(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１対の電極の間に発光膜を有する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
基板上に前記電極を形成する電極形成工程と、
少なくとも１方向が長い塗布領域を囲んでバンクを形成するバンク形成工程と、
前記塗布領域に前記発光膜を形成するための膜材料液を吐出する塗布工程と、
塗布された前記膜材料液を固化して発光層を形成する固化工程と、を有し、
前記塗布領域には凸状の流動抑止部が形成され、
前記塗布工程において前記流動抑止部を挟んで前記膜材料液を塗布し、かつ、前記膜材料液の一部が前記流動抑止部上に載るように吐出し、
前記基板と前記発光膜との間に絶縁膜を有し、前記絶縁膜は前記発光膜から発光する光が透過する透過膜と、前記発光膜から発光する光を遮光する遮光膜と、を有し、
前記透過部は前記流動抑止部と異なる場所に配置され、前記遮光膜は前記バンク及び前記流動阻止部に配置されていることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
吐出された前記膜材料液の１つの液滴が前記塗布領域に広がる液溜りの半径を液溜半径とするとき、
前記流動抑止部と前記塗布領域の端との距離は液溜半径の１〜３倍の場所に位置することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記流動抑止部の一端は前記バンクと接続して配置され、
前記流動抑止部の前記バンクと離れている場所は、前記バンクと近い場所に比べて、前記バンクの底面からの高さが低くなるように形成されていることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記流動抑止部は、前記バンクに近い場所から前記バンクから遠い場所まで、前記底面からの高さが連続して低くなるように形成されていることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記流動抑止部と前記バンクの側面とが接する場所における前記バンクの側面が接する面の方向に対する前記流動抑止部の長さを前記流動抑止部の幅とするとき、
前記流動抑止部の幅は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記バンク形成工程において、前記バンクの上面及び側面と前記流動抑止部には前記膜材料液に対する撥液処理を行い、前記バンクの底面には前記膜材料液に対する親液処理を行うことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記塗布領域の長手方向と略直交する方向に２つの前記流動抑止部が対向して配置されることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記流動抑止部は前記バンクに囲まれた中に配置され、
前記流動抑止部の前記バンクと近い場所は、前記バンクと離れている場所に比べて、前記バンクの底面からの高さが低くなるように形成されていることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、膜形成方法、光学素子の形成方法、導電膜の形成方法、光学素子及び配線に係り、特に、膜の端を品質良く形成する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタのインクジェット方式（液滴吐出法）を応用して、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置を製造する方法が提案されている。例えば、特許文献１に液滴吐出法を用いて有機ＥＬ装置の有機ＥＬ素子を形成する方法が開示されている。これによれば、基板に配線及び画素回路を形成し、その上に有機ＥＬ素子を形成する。
【０００３】
有機ＥＬ素子を形成する工程では、有機ＥＬ素子を形成する領域を囲んでバンクを形成する。次に、バンクで囲まれた塗布領域に薄膜材料液をノズルから吐出して充填する。塗布領域の端で濡れ性が悪いとき、薄膜材料液が充填されない濡れ不良が発生することがある。その濡れ不良を防止するため、塗布領域の端に吐出した後、端と端との間に吐出して充填した。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２９３９１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
塗布領域の端に吐出した後、端と端との間に吐出する方法では、塗布領域に吐出する順序の制約がある。そして、順序の制約をふまえて吐出するためにはノズルを複数回走査することが必要である。このとき、１回の走査で行う方法に比べて生産性が悪くなるという課題を有する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
本適用例にかかる膜形成方法は、少なくとも１方向が長い塗布領域に膜材料液を吐出して膜を形成する膜形成方法であって、前記塗布領域を囲んでバンクを形成するバンク形成工程と、前記塗布領域に前記膜材料液を吐出する塗布工程と、塗布された前記膜材料液を固化する固化工程と、を有し、前記塗布領域には凸状の流動抑止部が形成され、前記塗布工程において前記流動抑止部を挟んで前記膜材料液を塗布することを特徴とする。
【０００８】
この膜形成方法によれば、バンク内に流動抑止部が形成される。そして、流動抑止部を挟んで膜材料液が塗布される。このとき、流動抑止部を挟んでいる膜材料液は流動抑止部により流動し難くなっている。従って、流動抑止部を挟んでいる膜材料液を移動させる力が加わるときにも、膜材料液が移動せずに膜を形成することができる。その結果、吐出する順序に影響されずに膜材料液を塗布する場所に膜を形成することができる。
【０００９】
［適用例２］
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記流動抑止部は前記塗布領域の長手方向における端に近い場所に形成されていることを特徴とする。
【００１０】
この膜形成方法によれば、塗布領域の端に近い場所に流動抑止部が形成され、流動抑止部を挟んで膜材料液が塗布される。塗布領域の端に塗布される膜材料液は流動抑止部により移動し難くなっている。その結果、塗布領域の端に近い場所においても、膜を形成することができる。
【００１１】
［適用例３］
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記塗布工程では１つの前記塗布領域において複数回の吐出を行い、前記塗布領域に吐出する液滴の中で最後に吐出する前記液滴は前記流動抑止部に近い場所に吐出されることを特徴とする。
【００１２】
この膜形成方法によれば、塗布領域において複数回の吐出を行い、最後に流動抑止部に近い場所に塗布している。つまり、流動抑止部が形成されていない場所に膜材料液を塗布しておき、最後に流動抑止部がある場所に塗布する。塗布領域の長手方向に沿って順次吐出するとき、最後はバンクの端に近い場所に吐出して塗布することが多い。膜材料液に対してバンクの濡れ性が悪いとき、塗布された膜材料液に表面張力が働くので膜材料液が流動し易くなる。バンクの端に近い場所に最後に塗布するときにも、流動抑止部により膜材料液が移動し難い為、最後に塗布した場所に膜を形成することができる。
【００１３】
［適用例４］
上記適用例にかかる膜形成方法において、吐出された前記膜材料液の１つの液滴が前記塗布領域に広がる液溜りの半径を液溜半径とするとき、前記流動抑止部と前記塗布領域の端との距離は液溜半径の１〜３倍の場所に位置することを特徴とする。
【００１４】
この膜形成方法によれば、塗布領域の端と流動抑止部との距離が液溜半径のとき、塗布された液溜りの端が塗布領域の端になるように塗布すると、液溜りの中心の場所に流動抑止部が位置する。従って、流動抑止部を挟んで膜材料液を塗布することができる。塗布領域の端と流動抑止部との距離が液溜半径より小さいとき、膜材料液に表面張力が働くことにより液溜りの液が塗布領域の端から流出する可能性が高くなる。
【００１５】
塗布領域の端と流動抑止部との距離が液溜半径の３倍より小さいとき、塗布領域の端と流動抑止部との間の距離は短くなっている。そして、塗布領域の端と流動抑止部との間に１〜２滴の膜材料液を吐出するとき、吐出された膜材料液は一方に偏り難い。従って、塗布領域の端にも膜を確実に形成することができる。
【００１６】
［適用例５］
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記流動抑止部の一端は前記バンクと接続して配置され、前記流動抑止部の前記バンクと離れている場所は、前記バンクと近い場所に比べて、前記バンクの底面からの高さが低くなるように形成されていることを特徴とする。
【００１７】
この膜形成方法によれば、流動抑止部のバンクに近い場所ではバンクの底面からの流動抑止部の高さが高く形成されているので、膜材料液が流動し難くなっている。そして、バンクと離れている場所の流動抑止部はバンクの底面からの高さが低く形成されているので、流動抑止部を挟んで塗布される膜材料液はバンクと離れている場所で分離し難くなっている。従って、流動抑止部を挟んで塗布される膜材料液は分離し難く且つ流動し難くすることができる。
【００１８】
［適用例６］
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記流動抑止部は、前記バンクに近い場所から前記バンクから遠い場所まで、前記底面からの高さが連続して低くなるように形成されていることを特徴とする。
【００１９】
この膜形成方法によれば、流動抑止部はバンクの底面からの高さが高い場所と低い場所とが連続的に形成されている。つまり、膜材料液が流動し難いが分離し易い場所と膜材料液が流動し易いが分離し難い場所とが連続的に切り換わっている。そして、塗布する膜材料液の量が少ないときは、分離し難い状態にして、量が多くなるにつれて流動し難くすることができる。従って、膜材料液が少ないときには分離し難く、量が増えるにしたがい徐々に流動し難くすることができる。その結果、膜材料液を分離させずに流動し難くする状態を形成することができる。
【００２０】
［適用例７］
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記流動抑止部と前記バンクの側面とが接する場所における前記バンクの側面が接する面の方向に対する前記流動抑止部の長さを前記流動抑止部の幅とするとき、前記流動抑止部の幅は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする。
【００２１】
この膜形成方法によれば、流動抑止部は幅が広い場所と狭い場所とが連続的に形成されている。つまり、膜材料液が流動し難いが分離し易い場所と膜材料液が流動し易いが分離し難い場所とが連続的に切り換わっている。そして、塗布する膜材料液の量が少ないときは、分離し難い状態にして、量が多くなるにつれて流動し難くすることができる。従って、膜材料液が少ないときには分離し難く、量が増えるにしたがい徐々に流動し難くすることができる。その結果、膜材料液を分離させずに流動し難くする状態を形成することができる。
【００２２】
［適用例８］
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記バンク形成工程において、前記バンクの上面及び側面と前記流動抑止部には前記膜材料液に対する撥液処理を行い、前記バンクの底面には前記膜材料液に対する親液処理を行うことを特徴とする。
【００２３】
この膜形成方法によれば、バンクの底面では膜材料液に対する親液処理がされているので、バンクの底面に近い膜材料液は分離し難くなっている。そして、バンクの上面及び側面と流動抑止部は膜材料液に対して撥液性を有している。バンクの上面及び側面と流動抑止部で分離している膜材料液は表面エネルギの差によりバンクの底面方向へ移動し易くなっている。その結果、膜材料液はバンクの底面でまとまり易くなるので、まとまった膜を形成することができる。
【００２４】
［適用例９］
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記塗布領域の長手方向と略直交する方向に２つの前記流動抑止部が対向して配置されることを特徴とする。
【００２５】
この膜形成方法によれば、２つの流動抑止部が対向して配置される。そして、２つ流動抑止部の間はバンクから離れた場所となる。この場所は、膜材料液が溜り易い場所であるので、膜材料液が流動抑止部により分離され難くすることができる。
【００２６】
［適用例１０］
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記塗布工程では、前記流動抑止部上に前記膜材料液の一部が載るように塗布することを特徴とする。
【００２７】
この膜形成方法によれば、流動抑止部上に膜材料液の一部が載り、流動抑止部に載った膜材料液は流動抑止部を挟んでいる膜材料液と連結して、膜材料液を流動し難くしている。その結果、流動抑止部付近に確実に膜を形成することができる。
【００２８】
［適用例１１］
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記塗布工程では、挟んで塗布された前記膜材料液の一部が前記流動抑止部上に載るように吐出することを特徴とする。
【００２９】
この膜形成方法によれば、流動抑止部を挟んで膜材料液が塗布される。そして、塗布される膜材料液の一部が流動抑止部上に載る。そして、流動抑止部に載った膜材料液は流動抑止部を挟んでいる膜材料液を連結して、膜材料液を流動し難くしている。その結果、流動抑止部付近に確実に膜を形成することができる。
【００３０】
［適用例１２］
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記流動抑止部は前記バンクに囲まれた中に配置され、前記流動抑止部の前記バンクと近い場所は、前記バンクと離れている場所に比べて、前記バンクの底面からの高さが低くなるように形成されていることを特徴とする。
【００３１】
この膜形成方法によれば、塗布領域の長手方向と直交する方向の幅が広いとき、流動抑止部のバンク底面からの高さの低い場所を複数形成することができる。従って、膜材料液を分離し難くする場所と流動し難くする場所を設計し易くすることができる。
【００３２】
［適用例１３］
本適用例にかかる光学素子の形成方法は、１対の電極の間に発光膜を有する光学素子の形成方法であって、前記電極を形成する電極形成工程と、前記発光膜を形成する発光膜形成工程と、を有し、上記に記載の膜形成方法を用いて前記発光膜を形成することを特徴とする。
【００３３】
この光学素子の形成方法によれば、発光膜が上記の適用例により形成されるので、発光膜を形成する予定の場所総てに発光膜を形成することができる。
【００３４】
［適用例１４］
上記適用例にかかる光学素子の形成方法において、前記発光膜には発光する光が放射する窓部を有し、前記窓部は前記流動抑止部と異なる場所に配置されていることを特徴とする。
【００３５】
この光学素子の形成方法によれば、光を放射する窓部と流動抑止部とが異なる場所に配置されている。流動抑止部では、表面張力が作用することより発光膜の膜厚が薄くなる場合があるので、発光する光量の少ない場所がある。窓部と対応する場所の発光膜は膜厚が薄くなり難いので、品質の良い光量の発光を行うことができる。
【００３６】
［適用例１５］
本適用例にかかる光学素子の形成方法は、通過する光の光路を変える光学素子の形成方法であって、光透過性の基板上に、光透過性膜を凸状又は凹状に形成する膜形成工程を有し、上記に記載の膜形成方法を用いて前記光透過性膜を形成することを特徴とする。
【００３７】
この光学素子の形成方法によれば、凸状又は凹状の光透過性膜を形成することにより光学レンズの機能を有する膜を形成することができる。このとき、光透過性膜が上記の適用例により形成されるので、光透過性膜を形成する予定の場所総てに光透過性膜を形成することができる。
【００３８】
［適用例１６］
本適用例にかかる光学素子の形成方法は、通過する光の波長分布を変える光学素子の形成方法であって、光透過性の基板上に、色素を含有する膜材料液を用いて光透過性膜を形成する膜形成工程を有し、上記に記載の膜形成方法を用いて前記光透過性膜を形成することを特徴とする。
【００３９】
この光学素子の形成方法によれば、色素を含有する光透過性膜を形成することによりカラーフィルタの機能を有する膜を形成することができる。このとき、光透過性膜が上記の適用例により形成されるので、光透過性膜を形成する予定の場所総てに光透過性膜を形成することができる。
【００４０】
［適用例１７］
本適用例にかかる導電膜の形成方法は、基板上に、導電性材料を含有する膜材料液を用いて導電膜を形成する膜形成工程を有し、上記に記載の膜形成方法を用いて前記導電膜を形成することを特徴とする。
【００４１】
この導電膜の形成方法によれば、導電膜が上記の適用例により形成されるので、導電膜を形成する予定の場所総てに導電膜を形成することができる。
【００４２】
［適用例１８］
本適用例にかかる光学素子は、光学的特性を有し少なくとも１方向が長い光学膜を有する光学素子であって、前記光学膜の周囲に形成されたバンクと、前記光学膜の長手方向における端に近い場所に凸状に形成された流動抑止部と、を有し、前記流動抑止部と前記光学膜とが重ねて配置されていることを特徴とする。
【００４３】
この光学素子によれば、流動抑止部に重ねて光学膜の膜材料液が塗布されて、光学膜が形成されている。流動抑止部は凸状に形成されており、流動抑止部の周囲にも膜材料液が塗布される。このとき、流動抑止部の周囲の膜材料液は流動抑止部が抵抗となるので、流動し難くなる。従って、光学膜を形成する範囲の端に塗布される膜材料液は移動し難く配置され、固化される。その結果、吐出する順序に影響されずに光学膜の端に近い場所においても、光学膜が品質良く形成された光学素子とすることができる。
【００４４】
［適用例１９］
上記適用例にかかる光学素子において、前記流動抑止部の一端は前記バンクと接続して配置され、前記流動抑止部の前記バンクと離れている場所は、前記バンクと近い場所に比べて、前記流動抑止部の厚さが薄くなるように形成されていることを特徴とする。
【００４５】
この光学素子によれば、光学膜の膜材料液を塗布するとき、流動抑止部のバンクに近い場所ではバンクの底面からの流動抑止部の厚さが厚く形成されているので、膜材料液が流動し難くなっている。そして、バンクと離れている場所の前記流動抑止部はバンクが薄く形成されているので、流動抑止部を挟んで塗布される膜材料液はバンクと離れている場所では分離し難くなっている。従って、膜材料液が分離し難く且つ流動し難い状態にして固化された光学膜を有する光学素子とすることができる。
【００４６】
［適用例２０］
上記適用例にかかる光学素子において、前記流動抑止部は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい前記流動抑止部の前記厚さが連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする。
【００４７】
この光学素子によれば、光学膜の膜材料液を塗布するとき、膜材料液が流動し難いが分離し易い場所と膜材料液が流動し易いが分離し難い場所とが連続的に切り換わっている。そして、塗布する膜材料液の量が少ないときは、分離し難い状態にして、量が多くなるにつれて流動し難くすることができる。従って、膜材料液が少ないときには分離し難く、量が増えるにしたがい徐々に流動し難くすることができる。その結果、膜材料液を分離させずに流動し難い状態にして固化された光学膜を有する光学素子とすることができる。
【００４８】
［適用例２１］
上記適用例にかかる光学素子において、前記流動抑止部と前記バンクの側面とが接する場所における前記バンクの側面が接する面の方向に対する前記流動抑止部の長さを前記流動抑止部の幅とするとき、前記流動抑止部の幅は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする。
【００４９】
この光学素子によれば、光学膜の膜材料液を塗布するとき、膜材料液が流動し難いが分離し易い場所と膜材料液が流動し易いが分離し難い場所とが連続的に切り換わっている。そして、塗布する膜材料液の量が少ないときは、分離し難い状態にして、量が多くなるにつれて流動し難くすることができる。従って、膜材料液が少ないときには分離し難く、量が増えるにしたがい徐々に流動し難くすることができる。その結果、膜材料液を分離させずに流動し難い状態にして固化された光学膜を有する光学素子とすることができる。
【００５０】
［適用例２２］
上記適用例にかかる光学素子において、前記光学膜は有機ＥＬを含有する材料から形成されていることを特徴とする。
【００５１】
この光学素子によれば、有機ＥＬを含有する材料から形成された光学膜を有しているので、多色に発光する光学素子となっている。そして、この光学素子は上記の適用例に記載の光学素子であることから形成される光学膜の膜厚が品質良く形成された光学素子とすることができる。
【００５２】
［適用例２３］
上記適用例にかかる光学素子において、前記光学膜が発光する光の一部を透過する窓部を有し、前記窓部から光が透過する範囲外に前記流動抑止部が配置されていることを特徴とする。
【００５３】
この光学素子によれば、窓部と流動抑止部とが異なる場所に配置されている。流動抑止部では、表面張力により発光膜の膜厚が薄くなる場所があるので、発光する光量が少ない場合がある。窓部と対応する場所の発光膜は膜厚が薄くなり難いので、この光学素子は品質の良い光量の発光を行うことが可能な光学素子とすることができる。
【００５４】
［適用例２４］
上記適用例にかかる光学素子において、前記光学膜は凸状又は凹状に形成され、前記光学膜を通過する光の光路が変わることを特徴とする。
【００５５】
この光学素子によれば、凸状又は凹状の光学膜により光学レンズの機能を有する光学素子となっている。このとき、光学膜が上記の適用例により形成されるので、光学膜を形成する予定の場所総てに光学膜が形成された光学素子とすることができる。
【００５６】
［適用例２５］
上記適用例にかかる光学素子において、前記光学膜は色素を含有する光透過性膜であり、前記光学膜を通過する光の波長分布を変えることを特徴とする。
【００５７】
この光学素子によれば、色素を含有する光透過性膜を形成することによりカラーフィルタの機能を有する光学素子となっている。このとき、光学膜が上記の適用例により形成されるので、光学膜を形成する予定の場所総てに光学膜が形成された光学素子とすることができる。
【００５８】
［適用例２６］
本適用例にかかる配線は、少なくとも１方向に長い導電膜などからなる配線であって、前記導電膜の周囲に形成されたバンクと、前記導電膜の長手方向における端に近い場所に凸状に形成された流動抑止部と、を有し、前記流動抑止部と前記導電膜とが重ねて配置されていることを特徴とする。
【００５９】
この配線によれば、流動抑止部に重ねて導電膜の膜材料液を塗布した後、固化することにより導電膜が形成されている。流動抑止部は凸状に形成されており、流動抑止部の周囲にも膜材料液が塗布される。このとき、流動抑止部の周囲の膜材料液は流動抑止部が抵抗となるので、流動し難くなる。従って、導電膜を形成する範囲の端に塗布される膜材料液は移動し難く配置され、固化される。その結果、導電膜の端に近い場所においても、導電膜が品質良く形成された配線とすることができる。
【００６０】
［適用例２７］
上記適用例にかかる配線において、前記流動抑止部の一端は前記バンクと接続して配置され、前記流動抑止部の前記バンクと離れている場所は、前記バンクと近い場所に比べて、前記流動抑止部の厚さが薄くなるように形成されていることを特徴とする。
【００６１】
この配線によれば、導電膜の膜材料液を塗布するとき、流動抑止部のバンクに近い場所ではバンクの底面からの流動抑止部の厚さが厚く形成されているので、膜材料液が流動し難くなっている。そして、バンクと離れている場所の流動抑止部は薄く形成されているので、流動抑止部を挟んで塗布される膜材料液はバンクと離れている場所では分離し難くなっている。従って、膜材料液が分離し難く且つ流動し難い状態にして固化された導電膜を有する光学素子とすることができる。
【００６２】
［適用例２８］
上記適用例にかかる配線において、前記流動抑止部は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい前記流動抑止部の前記厚さが連続して薄くなるように形成されていることを特徴とする。
【００６３】
この配線によれば、導電膜の膜材料液を塗布するとき、膜材料液が流動し難いが分離し易い場所と膜材料液が流動し易いが分離し難い場所とが連続的に切り換わっている。そして、塗布する膜材料液の量が少ないときは、分離し難い状態にして、量が多くなるにつれて流動し難くすることができる。従って、膜材料液が少ないときには分離し難く、量が増えるにしたがい徐々に流動し難くすることができる。その結果、膜材料液を分離させずに流動し難い状態にして固化された導電膜を有する光学素子とすることができる。
【００６４】
［適用例２９］
上記適用例にかかる配線において、前記流動抑止部と前記バンクの側面とが接する場所における前記バンクの側面が接する面の方向に対する前記流動抑止部の長さを前記流動抑止部の幅とするとき、前記流動抑止部の幅は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする。
【００６５】
この配線によれば、導電膜の膜材料液を塗布するとき、膜材料液が流動し難いが分離し易い場所と膜材料液が流動し易いが分離し難い場所とが連続的に切り換わっている。そして、塗布する膜材料液の量が少ないときは、分離し難い状態にして、量が多くなるにつれて流動し難くすることができる。従って、膜材料液が少ないときには分離し難く、量が増えるにしたがい徐々に流動し難くすることができる。その結果、膜材料液を分離させずに流動し難い状態にして固化された導電膜を有する光学素子とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６６】
以下、実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
（第１の実施形態）
本実施形態では液滴吐出装置とこの液滴吐出装置を用いて膜を形成する場合の特徴的な例について図１〜図１０に従って説明する。
【００６７】
図１（ａ）は、膜の構成を示す模式平面図であり、図１（ｂ）及び図１（ｃ）は、膜の構成を示す模式断面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ’における断面であり、図１（ｃ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ’における断面である。図１に示すように、基板１上にバンク２が形成されている。バンク２は１方向に長く形成されており、このバンク２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。バンク２は閉曲線を形成し、この閉曲線の内側で長手方向の両端であるバンク端部２ａは円弧状に形成されている。
【００６８】
バンク２の側面としての内側側面２ｂに接続して２つのバンク端部２ａの近くには流動抑止部３が形成されている。この流動抑止部３は中心を通る面にて２つに分割された略円錐の形状となっている。バンク２と離れている場所の流動抑止部３はバンク２と近い場所に比べて、底面としてのバンク底面２ｄからの高さが低くなるように形成されている。そして、流動抑止部３は、バンク２に近い場所からバンク２から遠い場所まで、バンク底面２ｄからの高さが連続して低くなるように形成されている。また、流動抑止部３の幅は、バンク２に近い場所からバンク２から離れるにしたがい連続して小さくなるように形成されている。
【００６９】
そして、バンク２の内側に膜４が形成されている。この膜４の一部は流動抑止部３の上面３ａに載るように形成されている。膜４は膜４を構成する材料により膜４の機能が決まる。従って、膜４を構成する材料を変えることにより膜４の機能が切り換わる。膜４には例えば、有機ＥＬ素子を構成する膜、金属配線を構成する膜などを適用することができる。
【００７０】
（液滴吐出装置）
図２は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１０により、膜を構成する材料を含む機能液が吐出されて塗布される。図２に示すように、液滴吐出装置１０には、直方体形状に形成される基台１１が備えられている。本実施形態では、この基台１１の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００７１】
基台１１の上面１１ａには、Ｙ方向に延びる１対の案内レール１２ａ，１２ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台１１の上側には、１対の案内レール１２ａ，１２ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するステージ１３が取付けられている。そのステージ１３の直動機構は、例えば案内レール１２ａ，１２ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ１３が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【００７２】
さらに、基台１１の上面１１ａには、案内レール１２ａ，１２ｂと平行に主走査位置検出器１４が配置され、ステージ１３の位置が計測できるようになっている。そのステージ１３の上面には、載置面１５が形成され、その載置面１５には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面１５に基板１を載置すると、基板チャック機構によって、その基板１が載置面１５の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００７３】
基台１１のＸ方向両側には、１対の支持台１６ａ，１６ｂが立設され、その１対の支持台１６ａ，１６ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材１７が架設されている。案内部材１７は、その長手方向の幅がステージ１３のＸ方向よりも長く形成され、その一端が支持台１６ａ側に張り出すように配置されている。案内部材１７の上側には、吐出する液体を供給可能に収容する収容タンク１８が配設されている。一方、その案内部材１７の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１９がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００７４】
案内レール１９に沿って移動可能に配置されるキャリッジ２０は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ２０の直動機構は、ステージ１３が備える機構と同様な機構であり、その機構が備える駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ２０が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材１７とキャリッジ２０との間には、副走査位置検出装置２１が配置され、キャリッジ２０の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ２０のステージ１３側に向いている下面２０ａには、液滴吐出ヘッド２２が凸設されている。
【００７５】
Ｘ方向と逆の基台１１側面であってキャリッジ２０の移動範囲と対向する場所には、保守装置２３が配置され、液滴吐出ヘッド２２をクリーニングする機構が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド２２が正常に吐出可能な状態に保って吐出することが可能となっている。
【００７６】
図３は、キャリッジを示す模式平面図である。図３に示すようにキャリッジ２０には９個の液滴吐出ヘッド２２が配置され、液滴吐出ヘッド２２の下面には、それぞれノズルプレート２４が備えられている。そのノズルプレート２４には、それぞれ複数のノズル２５がＸ方向に所定の間隔で配列されている。
【００７７】
図４は、液滴吐出ヘッドの構造を示す要部模式断面図である。図４に示すように、ノズルプレート２４の上側であってノズル２５と相対する位置には、キャビティ２６が形成されている。そして、キャビティ２６には収容タンク１８に貯留されている膜材料液としての機能液２７が供給される。キャビティ２６の上側には、上下方向に振動して、キャビティ２６内の容積を拡大縮小する振動板２８と、上下方向に伸縮して振動板２８を振動させる圧電素子２９が配設されている。圧電素子２９が上下方向に伸縮して振動板２８を振動し、振動板２８がキャビティ２６内の容積を拡大縮小する。それにより、キャビティ２６内に供給された機能液２７はノズル２５を通って吐出されるようになっている。
【００７８】
液滴吐出ヘッド２２は、機能液２７の液滴３０を吐出する。そして、液滴吐出ヘッド２２が圧電素子２９を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子２９が伸張して、振動板２８がキャビティ２６内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド２２のノズル２５からは、縮小した容積分の機能液２７が液滴３０となって吐出される。
【００７９】
（膜の形成方法）
次に、上述した液滴吐出装置１０を用いて、基板１に機能液を吐出して塗布することにより膜を形成する方法について図５〜図９にて説明する。図５は、基板に液滴を吐出して塗布することにより膜を形成する製造工程を示すフローチャートである。図６〜図９は、膜の形成方法を説明する図である。
【００８０】
ステップＳ１は、バンク膜形成工程に相当し、基板にバンク材料を塗布して固化することによりバンク膜を形成する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、露光工程に相当し、固化されたバンク膜に所定のパターン形状に相当する光を照射する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は、現像工程に相当し、照射されたパターン形状にバンクを形成する工程である。ステップＳ１〜ステップＳ３のステップによりステップＳ１１のバンク形成工程が構成される。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は、表面処理工程に相当し、基板及びバンクの表面を改質する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は、塗布工程に相当し、バンクに囲まれた場所に機能液を塗布する工程である。次にステップＳ６に移行する。ステップＳ６は、固化工程に相当し、塗布された機能液を乾燥して固化する工程である。以上のステップにより膜を形成する工程を終了する。
【００８１】
図６（ａ）はステップＳ１に対応する図である。図６（ａ）に示すように、基板１にバンク形成材料３６を塗布する。バンク形成材料３６は特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズマ処理によりテフロン（登録商標）化でき、バンク２に塗布する機能液２７に対して耐久性の良い有機系感光性材料を用いることが好ましい。例えば、感光性アクリル樹脂、感光性エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどを用いることができる。本実施形態においては、例えば、感光性ポリイミドを採用している。そして、スピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコートなどの方法で、基板１上にバンク形成材料３６を塗布する。次に、塗布されたバンク形成材料３６を乾燥してバンク膜３６ａを形成する。
【００８２】
図６（ｂ）〜図６（ｄ）はステップＳ２に対応する図である。図６（ｂ）は、マスクを基板に重ねたときの平面図である。図６（ｃ）は、図６（ｂ）のＡ−Ａ’における模式断面図であり、図６（ｄ）は、図６（ｂ）のＢ−Ｂ’における模式断面図である。図６（ｂ）〜図６（ｄ）に示すように、マスク３７は基板３７ａに遮光パターン３７ｂが形成されている。遮光パターン３７ｂは略楕円の輪形状に形成されている。そして、図１に示す流動抑止部３に相当する４箇所の場所では略三角形の凸部３７ｃが形成されている。
【００８３】
基板１とマスク３７とを重ねた状態で、紫外光３８を照射する。遮光パターン３７ｂに遮光されずにマスク３７を通過する紫外光３８はバンク膜３６ａを照射する。照射されたバンク膜３６ａは紫外線により変質した変質部３６ｂが形成される。遮光パターン３７ｂの周囲付近を通過する紫外光３８は回折することにより進行方向が若干変更する。凸部３７ｃでは３角形の２辺で回折する光が交差するので、凸部３７ｃの先端部３７ｄでは根元部３７ｅより変質部３６ｂが遮光パターン３７ｂの内側に形成され易くなっている。
【００８４】
ステップＳ３において、基板１を現像する。基板１をアルカリ現像液に浸漬して、変質部３６ｂを除去する。アルカリ現像液としては、例えば、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）、コリン、珪酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどを用いることができる。本実施形態ではＴＭＡＨを採用している。変質部３６ｂを除去した後、純水にてリンスして乾燥する。図７はステップＳ３の現像後のバンクを示す概略斜視図である。図７に示すように、現像することにより基板１上にバンク２が形成される。流動抑止部３は凸状の先側が一部除去され、バンク上面２ｃからバンク底面２ｄにかけて連続的に変化する曲線にて形成される。このバンク底面２ｄではバンク２が除去されているので、基板上面１ａと同じ面となっている。
【００８５】
ステップＳ４において、基板１及びバンク２の表面を改質する。まずバンク底面２ｄの親液性を改善するために大気圧プラズマ処理を行う。具体的には、例えば、ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加することによりプラズマ雰囲気を形成する。このプラズマ雰囲気中に基板上面１ａを通過させて表面洗浄することにより表面エネルギが上がり濡れ性が向上する。
【００８６】
次に、バンク上面２ｃ、内側側面２ｂ、流動抑止部３を撥液性にする表面改質を行う。表面改質としては、例えば導入ガスにフッ素又はフッ素化合物を含んだガスを使用し、減圧雰囲気下や大気厚雰囲気下でプラズマ照射をする減圧プラズマ処理や大気圧プラズマ処理を行う。フッ素系化合物を含んだガス中でプラズマ処理を行うとき、有機材料表面においてフッ素系化合物分子が有機材料表面に入り込む混入化現象により表面が非極性化される。従って有機材料をフッ素系化合物が過多の条件でプラズマ処理すると、極性分子を含んだ流動体に対して非親和性を示し、非極性分子を含んだ流動体に対して親和性を示すようになる。フッ素又はフッ素化合物を含んだガスとしては、例えばＣＦ4、ＳＦ6、ＣＨＦ3などのハロゲンガスを用いることができる。本実施形態では、例えば、ＣＦ4を採用している。
【００８７】
図８（ａ）〜図９（ｂ）はステップＳ５に対応する図である。図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、バンク２により囲われた塗布領域２ｅにノズル２５から液滴３０を吐出する。このとき、液滴吐出ヘッド２２はバンク２のバンク端部２ａと流動抑止部３との間に液滴３０ａを吐出する。そして、流動抑止部３の上に液滴３０の一部が載るように吐出する。この液滴３０ａを構成する機能液２７の溶媒又は分散媒は非極性分子を含んでいる。そして、液滴３０ａはバンク２の内側側面２ｂに対して撥液性を有している。そのため、液滴３０ａはバンク端部２ａの内側側面２ｂから離れる力が働く。一方、バンク端部２ａと対向する場所には流動抑止部３が形成されており、流動抑止部３の表面にも液滴３０ａに対して撥液性を有している。従って、液滴３０ａはバンク端部２ａ付近に留まることとなる。
【００８８】
次に、図８（ｃ）に示すように、吐出されている液滴３０ａと隣接する場所に液滴３０ｂを吐出する。このとき、液滴３０ａと液滴３０ｂとが流動抑止部３を挟んで塗布される場所に吐出する。そして、挟んで塗布された液滴３０の一部が流動抑止部３上に載るように吐出する。吐出された液滴３０ｂは液滴３０ａと連結する。このとき、流動抑止部３により最初に吐出された液滴３０ａは移動し難くなっているので、最初に吐出された液滴３０ａはバンク端部２ａ付近に留まる。
【００８９】
次に、図８（ｄ）に示すように、右側のバンク端部２ａ付近に液滴３０ｃを吐出する。この液滴３０ｃは塗布領域２ｅに吐出する液滴３０の中で最後に吐出する液滴３０となる。吐出された液滴３０ｃは中央に塗布されている液滴３０ｂと連結して表面張力が作用するので、中央側へ移動する力が働く。しかし、液滴３０ｃは流動抑止部３に近い場所に吐出されている。そして、撥液性を有する流動抑止部３によって阻まれるので、右側のバンク端部２ａ付近に吐出された液滴３０ｃはバンク端部２ａ付近に留まる。図９（ａ）及び図９（ｂ）は機能液２７を塗布した後の状態を示す図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）のＣ−Ｃ’における断面図である。そして、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、バンク２の内側の塗布領域２ｅに機能液２７が充填される。このとき、バンク２のバンク端部２ａ付近にも機能液２７が充填され、流動抑止部３の上面３ａの上にも機能液２７が載るように配置される。
【００９０】
図９（ｃ）はステップＳ６に対応する図である。図９（ｃ）に示すように、基板１を乾燥させることにより、機能液２７に含まれる溶媒又は分散媒を気化させる。そして機能液２７が固化して膜４が形成される。基板１を乾燥させる方法としては、ホットプレート、電気炉などによる加熱処理、光を照射するランプアニール、減圧したチャンバ内に放置する減圧乾燥などの方法を用いることができる。本実施形態では、例えば、電気炉を用いた加熱処理を採用している。
【００９１】
（比較例）
図１０（ａ）〜図１０（ｃ）は比較例における膜の形成方法を説明する図であり、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）はステップＳ５に対応する図である。そして、図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）は図１０（ａ）のＤ−Ｄ’における断面図である。図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように、塗布領域４２を囲んでバンク４３が形成され、塗布領域４２に機能液２７が吐出されて塗布されている。バンク４３には流動抑止部３が形成されていないので、機能液２７は塗布領域４２内を移動し易くなっている。そして、バンク上面４３ａとバンク内側側面４３ｂは機能液２７に対する撥液処理がされており、バンク底面４３ｃは機能液２７に対する親液処理がされている。機能液２７には表面張力が働くことにより一方に偏ることがある。このとき、例えば、右側の端部４３ｄでは、機能液２７が充填されない状態になる。
【００９２】
そして、図１０（ｃ）はステップＳ６に対応する図である。図１０（ｃ）に示すように、端部４３ｄ付近に機能液２７が充填されない状態で固化するとき、端部４３ｄ付近には膜４が形成されないので形成不良となる。
【００９３】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、バンク２内に流動抑止部３が形成される。そして、流動抑止部３を挟んで機能液２７が塗布される。このとき、流動抑止部３を挟んでいる機能液２７は流動抑止部３により流動し難くなっている。従って、流動抑止部３を挟んでいる機能液２７を移動させる力が加わるときにも、機能液２７が移動せずに膜４を形成することができる。その結果、吐出する順序に影響されずに機能液２７を塗布する場所に膜４を形成することができる。
【００９４】
（２）本実施形態によれば、塗布領域２ｅのバンク端部２ａに近い場所に流動抑止部３が形成され、流動抑止部３を挟んで機能液２７が塗布される。塗布領域２ｅの端に塗布される機能液２７は流動抑止部３により移動し難くなっている。その結果、塗布領域２ｅのバンク端部２ａに近い場所においても、膜４を形成することができる。
【００９５】
（３）本実施形態によれば、機能液２７に対してバンク２の濡れ性が悪いとき、塗布された機能液２７に表面張力が働くので機能液２７が流動し易くなる。バンク２のバンク端部２ａに最後に塗布するときにも、流動抑止部３により機能液２７が移動し難い為、最後に塗布した場所に膜４を形成することができる。
【００９６】
（４）本実施形態によれば、流動抑止部３のバンク２に近い場所ではバンク底面２ｄからの流動抑止部３の高さが高く形成されているので、機能液２７が流動し難くなっている。そして、バンク２と離れている場所の流動抑止部３はバンク底面２ｄからの高さが低く形成されているので、流動抑止部３を挟んで塗布される機能液２７はバンク２と離れている場所で分離し難くなっている。従って、流動抑止部３を挟んで塗布される機能液２７は分離し難く且つ流動し難くすることができる。
【００９７】
（５）本実施形態によれば、流動抑止部３はバンク底面２ｄからの高さが高い場所と低い場所とが連続的に形成されている。つまり、機能液２７が流動し難いが分離し易い場所と機能液２７が流動し易いが分離し難い場所とが連続的に切り換わっている。そして、塗布する機能液２７の量が少ないときは、分離し難い状態にして、量が多くなるにつれて流動し難くすることができる。従って、機能液２７が少ないときには分離し難く、量が増えるにしたがい徐々に流動し難くすることができる。その結果、機能液２７を分離させずに流動し難くする状態を形成することができる。
【００９８】
（６）本実施形態によれば、流動抑止部３は幅が広い場所と狭いとが連続的に形成されている。つまり、機能液２７が流動し難いが分離し易い場所と膜材料液が流動し易いが分離し難い場所とが連続的に切り換わっている。そして、塗布する機能液２７の量が少ないときは、分離し難い状態にして、量が多くなるにつれて流動し難くすることができる。従って、機能液２７が少ないときには分離し難く、量が増えるにしたがい徐々に流動し難くすることができる。その結果、機能液２７を分離させずに流動し難くする状態を形成することができる。
【００９９】
（７）本実施形態によれば、バンク底面２ｄでは機能液２７に対する親液処理がされているので、バンク底面２ｄに近い機能液２７は分離し難くなっている。そして、バンク上面２ｃ及び内側側面２ｂと流動抑止部３は機能液２７に対して撥液性を有している。バンク上面２ｃ及び内側側面２ｂと流動抑止部３で分離している機能液２７は表面エネルギの差によりバンク底面２ｄ方向へ移動し易くなっている。その結果、機能液２７はバンク底面２ｄでまとまり易くなるので、まとまった膜４を形成することができる。
【０１００】
（８）本実施形態によれば、２つの流動抑止部３が対向して配置されている。そして、２つ流動抑止部３の間はバンク２から離れた場所となる。この場所は、機能液２７が溜り易い場所であるので、機能液２７が流動抑止部３により分離され難くすることができる。
【０１０１】
（９）本実施形態によれば、流動抑止部３上に機能液２７の一部が載り、流動抑止部３に載った機能液２７は流動抑止部３を挟んでいる機能液２７と連結して、機能液２７を流動し難くしている。その結果、流動抑止部３付近に確実に膜４を形成することができる。
できる。
【０１０２】
（第２の実施形態）
次に、膜を形成する方法の一実施形態について図１１（ａ）〜図１１（ｊ）の塗布領域の要部模式平面図を用いて説明する。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、流動抑止部３の位置が異なる点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【０１０３】
すなわち、本実施形態では、図１１（ａ）〜図１１（ｊ）に示すように、バンク２のバンク端部２ａと流動抑止部３の距離が異なる場合の例を示している。バンク底面２ｄに液滴３０が吐出されて広がった液溜り３０ｅの液溜半径３０ｄとする。そして、バンク端部２ａ及び流動抑止部３の中心との距離である抑止部距離４６が液溜半径３０ｄより短いとき、液溜半径３０ｄの１倍、２倍、３倍のときの例を示す。図１１（ａ）は、抑止部距離４６が液溜半径３０ｄより短い場合を示している。このとき、液溜り３０ｅの重心は流動抑止部３の右側、つまりバンク端部２ａと離れる方向にある。そして、流動抑止部３表面は撥液性を有しているので、機能液２７は流動抑止部３の上を流動し易い。従って、図１１（ｂ）に示すように、液溜り３０ｅはバンク端部２ａと離れる方向へ移動して、バンク端部２ａに機能液２７が配置されなくなり、塗布不良の要因となる。
【０１０４】
図１１（ｃ）は、抑止部距離４６が液溜半径３０ｄと略同じ場合を示している。このとき、液溜り３０ｅの重心は流動抑止部３の中心と略同じ場所となる。そして、液溜り３０ｅは流動抑止部３を挟んで位置するので、機能液２７は流動抑止部３の上で安定する。従って、図１１（ｄ）に示すように、液溜り３０ｅはバンク端部２ａまで広がって配置される。
【０１０５】
図１１（ｅ）は、抑止部距離４６が液溜半径３０ｄの略２倍の場合を示している。このとき、液溜り３０ｅの重心は流動抑止部３の左側、つまりバンク端部２ａに近寄る方向にある。そして、図１１（ｆ）に示すように、液溜り３０ｅはバンク端部２ａと近寄る方向へ移動して、液溜り３０ｅはバンク端部２ａまで広がって配置される。図１１（ｇ）は、次に流動抑止部３の右側、つまり、バンク端部２ａと離れる側の場所に液滴３０を吐出した状態を示している。このとき、図１１（ｈ）に示すように、液溜り３０ｅが流動抑止部３を挟んで連結するので移動し難くなる。そして、液溜り３０ｅはバンク端部２ａまで広がって配置された状態で安定する。
【０１０６】
図１１（ｉ）は、抑止部距離４６が液溜半径３０ｄの略３倍の場合を示している。そして、バンク端部２ａと隣接する場所に液滴３０が塗布され、流動抑止部３上に液滴３０が塗布されている。このとき、流動抑止部３上の液溜り３０ｅは流動抑止部３を挟んで配置された状態で安定する。そして、液溜り３０ｅはバンク端部２ａまで広がって配置された状態で安定する。
【０１０７】
つまり、抑止部距離４６が液溜半径３０ｄより短いときは、塗布不良となる可能性が高く、抑止部距離４６が液溜半径３０ｄの１倍から３倍の間では、液溜り３０ｅがバンク端部２ａまで広がって配置される。そして、バンク端部２ａまで膜４を形成することができる。
【０１０８】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、抑止部距離４６を液溜半径３０ｄの１倍から３倍の間にすることにより、バンク端部２ａまで膜４を形成することができる。
【０１０９】
（第３の実施形態）
次に、第１の実施形態及び第２の実施形態の膜形成方法を応用して有機ＥＬ装置を製造する一実施形態について図１２を用いて説明する。尚、第１の実施形態及び第２の実施形態と同様の部分は説明を省略する。
【０１１０】
まず、電気光学装置の一つである有機ＥＬ装置について説明する。図１２は、有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【０１１１】
図１２に示すように、電気光学装置としての有機ＥＬ装置５０は、光透過性の材料からなる基板５１を備えている。基板５１の上側には、絶縁膜５２が形成されている。絶縁膜５２上には、コンタクト電極５３がマトリクス状に形成され、各コンタクト電極５３と隣接する場所には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ素子５４が形成されている。そして、ＴＦＴ素子５４のドレイン端子にコンタクト電極５３が接続されている。
【０１１２】
各コンタクト電極５３及びＴＦＴ素子５４を囲むように、走査線５５及びデータ線５６が格子状に形成されている。そして、走査線５５は、ＴＦＴ素子５４のゲート端子と接続され、データ線５６は、ＴＦＴ素子５４のソース端子と接続されている。
【０１１３】
そして、コンタクト電極５３、ＴＦＴ素子５４、走査線５５、データ線５６などからなる素子層５７が形成されている。素子層５７の上側には、絶縁膜５８が形成され、絶縁膜５８の上側には、バンク５９が格子状に形成されている。バンク５９が形成する矩形の端にあるバンク端部５９ａの近くには１対の流動抑止部５９ｂが形成されている。この流動抑止部５９ｂは第１の実施形態と同様に略円錐形を２等分した形状となっている。
【０１１４】
バンク５９により形成される凹状領域の各底部には、電極としての画素電極６０が形成され、画素電極６０は、コンタクト電極５３と電気的に接続されている。画素電極６０の上面には、発光素子としての正孔輸送層６１が形成され、正孔輸送層６１の上面には、発光素子としての発光層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂが形成されている。そして、正孔輸送層６１と発光層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂとにより発光素子及び発光膜としての機能層６３が形成されている。
【０１１５】
発光素子としての発光層６２Ｒは、赤色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層であり、発光素子としての発光層６２Ｇは、緑色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層である。同様に、発光素子としての発光層６２Ｂは、青色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層である。
【０１１６】
機能層６３及びバンク５９の上側全面に渡って、光反射性を有する導電性材料などからなる電極としての陰極６４が形成されている。本実施形態においては、陰極６４は、例えば、アルミニウムを採用している。陰極６４の上面には、封止膜６５が形成され、陰極６４及び機能層６３が空気中の酸素により酸化されることを防止している。
【０１１７】
画素電極６０と陰極６４との間に電圧を印加するとき、正孔輸送層６１は、正孔のみを流動する。そして、発光層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂは、正孔輸送層６１から供給される正孔と陰極６４から供給される電子とが、合体するときのエネルギにより、発光する性質を持っている。ＴＦＴ素子５４は、スイッチング動作を行い、機能層６３にかける電圧をコントロールすることにより、発光層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂが発光する光量を制御する。このように、発光層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂが発光する光量を制御することにより、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。この発光層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂ、画素電極６０、陰極６４などにより光学素子が構成されている。
【０１１８】
画素電極６０は、ＴＦＴ素子５４のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線５６から供給される画素信号が各画素電極６０に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極６０に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、陰極６４と画素電極６０との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、発光層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂが発光する光量が変化する。
【０１１９】
図１３はバンク及び機能層を示す模式平面図である。図１３に示すように、バンク５９によって囲まれた領域に機能層６３が形成されている。そして、機能層６３の基板５１側には絶縁膜５２が形成されている。この絶縁膜５２は窓部としての透過膜５２ａと遮光膜５２ｂとから構成されている。バンク５９及び流動抑止部５９ｂが配置されている場所の近くには遮光膜５２ｂが配置され、機能層６３の中央には透過膜５２ａが配置されている。
【０１２０】
図１４は有機ＥＬ装置の製造工程を示すフローチャートである。図１４において、ステップＳ２１は、素子層形成工程に相当する工程である。基板５１上に絶縁膜５２を形成する。そして、絶縁膜５２上にＴＦＴ素子５４、走査線５５、データ線５６などからなる素子層５７を形成する工程である。次にステップＳ２２に移行する。ステップＳ２２は、画素電極形成工程に相当する工程である。素子層５７の上に絶縁膜５８を形成した後、絶縁膜５８の上に画素電極６０を形成する工程である。画素電極６０は機能層６３と略同等の形状に形成する。次にステップＳ２３に移行する。ステップＳ２３は、発光膜形成工程に相当する工程である。絶縁膜５８及び画素電極６０の上にバンク５９を形成する。次にバンク５９で区画された中に機能層６３を形成する工程である。
【０１２１】
この工程において、第１の実施形態及び第２の実施形態における膜形成方法を用いる。具体的には、バンク５９を形成するとき、バンク端部５９ａの近くに流動抑止部５９ｂを形成する。そして、バンク５９に撥液処理を行う。次に、正孔輸送層６１の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、正孔輸送層の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１０を用いて、この正孔輸送層の材料液を画素電極６０の表面に吐出して塗布する。このとき、塗布された正孔輸送層の材料液は流動抑止部５９ｂによりバンク端部５９ａ付近も確実に塗布される。その後、正孔輸送層の材料液を加熱乾燥して固化することにより正孔輸送層６１を形成する。
【０１２２】
さらに、正孔輸送層６１の表面に発光層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂを形成する工程において、第１の実施形態及び第２の実施形態における膜形成方法を用いる。具体的には、発光層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂの材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、発光層の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１０を用いて、この発光層の材料液を正孔輸送層６１の表面に吐出して塗布する。このとき、塗布された発光層の材料液は流動抑止部５９ｂによりバンク端部５９ａ付近も確実に塗布される。その後、発光層の材料液を加熱乾燥して固化することにより発光層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂを形成する。次にステップＳ２４に移行する。
【０１２３】
ステップＳ２４は、陰電極形成工程に相当する工程である。この工程ではバンク５９及び機能層６３の上側に陰極６４を形成する。成膜方法は特に限定されないが、陰極６４はアルミニウムを原料にしてスパッタ又は蒸着することにより成膜しても良い。次に、陰極６４の上に封止膜６５を形成する。封止膜６５は樹脂材料を溶媒に溶解した封止材料液を塗布した後、乾燥して成膜する。以上の工程により有機ＥＬ装置５０が完成する。
【０１２４】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、機能層６３が第１の実施形態及び第２の実施形態における膜形成方法を用いて形成されるので、機能層６３がバンク５９に囲まれた領域総てに形成することができる。
【０１２５】
（２）本実施形態によれば、光を放射する透過膜５２ａと流動抑止部５９ｂとが異なる場所に配置されている。流動抑止部５９ｂでは、表面張力により機能層６３の膜厚が薄くなる場合があるので、発光する光量が少なくなる場合がある。透過膜５２ａと対向する場所の機能層６３は膜厚が薄くなり難いので、品質の良い光量の発光を行うことができる。
【０１２６】
（第４の実施形態）
次に、第１の実施形態及び第２の実施形態の膜形成方法を用いて光学レンズを製造する一実施形態について図１５を用いて説明する。図１５（ａ）〜図１５（ｃ）は、柱状凸レンズの製造方法を説明する図であり、図１５（ｄ）及び図１５（ｅ）は、柱状凹レンズの製造方法を説明する図である。図１５（ａ）はバンク模式平面図であり、図１５（ｂ）〜図１５（ｅ）は、図１５（ａ）のＥ−Ｅ’における模式断面図である。尚、第１の実施形態及び第２の実施形態と同様の部分は説明を省略する。
【０１２７】
まず、凸レンズの製造方法を説明する。図１５（ａ）に示すように、基板６７上にバンク６８が形成されている。バンク６８のバンク端部６８ａの近くには流動抑止部６８ｂが形成されている。バンク６８に囲まれた塗布領域６９に液滴吐出装置１０を用いてレンズ材料液７０を塗布する。レンズ材料液７０は光透過性の樹脂材料を溶媒に溶解して製造する。この樹脂材料は、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂などを用いることができる。
【０１２８】
図１５（ｂ）に示すように、レンズ材料液７０はバンク上面６８ｃを越えて塗布する。流動抑止部６８ｂ及びバンク上面６８ｃには撥液処理がされ、レンズ材料液７０はバンク上面６８ｃに載り難くなっている。そして、レンズ材料液７０の表面張力によりレンズ材料液７０の表面は円弧状となる。次に、レンズ材料液７０が塗布された基板６７を乾燥して、レンズ材料液７０を固化する。その結果、図１５（ｃ）に示すように、断面形状が凸状に形成された光学素子及び光透過性膜としての凸レンズ７１が形成される。
【０１２９】
次に、凹レンズの製造方法を説明する。このときにも、図１５（ａ）に示すバンク６８を用いる。尚、バンク内側側面６８ｄはレンズ材料液７０に対して親液処理を行う。そして、図１５（ｄ）に示すように、バンク上面６８ｃを越えない程度にレンズ材料液７０を塗布する。そして、レンズ材料液７０はバンク内側側面６８ｄと親和性が良いので、レンズ材料液７０がバンク内側側面６８ｄに付着することによりレンズ材料液７０の表面は円弧状となる。次に、レンズ材料液７０が塗布された基板６７を乾燥して、レンズ材料液７０を固化する。その結果、図１５（ｅ）に示すように、断面形状が凹状に形成された光学素子及び光透過性膜としての凹レンズ７２が形成される。
【０１３０】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、凸状又は凹状の光透過性膜を形成することにより光学レンズの機能を有する膜を形成することができる。このとき、光透過性膜が第１の実施形態及び第２の実施形態における膜の形成方法を用いて形成されるので、凸レンズ７１及び凹レンズ７２がバンク６８に囲まれた領域総てに形成することができる。
【０１３１】
（第５の実施形態）
次に、第１の実施形態及び第２の実施形態の膜形成方法を用いてカラーフィルタを製造する一実施形態について図１６を用いて説明する。図１６は、カラーフィルタの製造方法を説明する図である。尚、第１の実施形態及び第２の実施形態と同様の部分は説明を省略する。
【０１３２】
図１６に示すように、光学素子としてのカラーフィルタ７５は光透過性の基板７６を備えている。基板７６の上側には、バンク７７が格子状に形成されている。バンク７７が形成する矩形の端であるバンク端部７７ａの近くには対向する場所に流動抑止部７７ｂが形成されている。この流動抑止部７７ｂは第１の実施形態と同様に略円錐形を２等分した形状となっている。バンク７７によってマトリクス状に区画された凹部には、着色層７８として、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタ素子７８Ｒ，７８Ｇ，７８Ｂが形成されている。
【０１３３】
白色光がカラーフィルタ７５を通過するとき、この白色光は赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタ素子７８Ｒ，７８Ｇ，７８Ｂを通過する。そして、各色の波長特性の波長帯域の光が選択的に通過するので、赤（Ｒ）のカラーフィルタ素子７８Ｒからは赤色の光が通過する。同様に、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタ素子７８Ｇ，７８Ｂからは、それぞれ、緑色、青色の光が通過する。
【０１３４】
次に、カラーフィルタの製造方法を説明する。基板７６上にバンク７７が形成されている。バンク７７のバンク端部７７ａの近くには流動抑止部７７ｂが形成されている。次に、カラーフィルタ素子７８Ｒ，７８Ｇ，７８Ｂの材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、各色のカラーインクを製造する。次に、液滴吐出装置１０を用いて、このカラーインクをバンク７７に囲まれた凹部に吐出して塗布する。このとき、塗布されたカラーインクは流動抑止部７７ｂによりバンク端部７７ａ付近も確実に塗布される。その後、カラーインクを加熱乾燥して固化することによりカラーフィルタ素子７８Ｒ，７８Ｇ，７８Ｂを形成する。
【０１３５】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、着色層７８が第１の実施形態及び第２の実施形態における膜の形成方法を用いて形成されるので、流動抑止部７７ｂがバンク７７に囲まれた領域総てに形成することができる。
【０１３６】
（第６の実施形態）
次に、第１の実施形態及び第２の実施形態の膜形成方法を用いて金属配線を製造する一実施形態について図１７を用いて説明する。図１７は、金属配線の製造方法を説明する図である。尚、第１の実施形態及び第２の実施形態と同様の部分は説明を省略する。
【０１３７】
図１７に示すように、基板８１上に略十字形の閉曲線状のバンク８２が形成されている。バンク８２が形成する十字形の端にあるバンク端部８２ａの近くには対向する場所に流動抑止部８２ｂが形成されている。この流動抑止部８２ｂは第１の実施形態と同様に略円錐形を２等分した形状となっている。バンク８２によってマトリクス状に区画された凹部には、導電膜としての配線８３が形成されている。配線８３間に電圧をかけることにより電流を通すことにより配線８３は電流の通路として用いることができる。
【０１３８】
次に、配線の製造方法を説明する。基板８１上にバンク８２が形成されている。バンク８２のバンク端部８２ａの近くには流動抑止部８２ｂが形成されている。次に、配線８３の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配線材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１０を用いて、この配線材料液をバンク８２に囲まれた凹部に吐出して塗布する。このとき、塗布された配線材料液は流動抑止部８２ｂによりバンク端部８２ａ付近も確実に塗布される。その後、配線材料液を加熱乾燥して固化することにより配線８３を形成する。
【０１３９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、配線８３が、第１の実施形態及び第２の実施形態における膜の形成方法を用いて形成されるので、配線８３がバンク８２に囲まれた領域総てに形成することができる。
【０１４０】
尚、実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態において、バンク２は基板１上に凸状に配置したが、図１８に示すように基板１上に膜８５を形成し、膜８５の一部を凹状に形成してバンク８６としても良い。そして、バンク８６の内側に機能液２７を吐出して塗布した後、固化することにより膜４を形成しても良い。膜８５を平坦化膜又は絶縁膜などの機能膜として用いることができる。尚、前記第２の実施形態〜第６の実施形態においても同様に膜８５の一部を凹状に形成したバンク８６を用いても良い。
【０１４１】
（変形例２）
前記第１の実施形態において、２つの略円錐形を半分にした形状をした流動抑止部３が対向する場所に配置されたが、他の形態でも良い。例えば、図１９（ａ）では、バンク８８のバンク端部８８ａの近くには１つの流動抑止部８８ｂが形成されている。この流動抑止部８８ｂは略円錐形を半分にした形状に形成され、その先端は対向する場所の側面８８ｃの近くまで形成されている。
【０１４２】
例えば、図１９（ｂ）では、バンク８９のバンク端部８９ａの近くには１対の流動抑止部８９ｂが形成されている。この流動抑止部８９ｂの先端は略平らの形状に形成され、根元が厚く先が薄く形成されている。例えば、図１９（ｃ）では、バンク９０のバンク端部９０ａの近くには１つの流動抑止部９０ｂが形成されている。この流動抑止部９０ｂの先端は略平らの形状に形成され、根元が厚く先が薄く形成されている。そして、その先端は対向する場所の側面９０ｃの近くまで形成されている。
【０１４３】
例えば、図１９（ｄ）では、バンク９１のバンク端部９１ａの近くには１対の流動抑止部９１ｂが形成されている。この流動抑止部９１ｂの先端は略円弧状に形成され、根元が厚く先が薄く形成されている。例えば、図１９（ｅ）では、バンク９２のバンク端部９２ａの近くには１つの流動抑止部９２ｂが形成されている。この流動抑止部９２ｂの先端は略円弧状に形成され、根元が厚く先が薄く形成されている。そして、その先端は対向する場所の側面９２ｃの近くまで形成されている。
【０１４４】
例えば、図１９（ｆ）では、バンク９３のバンク端部９３ａの近くには１つの流動抑止部９３ｂが形成されている。この流動抑止部９３ｂは略楕円状に形成され、中央が厚く両側の先が薄く形成されている。そして、流動抑止部９３ｂはバンク内側側面９３ｃと離れた場所に配置され、流動抑止部９３ｂの両側の先がバンク内側側面９３ｃに近くなるように配置されている。以上の例において、いずれの場合においても機能液２７を塗布するとき、流動抑止部８８ｂ〜流動抑止部９３ｂが機能液２７を移動し難くするので、固化された膜４はバンク端部８８ａ〜バンク端部９３ａ近くにおいても形成することができる。尚、前記第２の実施形態〜第６の実施形態においても同様にこの流動抑止部８８ｂ〜流動抑止部９３ｂを用いても良い。
【０１４５】
（変形例３）
前記第１の実施形態において、基板１はシートのように柔軟性のあるものでも良い。この場合においても同様の方法を用いることにより、同様の効果を得ることができる。
【０１４６】
（変形例４）
前記第１の実施形態において、フッ素系化合物が過多の条件でプラズマ処理することにより撥液性のあるバンク２及び流動抑止部３を形成したが、他の方法を用いても良い。例えば、撥液性のある溶液を塗布して固化することにより撥液性のある膜を形成しても良い。他にも、フッ素系化合物を含んだ材料を用いてバンク２を形成しても良い。いずれの方法においても撥液性のあるバンク２及び流動抑止部３を形成することができる。
【０１４７】
（変形例５）
前記第３の実施形態において、機能層６３は正孔輸送層６１と発光層６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂとにより形成されたが、他の構成でも良い。例えば、機能層６３は正孔輸送層、発光層、電子注入層の組合せでも良い。又、機能層６３は正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子注入層の組合せでも良い。材料の構成に合わせて各層の構成を変えても良い。この場合においても各層の材料を塗布するとき、前記第３の実施形態と同様の方法を用いることにより、同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１４８】
【図１】第１の実施形態に係り、（ａ）は、膜の構成を示す模式平面図、（ｂ）及び（ｃ）は、膜の構成を示す模式断面図。
【図２】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図３】キャリッジを示す模式平面図。
【図４】液滴吐出ヘッドの構造を示す要部模式断面図。
【図５】膜を形成する製造工程を示すフローチャート。
【図６】膜の形成方法を説明する図。
【図７】膜の形成方法を説明する図。
【図８】膜の形成方法を説明する図。
【図９】膜の形成方法を説明する図。
【図１０】比較例に係る膜の形成方法を説明する図。
【図１１】第２の実施形態に係る膜の形成方法を説明する図。
【図１２】第３の実施形態に係る有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図１３】バンク及び機能層を示す模式平面図。
【図１４】有機ＥＬ装置の製造工程を示すフローチャート。
【図１５】第４の実施形態に係り、（ａ）〜（ｃ）は、柱状凸レンズの製造方法を説明する図、（ｄ）及び（ｅ）は、柱状凹レンズの製造方法を説明する図。
【図１６】第５の実施形態に係るカラーフィルタの製造方法を説明する図。
【図１７】第６の実施形態に係る金属配線の製造方法を説明する図。
【図１８】変形例１に係るバンクの模式断面図。
【図１９】変形例２に係るバンクの模式平面図。
【符号の説明】
【０１４９】
２，７７，８２，８８，８９，９０，９１，９３…バンク、２ｂ…側面としての内側側面、２ｄ…底面としてのバンク底面、２ｅ，４２…塗布領域、３，５９ｂ，６８ｂ，８２ｂ，８８ｂ，９３ｂ…流動抑止部、２７…膜材料液としての機能液、３０ａ，３０ｂ，３０ｃ…液滴、３０ｄ…液溜半径、３０ｅ…液溜り、５２ｂ…窓部としての遮光膜、６０…電極としての画素電極、６３…発光膜としての機能層、６４…電極としての陰極、７１…光学素子及び光透過性膜としての凸レンズ、７２…光学素子及び光透過性膜としての凹レンズ、７５…光学素子としてのカラーフィルタ、８３…導電膜としての配線、９０ａ，９１ａ，９２ａ…バンク端部、９２ｃ…側面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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