(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
端子が形成された画像表示パネルの端子部に励起光を照射する照射工程と、
有機物、無機物および前記有機物もしくは前記無機物を溶質とする電解質からなる汚染物質のうち、少なくとも前記照射工程において前記励起光を受けることにより蛍光を発した前記有機物および前記有機物を溶質とする前記電解質を前記端子部から取り除く除去工程とを含み、
前記蛍光を発した汚染物質から得られた発色スペクトルを前もって準備していたデータベースと比較して前記汚染物質を同定することを特徴とする汚染物質の除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、汚染物質の除去方法に係り、特に、液晶表示パネルなどの画像表示パネルにおいて端子が形成された端子部から、透明な唾液や汗などの視認できない物質や微細な皮膚やふけなどの視認しづらい物質など、端子の断線を引き起こす原因となる汚染物質を除去するのに好適に利用される汚染物質の除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、長さの異なる２枚のガラス基板に液晶を狭持してなる液晶表示パネルなどの画像表示パネルにおいては、その長いガラス基板の端子部に各種端子が形成されている。ここで、この画像表示パネルの端子に対し、埃や塵などの無機物、皮膚や人毛もしくはふけなどの人体から発生した有機物および当該有機物もしくは無機物を含んだ汗や唾液などの電解質からなる汚染物質が付着すると、通電時にその端子に接続された透明電極が容易に腐食して最終的には断線もしくは短絡に至るおそれがある。そのため、画像表示パネルは細心の注意を払って製造されていた（特許文献１を参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１２１７０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、どんなに細心の注意を払っても汚染物質が端子にわずかに付着することは避けられず、そのわずかな汚染物質の付着によってファインピッチ化された画像表示パネルの端子に悪影響を及ぼしかねないため、画像表示パネルの端子部から汚染物質を個々に取り除く必要がある。ここで、汚染物質を取り除く作業において、無機物性汚染物質は目視検出しやすいが、有機物性汚染物質となる皮膚やふけなどは微細であり、また有機物性汚染物質の溶媒となる汗や唾液などの電解質は透明であることから、光学顕微鏡を用いたとしてもその強い光源により光が汚染物質を通過してしまい、光学顕微鏡による目視確認を行なうことができなかった。そのため、画像表示パネルの端子部から汚染物質を完全に除去することが難しかった。
【０００５】
また、画像表示パネルの端子にＩＣなどのチップを搭載してからウェット洗浄方法により画像表示パネル全体を洗浄したとしても、チップ搭載前に汚染物質が端子に付着すれば、チップ搭載直後にそのチップとともに汚染物質も液状樹脂の硬化もしくは樹脂カバーにより封じ込まれてしまうので、封じ込まれた汚染物質を洗浄することができなかった。
【０００６】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、汚染物質の付着原因を追及して、以降の付着を防止することにより、画像表示パネルの端子部が断線および短絡することを防止することができる汚染物質の除去方法を提供することをその目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述した目的を達成するため、本発明の第１の態様は、端子が形成された画像表示パネルの端子部に励起光を照射する照射工程と、有機物、無機物および前記有機物もしくは前記無機物を溶質とする電解質からなる汚染物質のうち、少なくとも前記照射工程において前記励起光を受けることにより蛍光を発した前記有機物および前記有機物を溶質とする前記電解質を前記端子部から取り除く除去工程とを含み、前記蛍光を発した汚染物質から得られた発色スペクトルを前もって準備していたデータベースと比較して前記汚染物質を同定することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の第１の態様によって、蛍光を発した汚染物質から得られた発色スペクトルを前もって準備していたデータベースと比較して汚染物質を同定するので、汚染物質の付着原因を追及し、以降の付着を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の汚染物質の除去方法における一実施形態を説明する。
【００１２】
本実施形態の汚染物質の除去方法においては、励起光照射手段および汚染物質除去手段が用いられることにより、照射工程および除去工程が行なわれている。
【００１３】
励起光照射手段としては、紫外線、放射線、Ｘ線などの特定波長の光（励起光）を有機物性汚染物質に照射してその汚染物質を励起状態にした後、基底状態に戻る際に放出されるエネルギーとして生じる蛍光を検出することができる装置が用いられている。本実施形態の励起光照射手段においては、励起光を照射する機能と顕微鏡としての機能を兼ね備えた蛍光顕微鏡が用いられている。この蛍光顕微鏡は、光源、ミラーユニットおよび対物レンズなどを主に備えている。
【００１４】
光源としては、低圧水銀ランプまたはハロゲンランプが用いられている。
【００１５】
ミラーユニットとしては、励起フィルタ、ダイクロイックミラーおよび吸収フィルタからなるユニットが用いられている。本実施形態においては、Ｕ励起、Ｂ励起およびＧ励起に係る３種のミラーユニットもしくは蛍光広帯域Ｕ励起ミラーユニットが用いられている。なお、Ｕ励起とは、波長３３０ｎｍ〜３８０ｎｍの紫外線による励起をいう。同様して、Ｂ励起とは波長４２０〜４９０ｎｍの青線による励起をいい、Ｇ励起とは波長５１０〜５６０ｎｍの緑線による励起をいう。
【００１６】
対物レンズとしては、有機物性汚染物質の蛍光像が暗いことから、高い集光力および紫外線透過率を有しつつ、自己蛍光やソラリゼーションを生じないレンズが用いられている。本実施形態においては、乾燥系対物レンズ（金属用対物レンズ）が用いられている。この乾燥系対物レンズは、少なくとも２０〜５０倍の視野範囲を有しており、さらに１０〜２００倍の視野範囲を有していることが好ましい。
【００１７】
また、本実施形態の汚染物質除去手段としては、塩基類を含まない綿棒にエタノールなどの電子部品用洗浄剤を塗布したものを保持するマニピュレータもしくは人間の手が用いられている。
【００１８】
なお、本実施形態の蛍光顕微鏡においては、観察対象物（画像表示パネルの端子部および汚染物質）の画像表示を行なうために、デジタルカメラおよびモニタを有する画像表示手段が設けられていることが好ましい。また、汚染物質を特定するために、蛍光分光器が設けられることが好ましい。さらに、作業効率の向上のために、蛍光顕微鏡の観察対象物を載置するステージを速度調整機能付モータにより自動送りする自動送り手段が設けられていることが好ましい。
【００１９】
次に、図１を用いて、本実施形態の汚染物質の除去方法による作用を説明する。ここで、図１は、画像表示パネルの端子部に付着した皮膚、唾液、汗、人毛およびふけに対して励起光を照射して得た発光スペクトルを示している。なお、皮膚、唾液、汗、人毛およびふけは、画像表示パネルの端子部に対する主要な汚染物質である。
【００２０】
画像表示パネルの製造工程においてチップが搭載されていない画像表示パネルが形成されると、画像表示パネルの端子部に汚染物質が付着していないかを蛍光顕微鏡を用いて観察する。蛍光顕微鏡によって、画像表示パネルの端子部に励起光が照射されると、汚染物質の一部が有機物（皮膚、人毛もしくはふけなどの人体紛等）もしくは有機物を溶質とする液状電解質（汗もしくは唾液などの液体物等）であるため、励起状態と基底状態を往復することにより蛍光を発する。これによって、汚染物質が透明もしくは微細であったとしても、励起光照射された汚染物質が画像表示パネルの端子部に存在するかを自己発光によって知らせるので、画像表示パネルの端子部に汚染物質が付着したかを目視により容易かつ迅速に検出することができる。
【００２１】
また、蛍光顕微鏡のミラーユニットとして、Ｕ励起、Ｂ励起およびＧ励起に係る３種のミラーユニットもしくは蛍光広帯域Ｕ励起ミラーユニットが用いられているので、有機物性汚染物質のピーク波長を幅広く検出することができる。例えば、図１の実験結果に示すように、皮膚、汗、人毛、ふけの発色ピーク波長は約４５０ｎｍであり、唾液の発色ピーク波長は約５５０ｎｍであることが明らかとなっている。また、唾液とそれ以外の主要汚染物質とにおいては検出される波長帯域が異なっている。そのため、それらのピーク波長に応じて３種のミラーユニットから選択された好適なミラーユニット、もしくは広帯域波長の蛍光を検出する単一の蛍光広帯域Ｕ励起ミラーユニットを用いることにより、有機物性汚染物質を確実に検出することができる。
【００２２】
さらに、Ｕ励起、Ｂ励起およびＧ励起に係る３種のミラーユニットを選択的に用いる場合、Ｕ励起によって淡青色もしくは濃青色に発光した汚染物質を検出しつつ、Ｂ励起およびＧ励起によって画像表示パネルの製造に用いたフォトレジストの残渣を検出することができる。
【００２３】
この蛍光顕微鏡による検出時において、対物レンズの倍率が少なくとも２０〜５０倍となっていれば、５〜７ｍｍ程度の端子幅を有する画像表示パネルの端子部のすべてが蛍光顕微鏡の視野範囲内となり、画像表示パネルの端子部の一端から他端（反対）までを一度に検査して汚染物質が付着したかを検出することができる。また、対物レンズの倍率が１０〜２００倍であれば、前述のような検査のみでなく、対物レンズの高倍率側においてその汚染物質が何かを目視によっても特定することができる。さらに、画像表示パネルの端子部を拡大観察することにより、励起光照射による発色が期待できない無機物性汚染物質が端子部に付着している場合においてもその無機物性汚染物質の存在を目視により確認することができるので、蛍光顕微鏡を用いることにより、有機物性汚染物質や有機物性汚染物質を溶質とする電解性汚染物質だけでなく、無機物性汚染物質および無機物性汚染物質を溶質とする電解性汚染物質をも容易に検出することができる。
【００２４】
さらに、有機物性汚染物質は固有の発色ピーク波長を有することから、蛍光顕微鏡に蛍光分光器を併用することにより、汚染物質の特定を行なうことができる。ここで、Ｕ励起により汚染物質を発色させる場合、４００〜７５０ｎｍの広い波長帯域内において汚染物質による淡い発色を検出することができるので、励起光照射により得られた発色スペクトルと事前作成したデータベースより得られた汚染物質の発色波長とを自動的に比較判定させることにより、汚染物質の同定を瞬時に行なうことができる。この同定は、汚染物質の付着原因を追及し、以後の付着を防止するために好適な手段の一つといえる。
【００２５】
そして、蛍光顕微鏡により画像表示パネルの端子部に汚染物質が付着していることが確認されると、電子部品用洗浄剤を塗布した綿棒を用いて、汚染物質を拭き取って除去することができる。
【００２６】
画像表示パネルの端子部から汚染物質が除去されたら、画像表示パネルにチップを搭載する。ここで、チップ搭載後に画像表示パネルに汚染物質が付着していないかを再度確認することにより、断線および短絡の更なる防止を図ることができる。
【００２７】
すなわち、本実施形態の汚染物質の除去方法によって、画像表示パネルの端子部に付着しやすい視認不能もしくは視認困難な汚染物質が自らその存在位置を知らせるので、その汚染物質を容易に除去することができる。これにより、画像表示パネルの端子部が断線および短絡することを防止するという効果を奏する。
【００２８】
また、本実施形態の汚染物質の除去方法によって、発色しない微細な無機物性汚染物質の視認ができるので、発色する有機物性汚染物質および電解性汚染物質とともに発色しない無機物性汚染物質をも取り除くことができる。
さらに、本実施形態の汚染物質の除去方法によって、蛍光を発した汚染物質から得られた発色スペクトルを前もって準備していたデータベースと比較して汚染物質を同定するので、汚染物質の付着原因を追及し、以降の付着を防止することができる。
【００２９】
なお、本発明は、前述した実施形態などに限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の汚染物質の除去方法における一実施形態において、画像表示パネルの端子部に付着した皮膚、唾液、汗、人毛およびふけに対して励起光を照射して得た発光スペクトルを示すグラフ
【図１】
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