(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状をなし、被加工物である板状体より小さい肉厚を有するキャリアにあけられた透孔に被加工物である板状体を嵌め込み、上下一対の回転定盤（３），（３）のうち下側の回転定盤（３）の外側に固定された円形枠体の内側に設けられた歯及びこの下側の回転定盤（３）とは独立した駆動系により駆動される中央軸の外側に設けられ、中央軸とは独立した駆動系によって駆動される平歯車に、キャリアの外周縁に形成されている歯をそれぞれ係合させ、板状体が嵌め込まれているキャリアの表裏を上下一対の平行な回転定盤（３），（３）の表面に形成されたドーナツ状円盤形の摺り合せ面（１１），（１１）で挟み込み、一対の回転定盤をそれぞれ逆方向に回転させることによりキャリアに自転運動及び中央軸を中心とする公転運動を与えながらキャリアによって保持されている板状体の表裏を摺り合せ面（１１），（１１）との摺接によって同時に研磨する両面ラップ盤用回転定盤において、摺り合せ面（１１）の内側周縁（２１）と外側周縁（２２）に沿って、金属粉とダイアモンド粉とを焼結せしめた所定の厚みと幅を有し、断面が矩形をなした棒状の研磨片（２３）を、相互にこれら研磨片（２３）の横巾と同等かより狭い巾の空隙（１６）を保って、ほぼ均等かつ同心円状に固定して研磨片環状配列群（２９）（３０)を形成すると共に、前記研磨片環状配列群（２９）と研磨片環状配列群（３０）とに挟まれた領域に研磨片（２３）を、相互にこれら研磨片（２３）の横巾と同等かより狭い巾の空隙（１６）を保って、ほぼ均等かつ同心円状に固定して研磨片環状配列群（３１）を形成し、研磨片環状配列群（２９）（３０）（３１）に挟まれた領域に、金属粉とダイアモンド粉とを焼結せしめて所定の厚さと直径を有する円柱状をなしたダイアモンドペレット（１０）をほぼ均等かつ同心円状に固定したことを特徴とする両面ラップ盤用回転定盤。
【請求項２】
研磨片環状配列群（３１）が同心円状に複数個形成されていることを特徴とする請求項１記載の両面ラップ盤用回転定盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は両面ラップ盤用回転定盤、詳しくは、加工作業中のキャリアの損傷を防ぎ、これによって誘発される被加工物である板状体の破損事故を回避しつつ、より薄い板状体や石英やサファイアなどの硬度の高い板状体でも安全かつ高精度に研磨作業を実施し、その表裏に平滑度の高い平行平面を効率良く形成出来る両面ラップ盤用回転定盤に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記憶用ハードディスク、液晶ディスプレイなどの製造の際には、部品の一つであるガラス板などの板状体の研磨作業が必要であり、通常は両面ラップ盤によって実施されている。この両面ラップ盤１８は図１に示す様に被加工物である板状体９の表裏を、平行に位置設定されている回転定盤３，３で挟み、この回転定盤３，３を相互に逆回転させることにより、この回転定盤３の摺り合せ面１１に固着せしめられた研磨体によって板状体９の表裏の研磨を同時に行い、所望の平滑度の平行平面を有する板状体に仕上げるものである。更に詳しく説明すると、この作業は図２に示す様に、保持枠体であるキャリア１にあけられた透孔２に被加工物である板状体９を嵌め込み、一対の回転定盤３，３のうち下側の回転定盤３の外側に固定された円形枠体１９の内側に設けられた歯６及びこの下側の回転定盤３とは独立した駆動系により駆動される中央軸１７の外側に設けられた中央軸１７とは独立した駆動系によって駆動される平歯車２０に、キャリア１の外周縁に形成されている歯８をそれぞれ係合させ、板状体９が嵌め込まれているキャリア１の表裏を上下一対の平行な回転定盤３，３の摺り合せ面１１、１１で挟み込み、一対の回転定盤３，３をそれぞれ逆方向に回転させることにより、キャリア１に自転運動及び中央軸１７を中心とする公転運動を与えながらキャリア１によって保持されている板状体９の表裏を摺り合せ面１１との摺接によって同時に研磨するものである。なお、図３はこの研磨作業の際に用いるキャリア１の斜視図である。
そして、回転定盤３には、大きく分けて２タイプのものが存在しており、一つは図４に示すものの様に、回転定盤３の摺り合せ面１１に円柱状をなした小型のダイアモンドペレット１０を所定間隔で多数固定した所謂ペレット植設タイプであり、もう一つは図５に示す様に、回転定盤３の摺り合せ面自体を金属粉とダイアモンド粉とを焼結させた所定厚さを有する研磨体１４で構成した所謂総型タイプである。
【０００３】
前者、つまり図４に示すペレット植設タイプの回転定盤３においては、ダイアモンドペレット１０自体のサイズが小さく、その研削面は円形なので、被加工物である板状体９の通過方向に関係なく、最大通過距離は常に一定で、しかも短く、加工仕上がり精度が良いという特徴を有している。又、被加工物である板状体９の表面の平滑度を高めようとするときは、当然に細かい番手のダイアモンドペレット１０を使用することになり、それに伴い、加工しようとする板状体９とダイアモンドペレット１０の研削面とは、番手が細かくなるに従って互いに吸い付きやすくなるが、このペレット植設タイプの回転定盤３の場合には、ダイアモンドペレット１０植設の面率が低いので、かなり細かい番手のものまで、この吸い付き現象を抑制することができるというメリットもある。
【０００４】
一方、図５に示す総型タイプの回転定盤３の場合、摺り合せ面１１全体に研磨体１４が一体的に形成されているので、研磨力が大きく、荒番手での加工には適しているが、細かい番手になると、吸い付き現象が急激に大きくなる特徴があり、細かい番手の研磨作業には適していなかった。又、研磨体１４が一体的に形成されているので、一旦製作してしまった後は、定盤精度のコントロールは出来なかった。更に、加工精度を保つ為には、定盤全体を定期的に修正しなければならず、大掛かりな作業が必要で、コストや時間の面から
も問題があった。
【０００５】
近年は、磁気記憶用ハードディスクや液晶ディスプレイの高性能化に伴い、ガラス板だけではなく、より硬度の高い石英やサファイアなどの板状体を精密に研磨する機会が多くなっており、表面粗度に関する要求も益々高くなる傾向がある。又、より薄い被加工物を研磨しなければならなくなっており、加工時間短縮の要求も、益々厳しさを増している。この様な要求を満すには、図５に示す様な総型タイプの回転定盤３より、図４に示す様なペレット植設タイプの回転定盤３の方が適しており、これらの研磨作業には、このペレット植設タイプの回転定盤３が多く使用されている。
【０００６】
上述の通り、このペレット植設タイプの回転定盤３の場合、総型タイプの回転定盤３に比べ、より細かい番手でも吸い付き現象の発生がなく、吸い付き力も小さいことは確かであるが、対向した一対の物質間に働く分子間力に由来するこの吸い付き現象を完全になくすことは不可能であり、このペレット植設タイプの回転定盤３でも、ある番手以下になると、吸い付き力が大きくなり、研磨作業に支障を来す場合があった。
【０００７】
つまり、被加工物である板状体９は保持枠体であるキャリア１によって自転及び公転運動が付与されているのであるが、板状体９とダイアモンドペレット１０の研削面との間の吸い付き力が強大になると、キャリア１が自転及び公転運動をする際に大きな負担がかかり、外周縁に形成されている歯８を破損したり、上下にたわみ、外側周縁や内側周縁に沿って植設されているダイアモンドペレット１０にその一部が引っ掛ってしまい、破損することがあった。又、この引っ掛かりは加工回転数を上げるほど発生しやすくなるので、加工回転数には自ずと限界があり、加工時間の短縮もむずかしかった。ちなみに、キャリア１は、一般に、ガラス繊維製円板にエポキシ樹脂を含浸させて形成したものであるが、被加工物１である板状体９より薄くなければならず、板状体９が薄くなればなるほど、その強度の保持はむずかしかった。又、研磨作業の際には摺り合せ面１１に外部からクーラントを供給し、クーラントの潤滑作用によって吸い付きを減少させているが、ペレット植設タイプの場合、上側の回転定盤３からクーラントを供給しても、ダイアモンドペレット１０同士は離れており、その間には大きな空間が形成されているので、せっかく供給したクーラントもダイアモンドペレット１０，１０間をすり抜けてしまい、その研削面に乗ることなく、下側の回転定盤３側に一気に流れ落ちてしまい、吸い付き現象を抑制出来ない場合もあった。
【０００８】
そして、キャリア１が吸い付き力に抗し切れずに、回転運動中に上下にたわむと、キャリア１に形成されている透孔２の周縁が植設されているダイアモンドペレット１０の側面や角に引っかかってしまい、その部分が破損分離し、被加工物である板状体９を破損してしまうことになる。この現象は、最外周及び最内周に植設されているダイアモンドペレット１０との間で特に起こりやすく、加工回転数を上げるとこの現象は、益々発生しやすかった。研磨作業中には、板状体９に強大な圧力がかかっており、板状体９自体は薄く極めて脆弱であるので、キャリア１の破片によって板状体９は容易に破損され、板状体９の破損に伴う衝撃で植設されているダイアモンドペレット１０の回転定盤３からの分離脱落という重大事故につながることもあった。
【０００９】
この様に、より表面粗度が小さい研磨作業やより硬度の高い板状体の研磨作業、あるいは、より高回転での研磨作業が求められるに従って、キャリア１は破損の危険により一層多くさらされる様になっており、キャリア１の破損に起因する重大事故の発生を防止する為、何らかの対策が強く求められていた。なお、回転定盤３自体は数百キログラムから数トンに及ぶ重量物であり、一旦事故が起きると、その修復に長時間を要し、その間操業を停止しなければならないので、経済的にも損失は極めて大きかった。
【特許文献１】特開２００４−２４３４６９公報
【非特許文献１】なし
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明者は、ガラス板などの板状体の研磨作業に関する上記従来の問題点を解決すべく研究を行った結果、ダイアモンドペレット１０に代る新たな研磨片を、特定の配置方法で回転定盤３に固定することにより、吸い付き現象を低減化させ、キャリア１の破損を未然に防止できる回転定盤を特開２００４−２４３４６９として提案した。
【００１１】
この特開２００４−２４３４６９に係る両面ラップ盤用回転定盤は、図７に示す様に、円盤状をなし、被加工物である板状体９より小さい肉厚を有するキャリア１にあけられた透孔２に被加工物である板状体９を嵌め込み、上下一対の回転定盤３，３のうち下側の回転定盤３の外側に固定された円形枠体１９の内側に設けられた歯６及びこの下側の回転定盤３とは独立した駆動系により駆動される中央軸１７の外側に設けられ、中央軸１７とは独立した駆動系によって駆動される平歯車２０に、キャリア１の外周縁に形成されている歯８をそれぞれ係合させ、板状体９が嵌め込まれているキャリア１の表裏を上下一対の平行な回転定盤３，３の摺り合せ面１１，１１で挟み込み、一対の回転定盤３，３をそれぞれ逆方向に回転させることによりキャリア１に自転運動及び中央軸１７を中心とする公転運動を与えながらキャリア１によって保持されている板状体９の表裏を摺り合せ面１１，１１との摺接によって同時に研磨する両面ラップ盤用回転定盤において、摺り合せ面１１に、金属粉とダイアモンド粉とを焼結せしめた所定の厚みと幅を有する細長くかつ円弧状に弯曲した研磨片１５を、相互にこれら研磨片１５の横巾より狭い巾の空隙１６を保って、ほぼ均等かつ同心円状に固定したものである。
【００１２】
この両面ラップ盤用回転定盤においては、図６に示す様に、細長く円弧状に弯曲した研磨片１５は回転定盤３に相互に間隔をあけて同心円状に固定されており、従来の両面ラップ盤と同様に一対の回転定盤３、３間にキャリア１を挟み込み、このキャリア１に被加工物である板状体９を保持させて、キャリア１に自転運動及び公転運動を付与し、板状体９の表裏に研磨片１５を摺動させて、その研磨を行うのであるが、加工作業中に万が一キャリア１が何らかの理由によって上下にたわんだとしても、研磨片１５は弯曲した角棒状をしており、研磨片１５，１５間の空隙１６の巾は研磨片１５の横巾より狭いので、キャリア１の透孔２の周縁は、必ずどこかの部分でこの研磨片１５と接し、これによってたわみは矯正されるので、従来のダイアモンドペレットの場合の様に、研磨片１５の側面や角がキャリア１の透孔２の周縁に引っかかって、これを破損するおそれはほとんどなくなり、従来のものに比べ、より薄い板状体やより硬い板状体であっても安定して研磨作業を行うことが出来る様になった。
【００１３】
しかしながら、この特開２００４−２４３４６９の回転定盤においては、研磨片１５は図８に示す様に、細長く弯曲しており、その長軸側が円周方向を向く様に同心円状に固定されており、研磨作業の際は図９においては矢印で示す様に、研磨片１５はその長手方向一端２４から他端２５にかけて一つの板状体９を長手方向に縦断する相対運動を行うので、接触距離、接触時間とも従来の円柱状をなしたダイアモンドペレットに比べ、長くなり、クーラント切れが起こりやすく、クーラント切れに起因する冷却不足で、研磨片１５の表面が熱により炭化し、研磨片１５中に分散せしめられ、その表面に露出しているダイアモンド粉の刃先の破壊が起こり、研磨能力が著しく低下することがあった。又、研磨作業に伴い発生する切粉がクーラント切れを起こした研磨片１５と板状体９との間に侵入し、研磨片１５の表面に露出しているダイアモンド粉を磨耗させ、ますます研磨能力を低下させる原因となっていた。更に、クーラント切れによって板状体９に過大な負荷がかかり、研磨精度を低下させることにもなった。この様に、この特開２００４−２４３４６９として提案した両面ラップ盤用回転定盤は、キャリア１の破損を防ぐ効果は十分にあり、加工
回転数も前記ペレット植設タイプのものに比べ、高くすることが可能で、作業能率の点ではペレット植設タイプのものよりすぐれているが、クーラント切れの危険性を完全に払拭することは出来ず、仕上がり精度においては従来のペレット植設タイプのものより劣り、必ずしも満足すべきものではなかった。
【００１４】
本発明者は、この特開２００４−２４３４６９として提案した回転定盤及びペレット植設タイプの回転定盤のそれぞれの長所を併せ持った回転定盤を実現すべく研究を行った結果、ペレット植設タイプと同等の仕上がり精度を持ちつつ、キャリアの破損やクーラント切れが起こりにくい両面ラップ盤用回転定盤を開発することに成功し、本発明としてここに提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
円盤状をなし、被加工物である板状体より小さい肉厚を有するキャリアにあけられた透孔に被加工物である板状体を嵌め込み、上下一対の回転定盤（３），（３）のうち下側の回転定盤（３）の外側に固定された円形枠体の内側に設けられた歯及びこの下側の回転定盤（３）とは独立した駆動系により駆動される中央軸の外側に設けられ、中央軸とは独立した駆動系によって駆動される平歯車に、キャリアの外周縁に形成されている歯をそれぞれ係合させ、板状体が嵌め込まれているキャリアの表裏を上下一対の平行な回転定盤（３），（３）の表面に形成されたドーナツ状円盤形の摺り合せ面で挟み込み、一対の回転定盤（３），（３）をそれぞれ逆方向に回転させることによりキャリアに自転運動及び中央軸を中心とする公転運動を与えながらキャリアによって保持されている板状体の表裏を摺り合せ面（１１），（１１）との摺接によって同時に研磨する両面ラップ盤用回転定盤において、摺り合せ面（１１）の内側周縁２１と外側周縁２２に沿って、金属粉とダイアモンド粉とを焼結せしめた所定の厚みと幅を有し、断面が矩形をなした棒状の研磨片（２３）を、相互にこれら研磨片（２３）の横巾と同等かより狭い巾の空隙（１６）を保って、ほぼ均等かつ同心円状に固定して研磨片環状配列群（２９）（３０）を形成すると共に、前記研磨片環状配列群（２９）と研磨片環状配列群（３０）とに挟まれた領域にも研磨片（２３）を、相互にこれら研磨片（２３）の横巾と同等かより狭い巾の空隙（１６）を保って、ほぼ均等かつ同心円状に固定して、研磨片環状配列群（３１）を形成し、研磨片環状配列群（２９）（３０）（３１）に挟まれた領域に、金属粉とダイアモンド粉とを焼結せしめて所定の厚さと直径を有する円柱状をなしたダイアモンドペレット（１０）をほぼ均等かつ同心円状に固定することにより、上記課題を解決した。
【発明の効果】
【００１６】
板状体９の表裏に研磨片２３を摺動させて、その研磨を行うのであるが、加工作業中に万が一キャリアが何らかの理由によって上下にたわんだとしても、内側周縁２１、外側周縁２２及びその中間領域に同心円状に固定された研磨片２３は棒状をしており、研磨片２３，２３間の空隙１６はペレット植設タイプのものに比べはるかに小さいので、キャリアの透孔の周縁は、必ずどこかの部分でこの研磨片２３の研削面と接し、これによってたわみは矯正されるので、研磨片２３の側面や角がキャリアの透孔の周縁に引っかかる事故が特に起こりやすかった直径２１インチ回転定盤などの大径の回転定盤であっても、キャリアを破損するおそれはない。又、摺り合せ面１１の研磨片環状配列群２９、３０及び３１に挟まれた中間領域においては、ダイアモンドペレット１０がほぼ均等かつ同心円状に固定されており、ダイアモンドペレット１０はその研削面が円形でサイズ自体も小さく、被加工物である板状体９の通過方向に関係なく、最大通過距離は常に一定で、しかも短く、必要以上に長く接触することがないので、クーラント切れが起きにくく、ダイアモンドペレット１０の表面は十分に冷却され、刃先の切れ味が衰えることがなく、十分な研磨能力をいつまでも維持し続けられる。更に、内側周縁２１、外側周縁２２及びその中間領域にそれぞれ固定されている研磨片２３は、クーラントの流れを抑制する、言わば堰の役を果たすので、各研磨片２３及びダイアモンドペレット１０の研削面へクーラントが良く行き渡り、クーラント切れがなお一層起きにくくなっている。従って、加工精度の向上及び加工時間の短縮という従来両立が困難であった要求を同時に満足させることが可能であり、より薄い板状体や石英やサファイアなど硬度の高い板状体に対しても平滑度の高い平行平面を効率よく高精度で形成することが出来、極めて高い実用性を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
回転定盤の摺り合せ面１１の内側周縁２１、外側周縁２２及びその中間領域に棒状の研磨片２３をほぼ均等かつ同心円状に固定すると共に、摺り合せ面１１のその余の部分には円柱状をなしたダイアモンドペレット１０をほぼ均等かつ同心円状に固定した点に最大の特徴が存する。
【実施例１】
【００１８】
図１０はこの発明に係る両面ラップ盤用回転定盤の実施例１の摺り合せ面１１の平面図。図中３は回転定盤であり、上下一対設けられており、それぞれの摺り合せ面１１、１１が平行を保って対向する様になっている。
【００１９】
そして、一対の回転定盤３の表面に形成されたドーナツ状円盤形の摺り合せ面１１には、研磨片２３が下記に述べる所定の位置関係で配列固定されている。この研磨片２３は、従来のダイアモンドペレットと同様、金属粉とダイアモンド粉とを焼結させたものであり、所定の厚みと幅を有し、断面が矩形状をなした棒状を呈している。又、この実施の形態においては、平面形状における短辺の長さは、従来のダイアモンドペレットの直径とほぼ同じ程度の寸法となっているが、被加工物であるガラス板の口径や回転定盤３の寸法、その回転スピードなどに応じて適宜変更し得るものであることは当然である。
【００２０】
そして、この研磨片２３は、ドーナツ状円盤形をなした摺り合せ面１１の内側周縁２１と外側周縁２２に沿って、その巾と同等か、より狭い空隙を保ってほぼ均等かつ同心円状に一列づつ固定されていると共に、摺り合せ面１１の半径方向において内側周縁２１と外側周縁２２のほぼ中間位置にも、その巾と同等か、より狭い空隙を保ってほぼ均等かつ同心円状に固定され、研磨片環状配列群２９、３０及び３１を形成している。
なお、中間領域における研磨片環状配列群３１は、一個だけではなく複数個設けても良い。更に、摺り合せ面１１のその余りの部分には、所定の厚さと直径を有する円柱状をなしたダイアモンドペレット１０がほぼ均等かつ同心円状にほぼ万遍なく固定されている。なお、ダイアモンドペレット１０の厚さは前記研磨片２３の厚さと同じであり、その直径は研磨片２３の短辺の長さとほぼ同じである。又、このダイアモンドペレット１０の配置密度は従来のペレット植設タイプの回転定盤とほぼ同じであるが、被加工物である板状体の硬度や材質、その口径や回転定盤３の寸法、その回転スピードなど各種条件に応じて適宜変更し得る。
【００２１】
なお、図１０に示す実施例においては、研磨片２３の固定作業、交換作業あるいは保守作業を容易にする為、本件出願人が特開平１１−２２１７５４として提案した技術を応用し、研磨片２３及びダイアモンドペレット１０を、摺り合せ面１１を放射状に均等に分割した扇形をなしたゴム製の分割基板２８に貼り付け、この分割基板２８を摺り合せ面１１に貼り付ける様にしたが、摺り合せ面１１に研磨片２３及びダイアモンドペレット１０を直接固定しても良いことはもちろんである。
【００２２】
この実施例１は上記の通りの構成を有するものであり、図２に示す従来の両面ラップ盤と同様に、一対の回転定盤３、３間にキャリアを挟み込み、このキャリアに被加工物である板状体を保持させて、キャリアに自転運動及び公転運動を付与し、板状体の表裏に研磨片２３を摺動させて、その研磨を行うのであるが、加工作業中に万が一キャリアが何らかの理由によって上下にたわんだとしても、内側周縁２１、外側周縁２２及びその中間領域に同心円状に固定された研磨片２３は棒状をしており、研磨片２３，２３間の空隙１６はペレット植設タイプのものに比べはるかに小さいので、キャリアの透孔２の周縁は、必ずどこかの部分でこの研磨片２３の研削面と接し、これによってたわみは矯正されるので、研磨片２３の側面や角がキャリアの透孔の周縁に引っかかる事故が特に起こりやすかった直径２１インチ回転定盤など大径の回転定盤であっても、キャリアを破損するおそれはない。又、研磨片環状配列群２９、３０及び３１に挟まれた中間領域においては、ダイアモンドペレット１０がほぼ均等かつ同心円状に固定されており、ダイアモンドペレット１０はその研削面が円形でサイズ自体も小さく、被加工物である板状体の通過方向に関係なく、最大通過距離は常に一定で、しかも短く、必要以上に長く接触することがないので、クーラント切れが起きにくく、ダイアモンドペレット１０の表面は十分に冷却され、刃先の切れ味が衰えることがなく、十分な研磨能力をいつまでも維持し続けられる。更に、内側周縁２１、外側周縁２２及びその間にそれぞれ同心円状に固定されている研磨片２３は、クーラントの流れを抑制する、言わば堰の役を果たすので、各研磨片２３及びダイアモンドペレット１０の研削面へクーラントが良く行き渡り、クーラント切れがなお一層起きにくくなっている。従って、加工精度の向上及び加工時間の短縮という従来両立が困難であった要求を同時に満足させることが可能であり、より薄い板状体や石英やサファイアなど硬度の高い板状体に対しても平滑度の高い平行平面を効率よく高精度で形成することが出来、極めて高い実用性を有する。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
各種電子部品製造や光学部品製造など各種産業分野において利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】ガラス板を研磨する為に用いる両面ラップ盤の代表例の側面図。
【図２】従来の回転定盤にキャリアを組込んだ状態の斜視図。
【図３】回転定盤に組込むキャリアの一例の斜視図。
【図４】従来用いられているペレット植設タイプの回転定盤の一例の斜視図。
【図５】従来用いられている総型タイプの回転定盤の一例の斜視図。
【図６】特開２００４−２４３４６９として提案された回転定盤の平面図。
【図７】同じく、キャリアを組み込んだ状態の斜視図。
【図８】同じく、特開２００４−２４３４６９で用いられた研磨片１５の一例の斜視図。
【図９】特開２００４−２４３４６９におけるガラス板と研磨片の相対運動を説明した説明図。
【図１０】この発明に係る回転定盤の実施例１の平面図。
【符号の説明】
【００２５】
１    キャリア
２    透孔
３    回転定盤
６    歯
７    外周縁
８    歯
９    板状体
１０    ダイアモンドペレット
１１    摺り合せ面
１４    研磨体
１５    研磨片
１６    空隙
１７    中央軸
１８    両面ラップ盤
１９    円形枠体
２０    平歯車
２１    内側周縁
２２    外側周縁
２３    研磨片
２８    分割基板
２９    研磨片環状配列群
３０    研磨片環状配列群
３１    研磨片環状配列群
【図１】
0005254661.tif 000002
【図２】
0005254661.tif 000003
【図３】
0005254661.tif 000004
【図４】
0005254661.tif 000005
【図５】
0005254661.tif 000006
【図６】
0005254661.tif 000007
【図７】
0005254661.tif 000008
【図８】
0005254661.tif 000009
【図９】
0005254661.tif 000010
【図１０】
0005254661.tif 000011