(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状材料の搬送のための直線状パスラインに沿って、複数台連続して配置されたＬ字形状エアテーブルユニット、及び、このＬ字形状エアテーブルユニットの溝を埋める大きさの３角形状エアテーブルユニットを有してなり、
前記複数のＬ字形状エアテーブルユニットは、各々が、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、平面視でＬ字形状であって、Ｌ字の一辺及び他辺が、前記直線状パスラインに対して各々４５°の角度で、且つＬ字角部を同一方向に向けて並べて配置されてエアテーブルユニット列を構成し、
前記３角形状エアテーブルユニットは、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、前記エアテーブルユニット列における尾端位置のＬ字形状エアテーブルユニットの略３角形の空白部に入り込むように配置され、
前記エアテーブルユニット列及び３角形状エアテーブルユニットの組合せを、２基、各々の直線状パスラインが直交するように配置してなり、
前記２列のエアテーブルユニット列は、各々の、エアテーブルユニット列の先端のＬ字角部が前記２本の直線状パスラインの交点近傍位置となるように配置され、
前記交点を中心として、半径が前記Ｌ字の一辺の長さの円形領域内における、前記２列のエアテーブルユニット列の外側部分を埋めるようにして、前記と同様のＬ字形状エアテーブルユニット及び３角形状エアテーブルユニットを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項２】
薄板状材料の搬送のための直線状パスラインに沿って、複数台連続して配置されたＬ字形状エアテーブルユニット、及び、このＬ字形状エアテーブルユニットの溝を埋める大きさの３角形状エアテーブルユニットを有してなり、
前記複数のＬ字形状エアテーブルユニットは、各々が、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、平面視でＬ字形状であって、Ｌ字の一辺及び他辺が、前記直線状パスラインに対して各々４５°の角度で、且つＬ字角部を同一方向に向けて並べて配置されてエアテーブルユニット列を構成し、
前記３角形状エアテーブルユニットは、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、前記エアテーブルユニット列における尾端位置のＬ字形状エアテーブルユニットの略３角形の空白部に入り込むように配置され、
前記エアテーブルユニット列及び３角形状エアテーブルユニットの組合せを、３基、３本の直線状パスラインがＴ字形状に交差するように配置してなり、
前記３列のエアテーブルユニット列は、各々の、エアテーブルユニット列の先端のＬ字角部が前記３本の直線状パスラインの交点近傍位置となるように配置され、
前記交点を中心として、半径が前記Ｌ字の一辺の長さの円形領域内における、前記３列のエアテーブルユニット列の外側部分を埋めるようにして、前記と同様のＬ字形状エアテーブルユニット及び３角形状エアテーブルユニットを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項３】
薄板状材料の搬送のための直線状パスラインに沿って、複数台連続して配置されたＬ字形状エアテーブルユニット、及び、このＬ字形状エアテーブルユニットの溝を埋める大きさの３角形状エアテーブルユニットを有してなり、
前記複数のＬ字形状エアテーブルユニットは、各々が、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、平面視でＬ字形状であって、Ｌ字の一辺及び他辺が、前記直線状パスラインに対して各々４５°の角度で、且つＬ字角部を同一方向に向けて並べて配置されてエアテーブルユニット列を構成し、
前記３角形状エアテーブルユニットは、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、前記エアテーブルユニット列における尾端位置のＬ字形状エアテーブルユニットの略３角形の空白部に入り込むように配置され、
前記エアテーブルユニット列及び３角形状エアテーブルユニットの組合せを、４基、４本の直線状パスラインが十字状に交差するように配置してなり、
前記４基のエアテーブルユニット列は、各々の、エアテーブルユニット列の先端のＬ字角部が前記４本の直線状パスラインの交点近傍位置となるように配置されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記交点を中心として、半径が前記Ｌ字の一辺の長さの円形領域内における、前記４列のエアテーブルユニット列の外側部分を埋めるようにして、前記と同様のＬ字形状エアテーブルユニット及び３角形状エアテーブルユニットを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項５】
請求項１、２、４のいずれかにおいて、
前記複数のエアテーブルユニット列の、前記円形領域内の、前記交点から等距離の位置に、該交点を中心とする等角度間隔に配置された複数の薄板状材料搬送ユニットを有し、
該薄板状材料搬送ユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプと、
この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも僅かに突出可能とされた送りローラと、
前記吸引パイプに負圧を印加する負圧源と、
前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置と、
を有してなることを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置と、
前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置と、を設けたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項７】
請求項５において、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくとも前記駆動装置におけるモータを前記吸引用パイプ内に配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかにおいて、
前記Ｌ字形状エアテーブルユニットは、平面視で、長さの異なる２台の矩形の直線状エアテーブルを直角に接続して構成されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料を搬送する際に、搬送路を直角に変更できるようにした薄板状材料搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイのガラス基板は僅かな疵や埃でも品質に大きく影響するため、その搬送の際には、表面に疵が生じたり異物が付着しないようにガラス基板を平面に近い形状に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送することが要求される。
【０００３】
このような搬送手段の１つとして、ローラコンベアがあるが、搬送路が直角に曲げる場合、２つの直進ローラコンベアの間に直角方向に進むコンベアを配置し、ガラス基板を直角に方向転換する際には、コンベアを上昇させ、ガラス基板のパスラインを約２０〜５０ｍｍ上げて搬送していた。
【０００４】
又、直交して配置された２つの直進ローラコンベアの交点位置にガラス基板を持ち上げて旋回させる機構を設けたり、直進ローラコンベア全体を旋回させる方法があるが、どちらも、近年のガラス基板の大型化に伴い、構造も大きくなり、運転のための動力や製造コストも大幅に増大し、又タクトタイムの短縮も困難であるという問題点があった。
【０００５】
又、ローラコンベアに替えて、エアテーブルを用いてガラス基板を浮上させつつエアの圧力で駆動して非接触で搬送する搬送装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
上記のような搬送装置におけるエアテーブルは、平面視で長方形であって、これを、例えば直線状のパスラインの幅方向両側に１列ずつ、順次パスラインに沿って僅かな隙間を持って面状に配置している。
【０００７】
このようにすると、配列された多数の長方形状のエアテーブルのうち、例えば１基のエアテーブルがブロワーの出力低下等によってガラス基板の浮上力が低下したとき、搬送されてきたガラス基板の先端がここで落ち込んで、次のエアテーブルの角部に衝突して破損したりすることがある。
【０００８】
又、上記のようなエアテーブルの場合、ガラス基板を浮上させた状態でその搬送方向を変更したり、ガラス基板自身を旋回させることは、圧力エア上でのガラス基板の挙動を制御することが困難であり、浮上しているガラス基板の端縁をガイドローラによってガイドすることも考えられるが、ガラス基板は、例えば第８世代においては、Ｗ２２００ｍｍ×Ｌ２５００ｍｍという大きさに比べて厚さが０．５〜０．７ｍｍ程度と非常に薄く、慣性でガラス基板端縁がガイドローラに衝突した場合に非常に割れ易いという問題点がある。したがって従来は、ガラス基板の高速搬送あるいは高速方向変換や高速旋回ができなかった。
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−１３９１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
この発明は、エアテーブルユニットを用いて薄板状材料を非接触で支持且つ搬送する際に、１個のエアテーブルユニットのエア供給力が低下しても、ガラス基板の先端が隣接するエアテーブルユニットに衝突したりすることなく搬送し、又、ガイドローラ等を用いることなく、薄板状材料の搬送方向の、高速転換あるいは高速旋回を可能とした薄板状材料搬送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
以下の各実施例により、上記課題を解決することができる。
【００１２】
（１）薄板状材料の搬送のための直線状パスラインに沿って、複数台連続して配置されたＬ字形状エアテーブルユニット、及び、このＬ字形状エアテーブルユニットの溝を埋める大きさの３角形状エアテーブルユニットを有してなり、前記複数のＬ字形状エアテーブルユニットは、各々が、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、平面視でＬ字形状であって、Ｌ字の一辺及び他辺が、前記直線状パスラインに対して各々４５°の角度で、且つＬ字角部を同一方向に向けて並べて配置されてエアテーブルユニット列を構成し、前記３角形状エアテーブルユニットは、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、前記エアテーブルユニット列における尾端位置のＬ字形状エアテーブルユニットの略３角形の空白部に入り込むように配置され、前記エアテーブルユニット列及び３角形状エアテーブルユニットの組合せを、２基、各々の直線状パスラインが直交するように配置してなり、前記２列のエアテーブルユニット列は、各々の、エアテーブルユニット列の先端のＬ字角部が前記２本の直線状パスラインの交点近傍位置となるように配置され、前記交点を中心として、半径が前記Ｌ字の一辺の長さの円形領域内における、前記２列のエアテーブルユニット列の外側部分を埋めるようにして、前記と同様のＬ字形状エアテーブルユニット及び３角形状エアテーブルユニットを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【００１４】
（２）薄板状材料の搬送のための直線状パスラインに沿って、複数台連続して配置されたＬ字形状エアテーブルユニット、及び、このＬ字形状エアテーブルユニットの溝を埋める大きさの３角形状エアテーブルユニットを有してなり、前記複数のＬ字形状エアテーブルユニットは、各々が、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、平面視でＬ字形状であって、Ｌ字の一辺及び他辺が、前記直線状パスラインに対して各々４５°の角度で、且つＬ字角部を同一方向に向けて並べて配置されてエアテーブルユニット列を構成し、前記３角形状エアテーブルユニットは、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、前記エアテーブルユニット列における尾端位置のＬ字形状エアテーブルユニットの略３角形の空白部に入り込むように配置され、前記エアテーブルユニット列及び３角形状エアテーブルユニットの組合せを、３基、３本の直線状パスラインがＴ字形状に交差するように配置してなり、前記３列のエアテーブルユニット列は、各々の、エアテーブルユニット列の先端のＬ字角部が前記３本の直線状パスラインの交点近傍位置となるように配置され、前記交点を中心として、半径が前記Ｌ字の一辺の長さの円形領域内における、前記３列のエアテーブルユニット列の外側部分を埋めるようにして、前記と同様のＬ字形状エアテーブルユニット及び３角形状エアテーブルユニットを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【００１５】
（３）薄板状材料の搬送のための直線状パスラインに沿って、複数台連続して配置されたＬ字形状エアテーブルユニット、及び、このＬ字形状エアテーブルユニットの溝を埋める大きさの３角形状エアテーブルユニットを有してなり、前記複数のＬ字形状エアテーブルユニットは、各々が、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、平面視でＬ字形状であって、Ｌ字の一辺及び他辺が、前記直線状パスラインに対して各々４５°の角度で、且つＬ字角部を同一方向に向けて並べて配置されてエアテーブルユニット列を構成し、前記３角形状エアテーブルユニットは、平坦な上面に複数の給気孔を備え、且つ、前記エアテーブルユニット列における尾端位置のＬ字形状エアテーブルユニットの略３角形の空白部に入り込むように配置され、前記エアテーブルユニット列及び３角形状エアテーブルユニットの組合せを、４基、４本の直線状パスラインが十字状に交差するように配置してなり、前記４基のエアテーブルユニット列は、各々の、エアテーブルユニット列の先端のＬ字角部が前記４本の直線状パスラインの交点近傍位置となるように配置されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
（４）前記交点を中心として、半径が前記Ｌ字の一辺の長さの円形領域内における、前記４列のエアテーブルユニット列の外側部分を埋めるようにして、前記と同様のＬ字形状エアテーブルユニット及び３角形状エアテーブルユニットを配置したことを特徴とする（３）に記載の薄板状材料搬送装置。
【００１６】
（５）前記複数のエアテーブルユニット列の、前記円形領域内の、前記交点から等距離の位置に、該交点を中心とする等角度間隔に配置された複数の薄板状材料搬送ユニットを有し、該薄板状材料搬送ユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプと、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも僅かに突出可能とされた送りローラと、前記吸引パイプに負圧を印加する負圧源と、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置と、を有してなることを特徴とする（１）、（２）、（４）のいずれかに記載の薄板状材料搬送装置。
【００１７】
（６）前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置と、前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置と、を設けたことを特徴とする（５）に記載の薄板状材料搬送装置。
【００１８】
（７）前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくとも前記駆動装置におけるモータを前記吸引用パイプ内に配置したことを特徴とする（５）に記載の薄板状材料搬送装置。
【００１９】
（８）前記Ｌ字形状エアテーブルユニットは、平面視で、長さの異なる２台の矩形の直線状エアテーブルを直角に接続して構成されたことを特徴とする（１）乃至（７）のいずれかに記載の薄板状材料搬送装置。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、搬送されるガラス基板の先端は、常時、複数のエアテーブルユニットによって浮上し搬送されるので、１つのエアテーブルユニットのエア供給力が低下しても先端が垂れ下がって、他のエアテーブルユニットに衝突するようなことはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】
図１に示されるように、この実施形態に係る薄板状材料搬送装置１０は、図１において、例えば大型のＬＣＤ用のガラス基板（薄板状材料）１２を非接触で搬送する第１〜第３のエアテーブルユニット列１４、１６、１８と、各エアテーブルユニット列１４〜１８の尾端に配置された三角形状エアテーブルユニット２０とから構成されている。
【００２３】
前記３列のエアテーブルユニット列１４、１６、１８は、各々の直線状パスラインＰ１〜Ｐ３が、図においてＴ字形状に交差するように配置されている。
【００２４】
各エアテーブルユニット列は、複数のＬ字形状エアテーブルユニット２２を各直線状パスラインＰ１〜Ｐ３に沿って各々複数配置して構成されている。
【００２５】
又、第１〜第３のエアテーブルユニット列１４、１６、１８は、各々のエアテーブルユニット列の先端のＬ字角部が３本の直線状パスラインＰ１〜Ｐ３の交点Ｃの近傍位置となるように配置されている。ここでは交点Ｃ上に各エアテーブルユニット列の先端のＬ字角部が位置するようにされている。
【００２６】
前記Ｌ字形状エアテーブルユニット２２は、平面視で、長さの異なる２台の矩形の直線状エアテーブルユニット２２Ａ、２２Ｂを直角に接続してＬ字の２辺が等しい長さとなるように構成されている。
【００２７】
又、第１〜第３のエアテーブルユニット列１４、１６、１８は、各々複数のＬ字形状エアテーブルユニット２２を、Ｌ字の一辺及び他辺が、直線状パスラインＰ１〜Ｐ３に対して各々４５°の角度をなし、且つＬ字角部を交点Ｃに向けて並べて配置されている。
【００２８】
ガラス基板１２は、交点Ｃを中心として回転されるか、又は交点Ｃから搬送方向を直角に変更されるが、回転される場合は、図１において二点鎖線で示される円形領域２４内で回転されるようになっている。なお、円形領域２４は、ガラス基板１２の、交点Ｃを中心として回転されるときの外形の回転軌跡とほぼ同一である。
【００２９】
この円形領域２４内には、第１〜第３のエアテーブルユニット列１４、１６、１８のいずれによっても埋められない空白となる直角三角形状又は中心角が９０°の扇形の外側部分２６が生じる。
【００３０】
これに対しては、図１に示されるように、Ｌ字形状テーブルユニット２２と同一形状のＬ字形状テーブルユニット２６Ａと、これよりもＬ字の各辺の長さが短い小型Ｌ字形状エアテーブルユニット２６Ｂと、略三角形状の小型三角形状エアテーブルユニット２６Ｃとが、外側部分２６を埋めるようにして配置されている。
【００３１】
図１において符号２８は第１〜第３のエアテーブルユニット列１４、１６、１８内で、直線的に搬送されるガラス基板の幅方向両端を接触支持して搬送させるための直進ローラユニット、３０は円形領域２４内に配置され、搬送されてきたガラス基板１２を交点Ｃにおいてパスラインを直交方向に変更したり、あるいは交点Ｃを中心としてガラス基板１２を回転させるための方向転換ローラユニットをそれぞれ示す。又、符号２９は、ガラス基板１２の搬送中に、その幅方向外側への移動を抑制するため、パスラインＰ１、Ｐ２、Ｐ３の幅方向両側に沿って配置されたアライメントローラ、及び、円形領域２４の外側に配置されたアライメントローラを示す。
【００３２】
Ｌ字形状エアテーブルユニット２２は、上記のように直線状エアテーブル２２Ａ、２２Ｂからなり、これらは、図２、図３に示されるように、ガラス基板１２の下面に対して空気（気体）を供給してガラス基板１２を非接触で支持するためのエアテーブル２３と、エアテーブル２３に正圧の空気を供給するための、例えばブロワーからなる正圧発生装置２５と、を備えて構成されている。
【００３３】
エアテーブル２３は、上面部２７が略平坦なほぼ直方体の箱状体であって、ガラス基板１２の下面に対して空気を供給するための複数の給気孔２７Ａが上面部２７に形成されている。
【００３４】
次に、方向転換ユニット３０の詳細な構成について説明する。
【００３５】
円形領域２４内における４基の方向転換ローラユニット３０は、交点Ｃを中心点として、この交点Ｃから等距離、即ち、同一円周上にあるように配置されている。又、図４、図５に示されるように、方向転換ローラユニット３０は、上端に開口３３Ａを備えた鉛直方向の吸引用パイプ３２と、この吸引用パイプ３２の内側に、水平面内の回転軸３４Ａにより回転自在に支持され、且つ、上端が吸引用パイプ３２の上端の開口３３Ａよりも僅かに突出可能とされた送りローラ３４と、吸引用パイプ３２に負圧を印加する負圧源であるブロワー３６とを備えて構成されている。
【００３６】
吸引用パイプ３２は、送りローラ３４近傍を囲む小径部３２Ａと、この小径部３２Ａの下端に接続され、ここからブロワー３６の上端面まで到達する大径部３２Ｂとから構成されている。更に、吸引用パイプ３２の大径部３２Ｂの上部には、４本のブラケット３２Ｃが一体的に形成されていて、このブラケット３２Ｃの先端において、ガラス基板１２のパスラインＰ１、Ｐ２、Ｐ３を含む搬送面よりも下方位置で固定されるようになっている（図示省略）。
【００３７】
方向転換ローラユニット３０は、送りローラ上下動装置３８を備えている。この送りローラ上下動装置３８は、送りローラ３４を、その上端が前記パスラインＰ１、Ｐ２、Ｐ３に到達する搬送位置（図５、図６参照）及びこれよりも下がって、パスラインＰ１、Ｐ２、Ｐ３上のガラス基板１２と非接触の待機位置（図４、図７参照）との間で変位可能に支持している。
【００３８】
送りローラ上下動装置３８は、吸引用パイプ３２の大径部３２Ｂ内に配置され、ブロワー３６の上面に固定された基板４０上に設けられたソレノイド装置から構成されている。
【００３９】
この、ソレノイド装置である送りローラ上下動装置３８の可動部３８Ａは基板４０に対して一定範囲で上下動可能とされていて、この可動部３８Ａの上端には、支持板３９が支持され、この支持板３９の下側にはローラ上下動装置３８に隣接して送りローラ姿勢制御装置４２が支持されている。
【００４０】
送りローラ姿勢制御装置４２は、送りローラ３４の頂点を通る鉛直方向の中心軸線３２ＣＬ上の姿勢制御軸４３を有し、例えばカム機構（図示省略）からなる装置を内蔵して、図４、図５において鉛直方向の姿勢制御軸４３を、鉛直状態のまま、少なくとも９０°の範囲で、中心軸線３２ＣＬ廻りに揺動できるようにされている。
【００４１】
姿勢制御軸４３は、前記支持板３９の中心を貫通して上方に突出し、その上端にローラ支持体４４及び駆動モータ４６を支持している。
【００４２】
ローラ支持体４４は、駆動モータ４６よりも高い位置に設けられた円盤状の支持台４５を備え、この支持台４５上には、送りローラ３４の回転軸３４Ａが水平に支持されている。
【００４３】
送りローラ３４は、マグネットローラであって、この送りローラ３４の前面位置において支持台４５に回転自在に支持された駆動マグネットローラ３５によって、非接触状態で駆動されるようになっている。
【００４４】
マグネットローラ３５の回転軸３５Ａは、駆動モータ４６の駆動軸４６Ａと直結されて、該駆動モータ４６により回転駆動されるようになっている。
【００４５】
この方向転換ローラユニット３０は、送りローラ上下動装置３８によって、送りローラ３４が、吸引用パイプ３２の上端面３３Ｂから僅かに突出した搬送位置（図５、図６参照）と、図４、図７に示されるように、上端が上端面３３Ｂよりも下方に引き込んだ待機位置との間で上下動され得るようになっている。
【００４６】
又、送りローラ姿勢制御装置４２によって、ガラス基板１２を図７に示されるような、パスラインＰ１、Ｐ２と平行な面内で回転する姿勢、及び、図８に示されるような、パスラインＰ３と平行な面内で回転する姿勢となるように、中心軸線３２ＣＬ周りに少なくとも９０°の角度範囲で位置調整可能とされている。
【００４７】
第１〜第３のエアテーブルユニット列１４、１６、１８の幅方向両側に用いられている直進ローラユニット２８は、図９に示されるように、それぞれのパスラインＰ１、Ｐ２、Ｐ３と平行な鉛直面内で回転可能な直進送りローラ２８Ａと、上端面が直進送りローラ２８Ａの上端よりも僅かに低く配置された鉛直方向の吸引用パイプ２８Ｂと、この吸引用パイプ２８Ｂの下端に給気孔が連結して配置されたブロワー２８Ｃと、マグネットローラである直進送りローラ２８Ａを非接触で駆動するためのマグネット駆動ローラ２８Ｄと、マグネット駆動ローラ２８Ｄを駆動するためのモータ２８Ｅとを備えて構成されている。
【００４８】
次に、上記薄板状材料搬送装置１０によってガラス基板１２を、第１のエアテーブルユニット列１４から方向転換ローラユニット３０を経て、ここで旋回させることなく、第３のエアテーブルユニット列１８に搬送する過程について説明する。
【００４９】
まず、方向転換ローラユニット３０を、予め、図１、図６に示されるように送りローラ３４の回転面が第１のエアテーブルユニット列１４のパスラインＰ１と平行となるようにしておく。第１のエアテーブルユニット列１４上のガラス基板１２を、エアテーブル２３から噴出される正圧の空気によって浮上させ、且つ、このとき直進ローラユニット２８におけるブロワー２８Ｃを駆動させると、吸引用パイプ２８Ｂからガラス基板１２の下面に負圧が作用して、ガラス基板１２を搬送位置にある直進送りローラ２８Ａの上端に接触するように吸引する。
【００５０】
従って、直進送りローラ２８Ａをマグネット駆動ローラ２８Ｄによって駆動すれば、ガラス基板１２はエアテーブル２３上に浮上した状態で図１において左側から右方向に、確実に、かつ、高速で搬送できる。
【００５１】
このとき、第１のエアテーブルユニット列１４を構成している（尾端部分を除く）Ｌ字形状エアテーブルユニットがそのＬ字の外側角部を先端にしてＬ字の２辺がパスラインＰ１と４５°をなすように連続的に配置されているので、矩形のガラス基板１２の先端は、常時複数のＬ字形状エアテーブルユニット２２上を搬送されることになり、例えば、連続して配置されている複数のＬ字形状エアテーブルユニット２２のうちの１つに出力低下を生じたとしても、この部分において、搬送されるガラス基板の先端が落ち込んで次のエアテーブルユニットに衝突したりすることがない。
【００５２】
又、ガラス基板１２の先端から尾端までの間の部分においても、エアテーブルから供給
されるエアの吹出し圧力が均一化されるので、ガラス基板１２を安定して直進搬送させることができる。
【００５３】
このように、パスラインＰ１に沿ってガラス基板１２を安定して搬送し、ガラス基板１２は、円形領域２４に到達する。
【００５４】
このとき、方向転換ローラユニット３０における吸引用パイプ３２にブロワー３６から負圧を印加すると、駆動マグネットローラ３５によって回転される送りローラ３４に向けてガラス基板１２が吸引されて、その接触圧によって円形領域２４内でも確実に搬送される。
【００５５】
なお、方向転換ローラユニット３０では、予め送りローラ上下動装置３８によって、送りローラ３４を、その上端が吸引用パイプ３２の上端面３３Ｂから僅かに突出した搬送位置となるようにセットしておく。
【００５６】
ガラス基板１２が円形領域２４内に完全に入ったとき、送りローラ３４による搬送を停止し、次に、負圧印加を停止するとともに、送りローラ上下動装置３８によって、送りローラ３４を待機位置まで下降させる。
【００５７】
この待機位置の状態で、方向転換ローラユニット３０において、送りローラ姿勢制御装置４２を作動させて、姿勢制御軸４３を介して、送りローラ３４の回転軸３４Ａを中心軸線３２ＣＬ周りに９０°回転させて、図１０に示されるように、送りローラ３４の回転面がパスラインＰ３と平行となるようにする。
【００５８】
なお、このとき又は前後に、アライメントローラ１９によって、ガラス基板１２の中心と第１及び第３のエアテーブルユニット列１４、１８の幅方向中心（パスラインＰ１、Ｐ３）及び交点Ｃとを整合させる。
【００５９】
次に、送りローラ上下動装置３８によって送りローラ３４を搬送位置にまで上昇させ、同時に、ブロワー３６を起動して、ガラス基板１２に負圧を印加して、該ガラス基板１２を送りローラ３４の上端に接触させる。この状態で、送りローラ３４を、ガラス基板１２が第３のエアテーブルユニット列１８方向に移動するように駆動する。
【００６０】
第３のエアテーブルユニット列１８は、予め、直進送りローラ２８Ａを搬送位置として、且つ、送り方向に駆動すると共に、ブロワー２８Ｃによって吸引用パイプ２８Ｂに負圧を印加しておく。
【００６１】
送りローラ３４の駆動によって、ガラス基板１２は、円形領域２４内から第３のエアテーブルユニット列１８上に移動し、更に、この第３のエアテーブルユニット列１８によって、図１、図１０において上方に、パスラインＰ３に沿って移動されて搬送を終了する。
【００６２】
上記ガラス基板１２の搬送過程は、ガラス基板１２を旋回させることなく搬送方向を９０°変換するものであるが、次に、ガラス基板１２を方向転換エアコンベア１６上において９０°旋回させて搬送する過程について説明する。
【００６３】
このガラス基板搬送過程は、図１に示される状態からガラス基板１２の中心が交点Ｃの位置に搬送される状態までは前記と同一であるので、説明を省略する。
【００６４】
ガラス基板１２を方向転換エアコンベア１６上で旋回させる場合は、ガラス基板１２が、ガラス基板１２の中心が交点Ｃの位置に搬送された状態から、図１１に示されるように、方向転換エアコンベア１６上の、パスラインＰ１、Ｐ２上の送りローラ３４のみを送りローラ姿勢制御装置４２によってその回転面を９０°旋回させる。前記９０°旋回される送りローラ３４を待機位置とし、且つ、負圧の印加を停止することは前記と同様である。
【００６５】
９０°旋回後に、負圧の印加を開始し、且つ、送りローラ３４を搬送位置として、この状態で、円形領域２４内の４基の送りローラ３４を、図１１に矢印で示されるようにガラス基板１２が反時計方向に回転されるように方向を揃えて駆動させる。すると、ガラス基板１２は、交点Ｃを中心として回転され、９０°反時計方向に回転されたときガラス基板１２の旋回を停止させる。
【００６６】
次に、円形領域２４内のパスラインＰ３上の一対の送りローラ３４を、各々の送りローラ姿勢制御装置４２によって、回転面がパスラインＰ３と平行な鉛直面となるように回転させる。この際、送りローラ３４を待機位置とし、且つ、負圧の印加を停止することは前記と同様である。
【００６７】
９０°旋回後に、負圧の印加を開始し、且つ、送りローラ３４を搬送位置として、この状態で送りローラ３４を回転させると、ガラス基板１２は円形領域２４内から第３のエアテーブルユニット列１８上に移載され、そのまま搬送される。
【００６８】
なお、図１２に示されるように、円形領域２４内の交点Ｃの位置に、転換中心ピン４８を鉛直軸周りに回転自在に設け、且つ、この転換中心ピン４８の上端に、ガラス基板１２を載置可能な載置皿４８Ａを設けても良い。
【００６９】
この場合、載置皿４８Ａは、複数の方向転換ローラユニット３０における吸引用パイプ３２に負圧が印加されて、ガラス基板１２が吸引され、送りローラ３４にその下面が接触した状態のとき、載置皿４８Ａがガラス基板１２の下面に接触し、且つ、負圧が解放されたとき、ガラス基板１２の下面と非接触となる高さに設定されている。
【００７０】
このようにすれば、方向転換ローラユニット３０によって、ガラス基板１２は、交点Ｃを中心として旋回することになり、旋回後のアライメントが不要となる。
【００７１】
又、上記のような転換中心ピン４８を用いる場合は、方向転換ローラユニット３０は、４基でなくとも、３基又は２基、更には１基であっても良い。
【００７２】
上記実施形態において、方向転換ローラユニット３０は、その送りローラ３４が、吸引用パイプ３２の上端面３２Ｂに対して上下動するように構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、送りローラ３４を、吸引用パイプ３２と共に上下動させるようにしても良い。
【００７３】
同様に、送りローラ３４の回転面を送りローラ姿勢制御装置４２によって、中心軸線３２ＣＬ周りに回転させるようにしているが、本発明はこれに限定されるものでなく、要すれば、送りローラ３４を、その送り方向が９０°転換されるように回転軸３４Ａを水平面内で回転できるものであれば良く、従って、送りローラ３４及びその回転軸３４Ａを、吸引用パイプ３２と共に回転するようにしても良い。
【００７４】
また、送りローラ姿勢制御装置４２における送りローラ上下動装置、送りローラ姿勢制御装置の構成は、実施形態の例に限定されず、他の構成であってもよい。例えばカム機構、ロータリーソレノイド、空気圧アクチェータ等を用いてもよい。
【００７５】
更に、上記実施形態の例において、Ｌ字形状エアテーブルユニット２２は、平面視で矩形のエアテーブル２２Ａと、これよりもやや短い矩形のエアテーブル２２Ｂとを直角に、且つ、Ｌ字形状となるように連結したものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、Ｌ字形状の連続した１つのエアテーブルから構成しても良い。又、３以上の矩形あるいは正方形等のエアテーブルを接続して構成しても良い。
【００７６】
更に、第１〜第３のエアテーブルユニット列１４、１６、１８は、その先端のＬ字形状エアテーブルユニット２２のＬ字角部が交点Ｃにおいて当接するように配置されているが、これは、各先端の間に隙間を設けて、即ち交点Ｃから若干離間した位置に、各エアテーブルユニット列の先端が位置するようにしても良い。特に、上記図１２に示される転換中心ピン４８を交点Ｃの位置に設ける場合は、各エアテーブルユニット列の先端は、相互に離間して配置する必要がある。
【００７７】
又、前記円形領域２４内において、各エアテーブルユニット列の先端のＬ字形状エアテーブルユニット２２は、各々２基ずつ密着して配置されているが、これは、円形領域２４内においてガラス基板１２を方向転換あるいは回転させる際に、ガラス基板１２を均一に浮上させることができるものであれば、密着させなくてもよい。
【００７８】
更に又、方向転換ユニット３０は、円形領域２４内において、一対の隣接するＬ字形状エアテーブルユニット２２間の隙間に配置されているが、これは、例えば、Ｌ字形状エアテーブルユニット２２のＬ字角部を切り欠いてその位置に配置するようにしても良い。
【００７９】
上記実施形態に係る薄板状材料搬送装置は、第１〜第３のエアテーブルユニット列１４、１６、１８を、そのパスライン１Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３がＴ字形状に交差するように配置したものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、図１３に示される第２実施形態のようにＬ字形状にパスラインＰ１、Ｐ３を交差させ、又、図１４に示される第３実施形態のように、４本のパスラインＰ１〜Ｐ４を十字形状に交差させ、更に又、図１５に示さ
れる第４実施形態のように、１本の直線状のパスラインＰ５のみのようにしても良い。
【００８０】
詳細には、図１３の第２実施形態に係る薄板状材料搬送装置５０は、第１実施形態における第１のエアテーブルユニット列１４と第３のエアテーブルユニット列１８とをこれらの直線状パスラインＰ１、Ｐ３が直交するように配置したものである。他の構成は、図１に示される第１実施形態と同一であるので、図１と同一部分には同一符号を付することによって説明を省略するものとする（第２〜第４実施形態においても同様とする）。
【００８１】
この薄板状材料搬送装置５０は、円形領域２４内に、第１及び第３のエアテーブルユニット列１４、１８によって埋められない半円形の外側部分５２が生じるので、一対のＬ字形状エアテーブルユニット５２Ａと、一対の３角形状エアテーブルユニット５２Ｂとを配置して、外側部分５２においても、ガラス基板１２を浮上できるようにしている。
【００８２】
なお、図１３において、前記直進ローラユニット２８及び方向転換ローラユニット３０の図示は省略している（図１３、図１４においても同様に省略）。
【００８３】
図１４に示される本発明の第３実施形態に係る薄板状材料搬送装置６０は、図１の薄板状材料搬送装置１０に加えて、第４のエアテーブルユニット列６２を加えて、４列のエアテーブルユニット列１４、１６、１８、６２の直線状パスラインＰ１〜Ｐ４が十字形状に交差するように配置したものである。
【００８４】
又、図１５に示される、第４実施形態に係る薄板状材料搬送装置７０は、１本の直線状パスラインＰ５上に、１列にＬ字形状エアテーブルユニット２２を配置して、エアテーブルユニット列７２を構成したものである。
【００８５】
ここで、エアテーブルユニット列７２は、複数のＬ字形状エアテーブルユニット２２を、前記第１〜第４のエアテーブルユニット列と同様に直線状パスラインＰ５に沿って配置したものであり、その尾端側には、３角形状エアテーブルユニット２０が配置され、更に、先端側には、２基の３角形状エアテーブルユニット２０が配置されて、先端がガラス基板１２の先端と平行になるように構成されている。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の実施形態に係る薄板状材料搬送装置を示す略示平面図
【図２】同薄板状材料搬送装置におけるＬ字形状エアテーブルユニットを示す、図１のII−II線に沿う拡大断面図
【図３】同Ｌ字形状エアテーブルユニットを構成するエアテーブル及び正圧発生装置を拡大して示す断面図
【図４】同薄板状材料搬送装置の方向転換エアコンベアに用いる方向転換ローラユニットを示す一部断面とした斜視図
【図５】同方向転換ローラユニットを、吸引用パイプを取り除いた状態で示す斜視図
【図６】同方向転換ローラユニットにおいて送りローラがガラス基板と接触する搬送位置の状態を模式的に示す断面図
【図７】同送りローラの待機位置の状態を示す図６と同様の断面図
【図８】同方向転換ローラユニットの送りローラを９０°姿勢を変えた状態を模式的に示す図６と同様の断面図
【図９】同実施形態における直進エアコンベアに用いられる直進ローラユニットを模式的に示す断面図
【図１０】同薄板状材料搬送装置によりガラス基板の搬送方向を９０°転換する過程を模式的に示す平面図
【図１１】同薄板状材料搬送装置によりガラス基板を途中で９０°旋回して搬送する過程を模式的に示す平面図
【図１２】同薄板状材料搬送装置における方向転換手段の他の実施形態を示す斜視図
【図１３】本発明の第２実施形態に係る薄板状材料搬送装置を示す図１と同様の略示平面図
【図１４】同第３実施形態の薄板状材料搬送装置を示す略示平面図
【図１５】同第４実施形態に係る薄板状材料搬送装置を示す略示平面図
【符号の説明】
【００８７】
１０、５０、６０、７０…薄板状材料搬送装置
１２…ガラス基板（薄板状材料）
１４…第１のエアテーブルユニット列
１６…第２のエアテーブルユニット列
１８…第３のエアテーブルユニット列
２０、５２Ｂ…３角形状エアテーブルユニット
２２、５２Ａ…Ｌ字形状エアテーブルユニット
２２Ａ、２２Ｂ…直線状エアテーブル
２４…円形領域
２６、５２…外側部分
２６Ｂ…小型Ｌ字形状エアテーブルユニット
２６Ｃ…小型三角形状エアテーブルユニット
２８…直進ローラユニット
２９…アライメントローラ
３０…方向転換ローラユニット
３２…エアテーブル
３３…上面部
３３Ａ…給気孔
３４…正圧発生装置
Ｃ…交点
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５…直線状パスライン
３４Ａ…回転軸
３５…駆動マグネットローラ
３６…ブロワー
３８…送りローラ上下動装置
４２…送りローラ姿勢制御装置
４６…駆動モータ
４８…転換中心ピン
４８Ａ…載置皿
６２…第４のエアテーブルユニット列
７２…エアテーブルユニット列
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0005134301.tif 000011
【図１１】
0005134301.tif 000012
【図１２】
0005134301.tif 000013
【図１３】
0005134301.tif 000014
【図１４】
0005134301.tif 000015
【図１５】
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