(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）  厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上にヤング率５０ＭＰａ以下の軟質樹脂からなり高さが０．１ｍｍ〜０．３ｍｍである円錐状の凸部を有する総厚０．５ｍｍ以下の凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、前記凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程と、
（ｂ）  加圧により前記凹凸シートの凸部を前記圧力測定用材料に圧接し、前記凸部を変形させ、前記圧力測定用材料に凸部の変形量に対応した面積の発色領域を形成する工程と、
（ｃ）  前記発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める工程と、
を有し、
前記スキャナーの読み取り解像度をＩ、前記スキャナーによる読み取り階調をＮ、前記凸部の高さをＨ、前記凸部の頂角をθ、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径をＤｍａｘとしたとき、
ｔａｎ（θ／２）＝Ｉ×（Ｎ＋１）／（２×Ｈ）、かつ、
Ｄｍａｘ＝Ｉ×（Ｎ＋１）
の関係を満たす（但し、Ｉの有効桁は１桁、Ｈの有効桁は１桁、Ｄｍａｘの有効桁は２桁とする）ことを特徴とする圧力測定方法。
【請求項２】
前記基底部が、ヤング率５００ＭＰａ以上の硬質樹脂からなることを特徴とする請求項１に記載の圧力測定方法。
【請求項３】
前記圧力測定用材料の測定下限の圧力が、０．０１ＭＰａ〜０．１ＭＰａであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧力測定方法。
【請求項４】
前記圧力測定用材料は、電子供与性無色染料前駆体および溶媒を内包したマイクロカプセルと、前記電子供与性無色染料前駆体と反応して発色させる電子受容性化合物とを、単一の基材、あるいは別個の基材に設けて構成された圧力測定用材料である請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の圧力測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加圧部位が発色する圧力測定用材料を用いた圧力測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力測定用の材料は、液晶ガラスの貼合せ工程、プリント基板へのハンダ印刷、ローラ間の圧力調整などの用途に使われている。このような圧力測定用の材料には、例えば、富士フイルム（株）から提供されているプレスケール（商品名）に代表される圧力測定フィルムがある。
【０００３】
この圧力測定フィルムの例として、電子供与性無色染料前駆体と電子受容性化合物との発色反応を利用した圧力測定用シートが開示されており（例えば、特許文献１参照）、０．１ＭＰａ〜２０ＭＰａ程度の圧力範囲で測定することができるとされている。圧力測定フィルムは、測定部位に合わせてフィルムを任意の大きさに裁断して使用できる特徴を有するほか、筆圧による高い線圧によって発色反応を起こさせる、いわゆる感圧複写紙とは異なり、面圧を測定することができる特徴を有している。
【０００４】
近年、製品の高機能化、高精細化により、微小な圧力の分布を測定する必要性が増加している。例えば、液晶パネルの貼り合わせでは、大面積化により真空貼り合わせ方式が増加し、大気圧である０．１ＭＰａ以下の領域での圧力分布測定が重要になっている。
また、プリント基板へのハンダ印刷では、電子部品の高精細化や基板の多層化により、０．１ＭＰａ以下の微小な圧力を含む圧力領域でのハンドリングが増加しており、０．１ＭＰａ以下の微小な圧力の分布測定に対する要望が高まっている。
また、コピー機やプリンターの製造工程での搬送ローラーにおける挟み圧測定や、半導体製造工程でのシリコンウエハの研磨における押し付け圧測定など、微小な圧力の分布測定を必要とする分野が増加している。
【０００５】
微小な圧力を測定するための技術としては、前記圧力測定フィルムと、表面に微細な凹凸を均一に有する定盤と、を組み合わせて用いる技術（例えば、特許文献２参照）や、前記圧力測定フィルムと、片面に多数の凸部を形成したゴム製の弾性マットと、を組み合わせて用いる技術（例えば、特許文献３、４参照）が知られている。
【特許文献１】特公昭５７−２４８５２号公報
【特許文献２】特開平６−３３１４６７号公報
【特許文献３】特開平９−３２９５１３号公報
【特許文献４】特開平１０−６２２７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、表面に微細な凹凸を有する定盤を用いる技術では、例えば、搬送ローラーにおける挟み圧測定のような可撓性（フレキシブル性）や薄さが要求される用途に使用することはできない。
また、凸部を形成したゴム製の弾性マットを用いる技術では、弾性マット自身が圧力分布を緩和するクッションの役割をしてしまい、特に、液晶パネルの貼り合わせ圧測定やシリコンウエハの研磨工程における抑え圧測定等、薄さが要求され、正確な圧力分布を測定する必要がある用途に用いることはできない。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みなされたものであり、圧力測定用材料の測定下限以下の微小な圧力又はその分布を測定できる圧力測定方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、スキャナー及び圧力測定用材料に対し、特定の関係を有する凹凸シートを使用することで前記課題を解決できるとの知見を得、該知見に基づき本発明を完成した。
即ち、前記課題を解決するための具体的手段は以下のとおりである。
【０００９】
＜１＞  （ａ）  厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上にヤング率５０ＭＰａ以下の軟質樹脂からなり高さが０．１ｍｍ〜０．３ｍｍである円錐状の凸部を有する総厚０．５ｍｍ以下の凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、前記凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程と、（ｂ）  加圧により前記凹凸シートの凸部を前記圧力測定用材料に圧接し、前記凸部を変形させ、前記圧力測定用材料に凸部の変形量に対応した面積の発色領域を形成する工程と、
（ｃ）  前記発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める工程と、を有し、
前記スキャナーの読み取り解像度をＩ、前記スキャナーによる読み取り階調をＮ、前記凸部の高さをＨ、前記凸部の頂角をθ、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径をＤｍａｘとしたとき、
ｔａｎ（θ／２）＝Ｉ×（Ｎ＋１）／（２×Ｈ）、かつ、
Ｄｍａｘ＝Ｉ×（Ｎ＋１）
の関係を満たす（但し、Ｉの有効桁は１桁、Ｈの有効桁は１桁、Ｄｍａｘの有効桁は２桁とする）ことを特徴とする圧力測定方法である。
【００１０】
＜２＞  前記基底部が、ヤング率５００ＭＰａ以上の硬質樹脂からなることを特徴とする＜１＞に記載の圧力測定方法である。
＜３＞  前記圧力測定用材料の測定下限の圧力が、０．０１ＭＰａ〜０．１ＭＰａであることを特徴とする＜１＞又は＜２＞に記載の圧力測定方法である。
＜４＞  前記圧力測定用材料は、電子供与性無色染料前駆体および溶媒を内包したマイクロカプセルと、前記電子供与性無色染料前駆体と反応して発色させる電子受容性化合物とを、単一の基材、あるいは別個の基材に設けて構成された圧力測定用材料である＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の圧力測定方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、圧力測定用材料の測定下限以下の微小な圧力又はその分布を測定できる圧力測定方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の圧力測定方法は、（ａ）  厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有する総厚０．５ｍｍ以下の凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、前記凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程と、（ｂ）  加圧により前記凹凸シートの凸部を前記圧力測定用材料に圧接し、前記凸部を変形させ、前記圧力測定用材料に凸部の変形量に対応した面積の発色領域を形成する工程と、（ｃ）  前記発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める工程と、を有し、前記スキャナーの読み取り解像度をＩ、前記スキャナーによる読み取り階調をＮ、前記凸部の高さをＨ、前記凸部の頂角をθ、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径をＤｍａｘとしたとき、
ｔａｎ（θ／２）＝Ｉ×（Ｎ＋１）／（２×Ｈ）、かつ、
Ｄｍａｘ≧Ｉ×（Ｎ＋１）
の関係を満たすように構成される。
【００１３】
加圧部位が発色する圧力測定用材料を用いて被測定物に加えられた圧力を測定する際、凹凸シートをその凸部が該圧力測定用材料となる側にして該圧力測定用材料と被測定物との間に挟むことで、被測定物全体に加えられた圧力を、凹凸シートの凸部に集中させることができる。このため、前記被測定物全体に加えられた圧力が該圧力測定用材料固有の測定下限以下である場合でも、圧力測定や圧力分布の測定を行うことができる。ところが、この際、凹凸シートの性状（例えば、基底部の厚さ、凸部の高さ、凸部の形状、凸部の硬さ（変形量）等）によっては、凹凸シート自身により圧力が緩和される不都合や、各測定点の圧力値を分類する段階数が不足する不都合等を生じ、正確な圧力を測定できない場合がある。
【００１４】
圧力測定方法を上記本発明の構成とした場合、即ち、上記関係を満たす凹凸シートを使用した場合には、加圧により被測定物と圧力測定用材料との間に加えられた圧力が圧力測定用材料の測定下限であるときには、凹凸シートの凸部は、高さほぼ０となるまで潰れ、発色領域の直径（面積）は最大となる。一方、前記圧力が圧力測定用材料の測定下限未満の場合には、前記凸部が高さを有する程度に潰れることとなり、このときの発色領域の直径（面積）は、前記測定下限である場合の発色領域の直径（面積）に比べて小さくなる。
従って、発色領域の直径（面積）をスキャナーで読み取ることにより、加圧により被測定物と圧力測定用材料との間に加えられた圧力が圧力測定用材料固有の測定下限以下である場合であっても、圧力値又は圧力分布を正確に測定できる。特に、コピー機又はプリンター製造工程での搬送ローラーにおける挟み圧測定、液晶ディスプレイ製造工程でのガラス基板の接着における貼り合わせ圧測定、半導体製造工程でのシリコンウエハの研磨における押し付け圧測定等に好適である。
【００１５】
本発明において「圧力測定用材料の測定下限」とは、凹凸シートと共に用いずに、圧力測定用材料単独で圧力測定を行う場合の測定下限を指す。圧力測定用材料はその構成により固有の測定下限を有しているが、前記凹凸シートと組み合わせて用いることにより、圧力測定の感度を向上させることができる（即ち、圧力測定用材料固有の測定下限値以下の圧力の測定が可能となる）。
【００１６】
本発明においてスキャナーの読み取り解像度Ｉは、スキャナーが読み取ることができる最小の幅である。本発明において発色領域の直径は、実際には加圧の際の圧力に応じて連続的な値となるが、スキャナーによる読み取りの際には解像度Ｉ毎の段階的（不連続的）な値として読み取られる。
本発明におけるスキャナーによる読み取り階調Ｎは、発色領域の直径を読み取る際の段階を示し、予め設定しておくことができる。
本発明では、発色領域の直径の読み取り値がＩのとき階調は「０」であり（０階調）、該読み取り値が２Ｉのとき階調は「１」であり（１階調）、該読み取り値が３Ｉのとき階調は「２」であり（２階調）、該読み取り値がＩ×（Ｎ＋１）のとき階調は「Ｎ」である（Ｎ階調）。
【００１７】
本発明の圧力測定方法では、前記Ｉ及び前記Ｎと、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径Ｄｍａｘと、の間には、
Ｄｍａｘ≧Ｉ×（Ｎ＋１）
の関係がある。
Ｄｍａｘが「Ｉ×（Ｎ＋１）」より小さい場合、各測定点の圧力値を段階的に分類する際の段階数が不足し、圧力測定用材料の測定下限以下の微小な圧力又はその分布を測定することができない。
本発明による効果をより効果的に得る観点からは、
Ｄｍａｘ＝Ｉ×（Ｎ＋１）
の関係を満たすことが好ましい。
【００１８】
本発明の圧力測定方法は、被測定物と圧力測定用材料との間に加えられた圧力が、下記Ｐｍｉｎ〜Ｐｍａｘの範囲であるときの圧力測定に特に適している。
Ｐｍｉｎ：発色領域の直径の読み取り値がＩとなる圧力
Ｐｍａｘ：発色領域の直径の読み取り値がＩ×（Ｎ＋１）となる圧力
ここで、Ｐｍａｘは圧力測定用材料固有の測定下限以下の圧力である。
また、本発明では、前記圧力Ｐｍｉｎのときの発色領域の直径をＤｍｉｎということがある。前記Ｄｍｉｎは前記Ｉに等しい。
【００１９】
スキャナーの読み取り解像度Ｉの具体的な範囲としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、０．２ｍｍ以下が好ましく、０．１５ｍｍ以下がより好ましい。
スキャナーの読み取り階調Ｎの具体的な範囲としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、１０以上が好ましく、１５以上がより好ましい。
本発明の圧力測定方法において測定できる圧力範囲は、ともに用いる圧力測定用材料の測定下限値以下の範囲であることが好ましい。本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、０．００２〜０．０８ＭＰａの範囲が好ましく、０．００４〜０．０４ＭＰａの範囲がより好ましい。
【００２０】
＜（ａ）工程＞
本発明における（ａ）工程は、厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有する総厚０．５ｍｍ以下の凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、前記凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程である。
被測定物としては特に限定はなく、液晶パネル、ガラス基板、シリコンウエハ、プリント基板、並びにコピー機やプリンターの搬送ローラー等を用いることができる。
図１は、本発明の一実施形態における凹凸シート１０を示した斜視図である。シート状の基底部１２に円錐状の凸部１４が設けられている。なお、図１では説明の便宜上、凸部は９個となっているが、本発明において凸部の数、密度等に限定はない（好ましい密度については後述する）。
【００２１】
＜（ｂ）工程＞
本発明における（ｂ）工程は、加圧により凹凸シートの凸部を圧力測定用材料に圧接し、前記凸部を変形させ、前記圧力測定用材料に凸部の変形量に対応した面積の発色領域を形成する工程である。
【００２２】
ここで、加圧の実施形態について、図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図４（Ａ）、及び図４（Ｂ）を参照して説明する。
図２（Ａ）、図３（Ａ）、及び図４（Ａ）は、本発明の一実施形態における加圧の様子を概念的に示した図である。図２（Ａ）、図３（Ａ）、及び図４（Ａ）では、被測定物２０と被測定物２２との間に圧力測定用材料２４が配置され、更に、被測定物２２と圧力測定用材料２４との間に、凹凸シート１０が、その凸部１４が圧力測定用材料２４側となる向きで配置されている。被測定物２０と被測定物２２との間にかけられた圧力（図２〜４では双方から圧力Ｐずつで加圧している）により、凹凸シートの凸部が変形し、凸部の変形量に対応した面積の発色領域２８が圧力測定用材料２４に形成されている。なお、上記実施形態中の圧力測定用材料２４は、後述する２シートタイプであり、基材上に発色層が設けられた電子供与性無色染料シート２４Ａと、基材上に顕色層が設けられた顕色剤シート２４Ｃとからなり、発色層と顕色層とが接する向きに重ね合わせた構成となっている。
【００２３】
図２（Ａ）は、低圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、凸部の変形量は少なく、発色領域２８の面積も小さい。
図３（Ａ）は、中圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、凸部の変形量及び発色領域２８の面積は、低圧時に比べて大きくなっている。
図４（Ａ）は、高圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、凸部の変形量及び発色領域２８の面積は、中圧時に比べて更に大きくなっている。
【００２４】
なお、本発明における加圧は上記実施形態に限定されることはなく、例えば、被測定物２０と被測定物２２のいずれか一方を固定し、他方のみから加圧する形態であってもよい。また、圧力測定用材料としては、モノシートタイプの圧力測定シート等、上記２シートタイプ以外のものを用いることもできる。また、凹凸シートに設けられた凸部の数（密度）は適宜設定することができる。
【００２５】
＜（ｃ）工程＞
本発明における（ｃ）工程は、前記発色領域をスキャナーを用いて前記解像度Ｉ及び前記階調Ｎで読み取り、圧力を求める工程である。
スキャナーとしては、例えばラインセンサを圧力測定用材料に沿って移動させるものや、２次元ＣＣＤエリヤセンサを用いるものなどが使用できる。
前記圧力を求める方法については特に限定はないが、例えば、予め求めておいた発色領域の面積と圧力との関係に基づいて、読み取った発色領域の面積を圧力値に換算する方法等を用いることができる。さらに、圧力が等しくなる位置同士を結んで多次元表示し、圧力分布を求めることができる。また、読み取った各発色領域の面積の合計と、被測定物に対し実際に圧力が加えられた面積と、の比に基づいて、被測定物に加えられた平均圧力を求めることもできる。
【００２６】
ここで、（ｃ）工程の好ましい実施形態について、図５〜７を参照して説明するが、本発明はこの形態に限定されるものではない。この実施形態は、各発色領域の面積をスキャナーで読み取り、凸部による加圧力を求め、加圧力が等しくなる位置を結んで加圧力の分布を多次元表示する形態である。
図５は、前記（ｂ）工程後の圧力測定用材料の例を示した平面図であり、図６は、圧力画像解析装置の構成を概念的に示した図であり、図７（Ａ）は圧力測定結果を２次元的に示した図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）のＡ−Ａ線に沿った圧力測定結果である。
【００２７】
図５では、圧力測定用材料である圧力測定用材料２４上に、凸部の変形量に対応した種々の直径の発色領域２８が複数形成されている。図５では、一部の発色領域のみに符号２８を付している。
図６に示した圧力画像解析装置５０では、発色領域を読み取るためのスキャナー３０と、読み取った発色領域から圧力及び圧力分布を演算するマイクロコンピュータ３２と、得られた圧力及び圧力分布を多次元表示する多次元表示手段４４と、から構成される。
【００２８】
図５に示す圧力測定用材料２４の発色領域２８（加圧点）の画像は、図６に示すスキャナー３０によって読み取られる。
スキャナー３０の出力はマイクロコンピュータ３２に入力される。このコンピュータ３２はソフトウェアで構成される種々の機能を持つ。加圧点読取り手段３４はスキャナー３０の出力を取入れて、各発色領域２８の座標位置と面積とを求める。圧力検出手段３６はこの面積に対応する圧力Ｐ０を演算する。すなわち各面積に対応する圧力Ｐ０の換算を求めるための換算表、マップあるいは換算式を予めルックアップテーブル（ＬＵＴ）３８にメモリしておき、圧力検出手段３６はこのＬＵＴ３８を用いて圧力Ｐ０を計算するものである。
【００２９】
等圧力分布演算手段４０では発色領域２８の圧力Ｐ０を用いた圧力が等しくなる位置を結んで圧力分布を求める。すなわち発色領域２８が図７（Ａ）に示すように一定間隔の格子上に位置する場合、Ａ−Ａ線に載った発色領域２８の圧力Ｐ０を縦軸にしてその分布を示すと、図７（Ｂ）のようになる。
【００３０】
この図７（Ｂ）においてＰ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、・・・は、Ａ−Ａ線上の加圧点Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４、・・・の圧力を示す。等圧力分布演算手段４０では、点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、・・・をつなぐ滑らかな曲線を例えば数学的な補間法を用いて求める。補間法としては種々の方法が使用でき、例えば一定数の点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、・・・を結ぶ多項式や多次元曲線を求める方法が用いられる。
【００３１】
このように求めた圧力曲線を用い、等圧力分布演算手段４０では予め決めた一定の圧力（設定圧）Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃとなる座標Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃを求める。以上の演算をＡ−Ａ線と別なＢ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線などの格子状の線に対して繰り返し、設定圧Ｐａになる座標Ｒａを結ぶことにより、図７（Ａ）に示す等圧力線Ｓａを求めることができる。同様に設定圧Ｐｂ、Ｐｃになる座標Ｒｂ、Ｒｃを結ぶことにより、等圧力線Ｓｂ、Ｓｃを求めることができる。
【００３２】
ここに設定圧Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃは設定変更手段４２によって任意に変更できるようにしておく。この設定圧Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、・・・を変えることにより図７（Ａ）に示す等圧力線Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃの位置や間隔が変化でき、加圧物の形状などを特定するのに都合がよい。
【００３３】
このようにして求めた等圧線Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃは多次元表示手段４４により出力される。例えばプリンタやＣＲＴなどにより図７（Ａ）に示す等圧線Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃをプリント出力させたり画像表示させる。等圧線Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃで示す所定の圧力範囲ごとに表示色を変えてカラー表示するようにしてもよい。また圧力を高さ方向にとって３次元表示してもよい。
【００３４】
この結果、格子状に表れた圧力測定用材料２４の発色領域２８を２次元あるいは多次元に連続的に表示した圧力分布に変えることができる。従って視覚により直ちに圧力分布を知ることができ、取扱が極めて簡単になる。
【００３５】
＜凹凸シート＞
本発明における凹凸シートは、厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に、軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有し、総厚０．５ｍｍ以下に構成される。ここで、総厚とは、基底部の厚さと凸部の高さとの合計である。
前記総厚が０．５ｍｍより厚いと、圧力測定の際に凹凸シートがクッションの役割をしてしまい、正確な圧力分布の測定を行うことができない場合がある。本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、前記総厚としては、０．０５〜０．４ｍｍが好ましく、０．０７〜０．３ｍｍがより好ましい。
【００３６】
前記基底部は、製造の容易性の観点や取り扱いの容易性の観点から、厚さ０．０５ｍｍ以上であることが必要である。
本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、前記基底部の厚さは０．０５〜０．１５ｍｍが好ましく、０．０５〜０．１ｍｍがより好ましい。
【００３７】
基底部の材質には特に限定はなく、硬質樹脂、軟質樹脂（例えば、凸部と同材質の軟質樹脂）等の材料を用いることができる。
中でも、製造の容易性、取り扱いの容易性の観点や圧力又はその分布をより正確に測定する観点からは、硬質樹脂が好ましい。
本発明において「硬質樹脂」とは、ヤング率が５００ＭＰａ以上である樹脂をいう。
硬質樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、アクリル等が好ましく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート、アクリルがより好ましく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が特に好ましい。
【００３８】
本発明における凸部は、軟質樹脂からなり円錐状の構造を有して構成される。
本発明において「軟質樹脂」とは、ヤング率が５０ＭＰａ以下である樹脂をいう。
軟質樹脂としては、軟質ＵＶ硬化性樹脂、軟質アクリルが好ましく、軟質ＵＶ硬化性樹脂がより好ましい。
前記軟質ＵＶ硬化性樹脂としては、アクリル系のＵＶ硬化性樹脂が好ましい。
なお、本発明において「ＵＶ」とは、紫外光（Ｕｌｔｒａ  Ｖｉｏｌｅｔ）を意味する。
【００３９】
本発明における凸部は、圧力により変形する硬さであれば特に限定はないが、凸部のヤング率が０．０５〜５ＭＰａであることが好ましく、０．１〜１ＭＰａであることがより好ましい。
本発明における凸部の頂角としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、１４５〜１６５°が好ましく、１５０〜１６０°がより好ましい。
本発明における凸部の間隔としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、１〜１０ｍｍが好ましく、２〜５ｍｍがより好ましい。
本発明における凸部の高さとしては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、０．０５〜０．４５ｍｍが好ましく、０．１〜０．３ｍｍがより好ましい。
本発明における凸部の密度としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、１〜１００個／ｍｍ２が好ましく、４〜２５個／ｍｍ２がより好ましい。
【００４０】
図８は、本発明の一実施形態における凹凸シート５２を模式的に示した断面図である。図８の凹凸シートは、基底部と凸部とが同材質の軟質熱可塑性樹脂である形態である。厚さｔ１の基底部の上に、高さＨ、頂角θの凸部が、間隔Ｌで設けられている。
図９は、本発明の別の実施形態における凹凸シート５４を模式的に示した断面図である。図９の凹凸シートは、凸部が軟質ＵＶ硬化性樹脂であり、基材（基底部）が硬質樹脂である形態である。厚さｔ２の基材（基底部）の上に、高さＨ、頂角θの凸部が、間隔Ｌで設けられている。
【００４１】
＜凹凸シートの製造方法＞
本発明における凹凸シートの製造方法には特に限定はなく、フォトリソグラフィー方式を用いて製造する方法、熱プレス方式を用いて製造する方法、パターンロールとＵＶ硬化樹脂とを用いて製造する方法等、種々の方法を用いることができる。
【００４２】
中でも、凹凸シートの厚さを薄く、かつ、均一に形成できる点等からは、パターンロールとＵＶ硬化性樹脂とを用いて製造する方法が好ましい。例えば、凹凸シートの凸部の反転パターン（凹部）が表面に形成されたパターンロールと、連続的に供給される基材との間に、ＵＶ硬化性樹脂の前駆体であるモノマー溶液を供給し、供給されたモノマー溶液にＵＶ光を照射してＵＶ硬化性樹脂からなる凸部を基材上に形成し、形成された凸部をパターンロールから剥離して凸部が形成された基材を得、必要に応じ該基材を巻き取る方法が好適である。
【００４３】
図１０は、上記好ましい製造方法に用いられる凹凸シート製造装置６０を模式的に示した断面図である。
凹凸シート製造装置６０は、凹凸シートの基底部となる基材８２を連続的に搬送する搬送路の上流側から下流側に向かって（搬送方向Ｓの方向）、基材８２を連続的に供給する供給ローラー６２、供給された基材８２を連続的に搬送する搬送ローラー６４、搬送ローラー６６、搬送ローラー６８、及び基材８２を巻き取るための巻き取りローラー７２を有して構成される。さらに、基材８２の搬送路を介して搬送ローラー６４に対向する位置には塗布装置７４が備えられており、ＵＶ硬化樹脂の前駆体であるモノマー溶液７６を基材８２上に付与できるようになっている。搬送ローラー６６と搬送ローラー６８との間には、円柱状のパターンロール８０が備えられており、この間では基材８２は、該パターンロール８０の弧に沿って変形し、該パターンロールの回転に合わせて移動するようになっている。パターンロール８０の表面には、製造する凹凸シートの凸部の反転パターンである凹部８１（図１０中では、便宜上一部の凹部にのみ符号８１を付す）が設けられている。また、基材８２の搬送路を介してパターンロール８０に対向する位置には、基材８２上に供給されたモノマー溶液７６を硬化するためのＵＶ光源７０が設けられている。
【００４４】
次に、凹凸シート製造装置６０を用いて凹凸シートを製造する方法について説明する。
まず、供給ローラー６２により基材８２を連続的に供給し、供給された基材８２上に塗布装置７４によりモノマー溶液７６を連続的に塗布する。
基材８２の幅（搬送方向Ｓに直交する方向における長さ）は、２００〜２０００ｍｍが好ましい。基材８２の長さは、１００〜４０００ｍが好ましい。基材８２の厚さは、５０〜４５０μｍが好ましい。搬送速度は０．５〜５０ｍ／ｍｉｎが好ましい。モノマー溶液７６の塗布幅は、１００〜１８００ｍｍが好ましく、モノマー溶液７６の塗布量は、２〜２００ｍｌ／ｍ２が好ましい。
【００４５】
モノマー溶液７６が塗布された基材８２は、搬送ローラー６６を通過後、回転方向Ｒに回転するパターンロール８０の弧に沿って変形し、該回転に合わせて搬送される。この際、モノマー溶液７６は、パターンロール８０表面の凹部８１と基材８２との間に充填される。
ここで、パターンロール８０の回転速度は、基材８２の搬送速度と等しくなっていることが好ましい。パターンロール８０の直径は、１００〜５００ｍｍが好ましく、パターンロール８０の幅は、３００〜２２００ｍｍが好ましい。
【００４６】
次に、パターンロール８０の回転に合わせて移動する基材８２及びモノマー溶液７６に対し、ＵＶ光源７０によりＵＶ光（紫外光）を照射し、モノマー溶液７６の硬化を行い、ＵＶ硬化樹脂からなる凸部８４を基材８２上に形成する。この際のＵＶ照射量は、１００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２が好ましい。
【００４７】
次に、基材８２が搬送ローラー６８を通過する際に、形成された凸部８４を、パターンロール８０から剥離する。凸部８４が形成された基材８２は、巻き取りローラー７２によって巻き取る。
巻き取られた凸部８４付き基材８２は、用途に応じて適当な大きさに切断され、凹凸シートとして用いられる。
【００４８】
＜圧力測定用材料＞
本発明における圧力測定用材料は、電子供与性無色染料前駆体（以下、「発色剤」ともいう。）および溶媒を内包したマイクロカプセルと、前記電子供与性無色染料前駆体と反応して発色させる電子受容性化合物（以下、「顕色剤」ともいう。）とを、単一の基材、あるいは別個の基材に設けて（好ましくは塗工して）構成したものが好ましい。
【００４９】
本発明における圧力測定用材料が、マイクロカプセルと電子受容性化合物とが単一の基材に塗工等して設けられた、いわゆるモノシートタイプの場合、シートやフィルム等の基材と、基材上に該基材側から順に設けられた顕色剤含有の顕色剤層及びマイクロカプセル含有の発色剤層とを有してなり、これを単独で圧力あるいは圧力分布を測定したい部位に挟んで加圧する。
【００５０】
また、本発明における圧力測定用材料が、マイクロカプセルと電子受容性化合物とが別個の基材に塗工等して設けられた、いわゆる２シートタイプの場合、シートやフィルム等の基材上に顕色剤含有の顕色剤層を有する材料Ａと、シートやフィルム等の基材上にマイクロカプセル含有の発色剤層を有する材料Ｂとを有して構成されており、材料Ｂのマイクロカプセルが存在する面（発色剤層表面）と、材料Ａの電子受容性化合物が存在する面（顕色剤層表面）とが互いに向き合うように両材料を重ね、重ねた状態で圧力あるいは圧力分布を測定したい部位に挟んで加圧する。
【００５１】
上記のように加圧されることで、マイクロカプセルが破壊されて電子供与性無色染料前駆体を含む内包物が放出され、電子供与性無色染料前駆体と電子受容性化合物が反応することによって着色が見られるものである。このとき、加圧する圧力に対応して電子供与性無色染料前駆体を含む内包物がより多く放出されるようになり、電子受容性化合物との反応量が増えるため、濃い発色が得られる。
上記のうち、圧力測定用材料は、その保存性や取扱い性の観点から、電子供与性無色染料前駆体を内包するマイクロカプセルと電子受容性化合物とは、別個の基材に塗工等して設けられた２シートタイプに構成されるのがより好ましい。
【００５２】
なお、本発明における圧力測定用材料は、微小な圧力（特に０．１ＭＰａ未満の圧力（好ましくは面圧））で読み取り可能な濃度を得る観点からは、０．０５ＭＰａでの加圧前後における発色濃度差ΔＤが０．０２以上であることが好ましい。
【００５３】
（基材）
本発明における圧力測定用材料を構成し得る基材は、シート状、フィルム状、板状等のいずれであってもよく、具体的な例として、紙、プラスチィックフィルム、合成紙等が挙げられる。圧力測定用材料がモノシートタイプ及び２シートタイプのいずれの形態であっても、同様である。
【００５４】
前記紙の具体例としては、上質紙、中質紙、更紙、中性紙、酸性紙、再生紙、コート紙、マシンコート紙、アート紙、キャストコート紙、微塗工紙、トレーシングペーパー、再生紙等を挙げることができる。前記プラスチックフィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステルフィルム、三酢酸セルロース等のセルロース誘導体フィルム、ポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィンフィルム、ポリスチレンフィルム、等を挙げることができる。
また、前記合成紙の具体例としては、ポリプロピレンやポリエチレンテレフタレート等を二軸延伸してミクロボイドを多数形成したもの（ユポ等）や、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミドなどの合成繊維からなるもの、これらを紙の一部、一面、両面に積層したものなどが挙げられる。但し、本発明においては、これらに限定されるものではない。
これらの中でも、加圧によって生じる発色濃度をより高くする点で、プラスチックフィルム、合成紙が好ましく、プラスチックフィルムがより好ましい。
【００５５】
（電子供与性無色染料前駆体）
本発明における圧力測定用材料の発色剤層に含有され得るマイクロカプセルは、電子供与性無色染料前駆体の少なくとも一種を内包することが好ましい。
マイクロカプセルに内包されうる電子供与性無色染料前駆体は、感圧複写紙あるいは感熱記録紙の用途において公知のものを使用することができる。例えば、トリフェニルメタンフタリド系化合物、フルオラン系化合物、フェノチアジン系化合物、インドリルフタリド系化合物、ロイコオーラミン系化合物、ローダミンラクタム系化合物、トリフェニルメタン系化合物、ジフェニルメタン系化合物、トリアゼン系化合物、スピロピラン系化合物、フルオレン系化合物など各種の化合物を使用することができる。
これら化合物の詳細については、特開平５−２５７２７２号公報に記載されており、電子供与性無色染料前駆体は、１種単独で又は２種以上を混合して使用することができる。
【００５６】
電子供与性無色染料前駆体は、０．１ＭＰａ未満の圧力（好ましくは面圧）での発色性を高め、微少な圧力で高い濃度を得る（圧力変化に対する濃度変化（濃度勾配）を高める）観点から、モル吸光係数（ε）の高いものが好ましい。電子供与性無色染料前駆体のモル吸光係数（ε）は、１００００ｍｏｌ−１・ｃｍ−１・Ｌ以上であることが好ましく、１５０００ｍｏｌ−１・ｃｍ−１・Ｌ以上あることがより好ましく、更には２５０００ ｍｏｌ−１・ｃｍ−１・Ｌ以上あることが好ましい。
【００５７】
εが前記範囲の電子供与性無色染料前駆体の好ましい例としては、３−（４−ジエチルアミノ−２−エトキシフェニル）−３−（１−エチル−２−メチルインドール−３−イル）−４−アザフタリド（ε＝６１０００）、３−（４−ジエチルアミノ−２−エトキシフェニル）−３−（１−ｎ−オクチル−２−メチルインドール−３−イル）フタリド（ε＝４００００）、３−［２，２−ビス（１−エチル−２−メチルインドール−３−イル）ビニル］−３−（４−ジエチルアミノフェニル）−フタリド（ε＝４００００）、９−［エチル（３−メチルブチル）アミノ］スピロ［１２Ｈ−ベンゾ［ａ］キサンテン−１２，１’（３’Ｈ）イソベンゾフラン］−３’−オン（ε＝３４０００）、２−アニリノ−６−ジブチルアミノ−３−メチルフルオラン（ε＝２２０００）、６−ジエチルアミノ−３−メチル−２−（２，６−キシリジノ）−フルオラン（ε＝１９０００）、２−（２−クロロアニリノ）−６−ジブチルアミノフルオラン（ε＝２１０００）、３，３−ビス（４−ジメチルアミノフェニル）−６−ジメチルアミノフタリド（ε＝１６０００）、２−アニリノ−６−ジエチルアミノ−３−メチルフルオラン（ε＝１６０００）等が挙げられる。
【００５８】
モル吸光係数εが前記範囲の電子供与性無色染料前駆体を１種単独で用い、あるいはモル吸光係数εが前記範囲の電子供与性無色染料前駆体を含む２種以上を混合して用いる場合、電子供与性無色染料前駆体の合計量に占める、モル吸光係数εが１００００ ｍｏｌ−１・ｃｍ−１・Ｌ以上の電子供与性無色染料前駆体の割合は、０．１ＭＰａ未満の低圧（好ましくは面圧）での発色性を高め、低圧で高い濃度を得る（圧力変化に対する濃度変化（濃度勾配）を高める）観点から、１０〜１００質量％の範囲が好ましく、２０〜１００質量％の範囲がより好ましく、更には３０〜１００質量％の範囲が好ましい。
２種以上の電子供与性無色染料前駆体を用いる場合、εがそれぞれ１００００ ｍｏｌ−１・ｃｍ−１・Ｌ以上のものを２種以上併用するのが好ましい。
【００５９】
モル吸光係数（ε）は、電子供与性無色染料を９５％酢酸水溶液中に溶解したときの吸光度から算出することができる。具体的には、吸光度が１．０以下となるように濃度を調節した電子供与性無色染料の９５％酢酸水溶液において、測定用セルの長さをＡｃｍ、電子供与性無色染料の濃度をＢ ｍｏｌ／Ｌ、吸光度をＣとしたときに、下記式によって算出することができる。
モル吸光係数（ε）＝  Ｃ／（Ａ×Ｂ）
【００６０】
電子供与性無色染料前駆体の量（例えば塗布量）は、低圧（好ましくは０．１ＭＰａ未満）での発色性を高める観点から、乾燥後の質量で０．１〜５ｇ／ｍ２であることが好ましく、０．１〜４ｇ／ｍ２であることがより好ましく、０．２〜３ｇ／ｍ２であることがさらに好ましい。
【００６１】
（溶媒）
本発明におけるマイクロカプセルは、電子供与性無色染料前駆体と共に溶媒の少なくとも一種を内包することが好ましい。
マイクロカプセルに内包される溶媒としては、感圧複写紙用途において公知のものを使用することができる。例えば、ジイソプロピルナフタレン等のアルキルナフタレン類、１−フェニル−１−キシリルエタン等のジアリールアルカン類、イソプロピルビフェニル等のアルキルビフェニル類、その他トリアリールメタン類、アルキルベンゼン類、ベンジルナフタレン類、ジアリールアルキレン類、アリールインダン類等の芳香族炭化水素；フタル酸ジブチル、イソパラフィン等の脂肪族炭化水素、大豆油、コーン油、綿実油、菜種油、オリーブ油、ヤシ油、ひまし油、魚油等の天然動植物油等、鉱物油等の天然物高沸点留分等が挙げられる。溶媒は、１種単独で又は２種以上を混合して使用してもよい。
【００６２】
また、必要に応じて、補助溶媒として、メチルエチルケトン等のケトン類や酢酸エチルなどのエステル類、イソプロピルアルコール等のアルコール類等、沸点が１３０℃以下の溶媒を添加することもできる。
【００６３】
（マイクロカプセルの作製方法）
電子供与性無色染料前駆体及び溶媒を内包するマイクロカプセルは、それ自体公知の任意の方法、例えば、界面重合法、内部重合法、相分離法、外部重合法、コアセルベーション法等の方法により製造することができる。
【００６４】
前記マイクロカプセルの壁材としては、従来から感圧記録材料の電子供与性無色染料前駆体含有のマイクロカプセルの壁材として使用されている水不溶性、油不溶性のポリマーの中から、特に限定されることなく使用できる。中でも、壁材としては、ウレタン・ウレア樹脂（ポリウレタン・ウレア）、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂、ゼラチンが好ましく、低圧（好ましくは０．１ＭＰａ未満）で良好な発色を得る観点から、ポリウレタン・ウレア、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂がより好ましく、特にウレタン結合を含むポリウレタン・ウレアが好ましい。
【００６５】
ここで、ポリウレタン・ウレアを用いた場合を例に説明する。
電子供与性無色染料前駆体を内包する、ポリウレタン・ウレア壁のマイクロカプセルの分散液の調製は、感圧複写紙用途において公知の方法を使用することができる。例えば、電子供与性無色染料前駆体と多価イソシアネートとを溶媒に溶解した溶液（油相）を、水溶性高分子（ポリオール、ポリアミンなどのカプセル壁形成用物質）を含有する親水性溶液（例えば水など；水相）に乳化分散させ、得られた乳化分散液中の油滴をポリウレタン・ウレアで被覆してマイクロカプセル化する方法が挙げられる。このとき、加温することによって油滴界面で高分子形成反応が進み、マイクロカプセル壁を形成できる。
【００６６】
マイクロカプセル化する工程途中には、多価ヒドロキシ化合物と多価アミンなどの反応調整剤を添加してもよい。多価ヒドロキシ化合物の具体例としては、脂肪族又は芳香族の多価アルコール、ヒドロキシポリエステル、ヒドロキシポリアルキレンエーテル、多価アミンのアルキレンオキサイド付加物等を挙げることができる。中でも、脂肪族又は芳香族の多価アルコール、多価アミンのアルキレンオキサイド付加物が好ましく、より好ましくは、多価アミンのアルキレンオキサイド付加物である。
【００６７】
多価アミンとしては、分子中に２個以上の−ＮＨ基または−ＮＨ２基を有するものであれば、いずれも使用可能である。具体的な化合物としては、例えば、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、１，３−プロピレンジアミン、ヘキサメチレンジアミンなどの脂肪族多価アミン；脂肪族多価アミンのエポキシ化合物付加物；ピペラジン等の脂環式多価アミン；３，９−ビス−アミノプロピル−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ−（５，５）ウンデカンなどの複素環式ジアミンなどを挙げることができる。
【００６８】
多価ヒドロキシ化合物や多価アミンの添加量は、使用する多価イソシアネートの種類及び量、さらには所望のカプセル膜硬度などにより適宜決定される。多価ヒドロキシ化合物や多価アミンを添加する場合、「多価ヒドロキシ化合物及び／又は多価アミンの総量：多価イソシアネートの量」の比（質量比）は、０．１：９９．９〜３０：７０であることが好ましく、１：９９〜２５：７５であることがより好ましい。また、多価ヒドロキシ化合物の添加量としては、多価イソシアネート：多価ヒドロキシ化合物が質量比で９９．９：０．１〜７０：３０であることが好ましく、９９：１〜７５：２５であることがより好ましく、９８：２〜８０：２０であることがさらに好ましい。
【００６９】
多価ヒドロキシ化合物や多価アミンの添加時期は、電子供与性無色染料前駆体を溶解する溶媒や補助溶媒中にあらかじめ添加しておいてもよいし、乳化分散前あるいは乳化分散後に添加してもよい。
【００７０】
親水性溶液中には、乳化剤として、種々の両性高分子、イオン系高分子、非イオン系高分子、例えばゼラチン、でんぷん、カルボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリアルキルベンゼンスルホン酸塩、ポリオキシエチレン硫酸塩、ポリオキシアルキルエーテルやその変性体、イソブチレン−無水マレイン酸共重合体等を添加してもよい。
【００７１】
前記多価イソシアネートとしては、感圧複写紙用途において公知のものを使用することができる。例えば、水添キシリレンジイソシアネート（一般に水添ＸＤＩと称される）のイソシアヌレート体、イソホロンジイソシアネート（一般にＩＰＤＩと称される）のイソシアヌレート体、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートとトリメチロールプロパンとの付加物、ヘキサメチレンジイソシアネートのビュレット体、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体にウレタン結合により脂肪族ジオール（例、アルキレンジオール）が結合した化合物、ポリメチレンポリフェニルイソシアネート、カルボジイミド変性ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネートとトリメチロールプロパンとの付加物、キシリレンジイソシアネートとトリメチロールプロパンとの付加物、トリレンジイソシアネートのイソシアヌレート体、水添キシリレンジイソシネートとトリメチロールプロパンとの付加体、イソホロンジイソシネートとトリメチロールプロパンとの付加体、キシリレンジイソシアネートのビュレット体及びトリス−（ｐ−イソシアネートフェニル）チオホスファイトを挙げることができる。多価イソシアネートは、１種単独で又は２種以上を混合して使用することができる。
【００７２】
また、マイクロカプセルには、上記の電子供与性無色染料前駆体、溶媒、及び補助溶媒以外に、必要に応じて、添加剤を内包してもよい。添加剤としては、紫外線吸収剤、光安定化剤、酸化防止剤、ワックス、臭気抑制剤などを挙げることができる。
【００７３】
マイクロカプセルに内包される溶媒と電子供与性染料前駆体との質量比（溶媒：前駆体）としては、発色性の点で、９８：２〜３０：７０の範囲が好ましく、９７：３〜４０：６０の範囲がより好ましく、９５：５〜５０：５０の範囲が更に好ましい。
【００７４】
マイクロカプセルのカプセル壁の壁厚については、カプセル壁材の種類やカプセル径など種々の条件にも依存するが、微少（少なくとも０．０５ＭＰａ）の加圧で破壊可能な範囲であれば、制限なく任意に選択することができる。中でも、０．１ＭＰａ未満の低圧で良好な発色性を得る観点から、好ましい壁厚は０．００５〜２．０μｍの範囲であり、より好ましくは０．０５〜０．３０μｍの範囲であり、更に好ましくは、マイクロカプセルのメジアン径Ａを１０〜４０μｍとした場合において０．０６〜０．２８μｍである。特に好ましいカプセル壁の壁厚は、メジアン径Ａが１０〜４０μｍのマイクロカプセルのカプセル壁をポリウレタン・ウレアで構成した場合において、０．０７〜０．２７μｍである。
【００７５】
電子供与性無色染料前駆体を内包するマイクロカプセルは、ウレタン結合を含むポリウレタン・ウレアを壁材として形成されると共に、下記式１に示す関係を満たすことが、低圧（好ましくは０．１ＭＰａ未満）で良好な発色を得る点で特に好ましい。この関係式を満たすマイクロカプセルに構成することで、低圧領域（好ましくは０．１ＭＰａ未満の圧力領域）での加圧でも発色しやすい発色系を形成することができる。下記式１において、δはマクロカプセルの数平均壁厚（μｍ）を表し、Ｄはマイクロカプセルの体積標準のメジアン径（μｍ）を表す。
１．０×１０−３ ≦ δ／Ｄ ≦ ２．０×１０−２    ・・・式１
δ／Ｄ値が前記範囲内であると、カプセルサイズとカプセル壁の厚みとのバランスが良く、薄すぎて経時でカプセルの中身が漏れる等がなく、低圧領域（好ましくは０．１ＭＰａ以下の圧力領域）で良好な発色を得ることができる。
【００７６】
本発明において、壁厚とは、マイクロカプセルのカプセル粒を形成する樹脂膜（いわゆるカプセル壁）の厚みをいい、数平均壁厚（μｍ）とは、５個のマイクロカプセルの個々のカプセル壁の厚みを走査型電子顕微鏡により求めて平均した平均値をいう。
【００７７】
上記のδ／Ｄ値の範囲のうち、低圧領域（好ましくは０．１ＭＰａ以下の圧力領域）で良好な発色（着色）を得る点で、δ／Ｄ値は、２．０×１０−３〜１．５×１０−２が好ましく、３．０×１０−３〜１．３×１０−２がより好ましい。
【００７８】
また、本発明においては、特に、発色成分の一方である電子供与性無色染料前駆体をマイクロカプセルに内包すると共に、このマイクロカプセルについて、体積標準のメジアン径をＡμｍとしたときの（Ａ＋５）μｍ以上のマイクロカプセルの存在数を、２ｃｍ×２ｃｍ当たり５０００〜３００００個とすることが好ましい。これにより、電子供与性無色染料前駆体を内包するマイクロカプセルのうち所定の径以上の大サイズを選択的に存在させるようにするので、視認ないしスキャニングにより読み取り可能な濃度（例えば、０．０２以上）のΔＤが好適に得られる。
【００７９】
また、マイクロカプセルの体積標準のメジアン径としては、微少な圧力（特に０．１ＭＰａ未満の圧力（好ましくは面圧））での発色濃度を高め、視認性、スキャニング時の読取り性を向上させる点で、１０〜４０μｍが好ましく、１３〜３７μｍがより好ましく、更には１５〜３５μｍが好ましい。
【００８０】
上記のうち、０．１ＭＰａ未満の圧力（好ましくは面圧）での発色濃度を高め、視認性、スキャニング時の読取り性を向上させる点から、マイクロカプセルの体積標準のメジアン径が１５〜３５μｍであるときに、（１５〜３５μｍ）＋５μｍ以上のマイクロカプセルが２ｃｍ×２ｃｍ当たり７０００〜２８０００個存在する場合が特に好ましい。
【００８１】
本発明において、体積標準のメジアン径は、マイクロカプセル全体を体積累計が５０％となる粒子径を閾値に２つに分けたときに、大径側と小径側での粒子の体積の合計が等量となる径Ｄ５０である。この体積標準のメジアン径は、マイクロカプセル液を支持体に塗布し、その表面を光学顕微鏡により１５０倍で撮影して、２ｃｍ×２ｃｍの範囲にある全てのマイクロカプセルの大きさを計測して算出される値である。
【００８２】
（発色剤層形成用の調製液の調製）
マイクロカプセルは上記のように分散液として得ることができるが、このマイクロカプセルの分散液は、そのまま電子供与性無色染料前駆体を含有する発色剤層を形成するための調製液（特に塗布液）としてもよい。また、上記のように得られたマイクロカプセルの分散液に更に、澱粉又は澱粉誘導体の微粉末、セルロース繊維粉末等の緩衝剤、ポリビニルアルコール等の水溶性高分子結着剤、酢酸ビニル系、アクリル系、スチレン・ブタジエン共重合体ラテックス等の疎水性高分子結着剤、蛍光増白剤、消泡剤、浸透剤、紫外線吸収剤、防腐剤を添加して調製液（特に塗布液）としてもよい。
このようにして得られた調製液（特に塗布液）を、基材の上に塗工等して付与し、乾燥させることにより、圧力測定用材料を構成する発色剤層を形成することができる。
【００８３】
前記発色剤層形成用の調製液を塗布液として用いる場合、塗布液の塗工方法は、通常の塗工機を用いて塗布、乾燥させて行なえる。具体的な塗工機の例としては、エアーナイフコーター、ロッドコーター、バーコーター、カーテンコーター、グラビアコータ−、エクストルージョンコーター、ダイコーター、スライドビードコーター、ブレードコーター等を挙げることができる。
【００８４】
本発明における圧力測定用材料が、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とがそれぞれ別個の基材に塗工等されて構成される２シートタイプの場合、例えば、上記塗布液を所望のシート状基材の上に、直接もしくは他の層を介して塗布し、乾燥させることにより、少なくとも発色剤層が形成されたシート材を得ることができる。また、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とが単一のシート状基材に塗工等されて構成されるモノシートタイプの場合、例えば、所望の基材上に形成された後述の顕色剤層の上に上記塗布液を重ねて塗布し、乾燥させることにより、圧力測定用材料が得られる。
【００８５】
（電子受容性化合物）
本発明における圧力測定用材料を構成する顕色剤層は、電子受容性化合物（顕色剤）の少なくとも一種を含有する。
本発明の顕色剤層に含有される電子受容性化合物としては、無機化合物と有機化合物を挙げることができる。無機化合物の具体例としては、酸性白土、活性白土、アタパルジャイト、ゼオライト、ベントナイト、カオリンのような粘土物質等を挙げることができる。有機化合物としては、芳香族カルボン酸の金属塩、フェノールホルムアルデヒド樹脂、カルボキシル化テンペルフェノール樹脂の金属塩等を挙げることができる。中でも、酸性白土、活性白土、ゼオライト、カオリン、芳香族カルボン酸の金属塩、カルボキシル化テンペルフェノール樹脂の金属塩が好ましく、酸性白土、活性白土、カオリン、芳香族カルボン酸の金属塩であることがより好ましい。
【００８６】
前記芳香族カルボン酸の金属塩の好ましい具体例としては、３，５−ジ−ｔ−ブチルサリチル酸、３，５−ジ−ｔ−オクチルサリチル酸、３，５−ジ−ｔ−ノニルサリチル酸、３，５−ジ−ｔ−ドデシルサリチル酸、３−メチル−５−ｔ−ドデシルサリチル酸、３−ｔ−ドデシルサリチル酸、５−ｔ−ドデシルサリチル酸、５−シクロヘキシルサリチル酸、３，５−ビス（α，α−ジメチルベンジル）サリチル酸、３−メチル−５−（α−メチルベンジル）サリチル酸、３−（α，α−ジメチルベンジル）−５−メチルサリチル酸、３−（α，α−ジメチルベンジル）−６−メチルサリチル酸、３−（α−メチルベンジル）−５−（α，α−ジメチルベンジル）サリチル酸、３−（α，α−ジメチルベンジル）−６−エチルサリチル酸、３−フェニル−５−（α，α−ジメチルベンジル）サリチル酸、カルボキシ変性テルペンフェノール樹脂、３，５−ビス（α−メチルベンジル）サリチル酸とベンジルクロリドとの反応生成物であるサリチル酸樹脂等の、亜鉛塩、ニッケル塩、アルミニウム塩、カルシウム塩等を挙げることができる。
【００８７】
（顕色剤分散液の調製）
顕色剤分散液は、電子受容性化合物が上記の無機化合物である場合、無機化合物を機械的に水系で分散処理することにより調製することができ、また、電子受容性化合物が有機化合物である場合、有機化合物を機械的に水系で分散処理するか、又は有機溶媒に溶解することにより調製することができる。
詳細は、特開平８−２０７４３５号公報に記載された方法を参照することができる。
【００８８】
（顕色剤層形成用の調製液の調製）
上記のようにして調製された電子受容性化合物分散液は、そのまま電子受容性化合物を含有する顕色剤層を形成するための調製液（特に塗布液）としてもよい。また、顕色剤層を形成するための調製液（特に塗布液）には、バインダーとして、スチレン−ブタジエン共重合体ラテックス、酢酸ビニル系ラテックス、アクリル酸エステル系ラテックス、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、無水マレイン酸−スチレン−共重合体、デンプン、カゼイン、アラビアゴム、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース、メチルセルロースなどの合成又は天然高分子物質を添加してもよい。また、顔料として、カオリン、焼成カオリン、カオリン凝集体、重質炭酸カルシウム、種々の形態（米粒状、角状、紡錘状、イガ状、球状、アラゴナイト系柱状、無定形等）の軽質炭酸カルシウム、タルク、ルチル型またはアナターゼ型の二酸化チタン等を添加してもよい。更には、所望により蛍光増白剤、消泡剤、浸透剤、防腐剤を添加することもできる。
【００８９】
前記顕色剤層形成用の調製液を塗布液として用いる場合、塗布液の塗工方法としては、通常の塗工機を用いて塗布、乾燥させて行なえる。具体的な塗工機の例としては、ブレードコーター、ロッドコーター、エアーナイフコーター、カーテンコーター、グラビアコーター、バーコーター、ロールコーター、エクストルージョンコーター、ダイコーター、スライドビードコーター、ブレードコーター等を挙げることができる。
【００９０】
本発明における圧力測定用材料が、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とがそれぞれ別個の基材に塗工等されて構成される２シートタイプの場合、例えば、顕色剤含有の塗布液を所望のシート状基材の上に、直接もしくは他の層を介して塗布し、乾燥させることにより、少なくとも顕色剤層が形成されたシート材を得ることができる。また、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とが単一のシート状基材に塗工等されて構成されるモノシートタイプの場合、例えば、所望のシート状基材の上に直接もしくは他の層を介して、顕色剤含有の塗布液を塗布し、乾燥させることにより、圧力測定用材料を構成する顕色剤層を形成することができる。
【００９１】
電子受容性化合物（顕色剤）の顕色剤層中における量（塗布による場合は塗布量）は、乾燥後の質量で０．１〜３０ｇ／ｍ２が好ましく、より好ましくは、無機化合物の場合は３〜２０ｇ／ｍ２であり、有機化合物の場合は０．１〜５ｇ／ｍ２であり、さらに好ましくは、無機化合物の場合は５〜１５ｇ／ｍ２であり、有機化合物の場合は０．２〜３ｇ／ｍ２である。
【００９２】
本発明における圧力測定用材料は、その構成により固有の圧力測定範囲の下限を有している。圧力測定範囲の下限としては、０．０１〜０．１ＭＰａが好ましく、０．０２〜０．０５ＭＰａがより好ましい。
【実施例】
【００９３】
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。
【００９４】
〔実施例１〕
＜凹凸シート（１）の作製＞
図１０に示す凹凸シート製造装置６０を用い、図９に示すような、硬質樹脂からなる基底部と軟質樹脂からなる凸部とを有する凹凸シート（１）を作製した。
まず、供給ローラー６２により基材８２を連続的に供給し、供給された基材８２上に塗布装置７４によりモノマー溶液７６を連続的に塗布した。ここで、基材８２としては、幅４５０ｍｍ、厚さ１００μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート、以下同じ）フィルムを用いた。供給速度及び搬送速度は、２ｍ／ｍｉｎとした。モノマー溶液７６としては、アクリル系モノマーと光重合開始剤とをメチルエチルケトンで希釈して６７質量％としたものを用いた（詳細な組成は以下のとおりである）。モノマー溶液７６の塗布量は、９０ｍｌ／ｍ２とし、塗布幅は３００ｍｍとした。
【００９５】
〜モノマー溶液の組成〜
・アクリル系モノマー                                      ・・・  ６６質量部
・光重合開始剤                                            ・・・  １質量部
・メチルエチルケトン                                      ・・・  ３３質量部
【００９６】
次に、モノマー溶液７６が塗布された基材８２をパターンロール８０の弧に密着させ、モノマー溶液７６を、パターンロール８０表面の凹部８１と基材８２との間に充填しながらパターンロール８０を２ｍ／ｍｉｎの速度で回転させた。パターンロール８０としては、φ３５０ｍｍ、幅（回転軸方向の長さ）５００ｍｍのパターンロールを用いた。
【００９７】
次に、基材８２及びモノマー溶液７６に対し、ＵＶ光源７０によりＵＶ光（紫外光、波長３６５ｎｍ）を照射し、モノマー溶液７６の硬化を行い、アクリル系ＵＶ硬化樹脂からなる凸部８４を形成した。ＵＶ照射量は１０００ｍＪ／ｃｍ２とした。
【００９８】
次に、基材８２が搬送ローラー６８を通過する際に、形成された凸部８４を、パターンロール８０から剥離した。更に、凸部８４が形成された基材８２（凹凸シート（１））を、巻き取りローラー７２によって巻き取った。
【００９９】
以上により、凹凸シート（１）を得た。
得られた凹凸シート（１）の基底部の厚みは０．１ｍｍであり、総厚は０．３ｍｍであった。また、凸部の形状は、頂角１５１．９３°、高さ０．２ｍｍの円錐形であった。凸部は、２ｍｍ間隔の格子状に配置されていた。凸部の硬化後のヤング率を、テンシロン（オリエンテック製  ＲＴＭ−５０）によって測定したところ、１ＭＰａであった。
【０１００】
＜圧力測定用材料の作製＞
−電子供与性無色染料前駆体内包マイクロカプセル液（Ａ）の調製−
ジアリールエタン７０部に、電子供与性無色染料前駆体として下記化合物（Ａ）９部を溶解し、溶液Ａを得た。次に、メチルエチルケトン１部に溶解したエチレンジアミンのブチレンオキシド付加物０．４部を、攪拌している溶液Ａに加えて溶液Ｂを得た。さらに、メチルエチルケトン１部に溶解したトリレンジイソシアナートのトリメチロールプロパン付加物２部を、攪拌している溶液Ｂに加えて溶液Ｃを得た。そして、水１５０部にポリビニルアルコール６部を溶解した溶液中に上記の溶液Ｃを加えて、乳化分散した。乳化分散後の乳化液に水３００部を加え、攪拌しながら７０℃まで加温し、１時間攪拌後冷却した。水を加えて濃度を調整し、固形分濃度１８％の電子供与性無色染料前駆体内包マイクロカプセル液（Ａ）を得た。
【０１０１】
得られたマイクロカプセルの数平均壁厚（δ）は０．１１μｍであり、その体積標準でのメジアン径Ｄ５０は２０μｍであった。数平均壁厚は、５個のマイクロカプセルのカプセル壁の厚みを走査型電子顕微鏡により求めて平均した平均値とし、メジアン径は、マイクロカプセル液を所望の支持体に塗布して、光学顕微鏡により１５０倍で撮影し、２ｃｍ×２ｃｍの範囲にある全てのマイクロカプセルの大きさを計測して算出した。δ／Ｄは、０．００６であった。
【０１０２】
【化１】
0005142646.tif 000002
【０１０３】
−電子供与性無色染料前駆体内包マイクロカプセル液（Ｂ）の調製−
上記より得た電子供与性無色染料前駆体内包マイクロカプセル液（Ａ）を、孔径２５μｍのフィルターを用いてクロスフローろ過処理を複数回繰り返し行ない、２５μｍ以上の電子供与性無色染料前駆体内包マイクロカプセルを取り除いた。これに水を加えて濃度を調整し、固形分濃度１８％の電子供与性無色染料前駆体内包マイクロカプセル液（Ｂ）を得た。
【０１０４】
−電子供与性無色染料シートの作製−
上記より得た、電子供与性無色染料内包前駆体マイクロカプセル（Ａ）５０部と電子供与性無色染料前駆体内包マイクロカプセル（Ｂ）５０部とを混合し、厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートの上に、乾燥後の質量が５．０ｇ／ｍ２となるように、バーコーターにより塗布、乾燥させて発色剤層を形成し、電子供与性無色染料シートを得た。
【０１０５】
−顕色剤含有液の調製−
硫酸処理活性白土（電子受容性化合物）１００部に、４０％水酸化ナトリウム水溶液５部、及び水３００部を加えてホモジナイザーで分散し、これに更にカゼインのナトリウム塩の１０％水溶液５０部、及びスチレン−ブタジエンラテックス３０部を添加して、電子受容性化合物（顕色剤）を含有する顕色剤含有液を調製した。
【０１０６】
−顕色剤シートの作製−
得られた顕色剤含有液を、厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートの上に固形分塗布量が１０ｇ／ｍ２になるように、バーコーターにより塗布、乾燥させて顕色剤層を形成し、顕色剤シートを得た。
以上のようにして、電子供与性無色染料シート及び顕色剤シートからなる２シートタイプの圧力測定用材料を作製した。
この圧力測定用材料の圧力測定範囲は、０．０４〜０．４ＭＰａである。
【０１０７】
＜Ｄｍａｘ及びＤｍｉｎの測定＞
まず、前記電子供与性無色染料シートと前記顕色剤シートとを、発色剤層と顕色剤層とが接触するようにして重ね合わせ、２シートタイプの圧力測定用材料とした。次に、前記凹凸シート（１）と前記２シートタイプの圧力測定用材料とを、凸部が顕色剤シート側となるようにして重ね合わせて積層体を構成した。
次に、得られた積層体を２枚のＳＵＳ板に挟み、一方のＳＵＳ板に対し、前記圧力測定用材料の測定下限である０．０４ＭＰａの圧力を加え、発色領域の直径Ｄｍａｘを測定した。Ｄｍａｘは１．６ｍｍであった。
また、Ｄｍｉｎは、０．００４ＭＰａの圧力を加えたときで、０．１ｍｍであった。
以上により、前記圧力測定用材料と前記凹凸シートとを組み合わせた構成における圧力測定範囲は０．００４〜０．０４ＭＰａであることを確認した。
【０１０８】
＜搬送ローラーにおける挟み圧測定＞
上記で得られた凹凸シート（１）及び２シートタイプの圧力測定用材料を用いて、プリンター製造工程での搬送ローラーにおける挟み圧測定を行った。
まず、上記と同様の方法により、前記凹凸シート（１）と前記２シートタイプの圧力測定用材料とからなる積層体を構成し該積層体を、対向する２つの搬送ローラー間に通過させた。
前記通過後、顕色剤シートに格子状の発色領域が形成されていた。
次に、顕色剤シートに形成された格子状の発色領域のうち、１５０００ポイントについて、スキャナーと演算部と表示部とを有する読み取りシステムを用いて解析を行った。前記スキャナーによる読み取り解像度Ｉは０．１ｍｍであり、読み取り階調Ｎは１５である。
【０１０９】
＜圧力測定結果＞
前記１５０００ポイントについての圧力測定結果は、平均値０．０２ＭＰａであり、最大値と最小値との差は０．０３ＭＰａであった。また、前記１５０００ポイントについての各圧力値を、１３段階に分類することができた。
以上のように、圧力測定用材料の測定下限である０．０４ＭＰａ以下の範囲において、圧力及びその分布の測定を良好に行うことができた。
【０１１０】
〔実施例２〕
＜ガラス基板の接着における貼り合わせ圧測定＞
実施例１で得られた凹凸シート（１）及び圧力測定用材料を用いて、液晶ディスプレイ製造工程での、ガラス基板の接着における貼り合わせ圧測定を行った。
まず、実施例１と同様にして積層体を構成した。次に、液晶ディスプレイの作製に用いられるガラス基板を２枚用意し、この２枚の間に前記積層体を挟み、減圧貼り合わせ工程の処理を行った。
上記工程は減圧装置によって−０．１ＭＰａとなるよう調整した。
前記減圧貼り合わせ処理の後、顕色剤シートに格子状の発色領域が形成されていた。
【０１１１】
顕色剤シートに形成された格子状の発色領域１５０００ポイントについて、実施例１で用いた読み取りシステム（読み取り解像度Ｉ：０．１ｍｍ、読み取り階調Ｎ：１５）を用いて解析を行った。
【０１１２】
＜圧力測定結果＞
１５０００ポイントについての圧力測定結果は、平均値０．０１ＭＰａであり、最大値と最小値との差は０．０２ＭＰａであった。また、１５０００ポイントについての各圧力値を、９段階に分類することができた。
以上のように、圧力測定用材料の測定下限である０．０４ＭＰａ以下範囲において、圧力及びその分布の測定を良好に行うことができた。
【０１１３】
〔実施例３〕
＜シリコンウエハの研磨における押し付け圧測定＞
実施例１で得られた凹凸シート（１）及び圧力測定用材料を用いて、半導体製造工程での、シリコンウエハの研磨における押し付け圧測定を行った。
まず、実施例１と同様にして積層体を構成した。次に、シリコンウエハ研磨装置のステージとシリコンウエハとの間に前記積層体を挟み、研磨工程での設定圧力である０．００５ＭＰａの押し付け圧力をかけた。
前記研磨工程の処理の後、顕色剤シートに格子状の発色領域が形成されていた。
【０１１４】
顕色剤シートに形成された格子状の発色領域のうち、１５０００ポイントについて、実施例１で用いた読み取りシステム（読み取り解像度Ｉ：０．１ｍｍ、読み取り階調Ｎ：１５）を用いて解析を行った。
【０１１５】
＜圧力測定結果＞
１５０００ポイントについての圧力測定結果は、平均値０．００５ＭＰａであり、最大値と最小値との差は０．０１ＭＰａであった。また、１５０００ポイントについての各圧力値を、５段階に分類することができた。
以上のように、圧力測定用材料の測定下限である０．０４ＭＰａ以下範囲において、圧力及びその分布の測定を良好に行うことができた。
【０１１６】
〔実施例４〕
熱プレス方式を用いて製造する方法により、図８に示すような、基底部及び凸部が軟質樹脂からなる凹凸シート（２）を作製した。
ここで軟質樹脂としては、軟質熱可塑性樹脂を用いた。この軟質熱可塑性樹脂のヤング率は１ＭＰａであった。
【０１１７】
得られた凹凸シート（２）の基底部の厚みは０．１ｍｍであり、総厚は０．３ｍｍであった。また、凸部の形状は、頂角１５１．９３°、高さ０．２ｍｍの円錐形であった。凸部は、２ｍｍ間隔の格子状に配置されていた。
凸部及び基底部を構成する軟質熱可塑性樹脂のヤング率を、テンシロン（オリエンテック製  ＲＴＭ−５０）によって測定したところ、１ＭＰａであった。
【０１１８】
次に、実施例１中、Ｄｍａｘ及びＤｍｉｎの測定において、凹凸シート（１）を凹凸シート（２）に変更した以外は実施例１と同様にしてＤｍａｘ及びＤｍｉｎの測定をおこなった。Ｄｍａｘは１．６ｍｍであった。また、Ｄｍｉｎは、０．００４ＭＰａの圧力を加えたときで、０．１ｍｍであった。
以上により、前記圧力測定用材料と前記凹凸シートとを組み合わせた構成における圧力測定範囲は０．００４〜０．０４ＭＰａであることを確認した。
【０１１９】
次に、凹凸シート（１）を凹凸シート（２）に変更した以外は実施例１と同様にして搬送ローラーにおける挟み圧測定を行った（読み取り解像度Ｉ：０．１ｍｍ、読み取り階調Ｎ：１５）。
１５０００ポイントについての圧力測定結果は、平均値０．０２ＭＰａであり、最大値と最小値との差は０．０３ＭＰａであった。また、１５０００ポイントについての各圧力値を、１３段階に分類することができた。
以上のように、圧力測定用材料の測定下限である０．０４ＭＰａ以下範囲において、圧力及びその分布の測定を良好に行うことができた。
【０１２０】
〔実施例５〕
実施例２において、凹凸シート（１）を、実施例４で作製した凹凸シート（２）に変更した以外は実施例２と同様にして、液晶ディスプレイ製造工程での、ガラス基板の接着における貼り合わせ圧測定を行った（読み取り解像度Ｉ：０．１ｍｍ、読み取り階調Ｎ：１５）。
１５０００ポイントについての圧力測定結果は、平均値０．０１ＭＰａであり、最大値と最小値との差は０．０２ＭＰａであった。また、１５０００ポイントについての各圧力値を、９段階に分類することができた。
以上のように、圧力測定用材料の測定下限である０．０４ＭＰａ以下範囲において、圧力及びその分布の測定を良好に行うことができた。
【０１２１】
〔実施例６〕
実施例３において、凹凸シート（１）を、実施例４で作製した凹凸シート（２）に変更した以外は実施例３と同様にして、半導体製造工程での、シリコンウエハの研磨における押し付け圧測定を行った（読み取り解像度Ｉ：０．１ｍｍ、読み取り階調Ｎ：１５）。
１５０００ポイントについての圧力測定結果は、平均値０．００５ＭＰａであり、最大値と最小値との差は０．０１ＭＰａであった。また、１５０００ポイントについての各圧力値を、５段階に分類することができた。
以上のように、圧力測定用材料の測定下限である０．０４ＭＰａ以下範囲において、圧力及びその分布の測定を良好に行うことができた。
【０１２２】
〔比較例１〕
実施例２における凹凸シート（１）を下記凹凸シート（Ａ）に変更した以外は実施例２と同様にして、液晶ディスプレイ製造工程での、ガラス基板の接着における貼り合わせ圧測定を行った。
１５０００ポイントについての圧力測定結果は、平均値０．０１ＭＰａであり、最大値と最小値との差は０．００３ＭＰａ以下であった。また、１５０００ポイントについての各圧力値を、２段階にしか分類することができなかった。
以上のように、圧力測定用材料の測定下限である０．０４ＭＰａ以下の範囲においては、最大値と最小値との差が小さくなりすぎてしまい、圧力分布の測定を正確に行うことができなかった。
【０１２３】
〜凹凸シート（Ａ）〜
基底部及び凸部の材質：ＳＢＲ
基底部厚さ：１ｍｍ
凸部高さ：１ｍｍ
凸部頂角：１００°
【０１２４】
〔比較例２〕
実施例１中、Ｄｍａｘ及びＤｍｉｎの測定において、凹凸シート（１）を、凸部のヤング率が１０００ＭＰａである凹凸シート（Ｂ）に変更した以外は実施例１と同様にしてＤｍａｘ及びＤｍｉｎの測定をおこなったところ、Ｄｍａｘは０．２ｍｍであった。また、Ｄｍｉｎは、０．００４ＭＰａの圧力を加えたときで、０．１ｍｍであった。
【０１２５】
次に、実施例２における凹凸シート（１）を前記凹凸シート（Ｂ）に変更した以外は実施例２と同様にして、液晶ディスプレイ製造工程での、ガラス基板の接着における貼り合わせ圧測定を行った（読み取り解像度Ｉ：０．１ｍｍ、読み取り階調Ｎ：１５）。
【０１２６】
１５０００ポイントについて圧力解析を行った結果、１５０００ポイントの圧力値を、２段階にしか分類することができず、圧力分布の測定を行うことができなかった。
以上のように、圧力測定用材料の測定下限である０．０４ＭＰａ以下の範囲においては、各測定点の圧力値を段階的に分類する際の段階数が不足し、圧力分布の測定を正確に行うことができなかった。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】本発明の一実施形態における凹凸シートを示した斜視図である。
【図２】（Ａ）は、本発明の一実施形態における低圧時の様子を概念的に示した断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）における圧力測定用材料の平面図である。
【図３】（Ａ）は、本発明の一実施形態における中圧時の様子を概念的に示した断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）における圧力測定用材料の平面図である。
【図４】（Ａ）は、本発明の一実施形態における高圧時の様子を概念的に示した断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）における圧力測定用材料の平面図である。
【図５】本発明の一実施形態における圧力測定用材料の例を示した平面図である。
【図６】本発明の一実施形態における圧力画像解析装置の構成を概念的に示した図である。
【図７】（Ａ）本発明の一実施形態における圧力測定結果を２次元的に示した図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＡ−Ａ線に沿った圧力測定結果である。
【図８】本発明の一実施形態における凹凸シートを模式的に示した断面図である。
【図９】本発明の別の実施形態における凹凸シートを模式的に示した断面図である。
【図１０】本発明の一実施形態における、凹凸シートの好ましい製造方法に用いられる凹凸シート製造装置を模式的に示した断面図である。
【符号の説明】
【０１２８】
１０、５２、５４  凹凸シート
１２  基底部
１４、８４  凸部
２０  被測定物
２２  被測定物
２４  圧力測定用材料
２８  発色領域
３０  スキャナー
【図１】
0005142646.tif 000003
【図２】
0005142646.tif 000004
【図３】
0005142646.tif 000005
【図４】
0005142646.tif 000006
【図５】
0005142646.tif 000007
【図６】
0005142646.tif 000008
【図７】
0005142646.tif 000009
【図８】
0005142646.tif 000010
【図９】
0005142646.tif 000011
【図１０】
0005142646.tif 000012