(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの内部に気体を封入または吸引して該ワークからの漏れを検査するリーク検査装置であって、
前記ワーク内部の気体を減圧する減圧手段と、
前記ワーク内部の気体を加圧する加圧手段と、
前記ワークの温度を検出する温度検出手段と、
前記ワーク内部の気体の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記減圧手段および前記加圧手段によって前記ワーク内の気体の圧力を制御する制御手段と、
を具備し、
前記制御手段は、
前記減圧手段によって、前記ワークの温度と同じ温度の飽和水蒸気圧を算出し、前記ワーク内部の気体を該飽和水蒸気圧まで減圧し、前記ワーク内部の気化した水蒸気を吸引し、
前記加圧手段によって、前記ワーク内部に気体を封入し、前記温度検出手段によって検出される前記ワークの温度が所定温度になるまで前記ワーク内部の気体を加圧する、
リーク検査装置。
【請求項２】
ワークの内部に気体を封入または吸引して該ワークからの漏れを検査するリーク検査方法であって、
前記ワーク内部の気体を、前記ワークの温度と同じ温度の飽和水蒸気圧まで減圧し、蒸発した水蒸気を吸引する減圧工程と、
前記ワーク内部に気体を封入し、前記ワークが所定温度になるまで前記ワーク内部の気体を加圧する加圧工程と、
を具備する、
リーク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リーク検査装置およびリーク検査方法の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査対象であるワークの内部に気体を封入し、ワークからの漏れを検査するリーク検査の技術は公知である。例えば、自動車工場では、エンジンのシリンダブロック等のリーク検査が実施されている。
【０００３】
特許文献１は、マスタチャンバと呼ばれる一定容積の漏れ無しマスタと、ワーク内部と、を同時に加圧し、その差圧変化からワークからの漏れを検出するリーク検査方法を開示している。しかし、ワーク内部の圧力は、ワークの環境およびワーク自体を含めたワークの温度変化、あるいは、ワーク内部の水残り等、といった外乱の影響を受ける。特許文献１に開示されるリーク検査方法では、これらの外乱について対策できておらず、外乱要因が多く存在する現場環境では、確実に漏れを検出できるとはいえない。
【０００４】
特許文献２は、加熱源を用いて、ワーク内部の水分量を調整するリーク検査方法を開示している。しかし、加熱源によるワーク昇温によってワーク内部の水残りを完全に蒸発させるには、加熱源によって相当な熱量を与える必要がある。このような相当な熱量を与える加熱源は、自動車工場等の量産ラインの検査設備として規模が大きく現実的ではない。また、昇温後のワークが、周囲との熱交換の影響を無視できる程度にまで降温し、検査への外乱影響が無視できる程度までには、長時間の冷却が必要とされる。このような長時間の冷却を自動車工場等の量産ラインで実現するには、検査工数が長時間となって現実的ではない。
【０００５】
特許文献３は、特殊な加減圧サイクルを伴いながら、圧力計によって時々刻々の圧力と前回測定時からの圧力変化量を求め、ワークからの漏れ量を求めるリーク検査方法を開示している。しかし、特許文献３が開示する検査方法では、シリンダブロックのような大容量ワークにおける微小な漏れ量を検査する場合には、必要な感度が得らない。また、外乱の一つであるワーク内部の水残りに対しては対策できておらず、外乱要因が多く存在する現場環境では、確実に漏れを検出できるとはいえない。
【０００６】
以上より、従来のリーク検査方法では、リーク検査を実施する際の外乱となるワークの温度変化およびワーク内部の水残りについて完全に対策できていないため、確実に漏れを検出できるとはいえない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実開昭６０−１１１２４９号公報
【特許文献２】特開２００７−２１８７４５号公報
【特許文献３】特開２００６−２７５９０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の解決しようとする課題は、リーク検査を実施する際の外乱となるワークの温度変化およびワーク内部の水残りを除去できるリーク検査装置およびリーク検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１０】
即ち、請求項１においては、ワークの内部に気体を封入または吸引して該ワークからの漏れを検査するリーク検査装置であって、前記ワーク内部の気体を減圧する減圧手段と、前記ワーク内部の気体を加圧する加圧手段と、前記ワークの温度を検出する温度検出手段と、前記ワーク内部の気体の圧力を検出する圧力検出手段と、前記減圧手段および前記加圧手段によって前記ワーク内の気体の圧力を制御する制御手段と、を具備し、前記制御手段は、前記減圧手段によって、前記ワークの温度と同じ温度の飽和水蒸気圧を算出し、前記ワーク内部の気体を該飽和水蒸気圧まで減圧し、前記ワーク内部の気化した水蒸気を吸引し、前記加圧手段によって、前記ワーク内部に気体を封入し、前記温度検出手段によって検出される前記ワークの温度が所定温度になるまで前記ワーク内部の気体を加圧するものである。
【００１１】
請求項２においては、ワークの内部に気体を封入または吸引して該ワークからの漏れを検査するリーク検査方法であって、前記ワーク内部の気体を、前記ワークの温度と同じ温度の飽和水蒸気圧まで減圧し、蒸発した水蒸気を吸引する減圧工程と、前記ワーク内部に気体を封入し、前記ワークが所定温度になるまで前記ワーク内部の気体を加圧する加圧工程と、を具備するものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のリーク検査装置およびリーク検査方法によれば、リーク検査を実施する際の外乱となるワークの温度変化およびワーク内部の水残りを除去できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態のリーク検査装置の構成を示すブロック図。
【図２】同じくリーク検査の流れを示すフロー図。
【図３】同じくリーク検査のバルブ制御の流れを示すテーブル図。
【図４】第２実施形態のリーク検査装置の構成を示すブロック図。
【図５】同じくリーク検査のバルブ制御の流れを示すテーブル図。
【図６】第３実施形態のリーク検査装置の構成を示すブロック図。
【図７】同じくリーク検査のバルブ制御の流れを示すテーブル図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１を用いて、第１実施形態であるリーク検査装置１０について説明する。
なお、図１、図４、図６では、実線がリーク検査装置１０の空気配管を表し、破線がバルブ制御用の空気配管を表し、二点鎖線が電気信号線を表している。
【００１５】
第１実施形態であるリーク検査装置１０は、実際にワークＷの内部に気体を封入し、ワークＷからの漏れを検査する以前に、リーク検査時の外乱となるワークＷ内部の水残り、ならびに、ワークＷの温度変化を除去する装置の構成である。
【００１６】
リーク検査装置１０は、自動車工場の検査設備に設けられている。リーク検査装置１０は、エンジンのシリンダブロック（以下、ワークＷ）の内部に気体を封入し、リーク検査時の外乱となるワークＷ内部の水残り、ならびに、ワークＷの温度変化を除去する装置である。本実施形態では、気体としてドライエアを使用している。
【００１７】
リーク検査装置１０は、減圧手段としての減圧装置１１と、加圧手段としての加圧装置１２と、減圧タンク２１と、を具備している。減圧装置１１、加圧装置１２および減圧タンク２１は、空気配管で接続され空気圧回路Ａ１を構成している。減圧装置１１は、真空ポンプによって構成され、空気圧回路Ａ１を真空状態まで減圧できる装置である。加圧装置１２は、圧縮機によって構成され、空気圧回路Ａ１を加圧できる装置である。減圧タンク２１は、少なくともリーク検査装置１０が検査するワークＷより十分に容量の大きいタンクであり、減圧装置１１によりタンク内が減圧されるものである。
【００１８】
リーク検査装置１０は、バルブＶＬ０〜バルブＶＬ８と、消音器ＭＵ１と、消音器ＭＵ２と、を具備している。バルブＶＬ０〜バルブＶＬ８、消音器ＭＵ１および消音器ＭＵ２は、空気配管で接続され空気圧回路Ａ１を構成している。バルブＶＬ０〜バルブＶＬ８は、スプリングリターン型の２位置弁であって、後述するバルブ制御用空気圧回路６０の空気圧をパイロットとして作動される方向制御弁である。消音器ＭＵ１および消音器ＭＵ２は、大気中と連通しており、空気圧回路Ａ１の気体を大気に開放する、あるいは、大気を空気圧回路Ａ１に導入することができる。
【００１９】
リーク検査装置１０は、制御手段としてのコントローラ５０と、バルブ制御用空気圧回路６０と、圧力検出手段としての圧力センサ５１と、温度検出手段としての温度センサ５２と、を具備している。バルブ制御用空気圧回路６０、圧力センサ５１、温度センサ５２は、コントローラ５０に接続されている。コントローラ５０は、減圧装置１１および加圧装置１２を用いて、ワークＷ内部の圧力Ｐｉを制御するものである。圧力センサ５１は、ワークＷ内部に直近の空気配管に設けられ、ワークＷ内部の圧力Ｐｉを計測するものである。温度センサ５２は、ワークＷの所定位置に設けられ、ワークＷ自体の温度Ｔｏを計測するものである。本実施形態の温度センサ５２は、シリンダブロックのシリンダの壁面に設けられている。また、ワークＷ内部の温度を温度Ｔｉと定義する。
【００２０】
図２を用いて、実施形態１のリーク検査制御について説明する。
実施形態１のリーク検査制御は、実際にワークＷの内部に気体を封入し、ワークＷからの漏れを検査する以前に、リーク検査時の外乱となるワークＷ内部の水残り、ならびに、ワークＷの温度変化を除去する制御である。また、図２では、コントローラ５０によるアクチュエータの作動制御のみについて説明する。なお、コントローラ５０による空気圧回路Ａ１のバルブシーケンス制御については後述する。
【００２１】
コントローラ５０は、ステップＳ１００において、飽和水蒸気圧Ｐｓを算出する。ここで、飽和水蒸気圧Ｐｓとは、水がワーク温度Ｔｏと同じ温度Ｔｏと仮定したとき、温度Ｔｏにおける飽和水蒸気圧Ｐｓであって、温度計により計測したワーク温度Ｔｏと、コントローラ５０に予め設定された温度―飽和水蒸気圧曲線により算出されるものとする。コントローラ５０は、ステップＳ１１０において、減圧装置１１によってワークＷ内部の圧力Ｐｉを減圧する。次に、コントローラ５０は、ステップＳ１２０において、圧力センサ５１によって検出されるワークＷ内部の圧力Ｐｉが飽和水蒸気圧Ｐｓより小さい値であるかを確認する。ステップＳ１２０において、圧力Ｐｉが飽和水蒸気圧Ｐｓより小さい値でなければ、圧力Ｐｉを減圧し続ける。一方、ステップＳ１２０において、圧力Ｐｉが飽和水蒸気圧Ｐｓより小さい値となれば、ワークＷ内部の水残りは水蒸気として完全に気化する。そこで、コントローラ５０は、ステップＳ１３０において、減圧装置１１によって気化した水蒸気を吸引する。
【００２２】
コントローラ５０は、ステップＳ１４０において、加圧装置１２によってワークＷ内部の圧力Ｐｉを加圧する。このとき、ワークＷ内部の気体は、断熱圧縮により温度が上昇し、ワークＷ自体の温度Ｔｏも内部の気体温度上昇に伴い上昇する。次に、コントローラ５０は、ステップＳ１５０において、温度センサ５２によって検出されるワークＷ自体の温度Ｔｏが所定温度Ｔ１より大きい値であるかを確認する。ここで、所定温度Ｔ１とは、大気温度より少し高い程度の温度であって、予めコントローラ５０に記憶されているものとする。ステップＳ１５０において、温度Ｔｏが所定温度Ｔ１より大きい値でなければ、圧力Ｐｉを加圧し続ける。一方、ステップＳ１５０において、温度Ｔｏが所定温度Ｔ１より大きい値であれば、外乱除去の制御を終了して、実際にワークＷの内部に大気を封入し、ワークＷからの漏れを検査するリーク検査を実施する（実施形態２または３参照）。
【００２３】
図３を用いて、実施形態１のリーク検査制御について説明する。ここでは、コントローラ５０による空気圧回路Ａ１のバルブシーケンス制御について説明する。なお、図３、図５、図７では、各バルブの切換え状態を各シーケンスとして表し、各シーケンスの編み掛けの部分は、各バルブがＯＮとなった状態を表している。
【００２４】
コントローラ５０は、減圧工程としてのシーケンスＳＥ１において、バルブＶＬ０およびバルブＶＬ１をＯＮとして（その他のバルブＶＬ２〜バルブＶＬ８はＯＦＦ）、減圧装置１１と減圧タンク２１とを連通させ、減圧タンク２１の内部を減圧する。なお、以下では、コントローラ５０は、バルブ制御用空気圧回路６０を介してバルブＶＬ０〜バルブＶＬ８を制御するものとする。
【００２５】
コントローラ５０は、減圧タンク２１の減圧が完了した後、減圧工程としてのシーケンスＳＥ２において、バルブＶＬ０およびバルブＶＬ１をＯＦＦとするとともに、バルブＶＬ５をＯＮとして、減圧タンク２１とワークＷとを連通させ、減圧タンク２１の内部の負圧によってワークＷの内部を減圧する。そして、コントローラ５０は、圧力センサ５１によって検出されるワークＷ内部の圧力Ｐｉが飽和水蒸気圧Ｐｓより小さい値となれば（上述のステップＳ１２０に対応）、シーケンスＳＥ２からシーケンスＳＥ３へ移行する。
【００２６】
コントローラ５０は、シーケンスＳＥ３において、バルブＶＬ５をＯＦＦとするとともに、バルブＶＬ３およびバルブＶＬ６をＯＮとして、加圧装置１２と減圧タンク２１と消音器ＭＵ２とを全て連通させ、減圧タンク２１の内部をパージする。
【００２７】
コントローラ５０は、加圧工程としてのシーケンスＳＥ４において、バルブＶＬ３およびバルブＶＬ６をＯＦＦとするとともに、バルブＶＬ４、バルブＶＬ７およびバルブＶＬ８をＯＮとして、加圧装置１２とワークＷとを連通させ、ワークＷの内部を加圧する。このとき、ワークＷは、内部が加圧されることで温度が上昇する。
【００２８】
コントローラ５０は、温度センサ５２によって検出されるワークＷ自体の温度Ｔｏが所定温度Ｔ１より大きい値であれば（上述のステップＳ１５０に対応）、シーケンスＳＥ４からシーケンスＳＥ５へ移行する。そして、コントローラ５０は、シーケンスＳＥ５において、バルブＶＬ４およびバルブＶＬ７をＯＦＦとし、バルブＶＬ１、バルブＶＬ２、バルブＶＬ５およびバルブＶＬ６をＯＮとするとともに、バルブＶＬ８のＯＮ状態を維持して、減圧タンク２１と消音器ＭＵ１とを連通させ、減圧タンク２１を大気中に開放する。同時に、ワークＷと消音器ＭＵ２とを連通させ、ワークＷの内部を大気中に開放する。
【００２９】
このような構成とすることで、リーク検査を実施する前に、ワークＷの内部の水残りを水蒸気として気化して吸引することで、ワークＷの内部から水残りを完全に除去できる。また、リーク検査を実施する前に、ワークＷ自体を所定温度Ｔ１まで上昇させることで、ワークＷは大気中において最も周囲から影響を受けにくい温度となる。ワークＷの環境およびワークＷ自体を含めたワークＷの温度変化に影響されずにリーク検査を実施できる。
【００３０】
このようにして、リーク検査を実施する前に、リーク検査を実施する際の外乱となるワークＷの温度変化およびワークＷ内部の水残りを除去できるため、リーク検査において確実に漏れを検出できる。
【００３１】
図４を用いて、第２実施形態であるリーク検査装置２０について説明する。
第２実施形態であるリーク検査装置２０は、第１実施形態であるリーク検査の外乱となるワークＷ内部の水残り、ならびに、ワークＷの温度変化を除去するリーク検査装置１０の構成に対し、ワークＷの内部に気体を封入してワークＷからの漏れを検査する、正圧エアリークテストを行う装置の構成を追加したものである。以下、第１実施形態と同符号のものについては、第１実施形態と同様の構成であるため説明を省略する。但し、第２実施形態におけるバルブＶＬ６〜バルブＶＬ９は、それぞれ第１実施形態におけるバルブＶＬ５〜バルブＶＬ８に相当するものであり、第２実施形態におけるバルブＶＬ５およびバルブＶＬ１０〜バルブＶＬ１２は、ワークＷからの漏れを検査する際に用いられるバルブとして、新たに設けられたものである。
【００３２】
リーク検査装置２０は、減圧手段としての減圧装置１１と、加圧手段としての加圧装置１２と、同じく加圧手段としての加圧装置１３と、減圧タンク２１と、マスタチャンバＭと、を具備している。減圧装置１１、加圧装置１２、加圧装置１３、減圧タンク２１およびマスタチャンバＭは、空気配管で接続され空気圧回路Ａ２を構成している。マスタチャンバＭは、ワークＷと同程度の容積を持ち、完全な気密性を有する容器である。
【００３３】
リーク検査装置２０は、バルブＶＬ０〜バルブＶＬ１２と、消音器ＭＵ１と、消音器ＭＵ２と、消音器ＭＵ３と、を具備している。バルブＶＬ０〜バルブＶＬ１２、消音器ＭＵ１、消音器ＭＵ２および消音器ＭＵ３は、空気配管で接続され空気圧回路Ａ２を構成している。
【００３４】
リーク検査装置２０は、制御手段としてのコントローラ５０と、バルブ制御用空気圧回路６０と、圧力検出手段としての圧力センサ５１と、温度検出手段としての温度センサ５２と、差圧センサ５３と、を具備している。バルブ制御用空気圧回路６０、圧力センサ５１、温度センサ５２および差圧センサ５３は、コントローラ５０に接続されている。差圧センサ５３は、圧力の差を検知するセンサであって、実施形態２ではワークＷとマスタチャンバＭとの差圧を検知するものとして空気圧回路Ａ２に接続されている。
【００３５】
図５を用いて、実施形態２のリーク検査制御について説明する。
図５では、コントローラ５０による空気圧回路Ａ１のバルブシーケンス制御について説明する。コントローラ５０によるアクチュエータの作動については、実施形態１と同様であるため説明を省略する。
【００３６】
実施形態２におけるシーケンスＳＥ１、シーケンスＳＥ２、シーケンスＳＥ３およびシーケンスＳＥ４は、実施形態１のシーケンスＳＥ１、シーケンスＳＥ２、シーケンスＳＥ３およびシーケンスＳＥ４と同様であるため説明を省略する。なお、以下では、コントローラ５０は、バルブ制御用空気圧回路６０を介してバルブＶＬ０〜バルブＶＬ１２を制御するものとする。
【００３７】
コントローラ５０は、シーケンスＳＥ５において、シーケンスＳＥ４にてＯＮされていたバルブＶＬ４、バルブＶＬ８およびバルブＶＬ９のＯＮ状態を保持したまま、さらにバルブＶＬ５およびバルブＶＬ１１をＯＮとして、加圧装置１３とマスタチャンバＭとワークＷとを全て連通させ、マスタチャンバＭとワークＷとを加圧装置１３によって加圧する。
【００３８】
コントローラ５０は、シーケンスＳＥ６において、バルブＶＬ４、バルブＶＬ８、バルブＶＬ９およびバルブＶＬ１１のＯＮ状態を保持するとともに、バルブＶＬ５をＯＦＦとして、加圧装置１３とマスタチャンバＭおよびワークＷとを絶縁させ、加圧されたマスタチャンバＭとワークＷとを等圧にする。
【００３９】
コントローラ５０は、シーケンスＳＥ７において、バルブＶＬ４、バルブＶＬ８、バルブＶＬ９およびバルブＶＬ１１のＯＮ状態を保持するとともに、バルブＶＬ１０をＯＮとして、マスタチャンバＭとワークＷとの連通を絶縁させ、マスタチャンバＭおよびワークＷを独立させた状態で安定させる。
【００４０】
コントローラ５０は、シーケンスＳＥ７の安定状態から所定時間経過した後のシーケンスＳＥ８において（シーケンスＳＥ７からのバルブ制御はない）、差圧センサ５３によって検出されるマスタチャンバＭとワークＷとの差圧Ｐｄを検出する。このとき、差圧Ｐｄが所定値Ｐ１より小さければ、ワークＷのリーク検査を合格とする。
【００４１】
コントローラ５０は、シーケンスＳＥ９において、バルブＶＬ９およびバルブＶＬ１１のＯＮ状態を維持するとともに、バルブＶＬ１、バルブＶＬ２、バルブＶＬ６、バルブＶＬ７およびバルブＶＬ１２をＯＮとして、消音器ＭＵ３とマスタチャンバＭとワークＷとを全て連通させ、マスタチャンバＭおよびワークＷの残圧を大気中に開放する。
【００４２】
このような構成として、リーク検査を実施する前に、ワークＷの内部の水残りを水蒸気として気化して吸引することで、ワークＷの内部から水残りを完全に除去できる。また、リーク検査を実施する前に、ワークＷ自体を所定温度Ｔ１まで上昇させることで、ワークＷの環境およびワークＷ自体を含めたワークＷの温度変化に影響されずにリーク検査を実施できる。
【００４３】
このようにして、リーク検査を実施する前に、リーク検査を実施する際の外乱となるワークＷの温度変化およびワークＷ内部の水残りを除去できるため、リーク検査において確実に漏れを検出できる。また、ワークＷとマスタチャンバＭの差圧Ｐｄによって、リーク検査を判定するため、微小な漏れについても検出できる。
【００４４】
図６を用いて、第３実施形態であるリーク検査装置３０について説明する。
第３実施形態であるリーク検査装置３０は、第１実施形態であるリーク検査の外乱となるワークＷ内部の水残り、ならびに、ワークＷの温度変化を除去する装置の構成に対し、ワークＷの内部から気体を吸引してワークＷからの漏れを検査する、負圧エアリークテストを行う装置の構成を追加したものである。以下、第１実施形態および第２実施形態と同符号のものについては、第１実施形態および第２実施形態と同様の構成であるため説明を省略する。
【００４５】
なお、第３実施形態におけるバルブＶＬ２〜ＶＬ５は、それぞれ第１実施形態におけるバルブＶＬ１〜ＶＬ４に、第３実施形態におけるバルブＶＬ７〜ＶＬ１０は、それぞれ第１実施形態におけるバルブＶＬ５〜ＶＬ８に相当するものであり、第３実施形態におけるバルブＶＬ１、バルブＶＬ６ならびにバルブＶＬ１１〜ＶＬ１３は、ワークＷからの漏れを検査する際に用いられるバルブとして、新たに設けられたものである。また、第３実施形態における減圧タンク２２は、第１実施形態における減圧タンク２１に相当するものであり、減圧タンク２１は、第３実施形態において新たに設けられたものである。
【００４６】
リーク検査装置３０は、減圧手段としての減圧装置１１と、加圧手段としての加圧装置１２と、減圧タンク２１と、減圧タンク２２と、マスタチャンバＭと、を具備している。減圧装置１１、加圧装置１２、減圧タンク２１、減圧タンク２２およびマスタチャンバＭは、空気配管で接続され空気圧回路Ａ３を構成している。
【００４７】
リーク検査装置３０は、バルブＶＬ０〜バルブＶＬ１３と、消音器ＭＵ１と、消音器ＭＵ２と、消音器ＭＵ３と、を具備している。バルブＶＬ０〜バルブＶＬ１３、消音器ＭＵ１、消音器ＭＵ２および消音器ＭＵ３は、空気配管で接続され空気圧回路Ａ３を構成している。
【００４８】
リーク検査装置３０は、制御手段としてのコントローラ５０と、バルブ制御用空気圧回路６０と、圧力検出手段としての圧力センサ５１と、温度検出手段としての温度センサ５２と、差圧センサ５３と、を具備している。バルブ制御用空気圧回路６０、圧力センサ５１、温度センサ５２および差圧センサ５３は、コントローラ５０に接続されている。
【００４９】
図７を用いて、実施形態３のリーク検査制御について説明する。
図７では、コントローラ５０による空気圧回路Ａ３のバルブシーケンス制御について説明する。コントローラ５０によるアクチュエータの作動については、実施形態１と同様であるため説明を省略する。
【００５０】
以下では、コントローラ５０は、バルブ制御用空気圧回路６０を介してバルブＶＬ０〜バルブＶＬ１３を制御するものとする。減圧工程としてのシーケンスＳＥ１では、バルブＶＬ０、バルブＶＬ１およびバルブＶＬ２をＯＮとして（その他のバルブＶＬ３〜バルブＶＬ１３はＯＦＦ）、減圧装置１１と減圧タンク２１・２２とを連通させ、減圧タンク２１・２２の内部を減圧する。実施形態３におけるシーケンスＳＥ２、シーケンスＳＥ３およびシーケンスＳＥ４は、実施形態１のシーケンスＳＥ２、シーケンスＳＥ３およびシーケンスＳＥ４と同様であるため説明を省略する。
【００５１】
コントローラ５０は、シーケンスＳＥ５において、シーケンスＳＥ４にてＯＮされていたバルブＶＬ５、バルブＶＬ９およびバルブＶＬ１０のＯＮ状態を保持したまま、さらにバルブＶＬ６およびバルブＶＬ１２をＯＮとして、減圧タンク２１とマスタチャンバＭとワークＷとを全て連通させ、マスタチャンバＭとワークＷとを減圧する。
【００５２】
コントローラ５０は、シーケンスＳＥ６において、バルブＶＬ５、バルブＶＬ９、バルブＶＬ１０およびバルブＶＬ１２のＯＮ状態を保持するとともに、バルブＶＬ６をＯＦＦとして、減圧タンク２１とマスタチャンバＭおよびワークＷとを絶縁させ、減圧されたマスタチャンバＭとワークＷとを等圧にする。
【００５３】
コントローラ５０は、シーケンスＳＥ７において、バルブＶＬ５、バルブＶＬ９、バルブＶＬ１０およびバルブＶＬ１２のＯＮ状態を保持するとともに、バルブＶＬ１１をＯＮとして、マスタチャンバＭとワークＷとの連通を絶縁させ、マスタチャンバＭおよびワークＷを独立させた状態で安定させる。
【００５４】
コントローラ５０は、シーケンスＳＥ７の安定状態から所定時間経過した後のシーケンスＳＥ８において（シーケンスＳＥ７からのバルブ制御はない）、差圧センサ５３によって検出されるマスタチャンバＭとワークＷとの差圧Ｐｄを検出する。このとき、差圧Ｐｄが所定値Ｐ１より小さければ、ワークＷのリーク検査を合格とする。
【００５５】
コントローラ５０は、シーケンスＳＥ９において、バルブＶＬ１０およびバルブＶＬ１２のＯＮ状態を維持するとともに、バルブＶＬ１、バルブＶＬ２、バルブＶＬ３、バルブＶＬ６、バルブＶＬ７、バルブＶＬ８およびバルブＶＬ１３をＯＮとして、消音器ＭＵ１と消音器ＭＵ３と減圧タンク２１とマスタチャンバＭとワークＷとを全て連通させ、マスタチャンバＭおよびワークＷの残圧を大気中に開放する。
【００５６】
このような構成として、リーク検査を実施する前に、ワークＷの内部の水残りを水蒸気として気化して吸引することで、ワークＷの内部から水残りを完全に除去できる。また、リーク検査を実施する前に、ワークＷ自体を所定温度Ｔ１まで上昇させることで、ワークＷの環境およびワークＷ自体を含めたワークＷの温度変化に影響されずにリーク検査を実施できる。
【００５７】
このようにして、リーク検査を実施する前に、リーク検査を実施する際の外乱となるワークＷの温度変化およびワークＷ内部の水残りを除去できるため、リーク検査において確実に漏れを検出できる。また、ワークＷとマスタチャンバＭの差圧Ｐｄによって、リーク検査を判定するため、微小な漏れについても検出できる。
【符号の説明】
【００５８】
１０    リーク検査装置（第１実施形態）
２０    リーク検査装置（第２実施形態）
３０    リーク検査装置（第３実施形態）
１１    減圧装置（減圧手段）
１２    加圧装置（加圧手段）
１３    加圧装置（加圧手段）
５０    コントローラ（制御手段）
５１    圧力センサ（圧力検出手段）
５２    温度センサ（温度検出手段）
５３    差圧センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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