(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を処理室に搬入し、前記処理室にて被処理体に所定の処理を施す処理システムの制御装置であって、
前記処理システムにて生じた所定の事象をログ情報として所定のログファイルに記憶し、前記所定のログファイルの空き領域が新たなログ情報を記憶するのに不足している場合には前記記憶されたいずれかのログ情報を新たなログ情報にて上書するログ管理部と、
前記所定の事象のうち、特定の事象が発生したタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップするバックアップ部と、を備え、
前記バックアップ部は、前記処理システムを制御するためのプログラムを使用して前記処理システムを制御する際に実行されるはずがない箇所に挿入されているアラーム処理が実行されたときに生じるアラームが発生し、前記アラームに対してオペレータによりバックアップ操作が行われたタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップする、処理システムの制御装置。
【請求項２】
前記ログ情報は、
前記処理システムにて発生したシステム全般のログ情報、アラームのログ情報、他の装置との通信のログ情報および前記処理システムを構成する各装置の駆動状態を示したマシンのログ情報の少なくともいずれかである請求項１に記載された処理システムの制御装置。
【請求項３】
前記アラームは、
被処理体を処理する際に、予め定められた処理室以外に当該被処理体が搬送されたときに生じる請求項２に記載された処理システムの制御装置。
【請求項４】
前記システムログ情報は第１のログファイルに記憶され、前記アラームログ情報は第２のログファイルに記憶され、前記通信ログ情報は第３のログファイルに記憶され、前記マシンログ情報は第４のログファイルに記憶され、
前記バックアップ部は、
前記第１のログファイル、前記第２のログファイル、前記第３のログファイルおよび前記第４のログファイルの少なくともいずれかに記憶されたログ情報を対応するバックアップファイルにそれぞれ一括してバックアップする請求項２または３に記載された処理システムの制御装置。
【請求項５】
前記第１〜４のログファイルと各ログファイルに対応する第１〜４のバックアップファイルとは、同サイズである請求項４に記載された処理システムの制御装置。
【請求項６】
前記第１〜４のバックアップファイルは、前記第１〜４のログファイルが記憶されているハードディスクドライブと同じハードディスクドライブに記憶されている請求項５に記載された処理システムの制御装置。
【請求項７】
前記バックアップ部は、
前記一括してバックアップしたログ情報を前記所定のアラーム処理の内容から抽出したキーワードを用いて並べ替えて保存する請求項１〜６のいずれかに記載された処理システムの制御装置。
【請求項８】
前記バックアップ部は、
前記一括してバックアップしたログ情報とともに付加情報をバックアップする請求項１〜７のいずれかに記載された処理システムの制御装置。
【請求項９】
前記付加情報には、
前記アラーム発生時の前記プログラム内部の状態、前記所定のログファイルのメモリ内部の状態、前記処理システムにて実行されるプロセス内部の状態の少なくともいずれかを示す情報が含まれる請求項８に記載された処理システムの制御装置。
【請求項１０】
前記所定のログファイルは、
前記バックアップしたログ情報をログ情報利用者に渡すために、任意の記憶媒体一枚の容量または一通のメールにて送信可能な容量に設定されている請求項１〜９のいずれかに記載された処理システムの制御装置。
【請求項１１】
前記ログ管理部は、
前記所定のログファイルに記憶されたログ情報のうち、最先に記憶されたログ情報を新たなログ情報にて上書きする請求項１〜１０のいずれかに記載された処理システムの制御装置。
【請求項１２】
前記ログ情報は、
少なくとも前記所定の事象が発生した時刻の情報を含む請求項１〜１１のいずれかに記載された処理システムの制御装置。
【請求項１３】
前記ログ情報は、
前記所定の事象が発生した時刻に処理していた被処理体に関する情報を含む請求項１２に記載された処理システムの制御装置。
【請求項１４】
前記処理システムは、ウエハまたは基板を処理するシステムである請求項１〜１３のいずれかに記載された処理システムの制御装置。
【請求項１５】
前記処理システムは、
被処理体に所定の処理を施す複数の処理室と、被処理体を収容する被処理体収容ポートと、前記複数の処理室と前記被処理体収容ポートとの間にて被処理体を所定の搬送先に搬送する搬送機構と、を有する請求項１〜１４のいずれかに記載された処理システムの制御装置。
【請求項１６】
被処理体を処理室に搬入し、前記処理室にて被処理体に所定の処理を施す処理システムの制御装置により実行される当該処理システムの制御方法であって、
前記処理システムにて生じた所定の事象をログ情報として所定のログファイルに記憶し、
前記所定のログファイルの空き領域が新たなログ情報を記憶するのに不足している場合、前記記憶されたいずれかのログ情報を新たなログ情報にて上書きし、
前記所定の事象のうち、プログラムを使用して前記処理システムを制御する際に実行されるはずがない箇所に挿入されているアラームが発生し、前記アラームに対してオペレータによりバックアップ操作が行われたタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップする処理システムの制御方法。
【請求項１７】
被処理体を処理室に搬入し、前記処理室にて被処理体に所定の処理を施す処理システムの制御をコンピュータに実行させる制御プログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記処理システムにて生じた所定の事象をログ情報として所定のログファイルに記憶する処理と、
前記所定のログファイルの空き領域が新たなログ情報を記憶するのに不足している場合、前記記憶されたいずれかのログ情報を新たなログ情報にて上書きする処理と、
前記所定の事象のうち、プログラムを使用して前記処理システムを制御する際に実行されるはずがない箇所に挿入されているアラームが発生し、前記アラームに対してオペレータによりバックアップ操作が行われたタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップする処理と、を含む制御プログラムを記憶した記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理体に所定の処理を施す処理システムの制御装置、処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体に関し、より詳細にはログ情報の管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
処理システムの構築時や処理システムにて量産中において、処理システムを構成するソフトウエアやハードウエアのいずれかに不具合が生じた場合、不具合の原因を究明するために、不具合が生じた前後のシステムの状態を知りたいときがある。このとき、システムの状態を知る手がかりとなるのがログ情報（履歴情報）である。
【０００３】
そこで、平常時からログ情報を所定のファイルに蓄積し、トラブル発生時には蓄積されたログ情報を手がかりにトラブルの原因を検証することが一般的に行われている（たとえば、特許文献１を参照。）。特許文献１では、基板処理装置にトラブルが発生してアラームが出力されたときのログ情報とそのログ情報が発生したときの基板の情報とを関連付けて保存する方法が開示されている。
【０００４】
また、特許文献１では、目的別に複数種類のログ情報を別々のログファイルに分けて保存する。これにより、トラブル発生時にどのような操作が行われ、どのように装置が駆動していたのかをより効果的に検証することができる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２７７２９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、複数種類のログ情報を複数個のログファイルに別々に記憶する場合、各ログファイルの記憶領域はそれぞれ有限であるため、各ログファイルに記憶できるログ情報も有限個となる。このため、システムが稼働し続けることにより新たなログ情報が随時発生し、ログファイルに新たなログ情報を記憶するための空きがなくなった場合、既に記憶されたいずれかのログ情報を削除する必要が生じる。一般的には、最も古いログ情報が最も新しいログ情報にて上書きされ、この時点で、最も古いログ情報は自動的にログファイルから消去される。このため、ログ情報を記憶してからログ情報を採取するまでに時間差がある場合、ログ情報を採取する時点で、トラブルの原因を検証するために必要なログ情報がログファイルから削除されている場合があった。
【０００７】
発生したトラブルが既知のトラブルの要因と同じであるか否かは、システムの管理者や作業者がログ情報と今までの経験から得た知識とを利用して判断する場合も多い。よって、トラブル発生前後に記憶されたログ情報が採取できなければ、トラブルの原因を検証するのは熟練者にとっても非常に難しい作業となる。
【０００８】
そこで、本発明は、所定のログ情報を所定のタイミングに一括してバックアップする処理システムの制御装置、処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、被処理体を処理室に搬入し、前記処理室にて被処理体に所定の処理を施す処理システムの制御装置であって、前記処理システムにて生じる所定の事象をログ情報として所定のログファイルに記憶し、前記所定のログファイルの空き領域が新たなログ情報を記憶するのに不足している場合には前記記憶されたいずれかのログ情報を新たなログ情報にて上書するログ管理部と、前記所定の事象のうち、特定の事象が発生したタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップするバックアップ部と、を備え、前記バックアップ部は、前記処理システムを制御するためのプログラムを使用して前記処理システムを制御する際に実行されるはずがない箇所に挿入されているアラーム処理が実行されたときに生じるアラームが発生し、前記アラームに対してオペレータによりバックアップ操作が行われたタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップする、処理システムの制御装置が提供される。
【００１０】
これによれば、所定の事象のうち、特定の事象が発生したタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報が一括してバックアップされる。これにより、特定の事象が発生したタイミングの前後に所定のログファイルに記憶されたログ情報が、その後に新たなログ情報によって上書きされて失われることによって、その情報を入手できなくなることを回避することができる。
【００１１】
すなわち、管理者や作業者は、ログファイルの状態にかかわらず、バックアップされたログ情報に基づき、特定の事象が発生したタイミングの前後に生じたログ情報を確実にトラブル解析に利用することができ、これにより、トラブルの発生原因を効率的に検証することができる。
【００１２】
前記アラームは、被処理体を処理する際に、予め定められた処理室以外に当該被処理体が搬送されたときに生じるようにしてもよい。
【００１６】
これによれば、前記処理システムを制御するためのプログラムを使用して前記処理システムを制御する際に実行されるはずがない箇所に挿入されているアラーム処理が実行されたときに生じるアラームが発生し、さらに、オペレータがバックアップする意思表示をしたときに初めてログ情報が一括してバックアップされる。これにより、オペレータの指示によって不要なバックアップを抑止して記憶領域の無駄な消費を防ぐことができる。また、前記のアラームをトリガーとしてバックアップされたログ情報を用いて、なぜ、平常稼動時には実行されるはずがない処理ステップが実行されたのかを調査することができる。
【００１９】
前記ログ情報は、前記処理システムにて発生したシステム全般のログ情報、アラームのログ情報、他の装置との通信のログ情報および前記処理システムを構成する各装置の駆動状態を示したマシンのログ情報の少なくともいずれかであってもよい。目的別ログ情報を所定のタイミングにそれぞれバックアップすることにより、複数種類のログ情報を利用してより効果的にアラーム発生の原因を究明することができる。
【００２０】
前記システムログ情報は第１のログファイルに記憶され、前記アラームログ情報は第２のログファイルに記憶され、前記通信ログ情報は第３のログファイルに記憶され、前記マシンログ情報は第４のログファイルに記憶されていてもよい。
【００２１】
前記システムログ情報は第１のログファイルに記憶され、前記アラームログ情報は第２のログファイルに記憶され、前記通信ログ情報は第３のログファイルに記憶され、前記マシンログ情報は第４のログファイルに記憶され、前記バックアップ部は、前記第１のログファイル、前記第２のログファイル、前記第３のログファイルおよび前記第４のログファイルの少なくともいずれかに記憶されたログ情報を対応するバックアップファイルにそれぞれ一括してバックアップするようにしてもよい。これによれば、検証しやすいように並べ替えられたログ情報を用いて、アラームの発生原因を調査する負担を軽減することができる。
【００２２】
前記バックアップ部は、前記一括してバックアップしたログ情報とともに付加情報をバックアップしてもよい。
【００２３】
また、前記付加情報には、前記アラーム発生時の前記プログラム内部の状態、前記所定のログファイルのメモリ内部の状態、前記処理システムにて実行されるプロセス内部の状態の少なくともいずれかを示す情報が含まれていてもよい。
【００２４】
これらによれば、所定の事象を示したログ情報だけでなく、所定の付加情報を利用してアラームの発生原因を効果的に検証することができる。
【００２５】
前記第１〜４のログファイルと各ログファイルに対応する第１〜４のバックアップファイルとは、同サイズであってもよい。また、前記第１〜４のバックアップファイルは、前記第１〜４のログファイルが記憶されているハードディスクドライブと同じハードディスクドライブに記憶されていてもよい。
【００２６】
前記バックアップ部は、前記一括してバックアップしたログ情報を前記所定のアラーム処理の内容から抽出したキーワードを用いて並べ替えて保存してもよい。これによれば、検証しやすいように並べ替えられたログ情報により、アラームの発生原因を調査する負担を軽減することができる。
【００２７】
前記所定のログファイルは、前記バックアップしたログ情報をログ情報利用者に渡すために、任意の記憶媒体一枚の容量または一通のメールにて送信可能な容量に設定されていてもよい。
【００２８】
これによれば、所定のアラーム発生時に一括してバックアップしたログ情報を迅速かつ容易にフレキシブルディスクに記憶させてまたは一通のメールに添付して関係者（ログ情報利用者）に送ることができる。
【００２９】
前記ログ管理部は、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報のうち、最先に記憶されたログ情報を新たなログ情報にて上書きしてもよい。これによれば、検証に使われる可能性の低いログ情報が最も新しいログ情報にて更新される。
【００３０】
前記ログ情報は、少なくとも前記所定の事象が発生した時刻の情報を含んでいてもよい。さらに、前記ログ情報は、所定の事象が発生した時刻に処理していた被処理体に関する情報を含んでいてもよい。
【００３１】
これによれば、アラームが発生したタイミングの前後にて、いつ、どのような処理が実行されていたかの調査を容易にすることができる。
【００３２】
前記処理システムは、被処理体に所定の処理を施す複数の処理室と、被処理体を収容する被処理体収容ポートと、前記複数の処理室と前記被処理体収容ポートとの間にて被処理体を所定の搬送先に搬送する搬送機構と、を有したクラスタ型のシステムであってもよい。前記処理システムは、ウエハまたは基板を処理するシステムであってもよい。
【００３３】
上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、被処理体を処理室に搬入し、前記処理室にて被処理体に所定の処理を施す処理システムの制御装置により実行される当該処理システムの制御方法であって、前記処理システムにて生じた所定の事象をログ情報として所定のログファイルに記憶し、前記所定のログファイルの空き領域が新たなログ情報を記憶するのに不足している場合、前記記憶されたいずれかのログ情報を新たなログ情報にて上書きし、前記所定の事象のうち、プログラムを使用して前記処理システムを制御する際に実行されるはずがない箇所に挿入されているアラームが発生し、前記アラームに対してオペレータによりバックアップ操作が行われたタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップする処理システムの制御方法が提供される。
【００３４】
上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、被処理体を処理室に搬入し、前記処理室にて被処理体に所定の処理を施す処理システムの制御をコンピュータに実行させる制御プログラムを記憶した記憶媒体であって、前記処理システムにて生じる所定の事象をログ情報として所定のログファイルに記憶する処理と、前記所定のログファイルの空き領域が新たなログ情報を記憶するのに不足している場合、前記記憶されたいずれかのログ情報を新たなログ情報にて上書きする処理と、前記所定の事象のうち、プログラムを使用して前記処理システムを制御する際に実行されるはずがない箇所に挿入されているアラームが発生し、前記アラームに対してオペレータによりバックアップ操作が行われたタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップする処理と、を含む制御プログラムを記憶した記憶媒体が提供される。
【００３５】
これらによれば、所定の事象のうち、特定の事象が発生したタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報が一括してバックアップされる。これにより、特定の事象が発生したタイミングの前後に所定のログファイルに記憶されていたログ情報が失われても、バックアップされたログ情報に基づき、特定の事象が発生したタイミングの前後に生じたログ情報を確実にトラブル解析に利用することができ、これにより、トラブルの発生原因を効率的に検証することができる。
【発明の効果】
【００３６】
以上説明したように、本発明によれば、所定のログ情報を所定のタイミングに一括してバックアップすることにより、特定の事象が発生したタイミングの前後に生じたログ情報を処理システムの検証に確実に利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、同一の構成及び機能を有する構成要素については、同一符号を付することにより、重複説明を省略する。
【００３８】
まず、図１を参照しながら本発明の一実施形態にかかる処理システムの概要を説明する。なお、本実施形態では、処理システムを用いてシリコンウエハ（以下、ウエハＷとも称呼する。）をエッチング処理する例を挙げて説明する。
【００３９】
（処理システムの概要）
処理システム１０は、ＥＣ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ：装置コントローラ）２００、４つのＭＣ（Ｍａｃｈｉｎｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ：マシーンコントローラ）３００ａ〜３００ｄ、２つのＰＭ１（Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｍｏｄｕｌｅ：プロセスモジュール），ＰＭ２および２つのＬＬＭ１（Ｌｏａｄ  Ｌｏｃｋ  Ｍｏｄｕｌｅ：ロードロックモジュール）、ＬＬＭ２を有している。
【００４０】
ＥＣ２００は、顧客側ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）１１０ａ、１１０ｂを介してホストコンピュータ１００、管理サーバ１０５にそれぞれ接続されている。管理サーバ１０５は、ＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）１１５に接続されている。オペレータは、ＰＣ１１５を操作することにより処理システム１０に指令を送るようになっている。ＥＣ２００、ＭＣ３００ａ〜３００ｄ、ＰＭ１、ＰＭ２、ＬＬＭ１、ＬＬＭ２は工場内に設けられていて、工場内ＬＡＮによりそれぞれ接続されている。
【００４１】
ホストコンピュータ１００は、データ管理など処理システム１０の全体を管理する。ＥＣ２００は、ウエハをエッチング処理する手順を示したシステムレシピを保持し、システムレシピにしたがってＰＭ１、ＰＭ２、ＬＬＭ１、ＬＬＭ２を動作させるように各ＭＣ３００に制御信号を送信するとともに動作後のデータの履歴管理などを行う。
【００４２】
ＭＣ３００ａ〜３００ｄはプロセスレシピを保持していて、ＥＣ２００から送信された制御信号に基づいて、プロセスレシピの手順にしがたいＰＭ１、ＰＭ２に設けられた各機器をそれぞれ駆動することにより、ウエハＷの処理を制御するとともに、ＬＬＭ１、ＬＬＭ２に設けられた各機器をそれぞれ駆動することにより、ウエハＷの搬送を制御する。
【００４３】
ＰＭ１、ＰＭ２は、内部を所定の真空状態に保持した状態にて、エッチング処理などの所定の処理をウエハＷに施す処理室である。ＬＬＭ１、ＬＬＭ２は、内部を所定の減圧状態に保持した状態にて大気側から真空側のＰＭへウエハＷを搬入するとともに、真空側のＰＭから大気側へウエハを搬出する搬送室である。管理サーバ１０５は、オペレータの操作によりＰＣ１１５から送信されたデータに基づいて、各装置の動作条件などを設定する。
【００４４】
（処理システムの内部構成）
つぎに、処理システム１０の内部構成について、図２を参照しながら説明する。処理システム１０は、第１のプロセスシップＰＳ１、第２のプロセスシップＰＳ２、搬送ユニットＴＲ、位置合わせ機構ＡＬおよびカセットステージＣＳを有している。
【００４５】
第１のプロセスシップＰＳ１は、ＰＭ１およびＬＬＭ１を有している。第２のプロセスシップＰＳ２は、第１のプロセスシップＰＳ１と平行に配設されていて、ＰＭ２およびＬＬＭ２を有している。ＬＬＭ１、ＬＬＭ２は、その両端に設けられたゲートバルブＶの開閉により内部圧力を調整しながら、各搬送アームＡｒｍａ、Ａｒｍｂに把持されたウエハＷを各ＰＭから搬送ユニットＴＲまたは搬送ユニットＴＲから各ＰＭに搬送する。
【００４６】
搬送ユニットＴＲは矩形の搬送室であり、第１のプロセスシップＰＳ１および第２のプロセスシップＰＳ２に接続されている。搬送ユニットＴＲには搬送アームＡｒｍｃが設けられていて、搬送アームＡｒｍｃを用いて、ＬＬＭ１、ＬＬＭ２内の搬送アームＡｒｍａ，Ａｒｍｂと連動しながらウエハＷを搬送する。
【００４７】
搬送ユニットＴＲの一端には、ウエハＷの位置決めを行う位置合わせ機構ＡＬが設けられていて、ウエハＷを載置した状態で回転台ＡＬａを回転させながら、光学センサＡＬｂによりウエハ周縁部の状態を検出することにより、ウエハＷの位置を合わせるようになっている。
【００４８】
搬送ユニットＴＲの側部には、カセットステージＣＳが設けられている。カセットステージＣＳには、３つのカセット容器Ｃが載置されている。各カセット容器Ｃには、複数のウエハＷが多段に収容される。
【００４９】
かかる構成により、各カセット容器Ｃ内の各ウエハＷは、カセット容器Ｃから搬出され、搬送ユニットＴＲを介して位置合わせ機構ＡＬにて位置をあわせた後、プロセスシップＰＳ１，ＰＳ２に交互に一枚ずつ搬送され、ＬＬＭ１，ＬＬＭ２を通ってＰＭ１またはＰＭ１にてエッチング処理後、各機構を経由して再びいずれかのカセット容器Ｃに収容される。
【００５０】
なお、ＰＭ１、ＰＭ２は被処理体に所定の処理を施す複数の処理室の一例であり、カセットステージＣＳ（カセット容器Ｃ）は被処理体を収容する被処理体収容ポートの一例である。また、搬送ユニットＴＲは複数の処理室と被処理体収容ポートとの間にて被処理体を所定の搬送先に搬送する搬送機構の一例であり、ＥＣ２００は、処理システム１０を制御する装置の一例である。
【００５１】
（ＥＣのハードウエア構成）
つぎに、ＥＣ２００のハードウエア構成について、図３を参照しながら説明する。なお、ＭＣ３００のハードウエア構成はＥＣ２００と同様であるためここでは説明を省略する。
【００５２】
図３に示したように、ＥＣ２００は、ＲＯＭ２０５、ＲＡＭ２１０、ＨＤＤ２１５、ＣＰＵ２２０、バス２２５、内部インタフェース（内部Ｉ／Ｆ）２３０および外部インタフェース（外部Ｉ／Ｆ）２３５を有している。
【００５３】
ＲＯＭ２０５およびＲＡＭ２１０には、には、ウエハの搬送や処理を制御するプログラム、異常発生時に起動するプログラム、各種レシピおよび各種データが蓄積されている。なお、ＲＯＭ２０５およびＲＡＭ２１０は、記憶装置の一例であり、ＥＥＰＲＯＭ、光ディスク、光磁気ディスクなどの記憶装置であってもよい。
【００５４】
ＨＤＤ２１５には、処理システム１０にて生じる所定の事象のログ情報が、種類別に蓄積されている。ＣＰＵ２２０は、各種レシピにしたがってウエハの搬送および処理を制御する。バス２２５は、ＲＯＭ２０５、ＲＡＭ２１０、ＨＤＤ２１５、ＣＰＵ２２０、内部インタフェース２３０および外部インタフェース２３５の各デバイス間でデータをやりとりする経路である。
【００５５】
内部インタフェース２３０は、データを入力し、必要なデータをディスプレイ１３０に出力する。また、内部インタフェース２３０は、所望の場合、所定のログ情報をフレキシブルディスク１３５や光磁気ディスク１４０に記憶する。外部インタフェース２３０は、ホストコンピュータ１００、管理サーバ１０５および各ＭＣ３００との間でデータを送受信する。
【００５６】
（ＥＣの機能構成）
つぎに、ＥＣの機能構成について、ＥＣ２００の各機能をブロックにて示した図４を参照しながら説明する。ＥＣ２００は、搬送／処理制御部２５０、通信部２５５、ログ管理部２６０およびバックアップ部２６５の各ブロックにより示された機能を有している。
【００５７】
搬送／処理制御部２５０は、オペレータから指定されたレシピ、パラメータおよびウエハの搬送および処理のための制御プログラムを用いて、ＰＭ１またはＰＭ２のいずれかにウエハを搬送するとともに、レシピの手順にしたがって各ＰＭにて実行されるエッチング処理を制御するための信号を出力する。
【００５８】
通信部２５５は、搬送／処理制御部２５０から出力された信号をＭＣ３００に送信するとともにウエハの処理結果を示すデータを受信する。通信部２５５は、また、ホストコンピュータ１００および管理サーバ１０５と適宜通信する。
【００５９】
ログ管理部２６０は、処理システム１０にて生じる所定の事象に関するログ情報をＨＤＤ２１５の所定のログファイルに登録し、所定のログファイルの空き領域が新たなログ情報を記憶するのに不足している場合には、最先に記憶されたログ情報を新たなログ情報にて上書きする。
【００６０】
ＨＤＤ２１５には、ログファイル１〜５（第１〜５のログファイルに相当）が設けられ、ログファイル１〜５には、システムログ情報、アラームログ情報、通信ログ情報、マシンログ情報、付加情報がそれぞれ蓄積されている。
【００６１】
図５に示したように、システムログ情報は、ウエハの搬送やエッチング処理、システムにて生じた異常等、処理システム全般にて発生した事象の履歴である。
【００６２】
アラームログ情報は、処理システム１０にて発生したアラームの履歴である。たとえば、アラームログ情報は、図５に示したように、制御プログラムを用いてウエハの搬送及びエッチング処理が実行される際、制御プログラム内に仕込まれたアラーム処理が実行されたタイミングに発生する。
【００６３】
なお、アラームログ情報には、処理システム１０にてシステム構成上起こりえない想定外のアラームが含まれる。想定外のアラームは、プログラムを使用して処理システム１０を制御する際には実行されるはずがない箇所に挿入されている。たとえば、図６（ａ）に示した制御プログラムＡでは、ウエハをエッチング処理するための搬送先ＡがＰＭ１またはＰＭ２であれば、ｉｆ文以下の処理ステップが実行され、それ以外（ｅｌｓｅ）であればアラームＡＡＡをディスプレイ１３０に出力する処理ステップが実行される。本実施形態にかかる処理システム１０では、ウエハをエッチング処理するための搬送先Ａは、ＰＭ１またはＰＭ２のいずれかのみである。よって、ｅｌｓｅ文にジャンプしてアラーム処理ステップが実行された場合、処理システム１０にてシステム構成上起こりえない想定外のアラームが発生したことになる。
【００６４】
また、アラームには、処理システム１０を制御するためのプログラム中に不具合の調査用に挿入されているものもある。たとえば、図６（ｂ）に示した制御プログラムＢでは、あるメモリ内の値Ｂが０以上であれば、ｉｆ文以下の処理ステップが実行され、それ以外（つまり、Ｂが０未満）であれば、ｅｌｓｅ文以下の処理ステップが実行されるとともにアラームＢＢＢをディスプレイに出力する処理ステップが実行される。本実施形態にかかる処理システム１０では、事象Ｂが０未満であることも想定されるが例外処理であるとする。このように、アラーム処理ステップをプログラム中の特定の部分に仕込んでおくことにより、アラームが発生したタイミングに一括してバックアップされたログ情報に基づき、処理システムの不具合を効果的に調査することができる。
【００６５】
図５に示した通信ログ情報は、ホストコンピュータ１００、管理サーバ１０５および各ＭＣ３００とＥＣ２００との通信の際に発生した事象(イベント)を示した履歴である。マシンログ情報は、ＰＭ１，２内の駆動部分やＬＬＭ１，２内部の駆動装置の状態を示した履歴である。ＰＭ１，２内の駆動装置としては、たとえば、ウエハを載置するステージの昇降機構やＰＭ１，２にウエハを搬入、搬出する際に開閉するゲートバルブ等が挙げられる。また、ＬＬＭ１，２内の駆動部分としては、搬送アーム等が挙げられる。なお、システムログ情報、アラームログ情報、通信ログ情報およびマシンログ情報はバイナリファイルの状態で各ログファイル１〜４にそれぞれ退避されている。
【００６６】
付加情報には、アラームが生じたときの制御プログラム内部の状態を示した情報、プロセス実行中のＰＭ１，２およびＬＬＭ１，２内部の状態を示した情報、ＨＤＤ２１５のメモリ内部の状態を示した情報が含まれる。これらの情報は、アラーム発生後の各部分の一瞬の状態を示している。
【００６７】
その他の付加情報としては、装置起動ログ、バージョン情報、ネットワークの設定情報、メッセージキューの状態、ディスク空き領域の情報、コアファイルの情報、搬送詳細情報、プロセス詳細情報、ポーズビット情報が挙げられる。
【００６８】
再び、図４に戻って、ログ管理部２６０は、各種ログ情報を管理する。具体的には、ログ管理部２６０は、システムログ情報をログファイル１に記憶し、アラームログ情報をログファイル２に記憶し、通信ログ情報をログファイル３に記憶し、マシンログ情報をログファイル４にそれぞれ分けて記憶する。ログ管理部２６０は、また、付加情報のログとして、アラーム発生時の制御プログラム内部の状態、ＨＤＤ２１５のメモリ内部の状態、プロセス内部の状態を示す履歴情報をログファイル５に記憶する。
【００６９】
各ログファイルの記憶領域は有限であるため、ログ管理部２６０は、その空き領域が新たなログ情報を記憶するのに不足している場合には、各ログファイルに記憶されたログ情報の家、最先に記憶されたログ情報を新たなログ情報にて上書きする。これにより、各ログファイルに記憶されたログ情報のうち、最も使われる可能性の低いログ情報が消去される。
【００７０】
バックアップ部２６５は、所定の事象のうち、特定の事象が発生したタイミングに連動して、所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップする。バックアップのタイミングの一例としては、想定外のアラームが発生したときが挙げられる。すなわち、バックアップ部２６５は、想定外のアラームが発生したとき、ログファイル１〜５に蓄積された各ログ情報を一括してＨＤＤ２１５内のバックアップファイル１〜５にそれぞれコピーする。
【００７１】
ログファイル１〜５のサイズと、バックアップファイル１〜５のサイズ（メモリ容量）は同じであり、バックアップ後、各バックアップファイルを簡単かつ迅速にフレキシブルディスク１３５や光磁気ディスク１４０にコピーして不具合を調査するためにログ情報利用者に渡すことが可能なサイズになっている。
【００７２】
なお、アラームの種類とバックアップすべきログファイルとを予め定めておき、そのルールに基づいてアラームの種類に応じてログファイル１〜５のうちの少なくともいずれかを一括コピーするようにしてもよい。これにより、アラームの内容によって必要な種類のログ情報のみをバックアップすることができる。
【００７３】
なお、以上に説明したＥＣ２００の各部の機能は、実際には、図３のＣＰＵ２２０がこれらの機能を実現する処理手順を記述した制御プログラムを記憶したＲＯＭ２０５、ＲＡＭ２１０およびＨＤＤ２１５の記憶媒体から制御プログラムを読み出し、そのプログラムを解釈して実行することにより達成される。たとえば、本実施形態では、搬送／処理制御部２５０、ログ管理部２６０およびバックアップ部２６５の各機能は、実際には、ＣＰＵ２２０がこれらの機能を実現する処理手順を記述したプログラムを実行することにより達成される。
【００７４】
（ＥＣの動作）
つぎに、ＥＣ２００により実行されるウエハ搬送／エッチング処理、ログ管理処理およびバックアップ処理について図７〜９に示した各フローチャートを参照しながら説明する。図７のフローチャートに示された搬送／エッチング処理および図８のフローチャートに示されたログ管理処理は、所定時間経過毎に別々に起動され、図９のフローチャートに示されたバックアップ処理は、想定外のアラーム発生時に割込処理として起動される。
【００７５】
（ウエハ搬送／エッチング処理）
オペレータが、レシピとロット番号とを指定してロットスタートボタンを「オン」すると、該当ロットが投入され、そのロットに含まれるウエハを順に搬送する準備が整う。このタイミングに連動して図７のステップ７００からウエハ搬送／エッチング処理が開始され、搬送／処理制御部２５０は、ステップ７０５にて未処理ウエハがあるか否かを判定する。この時点では、未処理ウエハが存在するので、搬送／処理制御部２５０はステップ７１０にて該当ウエハを搬送先（ＰＭ１またはＰＭ２）に搬送するための信号を出力する。この指示信号は、通信部２５５からＭＣ３００に伝えられる。ＭＣ３００の制御により各ＰＭの搬送機構が駆動し、これにより、各ウエハの搬送が開始される。
【００７６】
次に、ステップ７１５に進んで、搬送／処理制御部２５０はウエハにエッチング処理を施すように制御し、処理終了後、ステップ７２０にて処理済ウエハを再びカセット容器に収容するように制御し、ステップ７９５にて本処理を一旦終了する。なお、ステップ７０５にて未処理ウエハがない場合には、直ちにステップ７９５に進み本処理を一旦終了する。
【００７７】
上記処理中に、複数種類のログ情報が生じる。たとえば、オペレータがロットスタートボタンを「オン」したとき、システムログ情報が発生する。ウエハを搬送先に搬送するための信号が通信部２５５からＭＣ３００に送信されたとき、通信ログ情報が発生する。この信号に基づき、ＭＣ３００の制御により各ＰＭの駆動装置が駆動するとき、マシンログ情報が発生する。
【００７８】
（ログ管理処理）
次に、このようにしてシステムの稼動状態によって発生する各事象をログ情報として管理するログ管理処理について説明する。ログ管理処理は、図８のステップ８００から開始され、ステップ８０５にてログ管理部２６０は、新しいログ情報が発生しているかを判定する。新しいログ情報が発生している場合、ステップ８１０にて発生したログ情報の種類に応じて保存先のログファイルを特定する。たとえば、システムログ情報に対しては、ログファイル１が特定される。
【００７９】
ついで、ステップ８１５に進んで、ログ管理部２６０は、保存先ログファイルに空きがないかを判定する。たとえば、各ログファイルが８０００件のログ情報を記憶できる場合、８０００件までのログ情報は上書きせずに蓄積される。この時点では、ログ管理部２６０は、保存先のログファイルには空きがあると判定し、ステップ８２０に進んで新しいログ情報を特定されたログファイルに登録する。
【００８０】
たとえば、オペレータがロットスタートボタンを「オン」したとき、発生したシステムログ情報として、図１０のログファイル１（システムログ）に日時「８／９  １：０５ＰＭ」および事象の内容「ＸＸＸ（ロットスタート）」が登録される。
【００８１】
その後、ログファイル１やその他のログファイルにシステムに関する事象が次々に登録され、ログファイル１に「８／１０  １１：００ＰＭ  ＷＷＷ」のログ情報が登録された時点で、ログファイル１に空きがなくなる。このとき、ログ管理部２６０は、ステップ８１５にて保存先のログファイルに空きがないと判定し、ステップ８２５に進んで最先に書き込まれた「８／９  １：０５ＰＭ  ＸＸＸ」のログ情報を新たに発生したログ情報にて上書きし、ステップ８９５に進んで本処理を一旦終了する。
【００８２】
以上に説明したように、各ログファイルがログ情報でいっぱいになると最も古いログ情報から削除される。このようにして、ログ情報を記憶してからログ情報を採取するまでに時間差がある場合、不具合の検証のために必要なログ情報が既に削除されてしまい使うことができない状況が起こりうる。
【００８３】
そこで、本実施形態にかかる処理システム１０では、所望のタイミングにログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップする。以下では、そのバックアップ処理について図９のフローチャートを参照しながら説明する。
【００８４】
（バックアップ処理）
バックアップ処理は９００から開始され、ステップ９０５にて、バックアップ部２６５は想定外のアラームが発生したかを判定する。ここで、図６（ａ）の想定外のアラームＡＡＡが発生した場合、図１０のログファイル２に示したように、ログ管理部２６０によって、想定外のアラームＡＡＡの事象「８／９  ４：００ＰＭ  ＡＡＡ」がログファイル２（アラームログ）に新たに登録される。
【００８５】
そこで、ステップ９１０に進んで、バックアップ部２６５は、ログファイル１〜５をバックアップファイル１〜５にそれぞれ一括してバックアップし、ステップ９９５に進んで本処理を一旦終了する。なお、想定外のアラームが発生していない場合には、ステップ９０５から直ちにステップ９９５に進み、本処理を終了する。このようにして、想定外のアラームが発生する度に、図１０に示した同サイズのバックアップファイル２，３・・・が生成される。なお、バックアップファイルを保持できる個数は、ＨＤＤ２１５の使用領域の制限により有限個となる。そのため、最大個数まで達すると、最も古いバックアップファイルの内容が新しいバックアップファイルの内容にて上書きされ、その時点で、最も古いバックアップファイルは消去されたことになる。
【００８６】
以上に説明したように、本実施形態にかかる処理システム１０によれば、想定外のアラームが発生した前後のタイミングに記憶されたログ情報をバックアップすることにより、管理者や作業者は、ログファイルの状態にかかわらず、バックアップファイルから必要なログ情報を確実に入手することができる。この結果、システムが稼働し続けることにより、新たなログ情報が随時生成され、トラブルの原因を検証するために必要なログ情報が新たなログ情報にて上書きされることによりログファイルから消えてしまっていても、トラブルの原因を検証するために必要なログ情報がバックアップファイルに残っているので、それらのログ情報を利用して想定外のアラームの発生原因を究明することができる。
【００８７】
また、バックアップ部２６５は、アラーム発生時の制御プログラム内部の状態、ＨＤＤ２１５内部のメモリ状態、プロセス内部の状態を示す付加情報をログファイル５に保存しているので、トラブルの解析に所定の事象を示したログ情報だけでなく、所定の付加情報を利用することができ、これにより、アラームの発生原因を調査する負担をより軽減することができる。
【００８８】
また、各ログ情報は、少なくとも各事象が発生した時刻を含み、これに加えて、各事象が発生した時刻に処理していたウエハに関する情報を含むこともできる。
【００８９】
また、バックアップ部２６５は、一括してバックアップしたログ情報を想定外のアラーム処理の内容から抽出したキーワードを用いて並べ替えてからバックアップファイルに一括してコピーしてもよい。バックアップ部２６５は、バックアップファイルに一括してコピーした後、そのバックアップファイル内のログ情報を想定外のアラーム処理の内容から抽出したキーワードを用いて並べ替えてもよい。これによれば、アラームが発生したタイミングの前後にて、いつ、どのような処理が実行されていたかをより容易に調査することができる。一括してバックアップしたログ情報を解析してキーワード毎に時系列で並べ替えてもよい。
【００９０】
ログファイルおよびバックアップファイルのサイズは、バックアップしたログ情報をログ情報利用者に迅速かつ容易に渡すことを想定して、任意の記憶媒体一枚の容量または一通のメールにて送信可能な容量に設定されている。すなわち、ログファイルおよびバックアップファイルの容量は、たとえば、想定外のアラーム発生時に一括してバックアップしたログ情報をフレキシブルディスクや光磁気ディスク等の記憶媒体に記憶させたり、一通のメールに添付して送信したりすることにより、トラブル対策のためにログ情報が必要な人材に迅速かつ確実にデータを送ることができるサイズに設定されている。この理由から、ログファイルおよびバックアップファイルのサイズを大容量にすることはできない。
【００９１】
なお、所定のアラームは、図１１，１２に示したようにディスプレイ１３０に表示される。図１１では、オペレータは、この画面上で確認ボタンを押すか、または処理を終了する終了ボタンを押すことができるのみであり、オペレータの操作と図９のバックアップ処理とは連動していない。つまり、バックアップ部２６５は、処理システム１０にてシステム構成上起こりえない想定外のアラームが発生したタイミングに連動して自動的にログ情報をバックアップする。
【００９２】
オペレータの操作とバックアップ処理とを連動させることもできる。その場合、図１２に示した画面がディスプレイ１３０に表示され、オペレータがその画面上でバックアップボタンを押したタイミングに連動してバックアップ処理が起動される。このように、バックアップ部２６５は、処理システム１０にてシステム構成上起こりえない想定外のアラームが発生し、かつ想定外のアラームに対してオペレータによりバックアップ操作が行われたタイミングに連動して、ログ情報をバックアップするようにしてもよい。
【００９３】
これによれば、処理システム１０にて想定外のアラームが発生し、さらに、オペレータがバックアップする意思表示をしたときに初めてログ情報が一括してバックアップされる。これにより、不要なバックアップを抑止してＨＤＤ２１５内の記憶領域を無駄に消費することを防ぐことができる。
【００９４】
（処理システムの変形例）
処理システム１０は、ウエハに所定の処理を施す複数のＰＭと、ウエハを収容するカセット容器（カセットチャンバ）と、前記複数のＰＭと前記カセット容器との間にてウエハを所定の搬送先に搬送する搬送機構と、を有したクラスタ型のシステムであってもよい。
【００９５】
（変形例１）
たとえば、上述した処理システム１０は、図１３に示した構成であってもよい。処理システム１０は、カセットチャンバ（Ｃ／Ｃ）４００ｕ１、４００ｕ２、トランスファチャンバ（Ｔ／Ｃ）４００ｕ３、プリアライメント（Ｐ／Ａ）４００ｕ４、プロセスチャンバ（Ｐ／Ｃ）（＝ＰＭ）４００ｕ５、４００ｕ６を有している。
【００９６】
Ｃ／Ｃ４００ｕ１、４００ｕ２には、処理前のウエハおよび処理済のウエハが収容されている。Ｐ／Ａ４００ｕ４は、ウエハＷの位置決めを行う。Ｔ／Ｃ４００ｕ３には、屈伸および旋回可能な多関節状のアーム４００ｕ３１が設けられている。アーム４００ｕ３１は、アーム４００ｕ３１の先端に設けられたフォーク４００ｕ３２上にウエハを保持し、適宜屈伸および旋回しながらＣ／Ｃ４００ｕ１、４００ｕ２とＰ／Ａ４００ｕ４とＰ／Ｃ４００ｕ５、４００ｕ６との間でウエハを搬送するようになっている。
【００９７】
かかる構成により、変形例１の処理システム１０は、Ｔ／Ｃ４００ｕ３のアーム４００ｕ３１を用いてウエハをＣ／Ｃ４００ｕ１、４００ｕ２から搬出し、Ｔ／Ｃ４００ｕ３、Ｐ／Ａ４００ｕ４を経由してＰ／Ｃ４００ｕ５、４００ｕ６に搬入し、ウエハＷに対してエッチング処理などのプロセスを施した後、再び、Ｔ／Ｃ４００ｕ３を経由してＣ／Ｃ４００ｕ１、４００ｕ２へ戻すようになっている。
【００９８】
（変形例２）
また、処理システム１０は、図１４に示した構成であってもよい。処理システム１０は、ウエハＷを搬送する搬送システムＨとウエハＷに対して成膜処理またはエッチング処理等の処理を行う処理システムＳとを有している。搬送システムＨと処理システムＳとは、ＬＬＭ４００ｔ１、４００ｔ２を介して連結されている。
【００９９】
搬送システムＨは、カセットステージ４００Ｈ１と搬送ステージ４００Ｈ２とを有している。カセットステージ４００Ｈ１には、容器載置台Ｈ１ａが設けられていて、容器載置台Ｈ１ａには、４つのカセット容器Ｈ１ｂ１〜Ｈ１ｂ４が載置されている。各カセット容器Ｈ１ｂは、ウエハＷを多段に収容している。
【０１００】
搬送ステージ４００Ｈ２には、屈伸および旋回可能な２本の搬送アームＨ２ａ１、Ｈ２ａ２が、磁気駆動によりスライド移動するように支持されている。搬送アームＨ２ａ１、Ｈ２ａ２は、先端に取り付けられたフォーク上にウエハＷを保持するようになっている。
【０１０１】
搬送ステージ４００Ｈ２の端部には、ウエハＷの位置決めを行う位置合わせ機構Ｈ２ｂが設けられている。位置合わせ機構Ｈ２ｂは、ウエハＷを載置した状態で回転台Ｈ２ｂ１を回転させながら、光学センサＨ２ｂ２によりウエハＷの周縁部の状態を検出することにより、ウエハＷの位置を合わせるようになっている。
【０１０２】
ＬＬＭ４００ｔ１、４００ｔ２には、その内部にてウエハＷを載置する載置台がそれぞれ設けられているとともに、その両端にてゲートバルブｔ１ａ、ｔ１ｂ、ｔ１ｃ、ｔ１ｄがそれぞれ設けられている。かかる構成により、搬送システムＨは、カセット容器Ｈ１ｂ１〜Ｈ１ｂ４とＬＬＭ４００ｔ１、４００ｔ２と位置合わせ機構Ｈ２ｂとの間でウエハＷを搬送するようになっている。
【０１０３】
処理システムＳには、トランスファチャンバ（Ｔ／Ｃ）（＝ＴＭ）４００ｔ３および６つのプロセスチャンバ（Ｐ／Ｃ）４００ｓ１〜４００ｓ６（＝ＰＭ）が設けられている。Ｔ／Ｃ４００ｔ３は、ゲートバルブｓ１ａ〜ｓ１ｆを介してＰ／Ｃ４００ｓ１〜４００ｓ６にそれぞれ連結されている。Ｔ／Ｃ４００ｔ３には、屈伸および旋回可能なアームＳａが設けられている。
【０１０４】
かかる構成により、処理システム１０は、搬送システムＨから処理システムＳに搬送されたウエハを、アームＳａを用いてＬＬＭ４００ｔ１、４００ｔ２からＴ／Ｃ４００ｔ３を経由してＰ／Ｃ４００ｓ１〜４００ｓ６に搬入し、ウエハに対してエッチング処理などのプロセスを施した後、再び、Ｔ／Ｃ４００ｔ３を経由してＬＬＭ４００ｔ１、４００ｔ２へ搬出し、搬送アームＨ２ａ１、Ｈ２ａ２がこれを受けとってカセット容器Ｈ１ｂに戻す。
【０１０５】
図１３及び図１４に示したように、ＰＭが３以上存在する処理システム１０においても、各ＰＭにて各ウエハに所望の処理を施す際、処理システム１０の各装置や装置間の通信にて発生するログ情報を種類別のログファイルに蓄積し、所定のアラームが発生したタイミングに連動して各ログファイルに蓄積されたログ情報を一括してバックアップファイルに保存する。これにより、トラブル発生前後のログ情報を確実に入手でき、入手したログ情報からトラブルの原因を迅速に究明することができる。
【０１０６】
以上に説明した各実施形態において、各部の動作はお互いに関連しており、互いの関連を考慮しながら、一連の動作として置き換えることができ、これにより、処理システムの制御装置の実施形態を、処理システムの制御方法の実施形態とすることができる。また、上記各部の動作を、各部の処理と置き換えることにより、処理システムの制御方法の実施形態を、処理システムを制御するための制御プログラムの実施形態とすることができる。また、処理システムを制御するための制御プログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶させることにより、処理システムを制御するための制御プログラムの実施形態を制御プログラムに記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体の実施形態とすることができる。
【０１０７】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【０１０８】
たとえば、本発明にかかる処理システムの処理室の数はいくつであってもよい。また、本発明に用いられる被処理体は、シリコンウエハに限られず、石英やガラス等の基板であってもよい。
【０１０９】
また、処理室にて所望の処理を実行する装置の一例としては、エッチング装置、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化学気相成長法）装置、アッシング装置、スパッタリング装置、コータデベロッパ、洗浄装置、ＣＭＰ（Chemical
Mechanical Polishing：化学的機械的研磨）装置、ＰＶＤ（Physical Vapor Deposition：物理気相成長法）装置、露光装置、イオンインプランタなどが挙げられる。これらの装置は、マイクロ波プラズマ処理装置、誘導結合型プラズマ処理装置および容量結合型プラズマ処理装置などによって具現化されてもよい。
【０１１０】
さらに、本発明にかかる制御装置は、ＥＣ２００のみで具現化されてもよいし、ＥＣ２００とＭＣ３００とから具現化されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】本発明の一実施形態にかかる処理システムの概念図である。
【図２】同実施形態にかかる処理システムの内部構成図である。
【図３】同実施形態にかかるＥＣのハードウエア構成図である。
【図４】同実施形態にかかるＥＣの機能構成図である。
【図５】同実施形態にかかる各種ログ情報の生成状況を説明するための図である。
【図６】同実施形態にて使用する制御プログラムに書かれたアラーム処理ステップの一例を示した図である。
【図７】同実施形態にて実行されるウエハ搬送／エッチング処理ルーチンを示したフローチャートである。
【図８】同実施形態にて実行されるログ管理処理ルーチンを示したフローチャートである。
【図９】同実施形態にかかるバックアップ処理ルーチンを示したフローチャートである。
【図１０】ログファイルとバックアップファイルとの関係およびバックアップのタイミングを説明するための図である。
【図１１】アラーム表示画面の一例である。
【図１２】アラーム表示画面の他の一例である。
【図１３】処理システムの他の内部構成図である。
【図１４】処理システムの他の内部構成図である。
【符号の説明】
【０１１２】
１００    ホストコンピュータ
１０５    管理サーバ
１３０    ディスプレイ
１３５    フレキシブルディスク
１４０    光磁気ディスク
２００    ＥＣ
２１５    ＨＤＤ
２５０    搬送／処理制御部
２５５    通信部
２６０    ログ管理部
２６５    バックアップ部
３００、３００ａ〜３００ｄ  ＭＣ
【図１】
0005138322.tif 000002
【図２】
0005138322.tif 000003
【図３】
0005138322.tif 000004
【図４】
0005138322.tif 000005
【図５】
0005138322.tif 000006
【図６】
0005138322.tif 000007
【図７】
0005138322.tif 000008
【図８】
0005138322.tif 000009
【図９】
0005138322.tif 000010
【図１０】
0005138322.tif 000011
【図１１】
0005138322.tif 000012
【図１２】
0005138322.tif 000013
【図１３】
0005138322.tif 000014
【図１４】
0005138322.tif 000015