(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面と、第２主面と、前記第１主面に設けられた第１開口から前記第２主面に設けられた第２開口まで貫通する流路とを有するアルミナ質焼結体からなる流路部材、
前記流路部材の前記第２主面の側に配置された、前記流路部材を介して供給されたインクを加圧する加圧機構、
および前記第２主面の側に配置された、加圧されたインクを吐出するインク吐出口が設けられた記録素子基板とを備えるインクジェットヘッド構造体であって、
前記流路部材の前記第２開口は一方向に沿って長い長尺状であり、前記第1開口の前記一
方向に沿った径に対して、前記第２開口の前記一方向に沿った径がより大きく、
前記流路の内面は、前記第１開口から前記第２開口に近づくにつれて前記第２開口の前記一方向に沿った端部に近づくように傾斜した斜面部と、前記斜面部よりも前記第２開口の側に配置されて前記斜面部に連なる、前記第２主面に対して略平行で前記第２主面の側に露出する平行部と、前記第２主面と前記平行部との間に配置されて前記第２主面に連なる、前記第２主面に垂直な壁面部と、前記平行部と前記壁面部との間に設けられた凹曲面とを有しており、
前記インク吐出口は前記記録素子基板に一方向に沿って複数設けられており、前記流路部材の前記平行部は、前記一方向に沿った最端部の前記インク吐出口に対して、前記一方向に沿ってより外側に配置されていることを特徴とするインクジェットヘッド構造体。
【請求項２】
前記平行部を含む仮想平面と前記第２主面とが交差する角度が２０°以内であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド構造体。
【請求項３】
前記凹曲面の曲率半径が０．０５〜１ｍｍであることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド構造体。
【請求項４】
前記加圧機構は、前記インクを加熱して気化させるように構成されたインク加熱手段を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットヘッド構造体。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッド構造体と、
前記流路部材の前記流路に供給されるインクを収容するように構成されたインクタンクと、
記録媒体を、前記インク吐出口と対向させて搬送するように構成された搬送機構と、
を備えて構成されたインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路部材、インクジェットヘッド構造体、およびインクジェット記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、記録紙に文字や画像を印刷する手段として、例えばインクジェット方式の記録装置が用いられている。近年、画像出力の高精度化とともに、印字密度の高密度化が求められるようになっている。インクジェット方式の記録装置に搭載されるインクジェットヘッド構造体には、インク滴を記録紙に向けて吐出、飛翔させる加圧機構として、発熱抵抗体の発する熱エネルギーを利用したものや、圧電素子の変形を利用したもの、さらには電磁波の照射に伴って発生する熱を利用したもの等がある。インクジェットヘッド構造体は、一般的に、インクタンクから加圧機構へとインクを導く流路部材を備えて構成されている。
【０００３】
従来の流路部材の一例が、例えば特許文献１に記載されている。例えば特許文献１に記載の流路部材は流路を有し、比較的小さな入口側開口より注入されたインクが流路を通り、一方向に長い出口側開口から吐出する構造となっている。図１２は特許文献１の流路部材の平面図、図１３（ａ）は図６のＢ−Ｂ１線における断面図、（ｂ）は（ａ）のＸ部の拡大断面図である。長穴７０の長手方向の両端には、流路部材１０１の主面に垂直な端面６４、それに連続して斜面部５６がつづき、小穴５４につながっている。小穴５４より注入されたインクは、流路５７に蓄積され長穴７０から吐出する構造となっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば特開２００３−１７５６０７号公報に記載されているような流路部材を作製する場合、まず、セラミック原料粉末をプレス成形して、流路部材に対応する形状の成形体を得る。このプレス成形によって得た成形体は、小穴５４の近傍に対応する部分では、セラミック粒子の密度（生密度という）が比較的大きい。しかし、端面６４の近傍に対応する部分においては、生密度が比較的低くなる場合があった。これは、プレス成形における成形圧が、斜面部５６に対応する部分で分散してしまうためと考えられる。このような生密度のばらつきが成形体中に生じた場合、成形体を焼成した後に得られる流路部材は、長穴７０の寸法精度が、比較的低くなる場合があった。本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記に鑑みて、本発明は、第１主面と、第２主面と、前記第１主面に設けられた第１開口から前記第２主面に設けられた第２開口まで貫通する流路とを有するアルミナ質焼結体からなる流路部材、前記流路部材の前記第２主面の側に配置された、前記流路部材を介して供給されたインクを加圧する加圧機構、および前記第２主面の側に配置された、加圧されたインクを吐出するインク吐出口が設けられた記録素子基板とを備えるインクジェットヘッド構造体であって、前記流路部材の前記第２開口は一方向に沿って長い長尺状であり、前記第1開口の前記一方向に沿った径に対して、前記第２開口の前記一方向に沿った径がより大きく、前記流路の内面は、前記第１開口から前記第２開口に近づくにつれて前記第２開口の前記一方向に沿った端部に近づくように傾斜した斜面部と、前記斜面部よりも前記第２開口の側に配置されて前記斜面部に連なる、前記第２主面に対して略平行で前記第２主面の側に露出する平行部と、前記第２主面と前記平行部との間に配置されて前記第２主面に連なる、前記第２主面に垂直な壁面部と、前記平行部と前記壁面部との間に設けられた凹曲面とを有しており、前記インク吐出口は前記記録素子基板に一方向に沿って複数設けられており、前記流路部材の前記平行部は、前記一方向に沿った最端部の前記インク吐出口に対して、前記一方向に沿ってより外側に配置されていることを特徴とするインクジェットヘッド構造体を提供する。
【０００６】
なお、前記平行部を含む仮想平面と前記第２主面とが交差する角度が２０°以内であることが好ましい。
【０００８】
また、前記凹曲面の曲率半径が０．０５〜１ｍｍであることが好ましい。
【００１０】
また、前記加圧機構は、前記インクを加熱して気化させるように構成されたインク加熱手段を備えることが好ましい。
【００１２】
本発明は、また、インクジェットヘッド構造体と、前記流路部材の前記流路に供給されるインクを収容するように構成されたインクタンクと、記録媒体を、前記インク吐出口と対向させて搬送するように構成された搬送機構と、を備えて構成されたインクジェット記録装置を、併せて提供する。
【発明の効果】
【００１３】
前記流路部材は、比較的高い寸法精度を得ることができ、その結果、優れたインクジェットヘッド構造体を得ることができる。また、比較的安定してインク滴を吐出させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の流路部材、及びそれを用いたインクジェットヘッド構造体について、以下に説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施形態のセラミック製の流路部材の平面図である。図２（ａ）は図１の流路部材のＡ−Ａ１線における断面図、（ｂ）および（ｃ）は（ａ）のＹ部を拡大した拡大断面図である。
【００１６】
本実施形態の流路部材１は、矩形板状などの板状体である。流路部材１には、第１の主面２２の側に小穴１３が設けられており、この小穴１３から第２の主面２４に設けられた長尺の開口２７まで通じる流路１０が形成されている。流路１０の内面は斜面部２６を備え、流路１０は、第１の主面２２の側から第２の主面２４の側に向かって、一方向に沿って拡径している。流炉１０の第１の主面２２の側の小穴１３の径に対して、流路１０の第２主面２４の側の開口２７の径は、より大きい。本実施形態においては、開口２７の径とは、開口２７の長手方向に沿った径をいう。なお、開口２７の短手方向に沿った径が、この短手方向に沿った小穴１３の径よりも大きくてもよい。
【００１７】
本実施形態の流路部材１は、流路１０の内面に、第２の主面２４に対して略平行で第２の主面２４側に露出する平行部３２を有している。第２の主面２４側に露出しているとは、第２の主面２４に略垂直な方向から平面視した際、平行部３２が視認される状態をいう。流路１０は、１つの流路部材１に複数設けられており、各流路１０は隔壁１１によって分離されている。流路部材１０の内面は、開口２７の両端部近傍に、第２の主面２４に垂直な壁面部３４と、これに連続し他主面２４に略平行な平行部３２とを有している。平行部３２は斜面部２６よりも第２の主面２４に対してより平行に近いものである。
【００１８】
図２（ａ）にはＹ部が２つ図示されており、図２（ｂ），（ｃ）は図２（ａ）の左側のＹ部を拡大したものである。流路部材１０の内面は、右側のＹ部にも同様に壁面部３４、平行部３２および斜面部２６を有している。
【００１９】
壁面部３４と他主面２４とのなす角度をａ、平行部３２と他主面２４とのなす角度をｂ、斜面部２６と他主面２４とのなす角度をｃとする。流路部材１では、絶対値でａ＞ｃ＞ｂの関係となっている。図２（ｃ）において、角度ｂは、他主面２４に平行な面（点線Ｌ１）と、平行部３２に平行な面（点線Ｌ２）との角度で図示されている。なお、Ｙ部の形状は、図２（ｂ）に示した形状に限られない。例えば、図３の（ａ）のように平行部３２と斜面部２６の境界がＲ面である場合や、図３（ｂ）のように平行部３２と壁面部３４のなす角度が鋭角である場合であっても良い。
【００２０】
流路部材１を形成するセラミックスの材質は、アルミナ質焼結体、ジルコニア質焼結体、窒化珪素質焼結体、炭化珪素質焼結体、ムライト質焼結体、フォルステライト質焼結体、ステアタイト質焼結体、コージライト質焼結体等のセラミックス焼結体、あるいは単結晶サファイアを用いることができる。これらの中でも安価に製造することが可能なアルミナ質焼結体からなることが好ましい。
【００２１】
図４は、本実施形態の一実施形態の流路部材１の作製方法について説明する概略断面図である。まず図４（ａ）に示されるように、セラミックスの原料粉体７２を、金型７０Ａと７０Ｂとでプレス成形する。この際、小穴１３を形成する部分に相当する金型の表面粗さを、算術平均粗さ（Ｒａ）で例えば０．０５以下とし、例えば６０〜１００ＭＰａの成形圧力で一軸加圧成形する。このプレス成形により、図４（ｂ）に示すような成形体７４を得る。この後、この成形体７４を、例えば１５００〜１８００℃の温度で焼成して、図４（ｃ）に示す流路部材１を得ることができる。
【００２２】
本実施形態では、金型内に充填されたセラミックスの原料粉体７２に対し、一主面２２に対応する側と他主面２４に対応する側から挟むように圧力（図中矢印Ｌで示す）を加える。作製する流路部材１の流路部材１０は、開口２７の両端部近傍に、他主面２４に垂直な壁面部３４と、これに連続し他主面２４に略平行な平行部３２とを有している。金型７０Ｂの形状も、この作製する流路部材１の形状に即した形状となっている。
【００２３】
本実施形態では、金型から原料粉体に加えられた圧力は、開口２７の両端部近傍に対応する部分Ｍにおいては、平行部３２に対応する平行部分７８に対して略垂直に印加される。この部分Ｍに印加される圧力の損失は、比較的少ない。このため、図４（ｂ）に示す成形体７４では、上記部分Ｍにおいて、原料粉体７２を構成するセラミック粒子の密度のバラツキが比較的少なく、かつ比較的高い密度となっている。
【００２４】
このプレス成形の際、斜面部２６に対応する斜面部分７６においては、図中の矢印Ｎで例示するような圧力の分散が起こり易い。このため、斜面部分７６の近傍においては、原料粉体７２を構成するセラミック粒子（図示せず）の一部が、この分散された圧力によって比較的移動し易い。
【００２５】
本実施形態では、プレス成形の際、上述のように、開口２７の両端部近傍に対応する部分Ｍにおいて、原料粉体７２を構成するセラミックス粒子に充分な圧力が印加される。このため、この部分Ｍにおいて、プレスによる圧力印加方向（図中の矢印Ｌの方向）以外へのセラミック粒子の移動が、抑制されている。本実施形態では、プレス成形の際、斜面部分７６からのセラミック粒子の移動も、この部分Ｍ（すなわち、圧力が充分に印加されている部分）によって抑制される。その結果、本実施形態において得られる図４（ｂ）に示す成形体７４は、セラミック粒子の密度のばらつきが比較的小さい。
【００２６】
一方、例えば図１２（ａ）および（ｂ）に示すような、従来の流路部材に対応する金型でプレス成形した場合、プレス成形の際、斜面部分における圧力の分散によって、原料粉体を構成するセラミック粒子が比較的自由に移動し易い。この場合、成形体におけるセラミック粒子の密度は、比較的大きくばらついたものとなり易い。セラミック粒子の密度がばらついた状態の成形体を焼成した場合、焼成時、この密度のばらつきに応じた変形が比較的起こり易い。この場合、焼成後の流路部材の形状は、金型に対応する形状に対し比較的大きく相違したものとなる。これに対し、本実施形態では、プレス成形によって得られる成形体７４は、セラミック粒子の密度のばらつきが比較的小さい。本実施形態では、金型形状に比較的高精度に対応した形状を有する、図４（ｃ）に示す流路部材１を得ることができる。
【００２７】
本実施形態では、また、平行部３２を設けることにより、部分Ｍに充分な大きさの圧力を印加し、Ｙ部におけるセラミック粒子の密度を比較的高くすることができる。本実施形態の流路部材１は、例えばＹ部の開気孔が比較的少なく、インクに対する耐食性も比較的高い。流路部材１は、他主面２４と平行部３２とのなす角度ｂが２０°以内であることが好ましい。この場合、流路部材１の作製において、Ｙ部に相当する箇所の生密度を比較的高くし、流路部材１の寸法精度を比較的高くすることができる。
【００２８】
また、流路部材１は、流路部１０の内面に、平行部３２と壁面部３４との間に設けられた凹曲面部３３を有している。凹曲面部３３の曲率半径Ｒは、０．０５〜１ｍｍの範囲であることが好ましい。これにより、流路部材１の寸法精度、特に長穴２７の寸法精度をさらに高めることができる。
【００２９】
また、各流路１０を分離する隔壁１１は比較的幅も小さく、流路部材１の焼成時において、生密度の分布に応じて変形が比較的生じやすい。しかし、流路部材１では、この隔壁１１や、流路１０の開口２７も比較的高い寸法精度で形成されている。流路部材１の寸法精度の優劣は、図５に示す方法で評価することができる。図５は、開口２７が見える方向（すなわち、他主面２４に略垂直な方向）から観察した流路部材１の平面図である。開口２７の幅の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差が小さいほど、寸法精度が高いといえる。なお、図５においては、隔壁１１の形状の変化を示している。
【００３０】
図６（ａ）は本発明の一実施形態のインクジェットヘッド構造体４を示す分解斜視図、図６（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した部分拡大斜視図である。また、図７は、インクジェットヘッド構造体４の部分拡大図である。また、図８（ａ）は、図７に示すインクジェットヘッド構造体４のＸ−Ｘ線断面図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）の一部を拡大して示している。
【００３１】
本実施形態のインクジェットヘッド構造体４は、流路部材１と、ノズル板３と、加圧機構９と、を有して構成されている。
【００３２】
ここで加圧機構９は、記録素子基板２に発熱抵抗体７が設けられて構成されている。記録素子基板２は、例えばシリコン基板に、一方向に沿って長い貫通溝１７が設けられて構成されている。加圧機構９では、この貫通溝１７の両側に、複数個の発熱抵抗体７が所定の間隔で並設されている。各発熱抵抗体７は、図示しない配線および電極と接続されて、外部から印加される電気信号に応じて発熱する。
【００３３】
ノズル板３は、複数のインク吐出口６が設けられている。流路部材１に設けられた流路１０と記録素子基板２の貫通溝１７とは連通している。流路部材１の流路１０を通過したインクＩが加圧機構９の発熱抵抗体７の表面まで流れる。また、ノズル板３の複数のインク吐出口６が、加圧機構９の各発熱抵抗体７と対向するように、ノズル板３と加圧機構９とが配置されている。
【００３４】
図８（ｂ）では、インク滴の吐出動作時における、インクＩの動きを併せて示している。インクジェットヘッド構造体４では、記録素子基板２の貫通溝１７を通り、加圧機構９の発熱抵抗体７の表面部分を覆うようにインクＩが供給される。この状態で、発熱抵抗体７を発熱させると、発熱抵抗体７表面でインクＩが気化して気泡が生じる。インクジェットヘッド構造体４では、この気泡によってインクＩが加圧され、インク吐出口６からインク滴Ｉ´が吐出される。
【００３５】
本実施形態に係るインクジェットヘッド構造体４は、例えば、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた記録装置に搭載することができる。
【００３６】
次に、インクジェットヘッド構造体４をインクタンクと一体化したカートリッジ形態のインクジェットカートリッジ、及びこれを用いたインクジェット記録装置（インクジェットプリンタ）の一実施形態について説明する。
【００３７】
図９は、インクジェットヘッド構造体４を備えて構成されるインクジェットカートリッジ１１０について説明する概略斜視図である。
【００３８】
インクジェットカートリッジ１１０は、インクタンク部１０４とインクジェットヘッド構造体４とを備えている。インクタンク部１０４にはインクが貯留されており、インクタンク部１０４から、インクジェットヘッド構造体４が備える流路部材１にインクが流入される。インクジェットヘッド構造体４では、流路部材１の小穴１３を通じて、流路部材１の流路１０にインクが流入する。
【００３９】
また、インクジェットカートリッジ１１０の表面には、外部から電気信号を供給するための端子１０３を有するテープ部材１０２が配置されている。テープ部材１０２の外部接続用の端子１０３から延在する配線（不図示）が、インクジェットヘッド構造体４の図示しない電極と接続されており、外部から印加された電気信号に応じて所望のインク吐出口６からインク滴が吐出される。
【００４０】
図１０は、図９に示すインクジェットカートリッジ１１０を備えて構成されたインクジェット記録装置６０の一実施形態の概略構成例を示すものである。
【００４１】
インクジェット記録装置６０には、ベルト２０１に固定されたキャリッジ２００が設けられており、キャリッジ２００は、ガイドシャフト２０２に沿って往復方向（図中のＡ方向）に主走査される。キャリッジ２００上には、カートリッジ形態のインクジェットカートリッジ１１０が搭載されている。インクジェットカートリッジ１１０は、インク吐出口６が記録媒体としての用紙Ｐと対向して配置されている。インク吐出口６の配列方向は、キャリッジ２００の走査方向と異なる方向（例えば、用紙Ｐの搬送方向）とされている。なお、インクジェットカートリッジ１１０は、使用するインク色に対応した個数を設けることができ、図示の例では４色（例えばブラック、イエロー、マゼンタ、シアン）に対応して４個設けられている。また、インクジェット記録装置６０は、記録紙Ｐを搬送すす、駆動ローラ等を有して構成された搬送機構２０４を備えている。搬送機構２０４は、記録紙Ｐを、キャリッジ２００の移動方向と直交する矢印Ｂ方向に間欠的に搬送する。
【００４２】
インクジェット記録装置６０では、インクジェットヘッド構造体４のインク吐出口６は、発熱抵抗体７よりも下側に配置されている。このため、インクジェットヘッド構造体４から吐出されたインク滴Ｉ´は、重力による液滴の軌跡の変化が比較的少なく、記録用紙Ｐの所望位置に比較的安定して吐着する。
【００４３】
図１１は、インク滴の吐出動作の最中における、流路部材１の流路１０内における気泡の動きについて説明する概略断面図である。インクジェットヘッド構造体４に供給されるインクＩは、比較的気化し易く、発熱抵抗体７表面以外の部分、例えば流路１０内でも気化する場合がある。流路１０内でインクＩが気化して気泡が発生すると、例えば斜面部２６の表面に、比較的微小な気泡８２が複数付着した状態となる。これら複数の微小な気泡８２が、隣接する気泡８２同士で集合して比較的大きな気泡へと成長すると、流路部材１内部のインクＩに不必要な圧力波が生じる場合がある。この圧力波が、発熱抵抗体７およびインク吐出口６の近傍に、比較的大きな力を維持した状態で到達すると、インク吐出口６におけるインクのメニスカスや、成長中のインク滴の形状に変動が生じ、インク吐出状態が変化する場合もある。このように、斜面部２６表面に比較的多くの気泡が付着すると、インク吐出動作が不安定になる場合がある。
【００４４】
本実施形態では、斜面部２６表面に付着した微少な気泡８２は、気泡自身の浮力により斜面部２６に沿って浮上する。その結果、小穴１３が開口２７よりも上方に位置している為、微小な気泡８２は、小穴１３に連設しているインクタンク（不図示）側へ、比較的効率良く抜けることができる。このため、所定量のインク滴を、安定して吐出させることができる。
【００４５】
さらに、本実施形態の流路部材１では、開口２７の両端部近傍に平行部３２が形成されている。この平行部３２においては、発生した微小な気泡８２の浮力による上昇は比較的抑制されている。また、この平行部３２近傍は、発熱抵抗体７に比較的近い位置に配置されている。このため、平行部３２近傍は温度は比較的上昇し易く、この平行部３２近傍では、インクＩに微小な気泡８２が発生しやすい。このため、平行部３２の近傍では、比較的短時間のうちに比較的多くの気泡８２が発生し、この発生した気泡８２が結合することで、比較的短時間で大きな気泡８４が発生し易い。
【００４６】
比較的短時間のうちに成長した大きな気泡８４が、平行部３２から溢れる程度に大きくなると、この気泡８４は自身の浮力によって斜面部２６に沿って上昇する。この際、大きな気泡８４は、斜面部２６表面に付着している微小な気泡８２を取り込みながら、比較的短時間で小穴１３に連設しているインクタンク（不図示）側へ、効率良く抜ける。このように、本実施形態の流路部材１では、比較的短い時間間隔で、平行部３２近傍に発生した比較的大きな気泡８４が、斜面部２６表面に付着した微小な気泡８２を除去していく。本実施形態のインクジェットヘッド構造体４では、斜面部２６の不特定部分において突発的に気泡が成長して、流路１０内のインクに余分な圧力波が生じることが抑制されている。
【００４７】
なお、本実施形態のインクジェットヘッド構造体４では、一方向に沿って複数設けられたインク吐出口６のうち、最端部のインク吐出口６が、流路１０の平行部３２に対し、流路部材１のより中央側に配置されている。すなわち、図１０に示すような、平行部３２に対応する領域Ｐにはインク吐出口６は配置されていない。この平行部３２近傍における、気泡８２や気泡８４の発生にともなうインクＩ内の圧力波は、インク吐出口６に比較的到達し難い。本実施形態のインクジェットヘッド構造体４では、流路１０内での気泡の発生によるインク吐出動作への影響が、比較的小さい。
【００４８】
また、インク滴を吐出した際に発生する圧力波も開口２７で分散される為、インク滴の吐出動作を比較的安定化できる。これにより、インク滴の吐出間隔を比較的短くすることができ、印刷時間を比較的短縮することができる。
【００４９】
本発明は上述した実施形態だけに限定されるものでなく、圧電素子の変形を利用したものや電磁波の照射に伴って発生する熱を利用したものでも良く、本発明の要旨を逸脱しない範囲で改良したものや変更したものにも適用できることは言う迄もない。
（実施例１）
上述の流路部材の作製方法によって、アルミナ純度が９６％のアルミナ質成形体を成形、焼結して、流路部材１に対応する試料を１０個作製した。各試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０の寸法は、外径が２８ｍｍ×４０ｍｍ、厚み５ｍｍとした。各試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０は、０．７ｍｍ×１．０ｍｍの小穴と、長手方向の長さが２５ｍｍ、幅０．７ｍｍの開口７とを有する流路１０を有している。各試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０は、図２に示す角度ａ、ｂ、ｃがそれぞれ異なっている。表１には、各試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０の角度ａ、ｂ、ｃを、それぞれ示している。なお、各試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０とも、平行部３２の幅（Ｐ）を０．５ｍｍ、壁面部３４の長さ（Ｖ）を０．５ｍｍとした。
【００５０】
表１には、各試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０それぞれの溝変形量の測定結果を示している。表１に示す各試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０それぞれの溝変形量は、試料に設けられた複数の開口７それぞれについて、図５に示したＭＡＸとＭＩＮの差を測定して得られた値の平均値である。各溝のＭＡＸとＭＩＮの差は、ミツトヨ製のＣＮＣ画像測定装置、ＱＵＩＣＫ  ＶＩＳＩＯＮ  ＰＲＯを用いて測定した。
【００５１】
表１には、各試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０について、凹曲面部３３におけるクラックの有無を観察した結果も示している。クラックの有無は、マークテック社製浸透探傷液Ｐ−ＧIIIで所定部に探傷液を含浸させ、判別を行った。浸透探傷液評価は、１００倍の顕微鏡で観察した場合にクラックがなかった試料は◎、１００倍の顕微鏡ではクラックが観察された試料は○、肉眼視でクラックが確認できた試料は×とした。
【００５２】
結果を表１に示す。
【００５３】
【表１】
0005213650.tif 000002
【００５４】
試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．９は、溝変形量が０．０２８〜０．０９３ｍｍと小さかった。また、浸透探傷液評価は、○、◎であった。特に、角度ｂが２０°以内の試料は浸透探傷液の評価が全て◎であった。
【００５５】
表１に示す試料Ｎｏ．１０は、平行部３２を有さない以外は、上記試料Ｎｏ．１と同様の形状を有する試料である。試料Ｎｏ．１０では、浸透探傷液評価結果が×であり、溝変形量も大きかった。
（実施例２）
表２に示す試料Ｎｏ．１１〜Ｎｏ．２０は、凹曲面３３の曲率半径（Ｒ１）が異なる以外は、上記試料Ｎｏ．１と同様の形状を有する試料である。試料Ｎｏ．１１〜Ｎｏ．２０の曲率半径Ｒ１は、表２に示すとおりである。試料Ｎｏ．１１〜Ｎｏ．２０についても、上記、実施例１と同様に、浸透探傷液評価および溝変形量の評価を行った。
【００５６】
結果を表２に示す。
【００５７】
【表２】
0005213650.tif 000003
【００５８】
（実施例３）
平行部３２の幅（Ｐ）が異なる以外は試料Ｎｏ．１と同様の形状の、試料Ｎｏ．２１〜Ｎｏ．２９を作製し、実施例１と同様にして評価した。
【００５９】
結果を表３に示す。
【００６０】
【表３】
0005213650.tif 000004
【００６１】
Ｐが比較的大きい試料では、溝変形量が比較的小さく、浸透探傷評価結果も比較的良好であった。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の一実施形態の流路部材の平面図である。
【図２】（ａ）は図１に示す流路部材の断面図、（ｂ）および（ｃ）は（ａ）の部分拡大断面図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、図１に示す流路部材の部分拡大断面図である。
【図４】本発明のの一実施形態の流路部材の作製方法について説明する概略断面図である。
【図５】流路部材の溝変形量の測定方法を示した平面図である。
【図６】（ａ）は図１に示す流路部材を備えて構成されるインクジェットヘッド構造体の分解斜視図、（ｂ）は（ａ）の部分拡大斜視図である。
【図７】図６の一部分を拡大して示す図である。
【図８】（ａ）は、図７に示すインクジェットヘッド構造体のＸ−Ｘ線断面図であり、（ｂ）は図８（ａ）の一部を拡大して示している。
【図９】インクジェットヘッド構造体を備えて構成されるインクジェットカートリッジの一実施形態について説明する概略斜視図である。
【図１０】図９に示すインクジェットカートリッジを備えて構成されたインクジェット記録装置の一実施形態の概略構成例を示す。
【図１１】インク滴の吐出動作の最中における、流路部材の流路内における気泡の動きについて説明する概略断面図である。
【図１２】従来の流路部材の一実施例の平面図である。
【図１３】（ａ）は図１２に示す流路部材の断面図、（ｂ）は（ａ）の部分拡大断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１，１０１  流路部材 
２，１０２  記録素子基板
３，１０３  ノズル板
４，１０４  インクジェットヘッド構造体
５，４２，１０５  流路部
６，１０６  インク吐出口
７，１０７  発熱抵抗体
９  加圧機構
１０，５７  流路
２１  貫通孔
１３，５４  小穴
１８，１１８  流路長さ
２２  一主面
２４  他主面
２６，５６  斜面部
２７，５７  開口
３２  平行部
３３、３５  凹曲面
３４  壁面部
【図１】
0005213650.tif 000005
【図２】
0005213650.tif 000006
【図３】
0005213650.tif 000007
【図４】
0005213650.tif 000008
【図５】
0005213650.tif 000009
【図６】
0005213650.tif 000010
【図７】
0005213650.tif 000011
【図８】
0005213650.tif 000012
【図９】
0005213650.tif 000013
【図１０】
0005213650.tif 000014
【図１１】
0005213650.tif 000015
【図１２】
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【図１３】
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