(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
母材上に複数の層を積層してなる被覆膜が形成された切削工具において、
前記被覆膜は、前記母材側から順に、
少なくともチタン及び酸素を含む中間層と、
該中間層に接する第一面及び該第一面よりも表面側に位置する第二面を備えるα型結晶構造の酸化アルミニウム層と、
を有し、
前記酸化アルミニウム層におけるＸ線回折分析により検出された（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）と（０１２）面におけるピーク強度Ｉ（０１２）とのピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）は、前記第一面側よりも、前記第二面側が大きいとともに、前記酸化アルミニウム層におけるＸ線回折分析により検出されたピーク強度のうち、前記（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）が最大であることを特徴とする切削工具。
【請求項２】
前記ピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）は、１を超えて１５以下の範囲内にあることを特徴とする請求項１に記載の切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、母材上に被覆膜が形成された切削工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、超硬合金やサーメット、セラミックス等の母材上に、炭化チタン層、窒化チタン層、炭窒化チタン層、酸化アルミニウム層及び窒化チタンアルミ層等が単数又は複数形成された切削工具が知られている。
【０００３】
このような切削工具は、最近の切削加工の高能率化に従って、大きな衝撃が切刃にかかる重断続切削等に用いられる機会が増えており、係る過酷な切削条件においては、被覆膜にかかる大きな衝撃によるチッピングや被覆膜の剥離を抑制するため、耐欠損性・耐摩耗性の向上が求められている。
【０００４】
上記切削工具において耐欠損性を向上させる技術として、酸化アルミニウム層の粒径と層厚を適正化すると共に、（０１２）面における組織化係数（Ｔｅｘｔｕｒｅ  Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ：配向係数）を１．３以上とすることにより、緻密で耐欠損性の高い酸化アルミニウム層を形成することができる技術（特許文献１参照）や、酸化アルミニウム層の（０１２）面における組織化係数を２．５以上とすることで、酸化アルミニウム層における残留応力が解放されやすくすることにより、酸化アルミニウム層の耐欠損性を向上させることができる技術（特許文献２参照）が開示されている。
【０００５】
また、上記切削工具において耐摩耗性を向上させる技術として、中間層の直上に位置する酸化アルミニウム層が、異なるＸ線回折パターンを示す２層以上の単位層を積層してなるように形成されることにより、被膜の強度及び靭性を向上させることができる技術（特許文献３参照）が開示されている。
【特許文献１】特許平６−３１６７５８号公報
【特許文献２】特開２００３−０２５１１４号公報
【特許文献３】特開平１０−２０４６３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記切削工具において、すくい面では強度、靭性及び中間層に対する密着性を備える被覆膜が求められているのに対し、逃げ面では硬度を備える被覆膜が求められている。しかし、すくい面側及び逃げ面側の表面に別々の被覆膜を成膜するのは技術面及びコスト面の双方で難しく、このため、すくい面側及び逃げ面側で求められている性能を兼ね備えた被覆膜が必要とされている。
【０００７】
上記特許文献１及び特許文献２に記載されている方法では、突発欠損やチッピング等が生じやすいすくい面における工具損傷は抑えられるが、逃げ面では逆に酸化アルミニウム層の硬度低下によって被削材との接触によるこすれ摩耗が進行しやすくなってしまうという問題があった。
【０００８】
一方、特許文献３に記載されている方法では、酸化アルミニウム層の強度や靭性といった特性は向上するが、酸化アルミニウム層の中間層に対する密着力が不十分であるため、刃先に強い衝撃がかかった場合に膜剥離やチッピング等の工具損傷が発生してしまうという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、上記課題に鑑み、被覆膜の特性バランスを最適化させることにより、逃げ面における耐摩耗性、すくい面における耐欠損性及び中間層に対する酸化アルミニウム層の密着性に優れた長寿命な切削工具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、上記課題に対し、切削工具の酸化アルミニウム層における母材側と表層側の結晶配向を適正化することで、逃げ面における耐摩耗性、すくい面における耐欠損性及び中間層に対する酸化アルミニウム層の密着性に優れた性能を発揮することができることを知見した。
【００１１】
本発明のうち、請求項１に係る発明は、母材上に複数の層を積層してなる被覆膜が形成された切削工具において、前記被覆膜は、前記母材側から順に、少なくともチタン及び酸素を含む中間層と、該中間層に接する第一面及び該第一面よりも表面側に位置する第二面を備えるα型結晶構造の酸化アルミニウム層と、を有し、前記酸化アルミニウム層におけ
るＸ線回折分析により検出された（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）と（０１２）面におけるピーク強度Ｉ（０１２）とのピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）は、前記第一面側よりも、前記第二面側が大きいとともに、前記酸化アルミニウム層におけるＸ線回折分析により検出されたピーク強度のうち、前記（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）が最大であることを特徴とする。
【００１３】
また、上記発明において、前記ピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）は、１を超えて１５以下の範囲内にあることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、1)切削工具の逃げ面における耐摩耗性の向上、2)切削工具のすくい面における耐欠損性の向上、3)切削工具の中間層に対する酸化アルミニウム層の密着性の向上という複数の効果を兼ね備えることができる。
【００１９】
従って、本発明の切削工具によれば、被削材に対して長期にわたり安定した切削加工を施すことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る切削工具（以下、単に工具と略す）の一実施例について説明する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施例の概略斜視図である。図２は、図１の工具の概略断面図である。
【００２２】
図１に示すように、工具１の主面にすくい面２が、側面に逃げ面３が、それぞれ形成されており、すくい面２と逃げ面３とのなす交差稜線部に切刃４が形成されている。
【００２３】
また、図２に示すように、工具１は、母材５と、この母材５の表面に形成された被覆膜６を備えている。被覆膜６は、母材５側から順に、下層７、炭窒化チタン層８、少なくともチタン及び酸素を含む中間層９、α型結晶構造の酸化アルミニウム層（以下、単に酸化アルミニウム層と略す）１０、表層１１から形成されている。下層７及び表層１１は、窒化チタンにより構成されている。中間層９は、酸化アルミニウム層１０における母材５側の面（以下、第一面１０ａとする）の直下に形成されている。表層１１は、酸化アルミニウム層１０における第一面１０ａよりも表面側に位置する第二面１０ｂの直上に形成されている。なお、本発明に係る工具の他の実施例では、表層として、窒化チタンの代わりに窒化ジルコニウム、チタンの酸化物、炭酸窒化物あるいは炭化物炭窒化物でもよく、また、表層を備えないものであっても良い。
【００２４】
本実施例において、酸化アルミニウム層１０におけるＸ線回折分析により検出されたピーク強度のうち、（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）と（０１２）面におけるピーク強度Ｉ（０１２）とのピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）は、第一面１０ａ側よりも、第二面１０ｂ側で大きくなっている。
【００２５】
（０１２）面におけるピーク強度Ｉ（０１２）の強い酸化アルミニウム層１０を成膜した場合、酸化アルミニウム層１０の結晶粒子間の結合強度が弱くなり、靭性が向上して、工具１のすくい面２において衝撃に対する強度が高まる。そのため、酸化アルミニウム層１０の第一面１０ａ側、つまり母材５側において、（０１２）面におけるピーク強度Ｉ（０１２）を強くすることにより、中間層９に対する酸化アルミニウム層１０の密着性を向上させ、切削加工時の衝撃による被覆膜６の剥離及び破壊に起因する突発欠損や、異常摩耗による工具寿命の低下を抑制することができる。
【００２６】
一方、（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）の強い酸化アルミニウム層１０を成膜した場合、酸化アルミニウム層１０の結晶を柱状とすることができる。これにより、クラックの直線的な進展を抑制し耐チッピング性が向上すると共に、硬度も向上するため耐摩耗性も向上する。そのため、酸化アルミニウム層１０の第二面１０ｂ側、つまり表層１１側において、（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）を強くすることにより、被削材との接触による逃げ面３のこすれ摩耗を低減し、工具寿命の低下を抑制することができる。
【００２７】
すなわち、上記構成とすることにより、すくい面２における耐欠損性及び逃げ面３における耐摩耗性を向上させることができると共に、切削加工時におけるチッピング及び被覆膜６の剥離等の損傷を抑制することができる。
【００２８】
次に、酸化アルミニウム層１０におけるピーク強度の測定方法について説明する。なお、ピーク強度を測定する方法としては、一般的なＣｕＫα線を用いたＸ線回折分析の装置を用いて測定する。なお、酸化アルミニウム層１０における各結晶面のピーク強度を求めるにあたり、ＪＣＰＤＳカードのＮｏ．１０−１７３に記載された各結晶面のピーク強度が現れる２θの値を利用した。
【００２９】
まず、第二面１０ｂ側のピーク強度を測定する。具体的には、表層１１に研磨等を施した状態あるいは表層１１に対して研磨等を施さない状態で、被覆膜６に対してＸ線回折分析を行う。なお、表層１１に対して研磨等を施さない状態でＸ線回折分析を行った場合であっても、酸化アルミニウム層１０の（０１２）面におけるピーク強度Ｉ（０１２）及び（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）を測定できれば良い。
【００３０】
次に、第一面１０ａ側のピーク強度を測定する。具体的には、まず、被覆膜６の一部を研磨する。研磨は、ダイヤモンド砥粒を用いたブラシ加工や弾性砥石による加工、又はブラスト加工等で行う。なお、研磨は、酸化アルミニウム層１０の膜厚が、研磨前の四分の１程度になるまで行うことが好ましい。その後、被覆膜６の研磨された部分に対して、第二面１０ｂ側を測定したときと同条件でＸ線回折分析を行い、（０１２）面におけるピーク強度Ｉ（０１２）及び（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）を測定する。
【００３１】
以上の方法で測定した第一面１０ａ側のＸ線回折分析結果と、第二面１０ｂ側のＸ線回折分析結果について、それぞれ（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）と（０１２）面におけるピーク強度Ｉ（０１２）との比であるピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）を計算する。これにより、ピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）を、母材５側と表層１１側で比較することができる。
【００３２】
また、ピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）は、母材５側及び表層１１側共に０．５≦Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）≦１５となっている。これにより、切削加工に十分な耐摩耗性及び耐欠損性を得ることができる。
【００３３】
すなわち、ピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）を０．５以上とすることで、（０１２）面におけるＩ（０１２）に関与する粒径の大きい粒子が過剰に増加するのを抑制し、粒子の脱落によるチッピング等の工具損傷を抑制することができる。一方、ピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）を１５以下とすることで、（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）に関与する粒子が過剰に増加するのを抑制し、酸化アルミニウム層１０の強度及び耐欠損性が低下するのを抑制することができる。
【００３４】
特に、表層１１側におけるピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）は３〜１０、母材５側におけるピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）は０．８〜３とすることが好ましい。これにより、母材５側及び表層１１側で必要な性能を、より適正化することができる。
【００３５】
また、酸化アルミニウム層１０におけるＸ線回折分析により検出されたピーク強度のうち、表層１１側及び母材５側において、（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）が最大である。これにより、表層１１側ではより高い硬度を得ることができるため耐摩耗性がさらに向上する。また、母材５側では、柱状結晶が存在するため耐摩耗性、耐欠損性及び耐チッピング性が向上すると共に、柱状結晶と粒状結晶とが適度に混在するため粒径の大きい粒子が過剰に増加するのを抑制し、膜剥離を抑制することができる。
【００３７】
次に、本発明に係る工具の製造方法において説明する。
【００３８】
（母材の作製）
まず、工具の母材を焼成する。具体的には、金属の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物等の無機物粉末に、金属粉末、カーボン粉末等を適宜添加、混合し、プレス成形、鋳込成形、押出成形、冷間静水圧プレス成形等の公知の成形方法によって所定の工具形状に成形した後、真空中又は非酸化性雰囲気中にて焼成する。
【００３９】
（下層の成膜）
本実施例では、化学気相蒸着（ＣＶＤ）法により母材５の上に被覆層６を成膜する。
【００４０】
まず、作製された母材５の表面に下層７である窒化チタン層を成膜するには、反応ガス組成として四塩化チタンガスが０．１〜１０体積％、窒素ガスが１〜６０体積％、残りが水素ガスからなる混合ガスを順次調整して反応チャンバ内に導入する。そして、チャンバ内を８００〜１１００℃、５〜８５ｋＰａに設定し、窒化チタン層７を成膜する。
【００４１】
また、下層７として窒化チタン層の代わりに炭化チタン層を成膜するには、反応ガス組成として四塩化チタンガスを０．１〜３０体積％、メタンガスを０．１〜２０体積％、残りが水素ガスからなる混合ガスを順次調整して反応チャンバ内に導入する。そして、チャンバ内を８００〜１１００℃、５〜８５ｋＰａに設定し、炭化チタン層を成膜する。
【００４２】
（炭窒化チタン層の成膜）
そして、下層７の直上に炭窒化チタン層８を成膜するには、反応ガス組成として、体積％で四塩化チタンガスが０．１〜１０体積％、窒素ガスが０〜６０体積％、メタンガスが０〜０．１体積％、アセトニトリルガスが０．１〜３体積％、残りが水素ガスからなる混合ガスを調整して反応チャンバ内に導入する。そして、チャンバ内を８００〜１１００℃、５〜８５ｋＰａに設定し、炭窒化チタン層８を成膜する。
【００４３】
（中間層の成膜）
次に、炭窒化チタン層８の直上に中間層９を成膜する。酸化アルミニウム層を形成する前工程として、本発明に係る工具の製造方法は、チタン、アルミニウム及び酸素を含み、かつ炭素と窒素の少なくとも一方を含む層を成膜する工程Ｃと、チタン及び酸素と、炭素と窒素の少なくとも一方を含み、かつ、アルミニウムを含まない層を成膜する工程Ｄと、前記チタン及び酸素を含み、かつ炭素と窒素の少なくとも一方を含む層に対して二酸化炭素ガスをフローする工程Ｅと、を順次備えることが好ましい。これにより、酸化アルミニウム層が（０１２）配向及び（１０４）配向で成膜されやすくなるため好ましい。以下、上記工程Ｃ乃至Ｅを具体的に説明する。
【００４４】
まず、工程Ｃでは、四塩化チタンガスが０．５〜１０体積％、塩化アルミニウムガスが０．５〜７体積％、一酸化炭素ガスが０．１〜５体積％、メタンガスが０〜１０体積％、窒素ガスが０〜４０体積％、残りが水素ガスからなる混合ガスを調整して反応チャンバ内に導入する。その後、チャンバ内を９５０〜１０５０℃、５〜５０ｋＰａに設定し、成膜時間は２〜２０分としてチタン、アルミニウム及び酸素を含み、かつ炭素と窒素の少なくとも一方を含む層を成膜する。
【００４５】
次に、工程Ｄでは、四塩化チタンガスが０．５〜１０体積％、一酸化炭素ガスが０．１〜５体積％、メタンガスが０〜１０体積％、窒素ガスが０〜４０体積％、残りが水素ガスからなる混合ガスを調整して反応チャンバ内に導入する。その後、チャンバ内を９５０〜１０５０℃、５〜５０ｋＰａに設定し、成膜時間は２〜１５分としてチタン及び酸素と、炭素と窒素の少なくとも一方を含み、かつ、アルミニウムを含まない層を成膜する。
【００４６】
そして、工程Ｅでは、二酸化炭素ガスのみをチャンバ内に１００体積％でフローし、反応時間は５〜３０分として、工程Ｃ及び工程Ｄで形成された二つの層の表面を酸化させる。
【００４７】
（酸化アルミニウム層の成膜）
次に、中間層９の直上に酸化アルミニウム層１０を成膜する。本発明に係る工具の製造方法は、塩化アルミニウムガス及び二酸化炭素ガスをそれぞれ所定の体積比で含む第一混合ガスの雰囲気下において酸化アルミニウム層を成膜する工程Ａと、この第一混合ガスに比して、塩化アルミニウムガス及び二酸化炭素ガスの体積比をそれぞれ１．２倍以上に増加した第二混合ガスの雰囲気下において酸化アルミニウム層を成膜する工程Ｂと、を順次備えている。工程Ａにより成膜された母材５側の酸化アルミニウム層は、（０１２）配向が強く、また、工程Ｂにより成膜された表面側の酸化アルミニウム層は、母材５側の酸化アルミニウム層に比べて（１０４）配向が強い。このため、上記工程Ａ及び工程Ｂにより、（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）と（０１２）面におけるピーク強度Ｉ（０１２）とのピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）が、前記母材５側よりも、表面側で大きい酸化アルミニウム層を成膜することができる。以下、上記工程Ａ及び工程Ｂを、具体的に説明する。
【００４８】
まず、工程Ａでは、塩化アルミニウムガスが１．７〜１０体積％、塩化水素ガスが０．５〜３．５体積％、二酸化炭素ガスが０．８〜４．０体積％、硫化水素ガスが０〜０．４体積％、残りが水素ガスからなる混合ガスを反応チャンバ内に導入する。そして、９５０〜１０５０℃、５〜３０ｋＰａに設定し、酸化アルミニウム層を成膜する。
【００４９】
次に、工程Ｂでは、塩化アルミニウムガスが２．５〜１５体積％、塩化水素ガスが０．５〜３．５体積％、二酸化炭素ガスが１．２〜６．０体積％、硫化水素ガスが０．０３〜２体積％、残りが水素ガスからなる混合ガスを反応チャンバ内に導入する。その後、９５０〜１０５０℃、５〜３０ｋＰａに設定し、酸化アルミニウム層を成膜する。なお、工程Ｂに用いられる混合ガスは、硫化水素ガスを含んでおり、この工程Ｂに用いられる混合ガスに含まれる硫化水素ガスの体積比は、工程Ａに用いられる混合ガスに含まれる硫化水素ガスの体積比よりも大きくなっていることが好ましい。これにより、工程Ｂにおける酸化アルミニウム層の成膜スピードを、工程Ａにおける酸化アルミニウム層の成膜スピードに比して高めることができる。
【００５０】
また、上記工程Ａと工程Ｂは、混合ガスの割合を時間と共に連続的に変化させる１つの工程であっても良い。この場合、成膜される酸化アルミニウム層は一つの傾斜層によって形成される。これにより、工程Ａで成膜された酸化アルミニウム層と工程Ｂで成膜された酸化アルミニウム層との界面がなくなり、酸化アルミニウム層内における密着性を向上させることができる。
【００５１】
（表層の成膜）
次に、酸化アルミニウム層１０の直上に表層１１である窒化チタン層を成膜するには、反応ガス組成として四塩化チタンガスが０．１〜１０体積％、窒素ガスが１〜６０体積％、残りが水素ガスからなる混合ガスを順次調整して反応チャンバ内に導入する。そして、チャンバ内を８００〜１１００℃、５〜８５ｋＰａに設定し、窒化チタン層を成膜する。
【００５２】
なお、これらの層は、物理気相蒸着（ＰＶＤ）法等のその他の成膜方法にて成膜されたものであってもよい。
【００５３】
続いて、上記製造方法を用いて製造された工具について説明する。
【００５４】
（実施例）
まず、平均粒径１．５μｍのタングステンカーバイト粉末に対して、平均粒径１．２μｍの金属コバルト粉末を６質量％、平均粒径２．０μｍの炭化チタン粉末を０．５質量％、炭化タンタル粉末を５質量％の割合で添加、混合し、プレス成形により工具形状（ＣＮＭＡ１２０４１２）に成形する。その後、脱バインダ処理を施し、１５００℃、０．０１Ｐａの真空中において、１時間焼成して超硬合金からなる母材を作製した。その後、作製した母材にブラシ加工をし、切刃となる部分にＲホーニングを施した。
【００５５】
次に、上記超硬合金の母材に対して、化学気相蒸着（ＣＶＤ）法により被覆膜を成膜し、本発明に係る工具Ｎｏ．１〜５と、比較例である工具Ｎｏ．６〜８とを作製した。
【００５６】
上記工具Ｎｏ．１〜８について、まず、被覆膜に対して研磨等を施さない状態でＣｕＫα線によるＸ線回折分析を行い、すくい面と逃げ面の平坦面において、それぞれ任意３箇所で（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）及び（０１２）面におけるピーク強度Ｉ（０１２）を測定した。その際に、ピーク強度が最強となる結晶面についても測定した。次に、酸化アルミニウム層の層厚の四分の一程度の厚みまで研磨し、同様にＸ線回折分析によって、（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）及び（０１２）面におけるピーク強度Ｉ（０１２）を測定した。また、ピーク強度が最強となる結晶面についても測定した。
【００５７】
また、上記工具Ｎｏ．１〜８の破断面において、母材と被覆膜との界面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて５０００倍で観察し、酸化アルミニウム層の厚み及び中間層の厚みについて、それぞれ測定した。
【００５８】
以上の測定によって得られたピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）、酸化アルミニウム層の厚み及び中間層の厚みについて、表２に示した。また、表２に記載された各層の成膜条件を、表１に示した。なお、表２に記載の「薄膜」とは、厚みが０．０２μｍ〜０．５μｍ程度のものをいう。
【００５９】
【表１】
0005235449.tif 000002
【００６０】
【表２】
0005235449.tif 000003
【００６１】
次に、下記の条件において、本発明に係る工具Ｎｏ．１〜５と、比較例である工具Ｎｏ．６〜８を用いて連続切削試験及び断続切削試験を行い、耐摩耗性及び耐欠損性を評価した。
【００６２】
（連続切削条件）
被削材  ：ダクタイル鋳鉄４本溝付スリーブ材（ＦＣＤ７００）
工具形状：ＣＮＭＡ１２０４１２
切削速度：２５０ｍ／分
送り速度：０．４ｍｍ／ｒｅｖ
切り込み：２ｍｍ
切削時間：２０分
その他  ：水溶性切削液使用
評価項目：走査型電子顕微鏡にて刃先ホーニング部分を観察し、実際に摩耗している部分において、すくい面に対し垂直な方向におけるフランク摩耗量を測定
【００６３】
（断続切削条件）
被削材  ：ダクタイル鋳鉄４本溝付スリーブ材（ＦＣＤ７００）
工具形状：ＣＮＭＡ１２０４１２
切削速度：２５０ｍ／分
送り速度：０．３〜０．５ｍｍ／ｒｅｖ（送り量変動）
切り込み：２ｍｍ
その他  ：水溶性切削液使用
評価項目：欠損に至る衝撃回数
衝撃回数１０００回時点で走査型電子顕微鏡にて切刃の被覆膜の剥離状態を観察
【００６４】
表２の結果によれば、ピーク強度比Ｉ（１０４）／Ｉ（０１２）が母材側よりも表層側のほうが大きい構成となっていない比較例である工具Ｎｏ．６〜８では、膜剥離が発生するなどの工具損傷が発生すると共に、耐摩耗性及び耐欠損性に関しても不十分な結果となった。
【００６５】
一方、本発明に係る工具Ｎｏ．１〜５においては、膜剥離もほとんど発生せず、特に、酸化アルミニウム層の厚みが５〜７μｍである工具Ｎｏ．１〜３に関しては、より好ましい結果となった。酸化アルミニウム層の表層側で（１０４）面におけるピーク強度Ｉ（１０４）が最強となる工具Ｎｏ．２〜４に関しては、工具Ｎｏ．１、５〜８に比べてフランク摩耗が少なく、耐摩耗性について特に優れていることが明らかとなった。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明に係る切削工具の一実施例の概略斜視図である。
【図２】図１の切削工具の概略断面図である。
【符号の説明】
【００６７】
１・・・切削工具
２・・・すくい面
３・・・逃げ面
４・・・切刃
５・・・母材
６・・・被覆膜
７・・・下層
８・・・炭窒化チタン層
９・・・中間層
１０・・・酸化アルミニウム層
１０ａ・・・第一面
１０ｂ・・・第二面
１１・・・表層
【図１】
0005235449.tif 000004
【図２】
0005235449.tif 000005