(57)【要約】半導体パッケージであって、実装部分及び延長部分を有するフレキシブルテープと、フレキシブルテープの実装部分に設けられた複数のアレイ状接続電極と、フレキシブルテープの実装部分に搭載された半導体チップを含んでいる。半導体パッケージは更に、フレキシブルテープの延長部分の先端に形成された高速信号用電極と、半導体チップと高速信号用電極を接続するフレキシブルテープに設けられた伝送線路を含んでいる。フレキシブルテープの実装部分にはスティフナが搭載されている。
2004105128.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
実装部分及び延長部分を有するフレキシブルテープと、
該フレキシブルテープの前記実装部分に設けられた複数のアレイ状接続電極と、
前記フレキシブルテープの前記実装部分に搭載された半導体チップと、
前記フレキシブルテープの前記延長部分の先端に形成された高速信号用電極と、
前記半導体チップと前記高速信号用電極を接続する前記フレキシブルテープに設けられた伝送線路と、
を具備したことを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項２】
前記フレキシブルテープの前記実装部分に搭載されたスティフナを更に具備した請求項１記載の半導体パッケージ。
【請求項３】
前記スティフナはセラミックから形成されており、前記フレキシブルテープの前記実装部分に接着されている請求項２記載の半導体パッケージ。
【請求項４】
前記スティフナは樹脂から形成されており、前記フレキシブルテープの前記実装部分に接着されている請求項２記載の半導体パッケージ。
【請求項５】
前記延長部分は前記実装部分の幅より狭い幅を有している請求項１記載の半導体パッケージ。
【請求項６】
前記高速信号用電極を間に挟んで前記フレキシブルテープの前記延長部分の先端に形成された一対のグランド電極を更に具備した請求項２記載の半導体パッケージ。
【請求項７】
前記フレキシブルテープは前記伝送線路の両側に第１グランドパターンを有しており、前記各グランド電極は該第１グランドパターンに接続されている請求項６記載の半導体パッケージ。
【請求項８】
前記フレキシブルテープは前記伝送線路が形成された面と反対側の面の少なくとも前記伝送線路及び前記第１グランドパターンに対応する部分に第２グランドパターンを有している請求項７記載の半導体パッケージ。
【請求項９】
前記半導体チップは前記フレキシブルテープの実装部分にフリップチップボンディングされている請求項２記載の半導体パッケージ。
【請求項１０】
前記半導体チップは前記フレキシブルテープの前記実装部分にＴＡＢ接続されている請求項２記載の半導体パッケージ。
【請求項１１】
前記フレキシブルテープが実装されるプリント配線板を更に具備し、
前記複数のアレイ状接続電極と前記プリント配線板はボールグリッドアレイにより接続されている請求項６記載の半導体パッケージ。
【請求項１２】
前記プリント配線板は前記伝送線路とインピーダンス整合された配線パターンと、グランドパターンを有しており、前記高速信号用電極は前記配線パターンに接続され、前記グランド電極は前記グランドパターンに接続されている請求項１１記載の半導体パッケージ。
【請求項１３】
前記高速信号用電極に接続されたコネクタを更に具備した請求項１１記載の半導体パッケージ。
【請求項１４】
高速信号用電極に接続された高周波部品を更に具備した請求項１１記載の半導体パッケージ。
【請求項１５】
前記プリント配線板及び前記高周波部品が搭載される金属ブロックを更に具備し、
該金属ブロックは該金属ブロック上に搭載された前記高周波部品の高さが前記プリント配線板より高くなるような段差を有している請求項１４記載の半導体パッケージ。
【請求項１６】
前記スティフナ上に搭載された放熱フィンを更に具備した請求項２記載の半導体パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は高速信号用入出力端子を有する半導体パッケージに関する。
【背景技術】  従来の高速信号用入出力端子を有する半導体パッケージとして、パッケージの一部にコネクタを取り付けることによって、高速信号を劣化なしに伝送可能な半導体パッケージが知られている。しかし、このようにパッケージの一部にコネクタを取り付けた半導体パッケージでは、コネクタを取り付けるための構造が複雑となりコストアップの要因となっていた。また、コネクタを取り付ける必要性からパッケージの小型化が困難であるという問題があった。
特開２０００−２３２１９７は高速信号電極の回りをグランド電極で取り囲んだ構成を有する半導体パッケージを開示している。高速信号電極の回りをグランド電極で取り囲むことによって、高速信号接続部のインダクタンスを低減し、高速信号の劣化の少ないパッケージを実現している。この公開公報に記載された半導体パッケージでは、高速信号接続部のインダクタンスの低減はできるものの完全に０にすることはできず、２０ＧＨｚ以上の信号伝送時には信号劣化を引き起こすという問題がある。また、ソルダーボールから構成されたボール・グリッド・アレイ（ＢＧＡ）のボール径を小さくすることによっても接続部のインダクタンスは低減可能であるが、この場合には半導体パッケージをプリント配線板に実装するときの機械的な信頼性低下が問題となる。
【特許文献１】  特開２０００−２３２１９７号公報
【特許文献２】  特開平１０−２７０６００号公報
【発明の開示】
よって、本発明の目的は、２０ＧＨｚ以上の高周波信号に対しても劣化が少なく、且つ、安価で信頼性の高い高周波用半導体パッケージを提供することである。
本発明の一側面によると、実装部分及び延長部分を有するフレキシブルテープと、該フレキシブルテープの前記実装部分に設けられた複数のアレイ状接続電極と、前記フレキシブルテープの前記実装部分に搭載された半導体チップと、前記フレキシブルテープの前記延長部分の先端に形成された高速信号用電極と、前記半導体チップと前記高速信号用電極を接続する前記フレキシブルテープに設けられた伝送線路と、を具備したことを特徴とする半導体パッケージが提供される。
好ましくは、半導体パッケージはフレキシブルテープの実装部分に搭載されたスティフナを更に含んでいる。スティフナはセラミック又は樹脂から形成される。好ましくは、半導体パッケージはスティフナ上に搭載された放熱フィンを更に含んでいる。
好ましくは、半導体パッケージは高速信号用電極を間に挟んでフレキシブルテープの延長部分の先端に形成された一対のグランド電極を更に含んでいる。フレキシブルテープは伝送線路の両側に第１グランドパターンを有しており、各グランド電極は第１グランドパターンに接続されている。好ましくは、フレキシブルテープは伝送線路が形成された面と反対側の面の少なくとも伝送線路及び第１グランドパターンに対応する部分に第２グランドパターンを有している。
半導体チップはフレキシブルテープの実装部分にフリップチップボンディングされている。代替案として、半導体チップはフレキシブルテープの実装部分にＴＡＢ接続されている。
フレキシブルテープに形成されたアレイ状接続電極とプリント配線板はボールグリッドアレイにより接続される。好ましくは、プリント配線板は伝送線路とインピーダンス整合された配線パターンと、グランドパターンを有しており、高速信号用電極は配線パターンに接続され、グランド電極はプリント配線板のグランドパターンに接続される。
【図面の簡単な説明】  図１はプリント配線板上に実装された本発明第１実施形態の半導体パッケージの斜視図；
図２はプリント配線板上に実装された本発明第２実施形態の半導体パッケージの斜視図；
図３はスティフナ及び放熱フィンを搭載した状態の第１実施形態の半導体パッケージの断面図；
図４は図３に類似しており、放熱フィンが半導体チップに直接接触している第１実施形態の断面図；
図５は第２実施形態の高速信号用電極及びグランド電極と、プリント配線板の配線パターン及びグランドパターンとの接続の様子を示す平面図；
図６は半導体チップとフレキシブルテープがＴＡＢ接続された本発明第３実施形態の半導体パッケージの断面図；
図７は高速信号用電極が形成された面の裏面にグランドパターンを有する実施形態の一部断面図；
図８は図５に類似しており、図７に示した実施形態の高速信号用電極及びグランド電極と、プリント配線板の配線パターン及びグランドパターンとの接続の様子を示す平面図；
図９はフレキシブルテープの延長部分にコネクタを接続した実施形態の一部断面正面図；
図１０はフレキシブルテープの延長部分に高周波デバイスを接続した実施形態の一部断面正面図；
図１１はフレキシブルテープの延長部分に接続された高周波部品がプリント配線板と段差を有する実施形態の一部断面正面図である。
【発明を実施するための最良の形態】  図１を参照すると、プリント配線板２６上に実装された本発明第１実施形態の半導体パッケージ２の斜視図が示されている。符号４は例えばポリイミドから形成されたフレキシブルテープであり、約５０μｍ程度の厚さを有している。フレキシブルテープ４は実装部分４ａと延長部分４ｂを有している。フレキシブルテープ４の実装部分４ａ上には半導体チップ６が実装されており、更にその裏面には複数のアレイ状接続電極８が形成されている。フレキシブルテープ４の延長部分４ｂの先端には高速信号用電極１０と、この高速信号用電極１０を挟み込む一対のグランド電極１４が形成されている。半導体チップ６と高速信号用電極１４はフレキシブルテープ４に形成された伝送線路１２により接続されている。
図３はスティフナ１８及ぶ放熱フィン２２を搭載した状態の第１実施形態の半導体パッケージ２の断面図を示している。半導体チップ６は接続部のインダクタンスの少ない複数の半田ボール１６を使用したフリップチップボンディングによりフレキシブルテープ４の実装部４ａ上に実装されている。フレキシブルテープ４の実装部分４ａ上には、例えば放熱特性のよいセラミックから形成されたスティフナ（硬直剤）１８が搭載され、接着剤により固着されている。符号２０はスティフナ１８を半導体チップ６に固着する接着剤を示している。スティフナ１８上には、例えばアルミニウムから形成された放熱フィン２２が搭載され、接着剤により固着されている。アレイ状に配置された各接続電極８に対応して半田ボールからなるボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）２４が設けられている。
図４は図３に示した第１実施形態のスティフナ１８の変形例を示している。この実施形態では、放熱フィン２２が直接半導体チップ６に接触している。よって、半導体チップ６の発熱は主に放熱フィン２２を介して放熱されるため、スティフナ１８´をセラミックに比較して放熱特性が劣る樹脂から形成することができる。半導体パッケージ２の半導体チップ６はボールグリッドアレイ２４によりプリント配線板２６の配線パターンに接続されると共に、伝送線路１２及び高速信号用電極１０を介してプリント配線板２６の配線パターンに接続される。
本実施形態によれば、高速信号のプリント配線板２６への接続を半導体パッケージの基材としてのフレキシブルテープ４の延長部４ｂ上に設けた伝送線路１２経由で行うことで、劣化の少ない高速信号の接続を実現している。テープ延長部４ｂはプリント配線板２６から浮いているので、温度変化等により生ずるストレスを変形することにより吸収することができる。テープ延長部４ｂについては、パッケージの複数辺からテープ延長部を引き出し、それぞれの延長部に高速信号用の伝送線路を形成するようにしてもよい。
図２はプリント配線板２６上に実装された本発明第２実施形態の半導体パッケージ２Ａの斜視図を示している。本実施形態では、フレキシブルテープ４の延長部分４ｂ´は実装部分４ａの幅よりも狭い幅を有している。このように、延長部分４ｂ´の幅をパッケージの一辺より狭くすることによって、テープ曲げに対する許容範囲が広がり、半導体パッケージ２Ａのプリント配線板２６への実装時に生じる機械的ストレスを解放することができ、機械的衝撃に対する信頼度の高い実装を実現することができる。
図５は図２に示した第２実施形態のテープ延長部分４ｂ´とプリント配線板２６との接続の様子を示している。テープ延長部分４ｂ´の伝送線路１２の両側にはグランドパターン１３が形成されており、これらのグランドパターン１３はグランド電極１４にそれぞれ接続されている。高速信号用電極１０は伝送線路１２とインピーダンス整合されたプリント配線板２６の配線パターン２８に接続され、各グランド電極１４はプリント配線板２６のグランドパターン３０にそれぞれ接続される。このように、テープ延長部分４ｂ´とプリント配線板２６との接続を、高速信号用電極１０の両側にグランド電極１４を配置したコプレーナ線路形態で実現しているため、高速信号の劣化要因であるグランドの不連続性を防止し、高速信号の劣化を抑制することができる。図５は１本の信号線の形態であるが、複数本の信号線についても同様の形態で接続できる。図１に示した第１実施形態でも、フレキシブルテープ４の延長部分４ｂとプリント配線板２６との接続は、同様なコプレーナ接続を行っている。
図６は本発明第３実施形態の半導体パッケージ２Ｂの断面図を示している。本実施形態では、半導体チップ６とフレキシブルテープ４の配線パターンとは、テープ上の配線パターンをそのまま半導体チップ６に接続するテープ・オートメイティッド・ボンディング（ＴＡＢ）３２により接続されている。これにより、接続部のインダクタンスを最小にすることができ、安価で劣化の少ない接続を実現可能である。
図７を参照すると、フレキシブルテープ４の延長部分４ｂ´は伝送線路１２が形成された面と反対側の面にグランドパターン３４を有している。伝送線路１２の両側には、図８に示すように一対のグランドパターン１３が形成されており、これらのグランドパターン１３はそれぞれグランド電極１４を介してプリント配線板２６のグランドパターン３０に接続されている。伝送線路１２の背面に形成されたグランドパターン３４は、少なくとも伝送線路１２及び一対のグランドパターン１３に対応する位置に形成されている。このように、テープ延長部分４ｂ´の伝送線路１２にグランデッド・コプレーナ線路を採用し、伝送線路１２及びその両脇のグランドパターン１３をそれぞれ高速信号用電極１０及びグランド電極１４を介してプリント配線板２６の配線パターン２８及びグランドパターン３０に接続することによって、高速信号について劣化の少ない接続を実現することができる。
図９を参照すると、金属ブロック３６上にプリント配線板２６が搭載されており、金属ブロック３６に形成した穴３７中に挿入されたコネクタ３８の端子４０が伝送線路１２に接続されている。この実施形態によれば、機械的衝撃に対する信頼性が高く、高速信号について劣化の少ない外部接続を実現することができる。
図１０を参照すると、金属ブロック３６Ａ上にプリント配線板２６及び高周波デバイス４２が搭載されており、テープ延長部分４ｂ´の伝送線路１２と高周波デバイス４２の信号電極４４とはボンディングワイヤ４８で接続され、延長部分４ｂ´のグランドパターン３４と高周波デバイス４２のグランド電極４６とは金属ブロック３６Ａを介して接続されている。高周波デバイス４２に変えて、光デバイスを同様に接続するようにしてもよい。このように、半導体パッケージと高周波デバイス４２又は光デバイスを直接接続することによって、機械的衝撃に対する信頼性が高く、高速信号について劣化の少ない接続を実現することができる。
図１１を参照すると、金属ブロック３６Ｂは段差３７を有しており、プリント配線板２６が搭載された位置より上部に高周波デバイス４２が金属ブロック３６Ｂ上に搭載されている。このように延長部分４ｂ´がフレキシブルテープから形成されているため、段差のある接続も容易に達成することができ、実装面積を低減することができる。
【産業上の利用可能性】  本発明では、高速信号は伝送線路１２及び高速信号用電極１０を介してプリント配線板２６の配線パターンに接続し、低速信号はボールグリッドアレイ２４を介してプリント配線板２６の配線パターンに接続する。この構成により、高周波信号についてはインピーダンス的に不連続箇所がなく、伝送線路経由でプリント配線板の配線パターンと接続することができ、高速信号の劣化を最小限に抑えることができる。
高速信号以外の接続については、プリント配線板への搭載が容易なボールグリッドアレイ用のアレイ状接続電極８を有することによって、半導体パッケージの低コスト化が可能である。また、半導体パッケージの基材としてフレキシブルテープを使用することによって、高速用電極、アレイ状電極の接続部への機械的なストレスが解放され、実装時の機械的な信頼性について確保することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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