(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空室、
該真空室内に設けられ試料を載置し回転する駆動軸により少なくとも一方向に移動可能な移動ステージ、
該移動ステージを載置し、傾斜軸を中心として回転させる事により試料傾斜を行う傾斜ステージ、
前記傾斜ステージを傾斜軸を中心として回転させるための傾斜ステージ用駆動機構、
及び前記真空室の前記傾斜軸と離れた位置に取り付けられ前記移動ステージの駆動軸と自在継ぎ手により接続される移動ステージ用駆動モータ、
を備えた荷電粒子ビーム装置の試料装置において、
前記傾斜用ステージの傾斜にかかわらず前記移動ステージが移動しないよう、前記傾斜用ステージの傾斜に関連させて前記移動ステージ用駆動モータを制御する制御手段を設けたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置の試料装置。
【請求項２】
前記ステージの傾斜角度を検出する手段と、前記傾斜ステージの傾斜により前記移動ステージが移動しないよう前記移動ステージ用駆動モータを制御する制御量と前記傾斜ステージの傾斜角度との関係を記憶する手段を備え、前記制御手段は、前記傾斜角度検出手段によって検出された傾斜角度に基づいて前記記憶手段から当該傾斜角度に応じた制御量を読み出し、読み出した制御量に基づいて前記移動ステージ用駆動モータを制御するようにしたことを特徴とする請求項１記載の荷電粒子ビーム装置の試料装置。
【請求項３】
前記ステージの傾斜角度を指定する手段と、前記移動ステージが移動しないよう前記移動ステージ用駆動モータを制御する制御量と前記傾斜ステージの傾斜角度との関係を演算する手段を備え、前記制御手段は、前記傾斜角度指定手段によって指定された傾斜角度から制御量を演算し、演算により求めた制御量に基づいて前記移動ステージ用駆動モータを制御するようにしたことを特徴とする請求項１記載の荷電粒子ビーム装置の試料装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、傾斜機構を有する荷電粒子ビーム装置の試料装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
走査型電子顕微鏡は観察すべき試料上の所定領域を電子ビームで走査し、該走査によって前記所定領域から発生した二次電子等の二次的電子に基づく試料像等を得るもので、試料の観察や分析等に重宝されている。
【０００３】
図１は、この様な走査型電子顕微鏡の１概略例を示したものである。
【０００４】
図中１は電子銃、２、３は、それぞれ、該電子銃からの電子ビームを試料４上に収束させるためのコンデンサレンズ、対物レンズである。
【０００５】
５Ｘ、５Ｙは、前記電子銃１からの電子ビームで前記試料４上をＸ方向、Ｙ方向に走査するためのＸ方向走査コイル、Ｙ方向走査コイルである。
７は制御装置であり、各入力に対し、各種指令を発生する。又、試料位置移動指定、角度移動指定の入力も受け付ける。
【０００６】
６は各種演算を行ったり、制御装置７からの走査信号生成指令により走査信号を生成する走査信号生成回路で、生成したＸ方向走査信号を前記Ｘ方向走査コイル５Ｘに、Ｙ方向走査信号を前記Ｙ方向走査コイル５Ｙそれぞれ供給するものである。
【０００７】
８は前記電子ビームによる前記試料４上の走査により、該試料から発生した二次電子を検出する二次電子検出器、９はＡＤ変換器１０を介した前記二次電子検出器８からの二次電子信号に種々の画像処理を施し、該画像処理を施した二次電子信号を前記制御装置７に送る画像処理装置である。
【０００８】
１１は前記試料４を傾斜させるための傾斜ステージで、電子光学軸Ｏに直交する様に試料室１２の側壁に取り付けられた傾斜回転体１３によって傾斜可能に支持されている。この傾斜ステージの上に、前記試料４をＹ方向に移動するためのＹ方向ステージ１４と、Ｘ方向に移動するためのＸ方向ステージ１５が設けられている。
【０００９】
図２は該傾斜ステージ１１、Ｙ方向ステージ１４、Ｘ方向ステージ１５を備えた試料装置の詳細を示したもので、前記電子銃１側から見たものである。
【００１０】
図２中、１６はギア歯を有するウォームギアで、試料室外（或いは試料室外壁）に設けられた傾斜用モータ１７の回転軸１８に繋がり、前記傾斜ステージ１１に取り付けられた軸受け１９Ａ、１９Ｂにより回転可能に支持されている。
【００１１】
２０はこのウォームギアのギア歯と噛み合う様に該傾斜ステージ端部の周囲に取り付けられたウォームホイールである。
【００１２】
２１は前記傾斜ステージ端部側面と前記試料室側壁との間に設けられたベアリングで、前記図１で示した傾斜回転体１３を成しており、前記傾斜用モータ１７の作動により、回転軸１８の回転が前記ウォームギア１６から前記ウォームホイール２０へと伝わり、前記傾斜ステージ１１が電子光学軸Ｏに垂直な水平軸Ｑを軸として傾斜する様に構成されている。尚、前記水平軸Ｑは前記試料表面と同じ高さに上にある。
【００１３】
前記傾斜ステージ１１上には、Ｙ方向レール２２とＹ方向送りネジ２３が互いに対向し且つ並行に一定距離離して設けられており、前記Ｙ方向ステージ１４の前記Ｙ方向レール２２に接触する部分に該レールと勘合するＹ方向溝（図示せず）が設けられている。又、前記Ｙ方向ステージ１４の前記Ｙ方向送りネジ２３と対向する部分に該送りネジが螺合するナット（図示せず）が取り付けられている。尚、前記Ｙ方向送りネジ２３は軸受け２４Ａ、２４Ｂにより回転可能に傾斜ステージ１１に支持されており、自在継手２５Ａ、２５Ｂ、連結棒２６を介して試料室外（或いは試料室外壁）に設けられたＹ方向移動用モータ２７の回転軸２７Ｒに繋がっており、該Ｙ方向移動用モータ２７の作動による前記回転軸２７Ｒの回転が前記自在継手２５Ｂ、連結棒２６、自在継手２５Ａを介して前記Ｙ方向送りネジ２３に伝えられることにより、前記Ｙ方向ステージ１４が前記傾斜ステージ上でＹ方向に移動する様に構成されている。
【００１４】
前記Ｙ方向ステージ１４上には、Ｘ方向レール３３とＸ方向送りネジ２８が互いに対向し且つ並行に一定距離離して設けられており、前記Ｘ方向ステージ１５の前記Ｘ方向レール３３に接触する部分に該レールと勘合するＸ方向溝（図示せず）が設けられている。又、前記Ｘ方向ステージ１５の前記Ｘ方向送りネジ２８と対向する部分に該送りネジが螺合するナット（図示せず）が取り付けられている。尚、前記Ｘ方向送りネジ２８は軸受け２９Ａ、２９Ｂにより回転可能にＹ方向ステージ１４に支持されており、自在継手３０Ａ、３０Ｂ、連結棒３１を介して試料室外（或いは試料室外壁）に設けられたＸ方向移動用モータ３２の回転軸３２Ｒに繋がっており、該Ｘ方向移動用モータ３２の作動による前記回転軸３２Ｒの回転が前記自在継手３０Ｂ、連結棒３１、自在継手３０Ａを介して前記Ｘ方向送りネジ２８に伝えられることにより、前記Ｘ方向ステージ１５が前記Ｙ方向ステージ１４上でＸ方向に移動する様に構成されている。
【００１５】
図１に戻って、図中３４、３５、３６は、それぞれ、前記制御装置７からの指令を受けて傾斜駆動信号、Ｙ方向移動駆動信号、Ｘ方向移動駆動信号を発生し、該各信号をそれぞれ、前記傾斜用モータ１７、Ｙ方向移動用モータ２７、Ｘ方向移動用モータ３２に送る傾斜用ドライバ、Ｙ方向移動用ドライバ、Ｘ方向移動用ドライバである。
【００１６】
尚、３７は前記制御装置７の指令に従って試料像などを表示するディスプレイである。
【００１７】
この様な構成の走査型電子顕微鏡において、前記制御装置７の指令により前記Ｙ方向移動用ドライバ３５から所定のＹ方向移動駆動信号が、Ｘ方向移動用ドライバ３６から所定のＸ方向移動駆動信号が、それぞれ、前記Ｙ方向移動用モータ２７、Ｘ方向移動用モータ３２に送られ、それにより、前記Ｙ方向ステージ１４が前記傾斜ステージ１１上で所定の距離Ｙ方向に移動し、Ｘ向ステージ１５が前記Ｙ方向ステージ１４上で所定の距離Ｘ方向に移動する。この結果、前記試料４上の所定領域が中心が電子光学軸Ｏ上に来る。
【００１８】
この状態において、前記電子銃１からの電子ビームがコンデンサレンズ２及び対物レンズ３により前記試料４上に集束される。そして、前記制御装置７の指令に従って生成された走査信号生成回路６からのＸ方向、Ｙ方向走査信号がＸ方向走査コイル５Ｘ、Ｙ方向走査コイル５Ｙに供給されることにより、前記電子ビームは前記試料４上の所定の領域を走査する。
【００１９】
該走査により前記試料上の所定領域から発生した二次電子は二次電子検出器８に検出され、ＡＤ変換器１０を介して画像処理装置９に送られる。
【００２０】
そして、ここで画像処理された信号は前記制御装置７に送られ、ディスプレイ３７に前記試料上の所定領域の二次電子像が表示される。
【００２１】
【特許文献１】特開２０００−１３３１８４号公報
【特許文献２】特開平９−２２３４７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
所で、試料を傾けた状態で所定領域の観察を行う場合には、上記Ｘ方向，Ｙ方向移動を行う前或いは後に、前記制御装置７の指令により前記傾斜用ドライバ３４から傾斜駆動信号を傾斜用モータ１７に送り、それにより、前記傾斜ステージ１１を所定の角度（θ）傾斜させ、この状態において、前記試料を電子光学軸Ｏに垂直な状態で観察する場合と同じ様に、電子ビームで前記試料上の所定領域を走査して、該所定領域の二次電子像を得る。
この様に前記傾斜ステージ１１を傾けると、該傾斜ステージに載置されている前記Ｙ方向ステージ１４とＸ方向ステージ１５も一緒に傾く。
Ｙ方向ステージ１４、Ｘ方向ステージ１５を停止させている時は、外的力によってステージ位置が動かないように、Ｙ方向用移動ドライバ３５からＹ軸方向移動用モータ２７にＸ方向移動用ドライバ３６からＸ方向移動用モータ３２に拘束電流を流し拘束磁束を発生させ回転軸２７Ｒと回転軸３２Ｒを回転しないように拘束させる。
これによって、回転軸２７Ｒに連なって繋がっている自在継ぎ手２６、Ｙ方向送りネジ２３及び、回転軸３２Ｒに連なって繋がっている自在継ぎ手３１、Ｘ方向送りネジ２８も回転を拘束される。
この状態で傾斜ステージ１１を所定の角度(θ)傾けると、傾斜ステージ１１に載置されたＹ方向ステージ１４も角度(θ)傾斜する。試料室１２に固定されたＹ軸方向移動用モータ２７は前記したように、拘束磁束により拘束され、Ｙ軸方向移動用モータ２７連結されているＹ方向送りネジ２３も拘束されるので、Ｙ方向ステージ１４が角度（θ）傾いた事により、傾いたＹ方向ステージ１４側から見ると、Ｙ方向送りネジ２３に角度（θ）の回転が発生してしまう事になる。
同様に、傾斜ステージ１１を所定の角度（θ）傾けると、傾斜ステージ１１に載置されたＸ方向ステージ１５も角度（θ）回転する。拘束されて、試料室１２に固定された状態になっているＸ方向送りネジ２８と、Ｘ方向ステージ１５との間に角度（−θ）の回転が発生してしまう。
【００２３】
その為、前記Ｙ方向ステージ１４がＹ方向に、前記Ｘ方向ステージ１５がＸ方向にそれぞれ、Ｙ方向送りネジ２３とＸ方向送りネジ２８が角度（−θ）の回転に対応する距離だけ、前記傾斜ステージ１１に対して移動してしまう。
【００２４】
この様な移動が発生した状態において電子ビームで試料上を走査すると、傾斜前に設定した観察領域が正確に走査されないことになり、その為に、観察すべき領域以外の情報を得てしまう事が発生してしまう。
【００２５】
そこで、前記傾斜ステージ１１上にＹ方向移動用モータ２７及びＸ方向移動用モータ３２を取り付けることにより、前記傾斜ステージ１１を傾かせ、前記Ｙ方向ステージ１４とＸ方向ステージ１５も一緒に傾かせても、前記Ｙ方向移動用モータ２７及びＸ方向移動用モータ３２自身も一緒に傾く様にして、前記傾斜ステージ１１に対するＹ方向ステージ１４とＸ方向ステージ１５の移動が発生しない様にする対策が提案されている。
【００２６】
しかし、前記試料室１２内にＹ方向移動用モータ２７及びＸ方向移動用モータ３２を入れることになり、前記試料室１２が極めて大型化してしまい、走査電子顕微鏡自体が大型化してしまう。
【００２７】
又、試料室が大型化すると、該試料室を排気するためのポンプとして排気能力の極めて高いものを用意しなければ成らず、著しく費用が掛かってしまう。
【００２８】
又、モータからの熱が各ステージに伝導され、該各ステージの熱膨張に基づく試料のドリフトが発生する。また、モータからの放出ガスによる試料の汚染等が発生する。
【００２９】
本発明は、この様な問題点を解決するために成されたもので、新規な荷電粒子ビーム装置の試料装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
真空室、該真空室内に設けられ試料を載置し回転する駆動軸により少なくとも一方向に移動可能な移動ステージ、該移動ステージを載置し、傾斜軸を中心として回転させる事により試料傾斜を行う傾斜ステージ、前記傾斜ステージを傾斜軸を中心として回転させるための傾斜ステージ用駆動機構、及び前記真空室の前記傾斜軸と離れた位置に取り付けられ前記移動ステージの駆動軸と自在継ぎ手により接続される移動ステージ用駆動モータを備えた荷電粒子ビーム装置の試料装置において、前記傾斜用ステージの傾斜にかかわらず前記移動ステージが移動しないよう、前記傾斜用ステージの傾斜に関連させて前記移動ステージ用駆動モータを制御する制御手段を設けたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置の試料装置。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、真空排気される試料室内において試料がセットされる移動用ステージが傾斜用ステージに載置され、該移動用ステージを移動させるためのモータが試料室外に設けられた荷電粒子ビーム装置の試料装置において、移動用ステージが傾斜用ステージの傾斜に伴って傾斜すると共に移動しても、該傾斜に伴って発生する移動がキャンセルされる様に成しているので、試料室を大型化する必要が無く、又、モータからの熱による試料のドリフトの発生がない状態において、正確に試料中の観察或いは分析すべき領域に荷電粒子ビームを照射することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００３３】
先ず、本発明の原理について説明する。
【００３４】
傾斜ステージを角度（θ）傾斜させた時に、該傾斜ステージに乗っているＹ方向ステージがＹ方向に、Ｘ方向ステージがＸ方向に、それぞれ、角度（−θ）に対応する距離だけ、前記傾斜ステージに対して移動するので、該傾斜ステージを角度（θ）傾斜させた時に、角度（θ）に対応する距離だけ、前記Ｙ方向ステージをＹ方向に、前記Ｘ方向ステージをＸ方向に、それぞれ、前記傾斜ステージ１１に対して移動させる、即ち、前記移動と逆に方向に同じ移動量だけ移動させれば、前記傾斜ステージの傾斜により、該傾斜ステージに乗っているＹ方向ステージ及びＸ方向ステージが一緒に傾斜しても、該Ｘ方ステージ及びＹ方向ステージの移動は結果的に零となる。
【００３５】
図３はこの様な原理に基づいて成された試料装置を備えた荷電粒子ビーム装置の一例である走査型電子顕微鏡の一概略例を示す。尚、図中、前記図１及び図２で使用した記号と同一記号の付したものは同一構成要素である。
【００３６】
図中３８は、Ｙ方向移動用モータ２７の回転軸２７Ｒの回転量に対応するパルス発生するＹ方向用ロータリーエンコーダ、３９はＸ方向移動用モータ３２の回転軸３２Ｒの回転量に対応するパルス発生するＸ方向用ロータリーエンコーダで、共に、回転軸に取り付けられたスリット付き回転板、該回転板を挟んで配置された発光素子、受光素子等から成る既知の構成を有するものである。
【００３７】
４０は前記Ｙ方向用ロータリーエンコーダ３８からのパルス信号に基づいて前記Ｙ方向移動用モータ２７の回転軸２７Ｒの回転量を求め、該移動量と制御装置７から送られて来る傾斜角度信号とに基づいて、傾斜角度とＹ方向回転軸２７Ｒの回転量の特性を求めるＹ方向用演算装置である。
【００３８】
４１は前記Ｘ方向用ロータリーエンコーダ３９からのパルス信号に基づいて前記Ｘ方向移動用モータ３２の回転軸３２Ｒの回転量を求め、該移動量と制御装置７から送られて来る傾斜角度信号とに基づいて、傾斜角度とＸ方向回転軸３２Ｒの回転量の特性を求めるＸ方向用演算装置である。
【００３９】
４２、４３は、前記Ｙ方向用演算装置４０、Ｘ方向用演算装置４１が求めた傾斜角度とＹ方向回転軸２７Ｒの移動量の特性、傾斜角度とＸ方向回転軸２２Ｒの回転量の特性を、それぞれ記憶するＹ方向テーブル、Ｘ方向テーブルである。
４５は、ステージ固定ジグであり、Ｘ方向ステージ１５とＹ方向ステージ１４を傾斜ステージ１１に固定する事ができる。試料ステージとして使用する時は外す。
【００４０】
この様な構成の走査型電子顕微鏡において、試料像の観察を行う前に次の操作を行う。
【００４１】
先ず、ステージ固定ジグ４５でＸ方向ステージ１５とＹ方向ステージ１４を傾斜ステージ１１に固定する。これによりＸ方向送りネジ２８はＸ方向ステージ１５に、Ｙ方向送りネジ２３はＹ方向ステージ１４に固定された事になる。
次に、前記Ｙ方向移動用モータ２７とＸ方向移動用モータ３２の拘束磁束発生を一時的に停止し、各々のモータに移動駆動信号が送られていない場合において、外力が加わると各モータの回転軸２７Ｒ、３２Ｒが回転する状態にしておく。
【００４２】
この状態において、傾斜用ドライバ３４から前記傾斜用モータ１７に、順次傾斜角度が大きくなる傾斜駆動信号が送られる様に、制御装置７から前記傾斜ドライバ３４に傾斜指令を発する。
【００４３】
それにより、前記傾斜ステージ１１は順次傾斜角度を増して傾いて行く。
【００４４】
この様に傾斜ステージ１１を順次傾斜させて行くと、該傾斜ステージの上に乗っているＹ方向ステージ１４とＸ方向ステージ１５も一緒に順次傾斜角度を増して傾いて行く。
【００４５】
この時、前記Ｘ方向送りネジ２８はＸ方向ステージ１５に、Ｙ方向送りネジ２３はＹ方向ステージ１４に固定され、前記各モータの拘束励磁発生が停止され、前記Ｙ軸方向移動用モータ２７の回転軸２７Ｒ及びＸ方向移動用モータ３２の回転軸３２Ｒは外力により動く状態に成っているので、前記回転軸２７Ｒに繋がるＹ方向送りネジ２３と前記回転軸３２Ｒに繋がるＸ方向送りネジ２８が前記傾斜角度に応じて順次回転し、該回転により、前記Ｙ軸方向移動用モータ２７の回転軸２７Ｒ及びＸ方向移動用モータ３２の回転軸３２Ｒも順次回転する。
【００４６】
この時、傾斜ステージ１１を傾けた角度に対するＹ軸方向移動用モータ２７の回転軸２７Ｒ及びＸ方向移動用モータ３２の回転軸３２Ｒの回転量は、それぞれ、Ｙ方向用ロータリーエンコーダ３８、Ｘ向用ロータリーエンコーダ３９で検出され、前記Ｙ方向用演算装置４０、Ｘ方向用演算装置４１は、それぞれ、傾斜角度とＹ方向ステージ１４の移動量の特性、傾斜角度とＸ向ステージ１５の移動量の特性を得る事が出来、各々の特性は、それぞれ、前記Ｙ方向テーブル４２、Ｘ方向テーブル４３に記憶される。該Ｙ方向テーブル、Ｘ方向テーブル記憶後、ステージ固定ジグ４５を外し、Ｘ方向送りネジ２８とＸ方向ステージ１５、Ｙ方向送りネジ２３とＹ方向ステージ１４の固定を解き、前記Ｙ方向移動用モータ２７とＸ方向移動用モータ３２の拘束磁束発生を再び開始し、各々のモータに移動駆動信号が送られていない場合には、外力が加わっても各モータの回転軸２７Ｒ、３２Ｒが回転しない状態にしておく。
【００４７】
この様な操作が終了した後、試料を傾けた状態での観察操作に入る。例えば、Ｘ方向、Ｙ方向に所定量試料移動を行った後、前記制御装置７の指令により前記傾斜用ドライバ３４から傾斜駆動信号を傾斜用モータ１７に送り、それにより、前記傾斜ステージ１１を所定の角度（θ）傾斜させる。
【００４８】
この様に前記傾斜ステージ１１を傾けると、該傾斜ステージの上に乗っているＹ方向ステージ１４とＸ方向ステージ１５も一緒に傾く。
【００４９】
この時、ステージ固定ジグ４５は外されているため、Ｙ方向送りネジ２３と、Ｘ方向送りネジ２８は自由に回転する。前記回転軸２７Ｒに繋がるＹ方向送りネジ２３と前記回転軸３２Ｒに繋がるＸ方向送りネジ２８はＹ方向移動用モータ２７とＸ方向移動用モータ３２の拘束磁束が発生しているため回転しない。よって、前記Ｙ方向送りネジ２３がＹ方向ステージ１４から見て角度（θ）、また、前記Ｘ方向送りネジ２８がＸ方向ステージ１５から見て角度（θ）、それぞれ回転する。それにより、角度（θ）に対応する距離だけ、前記傾斜ステージ１１に対してＹ方向ステージ１４とＸ方向ステージ１５は移動する。
【００５０】
この時に、前記制御装置７は前記Ｙ方向テーブル４２、Ｘ方向テーブル４３から、それぞれ、傾斜角度（θ）に対応するＹ方向移動モータ回転軸２７Ｒの回転量、Ｘ方向移動モータ回転量を読み出し、傾斜によって発生してしまったＹ方向ステージ１４とＹ方向送りネジ２３の回転を補正するＹ方向移動駆動信号、Ｘ方向ステージ１５とＸ方向送りネジ２８回転を補正するＸ方向移動駆動信号を、それぞれ、前記Ｙ方向移動用ドライバ３５から前記Ｙ方向移動用モータ２７に、Ｘ方向移動用ドライバ３６から前記Ｘ方向移動用モータ３２に送られる様に、前記Ｙ方向移動用ドライバ３５、Ｘ方向移動用ドライバ３６に指令を送るので、前記Ｙ方向ステージ１４がＹ方向に、前記Ｘ方向ステージ１５がＸ方向に、それぞれ、角度−θに対応する距離だけ、前記傾斜ステージ１１に対して移動する。
【００５１】
この様に補正すれば、前記傾斜ステージを角度（θ）傾斜させていることにより、該傾斜ステージに乗っているＹ方向ステージ１４及びＸ方向ステージ１５が一緒に傾斜しても、結果的に、該Ｙ方ステージ及びＸ方向ステージの移動は零となる。
尚、本実施例では、Ｘ方向用ロータリーエンコーダ３９、Ｙ方向用ロータリーエンコーダ３８を附属させ傾斜角度に対応するモータの回転量を求めてＸ方向テーブル４３、Ｙ方向テーブル４２に記憶させたが、予め基準となる装置で測定した傾斜角に対するデータを、Ｘ方向テーブル４３、Ｙ方向テーブル４２に記憶させるようにすれば、Ｘ方向用ロータリーエンコーダ３９、Ｙ方向用ロータリーエンコーダ３８は不要である。
又、傾斜角度と移動量の関係をＸ方向テーブル４３、Ｙ方向テーブル４２に記憶させたが、傾斜角度と送りネジの回転量の関係を記憶させるようにしてもよい。
又、傾斜ステージ１１の傾斜によるＸ方向ステージ１５、Ｙ方向ステージ１４、の補正動作に当たり傾斜ステージ１１の傾斜動作中、該動作中の傾斜角度に合わせ逐次補正かける事により、傾斜移動中も電子ビーム照射位置ずれをなくす事が出来る。
【００５２】
又、前記例では走査型電子顕微鏡に本発明の試料装置を応用した場合について説明したが、本発明の試料装置は他の荷電粒子ビーム装置、例えば、電子プローブアナライザ、電子ビーム描画装置、集束イオンビーム加工装置等にも応用可能である。
尚、傾斜ステージの上に置載されたＸ、Ｙステージで説明したが、Ｘ、Ｙステージに限らず、傾斜ステージの上に置載され一方方向に移動可能なステージ(例えば回転ステージ、上下動ステージ等)を傾斜軸外から回転駆動によって移動させる機構を備えたステージであれば応用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】従来の走査型電子顕微鏡の１概略例を示したものである。
【図２】従来の走査型電子顕微鏡に備えられている試料装置の詳細を示したものである。
【図３】本発明の試料装置を荷電粒子ビーム装置の一つである走査型電子顕微鏡に応用した例を示す。
【符号の説明】
【００５４】
１…電子銃、２…コンデンサレンズ、３…対物レンズ、４…試料、５Ｘ…Ｘ方向走査コイル、５Ｙ…Ｙ方向走査コイル、６…走査信号生成回路、７…制御装置、８…二次電子検出器、９…画像処理装置、１０…ＡＤ変換器、１１…傾斜ステージ、１２…試料室、１３…傾斜回転体、１４…Ｙ方向ステージ、１５…Ｘ方向ステージ、１６…ウォームギア、１７…傾斜用モータ、１８…回転軸、１９Ａ、１９Ｂ…軸受け、２０…ウォームホイール、２１…ベアリング、２２…Ｙ方向レール、２３…Ｙ方向送りネジ、２４Ａ、２４Ｂ…軸受け、２５Ａ…自在継手、２５Ｂ…自在継手、２６…連結棒、２７…Ｙ方向移動用モータ、２７Ｒ…回転軸、２８…Ｘ方向送りネジ、２９Ａ…軸受け、２９Ｂ…軸受け３０Ａ…自在継手、３０Ｂ…自在継手、３１…連結棒、３２…Ｘ方向移動用モータ、３２Ｒ…回転軸、３３…Ｘ方向レール、３４…傾斜用ドライバ、３５…Ｙ方向用移動ドライバ、３６…Ｘ方向用移動ドライバ、３７…ディスプレイ、３８…Ｙ方向用ロータリーエンコーダ、３９…Ｘ方向用ロータリーエンコーダ、  ４０…Ｙ方向用演算器、 ４１…Ｘ方向用演算器、４２…Ｙ方向テーブル、４３…Ｘ方向テーブル、４５…ステージ固定ジグ、Ｏ…電子光学軸、Ｑ…傾斜軸
【図１】
0005220469.tif 000002
【図２】
0005220469.tif 000003
【図３】
0005220469.tif 000004