(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から高圧流体が供給される流体通路と、
前記流体通路に接続されて前記高圧流体の少なくとも一部を噴射する噴孔と、
前記流体通路から分岐された少なくとも１つの分岐通路と、
前記分岐通路に対して設けられ、前記分岐通路に充填された前記高圧流体の圧力を検出する第１及び第２の圧力検出手段と、
内部に前記流体通路及び前記噴孔が形成されたインジェクタボデーと、
前記インジェクタボデーとは別体形成されて該インジェクタボデー内に配置された別体部材と、を備え、
前記第１及び第２の圧力検出手段は、それぞれ前記分岐通路に接続され、少なくとも一部が前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能な第１及び第２のダイアフラム部と、前記第１及び第２のダイアフラム部の変位を検出する第１及び第２の変位検出手段とを備え、
前記別体部材が、自身の内部に、前記流体通路に連通されて前記分岐通路の少なくとも一部を構成する孔部又は溝部と、前記孔部又は溝部に連通されて前記第１のダイアフラム部を構成する第１の薄肉部と前記第２のダイアフラム部を構成する第２の薄肉部とを備えることを特徴とする燃料噴射装置。
【請求項２】
前記第１の圧力検出手段は、前記第２の圧力検出手段よりも前記高圧流体の圧力変化に対する出力信号変化が大きくなるように設定されていることを特徴とする請求項１記載の燃料噴射装置。
【請求項３】
前記第１のダイアフラム部は、前記第２のダイアフラム部よりも大径の略円形ダイアフラムを有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の燃料噴射装置。
【請求項４】
前記第１のダイアフラム部は、前記第２のダイアフラム部よりも肉薄の略円形ダイアフラムを有することを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項５】
前記分岐通路に連結されて前記第１のダイアフラム部が配置される第１の圧力検出空間と、前記分岐通路に連結されて前記第２のダイアフラム部が配置されるとともに前記第１の圧力検出空間とは前記高圧流体の圧力変動タイミングが異なる第２の圧力検出空間とを備え、前記第１の変位検出手段は前記第２の変位検出手段からの信号とは異なるタイミングで変位する信号を出力することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項６】
前記第１の圧力検出空間と前記第２の圧力検出空間との間に、前記分岐通路よりも小径のオリフィスを有することを特徴とする請求項５記載の燃料噴射装置。
【請求項７】
前記別体部材が、該インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材からなることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項８】
前記噴孔を開閉するノズルニードルと、
前記ノズルニードルのインジェクタボデー軸方向の移動を制御するアクチュエータと、
前記流体通路から前記高圧流体の一部が供給され、前記アクチュエータの動作によって前記高圧流体が充填又は排出されるとともに、充填された前記高圧流体の作用する圧力により前記ノズルニードルを閉弁方向に付勢する力を発生する圧力制御室を更に備え、
前記分岐通路は、前記流体通路から前記圧力制御室への通路に一部が接続され、他部が前記第１及び第２のダイアフラム部の少なくとも一方に接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項９】
前記別体部材が、
前記高圧流体が導入されるインオリフィスと、前記インオリフィスに連通するとともに前記圧力制御室の一部を構成する圧力制御室用空間と、前記圧力制御室用空間に連通するとともに前記高圧流体を低圧通路に排出するアウトオリフィスと、前記流体通路と前記インオリフィスとを接続する接続通路とを有し、
前記分岐通路が前記別体部材内において前記接続通路から分岐して設けられ、
前記第１及び第２のダイアフラム部の少なくとも一方が前記接続通路とは異なる部位において前記分岐通路に接続されて前記別体部材内に形成されていることを特徴とする請求項８記載の燃料噴射装置。
【請求項１０】
前記別体部材が、
前記インオリフィス、前記圧力制御室用空間、及び前記アウトオリフィスを有する第１部材と、
前記インジェクタボデー内において前記第１部材に直接又は間接的に積層配置され、前記接続通路及び前記分岐通路を有するとともに、前記第１及び第２のダイアフラム部の少なくとも一方が前記分岐通路に接続されて形成された第２部材と、を備えることを特徴とする請求項９記載の燃料噴射装置。
【請求項１１】
前記噴孔を開閉するノズルニードルと、
前記ノズルニードルの閉弁方向に付勢する力を前記ノズルニードルに対して伝連する制御ピストンとを備え、
前記インジェクタボデーは、前記ノズルニードルが収納されるノズルボデーと、前記制御ピストンが収納されるロアボデーとを有し、
前記別体部材は、前記ロアボデーと前記ノズルボデーとの間に積層配置されて、前記ノズルボデー近傍の高圧燃料の圧力を検出することを特徴とする請求項１乃至請求項１０の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項１２】
前記別体部材は、前記ロアボデーと前記ノズルボデーとの間に積層配置された金属部材からなり、前記流体通路と前記噴孔とを接続する接続通路と、前記接続通路から分岐して設けられた前記分岐通路と、前記分岐通路に接続されて前記接続通路とは異なる領域に配設された前記ダイアフラム部としての金属ダイアフラムと、を備えることを特徴とする請求項１１記載の燃料噴射装置。
【請求項１３】
内部に前記流体通路及び前記噴孔が形成されたインジェクタボデーを有し、
前記インジェクタボデーは、外部から高圧流体が供給される第１の流体通路を内部に有するインジェクタ本体と、前記インジェクタ本体の軸方向に対して所定角度を持って前記インジェクタ本体から突出するとともに、流体導入部と前記第１の流体通路とを接続する第２の流体通路を有する継手部とを有し、
分岐通路は、前記継手部において前記第２の流体通路から分岐されて前記インジェクタの軸方向と平行に延出する通路を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項１２の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項１４】
前記第１及び第２の圧力検出手段からの出力信号を冗長的に出力することを特徴とする請求項１乃至請求項１３の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項１５】
前記第２部材は、前記第１部材を構成する材料よりも硬度が小さい材料から構成されることを特徴とする請求項１０に記載の燃料噴射装置。
【請求項１６】
前記第２部材が、金属ガラスにより構成されることを特徴とする請求項１０又は請求項１５に記載の燃料噴射装置。
【請求項１７】
請求項１に記載の燃料噴射装置を用いた蓄圧式燃料噴射装置システムであって、
燃料タンクから汲み上げられた燃料を加圧して送出する高圧燃料ポンプと、
前記高圧燃料ポンプから供給される燃料を高圧状態で蓄えるコモンレールと、
複数の前記燃料噴射装置と、
前記コモンレールからの燃料を前記燃料噴射装置の各々に導入する高圧燃料通路と、
前記燃料噴射装置の各々から排出される低圧燃料を前記燃料タンクへ戻す低圧燃料通路と、
各々の前記燃料噴射装置の前記変位検出手段からの信号を受けるとともに、前記噴孔を開閉するノズルニードルの移動を制御するアクチュエータを駆動する信号を出力する電子制御装置と、を備えることを特徴とする蓄圧式燃料噴射装置システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部から供給される高圧燃料を噴射する燃料噴射装置とそれを用いた蓄圧式燃料噴射装置システムに関し、特に、当該高圧燃料の圧力又は圧力変動を検出する圧力センサを一体的に組み込んだ圧力センサ一体型の燃料噴射装置とそれを用いた蓄圧式燃料噴射装置システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、噴射する燃料の圧力を検出する圧力センサを備えたものとして、例えば特許文献１内で提案されたコモンレールシステムがある。これは、コモンレールの一端側に内部の燃料圧を検出する１つの圧力センサが設けられている。この種のコモンレールシステムに使用されるインジェクタとして、例えば、特許文献２や特許文献３内で提案されたものがある。
【０００３】
一方、噴射する燃料の圧力を検出する圧力センサを一体型に組み込んだ燃料噴射装置としてのインジェクタが、特許文献４内で提案されている。具体的には、特許文献４では、インジェクタ内の燃料通路の近傍位置に凹部を形成し、凹部内に歪ゲージを配置している。そして、燃料噴射に伴う燃料通路の圧力変化を歪ゲージにより検出している。
【特許文献１】特開２００７−２３１７７０号公報
【特許文献２】特開２００７−２７０８２２号公報
【特許文献３】特開２００７−２１８２４９号公報
【特許文献４】特開昭５７−５５２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１〜３に係る従来の技術では、コモンレール自体の燃料圧は検出できるものの、各インジェクタに実際に印加される個々の圧力については検出できないという課題がある。
【０００５】
上記特許文献４に係る従来の技術では、インジェクタ下部に位置する燃料通路近傍のインジェクタ外壁に凹部を直接形成して圧力検出部を形成している。燃料通路は通常、インジェクタボデーの軸方向に貫通する貫通孔として構成されているため、その外壁から凹部を形成する場合は、加工時における凹部の底面部分（ダイアフラム部）の厚さ制御が困難であり、その結果、厚さバラツキが生じ、圧力又は圧力変動の検出精度が低下する可能性があるという課題がある。特に、特許文献１〜３に代表される高圧燃料を扱うインジェクタにおいては、インジェクタボデーはその強度向上の目的から、比較的硬度の高い金属で形成されたり、高圧燃料通路の壁厚を大きく採る等の措置が施されているため、特に上記課題が顕著になる。
【０００６】
そこで、本発明の第１の目的は、圧力検出部を構成するダイアフラム部を容易に形成できる燃料噴射装置を得ることである。
【０００７】
また、上記特許文献１に係る従来の技術では、インジェクタ下部に位置する燃料通路近傍のインジェクタ外壁に凹部を直接形成し、そこに外部から圧力検出手段（歪みゲージ）を配置している。一般的に、インジェクタボデーは、大部分がエンジン内に挿入されて固定されるため、外壁に設けた凹部に配置された圧力検出手段から結線することは現実的に困難であるという課題がある。
【０００８】
そこで、本発明の第２の目的は、自身の内部に圧力検出部が配置される燃料噴射装置を得ることである。
【０００９】
また、自身の内部に圧力検出部を配置する場合、インジェクタボデーの径方向寸法（太さ）が増大する可能性がある。
【００１０】
そこで、本発明の第３の目的は、インジェクタボデーの径方向寸法の増大を抑制しつつ自身の内部に圧力検出部が配置される燃料噴射装置を得ることである。
【００１１】
また、本発明の第４の目的は、上記第１乃至第３の目的を同時に達成できる燃料噴射装置を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本願発明は、上記目的を達成するために以下の技術的手段を備える。
【００１３】
請求項１記載の本願発明によれば、外部から高圧流体が供給される流体通路と、前記流体通路に接続されて前記高圧流体の少なくとも一部を噴射する噴孔と、前記流体通路から分岐された少なくとも１つの分岐通路と、前記分岐通路に対して設けられ、前記分岐通路に充填された前記高圧流体の圧力を検出する第１及び第２の圧力検出手段と、内部に前記流体通路及び前記噴孔が形成されたインジェクタボデーと、前記インジェクタボデーとは別体形成されて該インジェクタボデー内に配置された別体部材と、を備え、前記第１及び第２の圧力検出手段は、それぞれ前記分岐通路に接続され、少なくとも一部が前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能な第１及び第２のダイアフラム部と、前記第１及び第２のダイアフラム部の変位を検出する第１及び第２の変位検出手段とを備え、前記別体部材が、自身の内部に、前記流体通路に連通されて前記分岐通路の少なくとも一部を構成する孔部又は溝部と、前記孔部又は溝部に連通されて前記第１のダイアフラム部を構成する第１の薄肉部と前記第２のダイアフラム部を構成する第２の薄肉部とを備えることを特徴としている。
【００１４】
流体通路から分岐された少なくとも１つの分岐通路に第１及び第２の圧力検出手段を設けるため、第１、第２の圧力検出手段を流体通路に直接設ける構成に比較して、その加工が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
さらに、内部の圧力変化に対して、感度の異なる２系統の出力信号を出力できる。
加えて、インジェクタボデーとは別体形成された別体部材内に第１、第２のダイアフラム部と孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、更にダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【００１５】
請求項２記載の本願発明によれば、前記第１の圧力検出手段は、前記第２の圧力検出手段よりも前記高圧流体の圧力変化に対する出力信号変化が大きくなるように設定されていることを特徴としている。これにより、内部の圧力変化に対して、感度の異なる２系統の出力信号を出力できる。
【００１７】
請求項４記載の本願発明によれば、前記第１のダイアフラム部は、前記第２のダイアフラム部よりも肉薄の略円形ダイアフラムを有することを特徴としている。これにより、内部の圧力変化に対して、感度の異なる２系統の出力信号を出力できる。
【００１８】
請求項５記載の本願発明によれば、前記分岐通路に連結されて前記第１のダイアフラム部が配置される第１の圧力検出空間と、前記分岐通路に連結されて前記第２のダイアフラム部が配置されるとともに前記第１の圧力検出空間とは前記高圧流体の圧力変動タイミングが異なる第２の圧力検出空間とを備え、前記第１の変位検出手段は前記第２の変位検出手段からの信号とは異なるタイミングで変位する信号を出力することを特徴としている。これにより、内部の圧力変化に対して、変動タイミングの異なる複数の圧力信号を検出できる。
【００１９】
請求項６記載の本願発明によれば、前記第１の圧力検出空間と前記第２の圧力検出空間との間に、前記分岐通路よりも小径のオリフィスを有することを特徴としている。これにより、前記第１の圧力検出空間と前記第２の圧力検出空間で圧力変動タイミングをずらすことができる。
【００２１】
インジェクタボデーとは別体形成された別体部材内に第１、第２のダイアフラム部と孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、更にダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【００２２】
請求項７記載の本願発明によれば、前記別体部材が、該インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材からなることを特徴としている。別体部材をインジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材で形成するため、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００２３】
請求項８記載の本願発明によれば、前記噴孔を開閉するノズルニードルと、前記ノズルニードルのインジェクタボデー軸方向の移動を制御するアクチュエータと、前記流体通路から前記高圧流体の一部が供給され、前記アクチュエータの動作によって前記高圧流体が充填又は排出されるとともに、充填された前記高圧流体の作用する圧力により前記ノズルニードルを閉弁方向に付勢する力を発生する圧力制御室を更に備え、前記分岐通路は、前記流体通路から前記圧力制御室への通路に一部が接続され、他部が前記第１及び第２のダイアフラム部の少なくとも一方に接続されていることを特徴としている。
【００２４】
これにより、ダイアフラム部を、圧力制御室に直接または間接的に接続しているため、ダイアフラム部を流体通路に接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。ここで、圧力制御室の内部に高圧流体の一部が供給され、充填されることで圧力制御室にノズルニードルを閉弁方向に付勢する力が生じ、噴孔が閉弁される。これにより噴射が停止状態となる。一方、圧力制御室に充填された高圧燃料を排出することで、圧力制御室の内部に生じている力が低下し、ノズルニードルが開弁する。これにより噴孔からの噴射が開始される。つまり、圧力制御室の内部に発生している内部圧力の変化のタイミングは、噴孔からの噴射タイミングと略一致していると言える。従って、本発明においては、圧力制御室にダイアフラム部を直接または間接的に接続して設け、そのダイアフラム部の変位を変位検出手段により検出しているため、実際に噴孔から噴射するタイミングも精度良く検出することができる。
【００２５】
請求項９記載の本願発明によれば、前記別体部材が、前記高圧流体が導入されるインオリフィスと、前記インオリフィスに連通するとともに前記圧力制御室の一部を構成する圧力制御室用空間と、前記圧力制御室用空間に連通するとともに前記高圧流体を低圧通路に排出するアウトオリフィスと、前記流体通路と前記インオリフィスとを接続する接続通路とを有し、前記分岐通路が前記別体部材内において前記接続通路から分岐して設けられ、前記第１及び第２のダイアフラム部の少なくとも一方が前記接続通路とは異なる部位において前記分岐通路に接続されて前記別体部材内に形成されていることを特徴としている。
【００２６】
請求項１０記載の本願発明によれば、前記別体部材が、前記インオリフィス、前記圧力制御室用空間、及び前記アウトオリフィスを有する第１部材と、前記インジェクタボデー内において前記第１部材に直接又は間接的に積層配置され、前記接続通路及び前記分岐通路を有するとともに、前記第１及び第２のダイアフラム部の少なくとも一方が前記分岐通路に接続されて形成された第２部材と、を備えることを特徴としている。ダイアフラム部を含む第２部材を圧力制御室の一部を構成する第１部材と積層させて配置させるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００２７】
請求項１１記載の本願発明によれば、前記噴孔を開閉するノズルニードルと、前記ノズルニードルの閉弁方向に付勢する力を前記ノズルニードルに対して伝連する制御ピストンとを備え、前記インジェクタボデーは、前記ノズルニードルが収納されるノズルボデーと、前記制御ピストンが収納されるロアボデーとを有し、前記別体部材は、前記ロアボデーと前記ノズルボデーとの間に積層配置されて、前記ノズルボデー近傍の高圧燃料の圧力を検出することを特徴としている。
【００２８】
別体部材は、ロアボデーとノズルボデーとの間に積層配置されるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。さらに、ノズルボデー近傍の高圧燃料の圧力を検出できるため、実際に噴射されている燃料の圧力変化をタイムラグが少なく検出することができる。
【００２９】
請求項１２記載の本願発明によれば、前記別体部材は、前記ロアボデーと前記ノズルボデーとの間に積層配置された金属部材からなり、前記流体通路と前記噴孔とを接続する接続通路と、前記接続通路から分岐して設けられた前記分岐通路と、前記分岐通路に接続されて前記接続通路とは異なる領域に配設された前記ダイアフラム部としての金属ダイアフラムと、を備えることを特徴としている。
【００３０】
分岐通路をロアボデーとノズルボデーとの間に積層配置された金属部材内に設けているため、分岐通路を流体通路に接続するための特別な支流路を設ける必要がない。よって、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００３１】
請求項１３記載の本願発明によれば、内部に前記流体通路及び前記噴孔が形成されたインジェクタボデーを有し、前記インジェクタボデーは、外部から高圧流体が供給される第１の流体通路を内部に有するインジェクタ本体と、前記インジェクタ本体の軸方向に対して所定角度を持って前記インジェクタ本体から突出するとともに、流体導入部と前記第１の流体通路とを接続する第２の流体通路を有する継手部とを有し、分岐通路は、前記継手部において前記第２の流体通路から分岐されて前記インジェクタの軸方向と平行に延出する通路を備えることを特徴としている。
【００３２】
分岐通路は、継手部にインジェクタの軸方向と平行に延出する通路を備えるため、ダイアフラム部と変位検出手段が、インジェクタボデーの径方向において継手部以上に突出することを防止できる。つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００３３】
第１の構成によれば、外部から高圧流体が供給される流体通路と、前記流体通路に接続されて前記高圧流体の少なくとも一部を噴射する噴孔と、前記流体通路から前記高圧流体の一部が導入されるインオリフィス、前記インオリフィスに連通する圧力制御室用空間、及び前記圧力制御室用空間に連通するとともに前記高圧流体を低圧通路に排出するアウトオリフィスを有し、前記噴孔を開閉するノズルニードルを閉弁方向に付勢する力を発生する圧力制御室と、前記圧力制御室用空間に接続され、少なくとも一部が前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能な第１のダイアフラム部と、前記第１のダイアフラム部の変位を検出する第１の変位検出手段と、前記流体通路の前記インオリフィスと前記噴孔との間の所定位置から分岐された分岐通路と、前記分岐通路に接続され、少なくとも一部が前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能な第２のダイアフラム部と、前記第２のダイアフラム部の変位を検出する第２の変位検出手段とを備えることを特徴としている。
【００３４】
インオリフィスを挟んで異なる空間に第１のダイアフラム部と第２のダイアフラム部を設けるため、前記第１の変位検出手段からの圧力信号と前記第２の変位検出手段からの圧力信号で圧力変動タイミングをずらすことができる。
【００３５】
請求項１４記載の本願発明によれば、第１及び第２の圧力検出手段からの出力信号を冗長的に出力することを特徴としている。
【００３６】
請求項１５記載の本願発明によれば、前記第２部材は、前記第１部材を構成する材料よりも硬度が小さい材料から構成されることを特徴としている。第２部材にはダイアフラムが形成される場合、硬度の小さい方が圧力検出の感度を向上させることができる。一方、第１部材は、高流速の高圧流体を内部で流通させるため、耐久性の観点から硬度が高い方が好ましい。従って、上記構成を採ることで、耐久性と高感度を合わせ持つことができる。
【００３７】
第２部材は、請求項１６に記載のように、金属ガラスにより構成されていても良い。
【００３８】
請求項１７記載の本願発明によれば、請求項１に記載の燃料噴射装置を用いた蓄圧式燃料噴射装置システムであって、燃料タンクから汲み上げられた燃料を加圧して送出する高圧燃料ポンプと、前記高圧燃料ポンプから供給される燃料を高圧状態で蓄えるコモンレールと、複数の前記燃料噴射装置と、前記コモンレールからの燃料を前記燃料噴射装置の各々に導入する高圧燃料通路と、前記燃料噴射装置の各々から排出される低圧燃料を前記燃料タンクへ戻す低圧燃料通路と、各々の前記燃料噴射装置の前記変位検出手段からの信号を受けるとともに、前記噴孔を開閉するノズルニードルの移動を制御するアクチュエータを駆動する信号を出力する電子制御装置と、を備えることを特徴としている。
【００３９】
各々の燃料噴射装置において、ダイアフラム部の厚さ制御が容易になったことによって圧力検出精度を向上することができるため、コモンレールシステムにおいて、全体的に精度の良い噴射量制御が可能となる。
【００４０】
第２の構成によれば、外部から高圧流体が供給される流体通路と、前記流体通路に接続されて前記高圧流体の少なくとも一部を噴射する噴孔と、前記流体通路内に存在する前記高圧流体の圧力を検出する複数の圧力検出手段と、を備えることを特徴としている。これにより、内部に圧力検出手段を配置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、本発明の燃料噴射装置を、ディーゼル機関に搭載される蓄圧式燃料噴射装置に用いられるインジェクタ（燃料噴射弁）に適用して具体化した実施形態を図面に従って説明する。
【００４２】
（第１の実施形態）
図１は、上記ディーゼル機関を含む蓄圧式燃料噴射装置１００の全体構成図である。図２は、本実施形態に係るインジェクタ２を示す断面図である。図３（ａ）、（ｂ）は、本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ）〜（ｅ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図及び平面図である。図４（ａ）,（ｂ）は、圧力検出部材の要部を示す断面図及び平面図である。図５（ａ）〜（ｃ）は、圧力センサの製造方法を示す断面図である。以下、本実施形態にかかる燃料噴射装置１００を図面を参照しつつ説明する。
【００４３】
図１に示されるように、燃料タンク１０２から汲み上げられた燃料は、高圧燃料供給ポンプ（以下、サプライポンプ）１０３により加圧され高圧状態でコモンレール１０４に供給される。コモンレール１０４は、サプライポンプ１０３から供給される燃料を高圧状態で蓄え、高圧燃料通路１０５を介してインジェクタ２に供給する。インジェクタ２は、例えば自動車等の車両に搭載された多気筒（本実施形態では、４気筒）のディーゼルエンジン（以下、エンジンと呼ぶ）の各気筒ごとに設けられ、コモンレール１０４内に蓄圧された高圧燃料（高圧流体）を燃焼室内に直接噴射供給する。また、インジェクタ２は、低圧燃料通路１０６とも接続されており、低圧燃料通路１０６を介して燃料タンク１０２に燃料を戻すことが可能となっている。
【００４４】
電子制御装置（ＥＣＵ）１０７は、マイクロコンピュータやメモリ等を備えて構成され、ディーゼル機関の出力の制御を行なう。この制御に際しては、ＥＣＵ１０７は、コモンレール１０４内の燃料圧を検出する燃圧センサ１０８の検出結果や、ディーゼル機関のクランク軸の回転角度を検出するクランク角センサ１０９の検出結果、ユーザによるアクセルペダルの操作量を検出するアクセルセンサ１１０、各インジェクタ２に設けられてインジェクタ内の燃料圧を検出する圧力検出部８０等、各種センサの検出結果を取り込み、これら検出結果を参照する。
【００４５】
図２に示されるように、インジェクタ２は、ノズルニードル２０を軸方向に移動可能に収容するノズルボデー１２と、ノズルニードル２０を閉弁側に付勢する付勢部材としてのスプリング３５を収容するロアボデー１１と、ノズルボデー１２とロアボデー１１とを所定の締付軸力により締結する締付け部材としてのリテーニングナット１４と、流体制御弁としての電磁弁装置７、高圧燃料の圧力を検出する圧力検出部８０とを含んで構成されている。ノズルボデー１２、ロアボデー１１、およびリテーニングナット１４は、ノズルボデー１２とロアボデー１１とをリテーニングナット１４で締結することでインジェクタのノズル本体を構成している。本実施形態では、ロアボデー１１とノズルボデー１２がインジェクタボデーを構成している。また、ノズルニードル２０とノズルボデー１２はノズル部を構成している。
【００４６】
ノズルボデー１２は、略筒状体に形成され、先端部（図２中の下方側の端部）側に、高圧燃料を燃焼室に噴射するための噴孔１２ｂを１個又は複数個備えた略筒状部材である。
【００４７】
このノズルボデー１２の内部には、中実円柱状のノズルニードル２０を軸方向移動可能に保持するための収容孔（以下、第１ニードル収容孔）１２ｅが形成されている。この第１ニードル収容孔１２ｅの図中の中間部位には、その孔径が拡げられた燃料溜り室１２ｃが設けられている。具体的には、ノズルボデー１２の内周は、燃料流れの下流に向かって、第１ニードル収容孔１２ｅ、燃料溜り室１２ｃ、弁座１２ａの順に形成されており、弁座１２ａの下流側にノズルボデー１２の内外を貫通する噴孔１２ｂが設けられている。
【００４８】
弁座１２ａは、円錐台面を有しており、円錐台面の大径側が第１ニードル収容孔１２ｅに連続し、小径側が噴孔１２ｂに向かって延びている。この弁座１２ａにノズルニードル２０が着座および離座可能に配置され、着座および離間することでノズルニードル２０が閉弁および開弁する。
【００４９】
さらに、ノズルボデー１２には、このノズルボデー１２の図示上端側の合わせ面から燃料溜り室１２ｃへ延びる燃料送出路１２ｄが設けられている。この燃料送出路１２ｄは、ロアボデー１１の後述の燃料供給路１１ｂと連通することで、コモンレール１０４内で蓄圧された高圧燃料を燃料溜り室１２ｃを経由し弁座１２ａ側へ送り込む。燃料送出路１２ｄと燃料供給路１１ｂとは高圧燃料通路を構成する。
【００５０】
ロアボデー１１は、略筒状体に形成されており、内部に、スプリング３５、およびノズルニードル２０を駆動するための制御ピストン３０を軸方向に移動可能に収容するための収容孔（以下、第２ニードル収容孔）１１ｄが設けられている。この第２ニードル収容孔１１ｄの図示下端側の合わせ面には、中間の内周１１ｄ１よりは大きく拡げられた内周１１ｄ２が形成されている。
【００５１】
具体的には、この内周（以下、スプリング室とも呼ぶ）１１ｄ２には、スプリング３５、および環状部材３１、および制御ピストン３０のニードル部３０ｃを収容するいわゆるスプリング室が形成されている。環状部材３１は、スプリング３５とノズルニードル２０との間に挟み込まれて配置されており、スプリング３５によりノズルニードル２０を閉弁方向に付勢するスプリング受け部を構成する。ニードル部３０ｃは、ノズルニードル２０に、環状部材３１を介して間接的に、もしくは直接的に当接可能に構成されている。
【００５２】
さらに、ロアボデー１１には、コモンレール１０４の分岐管に接続される高圧配管（図１参照）が気密に連結する継手部（以下、インレット部）１１ｆが設けられている。このインレット部１１ｆは、コモンレール１０４から供給された高圧燃料を導入する入口である流体導入部２１と、燃料供給路１１ｂ（第１の流体通路）へ導く燃料導入路１１ｃ（第２の流体通路）とを有し、燃料導入路１１ｃ内部には、バーフィルタ１３が配置されている。ロアボデー１１のインレット部１１ｆの内部、およびスプリング室１１ｄ２の周囲には、燃料供給路１１ｂが設けられている。
【００５３】
また、ロアボデー１１には、スプリング室１１ｄ２に導かれた燃料を、図１に示した燃料タンク等の低圧配管系内に戻すための燃料逃がし通路（リーク回収用通路とも呼ぶ）（図示せず）が設けられている。燃料逃がし通路、スプリング室１１ｄ２は低圧燃料通路を構成する。
【００５４】
なお、図２に示すように、制御ピストン３０の他端部側には、電磁弁装置７により油圧が給排される圧力制御室（以下、油圧制御室とも言う）８、１６ｃが設けられている。
【００５５】
この油圧制御室８、１６ｃの油圧を増減することで、ノズルニードル２０を閉弁および開弁する。具体的には、油圧制御室８、１６ｃから油圧が抜かれ、減少すると、ノズルニードル２０および制御ピストン３０がスプリング３５の付勢力に抗して図２中の軸方向上方に移動し、ノズルニードル２０が開弁する。一方、油圧制御室８、１６ｃに油圧が導入され、増加すると、ノズルニードル２０および制御ピストン３０がスプリング３５の付勢力によって図３中の軸方向下方に移動し、ノズルニードル２０が閉弁する。
【００５６】
なお、制御ピストン３０の端部外壁（上端部）３０ｐと、第２ニードル収容孔１１ｄと、オリフィス部材１６、及び圧力検出部材８１とによって圧力制御室８、１６ｃ、１８ｃが形成されている。端部外壁３０ｐは、噴孔１２ｂの開弁時に、オリフィス部材１６と面接触している圧力検出部材８１の平坦面８２と同一面かそれよりも噴孔１２ｂ側に位置ずれして配置されている。つまり、噴孔１２ｂの開弁時に、端部外壁３０ｐが圧力検出部材８１の圧力制御室１８ｃ部分に収納される。
【００５７】
次に、電磁弁装置７について詳細に説明する。電磁弁装置７は、圧力制御室８、１６ｃ、１８ｃと低圧通路（以下、導通路とも呼ぶ）１７ｄとを断続する電磁二方弁である。電磁弁装置７は、ロアボデー１１の反噴孔側の端部に配設されている。電磁弁装置７は、ボデーアッパー５２によりロアボデー１１に固定されている。第２ニードル収容孔１１ｄの反噴孔側の端部には、弁ボデーとしてのオリフィス部材１６が設けられている。
【００５８】
オリフィス部材１６は、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第１部材）から構成されている。また、オリフィス部材１６はインジェクタボデーを構成するロアボデー１１及びノズルボデー１２とは別体的に（別工程にて、及び／又は別部材として）形成され、形成後、ロアボデー１１に組み付けられて一体的に保持される。オリフィス部材１６には、図３（ａ）、図３（ｂ）に示すように、連通路１６ａ、１６ｂ、１６ｃが設けられている。ここで、図３（ｂ）はオリフィス部材１６をバルブアーマチャ４２側から見た平面図である。連通路（以下、オリフィスとも呼ぶ）１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、出口側絞り部としてのオリフィス（以下、アウトオリフィス）１６ａと、入口側絞り部としてのオリフィス（以下、インオリフィス）１６ｂと、第２ニードル収容孔１１ｄに連通する圧力制御室１６ｃとを有する。
【００５９】
アウトオリフィス１６ａは、弁座１６ｄと圧力制御室１６ｃとを連通するように配置され、弁部材４１を介したバルブアーマチャ４２の閉弁および開弁により閉塞および流通する。インオリフィス１６ｂは、平坦面１６２に開口して燃料を導入する入口部１６ｈを有する。この入口部１６ｈは、圧力制御室１６ｃと後述する圧力検出部材８１に形成された検出部連通路１８ｈを介して、燃料供給路１１ｂから分岐された分岐燃料供給路１１ｇとを連通する位置に配置されている。
【００６０】
なお、弁部材４１を介して開弁および閉弁するオリフィス部材１６の弁座１６ｄと、バルブアーマチャ４２の弁構造については後述する。
【００６１】
オリフィス部材１６の反噴孔側には、弁ハウジングとしてのバルブボデー１７が設けられている。バルブボデー１７の外周部には雄ねじが形成されており、バルブボデー１７がロアボデー１１の筒状ねじ部にねじ込まれることによってオリフィス部材１６がバルブボデー１７とロアボデー１１とに挟持されている。バルブボデー１７は略円筒形状に形成されており、貫通孔１７ａ、１７ｂが設けられている（図２参照）。貫通孔（以下、ガイド孔とも呼ぶ）１７ａと貫通孔１７ｂとの間には、導通路１７ｄが形成されている。
【００６２】
オリフィス部材１６のバルブボデー側端面１６１と、貫通孔１７ａの内壁とによって弁室１７ｃが形成されている。オリフィス部材１６の外壁には、二面幅面（図示せず）が形成されており、二面幅面と、ロアボデー１１の内壁の間に形成された隙間１６ｋは貫通孔１７ｂに連通している（図２参照）。
【００６３】
図３（ｃ）、（ｄ）に示すように、圧力検出部８０は、インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体的に（別々に）形成された圧力検出部材８１からなる。ここで、図３（ｄ）は圧力検出部材８１をオリフィス部材１６側から見た平面図である。圧力検出部材８１は、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第２部材）で構成され、ロアボデー１１内において、オリフィス部材１６と直接又は間接的に積層されて、ロアボデー１１及びノズルボデー１２に対して一体的に保持されている。本実施形態では、圧力検出部材８１は平坦面８２を有し、オリフィス部材１６の噴射弁側の平坦面１６２と、面同士で液密に直接積層されている。圧力検出部材８１とオリフィス部材１６は、略同一の外形を有し、両者を重ね合わせた際に、オリフィス部材１６の入口部１６ｈ、貫通穴１６ｐ、圧力制御室１６ｃの位置が、圧力検出部材８１の検出部連通路１８ｈ、貫通穴１８ｐ、圧力制御室１８ｃの位置に夫々一致するように形成されている。また、検出部連通路１８ｈの反オリフィス部材側は、燃料供給路１１ｂから分岐した分岐燃料供給路１１ｇに対応した位置に開口している。これにより、圧力検出部材８１の貫通孔１８ｈは、燃料供給路１１ｂから圧力制御室への通路の一部を構成している。
【００６４】
なお、圧力検出部材８１とオリフィス部材１６は積層され、ボデーアッパー５２による締結力により互いに液密に保持されていても良い。また、圧力検出部材８１とオリフィス部材１６を、機械的結合（溶接、接着、ネジ止め等）や、化学結合（イオン結合、共有結合、金属結合、水素結合等）などにより、予め一体的に結合しておいても良い。特に後者によれば、ロアボデー１１内に配置する際の両部材８１，１６の位置合わせ工程を簡略化できる。
【００６５】
圧力検出部材８１は、更に、オリフィス部材１６側から所定深さと内径を有する溝からなる圧力検出空間１８ｂを備え、その溝底部がダイアフラム部１８ｎを構成している。ダイアフラム部１８ｎの、圧力検出空間１８ｂとは反対側の表面には、後述する半導体式の圧力センサ１８ｆが一体的に貼り合され、接合されている。
【００６６】
ダイアフラム部１８ｎは、圧力検出空間１８ｂの反対側表面から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置しており、圧力センサ１８ｆが接合される側の表面は、圧力検出空間１８ｂよりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部１８ｎの厚さが制御される。圧力検出部材８１の平坦面８２には、検出部連通路１８ｈと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａ（分岐通路）が、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。溝部１８ａは圧力検出部材８１がオリフィス部材１６と面接触した際に、オリフィス部材１６の平坦面を壁の一部とする合成通路（分岐通路）を形成する。これにより、溝部１８ａ（分岐通路）は、燃料供給路１１ｂから圧力制御室８，１６ｃへの通路であるインオリフィス１６ｂに一部が接続され、他部がダイアフラム部１８ｎに接続されている。これにより、ダイアフラム部１８ｎは圧力検出空間１８ｂに導入された高圧燃料の作用する圧力により歪むことが可能となる。
【００６７】
ここで、ダイアフラム部１８ｎは、溝部１８ａとオリフィス部材１６との間で形成される合成通路と圧力検出空間１８ｂを含めた分岐通路のうちで、その通路肉厚が最も薄く構成されている。合成通路の通路肉厚は合成通路の内壁から見た圧力検出部材８１及びオリフィス部材１６の厚さを言う。
【００６８】
なお、溝部１８ａに代えて、図３（ｅ）に示すように、検出部連通路１８ｈから圧力検出空間１８ｂに連結するように傾斜して設けられた孔部としても良い。なお、圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）とダイアフラム部１８ｎとで圧力検出部を構成する。
【００６９】
以下に、図４を参照して、圧力検出部について詳細に説明する。
【００７０】
圧力センサ１８ｆは、圧力検出空間１８ｂに形成された円形のダイアフラム部１８ｎと、一面側がダイアフラム部１８ｎの一面をなす窪み部１８ｇの底部に接着された変位検出手段としての単結晶半導体チップ（以下、半導体チップという）１８ｒとを備え、ダイアフラム部１８ｎの他面１８ｑ側にエンジンの燃料噴射圧力等に応じた圧力媒体（気体、液体等）を導入し、ダイアフラム部１８ｎおよび半導体チップ１８ｒの変形に基づき圧力検出を行うようにしたものである。
【００７１】
圧力検出部材８１は切削等により形成され、中空円筒形状の圧力検出空間１８ｂを成し、ガラスと熱膨張率が同程度であるＦｉ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金であるコバール等により構成されている。圧力検出部材８１においては、ダイアフラム部１８ｎが形成され、圧力検出空間１８ｂ側から、圧力媒体としての高圧燃料が導入され、ダイアフラム部１８ｎの他面１８ｑに圧力が印加されるようになっている。
【００７２】
ここで、圧力検出部材８１の寸法の一例を示すと、円筒の外径は６．５ｍｍ、円筒の内径は２．５ｍｍ、ダイアフラム部１８ｎの肉厚は、例えば２０ＭＰａの測定に際しては０．６５ｍｍ、２００ＭＰａの測定に際しては１．４０ｍｍである。窪み部１８ｇの底面であるダイアフラム部１８ｎの一面に接着された半導体チップ１８ｒは、面方位が（１００）面であり且つ全体が均一な肉厚の平面形状を成す単結晶シリコン基板よりなり、その一面１８ｉが低融点ガラス等よりなるガラス層１８ｋにより、ダイアフラム部１８ｎの一面（窪み部１８ｇの底面）に固定されている。
【００７３】
ここで、半導体チップ１８ｒの寸法の一例を示すと、３．５６ｍｍ×３．５６ｍｍの正方形状で、肉厚は０．２ｍｍである。また、ガラス層１８ｋの厚さは０．０６ｍｍである。また、半導体チップ１８ｒの他面１８ｊ側には、４個のピエゾ抵抗素子である長方形状のゲージ１８ｍが配設されている。上述のように、（１００）面方位を有する半導体チップ１８ｒには、その構造上、＜１１０＞結晶軸が相直交して存在する。
【００７４】
４個のゲージ１８ｍは、＜１１０＞結晶軸方向の２軸方向に沿ってそれぞれ２個ずつ配置される。ここで、一対のゲージはその長辺方向をＸ方向に沿って位置し、一対のゲージがその短辺方向をＹ方向に沿って位置する。さらに、これら４個のゲージ１８ｍは、ダイアフラム部１８ｎの中心Ｏに対する円周上に配置されている。
【００７５】
また、図示しないが、半導体チップ１８ｒには、４個のゲージ１８ｍがブリッジ回路を構成し且つ外部回路と接続するための配線・パッド、さらには保護膜が形成される。半導体チップ１８ｒの主な製造工程としては、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、ｎ型サブウエハ１９ａに、フォトリソグラフィにより所望のパターンを形成後、ボロン等を拡散させてＰ＋領域１９ｂを形成し、ピエゾ抵抗素子であるゲージ１８ｍが形成される。これに、配線・パッド１９ｃ及び配線・パッドの絶縁を確保する酸化膜１９ｄを形成し、さらに保護膜を形成し、パッド上の保護膜をエッチングすれば、半導体チップ１８ｒは完成である。
【００７６】
そして、完成したチップ１８ｒを、圧力検出部材８１のダイアフラム部１８ｎ上に低融点ガラスを用いて接着することにより、図４に示す圧力センサ１８ｆが出来上がる。圧力センサ１８ｆは上記構成により、高圧燃料の作用する圧力により変位する（撓む）ダイアフラム部１８ｎの変位を電気的な信号（本実施例では、ピエゾ抵抗素子の抵抗変化に伴うブリッジ回路の電位差）に変換する。その電気的な信号が、図示しない外部の処理回路で処理されて圧力が検出される。
【００７７】
なお、処理回路は、チップ１８ｒ上にモノリシックに作り込まれても良いが、本実施形態では、チップ１８ｒの上方に、例えばフリップチップのような表面実装接続により電気接続された処理基板１８ｄ上に、上記のブリッジ回路を構成する定電流源や比較器等を作り込んでも良い。処理基板１８ｄには、また、圧力センサ１８ｆの感度データとインジェクタの噴射量特性を示すデータが記憶された不揮発性メモリを有する（図示せず）。そして、処理基板１８ｄの一辺に配置された接続パッドに電気配線１８ｅの一端が接続され、電気配線１８ｅの他端は、バルブボデー１７内に形成された配線通路（図示せず）を通って、コネクタ５０に一体形成されたターミナルピン５１ｂへ接続され、ＥＣＵ１０７と接続されている。
【００７８】
ピエゾ抵抗素子を含む圧力センサ１８ｆと低融点ガラスが歪検出素子を構成する。ここで、ダイアフラム部１８ｎは、少なくとも圧力センサ１８ｆと低融点ガラスの厚さ分、圧力検出部材８１の圧力検出空間１８ｂとは反対の表面から深い位置に配置されている。処理基板１８ｄと電気配線１８ｅが更に厚さ方向に配置される場合は、その分の厚さも含めた距離よりも深い位置にダイアフラム部１８ｎの反圧力検出空間１８ｂ表面が配置される。
【００７９】
なお、本実施形態では、変位検出手段として金属製のダイアフラム部１８ｎに貼り合わせられた半導体式の圧力センサ１８ｆを採用しているが、これに限られたものでなく、ダイアフラム部１８ｎに金属膜等で構成される歪検出素子を、貼り合わせたり蒸着形成したりして形成しても良い。
【００８０】
さらに、本実施形態にかかるインジェクタ２２は、上記圧力検出部８０に加え、ノズルボデー１２とロアボデー１１との間に挟持された圧力検出部８５を含んで構成されている。
【００８１】
圧力検出部８５は、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０（及びノズルニードル２０）の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第２の板状部材）で構成される圧力検出部材８６からなり、ノズルボデー１２とロアボデー１１との間に挟持されている。本実施形態では、圧力検出部材８６は平坦面８２を有し、ノズルボデー１２に形成される平坦面と、面同士で液密に直接積層されている。圧力検出部材８６は、ロアボデー１１のノズルボデー１２側端面と略同一形状を有し、略円形に形成されている。圧力検出部材８６は、ノズルボデー１２とロアボデー１１との間に挟持された際に、ロアボデー１１の燃料供給路１１ｂ、制御ピストン３０のニードル部３０ｃの先端部分、位置決め部材９２挿入部の位置が、圧力検出部材８６の検出部連通路１８ｈ、貫通穴１８ｓ、位置決め用貫通穴１８ｔの位置に一致するように形成されている。また、検出部連通路１８ｈの反ロアボデー側は、ノズルボデー１２側の燃料送出路１２ｄに対応した位置に開口している。これにより、圧力検出部材８６の検出部連通穴１８ｈは、燃料供給路１１ｂから燃料送出路１２ｄへの通路の一部を構成している。
【００８２】
圧力検出部材８６は、更に、ノズルボデー１２側から所定深さと内径を有する溝からなる圧力検出空間１８ｂを備え、その溝底部がダイアフラム部１８ｎを構成している。ダイアフラム部１８ｎの表面には、図４と図５で説明した半導体式の圧力センサ１８ｆが接合されている。ダイアフラム部１８ｎは、圧力検出空間１８ｂが形成された側と反対側の圧力検出部材８６の表面から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置しており、圧力センサ１８ｆが接合される側の表面は、圧力検出空間１８ｂよりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部の厚さが制御される。圧力検出部材８１の平坦面８２には、検出部連通路１８ｈと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａ（分岐通路）が、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。本実施形態では、溝部１８ａは、制御ピストン３０のニードル部３０ｃの先端部分の挿入部を挟んで、左右に複数（好ましくは２つ）形成されている。よって、燃料供給路１１ｂの燃料を効率良く圧力検出空間１８ｂへ導出することができる。
【００８３】
図４に示す歪検出素子と同様、ピエゾ抵抗素子を含む圧力センサ１８ｆと低融点ガラスが図６に示す歪検出素子を構成する。ここで、ダイアフラム部１８ｎは、少なくとも圧力センサ１８ｆと低融点ガラスの厚さ分、圧力検出部材８６の圧力検出空間１８ｂとは反対の表面から深い位置に配置されている。処理基板１８ｄと電気配線１８ｅが更に厚さ方向に配置される場合は、その分の厚さも含めた距離よりも深い位置にダイアフラム部１８ｎの反圧力検出空間１８ｂ表面が配置される。
【００８４】
図２に戻り、コイル６１は、樹脂製のスプール６２に直接巻回され、スプール６２およびコイル６１の外周側は図示しない樹脂モールドにより覆われている。なお、巻回装置により巻回されたコイル（以下、巻回コイル）６１の外周を樹脂モールドにより被覆した後に、被覆された巻回コイル６１に２次樹脂成形を行なってスプール６２と一体に成形されるものであってもよい。コイル６１の端部は、コネクタ５０にターミナルピン５１ｂと一体的に形成されたターミナルピン５１ａへ電気的に接続され、ＥＣＵ１０７と接続されている。
【００８５】
なお、圧力検出部８０からの出力信号と圧力検出部８５からの出力信号を共に出力するため、コネクタ５０のターミナルピン５１ｂは、圧力検出部８０用のターミナルピンと圧力検出部８５用のターミナルピンからなる。
【００８６】
固定コア６３は、略円筒状に形成されており、内周側コア部と、外周側コア部と、これら両コア部に接続する上端部とを備え、内周側コア部と外周側コア部との間にコイル６１が挟み込まれている。固定コアは磁性材で形成されている。
【００８７】
固定コア６３の図２中の下部側には、バルブアーマチャ４２が固定コア６３に向き合うように配置されおり、固定コア６３の下端面（以下、磁極面）とバルブアーマチャ４２の上端面（以下、磁極面）が近接および離間可能に配置されている。電流供給によりコイル６１に発生する電磁力を利用し、内周側コア部および外周側コア部の磁極面からバルブアーマチャ４２の磁極面に向けて磁束が流れ、磁束密度に応じた吸引力がバルブアーマチャ４２に作用する。
【００８８】
固定コア６３の内側には、略円筒状のストッパ６４が挿入配置され、固定コア６３と上部ハウジング５３の間に挟まれて固定されている。ストッパ６４内には、圧縮スプリングなどの付勢部材５９（バネ部材）が配置されている。この付勢部材５９の付勢力は、バルブアーマチャ４２に作用し、バルブアーマチャ４２の磁極面と固定コアの磁極面のエアギャップが広がる方向に付勢している。ストッパ６４のバルブアーマチャ側の端面は、バルブアーマチャ４２がフルリフトする際のリフトを規制する。
【００８９】
ストッパ６４およびボデーアッパー５２の内側には、弁室１７ｃ、貫通孔１７ｂを介して流出した燃料が低圧側へ流出する燃料通路３７が形成されている。
【００９０】
ここで、上部ハウジングとしてのボデーアッパー５２と、中間ハウジング５４と、下部ハウジングとしてのバルブボデー１７とは、弁ハウジングを構成している。中間ハウジング５４は略筒状に形成され、固定コア６３をガイドするように収容している。具体的には、固定コア６３は段付きの略有底円筒状に形成され、中間ハウジング５４の下端部の内周側に挿入されている。固定コア６３の外周は、段付きを境に下方に向かって縮径しており、その段付きが、中間ハウジング５４の内周側に形成された段差に係止されることにより、固定コア６３が中間ハウジング５４から脱落するのを防止している。
【００９１】
バルブアーマチャ４２は、略平板状に形成された平板部と、平板部より小径の小径軸部とを備えている。平板部の上端面は、固定コア６３の内側コア部および外側コア部の磁極面に対向して配置される磁極面が形成されている。バルブアーマチャ４２は磁性材からなり、例えばパーメンジュールで形成されている。平板部の下部側に小径軸部が形成されている。
【００９２】
バルブアーマチャ４２の小径軸部の端面４２ａには、略球状の弁部材４１が設けられており、バルブアーマチャ４２は、弁部材４１を介してオリフィス部材１６の弁座１６ｄに着座および離座が可能である。なお、オリフィス部材１６は、ピン等の位置決め部材９２を介してロアボデー１１に位置決め固定されている。オリフィス部材１６の貫通穴１６ｐ及び圧力検出部材８１の貫通穴１８ｐは、位置決め部材９２を挿入する係止穴である。
【００９３】
次に、弁部材４１を介して互いに着座および離座するバルブアーマチャ４２と、弁座１６ｄを有するオリフィス部材１６の弁構造について、図３に従って説明する。
【００９４】
図３に示すように、バルブアーマチャ４２の小径軸部の弁部材側の端面４２ａは、平坦面に形成され、弁部材４１の球面部４１ａに当接および離間可能である。また、バルブアーマチャ４２の小径部は、バルブボデー１７の貫通孔１７ａの内周に軸方向移動可能に保持されるとともに、弁室１７ｃに挿通可能に配置されている。弁部材４１を介してバルブアーマチャ４２と弁座１６ｄが着座および離座することにより、油圧制御室８、１６ｃより弁室１７ｃへの燃料流れが遮断および流通する。
【００９５】
具体的には、弁部材４１は、平面部４１ｂを有する球状体であって、平面部４１ｂが、弁座１６ｄに着座および離座可能に配置されている。弁部材４１は、平面部４１ｂの着座時にアウトオリフィス１６ａを閉塞する。平面部４１ｂは、第２の平坦面を構成する。
【００９６】
また、オリフィス部材１６のバルブアーマチャ側の端面１６１には、弁部材４１の球面部４１ａを摺動自在に支持する有底孔状のガイド孔１６ｇが設けられている。弁座１６ｄは、ガイド孔１６ｇの内周の底部に設けられており、平面状のシート面を形成している。弁座１６ｄはシート部を構成し、ガイド孔１６ｇはガイド部を構成する。また、弁座１６ｄは、オリフィス部材１６に形成された段差部を構成する。また、ガイド孔１６ｇの開口端と、オリフィス部材１６の端面１６１は面一であり、ガイド部とオリフィス部の端面は面一である特徴を有する。
【００９７】
弁座１６ｄの外周は、ガイド孔１６ｇの内周より小さく形成されており、弁座１６ｄとガイド孔１６ｇとの間には、環状の燃料逃がし通路１６ｅが設けられている。弁座１６ｄの外周は、弁部材４１の平面部４１ｂの外周より小さく形成されている。これにより、弁部材４１の平面部４１ｂと、弁座１６ｄが着座および離座する際に、ガイド孔１６ｇの底部のうち、平面部４１ｂに着座する弁座１６ｄ以外の部位で燃料流れを制限することはない。
【００９８】
なお、燃料逃がし通路１６ｅは、弁座と第２の平坦面との密着領域において設けられる流体逃がし通路を構成する。
【００９９】
また、燃料逃がし通路１６ｅは、弁座１６ｄ側からガイド孔１６ｇ側に向かって流路断面積が大きくなるように形成されている。これにより、弁部材４１が弁座１６ｄより離座したときに弁座１６ｄより流出する燃料をスムースに低圧側へ流すことができる。
【０１００】
上述のように弁部材４１はガイド孔１６ｇに軸方向移動可能に支持されているため、ガイド孔１６ｇの内周と、弁部材４１の球面部４１ａの球面との隙間の大きさは、互いに摺動可能な程度のガイドクリアランスに設定されている。このガイドクリアランスによる燃料リーク量だけでは、弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料流量が限られる。
【０１０１】
本実施形態では、ガイド孔１６ｇの内壁には、低圧側の弁室１７ｃに連通する燃料リーク溝１６ｒが設けられており、この燃料リーク溝１６ｒによって弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料の流路面積を拡大する。これにより、ガイド孔１６ｇの内壁に、弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料の流路面積を拡大する燃料リーク溝１６ｒを設けるので、弁部材４１が弁座１６ｄより離座したときに、弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料の流量が絞られることはなく、連通路１６ａ、１６ｂ、１６ｃより流出すべき燃料流量を確保することができる。
【０１０２】
なお、上記燃料リーク溝１６ｒは、弁座１６ｄより放射状に延出するように、ガイド孔１６ｇの内壁に形成されている（図示せず）。これにより、上記連通路１６ａ、１６ｂ、１６ｃより流出すべき燃料流量に応じて、複数個（本実施例では、６個）の燃料リーク溝１６ｒを設けることができる。さらに複数個の燃料リーク溝１６ｒを放射状に設けるので、弁座１６ｄから流出し、燃料リーク溝１６ｒを流れる燃料の流体力によって弁部材４１の姿勢が不安定になることを防止できる。
【０１０３】
なお、弁座１６ｄの内周は、段付き内周に形成されており、出口側内周１６ｌ、アウトオリフィス１６ａ、および圧力制御室１６ｃの順に形成されている。
【０１０４】
なお、ここで、バルブアーマチャ４２は、支持部材を構成する。オリフィス部材１６は、弁座を有する弁ボデーを構成する。また、バルブボデー１７は、弁ハウジングを構成する。
【０１０５】
上述の構成を有するインジェクタ２の作動について以下説明する。高圧源であるコモンレール１０４から高圧配管、燃料供給路１１ｂ、燃料送出路１２ｄを介して燃料溜り室１２ｃに高圧燃料が供給されるとともに、燃料供給路１１ｂ、インオリフィス１６ｂを介して油圧制御室８、１６ｃに高圧燃料が供給される。
【０１０６】
コイル６１への非通電時には、バルブアーマチャ４２および弁部材４１は、付勢部材５９の付勢力により弁座１６ｄ側（図２の下方）へ押し当てられ、弁部材４１が弁座１６ｄに着座する。弁部材４１の着座によりアウトオリフィス１６ａが閉塞され、油圧制御室８、１６ｃから弁室１７ｃ、低圧通路１７ｄへの燃料流れが遮断される。
【０１０７】
このとき、油圧制御室８、１６ｃに蓄えられている燃料圧力（以下、背圧）は、コモンレール１０４の内部の燃料圧力（以下、コモンレール圧）と同一の圧力に維持される。油圧制御室８、１６ｃに蓄えられている背圧により制御ピストン３０を介してノズルニードル２０を噴孔閉塞方向へ付勢する作用力（以下、第１作用力）と、スプリング３５の付勢力によりノズルニードル２０を噴孔閉塞方向へ付勢する作用力（以下、第２作用力）との和は、燃料溜り室１２ｃおよび弁座１２ａ近傍のコモンレール圧によりノズルニードル２０が噴孔開放方向に受ける作用力（以下、第３作用力）より大きくなっている。そのため、ノズルニードル２０は弁座１２ａに着座し、噴孔１２ｂが閉塞されている。噴孔１２ｂから燃料は噴射されない。なお、弁座１６ｄに着座している弁部材４１には、閉塞されているアウトオリフィス１６ａ（詳しくは、出口側内周１６ｌ）内の燃料圧力（背圧）が作用している。
【０１０８】
コイル６１への通電が開始されると（以下、インジェクタ２の開時）、コイル６１に電磁力が発生し、固定コア６３とバルブアーマチャ４２の両磁極面間に発生する磁気吸引力により、バルブアーマチャ４２が固定コア６３方向に吸引される。このとき、弁部材４１は、上記アウトオリフィス１６ａの背圧により離座方向に向かう作用力（以下、第４作用力） が働いているので、バルブアーマチャ４２と共に弁部材４１が弁座１６ｄから離座する。その弁部材４１が離座すると、ガイド孔１６ｇに沿って弁部材４１が固定コア６３方向に移動する。
【０１０９】
このとき、バルブアーマチャ４２および弁部材４１の弁座１６ｄからの離座により、アウトオリフィス１６ａを介して油圧制御室８、１６ｃから弁室１７ｃ、低圧通路１７ｄへ流れる燃料流れが発生する。油圧制御室８、１６ｃ内の燃料が低圧側へ開放されるため、油圧制御室８、１６ｃによる背圧が低下する。背圧が低下すると、第１作用力が次第に減少する。そして、ノズルニードル２０の噴孔閉塞方向に作用する第１作用力および第２作用力より、ノズルニードル２０の噴孔開放方向に作用する第３作用力が大きくなると、ノズルニードル２０は弁座１２ａより離座し、図２の上方へリフトする。ノズルニードル２０がリフトすると、噴孔１２ｂは開放され、噴孔１２ｂより燃料が噴射される。
【０１１０】
また、コイル６１への通電が停止されると（以下、インジェクタ２の閉時）、コイル６１の電磁力が消滅するため、付勢部材５９の付勢力によりバルブアーマチャ４２および弁部材４１が弁座１６ｄ方向に移動する。弁部材４１の平面部４１ｂが弁座１６ｄに着座すると、油圧制御室８、１６ｃから弁室１７ｃ、低圧通路１７ｄへの燃料の流出が停止される。そして油圧制御室８、１６ｃによる背圧が増加し、第１作用力および第２作用力が第３作用力に勝るようになると、ノズルニードル２０が図２の下方へ移動し始める。そして、ノズルニードル２０が弁座１２ａに着座すると、燃料噴射が終了する。
【０１１１】
上記構成の実施形態によれば、自身の内部に圧力検出部を配置することが可能となった。そして、上記に加え、更に、以下の効果を奏する。
【０１１２】
圧力検出部８０は燃料導入部２１の近傍に配置され、圧力検出部８５は、噴孔１２ｂ側に配置されているので、圧力検出部８０と圧力検出部８５とが検出する高圧燃料圧力の圧力変動タイミングが異なる。これにより、それぞれの圧力検出部８０，８５により、内部の圧力変化に対して、変動タイミングの異なる複数の圧力信号を検出できる。
【０１１３】
次に、主に圧力検出部８０に関する効果を説明する。
【０１１４】
薄肉部からなるダイアフラム部１８ｎを、燃料供給路１１ｂから分岐された分岐通路に設けるため、燃料通路近傍のインジェクタ外壁に直接ダイアフラム部１８ｎを設けることに比べて、ダイアフラム部１８ｎの形成が容易になる。また、この結果、ダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になるために厚さバラツキを防止でき、圧力検出精度を向上することができる。
【０１１５】
ダイアフラム部１８ｎは、分岐通路を構成する部分の中で、通路肉厚が最も薄く構成されている部分であるため、圧力変動に伴うダイアフラムの変位を大きくすることができる。
インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体形成された圧力検出部材８１内にダイアフラム部１８ｎと孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部１８ｎを容易に加工・形成することができる。この結果、更にダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０１１６】
さらに、ダイアフラム部１８ｎを含む圧力検出部材８１を圧力制御室８，１６ｃの一部を構成するオリフィス部材１６と積層させて配置させるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１１７】
圧力検出部材８１を、インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材で形成するため、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１１８】
分岐通路を燃料供給路１１ｂから圧力制御室８，１６ｃへの通路から分岐させるようにしているため、分岐通路を燃料供給路１１ｂに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１１９】
ダイアフラム部１８ｎが、少なくとも歪検出素子の厚さ分、圧力検出部材８１の表面から深い位置に配置されているため、圧力検出部材８１をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【０１２０】
インジェクタボデー内に配線通路を備えるため、結線の取り回しが簡単になる。また、電磁弁装置７（アクチュエータ）のコイル６１への信号を導入するターミナルピン５１ａと、圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）からの信号を出力するターミナルピン５１ｂとが、共通のコネクタ５０に一体的に形成されているため、外部との接続のための組み付け工程を一度に行うことができる。
【０１２１】
次に、主に圧力検出部８５に関する効果を説明する。
【０１２２】
インジェクタボデーとは別体形成された圧力検出部材８６内にダイアフラム部１８ｎと孔部又は溝部１８ａとを有するため、ダイアフラム部１８ｎを容易に加工・形成することができる。この結果、ダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。圧力検出部材８６は、ロアボデー１１とノズルボデー１２との間に積層配置されるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。さらに、ノズルボデー１２近傍の高圧燃料の圧力を検出できるため、実際に噴射されている燃料の圧力変化をタイムラグが少なく検出することができる。
【０１２３】
分岐通路をロアボデー１１とノズルボデー１２との間に積層配置された金属の圧力検出部材８６内に設けているため、分岐通路を燃料供給路１１ｂ、及び燃料送出路１２ｄに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。よって、自身の内部に圧力検出部８５が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１２４】
圧力検出部材８６のダイアフラム部１８ｎが、少なくとも歪検出素子の厚さ分、圧力検出部材８６の表面から深い位置に配置されているため、圧力検出部材８６をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【０１２５】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態について説明する。図７は本発明の第２の実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの部分断面図、図８は分岐通路の取り付け構造を説明する概略図である。図９は継手部の拡大断面図、図１０はダイアフラム部の部分断面図、図１１は圧力検出部の組み付け手順を示す断面図である。なお、本実施形態において、第１の実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１２６】
第２の実施形態は、ノズルボデー１２とロアボデー１１との間に挟持された圧力検出部８５の代わりに、継手部１１ｆに螺合固定された圧力検出部８７を備えたものである点で、第１の実施形態と異なる。
【０１２７】
インジェクタボデー１１の第１の継手部１１ｆには、燃料供給路１１ｂ（第１の流体通路）へ導く燃料導入路１１ｃ（第２の流体通路）が、インジェクタボデー１１の軸方向に対して所定方向に傾斜して形成されている。取り付け性の観点から、燃料導入路１１ｃは軸方向に対して、４５度〜６０度程度の傾斜をもって形成されていることが好ましい。そして、第１の継手部１１ｆは、燃料導入路１１ｃから分岐されてインジェクタボデー１１の軸方向と略平行方向に延出する分岐通路３１８ａを有する。つまり、本実施形態では、分岐通路３１８ａは、図８（ａ）に示すように、燃料導入路１１ｃを基準に見ると、高圧流体の流れ方向（図中の矢印）に対して、１２０度〜１３５度の折り返し角度を持って燃料導入路１１ｃに接続されている。なお、分岐通路３１８ａは、インジェクタボデー１１の軸方向と略平行方向に延出していることが好ましいが、上記折り返し角度が９０度以上になるように、分岐通路３１８ａの配置方向を変えても良い。
【０１２８】
噴射時と噴射直後において、インジェクタから噴射または排出された燃料分、コモンレール１０４から燃料導入路１１ｃへ燃料が供給される。燃料導入路１１ｃ内は高圧であるため、図８（ｂ）のように分岐通路３１８ａ’が燃料導入路１１ｃの流体流れ方向に対して９０度より小さな角度、つまり順方向に接続されている場合、燃料導入路１１ｃ内には新規燃料供給中も常に高圧力が印加されることとなり、噴射時と非噴射時の圧力差が小さくなる。しかしながら、折り返し角度を９０度以上とすることで、新規燃料供給中には燃料導入路１１ｃ内の高圧流体の移動によって、分岐通路３１８ａに充填された高圧燃料に対し、燃料導入路１１ｃとの分岐点（接続点）側に向かって吸引力が発生する。この場合、高圧燃料の圧力低下に対して更に吸引力がその圧力低下の変化方向と同方向に重畳される。このため、噴射時と非噴射時の圧力差を大きくすることができる。
【０１２９】
以下に、圧力検出部８７の構成を図９〜図１１を用いて説明する。図９は、本実施形態における圧力検出部８７を示す断面図である。図１０は、図９の点線で囲んだＡ部（センサチップと金属ステムの断面を含む）を拡大して示す斜視図である。
【０１３０】
ハウジング４１０は、上記分岐通路３１８ａに直接取り付けられるものであり、その外周面には該取付用のネジ４１１が形成されている。また、ハウジング４１０の内部には、圧力導入通路４１２が形成されており、この圧力導入通路４１２は、ハウジング４１０が上記燃料導入路１１ｃに取り付けられた状態で連通し、一端側（図９中の下方側）から圧力が導入されるようになっている。
【０１３１】
ここで、ハウジング４１０の材質としては、耐食性と高強度を合わせもつ炭素鋼（例えばＳ１５Ｃ等）に耐食性を上げるＺｎめっきを施したものや、耐食性を有するＸＭ７、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ６３０等を採用することができる。
【０１３２】
金属ステム４２０は中空段付円筒形状を成す金属からなり、一端側に薄肉状をなす圧力検出用のダイアフラム部１８ｎを有し、他端側にこのダイアフラム部１８ｎへ圧力を導くための圧力検出空間３１８ｂを有する。また、金属ステム４２０の外周面のうち軸方向の途中部位には、テーパ状に拡径した段部４２３が形成されており、この段部４２３を介して、金属ステム４２０の他端側（圧力検出空間３１８ｂ側）は、一端側（ダイアフラム部１８ｎ側）に比べて外周径が大きくなっている。
【０１３３】
ここで、上記ハウジング４１０の圧力導入通路４１２は、金属ステム４２０の外形に対応した形状を有する段付内孔であり、その一端側（圧力導入側）の内径が大径部となっている。そして、圧力導入通路４１２の内面には、金属ステム４２０の段部４２３に対応したテーパ形状の座面４１３が形成されている。
【０１３４】
また、金属ステム４２０の大径部の外周面には、雄ネジ部４２４が形成されており、一方、ハウジング４１０の圧力導入通路４１２の内周面には、雄ネジ部４２４と対応した雌ネジ部４１４が形成されている。そして、金属ステム４２０は、その他端側（圧力検出空間３１８ｂ側）が圧力導入通路４１２の一端側に位置するように圧力導入通路４１２内に挿入され、雄ネジ部４２４と雌ネジ部４１４とがネジ結合することによって、金属ステム４２０はハウジング４１０に固定されている。
【０１３５】
ここで、上記ネジ結合の軸力により、金属ステム４２０の外周面における段部４２３が、ハウジング４１０の圧力導入通路４１２の内面に形成された座面４１３に対して、金属ステム４２０の他端側から一端側へ向かって押し付けられシールされている。こうして、金属ステム４２０の圧力検出空間３１８ｂが圧力導入通路４１２と連通した状態となり、互いに密着する段部４２３と座面４１３とがシール部Ｋを形成することにより、該圧力検出空間３１８ｂと圧力導入通路４１２の連通部のシール性が確保されている。
【０１３６】
また、金属ステム４２０のダイアフラム部１８ｎの外面には、図１０に示す様に、単結晶Ｓｉ（シリコン）からなる圧力センサチップ１８ｆが、低融点ガラス４４０により接合されている。この圧力センサチップ１８ｆは、圧力検出空間３１８ｂから金属ステム４２０内部に導入された圧力をダイアフラム部１８ｎへ導き、当該圧力によってダイアフラム部１８ｎが変形したときに発生する歪みを検出する歪みゲージとして機能するものである。
【０１３７】
金属ステム４２０の材料には、超高圧を受けることから高強度であること、及び、Ｓｉからなる圧力センサチップ１８ｆをガラス４４０により接合するため低熱膨張係数であること、が求められ、具体的には、Ｆｅ、Ｎｉ、ＣｏまたはＦｅ、Ｎｉを主体とし、析出強化材料としてＴｉ、Ｎｂ、Ａｌまたは、Ｔｉ、Ｎｂが加えられた材料を選定し、プレス、切削や冷間鍛造等により形成できる。
【０１３８】
また、ハウジング４１０における圧力導入通路４１２の他端側からは、金属ステム４２０のダイアフラム部１８ｎが突出しており、このダイアフラム部１８ｎの外周には、セラミック基板４５０がハウジング４１０に接着等により配設されている。該基板４５０には、圧力センサチップ１８ｆの出力を増幅するアンプＩＣチップ１８ｄ及び特性調整ＩＣチップ１８ｄが接着剤にて固定されている。この特性調整ＩＣチップ１８ｄ内には、圧力検出感度データだけでなく、インジェクタの噴射特性データも記憶された不揮発性メモリが含まれている。
【０１３９】
これらＩＣチップ１８ｄは、ワイヤボンディングにより形成されたアルミニウムの細線４５４によって、セラミック基板４５０の導体（配線部）と接続されている。また、ターミナルピン５１ｂへ電気的接続するためのピン５１ｂ１が銀ろうにてセラミック基板４５０の上記導体と接合されている。
【０１４０】
ピン５１ｂ１が樹脂４６４にインサート成形により構成されたアッシーであるコネクタターミナル４６０とセラミック基板４５０とは、ピン５１ｂ１とピン４５６とのレーザ溶接により接合されている。また、ピン５１ｂ１は、コネクタ５０とハウジング４１０との間に固定保持される。また、ピン５１ｂ１はコネクタ５０のターミナルピン５１ｂに接続され、インジェクタ用のターミナルピン５１ａとともに、１つのハーネス（配線部材）により自動車のＥＣＵ等へ電気的に接続可能となっている。
【０１４１】
コネクタホルダ４７０は、ターミナルピン５１ｂの外形を成すもので、Ｏリング４８０を介して組付けられたハウジング４１０と一体化してパッケージを構成し、該パッケージ内部の圧力センサチップ１８ｆ、各種ＩＣ、電気的接続部を湿気・機械的外力より保護するものである。コネクタホルダ４７０の材質は、加水分解性の高いＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等を採用できる。
【０１４２】
なお、圧力検出部８０からの出力信号と圧力検出部８７からの出力信号を共に出力するため、図７に示すコネクタ５０のターミナルピン５１ｂは、圧力検出部８０用のターミナルピンと圧力検出部８７用のターミナルピンからなる。
【０１４３】
かかる構成を有する圧力検出部８７の組付方法について、図１１を参照して述べる。図１１は、上記図９に対応した断面にて、組付前の各部品の分解状態を示す図であり、基本的には、各部品が図１１中の一点鎖線に沿って組み付けられるようになっている。
【０１４４】
まず、圧力センサチップ１８ｆがガラス４４０で接合されている状態の金属ステム４２０を、その一端側（ダイアフラム部１８ｎ側）から、ハウジング４１０の圧力導入通路４１２の一端側（圧力導入側）へ挿入する。そして、金属ステム４２０を軸回りに回転させながら挿入していき、雄ネジ部４２４と雌ネジ部４１４とをネジ結合させる。
【０１４５】
こうして、ネジ結合の軸力により、金属ステム４２０の段部４２３とハウジング４１０の座面４１３とが密着してシールされ、金属ステム４２０の圧力検出空間３１８ｂとハウジング４１０の圧力導入通路４１２との連通部のシール性が確保される。
【０１４６】
次に、チップ１８ｄ及びピン４５６が搭載されたセラミック基板４５０を、接着剤等にて、ハウジング４１０における圧力導入通路４１２の他端側の部位に固定する。そして、ワイヤボンディングを行うことにより、圧力センサチップ１８ｆとセラミック基板４５０の導体（配線部）とを上記細線４５４にて電気的に接続する。
【０１４７】
次に、ターミナルピン５１ｂ１とピン４５６とをレーザ溶接（ＹＡＧレーザ溶接等）にて接合する。次に、Ｏリング４８０を介して、コネクタホルダ４７０をハウジング４１０に組み付け、ハウジング４１０の端部をかしめることにより、コネクタホルダ４７０とハウジング４１０とを固定する。こうして、上記図９に示す圧力検出部８７が完成する。
【０１４８】
かかる圧力検出部８７は、ハウジング４１０のネジ４１１をインジェクタボデーの継手部１１ｆに形成された雌ネジ部に直接螺号によって取り付けられる。そして、分岐通路３１８ａ内の燃料圧（圧力媒体）が、圧力導入通路４１２の一端側から導入され、金属ステム４２０の圧力検出空間３１８ｂから金属ステム４２０の内部（圧力検出空間３１８ｂ）へ導かれたときに、その圧力によってダイアフラム部１８ｎが変形する。
【０１４９】
このダイアフラム部１８ｎの変形を圧力センサチップ１８ｆにより電気信号に変換し、この信号をセンサの処理回路部を構成するセラミック基板４５０等にて処理し、圧力検出を行う。そして、検出された圧力（燃料圧）に基づいて、上記ＥＣＵ等により燃料噴射制御がなされる。
【０１５０】
上記構成の本実施形態によれば、第１の実施形態と同様に、以下の効果を奏する。
【０１５１】
薄肉部からなるダイアフラム部１８ｎを、燃料導入路１１ｃから分岐された分岐通路に設けるため、燃料通路近傍のインジェクタ外壁に直接ダイアフラム部１８ｎを設けることに比べて、ダイアフラム部１８ｎの形成が容易になる。また、この結果、ダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０１５２】
ダイアフラム部１８ｎは、分岐通路を構成する部分の中で、通路肉厚が最も薄く構成されている部分であるため、圧力変動に伴うダイアフラムの変位を大きくすることができる。
【０１５３】
インジェクタボデー１１とは別体形成された圧力検出部８７を用いており、その中にダイアフラム部１８ｎと孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部１８ｎを容易に加工・形成することができる。この結果、更にダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０１５４】
コイル６１への信号を導入するターミナルピン５１ａと、圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）からの信号を出力するターミナルピン５１ｂとが、共通のコネクタ５０に一体的に形成されているため、外部との接続のための組み付け工程を一度に行うことができる。
【０１５５】
更に、本実施形態では、継手部１１ｆの外壁から燃料導入路１１ｃに到達するとともに、圧力検出部８７のハウジングと対応した結合手段（本実施形態の場合は、ハウジング側の雄ネジ部と継手部１１ｆ側の雌ネジ部からなる螺着手段）を有するため、圧力検出部８７を容易にインジェクタ３２へ取り付けることができる。また、螺着手段であるため、圧力検出部８７を容易に交換することもできる。
【０１５６】
分岐通路３１８ａは、図８（ａ）に示すように、燃料導入路１１ｃを基準に見ると、高圧流体の流れ方向（図中の矢印）に対して、１２０度〜１３５度の折り返し角度を持って燃料導入路１１ｃに接続されている。これにより、新規燃料供給中には燃料導入路１１ｃ内の高圧流体の移動によって、分岐通路３１８ａ’に充填された高圧燃料に対し、分岐通路３１８ａ内の高圧流体に流体通路との分岐点側に向かって吸引力が発生する。この場合、高圧燃料の圧力低下に対して更に吸引力がその圧力低下の変化方向と同方向に重畳される。このため、噴射時と非噴射時の圧力差を大きくすることができる。
【０１５７】
分岐通路３１８ａが、インジェクタボデー１１の軸方向と略平行方向に延出しているため、圧力検出部８７が、インジェクタボデー１１の径方向において継手部１１ｆ以上に突出することを防止できる。つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１５８】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態について説明する。図１２（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ），（ｄ）は圧力検出部材８１Ｃの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第１及び第２の実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１５９】
第３の実施形態は、第１の実施形態で用いた圧力検出部材８１において、更に、図１２（ｃ），（ｄ）で示すように、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８０（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。その他の構成・機能・効果は、図１２（ａ），（ｂ）に示す本実施形態のオリフィス部材１６も含め、第１の実施形態と同様である。
【０１６０】
圧力検出部材８１Ｃは、検出部連通路１８ｈに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部によりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部によりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０１６１】
ここで、２つの溝部１８ａは、図１２（ｄ）に示すように、検出部連通路１８ｈに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。更に、図示しないが、２つの溝部１８ａの長さと深さは、夫々略同一であることが好ましい。これにより２つの圧力センサ１８ｆからの信号の同一性を向上することができる。しかしながら、２つの溝部１８ａは、検出部連通路１８ｈに対して夫々同一側に配置されても良い（図示せず）。この場合、２つの圧力センサ１８ｆからの配線を圧力検出部材８１の同一側面から導出することができ、配線の取り回しを容易にできる。
【０１６２】
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態について説明する。図１３（ａ）〜（ｃ）は本実施形態の圧力検出部材８６Ａの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第１〜第３の実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１６３】
第４の実施形態は、第１の実施形態で用いた圧力検出部材８６において、更に、図１３（ａ）〜（ｃ）で示すように、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８５（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。その他の構成・機能・効果は、第１の実施形態と同様である。
【０１６４】
圧力検出部材８６Ａは、検出部連通路１８ｈに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０１６５】
２つの溝部１８ａは、図１３（ａ）に示すように、検出部連通路１８ｈに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。更に、第３の実施形態同様、２つの溝部１８ａの長さと深さは、夫々略同一であることが好ましい。これにより２つの圧力センサ１８ｆからの信号の同一性を向上することができる。
【０１６６】
圧力検出部材８６Ａのうちの圧力センサ１８ｆが配置される側の２つの空間は連結溝１８ｌにより連結されている。このため、連結溝１８ｌを通して圧力センサ１８ｆからの電気配線の取り回しを容易にできる。
【０１６７】
（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態について説明する。図１４（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ），（ｄ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第１〜第４の実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１６８】
第５の実施形態は、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８０（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。また、圧力検出部８０として、第１の実施形態で用いた圧力検出部材８１の代わりに、図１４（ｃ），（ｄ）で示すような圧力検出部材８１Ｄを用いたものであり、その他の構成・機能・効果は、同図（ａ），（ｂ）に示す本実施形態のオリフィス部材１６も含め、第１の実施形態と同様である。
【０１６９】
図１４（ｃ），（ｄ）に示すように、本実施形態の圧力検出部材８１Ｄは、インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体的に（別々に）形成された圧力検出部材８１Ｄからなる。圧力検出部材８１Ｄは、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第２部材）で構成され、ロアボデー１１内において、オリフィス部材１６と直接又は間接的に積層されて、ロアボデー１１及びノズルボデー１２に対して一体的に保持されている。
【０１７０】
本実施形態では、圧力検出部材８１Ｄは平坦面８２を有し、オリフィス部材１６の噴孔側の平坦面１６２と、面同士で液密に直接積層されている。圧力検出部材８１Ｄとオリフィス部材１６は、略同一の外形を有し、両者を重ね合わせた際に、オリフィス部材１６の入口部１６ｈ、貫通穴１６ｐ、圧力制御室１６ｃの位置が、圧力検出部材８１の検出部連通路１８ｈ、貫通穴１８ｐ、圧力制御室１８ｃの位置に夫々一致するように形成されている。また、検出部連通路１８ｈの反オリフィス部材側は、燃料供給路１１ｂから分岐した分岐燃料供給路１１ｇに対応した位置に開口している。これにより、圧力検出部材８１の貫通孔１８ｈは、燃料供給路１１ｂから圧力制御室１６ｃ、１８ｃへの通路の一部を構成している。
【０１７１】
圧力検出部材８１Ｄは、更に、オリフィス部材１６側から所定深さと内径を有する溝からなる圧力検出空間１８ｂを備え、その溝底部がダイアフラム部１８ｎを構成している。ダイアフラム部１８ｎの、圧力検出空間１８ｂとは反対側の表面には、図４で示したような半導体式の圧力センサ１８ｆが一体的に貼り合され、接合されている。
【０１７２】
ダイアフラム部１８ｎは、圧力検出空間１８ｂの反対側表面から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置しており、圧力センサ１８ｆが接合される側の表面は、圧力検出空間１８ｂよりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部１８ｎの厚さが制御される。圧力検出部材８１Ｄの平坦面８２には、圧力検出部材８１Ｄ内の圧力制御室１８ｃと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａ（分岐通路）が、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。
【０１７３】
溝部１８ａは圧力検出部材８１Ｄがオリフィス部材１６と液密に面接触することで、オリフィス部材１６の平坦面１６２を壁の一部とする合成通路（分岐通路）を形成する。これにより、溝部１８ａ（分岐通路）は、貫通孔１８ｈとは異なる位置にて、圧力制御室１６ｃ，１８ｃに対して一部が接続され、他部がダイアフラム部１８ｎに接続されている。これにより、ダイアフラム部１８ｎは圧力検出空間１８ｂに導入された高圧燃料の作用する圧力により歪むことが可能となる。
【０１７４】
なお、圧力検出部材８１Ｄは、圧力制御室１８ｃに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０１７５】
２つの溝部１８ａは、圧力制御室１８ｃに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。なお、２つの溝部１８ａは、圧力制御室１８ｃに対して夫々同一側に配置されても良い（図示せず）。これにより、２つの圧力センサ１８ｆからの配線を圧力検出部材８１Ｄの同一側面から導出することができ、配線の取り回しを容易にできる。
【０１７６】
ここで、ダイアフラム部１８ｎは、溝部１８ａとオリフィス部材１６との間で形成される合成通路と圧力検出空間１８ｂを含めた分岐通路のうちで、その通路肉厚が最も薄く構成されている。合成通路の通路肉厚は合成通路の内壁から見た圧力検出部材８１Ｄ及びオリフィス部材１６の厚さを言う。
【０１７７】
上記構成の本実施形態では、オリフィス部材１６内に形成された空間１６ｃと圧力検出部材８１Ｄ内に形成された空間１８ｃとで圧力制御室１６ｃ、１８ｃが形成される。動作時においては、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内部に高圧燃料の一部が供給され、充填されることで圧力制御室１６ｃ、１８ｃにノズルニードル２０を閉弁方向に付勢する力が生じ、噴孔１２ｂが閉弁される。これにより噴射が停止状態となる。一方、圧力制御室１６ｃ、１８ｃに充填された高圧燃料を排出することで、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内部に生じている力が低下し、ノズルニードルが開弁する。これにより噴孔からの噴射が開始される。つまり、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内部に発生している内部圧力の変化のタイミングは、噴孔からの噴射タイミングと略一致していると言える。
【０１７８】
従って、本実施形態においては、圧力制御室１６ｃ、１８ｃに溝部１８ａを介してダイアフラム部１８ｎを間接的に接続し、そのダイアフラム部１８ｎの変位を圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）により検出しているため、実際に噴孔１２ｂから噴射するタイミングも精度良く検出することができる。例えば、コモンレールシステムにおいて、各インジェクタから実際に噴射されている噴射量を検出したい場合、インジェクタボデー内の高圧燃料の圧力変化とその変化タイミングを計算することが考えられる。この場合においても、本実施形態においては、圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内部の圧力変化を検出しているため、その圧力変化量（圧力の絶対値、又は圧力の変動量）だけでなく、その変化タイミングも精度良く（タイムラグが少なく）検出することができる。
【０１７９】
圧力検出部材８１Ｄは、第１の実施形態のようなＦｉ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金であるコバール等により構成されていても良いが、本実施形態では、金属ガラスを用いて構成されている。金属ガラスは、結晶構造を持たないガラス状のアモルファス金属材料であり、低ヤング率であるため、圧力検出の感度を向上させることができる。例えば、Ｆｅ系：｛Ｆｅ−（Ａｌ、Ｇａ）−（Ｐ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ）｝や、Ｎｉ系：｛Ｎｉ−（Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ）−Ｂ｝やＴｉ系：｛Ｔｉ−Ｚｒ−Ｎｉ−Ｃｕ｝やＺｒ系：Ｚｒ−Ａｌ−ＴＭ（ＴＭ：ＶＩ〜ＶＩＩＩ族遷移金属）の金属ガラスを用いることができる。
【０１８０】
その一方で、オリフィス部材１６は、高流速の高圧燃料を内部で流通させ、また弁部材４１との接触を繰り返すため、硬度が高い方が好ましい。つまり、圧力検出部材８１Ｄを構成する材料よりもオリフィス部材１６を構成する材料の硬度が高いことが好ましい。
【０１８１】
本実施形態では、溝部１８ａ（分岐通路）は圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内壁のうち、インオリフィス１６ｂとアウトオリフィス１６ａとは異なる（離間した）位置に形成されている。つまり、インオリフィス１６ｂからアウトオリフィス１６ａへの高圧燃料の流れ経路とは異なる位置である圧力検出部材８１Ｄ側に形成されている。インオリフィス１６ｂ及びアウトオリフィス１６ａの内部及びその開口部付近は、高圧燃料の流れが速いため、圧力の変化が定常的になるまでにタイムラグが生じる。しかしながら、上記構成を採ることにより、圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができる。
【０１８２】
なお、図示しないが、図３（ｅ）に示した変形例同様、図１４（ｃ）の溝部１８ａに代えて、圧力検出部材８１Ｄの圧力制御室１８ｃから圧力検出空間１８ｂに連結するように傾斜して設けられた孔部としても良い。
【０１８３】
上記構成の実施形態によれば、自身の内部に圧力検出部を配置することが可能となった。そして、上記に加え、第１の実施形態同様、以下の効果を奏する。
【０１８４】
薄肉部からなるダイアフラム部１８ｎを、燃料供給路１１ｂから分岐された分岐通路に設けるため、燃料通路近傍のインジェクタ外壁に直接ダイアフラム部１８ｎを設けることに比べて、ダイアフラム部１８ｎの形成が容易になる。また、この結果、ダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になるために厚さバラツキを防止でき、圧力検出精度を向上することができる。
【０１８５】
ダイアフラム部１８ｎは、分岐通路を構成する部分の中で、通路肉厚が最も薄く構成されている部分であるため、圧力変動に伴うダイアフラムの変位を大きくすることができる。
【０１８６】
インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体形成された圧力検出部材８１Ｄ内にダイアフラム部１８ｎと孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部１８ｎを容易に加工・形成することができる。この結果、更にダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０１８７】
さらに、ダイアフラム部１８ｎを含む圧力検出部材８１Ｄを圧力制御室１６ｃ、１８ｃの一部を構成するオリフィス部材１６と積層させて配置させるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１８８】
圧力検出部材８１Ｄを、インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材で形成するため、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１８９】
分岐通路を燃料供給路１１ｂから圧力制御室１６ｃ、１８ｃへの通路から分岐させるようにしているため、分岐通路を燃料供給路１１ｂに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部８０が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１９０】
ダイアフラム部１８ｎが、少なくとも歪検出素子の厚さ分、圧力検出部材８１Ｄの表面から深い位置に配置されているため、圧力検出部材８１Ｄをインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【０１９１】
インジェクタボデー内に配線通路を備えるため、結線の取り回しが簡単になる。また、電磁弁装置７（アクチュエータ）のコイル６１への信号を導入するターミナルピン５１ａと、圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）からの信号を出力するターミナルピン５１ｂとが、共通のコネクタ５０に一体的に形成されているため、外部との接続のための組み付け工程を一度に行うことができる。
【０１９２】
また、本実施形態では、溝部１８ａがオリフィス部材１６の平坦面１６２との間で通路を形成したが、圧力検出部材８１Ｄを上下反対に配置しても良い。この場合、溝部１８ａとロアボデー１１の平坦面（図示せず）との間で通路が形成され、第１及び第２の圧力センサ１８ｆが、オリフィス部材１６側に配置される。
【０１９３】
（第６の実施形態）
本発明の第６の実施形態について説明する。図１５（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第１〜第５の実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１９４】
第６の実施形態は、図１５（ａ），（ｂ）で示すように、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８０（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。また、前述の第１〜第５実施形態では、高圧燃料の圧力を検出するための圧力検出部８０，８５，８７が、オリフィス部材１６とは別個の圧力検出部材８１，８６に設けられていた。それに対して、本実施形態においては、圧力検出部８０として機能する構成をオリフィス部材１６Ｃに組み込んだものである。
【０１９５】
以下、本実施形態におけるオリフィス部材１６Ｃの具体的な構成を、図面を参照しつつ説明する。図１５（ａ），（ｂ）に示すように、本実施形態によるオリフィス部材１６Ｃは，インジェクタ２の軸方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材から構成されている。このオリフィス部材１６Ｃは、インジェクタボデーを構成するロアボデー１１及びノズルボデー１２とは別体的に形成され、その形成後、ロアボデー１１に組み付けられて一体的に保持される。
【０１９６】
オリフィス部材１６Ｃには、第１実施形態におけるオリフィス部材１６と同様に、平坦面１６２に開口して燃料を導入する入口部１６ｈ、インオリフィス１６ｂ、アウトオリフィス１６ａ、圧力制御室１６ｃ、弁座１６ｄ、及び燃料リーク溝１６ｒ等が形成されている。それらの機能は、第１実施形態におけるオリフィス部材１６の該当する構成と同様である。
【０１９７】
ただし、本実施形態では、オリフィス部材１６Ｃが、オリフィス部材１６Ｃの反弁体部４１側の平坦面１６２に形成された溝部又は孔部からなる圧力検出空間１８ｂと、同様に平坦面１６２に形成されて、圧力検出空間１８ｂと圧力制御室１６ｃとを接続する溝部１８ａとを備える。
【０１９８】
また、オリフィス部材１６Ｃのバルブボデー側端面１６１における、圧力検出空間１８ｂの形成位置に対応する位置に、半導体式の圧力センサ１８ｆを設置するための窪み部１８ｇが形成されている。従って、本実施形態では、オリフィス部材１６Ｃの、圧力検出空間１８ｂと圧力センサ１８ｆを設置するための窪み部１８ｇとによって挟まれた部分が、高圧燃料によって歪むダイアフラム部１８ｎとなる。なお、図１５（ａ）などに示すように、バルブボデー１７の内部に、圧力センサ１８ｆからの信号線である電気配線をコネクタ５０まで導出するための配線通路が形成されており、その配線通路の開口部が圧力センサ１８ｆが配置された窪み部１８ｇに対応した位置に開口している。
【０１９９】
ダイアフラム部１８ｎの圧力検出空間１８ｂとは反対側表面（すなわち、窪み部１８ｇの底面）は、オリフィス部材１６Ｃのバルブボデー側端面１６１から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置し、圧力検出空間１８ｂ側の表面よりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部１８ｎの厚さが制御される。
【０２００】
オリフィス部材１６Ｃの反弁体部４１側の平坦面１６２には、上述したように、圧力制御室１６ｃと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａが、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。本実施形態におけるオリフィス部材１６Ｃは、圧力検出部材ではなく、ロアボデー１１と面接触される。その面接触時に、溝部１８ａは、ロアボデー１１の上端面を一部とする合成通路（分岐通路）を形成する。これにより、溝部１８ａ（分岐通路）を介して、圧力制御室１６ｃ内に導入された高圧燃料が、圧力検出空間１８ｂにも流入することができるようになる。
【０２０１】
なお、オリフィス部材１６Ｃがロアボデー１１に重ね合わせられた際、オリフィス部材１６Ｃの入口部１６ｈ、貫通穴１６ｐ、及び圧力制御室１６ｃの位置が、ロアボデー１１の燃料供給路１１ｂから分岐した分岐燃料供給路１１ｇ、有底孔（図示せず）、及び圧力制御室８の位置に夫々一致する。これにより、オリフィス部材１６Ｃの入口部１６ｈ及びインオリフィス１６ｂは、燃料供給路１１ｂから圧力制御室１６ｃへの通路の一部を構成する。
【０２０２】
上述した構成を採用することにより、本実施形態では、オリフィス部材１６Ｃが圧力検出部として機能する構成を兼ね備えているので、圧力検出部材を別個に設ける必要がなくなる。
【０２０３】
また、本実施形態でも、溝部１８ａ（分岐通路）は圧力制御室１６ｃの内壁のうち、インオリフィス１６ｂとアウトオリフィス１６ａから離間した位置に形成されている。このため、圧力センサ１８ｆにより、圧力制御室１６ｃ内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができる。
【０２０４】
なお、オリフィス部材１６Ｃは、圧力制御室１６ｃに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０２０５】
２つの溝部１８ａは、図１５（ｂ）に示すように、圧力制御室１６ｃに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。なお、２つの溝部１８ａは、圧力制御室１６ｃに対して夫々同一側に配置されても良い（図示せず）。この場合、２つの圧力センサからの配線をオリフィス部材１６Ｃの同一側面から導出することができ、配線の取り回しを容易にできる。
【０２０６】
また、本実施形態でも、溝部１８ａに代えて、図１５（ｃ）に示すように、圧力制御室１６ｃから圧力検出空間１８ｂに連結するように傾斜して設けられた孔部１８ａ’としても良い。
【０２０７】
（第７の実施形態）
本発明の第７の実施形態について説明する。図１６（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁（オリフィス部材）１６Ｄの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第１〜第６の実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２０８】
本実施形態によるオリフィス部材１６Ｄは、上述したオリフィス部材１６Ｃと同様に、圧力検出部８０として機能する構成を組み込むように構成されている。このため、本実施形態においても、独立した圧力検出部材は設けられず、オリフィス部材１６Ｄのみが、ロアボデー１１に組み付けられる。
【０２０９】
ただし、第６実施形態によるオリフィス部材１６Ｃと、本実施形態によるオリフィス部材１６Ｄとでは、圧力検出空間１８ｂの形成位置が相違する。その他の構成は、第６実施形態によるオリフィス部材１６Ｃと同じであるため、以下、その相違点について説明する。
【０２１０】
図１６（ａ），（ｂ）に示すように、本実施形態によるオリフィス部材１６Ｄでは，圧力検出空間１８ｂが、平坦面１６２に開口して燃料を導入する入口部１６ｈからインオリフィス１６ｂを介して圧力制御室１６ｃに向かう流体通路から分岐するように形成されている。このように、圧力検出空間１８ｂには、上述した第６実施形態のように、一旦、圧力制御室１６ｃに導入された高圧燃料を分岐通路を介して導入する他に、本実施形態のように、圧力制御室１６ｃに導入される前の高圧燃料を、圧力検出空間１８ｂを分岐通路として、当該圧力検出空間１８ｂに導入するようにしても良い。いずれの場合であっても、分岐通路として、入口部１６ｈから圧力制御室１６ｃまでの流体通路に接続するための、あるいは圧力制御室１６ｃに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、オリフィス部材１６Ｄの内部に圧力検出部が設けられるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。その他の作用効果は、第６実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【０２１１】
また、本実施形態のオリフィス部材１６Ｄでは、圧力制御室１６ｃと溝部１８ａを介して接続された第１の圧力検出空間１８ｂと、燃料を導入する入口部１６ｈからインオリフィス１６ｂを介して圧力制御室１６ｃに向かう流体通路から分岐するように形成された第２の圧力検出空間１８ｂとが形成されている。さらに、第１及び第２の圧力検出空間１８ｂに対応して、それぞれ、第１及び第２のダイアフラム部１８ｎと、第１及び第２の圧力センサ１８ｆとが設けられている。
【０２１２】
本実施形態では、第１の圧力検出空間１８ｂと第２の圧力検出空間１８ｂとの間に、分岐通路よりも小径のインオリフィス１６ｂを有している。これにより、第１の圧力検出空間１８ｂと第２の圧力検出空間１８ｂとで圧力変動タイミングをずらすことができる。  以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。
【０２１３】
例えば、第１の実施形態では、電磁弁駆動のインジェクタにて本願発明を説明したが、ピエゾアクチュエータを用いたインジェクタに対して、第１の実施形態の圧力検出部８０，８５や、第２の実施形態における継手部１１ｆに圧力検出部８７を備える構成を適用しても良い。
【０２１４】
また、各実施形態において説明したように、複数の圧力検出部８０，８５，８７を同時に用いる場合には、第１の圧力検出部が、第２の圧力検出部よりも、高圧燃料の圧力変化に対する出力信号変化が大きくなるように設定されるようにしても良い。これにより、内部の圧力変化に対して、感度の異なる２系統の出力信号を出力できる。このような構成は、第３実施形態〜第７実施形態のように、第１及び第２の圧力検出部が実質的に同じ圧力を検出する場合に特にメリットがある。
【０２１５】
具体的には、第１の圧力検出部を構成する第１のダイアフラム部が、第２の圧力検出部を構成する第２のダイアフラム部よりも大径の略円形ダイアフラムを有するように構成する。これにより、第１の圧力検出部と第２の圧力検出部との感度を異ならせることができる。その他に、例えば、第１の圧力検出部を構成する第１のダイアフラム部が、第２の圧力検出部を構成する第２のダイアフラム部よりも肉薄の略円形ダイアフラムを有するように構成しても良い。このような構成によっても、第１の圧力検出部と第２の圧力検出部との感度を異ならせることができる。
【０２１６】
また、上述した圧力検出部８０，８５，８７を複数用いるにあたり、使用方法にもよるが、一例としては、各圧力センサ１８ｆの信頼性を相互に保証するために冗長的に使用することができる。また、他の例としては、各センサの信号を利用して、更に細かい噴射量制御をすることが可能となる。つまり、燃料噴射直後、燃料供給路１１ｂの圧力は、微視的には噴孔１２ｂ側から低下して、流体導入部２１に向かってその圧力低下による脈動が伝播する。そして、燃料噴射後に閉弁した直後、やはり噴孔１２ｂ側から燃料圧力が上昇して、流体導入部２１に向かってその圧力上昇による脈動が伝播する。このように、燃料供給路１１ｂの燃料導入部２１から見た上流側と下流側との間の圧力変化の時間差を利用して、更に細かい噴射量制御をすることが可能となる。
【０２１７】
上記各実施形態では、圧力検出手段を２個も配置した例で説明したが、圧力検出手段を３個以上配置するようにしても良い。例えば、図２、図７の実施形態における圧力検出部８０に代えて図１２又は図１４の圧力検出部８０を配置したり、図２の実施形態の圧力検出部８５に代えて図１３の圧力検出部８５を配置したりすることで、３個の圧力センサをインジェクタ内に配置することができる。更に、図１２又は図１４の圧力検出部８０と図１３の圧力検出部８５を併せもつことで、４個の圧力センサを備えることができる。
【図面の簡単な説明】
【０２１８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタをコモンレースシステムに取り付けた構成の概略図である。
【図２】第１の実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの断面図である。
【図３】（ａ）は第１の実施形態に係るオリフィス部材の断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は同実施形態に係る圧力検出部材の断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図、（ｅ）は（ｃ）の変形例に係る圧力検出部材の断面図である。
【図４】（ａ）は第１の実施形態に係る圧力検出部材のダイアフラム部付近の拡大平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図５】（ａ）は第１の実施形態に係る圧力センサの製造方法を示す断面図である。
【図６】（ａ）は第１の実施形態に係る圧力検出部材の平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図７】第２の実施形態に係るインジェクタを示す断面図である。
【図８】（ａ）は第２の実施形態に係る分岐通路の取り付け構造を説明する概略図、（ｂ）は比較例を示す概略図である。
【図９】第２の実施形態に係る継手部の拡大断面図である。
【図１０】第２の実施形態に係るダイアフラム部の部分断面図である。
【図１１】第２の実施形態に係る圧力検出部の組み付け手順を示す断面図である。
【図１２】（ａ）は第３実施形態のオリフィス部材の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図である。
【図１３】（ａ）は第４実施形態の圧力検出部材の要部を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１４】（ａ）は第５実施形態のオリフィス部材の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図である。
【図１５】（ａ）は第６の実施形態に係るオリフィス部材（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は（ａ）の変形例に係るオリフィス部材の断面図である。
【図１６】（ａ）は第７の実施形態に係るオリフィス部材（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図である。
【符号の説明】
【０２１９】
１１…ロアボデー、１１ｂ…燃料供給路（第１の流体通路）、１１ｃ…燃料導入路（第２の流体通路）、１１ｄ…収容孔、１１ｆ…継手部（インレット部）、１１ｇ…分岐燃料供給路、１２…ノズルボデー、１２ａ…弁座、１２ｂ…噴孔、１２ｃ…高圧室（燃料溜り室）、１２ｄ…燃料送出路、１２ｅ…収容孔、１３…バーフィルタ、１４…リテーニングナット（リテーナ）、１６…オリフィス部材、１６１…バルブボデー側端面、１６２…平坦面、１６ａ…連通路（出口側絞り部、アウトオリフィス）、１６ｂ…連通路（入口側絞り部、インオリフィス）、１６ｃ…連通路（圧力制御室）、１６ｄ…弁座、１６ｅ…燃料逃がし通路、１６ｇ…ガイド孔、１６ｈ…入口部、１６ｋ…隙間、１６ｐ…貫通孔、１６ｒ…燃料リーク溝、１７…バルブボデー、１７ａ、１７ｂ…貫通孔、１７ｃ…弁室、１７ｄ…低圧通路（導通路）、１８ａ…溝部（分岐通路）、１８ｂ…圧力検出空間、１８ｃ…連通路（圧力制御室）、１８ｄ…処理基板、１８ｅ…電気配線、１８ｆ…圧力センサ、１８ｇ…ロアボデー、１８ｈ…検出部連通路、１８ｋ…ガラス層、１８ｍ…ゲージ、１８ｎ…ダイアフラム部、１８ｐ…貫通穴、１８ｑ…他面、１８ｒ…単結晶半導体チップ、１８ｓ…貫通穴、１８ｔ…位置決め部材、１９ｃ…配線・パッド、１９ｄ…酸化膜、１０２…燃料タンク、１０３…高圧燃料ポンプ、１０４…コモンレール、１０５…高圧燃料通路、１０６…低圧燃料通路、１０７…電子制御装置（ＥＣＵ）、１０８…燃圧センサ、１０９…クランク角センサ、１１０…アクセルセンサ、２…インジェクタ、２０…ノズルニードル、２１…流体導入部、２２…インジェクタ、３０…制御ピストン、３０ｃ…ニードル部、３０ｐ…端部外壁、３１…環状部材、３２…インジェクタ、３５…スプリング、３７…燃料通路、４１…弁部材、４１ａ…球面部、４２…バルブアーマチャ、５０…コネクタ、５１ａ、５１ｂ…ターミナルピン、５２…ボデーアッパー、５３…上部ハウジング、５４…中間ハウジング、５９…付勢部材（バネ部材）、６１…コイル、６２…スプール、６３…固定コア、６４…ストッパ、７…電磁弁装置、８…背圧室（圧力制御室）、８０、８５、８７…圧力検出部、８１、８６…圧力検出部材、８２…平坦面、９２…位置決め部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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