(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の入力データから第Ｎ（Ｎは、２以上の自然数）の入力データまでの当該各入力データに対して所定のデータ処理を実行するデータ処理部と、前記第１の入力データの電気的パラメータが第１の条件を満たした第１の時点においてトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、前記各入力データを記憶する記憶部とを備え、
前記データ処理部は、前記第１の入力データに基づく第１の信号波形から前記第Ｎの入力データに基づく第Ｎの信号波形までの当該各信号波形と、当該第１の信号波形に対応する第１の許容エリアから当該第Ｎの信号波形に対応する第Ｎの許容エリアまでの当該各許容エリアとに基づいて当該各入力データの合否を判定する判定処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第Ｍ（Ｍは、２以上Ｎ以下の自然数）の入力データの前記電気的パラメータが第Ｍの条件を満たした第Ｍの時点を特定し、特定した当該第Ｍの時点および前記第１の時点の間の時間長を演算すると共に当該第１の時点および当該第Ｍの時点の前後関係を特定する各処理を「Ｍ」が「２」から「Ｎ」となるまで繰り返し実行し、前記判定処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、第２の信号波形における前記第Ｍの時点としての第２の時点に対応する部位から前記第Ｎの信号波形における前記第Ｍの時点としての第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位と、第２の許容エリアにおける前記第２の時点に対応する部位から前記第Ｎの許容エリアにおける前記第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位とを時間軸において一致させた状態で前記合否を判定するデータ処理装置。
【請求項２】
第１の入力データから第Ｎ（Ｎは、２以上の自然数）の入力データまでの当該各入力データに対して所定のデータ処理を実行するデータ処理部と、前記第１の入力データの電気的パラメータが第１の条件を満たした第１の時点においてトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、前記各入力データを記憶する記憶部とを備え、
前記データ処理部は、前記第１の入力データに基づく第１の信号波形から前記第Ｎの入力データに基づく第Ｎの信号波形までの当該各信号波形を表示部に表示させる波形表示処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第Ｍ（Ｍは、２以上Ｎ以下の自然数）の入力データの前記電気的パラメータが第Ｍの条件を満たした第Ｍの時点を特定し、特定した当該第Ｍの時点および前記第１の時点の間の時間長を演算すると共に当該第１の時点および当該第Ｍの時点の前後関係を特定する各処理を「Ｍ」が「２」から「Ｎ」となるまで繰り返し実行し、前記波形表示処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、前記第１の信号波形における前記第１の時点に対応する部位から前記第Ｎの信号波形における前記第Ｍの時点としての第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位を時間軸において一致させて当該各信号波形を表示するデータ処理装置。
【請求項３】
第１の入力データから第Ｎ（Ｎは、２以上の自然数）の入力データまでの当該各入力データに対して所定のデータ処理を実行するデータ処理部と、前記第１の入力データの電気的パラメータが第１の条件を満たした第１の時点においてトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、前記各入力データを記憶する記憶部とを備え、
前記データ処理部は、前記第１の入力データに基づく第１の信号波形から前記第Ｎの入力データに基づく第Ｎの信号波形までの当該各信号波形と、当該第１の信号波形に対応する第１の許容エリアから当該第Ｎの信号波形に対応する第Ｎの許容エリアまでの当該各許容エリアとに基づいて当該各入力データの合否を判定する判定処理、および前記第１の信号波形から前記第Ｎの信号波形までの当該各信号波形を表示部に表示させる波形表示処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第Ｍ（Ｍは、２以上Ｎ以下の自然数）の入力データの前記電気的パラメータが第Ｍの条件を満たした第Ｍの時点を特定し、特定した当該第Ｍの時点および前記第１の時点の間の時間長を演算すると共に当該第１の時点および当該第Ｍの時点の前後関係を特定する各処理を「Ｍ」が「２」から「Ｎ」となるまで繰り返し実行し、前記判定処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、第２の信号波形における前記第Ｍの時点としての第２の時点に対応する部位から前記第Ｎの信号波形における前記第Ｍの時点としての第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位と、第２の許容エリアにおける前記第２の時点に対応する部位から前記第Ｎの許容エリアにおける前記第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位とを時間軸において一致させた状態で前記合否を判定し、前記波形表示処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、前記第１の信号波形における前記第１の時点に対応する部位から前記第Ｎの信号波形における前記第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位を前記時間軸において一致させて当該各信号波形を表示するデータ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の入力データに対して所定のデータ処理を実行可能に構成されたデータ処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のデータ処理装置として、測定波形が基準波形エリア内に含まれているか否かを判定する処理を実行可能に構成された波形表示装置が特開２００３−１８５６８２号公報に開示されている。この波形表示装置では、アンプによって増幅または減衰された測定波形がＡ／Ｄコンバータによって測定波形データに変換され、この測定波形データが第１トリガ発生手段に出力されると共に、書き込み制御手段によってメモリに格納（記憶）される。また、第１トリガ発生手段は、出力された測定波形データが予め設定された条件を満たしたとき（一例として、「トリガレベルに対する立ち上がりを検出したとき」：以下、「トリガレベルを超えたとき」という）に第１トリガ信号を出力する。この際には、トリガ信号の出力に伴って、メモリ内の測定波形データにトリガ情報（第１トリガ信号が出力された時点を特定可能な情報）が付加される。
【０００３】
次いで、逸脱点検出手段が、メモリに記憶されている基準波形データに基づいて基準波形エリアデータを生成する。この場合、基準波形データは、例えば、所定周期分の正常な測定波形データ（一例として、正常状態において取得した測定波形データのうちのトリガレベルを超えた時点から所定周期分の測定波形データ）に基づいて生成されている。また、逸脱点検出手段は、生成した基準波形エリアデータと測定波形データとに基づいて測定波形データ（測定波形）の合否を判定する波形判定処理を実行する。この際に、逸脱点検出手段は、測定波形データに基づく波形が基準波形エリアデータに基づく基準エリアを逸脱したときに、書き込み制御手段に検出信号を出力する。また、書き込み制御手段は、検出信号が出力された時点を起点とする所定区間分（検出信号が出力された時点から所定時間分）の測定波形データの記憶が完了したときに、測定波形データの記憶処理を休止する。
【０００４】
次いで、表示手段が、メモリに記憶されている測定波形データのうちから、上記の検出信号の出力時点（測定波形データに基づく波形が基準エリアを逸脱した時点）以降の所定区間分の測定波形データと、基準波形エリアデータとをメモリから読み出す。続いて、表示手段は、測定波形データに基づく波形と、基準波形エリアデータに基づく基準エリアとを同一画面上に重ね合わせて表示させる。これにより、基準エリアにおいて基準波形データの取得時に測定波形データがトリガレベルを超えた時点に対応する部位と、測定波形データに基づく波形において第１トリガ信号が出力された時点（測定波形データがトリガレベルを超えた時点）に対応する部位とが時間軸において一致した状態で基準エリアと波形とが表示される。
【０００５】
一方、この種の波形表示装置の利用方法の一例として、物品の製造ラインに設置された製造装置から出力される動作信号を監視する処理（動作信号の合否を波形判定することで製造装置の動作状態を監視する処理）が挙げられる。この場合、例えば、１つの製造ラインにおいて相違する製造工程を並行して実行する２つの製造装置が存在するときには、波形表示装置の導入コストや設置スペースの観点から、２台の波形表示装置を用いることなく、１台の波形表示装置によって、この２つの製造装置の動作状態を監視するのが好ましい。
【０００６】
具体的には、測定チャンネル１，２（以下、「Ｃｈ．１」「Ｃｈ．２」ともいう）を備えて、従来の波形表示装置と同様の手順で波形判定処理を実行可能に構成された波形表示装置（以下、この波形表示装置を「従来の波形表示装置」ともいう）を使用して２つの製造装置を監視する際には、図１０に示すように、一例として、一方の製造装置から出力された動作信号（同図における入力信号Ｓｉ１ｘ）を「Ｃｈ．１」で監視すると共に、他方の製造装置から出力された動作信号（同図における入力信号Ｓｉ２ｘ）を「Ｃｈ．２」で監視する。この場合、第１トリガ発生手段に対しては、一例として、「Ｃｈ．１」のＡ／Ｄコンバータから出力された測定波形データ（入力信号Ｓｉ１ｘのデータ）が電圧値Ｌ１Ｖ（トリガレベルの一例）を超えたときに第１トリガ信号を出力するように設定する。したがって、第１トリガ発生手段は、入力信号Ｓｉ１ｘが電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１ｘにおいて第１トリガ信号を出力する。これにより、メモリ内の測定波形データ（入力信号Ｓｉ１ｘ，Ｓｉ２ｘのデータ）にトリガ情報が付加される。また、書き込み制御手段は、第１トリガ信号が出力された時点ｔ１ｘから予め規定された所定時間が経過した時点ｔ３ｘにおいて記憶処理を休止する。
【０００７】
次いで、逸脱点検出手段が、基準波形データに基づいて生成した基準波形エリアデータと測定波形データとに基づいて測定波形データの合否を判定する波形判定処理を実行する。具体的には、逸脱点検出手段は、図１１に示すように、まず、両製造装置用に予め生成された基準波形エリアデータ（正常状態において取得した入力信号Ｓｉ１ｘ，Ｓｉ２ｘのデータ）をメモリから読み出して基準エリアＡ１ｘ，Ａ２ｘを規定する。次いで、逸脱点検出手段は、一例として、入力信号Ｓｉ１ｘが電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１ｘよりも時間Ｔｓ１ｘだけ前の時点ｔ０ｘから時間Ｔｓ１１ｘ分の測定波形データ（入力信号Ｓｉ１ｘ，Ｓｉ２ｘのデータ）をメモリから読み出して、この測定波形データに基づく信号波形が上記の基準エリアＡ１ｘ，Ａ２ｘを逸脱しているか否かを判定する。この際に、逸脱点検出手段は、両信号波形のうちのいずれかが基準エリアＡ１ｘ，Ａ２ｘを逸脱しているときに、その信号波形の測定波形データを出力した製造装置の動作が異常であると判定する。また、逸脱点検出手段は、両信号波形が基準エリアＡ１ｘ，Ａ２ｘを逸脱していないときに、両製造装置が正常に動作していると判定する。
【特許文献１】特開２００３−１８５６８２号公報（第３−４頁、第１−４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、従来の波形表示装置には、以下の問題点がある。すなわち、従来の波形表示装置では、例えば、正常状態において取得した測定波形データのうちの測定波形データがトリガレベルを超えた時点よりも時間Ｔｓ１ｘだけ前の時点以降の測定波形データを基準波形データとして用いて基準エリアを規定すると共に、この基準エリアに対して、検出信号が出力された時点（測定波形データがトリガレベルを超えた時点）よりも時間Ｔｓ１ｘだけ前の時点以降の所定区間分の測定波形データに基づく波形を重ねて表示処理や波形判定処理を実行する構成が採用されている。この場合、図１０，１１では、入力信号Ｓｉ１ｘが電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１ｘと、入力信号Ｓｉ２ｘが電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２ｘとが一致している例を図示しているが、両入力信号Ｓｉ１ｘ，Ｓｉ２ｘが電圧値Ｌ１Ｖ，Ｌ２Ｖをそれぞれ超えるタイミングが一致するとは限らず、例えば、図１２に示すように、入力信号Ｓｉ１ｘが電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１ｘと、入力信号Ｓｉ２ｘが電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２ｘとが不一致となることがある。このような状態において、従来の測定装置では、入力信号Ｓｉ２ｘについての正確な合否判定を実行するのが困難となっている。
【０００９】
具体的には、従来の波形表示装置では、図１２に示すように、入力信号Ｓｉ１ｘが電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１ｘに対して、入力信号Ｓｉ２ｘが電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２ｘが時間Ｔｓ２１ｘだけ遅れている状態においては、時点ｔ１ｘから時間Ｔｓ１ｘだけ前の時点ｔ０ｘから時点ｔ３ｘまでの時間Ｔｓ１１ｘ分の入力信号Ｓｉ１ｘ，Ｓｉ２ｘと、両製造装置用に予め生成された基準波形エリアデータとに基づいて入力信号Ｓｉ１ｘ，Ｓｉ２ｘの合否が判定される。この場合、入力信号Ｓｉ１ｘを出力した製造装置用の基準波形エリアデータは、正常状態において取得した入力信号Ｓｉ１ｘにおいて電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１ｘよりも時間Ｔｓ１ｘだけ前の時点ｔ０ｘから時間Ｔｓ１１ｘ分の入力信号Ｓｉ１ｘに基づいて生成されている。また、入力信号Ｓｉ２ｘを出力した製造装置用の基準波形エリアデータは、正常状態において取得した入力信号Ｓｉ２ｘにおいて電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２ｘよりも時間Ｔｓ１ｘだけ前の時点から時間Ｔｓ１１ｘ分の入力信号Ｓｉ２ｘに基づいて生成されている。
【００１０】
したがって、時点ｔ１ｘ，ｔ２ｘの間に時間Ｔｓ２１ｘ分のずれが生じている入力信号Ｓｉ１ｘ，Ｓｉ２ｘに基づく各波形と、両製造装置用の基準波形エリアデータに基づく基準エリアＡ１ｘ，Ａ２ｘとを比較したときには、図１３に示すように、入力信号Ｓｉ１ｘについては、正常な合否判定が可能となるものの、入力信号Ｓｉ２ｘについては、基準波形エリアデータに基づく基準エリアＡ２ｘに対して入力信号Ｓｉ２ｘに基づく波形が時間Ｔｓ２１ｘだけ遅れた状態となる結果、その製造装置から正常な入力信号Ｓｉ２ｘが出力されていたとしても、入力信号Ｓｉ２ｘに基づく波形が基準エリアＡ２ｘを逸脱していると判定され、これにより、その製造装置の動作に異常が発生していると誤判定されるおそれがある。このように、入力信号Ｓｉ１ｘ，Ｓｉ２ｘが非同期となる可能性があるにも拘わらず、入力信号Ｓｉ１ｘが電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１ｘを基準として入力信号Ｓｉ２ｘに基づく波形と基準波形エリアデータに基づく基準エリアＡ２ｘとを比較する構成が採用されていることに起因して、従来の波形表示装置には、入力信号Ｓｉ２ｘについての正確な合否判定が困難となるという問題点がある。
【００１１】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、非同期の複数の入力データについて１台で正確なデータ処理を実行し得るデータ処理装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成すべく、請求項１記載のデータ処理装置は、第１の入力データから第Ｎ（Ｎは、２以上の自然数）の入力データまでの当該各入力データに対して所定のデータ処理を実行するデータ処理部と、前記第１の入力データの電気的パラメータが第１の条件を満たした第１の時点においてトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、前記各入力データを記憶する記憶部とを備え、前記データ処理部は、前記第１の入力データに基づく第１の信号波形から前記第Ｎの入力データに基づく第Ｎの信号波形までの当該各信号波形と、当該第１の信号波形に対応する第１の許容エリアから当該第Ｎの信号波形に対応する第Ｎの許容エリアまでの当該各許容エリアとに基づいて当該各入力データの合否を判定する判定処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第Ｍ（Ｍは、２以上Ｎ以下の自然数）の入力データの前記電気的パラメータが第Ｍの条件を満たした第Ｍの時点を特定し、特定した当該第Ｍの時点および前記第１の時点の間の時間長を演算すると共に当該第１の時点および当該第Ｍの時点の前後関係を特定する各処理を「Ｍ」が「２」から「Ｎ」となるまで繰り返し実行し、前記判定処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、第２の信号波形における前記第Ｍの時点としての第２の時点に対応する部位から前記第Ｎの信号波形における前記第Ｍの時点としての第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位と、第２の許容エリアにおける前記第２の時点に対応する部位から前記第Ｎの許容エリアにおける前記第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位とを時間軸において一致させた状態で前記合否を判定する。
【００１３】
また、請求項２記載のデータ処理装置は、第１の入力データから第Ｎ（Ｎは、２以上の自然数）の入力データまでの当該各入力データに対して所定のデータ処理を実行するデータ処理部と、前記第１の入力データの電気的パラメータが第１の条件を満たした第１の時点においてトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、前記各入力データを記憶する記憶部とを備え、前記データ処理部は、前記第１の入力データに基づく第１の信号波形から前記第Ｎの入力データに基づく第Ｎの信号波形までの当該各信号波形を表示部に表示させる波形表示処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第Ｍ（Ｍは、２以上Ｎ以下の自然数）の入力データの前記電気的パラメータが第Ｍの条件を満たした第Ｍの時点を特定し、特定した当該第Ｍの時点および前記第１の時点の間の時間長を演算すると共に当該第１の時点および当該第Ｍの時点の前後関係を特定する各処理を「Ｍ」が「２」から「Ｎ」となるまで繰り返し実行し、前記波形表示処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、前記第１の信号波形における前記第１の時点に対応する部位から前記第Ｎの信号波形における前記第Ｍの時点としての第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位を時間軸において一致させて当該各信号波形を表示する。
【００１４】
さらに、請求項３記載のデータ処理装置は、第１の入力データから第Ｎ（Ｎは、２以上の自然数）の入力データまでの当該各入力データに対して所定のデータ処理を実行するデータ処理部と、前記第１の入力データの電気的パラメータが第１の条件を満たした第１の時点においてトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、前記各入力データを記憶する記憶部とを備え、前記データ処理部は、前記第１の入力データに基づく第１の信号波形から前記第Ｎの入力データに基づく第Ｎの信号波形までの当該各信号波形と、当該第１の信号波形に対応する第１の許容エリアから当該第Ｎの信号波形に対応する第Ｎの許容エリアまでの当該各許容エリアとに基づいて当該各入力データの合否を判定する判定処理、および前記第１の信号波形から前記第Ｎの信号波形までの当該各信号波形を表示部に表示させる波形表示処理を前記所定のデータ処理として実行可能に構成されると共に、前記トリガ信号が出力されたときに、前記記憶部に記憶されている前記各入力データに基づいて、第Ｍ（Ｍは、２以上Ｎ以下の自然数）の入力データの前記電気的パラメータが第Ｍの条件を満たした第Ｍの時点を特定し、特定した当該第Ｍの時点および前記第１の時点の間の時間長を演算すると共に当該第１の時点および当該第Ｍの時点の前後関係を特定する各処理を「Ｍ」が「２」から「Ｎ」となるまで繰り返し実行し、前記判定処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、第２の信号波形における前記第Ｍの時点としての第２の時点に対応する部位から前記第Ｎの信号波形における前記第Ｍの時点としての第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位と、第２の許容エリアにおける前記第２の時点に対応する部位から前記第Ｎの許容エリアにおける前記第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位とを時間軸において一致させた状態で前記合否を判定し、前記波形表示処理時において、前記各時間長および前記各前後関係を用いて、前記第１の信号波形における前記第１の時点に対応する部位から前記第Ｎの信号波形における前記第Ｎの時点に対応する部位までの当該各部位を前記時間軸において一致させて当該各信号波形を表示する。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１から３記載のデータ処理装置では、トリガ信号出力部からトリガ信号が出力されたときに、データ処理部が、記憶部に記憶されている各入力データに基づいて、第Ｍの入力データの電気的パラメータが第Ｍの条件を満たした第Ｍの時点を特定し、特定した第Ｍの時点および第１の入力データの電気的パラメータが第１の条件を満たした第１の時点（トリガ信号が出力された時点）の間の時間長を演算すると共に第１の時点および第Ｍの時点の前後関係を特定する各処理をＭが２からＮとなるまで繰り返し実行し、演算した各時間長および特定した各前後関係を用いて所定のデータ処理を実行する。
【００１６】
また、請求項１，３記載のデータ処理装置では、データ処理部が、判定処理時において、演算した各時間長および特定した各前後関係を用いて第２から第Ｎまでの各信号波形の第２から第Ｎまでの各時点にそれぞれ対応する部位と第２から第Ｎまでの各許容エリアの第２から第Ｎまでの各時点にそれぞれ対応する部位とを時間軸において一致させた状態で各入力データの合否を判定する。したがって、請求項１，３記載のデータ処理装置によれば、複数台のデータ処理装置を使用することなく、非同期のＮ個の入力データについて、各入力データを同期させてデータ処理を確実かつ正確に実行することができると共に、第２から第Ｎまでの各信号波形と第２から第Ｎまでの各許容エリアとの間に時間軸におけるずれが生じて第２から第Ｎまでの各信号波形が第２から第Ｎまでの各許容エリアを外れる事態が発生するのを回避することができる。これにより、このデータ処理装置によれば、第２から第Ｎまでの各入力データが異常であると誤って判定される事態を回避して、その合否を正しく判定することができる。
【００１７】
さらに、請求項２，３記載のデータ処理装置では、データ処理部が、波形表示処理時において、演算した各時間長および特定した各前後関係を用いて第１から第Ｎまでの各信号波形における第１から第Ｎまでの各時点にそれぞれ対応する部位を時間軸において一致させて各信号波形を表示する。したがって、請求項２，３記載のデータ処理装置によれば、複数台のデータ処理装置を使用することなく、非同期のＮ個の入力データについて、各入力データを同期させてデータ処理を確実かつ正確に実行することができると共に、第１から第Ｎまでの各信号波形を容易に比較することができるため、各信号波形の相違点を直感的に認識させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係るデータ処理装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
最初に、波形記録装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００２０】
図１に示す波形記録装置１は、本発明に係るデータ処理装置の一例であって、Ａ／Ｄ変換部２ａ，２ｂ、ストレージコントローラ３、ストレージメモリ４、トリガ信号出力部５、表示部６、ビデオメモリ７、記録部８およびＣＰＵ９を備えて構成されている。この波形記録装置１は、後述するようにして、本発明における第１から第Ｎの各入力データに相当するサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２の２つのデータ（本発明におけるＮが２の例）に対するデータ処理を実行可能に構成されている。Ａ／Ｄ変換部２ａは、図示しないアンプと相俟って測定チャンネル１（以下、「Ｃｈ．１」ともいう）を構成し、入力信号Ｓｉ１をアナログ−ディジタル変換して（入力信号Ｓｉ１を所定のサンプリング周期でサンプリングして）サンプリングデータＤｓ１（本発明における第１の入力データの一例：入力信号Ｓｉ１のデジタルデータ）を出力する。また、Ａ／Ｄ変換部２ｂは、図示しないアンプと相俟って測定チャンネル２（以下、「Ｃｈ．２」ともいう）を構成し、入力信号Ｓｉ２をアナログ−ディジタル変換して（入力信号Ｓｉ２を所定のサンプリング周期でサンプリングして）サンプリングデータＤｓ２（本発明における第Ｎ（Ｎが２の例）の入力データおよび第Ｍ（Ｍが２の例）の入力データの一例：入力信号Ｓｉ２のデジタルデータ）を出力する。
【００２１】
ストレージコントローラ３は、ＣＰＵ９の制御に従い、ストレージメモリ４に対するサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２の記録処理、およびストレージメモリ４からのサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２の読出し処理を実行する。この場合、ストレージコントローラ３は、上記の記録処理時において、一例として、Ａ／Ｄ変換部２ａ，２ｂから出力されたサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２をＦＩＦＯ（先入れ先出し法）でストレージメモリ４に記憶させることにより、所定時間分の（所定サンプリング数分の）最新のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２をストレージメモリ４に記憶させる。また、ストレージコントローラ３は、後述するようにしてトリガ信号出力部５からトリガ信号Ｓｔが出力されたときに読出し処理を開始して、トリガ信号Ｓｔの出力時点より前の所定の時点を起点とする所定時間分のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２をストレージメモリ４から読み出してＣＰＵ９に出力する。
【００２２】
ストレージメモリ４は、本発明における記憶部に相当し、一例として、ＳＤＲＡＭ（Synchronous Dynamic Random Access Memory）で構成されてストレージコントローラ３によって転送されたサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２を一時的に記録する。トリガ信号出力部５は、トリガ検出器や論理処理回路（図示せず）等を備えて構成されている。この場合、トリガ信号出力部５は、一例として、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Alley ）を備えて構成され、このＦＰＧＡ内に上記の論理処理回路が構築されている。具体的には、この波形記録装置１では、Ａ／Ｄ変換部２ａから出力されたサンプリングデータＤｓ１の電気的パラメータ（例えば、電圧、周波数、位相など）と、後述するようにして予め設定された比較値または比較範囲との比較結果に基づいてトリガ信号Ｓｔを出力する。より具体的には、トリガ信号出力部５は、サンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えたときに（本発明における「第１の条件」が満たされたときに）トリガ信号Ｓｔを出力する。
【００２３】
表示部６は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）で構成されて、ＣＰＵ９の制御に従い、ビデオメモリ７に記憶された波形データＤｗ１，Ｄｗ２に基づく信号波形等（本発明における第１から第Ｎまでの各信号波形）を表示する。ビデオメモリ７はＣＰＵ９によって生成された波形データＤｗ１，Ｄｗ２を記憶する。記録部８は、一例として、リムーバブルメモリ（メモリカード等）やＨＤＤ（Hard Disc Drive ）で構成されて、ＣＰＵ９から出力された所定時間分のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２を記録する。また、記録部８は、後述する許容エリアＡ１，Ａ２（本発明における第１から第Ｎまでの各許容エリア）についての許容エリアデータＤａ１，Ｄａ２や、ＣＰＵ９の動作プログラムなどを記憶する。この場合、許容エリアデータＤａ１，Ｄａ２は、一例として、正常状態において取得された所定時間分のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２に基づいて予め生成されている。ＣＰＵ９は、波形記録装置１を統括的に制御すると共に、本発明におけるデータ処理部を構成し、Ａ／Ｄ変換部２ａ，２ｂから出力されたサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２に対して各種のデータ処理を実行する。
【００２４】
具体的には、ＣＰＵ９は、図示しない操作部の操作によって測定開始が指示されたときに、トリガ信号出力部５を制御してサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２の電圧値を監視する処理を開始する。また、ＣＰＵ９は、ストレージコントローラ３から所定時間分のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２が出力されたときに、サンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点（本発明における「第１の時点」の一例）と、サンプリングデータＤｓ２が予め規定された電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点（本発明における「第Ｍの条件」が満たされた「第Ｍの時点」の一例：Ｎ＝Ｍ＝２のこの例では、「第２の条件」が満たされた「第２の時点」）とを特定すると共に、特定した両時点の間の時間長と、両時点の前後関係（いずれが先でいずれが後であるか）とを特定する。さらに、ＣＰＵ９は、特定した時間長および前後関係についての情報を用いて、両サンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２に基づく信号波形を表示させるための波形データＤｗ１，Ｄｗ２の生成処理（本発明における「波形表示処理」の一例）、および両サンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２と許容エリアデータＤａ１，Ｄａ２とに基づく波形判定処理（本発明における「判定処理」の一例）を実行する。
【００２５】
次に、波形記録装置１を用いてサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２をデータ処理する方法について、図面を参照して説明する。
【００２６】
まず、図示しない信号ケーブルを介してＣｈ．１，Ｃｈ．２（Ａ／Ｄ変換部２ａ，２ｂ）を監視対象の例えば製造装置に接続し、その状態において、操作部のスタートスイッチ（図示せず）を操作する。これに応じて、ＣＰＵ９は、Ａ／Ｄ変換部２ａ，２ｂを制御して入力信号Ｓｉ１，Ｓｉ２についてのサンプリング処理（Ａ−Ｄ変換処理）を開始させる。この際に、Ａ／Ｄ変換部２ａ，２ｂは、予め設定されたサンプリングレートで入力信号Ｓｉ１，Ｓｉ２をサンプリングしてサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２をそれぞれ生成し、生成したサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２をストレージコントローラ３およびトリガ信号出力部５に出力する。また、ストレージコントローラ３は、ＣＰＵ９の制御に従い、Ａ／Ｄ変換部２ａ，２ｂから出力されたサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２を例えば先入れ先出し法でストレージメモリ４内に順次記録する。
【００２７】
一方、トリガ信号出力部５は、ＣＰＵ９の制御に従い、サンプリングデータＤｓ１の電圧値を監視する処理を開始し、サンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えたとき（本発明における「第１の入力データの電気的パラメータが第１の条件を満たした第１の時点」の一例）にトリガ信号Ｓｔをストレージコントローラ３に出力する。これに応じて、ストレージコントローラ３は、ストレージメモリ４内に順次記録させている各サンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２のうちから、予め規定された所定時間分のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２を読み出してＣＰＵ９に出力する。具体的には、図２に示すように、ストレージコントローラ３は、トリガ信号出力部５からトリガ信号Ｓｔが出力された（すなわち、サンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた）時点ｔ１よりも時間Ｔｓ１だけ前の時点ｔ０から時点ｔ３までの時間Ｔｓ１１分のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２をストレージメモリ４から読み出してＣＰＵ９に出力する。この場合、上記の例における時間Ｔｓ１，Ｔｓ１１については、予め任意の時間長に規定されている。
【００２８】
これに応じて、ＣＰＵ９は、ストレージコントローラ３から出力された（ストレージメモリ４から読み出された）サンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２に基づき、サンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１（本発明における第１の時点）と、サンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２（本発明における第Ｍの入力データの電気的パラメータが第Ｍの条件を満たした第Ｍの時点：この例では、第２の時点）とをそれぞれ特定すると共に、特定した両時点ｔ１，ｔ２の間の時間長と、両時点ｔ１，ｔ２の前後関係とを特定する。この際に、ＣＰＵ９は、両時点ｔ１，ｔ２の間の時間長が時間Ｔｓ２１であると演算すると共に、「時点ｔ１が時点ｔ２よりも前の時点である」（または、「時点ｔ２が時点ｔ１よりも後の時点である」）と特定する。なお、Ｎ＝Ｍ＝２のこの例では、サンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２を特定し、特定した時点ｔ２および上記の時点ｔ１の間の時間長を演算すると共に時点ｔ１および時点ｔ２の前後関係を特定する各処理を繰り返すことなく１回実行するだけで、本発明におけるＭがＮ（この例では、２）となる。
【００２９】
次いで、ＣＰＵ９は、特定した時間長および前後関係と、ストレージメモリ４から読み出されたサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２とに基づき、本発明における波形表示処理および判定処理を並行して実行する。具体的には、ＣＰＵ９は、まず、サンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２（入力信号Ｓｉ１，Ｓｉ２）の信号波形（本発明における第１から第Ｎまでの各信号波形）を表示するための波形データＤｗ１，Ｄｗ２を生成する。この際に、ＣＰＵ９は、「時点ｔ１が時点ｔ２よりも時間Ｔｓ２１だけ前の時点である」との上記の特定事項に基づき、一例として、サンプリングデータＤｓ２に基づく信号波形を時間Ｔｓ２１だけ（時間Ｔｓ２１に相当する位相を）進めるように相対的に移動させて波形データＤｗ１，Ｄｗ２を生成する（第２の信号波形を第１の信号波形に対して時間軸方向において相対的に移動させた例）。これにより、図３に示すように、サンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１に対応する部位と、サンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２に対応する部位とが時間軸において一致した波形データＤｗ１，Ｄｗ２、つまり、両入力信号Ｓｉ１，Ｓｉ２の信号波形の立ち上がりが一致した波形データＤｗ１，Ｄｗ２が生成される。
【００３０】
続いて、ＣＰＵ９は、記録部８から許容エリアデータＤａ１，Ｄａ２を読み出して許容エリアＡ１，Ａ２を規定する。この場合、許容エリアデータＤａ１は、正常状態において取得されたサンプリングデータＤｓ１のうちの電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点（上記の例における時点ｔ１）よりも時間Ｔｓ１だけ前の時点から所定時間分のサンプリングデータＤｓ１に基づき、そのサンプリングデータＤｓ１に対する上限値および下限値を規定して生成されている。また、許容エリアデータＤａ２は、正常状態において取得されたサンプリングデータＤｓ２のうちの電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点（上記の例における時点ｔ２）よりも時間Ｔｓ１だけ前の時点から所定時間分のサンプリングデータＤｓ２に基づき、そのサンプリングデータＤｓ２に対する上限値および下限値を規定して生成されている。
【００３１】
次いで、ＣＰＵ９は、上記の波形データＤｗ１，Ｄｗ２（上記の時点ｔ１および時点ｔ２を一致させた状態のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２）に基づく信号波形と、許容エリアＡ１，Ａ２とに基づいて、サンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２の合否を判定する（本発明における「第２から第Ｎまでの各信号波形の第２から第Ｎまでの各時点にそれぞれ対応する部位と第２から第Ｎまでの各許容エリアの第２から第Ｎまでの各時点にそれぞれ対応する部位とを時間軸において一致させた状態で合否を判定する」との構成の一例）。具体的には、ＣＰＵ９は、波形データＤｗ１に基づく信号波形が許容エリアＡ１内に含まれているときには、波形データＤｗ１(サンプリングデータＤｓ１）が正常であると判定し、波形データＤｗ１がいずれかの部位において許容エリアＡ１から外れているときには、波形データＤｗ１(サンプリングデータＤｓ１）が異常であると判定する。また、ＣＰＵ９は、波形データＤｗ２に基づく信号波形が許容エリアＡ２内に含まれているときには、波形データＤｗ２(サンプリングデータＤｓ２）が正常であると判定し、波形データＤｗ２がいずれかの部位において許容エリアＡ２から外れているときには、波形データＤｗ２(サンプリングデータＤｓ２）が異常であると判定する。
【００３２】
この際に、波形データＤｗ１に基づく信号波形、および許容エリアＡ１では、それぞれ電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点に対応する部位が時間軸において一致している。このため、図４に示すように、波形データＤｗ１に基づく信号波形と許容エリアＡ１との間に時間軸におけるずれが生じて正常な波形データＤｗ１（サンプリングデータＤｓ１）が異常と判定される事態が回避される。また、この波形記録装置１では、前述したように、波形データＤｗ２の生成時において、サンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１とサンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２との間の時間長（時間Ｔｓ２１）だけサンプリングデータＤｓ１に対してサンプリングデータＤｓ２を進めるようにして相対的に移動させたことで（第２の信号波形を第２の許容エリアに対して時間軸方向において相対的に移動させた例）、波形データＤｗ１における電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１と波形データＤｗ２における電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２とが一致させられている。したがって、波形データＤｗ２に基づく信号波形における電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２に対応する部位は、許容エリアデータＤａ２に基づく許容エリアＡ２における電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点に対応する部位と一致することとなる。このため、波形データＤｗ２に基づく信号波形と許容エリアＡ２との間に時間軸におけるずれが生じて正常な波形データＤｗ２（サンプリングデータＤｓ２）が異常と判定される事態が回避される。
【００３３】
次いで、ＣＰＵ９は、上記の許容エリアＡ１，Ａ２の画像データを波形データＤｗ１，Ｄｗ２と共にビデオメモリ７に記憶させることにより、波形データＤｗ１，Ｄｗ２に基づく信号波形と許容エリアＡ１，Ａ２とを表示部６の同一画面上に重ねて表示させる（本発明における「第１から第Ｎまでの各信号波形における第１から第Ｎまでの各時点にそれぞれ対応する部位を時間軸において一致させて各信号波形を表示する」との構成の一例）。この際には、前述したように、波形データＤｗ１に基づく信号波形においてサンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１に対応する部位、許容エリアＡ１において許容エリアデータＤａ１の取得時にサンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点に対応する部位、波形データＤｗ２に基づく信号波形においてサンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２に対応する部位、および許容エリアＡ２において許容エリアデータＤａ２の取得時にサンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点に対応する部位のすべてが時間軸において一致している。したがって、表示部６に表示された波形表示画面上では、図４に示すように、両信号波形の基となったサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２（入力信号Ｓｉ１，Ｓｉ２）が恰も同期して出力されたかのように両信号波形および許容エリアＡ１，Ａ２が表示される。これにより、Ｃｈ．１，Ｃｈ．２を接続した両製造装置の動作状態を直感的に認識させることが可能となる。
【００３４】
一方、この波形記録装置１では、サンプリングデータＤｓ１を本発明における第１の入力データとし、かつサンプリングデータＤｓ２を本発明における第２から第Ｎまでの各入力データ（この例では、第２の入力データ）とする上記の波形表示処理および波形判定処理のみならず、サンプリングデータＤｓ２を本発明における第１の入力データとし、かつサンプリングデータＤｓ１を本発明における第２から第Ｎまでの各入力データ（この例では、第２の入力データ）とする波形表示処理および波形判定処理を実行することもできる。具体的には、このような使用方法を採用する際には、まず、トリガ信号出力部５に対して、サンプリングデータＤｓ２が予め設定された電圧値Ｌ２Ｖを超えたときに（本発明における「第１の条件」が満たされたときに）トリガ信号Ｓｔを出力するように設定する。
【００３５】
次いで、操作部のスタートスイッチ（図示せず）を操作すると、Ａ／Ｄ変換部２ａ，２ｂがサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２を生成してストレージコントローラ３およびトリガ信号出力部５に出力し、ストレージコントローラ３が、出力されたサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２をストレージメモリ４内に順次記録する。また、図５に示すように、サンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ１２（本発明における「第１の入力データの電気的パラメータが第１の条件を満たした第１の時点」の他の一例）において、トリガ信号出力部５がトリガ信号Ｓｔを出力し、これに応じて、ストレージコントローラ３が予め規定された所定時間分のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２をストレージメモリ４から読み出してＣＰＵ９に出力する。具体的には、ストレージコントローラ３は、トリガ信号出力部５からトリガ信号Ｓｔが出力された（すなわち、サンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた）時点ｔ１２よりも時間Ｔｓ２だけ前の時点ｔ１０から時点ｔ１３までの時間Ｔｓ１２分のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２をストレージメモリ４から読み出してＣＰＵ９に出力する。この場合、上記の例における時間Ｔｓ２，Ｔｓ１２については、予め任意の時間長に規定されている。
【００３６】
これに応じて、ＣＰＵ９は、ストレージコントローラ３から出力された（ストレージメモリ４から読み出された）サンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２に基づき、サンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１１（本発明における第Ｍの入力データの電気的パラメータが第Ｍの条件を満たした第Ｍの時点：この例では、第２の時点）と、サンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ１２（本発明における第１の時点）とをそれぞれ特定すると共に、特定した両時点ｔ１１，ｔ１２の間の時間長と、両時点ｔ１１，ｔ１２の前後関係とを特定する。この際に、ＣＰＵ９は、両時点ｔ１１，ｔ１２の間の時間長が時間Ｔｓ２２であると演算すると共に、「時点ｔ１２が時点ｔ１１よりも後の時点である」（または、「時点ｔ１１が時点ｔ１２よりも前の時点である」）と特定する。なお、Ｎ＝Ｍ＝２のこの例では、サンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ１２を特定し、特定した時点ｔ１２および上記の時点ｔ１１の間の時間長を演算すると共に時点ｔ１１および時点ｔ１２の前後関係を特定する各処理を繰り返すことなく１回実行するだけで、本発明におけるＭがＮ（この例では、２）となる。
【００３７】
次いで、ＣＰＵ９は、特定した時間長および前後関係と、ストレージメモリ４から読み出されたサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２とに基づき、本発明における波形表示処理および判定処理を並行して実行する。具体的には、ＣＰＵ９は、まず、サンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２（入力信号Ｓｉ１，Ｓｉ２）の信号波形（本発明における第１から第Ｎまでの各信号波形）を表示するための波形データＤｗ１，Ｄｗ２を生成する。この際に、ＣＰＵ９は、ストレージメモリ４から読み出された上記のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２に基づき、サンプリングデータＤｓ１における上記の時点ｔ１１よりも時間Ｔｓ１だけ前の時点１０ａと、サンプリングデータＤｓ２における上記の時点ｔ１２よりも時間Ｔｓ１だけ前の時点１０ｂとをそれぞれ特定する。
【００３８】
次いで、ＣＰＵ９は、サンプリングデータＤｓ１における時点ｔ１０ａよりも前の情報、およびサンプリングデータＤｓ２における時点ｔ１０ｂよりも前の情報（図６に破線で示す部位）をそれぞれ破棄すると共に、「時点ｔ１２が時点ｔ１１よりも時間Ｔｓ２２だけ後の時点である」との上記の特定事項に基づき、図６に示すように、一例として、サンプリングデータＤｓ１に基づく信号波形を時間Ｔｓ２２だけ（時間Ｔｓ２２に相当する位相を）遅らせるようにして相対的に移動させて波形データＤｗ１，Ｄｗ２を生成する（第２の信号波形を第１の信号波形に対して時間軸方向において相対的に移動させた例）。これにより、サンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１１に対応する部位と、サンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ１２に対応する部位とが時間軸において一致した状態の波形データＤｗ１，Ｄｗ２、つまり、両入力信号Ｓｉ１，Ｓｉ２の信号波形の立ち上がりが一致した波形データＤｗ１，Ｄｗ２が生成される。
【００３９】
続いて、ＣＰＵ９は、記録部８から許容エリアデータＤａ１，Ｄａ２を読み出して許容エリアＡ１，Ａ２を規定する。この場合、前述したように、許容エリアデータＤａ１は、正常状態において取得されたサンプリングデータＤｓ１のうちの電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点（上記の例における時点ｔ１１）よりも時間Ｔｓ１だけ前の時点から所定時間分のサンプリングデータＤｓ１に基づき、そのサンプリングデータＤｓ１に対する上限値および下限値を規定して生成されている。また、許容エリアデータＤａ２は、正常状態において取得されたサンプリングデータＤｓ２のうちの電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点（上記の例における時点ｔ１２）よりも時間Ｔｓ１だけ前の時点から所定時間分のサンプリングデータＤｓ２に基づき、そのサンプリングデータＤｓ２に対する上限値および下限値を規定して生成されている。
【００４０】
次いで、ＣＰＵ９は、上記の波形データＤｗ１，Ｄｗ２（上記の時点ｔ１１および時点ｔ１２を一致させた状態のサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２）に基づく信号波形と、許容エリアＡ１，Ａ２とに基づいて、サンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２の合否を判定する（本発明における「第２から第Ｎまでの各信号波形の第２から第Ｎまでの各時点にそれぞれ対応する部位と第２から第Ｎまでの各許容エリアの第２から第Ｎまでの各時点にそれぞれ対応する部位とを時間軸において一致させた状態で合否を判定する」との構成の他の一例）。この際に、図６に実線で示すように、波形データＤｗ２に基づく信号波形、および許容エリアデータＤａ２に基づく許容エリアＡ２では、それぞれ電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点が時間軸において一致している。このため、波形データＤｗ２に基づく信号波形と許容エリアＡ２との間に時間軸におけるずれが生じて正常な波形データＤｗ２（サンプリングデータＤｓ２）が異常と判定される事態が回避される。
【００４１】
また、この波形記録装置１では、前述したように、波形データＤｗ１の生成時において、サンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１１とサンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ１２との間の時間長（時間Ｔｓ２２）だけサンプリングデータＤｓ２に対してサンプリングデータＤｓ１を遅らせるようにして相対的に移動させたことで（第２の信号波形を第２の許容エリアに対して時間軸方向において相対的に移動させた例）、波形データＤｗ１における電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１１と波形データＤｗ２における電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ１２とが一致させられている。したがって、波形データＤｗ１に基づく信号波形における電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１１に対応する部位は、許容エリアデータＤａ１に基づく許容エリアＡ１における電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点に対応する部位と一致することとなる。このため、波形データＤｗ１に基づく信号波形と許容エリアＡ１との間に時間軸におけるずれが生じて正常な波形データＤｗ１（サンプリングデータＤｓ１）が異常と判定される事態が回避される。
【００４２】
次いで、ＣＰＵ９は、上記の許容エリアＡ１，Ａ２の画像データを波形データＤｗ１，Ｄｗ２と共にビデオメモリ７に記憶させることにより、波形データＤｗ１，Ｄｗ２に基づく信号波形と許容エリアＡ１，Ａ２とを表示部６の同一画面上に重ねて表示させる（本発明における「第１から第Ｎまでの各信号波形における第１から第Ｎまでの各時点にそれぞれ対応する部位を時間軸において一致させて各信号波形を表示する」との構成の他の一例）。この際には、前述したように、波形データＤｗ１に基づく信号波形においてサンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１１に対応する部位、許容エリアＡ１において許容エリアデータＤａ１の取得時にサンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点に対応する部位、波形データＤｗ２に基づく信号波形においてサンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ１２に対応する部位、および許容エリアＡ２において許容エリアデータＤａ２の取得時にサンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点に対応する部位のすべてが時間軸において一致している。したがって、表示部６に表示された波形表示画面上では、図７に示すように、両信号波形の基となったサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２（入力信号Ｓｉ１，Ｓｉ２）が恰も同期して出力されたかのように両信号波形および許容エリアＡ１，Ａ２が表示される。これにより、Ｃｈ．１，Ｃｈ．２を接続した両製造装置の動作状態を直感的に認識させることが可能となる。
【００４３】
このように、この波形記録装置１では、トリガ信号出力部５からトリガ信号Ｓｔが出力されたときに、ＣＰＵ９（データ処理部）が、ストレージメモリ４（記憶部）に記憶されているサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２（本発明における各入力データ）に基づいて、サンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２（または、サンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１１：本発明における第Ｍの入力データの電気的パラメータが第Ｍの条件を満たした第Ｍの時点）を特定し、特定した第Ｍの時点、およびサンプリングデータＤｓ１が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１（または、サンプリングデータＤｓ２が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ１２：トリガ信号Ｓｔが出力された時点：本発明における第１の入力データの電気的パラメータが第１の条件を満たした第１の時点）の間の時間長（この例では、時間Ｔｓ２１、または時間Ｔｓ２２）を演算すると共に、本発明における第１の時点および第Ｍの時点の前後関係を特定する各処理を本発明におけるＭが２からＮとなるまで繰り返し実行し（Ｎ＝Ｍ＝２のこの例では、各処理を一回実行し）、演算した時間長および特定した前後関係を用いて所定のデータ処理（この例では、波形表示処理および波形判定処理）を実行する。したがって、この波形記録装置１によれば、複数台の装置を使用することなく、非同期の各サンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２（入力信号Ｓｉ１，Ｓｉ２）について、両サンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２を同期させてデータ処理（波形表示処理および波形判定処理）を確実かつ正確に実行することができる。
【００４４】
また、この波形記録装置１によれば、ＣＰＵ９が、波形判定処理（本発明における判定処理）時において、演算した時間長および特定した前後関係を用いてサンプリングデータＤｓ１の信号波形（または、サンプリングデータＤｓ２の信号波形：本発明における第１の信号波形）と、サンプリングデータＤｓ２の信号波形（または、サンプリングデータＤｓ１の信号波形：本発明における第２から第Ｎまでの各信号波形の一例であって、Ｎ＝２のこの例では、第２の信号波形）との少なくとも一方を他方に対して時間軸方向に相対的に移動させて、サンプリングデータＤｓ２の信号波形の時点ｔ２（または、サンプリングデータＤｓ１の信号波形の時点ｔ１１：本発明における第２から第Ｎまでの各時点の一例であって、この例では、第２の時点）に対応する部位と、許容エリアＡ２の時点ｔ２（または、許容エリアＡ１の時点ｔ１１（本発明における第２から第Ｎまでの各許容エリアの第２から第Ｎまでの各時点の一例であって、この例では、第２の許容エリアの第２の時点）に対応する部位とを時間軸において一致させた状態で合否を判定することにより、サンプリングデータＤｓ２の信号波形（または、サンプリングデータＤｓ１の信号波形）と許容エリアＡ２（または、許容エリアＡ１）との間に時間軸においてずれが生じてサンプリングデータＤｓ２の信号波形（または、サンプリングデータＤｓ１の信号波形）が許容エリアＡ２（または、許容エリアＡ１）を外れる事態が発生するのを回避することができる。これにより、この波形記録装置１によれば、サンプリングデータＤｓ２（または、サンプリングデータＤｓ１）が異常であると誤って判定される事態を回避して、その合否を正しく判定することができる。
【００４５】
さらに、この波形記録装置１によれば、ＣＰＵ９が、波形表示処理時において、演算した時間長および特定した前後関係を用いてサンプリングデータＤｓ１の信号波形およびサンプリングデータＤｓ２の信号波形（本発明における第１から第Ｎまでの各信号波形）の時点ｔ１，ｔ２（本発明における第１から第Ｎまでの各時点）に対応する部位を時間軸において一致させて両信号波形を表示することにより、サンプリングデータＤｓ１の信号波形およびサンプリングデータＤｓ２の信号波形を容易に比較することができるため、両信号波形の相違点を直感的に認識させることができる。
【００４６】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、波形判定処理時において、波形データＤｗ２に基づく信号波形を時間Ｔｓ２１だけ進めた状態において許容エリアＡ２に含まれているか否かを判定する例（許容エリアＡ２に対して信号波形を相対的に移動させた例(相対的に進めた例)）、および波形データＤｗ１に基づく信号波形を時間Ｔｓ２２だけ遅らせた状態において許容エリアＡ１に含まれているか否かを判定する例（許容エリアＡ１に対して信号波形を相対的に移動させた例(相対的に遅れさせた例)）について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図８に示すように、サンプリングデータＤｓ１（入力信号Ｓｉ１）が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１よりも、サンプリングデータＤｓ２（入力信号Ｓｉ２）が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２が時間Ｔｓ２１だけ後の時点である場合において、ＣＰＵ９が、時点ｔ１および時点ｔ２の間の時間長を時間Ｔｓ２１と演算し、かつ、時点ｔ１よりも時点ｔ２が後の時点である（本発明における「前後関係」の一例）と特定したときに、許容エリアＡ２を時間Ｔｓ２１だけ遅らせるようにして波形データＤｗ２（サンプリングデータＤｓ２）に基づく信号波形に対して相対的に移動させて重ねた状態で、波形データＤｗ２（サンプリングデータＤｓ２）の合否を判定する構成を採用することができる。
【００４７】
また、図９に示すように、サンプリングデータＤｓ２（入力信号Ｓｉ２）が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ１２よりも、サンプリングデータＤｓ１（入力信号Ｓｉ１）が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１１が時間Ｔｓ２２だけ前の時点である場合において、ＣＰＵ９が、時点ｔ１１および時点ｔ１２の間の時間長を時間Ｔｓ２２と演算し、かつ、時点ｔ１２よりも時点ｔ１１が前の時点である（本発明における「前後関係」の一例）と特定したときに、許容エリアＡ１を時間Ｔｓ２２だけ進めるようにして波形データＤｗ１（サンプリングデータＤｓ１）に基づく信号波形に対して相対的に移動させて重ねた状態で、波形データＤｗ１（サンプリングデータＤｓ１）の合否を判定する構成を採用することができる。このような構成を採用した場合においても、前述した波形記録装置１と同様にして、波形データＤｗ２（または、波形データＤｗ１）に基づく信号波形と許容エリアＡ２（または、許容エリアＡ１）との間に時間軸におけるずれが生じて正常な波形データＤｗ２（波形データＤｗ１）が異常と判定される事態を回避することができる。
【００４８】
また、本発明についての理解を容易とするために、２つの測定チャンネル（Ｃｈ．１，Ｃｈ．２）を有する波形記録装置１を例に挙げて説明したが、本発明に係るデータ処理装置は、少なくとも２つの入力データに対して所定のデータ処理を実行可能に構成されていればよい。具体的には、３つ以上の複数の測定チャンネルを備えて、３つ以上の複数の入力データに対して各種のデータ処理を実行可能に構成することができる（本発明におけるＮが３つ以上の例）。この場合、例えば３つの測定チャンネル（Ｃｈ．１〜Ｃｈ．３）を備えて３つの入力データ（第１から第３の入力データ）に対するデータ処理を実行可能に構成したときには、トリガ信号出力部５からトリガ信号Ｓｔが出力されたときに、ＣＰＵ９（データ処理部）が、ストレージメモリ４（記憶部）に記憶されている各入力データに基づいて、本発明における第Ｍの入力データが第Ｍの条件を満たした第Ｍの時点を特定し、特定した第Ｍの時点と、第１の入力データが第１の条件を満たした第１の時点との間の時間長を演算すると共に第１の時点および第Ｍの時点の前後関係を特定する各処理を本発明におけるＭが２からＮとなるまで繰り返し実行し（Ｎ＝Ｍ＝３のこの例では、各処理を２回実行し）、演算した各時間長および特定した各前後関係を用いて所定のデータ処理（例えば、波形表示処理や波形判定処理）を実行すればよい。このような構成を採用することにより、２つの入力データに対するデータ処理を可能に構成した上記の波形記録装置１と同様にして、複数台の装置を使用することなく、非同期の各入力データについて、各入力データを同期させてデータ処理（波形表示処理や波形判定処理）を確実かつ正確に実行することができる。
【００４９】
さらに、本発明に係るデータ処理装置を波形記録装置１に適用した例について説明したが、本発明はこれに限定されず、波形表示処理を実行可能な波形表示装置や、波形判定処理を実行可能な波形監視装置などの各種のデータ処理装置に本発明を適用することができる。また、波形表示処理および波形判定処理（判定処理）を本発明における所定のデータ処理として実行する構成の波形記録装置１を例に挙げて説明したが、例えば、上記の例における波形データＤｗ１，Ｄｗ２を生成して記録部８に記録する処理（データ記録処理）を所定のデータ処理として実行する構成を採用することもできる。加えて、本発明に係るデータ処理装置は、Ａ／Ｄ変換部２ａ，２ｂ等を備えた処理装置に限定されず、外部装置としての測定装置によって生成されるサンプリングデータＤｓ１，Ｄｓ２を本発明における第１から第Ｎまでの各入力データとしてデータ処理する構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】波形記録装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】サンプリングデータＤｓ１（入力信号Ｓｉ１）が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１、およびサンプリングデータＤｓ２（入力信号Ｓｉ２）が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２の関係について説明するための説明図である。
【図３】時点ｔ１，ｔ２を一致させた状態の波形データＤｗ１，Ｄｗ２について説明するための説明図である。
【図４】図３における波形データＤｗ１，Ｄｗ２と許容エリアＡ１，Ａ２との関係について説明するための説明図である。
【図５】サンプリングデータＤｓ１（入力信号Ｓｉ１）が電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１１、およびサンプリングデータＤｓ２（入力信号Ｓｉ２）が電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ１２の関係について説明するための説明図である。
【図６】時点ｔ１１，ｔ２２を一致させた状態の波形データＤｗ１，Ｄｗ２について説明するための説明図である。
【図７】図６における波形データＤｗ１，Ｄｗ２と許容エリアＡ１，Ａ２との関係について説明するための説明図である。
【図８】他の実施形態における波形データＤｗ１，Ｄｗ２と許容エリアＡ１，Ａ２との関係について説明するための説明図である。
【図９】さらに他の実施形態における波形データＤｗ１，Ｄｗ２と許容エリアＡ１，Ａ２との関係について説明するための説明図である。
【図１０】入力信号Ｓｉ１ｘが電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１、および入力信号Ｓｉ２ｘが電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２の関係について説明するための説明図である。
【図１１】入力信号Ｓｉ１ｘ，Ｓｉ２ｘと基準エリアＡ１ｘ，Ａ２ｘとの関係について説明するための説明図である。
【図１２】入力信号Ｓｉ１ｘが電圧値Ｌ１Ｖを超えた時点ｔ１、および入力信号Ｓｉ２ｘが電圧値Ｌ２Ｖを超えた時点ｔ２の関係について他のケース説明するための説明図である。
【図１３】他のケースにおける入力信号Ｓｉ１ｘ，Ｓｉ２ｘと基準エリアＡ１ｘ，Ａ２ｘとの関係について説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  波形記録装置
３  ストレージコントローラ
４  ストレージメモリ
５  トリガ信号出力部
６  表示部
７  ビデオメモリ
９  ＣＰＵ
Ａ１，Ａ２  許容エリア
Ｄａ１，Ｄａ２  許容エリアデータ
Ｄｓ１，Ｄｓ２  サンプリングデータ
Ｄｗ１，Ｄｗ２  波形データ
Ｌ１Ｖ，Ｌ２Ｖ  電圧値
Ｓｔ  トリガ信号
Ｓｉ１，Ｓｉ２  入力信号
Ｔｓ１，Ｔｓ２，Ｔｓ１１，Ｔｓ１２，Ｔｓ２１，Ｔｓ２２  時間
ｔ０〜ｔ３，ｔ１０〜ｔ１３  時点
【図１】
0005154190.tif 000002
【図２】
0005154190.tif 000003
【図３】
0005154190.tif 000004
【図４】
0005154190.tif 000005
【図５】
0005154190.tif 000006
【図６】
0005154190.tif 000007
【図７】
0005154190.tif 000008
【図８】
0005154190.tif 000009
【図９】
0005154190.tif 000010
【図１０】
0005154190.tif 000011
【図１１】
0005154190.tif 000012
【図１２】
0005154190.tif 000013
【図１３】
0005154190.tif 000014