(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）水酸化物を蒸留水に溶解させて水酸化物溶液を製造する第１ステップと、
（２）前記第１ステップの過程を通じて製造された水酸化物溶液に金属触媒を投入して溶解させる第２ステップと、
（３）前記第２ステップの過程を通じて得られた溶液に炭素材を混合させ、攪拌する第３ステップと、
（４）前記第３ステップの過程を通じて得られた混合物を熱処理する第４ステップと、
（５）前記第４ステップの過程を通じて熱処理された炭素材を洗浄する第５ステップと、
（６）前記第５ステップの過程を通じて洗浄された炭素材を乾燥する第６ステップと、
（７）前記第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を基板にローディングしてガスセンサーを製造する第７ステップと、
を含んでなることを特徴とする、イオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項２】
前記水酸化物は、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化リチウム、水酸化ルビジウム、水酸化セシウム、及びこれらの混合物からなる群から選択されることを特徴とする、請求項１に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項３】
前記第１ステップを通じて製造される水酸化物溶液の濃度は２乃至８Ｍの範囲であることを特徴とする、請求項１に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項４】
前記水酸化物溶液の濃度は、４乃至６Ｍの範囲であることを特徴とする、請求項３に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項５】
前記第２ステップの過程を通じて水酸化物溶液に溶解される金属触媒は、酸素を含む金属酸化物触媒であることを特徴とする、請求項１に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項６】
前記金属酸化物触媒は、酸化亜鉛、酸化銅、酸化バナジウム、酸化鉄、酸化マンガン、酸化マグネシウム、酸化クロム、及びこれらの混合物からなる群から選択されることを特徴とする、請求項５に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項７】
前記第２ステップの水酸化物溶液に金属触媒を溶解させる過程での水酸化物溶液と金属触媒との割合は、水酸化物溶液１００重量部を基準として金属触媒５乃至４０重量部であることを特徴とする、請求項１に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項８】
前記第３ステップの炭素材は、単一壁炭素ナノチューブ、二重壁炭素ナノチューブ、多重壁炭素ナノチューブ、炭素繊維、カーボンブラック、グラファイト、チャー（char）、コール（coal）、タール（tar）、及びこれらの混合物からなる群から選択されることを特徴とする、請求項１に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項９】
前記第３ステップの混合及び攪拌する過程は、常温で０．５乃至３時間の間なされることを特徴とする、請求項１に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項１０】
前記第３ステップの混合及び攪拌する過程は、前記第２ステップの過程を通じて得られた溶液１００重量部を基準として炭素材５乃至２０重量部を混合してなされることを特徴とする、請求項１に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項１１】
前記第４ステップの熱処理する過程は、５乃至１０℃／ｍｉｎの速度で昇温させ、最終的に６００乃至９００℃の温度範囲で１乃至４時間の間なされることを特徴とする、請求項１に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項１２】
前記第５ステップの洗浄する過程は蒸留水を用いて、洗浄完了後の洗浄液のＰＨが中性を表すまで反復遂行されることを特徴とする、請求項１に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項１３】
前記第６ステップの乾燥する過程は、５０乃至１００℃の温度範囲で５乃至３０時間の間なされることを特徴とする、請求項１に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項１４】
前記第７ステップでなされるガスセンサーの製造は、分散溶液に前記第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を分散させ、これを電極が載置された基板の上に積層させてなされることを特徴とする、請求項１に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項１５】
前記分散溶液は、エタノール、メタノール、アセトン、ジメチルホルムアミド、及びこれらの混合物からなる群から選択されることを特徴とする、請求項１４に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項１６】
前記分散溶液に分散される炭素材の割合は、分散溶液１００重量部を基準として０．１乃至１０重量部であることを特徴とする、請求項１４に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項１７】
前記第７ステップの以後に前記第７ステップの過程を通じて得られたガスセンサーを熱処理するステップをさらに含むことを特徴とする、請求項１４に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項１８】
前記熱処理は、３０乃至１００℃の温度範囲で、０．１乃至３時間の間なされることを特徴とする、請求項１７に記載のイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法。
【請求項１９】
請求項１乃至１８のうち、いずれか１つの方法により製造されたイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサー及びその製造方法に関し、より詳しくは、金属触媒をイオン化し、これを炭素材に均等に導入すると共に、活性化工程を通じて炭素材に微細構造を形成した後、これを用いて高感度のガスセンサーを製造することに関する。
【背景技術】
【０００２】
発電所、廃棄物焼却炉、及び自動車の燃焼機管などでの燃焼過程の間に型成されるＮＯｘ、ＣＯｘ、及びＳＯｘガスは、光化学スモッグ及び酸性雨の主要原因として作用する。これら有害ガスは大部分人体の感覚器官では感知できず、非常に危ういので、早期感知しなければならず、したがって、これを早期に感知できるセンサーの開発必要性が増加している。ガスセンサーにたくさん使用されて来た物質には、ＳｎＯ２のような金属酸化物半導体、固体電解質物質、多様な有機物質、そしてカーボンブラック（carbon black）と有機物の複合体などがある。上記のような物質を用いて製造したガスセンサーは制限的に使われる等、種々の問題点を有している。即ち、金属酸化物半導体や固体電解質を用いて製造したガスセンサーの場合には、２００乃至６００℃、またはその以上の温度で加熱しなければセンサーの動作が正常になされず、有機物質を用いた場合には、電気伝導度が非常に低いし、カーボンブラックと有機物の複合体とを用いた場合には、非常に低い感度（sensitivity）を有するという問題がある。また、上記の物質を用いて製造した従来のガスセンサーは感応時間が遅く、回復速度も極めて遅く、価格も高いので、一般的な使用には適合しない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、前述した問題点を解決するために案出したものであって、金属触媒をイオン化し、これを炭素材に均等に導入すると共に、活性化工程を通じて炭素材に微細構造を形成した後、これを用いてガスセンサーを製造することによって、常温でもターゲットガスに対する敏感度及び応答性に優れるガスセンサー及びその製造方法を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の目的を達成するために、本発明は、イオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法を提供するが、本発明に従うイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法は、（１）水酸化物を蒸留水に溶解させて水酸化物溶液を製造する第１ステップと、（２）上記第１ステップの過程を通じて製造された水酸化物溶液に金属触媒を投入して溶解させる第２ステップと、（３）上記第２ステップの過程を通じて得られた溶液に炭素材を混合させ、攪拌する第３ステップと、（４）上記第３ステップの過程を通じて得られた混合物を熱処理する第４ステップと、（５）上記第４ステップの過程を通じて熱処理された炭素材を洗浄する第５ステップと、（６）上記第５ステップの過程を通じて洗浄された炭素材を乾燥する第６ステップと、（７）上記第６ステップの 過程を通じて得られた炭素材を基板にローディングしてガスセンサーを製造する第７ステップと、を含んでなる。
【０００５】
上記水酸化物は、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化リチウム、水酸化ルビジウム、水酸化セシウム、及びこれらの混合物からなる群から選択されることが好ましく、また、上記第１ステップを通じて製造される水酸化物溶液の濃度は２乃至８Ｍの範囲であることが好ましく、４乃至６Ｍの範囲であることがより好ましい。
【０００６】
上記第２ステップの過程を通じて水酸化物溶液に溶解される金属触媒は、酸素を含む金属酸化物触媒であることが好ましく、詳しくは、酸化亜鉛、酸化銅、酸化バナジウム、酸化鉄、酸化マンガン、酸化マグネシウム、酸化クロム、及びこれらの混合物からなる群から選択できる。
【０００７】
上記第２ステップの水酸化物溶液に金属触媒を溶解させる過程での水酸化物溶液と金属触媒との割合は、水酸化物溶液１００重量部を基準として金属触媒５乃至４０重量部であることが好ましい。
【０００８】
上記炭素材は、炭素材として知られたもの、または炭素材に変形できるもののうち、いずれか１つを使用してもよいし、具体的な例を挙げれば、単一壁炭素ナノチューブ、二重壁炭素ナノチューブ、多重壁炭素ナノチューブ、炭素繊維、カーボンブラック、グラファイト、チャー（char）、コール（coal）、タール（tar）、及びこれらの混合物からなる群から選択できる。
【０００９】
上記第３ステップの混合及び攪拌する過程は、常温で０．５乃至３時間の間なされることが好ましい。
【００１０】
また、上記第３ステップの混合及び攪拌する過程は、上記第２ステップの過程を通じて得られた溶液１００重量部を基準として炭素材５乃至２０重量部を混合してなされることが好ましい。
【００１１】
上記第４ステップの熱処理する過程は、５乃至１０℃／ｍｉｎの速度に昇温させ、最終的に６００乃至９００℃の温度範囲で１乃至４時間の間なされることが好ましい。
【００１２】
上記第５ステップの洗浄する過程は蒸留水を用いて、洗浄完了後の洗浄液のＰＨが中性を表すまで反復遂行されることが好ましい。
【００１３】
上記第６ステップの乾燥する過程は、５０乃至１００℃の温度範囲で５乃至３０時間の間なされることが好ましい。
【００１４】
上記第７ステップでなされるガスセンサーの製造は、分散溶液に上記第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を分散させ、これを電極が載置された基板の上に積層させてなされることができる。
【００１５】
上記分散溶液は、エタノール、メタノール、アセトン、ジメチルホルムアミド、及びこれらの混合物からなる群から選択されることができ、上記分散溶液に分散される炭素材の割合は、分散溶液１００重量部を基準として０．１乃至１０重量部であることが好ましい。
【００１６】
また、本発明は、上記第７ステップの以後に上記第７ステップの過程を通じて得られたガスセンサーを熱処理するステップをさらに含むことができる。
【００１７】
また、本発明は、前述した製造方法により製造されるイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーを提供する。
【発明の効果】
【００１８】
前述したような本発明による場合、金属触媒をイオン化し、これを炭素材に均等に導入すると共に、活性化工程を通じて炭素材に微細構造を形成した後、これを用いてガスセンサーを製造することによって、常温でもターゲットガスに対する敏感度及び応答性に優れるガスセンサーを得ることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態により製造されたガスセンサーの模式図である。
【図２】本発明の実施形態により製造された金属触媒がイオン化された水酸化物溶液及び比較例により製造された水酸化物溶液の写真である。
【図３】本発明の実施形態及び比較例により製造されたガスセンサーの表面組成を調べるためのＸＰＳ分析結果である。
【図４】本発明の実施形態及び比較例により製造されたガスセンサーの構造特性を調べるためのＢＥＴ分析結果である。
【図５】ガス感応特性を測定するための装置の概略図である。
【図６】本発明の実施形態及び比較例により製造されたガスセンサーのガス感応特性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００２１】
まず、本発明はイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーの製造方法を提供するが、本発明の一例に従うイオン性金属触媒が導入された炭素財を用いた高感度ガスセンサーの製造方法は、
（１）水酸化物を蒸留水に溶解させて水酸化物溶液を製造する第１ステップと、
（２）上記第１ステップの過程を通じて製造された水酸化物溶液に金属触媒を投入して溶解させる第２ステップと、
（３）上記第２ステップの過程を通じて得られた溶液に炭素材を混合させ、攪拌する第３ステップと、
（４）上記第３ステップの過程を通じて得られた混合物を熱処理する第４ステップと、
（５）上記第４ステップの過程を通じて熱処理された炭素材を洗浄する第５ステップと、
（６）上記第５ステップの過程を通じて洗浄された炭素材を乾燥する第６ステップと、
（７）上記第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を基板にローディングしてガスセンサーを製造する第７ステップと、を含んでなる。
【００２２】
本発明は、金属触媒を溶解させ、これを炭素材に導入すると共に、活性化工程を通じて炭素材に微細構造を形成した後、これを用いてガスセンサーを製造するようになる。このような過程、即ち金属触媒の溶解及び活性化工程を通じた炭素材に微細構造を形成するために、本発明では強塩基性溶液を使用する。したがって、第１ステップを通じて製造される水酸化物溶液は強塩基性のものが好ましく、このために上記水酸化物は、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化リチウム、水酸化ルビジウム、水酸化セシウム、及びこれらの混合物からなる群から選択されることが好ましい。
【００２３】
また、上記第１ステップを通じて製造される水酸化物溶液の濃度は、２乃至８Ｍの範囲のものが好ましく、４乃至６Ｍの範囲のものがより好ましい。水酸化物溶液の濃度が下限値未満の場合には金属触媒の溶解及び微細構造の形成に困難性があり、水酸化物溶液の濃度が上限値を超過する場合には常温での製造が困難であり、強い発熱反応により爆発の危険があり、強い活性化により炭素材の伝導帯が損傷されてガスセンサーの敏感度が減少する虞があるので好ましくない。特に、４乃至６Ｍの範囲では円滑な制御が可能であり、期待する効果が最大値に得られるようになる。
【００２４】
上記第２ステップの過程を通じて水酸化物溶液に溶解される金属触媒は、金属成分を含んだものであればいずれを使用してもよいが、今後の活性化過程を考慮すれば、酸素を含んだ金属酸化物触媒を使用することが好ましく、具体的な例を挙げれば、酸化亜鉛、酸化銅、酸化バナジウム、酸化鉄、酸化マンガン、酸化マグネシウム、酸化クロム、及びこれらの混合物からなる群から選択できる。
【００２５】
上記第２ステップの過程を通じて金属触媒は水酸化物溶液の内でイオン化される。この過程で水酸化物溶液と金属触媒との割合は、水酸化物溶液１００重量部を基準として金属触媒５乃至４０重量部であることが好ましいが、金属触媒の割合が下限値未満の場合には金属触媒の導入が十分になされなくて、センサー製造時の敏感度の向上が微々たる虞があるので好ましくないし、上限値を超過する場合、金属触媒が水酸化物に十分にイオン化されないので、イオンサイズの金属触媒の導入が困難であるので好ましくない。
【００２６】
上記炭素材は、炭素材として知られたもの、または炭素材に変形できるものうち、いずれを使用してもよいが、具体的な例を挙げれば、単一壁炭素ナノチューブ、二重壁炭素ナノチューブ、多重壁炭素ナノチューブ、炭素繊維、カーボンブラック、グラファイト、チャー（char）、コール（coal）、タール（tar）、及びこれらの混合物からなる群から選択できる。
【００２７】
上記第３ステップの混合及び攪拌する過程は、常温で０．５乃至３時間の間なされることが好ましいが、混合及び攪拌時間が下限値未満の場合には炭素材にイオン化された金属触媒が含まれた水酸化物溶液が十分に染み込まれない虞があるので好ましくないし、混合及び攪拌時間が上限値を超過する場合には３時間の場合と特別な差がないので実益がない。
【００２８】
上記第３ステップの混合及び攪拌する過程は、上記第２ステップの過程を通じて得られた溶液１００重量部に炭素材５乃至２０重量部を混合してなされることが好ましいが、炭素材の重量部が下限値未満の場合、強い活性化により炭素材の伝導帯損傷によってセンサー製造時の敏感度が低下する虞があるので好ましくないし、上限値を超過する場合には炭素材の活性化が十分になされなくて、センサー製造時の敏感度の向上が微々たるので好ましくない。
【００２９】
上記第４ステップの熱処理する過程は、５乃至１０℃／ｍｉｎの速度で昇温させ、最終的に６００乃至９００℃の温度範囲で１乃至４時間の間なされることが好ましい。熱処理過程で昇温速度が下限値未満の場合には反応する時間が長くなってエネルギー消費が多くなると共に、希望しない反応が発生する虞があり、昇温速度が上限値を超過する場合には揮発する量が多過ぎて微細構造の形成に困難性があるので好ましくない。また、最終的な処理温度が下限値未満の場合と処理時間が下限値未満の場合は熱分解が完全になされない虞があり、最終的な処理温度が上限値を超過する場合には、温度が高過ぎて構造変形の問題点などがあるので好ましくないし、反応時間が上限値を超過する場合には４時間の場合と特別な差がないことと共に、希望しない反応が発生する虞があるので好ましくない。
【００３０】
上記第５ステップでなされる洗浄は蒸留水を用いてなされるが、洗浄後、洗浄液のｐＨが中性を表すまで反復遂行されることが好ましい。中性でない場合、炭素材の表面にある水酸化物溶液の洗浄が十分になされなくて、金属イオンが導入された炭素材のみを収去できなくなるので好ましくない。
【００３１】
上記第６ステップでなされる乾燥過程は、５０乃至１００℃の温度範囲で５乃至３０時間の間なされることが好ましいが、乾燥温度及び乾燥時間が下限値未満の場合には充分な乾燥がなされない虞があり、乾燥温度及び乾燥時間が上限値を超過する場合には上限値の場合と特別な差がないので実益がない。
【００３２】
上記第７ステップでなされるガスセンサーの製造は、分散溶液に上記第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を分散させ、これを電極が載置された基板の上に積層させてなされる。
【００３３】
上記分散溶液には多様な溶液が選択されることができ、例えば、エタノール、メタノール、アセトン、ジメチルホルムアミド、及びこれらの混合物からなる群から選択できる。上記分散溶液に分散される炭素材の割合は、分散溶液１００重量部を基準として０．１乃至１０重量部であることが好ましい。炭素材の割合が０．１重量部未満の場合には電極が載置された基板の上に炭素材が均一に分布しない虞があり、１０重量部を超過する場合には分散が困難であるので好ましくない。ガスセンサーを製造する本ステップの一例をもっと説明すれば、次の通りである。上記第６ステップを通じて得られた炭素材を意図する割合に従って分散溶液に均等に分散させる。次に、炭素材が分散された溶液をワイヤ電極が載置された基板の上に積層させるようになる。積層は、スピンコーティング法、スプレー噴射法等、多様な方法によりなされることができる。このように製造されたガスセンサーの模式図を図１に表した。
【００３４】
また、本発明は上記第７ステップの以後に上記第７ステップの過程を通じて得られたガスセンサーを熱処理するステップをさらに含むことができ、上記熱処理は３０乃至１００℃の温度範囲で０．１乃至３時間の間なされることが好ましい。熱処理温度及び熱処理時間が下限値未満の場合には分散溶液が容易に蒸発しない虞があるので好ましくないし、熱処理時間が３時間を超過する場合には３時間の場合と特別な差がないので実益がないし、熱処理温度が上限値を超過する場合にはワイヤ連結部分などを保護するために使われたパラフィルムが溶ける等の問題が発生することがあるので好ましくない。
【００３５】
また、本発明は上記の方法により製造されたイオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサーを提供する。
【００３６】
以下、実施形態及び試験例により本発明をより詳細に説明する。
【００３７】
実施形態：イオン性酸化バナジウム触媒が導入された多重壁炭素ナノチューブを用いたガスセンサーの製造
炭素材料に多重壁炭素ナノチューブを選定した。
【００３８】
蒸留水に水酸化カリウムを溶解させて２Ｍ、４Ｍ、６Ｍ、８Ｍの水酸化カリウム溶液を製造した。
【００３９】
製造された各々の水酸化カリウム溶液２０ｍｌに酸化バナジウム３ｇを添加し、これを溶解させた。酸化バナジウムはイオン化されれば淡い緑色を帯びるようになるので、溶液の色が淡い緑色になるまで十分に攪拌した（図３）。
【００４０】
上記各々のバナジウムオキサイドが溶解された水酸化カリウム溶液に多重壁炭素ナノチューブ１ｇを１時間の間混合させて攪拌した。
【００４１】
上記各々の混合及び攪拌された多重壁炭素ナノチューブに昇温速度を５℃／ｍｉｎにして７５０℃まで昇温した後、上記温度を１時間の間維持して熱処理した。この際、不活性気体として窒素ガスを２０ｃｃ／ｍｉｎの速度で注入しながら熱処理した。
【００４２】
熱処理過程が終わった後、アスピレータを用いて蒸留水で洗浄した。洗浄は、洗浄液のｐＨが中性になるまで繰り返した。
【００４３】
上記洗浄された各々の多重壁炭素ナノチューブをオーブンを用いて１００℃で１０時間の間乾燥させた。
【００４４】
次に、上記過程で得られた各々の多重壁炭素ナノチューブをジメチルホルムアミドに分散させた。分散割合は、ジメチルホルムアミド１００重量部に多重壁炭素ナノチューブ３重量部であった。
【００４５】
上記過程を経て形成された混合液を電極が安着された基板の上に落として、９００ｒｐｍの回転速度で４分間スピンコーティングしてガスセンサーを製造した。
【００４６】
最終的に、上記過程を経て製造された各々の多重壁炭素ナノチューブが積層されたガスセンサーをホットプレートの上に載置し、５０℃で１時間の間熱処理して、ガスセンサーの製造を完了した。
【００４７】
比較例
上記実施形態で酸化バナジウム触媒の添加及びイオン化のみを省略してガスセンサーを製造し、これを比較例に選定した。
【００４８】
表面特性
上記実施形態及び比較例により製造されたガスセンサーの表面特性を調べるためにＸＰＳ（X-ray photoelectron spectroscopy）分析をして、これを図３に表した。図３から分かるように、本発明の実施形態によるガスセンサーの表面には金属酸化物イオンが導入されたことを確認することができる。
【００４９】
構造特性
上記実施形態及び比較例により製造されたガスセンサーの構造特性を調べるために、比表面積特性を分析して下記の＜表１＞及び＜図４＞に表した。
【００５０】
比表面積特性
【表１】
0005347187.tif 000002
【００５１】
上記＜表１＞及び図４から分かるように、水酸化カリウム溶液モル数の増加によって比表面積が増加した。酸化バナジウムをイオン化した場合にはイオン化された酸化バナジウムの導入に従う多重壁炭素ナノチューブの質量増加により測定された実施形態の比表面積は比較例の比表面積より小さいことを確認することができる。
【００５２】
ガス感応特性評価
上記実施形態及び比較例により製造されたガスセンサーのガス感応特性を評価した。ガス感応特性は、図５に図示されたような装置を用いて２５℃の温度でＮＯガスを５０ｐｐｍの濃度で注入して測定し、測定された結果を下記の＜表２＞及び図６に表した。図６に図示されたグラフのＸ軸は測定時間を、Ｙ軸は抵抗変化率を意味する。
【００５３】
ガス感応特性
【表２】
0005347187.tif 000003
【００５４】
抵抗変化率はガスセンサーの敏感度を表すものであって、その絶対値が大きいものがより敏感なものである。上記＜表２＞から分かるように、本発明の実施形態により製造されたガスセンサーが比較例により製造されたガスセンサーより抵抗変化率の絶対値が大きいことが分かる。
【００５５】
また、反応速度はガスセンサーの応答速度を表すものであって、その絶対値が大きいものが応答速度がより速いものである。上記＜表２＞から分かるように、実施形態により製造されたガスセンサーが比較例により製造されたガスセンサーより反応速度の絶対値が大きいことが分かる。
【００５６】
即ち、本発明の実施形態による場合、常温でも高感度のガスセンサーが得られることを確認することができる。
【００５７】
本発明は、前述した実施形態と添付の図面を参照して説明されたが、本発明の概念及び範囲内で相異する実施形態を構成することもできる。したがって、本発明の範囲は添付の請求範囲及びこれの均等物により定まれ、本明細書に記載された特定の実施形態により限定されるのではない。
【図１】
0005347187.tif 000004
【図２】
0005347187.tif 000005
【図３】
0005347187.tif 000006
【図４】
0005347187.tif 000007
【図５】
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【図６】
0005347187.tif 000009