(57)【要約】相変化記録再生ヘッド（１）は、記録再生電極（１１ａ）と、記録再生電極（１１ａ）の先端部に設けられた絶縁層（１３）と、絶縁層（１３）の上に設けられた抵抗体（１４）とからなる探針（１１）と、探針（１１）の周囲に設けられたリターン電極（１２）を備える。記録時には抵抗体（１４）に記録データに対応した電圧を印加し、相変化記録媒体を結晶質から非晶質に変化させる。再生時には結晶質と非晶質の誘電率に対応した容量に基づき発振する発振器のＦＭ変調された周波数を復調し、高いＳＮ比でデータの再生を行う。
2004097822.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相変化記録媒体にデータを記録し、又は前記相変化記録媒体に記録されたデータを再生する記録再生ヘッドであって、
（ｉ）導電性部材からなり、その先端部に所定の半径の略球状突起先端部を有し、前記データを検出する再生電極と、（ｉｉ）前記再生電極の先端部を覆う絶縁膜と、（ｉｉｉ）前記絶縁膜の上に設けられ、前記データを記録する際に発熱する抵抗体と
からなる探針と、
前記探針の周囲に設けられ、当該探針に印加される電界の高周波成分が戻るためのリターン電極と
を備えることを特徴とする記録再生ヘッド。
【請求項２】
相変化記録媒体にデータを記録し、又は前記相変化記録媒体に記録されたデータを再生する記録再生ヘッドであって、
（ｉ）絶縁性部材からなり、その先端部に所定の半径の略球状突起先端部を有する支持部材と、（ｉｉ）前記支持部材の先端部に設けられ、前記データを記録する際に発熱する抵抗体とからなる探針と、
前記探針の周囲に設けられた、当該探針に印加される電界の高周波成分が戻るためのリターン電極と
を備えることを特徴とする記録再生ヘッド。
【請求項３】
前記抵抗体が発生する熱量は、前記相変化記録媒体の相変化材料を結晶質から非晶質に変化させる熱量であること
を特徴とする請求の範囲第１項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項４】
前記抵抗体が発生する熱量は、前記相変化記録媒体の相変化材料を結晶質から非晶質に変化させる熱量であること
を特徴とする請求の範囲第２項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項５】
当該記録再生ヘッドは非線形誘電率顕微鏡法に基づき、相変化記録媒体にデータを記録し、又は再生するヘッドであること
を特徴とする請求の範囲第１項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項６】
当該記録再生ヘッドは非線形誘電率顕微鏡法に基づき、相変化記録媒体にデータを記録し、又は再生するヘッドであること
を特徴とする請求の範囲第２項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項７】
相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録する記録装置であって、
請求の範囲第１項に記載の記録再生ヘッドと、
前記記録再生ヘッドの抵抗体に通電し、前記データに対応して発熱させる加熱手段と、
前記加熱手段に入力する前記データに対応した記録信号を生成する記録信号生成手段と
を備えることを特徴とする記録装置。
【請求項８】
相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録する記録装置であって、
請求の範囲第２項に記載の記録再生ヘッドと、
前記記録再生ヘッドの抵抗体に通電し、前記データに対応して発熱させる加熱手段と、
前記加熱手段に入力する前記データに対応した記録信号を生成する記録信号生成手段と
を備えることを特徴とする記録装置。
【請求項９】
相変化記録媒体の相変化材料に記録されたデータを再生する再生装置であって、
請求の範囲第１項に記載の記録再生ヘッドと、
前記相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と、
前記相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、
前記発振手段による発振信号を復調する復調手段と、
前記復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段と
を備えることを特徴とする再生装置。
【請求項１０】
相変化記録媒体の相変化材料に記録されたデータを再生する再生装置であって、
請求の範囲第２項に記載の記録再生ヘッドと、
前記相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と
前記相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、
前記発振手段による発振信号を復調する復調手段と、
前記復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段と
を備えることを特徴とする再生装置。
【請求項１１】
前記データ再生手段は同期検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第９項に記載の再生装置。
【請求項１２】
前記データ再生手段は同期検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１０項に記載の再生装置。
【請求項１３】
前記データ再生手段は位相検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第９項に記載の再生装置。
【請求項１４】
前記データ再生手段は位相検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１０項に記載の再生装置。
【請求項１５】
相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録し又は再生するための、請求の範囲第１項に記載の記録再生ヘッドを用いた記録再生装置であって、
（ｉ）記録装置として、
前記探針の抵抗体に通電し、前記データに対応して発熱させる加熱手段と、
前記加熱手段に入力する前記データに対応した記録信号を生成する記録信号生成手段とを備え、
（ｉｉ）再生装置として、
前記相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と
前記相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、
前記発振手段による発振信号を復調する復調手段と、
前記復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段と
を備えることを特徴とする記録再生装置。
【請求項１６】
相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録し又は再生するための、請求の範囲第２項に記載の記録再生ヘッドを用いた記録再生装置であって、
（ｉ）記録装置として、
前記探針の抵抗体に通電し、前記データに対応して発熱させる加熱手段と、
前記加熱手段に入力する前記データに対応した記録信号を生成する記録信号生成手段とを備え、
（ｉｉ）再生装置として、
前記相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と
前記相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、
前記発振手段による発振信号を復調する復調手段と、
前記復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段と
を備え、且つ、
記録時において、前記抵抗体に前記記録信号生成手段による記録信号を印加させ、一方、再生時において、前記相変化記録媒体に前記電界印加手段による電界を印加させる切り替え手段を備えること
を特徴とする記録再生装置。
【請求項１７】
前記データ再生手段は同期検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１５項に記載の記録再生装置。
【請求項１８】
前記データ再生手段は同期検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１６項に記載の記録再生装置。
【請求項１９】
前記データ再生手段は位相検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１５項に記載の記録再生装置。
【請求項２０】
前記データ再生手段は位相検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１６項に記載の記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、相変化材料を用いた相変化記録媒体にデータを記録し、又は相変化記録媒体に記録されたデータを再生する記録再生ヘッド、記録装置、再生装置及び記録再生装置の技術分野に関する。
【背景技術】  従来より高密度大容量でランダムアクセスが可能な記録再生装置として、光ディスク装置やＨＤＤ（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｃ  Ｄｒｉｖｅ）装置が知られている。また、近年、誘電体記録媒体をナノスケールで分析するＳＮＤＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｎｏｎｌｉｎｅａｒ  Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ：走査型非線形誘電率顕微鏡法）を利用した記録再生の技術について、本願発明者等によって提案されているところである。
光記録は、レーザを光源とした光ピックアップを用い、ディスクに形成された有機色素又は相変化材料の層にピットを形成することによってデータを記録し、また、ピットの有無によって、これらの層の反射率が異なることを利用してデータの再生を行うものである。あるいは、光磁気効果を利用してデータの記録再生を行うものもある。しかしながら、光ピックアップは、ＨＤＤの磁気ヘッドと比べて大きく、高速読み出しに不適である。また、ピットの大きさは光の回折限界で規定されるため、記録密度は５０Ｇｂｉｔ／ｉｎｃｈ２が限界とされる。
また、ＨＤＤに代表される磁気記録の長手記録では近年、ＧＭＲ（Ｇｉａｎｔ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）によるＭＲヘッドが実用化されており、更に垂直磁気記録を用いることで光ディスク以上の記録密度が期待されているが、磁気記録情報の熱揺らぎや符号反転部分でのブロッホ壁の存在、更にこれらを考慮したパターンドメディアを用いても記録密度は１Ｔｂｉｔ／ｉｎｃｈ２が限界とされている。
ＳＮＤＭは、強誘電体記録媒体の非線形誘電率を測定することで強誘電体ドメインの正負を判別できる。ＳＮＤＭにおいては、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ）等に用いられる先端に微小な探針を設けた導電性のカンチレバー（プローブ）を用いることで、測定に係る分解能を、サブナノメートルにまで高めることが可能である。近年では、ＳＮＤＭの技術を応用して、データを、強誘電体からなる記録媒体に記録する超高密度記録再生装置の開発が進められている。
【発明の開示】
さて、現在開発が進められているＳＮＤＭの技術を適用した記録再生装置は、プローブから強誘電体記録媒体に抗電界以上の電界を印加し、誘電体記録媒体に所定方向の分極方向を有する分極ドメインを形成してデータを記録する。また、プローブ直下の誘電体記録媒体の容量とインダクタとによって形成される共振周波数で発振する発振信号の周波数変動から分極状態を検出し、データの再生を行う。
しかしながら、このような強誘電体を記録媒体として用いた記録再生においては、再生信号のＳＮ比の向上、ひいては、エラーレートの改善又は記録再生速度の向上が課題であるが、これらを実現することは、必ずしも容易でない。
一方、相変化材料を用いた記録媒体は、一般に記録分解能が高いことが知られている。しかし、相変化記録媒体を用いた従来の記録再生装置では、上述したように、レーザの回折限界により、記録密度が規定されるため、記録密度の向上には限界がある。
以上に例示した問題を解決するために、本発明の目的は、プローブメモリーの手法を用い相変化記録媒体にデータを記録し、又は相変化記録媒体に記録されたデータをＳＮＤＭ法を用いて再生する装置であって、記録密度を高めることができ、かつ、データの高品位な記録再生を実現することができる記録再生ヘッドと、この記録再生ヘッドを適用した記録装置、再生装置及び記録再生装置を提供することにある。
本発明について以下に説明する。
本発明に係る第１の記録再生ヘッドは、相変化記録媒体にデータを記録し、又は相変化記録媒体に記録されたデータを再生する記録再生ヘッドであって、導電性部材からなり、その先端部に所定の半径の略球状突起先端部を有し、データを検出する再生電極と、再生電極の先端部を覆う絶縁膜と、絶縁膜の上に設けられ、データを記録する際に発熱する抵抗体とからなる探針と、探針の周囲に設けられ、当該探針に印加される電界の高周波成分が戻るためのリターン電極とを備える。
本発明に係る第１の記録再生ヘッドは、相変化材料に当接、或いは近接してデータを記録し或いは再生する探針を有する。この探針は、中心部に、先端部が略球状である再生電極を備え、その再生電極の先端部を絶縁膜で覆うと共に、更に絶縁膜の上に、再生電極とは絶縁された状態で抵抗体を備えている。このように構成された探針の周囲には、探針に印加される電界の高周波成分が戻るためのリターン電極が設けられている。また、抵抗体には電圧を印加するために、抵抗体の直径の両端部にリード線を設けてもよい。
データの記録時には、探針の抵抗体にデータに対応したパルス電圧が印加され、抵抗体の発熱によって相変化材料を結晶質から非晶質に変化させて記録を行う。また、媒体への加熱条件を変えることで非晶質から結晶質の状態に戻すことができ、これにより、記録したデータを消去することができる。さらに、データの再生時には、相変化記録媒体に電界を印加し、相変化材料の結晶質と非晶質との誘電率の違いを判別することで再生を行う。リターン電極は結晶質或いは非晶質の誘電率に対応した容量で発振する高周波電界が戻るための電極である。
本発明に係る第２の記録再生ヘッドは、相変化記録媒体にデータを記録し、又は相変化記録媒体に記録されたデータを再生する記録再生ヘッドであって、絶縁性部材からなり、その先端部に所定の半径の略球状突起先端部を有する支持部材と、支持部材の先端部に設けられ、データを記録する際に発熱する抵抗体とからなる探針と、探針の周囲に設けられた、当該探針に印加される電界の高周波成分が戻るためのリターン電極とを備える。
本発明に係る第２の記録再生ヘッドは、相変化材料に当接、或いは近接して、データを記録し或いは再生する探針を有する。この探針は、中心部に、先端部が略球状の絶縁性の部材からなる支持部材と、その支持部材の先端部を覆う抵抗体を備えている。このように構成された探針の周囲には、探針に印加される電界の高周波成分が戻るためのリターン電極が設けられている。
データの記録時には、探針の抵抗体にデータに対応したパルス電圧が印加され、抵抗体の発熱によって相変化材料を結晶質から非晶質に変化させて記録を行う。電圧の印加は抵抗体の直径の両端部から行うことが望ましい。また、データの再生時には、抵抗体を加熱用の回路から切り離し、相変化記録媒体に電界を印加する回路構成にし、相変化材料に電界を印加する。そして、相変化材料の結晶質と非晶質との誘電率の違いを判別することで記録されているデータの再生を行う。リターン電極は結晶質或いは非晶質の誘電率に対応した容量で発振する高周波電界が戻るための電極である。
本発明に係る第１又は第２の記録再生ヘッドの一態様として、抵抗体が発生する熱量が、相変化材料を結晶質から非晶質に変化させる熱量となるように構成してもよい。
この態様によれば、記録すべきデータに対応して抵抗体を発熱させることで、結晶質に初期設定された相変化材料の状態を、データに対応して、結晶質から非晶質に変化させることができ、これにより、データを相変化材料に記録することができる。
本発明に係る第１又は第２の記録再生ヘッドの他の態様として、当該記録再生ヘッドを、非線形誘電率顕微鏡法に基づき、相変化記録媒体にデータを記録し、又は再生する構成としてもよい。
この態様によれば、相変化記録媒体の相変化材料に高密度でデータを記録し、高いＳＮ比を有して再生することが可能である。
なお、非線形誘電率顕微鏡法については、本願発明者の長康雄による「応用物理」、応用物理学会、１９９８、第６７巻、第３号、ｐ．３２７−３３１に詳しく紹介されている。
本発明に係る記録装置は、相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録する記録装置であって、上述した第１又は第２の記録再生ヘッドと、この記録再生ヘッドの抵抗体に通電し、データに対応して発熱させる加熱手段と、加熱手段に入力するデータに対応した記録信号を生成する記録信号生成手段とを備える。
本発明に係る記録装置によれば、上述した第１又は第２の記録再生ヘッドの抵抗体に、記録すべきデータに対応した電圧を印加し、その発熱によって、相変化記録媒体の相変化材料を、データに対応して、結晶質から非晶質に変化させる。これにより、データの記録が行われる。
本発明に係る第１の再生装置は、相変化記録媒体の相変化材料に記録したデータを再生する再生装置であって、上述した第１の記録再生ヘッドと、相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と、相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、発振手段による発振信号を復調する復調手段と、復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段とを備える。
本発明に係る第１の再生装置において、相変化記録媒体に電界を印加する。例えば、相変化記録媒体に交流信号を印加することによって交番電界を生成してもよいし、相変化記録媒体に直流バイアス電圧を印加することによって電界を生成してもよい。そして、発振手段の発振信号は、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する。この発振信号の発振周波数に基づいてデータを再生する。発振信号の発振周波数は、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じた探針直下の容量と、外付けされるインダクタのインダクタンスとで決まる共振周波数で決定される。即ち、結晶質又は非晶質の誘電率に応じて容量は変化し、この容量変化によって発振周波数はＦＭ変調される。このＦＭ変調を復調し、その復調された信号からデータの再生が行われる。
本発明に係る第２の再生装置は、相変化記録媒体の相変化材料に記録したデータを再生する再生装置であって、上述した第２の記録再生ヘッドと、相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と、相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、発振手段による発振信号を復調する復調手段と、復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段とを備える。
本発明に係る第２の再生装置において、相変化記録媒体に電界を印加する。例えば、相変化記録媒体に交流信号を印加することによって交番電界を生成してもよいし、相変化記録媒体に直流バイアス電圧を印加することによって電界を生成してもよい。そして、発振手段の発振信号は、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率に応じて発振周波数が変化する。この発振信号の発振周波数に基づいてデータを再生する。発振信号の発振周波数は、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じた探針直下の容量と、外付けされるインダクタのインダクタンスとで決まる共振周波数で決定される。即ち、結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて容量は変化し、この容量変化によって発振周波数はＦＭ変調される。このＦＭ変調を復調し、その復調された信号からデータの再生が行われる。尚、上述した第２の記録再生ヘッドの抵抗体はデータ記録時には加熱手段として用いられるものであり、本発明ではデータを検出する手段として用いるので、抵抗体は発振器側に接続されている。
本発明に係る第１又は第２の再生装置の一態様として、データ再生手段を同期検波によって行う構成としてもよい。
この態様によれば、電界印加手段によって相変化記録媒体に交流信号を印加し、相変化材料に交番電界を生成する場合には、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率に対応した容量に基づいてＦＭ変調された発振信号をＦＭ復調し、その復調信号から同期検波によってデータの再生が行われる。同期検波には、電界印加手段によって相変化記録媒体に印加された交流信号が参照信号として用いられる。
本発明に係る第１又は第２の再生装置の他の態様として、データ再生手段を位相検波により行う構成としてもよい。
この態様によれば、電界印加手段によって相変化記録媒体に交流信号を印加し、相変化材料に交番電界を生成する場合には、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率に対応した容量に基づいてＦＭ変調された発振信号をＦＭ復調し、その復調信号と、電界印加手段によって印加された交流信号との位相を比較する位相検波によってデータの再生が行われる。
本発明に係る第１の記録再生装置は、相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録し又は再生するために、上述した第１の記録再生ヘッドを用いた記録再生装置であって、（ｉ）記録装置として、探針の抵抗体に通電し、データに対応して発熱させる加熱手段と、加熱手段に入力するデータに対応した記録信号を生成する記録信号生成手段とを備え、（ｉｉ）再生装置として、相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と、相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、発振手段による発振信号を復調する復調手段と、復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段とを備える。
本発明に係る第１の記録再生装置によれば、上述した第１の記録再生ヘッドを用い、相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録し、再生することができる。記録時には記録再生ヘッドの抵抗体に記録すべきデータに対応した電圧を印加し、その発熱によって相変化記録媒体の相変化材料を、データに対応して、結晶質から非晶質に変化させることでデータの記録が行われる。
一方、再生時には、相変化記録媒体に電界を印加する。例えば、相変化記録媒体に交流信号を印加することによって交番電界を生成してもよいし、相変化記録媒体に直流バイアス電圧を印加することによって電界を生成してもよい。そして、発振手段の発振信号の発振周波数が、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率に応じて変化するので、その発振周波数に基づいてデータを再生する。発信信号の発振周波数は、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率に応じた探針直下の容量と、外付けされるインダクタのインダクタンスとで決まる共振周波数で決定される。即ち、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに対応して容量は変化し、この容量変化によって発振周波数はＦＭ変調される。このＦＭ変調された信号を復調し、その復調された信号からデータの再生が行われる。
尚、本発明に用いる第１の記録再生ヘッドは抵抗体と再生電極が独立して設けられているので、記録再生動作は同時に行うことが可能である。即ち、記録されつつあるデータを再生して、データの記録状態を監視することが可能である。
本発明に係る第２の記録再生装置は、相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録し又は再生するために、上述した第２の記録再生ヘッドを用いた記録再生装置であって、（ｉ）記録装置として、探針の抵抗体に通電し、データに対応して発熱させる加熱手段と、加熱手段に入力するデータに対応した記録信号を生成する記録信号生成手段とを備え、（ｉｉ）再生装置として、相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と、相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、発振手段による発振信号を復調する復調手段と、復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段とを備え、且つ、記録時において、抵抗体に記録信号生成手段による記録信号が印加され、一方、再生時において、相変化記録媒体に電界印加手段による電界を印加させる切り替え手段を備える。
本発明に係る第２の記録再生装置によれば、上述した第２の記録再生ヘッドを用い、相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録し、再生することができる。記録時には記録再生ヘッドの抵抗体に記録すべきデータに対応した電圧を印加し、その発熱によって相変化記録媒体の相変化材料を、データに対応して、結晶質から非晶質に変化させる。これにより、データの記録が行われる。
一方、再生時には、相変化記録媒体に電界を印加する。例えば、相変化記録媒体に交流信号を印加することによって交番電界を生成してもよいし、相変化記録媒体に直流バイアス電圧を印加することによって電界を生成してもよい。そして、発振手段の発信信号の発振周波数が、結晶質又は非晶質の誘電率に応じて変化するので、この発振周波数の変化に基づいてデータを再生する。発信信号の発振周波数は、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率に応じた探針直下の容量と、外付けされるインダクタのインダクタンスとで決まる共振周波数で決定される。即ち、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに対応して容量は変化し、この容量変化によって発振周波数はＦＭ変調される。このＦＭ変調された信号を復調し、その復調された信号からデータの再生が行われる。
尚、本実施例に用いる第２の記録再生ヘッドは、抵抗体を記録時には加熱手段として用い、再生時にはデータ検出の手段として用いる。そのため、記録時には抵抗体に記録信号生成手段による記録信号を印加し、一方、再生時には相変化記録媒体に電界印加手段による電界を印加する。記録時に記録信号を印加する回路と、再生時に電界を印加する回路の切り替えは、切り替え手段によって行われる。
本発明に係る第１又は第２の記録再生装置の一態様として、データ再生手段を同期検波により行う構成としてもよい。
この態様によれば、電界印加手段によって相変化記録媒体に交流信号を印加し、相変化材料に交番電界を生成する場合には、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率に対応した容量に基づいてＦＭ変調された発振信号をＦＭ復調し、その復調信号から同期検波によってデータの再生が行われる。同期検波には、電界印加手段によって相変化記録媒体に印加された交流信号が参照信号として用いられる。
本発明に係る第２の記録再生装置の他の態様として、データ再生手段を位相検波により行う構成としてもよい。
この態様によれば、電界印加手段によって相変化記録媒体に交流信号を印加し、相変化材料に交番電界を生成する場合には、相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率に対応した容量に基づいてＦＭ変調された発振信号をＦＭ復調し、その復調信号と、電界印加手段によって印加された交流信号との位相を比較する位相検波によってデータの再生が行われる。
尚、以上に説明した記録再生ヘッド、記録装置、再生装置及び記録再生装置において、電界を印加する探針として、針状の探針や、カンチレバー状の探針等を用いることができる。以下、これらの形状を有する電極を総称して適宜「探針」と記す。
また、相変化材料として、例えば共晶系の材料であるＧｅＩｎＳｂＴｅ系の相変化材料が用いられるが、他の相変化材料を用いてもよい。
以上のように、本発明による記録再生ヘッド、記録装置、又は記録再生装置によれば、きわめて微小な探針を用いて相変化材料の微小領域を加熱し、これによって、相変化材料の結晶質・非晶質を変化させ、データを記録する構成としたから、データの記録密度を大幅に高めることができる。したがって、従来の光ディスクシステムでは限界とされていた記録密度の壁を乗り越えることができ、データの超高密度記録を実現することができる。
さらに、探針の発熱部分はきわめて微小であり、熱容量が小さいために記録応答速度も実用上充分なものとすることができる。
これに加え、本発明の記録再生ヘッド、再生装置又は記録再生装置によれば、相変化材料の結晶質と非晶質とで線形誘電率又は非線形誘電率が異なる点に着目し、この相変化材料における誘電率の変化を検出してデータを再生する構成としたから、超高密度で記録されたデータを、明瞭にかつ高品位に再生することができる。特に、ＳＮＤＭの技術を適用することができるので、記録媒体として強誘電体を利用した記録再生技術と同等又はそれ以上の記録再生性能を実現することができる。
本発明のこのような作用、及び他の利得は次に説明する実施例から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】  図１は、本発明に係る記録再生ヘッドの第１の実施例を示す図である。
図２は、本発明に係る記録再生ヘッドの第２の実施例を示す図である。
図３は、相変化材料に対する情報の記録再生について説明するための図である。
図４は、本発明に係る記録装置の実施例の構成を示す図である。
図５は、本発明に係る再生装置の実施例の構成を示す図である。
図６は、本発明に係る記録再生装置の第１の実施例の構成を示す図である。
図７は、本発明に係る記録再生装置の第２の実施例の構成を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】  （記録再生ヘッドの第１の実施例）
本発明に係る記録再生ヘッドの第１の実施例について、図１を参照して説明する。ここで、図１（ａ）は本実施例の平面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）中のＡ１−Ａ１における断面図である。
図１に示すように、記録再生ヘッド１は、記録再生電極１１ａと、記録再生電極１１ａの先端部に設けられた絶縁層１３と、絶縁層１３の上に設けられた抵抗体１４とからなる探針１１と、探針１１の周囲に設けられたリターン電極１２を備えている。
探針１１は、（ｉ）導電性部材からなり、その先端部、即ち相変化材料１６に対向する部位が所定の半径の略球状である記録再生電極１１ａと、（ｉｉ）この記録再生電極１１ａの先端部に設けられた絶縁性部材による絶縁層１３と、（ｉｉｉ）絶縁層１３の上に設けられた所定の固有抵抗を有する抵抗体１４とを備えている。記録再生電極１１ａは、非線形誘電率顕微鏡法による電極であり、相変化記録媒体２０の相変化材料１６に対向する探針１１の先端部はその半径が１０ｎｍオーダーの極めて小さいものである。また、探針１１として、針状のものや、カンチレバー状等のものがある。また、相変化材料１６は初期状態として記録面全面が結晶質に設定されている。その相変化材料１６として、例えば共晶系の材料であるＧｅＩｎＳｂＴｅ系の相変化材料が用いられる。
リターン電極１２は、探針１１から相変化記録媒体２０に印加した高周波電界が戻る電極であって、探針１１を取り巻くように設けられている。尚、高周波電界が抵抗なくリターン電極１２に戻るものであれば、その形状や配置は任意に設定が可能である。
記録再生ヘッド１による記録は、探針１１の抵抗体１４に記録データに対応した電圧を印加し、その発生する熱によって相変化材料１６の表面を結晶質から非晶質に変化させることで行われる。
また、記録再生ヘッド１による再生は、相変化記録媒体２０の相変化材料１６に交流信号を印加し、相変化材料１６の結晶質と非晶質の状態によって決まる容量Ｃｓを検出することで行われる。すなわち、相変化材料１６の結晶質と非晶質とでは非線形誘電率に違いがあり、この非線形誘電率の違いに対応して、容量Ｃｓが変化する。この容量Ｃｓの変化を検出することによって、データの再生が行われる。本実施例に適用される非線形誘電率顕微鏡（ＳＮＤＭ）法によれば、結晶質と非晶質との非線形誘電率の違いを高いＳＮ比で検出することができる。
尚、抵抗体１４に記録データに対応した電圧を印加する手段として、例えばヒータ３８があり、印加する交流信号の発生手段として交流信号発生器３２があり、容量Ｃｓを検出するために容量Ｃｓとインダクタ１９のインダクタンスＬで決まる共振周波数で発振する発振器３１がある。発振器３１の発振周波数は相変化材料１６の結晶質或いは非晶質の誘電率に対応した容量Ｃｓの変化によりＦＭ変調され、この発振信号をＦＭ復調することで結晶質と非晶質の別、即ち記録データが検出される。
また、抵抗体１４に電圧を印加する点（部位）は、探針１１の先端部が充分に発熱する点（部位）に定められる。例えば先端部に近い抵抗体１４の直径の両端等が好ましい点（部位）である。また、上述したように記録再生ヘッド１は記録用の抵抗体１４と再生用の記録再生電極１１ａとを備えているので、記録再生を同時に行うことが可能となる。尚、図１に示すように、相変化記録媒体２０の相変化材料１６は、基板１５上に設けられており、相変化材料１６の表面には、絶縁薄膜１７が形成されている。
このような構成を有する記録再生ヘッド１によれば、ＳＮＤＭの技術を用いて、相変化材料にデータを記録し、又は相変化材料に記録されたデータを再生することとしたから、記録密度を大幅に高めることができ、かつ、データの高品位な記録及び再生を実現することができる。すなわち、本来のＳＮＤＭは強誘電体材料の分極状態を電気的に検出する手段として知られている。しかし、本実施例では、相変化材料の結晶質・非晶質の違いによって、相変化材料の線形誘電率又は非線形誘電率が異なることに着目し、この誘電率の相違をＳＮＤＭによって検出するという新規な再生原理を採用している。これにより、相変化材料の結晶質・非結晶質の違いによって相変化記録媒体に記録されたデータを、明瞭に判別することができ、データを高品位に再生することができる。
さらに、本実施例では、ＡＦＭのカンチレバーに使われるものと同等又はそれ以上の微小な探針を用いて、相変化材料を加熱するので、相変化材料のきわめて微小な領域のみを加熱することができる。これにより、従来の光ディスクシステムでは、実現不可能な超高密度記録を実現することができる。
また、本実施例による探針の発熱部分はきわめて微小であり、熱容量が小さいため、記録応答速度が高く、実用上充分な記録応答速度を確保することができる。
（記録再生ヘッドの第２の実施例）
本発明に係る記録再生ヘッドの第２の実施例について、図２を参照して説明する。ここで、図２（ａ）は本実施例の平面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）中のＡ２−Ａ２における断面図である。
図２に示すように記録再生ヘッド２は、支持部材１１ｂと、支持部材１１ｂの先端部に設けられた抵抗体１４とからなる探針１１と、探針１１の周囲に設けられたリターン電極１２を備える。
探針１１は、その先端部、即ち相変化材料１６に対向する部位が所定の半径の略球状である絶縁性部材からなる支持部材１１ｂと、支持部材１１ｂの上に設けられた所定の固有抵抗を有する抵抗体１４で構成される。相変化記録媒体２０の相変化材料１６に対向する探針１１の先端部は、その半径が１０ｎｍオーダーの極めて小さいものである。また、探針１１として、針状のものや、カンチレバー状等のものがある。
リターン電極１２は、探針１１から相変化記録媒体２０に印加した高周波電界が戻る電極であって、探針１１を取り巻くように設けられている。尚、高周波電界が抵抗なくリターン電極１２に戻るものであれば、その形状や配置は任意に設定が可能である。
記録再生ヘッド２による記録は、探針１１の抵抗体１４に記録データに対応した電圧を印加し、その発生する熱によって相変化材料１６の表面を結晶質から非晶質に変化させることで行われる。尚、相変化材料１６の記録面全面は初期状態として結晶質に設定されている。
また、記録再生ヘッド２による再生は、相変化記録媒体２０の相変化材料１６に交流信号を印加し、相変化材料１６の結晶質と非晶質の状態によって決まる容量Ｃｓを検出することで行われる。すなわち、相変化材料１６の結晶質と非晶質とでは非線形誘電率の違いが大きく、この非線形誘電率の違いに対応して容量Ｃｓが変化する。この容量Ｃｓの変化に基づいてデータの再生が行われる。
尚、抵抗体１４に記録データに対応した電圧を印加する手段として、例えばヒータ３８があり、印加する交流信号の発生手段として交流信号発生器３２があり、容量Ｃｓを検出するために容量Ｃｓとインダクタ１９のインダクタンスＬで決まる共振周波数で発振する発振器３１がある。発振器３１の発振周波数は相変化材料１６の結晶質或いは非晶質の誘電率に対応した容量Ｃｓの変化によりＦＭ変調され、この発振信号をＦＭ復調することで結晶質と非晶質の別、即ち記録データが検出される。尚発振回路に抵抗体１４による抵抗成分が加わり、発振信号のレベルは低下することになる。
上述したように記録再生ヘッド２の抵抗体１４は、記録用のヒータ電極と再生用の電極として用いるため、記録時と再生時には抵抗体１４に印加する信号を切り替える必要があり、その切り替えは例えばＳＷ１、ＳＷ２で行われる。即ち、記録時にはＳＷ１、ＳＷ２をヒータ３８側にし、一方、再生時にはＳＷ１を発振器側にすると共にＳＷ２を開放することで回路の切り替えが行われる。
次に、図３を参照してデータの記録再生について、説明する。
まず、記録に関して説明する。相変化記録媒体２０の相変化材料１６は、初めは結晶質で統一されているものとする。この状態で記録すべき部位に探針１１を位置させて抵抗体１４に電圧を印加する。抵抗体１４は印加された電圧によって発熱し、その部位の相変化材料１６を結晶質から非晶質に変化させる。抵抗体１４に印加する電圧をデータに対応させて変化させることにより、抵抗体１４の発熱をデータに対応させて変化させることができる。そして、記録再生ヘッド２を相変化記録媒体２０に対して相対的に走査させながら、データに対応する加熱動作を実行する。この結果、相変化材料１６の結晶質・非晶質の状態がデータに対応して変化し、相変化材料１６には、データに対応した結晶質と非晶質の並びが形成される。このようにしてデータの相変化材料への記録が実現する。かかる記録動作は、先端部の半径が１０ｎｍオーダーの探針１１を用いて実行されるため、データの記録密度を大幅に向上させることができる。
次に、再生は、相変化記録媒体２０の相変化材料１６に交流信号を印加する。記録再生電極１１ａとリターン電極１２の間にインダクタタンスがＬのインダクタ１９が設けられていて、このインダクタ１９と、探針１１の直下の結晶質又は非晶質の誘電率に対応した容量Ｃｓとで共振回路が構成される。この共振周波数ｆ＝１／２π√ＬＣｓは例えば１ＧＨｚ程度になるようにインダクタ１９のインダクタンスＬが決定される。
この共振周波数に基づく発振信号は結晶質または非晶質の誘電率に対応する容量ＣｓによりＦＭ変調される。このＦＭ変調された信号をＦＭ復調することで結晶質と非晶質の別が判別され、データが再生される。ＳＮＤＭを用いれば、結晶質と非晶質との別は高いＳＮ比で判別することができるので、高品質のデータの再生が実現される。
（記録装置の実施例）
本発明に係る記録装置の実施例について、図４を参照して説明する。図４に示すように記録装置３は、記録再生電極１１ａと、記録再生電極１１ａの先端部に設けられた絶縁層１３と、絶縁層１３の上に設けられた抵抗体１４とからなる探針１１と、探針１１の周囲に設けられたリターン電極１２を備える記録再生ヘッド１と、抵抗体１４に電圧を印加するヒータ３２と、記録すべきデータを生成する記録信号発生器３９を備えている。記録信号発生器３９により生成されたデータに対応する信号は、ヒータ３２に入力される。
まず、相変化記録媒体２０の相変化材料１６の記録面全面は結晶質に初期化されている。この状態の相変化記録媒体２０に対して、記録信号発生器３９からの信号に基づき、ヒータ３２は抵抗体１４を加熱し、抵抗体１４が発する熱で相変化記録媒体２０の相変化材料１６を非晶質にする。探針１１は相変化記録媒体２０に接触、若しくは微小の空間を有して対向して走査されていて、相変化材料１６には抵抗体１４が発する熱で結晶質の中に非晶質がデータとして形成される。
記録信号発生器３９は記録すべきデータを生成するが、そのデータは所定の記録フォーマットで変換され、また、付随する制御情報やエラー訂正に関する処理、データ圧縮等の処理がなされたものを含んでいても良い。
尚、記録再生ヘッド１に替わって記録再生ヘッド２を用いてもよい。この場合、ＳＷ１、ＳＷ２をヒータ３８側に接続し、抵抗体１４に記録すべきデータに対応した電圧を印加して加熱する。
（再生装置の実施例）
本発明に係る再生装置の実施例について、図５を参照して説明する。
図５に示すように再生装置４は、記録再生電極１１ａと、記録再生電極１１ａの先端部に設けられた絶縁層１３と、絶縁層１３の上に設けられた抵抗体１４とからなる探針１１と、探針１１の周囲に設けられたリターン電極１２を備える記録再生ヘッド１を備えている。さらに、再生装置４は、探針１１の記録再生電極１１ａとリターン電極１２の間に設けられるインダクタ１９と、インダクタ１９と探針１１の直下の相変化材料１６の結晶質または非晶質の誘電率に応じた容量Ｃｓとで決まる共振周波数で発振する発振器３１と、相変化材料１６に印加する交流信号を発生する交流信号発生器３２と、結晶質または非晶質の誘電率に応じた容量Ｃｓで変調される発振信号を復調するＦＭ復調器３３と、復調された信号からデータを再生する信号検出部３４等を備えている。
探針１１は相変化記録媒体２０の相変化材料１６に接触、若しくは微小の空間を有して対向している。相変化記録媒体２０には、探針１１の先端部の半径に対応して、結晶質または非晶質の領域が形成されている。そして、結晶質又は非晶質の領域は、データに対応している。再生時には探針１１の先端部の相変化材料１６の結晶質または非晶質の誘電率に対応した容量Ｃｓがインダクタ１９との共振回路に加わることで、発振周波数が容量Ｃｓに依存することになる。この容量Ｃｓに基づいてＦＭ変調された発振信号を復調することで図３に示す検出電圧が出力され、記録されているデータが再生される。
交流信号発生器３２は、相変化記録媒体２０の相変化材料１６に印加する交流信号を発生する。尚、この交流信号はＦＭ復調された信号からデータを再生するときの参照信号としても用いられる。
インダクタ１９は、記録再生電極１１ａとリターン電極１２との間に設けられていて、例えばマイクロストリップラインで形成される。インダクタ１９のインダクタンスＬと容量Ｃｓとで共振回路が構成される。この共振周波数ｆ＝１／２π√ＬＣｓは例えば１ＧＨｚ程度になるようにインダクタ１９のインダクタンスＬが決定される。
相変化記録媒体２０は、例えば共晶系の材料であるＧｅＩｎＳｂＴｅ系の相変化材料等が用いられる。また、相変化記録媒体２０の形状として、例えばディスク形態やカード形態等がある。探針１１との相対的な位置の移動は媒体の回転によって行われ、或いは探針１１と媒体のいずれか一方が直線的に移動して行われる。
発振器３１は、インダクタンスＬと容量Ｃｓとで決定される周波数で発振する発振器である。その発振周波数は容量Ｃｓの変化に対応して変化するものであり、従って記録されているデータに対応した結晶質または非晶質の誘電率によって決定される容量Ｃｓの変化に対応してＦＭ変調が行われる。このＦＭ変調を復調することで記録されているデータを読み取ることができる。
ＦＭ復調器３３は、容量Ｃｓによって変調された発振器３１の発振周波数を復調し、探針１１がトレースした部位の結晶質または非晶質に対応して記録されているデータの波形を復元する。これは、記録されているデータに対応して変調されている周波数をＦＭ復調することによって行われる。
信号検出部３４は、ＦＭ復調器３３で復調された信号と印加した交流信号発生器３２からの交流信号に基づき記録されたデータを再生する。信号の再生には同期検波による方法や位相検波による方法等を用いることが可能である。同期検波の手段として例えばロックインアンプを用いることができる。
以上説明したように、本実施例の再生装置４によれば、相変化記録媒体２０の相変化材料１６に形成されたデータに対応した結晶質または非晶質の別を検出することが可能となり、ＳＮ比の良いデータの再生が行われる。
尚、記録再生ヘッド１に替わって記録再生ヘッド２を用いてもよい。この場合、ＳＷ１は発振器３１側に接続し、ＳＷ２は開放する。
（記録再生装置の第１の実施例）
本発明に係る記録再生装置の第１の実施例について、図６を参照して説明する。尚、記録再生装置５の各構成要素の動作、作用の詳細は記録装置３及び再生装置４で説明したことと同様であり、適宜参照することとする。
図６に示すように記録再生装置５は、記録再生電極１１ａと、記録再生電極１１ａの先端部に設けられた絶縁層１３と、絶縁層１３の上に設けられた抵抗体１４とからなる探針１１と、探針１１の周囲に設けられたリターン電極１２を備える記録再生ヘッド１を備えている。さらに、記録再生装置５は、記録系として抵抗体１４に電圧を印加し過熱させるヒータ３８と、ヒータ３８に入力する信号を発生する記録信号発生器３９を備えている。さらに、記録再生装置５は、再生系として探針１１の記録再生電極１１ａとリターン電極１２の間に設けられるインダクタ１９と、インダクタ１９と探針１１の直下の相変化材料１６の結晶質または非晶質の誘電率に応じた容量Ｃｓとで決まる共振周波数で発振する発振器３１と、相変化材料１６に印加する交流信号を発生する交流信号発生器３２と、結晶質または非晶質の誘電率に応じた容量Ｃｓで変調される発振信号を復調するＦＭ復調器３３と、復調された信号からデータを再生する信号検出部３４等を備えている。
記録動作は、記録信号発生器３９により記録すべきデータに対応した信号が生成され、ヒータ３８に入力される。ヒータ３８から探針１１の抵抗体１４に電圧が印加され、抵抗体１４は加熱されて発熱する。この熱によって相変化記録媒体２０の相変化材料１６は結晶質から非晶質に変化し、データが記録される。
再生動作は、相変化材料１６の結晶質または非晶質に対応して記録されているデータを、結晶質または非晶質の別を判別して行う。相変化記録媒体２０の相変化材料１６に、交流信号発生器３２による交流信号が印加される。インダクタ１９のインダクタンスＬと結晶質または非晶質の誘電率に対応した容量Ｃｓとで共振回路が構成され、発振器３１はこの共振回路の周波数で発振する。発振信号は容量ＣｓによってＦＭ変調されたものであり、ＦＭ復調器３３で復調される。復調された信号は信号検出部３４で交流信号発生器３２からの交流信号に基づき記録されたデータを再生する。
以上説明したように本実施例の記録再生装置６は、用いる記録再生ヘッド１の構造から、記録系と再生系を個別の機能として備えるものであり、記録動作を行いながら再生動作を行うこと、即ち記録を行いながら記録したデータの記録状態を確認することが可能となる。
（記録再生装置の第２の実施例）
本発明に係る記録再生装置の第２の実施例について、図７を参照して説明する。尚、記録再生装置６の各構成要素の動作、作用の詳細は記録装置３及び再生装置４で説明したことと同様であり、適宜参照することとする。
図７に示すように記録再生装置６は、支持部材１１ｂと、支持部材１１ｂの先端部に設けられた抵抗体１４とからなる探針１１と、探針１１の周囲に設けられたリターン電極１２を備える記録再生ヘッド２を備えている。さらに、記録再生装置６は、記録系として抵抗体１４に電圧を印加し過熱させるヒータ３８と、ヒータ３８に入力する信号を発生する記録信号発生器３９を備えている。さらに、記録再生装置６は、再生系として探針１１の抵抗体１４とリターン電極１２の間に設けられるインダクタ１９と、インダクタ１９と探針１１の直下の相変化材料１６の結晶質または非晶質の誘電率に応じた容量Ｃｓとで決まる共振周波数で発振する発振器３１と、相変化材料１６に印加する交流信号を発生する交流信号発生器３２と、結晶質または非晶質の誘電率に応じた容量Ｃｓで変調される発振信号を復調するＦＭ復調器３３と、復調された信号からデータを再生する信号検出部３４等を備えている。
記録動作は、ＳＷ１、ＳＷ２を夫々ヒータ３８側に接続し、記録信号発生器３９により生成された記録すべきデータに対応した信号がヒータ３８に入力される。ヒータ３８から探針１１の抵抗体１４に電圧が印加され、抵抗体１４は加熱されて発熱する。この熱によって相変化記録媒体２０の相変化材料１６は結晶質から非晶質に変化し、データが記録される。
再生動作は、ＳＷ１を発振器３１側に接続し、ＳＷ２を開放して抵抗体１４がインダクタ１９及び発振器３１と接続されるようにする。従って、相変化記録媒体２０の相変化材料１６に、交流信号発生器３２により生成される交流信号が印加される。
記録されているデータの再生は相変化材料１６の結晶質または非晶質の別を判別して行う。相変化記録媒体２０の相変化材料１６に、交流信号発生器３２による交流信号が印加される。インダクタ１９のインダクタンスＬと結晶質または非晶質の誘電率に対応した容量Ｃｓとで共振回路が構成され、発振器３１はこの共振回路の周波数で発振する。発振信号は容量ＣｓによってＦＭ変調されたものであり、ＦＭ復調器３３で復調される。復調された信号は信号検出部３４で交流信号発生器３２からの交流信号に基づき記録されたデータを再生する。
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う記録再生ヘッド、記録装置、再生装置及び記録再生装置もまた本発明の技術思想に含まれるものである。
【産業上の利用可能性】  本発明に係る記録再生ヘッド、記録装置、再生装置及び記録再生装置は、高密度・大容量記録を実現可能な技術として、走査型非線形誘電率顕微鏡法（ＳＮＤＭ）等を適用して相変化記録媒体にデータを記録・再生する記録再生ヘッド、並びにこの記録再生ヘッドを適用した記録装置、再生装置及び記録再生装置に利用可能である。
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【手続補正書】
【提出日】平成17年4月18日(2005.4.18)
【手続補正００１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】特許請求の範囲
【請求項１】相変化記録媒体にデータを記録し、又は前記相変化記録媒体に記録されたデータを再生する記録再生ヘッドであって、
（ｉ）導電性部材からなり、その先端部に所定の半径を有し前記データを検出する略球状突起先端部を有する再生電極と、（ｉｉ）前記略球状突起先端部を覆う絶縁膜と、（ｉｉｉ）前記絶縁膜の前記略球状突起先端部を覆う部分の上に設けられ、前記データを記録する際に発熱する抵抗体と
からなる探針と、
前記探針の周囲に設けられ、当該探針に印加される電界の高周波成分が戻るためのリターン電極と
を備えることを特徴とする記録再生ヘッド。
【請求項２】相変化記録媒体にデータを記録し、又は前記相変化記録媒体に記録されたデータを再生する記録再生ヘッドであって、
（ｉ）絶縁性部材からなり、その先端部に所定の半径を有し前記データを検出する略球状突起先端部を有する支持部材と、（ｉｉ）前記略球状突起先端部を覆って設けられ、前記データを記録する際に発熱する抵抗体とからなる探針と、
前記探針の周囲に設けられた、当該探針に印加される電界の高周波成分が戻るためのリターン電極と
を備えることを特徴とする記録再生ヘッド。
【請求項３】前記抵抗体が発生する熱量は、前記相変化記録媒体の相変化材料を結晶質から非晶質に変化させる熱量であること
を特徴とする請求の範囲第１項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項４】前記抵抗体が発生する熱量は、前記相変化記録媒体の相変化材料を結晶質から非晶質に変化させる熱量であること
を特徴とする請求の範囲第２項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項５】当該記録再生ヘッドは非線形誘電率顕微鏡法に基づき、相変化記録媒体にデータを記録し、又は再生するヘッドであること
を特徴とする請求の範囲第１項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項６】当該記録再生ヘッドは非線形誘電率顕微鏡法に基づき、相変化記録媒体にデータを記録し、又は再生するヘッドであること
を特徴とする請求の範囲第２項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項７】相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録する記録装置であって、
請求の範囲第１項に記載の記録再生ヘッドと、
前記記録再生ヘッドの抵抗体に通電し、前記データに対応して発熱させる加熱手段と、
前記加熱手段に入力する前記データに対応した記録信号を生成する記録信号生成手段と
を備えることを特徴とする記録装置。
【請求項８】相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録する記録装置であって、
請求の範囲第２項に記載の記録再生ヘッドと、
前記記録再生ヘッドの抵抗体に通電し、前記データに対応して発熱させる加熱手段と、
前記加熱手段に入力する前記データに対応した記録信号を生成する記録信号生成手段と
を備えることを特徴とする記録装置。
【請求項９】相変化記録媒体の相変化材料に記録されたデータを再生する再生装置であって、
請求の範囲第１項に記裁の記録再生ヘッドと、
前記相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と、
前記相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、
前記発振手段による発振信号を復調する復調手段と、
前記復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段と
を備えることを特徴とする再生装置。
【請求項１０】相変化記録媒体の相変化材料に記録されたデータを再生する再生装置であって、
請求の範囲第２項に記載の記録再生ヘッドと、
前記相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と
前記相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、
前記発振手段による発振信号を復調する復調手段と、
前記復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段と
を備えることを特徴とする再生装置。
【請求項１１】前記データ再生手段は同期検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第９項に記載の再生装置。
【請求項１２】前記データ再生手段は同期検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１０項に記載の再生装置。
【請求項１３】前記データ再生手段は位相検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第９項に記載の再生装置。
【請求項１４】前記データ再生手段は位相検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１０項に記載の再生装置。
【請求項１５】相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録し又は再生するための、請求の範囲第１項に記載の記録再生ヘッドを用いた記録再生装置であって、
（ｉ）記録装置として、
前記探針の抵抗体に通電し、前記データに対応して発熱させる加熱手段と、
前記加熱手段に入力する前記データに対応した記録信号を生成する記録信号生成手段とを備え、
（ｉｉ）再生装置として、
前記相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と
前記相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、
前記発振手段による発振信号を復調する復調手段と、
前記復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段と
を備えることを特徴とする記録再生装置。
【請求項１６】相変化記録媒体の相変化材料にデータを記録し又は再生するための、請求の範囲第２項に記載の記録再生ヘッドを用いた記録再生装置であって、
（ｉ）記録装置として、
前記探針の抵抗体に通電し、前記データに対応して発熱させる加熱手段と、
前記加熱手段に入力する前記データに対応した記録信号を生成する記録信号生成手段とを備え、
（ｉｉ）再生装置として、
前記相変化記録媒体に電界を印加する電界印加手段と
前記相変化記録媒体の相変化材料の結晶質又は非晶質の誘電率の違いに応じて発振周波数が変化する発振手段と、
前記発振手段による発振信号を復調する復調手段と、
前記復調手段により復調された信号からデータを再生するデータ再生手段と
を備え、且つ、
記録時において、前記抵抗体に前記記録信号生成手段による記録信号を印加させ、一方、再生時において、前記相変化記録媒体に前記電界印加手段による電界を印加させる切り替え手段を備えること
を特徴とする記録再生装置。
【請求項１７】前記データ再生手段は同期検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１５項に記載の記録再生装置。
【請求項１８】前記データ再生手段は同期検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１６項に記載の記録再生装置。
【請求項１９】前記データ再生手段は位相検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１５項に記載の記録再生装置。
【請求項２０】前記データ再生手段は位相検波により前記データを再生すること
を特徴とする請求の範囲第１６項に記載の記録再生装置。
【請求項２１】前記抵抗体に電圧が印加されること
を特徴とする請求の範囲第１項に記載の記録再生ヘッド。
【請求項２２】前記抵抗体に電圧が印加されること
を特徴とする請求の範囲第２項に記載の記録再生ヘッド。




【国際調査報告】
2004097822.tif 000010
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