(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に往復運動する加振部を有する加振機と、
前記加振部の取付面に固定用部材によって前記軸線方向に締結され、かつ、ディスク装置用サスペンションを取付けることができるワーク取付部を有するマウントブロックと、
前記ワーク取付部に取付けられた前記サスペンションの振動を検出するセンサと、
を有する振動特性測定装置において、
前記マウントブロックは、前記加振部の前記取付面と対向する対向面を有し、
前記マウントブロックの前記対向面の中央に前記軸線方向に延びる貫通孔が形成され、
前記取付面と前記対向面との間に、これら取付面と対向面との間に挟まれることによって変形可能で、前記マウントブロックが前記固定用部材によって前記取付面に締結された状態において前記取付面と前記対向面との双方に隙間無く密着する密着部材を、前記マウントブロックの前記対向面側から見て前記貫通孔の周囲４箇所で該貫通孔を境に左右対称位置と上下対称位置に配置し、
前記貫通孔に挿入された前記固定用部材によって前記マウントブロックが前記密着部材を介して前記加振部の前記取付面に締結されたことを特徴とする振動特性測定装置。
【請求項２】
前記マウントブロックの前記対向面が四角形であり、前記密着部材が粘着剤付きの樹脂テープからなり、該樹脂テープが前記対向面の四隅付近に貼付けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動特性測定装置。
【請求項３】
前記マウントブロックの前記対向面が四角形であり、前記密着部材が熱可塑性の樹脂テープからなり、該樹脂テープが前記対向面の四隅付近に融着されていることを特徴とする請求項１に記載の振動特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばディスク装置用サスペンション等の振動特性を測定するのに適した振動特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転するディスクに情報を記録したり再生したりするためのハードディスク装置（ＨＤＤ）に、ディスク装置用サスペンション（以下、単にサスペンションと称する）が使用されている。このサスペンションの先端部にスライダが設けられている。このスライダに、データの読取りあるいは書込みを行なうためのトランスジューサが設けられている。
【０００３】
前記サスペンションの振動特性を解析するために、例えば下記の特許文献１に開示されているように、ＬＤＶ（Laser Doppler Vibrometer）を備えた振動特性測定装置が使われている。特許文献１に開示された振動特性測定装置は、アクチュエータによって往復運動する加振部を有する加振機と、加振部の取付面に固定される金属製のマウントブロックを有している。このマウントブロックは、ねじ部材によって、前記加振部の取付面に締結される。そしてこのマウントブロックに、測定すべき前記サスペンションが取付けられる。
【特許文献１】特開２００７−１９２７３５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記サスペンションがマウントブロックに取付けられ、さらにこのマウントブロックが前記ねじ部材によって加振機の加振部に固定される。この状態でマウントブロックが加振機によって所定の周波数で加振されることにより、サスペンションが振動する。そしてサスペンションのスライダ等の振動がＬＤＶによって検出される。こうして得られた計測波形に、マウントブロックの振動モードが現れることがある。
【０００５】
図２５は、従来の振動特性測定装置のマウントブロックの周波数応答特性（伝達関数）を示している。図２６は、このマウントブロックに取付けたサスペンションのスライダの周波数応答特性を示している。図２５と図２６の横軸は周波数、縦軸はゲイン（振幅に相当）を表している。図２５と図２６のいずれも、特定の周波数（例えば２６ｋＨｚ）付近で波形が大きく乱れている。
【０００６】
この波形の乱れの原因は、マウントブロックが共振したことによる振動モードである。すなわち、図２５に示すようにマウントブロックの計測波形において振動モードＭが現れると、図２６に示すようにサスペンションの計測波形にもマウントブロックの振動モードＭ´が現れる。このような振動モードは、サスペンションの振動特性を解析する上で妨げとなる。このためマウントブロックの振動モードがサスペンションの計測波形に現れないようにすることが望まれる。
【０００７】
従ってこの発明の目的は、マウントブロックの振動モードが計測波形に現れることを抑制することができる振動特性測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、軸線方向に往復運動する加振部を有する加振機と、前記加振部の取付面に固定用部材によって前記軸線方向に締結され、かつ、ディスク装置用サスペンションを取付けることができるワーク取付部を有するマウントブロックと、前記ワーク取付部に取付けられた前記サスペンションの振動を検出するセンサと、を有する振動特性測定装置において、前記マウントブロックは、前記加振部の前記取付面と対向する対向面を有し、前記マウントブロックの前記対向面の中央に前記軸線方向に延びる貫通孔が形成され、前記取付面と前記対向面との間に、これら取付面と対向面との間に挟まれることによって変形可能で、前記マウントブロックが前記固定用部材によって前記取付面に締結された状態において前記取付面と前記対向面との双方に隙間無く密着する密着部材を、前記マウントブロックの前記対向面側から見て前記貫通孔の周囲４箇所で該貫通孔を境に左右対称位置と上下対称位置に配置し、前記貫通孔に挿入された前記固定用部材によって前記マウントブロックが前記密着部材を介して前記加振部の前記取付面に締結されている。
【０００９】
本発明の好ましい形態では、前記マウントブロックの前記対向面が四角形であり、前記密着部材が粘着剤付きの樹脂テープからなり、該樹脂テープが前記対向面の四隅付近（四隅の内側）に貼付けられている。前記密着部材が熱可塑性の樹脂テープからなり、該樹脂テープが前記対向面の四隅付近（四隅の内側）に融着されていてもよい。  
【００１０】
本発明の１つ形態では、前記マウントブロックの前記対向面の中央に前記軸線方向に延びる貫通孔が開口し、この貫通孔に前記固定用部材としての雄ねじ部材が挿入され、この雄ねじ部材によって前記マウントブロックが前記加振部の前記取付面に締結されている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、マウントブロックの振動モードがサスペンションの計測波形に影響を与えることを排除でき、サスペンションの振動特性の解析をより正確に行なうことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に本発明の第１の実施形態について、図１から図５を参照して説明する。  
図１に示す振動特性測定装置１０は、ディスク装置用サスペンション（以下、単にサスペンションと称する）１１の振動特性を測定するために使用される。ただしサスペンション１１以外のワークの振動特性を測定することもできる。
【００１３】
ワークの一例であるサスペンション１１は、図２に示すように、ベースプレートを含むベース部２０と、ベース部２０に固定されたロードビーム２１と、ロードビーム２１に重ねて配置されたフレキシャ２２と、フレキシャ２２の先端部に取付けられたスライダ２４などを備えている。
【００１４】
振動特性測定装置１０は、軸線Ｘ方向に移動可能な加振部３０を有する加振機３１と、加振部３０の先端の取付面３２に固定されるマウントブロック４０と、第１のセンサ４１と、第２のセンサ４２と、ディスク４５と、ＦＦＴアナライザ等の解析部４６と、パーソナルコンピュータ等を用いた制御部４７を含んでいる。制御部４７には計測波形等を表示可能なディスプレイ部４８と、計測結果等を出力する印刷部４９が接続されている。ディスク４５は、図示しないモータによって垂直軸回りに回転駆動される。
【００１５】
第１のセンサ４１と第２のセンサ４２は、例えばＬＤＶ（Laser Doppler Vibrometer）である。第１のセンサ４１はマウントブロック４０の振動を検出し、その検出信号を解析部４６に出力する。第２のセンサ４２は、ミラー５０を介してサスペンション１１のスライダ２４の振動を検出し、その検出信号を解析部４６に出力する。
【００１６】
加振機３１は、加振部３０を軸線Ｘ方向に往復運動させるためのアクチュエータ６０（図１に模式的に示す）を有している。アクチュエータ６０は、例えば制御部４７によって制御可能なボイスコイル等からなり、設定された所望の振動周波数で加振部３０を駆動するようになっている。加振部３０の取付面３２は平坦な形状に成形されている。取付面３２に一対の位置決めピン６１が設けられている。位置決めピン６１は水平方向に突出し、軸線Ｘ方向に延びている。
【００１７】
マウントブロック４０は、例えばステンレス鋼あるいはチタン合金等の金属からなる。このマウントブロック４０は、加振部３０の取付面３２と対向する対向面７０を有している。図３に示すように対向面７０は四角形（矩形）であり、平坦な形状に成形されている。マウントブロック４０の下面にワーク取付部７１が形成されている。このワーク取付部７１に、サスペンション１１のベース部２０が、ねじ部材７２によって固定される。
【００１８】
マウントブロック４０には、軸線Ｘ方向に延びる貫通孔７５が形成されている。貫通孔７５の両側にピン挿入孔７６が形成されている。これらピン挿入孔７６に、位置決めピン６１が軸線Ｘ方向から挿入される。マウントブロック４０の貫通孔７５に、固定用部材の一例である雄ねじ部材（ボルト）７７が挿入される。雄ねじ部材７７を貫通孔７５に挿入し、雄ねじ部材７７の先端部を加振部３０のねじ孔７８に挿入して締付けることにより、マウントブロック４０が軸線Ｘ方向から加振部３０の取付面３２に締結される。
【００１９】
加振部３０の取付面３２とマウントブロック４０の対向面７０との間に、図３に示す密着部材８０が配置されている。密着部材８０の一例は、厚さ約５０μｍのポリイミドからなる粘着剤付きの樹脂テープである。この密着部材８０は、マウントブロック４０の対向面７０の四隅付近（四隅の内側）に貼付けられている。すなわち４個の密着部材８０が、貫通孔７５を境に、左右対称位置と上下対称位置とにバランス良く配置されている。
【００２０】
なお、密着部材８０が熱可塑性の樹脂テープからなり、該樹脂テープを加熱することにより、該樹脂テープを前記対向面３２の四隅付近に融着してもよい。
【００２１】
密着部材８０が加振部３０の取付面３２とマウントブロック４０の対向面７０との間に配置された状態で、雄ねじ部材７７によってマウントブロック４０が加振部３０に固定される。このことにより、密着部材８０が取付面３２と対向面７０との間で厚さ方向に挟まれて圧縮される。この状態において、密着部材８０が取付面３２と対向面７０との間の隙間に応じて変形することにより、加振部３０の取付面３２とマウントブロック４０の対向面７０との双方に、密着部材８０が隙間無く密着することができる。
【００２２】
以下に、振動特性測定装置１０の作用について説明する。  
加振機３１の加振部３０が、アクチュエータ６０によって、軸線Ｘ方向に所望の周波数で振動させられる。この振動がマウントブロック４０を介してサスペンション１１に伝わることにより、サスペンション１１が軸線Ｘ方向に振動し、スライダ２４が幅方向に振動する。
【００２３】
マウントブロック４０の振動が第１のセンサ４１によって計測される。スライダ２４の振動が第２のセンサ４２によって計測される。これらのセンサ４１，４２が出力する信号が解析部４６に送られ、各信号が処理されることにより、例えば図４に示すような周波数応答特性に関わる伝達関数（transfer function）を表す計測波形を得ることができる。この計測波形はディスプレイ部４８あるいは印刷部４９によって表示される。また、センサ４１，４２から出力される信号に基いて、周波数ごとの位相(Phase)の変化を示す計測波形（図示せず）を得ることもできる。
【００２４】
図４はマウントブロック４０の周波数応答特性を示している。図５はスライダ２４の周波数応答特性を示している。本実施形態では、加振部３０の取付面３２とマウントブロック４０の対向面７０との間に、前述した密着部材８０が介在していることにより、マウントブロック４０の計測波形（図４）がほぼフラットとなり、大きな乱れが生じなかった。また図５に示されるように、スライダ２４の計測波形にマウントブロックの振動モードが現れていない。このためサスペンション１１の振動解析をより正確に行なうことが可能となった。
【００２５】
これに対し図２５と図２６に示す従来の計測波形では、マウントブロックの振動モードＭ´が現れているため、サスペンションの振動解析を正確に行なう上で支障が生じることがあって好ましくない。
【００２６】
図６は、本発明の第２の実施形態のマウントブロックの周波数応答特性を示している。この実施形態では、密着部材８０に厚さ約５０μｍの再生セルロースフィルムからなる粘着剤付きの樹脂テープ（セロテープ（登録商標））を用い、この樹脂テープを図３に示されるようにマウントブロック４０の対向面７０の四隅付近に貼付けた。それ以外の構成は第１の実施形態と同じである。この第２の実施形態の周波数応答特性（図６）もほぼフラットであり、波形に大きな乱れが無かった。
【００２７】
図７は、本発明の第３の実施形態に係るマウントブロック４０を示している。この実施形態では、グリースからなる密着部材８１を用い、マウントブロック４０の対向面７０のほぼ全体に密着部材８１を塗布した。それ以外の構成は第１の実施形態と同じである。グリースからなる密着部材８１は、加振部３０の取付面３２とマウントブロック４０の対向面７０との間の隙間に応じて流動することにより、取付面３２と対向面７０との双方に、隙間無く密着することができる。この第３の実施形態の周波数応答特性（図８）もほぼフラットであり、波形に大きな乱れが無かった。なお、密着部材８１にグリース以外の油脂を用いてもよい。
【００２８】
図９は第１の比較例のマウントブロック４０´を示している。このマウントブロック４０´には密着部材が設けられておらず、金属からなるマウントブロック４０´が加振部３０の取付面３２に直接接するようにしている。それ以外の構成は第１の実施形態と同じである。図１０はこのマウントブロック４０´の周波数応答特性であり、２１ｋＨｚ付近に振動モードが現れている。
【００２９】
図１１は第２の比較例のマウントブロック９０を示している。このマウントブロック９０の対向面９１の四隅に、高さ５０μｍの凸部９２が機械加工によって形成されている。この場合、金属からなる凸部９２が加振部３０の取付面３２に直接接する。それ以外の構成は第１の実施形態と同じである。図１２はこのマウントブロック９０の周波数応答特性であり、２０ｋＨｚ付近に振動モードが現れている。
【００３０】
図１３は第３の比較例のマウントブロック１００を示している。このマウントブロック１００の対向面１０１の左右２箇所に、厚さ１５μｍのステンレス鋼製のシム１０２を配置し、このシム１０２を介して加振部３０の取付面３２に固定される。それ以外の構成は第１の実施形態と同じである。図１４はこのマウントブロック１００の周波数応答特性であり、２０ｋＨｚと２２ｋＨｚ付近に振動モードが現れている。
【００３１】
図１５は第４の比較例のマウントブロック１１０を示している。このマウントブロック１１０の対向面１１１の上部と下部に、それぞれ１箇所ずつ、ポリイミドからなる厚さ５０μｍの樹脂テープ１１２が設けられている。それ以外の構成は第１の実施形態と同じである。図１６はこのマウントブロック１１０の周波数応答特性であり、１６〜２１ｋＨｚ付近に振動モードが現れている。
【００３２】
図１７は第５の比較例のマウントブロック１２０を示している。このマウントブロック１２０の対向面１２１の上部１箇所と下部２箇所に、それぞれポリイミドからなる厚さ５０μｍの樹脂テープ１１２が設けられている。それ以外の構成は第１の実施形態と同じである。図１８はこのマウントブロック１２０の周波数応答特性であり、波形全体が大きく乱れている。
【００３３】
図１９は第６の比較例のマウントブロック１３０を示している。このマウントブロック１３０の対向面１３１の上部２箇所に、ポリイミドからなる厚さ５０μｍの樹脂テープ１１２が設けられている。それ以外の構成は第１の実施形態と同じである。図２０はこのマウントブロック１３０の周波数応答特性であり、１８ｋＨｚ付近に振動モードが現れている。
【００３４】
図２１は第７の比較例のマウントブロック１４０を示している。このマウントブロック１４０の対向面１４１の上部２箇所と下部１箇所に、それぞれポリイミドからなる厚さ５０μｍの樹脂テープ１１２が設けられている。それ以外の構成は第１の実施形態と同じである。図２２はこのマウントブロック１４０の周波数応答特性であり、波形全体が大きく乱れている。
【００３５】
図２３は第８の比較例のマウントブロック１５０を示している。このマウントブロック１５０の対向面１５１の四隅のうちの一箇所（ハッチングで示す部分）に、ポリイミドからなる厚さ５０μｍの樹脂テープ１１２が２枚重ねて設けられている。残りの３箇所には、同様の樹脂テープ１１２が１枚のみ設けられている。それ以外の構成は第１の実施形態と同じである。図２４はこのマウントブロック１５０の周波数応答特性であり、波形全体が大きく乱れている。
【００３６】
以上説明した本発明の第１〜第３の実施形態と、第１〜第８の比較例から、マウントブロック４０の振動モードが計測波形に現れないようにするためには、加振部３０の取付面３２とマウントブロック４０の対向面７０との間に均等な厚さの密着部材８０を設け、しかもこの密着部材８０は、雄ねじ部材７７が挿入される貫通孔７５を境として左右対象位置と上下対称位置とにバランス良く配置することが有効であるとの知見を得た。
【００３７】
なお、粘着剤付きの樹脂テープからなる密着部材を、マウントブロック４０の対向面３２の全面に設けてもよい。また、密着部材の材料として、高周波数域（例えば１ｋＨｚ以上）のもとで実質的に固体としての挙動を示す材料（例えば粘弾性体）を用いてもよい。
【００３８】
樹脂テープからなる密着部材８０の代りに、図７に示すようにグリース等の油脂類からなる密着部材８１を用いても同様の効果が得られることも判った。しかし油脂類は、取付面３２あるいは対向面７０にきれいに塗布することが難しく、しかも塗布する箇所の周囲や作業員の指などに付着して汚れの原因になることもある。このため、樹脂テープからなる密着部材８０の方が望ましい。
【００３９】
本発明を実施するに当たり、加振機をはじめとして、マウントブロック、密着部材等の具体な構成や形状、配置等をこの発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更して実施できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る振動特性測定装置の一部を示す平面図。
【図２】図１に示された振動特性測定装置のマウントブロックを加振機から取外した状態の分解斜視図。
【図３】図２に示されたマウントブロックの背面図。
【図４】図２に示されたマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図５】図２に示されたマウントブロックに取付けたサスペンションの周波数応答特性を示す図。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図７】本発明の第３の実施形態に係るマウントブロックの背面図。
【図８】図７に示されたマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図９】第１の比較例のマウントブロックの背面図。
【図１０】図９に示されたマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図１１】第２の比較例のマウントブロックの背面図。
【図１２】図１１に示されたマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図１３】第３の比較例のマウントブロックの背面図。
【図１４】図１３に示されたマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図１５】第４の比較例のマウントブロックの背面図。
【図１６】図１５に示されたマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図１７】第５の比較例のマウントブロックの背面図。
【図１８】図１７に示されたマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図１９】第６の比較例のマウントブロックの背面図。
【図２０】図１９に示されたマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図２１】第７の比較例のマウントブロックの背面図。
【図２２】図２１に示されたマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図２３】第８の比較例のマウントブロックの背面図。
【図２４】図２３に示されたマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図２５】従来の振動特性測定装置のマウントブロックの周波数応答特性を示す図。
【図２６】従来のマウントブロックに取付けたサスペンションの周波数応答特性を示す図。
【符号の説明】
【００４１】
１０…振動特性測定装置
１１…ディスク装置用サスペンション
３０…加振部
３１…加振機
３２…取付面
４０…マウントブロック
４１，４２…センサ
６０…アクチュエータ
７０…対向面
７１…ワーク取付部
７５…貫通孔
７７…雄ねじ部材（固定用部材）
８０…密着部材
８１…密着部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0005306672.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0005306672.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0005306672.tif 000017
【図１７】
0005306672.tif 000018
【図１８】
0005306672.tif 000019
【図１９】
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【図２０】
0005306672.tif 000021
【図２１】
0005306672.tif 000022
【図２２】
0005306672.tif 000023
【図２３】
0005306672.tif 000024
【図２４】
0005306672.tif 000025
【図２５】
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【図２６】
0005306672.tif 000027