(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空のハウジングと、
前記ハウジングを挿通して回転自在に支持されるシャフトと、
前記シャフトの表面に設けられ該シャフトの軸方向に互いに離間して配置された２つの磁歪部と、
前記ハウジングと前記シャフトの間で前記各磁歪部に対向して配置される２つの検出コイル群と、
前記各検出コイル群をそれぞれ個別に抱持する２つのヨークと、を備えた磁歪式トルクセンサにおいて、
前記各ヨークの軸方向移動を規制する規制部材の外周面と、前記ハウジングの内周面には、互いに螺合し相対回転することにより前記各ヨークをそれぞれ個別に前記シャフトに対して軸方向に移動させる位置調整機構が設けられ、
前記ヨークは弾性部材によって軸方向に付勢され、
前記位置調整機構は、前記規制部材の外周面に形成された雄ねじ部と、前記ハウジングの内周面に形成された雌ねじ部とで形成され、
前記規制部材は、前記各ヨークの軸方向の端面のみに当接し、
前記弾性部材は、前記各ヨークを前記規制部材に向かって押圧するように付勢することを特徴とする磁歪式トルクセンサ。
【請求項２】
前記ヨークの軸方向幅は、前記磁歪部の軸方向幅以上であることを特徴とする請求項１に記載の磁歪式トルクセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁歪式トルクセンサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁歪に起因する磁気特性の変化に基づいてトルクを検出する磁歪式トルクセンサは、車両用ステアリング装置の操舵トルク検出用などに用いられている。
磁歪式トルクセンサは、シャフト（例えばステアリング装置のピニオン軸）の表面に互いに磁気異方性を交差させる磁歪膜を上下に設けるとともに、各磁歪膜に対向して該磁歪膜の磁気特性の変化を検出する検出コイルを配置して構成されている（特許文献１参照）。この磁歪式トルクセンサの原理は、シャフトにトルクが加えられると磁歪膜の透磁率が変化し、これに応じて検出コイルのインダクタンスが変化するので、この変化に基づいてトルクを検出する。
【０００３】
ところで、この磁歪式トルクセンサでは、製造工程の最終工程において出力感度の調整を行っている。
従来、出力感度の調整は、出力回路の抵抗を調整する方法（以下、抵抗調整法という）や、磁歪膜と検出コイルの組み合わせを変えていき所望の出力感度になる組み合わせを見つける方法（以下、選択組み合わせ法という）などにより行っている。
【特許文献１】特開２００６−６４４４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、抵抗調整法による出力感度調整は、組み立て工程において回路基板にアクセスしなければならず、また、抵抗を調整するためには少なくとも１回はハンダの付け替え作業が必要であり、手間がかかるとともにコストアップになり、量産体制に適さない。
また、選択組み合わせ法による出力感度調整は、手間がかかるだけでなく、同一部品（磁歪膜や検出コイル）について複数の仕様を準備する必要があり、製造コスト低減の支障となる。
そこで、この発明は、出力感度の調整が簡単にできて量産にも適した磁歪式トルクセンサを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明に係る磁歪式トルクセンサでは、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
請求項１に係る発明は、中空のハウジング（例えば、後述する実施例における円筒部２３、カラー２５）と、前記ハウジングを挿通して回転自在に支持されるシャフト（例えば、後述する実施例におけるピニオン軸５）と、前記シャフトの表面に設けられ該シャフトの軸方向に互いに離間して配置された２つの磁歪部（例えば、後述する実施例における磁歪膜３１，３２）と、前記ハウジングと前記シャフトの間で前記各磁歪部に対向して配置される２つの検出コイル群（例えば、後述する実施例における検出コイル３３，３４）と、前記各検出コイル群をそれぞれ個別に抱持する２つのヨーク（例えば、後述する実施例におけるヨーク３５，３６）と、を備えた磁歪式トルクセンサ（例えば、後述する実施例における磁歪式トルクセンサ３０）において、前記各ヨークの軸方向移動を規制する規制部材（例えば、後述する実施例における軸受ケース４０、上側ストッパ４２、下側ストッパ４３）の外周面と、前記ハウジングの内周面には、互いに螺合し相対回転することにより前記各ヨークをそれぞれ個別に前記シャフトに対して軸方向に移動させる位置調整機構（例えば、後述する実施例における雌ねじ部２４，２５ａ、雄ねじ部４０ａ，４２ａ，４３ａ）が設けられ、前記ヨークは弾性部材（例えば、後述する実施例におけるスプリング４１ａ，４１ｂ，４４ａ，４４ｂ）によって軸方向に付勢され、前記位置調整機構は、前記規制部材の外周面に形成された雄ねじ部（例えば、後述する実施例における雄ねじ部４０ａ，４２ａ，４３ａ）と、前記ハウジングの内周面に形成された雌ねじ部（例えば、後述する実施例における雌ねじ部２４，２５ａ）とで形成され、前記規制部材は、前記各ヨークの軸方向の端面のみに当接し、前記弾性部材は、前記各ヨークを前記規制部材に向かって押圧するように付勢することを特徴とする。
このように構成することにより、各規制部材とハウジングとをそれぞれ個別に相対回転することにより、各ヨークをそれぞれ個別にシャフトに対して軸方向に移動することができる。その結果、各磁歪部と各検出コイル群の軸方向相対位置を変えることができ、検出コイルの出力感度を調整することができる。
また、前記ヨークは弾性部材によって軸方向に付勢されているので、出力感度調整後のヨークを調整した位置から移動不能にすることができる。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の発明において、前記ヨークの軸方向幅は、前記磁歪部の軸方向幅以上であることを特徴とする。
このように構成することにより、ヨークと磁歪部の軸方向中心位置のずれに対する検出出力の変化が大きくなるので（分解能が大きくなるので）、出力感度の調整可能な幅が大きくなる。また、ヨークの少ない移動量で出力感度の調整が可能であるため、出力感度の調整が容易になる。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１に係る発明によれば、各規制部材とハウジングとをそれぞれ個別に相対回転することにより、検出コイルの出力感度を簡単に調整することができる。
その結果、磁歪式トルクセンサの生産性が向上し、コストダウンを図ることができる。
また、出力感度調整後のヨークを調整した位置から移動不能にすることができる。
請求項２に係る発明によれば、出力感度の調整可能な幅が大きくなるとともに、出力感度の調整が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、この発明に係る磁歪式トルクセンサの実施例を図１から図４の図面を参照して説明する。なお、以下に記載する実施例における磁歪式トルクセンサは、運転者の操舵入力を検出し、検出した操舵入力に応じてモータを駆動して車両を転舵させる電動パワーステアリング装置に組み込まれたトルクセンサの態様である。
【００１０】
［実施例１］
実施例１の磁歪式トルクセンサを図１から図４の図面を参照して説明する。
図１は電動パワーステアリング装置１００の概略構成図であり、図２は図１Ａ−Ａ矢視の詳細断面図である。
パワーステアリング装置１００は、ステアリングホイール（操作子）２に連結されたステアリングシャフト１を備えている。ステアリングシャフト１は、ステアリングホイール２に一体結合されたメインステアリングシャフト３と、ラック＆ピニオン機構のピニオン７が一体的に設けられたピニオン軸５とが、ユニバーサルジョイント４によって連結されて構成されている。
【００１１】
ピニオン軸５はギヤハウジング２０に収容され、その下部、中間部、上部を軸受６ａ，６ｂ，６ｃによって支持されており、ピニオン軸５の軸受６ｂ，６ｃ間にはウォームホイールギヤ１３が嵌着されている。ピニオン軸５の下端部であって軸受６ａ，６ｂ間にはピニオン７が一体に形成されており、ピニオン７には車幅方向に往復動し得るラック軸８のラック歯８ａが噛合し、ラック軸８はスプリング１６によって付勢されたラックガイド１７によってピニオン７側に押圧されている。ラック軸８の両端に設けられたラックエンド８ｂにはそれぞれタイロッド９が連結され、タイロッド９に転舵輪としての前輪１０が連係されている。この構成により、ステアリングホイール２の操舵時に通常のラック＆ピニオン式の転舵操作が可能であり、前輪１０，１０を転舵させて車両の向きを変えることができる。ここで、ピニオン軸５、ラック軸８、タイロッド９はステアリング系を構成する。
【００１２】
電動パワーステアリング装置１００は、ステアリングホイール２による操舵力を軽減するための補助トルクを発生させるブラシレスモータからなるステアリングモータ（以下、モータと略す）６０を備えている。モータ６０はギヤハウジング２０に取り付けられており、その出力軸６１をギヤハウジング２０内に挿入させている。ギヤハウジング２０内に挿入された出力軸６１にはウォームギヤ６２が形成され、このウォームギヤ６２がウォームホイールギヤ１３に噛合している。ウォームギヤ６２とウォームホイールギヤ１３は減速機構を構成し、モータ６０で発生したトルクは、ウォームギヤ６２とウォームホイールギヤ１３により倍力されてピニオン軸５に伝達される。
【００１３】
図２に示すように、ギヤハウジング２０はギヤボックス部２１とセンサハウジング部２２から構成されており、前述したピニオン７、ラック軸８、ウォームホイールギヤ１３、ウォームギヤ６２はギヤボックス部２１内に収容され、モータ６０もギヤボックス部２１に取り付けられている。
センサハウジング部２２はギヤボックス部２１の上部開口を塞ぐように取り付けられていて、中空の円筒部（ハウジング）２３を有している。この円筒部２３に、ピニオン軸５においてウォームホイールギヤ１３よりも上側の部分が挿通され、ピニオン軸５の上端部が円筒部２３から上方に突き出ている。なお、円筒部２３の上端部とピニオン軸５との間にはオイルシール５０が装着されている。
【００１４】
軸受６ｃは軸受ケース４０に収納されて円筒部２３内に配置されている。ピニオン軸５において軸受６ｃを間に挟んで上部および下部の外周面には、磁歪膜（磁歪部）３１，３２が設けられており、これら磁歪膜３１，３２に対向してヨーク３５，３６に抱持された検出コイル３３，３４が配置されている。つまり、検出コイル３３，３４はピニオン軸５と円筒部２３の間に配置されている。ヨーク３５，３６はその外周面を円筒部２３の内周面に当接させてピニオン軸５の軸方向へ摺動可能に取り付けられている。
磁歪膜３１，３２は互いに磁気異方性を異にし、それぞれピニオン軸５の軸方向に対して４５度傾斜し、互いに直交するように設定されている。
【００１５】
軸受ケース４０と両ヨーク３５，３６は軸方向に所定寸法離間して配置されており、軸受ケース４０と各ヨーク３５，３６の間に介装されたスプリング（弾性部材）４１ａ，４１ｂによってヨーク３５，３６は軸受ケース４０から離反する方向へ付勢されている。
スプリング４１ａ，４１ｂによって付勢されたヨーク３５，３６は、円筒部２３の内周面に装着された円環状の上側ストッパ（規制部材）４２および下側ストッパ（規制部材）４３に突き当たり、軸方向移動を規制されている。上側ストッパ４２と下側ストッパ４３の外周面にはそれぞれ雄ねじ部４２ａ，４３ａが形成され、円筒部２３の内周面の上下端部には雄ねじ部４２ａ，４３ａが螺合する雌ねじ部２４が形成されている。なお、雌ねじ部２４は、円筒部２３の内周面の軸方向全長に亘って形成してもよい。
【００１６】
上側ストッパ４２を円筒部２３に対して回転することにより上側ストッパ４２をピニオン軸５の軸方向へ移動することができ、これにより上側ストッパ４２に突き当たっているヨーク３５を検出コイル３３とともにピニオン軸５の軸方向へ移動することができる。下側ストッパ４３についても同様であり、下側ストッパ４３を円筒部２３に対して回転することにより下側ストッパ４３をピニオン軸５の軸方向へ移動することができ、これにより下側ストッパ４３に突き当たっているヨーク３６を検出コイル３４とともにピニオン軸５の軸方向へ移動することができる。この実施例において、円筒部２３の雌ねじ部２４と両ストッパ４２，４３の雄ねじ部４２ａ，４３ａは位置調整機構を構成する。
【００１７】
検出コイル３３，３４は検出回路（図示略）に接続されており、この検出回路は、磁歪に起因して生じる各検出コイル３３，３４のインダクタンスの変化を電圧変化に変換して制御装置（図示略）に出力し、制御装置は各検出回路の出力に基づいてステアリングシャフト１に作用する操舵トルクを算出する。
この実施例１において、ピニオン軸５は磁歪式トルクセンサのシャフトを構成し、円筒部２３とピニオン軸５と磁歪膜３１，３２と検出コイル３３，３４と、ヨーク３５，３６と、ストッパ４２，４３は、操舵トルク（操舵入力）を検出する磁歪式トルクセンサ３０を構成する。
電動パワーステアリング装置１００は、磁歪式トルクセンサ３０によって運転者の操舵トルク（操舵入力）を検出し、検出した操舵トルクに応じてモータ６０を駆動して前輪１０を転舵する。
【００１８】
次に、実施例１の磁歪式トルクセンサ３０における位置調整機構の作用を説明する。
図３は検出コイル３３および検出コイル３４の出力特性を示し、横軸はピニオン軸５への入力トルク、縦軸は検出コイル３３，３４を介して検出される誘導電圧（検出電圧）ＶＡ，ＶＢを示している。前述したように、磁歪式トルクセンサ３０の磁歪膜３１，３２は磁気異方性を互いに直交するように設定されているので、検出コイル３３の出力特性と検出コイル３４の出力特性では、傾きが正負逆になる。
【００１９】
ところで、この磁歪式トルクセンサ３０では、検出コイル３３，３４で得られる出力を入力トルクの検出に用いるだけでなく、磁歪式トルクセンサ３０の故障検出に用いる場合がある。
この故障検出の原理を簡単に説明すると、図３（Ｂ）に示すように検出コイル３３，３４の出力感度が同じである場合に、磁歪式トルクセンサ３０が正常なときは検出コイル３３で得られる出力電圧ＶＡと検出コイル３４で得られる出力電圧ＶＢを平均した値は入力トルクに対してほぼ一定（図３（Ｂ）において破線）であるが、磁歪膜３１，３２や検出コイル３３，３４に異常が発生すると出力電圧ＶＡ，ＶＢが不釣り合いとなり、前記平均値が変動する。したがって、出力電圧ＶＡ，ＶＢの平均値に基づいて磁歪式トルクセンサ３０が故障か否かを判定することができる。
【００２０】
しかしながら、図３（Ａ）に示すように、検出コイル３３，３４の出力特性が対称でなく出力電圧ＶＡ，ＶＢの感度勾配が大きく異なっていると、出力電圧ＶＡ，ＶＢの平均値が入力トルクに対して一定にならず、磁歪式トルクセンサ３０の故障判定が不正確になってしまう。したがって、図３（Ａ）に示す出力特性になっている場合には、出力感度調整を行って図３（Ｂ）に示す出力特性に修正する必要がある。
【００２１】
この磁歪式トルクセンサ３０では、上側ストッパ４２を円筒部２３に対して回転することにより検出コイル３３およびヨーク３５をピニオン軸５の軸方向へ動かして、磁歪膜３１と検出コイル３３との軸方向相対位置を調整したり、下側ストッパ４３を円筒部２３に対して回転することにより検出コイル３４およびヨーク３６をピニオン軸５の軸方向へ動かして、磁歪膜３２と検出コイル３４との軸方向相対位置を調整して、出力感度の調整を行う。
【００２２】
なお、検出コイル３３とヨーク３５からなる検出部は対向する磁歪膜３１とともに検出コイル３３で励磁された磁束を流す磁気回路を構成し、磁歪膜３１と検出コイル３３の軸方向中心位置が一致したときに、磁気的損失が最も少なくなって、検出コイル３３の出力感度が最も大きくなる。
同様に、検出コイル３４とヨーク３６からなる検出部は対向する磁歪膜３２とともに検出コイル３４で励磁された磁束を流す磁気回路を構成し、磁歪膜３２と検出コイル３４の軸方向中心位置が一致したときに、磁気的損失が最も少なくなって、検出コイル３４の出力感度が最も大きくなる。
【００２３】
したがって、例えば、図４（Ａ）に示すように、検出コイル３３の軸方向中心が磁歪膜３１の軸方向中心よりも上側に位置し、検出コイル３４の軸方向中心が磁歪膜３２の軸方向中心よりも下側に位置し、そのときの各検出コイル３３，３４の出力特性が図３（Ａ）に示すようになっていた場合には、検出コイル３４の出力感度を上げるために検出コイル３４を軸方向上方へ移動し、検出コイル３４の出力感度が最大となるように検出コイル３４の軸方向中心を磁歪膜３２の軸方向中心に一致させる（図４（Ｂ）参照）。そして、この調整後の検出コイル３４の出力特性に対して検出コイル３３の出力特性が対称となるように、図４（Ｂ）に示すように検出コイル３３を軸方向上方へ移動して検出コイル３３の軸方向中心を磁歪膜３１の軸方向中心から遠ざけることにより、検出コイル３３の出力感度を下げる。
【００２４】
ここで、図４（Ａ）に示すように、ヨーク３５，３６の軸方向幅Ｌ２は、磁歪膜３１，３２の軸方向幅Ｌ１と同等あるいはそれより大きくするのが好ましい。このように寸法設定すると、ヨーク３５，３６がその端面を磁歪膜３１，３２の軸方向範囲内に収めたまま軸方向移動することがなくなるので、ヨーク３５，３６の軸方向移動によって必ず検出コイル３３，３４の出力感度を変えることができ、確実に感度調整を行うことができる。また、ヨーク３５，３６の少ない移動量で出力感度の調整が可能であるため、出力感度の調整が容易になる。
また、ヨーク３５，３６と磁歪膜３１，３２の軸方向中心位置のずれに対する検出出力の変化が大きくなるので（分解能が大きくなるので）、出力感度の調整可能な幅が大きくなる。
【００２５】
このように、この磁歪式トルクセンサ３０によれば、検出コイル３３，３４の出力感度を簡単に調整することができるので、磁歪式トルクセンサ３０の生産性が向上し、コストダウンを図ることができる。
なお、スプリング４１ａ，４１ｂは感度調整を行った後のヨーク３５，３６が、調整した位置から移動するのを阻止する。
【００２６】
なお、実施例１では、上側ストッパ４２および下側ストッパ４３の外周面に円筒部２３の雌ねじ部２４に螺合する雄ねじ部４２ａ，４３ａを設けたが、ヨーク３５，３６の外周面に雌ねじ部２４に螺合する雄ねじ部を設けてもよく、その場合には上側ストッパ４２および下側ストッパ４３を省略できる。
【００２７】
［参考例］
次に、この発明に係る磁歪式トルクセンサに関連する技術の参考例を図５の図面を参照して説明する。
この参考例の磁歪式トルクセンサ３０では、円筒部２３の内周面に円筒状のカラー２５が回転可能且つ軸方向移動不能に取り付けられており、このカラー２５の内周面に雌ねじ部２５ａが形成されている。また、軸受６ｃを収納する軸受ケース４０の外周面には雌ねじ部２５ａに螺合する雄ねじ部４０ａが形成されている。
検出コイル３３，３４を抱持するヨーク３５，３６は、その外周面をカラー２５の内周面に当接させてピニオン軸５の軸方向へ摺動可能に取り付けられるとともに、軸受ケース４０に当接して配置されている。
【００２８】
円筒部２３の上部には、ピニオン軸５に接近する方向へ延びる環状のスプリング受部２６が設けられており、ヨーク３５はスプリング受部２６との間に介装されたスプリング４４ａによって軸受ケース４０に接近する方向へ付勢されている。
円筒部２３の下部には、環状のスプリング押さえ４５が螺着しており、ヨーク３６はスプリング押さえ４５との間に介装されたスプリング４４ｂによって軸受ケース４０に接近する方向へ付勢されている。したがって、この参考例においては、軸受ケース４０はヨーク３５，３６の軸方向移動を規制する規制部材ということができる。
なお、スプリング４４ａ，４４ｂのバネ係数は、カラー２５を円筒部２３に対して回転したときに軸受ケース４０がカラー２５と共回りしないように押さえることができるように設定されている。
【００２９】
このように構成された参考例の磁歪式トルクセンサ３０によれば、カラー２５を円筒部２３に対して回転することによって、軸受ケース４０をピニオン軸５の軸方向に移動することができる。このとき、ヨーク３５，３６はスプリング４４ａ，４４ｂの付勢力によって軸受ケース４０に当接した状態を維持するので、軸受ケース４０の軸方向移動に伴ってヨーク３５，３６も一緒に軸方向移動する。その結果、磁歪膜３１と検出コイル３３との軸方向相対位置、および、磁歪膜３２と検出コイル３４との軸方向相対位置を同時に変えることができる。
【００３０】
この参考例では、軸受ケース４０を軸方向に移動すると、ヨーク３５，３６が同時に軸方向同一方向へ同寸法だけ移動する。
そこで、この作動特性を利用して、参考例の場合には、出力感度調整前の初期状態を予め図３（Ａ）、図４（Ａ）のように設定しておく。このように設定しておくと、軸受ケース４０を軸方向上方へ移動して両ヨーク３５，３６を軸方向上方へ移動させることにより、図３（Ｂ）、図４（Ｂ）に示すように検出コイル３３の軸方向中心を磁歪膜３１の軸方向中心から遠ざけて検出コイル３３の出力感度を下げることができるとともに、検出コイル３４の軸方向中心を磁歪膜３２の軸方向中心に近づけて検出コイル３４の出力感度を上げることができる。
その結果、カラー２５を回転して軸受ケース４０を軸方向に移動するだけで、両方の検出コイル３３，３４の出力感度を調整することができ、調整作業が更に簡単になる。
なお、スプリング４４ａ，４４ｂは感度調整を行った後のヨーク３５，３６が、調整した位置から移動するのを阻止する。
【００３１】
なお、前記参考例では、円筒部２３と軸受ケース４０の間にカラー２５を設け、カラー２５を回転することによって軸受ケース４０を軸方向へ移動するようにしたが、カラー２５を設けないで、図６に示すように、軸受ケース４０の雄ねじ部４０ａに螺合する雌ねじ部２３ａを円筒部２３の内周面に直接設け、軸受ケース４０を円筒部２３に直接螺合してもよい。この場合には、適宜の治具（図示略）をスプリング受部２６とピニオン軸５の間の隙間から挿入して軸受ケース４０を回転不能にしておき、ハウジング２０を軸受ケース４０に対して相対回転させることにより、軸受ケース４０をピニオン軸５の軸方向へ移動させることができる。
【００３２】
さらに、この場合に、円筒部２３において雌ねじ部２３ａを設けた部分を、その上下に位置する円筒部２３の他の部分から分離し、且つ前記他の部分で上下から挟み込み相対回転可能に設置してもよい。このようにすると、雌ねじ部２３ａを設けた部分を回転するだけで感度調整が可能となるとともに、雌ねじ部２３ａを設けた部分をセンサハウジング２２の外側から操作ができるので、感度調整作業が容易になる。なお、この場合、雌ねじ部２３ａを設けた部分を、その軸方向端部に設けられた凹凸等によって前記他の部分と係合するように構成し、相対回転のみ許容して、軸方向および径方向に外れないように構成するのが好ましい。
このようにすると、組み付け後の感度調整が容易にできる。また、円筒部２３を小径にすることができるので、装置の小型化を図ることができる。
【００３３】
〔他の実施例〕
なお、この発明は前述した実施例に限られるものではない。
例えば、前述した実施例では、１つの磁歪膜に対して１つの検出コイルを対向配置して検出部を構成したが、１つの磁歪膜に対して２つの検出コイルを対向配置して検出部を構成することも可能である。この場合には、１つの磁歪膜に対して対向配置された２つの検出コイルが一体となって移動するように構成する。
また、磁歪式トルクセンサは操舵トルクを検出する操舵トルクセンサに限るものではなく、種々のトルク検出用に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】この発明に係る実施例１の磁歪式トルクセンサを備えた電動パワーステアリング装置の概略構成図である。
【図２】図１Ａ−Ａ矢視の詳細断面図である。
【図３】磁歪式トルクセンサの出力特性図であり、（Ａ）は感度調整前、（Ｂ）は感度調整後を示す。
【図４】磁歪膜と検出コイルの相対位置を模式的に示す図であり、（Ａ）は感度調整前、（Ｂ）は感度調整後を示す。
【図５】この発明に関連する技術の参考例の磁歪式トルクセンサの断面図である。
【図６】前記参考例の磁歪式トルクセンサの変形例の断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
５  ピニオン軸（シャフト）
２３  円筒部（ハウジング）
２４，２５ａ  雌ねじ部（位置調整機構）
２５  カラー（ハウジング）
３０  磁歪式トルクセンサ
３１，３２  磁歪膜（磁歪部）
３３，３４  検出コイル
３５，３６  ヨーク
４０  軸受ケース（規制部材）
４０ａ，４２ａ，４３ａ  雄ねじ部（位置調整機構）
４１ａ，４１ｂ，４４ａ，４４ｂ  スプリング（弾性部材）
４２  上側ストッパ（規制部材）
４３  下側ストッパ（規制部材）
【図１】
0005306579.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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