(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）の各要素で予め規格化されたフォーマット構成のシステム予約データを現場側装置で作成し、このシステム予約データを通信メッセージ編集手段を使用して作成するメッセージをホストコンピュータに送信する方式において、
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義する手段と、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成する手段を備えたことを特徴とするユーザカスタム定義データの送信方式。
【請求項２】
事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）の各要素で予め規格化されたフォーマット構成のシステム予約データを現場側装置で作成し、このシステム予約データを通信メッセージ編集手段を使用して作成するメッセージをホストコンピュータに送信する方法において、
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義するステップを有し、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成するステップを有することを特徴とするユーザカスタム定義データの送信方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、現場側装置からホストコンピュータにデータ送信するシステムにおけるユーザカスタム定義データの送信方式および送信方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置における炉内温度や不純物ガス濃度を管理した装置運転など、各種システムの現場側機器／装置の運転や制御には、現場側で各種のデータを収集・管理し、これらデータを基にした運転・制御がなされ、さらには研究・開発データとして利用される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
例えば、半導体製造装置において発生した事象をホストコンピュータに通知すること（イベントレポート）を目的に、半導体製造装置から予め規格化されたフォーマットを使用してホストコンピュータにストリーム通信を行っている。
【０００４】
このイベントレポートのフォーマットを構成する要素には３種類があり、これら要素は、図３に定義例を示すように、事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）から構成されている。ＲＰＴＩＤは１つ以上のＶＩＤから構成され、ＣＥＩＤは１つ以上のＲＰＴＩＤから構成される。
【０００５】
上記のイベントレポートは、システム予約データとしてカスタマイズされており（規格上で必須として予め規定されており）、これとは別のデフォルトデータとしてのユーザカスタム定義データをホストコンピュータに送信するには新たに定義した別のフォーマット（ただし、イベントレポートのフォーマットに類似させたフォーマット）でデータを送信している。
【０００６】
図４はイベントレポート（システム予約データ）とユーザカスタム定義データの送信処理を示す。イベントレポートの送信処理（Ｓ１）は、ホスト通信パッケージコア機能が管理するシステム予約のデータアイテム領域にデータを生成し、この領域のデータをホストコンピュータに送信する場合にはホスト通信パッケージの通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域に前記のフォーマット要素を使ったメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。
【０００７】
ユーザカスタム定義データの送信処理（Ｓ２）は、ユーザカスタム定義のデータアイテム領域にユーザカスタム定義データを作成し、この領域のデータをホスト通信パッケージの通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域に前記のフォーマット要素を使ったカスタムメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。
【特許文献１】特開平１０−２５６１０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ユーザが新たなイベントレポートを追加するために、例えば半導体製造システムにおいて、処理する材料を識別するＩＤ（ウエハＩＤ）をレポート対象にしようとしても、「ウエハＩＤ」を意味するＶＩＤがデフォルトデータとしてすでに定義されている場合には、ユーザが追加するイベントレポートではＶＩＤ「ウエハＩＤ」を使用できない。
【０００９】
例えば、図５に手順例を示すように、「ウエハＩＤ」の実体であるアイテム値をホスト通信パッケージは参照・更新しており、ユーザによる追加イベントレポートによって参照・更新されることは、このアイテム値を使用した既存のロジックの処理結果に障害が発生するなどのおそれがある。
【００１０】
このように、ユーザはイベントレポートを追加する際に、例え同じ内容を意味するＶＩＤであっても、既存のものを流用することはできないため、ＶＩＤから別途に追加定義するという作業が必要になる。一方、最終ユーザである半導体デバイスメーカ側の要求仕様によっては、別々のＶＩＤであることが認められないこともある。
【００１１】
本発明の目的は、ユーザカスタム定義データ用のフォーマット追加を不要にし、かつシステム予約データへの影響を無くしたユーザカスタム定義データの送信方式および送信方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、前記の課題を解決するため、ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、システム予約メッセージ作成で使用するものと、ユーザカスタム定義メッセージ作成で使用するものに分けて定義するようにしたもので、以下の方式および方法を特徴とする。
【００１３】
（１）事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）の各要素で予め規格化されたフォーマット構成のシステム予約データを現場側装置で作成し、このシステム予約データを通信メッセージ編集手段を使用して作成するメッセージをホストコンピュータに送信する方式において、
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義する手段と、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成する手段を備えたことを特徴とする。
【００１４】
（２）事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）の各要素で予め規格化されたフォーマット構成のシステム予約データを現場側装置で作成し、このシステム予約データを通信メッセージ編集手段を使用して作成するメッセージをホストコンピュータに送信する方法において、
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義するステップを有し、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成するステップを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
以上のとおり、本発明によれば、ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、システム予約メッセージ作成で使用するものと、ユーザカスタム定義メッセージ作成で使用するものに分けて定義するようにしたため、ユーザカスタム定義データ用のフォーマット追加を不要にし、かつシステム予約データへの影響を無くしたデータ通信ができる。
【００１６】
具体的には、ユーザがイベントレポートを追加実装する際、既存のＶＩＤを使用できる。
【００１７】
また、ＶＩＤは共通であっても、実体となるアイテムは別であるため、通信パッケージの基本動作には影響しない。
【００１８】
また、ユーザは通信パッケージの処理のタイミング等に無関係に、ＶＩＤを更新し、イベントレポートを行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は、本発明の実施形態を示すシステム予約データとユーザカスタム定義データの送信処理である。
【００２０】
本実施形態では、図４に示す従来の送信処理と同様に、イベントレポートの送信処理（Ｓ１）では、ホスト通信パッケージコア機能が管理するシステム予約のデータアイテム領域にデータを生成し、この領域のデータをホストコンピュータに送信する場合にはホスト通信パッケージ通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域にメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。
【００２１】
また、ユーザカスタム定義データの送信処理（Ｓ２）には、ユーザカスタム定義のデータアイテム領域にユーザカスタム定義データを作成し、この領域のデータをホスト通信パッケージ通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域にカスタムメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。
【００２２】
ここで、本実施形態では、ユーザカスタム定義データの作成に際し、ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、システム予約メッセージ作成で使用するものと、ユーザカスタムメッセージ作成で使用するものに分けて定義できるようにすることで、フォーマットを同一（共通化）のもので済むようにする。
【００２３】
例えば、図１中に示すように、システム予約データのアイテム領域に格納するデータ値「Ｎａｍｅ１（＝１０）」と規定されるのに対し、ユーザカスタム定義データのアイテム領域に格納するデータ値「ＵｓｅｒＮａｍｅ（＝２０）」とした分けた定義をする。
【００２４】
これにより、処理Ｓ１でのメッセージ作成処理ではＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）の「ＶＩＤ＝１」には「１０」が設定されるのに対し、処理Ｓ２でのカスタムメッセージ作成処理ではＲＰＴＩＤの「ＶＩＤ＝１」には「２０」が設定される。
【００２５】
したがって、システム予約メッセージデータと同一のフォーマットを使ってユーザカスタム定義データが作成しても、システム予約データへの影響を無くした送信ができる。また、ユーザカスタム定義データ用のフォーマット追加を不要にし、同じホスト通信パッケージの通信メッセージ編集機能を利用したメッセージ作成で済む。
【００２６】
図２はＶＩＤ（変数ＩＤ）の定義例を示し、データ型が異なるＶＩＤ１〜５について、同じＶＩＤでもデータ値格納アイテム名がパッケージ仕様とユーザ仕様で異なるものとして定義する。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態を示すデータの送信処理手順図。
【図２】ＶＩＤ（変数ＩＤ）の定義例。
【図３】フォーマット構成要素の定義例。
【図４】従来のデータの送信処理手順図。
【図５】アイテム値の使用例。
【符号の説明】
【００２８】
Ｓ１  システム予約データの送信処理
Ｓ２  ユーザカスタム定義データの送信処理
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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