(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池を載置するためのステージと、
前記ステージ上に載置された太陽電池の表面上を複数の領域に区分するために太陽電池の表面上に設けられて、前記複数の領域間の光の侵入を遮る遮光手段と、
前記複数の領域において前記ステージに対向してそれぞれ配置されて、前記ステージ上に載置された太陽電池に対して、互いに異なる周波数で強度が変化する複数の光を発電のためにそれぞれ照射する複数の第１光照射手段と、
前記複数の領域において前記複数の第１光照射手段と前記ステージとの間にそれぞれ設けられた複数の支持部材と、
前記ステージ上に載置された太陽電池に対向させて前記複数の支持部材にそれぞれ移動可能に設けられ、前記第１光照射手段によって照射される光に基づく発電により太陽電池に流れる電流が生成する前記複数の領域における磁界をそれぞれ検出して、前記検出した磁界を表す磁界検出信号であって前記複数の第１光照射手段の光の照射による異なる周波数の光の強度変化がもたらす複数の異なる周波数成分を含む磁界検出信号をそれぞれ出力する複数の磁気センサと、
前記複数の磁気センサからの磁界検出信号を入力し、各磁気センサごとに、前記複数の異なる周波数成分を含む磁界検出信号から、前記各磁気センサが属する領域内の第１光照射手段の光の照射による光の強度変化がもたらす周波数成分以外の一つの周波数成分の磁気検出信号を取出す磁気検出信号取出手段と
を備えたことを特徴とする太陽電池検査装置。
【請求項２】
さらに、前記複数の支持部材にそれぞれ取付けられ、前記複数の領域において前記ステージ上に載置された太陽電池に光をそれぞれ照射する複数の第２光照射手段であって、各領域ごとに、前記第１光照射手段の光の照射における光の強度変化の周波数とは異なる周波数で強度が変化する光、又は強度が変化しない光を照射する第２光照射手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載した太陽電池検査装置。
【請求項３】
さらに、前記磁気検出信号取出手段によって取出された磁気検出信号に基づいて、前記複数の領域における、太陽電池の電極の位置又はその近傍の位置における前記電極の延設方向の磁界の強さ又は前記延設方向と直交する方向の電流の大きさをそれぞれ検出する検出手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の太陽電池検査装置。
【請求項４】
さらに、前記検出された磁界の強さ又は電流の大きさの変動が大きい部分の変動量を表す特性値を計算する変動量特性値計算手段を備えたことを特徴とする請求項３に記載した太陽電池検査装置。
【請求項５】
さらに、前記磁気検出信号取出手段によって取出された磁気検出信号に基づいて、前記複数の領域における、太陽電池の電極の位置又はその近傍の位置における前記電極の延設方向の電流の大きさ又は前記延設方向と直交する方向の磁界の強さをそれぞれ検出する検出手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の太陽電池検査装置。
【請求項６】
さらに、前記検出された電流の大きさ又は磁界の強さの変動量を表す特性値を計算する変動量特性値計算手段を備えたことを特徴とする請求項５に記載した太陽電池検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池に光を照射して発電させ、太陽電池に流れる電流により発生する磁界を検出して、太陽電池セル内の電極の接続不良又は太陽電池セル間の接続不良を検出する太陽電池検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池は、太陽電池セル内にある電極と太陽電池セルから電流を取出す電極との間をペースト又は半田により接続させているが、この接続箇所に接続不良が生じ易い。また、結晶系の太陽電池は太陽電池セル間を直列に接続させているが、この太陽電池セル間で電極の接続不良が生じ易い。太陽電池セルの電極の接続不良又は太陽電池セル間の電極の接続不良を検出する方法にはいくつかの方法があるが、例えば下記特許文献１で紹介されているように、光を太陽電池セル又は太陽電池パネルに照射し、発電により発生する電流により各点で発生する磁界を磁気センサにより検出して、磁界の分布状態又は磁界から算出できる電流の分布状態を正常なものと比較する方法がある。この太陽電池検査装置においては、太陽電池をステージ上に載置して太陽電池に対してその表面から光を照射するとともに、１つの磁気センサを太陽電池の表面又は裏面に対向させながら太陽電池の表面又は裏面に沿って移動して、太陽電池の各部に流れる電流によって発生する各部の磁界を検出するようにしている。
【０００３】
この場合、太陽電池を載置するステージの機構、磁気センサを移動させる機構などの問題により、例えば太陽電池が柔軟性に富んだシート状の部材で構成されていて太陽電池をステージに吸引するような複雑な機構を有する場合には、太陽電池に対して光を照射する側の表面に磁気センサを配置する必要が生じる。この方法によれば、接続が正常な場合と異常な場合で磁界及び電流の分布状態が異なるために接続不良を検出することができる。また、この方法は、大がかりな検査用設備を必要とせず、検査対象を発電により電流が流れる状態にすれば非接触で検査を行うことができる点で、優れた方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１７１０６５号公報
【発明の概要】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に示されている方法には、以下の問題点がある。第１の問題は、１つの磁気センサを移動させて各移動位置の磁界を測定しているので、検査対象物が大きいと検査に多くの時間を必要とする。第２の問題は、光を照射する側に磁気センサを設けると、磁気センサを移動させるための機構による影ができ、この影の箇所の発電量が減少したり、抵抗値が大きくなったりして、太陽電池パネル及び太陽電池セルに流れる電流に影響する。この場合、磁気センサの直下で最も濃い影ができるが、この影の濃淡は、光の照射位置、磁気センサの移動機構の構造などに起因して磁気センサの移動位置によって異なるために、前記太陽電池パネル及び太陽電池セルに流れる電流への影響が磁気センサの移動位置によって異なる。その結果、光を照射する側に磁気センサを設けると、磁界の分布状態及び電流の分布状態を精度よく検出できなくなる。
【０００６】
本発明は、この問題を解決するためになされたもので、太陽電池に光を照射して発電させ、太陽電池に流れる電流により発生する磁界を検出して、太陽電池セル内の電極の接続不良又は太陽電池セル間の電極の接続不良を検出する太陽電池検査装置において、短時間で検査対象である太陽電池を検査することができ、光を照射する側に磁気センサを配置しても、磁界の分布状態又は電流の分布状態を精度よく測定できる太陽電池検査装置を提供することにある。なお、下記本発明の各構成要件の記載においては、本発明の理解を容易にするために、実施形態の対応箇所の符号を括弧内に記載しているが、本発明の各構成要件は、実施形態の符号によって示された対応箇所の構成に限定解釈されるべきものではない。
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の特徴は、太陽電池（ＳＢ）を載置するためのステージ（２０）と、ステージ上に載置された太陽電池の表面上を複数の領域に区分するために太陽電池の表面上に設けられて、複数の領域間の光の侵入を遮る遮光手段（６１）と、複数の領域においてステージに対向してそれぞれ配置されて、ステージ上に載置された太陽電池に対して、互いに異なる周波数で強度が変化する複数の光を発電のためにそれぞれ照射する複数の第１光照射手段（５０Ａ，５０Ｂ）と、複数の領域において複数の第１光照射手段とステージとの間にそれぞれ設けられた複数の支持部材（３１Ａ，３１Ｂ）と、ステージ上に載置された太陽電池に対向させて複数の支持部材にそれぞれ移動可能に設けられ、第１光照射手段によって照射される光に基づく発電により太陽電池に流れる電流が生成する複数の領域における磁界をそれぞれ検出して、前記検出した磁界を表す磁界検出信号であって複数の第１光照射手段の光の照射による異なる周波数の光の強度変化がもたらす複数の異なる周波数成分を含む磁界検出信号をそれぞれ出力する複数の磁気センサ（１０Ａ，１０Ｂ）と、複数の磁気センサからの磁界検出信号を入力し、各磁気センサごとに、複数の異なる周波数成分を含む磁界検出信号から、各磁気センサが属する領域内の第１光照射手段の光の照射による光の強度変化がもたらす周波数成分以外の一つの周波数成分の磁気検出信号を取出す磁気検出信号取出手段（８４〜８６，９０，Ｓ３０〜Ｓ３４）とを備えたことにある。
【０００８】
前記のように構成した本発明の特徴においては、複数の磁気センサは、複数の支持部材にそれぞれ移動可能に設けられ、すなわち遮光手段によって区分された複数の領域にそれぞれ設けられて、複数の領域において発電に基づく電流によって発生する磁界をそれぞれ検出する。したがって、複数の領域において発電に基づく電流によって発生する磁界をそれぞれ同時に検出するので、磁界の検出時間すなわち太陽電池の検査時間を短縮することができる。また、磁気検出信号取出手段は、各磁気センサが属する領域内の第１光照射手段の光の照射による光の強度変化がもたらす周波数成分以外の一つの周波数成分の磁気検出信号を取出す。すなわち、磁気センサによって検出された磁界に基づいて磁気検出信号取出手段によって取出される磁気検出信号は、磁気センサが位置する領域とは別の領域での第１光照射手段の光の照射に基づく発電による電流によるものであるため、支持部材及び磁気センサにより光が遮られた箇所における発電量が落ちても、又は同発電量に変動があっても、電流の流れにほとんど影響しなくなるので、高精度で磁界を検出することができる。このことは、実験によっても確認されている。その結果、磁界の分布状態又は電流の分布状態を精度よく測定することができるようになり、太陽電池の接続不良、すなわち太陽電池セル内の電極の接続不良、太陽電池セル間の電極の接続不良などを精度よく検出できる。
【０００９】
また、本発明の他の特徴は、さらに、複数の支持部材にそれぞれ取付けられ、複数の領域においてステージ上に載置された太陽電池に光をそれぞれ照射する複数の第２光照射手段であって、各領域ごとに、第１光照射手段の光の照射における光の強度変化の周波数とは異なる周波数で強度が変化する光、又は強度が変化しない光を照射する第２光照射手段（３５Ａ，３５Ｂ）を備えたことにある。
【００１０】
前記のように構成した本発明の他の特徴によれば、磁気センサ及び支持部材により光が遮られる箇所が他の箇所に比べて高抵抗になる可能性もなくなるので、さらに精度よく磁界を検出することができる。このことも実験により確認されている。その結果、磁界の分布状態又は電流の分布状態をさらに精度よく測定することができるようになり、太陽電池の接続不良、すなわち太陽電池セル内の電極の接続不良、太陽電池セル間の電極の接続不良などをさらに精度よく検出できる。
【００１１】
本発明の他の特徴は、さらに、磁気検出信号取出手段によって取出された磁気検出信号に基づいて、複数の領域における、太陽電池の電極の位置又はその近傍の位置における電極の延設方向の磁界の強さ又は前記延設方向と直交する方向の電流の大きさを検出する検出手段（９０，Ｓ３６，Ｓ１０４，Ｓ１１４）を備えたことにある。これによれば、アモルファス太陽電池の場合によくあるように、太陽電池セル内に単位セルを直列接続した太陽電池における電極の接続不良を精度よく検出できる。また、磁界の測定箇所を太陽電池の電極又はその近傍の位置に限定できるので、磁界の検出時間すなわち太陽電池の検査時間をさらに短縮することができる。
【００１２】
本発明の他の特徴は、さらに、前記検出された磁界の強さ又は電流の大きさの変動が大きい部分の変動量を表す特性値を計算する変動量特性値計算手段（９０，Ｓ１６６）を備えたことにある。これによれば、前記太陽電池セル内に単位セルを直列接続した太陽電池における電極の接続不良を数値で検出できるので、前記電極の接続不良を自動検出できるようになる。
【００１３】
本発明の他の特徴は、さらに、磁気検出信号取出手段によって取出された磁気検出信号に基づいて、複数の領域における、太陽電池の電極の位置又はその近傍の位置における電極の延設方向の電流の大きさ又は前記延設方向と直交する方向の磁界の強さを検出する検出手段（９０，Ｓ３６，Ｓ１０４，Ｓ１１２，Ｓ１１４）を備えたことにある。これによれば、結晶系太陽電池の場合によくあるように、太陽電池セル内には単位セルの直列接続はなく、太陽電池セル間を直列接続した太陽電池における電極の接続不良及び太陽電池セル間の接続不良を精度よく検出できる。また、磁界の測定箇所を太陽電池の電極又はその近傍の位置に限定できるので、磁界の検出時間すなわち太陽電池の検査時間をさらに短縮することができる。
【００１４】
本発明の他の特徴は、さらに、前記検出された電流の大きさ又は磁界の強さの変動量を表す特性値を計算する変動量特性値計算手段（９０，Ｓ２７８）を備えことにある。これによれば、前記太陽電池セル間を直列接続した太陽電池における電極の接続不良及び太陽電池セル間の接続不良を数値で検出できるので、前記電極の接続不良を自動検出できるようになる。
【００１５】
なお、本明細書においては、単に「電流の大きさ」なる表現は、方向を問題とすることなく電流の絶対的な大きさを示す。そして、特定方向の電流の大きさに関しては、方向を特定したうえで電流の大きさを表現する。例えば、「Ｘ軸方向の電流の大きさ」、「Ｙ軸方向の電流の大きさ」などと表現する。また、この点は、磁界の強さに関しても同じである。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る太陽電池検査装置の全体構成図である。
【図２】図１のステージ、Ｘ方向移動機構及びＹ方向移動機構を含む磁界検出機構の概略斜視図である。
【図３】移動部材の位置する部分のＸ方向移動機構のＹ−Ｚ平面に平行な断面図である。
【図４Ａ】遮光カーテンを上げた状態における照射装置及びステージ上の太陽電池を示す概略図である。
【図４Ｂ】遮光カーテンを下げた状態における照射装置及びステージ上の太陽電池を示す概略図である。
【図５】(Ａ)は太陽電池の面積がステージの上面の面積よりも小さい場合における太陽電池のステージ上への載置例を示す図であり、(Ｂ)は太陽電池の面積がステージの上面の面積よりも大きい場合における太陽電池のステージ上への載置例を示す図である。
【図６】図１の磁気センサ及びセンサ信号取出回路の詳細回路ブロック図である。
【図７】図１のロックインアンプの詳細回路ブロック図である。
【図８Ａ】図1のコントローラによって実行されるデータ取得プログラムの前半部分を示すフローチャートである。
【図８Ｂ】図1のコントローラによって実行されるデータ取得プログラムの後半部分を示すフローチャートである。
【図９Ａ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの先頭部分を示すフローチャートである。
【図９Ｂ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図９Ａに続く部分を示すフローチャートである。
【図９Ｃ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図９Ｂに続く部分を示すフローチャートである。
【図９Ｄ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図９Ａに続く他の部分を示すフローチャートである。
【図９Ｅ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図９Ｄに続く部分を示すフローチャートである。
【図９Ｆ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図９Ｅに続く部分を示すフローチャートである。
【図１０】第１タイプの太陽電池の一例を示す概略平面図である。
【図１１Ａ】図１０の太陽電池に含まれる１つの太陽電池セルの概略平面図である。
【図１１Ｂ】図１１ＡのＢ−Ｂ線に沿って見た太陽電池セルの拡大断面図である。
【図１２】第１タイプの太陽電池セルに異常が発生した場合における電流の大きさの変化を説明するための説明図である。
【図１３】第２タイプの太陽電池の一例を示す概略平面図である。
【図１４Ａ】図１３の太陽電池に含まれる１つの太陽電池セルの概略断面図である。
【図１４Ｂ】図１３の太陽電池セルの接続状態を説明するための概略図である。
【図１５】図１３の太陽電池のバスバー電極位置の検出を説明するための説明図である。
【図１６】(Ａ)は接続線を介したバスバー電極と裏面電極との接続状態を説明するための説明図であり、(Ｂ)はバスバー電極及び接続線に流れる電流の大きさを示すグラフである。
【図１７】第２タイプの太陽電池セルの電極に異常が発生した場合における電極方向の電流の大きさの変化を説明するための説明図である。
【図１８】第２タイプの太陽電池セルの電極に他の異常が発生した場合における電極方向の電流の大きさの変化を説明するための説明図である。
【図１９】第２タイプの太陽電池セルの電極にさらに他の異常が発生した場合における電極方向の電流の大きさの変化を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
ａ．構成例
以下、本発明の一実施形態に係る太陽電池検査装置の構成例について図面を用いて説明する。図1は、この太陽電池検査装置の全体概略図である。図２は、測定対象である太陽電池ＳＢの各部に流れる電流によって発生する磁界を検出するための磁界検出機構の概略斜視図である。この太陽電池検査装置は、詳しくは後述する一対の磁気センサ１０Ａ，１０Ｂに対向して配置されて太陽電池ＳＢを載置するためのステージ２０と、磁気センサ１０Ａ，１０ＢをＸ軸方向にそれぞれ移動させるための一対のＸ方向移動機構３０Ａ，３０Ｂと、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂを含むＸ方向移動機構３０Ａ，３０ＢをＹ軸方向に移動させるためのＹ方向移動機構４０とを備えている。
【００１８】
ステージ２０は、方形状に形成されている。ステージ２０の表面には多数の微小孔が形成されており、これらの多数の微小孔は共通にバキュームポンプ２１に連通している。そして、バキュームポンプ２１を作動させると、ステージ２０の上面に載置された太陽電池ＳＢが微小孔を介して吸引されるようになっている。これは、後述するように、太陽電池ＳＢの中には柔軟性に富んだシート状に形成されているものもあり、このようなシート状の太陽電池ＳＢを単にステージ２０上に載置しただけでは、シート状の太陽電池ＳＢの表面に凹凸が生じて後述する磁界測定が精度よく行われないことがあるためである。このような場合は、本実施形態のように、バキュームポンプ２１でシート状の太陽電池ＳＢを吸引すれば、太陽電池ＳＢがステージ２０上に吸着され、太陽電池ＳＢの表面の高さが均一になるために、後述する磁界測定の精度が良好になる。
【００１９】
なお、この種のシート状の太陽電池ＳＢには様々な大きさのものが存在する。そして、シート状の太陽電池ＳＢをステージ２０上にセットして、バキュームポンプ２１を作動させる場合、太陽電池ＳＢがステージ２０の上面の面積より小さければ、図５(Ａ)に示すように、太陽電池ＳＢをステージ２０の中央に配置して、ステージ２０上の太陽電池ＳＢが存在しない部分には、別の平板Ｈを置くようにするとよい。また、シート状の太陽電池ＳＢがステージ２０の上面の面積より大きい場合には、図５(Ｂ)に示すように、太陽電池ＳＢの検査を行う部分をステージ２０上に置き、それ以外の部分を巻いたりしてステージ２０の下方に置けばよい。なお、ステージ２０はシート状の太陽電池ＳＢをセットするための構造であるが、この太陽電池検査装置は、他の種類の太陽電池ＳＢ（例えば、硬質の太陽電池ＳＢ）をステージ２０にセットして検査することも可能である。
【００２０】
Ｘ方向移動機構３０Ａ，３０Ｂは、Ｘ軸方向に延設された長尺状の支持部材３１Ａ，３１Ｂをそれぞれ有する。支持部材３１Ａの両端近傍には、下方に突出した方形状の凸部３１Ａ１，３１Ａ２を有する。支持部材３１Ｂの両端近傍には、下方に突出した方形状の凸部３１Ｂ１，３１Ｂ２を有する。支持部材３１Ａの凸部３１Ａ１，３１Ａ２は、図２の右側位置にて、Ｙ方向移動機構４０を構成するＹ軸方向に延設された一対の支持部材４１，４２の上面に設けた溝４１ａ，４２ａ内にＹ軸方向に摺動可能に侵入している。支持部材３１Ｂの凸部３１Ｂ１，３１Ｂ２は、図２の左側位置にて、前記一対の支持部材４１，４２の上面に設けた溝４１ｂ，４２ｂ内にＹ軸方向に摺動可能に侵入している。支持部材４１の溝４１ａ，４１ｂは、支持部材４１に延設方向（Ｙ軸方向）に沿って断面方形状に形成され、Ｙ軸方向の中央位置にて仕切り壁４１ｃにより仕切られている。また、支持部材４２の溝４２ａ，４２ｂは、支持部材４２に延設方向（Ｙ軸方向）に沿って断面方形状に形成され、Ｙ軸方向の中央位置にて仕切り壁４２ｃにより仕切られている。したがって、Ｘ方向移動機構３０Ａの支持部材３１Ａは図２の右側位置において移動可能になっており、Ｘ方向移動機構３０Ｂの支持部材３１Ｂは図２の左側位置において移動可能になっている。支持部材４１，４２の下部には幅広の底部４１ｄ，４２ｄがそれぞれ設けられ、支持部材４１，４２は底部４１ｄ，４２ｄによりステージ２０のＸ軸方向両側に安定して設置されるようになっている。
【００２１】
支持部材４１の溝４１ａ内には、Ｙ軸方向に延設されて支持部材３１Ａの凸部３１Ａ１を貫通する雄ねじ４３Ａが収容されている。支持部材３１Ａの凸部３１Ａ１内には、雄ねじ４３Ａに螺合した図示しないナットが組み込まれており、雄ねじ４３Ａの回転により、支持部材３１ＡがＹ軸方向に移動するようになっている。すなわち、雄ねじ４３Ａと支持部材３１Ａの凸部３１Ａ１内に組み込まれたナットにより、ボールねじ機構が構成されている。雄ねじ４３Ａの一端は、支持部材４１の一端（図示右側端）に組み付けたＹ方向モータ４４Ａの回転軸に連結され、雄ねじ４３Ａの他端は仕切り壁４１ｃに固定した支持部材に回転可能に支持されている。これにより、Ｙ方向モータ４４Ａの回転により雄ねじ４３Ａが軸線周りに回転して、支持部材３１ＡがＹ軸方向に移動する。
【００２２】
支持部材４１の溝４１ｂ内には、Ｙ軸方向に延設されて支持部材３１Ｂの凸部３１Ｂ１を貫通する雄ねじ４３Ｂが収容されている。支持部材３１Ｂの凸部３１Ｂ１内には、雄ねじ４３Ｂに螺合した図示しないナットが組み込まれており、雄ねじ４３Ｂの回転により、支持部材３１ＢがＹ軸方向に移動するようになっている。すなわち、雄ねじ４３Ｂと支持部材３１Ｂの凸部３１Ｂ１内に組み込まれたナットにより、ボールねじ機構が構成されている。雄ねじ４３Ｂの一端は、支持部材４１の一端（図示左側端）に組み付けたＹ方向モータ４４Ｂの回転軸に連結され、雄ねじ４３Ｂの他端は仕切り壁４１ｃに固定した支持部材に回転可能に支持されている。これにより、Ｙ方向モータ４４Ｂの回転により雄ねじ４３Ｂが軸線周りに回転して、支持部材３１ＢがＹ軸方向に移動する。
【００２３】
Ｘ方向移動機構３０Ａ、３０Ｂの支持部材３１Ａ，３１Ｂには、図３の断面図に示すように、Ｘ軸方向の両端部分を除いて、断面方形状に形成されて下方に開口されるとともにＸ軸方向に延設された凹部３１ａがそれぞれ設けられている。なお、Ｘ方向移動機構３０Ａ，３０Ｂは同一の構造を有するので、Ｘ方向移動機構３０Ａを代表させてＸ方向移動機構３０Ａ，３０Ｂについて共通に説明し、必要に応じて括弧内にＸ方向移動機構３０Ｂの各部材を示す。支持部材３１Ａ（３１Ｂ）の凹部３１ａの前後方向内側面（Ｘ軸方向内側面）には、同一高さ位置にて断面方形状の溝３１ｂ，３１ｃがＸ軸方向に延設されてそれぞれ形成されている。これらの支持部材３１Ａ（３１Ｂ）の溝３１ｂ，３１ｃには、方形状に形成した移動部材３２Ａ（３２Ｂ）の両側部に設けた方形状の凸部３２ａ，３２ｂが摺動可能に係合している。移動部材３２Ａ（３２Ｂ）の下面には、磁気センサ１０Ａ（１０Ｂ）がステージ２０に対向するように固定されている。
【００２４】
支持部材３１Ａ（３１Ｂ）の凹部３１ａ内には、Ｘ軸方向に延設されて移動部材３２Ａ（３２Ｂ）を貫通する雄ねじ３３Ａ（３３Ｂ）が収容されている。移動部材３２Ａ（３２Ｂ）内には、Ｙ軸方向に延設されて雄ねじ３３Ａ（３３Ｂ）に螺合した図示しないナットが組み込まれており、雄ねじ３３Ａ（３３Ｂ）の回転により、移動部材３２Ａ（３２Ｂ）がＸ軸方向に移動するようになっている。すなわち、雄ねじ３３Ａ（３３Ｂ）と移動部材３２Ａ（３２Ｂ）内に組み込まれたナットにより、ボールねじ機構が構成されている。雄ねじ３３Ａ（３３Ｂ）の一端は、支持部材３１Ａ（３１Ｂ）の一端に組み付けたＸ方向モータ３４Ａ（３４Ｂ）の回転軸に連結され、雄ねじ３３Ａ（３３Ｂ）の他端は支持部材３１Ａ（３１Ｂ）の他端に設けた支持部に回転可能に支持されている。これにより、Ｘ方向モータ３４Ａ（３４Ｂ）の回転により雄ねじ３３Ａ（３３Ｂ）が軸線周りに回転して、移動部材３２Ａ（３２Ｂ）が磁気センサ１０Ａ（１０Ｂ）と共にＸ軸方向に移動する。
【００２５】
支持部材３１Ａの両側底面には、所定の間隔をおいて複数の発光素子（ＬＥＤ）３５Ａがそれぞれ固定されている。支持部材３１Ｂの両側底面にも、所定の間隔をおいて複数の発光素子（ＬＥＤ）３５Ｂがそれぞれ固定されている。これらの発光素子３５Ａ，３５Ｂは、太陽電池ＳＢに対する光の照射量が減少した箇所における抵抗値が他に比べて高くならないようにするためのものであり、特に、Ｘ方向移動機構３０Ａ，３０Ｂによる影に起因して抵抗値が増大しないようにするためのものである。言い換えれば、これらの発光素子３５Ａ，３５Ｂによる太陽電池ＳＢへの照射は、太陽電池ＳＢに発電させる目的ではなく、太陽電池ＳＢの照射量の減少した箇所の抵抗値が他に比べて高くならないようにするためのものであるので、発光素子３５Ａ，３５Ｂによる光の照射強度は後述する発電のための発光素子５１に比べれば微弱であってもよい。
【００２６】
ふたたび図１の説明に戻ると、ステージ２０の上面に対向する位置であって、Ｘ方向移動機構３０Ａ，３０Ｂよりもさらに上方の位置には、一対の照射装置５０Ａ，５０ＢがＹ軸方向の中央位置の両側にそれぞれ設けられている。照射装置５０Ａ，５０Ｂ内には、ステージ２０に対向するように、複数の発光素子（ＬＥＤ）５１がマトリクス状に配置されて、太陽電池ＳＢをステージ２０上に載置した状態で、太陽電池全体に均一な光量（すなわち均一な強度）の光が照射されるようになっている。なお、照射装置５０Ａ，５０Ｂは図示しない支持装置に支持されている。
【００２７】
また、照射装置５０Ａ，５０Ｂの間の上方位置には、遮光カーテン装置６０が配置されている。遮光カーテン装置６０は、図１、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、照射装置５０Ａ，５０Ｂの間の位置（すなわちＹ軸方向の中央位置）にてＸ軸方向に延設された遮光カーテン６１を備えている。遮光カーテン６１は光を遮断する柔軟性材料で構成されて、その上端は図示しない支持装置に固定された支持部材６２の下面に固定されている。遮光カーテン６１の下端には、遮光カーテン６１のＸ軸方向の長さ分だけＸ軸方向に延設されて、硬質かつある程度大きな質量を有する絶縁材料で形成されたストッパ６３が固定されている。
【００２８】
この遮光カーテン６１は、図示しない支持装置に固定されたカーテン用モータ６４により上下動されるようになっている。カーテン用モータ６４の出力軸は、図示しない支持装置に軸線周りに回転可能に指示された巻取りローラ６５に連結されている。巻取りローラ６５の軸線方向すなわちＸ軸方向には、適当な間隔をおいて複数の巻取りワイヤ６６の各一端がそれぞれ固定されている。これらの複数の巻取りワイヤ６６は支持部材６２に設けた貫通孔を介して下方に延設され、それらの下端はストッパ６３に固定されている。そして、カーテン用モータ６４の一方向への回転により、図４Ａに示すように、巻取りワイヤ６６が巻取りローラ６５に巻上げられて、遮光カーテン６１は上方に巻上げられる。また、カーテン用モータ６４の前記とは逆方向への回転により、図４Ｂに示すように、巻取りワイヤ６６は巻取りローラ６５に巻下げられて、遮光カーテン６１は下方に巻下げられる。また、巻取りローラ６５には、遮光カーテン６１を最大限に巻き上げた状態及び最大限に下げた状態で、巻取りローラ６５の回転が禁止される図示しないストッパが設けられている。
【００２９】
バキュームポンプ２１には、ポンプ駆動回路７１が接続されている。ポンプ駆動回路７１は、後述するコントローラ９０による指示により、バキュームポンプ２１の作動開始及び作動停止を制御する。
【００３０】
Ｘ方向モータ３４Ａ，３４Ｂ内には、Ｘ方向モータ３４Ａ，３４Ｂの回転をそれぞれ検出して、それらの回転を表す回転信号をそれぞれ出力するエンコーダ３４Ａ１，３４Ｂ１（３４Ｂ１は図示せず）が組み込まれている。これらの回転信号は、Ｘ方向モータ３４Ａ，３４Ｂが所定の微少角度だけ回転するたびにハイレベルとローレベルとを交互に切替えるパルス列信号であって、回転方向を識別するために互いにπ／２だけ位相のずれたＡ相信号とＢ相信号とでそれぞれ構成される。これらの回転信号は、Ｘ方向位置検出回路７２Ａ，７２Ｂ及びＸ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂにそれぞれ出力される。Ｘ方向位置検出回路７２Ａ，７２Ｂは、前記回転信号のパルス数をＸ方向モータ３４Ａ，３４Ｂの回転方向に応じてそれぞれカウントアップ又はカウントダウンし、それらのカウント値からＸ方向モータ３４Ａ，３４Ｂによる移動部材３２Ａ，３２ＢのＸ軸方向位置（すなわち磁気センサ１０Ａ，１０ＢのＸ軸方向位置）をそれぞれ検出し、検出したＸ軸方向位置をＸ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂ及び後述するコントローラ９０にそれぞれ出力する。Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂは、コントローラ９０の指示により、Ｘ方向モータ３４Ａ，３４Ｂの駆動及び停止をそれぞれ制御する。このＸ方向モータ３４Ａ，３４Ｂの駆動時においては、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂは、エンコーダ３４Ａ１，３４Ｂ１からの回転信号を用いてＸ方向モータ３４Ａ，３４Ｂを所定の回転速度でそれぞれ回転させる。
【００３１】
Ｘ方向位置検出回路７２Ａ，７２Ｂにおけるカウント値の初期設定は、電源投入時にコントローラ９０の指示によって行われる。すなわち、コントローラ９０は、電源投入時に、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂに移動部材３２Ａ，３２Ｂの初期位置に対応したＸ軸方向限界位置への移動、及びＸ方向位置検出回路７２Ａ、７２Ｂに初期設定をそれぞれ指示する。これらの指示により、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂは、Ｘ方向モータ３４Ａ，３４Ｂを駆動して移動部材３２Ａ，３２Ｂを初期位置に対応したＸ軸方向限界位置までそれぞれ移動させる。Ｘ方向位置検出回路７２Ａ，７２Ｂは、移動部材３２Ａ，３２ＢのＸ軸方向への移動中、Ｘ方向モータ３４Ａ，３４Ｂ内のエンコーダ３４Ａ１，３４Ｂ１からの回転信号をそれぞれ入力し続けている。そして、移動部材３２Ａ，３２Ｂが初期位置に対応したＸ軸方向限界位置まで達してＸ方向モータ３４Ａ，３４Ｂの回転がそれぞれ停止すると、Ｘ方向位置検出回路７２Ａ，７２Ｂはエンコーダ３４Ａ１，３４Ｂ１からの回転信号の入力停止をそれぞれ検出して、カウント値を「０」にそれぞれリセットする。このとき、Ｘ方向位置検出回路７２Ａ，７２Ｂは、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂに出力停止のための信号をそれぞれ出力し、これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３ＢはＸ方向モータ３４Ａ，３４Ｂへの駆動信号の出力をそれぞれ停止する。その後に、Ｘ方向モータ３４Ａ，３４Ｂが駆動された際には、Ｘ方向位置検出回路７２Ａ，７２Ｂは、回転信号のパルス数をＸ方向モータ３４Ａ，３４Ｂの回転方向に応じてそれぞれカウントアップ又はカウントダウンし、それらのカウント値に基づいて移動部材３２Ａ，３２ＢのＸ軸方向位置をそれぞれ計算し、計算したＸ軸方向位置をＸ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂ及びコントローラ９０にそれぞれ出力し続ける。
【００３２】
Ｙ方向モータ４４Ａ，４４Ｂ内には、Ｙ方向モータ４４Ａ，４４Ｂの回転を検出して、前記Ｘ方向モータ３４Ａ，３４Ｂと同様に、その回転を表す回転信号を出力するエンコーダ４４Ａ１，４４Ｂ１（４４Ｂ１は図示せず）が組み込まれている。これらの回転信号は、Ｙ方向位置検出回路７４Ａ，７４Ｂ及びＹ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂにそれぞれ出力される。Ｙ方向位置検出回路７４Ａ，７４Ｂは、前記回転信号のパルス数をＹ方向モータ４４Ａ，４４Ｂの回転方向に応じてそれぞれカウントアップ又はカウントダウンし、それらのカウント値からＹ方向モータ４４Ａ，４４Ｂによる移動部材３２Ａ，３２ＢのＹ軸方向位置（すなわち磁気センサ１０Ａ，１０ＢのＹ軸方向位置）をそれぞれ検出し、検出したＹ軸方向位置をＹ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂ及びコントローラ９０にそれぞれ出力する。Ｙ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂは、コントローラ９０の指示により、前記Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂの場合と同様に、Ｙ方向モータ４４Ａ，４４Ｂの駆動及び停止をそれぞれ制御する。
【００３３】
Ｙ方向位置検出回路７４Ａ，７４Ｂにおけるカウント値の初期設定も、電源投入時にコントローラ９０の指示によって行われる。すなわち、コントローラ９０は、電源投入時に、Ｙ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂに移動部材３２Ａ，３２Ｂの初期位置に対応したＹ軸方向限界位置への移動、及びＹ方向位置検出回路７４Ａ，７４Ｂに初期設定をそれぞれ指示する。これらの指示により、Ｙ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂは、Ｙ方向モータ４４Ａ，４４Ｂを駆動して移動部材３２Ａ，３２Ｂを初期位置に対応したＹ軸方向限界位置までそれぞれ移動させる。Ｙ方向位置検出回路７４Ａ，７４Ｂは、移動部材３２Ａ，３２ＢのＹ軸方向への移動中、Ｙ方向モータ４４Ａ，４４Ｂ内のエンコーダ４４Ａ１，４４Ｂ１からの回転信号をそれぞれ入力し続けている。そして、移動部材３２Ａ，３２Ｂが初期位置に対応したＹ軸方向限界位置まで達してＹ方向モータ４４Ａ，４４Ｂの回転がそれぞれ停止すると、Ｙ方向位置検出回路７４Ａ，７４Ｂはエンコーダ４４Ａ１，４４Ｂ１からの回転信号の入力停止をそれぞれ検出して、カウント値を「０」にそれぞれリセットする。このとき、Ｙ方向位置検出回路７４Ａ，７４Ｂは、Ｙ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂに出力停止のための信号をそれぞれ出力し、これにより、Ｙ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５ＢはＹ方向モータ４４Ａ，４４Ｂへの駆動信号の出力をそれぞれ停止する。その後に、Ｙ方向モータ４４Ａ，４４Ｂが駆動された際には、Ｙ方向位置検出回路７４Ａ，７４Ｂは、回転信号のパルス数をＹ方向モータ４４Ａ，４４Ｂの回転方向に応じてそれぞれカウントアップ又はカウントダウンし、それらのカウント値に基づいて移動部材３２Ａ，３２ＢのＹ軸方向位置をそれぞれ計算し、計算したＹ軸方向位置をＹ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂ及びコントローラ９０にそれぞれ出力し続ける。
【００３４】
カーテン用モータ６４内にも、カーテン用モータ６４の回転を検出して、前記Ｘ方向モータ３４Ａ，３４Ｂ及びＹ方向モータ４４Ａ，４４Ｂと同様に、その回転を表す回転信号を出力するエンコーダ６４ａが組み込まれている。この回転信号は、遮光カーテン用モータ駆動回路７６に出力される。遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、コントローラ９０による指示により、遮光カーテン６１を巻上げ及び巻下げのためにカーテン用モータ６４の駆動を制御する。具体的には、コントローラ９０から遮光カーテン６１の巻上げの指示があった場合には、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、巻上げローラ６５が遮光カーテン６１を巻上げる方向にカーテン用モータ６４の回転を開始させる。一方、コントローラ９０から遮光カーテン６１の巻下げの指示があった場合には、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、巻上げローラ６５が遮光カーテン６１を巻下げる方向（すなわち、前記巻上げとは逆方向）にカーテン用モータ６４の回転を開始させる。これらの回転開始後、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、エンコーダ６４ａからの回転信号の入力停止によりカーテン用モータ６４の回転停止を制御する。すなわち、上述のように、巻取りローラ６５にはストッパが設けられていて、遮光カーテン６１を最大限に巻き上げた状態及び最大限に巻き下げた状態で巻取りローラ６５の回転が停止されるので、この状態では、エンコーダ６４ａからの回転信号が遮光カーテン用モータ駆動回路７６には入力されなくなる。したがって、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、この回転信号の入力停止を検出して、前記遮光カーテン６１の巻上げた状態及び巻下げた状態でカーテン用モータ６４への駆動信号の出力を停止させることができる。
【００３５】
この太陽電池検査装置は、さらに、一対の発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂ、一対の第１光源駆動回路８２Ａ，８２Ｂ、一対のセンサ信号取出回路８３Ａ，８３Ｂ、信号選択回路８４，８５、ロックインアンプ８６、第２光源駆動回路８７及びコントローラ９０を備えている。発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂは、正弦波発振器及び矩形波変換回路をそれぞれ含み、コントローラ９０によって作動制御されて、正弦波発振器によって発振される正弦波信号を発光制御信号として第１光源駆動回路８２Ａ，８２Ｂに供給する。なお、第１光源駆動回路８２Ａ，８２Ｂから出力される発光制御信号は、共に「０」を基準に正負に変化する信号であるが、互いに異なる第１及び第２周波数を有する。この場合、第１及び第２周波数は、例えば数１０ヘルツから数１００ヘルツ程度である。また、発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂは、前記正弦波信号からなる発光制御信号を矩形波変換回路による変換により、前記第１及び第２周波数の発光制御信号と同期して「０」を中心として正負に変化する矩形波信号をそれぞれ生成して、参照信号として信号選択回路８４に出力する。
【００３６】
第１光源駆動回路８２Ａは、コントローラ９０によって作動制御されて、発光信号供給回路８１Ａから供給された発光制御信号の第１周波数を有する駆動信号で、照射装置５０Ａ内の複数の発光素子５１をそれぞれ同時に発光制御する。第２光源駆動回路８２Ｂは、コントローラ９０によって作動制御されて、発光信号供給回路８１Ｂから供給された発光制御信号の第２周波数を有する駆動信号で、照射装置５０Ｂ内の複数の発光素子５１をそれぞれ同時に発光制御する。照射装置５０Ａ，５０Ｂ内の各発光素子５１、５１は、前記発光制御信号に同期して正弦波状に変化する発光強度で太陽電池ＳＢの表面をそれぞれ照射する。
【００３７】
次に、磁気センサ１０Ａ．１０Ｂについて説明しておく。この場合も、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの構成は同じであるので、磁気センサ１０Ａを代表させて磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの構成については共通に説明し、必要に応じて磁気センサ１０Ｂを括弧書きにより区別して示す。磁気センサ１０Ａ（１０Ｂ）は、図６に示すように、Ｘ軸方向の磁界を検出するＸ方向磁気センサ１０Ａｘ（１０Ｂｘ）と、Ｙ軸方向の磁界の変化を検出するＹ方向磁気センサ１０Ａｙ（１０Ｂｙ）とを備えている。Ｘ方向磁気センサ１０Ａｘ（１０Ｂｘ）は、抵抗ｒ11，ｒ12，ｒ13及び磁気抵抗素子ＭＲ１からなるブリッジ回路で構成されており、抵抗ｒ11，ｒ13の接続点と、抵抗ｒ12及び磁気抵抗素子ＭＲ１の接続点との間に、センサ信号取出回路８３Ａ（８３Ｂ）の後述する定電圧供給回路８３ａから電圧＋Ｖ，−Ｖが印加されるようになっている。また、Ｘ方向磁気センサ１０Ａｘ（１０Ｂｘ）においては、抵抗ｒ13及び磁気抵抗素子ＭＲ１の接続点と、抵抗ｒ11，ｒ12間の接続点との間の電圧をＸ方向磁気検出信号として出力する。抵抗ｒ11，ｒ12，ｒ13の値は同じであり、磁界の強さが「０」であるときの磁気抵抗素子ＭＲ１の抵抗値に等しい。これにより、ほぼ「０」を基準としたＸ軸方向の磁界の正負の変化により、Ｘ方向磁気検出信号はほぼ「０」を基準にＸ軸方向の磁界の大きさに比例して正負に変化する電圧信号となる。
【００３８】
Ｙ方向磁気センサ１０Ａｙ（１０Ｂｙ）は、抵抗ｒ21，ｒ22，ｒ23及び磁気抵抗素子ＭＲ２からなるブリッジ回路で構成されており、抵抗ｒ21，ｒ22の接続点と、抵抗ｒ23及び磁気抵抗素子ＭＲ２の接続点との間に、センサ信号取出回路８３Ａ（８３Ｂ）の後述する定電圧供給回路８３ｂから電圧＋Ｖ，−Ｖが印加されるようになっている。また、Ｙ方向磁気センサ１０Ａｙ（１０Ｂｙ）においては、抵抗ｒ22及び磁気抵抗素子ＭＲ２の接続点と、抵抗ｒ21，ｒ23間の接続点との間の電圧をＹ方向磁気検出信号として出力する。抵抗ｒ21，ｒ22，ｒ23の値は同じであり、磁界の強さが「０」であるときの磁気抵抗素子ＭＲ２の抵抗値に等しい。これにより、ほぼ「０」を基準としたＹ軸方向の磁界の正負の変化により、Ｙ方向磁気検出信号はほぼ「０」を基準にＹ軸方向の磁界の大きさに比例して正負に変化する電圧信号となる。
【００３９】
次に、センサ信号取出回路８３Ａ，８３Ｂについて説明する。これらのセンサ信号取出回路８３Ａ，８３Ｂの構成も同じであるので、センサ信号取出回路８３Ａを代表させてセンサ信号取出回路８３Ａ，８３Ｂを共通に説明し、必要に応じてセンサ信号取出回路８３Ｂを括弧書きにより区別して示す。センサ信号取出回路８３Ａ（８３Ｂ）は、定電圧供給回路８３ａ，８３ｂ及び増幅器８３ｃ，８３ｄを備えている。定電圧供給回路８３ａ，８３ｂは、コントローラ９０からの指示により、磁気センサ１０Ａ（１０Ｂ）のＸ方向磁気センサ１０Ａｘ（１０Ｂｘ）及びＹ方向磁気センサ１０Ａｙ（１０Ｂｙ）に対して、定電圧＋Ｖ，−Ｖを供給する。増幅器８３ｃ、８３ｄは、Ｘ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号をそれぞれ増幅して信号選択回路８５に出力する。
【００４０】
信号選択回路８４は、コントローラ９０からの指示に応じて、発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂのうちの一方からの参照信号を選択してロックインアンプ８６に供給する。信号選択回路８５は、コントローラ９０からの指示に応じて、センサ信号取出回路８３Ａ，８３Ｂのうちの一方からのＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号をロックインアンプ８６に供給する。ロックインアンプ８６は、図７に詳細に示すように、信号選択回路８５によって選択されて、Ｘ方向磁気センサ１０Ａｘ（１０Ｂｘ）から増幅器８３ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号を入力するハイパスフィルタ８６ａと、Ｙ方向磁気センサ１０Ａｙ（１０Ｂｙ）から増幅器８３ｄを介して供給されるＹ方向磁気検出信号を入力するハイパスフィルタ８６ｂとを備えている。ハイパスフィルタ８６ａ，８６ｂは、Ｘ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号に含まれる、磁界の強さに比例した信号成分以外の不要な成分を取り除くとともに、信号をグランドレベルを中心に変化するようにする。
【００４１】
ハイパスフィルタ８６ａの出力は、増幅器８６ｃを介して位相検波回路８６ｄ，８６ｅに供給される。位相検波回路８６ｄ，８６ｅは、それぞれ乗算器によって構成されている。位相検波回路８６ｄは、ハイパスフィルタ８６ａ及び増幅器８６ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号に、信号選択回路８４によって選択されて発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂのうちの一方からの参照信号を乗算してローパスフィルタ８６ｆに出力する。位相検波回路８６ｅは、ハイパスフィルタ８６ａ及び増幅器８６ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号に、信号選択回路８４によって選択されて発光信号供給回路８１Ａ、８１Ｂのうちの一方からの参照信号を位相シフト回路８６ｇで９０度位相を遅らせた遅延参照信号を乗算してローパスフィルタ８６ｈに出力する。これにより、ローパスフィルタ８６ｆにはＸ方向磁気検出信号の発光制御信号（参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ８６ｆは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＸ方向磁気検出信号の発光制御信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ８６ｈにはＸ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号（遅延参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ８６ｈは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＸ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。
【００４２】
ハイパスフィルタ８６ｂの出力は、増幅器８６ｉを介して位相検波回路８６ｊ，８６ｋに供給される。位相検波回路８６ｊ，８６ｋには、ローパスフィルタ８６ｍ，８６ｎが接続されている。位相検波回路８６ｊ，８６ｋ及びローパスフィルタ８６ｍ，８６ｎは、前述した位相検波回路８６ｄ，８６ｅ及びローパスフィルタ８６ｆ，８６ｈと同様に構成されている。これにより、ローパスフィルタ８６ｍにはＹ方向磁気検出信号の発光制御信号（参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ８６ｍは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＹ方向磁気検出信号の発光制御信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ８６ｎにはＹ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号（遅延参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ８６ｎは供給された成分信号をローパス処理してＹ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ８６ｆ，８６ｈ，８６ｍ，８６ｎは、Ａ／Ｄ変換器８６ｏ，８６ｐ，８６ｑ，８６ｒにそれぞれ接続されている。Ａ／Ｄ変換器８６ｏ，８６ｐ，８６ｑ，８６ｒは、所定の時間間隔ごとに、ローパスフィルタ８６ｆ，８６ｈ，８６ｍ，８６ｎからの信号をそれぞれＡ／Ｄ変換してコントローラ９０に供給する。
【００４３】
ふたたび図１の説明に戻り、第２光源駆動回路８７は、コントローラ９０により指示されて、複数の発光素子３５Ａ、３５Ｂを同時に点灯させる。この場合、複数の発光素子３５Ａ、３５Ｂを点灯制御する駆動信号は、直流信号でもよいし、発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂが出力する信号の周期とは異なった周期の信号でもよい。また、上述のように、発光素子３５Ａ，３５Ｂによる太陽電池ＳＢへの照射は、太陽電池ＳＢに発電させる目的ではなく、太陽電池ＳＢの照射装置５０Ａ，５０Ｂの光の照射量が減少した箇所の抵抗値が他の箇所に比べて大きくならないようにするためのものであるので、駆動信号の大きさは第１光源駆動回路８２Ａ，８２Ｂに比べて微弱であってもよい。
【００４４】
コントローラ９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えたマイクロコンピュータと、ハードディスクや不揮発性メモリなどの記憶装置と、入出力インタフェース等から構成される電子制御装置である。コントローラ９０は、記憶装置に記憶された図８Ａ及び図８Ｂのデータ取得プログラム及び図９Ａ乃至図９Ｆの評価プログラムを実行してこの太陽電池検査装置の動作を制御する。コントローラ９０には、作業者が各種パラメータや処理等を指示するための入力装置９１と、作業者に対して作動状況等を視覚的に知らせるための表示装置９２とが接続されている。
【００４５】
ｂ．太陽電池例
次に、本実施形態に係る太陽電池検査装置によって検査される太陽電池ＳＢの構成について、２種類のタイプを例にして説明しておく。第１タイプの太陽電池ＳＢは、アモルファス太陽電池の場合によくあるように、太陽電池ＳＢを構成する複数の太陽電池セルＳＣ内にそれぞれ電池の直列接続構造を有するものである。また、第２タイプの太陽電池ＳＢは、結晶系太陽電池の場合によくあるように、前記電池の直列接続構造を有さないものである。まず、第１タイプの太陽電池ＳＢについて説明すると、この太陽電池ＳＢは、図１０に示すように、マトリクス状に配置された多数の太陽電池セルＳＣが、基板１００上に固定されている。本実施形態では、Ｘ軸方向にｓmax個、Ｙ軸方向にｔmax個の太陽電池セルＳＣが配置されているものとする。
【００４６】
各太陽電池セルＳＣは、図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、方形状に形成され、外部に電力を取出すための長尺状の一対の取出電極（正電極及び負電極）１０１，１０２を上面にて平行に延設させており、一対の取出電極１０１，１０２の間を前記取出電極１０１，１０２と同一方向に延設させた複数の発電セル１０３を直列接続した構造を有している。各発電セル１０３は、表面電極１０３ａ、半導体層１０３ｂ及び裏面電極１０３ｃからなる。半導体層１０３ｂは、図示左側をＰ層とするとともに図示右側をＮ層としており、発生電流は裏面電極１０３ｃから表面電極１０３ａの方向に流れる。隣り合う発電セル１０３，１０３間は、一方の表面電極１０３ａと他方の裏面電極１０３ｃが導電層１０４によって電気的に接続され、かつ絶縁層１０５によって絶縁されている。一端（図示上側端）の発電セル１０３の表面電極１０３ａは、導電層からなる内部電極１０６を介して取出電極１０１に接続され、この発電セル１０３の外側には絶縁層１０７ａが設けられている。他端（図示下側端）の発電セル１０３の裏面電極１０３ｃは、導電層からなる内部電極１０８を介して取出電極１０２に接続されており、この発電セル１０３の外側には絶縁層１０７ｂが設けられている。この太陽電池セルＳＣの上面はガラス層１０９で覆われており、取出電極１０１，１０２は、内部電極１０６，１０８に導電性ペースト又は半田により接続されている。
【００４７】
そして、図１０に示すように、Ｘ軸方向に配置されたｓmax個の太陽電池セルＳＣの各電極１０１，１０２は接続線１１１でそれぞれ直列に接続され、この直列に接続されたｓmax個の電極１０１，１０２は接続線１１２，１１３によりそれぞれ並列に接続されている。そして、接続線１１２，１１３から電力が出力されるようになっている。なお、この太陽電池セルＳＣの検査の場合には、接続線１１２，１１３間に後述する抵抗Ｒcsが導線Ｌ１，Ｌ２を介して接続される。そして、電流は図示矢印の方向に流れる。
【００４８】
次に、第２タイプの太陽電池ＳＢについて説明すると、この太陽電池ＳＢも、図１３に示すように、マトリクス状に配置された多数の太陽電池セルＳＣが、基板２００上に固定されている。この場合も、Ｘ軸方向にｓmax個、Ｙ軸方向にｔmax個の太陽電池セルＳＣが配置されているものとする。各太陽電池セルＳＣは、例えば図１４Ａの拡大概略断面図に示すように、裏面電極２０１、ｐ＋形層２０２、ｐ形層２０３、ｎ形層２０４及び反射防止膜２０５を積層して構成されている。また、太陽電池セルＳＣは、平板状かつ長尺状に形成され等間隔で横方向に配列された複数のグリッド電極（受光面電極）２０６を備え、グリッド電極２０６の下端面はｎ形層２０４に接続されて上端面を上方に突出させている。複数のグリッド電極２０６の上端面には、棒状に形成した一対のバスバー電極２０７がそれらの下面にて接続されている。
【００４９】
そして、Ｘ軸方向に配置されたｓmax個の太陽電池セルＳＣは直列に接続され、この直列に接続されたｓmax個の太陽電池セルＳＣからなるｔmax組の太陽電池セルＳＣ群がさらに直列に接続されている。すなわち、全ての太陽電池セルＳＣが直列に接続されている。この場合、Ｘ軸方向に配置されたｓmax個の太陽電池セルＳＣにおいては、図１４Ｂに示すように、裏面電極２０１を隣の太陽電池セルＳＣのバスバー電極２０７に接続線２０８を介して接続するようにしている。また、直列に接続されたｓmax個の太陽電池セルＳＣからなるｔmax組の太陽電池セルＳＣ群においては、Ｘ軸方向のｓmax個目の太陽電池セルＳＣの裏面電極２０１が、接続線２１１により、図示１つ上のＸ軸方向の１個目の太陽電池セルＳＣのバスバー電極２０７に接続されている。これにより、Ｘ軸方向の１個目かつＹ軸方向の１個目の太陽電池セルＳＣのバスバー電極２０７と、Ｘ軸方向のｓmax個目かつＹ軸方向のｔmax個目の太陽電池セルＳＣの裏面電極２０１との間で高い電圧が出力される。したがって、この太陽電池セルＳＣの検査の場合には、Ｘ軸方向のｓmax個目かつＹ軸方向のｔmax個目の太陽電池セルＳＣの裏面電極２０１と、Ｘ軸方向の１個目かつＹ軸方向の１個目の太陽電池セルＳＣのバスバー電極２０７との間に後述する抵抗Ｒcsが導線Ｌ１，Ｌ２を介して接続される。そして、電流は図示矢印の方向に流れる。
【００５０】
ｃ．作動説明
次に、上記のように構成した太陽電池検査装置の動作について説明する。作業者は、図１０又は図１３に示すように、検査対象となる太陽電池ＳＢに導線Ｌ１，Ｌ２を介して小さな抵抗Ｒcs（例えば、５オーム程度の抵抗）を接続して、ステージ２０上の所定位置に載置する。抵抗Ｒcsを接続する理由は、照射装置５０Ａ，５０Ｂを用いた光の照射により、太陽電池セルＳＣの発電による適当な電流が太陽電池セルＳＣを流れるようにするためである。この場合、第１タイプの太陽電池（図１０参照）を検査する場合には、照射装置５０Ａ，５０Ｂの間の遮光カーテン６１が、図１０に示すように、Ｙ軸方向の所望の列の太陽電池セル群ＳＣの取出電極１０１，１０２間の中央位置にてＸ軸方向に沿って延設されて位置するように、ステージ２０上の太陽電池ＳＢを位置調整する。例えば、初期には、遮光カーテン６１が、Ｙ軸方向の１列目の太陽電池セル群ＳＣの取出電極１０１，１０２間の中央位置にてＸ軸方向に沿って延設されるように、ステージ上の太陽電池ＳＢを位置調整する。また、第２タイプの太陽電池（図１３参照）を検査する場合には、照射装置５０Ａ，５０Ｂの間の遮光カーテン６１が、図１３に示すように、Ｙ軸方向の中央部の２列の太陽電池セル群ＳＣの間にＸ軸方向に沿って延設されるように、ステージ上の太陽電池ＳＢを位置調整する。なお、この状態では、遮光カーテン６１は巻上げられているものとする。
【００５１】
この状態で、太陽電池検査装置の電源が投入されると、上述したように、コントローラ９０の指示により、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂ及びＹ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂが、移動部材３２Ａ，３２Ｂ（すなわち磁気センサ１０Ａ，１０Ｂ）をＸ軸方向及びＹ軸方向の初期位置にそれぞれ移動させるとともに、Ｘ方向位置検出回路７２Ａ，７２Ｂ及びＹ方向位置検出回路７４Ａ，７４Ｂは検出されるＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置を初期値に設定する。
【００５２】
次に、作業者は、入力装置９１を操作することにより、太陽電池ＳＢの計測に必要なパラメータを入力する。この場合、必要なパラメータとしては、例えば、太陽電池セルＳＣ（取出電極１０１，１０２、バスバー電極２０７など）のＸ軸方向の長さ、ステージ２０上に存在するＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmax、太陽電池ＳＢのタイプ（上述した太陽電池セルＳＣ内に直列接続構造を有する第１タイプの太陽電池ＳＢか、第２タイプなどのそれ以外の太陽電池ＳＢか）などである。この入力されたパラメータは、コントローラ９０に記憶される。また、後述するデータ処理プログラムや評価プログラムにて使用されるＸ軸方向終了位置Ｘmaxなどが、この入力されたパラメータから計算されて記憶される。
【００５３】
この状態で、作業者は、入力装置９１を操作することにより、バキュームポンプ２１の作動開始をコントローラ９０に入力指示する。これにより、コントローラ９０はポンプ駆動回路７１を制御して、バキュームポンプ２１を作動させる。このバキュームポンプ２１の作動により、ステージ２０の上面に載置された太陽電池ＳＢが微小孔を介して吸引されて、太陽電池ＳＢがステージ２０上に固定される。したがって、太陽電池ＳＢが柔軟性に富んだシート状のものであっても、太陽電池ＳＢがステージ２０状に吸着され、太陽電池ＳＢの表面の高さが均一になるために、後述する磁界測定の精度が良好になる。なお、バキュームポンプ２１による太陽電池ＳＢの吸引が必要ない場合には、特に、バキュームポンプ２１を作動させる必要はない。
【００５４】
次に、作業者は、入力装置９１を操作することにより、コントローラ９０を介してＹ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂに指示して、磁気センサ１０Ａ，１０ＢがＹ軸方向の検査位置に対向する位置に来るように、Ｙ方向モータ４４Ａ，４４Ｂをそれぞれ作動させる。この場合、第１タイプの太陽電池ＳＢであれば、遮光カーテン６１が上方に位置する太陽電池セル群ＳＣの取出電極１０２，１０１、すなわち遮光カーテン６１のＹ軸方向両側の最も近い取出電極１０２，１０１に、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂをそれぞれ対向させる（図１０参照）。また、第２タイプの太陽電池ＳＢであれば、遮光カーテン６１のＹ軸方向両側の所望の一対のバスバー電極２０７，２０７に、例えば遮光カーテン６１を中心にＹ軸方向に対称位置にある一対のバスバー電極２０７，２０７に、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂをそれぞれ対向させる（図１３参照）。この場合、最初、例えば遮光カーテン６１からＹ軸方向に最も遠い一対のバスバー電極２０７，２０７を選択する。なお、前記磁気センサ１０Ａ，１０Ｂを対向させた取出電極１０２，１０１又はバスバー電極２０７，２０７に関しては、取出電極１０２，１０１又はバスバー電極２０７，２０７を表すデータをＲＡＭに記憶しておく。これらの磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの移動は、作業者の視覚判断により行えばよいが、電極の位置検出装置などを用いた自動制御を含めてもよい。
【００５５】
また、この場合、遮光カーテン６１が巻上げられた状態で、支持部材３１Ａ，３１ＢがＹ軸方向に移動される。遮光カーテン６１が巻上げられていなければ、作業者は、入力装置９１を操作することにより、コントローラ９０を介して遮光カーテン用モータ駆動回路７６に対して、遮光カーテン６１を巻上げる方向にカーテン用モータ６４を回転させるように指示する。これにより、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、カーテン用モータ６４を回転させて遮光カーテン６１を上限位置まで巻上げて、カーテン用モータ６４による遮光カーテン６１の巻上げ動作を終了する。
【００５６】
次に、作業者は、入力装置９１を操作して、コントローラ９０に図８Ａ及び図８Ｂのデータ取得プログラムの実行を開始させる。すなわち、太陽電池ＳＢの計測の開始をコントローラ９０に指示する。この指示に応答して、コントローラ９０は、図８ＡのステップＳ１０にてデータ取得プログラムの実行を開始し、ステップＳ１２にて変数ｎ，ｍを共に「１」に初期設定する。変数ｎは、太陽電池ＳＢの電極位置（又はその近傍位置）における磁気センサ１０Ａ，１０ＢによるＸ軸方向の磁界検出位置を示す変数である。変数ｍは、「１」と「２」のいずれかの値を取るもので、「１」により発光信号供給回路８１Ａの出力を選択してロックインアンプ８６に導くとともに、センサ信号取出回路８３Ｂの出力を選択してロックインアンプ８６に導く状態を表す。また、変数ｍは、「２」により発光信号供給回路８１Ｂの出力を選択してロックインアンプ８６に導くとともに、センサ信号取出回路８３Ａの出力を選択してロックインアンプ８６に導く状態を表す。
【００５７】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ１４にて、遮光カーテン用モータ駆動回路７６に対して、遮光カーテン６１を下げる方向にカーテン用モータ６４を回転させるように指示する。遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、カーテン用モータ６４を回転させて、遮光カーテン６１を下限位置まで、すなわちストッパ６３が太陽電池ＳＢの上面に接するまで下げる。そして、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、カーテン用モータ６４の作動を停止させて遮光カーテン６１の巻下げ動作を終了する。
【００５８】
前記ステップＳ１４の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１６にて、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂに対して磁気センサ１０Ａ，１０ＢをＸ軸方向に移動して検査位置がＸ軸方向の初期値Ｘｓによって表される測定開始位置になるようにそれぞれ指示する。この指示に応答して、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂは、Ｘ方向位置検出回路７２Ａ，７２ＢからＸ軸方向検出位置（Ｘ軸方向の検査位置すなわち測定位置）を入力しながら、Ｘ軸方向検出位置が初期値Ｘｓに一致するまでＸ方向モータ３４Ａ，３４Ｂをそれぞれ駆動制御する。前記ステップＳ１６の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１８にてＸ方向位置検出回路７２Ａ，７２Ｂから磁気センサ１０Ａ，１０ＢのＸ軸方向位置をそれぞれ入力して、ステップＳ２０にてこの入力したＸ軸方向位置が前記初期値Ｘｓにそれぞれ等しい位置か否かを判定する。そして、前記入力したＸ軸方向位置が前記初期値Ｘｓにそれぞれ等しい位置になるまで、コントローラ９０は、ステップＳ２０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１８，Ｓ２０の循環処理を繰り返す。前記入力したＸ軸方向位置が前記初期値Ｘｓにそれぞれ等しい位置になると、コントローラ９０は、ステップＳ２０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２２以降の処理を実行する。
【００５９】
ステップＳ２２においては、コントローラ９０は、発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂの作動開始をそれぞれ指示する。この指示に応答して、発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂは、それぞれ異なる第１及び第２周波数を有する正弦波状の発光制御信号を第１光源駆動回路８２Ａ，８２Ｂにそれぞれ供給するとともに、前記第１及び第２周波数の発光制御信号とそれぞれ同期した矩形波状の参照信号を信号選択回路８４にそれぞれ供給し始める。次に、コントローラ９０は、ステップＳ２４にて第１光源駆動回路８２Ａ，８２Ｂの作動開始をそれぞれ指示する。これらの指示に応答して、第１光源駆動回路８２Ａ，８２Ｂは、前記供給された第１及び第２周波数を有する発光制御信号に応じて正弦波状に変化する駆動制御信号を照射装置５０Ａ，５０Ｂの各発光素子５１、５１に供給して、発光素子５１、５１をそれぞれ発光制御し始める。この場合、太陽電池ＳＢ上には遮光カーテン６１が下げられているので、遮光カーテン６１の一方側は第１周波数を有する駆動制御信号によって発光制御された光が照射され、遮光カーテン６１の他方側は第２周波数を有する駆動制御信号によって発光制御された光が照射される。本実施形態においては、図１０（又は図１３）において、遮光カーテン６１の下側の領域が第１周波数で発光制御された光が照射され、遮光カーテン６１の上側の領域が第２周波数で発光制御された光が照射される。
【００６０】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ２６にて第２光源駆動回路８７の作動開始を指示する。この指示に応答して、第２光源駆動回路８７は発光素子３５Ａ、３５Ｂをそれぞれ発光させ、発光素子３５Ａ，３５Ｂは、遮光カーテン６１によって遮られて支持部材３１Ａ，３１Ｂが属する２つの領域、特に支持部材３１Ａ，３１Ｂの直下をそれぞれ照射し始める。次に、コントローラ９０は、ステップＳ２８にてセンサ信号取出回路８３Ａ，８３Ｂの作動開始をそれぞれ指示する。これらの指示に応答して、センサ信号取出回路８３Ａ内の定電圧供給回路８３ａ，８３ｂは、磁気センサ１０Ａ内のＸ方向磁気センサ１０Ａｘ及びＹ方向磁気センサ１０Ａｙに定電圧信号＋Ｖ，−Ｖをそれぞれ供給し始める。また、センサ信号取出回路８３Ｂ内の定電圧供給回路８３ａ，８３ｂは、磁気センサ１０Ｂ内のＸ方向磁気センサ１０Ｂｘ及びＹ方向磁気センサ１０Ｂｙに定電圧信号＋Ｖ，−Ｖをそれぞれ供給し始める。これにより、磁気センサ１０ＡのＸ方向磁気センサ１０Ａｘ及びＹ方向磁気センサ１０ＡｙによるＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号と、磁気センサ１０ＢのＸ方向磁気センサ１０Ｂｘ及びＹ方向磁気センサ１０ＢｙによるＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号とが、信号選択回路８５にそれぞれ供給され始める。
【００６１】
これらのＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号について説明しておく。前記照射装置５０Ａの発光素子５１に対する発光制御により、照射装置５０Ａは、その発光強度を第１周波数で正弦波状に変化させながら、遮光カーテン６１の下側の領域の太陽電池ＳＢの表面に均等に光を照射する（図１０及び図１３参照）。照射装置５０Ｂの発光素子５１に対する発光制御により、照射装置５０Ｂは、その発光強度を第２周波数で正弦波状に変化させながら、遮光カーテン６１の上側の領域の太陽電池ＳＢの表面に均等に光を照射する（図１０及び図１３参照）。これらの光の照射により、遮光カーテン６１の上下両側に位置する各太陽電池セルＳＣの部分は、第１及び第２周波数の発光強度に応じて第１及び第２周波数で大きさが変化する電力をそれぞれ発電し始める。これらの電力の発電により、各太陽電池セルＳＣには第１及び第２周波数の成分を有する電流が流れ始めるとともに、導線Ｌ１，Ｌ２を介して抵抗Ｒcsにも電流が流れ始める（図１０及び図１３の矢印参照）。そして、各太陽電池セルＳＣの表裏面近傍には、前記電流による磁界が発生する。
【００６２】
そして、磁気センサ１０Ａ，１０ＢのＸ方向磁気センサ１０Ａｘ，１０Ｂｘは、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂ位置におけるＸ軸方向の磁界Ｈの強さに比例した電圧をＸ方向磁気検出信号としてそれぞれ出力し始める。また、磁気センサ１０Ａ，１０ＢのＹ方向磁気センサ１０Ａｙ，１０Ｂｙは、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂ位置におけるＹ軸方向の磁界Ｈの強さに比例した電圧をＹ方向磁気検出信号としてそれぞれ出力し始める。この場合、各太陽電池セルＳＣには第１及び第２周波数の成分を有する電流が流れるので、磁気センサ１０Ａ、１０Ｂからそれぞれ出力されるＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号は、第１及び第２周波数の正弦波状信号を混合した信号である。ただし、磁気センサ１０Ａ、１０Ｂからそれぞれ出力されるＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号にそれぞれ含まれる第１及び第２周波数の正弦波状信号の位相は、照射装置５０Ａ，５０Ｂの発光素子５１，５１を駆動制御する第１及び第２周波数の正弦波状信号とはそれぞれ若干異なる。
【００６３】
前記ステップＳ２８の処理後、コントローラ９０は、図８ＢのステップＳ３０にて変数ｍが「１」であるか否かを判定する。この場合、変数ｍが「１」であるので、コントローラ９０は、ステップＳ３０にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ３２に進む。ステップＳ３２においては、コントローラ９０は、信号選択回路８４に対して発光信号供給回路８１Ａからの参照信号すなわち第１周波数の参照信号を選択するように指示するとともに、信号選択回路８５に対してセンサ信号取出回路８３Ｂからの出力信号すなわち磁気センサ１０ＢからのＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号を選択するように指示する。これらの指示により、信号選択回路８４は発光信号供給回路８１Ａからの第１周波数の参照信号をロックインアンプ８６に選択出力し、信号選択回路８５は磁気センサ１０ＢからのＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号をロックインアンプ８６に選択出力する。
【００６４】
ロックインアンプ８６においては、磁気センサ１０Ｂから入力されたＸ方向磁気検出信号がハイパスフィルタ８６ａ及び増幅器８６ｃを介して位相検波回路（乗算器）８６ｄ，８６ｅにそれぞれ供給されるとともに、磁気センサ１０Ｂから入力されたＹ方向磁気検出信号がハイパスフィルタ８６ｂ及び増幅器８６ｉを介して位相検波回路（乗算器）８６ｊ，８６ｋにそれぞれ供給される。位相検波回路８６ｄ，８６ｊには、発光信号供給回路８１Ａからの第１周波数を有する矩形波状の参照信号が供給されている。また、位相検波回路８６ｅ，８６ｋには、前記参照信号の位相を位相シフト回路８６ｇで９０度遅らせた遅延参照信号が供給されている。そして、位相検波回路８６ｄ，８６ｅは、増幅器８６ｃを介して供給されたＸ方向磁気検出信号に参照信号及び遅延参照信号をそれぞれ乗算して、乗算した信号をローパスフィルタ８６ｆ，８６ｈを介してＡ／Ｄ変換器８６ｏ，８６ｐにそれぞれ供給する。位相検波回路８６ｊ，８６ｋは、増幅器８６ｃを介して供給されたＹ方向磁気検出信号に参照信号及び遅延参照信号をそれぞれ乗算して、乗算した信号をローパスフィルタ８６ｍ，８６ｎを介してＡ／Ｄ変換器８６ｑ，８６ｒにそれぞれ供給する。
【００６５】
ここで、ローパスフィルタ８６ｆ，８６ｈ，８６ｍ，８６ｎは供給された信号の成分の大きさを表す信号すなわち正弦波状の信号の振幅に比例した大きさを表す信号を出力するように機能する。したがって、Ａ／Ｄ変換器８６ｏには、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号（すなわち発光制御信号）に同期した信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器８６ｐには、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号から９０度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器８６ｑには、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に同期した信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器８６ｒには、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号から９０度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表す信号が供給される。そして、Ａ／Ｄ変換器８６ｏ，８６ｐ，８６ｑ，８６ｒは、それぞれ供給された信号を所定時間ごとにサンプリングしてＡ／Ｄ変換し、Ａ／Ｄ変換したサンプリングデータをコントローラ９０に供給する。したがって、コントローラ９０には前記各信号成分の所定時間ごとの大きさを表すサンプリングデータが所定時間ごとに供給されるようになる。
【００６６】
この場合、ロックインアンプ８６には、発光信号供給回路８１Ａから出力されて照射装置５０Ａを駆動制御した第１周波数の正弦波信号と同一周波数の参照信号が供給されるとともに、磁気センサ１０Ｂから出力されるＸ方向磁気検出信号及びＹ軸方向磁気検出信号が供給されている。したがって、この場合、ロックインアンプ８６のＡ／Ｄ変換器８６ｏ，８６ｐ，８６ｑ，８６ｒから出力されるサンプリングデータは、照射装置５０Ａの光照射に基づく発電すなわち図１０又は図１３の遮光カーテン６１の下側に位置する太陽電池セルＳＣの部分の発電による電流であって、図１０又は図１３の遮光カーテン６１の上側に位置する太陽電池セルＳＣの部分（具体的には取出電極１０１又はバスバー電極２０７）に流れる電流によって発生する磁界に関するサンプリングデータである。
【００６７】
前記ステップＳ３２の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ３６にて、ロックインアンプ８６のＡ／Ｄ変換器８６ｏ，８６ｐ，８６ｑ，８６ｒから供給されるサンプリングデータを取込み、ステップＳ３８にて取込んだ各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達したか否かを判定する。この所定数Ｋは、例えば数個から数十個の各サンプリングデータの数を表す値に設定されている。各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達していなければ、コントローラ９０は、ステップＳ３８にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ３６にてＡ／Ｄ変換器８６ｏ，８６ｐ，８６ｑ，８６ｒから次に出力されるサンプリングデータを取込む。そして、Ａ／Ｄ変換器８６ｏ，８６ｐ，８６ｑ，８６ｒから取込んだ各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達すると、コントローラ９０は、ステップＳ３８にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ４０に進む。ステップＳ３６にて取込まれたサンプリングデータは、変数ｎ，ｍによって指定されるサンプリングデータ群として、ＲＡＭに記憶される。
【００６８】
具体的には、Ａ／Ｄ変換器８６ｏから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＸ方向磁気検出信号の参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ，ｍ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器８６ｐから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＸ方向磁気検出信号の遅延参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓx2(ｎ，ｍ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器８６ｐから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＹ方向磁気検出信号の参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓy1(ｎ，ｍ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器８６ｒから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＹ方向磁気検出信号の遅延参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓy2(ｎ，ｍ)としてＲＡＭに記憶される。そして、これらのサンプリングデータ群Ｓx1(ｎ，ｍ)，Ｓx2(ｎ，ｍ)，Ｓy1(ｎ，ｍ)，Ｓy2(ｎ，ｍ)は、前述のように、図１０又は図１３の遮光カーテン６１の下側に位置する太陽電池セルＳＣの部分の発電による電流であって、図１０又は図１３の遮光カーテン６１の上側に位置する太陽電池セルＳＣの部分（具体的には取出電極１０１又はバスバー電極２０７）に流れる電流によって発生する磁界に関するサンプリングデータである。なお、この場合の変数ｎは「１」であってＸ軸方向の検出位置を表し、変数ｍは「１」であって図１０又は図１３の遮光カーテン６１の下側に位置する太陽電池セルＳＣの部分の発電による電流であって、図１０又は図１３の遮光カーテン６１の上側に位置する太陽電池セルＳＣの部分（具体的には取出電極１０１又はバスバー電極２０７）に流れる電流によって発生する磁界に関するサンプリングデータであることを表す。
【００６９】
ステップＳ４０においては、コントローラ９０は変数ｍが「２」であるか否かを判定する。この場合、変数ｍは「１」であるので、コントローラ９０は、ステップＳ４０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ４２にて変数ｍを「２」に設定してステップＳ３０に戻る。ステップＳ３０においては、コントローラ９０は、前述のように、変数ｍが「１」であるか否かを判定する。この場合には、変数ｍは「２」であるので、コントローラ９０は、ステップＳ３０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ３４に進む。ステップＳ３４においては、コントローラ９０は、信号選択回路８４に対して発光信号供給回路８１Ｂからの参照信号すなわち第２周波数の参照信号を選択するように指示するとともに、信号選択回路８５に対してセンサ信号取出回路８３Ａからの出力すなわち磁気センサ１０ＡからのＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号を選択するように指示する。これらの指示により、信号選択回路８４は発光信号供給回路８１Ｂからの第２周波数の参照信号をロックインアンプ８６に選択出力し、信号選択回路８５は磁気センサ１０ＡからのＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号をロックインアンプ８６に選択出力する。
【００７０】
この場合も、ロックインアンプ８６は、変数ｍが「１」であった場合と同様に動作して、Ａ／Ｄ変換器８６ｏ，８６ｐ，８６ｑ，８６ｒから、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号（すなわち発光制御信号）に同期した信号成分の大きさを表すサンプリングデータ、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号から９０度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表すサンプリングデータ、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に同期した信号成分の大きさを表すサンプリングデータ、及びＹ方向磁気検出信号の参照信号から９０度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表すサンプリングデータを、所定時間ごとにコントローラ９０に供給する。ただし、この場合には、ロックインアンプ８６には、発光信号供給回路８１Ｂから出力されて照射装置５０Ｂを駆動制御した第２周波数の正弦波信号と同一周波数の参照信号が供給されるとともに、磁気センサ１０Ａから出力されるＸ方向磁気検出信号及びＹ軸方向磁気検出信号が供給されている。したがって、この場合、ロックインアンプ８６のＡ／Ｄ変換器８６ｏ，８６ｐ，８６ｑ，８６ｒから出力されるサンプリングデータは、照射装置５０Ｂの光照射に基づく発電すなわち図１０又は図１３の遮光カーテン６１の上側に位置する太陽電池セルＳＣの部分の発電による電流であって、図１０又は図１３の遮光カーテン６１の下側に位置する太陽電池セルＳＣの部分（具体的には取出電極１０２又はバスバー電極２０７）に流れる電流によって発生される磁界に関するサンプリングデータである。
【００７１】
前記ステップＳ３４の処理後、コントローラ９０は、前述したステップＳ３６，Ｓ３８の循環処理により、ロックインアンプ８６のＡ／Ｄ変換器８６ｏ，８６ｐ，８６ｑ，８６ｒから出力されるＫ個ずつのサンプリングデータを、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ，ｍ)，Ｓx2(ｎ，ｍ)，Ｓy1(ｎ，ｍ)，Ｓy2(ｎ，ｍ)としてＲＡＭに記憶する。ただし、この場合、変数ｎは「１」であって前述した場合と同じＸ軸方向の検出位置を表すが、変数ｍは「２」であって図１０又は図１３の遮光カーテン６１の上側に位置する太陽電池セルＳＣの部分の発電による電流であって、図１０又は図１３の遮光カーテン６１の下側に位置する太陽電池セルＳＣの部分（具体的には取出電極１０２又はバスバー電極２０７）に流れる電流によって発生される磁界に関するサンプリングデータであることを表す。
【００７２】
前記ステップＳ３６，３８の循環処理後、コントローラ９０は、ステップＳ４０にて、ふたたび変数ｍが「２」であるか否かを判定する。この場合には、変数ｍは「２」であるので、コントローラ９０は、ステップＳ４０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ４４に進む。ステップＳ４４においては、コントローラ９０は、値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸがＸ軸方向の終了値Ｘmaxよりも大きいか否かを判定する。値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸは、Ｘ軸方向の走査間隔を表す所定値ΔＸに変数ｎを乗算して初期値Ｘｓに加算した値であり、次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置すなわち測定位置）を表す値である。値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmax以下であれば、コントローラ９０は、ステップＳ４４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ４６に進む。
【００７３】
ステップＳ４６〜Ｓ５２の処理は、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの中心位置をＸ軸方向の次の検出位置Ｘｓ＋ｎ・ΔＸに移動させる処理である。まず、コントローラ９０は、ステップＳ４６にて、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂに、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの中心位置をＸ軸方向正側に移動させるようにそれぞれ指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂは、Ｘ方向モータ３４Ａ，３４Ｂを作動させて、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの中心位置をＸ軸方向正側にそれぞれ移動させ始める。次に、コントローラ９０は、ステップＳ４８にてＸ方向位置検出回路７２Ａ，７２ＢからＸ軸方向位置をそれぞれ入力し、ステップＳ５０にて、入力したＸ軸方向位置が次のＸ軸方向の検出位置にそれぞれ達したか否か（すなわち、Ｘ軸方向位置を示す値がそれぞれ値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸ以上になったか否か）を判定して、前記入力したＸ軸方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達した側の磁気センサ１０Ａ，１０Ｂに対応したＸ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂに磁気センサ１０Ａ，１０ＢのＸ軸方向正側への移動を停止させることを指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂは、Ｘ方向モータ３４Ａ，３４Ｂの作動をそれぞれ停止させて、磁気センサ１０Ａ，１０ＢのＸ軸方向正側への移動を停止させる。前記ステップＳ５０の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ５２にて、両磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの中心位置が次の検出位置Ｘｓ＋ｎ・ΔＸに達して、両磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの移動が完了しているかを判定する。そして、両磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの中心位置が共に次の検出位置Ｘｓ＋ｎ・ΔＸに達していなければ、コントローラ９０は、ステップＳ５２にて「Ｎｏ」と判定してステップＳ４８〜Ｓ５２の循環処理を実行し続ける。一方、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの中心位置が共に次の検出位置Ｘｓ＋ｎ・ΔＸに達していれば、コントローラ９０は、ステップＳ５２にて「Ｙｅｓ」と判定してステップＳ５４に進む。その結果、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂは、値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸで表されたＸ軸方向位置を磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの検出位置として、太陽電池ＳＢの磁界を検出し始める。
【００７４】
ステップＳ５４においては、コントローラ９０は、変数ｎに「１」を加算することにより、変数ｎを次の検出位置を表す値に変更する。次に、変数ｍを「１」に初期設定して、前述したステップＳ３０〜Ｓ４２のサンプリングデータの取込み処理を実行する。これらのステップＳ３０〜Ｓ４２の処理により、値Ｘｓ＋(ｎ−１)・ΔＸで表されたＸ軸方向位置を検出位置とする磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの磁界検出によるサンプリングデータがそれぞれＲＡＭに新たに記憶される。具体的には、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号及び遅延参照とそれぞれ同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのサンプリングデータが、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ，ｍ)，Ｓx2(ｎ，ｍ)としてＲＡＭに記憶される。また、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号及び遅延参照信号とそれぞれ同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのサンプリングデータが、サンプリングデータ群Ｓy1(ｎ，ｍ)，Ｓy2(ｎ，ｍ)としてＲＡＭに記憶される。なお、この場合の変数ｎは「２」であり、変数ｍは「１」及び「２」である。
【００７５】
そして、コントローラ９０は、次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置）を表す値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmaxよりも大きくなるまで、ステップＳ３０〜Ｓ５６の処理により、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂによる検出位置をＸ軸方向正側に所定値ΔＸずつ移動させるとともに、変数ｎを「１」ずつ増加させながら、サンプリングデータを取込む。そして、次のＸ軸方向の検出位置を表す値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmaxよりも大きくなると、コントローラ９０は、ステップＳ４４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ５８以降に進む。この状態では、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ，ｍ)，Ｓx2(ｎ，ｍ)，Ｓy1(ｎ，ｍ)，Ｓy2(ｎ，ｍ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax，ｍ＝１，２）がＲＡＭに記憶される。なお、値ｎmaxは、終了値Ｘmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｎの値であって、Ｘ軸方向における検出位置の数を表している。
【００７６】
コントローラ９０は、ステップＳ５８にてセンサ信号取出回路８３Ａ，８３Ｂの作動停止をそれぞれ指示し、ステップＳ６０にて第１光源駆動回路８２Ａ，８２Ｂの作動停止をそれぞれ指示し、ステップＳ６２にて第２光源駆動回路８７の作動停止を指示し、ステップＳ６４にて発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂの作動停止をそれぞれ指示する。これらの作動停止の指示により、照射装置５０Ａ，５０Ｂの各発光素子５１，５１、発光素子３５Ａ，３５Ｂ、発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂ、第１光源駆動回路８２Ａ，８２Ｂ、センサ信号取出回路８３Ａ，８３Ｂ、ロックインアンプ８６、第２光源駆動回路８７及び磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの作動が停止する。前記ステップＳ６４の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ６６にて、移動部材３２Ａ，３２ＢをＸ軸方向駆動限界位置まで移動させることをＸ方向位置検出回路７２Ａ，７２Ｂ及びＸ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂにそれぞれ指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３Ａ，７３Ｂは、前述の初期設定のように、Ｘ方向位置検出回路７２Ａ，７２Ｂと協働して、移動部材３２Ａ，３２ＢをＸ軸方向駆動限界位置まで移動させる。
【００７７】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ６８にて遮光カーテン用モータ駆動回路７６に対して遮光解除を指示して、ステップＳ７０にてデータ取得プログラムの実行を終了する。遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、カーテン用モータ６４を回転させて、遮光カーテン６１を上限位置まで巻上げる。そして、遮光カーテン６１が上限位置まで持ち上げられると、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、カーテン用モータ６４の作動を停止させて遮光カーテン６１の巻上げ動作を終了する。これにより、太陽電池ＳＢにおける検出領域の分離が解除される。
【００７８】
次に、前記データ取得プログラムで取得した所定数Ｋずつのサンプリングデータ群Ｓx1(ｎ，ｍ)，Ｓx2(ｎ，ｍ)，Ｓy1(ｎ，ｍ)，Ｓy2(ｎ，ｍ)（ｎ＝１〜ｎmax，ｎ＝１，２）を用いて、太陽電池ＳＢを評価する方法について説明する。この場合、作業者は、入力装置９１を操作して、コントローラ９０に図９Ａ乃至図９Ｆの評価プログラムを実行させる。この評価プログラムにおいては、太陽電池ＳＢの合否判定が行われたり、作業者が太陽電池ＳＢの合否を判定するために、太陽電池ＳＢの電極位置における電流の大きさと向きである電流分布の画像が表示装置に表示される。そこで、評価プログラムを説明する前に、太陽電池セルＳＣの電極に異常が発生した場合について説明しておく。
【００７９】
まず、図１０、図１１Ａ及び図１１Ｂに示す第１タイプの太陽電池ＳＢの異常について説明する。この種の太陽電池セルＳＣにおいては、取出電極１０１，１０２が内部電極１０６，１０８に導電性ペースト又は半田により接続されているので、取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との間の接続不良が異常の原因となる。
【００８０】
１つの太陽電池セルＳＣにおいて、正常な場合と異常な場合（前記接続不良の場合）との電流の分布について、図１２を用いて説明する。（Ａ）は、１つの太陽電池セルＳＣに着目して１対の取出電極１０１，１０２の間に抵抗Ｒcsを接続した等価回路を示し、×印位置にて、取出電極１０１と内部電極１０６との間に接続不良の異常が発生している状態を示している。（Ｂ）は、実線により、太陽電池セルＳＣが正常な状態において、取出電極１０１の位置における電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。また、（Ｂ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記異常が発生した状態において、取出電極１０１の位置における電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。この場合、Ｘ軸方向位置に応じて電流の大きさが変化するのは、（Ａ）の矢印のように電流が流れるため、すなわち右側位置に流れる電流は左側位置にも重なって流れるためである。なお、この場合の電流の大きさとは、電流の向きとは無関係な電流の大きさの絶対値（後述するＩxy）である。したがって、（Ｂ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣが正常な場合と異常な場合とでは、電流の大きさの変化において差があまり大きくなく、電流の大きさは共に滑らかに変化していることが分かる。これは、接続不良の異常箇所においても、取出電極１０１及び内部電極１０６自体には、異常が発生しているわけではなく、取出電極１０１及び内部電極１０６が延設されているＹ軸方向には前記接続不良の異常とは無関係に充分な電流が流れ得るからであると推定される。
【００８１】
一方、（Ｃ）は、実線により、太陽電池セルＳＣが正常な状態において、取出電極１０１の位置におけるＹ軸方向（取出電極１０１に直交する方向）の電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。また、（Ｃ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記異常が発生した状態において、取出電極１０１の位置におけるＹ軸方向の電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。この場合も、Ｘ軸方向位置に応じて電流の大きさが変化するのは、（Ａ）の矢印のように電流が流れるため、すなわち右側位置に流れる電流は左側位置にも重なって流れるためである。そして、（Ｃ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣが正常な場合と異常な場合とでは、Ｙ軸方向の電流の大きさの変化において差が大きく、正常な場合にはＹ軸方向の電流の大きさは滑らかに変化しているが、異常な場合にはＹ軸方向の電流の大きさは異常箇所近傍で大きく変動していることが分かる。これは、接続不良の異常箇所において、異常箇所を避けて電流がＸ軸方向に傾いて流れ、Ｙ軸方向の電流の大きさが減少するためであると推定される。
【００８２】
一方、（Ｄ）は、実線により、太陽電池セルＳＣが正常な状態において、取出電極１０１の位置近傍におけるＹ軸方向（取出電極１０１に直交する方向）の電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。また、（Ｄ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記異常が発生した状態において、取出電極１０１の位置近傍におけるＹ軸方向電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。この場合も、Ｘ軸方向位置に応じて電流の大きさが変化するのは、太陽電池セルＳＣにおいて（Ａ）の矢印のように電流が流れるため、すなわち右側位置に流れる電流は左側位置にも重なって流れるためである。そして、（Ｄ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣが正常な場合と異常な場合とでは、（Ｃ）の場合よりも、Ｙ軸方向の電流の大きさの変化において差が大きく、正常な場合にはＹ軸方向の電流の大きさは滑らかに変化しているが、異常な場合にはＹ軸方向の電流の大きさは異常箇所近傍で大きく変動していることが分かる。これも、接続不良の異常箇所において、異常箇所を避けて電流がＸ軸方向に傾いて流れ、Ｙ軸方向の電流が減少するためであると推定される。
【００８３】
本発明は、これらの取出電極１０１の位置又は位置近傍におけるＸ軸方向の電流の大きさの変化に着目してなされたもので、後述する説明では、このＹ軸方向の電流の大きさをＩｙとして説明する。また、取出電極１０２と内部電極１０８との間の接続不良による異常の発生時においても同じ結果を得ている。すなわち、本発明は、取出電極１０１，１０２の位置又はその近傍位置におけるＹ軸方向の電流の大きさＩｙのＸ軸方向に沿った変化において、Ｙ軸方向の電流の大きさＩｙの変動が接続不良部分の近傍にて大きくなることに着目して、取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良を検出するようにしている。
【００８４】
なお、本実施形態においては、図１２（Ａ）に示すように、取出電極１０１，１０２の間のＹ軸方向の中央位置にて、遮光カーテン６１をＸ軸方向に沿って配置するようにしている。そして、遮光カーテン６１の図示下側の領域に照射される光は第１周波数の駆動制御信号に基づくものであり、遮光カーテン６１の図示上側の領域に照射される光は第２周波数の駆動制御信号に基づくものである。また、遮光カーテン６１の図示下側の領域に流れる電流によって発生される磁界は磁気センサ１０Ａによって検出され、遮光カーテン６１の図示上側の領域に流れる電流によって発生される磁界は磁気センサ１０Ｂによって検出される。したがって、前述した変数ｍ（１又は２）を用いた磁界の検出（図８ＢのステップＳ３０〜Ｓ４２参照）によれば、取出電極１０１の位置又は位置近傍に流れる電流によって発生される磁界は遮光カーテン６１の図示下側の領域の発電に基づく電流によるものであり（ｍ＝「１」に対応）、取出電極１０２の位置又は位置近傍に流れる電流によって発生される磁界は遮光カーテン６１の図示上側の領域の発電に基づく電流によるものである（ｍ＝「２」に対応）。
【００８５】
次に、図１３、図１４Ａ及び図１４Ｂに示す第２タイプの太陽電池ＳＢの異常について説明する。図１７は、太陽電池セルＳＣの電極の１つが断線している場合における電流の大きさの分布の実験結果を示している。(Ａ)は、遮光カーテン６１の両側に位置する各１つずつの太陽電池セルＳＣに着目して、一方の太陽電池セルＳＣのバスバー電極２０７，２０７と他方の太陽電池セルＳＣの裏面電極２０１，２０１との間に抵抗Ｒcsを接続した等価回路を示している。なお、電流の方向は、図示右方向を正とする。この状態で、図示上側の太陽電池セルＳＣにおいて、図示上下のバスバー電極２０７，２０７に流れる電流の大きさは、Ｘ軸方向位置において次のように変化する。まず、断線が生じていない場合には、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさの分布は、(Ｂ)のＡに示すように、Ｘ軸方向位置が変化してもほぼ一定となった。一方、上側のバスバー電極２０７側を断線させた場合（(Ａ)のＢ断線）、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、(Ｂ)のＢに示すように、断線箇所に近い左部であるＸ軸方向位置では小さく、右方に向かうに従って大きくなる。また、上側の裏面電極２０１側を断線させた場合（(Ａ)のＣ断線）、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、(Ｂ)のＣに示すように、断線箇所に遠い左部であるＸ軸方向位置では大きく、右方に向かうに従って小さくなる。これらは、断線箇所に近い位置の電流が流れ難く、断線した位置から離れるに従って、グリッド電極２０６などを介して流れ込む電流が増加するためであると推定される。
【００８６】
(Ｃ)は、前述したＡ，Ｂ，Ｃの条件下で、図示上側の太陽電池セルＳＣにおける下側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさのＸ軸方向における分布を示している。この場合、(Ｂ)の場合とは逆に、上側のバスバー電極２０７の断線箇所に近いＸ軸方向位置の電流の大きさは大きく、前記断線箇所から離れたＸ軸方向位置ほど電流の大きさは小さくなる。これは、上側のバスバー電極２０７を流れることができなくなった分の電流が下側のバスバー電極２０７に流れ込んでいるためと推定される。このように、バスバー電極２０７側及び裏面電極２０１側を断線させた場合には、上側及び下側のバスバー電極２０７，２０７に流れる電流の大きさは、断線してない場合に比べて極めて大きく変化することが分かる。なお、前記説明では、電流の大きさ（電流の絶対値）の変化について説明したが、バスバー電極２０７内を流れる電流の向きはほぼＸ軸方向であるので、Ｘ軸方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。
【００８７】
図１８は、図示上側の太陽電池セルＳＣにおいて、上側のバスバー電極２０７の接触抵抗ｒが大きい場合における電流の大きさの分布の実験結果を示している。(Ａ)は、図１７の場合と同様に、遮光カーテン６１の両側に位置する各一つずつの太陽電池セルＳＣに着目して、遮光カーテン６１の一方の側に位置する太陽電池セルＳＣのバスバー電極２０７，２０７と、他方の側に位置する太陽電池セルＳＣの裏面電極２０１，２０１との間に抵抗Ｒcsを接続した等価回路を示している。そして、接触抵抗ｒを、図示上側の太陽電池セルＳＣにおける図示上側のバスバー電極２０７に、５０ｃｍ及び１５０ｃｍの電線を直列に接続することにより実現している。なお、上下のバスバー電極２０７，２０７間の距離は、例えば５ｃｍである。また、この場合も、電流の方向は、図示右方向を正とする。このような接触抵抗ｒにより、図示上側の太陽電池セルＳＣにおける上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、Ｘ軸方向位置において次のように変化する。まず、正常時（前記上側のバスバー電極２０７に接触抵抗ｒが接続されていない場合）には、前記上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさの分布は、(Ｂ)のＡに示すように、Ｘ軸方向位置が変化してもほぼ一定となった。一方、前記上側のバスバー電極２０７に５０ｃｍの電線を直列に接続した場合には、前記上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、(Ｂ)のＢに示すように、接触抵抗ｒが大きい左部であるＸ軸方向位置では小さく、右方に向かうに従って大きくなる。また、前記上側のバスバー電極２０７に１５０ｃｍの電線を直列に接続した場合には、前記上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、(Ｂ)のＣに示すように、接触抵抗ｒが大きい左部であるＸ軸方向位置ではさらに小さくなる。これらは、接触抵抗ｒが大きくて電流が流れ難い位置の電流が小さくなり、前記電流が流れ難い位置から離れるに従って、グリッド電極２０６などを介して流れ込む電流が増加するためであると推定される。そして、この電流の変化は、前記図１７の断線の場合に比べて小さいものである。
【００８８】
(Ｃ)は、前述したＡ，Ｂ，Ｃの条件下で、図示上側の太陽電池セルＳＣの下側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさのＸ軸方向における分布を示している。この場合には、(Ｂ)の場合とは異なり、前記上側のバスバー電極２０７の接触抵抗ｒの大きなＸ軸方向位置の電流の大きさはある程度大きく、前記断線箇所から離れたＸ軸方向位置の電流の大きさはある程度小さい。この場合も、前記上側のバスバー電極２０７を流れることができなくなった分の電流が前記下側のバスバー電極２０７に流れ込んでいるためと推定される。このように、前記上側のバスバー電極２０７側の接触抵抗が大きくなった場合も、前記断線の場合よりはその変化は小さいが、前記下側のバスバー電極２０７，２０７に流れる電流の大きさは、接触抵抗が正常な場合に比べて極めて大きく変化することが分かる。また、裏面電極２０１側の接触抵抗が大きくなった場合も、同様な現象が現われる。なお、この場合も、前記説明では、電流の大きさ（電流の絶対値）の変化について説明したが、バスバー電極２０７内を流れる電流の向きはほぼＸ軸方向であるので、Ｘ軸方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。
【００８９】
図１９は、図示上側の太陽電池セルＳＣにおいて、バスバー電極２０７とグリッド電極２０６との間に接触不良が生じている場合における電流の大きさの分布の実験結果を示している。(Ａ)は、図１７及び図１８の場合と同様に、遮光カーテン６１の両側に位置する各一つずつの太陽電池セルＳＣに着目して、図示上側の太陽電池セルＳＣの上側のバスバー電極２０７が図示右部位置（図示×印位置）にてグリッド電極２０６と接触不良である状態の等価回路を示している。なお、この場合も、電流の方向は、図示右方向を正とする。この状態で、前記図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、Ｘ軸方向位置において次のように変化する。まず、バスバー電極２０７とグリッド電極２０６との間に接触不良が生じていない場合には、前記図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさの分布は、(Ｂ)のＡに示すように、若干は変化するもののＸ軸方向位置が変化してもほぼ一定となった。一方、前記バスバー電極２０７とグリッド電極２０６との間に接触不良が生じた場合、前記図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、(Ｂ)のＢに示すように、接触不良位置から遠い左部であるＸ軸方向位置では大きく、接触不良位置である右方に向かうに従って小さくなる。これは、接触不良位置では、バスバー電極２０７に流れる電流が減少するためであると推定される。
【００９０】
(Ｃ)は、前述したＡ，Ｂの条件下で、図示上側の太陽電池セルＳＣにおける下側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさのＸ軸方向における分布を示している。この場合、(Ｂ)の場合とは逆に、前記上側のバスバー電極２０７の接触不良に近い右部であるＸ軸方向位置の電流の大きさは大きく、前記接触不良箇所から離れたＸ軸方向位置ほど電流の大きさは小さくなる。これは、前記上側のバスバー電極２０７を流れることができなくなった分の電流が前記下側のバスバー電極２０７に流れ込んでいるためと推定される。このように、前記バスバー電極２０７とグリッド電極２０６との間に接触不良が生じた場合も、前記上側及び下側のバスバー電極２０７，２０７に流れる電流の大きさは、接触不良が生じていない場合に比べて極めて大きく変化することが分かる。なお、前記説明では、電流の大きさ（電流の絶対値）の変化について説明したが、この場合も、バスバー電極２０７内を流れる電流の向きはほぼＸ軸方向であるので、Ｘ軸方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。
【００９１】
次に、評価プログラムの実行について説明する。この評価プログラムの実行は図９ＡのステップＳ１００にて開始され、コントローラ９０は、ステップＳ１０２にて変数ｎ，ｍをそれぞれ「１」に初期設定する。変数ｎ（ｎ＝１〜ｎmax）は、この場合も、Ｘ軸方向における検出位置を指定するための変数であり、変数ｍ（１，２）は第１及び第２周波数を用いた磁界の検出すなわちＹ軸方向の電極位置（取出電極１０１，１０２、バスバー電極２０７）を指定するための変数である。そして、値ｎmaxは、前述のように、それぞれＸ軸方向における検出位置の数を表している。前記ステップＳ１０２の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１０４にて、変数ｎ，ｍによって指定される所定数Ｋずつのサンプリングデータ群Ｓx1(ｎ，ｍ)，Ｓx2(ｎ，ｍ)，Ｓy1(ｎ，ｍ)，Ｓy2(ｎ，ｍ)の磁界の大きさの各平均値Ｓx1，Ｓx2，Ｓy1，Ｓy2を計算する。具体的には、各サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ，ｍ)，Ｓx2(ｎ，ｍ)，Ｓy1(ｎ，ｍ)，Ｓy2(ｎ，ｍ)ごとに、Ｋ個のサンプリングデータを加算して値Ｋで除算する。
【００９２】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ１０６にて、前記計算した平均値Ｓx1，Ｓx2を用いた下記式１，２の演算の実行により、Ｘ方向磁気検出信号の極大値Ｈｘと、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｘとを計算する。
Ｈｘ＝(Ｓx12＋Ｓx22)1/2  …式１
θｘ＝tan-1(Ｓx2/Ｓx1)  …式２
これにより、Ｘ方向磁気検出信号としてＨｘ・sin(２πｆｔ＋θｘ)が検出されたことになる。なお、ｆは、発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂから出力される発光信号及び参照信号の第１及び第２周波数を表す。
【００９３】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ１０８にて、前記計算した平均値Ｓy1，Ｓy2を用いた下記式３，４の演算の実行により、Ｙ方向磁気検出信号の極大値Ｈｙと、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｙとを計算する。
Ｈｙ＝(Ｓy12＋Ｓy22)1/2  …式３
θｙ＝tan-1(Ｓy2/Ｓy1)   …式４
これにより、Ｙ方向磁気検出信号としてＨｙ・sin(２πｆｔ＋θｙ)が検出されたことになる。
【００９４】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ１１０にて、前記計算したＨｘ，θｘ，Ｈｙ，θｙを用いた下記式５，６の演算の実行により、照射装置５０Ａ，５０Ｂの発光量すなわち通電電流が最大となるタイミング（前記Ｘ方向磁気検出信号Ｈｘ・sin(２πｆｔ＋θｘ)及び前記Ｙ方向磁気検出信号Ｈｙ・sin(２πｆｔ＋θｙ)における２πｆｔがπ／２のタイミング）における、検査位置の磁界の強さＨxy及び磁界の向きθxyを計算する。この場合、通電電流が最大となるタイミングを採用した理由は、位相シフト量θｘ，θｙは小さく、通電電流が最大となるタイミング近傍で検査位置の磁界の強さＨxyが最大値近傍の値になるためである。なお、位相シフト量θｘ，θｙが小さくなく、通電電流が最大となるタイミング近傍で検査位置の磁界の強さＨxyが最大値近傍にならない場合には、磁界の強さＨxyが最大値近傍になるようなタイミングの角度をπ／２に代えて用いればよい。
Ｈxy＝[{Ｈｘ・sin(π/２+θx)}2＋{Ｈｙ・sin(π/２+θｙ)}2]1/2  …式５
θxy＝tan-1{Ｈｙ・sin(π/２+θｙ)}/{Ｈｘ・sin(π/２+θx)}  …式６
【００９５】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ１１２にて、太陽電池ＳＢに流れる電流は前記磁界の強さＨxyに比例し、かつ方向が磁界の方向θxyとπ／２異なることから、前記計算したＨxy，θxyを用いた下記式７，８の演算の実行により、通電電流が最大となるタイミングにおける、太陽電池ＳＢの検査位置に流れる電流の大きさＩxy及び方向θixyを計算する。ただし、値Ｋは、比例定数である。
Ｉxy＝Ｋ・Ｈxy  …式７
θixy＝θxy＋π／２  …式８
そして、このステップＳ１１２にて、前記計算された電流の大きさＩxy及び方向θixyは、太陽電池ＳＢのＸ軸方向の検査位置を表す変数ｎ及びＹ軸方向の電極位置（遮光カーテン６１のいずれか側）を表す変数ｍを用いて電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)及び方向データθixy(ｎ，ｍ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。
【００９６】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ１１４にて、前記計算したＩxy，θixyを用いた下記式９，１０の演算の実行により、太陽電池ＳＢの検査位置においてＸ軸方向及びＹ軸方向に流れる電流の大きさＩx，Ｉyを計算する。
Ｉx＝Ｉxy・cosθixy  …式９
Ｉy＝Ｉxy・sinθixy  …式１０
そして、このステップＳ１１４にて、前記計算された電流の大きさＩx，Ｉyも、太陽電池ＳＢのＸ軸方向の検査位置を表す変数ｎ及びＹ軸方向の電極位置（遮光カーテン６１のいずれか側）を表す変数ｍを用いて電流の大きさデータＩx(ｎ，ｍ)，Ｉy(ｎ，ｍ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。
【００９７】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ１１６にて変数ｎがＸ軸方向の検出位置数を表す値ｎmaxに達したか否かを判定する。変数ｎが値ｎmaxに達していなければ、コントローラ９０は、ステップＳ１１６にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ１１８にて変数ｎに「１」を加算してステップＳ１０４に戻る。そして、前述したステップＳ１０４〜Ｓ１１４の処理を実行した後、コントローラ９０は、ステップＳ１１６にてふたたび変数ｎが値ｎmaxに達したか否かを判定する。変数ｎが値ｎmaxに達しない限り、ステップＳ１０４〜１１８の処理が繰り返し実行される。
【００９８】
このようなステップＳ１０４〜Ｓ１１８の繰り返し処理中、変数ｎが値ｎmaxに達すると、コントローラ９０は、ステップＳ１１６にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１２０に進む。この状態では、変数ｎ（＝１〜ｎmax）及び変数ｍ（＝１）によって指定される電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)及び方向データθixy(ｎ，ｍ)、並びにＸ軸方向及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩx(ｎ，ｍ)，Ｉy(ｎ，ｍ)が、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶されている。
【００９９】
ステップＳ１２０においては、コントローラ９０は、変数ｍが「２」であるか否かを判定する。変数ｍが「１」であれば、コントローラ９０は、ステップＳ１２０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１２２にて変数ｍを「２」に設定し、ステップＳ１２４にて変数ｎを「１」に設定して、ステップＳ１０４に戻る。以降、コントローラ９０は、変数ｎが値ｎmaxに達するまで、ステップＳ１１８の処理によって変数ｎを順次「１」ずつ増加させながら、ステップＳ１０４〜Ｓ１１８からなる循環処理を繰り返し実行する。そして、変数ｎが値ｎmaxに達すると、コントローラ９０は、ステップＳ１１６にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１２０に進む。この場合、変数ｍは前記ステップＳ１２２の処理によって「２」に設定されているので、変数ｎ（＝１〜ｎmax）及び変数ｍ（＝２）によって指定される電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)及び方向データθixy(ｎ，ｍ)、並びにＸ軸方向及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩx(ｎ，ｍ)，Ｉy(ｎ，ｍ)が、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。
【０１００】
前記ステップＳ１２０における「Ｙｅｓ」との判定後、コントローラ９０は、ステップＳ１２６にて、検査対象である太陽電池ＳＢが太陽電池セルＳＣ内にそれぞれ電池の直列接続構造を有するもの（図１０の第１タイプの太陽電池ＳＢ）であるか否かを判定する。検査対象である太陽電池ＳＢが太陽電池セルＳＣ内にそれぞれ電池の直列接続構造を有するものであれば、コントローラ９０は、ステップＳ１２６にて「Ｙｅｓ」と判定して、図９ＢのステップＳ１３０以降に進む。この時点では、太陽電池ＳＢのＸ軸方向の検査位置を表す変数ｎ（＝１〜ｎmax）及びＹ軸方向の電極位置（遮光カーテン６１のいずれか側）を表す変数ｍ（＝１，２）によって指定される電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)、Ｘ軸方向の電流の大きさデータＩx(ｎ，ｍ)及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩy(ｎ，ｍ)が、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶されている。
【０１０１】
ステップＳ１３０においては、コントローラ９０は、変数ｍを「１」に初期設定する。この場合、変数ｍが「１」であることは、前述のように、図１０において各太陽電池セルＳＣの上側の電極すなわち取出電極１０１位置の磁界及び電流の検出に関することを意味する。そして、ステップＳ１３２において、コントローラ９０は、Ｘ軸方向の磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの検出位置を示す変数ｎを「１」に初期設定し、取出電極１０１（又は１０２）のＸ軸方向の検出位置の数（取出電極１０１，１０２の長さをＸ軸方向の移動距離単位ΔＸで除した数）をカウントするための変数ｐを「０」に初期設定し、取出電極１０１（又は１０２）のＸ方向電極番号ｇを「１」に初期設定する。次に、コントローラ９０は、ステップＳ１３４にて、変数ｎ、ｍによって指定されるＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)が所定の小さな基準値以上であるかを判定することにより、変数ｎによって示される検出位置が取出電極１０１の位置にあるか、取出電極１０１の間の接続線１１１にあるかを判定する。これは、変数ｎによって指定されるＸ軸方向位置が取出電極１０１に対応した位置にあるときには、Ｙ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)はある程度大きな値を示す（図１０参照）が、変数ｎによって指定されるＸ軸方向位置が取出電極１０１の間の接続線１１１に対応した位置にあるときには、Ｙ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)はほぼ「０」である。
【０１０２】
したがって、変数ｎによって指定されるＸ軸方向位置が取出電極１０１に対応する位置であれば、コントローラ９０は、ステップＳ１３４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１３６にて変数ｐに「１」を加算し、ステップＳ１３８にて変数ｎに「１」を加算して、ステップＳ１３４に戻る。変数ｎの増加によって検出位置がＸ軸方向に移動されても、検出位置が取出電極１０１に対応する位置である限り、前記ステップＳ１３４〜Ｓ１３８の循環処理が繰り返し実行されて、変数ｐが変数ｎの増加に従って増加する。このステップＳ１３４〜Ｓ１３８の循環処理中、検出位置が取出電極１０１を超えて接続線１１１の領域に入ると、コントローラ９０は、ステップＳ１３４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１４０に進む。
【０１０３】
ステップＳ１４０においては、コントローラ９０は、前記変数ｐが所定数以上であるかを判定する。この場合、所定数は、取出電極１０１の長さを移動距離単位ΔＸで除した値よりも若干小さな値であり、前記入力した太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の長さと移動距離単位ΔＸとにより予め決められた値である。取出電極１０１の位置に対応したＹ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ，ｍ)が正確に検出されていれば、変数ｐは所定数以上であるので、コントローラ９０はステップＳ１４０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１４２にてＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ−ｐ，ｍ)〜Ｉｙ(ｎ−１，ｍ)に電極番号ｇを割当てる。そして、コントローラ９０は、ステップＳ１４４にて、電極番号ｇに「１」を加算して、ステップＳ１４６に進む。これは、図１０のＸ軸方向に沿って次の取出電極１０１の検出を意味する。
【０１０４】
また、前記ステップＳ１４０の判定処理において、「Ｎｏ」すなわち変数ｐが所定数未満である場合には、コントローラ９０は、ステップＳ１４０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１４２，Ｓ１４４の処理を実行しないで、ステップＳ１４６に進む。この場合、Ｙ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ−ｐ，ｍ)〜Ｉｙ(ｎ−１，ｍ)に電極番号ｇの割当ては行われない。
【０１０５】
ステップＳ１４６においては、変数ｎが値ｎmax（すなわち終了値Ｘmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｎの値）に達したかが判定される。変数ｎが値ｎmaxに達していなければ、コントローラ９０は、ステップＳ１４６にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１４８にて変数ｐを「０」に初期設定して、ステップＳ１３８に進む。コントローラ９０は、前述のように、ステップＳ１３８にて変数ｎに「１」を加算し、ステップＳ１３４の判定処理をふたたび実行する。ステップＳ１３４の処理は、前述のように、Ｘ軸方向の検出位置が取出電極１０１に対応しているか、取出電極１０１，１０１間の接続線１１１に対応しているかを判定する処理である。そして、検出位置が接続線１１１に対応した位置にある状態では、Ｙ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)は基準値未満であり、コントローラ９０は、ステップＳ１３４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１４０に進む。この場合、変数ｐは前記ステップＳ１４８の処理により「０」に保たれるので、コントローラ９０は、ステップＳ１４０にて「Ｎｏ」と判定し続けて、ステップＳ１４６，Ｓ１４８，Ｓ１３８，Ｓ１３４，Ｓ１４０の循環処理を繰り返し実行する。
【０１０６】
この循環処理中、ステップＳ１３８による変数ｎの増加により、検出位置が取出電極１０１に対応した位置まで来ると、前述の場合と同様に、コントローラ９０は、ステップＳ１３４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１３４〜Ｓ１３８の循環処理を繰り返し実行する。そして、検出位置が接続線１１１の領域に入ると、前述のように、コントローラ９０は、ステップＳ１３４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１４０〜Ｓ１４４の処理を実行する。そして、これらのステップＳ１４０〜Ｓ１４４の処理により、Ｘ軸方向の次の取出電極１０１に対応したＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ−ｐ，ｍ)〜Ｉｙ(ｎ−１，ｍ)に次の電極番号ｇが割当てられる。また、変数ｐが所定数未満のときには、ステップＳ１４０における「Ｎｏ」との判定のもとに、電極番号ｇの割当ては行われない。
【０１０７】
これらのステップＳ１４０〜Ｓ１４４の処理後、コントローラ９０は、前記ステップＳ１４６，Ｓ１４８の処理を実行して、ふたたびステップＳ１３８に進む。これにより、変数ｎの増加により、図１０に示すＸ軸方向に一列に延設された複数の取出電極１０１に対応したＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ−ｐ，ｍ)〜Ｉｙ(ｎ−１，ｍ)に次々に電極番号ｇ（ｇ＝１〜ｓmax）が割当てられていく。そして、変数ｎが値ｎmaxに達すると、コントローラ９０は、ステップＳ１４６にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ１５０にて変数ｇが初期に入力したＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに等しいか否かを判定する。この判定処理は、前記ステップＳ１３０〜Ｓ１４８の処理によってＸ軸方向の全ての取出電極１０１が検出された否かを判定するものである。全ての取出電極１０１が正確に検出されていれば、変数ｇは前記数ｓmaxに等しく、コントローラ９０は、ステップＳ１５０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１５２に進む。一方、取出電極１０１が正確に検出されていなければ、変数ｇは前記数ｓmaxに等しくなく、コントローラ９０は、ステップＳ１５０にて「Ｎｏ」と判定して、図９ＣのステップＳ１９０に進む。
【０１０８】
まず、全ての取出電極１０１が正確に検出された場合について説明すると、ステップＳ１５０における「Ｙｅｓ」との判定後、コントローラ９０は、ステップＳ１５２にて変数ｍが「２」であるか否かを判定する。この場合、変数ｍは「１」であるので、コントローラ９０は、ステップＳ１５２にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ１５４にて変数ｍを「２」に設定して、ステップＳ１３２に戻る。そして、コントローラ９０は、ステップＳ１３２にて、ふたたび、変数ｎ，ｇを「１」にそれぞれ初期設定するとともに、変数ｐを「０」に初期設定した後、前述したステップＳ１３４〜Ｓ１４８からなる循環処理を変数ｎが値ｎmaxになるまで繰り返し実行する。
【０１０９】
この場合、変数ｍは「２」であり、変数ｍが「２」であることは、前述のように、図１０において各太陽電池セルＳＣの下側の電極すなわち取出電極１０２位置の磁界及び電流の検出に関することを意味する。したがって、変数ｍを「２」に設定した後の前記ステップＳ１３４〜S１４８からなる循環処理においては、図１０に示すＸ軸方向に一列に延設された複数の取出電極１０２に対応したＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ−ｐ，ｍ)〜Ｉｙ(ｎ−１，ｍ)に次々に電極番号ｇ（ｇ＝１〜ｓmax）が割当てられる。そして、変数ｎが値ｎmaxに達すると、コントローラ９０は、ステップＳ１４６に「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１５０にて、ふたたび変数ｇが初期に入力したＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに等しいか否かを判定する。この場合も、全ての取出電極１０２が正確に検出されていれば、変数ｇは前記数ｓmaxに等しく、コントローラ９０は、ステップＳ１５０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１５２に進む。そして、この場合には、変数ｍは「２」に設定されているので、コントローラ９０は、ステップＳ１５２にて「Ｙｅｓ」と判定して、図９ＣのステップＳ１６０に進む。一方、この場合も、取出電極１０２が正確に検出されていなければ、変数ｇは前記数ｓmaxに等しくなく、コントローラ９０は、前述のように、ステップＳ１５０にて「Ｎｏ」と判定して、図９ＣのステップＳ１９０に進む。
【０１１０】
まず、全ての取出電極１０１が正確に検出され、かつ全ての取出電極１０２が正確に検出された場合について説明すると、コントローラ９０は、ステップＳ１６０にて変数ｍを「１」に初期設定し、ステップＳ１６４にて電極番号ｇを指定するための変数ｓを「１」に初期設定する。その後、コントローラ９０は、ステップＳ１６４にて変数ｓに等しい電極番号ｇが割当てられ、かつ変数ｍ（＝１）によって指定されるＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ，ｍ)を抽出する。すなわち、電極番号ｇ（＝ｓ）によって指定される取出電極１０１の位置又はその近傍位置における、Ｙ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ，ｍ)が抽出される。なお、このＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ，ｍ)は、「１」ずつ順次増加する変数ｎによって指定される取出電極１０１のＸ軸方向の長さ分のデータ数を含む。
【０１１１】
前記ステップＳ１６４の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１６６にて、前記抽出したＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ，ｍ)を用いて次のような計算を実行する。まず、前記抽出したＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ，ｍ)を、変数ｎが増加する方向に連続して所定数ごとの複数のグループ（例えば、５〜１０程度のグループ）に振り分ける。ただし、最も大きな変数ｎを含むグループにおけるデータ数は前記所定数よりも小さい可能性があるが、他のグループのデータ数は前記所定数となる。このグループへの振り分け後、グループごとに、前記抽出したＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ，ｍ)の平均値の絶対値を平均値Ａ(ｓ，ｍ)としてそれぞれ計算する。
【０１１２】
次に、グループごとに、前記抽出したＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ，ｍ)の最大値から最小値を減算して、減算結果を前記計算した平均値Ａ(ｓ，ｍ)で除算して、除算結果である（最大値−最小値）／Ａ(ｓ，ｍ)をグループごとの評価データＢ(ｓ，ｍ)とする。次に、グループごとに、前記抽出したＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ，ｍ)の標準偏差を前記計算した平均値Ａ(ｓ，ｍ)で除算して、除算結果である標準偏差／Ａ(ｓ，ｍ)をグループごとの評価データＣ(ｓ，ｍ)とする。なお、この状態では、前記振り分けたグループ数分の評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)がそれぞれ計算されることになる。そして、これらの評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)は、Ｙ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ，ｍ)の変動を表すデータとして機能する。
【０１１３】
前記ステップＳ１６６の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１６８にて、グループごとの評価データＢ(ｓ，ｍ)のうちのいずれかが所定の許容値よりも大きいか否かを判定するとともに、グループごとの評価データＣ(ｓ，ｍ)のうちのいずれかが所定の許容値よりも大きいか否かを判定する。なお、前記所定の許容値は、評価データＢ(ｓ，ｍ)と評価データＣ(ｓ，ｍ)とで異なる値に設定されている。前記評価データＢ(ｓ，ｍ)が所定の許容値よりも大きいか、又は前記評価データＣ(ｓ，ｍ)が所定の許容値よりも大きければ、コントローラ９０は、ステップＳ１６８にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１７０にてエラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)を「１」に設定して、ステップＳ１７２に進む。一方、前記評価データＢ(ｓ，ｍ)が所定の許容値以下であり、かつ前記評価データＣ(ｓ，ｍ)も所定の許容値以下であれば、コントローラ９０は、ステップＳ１６８にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１７２に進む。これにより、変数ｓ，ｍ（＝１）によって指定される取出電極１０１に異常（取出電極１０１と内部電極１０６との接続不良）が発生し、図１２を用いて前述したように、Ｙ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ，ｍ)の変動が大きければ、変数ｓ，ｍによって指定されるエラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)が「１」に設定される。この「１」に設定されたエラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)は、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。
【０１１４】
ステップＳ１７２においては、変数ｓが前記入力したＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達したか否かを判定する（図１０参照）。変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していなければ、コントローラ９０は、ステップＳ１７２にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ１７４にて変数ｓに「１」を加算して、ステップＳ１６４に戻る。そして、コントローラ９０は、前述したステップＳ１６４〜Ｓ１７０の処理により、図１０のＸ軸方向の次の取出電極１０１に関して、所定数からなるグループごとに、平均値Ａ(ｓ，ｍ)及び評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)を計算するとともに、これらの評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)を評価し、前記取出電極１０１に異常が発生していれば、エラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)を「１」に設定してＲＡＭ又は記憶装置に記憶する。
【０１１５】
そして、これらのステップＳ１６４〜Ｓ１７２の処理を全ての取出電極１０１に関して実行した後、コントローラ９０は、ステップＳ１７２にて「Ｙｅｓ」すなわち変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していると判定して、ステップＳ１７６に進む。ステップＳ１７６においては、コントローラ９０は、変数ｍが「２」であるか否かを判定する。この場合、変数ｍは「１」であるので、コントローラ９０は、ステップＳ１７６にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ１７８にて変数ｍを「２」に設定し、ステップＳ１６２にて変数ｓを「１」に初期設定した後、ふたたび、変数ｓを順次「１」ずつ増加させながら、ステップＳ１６４〜Ｓ１７４からなる循環処理を繰り返し実行する。変数ｍが「２」であることは前述のように取出電極１０２の検査に関することを意味するので、今回のステップＳ１６４〜Ｓ１７０の処理により、図１０のＸ軸方向の変数ｓによって指定される取出電極１０２ごとに、グループごとの平均値Ａ(ｓ，ｍ)及び評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)が計算されるとともに、これらの評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)が評価されて、前記取出電極１０２に異常が発生していれば、エラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)が「１」に設定されてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。そして、この変数ｍを「２」に設定した後、変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達すると、コントローラ９０は、ステップＳ１７２にて「Ｙｅｓ」と判定し、かつステップＳ１７６にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１８０に進む。
【０１１６】
ステップＳ１８０においては、コントローラ９０は、変数ｎ（＝１〜ｎmax）及び変数ｍ（＝１，２）によって指定されて、前記ＲＡＭ又は記憶装置に記憶されている電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)を用いて、電極番号ｇによって指定される太陽電池セルＳＣごとに、表示用画像データを生成して、表示装置９２に画像データによって表された画像を表示する。この画像は、例えば、太陽電池セルＳＣの検査位置ごとに、Ｘ軸方向に沿って、電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)に応じて明度、色彩などを異ならせて表示するとともに、Ｙ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)に応じて明度、色彩などを異ならせて表示するとよい。
【０１１７】
前記ステップＳ１８０の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１８２にて、エラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)（ｓ＝１〜ｓmax，ｍ＝１，２）の中に“１”を示すエラーデータが存在するかを調べる。“１”を示すエラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)が存在しなければ、コントローラ９０は、ステップＳ１８２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１８４にて表示装置９２に「合格」を表示し、ステップＳ１９４にてこの評価プログラムの実行を終了する。一方、“１”を示すエラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)が存在すると、コントローラ９０は、ステップＳ１８２にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１８６にて表示装置９２に「不合格」を表示し、ステップＳ１８８にて、エラーデータＥ（ｓ，ｍ）が“１”である変数ｓ，ｍを取り出して、前記表示した画像中の変数ｓ，ｍによって指定される取出電極１０１，１０２を欠陥ありとして表示する。なお、この場合、初期にＲＡＭに記憶させた磁気センサ１０Ａ，１０Ｂを対向させた取出電極１０１，１０２に関するデータも読み出して、異常な取出電極１０１，１０２を特定する。これによれば、作業者は、表示装置９２の表示状態から、太陽電池セルＳＣの異常（取出電極１０１，１０２の接続不良）を確実かつ容易に認識できる。
【０１１８】
次に、前記ステップＳ１３２〜Ｓ１４８，Ｓ１５２，Ｓ１５４の処理によって取出電極１０１，１０２が正確に検出されていなくて、図９ＢのステップＳ１５０にて「Ｎｏ」と判定された場合について説明する。この場合には、コントローラ９０は、図９ＣのステップＳ１９０にて、電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)、Ｘ軸方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)（ｎ＝１〜ｎmax，ｎ＝１，２）から表示用画像データを生成して、表示装置９２に画像データによって表された画像を表示する。
【０１１９】
特に、可能であれば、取出電極１０１，１０２の異常（取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良）を視覚判断できるように、取出電極１０１，１０２の対応位置又はその近傍位置（取出電極１０１，１０２の間であって取出電極１０１，１０２の近傍位置）のＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)のみを、取出電極１０１，１０２ごと又は太陽電池セルＳＣごとに表示するようにするとよい。この場合には、取出電極１０１，１０２の位置が検出されていないので、作業者が、表示装置９２の表示画面を見ながら、表示画像を移動させて取出電極１０１，１０２の対応位置又はその近傍位置のＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)を表示させる必要がある。これによれば、作業者は、表示装置９２による表示状態から、太陽電池セルＳＣの異常（取出電極１０１，１０２の接続不良）を判断することができる場合がある。
【０１２０】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ１９２にて、「取出電極１０１，１０２の合否判定は不能」である旨を表示装置９２に表示して、ステップＳ１９４にてこの評価プログラムの実行を終了する。
【０１２１】
上述のようにして、Ｘ軸方向に一列に配置された複数の取出電極１０１，１０２の異常検出が終了したら、作業者は、入力装置９１を操作することにより、バキュームポンプ２１の作動停止をコントローラ９０に入力指示する。これにより、コントローラ９０はポンプ駆動回路７１を制御して、バキュームポンプ２１の作動を停止させる。これにより、太陽電池ＳＢのステージ２０上での吸引が解除される。そして、次のＹ軸方向の所望の列の太陽電池セル群ＳＣの取出電極１０１，１０２を検査するために、照射装置５０Ａ，５０Ｂの間の遮光カーテン６１が、図１０に示すように、Ｙ軸方向の所望の列の太陽電池セル群ＳＣの取出電極１０１，１０２の中央位置にてＸ軸方向に沿って延設されるように、ステージ２０上の太陽電池ＳＢを位置調整する。例えば、遮光カーテン６１が、Ｙ軸方向の２列目の太陽電池セル群ＳＣの取出電極１０１，１０２の中央位置にてＸ軸方向に沿って延設されるように、ステージ上の太陽電池ＳＢを位置調整する。なお、この場合、上述した図８ＢのステップＳ６８の処理によって遮光カーテン６１は巻上げられている。そして、作業者は、バキュームポンプ２１の作動開始をコントローラ９０にふたたび入力指示する。これにより、上述のように、バキュームポンプ２１が作動されて、太陽電池ＳＢがふたたびステージ２０上に固定される。
【０１２２】
次に、作業者は、入力装置９１を操作することにより、コントローラ９０を介してＹ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂに指示して、磁気センサ１０Ａ，１０ＢがＹ軸方向の次の検査位置に来るように、Ｙ方向モータ４４Ａ，４４Ｂをそれぞれ作動させる。すなわち、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂが遮光カーテン６１の下方両側に位置する太陽電池セルＳＣの取出電極１０２，１０１に対向する位置に来るように、Ｙ方向モータ４４Ａ，４４Ｂをそれぞれ作動させる。なお、この場合も、前記磁気センサ１０Ａ，１０Ｂを対向させた取出電極１０２，１０１に関しては、取出電極１０２，１０１を表すデータをＲＡＭに記憶しておく。そして、コントローラ９０に、図８Ａ及び図８Ｂのデータ取得プログラム及び図９Ａ〜図９Ａの評価プログラムを上述したように実行させて、前記取出電極１０１，１０２のＹ軸方向の隣の取出電極１０１，１０２の異常を検出する。そして、全ての取出電極１０１，１０２の異常検出の終了をもって第１タイプの太陽電池ＳＢの検査の終了とする。
【０１２３】
上記作動説明からも理解できるように、第１タイプの太陽電池（太陽電池セル内に直列接続構造を有する太陽電池）においては、取出電極１０１，１０２又はその近傍の位置において、取出電極１０１，１０２の延設方向であるＸ軸方向と直交するＹ軸方向に流れる電流の大きさＩｙを検出するようにしたので、アモルファス太陽電池の場合によくあるように、太陽電池セルＳＣ内に単位セルを直列接続した太陽電池ＳＢにおける取出電極１０１，１０２の接続不良を精度よく検出できる。さらに、この検出された電流の大きさＩｙの変動が大きい部分の変動量を表す特性値すなわち評価値Ｂ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)を計算するようにしたので、前記取出電極１０１，１０２の接続不良の自動検出ができるようになる。
【０１２４】
次に、検査対象である太陽電池ＳＢが太陽電池セルＳＣ内にそれぞれ電池の直列接続構造を有しないもの（図１３の第２タイプの太陽電池ＳＢ）の検査について説明する。なお、この場合、上述のように、遮光カーテン６１が、図１３に示すように、Ｙ軸方向の中央部の２列の太陽電池セル群ＳＣの間にＸ軸方向に沿って延設されるようにステージ２０上の太陽電池ＳＢを位置調整する。そして、入力装置９１を操作することにより、コントローラ９０を介してＹ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂに指示して、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂを遮光カーテン６１のＹ軸方向両側の所望の一対のバスバー電極２０７，２０７（例えば、遮光カーテン６１からＹ軸方向に最も遠い一対のバスバー電極２０７，２０７）に対向させる。なお、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂを対向させたバスバー電極２０７，２０７に関しては、バスバー電極２０７，２０７を表すデータをＲＡＭに記憶しておく。
【０１２５】
そして、上述した図８Ａ及び図８Ｂのデータ取得プログラム及び図９Ａ乃至図９Ｆの評価プログラムをコントローラ９０に実行させる。この場合、コントローラ９０は、図９ＡのステップＳ１２６にて「Ｎｏ」と判定して、図９ＤのステップＳ２００〜Ｓ２２４の処理を実行する。この場合も、この時点では、太陽電池ＳＢの検査位置ごとに、電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)、Ｘ軸方向の電流の大きさデータＩx(ｎ，ｍ)及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩy(ｎ，ｍ)（ｎ＝１〜ｎmax，ｎ＝１，２）が、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶されている。そして、この場合には、主にＸ−Ｙ平面内の電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)を用いる。なお、この場合も、変数ｎは、バスバー電極２０７に関するＸ軸方向の検出位置を表す。一方、変数ｍは、値「１」により、図１３において、太陽電池ＳＢにおける遮光カーテン６１の下側領域の発電（第１周波数の駆動制御信号に基づく光の照射による発電）による電流に関するデータ群であって、遮光カーテン６１の上側領域に位置するバスバー電極２０７に対向する位置における電流に関するデータ群を示す。また、変数ｍは、値「２」により、図１３において、太陽電池ＳＢにおける遮光カーテン６１の上側領域の発電（第２周波数の駆動制御信号に基づく光の照射による発電）による電流に関するデータ群であって、遮光カーテン６１の下側領域に位置するバスバー電極２０７に対向する位置における電流に関するデータ群を示す。
【０１２６】
ステップＳ２００〜Ｓ２２０の処理は、図９ＢのステップＳ１３０〜Ｓ１５０の処理とほぼ同じであり、異なる点は、ステップＳ２０４，Ｓ２１２の処理である。ステップＳ２０４においては、上記ステップＳ１３４のＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)に代えて電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)が用いられ、変数ｎ，ｍによって指定される電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)が所定の小さな基準値以上であるかを判定することにより、変数ｎ，ｍによって示される検出位置が太陽電池セルＳＣ上（バスバー電極２０７）の位置にあるのか、太陽電池セルＳＣ間（接続線２０８）の位置にあるかを判定する。これは、バスバー電極２０７の位置に比べて接続線２０８の位置では、電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)が極めて小さくなるからである。すなわち、図１３に示すように、複数のバスバー電極２０７はＸ軸方向に沿って配置されている。そして、複数のバスバー電極２０７は、図１４Ｂ及び図１６(Ａ)に示すように、接続線２０８によって裏面電極２０１に接続されている。この場合、バスバー電極２０７を流れる電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)は大きいが、接続線２０８を流れる電流はＸ−Ｙ平面を流れる電流だけではなく、Ｚ方向（上下方向）に流れる成分を含むために、前記電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)は小さい。したがって、複数のバスバー電極２０７に沿ってＸ方向に流れる電流は、図１６(Ｂ)に示すように、バスバー電極２０７に対応する位置では大きく、接続線２０８に対応した位置では小さい。したがって、前記ステップＳ２０４の判定処理により、上記図９ＢのステップＳ１３４の場合と同様に、バスバー電極２０７の位置と接続線２０８の位置とが検出される。
【０１２７】
また、ステップＳ２１２においては、上記ステップＳ１４２のＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ−ｐ，ｍ)〜Ｉｙ(ｎ−１，ｍ)に代えて、電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ−ｐ，ｍ)〜Ｉxy(ｎ−１，ｍ)に電極番号ｇを割当てる。そして、これらのステップＳ２００〜Ｓ２２０の処理により、最初、図１３において遮光カーテン６１の上側のバスバー電極２０７の検出位置における電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ−ｐ，ｍ)〜Ｉxy(ｎ−１，ｍ)に、すなわち磁気センサ１０Ｂの検出に基づく電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ−ｐ，ｍ)〜Ｉxy(ｎ−１，ｍ)に、「１」ずつ増加する電極番号ｇが順次割当てられる。そして、上記図９Ｂの場合と同様に、変数ｎが値ｎmax（すなわち終了値Ｘmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｎの値）に達すると、コントローラ９０は、ステップＳ２１６にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２２０にて変数ｇが初期に入力したＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに等しいか否かを判定する。なお、このステップＳ２２０の判定処理は、ステップＳ２０２〜Ｓ２１８の処理によって全てのバスバー電極２０７が正確に検出されているかを判定する処理である。全てのバスバー電極２０７が正確に検出されていて変数ｇが前記数ｓmaxに等しければ、コントローラ９０は、ステップＳ２２０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２２２に進む。ステップＳ２２２においては、コントローラ９０は、変数ｍが「２」であるか否かを判定する。この場合、変数ｍは「１」であるので、コントローラ９０は、ステップＳ２２２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２２４にて変数ｍを「２」に変更して前述したステップＳ２０２に戻る。
【０１２８】
一方、全てのバスバー電極２０７が正確に検出されていなくて変数ｇが前記数ｓmaxに等しくなければ、コントローラ９０は、ステップＳ２２０にて「Ｎｏ」と判定して、図９ＥのステップＳ２３０に進む。なお、図９Ｅに示す処理は、全てのバスバー電極２０７が正確に検出されない場合に、できる限りにおいて、検出されなかったバスバー電極２０７を補充する処理である。
【０１２９】
ステップＳ２３０においては、コントローラ９０は、各電極番号ｇが割当てられている電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)ごとに、電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)にそれぞれ対応した複数の検出位置ｎのＸ軸方向の中央値Ａven(ｇ)をそれぞれ計算する。次に、コントローラ９０は、ステップＳ２３２にて電極番号ｇを指定するための変数ｓを「１」に初期設定して、ステップＳ２３４にて、変数ｓ＋１によって指定される中央値Ａven(ｓ＋１)から変数ｓによって指定される中央値Ａven(ｓ)及び値ｃｅを減算した絶対値｜Ａven(ｓ＋１)−Ａven(ｓ)−ｃｅ｜が所定の小さな値Δｐ以下であるかを判定する。値ｃｅは、１つの太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の長さ（バスバー電極２０７の長さに等しい）を移動距離単位ΔＸで除した値である。したがって、値ｃｅは、１つのバスバー電極２０７の延設方向における位置検出数に等しい。
【０１３０】
今、隣合う1対のバスバー電極２０７がＸ軸方向にて連続して検出されていれば、前記絶対値｜Ａven(ｓ＋１)−Ａven(ｓ)−ｃｅ｜はほぼ「０」である。したがって、この場合には、コントローラ９０は、ステップＳ２３４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２３６にて変数ｓに「１」を加算し、ステップＳ２３８にて変数ｓ＋１によって指定される次の中央値Ａven(ｓ＋１)が存在していることを条件に「Ｙｅｓ」と判定して、ふたたびステップＳ２３４の判定処理を実行する。一方、図１５のＹ軸方向の３列目のように、Ｘ軸方向の４番目のバスバー電極２０７が検出されていない場合、変数ｓが「３」であるとき、前記絶対値｜Ａven(ｓ＋１)−Ａven(ｓ)−ｃｅ｜はほぼ値ｃｅとなる。この場合には、コントローラ９０は、ステップＳ２３４にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ２４０にて、変数ｓ＋１以上の電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の電極番号ｇをそれぞれ電極番号ｇ＋１に変更、すなわち変数ｓ＋１以上の電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の電極番号ｇを「１」ずつ増加させる。
【０１３１】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ２４２にて変数ｓに等しい電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の変数ｎ（検出位置を示す値）に値ｃｅをそれぞれ加算した値ｎ＋ｃｅに対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ＋ｃｅ，ｍ)を新たに定義し、定義した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ＋ｃｅ，ｍ)に変数ｓ＋１に等しい電極番号ｇを割当て、変数ｎの中央値Ａven(ｇ)を計算する。これにより、図１５のＹ軸方向の３列目でＸ軸方向の４番目のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算され、電極番号ｇも順番にＸ軸方向の全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)に割当てられる。
【０１３２】
また、図１５のＹ軸方向の４列目のように、Ｘ軸方向の３番目及び４番目のバスバー電極２０７が連続して検出されていない場合、変数ｓが「２」であるとき、前記絶対値｜Ａven(ｓ＋１)−Ａven(ｓ)−ｃｅ｜はほぼ値２・ｃｅとなる。そして、この場合には、前述のステップＳ２４０，Ｓ２４２の処理により、Ｙ軸方向に４列目でＸ軸方向の３番目のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算され、電極番号ｇも順番にＸ軸方向の全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)に割当てられる。しかし、この場合には、この補充によっても、ステップＳ２３６の処理によって変数ｓが「３」になったとき、前記絶対値｜Ａven(ｓ＋１)−Ａven(ｓ)−ｃｅ｜はほぼ値ｃｅとなる。したがって、ステップＳ２３６の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ２３８にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ２３４にて「Ｎｏ」と判定して、ふたたびステップＳ２４０，Ｓ２４２の処理を実行する。これにより、Ｙ軸方向に４列目でＸ軸方向の４番目のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算され、電極番号ｇも順番にＸ軸方向の全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)に割当てられる。その結果、４列目のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の数もバスバー電極２０７（太陽電池セルＳＣ）の数に等しくなる。なお、３つ以上の電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)がＸ軸方向の中間位置にて欠落しても同様に、前記ステップＳ２３４〜Ｓ２４２の処理により、欠落した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)は補充される。
【０１３３】
前記ステップＳ２３４〜Ｓ２４２の処理中、変数ｓ＋１によって指定される中央値Ａven(ｓ＋１)が存在しなくなると、すなわちＸ軸方向の次の電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の中央値Ａven(ｓ＋１)が存在しなくなると、コントローラ９０は、ステップＳ２３８にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２４４にて変数ｓが初期に入力したＸ軸方向の太陽電池セルの数smaxに等しいかを判定する。この場合も、変数ｇが前記数ｓmaxに等しければ、コントローラ９０は、ステップＳ２４４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２４６にて変数ｍが「２」であるか否かを判定する。変数ｍは未だ「１」であるので、コントローラ９０は、ステップＳ２４６にて「Ｎｏ」と判定して、前述した図９ＤのステップＳ２２４にて変数ｍを「２」に変更してステップＳ２０２に戻る。
【０１３４】
一方、図１５のＹ軸方向の５列目及び６列目のように、Ｘ軸方向の最後のバスバー電極２０７が検出されていない場合、又は図１５のＹ軸方向の７列目及び８列目のように、Ｘ軸方向の最初のバスバー電極２０７が検出されていない場合には、前述したステップＳ２３４，Ｓ２４０，Ｓ２４２の処理では、電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の欠落を補充できない。そして、この場合には、中央値Ａven(ｓ＋１)（すなわち次の中央値Ａven(ｓ)）が存在しなくなった時点でも、変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数smaxに等しくなく、コントローラ９０は、ステップＳ２４４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２４８に進む。
【０１３５】
ステップＳ２４８においては、コントローラ９０は、変数ｓによって指定される中央値Ａven(ｓ)に前記所定値ｃｅ（太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の検出位置数）を加算した値Ａven(ｓ)＋ｃｅを中心値Ａven(ｓ)＋ｃｅとし、中心値Ａven(ｓ)＋ｃｅから値ａを減算したＸ軸方向の検出位置Ａven(ｓ)＋ｃｅ−ａから前記中心値Ａven(ｓ)＋ｃｅに値ａを加算したＸ軸方向の検出位置Ａven(ｓ)＋ｃｅ＋ａまでの検出位置ｎ（＝Ａven(ｓ)＋ｃｅ−ａ〜Ａven(ｓ)＋ｃｅ＋ａ）によって指定される電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の中から最大値を抽出して最大電流値Ｉmaxとする。なお、値ａは、５〜数１０程度の予め決められた値である。これにより、Ｘ軸方向の図１５の最も右側の検出されたバスバー電極２０７の中央値Ａven(ｓ)よりもさらに値ｃｅ（バスバー電極２０７の長さ分に対応）だけ右側の所定幅の検出位置が定義され、この定義された検出位置における電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の中から最大電流値Ｉmaxが定義される。そして、コントローラ９０は、ステップＳ２５０にて前記最大電流値Ｉmaxが設定値以上であるかを判定する。なお、この設定値は、太陽電池セルＳＣが存在するならば、太陽電池セルＳＣが異常であっても、そのバスバー電極２０７位置にて検出される比較的小さな予め決められた電流値である。
【０１３６】
そして、前記位置にバスバー電極２０７が存在して、前記最大電流値Ｉmaxが設定値以上であれば、コントローラ９０は、ステップＳ２５０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップＳ２５２に進む。これは、図１５のＹ軸方向の５列目又は６列目のように、Ｘ軸方向の最後のバスバー電極２０７が検出されていない場合の処理である。ステップＳ２５２においては、変数ｓに等しい電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の変数ｎに所定値ｃｅをそれぞれ加算した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ＋ｃｅ，ｍ)を新たに定義し、新たに定義した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ＋ｃｅ，ｍ)に変数ｓ＋１に等しい電極番号ｇを割当て、検出位置ｎの中央値Ａven(ｇ)を計算する。これにより、検出されていなかったＸ軸方向の図示右側のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算される。そして、コントローラ９０は、前記ステップＳ２３６以降の処理を実行するが、図１５のＸ方向の５列目のように、Ｘ軸方向の最後の１つのバスバー電極２０７が検出されていなかった場合には、ステップＳ２３６の処理によって増加された変数ｓはＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数smaxを示すことになるので、ステップＳ２３８にて「Ｎｏ」と判定されるとともに、ステップＳ２４４にて「Ｙｅｓ」と判定されて、前述したステップＳ２４６の判定処理が実行される。
【０１３７】
しかし、図１５のＸ方向の６列目のように、Ｘ軸方向の最後の２つのバスバー電極２０７が検出されていなかった場合には、ステップＳ２４４にてふたたび「Ｎｏ」と判定されて、前述したステップＳ２４８〜Ｓ２５２からなる処理が実行されて、検出されていなかったＸ軸方向の図示右側のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)がさらに補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算される。その結果、Ｘ軸方向の全てのバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)が補充される。さらに、Ｘ軸方向の最後の３つ以上のバスバー電極２０７が検出されていなかった場合にも、前述したステップＳ２４８〜Ｓ２５２からなる処理が実行されて、検出されていなかったＸ軸方向の図示右側のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算される。
【０１３８】
次に、図１５のＹ軸方向の７列目及び８列目のように、Ｘ軸方向の最初（図示左側）のバスバー電極２０７が検出されていない場合について説明する。この場合には、前記ステップＳ２４８の処理によって計算されるＸ軸方向位置（すなわち検出位置（Ａven(ｓ)＋ｃｅ−ａ）〜（Ａven(ｓ)＋ｃｅ＋ａ）には、太陽電池セルＳＣは存在しない。したがって、この場合には、コントローラ９０は、ステップＳ２５０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２５４に進む。ステップＳ２５４においては、コントローラ９０は、最初に検出されたバスバー電極２０７（図１５のＹ軸方向の７列目及び８列目の最も左側のバスバー電極）に関する中央値Ａven(１)から前記所定値ｃｅ（太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の検出位置数）を減算した値を中心値Ａven(１)−ｃｅとし、中心値Ａven(１)−ｃｅから値ａを減算したＸ軸方向の検出位置Ａven(１)−ｃｅ−ａから前記中心値Ａven(１)−ｃｅに値ａを加算したＸ軸方向の検出位置Ａven(１)−ｃｅ＋ａまでの検出位置ｎ（＝Ａven(１)−ｃｅ−ａ〜Ａven(１)−ｃｅ＋ａ）によって指定される電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の中から最大値を抽出して最大電流値Ｉmaxとする。なお、この場合も、値ａは、５〜数１０程度の予め決められた値である。これにより、Ｘ軸方向の図示最も左側の検出されたバスバー電極２０７の中央値Ａven(１)よりもさらに値ｃｅ（バスバー電極２０７の長さ分に対応）だけ左側の所定幅の検出位置が定義され、この定義された検出位置における電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の中から最大電流値Ｉmaxが定義される。そして、コントローラ９０は、ステップＳ２５６にて前記最大電流値Ｉmaxが設定値以上であるかを判定する。なお、この場合も、設定値は、太陽電池セルＳＣが存在するならば、太陽電池セルＳＣが異常であっても、そのバスバー電極２０７位置にて検出される比較的小さな予め決められた電流値である。
【０１３９】
そして、前記位置にバスバー電極２０７が存在して、前記最大電流値Ｉmaxが設定値以上であれば、コントローラ９０は、ステップＳ２５６にて「Ｙｅｓ」と判定してステップＳ２５８に進む。これは、図１５のＹ軸方向の７列目又は８列目のように、Ｘ軸方向の最初のバスバー電極２０７が検出されていない場合の処理である。ステップＳ２５８にて、値「１」以上の電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の電極番号ｇをそれぞれ電極番号ｇ＋１に変更、すなわち電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の電極番号ｇを「１」ずつ増加させる。
【０１４０】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ２６０にて値「２」に等しい電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の変数ｎ（検出位置を示す値）から値ｃｅをそれぞれ減算した値ｎ−ｃｅに対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ―ｃｅ，ｍ)を新たに定義し、定義した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ＋ｃｅ，ｍ)に値「１」に等しい電極番号ｇを割当て、変数ｎの中央値Ａven(ｇ)を計算する。これにより、図１５のＹ軸方向の７列目及び８列目でＸ軸方向の最初のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算され、電極番号ｇも順番にＸ軸方向の全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)に割当てられる。
【０１４１】
そして、コントローラ９０は、ふたたび図９ＥのステップＳ２３６以降の処理を実行するが、図１５のＹ軸方向の７列目のように、Ｘ軸方向の最初の１つのバスバー電極２０７のみが検出されていなかった場合には、ステップＳ２３６の処理によって増加された変数ｓは電極番号ｇはＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数smaxを示すことになるので、ステップＳ２３８にて「Ｎｏ」と判定されるとともに、ステップＳ２４４にて「Ｙｅｓ」と判定されて、前述したステップＳ２４６の判定処理が実行される。
【０１４２】
しかし、図１５のＹ軸方向の８列目のように、Ｘ軸方向の最初の２つのバスバー電極２０７が検出されていなかった場合には、ステップＳ２４４，Ｓ２５０にてふたたび「Ｎｏ」と判定されて、前述したステップＳ２５４〜Ｓ２６０からなる処理が実行されて、検出されていなかったＸ軸方向の前方（図１５の左側）のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算される。その結果、全てのバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)が補充される。さらに、Ｘ軸方向の最初の３つ以上のバスバー電極２０７が検出されていなかった場合にも、前述したステップＳ２５４〜Ｓ２６０からなる処理が実行されて、検出されていなかったＸ軸方向の前方のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算される。
【０１４３】
また、ステップＳ２５０において「Ｎｏ」と判定されるとともに、ステップＳ２５６においても「Ｎｏ」と判定された場合には、コントローラ９０は、図９ＣのステップＳ１９０以降に進む。これは、バスバー電極２０７に対応した全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の補充ができない場合には、太陽電池検査装置に異常が発生していて、太陽電池ＳＢの異常を的確に検出できない可能性が高いためである。そして、この場合には、上述した図９ＣのステップＳ１９０，Ｓ１９２の処理により、電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)、Ｘ軸方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)（ｎ＝１〜ｎmax，ｍ＝１，２）から表示用画像データが生成されて、表示装置９２に画像データによって表された画像が表示されるとともに、「取出電極１０１，１０２の合否判定は不能」である旨が表示装置９２に表示される。これにより、バスバー電極２０７に関する全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の補充ができない場合でも、作業者は、表示装置９２による表示状態から、第２タイプの太陽電池ＳＢの異常を判断することができる場合もある。
【０１４４】
次に、前述のように、図９ＤのステップＳ２２０にて「Ｙｅｓ」と判定されるとともにステップＳ２２２にて「Ｎｏ」と判定されて、ステップＳ２２４にて変数ｍが「２」に変更された場合、及び図９ＥのステップＳ２４４にて「Ｙｅｓ」と判定されるとともにステップＳ２４６にて「Ｎｏ」と判定されて、図９ＤのステップＳ２２４にて変数ｍが「２」に変更された場合について説明する。前者の場合は、「１」に設定された変数ｍにより指定される領域（図１３の遮光カーテン６１の上側領域）内で、Ｙ軸方向の現在の検査位置における全てのバスバー電極２０７が正確に検出された場合である。後者の場合は、「１」に設定された変数ｍにより指定される領域（図１３の遮光カーテン６１の上側領域）内で、Ｙ軸方向の現在の検査位置における欠落していた全てのバスバー電極２０７が補充された場合である。
【０１４５】
この場合、変数ｍが「２」に設定されている以外は、前述した図９ＤのステップＳ２０２〜２２０及び図９ＥのステップＳ２３０〜Ｓ２４４，Ｓ２４８〜Ｓ２６０においては、前述した場合と同様な処理が実行される。これにより、通常は、「２」に設定された変数ｍにより指定される領域（図１３の遮光カーテン６１の下側領域）内で、Ｙ軸方向の現在の検査位置における全てのバスバー電極２０７が検出されて、全てのバスバー電極２０７に電極番号ｇが割当てられるか、「２」に設定された変数ｍにより指定される領域（図１３の遮光カーテン６１の下側領域）内で、Ｙ軸方向の現在の検査位置において欠落していた全てのバスバー電極２０７が補充されて、全てのバスバー電極２０７に電極番号ｇが割当てられる。そして、これらの場合には、変数ｍは「２」に設定されているので、図９ＤのステップＳ２２０にて「Ｙｅｓ」と判定されると、コントローラ９０はステップＳ２２２にて「Ｙｅｓ」と判定して、図９ＦのステップＳ２７０に進む。また、図９ＥのステップＳ２４４にて「Ｙｅｓ」と判定されると、コントローラ９０はステップＳ２４６にて「Ｙｅｓ」と判定して、図９ＦのステップＳ２７０に進む。一方、この場合も、全てのバスバー電極２０７が検出されず、かつ全てのバスバー電極２０７が補充されない場合には、コントローラ９０は、図９ＥのステップＳ２５６にて「Ｎｏ」と判定して、前述した図９ＣのステップＳ１９０，Ｓ１９２の処理を実行する。
【０１４６】
次に、図９ＦのステップＳ２７０以降の処理について説明する。ステップＳ２７０においては、コントローラ９０は、変数ｍを「１」に設定する。この場合も、変数ｍは、「１」により図１３の遮光カーテン６１の上側領域に位置するバスバー電極２０７に関するデータを指定し、「２」により図１３の遮光カーテン６１の下側領域に位置するバスバー電極２０７に関するデータを指定する。次に、コントローラ９０は、ステップＳ２７２にて、電極番号ｇ（＝１〜smax）が割当てられている全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)のデータであって、各大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の両端部に対応する大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)を除いた全ての大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)のトータル平均値Ｉavetxを計算する。この処理により、図１３において、Ｘ軸方向に配列された全てのバスバー電極２０７の各両端部を除いて各バスバー電極２０７に流れる電流の検出位置ごとのＸ軸方向の電流のトータル平均値Ｉavetxが計算される。各バスバー電極２０７の両端部の電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)を除く理由は、この両端部ではＸ−Ｙ平面内の電流成分が安定しないことがあるためで、両端部の長さとしてはバスバー電極２０７の全長の数パーセントから２０パーセント程度である。
【０１４７】
次に、コントローラ９０は、ステップＳ２７４にて、電極番号ｇを指定するための変数ｓを「１」に初期設定して、ステップＳ２７６にて、変数ｓに等しい電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)から、前記ステップＳ２７２の場合と同様に両端部を除いた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)を抽出する。そして、ステップＳ２７８にて、前記抽出した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)を用いて次のような計算を実行する。まず、変数ｓに等しい電極番号ｇが割当てられた１つのバスバー電極２０７に流れる平均電流として、前記抽出した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の平均値Ａ(ｓ，ｍ)を計算する。この平均値Ａ(ｓ，ｍ)は、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。
【０１４８】
次に、前記ステップＳ２７８にて、前記計算した平均値Ａ(ｓ，ｍ)を前記ステップＳ２７２の処理により計算したトータル平均値Ｉavetxで除算して、除算結果Ａ(ｓ，ｍ)／Ｉavetxを１つのバスバー電極２０７に流れる電流レベルを評価するための評価データＢ(ｓ，ｍ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶しておく。また、前記抽出した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の最大値から最小値を減算して、減算結果を前記計算した平均値Ａ(ｓ，ｍ)で除算して、除算結果（最大値−最小値）／Ａ(ｓ，ｍ)を、１つのバスバー電極２０７に流れる電流レベルの変動を評価するための評価データＣ(ｓ，ｍ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶しておく。また、前記抽出した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の標準偏差σを前記計算した平均値Ａ(ｓ，ｍ)で除算して、除算結果σ／Ａ(ｓ，ｍ)を、１つのバスバー電極２０７に流れる電流レベルの変動を評価するための評価データＤ(ｓ，ｍ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶しておく。
【０１４９】
前記ステップＳ２７８の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ２８０にて、評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)のうちのいずれかが所定の許容値よりも大きいか否かを判定する。なお、前記所定の許容値は、評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)ごとにそれぞれ異なる。評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)のうちのいずれかが所定の許容値よりも大きければ、コントローラ９０は、ステップＳ２８０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２８２にてエラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)を“１”に設定して、ステップＳ２８４に進む。一方、全ての評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)がそれぞれ各許容値以下であれば、コントローラ９０は、ステップＳ２８０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２８４に進む。これにより、変数ｓ，ｍによって指定されるバスバー電極２０７に関する異常が発生して、図１７〜図１９を用いて前述したように、Ｘ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ，ｍ)の変動が大きければ、すなわち評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)が大きくなった場合には、変数ｓ，ｍによって指定されるエラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)が“１”に設定される。この“１”に設定されたエラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)は、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。
【０１５０】
ステップＳ２８４においては、変数ｓが前記入力したＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達したか否かを判定する（図１３参照）。変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していなければ、コントローラ９０は、ステップＳ２８４にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ２８６にて変数ｓに「１」を加算して、ステップＳ２７６に戻る。そして、コントローラ９０は、前述したステップＳ２７６〜Ｓ２８２の処理により、図１３の次のバスバー電極２０７に関して、平均値Ａ(ｓ，ｍ)及び評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)を計算するとともに、これらの評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)を評価し、前記バスバー電極２０７に関して異常が発生していれば、エラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)を“１”に設定してＲＡＭ又は記憶装置に記憶する。
【０１５１】
そして、これらのステップＳ２７６〜Ｓ２８２の処理を全てのバスバー電極２０７に関して実行した後、コントローラ９０は、ステップＳ２８４にて「Ｙｅｓ」すなわち変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していると判定して、ステップＳ２８８に進む。ステップＳ２８８においては、コントローラ９０は、変数ｍが「２」であるか否かを判定する。この場合、変数ｍは「１」であるので、コントローラ９０は、ステップＳ２８８にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ２９０にて変数ｍを「２」に設定し、前述したステップＳ２７２，Ｓ２７４の処理後、ステップＳ２７６〜Ｓ２８６からなる循環処理を繰り返し実行する。変数ｍが「２」であることは、前述のように、図１３における遮光カーテン６１の下側領域のバスバー電極２０７の検査に関することを意味するので、今回のステップＳ２７２〜Ｓ２８６の処理により、図１３における遮光カーテン６１の下側領域のバスバー電極２０７であって。Ｘ軸方向の変数ｓによって指定されるバスバー電極２０７ごとに、平均値Ａ(ｓ，ｍ)及び評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)を計算するとともに、これらの評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)を評価し、前記バスバー電極２０７に関して異常が発生していれば、エラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)を“１”に設定してＲＡＭ又は記憶装置に記憶する。そして、この変数ｍを「２」に設定した後、変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達すると、コントローラ９０は、ステップＳ２８４にて「Ｙｅｓ」と判定し、かつステップＳ２８８にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２９２に進む。
【０１５２】
ステップＳ２９２においては、コントローラ９０は、上記図９ＣのステップＳ１８０の処理と同様に、前記ＲＡＭ又は記憶装置に記憶した電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)及びＸ軸方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)を用いて、電極番号ｇによって指定される太陽電池セルＳＣのバスバー電極２０７ごとに、表示用画像データを生成して、表示装置９２に画像データによって表された画像を表示する。
【０１５３】
前記ステップＳ２９２の処理後、コントローラ９０は、上述した図９ＣのステップＳ１８２〜Ｓ１８８の処理を実行して、ステップＳ１９４にてこの評価プログラムの実行を終了する。これらのステップＳ１８２〜Ｓ１８８の処理により、エラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)（ｓ＝１〜ｓmax，ｍ＝１，２）の中に“１”を示すエラーデータが存在しなければ、表示装置９２に「合格」を表示する。また、
“１”を示すエラーデータＥｒ(ｓ，ｍ)が存在する場合には、表示装置９２に「不合格」を表示するとともに、変数ｓ，ｍによって指定されるバスバー電極２０７を欠陥ありとして表示する。なお、この場合も、初期にＲＡＭに記憶させた磁気センサ１０Ａ，１０Ｂを対向させたバスバー電極２０７，２０７に関するデータも読み出して、異常なバスバー電極２０７，２０７を特定する。これによれば、作業者は、表示装置９２の表示状態から、第２タイプの太陽電池ＳＢの異常を確実かつ容易に認識できる。
【０１５４】
また、この第２タイプの太陽電池ＳＢの場合も、上述した第１タイプの太陽電池ＳＢの場合と同様に、Ｘ軸方向に一列に配置された複数のバスバー電極２０７に関する異常検出が終了したら、作業者は、入力装置９１を操作することにより、コントローラ９０を介してＹ方向フィードモータ制御回路７５Ａ，７５Ｂに指示して、磁気センサ１０Ａ，１０ＢがＸ軸方向に延設された次のバスバー電極２０７，２０７、例えばＹ軸方向の隣のバスバー電極２０７，２０７に対向する位置に来るように、Ｙ方向モータ４４Ａ，４４Ｂを作動させる。なお、この第２タイプの太陽電池ＳＢにおいては、遮光カーテン６１はそのままの位置でよいので、太陽電池ＳＢのステージ２０上の位置を調整する必要はない。そして、コントローラ９０に、図８Ａ及び図８Ｂのデータ取得プログラム及び図９Ａ〜図９Ｆの評価プログラムを上述したように実行させて、前記次のバスバー電極２０７，２０７に関する異常を検出する。そして、全てのバスバー電極２０７，２０７に関する異常検出の終了をもって第２タイプの太陽電池ＳＢの検査の終了とする。
【０１５５】
上記作動説明からも理解できるように、第２タイプの太陽電池（結晶系太陽電池）においては、バスバー電極２０７又はその近傍の位置において、バスバー電極２０７の延設方向であるＸ軸方向に流れる電流の大きさＩxy（Ｘ軸方向の電流Ｉｘの絶対値にほぼ等しい）を検出するようにしたので、結晶系太陽電池の場合によくあるように、太陽電池セルＳＣ内には単位セルの直列接続はなく、太陽電池セルＳＣ間を直列接続した太陽電池ＳＢにおけるバスバー電極２０７などの接続不良を精度よく検出できる。さらに、前記検出された電流Ｉxyの大きさの変動が大きい部分の変動量を表す特性値すなわち評価値Ｂ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)を計算するようにしたので、前記電極の接続不良の自動検出ができるようになる。
【０１５６】
さらに、上記のような太陽電池検査装置においては、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂは、支持部材３１Ａ，３１Ｂにそれぞれ移動可能に支持されて、遮光カーテン６１によって区分された複数の領域にそれぞれ設けられて、複数の領域において発電に基づく電流によって発生する磁界をそれぞれ検出する。したがって、複数の領域において同時に発電に基づく電流によって発生する磁界をそれぞれ検出するので、磁界の検出時間すなわち太陽電池ＳＢの検査時間を短縮することができる。
【０１５７】
また、コントローラ９０は、ステップＳ３０〜Ｓ３４の処理により、信号選択回路８４，８５及びロックインアンプ８６と協働して、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂが属する領域内の照射装置５０Ａ，５０Ｂの光の照射による光の強度変化がもたらす周波数成分以外の一つの周波数成分の磁気検出信号を取出す。すなわち、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂによって検出された磁界に基づいて取出される磁気検出信号は、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂが位置する領域とは別の領域での照射装置５０Ａ，５０Ｂの光の照射に基づく発電による電流によるものであるため、支持部材３１Ａ，３１Ｂ、移動部材３２Ａ，３２Ｂ及び磁気センサ１０Ａ，１０Ｂにより光が遮られた箇所における発電量が落ちても、又は同発電量に変動があっても、電流の流れにほとんど影響しなくなるので、高精度で磁界を検出することができる。このことは、実験によっても確認されている。その結果、磁界の分布状態又は電流の分布状態を精度よく測定することができるようになり、太陽電池ＳＢの接続不良、すなわち太陽電池セルＳＣ内の電極の接続不良、太陽電池セルＳＣ間の電極の接続不良などを精度よく検出できる。また、外乱光や、外部磁界が存在しても、コストを抑えたうえで、これらの影響を受けずに、太陽電池ＳＢに発生する磁界を検出することができる。
【０１５８】
また、上記のような太陽電池検査装置においては、支持部材３１Ａ，３１Ｂに発光素子３５Ａ，３５Ｂを固定して、発光素子３５Ａ，３５Ｂが、遮光カーテン６１により区分された領域ごとに、照射装置５０Ａ，５０Ｂによる発電の光の強度変化の周波数とは異なる周波数で強度が変化する光、又は強度が変化しない光を照射するようにした。これにより、支持部材３１Ａ，３１Ｂ、移動部材３２Ａ，３２Ｂ及び磁気センサ１０Ａ，１０Ｂにより光が遮られる箇所が高抵抗になる可能性もなくなるので、さらに精度よく磁界を検出することができる。このことも実験により確認されている。その結果、磁界の分布状態又は電流の分布状態をさらに精度よく測定することができるようになり、太陽電池ＳＢの接続不良、すなわち太陽電池セルＳＣ内の電極の接続不良、太陽電池セルＳＣ間の電極の接続不良などをさらに精度よく検出できる。
【０１５９】
ｄ．変形例
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の実施にあたっては、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変形も可能である。
【０１６０】
上記実施形態では、遮光カーテン６１によって区分された太陽電池ＳＢの表面上の両側の領域間で光の侵入が遮られるようにした。しかし、前記光の侵入を遮ることができ、かつ太陽電池ＳＢと接触させても太陽電池ＳＢに影響を与えないものであれば、どのような遮光部材を用いてもよい。この場合、例えば、先端が柔軟性のある絶縁物で形成された遮光板や、遮光ガラスをスライドさせて遮光を行うようにしてもよい。
【０１６１】
また、上記実施形態においては、１つの磁気センサ１０Ａを支持部材３１Ａに移動可能に支持させるとともに、１つの磁気センサ１０Ｂを支持部材３１Ｂに移動可能に支持させて、２つの磁気センサ１０Ａ，１０Ｂを太陽電池ＳＢの表面上を移動させて磁界測定を行った。しかし、複数の磁気センサを取出電極１０１，１０２及びバスバー電極２０７の延設方向と直角方向（Ｙ軸方向）にそれぞれ配置し、複数のラインで同時に磁界測定を行うようにしてもよい。これによれば、複数のラインのうちで、最適なラインの測定結果を選択して検査を行うことができるようになり、測定精度がさらに向上する。
【０１６２】
また、上記実施形態においては、遮光カーテン６１で太陽電池ＳＢの領域を２つに分け、２つの領域に照射装置５０Ａ，５０Ｂ、Ｘ方向移動機構３０Ａ、３０Ｂ及び磁気センサ１０Ａ、１０Ｂをそれぞれ設けるとともに、これらに接続される発光信号供給回路８１Ａ，８１Ｂ、第１光源駆動回路８２Ａ，８２Ｂ及びセンサ信号取出回路８３Ａ，８３Ｂもそれぞれ２つずつ設けた。しかし、太陽電池ＳＢが限定されており、電極位置が決まっていて、Ｘ方向移動機構を複数設けることによる装置の大型化及びコストアップが問題にならなければ、遮光カーテン６１を複数設けて、太陽電池ＳＢの表面上を３つ以上の領域に分け、前記照射装置、Ｘ方向移動機構及び磁気センサ、並びにこれらに接続される発光信号供給回路、第１光源駆動回路及びセンサ信号取出回路を前記分けた領域数分だけ設けるようにしてもよい。この場合も、３つ以上の照射装置はそれぞれ異なる周波数で強度が変化する光を分けられた領域内で太陽電池ＳＢの表面にそれぞれ照射するようにし、３つ以上のＸ方向移動機構は、分けられた領域内で磁気センサをそれぞれ移動させる。また、この場合も、コントローラ９０は、ステップＳ３０〜Ｓ３４の処理により、信号選択回路８４，８５及びロックインアンプ８６と協働して、各磁気センサが属する各領域内の照射装置の光の照射による光の強度変化がもたらす周波数成分以外の一つの周波数成分の磁気検出信号を取出す。これによれば、磁界の検出時間をさらに短くすることができて、太陽電池ＳＢの検査時間をさらに短縮することができる。
【０１６３】
また、上記実施形態においては、照射装置５０Ａ，５０Ｂ、遮光カーテン６１及びステージ２０を固定するようにした。しかし、モータを含む駆動装置により、照射装置５０Ａ，５０Ｂ及び遮光カーテン６１をＹ軸方向に移動可能にしたり、ステージ２０を移動可能にしたりしてもよい。特に、第１タイプの太陽電池ＳＢにおいて検査対象となる太陽電池セル群ＳＣの取出電極１０１，１０２を変更するためには、照射装置５０Ａ，５０Ｂの間の遮光カーテン６１が、前記検査対象となる取出電極１０１，１０２の中央位置にてＸ軸方向に沿って延設されるように、ステージ２０上の太陽電池ＳＢを位置調整する必要があった。これに対して、モータを駆動制御して、照射装置５０Ａ，５０Ｂ及び遮光カーテン６１をＹ軸方向に同時に移動するようにすれば、前記ステージ２０上の太陽電池ＳＢの位置調整が不要となる。ただし、この場合、Ｘ方向移動機構３０Ａ，３０Ｂも、前記照射装置５０Ａ，５０Ｂ及び遮光カーテン６１のＹ軸方向の移動に連動させてＹ軸方向に移動させる必要がある。また、モータを駆動制御して、ステージ２０をＹ軸方向に移動可能にするようにしても、前記ステージ２０上の太陽電池ＳＢの位置調整が不要となる。そして、この場合には、Ｘ方向移動機構３０Ａ，３０Ｂの移動は不要である。
【０１６４】
また、上記実施形態では、図９ＡのステップＳ１０４〜Ｓ１１０の処理より、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの検出位置のＸ方向磁気検出信号の極大値Ｈｘ、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｘ、Ｙ方向磁気検出信号の極大値Ｈｙ、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｙ、磁界の強さＨxy及び磁界の向きθxyを計算して、ステップＳ１１２，Ｓ１１４の処理により、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの検出位置の電流の大きさＩxy(ｎ，ｍ)、前記電流の方向θixy(ｎ，ｍ)、Ｘ軸方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ，ｍ)を計算した。そして、第１タイプの太陽電池ＳＢにおいては、ステップＳ１６４，Ｓ１６６の処理により、Ｙ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ，ｍ)を用いて、取出電極１０１，１０２に関する評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)を計算して太陽電池セルＳＣの取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良を評価するようにした。しかし、電流の大きさＩｙは磁界の強さＨｙに比例しており、電流の方向は磁界の方向とπ／２異なるだけである。したがって、磁界に関する情報を電流に関する情報に変換しなくても、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの各検出位置の磁界の強さＨxyから下記式１１により求めたＸ軸方向の磁界の大きさＨｘ’を、上記実施形態のＹ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ，ｍ)に代えて用いることにより、太陽電池セルＳＣの取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良に関する評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)を計算して前記接続不良を評価するようにしてもよい。
Ｈｘ’＝Ｈxy・cosθxy  …式１１
【０１６５】
また、第２タイプの太陽電池ＳＢにおいては、ステップＳ２７２，Ｓ２７６，Ｓ２７８の処理により、電流の大きさＩxyを用いて、バスバー電極２０７に流れる電流の評価のための評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)を計算した。しかし、上述のように、バスバー電極２０７位置を流れる電流の向きはほぼＸ方向であるので、前記電流の大きさＩxy(ｎ，ｍ)に代えて、Ｘ軸方向の電流の大きさIｘ(ｎ，ｍ)の絶対値を用いるようにしてもよい。さらに、電流の大きさＩxyは磁界の大きさＨxyに比例しており、電流の方向θixyは磁界の方向θxyとπ／２異なるだけである。したがって、磁界に関する情報を電流に関する情報に変換しなくても、磁気センサ１０Ａ，１０Ｂの各検出位置の磁界の強さＨxy及び磁界の強さＨxyから下記式１２により求めたY軸方向磁界の大きさＨｙ’の絶対値を、上記実施形態及び変形例の電流の大きさＩxy(ｎ，ｍ)及びＸ軸方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)の絶対値にそれぞれ代えて用いることにより、各太陽電池セルＳＣに関する評価データを計算して太陽電池パネルＳＰを評価するようにしてもよい。
Ｈｙ’＝Ｈxy・sinθxy  …式１２
【０１６６】
また、上記実施形態においては、第２タイプの太陽電池ＳＢの検査においては、バスバー電極２０７が全数検出されない場合におけるバスバー電極２０７の補充を行うようにしたが、第１タイプの太陽電池ＳＢの検査においては、取出電極１０１，１０２が全数検出されない場合の補充については考慮しなかった。これは、取出電極１０１，１０２の検出においては、検出されたＹ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ，ｍ)に起因して取出電極１０１，１０２が検出されないということはほとんどなく、それ以外の特別な理由による場合が多いためである。しかしながら、この第１タイプの太陽電池ＳＢの検査においても、第２タイプの太陽電池ＳＢの検査におけるバスバー電極２０７の補充と同様に、図９ＢのステップＳ１５０にて「Ｎｏ」と判定されたとき、すなわちＸ軸方向の全ての取出電極１０１，１０２が検出されないとき、図９ＣのステップＳ１９０の処理を実行する前に、図９ＥのステップＳ２３０〜Ｓ２６０の処理に相当する処理を実行して、取出電極１０１，１０２の補充処理を実行するようにしてもよい。
【０１６７】
また、コントローラ９０は、判定まで行わなくて、評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)を計算して表示装置９２に表示し、作業者に取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良及びバスバー電極２０７等の接続不良の有無を判定させるようにしてもよい。さらに、コントローラ９０は、評価データＢ(ｓ，ｍ)，Ｃ(ｓ，ｍ)，Ｄ(ｓ，ｍ)の計算も行わずに、第１タイプの太陽電池ＳＢにおいては、取出電極１０１，１０２の位置又はその近傍位置のＹ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ，ｍ)の分布画像、又はＸ軸方向の磁界Ｈｘ’の分布画像を表示装置９２に表示し、作業者はこの表示を見て取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良の有無を判定するようにしてもよい。また、第２タイプの太陽電池ＳＢにおいては、バスバー電極２０７の位置又はその近傍位置の電流の大きさＩxy(ｎ，ｍ)、Ｘ軸方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)、磁界の強さＨxy又はＹ方向の磁界の強さＨｙ’の分布画像を表示装置９２に表示し、作業者はこの表示を見てバスバー電極２０７などの接続不良の有無を判定するようにしてもよい。
【０１６８】
また、上記実施形態においては、照射装置５０Ａ，５０Ｂとして複数の発光素子（ＬＥＤ）５１をマトリクス状に配置した光源を利用したが、太陽電池ＳＢ又は太陽電池セルＳＣをセットするステージ２０上の光量が均一になるならば、どのような光源でもよく、蛍光灯、ランプ等の光源でもよい。また、発光素子３５Ａ，３５Ｂに関しても、蛍光灯、ランプ等の光源でもよい。
【０１６９】
また、上記実施形態では、複数の太陽電池セルＳＣを有する太陽電池ＳＢを検査するようにした。しかし、本発明は、これに代えて、太陽電池セルＳＣを個々に検査する検査装置にも適用できる。
【０１７０】
また、上記実施形態及び変形例では、磁気センサとして磁気抵抗素子（ＭＲ素子）を利用したが、これに代えて、ホール素子、磁気インピーダンス素子効果センサ、フラックスゲート、超伝導量子干渉素子などを利用するようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１７１】
１０Ａ，１０Ｂ…磁気センサ、２０…ステージ、２１…バキュームポンプ、３０Ａ，３０Ｂ…Ｘ方向移動機構、３１Ａ，３１Ｂ…支持部材、３２Ａ，３２Ｂ…移動部材、３４Ａ，３４Ｂ…Ｘ方向モータ、３５Ａ，３５Ｂ…発光素子、４０…Ｙ方向移動機構、４４Ａ，４４Ｂ…Ｙ方向モータ、５０Ａ，５０Ｂ…照射装置、５１…発光素子、６１…遮光カーテン、７６…遮光カーテン用モータ駆動回路、８１Ａ，８１Ｂ…発光信号供給回路、８３Ａ，８３Ｂ…センサ信号取出回路、８４，８５…信号選択回路、８６…ロックインアンプ、９０…コントローラ、１００…基板、１０１，１０２…取出電極、２００…基板、２０７…バスバー電極、ＳＢ…太陽電池、ＳＣ…太陽電池セル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
0005146554.tif 000012
【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図９Ｄ】
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【図９Ｅ】
0005146554.tif 000016
【図９Ｆ】
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【図１０】
0005146554.tif 000018
【図１１Ａ】
0005146554.tif 000019
【図１１Ｂ】
0005146554.tif 000020
【図１２】
0005146554.tif 000021
【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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