(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リングフレームの内周側に板状の被着体を配置して当該被着体を支持するテーブルと、前記リングフレームの内周側を塞ぐ大きさの接着シートをリングフレームに貼付する貼付手段と、前記テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する開閉可能なケースとを含み、前記ケースを閉塞して減圧室の圧力を減圧した後に当該減圧を解除する制御を行うことで接着シートを介して被着体をリングフレームに一体化させるマウント装置において、
前記テーブルに相対する位置でケース内に配置された挟込手段を更に含み、当該挟込手段は、前記ケースを閉塞して単一の減圧室が形成された状態で、前記テーブルと相互に作用して被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込み、前記接着シートと被着体との間に前記減圧室から独立した貼付前空間を形成することを特徴とするマウント装置。
【請求項２】
リングフレームの内周側に板状の被着体を配置して当該被着体を支持するテーブルと、前記リングフレーム及び板状部材に臨む位置に帯状の接着シートを供給する供給手段と、前記テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する開閉可能なケースと、前記ケースを閉塞して減圧室の圧力を減圧した後に当該減圧を解除する制御を行うことで接着シートを介して被着体をリングフレームに一体化させた後に、前記接着シートを所定の大きさに切断する切断手段とを備えたマウント装置において、
前記テーブルに相対する位置でケース内に配置された挟込手段を更に含み、当該挟込手段は、前記ケースを閉塞して単一の減圧室が形成された状態で、前記テーブルと相互に作用して被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込み、前記接着シートと被着体との間に前記減圧室から独立した貼付前空間を形成することを特徴とするマウント装置。
【請求項３】
前記テーブルは、前記被着体の外周部を下方から支持する支持凸部を備えた内側テーブルと、前記リングフレームを支持する外側テーブルとを含み、前記内側テーブルと挟込手段は、前記接着シートと被着体との間に、前記減圧室から独立した貼付前空間を形成することを特徴とする請求項１又は２記載のマウント装置。
【請求項４】
前記挟込手段は、前記被着体の外周部を挟み込む挟込凸部を備え、当該挟込手段と前記テーブルは、前記接着シートと被着体との間に、前記減圧室から独立した貼付前空間を形成することを特徴とする請求項１、２又は３記載のマウント装置。
【請求項５】
リングフレームの内周側に板状の被着体を載置する工程と、
前記リングフレームの内周側を塞ぐ大きさの接着シートを前記リングフレームに貼付する工程と、
前記リングフレームと被着体とを収容して単一の減圧室を形成する工程と、
前記減圧室を減圧する工程と、
前記被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込み、前記接着シートと被着体との間に前記減圧室から独立した貼付前空間を形成する工程と、
前記減圧室の減圧を解除して接着シートを被着体に貼付して当該被着体をリングフレームに一体化させる工程と、を含むマウント方法。
【請求項６】
リングフレームの内周側に板状の被着体を載置する工程と、
前記リングフレーム及び被着体に臨む位置に帯状の接着シートを供給する工程と、
前記リングフレームと被着体とを収容して単一の減圧室を形成する工程と、
前記減圧室を減圧する工程と、
前記被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込み、前記接着シートと被着体との間に前記減圧室から独立した貼付前空間を形成する工程と、
前記減圧室の減圧を解除して接着シートを被着体に貼付して前記被着体をリングフレームに一体化させる工程と、
前記接着シートを所定の大きさに切断する切断工程と、を含むマウント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マウント装置及びマウント方法に係り、特に、減圧雰囲気で半導体ウエハ等の被着体とリングフレームとを接着シートを介して一体化させることに適したマウント装置及びマウント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）の処理工程には、多数のチップに個片化するダイシング工程が含まれ、当該ダイシング工程に先だって、ウエハをリングフレームにマウントすることが行われている。このマウントは、リングフレームと、当該リングフレームの内周側に配置されるウエハとに接着シート（ダイシングシート）を貼付することによって行われる。
特許文献１には、接着シートが貼付されたリングフレームと、ゴムシートに支持されたウエハとをケース内で相対的に配置し、前記接着シートの上方に形成された空間と、ゴムシートの下方に形成された空間との圧力を制御し、ゴムシートの弾性変形を介してウエハを接着シートに貼付する構成が開示されている。
また、特許文献２には、外周部の板厚が相対的に厚く設けられて当該外周部を補強部としたウエハが開示されている。
【特許文献１】特開２００５−２６３７７号公報
【特許文献２】特開２００７−１９３７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１の構成にあっては、前記ゴムシートの下面側空間と接着シートの上面側空間との圧力を等しく保ちながら減圧しなければならない構成であるため、その圧力制御が非常に複雑になる、という不都合がある。
また、ウエハは、その下面側全域がゴムシートに接触する状態で支持される全接触型であり、ウエハの下面とゴムシートとの間に埃等の異物が付着していた場合には、接着シートを貼付するための圧力が作用したときに、ウエハに割れ等の損傷をもたらす。
特に、特許文献２に開示されたウエハは、その外周部が相対的に厚くなるように段差部を備えているものであるため、当該ウエハを対象としてリングフレームにマウントする場合には、前記ゴムシートの弾性変形時に、前記段差部が形成されている位置でウエハが割れ易くなる、という不都合がある。
【０００４】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、複雑な減圧制御をすることなく、接着シートを被着体に貼付することができるマウント装置及びマウント方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、被着体を支持する領域を限定的に設けることで、被着体に押圧力が付与された際に生じ得る損傷要因を効果的に排除することのできるマウント装置及びマウント方法を提供することにある。
更に、本発明の目的は、肉厚が異なる形状を備えた被着体を対象としても、当該被着体に割れ等の損傷をもたらすことなくマウントすることができるマウント装置及びマウント方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するため、本発明に係るマウント装置は、リングフレームの内周側に板状の被着体を配置して当該被着体を支持するテーブルと、前記リングフレームの内周側を塞ぐ大きさの接着シートをリングフレームに貼付する貼付手段と、前記テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する開閉可能なケースとを含み、前記ケースを閉塞して減圧室の圧力を減圧した後に当該減圧を解除する制御を行うことで接着シートを介して被着体をリングフレームに一体化させるマウント装置において、前記テーブルに相対する位置でケース内に配置された挟込手段を更に含み、当該挟込手段は、前記ケースを閉塞して単一の減圧室が形成された状態で、前記テーブルと相互に作用して被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込み、前記接着シートと被着体との間に前記減圧室から独立した貼付前空間を形成する、という構成を採っている。
【０００６】
また、本発明は、リングフレームの内周側に板状の被着体を配置して当該被着体を支持するテーブルと、前記リングフレーム及び板状部材に臨む位置に帯状の接着シートを供給する供給手段と、前記テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する開閉可能なケースと、前記ケースを閉塞して減圧室の圧力を減圧した後に当該減圧を解除する制御を行うことで接着シートを介して被着体をリングフレームに一体化させた後に、前記接着シートを所定の大きさに切断する切断手段とを備えたマウント装置において、前記テーブルに相対する位置でケース内に配置された挟込手段を更に含み、当該挟込手段は、前記ケースを閉塞して単一の減圧室が形成された状態で、前記テーブルと相互に作用して被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込み、前記接着シートと被着体との間に前記減圧室から独立した貼付前空間を形成する、という構成を採ることができる。
【０００７】
前記マウント装置において、前記テーブルは、前記被着体の外周部を下方から支持する支持凸部を備えた内側テーブルと、前記リングフレームを支持する外側テーブルとを含み、前記内側テーブルと挟込手段は、前記接着シートと被着体との間に、前記減圧室から独立した貼付前空間を形成するように設けられている。
【０００８】
また、前記挟込手段は、前記被着体の外周部を挟み込む挟込凸部を備え、当該挟込手段と前記テーブルは、前記接着シートと被着体との間に、前記減圧室から独立した貼付前空間を形成する、という構成を採ることができる。
【０００９】
更に、本発明に係るマウント方法は、リングフレームの内周側に板状の被着体を載置する工程と、前記リングフレームの内周側を塞ぐ大きさの接着シートを前記リングフレームに貼付する工程と、前記リングフレームと被着体とを収容して単一の減圧室を形成する工程と、前記減圧室を減圧する工程と、前記被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込み、前記接着シートと被着体との間に前記減圧室から独立した貼付前空間を形成する工程と、前記減圧室の減圧を解除して接着シートを被着体に貼付して当該被着体をリングフレームに一体化させる工程とを含む手法を採っている。
【００１０】
また、本発明に係るマウント方法は、リングフレームの内周側に板状の被着体を載置する工程と、前記リングフレーム及び被着体に臨む位置に帯状の接着シートを供給する工程と、前記リングフレームと被着体とを収容して単一の減圧室を形成する工程と、前記減圧室を減圧する工程と、前記被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込み、前記接着シートと被着体との間に前記減圧室から独立した貼付前空間を形成する工程と、前記減圧室の減圧を解除して接着シートを被着体に貼付して前記被着体をリングフレームに一体化させる工程と、前記接着シートを所定の大きさに切断する切断工程とを含む手法を採用することもできる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、減圧室を減圧した状態で、テーブルと挟込手段とにより、被着体の外周部が接着シートと共に挟み込まれる構成であるため、減圧室を大気開放するように圧力制御するだけで接着シートが被着体に貼付されることとなる。
これにより、複数の減圧室を設けた場合に要求される複数の圧力制御弁、配管及び圧力のバランス調整等は一切不要となり、複雑な構成、圧力制御若しくは管理が不要となる。
更に、減圧室を減圧した状態で、テーブルと挟込手段とにより、被着体と接着シートとの間に独立した貼付前空間が形成されるように構成したことで、減圧室を大気開放するように圧力制御を行うことにより、貼付前空間が大気圧によって実質的に消失して接着シートが被着体に貼付され、リングフレームに被着体をマウントすることができる。
また、被着体は外周部のみがテーブルに支持されることとなるため、被着体とテーブルとの接触面積を少なくすることができる。そのため、テーブル上の異物が被着体に押し付けられるようなことがないため、ウエハ等の脆質性を備えた被着体であっても損傷を効果的に回避することができる。
なお、本明細書において、減圧とは真空をも含む概念として用いられ、また、「貼付前空間」とは、被着体と接着シートとを挟み込む力が作用しない領域における被着体と接着シートとの間に生じる隙間について用いられる。更に、リングは、必ずしも閉ループを意味するものではなく、例えば、平面視Ｃ字状等のループ形状となるリングも含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
（第１実施形態）
図１には、本発明の第１実施形態に係るマウント装置の一部を断面した概略正面図が示されている。この図において、マウント装置１０は、閉ループ状のリングフレームＲＦ及び被着体としての板状部材、具体的には、略円形のウエハＷを支持するテーブル１１と、当該テーブル１１を収容するとともに、内部に単一の減圧室Ｃ（図３参照）を形成する開閉可能なケース１２と、当該ケース１２を開放した状態で、リングフレームＲＦの内周側を塞ぐ大きさを備えた感圧接着性の接着シートＳをリングフレームＲＦに貼付する貼付手段１３とを備えて構成されている。ここで、本実施形態におけるウエハＷは、特に限定されるものではないが、外周部側に段部Ｗ１を介して相対的に厚くすることで補強部Ｗ２を有するウエハＷがマウントの対象物とされている。
【００１５】
前記テーブル１１は、ウエハＷを支持した状態で当該ウエハＷの下面側に位置する平面部１５と、この平面部１５の外周側に位置してウエハＷの外周部のみを下方から支持する支持凸部１６とを有する平面視略円形の内側テーブル１７と、この内側テーブル１７を収容する大きさを備えているとともに、リングフレームＲＦを支持する平面視略円形の外側テーブル１８と、当該外側テーブル１８の底部１９上面に配置されて内側テーブル１７を上下に移動可能に支持する直動モータＭ１とを備えて構成されている。内側テーブル１７の平面部１５及び外側テーブル１８の底部１９には連通孔１５Ａ、１９Ａがそれぞれ形成されており、ウエハＷが内側テーブル１７に支持されたときのウエハＷと内側テーブル１７との間に形成される空間Ｃ１と、接着シートＳをリングフレームＲＦに貼付したときの当該接着シートＳと外側テーブル１８との間に形成される空間Ｃ２（図３参照）が減圧室Ｃに連通して当該減圧室Ｃの一部を形成するようになっている。ここで、外側テーブル１８は、直動モータＭ２を介してケース１２内で上下に移動可能に支持されている。
【００１６】
前記ケース１２は、図１中下部側に位置する第１のケース２１と、上部側に位置する第２のケース２２とからなる。第１のケース２１は、底部２４と、この底部２４の外周側に位置する起立部２５とを備え、底部２４の上面側に直動モータＭ２が支持されている。第１のケース２１は起立部２５に接続された配管２６を介して三方電磁弁２８に接続されているとともに、単軸ロボット３０によって図１中左右方向に沿って移動可能に設けられている。なお、三方電磁弁２８は図示しない減圧ポンプに接続される配管３１と、大気導入のための配管３２に接続され、減圧室Ｃ内を減圧したり、その減圧を解除して大気圧としたりすることができる。
【００１７】
前記第２のケース２２は、頂部３４と垂下部３５とにより構成され、テーブル１１に相対する位置において、頂部３４の下面側に挟込手段３７が配置されている。この挟込手段３７は、直動モータＭ３を介して上下に移動可能に設けられた挟込プレート３８と、当該挟込プレート３８の下面外周側に設けられた円環状の挟込凸部４０とを含む。挟込凸部４０は、支持凸部１６と略同一形状とされ、これにより、挟込凸部４０が上方から接着シートＳを介してウエハＷの外周部上面側のみ、すなわち補強部Ｗ２を押圧して挟み込むようになっている。また、挟込プレート３８の面内には、貫通孔３８Ａが形成されており、挟込手段３７によって接着シートＳ及びウエハＷを内側テーブル１７との間に挟み込んだ状態においても、接着シートＳと挟込プレート３８との間に形成される空間Ｃ３（図４参照）は、減圧室Ｃに連通して当該減圧室Ｃの一部を構成することとなる。なお、垂下部３５の下端面には、Ｏリング４２が受容されている。
【００１８】
前記第２のケース２２は、図示しない移動手段を介して上下方向に移動可能に支持されており、第１のケース２１側に下降して垂下部３５の下端面が起立部２５の上端側に押し当てられたときに、第１のケース２１と相互に作用して減圧室Ｃを形成する。
【００１９】
前記貼付手段１３は、フレームＦに支持され、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＳが仮着された原反Ｒを繰出可能に支持する支持ローラ４５と、剥離シートＲＬを反転する方向に案内して接着シートＳを剥離するピールプレート４６と、接着シートＳをリングフレームＲＦに押圧する押圧ローラ４７と、原反Ｒに繰出力を付与する駆動手段４８と、剥離シートＲＬの巻取ローラ４９とにより構成されている。駆動手段４８は、モータＭ４の出力軸に連結された駆動ローラ５０と、この駆動ローラ５０との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ５１とからなる。なお、接着シートＳは、平面形状がリングフレームＲＦの内径よりも大きい略円形とされており、当該接着シートＳは、剥離シートＲＬに所定間隔を隔てて仮着されている。
【００２０】
次に、第１実施形態に係るシート貼付方法について図２ないし図５をも参照しながら説明する。
【００２１】
図１に示されるように、図示しない移載手段を介してリングフレームＲＦが外側テーブル１８上に移載され、更に、ウエハＷが内側テーブル１７上に移載されると、第１のケース２１が貼付手段１３の下方に位置する（図２参照）。なお、ウエハＷは、補強部Ｗ２の下面が支持凸部１６の上面に位置するように載置される。そして、直動モータＭ２を介して外側テーブル１８が上昇する。この上昇により、リングフレームＲＦの上面が第１のケース２１の起立部２５の上端面より上方に位置するようになる。
【００２２】
次いで、第１のケース２１が単軸モータ３０に沿って図２中矢印ａ方向に移動し、リングフレームＲＦが所定の貼付開始位置に移動したことが図示しないセンサにより検出されたときに、駆動手段４８が駆動して原反Ｒに繰出力を付与し、ピールプレート４６を介して剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離しつつ当該接着シートＳがリングフレームＲＦの内周側を塞ぐように貼付される。
【００２３】
第１のケース２１が第２のケース２２の直下まで移動すると、図示しない移動手段を介して第２のケース２２が下降し、第１のケース２１とで単一の減圧室Ｃが形成される（図３参照）。この状態で、三方電磁弁２８を制御し、配管３１を介して減圧室Ｃを減圧する。そして、減圧室Ｃが減圧状態となったときに、内側テーブル１７が上昇するとともに、挟込手段３７の挟込プレート３８が下降し、挟込凸部４０が支持凸部１６と相互に作用してウエハＷの補強部Ｗ２のみを接着シートＳと共に挟み込む。これにより、脆弱なウエハＷの内側の面に押圧力が加わることを防止して、回路が形成された面に外力が加わることを防止できるようになっている。また、この挟み込みにより、ウエハＷの内側と接着シートＳとの間に減圧室Ｃから遮断されて独立した貼付前空間Ｃ４（図４参照）が形成される。
【００２４】
このようにして貼付前空間Ｃ４が形成された後、三方電磁弁２８を制御し、配管３２から大気を導入して減圧室Ｃの減圧が解除される。この大気開放により、貼付前空間Ｃ４は、図５に示されるように、大気圧によって実質的に消失して接着シートＳがウエハＷに貼付され、これによってウエハＷが接着シートＳを介してリングフレームＲＦにマウントされることとなる。
【００２５】
接着シートＳの貼付が完了すると、第２のケース２２が上昇してケース１１を開放する。そして、リングフレームＲＦにマウントされたウエハＷは、図示しない搬送手段を介して次工程に搬送される。
【００２６】
従って、このような第１実施形態によれば、単一の減圧室Ｃ内でウエハＷの内側の面に押圧力を付与することなく接着シートＳを貼付することができる。また、貼付前空間Ｃ４を形成し、減圧室Ｃの減圧を解除する圧力制御によって貼付前空間Ｃ４を消失させて接着シートＳをウエハＷに貼付することができ、従来のような、複数の減圧室を同じ圧力に保ちながら減圧するといった複雑な圧力制御は不要となり、減圧室Ｃ内の減圧制御も極めて簡単なものとなる。また、ウエハＷはその外周側下面が内側テーブル１７に支持される構成であるため、テーブル１１の上面に埃等の異物が存在することがあっても、ウエハＷを損傷させてしまうような不都合は生じない。更に、ウエハＷの被着面側にバンプ等の凹凸が存在する場合であっても、気泡を混入させることなくシートＳを貼付することができる。また、ウエハＷは内側テーブル１７に支持された面形状を維持する構成、つまり、従来例のようにゴムシートの弾性変形によって面形状が変形しない構成であるため、外周に補強部Ｗ２を備えた形状であっても、当該補強部Ｗ２を形成するための段部Ｗ１位置でウエハＷが割れてしまうような不都合も解消することができる。
【００２７】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について、図６ないし図１０を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、前記第１実施形態と同一若しくは同等の構成部分については必要に応じて同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略にする。
【００２８】
第２実施形態は、第１実施形態における貼付手段１３に代えて、供給手段６０を採用するとともに、第１のケース２１を第２のケース２２の直下において、図示しない移動手段を介して上下に移動可能に設けた構成に特徴を有するものである。
【００２９】
前記供給手段６０は、帯状の接着シートＳの接着剤層側に帯状の剥離シートＲＬが仮着された原反Ｒを支持するロック機構を有する支持ローラ６１と、剥離シートＲＬを回収する巻取手段６２と、接着シートＳを剥離シートＲＬから剥離するピールプレート６３と、接着シートＳをウエハＷの被着面すなわち上面とリングフレームＲＦの上面に臨む位置に引き出すとともに、リングフレームＲＦに貼付された接着シートＳの外周側となる不要接着シートＳ１を巻き取る引出巻取手段６５と、ウエハＷ及びリングフレームＲＦに貼付された接着シートＳをリングフレームＲＦの大きさ内で切断する切断手段６６（図９参照）と、引出巻取手段６５を図６中左右方向に移動可能に支持する移動手段６８とを備えて構成されている。なお、第２実施形態における接着シートＳの幅は、ケース１２の内径よりも小さいものが採用されている。従って、接着シートＳをウエハＷ及びリングフレームＲＦに臨む位置に引き出してケース１２を閉塞した状態においても、ケース１２が上下に仕切られることなく単一の減圧室Ｃを形成することとなる。
【００３０】
前記巻取手段６２は、フレームＦ１に支持されたモータＭ５の駆動により回転する駆動ローラ７０と、この駆動ローラ７０との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ７１と、モータＭ５によって駆動ローラ７０と同期回転して剥離シートＲＬを巻き取る剥離シート巻取ローラ７４とにより構成されている。
【００３１】
前記引出巻取手段６５は、フレームＦ２に支持されたモータＭ６の駆動により回転する駆動ローラ７５と、この駆動ローラ７５との間に不要接着シートＳ１を挟み込むピンチローラ７６と、モータＭ６によって駆動ローラ７５と同期回転して不要接着シートＳ１を巻き取る不要シート巻取ローラ７７とにより構成されている。
【００３２】
前記移動手段６８は図６中左右方向に延びる単軸ロボット８０により構成され、当該単軸ロボット８０のスライダ８１にフレームＦ２が固定されて引出巻取手段６５が左右方向に移動可能となっている。
【００３３】
前記切断手段６６は、図９に示されるように、ケース１２が開放した状態において、図示しない移動手段を介してテーブル１１の上方に位置可能に設けられている。この切断手段６６は、図示しないモータの出力軸に連結された回転軸８２と、この回転軸８２に固定されて水平面内で回転可能なアーム８３と、当該アーム８３に設けられたロータリーカッター８５とにより構成されている。なお、切断手段６６は、常時はケース１２の側方に位置するようになっている。
その他の構成は、実質的に第１実施形態と同様となっている。
【００３４】
次に、第２実施形態に係るマウント方法について説明する。
【００３５】
図６に示されるように、第１及び第２のケース２１、２２が相互に離間してケース１２を開放している状態で、支持ローラ６１に支持された原反Ｒのリード端を所定長さ引き出し、ピールプレート６３の先端位置で剥離シートＲＬを接着シートＳから剥離し、当該剥離シートＲＬを剥離シート巻取ローラ７４に固定する。一方、接着シートＳは、図６中二点鎖線で示される位置にある引出巻取手段６５の不要シート巻取ローラ７７に固定する。
【００３６】
図示しない移載手段を介してリングフレームＲＦが外側テーブル１８上に移載され、更に、ウエハＷの補強部Ｗ２の下面が支持凸部１６に支持されるように移載されると、駆動ローラ７５の回転をロックした状態で、引出巻取手段６５が図６中二点鎖線位置から実線で示される位置に移動し、この動作に同期して、巻取手段６２が駆動して剥離シートＲＬの回収が行われる。これにより、第１のケース２１の上方を横切って、ウエハＷ及びリングフレームＲＦの上面に臨む位置に接着シートＳが供給されることとなる。
【００３７】
次いで、第１のケース２１が図示しない移動手段を介して上昇するとともに、第２のケース２２が図示しない移動手段を介して下降し、第１のケース２１とで単一の減圧室Ｃ（図７参照）が形成される。この状態で、電磁弁２８を制御し、配管３１を介して減圧室Ｃを減圧する。
そして、減圧室Ｃが減圧状態となったときに、内側テーブル１７が上昇するとともに、挟込プレート３８が下降し、挟込凸部４０が支持凸部１６と相互に作用してウエハＷの外周部のみを接着シートＳと共に挟み込む。これにより、脆弱なウエハＷの内側の面に押圧力が加わることを防止して、回路が形成された面に外力が加わることを防止できるようになっている。また、この挟み込みにより、ウエハＷの内側と接着シートＳとの間に貼付前空間Ｃ４（図７参照）が形成され、当該貼付前空間Ｃ４が形成された後に前記第１実施形態と同様に減圧室Ｃを大気圧とすることで、貼付前空間Ｃ４を消失させて接着シートＳがウエハＷに貼付されることとなる（図８参照）。
【００３８】
接着シートＳの貼付が完了すると、図９に示されるように、第２のケース２２が第１のケース２１から離間する上方に移動し、ケース１２の側方に退避している切断手段６６が第１のケース２１上に移動し、リングフレームＲＦの面内で接着シートＳが閉ループ状に切断される。
【００３９】
接着シートＳの切断が行われた後は、支持ローラ６１と駆動ローラ７０とをロックした状態で、駆動ローラ７５及び不要シート巻取ローラ７７が回転しながら図６中二点鎖線で示される位置に移動し、これにより、前記切断によって生じた不要接着シートＳ１が巻き取られることとなる（図１０参照）。
【００４０】
接着シートＳを介してリングフレームＲＦにマウントされたウエハＷは、図示しない搬送手段を介して所定箇所に搬送される。
【００４１】
従って、このような第２実施形態によっても前記第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４２】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００４３】
例えば、前記実施形態では、接着シートＳとして感圧性接着シートを用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、ダイボンディング用の感熱接着性の接着シート等を採用することもできる。この場合、テーブルにヒータを内蔵させたり、配管２６を介して供給される空気を温風とすればよい。
【００４４】
更に、被着体はウエハＷに限らず、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。また、ウエハＷ若しくは板状部材は、厚みが等しいものであっても適用することができる。
【００４５】
また、挟込手段３７は、内側テーブル１７との間で接着シートＳ及びウエハＷを挟み込んで貼付前空間Ｃ４を形成することができるものである限り、設計変更してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】第１実施形態に係るマウント装置の部分断面正面図。
【図２】接着シートをリングフレームに貼付する直前状態を示す部分断面正面図。
【図３】減圧室が形成された状態を示す部分断面正面図。
【図４】接着シートとウエハとの間に貼付前空間が形成された状態を示す部分断面正面図。
【図５】ウエハがリングフレームにマウントされた状態を示す部分断面正面図。
【図６】第２実施形態に係るマウント装置の部分断面正面図。
【図７】接着シートとウエハとの間に貼付前空間が形成された状態を示す部分断面正面図。
【図８】接着シートがウエハに貼付された状態を示す部分断面正面図。
【図９】接着シートをリングフレームの面内で切断する状態を示す部分断面正面図。
【図１０】接着シートの切断により生じた不要接着シートを巻き取った状態を示す部分断面正面図。
【符号の説明】
【００４７】
１０  マウント装置
１１  テーブル
１２  ケース
１３  貼付手段
１４  ケース
１６  支持凸部
１７  内側テーブル
１８  外側テーブル
３７  挟込手段
４０  挟込凸部
６０  供給手段
６６  切断手段
Ｃ  減圧室
Ｃ４  貼付前空間
ＲＦ  リングフレーム
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
0005117934.tif 000003
【図３】
0005117934.tif 000004
【図４】
0005117934.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
0005117934.tif 000008
【図８】
0005117934.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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