(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟化点が９０℃〜１６０℃のテルペンフェノール共重合体（ａ）と、アルキル基の炭素数が１０以上の高級脂肪酸、炭素数が６以上の高級アルコール、および可塑剤から選ばれる少なくとも１種の化合物（ｂ）と、界面活性剤（ｃ）とを含有することを特徴とする仮止め用の固形接着剤組成物。
【請求項２】
前記化合物（ｂ）が、接着剤組成物総量中に１０質量％〜７０質量％を占める量で含有されている請求項１に記載の仮止め用の固形接着剤組成物。
【請求項３】
前記高級脂肪酸が、アルキル基の炭素数が１４〜２２の飽和脂肪酸である請求項１または２に記載の仮止め用の固形接着剤組成物。
【請求項４】
前記高級アルコールが、炭素数が１６〜２６の飽和アルコールである請求項１〜３のいずれか１項に記載の仮止め用の固形接着剤組成物。
【請求項５】
前記可塑剤が、ジシクロヘキシルフタレートである請求項１〜４のいずれか１項に記載の仮止め用の固形接着剤組成物。
【請求項６】
前記界面活性剤（ｃ）が、非イオン界面活性剤であり、接着剤組成物総量中に０．１質量％〜２質量％を占める量で含有されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の仮止め用の固形接着剤組成物。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の仮止め用の固形接着剤組成物を、イソプロピルアルコールが５０質量％〜１００質量％含有されている洗浄剤で洗浄除去することを特徴とする洗浄方法。
【請求項８】
電子または光学部品に使用される加工部材を、請求項１〜６のいずれか１項に記載の仮止め用の固形接着剤組成物を用いて支持台に仮止め接着する工程と、
仮止め接着された前記加工部材を、アルカリ性の加工液を用いて加工する工程と、
前記仮止め用の固形接着剤組成物を、イソプロピルアルコールが５０質量％〜１００質量％含有されている洗浄剤で洗浄除去する工程と、
を有することを特徴とする電子または光学部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、光学部品などの部材を加工処理する際に、一時的にこれらの部材を仮止め接着しておくために使用する仮止め用の固形接着剤組成物（以下、単に「接着剤組成物」という場合がある）に関し、さらに詳しくは、アルカリ性の切削液や研磨液などの加工液に対する耐性が優れており、加工後、不要となった接着剤を環境負荷が少ないアルコール系洗浄剤で洗浄できる接着剤組成物、洗浄方法、および電子または光学部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコンウエハーなどの電子部品、ガラスなどの光学部品などの部材は、それらを切削あるいは研磨加工処理する際に、上記部材が動かないように接着剤組成物を使用して一時的に仮止め接着しておく必要があり、加工処理が終了すると不要となった接着剤は、ハロゲン系や芳香族炭化水素系などの有機溶剤系洗浄剤、過酸化水素を用いた酸化性洗浄剤、発煙硝酸などの洗浄剤を使用して洗浄除去されていた。
【０００３】
近年、上記の仮止め接着に使用される接着剤組成物としては、上記の環境負荷が大きい従来の洗浄剤などに代わって、環境上の負荷の少ないアルカリ水溶液の洗浄剤で容易に洗浄除去ができるアルカリ可溶性樹脂を主成分とするものが使用されてきている。
【０００４】
上記の接着剤組成物としては、ある種のウエハーの仮着用接着剤（特許文献１）が開示されている。しかしながら、特許文献１に開示の接着剤は、ロジン、その他のアビエチン酸を主成分とする樹脂、該樹脂の誘導体、該樹脂の二塩基酸との変性物などのアルカリ可溶性樹脂を主成分としているために、電子部品、光学部品などの部材を、アルカリ性の切削液や研磨液などを使用して、加工処理した場合に、加工中に仮止め接着剤が上記の加工液によって侵され、支持台に仮止めされている上記部材が動く危険性があり、精密な精度を有する切削や研磨が出来ない。
【０００５】
また、加工処理後、不要となった接着剤をアルカリ水溶液で洗浄除去するが、比較的に高濃度のアルカリ剤を使用するために作業環境がよくなく、さらに、洗浄除去後、洗浄液中のアルカリ成分が残る危険性があるために、さらに、水洗を充分に行う必要があり、洗浄工程で水を使用するために乾燥に時間がかかるという難点がある。
【０００６】
上述のことから、アルカリ性の切削液や研磨液などの加工液に対する耐性が優れており、加工後、不要となった接着剤を環境負荷が少ない洗浄剤を用いて容易に洗浄除去できる接着剤組成物および洗浄方法が要望されている。
【０００７】
【特許文献１】特公平７−２６０８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、本発明の目的は、塗布性、仮止めの接着性を損なわず、アルカリ性の切削液や研磨液などの加工液に対する耐性が優れており、環境負荷が少ないアルコール系洗浄剤で容易に洗浄除去できる接着剤組成物、洗浄方法、および電子または光学部品の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、前記の課題を解決すべく鋭意検討した結果、下記の特定成分からなる接着剤組成物が、塗布性、仮止めの接着性を損なわず、切削液や研磨液など加工液に対する耐アルカリ性が優れており、環境負荷が少ないアルコール系洗浄剤で容易に洗浄除去できることを見出した。すなわち、本発明は、軟化点が９０℃〜１６０℃のテルペンフェノール共重合体（ａ）と、アルキル基の炭素数が１０以上の高級脂肪酸、炭素数が６以上の高級アルコール、および可塑剤から選ばれる少なくとも１種の化合物（ｂ）と、界面活性剤（ｃ）とを含有することを特徴とする仮止め用の固形接着剤組成物を提供する。
【００１０】
また、本発明の好ましい実施形態では、前記化合物（ｂ）が、接着剤組成物総量中に１０質量％〜７０質量％を占める量で含有されており、前記高級脂肪酸が、アルキル基の炭素数が１４〜２２の飽和脂肪酸であり、前記高級アルコールが、炭素数が１６〜２６の飽和アルコールであり、前記可塑剤が、ジシクロヘキシルフタレートであり、および前記界面活性剤（ｃ）が、非イオン界面活性剤であり、接着剤組成物総量中に０．１質量％〜２質量％を占める量で含有されていることが好ましい。
【００１１】
また、本発明は、上記の仮止め用の固形接着剤組成物を、イソプロピルアルコールが５０質量％〜１００質量％含有されている洗浄剤で洗浄除去することを特徴とする洗浄方法を提供する。さらに、本発明は、電子または光学部品に使用される加工部材を、上記の仮止め用の固形接着剤組成物を用いて支持台に仮止め接着する工程と、仮止め接着された前記加工部材を、アルカリ性の加工液を用いて加工する工程と、前記仮止め用の固形接着剤組成物を、イソプロピルアルコールが５０質量％〜１００質量％含有されている洗浄剤で洗浄除去する工程と、を有することを特徴とする電子または光学部品の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、従来の接着剤組成物に比べて、切削液や研磨液など加工液に対する耐性が優れていることから、精密な精度を有する切削や研磨などの加工ができ、また、加工処理後、環境負荷が少ない洗浄剤で洗浄除去できる接着剤組成物、洗浄方法、および電子または光学部品の製造方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に発明を実施するための最良の形態を挙げて、本発明をさらに詳しく説明する。本発明の接着剤組成物は、軟化点が９０℃〜１６０℃のテルペンフェノール共重合体（ａ）と、高級脂肪酸、高級アルコール、および可塑剤から選ばれる少なくとも１種の化合物（ｂ）と、界面活性剤（ｃ）とを含有することにより前記の特性が得られる。
【００１４】
本発明で使用するテルペンフェノール共重合体としては、テルペン系化合物とフェノール系化合物とを公知の方法で重合反応させた軟化点が９０℃〜１６０℃である反応生成物が挙げられる。上記のテルペンフェノール共重合体は、好ましくは軟化点が９０℃〜１５０℃（数平均分子量が５００〜１，１００）、より好ましくは軟化点が１００℃〜１５０℃（数平均分子量が５００〜８００）である反応生成物が挙げられる。上記の軟化点が高過ぎると、得られる接着剤組成物の塗布性が低下する。一方、上記の軟化点が低過ぎると、得られる接着剤組成物に粘着性が発生して保存安定性が低下する。なお、本発明の軟化点は、ＪＩＳ  Ｋ２２０７の環球法に準拠した測定値である。また、数平均分子量は、ＧＰＣ法により測定したポリスチレン換算分子量である。
【００１５】
上記のテルペン系化合物としては、例えば、α−ピネン、β−ピネン、ジペンテン、リモネン、カンフェン、ミルセン、アロオシメン、オシメン、α−フェランドレイン、α−テルピネン、γ−テルピネン、テルピノーレン、１，８−シネオール、１，４−シネオール、α−テルピネオール、β−テルピネオール、γ−テルピネオール、サビネン、パラメンタジエン類、カレン類など、好ましくはα−ピネン、β−ピネン、ジペンテン、リモネンなどが挙げられる。
【００１６】
また、上記のテルペン系化合物と反応させるフェノール系化合物としては、例えば、フェノール、クレゾール、キシレノール、プロピルフェノール、ノリルフェノール、ハイドロキノン、レゾルシン、メトキシフェノール、ブロモフェノール、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦなど、好ましくはフェノール、ビスフェノールＡなどが挙げられる。
【００１７】
前記のテルペンフェノール共重合体としては、例えば、α−ピネン／ビスフェノールＡ共重合体、α−ピネン／フェノール共重合体、ジペンテン／フェノール共重合体など、好ましくはα−ピネン／フェノール共重合体、ジペンテン／フェノール共重合体が挙げられる。
【００１８】
また、本発明で使用する化合物（ｂ）としては、高級脂肪酸、高級アルコール、および可塑剤から選ばれる少なくとも１種の化合物が挙げられる。すなわち、上記の化合物は、上記の各々の成分単独でも、あるいは２種以上の成分を混合して使用することができる。上記の高級脂肪酸としては、常温にて固体であるアルキル基の炭素数が１０以上、好ましくはアルキル基の炭素数が１４〜２２の直鎖飽和脂肪酸が挙げられる。上記の高級脂肪酸としては、例えば、デカン酸、ウンデカン酸、ドデカン酸、トリデカン酸、テトラデカン酸、ペンタデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸、オクタデカン酸、ノナデカン酸、エイコサン酸、ヘンエイコサン酸、ドコサン酸、トリコサン酸、テトラコサン酸、ペンタコサン酸など、好ましくはテトラデカン酸、ペンタデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸、オクタデカン酸、ノナデカン酸、エイコサン酸、ヘンエイコサン酸、およびドコサン酸が挙げられる。上記の高級脂肪酸は、単独でもあるいは２種以上を混合して使用することができる。
【００１９】
また、前記の高級アルコールとしては、炭素数が６以上の一価鎖式飽和アルコール、好ましくは炭素数が１６〜２６の鎖式飽和アルコールが挙げられる。上記の高級アルコールとしては、例えば、１−ドデカノール、１−トリデカノール、１−テトラデカノール、１−ペンタデカノール、１−ヘキサデカノール、１−ヘプタデカノール、１−オクタデカノール、１−ノナデカノール、１−エイコサノール、１−ヘキサコサノール、１−ヘントリアコンタノールなど、好ましくは１−ヘキサデカノール、１−ヘプタデカノール、１−オクタデカノール、１−ノナデカノール、１−エイコサノール、１−ヘキサコサノールなどが挙げられる。上記の高級アルコールは、単独でもあるいは２種以上を混合して使用することができる。
【００２０】
また、前記の可塑剤としては、前記のテルペンフェノール共重合体と相溶性のある公知の可塑剤であればいずれのものも使用することが出来る。上記の可塑剤としては例えば、フタル酸ジブチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジメチル、ジシクロヘキシルフタレートなどのフタル酸エステル、トリクレジルホスフェート、トリメチルホスフェート、トリエチルホスフェート、トリブチルホスフェート、トリフェニルホスフェート、トリキシレニルホスフェートなどのリン酸エステル、ジエチレングリコールジベンゾエート、ジプロピレングリコールジベンゾエート、ジエチレングリコールモノベンゾエート、ジプロピレングリコールモノベンゾエートなどの安息香酸エステル、およびそれらの混合物、好ましくはジシクロヘキシルフタレートが挙げられる。上記の可塑剤は、単独でもあるいは２種以上を混合して使用することができる。
【００２１】
前記の化合物（ｂ）は、得られる接着剤組成物の溶融塗布性および仮止めの接着性を向上させるために前記のテルペンフェノール共重合体（ａ）に配合される。前記の化合物（ｂ）の配合量は、接着剤組成物総量中に１０質量％〜７０質量％である。上記の化合物（ｂ）の配合量が多すぎると、溶融塗布粘度が下がりすぎ、適度の塗布性が得られなく、また、仮止めの接着性が低下する。一方、上記化合物（ｂ）の配合量が少なすぎると、得られる接着剤組成物の溶融塗布性および仮止めの接着性が低下する。
【００２２】
前記のテルペンフェノール共重合体（ａ）および化合物（ｂ）に配合される界面活性剤（ｃ）は、得られる接着剤組成物の被着体（加工部材）や加工部材を一時的に仮止め保持する支持台への濡れ性を向上させ、より仮止めの接着性をアップさせる。上記の界面活性剤（ｃ）としては、上記のテルペンフェノール共重合体（ａ）と相溶する公知の界面活性剤であればいずれでもよく、好ましくは非イオン界面活性剤であり、接着剤組成物総量中に０．１質量％〜２質量％、より好ましくは０．１質量％〜１質量％を占める量で含有されているものがよい。
【００２３】
上記の非イオン界面活性剤としては、例えば、フッ素系タイプ；ポリオキシエチレンアルキレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピルアルキルエーテルなどのエーテル系タイプ；ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステルなどのエステルエーテル系タイプ；ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステルなどのエステル系タイプ；脂肪酸アルカノールアミド、ポリオキシエチレン脂肪酸アミドなどの含窒素系タイプなど、好ましくはフッ素系タイプが挙げられる。
【００２４】
本発明の接着剤組成物は、前記のテルペンフェノール共重合体（ａ）と、化合物（ｂ）と、界面活性剤（ｃ）とを適宜に配合し、好ましくは上記の化合物（ｂ）および界面活性剤（ｃ）が前記の接着剤組成物総量中の配合割合になるように配合し、１００〜１５０℃の加熱条件下で３０〜９０分間溶融しながら公知の方法で均一に混練混合して均質化する。上記の溶融混合物を成形型に流し込み、冷却して固形化して調製される。
【００２５】
本発明の接着剤組成物を使用する仮止め接着の事例としては、電子部品、光学部品、医療部品などに使用されるシリコン、ガラス、セラミック、磁性体などの材料からなるウエハー、丸管、円筒体などの形状の部材を、アルカリ性の研磨液や切削液を用いてポリシング加工あるいは切削・切断加工する際に、これらの部材を一時的に仮止めする支持台であるカーボンプレートを１００℃〜１８０℃に加熱し、当該支持台に上記の接着剤組成物を手塗り、あるいは通常のホットメルトアプリケーターを使用して、１０μｍ〜１００μｍの厚みに溶融塗布する。次に、溶融状態にある該接着剤塗布面に上記の加工部材を加熱圧着し、圧着後、常温まで冷却して仮止め接着する。仮止め接着後、上記の仮止めされた部材を、例えば、ダイヤモンドカッターなどを使用して、アルカリ性の切削液をかけながら切断加工する。
【００２６】
上記の切断加工が終了後、部材を仮止めした接着剤組成物の洗浄除去は、アルコール系洗浄剤を用いて行うことができ、好ましくはイソプロピルアルコールが５０質量％〜１００質量％含有されている洗浄剤を使用して洗浄除去する。上記のアルコール系洗浄剤は、イソプロピルアルコール単独でも、あるいは、上記範囲内においてイソプロピルアルコールと他のアルコールを併用してもよい。
【００２７】
上記のアルコール系洗浄剤としては、例えば、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、ヘキサノール、オクタノール、メタノール、エタノールなど、好ましくはイソプロパノールが挙げられる。上記のアルコール系洗浄剤は、アセトン、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトンなどを本発明の目的を妨げない範囲において配合して使用することができる。
【実施例】
【００２８】
次に実施例および比較例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。文中「部」または「％」とあるのは特に断りのない限り質量基準である。なお、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。
【００２９】
［実施例１〜４］（接着剤組成物Ｍ１〜Ｍ４）
テルペンフェノール共重合体（ａ）と、化合物（ｂ）と、界面活性剤（ｃ）とを使用し、各々の成分を表１に示すように配合し、１２０℃にて６０分間均一に熱溶融混練して均質化し、均質化後、常温まで冷却固化して本発明の接着剤組成物Ｍ１〜Ｍ４を調製した。
【００３０】
上記のテルペンフェノール共重合体（ａ）、化合物（ｂ）、および界面活性剤（ｃ）は、下記の通りである。
・テルペンフェノール共重合体（ａ）
ａ１：α−ピネン／フェノール共重合体（軟化点１１５℃、数平均分子量６００）
ａ２：ジペンテン／フェノール共重合体（軟化点１２５℃、数平均分子量６００）
・化合物（ｂ）
ｂ１：ステアリルアルコール
ｂ２：ステアリン酸
ｂ３：ジシクロヘキシルフタレート
・界面活性剤（ｃ）
非イオン界面活性剤（フッ素系界面活性剤）
【００３１】
0005260107.tif 000002
【００３２】
［比較例１〜４］（接着剤組成物Ｎ１〜Ｎ４）
表２に示すように各々の成分を配合し、１２０℃にて６０分間均一に熱溶融混練して均質化し、均質化後、常温まで冷却固化して比較例の接着剤組成物Ｎ１〜Ｎ４を調製した。
【００３３】
0005260107.tif 000003
【００３４】
上記で得られた各々の接着剤組成物について塗布性、接着性、耐アルカリ性、およびアルコール洗浄性に関し下記の測定方法により評価した。評価結果を表３に示す。
（塗布性）
前記で得られた各々の接着剤組成物を使用して、１２０℃に加熱されたカーボンプレート上に上記接着剤組成物を手で押し付け移動させながら手塗りし、その溶融塗布状態を下記の評価方法により評価した。
○：塗布面に糸引現象がなく、均一で平滑な塗布面が得られた。
×：塗布面に糸引現象を生じ、均一で平滑な塗布面が得られない。
【００３５】
（接着性）
前記で得られた各々の接着剤組成物を１２０℃に加熱溶融して、ステンレス基板同士を接着し、２５℃まで冷却した後、ＪＩＳＫ６８５０に準拠して接着力を測定した。
○：引張り剪断力が２ＭＰａ以上である。
×：引張り剪断力が２ＭＰａ未満である。
【００３６】
（耐アルカリ性）
前記で得られた各々の接着剤組成物を使用して、１２０℃に加熱されたガラス基板上に手塗りにて４０μｍ〜５０μｍの厚みに塗布し塗膜を形成、常温まで冷却して試料を作成した。上記の試料を５％の水酸化カリウム水溶液（２５℃）中に５分間浸漬し、ガラス基板上の接着剤組成物塗膜の耐性を下記の評価方法により評価した。
○：接着剤組成物塗膜が、溶解や膨潤されていない。
×：接着剤組成物塗膜が、溶解や膨潤されている。
【００３７】
（アルコール洗浄性）
上記の耐アルカリ性評価に用いられる試料を使用して、該試料を洗浄剤であるイソプロピルアルコール中に１０分間浸漬し、接着剤組成物の上記洗浄剤に対する洗浄除去を下記の評価方法により評価した。
○：接着剤組成物が、容易に洗浄除去される。
×：接着剤組成物が、洗浄除去されない。
【００３８】
0005260107.tif 000004
【００３９】
上記の評価結果より、本発明の接着剤組成物は、従来の固形タイプの仮止め接着剤に比べて、同等もしくはそれ以上の塗布性や接着性を有し、特に耐アルカリ性およびアルコール洗浄性が優れていることから、アルカリ性の切削液、研磨液に対する耐性があり、環境負荷の少ないアルコール系洗浄剤で、加工後洗浄除去できることが実証された。また、比較例４の接着剤組成物は、塗布性や接着性が著しく低下している。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明によれば、本発明の接着剤組成物は、電子部品、光学部品などの部材をアルカリ性の切削液、研磨液を使用して精密な精度で切削・切断加工あるいはポリシング加工するのに、また、加工後、不要となった接着剤を環境負荷が少ないアルコール系洗浄剤で容易に洗浄出来る接着剤組成物として有効である。