(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置であって、
小型電子部品を供給する供給チャンバと、
前記供給チャンバの下部に連結され、前記小型電子部品が下降する通路を形成する光透過チューブと、
前記レーザービームを照射するレーザービーム照射器と、
前記レーザービーム照射器によって照射されたレーザービームを光透過チューブ側に水平な扇状ビームで照射されるように変換させる光学器と、
前記光透過チューブを通過する前記小型電子部品によって散乱された光を検出する光検出器と、
を備え、
前記光学器は、前記レーザービーム照射器によって照射されたレーザービームを拡散させるビームエキスパンダと、前記ビームエキスパンダによって拡散されたレーザービームを水平な扇状ビームに変換して前記光透過チューブ側に伝達するシリンドリカルレンズと、を含んでなることを特徴とするレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置。
【請求項２】
前記光学器は、前記レーザービーム照射器によって照射されたレーザービームを方向転換させて前記ビームエキスパンダに反射させるミラーをさらに含んでなることを特徴とする請求項１に記載のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置。
【請求項３】
前記光検出器は、前記光学器側に配置され、前記小型電子部品によって散乱された光を検出することを特徴とする請求項１に記載のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置。
【請求項４】
前記光透過チューブは、多数の管が前記水平な扇状ビームの進行方向に対して垂直または傾斜面をなし、前記多数の夫々の管が隣合う管への水平な扇状ビームの進行を妨害せず、前記多数の夫々の管を通過する小型電子部品によって散乱されて前記光検出器に向かう散乱光の進行を妨害しないように配置されることを特徴とする請求項１に記載のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置。
【請求項５】
前記光透過チューブの上部には、前記供給チャンバから夫々の管に前記小型電子部品が一つずつ流入されるように開口を調節する開口調節器をさらに含んでなることを特徴とする請求項４に記載のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置。
【請求項６】
前記供給チャンバは、前記小型電子部品の静電気を防止または除去するイオナイザを備えることを特徴とする請求項１に記載のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置。
【請求項７】
前記光透過チューブに連結され、前記小型電子部品が円滑に下降するように通路のエアーを吸い込むエアーサクション機構をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置。
【請求項８】
前記光透過チューブの下部に設けられ、下降する前記小型電子部品を収納する収納チャンバをさらに含んでなることを特徴とする請求項１に記載のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置。
【請求項９】
前記光検出器によって検出される散乱光を通じて前記小型電子部品をカウントするプロセッサユニットをさらに含んでなることを特徴とする請求項１から８の何れか一つに記載のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置。
【請求項１０】
レーザービームを利用した小型電子部品カウント方法であって、
（ａ）供給チャンバから光透過チューブに小型電子部品を下降させる段階と、
（ｂ）レーザービーム照射器によって照射されたレーザービームを光学器によって前記光透過チューブ側に水平な扇状ビームで照射されるように変換する段階と、
（ｃ）前記光透過チューブを通過する小型電子部品によって散乱された光を光検出器によって検出する段階と、
を備え、
前記（ｂ）段階は、
（ｂ−１）前記レーザービーム照射器によって照射されたレーザービームを拡散させるビーム拡散段階と、
（ｂ−２）前記拡散されたレーザービームを水平な扇状ビームに変換させて前記光透過チューブ側に伝達する光変換段階と、
を含んでなることを特徴とするレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法。
【請求項１１】
前記（ｃ）段階において前記光検出器は、前記光学器側に配置され、前記小型電子部品によって散乱された光を検出することを特徴とする請求項１０に記載のレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法。
【請求項１２】
（ｄ）前記（ｃ）段階で検出される散乱光を通じて小型電子部品をカウントする段階をさらに含んでなることを特徴とする請求項１０又は１１に記載のレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置及び方法に関し、より具体的には、光透過通路を介して下降する小型電子部品にレーザービームを照射し、小型電子部品によって散乱される光を検出することにより、小型電子部品をカウントするレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、ＭＬＣＣ及びチップ（Ｃｈｉｐ）などの小型電子部品の製造工程において、工程間の小型電子部品の流失管理のために数量をカウントする。この場合、生産数量が多く、かつ小型であるチップ類の数量をカウントする方法としては、一部部品の場合、例えば０．６ｘ０．３mm以上の製品の場合、サンプリングによって数量と重量を測定した後、重量法で換算して全体ロット（Ｌｏｔ）の数を測定する方法があり、また、例えば４００μm以下の部品の場合、サンプリングによる測定が困難であるため一つの部品と全体ロットの重量を測定し、全体ロットの数を測定して管理している。
【０００３】
従来のサンプリング重量法による数量カウント方式は、ロット（Lot）毎の全体数量を把握するために、サンプリングによって部品をカウントした後、サンプリングした部品の重量を測定して全体部品の重量を測定した後、換算法で数量を測定する方式である。サンプリングによる測定は、整列器を通じて出た部品が夫々測定（ｓｅｎｓｉｎｇ）される。しかし、大量生産される小型電子部品の場合、サンプリングによる測定によって全ての小型電子部品をカウントすることが困難である。
【０００４】
また、従来の単純重量法による数量カウント方式は、軽くて小さい部品に対しては直接カウントすることが困難であるため、一つの標準重量でロット（Ｌｏｔ）全体を換算して測定する方式である。
【０００５】
このような従来の小型電子部品のカウント方式は、重量法で発生する誤差率（部品の重量が小さくて軽いほど、その誤差率は増加する）による数量分だけの流失に対する管理が困難であった。また、次第に電子部品が精密化かつ小型化するにつれて、サンプリング重量法を利用して電子部品をカウントすることがさらに困難になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１３９２０３号公報
【特許文献２】特開平０６−１１１０８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
今後、精密かつ小型化する電子部品の数量カウンティングにより工程間の流失原因を分析して管理するためには、数量をより正確に、例えば個別数量を正確に測定することができるカウント器機の開発が強く求められている。
【０００８】
本発明は、上述の問題を解決するために、レーザービームを利用して、透明な通路を通じて下降する電子部品によって散乱される光を検出することにより、軽くて小さい小型電子部品（例えばチップなど）を一つずつカウントすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を果たすために、本発明の実施形態によると、レーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置であって、小型電子部品を供給する供給チャンバと、供給チャンバの下部に連結され、小型電子部品が下降する通路を形成する光透過チューブと、レーザービームを照射するレーザービーム照射器と、レーザービーム照射器によって照射されたレーザービームを光透過チューブ側に水平な扇状ビームで照射されるように変換させる光学器と、光透過チューブを通過する小型電子部品によって散乱された光を検出する光検出器と、を含んでなるレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置が提案される。
【００１０】
好ましくは、本発明の実施形態によると、光学器は、レーザービーム照射器によって照射されたレーザービームを拡散させるビームエキスパンダと、ビームエキスパンダによって拡散されたレーザービームを水平な扇状ビームに変換させて光透過チューブ側に伝達するシリンドリカルレンズ（ｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌ  ｌｅｎｓ）と、を含んでなる。
【００１１】
さらに好ましくは、光学器は、レーザービーム照射器によって照射されたレーザービームを方向転換させてビームエキスパンダに反射させるミラーをさらに含んでなる。
【００１２】
好ましくは、本発明の実施形態によると、光検出器は、光学器側に配置され、小型電子部品によって散乱された光を検出する。
【００１３】
また、好ましくは、本発明の実施形態によると、光透過チューブは、多数の管が水平な扇状ビームの進行方向に対して垂直または傾斜面をなし、多数の夫々の管が隣合う管への水平な扇状ビームの進行を妨害せず、また多数の夫々の管を通過する小型電子部品によって散乱されて光検出器に向かう散乱光の進行を妨害しないように配置される。
【００１４】
さらに好ましくは、光透過チューブの上部には、供給チャンバから夫々の管に小型電子部品が一つずつ流入されるように開口を調節する開口調節器をさらに含んでなる。
【００１５】
また、好ましくは、本発明の実施形態によると、供給チャンバは、小型電子部品の静電気を防止または除去するイオナイザを備える。
【００１６】
好ましくは、本発明の実施形態によると、前記レーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置は、光透過チューブに連結され、小型電子部品が円滑に落下するように通路のエアーを吸い込むエアーサクション機構をさらに含む。
【００１７】
好ましくは、本発明の実施形態によると、前記レーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置は、光透過チューブの下部に設けられ、下降する小型電子部品を収納する収納チャンバをさらに含んでなる。
【００１８】
好ましくは、本発明の実施形態によると、前記レーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置は、光検出器によって検出される散乱光を通じて小型電子部品をカウントするプロセッサユニットをさらに含んでなる。
【００１９】
また、上記目的を果たすために、本発明の実施形態によると、レーザービームを利用した小型電子部品カウント方法であって、（ａ）供給チャンバから光透過チューブに小型電子部品を下降させる段階と、（ｂ）レーザービーム照射器によって照射されたレーザービームを光学器によって光透過チューブ側に水平な扇状ビームで照射されるように変換する段階と、（ｃ）光透過チューブを通過する小型電子部品によって散乱された光を光検出器によって検出する段階と、を含んでなるレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法が提案される。
【００２０】
好ましくは、本発明の実施形態によると、前記（ｂ）段階は、（ｂ−１）レーザービーム照射器によって照射されたレーザービームを拡散させるビーム拡散段階と、（ｂ−２）拡散されたレーザービームを水平な扇状ビームに変換して光透過チューブ側に伝達する光変換段階と、を含んでなる。
【００２１】
好ましくは、本発明の実施形態によると、前記（ｃ）段階において光検出器は、光学器側に配置され、小型電子部品によって散乱された光を検出する。
【００２２】
また、好ましくは、本発明の実施形態によると、前記レーザービームを利用した小型電子部品カウント方法は、（ｄ）前記（ｃ）段階で検出される散乱光を通じて小型電子部品をカウントする段階をさらに含んでなる。
【００２３】
たとえ本発明の好ましい実施形態で明示的に言及されていなくても、上述した技術的特徴の多様な組合による本発明の実施形態が次の具体的な実施形態によって裏付けられ、当業者に自明に具現されることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の実施形態によると、レーザービームを利用して、透明な通路を通じて下降する軽くて小さい小型電子部品（例えばチップなど）によって散乱される光を検出することにより、小型部品を一つずつカウントすることができるため、小型電子部品（例えばＭＬＣＣ、チップ抵抗など）の数量カウントに有用に適用することができる。
【００２５】
また、レーザービームを利用して小型電子部品をカウントするため、カウント速度が非常に早く、カウント測定設備の代替効果があり、さらに、工程間に発生する流失に対する原因把握が可能であり、流失によって生ずる損失（Ｌｏｓｓ）を大きく減少させることができ、流失管理が容易になる。
【００２６】
本発明の多様な実施形態によって直接的に言及されていない多様な効果が本発明の実施形態による多様な構成から当該技術分野で通常の知識を有した者によって導出されることができることは自明である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置を概略的に示す構成図である。
【図２】本発明の他の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置を概略的に示す構成図である。
【図３】本発明の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法を概略的に示すフローチャートである。
【図４】本発明の他の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法を概略的に示すフローチャートである。
【図５】本発明の他の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法の一部の概略的なフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
上述の課題を果たすための本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。本実施形態を説明するにあたり、同一符合は同一構成を意味し、重複する説明や、発明の意味を限定して解釈される可能性がある付加的な説明は省略されることがある。
【００２９】
具体的な説明に先立ち、本明細書において一つの構成要素が他の構成要素と「連結」または「接続」されていると言及された場合、一つの構成要素がその他の構成要素に「直接的に」連結または接続されていることができ、さらには、「直接連結」または「直接接続」されていると言及されず、かつ、その記載された説明に鑑みて矛盾したり発明の概念に反しない限り、それらの間にさらに他の構成要素が連結または接続される形態に存在することもできることが理解されるべきである。
【００３０】
本明細書でたとえ単数の表現に記載されていても、発明の概念に反することなく、解釈上矛盾したり明白に異なって意味しない限り、複数の表現を含む。本明細書における「含む」、「有する」、「備える」、「含んでなる」などの表現は、一つまたはそれ以上の他の特徴や構成要素またはそれらの組合の存在または付加可能性を予め排除するものではないと理解されるべきである。
【００３１】
まず、本発明の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置を図１及び図２を参照して説明する。
【００３２】
図１は本発明の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置を概略的に示す構成図であり、図２は本発明の他の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置を概略的に示す構成図である。
【００３３】
図１を参照して本発明の実施形態を説明すると、本発明によるレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置は、供給チャンバ１０と、光透過チューブ２０と、レーザービーム照射器３０と、光学器４０と、光検出器５０と、を含んでなる。また、図示されていないが、好ましくは、プロセッサユニットをさらに含んでなる。プロセッサユニットについては後述する。
【００３４】
まず、供給チャンバ１０には小型電子部品１が入れられ、カウントするための小型電子部品１を光透過チューブ２０に供給する。光透過チューブ２０は供給チャンバ１０の下部に連結され、小型電子部品１が下降する通路を形成する。
【００３５】
レーザービーム照射器３０によってレーザービームが照射される。本発明におけるレーザービーム照射器３０は既に公知されているレーザービーム発生器を利用するため、これについての具体的な説明は省略する。
【００３６】
本発明の主な特徴の一つである光学器４０は、レーザービーム照射器３０によって照射されたレーザービームＬが光透過チューブ２０側に水平な扇状ビームＬｈで照射されるように変換して伝達する。光学器４０によってレーザービームを水平の扇状光線Ｌｈに変換して照射することにより、光透過チューブ２０を通過する小型電子部品１によって散乱される光Ｌｓの検出を通じて、小型電子部品１の数量をカウントすることができる。光学器４０によってレーザービームを水平な扇状ビームＬｈに変換させることにより、下降する小型電子部品１が全て水平な扇状ビームＬｈの一部を散乱させるようにし、また小型電子部品１による重複散乱によって重複カウントされる問題を防止することができる。
【００３７】
光検出器５０は光透過チューブ２０を通過する小型電子部品１によって散乱された光Ｌｓを検出する。散乱された光Ｌｓを検出することにより小型電子部品１の数量をカウントするようになる。
【００３８】
本実施形態によると、小型電子部品１が照射されたレーザービームの散乱光Ｌｓによってカウントされることにより、より迅速かつ正確なカウントが可能になる。これにより、工程間に発生する流失に対する原因把握が可能であり、流失によって生ずる損失（Ｌｏｓｓ）を大きく減少することができ、流失管理が容易になる。
【００３９】
図２を参照して、本発明の他の実施形態をより具体的に説明する。
【００４０】
図２を参照すると、本発明の他の実施形態によると、光学器４０は、ビームエキスパンダ４１と、シリンドリカルレンズ（ｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌ  ｌｅｎｓ）４３と、を含んでなる。
【００４１】
ビームエキスパンダ４１はレーザービーム照射器３０によって照射されたレーザービームＬを拡散させる。ビームエキスパンダ４１は、照射されたレーザービームＬをシリンドリカルレンズ４３に拡散させて伝達することにより、シリンドリカルレンズ４３で水平な扇状ビームＬｈに変わるようにする。
【００４２】
シリンドリカルレンズ４３は、ビームエキスパンダ４１による拡散されたレーザービームＬｅを水平な扇状ビームＬｈに変換させて光透過チューブ２０側に伝達する。例えば、シリンドリカルレンズ４３は、入射側は平らな面からなり、出射側は円筒状の表面のような面からなることにより、一定の上下左右に亘って領域を形成する入射光を、上下方向で焦点が形成されるように平らにして出射させる。この場合、好ましくは、光透過チューブ２０の位置でシリンドリカルレンズ４３によって出射された光が上下方向で焦点が形成されて平らになるようにする。または、好ましくは、シリンドリカルレンズ４３によって出射される光の上下方向で焦点が形成される付近に凹レンズのような光学器を加えて、光透過チューブ２０の位置に関わらず水平の扇状光線に直進するようにすることができる。
【００４３】
また、好ましくは、他の実施形態によると、光学器４０はミラー（ｍｉｒｒｏｒ）４５をさらに含んでなる。ミラー４５はレーザービーム照射器３０によって照射されたレーザービームＬをビームエキスパンダ４１に反射させ、レーザービームの進行方向を転換させる。
【００４４】
また、図２に図示されたように、本発明の他の実施形態によると、光検出器５０は光学器４０側に配置され、小型電子部品１によって散乱された光Ｌｓを検出する。この際、光学器４０側とは、水平な扇状ビームＬｈの進行方向の観点から、光透過チューブ２０を中心として光学器４０が配置された側を意味する。即ち、水平な扇状ビームＬｈの進行方向の反対側を意味する。この場合、水平な扇状ビームＬｈの中心線と一致する光学器４０の中心線と光検出器５０が必ずしも直線上に存在する必要はなく、光学器４０の中心線と上下または左右に傾斜してまたは並べて配置されることができる。
【００４５】
また、好ましくは、本発明の他の実施形態によると、例えば図２に図示されたように、光透過チューブ２０は多数の管が水平な扇状ビームＬｈの進行方向に対して垂直または傾斜面をなしている。この際、多数の夫々の管が隣合う管への水平な扇状ビームＬｈの進行を妨害しないように配置する。多数の夫々の管が隣合う管への水平な扇状ビームＬｈの進行を妨害しないということは、一つの管を透過した水平な扇状ビームＬｈの透過部分は、他の管、例えば隣合う管を重畳して透過しないということを意味する。さらに、多数の夫々の管が、多数の夫々の管を通過する小型電子部品１によって散乱されて光検出器５０に向かう散乱光Ｌｓの進行を妨害しないように配置する。多数の夫々の管が光検出器５０に向かう散乱光Ｌｓの進行を妨害しないということは、一つの管を通過する小型電子部品１によって散乱された光Ｌｓが光検出器５０方向に進行する場合、その進行経路上に他の管、例えば隣合う管、好ましくは隣合う管を通過する小型電子部品が現れないということを意味する。
【００４６】
図示されていないが、本発明の他の実施形態によると、図２に図示された光透過チューブ２０の上部には、供給チャンバ１０から夫々の管に小型電子部品１が一つずつ流入されるように開口を調節する開口調節器（不図示）をさらに含んでいる。光透過チューブ２０が開口調節器（不図示）を備え、光透過チューブ２０の上部開口を調節することにより、多様なサイズの小型電子部品の数量をカウントすることができる。
【００４７】
また、図２に図示されたように、本発明の他の実施形態によると、供給チャンバ１０は、小型電子部品１の静電気を防止または除去するイオナイザ１１を備える。イオナイザ１１は、イオンを発生させることにより小型電子部品１に発生した静電気を中和させて除去する。イオナイザ１１は開口調節器（不図示）、エアーサクション機構６０などと別々にまたは組合されて構成されることができる。
【００４８】
図２に図示されたように、本発明の他実施形態によると、本発明のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置は、エアーサクション機構６０をさらに含んでなる。エアーサクション機構６０は光透過チューブ２０に連結され、小型電子部品１が円滑に下降するように通路のエアーを吸い込む。詳細には図示されていないが、図２でエアーサクション機構６０は光透過チューブ２０とホースを介して連結され、光透過チューブ２０を通過して下降する小型電子部品１はホース側に流入されず、光透過チューブ２０の下部にある収納チャンバ１５側に落下することに留意しなければならない。エアーサクション機構６０は、イオナイザ１１、開口調節器などと別々にまたは組合されて構成されることができる。
【００４９】
また、図２に図示されたように、本発明の他の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置は、収納チャンバ１５をさらに含んでなる。収納チャンバ１５は光透過チューブ２０の下部に設けられ、下降する小型電子部品１を収納する。収納チャンバ１５はエアーサクション機構６０とともに、またはエアーサクション機構６０なしに備えられることができる。
【００５０】
好ましくは、図示されていないが、本発明の他の実施形態によると、本発明のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置は、プロセッサユニットを含み、プロセッサユニット（不図示）は光検出器５０によって検出される散乱光を通じて小型電子部品１をカウントする。
【００５１】
以下、本発明の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法を図面を参照して具体的に説明する。本発明による小型電子部品カウント方法を具体的に説明するにあたり、図１から図５、及び上述のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置に関する実施形態をともに参照する。また、本発明の実施形態による上述のレーザービームを利用した小型電子部品カウンタ装置の説明と重複する説明は省略することができることに留意しなければならない。
【００５２】
図３は本発明の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法を概略的に示すフローチャートであり、図４は本発明の他の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法を概略的に示すフローチャートであり、図５は本発明の他の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法の一部の概略的なフローチャートである。
【００５３】
本発明の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法を図３を参照して説明する。レーザービームを利用した小型電子部品カウント方法は、次の（ａ）から（ｃ）段階（Ｓ１００〜Ｓ３００）を含んでなる。より好ましくは、図４に図示されたように（ｄ）段階（Ｓ４００）をさらに含んでなる。
【００５４】
まず、（ａ）段階（Ｓ１００）では、供給チャンバ１０から光透過チューブ２０に小型電子部品１を下降させる。
【００５５】
次に、（ｂ）段階（Ｓ２００）では、レーザービーム照射器３０によって照射されたレーザービームＬを光学器４０によって光透過チューブ２０側に水平な扇状ビームＬｈで照射されるように変換する。好ましくは、実施形態によると、光学器４０は照射されたレーザービームを拡散させるビームエキスパンダ４１と拡散されたレーザービームＬｅを水平な扇状ビームＬｈに変換させるシリンドリカルレンズ４３とを含んでなる。
【００５６】
そして、（ｃ）段階（Ｓ３００）では、光透過チューブ２０を通過する小型電子部品１によって散乱された光Ｌｓを、光検出器５０によって検出する。
【００５７】
図５を参照して、上述の図３から図４での（ｂ）段階（Ｓ２００）をより具体的に説明すると、（ｂ）段階（Ｓ２００）は、（ｂ−１）段階（Ｓ２１０）と（ｂ−２）段階（Ｓ２３０）とを含んでなる。
【００５８】
（ｂ−１）段階（Ｓ２１０）はビーム拡散段階であり、（ｂ−１）段階（Ｓ２１０）ではレーザービーム照射器３０によって照射されたレーザービームＬを拡散させる。ビーム拡散段階は、例えばビームエキスパンダ４１によって行われる。
【００５９】
（ｂ−２）段階（Ｓ２３０）は光変換段階であり、（ｂ−２）段階（Ｓ２３０）では上述のビーム拡散段階（Ｓ２１０）で拡散されたレーザービームＬｅを水平な扇状ビームＬｈに変換させて光透過チューブ２０側に伝達する。水平な扇状ビームＬｈへの光変換は、例えばシリンドリカルレンズ４３によって行われる。
【００６０】
好ましくは、本発明の他の実施形態によると、上述の図３から図４での（ｃ）段階（Ｓ３００）で、光検出器５０は光学器４０側に配置され、小型電子部品１によって散乱された光Ｌｓを検出する。
【００６１】
また、図４を参照して、本発明の他の実施形態によるレーザービームを利用した小型電子部品カウント方法を説明する。前記レーザービームを利用した小型電子部品カウント方法は、次の（ｄ）段階（Ｓ４００）をさらに含んでなる。（ｄ）段階（Ｓ４００）では、図４の（ｃ）段階（Ｓ３００）で検出される散乱光Ｌｓを通じて小型電子部品１をカウントする。図４の（ｄ）段階（Ｓ４００）は、例えば上述の小型電子部品カウンタ装置の構成要素であるプロセッサユニット（不図示）によって行われる。
【００６２】
以上、本発明が添付図面を参照して好ましい実施形態を中心に説明されたが、添付図面及び上述の実施形態は、本発明に属する当技術分野で通常の知識を有する者の理解を容易にするために例示的に説明したものである。従って、本発明の多様な実施形態は本発明の本質的な特性を外れない範囲で変形された形態に具現されることができ、上述の実施形態は制限的なものでなく、例示的なものとみなされるべきである。従って、本発明の範囲は上述の実施形態でなく、添付の特許請求の範囲に記載された発明によって解釈されるべきであり、当技術分野で通常の知識を有する者による多様な変更、代案、均等物が上述の発明の範囲に含まれることは自明である。
【符号の説明】
【００６３】
Ｌ  レーザービーム
Ｌｅ  拡散されたレーザービーム
Ｌｈ  水平な扇状ビーム
Ｌｓ  散乱光
１  小型電子部品
１０  供給チャンバ
１１  イオナイザ
１５  収納チャンバ
２０  光透過チューブ
３０  レーザービーム照射器
４０  光学器
４１  ビームエキスパンダ
４３  シリンドリカルレンズ
４５  ミラー
５０  光検出器
６０  エアーサクション機構
【図１】
0005280482.tif 000002
【図２】
0005280482.tif 000003
【図３】
0005280482.tif 000004
【図４】
0005280482.tif 000005
【図５】
0005280482.tif 000006