(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、
第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に設けられ、
無限遠合焦時の全系の合成焦点距離をｆ、無限遠合焦時の前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との合成焦点距離をｆ２３、前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１としたとき、以下の条件を満足し、
０．３０  ＜  ｆ／ｆ２３  ＜  ０．９５
−０．４  ＜  ｆ／ｆ１  ＜  ０．４
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系。
【請求項２】
物体側から順に、
第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に設けられ、
無限遠合焦時の全系の合成焦点距離をｆ、無限遠合焦時の前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との合成焦点距離をｆ２３、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、以下の条件を満足し、
０．３０  ＜  ｆ／ｆ２３  ＜  ０．９５
−０．３５  ＜  ｆ／ｆ２  ＜  −０．０７
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系。
【請求項３】
物体側から順に、
第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に設けられ、
無限遠合焦時の全系の合成焦点距離をｆ、無限遠合焦時の前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との合成焦点距離をｆ２３、前記第１レンズ群の最も物体側のレンズ面でのマージナル光線の入射高さをＨ１ｉｎとし、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズ面でのマージナル光線の入射高さをＨ２ｉｎとしたとき、以下の条件を満足し、
０．３０  ＜  ｆ／ｆ２３  ＜  ０．９５
１．２  ＜  Ｈ２ｉｎ／Ｈ１ｉｎ  ＜  ３．０
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系。
【請求項４】
前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項２または３に記載の光学系。
−０．４  ＜  ｆ／ｆ１  ＜  ０．４
【請求項５】
前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項３に記載の光学系。
−０．３５  ＜  ｆ／ｆ２  ＜  −０．０７
【請求項６】
前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項７】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項８】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の少なくとも１面であり、当該光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項９】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項８に記載の光学系。
【請求項１０】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項８に記載の光学系。
【請求項１１】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、前記第１レンズ群および前記第２レンズ群の少なくとも１面であり、当該光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１２】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項１１に記載の光学系。
【請求項１３】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項１１に記載の光学系。
【請求項１４】
開口絞りは、前記第２レンズ群よりも像側に配置されることを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１５】
前記開口絞りは、前記第３レンズ群内に配置されることを特徴とする請求項１４に記載の光学系。
【請求項１６】
前記第３レンズ群は、無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、物体側に移動することを特徴とする請求項１から１５のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１７】
請求項１から１６のいずれか１項に記載の光学系を有することを特徴とする光学機器。
【請求項１８】
物体側から順に、第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなる光学系の製造方法であって、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されるよう配置し、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置し、
無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆ、無限遠合焦時の前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との合成焦点距離をｆ２３、前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１としたとき、以下の条件を満足するように配置され、
０．３０  ＜  ｆ／ｆ２３  ＜  ０．９５
−０．４  ＜  ｆ／ｆ１  ＜  ０．４
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、短い焦点距離でも一眼レフレックスカメラやデジタルカメラ等に用いられるほどバックフォーカスを確保できる広い画角の光学系として、負の屈折力を持つレンズ群が先行するレトロフォーカスレンズが知られている。このレンズタイプでＦ１．４ほどの大口径化を行ったものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。また近年、このような光学系に対しては、収差性能だけではなく、光学性能を損なう要因の一つであるゴーストやフレアに関する要求も厳しさを増しており、そのためレンズ面に施される反射防止膜にもより高い性能が要求され、要求に応えるべく多層膜設計技術や多層膜成膜技術も進歩を続けている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３０７４３号公報
【特許文献２】特開２０００−３５６７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の広い画角の光学系は、防振機構を採用した場合に、防振時の収差補正が十分ではないという課題があった。それと同時に、このような光学系における光学面からは、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題もあった。
【０００５】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、ゴーストやフレアをより低減させ、防振性能に優れた光学系、この光学系を備えた光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、
物体側から順に、
第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に設けられ、
無限遠合焦時の全系の合成焦点距離をｆ、無限遠合焦時の前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との合成焦点距離をｆ２３、前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１としたとき、以下の条件を満足し、
０．３０  ＜  ｆ／ｆ２３  ＜  ０．９５
−０．４  ＜  ｆ／ｆ１  ＜  ０．４
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系を提供する。
また、本発明は、
物体側から順に、
第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に設けられ、
無限遠合焦時の全系の合成焦点距離をｆ、無限遠合焦時の前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との合成焦点距離をｆ２３、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、以下の条件を満足し、
０．３０  ＜  ｆ／ｆ２３  ＜  ０．９５
−０．３５  ＜  ｆ／ｆ２  ＜  −０．０７
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系を提供する。
また、本発明は、
物体側から順に、
第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されており、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に設けられ、
無限遠合焦時の全系の合成焦点距離をｆ、無限遠合焦時の前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との合成焦点距離をｆ２３、前記第１レンズ群の最も物体側のレンズ面でのマージナル光線の入射高さをＨ１ｉｎとし、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズ面でのマージナル光線の入射高さをＨ２ｉｎとしたとき、以下の条件を満足し、
０．３０  ＜  ｆ／ｆ２３  ＜  ０．９５
１．２  ＜  Ｈ２ｉｎ／Ｈ１ｉｎ  ＜  ３．０
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系を提供する。
【０００７】
また、本発明は、前記光学系を備えたことを特徴とする光学機器を提供する。
【０００８】
また、本発明は、
物体側から順に、第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなる光学系の製造方法であって、
前記第１レンズ群は、像面に対して光軸方向に固定されるよう配置し、
前記第２レンズ群は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置し、
無限遠合焦時の全系の焦点距離をｆ、無限遠合焦時の前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との合成焦点距離をｆ２３、前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１としたとき、以下の条件を満足するように配置され、
０．３０  ＜  ｆ／ｆ２３  ＜  ０．９５
−０．４  ＜  ｆ／ｆ１  ＜  ０．４
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、防振性能に優れた光学系、この光学系を備えた光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施例にかかる光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図２】第１実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図３】第１実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図４】第１実施例にかかる光学系のレンズ構成を示す断面図であって、入射した光線が第１番目の反射光発生面と第２番目の反射光発生面で反射する様子の一例を説明する図である。
【図５】第２実施例にかかる光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図６】第２実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図７】第２実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図８】第３実施例にかかる光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図９】第３実施例にかかる光学系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１０】第３実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１１】第４実施例にかかる光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図１２】第４実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１３】第４実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１４】第５実施例にかかる光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図１５】第５実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１６】第５実施例にかかる諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１７】第６実施例にかかる光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図１８】第６実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図１９】第６実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図２０】第７実施例にかかる光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図２１】第７実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図２２】第７実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図２３】第８実施例にかかる光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図２４】第８実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図２５】第８実施例にかかる光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。
【図２６】本実施形態にかかる光学系を搭載する一眼レフカメラの断面図を示す。
【図２７】本実施形態にかかる光学系の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図２８】反射防止膜の層構造の一例を示す説明図である。
【図２９】反射防止膜の分光特性を示すグラフである。
【図３０】変形例にかかる反射防止膜の、分光特性を示すグラフである。
【図３１】変形例にかかる反射防止膜の、分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【図３２】従来技術で作成した反射防止膜の、分光特性を示すグラフである。
【図３３】従来技術で作成した反射防止膜の、分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本願の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。図１に示すように、本実施形態にかかる光学系ＳＬは、物体側から順に、第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、を有し、第１レンズ群Ｇ１は、像面に対して光軸方向に固定されており、第２レンズ群Ｇ２は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動させることを特徴とする。
【００１２】
また、この光学系ＳＬは、以下の条件式（１）を満足する。
０．３０  ＜  ｆ／ｆ２３  ＜  ０．９５                      （１）
但し、
ｆ    ：無限遠合焦時の全系の合成焦点距離、
ｆ２３：無限遠合焦時の第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との合成焦点距離。
【００１３】
短い焦点距離のレンズを一眼レフレックスカメラやデジタルカメラ等に用いられるほどバックフォーカスを確保するためには、マージナル光線の高さをレンズの入射時より射出時に高くすることで瞳倍率を１より大きくすることができる、いわゆるワイドコンバータを持った構成にすると有効であることが知られている。ここで、「マージナル光線」とは、像高０に達する光線のうちで最も光軸から離れた光線をいう。
【００１４】
また、バックフォーカスの制約が無い場合でも、画角が広くなるにつれて顕著になる周辺光量不足を補う上でも、前述のようなワイドコンバータを用いることが有効である。既に述べたように、このいわゆるレトロフォーカスレンズタイプでＦ１．４ほどの大口径化を行ったものが提案されている。
【００１５】
このような広い画角の光学系に対して防振機構を導入する際には、どの箇所に防振レンズを入れるかが問題となる。レトロフォーカスレンズでは、物体側が負の屈折力が強く、像面側は正の屈折力が強い非対称な屈折力配置になっているため、レンズ群同士で互いに収差を打ち消しあうことができず、負の歪曲収差やコマ収差の補正が特に難しくなっている。そのため、レンズ群単独でできる限り収差を補正しておく必要がある。そのような各レンズ群独自での収差補正が十分でない場合は、それ以降のレンズ群で防振した際や近距離物体に対して合焦を行った際に球面収差、コマ収差や偏芯コマ収差、像面湾曲が大きく発生する。これらの諸収差を補正するためには、瞳倍率を大きくする作用をもつ第１レンズ群Ｇ１の屈折力を弱くすることが有効だが、そうすると一眼レフレックスカメラでの使用ではバックフォーカスが不足してしまう。
【００１６】
そこで、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、収差補正と瞳倍率やバックフォーカスのバランスで最も有効な範囲を規定している上述の条件式（１）を満足する構成とした。また、防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２を第１レンズ群Ｇ１より像面側に配置することで良好な収差補正を実現した。
【００１７】
条件式（１）の上限値を上回ると、第１レンズ群Ｇ１でのワイドコンバータとしての効果が弱くなりすぎ、それより像面側のレンズ群に強い負の屈折力を必要とする。その結果、画面周辺で正の像面湾曲、負のディストーションともに十分な補正が困難となるため好ましくない。なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（１）の上限値を０．８０にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（１）の上限値を０．７５とすることが好ましい。
【００１８】
また、条件式（１）の下限値を下回ると、第１レンズ群Ｇ１でのワイドコンバータとしての効果が強くなりすぎ、それより像面側のレンズ群に、光線が光軸から計って高い位置を通るため、球面収差、コマ収差などの補正が困難となるため好ましくない。なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（１）の下限値を０．４０にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（１）の下限値を０．４５とすることが好ましい。
【００１９】
また、上記のように、本実施形態では防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２が負の屈折力を有することが特徴である。これは、第２レンズ群Ｇ２及び第３レンズ群Ｇ３の合成としても負レンズ成分が先頭に来ることでレトロフォーカスレンズの構成をとっている。これによってバックフォーカスを長くすることができ、条件式（１）での上限値を大きくし、結果として球面収差、コマ収差をまた良好に補正することが可能となった。また、周辺光束に対しても、第２レンズ群Ｇ２が負の屈折力を持つことでコマ収差、特にサジタルコマ収差を効果的に補正できる。その結果、レンズ径を大きくすることなく良好な収差補正を実現できる。なお、第２レンズ群の最も物体側のレンズ面が、物体側に凹面を向けた形状をしていることで上記の効果をより発揮できる。
【００２０】
また、本実施形態にかかる光学系ＳＬの第１レンズ群Ｇ１および第２レンズ群Ｇ２における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいる。このように構成することで、本実施形態にかかる光学系では、物体からの光が光学面で反射されて生じるゴーストやフレアを低減することができ、高い結像性能を達成することができる。
【００２１】
また、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減することができる。
【００２２】
また、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、屈折率ｎｄが１．３０以下であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減することができる。
【００２３】
また、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２の少なくとも１面であり、当該光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において開口絞りから見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減することができる。
【００２４】
また、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、反射防止膜が設けられた前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において開口絞りから見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２５】
また、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、反射防止膜が設けられた前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において開口絞りから見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２６】
また、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、反射防止膜が設けられた光学面は、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２の少なくとも１面であり、当該光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において物体側から見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２７】
また、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において物体側から見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２８】
また、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において物体側から見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。
【００２９】
なお、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜は屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。反射防止膜が、屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることで、反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が１．３０以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。
【００３０】
また、本光学系ＳＬは、以下の条件式（２）を満足することが望ましい。
−０．４０  ＜  ｆ／ｆ１  ＜  ０．４０                          （２）
但し、
ｆ  ：無限遠合焦時の全系の合成焦点距離、
ｆ１：第１レンズ群Ｇ１の焦点距離。
【００３１】
条件式（２）は、本光学系ＳＬの全系の焦点距離に対する第１レンズ群Ｇ１の焦点距離を規定するための条件式である。本光学系ＳＬは、防振レンズ群においては、この防振レンズ群の光軸に対して略直行方向の移動時に発生する偏芯コマ収差の補正が大きな課題である。本実施形態では、条件式（２）を満足することで、防振レンズ群（第２レンズ群Ｇ２）より物体側のレンズ群から射出され、防振レンズ群へ入射するマージナル光線の入射角度を光軸に対して平行に近くすることが可能となり、偏芯コマ収差の発生を最小限に抑えている。また、レトロフォーカスレンズでは、第１レンズ群Ｇ１は負の屈折力を有するレンズ成分を多く含むため、この第１レンズ群Ｇ１で発生した収差を第１レンズ群Ｇ１以降のレンズ群でバランスよく補正することが困難である。そのため、各レンズ群で十分な収差補正を行っておく必要があり、そのような各レンズ群独自での収差補正が十分でない場合はそれ以降のレンズ群で防振した際や近距離物体に対して合焦を行った際に球面収差、コマ収差や偏芯コマ収差、像面湾曲が大きく発生する。
【００３２】
この条件式（２）の上限値を上回ると、第２レンズ群Ｇ２に対して収束光として入射する角度が大きくなりすぎ、その結果第２レンズ群Ｇ２が光軸に対して略直交方向にシフトした際のマージナル光線の入射角度の変化が大きくなり、偏芯コマ収差が大きく発生する。また、第２レンズ群Ｇ２に対して強い収束光となるため、結果として、第２レンズ群Ｇ２の負の屈折力が強くなりすぎ球面収差、偏芯コマ収差が悪化する。また、画面周辺の光線は条件式（２）の上限値を上回ることで第２レンズ群Ｇ２に対して収束光として入射する角度が大きくなると、第２レンズ群Ｇ２に対してマージナル光線より大きな角度で入射することになりこの第２レンズ群Ｇ２のシフト時の像面湾曲が悪化するため好ましくない。また、第１レンズ群Ｇ１内での正の屈折力が強すぎるため第１レンズ群Ｇ１単独での収差補正が十分でなく、大きな負の像面湾曲が発生しやすい。また結果として第２レンズ群Ｇ２に対して大きな収差を持った光線が入射することになり偏芯コマ収差や偏芯時の像面湾曲、非点収差などが悪化するため好ましくない。また、画面周辺の光線は条件式（２）の上限値を上回ることで第２レンズ群Ｇ２に対して小さな角度で入射するため、結果として第２レンズ群Ｇ２の径が大型化し、第２レンズ群Ｇ２を画面周辺の光線が通過する高さが高くなりすぎる。その結果、第２レンズ群Ｇ２の光軸に対して略直交方向にシフトした時の偏芯コマ収差、像面湾曲が悪化するため好ましくない。
【００３３】
なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（２）の上限値を０．３５にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（２）の上限値を０．３０とすることが好ましい。
【００３４】
また、条件式（２）の下限値を下回ると、第２レンズ群Ｇ２に対して発散光として入射する角度が大きくなりすぎ、その結果第２レンズ群Ｇ２が光軸に対して略直交方向にシフトした際のマージナル光線の入射角度の変化が大きくなり、偏芯コマ収差が大きく発生する。また、第１レンズ群Ｇ１内での負の屈折力が強すぎるため第１レンズ群Ｇ１単独での収差補正が十分でなく、大きな負のディストーションが発生しやすい。結果として第２レンズ群Ｇ２に対して大きな収差を持った光線が入射することになり偏芯コマ収差や偏芯時の像面湾曲、非点収差などが悪化するため好ましくない。
【００３５】
なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（２）の下限値を−０．３５にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（２）の下限値を−０．３０とすることが好ましい。
【００３６】
また、本光学系ＳＬは、以下の条件式（３）を満足することが望ましい。
−０．３５  ＜  ｆ／ｆ２  ＜  −０．０７                    （３）
但し、
ｆ    ：無限遠合焦時の全系の合成焦点距離、
ｆ２：第２レンズ群Ｇ２の焦点距離。
【００３７】
条件式（３）は、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離を規定するための条件式である。
【００３８】
条件式（３）の上限値を上回った場合、第２レンズ群Ｇ２の屈折力が弱くなり過ぎるため、防振制御のために必要な第２レンズ群Ｇ２の移動量が適正値より大きくなってしまい、結果第２レンズ群Ｇ２の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに補正が困難になり好ましくない。また、第２レンズ群Ｇ２を駆動するためのアクチュエータなどの駆動手段も大きくなってしまう。その結果、各レンズ群の間隔が適正値より圧迫されるために各レンズ群の屈折力が強くなりすぎ、球面収差、コマ収差なども悪化してしまうため好ましくない。
【００３９】
なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（３）の上限値を−０．１０にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（３）の上限値を−０．１２にすることが好ましい。
【００４０】
また、条件式（３）の下限値を下回った場合、第２レンズ群Ｇ２の屈折力が強くなりすぎてしまい、結果第２レンズ群Ｇ２の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに補正が困難になり好ましくない。
【００４１】
なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（３）の下限値を−０．３１にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（３）の下限値を−０．２８にすることが好ましい。
【００４２】
また、本光学系ＳＬは、以下に示す条件式（４）を満足することが望ましい。
１．２０  ＜  Ｈ２ｉｎ／Ｈ１ｉｎ  ＜  ３．００                  （４）
但し、
Ｈ１ｉｎ：第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ面でのマージナル光線の入射高さ、
Ｈ２ｉｎ：第２レンズ群Ｇ２の最も物体側のレンズ面でのマージナル光線の入射高さ。
【００４３】
条件式（４）は、収差補正と瞳倍率やバックフォーカスのバランスで最も有効な範囲を規定している。また、第２レンズ群Ｇ２を第１レンズ群Ｇ１より像面側に配置することで良好な収差補正を実現した。
【００４４】
条件式（４）の上限値を上回ると、第１レンズ群Ｇ１でのワイドコンバータとしての効果が強くなりすぎ、それより像面側のレンズ群に光線が光軸から計って高い位置を通るため、球面収差、コマ収差などの補正が困難となる。
【００４５】
なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（４）の上限値を２．５０にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（４）の上限値を２．２０とすることが好ましい。
【００４６】
また、条件式（４）の下限値を下回ると、第１レンズ群Ｇ１でのワイドコンバータとしての効果が弱くなりすぎ、それより像面側のレンズ群に強い負の屈折力を必要とする。その結果、画面周辺で正の像面湾曲、負のディストーションともに十分な補正が困難となるため好ましくない。
【００４７】
なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（４）の下限値を１．３０にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（４）の下限値を１．４０とすることが好ましい。
【００４８】
また、上記のように、本実施形態では防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２が負の屈折力を有することが特徴である。これは、第２レンズ群Ｇ２及び第３レンズ群Ｇ３の合成としても負レンズ成分が先頭に来ることでレトロフォーカスレンズの構成をとっている。これによってバックフォーカスを長くすることができ、条件式（４）での下限値を小さくし、結果として球面収差、コマ収差をまた良好に補正することが可能となった。また、周辺光束に対しても、第２レンズ群Ｇ２が負の屈折力を持つことでコマ収差、特にサジタルコマ収差を効果的に補正できる。その結果、レンズ径を大きくすることなく良好な収差補正を実現できる。なお、第２レンズ群の最も物体側のレンズ面が、物体側に凹面を向けた形状をしていることで、上記の効果をより発揮できる。
【００４９】
一般的に、開口絞りに対してコンセントリックな光学面は非点収差を発生させにくいことが知られている。広い画角の光学系で防振機構を導入した際の大きな問題として、偏芯時の非点収差、及びこの非点収差の変動が挙げられる。その理由として、防振レンズ群の各屈折面に対して、周辺像高の光線が入射する角度が偏芯時に大きく変動し、結果として非点収差、コマ収差などのバランスが大きく崩れて補正しきれないことに由来している。そのため、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、開口絞りＳに対してコンセントリックな光学面とし、偏芯時も防振レンズ群（第２レンズ群Ｇ２）の各屈折面に対して、周辺像高の光線が入射する角度が偏芯時に大きく変動しないようにした。その結果、偏芯時の非点収差、コマ収差変動が良好に補正された。
【００５０】
このように、本実施形態の光学系ＳＬにおいて、開口絞りＳは、第２レンズ群Ｇ２よりも像側に配置されることが望ましく、また、開口絞りＳは、第３レンズ群Ｇ３内に配置されることがより望ましい。この場合、開口絞りＳの前後に第３レンズ群Ｇ３のレンズ成分を配置することが望ましい。この構成により、球面収差、コマ収差を良好に補正できる。ここで、防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２を射出した光線は発散光となる。そのため、第２レンズ群Ｇ２と開口絞りＳとの間にレンズ群が存在しない場合は開口絞りＳを通過した光線は開口絞りＳより像面側のレンズ群に対して高い入射高さをもつことになる。その結果、球面収差やコマ収差が悪化するため、第２レンズ群Ｇ２と開口絞りＳとの間にレンズ成分を有することが望ましい。なお、上記の観点では第２レンズ群Ｇ２と開口絞りＳとの間のレンズ成分は正の屈折力を有することがより望ましい。また、開口絞りＳより像面側にもレンズ成分を有することで開口絞りＳ前後で収差を補正することが可能になるため、第３レンズ群Ｇ３は開口絞りＳの前後にレンズ成分を有することが好ましい。この構成により、球面収差、コマ収差を良好に補正できる。上記の観点では開口絞りＳより像面側のレンズ成分は正の屈折力を有することがより望ましい。また、開口絞りとしての部材を設けずに、レンズの枠でその役割を代用しても良い。
【００５１】
また、本実施形態の光学系ＳＬは、近距離物体への合焦に際し、第３レンズ群Ｇ３が物体側に移動することが望ましい。広い画角の光学系の合焦方法として、開口絞りＳより像面側だけを移動させる方法が知られている。しかし、大口径な広い画角の光学系においては球面収差、コマ収差、像面湾曲の変動が大きく望ましくない。そのため、本実施形態にかかる光学系ＳＬでは、第３レンズ群Ｇ３は開口絞りＳの前後にレンズ成分を有することで、近距離物体に対しての合焦でも球面収差とコマ収差及び像面湾曲の変動を少なく抑えることが可能となった。また、このように開口絞りＳの前後にレンズ成分があることにより、上述のように、球面収差、コマ収差を良好に補正することができる。
【００５２】
図２６に、後述する第１実施例で示す光学系ＳＬを備える光学機器として、一眼レフカメラ１（以後、単にカメラと記す）の略断面図を示す。このカメラ１において、不図示の物体（被写体）からの光は、撮影レンズ２（光学系ＳＬ）で集光されて、クイックリターンミラー３を介して焦点板４に結像される。そして、焦点板４に結像された光は、ペンタプリズム５中で複数回反射されて接眼レンズ６へと導かれる。これにより、撮影者は、物体（被写体）像を接眼レンズ６を介して正立像として観察することができる。
【００５３】
また、撮影者によって不図示のレリーズボタンが押されると、クイックリターンミラー３が光路外へ退避し、撮影レンズ２で集光された不図示の物体（被写体）の光は撮像素子７上に被写体像を形成する。これにより、物体（被写体）からの光は、当該撮像素子７により撮像され、物体（被写体）画像として不図示のメモリに記録される。このようにして、撮影者は本カメラ１による物体（被写体）の撮影を行うことができる。なお、図２６に記載のカメラ１は、光学系ＳＬを着脱可能に保持するものでも良く、光学系ＳＬと一体に成形されるものでも良く、光学系ＳＬと一体に成形されるものでも良い。また、クイックリターンミラー等を有しないカメラでも良く、上記カメラと同様の効果を奏することができる。また、カメラ１には、上述の第１実施例に限らず他の実施例の撮影レンズを装着することができる。
【００５４】
以下、本実施形態の光学系ＳＬの製造方法の概略を、図２７を参照して説明する。まず、各レンズを配置してレンズ群をそれぞれ準備する（ステップＳ１００）。具体的に、本実施形態では、例えば、後述する第１実施例の場合、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ１４と両凹形状の負レンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６を配置して構成する。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズを配置して構成する。また、第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の正レンズ形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７を配置して構成する。
【００５５】
この際、第１レンズ群Ｇ１は、像面に対して光軸方向に固定されるよう配置する（ステップＳ２００）。また、第２レンズ群Ｇ２は、光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置する（ステップＳ３００）。
【００５６】
そして、前述の条件式（１）を満足するように各レンズ群を配置する（ステップＳ４００）。以上により、本実施形態にかかる光学系ＳＬの製造が完了する。
【実施例】
【００５７】
以下、本実施形態にかかる各実施例を、図面に基づいて説明する。なお、図１、図５、図８、図１１、図１４、図１７、図２０及び図２３は、各実施例にかかる光学系ＳＬ（ＳＬ１〜ＳＬ８）の構成を示す断面図である。図１及び図５に示すように、第１及び第２実施例にかかる光学系ＳＬ１及びＳＬ２は、物体側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。一方、図８、図１１、図１４、図１７、図２０及び図２３に示すように、第３〜第８実施例にかかる光学系ＳＬ３〜ＳＬ８は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。
【００５８】
また、各実施例において、第１レンズ群Ｇ１は像面に対して光軸方向に固定されており、第２レンズ群Ｇ２は光軸と略垂直方向の成分を持つように移動し像面における像を変位させる防振レンズ群である。開口絞りＳは、第３レンズ群Ｇ３内に配置し、開口絞りＳの前後に正の屈折力を持つレンズ成分を有し（第８実施例を除く）、無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、第３レンズ群Ｇ３が物体側に移動する。
【００５９】
各実施例において、非球面は、光軸に垂直な方向の高さをｙとし、高さｙにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離（サグ量）をＳ（ｙ）とし、基準球面の曲率半径（近軸曲率半径）をｒとし、円錐定数をκとし、ｎ次の非球面係数をＡnとしたとき、以下の式（ａ）で表される。なお、以降の実施例において、「Ｅ−ｎ」は「×１０-n」を示す。
【００６０】
Ｓ（ｙ）＝（ｙ2／ｒ）／｛１＋（１−κ×ｙ2／ｒ2）1/2｝
＋Ａ4×ｙ4＋Ａ6×ｙ6＋Ａ8×ｙ8                    （ａ）
【００６１】
なお、各実施例において、２次の非球面係数Ａ2は０である。また、各実施例の表中において、非球面には面番号の左側に＊印を付している。
【００６２】
〔第１実施例〕
図１は、本願の第１実施例にかかる光学系ＳＬ１の構成を示す図である。この図１の光学系ＳＬ１において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ１４と両凹形状の負レンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６から構成されている。
【００６３】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。
【００６４】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【００６５】
本第１実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に後述する反射防止膜が形成されている。
【００６６】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第１実施例においては、防振係数は０．３０６であり、焦点距離は２８．５０（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．１４（ｍｍ）である。
【００６７】
以下の表１に、第１実施例の諸元の値を掲げる。この表１において、ｆは焦点距離、ＦＮＯはＦナンバー、２ωは画角、Ｂｆはバックフォーカスをそれぞれ表している。また、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序を、面間隔は各光学面から次の光学面までの光軸上の間隔を、屈折率及びアッベ数はそれぞれｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する値を示している。全長は、無限遠合焦時のレンズ面の第１面から像面Ｉまでの光軸上の距離を表している。ここで、以下の全ての諸元値において掲載されている焦点距離、曲率半径、面間隔、その他長さの単位は一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は、比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。なお、曲率半径「∞」は平面を示す。また、空気の屈折率1.00000は省略してある。また、これらの符号の説明及び諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。
【００６８】
（表１）第１実施例
f = 28.50
FNO =  1.45
２ω = 75.6
像高 = 21.6
全長 =133.3
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞
1      84.252   2.40    1.74100  52.67
2      30.284   6.24
3      57.477   2.10    1.77250  49.60
4      36.791   0.20    1.55389  38.09
*5      32.506  12.47
6     498.367   6.33    1.74400  44.79
7     -54.700   1.30    1.52699  53.00
8     320.562   0.20
9      84.738   5.36    1.74806  50.00
10    -139.358   5.00
11     -75.418   1.30    1.48749  70.40
12      53.719   2.98    1.83400  37.16
13     118.654   (d13)
14      45.171   3.76    1.69680  55.52
15     121.944   0.20
16      39.937   6.09    1.69680  55.52
17    -136.788   0.20
18     138.447   1.30    1.62004  36.30
19      27.404   5.00
20       ∞      6.67                  開口絞りＳ
21     -22.640   1.30    1.78472  25.68
22      65.850   5.67    1.77250  49.60
*23     -59.294   1.14
24     256.664   6.00    1.74100  52.67
25     -37.599   0.20
26     -56.322   4.25    1.77250  49.61
27     -31.870   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1     733.43
第２レンズ群   11    -141.94
第３レンズ群   14      42.52
【００６９】
この第１実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表２に、非球面のデータ、すなわち円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【００７０】
（表２）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面      0.042900 -6.54648E-08 -1.07103E-09 -2.03329E-12
第23面   -19.496500  2.12065E-06  3.80233E-08 -5.28645E-11
【００７１】
この第１実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表３に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。
【００７２】
（表３）
β   無限遠          -0.0333
ｄ13     7.55            6.52
Bf    38.11           39.14
【００７３】
次の表４に、この第１実施例における各条件式対応値を示す。なおこの表４において、Ｈ１ｉｎは第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ面でのマージナル光線の入射高さを、Ｈ２ｉｎは第２レンズ群Ｇ２の最も物体側のレンズ面でのマージナル光線の入射高さを、ｆは全系の焦点距離を、ｆ１は第１レンズ群Ｇ１の焦点距離を、ｆ２は第２レンズ群Ｇ２の焦点距離を、ｆ２３は無限遠合焦時における第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との合成焦点距離を、それぞれ表している。以上の符号の説明は以降の実施例においても同様である。
【００７４】
（表４）
（１）ｆ／ｆ２３＝0.654
（２）ｆ／ｆ１＝0.039
（３）ｆ／ｆ２＝-0.20
（４）Ｈ２ｉｎ／Ｈ１ｉｎ＝1.565
【００７５】
この第１実施例の無限遠合焦状態の収差図を図２（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図３（ａ）に示す。また、第１実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図３（ｂ）に示す。各収差図において、ＦＮＯはＦナンバーを、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を、Ａは主光線の入射角を、Ｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）を、Ｇはｇ線（λ＝４３５．６ｎｍ）を、それぞれ示している。また、非点収差を示す収差図において実線はサジタル像面を示し、破線はメリディオナル像面を示している。また、コマ収差において破線はサジタルの横収差図を示している。なお、これらの収差図の説明は以降の実施例においても同様である。
【００７６】
各収差図から明らかなように、第１実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【００７７】
図４は、第１実施例にかかる光学系ＳＬ１において、物体側から入射した光線ＢＭによりゴーストが発生する状態を示している。図４において、物体側からの光線ＢＭが図示のように光学系ＳＬ１に入射すると、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（第１番目の反射光発生面でありその面番号は１１）で反射し、その反射光は第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像側のレンズ面（第２番目の反射光発生面でありその面番号は２）で再度反射して像面Ｉに到達し、ゴーストを発生させてしまう。なお、第１番目の反射光発生面（面番号１１）は物体から見て凹形状のレンズ面であり、第２番目のゴースト発生面（面番号２）は開口絞りから見て凹形状のレンズ面である。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストを効果的に低減することができる。
【００７８】
〔第２実施例〕
図５は、第２実施例にかかる光学系ＳＬ２の構成を示す図である。この図５の光学系ＳＬ２において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６から構成されている。
【００７９】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。
【００８０】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【００８１】
本第２実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１６における像面側のレンズ面（面番号１０）に後述する反射防止膜が形成されている。
【００８２】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第２実施例においては、防振係数は０．３０６であり、焦点距離は２７．９９（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．１２（ｍｍ）である。
【００８３】
以下の表５に、この第２実施例の諸元の値を掲げる。
【００８４】
（表５）第２実施例
f = 27.99
FNO =  1.45
２ω = 76.7
像高 = 21.6
全長 =133.3
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞
1      67.583   2.40    1.74100  52.67
2      30.054   6.93
3      68.341   2.10    1.77250  49.60
4      36.441   0.20    1.55389  38.09
*5      33.585  12.50
6    -176.482   3.98    1.74400  44.79
7     -61.111   1.30    1.52599  53.31
8    -288.957   0.20
9     150.265   5.50    1.74806  50.00
10     -78.414   5.00
11     -63.966   1.30    1.48749  70.40
12      68.577   2.82    1.83400  37.16
13     186.927   (d13)
14      39.297   4.23    1.69680  55.52
15     103.599   0.20
16      39.021   6.42    1.69680  55.52
17    -148.831   0.20
18     113.771   1.30    1.61266  44.46
19      26.212   5.00  
20       ∞      7.01                  開口絞りＳ
21     -22.122   1.30    1.78472  25.68
22      49.850   5.35    1.77250  49.60
*23     -53.784   1.79
24     407.632   6.00    1.75500  52.31
25     -36.823   0.20
26     -51.964   4.18    1.77250  49.61
27     -31.344   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1    -858.75
第２レンズ群   11    -141.98
第３レンズ群   14      43.51
【００８５】
この第２実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表６に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【００８６】
（表６）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面      0.016000  8.67227E-07 -2.62240E-10 -1.58840E-12
第23面   -19.875800 -9.08714E-07  5.51987E-08 -7.97050E-11
【００８７】
この第２実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表７に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。
【００８８】
（表７）
β   無限遠          -0.0333
ｄ13     7.81            6.74
Bf    38.12           39.18
【００８９】
次の表８に、この第２実施例における各条件式対応値を示す。
【００９０】
（表８）
（１）ｆ／ｆ２３＝0.645
（２）ｆ／ｆ１＝-0.033
（３）ｆ／ｆ２＝-0.20
（４）Ｈ２ｉｎ／Ｈ１ｉｎ＝1.571
【００９１】
この第２実施例の無限遠合焦状態の収差図を図６（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図７（ａ）に示す。また、第２実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図６（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図７（ｂ）に示す。
【００９２】
各収差図から明らかなように、第２実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【００９３】
〔第３実施例〕
図８は、本願の第３実施例にかかる光学系ＳＬ３の構成を示す図である。この図８の光学系ＳＬ３において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４、及び、両凸形状の正レンズＬ１５から構成されている。
【００９４】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。
【００９５】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【００９６】
本第３実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１０）に後述する反射防止膜が形成されている。
【００９７】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第３実施例においては、防振係数は０．３０６であり、焦点距離は２８．４４（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．１３（ｍｍ）である。
【００９８】
以下の表９に、この第３実施例の諸元の値を掲げる。
【００９９】
（表９）第３実施例
f = 28.44
FNO =  1.45
２ω = 75.8
像高 = 21.6
全長 =133.3
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞
1     100.000   2.40    1.74100  52.67
2      30.472   6.11
3      61.820   2.10    1.77250  49.60
4      40.528   0.20    1.55389  38.09
*5      34.996  11.06
6    -230.000   8.00    1.74397  44.85
7     -85.027   0.20
8      84.290   4.89    1.74397  44.85
9    -199.472   5.00
10     -74.412   1.30    1.48749  70.41
11      55.716   2.99    1.80100  34.96
12     131.420   (d12)
13      44.605   3.61    1.69680  55.52
14     108.329   0.20
15      38.431   6.09    1.69680  55.52
16    -159.242   0.20
17     116.847   1.30    1.62004  36.30
18      26.190   5.00
19       ∞      6.56                  開口絞りＳ
20     -23.170   2.29    1.76182  26.56
21      48.664   6.00    1.77250  49.60
*22     -61.350   1.40  
23     298.511   6.00    1.72916  54.66
24     -39.601   0.20
25     -63.162   4.44    1.77250  49.61
26     -33.521   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1     553.08
第２レンズ群   10    -142.23
第３レンズ群   13      43.02
【０１００】
この第３実施例において、第５面、及び、第２２面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表１０に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１０１】
（表１０）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面     -0.116100 -8.06560E-07 -1.69170E-09 -1.57780E-12
第22面   -17.884100  2.86500E-06  2.91840E-08 -3.77560E-11
【０１０２】
この第３実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１２、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表１１に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１０３】
（表１１）
β   無限遠          -0.0333
ｄ13     7.47            6.45
Bf    38.32           39.34
【０１０４】
次の表１２に、この第３実施例における各条件式対応値を示す。
【０１０５】
（表１２）
（１）ｆ／ｆ２３＝0.652
（２）ｆ／ｆ１＝0.053
（３）ｆ／ｆ２＝-0.20
（４）Ｈ２ｉｎ／Ｈ１ｉｎ＝1.567
【０１０６】
この第３実施例の無限遠合焦状態の収差図を図９（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図１０（ａ）に示す。また、第３実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図９（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１０（ｂ）に示す。
【０１０７】
各収差図から明らかなように、第３実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１０８】
〔第４実施例〕
図１１は、第４実施例にかかる光学系ＳＬ４の構成を示す図である。この図１１の光学系ＳＬ４において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と両凸形状の正レンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６から構成されている。
【０１０９】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。
【０１１０】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【０１１１】
本第４実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第１レンズ群Ｇ１の両凸レンズＬ１６における像面側のレンズ面（面番号１０）に後述する反射防止膜が形成されている。
【０１１２】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第４実施例においては、防振係数は０．２９０であり、焦点距離は２４．７０（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．０４（ｍｍ）である。
【０１１３】
以下の表１３に、この第４実施例の諸元の値を掲げる。
【０１１４】
（表１３）第４実施例
f = 24.70
FNO =  1.44
２ω = 83.7
像高 = 21.6
全長 =133.3
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞
1      70.260   2.40    1.74100  52.67
2      28.526  11.93
3    8844.268   2.10    1.77250  49.60
4      50.722   0.20    1.55389  38.09
*5      41.921  12.50
6     298.509   2.27    1.75520  27.58
7      88.204   7.50    1.74397  44.85
8     -82.134   0.20
9      62.241   5.50    1.77250  49.61
10    -737.077   5.00
11     -96.957   1.30    1.58313  59.38
12      44.004   3.72    1.83400  37.16
13     128.781   (d13)
14      47.455   3.03    1.69680  55.52
15      90.837   0.20
16      33.070   5.62    1.68692  55.00
17    -440.765   0.20
18      66.442   1.30    1.63980  34.56
19      23.078   5.00
20       ∞      8.45                  開口絞りＳ
21     -20.977   1.30    1.78472  25.68
22      51.753   4.09    1.77250  49.60
*23     -48.262   1.07
24     362.304   5.96    1.74100  52.67
25     -34.691   0.20
26     -49.773   4.51    1.77250  49.61
27     -28.781   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1     111.53
第２レンズ群   11    -147.13
第３レンズ群   14      42.48
【０１１５】
この第４実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表１４に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１１６】
（表１４）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面      0.041600 -3.01610E-06 -1.30950E-10 -1.50790E-12
第23面   -23.208700 -6.21040E-06  1.01630E-07 -1.81570E-10
【０１１７】
この第４実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表１５に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１１８】
（表１５）
β   無限遠          -0.0333
ｄ13     6.30            5.47
Bf    31.47           32.29
【０１１９】
次の表１６に、この第４実施例における各条件式対応値を示す。
【０１２０】
（表１６）
（１）ｆ／ｆ２３＝0.570
（２）ｆ／ｆ１＝0.221
（３）ｆ／ｆ２＝-0.17
（４）Ｈ２ｉｎ／Ｈ１ｉｎ＝1.823
【０１２１】
この第４実施例の無限遠合焦状態の収差図を図１２（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図１３（ａ）に示す。また、第４実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１２（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１３（ｂ）に示す。
【０１２２】
各収差図から明らかなように、第４実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１２３】
〔第５実施例〕
図１４は、本願の第５実施例にかかる光学系ＳＬ５の構成を示す図である。この図１４の光学系ＳＬ５において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１４から構成されている。
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。
【０１２４】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３３と両凸形状の非球面正レンズＬ３４との接合レンズ、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３５、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３６から構成されている。
【０１２５】
本第５実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号８）に後述する反射防止膜が形成されている。
【０１２６】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第５実施例においては、防振係数は０．２７２であり、焦点距離は２８．０８（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２６（ｍｍ）である。
【０１２７】
以下の表１７に、この第５実施例の諸元の値を掲げる。
【０１２８】
（表１７）第５実施例
f = 28.08
FNO =  1.84
２ω = 76.4
像高 = 21.6
全長 =124.5
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞
1      69.946   2.40    1.74100  52.67
2      25.426   5.00
3      45.000   2.10    1.77250  49.60
4      26.915   0.20    1.55389  38.09
*5      23.566  13.79
6      57.582   4.75    1.90366  31.31
7    -391.763   4.00
8     -65.539   1.30    1.55857  45.21
9      56.097   3.60    1.74397  44.85
10     836.329   (d10)
11      49.880   6.47    1.74100  52.67
12     -37.637   1.30    2.00069  25.46
13     -61.930  11.01
14       ∞      5.00                  開口絞りＳ
15     -26.632   2.50    1.76182  26.56
16      69.109   5.84    1.77250  49.60
*17    -110.000   1.44
18    -148.037   3.02    1.72916  54.66
19     -44.972   0.20
20     -87.642   3.82    1.77250  49.60
21     -31.772   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1    -169.53
第２レンズ群    8    -163.95
第３レンズ群   11      42.15
【０１２９】
この第５実施例において、第５面、及び、第１７面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表１８に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１３０】
（表１８）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面      0.043300  8.68000E-07 -3.24000E-09 -2.56000E-12
第17面     3.855700  1.23000E-05  2.12000E-09 -1.65000E-11
【０１３１】
この第５実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１０、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表１９に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１３２】
（表１９）
β   無限遠          -0.0333
ｄ13     8.65            7.48
Bf    38.10           39.27
【０１３３】
次の表２０に、この第５実施例における各条件式対応値を示す。
【０１３４】
（表２０）
（１）ｆ／ｆ２３＝0.644
（２）ｆ／ｆ１＝-0.166
（３）ｆ／ｆ２＝-0.17
（４）Ｈ２ｉｎ／Ｈ１ｉｎ＝1.639
【０１３５】
この第５実施例の無限遠合焦状態の収差図を図１５（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図１６（ａ）に示す。また、第５実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１５（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１６（ｂ）に示す。
【０１３６】
各収差図から明らかなように、第５実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１３７】
〔第６実施例〕
図１７は、本願の第６実施例にかかる光学系ＳＬ６の構成を示す図である。この図１７の光学系ＳＬ６において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１４、及び、両凸形状の正レンズＬ１５から構成されている。
【０１３８】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２２との接合レンズ、両凹形状の負レンズＬ２３、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２４から構成されている。
【０１３９】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【０１４０】
本第６実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１４における物体側のレンズ面（面番号６）に後述する反射防止膜が形成されている。
【０１４１】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第６実施例においては、防振係数は０．２９０であり、焦点距離は２９．０（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２２（ｍｍ）である。
【０１４２】
以下の表２１に、この第６実施例の諸元の値を掲げる。
【０１４３】
（表２１）第６実施例
f = 29.00
FNO =  1.45
２ω = 74.7
像高 = 21.6
全長 =134.1
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞
1      58.989   2.40    1.74100  52.67
2      29.526   6.92
3      72.211   2.10    1.77250  49.60
4      38.041   0.20    1.55389  38.09
*5      35.056  12.50
6     -43.678   3.98    1.74400  44.78
7     -43.282   0.20
8      91.966   5.50    1.74806  50.00
9    -104.422   3.59
10     -55.000   2.51    1.48749  70.40
11     -41.353   1.50    1.51742  52.31
12     -63.431   0.20
13    -125.764   1.30    1.48749  70.40
14      41.948   0.33
15      43.787   3.35    1.83400  37.16
16      93.370   (d16)
17      40.425   4.23    1.69680  55.52
18     145.955   0.20
19      38.368   6.26    1.69680  55.52
20    -160.073   0.20
21     263.236   1.30    1.61266  44.46
22      26.332   5.00
23       ∞      5.00                  開口絞りＳ
24     -25.587   1.30    1.78472  25.68
25      43.936   5.35    1.77250  49.60
*26     -83.081   2.23
27     344.521   4.42    1.75500  52.31
28     -50.243   0.20
29    -102.612   4.73    1.77250  49.61 
30     -33.734   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1     874.69
第２レンズ群   10    -150.04
第３レンズ群   17      43.27
【０１４４】
この第６実施例において、第５面、及び、第２６面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表２２に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１４５】
（表２２）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面      0.155400  2.09390E-07 -8.01120E-10 -1.97890E-12
第26面   -39.109400  5.05950E-06  2.86350E-08 -4.43890E-11
【０１４６】
この第６実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１６、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表２３に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１４７】
（表２３）
β   無限遠          -0.0333
ｄ16     9.74            8.70
Bf    37.32           38.36
【０１４８】
次の表２４に、この第６実施例における各条件式対応値を示す。
【０１４９】
（表２４）
（１）ｆ／ｆ２３＝0.666
（２）ｆ／ｆ１＝0.033
（３）ｆ／ｆ２＝-0.19
（４）Ｈ２ｉｎ／Ｈ１ｉｎ＝1.525
【０１５０】
この第６実施例の無限遠合焦状態の収差図を図１８（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図１９（ａ）に示す。また、第６実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１８（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１９（ｂ）に示す。
【０１５１】
各収差図から明らかなように、第６実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１５２】
〔第７実施例〕
図２０は、本願の第７実施例にかかる光学系ＳＬ７の構成を示す図である。この図２０の光学系ＳＬ７において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１５との接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１６から構成されている。
【０１５３】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズで構成されている。
【０１５４】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。
【０１５５】
本第７実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に後述する反射防止膜が形成されている。
【０１５６】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第７実施例においては、防振係数は０．３０であり、焦点距離は３０．８７（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２６（ｍｍ）である。
【０１５７】
以下の表２５に、この第７実施例の諸元の値を掲げる。
【０１５８】
（表２５）第７実施例
f = 30.87
FNO =  1.45
２ω = 71.3
像高 = 21.6
全長 =135.0
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞
1      54.000   2.40    1.74100  52.67
2      30.057  11.01
3     296.733   2.10    1.77250  49.60
4      47.966   0.20    1.55389  38.09
*5      42.169   7.57
6  -26631.000   6.84    1.74400  44.78
7     -46.891   1.30    1.52599  53.31
8    -139.643   0.20
9      63.943   5.50    1.74806  50.00 
10    5875.968   5.10
11     -80.793   1.30    1.48749  70.40
12      51.576   3.05    1.83400  37.16
13     111.029   (d13)
14      39.561   4.26    1.69680  55.52
15     122.864   0.20
16      38.831   6.04    1.69680  55.52
17    -152.489   0.20
18     214.322   1.45    1.61266  44.46
19      24.780   5.00
20       ∞      5.07                  開口絞りＳ
21     -23.877   1.30    1.78472  25.68
22      40.125   6.00    1.77250  49.60
*23     -68.316   2.73
24     270.446   6.00    1.75500  52.31
25     -43.519   0.20
26     -92.358   5.31    1.77250  49.61
27     -35.520   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1     688.01
第２レンズ群   11    -146.58
第３レンズ群   14      43.20
【０１５９】
この第７実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表２６に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１６０】
（表２６）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面     -0.678900 -4.81790E-07 -9.78310E-10  1.73750E-13
第23面   -30.523200  1.70060E-06  4.19410E-08 -5.89620E-11
【０１６１】
この第７実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表２７に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１６２】
（表２７）
β   無限遠          -0.0333
ｄ13     6.39            5.28
Bf    38.32           39.43
【０１６３】
次の表２８に、この第７実施例における各条件式対応値を示す。
【０１６４】
（表２８）
（１）ｆ／ｆ２３＝0.700
（２）ｆ／ｆ１＝0.045
（３）ｆ／ｆ２＝-0.21
（４）Ｈ２ｉｎ／Ｈ１ｉｎ＝1.459
【０１６５】
この第７実施例の無限遠合焦状態の収差図を図２１（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図２２（ａ）に示す。また、第７実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２１（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２２（ｂ）に示す。各収差図から明らかなように、第７実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１６６】
〔第８実施例〕
図２３は、本願の第８実施例にかかる光学系ＳＬ８の構成を示す図である。この図２３の光学系ＳＬ８において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５から構成されている。
【０１６７】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズで構成されている。
【０１６８】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、開口絞りＳ、両凸形状の正レンズＬ３１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２との接合レンズ、両凹形状の負レンズＬ３３と両凸形状の正レンズ形状の非球面正レンズＬ３４との接合レンズ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３５、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３６から構成されている。
【０１６９】
本第８実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカス形状の非球面負レンズＬ１３における像面側のレンズ面（面番号５）と、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２における像面側のレンズ面（面番号１２）に後述する反射防止膜が形成されている。
【０１７０】
なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第７実施例においては、防振係数は０．２７であり、焦点距離は２８．００（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２６（ｍｍ）である。
【０１７１】
以下の表２９に、この第８実施例の諸元の値を掲げる。
【０１７２】
（表２９）第８実施例
f = 28.00
FNO =  1.84
２ω = 76.5
像高 = 21.6
全長 =124.5
面番号  曲率半径 面間隔   屈折率 アッベ数
物面      ∞
1     100.000   2.40    1.74100  52.67
2      25.947   5.00
3      46.077   2.10    1.77250  49.60
4      28.597   0.20    1.55389  38.09
*5      23.872   9.01
6      87.112   3.61    1.90366  31.31
7   18648.952   0.20
8      58.326   3.81    1.90366  31.31
9     250.749   4.00
10     -70.091   1.30    1.60614  37.90
11      48.211   4.02    1.74397  44.85
12     986.837   (d12)
13       ∞      0.10                  開口絞りＳ
14      59.349   5.59    1.74100  52.67
15     -45.974   1.30    2.00069  25.46
16     -61.044  16.05
17     -25.065   2.50    1.84666  23.78
18     118.919   8.00    1.77250  49.60
*19     -71.765   1.23
20    -109.608   2.93    1.72916  54.66
21     -45.839   0.20
22    -156.670   4.67    1.80400  46.57
23     -32.339   (Bf)
像面      ∞
［レンズ群焦点距離］
レンズ群   始面   焦点距離
第１レンズ群    1    -240.33
第２レンズ群   10    -152.94
第３レンズ群   13      41.75
【０１７３】
この第８実施例において、第５面、及び、第１９面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表３０に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。
【０１７４】
（表３０）
κ          Ａ4          Ａ6          Ａ8
第5面     -0.105300 -1.44211E-06 -3.86598E-09 -6.08176E-13
第19面     3.354500  1.14404E-05  2.95647E-09 -8.75837E-12
【０１７５】
この第８実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１２、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表３１に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。
【０１７６】
（表３１）
β   無限遠          -0.0333
ｄ12     8.08            7.28
Bf    38.20           39.26
【０１７７】
次の表３２に、この第８実施例における各条件式対応値を示す。
【０１７８】
（表３２）
（１）ｆ／ｆ２３＝0.672
（２）ｆ／ｆ１＝-0.117
（３）ｆ／ｆ２＝-0.18
（４）Ｈ２ｉｎ／Ｈ１ｉｎ＝1.525
【０１７９】
この第８実施例の無限遠合焦状態の収差図を図２４（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図２５（ａ）に示す。また、第８実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２４（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２５（ｂ）に示す。各収差図から明らかなように、第８実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。
【０１８０】
次に、実施形態にかかる光学系ＳＬ１〜ＳＬ８（以後、まとめてＳＬという）に用いられる反射防止膜（多層広帯域反射防止膜とも言う）について説明する。図２８は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜１０１は７層からなり、レンズ等の光学部材１０２の光学面に形成される。第１層１０１ａは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第１層１０１ａの上に更に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第２層１０１ｂが形成される。さらに、この第２層１０１ｂの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第３層１０１ｃが形成され、この第３層１０１ｃの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第４層１０１ｄが形成される。またさらに、この第４層１０１ｄの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第５層１０１ｅが形成され、この第５層１０１ｅの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第６層１０１ｆが形成される。
【０１８１】
そして、このようにして形成された第６層１０１ｆの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第７層１０１ｇが形成されて本実施形態の反射防止膜１０１が形成される。第７層１０１ｇの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル−ゲル法を用いている。ゾル−ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解・重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱・分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル−ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。
【０１８２】
このように、この反射防止膜１０１の第１層１０１ａ〜第６層１０１ｆまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第７層１０１ｇは、フッ酸／酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面（上述の光学部材１０２の光学面）に真空蒸着装置を用いて第１層１０１ａとなる酸化アルミニウム層、第２層１０１ｂとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第３層１０１ｃとなる酸化アルミニウム層、第４層１０１ｄとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第５層１０１ｅとなる酸化アルミニウム層、第６層１０１ｆとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材１０２を取り出した後、フッ酸／酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第７層１０１ｇとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸／酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式（ｂ）に示す。
【０１８３】
２ＨＦ＋Ｍｇ（ＣＨ3ＣＯＯ）2→ＭｇＦ2＋２ＣＨ3ＣＯＯＨ  …（ｂ）
【０１８４】
この成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで１４０℃、２４時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材１０２は、第７層１０１ｇの成膜終了後、大気中で１６０℃、１時間加熱処理して完成される。このようなゾル−ゲル法を用いることにより、大きさが数ｎｍから数十ｎｍの粒子が空隙を残して堆積することにより第７層１０１ｇが形成される。
【０１８５】
このようにして形成された反射防止膜１０１を有する光学部材の光学的性能について図２９に示す分光特性を用いて説明する。
【０１８６】
本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材（レンズ）は、以下の表３３に示す条件で形成されている。ここで表３３は、基準波長をλとし、基板の屈折率（光学部材）が１．６２、１．７４及び１．８５について反射防止膜１０１の各層１０１ａ（第１層）〜１０１ｇ（第７層）の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表３３では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2＋TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2＋SiO2とそれぞれ表している。
【０１８７】
（表３３）
物質      屈折率  光学膜厚  光学膜厚  光学膜厚  
媒質    空気        1
第７層  MgF2＋SiO2  1.26  0.268λ    0.271λ    0.269λ
第６層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.057λ    0.054λ    0.059λ
第５層  Al2O3       1.65  0.171λ    0.178λ    0.162λ
第４層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.127λ    0.13λ     0.158λ
第３層  Al2O3       1.65  0.122λ    0.107λ    0.08λ
第２層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.059λ    0.075λ    0.105λ
第１層  Al2O3       1.65  0.257λ    0.03λ     0.03λ
基板の屈折率                  1.62       1.74       1.85
【０１８８】
図２９は、表３３において基準波長λを５５０ｎｍとして反射防止膜１０１の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。
【０１８９】
図２９から、基準波長λを５５０ｎｍで設計した反射防止膜１０１を有する光学部材は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率を０．２％以下に抑えられることが判る。また、表３３において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜１０１を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図２９に示す基準波長λが５５０ｎｍの場合とほぼ同等の分光特性を有することがわかっている。
【０１９０】
次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は５層からなり、表３３と同様、以下の表３４で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第５層の形成に前述のゾル−ゲル法を用いている。
【０１９１】
（表３４）
物質      屈折率  光学膜厚  光学膜厚
媒質    空気        1
第５層  MgF2＋SiO2  1.26  0.275λ  0.269λ    
第４層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.045λ  0.043λ    
第３層  Al2O3       1.65  0.212λ  0.217λ    
第２層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.077λ  0.066λ    
第１層  Al2O3       1.65  0.288λ  0.290λ    
基板の屈折率                  1.46     1.52       
【０１９２】
図３０は、表３４において、基板の屈折率が１．５２及び基準波長λを５５０ｎｍとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図３０から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率が０．２％以下に抑えられることがわかる。なお、表３４において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図３０に示す分光特性とほぼ同等の特性を有することがわかっている。
【０１９３】
図３１は、図３０に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図３０、図３１には表３４に示す基板の屈折率が１．４６の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が１．５２とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。
【０１９４】
また比較のため、図３２に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図３２は、表３４と同じ基板の屈折率１．５２に以下の表３５で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図３３は、図３２に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。
【０１９５】
（表３５）
物質      屈折率  光学膜厚
媒質    空気        1
第７層  MgF2        1.39  0.243λ    
第６層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.119λ    
第５層  Al2O3       1.65  0.057λ    
第４層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.220λ    
第３層  Al2O3       1.65  0.064λ    
第２層  ZrO2＋TiO2  2.12  0.057λ    
第１層  Al2O3       1.65  0.193λ    
基板の屈折率                  1.52       
【０１９６】
図２９〜図３１で示される本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図３２および図３３で示される従来例の分光特性と比較すると、本反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良くわかる。
【０１９７】
次に、前述の第１実施例から第８実施例に、上記表３３、表３４に示す反射防止膜を適用した例について説明する。
【０１９８】
本第１実施例の光学系ＳＬ１において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表１に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．４８７４９であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に、基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０１９９】
本第２実施例の光学系ＳＬ２において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表５に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１６の屈折率は、ｎｄ＝１．７４８０６であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凸形状の正レンズＬ１６における像面側（面番号１０）のレンズ面に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２００】
本第３実施例の光学系ＳＬ３において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表９に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．４８７４９であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１０）に、基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２０１】
本第４実施例の光学系ＳＬ４において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表１３に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１６の屈折率は、ｎｄ＝１．７７２５０であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凸形状の正レンズＬ１６における像面側のレンズ面（面番号１０）に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２０２】
本第５実施例の光学系ＳＬ５において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表１７に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．５５８５７であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号８）に、基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２０３】
本第６実施例の光学系ＳＬ６において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表２１に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１４の屈折率は、ｎｄ＝１．７４４００であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、正メニスカスレンズＬ１４における物体側のレンズ面（面番号６）に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２０４】
本第７実施例の光学系ＳＬ７において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表２５に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．４８７４９であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に、基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２０５】
本第８実施例の光学系ＳＬ８において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１３の屈折率は、表２９に示すように、ｎｄ＝１．５５３８９であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、ｎｄ＝１．７４３９７であるため、負メニスカスレンズＬ１３における像面側のレンズ面（面番号５）に基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜１０１（表３４参照）を用い、正メニスカスレンズＬ２２における像面側のレンズ面（面番号１２）に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。
【０２０６】
なお、上述の実施形態において、以下に記載の内容は、光学性能を損なわない範囲で適宜採用可能である。
【０２０７】
上述の説明および実施例においては、３群構成の光学系ＳＬを示したが、以上の構成条件等は、４群構成等の他の群構成にも適用可能である。また、最も物体側にレンズまたはレンズ群を追加した構成や、最も像側にレンズまたはレンズ群を追加した構成でも構わない。また、レンズ群とは、合焦時に変化する空気間隔で分離された、若しくは光軸と略直交方向の成分を持つように移動するか否かで分離された少なくとも１枚のレンズを有する部分を示す。
【０２０８】
また、単独または複数のレンズ群、または部分レンズ群を光軸方向に移動させて、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う合焦レンズ群としても良い。この場合、合焦レンズ群はオートフォーカスにも適用でき、オートフォーカス用の（超音波モーター等の）モーター駆動にも適している。特に、前述したように第３レンズ群Ｇ３を合焦レンズ群とするのが好ましい。
【０２０９】
また、レンズ群または部分レンズ群を光軸に垂直な方向の成分を持つように移動させ、または、光軸を含む面内方向に回転移動（揺動）させて、手ブレによって生じる像ブレを補正する防振レンズ群としてもよい。特に、第２レンズ群Ｇ２の少なくとも一部を防振レンズ群とするのが好ましい。
【０２１０】
また、レンズ面は、球面または平面で形成されても、非球面で形成されても構わない。レンズ面が球面または平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を妨げるので好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないので好ましい。レンズ面が非球面の場合、非球面は、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に形成したガラスモールド非球面、ガラスの表面に樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれの非球面でも構わない。また、レンズ面は回折面としても良く、レンズを屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）或いはプラスチックレンズとしても良い。
【０２１１】
なお、本願を分かり易く説明するために実施形態の構成要件を付して説明したが、本願がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。
【０２１２】
以上のように、本発明によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、防振性能に優れた光学系、この光学系を備えた光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【０２１３】
ＳＬ（ＳＬ１〜ＳＬ８）  光学系
Ｇ１          第１レンズ群
Ｇ２          第２レンズ群
Ｇ３          第３レンズ群    
Ｓ            開口絞り
１            一眼レフカメラ（光学機器）
１０１        反射防止膜
１０１ａ      第１層
１０１ｂ      第２層
１０１ｃ      第３層
１０１ｄ      第４層
１０１ｅ      第５層
１０１ｆ      第６層
１０１ｇ      第７層
１０２        光学部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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