(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバを固定する複数の光ファイバ固定具と、
複数の前記光ファイバ固定具のうちのいずれか一つである第一光ファイバ固定具を移動させる固定具移動部と、
複数の前記光ファイバ固定具のうちの前記第一光ファイバ固定具以外のものである第二光ファイバ固定具を、前記第一光ファイバ固定具に接続する接続部と、
光ファイバを固定し、前記固定具移動部が固定され、前記固定具移動部により移動されない基準光ファイバ固定具と、
を備え、
前記接続部は、前記第二光ファイバ固定具を移動させ、
前記第一光ファイバ固定具は、
前記固定具移動部により前記光ファイバ固定具が移動する方向とは異なる方向に、光ファイバを移動させる第一光ファイバ移動部を有し、
前記第二光ファイバ固定具は、
前記接続部により前記第二光ファイバ固定具が移動する方向とは異なる方向に、光ファイバを移動させる第二光ファイバ移動部を有し、
前記基準光ファイバ固定具は、
光ファイバを移動させる基準光ファイバ移動部を有する、
光ファイバ位置調整装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光ファイバ位置調整装置であって、
前記固定具移動部が圧電素子であり、
前記固定具移動部の伸縮する方向に延伸するガイドを備え、
前記ガイドに沿って、前記第一光ファイバ固定具が移動できる、
光ファイバ位置調整装置。
【請求項３】
請求項１に記載の光ファイバ位置調整装置であって、
前記接続部が圧電素子であり、
前記接続部の伸縮する方向に延伸するガイドを備え、
前記ガイドに沿って、前記第二光ファイバ固定具が移動できる、
光ファイバ位置調整装置。
【請求項４】
請求項１に記載の光ファイバ位置調整装置であって、
前記接続部は、
前記第二光ファイバ固定具を、前記第一光ファイバ固定具に直接に接続するものと、
前記第二光ファイバ固定具を、他の前記第二光ファイバ固定具を介して、前記第一光ファイバ固定具に接続するものと、
を有する光ファイバ位置調整装置。
【請求項５】
被測定物を試験する試験装置であって、
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の光ファイバ位置調整装置を備え、
前記光ファイバの一端を、前記被測定物の入出力端子に接触または近接させる試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光I/Oデバイスに接続する光ファイバの位置の調整に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、デバイスを試験するために、デバイスの入出力端子に、電流が流れるプローブを接続することが知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３２９８３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、光I/O（入出力）デバイスを試験するためには、電流が流れるプローブにかえて、光を通す光ファイバを、光I/Oデバイスの入出力端子に接続することが考えらえる。例えば、光ファイバを入出力端子に突き合わせる（ただし、「突き合わせ」は、「接触」だけではなく「近接」も含む）ことにより、接続が実現される。
【０００５】
さらに、光I/Oデバイスの環境温度を変化させる試験（例えば、バーンインテスト）を行うと、光I/Oデバイスが膨張するので、光I/Oデバイスの入出力端子の位置も変動する。よって、光ファイバの芯の位置も調整して、光I/Oデバイスの入出力端子の位置に適合するようにしてから突き合せなければならない。
【０００６】
そこで、本発明は、光I/Oデバイスに突き合わせる光ファイバの位置を調整することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる光ファイバ位置調整装置は、光ファイバを固定する複数の光ファイバ固定具と、複数の前記光ファイバ固定具のうちのいずれか一つである第一光ファイバ固定具を移動させる固定具移動部と、複数の前記光ファイバ固定具のうちの前記第一光ファイバ固定具以外のものである第二光ファイバ固定具を、前記第一光ファイバ固定具に接続する接続部とを備えるように構成される。
【０００８】
上記のように構成された光ファイバ位置調整装置によれば、複数の光ファイバ固定具は、光ファイバを固定する。固定具移動部は、複数の前記光ファイバ固定具のうちのいずれか一つである第一光ファイバ固定具を移動させる。接続部は、複数の前記光ファイバ固定具のうちの前記第一光ファイバ固定具以外のものである第二光ファイバ固定具を、前記第一光ファイバ固定具に接続する。
【０００９】
なお、本発明にかかる光ファイバ位置調整装置は、前記接続部は、前記第二光ファイバ固定具を移動させるようにしてもよい。
【００１０】
なお、本発明にかかる光ファイバ位置調整装置は、前記第一光ファイバ固定具が、前記固定具移動部により前記光ファイバ固定具が移動する方向とは異なる方向に、光ファイバを移動させる第一光ファイバ移動部を有するようにしてもよい。
【００１１】
なお、本発明にかかる光ファイバ位置調整装置は、前記第二光ファイバ固定具が、前記接続部により前記第二光ファイバ固定具が移動する方向とは異なる方向に、光ファイバを移動させる第二光ファイバ移動部を有するようにしてもよい。
【００１２】
なお、本発明にかかる光ファイバ位置調整装置は、光ファイバを固定し、前記固定具移動部が固定され、前記固定具移動部により移動されない基準光ファイバ固定具を備えるようにしてもよい。
【００１３】
なお、本発明にかかる光ファイバ位置調整装置は、前記基準光ファイバ固定具が、光ファイバを移動させる基準光ファイバ移動部を有するようにしてもよい。
【００１４】
なお、本発明にかかる光ファイバ位置調整装置は、前記固定具移動部が圧電素子であり、前記固定具移動部の伸縮する方向に延伸するガイドを備え、前記ガイドに沿って、前記第一光ファイバ固定具が移動できるようにしてもよい。
【００１５】
なお、本発明にかかる光ファイバ位置調整装置は、前記接続部が圧電素子であり、前記接続部の伸縮する方向に延伸するガイドを備え、前記ガイドに沿って、前記第二光ファイバ固定具が移動できるようにしてもよい。
【００１６】
本発明にかかる単一光ファイバ移動装置は、一本の光ファイバを互いに直交するＸ軸およびＹ軸の方向に移動させる単一光ファイバ移動装置であって、前記一本の光ファイバをＸ軸方向に移動できるように保持するＸ軸方向保持具と、前記一本の光ファイバをＹ軸方向に移動できるように保持するＹ軸方向保持具と、Ｘ軸方向に伸縮し、前記Ｙ軸方向保持具に接続するＸ軸伸縮部と、Ｙ軸方向に伸縮し、前記Ｘ軸方向保持具に接続するＹ軸伸縮部とを備えるように構成される。
【００１７】
上記のように構成された単一光ファイバ移動装置によれば、一本の光ファイバが互いに直交するＸ軸およびＹ軸の方向に移動させられる。Ｘ軸方向保持具は、前記一本の光ファイバをＸ軸方向に移動できるように保持する。Ｙ軸方向保持具は、前記一本の光ファイバをＹ軸方向に移動できるように保持する。Ｘ軸伸縮部は、Ｘ軸方向に伸縮し、前記Ｙ軸方向保持具に接続する。Ｙ軸伸縮部は、Ｙ軸方向に伸縮し、前記Ｘ軸方向保持具に接続する。
【００１８】
本発明にかかる単一光ファイバ移動装置は、一本の光ファイバを互いに直交するＸ軸およびＹ軸の方向に移動させる単一光ファイバ移動装置であって、前記一本の光ファイバに固定された固定部と、Ｘ軸およびＹ軸のうちの一つの方向に伸縮し、前記固定部に接続する第一伸縮部と、前記第一伸縮部に接続する保持具と、Ｘ軸およびＹ軸のうちの他の方向に伸縮し、前記保持具に接続する第二伸縮部と、を備えるように構成される。
【００１９】
上記のように構成された単一光ファイバ移動装置によれば、一本の光ファイバが互いに直交するＸ軸およびＹ軸の方向に移動させられる。固定部は、前記一本の光ファイバに固定される。第一伸縮部は、Ｘ軸およびＹ軸のうちの一つの方向に伸縮し、前記固定部に接続する。保持具は、前記第一伸縮部に接続する。第二伸縮部は、Ｘ軸およびＹ軸のうちの他の方向に伸縮し、前記保持具に接続する。
【００２０】
なお、本発明にかかる単一光ファイバ移動装置は、前記一本の光ファイバに対して、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸に直交するＺ軸方向に動かないように固定されたＺ軸方向固定具と、前記Ｚ軸方向に伸縮し、前記Ｚ軸方向固定具に接続するＺ軸伸縮部とを備えるようにしてもよい。
【００２１】
本発明にかかる試験装置は、被測定物を試験する試験装置であって、本発明にかかる光ファイバ位置調整装置を備え、前記光ファイバの一端を、前記被測定物の入出力端子に接触または近接させるように構成される。
【００２２】
本発明にかかる試験装置は、被測定物を試験する試験装置であって、本発明にかかる単一光ファイバ移動装置を備え、前記光ファイバの一端を、前記被測定物の入出力端子に接触または近接させるように構成される。
【００２３】
なお、本発明にかかる光ファイバ位置調整装置は、前記接続部が、前記第二光ファイバ固定具を、前記第一光ファイバ固定具に直接に接続するものと、前記第二光ファイバ固定具を、他の前記第二光ファイバ固定具を介して、前記第一光ファイバ固定具に接続するものとを有するようにしてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【００２５】
図１は、本発明の実施形態にかかる試験装置４とＤＵＴ（Device Under Test：被測定物）１との平面図（図１（ａ））、正面図（図１（ｂ））である。
【００２６】
試験装置４は光ファイバ位置調整装置１０を備える。なお、図１において、光ファイバ位置調整装置１０の輪郭をおおまかに点線で図示している。ＤＵＴ１は円形であり、その表面には入出力端子１ａが配置されている。入出力端子１ａは、ＤＵＴ１への光の入力を受ける端子、または光が出力される端子である。
【００２７】
光ファイバ２は、光ファイバ位置調整装置１０により、ＤＵＴ１の入出力端子１ａの真上に来るようにＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させられる。次に、光ファイバ２は光ファイバ位置調整装置１０によりＺ軸方向（下向き）に移動させられ、光ファイバ２の下側の一端が、ＤＵＴ１の入出力端子１ａに接触または近接（光ファイバ２から入出力端子１ａへ光を与えることができ、しかも、入出力端子１ａから光ファイバ２へ光を与えることができる程度に近い）する。光ファイバ２の上側の一端は、図示省略した光源および受光部に接続されている。試験装置４は、光ファイバ２、光ファイバ位置調整装置１０、光源および受光部（図示省略）を備える。
【００２８】
なお、図１（ａ）を参照して、縦３列、横５列に並んだ光ファイバ２のうち、中央に配置されているもの（光ファイバ２ａという）は、円形のＤＵＴ１の中心の真上に配置するものとする。
【００２９】
図２は、光ファイバ位置調整装置１０の平面図である。光ファイバ位置調整装置１０は、基準光ファイバ固定具１００、固定具移動部１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、第一光ファイバ固定具１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、接続部１３ａ−１、１３ａ−２、１３ｂ−１、１３ｂ−２、１３ｂ−３、１３ｃ−１、１３ｃ−２、１３ｄ−１、１３ｄ−２、１３ｄ−３、第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２、１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３、１４ｃ−１、１４ｃ−２、１４ｄ−１、１４ｄ−２、１４ｄ−３を備える。
【００３０】
基準光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１００、第一光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、第二光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１４ａ−１、１４ａ−２、１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３、１４ｃ−１、１４ｃ−２、１４ｄ−１、１４ｄ−２、１４ｄ−３は、光ファイバ２を固定する。なお、図２および図７における基準光ファイバ固定具１００の中央の円形の図形は光ファイバ２ａを示す。図２および図７における第一光ファイバ固定具１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄおよび第二光ファイバ固定具の中央の円形の図形は光ファイバ２を示す。
【００３１】
基準光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１００は、光ファイバ２ａを固定する。第一光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、それぞれ、光ファイバ２ａに隣り合い、光ファイバ２ａの上、右、下、左に配置された光ファイバ２を固定する。第二光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１４ａ−１、１４ａ−２、１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３、１４ｃ−１、１４ｃ−２、１４ｄ−１、１４ｄ−２、１４ｄ−３は、その他の光ファイバ２を固定する。
【００３２】
なお、第一光ファイバ固定具１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、それぞれ、基準光ファイバ固定具１００の上、右、下、左に配置されている。
【００３３】
また、第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２は、それぞれ、第一光ファイバ固定具１２ａの左、右に配置されている。第二光ファイバ固定具１４ｂ−１は第一光ファイバ固定具１２ｂの右に配置され、第二光ファイバ固定具１４ｂ−２、１４ｂ−３は、それぞれ、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１の上、下に配置されている。第二光ファイバ固定具１４ｃ−１、１４ｃ−２は、それぞれ、第一光ファイバ固定具１２ｃの左、右に配置されている。第二光ファイバ固定具１４ｄ−１は第一光ファイバ固定具１２ｄの左に配置され、第二光ファイバ固定具１４ｄ−２、１４ｄ−３は、それぞれ、第二光ファイバ固定具１４ｄ−１の上、下に配置されている。
【００３４】
固定具移動部１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄは、それぞれ、第一光ファイバ固定具１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄのうちの一つを移動させる。固定具移動部１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄは、圧電素子であり、印加される電圧に応じて、それぞれ、上下方向（Ｙ方向）、左右方向（Ｘ方向）、上下方向（Ｙ方向）、左右方向（Ｘ方向）に縮むかまたは伸びる。これにより、固定具移動部１１ａは、第一光ファイバ固定具１２ａをＹ方向に移動させる。固定具移動部１１ｂは、第一光ファイバ固定具１２ｂをＸ方向に移動させる。固定具移動部１１ｃは、第一光ファイバ固定具１２ｃをＹ方向に移動させる。固定具移動部１１ｄは、第一光ファイバ固定具１２ｄをＸ方向に移動させる。
【００３５】
接続部１３ａ−１、１３ａ−２、１３ｂ−１、１３ｂ−２、１３ｂ−３、１３ｃ−１、１３ｃ−２、１３ｄ−１、１３ｄ−２、１３ｄ−３は、第二光ファイバ固定具を第一光ファイバ固定具に接続する。
【００３６】
具体的には、接続部１３ａ−１は、第二光ファイバ固定具１４ａ−１を第一光ファイバ固定具１２ａに接続する。接続部１３ａ−２は、第二光ファイバ固定具１４ａ−２を第一光ファイバ固定具１２ａに接続する。
【００３７】
接続部１３ｂ−１は、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１を第一光ファイバ固定具１２ｂに接続する。接続部１３ｂ−２は、第二光ファイバ固定具１４ｂ−２を、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１に接続する。これにより、接続部１３ｂ−２は、第二光ファイバ固定具１４ｂ−２を、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１を介して、第一光ファイバ固定具１２ｂに接続する。接続部１３ｂ−３は、第二光ファイバ固定具１４ｂ−３を、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１に接続する。これにより、接続部１３ｂ−３は、第二光ファイバ固定具１４ｂ−３を、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１を介して、第一光ファイバ固定具１２ｂに接続する。
【００３８】
接続部１３ｃ−１は、第二光ファイバ固定具１４ｃ−１を第一光ファイバ固定具１２ｃに接続する。接続部１３ｃ−２は、第二光ファイバ固定具１４ｃ−２を第一光ファイバ固定具１２ｃに接続する。
【００３９】
接続部１３ｄ−１は、第二光ファイバ固定具１４ｄ−１を第一光ファイバ固定具１２ｄに接続する。接続部１３ｄ−２は、第二光ファイバ固定具１４ｄ−２を、第二光ファイバ固定具１４ｄ−１に接続する。これにより、接続部１３ｄ−２は、第二光ファイバ固定具１４ｄ−２を、第二光ファイバ固定具１４ｄ−１を介して、第一光ファイバ固定具１２ｄに接続する。接続部１３ｄ−３は、第二光ファイバ固定具１４ｄ−３を、第二光ファイバ固定具１４ｄ−１に接続する。これにより、接続部１３ｄ−３は、第二光ファイバ固定具１４ｄ−３を、第二光ファイバ固定具１４ｄ−１を介して、第一光ファイバ固定具１２ｄに接続する。
【００４０】
なお、接続部１３ａ−１、１３ａ−２は圧電素子であり、印加される電圧に応じて、左右方向（Ｘ方向）に縮むかまたは伸びる。
【００４１】
接続部１３ｂ−１は圧電素子であり、印加される電圧に応じて、左右方向（Ｘ方向）に縮むかまたは伸びる。接続部１３ｂ−２、１３ｂ−３は圧電素子であり、印加される電圧に応じて、上下方向（Ｙ方向）に縮むかまたは伸びる。
【００４２】
接続部１３ｃ−１、１３ｃ−２は圧電素子であり、印加される電圧に応じて、左右方向（Ｘ方向）に縮むかまたは伸びる。
【００４３】
接続部１３ｄ−１は圧電素子であり、印加される電圧に応じて、左右方向（Ｘ方向）に縮むかまたは伸びる。接続部１３ｄ−２、１３ｄ−３は圧電素子であり、印加される電圧に応じて、上下方向（Ｙ方向）に縮むかまたは伸びる。
【００４４】
なお、固定具移動部に沿って延伸するガイドｇ１と、接続部に沿って延伸するガイドｇ２が光ファイバ位置調整装置１０に設けられている。また、ガイドｇ１およびガイドｇ２は、図２および図７においては、点線で図示されている。
【００４５】
ガイドｇ１に沿って、第一光ファイバ固定具１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄが移動できる。ただし、ガイドｇ１はできるだけたわまないことが好ましい。
【００４６】
ガイドｇ２に沿って、第二光ファイバ固定具が移動できる。ただし、ガイドｇ２はできるだけたわまないことが好ましい。
【００４７】
なお、基準光ファイバ固定具１００は固定されており、固定具移動部１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄによって移動されないものとする。また、基準光ファイバ固定具１００には、固定具移動部１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが固定されている。
【００４８】
図３は、基準光ファイバ固定具１００の斜視図である。図４は、基準光ファイバ固定具１００の平面図であり、Ｙ軸方向保持具１０２Ｙのすぐ上から見たときの平面図（図４（ａ））、Ｘ軸方向保持具１０２Ｘのすぐ上から見たときの平面図（図４（ｂ））である。なお、光ファイバ２ａは基準光ファイバ固定具１００をＺ軸方向に貫通している。
【００４９】
基準光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１００は、光ファイバ２ａをＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸（Ｘ軸およびＹ軸に直交する軸）の方向に移動させるものである。
【００５０】
基準光ファイバ固定具１００は、Ｘ軸方向保持具１０２Ｘ、Ｙ軸方向保持具１０２Ｙ、Ｘ軸圧電素子（Ｘ軸伸縮部）１０４Ｘ、Ｙ軸圧電素子（Ｙ軸伸縮部）１０４Ｙ、Ｚ軸方向固定具１０６、Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）１０６Ｚ、ガイド１０８、壁１１０、壁１１２、蓋１１４を有する。
【００５１】
Ｘ軸方向保持具１０２Ｘは、Ｘ軸方向孔１１６Ｘを有する。Ｘ軸方向孔１１６Ｘは、Ｘ軸方向の長さが、Ｙ軸方向への長さ（およそ光ファイバ２ａの直径程度）よりも長く、Ｘ軸方向保持具１０２Ｘを貫通する。光ファイバ２ａがＸ軸方向孔１１６Ｘを通っている。光ファイバ２ａは、Ｘ軸方向孔１１６Ｘの内部をＸ軸方向に移動できる。よって、Ｘ軸方向保持具１０２Ｘは、光ファイバ２ａをＸ軸方向に移動できるように保持している。
【００５２】
Ｙ軸方向保持具１０２Ｙは、Ｙ軸方向孔１１６Ｙを有する。Ｙ軸方向孔１１６Ｙは、Ｙ軸方向の長さが、Ｘ軸方向への長さ（およそ光ファイバ２ａの直径程度）よりも長く、Ｙ軸方向保持具１０２Ｙを貫通する。光ファイバ２ａがＹ軸方向孔１１６Ｙを通っている。光ファイバ２ａは、Ｙ軸方向孔１１６Ｙの内部をＹ軸方向に移動できる。よって、Ｙ軸方向保持具１０２Ｙは、光ファイバ２ａをＹ軸方向に移動できるように保持している。
【００５３】
なお、Ｘ軸方向保持具１０２Ｘは、Ｙ軸方向保持具１０２Ｙよりも下に位置している。
【００５４】
Ｘ軸圧電素子（Ｘ軸伸縮部）１０４Ｘは、印加される電圧に応じて、Ｘ軸方向に伸縮し、Ｙ軸方向保持具１０２Ｙに接続する。しかも、Ｘ軸圧電素子１０４Ｘは、固定されている壁１１０に接続されている。よって、Ｘ軸圧電素子１０４Ｘが伸縮すると、Ｙ軸方向保持具１０２Ｙごと光ファイバ２ａをＸ軸方向に移動させることができる。
【００５５】
Ｙ軸圧電素子（Ｙ軸伸縮部）１０４Ｙは、印加される電圧に応じて、Ｙ軸方向に伸縮し、Ｘ軸方向保持具１０２Ｘに接続する。しかも、Ｙ軸圧電素子１０４Ｙは、固定されている壁１１２に接続されている。よって、Ｙ軸圧電素子１０４Ｙが伸縮すると、Ｘ軸方向保持具１０２Ｘごと光ファイバ２ａをＹ軸方向に移動させることができる。
【００５６】
Ｚ軸方向固定具１０６は、光ファイバ２ａに対してＺ軸方向に動かないように固定されている。なお、光ファイバ２ａはＺ軸方向固定具１０６を貫通している。
【００５７】
Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）１０６Ｚは、印加される電圧に応じて、Ｚ軸方向に伸縮し、Ｚ軸方向固定具１０６に接続する。しかも、Ｚ軸圧電素子１０６Ｚは、固定されている蓋１１４に接続されている。よって、Ｚ軸圧電素子１０６Ｚが伸縮すると、Ｚ軸方向固定具１０６ごと光ファイバ２ａをＺ軸方向に移動させることができる。
【００５８】
ガイド１０８は、Ｚ軸圧電素子１０６Ｚに沿って延伸する。Ｚ軸方向固定具１０６がガイド１０８に沿って移動できる。ただし、ガイド１０８はできるだけたわまないことが好ましい。
【００５９】
なお、Ｘ軸方向保持具１０２Ｘ、Ｙ軸方向保持具１０２Ｙ、Ｘ軸圧電素子１０４Ｘ、Ｙ軸圧電素子１０４Ｙ、Ｚ軸方向固定具１０６、Ｚ軸圧電素子１０６Ｚが光ファイバ２ａを移動させる基準光ファイバ移動部を構成する。
【００６０】
図５は、第一光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１２ａの平面図（図５（ａ））、正面図（図５（ｂ））である。ただし、図５（ａ）において、Ｚ軸方向固定具１２６ａと、Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）１２８ａと、ガイド１２７ａとは図示省略している。
【００６１】
第一光ファイバ固定具１２ａは、固定部１２０ａ、第一伸縮部１２２ａ、保持具１２４ａ、ガイド１２５ａ、第二伸縮部（固定具移動部１１ａ）、Ｚ軸方向固定具１２６ａ、ガイド１２７ａ、Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）１２８ａを有する。
【００６２】
固定部１２０ａは、光ファイバ２に固定されている。
【００６３】
第一伸縮部１２２ａは、Ｘ軸およびＹ軸のうちの一つの方向（第一光ファイバ固定具１２ａにおいてはＸ軸方向）に伸縮し、固定部１２０ａに接続する。第一伸縮部１２２ａは、圧電素子であり、印加される電圧に応じて、伸縮する。これにより、光ファイバ２を固定部１２０ａごと一つの方向に移動させる。
【００６４】
保持具１２４ａは、第一伸縮部１２２ａに接続する。
【００６５】
ガイド１２５ａは、第一伸縮部１２２ａに沿って延伸し、固定部１２０ａがガイド１２５ａに沿って移動する。ガイド１２５ａは、できるだけたわまないことが好ましい。なお、ガイド１２５ａは、図２および図７においては、図示省略している。
【００６６】
第二伸縮部（固定具移動部１１ａ）は、Ｘ軸およびＹ軸のうちの他の方向（第一光ファイバ固定具１２ａにおいてはＹ軸方向）に伸縮し、保持具１２４ａに接続する。伸縮により、光ファイバ２を保持具１２４ａごと他の方向に移動させる。
【００６７】
Ｚ軸方向固定具１２６ａは、光ファイバ２に対してＺ軸方向に動かないように固定されている。なお、光ファイバ２ａはＺ軸方向固定具１２６ａを貫通している。
【００６８】
Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）１２８ａは、Ｚ軸方向に伸縮し、Ｚ軸方向固定具１２６ａに接続する。Ｚ軸圧電素子１２８ａが伸縮すると、Ｚ軸方向固定具１２６ａごと光ファイバ２ａをＺ軸方向に移動させることができる。なお、ガイドｇ１、ｇ２によって、保持具１２４ａがＺ軸圧電素子１２８ａにより押されて移動することを防止している。
【００６９】
ガイド１２７ａは、Ｚ軸圧電素子１２８ａに沿って延伸する。Ｚ軸方向固定具１２６ａがガイド１２７ａに沿って移動する。
【００７０】
図６は、第二光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１４ａ−１、１４ａ−２の平面図および正面図である。ただし、図６（ａ）は、第二光ファイバ固定具１４ａ−１の平面図、図６（ｂ）は、第二光ファイバ固定具１４ａ−２の平面図、図６（ｃ）は、第二光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１４ａ−１、１４ａ−２の正面図である。
【００７１】
第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２は、固定部１４０ａ、第一伸縮部１４２ａ、保持具１４４ａ、ガイド１４５ａ（図２および図７においては図示省略）、第二伸縮部（接続部１３ａ−１、１３ａ−２）、Ｚ軸方向固定具１４６ａ、ガイド１４７ａ、Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）１４８ａを有する。ただし、図６（ａ）および図６（ｂ）において、Ｚ軸方向固定具１４６ａと、ガイド１４７ａと、Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）１４８ａとは図示省略している。
【００７２】
固定部１４０ａ、第一伸縮部１４２ａ、保持具１４４ａ、ガイド１４５ａ、第二伸縮部（接続部１３ａ−１、１３ａ−２）、Ｚ軸方向固定具１４６ａ、ガイド１４７ａ、Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）１４８ａは、固定部１２０ａ、第一伸縮部１２２ａ、保持具１２４ａ、ガイド１２５ａ、第二伸縮部（固定具移動部１１ａ）、Ｚ軸方向固定具１２６ａ、ガイド１２７ａ、Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）１２８ａと同様であり説明を省略する。ただし、第一伸縮部１４２ａは、Ｙ軸方向に伸縮する。第二伸縮部（接続部１３ａ−１、１３ａ−２）は、Ｘ軸方向に伸縮する。
【００７３】
なお、第一光ファイバ固定具１２ｃは第一光ファイバ固定具１２ａと同じ構成である。第一光ファイバ固定具１２ｂは、第一光ファイバ固定具１２ａの第一伸縮部１２２ａ（固定部１２０ａの右方にある）を、固定部１２０ａの下方に移動させたものと同様な構成である。第一光ファイバ固定具１２ｄは第一光ファイバ固定具１２ｂと同じ構成である。
【００７４】
また、第一光ファイバ固定具１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄにおける第二伸縮部は固定具移動部１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄである。
【００７５】
なお、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１、１４ｃ−１、１４ｃ−２、１４ｄ−１は第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２と同じ構成である。第二光ファイバ固定具１４ｂ−２、１４ｂ−３、１４ｄ−２、１４ｄ−３は第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２の第一伸縮部１４２ａ（固定部１４０ａの下方にある）を、固定部１４０ａの右方に移動させたものと同様な構成である。
【００７６】
また、第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２における第二伸縮部は接続部１３ａ−１、１３ａ−２である。第二光ファイバ固定具１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３における第二伸縮部は接続部１３ｂ−１、１３ｂ−２、１３ｂ−３である。第二光ファイバ固定具１４ｃ−１、１４ｃ−２における第二伸縮部は接続部１３ｃ−１、１３ｃ−２である。第二光ファイバ固定具１４ｄ−１、１４ｄ−２、１４ｄ−３における第二伸縮部は接続部１３ｄ−１、１３ｄ−２、１３ｄ−３である。
【００７７】
次に、本発明の実施形態の動作を説明する。
【００７８】
図２を参照して、基準光ファイバ固定具１００、固定具移動部１１ａ、第一光ファイバ固定具１２ａ、第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２の動作について説明する。
【００７９】
基準光ファイバ固定具１００のＸ軸圧電素子１０４ＸおよびＹ軸圧電素子１０４Ｙに電圧を印加して、光ファイバ２ａをＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。これにより、基準光ファイバ固定具１００が固定する光ファイバ２ａが、ＤＵＴ１の中心の真上に来るようにする。そして、Ｚ軸圧電素子１０６Ｚに電圧を印加して、光ファイバ２ａをＺ軸方向に移動させ、光ファイバ２ａの一端を入出力端子１ａに接触または近接させる。すると、他の光ファイバ２の一端も入出力端子１ａに接触または近接する。
【００８０】
この状態で、基準光ファイバ固定具１００を固定し、固定具移動部１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄにより基準光ファイバ固定具１００が動かないようにする。
【００８１】
ここで、ＤＵＴ１に対してバーンインテストを行ったとする。すると、ＤＵＴ１が膨張し、入出力端子１ａの位置が移動する。よって、光ファイバ２ａの一端が、ＤＵＴ１の中心にある入出力端子１ａに接触または近接していても、他の光ファイバ２の一端が入出力端子１ａに接触も近接もしないようになる。よって、他の光ファイバ２が、移動した入出力端子１ａの真上に来るように、他の光ファイバ２を移動させる必要がある。
【００８２】
図７は、第一光ファイバ固定具および第二光ファイバ固定具を移動させた状態の光ファイバ位置調整装置１０の平面図である。なお、図７は、固定具移動部１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄおよび接続部の伸びる向きを矢印で図示している。
【００８３】
接続部１３ａ−１、１３ａ−２により接続された光ファイバ固定具１２ａ、１４ａ−１、１４ａ−２のうちの一つである第一光ファイバ固定具１２ａを、固定具移動部１１ａによりＹ方向（上方）に移動させる。ＤＵＴ１が膨張すると入出力端子１ａがＤＵＴ１の中心から遠ざかるように移動しているので、第一光ファイバ固定具１２ａをＹ方向（上方）に移動させる。これにより、第一光ファイバ固定具１２ａが固定する光ファイバ２の一端は、移動した入出力端子１ａのほぼ真上に来るようになる。しかも、光ファイバ固定具１２ａ、１４ａ−１、１４ａ−２を一括してＹ方向（上方）に移動させることができる。
【００８４】
さらに、接続部１３ａ−１、１３ａ−２により、固定具移動部１１ａにより光ファイバ固定具１２ａ、１４ａ−１、１４ａ−２が移動する方向（Ｙ方向）とは異なる方向（Ｘ方向）に第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２を移動させる。
【００８５】
すなわち、接続部１３ａ−１により、第二光ファイバ固定具１４ａ−１を、Ｘ方向（左方）へ移動させ、接続部１３ａ−２により、第二光ファイバ固定具１４ａ−２を、Ｘ方向（右方）へ移動させる。ＤＵＴ１の膨張により入出力端子１ａどうしの間隔も大きくなるので、接続部１３ａ−１、１３ａ−２により、光ファイバ固定具どうしの間隔を大きくする。これにより、第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２が固定する光ファイバ２の一端は、移動した入出力端子１ａのほぼ真上に来るようになる。
【００８６】
さらに、第一光ファイバ固定具１２ａが固定する光ファイバ２の一端が、移動した入出力端子１ａの真上に正しく来るようにするために、固定具移動部１１ａにより光ファイバ固定具１２ａ、１４ａ−１、１４ａ−２が移動する方向（Ｙ方向）とは異なる方向（Ｘ方向）に、第一伸縮部（第一光ファイバ移動部）１２２ａにより光ファイバ２を移動させる。
【００８７】
また、第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２が固定する光ファイバ２の一端が、移動した入出力端子１ａの真上に正しく来るようにするために、接続部１３ａ−１、１３ａ−２によりにより第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２が移動する方向（Ｘ方向）とは異なる方向（Ｙ方向）に、第一伸縮部（第二光ファイバ移動部）１４２ａにより光ファイバ２を移動させる。
【００８８】
なお、固定具移動部１１ｃ、第一光ファイバ固定具１２ｃ、第二光ファイバ固定具１４ｃ−１、１４ｃ−２の動作は、上記のような固定具移動部１１ａ、第一光ファイバ固定具１２ａ、第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２の動作と同様である。
【００８９】
第一光ファイバ固定具１２ｂ、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３の動作を説明する。
【００９０】
接続部１３ｂ−１、１３ｂ−２、１３ｂ−３により接続された光ファイバ固定具１２ｂ、１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３のうちの一つである第一光ファイバ固定具１２ｂを、固定具移動部１１ｂによりＸ方向（右方）に移動させる。ＤＵＴ１が膨張すると入出力端子１ａがＤＵＴ１の中心から遠ざかるように移動しているので、第一光ファイバ固定具１２ｂをＸ方向（右方）に移動させる。これにより、第一光ファイバ固定具１２ｂが固定する光ファイバ２の一端は、移動した入出力端子１ａのほぼ真上に来るようになる。しかも、光ファイバ固定具１２ｂ、１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３を一括してＸ方向（右方）に移動させることができる。
【００９１】
さらに、接続部１３ｂ−１により、固定具移動部１１ｂにより光ファイバ固定具１２ｂ、１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３が移動する方向（Ｘ方向右方）と同じ方向（Ｘ方向右方）に第二光ファイバ固定具１４ｂ−１を移動させる。
【００９２】
さらに、接続部１３ｂ−２、１３ｂ−３により、固定具移動部１１ｂにより光ファイバ固定具１２ｂ、１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３が移動する方向（Ｘ方向）とは異なる方向（Ｙ方向）に第二光ファイバ固定具１４ｂ−２、１４ｂ−３を移動させる。
【００９３】
すなわち、接続部１３ｂ−２により、第二光ファイバ固定具１４ｂ−２を、Ｙ方向（上方）へ移動させ、接続部１３ｂ−３により、第二光ファイバ固定具１４ｂ−３を、Ｙ方向（下方）へ移動させる。ＤＵＴ１の膨張により入出力端子１ａどうしの間隔も大きくなるので、接続部１３ｂ−１、１３ｂ−２、１３ｂ−３により、光ファイバ固定具どうしの間隔を大きくする。これにより、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３が固定する光ファイバ２の一端は、移動した入出力端子１ｂのほぼ真上に来るようになる。
【００９４】
さらに、第一光ファイバ固定具１２ｂが固定する光ファイバ２の一端が、移動した入出力端子１ａの真上に正しく来るようにするために、固定具移動部１１ｂにより光ファイバ固定具１２ｂ、１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３が移動する方向（Ｘ方向）とは異なる方向（Ｙ方向）に、第一光ファイバ固定具１２ｂの第一伸縮部（第一光ファイバ移動部）（第一光ファイバ固定具１２ａの第一伸縮部１２２ａ（固定部１２０ａの右方にある）を、固定部１２０ａの下方に移動させたものと同様）により光ファイバ２を移動させる。
【００９５】
また、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１が固定する光ファイバ２の一端が、移動した入出力端子１ａの真上に正しく来るようにするために、接続部１３ｂ−１により第二光ファイバ固定具１４ｂ−１が移動する方向（Ｘ方向）とは異なる方向（Ｙ方向）に、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１の第一伸縮部（第二光ファイバ移動部）（第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２の第一伸縮部１４２ａと同様）により光ファイバ２を移動させる。
【００９６】
また、第二光ファイバ固定具１４ｂ−２、１４ｂ−３が固定する光ファイバ２の一端が、移動した入出力端子１ａの真上に正しく来るようにするために、接続部１３ｂ−２、１３ｂ−３により第二光ファイバ固定具１４ｂ−２、１４ｂ−３が移動する方向（Ｙ方向）とは異なる方向（Ｘ方向）に、第二光ファイバ固定具１４ｂ−２、１４ｂ−３の第一伸縮部（第二光ファイバ移動部）（第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２の第一伸縮部１４２ａ（固定部１４０ａの下方にある）を、固定部１４０ａの右方に移動させたものと同様）により光ファイバ２を移動させる。
【００９７】
なお、固定具移動部１１ｄ、第一光ファイバ固定具１２ｄ、第二光ファイバ固定具１４ｄ−１、１４ｄ−２、１４ｄ−３の動作は、上記のような固定具移動部１１ｂ、第一光ファイバ固定具１２ｂ、第二光ファイバ固定具１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３の動作と同様である。
【００９８】
光ファイバ２の一端が、移動した入出力端子１ａの真上に正しく来るようにしたあとで、光ファイバ２をＺ軸に沿って低下させれば（Ｚ軸圧電素子１２８ａ、１４８ａなどにより可能）、光ファイバ２の一端を入出力端子１ａに接触または近接させることができる。
【００９９】
本発明の実施形態によれば、第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２が第一光ファイバ固定具１２ａに接続されており、第一光ファイバ固定具１２ａを固定具移動部１１ａによりＹ方向（上方）に移動させるので、光ファイバ固定具１２ａ、１４ａ−１、１４ａ−２を一括してＹ方向（上方）に移動させることができる。
【０１００】
しかも、接続部１３ａ−１、１３ａ−２により、第二光ファイバ固定具１４ａ−１、１４ａ−２を移動させるので、入出力端子１ａどうしの間隔の増大にも対処できる。
【０１０１】
さらに、第一伸縮部（第一光ファイバ移動部）１２２ａおよび第一伸縮部（第二光ファイバ移動部）１４２ａにより、光ファイバ２の位置の微調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の実施形態にかかる試験装置４とＤＵＴ（Device Under Test：被測定物）１との平面図（図１（ａ））、正面図（図１（ｂ））である。
【図２】光ファイバ位置調整装置１０の平面図である。
【図３】基準光ファイバ固定具１００の斜視図である。
【図４】基準光ファイバ固定具１００の平面図であり、Ｙ軸方向保持具１０２Ｙのすぐ上から見たときの平面図（図４（ａ））、Ｘ軸方向保持具１０２Ｘのすぐ上から見たときの平面図（図４（ｂ））である。
【図５】第一光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１２ａの平面図（図５（ａ））、正面図（図５（ｂ））である。
【図６】第二光ファイバ固定具（単一光ファイバ移動装置）１４ａ−１、１４ａ−２の平面図および正面図である。
【図７】第一光ファイバ固定具および第二光ファイバ固定具を移動させた状態の光ファイバ位置調整装置１０の平面図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１  ＤＵＴ
２、２ａ  光ファイバ
４  試験装置
１０  光ファイバ位置調整装置
１００  基準光ファイバ固定具
１０２Ｘ  Ｘ軸方向保持具
１０２Ｙ  Ｙ軸方向保持具
１０４Ｘ  Ｘ軸圧電素子（Ｘ軸伸縮部）
１０４Ｙ  Ｙ軸圧電素子（Ｙ軸伸縮部）
１０６  Ｚ軸方向固定具
１０６Ｚ  Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）
１０８  ガイド
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ  固定具移動部
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ  第一光ファイバ固定具
１２０ａ  固定部
１２２ａ  第一伸縮部
１２４ａ  保持具
１２５ａ  ガイド
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ  第二伸縮部（固定具移動部）
１２６ａ  Ｚ軸方向固定具
１２７ａ  ガイド
１２８ａ  Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）
１３ａ−１、１３ａ−２  接続部
１３ｂ−１、１３ｂ−２、１３ｂ−３  接続部
１３ｃ−１、１３ｃ−２  接続部
１３ｄ−１、１３ｄ−２、１３ｄ−３  接続部
１４ａ−１、１４ａ−２  第二光ファイバ固定具
１４ｂ−１、１４ｂ−２、１４ｂ−３  第二光ファイバ固定具
１４ｃ−１、１４ｃ−２  第二光ファイバ固定具
１４ｄ−１、１４ｄ−２、１４ｄ−３  第二光ファイバ固定具
ｇ１、ｇ２  ガイド
１４０ａ  固定部
１４２ａ  第一伸縮部
１４４ａ  保持具
１４５ａ  ガイド
１３ａ−１、１３ａ−２  第二伸縮部（接続部）
１３ｂ−１、１３ｂ−２、１３ｂ−３  第二伸縮部（接続部）
１３ｃ−１、１３ｃ−２  第二伸縮部（接続部）
１３ｄ−１、１３ｄ−２、１３ｄ−３  第二伸縮部（接続部）
１４６ａ  Ｚ軸方向固定具
１４７ａ  ガイド
１４８ａ  Ｚ軸圧電素子（Ｚ軸伸縮部）
【図１】
0005133747.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0005133747.tif 000007
【図７】
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