(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のＤＵＴ（被試験物）を試験するための試験機器ネットワークであって、
コントローラと、
コンピュータ・コードを実行するのに適した複数のスクリプト・プロセッサと、
実行されたコンピュータ・コードに応答して前記スクリプト・プロセッサによって制御可能で前記の複数のＤＵＴを試験するのに適合した複数の測定リソースとを具え、
前記スクリプト・プロセッサ及び前記測定リソースが対となり、複数の前記対が、前記コントローラによって、上記複数のＤＵＴの試験に応じた少なくとも２つグループの内のどちらかのグループに任意に割り当て可能であり、
前記複数のスクリプト・プロセッサの内の１つのみが、前記コントローラによって主スクリプト・プロセッサに割り当てられ、
前記複数のスクリプト・プロセッサの内の前記主スクリプト・プロセッサ以外が、従スクリプト・プロセッサとなると共に、前記主スクリプト・プロセッサを含まない全てのグループは遠隔制御グループとなり、
前記主スクリプト・プロセッサのみが、前記遠隔制御グループ中の全ての前記スクリプト・プロセッサによる前記コンピュータ・コードの実行を開始でき、
前記従スクリプト・プロセッサは、その従スクリプト・プロセッサが属するグループ内の前記測定リソースの動作を開始できるのみであり、
前記複数のスクリプト・プロセッサの１つが前記コンピュータ・コードを実行している時に、前記主スクリプト・プロセッサは、この１つのスクリプト・プロセッサが属する前記グループ内の他の前記スクリプト・プロセッサによる前記コンピュータ・コードの実行を開始させることができず、この１つのスクリプト・プロセッサが属する前記グループ内の前記測定リソースの動作も開始できないことを特徴とする試験機器ネットワーク。
【請求項２】
複数のＤＵＴ（被試験物）を試験するための試験機器ネットワークであって、
コントローラと、
複数の試験機器とを具え、
前記複数の試験機器の各々は、コンピュータ・コードを実行するのに適したスクリプト・プロセッサと前記スクリプト・プロセッサと協働する測定リソースとを有し、
前記測定リソースは、実行された前記コンピュータ・コードに応答して前記スクリプト・プロセッサによって制御可能であり、前記複数のＤＵＴを試験するのに適合しており、
前記スクリプト・プロセッサ及び前記測定リソースが対となり、複数の前記対が、前記コントローラによって、上記複数のＤＵＴの試験に応じた少なくとも２つグループの内のどちらかのグループに任意に割り当て可能であり、
前記複数のスクリプト・プロセッサの内の１つのみが、前記コントローラによって主スクリプト・プロセッサに割り当てられ、
前記複数のスクリプト・プロセッサの内の前記主スクリプト・プロセッサ以外が、従スクリプト・プロセッサとなると共に、前記主スクリプト・プロセッサを含まない全てのグループは遠隔制御グループとなり、
前記主スクリプト・プロセッサのみが、前記遠隔制御グループ中の全ての前記スクリプト・プロセッサによる前記コンピュータ・コードの実行を開始でき、
前記従スクリプト・プロセッサは、その従スクリプト・プロセッサが属するグループ内の前記測定リソースの動作を開始できるのみであり、
前記複数のスクリプト・プロセッサの１つが前記コンピュータ・コードを実行している時に、前記主スクリプト・プロセッサは、この１つのスクリプト・プロセッサが属する前記グループ内の他の前記スクリプト・プロセッサによる前記コンピュータ・コードの実行を開始させることができず、この１つのスクリプト・プロセッサが属する前記グループ内の前記測定リソースの動作も開始できないことを特徴とする試験機器ネットワーク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電気測定に関し、特にネットワーク化された試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体、集積回路、回路基板及び仕上がりの電気装置の如き被試験物（ＤＵＴ）の電気的試験は、これらの物体の生産の重要な部分である。
【０００３】
性能と信頼性と関係するものの如き電気的なパラメーターの試験を設定し、実行するのに多大な時間(及び費用)が費される。試験自体は、多大な時間資源を費やし、試験に備えて試験システムを形成することも非常に重要である。これは、ＤＵＴの種類がしばしば変更される場合に、特に当てはまり、試験装置の形成と実施されるべき試験との両方が変更されることが要求される。
【０００４】
ＤＵＴの試験の効率は、セットアップ方法と試験自体の促進により改善することができる。試験装置の形成と試験方法とを一層良好に制御するために、試験装置は、ネットワーク化されており、オーバーラップされた時間に（すなわち平行して）行われる試験の数を増す努力がなされている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、並行検査の動作を非常に促進することができる試験機器ネットワークを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による複数のＤＵＴ（被試験物）を試験するための試験機器ネットワークは、コンピュータ・コードを実行するのに適した複数の通信用スクリプト・プロセッサと、実行されたコンピュータ・コードに応答してこれらのスクリプト・プロセッサによって制御可能で複数のＤＵＴを試験するのに適合したな複数の測定リソースとを含んでいる。各スクリプト・プロセッサと測定リソースは、コントローラによって、少なくとも２つグループのうち一方のグループに任意に割り当てられ、１つだけのスクリプト・プロセッサは、主スクリプト・プロセッサであるように割り当てられ、他のスクリプト・プロセッサは、従スクリプト・プロセッサであり、主スクリプト・プロセッサを含まない任意のグループは、遠隔グループである。主スクリプト・プロセッサは、遠隔グループのスクリプト・プロセッサ上のコード実行を開始することを排他的に認められている。従スクリプト・プロセッサは、それ自身のグループの測定リソースの動作を開始することだけができる。特定のスクリプト・プロセッサがコンピュータ・コードを実行している時に、主スクリプト・プロセッサは、この特定のスクリプト・プロセッサのグループ中のメンバー・スクリプト・プロセッサ上のコンピュータ・コードの実行を開始することはないし、そのグループ中のメンバー測定リソースの動作を開始することもない。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の試験機器ネットワークは、並行検査の動作を非常に促進することができ、スクリプト・プロセッサが相互に干渉することなく、独立して同時の動作を行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１を参照して述べると、試験機器ネットワーク１０は、コントローラ１２と、スクリプト・プロセッサ１４、１４’と測定リソース１６、１６’とを含み、試験機器ネットワーク１０のこれらのエレメントのすべては、相互に通信できるようになっている。この試験機器ネットワーク１０は、ＤＵＴ２０を試験するのに用いられる。
【０００９】
コントローラ１２は、例えばパソコン、ミニ・コンピュータ、ワークステーション又は同様のコンピュータ装置とすることができる。スクリプト・プロセッサ１４、１４’は、スクリプト処理エンジン及びスクリプト用実行時間環境を含んでいる。スクリプト・プロセッサ１４、１４’は、例えばＦＰＧＡ、マイクロコントローラ又は同様の制御装置を備えている。測定リソース１６、１６’は、例えば電圧計、電流計、電圧源、電流源、それらの測定ユニット、信号発生器、変調器、復調器、周波数計、デジタル信号プロセサ、タイマー、ハードウェア同期ライン又は他の同様の装置とすることができる。コントローラ１２、スクリプト・プロセッサ１４、１４’、測定リソース１６、１６’は、すべて、インターネットを利用しているネットワーク、ワイヤレス・ネットワークあるいはその両方の組み合わせによって相互に通信してもよい。
【００１０】
１つの例において、各スクリプト・プロセッサ１４、１４’、各測定リソース１６，１６’は、それぞれ、対となって、機能が組み合わせられた試験機器となっている。
【００１１】
試験機器ネットワーク１０は、スクリプト・プロセッサ１４、１４’と測定リソース１６、１６’とが所望のグループに任意に割り当てられてＤＵＴ２０の試験を行なうことができる。例えば、グループ２２は、スクリプト・プロセッサ１４と測定リソース１６とを含み、また、グループ２４は、スクリプト・プロセッサ１４’と測定リソース１６’とを含んでいる。この割り当ては、コントローラ１２によって制御される。もちろん、異なるか他の追加のグループを利用可能なエレメントから割り当てることができる。
【００１２】
図示された例において、グループ２２は、主（マスター）スクリプト・プロセッサ２６であることが割り当てられたスクリプト・プロセッサ１４を含んでいる。この割り当ては、コントローラ１２によって制御される。試験機器ネットワーク１０は、一度にたった１つの主スクリプト・プロセッサを有するが、スクリプト・プロセッサ１４、１４’のうちのどれが候補になってもよい。他の主でないスクリプト・プロセッサ１４、１４’は、すべて、従（スレーブ）スクリプト・プロセッサであると考えられる。主スクリプト・プロセッサを含んでいないどんなグループも、遠隔グループであると考えられ、この場合、グループ２４だけである。
【００１３】
スクリプト・プロセッサ１４、１４’は、測定リソース１６、１６’の動作を制御するために使用されるコンピュータ・コード(例えば試験スクリプト)を実行するために使用される。測定リソース１６、１６’は、実行されたコンピュータ・コードに応じて制御される。
【００１４】
ダイナミックにグループや主スクリプト・プロセッサを割り当てることができると、異なるアプリケーション及びＤＵＴ用の試験機器ネットワーク１０を形成する過程を非常に単純化し促進する。コントローラ１２は、接続と位相を物理的に変えなければならないというよりは、むしろ、その構成を指定するように機能する。
【００１５】
試験機器ネットワーク１０は、並行検査の動作を非常に促進することができる。スクリプト・プロセッサが相互に干渉することなく、独立して同時の動作を行なうことができるように、試験機器ネットワーク１０が形成されている。これをするために、スクリプト・プロセッサの動作にある制限が課されている。
【００１６】
主スクリプト・プロセッサだけが、遠隔のグループ中の従スクリプト・プロセッサ上のコード実行を開始することが許されている。従スクリプト・プロセッサは、自分のグループ内の測定リソースの動作を開始することができるだけである。スクリプト・プロセッサがコードを実行している時、そのスクリプト・プロセッサ及びそのグループは、オーバーラップした実行状態である。主スクリプト・プロセッサは、オーバーラップした実行状態であるグループ中の任意のスクリプト・プロセッサ上のコード実行を開始することはない。
【００１７】
これらの規則は、スクリプト・プロセッサ間の秩序及び訓練を維持している間、並行試験を許す。測定リソースを制御するスクリプト・プロセッサ上のコンピュータ・コードの実行は、これらの規則によって制限されている間、試験機器ネットワークのエレメントは、情報のデータ（例えば、現状と測定）を所望の通り、自由に交換することができる。
【００１８】
上記の開示は例示的であり、この開示に含まれる教示の適正な範囲から外れることなく、種々に変更したり、細部を追加したり、変形したり、削除したりすることができることは、明らかである。従って、本発明は、特許請求の範囲が限定することを除いてこの開示の特定の細部に限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明による試験機器ネットワークの一例のブロックダイヤグラムである。
【符号の説明】
【００２０】
１０  試験機器ネットワーク
１２  コントローラ
１４、１４’  スクリプト・プロセッサ
１６、１６’  測定リソース
２０  ＤＵＴ（被試験物）
２２  グループ
２４  グループ
【図１】
0005373334.tif 000002