(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセットに収容された被処理物に対して所定の処理を施す複数の製造装置（１１〜６３）と、
前記カセットを搭載して搬送すると共に、前記製造装置（１１〜６３）から前記カセットの回収を行う共に前記製造装置（１１〜６３）に前記カセットの搬入を行う複数の搬送台車（７１〜７９）と、
前記製造装置（１１〜６３）で処理される前の未処理のカセットを保管する保管庫と、
前記複数の製造装置（１１〜６３）のうち前記保管庫に保管されている前記未処理のカセットが最も多い製造装置を特定すると共に、当該未処理のカセットの数が閾値以上であるか否かを判定し、前記未処理のカセットの数が閾値以上であるとき、特定した前記製造装置を特定製造装置に決定する特定製造装置決定部と、
前記複数の搬送台車（７１〜７９）のうち前記カセットを搭載していない二台の空搬送台車を特定し、前記空搬送台車のうち一方を前記特定製造装置の回収専用台車とすると共に他方を前記特定製造装置の搬入専用台車とし、前記回収専用台車を前記特定製造装置に対する所定の待機場所に待機させると共に前記搬入専用台車を前記保管庫に対する所定の待機場所に待機させる空搬送台車制御部と、
前記回収専用台車に前記特定製造装置で処理された処理済のカセットを回収させると共に、前記搬入専用台車に前記保管庫に保管されている前記未処理のカセットを前記特定製造装置に搬入させる搬送命令部と、を備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
カセットに収容された被処理物に対して所定の処理を施す複数の製造装置（１１〜６３）と、
前記カセットを搭載して搬送すると共に、前記製造装置（１１〜６３）から前記カセットの回収を行う共に前記製造装置（１１〜６３）に前記カセットの搬入を行う複数の搬送台車（７１〜７９）と、
前記製造装置（１１〜６３）で処理される前の未処理のカセットを保管する保管庫と、を備える搬送システムの制御方法であって、
前記複数の製造装置（１１〜６３）のうち前記保管庫に保管されている前記未処理のカセットが最も多い製造装置を特定すると共に、当該未処理のカセットの数が閾値以上であるか否かを判定し、前記未処理のカセットの数が閾値以上であるとき、特定した前記製造装置を特定製造装置に決定して前記特定製造装置があると判定する特定製造装置の有無判定工程と、
前記特定製造装置があるとき、前記複数の搬送台車（７１〜７９）のうち前記カセットを搭載していない二台の空搬送台車を特定し、前記空搬送台車のうち一方を前記特定製造装置の回収専用台車とすると共に他方を前記特定製造装置の搬入専用台車とし、前記回収専用台車を前記特定製造装置に対する所定の待機場所に待機させると共に前記搬入専用台車を前記保管庫に対する所定の待機場所に待機させる空搬送台車制御工程と、
前記特定製造装置から前記カセットの回収要求があったとき、前記回収専用台車に前記特定製造装置で処理された処理済のカセットを回収させると共に、前記搬入専用台車に前記保管庫に保管されている前記未処理のカセットを前記特定製造装置に搬入させる工程と、を行うことを特徴とする搬送システムの制御方法。
【請求項３】
前記空搬送台車制御工程は、前記特定製造装置の有無判定工程にて前記特定製造装置があると最初に判定した後から前記特定製造装置がないと判定したときまで行うことを特徴とする請求項２に記載の搬送システムの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造工場等において被処理物を搬送する搬送システムおよびその制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体装置の製造工場等において、複数の製造装置を備え、ウェハ等の被処理物が各製造装置を順次移動することにより各工程が実施されるようにした搬送システムが知られている。
【０００３】
具体的には、上記搬送システムでは、被処理物は、一般的に外部からの汚染を防ぐためにカセットに収容されている。そして、カセットを搬送台車に搭載して搬送し、当該搬送台車にて、各製造装置に未処理のカセットを搬入したり、各製造装置から処理済のカセットを回収したりするようになっている。また、このような搬送システムは、カセットを一時的に保管する保管庫を有しており、次の処理を行う製造装置が別のカセットを処理しているときには、保管庫に当該カセットを一旦保管しておき、搬送先の製造装置の処理が終了したときに、当該製造装置から処理済のカセットを回収すると共に、保管庫に保管された未処理のカセットを製造装置に搬入するようになっている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、次のような搬送システムが開示されている。すなわち、この搬送システムでは、複数の製造装置と、カセットを保管する保管庫と、カセットを搭載して搬送する複数の搬送台車とを備えており、これら複数の搬送台車はそれぞれ工場内に設置されたレールに沿って走行するようになっている。そして、この搬送システムでは、製造装置での処理終了時刻を予測する装置処理制御装置と、製造装置での処理終了時刻に合わせたカセットの回収指示と次に処理するカセットの投入指示を同時に出す生産進捗管理装置と、を備えている。
【０００５】
上記搬送システムでは、装置処理制御装置は、各製造装置の処理時間を記憶しており、ある製造装置から処理が始まったことが通知されると、当該製造装置の処理終了時刻を生産進捗管理装置に通知する。そして、生産進捗管理装置は、この製造装置で被処理物の処理が終了する際に、処理済のカセットを回収する回収台車と、当該製造装置に処理されるカセットを保管庫から搬送する搬入台車とが到着するようにしている。つまり、上記搬送システムでは、各製造装置に待機時間ができることを抑制することにより、製造装置の稼働率を向上させると共に、リードタイムを短縮することができるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１３５２７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１の搬送システムでは、ある製造装置の処理が終了する際に、処理済のカセットを回収する回収台車を当該製造装置に到着させると共に、カセットを搭載した搬入台車を当該製造装置に到着させるようにしているが、一般的な半導体装置の製造工場では、製造装置が数百個程度であるのに対し、搬送台車が数個〜数十個程度であるため、実際には、全ての製造装置に対して、処理が終了する際に回収台車と搬入台車とを到着させることは困難である。
【０００８】
また、一般的に、半導体装置の製造工場では、例えば、製造装置の定期点検や修理等があるため、ある製造装置を定期点検したり修理したりした後では、当該製造装置で処理される未処理のカセットが保管庫に多数溜まってしまうことがある。しかしながら、上記搬送システムでは、全ての製造装置に対して同様に、製造装置の処理が終了する際に、回収台車と搬入台車とを到着させるようにしており、上記のように、定期点検後や修理後等の製造装置に対しても回収台車や搬送台車の到着が遅れてしまうことがある。このような場合には、保管庫のカセットの溜まりを解消できないばかりか、さらに、保管庫にカセットが溜まってしまうことがある。そして、当該保管庫にカセットの数が溜まりすぎてしまうと、新たにカセットを受け入れることができなくなり、当該保管庫にカセットの搬入を行うことができなくなってしまうことがある。つまり、上記搬送システムでは、特にある製造装置を定期点検したり修理等したりした場合に、搬送バランスが崩れて製造装置の稼働率が低下すると共に、リードタイムが増加してしまうことがあるという問題がある。
【０００９】
本発明は上記点に鑑みて、各製造装置の稼働率が低下することを抑制することができると共にリードタイムが増加することを抑制することができる搬送システムおよびその制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、複数の製造装置（１１〜６３）のうち保管庫に保管されている未処理のカセットが最も多い製造装置を特定すると共に、当該未処理のカセットの数が閾値以上であるか否かを判定し、未処理のカセットの数が閾値以上であるとき、特定した製造装置を特定製造装置に決定する特定製造装置決定部と、複数の搬送台車（７１〜７９）のうちカセットを搭載していない二台の空搬送台車を特定し、空搬送台車のうち一方を特定製造装置の回収専用台車とすると共に他方を特定製造装置の搬入専用台車とし、回収専用台車を特定製造装置に対する所定の待機場所に待機させると共に搬入専用台車を保管庫に対する所定の待機場所に待機させる空搬送台車制御部と、回収専用台車に特定製造装置で処理された処理済のカセットを回収させると共に、搬入専用台車に保管庫に保管されている未処理のカセットを特定製造装置に搬入させる搬送命令部と、を備えることを特徴としている。
【００１１】
このような搬送システムでは、複数の製造装置（１１〜６３）のうちから保管庫に保管されている未処理のカセットが最も多い製造装置を特定すると共に、当該未処理のカセットの数が閾値以上であるときに、特定した製造装置を特定製造装置に決定している。そして、特定製造装置に対して回収専用台車と搬入専用台車とを割り当て、回収専用台車を特定製造装置の所定の待機場所に待機させると共に搬入専用台車を保管庫の所定の待機場所に待機させている。このため、特定製造装置から回収要求があったとき、待機場所に待機している回収専用台車に特定製造装置における処理済のカセットを回収させることができ、待機場所に待機している搬入専用台車に未処理のカセットを特定製造装置に搬入させることができる。
【００１２】
つまり、特定製造装置に対して、搬送台車が到着するのが遅れたり、次の未処理のカセットが搬入されるのが遅れたりすることが抑制できる。このため、特定製造装置の機能を最大限に発揮させることができ、搬送バランスがさらに崩れることを抑制することができると共に搬送バランスを回復させることができる。したがって、各製造装置（１１〜６３）の稼働率が低下することを抑制することができると共に、リードタイムが増加することを抑制することができる。
【００１３】
また、請求項１では、本発明を搬送システムとして把握した場合を説明したが、本発明を搬送システムの制御方法として把握することも可能である。
【００１４】
すなわち、請求項２に記載の発明では、複数の製造装置（１１〜６３）のうち保管庫に保管されている未処理のカセットが最も多い製造装置を特定すると共に、当該未処理のカセットの数が閾値以上であるか否かを判定し、未処理のカセットの数が閾値以上であるとき、特定した製造装置を特定製造装置に決定して特定製造装置があると判定する特定製造装置の有無判定工程と、特定製造装置があるとき、複数の搬送台車（７１〜７９）のうちカセットを搭載していない二台の空搬送台車を特定し、空搬送台車のうち一方を特定製造装置の回収専用台車とすると共に他方を特定製造装置の搬入専用台車とし、回収専用台車を特定製造装置に対する所定の待機場所に待機させると共に搬入専用台車を保管庫に対する所定の待機場所に待機させる空搬送台車制御工程と、特定製造装置からカセットの回収要求があったとき、回収専用台車に特定製造装置で処理された処理済のカセットを回収させると共に、搬入専用台車に保管庫に保管されている未処理のカセットを特定製造装置に搬入させる工程と、を行うことを特徴している。
【００１５】
このように、本発明を搬送システムの制御方法として把握した場合についても、請求項１に記載の発明と同様の効果を得ることができる。
【００１６】
例えば、請求項３に記載の発明のように、請求項２に記載の発明において、空搬送台車制御工程を、特定製造装置の有無判定工程にて特定製造装置があると最初に判定した後から特定製造装置がないと判定したときまで行うことができる。
【００１７】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態における搬送システムのレイアウトを示す図である。
【図２】空搬送台車制御部の作動を示すフローチャートである。
【図３】制御装置の作動を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態における搬送システムのレイアウトを示す図であり、この図に基づいて説明する。
【００２０】
図１に示されるように、本実施形態の搬送システムは、複数の製造装置１１〜６３と、被処理物を収容したカセットを保管する図示しない保管庫と、カセットを搬送すると共に、当該カセットを各製造装置１１〜６３に搬入したり、各製造装置１１〜６３から回収したりする複数の搬送台車７１〜７９とを備えている。また、搬送システムは、製造工程の全体を管理する、例えば、ホストコンピュータ等の制御装置を備えており、当該制御装置は、複数の製造装置１１〜６３の中から一つの製造装置を特定する特定製造装置決定部と、複数の搬送台車７１〜７９の中からカセットを搭載していない二台の空搬送台車を検索すると共に、二台の空搬送台車を特定製造装置の専用搬送台車とする空搬送台車制御部と、当該専用搬送台車に特定製造装置からの処理済のカセットの回収および特定製造装置への未処理のカセットの搬入を指示する搬送命令部とを備えている。
【００２１】
製造装置１１〜６３は、特に限定されるものではなく、例えば、熱処理装置、イオン注入装置、エッチング装置、成膜装置、洗浄装置、フォトレジスト塗布装置、露光装置、検査装置等であり、本実施形態では、複数の装置群（ベイ）１０〜６０に分けられて配置されている。
【００２２】
保管庫は、本実施形態では、各製造装置１１〜６３にそれぞれ備えられており、各製造装置１１〜６３で処理される前の未処理のカセットを保管する。
【００２３】
カセットは、例えば、一面が開口している本体と、本体の開口を閉塞する蓋と、本体に備えられるフランジとを備えた一般的なＳＭＩＦ（Standard of Mechanical Interface）やＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)等が用いられる。そして、本体と蓋により構成される収容空間内にウェハ等の被処理物が収容されている。なお、特に限定されるものではないが、被処理物がウェハである場合には、数十枚程度のウェハが一つのカセットに収容されている。
【００２４】
搬送台車７１〜７９は、本実施形態では、工場等の天井から吊り下げられているレール８０に沿って走行するＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）であり、カセットのフランジを把持する把持部と、当該把持部を懸垂状態で支持する懸垂部とを備えている。そして、懸垂部の巻き取りや繰り出しを行って把持部を昇降させることによりカセットを昇降させて、製造装置からカセットを回収したり製造装置にカセットを搬入したりすることができるようになっている。
【００２５】
特定製造装置決定部は、例えば、保管庫に備えられた制御部と信号の送受信が可能とされており、保管庫の状況を確認することができるようになっている。また、複数の製造装置１１〜６３のうち保管庫に保管されている未処理のカセットが最も多い製造装置を特定すると共に、当該未処理のカセットの数が閾値以上であるか否かを判定する。そして、未処理のカセットの数が閾値以上であるときには、特定した製造装置を特定製造装置に決定し、特定製造装置を示す信号を制御装置に送信する。例えば、製造装置１１に備えられている保管庫に未処理のカセットが最も保管されており、この保管庫に保管されているカセットの数が閾値以上である場合には、製造装置１１を特定製造装置に決定し、製造装置１１に関する情報を制御装置に送信する。なお、閾値は、任意に決定可能であるが、例えば、３０とすることができる。また、特定製造装置とされるのは、通常、定期点検や修理等がされた製造装置である。
【００２６】
空搬送台車制御部は、本実施形態では、各搬送台車７１〜７９と無線で信号の送受信が可能とされており、各搬送台車７１〜７９の状態、つまり、カセットを搭載しているか否か、レール８０上のどこを走行しているか等を把握できるようになっている。そして、複数の搬送台車７１〜７９のうちカセットを搭載していない二台の空搬送台車を特定してこれら二台の空搬送台車を特定製造装置の専用搬送台車とし、一方を回収専用台車に指定すると共に他方を搬入専用台車に指定する。回収専用台車とは、特定製造装置から処理済のカセットを回収する搬送台車であり、搬入専用台車とは、保管庫から未処理のカセットを特定製造装置に搬入する搬送台車である。また、回収専用台車を特定製造装置における所定の待機場所に移動させて待機させると共に、搬入専用台車を保管庫における所定の待機場所に移動させて待機させる。
【００２７】
待機場所は、各製造装置１１〜６３および保管庫について予め定められているものであり、特定製造装置が決定されると、回収専用台車および搬入専用台車の待機場所も決定される。この待機場所は、特に限定されるものではないが、例えば、回収専用台車の待機場所は特定製造装置近傍であることが好ましく、搬入専用台車の待機場所は特定製造装置で処理される未処理のカセットを保管している保管庫の近傍であることが好ましい。これにより、特定製造装置からカセットの回収要求があったときに、回収専用台車により特定製造装置から処理済のカセットの回収をすぐに行うことができると共に、搬入専用台車により次に処理される未処理のカセットを保管庫からすぐに特定製造装置に搬入させることが可能になる。
【００２８】
なお、回収専用台車および搬入専用台車は、例えば、カセットを搭載していない二台の空搬送台車のうち、回収専用台車の待機場所までの到着時間が短い一方の搬送台車を回収専用台車にすると共に他方の搬送台車を搬入専用台車にすることができる。また、カセットを搭載していない空搬送台車が三台以上ある場合には、例えば、回収専用台車の待機場所までの到着時間が最も短い搬送台車を回収専用台車とし、当該回収専用台車でなく、かつ、搬入専用台車の待機場所までの到着時間が最も短い搬送台車を搬入専用台車とすることができる。
【００２９】
搬送命令部は、回収専用台車に回収指示を示す信号を送信する共に搬入専用台車に搬入指示を示す信号を送信し、回収専用台車に特定製造装置から処理済のカセットを回収させると共に、搬入専用台車に保管庫から未処理のカセットを特定製造装置に搬入させる。
【００３０】
次に、このような搬送システムの制御方法について説明する。まず、本実施形態の空搬送台車制御部の制御について説明する。図２は、空搬送台車制御部の作動を示すフローチャートである。なお、空搬送台車制御部は、制御装置から制御開始信号を受信したときから図２に示す作動を開始すると共に、制御装置から制御終了信号を受信したときに図２に示す作動を終了する。また、空搬送台車制御部は、制御装置から制御開始信号を受信するときに同時に特定製造装置の情報も受信しており、後述の待機場所は、特定製造装置および特定製造装置で処理される未処理のカセットを保管する保管庫に対応した場所となる。
【００３１】
図２に示されるように、まず、ステップ１０１にて所定の待機場所にそれぞれ回収専用台車および搬入専用台車が待機しているか否かを判定する。上記のように、空搬送台車制御部は、各搬送台車７１〜７９の状態を把握可能とされているため、回収専用台車および搬入専用台車の状態を検出することにより、ステップ１０１を行う。そして、待機場所に回収専用台車が待機していない場合にはステップ１０２に進み、待機している場合には所定期間毎に繰り返しこのステップ１０１を行い、待機場所に回収専用台車および搬入専用台車が待機しなくなるまで待機する。なお、待機場所に回収専用台車および搬入専用台車が待機しなくなるのは、具体的には後述するが、待機場所に待機していた回収専用台車および搬入専用台車が搬送命令部から信号を受信してカセットの回収および搬入を行った後である。
【００３２】
ステップ１０２では、複数の搬送台車７１〜７９の中からカセットを搭載していない二台の空搬送台車があるか否かを検索し、二台の空搬送台車がある場合にはステップ１０３に進み、これら二台の空搬送台車を特定製造装置の専用搬送台車に指定する。具体的には、二台の空搬送台車のうち一方を回収専用台車に指定すると共に他方を搬入専用台車に指定する。例えば、二台の空搬送台車のうち回収専用台車の待機場所までの到着時間が短い一方の搬送台車を回収専用台車とし、他方を搬入専用台車とすることができる。
【００３３】
ステップ１０２で二台の空搬送台車がないと判定した場合には、所定期間毎にステップ１０２を繰り返し行い、複数の搬送台車７１〜７９のうちカセットを搭載していない二台の空搬送台車ができるまで待機する。また、ステップ１０２では、上記のように、空搬送台車が三台以上ある場合には、例えば、回収専用台車の待機場所までの到着時間が最も短い搬送台車を回収専用台車とすると共に、回収専用台車でなく、かつ、搬入専用台車の待機場所までの到着時間が最も短い搬送台車を搬入専用台車とすることができる。
【００３４】
そして、ステップ１０４では、回収専用台車および搬入専用台車をそれぞれ所定の待機場所まで移動させる。すなわち、空搬送台車制御部は、制御装置から制御開始信号と共に特定製造装置の情報も受信しているため、特定製造装置における所定の待機場所に回収専用台車を移動させると共に、特定製造装置で処理される未処理のカセットを保管する保管庫における所定の待機場所に搬入専用台車を移動させる。
【００３５】
次に、本実施形態の制御装置の作動について説明する。図３は、制御装置の作動を示すフローチャートである。なお、制御装置は、所定期間毎に図３に示す作動を繰り返し行うようにしてもよいし、例えば、工場内の作業者の意思に応じて図３に示す作動を開始、終了するようにしてもよい。
【００３６】
図３に示されるように、ステップ２０１にて、複数の製造装置１１〜６３のうちから特定製造装置があるか否かを判定する。具体的には、上記のように、特定製造装置決定部に、複数の製造装置１１〜６３のうちから保管庫に保管されている未処理のカセットが最も多い製造装置を特定させると共に、当該未処理のカセットの数が閾値以上であるか否かを判定させる。そして、カセットの数が閾値以上である場合には、特定製造装置決定部から特定製造装置を示す信号が送信されるため、特定製造装置があると判定し、ステップ２０２に進む。カセットの数が閾値未満である場合には、特定製造装置決定部から特定製造装置がないことを示す信号が送信されるため、特定製造装置はないと判定してステップ２０９に進む。
【００３７】
ステップ２０２では、ステップ２０１で決定した特定製造装置が変更されたか否かを判定し、特定製造装置が変更された場合にはステップ２０４に進み、変更されていない場合にはステップ２０３に進む。すなわち、上記図２において、ステップ１０４では特定製造装置における所定の待機場所へ回収専用台車を移動させると共に特定製造装置で処理される未処理のカセットを保管する保管庫における所定の待機場所へ搬入専用台車を移動させており、特定製造装置を変更した場合には回収専用台車および搬入専用台車の待機場所が変更になるため、ステップ２０２では特定製造装置を変更したか否かを判定する。
【００３８】
ステップ２０３では、制御開始信号を空搬送台車制御部に送信したか否かを判定し、送信していない場合にはステップ２０５に進み、既に送信した場合にはステップ２０６に進む。つまり、本実施形態では、特定製造装置が変更されていない場合であって、かつ、既に制御開始信号を送信している場合には、空搬送台車制御部は上記図２に示す作動を行っているため、再び同じ制御開始信号を送信しないようにしている。
【００３９】
そして、ステップ２０５では、空搬送台車制御部に制御開始信号および特定製造装置の情報を送信する。これにより、空搬送台車制御部は、上記図２に示す作動を開始し、図２中のステップ１０４では特定製造装置における所定の待機場所に回収専用台車を移動させると共に特定製造装置で処理される未処理のカセットを保管する保管庫における所定の待機場所に搬入専用台車を移動させる。また、ステップ２０４では、特定製造装置の情報を送信する。すなわち、ステップ２０４では、空搬送台車制御部に既に制御開始信号を送信しているため、変更した特定製造装置情報のみを送信する。これにより、空搬送台車制御部は、図２中のステップ１０４では、変更した特定製造装置における所定の待機場所に回収専用台車を移動させると共に変更した特定製造装置で処理される未処理のカセットを保管する保管庫における所定の待機場所に搬入専用台車を移動させる。
【００４０】
続いて、ステップ２０６にて、特定製造装置からカセットの回収要求を示す信号を受信したか否かを判定し、当該信号を受信した場合にはステップ２０７に進み、待機場所に回収専用台車および搬入専用台車が待機しているか否かを判定する。
【００４１】
ステップ２０６にて、カセットの回収要求を示す信号を受信していないと判定した場合には、ステップ２０６を繰り返し実行し、回収要求を示す信号を受信するまで待機する。同様に、ステップ２０７にて、待機場所に回収専用台車および搬入専用台車が待機していないと判定した場合には、ステップ２０７を繰り返し実行し、待機場所に回収専用台車および搬入専用台車が到着するまで待機する。
【００４２】
ステップ２０８では、搬送命令部に回収専用台車に回収指示を示す信号を送信させると共に搬入専用台車に搬入指示を示す信号を送信させ、回収専用台車に特定製造装置から処理済のカセットを回収させると共に、搬入専用台車に保管庫から未処理のカセットを特定製造装置に搬入させる。なお、未処理のカセットを特定製造装置に搬入させるとき、未処理のカセットのうち、例えば、最初の製造装置で処理されてからの経過時間が最も長いカセットから順番に特定製造装置に搬入させるようにしてもよい。
【００４３】
また、ステップ２０１で特定製造装置がないと判定した場合にはステップ２０９に進み、ステップ２０９では、制御開始信号を送信したか否かを判定する。そして、制御開始信号を送信したと判定した場合にはステップ２１０に進み、制御終了信号を空搬送台車制御部に送信する。これにより、空搬送台車制御部は、上記図２に示す作動を終了する。また、制御開始信号を送信していないと判定した場合には、ステップ２００に戻る。
【００４４】
以上説明したように、本実施形態では、複数の製造装置１１〜６３のうちから保管庫に保管されている未処理のカセットが最も多い製造装置を特定すると共に、当該未処理のカセットの数が閾値以上であるときに、特定した製造装置を特定製造装置に決定している。言い換えると、定期点検されたり修理等されたりした製造装置を特定製造装置に決定している。そして、特定製造装置に対して回収専用台車と搬入専用台車とを割り当て、回収専用台車を特定製造装置の所定の待機場所に待機させると共に搬入専用台車を保管庫の所定の待機場所に待機させている。このため、特定製造装置から回収要求があったとき、当該特定製造装置に対して処理済のカセットを回収する搬送台車が到着するのが遅れたり、次の未処理のカセットが搬入されるのが遅れたりすることが抑制できる。
【００４５】
すなわち、特定製造装置の機能を最大限に発揮させることができ、搬送バランスがさらに崩れることを抑制することができると共に搬送バランスを回復させることができる。したがって、各製造装置１１〜６３の稼働率が低下することを抑制することができると共に、リードタイムが増加することを抑制することができる。
【００４６】
（他の実施形態）
上記第１実施形態では、搬送台車７１〜７９として、ＯＨＴを例に挙げて説明したが、もちろんこれに限定されるものでなく、例えば、搬送台車として、工場等の床に設置されたレールを走行するＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）、工場等の床に備えられたガイドテープ等を追従するＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）、工場等の天井に設置されたレール上を走行するＯＨＴ（Over Head Shuttle）等とすることも可能である。
【００４７】
また、上記第１実施形態では、各製造装置１１〜６３に保管庫が備えられている例について説明したが、例えば、装置群（ベイ）毎に保管庫が備えられていてもよい。また、保管庫は、各製造装置１１〜６３に備えられるものに加えて、さらに装置群（ベイ）毎に備えられていてもよい。
【００４８】
さらに、上記第１実施形態では、空搬送台車制御部が各搬送台車７１〜７９と無線で信号の送受信が可能とされている例について説明したが、例えば、有線で信号の送受信が可能とされていてもよい。
【００４９】
そして、上記第１実施形態では、制御装置は、空搬送台車制御部に制御開始信号を一旦送信した後に再び制御開始信号を送信しないようにしているが、特定製造装置がある場合には毎回制御開始信号を送信するようにしてもよい。この場合は、空搬送台車制御部に、制御開始信号を既に受信しているか否か等を行う判定ステップを設ければよい。同様に、特定製造装置を変更したと判定した際にも、特定製造装置の情報に加えて制御開始信号を送信するようにしてもよい。
【００５０】
また、上記第１実施形態では、カセットに半導体ウェハを収容して搬送する搬送システムを例に挙げて説明したが、例えば、本発明を電子部品組み付け工程等の搬送システムに適用することももちろん可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０〜６０    装置群
１１〜６３    製造装置
７１〜７９    搬送台車
【図１】
0005338754.tif 000002
【図２】
0005338754.tif 000003
【図３】
0005338754.tif 000004