(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の収納箱と、
吸排出部と前記吸排出部の吸排出孔の手前に設置されたメッシュ板からなり前記各収納箱上の仮受位置に配置される仮受手段と、
搬出位置で部品を吸着し前記仮受手段のメッシュ板の表面に部品が対面する位置まで搬送し退避する吸着ノズルと、
前記吸排出部の吸排出孔の吸着機能をＯＮにした後に吸着ノズルの吸着をＯＦＦにして部品を仮受位置で受け取り、その後、前記吸排出部の吸排出孔の吸着機能をＯＦＦにすると同時に排出機能をＯＮにして、部品を収納箱に落下させる圧力制御手段と、よりなる部品分類装置。
【請求項２】
請求項１記載の部品分類装置において、
前記吸着ノズルの基部と前記仮受手段は共通の移動ブラケットに支持されて前記搬出位置から仮受位置まで移動可能に設けられ、前記吸着ノズルは前記仮受位置で前記メッシュ板に近接する位置および離脱する位置に移動させられる部品分類装置。
【請求項３】
請求項１記載の部品分類装置において、
前記吸排出部に負圧と正圧を選択接続することにより仮受位置からの離脱を可能に構成したことを特徴とする部品分類装置。
【請求項４】
電子部品の特性を検査して分類する装置であって、
供給ホッパから供給された電子部品を供給テーブル上に搭載して回転する供給テーブル部と、
前記供給テーブル上に散在された前記電子部品を撮像して画像処理するためのカメラ部と、
前記電子部品の画像処理した情報に基づいて前記供給テーブルの前記電子部品の搬出位置から前記電子部品を一個づつ吸着し配送位置に搬送配置する供給Ｐ＆Ｐ部と、
前記配送位置で測定テーブル部の測定テーブル上に電子部品を受け取りその特性を測定して分類信号を発生する測定部と、
１以上の収納箱、吸排出部と前記吸排出部の吸排出孔の手前に設置されたメッシュ板からなり前記各収納箱上の仮受位置に配置される仮受手段、前記測定部の搬出位置から電子部品を吸着し前記分類信号により選択された収納箱の前記仮受手段のメッシュ板の表面に電子部品が対面する位置まで搬送し退避する吸着ノズル、および前記吸排出部の吸排出孔の吸着機能をＯＮにした後に吸着ノズルの吸着をＯＦＦにして電子部品を仮受位置で受け取り、その後、前記吸排出部の吸排出孔の吸着機能をＯＦＦにすると同時に排出機能をＯＮにして、電子部品を収納箱に落下させる圧力制御手段とからなる部品分類部と、
を含む電子部品特性検査分類装置。
【請求項５】
請求項４記載の電子部品特性検査分類装置において、
前記供給テーブル部の供給テーブルは円環状浅溝を有し、駆動モータの主たる回転方向と逆方向回転を小刻みに行わせて供給テーブルを振動させて、前記浅溝内の電子部品の重なりを解消するように構成したことを特徴とする電子部品特性検査分類装置。
【請求項６】
請求項４記載の電子部品特性検査分類装置において、
前記測定テーブル部の測定テーブルには前記供給Ｐ＆Ｐ部により前記電子部品が搬送される前記測定テーブルの一定の位置に前記電子部品を位置決めするために一対の位置決め爪を有する位置決め機構を設けたことを特徴とする電子部品特性検査分類装置。
【請求項７】
請求項４記載の電子部品特性検査分類装置において、
前記測定部に、上電極と前記測定テーブル上の電気特性を測定される前記電子部品の表面との間隙を一定に保持するために前記測定テーブル表面までの距離を測定する検出器を上電極ホルダと一体に配置して構成した電子部品特性検査分類装置。
【請求項８】
請求項４記載の電子部品特性検査分類装置において、
前記測定テーブル上に残された検査済みの前記電子部品を強制的に排除するために、
前記測定部の測定テーブルの搬出位置に常時は上方に退避しており、排出時に測定テーブルの搬出位置表面に下降させられる斜めカット面を有する排出爪を設けて、測定テーブルが前記排出爪の設置されている方向に回転することによって、前記排出位置に残ってしまった前記電子部品が前記排出爪の斜めカット面に当たって前記カット面に沿って測定テーブルの外側に排出されるように構成したことを特徴とする電子部品特性検査分類装置。
【請求項９】
請求項４記載の電子部品特性検査分類装置において、
前記供給Ｐ＆Ｐ部により前記供給テーブルから前記測定テーブルへ電子部品を搬送する経路の下方に前記電子部品を画像処理するためのカメラと照明を設置し、
前記電子部品を前記経路を移動中に撮像し、前記画像処理により前記電子部品の外観を検査するように構成した電子部品特性検査分類装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小形で且つ極薄である質量の小さい部品等を吸着搬送して収納箱へ部品に損傷を与えること無く確実に収納させることができる部品分類装置と前記装置を用いた電子部品特性検査分類装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品を搬送する装置、部品を搬送して収納箱に収納させる分類装置等について数多くの提案がなされている。特許文献１記載の「物品の移動排出装置」は電子部品を搬送し、重力のみを利用して排出している。
特許文献２記載の「小型部品供給搬送装置」は、負圧を利用して部品を吸着搬送して分類するものである。
特許文献３記載の「水晶振動子の周波数分類装置及び真空吸着装置」の発明は小形で且つ極薄である質量の小さい部品を吸着搬送して収納箱に収納させるために所謂Ｐ＆Ｐ装置を用い排出時に真空引きとエア送出の切り替えを行う装置を提案している。
【特許文献１】特許第３９９８２９６号公報
【特許文献２】特許第３５３２１２４号公報
【特許文献３】特開２００１−１６５９７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前述の特許文献３記載の装置では、部品を吸着している吸着ノズルが静電気を帯びている場合に吸着をＯＦＦしただけでは静電気によって部品が吸着ノズルに付着していて離脱しないために吸着をＯＦＦすると同時に吐出空気を併用する。この吐出空気によって部品は勢いよく収納箱内に飛び出し、収納箱の壁面あるいは既に収納箱内に収納されている部品にぶつかるために部品に損傷を与えてしまうという問題点があった。
本発明の第１の目的は、前記の問題点を解決し、小形で且つ極薄である質量の小さい部品を吸着搬送して収納箱へ部品に損傷を与えること無く確実に収納させることができる部品分類装置を提供することにある。
本発明の第２の目的は、前記部品分類装置を用いた電子部品特性検査分類装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
前記問題点を解決するために、本発明による請求項１記載の部品分類装置は、
複数の収納箱と、
メッシュ板と吸排出部よりなり前記各収納箱上の仮受位置に配置される仮受手段と、
搬出位置で部品を吸着し前記仮受手段のメッシュ板の一面に部品が対面する位置まで搬送し退避する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルと吸排出部の圧力を制御して部品を仮受手段で受け取り収納箱に落下させる圧力制御手段と、から構成されている。
【０００５】
本発明による請求項２記載の部品分類装置は、請求項１記載の部品分類装置において、
前記吸着ノズルの基部と前記仮受手段は共通の移動ブラケットに支持されて前記搬出位置から仮受位置まで移動可能に設けられ、前記吸着ノズルは前記仮受位置で前記メッシュ板に近接する位置および離脱する位置に移動させられるものである。
【０００６】
本発明による請求項３記載の部品分類装置は、請求項１記載の部品分類装置において、  前記吸排出部に負圧と正圧を選択接続することにより仮受位置からの離脱を可能に構成したことを特徴とするものである。
【０００７】
本発明による請求項４記載の電子部品特性検査分類装置は、
電子部品の特性を検査して分類する装置であって、
供給ホッパから供給された電子部品を供給テーブル上に搭載して回転する供給テーブル部と、
前記供給テーブル上に散在された前記電子部品を撮像して画像処理するためのカメラ部と、
前記電子部品の画像処理した情報に基づいて前記供給テーブルの前記電子部品の搬出位置から前記電子部品を一個づつ吸着し配送位置に搬送配置する供給Ｐ＆Ｐ部と、
前記配送位置で測定テーブル部の測定テーブル上に電子部品を受け取りその特性を測定して分類信号を発生する測定部と、
１以上の収納箱，メッシュ板と吸排出部よりなり前記各収納箱上の仮受位置に配置される仮受手段，前記測定部の搬出位置から電子部品を吸着し前記分類信号により選択された収納箱の前記仮受手段のメッシュ板の一面に電子部品が対面する位置まで搬送し退避する吸着ノズル，および前記吸着ノズルと吸排出部の圧力を制御して電子部品を仮受手段で受け取り収納箱に落下させる圧力制御手段とからなる部品分類部と、を含んで構成されている。
【０００８】
本発明による請求項５記載の電子部品特性検査分類装置は、請求項４記載の電子部品特性検査分類装置において、
前記供給テーブル部の供給テーブルは円環状浅溝を有し、駆動モータの主たる回転方向と逆方向の回転振動を付与し、前記浅溝内の電子部品の重なりを解消するように構成したことを特徴とするものである。
【０００９】
本発明による請求項６記載の電子部品特性検査分類装置は、請求項４記載の電子部品特性検査分類装置において、
前記測定テーブル部の測定テーブルには前記供給Ｐ＆Ｐ部により前記電子部品が搬送される前記測定テーブルの一定の位置に前記電子部品を位置決めするために一対の位置決め爪を有する位置決め機構を設けたことを特徴とするものである。
【００１０】
本発明による請求項７記載の電子部品特性検査分類装置は、請求項４記載の電子部品特性検査分類装置において、
前記測定部に、上電極と前記測定テーブル上の測定される前記電子部品の表面との間隙を一定に保持するために前記測定テーブル表面までの距離を測定する検出器を上電極ホルダと一体に配置して構成されている。
【００１１】
本発明による請求項８記載の電子部品特性検査分類装置は、請求項４記載の電子部品特性検査分類装置において、
前記測定テーブル上に残された検査済みの前記電子部品を強制的に排除するために、
前記測定部の測定テーブルの搬出位置に常時は上方に退避しており、排出時に測定テーブルの搬出位置表面に下降させられる排出斜面を用いた排出爪を設けて、構成したことを特徴とするものである。
【００１２】
本発明による請求項９記載の電子部品特性検査分類装置は、請求項４記載の電子部品特性検査分類装置において、
前記供給Ｐ＆Ｐ部により前記供給テーブルから前記測定テーブルへ電子部品を搬送する経路の下方に前記電子部品を画像処理するためのカメラと照明を設置し、
前記電子部品を前記経路を移動中に撮像し、前記画像処理により前記電子部品の外観を検査するように構成されている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明による請求項１〜３記載の部品分類装置によれば、小形で且つ極薄である質量の小さい部品を前記部品の搬出箇所から収納箇所へ吸着ノズルによって吸着搬送して前記収納箇所に設置された収納箱へ収納することができる。すなわち前記装置により、収納箱へ部品に損傷を与えること無く確実に収納させることができる効果が得られる。
さらに詳しく言えば、請求項１記載の構成によれば、部品を仮受手段で受け取り収納箱に落下させるのであるから、部品は空気により加速されることはなく静かに落下し分類される。
請求項２記載の構成によれば、前記吸着ノズルと前記仮受手段の位置関係は正確に保たれる。
請求項３記載の構成によれば、仮受部からの部品の離脱を確実にすることができる。なお離脱の方向は下方向でない点に留意されたい。
【００１４】
前述のような部品分類装置を組み込んだ分類部を持つ請求項４〜９記載の電子部品特性検査分類装置により、収納箱へ部品に損傷を与えること無く確実に収納させることができる効果が得られる電子部品特性検査分類装置を提供することができる。
さらに詳しく言えば、請求項４記載の構成によれば、水晶振動子片等の電子部品を連続的に、電子部品を損なうことなく、検査分類することができる。
請求項５記載の構成によれば、前記供給テーブル部の供給テーブル上の電子部品の重なりを解消することができる。
請求項６記載の構成によれば、前記測定テーブルの一定の位置に前記電子部品を位置決めすることができる。
請求項７記載の構成によれば、電極間距離を正確に保つことができる。
請求項８記載の構成によれば、残された検査済の部品を確実に排除できる。
請求項９記載の構成によれば、測定前の電子部品の外観の検査が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下図面等を参照して本発明による部品分類装置とこの分類装置を用いた電子部品特性検査分類装置の実施の形態を説明する。
図１は本発明による分類部を組み込んだ電子部品特性検査分類装置の実施例の正面図、図２は、本発明による電子部品特性検査分類装置の実施例で電子部品が供給テーブルの溝にばらまかれた状況を示す平面図、図３は本発明による電子部品特性検査分類装置の実施例の供給テーブル上に設置されたカメラと照明を示す正面図である。
【００１６】
前記実施例は、電子部品の電気特性を検査して分類する装置であって、供給ホッパ１０２から電子部品１０１（図２参照）が供給される。
回転可能に設けられている供給テーブル部１は供給ホッパ１０２から供給された電子部品１０１を搭載して回転する。カメラ・照明部２が供給テーブル部１の供給テーブル１０３上に配置され、供給テーブル１０３上に搭載された電子部品１０１を撮像して画像処理する。
供給Ｐ＆Ｐ部３は、電子部品１０１の画像処理した情報に基づいて供給テーブル１０３の電子部品１０１の取り出し位置から所定の位置に電子部品１０１を一個づつ吸着し搬送配置する。
なおＰ＆Ｐは、PICKUP AND PLACEの略語で当業者に慣用されている。
測定部５は、前記所定の位置で回転テーブル（測定テーブル部４）上に電子部品を受け取りその特性を測定して分類信号を発生する。
【００１７】
部品分類装置（分類部６、図１）は、１以上の収納箱，メッシュ板と吸排出部よりなり前記各収納箱上の仮受位置に配置される仮受手段，測定部５から電子部品１０１を吸着し分類信号により選択された収納箱の前記仮受手段のメッシュ板の一面に部品が対面する位置まで搬送し退避する吸着ノズル６０１（図１２参照），および吸着ノズル６０１と吸排出部６０５（図１２参照）の圧力を制御して部品を仮受手段で受け取り収納箱に落下させる圧力制御手段とから構成されている。
【００１８】
〔部品分類装置の詳細説明〕
以下前述の部品分類装置（分類部６、図１）を図１１〜１４を参照して説明する。
図１１は、本発明による電子部品特性検査分類装置の実施例の測定テーブルと分類部の位置関係を説明するための平面図であり、図１２は図１１に示す測定テーブルと分類部の正面図である。図１１に示すように複数の収納箱６１４がサブベース６１７の上列に配置されており、この内の一つが分類信号により選択される。
図１３は、本発明による部品分類装置が、本発明による電子部品特性検査分類装置に利用された場合の電子部品収納手順を説明するための正面図である。
図１４は図１３図示の装置の図中の矢印Ｙ−Ｙ方向から見た収納箱の断面図である。
図１１、１２と１３に示されている吸着ノズル６０１は、ロータリーシリンダ６０２の出力軸に固定されている。また、吸着ノズル６０１に対向する直線上に吸着機能と排出機能を併せ持つ吸排出孔６０６を有する吸排出部６０５が設けられている。さらにロータリーシリンダ６０２と吸排出部６０５はパルスモータ６１３によって駆動されるタイミングベルト６１１に取り付けられた同一のブラケット５０９に設置されている。すなわち、吸着ノズル６０１と吸排出部６０５は一体的に移動可能に設けられている。また、メッシュ板６１５は各々の収納箱ごとに設けられている。吸着ノズル６０１は、図１１と図１２で示す測定テーブル４０１の位置で電子部品を吸着した後に、図１１の図中下方の分類信号により選択された収納箱６１４の位置に移動する。この動作によって当然、吸排出部６０５も前記の収納箱６１４のメッシュ板６１５の裏面位置に移動する。そして、図１３に示すように、ロータリーシリンダ６０２の回転駆動によって収納箱６１４の右壁上に配置されたメッシュ板６１５のメッシュ部に電子部品を対面させる。
【００１９】
この時に、吸着ノズル６０１に吸着された電子部品はメッシュ板６１５の表面から０．５ｍｍ程度に接近した位置とすることが好ましく、吸排出部６０５の吸排出孔６０６の開口はメッシュ板６１５の裏面から０．５ｍｍ程度に接近した位置とすることが好ましい。また、メッシュ板６１５の小径孔は電子部品の大きさよりも小さい複数の小径孔であり、メッシュ板６１５の板厚は０．５ｍｍ程度に薄いことが好ましい。吸排出部６０５は、ここでは図１１に図示されている真空（吸着エアー６０７）および圧縮空気（排出エアー６０８）の制御装置に接続されている。
【００２０】
前述の関係位置において、吸排出部６０５の吸排出孔６０６の吸着機能をＯＮにした後に吸着ノズル６０１の吸着をＯＦＦとすると、吸着ノズル６０１に吸着されていた電子部品は吸着ノズル６０１から離脱してメッシュ板６１５の表面に吸着される。次に、ロータリーシリンダ６０２の回転駆動によって吸着ノズル６０１を元の位置（図１３に示す想像線の位置）に戻す。そして、吸排出部６０５の吸排出孔６０６の吸着機能をＯＦＦにすると同時に排出機能をＯＮにして電子部品をメッシュ板６１５の表面から離脱させて収納箱６１４内に落下収納させる。次に、タイミングベルト６１１を駆動させて吸着ノズル６０１（同一ブラケット６０９に取り付けられている吸排出部６０５も）を図１１と図１２に示す測定テーブル４０１の位置に戻して、次の分類される電子部品を吸着すべく待機する。
【００２１】
この仮受方式によれば小形で且つ極薄である質量の小さい部品（例えば水晶振動子片）を吸着している吸着ノズルが静電気を帯びていても、部品を吸着搬送して収納箱へ部品に損傷を与えること無く確実に収納させることができる。
【００２２】
〔前記分類装置を用いた電子部品特性検査分類装置の詳細説明〕
先に簡単に説明した電子部品特性検査分類装置の構成をより詳しく説明する。
図１において、供給ホッパ１０２は、電子部品を測定テーブル部４の測定テーブル４０１（図４参照）上に供給するための供給テーブル部１の供給テーブル１０３（図２参照）に電子部品を供給する。
供給テーブル部１は、供給ホッパ１０２から供給されて供給テーブル１０３上に搭載された電子部品を画像処理するためのカメラ・照明部２を備えている。
供給Ｐ＆Ｐ部３は、供給テーブル部１上に搭載された電子部品の画像処理した情報に基づいて供給テーブル部１の電子部品の取り出し位置から電子部品を一個づつ吸着して測定テーブル部４の予め定められた位置へ搬送する。
測定部５の測定テーブル部４に、供給Ｐ＆Ｐ部３により電子部品が搬送され、後述するように、測定テーブル部４の予め定められた位置には電子部品の特性を検査するための下電極を有し、測定テーブル部４の下電極と対になって電子部品の特性を検査するための上電極を有する。
前述の分類装置は、本発明による装置の分類部６として用いられる。分類部６は、前述したように、電子部品を収納するための複数個の収納箱と測定テーブル上の検査済みの電子部品を測定部５において特性検査した結果に基づいて、指定された収納箱へ搬送収納するための機構を有する。
【００２３】
〔供給テーブル部への電子部品の供給と部品情報の取得〕
図２，図３に示すように、振動式の供給ホッパ１０２は、供給テーブル１０３のａの箇所で電子部品１０１を供給テーブル１０３のリング状の溝１０４にばらまくように供給する。
【００２４】
供給テーブルにおける電子部品の重なり除去：
前述のように、供給ホッパ１０２によって供給テーブル１０３の溝１０４上にばらまかれた電子部品１０１の重なりの発生が起こり得る。このような重なりの発生が後述するカメラ２０１により画像処理されると異常の状態と判断して、測定部への搬送が避けられることになり、重なっている電子部品１０１は取り残されることになるから、この重なりを解消させる必要がある。そのため、この供給テーブル１０３を通常反時計方向（図２および図３参照）に回転駆動させているパルスモータ１０５に小刻みに左右回転を行わせて供給テーブル１０３を振動させる。この振動によって重なりを発生している電子部品１０１の重なりを解消させることができる。前述の供給テーブル１０３の溝１０４は電子部品１０１が供給ホッパ１０２によって供給されるのを確実に受け取るためと、この振動によって電子部品１０１が供給テーブル１０３から振り落とされないための深さの浅い溝（電子部品の厚さの２〜３倍に相当）となっている。前述の溝と前述の供給テーブルの振動により重なりが解消される。
【００２５】
電子部品の位置姿勢等情報の取得：
供給テーブル１０３上にカメラ２０１と照明２０２が設置されている（図３参照）。カメラ２０１は、供給テーブル１０３のｂの箇所（図２参照）の直上に配置され、電子部品１０１を撮像し画像処理をする。
パルスモータ１０５（図３参照）は、供給テーブル１０３を反時計方向（図２参照）に回転駆動させる。供給テーブル１０３のｃの箇所（図２参照）に電子部品１０１を吸着搬送するため、供給Ｐ＆Ｐ部３の一部である吸着ノズル３０１が配置されている。
【００２６】
図３に示すようにカメラ２０１によってカメラ２０１の撮像範囲内にある電子部品１０１の撮像画像処理が行われて電子部品１０１の一個一個の供給テーブル１０３における位置・姿勢・重なりの情報が取得される。このようにして、供給ホッパ１０２から供給テーブル１０３の回転によって順次送られて来る全ての電子部品１０１の情報が取得される。これらの情報は図１に示された供給Ｐ＆Ｐ部３の制御部７に与えられ、後述するように、供給テーブル１０３のｃの箇所（図２参照）から供給Ｐ＆Ｐ部３の吸着ノズル３０１によって電子部品１０１は前述の情報に基づいて吸着搬送されて、図１に示された測定テーブル部４に移載される。
【００２７】
〔供給Ｐ＆Ｐ部の動作、測定部への電子部品の移送〕
供給Ｐ＆Ｐ部３は、吸着ノズル３０１を操作し、これにより、供給テーブル１０３から電子部品を測定テーブル４０１に供給する。図４は、これらの位置関係を示している。
吸着ノズル３０１への負圧供給：
吸着ノズル３０１は、回転軸３０２の下端に設けられている。供給Ｐ＆Ｐ部３の基礎構造（支持板Ａ，Ｂ，Ｃが一体に設けられている。）の支持板Ａに設けられた案内用のケース３０３が回転軸３０２を回転および昇降可能に支持している。
回転軸３０２はパイプ状でその上端にロータリー継ぎ手３０８が設けられており、ロータリー継ぎ手３０８に結合されているエアーチューブ３０９は真空発生装置（図示されていない）に接続され、吸着ノズル３０１に負圧が供給される。
【００２８】
吸着ノズル３０１の回転制御：
回転軸３０２には、支持板Ａの上部の位置に、タイミングプーリ３０４Ｂが固定されている。支持板Ａには、さらにパルスモータ３０６が設けられおり、パルスモータ３０６の出力軸にはタイミングプーリ３０４Ａが設けられている。
タイミングプーリ３０４Ｂにはタイミングベルト３０５を介してパルスモータ３０６の回転が伝達される。
【００２９】
吸着ノズル３０１の昇降制御：
供給Ｐ＆Ｐ部３の基礎構造の支持板Ｃには上下用フック３０７に一体に設けられている受板３１１を案内し、これと一体の上下用フック３０７の上下方向の直進を案内する直進ガイド３１０が設けられている。上下用フック３０７は回転軸３０２に連結させられている。
供給Ｐ＆Ｐ部３の基礎構造の支持板Ｂに設けられたパルスモータ３１３の出力軸に揺動バー３１２が固定されている。
パルスモータ３１３の左右回転によって揺動バー３１２は上下揺動運動を行う。
この揺動運動が、受板３１１、上下用フック３０７を介して回転軸３０２に伝達され、結果として吸着ノズル３０１の昇降制御が行われる。
【００３０】
供給Ｐ＆Ｐ部３の基礎構造の水平移動：
前述したように図４に示されたパルスモータ３０６と３１３は基礎構造の基板に一体に設けられており、図示しない駆動源によって図１，４中の左右に駆動可能となっている。
【００３１】
Ｐ＆Ｐ部３の総合動作：
以上のように構成されている供給Ｐ＆Ｐ部３の各駆動源の制御装置に図２に示す供給テーブル１０３のｃの箇所にある電子部品１０１の情報に基づく指令が入力されて、吸着すべき電子部品１０１上に吸着ノズル３０１は移動下降し吸着して上昇し測定テーブル４０１の予め定められた位置に吸着搬送を行う。
さらに、この供給テーブル１０３から測定テーブル４０１への吸着移動中に吸着した電子部品１０１の姿勢情報に基づいて予め定められた姿勢に回転し補正を行う。
なお、電子部品１０１が重なっている場合にはその電子部品１０１はスキップされて供給テーブル１０３に残される。
【００３２】
〔測定部における電子部品の測定〕
図５，６および７は、測定テーブル部４を示す。図５は測定テーブル部４の平面図であり、図６はその側面図である。
測定テーブル４０１はパルスモータ４０３の出力軸に接続されていて回転可能となっている。また、測定テーブル４０１には絶縁材４０５が埋められていて、ここに電子部品の電気特性を検査するための吸着孔付きの下電極４０４が設置されている。
図中ｄに示す箇所に下電極４０４が位置する状態で、電子部品１０１は図４に示す吸着ノズル３０１によって吸着搬送されて測定テーブル４０１の予め定められた位置にある下電極４０４の上に置かれて吸着保持される。
【００３３】
電子部品の位置決め保持機構の１：
測定テーブル４０１には供給Ｐ＆Ｐ部３により電子部品が搬送される測定テーブル４０１の一定の位置に電子部品を位置決めするための位置決め機構が設けられている。
電子部品が図４に示す吸着ノズル３０１によって吸着搬送されて測定テーブル４０１の予め定められた位置にある下電極４０４の上に置かれて吸着保持される時に微妙に位置ずれが発生する。そこで、測定テーブル４０１には、下電極４０４の一定の位置に電子部品を位置決めするための位置決め機構を有している。電子部品を精度良く測定して検査するためにはこの位置決め機構は必要不可欠な要素である。
【００３４】
下電極４０４の上に置かれて吸着保持された電子部品を一定の位置に位置修正を行うための位置決め爪１の４０６と位置決め爪２の４１１が、直交する位置に組み込まれている。これらの位置決め爪は各々独立した爪ホルダ４０７，爪ホルダ４０７を搭載した直進ガイド４０８，直進ガイド４０８を駆動させるためのエアーシリンダ４１０とエアーシリンダ４１０の駆動復帰のための引張ばね４０９で構成されていて同一のブラケット４１２に固定され、測定テーブル４０１上に搭載されている。前述の位置ずれが発生することを予測して、供給Ｐ＆Ｐ部３により電子部品を下電極４０４の上に吸着保持させる位置を位置決め爪１および２に寄せた位置とする。この２つの位置決め爪４０６と４１１を動作させることにより、下電極４０４の上に置かれて吸着保持されている電子部品は常に一定の位置に位置修正される。位置修正の動作完了後、各位置決め爪は元の位置に復帰する。
【００３５】
図７は測定テーブル４０１が定められた３箇所の位置に回転した状態を示す平面図である。図中に示すｄの箇所は前述の電子部品を受け取る位置であり、ｅの箇所は電子部品の電気特性を検査するための下電極４０４と対になる上電極を搭載した図１に示した測定部５が設置される位置であり、ｆの箇所は電気特性の検査完了した電子部品を収納するための図１に示した分類部６に取り出すための搬出位置である。図７の（ａ）は測定テーブル４０１の下電極４０４がｄの箇所にあるときの図で、この状態で電子部品を受け取る。図７の（ｂ）は測定テーブル４０１の下電極４０４がｅの箇所にあるときの図で、この状態で電子部品の電気特性を検査する。図７の（ｃ）は測定テーブル４０１の下電極４０４がｆの箇所にあるときの図で、電気特性の検査完了した電子部品を収納するための図１に示した分類部６に取り出す。図６に示すパルスモータ４０３によって測定テーブル４０１はｄからｅへ、さらにｅからｆへと右回転し、ｆからｄへ左回転して戻り次の電子部品を受け取る。このサイクルを繰り返し行う。
【００３６】
図８は、前述の図７の（ｂ）で説明した測定テーブル４０１のｅの箇所に設置された測定部５の平面図であり、図９は、図８の図中の矢印Ｘ−Ｘ方向から見た測定部５の正面図であり、図１０は、図９の側面図である。
上電極５０１はホルダ５０３に固定されていて、ホルダ５０３は直進ガイド５０６に搭載され、さらに直進ガイド５０６はボールネジ５０９によって上下動するスライドテーブル５０８に搭載されている。ボールネジ５０９はカップリング５１０を介してパルスモータ５１１の出力軸に連結されている。この機構によって、上電極５０１はパルスモータ５１１の回転により上下動を行うことができる。上電極５０１を下降させて上電極５０１が電子部品に接触後も下降をさせてしまったときには、スライドテーブル５０８に搭載されている直進ガイド５０６で逃がし動作をすることができるので電子部品に損傷を与えることがない。
【００３７】
電子部品の表面との間隙を一定に保持するための検出器の配置：
上電極５０１と測定テーブル４０１上の検査される電子部品の表面との間隙を一定に保持して電子部品の電気特性を検査することができる。上電極５０１が搭載されているホルダ５０３に距離測定が可能な検出器５０２（図９参照）を搭載することによって実施する。
【００３８】
電子部品の位置決め保持機構の２：
測定テーブル４０１には供給Ｐ＆Ｐ部３により電子部品が搬送される測定テーブル４０１の一定の位置に電子部品を位置決めするための位置決め機構が設けられていることについては前述したが、これは図１５，１６および１７に示す構成によっても実現できる。
図１５は位置決め機構を示す平面図であり、図１６は図１５中に示す矢印Ｚ１−Ｚ１方向から見た側面図であり、図１７は図１５中に示す矢印Ｚ２−Ｚ２方向から見た側面図である。
【００３９】
前述の図５の説明と同様に、前述の位置ずれが発生することを予測して、供給Ｐ＆Ｐ部３により電子部品を下電極４０４の上に吸着保持させる位置を位置決め爪１の４０６および位置決め爪２の４１１に寄せた位置とする。
測定テーブル４０１のｄ−ｆ線上に４１１の位置決め爪２を持つ機構が搭載されている。この機構は前述の位置決め保持機構の１で説明したものと同じである。位置決め爪２の４１１に直交する位置に位置決め爪１の４０６を持つ機構が測定テーブル４０１の外側から配置されている。
位置決め爪１の４０６は爪ホルダ４０７、爪ホルダ４０７を搭載した直動ユニット４１３で構成されていて、測定テーブル４０１の外側にブラケット４１２で固定されている。
下電極４０４の上で吸着保持されている電子部品は、位置決め爪２の４１１の前進と測定テーブル４０１を左回転させて電子部品を位置決め爪１の４０６に押し当てる方法によって一定の位置に位置修正がされる。ここで、測定テーブル４０１を左回転させる角度は予め算出される位置修正に必要な値である。
【００４０】
検査済み電子部品の強制的排除のための排出機構：
測定テーブル上に残された検査済みの電子部品を強制的に排除する必要がある。
図１８は前述の位置決め機構に測定テーブル上に残された検査済みの電子部品を強制的に排除するための排出機構を配置した平面図であり、図１９は図１８の排出機構の側面図である。測定テーブル４０１が図１８中のｆの位置にある状態で、検査済みの電子部品は分類部６の吸着ノズル６０１（図１１参照）によって吸着されて分類部６へ搬送される。この時に吸着ミスが発生すると電子部品は測定テーブル４０１上に残ってしまう。この残った電子部品の上に次のサイクルで別の電子部品を重ねて置くことになってしまう。この状況を回避するために、残った電子部品を強制的に排除する必要がある。
【００４１】
排出機構の排出爪７０１は爪ホルダ７０２に保持され、爪ホルダ７０２はエアー駆動の直動ユニット７０３に固定され、ブラケット７０４を介して図示されていないベース板に固定されている構成となっている。そして排出機構は図中に示すｅとｆの間でｆに近い位置で且つ測定テーブル上の電子部品の回転する軌跡上で測定テーブル４０１上にある位置決め機構に干渉しない位置に設置されている。検査済みの電子部品が図中に示すｅからｆへ回転してくる時には、排出爪７０１は直動ユニット７０３によって上方へ回避し、電子部品が図中に示すｆの位置に到達すると直動ユニット７０３によって排出爪７０１が測定テーブル４０１の表面に接触する位置に下降する。
なお、排出爪７０１は図示しないばねによって測定テーブル４０１の表面に押し当てられる構造となっている。排出爪７０１の先端は図に示すように斜めにカットされている。
この状態で測定テーブル４０１が図中に示すｆからｄの位置に左回転する時に前述の理由で測定テーブル４０１上に電子部品が残っていると、電子部品は排出爪７０１の斜めのカット面に当たり、このカット面に沿って測定テーブル４０１の外側に排出される。排出された電子部品は測定テーブル４０１の外側に置かれた受箱７０５に収納される。
【００４２】
〔さらに他の画像処理データを取得するカメラの配置〕
前述した電子部品特性検査分類装置において、電子部品を供給Ｐ＆Ｐ部３により供給テーブル１０３から測定テーブル４０１へ搬送される経路の下方に電子部品を画像処理するためのカメラと照明を設置する。電子部品が前記経路を移動中に画像処理により電子部品の外観不良を検査することができる。
【００４３】
図２０は、供給Ｐ＆Ｐ部３により電子部品１０１が供給テーブル部１から測定テーブル部４へ搬送される経路の下方に電子部品を画像処理するためのカメラ８０１と照明８０２を設置した変形例を示す正面図である。
供給Ｐ＆Ｐ部３で吸着された電子部品が図中の測定テーブル部４のｉの箇所へ搬送される経路の移動中のｊの箇所に設置されたカメラ８０１によって撮像画像処理される。画像処理によって電子部品の外観不良が検査されて不良選別を行うことができる。
【００４４】
〔変形例〕以上詳しく説明した実施例について、本発明の範囲内で種々の変形を施すことができる。電子部品の例として水晶振動子の例を示したが、他の電子部品、例えばセラミック発振子の素板の分類にも利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明による分類部を組み込んだ電子部品特性検査分類装置の実施例の正面図である。
【図２】本発明による電子部品特性検査分類装置の実施例で電子部品が供給テーブルの溝にばらまかれた状況を示す平面図である。
【図３】本発明による電子部品特性検査分類装置の実施例の供給テーブル上に設置されたカメラと照明を示す正面図である。
【図４】本発明による電子部品特性検査分類装置の実施例の供給Ｐ＆Ｐ部の正面図である。
【図５】本発明による電子部品特性検査分類装置の実施例の測定テーブル部の平面図である。
【図６】図５に示す測定テーブル部の側面図である。
【図７】図５に示す測定テーブルが定められた３箇所の位置に回転した状態を示す平面図である。
【図８】図５に示す測定テーブルのｅの箇所に設置された測定部の平面図である。
【図９】図８の図中の矢印Ｘ−Ｘ方向から見た測定部の正面図である。
【図１０】図９に示す測定部の側面図である。
【図１１】本発明による電子部品特性検査分類装置の実施例の測定テーブルと分類部の平面図である。
【図１２】図１１に示す測定テーブルと分類部の正面図である。
【図１３】本発明による分類装置の実施例の収納手順を説明するための正面図である。
【図１４】図１３図示の装置の図中の矢印Ｙ−Ｙ方向から見た収納箱の断面図である。
【図１５】本発明による電子部品特性検査分類装置の実施例の測定テーブル部に設けられた位置決め保持機構を示す他の位置決め保持機構の実施例を示す平面図である。
【図１６】図１５中に示す矢印Ｚ１−Ｚ１方向視図である。
【図１７】図１５中に示す矢印Ｚ２−Ｚ２方向視図である。
【図１８】電子部品の排出機構を示す平面図である。
【図１９】図１８の排出機構を示す側面図である。
【図２０】本発明による電子部品特性検査分類装置で画像処理するための他のカメラと照明を示す正面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  供給テーブル部
２  カメラ・照明部
３  供給Ｐ＆Ｐ部
４  測定テーブル部
５  測定部
６  分類部
７  制御部
１０１  電子部品
１０２  供給ホッパ
１０３  供給テーブル
１０４  溝
１０５，３０６，３１３，４０３，５１１，６１３  パルスモータ
２０１，８０１  カメラ
２０２，８０２  照明
３０１，６０１  吸着ノズル
３０２  回転軸
３０３  ケース
３０４Ａ，３０４Ｂ，６１２  タイミングプーリ
３０５，６１１  タイミングベルト
３０７  上下用フック
３０８，６０３  ロータリー継手
３０９，６０４  エアーチューブ
３１０，４０８，５０６，６１０  直進ガイド
３１１  受板
３１２  揺動バー
４０１  測定テーブル
４０２，６１６，６１７  サブベース
４０４  下電極
４０５  絶縁材
４０６  位置決め爪１
４０７，７０２  爪ホルダ
４０９，５０４  引張ばね
４１０  エアーシリンダ
４１１  位置決め爪２
４１２，６０９，７０４  ブラケット
４１３，７０３  直動ユニット
５０１  上電極
５０２  検出器
５０３  ホルダ
５０５  ばね掛け板
５０７  ストッパ
５０８  スライドテーブル
５０９  ボールネジ
５１０  カップリング
５１２  支持板
６０２  ロータリーシリンダ
６０５  吸排出部
６０６  吸排出孔
６０７  吸着エアー
６０８  排出エアー
６１４  収納箱
６１５  メッシュ板
７０１  排出爪
７０５  受箱
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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