(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クラッド層とクラッド層よりも屈折率の高いコア層とを備えて形成されるフィルム状光導波路を有する可撓性の被測定物を、所定の曲率半径で屈曲させた状態で、フィルム状光導波路の光導波損失を測定する方法であって、フィルム状光導波路におけるクラッド層とコア層とがいずれも樹脂の層から形成されたものであり、上記の所定の曲率半径に合わせた半径を有する円柱状測定子を３個、各円柱状測定子の中心軸が同一平面上において平行に配置されるように並設し、被測定物を各隣合う円柱状測定子の間に通して、中央の円柱状測定子の円周の１／２に、両側の円柱状測定子の円周の１／４にそれぞれ接触させるように、被測定物を円柱状測定子の間に架け渡すと共に被測定物を隣合う円柱状測定子で挟み込むことによって、被測定物を３個の円柱状測定子にセットし、前記両側の円柱状測定子に接触させた被測定物の、該円柱状測定子と反対側の表面に、平面状治具の平面部を押し当てて、被測定物の両端部を同一平面上で反対方向を向くようにして、両端部が直線状になるように被測定物を保持し、この状態で被測定物のフィルム状光導波路に光を通過させて光の透過損失を測定することを特徴とする光導波路の損失測定方法。
【請求項２】
被測定物を３個の円柱状測定子にセットした状態で、被測定物の端部に露出するフィルム状光導波路の二つの端部に対向させてそれぞれ受発光装置を配置すると共にフィルム状光導波路を通して光を結合させることによって、光の透過損失を測定することを特徴とする請求項１に記載の光導波路の損失測定方法。
【請求項３】
フィルム状光導波路のコア層に光路を偏向させる偏向器を設けた被測定物を３個の円柱状測定子にセットした状態で、光路が偏向される側において二つの偏向器に対向させてそれぞれ受発光装置を配置すると共にフィルム状光導波路を通して結合させることによって、光の透過損失を測定することを特徴とする請求項１に記載の光導波路の損失測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路を有する可撓性の被測定物について、被測定物を所定の曲率半径で屈曲させた状態で、光導波路の光導波損失を測定する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
クラッド層１とクラッド層１よりも屈折率の高いコア層２とから形成される光導波路３が可撓性を有するものである場合、光導波路３の光導波性能を評価するにあたっては、このような光導波路３を有する可撓性の被測定物４を所定の曲率半径で屈曲させた状態で、光導波損失を測定することが必要である。
【０００３】
そしてこのように所定の曲率半径で屈曲させた状態で光導波路３の光導波損失を測定する方法としては、社団法人  日本プリント回路工業会が平成１６年５月に定めたＪＰＣＡ規格  ＪＰＣＡ−ＰＥ０２−０５−０１Ｓがある（非特許文献１参照）。
【０００４】
この規格によれば、図６（ａ）に示すように、光導波路３を有する被測定物４の中央付近を円筒状治具１１に押し当て、この円筒状治具１１の半径によって曲げの曲率半径を規定しながら９０度曲げた状態で、あるいは図６（ｂ）に示すように、光導波路３を有する被測定物４をＵ字状に屈曲して平行な平板状治具１２の間に配置し、平板状治具１２間の距離で曲げ径を規定して１８０度曲げた状態で、受発光装置を光導波路３の露出する端部に突き当て、光導波路３の一方の端部から光を入射させると共に他方の端部から光を出射させ、光の透過損失を検出することによって、光導波路３の光導波損失を測定するようにしている。またＪＰＣＡ規格ではないが、円柱治具に光導波路３を１回巻き付けた状態で、同様にして光導波損失を測定するというアルファ（α）曲げという方法もある。
【非特許文献１】ＪＰＣＡ規格  ＪＰＣＡ−ＰＥ０２−０５−０１Ｓ「高分子光導波路の試験方法」社団法人  日本プリント回路工業会、平成１７年５月発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら図６（ａ）の方法では、被測定物４を正確に９０度曲げ、かつ被測定物４の直線部を保持するための機構が複雑となるとともに、光導波路３の端部に受発光装置を突き当てて光の強度を測定する際に、受発光装置の光の軸が９０度で交差することになるので、光学系が複雑化するものであった。また、光導波路３の曲がり角度が１直角だけであるので、曲がり損失が小さい光導波路３では光導波損失の測定値が非常に小さくなり、測定精度が不充分になるものであった。
【０００６】
また図６（ｂ）の方法では、各平板状治具１２の内面に被測定物４が密着しているので、光導波路３の端部が２枚の平板状治具１２の内側にあると、光導波路３の端部に受発光装置を位置合わせして対向設置することが困難になるものであった。さらに光導波路３の端部が平板状治具１２の外方に出ている場合でも、光が入出力する光導波路３の端部間の距離が狭いので、受発光装置とその保持治具がぶつかり合わないよう設置するのが困難になるという問題を有するものであった。また、光導波路３の曲がり角度が２直角であるので、上記図６（ａ）の方法よりは光導波損失の測定精度を改善することができるが、曲がり損失がより小さい光導波路３では、測定精度が不充分になるものであった。
【０００７】
さらに、アルファ曲げの方法では、曲がり角度を４直角とることができるので、曲がり損失が小さい光導波路３においても高い測定精度を実現できるものの、光導波路３がファイバー状の場合は光導波路３に捻りが加わらないよう設置に工夫が必要であり、また光導波路３が厚みに比べて幅が著しく広いフィルム状の場合は、円柱治具に対して斜めに巻き付けることになり、フィルム幅が広くなるほどフィルムの曲がり径が円柱径よりも大きくなり、円柱径だけではフィルムの曲がり径を規定できないという問題があった。
【０００８】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、簡易な方法で４直角分の曲げ角度を実現することができ、光導波損失の測定精度を向上することができると共に、測定に必要な受発光装置の設置が容易になる、光導波路の曲がり状態での光導波損失測定方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の請求項１に係る光導波路の損失測定方法は、クラッド層１とクラッド層１よりも屈折率の高いコア層２とを備えて形成されるフィルム状光導波路３を有する可撓性の被測定物４を、所定の曲率半径で屈曲させた状態で、フィルム状光導波路３の光導波損失を測定する方法であって、フィルム状光導波路３におけるクラッド層１とコア層２とがいずれも樹脂の層から形成されたものであり、上記の所定の曲率半径に合わせた半径を有する円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃを３個、各円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの中心軸が同一平面上において平行に配置されるように並設し、被測定物４を各隣合う円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの間に通して、中央の円柱状測定子５ａの円周の１／２に、両側の円柱状測定子５ｂ，５ｃの円周の１／４にそれぞれ接触させるように、被測定物４を円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの間に架け渡すと共に被測定物４を隣合う円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃで挟み込むことによって、被測定物４を３個の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃにセットし、前記両側の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃに接触させた被測定物４の、該円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃと反対側の表面に、平面状治具１５の平面部を押し当てて、被測定物４の両端部を同一平面上で反対方向を向くようにして、両端部が直線状になるように被測定物４を保持し、この状態で被測定物４のフィルム状光導波路３に光を通過させて光の透過損失を測定することを特徴とするものである。
【００１０】
また請求項２の発明は、請求項１において、被測定物４を３個の円柱状測定子３ａ，３ｂ，３ｃにセットした状態で、被測定物４の端部に露出するフィルム状光導波路３の二つの端部に対向させてそれぞれ受発光装置６を配置すると共にフィルム状光導波路３を通して光を結合させることによって、光の透過損失を測定することを特徴とするものである。
【００１１】
また請求項３の発明は、請求項１において、フィルム状光導波路３のコア層２に光路を偏向させる偏向器７を設けた被測定物４を３個の円柱状測定子３ａ，３ｂ，３ｃにセットした状態で、光路が偏向される側において二つの偏向器７に対向させてそれぞれ受発光装置６を配置すると共にフィルム状光導波路３を通して発光・受光させることによって、光の透過損失を測定することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、３個の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃに被測定物４をセットすることによって、中央の円柱状測定子５ａで被測定物４を２直角の角度で、両側の円柱状測定子５ｂ，５ｃで被測定物４をそれぞれ１直角ずつ曲げることができ、フィルム状光導波路３を４直角分の曲げ角度で曲げた状態で光導波損失を測定することができるものであり、測定精度を向上することができるものである。しかも円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃへの被測定物４のセットは、平行に配置した３個の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃに被測定物４を通して挟み込むだけでよく、簡易な方法で測定を行なうことができると共に、フィルム状光導波路３の両端部は相互に反対方向を向くことになるので、測定に必要な受発光装置の設置が容易になるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００１５】
光導波路３は一般に、クラッド層１の内部にクラッド層１よりも屈折率の高いコア層２を設けて形成されるものであり、本発明において測定の対象とする、光導波路３を有する被測定物４としては、クラッド層１及びコア層２の断面が円形の光ファイバーや、その光ファイバーをシート状物に接着あるいは埋め込んだ形の光ファイバーシート、更に、コア層２の断面が矩形や台形など、円形ではないポリマ光導波路や、その光導波路をシート状物に接着あるいは埋め込んだ形の光導波路付き基板など、可撓性を有するものであれば制限されることなく被測定物４とすることができるものである。
【００１６】
特に、クラッド層１とコア層２が共に透明樹脂の層で形成される光導波路３を被測定物４として用いるのが好ましい。クラッド層１やコア層２を形成する樹脂としては、一般的な熱可塑性樹脂や、硬化性樹脂や、珪素等の金属元素と有機成分が分子内で複合化された有機無機ハイブリッドと呼ばれるものなど用いることができるものである。ここで、ガラス系の光ファイバは細いためにある程度の可撓性を持っているが、４直角分の曲げ角度で、また小さい曲率半径で曲げようとすると破壊され易いので、本発明の測定方法に適用するのは好ましくない。一方、樹脂で形成された光導波路３は、４直角分の曲げ角度で曲げても、また小さい曲率半径で曲げても、容易に破壊されることはないので、本発明の測定方法に適用する被測定物４として好ましいものである。
【００１７】
図１は上記のような光導波路３を有する可撓性の被測定物４を所定の曲率半径で４直角分曲げた状態で、光導波路３の光導波損失を測定する方法の一例を示すものであり、被測定物４を曲げる曲率半径と同じ半径を有する３個の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃを用いる。そして、この３個の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃを、各円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの中心軸が一つの平面上において平行になるように、並設し、被測定物４を各隣合う円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの間に通して、被測定物４を３本の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの間に架け渡し、この状態で３本の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃを相互に押し付け合うようにして、被測定物４を隣合う円柱状測定子３本の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃで挟み込むことによって、中央の円柱状測定子５ａの一方側の外周面に沿わせて円周の１／２に接触させると共に、両側の円柱状測定子５ｂ，５ｃの他方側の外周に沿わせて円周の１／４にそれぞれ接触させる。
【００１８】
このようにして被測定物４を３個の円柱状測定子３本の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃにセットするものであり、中央の円柱状測定子５ａで被測定物４を２直角の角度で、両側の円柱状測定子５ｂ，５ｃで被測定物４をそれぞれ１直角ずつ曲げることができ、被測定物４の一方の端から他方の端までの間で、光導波路３を４直角分の曲げ角度で曲げることができるものである。このとき必要に応じて、図１に示すように、両側の円柱状測定子５ｂ，５ｃに接触させた被測定物４の、円柱状測定子５ｂ，５ｃと反対側の表面に、平面状治具１５の平面部を押し当てることによって、両側の円柱状測定子５ｂ，５ｃの外方へ突出する被測定物４の両端部が直線状になるように保持するのが好ましく、被測定物４の両端部を同一平面上で反対方向を向くようにすることができるものである。
【００１９】
しかして、上記のように被測定物４を３個の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃにセットした状態で、被測定物４の一方の端部に位置する光導波路３の端部から光を入射させると共に被測定物４の他方の端部に位置する光導波路３の端部から光を出射させるようにして光導波路３に光を通過させ、光の通過損失を計測することによって、光導波路３が４直角で曲がった状態での全損失（挿入損失ともいう）を測定することができるものである。そして事前に、被測定物４を真っ直ぐにして、光導波路３が真っ直ぐな状態での全損失を測定しておき、曲がった状態での全損失との差を求めることで、円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの曲率半径で４直角曲げた光導波路３における、曲がりによる光導波損失を求めることができるものである。尚、光導波路３は円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの中心軸と直交する方向に配置されている必要はなく、円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの中心軸と斜めに交差するように配置されていても、また曲がって蛇行などしていてもよい。
【００２０】
図２は本発明の実施の形態の他の一例を示すものであり、光導波路３のコア層２の両端面が被測定物４の両端部において露出するものについて、光導波路３の曲がりによる光導波損失を測定するようにしたものである。３個の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃへの被測定物４のセットは上記と全く同様にして行なわれるものであり、そして、被測定物４の両端部に露出する光導波路３の各端面に対向させて受発光装置６が配置してある。受発光装置６は発光装置６ａと受光装置６ｂからなるものであり、発光装置６ａを光導波路３の一方の端部の端面に接触又は近接させると共に受光装置６ｂを光導波路３の他方の端部の端面に接触又は近接させ、光導波路３を通して受発光装置６の光を結合させるようにしてある。光導波路３の両端部は相互に反対方向を向いているので、受発光装置６の設置が容易になるものである。
【００２１】
ここで、発光装置６ａとしては、発光ダイオードやレーザダイオードなどの発光素子そのものを用いることができるが、発光素子から光を導く光ファイバ（レンズ付きも含む）であってもよく、また発光素子からの空間光を集光するレンズであってもよい。発光装置６ａが発光素子や光ファイバである場合は、光のロスを抑えるために、光導波路３のコア層２の端面に出来るだけ近づけるか接触させる必要があり、発光装置６ａが集光レンズである場合は、その焦点距離に応じて１〜２ｃｍ程度の近接で光導波路３に光を入射させることができる。
【００２２】
また受光装置６ｂとしては、フォトダイオードやフォトトランジスタなどの受光素子を用いることができるが、受光素子に光を導く光ファイバ（レンズ付きも含む）であってもよく、また受光素子へ光を集光するレンズであっても良い。受光装置６ｂが受光素子や光ファイバである場合は、光のロスを抑えるために、光導波路３のコア層２の端面に出来るだけ近づけるか接触させる必要があり、受光装置６ｂが集光レンズの場合は、その焦点距離に応じて１〜２ｃｍ程度の近接で、光導波路３からの出射光を受光装置６ｂに受光することができる。
【００２３】
また、平面状治具１５を押し当てて被測定物４の両端部の直線部分を保持する場合には、図２に示すように、平面状治具１５の端部から被測定物４の両端部が外方へ突出する程度に配置すると、光導波路３の平面状治具１５から外方へ飛び出す両端面に対して受発光装置６を近接あるいは接触させて位置合わせすることが容易になるので、好ましい。
【００２４】
そして、発光装置６ａから光導波路３の一方の端部に光を入射させると共に、光導波路３を通過した光を光導波路３の他方の端部から出射させて受光装置６ｂに受光させ、入射光の強度と出射光の強度の差を光の通過損失として計測することによって、光導波路３が４直角で曲がった状態での全損失を測定することができるものである。そして事前に、被測定物４を真っ直ぐにして、光導波路３が真っ直ぐな状態での全損失を受発光装置６で同様にして測定しておき、曲がった状態での全損失との差を求めることで、円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの曲率半径で４直角曲げた光導波路３における、曲がりによる光導波損失を求めることができるものである。
【００２５】
図３は本発明の実施の形態の他の一例を示すものであり、光導波路３の両端部のコア層２に偏向器７を設け、光導波路３の長手方向に対して光路を偏向させた状態で、光導波路３に光を入射・出射させるようにしたものについて、光導波路３の曲がりによる光導波損失を測定するようにしたものである。このように偏向器７で光路を偏向させることによって、光導波路３の長手方向と垂直な方向での被測定物４の表面を通して、光導波路３に光を入射・出射させることができるものであり、被測定物４の表面において光導波路３の両端部に設けた各偏向器７に対向する位置に、受発光装置６を接触又は近接させて配置することができるものである。受発光装置６の設置は、このように被測定物４の広い表面に配置して容易に行なうことができるものである。
【００２６】
ここで偏向器７はマイクロミラーやグレーティングなどで形成されるものであり、光導波路３を通過する光の進行方向を曲げることができるものである。設計によって光の曲がり角度を変えることができるが、偏向器７の主な使用目的は、偏向器７の直上に表面実装型の受発光素子６を搭載できるようにすることにあるので、光を曲げる角度は９０度が好ましい。図３の実施の形態では、光導波路３の同じ面に向かって光路を曲げるように偏向器７を形成したが、逆の面に向かって光路を曲げるように偏向器７を形成してもよい。また、可撓性を持つ何らかの基板に、光導波路３が一体化されていて、かつ、その基板が光導波路３のコア層２を導通する光の波長に於いて透明性の高いものである場合には、この基板を透過する方向に偏向器７で光路を曲げるようにしてもよい。
【００２７】
また受発光装置６としては上記のような発光装置６ａ及び受光装置６ｂを用いることができるものであり、発光装置６ａが発光素子や光ファイバである場合は、光のロスを抑えるために、偏向器７の真上の被測定物４の表面に出来るだけ近づけるか接触させる必要があり、発光装置６ａが集光レンズである場合は、その焦点距離に応じて１〜２ｃｍ程度の近接で偏向器７に光を入射させることができる。受光装置６ｂが受光素子や光ファイバである場合は、光のロスを抑えるために、偏向器７の真上の被測定物４の表面に出来るだけ近づけるか接触させる必要があり、受光装置６ｂが集光レンズの場合は、その焦点距離に応じて１〜２ｃｍ程度の近接で、偏向器７からの出射光を受光装置６ｂに受光することができる。
【００２８】
被測定物４は上記と同様にして、３本の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃにセットされるものであり、このとき偏向器７を設けた光導波路３の両端部が両側の円柱状測定子５ｂ，５ｃより外方へ突出するように、被測定物４のセットを行なうものである。そして、発光装置６ａから一方の端部の偏向器７に光を入射させると、光路が偏向されて光導波路３内を光が通過し、他方の端部の偏向器７で光路が偏向されて光導波路３から光が出射して、受光装置６ｂで受光されるものであり、入射光の強度と出射光の強度の差を光の通過損失として計測することによって、光導波路３が４直角で曲がった状態での全損失を測定することができるものである。そして事前に、被測定物４を真っ直ぐにして、光導波路３が真っ直ぐな状態での全損失を受発光装置６で同様にして測定しておき、曲がった状態での全損失との差を求めることで、円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの曲率半径で４直角曲げた光導波路３における、曲がりによる光導波損失を求めることができるものである。
【００２９】
尚、上記の図２及び図３の実施の形態のものを併用することも可能である。すなわち、光導波路３の一方の端部の端面を被測定物４の端部において露出させ、この露出する光導波路３の端面に受発光装置６を図２のように対向配置すると共に、光導波路３の他方の端部に偏向器７を設け、この偏向器７に対向させて受発光装置６を図３のように配置し、これらの受発光装置６で光導波路３の光導波損失を測定することができるものである。
【実施例】
【００３０】
次に、本発明を実施例によって具体的に説明する。
【００３１】
（実施例１）
直径２４０μｍのコア層２と、直径２５０μｍのクラッド層１からなるプラスチック光ファイバー（三菱レイヨン（株）製「ＳＫ−１０」）を、光導波路３を有する被測定物４として用い、長さ１０ｃｍにカットした。
【００３２】
そしてまず、この１０ｃｍのプラスチック光ファイバＡを平板の表面に粘着テープで直線状に貼り付け、プラスチック光ファイバＡの一方の端部に露出したコア層２に、コア径５０μｍの光ファイバーをマッチングオイルを介して接続し、またプラスチック光ファイバＡの他方の端部に露出したコア層２に、マッチングオイルを介してコア径５００μｍの光ファイバーを通してパワーメータを接続した。そして波長８５０ｎｍの光をコア径５０μｍの光ファイバーを通してプラスチック光ファイバＡのコア層２に入射させ、出射する光の強度をパワーメータで測定し、光導波損失を評価したところ０．４ｄＢであった。
【００３３】
次に、直径１０ｍｍ長さ５ｃｍのピンゲージを３本、円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃとして用い、図４に示すように、クリップ１７で３本の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの両端部を挟むことによって、各円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃが同一平面上において平行に配置されるようにし、隣合う円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃ間にプラスチック光ファイバＡを通して、３本の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃ間の距離がプラスチック光ファイバＡの厚みになるまで押し付けて固定した。そして、平面状治具１５の上に、傾きを防止する目的でプラスチック光ファイバＡと同じ光ファイバＡ′を左右２本、粘着テープで貼り付け、その間の中央部分に、クリップ１７で固定したプラスチック光ファイバＡを置き、上記と同様にして波長８５０ｎｍの光での、光導波損失を測定したところ０．７ｄＢであった。
【００３４】
この実施例１のように、可撓性を有する光ファイバについて、曲率半径５ｍｍで４直角分曲がった状態での、曲がり損失を簡易に測定することができるものである。
【００３５】
（実施例２）
光導波路３のコア層２にマイクロミラーによる偏向器７を設けた可撓性を有する被測定物４を以下のようにして作製した。
【００３６】
まず両面に１２μｍ厚の銅箔を貼った５０μｍ厚のポリイミド基板の、片側の銅箔をエッチング除去し、その面に２０μｍ厚のエポキシ樹脂フィルム材料を真空ラミネートすると共にエポキシ樹脂フィルム材料の全面を硬化させた後、酸素プラズマ処理して可撓性を有するクラッド層１を形成した。次に、このグラッド層１の表面に８０μｍ厚の光硬化性エポキシ樹脂フィルム材料を真空ラミネートし、パターン露光して露光部分を硬化させると共に、現像を行なって未硬化部分を除去することによって、幅８０μｍの直線状のコア層２を形成した。次に、５０００番の砥粒の先端角９０度のブレードが装着されたダイシングマシンで、コア層２の長手方向と直角にコア層２の表面から８５μｍの深さまでブレードを入れ、１０ｃｍの間隔で２本のマイクロミラー用Ｖ溝を形成した。さらにこのＶ溝の表面に研削による凹凸をエキシマレーザーでスムージングしたのち、Ｖ溝部分のみにメタルマスク越しに金を真空蒸着することよって、マイクロミラーによる偏向器７をコア層２に設けた。この後、コア層２の上から上記のクラッド層１の表面に、酸素プラズマ処理された１２μｍ厚ポリイミドフィルムをベースフィルムとする１００μｍ厚エポキシ樹脂フィルム材料を真空ラミネートし、エポキシ樹脂フィルム材料を全面硬化することによって、クラッド層１を形成し、二層のクラッド層１間にコア層２を設けると共にコア層２に偏向器７を設けた光導波路３を形成した（図３の光導波路３の構成参照）。そして銅箔にプリント配線加工を行ない、偏向器７の直上部には銅箔が残らないようなパターンで、電気回路を形成して、被測定物４を作製した。
【００３７】
そしてまず、この被測定物４を電気回路形成面を上にして平板の表面に粘着テープで貼り付け、被測定物４の一方の偏向器７の箇所において被測定物４の電気回路形成面に垂直にコア径５０μｍの光ファイバー（発光装置６ａ）をマッチングオイルを介して接続し、また被測定物４の他方の偏向器７の箇所において被測定物４の電気回路形成面に垂直にマッチングオイルを介してコア径５００μｍの光ファイバー（受光装置６ｂ）を通してパワーメータを接続した（図５（ｃ）参照）。そして波長８５０ｎｍの光をコア径５０μｍの光ファイバーを通して光導波路３に入射させると共に、出射する光の強度をパワーメータで測定し、光導波損失を評価したところ３．５ｄＢであった。
【００３８】
次に、直径４ｍｍ長さ５ｃｍのピンゲージを３本、円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃとして用い、図５（ａ）（ｂ）に示すように、クリップ１７で３本の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃの両端部を挟むことによって、各円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃが同一平面上において平行に配置されるようにし、隣合う円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃ間に被測定物４を通して、３本の円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃ間の距離が被測定物４の厚みになるまで押し付けて固定した。そして、平面状治具１５の上に、傾きを防止する目的で被測定物４と同じ被測定物４′を左右２枚、粘着テープで貼り付け、その間の中央部分に、クリップ１７で固定した被測定物４を置き、図５（ｃ）に示すように、上記と同様にして波長８５０ｎｍの光での、光導波損失を測定したところ３．９ｄＢであった。
【００３９】
この実施例２のように、可撓性を有する光導波路形成板について、曲率半径２ｍｍで４直角分曲がった状態での、曲がり損失を簡易に測定することができるものである。
【００４０】
そして上記の実施例１，２を基にして、円柱状測定子５ａ，５ｂ，５ｃへの被測定物４の設置や被測定物４の非曲がり部分を直線に保持する工程、損失を測定する工程等を、自動化することで、検査工程を自動化することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示す正面図である。
【図２】本発明の他の実施の形態の一例を示す正面図である。
【図３】本発明のさらに他の実施の形態の一例を示す正面図である。
【図４】実施例１の工程を説明するものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図５】実施例２の工程を説明するものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図である。
【図６】従来例を示すものであり、（ａ）（ｂ）はそれぞれ正面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  クラッド層
２  コア層
３  光導波路
４  被測定物
５ａ，５ｂ，５ｃ  円柱状測定子
６  受発光装置
７  偏向器
【図１】
0005237526.tif 000002
【図２】
0005237526.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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