(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に敷設された軌道を走行する走行部と、
前記走行部に取り付けられており、把持した被搬送物を収容空間に収容して搬送する搬送部と、
前記搬送部の下端側に、水平に沿った方向に回動可能に軸支されており、前記収容空間への前記被搬送物の収容を可能とする退避位置と、前記収容空間に収容された前記被搬送物の下側に突出して前記被搬送物の前記収容空間からの落下を防止する落下防止位置との間を移動可能な落下防止部材と、
前記搬送部の前記落下防止部材より上方側に、前記落下防止部材と同一の軸心で水平に沿った方向に回動可能に軸支されており、前記落下防止部材の前記退避位置から前記落下防止位置への移動に合わせて前記被搬送物の側面を押圧するように突出する揺れ抑制部材と
を備え、
前記揺れ抑制部材は、
前記被搬送物の側面を押圧面で平面的に押圧する押圧部と、
該押圧部を先端側で支持すると共に基端側において前記搬送部に軸支されており、長さ方向の軸線が前記被搬送物の側面に対して斜めとなった状態で前記押圧部を前記被搬送物に当接させる長尺状のレバー部と
を有することを特徴とする搬送車。
【請求項２】
前記落下防止部材は、前記退避位置にある場合には前記揺れ抑制部材を押圧して前記被搬送物への突出を防止し、前記落下防止位置にある場合には前記揺れ抑制部材への押圧を解除して前記被搬送物への突出を可能とする突出制御手段を有することを特徴とする請求項１に記載の搬送車。
【請求項３】
前記揺れ抑制部材は、前記レバー部の前記先端側を前記被搬送物の側面へと付勢する付勢手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送車。
【請求項４】
前記押圧部は、前記レバー部に水平に沿った方向に回動可能に軸支されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送車。
【請求項５】
前記レバー部は、前記押圧部の回動を所定量以下に規制する回動規制手段を有することを特徴とする請求項４に記載の搬送車。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載の搬送車を具備してなることを特徴とする搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器などの被搬送物を軌道上で搬送する搬送車、及び該搬送車を備える搬送システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送車として、例えば天井に敷設された軌道を走行することで、ＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)等の被搬送物を搬送する懸垂型のもの（所謂ＯＨＴ：Overhead Hoist Transport）が知られている。このような搬送車には、移載した被搬送物の下側に突出することで被搬送物の落下を防止する落下防止部材と、該落下防止部材に連動して回動可能とされており、被搬送物を押圧することで揺れを抑制する揺れ抑制部材とが備えられる場合がある（例えば、特許文献１参照）。揺れ抑制部材は、被搬送物に当接し始める位置と、落下防止部材が突出し終わった際の位置とが互いに異なるため、そのズレを調整可能なローラ等によって構成される（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１８７１７５号公報
【特許文献２】特開２００６−２９８５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したようにローラとして構成された揺れ抑制部材は、回転可能であるがゆえに、押圧方向に交わる方向の揺れに対しては抑制効果が十分とは言えない。例えば、搬送車がカーブを走行する際に遠心力が加わってしまうと、被搬送物の横揺れに合わせてローラが回転してしまうため、被搬送物は比較的大きく揺れてしまうおそれがある。
【０００５】
近年、被搬送物の重量は、例えば半導体基板の大口径化に伴い飛躍的に増大している。搬送車に加わる遠心力は、被搬送物の重量の増加と共に大きくなるため、上述したような遠心力が被搬送物に与える影響は無視できない。即ち、ローラとして構成された揺れ抑制部材には、大型化する被搬送物に対して、その揺れを効果的に抑制することができないという技術的問題点がある。
【０００６】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、被搬送物の揺れを効果的に抑制することが可能な搬送車及び搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の搬送車は上記課題を解決するために、天井に敷設された軌道を走行する走行部と、前記走行部に取り付けられており、把持した被搬送物を収容空間に収容して搬送する搬送部と、前記搬送部の下端側に、水平に沿った方向に回動可能に軸支されており、前記収容空間への前記被搬送物の収容を可能とする退避位置と、前記収容空間に収容された前記被搬送物の下側に突出して前記被搬送物の前記収容空間からの落下を防止する落下防止位置との間を移動可能な落下防止部材と、前記搬送部の前記落下防止部材より上方側に、前記落下防止部材と同一の軸心で水平に沿った方向に回動可能に軸支されており、前記落下防止部材の前記退避位置から前記落下防止位置への移動に合わせて前記被搬送物の側面を押圧するように突出する揺れ抑制部材とを備え、前記揺れ抑制部材は、前記被搬送物の側面を押圧面で平面的に押圧する押圧部と、該押圧部を先端側で支持すると共に基端側において前記搬送部に軸支されており、長さ方向の軸線が前記被搬送物の側面に対して斜めとなった状態で前記押圧部を前記被搬送物に当接させる長尺状のレバー部とを有する。
【０００８】
本発明の搬送車は、天井に敷設された軌道部を走行部が走行すると共に、走行部に取り付けられた搬送部が積載した被搬送物を搬送する。搬送部は、典型的には、走行部に吊り下げられた形で取り付けられている。搬送部は、例えば被搬送物を把持する把持部を備えており、被搬送物の積載時には、把持部に把持された被搬送物が搬送部の収容空間に収容される。収容空間は、例えば下方側に向けて開口したコの字状の搬送部における内部の空間として規定されている。
【０００９】
本発明の搬送車には、搬送部の下端側に、水平に沿った方向に回動可能に軸支された落下防止部材が設けられている。尚、ここでの「下端側」とは、収容空間に積載された被搬送物を下側から支えられる程度に低い位置であることを意味している。また、「水平に沿った方向」とは、完全な水平方向を意味するだけではなく、水平方向に斜めに交わるような方向をも含む広い概念である。落下防止部材は、把持された被搬送物が、例えば搬送車の揺れ等に起因して落下しそうになった場合に、下側から支えることで落下を防止する。
【００１０】
落下防止部材は、収容空間への被搬送物の収容を可能とする退避位置と、収容空間に収容された被搬送物の下側に突出して被搬送物の落下を防止する落下防止位置との間を、水平方向に沿って回動することで移動可能とされている。より具体的には、落下防止部材は、被搬送物を積載使用とする際には、収容空間の入口付近において被搬送物が通過可能なスペースを確保できるよう、少なくとも部分的に収納された状態となる。一方で、被搬送物が積載された後には、収容空間の入口を下方側から部分的に塞ぐように突出し、被搬送物が収容空間から落下してしまうことを防止する。
【００１１】
本発明の搬送車には更に、搬送部における落下防止部材より上方側に、揺れ抑制部材が設けられている。揺れ抑制部材は特に、上述した落下防止部材と同一の軸心で水平に沿った方向に回動可能に軸支されている。尚、ここでの「同一の軸心」とは、落下防止部材及び揺れ抑制部材が、例えば同一のシャフト等によって軸支されている場合を含むほか、後述する本発明の効果を発揮できる程度に、落下防止部材及び揺れ抑制部材の軸心が互いに近い場合も含む広い概念である。揺れ抑制部材は、積載された被搬送物の側面を押圧することで揺れを抑制する。尚、ここでの「揺れ」とは、搬送車に移載された被搬送物が、カーブ走行時の遠心力等によって揺れる際の変位量を意味している。揺れ抑制部材は、被搬送物の側面を押圧面で平面的に押圧する押圧部と、該押圧部を先端側で支持すると共に基端側において搬送部に軸支された長尺状のレバー部を有している。押圧部は、例えば弾性体等によって構成される。このような押圧部によって被搬送物を押圧すれば、被搬送物への振動の伝達を抑制することができる。尚、ここでの「振動」とは、上述した揺れの加速度を意味している。
【００１２】
揺れ抑制部材は、落下防止部材の退避位置から落下防止位置への移動に合わせて、被搬送物の側面を押圧するように突出可能に構成されている。より具体的には、落下防止部材が退避位置にある場合には、揺れ抑制部材は、積載された被搬送物とは接しないような位置に収納されている。そして、落下防止部材が退避位置から落下防止位置へと移動する場合には、落下防止部材の動きと連動してレバー部が回動し、押圧部の押圧面が積載された被搬送物の側面に押しつけられる。尚、揺れ抑制部材が被搬送物を押圧する際には、レバー部の長さ方向の軸線が被搬送物の側面に対して斜めとなった状態で、押圧部の押圧面が被搬送物の側面に当接される。
【００１３】
ここで本発明では特に、搬送部に設けられる落下防止部材及び揺れ抑制部材が、互いに同一の軸心で支持されている。このため、揺れ抑制部材における押圧部の、被搬送物に当接し始める位置と、落下防止部材が突出し終わった際の位置とが互いに異なるものになってしまうことを防止できる。よって、揺れ抑制部材における押圧部を、上述したズレを調整可能とするローラのような部材で構成せずに、押圧面で被搬送物を平面的に押圧可能な部材として構成することができる。被搬送物を平面的に押圧することにより、押圧方向に交わる方向の揺れへの対応が可能となる。
【００１４】
また本発明の押圧部は、レバー部が被搬送物の側面に対して斜めになった状態で当接されている。このようにすれば、搬送車の加速或いは減速によって、被搬送物が揺れ抑制部材の押圧方向（即ち、搬送車の走行方向）に揺れた場合であっても、揺れ抑制部材が被搬送物に追従して、揺れを効果的に抑制することが可能である。
【００１５】
以上説明したように、本発明の搬送車によれば、互いに同一の軸心となるように支持された落下防止部材及び揺れ抑制部材を備えているため、被搬送物の落下を好適に防止可能であると共に、被搬送物の揺れを好適に抑制可能である。
【００１６】
本発明の搬送車の一態様では、前記落下防止部材は、前記退避位置にある場合には前記揺れ抑制部材を押圧して前記被搬送物への突出を防止し、前記落下防止位置にある場合には前記揺れ抑制部材への押圧を解除して前記被搬送物への突出を可能とする突出制御手段を有する。
【００１７】
この態様によれば、落下防止部材が退避位置にある場合に、揺れ抑制部材が誤って突出してしまうことを防止できる。よって、落下防止部材及び揺れ抑制部材を、確実に連動させることができる。落下防止部材及び揺れ抑制部材を連動させれば、例えば１つのアクチュエータで落下防止部材及び揺れ抑制部材の両方の動きを制御できる。従って、装置構成の高度複雑化や製造コストの増大を防止することが可能である。
【００１８】
本発明の搬送車の他の態様では、前記揺れ抑制部材は、前記レバー部の前記先端側を前記被搬送物の側面へと付勢する付勢手段を有する。
【００１９】
この態様によれば、揺れ抑制部材は、例えばねじりバネ等の付勢手段によって、被搬送物を押圧することになる。付勢手段によれば、被搬送物を剛直に固定するのではなく、ある程度の自由度を持たせて押圧できる。このため、積載した被搬送物の振動が増大してしまうことを防止することができる。
【００２０】
本発明の搬送車の他の態様では、前記押圧部は、前記レバー部に水平に沿った方向に回動可能に軸支されている。
【００２１】
この態様によれば、押圧部が回動可能に軸支されているため、被搬送物に押圧される押圧面の角度を、被搬送物の側面の位置や角度に合わせて調整することができる。例えば、被搬送物の外形寸法には、製作誤差や組立誤差等によってバラツキが生じてしまう。このような場合であっても、本態様の押圧部によれば、被搬送物の側面を確実に平面的に押圧できる。従って、被搬送物の揺れをより確実に抑制できる。
【００２２】
本発明の搬送車の他の態様では、前記レバー部は、前記押圧部の回動を所定量以下に規制する回動規制手段を有する。
【００２３】
この態様によれば、回動規制手段によって押圧部の回動が規制されるため、押圧部が無制限に回動されてしまうことを防止できる。これにより、押圧部が回動し過ぎることによって、押圧面が被搬送物の側面に当接できなくなる事態を防止できる。よって、押圧部は、被搬送物の側面を確実に平面的に押圧できる。従って、被搬送物の揺れをより確実に抑制できる。
【００２４】
本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、上述した本発明の搬送車（但し、その各種態様も含む）を具備してなる。
【００２５】
本発明の搬送システムによれば、上述した本発明の搬送車が備えられているため、被搬送物の落下を好適に防止可能であると共に、被搬送物の揺れを好適に抑制可能である。尚、本発明の効果は、例えばカーブの多い軌道など、搬送車の揺れが発生し易い要素を多く有するシステムにおいて、より顕著に発揮される。
【００２６】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す上面図である。
【図２】実施形態に係る搬送車の構成を示す側面図である。
【図３】実施形態に係る搬送車の移載動作を示す斜視図である。
【図４】実施形態に係る搬送車の横移載動作を示す斜視図である。
【図５】落下防止部材及び揺れ抑制部材の構成を示す側面図である。
【図６】落下防止位置における落下防止部材及び揺れ抑制部材の配置を示す下面図である。
【図７】退避位置における落下防止部材及び揺れ抑制部材の配置を示す下面図である。
【図８】搬送車における落下防止部材の配置位置を示す下面図である。
【図９】揺れ抑制部材の具体的な構成を示す上面図である。
【図１０】搬送車における揺れ抑制部材の配置位置を示す下側から見た部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００２９】
先ず、本実施形態に係る搬送システムの全体構成について、図１を参照して説明する。ここに図１は、実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す上面図である。
【００３０】
図１において、本実施形態に係る搬送システムは、軌道１００と、搬送車２００と、コントローラ３００とを備えて構成されている。
【００３１】
軌道１００は、例えば天井に敷設されており、アルミニウムやステンレス等の金属から構成される。
【００３２】
搬送車２００は、軌道１００上に複数配置されており、軌道１００上を走行することによって被搬送物であるＦＯＵＰやレチクル等を搬送することが可能である。
【００３３】
コントローラ３００は、例えば演算回路やメモリ等を含んで構成されており、搬送車２００に搬送指令を出すことが可能に構成されている。搬送車２００に設けられた走行制御部（図示せず）は、コントローラ３００からの搬送指令を受けて、搬送車２００を所定の位置へと走行させる。
【００３４】
尚、ここでの図示は省略しているが、軌道１００に沿った位置には、ＦＯＵＰを一時的に保管するバッファが複数設けられている。このバッファの構成については、後に詳述する。
【００３５】
次に、軌道１００を走行する搬送車２００の構成について、図２を参照して説明する。ここに図２は、実施形態に係る搬送車の構成を示す側面図である。
【００３６】
図２において、搬送車２００は、走行部２１０、本体部２２０、移動部２３０、昇降ベルト２４０、把持部２５０、落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０を備えて構成されている。
【００３７】
搬送車２００は、走行部２１０が例えばリニアモータ等によって推進力を与えることで、走行ローラ２１５が転動されつつ、軌道１００に沿って走行する。走行部２１０の下面には、本発明の「搬送部」の一例である本体部２２０が吊り下がる形で取り付けられている。
【００３８】
本体部２２０には、移動部２３０が取り付けられている。移動部２３０は、軌道１００の側方（即ち、図における左右方向）に移動することが可能である。移動部２３０の下面には、ＦＯＵＰを把持する把持部２５０が昇降ベルト２４０によって取り付けられている。把持部２５０は、昇降ベルト２４０を巻き出す或いは巻き取ることで、本体部２２０に対し昇降可能である。
【００３９】
落下防止部材２６０は、本体部２２０の下端周辺に設けられており、積載されたＦＯＵＰを下側から支えるように突出することで、ＦＯＵＰの落下を防止する。
【００４０】
揺れ抑制部材２７０は、上述した落下防止部材２６０と同一の軸心で支持されるように設けられており、積載されたＦＯＵＰの側面を押圧することで揺れを抑制する。
【００４１】
落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０の具体的な構成や動作については、後に詳述する。
【００４２】
次に、搬送車によるＦＯＵＰの移載方法について、図３及び図４を参照して説明する。ここに図３は、実施形態に係る搬送車の移載動作を示す斜視図であり、図４は、実施形態に係る搬送車の横移載動作を示す斜視図である。
【００４３】
図３において、搬送車２００が軌道１００の真下に位置する一時保管棚５１０（即ち、アンダーバッファ）上のＦＯＵＰ４００を移載する際には、先ず搬送車２００が軌道１００上を走行して、一時保管棚５１０上に設置されたＦＯＵＰ４００の上方に停止する。
【００４４】
続いて、図に示すように、昇降ベルト２４０が巻き出されることで把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下する。そして、把持部２５０とＦＯＵＰ４００との位置の微調整が行われ、ＦＯＵＰ４００が把持される。
【００４５】
ＦＯＵＰ４００が把持されると、昇降ベルト２４０が巻き取られ、把持部２５０及び把持されたＦＯＵＰ４００が本体部２２０の位置まで上昇する。そして、再び搬送車２００が軌道１００上を走行して、ＦＯＵＰ４００が搬送される。
【００４６】
図４において、ＦＯＵＰ４００が軌道１００の側方にそれた位置にある一時保管棚５２０（即ち、サイドバッファ）に設置されている場合には、移動部２３０が軌道１００の側方に移動した後に、昇降ベルト２４０が巻き出され、把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下する。このように動作することで、軌道部１００からＦＯＵＰ４００の横移載を行うことが可能となる。
【００４７】
次に、本実施形態に係る搬送車に設けられた落下防止部材及び揺れ抑制部材について、図５から図１０を参照して、より詳細に説明する。
【００４８】
先ず、落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０の具体的な構成について、図５を参照して説明する。ここに図５は、落下防止部材及び揺れ抑制部材の構成を示す側面図である。
【００４９】
図５において、落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０は、同一のシャフト２８０にそれぞれ接続されている。このため、落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０は、互いに連動するように同一の軸心で回動する。より具体的には、動力伝達部２９０から伝達された動力によってベアリングホルダ２８５で支持されたシャフト２８０が回転すると、シャフト２８０に接続された落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０が、水平方向に沿って（即ち、図中の手前方向或いは奥行き方向に）それぞれ回動する。
【００５０】
続いて、落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０の回動動作について、図６及び図７を参照して説明する。ここに図６は、落下防止位置における落下防止部材及び揺れ抑制部材の配置を示す下面図であり、図７は、退避位置における落下防止部材及び揺れ抑制部材の配置を示す下面図である。また図８は、搬送車における落下防止部材の配置位置を示す下面図である。
【００５１】
図６及び図７において、落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０は、回転機構６１０にクランク６２１及び６２２を介して接続されている。このようにすれば、落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０の回動動作を、回転機構６１０の回転によって制御することが可能となる。尚、回転機構６１０は、例えば図示しないアクチュエータ等によって回転される。
【００５２】
ここで仮に、図６に示すように落下防止部材２６０が落下防止位置にある状態で、回転機構６１０を図中の矢印Ａの方向に回転したとする。すると、回転機構６１０に接続されたクランク６２１及び６２２が、動力伝達部２９０を図中の矢印Ｂの方向に回転させる。これにより、落下防止部材２６０は、図７に示すような退避位置へと移動する。また、揺れ抑制部材２７０も落下防止部材２６０の動作に連動して移動する。
【００５３】
落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０は、ＦＯＵＰ４００の移載時には、図７に示すような退避位置とされる。即ち、ＦＯＵＰ４００の収容空間に突出しないように収納される。これにより、移載されるＦＯＵＰ４００との衝突を防止できる。また、ＦＯＵＰ４００を移載した後には、図６に示すように、落下防止位置とされる。落下防止部材２６０は、積載されたＦＯＵＰ４００の下側に突出することで、ＦＯＵＰの落下を防止する。揺れ抑制部材２７０は、積載されたＦＯＵＰ４００の側面を押圧することで、ＦＯＵＰ４００の揺れを抑制する。
【００５４】
図８において、上述した落下防止部材２６０は、搬送車２００における本体部２２０の下端周辺に、計４つ設けられている。このように落下防止部材２６０を設ければ、積載されたＦＯＵＰ４００が把持部２５０から落下した場合であっても、ＦＯＵＰ４００は、落下防止部材２６０によって支えられた状態となる。従って、搬送車２００からＦＯＵＰ４００が落下してしまうことを確実に防止できる。
【００５５】
尚、落下防止部材２６０は、必ずしも４つ設けられなくともよく、ＦＯＵＰ４００の落下が防止できるようであれば、より少ない数であっても構わない。また、より耐荷重性能を高めるために、４つを超える数の落下防止部材２６０が設けられていてもよい。
【００５６】
次に、揺れ抑制部材のより具体的な構成について、図９及び図１０を参照して説明する。ここに図９は、揺れ抑制部材の具体的な構成を示す上面図である。また図１０は、搬送車における揺れ抑制部材の配置位置を示す下側から見た部分断面図である。
【００５７】
図９において、揺れ抑制部材２７０は、レバー部２７１、押圧部２７２、回動規制部２７３、ねじりバネ２７４及びストッパ２７５を備えて構成されている。
【００５８】
レバー部２７１は、その一端においてシャフト２８０に接続されていると共に、他端に押圧部２７２が取り付けられている。レバー部２７１は、シャフト２８０の回転に伴って回動し、押圧部２７２をＦＯＵＰ４００の側面に当接させる。
【００５９】
押圧部２７２は、例えば樹脂等の弾力性を有する材料を含んで構成されており、レバー部２７１の一端に回動可能に取り付けられている。押圧部２７２は、ＦＯＵＰ４００の側面を押圧面で平面的に押圧する。これにより、極めて好適にＦＯＵＰ４００の揺れを抑制することができる。
【００６０】
回動規制部２７３は、押圧部２７２の切り欠き部分に対応するように設けられており、押圧部２７２が無制限に回動してしまうことを防止する。即ち、回動規制部２７３は、本発明の「回動規制手段」の一例である。回動規制部２７３が押圧部２７２の回動を規制することにより、押圧部２７２は、確実にＦＯＵＰ４００の側面を平面的に押圧可能となる。押圧部２７２が回動可能となる所定量は、押圧部２７２及び回動規制部２７３間のクリアランスＣの大きさによって適宜設定することができる。具体的には、クリアランスＣを大きくすれば、押圧部２７２の回動できる範囲は大きくなり、クリアランスＣを小さくすれば、押圧部２７２の回動できる範囲は小さくなる。
【００６１】
ねじりバネ２７４は、シャフト２８０を軸にするように設けられており、その一端がレバー部２７１に取り付けられ、他端がストッパ２７５に取り付けられている（図５参照）。ねじりバネ２７４は、本発明の「付勢手段」の一例であり、その付勢力によって押圧部２７２をＦＯＵＰ４００に押しつける。ねじりバネ２７４を用いれば、ＦＯＵＰ４００を剛直に固定するのではなく、ある程度の自由度を持たせて押圧できる。このため、積載したＦＯＵＰ４００の振動が増大してしまうことを防止することができる。
【００６２】
ストッパ２７５は、本発明の「突出制御手段」の一例であり、シャフト２８０の回転によってレバー部２７１と共に回動可能に構成されている。ストッパ２７５は、レバー部２７１の凸部７０１と当接することで、レバー部２７１の回動を規制している。尚、押圧部２７２がＦＯＵＰ４００に当接した後には、そこから押圧部２７２が押し込まれた分だけ、ストッパ２７５とレバー部２７１の凸部７０１との間に間隙が生じる。
【００６３】
図１０において、上述した揺れ抑制部材２７０は、搬送車２００に設けられた落下防止部材２６０に対応するように（図８参照）、計４つ設けられている。このように揺れ抑制部材２７０を設ければ、積載されたＦＯＵＰ４００を、搬送車２００の進行方向に沿う方向で押圧できるため、押圧方向の揺れを抑制できる。また、揺れ抑制部材２７０は、ＦＯＵＰ４００を平面的に押圧しているため、搬送車２００の進行方向に交わる方向の揺れ（即ち、横揺れ）も効果的に抑制できる。
【００６４】
また本実施形態に係る揺れ抑制部材２７０では、押圧部２７２が、レバー部がＦＯＵＰ４００の側面に対して斜めになった状態で当接されている。このようにすれば、ローラのように回転しない押圧面であっても、極めて好適にＦＯＵＰ４００を押圧することができる。従って、ＦＯＵＰ４００の揺れを効果的に抑制することが可能である。
【００６５】
本実施形態では特に、上述した落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０が、互いに同一の軸心で支持されている（図５参照）。このため、揺れ抑制部材２７０における押圧部２７２の、ＦＯＵＰ４００に当接し始める位置と、落下防止部材２６０が突出し終わった際の位置とが互いに異なるものになってしまうことを防止できる。よって、揺れ抑制部材２７０における押圧部２７２を、例えばローラのような部材で構成せずに、ＦＯＵＰ４００を平面的に押圧可能な部材として構成することができる。
【００６６】
以上説明したように、本実施形態に係る搬送システムによれば、搬送車２００に同一の軸心で支持された落下防止部材２６０及び揺れ抑制部材２７０が設けられているため、ＦＯＵＰ４００の落下を好適に防止可能であると共に、ＦＯＵＰ４００の揺れを好適に抑制可能である。
【００６７】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送車及び搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６８】
１００…軌道、２００…搬送車、２１０…走行部、２１５…走行ローラ、２２０…本体部、２３０…移動部、２４０…昇降ベルト、２５０…把持部、２６０…落下防止部材、２７０…揺れ抑制部材、２７１…レバー部、２７２…押圧部、２７３…回動規制部、２７４…ねじりバネ、２７５…ストッパ、２８０…シャフト、２９０…動力伝達部、３００…コントローラ、４００…ＦＯＵＰ、５１０，５２０…一時保管棚、６１０…回転機構、６２１，６２２…クランク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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