(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と、第２部材と、回動操作部とを備え、
第１部材は、第１ベース部と、第１ベース部から突出した第１突出部と、第１突出部に設けられた第１雄ネジ部とを有し、
第２部材は、第２ベース部と、第２ベース部から突出した第２突出部と、第２突出部に設けられた第２雄ネジ部とを有し、
前記回動操作部は、第１雄ネジ部及び第２雄ネジ部のそれぞれに噛み合う第１雌ネジ部及び第２雌ネジ部を有し、
第１雄ネジ部と第２雄ネジ部は、ネジの向きが同じでネジピッチが互いに異なり、
第１突出部、前記回動操作部及び第２突出部は、同軸に配置され、
第１部材と第２部材とが相対的に直線移動することを補助するガイド部をさらに備え、
前記ガイド部は、第２突出部に設けられた軸部と、第１突出部に設けられ且つ前記軸部を収容する軸収容部とで構成され、
前記軸部の側面は、前記軸収容部の内側面の対向する２つの部分の両方に接触し、
第１部材は、第１ベース部から前記軸収容部内に突出する回動阻止用ピンをさらに備え、前記軸部は、前記回動阻止用ピンを収容するピン収容部を有することを特徴とする位置出し機構。
【請求項２】
前記回動操作部の回転を防止する回転止め部をさらに備える請求項１に記載の位置出し機構。
【請求項３】
前記回転止め部は、
前記回動操作部よりも第１ベース部側に設けられ且つ第１雄ネジ部に噛み合う第３雌ネジ部を有する第１回り止めリングと、
前記回動操作部よりも第２ベース部側に設けられ且つ第２雄ネジ部に噛み合う第４雌ネジ部を有する第２回り止めリングの少なくとも一方で構成される請求項２に記載の位置出し機構。
【請求項４】
前記回動操作部と第１回り止めリングとを相対回転可能に連結する第１連結部と、
前記回動操作部と第２回り止めリングとを相対回転可能に連結する第２連結部の少なくとも一方をさらに備える請求項３に記載の位置出し機構。
【請求項５】
前記回転止め部は、
前記回動操作部に設けられた第１固定用雌ネジ部に挿入され且つ第１突出部の側面に当接して第１突出部に対する前記回動操作部の回転を防止する第１回り止めネジと、
前記回動操作部に設けられた第２固定用雌ネジ部に挿入され且つ第２突出部の側面に当接して第２突出部に対する前記回動操作部の回転を防止する第２回り止めネジの少なくとも一方で構成される請求項２に記載の位置出し機構。
【請求項６】
前記回転止め部は、第１絞り機構と第２絞り機構の少なくとも一方で構成され、
第１絞り機構は、前記回動操作部の第１ベース部側に設けられ且つ第１絞り用雄ネジ部を有する第１割り構造と、第１絞り用雄ネジ部に噛み合う第１絞り用雌ネジ部を有する第１絞り用リングとからなり、
第２絞り機構は、前記回動操作部の第２ベース部側に設けられ且つ第２絞り用雄ネジ部を有する第２割り構造と、第２絞り用雄ネジ部に噛み合う第２絞り用雌ネジ部を有する第２絞り用リングとからなる請求項２に記載の位置出し機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの物体間の高精度位置決めを可能とする位置出し機構に関する。本発明の位置出し機構は、挿入光源（例：アンジュレータ、ウィグラ）の一対の磁石列を高精度（ミクロンレベル）に平行に位置決めしたり、物体を床に対して高精度に平行に位置決めしたりするために好適に利用される。
【背景技術】
【０００２】
図１６を用いて、従来の挿入光源について説明する。
【０００３】
従来の挿入光源は、ギャップを介して対向配置された上部磁石列１及び下部磁石列３と、上部磁石列１を支持する上部ビーム５と、下部磁石列３を支持する下部ビーム７と、上部ビーム５と下部ビーム７の上下方向の直線移動を補助するガイド付き支柱９と、支柱９を支持する台座１１とを備えている。ガイド付き支柱９は、直動レール型ガイド６，８を有している。
【特許文献１】特開２００４−１６８５０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特性の良い挿入光源を得るためには、上部磁石列１及び下部磁石列３の平行度を極めて高くして、上部磁石列１及び下部磁石列３の間の間隙（磁石ギャップ）の幅を一定にする必要がある。そのため、上部ビーム５と下部ビーム７の磁石が配置される面を高精度に研磨し、この面の平面度を非常に高くすることによって上部磁石列１及び下部磁石列３の平行度を高めている。しかし、このような高精度な研磨は非常に高価であり、より安価な方法で上部磁石列１及び下部磁石列３の平行度を高める技術が望まれている。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、２つの物体間の高精度位置決めを可能とする位置出し機構に関する。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
本発明の位置出し機構は、第１部材と、第２部材と、回動操作部とを備え、第１部材は、第１ベース部と、第１ベース部から突出した第１突出部と、第１突出部に設けられた第１雄ネジ部とを有し、第２部材は、第２ベース部と、第２ベース部から突出した第２突出部と、第２突出部に設けられた第２雄ネジ部とを有し、前記回動操作部は、第１雄ネジ部及び第２雄ネジ部のそれぞれに噛み合う第１雌ネジ部及び第２雌ネジ部を有し、第１雄ネジ部と第２雄ネジ部は、ネジの向きが同じでネジピッチが互いに異なることを特徴とする。
【０００７】
本発明の位置出し機構によれば、回動操作部を１回転させると、第１雄ネジ部と第２雄ネジ部のネジピッチの差の分だけ第１部材と第２部材の間の距離が変化する。例えば、第１雄ネジ部のネジピッチが１．２ｍｍで第２雄ネジ部のネジピッチが１．０ｍｍである場合、回動操作部を１回転させることによって第１ベース部と第２ベース部の間の距離が０．２ｍｍ変化する。回動操作部の回転角は、５度程度の調整が可能なので、３μｍ以下の精密位置決めが可能になる。
【０００８】
このように本発明によれば、第１部材と第２部材の間の距離を高精度に調整することができるので、２つの物体間に本発明の位置出し機構を設置することによって２つの物体間の高精度位置決めが可能となる。
また、本発明の位置出し機構は、構成がシンプルなので、小型化が容易であり、例えば、２つの物体間の間隔が１００ｍｍ以下の場合にも利用可能である。
【０００９】
以下、本発明の種々の実施形態を例示する。
【００１０】
第１部材と第２部材とが相対的に直線移動することを補助するガイド部をさらに備えてもよい。
【００１１】
前記ガイド部は、第２突出部に設けられた軸部と、第１突出部に設けられ且つ前記軸部を収容する軸収容部とで構成されてもよい。
【００１２】
第１部材は、第１ベース部から前記軸収容部内に突出する回動阻止用ピンをさらに備え、前記軸部は、前記回動阻止用ピンを収容するピン収容部を有してもよい。
【００１３】
前記回動操作部の回転を防止する回転止め部をさらに備えてもよい。
【００１４】
前記回転止め部は、前記回動操作部よりも第１ベース部側に設けられ且つ第１雄ネジ部に噛み合う第３雌ネジ部を有する第１回り止めリングと、前記回動操作部よりも第２ベース部側に設けられ且つ第２雄ネジ部に噛み合う第４雌ネジ部を有する第２回り止めリングの少なくとも一方で構成されてもよい。
【００１５】
前記回動操作部と第１回り止めリングとを相対回転可能に連結する第１連結部と、前記回動操作部と第２回り止めリングとを相対回転可能に連結する第２連結部の少なくとも一方をさらに備えてもよい。
【００１６】
前記回転止め部は、前記回動操作部に設けられた第１固定用雌ネジ部に挿入され且つ第１突出部の側面に当接して第１突出部に対する前記回動操作部の回転を防止する第１回り止めネジと、前記回動操作部に設けられた第２固定用雌ネジ部に挿入され且つ第２突出部の側面に当接して第２突出部に対する前記回動操作部の回転を防止する第２回り止めネジの少なくとも一方で構成されてもよい。
【００１７】
前記回転止め部は、前記回転止め部は、第１絞り機構と第２絞り機構の少なくとも一方で構成され、第１絞り機構は、前記回動操作部の第１ベース部側に設けられ且つ第１絞り用雄ネジ部を有する第１割り構造と、第１絞り用雄ネジ部に噛み合う第１絞り用雌ネジ部を有する第１絞り用リングとからなり、第２絞り機構は、前記回動操作部の第２ベース部側に設けられ且つ第２絞り用雄ネジ部を有する第２割り構造と、第２絞り用雄ネジ部に噛み合う第２絞り用雌ネジ部を有する第２絞り用リングとからなってもよい。
【００１８】
ここで示した種々の実施形態は、互いに組み合わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下，本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。図面や以下の記述中で示す内容は，例示であって，本発明の範囲は，図面や以下の記述中で示すものに限定されない。
【００２０】
１．第１実施形態
１−１．位置出し機構の構成
図１及び図２を用いて本発明の第１実施形態の位置出し機構の構成について説明する。図１及び図２は、それぞれ、本実施形態の位置出し機構の構成を示す断面図及び分解断面図である。
【００２１】
本実施形態の位置出し機構１２は、第１部材１３と、第２部材１５と、回動操作部１７とを備える。第１部材１３は、第１ベース部１８と、第１ベース部１８から突出した第１突出部１９と、第１突出部１９に設けられた第１雄ネジ部２１とを有する。第２部材１５は、第２ベース部２３と、第２ベース部２３から突出した第２突出部２５と、第２突出部２５に設けられた第２雄ネジ部２７とを有する。回動操作部１７は、第１雄ネジ部２１及び第２雄ネジ部２３のそれぞれに噛み合う第１雌ネジ部２９及び第２雌ネジ部３１を有する。第１雄ネジ部２１と第２雄ネジ部２３は、ネジの向きが同じでネジピッチが互いに異なる。第１ベース部１８及び第２ベース部２３は、それぞれ、第１突出部１９及び第２突出部２５よりも径が大きく、フランジ状になっている。第１突出部１９、回動操作部１７及び第２突出部２５は、同軸上に配置されている。突出部１９，２５は、ベース部１８，２３から垂直方向に突出していることが好ましい。
【００２２】
また、位置出し機構１２は、部材１３，１５とが相対的に直線移動することを補助するガイド部を備えている。本実施形態では、ガイド部は、第２突出部２５に設けられた軸部３３と、第１突出部１９に設けられ且つ軸部３３を収容する軸収容部３５とで構成される。ガイド部を備えることによって部材１３，１５間に高負荷（引張力又は圧縮力）が加わった場合でも回動操作部１７をスムーズに回転させることができる。
【００２３】
また、第１部材１３は、第１ベース部１８から軸収容部３５内に突出する回動阻止用ピン３７を備え、軸部３３は、回動阻止用ピン３７を収容するピン収容部３９を有する。回動阻止用ピン３７は、回動操作部１７の回転中心からずれた位置に設置されており、これによって部材１３，１５が相対的に回転しないようになっている。なお、例えば、部材１３，１５がそれぞれ取り付けられる２つの物体が相対回転しない場合には回動阻止用ピン３７とピン収容部３９は省略してもよい。また、別の構成で部材１３，１５の相対回転を防止してもよい。
【００２４】
回動操作部１７には、操作用孔４０が設けられている。操作用孔４０にスパナ等を引っ掛けて回動操作部１７を回転させることができる。回動操作部１７は、レンチ等により外周を挟んで回転させる構成になっていてもよい。
【００２５】
１−２．位置出し機構の使用方法
次に、図３を用いて位置出し機構１２の使用方法について説明する。図３は、位置出し機構１２が第１物体４１及び第２物体４３の間に設置された状態を示す断面図である。第１物体４１と第２物体４３は、例えば、挿入光源用の磁石列とそれを支持するビームや、床とその上に載置される装置である。
【００２６】
本実施形態では、位置出し機構１２は、第１ベース部１８と第２ベース部２３にそれぞれ設けられたボルト穴４５，４７にボルト４６を通してボルト４６を第１物体４１と第２物体４３に固定している。位置出し機構１２は必ずしも第１物体４１及び第２物体４３に固定する必要がなく、第１ベース部１８と第２ベース部２３の一方又は両方においてボルト穴４５，４７及びボルト４６は、省略可能である。
【００２７】
図３の状態で、回動操作部１７を１回転させると、第１雄ネジ部２１と第２雄ネジ部２３のネジピッチの差の分だけ部材１３，１５間の距離が変化し、第１物体４１及び第２物体４３の間の距離も同じだけ変化する。例えば、第１雄ネジ部２１のネジピッチが１．２ｍｍで第２雄ネジ部２３のネジピッチが１．０ｍｍである場合、回動操作部１７を１回転させることによって部材１３，１５間の距離が０．２ｍｍ変化する。回動操作部１７の回転角は、５度程度の調整が可能なので、３μｍ以下の精密位置決めが可能になる。実際に試作品を作製してテストとしたところ、１０００ｋＮ（１００ｋｇｆ）の引張力下で５μｍ以下の高精度位置決めが可能であった。
【００２８】
位置決めを行った後は、回動操作部１７が回転して部材１３，１５間の距離の距離が変化することが無いように、回動操作部１７を固定することが好ましい。回動操作部１７の固定方法は、特に限定されない。一例では、ネジ部に樹脂を塗布して硬化させることによって回動操作部１７を固定することができる。また、後述する種々の実施形態で示す方法で回動操作部１７を固定してもよい。
【００２９】
２．第２実施形態
図４及び図５を用いて本発明の第２実施形態の位置出し機構１２の構成について説明する。図４及び図５は、それぞれ、本実施形態の位置出し機構の構成を示す断面図及び分解断面図である。本実施形態は、第１実施形態に類似しており、第１実施形態で述べた内容は、以下の記載に矛盾しない限り本実施形態にも当てはまる。
【００３０】
本実施形態の位置出し機構１２は、回動操作部１７の回転を防止する回転止め部をさらに備え、この回転止め部は、回動操作部１７よりも第１ベース部１８側に設けられ且つ第１雄ネジ部２１に噛み合う第３雌ネジ部４９を有する第１回り止めリング５１と、回動操作部１７よりも第２ベース部２３側に設けられ且つ第２雄ネジ部２７に噛み合う第４雌ネジ部５３を有する第２回り止めリング５５で構成される。回り止めリング５１，５５にはそれぞれ操作用孔５７，５９が設けられている。操作用孔５７，５９にスパナ等を引っ掛けて回り止めリング５１，５５を回転させることができる。回り止めリング５１，５５は、レンチ等により外周を挟んで回転させる構成になっていてもよい。
【００３１】
本実施形態によれば、位置決めを行った後、回り止めリング５１，５５を回動操作部１７に向けて締め付けることによって回動操作部１７を固定することができる。
【００３２】
本実施形態の位置出し機構１２は、回動操作部１７の固定前に部材１３，１５間に引張力が加わっている場合に用いられる。部材１３，１５間に圧縮力が加わっている場合、回り止めリング５１，５５を締め付けた際に、ネジの遊びの分だけ部材１３，１５間の距離が変化するからである（図６の模式図を参照）。
【００３３】
回り止めリング５１，５５の両方を用いて回動操作部１７を固定をすることが好ましい。この場合、回動操作部１７の固定後に部材１３，１５間に引張力と圧縮力のどちらが加わっても部材１３，１５間の距離が変化しないからである。但し、部材１３，１５が相対回転せず且つ回動操作部１７の固定後に引張力のみが加わるような場合は、回り止めリング５１，５５の一方のみで回動操作部１７を固定してもよい。
【００３４】
３．第３実施形態
図７〜図９を用いて本発明の第３実施形態の位置出し機構１２の構成について説明する。図７及び図８は、それぞれ、本実施形態の位置出し機構の構成を示す断面図及び分解断面図である。図９は、本実施形態の位置出し機構が備える補助リングの構成を示し、図９（ａ）は組み立て後の平面図、図９（ｂ）は組み立て前の平面図，図９（ｃ）は、図９（ｂ）中のＩ−Ｉ断面図である。
【００３５】
本実施形態は、第２実施形態に類似しており、第２実施形態で述べた内容は、以下の記載に矛盾しない限り本実施形態にも当てはまる。
【００３６】
本実施形態の位置出し機構１２は、回動操作部１７と第１回り止めリング５１とを相対回転可能に連結する第１連結部と、回動操作部１７と第２回り止めリング５５とを相対回転可能に連結する第２連結部を備えている。
【００３７】
第１連結部と第２連結部の構造は、特に限定されない。一例では、第１連結部は、回動操作部１７に設けられた第１回動操作部顎部６１と、第１回り止めリング５１に設けられた第１回り止めリング顎部６２と、顎部６１，６２とそれぞれ当接する２つの第１補助リング顎部６３を有する第１補助リング６４とで構成される。一例では、第２連結部は、回動操作部１７に設けられた第２回動操作部顎部６５と、第２回り止めリング５５に設けられた第２回り止めリング顎部６６と、顎部６５，６６とそれぞれ当接する２つの第２補助リング顎部６７を有する第２補助リング６８とで構成される。
【００３８】
補助リング６４，６８は、一例では、図９（ａ）〜（ｃ）に示すように、半割構造の２つの部材６９，７０をボルト７１で連結して構成される。
【００３９】
本実施形態によれば、位置決めを行った後、回り止めリング５１，５５を回動操作部１７から離れる方向に締め付けることによって回動操作部１７を固定することができる。
【００４０】
本実施形態の位置出し機構１２は、回動操作部１７の固定前に部材１３，１５間に圧縮力が加わっている場合に用いられる。部材１３，１５間に引張力が加わっている場合、補助リング６４，６８を用いずに回り止めリング５１，５５を回動操作部１７に近づく方向に締め付ければよい。
【００４１】
回り止めリング５１，５５の両方を用いて回動操作部１７を固定をすることが好ましい。この場合、回動操作部１７の固定後に部材１３，１５間に引張力と圧縮力のどちらが加わっても部材１３，１５間の距離が変化しないからである。但し、部材１３，１５が相対回転せず且つ回動操作部１７の固定後に圧縮力のみが加わるような場合は、第１回り止めリング５１と第１補助リング６４の組み合わせと，第２回り止めリング５５と第２補助リング６８の組み合わせの何れか一方のみで回動操作部１７を固定してもよい。
【００４２】
４．第４実施形態
図１０〜図１１を用いて本発明の第４実施形態の位置出し機構１２の構成について説明する。図１０及び図１１は、それぞれ、本実施形態の位置出し機構の構成を示す断面図及び分解断面図である。
【００４３】
本実施形態は、第１実施形態に類似しており、第１実施形態で述べた内容は、以下の記載に矛盾しない限り本実施形態にも当てはまる。
【００４４】
本実施形態の位置出し機構１２は、回動操作部１７の回転を防止する回転止め部をさらに備え、この回転止め部は、回動操作部１７に設けられた第１固定用雌ネジ部７５に挿入され且つ第１突出部１９の側面に当接して第１突出部１９に対する回動操作部１７の回転を防止する第１回り止めネジ７７と、回動操作部１７に設けられた第２固定用雌ネジ部７８に挿入され且つ第２突出部２５の側面に当接して第２突出部２５に対する回動操作部１７の回転を防止する第２回り止めネジ７９で構成される。回り止めネジ７７，７９の種類は、特に限定されないが、一例では、ホーローセットである。
【００４５】
本実施形態によれば、位置決めを行った後、回り止めネジ７７，７９を回してその先端を突出部１９，２５の側面に押し付けさせることによって回動操作部１７を固定することができる。
【００４６】
本実施形態の位置出し機構１２は、回動操作部１７の固定前に部材１３，１５間に引張力と圧縮力のどちらが加わっている場合であっても用いることができる。但し、回動操作部１７の固定後に部材１３，１５間に加わる力の向きが変化すると、ネジの遊びの分だけ部材１３，１５間の距離が変化する。従って、本実施形態の位置出し機構１２は、部材１３，１５間に常に引張力が加わる場合か常に圧縮力が加わる場合に利用することができる。
【００４７】
回り止めネジ７７，７９の両方を用いて回動操作部１７を固定をすることが好ましいが、部材１３，１５が相対回転しない場合は、回り止めネジ７７，７９の一方のみで回動操作部１７を固定してもよい。
本実施形態の位置出し機構１２は、低コストで実現可能であるという利点を有している。
【００４８】
５．第５実施形態
図１２〜図１３を用いて本発明の第５実施形態の位置出し機構１２の構成について説明する。図１２及び図１３は、それぞれ、本実施形態の位置出し機構の構成を示す断面図及び分解断面図である。
【００４９】
本実施形態は、第１実施形態に類似しており、第１実施形態で述べた内容は、以下の記載に矛盾しない限り本実施形態にも当てはまる。
【００５０】
本実施形態の位置出し機構１２は、回動操作部１７の回転を防止する回転止め部をさらに備え、この回転止め部は、第１絞り機構と第２絞り機構を備える。第１絞り機構は、回動操作部１７の第１ベース部１８側に設けられ且つ第１絞り用雄ネジ部８０を有する第１割り構造８１と、第１絞り用雄ネジ部８０に噛み合う第１絞り用雌ネジ部８３を有する第１絞り用リング８４とからなる。第２絞り機構は、回動操作部１７の第２ベース部２３側に設けられ且つ第２絞り用雄ネジ部８５を有する第２割り構造８６と、第２絞り用雄ネジ部８５に噛み合う第２絞り用雌ネジ部８７を有する第２絞り用リング８９とからなる。絞り用リング８４，８９には、操作用孔９０，９１が設けられている。操作用孔９０，９１にスパナ等を引っ掛けて回動操作部１７を回転させることができる。絞り用リング８４，８９は、レンチ等により外周を挟んで回転させる構成になっていてもよい。
【００５１】
本実施形態によれば、位置決めを行った後、絞り用リング８４，８９をベース部１８，２３に向けて締め付けることにより割り構造８１，８６の内面を突出部１９，２５に押し付けることによって回動操作部１７を固定することができる。
【００５２】
本実施形態の位置出し機構１２は、回動操作部１７の固定前に部材１３，１５間に引張力と圧縮力のどちらが加わっている場合であっても用いることができる。但し、回動操作部１７の固定後に部材１３，１５間に加わる力の向きが変化すると、ネジの遊びの分だけ部材１３，１５間の距離が変化する。従って、本実施形態の位置出し機構１２は、部材１３，１５間に常に引張力が加わる場合か常に圧縮力が加わる場合に利用することができる。
【００５３】
第１絞り機構と第２絞り機構の両方を用いて回動操作部１７を固定をすることが好ましいが、部材１３，１５が相対回転しない場合は、第１絞り機構と第２絞り機構の一方のみで回動操作部１７を固定してもよい。
本実施形態の位置出し機構１２は、迅速な作業が可能であるという利点を有している。
【００５４】
以上の実施形態で示した種々の特徴は，互いに組み合わせることができる。１つの実施形態中に複数の特徴が含まれている場合，そのうちの１又は複数個の特徴を適宜抜き出して，単独で又は組み合わせて，本発明に採用することができる。
【００５５】
６．応用例
以下、上記種々の実施形態の位置出し機構１２の応用例について説明する。
【００５６】
６−１．挿入光源の磁石列の位置決めへの応用例
図１４を用いて、挿入光源の磁石列の位置決めへの位置出し機構１２の応用例について説明する。
【００５７】
図１４の挿入光源は、ギャップを介して対向配置された上部磁石列１及び下部磁石列３と、上部磁石列１を支持する上部ビーム５と、下部磁石列３を支持する下部ビーム７と、上部ビーム５と下部ビーム７の上下方向の直線移動を補助するガイド付き支柱９と、支柱９を支持する台座１１とを備えている。ガイド付き支柱９は、直動レール型ガイド６，８を有している。
【００５８】
上部ビーム５は、第１上部ビーム（例：アルミ製）５ａと、第２上部ビーム（例：鋼製）５ｂと、上部ビーム５ａ，５ｂ間に配置された位置出し機構１２とで構成されている。位置出し機構１２は、上部ビーム５ａ，５ｂのそれぞれに固定されている。第１上部ビーム５ａに上部磁石列１が取り付けられ、第２上部ビーム５ｂに直動レール型ガイド６が取り付けられている。上部ビーム５ａ，５ｂの間に配置する位置出し機構１２の数は、特に限定されず、必要な数だけ設ければよい。このような構成により、第２上部ビーム５ｂに対する上部磁石列１の傾きを高精度に調節することができる。
【００５９】
上部ビーム５ａ，５ｂ間に配置される位置出し機構１２の部材１３，１５間には常に引張力が加わる。従って、位置出し機構１２には、第１，２，４又は５実施形態の位置出し機構１２を用いることができる。
【００６０】
また、下部ビーム７は、第１下部ビーム（例：アルミ製）７ａと、第２下部ビーム（例：鋼製）７ｂと、下部ビーム７ａ，７ｂの間に配置された位置出し機構１２とで構成されている。位置出し機構１２は、下部ビーム７ａ，７ｂのそれぞれに固定されている。第１下部ビーム７ａに下部磁石列３が取り付けられ、第２下部ビーム７ｂに直動レール型ガイド８が取り付けられている。下部ビーム７ａ，７ｂの間に配置する位置出し機構１２の数は、特に限定されず、必要な数だけ設ければよい。このような構成により、第２下部ビーム７ｂに対する下部磁石列３の傾きを高精度に調節することができる。
【００６１】
下部ビーム７ａ，７ｂの間に配置される位置出し機構１２の部材１３，１５間には、磁石列１，３間の距離が閾値距離よりも長い場合は圧縮力が加わり、閾値距離よりも短い場合は磁石列１，３間の磁力により引張力が加わる。このように、部材１３，１５間に加わる力の向きが変化する場合は、第１，４〜５実施形態で示す方法で回動操作部１７を固定すると、部材１３，１５間に加わる力の向きが変化したときにネジの遊びの分だけ部材１３，１５間の距離が変化しやすい。第２又は３実施形態で示す方法で回動操作部１７を固定すると、部材１３，１５間に加わる力の向きが変化したときにも部材１３，１５間の距離が変化しにくいので下部ビーム７ａ，７ｂの間には第２又は３実施形態の位置出し機構１２を配置することが好ましい。また、部材１３，１５間に圧縮力が加わった状態で第２実施形態で示す方法で回動操作部１７を固定すると、固定時に部材１３，１５間の距離が変化するので、第２実施形態の位置出し機構１２を用いる場合、部材１３，１５間に引張力が加わっている状態（磁石列１，３間距離が閾値距離よりも短い状態）で回動操作部１７を固定する。また、部材１３，１５間に引張力が加わった状態で第３実施形態で示す方法で回動操作部１７を固定すると、固定時に部材１３，１５間の距離が変化するので、第３実施形態の位置出し機構１２を用いる場合、部材１３，１５間に圧縮力が加わっている状態（磁石列１，３間距離が閾値距離よりも長い状態）で回動操作部１７を固定する。
【００６２】
位置出し機構１２を用いると、上部磁石列１と下部磁石列３の傾きを高精度に調節することができ、従って、上部磁石列１と下部磁石列３の平行度を極めて高くすることができる。また、図１６に示す従来技術では、ビーム５，７を高精度に研磨する必要があったが、位置出し機構１２を用いると、従来技術のような高精度研磨を行うことなく上部磁石列１と下部磁石列３の平行度を極めて高くすることができる。
【００６３】
６−２．床に設置される装置の位置決めへの応用例
図１５を用いて、床に設置される装置の位置決めへの位置出し機構１２の応用例について説明する。
【００６４】
この応用例では、床９２に敷き板９３をボルト等で固定し、敷き板（例：鋼製）９３に対して位置出し機構１２を固定している。また、位置出し機構１２の上に重量の大きい装置９５を配置し、ボルト等で固定している。敷き板９３は省略可能であり、ボルト等での固定も省略可能である。このような構成により、床９２に対して装置９５を高精度に位置決めすることができる。
【００６５】
敷き板９３と装置９５の間に配置される位置出し機構１２の部材１３，１５間には常に圧縮力が加わる。従って、位置出し機構１２には、第１，３，４又は５実施形態の位置出し機構１２を用いることができる。
【００６６】
７．位置出し機構の好ましい実施形態についてのまとめ
位置出し機構１２の部材１３，１５間には、常に圧縮力が加わる場合（例：床に設置される装置の位置決めに利用される場合）、常に引張力が加わる場合（例：上部磁石列の位置決めに利用される場合）、状況次第で圧縮力又は引張力が加わる場合、つまり状況次第で加わる力の方向が変化する場合（例：下部磁石列の位置決めに利用される場合）とがある。それぞれの場合についての位置出し機構１２の好ましい実施形態を表１に示す。表１中の「○」、「×」は、それぞれ、「好ましい」、「好ましくない」を意味している。「○」、「×」となる理由は、各実施形態の項や上記「６−１．」，「６−２．」の項で述べたとおりである。
【表１】
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【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の第１実施形態の位置出し機構の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態の位置出し機構の構成を示す分解断面図である。
【図３】本発明の第１実施例の位置出し機構が第１物体及び第２物体の間に設置された状態を示す断面図である
【図４】本発明の第２実施形態の位置出し機構の構成を示す断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態の位置出し機構の構成を示す分解断面図である。
【図６】本発明の第２実施形態の位置出し機構においてズレが発生する原理を示す断面図である。
【図７】本発明の第３実施形態の位置出し機構の構成を示す断面図である。
【図８】本発明の第３実施形態の位置出し機構の構成を示す分解断面図である。
【図９】本発明の第３実施形態の位置出し機構を備える補助リングの構成を示し、図９（ａ）は組み立て後の平面図、図９（ｂ）は組み立て前の平面図，図９（ｃ）は、図９（ｂ）中のＩ−Ｉ断面図である
【図１０】本発明の第４実施形態の位置出し機構の構成を示す断面図である。
【図１１】本発明の第４実施形態の位置出し機構の構成を示す分解断面図である。
【図１２】本発明の第５実施形態の位置出し機構の構成を示す断面図である。
【図１３】本発明の第５実施形態の位置出し機構の構成を示す分解断面図である。
【図１４】図１４（ａ），（ｂ）は、本発明の一実施形態の位置出し機構を備える挿入光源の構成を示し、図１４（ａ）は正面図であり、図１４（ｂ）は側面図である。
【図１５】床と装置との間に本発明の一実施形態の位置出し機構が設置されている状態を示す正面図である。
【図１６】図１６（ａ），（ｂ）は、従来の挿入光源の構成を示し、図１６（ａ）は正面図であり、図１６（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１：上部磁石列  ３：下部磁石列  ５：上部ビーム  ５ａ：第１上部ビーム  ５ｂ：第２上部ビーム  ６：直動レール型ガイド  ７：下部ビーム  ７ａ：第１下部ビーム  ７ｂ：第２下部ビーム  ８：直動レール型ガイド  ９：ガイド付き支柱  １１：台座  １２：位置出し機構  １３：第１部材  １５：第２部材  １７：回動操作部  １８：第１ベース部  １９：第１突出部  ２１：第１雄ネジ部  ２３：第２ベース部  ２５：第２突出部  ２７：第２雄ネジ部  ２９：第１雌ネジ部  ３１：第２雌ネジ部  ３３：軸部  ３５：軸収容部  ３７：回動阻止用ピン３７  ３９：ピン収容部  ４０：操作用孔  ４１：第１物体  ４３：第２物体  ４５：ボルト穴  ４６：ボルト  ４７：ボルト穴  ４９：第３雌ネジ部  ５１：第１回り止めリング  ５３：第４雌ネジ部  ５５：第２回り止めリング  ５７：操作用孔  ５９：操作用孔  ６１：第１回動操作部顎部  ６２：第１回り止めリング顎部  ６３：第１補助リング顎部  ６４：第１補助リング  ６５：第２回動操作部顎部  ６７：第２補助リング顎部  ６８：第２補助リング  ６９，７０：半割構造の部材  ７１：ボルト  ７５：第１固定用雌ネジ部  ７７：第１回り止めネジ  ７８：第２固定用雌ネジ部  ７９：第２回り止めネジ  ８０：第１絞り用雄ネジ部  ８１：第１割り構造  ８３：第１絞り用雌ネジ部  ８４：第１絞り用リング  ８５：第２絞り用雄ネジ部  ８６：第２割り構造  ８７：第２絞り用雌ネジ部  ８９：第２絞り用リング  ９０：操作用孔  ９１：操作用孔  ９２：床  ９３：敷き板  ９５：装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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