(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気ガスを液体と接触させることで粘着性物質を分離・回収する排気ガス処理装置であって、前記排気ガス処理装置に設けられた拡張室と、前記拡張室内部へ排気ガスを流入させる排気ガス取入口と、前記排気ガス取入口の下方に設置された傾斜板と、前記傾斜板の表面に油を流下させることのできる第１溢流口と、前記傾斜板の表面から流下する油を貯留する油受けと、前記油受けの反前記傾斜板側に配置された油吸入口と、前記油受けの上方に設けられた上部拡張室と、前記上部拡張室の出口に接続された排気ガス通路において、少なくとも前記排気ガス通路の一部を形成する直立面と、前記直立面上に油を流下させることのできる第２溢流口と、前記第１溢流口を上部開口とする第１貯留部と、前記第２溢流口を上部開口とする第２貯留部と、を有し、前記第１貯留部および第２貯留部は絞り又は開閉バルブを介して連通され、前記第２溢流口が前記第１溢流口よりも高い位置に設けられていることを特徴とする排気ガス処理装置。
【請求項２】
前記上部拡張室にフィルターが設置されていることを特徴とする請求項１に記載の排気ガス処理装置。
【請求項３】
前記油受けに貯留された油を、前記油吸入口より吸入した後、前記第１溢流口または第２溢流口の少なくとも１つへ供給することにより油を循環させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の排気ガス処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスを排出する設備、例えば真空浸炭炉から排出されるガスに含まれるタールなどの粘着性物質を分離・回収する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から歯車や軸受等の機械部品の表面強化処理として、部品表面のみの炭素濃度を上げる処理、いわゆる浸炭処理が行われている。その浸炭処理を行う設備の１つであるガス浸炭炉では、炉外よりプロパンガスやブタンガス等を原料とする吸熱型ガスおよびエンリッチガスが浸炭ガスとして炉内へ導入されることにより、炉内にて浸炭反応を促進させて浸炭処理を行っている。
【０００３】
最近では、技術の発展と共に浸炭反応を減圧雰囲気で行うことのできる、いわゆる真空浸炭炉が開発されたため、導入されるガスが吸熱型ガスおよびエンリッチガスから炭化水素系ガス等に変わった。それに伴って炉内で残留した未反応の余剰ガスは、浸炭反応により生じた水素等のガスと共に炉外の真空ポンプへ吸い込まれる。
【０００４】
しかし、真空ポンプへ吸い込まれる未反応の余剰ガスは、高温状態にあった真空浸炭炉内から排気管内を通る過程で冷却されて、ガス内に含有される炭素分がタールなどの粘着性物質として発生し、排気管内に付着・堆積して、遂には管内閉塞に至るという問題が生じた。また、管内閉塞により真空浸炭炉の真空排気が困難になり、排気管内の定期清掃が必要である。
【０００５】
このため、タールなどの粘着性物質を含む排気ガスの処理において、タール等による付着や堆積およびそれに伴う管内閉塞、そして排気管の定期清掃などの問題があった。  
【０００６】
そこで、特許文献１ではタールを含有する排気ガスをシャワー等の噴霧方式によりアルカリ性溶液からなる鹸化液と接触させて、鹸化反応により石鹸固形分と成ることを利用してタールを除去する方法が開示されている。
【０００７】
具体的には、焼却施設等から発生する排気ガスを、シャワー等の噴霧によりアルカリ性溶液からなる鹸化液と直接接触させると、排気ガス中のタールと鹸化液とが鹸化反応を起こして石鹸固形分として分離できるため、効率的なタール除去が可能となる。また、タールが残留する排気ガスに対しては、慣性集塵機などに排気ガスとの衝突壁面を設けて、その面上にスプレー等で付着防止液を散布することにより、残留したタールの追加的な分離・除去を行っている。
【０００８】
また、特許文献２ではガスに含まれるタールなどの付着物質を除去する方法として、ガスを通す配管内壁に水膜を形成し、水槽内へ排気ガスを通すことにより、付着物質による管内閉塞を防止して、メンテナンス回数を削減している。
【０００９】
具体的には、ガス成分の分析装置などにおいて、分析に供せられるガスが冷却されて発生する凝縮タール等が配管内面に付着するため、その内面に水膜を形成することで凝縮タール等による付着を防止する。また、ガスを水槽内へ通すことで、凝縮タール等を水面に浮上させるか、もしくは水槽底部で堆積させて、最終的には装置外へ排出し、タールなどの付着物質を含まない清浄なガスのサンプリング等を行っている。
【００１０】
さらに、特許文献３では植物油が保有する親和特性による液面吸着作用を活用して、ディーゼルエンジンから発生する排気ガスと植物油との接触、撹拌等により、排気ガス中の粒子状物質を吸着・捕捉する装置が開示されている。
【００１１】
具体的には、ディーゼルエンジンから発生する排気ガスを、植物油などの化石燃料以外の油脂が混合された燃料と接触させることで、排気ガス中の粒子状物質と上記油脂との接触面積を広めるとともに、植物油が保有する親和特性による液面吸着作用も利用して、排気ガスに含まれる粒子状物質の捕集を行っている。また、ガス排出路に設けられた多層網状のストレーナにより、ガス中に混在した植物油を捕捉してガスのみを排出している。
【００１２】
【特許文献１】特許第３８５６３９４号公報
【特許文献２】特開平１０−１６５７４０号公報
【特許文献３】特開２００５−１１３８１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかし、特許文献１による方法では、鹸化液等をシャワーで噴霧させているため、排気ガス中に含まれるタール等の粘着性物質が噴霧口に目詰まりした結果、噴霧箇所に偏りが生じて、タール除去の効率が低下するという問題があった。また、排気ガス中のタールを除去するタール鹸化除去装置や残留タール分をさらに追加除去する慣性集塵機などの複数の装置が必要となり、ランニングコストの増加にもつながる。
【００１４】
また、特許文献２による装置では、装置外へ排出されない残りの凝縮タールは、水と混在した状態で存在し、凝縮タールの分離・回収が困難であるという欠点があった。また、不測の故障等により、水膜形成が断続的になる場合、配管内壁にタールなどの粘着性物質が付着・堆積して、管内閉塞を引き起こすという問題もあった。
【００１５】
さらに、特許文献３による装置では、油を循環させるポンプの故障等で油の供給が断たれた場合、排気ガスのみが流入するので油面が微粒子で覆いつくされて、微粒子の捕捉効果が減少するという問題があった。
【００１６】
本発明の課題は、前述した問題点に鑑みて、タールなどの粘着性物質の分離・回収を効率良く行える排気ガス処理装置を提供することにある。また、不測の故障等においてもタールなどの粘着性物質による管内閉塞を防止できる排気ガス処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明においては、排気ガスを液体と接触させることで粘着性物質を分離・回収する排気ガス処理装置であって、排気ガス処理装置に設けられた拡張室と、拡張室内部へ排気ガスを流入させる排気ガス取入口と、排気ガス取入口の下方に設置された傾斜板と、傾斜板の表面に油を流下させることのできる第１溢流口と、傾斜板の表面から流下する油を貯留する油受けと、油受けの反傾斜板側に配置された油吸入口と、油受けの上方に設けられた上部拡張室と、上部拡張室の出口に接続された排気ガス通路において、少なくとも排気ガス通路の一部を形成する直立面と、直立面上に油を流下させることのできる第２溢流口と、第１溢流口を上部開口とする第１貯留部と、第２溢流口を上部開口とする第２貯留部を有し、第１貯留部および第２貯留部は絞り又は開閉バルブを介して連通され、第２溢流口が第１溢流口よりも高い位置に設けられていることを特徴とする排気ガス処理装置を提供することにより前述した課題を解決した。
【００１８】
すなわち、本発明は、排気ガス処理装置の排気ガス取入口より流入された排気ガスを、本発明に係る排気ガス処理装置（以下、「本装置」という）内に設けられた第１溢流口から傾斜板の表面に溢流させた油と接触させることにより、排気ガスに含まれるタールなどの粘着性物質を分離し、油受けにてその油と共に貯留する。  
【００１９】
詳述すれば、本装置内に流入した排気ガスは、拡張室および上部拡張室にて膨張し、傾斜板表面に衝突することでガス温度が低下する。また、本装置の外気温や油との接触によってもガス温度が低下する。その結果、本装置は排気ガス中に含まれるタールなどの粘着性物質の液化もしくは固化を促進させて、分離させる。すなわち、前述の上部拡張室を通過した排気ガスを、さらに直立面を有する排気ガス通路に通すことで、本装置は排気ガスの流れの変化とガス温度の低下を再度引き起こす。また、その排気ガスと直立面上を流れる油とを接触させることにより、残存するタール等の粘着性物質やススなどの微粉末を追加して分離・回収する。なお、排気ガスと油との接触効率を高める点から、排気ガス通路の全ての壁面上に油を流下させることが好ましい。
【００２０】
また、第１溢流口から溢流された油は、前述の特許文献１に示すような噴霧口で目詰まりすることなく油膜を形成して、分離されたタールなどの粘着性物質と共に傾斜板表面に沿って徐々に流下し、油受けにて貯留される。なお、第１貯留部および第２貯留部を絞り又は開閉バルブを介して連通して、第２溢流口を第１溢流口よりも高くしたので、本装置は不測の故障等で油の供給が断たれた場合でも、第２貯留部から第１貯留部へ油を供給し、傾斜板表面上を油で覆うことができる。さらに、前述の特許文献２で示されている垂直配管内の水膜形成は、単にタール等の付着を防止するものであり、分離・回収する機能まで持ち合わせていない点で本発明とは異なる。
【００２１】
なお、油は蒸気圧の低い油種であることが好ましく、油を安定して傾斜板上に溢流させる観点から、傾斜板は曲面もしくは３０度以上７０度以下の一定の角度で傾斜していることが好ましい。
【００２２】
また、請求項２に記載の発明においては、上部拡張室にフィルターが設置されている排気ガス処理装置とした。
【００２３】
すなわち、フィルターが設置された上部拡張室内に排気ガスを通過させることにより、本装置は排気ガス中に残留するタール等の粘着性物質を分離する。また、フィルターに付着したタール等の粘着性物質の一部を油受けにて回収する。さらに、溢流する油との接触のみでは分離・回収することが困難であるススなどの微粉末も分離・回収し、前述した特許文献３と同様のフィルターを使用することで、タール等の粘着性物質の分離・回収効率も向上する。
【００２４】
なお、本発明に用いるフィルターは板状や筒状のものが好ましく、筒状のものについては、排気ガスとの接触効率を高める点で、その断面形状が円形状、楕円形状もしくは多角形状のものが好ましい。フィルターの設置については、各フィルターを積層させても良い。また、各フィルターを全て同一方向に積層させることによって、フィルター毎の状況確認や清掃・交換などのメンテナンスが容易になる。
【００３０】
さらに、請求項３に記載の発明において、油受けに貯留された油を、油吸入口より吸入した後、第１溢流口または第２溢流口の少なくとも１つへ供給することにより、油を循環させる排気ガス処理装置とした。
【００３１】
すなわち、油受けに貯留された油を油吸入口より吸入させた後、再度第１溢流口および第２溢流口へ供給させることで油を循環するので、本装置は、外部に設置したポンプなどを経由させて油温の上昇を抑制する。また、フィルターを通過させて油に混合したタールやスス等の不純物を分離する。
【発明の効果】
【００３２】
以上述べたように、本発明においては、排気ガスを液体と接触させることで粘着性物質を分離・回収する排気ガス処理装置であって、排気ガス処理装置に設けられた拡張室と、拡張室内部へ排気ガスを流入させる排気ガス取入口と、排気ガス取入口の下方に設置された傾斜板と、傾斜板の表面に油を流下させることのできる第１溢流口と、傾斜板の表面から流下する油を貯留する油受けと、油受けの反傾斜板側に配置された油吸入口と、油受けの上方に設けられた上部拡張室と、上部拡張室の出口に接続された排気ガス通路において、少なくとも排気ガス通路の一部を形成する直立面と、直立面上に油を流下させることのできる第２溢流口と、第１溢流口を上部開口とする第１貯留部と、第２溢流口を上部開口とする第２貯留部を有し、第１貯留部および第２貯留部は絞り又は開閉バルブを介して連通され、第２溢流口が第１溢流口よりも高い位置に設けられていることを特徴とする排気ガス処理装置を用いることにより、排気ガスに含まれるタール等の粘着性物質が分離・貯留されるので、効率的に回収・蓄積される。
【００３３】
よって、特許文献２に示すタールなどの粘着性物質と油との分離工程は不要となり、凝集したタールなどの粘着性物質を装置外へ取り出したり、タールなどの粘着性物質による管内閉塞を防止できる。さらに、第２溢流口から直立面上に油を流下させることにより、残存するタール等の粘着性物質やススなどの微粉末が追加して分離・回収されるので、その回収効率を高めることができる。また、第１貯留部および第２貯留部は絞り等を介して連通し、第２溢流口が第１溢流口よりも高い位置に設けられることにより、不測の故障等で油の供給が断たれた場合でも、第２貯留部から第１貯留部へ油を供給し、傾斜板表面上を油で覆うことができるのでタールなどの粘着性物質やススなどの微粉末による付着・堆積の防止を継続できる。
【００３４】
また、油の表面層は反傾斜板側に配置されている油吸入口からの吸入によって、反傾斜板側へ流されて、油のみが本装置外へ排出されるので、タール等の粘着性物質は油面もしくは油中にて凝集した状態で浮遊し、油受け内部にて効率的に回収・蓄積される。
【００３５】
さらに、蒸気圧の低い油を用いる場合、油は揮発し難いため、傾斜板の表面上に油膜が残留し、不測の故障等によりタールなどの粘着性物質が堆積しても、その自重により油受けへ滑り落ちる。その結果、傾斜板表面上におけるタールなどの粘着性物質の付着・堆積を防止することで分離・回収効率を維持し、定期清掃の工数削減によりメンテナンスを容易にできる。
【００３６】
また、単独の装置で排気ガスに含まれるタールなどの粘着性物質を分離・貯留できるので、前述の特許文献１および３に示すような複数の装置は不要となり、ランニングコストの低減を図ることもできる。
【００３７】
また、請求項２に記載の発明においては、フィルターが設置された上部拡張室内に排気ガスを通過させることにより、排気ガス中に残留するタール等の粘着性物質を分離し、その一部を油受けにて回収するので、タール等の粘着性物質によるフィルターの目詰まりを防止できる。それと同時に、溢流する油との接触のみでは分離・回収困難なススなどの微粉末も分離・回収するので、ススなどの微粉末による管内閉塞を防止できる。よって、本発明は、フィルターの設置を単に植物油の捕捉を目的とした前述の特許文献３とは異なり、フィルターに付着したタール等の粘着性物質も利用して、ススなどの微粉末を分離・回収できる。
【００４０】
さらに、請求項３に記載の発明においては、油受けに貯留された油を第１溢流口等へ供給することで油を循環させることにより、油温の上昇を抑制したり、不純物を分離するので、良好な油を供給できて、メンテナンス期間の延長を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態に係る排気ガス処理装置の断面図である。本装置２０は、排気ガスを装置２０内へ取込む排気ガス取入口１と、排気ガス取入口１から取り込まれた排気ガスが最初に流入する拡張室２と、装置２０外へ排気ガスを排出する排気口１５とを有しており、排気ガス取入口１の直下には傾斜板３が設置されている。傾斜板３の上部には、その表面に油を流下させることのできる第１溢流口４が配置されて、第１溢流口４を上部開口とする第１貯留部１１を形成している。傾斜板３の下部には、その表面から流下する油を貯留できる油受け５があり、油受け５の反傾斜板３側には油吸入口６が配置されている。また、油受け５の上方には上部拡張室８が形成されて、その内部にはフィルター７が積層されている。上部拡張室８の出口には、排気ガス通路２３が接続されて、その一部に直立面９が形成されており、その面上には、第２溢流口１０から油を流下させるとともに、第２溢流口１０を上部開口とする第２貯留部１２を形成している。
【００４２】
また、第１貯留部１１にはバルブ１３を有した供給管１７が、第２貯留部１２にはバルブ１３´を有した供給管１７´が接続されている。油受け５にはバルブ１３´´を有した吸入管１８が油吸入口６を介して接続されている。ポンプ２１により吸入された油受け５内の油は、油吸入口６からバルブ１３´´、ポンプ２１および逆止弁２２を通過した後に分岐されて、それぞれバルブ１３および１３´を経由して第１貯留部１１および第２貯留部１２へ供給するようにされている。
【００４３】
本装置２０の排気ガス取入口１から流入した排気ガスは、拡張室２に取り込まれて、傾斜板３と衝突すると同時に、第１溢流口４から傾斜板３の表面に流れる油と接触する。次に、傾斜板３との衝突によって流れの向きが変えられた排気ガスは、フィルター７が積層されている上部拡張室８内を通過した後、第２溢流口１０から直立面９上を流れる油と再度接触して、排気口１５を介して本装置２０外部へ排出される。以下、主要な構成品について詳細に説明する。
【００４４】
排気ガス取入口１は、本装置２０内への排気ガスの取込み箇所であるため、その取付位置は本装置２０の鉛直上方に取付けることが好ましい。排気ガスに含まれるタールなどの粘着性物質が、外部からの排気管内に付着・堆積している場合でも、重力落下により本装置２０内で回収できるためである。
【００４５】
拡張室２は、本装置２０内の一定体積を持った空間であり、外部から取り込まれた排気ガスは膨張するため、ガス温度が低下し、排気ガスに含まれるタール等の粘着性物質の液化もしくは固化が促進される。
【００４６】
傾斜板３は、後述の第１溢流口４から溢流する油を表面上に流すことができるので、排気ガス取入口１からの排気ガスの流入方向が、傾斜板３表面上で変化する。そのため、ガス温度が低下し、排気ガスに含まれるタールなどの粘着性物質を液化もしくは固化させる役割を果たす。
【００４７】
第１溢流口４は、前述した液化もしくは固化したタール等の粘着性物質を、第１溢流口４から溢流させた油と接触させることで、排気ガス中からタール等の粘着性物質を効率的に分離・回収する役割を担う。さらに、前述の特許文献１に示す噴霧方式による目詰まり等の問題もないため、傾斜板３の表面上に安定した油膜を形成させる役割も果たす。
【００４８】
油受け５は、第１溢流口４から溢流した油１４およびその油１４により分離・回収されたタールなどの粘着性物質１６を回収・貯留できる。また、後述する第２溢流口１０から溢流する油１４およびその油１４により分離・回収されたタールなどの粘着性物質１６等も同様に回収・貯留できる。
【００４９】
油吸入口６は、油受け５の反傾斜板３側に配置されて、ポンプ２１などにより油受け５内の油１４を吸入して、吸入管１８を通って本装置２０外部へ油１４を排出する接続口の役割を果たす。また、油吸入口６を介して油１４が吸い込まれるため、油受け５内部には油１４の流れが形成されて、分離・回収されたタールなどの粘着性物質１６は、油面もしくは油中で固まりとして浮遊して逐次油吸入口６に向けて移動する。そのため、油受け５のスペースを有効活用して、タールなどの粘着性物質１６が効率的に回収できる構造となっている。  
【００５０】
上部拡張室８は、内部にフィルター７が設置できるため、第１溢流口４から溢流した油１４と接触しても排気ガス中に残存するタール等の粘着性物質を追加して分離・回収する役割を果たす。また、設置されたフィルター７表面がタール等の粘着性物質により湿潤すると、排気ガス中に含まれるススなどの微粉末の分離・回収効率も向上する。
【００５１】
第１貯留部１１と第２貯留部１２は、それぞれ装置２０外部から供給管１７、１７´を通って油１４が供給されて、第１溢流口４および第２溢流口１０より油１４を溢流できる。そのため、供給管１７、１７´と吸入管１８とをポンプ２１等を介して接続することにより、油受け５内の油１４を第１貯留部１１および第２貯留部１２と油受け５との間で循環できる。  
【００５２】
供給管１７、１７´と吸入管１８とは、装置２０外部にてバルブ１３、１３´が取付けられているため、その開度を調整することにより、第１貯留部１１および第２貯留部１２への油１４の供給量と油受け５内の油１４の吸入量を調整できる。同時に、第２溢流口１０の位置を第１溢流口４よりも高くすることにより、ポンプ２１の故障等で第１貯留部１１への油１４の供給が断たれた場合でも、第１溢流口４と第２溢流口１０の高低差のため、第２貯留部１２内部の油１４を第１貯留部１１へ送ることができる。
【００５３】
次に、本発明の他の実施形態について説明する。図２（ａ）乃至（ｃ）は、本発明に係る排気ガス処理装置２０内における傾斜板３の各種形態を示す斜視図である。図２（ａ）は、直立面を含んだ三方向から油の溢流が行える形態を示す斜視図であり、直立面からの溢流が可能となると同時に、タール等の粘着性物質による直立面への付着を防止できる。図２（ｂ）は、三方向の傾斜面から油の溢流を行う形態を示す斜視図であり、傾斜面により異なる速度で溢流できる。また、油の合流箇所となる各傾斜板３の接合部にて、タール等の粘着性物質を集めることができる。図２（ｃ）は、曲面上で油の溢流を行う形態を示す斜視図であり、初期の溢流速度を大きくできる点で有効である。また、曲面上の油の合流箇所にて、タール等の粘着性物質を集めることができる。
【実施例】
【００５４】
本発明の実施形態に示した図１の排気ガス処理装置２０を、真空浸炭炉のガス排出口に接続して、真空浸炭炉を連続運転させた場合の排気ガスに含まれるタール等の粘着性物質やスス等の微粉末の分離・回収効率について説明する。図３は、本発明に係る排気ガス処理装置２０を真空浸炭炉３０のガス排出口と真空ポンプ３１との間に設置した場合の配置図を示す。
【００５５】
図１に示すとおり、本発明に係る排気ガス処理装置２０に接続されている供給管１７および１７´と吸入管１８は、ポンプ２１を介して連結されており、第１貯留部１１および第２貯留部１２と油受け５との間で油１４の循環が可能な構成となっている。
【００５６】
次に、真空浸炭炉３０の運転方法について説明する。まず、浸炭雰囲気の準備として、炉内を８５０〜９８０℃、１〜５ＫＰａに保持した状態でエチレンガス（Ｃ２Ｈ４）を３０〜１００Ｌ／ｍｉｎとなるよう炉内へ導入し、ついで真空浸炭炉３０内の雰囲気を真空ポンプ３１で排気しながら浸炭処理を行い、浸炭処理終了後は真空浸炭炉３０内を急速排気し、炉内圧力を２０〜１３０Ｐａまで減圧させた。
【００５７】
以上の運転を連日繰り返し行い、真空浸炭炉３０からの排気ガスに含まれるタールなどの粘着性物質やススなどの微粉末を本装置２０にて分離・回収しながら、排気口１５および真空ポンプ３１における排気系統の能力低下を測定した。
【００５８】
排気系統の能力低下の評価については、例えば、配管内がタール等により閉塞し始めると、管内が狭小化するため、所定の到達真空度までに要する時間が所定時間よりも長くなった場合等をもって、排気口１５の管内閉塞と判断した。また、真空ポンプ３１内の油が汚れると、真空浸炭炉３０内の最高到達真空度が低下するため、到達真空度が１００Ｐａなど通常よりも極端に低くなった場合等をもってタール等の回収効率の低下と判断した。これらいずれかの判断がなされると、真空浸炭炉３０の連続運転を一旦停止して、真空ポンプ３１の油交換もしくは排気口１５の定期清掃を行った後、再度運転を続けた。
【００５９】
油の溢流の有無によるタール等の粘着性物質やスス等の微粉末の分離・回収効果の比較例として、比較例１では、本装置２０を付帯しない場合、比較例２では、図１に示す一定量の油１４を貯留する油受け５のみが備え付けられている排気ガス処理装置を用いた場合の運転も行った。
【００６０】
なお、図１に示す第１貯留部１１、第２貯留部１２および油受け５の内容積は、それぞれ約２Ｌ、４Ｌおよび１２Ｌであり、第１油貯留部１１は、水平面に対して４０度の角度を保っている。
【００６１】
また、本実施例で使用した油は、株式会社松村石油研究所製のネオバック（登録商標）ＭＲ−２００（カタログ値：動粘度７１．０（４０℃、ｍｍ２／Ｓ）、蒸気圧０．００１３以下（５０℃、Ｐａ））であり、ＪＩＳ（日本工業規格）のＫ２００１に規定されるＩＳＯ粘度グレード番号  ＩＳＯ  ＶＧ  ６８  相当の工業用潤滑油である。
【００６２】
表１は、本実施例および比較例（前述の２条件）の計３条件にて真空浸炭炉３０の連続運転を行った場合の排気口１５の閉塞の時期およびタール等の回収効率の低下時期を示す表である。
【００６３】
【表１】
0005294237.tif 000002
【００６４】
表１に示すとおり、比較例１および２は、排気口１５の閉塞の発生時期は運転開始７〜１４日後に現れており、タール等の回収効率の低下時期は２１日〜１ヶ月後に確認されている。一方、本発明では、排気口１５の閉塞の発生時期およびタール等の回収効率の低下時期は、運転開始２ヵ月後に現れており、排気口１５の閉塞の発生時期は比較例の４〜８倍、タール等の回収効率の低下時期については比較例の２〜３倍となり、大幅に延長された。
【００６５】
以上述べたように、本発明に係る排気ガス処理装置は、排気ガス中に含まれるタールなどの粘着性物質やススなどの微粉末を油の溢流によって効率的に分離・回収できるので、タールなどの粘着性物質による管内閉塞などを長期間防止できた。
【００６６】
なお、本実施例においては浸炭ガスとしてエチレンガスを使用したが、他の炭化水素系ガスであるアセチレンガス（Ｃ２Ｈ２）若しくはプロパンガス（Ｃ３Ｈ８）、又はメタン（ＣＨ４）やエタン（Ｃ２Ｈ６）などを主成分とする天然ガス等のガスを浸炭ガスとして用いた場合も同様の結果が得られることは言うまでもない。
【００６７】
また、本実施例ではＩＳＯ粘度グレード番号  ＩＳＯ  ＶＧ  ６８  相当の工業用潤滑油を使用した場合について述べたが、他の工業用潤滑油も使用できることは言うまでもない。使用する油の蒸気圧は１．０Ｐａ以下であることが好ましいが、油の追加・補充の点から、その蒸気圧は０．１Ｐａ以下であることがより好ましい。
【００６８】
さらに、本発明に係る排気ガス処理装置は、真空浸炭炉以外にもタールなどの粘着性物質やススなどの微粉末を含むガスを排出する機械や設備であれば、適用可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施形態に係る排気ガス処理装置の断面図である。
【図２】本発明に係る排気ガス処理装置内における傾斜板の各種形態を示す斜視図であり、同図（ａ）は、直立面を含んだ三方向から油の溢流を行う形態を示す斜視図、同図（ｂ）は、三方向の傾斜面から油の溢流を行う形態を示す斜視図、同図（ｃ）は、曲面上で油の溢流を行う形態を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る排気ガス処理装置を真空浸炭炉のガス排出口と真空ポンプとの間に設置した場合の配置図を示す。
【符号の説明】
【００７０】
１    排気ガス取入口
２    拡張室
３    傾斜板
４    第１溢流口
５    油受け
６    油吸入口
７    フィルター
８    上部拡張室
９    直立面
１０  第２溢流口
１１  第１貯留部
１２  第２貯留部
１３、１３´  バルブ
１４  油
２０  排気ガス処理装置
２３  排気ガス通路  
【図１】
0005294237.tif 000003
【図２】
0005294237.tif 000004
【図３】
0005294237.tif 000005