(57)【要約】被加工物にレーザ光を照射して曲げ加工を行うためのレーザ照射装置及びレーザ照射方法を提供する。本発明のレーザ照射装置は、入射したレーザ光を集光する集光光学ユニット（１１）と、前記集光光学ユニット（１１）からの集光レーザ光を、細長い楕円状の断面形状を持つ変形レーザ光に変形させ、該変形レーザ光を被加工物に照射する変形光学ユニット（１２）と、前記変形光学ユニット（１２）と被加工物（２）との相対位置を調整することにより、前記変形レーザ光の断面形状の長軸方向を被加工物上の基準線に一致させる制御部（２０）とを備える。
2004050292.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物にレーザ光を照射して曲げ加工を行うためのレーザ照射装置であって、
入射したレーザ光を集光する集光光学ユニットと、
前記集光光学ユニットからの集光レーザ光を、細長い楕円状の断面形状をもつレーザ光に変形させ、該変形レーザ光を被加工物に照射する変形光学ユニットと、
前記変形光学ユニットと被加工物との相対位置を調整することにより、前記変形レーザ光の断面形状の長軸方向を被加工物上の基準線に一致させる制御部と
を備えることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記変形光学ユニットを取り付けた第１のステージと、前記変形レーザ光の光軸の周りに前記第１のステージを回転させる第１の駆動部とを備え、前記制御部は前記第１の駆動部を介して前記変形光学ユニットの回転を制御することにより、被加工物上の基準線に対する前記変形光学ユニットの回転位置を調整することを特徴とする請求項１記載のレーザ照射装置。
【請求項３】
前記制御部は、被加工物を取り付けた第２のステージと、前記変形レーザ光に対する前記第２のステージの相対位置を移動させる第２の駆動部とを備え、前記制御部は前記第２の駆動部を制御することで、被加工物に対する前記変形レーザ光の照射位置を所定の方向に移動することを特徴とする請求項１記載のレーザ照射装置。
【請求項４】
前記集光光学ユニットは集光レンズで構成され、前記変形光学ユニットはシリンドリカルレンズで構成されることを特徴とする請求項１記載のレーザ照射装置。
【請求項５】
被加工物にレーザ光を照射して曲げ加工を行うためのレーザ照射方法であって、
入射したレーザ光を、集光光学ユニットを用いて集光する手順と、
前記集光光学ユニットからの集光レーザ光を、変形光学ユニットを用いて細長い楕円状の断面形状をもつレーザ光に変形させ、該変形レーザ光を被加工物に照射する手順と、
前記変形光学ユニットと被加工物の相対位置を調整することにより、前記変形レーザ光の断面形状の長軸方向を被加工物上の基準線に一致させる手順と
を有することを特徴とするレーザ照射方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、金属板やセラミック板などの被加工物にレーザ光を照射することにより曲げ加工を行うためのレーザ照射装置及びレーザ照射方法に関する。
【背景技術】  レーザ照射光学系から照射されるレーザ光による熱収縮や熱溶融作用を利用して、金属板やセラミック板などの被加工物を曲げ加工する、レーザ光による曲げ加工方式が知られている。この曲げ加工方式では、被加工物にレーザ光を照射して、熱収縮や溶融凝固により発生する応力で被加工物の曲げ変形を行わせる。
図１は、従来の曲げ加工用レーザ集光光学系を示す。
図１の光学系１は、レーザ光源（図示なし）からのレーザ光を集光して、被加工物上にレーザスポット（ドット）４を形成する。このレーザ照射光学系によるレーザ照射形状はドットであり、レーザ照射による発熱は照射点（ドット）から放射状に広がる。図１の矢印で示すように、照射後の冷却によって、被加工物の全周囲から照射点に向かって応力（歪み）が発生する。従来の曲げ加工用レーザ照射光学系はこの応力を、被加工物を曲げ変形させるのに利用している。
図２は、図１のレーザ集光光学系を用いた曲げ加工を説明するための図である。
図２に示したように、被加工物２の所定の基準線の周りに曲げ変形を発生させる場合に、従来の曲げ加工用レーザ集光光学系は、被加工物２にドット状のレーザスポット４を連続して複数回照射して、各レーザスポット４がその基準線に沿って一定の間隔でつながるように形成することで、被加工物の曲げ変形を発生させる。
しかし、従来の曲げ加工用レーザ集光光学系の場合、被加工物の曲げ加工を一回行う毎に、レーザ照射を複数回実施する必要があり、加工時間がかかりコスト高であった。また、複数個のレーザスポット４を被加工物２の基準線に沿ってつなげるため、隣り合うレーザスポット４間の領域では、基準線に沿って互いに反対方向の応力が打ち消しあう方向に発生してしまう。このため、被加工物に所望の曲げ変形を発生させるために必要なレーザエネルギよりも余分なレーザエネルギを消費することになり、レーザ照射による加工効率の低いものであった。
なお、本発明に関連する従来の技術として、特開２００２−８３３８号公報及び特開２０００−３３９８９４号公報には、ドット状のレーザスポットを複数回照射して被加工物の曲げ変形を発生させる方式が示されている。
【発明の開示】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、被加工物を所望の形状に曲げ加工する際に、レーザ照射による曲げ加工の効率を向上させることができるレーザ照射装置及びレーザ照射方法を提供することを目的とする。
上記の問題点を解決するために、本発明のレーザ照射装置は、被加工物にレーザ光を照射して曲げ加工を行うためのレーザ照射装置であって、入射したレーザ光を集光する集光光学ユニットと、前記集光光学ユニットからの集光レーザ光を、細長い楕円状の断面形状をもつレーザ光に変形させ、該変形レーザ光を被加工物に照射する変形光学ユニットと、前記変形光学ユニットと被加工物の相対位置を調整することにより、前記変形レーザ光の断面形状の長軸方向を被加工物上の基準線に一致させる制御部とを備えることを特徴とする。
前記レーザ照射装置において、前記制御部は、前記変形光学ユニットを取り付けた第１のステージと、前記変形レーザ光の光軸の周りに前記第１のステージを回転させる第１の駆動部とを備え、前記制御部が前記第１の駆動部を介して前記変形光学ユニットの回転を制御することにより、被加工物上の基準線に対する前記変形光学ユニットの回転位置を調整する構成としてもよい。
前記レーザ照射装置において、前記制御部は、被加工物を取り付けた第２のステージと、前記変形レーザ光に対する前記第２のステージの相対位置を移動させる第２の駆動部とを備え、前記制御部が前記第２の駆動部を制御することで、被加工物に対する前記変形レーザ光の照射位置を移動する構成としてもよい。
前記レーザ照射装置において、前記集光光学ユニットは集光レンズで構成し、前記変形光学ユニットはシリンドリカルレンズで構成してもよい。
また、上記の問題点を解決するために、本発明のレーザ照射方法は、被加工物にレーザ光を照射して曲げ加工を行うためのレーザ照射方法であって、入射したレーザ光を、集光光学ユニットを用いて集光する手順と、前記集光光学ユニットからの集光レーザ光を、変形光学ユニットを用いて細長い楕円状の断面形状をもつレーザ光に変形させ、該変形レーザ光を被加工物に照射する手順と、前記変形光学ユニットと被加工物の相対位置を調整することにより前記変形レーザ光の断面形状の長軸方向を被加工物上の基準線に一致させる手順とを有することを特徴とする。
本発明の曲げ加工用レーザ照射装置及びレーザ照射方法によれば、細長い楕円状の断面形状をもつ変形レーザ光を被加工物に照射して、変形レーザ光の断面形状の長軸方向を被加工物の基準線に一致させる制御を行う。変形レーザ光の照射により、従来のドット状のレーザスポットを複数回照射するレーザ照射方式に比べ、レーザ加工時間、レーザ照射回数を格段に減らすことができる。本発明のレーザ照射装置及びレーザ照射方法によれば、製造工程においてレーザ照射による加工効率を向上させることができる。また、変形レーザ光の断面形状を一定に保持したまま、照射位置を移動走査させることで、被加工物の曲げ加工を効率よく実行することが可能である。
また、本発明のレーザ照射装置及びレーザ照射方法による曲げ加工は、特に、高精度な曲げ加工が要求される磁気ヘッドスライダの浮上面を形状調整する場合に適している。本発明レーザ照射装置及びレーザ照射方法による曲げ加工を磁気ヘッドスライダの浮上面の形状調整に用いた場合には、従来のレーザ照射方式による加工効率をさらに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】  本発明の他の目的、特徴及び利点については、以下の発明の詳細な説明を添付の図面を参照しながら理解することによりより明確となる。
図１は、従来のレーザ集光光学系を示す図である。
図２は、図１のレーザ集光光学系を用いた曲げ加工を説明するための図である。
図３は、本発明の一実施例におけるレーザ照射光学系を示す図である。
図４は、図３のレーザ照射光学系を用いた曲げ加工を説明するための図である。
図５は、図３のレーザ照射光学系からの変形レーザ光を被加工物に対し繰り返し照射して曲げ加工を行う場合を説明するための図である。
図６は、本発明の一実施例に係るレーザ照射装置を適用した曲げ加工装置の構成を示す図である。
図７Ａ及び図７Ｂは、従来のレーザスポットを用いたレーザ照射と本発明の細長い楕円状の断面形状をもつレーザ光を用いたレーザ照射との加工効率を比較した図である。
図８は、本発明を適用する磁気ヘッドスライダの構成を示す図である。
図９Ａ及び図９Ｂは、本発明のレーザ照射装置を用いて、図８の磁気ヘッドスライダの曲げ加工を行う場合の例を示す図である。
図１０は、図８の磁気ヘッドスライダの曲げ加工を行う場合における本発明の一実施例に係るレーザ照射方法を説明するための図である。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、本発明の実施の形態を添付の図面を用いて説明する。
図３は、本発明の一実施例におけるレーザ照射光学系１０を示す。図４は、図３のレーザ照射光学系１０を用いた曲げ加工を説明するための図である。
図３に示したように、この実施例のレーザ照射光学系１０は、入射したレーザ光を集光する集光光学ユニット１１と、集光光学ユニット１１からの集光レーザ光を、細長い楕円状の断面形状をもつレーザ光に変形させ、その変形レーザ光を被加工物に照射する変形光学ユニット１２とを備える。この実施例の場合、集光光学ユニット１１は集光レンズで構成し、変形光学ユニット１２はシリンドリカルレンズで構成している。この実施例のシリンドリカルレンズ１２は、入射する光束を、細長い楕円状の断面形状をもつ光束に変形させる働きをする光学素子であるが、同様の機能を有する他の部材を用いてもよい。
このレーザ照射光学系１０が変形レーザ光１４を被加工物に照射すると、照射後の冷却によって、被加工物には、図３の矢印で示したように、細長い長円形状の長軸方向に対し直交する、互いに向い合う２方向の応力（歪み）が均等に発生する。この応力を利用して、被加工物の曲げ加工が行われる。従来のレーザ照射方式では複数回レーザ照射を繰り返し実施する必要があったが、本発明のレーザ照射方式では、被加工物に同等の曲げ変形を発生させるのに１回のレーザ照射を行えばよい。
また、従来の複数個のドット状のレーザスポットをつなげたレーザ照射の場合には、被加工物の基準線に沿って隣り合うレーザスポット間の領域では、基準線に沿って互いに反対方向の応力が打ち消しあう方向に発生するため、余分なレーザエネルギを消費していた。この従来のレーザ照射方式にくらべ、曲げ加工に要するレーザエネルギの消費を低減することができる。
本発明による変形レーザ光の照射により、従来のドット状のレーザスポットを複数回照射するレーザ照射方式に比べ、レーザ加工時間、レーザ照射回数を格段に減らすことができる。したがって、本発明によれば、製造工程においてレーザ照射による加工効率を向上させることができる。
本発明の一実施例に係るレーザ照射装置は、図３のレーザ照射光学系１０と制御部（図示なし）とを備え、被加工物にレーザ照射光学系１０からの変形レーザ光１４を照射して曲げ加工を行う。図４に示したように、この制御部は、変形光学ユニット１２と被加工物の相対位置を調整することにより、変形レーザ光１４の断面形状の長軸方向を被加工物上の基準線に一致させる機能を有する。
例えば、被加工物をワークステージに取り付け、変形光学ユニット１２を回転ステージに取り付けておき、上記制御部がこの回転ステージの回転駆動動作を制御する構成としたレーザ照射装置を用いることができる。本発明のレーザ照射装置は、集光光学ユニット１１から入射する集光レーザ光の光軸周りの変形光学ユニット１２の回転位置を駆動制御することにより、変形光学ユニット１２から照射される変形レーザ光１４の断面形状の長軸方向を被加工物上の基準線に一致させる。そして、被加工物の曲げ変形を制御するために、変形光学ユニット１２及び上記制御部はレーザ照射形状およびレーザ照射方法を目的の曲げ変形に合わせて変更することで、被加工物に対し所望の曲げ変形を発生させることができる。
また、図４に示したように、被加工物に対する曲げ変形の方向や曲げ変形量を変更する場合、光軸上に配置されたシリンドリカルレンズ１２を回転移動させることで、レーザ照射形状や、変形レーザ光１４の断面形状の長軸方向を変更することができる。
図５は、図３のレーザ照射光学系からの変形レーザ光を被加工物に対し繰り返し照射して曲げ加工を行う場合を説明するための図である。
図５に示したように、本発明のレーザ照射装置は、被加工物の曲げ変形量を変えるために、レーザ照射光学系１０からの変形レーザ光１４の照射位置を移動させる機能を有する。図５の例では、被加工物２の曲げ変形量を大きくするために、被加工物２上の基準線に平行な方向に、レーザ照射光学系１０の位置を被加工物２に対し所定の距離だけ平行移動させる毎に被加工物２にレーザ照射を行っている。これにより、被加工物２上のレーザ照射位置は移動して、変形レーザ光１４ａ、１４ｂ、１４ｃが形成されている。これらの変形レーザ光は互いに十分近接させて形成することにより、被加工物２の曲げ変形量が増加する。被加工物２の曲げ変形量を適切な値に調整するには、変形レーザ光１４の照射回数を予め定めておく必要がある。
上記の機能を実現するには、例えば、被加工物を取り付けたワークステージを固定しておき、レーザ照射光学系１０を取り付けたステージを駆動機構により平行移動させながら、レーザ照射を繰り返し実行することができる構成としたレーザ照射装置を用いることができる。あるいは、レーザ照射光学系１０を取り付けたステージを固定しておき、被加工物を取り付けたワークステージを駆動機構により平行移動させる構成としてもよい。
図６は、本発明の一実施例に係るレーザ照射装置を適用した曲げ加工装置の構成を示す。
図６の曲げ加工装置は、制御部２０、レーザ発振機２１、光学系ステージ駆動部２２、ワークステージ駆動部２３、レーザ光源２４、第１のＺステージ２５、第２のＺステージ２６、回転ステージ２７、ワークステージ２８、ＸＹテーブル２９を含んで構成される。曲げ加工の対象となる被加工物（ワーク）２は、ワークステージ２８に取り付けられる。
本実施例におけるレーザ照射光学系１０の集光レンズ１１は、第１のＺステージ２５に取り付けられ、第１のＺステージ２５をＺ方向（被加工物２のレーザ照射面に対し垂直な方向）に移動することにより、集光レンズ１１の位置はレーザ光源２４から入射するレーザ光の光軸に沿って移動可能である。シリンドリカルレンズ１２は、回転ステージ２７に取り付けられ、回転ステージ２７を回転することにより、レーザ光源２４から入射するレーザ光の光軸周りについてのシリンドリカルレンズ１２の回転位置は移動可能である。また、回転ステージ２７は第２のＺステージ２６に取り付けられる。第２のＺステージ２６をＺ方向に移動することにより、シリンドリカルレンズ１２の位置はレーザ光源２４から入射するレーザ光の光軸に沿って移動可能である。
以上のように、本実施例におけるレーザ照射光学系１０の集光レンズ１１とシリンドリカルレンズ１２、及び被加工物２は、図５に示した構成と同様に、レーザ光源２４から入射するレーザ光の光軸に沿って配置される。
図６の曲げ加工装置において、制御部２０は、予め定められた加工手順に従って制御信号を各部に送出して、レーザ発振機２１、光学系ステージ駆動部２２及びワークステージ駆動部２３の動作を制御する。
レーザ発振機２１は、制御部２０からの制御信号を受取って、レーザ光源２４を駆動し、レーザ光をレーザ照射光学系１０に向け発生させる。
光学系ステージ駆動部２２は、制御部２０からの制御信号を受取って、第１のＺステージ２５、第２のＺステージ２６及び回転ステージ２７をそれぞれ駆動する。第１のＺステージ２５が光学系ステージ駆動部２２により駆動制御されることにより、Ｚ方向に沿った、レーザ光源２４に対する集光レンズ１１の相対的な位置は、矢印Ｚ１で示すように、指定された距離だけ移動可能である。また、回転ステージ２７が光学系ステージ駆動部２２により駆動制御されることにより、レーザ光の光軸周りのシリンドリカルレンズ１２の回転位置は、矢印Ｒで示すように、指定された角度だけ移動可能である。さらに、第２のＺステージ２６が光学系ステージ駆動部２２により駆動制御されることにより、Ｚ方向に沿った、レーザ光源２４に対するシリンドリカルレンズ１２の相対的な位置は、矢印Ｚで示すように、指定された距離だけ移動可能である。
また、ワークステージ駆動部２３は、制御部２０からの制御信号を受取って、ワークステージ２８及びＸＹテーブル２９をそれぞれ駆動して、レーザ照射光学系１０からのレーザ光の光軸に対する被加工物２の相対的な位置を、Ｘ方向及びＹ方向にそれぞれ移動させる。
図６の曲げ加工装置においては、制御部２０、光学系ステージ駆動部２２、回転ステージ２７、ワークステージ駆動部２３及びワークステージ２８が、本発明に係るレーザ照射装置の制御部に相当する。
すなわち、図６の曲げ加工装置に適用した本実施例のレーザ照射装置では、制御部２０は、シリンドリカルレンズ１２を取り付けた回転ステージ２７と、変形レーザ光の光軸の周りに回転ステージ２７を回転させる光学系ステージ駆動部２２とを備え、光学系ステージ駆動部２２を介してシリンドリカルレンズ１２の回転を制御することにより、被加工物２上の基準線に対するシリンドリカルレンズ１２の回転位置を調整する。
また、図６の曲げ加工装置に適用した本実施例のレーザ照射装置では、制御部２０は、被加工物２を取り付けたワークステージ２８と、変形レーザ光に対するワークステージ２８の相対位置を移動させるワークステージ駆動部２３とを備え、ワークステージ駆動部２３を制御することで、被加工物２に対する変形レーザ光の照射位置を所定の方向に移動する。
上述したように、本実施例のレーザ照射装置による変形レーザ光の照射は、従来のドット状のレーザスポットを複数回照射するレーザ照射方式に比べ、レーザ加工時間、レーザ照射回数を格段に減らすことができる。したがって、本実施例のレーザ照射装置によれば、製造工程においてレーザ照射による加工効率を向上させることができる。
図７Ａ及び図７Ｂは、同一の被加工物に同じ曲げ加工を行う際の、従来の複数個のレーザスポットを用いたレーザ照射と、本発明の細長い楕円状の断面形状をもつレーザ光を用いたレーザ照射との加工効率を比較した図である。
この例では、被加工物２に、所定の基準線周りの曲げ変形を同じ大きさだけ発生させる場合について説明する。両者について、１回のレーザ照射当たりに要するレーザ照射時間は一定の値（ｔ１）に設定しておく。
図７Ａの従来例では、被加工物２にドット状のレーザスポット４（直径８０μｍ程度のドット）を基準線に沿って、連続して７回照射して、各レーザスポット４が一定の間隔でつながるように形成することで、被加工物２に所定の曲げ変形を発生させている。この場合のレーザ照射の加工効率Ｔ１は、１回のレーザ照射当たりに要するレーザ照射時間（ｔ１）とレーザ照射回数（７）の積によって評価することができる。
これに対し、本発明の場合には、図７Ｂに示したように、細長い楕円状の断面形状（長径２００μｍ、短径６０μｍの楕円状の断面形状）をもつ変形レーザ光１４を、その断面形状の長軸方向が被加工物２上の基準線に一致するように、１回照射することで、被加工物２に所定の曲げ変形を発生させている。この場合のレーザ照射の加工効率Ｔ２は、１回のレーザ照射当たりに要するレーザ照射時間（ｔ１）とレーザ照射回数（１）の積によって評価することができる。
レーザ加工時間はレーザ照射回数に影響するため、製造工程の中では、本発明の細長い楕円状の断面形状をもつレーザ光を用いることで、従来例の曲げ加工より、レーザ照射回数が極めて少なくて済み、レーザ加工のタクトを高速化っすることができる。
図８は、本発明を適用する磁気ヘッドスライダの構成を示す図である。
図８の磁気ヘッドスライダ３０は、磁気ディスク装置（図示なし）の磁気ヘッドの先端に設けられる部品である。スライダ３０は、回転する磁気ディスクに対向して磁気ディスク上を浮上するように形成された浮上面（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅｓ：以下、ＡＢＳという）３２が表面側に設けてある。ＡＢＳ３２が形成されることにより、磁気ディスクとスライダ３０との間の距離、すなわちスライダ３０の浮上量が一定に保たれる。磁気ディスクに対する磁気ヘッドの記録又は再生動作を安定化するためには、スライダ３０のＡＢＳ３２の表面形状を歪みなく、所定の曲面に正確に調整することが重要である。
磁気ヘッドスライダのＡＢＳ面の歪み状態の評価は、磁気ディスクの回転方向に平行な方向の歪みであるクラウン値と、磁気ディスクの回転方向に直交する方向の歪みであるキャンバ値と、磁気ディスクの回転方向に対してねじれた方向の歪みであるツイスト値とを計測することで行われる。
図９Ａ及び図９Ｂは、図８の磁気ヘッドスライダに、本発明のレーザ照射光学系を用いた曲げ加工を行う場合の例を示す図である。図９Ａは図８の磁気ヘッドスライダ３０の裏面を示し、図９Ｂは図８の磁気ヘッドスライダ３０の側面を示す。
本実施例では、図８の磁気ヘッドスライダ３０のＡＢＳ３２の表面形状を一定の曲面に正確に調整するために、スライダ３０の裏面３４に、本発明のレーザ照射光学系によるレーザを照射して、熱膨張収縮応力や熱溶融凝固応力による曲げ変形を発生させ、スライダ３０のＡＢＳ３２の表面形状を曲げ加工により調整する。
図９Ａに示したように、スライダ３０の裏面３４の中央部で交差する縦方向及び横方向の基準線のうち、横方向の基準線に沿って、左右対称な２箇所に、本発明の細長い楕円状の断面形状をもつ変形レーザ光１４を裏面３４に照射する。スライダ３０の裏面３４には、図７で説明したような応力による曲げ変形が発生する。
図９Ｂに示したように、上記レーザ照射の回数やレーザ照射エネルギの大きさを適切に制御することにより、磁気ヘッドスライダ３０のＡＢＳ３２の表面形状が、横方向の基準線周りの曲げ変形（図９Ｂの矢印で示される曲げ変形）により一定の曲面に調整される。この例では、裏面３４に対する変形レーザ光１４のレーザ照射を２回行うことにより、スライダ３０のＡＢＳ３２の表面形状の歪み状態のうち、クラウン値が調整されている。
図１０は、図８の磁気ヘッドスライダの曲げ加工を行う場合における本発明の一実施例に係るレーザ照射方法を説明するための図である。
図１０に示したように、磁気ヘッドスライダ３０のＡＢＳ３２の表面形状を評価するクラウン値、キャンバ値、ツイスト値について個別の調整用レーザ照射エリアをスライダ３０の裏面３４に設定する。すなわち、スライダ３０の裏面３４の四隅部にツイスト値調整用レーザ照射エリア３４−１を、裏面３４の中央部で交差する縦方向及び横方向の基準線のうち、横方向の基準線に沿った左右対称な２箇所にクラウン値調整用レーザ照射エリア３４−２を、縦方向の基準線に沿った上下対称な２箇所にキャンバ値調整用レーザ照射エリア３４−３を設定する。
１回のレーザ照射当たりに要するレーザ照射時間を一定の値に設定しておき、例えば、長径２００μｍ、短径６０μｍの楕円状の断面形状をもつレーザ光１４を形成するようにレーザ照射装置を調整しておく。各調整用レーザ照射エリアには、ヘッドスライダ３０のＡＢＳ３２の表面形状を所望の曲面に調整するのに必要なレーザ照射回数を、図１０に示したように決めておけばよい。
本実施例のレーザ照射方法によれば、被加工物への曲げ変形の方向（クラウン、キャンバ、ツイスト）に対し、入射するレーザ光の光軸上に配したシリンドリカルレンズ１２を回転させ、レーザ照射形状を曲げ方向に対応する状態に変形させることで、曲げ変形の方向を制御可能としている。
本実施例のレーザ照射方法によれば、細長い楕円状の断面形状をもつ変形レーザ光を被加工物に照射して、変形レーザ光の断面形状の長軸方向を被加工物の基準線に一致させる制御を行うため、従来のドット状のレーザスポットを複数回照射するレーザ照射方式に比べ、レーザ加工時間、レーザ照射回数を格段に減らすことができる。
本実施例のレーザ照射方法によれば、製造工程においてレーザ照射による加工効率を向上させることができる。また、変形レーザ光の断面形状を一定に保持したまま、照射位置を移動走査させることで、被加工物の曲げ加工を効率よく実行することが可能である。
本実施例のレーザ照射方法による曲げ加工は、特に、高精度な曲げ加工が要求される磁気ヘッドスライダの浮上面を形状調整する場合に適している。このレーザ照射方法による曲げ加工を磁気ヘッドスライダの浮上面の形状調整に用いた場合には、複数ドットによる従来のレーザ照射方式よりも大きな曲げ変形を発生させることが可能であり、レーザ照射による加工効率をさらに向上させることができる。
以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内で様々な変形が可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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2004050292.tif 000015
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