(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接続された複数の成膜室と、基板を保持するキャリアと、キャリアに成膜前の基板を載置する機構と、キャリアを接続された複数の成膜室内に順次搬送する機構と、キャリアから成膜後の基板を取り外す機構を有する磁気記録媒体の製造装置であって、前記キャリアを搬送する機構がリニアモータであり、該リニアモータはキャリアの自重による落下を保持する機能を有し、成膜室内にキャリアの自重による落下を保持するガイドを設け、
成膜室内に設けたキャリアの自重による落下を保持するガイドが、複数のベアリングであり、
ベアリング１個あたりに加わる力が、０または９．８Ｎ以下であり、
キャリアの側部に磁性材料を設け、その磁性材料に対向して成膜室の壁部に設けたリニアモータによりキャリアを搬送することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
【請求項２】
キャリアの側部に設けた磁性材料が永久磁石であることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の製造装置。
【請求項３】
リニアモータの電磁石を、成膜室の大気側に設けることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録媒体の製造装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載の磁気記録媒体の製造装置を用いて基板の表面に少なくとも磁性膜を成膜することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置等に用いられる磁気記録媒体の製造装置および製造方法に関し、さらに詳しくは、磁気記録媒体のインライン方式製造装置の、基板を保持するキャリアの搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハードディスク装置等に用いられる磁気記録媒体の分野においては記録密度の向上が著しく、特に最近では、記録密度が１０年間で１００倍程度と、驚異的な速度で伸び続けている。
【０００３】
ハードディスク装置等に用いられる磁気記録媒体は、例えば図１に示すように、非磁性基板８０と、非磁性基板８０の両面あるいは片面上に順次積層されたシード層８１、下地膜８２、磁気記録膜８３、保護膜８４および潤滑剤層８５から構成されている。このような構成の磁気記録媒体は、一般的には、インライン方式の成膜装置によって製造される。
【０００４】
図２はイオンライン方式の磁気記録媒体製造装置の一例を示す模式図、図３は磁気記録媒体製造装置のスパッタ成膜室とキャリアを示す模式図、図４は磁気記録媒体製造装置が備えるキャリアを示す側面図である。なお、図３において、実線で示すキャリアは、第１成膜位置に停止した状態を示し、破線で示すキャリアは、第２成膜位置に停止した状態を示す。すなわち、本例で示したスパッタ成膜室は、成膜室内に、基板に対向した２枚のターゲットがあるため、第１成膜位置に停止した状態でキャリアの左側の基板に成膜を行い、その後、キャリアが破線で示す位置に移動し、第２成膜位置に停止した状態で、キャリアの右側の基板に成膜を行う。なお、成膜室内に、基板に対向して４枚のターゲットがある場合は、このようなキャリアの移動は不要となり、キャリアの右側および左側に保持された基板に同時に成膜を行うことができる。
【０００５】
図２に示すように、インライン方式の磁気記録媒体製造装置は、例えば、基板カセット移載ロボット台１、基板カセット移載ロボット３、基板供給ロボット室２、基板供給ロボット３４、基板取り付け室５２、キャリアを回転させるコーナー室４、７、１４、１７、スパッタ成膜室および基板加熱成膜室５、６、８〜１３、１５、１６、保護膜形成室１８〜２０、基板取り外し室５４、基板取り外しロボット室２２、基板取り外しロボット４９、キャリアのアッシング室３Ａ、複数の成膜用基板（非磁性基板）２３、２４が装着される複数のキャリア２５を有している。
【０００６】
これら各室２、５２、４〜２０、５４、３Ａには、それぞれ真空ポンプが接続されており、これらの真空ポンプの動作によって減圧状態となされた各室内に、キャリア２５を順次搬送し、各形成室内において、装着された成膜用基板２３、２４の両面に薄膜（例えば、シード層８１、下地層８２、磁気記録膜８３および保護膜８４）を形成することによって薄膜積層体の一例としての磁気記録媒体が得られるように構成されている。
【０００７】
図４に示すように、キャリア２５は、支持台２６と、支持台２６の上面に設けられた複数の基板装着部２７（本実施形態では２基搭載）とを有している。
【０００８】
基板装着部２７は、成膜用基板（非磁性基板）２３、２４の厚さとほぼ等しい厚さを有する板体２８に、成膜用基板２３、２４の外周より若干大径となされた円形状の貫通穴２９が形成されて構成され、貫通穴２９の周囲には、該貫通穴２９の内側に向かって突出する複数の支持部材３０が設けられている。この基板装着部２７には、貫通穴２９の内部に成膜用基板２３、２４が嵌め込まれ、その縁部に支持部材３０が係合することによって、成膜用基板２３、２４が保持される。この基板装着部２７は、装着された２枚の成膜用基板２３、２４の主面が支持台２６の上面に対して略直交し、且つ、略同一面上となるように、支持台２６の上面に並列して設けられている。以下、これら基板装着部２７に装着される２枚の成膜用基板２３、２４を、それぞれ、第１成膜用基板２３および第２成膜用基
板２４と称する。
【０００９】
基板カセット移載ロボット３は、成膜用基板２３、２４が収納されたカセットから、基板取り付け室２に基板を供給するとともに、基板取り外し室２２で取り外された磁気ディスク（各薄膜８１〜８４が形成された成膜用基板２３、２４）を取り出す。この基板取り付け・取り外し室２、２２の一側壁には、外部に開放された開口と、この開口を開閉する５１、５５が設けられている。
【００１０】
また、各室２、５２、４〜２０、５４、３Ａは隣接する２つの壁部にそれぞれ接続されており、これら各室の接続部には、ゲートバルブが設けられており、これらゲートバルブが閉状態のとき、各室内は、それぞれ独立の密閉空間となる。
【００１１】
コーナー室４、７、１４、１７は、キャリア２５の移動方向を変更する室であり、その内部に、図示しない、キャリアを回転させて次の成膜室に移動させる機構が設けられている。
【００１２】
保護膜形成室１８〜２０は、第１成膜用基板２３および第２成膜用基板２４に形成された最上層の表面に、ＣＶＤ法等によって、保護膜を形成する室である。保護膜形成室には、図示しない反応性ガス供給管および真空ポンプが接続されている。
【００１３】
反応性ガス供給管には、図示しない制御機構によって開閉が制御されるバルブが設けられ、真空ポンプと保護膜形成室の間には、図示しない制御手段によって開閉が制御されるポンプ用ゲートバルブが設けられている。これらバルブおよびポンプ用ゲートバルブを開閉操作することにより、スパッタガス供給管からのガスの供給、保護膜形成室内の圧力およびガスの排出が制御される。
【００１４】
基板取り外し成膜室５４の内部では、キャリア２５に装着された第１成膜用基板２３および第２成膜用基板２４が、ロボット４９を用いて取り外される。その後、キャリア２５は、キャリアのアッシング室３Ａに搬入される。
【００１５】
このようなインライン方式の磁気記録媒体の製造装置においてキャリアを搬送する方法としては、例えば、特許文献１に示すように、キャリアに設けた磁石と、成膜装置内に設けた磁石との吸引力を用いる方法が提案されている。すなわち、図５に示すように、キャリア１００を、ガイドローラにより紙面と平行で横方向に移動するように保持し、キャリア１００の下部に磁石３００をＮ極、Ｓ極が交互になるよう配置し、その下部に、円筒状でＮ極、Ｓ極の磁石を螺旋状に配置したキャリア駆動用磁石２００を設け、キャリアの下部の磁石３００と、キャリア駆動用磁石２００を非接触で磁気的に結合させ、キャリア駆動用磁石２００を円筒の中心軸で回転させることにより、キャリア１００を、紙面と平行で横方向に移動させる。
なお、特許文献２には、ディスク基板の搬送系の能力を向上させるためリニアモータを用いることが開示されている。
【特許文献１】特開２００２−２８８８８８号公報
【特許文献２】特開平８−３３５６２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
特許文献１に記載されたキャリアの搬送装置では、キャリアを搬送させるキャリア駆動用磁石をキャリアの下部に設けている。特許文献１に記載された搬送装置において、キャリアの側部に磁石を設け、それに対向する位置にキャリア駆動用磁石を設け、そのキャリア駆動用磁石とキャリアの側部に設けた磁石とを磁気結合させ、キャリア駆動用磁石を回転させてキャリアを搬送することは、技術的には可能である。しかしながら、キャリア駆動用磁石をキャリア面に対して上方向に回転させた場合、キャリアが両磁石間の吸引力により上方向に持ち上げられキャリアが大きく振動する。また、キャリア駆動用磁石をキャリア面に対して下方向に回転させた場合、キャリアはキャリアを保持するベアリングに押しつけられ、これによりキャリアの動作が悪くなる。
【００１７】
このような問題を解消するため、キャリアが上方向に動かないようにベアリング等でキャリアをガイドし、また、下方向のベアリングを増やす方法も考えられるが、キャリアを保持するベアリングの数が増えるとキャリアの動きが悪くなり、また、ベアリングからの脱ガスにより成膜室の真空度が悪化する。また成膜室の下部には重量物である真空ポンプを設けるのが好ましいが、成膜室の下部にキャリア駆動用磁石やその磁石を回転させる機構等を設けると、それらが排気管を覆い、真空ポンプによる成膜室内のガスの排気が阻害される。加えて、磁気記録媒体の製造装置の製造能力を高めるために、キャリアの搬送速度を高めることが求められるが、特許文献１に記載の機構では、キャリア駆動用磁石の回転速度に限界があり、そしてキャリアの搬送速度にも限界があった。また、本機構では、キャリアの自重による落下をベアリングによって支える必要があるが、真空中で使用されるベアリングには液体潤滑剤を使用することが難しいため、ベアリングに大きな加重が加わった場合はベアリングの回転特性が悪くなり、キャリアを高速で移動させることが困難であった。さらに、成膜室内の高真空を確保するためには、キャリア駆動用磁石およびその回転機構を成膜室の外部に設けるのが好ましいが、このような構成を実現するためには成膜装置内の構造が複雑となり、これらの機構やこれらのシール部分からのリークにより成膜室の高真空を確保するのが難しかった。
【００１８】
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、インライン方式の磁気記録媒体の製造装置において、キャリアを高速で搬送することが可能で、成膜室内の排気能力が高く、高い真空度を短時間で容易に実現できる磁気記録媒体の製造装置、および、その装置を用いた磁気記録媒体の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意努力検討したところ、インライン方式の磁気記録媒体の製造装置に用いられるキャリアの搬送にリニアモータを用い、リニアモータの駆動系をキャリアの側部、かつ、成膜室の外部（成膜室の大気側）に設け、リニアモータにキャリアの自重による落下を保持する機能を付与し、キャリアを保持するガイドに加わる力を極限まで下げることにより前記課題を解決できることを見出し、本願発明を完成させた。すなわち、本願発明は以下に関する。
（１）接続された複数の成膜室と、基板を保持するキャリアと、キャリアに成膜前の基板を載置する機構と、キャリアを接続された複数の成膜室内に順次搬送する機構と、キャリアから成膜後の基板を取り外す機構を有する磁気記録媒体の製造装置であって、前記キャリアを搬送する機構がリニアモータであり、該リニアモータはキャリアの自重による落下を保持する機能を有し、成膜室内にキャリアの自重による落下を保持するガイドを設け、成膜室内に設けたキャリアの自重による落下を保持するガイドが、複数のベアリングであり、ベアリング１個あたりに加わる力が、０または９．８Ｎ以下であり、キャリアの側部に磁性材料を設け、その磁性材料に対向して成膜室の壁部に設けたリニアモータによりキャリアを搬送することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
（２）キャリアの側部に設けた磁性材料が永久磁石であることを特徴とする（１）に記載の磁気記録媒体の製造装置。
（３）リニアモータの電磁石を、成膜室の大気側に設けることを特徴とする（１）または（２）に記載の磁気記録媒体の製造装置。
（４）（１）〜（３）の何れか１項に記載の磁気記録媒体の製造装置を用いて基板の表面に少なくとも磁性膜を成膜することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、インライン方式の磁気記録媒体の製造装置において、キャリアの搬送速度を高速化できるため、磁気記録媒体の製造能力を高めることができる。また、成膜室内の排気能力を高めることができるため、成膜室へのプロセスガスの導入、排気を高速で行うことが可能となり、磁気記録媒体の成膜プロセスを円滑に行うことが可能となり、また磁気記録媒体の製造能力を高めることができる。さらに、成膜室の高い真空度を容易に確保できるため、品質の高い磁気記録媒体の製造方法が提供できると共に、反応性スパッタ等のより高度な成膜技術にも対応することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本願発明を、図を用いて詳細に説明する。図６は本願発明のキャリアおよびその駆動系を模式的に示した斜視図、図７は図６の斜視図においてキャリアを取り除いた図、図８は図７において真空カバーを取り除き、リニアモータの駆動系である複数の電磁石が見えるようにした図、図９の左図は図６で示したキャリアおよびその駆動系を正面から見た図、図９の右図はＡの箇所の断面を示した図である。
【００２２】
本願発明は、図６〜図９に示すように、磁気記録媒体の製造装置において、基板を搬送するキャリア６０１と、そのキャリアを搬送するリニアモータ駆動系６０２、成膜室内に設けたキャリアの自重による落下を保持するガイド６０６から構成される。本願発明のリニアモータ駆動系６０２は、成膜室の側壁部６０３に、キャリアを横方向に搬送するように設けられている。そして、リニアモータ駆動系６０２の内部には複数のリニアモータ駆動用電磁石８０１が設けられ、キャリア６０１でリニアモータ駆動系６０２の対向する位置には、リニアモータ駆動用磁性材料６０４が設けられている。
本願発明の製造装置では、キャリア６０１の側面等に設けられた磁性材料を、リニアモータ駆動系６０２の内部に設けたリニアモータ駆動用電磁石８０１で吸引し、キャリアが自重による落下しないように保持する。そして、本願発明では、キャリア６０１を、複数に分割されたリニアモータ駆動用電磁石８０１とリニアモータ駆動用磁性材料６０４との吸引力および／または反発力により搬送するが、キャリア６０１とリニアモータ駆動系６０２とが接触しないように搬送用のベアリング６０５を設けている。この搬送用のベアリング６０５により、キャリア６０１とリニアモータとの接触が避けられ、またリニアモータの駆動により、キャリアを横方向に高速で動かすことが可能となる。
本願発明では、このような機構を採用することにより、キャリアを支えるガイド（図６では複数設けられたベアリング６０６が本願発明のガイドに該当する。）に加わる加重を極限まで低減することが可能となり、キャリアがガイドから受ける摩擦力を極限まで減らし、キャリアを高速で移動させることが可能となる。
本願発明では、成膜室内に設けたキャリアの自重による落下を保持するガイドとして、図６に示すように複数のベアリングを用いるのが、そのしゅう動特性から好ましい。ここで、ベアリングとは機械部品の摩擦を減らし、スムーズな機械の回転運動を確保する軸受を意味するが、本願発明では特に、転がり軸受を指している。
本願発明では、図６に示すように、成膜室内に設けたキャリアの自重による落下を保持するガイドとして設けるベアリング１個あたりに加わる力を、０または９．８Ｎ以下とするのが好ましい。本願発明の搬送機構では、キャリアを前記ガイドによって保持せず、キャリアをリニアモータのみによって保持することも可能である。しかしながら、このような構造を採用すると、キャリアの搬送中にキャリアが振動する場合がある。すなわち、キャリア６０１はリニアモータ駆動系６０２による吸引力と、搬送用のベアリング６０５とキャリア６０１との摩擦力のみによって保持されることとなるが、このような状態においては、キャリアはキャリアの有する固有共振周波数により振動する。この振動は比較的低い周波数での振動となるが、これによりキャリアから基板が落下したり、また基板への成膜においてプラズマ等が不安定となり悪影響が生ずる場合が考えられる。本願発明のキャリアを支えるガイドは、このようなキャリアの振動を防ぐためのものであり、キャリアがガイドから浮くことがない程度に、ガイドに加わる力を極限まで０に近づけるか、または、ガイドとしてベアリングを用いる場合は、ベアリング１個あたりに加わる力を、９．８Ｎ以下とするのが好ましい。
すなわち、本願発明においてベアリング等のガイドに大きな加重を加えてキャリアを搬送した場合、キャリアの搬送速度がベアリングの負荷時のしゅう（摺）動特性、回転特性に大きく依存することになる。ここで、前述のように磁気記録媒体の製造装置のように、高度な真空度が要求される装置内で用いられるベアリングには、しゅう動特性、回転特性を高めるために、液体の潤滑剤等を用いることは好ましくなく、また使える潤滑剤にも制限がある。そのため、キャリアの自重の多くをベアリング等により支えながらキャリアを搬送する場合は、キャリアの高速度での搬送が困難となる。本願発明者の解析によると、数ｋｇの重さのキャリアを、約１．５ｍの距離を搬送するに際し、キャリアを支えるベアリング１個あたりに加わる力を９．８Ｎ（１ｋｇｆ）以下とすることにより、搬送時間として約０．５秒以下を実現できることが明らかになった。
【００２３】
本願発明の製造装置では、キャリア６０１の自重のほとんどを、その側面に用いたリニアモータの吸引力により支えるため、キャリアを搬送する際のガイドによる抵抗がなくなり、キャリアを高速度で移動させることが可能となる。
【００２４】
なお、本願発明のキャリアの自重による落下を保持するガイドをとは、キャリアの搬送時および成膜室内での待機時に、キャリアの重力による下方への落下を支えるベアリング等のガイドを意味する。すなわち、そのような機能を有するベアリング等であれば、キャリアの下部に設けたベアリング等の他、キャリアの側部にガイドレールを設け、そのガイドレールを上方に支えるベアリング等も含む。そのような機能を有するベアリング等は、キャリアの下部に設けられる場合もあれば、キャリアの側部や上部に設けられる場合もある。
【００２５】
なお、本願発明の図６では、キャリア６０１の下部に、複数のベアリング６０６が設けているが、これらのベアリングが本願発明のキャリアの自重による落下を保持するガイドに該当する。
【００２６】
本願発明の磁気記録媒体の製造装置におけるリニアモータ駆動系では、例えば、図８に示すように複数に分割されたリニアモータ駆動用電磁石８０１を有するが、これらのリニアモータ駆動用電磁石８０１は、図７に示すように電磁石カバー７０１により覆われ、電磁石は成膜室の側壁部６０３の大気側に設けられていることを特徴とする。リニアモータ駆動用電磁石８０１は、磁心に電線をコイル状に巻いたものであるが、磁心や電線は真空中で用いられる部材ではない場合が多く、また電線の絶縁被覆も樹脂等が用いられ真空中で用いることが好ましくない場合が多い。本願発明の磁気記録媒体の製造装置では、このような部材を容易に成膜室の外部（大気側）に設けることが可能となり、成膜室内の高真空を容易に達成することが可能となる。なお、電磁石カバー７０１は、リニアモータ駆動用電磁石８０１とリニアモータ駆動用磁性材料９０２との距離をなるべく近づけるため、薄くするのが好ましく、また材質としては非磁性で磁界の通りやすい材料を用いるのが好ましい。
【００２７】
本願発明では、リニアモータ駆動用磁性材料６０４（図９の符号９０２）として、永久磁石を用いるのが好ましい。リニアモータ駆動用磁性材料９０２は、リニアモータ駆動用電磁石８０１のＳ極、Ｎ極、消磁の高速変化に呼応し、キャリアを停止（保持）、右移動、左移動させる。リニアモータ駆動用磁性材料としては、電磁石に吸引する鉄、コバルト等の磁性材料を用いることができるが、よりリニアモータ駆動用電磁石による高速な呼応を確保するためには、電磁石に対しいて吸引、反発力を有する永久磁石を用いるのが好ましい。本願発明のリニアモータ駆動用磁性材料として用いることができる永久磁石としては、フェライト磁石、希土類磁石等を用いるのが好ましい。この中でフェライト磁石は、加工が容易でありまた靱性が高いため、キャリアの部分にネジ等で保持するのが容易であるとの利点を有する。また希土類磁石は加工が難しくまた脆いが、電磁石に対する吸引力、反発力が強力であるため、リニアモータによる駆動に際して、キャリアをより高速で移動させることが可能となる。なお、希土類磁石はキャリアの箇所にネジ止め等で保持することが難しいため、その表面をステンレス板等の非磁性材料で覆い、磁石をキャリアの内部に埋め込む構造とするのが好ましい。本願発明のリニアモータ駆動用磁性材料としては、ＳｍＣｏ系、ＮｄＦｅＢ系の焼結磁石を用いるのがその吸引力、反発力の強さから好ましい。
【００２８】
本願発明の磁気記録媒体の製造装置では、キャリア６０１を、アルミニュウム合金を用いて製造するのが好ましい。アルミニュウム合金は軽いためリニアモータによる制動が容易であり、また非磁性材料であるためこれにリニアモータ駆動用磁性材料を取り付けて制動するのに好都合である。加えて、真空中での脱ガスが少なく成膜室内の高真空を維持するのにも好都合である。ただし、アルミニュウム合金は耐摩耗性が低いため、図９の右図で、キャリア６０１と搬送用のベアリング６０５の接する箇所９０３は、高剛性で表面が平滑なステンレス材料等を用いるのが好ましい。
【００２９】
本願発明の磁気記録媒体の製造装置では、前述のように、キャリアの駆動機構部を成膜室の側部に設けることが可能となり、これにより成膜室の下部にあったキャリアの駆動機構部等をなくすことが可能となり、成膜室の下部に設けた真空ポンプ排気能力を高め、成膜室の排気をスピーディーに行うことが可能となった。また、従来のキャリアの駆動機構で必要であった磁石の回転機構が不要となり、またこれらの機構を成膜室の内部に設ける必要がなくなり、そしてこれらの機構からの脱ガスやリークがなくなり、成膜室のベースプレッシャーを下げることが可能となった。以上のように、本願発明の磁気記録媒体の製造装置が有する特徴は、磁気記録媒体の磁性膜を、反応性スパッタ技術を用いて成膜するのに特に優れている。
【実施例】
【００３０】
以下に、実施例を用いて本願発明の磁気記録媒体の製造装置、および磁気記録媒体の製造方法を説明するが、本発明はこれらの実施例にのみ限定されるものではない。
【００３１】
（実施例）
（スパッタ成膜製造装置）
磁気記録媒体の製造装置として、図２に示した成膜室等の構造で、キャリアおよびキャリアの搬送機構として図６〜図９に示した構造を用いた。キャリアはＡ５０５２アルミニウム合金製とし、キャリアの側面にはＮｄＦｅＢ系の焼結永久磁石を埋め込み、その表面を厚さ０．５ｍｍのＳＵＳ３０４の板で覆った。その表面から０．５ｍｍの距離の成膜室側壁に、厚さ１ｍｍのＳＵＳ３０４のカバーで覆ったリニアモータ電磁石を設けた。なお、リニアモータ電磁石は反応室の外部（大気側）に設けられている。リニアモータ電磁石には、安川電機製ＳＧＬシリーズで、磁気吸引力２０００Ｎのものを用いた。
本装置において、キャリアの下部にガイドとして５個のベアリングを設けたが、キャリアの自重８ｋｇに対して、ベアリング１個あたりに加わる力は約１００ｇｆ（９８０ｍＮ）であった。
【００３２】
本構造の磁気記録媒体の製造装置では、約１．５ｍ間隔の成膜装置室間のキャリアの移動速度として、キャリアの加減速時間を含めて０．３秒以内で行うことが達成された。
【００３３】
（反応性スパッタを用いた磁気記録媒体の製造）
ＮｉＰメッキアルミニウム基板からなる非磁性基板を、スパッタ成膜装置の成膜室内に、基板搬送機を用いて基板を供給後、成膜室内の排気を行った。成膜室内のベースプレッシャーは短時間で１×１０-8Ｐａが達成された。排気完了後、成膜室の真空環境内で基板搬送機を用いて基板をキャリアへ装着した。基板上に成膜する膜構成は、密着層として、Ｃｒ膜を１０ｎｍ、裏打ち層として、７０Ｃｏ−２０Ｆｅ−５Ｔａ−５Ｚｒを３０ｎｍ、Ｒｕ膜を０．８ｎｍ、７０Ｃｏ−２０Ｆｅ−５Ｔａ−５Ｚｒを３０ｎｍ成膜した。次いで、配向制御膜として９０Ｎｉ−１０Ｗを５ｎｍ、下地膜としてＲｕを１５ｎｍ成膜した。スパッタの際には、Ａｒガスを用い、裏打ち層およびＮｉ−１０Ｗはガス圧０．８Ｐａ、Ｒｕ下地層は８Ｐａとした。
【００３４】
垂直磁気記録層は反応性スパッタにより、９２（６６Ｃｏ−１６Ｃｒ−１８Ｐｔ）−８（ＳｉＯ２）を１２ｎｍ成膜した。ターゲット組成は、９２（６６Ｃｏ−１６Ｃｒ−１８Ｐｔ）−８（ＳｉＯ２）、原料ガスとして、アルゴンを２００ｓｃｃｍ、酸素を５０ｓｃｃｍの流量で混合し、この混合ガスを、ターゲットの周囲に設けた円環状で内側方向に１ｍｍの細孔を等間隔に２０個設けたガス放出管から放出させた。反応性スパッタ時の容器内圧力は１×１０−１Ｐａとした。なお、本反応性スパッタ装置の上部には２台のターボ分子ポンプ、下部には１台のターボ分子ポンプを設け、成膜時には、トータルの実効排気速度で、上部は６００リットル／秒、下部は３５０リットル／秒で反応性ガスを排気した。
【００３５】
次いで、基板をＣＶＤ成膜装置に移し、基板上にカーボン保護膜をＣＶＤ法にて４ｎｍ成膜して磁気記録媒体を作製した。
【００３６】
得られた磁気記録媒体１００枚について、潤滑剤を塗布し、米国Ｇｕｚｉｋ社製リードライトアナライザ１６３２及びスピンスタンドＳ１７０１ＭＰを用いて、記録再生特性の評価を行った。記録再生特性としては、信号対ノイズ比（ＳＮＲ、ただしＳは線記録密度５７６ｋＦＣＩでの出力、Ｎは線記録密度５７６ｋＦＣＩでのｒｍｓ（ｒｏｏｔ  ｍｅａｎ  ｓｑｕａｒｅ）値）とＯＷ値（線記録密度５７６ｋＦＣＩの信号を記録した後、線記録密度７７ｋＦＣＩの信号を上書きした前後の５７６ｋＦＣＩの信号の再生出力比（減衰率））を評価した。その結果、磁気記録媒体面内でのＳＮＲのバラツキが５％以内で、ＯＷ値のバラツキが３％以内の特性の安定した磁気記録媒体が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の磁気記録媒体の製造方法によって製造される磁気記録媒体の一例を示す模式的な縦断面図である。
【図２】本願発明の磁気記録媒体製造装置を示す模式図である。
【図３】本願発明の磁気記録媒体製造装置が備えるスパッタ成膜室およびキャリアを示す模式図である。
【図４】本願発明の磁気記録媒体製造装置が備えるキャリアを示す側面図である。
【図５】従来のキャリアおよびその駆動系を示す模式図である。
【図６】本願発明のキャリアおよびその駆動系を示す斜視図である。
【図７】本願発明の駆動系を示す斜視図である。
【図８】本願発明の駆動系で電磁石のカバーを外した斜視図である。
【図９】本願発明のキャリアおよびその駆動系を示す正面図および断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  基板カセット移載ロボット台
２  基板供給ロボット室
３  基板カセット移載ロボット
３Ａ  キャリアのアッシング室
４、７、１４、１７  キャリアを回転させるコーナー室
５、６、８〜１３、１５、１６  スパッタ成膜室および基板加熱成膜室
１８〜２０  保護膜形成室
２２  基板取り外しロボット室
２３、２４  成膜用基板（非磁性基板）
２５  キャリア
２６  支持台
２７  基板装着部
２８  板体
２９  円形状の貫通穴
３０  支持部材
３４  基板供給ロボット
４９  基板取り外しロボット
５２  基板取り付け室
５４  基板取り外し室
８０  非磁性基板
８１  シード層
８２  下地膜
８３  磁気記録膜
８４  保護膜
８５  潤滑剤層
１００  キャリア
２００  キャリア駆動用磁石
３００  磁石
６０１  キャリア
６０２  リニアモータ駆動系
６０３  成膜室の側壁部
６０４  リニアモータ駆動用磁性材料
６０５  搬送用のベアリング
６０６  ベアリング
７０１  電磁石カバー
８０１  リニアモータ駆動用電磁石
９０１  キャリア下部
９０２  リニアモータ駆動用磁性材料
９０３  キャリアと搬送用のベアリングの接する箇所
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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