(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フロート法により製造されたガラス母材を加熱して軟化させ、所望の厚さに延伸して薄板ガラスを成形するリドロー工程を有する薄板ガラスの製造方法において、
前記リドロー工程における延伸方向に沿った板厚変動よりも、幅方向に沿った板厚変動が小さくなる方向に前記ガラス母材を設置し延伸する
ことを特徴とする薄板ガラスの製造方法。
【請求項２】
前記リドロー工程における前記ガラス母材の延伸方向を、前記フロート法において溶融ガラスを流す流れ方向に対して９０度の方向とすることを特徴とする請求項１に記載の薄板ガラスの製造方法。
【請求項３】
前記ガラス母材の板厚分布に基づいて、前記ガラス母材の送り速度と、前記ガラス母材を引き取る引取速度との少なくとも一方の速度を制御する制御工程を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の薄板ガラスの製造方法。
【請求項４】
前記ガラス母材の板厚分布に基づいて、前記ガラス母材を引き取る引取速度を制御する引取速度制御工程を有し、
前記引取速度制御工程は、先行する第１のガラス母材から成形される薄板ガラスの前記延伸方向に沿った板厚分布を測定し、前記測定された薄板ガラスの板厚分布と前記薄板ガラスの目標板厚との差の分布に基づいて前記第１のガラス母材を引き取る引取速度の補正値を算出し、前記補正値を用いて後行する第２のガラス母材の引取速度を補正する引取速度補正工程を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の薄板ガラスの製造方法。
【請求項５】
前記第１のガラス母材と前記第２のガラス母材とは、前記フロート法において溶融ガラスを流す流れ方向に隣り合った位置から切り出されたものであることを特徴とする請求項４に記載の薄板ガラスの製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の薄板ガラスの製造方法により薄板ガラスを製造する薄板ガラス製造工程と、
前記薄板ガラスの幅方向の中央上にほぼガラス基板の中心が位置するように一列にコアリングするコアリング工程と、
を含むことを特徴とするガラス基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス母材を加熱延伸して形成する薄板ガラスの製造方法および薄板ガラスを用いたガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子の基板、電界効果型のフラットパネルディスプレイに用いるスペーサや磁気ディスク基板等に使用されるガラス板は、板厚均一度や表面粗さを良くすることが求められている。
【０００３】
所定の厚みを有しつつ表面粗さを向上させた薄板ガラスを製造する方法としては、ガラス母材を加熱軟化させ、所望の厚さの薄板ガラスに延伸する方法などが提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１９９２５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された製造方法を用い、フロート法によって製造された板ガラスを加熱軟化させて延伸して薄板ガラスを製造する場合、製造される薄板ガラスの板厚均一度がガラス母材の板厚分布に影響を受けて、所望とする板厚均一度が得られない場合があるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、フロート法によって製造されたガラス母材を加熱延伸する場合であっても、板厚均一度の優れた薄板ガラスやガラス基板を製造することができる薄板ガラスの製造方法およびガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、上記目的を達成するために、本発明に係る薄板ガラスの製造方法は、フロート法により製造されたガラス母材を加熱して軟化させ、所望の厚さに延伸して薄板ガラスを成形するリドロー工程を有する薄板ガラスの製造方法であって、リドロー工程におけるガラス母材の延伸方向を、フロート法において溶融ガラスを流す流れ方向に対して９０度の方向とすることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る薄板ガラスの製造方法は、上記の発明において、ガラス母材の板厚分布に基づいて、ガラス母材の送り速度と、ガラス母材を引き取る引取速度との少なくとも一方の速度を制御する制御工程を含むことを特徴とする。すなわち、本発明において、ガラス母材の送り速度および引取速度の少なくとも一方の速度に対して、ガラス母材の板厚分布に基づいたフィードフォワード制御を行う。
【０００９】
本発明に係る薄板ガラスの製造方法は、上記の発明において、ガラス母材の板厚分布に基づいて、ガラス母材を引き取る引取速度を制御する引取速度制御工程を有し、制御工程は、先行する第１のガラス母材から成形される薄板ガラスの長手方向に沿った板厚分布を測定し、測定された薄板ガラスの板厚分布と薄板ガラスの目標板厚との差の分布に基づいて第１のガラス母材を引き取る引取速度の補正値を算出し、補正値を用いて後行する第２のガラス母材の引取速度を補正する引取速度補正工程を含むことを特徴とする。すなわち、本発明において、先行する第１のガラス母材の後にリドロー法によって延伸される後行の第２のガラス母材の引取速度に対して、第１のガラス母材から成形された薄板ガラスの板厚の目標板厚からの差の分布に基づいて、フィードバック制御を行う。そして、このような構成において、好適には、第１のガラス母材と第２のガラス母材とは、フロート法において溶融ガラスを流す流れ方向に隣り合った位置から切り出されたものである。
【００１０】
本発明に係るガラス基板の製造方法は、上記の発明に係る薄板ガラスの製造方法により薄板ガラスを製造する薄板ガラス製造工程と、薄板ガラスの幅方向の中央上にほぼガラス基板の中心が位置するように一列にコアリングするコアリング工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る薄板ガラスの製造方法およびガラス基板の製造方法によれば、フロート法によって製造された板ガラスをリドロー法によって加熱延伸する場合に、板厚均一度の高い薄板ガラスや所定形状のガラス基板を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の一実施形態によるフロート板とフロート板から切り出される２種類のガラス母材とを示す略線図である。
【図２】図２は、本発明の一実施形態によるＡタイプのガラス母材の長手方向に沿った板厚分布を示すグラフである。
【図３】図３は、本発明の一実施形態による比較例としてのＢタイプのガラス母材の長手方向に沿った板厚分布を示すグラフである。
【図４】図４は、本発明の一実施形態によるリドロー法による薄板ガラス製造装置の概要構成を示す模式図である。
【図５】図５は、本発明の一実施形態において測定されるガラス母材の測定位置、長手方向に沿った板厚分布、および薄板ガラスの条厚を、ガラス母材の長手方向に対応させた条厚分布のグラフである。
【図６】図６は、本発明の一実施形態による薄板ガラス製造装置の引取速度の母材長さに沿った速度の制御を示すグラフである。
【図７】図７は、本発明の一実施形態によるリドロー法による薄板ガラス製造装置によって製造される薄板ガラスの条厚さの変化を示すグラフである。
【図８】図８は、本発明の一実施形態による制御方法に基づいて製造されるリドロー条の長手方向に沿った条厚分布を示すグラフである。
【図９】図９は、本発明の一実施形態により製造される薄板ガラスからガラス基板をコアリングする方法を説明するための略線図である。
【図１０】図１０は、本発明の一実施形態によるガラス基板の製造方法により製造されたガラス基板と従来技術により製造されたガラス基板とにおける幅方向に沿った板厚を示すグラフである。
【図１１】図１１は、本発明の一実施形態によるガラス基板の製造方法により製造されたガラス基板と従来技術により製造されたガラス基板とにおける幅方向に沿った板厚を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、以下の一実施形態の全図においては、同一または対応する部分には同一の符号を付す。また、本発明は以下に説明する実施形態によって限定されるものではない。
【００１４】
まず、本発明の一実施形態による薄板ガラスの製造方法について説明する。図１は、この一実施形態による薄板ガラスの製造方法において用いられるガラス母材、およびガラス母材を切り出すためのフロート板を模式的に示した図である。
【００１５】
（ガラス母材の切り出し方向）
図１に示すように、まず、フロート法により製造されたフロート板１０を準備する。すなわち、フロートバス（図示せず）内に溶融した金属スズを充填し、その表面に溶融ガラスを浮かべるようにして流し込むことによりフロート板１０を形成する。なお、図１において、溶融ガラスの流れ方向を、フロートの流れ方向として白抜矢印で示す。このフロート法は、大面積の板ガラスを安定して安価に大量生産できる方法である。なお、フロート板１０の金属スズと接触する側の面には、スズ等の金属がイオンとして侵入し、スズ面２０が形成される。このスズ面２０は除去しても良い。
【００１６】
次に、このフロート板１０を所望の大きさに切断して、ガラス母材を切り出す素材加工を行う。これらのガラス母材３１〜３３，４１を切り出す素材加工において、フロートの流れ方向に対して長手方向が９０度になるように切り出されたガラス母材３１，３２，３３を、「Ａタイプのガラス母材」とする。一方、素材加工において、フロートの流れ方向に対して長手方向が平行になるように切り出されたガラス母材４１を、「Ｂタイプのガラス母材」とする。なお、これらのガラス母材３１〜３３，４１の寸法は、長さＬ0が例えば２０００ｍｍ、幅Ｗが例えば６００ｍｍ、厚さＴ0が例えば３ｍｍである。
【００１７】
図２は、Ａタイプのガラス母材３１の長手方向に沿った板厚を、幅方向の両端部、すなわち長手方向に対する左右端部（図１中、実線および破線の矢印部分）においてそれぞれ測定した結果を示す。図３は、Ｂタイプのガラス母材４１の長手方向に沿った板厚を、長手方向に対する左右端部においてそれぞれ測定した結果を示す。なお、図１に示す破線矢印が長手方向に対する左端部、実線矢印が長手方向に対する右端部である。
【００１８】
図２から、Ａタイプのガラス母材３１の板厚分布は、長手方向に対する左右端部のいずれにおいても、長手方向に沿って３．１６ｍｍから最大値の３．２２ｍｍまで増加し、この最大値から３．１４ｍｍまで減少するように推移していることがわかる。すなわち、Ａタイプのガラス母材３１の板厚分布は、その長手方向に沿って山形になっていることがわかる。
【００１９】
これに対し、図３から、Ｂタイプのガラス母材４１の板厚分布は、長手方向に対する左端部において、長手方向に沿って３．１３５ｍｍ程度でほぼ一定であり、長手方向に対する右端部において、長手方向に沿って３．１６５ｍｍのままほぼ一定であることがわかる。すなわち、Ｂタイプのガラス母材４１の板厚は、左右端部においてそれぞれガラス母材４１の長手方向に沿ってほぼ一定であることがわかる。
【００２０】
また、図２から、Ａタイプのガラス母材３１は、その長手方向に対する左端部の板厚と右端部の板厚との差が極めて小さいことがわかる。他方、図３から、Ｂタイプのガラス母材４１は、その長手方向に対する左端部の板厚と右端部の板厚との差がＡタイプのガラス母材３１に比して大きいことがわかる。
【００２１】
このような板厚分布が形成される理由としては、以下のようなことが考えられる。すなわち、フロート法によるフロート板１０の形成時において、金属スズ上に溶融ガラスが流し込まれる際、この溶融ガラスは流体としての挙動を示す。そのため、溶融ガラスの流れ方向、すなわちフロートの流れ方向に沿った厚さの変化は小さく、他方でフロートの流れ方向に垂直な方向に沿った厚さの変化は大きくなると考えられる。このため、フロート板１０の全体において、フロートの流れ方向に沿うと板厚がほぼ一定となる傾向にあり、他方でフロートの流れ方向に垂直な方向に沿うと板厚が大きくばらつく傾向にある。すなわち、Ａタイプのガラス母材３１は、長手方向に沿った板厚差が大きいが、幅方向に沿った板厚差はきわめて小さくなる。一方、Ｂタイプのガラス母材４１は、長手方向に沿った板厚差は小さいが、幅方向に沿った板厚差は大きくなる。
【００２２】
以上のような検討に基づき、本発明者はさらに、図１に示すフロート板１０から切り出される他のガラス母材３２，３３は、フロートの流れ方向に沿って順次切り出されることになるため、ガラス母材３１に近似する形状になることを想起した。すなわち、他のＡタイプのガラス母材３２，３３においても、それらの長手方向に沿った板厚分布の起伏が大きく、板厚差も大きい一方、それらの幅方向に沿った板厚分布の起伏は小さく、板厚差も小さい。そして、ガラス母材３１に隣り合って切り出されるガラス母材３２の板厚分布の傾向は、ガラス母材３１の板厚分布の傾向と近似でき、ガラス母材３３における板厚分布の傾向は、ガラス母材３２の板厚分布の傾向に近似する。このように、同一のフロート板１０から、隣り合うように切り出されるＡタイプのガラス母材３１，３２，３３は、それらの形状や板厚分は、互いにほぼ一致することになる。
【００２３】
ところで、詳細は後述するが、リドロー法による薄板ガラスの製造においては、ガラス母材が長手方向に引き伸ばされることになる。この製造においては、通常、製造される薄板ガラスの条厚分布は、幅方向においてはガラス母材の板厚分布が大きく反映される一方、長手方向においては板厚分布の影響を緩和することができる。そこで、この一実施形態においては、幅方向の板厚がほぼ一定で変化が小さいＡタイプのガラス母材３１，３２，３３が、薄板ガラスの製造に用いられる。
【００２４】
（薄板ガラス製造装置）
次に、本発明の一実施形態による薄板ガラス製造装置、およびこの薄板ガラス製造装置を用いた薄板ガラスの製造方法について説明する。図４は、この一実施形態によるリドロー法による薄板ガラス製造装置の概略図である。
【００２５】
図４に示すように、リドロー法を採用した薄板ガラス製造装置５０は、上把持部５１、中把持部５４、接続ヒータ部５５、下把持部５７、加熱炉５９、引取キャプスタ６０、および切断機６３を有する。薄板ガラス製造装置５０には、さらに、上把持部５１、中把持部５４、接続ヒータ部５５、下把持部５７、および引取キャプスタ６０の各部をそれぞれ駆動する駆動部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５が設けられている。また、薄板ガラス製造装置５０には、これらの各部と、これらの各部を駆動する駆動部Ｃ１〜Ｃ５と、加熱炉５９と、切断機６３とを制御する制御部６５が設けられている。さらに、薄板ガラス製造装置５０には、各種の測定手段として、板厚測定機５２、および条厚測定機５６が設けられている。板厚測定機５２は、上把持部５１の下方や中把持部５４の上方に設置され、ガラス母材３１〜３３の板厚を測定する母材厚測定手段である。また、条厚測定機５６は、引取キャプスタ６０の下方に設置され、成形されたリドロー条６１の条厚を測定する条厚測定手段である。なお、これらの板厚測定機５２および条厚測定機５６によって測定された各測定値は、制御部６５にデータとして供給される。
【００２６】
薄板ガラス製造装置５０において、上把持部５１は、ガラス母材３３の後端（上端）を把持する二対の把持部５１ａ，５１ｂを有する。これらの把持部５１ａ，５１ｂは、制御部６５に制御される駆動部Ｃ１によって、ガラス母材３３を長手方向の軸（Ｚ方向）を中心に所定角度だけ回転可能に構成されている。また、上把持部５１は、駆動部Ｃ１によりガラス母材３３の厚さ方向（Ｘ方向）や幅方向（Ｙ方向）の位置を補正する。なお、駆動部Ｃ１は、上把持部５１に対して、位置補正時における厚さ方向（Ｘ方向）の移動や、ガラス母材３１〜３３の回転を行わせるものである。また、中把持部５４の上方に設けられた板厚測定機５２は、移動されるガラス母材３３の板厚をその長手方向に沿って測定する。
【００２７】
中把持部５４は、ガラス母材３２の後端の幅方向の左右端部を把持する２対の把持部５４ａ，５４ｂを有する。これらの把持部５４ａ，５４ｂは、制御部６５に制御される駆動部Ｃ２によって、上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。これらの把持部５４ａ，５４ｂによって、上把持部５１により位置補正されたガラス母材３２が把持されて、ガラス母材３３を供給方向（−Ｚ方向）に移動させることができる。
【００２８】
接続ヒータ部５５は、先行するガラス母材３１とこれに続いて供給される後行のガラス母材３２との接続部の供給方向への移動に同期して移動する。この移動は、制御部６５に制御にされる駆動部Ｃ３によって行われる。接続ヒータ部５５は、ガラス母材３１とガラス母材３２との接続部近傍で、ガラス母材３２，３３の接続部を板厚方向に挟むように対称配置された一対の接続ヒータ５５ａ，５５ｂを備える。この一対の接続ヒータ５５ａ，５５ｂの対称配置によって、ガラス母材３１，３２の厚さ方向の温度上昇分布またはガラス粘度分布が対称となり、厚さ方向の非対称性によって生じる反りが抑制される。
【００２９】
下把持部５７は、現に加熱炉５９に供給されているガラス母材３１の後端部分を把持する２対の把持部５７ａ，５７ｂを有する。それぞれの把持部５７ａ，５７ｂは、ガラス母材３１の左右端部で、厚さ方向からガラス母材３１を挟んで把持する。下把持部５７は、制御部６５に制御される駆動部Ｃ４によって、ガラス母材３１〜３３を加熱炉５９に順次送り込みできるように移動制御される。また、２対の把持部５７ａ，５７ｂがガラス母材３１を把持する際にガラス母材３１と接する部分に、それぞれヒータ（図示せず）が設けられ、これらのヒータは、把持する際のガラス母材３１の温度に近い温度となるように、制御部６５により温度制御される。
【００３０】
制御部６５がこれらの中把持部５４および下把持部５７のそれぞれの駆動部Ｃ２，Ｃ４の駆動を制御することにより、ガラス母材３１を加熱炉５９に送り込む際の送り速度が制御される。さらに、先行するガラス母材３１の後端に、後行のガラス母材３２の先端が突き合わされ、この突き合わされた接続部分が接続ヒータ部５５によって溶着され、連続してガラス母材３１，３２が加熱炉５９に供給される場合の送り速度も、制御部６５により制御される。
【００３１】
ガラス母材３１が送り込まれる加熱炉５９は、ガラス母材３１をその両面から加熱可能に構成された電気抵抗炉である。加熱炉５９の内部には、ガラス母材３１を加熱する加熱手段としてのヒータ（図示せず）が設けられている。
【００３２】
加熱炉５９の引き出し側に設けられた引取キャプスタ６０は、ガラス母材３１を延伸しつつ引き取る二対のローラ６０ａ，６０ｂを有する。それぞれのローラ６０ａ，６０ｂは、制御部６５に制御される駆動部Ｃ５によって、回転駆動可能に構成されている。また、制御部６５がそれぞれのローラ６０ａ，６０ｂの回転速度を制御することにより、ガラス母材３１が延伸されつつ引き取られる引取速度が制御される。また、ガラス母材３１の引き取りの下流側で引取キャプスタ６０の下方に設けられた条厚測定機５６によって、ガラス母材３１が延伸された後のリドロー条６１の条厚が測定される。ここで測定される条厚は、後述する薄板ガラス６４の板厚に対応している。
【００３３】
引取キャプスタ６０によってガラス母材３１が延伸されてリドロー条６１に成形された後、このリドロー条６１が切断機６３によって所定の長さＬ（ｍｍ）ごとに切断され、薄板ガラス６４が製造される。なお、この一実施形態において、製造される薄板ガラス６４の寸法は、長さＬが例えば３００ｍｍ、幅ｗが例えば１１０ｍｍ、厚さｔが例えば０．８２５ｍｍである。
【００３４】
なお、この一実施形態においては、リドロー条６１を切断機６３によって切断して薄板ガラス６４を製造しているが、リドロー条に充分な可とう性がある場合は、切断せずにそのままリールに巻きとり、薄板ガラス６４としてもよい。
【００３５】
（薄板ガラス製造装置の制御方法）
次に，以上のように構成されたこの一実施形態による薄板ガラス製造装置５０を用いて薄板ガラス６４を製造する際の制御方法について説明する。
【００３６】
（送り速度、引取速度のフィードフォワード制御）
まず、中把持部５４および下把持部５７によるガラス母材３１〜３３の送り速度、および引取キャプスタ６０によるガラス母材３１〜３３の引取速度を、フィードフォワード制御によって制御する方法について説明する。図５は、ガラス母材の板厚の測定位置と、ガラス母材の長手方向に沿った板厚分布のグラフと、リドロー条６１の条厚分布をガラス母材に対応させて示したグラフである。なお、図５（ａ）に示すように、ガラス母材３１の長手方向の両端部（前後端）には、他のガラス母材と接続される際に用いられる接続ロス部３１ａが存在する。
【００３７】
また、ガラス母材３１は、幅方向に沿った板厚分布の板厚差が小さい一方、長手方向に沿った板厚分布の板厚差Ｄが大きくなる。本発明者らが測定したところ、この一実施形態において用いられるガラス母材３１においては、板厚差Ｄは２５０μｍ程度であった。なお、板厚差Ｄは必ずしもこの値に限られるものではない。
【００３８】
また、ガラス母材３１は引取キャプスタ６０により延伸されてリドロー条６１に成形されるため、通常、ガラス母材３１の長手方向に沿った板厚分布はリドロー条６１の長手方向に沿った条厚分布に反映される。そこで、この一実施形態においては、制御部６５により、ガラス母材３１〜３３の送り速度と引取速度との少なくとも一方の速度を制御することによって、リドロー条６１の長手方向に沿った条厚分布の条厚差Δを低減する。
【００３９】
すなわち、まず、図５（ａ）に示すように、板厚測定機５２によって、ガラス母材３１の板厚分布を長手方向に沿って測定する。これにより、ガラス母材３１の長手方向に沿った板厚分布のデータが得られる。なお、上述したように、隣り合って切り出されるＡタイプのガラス母材３１の板厚分布は、互いにほぼ一致する。そのため、板厚分布を一旦測定した後には、この板厚分布に基づいて、板厚測定機５２により少なくとも３点で板厚を計測して、板厚の計測値をシフトさせることによって、ガラス母材３１の板厚分布を導出することができる。得られたガラス母材３１の板厚分布のデータを図５（ｂ）に示す。このガラス母材３１の板厚分布のデータは、板厚測定機５２から制御部６５に供給される。
【００４０】
次に、制御部６５は、板厚測定機５２から供給されたガラス母材３１の板厚分布のデータに基づいて、リドロー条６１の条厚のばらつきが低減するように、ガラス母材３１の送り速度Ｖおよび引取速度ｖをフィードフォワード制御する。この制御は、所望のリドロー条６１の条厚（目標条厚）とガラス母材３１の板厚分布とに基づいて、ガラス母材３１の送り速度Ｖと引取速度ｖとが関連付けされて実行される。
【００４１】
具体的には、板厚Ｔ（ｍｍ）のガラス母材の送り速度Ｖ（mm/min）と、リドロー条６１を条厚ｔ（ｍｍ）にする場合の引取速度ｖ（m/min）との関係を、下記の（１）式で表すことができる。この（１）式は、ガラス母材の長手方向に垂直な断面のアスペクト比（板厚と幅の比）と、リドロー条６１の長手方向に垂直な断面のアスペクト比（条厚と条幅の比）とが等しくなる場合に好適に適用される。
【００４２】
【数１】
0005331187.tif 000002
【００４３】
なお、薄板ガラス６４の製造において、リドロー条６１の目標条厚は一定（ｔ：一定）であるため、ガラス母材３１の送り速度Ｖと引取速度ｖとの関係は、下記の（２）式でも表される。
【数２】
0005331187.tif 000003
（２）式に示すように、ガラス母材３１の送り速度Ｖと引取速度ｖとの比は、ガラス母材３１の板厚の平方に比例する。
【００４４】
そこで、この一実施形態において制御部６５は、ガラス母材３１〜３３の板厚分布に基づき、その板厚Ｔの変動に応じて、ガラス母材３１の送り速度Ｖと引取速度ｖとの少なくとも一方の速度を（１）式を満たすようにフィードフォワード制御する。すなわち、ガラス母材３１の送り速度Ｖとリドロー条の引取速度ｖとを、ともに可変として制御したり、一方の速度を一定に固定しつつ他方の速度を可変として制御したりする。
【００４５】
ここで、この一実施形態においては、加熱炉５９の内部などでのガラス母材３１のよじれを低減して、最終製品としてのガラス基板のうねりの発生を抑制するために、制御部６５による制御としては、ガラス母材３１の送り速度Ｖを一定にしつつ引取速度ｖを可変として制御するのが好ましい。このように引取速度ｖを可変として制御する場合には、次のようにフィードフォワード制御する。すなわち、ガラス母材３１の板厚分布において比較的板厚が厚い部分が延伸される際には、引取キャプスタ６０の引取速度ｖを大きくして速く引き取るように制御することにより、成形されるリドロー条６１の条厚を小さくして、目標値に近づける。反対に、ガラス母材３１の板厚分布で比較的板厚が薄い部分が延伸される際には、引取速度ｖを小さく遅く引き取るように制御することにより、成形されるリドロー条の条厚を大きくして目標値に近づける。そして、このような引取速度ｖの変更は、ガラス母材３１が所定長さ、具体的には例えば５０ｍｍ送られるごとに行われる。
【００４６】
図６は、このように制御される引取速度ｖの変更推移の具体例を示すグラフである。なお、図６においては、ガラス母材３１の長手方向に沿った先端からの位置に応じた引取速度ｖを示す。図５（ｂ）および図６に示すように、制御部６５は、ガラス母材３１の長手方向に沿って、ガラス母材３１が薄く板厚が小さい部分では、引取キャプスタ６０による引取速度ｖが小さくなるように制御している。これによって、成形されるリドロー条６１の条厚ｔを大きくし、製造される薄板ガラス６４の板厚を目標値に近づける。他方、制御部６５は、ガラス母材３１が厚く板厚が大きい部分では、引取キャプスタ６０による引取速度ｖが大きくなるように制御している。これによって、成形されるリドロー条６１の条厚ｔを小さくし、製造される薄板ガラス６４の板厚を目標値に近づける。
【００４７】
以上のように、ガラス母材３１の板厚分布に応じて、引取速度ｖを制御することによって、ガラス母材３１の板厚分布が、成形後のリドロー条６１の条厚分布に直接的に反映されるのを抑制することができ、リドロー条６１における条厚分布の条厚差を狭小化することができる。なお、一実施形態で用いたガラス母材３１と同様のガラス母材３１を用い、ガラス母材３１の送り速度Ｖと引取速度ｖとをともに一定にしてリドロー条６１を成形した場合は、図５（ｃ）に示すように、ガラス母材３１の接続ロス部３１ａ以外の部分から成形されるリドロー条６１の長手方向に沿った条厚差Δは、最大で３０〜４０μｍであった。これに対し、この一実施形態においては、板厚測定機５２によってあらかじめ測定されたガラス母材３１の長手方向に沿った板厚分布に基づいて、制御部６５が引取速度ｖを制御することによって、図５（ｃ）に示すように、ガラス母材３１の接続ロス部３１ａ以外の部分から成形されるリドロー条６１の条厚差Δは２０μｍ以下になることが確認された。
【００４８】
（引取速度のフィードバック制御）
次に、リドロー条６１の条厚ｔのばらつきをさらに低減するために、引取速度ｖに着目してフィードバック制御を行う制御方法について説明する。図７は、この一実施形態によるフィードバック制御を説明するための、ガラス母材３１の長手方向に沿った位置におけるリドロー条６１の条厚ｔの測定値と平均値とを示すグラフである。
【００４９】
まず、図７に示すように、１枚のガラス母材３１を用いて成形されたリドロー条６１の条厚の推移を測定する（図７中点線）。次に、測定されたリドロー条６１の条厚の推移に基づいて、制御部６５は、ガラス母材３１が長手方向に沿って所定長さ、例えば５０ｍｍ送られるごとのリドロー条６１の条厚の平均値を算出する（図７中実線）。次に、制御部６５は、算出されたリドロー条６１の条厚ｔの平均値とリドロー条６１の目標条厚との差を算出する。図７においては、リドロー条６１の目標条厚が例えば８２５μｍであった場合に、制御部６５は、リドロー条６１の条厚の平均値（図７中実線）と、８２５μｍとの差を算出する。
【００５０】
続いて、制御部６５は、この算出された条厚の平均値と目標条厚との差に基づいて、リドロー条６１を成形する際の、引取キャプスタ６０による引取速度ｖの補正値を算出する。なお、この引取速度ｖの補正値は、上述したリドロー条６１の条厚ｔの平均値を算出する際の間隔、すなわちガラス母材３１が例えば５０ｍｍ送られるごとに算出される。
【００５１】
具体的には、制御部６５は、算出されたリドロー条６１の条厚の平均値が目標条厚よりも大きい場合には、その差に応じて、ガラス母材３１からリドロー条６１を成形した際の引取速度ｖより大きくなるように補正値を算出して設定する。反対に、制御部６５は、算出されたリドロー条６１の条厚の平均値が目標条厚よりも小さい場合には、その差に応じて、ガラス母材３１からリドロー条６１を成形した場合の引取速度ｖよりも小さくなるように補正値を算出して設定する。
【００５２】
そして、これらの引取速度ｖの補正値は、ガラス母材３１を用いたリドロー条６１の成形の際に、ガラス母材３１の全長にわたって算出される。そして、ガラス母材３１からリドロー条６１を成形した引取速度ｖの推移がフィードバックされて、補正値が適用された新たな引取速度ｖの推移が設定される。そして、この引取速度ｖの推移は、先行するガラス母材３１の後に送られる後行のガラス母材３２からリドロー条６１の成形する時の引取速度ｖに適用される。
【００５３】
上述したように、ガラス母材３１〜３３は、同一のフロート板１０から隣り合って連続して切り出されるので、先行するガラス母材３１の板厚分布と後行のガラス母材３２の板厚分布とはほぼ同一の傾向を有している。そのため、先行するガラス母材３１から成形されたリドロー条６１の条厚分布に基づいて算出された引取速度ｖの補正値を、後行のガラス母材３２の引取速度ｖにフィードバックして適用すると、ガラス母材３２の引取速度ｖを最適化することができる。これにより、リドロー条６１の条厚を目標条厚に近づけることができる。このように、Ａタイプのガラス母材３１〜３３を採用していることにより、ガラス母材３１〜３３を、フロート板１０において隣り合っている順に順次薄板ガラス製造装置５０に供給することによって、引取速度ｖのフィードバック制御をより効果的に行うことができる。
【００５４】
（リドロー条の条厚分布）
上述したフィードフォワード制御（ＦＦ制御）を行った場合、フィードバック制御（ＦＢ制御）を行った場合、ガラス母材の送り速度とガラス母材の引取速度とを一定の速度とした場合について、製造されたリドロー条の長手方向の条厚分布を図８に示す。
【００５５】
図８に示すように、フィードフォワード制御やフィードバック制御を行わない場合は、目標値に対するずれ量が１５μｍ以上となる部分（図８中、破線部）がある。これに対し、フィードフォワード制御を行うことによって、ずれ量を１０μｍ以下とすることができ（図８中、一点鎖線部）、さらにフィードバック制御を行うことによって、ずれ量を５μｍ以下に低減することが可能となった（図８中、実線部）。
【００５６】
（ガラス基板）
次に、上述のようにして薄板ガラス製造装置５０によって製造された薄板ガラスから形成されたガラス基板について説明する。
【００５７】
まず、上述のようにして製造された薄板ガラス６４から、公知のコアリング工程を施すことによって、図９に示すような平面円盤状のガラス基板９０を成型する。コアリング工程においては、製造された薄板ガラス６４から平面円盤状のガラス基板９０が、ガラス基板９０の中心をほぼ薄板ガラスの幅方向の中央上に位置するようにして一列に順次くり抜かれる。
【００５８】
なお、ここでは中心部に円孔を有さない平面円盤状のガラス基板９０を用いたが、中心部に円孔を設けたドーナツ状ガラス基板を用いてもよい。図１０および図１１は、Ａタイプのガラス母材３１を用いて製造されたガラス基板９０とＢタイプのガラス母材４１を用いて製造されたガラス基板９０とをそれぞれ任意に２枚選択し、ガラス基板９０の薄板ガラス６４の幅方向に相当する板厚分布を測定した結果を示す。なお、いずれの場合においても、フィードフォワード制御とフィードバック制御とを行うことなく、ガラス母材の送り速度および引取速度をともに一定として製造した薄板ガラスを用いた。上述したフィードフォワード制御やフィードバック制御は、薄板ガラス６４の延伸方向に沿った板厚差を低減して板厚分布を改善するものであるので、幅方向に沿った板厚差に影響を及ぼさないため、フィードフォワード制御やフィードバック制御を行った場合においても同様の結果が得られる。
【００５９】
図１０から、Ｂタイプのガラス母材４１から製造されたガラス基板９０の板厚差が８μｍ程度であるのに対し、この一実施形態において採用したＡタイプのガラス母材３１から製造されたガラス基板９０の左右の板厚差が３μｍ程度に改善していることがわかる。また、図１３から、Ｂタイプのガラス母材４１から製造されたガラス基板９０の板厚差が８μｍ程度であるのに対し、Ａタイプのガラス母材３１から製造されたガラス基板９０の左右の板厚差が４．５μｍ程度に改善していることがわかる。すなわち、Ａタイプのガラス母材３１〜３３からリドロー法により製造された薄板ガラス６４を用いて、ガラス基板９０を製造することにより、ガラス基板９０の板厚のばらつきが大幅に低減されて、板厚均一性が向上することが確認された。なお、上述のように成型されたガラス基板９０に対して、公知のエッジ加工工程、端面ポリッシュ加工工程、および主表面研磨工程を施すことにより、製品としてのガラス基板９０が製造される。
【００６０】
以上説明した本発明の一実施形態によれば、薄板ガラスの製造に用いるガラス母材を、フロート板の製造時における溶融ガラスの流れ方向に対して長手方向が９０度になるように切り出されたガラス母材とすることにより、ガラス母材の幅方向に沿った板厚をほぼ一定にして、このガラス母材から製造される薄板ガラスの幅方向に沿った板厚のばらつきを低減させることができる。また、比較的ばらつきが大きいガラス母材の長手方向に沿った板厚分布を、この板厚分布に基づいてガラス母材の送り速度や引取速度を制御することによって、リドロー条の条厚分布に直接的に反映させないようにすることができ、板厚均一性に優れた所望の板厚の薄板ガラスを製造することができるので、最終製品としてのガラス基板の板厚ばらつきも大幅に低減され、ガラス基板の板厚均一性をより一層向上させることができる。
【００６１】
以上、本発明の一実施形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の一実施形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば、上述の一実施形態において挙げた数値はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる数値を用いてもよい。
【００６２】
上述の一実施形態においては、ガラス母材３１〜３３の板厚の測定を、薄板ガラス製造装置５０に設けられた板厚測定機５２によって行い、この測定値を制御部６５に供給するようにしているが、薄板ガラス製造装置５０の外部に設置された板厚測定装置によってガラス母材３１〜３３の板厚をあらかじめ測定して、制御部６５に測定値を供給するようにしてもよい。
【００６３】
また、上述の一実施形態においては、ガラス母材３１の板厚に応じてガラス母材３１の引取速度を（１）式を用いて制御するようにしているが、必ずしも（１）式に限定されるものではなく、ガラス母材３１の板厚に応じて、ガラス母材３１の寸法や、所望とする薄板ガラス６４の寸法などに応じて、ガラス母材３１の送り速度Ｖと引取速度ｖとを相互に最適速度に制御することができれば、種々の式を採用することが可能である。
【００６４】
また、上述の一実施形態においては、引取速度ｖのフィードバック制御を制御部６５によって自動で行っているが、このフィードバック制御は、手動で行うことも可能である。すなわち、１〜３枚のガラス母材を用いてリドロー条を成形し、これらのリドロー条の条厚分布と、リドロー条の目標条厚との差に基づいて、ガラス母材が所定長さ送られるごと、例えば５０ｍｍ送られるごとに引取速度ｖの補正値を算出し、この補正値に基づいて、後行のガラス母材３２からリドロー条６１を成形する際の引取速度ｖを手動で補正するようなフィードバック制御を行うことも可能である。
【００６５】
また、上述の一実施形態においては、ガラス母材３１の板厚分布に基づいたフィードフォワード制御の際に、板厚測定機５２によって、ガラス母材３１の板厚を長手方向に沿って３点の位置で測定しているが、この板厚測定機５２による板厚の測定は、ガラス母材３１の長手方向に沿った全長に亘って行うことも可能である。
【００６６】
また、上述の一実施形態においては、ガラス母材３１の引取速度ｖを、ガラス母材３１が５０ｍｍ送られるごとに切り替えて変更するようにしているが、ガラス母材３１の引取速度ｖをガラス母材３１の板厚分布に応じて、逐次変更するようにしてもよい。
【００６７】
また、上述の一実施形態においては、フィードフォワード制御およびフィードバック制御のいずれも行うことなく、ガラス母材の送り速度、ガラス母材の引取速度を何れも一定の速度として、薄板ガラスを製造することもできる。
【符号の説明】
【００６８】
１０  フロート板
２０  スズ面
３１，３２，３３，４１  ガラス母材
３１ａ  接続ロス部
５０  薄板ガラス製造装置
５１  上把持部
５１ａ，５１ｂ，５４ａ，５４ｂ，５７ａ，５７ｂ  把持部
５２  板厚測定機
５４  中把持部
５５  接続ヒータ部
５５ａ，５５ｂ  接続ヒータ
５６  条厚測定機
５７  下把持部
５９  加熱炉
６０  引取キャプスタ
６０ａ，６０ｂ  ローラ
６１  リドロー条
６３  切断機
６４  薄板ガラス
６５  制御部
９０  ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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