(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
該基板上に配列された複数の画素部と、
前記複数の画素部を駆動する駆動回路と、
前記基板上に設けられ、前記駆動回路による前記複数の画素部の駆動についての検査を行う検査回路と、
前記基板上に設けられ、前記検査の際、前記検査回路及び前記駆動回路における入出力信号が夫々入出力される複数の検査端子と、
を備え、
前記複数の検査端子は、前記基板の第１辺に沿って配列された複数の第１の検査端子と、前記第１辺に対向する前記基板の第２辺に沿って配列された複数の第２の検査端子と、を含み、
前記複数の第１の検査端子は、前記入出力信号として前記検査のための出力信号が出力される第１の一部の検査端子と、前記入出力信号としてクロック信号が入力される第１の他の検査端子とが互いに隣り合わないように配列され、
前記複数の第２の検査端子は、前記入出力信号として前記検査のための出力信号が出力される第２の一部の検査端子と、前記入出力信号としてスタート信号が入力される第２の他の検査端子とが互いに隣り合わないように配列され、
前記検査回路は、前記スタート信号を前記クロック信号に基づいて順次に転送し、
前記第１の一部の検査端子は夫々、前記第１の他の検査端子との間に、前記複数の検査端子のうち所定電位の前記入出力信号が入出力される検査端子を挟んで配列され、
前記第２の一部の検査端子は夫々、前記第２の他の検査端子との間に、前記複数の検査端子のうち所定電位の前記入出力信号が入出力される検査端子を挟んで配列されることを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記駆動回路は、走査線駆動回路を含むことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電気光学装置を具備した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置、及び該電気光学装置を備えた、例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気光学装置では、基板上に複数の画素部が形成されると共に、複数の画素部を駆動するための駆動回路、当該電気光学装置の検査に用いられる検査回路等が設けられる。更に、基板上には、駆動回路等における各種信号を入出力するための複数の端子が設けられる（例えば特許文献１参照）。複数の端子には、電気光学装置の検査の際に駆動回路や検査回路における入出力信号が入出力される検査端子が含まれ、検査端子から出力される出力信号に基づいて検査が行われる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−７９５４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような電気光学装置において、小型化に伴い複数の端子、特に検査端子の配列ピッチが狭ピッチ化されると、検査時に検査端子に対して入出力信号を入出力するためのプローブの針が、互いに隣り合う検査端子で近接する或いは近接して接触するおそれがある。この場合、出力信号が出力される一の検査端子に、比較的高周波数の入出力信号が入出力される他の検査端子が隣り合って配置されると、上述の針の接触或いは近接により、高周波数の信号の波形が出力信号の波形に混入される不具合が生じ、的確に検査を行うことが困難となる問題点が生じる。
【０００５】
本発明は、例えば上記問題点に鑑みなされたものであり、検査時に的確な検査を行うと共に容易に小型化することが可能な電気光学装置及びそのような電気光学装置を具備してなる電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様における電気光学装置は、基板と、該基板上に配列された複数の画素部と、前記複数の画素部を駆動する駆動回路と、前記基板上に設けられ、前記駆動回路による前記複数の画素部の駆動についての検査を行う検査回路と、前記基板上に設けられ、前記検査の際、前記検査回路及び前記駆動回路における入出力信号が夫々入出力される複数の検査端子と、を備え、前記複数の検査端子は、前記基板の第１辺に沿って配列された複数の第１の検査端子と、前記第１辺に対向する前記基板の第２辺に沿って配列された複数の第２の検査端子とを含み、前記複数の第１の検査端子は、前記入出力信号として前記検査のための出力信号が出力される第１の一部の検査端子と、前記入出力信号としてクロック信号が入力される第１の他の検査端子とが互いに隣り合わないように配列され、前記複数の第２の検査端子は、前記入出力信号として前記検査のための出力信号が出力される第２の一部の検査端子と、前記入出力信号としてスタート信号が入力される第２の他の検査端子とが互いに隣り合わないように配列され、前記検査回路は、前記スタート信号を前記クロック信号に基づいて順次に転送し、前記第１の一部の検査端子は夫々、前記第１の他の検査端子との間に、前記複数の検査端子のうち所定電位の前記入出力信号が入出力される検査端子を挟んで配列され、前記第２の一部の検査端子は夫々、前記第２の他の検査端子との間に、前記複数の検査端子のうち所定電位の前記入出力信号が入出力される検査端子を挟んで配列されることを特徴とする。
上記の本発明に係る電気光学装置は、基板と、該基板上に配列された複数の画素部と、前記複数の画素部を駆動させる駆動回路と、前記基板上に設けられ、前記駆動回路による前記複数の画素部の駆動についての検査を行う検査回路と、前記基板上に設けられ、前記検査の際、前記検査回路及び前記駆動回路における入出力信号が夫々入出力される複数の検査端子と、を備え、前記複数の検査端子は、前記入出力信号として前記検査のための出力信号が出力される一部の検査端子と、前記入出力信号として所定の周波数の入出力信号が入出力される他の検査端子とが互いに隣り合わないように配列され、前記一部の検査端子は夫々、前記入出力信号としてクロック信号が入力される前記他の検査端子とは互いに隣り合わないように配列され、前記検査回路は、前記入出力信号として入力されるスタート信号を前記クロック信号に基づいて順次に転送し、前記一部の検査端子は夫々、前記スタート信号が入力される前記他の検査端子とは互いに隣り合わないように配列され、前記一部の検査端子は夫々、前記他の検査端子との間に、前記複数の検査端子のうち所定電位の前記入出力信号が入出力される検査端子を挟んで配列されることを特徴とする。
上記の本発明に係る前記複数の検査端子は、前記基板の第１辺に沿った複数の第１の検査端子と、前記第１辺に対向する前記基板の第２辺に沿った複数の第２の検査端子とを含むことを特徴とする。
本発明の別の一態様の前記駆動回路は、走査線駆動回路を含むことを特徴とする。
上記の本発明に係る電気光学装置は上記課題を解決するために、基板と、該基板上に配列された複数の画素部と、前記複数の画素部を駆動させる駆動回路と、前記基板上に設けられ、前記駆動回路による前記複数の画素部の駆動についての検査を行う検査回路と、前記基板上に設けられ、前記検査の際、前記検査回路及び前記駆動回路における入出力信号が夫々入出力される複数の検査端子とを備え、前記複数の検査端子は、前記入出力信号として前記検査のための出力信号が出力される一部の検査端子と、前記入出力信号として所定の周波数の入出力信号が入出力される他の検査端子とが互いに隣り合わないように配列される。
【０００７】
本発明の電気光学装置によれば、その駆動時に駆動回路により複数の画素部が駆動されることにより画像表示動作が典型的にはアクティブマトリクス駆動方式により行われる。
【０００８】
本発明の電気光学装置は、このような駆動回路による画素部の駆動について検査するための検査回路が設けられ、複数の検査端子に当該検査を行うための各種の入出力信号が入出力される。例えば、複数の検査端子には、入力信号として検査回路を駆動させるための信号（後述するクロック信号やスタート信号等）が入力されたり、出力信号として検査回路や駆動回路から検査のために生成される信号が出力される。検査回路や駆動回路から検査端子に出力された信号に基づいて、駆動回路による画素部の駆動に係る検査が行われる。尚、検査回路及び複数の検査端子は複数の画素部と同一の基板上に設けられ、これらと同一の基板上に駆動回路は少なくとも部分的に設けられる。
【０００９】
複数の検査端子は、基板上において基板の少なくとも一辺に沿って配列される。本発明では、複数の検査端子のうち、上述したように検査のための出力信号が出力される一部の検査端子は夫々、所定の周波数の入出力信号が入出力される他の検査端子とは隣り合わないように配列される。ここに、「所定の周波数の入出力信号」とは、検査端子に入力される入力信号及び出力信号であって、高電位レベル（「Ｈレベル」）及び高電位レベルよりも低い低電位レベル（「Ｌレベル」）の２値的なレベルをとる、即ちＨレベル及びＬレベルのいずれかで周期的に電位が変動する信号をいう。
【００１０】
具体的には、出力信号が出力される一部の検査端子は夫々、所定の周波数の入力信号が入力される他の検査端子とは隣り合わないように配列される。よって、一部の検査端子を夫々、他の検査端子とは離間させて配置することができる。
【００１１】
ここに、「所定の周波数の入力信号」が、例えば検査回路を駆動するためのクロック信号等の高周波数の信号である場合には、一部の検査端子に対して当該クロック信号が入力される他の検査端子が隣り合う場合には、端子間又は検査プローブ間の電気的或いは電磁的な相互作用等により、一部の検査端子において検査プローブにより検出する信号に、高周波数のクロック信号等の波形がノイズとして混入し易くなる傾向がある。
【００１２】
本発明では、一部の検査端子と、他の検査端子とを離間させて配置させて、一部の検査端子からの出力信号を検出するための検査プローブと、他の検査端子に所定の周波数の入力信号を入力するための検査プローブとが近接する或いは近接して接触するのを防止することができる。従って、一部の検査端子において検出される出力信号に、他の検査端子に入力される所定の周波数の入力信号の波形がノイズとして混入されるのを防止することが可能となる。
【００１３】
同様に、出力信号が出力される一部の検査端子は夫々、所定の周波数の出力信号が出力される他の検査端子とは隣り合わないように配列される。この場合において、一部の検査端子について、一の検査端子の出力信号と、他の検査端子の所定の周波数の出力信号とを夫々検出するための検査プローブが互いに近接する或いは近接して接触するのを防止することができる。従って、一部の検査端子の各々について、検出される出力信号に、他の検査端子から出力される所定の周波数の出力信号の波形がノイズとして混入されるのを防止することが可能となる。
【００１４】
従って、以上説明した電気光学装置によれば、小型化に伴い複数の検査端子の配列ピッチが狭ピッチ化されても、一部の検査端子からの出力信号に基づいて、的確に検査を行うことが可能となる。
【００１５】
本発明の電気光学装置の一態様では、前記一部の検査端子は夫々、前記入出力信号としてクロック信号が入力される前記他の検査端子とは互いに隣り合わないように配列される。
【００１６】
この態様によれば、クロック信号は検査回路や駆動回路における検査時の駆動周波数を規定し、比較的高周波数の信号として他の検査端子に入力される。
【００１７】
この態様では、検査のための出力信号が出力される一部の検査端子と、クロック信号が入力される他の検査端子とを離間させて配置させて、一部の検査端子における検査プローブと、他の検査端子における検査プローブとが近接する或いは近接して接触するのを防止することができる。従って、一部の検査端子において検出される出力信号に、他の検査端子に入力される比較的高周波数のクロック信号の波形がノイズとして混入されるのを防止することが可能となる。
【００１８】
この、他の検査端子にクロック信号が入力される態様では更に、前記検査回路は、前記入出力信号として入力されるスタート信号を前記クロック信号に基づいて順次に転送し、前記一部の検査端子は夫々、前記スタート信号が入力される前記他の検査端子とは互いに隣り合わないように配列される。
【００１９】
この態様では、検査回路を駆動させるための信号として、他の検査端子には、クロック信号及びスタート信号が入力される。スタート信号は、周期的に（例えば後に詳述するように１水平期間毎に）ＬレベルからＨレベルに電位が変動する信号であり、クロック信号よりは低周波数の信号として入力される。
【００２０】
この態様では、クロック信号に加えて、スタート信号が入力される他の検査端子についても、検査のための出力信号が出力される一部の検査端子に対して離間させて配置させることができる。従って、上述したクロック信号についてと同様に、一部の検査端子において検出される出力信号に、スタート信号の波形がノイズとして混入されるのを防止することが可能となる。
【００２１】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記一部の検査端子は夫々、前記他の検査端子との間に、前記複数の検査端子のうち所定電位の前記入出力信号が入出力される前記検査端子を挟んで配列される。
【００２２】
この態様によれば、所定電位の入出力信号として、例えば検査回路や駆動回路を駆動するための電源等が、検査時に検査端子に入力される。このような検査端子を挟んで、検査のための出力信号が出力される一部の検査端子が夫々、所定の周波数の信号が入出力される他の検査端子に対して配列されることにより、一部の検査端子の各々について他の検査端子との間の電磁的或いは電気的な相互作用を当該検査端子（即ち電源等が供給される検査端子）によりシールドすることが可能となる。
【００２３】
従って、この態様によれば、より確実に一部の検査端子において検出される出力信号に、他の検査端子に入出力される所定の周波数の信号の波形がノイズとして混入されるのを防止することが可能となる。
【００２４】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記基板を複数含む大型基板を切断することにより製造されると共に、前記大型基板において互いに隣接する前記基板では、一方における前記一部の検査端子の各々が他方における前記他の検査端子と互いに隣り合わないように配置される。
【００２５】
この態様によれば、電気光学装置の製造の際、大型基板における各基板上に複数の画素部、駆動回路の少なくとも一部、及び検査回路と検査端子とを形成し、検査を行った後に、個々の基板を切断する。
【００２６】
従って、大型基板上における検査においても、上述した電気光学装置の検査と同様に、大型基板において隣接する基板で、一方の基板上の一部の検査端子において検出される出力信号に、他方の基板上の他の検査端子に入出力される所定の周波数の信号の波形がノイズとして混入されるのを防止することが可能となる。
【００２７】
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置（但し、その各種態様も含む）を具備する。
【００２８】
本発明の電子機器によれば、電気光学装置の的確な検査が可能となるため、高品質な表示を行うと共に信頼性を向上させ、更には容易に小型化することが可能な、投射型表示装置、テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置等も実現することも可能である。
【００２９】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態では、本発明の電気光学装置の一例であるアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。
【００３１】
先ず、本実施形態に係る液晶装置の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここに図１は、対向基板側から見た液晶装置の平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【００３２】
図１及び図２において、本実施形態に係る液晶装置１００は、対向配置された素子基板１０と、対向基板２０とを備えている。素子基板１０は、対向基板２０及び素子基板１０を対向配置した状態で、平面的に見て（即ち、図１において）素子基板１０の少なくとも一辺が、対応する対向基板２０の一辺から張り出す或いは露出するように、対向基板２０と比較して大きい平面サイズで形成されている。
【００３３】
素子基板１０と対向基板２０との間には液晶層５０が封入されており、素子基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域５２ａに設けられたシール材５２により相互に接着されている。これにより、素子基板１０及び対向基板２０間において、シール材５２によって囲まれた画像表示領域１０ａに液晶層５０が封入される。
【００３４】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいて素子基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材５２中には、素子基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。
【００３５】
図１において、シール材５２が配置されたシール領域５２ａの内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、素子基板１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。尚、本実施形態においては、画像表示領域１０ａの周辺を規定する周辺領域が存在する。言い換えれば、本実施形態では、素子基板１０の中心から見て、額縁遮光膜５３より以遠が周辺領域として規定されている。
【００３６】
周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域５２ａの外側に位置する領域には、画像信号が供給される画像信号端子などを含む外部回路接続端子１０２が素子基板１０の、対向基板２０から張り出した一辺に沿って設けられている。即ち、図１中で素子基板１０の下縁に沿って横に長手状に延びる張出領域に、複数の外部回路接続端子１０２が配列されている。
【００３７】
この一辺（即ち、素子基板１０における複数の外部回路接続端子１０２が配列された一辺）に沿ったシール領域５２ａよりも内側に、デマルチプレクサ７が額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。また、走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺に沿ったシール領域５２ａの内側に、額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。更に、検査回路１６０は、この一辺に対向する辺に沿ったシール領域５２ａよりも内側に、額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。加えて、検査回路１６０と電気的に接続された検査端子１０３が、走査線駆動回路１０４が配置された素子基板１０の２辺の両方に沿って、該２辺の各々に沿ったシール領域５２ａよりも外側に設けられている。即ち、図１中で素子基板１０の右縁及び左縁の各々に沿って縦に伸びる帯状領域に、複数の検査端子１０３が配列されている。
【００３８】
素子基板１０上には、対向基板２０の４つのコーナー部に対向する領域に、両基板間を上下導通材１０７で接続するための上下導通端子１０６が配置されている。これらにより、素子基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。素子基板１０上には、外部回路接続端子１０２と、デマルチプレクサ７、走査線駆動回路１０４、上下導通端子１０６等とを電気的に接続するための引回配線９０、及び検査端子１０３と、検査回路１６０、走査線駆動回路１０４等とを電気的に接続するための引回配線９１が形成されている。
【００３９】
図２において、素子基板１０上には、駆動素子である画素スイッチング用ＴＦＴや走査線、データ線等の配線が作り込まれた積層構造が形成されている。画像表示領域１０ａには、画素スイッチング用ＴＦＴや走査線、データ線等の配線の上層に画素電極９ａが設けられている。画素電極９ａ上には、配向膜が形成されている。他方、対向基板２０における素子基板１０との対向面上に、遮光膜２３が形成されている。遮光膜２３上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等の透明材料からなる対向電極２１が複数の画素電極９ａと対向して形成されている。対向電極２１上には配向膜が形成されている。液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
【００４０】
尚、対向基板２０の投射光が入射する側及び素子基板１０の出射光が出射する側には各々、例えば、ＴＮ（ツイステッドネマティック）モード、ＳＴＮ（スーパーＴＮ）モード、Ｄ−ＳＴＮ（ダブル−ＳＴＮ）モード等の動作モードや、ノーマリーホワイトモード／ノーマリーブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板などが所定の方向で配置される。
【００４１】
次に、本実施形態に係る液晶装置の電気的な構成について、図３及び図４を参照して説明する。ここに図３は、本実施形態に係る液晶装置の電気的な構成を示すブロック図である。図４は、本実施形態に係る液晶装置の画素部の等価回路図である。
【００４２】
図３において、液晶装置１００は、素子基板１０上に、デマルチプレクサ７、走査線駆動回路１０４及び検査回路１６０を備えている。素子基板１０上の外部回路接続端子１０２のうち画像信号端子１０２ｖに外部回路としての画像信号供給回路４００が電気的に接続されている。尚、本発明に係る「駆動回路」は、一例としてデマルチプレクサ７及び走査線駆動回路１０４、更には画像信号供給回路４００を含んでなる。
【００４３】
素子基板１０上の画像表示領域１０ａには、１０８８行の走査線１１ａが行方向（即ち、Ｘ方向）に延在するように設けられ、また、８本毎にグループ化された１９８４（＝２４８×８）列のデータ線６ａが、列方向（即ち、Ｙ方向）に延在するように、且つ、各走査線１１ａと互いに電気的な絶縁を保つように、設けられている。尚、走査線１１ａ及びデータ線６ａの本数はそれぞれ１０８８本及び１９８４本に限定されるものではない。１グループを構成するデータ線数は、本実施形態では「８」としたが、「２」以上であればよい。
【００４４】
画素部６００は、１０８８本の走査線１１ａと１９８４本のデータ線６ａとの交差に対応して、それぞれ配列されている。従って、本実施形態では、画素部６００は、縦１０８８行×横１９８４列で、所定の画素ピッチでマトリクス状に配列することになる。
【００４５】
図４に示すように、画素部６００は、画素スイッチング用ＴＦＴ３０、液晶素子７２及び蓄積容量７０を備えている。
【００４６】
画素スイッチング用ＴＦＴ３０は、ソースがデータ線６ａに電気的に接続され、ゲートが走査線１１ａに電気的に接続され、ドレインが後述する液晶素子７２の画素電極９ａに電気的に接続されている。画素スイッチング用ＴＦＴ３０は、走査線駆動回路１０４から供給される走査信号によってオンオフが切り換えられる。
【００４７】
液晶素子７２は、画素電極９ａ、対向電極２１並びに画素電極９ａ及び対向電極２１間に狭持された液晶から構成されている。液晶素子７２において、データ線６ａ及び画素電極９ａを介して液晶に書き込まれた所定レベルのデータ信号は、対向電極２１との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として液晶装置１００からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射する。
【００４８】
蓄積容量７０は、保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極９ａと対向電極との間に形成される液晶容量と並列に付加されている。
【００４９】
以上のような画素部６００が、画像表示領域１０ａにマトリクス状に配列されているので、アクティブマトリクス駆動が可能となっている。
【００５０】
再び図３において、本実施形態では、１グループを構成する８列のデータ線６ａを区別するために、右から順にそれぞれａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ系列と呼ぶ場合がある。詳細には、ａ系列とは１、９、１７、・・・、１９７７列目のデータ線６ａであり、ｂ系列とは２、１０、１８、・・・、１９７８列目のデータ線６ａであり、ｃ系列とは３、１１、１９、・・・、１９７９列目のデータ線６ａであり、ｄ系列とは４、１２、２０、・・・、１９８０列目のデータ線６ａであり、ｅ系列とは５、１３、２１、・・・、１９８１列目のデータ線６ａであり、ｆ系列とは６、１４、２２、・・・、１９８２列目のデータ線６ａであり、ｇ系列とは７、１５、２３、・・・、１９８３列目のデータ線６ａであり、ｈ系列とは８、１６、２４、・・・、１９８４列目のデータ線６ａである。
【００５１】
走査線駆動回路１０４は、シフトレジスタを有しており、１、２、３、・・・、１０８８行目の走査線１１ａに、走査信号Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、・・・、Ｇ１０８８を供給する。詳細には、走査線駆動回路１０４は、１フレームの期間にわたって１、２、３、・・・、１０８８行目の走査線１１ａを順番に選択するとともに、選択した走査線への走査信号を選択電圧に相当するＨレベルとし、それ以外の走査線への走査信号を非選択電圧に相当するＬレベルとする。
【００５２】
画像信号供給回路４００は、素子基板１０とは別体構成であり、表示動作の際には、画像信号端子１０２ｖを介して素子基板１０と接続される。画像信号供給回路４００は、走査線駆動回路１０４によって選択された走査線１１ａと、各グループに属する８列のデータ線６ａのうち、デマルチプレクサ７によって選ばれるデータ線６ａとに対応する画素電極９ａに対し、当該画素電極９ａが含まれる画素の階調に応じた電圧の画像信号を出力する。画像信号供給回路４００から画像信号端子１０２ｖに供給された画像信号は、引回配線９０（図１参照）に含まれる画像信号線３００を介してデマルチプレクサ７へ供給される。本実施形態では、画像信号線３００は、好ましくは低抵抗部３１０と、低抵抗部３１０よりも高抵抗である高抵抗部３２０とを有しており、デマルチプレクサ７が静電破壊されてしまうことを低減或いは防止できる。
【００５３】
一方、検査時においては、画像信号端子１０２ｖには、画像信号供給回路４００の代わりに、検査用画像信号供給回路が接続されて、検査動作に合わせた検査用の画像信号が供給される。
【００５４】
尚、本実施形態では、上述したように、データ線６ａの列数は「１９８４」であり、これらが８列毎にグループ化されているので、画像信号端子１０２ｖの個数は「２４８」である。
【００５５】
デマルチプレクサ７は、データ線６ａ毎に設けられたトランジスタ７１を含んで構成されている。ここで、トランジスタ７１はｎチャネル型であり、各ドレインはデータ線６ａの一端に電気的に接続されている。同一グループに属するデータ線６ａに対応する８個のトランジスタ７１のソースは、当該グループに対応する画像信号線３００と電気的に共通接続されている。
【００５６】
即ち、ｍ番目（但し、ｍは１以上２４８以下の整数）のグループは、ａ系列の（８ｍ−７）列目、ｂ系列の（８ｍ−６）列目、ｃ系列の（８ｍ−５）列目、ｄ系列の（８ｍ−４）列目、ｅ系列の（８ｍ−３）列目、ｆ系列の（８ｍ−２）列目、ｇ系列の（８ｍ−１）列目及びｈ系列の（８ｍ）列目のデータ線６ａから構成されるので、これら８列のデータ線６ａに対応するトランジスタ７１のソースは電気的に共通接続されて、画像信号ＶＩＤ（ｍ）が供給される。（８ｍ−７）列目のデータ線６ａに対応するトランジスタ７１のゲートには、制御信号線７００を介して制御信号Ｓｅｌ１が供給され、同様に（８ｍ−６）列目、（８ｍ−５）列目、（８ｍ−４）列目、（８ｍ−３）列目、（８ｍ−２）列目、（８ｍ−１）列目及び（８ｍ）列目のデータ線６ａに対応するトランジスタ７１のゲートには、引回配線９０（図１参照）に含まれる制御信号線７００を介して制御信号Ｓｅｌ２、Ｓｅｌ３、Ｓｅｌ４、Ｓｅｌ５、Ｓｅｌ６、Ｓｅｌ７及びＳｅｌ８が供給される。制御信号Ｓｅｌ１、Ｓｅｌ２、・・・、Ｓｅｌ８は、図示しない外部回路としてのタイミング制御回路から外部回路接続端子１０２のうち制御信号端子１０２ｓを介して制御信号線７００に供給される。本実施形態では、制御信号線７００は、好ましくは画像信号線３００と概ね同様に、低抵抗部７１０と、低抵抗部７１０よりも高抵抗である高抵抗部７２０とを有しており、デマルチプレクサ７が静電破壊されてしまうことを低減或いは防止できる。
【００５７】
図３において、検査回路１６０は、制御回路１６２、及びデータ線６ａ毎に設けられたトランジスタであるＴＦＴ１６４を含んで構成されている。
【００５８】
制御回路１６２は、シフトレジスタを含んで構成されている。制御回路１６２には、検査時において、本発明に係る「スタート信号」の一例である転送開始パルスＤＸ、本発明に係る「クロック信号」の一例であるクロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢ、転送方向制御信号ＤＩＲＸ、電源電位ＶＤＤＸが、外部に設けられた検査制御回路（図示省略）から検査端子１０３（図１参照）のうち検査端子１０３ｉ、及び引回配線９１（図１参照）に含まれる検査用信号線８１０を介して供給される。制御回路１６２は、検査時において、転送開始パルスＤＸを、転送方向制御信号ＤＩＲＸ並びにクロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢに従って順次シフトして、転送パルスＸ１、Ｘ２、・・・、Ｘ２４８を後述するＴＦＴ１６４の各グループに対応して出力する。本実施形態では、検査用信号線８１０は、好ましくは低抵抗部８１１と、低抵抗部８１１よりも高抵抗である高抵抗部８１２とを有しており、検査回路１６０（より具体的には、制御回路１６２に含まれるＴＦＴ）が静電破壊されてしまうことを低減或いは防止できる。
【００５９】
ＴＦＴ１６４は、ｎチャネル型のＴＦＴであり、各ソースは、データ線６ａの他端（即ち、データ線６ａにおけるデマルチプレクサ７が電気的に接続された一端とは反対側である他端）に電気的に接続されている。同一グループに属するデータ線６ａに対応する８個のＴＦＴ１６４のゲートは電気的に共通接続されており、制御回路１６２から当該グループに対応する転送パルスＸｍが供給される。
【００６０】
即ち、ｍ番目のグループを構成する（８ｍ−７）列目、（８ｍ−６）列目、（８ｍ−５）列目、（８ｍ−４）列目、（８ｍ−３）列目、（８ｍ−２）列目、（８ｍ−１）列目及び（８ｍ）列目のデータ線６ａに対応するＴＦＴ１６４のゲートには、制御回路１６２による転送パルスＸｍが共通に供給される。
【００６１】
１番目から２４８番目までのグループにおいてａ系列のデータ線６ａに対応するＴＦＴ１６４のドレインは、グループを構成するデータ線６ａの数と同じ本数である８本の検査用信号線８２０のうち、検査信号Ｃｘ１として読み出す検査用信号線８２０に電気的に共通接続されている。同様に、各グループにおいて、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ及びｈ系列のデータ線６ａに対応するＴＦＴ１６４のドレインは、８本の検査用信号線８２０のうち、検査信号Ｃｘ２、Ｃｘ３、Ｃｘ４、Ｃｘ５、Ｃｘ６、Ｃｘ７及びＣｘ８として読み出す検査用信号線８２０に電気的に共通接続されている。検査用信号線８２０は、引回配線９１（図１参照）に含まれ、検査端子１０３（図１参照）のうち検査端子１０３ｏに電気的に接続されている。本実施形態では、検査用信号線８２０は、好ましくは検査用信号線８１０と概ね同様に、低抵抗部８２１と、低抵抗部８２１よりも高抵抗である高抵抗部８２２とを有しており、検査回路１６０（より具体的には、ＴＦＴ１６４）が静電破壊されてしまうことを低減或いは防止できる。
【００６２】
上述した検査回路１６０によって、検査時には、例えば、データ線６ａのグループ毎に制御回路１６２から転送パルスＸ１、Ｘ２、・・・、Ｘ２４８を出力して、各グループに対応するＴＦＴ１６４をオン状態とすることで、予め所定電圧の検査用の画像信号が供給されたデータ線６ａの電位を、８本の検査用信号線８２０を介して８個の検査端子１０３ｏに出力する。そして、８個の検査端子１０３ｏに電気的に接続された外部の判定手段によって８本の検査用信号線８２０が所定の電位であるか否かを判定することで、デマルチプレクサ７や各データ線６ａの良否を判定する検査が行われる。尚、このような検査は、後に説明するが、マザー基板上に素子基板１０の側における各種の構成要素が形成された状態で（即ち、マザー基板が液晶装置１００毎に分断される前に）行われる。
【００６３】
検査用端子１０３（図１参照）のうち検査端子１０３ｙは、検査時において、走査線駆動回路１０４から出力される検査用の出力信号を、検査信号ＹＥＰＬ若しくはＹＥＰＲとして読み出すための検査用端子であり、引回配線９１（図１参照）に含まれる検査用信号線８３０を介して走査線駆動回路１０４（より具体的には、走査線駆動回路１０４の有するシフトレジスタの最終段の出力線）と電気的に接続されている。検査時において、検査端子１０３ｙをプローブすることで、走査線駆動回路１０４を検査することができる。本実施形態では、検査用信号線８３０は、好ましくは、低抵抗部８３１と、低抵抗部８３１よりも高抵抗である高抵抗部８３２とを有しており、走査線駆動回路１０４（より具体的には、走査線駆動回路１０４に含まれるＴＦＴ）が静電破壊されてしまうことを低減或いは防止できる。
【００６４】
尚、検査端子１０３（図１参照）のうち検査端子１０３ｎｃは、未使用端子である。検査端子１０３ｎｃは、検査端子１０３ｉと同様に、検査用信号線８１０を介して制御回路１６２と電気的に接続されている。
【００６５】
ここで、上述のように構成された液晶装置の動作について、図３を参照して説明する。
【００６６】
走査線駆動回路１０４は、ある１フレーム（第ｎフレーム）の期間にわたって走査信号Ｇ１、Ｇ２、・・・、Ｇ１０８８を１水平期間毎に順次排他的にＨレベル（即ち、選択電圧）とする。
【００６７】
ここで、１水平期間では、タイミング制御回路から供給される制御信号Ｓｅｌ１、Ｓｅｌ２、・・・、Ｓｅｌ８は、この順番で排他的にＨレベルとなり、この供給に合わせて画像信号供給回路４００は、画像信号ＶＩＤ１、ＶＩＤ２、ＶＩＤ３、・・・、ＶＩＤ２４８を供給する。
【００６８】
詳細には、画像信号供給回路４００は、ｉ行目の走査信号ＧｉがＨレベルとなる期間において、制御信号Ｓｅｌ１がＨレベルとなったとき、ｉ行目の走査線１１ａとａ系列のデータ線６ａとの交差に対応する画素の階調に応じた電圧だけ対向電極電位ＬＣＣＯＭに対して高位または低位の画像信号ＶＩＤ１、ＶＩＤ２、ＶＩＤ３、・・・、ＶＩＤ２４８を、１、２、３、・・・、２４８番目のグループに対応させて一斉に出力する。この際、制御信号Ｓｅｌ１だけがＨレベルであるので、ａ系列のデータ線６ａが選択される（即ち、ａ系列のデータ線６ａに対応するトランジスタ７１だけがオンする）結果、画像信号ＶＩＤ１、ＶＩＤ２、ＶＩＤ３、・・・、ＶＩＤ２４８は、それぞれａ系列（１、９、１７、・・・、１９７７列目）のデータ線６ａに供給される。一方、走査信号ＧｉがＨレベルであると、ｉ行目に位置する画素のすべてにおいて、画素スイッチング用ＴＦＴ３０がオン（導通）状態となるので、ａ系列のデータ線６ａに供給された画像信号ＶＩＤ１、ＶＩＤ２、ＶＩＤ３、・・・、ＶＩＤ２４８は、それぞれｉ行１列、ｉ行９列、ｉ行１７列、・・・、ｉ行１９７７列の画素電極９ａに印加されることになる。
【００６９】
次に、画像信号供給回路４００は、制御信号Ｓｅｌ２がＨレベルとなったとき、今度はｉ行目の走査線１１ａとｂ系列のデータ線６ａとの交差に対応する画素の階調に応じた電圧の画像信号ＶＩＤ１、ＶＩＤ２、ＶＩＤ３、・・・、ＶＩＤ２４８を、１、２、３、・・・、２４８番目のグループに対応させて一斉に出力する。この際、制御信号Ｓｅｌ２だけがＨレベルであるため、ｂ系列のデータ線６ａが選択される結果、画像信号ＶＩＤ１、ＶＩＤ２、ＶＩＤ３、・・・、ＶＩＤ２４８は、それぞれｂ系列（２、１０、１８、・・・、１９７８列目）のデータ線６ａに供給されて、それぞれｉ行２列、ｉ行１０列、ｉ行１８列、・・・、ｉ行１９７８列の画素電極９ａに印加されることになる。
【００７０】
同様に、画像信号供給回路４００は、ｉ行目の走査信号ＧｉがＨレベルとなる期間において、制御信号Ｓｅｌ３がＨレベルとなったときには、ｉ行目の走査線１１ａとｃ系列のデータ線６ａとの交差に対応する画素、制御信号Ｓｅｌ４がＨレベルとなったときには、ｉ行目の走査線１１ａとｄ系列のデータ線６ａとの交差に対応する画素、制御信号Ｓｅｌ５がＨレベルとなったときには、ｉ行目の走査線１１ａとｅ系列のデータ線６ａとの交差に対応する画素、制御信号Ｓｅｌ６がＨレベルとなったときには、ｉ行目の走査線１１ａとｆ系列のデータ線６ａとの交差に対応する画素、制御信号Ｓｅｌ７がＨレベルとなったときには、ｉ行目の走査線１１ａとｇ系列のデータ線６ａとの交差に対応する画素、制御信号Ｓｅｌ８がＨレベルとなったときには、ｉ行目の走査線１１ａとｈ系列のデータ線６ａとの交差に対応する画素、の階調に応じた電圧の画像信号ＶＩＤ１、ＶＩＤ２、ＶＩＤ３、・・・、ＶＩＤ２４８を、それぞれ１、２、３、・・・、２４８番目のグループに対応させて一斉に出力する。これにより、ｉ行目の各画素の階調に応じた画像信号ＶＩＤ１、ＶＩＤ２、ＶＩＤ３、・・・、ＶＩＤ２４８が、ｃ系列（３、１１、１９、・・・、１９７９列目）のデータ線６ａに供給されて、それぞれｉ行３列、ｉ行１１列、ｉ行１９列、・・・、ｉ行１９７９列の画素電極９ａに印加され、引き続き、ｄ系列（４、１２、２０、・・・、１９８０列目）のデータ線６ａに供給されて、それぞれｉ行４列、ｉ行１２列、ｉ行２０列、・・・、ｉ行１９８０列の画素電極９ａに印加され、引き続き、ｅ系列（５、１３、２１、・・・、１９８１列目）のデータ線６ａに供給されて、それぞれｉ行５列、ｉ行１３列、ｉ行２１列、・・・、ｉ行１９８１列の画素電極９ａに印加され、引き続き、ｆ系列（６、１４、２２、・・・、１９８２列目）のデータ線６ａに供給されて、それぞれｉ行６列、ｉ行１４列、ｉ行２２列、・・・、ｉ行１９８２列の画素電極９ａに印加され、引き続き、ｇ系列（７、１５、２３、・・・、１９８３列目）のデータ線６ａに供給されて、それぞれｉ行７列、ｉ行１５列、ｉ行２３列、・・・、ｉ行１９８３列の画素電極９ａに印加され、引き続き、ｈ系列（８、１６、２４、・・・、１９８４列目）のデータ線６ａに供給されて、それぞれｉ行８列、ｉ行１６列、ｉ行２４列、・・・、ｉ行１９８４列の画素電極９ａに印加される。
【００７１】
これにより、ｉ行目の画素に対して、階調に応じた画像信号の電圧を書き込む動作が完了する。尚、画素電極９ａに印加された電圧は、走査信号ＧｉがＬレベルになっても、液晶容量によって次の第（ｎ＋１）フレームの書き込みまで保持されることになる。
【００７２】
次に、図１又は図３における検査端子１０３の配置について、図５及び図６を参照して説明する。ここに図５は、本実施形態に係る液晶装置が、マザー基板上で製造されることを説明するための部分平面図である。図６は、図５の点線Ａ０によって囲まれる一部の構成を示す部分拡大平面図である。
【００７３】
図５に示すように、本実施形態に係る液晶装置１００は、製造プロセスにおいて、本発明に係る「大型基板」の一例であるマザー基板Ｓ上で一挙に複数形成される形態がとられるものとする。即ち、マザー基板Ｓの上において、液晶装置１００が縦横それぞれにマトリクス状に配列されるように形成され、各液晶装置１００においては、それぞれ、図１から図４を参照して説明したような各種の構成要素（画素スイッチング用ＴＦＴ３０や走査線１１ａ、データ線６ａ等、或いは走査線駆動回路１０４やデマルチプレクサ７、検査回路１６０等）が形成されることになるのである。
【００７４】
ちなみに、図５において示されるマザー基板Ｓは、図１及び図２に示される素子基板１０を複数含んでなる。即ち、図５に示すマザー基板Ｓ上には、素子基板１０の側における各種の構成要素が形成され、これとは別に、図５には図示しない石英基板又はガラス基板の上に、対向電極２１、配向膜等々が形成されて、対向基板２０が複数形成され、各対向基板２０は個別に分断される。そして、マザー基板Ｓに形成された素子基板１０の各々に、対向基板２０を個別に対向させて、一対の素子基板１０及び対向基板２０について、個別に、シール材５２によって貼り合わせて貼り合せた後、素子基板１０及び対向基板２０間に液晶を封入する。その後、マザー基板Ｓを分断することによって、図１及び図２に示したような各個別の液晶装置１００が製造されることになる。
【００７５】
ここで、図５及び図６に示すように、マザー基板Ｓにおいて各素子基板１０の外周に沿って切断領域Ｃｔが設けられる。そして、マザー基板Ｓは、切断領域Ｃｔに対してダイシング或いはスクライビングが施されることにより分断される。
【００７６】
図６において、複数の検査端子１０３（即ち、検査端子１０３ｉ、１０３ｏ、１０３ｎｃ及び１０３ｙ）は、素子基板１０上の周辺領域のうちシール領域５２ａよりも外側に、素子基板１０の一辺に沿って配列されている。検査端子１０３は、一例として図１を参照して上述したように素子基板１０における画像表示領域１０ａの両側の各々に配置されるので、マザー基板Ｓにおいて互いに隣り合う素子基板１０の各々に形成された検査端子１０３は、切断領域Ｃｔを挟んで互いに隣り合うことになる。
【００７７】
尚、図６中では、左側の素子基板１０における画像表示領域１０ａの側に配置された８個の検査端子１０３と、右側の素子基板１０における画像表示領域１０ａの左側に配置された８個の検査端子１０３とが、切断領域Ｃｔを挟んで互いに隣り合っている。
【００７８】
本実施形態では特に、図３又は図６に示すように、素子基板１０上において、複数の検査端子１０３は、既に説明したように検査のための出力信号が出力される一部の検査端子１０３ｏが夫々、所定の周波数の信号、本実施形態では制御回路１６２におけるクロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢ、並びに転送開始パルスＤＸが入力される他の検査端子１０３ｉの各々とは隣り合わないように配列される。
【００７９】
例えば図１又は図３において、素子基板１０の２辺のうちの一方に沿って配列された検査端子１０３（図６においては左側の素子基板１０における８個の検査端子１０３）について、上述したように検査時に、ａ系列、ｂ系列、ｃ系列及びｄ系列のデータ線６ａの電位が検査信号Ｃｘ１〜Ｃｘ４として検査用信号線８２０を介して出力される４個の検査端子１０３ｏと、走査線駆動回路１０４から検査信号ＹＥＰＲが出力される検査端子１０３ｙとは夫々、クロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢが入力される検査端子１０３ｉとは隣り合わないように配置される。つまり、４個の検査端子１０３ｏ及び検査端子１０３ｉのいずれもクロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢに隣り合わないように配置される。
【００８０】
よって、検査信号Ｃｘ１〜Ｃｘ４が出力される４個の検査端子１０３ｏ及び検査信号ＹＥＰＲが出力される検査端子１０３ｙの５個の検査端子を夫々、クロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢが入力される検査端子１０３ｉと離間させて配列することができる。
【００８１】
ここに、クロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢは、検査回路１６０における制御回路１６２の駆動周波数を規定し、比較的高周波数の信号（即ち、周期的にＨレベル及びＬレベルのいずれかの電位に変動する）として検査端子１０３ｉに入力される。従って、検査信号Ｃｘ１〜Ｃｘ４が出力される４個の検査端子１０３ｏ及び検査信号ＹＥＰＲが出力される検査端子１０３ｙの各々が、クロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢが入力される検査端子１０３ｉと隣り合う場合には、端子間又は検査プローブ間の電気的或いは電磁的な相互作用等により、５個の検査端子１０３ｏ及び１０３ｙにおいて検査プローブにより検出する信号に、高周波数のクロック信号ＣＬＸ又は反転クロック信号ＣＬＸＢの波形がノイズとして混入し易くなる傾向がある。
【００８２】
よって、上述したように５個の検査端子１０３ｏ及び１０３ｙを、クロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢが入力される検査端子１０３ｉの各々と離間させて、検査信号Ｃｘ１〜Ｃｘ４及びＹＥＰＲを検出するための検査プローブと、クロック信号ＣＬＸ又は反転クロック信号ＣＬＸＢを入力するための検査プローブとが近接する或いは近接して接触するのを防止することができる。
【００８３】
また、５個の検査端子１０３ｏ及び１０３ｙは、クロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢが入力される検査端子１０３ｉとの間に、制御回路１６２における転送方向制御信号ＤＩＲＸが入力される検査端子１０３ｉを挟んで配列される。これにより、５個の検査端子１０３ｏ及び１０３ｙについて夫々、クロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢが入力される検査端子１０３ｉの各々との間の電磁的或いは電気的な相互作用を、制御信号ＤＩＲＸが入力される検査端子１０３ｉによりシールドすることが可能となる。
【００８４】
従って、以上のような構成によれば、検出される検査信号Ｃｘ１〜Ｃｘ４及びＹＥＰＲに、クロック信号ＣＬＸ又は反転クロック信号ＣＬＸＢの波形がノイズとして混入されるのをより確実に防止することが可能となる。
【００８５】
次に、図１又は図３において、素子基板１０の２辺のうちの他方に沿って配列された検査端子１０３（図６においては右側の素子基板１０における８個の検査端子１０３）について、上述したように検査時に、ｅ系列、ｆ系列、ｇ系列及びｈ系列のデータ線６ａの電位が検査信号Ｃｘ５〜Ｃｘ８として検査用信号線８２０を介して出力される４個の検査端子１０３ｏと、走査線駆動回路１０４から検査信号ＹＥＰＬが出力される検査端子１０３ｙとは夫々、転送開始パルスＤＸが入力される検査端子１０３ｉとは隣り合わないように配置される。
【００８６】
また、これら５個の検査端子１０３ｏ及び１０３ｙは、転送開始パルスＤＸが入力される検査端子１０３ｉとの間に、未使用の検査端子１０３ｎｃを挟んで配列される。
【００８７】
ここに、図３に示す検査回路１６０において、制御回路１６２は画像表示領域１０ａを挟んで反対側の画像信号端子１０２ｖに対する検査用の画像信号の供給に同期して、転送開始パルスＤＸの転送を行う。従って、転送開始パルスＤＸは、周期的に（１水平期間毎に）ＬレベルからＨレベルに電位が変動する信号であり、クロック信号ＣＬＸ又は反転クロック信号ＣＬＸＢよりは低周波数の信号として入力される。
【００８８】
よって、上述したように素子基板１０の２辺のうちの一方に沿って配列された５個の検査端子１０３ｏ及び１０３ｙと同様に、検査信号Ｃｘ５〜Ｃｘ８が出力される４個の検査端子１０３ｏ及び検査信号ＹＥＰＬが出力される検査端子１０３ｙは夫々、転送開始パルスＤＸが入力される検査端子１０３ｉと離間させて、検査信号Ｃｘ５〜Ｃｘ８及びＹＥＰＬを検出するための検査プローブと、転送開始パルスＤＸを入力するための検査プローブとが近接する或いは近接して接触するのを防止することができる。
【００８９】
また、これら５個の検査端子１０３ｏ及び１０３ｙについて夫々、転送開始パルスＤＸが入力される検査端子１０３ｉとの間の電磁的或いは電気的な相互作用を、未使用の検査端子１０３ｎｃによりシールドすることが可能となる。尚、図３又は図６における電源電位ＶＤＤＸが入力される検査端子１０３ｉが、未使用の検査端子１０３ｎｃと同様に配置される場合にも同様の効果を得ることができる。
【００９０】
従って、検出される検査信号Ｃｘ５〜Ｃｘ８及びＹＥＰＬに、転送開始パルスＤＸの波形がノイズとして混入されるのをより確実に防止することが可能となる。
【００９１】
一方、図６において、マザー基板Ｓにおける左側の素子基板１０に着目すれば、検査信号Ｃｘ１〜Ｃｘ４及びＹＥＰＲが出力される５個の検査端子１０３ｏ及び１０３ｙは夫々、右側の素子基板１０における転送開始パルスＤＸが入力される検査端子１０３ｉとは隣り合わないように配置される。
【００９２】
他方で、図６において、マザー基板Ｓにおける右側の素子基板１０に着目すれば、検査信号Ｃｘ５〜Ｃｘ８及びＹＥＰＬが出力される５個の検査端子１０３ｏ及び１０３ｙは夫々、左側の素子基板１０におけるクロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢが入力される検査端子１０３ｉの各々とは隣り合わないように配置される。
【００９３】
従って、本実施形態では、一方でマザー基板Ｓにおける左側の素子基板１０上の５個の検査端子１０３ｏ及び１０３ｙから出力される検査信号Ｃｘ１〜Ｃｘ４及びＹＥＰＲに、右側の素子基板１０上の検査端子１０３ｉに入力される転送開始パルスＤＸの波形がノイズとして混入されるのを防止することができる。また、右側の素子基板１０についても同様に、５個の検査端子１０３ｏ及び１０３ｙから出力される検査信号Ｃｘ５〜Ｃｘ８及びＹＥＰＬに、左側の素子基板１０上の検査端子１０３ｉに入力されるクロック信号ＣＬＸ及び反転クロック信号ＣＬＸＢの波形がノイズとして混入されるのを防止することができる。
【００９４】
よって、以上説明したような本実施形態の液晶装置では、小型化に伴い複数の検査端子１０３の配列ピッチが狭ピッチ化されても、検査信号Ｃｘ１〜Ｃｘ８、ＹＥＰＲ及びＹＥＰＬの各々に基づいて、的確に検査を行うことが可能となる。従って、液晶装置においてより確実に高品位な表示を行うと共に信頼性を向上させ、更に容易に小型化することができる。
【００９５】
尚、本実施形態では、仮に検査端子１０３において、所定の周波数の信号が検査信号として出力される場合には、検査信号が出力される検査端子（上述した検査端子１０３ｏ等）において、上述の説明と同様に、各々の検査端子を所定の周波数の検査信号が出力される検査端子に対して配置するようにしてもよい。この場合においても、上述した本実施形態と同様に検査信号に基づいて的確な検査を行うことが可能となる。
【００９６】
次に、上述した電気光学装置である液晶装置を各種の電子機器に適用する場合について説明する。ここでは、この液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。ここに図７は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。
【００９７】
図７に示されるように、プロジェクタ１１００内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット１１０２が設けられている。このランプユニット１１０２から射出された投射光は、ライトガイド１１０４内に配置された４枚のミラー１１０６及び２枚のダイクロイックミラー１１０８によってＲＧＢの３原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂ及び１１１０Ｇに入射される。
【００９８】
液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂ及び１１１０Ｇの構成は、上述した液晶装置と同等であり、画像信号処理回路から供給されるＲ、Ｇ、Ｂの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム１１１２に３方向から入射される。このダイクロイックプリズム１１１２においては、Ｒ及びＢの光が９０度に屈折する一方、Ｇの光が直進する。従って、各色の画像が合成される結果、投射レンズ１１１４を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。
【００９９】
ここで、各液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂ及び１１１０Ｇによる表示像について着目すると、液晶パネル１１１０Ｇによる表示像は、液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂによる表示像に対して左右反転することが必要となる。
【０１００】
尚、液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂ及び１１１０Ｇには、ダイクロイックミラー１１０８によって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。
【０１０１】
尚、図７を参照して説明した電子機器の他にも、モバイル型のパーソナルコンピュータや、携帯電話、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。
【０１０２】
また本発明は、上述の実施形態で説明した液晶装置以外にも、シリコン基板上に素子を形成する反射型液晶装置（ＬＣＯＳ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、電界放出型ディスプレイ（ＦＥＤ、ＳＥＤ）、有機ＥＬディスプレイ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）、電気泳動装置等にも適用可能である。
【０１０３】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置、及び該電気光学装置を備えてなる電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本実施形態に係る液晶装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【図３】本実施形態に係る液晶装置の電気的な構成を示すブロック図である。
【図４】本実施形態に係る液晶装置の画素部の等価回路図である。
【図５】本実施形態に係る液晶装置が、マザー基板上で製造されることを説明するための部分平面図である。
【図６】図６の点線Ａ０によって囲まれる一部の構成を示す部分拡大平面図である。
【図７】電気光学装置を適用した電子機器の一例たるプロジェクタの構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【０１０５】
７…デマルチプレクサ、１０…素子基板、１０３、１０３ｉ、１０３ｏ、１０３ｙ、１０３ｎｃ…検査端子、１０４…走査線駆動回路、１６０…検査回路、４００…画像信号供給回路、６００…画素部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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