(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
壁（３）の開口部（４）を真空に閉塞する開閉装置（１）であって、
開閉プレート（１１）と、前記開閉プレート（１１）を駆動する駆動ユニット（７）と、前記駆動ユニット（７）を駆動するベースユニット（１）とを備え、
前記開閉プレート（１１）は前記開閉装置（１）の閉塞に際して前記開口部（４）が開放されている開放位置から、前記開口部（４）を覆う一方で前記壁（３）から離れている中間位置を経て、前記開口部（４）を覆いかつ前記壁（３）に当接している閉塞位置に移動可能であり、かつ、前記開閉装置（１）の開放に際して前記閉塞位置から前記中間位置を経て前記開放位置に移動可能であり、
前記駆動ユニット（７）は一または複数の第２ピストンシリンダユニット（９）を有し、当該第２ピストンシリンダユニット（９）により前記開閉プレート（１１）が前記中間位置から前記閉塞位置まで第２閉塞方向に移動可能とされ、かつ、前記閉塞位置から前記中間位置まで第２開放方向に移動可能とされ、当該第２ピストンシリンダユニット（９）は高圧気体により第２閉塞シリンダ空間（１９）を加圧して前記第２閉塞方向の力を第２閉塞ピストン面（２０）に作用させ、かつ、高圧気体により第２開放シリンダ空間（２２）を加圧して前記第２開放方向の力を第２開放ピストン面（２３）に作用させ、
前記ベースユニット（１）は一または複数の第１ピストンシリンダユニット（２）を有し、当該第１ピストンシリンダユニット（２）により前記開閉プレート（１１）が前記開放位置から前記中間位置まで第１閉塞方向に移動可能とされ、かつ、前記中間位置から前記開放位置に第１開放方向に移動可能とされ、当該第１ピストンシリンダユニット（２）は高圧気体により第１閉塞シリンダ空間（１４）を加圧して前記第１閉塞方向の力を第１閉塞ピストン面（１５）に作用させ、かつ、高圧気体により第１開放シリンダ空間（１７）を加圧して前記第１開放方向の力を第１開放ピストン面（１８）に作用させ、これにより前記第２閉塞シリンダ空間（１９）が前記第１閉塞シリンダ空間（１４）または閉塞用気体通路（２５）を介して前記第１閉塞シリンダ空間（１４）の一部に接続され、かつ、前記第２開放シリンダ空間（２２）が前記第１開放シリンダ空間（１７）または開放用気体通路（２４）を介して前記第１開放シリンダ空間（１７）の一部に接続され、
前記開閉装置（１）の閉塞に際して前記第１閉塞シリンダ空間（１４）および前記第２閉塞シリンダ空間（１９）と、前記第１開放シリンダ空間（１７）および前記第２開放シリンダ空間（２２）とが加圧される一方、前記開閉装置（１）の開放に際して前記第１開放シリンダ空間（１７）および前記第２開放シリンダ空間（２２）のみが加圧され、
前記第１閉塞ピストン面（１５）が前記第１開放ピストン面（１８）よりも広く、前記第２閉塞ピストン面（２０）が前記第２開放ピストン面（２３）より広く、
前記第１閉塞ピストン面（１５）と前記第１開放ピストン面（１８）との面積比率（以下「第１面積比率」という。）が、前記第２閉塞ピストン面（２０）と前記第２開放ピストン面（２３）との面積比率（以下「第２面積比率」という。）よりも高く、
切替バルブ（３１）の２つの入口部が接続されている閉塞用気体接続部（２９）および開放用気体接続部（２８）を有し、前記切替バルブ（３１）の出口部が前記第１開放シリンダ空間（１７）に接続されていることを特徴とする開閉装置。
【請求項２】
請求項１記載の開閉装置（１）において、
前記閉塞用気体通路（２５）が前記第１ピストンシリンダユニット（２）の第１ピストンロッド（６）または前記第１ピストンシリンダユニット（２）の一部を通っていることを特徴とする開閉装置。
【請求項３】
請求項２記載の開閉装置（１）において、
前記第１ピストンロッド（６）が、前記閉塞用気体通路（２５）が通るパイプ状に形成され、当該閉塞用気体通路（２５）が前記駆動ユニット（７）とは反対側の当該第１ピストンロッド（６）の開放端部から当該第１ピストンロッド（６）の内部空間を通っていることを特徴とする開閉装置。
【請求項４】
請求項１〜３のうちいずれか１つに記載の開閉装置（１）において、
前記開放用気体通路（２４）が前記第１ピストンシリンダユニット（２）の第１ピストンロッド（６）または前記第１ピストンシリンダユニット（２）の一部を通っていることを特徴とする開閉装置。
【請求項５】
請求項４記載の開閉装置（１）において、
前記第１ピストンロッド（６）がパイプ状に形成され、前記開放用気体通路（２４）が前記ピストンロッド（６）の壁に設けられた、当該ピストンロッド（６）の内部空間における穴を通っていることを特徴とする開閉装置。
【請求項６】
請求項１〜５のうちいずれか１つに記載の開閉装置（１）において、
前記閉塞用気体通路（２５）および前記開放用気体通路（２４）が別々の前記第１ピストンシリンダユニット（２）を通っていることを特徴とする開閉装置。
【請求項７】
請求項１〜６のうちいずれか１つに記載の開閉装置（１）において、
前記閉塞用気体通路（２５）の一部および前記開放用気体通路（２４）の一部のそれぞれが前記駆動ユニット（７）の横穴から形成されていることを特徴とする開閉装置。
【請求項８】
請求項１〜７のうちいずれか１つに記載の開閉装置（１）において、
前記駆動ユニット（７）が、前記第２ピストンシリンダユニット（９）または各第２ピストンシリンダユニット（９）に形成された第２シリンダ室を有し、当該第２シリンダ室には、前記第２開放シリンダ空間（２２）および前記第２閉塞シリンダ空間（１９）を相互に区分する二方向に作用する第２ピストン（２１）が配置されていることを特徴とする開閉装置。
【請求項９】
請求項１〜８のうちいずれか１つに記載の開閉装置（１）において、
前記ベースユニット（１）が一またはそれぞれの前記第１ピストンシリンダユニット（２）に形成された第１シリンダ室を有し、当該第１シリンダ室には、前記第１閉塞シリンダ空間（１４）および前記第１開放シリンダ空間（１７）を相互に区分する、二方向に作用する第１ピストン（１６）が配置されていることを特徴とする開閉装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のうちいずれか１つに記載の開閉装置（１）において、
前記閉塞用気体接続部（２９）を前記切替バルブ（３１）に接続する接続通路（３３）が高圧気体通路（３２）から外側に延設され、当該接続通路（３３）が前記第１閉塞シリンダ空間（１４）に通じていることを特徴とする開閉装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のうちいずれか１つに記載の開閉装置（１）において、前記第１面積比率が、前記第２面積比率よりも７０％以上大きいことを特徴とする開閉装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、壁の開口部を真空に閉塞する開閉装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような開閉装置として、開閉プレートと、当該開閉プレートを駆動する駆動ユニットと、当該駆動ユニットを駆動するベースユニットとを備えている開閉装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。開閉プレートは開閉装置の閉塞に際して開口部が開放されている開放位置から、開口部を覆う一方で壁から離れている中間位置を経て、開口部を覆いかつ壁に当接している閉塞位置に移動可能とされ、かつ、開閉装置の開放に際して閉塞位置から中間位置を経て開放位置に移動可能とされている。
【０００３】
駆動ユニットは一または複数の第２ピストンシリンダユニットを有する。第２ピストンシリンダユニットにより開閉プレートが中間位置から閉塞位置まで第２閉塞方向に移動可能とされている。また、開閉プレートが閉塞位置から中間位置まで第２開放方向に移動可能とされている。第２ピストンシリンダユニットは高圧気体により第２閉塞シリンダ空間を加圧して第２閉塞方向の力を第２閉塞ピストン面に作用させる。また、第２ピストンシリンダユニットは高圧気体により第２開放シリンダ空間を加圧して第２開放方向の力を第２開放ピストン面に作用させる。
【０００４】
ベースユニットは一または複数の第１ピストンシリンダユニットを有している。第１ピストンシリンダユニットにより開閉プレートが開放位置から中間位置まで第１閉塞方向に移動可能とされ、かつ、中間位置から開放位置に第１開放方向に移動可能とされている。第１ピストンシリンダユニットは高圧気体により第１閉塞シリンダ空間を加圧して第１閉塞方向の力を第１閉塞ピストン面に作用させる。また、第１ピストンシリンダユニットは高圧気体により第１開放シリンダ空間を加圧して第１開放方向の力を第１開放ピストン面に作用させる。これにより、第２閉塞シリンダ空間が第１閉塞シリンダ空間または閉塞用気体通路を介して第１閉塞シリンダ空間の一部に接続される。また、第２開放シリンダ空間が第１開放シリンダ空間または開放用気体通路を介して第１開放シリンダ空間の一部に接続される。
【０００５】
開閉装置を閉塞に際して第１および第２閉塞シリンダ空間が加圧される一方、第１および第２開放シリンダ空間は大気に接続される。開閉装置の開放に際して、高圧空気等の高圧気体により第１および第２閉塞シリンダ空間、ならびに、第１および第２開放シリンダ空間に高圧空気等の高圧気体が導入される。さらに、第１閉塞ピストン面は第１開放ピストン面より小さく、また、第２閉塞ピストン面は第２開放ピストン面より小さい。第１ピストンシリンダユニットは二方向に作用する第１ピストンにより構成されている。第１ピストンロッドが対向して位置する第１ピストンの部分に、第１ピストンロッドに対向する大きな直径を有する案内ロッドが配置されている。第２ピストンシリンダユニットには２つの簡単なピストンがあり、異なる直径があり、かつ、２つの異なる直径が設けられている部分にシリンダ穴が設けられている。開閉装置の開放状態および閉塞状態の切り替えのために３／２通路バルブが用いられる。
【特許文献１】米国特許公報  ＵＳ６，０５６，２６６  Ａ
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、従来の開閉装置と比較して簡単な構造の開閉装置を提供することを解決課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の開閉装置は、前記開閉装置（１）の閉塞に際して前記第１閉塞シリンダ空間（１４）および前記第２閉塞シリンダ空間（１９）と、前記第１開放シリンダ空間（１７）および前記第２開放シリンダ空間（２２）とが加圧される一方、前記開閉装置（１）の開放に際して前記第１開放シリンダ空間（１７）および前記第２開放シリンダ空間（２２）のみが加圧され、
前記第１閉塞ピストン面（１５）が前記第１開放ピストン面（１８）よりも広く、前記第２閉塞ピストン面（２０）が前記第２開放ピストン面（２３）より広く、
前記第１閉塞ピストン面（１５）と前記第１開放ピストン面（１８）との面積比率（以下「第１面積比率」という。）が、前記第２閉塞ピストン面（２０）と前記第２開放ピストン面（２３）との面積比率（以下「第２面積比率」という。）よりも高く、
切替バルブ（３１）の２つの入口部が接続されている閉塞用気体接続部（２９）および開放用気体接続部（２８）を有し、前記切替バルブ（３１）の出口部が前記第１開放シリンダ空間（１７）に接続されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の構成によれば、第１ピストンシリンダユニットの構造が簡易化され、これによりピストンロッドが対向して位置するピストンの部分に、当該ピストンロッドに対向する大きな直径を有する案内ロッドが不要となる。
【０００９】
第２ピストンシリンダユニットに関して、特に二方向に作用するピストンが設けられてもよい。
【００１０】
好ましくは、閉塞用気体通路を切替バルブに接続する気体通路から少なくとも１つの接続通路が延設され、当該接続通路は第１ピストンシリンダユニットの閉塞シリンダ空間を通り、または当該気体通路からすべての第１ピストンシリンダユニットの第１閉塞シリンダ空間に延設されている。３／２通路バルブを必要とすることなく、開閉装置の操作が簡易化されうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の開閉装置の実施形態について図面を用いて説明する。
【００１２】
開閉装置はベースユニット１を備えている。ベースユニット１は２つの第１ピストンシリンダユニット２を備えている。なお、第１ピストンシリンダユニット２はこれより多くても少なくてもよい。ベースユニット１はネジ５によりネジ止めされる等、開口部４を有する壁３に固定されていてもよい。壁３は真空室の壁であってもよい。そのような真空室の開口部用の開閉装置はいわゆる真空扉であってもよい。導管の開口部が開閉装置により閉塞されてもよい。開閉装置はいわゆる真空バルブであってもよい。多くの開閉装置はそれが二方向に作用する差圧に対抗して開口部の閉塞を維持する場合、バルブと呼ばれる。また、一方向に作用する差圧に対抗して開口部の閉塞を維持するように設計されてもよい（このような開閉装置は「扉」と呼ばれる。）。
【００１３】
第１ピストンシリンダユニット２の第１ピストンロッド６には駆動ユニット７が取り付けられている。後で説明するように、駆動ユニット７はベースユニット１により駆動され、第１ピストンシリンダユニット２により開口部４の縦軸８に対して横方向に動かされる。
【００１４】
駆動ユニット７は３つの第２ピストンシリンダユニット９を備えている。なお、第２ピストンシリンダユニット９はこれより多くても少なくてもよい。
【００１５】
第２ピストンシリンダユニット９の第２ピストンロッド１０には開閉プレート１１が取り付けられている。開閉プレート１１は駆動ユニット７により駆動され、第２ピストンシリンダユニット９から開口部４の縦軸８の縦方向に動くことができる。
【００１６】
図１〜図３、図５および図６に示されているように開閉装置の開放状態において、開閉プレート１１はその開放位置にある。開閉装置の閉塞に際して、まず、開閉プレート１１は第１ピストンシリンダユニット２により、横方向に、具体的には開口部４の縦軸８に対して垂直方向に中間位置まで動かされる。当該中間位置において、開閉プレート１１は開口部４を（開口部４の縦軸８の方向からみて）覆う一方、壁３から離れている（図示略）。
【００１７】
開閉プレート１１は第２ピストンシリンダユニット９により、開口部４の縦軸８に対して平行に（壁３の面に対して垂直に）中間位置から閉塞位置まで動かされる。当該閉塞位置において、開閉プレート１１が開口部４の周囲において壁３に当接する。これにより、開閉プレート１１のシール部材１２が開口部４の周囲に設けられているシール面１３（図１参照）に当接する。シール部材１２が壁３に設けられ、かつ、シール面１３が開閉プレート１１に設けられていてもよい。開閉装置の閉塞状態は図４および図７〜図８に示されている。
【００１８】
開閉装置の開放に際して、当該過程が逆の順で実行される。まず、第１ピストンシリンダユニット２により、開口部４の縦軸８に対して平行な開放方向に、開閉プレート１１が壁３から離され、続いて、第２ピストンシリンダユニット９により、横方向、特に開口部４の縦軸８に対して垂直な開放方向に動かされる。
【００１９】
開閉装置は高圧空気や高圧窒素等の高圧気体を用いて開閉される。第１ピストンシリンダユニット２により、その閉塞方向に力を作用させるため、各第１ピストンシリンダユニット２の第１閉塞シリンダ空間１４に高圧気体が導入される。これにより、第１ピストンシリンダユニット２の第１ピストン１６の第１閉塞ピストン面１５が押圧される。各第１ピストンシリンダユニット２の第１開放シリンダ空間１７に高圧気体が導入されることで、第１ピストン１６の第２開放ピストン面１８が押圧される（図５および図７参照）。
【００２０】
各第１ピストン１６の第１ピストンロッド６への取り付け具の役割を担う端部２６、２７は、外側に突出したリングバンドとして形成されている。リングバンドの周囲にはピストンロッド６の内ネジに外ネジが螺着されることで、各第１ピストン１６が取り付けられている。端部２７は蓋により閉じられるように構成され、パイプ状に形成されているピストンロッド６を閉塞する。一方、端部２６は穴を備え、またはパイプ状に形成されている（その目的は後述する。）。なお、第１ピストン１６は他の方法で第１ピストンロッド６に固定されてもよい。
【００２１】
第１開放ピストン面１８は第１ピストン１６の外側輪郭および第１ピストンロッド６の外側輪郭の間で環状、たとえば円環状に形成される。第１閉塞ピストン面１５は第１ピストン１６の外側輪郭を取り囲む面として定義され、端部２６、２７、さらには端部２６の穴の範囲にまで広がっている。第１閉塞シリンダ空間１４にある高圧気体は当該すべての面に閉塞方向に作用する力を及ぼし、当該すべての面は第１閉塞ピストン面１５の実質的な役割を担う。
【００２２】
第２ピストンシリンダユニット９により閉塞方向に力を作用させるため、各第２ピストンシリンダユニット９の第２閉塞シリンダ空間１９に高圧気体が導入される。これにより、第２ピストン２１の第２閉塞ピストン面２０が押圧される。これとは逆に開放方向に力を作用させるため、各第２ピストンシリンダユニット９の第２開放シリンダ空間２２に高圧気体が導入される。これにより、第２開放ピストン面２３が押圧される（図６および図８参照）。
【００２３】
各第１ピストンシリンダユニット２の第１ピストン１６も、各第２ピストンシリンダユニット９の第２ピストン２１と同様に、二方向に作用するピストンとして構成されている。第１ピストンシリンダユニット２のシリンダ空間はパイプ状の部分により構成されている。第２ピストンシリンダユニット９のシリンダ空間は駆動ユニット７のシリンダの中空部により構成されている。シリンダの中空空間に第２ピストン２１を設けるため、駆動ユニット７はベース部分およびこれから取り外し可能な蓋部分の２つの部分により構成され、当該２つの部分の間にはシール部材３５が配置されている。
【００２４】
開閉プレート１１は、具体的には固定ネジ３７により第２ピストンシリンダユニット９のピストンロッド３６に固定される。固定ネジ３７は第２ピストン２１および第１ピストンロッド１０を貫通しており、開閉プレート１１に対向する側に駆動ユニット７を取り付けることができる。駆動ユニット７は対応する穴を備え、第２ピストン２１の開閉プレート１１の反対側にある部分に突出部３８が設けられ、当該突出部３８はシール部材３６により駆動ユニット７に対して塞がれている。
【００２５】
第２ピストンシリンダユニット９の第２開放シリンダ空間２２は、開放用気体通路２４を介して、第１ピストンシリンダユニット２の第１開放シリンダ空間１７に接続されている（図２、図５および図７の左側参照）。第２開放シリンダ空間２２は、第１ピストンシリンダユニット２の第１開放シリンダ空間１７から、パイプ状に形成された第１ピストンロッド６の壁の穴を経て、当該ピストンロッド６の内側中空空間に通じている。第１ピストンロッド６の内側中空空間は駆動ユニット７の、開放用気体通路２４の一部に設けられた横穴に通じており、かつ、第２ピストンシリンダユニット９の第２開放シリンダ空間２２に通じている。当該横穴は図６および図８に示されている。
【００２６】
第２ピストンシリンダユニット９の第２閉塞シリンダ空間１９は、閉塞用気体通路２５を介して、第１ピストンシリンダユニット２の第１閉塞シリンダ空間１４に接続されている（図２、図５および図７の右側参照）。第２閉塞シリンダ空間１９は、第１ピストンシリンダユニット２の第１閉塞シリンダ空間１４から、駆動ユニット７の反対側にあるピストンロッド６の端部２６の前記穴を通じて、第１ピストンロッド６の内側中空空間に通じている。第１ピストンロッド６の内側中空空間は駆動ユニット７の、閉塞用気体通路２５の部分に設けられた２つの横穴に通じており、かつ、第２ピストンシリンダユニット９の第２閉塞シリンダ空間１９に通じている。当該横穴は図６および図８に示されている。
【００２７】
第１ピストンシリンダユニット２の第１閉塞ピストン面１５は、第１ピストンシリンダユニット２の第２開放ピストン面１８より広い。第２ピストンシリンダユニット９の第２閉塞ピストン面２０は、第２ピストンシリンダユニット９の第２開放ピストン面２３より広い。
【００２８】
各第１ピストンシリンダユニット２の第１閉塞ピストン面１５および第２開放ピストン面１８の面積比率（＝第１面積比率）は第１の値を示し、たとえばすべての第１ピストンシリンダユニット２について同じである。各第２ピストンシリンダユニット９の第２閉塞ピストン面２０および第２開放ピストン面２３の面積比率（＝第２面積比率）は第２の値を示し、たとえばすべての第２ピストンシリンダユニット９において同じである。第１面積比率は第２面積比率より高く設定されている。特に、第１面積比率は第２面積比率より７０％以上高く設定されている。第１面積比率が第２面積比率よりも十分に大きく設定されている。各１ピストンシリンダユニット２の第１閉塞ピストン面１５および第１開放ピストン面１８の比率は８：３に設定されている。各第２ピストンシリンダユニット９の第２閉塞ピストン面２０および第２開放ピストン面２３の比率は４：３に設定されている。
【００２９】
開閉装置はその開放のために開放用気体接続部２８を備え、その閉塞のために閉塞用気体接続部２９を備えている。図５および図７に示されている高圧気体通路３０が、開放用気体接続部２８から、切替バルブ３１の入口部に接続されている。図５および図７に示されている気体通路３２が、閉塞用気体接続部２９から、切替バルブ３１の他の２つの入口部に接続されている。接続通路３３が気体通路３２から分岐し、各第１ピストンシリンダユニット２に接続されている。切替バルブ３１の出口部は気体通路３４を介して、各第１ピストンシリンダユニット２の第１開放シリンダ空間１７に接続されている。図５および図７において簡略的に示されている気体通路３４は切替バルブ３１の先端部分に接続されている。環状部分３９およびこれに連続するベースユニット１の部分４０の穴を経過する部分が、環状溝４１を介してベースユニット１のブッシュ４２の穴に接続されている。
【００３０】
切替バルブ３１は公知である。その機能により、入口部を通っていた高圧気体が（他の入口部ではなく）出口部に通される。２つの逆止めバルブにより２つの入口部を有する切替バルブ３１が実現されてもよい。特に、公知のボール等の閉塞要素が採用され、図５および図７に示されているように圧力が低下したそれぞれの入口部が閉塞される。
【００３１】
開閉装置の開放状態において、第１ピストンシリンダユニット２の第１開放シリンダ空間１７および第２ピストンシリンダユニット９の第２開放シリンダ空間２２のそれぞれには高圧空気による密閉圧力系が存在する。また、第１ピストンシリンダユニット２の第１閉塞シリンダ空間１４および第２ピストンシリンダユニット９の第２閉塞シリンダ空間１９には大気圧が存在する。一方、開閉装置の閉塞状態において、第１ピストンシリンダユニット２の第１開放シリンダ空間１７および第１閉塞シリンダ空間１４、ならびに、第２ピストンシリンダユニット９の第２閉塞シリンダ空間２２および第２閉塞空間１９には高圧空気による閉塞圧力系が存在する。開閉装置の高圧空気が存在する状態を維持するため、気体通路３０、３２には（接続通路３３の上流側に）逆止めバルブが配置されていてもよい。
【００３２】
図５および図６に示されている開放状態において、高圧空気が閉塞用気体接続部２９に導入され（かつ開放用気体接続部２８が大気圧に接続され）、これにより、第１ピストンシリンダユニット２の第１閉塞シリンダ空間１４および第２ピストンシリンダユニット９の第２閉塞シリンダ空間１９のそれぞれが、第１ピストンシリンダユニット２の第１開放シリンダ空間１７および第２ピストンシリンダユニット９の第２開放シリンダ空間２２のそれぞれと同様に加圧される。開閉装置の開放状態で気圧が下げられた第１閉塞シリンダ空間１４および第２閉塞シリンダ空間１９における気圧が下限値まで上昇する。当該下限値において、第１ピストンシリンダユニット２の第１ピストン１６を閉塞方向に動かす観点から、第１閉塞ピストン面１５に作用する力は十分強くなる。その一方、第２ピストンシリンダユニット９の第２ピストン２１を閉塞方向に動かす観点から、第２閉塞ピストン面２０に作用する力はまだ不十分である。開閉プレート１１が中間位置にあり、第１ピストン１６が他端位置に到達するまでの間、第１閉塞シリンダ空間１４および第２閉塞シリンダ空間１９の気圧はほぼ当該下限値付近にある。第１閉塞シリンダ空間１４および第２閉塞シリンダ空間１９の気圧が上限値にいたるまで上昇する過程において、第２ピストン２１を閉塞方向に動かす観点から、第２ピストンシリンダユニット９の第２閉塞ピストン面２０に作用する力が十分に強くなる。また、開閉プレート１１が中間位置から閉塞位置に移動して、壁３に押し付けられる。
【００３３】
開閉装置の開放に際して、開放用気体接続部２８が加圧され、閉塞用気体接続部２９の圧力が（大気に接続されることで）下げられる。第１ピストンシリンダユニット２の第１閉塞シリンダ空間１４および第２ピストンシリンダユニット９の第２閉塞シリンダ空間１９の気圧が上限値よりも低くなったとき、第２ピストンシリンダユニット９の第２ピストン２１が開放方向に動き始める。これにより、第１閉塞シリンダ空間１４および第２閉塞シリンダ空間１９の気圧は開閉プレート１１が中間位置に到達するまでほぼ一定値になる。さらに当該気圧が下限値付近まで低下する過程において、第１ピストンシリンダユニット２の第１ピストン１６が開放方向に動き始める。
【００３４】
閉塞加圧系はたとえば４〜７バールの範囲に設定されていてもよい。圧力の下限値はたとえば１〜２バールの範囲、特に約１．５バールに設定されていてもよい。圧力の上限値はたとえば２．５〜３．５バールの範囲、特に約３バールに設定されてもよい。
【００３５】
１つの第１ピストンシリンダユニット２および１つの第２ピストンシリンダユニット９のみが設けられる等、第１ピストンシリンダユニット２および第２ピストンシリンダユニット９の数は多くても少なくてもよい。前記機能は同様に発揮される。
【００３６】
開放用気体通路２４および閉塞用気体通路２５が同じピストンロッド６を通ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】開口部が開設された壁が設けられている、開放状態にある本発明の開閉装置の斜視図
【図２】図１の状態にある開閉放置から壁を除いた正面図
【図３】開放状態にある開閉装置の部分断面図
【図４】閉塞状態にある開閉装置の部分断面図
【図５】図３のＡ−Ａ線に沿った断面図
【図６】図２のＢ−Ｂ線に沿った断面図
【図７】開閉装置の閉塞状態における図５の対応断面図
【図８】開閉装置の閉塞状態における図６の対応断面図
【符号の説明】
【００３８】
１‥ベースユニット、２‥第１ピストンシリンダユニット、３‥壁、４‥開口部、５‥ネジ、６‥第１ピストンロッド、７‥駆動ユニット、８‥縦軸、９‥第２ピストンシリンダユニット、１０‥第２ピストンロッド、１１‥開閉プレート、１２‥シール部材、１３‥シール面、１４‥第１閉塞シリンダ空間、１５‥第１閉塞ピストン面、１６‥第１ピストン、１７‥第１開放シリンダ空間、１８‥第１開放ピストン面、１９‥第２閉塞シリンダ空間、２０‥第２閉塞ピストン面、２１‥第２ピストン、２２‥第２開放シリンダ空間、２３‥第２開放ピストン面、２４‥開放用気体通路、２５‥閉塞用気体通路、２６‥端部、２７‥端部、２８‥開放用気体接続部、２９‥閉塞用気体接続部、３０‥気体通路、３１‥切替バルブ、３２‥気体通路、３３‥接続通路、３４‥気体通路、３５‥シール部材、３６‥シール部材、３７‥固定ネジ、３８‥連続部分、３９‥パイプ部分、４０‥接続部分、４１‥環状溝、４２‥ブッシュ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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