし、本実施の形態では、第１の高分子ゲル材５０の屈折率を１．４１〜１．４８としたので、スリット１８を光軸に対して斜めに形成した場合においても、上述のようなエタロン効果の影響は小さくなり、モニタ機能や信号光２２の伝搬特性の低下を抑制することができる。
また、本実施の形態では、第１の高分子ゲル材５０をシリコーン系材料で構成するようにしているため、光ファイバ１５の屈折率と整合し易く、また、保湿性が低い特性を有しており、特に、湿度による屈折率変化が生じにくいという利点を有する。
ところで、光ファイバアレイ１６とＰＤアレイ２８間にヤング率の大きな充填剤や接着剤を用いると、ＰＤアレイ２８の表面に形成された薄膜（ＳｉＮ等）にダメージを与えたり、過剰な応力の発生によって分岐光２４や信号光２２の光軸ずれ等の不具合が生じるおそれがある。
しかし、本実施の形態では、光ファイバアレイ１６とＰＤアレイ２８間に、ヤング率が１ＭＰａ以下の第２の高分子ゲル材５２を介在するようにしたので、上述のような問題を回避することができる。
しかも、第１及び第２の高分子ゲル材５０及び５２を、共にシリコーン系の材料で構成するようにしたので、屈折率差による透過光の偏光依存性（ＰＤＬ）が小さくなるなど特性を向上させる上で有利になる。
次に、本実施の形態に係る光デバイス１０の実施例について説明する。まず、インラインの光ファイバアレイ１６に使用するガラス基板１２を研削加工にて作製した。
ガラス基板１２として、ホウケイ酸ガラス材料（ここでは特にパイレックス（登録商標）ガラス材料）を使用した。ガラス基板１２の寸法は、長さ１６ｍｍ、厚さ１ｍｍとし、光ファイバアレイ１６を整列させるためのＶ溝１４は、２５０μｍピッチ、深さ約９０μｍにて１２本研削加工により形成した。
次に、光ファイバアレイ１６の組み立てを行った。光ファイバアレイ１６は２５０μｍピッチの１２芯テープ心線を用いた。１２芯テープ心線を、途中の被覆除去部（中剥き部）が１２ｍｍになるように中剥きし、ガラス基板１２のＶ溝１４へ載置し、紫外線硬化型接着剤にて固定した。
次に、光ファイバアレイ１６に対するスリット１８の加工を行った。スリット１８は、幅Ｗｆ＝３０μｍ、深さＬｆ＝２００μｍ、傾斜角度αは２０°とした。
次に、フィルタ部材２０の製作を行った。石英基板５４に例えばＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３の多層膜５６を蒸着法にて形成した。この多層膜５６を付した石英基板５４を６ｍｍ×２ｍｍの寸法に切断してチップ化した。チップ化した石英基板５４を２５μｍまで研磨し、薄板加工を行った。傾斜設計は２０°、分岐比率は透過９３％、反射７％とした。
その後、フィルタ部材２０をスリット１８内へ挿入し、第１の高分子ゲル材５０をスリット１８内における該スリット１８とフィルタ部材２０との隙間に充填して、フィルタ部材２０の実装を行った。
ＰＤアレイ２８のサブマウント３０への実装を行った。ＰＤアレイ２８のチャンネル数は１２ｃｈとし、寸法は、高さ１５０μｍ、幅４２０μｍ、長さ３ｍｍとした。
ＰＤアレイ２８の構造は、本実施の形態に係る光デバイス１０と同様に、裏面入射型を採用した。活性層２６の上部（サブマウント３０側）は異方性導電ペースト５８を充填した。
次に、ＰＤアレイ２８の調心を行った。具体的には、サブマウント３０に光ファイバアレイ１６とＰＤアレイ２８とのギャップを決定するためのスペーサ３２を取り付けた。
スペーサ３２の構成材料はホウケイ酸ガラス、この場合、特にパイレックス（登録商標）ガラス材料とした。また、ギャップ長は１０μｍに設定した。つまり、Ａｕバンプ６２も含めＰＤアレイ２８の厚みが１９０μｍなので、スペーサ３２を２００μｍとした。
そして、分岐光２４の光路となる光ファイバ１５の上部に必要量の第２の高分子ゲル材５２を塗布した。ＰＤアレイ２８とのアライメントは、光ファイバアレイ１６の両端のチャンネルに光を入射し、分岐光２４のＰＤ受光パワー（両端チャンネルに対応する活性層２６での受光パワー）が最大になるように、アクティブアライメントにて行った。このときのＰＤ受光パワーのモニタは、両端チャンネルに対応する活性層２６からの出力を、サブマウント３０にプローブを当て、電流値を見ながら行った。その後、紫外線によりＰＤアレイ２８を光ファイバアレイ１６に固定した。この段階で、実施例に係る光デバイスが完成する。最後に、実施例に係る光デバイスをパッケージに実装し製品とした。
そして、実施例に係る光デバイスの測定評価を実施した。分岐光２４の偏光依存性は０．３ｄＢ未満と良好であり、温度変化による受光効率の変動も０．２ｄＢ未満と良好な結果を得た。また、長期信頼性については、温度８５℃、湿度８５％の温熱試験において、１０００時間経過後も良好な特性を示した。
なお、本発明に係る光デバイスは、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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