(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉可能な容器本体にスラリーを供給する供給口と、該スラリーをろ過するフィルターと、ろ液を排出する排出口と、ジャケットとを設けたろ過乾燥機であって、
前記容器本体は回動可能に水平の支持軸により支持され、前記供給口は前記容器本体の上部に設けられ、前記フィルターは前記容器本体の内部下方に支持され、前記排出口は前記容器本体の下部に設けられ、加熱媒体を循環する流路を有する伝熱管が該容器本体内に該容器本体の中心軸と平行に上部から下部に伸びて設けられ、前記伝熱管は加熱媒体を前記ジャケットから直列に流れるようにされていることを特徴とするろ過乾燥機。
【請求項２】
前記フィルターを凹状に形成した請求項１に記載のろ過乾燥機。
【請求項３】
前記容器本体内面の少なくともろ過されたケーキとの接触部に付着防止処理を施した請求項１又は２に記載のろ過乾燥機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スラリーをろ過してケーキを乾燥するろ過乾燥機に関し、より詳細には、容器本体内に設けたフィルターでろ過し、ろ過して得たケーキを乾燥するろ過乾燥機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
化学工業あるいは医薬品工業において、ろ過、洗浄、乾燥、混合等の複数操作が不可欠である。これらの各操作を単機能の処理装置で行なう場合は、各操作の間を原料又は中間製品は移動しなければならず、その際のコンタミの問題、接続構造の複雑化又は移し替えの手間等の問題があった。そこで、最近は複数操作を行なう装置が使用されるようになっている。複数操作ができて個々の操作を性能よくできる装置としてろ過乾燥機が広く使用されている。この種の従来のろ過乾燥機として、例えば特公昭４６−２２２０１号公報に示されるような装置がある。
【０００３】
この特公昭４６−２２２０１号公報に示されるろ過乾燥機は、回動可能で密閉可能な容器本体にスラリーを供給する処理液仕込管と、該スラリーをろ過するフィルターと、ろ液を排出する排出口と、ジャケットとを設けている。不活性ガス雰囲気中でスラリ−を導入してろ過を行い、容器本体を回転しつつ減圧下に伝熱面を通して被処理物の乾燥を行い、ついで不活性ガス雰囲気下で乾燥粉体を排出する。
【０００４】
ところが、上記構造のろ過乾燥機は、本体は回転可能であるが、加熱はジャケットの伝熱面を通して行うのみなので、伝熱面積が小さく、処理能力が小さかった。それを解消する装置として、処理機内部に攪拌翼を設けたり（例えば、特公平５−８５２０２号、特開昭６４−７０１１３号公報等参照）、加熱管をコイル状に設けることが行われている。
【０００５】
上述の特公平５−８５２０２号及び特開昭６４−７０１１３号公報に開示された装置は、内部に攪拌翼を設けることで、ろ過、洗浄、乾燥、排出操作を行なっている。これにより、ろ過の際に生じやすいクラックが、その後の洗浄工程で洗浄不良を生じる原因となるのを、攪拌翼でつぶしてスムージングやリスラリーしてから洗浄液をろ過する。そして、その後の乾燥において、攪拌乾燥することにより乾燥能力を向上させるようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記攪拌装置を有する装置は伝熱が側壁のみで小さく、又ケ−キがおおむね軟らかい紙粘土状で撹拌しにくいので、乾燥能力は向上しにくい。さらに、攪拌翼の回転シールが槽内に露出するため、製品を汚染させる原因になる。
【０００７】
また、処理機内に伝熱管をコイル状に設ける装置にあっては、伝熱管が揺れやすいので、補強を良くしなければならないと共に、製品の排出方向と直交する方向に管が配列される。その結果、製品の流れを阻害し、製品のロスを招きやすいと共に、サニタリ−性を劣化させるという課題があった。また、乾燥中材料が伝熱管に動きを阻害されるので、回転して材料を混合撹拌して乾燥能力アップを計ることが困難である。
【０００８】
本発明者は上述した課題に対処して、ろ過乾燥機について研究し、攪拌装置を槽内に設けずに伝熱管を中心軸に平行に設けることで、構造や操作を複雑にせず、乾燥能力を向上し、コンタミを発生させず、また、クラックの発生を抑えることで、洗浄液の消費量を減らし、乾燥を効率よく行えることを究明した。
【０００９】
本発明の目的とする処は、簡単な構造で、乾燥能力を向上できるろ過乾燥機を提供することにある。また、他の目的は、ケーキのクラックを抑制して洗浄液の消費量を減らすことができるろ過、乾燥または混合を効率よく行うことができると共に、乾燥能力を向上できるろ過乾燥機を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
そして、上記目的を達成するための手段としての本発明の請求項１のろ過乾燥機は、
密閉可能な容器本体にスラリーを供給する供給口と、該スラリーをろ過するフィルターと、ろ液を排出する排出口と、ジャケットとを設けたろ過乾燥機であって、
前記容器本体は回動可能に水平の支持軸により支持され、前記供給口は前記容器本体の上部に設けられ、前記フィルターは前記容器本体の内部下方に支持され、前記排出口は前記容器本体の下部に設けられ、加熱媒体を循環する流路を有する伝熱管が該容器本体内に該容器本体の中心軸と平行に上部から下部に伸びて設けられ、前記伝熱管は加熱媒体を前記ジャケットから直列に流れるようにされていることを特徴とする。
【００１１】
本発明のろ過乾燥機は、前記伝熱管は加熱媒体を前記ジャケットから直列に流れるようにした。
請求項２のろ過乾燥機は、請求項１のろ過乾燥機において、前記フィルターを凹状に形成した。
請求項３のろ過乾燥機は、請求項１又は２のろ過乾燥機において、前記記容器本体内面の少なくともろ過されたケーキとの接触部に付着防止処理を施した。
【００１２】
本発明におけるろ過乾燥機は、乾燥操作において、伝熱管を容器本体内にこの中心軸と平行に設けたのみなので構造は簡単なままで、コンタミを発生させず、加熱乾燥能力を向上でき、排出を円滑に行うことができる。ろ過操作、乾燥操作の他、混合、加熱、冷却、熱処理等の操作に使用することができ、ファインケミカル、医薬品分野で生じるスラリーに最適である。
【００１３】
本発明のろ過乾燥機は、ジャケットと伝熱管とを直列に熱媒体を流すので、熱のバランスが良く、乾燥能力を一層向上できる。請求項２のろ過乾燥機は、請求項１の発明の作用効果に加え、クラックの発生を抑制でき、ろ過、洗浄が均一に効率よく行なえ、洗浄液の消費量を減らせる。請求項３のろ過乾燥機は、請求項１又は２の発明の作用効果に加え、一層、クラックの発生の抑制とコンタミの減少を図れる。
【００１４】
また、容器本体を加圧気体源に接続し、ろ過時に不活性ガスを用いれば、ろ過能力を向上し、生産性を向上することができる。さらに、熱媒体供給装置として温冷水を発生する装置を設ければ、より多種類の材料の処理に適用できるので、設備費を全体として低減できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら、本発明を具体化した実施の形態について説明する。ここに、図１は本発明に係るろ過乾燥機（以下単に乾燥機ともいう）を含むろ過乾燥処理装置の一実施例の構成図、図２はジャケットと伝熱管の構成を示す展開図である。
、図３は乾燥機の後部の排ガス処理部の一例を示す模式図である。
【００１６】
本実施例のろ過乾燥機１は、スラリー、ケーキ等を収容する空間を有する容器本体２を備え、容器本体２の上部にスラリー供給口３が設けられ、下部にろ液排出口４が設けられ、内部の下方にフィルター５がフィルター保護枠６に支持され、周囲にジャケット７が設けられ、内部に容器本体２の中心軸に平行に複数の伝熱管８が設けられている。さらに、容器本体２は回動可能に支持軸９、１０に固着され、一方の支持軸９は駆動装置１１に連結されると共にロータリージョイント１２が接続され、ロータリージョイント１２を介して熱媒発生装置１３に接続され、他方の支持軸１０には分離装置１４が設けられ、容器本体２内から分離装置１４を経て排気管１５により排気されるようになっている。
【００１７】
容器本体２は、スラリー供給口３の他に、上方に開口が形成され、この開口は遮断バルブ１６で密閉できるようにされている。遮断バルブ１６は容器本体２内でケーキを乾燥し、得られた製品を取り出せるように構成している。製品の取り出し方としては、傾けて流出させるとか、吸引するとか、製品の性状、用途等により適宜おこなえるようにすればよい。遮断バルブ１６を大きくも小さくも開口でき、他の装置に気密に接続できるようにすると、各種の製品に適用できるので複数の製品の処理を一つの装置でできるので都合がよい。
【００１８】
容器本体２のケーキが接触する部分の、フィルター保護枠６の取付け位置の近辺から上方にかけて、表面処理部１８を設けている。この表面処理部１８は、容器本体２内面に、フッ素樹脂、シリコーン樹脂等の離型性、粘着防止性又は撥水性等を有する樹脂をコーテイングしたり、これらの樹脂のフィルムを接着して表面に樹脂層を形成することにより得る。また、サンドブラスト処理などの処理で、表面に微細な凹凸を形成してもよい。ケーキが接触する容器本体２の内壁に離型性等がよい処理面を有することにより、ケーキの内壁部のクラックの発生を抑えることができる。
【００１９】
フィルター５は、加圧若しくは真空で使用され、材質としては、焼結金属金網、焼結金属不織布、樹脂製ろ布、セラミック、布または紙製のろ布などが用いられる。可撓性のものにあっては、フィルタ保護枠６の受け面の形状に沿うように形成されたものでもよいが、フラット型、袋型等の汎用のものを用い、スラリー又はケーキの重量で凹状に変形できるものでも差し支えない。
【００２０】
フィルター保護枠６は、容器本体２の下方に設けられ、上方に凹状に形成されるフィルターを保護する部材で、その上面１９の支持面が上方に凹の概略球面形状に形成され、凹（下方に凸）面上でフィルター５を支える。このフィルター保護枠６は、表裏（上下）に貫通した開口を多数有し、開口を全表面に均一に分布させたものでもよいし、適宜な間隔に骨組み部材を組んで形成してもよい。フィルター保護枠６の上面１９に沿って凹状に中央が凹んでフィルター５上に形成されたケーキは、中心方向に反力（ケーキが移動しようとする力）が作用し、ろ過又は洗浄の終了期の液が減少して容積変化が大きくなる時期に発生し易いクラックの発生を抑えることができる。
【００２１】
また、容器本体２の上部に設けられたスラリー供給口３に供給管２１が設けられ、供給管２１が容器本体２内に挿入されている。この供給管２１から分岐して連結管２２が容器本体２の外方に設けられ、供給管２１及び分岐管２２にそれぞれ遮断バルブ２３、２４が設けられている。遮断バルブ２３は容器本体２への材料供給を開閉し、遮断バルブ２４は容器本体２へ窒素、空気等の加圧気体供給を開閉する。なお、図中２０は、窒素ボンベ、コンプレッサー等の加圧気体供給源で、容器本体２内を加圧し、加圧ろ過できるようにしている。
【００２２】
ろ液排出口４には、フランジ２６が設けられて配管２７に連通され、配管２７に遮断バルブ２８が設けられている。ろ液排出口４から排出されたろ液は後処理されて放流、または再使用される。また、ろ液排出口４は、ろ過が完了した後、通気乾燥する場合の乾燥気体の供給口又は乾燥気体の排気口として利用するように配管２７を所要の装置に接続した構成とすることもできる。
【００２３】
容器本体２の外周に形成されたジャケット７は、仕切壁７ａで加熱路７ｂと戻り側路７ｃとに分離されている。そして、温水、冷却水等の熱媒体を供給する熱媒発生装置１３に支持軸９内の供給路２９、ロータリージョイント１２を介して接続されている。さらに、ジャケット７は、支持軸９内の戻り路３０、ロータリージョイント１２を介して熱媒発生装置１３に接続されている。加熱路７ｂの上部に各伝熱管８の一端が接続している。
【００２４】
伝熱管８は、容器本体２の内部に軸に平行に、上部から下部に伸びて複数本（図１では１本）が、支持軸９，１０間の一方側の内周面に一定の間隔（２５度間隔）で、設けられている。伝熱管８の一端３１は、加熱路７ｂの上部に開口し、他方の端部３２は仕切壁７ａを下方で貫通して戻り側路７ｃに開口している。ジャケット７に供給された熱媒体は加熱路７ｂに入り、加熱路７ｂの端部から一部は伝熱管８にその一端３１の開口から入り、残部は戻り側路７ｃに流れる。伝熱管８に入った熱媒体は伝熱管８を通して容器本体２内を加熱し、他端３２から戻り側路７ｃを経て排出される。
【００２５】
支持軸９は、一端は容器本体２に固着され、他端にロータリージョイント１２が固着され、軸受３３に回動自在に支持され、駆動装置１１に伝導機構３４を介して連結されている。駆動装置１１と伝導機構３４を軸受３３より外側（容器本体２から離れた側）に設け、容器本体２を軸受３３等から隔離して無菌室、クリーンルーム等の室内に配置することにより、無菌製品の要求に合った処理を容易に行なうことができる。容器本体２を挟んで支持軸９反対側に支持軸１０が固着されている。
【００２６】
支持軸１０は一端を容器本体２に固着し、他端に固−気を分離する分離装置１４が設けられ、軸受３５に回動自在に支持されている。支持軸１０内には排気通路３６が設けられ、容器本体２内と分離装置１４とは排気通路３６を介して連通している。分離装置１４と支持軸１０との間にシール機構３７を設け、駆動装置１１により支持軸９，１０を軸に容器本体２を回動させても気密性が確保できるようにしている。
【００２７】
熱媒発生装置（温冷水発生装置）１３は、本実施例では温水と冷水の２種類の熱媒体を発生するように構成した装置で、スチ−ムを用いて温水を発生し、冷凍機で冷却された冷媒を用いて冷水を発生するように構成している。熱媒発生装置１３には、熱媒を乾燥機に送り出す熱媒供給管４１と、使用済みの熱媒を戻す熱媒戻管４２と、スチ−ムが供給されるスチ−ム配管４３と、使用したスチ−ムをドレ−ンとして排出するためのドレ−ン排管４４と、冷媒が供給される冷媒入管４５と、冷凍機に冷媒を戻す冷媒戻管４６等が連結されている。このスチ−ム配管４３にスチ−ムの供給をオンーオフするように遮断弁４７が設けられ、ドレ−ン排管４４にはドレ−ン遮断弁４８が設けられている。
【００２８】
また、熱媒供給管４１はロータリージョイント１２に接続され、ロータリージョイント１２を介して供給路２９に接続し、ジャケット７に連通している。熱媒供給管４１に調節弁４９が設けられ、容器本体２内の温度により供給量を調節できるようにしている。また、ジャケット７で使用した熱媒を循環使用するように戻す熱媒戻管４２に循環ポンプ５０、遮断弁５１等が設けられている。
このように、スチーム等の加熱媒体と冷凍機の冷媒等の加熱又は冷却媒体を使用できるように構成すると、多種類の製品の処理に使用することができ、設備費を全体として安価にできる。
【００２９】
分離装置１４の外側ケーシング５３は固定され、この外側ケーシング５３に排気管１５が接続している。分離装置１４は内部に排気フィルター５４を設け、この排気フィルター５４は支持軸１０と連動する構成としている。また、外側ケーシング５３には点検戸５５を設け、排気フィルター５４の取付け等が容易にできるようにしている。排気管１５には遮断バルブ５６を設けている。また、分離装置１４は、加圧気体供給源２０と気体分岐管５７により連通し、気体分岐管５７に遮断バルブ５８を設け、加圧気体供給源２０から加圧気体を導入して排気フィルター５４の払い落としをするようにしている。
【００３０】
以下に、上記のように構成した本発明のろ過乾燥機１を用いて、加圧ろ過し、ろ過したケーキを真空乾燥する運転方法について説明する。
先ず、容器本体２からろ液が流出できるように、ろ液排出口４を遮断バルブ２８を開いて開放すると共に、遮断バルブ２３を開き、スラリー供給口３に設けられた供給管２１から容器本体にスラリーを供給する。スラリーが所定量になったら遮断バルブ２３を閉じてスラリーの供給を止め、遮断バルブ１６を閉じ、遮断バルブ２４を開き、加圧気体供給源２０から気体を供給して、容器本体２内を加圧してろ過する。ろ液は容器本体２の下部のろ液排出口４から取り出す。
【００３１】
ろ過が終了したら、必要ならば、洗浄液を用いてケーキの洗浄を行なう。次いで、容器本体２を回動又は回転させながら、供給管４１の調節弁４９を開き、ロータリージョイント１２、支持軸９内の供給路２９を経て温水をジャケット７に供給して加熱乾燥する。なお、ケ−キ水分が高いときは、容器本体２を９０度回転させて伝熱管８を下側にしてケ−キと接触させて初期乾燥することが望ましい。
【００３２】
ジャケット７では、供給された温水は、加熱路７ｂに充満し、上部で一部は伝熱管８の１端３１に入って流れ、下降して他端３２から戻り側路７ｃに集められる。容器本体１内を所要の温度に加熱し、加熱に使用した水蒸気は支持軸９内の戻り路３０、ロータリージョイント１２を経て排出し、戻り管４２を経て熱媒発生装置１３に戻して再使用するか又は排出する。排気は支持軸１０内の排気通路３６を経て分離装置１４に導き、ここで同伴する固形物等を除去し、排気管１５により排気する。この乾燥を真空下で行なうには、排気管１５に真空ポンプに接続して容器本体２を排気して減圧すればよい。
【００３３】
次いで、乾燥したケーキを容器本体２から排出する。乾燥ケーキの性質によって、掻き取りを要する場合には掻き取って排出する。ケーキのばらつき性がよくてそのまま流出できるものであれば、容器本体２を傾け、遮断バルブ１６を開いて排出させる。このとき、伝熱管８は容器本体２の中心軸と平行に設けられているので、ケ−キは伝熱管に遮られることなく排出でき、容器本体内に残って内部を汚染することがない。洗浄の場合にも、洗浄液は容易に排出される。
【００３４】
ろ過乾燥機において、フィルターを凹状に形成した支持面で支持し、ケーキを上方に凹形状に形成すると共に、容器本体の内面の少なくともろ過されたケーキとの接触部に付着防止処理を施すと、ケーキにクラックが発生するのを防ぐことができ、攪拌機構を容器本体内に設けなくてもよくなる。攪拌機構を容器本体内に設けない結果、コンタミを減らし、洗浄液の消費量を減らし、構造を簡単にでき、ろ過乾燥処理の操作を単純にできる。
【００３５】
なお、本発明は、上述した実施態様に限定されるものでなく、本発明の主旨を変更しない範囲内で変形実施できるものを含む。因みに、上述においては、熱媒発生装置１３をスチ−ムで温水を発生させる機能と冷媒で冷水を発生させる機能を有する例で説明したが、これに限られないことは勿論である。例えば、温水と冷水を別々に発生する装置としても良いし、温水をスチ−ムで発生させているが、液体の熱媒を直接発生して、熱媒を直接ジャケットに供給するように構成しても良い。また、冷水についても同様で、発生した冷媒を直接ジャケットに供給するように構成しても良い。
【００３６】
また、フィルターを可撓性の部材で形成し、フィルター保護枠を用いる例で説明したが、フィルターの断面積が小さい場合等でフィルターの強度が十分であればフィルター保護枠なしでフィルター自身で凹状に形成してもよい。また、フィルターの凹形状は球面状でも円（角）錐形状でもよいし、逆円（角）錐台形状でもよい。また、フィルターを剛性部材で上面を凹状に形成し、フィルター保護枠を設けない構成にしたものでもよい。また、ケーキを乾燥して容器本体から除去する例で説明したが、リスラリーして除去又は処理するようにしてもよい。さらに、加圧ろ過の例で説明したが、容器本体下部のろ液排出口は真空ポンプに連通し、真空ろ過を行なう構成であってもよい。
【００３７】
また、分離装置１４の代わりに又は分離装置１４と併せて図３に示すように凍結乾燥が可能な構成としてもよい。なお、図３において、図１と共通する部分には同一符号を付し、重複しての詳細な説明は省略する。
【００３８】
図３に示す乾燥等の排気を処理する装置は、コンデンサー７０、レシーバタンク７１、真空ポンプ７２、冷凍機７３を備えている。分離装置１４とコンデンサー７０とは排気管１５で連通し、この排気管１５には、圧力指示調節計７４、圧力計７５、遮断弁７６を設けている。コンデンサー７０で処理した処理排気を真空ポンプ７２で吸引する処理排気管７７には遮断弁７８、調節弁７９を設け、さらに、真空ポンプ７２の排気を処理するミストセパレータ８０を設けている。調節弁７８は圧力指示調節計７４の調節信号により調節する。コンデンサー７０で凝縮分離した溶剤は回収管８１を流してレシーバタンク７１に集めて貯留する。
【００３９】
コンデンサー７０は、冷凍機７３と冷媒供給管８３、冷媒戻管８４で接続し、冷凍機７３で冷却した冷媒が冷媒供給管８３で供給されて冷却される。コンデンサー７０で温度上昇した冷媒は、冷媒戻管８４で戻されて冷却されて循環されている。冷媒供給管８３は、熱媒発生装置１３に冷媒を供給する冷媒入管４５とレシーバタンク７１に冷媒を供給するタンク冷却管８４とを分岐している。冷媒戻管４６は、熱媒発生装置１３から冷媒を戻す冷媒戻管４６とレシーバタンク７１を冷却した冷媒を戻すタンク戻し管８５とを集合している。このように、コンデンサーを設け、冷凍機で冷却した冷媒で凝縮する構成とすると、多種類の製品のろ過乾燥を単純なろ過乾燥機で、手間がかかることなくすることができる。
【００４０】
また、伝熱管８をジャケットと直列に構成する例で説明したが、図４に示すように、ジャケット７と、伝熱管８の熱媒体の流れを並列に流れるように、ジャケット加熱路側７ｂの上流に一端を開口させ、下流の戻り路側に他端を開口させるようにしても良い。このように構成すると、熱媒体の流れを均一にする手段が複雑になるが、構造は簡単にすることができる。
【００４１】
【発明の効果】
本願発明のろ過乾燥機は、容器本体内にこの中心軸と平行に伝熱管を設けるのみなので、シンプルな構造で伝熱面積を増加させ、乾燥時間を大幅に短縮できる。特に乾燥初期の揮発成分リッチな状態でダマになりやすい材料への対応に優れる。構造が簡単で、ケーキと接触させる攪拌装置等の駆動装置を設けないのでコンタミを減らし、加熱乾燥能力を向上でき、伝熱管の補強部材も不要であるから、排出を円滑に行うことができる。また、ろ過操作、乾燥操作の他、混合、加熱、冷却、熱処理等の操作に使用することができる。本発明は、ファインケミカル、医薬品分野で生じるスラリーに最適である。
【００４２】
請求項２のろ過乾燥機は、ジャケットから伝熱管へ熱媒体を直列に流すので、熱のバランスが良く、乾燥能力を一層向上できる。また、請求項３のろ過乾燥機は、請求項１、２の発明の作用効果に加え、クラックの発生を抑制でき、ろ過、洗浄が均一に効率よく行なえ、洗浄液の消費量を減らせる。請求項４のろ過乾燥機は、請求項１〜３の発明の作用効果に加え、一層、クラックの発生の抑制とコンタミの減少を図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るろ過乾燥機の一実施例の構成図である。
【図２】  ジャケットと伝熱管の構成を示す展開図である。
【図３】  ろ過乾燥機の排ガス処理装置の他例を示す模式図である。
【図４】  ろ過乾燥機の伝熱管の他の例を示す断面図で、同図（ａ）は縦断面図、同図（ｂ）は横断面図である。
【符号の説明】
１：ろ過乾燥機
２：容器本体            ３：スラリー供給口
４：ろ液排出口          ５：フィルター          ６：フィルター保護枠
７：ジャケット        ７ａ：仕切壁            ７ｂ：加熱路
７ｃ：戻り側路            ８：伝熱管          ９，１０：支持軸
１１：駆動装置          １２：ロータリージョイント
１３：熱媒発生装置      １４：分離装置            １５：排気管
１６：遮断バルブ        １７：温度計              １８：表面処理部
１９：上面              ２０：加圧気体供給源      ２１：供給管
２２：連結管            ２３，２４：遮断バルブ    ２５：加圧気体供給路
２６：フランジ          ２７：配管                ２８：遮断バルブ
２９：供給路            ３０：戻り路              ３１：伝熱管１端部
３２：伝熱管他端部      ３３，３５：軸受          ３４：伝導機構
３６：排気通路          ３７：シール機構
４１：供給管            ４２：戻り管              ４３：スチ−ム配管
４４：ドレ−ン配管      ４５：冷媒入管            ４６：冷媒戻管
４７：遮断弁
４８：ドレ−ン遮断弁    ４９：調節弁              ５０：ポンプ
５１：遮断弁
５３：外側ケ−シング    ５４：排気フィルター    ５５：点検戸
５６：遮断バルブ        ５７：気体分岐管        ５８：遮断バルブ
７０：コンデンサ        ７１：レシ−バタンク
７２：真空ポンプ        ７３：冷凍機
【図１】
0005173090.tif 000002
【図２】
0005173090.tif 000003
【図３】
0005173090.tif 000004
【図４】
0005173090.tif 000005