(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨槽と、該研磨槽内にワークとメディアを装入し混合流動化して集合体（以下、「マス」という。）を形成して前記ワークを研磨する流動化手段と、を備えたバレル研磨装置であって、
前記研磨槽に、研磨工程に使用する研磨液又は洗浄工程に使用する洗浄液（両者とも水の場合を含む。以下同じ。）の液体を供給する液体供給装置を備え、
前記研磨槽内のワークとメディアを混合流動化してマスを形成しながら、前記液体供給装置により前記研磨槽内に新たに供給される前記液体の量を調整して連続的に又は間欠的に供給すると同時に、使用済みの液体を研磨槽外に排出することによって、
前記研磨槽内に形成されたマス内の隙間（以下「流動層内隙間」という。）を通過する液体の量が調整されて、前記ワークを研磨加工することを可能とし、または研磨加工を終了したワークとメディアを研磨槽外に排出せずに洗浄することを可能にした、ことを特徴とするバレル研磨装置。
【請求項２】
さらに、前記研磨槽に、気体供給配管を介して気体供給装置を接続するとともに、排出管を介して吸引機能を備えた気体排出装置を接続し、
前記研磨槽内のワークとメディアを混合流動化してマスを形成しながら、前記気体供給装置により研磨槽内に乾燥用気体を供給すると同時に、前記気体排出装置により使用済みの乾燥用気体を吸引して研磨槽外に排出することによって、
前記乾燥用気体が研磨槽内に形成されたマスの流動層内隙間を通過して、洗浄後のワークとメディアを研磨槽外に排出せずに乾燥することを可能にした、ことを特徴とする請求項１記載のバレル研磨装置。
【請求項３】
前記研磨槽が筒形状の固定槽であり、前記流動化手段が、前記固定槽の下部側内周部に摺接隙間を形成して回転する皿盤状の回転盤で形成されている、ことを特徴とする請求項１記載のバレル研磨装置。
【請求項４】
前記研磨槽が筒形状の固定槽であり、前記流動化手段が、前記固定槽の下部側内周部に摺接隙間を形成して回転する皿盤状の回転盤で形成されている、ことを特徴とする請求項２記載のバレル研磨装置。
【請求項５】
前記研磨槽内の液体または気体を排出する構成を、
前記研磨槽の回転盤と固定槽との間に形成された摺接隙間に連通する前記研磨槽の底部に穿設された排出口に使用済の液体または使用済みの乾燥用気体を研磨槽外に排出する排出管を接続するとともに、該排出管に開閉弁と切替弁を設け、
該切替弁を介して前記排出管の元部管部を二方向に分岐し、その一方を排液系の液体排出管部とし、他方を排気系の気体排出管部とし、該気体排出管部を吸引機能を備えた気体排出装置に接続したものであることを特徴とする請求項３または４記載のバレル研磨装置。
【請求項６】
さらに、前記固定槽の上部側に溢流口を備え、該溢流口に溢流排出管が接続されていることを特徴とする請求項３記載のバレル研磨装置。
【請求項７】
研磨槽内に、ワークとメディアを装入し混合流動化させてマスを形成し該研磨槽に研磨液を供給して研磨を行うバレル研磨方法において、
前記研磨槽に液体を供給する液体供給装置を備え、該液体供給装置により前記研磨槽内に新たに供給する研磨液の量を調整して連続的に又は間欠的に供給すると同時に、使用済みの研磨液を研磨槽外に排出することによって、
前記研磨槽内に形成されたマスの流動層内隙間を通過する研磨液の量が調整されて、ワークの研磨加工を行うことを特徴とするバレル研磨方法。
【請求項８】
前記研磨槽内の研磨加工を終了したワークとメディアを洗浄するに際して、
前記研磨槽内のワークとメディアを混合流動化してマスを形成しながら、前記液体供給装置により前記研磨槽に新たに供給する洗浄液の量を調整して連続的に又は間欠的に供給すると同時に、使用済みの洗浄液を研磨槽外に排出することによって、
前記研磨槽内に形成されたマスの流動層内隙間を通過する洗浄液の量が調整されて、前記研磨後のワークとメディアを研磨槽外に排出せずに洗浄を行うことを特徴とする請求項７記載のバレル研磨方法。
【請求項９】
前記研磨槽内の洗浄を終了したワークとメディアを乾燥するに際して、
さらに、前記研磨槽に、気体供給配管を介して気体供給装置を接続するとともに、排出管を介して吸引機能を備えた気体排出装置を接続し、
前記研磨槽内のワークとメディアを混合流動化してマスを形成しながら、前記気体供給装置により研磨槽内に乾燥用気体を供給すると同時に、前記気体排出装置により使用済みの乾燥用気体を吸引して研磨槽外に排出することによって、
前記乾燥用気体が研磨槽内のマスの流動層内隙間を通過して、前記ワークとメディアを研磨槽外に排出せずに乾燥を行うことを特徴とする請求項８記載のバレル研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バレル研磨装置に関し、特に、湿式の流動バレル研磨装置に適用した場合に好適なバレル研磨装置に関する。
【０００２】
ここでは、研磨液の存在下に研磨を行う湿式の流動バレル研磨装置を、例に採り説明するが、本発明は、バレル研磨装置としての前記流動型の他に、遠心型、振動型（特許文献３等）、さらには、従来多用されていた回転型（水平回転円筒型）の各種湿式乃至乾式のバレル研磨装置に適用できる。
【０００３】
なお、本願発明の説明に使用するいくつかの技術用語の意味は下記のとおりである。
【０００４】
・「研磨液（コンパウンド溶液）」及び「洗浄液」：研磨剤や洗浄剤を含まない単なる「水乃至市水（水道水）」も含む。
【０００５】
・「マス」：ワーク(加工部品)とメディアとを研磨槽に装入し、該ワークとメディアを混合流動化して形成された流動層をいう。
【０００６】
・「流動層内隙間」：研磨槽内のワークとメディアを混合流動化させて形成されたマス（流動層）内の、ワークとメディア相互、およびワーク相互、およびメディア相互、の隙間をいう。
【背景技術】
【０００７】
湿式流動バレル研磨装置の研磨装置本体１２による研磨の方法は、研磨槽内におけるメディアｍとワークｗの集合体であるマスＭの量に近い研磨液Ｌ１を加えるのが一般的である（図１（Ａ）参照）。研磨液Ｌ１の量が少ないと、研磨時に損耗したメディアや削られたワークの微粒子（研磨滓）で研磨液の汚れが促進される。そして、時間の経過に伴い、研磨液の汚れが進行すると、メディア表面の目詰まりにより研磨力が低下するとともに、ワーク自身も汚れて、事実上、研磨継続が不可となる。水の量が多いのは、その中に研磨滓（磨耗微粉）を懸濁・捕集して、上記メディア表面の目詰まりやワークの汚れを防止するためである。
【０００８】
他の湿式のバレル研磨機においても同様の現象が発生する。
【０００９】
また、研磨槽（固定槽）２２と研磨槽２２の底部に摺接隙間Ｓを有して回転盤２４を組み付ける構成の流動バレル研磨装置の場合、研磨液Ｌ１の量が少ないと、上記問題点に加えて、下記問題点が発生する。
【００１０】
研磨中に研磨槽２２内の温度が短時間の間に上昇し易く、ライナー（通常、ウレタンライニング材：図示せず）が膨張する。該膨張により、回転盤２４と研磨槽２２の間の摺接隙間Ｓが許容範囲を超えて狭くなる。すると、回転盤と研磨槽２２との間でカジリ現象が発生して、研磨継続ができなくなる。すなわち、そのまま研磨継続をすると、摺接隙間Ｓのライナー（通常、ウレタン製）が摩擦熱で溶けて回転盤２４が研磨槽２２に対して溶着して回転不可（過負荷）となり研磨継続ができなくなる。
【００１１】
なお、本発明の特許性に影響を与えるものではないが、バレル研磨装置に関する先行技術文献情報として、流動型として特許文献１を、遠心型として特許文献２を、振動型として特許文献３を、それぞれ挙げることができる。
【特許文献１】特開2003−103450号公報
【特許文献２】特開2005−193370号公報
【特許文献３】特許3369987号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、上記にかんがみて、研磨時の研磨液の存在量が少なくても、研磨継続が不可とならず、研磨力をアップさせて研磨時間を短縮させることのできる新規な構成のバレル研磨装置及びバレル研磨方法を提供することを目的（第一課題）とする。
【００１３】
本発明の他の目的（第二課題）は、上記新規な構成の研磨装置及び研磨方法において、さらには、小物ワークや扁平ワークが排出の際、研磨槽の壁面や、選別スクリーン等への付着を防ぐことができ、全体としてバレル研磨の生産性を格段に上昇させることができるバレル研磨装置及びバレル研磨方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のバレル研磨装置は、下記構成により上記課題を解決するものである。
【００１５】
研磨槽と、該研磨槽内にワークとメディアを装入し混合流動化して集合体（以下、「マス」と称する。）を形成して前記ワークを研磨する流動化手段と、を備えたバレル研磨装置であって、
前記研磨槽に、研磨工程に使用する研磨液又は洗浄工程に使用する洗浄液（両者とも水の場合を含む。以下同じ。）の液体を供給する液体供給装置を備え、
前記研磨槽内のワークとメディアを混合流動化してマスを形成しながら、前記液体供給装置により前記研磨槽内に新たに供給される前記液体の量を調整して連続的に又は間欠的に供給すると同時に、使用済みの液体を研磨槽外に排出することによって、
前記研磨槽内に形成されたマス内の隙間（以下「流動層内隙間」という。）を通過する液体の量が調整されて、前記ワークを研磨加工することを可能とし、または研磨加工を終了したワークとメディアを研磨槽外に排出せずに洗浄することを可能にした、ことを特徴とする。
【００１６】
そして、本発明のバレル研磨装置に対応するバレル研磨方法は、下記構成となる。
【００１７】
研磨槽内に、ワークとメディアを装入し混合流動化させてマスを形成し該研磨槽に研磨液を供給して研磨を行うバレル研磨方法において、
前記研磨槽に液体を供給する液体供給装置を備え、該液体供給装置により前記研磨槽内に新たに供給する研磨液の量を調整して連続的に又は間欠的に供給すると同時に、使用済みの研磨液を研磨槽外に排出することによって、
前記研磨槽内に形成されたマスの流動層内隙間を通過する研磨液の量が調整されて、ワークの研磨加工を行うことを特徴とする。
【００１８】
そして上記バレル研磨（湿式・乾式の双方を含む。）における、研磨後のワーク及びメディアの洗浄・乾燥は、下記の如く行うことが望ましい。
【００１９】
前記研磨槽内の研磨加工を終了したワークとメディアを洗浄するに際して、
前記研磨槽内のワークとメディアを混合流動化してマスを形成しながら、前記液体供給装置により前記研磨槽に新たに供給する洗浄液の量を調整して連続的に又は間欠的に供給すると同時に、使用済みの洗浄液を研磨槽外に排出することによって、
前記研磨槽内に形成されたマスの流動層内隙間を通過する洗浄液の量が調整されて、前記ワークとメディアを研磨槽外に排出せずに洗浄を行うことを特徴とする。
【００２０】
前記研磨槽内の洗浄を終了したワークとメディアを乾燥するに際して、
さらに、前記研磨槽に、気体供給配管を介して気体供給装置を接続するとともに、排出管を介して吸引機能を備えた気体排出装置を接続し、
前記研磨槽内のワークとメディアを混合流動化してマスを形成しながら、前記気体供給装置により研磨槽内に乾燥用気体を供給すると同時に、前記気体排出装置により使用済の乾燥用気体を吸引して研磨槽外に排出することによって、
前記乾燥用気体が研磨槽内に形成されたマスの流動層内隙間を通過して、前記洗浄後のワークとメディアを研磨槽外に排出せずに乾燥することを可能にした、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のバレル研磨装置及びバレル研磨方法の効果をまとめると、下記の如くになる。
Ａ．湿式のバレル研磨装置において、前記段落００１５に記載の構成を具備させたことによる効果：
前記液体供給装置により研磨槽（固定槽）内に連続的に又は間欠的に新たに供給された新しい液体は、マスの混合流動作用によって既に流動層内隙間に入り使用された液体の排出と同時に入れ替わることとなるから、前記マスの流動層内隙間は常に新しい液体に入れ替わった状態となっている。
このため、研磨槽内の液量を、従来の湿式バレル研磨装置に使用する液体量の約１／１０乃至１／２０以下としても（図１(Ｂ)参照）、研磨槽内のマスの流動層内隙間に常に新しい液体に入れ替わっているから、
研磨工程においては、「研磨屑で研磨液が汚れ、時間の経過とともに汚れが進行してメディア表面が目詰まりして研磨力が低下するとともに、ワーク表面の汚れ、および面粗さも低下する」などの問題点、及び研磨液の温度上昇により「研磨槽（固定槽）と、研磨槽の底部に摺接隙間を有して組み付けられる回転盤とで構成される流動バレル研磨装置の場合、研磨液の量が少ないと研磨中に研磨槽内の温度が短時間に上昇して、ライナーが膨張して、回転盤と固定槽の間の摺接隙間が狭くなり、最終的に前記摺接隙間が「ゼロ」となり、回転盤が回転不可能となって研磨加工ができなくなる」などの問題点、を引き起こすことがないものであり、
洗浄工程においては、「マスの流動層内隙間は、常に新しい洗浄液に入れ替わった状態を維持しているから、優れた洗浄効果を発揮する」ものである。
【００２２】
これらの効果は、後述の実施例において、確認している。
【００２３】
すなわち、ワークとメディアの総量と略同等量の研磨液を、研磨槽内に貯留させて研磨をした従来例１（図１(Ａ)）と、本発明の研磨槽内のワークとメディアを混合流動化させてマスを形成しながら、前記液体供給装置により新たに供給する研磨液の量を調整して連続的に又は間欠的に供給すると同時に、使用済みの研磨液を研磨槽外に排出することによって、前記ワークとメディアの混合流動化により形成されたマスの流動層内隙間を通過する研磨液の量が前記従来例１の１／１０以下に調整されて研磨をした実施例１とでは、研磨量の比較において、実施例１は従来例１の１．２〜１．６倍であった。
【００２４】
なお、内筒式の流動バレル研磨装置（本出願人が、ＰＣＴ／ＪＰ２００５／００２２３３により出願）を用い、研磨液を研磨槽内に貯留して研磨した従来例２と、図１(Ｃ)に示すように、液体供給装置の液体供給配管３４より新らたに供給する研磨液の量を調整して連続的に又は間欠的に供給すると同時に、排出管４２より前記研磨槽２２内の研磨使用済みの研磨液を研磨槽外に排出して、前記研磨槽２２内のマスの混合流動化により形成されたワーク及びメディアの流動層内隙間を通過する研磨液の量が前記従来例２の１／１０以下に調整されて研磨をした実施例２とでは、研磨量の比較において、実施例２は従来例２の１．４〜１．８倍であった。
Ｂ．研磨加工を終了したワークとメディアの洗浄、および乾燥を、該ワークとメディアを研磨槽外に排出することなく行うようにしたことによる効果：
(1) 小サイズ、薄物のワーク、メディアの付着現象がなく、次工程のワークとメディアの選別が的確（容易）に行なうことができる。
すなわち、従来法では、研磨終了後、ワークとメディアを研磨槽から選別装置に排出して散水洗浄しながら、該ワークとメディアが濡れている状態で選別をする。
これに対して、本発明では研磨終了後、ワークとメディアを研磨槽外に排出せずに洗浄し乾燥した後に、選別装置に排出して選別する。このため、本発明では、ワークとメディアが乾燥しているのでワークとメディアの相互に付着現象がない状態で選別することができるからである。
【００２５】
(2) 洗浄後、直ちに乾燥を行なうことができるから、「錆（サビ）」の発生を防止できる。また、研磨槽内で乾燥を行うことで乾燥装置を別に設ける必要がなく、選別の前に乾燥していることで、小物ワークや扁平ワークが排出の際、研磨槽の壁面や、選別スクリーン等への付着を防ぐことができる。
【００２６】
従来における乾燥工程は、研磨が終了した後、研磨槽からワークとメディアを排出し、水洗、選別をした後乾燥するのが一般的である。この場合、扁平なワークや小サイズのメディアやワークは、水に濡れた状態のため研磨槽や選別機に付着しやすく、それを無くすために多量の水やエアーを噴射しなければならないという欠点があった。しかし、本発明では研磨槽内で乾燥させるため付着に対する従来の前記のような配慮を必要としない。
【００２７】
(3) 研磨槽上部から温風等の乾燥気体を供給し、間欠回転しながらワークとメディアを混合流動化させた状態で乾燥を行う。乾燥気体は研磨槽上部から入り、流動層内隙間を通過して研磨槽下部の摺接部から集塵機に吸入される。乾燥効率が向上するとともに、乾燥に際してワークにシミが発生し難い。
【００２８】
(4) なお、本発明のバレル研磨における、洗浄・乾燥の各方法は、乾式バレル研磨後のワーク及びメディアの洗浄・乾燥にも適用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の、望ましいいくつかの実施形態について説明する。
（Ａ）流動バレル研磨装置（図２）
研磨槽内にワークｗとメディアｍを装入し混合流動化させて形成されるマスＭの流動層内におけるワークｗとメディアｍの流動層内隙間に通過させる研磨液又は洗浄液の量を、従来法の１／１０以下にして研磨又は洗浄を行うものである。
【００３０】
流動バレル研磨装置本体（以下「研磨装置本体」という。）１２と液体供給装置１４と気体供給装置１６と気体排出装置１８とを備えている。
【００３１】
上記研磨装置本体１２は、研磨槽（固定槽）２２と回転盤（流動化手段）２４とで構成されている。具体的には、研磨槽２２は、竪型円筒の筒形状であり、回転盤２４は、研磨槽２２の底部内周部に摺接隙間Ｓを有して駆動回転可能とされている。すなわち、回転盤２４の中心部には駆動回転軸２６と連結され、該回転軸２６は、主軸モータ２８とプーリー連結（ベルト伝動）された減速機３０により駆動回転されるようになっている。
【００３２】
上記液体供給装置１４は、通常、研磨液タンク３２と水タンク（洗浄液タンク）３２Ａと、該両タンク３２、３２Ａの底部と研磨槽２２の液体供給口２２ａとを接続する液体供給配管３４とからなる。該液体供給配管３４は、研磨液又は洗浄液を、選択的に汲み上げて研磨槽２２に供給可能に、切替弁（図示せず。）及び供給ポンプ３６を備えている。適宜供給ポンプ３６の吐出側には開閉弁（図示せず。）を設けてもよい。
【００３３】
上記気体供給装置１６は、気体輸送機（気体発生機）３８と、該気体輸送機３８の吐出口３８ａと研磨槽２２の気体供給口２２ｂとを接続する気体供給配管４０とからなる。なお、気体供給装置１６（気体輸送機３８の吐出側乃至気体供給配管４０の途中）には、適宜、ヒータ・熱交換器等の加熱手段や凝縮器のような吸湿手段を具備させて、空調可能としておくこともできる。
【００３４】
気体排出装置１８は、排出管４２と減圧吸引装置（集塵装置）４４とから構成され、該排出管４２は、元部管部４２ａを研磨槽２２の底部に穿設された排出口２２ｃに接続して開閉弁４６と切替弁４８とを順次設けるとともに、前記切替弁４８を介して液体排出管部４２ｂと気体排出管部４２Ｃと、の二方向に分岐形成されている。
【００３５】
また、排気系の分岐管部４２ｃの先端側には減圧吸引装置４４が接続されている。通常、減圧吸引装置４４は、減圧ポンプ５０と減圧ポンプ５０の吸引側にバグフィルター（ろ布）５２を備えた集塵装置（集塵手段）とされている。集塵手段は、バグフィルター集塵に限定されず、他の、フィルター集塵、さらには、遠心力集塵、電気集塵等も適用可能である。
【００３６】
次に、上記流動バレル研磨装置を用いてのバレル研磨方法について説明する。
【００３７】
以下の説明で使用したバレル研磨装置は、新東ブレーター(株)製流動バレル研磨装置「ＥＶＦ−０４」（研磨槽容量４０Ｌ）の汎用機に、図２に示すように、本発明の液体供給装置１４と、気体供給装置１６と、気体排出装置１８とを付設したものである。ここで、研磨槽２２の底部側には、排出管４２が接続されている。該排出管４２は、開閉弁４６および切替弁４８を備えて液体排出管部４２ｂおよび気体排出管部４２ｃに分岐されている。該気体排出管部４２ｃは、気体排出装置１８に接続されている。なお、以下の説明で記載した各研磨加工条件は、該研磨槽２２内に装入したメディアとワークの装入量１５Ｌの場合におけるものである。
【００３８】
１）研磨工程：
研磨槽２２内に、ワークｗとメディアｍを装入して回転盤２４を回転させて、前記ワークｗとメディアｍを混合流動化させてマスＭを形成する。ここで、排出管４２の開閉弁４６を開にするとともに、切替弁４８は排液系側の液体排出管部４２ｂを開にした位置に設定する。また、液体供給ポンプ３６は研磨液タンク３２側に接続されている。
なお、研磨液も洗浄液も水を使用する場合は、前記研磨液タンク３２と洗浄液タンク３２Ａは兼用できる。
【００３９】
ワーク（加工部品）としては、例えば、各種機械部品（例えば、アングル、軸受けローラ、スラストレース、チェーンプレート等）を挙げることができる。また、メディアとしては、種々の形状（例えば、三角柱、四角錘、円柱、球体）及び材質（例えば、セラミック、金属、プラスチック）を使用できる。
【００４０】
研磨の開始に際して、ワークｗとメディアｍは充分濡れた状態にしておく。メディアが乾燥した状態から研磨を開始する場合は、最初に開閉弁４６を閉じ、少量の研磨液を添加して短時間、回転盤２４を回転させる。
【００４１】
例えば、研磨液約0.5Ｌを加えて、回転盤２４を約10ｓ間回転させるとワークｗとメディアｍの全体が均一に濡れた状態となる。続いて、液体供給装置１４の供給ポンプ３６を稼働して、研磨液Ｌ１を毎分約0.2〜0.5Ｌ程度連続的に供給し、所定時間、研磨を行う。研磨中に発生する研磨屑（微細粒子）は、流動層内隙間を通過する研磨液により連続的に研磨槽２２外に排出される。
【００４２】
研磨槽２２内の研磨液Ｌ１は、研磨中は遠心力によって回転盤２４外周と研磨槽（固定槽）２２との間の摺接隙間Ｓを通って研磨槽２２の底部の排出口２２ｃから研磨槽２２外に排出される。こうして、研磨槽内の液（水）量はマスＭが充分濡れる程度は存在するが、それ以上になることはない範囲（従来のワークとメディアの装入の量の１／１０以下、望ましくは１／２０以下）の設定量に維持されて研磨加工を行うことができる。
【００４３】
研磨槽２２内の、研磨に際して液量が従来に比して少ない（通常、１／10以下）ことで、研磨力は増加する。すなわち、ワークとメディアの混合流動化により形成されるマスの流動層内隙間に介在する液（水）の緩衝作用でワークとメディアの接触抵抗が小さくなり研磨力は低下するのに対し、本発明の方法は研磨槽内の水量が少ないためマスの流動層内隙間に介在する液（水）の緩衝作用がほとんどなく、研磨力が増加して研磨時間を短縮できる。
【００４４】
ここで、バレル研磨装置に、メディアの損耗量が大きくなる汎用型を使用し、研磨液を研磨槽２２内に貯留して研磨する従来方法と、本発明のバレル研磨方法と、の研削比（ワークの加工量／メディアの損耗量）を比較すると、本発明のバレル研磨方法が若干低下する（図７：従来例１と実施例１参照）が、研磨槽２２内に内筒２５を配した、図１（Ｃ）に示す構成（本出願人が、ＰＣＴ／ＪＰ２００５／００２２３３により出願）とすれば、研削比はほとんど低下しないことを確認している（図８：従来例２と実施例２参照）。
【００４５】
なお、研磨液Ｌ１の研磨槽２２に対する供給と排出、さらには、回転盤２４の回転は連続的でなくてもよい。
例えば、開閉弁４６を閉としておき、研磨槽２２に研磨液を供給し、研磨槽内の前記研磨液の量がワークとメディアの装入の量と略等しい状態となったら、回転盤２４を間欠的に正転・逆転させ、開閉弁４６を開にして研磨液を排出しながら予備研磨をする。
該予備研磨後、研磨槽内に滞留する研磨液の量が従来の研磨における研磨液の量の１／１０以下となるように液体供給装置１４による供給量を調整して本研磨を行う。前記研磨液の供給量の調整について、具体的には、ワークとメディアの装入の量１００Ｌに対し、液体供給装置１４による研磨液の供給量を、０．５〜１０Ｌ／ｍｉｎ、望ましくは、１〜５Ｌ／minとする。
【００４６】
２）洗浄工程：
研磨工程（加工）が終了した後、液体供給ポンプ３６を停止して、排液開閉弁４６を開いて研磨槽内の汚れた研磨液Ｌ１を排出する。ワークｗとメディアｍが汚れている場合は、適宜、洗浄を行う。
【００４７】
例えば、一旦、開閉弁４６を閉じて、ワークとメディアの総量と略同量近くの洗浄液（水）を研磨槽２２内に供給し、濯ぎ洗いを10秒間した後、開閉弁４６を開いて水を流すことを繰り返すことで研磨槽２２内のワークｗとメディアｍを洗浄する。研磨槽内の水は回転盤と固定槽との間の摺接部と回転盤中心部の液抜き蓋２４ａの周囲に形成される液抜き孔２４ｂから排出される。
【００４８】
また、上記洗浄方法の代わりに、開閉弁４６を開いたままで回転盤２４を回転させながら洗浄液（水）を連続的に供給しながらワークとメディアの洗浄をすることもできる。洗浄終了後は、注水を止め、回転盤を回転させると研磨槽内の水は遠心力で摺接部から短時間（例えば10秒間程度）で槽外に排出され、研磨槽内は水が切れた状態となる。鉄系の錆易いワークの場合は、通常、最後に防錆液を加えた後、水を切る。
【００４９】
３）乾燥工程：
研磨が終了して、適宜、上記洗浄を行った後、切替弁４８を排気側に切り替える。そして、研磨槽２２の上部に蓋２３をしてその中央部から温風を供給し、集塵装置（減圧吸引装置）４４を稼動して温風を、集塵装置４４のろ布５２を通過させて排気する。温風は流動層内隙間（マス構成物の相互間隙間）を通過して摺接隙間Ｓから集塵機５４へ導かれる。乾燥に要する時間は5〜10分間である。このとき流動層内隙間を温風が通過することが必要で、ワークとメディアが混合流動しない状態で温風を供給し続けると、該温風がマスの流動層内隙間に均一に流れない状態となって、乾燥時間に長時間要することとなる。
【００５０】
具体的には研磨槽２２内のワークとメディアを停止した状態で１〜２分間温風を供給し、その後数秒間は回転盤２４を回転させてワークとメディアを混合流動化状態とする。この動作を繰り返すことで均一に速く乾燥させることができる。温風供給の乾燥中、回転盤２４を回転し続けると、ワークとメディアの乾燥は速くできるがメディアとワークが水のない状態で擦り合うこととなり好ましくない。
【００５１】
この乾燥工程の条件は、研磨槽２２の容量、ワークとメディアの種類・容量により異なるが、例えば、１分間温風を供給、吸引し、その後５秒間研磨槽を回転し、ワークとメディアを混合流動化させる。この操作を繰り返すと効率よく短時間に乾燥させることができる。このときの運転条件は、例えば、温風温度60〜80℃、風量3.15ｍ3／分とする。尚、温風の代わりに除湿空気を供給してもよい。
【００５２】
本実施形態のバレル研磨方法は、研磨が終了した研磨槽の中で乾燥まで行うことに、特長があり、纏めると下記の如くになる。
【００５３】
従来の湿式バレル研磨では、研磨が終了した後研磨機外で水洗、選別、防錆乾燥を行うのが一般的であるが、メディア、ワークが小サイズであったり、ワークが扁平な形状出会ったりする場合は研磨槽内や選別装置に付着しそれを取り除くために大量の水を使用するなど、濡れた状態での排出や選別には課題が多い。生産ラインの中では、ワークの付着はワーク種類が変わった場合の異品混入のトラブルの原因となる。本発明ではそのようなことがなくなる。
【００５４】
なお、本実施形態の方法は、汎用流動バレル研磨装置だけでなく、図１（Ｃ）に示すような、研磨槽２２に内筒２５を配した内筒式流動バレル研磨装置にも適用できる。
【００５５】
本実施形態における研磨方法は、通常に比べて研磨力は1.1〜1.8倍程度上昇する。しかし研磨中水の緩衝作用が働かないために、通常の研磨方法に比べてワークの打痕や変形が生じやすくなるため、対象ワークは、硬い材質や小サイズのもので、かつ、使用するメディアも比較的小サイズに限定される。これ以外のワークが相対的に柔らかったり、小さかったり、さらには、メディアが大きいような場合は、次に記す、従来と同様に、多量の研磨液の存在下で研磨することもできる。
（B）溢流型流動バレル研磨装置（図３）
従来と同様、多量の研磨液の存在下で、流動バレル研磨する場合に適用する場合の装置である。乾燥装置（乾燥手段）は省略してある。また、前述例と同一部分については同一図符号を付して、それらの説明の全部又は一部を省略する。
【００５６】
この場合、流体排出配管４２の開閉弁４６は閉じたままの状態とし、所定量の水とコンパウンドを加えて研磨を開始する。その後、一定量（例えば、0.2〜0.5Ｌ／min）の研磨液（コンパウンド溶液）Ｌ１を液体供給ポンプ（定量ポンプ）３６で供給し、研磨槽内の液量（水量）は一定に保ったまま研磨槽２２の上部に設けた溢流口（排出口）５６から上部排液管５７を介して、略供給量と同量の研磨液を常時排出する。研磨槽２２内の溶液は溢流口５６の溢流高さを調節できるようにして適正な液量を決める。
【００５７】
具体的には、研磨槽２２の上方部の周壁に上下方向の長孔状の溢流口５６を形成し、該溢流口５６に上下スライド移動可能（図例では調節用長孔５８ａで調節）に、液位調節板５８を取り付けてある。液位調節板５８には、溢流口５６の幅に一致するように並列して形成された該排出小孔５８ｂを備えている。
【００５８】
図２との違いは、研磨中の研磨槽内の研磨液（水）量が多いことで、研磨液の緩衝作用が働き打痕や変形の心配は無く、そのため研磨力は弱いが表面粗さは細かくなるとともに、メディアの損耗も少なくなる。従って、例えばバリ取り研磨が目的のワークにあっては、初期のバリが小さく表面粗さも小さく抑えたい場合や、比較的軟らかい軟鉄や非鉄金属の研磨に適するなど研磨対象のワークによって両者を選定する。
【００５９】
また、従来の研磨方法と比較した本発明の特長は、研磨工程において、研磨中の磨耗微粉が常時排出されるため、研磨槽内の清浄度が保たれ研磨したワークの表面粗さが細かく、きれいな色調の表面研磨することができる点にある。また、研磨が長時間必要な場合、研磨槽内の液温の上昇を抑えることができる。
前記の「研磨槽内の清浄度が保たれる」という点については、前記研磨液を洗浄液に置き換えて行うことができる洗浄工程においても同様で、洗浄効果が大となるものである。
【００６０】
従来の研磨方法では、研磨槽内の液温が上昇した場合、槽内の研磨液を交換して温度の上昇を抑えることが必要となる。通常、夏場には１ｈ毎にそれを繰り返す。
【００６１】
本発明の研磨工程においては、研磨前の新しい研磨液の供給と研磨使用済みの研磨液の排出を常に行い、研磨槽内は常に新しい研磨液に入れ替わった状態で研磨が行われるから、後述の実施例で示す如く、研磨能力の低下がなく、温度の上昇が抑制され、長時間を要する研磨でも連続して行うことができる。
前記研磨液を洗浄液に置き換えて研磨槽内の研磨加工を終了したワークとメディアを洗浄すれば、前記段落００５９でも述べたように、研磨槽内の清浄化が保たれ洗浄効果は大となるものである。
【００６２】
なお、温度が上昇したまま研磨を続けると、ウレタン樹脂でできている研磨槽が膨張し、通常、回転盤２４と研磨槽２２の間の0.6ｍｍ程度ある摺接隙間Ｓが無くなって溶着して研磨途中で回転が停止してしまう。すると、研磨槽を分解して摺接部の溶着を外す大掛かりな工事が必要となり、同時に摺接部が広がって、研磨槽全体はあまり磨耗していないのに摺接部が広がったために研磨槽全体を交換しなければならなくなる。そのため研磨中の水温は60℃以上に上昇させてはならないとされている。
（Ｃ）遠心バレル研磨装置（図４・５）
図４は、遠心バレル研磨装置における（遠心）研磨槽６２の略図で、研磨槽が縦型で描いてある。研磨槽本体６２ａの上下は、２重に内蓋・外蓋６２ｂ、６２ｃで閉じられている。内蓋６２ｂは金網や樹脂メッシュの多孔体で形成され、外蓋６２ｃは気密を保てるような剛性の高いめくら蓋となっている。研磨中は内・外蓋６２ｂ、６２ｃは閉じたままである。４つの研磨槽６２を自転公転ができるようにタレット６４に縦（垂直）に固定する。研磨が開始され、タレット６４の駆動軸６６及びタレット６４に装着された自転軸６８が回転を始めると研磨槽６２内のワークとメディアは遠心力で研磨槽２２の内壁側に押し付けられ、マスを形成して垂直になる。この状態を保ったまま自転公転を行い研磨される。このときマスを形成しているワークとメディアは内蓋（メッシュ）６２ｂの部分にはかかっていないため、耐磨耗性の劣る材質であっても内蓋６２ｂが磨耗することはない。加工が終了して回転が止まれば垂直だったマスＭは崩れて図４(Ｃ)のように研磨槽６２の底部に堆積する。研磨槽６２を研磨装置本体に装着したまま水洗、乾燥を行っても差し支えないが機械系が非常に複雑になる。
【００６３】
このため、図５に示すような、洗浄・乾燥装置６９を使用して洗浄・研磨を行う。
【００６４】
研磨が終了した後、装置本体から研磨槽６２を取り外し、さらに外蓋（めくら蓋）６２ｃを外した状態で、洗浄・乾燥装置６９の研磨槽保持台７０に装着する。
【００６５】
この洗浄・乾燥装置６９は、前述の流動バレル研磨装置と同様の洗浄液を供給する液体供給装置１４、と乾燥用気体の気体供給装置１６及び気体排出装置１８を備えている。なお、本実施形態では、研磨槽６２への液体供給口と気体供給口は同一の液体・気体供給口７２とし、液体供給配管３４と気体供給配管４０の合流位置に給液・給気切替弁７４が設けられ、液体・気体供給口７２に接続されている。
【００６６】
そして、研磨槽６２の上部から洗浄液（水）を供給し、下部から排出することで洗浄する。この際、研磨槽６２は斜めに傾けゆっくり回転させながらワークとメディアの洗浄をする。このため、保持台７０は、減速機７３の回転軸とベルト伝動により回転可能とされている。
【００６７】
洗浄終了後は給液・給気用の切替弁７４を給気側に切り替えて温風を同様に研磨槽６２の上部から供給し、下方から排液・排気用の切替弁４８を排気系側へ切り替えて集塵装置４４へ吸引することで乾燥を行う。このときマスの流動層内隙間を温風が流れるように、減速機７３で保持台７０とともに研磨槽６２を回転させる。流動層内隙間を温風が通過することで短時間に乾燥させることができる。乾燥終了後は研磨槽６２を保持台７０から取り外し、内蓋（メッシュ蓋）６２ｂを外してワークとメディアを選別装置に排出し選別を行う。このとき乾燥が完全に行われていれば、研磨槽内にワークやメディアが付着することはない。
（Ｄ）振動バレル研磨装置（図６）
ボックス型のものにおいて、前述の流動バレル研磨装置と同様の洗浄液を供給する液体供給装置１４、と乾燥用気体の気体供給装置１６及び気体排出装置１８を備えたものである。
【００６８】
なお、研磨槽７６は、支持台７８上にコイルばね８０で支持され、研磨槽７６の底部に装着された偏心錘８４に、モータ８２の回転力を伝動させて偏心運動をさせることにより、加振されるようになっている。
【００６９】
従来の振動バレル研磨装置において、研磨加工が終了したワークとメディアの洗浄方法は、排液用の開閉弁４６を閉じて研磨槽内に水を張り、研磨槽７６を振動させて前記ワークとメディアを流動させた後バルブを開いて汚れた水を排出する。この操作を数回繰り返して洗浄を行う。本発明の洗浄工程においては、新しい洗浄液の供給と洗浄使用済みの洗浄液の排出を常に行う。このため、研磨槽内は常に新しい洗浄液に入れ替わった状態で洗浄が行われるから、洗浄能力の低下がないので洗浄回数は少なくてよい。ワークが鉄系で錆び易い場合は、防錆剤を加えて１〜２分間ワークとメディアを混合流動化させる。該洗浄が終了した後、研磨槽７６の上部から温風を供給し研磨槽７６の下部から吸引して乾燥させる。乾燥は下部の吸引口が多いほどよく、図例の如く、吸引口７６ａを研磨槽７６の底部側周壁に等間隔で複数個設けることができる。また、乾燥効率を上げるため間欠的に研磨槽７６を加振して、研磨層７６内のワークとメディアを混合流動化させる。
【００７０】
振動バレルの研磨槽７６は、流動バレルの研磨槽のように遠心力を利用して水を切ることはできないため乾燥時間は長くなるが、上記の如く、研磨槽７６の底部に温風の吸引口７６ａを複数個設けることで充分乾燥することができる。
（Ｅ）本発明の研磨方法における作用の概略：
本発明のバレル研磨装置を使用することにより、流動化手段で形成したワークとメディアの混合流動層における流動層内隙間を、研磨液、洗浄液（水を含む。）又は乾燥用気体を通過させながら流すことができる。これにより、研磨、洗浄、防錆、さらには、乾燥の各操作を生産性（効率）が向上する。
【００７１】
すなわち、研磨操作や洗浄操作の場合、研磨液乃至洗浄液の供給・排出を連続的に又は間欠的に行う。このため、該研磨や洗浄により発生する汚れが常時ないし順次除去されて汚れの無い又は少ない研磨液乃至洗浄液で、研磨操作や洗浄操作が行われる結果、研磨効率乃至洗浄効率の向上が図れる。
【００７２】
また、乾燥操作の場合、乾燥空気をマスの流動層内隙間を、乾燥用気体を連続的に通過させる。このため、洗浄後のワークとメディアを静止状態で乾燥させる場合に比して、マスの内外部の乾燥が均一に進み、全体として乾燥効率の向上が図れる。
【００７３】
さらに、研磨、洗浄、及び、乾燥の各操作を、ワークとメディアを研磨槽外へ排出をせずに、同一の研磨槽で継続的に行うことができる。したがって、一連の処理操作の効率も全体として向上する。
【００７４】
また、常に、ワークとメディアが清浄化されているから、ワークの研磨状態が綺麗に仕上がり、次工程の洗浄を的確（容易）に行なうことができる。また、研磨槽内への磨耗粉塵の滞留が少なくなることで、表面粗さを細かくすることが可能となる。
【００７５】
さらに、本発明を、研磨槽が筒形状の固定槽であり、流動化手段が、固定槽の下端開ロ内周部に摺接隙間を形成して回転する皿盤状の回転盤とからなる構成で、ライナーが固定槽の内側に貼付されているいわゆる流動型のバレル研磨に適用した場合、研磨槽内の温度上昇も抑制できる。従って、該膨張により、回転盤と研磨槽（固定槽）の間の設定隙間の範囲を超えて狭くなり、回転盤と研磨槽との間でカジリ現象が発生することもなくなり、溶着現象の発生も防止できる。
【実施例】
【００７６】
本発明の効果を確認するために従来例とともに行った実施例について説明をする。
＜従来例１・実施例１＞
従来例１ならびに実施例１で使用したバレル研磨装置は、前記段落００３７で説明した図２に示す新東ブレーター製の流動バレル研磨装置「ＥＶＦ−０４型」（研磨槽容量40Ｌ）の汎用機に、本発明の液体供給装置１４と、気体供給装置１６と、気体排出装置１８とを付設したものであり、研磨槽２２の排出口２２ｃには、排出管４２の主管部４２ａが接続されている。該排出管４２の主管部４２ａは、開閉弁４６および切替弁４８を備えて液体排出管部４２ｂおよび気体排出管部４２ｃに分岐され、該気体排出管部４２ｃには、前記気体排出装置１８が接続されている。なお、その研磨加工条件は、下記のとおりである。
【００７７】
メディア・・・セラミック製（三角柱型：三角形一辺10ｍｍ高さ7ｍｍ）、装入量15Ｌ
研磨助剤（コンパウンド）・・・バレル用コンパウンド（新東ブレーター製「SLM-E」）
研磨液・・・従来例１：コンパウンド250倍希釈液
実施例１：コンパウンド500倍希釈液、
ワーク・・・Ｓ４５ＣＴＰ：標準試験片、22ｍｍφ×15ｍｍｈ
鉄アングル：ＳＳ４００生材、25ｍｍ×25ｍｍ×2.5ｍｍｔ
アルミアングル：25ｍｍ×25ｍｍ×2.5ｍｍｔ
ベアリングローラ：10ｍｍφ×15ｍｍｈ
スラストレース：37ｍｍφ×内径17ｍｍφ×2ｍｍｔ
ワークの装入量：各２個ずつ
回転盤速度、加工時間・・・200min-1、1ｈ
上記研磨加工条件により、
従来例１は、上記のワークとメディアが装入された図２に示す研磨槽２２の開閉弁４６を閉とし、液体供給装置１４により前記研磨槽２２内に研磨液を「１０．５Ｌ」貯留したのち、回転盤２４を回転させてワークとメディアを混合流動させてマスを形成し研磨加工を行った。
実施例１は、上記のワークとメディアが装入された図２に示す研磨槽２２の開閉弁４６を開にするとともに、切替弁４８を液体排出管部４２ｂ側が開となるように切替えをする。前記のように排液系の設定を終えたら、回転盤２４を回転させ前記研磨槽２２内に液体供給装置１４により研磨液を「０．４Ｌ／min」となるように調整して連続供給すると同時に、液体排出管部４２ｂより連続排液をして研磨加工を行った。
【００７８】
そして、下記各項目について、下記方法に従って計測をした。
【００７９】
(1)研磨量（ｍｇ／ｈ）：研磨加工前後の各ワークについて、電子天秤にて質量を測定して、質量差分を求めた。
【００８０】
(2)メディア損耗率（％／ｈ）：研磨加工前後のメディア全量について、質量を測定して、１ｈ後のメディア損耗量を投入メディアの全量で割って求めた。
【００８１】
(3)研削比（無次元量）：研磨量（ｍｇ／ｈ）をメディア損耗率（％／ｈ）で割って求めた。研磨量が大きい場合、メディア損耗率が小さい程、研削比は大きくなる。すなわち、研削比が大きいということは、研磨効率が高い（研磨能力に優れている）といえる。
【００８２】
それらの結果を示す図７から、研磨量は実施例１の場合、従来例１の１．２〜１．６倍になり、研削時間を短縮できることが分かる。また、メディアの損耗率は約１．６倍になり、研削比はワークの種類によるが、同等ないし若干低下するだけであることが分かる。
＜従来例２・実施例２＞
従来例２ならびに実施例２で使用したバレル研磨装置は、図１(Ｃ)に示し前記段落００２４に説明した新東ブレーター製の内筒式の流動バレル研磨装置「ＥＶＦX−１型」（研磨槽容量３５Ｌ）であり、従来例２の研磨加工条件は、研磨液を貯留して前記従来例１と同条件にし、実施例２の研磨加工条件は、本発明の研磨液の量を調整して供給すると同時に排出して前記実施例１と同条件にして研磨加工を行い、同一の各項目について計測試験を行った。
【００８３】
メディア・・・同前
研磨助剤・・・同前
研磨液・・・従来例２：コンパウンド250倍希釈液
実施例２：コンパウンド500倍希釈液、
ワーク・・・同前
ワークの装入量・・・同前
回転盤速度、加工時間・・・同前
【００８４】
それらの結果を示す図８から、研磨量は実施例２の場合、従来例２の１．２〜１．８倍になり、研削時間を短縮できることが分かる。また、メディアの損耗率は約１．６倍になり、研削比はワークの種類によるが、同等以上を示すことが分かる。
＜実施例３・従来例３＞
従来例３ならびに実施例３で使用したバレル研磨装置は、図２に示す研磨槽容量１９０Ｌとした新東ブレーター製の流動バレル研磨装置「ＥＶＦ−０８Ｒ型」の汎用機に、本発明の液体供給装置１４と、気体供給装置１６と、気体排出装置１８とを付設したものであり、研磨槽２２の排出口２２ｃには、排出管４２の主管部４２ａが接続されている。該排出管４２の主管部４２ａは、開閉弁４６および切替弁４８を備えて液体排出管部４２ｂおよび気体排出管部４２ｃに分岐され、該気体排出管部４２ｃには、前記気体排出装置１８が接続されている。なお、その研磨加工条件は、下記のとおりである。
【００８５】
メディア・・・同前、装入量80Ｌ
研磨液・・・市水
ワーク・・・スラストレース（同前）、装入量20Ｌ（52ｋｇ）
回転盤速度、加工時間・・・120min-1、4ｈ
上記研磨加工条件により、
従来例３は、上記のワークとメディアが装入された図２に示す研磨槽２２の開閉弁４６を閉とし、液体供給装置１４により前記研磨槽２２内に研磨液を「７０Ｌ」貯留したのち、回転盤２４を回転させてワークとメディアを混合流動させてマスを形成し研磨加工を行った。
実施例３は、上記のワークとメディアが装入された図２に示す研磨槽２２の開閉弁４６を開にするとともに、切替弁４８を液体排出管部４２ｂ側が開となるように切替えをする。前記のように排液系の設定を終えたら、回転盤２４を回転させ前記研磨槽２２内に液体供給装置１４により研磨液を「２Ｌ／min」となるように調整して連続供給するとともに、液体排出管部４２ｂより連続排液をして、研磨槽内のマス（ワークとメディア）の流動層内隙間を通過する研磨液の量が調整されて研磨加工を行った。
【００８６】
そして、ウレタンライナー部及び研磨槽内の初期（運転開始時）温度を測定後、運転を開始して30分毎に運転終了時（4ｈ経過）まで温度変化を測定した。それと同時に、初期及び運転終了時の、図９のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各位置における回転盤摺接部隙間を測定し、変化量を求めた。
【００８７】
それらの結果を、温度変化は表１及び図１０に示し、隙間経時変化（変化量）は表２に示す。
【００８８】
【表１】
0005223249.tif 000002
【００８９】
表１及び図１０に示す結果から、ワークとメディアの温度上昇を抑制できることが分かる。そして、このため、連続運転可能時間を従来に比して長く設定することが可能となる。さらに、実際に、流動バレル研磨に適用した場合、回転盤摺接部におけるウレタンライナーが溶着防止に効果的であることが分かる。
＜実施例４＞
次に、ＥＶＦ−０４型（同前）の汎用流動バレル研磨装置と、温風発生機(株式会社竹網製作所製TSK−15型)と集塵機(新東ブレーター株式会社製のろ布式集塵機)から構成した、流動バレル研磨装置を用いて研磨・洗浄・乾燥の一例操作（工程）を行った実施例について説明する。
【００９０】
メディア（同前）12Ｌ及び研磨液（コンパウンド（同前）50ｍL＋水10Ｌ）にワークとしてチェーンプレート3Ｌを入れて、ストック方式で、スケール除去とエッジ部の丸み付けのための研磨（加工）を90分間行った。
【００９１】
研磨（加工）終了後、開閉弁を開いて研磨槽内の水を排出し、研磨槽内を水洗するためバルブを閉じて約10Ｌ水を入れ、15秒間回転盤を回して水洗した後、再び開閉弁を開いて研磨槽内の水を排出した。さらに、防錆用コンパウンド溶液300ｍＬを加え、約20秒間、ワークとメディアを混合流動化させれば、研磨槽内の水やコンパウンド溶液の大半は排出されるが、このままではメディアやワークの接触している部分にはかなりの量の水が保持されている。
【００９２】
そこで再び回転盤を約15秒間回し、ワークとメディアに遠心力を与えて研磨槽内に残った水を回転盤と固定槽の間の摺接部から槽外に排出し、所謂水切り操作を行った。
【００９３】
水切り操作の後、研磨槽上部を蓋で覆い、その中心部に直径60ｍｍの開口部から60℃の温風（風量3.15ｍ3／min）を供給した。同時に集塵機を稼動して温風を集塵機のろ布を通過して排気することでワークとメディアを乾燥させた。このときの風量は供給より排気の方を多くするために、研磨槽上部の蓋には1部外気が吸入できるように開口しておく。乾燥操作中、ワークとメディアの混合流動化は停止（静止）させた状態に保った。このとき完全に乾燥するに要した時間は20分間であった。
【００９４】
一方、乾燥操作として、ワークとメディアの混合流動化は55秒間停止した後、5秒間回転盤を動かすことで混合流動化させ、この操作を繰り返して乾燥させた結果、7分間で乾燥させることができた。同様にワークとメディアの混合流動化を115秒間停止して回転盤を5秒間回転したときの乾燥に要した時間は10分間、175秒間停止して５秒間回転したときの乾燥時間は12分間であった。
【００９５】
常時ワークとメディアを混合流動化ながら乾燥させればさらに乾燥時間は短縮できるが、この状態でワークとメディアを混合流動化させることは、水を入れないで加工を行っていることと同じになり、メディアやワークの表面が目詰まり等で黒くなったり、ワークに打痕傷が入ったりワークが変形したりする恐れがあるため好ましくない。間欠的にマスを流動させるための回転時間は、5秒間にする必要はないが、可及的に短い時間とすることが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】汎用流動バレル研磨装置を使用しての従来及び本発明の、並びに、内筒式流動バレル研磨装置を使用しての本発明の各研磨方法を説明するためのモデル断面図である。
【図２】本発明の流動バレル研磨装置の一例を示す概略全体断面図である。
【図３】同じく、他の例を示す概略全体断面図である。
【図４】遠心バレル研磨装置の（遠心）研磨槽のタレット盤上の配置図（Ａ）、該配置図のＢ−Ｂ線断面図（Ｂ）、及び、取り外して外蓋を取り外した研磨槽の断面図（Ｃ）である。
【図５】遠心バレル研磨装置から取り外した研磨槽に使用する洗浄・乾燥装置の一例を示す概略断面図である。
【図６】振動バレル研磨装置において洗浄・乾燥装置を付設した一例を示す概略断面図である。
【図７】汎用流動バレル研磨装置を使用しての従来例１及び実施例１における研磨特性の試験結果を示すグラフ図である。
【図８】内筒式流動バレル研磨装置を使用しての従来例２及び実施例２における研磨特性の試験結果を示すグラフ図である。
【図９】図１０における温度変化測定試験において研磨開始時と研磨終了時の摺接隙間の測定位置を示す説明図である。
【図１０】汎用流動バレル研磨装置を使用しての従来例３及び実施例３における運転時間とウレタン部及び研磨槽内の温度変化の関係を測定した試験結果を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【００９７】
１２ 流動バレル研磨装置本体
１４ 液体供給装置
１６ 気体供給装置
１８ 気体排出装置
２２ 研磨槽（固定槽）
２２ａ 研磨槽の液体供給口
２２ｂ 研磨槽の気体供給口
２２ｃ 研磨槽の排出口
２４ 回転盤
２４ａ 液抜き蓋
３２ 研磨液タンク
３２Ａ 洗浄液タンク（水タンク）
３６ 液体供給ポンプ
３８ 気体輸送機
４０ 気体供給配管
４２ 排出管
４２ａ 排出管の元管部
４２ｂ 排出管の液体排出管部
４２ｃ 排出管の気体排出管部
４４ 減圧吸引装置（集塵装置）
４６ 排出管の開閉弁
４８ 排出管の切替弁
５０ 減圧ポンプ
５２ バグフィルター
５６ 溢流口
Ｍ マス
ｗ ワーク（加工部品）
ｍ メディア
【図１】
0005223249.tif 000003
【図２】
0005223249.tif 000004
【図３】
0005223249.tif 000005
【図４】
0005223249.tif 000006
【図５】
0005223249.tif 000007
【図６】
0005223249.tif 000008
【図７】
0005223249.tif 000009
【図８】
0005223249.tif 000010
【図９】
0005223249.tif 000011
【図１０】
0005223249.tif 000012