(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する左右一対の板バネを含む荷重曲げ部と、前記一対の板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部であって、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接するように前記ディスク面に近接する方向へ突出されたディンプルが形成された本体部と、前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプル間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に前記支持部の先端エッジから０．２２×Ｌ１以内の基端領域よりサスペンション長手方向先端側の領域には少なくとも存在するように前記本体部のサスペンション幅方向両端から前記ディスク面とは反対側へ折り曲げられた左右一対のフランジ部とを有し、
前記ロードビーム部は前記支持部の先端エッジから０．４×Ｌ１以上で且つ０．６×Ｌ１以下の中央領域においてサスペンション幅方向に沿った第１曲げ線並びに前記第１曲げ線よりサスペンション長手方向基端側においてサスペンション幅方向に沿った第２曲げ線の２つの曲げ線回りに曲げられており、
前記一対の板バネは前記支持部に連結される基端エッジ及び前記ロードビーム部に連結される先端エッジの間においてサスペンション幅方向に沿った第３曲げ線回りに曲げられており、
前記第２曲げ線は前記ロードビーム部の前記基端領域内に位置されており、前記第２曲げ線が位置する部分には前記一対のフランジ部が存在しないことを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記ロードビーム部は、前記基端領域には前記一対のフランジ部を有さないことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記ロードビーム部は、前記第２曲げ線よりサスペンション長手方向基端側において前記本体部からサスペンション幅方向外方へ延びる左右一対の拡幅部を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記一対のフランジ部は、前記基端領域よりサスペンション長手方向先端側の領域に設けられた先端側フランジと、前記第２曲げ線よりサスペンション長手方向基端側の領域に設けられた基端側フランジとを含むことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記本体部には、前記第２曲げ線上に易曲げ構造が設けられていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記本体部における前記ディスク面とは反対側の面には制振材が固着されており、
前記制振材は前記第１曲げ線よりサスペンション長手方向基端側の位置から前記第２曲げ線よりサスペンション長手方向基端側の位置まで延びていることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記支持部の先端エッジ及び前記一対のフランジ部の基端エッジ間のサスペンション長手方向距離をＬ２とし且つ前記支持部の先端エッジ及び前記第２曲げ線間のサスペンション長手方向距離をＤ２とした場合に、０．７×Ｌ２≦Ｄ２≦１．０×Ｌ２となるように前記第２曲げ線が配置されていることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
Ｄ２＝Ｌ２となるように前記第２曲げ線が配置されていることを特徴とする請求項７に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
前記本体部のうち前記第２曲げ線とサスペンション長手方向に関し同一位置に位置する部分が前記フレクシャ部と重合する重合部分及び前記フレクシャ部とは重合しない非重合部分を有するように、前記フレクシャ部及び前記本体部が重合されており、
前記重合部分には前記ディスク面と直交する方向に貫通する貫通孔が設けられて、前記非重合部分にのみ前記第２曲げ線が設けられていることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１０】
前記第１曲げ線ＢＬ１においては前記ディスク面に向かって凸状となるように曲げられ、前記第２曲げ線ＢＬ２及び前記第３曲げ線においては前記ディスク面とは反対側に凸状となるように曲げられていることを特徴とする請求項１から９の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に高速に且つ高精度に位置させることが要求される。
【０００３】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって基端側が直接又は間接的に揺動中心回りに揺動されて、先端側において支持する前記磁気ヘッドスライダをディスク面に平行なシーク方向に沿って目的トラックへ向けて移動させ得るようになっている。
【０００４】
前記磁気ヘッドスライダを目的トラックに高速に位置させる為には前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高める必要がある。
【０００５】
従って、前記磁気ヘッドスライダの目的トラックに高速且つ正確に位置させる為には、前記磁気ヘッドサスペンションを前記揺動中心回りに揺動させる際に前記磁気ヘッドサスペンションに共振が生じることを可及的に防止することが望まれる。
【０００６】
下記特許文献１及び２には、ロードビーム部の長手方向略全域に一対のフランジ部を設けた磁気ヘッドサスペンションが提案されている。
前記一対のフランジ部は質量増加を抑えつつ剛性を高め得る点において有用であり、これにより、共振周波数を有効に上昇させることができる。
【０００７】
下記特許文献３には、ロードビーム部に一対のフランジ部を備えることによる共振周波数の上昇という効果を得つつ、前記一対のフランジ部を有する前記ロードビーム部をサスペンション長手方向略中央においてサスペンション幅方向に沿った先端側曲げ線及び前記先端側曲げ線よりサスペンション長手方向基端側においてサスペンション幅方向に沿った基端側曲げ線の２カ所の曲げ線回りに曲げることによって、前記磁気ヘッドサスペンションの捩れモード振動時における前記磁気ヘッドスライダのシーク方向変位量（ゲイン）の最小化を図った磁気ヘッドサスペンションが開示されている。
【０００８】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションに生じる振動モードには、シーク方向に振動する主共振モード、ディスク面と直交するｚ方向に振動する曲げモード、及び、サスペンション長手方向中心線回りに捩れ振動する捩れモードが存在する。
【０００９】
前記磁気ヘッドサスペンションに振動が生じると、これに応じて前記磁気ヘッドスライダは目的トラックから変位することになるが、前記捩れモードの振動時における磁気ヘッドスライダの変位量（ゲイン）に関しては、前記ロードビーム部をサスペンション幅方向に沿った曲げ線回りに曲げると共に、前記曲げ線での曲げ角度を最適値に調整することで、最小化を図ることができる。
【００１０】
つまり、最適な曲げ角度で前記ロードビーム部を曲げておけば、前記磁気ヘッドサスペンションに捩れモードの振動が生じたとしても、前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの変位を有効に抑えることができる。
【００１１】
前記特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションは、この点を考慮してなされたものであり、前記一対のフランジ部による共振周波数の上昇という効果を奏しつつ、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線での曲げ角度を最適値に設定することによって前記磁気ヘッドスライダのゲインの最小化を図っている。
【００１２】
しかしながら、前記特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションは、捩れ１次及び２次モードの振動時における前記磁気ヘッドスライダのゲインについては最小化を図り得るものの、捩れ３次モードのゲインについては考慮されていない。
【００１３】
即ち、前記アクチュエータの駆動信号がある周波数（第１共振周波数）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンションには捩れ１次モードの共振が生じる。
そして、前記駆動信号の周波数を前記第１共振周波数からさらに高めていくと、ある周波数（第２共振周波数）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンションには捩れ２次モードの共振が生じ、前記駆動信号の周波数を前記第２共振周波数からさらに高めていくと、ある周波数（第３共振周波数）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンションには捩れ３次モードの共振が生じる。
【００１４】
特に、前述の通り、前記磁気ヘッドスライダによる読み取り／書き込み動作の高速化を図る為には、前記磁気ヘッドサスペンションを駆動する前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めなければならない。従って、捩れモードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの位置ズレについては、捩れ１次及び２次モードの振動のみならず、捩れ３次モードの振動についても対策をとる必要がある。
この点に関し、前記特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションは改善の余地がある。
【００１５】
また、前記特許文献３には、変形形態として、前記一対のフランジ部のうち前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線が位置する部分に切り欠き又は貫通孔が形成された磁気ヘッドサスペンションが開示されている。
この変形形態は、前記切り欠き又は前記貫通孔を有さない構成に比べると、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線での曲げ加工の容易化を図ることができる。
【００１６】
しかしながら、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線での曲げ加工に際し前記一対のフランジ部を変形させなければならない点は依然として残っている。
特に、前記先端側曲げ線での曲げ加工及び前記基端側曲げ線での曲げ加工によって同一量のゲイン調整を可能とする為には、基端側に位置する前記基端側曲げ線での曲げ角度をサスペンション長手方向中央に位置する前記先端側曲げ線での曲げ角度よりも大きくしなければならず、結果として、前記基端側曲げ線での曲げ加工を精度良く行うことが困難であるという問題があった。
【００１７】
詳しくは、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線での曲げ加工によって前記磁気ヘッドスライダのゲインを調整できる範囲は、それぞれの曲げ線での曲げ加工による変位量、即ち、曲げ加工前の状態と曲げ加工後の状態との間の変位高さに依存する。
【００１８】
ここで、前記ロードビーム部のサスペンション長手方向略中央に位置する前記先端側曲げ線と前記先端側曲げ線よりサスペンション長手方向基端側に位置する前記基端側曲げ線とで同じ変位高さを得る為には、前記基端側曲げ線での曲げ角度を前記先端側曲げ線での曲げ角度よりも大きくする必要がある。そして、曲げ角度を大きくするには、前記一対のフランジ部を大きく変形させなければならない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１９】
【特許文献１】特開２００５−０３２３９３号公報
【特許文献２】特開２００８−０２１３７４号公報
【特許文献３】特開２００９−２９５２６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、ロードビーム部に一対のフランジ部を備えることで共振周波数を上昇させた磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記一対のフランジ部による共振周波数の上昇効果を損なうことなく、前記ロードビーム部における第１及び第２曲げ線での曲げ角度調整並びに荷重曲げ部を構成する一対の板バネにおける第３曲げ線のサスペンション長手方向位置の調整によって捩れ１次〜３次モードの振動時における磁気ヘッドスライダのシーク方向変位量の最小化を図ることができ、さらに、前記第１及び第２曲げ線での曲げ加工の容易化を図り得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する左右一対の板バネを含む荷重曲げ部と、前記一対の板バネを介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部であって、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接するように前記ディスク面に近接する方向へ突出されたディンプルが形成された本体部と、前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプル間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に前記支持部の先端エッジから０．２２×Ｌ１以内の基端領域よりサスペンション長手方向先端側の領域には少なくとも存在するように前記本体部のサスペンション幅方向両端から前記ディスク面とは反対側へ折り曲げられた左右一対のフランジ部とを有し、前記ロードビーム部は前記支持部の先端エッジから０．４×Ｌ１以上で且つ０．６×Ｌ１以下の中央領域においてサスペンション幅方向に沿った第１曲げ線並びに前記第１曲げ線よりサスペンション長手方向基端側においてサスペンション幅方向に沿った第２曲げ線の２つの曲げ線回りに曲げられており、前記一対の板バネは前記支持部に連結される基端エッジ及び前記ロードビーム部に連結される先端エッジの間においてサスペンション幅方向に沿った第３曲げ線回りに曲げられており、前記第２曲げ線は前記ロードビーム部の前記基端領域内に位置されており、前記第２曲げ線が位置する部分には前記一対のフランジ部が存在しない磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００２２】
一形態においては、前記ロードビーム部は、前記基端領域には前記一対のフランジ部を有さないものとされる。
【００２３】
好ましくは、前記ロードビーム部は、前記第２曲げ線よりサスペンション長手方向基端側において前記本体部からサスペンション幅方向外方へ延びる左右一対の拡幅部を有し得る。
【００２４】
他形態においては、前記一対のフランジ部は、前記基端領域よりサスペンション長手方向先端側の領域に設けられた先端側フランジと、前記第２曲げ線よりサスペンション長手方向基端側の領域に設けられた基端側フランジとを含み得る。
【００２５】
前記種々の構成において、好ましくは、前記本体部には、前記第２曲げ線上に易曲げ構造が設けられる。
【００２６】
前記種々の構成において、好ましくは、前記本体部における前記ディスク面とは反対側の面には制振材が固着される。
前記制振材は前記第１曲げ線よりサスペンション長手方向基端側の位置から前記第２曲げ線よりサスペンション長手方向基端側の位置まで延びるように配置される。
【００２７】
前記支持部の先端エッジ及び前記一対のフランジ部の基端エッジ間のサスペンション長手方向距離をＬ２とし且つ前記支持部の先端エッジ及び前記第２曲げ線間のサスペンション長手方向距離をＤ２とした場合に、好ましくは、０．７×Ｌ２≦Ｄ２≦１．０×Ｌ２となるように前記第２曲げ線が配置される。
より好ましくは、Ｄ２＝Ｌ２となるように前記第２曲げ線が配置される。
【００２８】
前記種々の形態において、前記本体部のうち前記第２曲げ線とサスペンション長手方向に関し同一位置に位置する部分が前記フレクシャ部と重合する重合部分及び前記フレクシャ部とは重合しない非重合部分を有するように、前記フレクシャ部及び前記本体部が重合され得る。
この場合、好ましくは、前記重合部分には前記ディスク面と直交する方向に貫通する貫通孔が設けられて、前記非重合部分にのみ前記第２曲げ線が設けられる。
【００２９】
前記種々の形態において、好ましくは、前記第１曲げ線ＢＬ１においては前記ディスク面に向かって凸状となるように曲げられ、前記第２曲げ線ＢＬ２及び前記第３曲げ線においては前記ディスク面とは反対側に凸状となるように曲げられる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、支持部の先端エッジ及びディンプル間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に前記支持部の先端エッジから０．２２×Ｌ１以内の基端領域よりサスペンション長手方向先端側の領域には少なくとも存在するように左右一対のフランジ部が設けられたロードビーム部が前記支持部の先端エッジから０．４×Ｌ１以上で且つ０．６×Ｌ１以下の中央領域においてサスペンション幅方向に沿った第１曲げ線並びに前記第１曲げ線よりサスペンション長手方向基端側においてサスペンション幅方向に沿った第２曲げ線の２つの曲げ線回りに曲げられており、一対の板バネが前記支持部に連結される基端エッジ及び前記ロードビーム部に連結される先端エッジの間においてサスペンション幅方向に沿った第３曲げ線回りに曲げられているので、前記第１及び第２曲げ線での曲げ角度を最適値に設定すること並びに前記第３曲げ線のサスペンション長手方向位置を最適値に設定することによって、捩れ１次〜３次モードの振動時における磁気ヘッドスライダのシーク方向変位（ゲイン）を最小化することができる。
さらに、前記第１曲げ線は前記ロードビーム部の中央領域に位置されているので、小さい曲げ角度で大きなゲイン調整可能範囲を得ることができる。
さらに、前記第２曲げ線は前記ロードビーム部の前記基端領域内に位置されており、前記第２曲げ線が位置する部分には前記一対のフランジ部が存在しないので、前記一対のフランジ部による共振周波数の上昇効果を損なうことなく、前記第２曲げ線での曲げ角度を容易に大きくすることができる。従って、例えば、中央領域に位置する前記第１曲げ線での曲げ角度よりも前記第２曲げ線での曲げ角度を大きく設定することにより、前記第１曲げ線での曲げ加工によるゲイン調整可能範囲と前記第２曲げ線での曲げ加工によるゲイン調整可能範囲とを一致させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図２】図２は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図３】図３は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの側面図である。
【図４】図４(a)は、前記実施の形態１の実施例Ａに係る磁気ヘッドサスペンションの上面図であり、図４(b)は、図４(a)におけるIV-IV線に沿った断面図である。
【図５】図５は、比較例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図６】図６は、前記実施例Ａ及び前記比較例に対する解析結果を示すグラフであり、支持部の先端エッジからフランジ部の基端エッジまでの距離と捩れ４次モードの共振周波数に関する比較例に対する実施例Ａの偏差との関係を示している。
【図７】図７は、前記実施の形態１の変形例の上面図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図９】図９は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの製造途中の状態を示す平面図である。
【図１０】図１０は、前記実施の形態２の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１１】図１１は、図１０に示す前記磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図１２】図１２は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１３】図１３は、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１４】図１４は、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図１５】図１５(a)は、前記実施の形態１の実施例Ｂに係る磁気ヘッドサスペンションの上面図であり、図１５(b)は、図１５(a)におけるXV-XV線に沿った断面図である。
【図１６】図１６は、前記実施例Ｂに係る磁気ヘッドサスペンションの側面図である。
【図１７】図１７は、前記実施例Ｂに係る磁気ヘッドサスペンションに対する解析結果を示すグラフであり、第１曲げ線での曲げ角度と捩れ１次及び２次モードにおけるゲインを最小化させる磁気ヘッドスライダの設定高さとの関係を示している。
【図１８】図１８は、前記実施例Ｂに係る磁気ヘッドサスペンションに対する解析結果を示すグラフであり、第３曲げ線の位置と捩れ１次及び２次モードにおけるゲインを最小化させる磁気ヘッドスライダの設定高さとの関係を示している。
【図１９】図１９は、第１曲げ線での曲げ角度調整及び第３曲げ線の位置調整によって捩れ１次及び２次モードにおけるゲインを最小化させた磁気ヘッドサスペンションにおける、捩れ１次〜３次モード及びＳｗａｙモードの共振周波数並びに磁気ヘッドスライダのゲインを示すグラフである。
【図２０】図２０は、図１９に示す解析を行った磁気ヘッドサスペンションにおける、第２曲げ線の位置と捩れ３次モードにおける磁気ヘッドスライダのゲインとの関係を示すグラフである。
【図２１】図２１は、図１９に示す解析を行った磁気ヘッドサスペンションにおける、第２曲げ線の位置とＳｗａｙモードの共振周波数との関係を示すグラフである。
【図２２】図２２は、第２曲げ線での曲げ角度と捩れ３次モードにおける磁気ヘッドスライダのゲインとの関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１〜図３に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）、下面図（前記ディスク面から視た底面図）及び側面図を示す。
なお、図２中の○は溶接点を示している。
【００３３】
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図１〜図３に示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部１０に連結された荷重曲げ部２０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記支持部１０に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０とを備えている。
【００３４】
前記支持部１０は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００３５】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記アクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
【００３６】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
【００３７】
図１〜図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部３１と、前記本体部３１のサスペンション幅方向両端部からディスク面とは反対側に延びる左右一対のフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を向上させている。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３８】
前記本体部３１には、先端側に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３が形成されている。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０における下記ヘッド搭載領域４１５の上面（前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面）に接触して、この突起３３を介して前記荷重を前記フレクシャ部４０の前記ヘッド搭載領域４１５に伝達するようになっている。
【００３９】
本実施の形態においては、図１〜図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記アクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面と直交するｚ方向に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００４０】
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１のサスペンション幅方向両端部は、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように平面視においてテーパ状とされている。
【００４１】
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減でき、共振周波数を上昇させることができる。
【００４２】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結された左右一対の板バネ２１であって、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生するように板面が前記ディスク面と対向する左右一対の板バネ２１を有している。
【００４３】
前記一対の板バネ２１は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、前記一対の板バネ２１は前記支持部１０を形成する部材に一体形成されている。
詳しくは、本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記支持部１０は、互いに積層された状態で固着される第１及び第２プレート部材１１０，１２０を有しており、前記一対の板バネ２１は前記第２プレート部材１２０に一体形成されている。
【００４４】
より詳しくは、前記第２プレート部材１２０は、図２に示すように、前記ボス部１５に対応した中央領域１２１であって、前記第１プレート部材１１０の対応する部分に接合される中央領域１２１と、前記中央領域１２１のサスペンション幅方向両側からサスペンション長手方向先端側へ延びる左右一対の先端領域１２２であって、前記第１プレート部材１１０の対応する部分に接合される左右一対の先端領域１２２と、前記一対の先端領域１２２からサスペンション長手方向先端側へそれぞれ延在された左右一対の延在領域１２３とを有しており、前記一対の延在領域１２３が前記一対の板バネ２１を形成している。
【００４５】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に溶接等によって固着される。
【００４６】
詳しくは、前記フレクシャ部４０はフレクシャ金属プレート４１０を有している。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、図２に示すように、前記支持部１０に溶接等によって固着される支持部固着領域４１１と、前記ロードビーム部３０に溶接等によって固着されるロードビーム部固着領域４１２と、前記ロードビーム部固着領域４１２の先端部におけるサスペンション幅方向両側からサスペンション長手方向先端側へ延びる一対の支持片４１３（図１参照）と、前記一対の支持片４１３によって支持された前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。
【００４７】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記一対の板バネ２１が前記支持部１０を形成する部材（本実施の形態においては前記第２プレート部材１２０）に一体形成されている構成において、前記支持部固着領域４１１及び前記ロードビーム部固着領域４１２の間に高低差（ｚ方向に関する変位）が生じないように下記構成を備えている。
【００４８】
即ち、前記第２プレート部材１２０の前記一対の先端領域１２２は、図２に示すように、両者の間にスペース１２２ａが存するようにサスペンション幅方向に離間されている。
そして、前記支持部固着領域４１１のうちサスペンション長手方向先端側に位置する部位は、前記スペース１２２ａ内において前記第１プレート部材１１０に固着されており、前記ロードビーム部固着領域４１２の基端側に位置する部分はサスペンション幅方向に関し前記一対の板バネ２１を形成する部材（本実施の形態においては前記一対の延在領域１２３）の間において前記ロードビーム部３０の前記本体部３１に固着されている。
【００４９】
前記ヘッド搭載領域４１５は、図２に示すように、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１５の上面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１５は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００５０】
前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記ヘッド搭載領域４１５がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板とされる。
【００５１】
好ましくは、前記フレクシャ部４０には、図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部部材に電気的に接続する為の配線構造体４２０が一体的に備えられる。
【００５２】
詳しくは、前記配線構造体４２０は、前記フレクシャ金属プレート４１０における前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する面に積層される信号配線とを含み得る。
好ましくは、前記配線構造体は、前記信号配線を囲繞する絶縁性のカバー層を有し得る。
【００５３】
ここで、前記磁気ヘッドスライダ５０を目的のトラック上に高速且つ正確に位置させる為に、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが備えている構成について説明する。
【００５４】
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａはボイスコイルモータ等のアクチュエータによってシーク方向に駆動されるが、前記磁気ヘッドスライダ５０を高速に目的トラック上に位置させる為には前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高める必要がある。
【００５５】
そして、前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めた際に前記磁気ヘッドスライダ５０を正確に目的トラック上に位置させる為には、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの共振周波数を高める必要がある。
【００５６】
この点に関し、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前述の通り、前記ロードビーム部３０に前記一対のフランジ部３２を備えている。
前記一対のフランジ部３２は、質量増加を可及的に防止しつつ前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの剛性を高めることができ、これにより、共振周波数を有効に上昇させることができる。
【００５７】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、共振周波数を上昇させることによって前記磁気ヘッドスライダ５０の高速移動を可能とすべく前記一対のフランジ部３２を備えることに加えて、捩れモードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向変位量（ゲイン）を低減させることによって前記磁気ヘッドスライダ５０の位置決め精度を向上させるべく下記構成を備えている。
【００５８】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが捩れモードで振動する際の前記磁気ヘッドスライダ５０の目的トラックからの位置ズレは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａをサスペンション幅方向に沿った曲げ線回りに曲げると共にその曲げ角度及び／又はサスペンション長手方向に関する位置（曲げ位置）を最適値に設定することで、最小化させることができる。
【００５９】
この点に関し、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａはサスペンション幅方向に沿った第１〜第３曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２，ＢＬ３の３本の曲げ線回りに曲げられており、この３本の曲げ線の曲げ角度及び／又は曲げ位置を調整することによって、捩れ１次モード〜捩れ３次モードの３つの捩れ振動モードにおける前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインの最小化を図り得るようになっている。
【００６０】
ここで、捩れモードの振動に関し詳しく説明する。
前記アクチュエータの駆動信号を上昇させていくと、ある周波数（第１共振周波数）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａに捩れ１次モードの共振が生じる。
この捩れ１次モードの共振とは、前記支持部１０の先端エッジの位置及び前記ロードビーム部３０の前記ディンプル３３の位置が前記ディスク面に直交するｚ方向に関し変位ゼロ（即ち、節）とされた状態で前記２つの節の間のサスペンション長手方向略中央部分がｚ方向変位最大（即ち、腹）となるように主として前記ロードビーム部３０のみがサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りに捩れる振動形態である。
【００６１】
そして、前記駆動信号の周波数を前記第１共振周波数からさらに高めていくと、ある周波数（第２共振周波数）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａには捩れ２次モードの共振が生じ、前記駆動信号の周波数を前記第２共振周波数からさらに高めていくと、ある周波数（第３共振周波数）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａには捩れ３次モードの共振が生じる。
【００６２】
前記捩れ２次モードの共振とは、前記支持部１０のうちｚ方向に関し強固に固定される位置（前記支持部１０がベースプレートの場合には、前記アクチュエータに連結されたキャリッジアームにかしめを介して固定される前記ボス部１５の位置、以下、支持部固定位置という）と、前記ディンプル３３の位置と、前記支持部固定位置及び前記ディンプル位置の間のサスペンション長手方向略中央に位置するロードビーム部３０の中途位置と、の３箇所が節とされた状態で、前記支持部固定位置及び前記ロードビーム部の中途位置の間のサスペンション長手方向略中央部分と、前記ロードビーム部３０の中途位置及び前記ディンプル３３の位置の間のサスペンション長手方向略中央部分と、の２箇所が腹となるように、前記支持部固定位置及び前記中途位置の間の第１部分がサスペンション長手方向中心線ＣＬ回り一方側の第１方向にねじれ、前記中途位置及び前記ディンプル３３の間の第２部分がサスペンション長手方向中心線ＣＬ回り他方側の第２方向にねじれる振動形態である。
【００６３】
前記捩れ３次モードの共振とは、前記支持部固定位置と、前記荷重曲げ部２０の位置と、前記ディンプル３３の位置と、前記荷重曲げ部２０の位置及び前記ディンプル位置の間のサスペンション長手方向略中央に位置するロードビーム部３０の中途位置と、の４箇所が節とされた状態で、前記支持部固定位置及び前記荷重曲げ部２０の位置の間に位置する第１部分がサスペンション長手方向中心線ＣＬ回り一方側の第１方向にねじれ、前記荷重曲げ部２０の位置及び前記ロードビーム部３０の中途位置の間に位置する第２部分が前記中心線ＣＬ回り他方側の第２方向にねじれ、前記ロードビーム部３０の中途位置及び前記ディンプル位置の間の第３部分が前記中心線ＣＬ回りに前記第１方向に捩れる形態の振動形態である。
【００６４】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、図１〜図３に示すように、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２は前記ロードビーム部３０に位置されており、前記第３曲げ線ＢＬ３は前記一対の板バネ２０に設けられている。
【００６５】
前記ロードビーム部３０に位置する曲げ線（前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２）での曲げ加工においては、曲げ角度又は前記曲げ線のサスペンション長手方向位置を調整することによって対応する一の捩れモードの振動時における磁気ヘッドスライダのゲインを最小化させることができる。
即ち、例えば、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度を調整することによって捩れ１次モードの振動時におけるゲインの最小化を図り、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ角度を調整することによって捩れ２次モードの振動時におけるゲインの最小化を図ることができる。
【００６６】
一方、前記一対の板バネ２０に位置する曲げ線（前記第３曲げ線ＢＬ３）での曲げ角度の調整は、前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を所定値に設定する為に利用され、捩れモードの振動時におけるゲイン調整には利用できない。
従って、前記一対の板バネ２０に位置する曲げ線（前記第３曲げ線ＢＬ３）については、前記曲げ線のサスペンション長手方向位置を調整することによって、前記捩れ１次〜３次モードのうち前記第１及び第２曲げ線でゲイン調整される振動モード以外の振動モード（例えば、捩れ３次モード）に対するゲイン最小化を図ることができる。
【００６７】
本実施の形態においては、図１に示すように、前記第１曲げ線ＢＬ１は、前記支持部１０の先端エッジ及び前記ディンプル３３間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に前記支持部１０の先端エッジから０．４×Ｌ１以上で且つ０．６×Ｌ１以下の中央領域に位置されている。
【００６８】
このように、前記第１曲げ線ＢＬ１を前記中央領域に位置させることにより、小さい曲げ角度で大きな前記磁気ヘッドスライダ５０のゲイン調整可能範囲（調整可能幅）を得ることができる。
【００６９】
即ち、前記曲げ線での曲げ角度によって前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインを調整する際の調整可能範囲（調整可能幅）は、前記曲げ線での曲げによって得られる磁気ヘッドサスペンション１Ａの変位量、即ち、曲げ加工前の状態と曲げ加工後の状態との間の変位量に依存する。前記変位量を大きくすれば、前記ゲインの調整可能範囲が拡がる。
【００７０】
この点に関し、本実施の形態におけるように、前記第１曲げ線ＢＬ１を前記中央領域に位置させれば、前記第１曲げ線での曲げ角度当たりの前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの変位量割合を大きくすることができ、小さい曲げ角度で大きなゲイン調整可能幅を得ることができる。
【００７１】
特に、本実施の形態におけるように、前記ロードビーム部３０に前記一対のフランジ部３２が備えられている磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対のフランジ部３２の存在によってサスペンション幅方向に沿った曲げ線での曲げ角度を大きくすることは困難又は厄介になる。
従って、このようなタイプの磁気ヘッドサスペンションにおいては前記第１曲げ線ＢＬ１を前記中央領域に位置させて、可及的に小さい曲げ角度で大きな変位量を得ることは特に有効である。
【００７２】
前記第２曲げ線ＢＬ２は、図１〜図３に示すように、前記第１曲げ線ＢＬ１よりサスペンション長手方向基端側に位置されている。
【００７３】
前記第１曲げ線ＢＬ１よりサスペンション長手方向基端側に位置している前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ加工による変位量を前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ加工による変位量と一致させる為には（即ち、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ加工によるゲイン調整可能範囲を前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ加工によるゲイン調整可能範囲と同一とする為には）、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ角度を前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度よりも大きくしなければならない。
【００７４】
しかしながら、前述の通り、前記ロードビーム部３０に前記一対のフランジ部３２が備えられている前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、サスペンション幅方向に沿った曲げ線での曲げ角度を大きくすることは困難である。
【００７５】
この点に関し、本願発明者は、前記ロードビーム部３０の基端領域には前記一対のフランジ部３２が存在しない構成と前記ロードビーム部３０のサスペンション長手方向全域に前記一対のフランジ部３２が設けられた構成とを共振周波数に関し比較して、後者の共振周波数に対する前者の共振周波数の低下割合が問題にならない程度のものであれば、前記第２曲げ線ＢＬ２を前記ロードビーム部３０の基端領域に位置させ且つ前記第２曲げ線ＢＬ２が位置する部分には前記一対のフランジ部３２を設けないことにより、前記一対のフランジ部３２による共振周波数の上昇という効果を損なうことなく、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ角度を容易に大きくすることができるという仮説を立てた。
【００７６】
以下、前記仮説の真偽を実証する為に行った解析結果について説明する。
図４(a)に本解析に用いた実施例Ａの平面図を、図４(b)に図４(a)におけるIV-IV線に沿った断面図を示す。
【００７７】
前記実施例Ａは以下の寸法を有している。
前記ロードビーム部３０の板厚：０．０２５ｍｍ
前記一対のフランジ部３２の高さ：０．２６ｍｍ
前記一対のフランジ部３２の前記本体部３１に対する曲げ角度：７０°
（前記第１〜第３曲げ線ＢＬ１〜ＢＬ３での曲げ加工を行う前の初期状態での）前記ボス部１５の中心と前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：１１ｍｍ
前記初期状態での前記支持部１０の先端エッジと前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ１＝６．２ｍｍ
前記初期状態での前記支持部１０の先端エッジと前記第１曲げ線ＢＬ１との間のサスペンション長手方向距離：３．４ｍｍ（＝０．５５×Ｌ１）
前記初期状態での前記支持部１０の先端エッジと前記第２曲げ線ＢＬ２との間のサスペンション長手方向距離：０．９３ｍｍ（＝０．１５×Ｌ１）
前記初期状態での前記支持部１０の先端エッジと前記第３曲げ線ＢＬ３との間のサスペンション長手方向距離：０．１９ｍｍ（＝０．０３×Ｌ１）
【００７８】
前記寸法を有しつつ、前記ロードビーム部３０のうち前記一対のフランジ部３２を設けない領域の長さを変化させた複数の実施例Ａを用意した。
具体的には、前記初期状態を基準にして前記支持部１０の先端エッジから前記一対のフランジ部３２の基端側エッジまでのサスペンション長手方向距離Ｌ２が０．９９ｍｍ（＝０．１６×Ｌ１）とされた構成（以下、実施例Ａ１という）、前記距離Ｌ２が１．２４ｍｍ（＝０．２０×Ｌ１）とされた構成（以下、実施例Ａ２という）、前記距離Ｌ２が１．４９ｍｍ（＝０．２４×Ｌ１）とされた構成（以下、実施例Ａ３という）、前記距離Ｌ２が１．７４ｍｍ（＝０．２８×Ｌ１）とされた構成（以下、実施例Ａ４という）、及び、前記距離Ｌ２が１．９８ｍｍ（＝０．３２×Ｌ１）とされた構成（以下、実施例Ａ５という）を用意した。
【００７９】
また、前記一対のフランジ部３２が前記ロードビーム部３０の長手方向全域に設けられた構成（以下、比較例という）も用意した（図５参照）。
【００８０】
前記実施例Ａ１〜５及び前記比較例に対して、前記支持部１０の基準部位（前記ボス部１５）を完全拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面を前記ディスク面に直交するｚ方向に関し拘束した状態で、前記支持部１０の基準部位に対して前記サスペンション幅方向に沿ったｙ方向に強制振動(周期的外力による定常振動)を与えて前記実施例Ａ１〜５及び前記比較例の捩れ４次モードに関する共振周波数を有限要素法によって求めた。
【００８１】
なお、捩れ４次モードの共振周波数を求めたのは、捩れ１次〜３次モードの振動については、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２での曲げ角度並びに前記第３曲げ線ＢＬ３の曲げ位置を最適値に設定することによって、前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインの最小化を図り得るからである。
【００８２】
即ち、前記第１〜第３曲げ線ＢＬ１〜ＢＬ３の３つの曲げ線の曲げ角度及び／又は曲げ位置の調整によっては前記磁気ヘッドスライダ５０のゲイン調整を行うことができない捩れ４次モードに関して、前記実施例Ａ１〜５及び前記比較例の共振周波数を比較することによって、前記一対のフランジ部３２が前記ロードビーム部１０の長手方向全域に必要か否かを検証した。
【００８３】
本解析結果を図６に示す。
なお、図６における縦軸は、前記比較例の共振周波数に対する前記実施例Ａ１〜５の共振周波数の偏差である。
【００８４】
図６から、前記ロードビーム部３０における前記一対のフランジ部３２を前記支持部１０の先端エッジから０．２２×Ｌ１よりサスペンション長手方向基端側の基端領域内においては削除したとしても、共振周波数がそれ程悪化することがないことが分かる。
【００８５】
このことから、前記第２曲げ線ＢＬ２を前記支持部１０の先端エッジから０．２２×Ｌ１よりサスペンション長手方向基端側の基端領域内に位置させ、且つ、前記第２曲げ線ＢＬ２が位置する部分には前記一対のフランジ部３０が存在しないように構成すれば、前記一対のフランジ部３２を備えることによる共振周波数の上昇という効果を損なうことなく、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ加工の容易化を図り得ることが理解される。
【００８６】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、さらに、図１に示すように、前記本体部３１における前記ディスク面とは反対側の面に固着された制振材６０を備えている。
【００８７】
斯かる構成によれば、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を減衰させることができる。
好ましくは、前記制振材６０は前記第１曲げ線ＢＬ１よりサスペンション長手方向基端側の位置から前記第２曲げ線ＢＬ２よりサスペンション長手方向基端側の位置まで延びるように配置される。
斯かる構成によれば、捩れモードの共振周波数を高めることができる。
【００８８】
図７に、本実施の形態の変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図を示す。
前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、図７に示すように、前記ロードビーム部３０における前記本体部３１の前記第２曲げ線ＢＬ上に易曲げ構造３５を有している。
【００８９】
かかる構成によれば、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ加工のさらなる容易化を図ることができる。
前記易曲げ構造３５としては、例えば、前記第２曲げ線ＢＬ２に沿うように前記本体部３１に形成された一又は複数のスリットが例示される。
【００９０】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図８に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００９１】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａは、前記実施形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記ロードビーム部３０の代わりにロードビーム部３０（２）を有している。
【００９２】
前記ロードビーム部３０（２）は、図８に示すように、前記本体部３１及び前記一対のフランジ部３２に加えて、前記第２曲げ線ＢＬ２よりサスペンション長手方向基端側において前記本体部３１からサスペンション幅方向外方へ延びる左右一対の拡幅部３６を有している。
【００９３】
斯かる構成を備えた本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａによれば、前記実施の形態１における効果を奏しつつ、前記ロードビーム部３０の剛性をさらに向上させることによって共振周波数をさらに高めることができる。
【００９４】
なお、一般的には、一枚の原材料シート２００からエッチング等によって複数のロードビーム部２Ａが形成される。この際に、一般的には、図９に示すように、複数の前記ロードビーム部２Ａはブリッジ２０５を介して前記シート２００に連結された状態のままで保持され、最終段階において、前記ブリッジ２０５を切断することで個々に分離される。
【００９５】
従って、切断後の前記ブリッジ２０５が前記一対の拡幅部３６を形成するように前記ブリッジ２０５を設けることによって、前記一対の拡幅部３６を有する前記ロードビーム部３０（２）を容易に形成することができる。
なお、図９中の符号２０１は前記シートに形成された位置決め孔である。
【００９６】
また、本実施の形態においては、前記実施の形態１におけると同様に、前記ロードビーム部３０（２）は前記荷重曲げ部２０とは別体とされているが、これに代えて、前記ロードビーム部３０（２）と前記荷重曲げ部２０とを一体形成することも可能である。
図１０及び図１１に、それぞれ、前記ロードビーム部３０（２）及び前記荷重曲げ部２０が一体形成された本実施の形態の変形例に係る磁気ヘッドサスペンション２Ｂの上面図及び下面図を示す。
当然ながら、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０を一体形成することも可能である。
【００９７】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１２に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。
なお、図中、前記実施の形態１又は２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００９８】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａは、前記実施形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記ロードビーム部３０の代わりにロードビーム部３０（３）を有している。
【００９９】
前記ロードビーム部３０（３）は、図１２に示すように、前記本体部３１と、前記支持部１０の先端エッジから０．２２×Ｌ１以下の前記基端領域よりサスペンション長手方向先端側の領域に設けられた先端側フランジ３２ａと、前記第２曲げ線ＢＬ２よりサスペンション長手方向基端側の領域に設けられた基端側フランジ３２ｂとを有している。
【０１００】
斯かる構成を備えた本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａによれば、前記実施の形態１における効果を奏しつつ、前記ロードビーム部３０（３）の剛性をさらに向上させることによって共振周波数をさらに高めることができる。
【０１０１】
実施の形態４
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１３及び図１４に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａの上面図及び下面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜３における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０２】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａは、前記実施形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記ロードビーム部３０の代わりにロードビーム部３０（４）を有している。
【０１０３】
図１３及び図１４に示すように、前記ロードビーム部３０（４）の前記本体部３１のうちサスペンション長手方向に関し前記第２曲げ線ＢＬ２と同一位置に位置する部分（以下、第２曲げ線設置部分）が前記フレクシャ部４０と重合する重合部分及び前記フレクシャ部４０とは重合しない非重合部分を有するように、前記本体部３１及び前記フレクシャ部４０が重合されている。
【０１０４】
即ち、前記本体部３１の前記第２曲げ線設置部分のサスペンション幅方向長さは前記フレクシャ部４０における対応部分のサスペンション幅方向長さよりも大とされており、前記フレクシャ部４０はサスペンション幅方向に関し前記第２曲げ線設置部分と部分的に重合した状態で前記第２曲げ線設置部分を跨いでサスペンション長手方向に延びている。
【０１０５】
斯かる構成において、前記重合部分には前記ディスク面に直交する方向に貫通する貫通孔３１ａが設けられており、前記非重合部分にのみ前記第２曲げ線ＢＬ２が設けられている。
【０１０６】
斯かる構成を備えた本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａによれば、前記実施の形態１における効果を奏しつつ、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ加工の安定化を図ることができる。
【０１０７】
即ち、前記第２曲げ線ＢＬ２が前記フレクシャ部４０と重合していると、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ加工に前記フレクシャ部４０の剛性が影響を及ぼし、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ加工を精度良く行うことが困難になる。
【０１０８】
これに対し、本実施の形態におけるように、前記本体部３１及び前記フレクシャ部４０が重合する前記重合部分には前記貫通孔３１ａを設け、前記非重合部分にのみ前記第２曲げ線ＢＬ２を設ければ、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ加工に対する前記フレクシャ部４０の影響を可及的に抑えることができ、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ加工の安定化を図ることができる。
【０１０９】
なお、本実施の形態においては、図１３及び図１４に示すように、前記荷重曲げ部２０を構成する前記一対の板バネ２１及び前記ロードビーム部３０（４）が単一部材によって一体形成されている。
【０１１０】
ここで、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおいて、捩れ１次〜３次モードにおける磁気ヘッドスライダ５０のゲインを最小化させる為の好ましい構成について説明する。
【０１１１】
まず、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの一例（以下、実施例Ｂという）を用いて、捩れ１次モード及び捩れ２次モードにおける前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインを最小化させる為の構成について説明する。
【０１１２】
図１５(a)に前記実施例Ｂの上面図を、図１５(b)に図１５(a)におけるXV-XV線に沿った断面図を示す。
また、図１６に前記実施例Ｂの側面図を示す。
【０１１３】
前記実施例Ｂは以下の基本寸法を有するものとした。
前記支持体１０の板厚：０．１５ｍｍ
前記ロードビーム部３０の板厚：０．０２５ｍｍ
前記一対のフランジ部３２の高さ：０．２７５ｍｍ
前記一対のフランジ部３２の前記本体部３１に対する曲げ角度：７０°
（前記第１〜第３曲げ線ＢＬ１〜ＢＬ３での曲げ加工を行う前の初期状態での）前記ボス部１５の中心と前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ０＝１１ｍｍ
前記初期状態での前記支持部１０の先端エッジと前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ１＝６．２ｍｍ
前記初期状態での前記支持部１０の先端エッジと前記一対のフランジ部３２の基端側エッジとの間のサスペンション長手方向距離：Ｌ２＝０．７ｍｍ（＝０．１１３×Ｌ１）
前記初期状態での前記支持部１０の先端エッジと前記第１曲げ線ＢＬ１との間のサスペンション長手方向距離：Ｄ１＝３．４ｍｍ（＝０．５５×Ｌ１）
前記初期状態での前記支持部１０の先端エッジと前記第２曲げ線ＢＬ２との間のサスペンション長手方向距離：Ｄ２＝０．５４ｍｍ（＝０．７７×Ｌ２）
前記初期状態での前記支持部１０の先端エッジと前記第３曲げ線ＢＬ３との間のサスペンション長手方向距離：Ｄ３＝０．２ｍｍ（＝０．０３２×Ｌ１）
【０１１４】
まず、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１の調整について説明する。
前記基本寸法を有しつつ、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１を１deg、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ角度θ２を−６degに固定した状態で、前記第３曲げ線ＢＬ３の曲げ角度θ３を異ならせることにより、前記磁気ヘッドスライダ５０の下面（ディスク対向面）と前記支持部固定位置の上面との間のディスク面に直交するｚ方向の距離（ハードディスク組み付け高さであり、以下、「設定高さ」という）ＺＨ（図１６参照）を異ならせた複数の磁気サスペンションを用意した。
なお、曲げ角度のマイナスは、前記ディスク面とは反対側に凸状となるように曲げられていることを意味し、曲げ角度のプラスは、前記ディスク面に向かって凸状となるように曲げられていることを意味する。
【０１１５】
この複数の磁気ヘッドサスペンションのそれぞれに対して有限要素法を用いて下記解析を行った。
具体的には、前記支持部固定位置をｚ方向及びサスペンション長手方向に沿ったｘ方向に関し拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面をｚ方向に関し拘束した状態で、前記支持部固定位置にサスペンション幅方向に沿ったｙ方向に強制振動（周期的な外力による定常振動：周波数１００Ｈｚ〜３０ｋＨｚ）を与えて捩れ１次モードで振動させ、支持部固定位置に加える前記強制振動による変位量（もしくは加速度）」に対する前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位量（もしくは加速度）」の比を前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインとして求めた。
【０１１６】
そして、前記複数の磁気ヘッドサスペンションのうちでゲインが最小となる磁気ヘッドサスペンションを特定し、その磁気ヘッドサスペンションにおける設定高さＺＨ（以下、最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)という）を得た。
ゲインが最小ということは、磁気ヘッドサスペンションに捩れ１次モードの振動が生じたとしても前記磁気ヘッドスライダ５０が目的トラックから変位する量が小さいことを意味する。
【０１１７】
この条件では、複数の磁気ヘッドサスペンションの中でゲインが最小となった磁気ヘッドサスペンションの設定高さＺＨ（最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)）は−０．０３ｍｍであった。
この結果を、横軸をθ１とし且つ縦軸を最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)とした図１７のグラフにプロットした（図１７のａ１）。
【０１１８】
θ１を２degに変更して同様の解析を行った。
この条件では、最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)は０．１９５ｍｍであった。
この結果を図１７にプロットした（図１７のｂ１）。
【０１１９】
そして、ａ１及びｂ１を結んで、θ１と捩れ１次モードでのＺＨ(min)との関係を表す直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ１）を得た（図１７参照）。
前記直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ１）の関係を満たすθ１及びＺＨの組み合わせによれば、前記磁気ヘッドサスペンションＢ１に捩れ１次モードの振動が生じたとしても、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせることができる。
【０１２０】
捩れ２次モードについても同様の解析を行った。
前記基本寸法を有しつつ、θ１を１deg、θ２を−６degに固定した条件においては、最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)は０．５９５ｍｍであった。
この結果を図１７にプロットした（図１７のａ２）。
【０１２１】
θ１を２degに変更して同様の解析を行った。
この条件では、最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)は０．５２０ｍｍであった。
この結果を図１７にプロットした（図１７のｂ２）。
【０１２２】
そして、ａ２及びｂ２を結んで、θ１と捩れ２次モードでの最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)との関係を表す直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ２）を得た（図１７参照）。
前記直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ２）の関係を満たすθ１及びＺＨの組み合わせによれば、前記磁気ヘッドサスペンションＢ１に捩れ２次モードの振動が生じたとしても、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせることができる。
【０１２３】
従って、前記直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ１）及び前記直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ２）の交点ＣＰによって定まるθ１及びＺＨの組み合わせ（本解析においては、θ１＝３．０８deg、ＺＨ＝０．４３９ｍｍ）は、捩れ１次モード及び捩れ２次モードの双方においてゲインを最小化できることになる。
【０１２４】
ところで、前記設定高さＺＨは自由に設定できる数値ではなく、磁気ヘッドサスペンションが組み込まれるハードディスク装置の仕様に応じて決定されるべきものである。
従って、前記交点ＣＰにおける設定高さＺＨがハードディスク装置の仕様に応じた設定高さ（以下、目標設定高さＺＨ(O)という）となるように、前記交点ＣＰの位置を変位させる調整作業がさらに必要となる。
【０１２５】
前記交点ＣＰにおける設定高さＺＨを前記目標設定高さＺＨ(O)に一致させることは、前記直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ１）及び前記直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ２）を図１７において縦軸に沿って平行移動させることによって実現できる。
【０１２６】
そして、前記直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ１）及び前記直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ２）を図１７において縦軸に沿って平行移動させることは、前記第３曲げ線ＢＬ３のサスペンション長手方向位置Ｄ３を変化させることによって実現できる。
【０１２７】
次に、この点について詳述する。
前記基本寸法を有しつつ、θ１を２deg、θ２を−６degに固定した状態で、前記第３曲げ線ＢＬ３での曲げ角度θ３を異ならせることにより、設定高さＺＨを異ならせた複数の磁気サスペンションを用意した。
【０１２８】
この複数の磁気ヘッドサスペンションのそれぞれに対して有限要素法を用いて下記解析を行った。
即ち、前記複数の磁気ヘッドサスペンションのそれぞれに対して強制振動を与えて捩れ１次モードで振動させ、ゲインが最小となる磁気ヘッドサスペンションを特定した。
その磁気ヘッドサスペンションの設定高さＺＨ（最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)）は０．１９５ｍｍであった。
この結果を、横軸をＤ３とし且つ縦軸を最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)とした図１８のグラフにプロットした（図１８のｃ１）。
【０１２９】
Ｄ３のみを０．３ｍｍ（＝０．０４８×Ｌ１）に変更して同様の解析を行った。
この条件では、最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)は０．０４５ｍｍであった。
この結果を図１８にプロットした（図１８のｄ１）。
【０１３０】
そして、ｃ１及びｄ１を結んで、Ｄ３と捩れ１次モードでのＺＨ(min)との関係を表す直線ＺＨ(min)／Ｄ３（Ｔ１）を得た（図１８参照）。
【０１３１】
この直線ＺＨ(min)／Ｄ３（Ｔ１）から、捩れ１次モードでの最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)を所定距離だけ大きく（又は小さく）する為には、第３曲げ線ＢＬ３をサスペンション長手方向先端側又は基端側の何れの方向へ且つどれだけ変位させれば良いかを知ることができる。
【０１３２】
例えば、図１８に示す例において、捩れ１次モードでの最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)を大きくするのであれば、Ｄ３を小さくすればよく（即ち、第３曲げ線ＢＬ３をサスペンション長手方向基端側へ移動させればよく）、その量は直線ＺＨ(min)／Ｄ３（Ｔ１）の傾きによって得られる。
【０１３３】
捩れ２次モードについても同様の解析を行った。
前記基本寸法を有しつつ、θ１を２deg、θ２を−６degに固定した条件においては、最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)は０．５２０ｍｍであった。
この結果を図１８にプロットした（図１８のｃ２）。
【０１３４】
Ｄ３のみを０．３ｍｍ（＝０．０４８×Ｌ１）に変更して同様の解析を行った。
この条件では、最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)は０．４４５ｍｍであった。
この結果を図１８にプロットした（図１８のｄ２）。
【０１３５】
そして、ｃ２及びｄ２を結んで、Ｄ３と捩れ２次モードでのＺＨ(min)との関係を表す直線ＺＨ(min)／Ｄ３（Ｔ２）を得た（図１８参照）。
【０１３６】
この直線ＺＨ(min)／Ｄ３（Ｔ２）から、捩れ２次モードでの最小ゲイン時の設定高さＺＨ(min)を所定距離だけ大きく（又は小さく）する為には、荷重曲げ線ＢＬ２をサスペンション長手方向先端側又は基端側の何れの方向へ且つどれだけ変位させれば良いかを知ることができる。
【０１３７】
このようにして得られた直線ＺＨ(min)／Ｄ３（Ｔ１）及び直線ＺＨ(min)／Ｄ３（Ｔ２）を用いることによって、図１７における前記交点ＣＰの設定高さＺＨが前記目標設定高さＺＨ(O)となるように、前記交点ＣＰの位置を移動させることができる。
【０１３８】
仮に、目標設定高さＺＨ(O)を０．５７ｍｍに設定する。
前述の通り、図１７における前記交点ＣＰの設定高さＺＨは０．４３９ｍｍであるから、図１７に示された直線ＺＨ(min)／θ１（Ｔ１）及び／又は直線ＺＨ(min)／θ１（Ｔ２）を縦軸に沿って上方へ移動させることで、前記交点ＣＰの設定高さＺＨを目標設定高さＺＨ(O)の０．５７ｍｍに一致させることができる。
【０１３９】
そして、直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ１）及び／又は直線ＺＨ(min)／θs（Ｔ２）を縦軸に沿って上方へ移動させる為には、Ｄ３を小さくすれば良い（図１８参照）。
つまり、Ｄ３の数値を小さく、即ち、第３曲げ線ＢＬ３をサスペンション長手方向基端側へ移動させることによって、交点ＣＰの設定高さＺＨを目標設定高さＺＨ(O)の０．５７ｍｍへ近づけることができ、その移動すべき量は前記の２つの直線の傾きによって得ることができる。
本解析においては、Ｄ３を０．０６ｍｍにすれば、交点ＣＰの設定高さＺＨが目標設定高さＺＨ(O)の０．５７ｍｍに一致した。この際のθ１は２．７３degであった。
【０１４０】
次に、このような調整作業によって設定されたθ１及びＤ３を有する磁気サスペンション１００の振動特性についての解析を有限要素法を用いて行った。
【０１４１】
具体的には、Ｄ３を除き前記基本寸法を有しつつ、θ１が２．７３deg、θ２が−６deg且つＤ３が０．０６ｍｍとされることで、捩れ１次モードのゲイン及び前記捩れ２次モードのゲインが最小化され且つ設定高さＺＨが目標設定高さＺＨ(O)である０．５７ｍｍとされた磁気ヘッドサスペンションを用意し、この磁気ヘッドサスペンションに対して、前記支持部固定位置をｚ方向及びサスペンション長手方向に沿ったｘ方向に関し拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面をｚ方向に関し拘束した状態で、前記支持部固定位置にサスペンション幅方向に沿ったｙ方向に強制振動（周期的な外力による定常振動：周波数１００Ｈｚ〜３０ｋＨｚ）を与え、支持部固定位置に加える前記強制振動による変位量（もしくは加速度）」に対する前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位量（もしくは加速度）」の比を前記磁気ヘッドスライダ５０のゲインとして求めた。なお、θ３は前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に押し付ける為の押し付け荷重を所定値に設定する為に適宜設定されるものである。本解析においては、前記押し付け荷重が２ｇｆとなるようにθ３を設定している。
その結果を図１９に示す。
【０１４２】
図１９から、周波数７．２２ｋＨｚ付近で捩れ１次モードの共振が生じ、周波数１６．３ｋＨｚ付近で捩れ２次モードの共振が生じているが、これらの捩れ１次モード及び捩れ２次モードのゲインは最小化されていることが確認できる。
【０１４３】
一方、図１９から、周波数１９．９ｋＨｚ付近に捩れ３次モードの共振が生じており、この捩れ３次モードでのゲインは１６．２ｄＢという大きな値となっている。
また、図１９から、周波数２５．０ｋＨｚ付近にＳｗａｙモードの共振が生じており、このＳｗａｙモードでのゲインは４３．１ｄＢという大きな値となっている。
【０１４４】
そこで、捩れ３次モード及びＳｗａｙモードの振動に対して効果的な構成について検討する。
前述の通り、前記第１曲げ線ＢＬ１及び前記第３曲げ線ＢＬ３の設置位置並びに曲げ角度を調整することによって捩れ１次モード及び捩れ２次モードにおけるゲインの最小化を図っている。
従って、前記第１曲げ線ＢＬ１及び第３曲げ線ＢＬ３の設置位置並びに曲げ角度の調整によって、捩れ３次モード及びＳｗａｙモードに対する振動特性を向上させることはできず、これらの曲げ線以外の前記第２曲げ線ＢＬ２の設置位置及び／又は曲げ角度の調整によって、捩れ３次モード及びＳｗａｙモードに対する振動特性を向上させる必要がある。
【０１４５】
この点に関し、図１９に示す解析において用いた磁気ヘッドサスペンションにおけるＤ２と捩れ３次モードにおけるゲインとの関係を図２０にプロットした（図２０のｅ１）。
また、図１９に示す解析において用いた磁気ヘッドサスペンションにおけるＤ２とＳｗａｙモードの共振周波数との関係を図２１にプロットした（図２１のｅ１）。
【０１４６】
前記基本寸法に対してＤ２を０．６３７ｍｍ（＝０．９１×Ｌ２）に変更した磁気ヘッドサスペンションを用いて図１７及び図１８の解析を行った。
その結果、Ｄ２が０．６３７ｍｍ（＝０．９１×Ｌ２）の場合には、θ１を２．７９deg、θ２を−６degとし、且つ、Ｄ３を０．２１ｍｍ（＝０．０２９×Ｌ２）とすれば、設定高さＺＨを目標設定高さＺＨ(O)としつつ捩れ１次モード及び捩れ２次モードのゲインを最小化させることができた。なお、θ３は、前述の通り、前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に押し付ける為の押し付け荷重を所定値に設定する為に適宜設定されるものである。本解析においては、前記押し付け荷重が２ｇｆとなるようにθ３を設定している。
【０１４７】
この磁気ヘッドサスペンションに対して図１９と同じ解析を行った結果、捩れ３次モードにおけるゲインは１３．１ｄＢで、Ｓｗａｙモードの共振周波数は２４．８８ｋＨｚであった。
その結果を、図２０及び図２１にそれぞれ示す（ｅ２）。
【０１４８】
前記基本寸法に対してＤ２を０．７ｍｍ（＝１．０×Ｌ２）に変更した磁気ヘッドサスペンションを用いて同様の解析を行った。
その結果を、図２０及び図２１にそれぞれ示す（ｅ３）。
【０１４９】
前記基本寸法に対してＤ２を０．３３６ｍｍ（＝０．４８×Ｌ２）に変更した磁気ヘッドサスペンションを用いて同様の解析を行った。
その結果を、図２０及び図２１にそれぞれ示す（ｅ４）。
【０１５０】
前記基本寸法に対してＤ２を０．４３４ｍｍ（＝０．６２×Ｌ２）に変更した磁気ヘッドサスペンションを用いて同様の解析を行った。
その結果を、図２０及び図２１にそれぞれ示す（ｅ５）。
【０１５１】
さらに、ｅ１〜ｅ５の磁気ヘッドサスペンションにおいて、θ２を−６degから−４degに変更した磁気ヘッドサスペンションにおいても、同様の解析を行った。
その結果を、図２０及び１９に示す（ｆ１〜ｆ５）。
【０１５２】
図２０から、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ角度θ２の如何に拘わらず、前記第２曲げ線ＢＬ２をサスペンション長手方向先端側へ移動させて前記一対のフランジ部３２の基端側エッジに近接させるに従って（即ち、Ｄ２を１．０×Ｌ２に近づけるに従って）、捩れ３次モードにおけるゲインを小さくできることが確認できる。
【０１５３】
又、図２１から、Ｓｗａｙモードの共振周波数は、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ角度θ２の如何に拘わらず、前記第２曲げ線ＢＬ２をサスペンション長手方向基端側から先端側へ移動させるに従って上昇し、Ｄ２が０．７×Ｌ２に達するとそれ以降は実質的に最上昇値に保持されることが確認できる。
即ち、図２１から、０．７×Ｌ２≦Ｄ２とすると、Ｓｗａｙモードの共振周波数を最も上昇させ得ることが確認できる。
【０１５４】
以上の点から、前記第２曲げ線ＢＬ２の位置Ｄ２を０．７×Ｌ２≦Ｄ２≦１．０×Ｌ２に設定すれば、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ加工容易化という効果を得つつ、Ｓｗａｙモードの共振周波数の上昇及び捩れ３次モードのゲインの低減を図ることができ、より好ましくは、Ｄ２＝１．０×Ｌ２となるように前記第２曲げ線ＢＬ２を配置させることができる。
【０１５５】
次に、前記第２曲げ線ＢＬ２での（曲げ方向を含む）曲げ角度に関して行った解析について説明する。
前記実施例Ｂの基本寸法に対してＤ２を０．６３７ｍｍ（＝０．９１×Ｌ２）に変更し、且つ、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ角度θ２を−６degとした磁気ヘッドサスペンションを用いて、図１７及び図１８の解析と同様の解析を行った。
なお、曲げ角度が「−（マイナス）」とは、ディスク面とは反対側に凸状になるように曲げられることを意味し、曲げ角度が「＋（プラス）」とは、ディスク面に向かって凸状となるように曲げられることを意味する。
又、前記第３曲げ線ＢＬ３での曲げ角度θ３は、前述の通り、前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に押し付ける為の押し付け荷重が所定値（本解析においては２ｇｆ）となるように設定した。本解析においては、θ３の曲げ角度は「−（マイナス）」の値であった。
【０１５６】
前記寸法においては、θ１を２．７９degで且つＤ３を０．０２１ｍｍとすれば、捩れ１次モード及び捩れ２次モードの双方のゲインを最小化させつつ、設定高さＺＨを目標設定高さＺＨ(O)の０．５７ｍｍとすることができた。
この磁気ヘッドサスペンションに対して図１９の解析と同様の解析を行って、捩れ３次モードのゲインを求めると、１３．１ｄＢであった。
その結果を横軸がθ２とされ且つ縦軸が捩れ３次モードのゲインとされた図２２にプロットした（図２２のｇ１）。
【０１５７】
θ２を−５degに変更して同様の解析を行った。
この場合には、θ１を２．７３degで且つＤ３を０．０９４ｍｍとすれば、捩れ１次モード及び捩れ２次モードの双方のゲインを最小化させつつ、設定高さＺＨを目標設定高さＺＨ(O)の０．５７ｍｍとすることができ、その寸法を有する磁気ヘッドサスペンションの捩れ３次モードのゲインは１６．５ｄＢであった。その結果を図２２にプロットした（図２２のｇ２）。
【０１５８】
θ２を−４degに変更して同様の解析を行った。
この場合には、θ１を２．８１degで且つＤ３を０．１６４ｍｍとすれば、捩れ１次モード及び捩れ２次モードの双方のゲインを最小化させつつ、設定高さＺＨを目標設定高さＺＨ(O)の０．５７ｍｍとすることができ、その寸法を有する磁気ヘッドサスペンションの捩れ３次モードのゲインは１８．４ｄＢであった。その結果を図２２にプロットした（図２２のｇ３）。
【０１５９】
θ２を−２degに変更して同様の解析を行った。
この場合には、θ１を２．６０degで且つＤ３を０．２７３ｍｍとすれば、捩れ１次モード及び捩れ２次モードの双方のゲインを最小化させつつ、設定高さＺＨを目標設定高さＺＨ(O)の０．５７ｍｍとすることができ、その寸法を有する磁気ヘッドサスペンションの捩れ３次モードのゲインは１９．７ｄＢであった。その結果を図２２にプロットした（図２２のｇ４）。
【０１６０】
θ２を０degに変更して（即ち、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げが無い状態で）同様の解析を行った。
この場合には、θ１を２．５１degで且つＤ３を０．３１６ｍｍとすれば、捩れ１次モード及び捩れ２次モードの双方のゲインを最小化させつつ、設定高さＺＨを目標設定高さＺＨ(O)の０．５７ｍｍとすることができ、その寸法を有する磁気ヘッドサスペンションの捩れ３次モードのゲインは２０．７ｄＢであった。その結果を図２２にプロットした（図２２のｇ５）。
【０１６１】
θ２を４degに変更して同様の解析を行った。
この場合には、θ１を２．５６degで且つＤ３を０．３６４ｍｍとすれば、捩れ１次モード及び捩れ２次モードの双方のゲインを最小化させつつ、設定高さＺＨを目標設定高さＺＨ(O)の０．５７ｍｍとすることができ、その寸法を有する磁気ヘッドサスペンションの捩れ３次モードのゲインは２１．１ｄＢであった。その結果を図２２にプロットした（図２２のｇ６）。
【０１６２】
図２２から、前記第１曲げ線ＢＬ１においては前記ディスク面に向かって凸状となるように曲げられ（即ち、先端側が前記ディスク面から離間するように曲げられ）且つ前記第３曲げ線ＢＬ３においては前記ディスク面とは反対側に向かって凸状となるように曲げられ（即ち、先端側が前記ディスク面に近接するように曲げられ）た磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記第２曲げ線ＢＬ２での曲げ角度θ２をマイナス方向に大きくするに従って（即ち、先端側が前記ディスク面に近接する方向への曲げ角度を大きくするに従って）、捩れ３次モードのゲインを小さくできることが確認される。
【符号の説明】
【０１６３】
１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ、３Ａ、４Ａ        磁気ヘッドサスペンション
１０        支持部
２０        荷重曲げ部
２１        板バネ
３０、３０（２）、３０（３）、３０（４）  ロードビーム部
３１        本体部
３２        フランジ部
３２ａ      先端側フランジ部
３２ｂ      基端側フランジ部
３３        ディンプル
３５        易曲げ構造
３６        拡幅部
４０        フレクシャ部
５０        磁気ヘッドスライダ
６０        制振材
４１５      ヘッド搭載領域
ＢＬ１      第１曲げ線
ＢＬ２      第２曲げ線
ＢＬ３      第３曲げ線
【図１】
0005318162.tif 000002
【図２】
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【図３】
0005318162.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005318162.tif 000006
【図６】
0005318162.tif 000007
【図７】
0005318162.tif 000008
【図８】
0005318162.tif 000009
【図９】
0005318162.tif 000010
【図１０】
0005318162.tif 000011
【図１１】
0005318162.tif 000012
【図１２】
0005318162.tif 000013
【図１３】
0005318162.tif 000014
【図１４】
0005318162.tif 000015
【図１５】
0005318162.tif 000016
【図１６】
0005318162.tif 000017
【図１７】
0005318162.tif 000018
【図１８】
0005318162.tif 000019
【図１９】
0005318162.tif 000020
【図２０】
0005318162.tif 000021
【図２１】
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【図２２】
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