(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面と前記第１主面とは反対側の第２主面を有する基板と、
前記第１主面上に第１絶縁層を介して形成された導電パターンと、
断面視において、前記基板の前記第１主面から前記第２主面まで貫通し、前記第１主面上に第１開口部を、前記第２主面上に第２開口部を有し、前記第１絶縁層に達する貫通孔と、
前記貫通孔の側壁に形成された第２絶縁層と、
前記貫通孔内に前記第２絶縁層を介して形成された貫通電極と、
前記第２主面上に形成され、前記第２開口部を介して、前記貫通電極に接続されたバンプ電極と、
を備え、
前記第１絶縁層は前記第１開口部の内部に前記導電パターンを露出する第３開口部を有し、
前記貫通電極と前記導電パターンは前記第１開口部を介して接続され、
断面視において、前記第１開口部の長さと、前記第３開口部の長さとの差は２μｍ以上６μｍ以下である半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置において、
前記基板は半導体基板である半導体装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の半導体装置において、
前記第２主面上に形成された第３絶縁層を備え、
前記第３絶縁層は、前記２開口部の周辺部において、前記第２絶縁層と接続されている半導体装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の半導体装置において、
前記第３開口部の周辺部から前記貫通孔の仮想中心軸までの長さと、前記貫通孔の周辺部から前記貫通孔の仮想中心軸までの長さとの差は１μｍ以上３μｍ以下である半導体装置。
【請求項５】
第１主面と前記第１主面とは反対側の第２主面を有する基板と、
前記第１主面上に第１絶縁層を介して形成された導電パターンと、
断面視において、前記基板の前記第１主面から前記第２主面まで貫通し、前記第１主面上に第１開口部を、前記第２主面上に第２開口部を有し、前記第１絶縁層に達する貫通孔と、
前記貫通孔の側壁に形成された第２絶縁層と、
前記第２主面上に形成され、前記第２開口部の周辺部で前記第２絶縁層と接続された第３絶縁層と、
前記貫通孔内に前記第２絶縁層を介して形成された貫通電極と、
前記第３絶縁層上に形成され、前記第２開口部を介して、前記貫通電極に接続されたバンプ電極と、を備え、
前記第１絶縁層は前記第１開口部の内部に前記導電パターンを露出する第３開口部を有し、
前記貫通電極と前記導電パターンは前記第１開口部を介して接続され、
断面視において、前記貫通孔の仮想の中心軸から前記第１開口部の周辺部までの長さをｒ1、前記貫通孔の仮想の中心軸から前記バンプ電極と前記第３絶縁層が接する前記バンプ電極の底面の周辺部までの距離をｒ2、前記貫通孔の仮想の中心軸から前記第３開口部の周辺部までの長さをｒ3、前記第３絶縁層からの前記バンプ電極の高さをｈとした場合に、下記式を満たす半導体装置。
（ｒ2−ｒ1）＝（ｈ−（ｒ1−ｒ3））×（１±０．３）
【請求項６】
請求項５に記載の半導体装置において、
前記基板は半導体基板である半導体装置。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の半導体装置において、前記第３開口部の周辺部から前記貫通孔の仮想中心軸までの長さと、前記貫通孔の周辺部から前記貫通孔の仮想中心軸までの長さと、の差は１μｍ以上３μｍ以下である半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貫通電極を有する半導体装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体素子の高集積化を目的として、半導体素子同士を積層する３次元実装が行われている。このような技術に対応するために、半導体装置の基板に貫通電極が設けられるようになっている。貫通電極の形成方法としては、例えば特許文献１〜３に記載の技術がある。
【０００３】
特許文献１に記載の技術は、酸化膜及びソース電極が表面に形成されたＧａＡｓ基板に、ソース電極に達する貫通孔を形成し、この貫通孔の中に電子銃蒸着によりＡｕ膜を形成した後、無電解めっきにより貫通電極を形成するものである。なお、本技術では、貫通電極を形成した後、裏面電極を別途生成している。
【０００４】
特許文献２に記載の技術は、貫通電極を、導電性の小径プラグと導電性の大径プラグから形成するものである。小径プラグは基板の表面側に位置しており、大径プラグは基板の裏面側に位置している。小径プラグの端部は大径プラグに内包されている。なお本技術において、裏面電極となるバンプは大径プラグと一体に形成されている。
【０００５】
特許文献３に記載の技術は、貫通孔の側面の下部側及び貫通孔の底面にシード層を形成し、このシード層を用いてめっき層を形成することにより、貫通電極を形成するものである。貫通電極と基板表面の絶縁層上に形成された導電パターンは、絶縁層に埋め込まれた電極プラグを介して接続している。なお本技術において、裏面電極となるバンプは貫通電極と一体に形成される場合もある。
【０００６】
【特許文献１】特開昭６３−１２７５５０号公報
【特許文献２】特開２００５−２９４５８２号公報
【特許文献３】特開２００８−５３５６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１に記載の技術では、貫通電極と、裏面電極を別々に形成していた。なお、特許文献１に記載の技術において、貫通電極を形成するための無電解めっきをそのまま継続することにより、バンプと貫通電極を一体的に形成することも考えられる。しかし、無電解めっきにおいてめっき層は等方的に成長する。このため、この方法を採用すると、バンプの中心軸から周までの距離が貫通電極よりバンプの高さ分ほど大きくなってしまい、バンプの短絡を防止するために貫通電極のピッチを広くする必要が出てくる。従ってこの方法は採用できない。
【０００８】
また特許文献２に記載の技術では、貫通電極の一部に小径プラグを用いているため、貫通電極の抵抗を低くすることが難しかった。また特許文献３に記載の技術では、導電パターンと貫通電極は電極プラグを介して接続しているため、これらの間の抵抗は高かった。
【０００９】
このように特許文献１〜３に記載の技術では、絶縁層上の導電パターンと貫通電極の間の抵抗を低くし、かつ貫通電極と裏面電極であるバンプを一体に形成することはできなかった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、基板と、
前記基板の一面側に位置する導電パターンと、
前記基板に形成され、前記導電パターンの下に位置する貫通孔と、
前記貫通孔の前記一面側の底面に位置する絶縁層と、
前記絶縁層に形成され、周から前記貫通孔の中心軸までの距離が前記貫通孔より小さく、前記貫通孔の底面に前記導電パターンを露出させる開口パターンと、
前記開口パターン内及び前記貫通孔内に形成され、前記導電パターンに接続する貫通電極と、
前記基板の前記一面の反対面側に位置し、前記貫通電極と一体に形成されたバンプと、
を備える半導体装置が提供される。
【００１１】
本発明によれば、一面側に導電パターンを有する基板の反対面側から貫通孔を形成し、前記貫通孔の底面を、絶縁層を介して前記導電パターンに対向させる工程と、
前記絶縁層に、周から前記貫通孔の中心軸までの距離が前記貫通孔より小さい開口パターンを形成して、前記導電パターンを前記貫通孔の底部に露出させる工程と、
前記導電パターンをシード層とした無電解めっきを行うことにより、前記開口パターン内及び前記貫通孔内に位置する貫通電極と、前記基板の前記反対面側に位置するバンプとを連続的に形成する工程と、
を備える半導体装置の製造方法が提供される。
【００１２】
この発明によれば、貫通電極は導電パターンに直接接している。このため導電パターンと貫通電極の間の抵抗を低くすることができる。また、貫通孔の一面側の底面には絶縁層が位置しているが、絶縁層に形成された開口パターンは、周から前記貫通孔の中心軸までの距離が貫通孔より小さい。このため、貫通電極とバンプを一体に形成しても、貫通孔に対するバンプの張出量を小さくすることができる。従って、貫通電極とバンプを一体に形成することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、導電パターンと貫通電極の間の抵抗を低くし、かつ貫通電極とバンプを一体に形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施の形態における半導体装置の構成を示す断面図である。この半導体装置は、基板１００、貫通孔１０２、導電パターン１２０、絶縁層１１０、開口パターン１１２、貫通電極３００、及びバンプ３０２を備える。基板１００は、例えばシリコン基板などの半導体基板である。貫通孔１０２は、基板１００に形成され、導電パターン１２０の下に位置している。本図に示す例において、貫通孔１０２はストレート形状である。
【００１６】
絶縁層１１０は、貫通孔１０２の一面側の底面に位置している。絶縁層１１０は、本図に示す例では基板１００の表面上（一面上）に位置している。絶縁層１１０は、例えば基板１００の一面を熱酸化した熱酸化膜、又は基板１００の一面上にＣＶＤ法により形成された層間絶縁膜である。導電パターン１２０は、基板１００の一面側に位置している。本図に示す例において、絶縁層１１０の表面に位置している。導電パターン１２０は、例えば絶縁層１１０上に形成された配線層の一部である。
【００１７】
開口パターン１１２は、貫通孔１０２と導電パターン１２０の間に位置する絶縁層１１０に形成されており、周から貫通孔１０２の中心軸までの距離ｒ3が貫通孔１０２の周から中心軸までの距離ｒ1より小さい。貫通孔１０２及び導電パターン１２０の断面形状（上面視）が円形である場合、この距離は半径のことである。また、貫通孔１０２及び導電パターン１２０の断面形状（上面視）が多角形の場合、ｒ1及びｒ3は、上面視で、貫通孔１０２の周上の任意の点（例えば頂点）と中心軸を結ぶ直線で測定された距離である。開口パターン１１２が設けられることにより、貫通孔１０２の底面に導電パターン１２０が露出している。
【００１８】
貫通電極３００は、開口パターン１１２及び貫通孔１０２内に形成されており、導電パターン１２０に接続している。バンプ３０２は、基板１００の裏面側（一面とは反対側の面）に位置しており、貫通電極３００と一体に形成されている。
【００１９】
この半導体装置によれば、貫通電極３００は導電パターン１２０に直接接している。このため導電パターン１２０と貫通電極３００の間の抵抗を低くすることができる。また、貫通孔１０２の一面側の底面には絶縁層１１０が位置しているが、絶縁層１１０に形成された開口パターン１１２は、距離ｒ3が貫通孔１０２における距離ｒ1より小さい。このため、詳細を後述するように、貫通電極３００とバンプ３０２を一体に形成しても、貫通孔１０２に対するバンプ３０２の張出量（ｒ2−ｒ1）を小さくすることができる。従って、貫通電極とバンプを一体に形成することができる。ここで、ｒ2は貫通孔１０２の中心軸からバンプ３０２の底面の周までの距離である。ｒ2は、バンプ３０２の断面形状（上面視）により、ｒ1とｒ3と同様に定められる。
【００２０】
次に、図２〜図４の各図を用いて、図１に示した半導体装置の製造方法を説明する。まず図２（ａ）に示すように、ウェハの状態にある基板１００の表面上に絶縁層１１０を形成し、さらに絶縁層１１０上に導電パターン１２０を形成する。絶縁層１１０は、例えばＳｉＯ2膜、ＳｉＮ膜、ＳｉＯＮ膜、及び樹脂材料膜からなる群から選ばれた単層膜、又はこの群から選ばれた膜を積層した積層膜である。導電パターン１２０は、少なくとも底面が、Ａｌ、Ｃｕ、及びＷからなる群から選ばれた一つ、又はこの群から選ばれた少なくとも２つからなる合金からなる。
【００２１】
絶縁層１１０が基板１００の熱酸化膜である場合、絶縁層１１０は、例えば基板１００の一面に形成されるトランジスタのゲート絶縁膜と同一工程で形成される。この場合、導電パターン１２０は、例えばトランジスタのゲート電極と同一工程で形成される。
【００２２】
絶縁層１１０が層間絶縁膜である場合、絶縁層１１０は一層の層間絶縁膜であっても良いし、複数層の層間絶縁膜であってもよい。そして導電パターン１２０は、絶縁層１１０の表面に位置する配線と同一工程で形成される。
【００２３】
次いで、絶縁層１１０上及び導電パターン１２０上に必要な層２００、及びバンプ（図示せず）を形成する。このバンプは、図示しない配線及びコンタクトを介して、導電パターン１２０に電気的に接続している。
【００２４】
次いで、基板１００の表面側に支持体（図示せず）を固定し、基板１００の裏面を研削する。これにより、基板１００は薄くなる。なおこの工程において、基板１００は半導体装置ごとに個片化されていても良いし、ウェハの状態であっても良い。
【００２５】
次いで図２（ｂ）に示すように、基板１００の裏面上にマスクパターン５０を形成する。次いでマスクパターン５０をマスクとして、基板１００を裏面側からドライエッチングする。これにより、基板１００には貫通孔１０２が形成される。貫通孔１０２の底面には絶縁層１１０が露出している。絶縁層１１０は、基板１００をエッチングするときのエッチングストッパーとしても機能する。このため、貫通孔１０２は絶縁層１１０を貫通しない。貫通孔１０２は、絶縁層１１０を挟んで導電パターン１２０と対向している。基板１００を平面視した場合、貫通孔１０２は導電パターン１２０の内側に位置している。
【００２６】
その後図３（ａ）に示すように、マスクパターン５０を除去する。次いで基板１００の裏面上及び貫通孔１０２の底面に露出している絶縁層１１０上に、マスクパターン５２を形成する。次いで、マスクパターン５２をマスクとして絶縁層１１０をエッチングする。これにより、絶縁層１１０は選択的に除去され、絶縁層１１０に開口パターン１１２が形成される。貫通孔１０２の底面において絶縁層１１０は、貫通孔１０２の内壁から一定幅ほど残っており、リング形状を有している。この工程により、導電パターン１２０は貫通孔１０２の底面に露出する。
【００２７】
その後図３（ｂ）に示すように、マスクパターン５２を除去する。次いで貫通孔１０２の内壁（側面）、及び基板１００の裏面（反対面）上に絶縁膜１３０を形成する。絶縁膜１３０は、例えばＳｉＯ2膜、ＳｉＮ膜、ＳｉＯＮ膜、及び樹脂材料膜からなる群から選ばれた単層膜、又はこの群から選ばれた膜を積層した積層膜である。このとき絶縁膜１３０は貫通孔１０２の底面にも形成される。次いで、貫通孔１０２の底面に形成された絶縁膜１３０を除去する。絶縁膜１３０がＳｉＯ2膜、ＳｉＮ膜、及びＳｉＯＮ膜のいずれかから形成される場合、絶縁膜１３０はＣＶＤ法により形成されるため、貫通孔１０２の底面に形成された絶縁膜１３０は他の部分と比べて薄い。このため、貫通孔１０２の底面に形成された絶縁膜１３０は、例えばエッチバックにより除去することができる。この場合、絶縁膜１３０を形成する工程とエッチバックする工程を複数回繰り返すことにより、絶縁膜１３０を必要な厚さに成膜してもよい。また絶縁膜１３０が樹脂材料膜であり、スプレー塗布により形成されている場合、貫通孔１０２の底面に形成された絶縁膜１３０は、例えばマスクパターンを用いたエッチングにより除去することができる。なお本図に示す状態において、開口パターン１１２における距離ｒ3と貫通孔１０２における距離ｒ1の差（ｒ1−ｒ3）は、例えば１μｍ以上３μｍ以下である。
【００２８】
次いで、絶縁膜１３０上にバリア膜（図示せず）を形成する。バリア膜は貫通電極３００の金属成分が基板１００内に拡散することを抑制する膜であり、例えばＴｉＮ膜、ＴａＮ膜、ＴｉＷ膜、Ｔｉ膜、Ｔａ膜、及びＣｒ膜からなる群から選ばれた一つ、又はこの群から選ばれた複数の膜を積層した積層膜である。
【００２９】
次いで図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、導電パターン１２０をシード層とした無電解めっきを行う。これにより、貫通電極３００が徐々に成長する。貫通電極３００は、Ｎｉ、ＮｉＰ、ＮｉＢ、Ｃｕ、Ｐｄ、及びＡｕからなる群から選ばれた一つからなる膜、この群から選ばれた少なくとも２つからなる合金膜、またはこの群から選ばれた少なくとも２つを積層した積層膜からなる。なお導電パターン１２０がＷ又はＷ合金であり、貫通電極３００がＮｉである場合、無電解めっきを行う前に、貫通孔１０２の底面で露出している導電パターン１２０の表面にＰｄ触媒処理を行っても良い。
【００３０】
詳細には、まず図４（ａ）に示すように、開口パターン１１２内に貫通電極３００が形成される。無電解めっきによる層は等方的に成長するため、この段階において貫通電極３００の上面には開口パターン１１２と同形状の平坦部が形成される。
【００３１】
その後、図４（ｂ）に示すように、貫通電極３００は絶縁層１１０の上方にむけて等方的に成長していく。このとき、貫通電極３００の上面の平坦部はそのまま維持される。また、貫通電極３００の上面の平坦部は、貫通電極３００の上面の縁と比較して、開口パターン１１２における距離ｒ3と貫通孔１０２における距離ｒ1の差（ｒ1−ｒ3）ほど高くなる。
【００３２】
そして図４（ｃ）に示すように、無電解めっきを続けていくと貫通電極３００の一部が基板１００から飛び出してバンプ３０２になる。このようにして、バンプ３０２が貫通電極３００と一体的に形成される。バンプ３０２の上面の縁が基板１００の裏面上に位置する絶縁膜１３０と面一になった状態においても、貫通電極３００の上面の平坦部すなわちバンプ３０２の上面の平坦部は、バンプ３０２の上面の縁と比較して、（ｒ1−ｒ3）ほど高いままである。
【００３３】
その後、バンプ３０２が必要な高さになるまで無電解めっきを継続し、図１に示す状態になる。バンプ３０２の高さは、例えば１μｍ以上３０μｍ以下である。なお、バンプ３０２の高さが（ｒ1−ｒ3）でよい場合は、図４（ｃ）に示す状態で無電解めっきを終了する。このとき、バンプ３０２の周から貫通電極３００の中心軸までの距離は貫通電極３００の周から中心軸までの距離と等しくなる。なお、バンプ３０２の表面にＡｕ膜又はＰｄ膜を薄く形成しても良い。その後、上記した支持体を取り除き、半導体装置を個片化する。
【００３４】
次に、本実施形態に示した半導体装置の作用効果について説明する。上記したように、貫通電極３００は絶縁層１１０上の導電パターン１２０に直接接している。このため導電パターン１２０と貫通電極３００の間の抵抗を低くすることができる。
【００３５】
また、上記したように、無電解めっきにより貫通電極３００及びバンプ３０２を形成する工程において、バンプ３０２の上面の縁が基板１００の裏面上に位置する絶縁膜１３０と面一のとき（図４（ｃ））、貫通電極３００の上面の平坦部すなわちバンプ３０２の上面の平坦部は、バンプ３０２の上面の縁と比較して、（ｒ1−ｒ3）程高い。このため、バンプ３０２をさらに高くするために無電解めっきを継続しても、貫通孔１０２に対するバンプ３０２の張出量（ｒ2−ｒ1）を、（ｒ1−ｒ3）に誤差３０％を加えた分ほど小さくすることができる。従って、貫通電極３００とバンプ３０２を一体的に形成しても、貫通電極３００に対するバンプ３０２の張出量を小さくすることができる。このため、貫通電極３００の配置間隔を狭くして高集積化することができる。この効果は、（ｒ1−ｒ3）が大きいほど、すなわち開口パターン１１２における距離ｒ3と貫通孔１０２における距離ｒ1の差が大きいほど顕著になる。
【００３６】
なお、この効果を式で表すと、以下の式（１）のようになる。
（ｒ2−ｒ1）＝（ｈ−（ｒ1−ｒ3））×（１±０．３）・・・（１）
ただし、ｈはバンプ３０２の高さである。
【００３７】
また、バンプ３０２の表面には、開口パターン１１２と同形状の平坦部が形成される。このため、バンプ３０２の表面を平坦化する処理を行う必要がない。
【００３８】
バンプ３０２の表面に平坦部を形成することができるという効果と、バンプ３０２の張出量を小さくすることができるという効果は互いに相反する関係にある。これらの効果をバランスよく得る必要があるときには、開口パターン１１２における距離ｒ3と貫通孔１０２における距離ｒ1の差を、１μｍ以上３μｍ以下とするのが好ましい。
【００３９】
（第２の実施形態）
図５の各図は、第２の実施形態にかかる半導体装置の製造方法を示す断面図である。この半導体装置の製造方法は、貫通孔１０２の形状を除いて、第１の実施形態に示した半導体装置の製造方法と同様の構成である。なお、図５（ａ）は第１の実施形態における図２（ｂ）の状態を示しており、図５（ｂ）は第１の実施形態における図１の状態を示している。
【００４０】
本実施形態において貫通孔１０２及び貫通電極３００は、上端以外の部分に、中心軸から周までの距離が上端より大きい部分を有する。具体的には、貫通孔１０２はボウイング形状を有しており、上端及び底面において中心軸から周までの距離が小さく、高さ方向の略中央部分に向かうにつれてこの距離が徐々に大きくなっている。
【００４１】
このような形状は、貫通孔１０２を形成するときのドライエッチング条件を調節して、イオンの直進性を低下させて散乱性を向上させることにより、基板１００の面内方向と厚み方向それぞれにエッチングが進むようにすれば形成できる。具体的には、ドライエッチングの際の真空度を低下させ、基板１００の温度を上げ、かつ他のエッチング条件を適宜調節する。
【００４２】
本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、貫通孔１０２及び貫通電極３００は、上端以外の部分に、中心軸から周までの距離が上端より大きい部分を有している。このため、貫通電極３００及びバンプ３０２が基板１００から抜けることを防止できる。また、貫通孔１０２の形状をストレート形状にするときよりもエッチング条件の制御が簡単になる。
【００４３】
また、貫通孔１０２において、上端における中心軸から周までの距離が底面におけるこの距離より小さい場合、開口パターン１１２を形成するためのエッチングにおいて、貫通孔１０２の上端をマスクとして自己整合的に開口パターン１１２を形成できるときもある。この場合、開口パターン１１２を形成するときにマスクパターンを用いる必要がなくなる。
【００４４】
なお、図６に示すように貫通孔１０２は、中心軸から周までの距離が、上端及び底面において大きく、高さ方向の略中央部分に向かうにつれてこの距離が徐々に小さくなっていてもよい。この場合においても、上記した効果を得ることができる。
【００４５】
（第３の実施形態）
図７の各図は、第３の実施形態にかかる半導体装置の製造方法を示す断面図である。この半導体装置の製造方法は、貫通孔１０２の形状及び貫通孔１０２の形成方法を除いて、第１の実施形態にかかる半導体装置の製造方法と同様である。なお、図７（ａ）及び図７（ｂ）は、貫通孔１０２の製造方法を示しており、図７（ｃ）は第１の実施形態における図４（ｃ）の状態を示している。
【００４６】
本実施形態において貫通孔１０２は、いわゆるスキャロップ形状を有しており、内壁に、貫通孔１０２の周方向に一周する溝１０２ａを複数上下に並んで有している。貫通孔１０２の中心軸を含む断面図において、各溝１０２ａの側面の形状は、円弧に沿った形状となっている。
【００４７】
本実施形態において貫通孔１０２は、いわゆるボッシュ法によって形成することができる。具体的には、図７（ａ）に示すように、まず基板１００の裏面上に、マスクパターン５０を形成する。次いで、マスクパターン５０をマスクとして基板１００をエッチングする。これにより、貫通孔１０２の一部及び最上部の溝１０２ａが形成される。次いで、最上部の溝１０２ａを覆う保護膜１０４を形成する。保護膜１０４は例えばフッ化物であり、フッ化系のハロゲンガスを用いて形成することができる。その後、マスクパターン５０をマスクとしたエッチング及び保護膜１０４の形成を、貫通孔１０２の底面に絶縁層１１０が露出するまで繰り返す。
【００４８】
その後図７（ｂ）に示すように、保護膜１０４を洗浄により除去する。その後、開口部１１２及び絶縁膜１３０を形成する。これらの形成方法は、第１の実施形態と同様である。
【００４９】
その後、図７（ｃ）に示すように、貫通電極３００及びバンプ３０２を形成する。これらの形成方法は第１の実施形態と同様である。
【００５０】
本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、貫通孔１０２の内壁及び貫通電極３００の側面がスキャロップ形状であるため、貫通電極３００が貫通孔１０２から抜けることを防止できる。また、貫通孔１０２の形状をストレート形状にするときよりもエッチング条件の制御が簡単になる。
【００５１】
（第４の実施形態）
図８の各図は、第４の実施形態にかかる半導体装置の製造方法を示す断面図である。この半導体装置の製造方法は、開口パターン１１２の代わりに絶縁膜１３０に形成された開口パターン１３２を用いる点を除いて、第１の実施形態にかかる半導体装置の製造方法と同様である。以下、第１の実施形態と同様の工程については説明を省略する。
【００５２】
まず図８（ａ）に示すように、基板１００に貫通孔１０２を形成する。このとき貫通孔１０２は、絶縁層１１０も貫通する。この状態において貫通孔１０２の底面には導電パターン１２０が露出している。次いで、貫通孔１０２の側面及び底面、並びに基板１００の裏面上に絶縁膜１３０を形成する。絶縁膜１３０の形成方法は、第１の実施形態と同様である。
【００５３】
次いで図８（ｂ）に示すように、絶縁膜１３０上にマスクパターン５４を形成し、マスクパターン５４をマスクとしたエッチングを行う。これにより、絶縁膜１３０には開口パターン１３２が形成される。開口パターン１３２の形状は、第１の実施形態における開口パターン１１２と同様である。
【００５４】
その後、図８（ｃ）に示すようにマスクパターン５４を除去する。次いで、貫通電極３００及びバンプ３０２を形成する。
【００５５】
本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、絶縁層１１０に開口パターン１１２を形成する代わりに開口パターン１３２を形成しているが、開口パターン１３２を形成する工程は、第１の実施形態における貫通孔１０２の底面に位置する絶縁膜１３０を除去する工程の代わりに行われる。このため、製造工程数を少なくすることができる。
【００５６】
（第５の実施形態）
図９の各図は、第５の実施形態にかかる半導体装置の製造方法を示す断面図である。この半導体装置の製造方法は、開口パターン１１２の形成タイミングを除いて、第１の実施形態にかかる半導体装置の製造方法と同様である。以下、第１の実施形態と同様の工程については説明を省略する。
【００５７】
まず図９（ａ）に示すように、基板１００に貫通孔１０２を形成し、貫通孔１０２の底面に絶縁層１１０を露出させる。次いで、貫通孔１０２の側面上、貫通孔１０２の底面に位置する絶縁層１１０上、及び基板１００の裏面上に絶縁膜１３０を形成する。絶縁膜１３０の形成方法は、第１の実施形態と同様である。
【００５８】
次いで図９（ｂ）に示すように、絶縁膜１３０上にマスクパターン５６を形成し、マスクパターン５６をマスクとしたエッチングを行う。これにより、絶縁膜１３０，１１０には開口パターン１１２が形成される、
【００５９】
その後、図９（ｃ）に示すようにマスクパターン５６を除去する。次いで、貫通電極３００及びバンプ３０２を形成する。
【００６０】
本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、絶縁膜１３０を形成した後、絶縁膜１３０，１１０を貫通するように開口パターン１１２を形成しているため、貫通孔１０２の底面に位置する絶縁膜１３０を除去する工程を別途設ける必要がない。このため、第１の実施形態と比較して製造工程数を少なくすることができる。
【００６１】
（第６の実施形態）
図１０は、第６の実施形態にかかる半導体装置を示す断面図である。この半導体装置は、貫通孔１０２がテーパ形状を有しており、中心軸から周までの距離が上端に近づくにつれて大きくなる点を除いて、第１の実施形態と同様である。この半導体装置の製造方法も、貫通孔１０２を形成するときのエッチング条件を調節して貫通孔１０２がテーパ形状を有するようにする点を除いて、第１の実施形態と同様である。
【００６２】
この半導体装置によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、貫通孔１０２の形状をストレート形状にするときよりもエッチング条件の制御が簡単になる。
【００６３】
（第７の実施形態）
図１１は、第７の実施形態にかかる半導体装置を示す断面図である。この半導体装置は、貫通孔１０２が逆テーパ形状を有しており、中心軸から周までの距離が上端に近づくにつれて小さくなる点を除いて、第１の実施形態と同様である。この半導体装置の製造方法も、貫通孔１０２を形成するときのエッチング条件を調節して貫通孔１０２が逆テーパ形状を有するようにする点を除いて、第１の実施形態と同様である。
【００６４】
この半導体装置によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、貫通孔１０２の形状をストレート形状にするときよりもエッチング条件の制御が簡単になる。
【００６５】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【００６６】
例えば貫通孔１０２の平面形状は円形形状に限定されず、例えば四角形や八角形などの多角形にしても良い。開口パターン１１２，１３２の形状も同様である。
【００６７】
また上記した各半導体装置は、同一の基板１００内に複数の貫通電極３００を備えていても良い。貫通孔１０２の側面上、及び基板１００の一面の反対面上に絶縁層１３０を有しているため、同一の基板１００内に複数の貫通電極３００を備えていても、複数の貫通電極３００を相互に電気的に絶縁することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】第１の実施の形態における半導体装置の構成を示す断面図である。
【図２】各図は、図１に示した半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図３】各図は、図２の次の工程を示す断面図である。
【図４】各図は、図３の次の工程を示す断面図である。
【図５】各図は、第２の実施形態にかかる半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図６】第２の実施形態の変形例を示す断面図である。
【図７】各図は、第３の実施形態にかかる半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図８】各図は、第４の実施形態にかかる半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図９】各図は、第５の実施形態にかかる半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図１０】第６の実施形態にかかる半導体装置を示す断面図である。
【図１１】第７の実施形態にかかる半導体装置を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１００   基板
１０２   貫通孔
１０２ａ  溝
１０４   保護膜
１１０   絶縁層
１１２   開口パターン
１２０   導電パターン
１３０   絶縁膜
１３２   開口パターン
２００   層
３００   貫通電極
３０２   バンプ
５０   マスクパターン
５２   マスクパターン
５４   マスクパターン
５６   マスクパターン
【図１】
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【図２】
0005289830.tif 000003
【図３】
0005289830.tif 000004
【図４】
0005289830.tif 000005
【図５】
0005289830.tif 000006
【図６】
0005289830.tif 000007
【図７】
0005289830.tif 000008
【図８】
0005289830.tif 000009
【図９】
0005289830.tif 000010
【図１０】
0005289830.tif 000011
【図１１】
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