(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローバ内で検査すべき検査物質と電気接触する、次の構成（ａ）乃至（ｇ）を包含するプローブ支持台において、
（ａ）プローブを収容するプローブカード（３）と、
（ｂ）プローブカード（３）を収容して適合させるプローブカードアダプタ（２）と、
（ｃ）適合したプローブカード（３）を保持するプローブカードホルダ（１）と、
（ｄ）検査物質を電磁遮蔽する電気伝導材料から成るシールドとを包含し、
（ｅ）シールドがプローブカードホルダ（１）と検査物質の間に配置されて、プローブカードホルダ（１）から電気的に絶縁されており、
（ｆ）プローブカードホルダ（１）とシールドが互いに対応する通過口（４）を有し、その通過口を通してプローブが検査物質に接触し、プローブカード（３）がプローブカードアダプタ（２）によってシールドの通過口に配置されており、
（ｇ）プローブカードアダプタ（２）がプローブカードホルダ（１）から電気的に絶縁されて、シールドと電気的に接続されている、
ことを特徴とするプローブ支持台。
【請求項２】
プローブカードアダプタ（２）は適合されたプローブカード（３）によりシールドの通過口が充填されているように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ支持台。
【請求項３】
プローブカード（３）の検査物質に向いた表面が電気伝導的にプローブカードアダプタ（２）と電気接続されて、この際にプローブカード（３）上のプローブの電気導線に対して電気伝導的接続を有しないことを特徴とする請求項１或いは２に記載のプローブ支持台。
【請求項４】
シールドは電気絶縁されてプローブカードホルダ（１）に固定されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のプローブ支持台。
【請求項５】
プローブカードアダプタ（２）は電気絶縁されてプローブカードホルダ（１）に固定されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のプローブ支持台。
【請求項６】
次の構成（ａ）乃至（ｈ）を包含する検査物質を検査するプローバにおいて、
（ａ）多数の検査物質を収容する収容面を備えるチャック配列部と、
（ｂ）プローブカードを収容するプローブ支持台と、
（ｃ）プローブ支持台がプローブを収容するプローブカード（３）と、プローブカード（３）を収容して適合させるプローブカードアダプタ（２）と、適合したプローブカード（３）を保持するプローブカードホルダ（１）と、検査物質を電磁遮蔽するシールドとを包含すること、
（ｄ）シールドがプローブカードホルダ（１）と検査物質の間に配置されて、プローブカードホルダ（１）から電気的に絶縁されていること、
（ｅ）プローブカードホルダ（１）とシールドが互いに対応する通過口（４）を有し、その開口を通してプローブが検査物質に接触すること、
（ｆ）プローブカード（３）がプローブカードアダプタ（２）によってシールドの開口に配置されていること、
（ｇ）プローブカードアダプタ（２）がプローブカードホルダ（１）から電気的に絶縁されて、シールドと電気的に接続されていること、
（ｈ）プローブに対して三立体方向Ｘ，ＹとＺにおいて各検査物質を位置決めする少なくとも一つの位置決め装置と、
を包含することを特徴とするプローバ。
【請求項７】
プローブカードアダプタ（２）は適合されたプローブカード（３）によりシールドの通過口がほぼ完全に充填されているように構成されていることを特徴とする請求項６に記載のプローバ。
【請求項８】
プローブカード（３）の検査物質に向いた表面が電気伝導的にプローブカードアダプタ（２）と電気接続されて、この際にプローブカード（３）上のプローブの電気導線に対して電気伝導的接続を有しないことを特徴とする請求項６或いは７に記載のプローバ。
【請求項９】
シールドは電気絶縁されてプローブカードホルダ（１）に固定されていることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載のプローバ。
【請求項１０】
プローブカードアダプタ（２）は電気絶縁されてプローブカードホルダ（１）に固定されていることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか一項に記載のプローバ。
【請求項１１】
プローバは電気伝導性外部ケースを有することを特徴とする請求項６乃至１０のいずれか一項に記載のプローバ。
【請求項１２】
外部ケースはアース電位に置かれ、チャックの収容面はアース電位に比べて相違する第一電位に置かれ、シールドは第一電位と同じ高さである第二電位に置かれることを特徴とする請求項１１に記載のプローバ。
【請求項１３】
検査すべき検査物質がチャックの収容面上に配置されて、各検査物質がプローバのプローブ配列部に対して少なくとも一つの位置決め装置によって位置決めされ、引き続いてプローブを通して接触されて測定され、その間にチャックの収容面の平面（Ｘ−Ｙ−平面）においてチャックとプローブ配列部の間の相対運動によってチャックの第一基準位置の始動後に位置決めするために、第一と各別の接触位置が始動され、それによりプローブによって第一と各別の検査物質の接触がＸ−Ｙ−平面に対して垂直な送り運動によって行われる、請求項１乃至５のいずれか一項に記載のプローブ支持台を備えたプローバ又は請求項６乃至１２のいずれか一項に記載のプローバ内で検査物質の一つを位置決めして検査する方法において、
検査物質に対する遮蔽部が検査物質の付近に且つ僅かな構成の高さにより配置されているために、プローブ支持台が位置決め装置自体に影響を与えないことと、
Ｘ−Ｙ−平面に対して垂直である回転軸線を中心にチャックの収容面或いはチャック上に載置する収容板の回転による第一接触位置の進行前に、Ｘ−Ｙ−平面のＸ−方向或いはＹ−方向と一致しないプローブ配列部の好ましい方向に対する検査物質の接触配列部の好ましい方向が整合されるので、両優先方向が０°或いは９０°の角度を形成し、チャックの第一基準位置と次の第一並びに各別の接触位置とがＸ−方向の第一成分とＹ−方向の第二成分から構成される経路で始動されることと、
を特徴とする方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の検査物質を検査する方法において、第一基準位置の始動後のチャックの収容面の回転が行われ、引き続いて第二基準位置がＸ−修正成分とＹ−修正成分から構成される経路で始動され、それから上記成分が接触位置を始動させるＸ−方向とＹ−方向に求められ、経路が先行した接触位置に対する位置から各別の接触位置まで求められることを特徴とする方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の検査物質を検査する方法において、第一基準位置の始動後のチャックの収容面の回転が行われ、引き続いて第一Ｘ−Ｙ−位置がＸ−成分とＹ−成分から構成される経路を始動され、それら成分はチャックの回転と第一接触位置に対する基準位置の位置から求められ、経路が先行した接触位置に対する位置から各別の接触位置まで求められることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プローバ内の検査目的の検査物質の電気接触に用いられるプローブを保持するプローブ支持台に関する。この発明は同様にそのようなプローブ支持台によりプローバ内の検査物質を検査する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プローバでは、異なる検査物質がその電気特性に関して検査されるか、或いは特殊な検査を受ける。この場合には、検査物質が異なる製造段階や集積段階に存在する。半導体チップ、ハイブリッド構成要素、マイクロ機械的並びにマイクロ光学構成要素の検査や、ウエーハ接続部に存在する又は散発的に或いは既に多かれ少なかれ複雑な回路に集積化されるそのような構成要素の検査が実施される。
【０００３】
電子式構成要素の開発と製造のために、種々の製造段階では異なる検査をすることが必要である。周知のように、実質的に検査すべき電子式構成要素を収容する表面を備えるチャックに検査物質を包含するプローバが使用される。チャックは大抵はＸ−方向とＹ−方向に移行できる。プローバは更に検査物質を電気接触するプローブを備えるプローブ支持台を有する。電気接触を形成するために、移行性の他に、チャックの収容面が位置する平面としていつも定義されているＸ−Ｙ−平面においてプローブと検査物質の間のＺ−方向における相対運動が必要である。Ｚ−方向における必要な運動は大抵はプローブ支持台の位置決め装置と関連してチャックによって実現され得る。
【０００４】
チャック或いはプローブ或いはプローブ支持台或いはこれら成分の多くを運動させる最も異なる位置決め装置とそれに続く異なる運動経過が知られており、それによりプローブ或いは検査物質或いは両方を位置決めするために且つプローブによって接触するために必要な相対運動が実施される。接触面の大きさの増加集積密度とそれと関連された最小化によって、特に個別位置がウエーハ接続部に或いは散発的に格子状にチャックに配置されている多数の検査物質を相前後に始動すべきあるならば、プローブと検査物質を位置決めする精度に関する要件がいつも大きくなる。このためにウエーハ或いは個々の検査物質はその格子がチャック或いはプローブのＸ−運動方向とＹ−運動方向と非常に正確に一致する、即ち位置決め装置の格子と対応する運動方向がインライン（直列）である。検査物質の個別位置の始動がＸ−方向或いはＹ−方向における格子の段階的進行によって行われる。
【特許文献１】ドイツ特許出願公開第１０２００５００６８３８号明細書
【特許文献２】米国特許第６４９２８２２号明細書
【特許文献３】ドイツ特許出願公開第１９６３８８１６号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明の課題は、プローバ内の検査目的の検査物質の電気接触に用いられるプローブを保持するプローブ支持台と、このようなプローブ支持台の使用によりプローバ内の検査物質を検査する方法とを提供することである。  
【０００６】
検査するために、プローブの定義された配列が大抵は接触面の密度と大きさに一致して並びに検査信号に一致して適合された検査先端を同時に検査物質の接触面に載置されて、検査物質が信号を作用されるか、或いは信号が検査物質から発信される。このとき、接触が開放され、Ｘ−方向或いはＹ−方向において次の検査物質の位置が進行され、この検査物質を検査するように接触される。この構造はチャックへの検査物質の精密な整合に必要であるばかりではなく、同時に接触すべき接触面に対してプローブの配列の精密な角度整合も必要である。
【０００７】
種々の検査物質に関する適合性とその配列のために、同時に検査物質の接触すべき接触面の配列と一致するプローブの配列がしばしばカード、所謂プローブカード上のこの種の検査において行われる。この場合には、プローブ支持台がプローブカードの他にプローブカードアダプタとプローブカードホルダを包含する。プローブカード上には、プローブが固定位置により互いに且つプローブの組み立て状態で固定位置によりプローブ支持台に配置されて、同時に個々のプローブへの導線をしっかりと実現される。プローブ及び導線又はそのいずれか一方が検査物質に向いた側面並びにプローブカードの反対に向いた側面に固定される。後者の場合には、プローブカードにはプローブ先端の通過口が存在し、その通過口を通して検査物質が接触されている。
【０００８】
プローブカードは通常には電気絶縁材料、例えば案内板材料から成る。けれども、検査のそれぞれの電気的且つ機械的特性が十分である限り、他の材料も使用される。異なるプローブカードがプローブカードホルダに関するプローブカードアダプタによってプローブ支持台に適合されている。選択的にプローブカードが直接にプローブカードホルダに適合され得るので、プローブカードアダプタが省略され得る。
【０００９】
プローブ支持台への直接にプローブの組み立てと違って且つチャックに対する定義された状態により、プローブをプローブカード上にプローブカードアダプタによって配列されるけれども、個々の構成部材間の通過公差が検査物質の接触面に対するプローブの整合に関する要件を高める。プローブカードが回転対称でない場合には、この効果が増強される、というのは、プローブカードの回転が検査物質に対する角度整合のためにプローブカードアダプタ内に一致してより高い通過公差を必要とするからである。プローブカードをプローブカードアダプタの収容開口内で必要な程度に回転できるために、収容部は必要な自由空間がプローブカードを回転させるようになるように幅を拡大すべきである。この自由空間はしばしばプローブカードによって充填されないので、意図的でなく不都合な隙間や通過口はプローブカードとプローブカードアダプタが横たわる面に生じる。
【００１０】
プローブカードの構成と無関係にその角度整合がいつも難しいことが明らかになる、というのは例えばＸ−方向、Ｙ−方向、或いはＺ−方向において位置決めする際のように、その角度整合のために比較できる補助手段が自由にならないからである。より正確に言えば、プローブカードとそれと一緒にプローブの角度整合がプローブカードアダプタへの据え付けにより、場合によってはプローブカードホルダへの据付けにより行われる。チャック上の検査物質の大きな格子の場合には、誤った位置決めの累積によって大抵は、大量生産個数の検査の際にかなりの時間要因やそれに伴う費用要因を導き得る後調整が必要である必然性を生じる。
【００１１】
検査物質の検査はしばしばプローブの作業領域を包囲するケースによって実現される特別な周辺条件の下で実施される。例えば検査の外部電気的兼電磁的影響を回避するケースは伝導性材料から成る。
【００１２】
既に僅かな電磁式障害影響力が検査の品質を落し得る非常に僅かな電流の測定のために、測定装置の三軸方向構成が遮蔽を含めて実現される。この場合には、測定要素に向かい合っていて、即ちチャックの収容面に隣接して、電気伝導性材料から成る二つのシールドが配置されている。外部要素は遮蔽のシールドとして用いられ、中間要素が所謂ガードとして用いられる。ガードは測定要素と同じ電位に置かれているので、これらの両要素の間の測定結果の品質を落とす非常に僅かでクリープ電流自体が回避される。
【００１３】
この三軸方向構成は包囲ケースに関して実現され得る。そのために外部ケースの内部には、ガード電位、即ち測定要素の電位である内部被覆が配置されている。内部被覆はチャックの被覆によって並びにガード薄板によって形成され、このガード薄板はケースのカバー板におよそ平行に延びていて、このカバー板に依存して電気絶縁されている。プローブはケースの外部に配置されるので、この場合にケースのカバー板によって形成されているプローブ支持体がケースの電位、例えばアース電位である。この配列では、ガード薄板の開口が検査物質に対するプローブの通過口のためにプローブのやり方によって決定され、そのやり方が検査物質に対するプローブの位置決めとその精密な接触のために必要であることや、それによりガード薄板が測定領域を覆わないことが不利であることが明らかになる。
【００１４】
記載されたプローブ支持台とそのようなプローブ支持台が使用されるプローバにより遮蔽が隙間なしに測定領域にわたり自由にならない。
【００１５】
記載されたプローブ支持台は、プローブ用の通過口を遮蔽によって出来るだけ小さく保持して最適な遮蔽を得ることを可能とする。プローブカードアダプタ並びに電気伝導性材料から成るシールドがプローブカードホルダから電気絶縁されて、これら両要素が電気的に互いに接続されるので、遮蔽部にプローブカードアダプタの一部が引入れられ、シールドの通過口に突き出す。それにより遮蔽部は立体的に検査物質とプローブ支持台の間に配置されている。
【００１６】
プローブ支持台が使用されているプローバが外部電気伝導性ケースを有する場合には、遮蔽部が同時に検査物質とケースの間に存在するので、この両電気伝導性構成部材によってプローバの三軸方向構成が実現できる。プローブカードホルダからのプローブカードアダプタとシールドの電気絶縁に基づいてＥＭＩ影響に対する簡単な遮蔽が可能であり、僅かな電流を測定するためのガードが可能である。後者の場合には、チャックの収容面がアース電位に比べて相違する第一電位になり、シールドとそれに伴うプローブカードアダプタがかなりチャックの収容面の第一電位に一致する第二電位になる。遮蔽の場合には、シールドは共通にシールドとして機能するプローブカードアダプタと共にケースのカバー板に追加して配置されるか、或いはカバー板を補充する。シールドとケースの間の電位差は確かに問題がない、というのはこれら両要素間の出来るだけクリープ電流が検査への影響を有しないけれども、シールドが規則的にケースの電位になるからである。
【００１７】
同時にプローブ支持台上へのプローブの組み立てにより固定式に且つプローブの精密に調整された位置が互いに且つプローブ支持台に対してこのプローブ支持台に利用できる。プローブカードアダプタの適切な構成によって、例えばプローブカードを載置して固定するチャックに向いた収容面によって僅かな隙間があり、その隙間はプローブカードとプローブカードアダプタの間の必要な通過公差によって生じ、そうでなければ、遮蔽或いはガードを中断させ、検査物質に向いた側面では例えば階段状接触面によって被覆し、遮蔽部を通る通過口を最小にする。プローブカードアダプタの構成の柔軟な可能性によってプローブカードアダプタとそれと一緒にプローブカードが電気伝導性材の通過口に突き出し、この通過口をそれによりほぼ完全に充填できる。
【００１８】
記載されたプローブ支持台がプローブカードの検査物質に向いた表面を電気伝導的に且つプローブカードアダプタと電気的に接続され、この際にプローブカード上のプローブの電線に対する電気伝導性接続部を有しない場合には、遮蔽部の通過口を更に最小にすることが可能である。この構成では、遮蔽部はシールド、プローブカードアダプタとプローブカード自体によって形成される。プローブがプローブカードの検査物質と反対を向いた上側面に配置されるならば、通過口が必要である。その通過口大きさがプローブ先端を通過するための必要な場所に、その配列が互いに減少できる。導線とプローブが下側面に組み立てられる場合には、遮蔽部を通る通過口が必要ない。ここでは、プローブカードの適した構造と導線の絶縁体によってプローブカードの伝導性表面と導線の間の電気接続部を永続的に保証すべきである。
【００１９】
プローブカードの伝導性表面は種々の可能性によって実現できる、例えば金属被膜によって或いはプローブカードに金属板を固定することよって実現できる。この構成によると、上記のように、シールド並びにカードが実現できる。
【００２０】
この構成では、シールド或いはプローブカードアダプタ或いは両方が電気絶縁組立てによってプローブカードホルダに固定されるから、特別な組立て費用なしに且つ必要な機械的安定性を備え、記載されたプローブ支持台が実現される。それにより全プローブ支持台の運動が例えばＺ−方向における可能である。更に、検査物質に対する遮蔽部がその付近に且つ僅かな構成高さにより配置されている。
【００２１】
記載されたプローブ支持台が位置決めシステム自体への影響を有しない、チャックの位置決めシステムも、プローブを運動する位置決めシステムも有しないので、プローブカードホルダ、プローブカードアダプタとプローブカードを備えるプローブ支持台を使用する現在のプローバを改造し、記載された利点と構成を利用することが簡単な形式で可能である。  
【００２２】
記載されたプローブ支持台によりプローブを配列する装置が利用され、この装置はプローブカードのプローブ配列を角度整合する費用を減少させる。プローブ支持台は大きな角度偏差によりプローブカード或いはプローブカードアダプタの据付けを可能とし、この状況にシールドを適合する。けれども、この偏差が適切な位置決めによって補償すべきであるから、位置決め方法に関する特別な要件が明らかになる。
【００２３】
上記プローブ支持台により保持されているプローブ配列に対してプローバにはチャックの収容面上に配置された検査すべき検査物質を位置決めする次の記載方法は、プローブカードが挿入されるプローブカードアダプタの収容開口の前記拡大を回避することを可能とする。それ故に、遮蔽部が隙間と通過口による中断なしに実現できる。
【００２４】
というのは記載された位置決め経過に基づいて検査物質の接触配列に対してプローブカードの角度整合がプローブカードの回転によって必要とされない。より正確に言えば、角度整合はチャックの回転によって補償される。それ故に、確かに接触配列がチャックの運動方向Ｘ及びＹ又はそのいずれか一方ともはや直列ではないけれども、この角度差がチャックの特別なやり方によって検査物質の個々の位置を始動するように補償される。このやり方は格子状に配置された検査物質に適合でき、記載された位置決め経過が迅速且つ精密に自動化されて行われ得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
次に、プローブカードと位置決め方法が実施例に基づいて詳細に説明される。
【実施例】
【００２６】
図１によるプローブカードアダプタ２には、種々の組立てアングル１１とボルト１２により矩形プローブカード３が組み立てられている。プローブカードアダプタ２は他のプローブカード３の適用のために多部材で形成されている。プローブカード３は中央矩形通過口４を有し、その通過口を通して図示されていないプローブがプローブカード３の下部に配置された検査物質（図示されていない）と接触できる。プローブカード３の下面には、詳細に図示されていない金属層が塗布されていて、その金属層は詳細に図示されていない形式で電気的にプローブカードアダプタ２と接続されている。電気的接続は、プローブカードアダプタ２に対して接触される例えばプローブカード３の周辺側面の引き込みによって下面の金属化部に行われるか、或いは同様に適した接着剤によって行われる。
【００２７】
プローブカードアダプタ２はシールド５を形成する矩形板上に中央に組み立てられている。プローブカードアダプタ２とシールド５が電気伝導性材料から成るので、プローブカードアダプタが全接触面を介して電気的にシールド５と接続されている。
【００２８】
図２の断面表示で明らかであるように、プローブカード３とプローブカードアダプタ２の間並びにプローブカードアダプタ２とシールド５の間の接続部が形成されているので、図示された構成グループの下面はプローブカードの中央通過口４までを閉鎖した電気伝導性面を意味する。全構成グループはケーブル６を介して詳細に図示されていない電圧戻し回路の出口と接続され、その入力が検査装置のチャックの収容面と接続できるので、図１による構成グループには、チャックの収容面の電位とほぼ同じである電位が置かれ得る。
【００２９】
プローブカードアダプタ２上には、別の組立てアングル１１とボルト１２によって電気絶縁材から成るフレーム７が配置されていて、フレームにより全構成グループがプローブカードホルダ１に組み立てできる。図１による構成グループがプローブカードホルダ１に組み立てられているプローブ支持台は、図２に図示されている。図２の断面表示では、プローブカードホルダ１とシールド５の間の隙間８が明らかであり、その隙間は両構成部材を全面に電気的に互いに絶縁される。無論、この隙間が電気絶縁材料によって充填され得るか、或いは両成分が互いに電気絶縁されている場合には、他の組立て手段がプローブカードホルダ１とプローブカードアダプタ２の間の機械的接続部に使用できる。  
【００３０】
上述に、プローブ支持台がいつもプローブカード３を適合するプローブカードアダプタ２を備えて記載され、プローブカードはその構成、その電気機械的特性、或いはプローブの電気的接続用の接続条件を含めて区別できる。プローブ支持台は無論、プローブカードアダプタ２なしに形成され、記載された特性がプローブカード３並びにプローブカードアダプタ２をこの新たなプローブカード３によってこのプローブカードが一部材或いは多部材で形成されるか否かに無関係に満たされなければならない。それ故に、この構成のために上記説明を証明されている。
【００３１】
別々に或いはウエーハ接続部に格子状に検査装置のチャックの収容面上に配置されている検査物質２０の位置決めは、８個の接触面２１を備える検査物質２０ではそれぞれ一列に４個と両列に互いに平行に対向位置する接触面が解説される。この検査物質２０は記載された実施例では多数の検査物質２０を格子に配置されたウエーハの一部を包含する。個々の検査物質２０は大抵は格子状にチャックの収容面上に配置されているか、或いは互いに対する少なくともその状態が知られている。
【００３２】
各場合には、検査物質２０は一列の接触面２１が位置する方向と一致する格子配列の方向がチャック２４の運動方向、例えばＸ−方向と一致するようにチャックに整合されている。格子配列のこの方向は次に検査物質の接触面配列２５の優先方向として記載される。格子の第二方向はチャックの第二運動方向、例えばＹ−方向と一致する。
【００３３】
検査物質２０の８個の接触面２１は８個のプローブ先端２２によって接触され、プローブ先端は接触面２１の配列に対して対応して互いに対して配置されている。即ちそれぞれに４個のプローブ先端２２は一列に配置され、両列が互いに平行に対向位置して配置される。プローブ先端列の方向は次にプローブ配列の優先方向２６として記載されている。すべてのプローブ先端２２が配置されれている平面は、検査物質２０の表面と平行に位置する。
【００３４】
図３Ａ乃至図３Ｃには、検査物質の接触面２１に対して８個のプローブ先端２２の共通位置決めが図示されている。同じ形式において接触面２１の簡単な或いは複雑な配列が接触できる。
【００３５】
図３Ａはプローブ先端２２の一つを基準点２３への中心整合を図示し、この基準点はチャックのＸ−Ｙ−座標システムの第一基準位置として検査物質２０の格子を測定する位置決め経過の出発点である。より良い見通しのために、図３Ａ乃至図３Ｃには、別の面が基準点２３に対して次の接触するべき検査物質２０の接触面２１の配列が認識できるような状態で図示されている。接触面２１のこの採用された配列に基づいて、接触面配列の優先方向２５とプローブ配列の優先方向２６との間に角度βが生じることが明らかであるので、通常の７個のプローブ先端２２が接触面２１に対して正しく整合されていない。
【００３６】
次の工程では、角度βが決定され、チャックの収容面がこの角度βだけ、確定された回転と反対に整合され、回転されるので、両優先方向２５、２６が一致する（図３Ｂ）。接触面配列の優先方向２５の定義に対応して、角度βが０°の代わりに、９０°である。この優先方向２５が二つの対向位置する接触面２１によって一列に定義されたならば、それがこの場合であった。
【００３７】
回転がチャックの回転軸線を中心に行われ、この回転軸線は収容面と垂直に立っていて、大抵は、その中心に、しかし例えば収容面上のウエーハの配列の公差に基づいて各場合にウエーハの中心に位置する。回転はチャックの構成に対応して、例えばチャック自体の回転によって或いは載置板の回転によって行われ、載置板はチャックの表面上に配置され（板上付加）、その表面がチャックの収容面を意味する。角度βの決定は例えばプローブ先端２２と接触面２１の位置の模写に基づいて或いは互いの位置を同時観察する際に収容面の回転の実施に基づいて行われる。
【００３８】
基準点２３の外部の回転軸線を中心とする角度整合によってその位置が図３Ｂの表示によるプローブ先端２２に対して変更される。この誤った位置は、チャックが例えばＸ−Ｙ−交差テーブルによってそのＸ−とＹ−運動方向２４において対応するＸ−とＹ−訂正成分だけ移行される（図３Ｃ）ので、次にチャックによって訂正される。調整された第二基準位置は開始位置であり、第一の接触すべき検査物質２０から始動される。
【００３９】
図３Ｃによりプローブ先端２２が接触面２１に対して直列であるので、接触面２１がチャック２３の運動方向に対して直列ではないけれども、第一検査物質の進行が行われ、チャックの運動方向に対する検査物質の直列整合の際に必要であるＸ−方向における経路が、チャックの回転を角度βだけ補償するために、Ｙ−方向において一工程だけ補充される。それで、生じる経路がＸ−成分２７とＹ−成分２８とから構成され（図３Ｃ）、Ｙ−成分は角度βのサインに一致する。一格子工程では、およそＹ−方向においてＸ−方向とＹ−方向の間の記載された関係が当然に引っくり返る。
【００４０】
検査物質２０のＸ−Ｙ−位置が次に接触位置と呼ばれ、プローブ先端２２に対して進行された後に、Ｚ−方向におけるチャックの送りはプローブ先端２２が接触面２１に確実に接触されるまで行われる。第一検査物質２０の測定後にチャックの下降によって接点が再び開放され、次の検査物質２０の接触位置が同様にＸ−成分とＹ−成分とから構成されるやり方により始動される。その結果、再び検査物質２０とプローブ先端２２の間の送りがＺ−方向において行われ、新たな測定過程が行われる。この方法では、格子の個々の検査物質が相前後して始動されるので、Ｘ−方向とＹ−方向におけるチャックの運動が鋸歯ラインに似ている。
【００４１】
方法の構成において基準点２３がウエーハ上の検査物質２０の格子に対応する位置に存在する場合には、Ｘ−成分２７とＹ−成分２８は一格子列内部で第二と各別の検査物質２０を始動するために、基準点２３から第一検査物質２０までのやり方の成分に対応する。さもなければ、このやり方は対応して修正すべきである。この修正は例えば計算上始動される第一検査物質に対して基準点の公知の位置に基づいて求められ得る。選択的に、隣接した第二検査物質２０が始動され、このやり方のＸ−成分２７とＹ−成分２８が格子の各別の検査物質２０の位置決めに基づいている。
【００４２】
前述のように、Ｘ−成分とＹ−成分は検査物質２０の接触位置を始動するために第一或いは選択的に第二検査物質２０までの必要な位置決め経過の実施と評価によって求められる。選択的に、第一基準位置のＸ−座標とＹ−座標はチャックのＸ−Ｙ−座標システムでチャックの始動後に求められときに、両成分は計算上求められ得て、載置面の回転が公知の角度βだけ行われるので、両優先方向は角度０°或いは選択的に９０°に互いに整合されている。状態の知識に基づいて、基準点に対する第一と各他の接触面は接触位置とそれからこのやり方のＸ−成分２７とＹ−成分２８とを求められ得る。
【００４３】
第４図は上記説明に対応するプローブ支持台を備えるプローバを図示する。ケース３０内には、位置決め装置３２を備えるチャック３１が配置されている。チャックは収容面３３を有し、ウエーハ２０或いは多数の個々の検査物質２０上に配置され得る。チャック３１の位置決め装置３２によって収容面３３はＸ−、Ｙ−とＺ−方向に移動して中央軸線を中心に回転できる。
【００４４】
収容面３３に対向位置して、プローブ支持台が配置されていて、その構成は実質的に上記されたものであり、この場合には、同じ成分は同じ参照符号を備えていて、プローブ支持台の上記説明で証明されている。詳細に図示されていない構成では、プローブ支持台は同様に位置決め装置を有し、この位置決め装置によりプローブ支持台がＺ−方向において最終送り運動のために移行できる。
【００４５】
プローブ支持台は板状プローブカードホルダ１から成り、そのカードホルダはプローブがケース３０を上方にふたをするようにケース上に配置されている。プローブカードホルダ１がケース３０と共通にアース電位であり、チャック３１の収容面３３がアース電位に比べて相違する第一電位であるに対して、プローブカードアダプタ２、プローブカード３の下面側電気伝導層並びにシールド５が電気的に互いに接続されてかなりチャックの収容面の第一電位に一致する第二電位である。
【００４６】
プローブカード３上には多数のプローブ３４が配置され、プローブはプローブカード３の中央通過口４を通して検査物質と接触する。プローブ３４は詳細に図示されていない導体軌道を介してプローブカード３や信号処理装置（図示されていない）を備える適した接続部に接続されている。検査物質の位置決めと接触は観察装置によって観察して評価すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】プローブカードとシールドを備えるプローブカードアダプタを斜視表示で示す。
【図２】図１による構成グループをプローブカードホルダに組立てた断面表示で示す。
【図３Ａ】基準点の位置決め経過とプローブ先端に対する基準点に隣接した接触面配列とを示す。
【図３Ｂ】接触面配列の優先方向とプローブ配列の優先方向との間に角度βを成した基準点の位置決め経過とプローブ先端に対する基準点に隣接した接触面配列とを示す。
【図３Ｃ】Ｘ−とＹ−運動方向において対応するＸ−とＹ−訂正成分だけ移行された基準点の位置決め経過とプローブ先端に対する基準点に隣接した接触面配列とを示す。
【図４】図２によるプローブ支持台の使用の下の検査装置を示す。
【符号の説明】
【００４８】
１．．．．．プローブカードホルダ
２．．．．．プローブカードアダプタ
３．．．．．プローブカード
４．．．．．プローブカードの中央通過口
５．．．．．シールド
６．．．．．ケーブル
７．．．．．フレーム
８．．．．．隙間
１１．．．．組立てアングル
１２．．．．ボルト
２０．．．．検査物質
２１．．．．接触面
２２．．．．プローブ先端
２３．．．．基準点                                                              ２４．．．．チャックの運動方向
２５．．．．接触面配列の優先方向
２６．．．．プローブ配列の優先方向
２７．．．．Ｘ−成分
２８．．．．Ｙ−成分
３０．．．．ケース
３１．．．．チャック
３２．．．．位置決め装置
３３．．．．収容面
３４．．．．プローブ
３５．．．．観察装置
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４】
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