(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被はんだ付け部に予めはんだが供給された板状の被はんだ付けワークに面して、その板面方向の旋回ベクトルが与えられてそれぞれが独立した回転軸座標をその吹き出し口内に有して回転運動を行うところの旋回流熱風の吹き出し口を多数配置して、前記多数の吹き出し口からそれぞれ旋回流熱風を前記板状の被はんだ付けワークに吹きつけることで前記被はんだ付け部に供給された前記はんだを加熱し溶融させてはんだ付けを行うこと、
を特徴とするはんだ付け方法。
【請求項２】
被はんだ付け部に予めはんだが供給された板状の被はんだ付けワークに面して、前記板状の被はんだ付けワークの板面方向の旋回ベクトルが与えられてそれぞれが独立した回転軸座標をその吹き出し口内に有して回転運動を行うところの旋回流熱風の吹き出し口を多数配列して設けた旋回流配列発生板状部材を設け、この旋回流配列発生板状部材から吹き出す多数の前記旋回流熱風を前記板状の被はんだ付けワークに吹きつけることで前記被はんだ付け部に供給された前記はんだを加熱し溶融させてはんだ付けを行うこと、
を特徴とするはんだ付け方法。
【請求項３】
請求項２記載のはんだ付け方法において、旋回流配列発生板状部材に設けられた旋回流熱風発生手段が孔軸に対する熱風流入口側の角度が熱風吹き出し口側の角度よりも大きくなるように形成された少なくとも２段に角度が変化するコーン形状の孔を備えて成ると共に、熱風流入口側には加圧されて圧縮された加熱雰囲気が供給されて成ること、
を特徴とするはんだ付け方法。
【請求項４】
板状部材に熱風を通すための多数の孔が配列して設けられると共にこれらの孔は孔軸に対する角度が少なくとも２段に変化するコーン形状の孔を備えて成り、熱風の流入口側コーン形状部分の前記孔軸に対する角度が熱風吹き出し口側コーン形状部分の前記孔軸に対する角度よりも大きくなるように形成されて旋回流配列発生板状部材を構成すると共に、この旋回流配列発生板状部材の熱風流入口側に圧縮された加熱雰囲気の供給手段を有し、
他方で前記旋回流配列発生板状部材を被はんだ付け部に予めはんだが供給された板状の被はんだ付けワークに面して設けると共に、前記板状の被はんだ付けワークを前記旋回流配列発生板状部材に面して搬送する搬送手段を備えて成ること、
を特徴とするはんだ付け装置。
【請求項５】
板状部材に熱風を通すための多数の孔が配列して設けられると共にこれらの孔は孔軸に対する角度が少なくとも２段に変化するコーン形状の孔を備えて成り、熱風の流入口側コーン形状部分の前記孔軸に対する角度が熱風吹き出し口側コーン形状部分の前記孔軸に対する角度よりも大きくなるように形成され、さらに熱風吹き出し側コーン形状部分の先側に円柱状の孔が設けられると共にこの円柱状の孔の孔径に対する長さの比を１対４以下に設けて構成した旋回流配列発生板状部材と、この旋回流配列発生板状部材の熱風流入口側に圧縮された加熱雰囲気の供給手段とを有し、
他方で前記旋回流配列発生板状部材を被はんだ付け部に予めはんだが供給された板状の被はんだ付けワークに面して設けると共に、前記板状の被はんだ付けワークを前記旋回流配列発生板状部材に面して搬送する搬送手段を備えて成ること、
を特徴とするはんだ付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被はんだ付けワーク例えばプリント配線板に電子部品が搭載され、その被はんだ付け部に予め供給されているはんだを加熱し溶融させてはんだ付けを行う方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板に電子部品のはんだ付けを行う方法として、被はんだ付け部に予め供給しておいたはんだ（例えば、クリームはんだ）を加熱して溶融させるリフローはんだ付け方法がある。このはんだの溶融によって被はんだ付け部に金属間化合物が形成され、いわゆるはんだの「濡れ」を形成してはんだ付けが行われる。
【０００３】
はんだを加熱する手段としては、熱風加熱方法や熱線加熱方法そして蒸気加熱方法等があるが、総合的に見て使い勝手に優れた熱風加熱方法が主加熱方式として使用されている。
【０００４】
熱風加熱方法を採るリフローはんだ付け方法の技術として特許文献１の技術がある。この文献には、ノズルから吹き出した熱風がプリント配線板に吹き当たり、その後ノズルの周囲に設けられた隙間や孔を通して還流する構成が、プリント配線板の幅や長さから見て複数存在するように設ける技術が開示されている。
【０００５】
そして、この構成により電子部品相互の谷間になっている部分で熱風の流れが「淀む」ことがないように構成している。
【特許文献１】特開平２−３０３６７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１の技術ではプリント配線板上における熱風の「流れを乱す」ことにより「熱伝達率が高く」なるように構成しているので、プリント配線板上において流れの整った風速の速い熱風を流動させることができないという問題を有している。
【０００７】
すなわち、熱風の風速や方向を激しく変動させることで「熱伝達率が高く」なるように構成しているので、プリント配線板の各部における加熱温度偏差Δtが大きくなり易く加熱温度プロファイルにもリップルを発生し易い問題がある。また、熱風が流れる流路の抵抗が大きいので、熱風を流動させるための手段の駆動に具体的には送風手段（ファン）の駆動に大きいエネルギーが必用となる問題がある。
【０００８】
本発明の目的は、プリント配線板上に高速で流れの整った熱風を少ないエネルギーで供給することができるように構成することによって、熱伝達率が高く加熱温度偏差Δtが小さい加熱を少ないエネルギーで行えるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、多数の旋回流からなる熱風を被はんだ付けワークであるプリント配線板に吹きつけて加熱するように構成したことを特徴とする。
【００１０】
（１）本願の第１の発明は、被はんだ付け部に予めはんだが供給された板状の被はんだ付けワークにその板面方向の旋回ベクトルを与えた多数の旋回流熱風を吹きつけることで前記被はんだ付け部に供給された前記はんだを加熱し溶融させてはんだ付けを行うように構成したはんだ付け方法である。
【００１１】
旋回流を形成している熱風では、熱風の流速やその方向の変動が極めて少なく、流速が速く（高速で）流れの整った（風速と風向が揃っている）熱風を板状の被はんだ付けワーク上に供給し吹きつけることができる。そして、このような旋回流熱風を多数配列して板状の被はんだ付けワークに供給するので、その表面に電子部品等が搭載されて立体構造を呈する板状の被はんだ付けワークであっても、その微細な部分へも高速で流れの整った熱風を供給し吹きつけることができる。
【００１２】
したがって、熱伝達率が高く加熱温度偏差Δtの小さい加熱が可能となって、板状の被はんだ付けワーク各部のはんだ付けを均一に行うことができるようになる。
【００１３】
（２）本願の第２の発明は、被はんだ付け部に予めはんだが供給された板状の被はんだ付けワークに面して前記板状の被はんだ付けワークの板面方向の旋回ベクトルを与える旋回流熱風発生手段を多数配列して設けた旋回流配列発生板状部材を設ける。そして、この旋回流配列発生板状部材から吹き出す多数の旋回流熱風を前記板状の被はんだ付けワークに吹きつけることで前記被はんだ付け部に供給された前記はんだを加熱し溶融させてはんだ付けを行うように構成したはんだ付け方法である。
【００１４】
旋回流熱風を発生させる手段を板状部材に多数配列して設け、この板状部材すなわち旋回流配列発生板状部材を板状の被はんだ付けワークに面して設けることで、板状の被はんだ付けワークの各部に多数の旋回流熱風を配列状態で均一に供給して吹きつけることができるようになる。
【００１５】
したがって、高速で流れの整った熱風を板状の被はんだ付けワークの各部に均一に供給して吹きつけることができるので、加熱温度精度が高く板状の被はんだ付けワーク各部の加熱温度偏差Δtも極めて小さい加熱効率の良好な加熱を行うことができる。その結果、板状の被はんだ付けワーク各部のはんだ付けを均一に行うことができるようになる。
【００１６】
（３）本願の第３の発明は、前記（２）に記載したはんだ付け方法において、旋回流配列発生板状部材に設けられた旋回流熱風発生手段が孔軸に対する熱風流入口側の角度が熱風吹き出し口側の角度よりも大きくなるように形成された少なくとも２段に前記角度が変化するコーン形状の孔を備えて成ると共に熱風流入口側には加圧されて圧縮された加熱雰囲気が供給されて成るように構成し、この構成によって発生する旋回流熱風を配列状態で板状の被はんだ付けワークに供給して吹きつけるように構成したはんだ付け方法である。
【００１７】
圧縮された加熱雰囲気がコーン形状の孔に流れると、孔軸に直角方向のすなわち孔の半径方向の流動ベクトルが与えられ、このベクトル成分によって旋回流が発生する。
【００１８】
また、このコーンの開き角度が孔軸方向に沿って２段階以上に変化するように構成することによって、角度が小さくなる段階ごとにコアンダ効果により熱風の旋回運動すなわち旋回速度が増進されるようになる。
【００１９】
そして、旋回流配列発生板状部材に備わる孔を旋回流として熱風が流れるので流れの乱れが極めて小さくなる。すなわち、流れの乱れに費やされていたエネルギーが旋回流の速度エネルギーに転換されるので、速度変動が少なく流れ方向も揃った旋回流熱風を得ることができる。したがって、旋回流配列発生板状部材の熱風流入口側に圧縮されて供給される加熱雰囲気の圧縮圧力が小さくても、高速の熱風を発生させることができる。
【００２０】
すなわち、高速で流れの整った旋回流熱風を少ないエネルギーで発生することができるようになり、しかもこの配列された多数の旋回流熱風を同時に発生させることができる。
【００２１】
その結果、板状の被はんだ付けワークに多数存在する被はんだ付け部のはんだ付けを均一かつ少ないエネルギーで行うことができる。
【００２２】
（４）本願の第４の発明は、板状部材に熱風を通すための多数の孔が配列して設けられると共にこれらの孔は孔軸に対する角度が少なくとも２段に変化するコーン形状の孔を備えて成り熱風の流入口側コーン形状部分の前記孔軸に対する角度が熱風吹き出し口側コーン形状部分の前記孔軸に対する角度よりも大きくなるように形成されて旋回流配列発生板状部材を構成すると共にこの旋回流配列発生板状部材の熱風流入口側に圧縮された加熱雰囲気の供給手段を有するように構成する。
【００２３】
そして、前記旋回流配列発生板状部材を被はんだ付け部に予めはんだが供給された板状の被はんだ付けワークに面して設けると共に前記板状の被はんだ付けワークを前記旋回流配列発生板状部材に面して搬送する搬送手段を備えて成るように構成したはんだ付け装置である。
【００２４】
これにより、少ないエネルギーで発生した高速で流れの整った多数の旋回流熱風が配列状態で板状の被はんだ付けワークに供給されて吹きつけられる。そして、板状の被はんだ付けワークは旋回流配列発生板状部材に面しながら搬送されるので、配列された旋回流熱風が満遍なく板状の被はんだ付けワークの各部で流動し、板状の被はんだ付けワークの各部において均一なはんだ付けが行われる。
【００２５】
（５）本願の第５の発明は、板状部材に熱風を通すための多数の孔が配列して設けられると共にこれらの孔は孔軸に対する角度が少なくとも２段に変化するコーン形状の孔を備えて成り熱風の流入口側コーン形状部分の前記孔軸に対する角度が熱風吹き出し口側コーン形状部分の前記孔軸に対する角度よりも大きくなるように形成されさらに熱風吹き出し側コーン形状部分の先側に円柱状の孔が設けられと共にこの円柱状の孔の孔径に対する長さの比を１対４以下に設けて旋回流配列発生板状部材を構成すると共にこの旋回流配列発生板状部材の熱風流入口側に圧縮された加熱雰囲気の供給手段を有するように構成する。
【００２６】
そして、前記旋回流配列発生板状部材を被はんだ付け部に予めはんだが供給された板状の被はんだ付けワークに面して設けると共に前記板状の被はんだ付けワークを前記旋回流配列発生板状部材に面して搬送する搬送手段を備えて成るように構成したはんだ付け装置である。
【００２７】
すなわち、前記（４）の構成に熱風吹き出し側コーン形状部分の先側に円柱状の孔を設け、この円柱状の孔の孔径に対する長さの比を１対４以下に設けるように構成したはんだ付け装置である。
【００２８】
このように、熱風吹き出し側コーン形状部分の先側に円柱状の孔を設けると、吹き出す旋回流熱風の指向性を鋭くすることができる。しかし、円柱状の孔は旋回流を増進する作用がないので、その長さが長くなると旋回流が大きく減衰するようになり最終的に旋回流が消滅してしまう。そのため、この円柱状の孔の孔径に対する長さの比を１対４以下に設ける必用がある。
【００２９】
その結果、旋回流熱風を消滅させることなく吹き出す指向性を鋭く保ちながら旋回流熱風を板状の被はんだ付けワークに吹きつけることができるようになり、微細な被はんだ付け部や立体形状を呈してその奥深くに形成された被はんだ付け部へも確実に熱風を吹きつけることができるようになる。
【００３０】
すなわち、複雑な表面形状を有する板状の被はんだ付けワークであっても配列された旋回流熱風が満遍なく板状の被はんだ付けワークの各部で流動し、板状の被はんだ付けワークの各部において均一なはんだ付けが行われる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、配列された多数の旋回流熱風を板状の被はんだ付けワークであるプリント配線板に供給して吹きつけ、これらの配列された多数の旋回流熱風によってはんだを加熱し溶融させてはんだ付けを行う。そして、従来よりも低圧の圧縮加熱雰囲気によって高速で流れの整った熱風を発生させてはんだ付けを行うことが可能になるので、プリント配線板各部の加熱温度偏差Δtも小さくなり、プリント配線板に存在する多数の被はんだ付け部のはんだ付けを均一にしかも少ないエネルギーで行うことができるようになる。しかも複雑な表面形状を有するプリント配線板であっても均一なはんだ付けが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
次に、本発明のはんだ付け方法およびはんだ付け装置を実際上どのように実施できるかを形態例を用いて説明する。
【００３３】
（１）基本原理
図１は、本発明の基本原理を説明する図で、(a)はプリント配線板の板面に直角な横断面で見た図、(b)は(a)のＩ−Ｉ断面を見た図で旋回流熱風の吹き出し口を破線で描いてある。
【００３４】
すなわち、旋回流配列発生板状部材１０１の旋回流熱風発生ノズル１０２で旋回流熱風が形成されてその吹き出し口１０３から放射状に吹き出す。旋回流熱風発生ノズル１０２は多数を配列して設けてあり、これらから発生する多数の配列された旋回流熱風１０４がプリント配線板１０５へ向けて供給され吹きつけられる。
【００３５】
旋回流熱風１０４は流れの乱れ（乱流）に費やされていたエネルギーを旋回方向の速度エネルギーに転換するので高速で流れの整った熱風を形成する。したがって、流れ方向の定まった安定した流速の熱風をプリント配線板１０５の板面上に供給することが可能になり、プリント配線板１０５ひいては被はんだ付け部１０７のはんだに供給する熱量を安定化することができるようになる。
【００３６】
しかも、旋回流熱風１０４は流れの乱れを殆ど発生しないので、高速で旋回方向の定まった熱風をプリント配線板１０５の板面上に供給することが可能になり、熱風からプリント配線板１０５への熱伝達係数が大幅に向上する。すなわち、加熱効率が大幅に向上する。
【００３７】
そして、配列した多数の旋回流熱風１０４によって、つまり大きさの小さい多数の旋回流熱風１０４によってプリント配線板１０５の全面を加熱するので、プリント配線板１０５の表面に搭載された電子部品１０６によってその表面形状が立体形状を呈していても、その立体形状の各部に存在する被はんだ付け部１０７に確実に高速で流れ方向の整った熱風が入り込み、均一に加熱することができる。
【００３８】
したがって、プリント配線板１０５に存在する多数の被はんだ付け部１０７のはんだを均一に加熱し加熱温度偏差Δtの小さい加熱が可能になる。また、プリント配線板１０５は搬送コンベア１０８で矢印Ａ方向へ搬送されているので、搬送されながら旋回流熱風１０４の配列群によって加熱されることになり、加熱温度偏差の一層小さい加熱が可能になる。
【００３９】
なお、旋回流熱風発生ノズル１０２の間隔は、吹き出し口１０３から吹き出して広がる旋回流熱風１０４が相互に大きく干渉する前にプリント配線板１０５の板面上に到達するように定めるとよい。また、圧縮加熱雰囲気１００は熱風源である。
【００４０】
（２）低圧の圧縮加熱雰囲気で高速の旋回流熱風を発生させる手段
図２は、加圧された加熱雰囲気から旋回する旋回流熱風を発生させるノズルの構成を説明する図で、(a)は旋回流熱風発生ノズルを１つだけ切り出し透視して描いた図、(b)は(a)のＩＩ−ＩＩ断面の端面図である。
【００４１】
旋回流熱風発生ノズルは、旋回流配列発生板状部材２０１の板面に直角方向の孔軸を有して形成され、２つのコーン形状の孔部分２０２，２０３を有し、加圧された圧縮加熱雰囲気が供給される流入口側のコーンの側面が孔軸に対して成す角度θ１が吹き出し口側のコーンの側面が孔軸に対して成す角度θ２よりも大きく（θ１＞θ２）なるように構成してある。
【００４２】
図２に示すように、第１のコーン形状の孔２０２は皿状でありθ１の大きさは６０°〜９０°程度の形状に構成する。また、第２のコーン形状の孔２０３はθ２が１５°〜６０°（好ましくは１５゜〜４５゜）程度の形状に構成する。
【００４３】
また、第２のコーン形状の孔２０３の先端側には円柱状の孔２０４があり、その孔径φ２は第２のコーン形状の孔２０３の先端径と同じ大きさである。そして、第２のコーン形状の孔２０３の大径側の孔径をφ１とすると、φ２：φ１＝１：１．５〜１：３の比率で構成する。
【００４４】
そして、円柱状の孔２０４の孔径φ２とその長さとの比を１：４以下に構成する。すなわち、円柱状の孔は旋回流を増進する作用がないのでこの比が１：４を越えると旋回流が減衰して最終的に消滅してしまうからである。より好ましくはその指向性を維持して大きな減衰を阻止するために１：１〜１：２の範囲において選定することが好ましい。
【００４５】
圧縮加熱雰囲気を供給した場合に、第２のコーン形状の孔２０３だけでも旋回流を発生させることが可能であるが、前記のような第１のコーン形状の孔２０２を併用すると旋回流の増進作用を得ることができる。
【００４６】
旋回流は、加圧された圧縮加熱雰囲気がコーン形状の孔を流れる際に孔軸に対して直角方向すなわち孔の半径方向への流れベクトルが与えられることによって発生する。
【００４７】
第１のコーン形状の孔２０２では、孔表面近傍において加圧された圧縮加熱雰囲気による孔軸方向の流れ速度よりも半径方向の流れ速度（分力）が大きくなるように流れが発生し、これにより旋回流２０６が発生する。そして、この旋回流熱風はコアンダ効果により第２のコーン形状の孔２０３に流れ込んで流速が速くなり、旋回流が増進される。したがって、第２のコーン形状の孔２０３だけでも旋回流熱風２０７を発生させることは可能であるが、より好ましくは第１のコーン形状の孔２０２も併用するとよい。
【００４８】
第２のコーン形状の孔２０３の先端側に設けてある円柱状の孔２０４は、吹き出し口から吹き出す旋回流熱風２０７の指向性を向上させるために設けてある。また、第１のコーン形状の孔２０２と第２のコーン形状の孔２０３の間にある円柱状の２０５孔によって前記のコアンダ効果を強めることが可能であり増圧作用も得られる。
【００４９】
コーン形状の孔の形態としては、前記条件の場合に旋回流熱風２０７の良好な発生状態を確保することが可能である。そして、この旋回流熱風２０７は流れの乱れに費やされていたエネルギーを旋回方向流れの速度エネルギーに転換させるので、流れの乱れが減少すると共に低い圧力の圧縮加熱雰囲気でも高速で流れの整った旋回流熱風を発生させることができる。
【００５０】
（３）はんだ付け装置の構成例
次に、上記旋回流熱風発生ノズルを複数個有する旋回流配列発生板状部材を用いた本発明のはんだ付け装置の構成例を説明する。
【００５１】
図３は、リフローはんだ付け装置の構成例を説明する図で、搬送コンベア３０８の搬送方向に対する横断面で示した図である。なお、この図３は、搬送コンベア３０８の上方側の加熱炉３０６部分のみを示しているが、搬送コンベアの下方側にも対称形状に加熱炉が形成されている。
【００５２】
プリント配線板３０７は、搬送コンベア３０８のピン３０９に保持されて図面に対して直角方向に搬送される。
【００５３】
また、循環流路形成板３０２は炉体３００内に雰囲気の循環流路を形成する。そして、加熱炉３０６の炉体内にはモータ３０４に駆動されるファン３０５を設けてあり、このファン３０５により雰囲気を圧縮して供給し前記循環流路を循環させる。
【００５４】
また、雰囲気の循環流路内にはヒータ３０３を設けてあり、雰囲気の循環過程で加熱が行われる。そして、図示しない温度調節装置と温度センサにより前記ヒータに供給する電力を調節して炉体内雰囲気温度ひいては旋回流熱風の温度が制御される。
【００５５】
一方で、搬送コンベア３０８で搬送されるプリント配線板３０７に面して旋回流配列発生板状部材３０１を設けてあり、この旋回流配列発生板状部材３０１にはファン３０５により加圧された圧縮加熱雰囲気が供給される。そして、この旋回流配列発生板状部材３０１には、図２に示す旋回流熱風発生ノズルを多数設けてあり、例えば図１(b)のように配列されて多数が設けられている。
【００５６】
したがって、搬送コンベア３０８により搬送されるプリント配線板３０７には、旋回流配列発生板状部材３０１で発生させた多数の旋回流熱風３１０が供給されて吹きつけられ、プリント配線板３０７の被はんだ付け部に予め供給されたはんだを加熱し溶融させてはんだ付けが行われる。
【００５７】
そして、プリント配線板３０７に吹きつけられた旋回流熱風は循環流路を通ってファン３０５に還流し、加圧された後にヒータ３０３により加熱されてから旋回流配列発生板状部材３０１へ再び供給される。
【００５８】
なお、図３のヒータに代えて冷媒を通したパイプ（熱交換手段）を設ければ、はんだ付けの完了したプリント配線板を冷却するための手段として応用することが可能である。
【実施例】
【００５９】
熱風吹き出し口の径が同じ大きさで、従来の単に円柱状の孔から構成される熱風吹き出し手段を用いた場合と、本発明の２つのコーン形状の孔を有する旋回流熱風発生ノズルを用いた場合とを比較した。
【００６０】
その結果、本発明の旋回流熱風発生ノズルでは、ファンの回転速度を従来の１／２にしても従来と同じ風速の熱風がプリント配線板上で得られている。また、風速の時間的変動の大きさも従来の１／５以下であり、優れた乱流転換作用を有している。さらに、プリント配線板各部における加熱温度偏差Δtも半減し、プリント配線板の加熱温度プロファイル上に発生するリップルも殆ど見られない。
【００６１】
さらに、高速熱風であるにも係わらず、微細で軽量な電子部品が加熱中に剥がれて脱落することも皆無であった。これは、プリント配線板上における熱風の流動が旋回流で風速が均一に分布していることによるものである。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明のはんだ付け方法およびはんだ付け装置は、大型電子部品が搭載されたプリント配線板や微細で軽量な電子部品が高密度実装されたプリント配線板等々、被はんだ付けワークであるプリント配線板の種類が異なっても同じような加熱温度プロファイルが得られるので、極めて高い汎用性を有するリフローはんだ付け装置として利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の基本原理を説明する図
【図２】本発明に用いられる旋回流熱風を発生させるノズルの構成を説明する図
【図３】本発明のリフローはんだ付け装置の構成を説明する図
【符号の説明】
【００６４】
１００  圧縮加熱雰囲気
１０１  旋回流配列発生板状部材
１０２  旋回流熱風発生ノズル
１０３  吹き出し口
１０４  旋回流熱風
１０５  プリント配線板
１０６  電子部品
１０７  被はんだ付け部
１０８  搬送コンベア
２０１  旋回流配列発生板状部材
２０２  第１のコーン形状の孔
２０３  第２のコーン形状の孔
２０４  円柱状の孔
２０５  円柱状の孔
２０６  旋回流
２０７  旋回流熱風
３００  炉体
３０１  旋回流配列発生板状部材
３０２  循環流路形成板
３０３  ヒータ
３０４  モータ
３０５  ファン
３０６  加熱炉
３０７  プリント配線板
３０８  搬送コンベア
３０９  ピン
３１０  旋回流熱風
【図１】
0005202112.tif 000002
【図２】
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【図３】
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