(57)【要約】プローブブロック（１）のプローブ（２）を液晶パネル用アレイガラス（３）の端子用導電パターン（４）に当接させて検査を行う液晶パネル用検査装置において、プローブブロック（１）は、液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線（Ｆ）および信号線（Ｓ）から基本端子用導電パターン（４Ｓ）を構成したときに全体の各配線に対応するように、プローブ（２）を挿入する複数の挿入孔（１６）を形成すると共に、複数の挿入孔（１６）の内、供試液晶パネル用アレイガラス（３）の端子用導電パターン（４）を構成する各配線に合致する挿入孔（１６）にプローブ（２）を挿入することによって構成されており、一方、前記プローブ（２）の挿入されない挿入孔（１６）は空孔のまま残す。
2004086132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブブロックのプローブを、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンに当接させると共に、前記端子用導電パターンからの信号を前記プローブ、前記プローブに一端側を接続するフレキシブル基板、および前記フレキシブル基板の他端側に接続する中継基板を介してテスター本体で読み取ることによって前記端子用導電パターンのショート状態、オープン状態、ＴＦＴの特性、および画素の特性の検査を行う液晶パネル用検査装置において、
前記プローブブロックは、前記液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線および信号線から基本端子用導電パターンを構成したときに全体の各配線に対応するように、前記プローブを挿入する複数の挿入孔を形成すると共に、前記複数の挿入孔の内、供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンを構成する各配線に合致する挿入孔に前記プローブを挿入することによって構成されていることを特徴とする液晶パネル用検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶パネル用検査装置であって、
前記フレキシブル基板は、前記基本端子用導電パターンの機能線および信号線の内、奇数番目および偶数番目の機能線および信号線にそれぞれ合致する本数および配置の導電体を有してそれぞれ形成される奇数対応フレキシブル基板および偶数対応フレキシブル基板から構成されていることを特徴とする液晶パネル用検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の液晶パネル用検査装置であって、
前記液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線が２０本以下であることを特徴とする液晶パネル用検査装置。
【請求項４】
請求項２に記載の液晶パネル用検査装置であって、
前記中継基板は、前記基本端子用導電パターンを構成する機能線および信号線にそれぞれ対応する機能部および信号部を備えていると共に、前記機能部を前記奇数対応フレキシブル基板および偶数対応フレキシブル基板にそれぞれ対応する奇数対応機能部および偶数対応機能部で構成し、前記信号部を前記奇数対応フレキシブル基板および偶数対応フレキシブル基板にそれぞれ合致する本数および配置の導電体を有してそれぞれ形成される奇数対応信号部および偶数対応信号部で構成し、前記奇数対応機能部および奇数対応信号部で奇数対応基板を構成すると共に前記偶数対応機能部および偶数対応信号部で偶数対応基板を構成することにより全体構成されており、かつ前記奇数対応フレキシブル基板と前記奇数対応機能部および前記偶数対応フレキシブル基板と前記偶数対応機能部がそれぞれジャンパー線を介して接続されると共に、前記奇数対応フレキシブル基板と前記奇数対応信号部および前記偶数対応フレキシブル基板と前記偶数対応信号部が、前記挿入孔に挿入されたプローブに対応する導電体同士の接続により接続されていることを特徴とする液晶パネル用検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、液晶パネル用アレイガラスにプリントされた導電パターンのショート状態、オープン状態、ＴＦＴの特性、および画素の特性を検査する液晶パネル用検査装置に関する。
【背景技術】  一般的な液晶パネル用検査装置は、第８図に示すように、プローブブロック１のプローブ２を液晶パネル用アレイガラス３の端子用導電パターン４に当接させると共に、端子用導電パターン４からの信号をプローブ２、プローブ２に一端側を接続するフレキシブル基板５、およびフレキシブル基板５の他端側に接続する中継基板６を介してテスター本体７で読み取ることによってＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）および画素の特性検査を行うように構成されている。
このときフレキシブル基板５は、端子用導電パターン４の内、奇数番目の導電体に対応するフレキシブル基板５ａと、偶数番目の導電体に対応するフレキシブル基板５ｂとから構成されている。また、前記中継基板６は、フレキシブル基板５ａが接続する奇数対応基板６ａと、フレキシブル基板５ｂが接続する偶数対応基板６ｂとから構成されている。さらに、前記テスター本体７は、奇数対応基板６ａからの信号が入力する奇数アドレステスター７ａと、偶数対応基板６ｂからの信号が入力する偶数アドレステスター７ｂとから構成されている。
なお、第８図中、符号２２および２４は、奇数および偶数アドレステスター７ａおよび７ｂに、それぞれ接続する奇数側および偶数側アドレス変換基板であり、符号２１および２３は、奇数対応基板６ａと奇数側アドレス変換基板２２、および偶数対応基板６ｂと偶数側アドレス変換基板２４をそれぞれ接続するフレキシブル基板である。さらに、符号２５は、プローブブロック１を支持する支持枠である。
前記液晶パネル用アレイガラス３を構成するＴＦＴアレイ基板の特性検査の場合には、パネル点灯駆動用ＬＳＩとしてのＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）およびＰＣＢ（Ｐｒｉｎｔ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｏａｒｄ：実装プリント基板）を結合する前工程で、液晶パネル用アレイガラス３の画素信号端子用導電パターン４の一本ずつに電圧を印加して特性検査を行っている。
この検査は、画素信号端子用導電パターン数と同数のプローブ２を用いるため、複数のプローブ２を有するプローブブロック１を、液晶パネル用アレイガラス３の端子用導電パターン４が設けられた辺に沿って並べてセットする。そして検査では、奇数番目画素端子と偶数番目画素端子とに分けて画素検査信号を送るようにしている。
このようなプローブブロックとして、第９図に示すプローブブロック１が提案されている（例えば、特開平８−２２２２９９号公報（第３頁、第４頁、第１図）参照）。
このプローブブロック１は、液晶パネル用アレイガラス３の画素に配設された複数の端子用導電パターン４の１本ずつに接触させるための複数のプローブ２を板状の絶縁体を積層した本体２０により支持することにより大略構成されている。
このときプローブ２は、第９図に示すように、端子用導電パターン４の奇数番目と偶数番目とにそれぞれ対応する２ラインＬ１、Ｌ２に分けられ（第１０図参照）、さらに各ラインＬ１、Ｌ２毎に千鳥状に配設されている。その上、プローブ２は、上側に突出する複数の導電性針状体の奇数番目の導電性針状体１１ａを、偶数番目の導電性針状体１１ｂよりも上側に突出するように長くしており、両者間で突出方向に段違いになっている。プローブ２は、上側の導電性針状体１１ａ、１１ｂの各々と下側の導電性針状体１０とを導電性コイルばね１４を介して連結することにより構成されている。検査の際は、導電性針状体１０の各々が、液晶パネル用アレイガラス３の画素に配設された複数の端子用導電パターン４の１本ずつに接触することになる。
そして、第９図に示すように、長い方である奇数番目の導電性針状体１１ａが、上側絶縁板１２の下面に貼着されたフレキシブル基板５ａの奇数番目用信号伝送用導電パターン８に接触し、短い方である偶数番目の導電性針状体１１ｂが、下側絶縁板１３の下面に貼着されたフレキシブル基板５ｂの偶数番目用信号伝送用導電パターン９に接触するように、下側絶縁板１３の上に上側絶縁板１２が一体に重ね合わされる。
また、第９図に示すような長短の導電性針状体を用いる代わりに、第１３図に示すように、プローブとして、本体２０の挿入孔（図示せず）内に挿入される同一長さの一対の導電性針状体１０、１１とそれを弾発付勢する導電性コイルバネとが同軸的に受容されるようにしてもよい。
このようにして構成されたプローブブロック１を使用して液晶パネル用検査装置を構成するには、プローブ２を端子用導電パターン４と同数になるように設けるべく、例えばＴＡＢと略同一幅の大きさ（１ブロック）に小ユニット化されたプローブブロック１を、支持枠２５（第８図参照）に並列に必要数並べてセットし、かつ各プローブブロック１に連結されたフレキシブル基板５ａおよび５ｂを、奇数番目と偶数番目とに振り分けるべく中継基板６の奇数および偶数対応基板６ａおよび６ｂにそれぞれ接続すると共に、この中継基板６を介してテスター本体７に接続することにより全体構成される。
このとき、液晶パネルは、品種が異なると端子用導電パターン４も異なるため、プローブブロック１内のプローブ２の配列や、フレキシブル基板５や中継基板６の配線本数や配線位置は、被検査体としての液晶パネル用アレイガラス３の端子用導電パターン４に合致するように設計される。
すなわち、第１１図（ａ）〜（ｄ）は、液晶パネル用アレイガラス３にプリントされる１ブロック当たりの端子用導電パターンを示している。そして、例えばＡ品種の液晶パネルの端子用導電パターン４Ａは、３８４本の信号線Ｓと、この信号線Ｓの両側部分に配設された４本の機能線Ｆ、Ｆとで構成されている（第１１図（ａ）参照）。また、例えばＢ品種の液晶パネルの端子用導電パターン４Ｂは、３８４本の信号線Ｓと、この信号線Ｓの両側部分に配設された２本の機能線Ｆ、Ｆとで構成されている（第１１図（ｂ）参照）。また、例えばＣ品種の液晶パネルの端子用導電パターン４Ｃは、３８４本の信号線Ｓと、この信号線Ｓの両側部分に配設された８本の機能線Ｆ、Ｆとで構成されている（第１１図（ｃ）参照）。さらに、例えばＤ品種の液晶パネルの端子用導電パターン４Ｄは、３８４本の信号線Ｓと、この信号線Ｓの両側部に配設された、２本ずつ離間させた４本の機能線Ｆ、Ｆとで構成されている（第１１図（ｄ）参照）。
また、第１１図中、符号Ｌ１、Ｌ２は、前述したように、端子用導電パターン４Ａ（４Ｂ、４Ｃ、４Ｄ）の奇数番目と偶数番目とにそれぞれ対応するプローブブロック１内のプローブ２の２ラインを示しており、それぞれ液晶セルの品種によって２ラインＬ１、Ｌ２を構成するプローブ２の配置および本数が異なる専用のプローブブロックが適用されている。
すなわち、Ａ品種（端子用導電パターン４Ａ）に対してはプローブブロック１Ａが、Ｂ品種（端子用導電パターン４Ｂ）に対してはプローブブロック１Ｂが、Ｃ品種（端子用導電パターン４Ｃ）に対してはプローブブロック１Ｃが、Ｄ品種（端子用導電パターン４Ｄ）に対してはプローブブロック１Ｄが、それぞれ適用されている。
また、第１２図（ａ）、（ｂ）は、液晶パネル用アレイガラスにプリントされる１ブロック当たりの端子用導電パターン４と、プローブ２と、フレキシブル基板５と、中継基板６との接続状態を示している。
すなわち、第１２図（ａ）は、前述したＡ品種の液晶パネルについての接続状態を示しており、端子用導電パターン４Ａに対して、プローブ２およびフレキシブル基板５は１対１で接続すると共に、フレキシブル基板５と中継基板６も１対１で接続している。
また、第１２図（ｂ）は、前述したＢ品種の液晶パネルについての接続状態を示しており、端子用導電パターン４Ｂに対して、プローブ２およびフレキシブル基板５は１対１で接続すると共に、フレキシブル基板５と中継基板６も１対１で接続している。なお、第１２図（ａ）、（ｂ）中、フレキシブル基板５および中継基板６の部分で示している実線は、フレキシブル基板５および中継基板６の各配線を示している。
このようにフレキシブル基板５および中継基板６においても、それぞれ液晶パネルの品種によって配線の配置および本数が異なる専用のフレキシブル基板および中継基板が適用されている。すなわち、Ａ品種（端子用導電パターン４Ａ）に対しては１９６本の配線を有する奇数（偶数）対応フレキシブル基板５ａ（５ｂ）および奇数（偶数）対応基板６ａ（６ｂ）が、Ｂ品種（端子用導電パターン４Ｂ）に対しては１９４本の配線を有する奇数（偶数）対応フレキシブル基板５ａ（５ｂ）および奇数（偶数）対応基板６ａ（６ｂ）が、それぞれ適用されている。
このように構成された従来の液晶パネル用検査装置においては、プローブ２を、端子用導電パターン４の奇数番目と偶数番目とにそれぞれ対応する２ラインＬ１、Ｌ２に分け、さらに各ラインＬ１、Ｌ２毎に千鳥状に配設したので、端子用導電パターンの狭ピッチ化に充分対応することができるが、プローブブロック１内のプローブ２の本数や配設位置、およびフレキシブル基板５や中継基板６の配線本数や配線位置は、被検査体としての液晶パネル用アレイガラス３の端子用導電パターン４に合致するように設計されるものであるから、ある品種の液晶パネル用として設計されたプローブブロック、フレキシブル基板、および中継基板は、他の品種の液晶パネルには適用できない。
このため従来の液晶パネル用検査装置は、プローブブロック、フレキシブル基板、および中継基板を量産することができず、その都度、これらを被検査体としての液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンに合致させて新規に製作する必要があるので、コスト高を招くばかりでなく、製作時間も長く掛かって納期内の製作過程の煩雑化を招いている、という課題を有している。
そこで、本発明は、品種の相違する液晶パネルの検査に適用される検査装置間で、プローブブロック、フレキシブル基板、および中継基板の共通化を図ることができ、以てこれら部材の量産化により、製作容易で、コストの低減および納期短縮を共に図ることができる液晶パネル用検査装置を提供することを目的としている。
【発明の開示】
本発明の目的は、少なくとも上述の課題を解決するものである。
本発明の液晶パネル用検査装置は、プローブブロックのプローブを、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンに当接させると共に、前記端子用導電パターンからの信号を前記プローブ、前記プローブに一端側を接続するフレキシブル基板、および前記フレキシブル基板の他端側に接続する中継基板を介してテスター本体で読み取ることによって前記端子用導電パターンのショート状態、オープン状態、ＴＦＴの特性、および画素の特性の検査を行う液晶パネル用検査装置において、前記プローブブロックは、前記液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線および信号線から基本端子用導電パターンを構成したときに全体の各配線に対応するように、前記プローブを挿入する複数の挿入孔を形成すると共に、前記複数の挿入孔の内、供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンを構成する各配線に合致する挿入孔に前記プローブを挿入することによって構成されていることを特徴とする。
このため、本発明では、プローブブロックの複数の挿入孔は、基本端子用導電パターンを想定して、このパターンの各配線に対応するものとして形成される。このとき基本端子用導電パターンは、液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線および信号線から構成されるので、プローブブロックは、最大個数の挿入孔を有しており、その最大個数の挿入孔の内、供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンを構成する各線に合致する挿入孔にのみプローブを挿入することによって構成される。プローブが挿入されない挿入孔は、空孔のまま残される。これによりプローブブロックは、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができる。
以上述べたことと、本発明のその他の目的、特徴、利点を、以下の発明の詳細な説明から明らかにする。
【図面の簡単な説明】  第１図は、本発明の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの１ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第２図は、Ａ品種の液晶パネルに適用したときの本発明の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの１ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第３図は、Ｂ品種の液晶パネルに適用したときの本発明の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの１ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第４図は、Ｃ品種の液晶パネルに適用したときの本発明の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの１ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第５図は、Ｄ品種の液晶パネルに適用したときの本発明の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの１ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第６図は、本発明の液晶パネル用検査装置の、片面基板からなる中継基板上の電気的接続状態を説明する平面図である。第７図は、本発明の液晶パネル用検査装置の、両面基板あるいは多層基板からなる中継基板上の電気的接続状態を説明する平面図である。第８図は、液晶パネル用検査装置の全体の電気接続系統を説明するための概略説明図である。第９図は、従来の液晶パネル用検査装置の要部断面図である。第１０図は、従来の液晶パネル用検査装置の端子用導電パターンへのプローブの当接状態を説明するための説明図である。第１１図は、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、品種の異なる液晶パネルの端子用導電パターンの１ブロック当たりの平面図である。第１２図は、（ａ）、（ｂ）は、品種の異なる液晶パネルに適用したときの従来の液晶パネル用検査装置の、液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの１ブロック当たりのプローブブロック、プローブブロックの挿入孔に挿入されたプローブ、フレキシブル基板、および中継基板の相互の電気的接続状態を説明する模式図である。第１３図は、他の液晶パネル用検査装置の斜視図である。
【発明を実施するための最良の形態】  以下に、本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。
本発明の液晶検査装置を添付する図面とともに示す以下の実施形態に基づき説明する。
以下、この発明の実施の形態を図面に基づき説明する。なお、第８図〜第１３図に示すものと同一部材および同一機能を奏する部材は、同一符号を付してある。
本発明に係る液晶パネル用検査装置は、構成部材の構造を異にするだけで、全体の接続系統は従来装置と同一に構成されている。
すなわち、本発明に適用できる一般的な液晶パネル用検査装置の全体の接続系統は、第８図に示すように、プローブブロック１のプローブ２を液晶パネル用アレイガラス３の端子用導電パターン４に当接させると共に、端子用導電パターン４からの信号をプローブ２、プローブ２に一端側を接続するフレキシブル基板５、およびフレキシブル基板５の他端側に接続する中継基板６を介してテスター本体７で読み取ることによって端子用導電パターン４のショート状態、オープン状態、ＴＦＴの特性、および画素の特性の検査を行うように構成されている。
このとき、プローブ２とフレキシブル基板５との接続は、フレキシブル基板５の導電部にプローブ２の先端を直接当接させる直接接続の他、プローブブロック１に固設したプリント基板を介して接続する間接接続も採用されている。この間接接続は、例えば、プリント基板の一端側にプローブ２の先端を当接させると共に、他端側に、例えばコネクタ、異方性接着剤、ハンダ等によりフレキシブル基板５を接続させることによって行われる。
第１図は、本発明に係る液晶パネル用検査装置の、プローブブロック１から中継基板６までの、単位ブロック当たりの各構成部材の構造および構成部材間の接続状態を説明する模式図である。
まず、プローブブロック１は、液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線Ｆおよび信号線Ｓから基本端子用導電パターン４Ｓを構成したときに全体の各線に対応するように、プローブ２を挿入する複数の挿入孔１６（第９図参照）を形成すると共に、複数の挿入孔１６の内、供試液晶パネルの端子用導電パターンを構成する各線に合致する挿入孔１６にプローブ２を挿入することによって構成されている。第１図中、基本端子用導電パターン４Ｓ上の白丸は、プローブ２の挿入されていない挿入孔１６を示し、黒丸はプローブ２の挿入している挿入孔１６を示している。
ここで、前記液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線Ｆの数は２０未満である。
この基本端子用導電パターン４Ｓは、液晶パネルを駆動するドライバーＩＣのアウト数によって決まる信号線Ｓと、各ユーザの要求仕様で異なる機能線Ｆとからなる経験則から求められる仮想パターンで、例えば中央に配設される信号線Ｓを２４０〜４８０本の配線で構成すると共に、この信号線Ｓの両側部分に配設される各機能線Ｆを３〜２０本の配線で構成することによって全体構成される。
プローブブロック１は、基本端子用導電パターン４Ｓの各線に対応する複数の挿入孔１６を有して構成されるもので、例えば２３２〜５２０個の挿入孔１６を設けて構成される。このときプローブブロック１内のプローブ２の２ラインＬ１、Ｌ２に、それぞれ１１６〜２６０個の挿入孔１６が設けられる。
前記挿入孔１６が２３２本の場合は、信号線Ｓが１９２本を想定し、機能線Ｆの数を２０本とした場合である。また、前記挿入孔１６が５２０本の場合は、信号線Ｓが４８０本を想定し、機能線の数を２０本とした場合である。
このようにプローブブロック１の複数の挿入孔１６は、基本端子用導電パターン４Ｓを想定して、このパターン４Ｓの各線に対応するものとして形成される。このとき基本端子用導電パターン４Ｓは、経験則により液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線Ｆおよび信号線Ｓから構成されるので、プローブブロック１は、経験則より求められる最大個数の挿入孔１６を有しており、その最大個数の挿入孔１６の内、供試液晶パネル用アレイガラス３の端子用導電パターンを構成する各線に合致する挿入孔１６にのみプローブ２を挿入することによって構成される。プローブ２が挿入されない挿入孔１６は、空孔のまま残される。これによりプローブブロック１は、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができる。
この結果、まとめて量産化することができ、事前に在庫管理することができる。その結果、納品に時間を要することがないので、液晶パネル用検査装置の低コスト化に寄与することができる。
また、好ましくは、本装置におけるフレキシブル基板５は、基本端子用導電パターン４Ｓの機能線Ｆおよび信号線Ｓの内、奇数番目および偶数番目の機能線Ｆおよび信号線Ｓにそれぞれ合致する本数および配置の導電体１７ａおよび１７ｂを有してそれぞれ形成される奇数対応基板５ａおよび偶数対応基板５ｂから構成される。奇数対応基板５ａおよび偶数対応基板５ｂは、例えば１２５〜２６０本の導電体１７ａおよび１７ｂでそれぞれ構成される。
このフレキシブル基板５は、奇数対応基板５ａおよび偶数対応基板５ｂを各１個ずつ有して構成されるばかりでなく、端子用導電パターンの配線数が増加して狭ピッチ化が高度に進む場合は、奇数対応基板５ａおよび偶数対応基板５ｂを各２個（あるいはそれ以上）ずつ有して構成する場合もある。
この構成では、フレキシブル基板５、基本端子用導電パターン４Ｓの全機能線Ｆおよび信号線Ｓが対象で、奇数番目の全機能線Ｆおよび信号線Ｓに合致する本数および配置の導電体１７ａを有する奇数対応フレキシブル基板５ａと、偶数番目の全機能線Ｆおよび信号線Ｓに合致する本数および配置の導電体１７ｂを有する偶数対応フレキシブル基板５ｂとから構成されているので、プローブ２が挿入された挿入孔１６がプローブブロック１の全挿入孔１６のいずれであってもプローブ２との接続が図れる。このときプローブ２の挿入されない挿入孔１６（図中、白丸で示す）に対応する導電体１７ａ（１７ｂ）は、不接続導電体としてそのまま残る。これによりフレキシブル基板５は、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができる。
さらに好ましくは、本装置における中継基板６は、基本端子用導電パターン４Ｓを構成する機能線Ｆおよび信号線Ｓにそれぞれ対応する機能部１８および信号部１９を備えていると共に、機能部１８を奇数対応フレキシブル基板５ａおよび偶数対応フレキシブル基板５ｂにそれぞれ対応する奇数対応機能部１８ａおよび偶数対応機能部１８ｂで構成し、信号部１９を奇数対応フレキシブル基板５ａおよび偶数対応フレキシブル基板５ｂにそれぞれ合致する本数および配置の導電体２６および２７を有してそれぞれ形成される奇数対応信号部１９ａおよび偶数対応信号部１９ｂで構成し、奇数対応機能部１８ａおよび奇数対応信号部１９ａで奇数対応基板６ａを構成すると共に偶数対応機能部１８ｂおよび偶数対応信号部１９ｂで偶数対応基板６ｂを構成することにより全体構成されている。
このとき奇数対応フレキシブル基板５ａと奇数対応機能部１８ａおよび偶数対応フレキシブル基板５ｂと偶数対応機能部１８ｂがそれぞれジャンパー線２８を介して接続されると共に、奇数対応フレキシブル基板５ａと奇数対応信号部１９ａおよび偶数対応フレキシブル基板５ｂと偶数対応信号部１９ｂが、挿入孔１６に挿入されたプローブ２に対応する導電体２６／１７ａおよび２７／１７ｂ同士の接続により接続される。この導電体同士の接続には、通常コネクタが用いられる。
この構成では、中継基板６は、基本端子用導電パターン４Ｓを構成する機能線Ｆおよび信号線Ｓにそれぞれ対応する機能部１８および信号部１９を備えているので、機能部１８および信号部１９は、液晶パネル用アレイガラス３の要求仕様に基づく最大本数の機能線Ｆおよび信号線Ｓに対応することができる。このとき機能部１８を構成する奇数対応機能部１８ａおよび偶数対応機能部１８ｂは、それぞれ奇数対応フレキシブル基板５ａおよび偶数対応フレキシブル基板５ｂにジャンパー線２８を介して接続するようにしたので必要箇所を的確に接続することができると共に、接続に関与しない他の奇数対応機能部１８ａおよび偶数対応機能部１８ｂは、不接続機能部としてそのまま残される。
このジャンパー線２８による接続は、具体的には次のようにして行う。すなわち、第６図および第７図に示すように、中継基板６は、適宜離隔させて固設された２個のコネクタＣ１、Ｃ２と、この２個のコネクタＣ１、Ｃ２の間を電気的に接続して配線される信号線Ｓと、２個のコネクタＣ１、Ｃ２に両端を電気的に接続すると共に中間部分を分断して配線される機能線Ｆと、この機能線Ｆの前記分断部分の両端にそれぞれ接続されると共に露出させて配置される一対の端子部ｆ１、ｆ２とを有して構成されており、一対の端子部ｆ１、ｆ２間をジャンパー線２８で接続することにより行われる。このとき２個のコネクタＣ１、Ｃ２の内、一方のコネクタＣ１には、奇数（偶数）対応フレキシブル基板５ａ（５ｂ）が接続し、他方のコネクタＣ２には、テスター本体７に接続するフレキシブル基板２１（２３）が接続される。
なお、第６図は、中継基板６を片面基板で構成した例であり、第７図は、中継基板６を両面基板または多層基板で構成した例である。第７図中、符号ｈは、基板の上面及び下面にそれぞれ設けられる配線同士を電気的に接続するスルーホールである。
また、第１図に示すように、信号部１９を構成する奇数対応信号部１９ａおよび偶数対応信号部１９ｂは、それぞれ奇数対応フレキシブル基板５ａおよび偶数対応フレキシブル基板５ｂに、挿入孔１６に挿入されたプローブ２に対応する導電体２６／１７ａおよび２７／１７ｂ同士の接続により接続されると共に、接続に関与しない他の奇数対応信号部１９ａおよび偶数対応信号部１９ｂは、不接続信号部としてそのまま残される。これにより中継基板６は、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができる。
具体的には、導電体２６（２７）は、奇数（偶数）対応フレキシブル基板５ａ（５ｂ）に接続する前記一方のコネクタと、テスター本体７に接続する前記他方のコネクタとの間を接続するように中継基板６上に配線されて構成されている。
以下、第２図〜第５図に示す具体例について述べる。第２図〜第５図中、２ラインＬ１、Ｌ２に対応する黒丸はプローブ２が挿入されている挿入孔１６を示し、２ラインＬ１、Ｌ２に対応する白丸はプローブ２の挿入されていない挿入孔１６を示している。
この具体例に適用される本装置は、２ラインＬ１、Ｌ２にそれぞれ２００個の挿入孔１６を設けたプローブブロック１と、２００本の導電体１７ａを備える奇数対応フレキシブル基板５ａおよび２００本の導電体１７ｂを備える偶数対応フレキシブル基板５ｂからなるフレキシブル基板５と、奇数対応基板６ａおよび偶数対応基板６ｂからなる中継基板６とを備えて構成されている。
さらに詳しくは、中継基板６は、奇数対応信号部１９ａおよび偶数対応信号部１９ｂの各導電体２６、２７の合計が３８４本で構成されると共に、この奇数対応信号部１９ａとその両側部分に設けられる３個の端子Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３からなる奇数対応機能部１８ａ、１８ａとからなる奇数対応基板６ａと、前記偶数対応信号部１９ｂとその両側部分に設けられる３個の端子Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３からなる偶数対応機能部１８ｂ、１８ｂとからなる偶数対応基板６ｂとから構成されている。この奇数対応機能部１８ａおよび偶数対応機能部１８ｂを構成する３個の端子Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３は、テスター仕様による。
第２図は、端子用導電パターン４Ａを有するＡ品種の液晶パネルへの適用例で、本装置は、端子用導電パターン４Ａの全配線に対応する挿入孔１６にプローブ２を挿入することによって、端子用導電パターン４Ａに対応するプローブブロック１を構成することができる。プローブブロック１の全プローブ２は、対応するフレキシブル基板５の導電体１７ａ、１７ｂに接続している。端子用導電パターン４Ａは、３８４本の信号線と、この信号線の両側部分に形成される４本の機能線とから構成されている。
さらに、中継基板６は、その奇数対応基板６ａに設けられた奇数対応機能部１８ａ、１８ａの各端子Ｆ１、Ｆ２が奇数対応フレキシブル基板５ａの導電体１７ａに、および偶数対応基板６ｂに設けられた偶数対応機能部１８ｂ、１８ｂの各端子Ｆ１、Ｆ２が偶数対応フレキシブル基板５ｂの導電体１７ｂにそれぞれジャンパー線２８を介して接続されており、かつ奇数対応フレキシブル基板５ａと奇数対応信号部１９ａおよび偶数対応フレキシブル基板５ｂと偶数対応信号部１９ｂが、挿入孔１６に挿入されたプローブ２に対応する導電体２６／１７ａおよび２７／１７ｂ同士の接続により接続されている。
第３図は、端子用導電パターン４Ｂを有するＢ品種の液晶パネルへの適用例で、本装置は、Ａ品種の液晶パネルに適用したのと同一のプローブブロック１、フレキシブル基板５、および中継基板６を用いて構成されている。端子用導電パターン４Ｂは、３８４本の信号線と、この信号線の両側部分に形成される２本の機能線とから構成されている。
このときプローブブロック１は、端子用導電パターン４Ｂの全配線に対応する挿入孔１６にプローブ２を挿入することによって構成されている。そしてプローブブロック１内の全プローブ２は、フレキシブル基板５の奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂのいずれかの一端に接続しており、かつ奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂの他端は、それぞれ中継基板６の奇数および偶数対応基板６ａおよび６ｂに接続している。このとき機能部１８は、奇数および偶数対応機能部１８ａおよび１８ｂの端子Ｆ１がジャンパー線２８を介して奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂにそれぞれ接続されており、信号部１９は、奇数および偶数対応信号部１９ａおよび１９ｂと奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂとが、挿入孔１６に挿入されたプローブ２に対応する導電体同士の接続により接続されている。
第４図は、端子用導電パターン４Ｃを有するＣ品種の液晶パネルへの適用例で、本装置は、Ａ品種の液晶パネルに適用したのと同一のプローブブロック１、フレキシブル基板５、および中継基板６を用いて構成されている。端子用導電パターン４Ｃは、３８４本の信号線と、この信号線の両側部分に形成される８本の機能線とから構成されている。
このときプローブブロック１は、端子用導電パターン４Ｃの全配線に対応する挿入孔１６にプローブ２を挿入することによって構成されている。そしてプローブブロック１内の全プローブ２は、フレキシブル基板５の奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂのいずれかの一端に接続しており、かつ奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂの他端は、それぞれ中継基板６の奇数および偶数対応基板６ａおよび６ｂに接続している。このとき機能部１８は、奇数および偶数対応機能部１８ａおよび１８ｂの端子Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３がジャンパー線２８を介して奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂにそれぞれ接続されており（このとき端子Ｆ２は２本のジャンパー線２８で接続されている）、信号部１９は、奇数および偶数対応信号部１９ａおよび１９ｂと奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂとが、挿入孔１６に挿入されたプローブ２に対応する導電体同士の接続により接続されている。
第５図は、端子用導電パターン４Ｄを有するＤ品種の液晶パネルへの適用例で、本装置は、Ａ品種の液晶パネルに適用したのと同一のプローブブロック１、フレキシブル基板５、および中継基板６を用いて構成されている。端子用導電パターン４Ｄは、３８４本の信号線と、この信号線の両側部分に形成される２本ずつ離隔させた４本の機能線とから構成されている。
このときプローブブロック１は、端子用導電パターン４Ｄの全配線に対応する挿入孔１６にプローブ２を挿入することによって構成されている。そしてプローブブロック１内の全プローブ２は、フレキシブル基板５の奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂのいずれかの一端に接続しており、かつ奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂの他端は、それぞれ中継基板６の奇数および偶数対応基板６ａおよび６ｂに接続している。このとき機能部１８は、奇数および偶数対応機能部１８ａおよび１８ｂの端子Ｆ１、Ｆ２が交差する２本のジャンパー線２８を介して奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂにそれぞれ接続されており、信号部１９は、奇数および偶数対応信号部１９ａおよび１９ｂと奇数および偶数対応フレキシブル基板５ａおよび５ｂとが、挿入孔１６に挿入されたプローブ２に対応する導電体同士の接続により接続されている。
このように、第２図〜第５図に各々示したＡ〜Ｄ品種の液晶パネルに適用される液晶パネル用検査装置は、液晶パネル用アレイガラス３の端子用導電パターンが品種により異なるにも拘わらず、プローブ２の挿入されていないプローブブロック１、フレキシブル基板５、および中継基板６を共通にして構成することができる。
以上の具体的な説明においては、信号線として具体的に３８４本の場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば４２０本、４８０本等の信号線に適用することができることはいうまでもない。
以上説明してきたように、本発明によれば、プローブを挿入する挿入孔は、経験則により液晶パネルの要求仕様に基づく最大本数の機能線および信号線から構成される基本端子用導電パターンを想定して、このパターンの各配線に対応するものとして形成されるので、プローブブロックは、各品種の供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの配線の本数を充分上回る個数の前記挿入孔を有して構成される。このためプローブブロックは、供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの各配線に合致する挿入孔にのみプローブを挿入して構成することができるので、プローブの挿入されていないプローブブロックを、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができ、以て前記プローブブロックの量産化により、製作容易で、コストの低減および納期短縮を共に図ることができる液晶パネル用検査装置を提供することができる。
また、本発明によれば、フレキシブル基板は、基本端子用導電パターンの全機能線および信号線が対象で、奇数番目の全機能線および信号線に合致する本数および配置の導電体を有する奇数対応フレキシブル基板と、偶数番目の全機能線および信号線に合致する本数および配置の導電体を有する偶数対応フレキシブル基板とから構成されているので、プローブを挿入する挿入孔がプローブブロックの全挿入孔のいずれであっても前記プローブとの接続を図ることができ、これにより前記発明の効果に加えて、フレキシブル基板を、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができ、以てフレキシブル基板の量産化により、製作容易で、コストの低減および納期短縮を共に図ることができる。
さらに、本発明によれば、中継基板は、基本端子用導電パターンを構成する機能線および信号線にそれぞれ対応する機能部および信号部を備えており、前記機能部を構成する奇数対応機能部および偶数対応機能部が、それぞれ奇数対応フレキシブル基板および偶数対応フレキシブル基板にジャンパー線を介して接続すると共に、前記信号部を構成する奇数対応信号部および偶数対応信号部が、それぞれ奇数対応フレキシブル基板および偶数対応フレキシブル基板に、挿入孔に挿入されたプローブに対応する導電体同士の接続により接続することができるので、前記発明の効果に加えて、中継基板を、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができ、以て中継基板の量産化により、製作容易で、コストの低減および納期短縮を共に図ることができる。
【産業上の利用可能性】  以上のように、本発明にかかる液晶検査装置は、供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンの各配線に合致する挿入孔にのみプローブを挿入して構成することができるので、プローブの挿入されていないプローブブロックを、品種の相違する液晶パネル間で共通して適用することができ、コストの低減および納期短縮を共に図ることができ、品種の相違する液晶パネルの検査に適用される検査装置間でプローブブロックの共通化を図ることができ、液晶パネル用アレイガラスにプリントされた導電パターンのショート状態、オープン状態、ＴＦＴの特性、および画素の特性を検査するものに用いて好適である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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