(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）圧力室内の液体に圧力変化を与えるための動作をする素子と、
（Ｂ）前記圧力室に連通し、前記液体が吐出されるノズルであって、
前記圧力室に近い側が開放され、遠い側に底部を有する第１ノズル部と、
前記底部の内縁と外部とを連通する第２ノズル部と、
を有するノズルと、
（Ｃ）前記ノズルから前記液体を吐出させるための動作を前記素子に行わせる吐出パルスを生成する吐出パルス生成部と、
を備え、
（Ｄ）前記吐出パルスは、
前記第２ノズル部で露出しているメニスカスを前記第１ノズル部側に引き込むように前記素子を動作させる第１引き込み部分であって、単位時間あたりの電位変化量が一定の第１引き込み部分と、
前記第１引き込み部分よりも後に生成され、前記メニスカスを前記第１ノズル部内で拡大させるように前記素子を動作させる第２引き込み部分であって、単位時間あたりの電位変化量が前記第１引き込み部分における電位変化量よりも大きい第２引き込み部分と、を有する、
（Ｅ）液体吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出装置であって、
前記第２引き込み部分は、
始端電位が前記第１引き込み部分の終端電位に揃えられており、
前記吐出パルスは、
前記第１引き込み部分の終端と前記第２引き込み部分の始端とを接続する、前記第１引き込み部分の終端電位で一定の定電位部分を有する、液体吐出装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の液体吐出装置であって、
前記素子は、
前記吐出パルスで与えられる電位が高いほど、前記圧力室の容積を大きくするための動作をし、
前記吐出パルスは、
前記第１引き込み部分の始端電位が、前記吐出パルスの最低電位から、前記吐出パルスの最高電位と前記最低電位の差の２０％以下の範囲に定められている、液体吐出装置。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載の液体吐出装置であって、
前記素子は、
前記吐出パルスで与えられる電位が高いほど、前記圧力室の容積を小さくするための動作をし、
前記吐出パルスは、
前記第１引き込み部分の始端電位が、前記吐出パルスの最高電位から、前記最高電位と前記吐出パルスの最低電位の差の２０％以下の範囲に定められている、液体吐出装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れかに記載の液体吐出装置であって、
前記第２ノズル部は、
円形状の前記底部の内縁と外部とを連通する円柱状の空間部である、液体吐出装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れかに記載の液体吐出装置であって、
前記第１ノズル部は、
前記底部の外縁が円形状であり、前記内縁が前記外縁と同心の円形状である、液体吐出装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６の何れかに記載の液体吐出装置であって、
前記ノズルは、
フォトリソグラフィーによってシリコン基板に設けられている、液体吐出装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れかに記載の液体吐出装置であって、
前記素子は、
ピエゾ素子である、液体吐出装置。
【請求項９】
（Ａ）圧力室内の液体に圧力変化を与える素子を動作させることで、前記圧力室に近い側が開放され、遠い側に底部を有する第１ノズル部、及び、前記底部の内縁と外部とを連通する第２ノズル部を有するノズルから、液体を吐出させる液体吐出方法であって、
（Ｂ）単位時間あたりの電位変化量が一定の第１引き込み部分を前記素子に印加し、前記第２ノズル部で露出しているメニスカスを前記第１ノズル部側に引き込むステップと、
（Ｃ）前記第１引き込み部分よりも後に生成され、単位時間あたりの電位変化量が前記第１引き込み部分における電位変化量よりも大きい第２引き込み部分を前記素子に印加し、前記メニスカスを前記第１ノズル部内で拡大させるステップと、
（Ｄ）を有する液体吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置、及び、液体吐出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタ等の液体吐出装置では、極めて少量の液体を吐出させるように、吐出パルスの電位波形を定めたものがある。例えば、圧力室を短時間で大きく膨張させることでメニスカス（ノズルで露出している液体の自由表面）を圧力室側に強く引き込み、この引き込みを利用して極めて少量の液体をノズルから吐出させている（例えば特許文献１を参照。）。この装置において、液体が吐出されるノズルは、圧力室側に向かうほど直径が大きくなるテーパー形状をしている。このため、メニスカスを圧力室側に強く引き込んだとしても、メニスカスの過度な変形は生じ難かった。
【特許文献１】特許第３５４６９３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、吐出させる液体の量をできるだけ少なくすることが求められている。また、ノズルの寸法精度を高めることも求められている。このような事情を考慮して、段付きノズルを用いることが試みられている。この段付きノズルは、例えば直径の異なる２つの円柱状空間を有している。また、段付きノズルは、円柱状空間に限られず、方形状空間などの円柱状空間とは異形の空間によっても構成される。
【０００４】
そして、液体は、小径側の空間から吐出される。このような段付きノズルを用いた場合、メニスカスを圧力室側に強く引き込むと、メニスカスが大径側の空間に達したときに過度に変形してしまう虞があった。この変形は、負圧によって大径側の空間に生じた流れの淀みに起因すると思われる。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、メニスカスの過度な変形を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するための主たる発明は、
（Ａ）圧力室内の液体に圧力変化を与えるための動作をする素子と、
（Ｂ）前記圧力室に連通し、前記液体が吐出されるノズルであって、
前記圧力室に近い側が開放され、遠い側に底部を有する第１ノズル部と、
前記底部の内縁と外部とを連通する第２ノズル部と、
を有するノズルと、
（Ｃ）前記ノズルから前記液体を吐出させるための動作を前記素子に行わせる吐出パルスを生成する吐出パルス生成部と、
を備え、
（Ｄ）前記吐出パルスは、
前記第２ノズル部で露出しているメニスカスを前記第１ノズル部側に引き込むように前記素子を動作させる第１引き込み部分であって、単位時間あたりの電位変化量が一定の第１引き込み部分と、
前記第１引き込み部分よりも後に生成され、前記メニスカスを前記第１ノズル部内で拡大させるように前記素子を動作させる第２引き込み部分であって、単位時間あたりの電位変化量が前記第１引き込み部分における電位変化量よりも大きい第２引き込み部分と、を有する、
（Ｅ）液体吐出装置である。
【０００７】
本発明の他の特徴は、本明細書、及び添付図面の記載により、明らかにする。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本明細書の記載、及び添付図面の記載により、少なくとも次のことが明らかにされる。
【０００９】
すなわち、（Ａ）圧力室内の液体に圧力変化を与えるための動作をする素子と、（Ｂ）前記圧力室に連通し、前記液体が吐出されるノズルであって、前記圧力室に近い側が開放され、遠い側に底部を有する第１ノズル部と、前記底部の内縁と外部とを連通する第２ノズル部と、を有するノズルと、（Ｃ）前記ノズルから前記液体を吐出させるための動作を前記素子に行わせる吐出パルスを生成する吐出パルス生成部と、を備え、（Ｄ）前記吐出パルスは、前記第２ノズル部で露出しているメニスカスを前記第１ノズル部側に引き込むように前記素子を動作させる第１引き込み部分であって、単位時間あたりの電位変化量が一定の第１引き込み部分と、前記第１引き込み部分よりも後に生成され、前記メニスカスを前記第１ノズル部内で拡大させるように前記素子を動作させる第２引き込み部分であって、単位時間あたりの電位変化量が前記第１引き込み部分における電位変化量よりも大きい第２引き込み部分と、を有する、（Ｅ）液体吐出装置を実現できることが明らかにされる。  
このような液体吐出装置によれば、メニスカスが第２ノズル部内を移動しているときの引き込み力は、メニスカスを第１ノズル部内で拡大させるときの引き込み力よりも弱い。このため、メニスカスを第１ノズル部内で拡大させる際に、第１ノズル部内における淀みの影響を抑制できる。その結果、メニスカスの過度な変形を抑制することができる。
【００１０】
かかる液体吐出装置であって、前記第２引き込み部分は、始端電位が前記第１引き込み部分の終端電位に揃えられており、前記吐出パルスは、前記第１引き込み部分の終端と前記第２引き込み部分の始端とを接続する、前記第１引き込み部分の終端電位で一定の定電位部分を有することが好ましい。  
このような液体吐出装置によれば、定電位部分が素子に印加されている間もメニスカスは第１ノズル部側に移動する。このため、第１ノズル部内における淀みの影響を一層抑制できる。
【００１１】
かかる液体吐出装置であって、前記素子は、前記吐出パルスで与えられる電位が高いほど、前記圧力室の容積を大きくするための動作をし、前記吐出パルスは、前記第１引き込み部分の始端電位が、前記吐出パルスの最低電位から、前記吐出パルスの最高電位と前記最低電位の差の２０％以下の範囲に定められていることが好ましい。また、前記素子は、前記吐出パルスで与えられる電位が高いほど、前記圧力室の容積を小さくするための動作をし、前記吐出パルスは、前記第１引き込み部分の始端電位が、前記吐出パルスの最高電位から、前記最高電位と前記吐出パルスの最低電位の差の２０％以下の範囲に定められていることが好ましい。  
このような液体吐出装置によれば、メニスカスを引き込んだり拡大させたりするための電位差として、少なくとも最高電位と前記最低電位の差の８０％を割り振ることができる。これにより、第１ノズル部内でメニスカスを拡大させる際において、電位の変化幅を十分確保できる。
【００１２】
かかる液体吐出装置であって、前記第２ノズル部は、円形状の前記底部の内縁と外部とを連通する円柱状の空間部であることが好ましい。  
このような液体吐出装置によれば、引き込み時におけるメニスカスの過度な変形を効果的に抑制できる。
【００１３】
かかる液体吐出装置であって、前記第１ノズル部は、前記底部の外縁が円形状であり、前記内縁が前記外縁と同心の円形状であることが好ましい。  
このような液体吐出装置によれば、第１ノズル部内にてメニスカスをより大きく拡大させることができる。
【００１４】
かかる液体吐出装置であって、前記ノズルは、フォトリソグラフィーによってシリコン基板に設けられていることが好ましい。  
このような液体吐出装置によれば、機械加工では作製が困難な極めて小さいサイズのノズルであっても、精度良く作製することができる。
【００１５】
かかる液体吐出装置であって、前記素子は、ピエゾ素子であることが好ましい。  
このような液体吐出装置によれば、メニスカスの引き込みや拡大を吐出パルスで与えられる電位に基づき、精度良く制御することができる。
【００１６】
また、次の液体吐出方法が実現できることも明らかにされる。  
すなわち、（Ａ）圧力室内の液体に圧力変化を与える素子を動作させることで、前記圧力室に近い側が開放され、遠い側に底部を有する第１ノズル部、及び、前記底部の内縁と外部とを連通する第２ノズル部を有するノズルから、液体を吐出させる液体吐出方法であって、（Ｂ）単位時間あたりの電位変化量が一定の第１引き込み部分を前記素子に印加し、前記第２ノズル部で露出しているメニスカスを前記第１ノズル部側に引き込むステップと、（Ｃ）前記第１引き込み部分よりも後に生成され、単位時間あたりの電位変化量が前記第１引き込み部分における電位変化量よりも大きい第２引き込み部分を前記素子に印加し、前記メニスカスを前記第１ノズル部内で拡大させるステップと、（Ｄ）を有する液体吐出方法を実現できることも明らかにされる。
【００１７】
＝＝＝第１実施形態＝＝＝
＜印刷システムについて＞
図１に例示した印刷システムは、プリンタ１と、コンピュータＣＰとを有する。プリンタ１は液体吐出装置に相当し、用紙、布、フィルム等の媒体に向けて、液体の一種であるインクを吐出する。媒体は、液体が吐出される対象となる対象物であり、例えば用紙である。コンピュータＣＰは、プリンタ１と通信可能に接続されている。プリンタ１に画像を印刷させるため、コンピュータＣＰは、その画像に応じた印刷データをプリンタ１に送信する。
【００１８】
＝＝＝プリンタ１の概要＝＝＝
プリンタ１は、用紙搬送機構１０、キャリッジ移動機構２０、駆動信号生成回路３０、ヘッドユニット４０、検出器群５０、及び、プリンタ側コントローラ６０を有する。
【００１９】
用紙搬送機構１０は、用紙を搬送方向に搬送させる。キャリッジ移動機構２０は、ヘッドユニット４０を所定の移動方向（例えば紙幅方向）に移動させる。駆動信号生成回路３０は、駆動信号ＣＯＭを生成する。この駆動信号ＣＯＭは、用紙への印刷時にヘッドＨＤ（ピエゾ素子４３３，図２参照）へ印加されるものであり、吐出パルスを含む一連の信号である。ここで、吐出パルスとは、ヘッドＨＤから滴状のインクを吐出させるために、ピエゾ素子４３３に所定の動作を行わせる電位の変化パターンである。駆動信号ＣＯＭが吐出パルスを含むことから、駆動信号生成回路３０は、吐出パルス生成部に相当する。なお、駆動信号生成回路３０の構成や吐出パルスについては、後で説明する。ヘッドユニット４０は、ヘッドＨＤとヘッド制御部ＨＣとを有する。ヘッドＨＤは、インクを用紙に向けて吐出させる。ヘッド制御部ＨＣは、プリンタ側コントローラ６０からのヘッド制御信号に基づき、ヘッドＨＤを制御する。なお、ヘッドＨＤについては後で説明する。検出器群５０は、プリンタ１の状況を監視する複数の検出器によって構成される。これらの検出器による検出結果は、プリンタ側コントローラ６０に出力される。プリンタ側コントローラ６０は、プリンタ１における全体的な制御を行う（後述する。）。
【００２０】
＝＝＝プリンタ１の要部＝＝＝
＜ヘッドＨＤについて＞
図２に示すように、ヘッドＨＤは、ケース４１と、流路ユニット４２と、ピエゾ素子ユニット４３とを有する。ケース４１は、ピエゾ素子ユニット４３を収容して固定するための収容空部４１１が内部に設けられた箱体状である。このケース４１は、例えば樹脂材によって作製される。そして、ケース４１の先端面には、流路ユニット４２が接合されている。
【００２１】
流路ユニット４２は、流路形成基板４２１と、ノズルプレート４２２と、振動板４２３とを有する。そして、流路形成基板４２１における一方の表面にはノズルプレート４２２が接合され、他方の表面には振動板４２３が接合されている。流路形成基板４２１には、圧力室４２４、インク供給口４２５、及び、共通インク室４２６を含むインク流路が形成されている。この流路形成基板４２１は、例えばシリコン基板（シリコンウェハー）をウェットエッチングすることで作製される。圧力室４２４は、ノズルの並び方向に対して直交する方向に細長い室として形成されている。インク供給口４２５は、圧力室４２４と共通インク室４２６との間を連通する流路幅の狭い部分である。共通インク室４２６は、インクカートリッジ（図示せず）から供給されたインクを一旦貯留する部分である。
【００２２】
ノズルプレート４２２には、複数のノズル４２７が、所定の並び方向に所定の間隔で設けられている。本実施形態のノズルプレート４２２は、流路形成基板４２１と同様にシリコン基板によって作製されている。なお、ノズルプレート４２２用のシリコン基板は、流路形成基板４２１用のシリコン基板よりも薄く、厚さが６０μｍのものが用いられる。なお、ノズルプレート４２２に設けられるノズル４２７については、後で説明する。
【００２３】
振動板４２３は、例えばステンレス製の支持板４２８に樹脂製の弾性体膜４２９を積層した二重構造を採っている。振動板４２３における各圧力室４２４に対応する部分は、ステンレス板の部分が環状にエッチング加工されている。そして、環内には島部４２８ａが形成されている。この島部４２８ａと島部周辺の弾性体膜４２９ａとがダイヤフラム部４２３ａを構成する。このダイヤフラム部４２３ａは、ピエゾ素子ユニット４３が有するピエゾ素子４３３によって変形し、圧力室４２４の容積を可変する。
【００２４】
ピエゾ素子ユニット４３は、ピエゾ素子群４３１と、固定板４３２とを有する。ピエゾ素子群４３１は櫛歯状をしている。そして、櫛歯の１つ１つがピエゾ素子４３３である。そして、ピエゾ素子４３３の先端面は、対応する島部４２８ａに接着される。固定板４３２は、ピエゾ素子群４３１を支持するとともに、ケース４１に対する取り付け部となる。この固定板４３２は、例えばステンレス板によって構成されており、収容空部４１１の内壁に接着される。
【００２５】
ピエゾ素子４３３は、電気機械変換素子の一種であり、圧力室内の液体に圧力変化を与えるための動作をする素子に相当する。図２に示すピエゾ素子４３３は、隣り合う電極同士の間に電位差を与えることにより、積層方向と直交する素子長手方向に伸縮する。即ち、上記の電極は、所定電位の共通電極４３４と、駆動信号ＣＯＭに応じた電位になる駆動電極４３５とを有する。そして、共通電極４３４と駆動電極４３５との電位差に応じた度合いで、両電極４３４，４３５に挟まれた圧電体４３６が変形し、ピエゾ素子４３３が伸縮する。本実施形態において、共通電極４３４は、グランド電位、若しくは、グランド電位よりも所定電位だけ高いバイアス電位に定められる。そして、ピエゾ素子４３３は、駆動電極４３５の電位が共通電極４３４の電位よりも高くなるほど、素子の長手方向に収縮する。反対に、駆動電極４３５の電位が共通電極４３４の電位に近付くほど、或いは、共通電極４３４の電位よりも低くなるほど、素子の長手方向に伸張する。
【００２６】
前述したように、ピエゾ素子ユニット４３は、固定板４３２を介してケース４１に取り付けられている。このため、ピエゾ素子４３３が収縮すると、ダイヤフラム部４２３ａは、圧力室４２４から遠ざかる方向に引っ張られる。これにより、圧力室４２４が膨張される。反対に、ピエゾ素子４３３が伸長すると、ダイヤフラム部４２３ａが圧力室４２４側に押される。これにより、圧力室４２４が収縮する。圧力室４２４内のインクには、圧力室４２４の膨張や収縮によって圧力変化が生じる。すなわち、圧力室４２４の収縮に伴って圧力室４２４内のインクは加圧され、圧力室４２４の膨張に伴って圧力室４２４内のインクは減圧される。ピエゾ素子４３３の伸縮状態は駆動電極４３５の電位に応じて定まるので、圧力室４２４の容積も駆動電極４３５の電位に応じて定まる。従って、圧力室４２４内のインクに対する加圧度合いや減圧度合いは、駆動電極４３５における単位時間あたりの電位変化量で定めることができる。
【００２７】
＜ノズル４２７について＞
前述したように、ノズルプレート４２２には複数のノズル４２７が設けられている。本実施形態のノズル４２７は、圧力室４２４に連通するとともに、ノズルプレート４２２の板厚方向を貫通する孔（空間部）として設けられている。図３はノズル４２７の説明図であり、ノズルプレート４２２をノズル４２７の中心線で切断した状態を示す。なお、理解を助けるために、図３ではノズル４２７の形状を外形線によって表している。
【００２８】
１つのヘッドＨＤには複数のノズル４２７が設けられているが、同じ形状である。このため、１つのノズル４２７について形状を説明する。例示したノズル４２７は、圧力室４２４側に設けられる第１ノズル部４２７ａと、ノズル面４２２ａ側（外部側）に設けられる第２ノズル部４２７ｂとを有する。第１ノズル部４２７ａは、圧力室４２４に近い側が開放され、遠い側に底部４２７ｃを有する窪み部である。底部４２７ｃは、円形状の外縁４２７ｄ及び円形状の内縁４２７ｅで区画される平面部である。ここで、内縁４２７ｅは、外縁４２７ｄよりも小径であり、外縁４２７ｄと同心の位置に設けられる。従って、底部４２７ｃは、同心の二重円で区画される平面となる。この実施形態において、第１ノズル部４２７ａの長さＬ１（ノズルプレート４２２の厚さ方向の長さ）は、４５μｍである。また、外縁４２７ｄの直径φ１は４５μｍであり、内縁４２７ｅの直径φ２は１５μｍである。第２ノズル部４２７ｂは、底部４２７ｃの内縁４２７ｅと外部とを連通する円柱状の孔（空間部）である。従って、直径φ２が１５μｍであり、長さＬ２が１５μｍとなっている。そして、インクは、ノズル面４２２ａ側の開口から吐出される。
【００２９】
なお、第１ノズル部４２７ａ及び第２ノズル部４２７ｂの寸法はあくまで一例であり、この寸法に限定されるものではない。例えば、第２ノズル部４２７ｂにおいて、直径φ２と長さＬ２が１対１の関係となっていたが、少なくとも直径φ２と長さＬ２とがＬ２≦φ２×３／２の関係を満たせばよい。
【００３０】
この実施形態において、ノズル４２７は、フォトリソグラフィーによってシリコン基板に設けられる。フォトリソグラフィーを用いることで、機械加工では作製が困難な極めて小さい形状のノズル４２７であっても、寸法精度良く作製することができる。
【００３１】
＜プリンタ側コントローラ６０について＞
プリンタ側コントローラ６０は、プリンタ１における全体的な制御を行う。例えば、コンピュータＣＰから受け取った印刷データや各検出器からの検出結果に基づいて制御対象部を制御し、用紙に画像を印刷させる。図１に示すように、プリンタ側コントローラ６０は、インタフェース部６１と、ＣＰＵ６２と、メモリ６３とを有する。インタフェース部６１は、コンピュータＣＰとの間でデータの受け渡しを行う。ＣＰＵ６２は、プリンタ１の全体的な制御を行う。メモリ６３は、コンピュータプログラムを格納する領域や作業領域等を確保する。ＣＰＵ６２は、メモリ６３に記憶されているコンピュータプログラムに従い、各制御対象部を制御する。例えば、ＣＰＵ６２は、用紙搬送機構１０やキャリッジ移動機構２０を制御する。また、ＣＰＵ６２は、ヘッドＨＤの動作を制御するためのヘッド制御信号をヘッド制御部ＨＣに送信したり、駆動信号ＣＯＭを生成させるための制御信号を駆動信号生成回路３０に送信したりする。
【００３２】
ここで、駆動信号ＣＯＭを生成させるための制御信号はＤＡＣデータとも呼ばれ、例えば複数ビットのデジタルデータである。このＤＡＣデータは、駆動信号生成回路３０で生成される駆動信号ＣＯＭの電位変化パターンを定める。従って、このＤＡＣデータは、駆動信号ＣＯＭや吐出パルスの電位を示すデータともいえる。このＤＡＣデータは、メモリ６３の所定領域に記憶されており、駆動信号ＣＯＭの生成時に読み出されて駆動信号生成回路３０へ出力される。
【００３３】
＜駆動信号生成回路３０について＞
前述したように、駆動信号生成回路３０は、吐出パルス生成部として機能し、ＤＡＣデータに基づき、吐出パルスを有する駆動信号ＣＯＭを生成する。図４に示すように、駆動信号生成回路３０は、ＤＡＣ回路３１と、電圧増幅回路３２と、電流増幅回路３３とを有する。ＤＡＣ回路３１は、デジタルのＤＡＣデータをアナログ信号に変換する。電圧増幅回路３２は、ＤＡＣ回路３１で変換されたアナログ信号の電圧を、ピエゾ素子４３３を駆動できるレベルまで増幅する。このプリンタ１では、ＤＡＣ回路３１から出力されるアナログ信号は最大３．３Ｖであるのに対し、電圧増幅回路３２から出力される増幅後のアナログ信号（便宜上、波形信号ともいう。）は最大４２Ｖである。電流増幅回路３３は、電圧増幅回路３２からの波形信号について電流の増幅をし、駆動信号ＣＯＭとして出力する。この電流増幅回路３３は、例えば、プッシュプル接続されたトランジスタ対によって構成される。
【００３４】
＜ヘッド制御部ＨＣについて＞
ヘッド制御部ＨＣは、駆動信号生成回路３０で生成された駆動信号ＣＯＭの必要部分をヘッド制御信号に基づいて選択し、ピエゾ素子４３３へ印加する。このため、図４に示すように、ヘッド制御部ＨＣは、駆動信号ＣＯＭの供給線の途中に、ピエゾ素子４３３毎に設けられた複数のスイッチ４４を有する。そして、ヘッド制御部ＨＣは、ヘッド制御信号からスイッチ制御信号を生成する。このスイッチ制御信号によって各スイッチ４４を制御することで、駆動信号ＣＯＭの必要部分をピエゾ素子４３３へ印加させる。このとき、必要部分の選択の仕方次第で、ノズル４２７からのインクの吐出を制御できる。
【００３５】
＝＝＝駆動信号ＣＯＭ＝＝＝
＜駆動信号ＣＯＭについて＞
駆動信号生成回路３０で生成される駆動信号ＣＯＭは、吐出パルスや微振動パルスといった駆動パルスを複数有する。吐出パルスは、前述したように、ノズル４２７からインクを吐出させるための動作をピエゾ素子４３３に行わせるための波形（電位変化パターン）に定められる。吐出パルスは、吐出させるインクの量に応じて波形が定められる。そして、駆動信号ＣＯＭには、そのプリンタ１の仕様に応じた種類の吐出パルスが含まれる。微振動パルスは、ノズル４２７からインクが吐出されない程度の弱い圧力変化を圧力室４２４内のインクに与える動作（微振動動作ともいう。）をピエゾ素子４３３に行わせるための波形に定められる。
【００３６】
＜吐出パルスＰＳ１について＞
図５に示す吐出パルスＰＳ１は、極めて少量のインクを吐出させるための動作をピエゾ素子４３３に行わせるためのものであり、ノズル４２７の形状に適した波形を有する。この吐出パルスＰＳ１は、第１減圧部分Ｐ１と、第１電位保持部分Ｐ２と、第２減圧部分Ｐ３と、第２電位保持部分Ｐ４と、第１加圧部分Ｐ５と、第３電位保持部分Ｐ６と、第２加圧部分Ｐ７と、第４電位保持部分Ｐ８と、第３減圧部分Ｐ９とを有する。
【００３７】
この吐出パルスＰＳ１の特徴は、主に、第１減圧部分Ｐ１、及び、第２減圧部分Ｐ３にある。簡単に説明すると、第１減圧部分Ｐ１は、第１引き込み部分に相当し、第２ノズル部４２７ｂで露出しているメニスカスを第１ノズル部４２７ａ側に引き込むようにピエゾ素子４３３を動作させる。第２減圧部分Ｐ３は、第２引き込み部分に相当し、メニスカスを第１ノズル部４２７ａ内で拡大させるようにピエゾ素子４３３を動作させる。これらの部分Ｐ１，Ｐ３を有することで、メニスカスを第２ノズル部４２７ｂ内で移動させるための引き込み強さと、メニスカスを第１ノズル部４２７ａ内で拡大させる時の引き込み強さとを調整することができる。その結果、メニスカスを第１ノズル部４２７ａ内で拡大させる際に、第１ノズル部４２７ａ内における淀みの影響を抑制できる。以下、詳細に説明する。
【００３８】
第１減圧部分Ｐ１は、タイミングｔ０からタイミングｔ１に亘って生成される部分である。この第１減圧部分Ｐ１は、タイミングｔ０における電位（始端電位に相当する）が基準電位ＶＢであり、タイミングｔ１における電位（終端電位に相当する）が切り替え電位ＶＣである。ここで、基準電位ＶＢは、吐出パルスＰＳ１における最低電位ＶＬよりも、吐出パルスＰＳ１における最高電位ＶＨから最低電位ＶＬまでの差Ｖｈ（以下、駆動電圧Ｖｈともいう）の２０％だけ高い電位に定められている。また、切り替え電位ＶＣは、最低電位ＶＬよりも、駆動電圧Ｖｈの５０％だけ高い電位に定められている。そして、第１減圧部分Ｐ１は、基準電位ＶＢから切り替え電位ＶＣまで、一定の傾きθ１（単位時間あたりの電位変化量に相当する）で電位を上昇させる。この吐出パルスＰＳ１において、第１減圧部分Ｐ１の生成時間は４μｓである。
【００３９】
第１電位保持部分Ｐ２は、タイミングｔ１からタイミングｔ２に亘って生成される部分である。この第１電位保持部分Ｐ２は、切り替え電位ＶＣで一定である。そして、第１電位保持部分Ｐ２の終端は、第２減圧部分Ｐ３の始端に接続されている。従って、第１電位保持部分Ｐ２は、第１減圧部分Ｐ１の終端と第２減圧部分Ｐ３の始端とを接続する、第１減圧部分Ｐ１の終端電位で一定の部分といえる。この吐出パルスＰＳ１において、第１電位保持部分Ｐ２の生成時間は０．５μｓである。
【００４０】
第２減圧部分Ｐ３は、タイミングｔ２からタイミングｔ３に亘って生成される部分である。この第２減圧部分Ｐ３は、タイミングｔ２における始端電位が切り替え電位ＶＣであり、タイミングｔ３における終端電位が最高電位ＶＨである。そして、第２減圧部分Ｐ３は、切り替え電位ＶＣから最高電位ＶＨまで一定の傾きθ２で電位を上昇させる。この傾きθ２は、第１減圧部分Ｐ１の傾きθ１よりも大きく定められている。この吐出パルスＰＳ１において、第２減圧部分Ｐ３の生成時間は２μｓである。
【００４１】
第２電位保持部分Ｐ４は、タイミングｔ３からタイミングｔ４に亘って生成される、最高電位ＶＨで一定の部分である。この吐出パルスＰＳ１において、第２電位保持部分Ｐ４の生成時間は１μｓである。
【００４２】
第１加圧部分Ｐ５は、タイミングｔ４からタイミングｔ５に亘って生成される部分である。この第１加圧部分Ｐ５は、タイミングｔ４における始端電位が最高電位ＶＨであり、タイミングｔ５における終端電位が吐出電位ＶＦである。ここで、吐出電位ＶＦは、最高電位ＶＨよりも、駆動電圧Ｖｈの３０％だけ低い電位に定められている。そして、第１加圧部分Ｐ５は、最高電位ＶＨから吐出電位ＶＦまで、一定の傾きθ３で電位を下降させる。この傾きθ３及び吐出電位ＶＦは、極めて少量のインクがノズル４２７吐出される大きさに定められる。この吐出パルスＰＳ１において、第１加圧部分Ｐ５の生成時間は０．７μｓである。
【００４３】
第３電位保持部分Ｐ６は、タイミングｔ５からタイミングｔ６に亘って生成される、吐出電位ＶＦで一定の部分である。この吐出パルスＰＳ１において、第３電位保持部分Ｐ６の生成時間は１μｓである。
【００４４】
第２加圧部分Ｐ７は、タイミングｔ６からタイミングｔ７に亘って生成される部分である。この第２加圧部分Ｐ７は、タイミングｔ６における始端電位が吐出電位ＶＦであり、タイミングｔ７における終端電位が最低電位ＶＬである。そして、第２加圧部分Ｐ７は、吐出電位ＶＦから最低電位ＶＬまで、一定の傾きθ４で電位を下降させる。この吐出パルスＰＳ１において、第２加圧部分Ｐ７の生成時間は２μｓである。
【００４５】
第４電位保持部分Ｐ８は、タイミングｔ７からタイミングｔ８に亘って生成される、最低電位ＶＬで一定の部分である。この吐出パルスＰＳ１において、第４電位保持部分Ｐ８の生成時間は３μｓである。
【００４６】
第３減圧部分Ｐ９は、タイミングｔ８からタイミングｔ９に亘って生成される部分である。この第３減圧部分Ｐ９は、タイミングｔ８における始端電位が最低電位ＶＬであり、タイミングｔ９における終端電位が基準電位ＶＢである。そして、第２減圧部分Ｐ３は、最低電位ＶＬから基準電位ＶＢまで一定の傾きθ５で電位を上昇させる。この吐出パルスＰＳ１において、第３減圧部分Ｐ９の生成時間は３μｓである。
【００４７】
＜吐出動作について＞
次に、前述した吐出パルスＰＳ１をピエゾ素子４３３に印加した場合におけるインクの吐出動作について説明する。タイミングｔ０において、ピエゾ素子４３３の駆動電極４３５は基準電位ＶＢになっている。ピエゾ素子４３３はこの基準電位ＶＢに応じた度合いで変形しているが、インク供給口４２５を通じて共通インク室４２６から圧力室４２４へインクが流入しているため、メニスカスＭは第２ノズル部４２７ｂにおけるノズル面４２２ａ側の開口付近に位置している（図６Ａ）。
【００４８】
第１減圧部分Ｐ１がピエゾ素子４３３に印加されると、第１減圧部分Ｐ１の電位に倣って駆動電極４３５の電位が上昇する。これにより、ピエゾ素子４３３は素子の長手方向に収縮し、ダイヤフラム部４２３ａの変形に伴って圧力室４２４は膨張する。圧力室４２４が膨張されると圧力室４２４内のインクは減圧され、メニスカスＭは第２ノズル部４２７ｂ内にて第１ノズル部４２７ａ側に引き込まれる。タイミングｔ１の時点でメニスカスＭは、第２ノズル部４２７ｂにおける第１ノズル部４２７ａ側の開口付近に位置する（図６Ｂ）。ここで、メニスカスＭを引き込む強さ、及び、印加終了時点におけるメニスカスＭの位置は、第１減圧部分Ｐ１の傾きθ１の大きさと第１減圧部分Ｐ１の印加時間（生成時間）によって定められる。この実施形態において、傾きθ１は、メニスカスＭが第２ノズル部４２７ｂ内で過度に変形しないような大きさに定められている。印加時間は、メニスカスＭが前述の位置に到達した時点で第１減圧部分Ｐ１の印加が終了するように定められている。以上の説明から判るように、第１減圧部分Ｐ１は、第１引き込み部分に相当し、第２ノズル部４２７ｂで露出しているメニスカスＭを第１ノズル部４２７ａ側に引き込むようにピエゾ素子４３３を動作させる。
【００４９】
第１電位保持部分Ｐ２がピエゾ素子４３３に印加されると、駆動電極４３５は切り替え電位ＶＣで維持される。これにより、ピエゾ素子４３３は、収縮を停止して直前の収縮状態を維持する。ここで、メニスカスＭは、インクの慣性によって移動し続ける。このため、タイミングｔ２までの間にメニスカスＭは、第２ノズル部４２７ｂにおける第１ノズル部４２７ａ側の開口に到達する（図６Ｃ）。また、ピエゾ素子４３３の収縮は停止されているので、インクの減圧度合いは時間の経過に伴って弱まる。以上の説明から判るように、第１電位保持部分Ｐ２は、定電位部分に相当し、第１減圧部分Ｐ１の終端と第２減圧部分Ｐ３の始端とを、第１減圧部分Ｐ１の終端電位で接続する。また、第１減圧部分Ｐ１の印加終了時点のメニスカスＭの位置である、第１ノズル部４２７ａ側の開口付近とは、第１電位保持部分Ｐ２の印加によってメニスカスＭが第１ノズル部４２７ａ側の開口（内縁４２７ｅ）に到達し得る範囲を意味する。
【００５０】
第２減圧部分Ｐ３がピエゾ素子４３３に印加されると、第２減圧部分Ｐ３の電位に倣って駆動電極４３５の電位が上昇する。これにより、ピエゾ素子４３３は素子の長手方向にさらに収縮し、圧力室４２４はさらに膨張する。圧力室４２４が膨張されると圧力室４２４内のインクは減圧され、メニスカスＭは第１ノズル部４２７ａ内で拡大される。タイミングｔ２の時点でメニスカスＭは、第２ノズル部４２７ｂにおける第１ノズル部４２７ａ側の開口、あるいは、その近傍に位置している。このため、第２減圧部分Ｐ３の印加に起因するインクの減圧により、メニスカスＭは拡大する。そして、タイミングｔ３では第１ノズル部４２７ａ内で膨らんだ状態になる（図６Ｄ）。ここで、メニスカスＭを拡大させる強さ、及び、印加終了時点におけるメニスカスＭの拡大度合いは、第２減圧部分Ｐ３の傾きθ２の大きさと第２減圧部分Ｐ３の印加時間によって定められる。この実施形態において、傾きθ２は、メニスカスＭが第１ノズル部４２７ａ内で過度に変形しないような大きさに定められる。また、印加時間は、メニスカスＭが第１ノズル部４２７ａ内で適当な大きさになるように定められる。そして、このような条件を満たす傾きθ２は、第１減圧部分Ｐ１の傾きθ１よりも大きい。従って、傾きθ１と傾きθ２とを個別に定めることで、メニスカスＭの状態に適した制御を行うことができる。以上の説明から判るように、第２減圧部分Ｐ３は、第２引き込み部分に相当し、メニスカスＭを第１ノズル部４２７ａ内で拡大させるようにピエゾ素子４３３を動作させる。
【００５１】
第２電位保持部分Ｐ４がピエゾ素子４３３に印加されると、駆動電極４３５は最高電位ＶＨで維持される。これにより、ピエゾ素子４３３は直前の収縮状態を維持する。ここで、メニスカスＭは、インクの慣性によって移動し続ける。第２電位保持部分Ｐ４の印加期間では、メニスカスＭの縁部よりも中心部の方が運動し易い状態になっていると考えられる。その結果、メニスカスＭの中心部は、第２電位保持部分Ｐ４の印加期間中に移動方向を反転させると考えられる（図６Ｅ）。以上の説明から判るように、第２電位保持部分Ｐ４は、第２定電位部分に相当し、第２引き込み部分の終端電位を維持し、吐出部分（第１加圧部分Ｐ５）の印加開始タイミングを定める。
【００５２】
第１加圧部分Ｐ５がピエゾ素子４３３に印加されると、駆動電極４３５は最高電位ＶＨから吐出電位ＶＦまで電位を降下させる。これにより、ピエゾ素子４３３は電位差に対応する量だけ伸長し、圧力室４２４はピエゾ素子４３３の伸長分だけ収縮される。圧力室４２４の収縮に伴ってインクが加圧されるので、メニスカスＭは、外部に向かって移動する。このとき、運動し易い中心部ほど大きく移動するので、メニスカスＭは第２ノズル部４２７ｂ内において柱状に伸びると考えられる。その結果、タイミングｔ５では、柱状となったメニスカスＭの先端部分が根元側の部分から切り離されて滴状となり、外部に吐出される（図６Ｆ）。以上の説明から判るように、第１加圧部分Ｐ５は、吐出部分に相当し、インクを滴状にして吐出させるようにピエゾ素子４３３を動作させる。
【００５３】
第３電位保持部分Ｐ６がピエゾ素子４３３に印加されると、駆動電極４３５は吐出電位ＶＦで維持される。これにより、ピエゾ素子４３３は直前の収縮状態を維持する。ここで、メニスカスＭにおける根元部分は、先端部分が切り離された反動により圧力室４２４側に向きを変えて移動する。その結果、タイミングｔ６では、メニスカスＭの根元部分の高さが小さくなると考えられる（図６Ｇ）。以上の説明から判るように、第３電位保持部分Ｐ６は、第３定電位部分に相当し、メニスカスＭが圧力室４２４側へ移動するまで、次の制御すなわち第２加圧部分Ｐ７による制御を待機させている。
【００５４】
第２加圧部分Ｐ７がピエゾ素子４３３に印加されると、駆動電極４３５は吐出電位ＶＦから最低電位ＶＬまで電位を降下させる。これにより、ピエゾ素子４３３は伸長し、圧力室４２４は収縮される。圧力室４２４の収縮に伴ってインクが加圧され、吐出の反動で戻ってくるメニスカスＭの移動を抑えるように作用する（図６Ｈ）。これにより、吐出後におけるメニスカスＭの移動量を減少させることができ、定常状態（図６Ａ）に速やかに戻すことができる。以上の説明から判るように、第２加圧部分Ｐ７は、加圧制振部分に相当し、メニスカスＭを定常状態に速やかに戻すため、インクを加圧するようにピエゾ素子４３３を動作させる。
【００５５】
第４電位保持部分Ｐ８がピエゾ素子４３３に印加されると、駆動電極４３５は最低電位ＶＬで維持される。これにより、ピエゾ素子４３３は直前の伸長状態を維持する。第４電位保持部分Ｐ８の印加期間においてメニスカスＭは移動をし続ける。この第４電位保持部分Ｐ８は、第４定電位部分に相当し、次の制御すなわち第３減圧部分Ｐ９による制御を待機させている。
【００５６】
第３減圧部分Ｐ９がピエゾ素子４３３に印加されると、駆動電極４３５は最低電位ＶＬから基準電位ＶＢまで電位を上昇させる。これに伴い、ピエゾ素子４３３が収縮し、圧力室４２４内のインクが減圧される。ここで、第３減圧部分Ｐ９の印加開始タイミングは、第４電位保持部分Ｐ８の印加期間によって定められている。この実施形態では、自由振動をしているメニスカスＭが外部側へ移動するタイミングで第３減圧部分Ｐ９を印加している（図６Ｉ）。このようにすると、メニスカスＭの外部側への移動を、インクの減圧によって抑制することができ、メニスカスＭを早期に定常状態に戻すことができる。以上の説明から判るように、第３減圧部分Ｐ９は、減圧制振部分に相当し、メニスカスＭを定常状態に速やかに戻すため、インクを減圧するようにピエゾ素子４３３を動作させる。
【００５７】
＜まとめ＞
この第１実施形態の吐出パルスＰＳ１では、第１減圧部分Ｐ１と第２減圧部分Ｐ３とを有している。このため、メニスカスＭを第２ノズル部４２７ｂ内で引き込んでいる際のインクの減圧度合いと、メニスカスＭを第１ノズル部４２７ａ内で拡大させる際のインクの減圧度合いとを個別に定めることができる。そして、第１減圧部分Ｐ１によるインクの減圧度合い（メニスカスＭを引き込むための引き込み力）は、第２減圧部分Ｐ３によるインクの減圧度合い（メニスカスＭを拡大させるための引き込み力）よりも弱く定められている。これにより、第１ノズル部４２７ａの淀み部分（底部４２７ｃと側壁の境界付近の部分）おけるインクの流れが過度に大きくなることを抑制できる。その結果、メニスカスＭを第１ノズル部４２７ａ内で拡大させる際に、メニスカスＭの過度な変形を抑制できる。すなわち、淀み部分を流れるインクによってメニスカスＭが変形されてしまう不具合を抑制できる。加えて、極めて少量のインクについて、量や飛行方向の精度を高めることができる。
【００５８】
この吐出パルスＰＳ１では、第２減圧部分Ｐ３の始端電位が第１電圧部分の終端電位である切り替え電位ＶＣに定められている。そして、第１減圧部分Ｐ１と第２減圧部分Ｐ３とを、切り替え電位ＶＣで一定の第１電位保持部分Ｐ２で接続している。これにより、メニスカスＭを第２ノズル部４２７ｂにおける第１ノズル部４２７ａ側の開口（底部４２７ｃの内縁４２７ｅ）に位置付けることができる。その結果、淀み部分を流れるインクの影響をより低減することができ、メニスカスＭの過度な変形を確実に抑制できる。
【００５９】
この吐出パルスＰＳ１では、第１減圧部分Ｐ１の始端電位を、最低電位ＶＬから、最高電位ＶＨと前記最低電位ＶＬの差の２０％だけ高く定めている。これにより、メニスカスＭを第２ノズル部４２７ｂ内で引き込んだり、第１ノズル部４２７ａ内で拡大させたりするための電位差として、最高電位ＶＨと最低電位ＶＬの差の８０％を割り振ることができる。その結果、第１ノズル部４２７ａ内でメニスカスＭを拡大させるための電位差を十分確保できる。ひいては、より少ない量のインクを吐出させるための動作をピエゾ素子４３３に行わせることができる。そして、このような観点からすれば、第１減圧部分Ｐ１の始端電位は、最低電位ＶＬ以上であって、最高電位ＶＨと前記最低電位ＶＬの差の２０％以下の範囲内に定められていればよい。
【００６０】
＝＝＝その他の実施形態について＝＝＝
前述した実施形態は、主として、液体吐出装置としてのプリンタ１を有する印刷システムについて記載されているが、その中には、液体吐出方法や液体吐出システム等の開示が含まれている。加えて、液体吐出用のヘッドを制御するための制御装置の開示も含まれている。また、この実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることはいうまでもない。特に、以下に述べる実施形態であっても、本発明に含まれるものである。
【００６１】
＜吐出パルスＰＳ２について＞
図７は他の吐出パルスＰＳ２を示す。他の吐出パルスＰＳ２において、第１実施形態の吐出パルスＰＳ１と同じ対応する部分については、同じ符号を付している。他の吐出パルスＰＳ２は、第１減圧部分Ｐ１１と、第２減圧部分Ｐ１２と、第２電位保持部分Ｐ４と、第１加圧部分Ｐ５と、第３電位保持部分Ｐ６と、第２加圧部分Ｐ７と、第４電位保持部分Ｐ８と、第３減圧部分Ｐ１３とを有する。図から判るように、他の吐出パルスＰＳ２の基本的な形状は、第１実施形態の吐出パルスＰＳ１と同じである。第１実施形態の吐出パルスＰＳ１との違いは、第１減圧部分Ｐ１１の始端電位、第１減圧部分Ｐ１１の傾きθ１１と生成期間、及び、第２減圧部分Ｐ１２の傾きθ１２と生成期間、及び、第３減圧部分Ｐ１３の傾きθ１３と始終端電位である。
【００６２】
すなわち、第１減圧部分Ｐ１１の始端電位（基準電位ＶＢ）は、最低電位ＶＬよりも駆動電圧Ｖｈの５％だけ高い電位に定められている。また、第１電位保持部分Ｐ２がないことから、その分、第１減圧部分Ｐ１１及び第２減圧部分Ｐ１２の傾きθ１１，θ１２と生成期間が変更されている。また、第３減圧部分Ｐ９の終端電位は、第１減圧部分Ｐ１の始端電位に揃っている必要がある。このため、第３減圧部分Ｐ１３の傾きθ１３は、第１実施形態の傾きθ５よりも緩やかになっている。  
このような波形の他の吐出パルスＰＳ２であっても、前述した吐出パルスＰＳ１と同様の作用効果を奏する。
【００６３】
＜他のヘッドＨＤ´について＞
前述した第１実施形態のヘッドＨＤでは、ピエゾ素子４３３として、吐出パルスＰＳ１で与えられる電位が高いほど、圧力室４２４の容積を大きくするための動作をするタイプのものを用いていた。ヘッドに関し、他のタイプのものを用いてもよい。図８に示した他のヘッドＨＤ´は、ピエゾ素子７４として、吐出パルスＰＳ３（図９を参照）で与えられる電位が高いほど、圧力室７２の容積を大きくするための動作をするタイプのものを用いている。
【００６４】
簡単に説明すると、他のヘッドＨＤ´は、共通インク室７１と、圧力室７２と、ノズル７３とを有する。そして、共通インク室７１から圧力室７２を通ってノズル７３に至る一連の流路をノズル７３に対応する複数有している。他のヘッドＨＤ´でも圧力室７２は、その容積がピエゾ素子７４の動作によって変化される。すなわち、圧力室７２の一部は振動板７５によって区画され、圧力室７２とは反対側となる振動板７５の表面にはピエゾ素子７４が設けられている。また、ノズル７３は、第１ノズル部及び第２ノズル部を有している。これらのノズル部は、第１実施形態の第１ノズル部４２７ａ，第２ノズル部４２７ｂと同様に設けられている。このため説明は省略する。
【００６５】
ピエゾ素子７４はそれぞれの圧力室７２に対応して複数設けられている。各ピエゾ素子７４は、例えば圧電体を上電極と下電極とで挟んだ構成であり（何れも図示せず。）、これらの電極間に電位差を与えることにより変形する。この例では、上電極の電位を上昇させると圧電体が充電され、これに伴ってピエゾ素子７４は圧力室７２側に凸となるように撓む。これにより圧力室７２が収縮される。
【００６６】
他のヘッドＨＤ´用の吐出パルスＰＳ３は、例えば図９に示す波形のものである。簡単に説明すると、この吐出パルスＰＳ３は、第１実施形態の吐出パルスＰＳ１を電位方向（高低方向）に反転させた波形をしている。従って、この吐出パルスＰＳ３は、第１減圧部分Ｐ１´と、第１電位保持部分Ｐ２´と、第２減圧部分Ｐ３´と、第２電位保持部分Ｐ４´と、第１加圧部分Ｐ５´と、第３電位保持部分Ｐ６´と、第２加圧部分Ｐ７´と、第４電位保持部分Ｐ８´と、第３減圧部分Ｐ９´とを有する。
【００６７】
第１減圧部分Ｐ１´は、始端電位が基準電位ＶＢ´、終端電位が切り替え電位ＶＣ´であり、タイミングｔ０からタイミングｔ１に亘って生成される。第１電位保持部分Ｐ２´は、切り替え電位ＶＣ´で一定であり、タイミングｔ１からタイミングｔ２に亘って生成される。第２減圧部分Ｐ３´は、始端電位が切り替え電位ＶＣ´、終端電位が最低電位ＶＬであり、タイミングｔ２からタイミングｔ３に亘って生成される。第２電位保持部分Ｐ４´は、最低電位ＶＬで一定であり、タイミングｔ３からタイミングｔ４に亘って生成される。第１加圧部分Ｐ５´は、始端電位が最低電位ＶＬ、終端電位が吐出電位ＶＦ´であり、タイミングｔ４からタイミングｔ５に亘って生成される。第３電位保持部分Ｐ６´は、吐出電位ＶＦ´で一定であり、タイミングｔ５からタイミングｔ６に亘って生成される。第２加圧部分Ｐ７´は、始端電位が吐出電位ＶＦ´、終端電位が最高電位ＶＨであり、タイミングｔ６からタイミングｔ７に亘って生成される。第４電位保持部分Ｐ８´は、最高電位ＶＨで一定であり、タイミングｔ７からタイミングｔ８に亘って生成される。第３減圧部分Ｐ９´は、始端電位が最高電位ＶＨ、終端電位が基準電位ＶＢ´であり、タイミングｔ８からタイミングｔ９に亘って生成される。なお、各タイミングで規定される期間は、第１実施形態の吐出パルスＰＳ１と同じである。
【００６８】
他のヘッドＨＤ´用の吐出パルスＰＳ３が有する各部分の機能は、第１実施形態の吐出パルスＰＳ１が有する各部分の機能と同じである。そして、基準電位ＶＢ´は、吐出パルスＰＳ１における最高電位ＶＨよりも、駆動電圧Ｖｈの２０％だけ低い電位に定められている。このように定めた理由は、前述の実施形態と同じである。従って、第１減圧部分Ｐ１´（第１引き込み部分）の始端電位は、吐出パルスＰＳ３の最高電位ＶＨから、駆動電圧Ｖｈの２０％以下の範囲に定められていればよい。切り替え電位ＶＣ´は、最高電位ＶＨよりも駆動電圧Ｖｈの５０％だけ低い電位に定められている。そして、第１減圧部分Ｐ１´は、傾きθ２１で電位を下降させる。第２減圧部分Ｐ３´は、傾きθ２２で電位を下降させる。この傾きθ２２は、第１減圧部分Ｐ１´の傾きθ２１よりも大きく定められている。この点も第１実施形態の吐出パルスＰＳ１と同じ理由である。
【００６９】
＜ノズルについて＞
第１ノズル部に関し、前述の実施形態では円柱状の空間部として設けられていたが、底部を有する窪みとして構成されていればよい。例えば、第１ノズル部を、底部の外縁が方形状である角柱状の窪みによって構成してもよい。そして、前述の実施形態のように、第１ノズル部４２７ａの底部４２７ｃを、その外縁４２７ｄが円形状であって、内縁４２７ｅが外縁４２７ｄと同心の円形状とした場合には、第１ノズル部４２７ａ内においてメニスカスＭをより大きく拡大させることができる。
【００７０】
第２ノズル部に関し、形状は例示したものに限定されない、例えば、楕円形の開口形状を有する連通孔であってもよい。また、角柱状の連通孔であってもよい。そして、前述の実施形態のように、第２ノズル部４２７ｂを円形状の内縁４２７ｅと外部とを連通する円柱状の空間部とした場合には、引き込み時におけるメニスカスＭの過度な変形を効果的に抑制できる。
【００７１】
ノズルプレートに関し、第１ノズル部を第１ノズルプレートに、第２ノズル部を第２ノズルプレートにそれぞれ設けてもよい。この場合、第１ノズルプレートと第２ノズルプレートとを厚さ方向に重ね合わせることで積層タイプのノズルプレートが作製される。このように構成すると、第１ノズルプレートと第２ノズルプレートのそれぞれには、直径が異なる円筒状の貫通孔を形成すればよい。円形状の貫通孔は製造が容易であるため、製造効率を高められるという利点がある。また、ノズルプレートをステンレス板等の金属板で設けてもよい。
【００７２】
＜吐出動作をする素子について＞
吐出動作をする素子は、前述したピエゾ素子４３３，７４に限定されるものではない。印加された電位に応じて動作をし、圧力室内の液体に圧力変化を与える素子であればよい。例えば、磁歪素子であってもよい。そして、この素子として、前述の実施形態のようにピエゾ素子４３３，７４を用いた場合には、メニスカスＭの引き込みや拡大を、吐出パルスで与えられる電位に基づいて精度良く制御できる。
【００７３】
＜他の応用例について＞
また、前述の実施形態では、液体吐出装置としてプリンタ１が説明されていたが、これに限られるものではない。例えば、カラーフィルタ製造装置、染色装置、微細加工装置、半導体製造装置、表面加工装置、三次元造形機、液体気化装置、有機ＥＬ製造装置（特に高分子ＥＬ製造装置）、ディスプレイ製造装置、成膜装置、ＤＮＡチップ製造装置などのインクジェット技術を応用した各種の液体吐出装置に、本実施形態と同様の技術を適用しても良い。また、これらの方法や製造方法も応用範囲の範疇である。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】印刷システムの構成を説明するブロック図である。
【図２】ヘッドの断面図である。
【図３】ノズルの断面図である。
【図４】駆動信号生成回路等の構成を説明するブロック図である。
【図５】第１実施形態における吐出パルスを説明する図である。
【図６】図６Ａはタイミングｔ０に対応するメニスカスの状態を説明する図である。図６Ｂはタイミングｔ１に対応するメニスカスの状態を説明する図である。図６Ｃはタイミングｔ２に対応するメニスカスの状態を説明する図である。図６Ｄはタイミングｔ３に対応するメニスカスの状態を説明する図である。図６Ｅはタイミングｔ４に対応するメニスカスの状態を説明する図である。図６Ｆはタイミングｔ５に対応するメニスカスの状態を説明する図である。図６Ｇはタイミングｔ６に対応するメニスカスの状態を説明する図である。図６Ｈはタイミングｔ７に対応するメニスカスの状態を説明する図である。図６Ｉはタイミングｔ８に対応するメニスカスの状態を説明する図である。
【図７】他の吐出パルスを説明する図である。
【図８】他のヘッドを説明する断面図である。
【図９】他のヘッド用の吐出パルスを説明する図である。
【符号の説明】
【００７５】
１  プリンタ，１０  用紙搬送機構，２０  キャリッジ移動機構，
３０  駆動信号生成回路，３１  ＤＡＣ回路，
３２  電圧増幅回路，３３  電流増幅回路，
４０  ヘッドユニット，４１  ケース，４１１  収容空部，
４２  流路ユニット，４２１  流路形成基板，
４２２  ノズルプレート，４２２ａ  ノズル面，４２３  振動板，
４２３ａ  ダイヤフラム部，４２４  圧力室，
４２５  インク供給口，４２６  共通インク室，４２７  ノズル，
４２７ａ  第１ノズル部，４２７ｂ  第２ノズル部，
４２７ｃ  底部，４２７ｄ  外縁，４２７ｅ  円形状の内縁，
４２８  支持板，４２８ａ  島部，４２９  弾性体膜，
４２９ａ  島部周辺の弾性体膜，４３  ピエゾ素子ユニット，
４３１  ピエゾ素子群，４３２  固定板，４３３  ピエゾ素子，
４３４  共通電極，４３５  駆動電極，４３６  圧電体，
４４  スイッチ，５０  検出器群，
６０  プリンタ側コントローラ，６１  インタフェース部，
６２  ＣＰＵ，６３  メモリ，７１  共通インク室，
７２  圧力室，７３  ノズル，７４  ピエゾ素子，７５  振動板，
ＣＰ  コンピュータ，ＨＤ  ヘッド，ＨＤ´  他のヘッド，
ＨＣ  ヘッド制御部，ＣＯＭ  駆動信号，ＰＳ１  吐出パルス，
Ｐ１  第１減圧部分，Ｐ２  第１電位保持部分，
Ｐ３  第２減圧部分，Ｐ４  第２電位保持部分，
Ｐ５  第１加圧部分，Ｐ６  第３電位保持部分，
Ｐ７  第２加圧部分，Ｐ８  第４電位保持部分，
Ｐ９  第３減圧部分，ＰＳ２  他の吐出パルス，
Ｐ１１  第１減圧部分，Ｐ１２  第２減圧部分，
Ｐ１３  第３減圧部分，ＰＳ３  他のヘッド用の吐出パルス，
Ｐ１´  第１減圧部分，Ｐ２´  第１電位保持部分，
Ｐ３´  第２減圧部分，Ｐ４´  第２電位保持部分，
Ｐ５´  第１加圧部分，Ｐ６´  第３電位保持部分，
Ｐ７´  第２加圧部分，Ｐ８´  第４電位保持部分，
Ｐ９´  第３減圧部分，ＶＢ  基準電位，
ＶＣ  切り替え電位，ＶＨ  最高電位，ＶＬ  最低電位，
ＶＦ  吐出電位，Ｖｈ  駆動電圧，Ｍ  メニスカス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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