(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電ランプ用の電極であって、
当該電極は、金属ピン（４、５４）と、当該金属ピン（４、５４）に巻き付けられた金属ワイヤー（５０、５５ｃ）から成るコイル（５、５’、５’’、５’’’、５’’’’、５５）とを有する形式のものにおいて、
前記金属ワイヤー（５０、５５ｃ）は、全長に亘って、少なくともその断面の円周の一部が平らにされている、
ことを特徴とする電極。
【請求項２】
前記コイル（５、５’、５’’、５’’’、５’’’’、５５）の前記金属ワイヤー（５０、５５ｃ）は、金属ワイヤーの長手軸方向に沿って、少なくとも一部分が平らにされている、請求項１記載の電極。
【請求項３】
前記金属ピン（４）と前記平らになっている部分とが接触して、前記金属ワイヤー（５０）が前記金属ピン（４）に巻き付けられている、請求項１または２記載の電極。
【請求項４】
前記金属ワイヤー（５０、５５ｃ）は、タングステンワイヤーまたはモリブデンワイヤーである、請求項１から３までのいずれか１項記載の電極。
【請求項５】
前記金属ピン（４）はタングステンピンである、請求項１から４までのいずれか１項記載の電極。
【請求項６】
前記金属ワイヤー（５０、５５ｃ）の厚さは、１０マイクロメーター〜１０００マイクロメーターの範囲にある、請求項１から５までのいずれか１項記載の電極。
【請求項７】
前記金属ピン（４、５４）の厚さは、０．１ミリメーター〜２．０ミリメーターの範囲にある、請求項１から６までのいずれか１項記載の電極。
【請求項８】
前記コイル（５、５’、５’’、５’’’、５’’’’、５５）のコアファクターＫおよび勾配ファクターＳは、１．０〜１０．０の値の範囲にあり、
前記コアファクターＫは、以下の関係式、
{金属ピン（４）の直径（Ｄ１）}／{金属ワイヤー（５０）の最大厚さ（Ｄ）}
から得られ、
前記勾配ファクターＳは、以下の関係式
（Ｌ＋Ｄ）／Ｄ、
前記Ｌ＝隣接する２つの金属ワイヤーの巻きの間隔、
前記Ｄ＝金属ワイヤーの最大厚さ
から得られる、請求項１から７までのいずれか１項記載の電極。
【請求項９】
前記コイル（５、５’、５’’、５’’’、５’’’’、５５）の内径は、少なくとも自身の長手延在方向部分の一部に沿って、前記金属ピンの直径に相応する、請求項１から８までのいずれか１項記載の電極。
【請求項１０】
請求項１から９までのいずれか１項に記載された電極を少なくとも１つ伴う放電ランプ。
【請求項１１】
石英ガラスから成る放電容器（１）を有しており、
少なくとも１つの電極が、当該放電容器（１）の密閉された終端部（１１）内に突出しており、前記コイル（５、５’、５’’、５’’’、５’’’’）が巻き付けられている、前記少なくとも１つの電極の前記金属ピン（４）の区間は、自身の長さの少なくとも一部分で、前記放電容器（１）の密閉された終端部（１１）の石英ガラス内に埋め込まれている、請求項１０記載の放電ランプ。
【請求項１２】
無水銀充填物を有する高圧放電ランプとして構成されている、請求項１１記載の放電ランプ。
【請求項１３】
前記コイル（５’’、５’’’、５’’’’、５５）は、前記少なくとも１つの電極の放電側終端部上に配置されている、請求項１０記載の放電ランプ。
【請求項１４】
放電ランプ用の電極の製造方法であって、
前記電極は金属ピン（４、５４）を有し、
当該製造プロセス中に前記金属ピン（４、５４）に、少なくともその断面の円周の一部が平らにされた金属ワイヤー（５０、５５ｃ）を巻き付ける、
ことを特徴とする、放電ランプ用の電極の製造方法。
【請求項１５】
前記金属ピン（４）と前記平らにされた部分とが接触するように、前記金属ワイヤー（５０）を前記金属ピン（４）に巻き付ける、請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
前記金属ピン（４）はタングステンピンである、請求項１４または１５記載の方法。
【請求項１７】
前記金属ワイヤー（５０、５５ｃ）はタングステンワイヤーまたはモリブデンワイヤーである、請求項１４から１６までのいずれか１項記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念に記載された放電ランプ用の電極および少なくとも１つのこの種の電極を備えた放電ランプ並びにこの種の電極製造方法に関する。
【０００２】
Ｉ．従来技術
この種の電極は例えば、ＷＯ２００５／０９６３３４号に開示されている。ＷＯ２００５／０９６３３４号は、石英ガラスからなる放電容器と同じ様式の２つの電極を備えた高圧放電ランプを開示している。ここでこの電極は、放電容器の内部空間においてガス放電を形成する。これらの電極はそれぞれ、金属製のピンから成る。この金属製ピンはコイルが巻き付けられた区間を有している。これらの電極のこの区間はそれぞれ、放電容器のシーリングされた端部内に突出しており、放電容器の石英ガラス内に埋め込まれている。コイルには固定手段が設けられており、この固定手段によって、電極の金属製ピンに沿ってコイルの位置が滑りずれることが阻止される。
【０００３】
ＩＩ．本発明の説明
本発明の課題は、上位概念に記載された電極を、より容易に製造可能であり、かつ電極ピン上でのコイルの良好な固着が保証されるように、改善することである。さらに、本発明の課題は、このような電極の製造方法を提供することである。
【０００４】
上述の課題は本発明と相応に、請求項１の特徴部分に記載された構成を有する電極によって、および請求項１３の特徴部分に記載された構成を有する方法によって解決される。本発明の特に有利な構成は従属請求項に記載されている。
【０００５】
本発明の電極は金属ピンを有しており、この金属ピンは、金属ワイヤーから成るコイルが巻き付けられている区間を有している。ここでこのコイルの金属ワイヤーは平らにされている。コイルの金属ワイヤーを平らにすることによって機械的な応力が金属ワイヤー内に形成される。この機械的な応力は、コイルワイヤーが金属ピン上に巻かれていり間は得られ続け、金属ピンへコイルを押し付ける。この押し付けによって、遊びの無い、金属ピンにぴったり接するコイルが生じる。コイルが金属ピン上で滑りずれるのを阻止するための、別の固定手段および製造ステップ、例えば溶接は必要ない。このコイルは、自身が金属ピンの中央区間に配置されている実施形態では次のことを保証する。すなわち、放電容器材料内に亀裂が形成されないことを保証する。この亀裂は、電極材料と放電容器材料の熱膨張係数が異なることによって生じ、この亀裂によって、ランプが早期に故障してしまう恐れがある。コイルが少なくとも、金属ピンの終端部上に配置される別の実施形態では、コイルは、この終端部ないし金属ピン終端部から熱が放出されることを保証する。
【０００６】
コイルの金属ワイヤーは有利には、自身の全長にわたって平らに形成され、これによって、コイルの全ての巻きが密着して、かつ遊び無く、電極の金属ピンに接することが保証される。コイルないしはコイルの個々の巻きの内径は、コイルが巻き付けられる金属ピン区間の厚さに相応する。これによって、この区間上にコイルを遊び無く配置することができる。
【０００７】
有利にはコイルの金属ワイヤーはタングステンワイヤーまたはモリブデンワイヤーである。これによって、この電極を、熱的に非常に高い負荷がかかる放電ランプ、殊に高圧放電ランプ内で使用することができる。なぜならタングステンおよびモリブデンは非常に高い溶融温度を有しているからである。モリブデンワイヤーは、コイルが金属ピンの中央区間上に配置されている実施形態では、付加的に次のような利点を有している。すなわち、モリブデンワイヤーから成るコイルがゲッターとして機能し、高圧放電ランプの放電容器の密閉された終端部部分のモリブデンフィルム溶融を、放電容器内の腐食を起こす物質から保護するという、利点を有している。
【０００８】
上述のコイルが巻き付けられている電極の金属ピンは有利にはタングステンピンであり、電極を熱的に非常に高い負荷がかかる放電ランプ、殊に高圧放電ランプ内で使用することを可能にする。
【０００９】
コイルの金属ワイヤーの厚さは有利には、１０マイクロメーター〜１０００マイクロメーターの範囲にある。
【００１０】
電極の金属ピンの厚さは有利には、０．１０ミリメーター〜２．００ミリメーターの範囲にある。このような金属ピン厚さは、高圧放電ランプ用の電極の電流負担能力に合うように調整されている。
【００１１】
有利には、コイルの２つの隣接する巻きの間の間隔Ｌとコイルワイヤーの厚さＤとから、Ｓ＝（Ｌ＋Ｄ）／Ｄで計算されるコイルの勾配ファクターＳおよび、コア直径Ｄ１とコイルワイヤーの厚さＤとから、Ｋ＝Ｄ１／Ｄで計算されるコイルのコアファクターは、１．０〜１０．０の値領域にある。概念「コア直径」とは、コイルワイヤーが巻かれているピンの直径である。
【００１２】
図１から４に示された、本発明の実施形態では、比較的大きい勾配ファクターが有利である。なぜなら比較的大きい勾配ファクターに基づいて、コイルの巻きは相互に離れて位置し、放電ランプの放電容器の密閉時に、軟化した放電容器材料が、コイルの隣接する巻きの間に入り込み、電極の表面を濡らすからである。さらにこのコイルは、自身の大きい勾配ファクターに基づいて、低い熱容量を有する。従って、放電容器材料はコイルが周りを囲む際にゆっくりと冷却され、これによって良好な密閉が実現される。コイル終端部に配置される最初の巻きおよび最後の巻きは、製造技術的な理由で、低い勾配ファクターを有する。
【００１３】
図５〜８に示された本発明の実施形態では、コイルの勾配ファクターおよびコアファクターは次のように選択されている。すなわち、電極の放電側終端部からの良好な熱導出が保証されるように選択されている。
【００１４】
図１〜４に示された実施例の電極は、特に良好に、石英ガラスから成る放電容器を備えた放電ランプ内での使用に適している。殊にこれは、無水銀充填物を有する、高圧放電ランプ、有利にはハロゲン金属蒸発高圧放電ランプである。後者は、自身の高い始動時電流故に、高い電流負担能力を有する比較的厚い電極を必要とする。この電極はさらに、高い温度に対する耐性を有する金属、例えばタングステンから製造されなければならない。タングステンと石英ガラスと比較的厚い電極の熱膨張係数は異なっているので、無水銀充填物を有する、ハロゲン金属蒸発高圧放電ランプでは、放電容器内の亀裂形成によって早期にランプが故障してしまうという上述の問題は特に緊急の問題である。
【００１５】
コイルが巻き付けられた、本発明による電極の金属ピンの区間は、放電容器の密閉された終端部の放電容器材料内に埋め込まれている。これによって、モリブデンフィルム溶融部を介して、密閉された終端部内で、電気的なコンタクトが外部電流供給に対して製造される。本発明による電極上のコイルによって、上述したランプタイプの場合にも、放電容器内の亀裂形成によって起こる、早期のランプ故障が回避される。
【００１６】
図５〜８に図示された実施例に相応する、本発明の電極は、種々異なるタイプの高圧放電ランプにおいて使用される。殊に、この電極の使用は、石英ガラスから成る放電容器を有する高圧放電ランプに制限されず、この電極は、光を通すセラミックから成る放電容器を有する高圧放電ランプにも使用される。相応する例は、図５に概略的に示されている。
【００１７】
放電ランプの上述した電極のための本発明による製造方法は、電極の金属ピンないし金属ピンの区間に、本発明による製造方法のステップの間に、平らにされた金属ワイヤーが巻き付けられ、これによってコイルは、密着して、かつ遊び無く、電極の金属ピンないしは電極の金属ピンの区間上に配置されるように形成される。コイルワイヤーを本発明と相応に平らにすることによって、機械的な応力がコイルの金属ワイヤー内に形成される。この機械的な応力は、電極の金属ピン上に巻かれている間は得られ続け、コイルの巻きを金属ピンに押し付ける。これによって、コイルを電極の金属ピンに固定するためのさらなる固定手段は必要ない。殊に、コイルを金属ピンに溶接する、または金属ピンをコイル内に圧入させる等の製造ステップは省かれる。従って本発明の製造方法は、電極の局部的な損傷並びにコイルの溶接によるコイル組織の変化も回避する。全体として本発明によって、電極の製造方法が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施例による電極
【図２】図１に示された電極の一部分の拡大図
【図３】本発明の第２の実施例による電極
【図４】図３に示された電極を伴う高圧放電ランプの、石英ガラスから成る放電容器の密閉された終端部
【図５】本発明の第３の実施例に相応する電極を伴う高圧放電ランプの、光を通すセラミックから成る放電容器の密閉された終端部
【図６】本発明の第４の実施例に相応する電極
【図７】本発明の第５の実施例に相応する電極を伴う高圧放電ランプの、石英ガラスから成る放電容器の密閉された終端部
【図８】本発明の第６の実施例に相応する電極を伴う高圧放電ランプの、石英ガラスから成る放電容器の密閉された終端部
【図９】本発明の第７の実施例に相応する電極
【図１０】図９に示された電極の区間の拡大図
【図１１】本発明の第８の実施例に相応する電極
【００１９】
ＩＩＩ．有利な実施例の説明
以下に本発明を、有利な実施例に基づいてより詳細に説明する。
【００２０】
図４は、モリブデンフィルムシーリングによって封鎖された終端部１１を示している。この終端部は、２つの側で密閉された、高圧放電ランプ用の石英ガラスから成る放電容器１の終端部である。この高圧放電ランプは自動車投光器用のものであり、本発明の第２の実施例に従った電極を有している。またこれは、放電容器１の封鎖された終端部１１を通って案内される電流供給部を含んでいる。このランプは殊に、３５ワットの消費電力を有する無水銀のハロゲン金属蒸発高圧放電ランプである。放電容器１の内部空間１０内には、イオン化可能な充填物が入れられる。この充填物はキセノンおよび金属のハロゲン化物、ナトリウム、スカンジウム、亜鉛およびインジウムから成る。放電容器の容積は２４ｍｍ３である。
【００２１】
電流供給部は、気密性に、放電容器１の封鎖された終端部１１内に埋設されたモリブデンフィルム２を有している。このモリブデンフィルム２は、６．５ｍｍの長さ、２ｍｍの幅および２５μｍの厚さを有している。放電容器１の内部空間１０と反対の、モリブデンフィルム２の終端部には、モリブデンワイヤー３が溶接されている。ここでこのモリブデンワイヤー３は、放電容器１の密閉された終端部１１から突出している。放電容器１の内部空間１０の方を向いている、モリブデンフィルム２の終端部には、タングステンピン４が溶接されている。ここでこのタングステンピンは、高圧放電ランプの２つの電極のうちの１つを構成し、放電空間１０内に突出している。タングステンピン４の長さは７．５ｍｍであり、その厚さないし直径Ｄ１＝０．３０ｍｍである。タングステンピン４とモリブデンフィルム２との重なりは、１．３０ｍｍ±０．１５ｍｍである。タングステンピン４には、コイル５’が中央に配置されている。従って、タングステンピン４の２つの終端部からのコイルの間隔はそれぞれ、２．２５ｍｍである。コイル５’は、３ｍｍの長さを有している。コイルは、平らにされたタングステンワイヤー５０から成り、このタングステンワイヤーの最大ワイヤー強度ないし最大厚Ｄは６０μｍである。平らにされた部分５００に対して垂直な方向では、コイルワイヤー５０は薄い。コイル５’の内径は、タングステンピン４の直径ないし厚さに相応する。コイル５’の隣接する２つの巻きの間隔は、３４０μｍである。従ってコイル５’の勾配ファクターＳは６．６７である。コイル５’のコアファクターＫは、ここではタングステンピン４の直径Ｄ１に相応するコア直径と、コイルワイヤーの最大厚さＤとから計算され、Ｋ＝５である。コイル５’は、図４に示されている本発明の第２の実施形態では、モリブデンフィルム２と重ならない、放電容器１の封鎖された終端部１１内に配置された区間にわたってのみ延在する。モリブデン２とコイル５’との間隔は、０．９５ｍｍである。しかしコイル５’が放電空間１０内に突出してもよい。これによって、自身の作用が損傷を被らない。放電容器１の図示されていない終端部は、終端部１１と同じである。殊にこれは同じように、図１〜３に示されたような電極を有する。放電容器１の内部空間１０内に突出する、２つのタングステンピン４ないし電極の終端部の間隔は、４．２ｍｍである。２つの電極は相互に対向して、放電容器１の長手軸内に配置されている。
【００２２】
図１には、第１の実施例に相応する電極が拡大して示されている。電極はタングステンピン４と、このタングステンピン４上に巻き付けられているコイル５から成る。上述のように、コイル５は、タングステンピン４の中央に配置された区間上にしか延在していない。コイル５は、平らにされたタングステンワイヤー５０から成る。図２は、コイル５の巻きの拡大された詳細図を示しており、ここではコイルワイヤー５０の平坦部５００が概略的に示されている。コイル５の最初の巻き５１と最後の巻き５２を除いて、２つの隣接する巻きの間の間隔Ｌは３４０μｍである。コイルの勾配ファクターＳはこの間隔Ｌとコイルワイヤー直径Ｄから計算され、Ｓ＝（Ｌ＋Ｄ）／Ｄである。従ってコイル５の勾配ファクターは、最初の巻きと最後の巻きを除いて、６．６７％ないしは６６７％であり、そのコアファクターＫは５である。
【００２３】
本発明の電極を製造するために、通常の粉末冶金製造方法および針金製造方法に即して製造されたタングステンピン４に、タングステンワイヤー５０が巻き付けられる。ここでこのタングステンワイヤーは、少なくとも、自身の長さの部分上で平らにされている。タングステンワイヤー５０を製造するために同じように、上述した通常の粉末冶金製造方法および針金製造方法が使用される。タングステンワイヤー５０をタングステンピン４上に巻き付けるために、一重フィラメントを製造するのに通常使用される巻回方法が使用される。
【００２４】
図３には、本発明の第２の実施例に相応する電極が示されている。この実施例は、第１の有利な実施例とは、コイル５’だけにおいて異なる。コイル５’では最初と最後の巻きも、自身の隣接する巻きに対して３４０μｍの間隔で配置されている。従って、コイル５’は一貫して、６．６７ないし６６７％の勾配ファクターを有する。全ての別の細部においてはコイル５および５’は一致しており、電極も一致している。
【００２５】
図４に示された実施例の高圧放電ランプはさらに、外球とランプ口金を有している。この外球は放電容器１を、放電空間１０の領域において取り囲んでいる。この詳細は例えばＥＰ１４６５２３７Ａ２号に説明および図示されている。
【００２６】
図５には、高圧放電ランプの、光を通す酸化アルミニウムセラミックから成る放電容器が示されている。これは本発明の第３の実施例に即した電極を有している。電極の終端部５１は、グローブトップ５２によって、セラミック毛管５３内に密閉されている。終端部５１には金属ピン５４が続いており、この金属ピンはタングステンワイヤーから成るコイル５５が巻き付けられている。コイル５５は、第１の巻き部分５５ａを含んでいる。この巻き部分は、金属ピン５４の放電側終端部に配置されており、約６つの巻きを有している。付加的にコイル５５は、第２の巻き部分５５ｂを含んでいる。この巻き部分はセラミック毛管５３内に延在している、金属ピン５４の区間を取り囲んでおり、約３０の巻きを有している。終端部５１に続いている、金属ピン５４の終端部と第２の巻き部分５５ｂの相応する終端部は、同じようにグローブトップ５２内に埋め込まれている。コイル５５の巻き部分５５ａ、５５ｂは相互に、コイルワイヤー５５ｃによって接続されている。コイルワイヤー５５ｃは少なくとも、第１の巻き部分５５ａまたは第２の巻き部分５５ｂの領域において平らに構成されており、これによって、金属ピン５４上のコイル５５の遊びのない配置が保証される。有利にはコイルワイヤー５５ｃは、２つの巻き部分５５ａ、ｂの領域において平らに構成されている。セラミック毛管５３内に配置された、第２の巻き部分５５ｂによって包囲されている、金属ピン５４のより厚い区間はモリブデンから成る。放電容器の放電空間５６内に突出している、第１の巻き部分５５ａによって包囲されている、金属ピン５４のより薄い区間はタングステンから成る。コイルワイヤー５５ｃの直径ないし厚さは０．１５ｍｍ〜０．１９ｍｍの領域にある。コイル５５ないしその巻き部分５５ａ、５５ｂのコアファクターは０．２〜０．５の領域にある。
【００２７】
図６は、本発明の第４の実施例に即した電極を示している。この電極はラングステンピン４と２つのコイル５’’から成る。これらのコイルは、タングステンピン４の両端に巻かれている。これらのコイル５’’はそれぞれ、平らにされたタングステンワイヤーから成る。これは、タングステンピン４の相応する終端部に巻き付けられている。この電極は、例えば図５に示された金属ピン５４およびコイル５５の代わりに、高圧放電ランプにおける、セラミックから成る放電容器内で使用される。
【００２８】
図７には、石英ガラスから成る放電容器１の密閉された終端部１１が示されている。ここでこれは、本発明の第５の実施例に相応する電極を有している。放電容易器の密閉された終端部１１内には、モリブデンフィルム２が気密して溶かし入れられている。放電容器１の放電空間１０と反対の、モリブデンフィルム２の終端部は、モリブデンから成る電流供給部３と接続されている。放電容器１０の方を向いている、モリブデンフィルム２の終端部は、タングステンピン４と接続されている。このタングステンピンは、放電容器１０内に突出する終端部を有している。放電容器１０内に突出した、タングステンピン４の終端部には、タングステンワイヤーからなるコイル５’’’が巻き付けられている。コイル５’’’のタングステンワイヤーは、平らなワイヤーとして構成されている。平らにされたコイルワイヤーは、０．１７ｍｍ〜０．４０ｍｍの領域の厚さを有しており、コイル５’’’のコアファクターは０．３〜０．６の範囲にある。コイル５’’’の個々の巻きは、狭い間隔で、タングステンピン４の放電側終端部上に巻き付けられており、従って、コイル５’’’の勾配ファクターは１近傍である。タングステンピン４およびコイル５’’’は、高圧放電ランプに対するガス放電電極を構成する。コイル５’’’は、ガス放電電極の放電側終端部からの熱放出に寄与する。
【００２９】
図８には、高圧放電ランプの石英ガラスから成る放電容器の密閉された終端部１１が図示されている。これは本発明の第７の実施例に相応する電極を伴う。放電容器１の密閉された終端部１１内には、モリブデンフィルム２が気密性に溶融して入れられている。放電容器の放電空間１０と反対の方を向いている、モリブデンフィルム２の終端部は、モリブデンから成る電流供給部３と接続されている。放電空間１０の方を向いている、モリブデンフィルム２の終端部は、タングステンピン４と接続されている。ここでこのタングステンピンは、放電空間１０内に突出している終端部１０を有している。タングステンピン４の放電空間１０内に突出している終端部には、タングステンワイヤーから成るコイル５’’’’が巻き付けられている。コイル５’’’’のタングステンワイヤーは、平らにされたワイヤーとして構成されている。
【００３０】
平らにされたコイルワイヤーは０．３ｍｍ〜０．６ｍｍの範囲の厚さを有しており、コイル５’’’’のコアファクターは０．３５〜０．８の範囲にある。コイル５’’’’の個々の巻きは、２つの長さで、僅かな間隔で、放電空間１０内に突出しているタングステンピン４の終端部上に巻き付けられており、コイル５’’’’の勾配ファクターは約１である。タングステンピン４およびコイル５’’’’は、高圧放電ランプのためのガス放電電極を構成する。コイル５’’’’は、ガス放電電極の放電側終端部から熱を放出するために用いられる。
【００３１】
図９および１０では、本発明の第７の実施形態に相応する電極が概略的に、拡大して示されている。これらの電極は、第１の実施例に相応する図１および２に示された電極と、タングステンピン４に巻き付けられた後のコイルワイヤー５０の平らな部分５００の配向においてだけ異なっている。従って、図９および１０において、相応する電極部分に対しては、図１および図２と同じ参照番号が用いられている。本発明の第７の実施例では、コイルワイヤー５０の平らな部分５００は、タングステンピン４とは別の方向を指すように配向されている。
【００３２】
図１１には、本発明の第８の実施例に相応する電極が概略的に、かつ拡大して示されている。この電極は、第２の実施例に相応する図３に示された電極と、タングステンピン４に巻き付けられた後のコイルワイヤーの平らな部分の配向においてだけ異なっている。従って、図１１において、相応する電極部分に対しては、図３と同じ参照番号が用いられている。本発明の第８の実施形態では、コイルワイヤーの平らな部分、これがタングステンピン４とは別の方向を指し、タングステンピン４と反対方向になるように配向されている。
【００３３】
本発明は、上述した実施例に制限されるものではない。例えば、第１、第２、第７または第８の実施例に相応するコイル５ないし５’を、平らにされたタングステンワイヤーの代わりに、平らにされたモリブデンワイヤーから製造してもよい。これによって、上述したゲッター効果が得られる。さらにコイル５ないし５’の巻きを、上述した実施例で記載されたものよりも、相互により狭くまたはより幅広く配置することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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