(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動体に当接させるヘッドと、
所定の電圧が印加された際の伸縮方向が所定角度で交差するように前記ヘッドに固定された２個の圧電素子と、
ヤング率が４０ＧＰａ以上２２０ＧＰａ以下の材料からなり、２個の前記圧電素子をそれぞれ保持する第１，第２保持部およびこれらを連結する連結部とからなる凹型形状の保持部材と、
前記連結部の一部を把持する底壁部と、前記第１保持部の一部を把持する第１側壁部と、前記第２保持部の一部を把持する第２側壁部とを有する凹型の第１ケース部と、
円柱形状を有し、前記第２側壁部が所定の力で前記第２保持部へ押し付けられることによって前記第１保持部が前記第１側壁部を押し付ける力によりその曲面の一部が所定の固定面に押し付けられ、且つ、その中心軸が前記ヘッドの変位面と直交するように前記第１側壁部に保持された円柱部材と、
を具備し、
被駆動体の移動方向に応じて前記２個の圧電素子のいずれか一方が駆動され、その際に前記保持部材を含めた共振を利用して前記ヘッドを動かすことにより被駆動体に力を加えて当該被駆動体を動かすことを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記第１ケース部を嵌挿して保持する凹型形状の第２ケース部と、
前記第２側壁部を前記第２保持部に押し付けるように当該第２側壁部と前記第２ケース部との間に設けられた第１付勢部材と、
前記底壁部を前記保持部材に押し付けるように当該底壁部と前記第２ケース部との間に設けられた第２付勢部材と、をさらに具備することを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記保持部材は、ねずみ鋳鉄，ステンレス鋼，アルミニウム合金，快削黄銅，りん青銅，チタンのいずれかからなることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ−Ｙステージや回転ステージ等の駆動に用いられる超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ−Ｙステージや回転ステージ等の駆動機構として、被駆動体に当接させるヘッドに、電圧印加により伸縮変位を生じる積層型の圧電素子２個をその変位方向が一定角度で交差するように接着し、さらにこれら２個の圧電素子を略Ｌ字型の保持部材に接着した構造を有する超音波モータが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この超音波モータの駆動方法としては、２個の圧電素子にそれぞれ位相が９０度ずれた正弦波電圧を印加することによりヘッドに楕円運動を生じさせる方法や、２個の圧電素子の同位相と逆位相の共振モードを一致させてヘッドに楕円運動を生じさせる方法があり、これによりヘッドと被駆動体との間に作用する摩擦力を利用して所望の方向に動かしている。
【０００４】
このときヘッドから被駆動体へ確実に力を加えるために、保持部材が撓む等してヘッドの変位を吸収してしまわないように、保持部材はタングステンカーバイド等の硬質材料を用いて堅牢に構成されている。
【０００５】
しかしながら、保持部材を堅牢に構成すると、ヘッドの変位量は実質的に圧電素子の変位量に限られるために大きな変位量を得ることができず、したがって被駆動体の駆動速度を速めることは困難である。また、上述した駆動方法を用いた場合、保持部材自体に撓みを生じさせないために保持部材を大型化させたり、保持部材が動かないように固定したりする必要があり、その固定は簡単ではない。また、上記前者の駆動方法では駆動電源の構成が複雑となり、前記後者の駆動方法では２つの共振周波数の調整が容易ではないという問題がある。
【特許文献１】特開２００４−２２２４５３号公報（段落［００４４］，［００４５］等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、駆動が容易で且つ被駆動体に対する固定を容易としつつ、大きなヘッド変位量を得ることを可能ならしめる超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、被駆動体に当接させるヘッドと、所定の電圧が印加された際の伸縮方向が所定角度で交差するように前記ヘッドに固定された２個の圧電素子と、ヤング率が４０ＧＰａ以上２２０ＧＰａ以下の材料からなり、２個の前記圧電素子をそれぞれ保持する第１，第２保持部およびこれらを連結する連結部とからなる凹型形状の保持部材と、前記連結部の一部を把持する底壁部と、前記第１保持部の一部を把持する第１側壁部と、前記第２保持部の一部を把持する第２側壁部とを有する凹型の第１ケース部と、円柱形状を有し、前記第２側壁部が所定の力で前記第２保持部へ押し付けられることによって前記第１保持部が前記第１側壁部を押し付ける力によりその曲面の一部が所定の固定面に押し付けられ、且つ、その中心軸が前記ヘッドの変位面と直交するように前記第１側壁部に保持された円柱部材と、を具備し、被駆動体の移動方向に応じて前記２個の圧電素子のいずれか一方が駆動され、その際に前記保持部材を含めた共振を利用して前記ヘッドを動かすことにより被駆動体に力を加えて当該被駆動体を動かすことを特徴とする超音波モータが提供される。
【０００９】
さらに、この第１ケース部を嵌挿して保持する凹型形状の第２ケース部と、第２側壁部を第２保持部に押し付けるように第２側壁部と第２ケース部との間に設けられた第１付勢部材と、底壁部を保持部材に押し付けるように底壁部と第２ケース部との間に設けられた第２付勢部材とをさらに具備する構成とすることが好ましい。
【００１０】
保持部材に用いられる材料の具体例としては、ねずみ鋳鉄，ステンレス鋼，アルミニウム合金，快削黄銅，りん青銅，チタン等が挙げられる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、保持部材の共振を利用してヘッドの変位を拡大することができ、これにより被駆動体の駆動速度を速くすることができる。また、保持部材をコンパクトに構成することができる。被駆動体の運動方向に応じて２個の圧電素子のうちの一方を駆動するために駆動周波数の調整は極めて容易であり、駆動電源の構成が簡単である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。超音波モータ１００の概略側面図を図１に、概略断面図を図２にそれぞれ示す。ここで、図１，図２に示されるように３次元直交座標（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸）を規定することとする。
【００１３】
超音波モータ１００はアクチュエータ部１０とケース部２０から構成されている。アクチュエータ部１０は、Ｘ軸方向にスライド自在に保持されたスライダ５０に当接させるヘッド１１と、所定の電圧が印加された際の伸縮方向が所定角度で交差するようにヘッド１１に固定された２個の積層型の圧電素子１２ａ，１２ｂと、これら２つの圧電素子１２ａ，１２ｂを保持する凹型形状の保持部材１３を備えている。
【００１４】
ヘッド１１は、耐摩耗性に優れる材料、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や炭化珪素（ＳｉＣ），窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）等のセラミックス材料、金属材料の表面にこれらのセラミックス材料やＤＬＣ等のコーティング被膜を形成したものが好適に用いられる。
【００１５】
ヘッド１１と圧電素子１２ａ，１２ｂとの接着には、エポキシ樹脂接着剤等の接合強度が大きく、耐熱性にも優れた硬質の樹脂接着剤が好適に用いられる。圧電素子１２ａ，１２ｂには、低電圧で大きな変位量を得ることができる，所謂，一体焼成型の積層型圧電素子が好適に用いられる。
【００１６】
圧電素子１２ａ，１２ｂの伸縮方向の交差角度θは、ヘッド１１の運動軌跡を変化させるパラメータであり、適宜、スライダ５０を動かすために必要な推力と送り速度が得られるように決定される。ヘッド１１の形状はこの交差角度θに合わせて圧電素子１２ａ，１２ｂを接着することができるように設計される。
【００１７】
保持部材１３は、圧電素子１２ａ，１２ｂをそれぞれ保持するための傾斜面を備えた第１保持部１３ａ，第２保持部１３ｂと、これらを連結する連結部１３ｃとからなる略凹型形状を有している。
【００１８】
圧電素子１２ａ，１２ｂは、ヘッド１１に対する固定方法と同様に樹脂接着剤を用いてそれぞれ第１，第２保持部１３ａ，１３ｂに固定される。第１，第２保持部１３ａ，１３ｂにおいて圧電素子１２ａ，１２ｂが接着固定される傾斜面の角度は、圧電素子１２ａ，１２ｂの交差角度θにより定められる。
【００１９】
この保持部材１３は一体構造物であり、ヤング率が４０ＧＰａ以上２２０ＧＰａ以下の材料、例えば、ねずみ鋳鉄（約１０１ＧＰａ），ステンレス鋼（約１９６ＧＰａ），アルミニウム合金（約７１ＧＰａ），快削黄銅（約９８ＧＰａ），りん青銅（約１１３ＧＰａ），チタン（約１０３ＧＰａ）等の金属材料で構成されている。但し、このような材料に限定されるものではなく、前記性質を有する限りにおいて、他の金属，合金も用いることができる。
【００２０】
このような材料を用いることにより、後に駆動形態について説明する通り、保持部材１３を駆動される圧電素子１２ａ，１２ｂのいずれか一方と共振させて、その振動（変位）をヘッド１１の変位に重畳させることができる。ヤング率が４０ＧＰａ未満の場合には圧電素子１２ａ，１２ｂの振動が保持部材１３に吸収されやすくなり、一方、２２０ＧＰａ超では保持部材１３の振動振幅が得られ難く、圧電素子１２ａ，１２ｂの変位量しか得られない。なお、保持部材１３の形状は、このような共振を生じさせることができるように、ヘッド１１および圧電素子１２ａ，１２ｂの形状に応じて、適宜、設計される。
【００２１】
ケース部２０は、保持部材１３を直接に保持する第１ケース部２１と、この第１ケース部２１を嵌挿保持する第２ケース部２２と、円柱部材（以下「コマ」という）２３と、第１付勢部材たる第１コイルバネ２４と、第２付勢部材たる第２コイルバネ２５を備えている。
【００２２】
第１ケース部２１は、保持部材１３を囲む凹型形状を有しており、第１保持部１３ａの外側の一部を把持するための爪部３１ａを備えた第１側壁部２１ａと、第２保持部１３ｂの外側の一部を把持するための爪部３１ｂを備えた第２側壁部２１ｂと、連結部１３ｃの一部を把持する爪部３１ｃを備えた底壁部２１ｃから構成されている。第１，第２側壁部２１ａ，２１ｂおよび底壁部２１ｃは、機械的強度を高く維持する観点から、一体構造物であることが好ましい。
【００２３】
なお、例えば、「爪部３１ａが第１保持部１３ａを把持する」とは、爪部３１ａが第１保持部１３ａを挟み込み、これらの間に作用する摩擦力を利用して第１保持部１３ａが保持されることをいう。
【００２４】
爪部３１ｃを例に挙げて説明すれば、爪部３１ｃはＺ方向に突出するようにＹ方向に一定の間隔で設けられた２つの突起３３ａ（図１参照）の間にこれらの突起３３ａよりも低い床部３３ｂ（図２参照）を備えた構造を有している。連結部１３ｃの−Ｚ側の面はこの床面とのみ接触し、連結部１３ｃのＹ方向側面は突起３３ａの内側の面にのみ接触している。爪部３１ａ，３１ｂについても同様である。
【００２５】
保持部材１３を第１ケース部２１の上側の開口面から挿入し、爪部３１ａ〜３１ｃをそれぞれ構成する２つの突起３３ａの間に保持部材１３を挿入する。保持部材１３の挿入後に保持部材１３がＸ，Ｙ，Ｚ方向において簡単に外れることがないように、爪部３１ａ〜３１ｃの形状（寸法）は設定される。
【００２６】
なお、保持部材１３を爪部３１ａ〜３１ｃに樹脂接着剤等で接着することは必要ではないが、圧電素子１２ａ，１２ｂおよび保持部材１３に生ずる振動が振動が阻害されないか或いは阻害されてもそれが許容される程度であれば、保持部材１３と爪部３１ａ〜３１ｃの接触部とは接着されていてもよい。その場合、保持部材１３は床部３３ｂでのみ接着されていることが好ましい。
【００２７】
このように保持部材１３の周囲全体を保持することなく爪部３１ａ〜３１ｃによって保持部材１３の一部を保持することにより、保持部材１３に生じさせる共振に対するケース部２０による振動阻害を最小限に抑えることができる。
【００２８】
圧電素子１２ａ，１２ｂを駆動すると圧電素子１２ａ，１２ｂは発熱する。その駆動時間が長い場合には、圧電素子１２ａ，１２ｂから保持部材１３への熱伝導により、保持部材１３の温度が上昇する。第１ケース部２１はこの保持部材１３の温度上昇および振動に対する耐久性に優れた樹脂材料が好適に用いられ、具体的には、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等のエンジニアリングプラスチックが好適に用いられる。
【００２９】
第２ケース部２２は第１ケース部２１を囲う凹型形状を有している。第２ケース部２２は、Ｘ方向において第１，第２側壁部２１ａ，２１ｂとそれぞれ対向する第１，第２外壁部２２ａ，２２ｂと、これら第１，第２外壁部２２ａ，２２ｂを連結する外底壁部２２ｃから構成されている。第１，第２外壁部２２ａ，２２ｂおよび外底壁部２２ｃは一体構造物であってもよいし、これらがボルト等で連結された構造であってもよい。
【００３０】
第２ケース部２２には、アルミニウムやステンレス等の金属材料が好適に用いられる。第２ケース部２２のＹ方向側面を被うように、側面カバー（図示せず）を設けてもよい。また、ヘッド１１が露出するように、第２ケース部２２の＋Ｚ側開口面にカバー（図示せず）を設けてもよい。
【００３１】
第１コイルバネ２４は、第２側壁部２１ｂを保持部材１３側（−Ｘ向き）に押し付けるように、第２側壁部２１ｂと第２外壁部２２ｂの間に配置されている。第１コイルバネ２４は、爪部３１ｂと背中合わせとなる位置に設けることが好ましく、これにより確実に保持部材１３を＋Ｘ側から−Ｘ側に押し付けることができる。
【００３２】
第１コイルバネ２４を設置するための凹部が第２外壁部２２ｂの内側に形成されており、第１コイルバネ２４のＺ方向での位置ずれを防止するための突起部２６が第２側壁部２１ｂの外側に設けられている。
【００３３】
第２コイルバネ２５は、底壁部２１ｃを保持部材１３（連結部１３ｃ）に押し付けるように、底壁部２１ｃと外底壁部２２ｃとの間に配置されている。第２コイルバネ２５を設置するための凹部が外底壁部２２ｃに形成されている。
【００３４】
第２コイルバネ２５は、爪部３１ｃと背中合わせとなる位置に設けることが好ましい。これにより確実に超音波モータ１００を＋Ｚ側へ押し付け、ヘッド１１がスライダ５０に押し付けられる。ヘッド１１をスライダ５０に押し付ける力を調整するために、例えば、第２コイルバネ２５の伸縮を調節するための止めネジ等を外底壁部２２ｃに設けることも好ましい。
【００３５】
前述したように、ヘッド１１をスライダ５０に押し付ける力は第２コイルバネ２５により調整することができるため、第２ケース部２２は図示しない固定物（例えば、ガイド等を保持するための装置フレーム等）に固定することができ、その際の条件の設定も容易である。つまり、超音波モータ１００の固定を容易に行うことができる。
【００３６】
コマ２３は、その中心軸（コマ２３の長さ方向に平行で、この方向に垂直な断面円の中心を通る軸を指す）がヘッド１１の変位面であるＺ−Ｘ面と直交するＹ方向と平行となるように、第１側壁部２１ａに配置される。コマ２３は、好適には、ステンレス，真鍮，アルミニウム，鋳鉄等の金属材料で構成される。
【００３７】
コマ２３は、円柱状の本体部２３ａと、本体部２３ａの端面の中心に設けられた円柱状の突起部２３ｂから構成されており、この突起部２３ｂが中心軸となっている。第１側壁部２１ａにおいて爪部３１ａが形成されている面の反対側の面に、第１側壁部２１ａから本体部２３ａの曲面の一部が露出するように、コマ２３を配設するための凹部２７が形成されている。凹部２７を形成しているＺ−Ｘ面に平行な壁には、コマ２３を回転自在に保持することができるように、突起部２３ｂを嵌挿させるための切り欠き孔部２８が形成されている。
【００３８】
コマ２３はＺ方向に２個並べて配設されている。２個のコマ２３は爪部３１ａから等距離にある位置に設けることが好ましい。コマを１個のみ配設した構造としてもよいが、その場合には、爪部３１ａと背中合わせになる位置にそのコマを配設することが好ましい。
【００３９】
第１コイルバネ２４が第２側壁部２１ｂを保持部材１３側に押し付けると、保持部材１３を介して第１側壁部２１ａが第１外壁部２２ａに押し付けられる。こうして、第１側壁部２１ａから露出しているコマ２３の曲面の一部が第１外壁部２２ａに押し付けられる。コマ２３と第１外壁部２２ａとの接触領域はＹ方向に長く幅の狭い帯状となるので、コマ２３と第１外壁部２２ａとの間のＹ方向での摩擦力が大きくなる。この摩擦力によりコマ２３はＹ方向に滑り難くなるので、アクチュエータ部１０のＹ方向におけるぶれの発生が抑制される。
【００４０】
また、コマ２３の構造と凹部２７および切り欠き孔部２８によるコマ２３の保持形態により、コマ２３のＹ方向でのずれが抑制されているので、これによってもアクチュエータ部１０のＹ方向におけるぶれの発生が抑制される。
【００４１】
さらに、保持部材１３は第１コイルバネ２４による付勢によってＸ方向において安定に保持されているので、アクチュエータ部１０のＸ方向におけるぶれの発生も抑制される。こうして、圧電素子１２ａ，１２ｂを駆動したときに、アクチュエータ部１０のＸ方向とＹ方向におけるぶれの発生が抑制されるために、圧電素子１２ａ，１２ｂのいずれか一方を駆動したときに、ヘッド１１は安定した軌跡を描く運動を行うことができる。
【００４２】
このような構造に起因して、超音波モータ１００では、ヘッド１１がスライダ５０に与える推力の大きさにばらつきが生じ難く、スライダ５０の駆動を高い精度で安定して行うことができる。また、第１ケース部２１と第２ケース部２２を用いることにより、超音波モータ１００の組み立てを極めて容易に行うことができる。
【００４３】
次に、超音波モータ１００の駆動方法と保持部材１３の共振について説明する。図１に超音波モータ１００と電源との接続形態を簡単に示している。電源４０は一定周波数のｓｉｎ波形の駆動電圧を出力するが、この駆動電圧はスイッチ４１によって圧電素子１２ａ，１２ｂのいずれか一方に選択的に出力される。つまり、超音波モータ１００では、圧電素子１２ａ，１２ｂを同時に駆動することはない。
【００４４】
圧電素子１２ａ，１２ｂとしては実質的に駆動特性差のないものが用いられるため、電源４０から出力される駆動電圧の周波数は、圧電素子１２ａ，１２ｂのいずれか一方を駆動する際に保持部材１３に共振を生じさせる周波数にセットされている。圧電素子１２ａ，１２ｂを同時に共振駆動させないために、この周波数セットは極めて容易である。
【００４５】
図３Ａ，３Ｂに圧電素子１２ａを駆動した場合の圧電素子１２ａおよび保持部材１３の振動（変位）の様子を模式的に示す。図３Ａは圧電素子１２ａを伸張させた状態を、図３Ｂは圧電素子１２ａを収縮させた状態をそれぞれ示しており、第２保持部１３ｂ側の端点Ｑを不動点としている。
【００４６】
圧電素子１２ａの伸張／収縮と同時に連結部１３ｃに撓みが生じ、この変位量がヘッド１１の変位量に重畳されて、圧電素子１２ａのみの変位量よりも大きな変位と推力を得ることができる。
【００４７】
保持部材１３の形状は、このような共振を生じさせることができるように、ヘッド１１および圧電素子１２ａ，１２ｂの形状に応じて設計されるが、このとき、保持部材１３と第１ケース部２１の間隙や第１ケース部２１と第２ケース部２２の間隙等が、保持部材１３に生じる変位が圧電素子１２ａの変位と相殺されることのないように設計される。
【００４８】
また、一定の力でヘッド１１をスライダ５０に押し付けて、圧電素子１２ａ，１２ｂのいずれか一方を駆動したときに、ヘッド１１がスライダ５０に与える力と保持部材１３に生じる振動（撓み）のバランスは、スライダ５０に要求される移動速度を考慮して決定される。
【００４９】
ヘッド１１の動きは、基本的に駆動する圧電素子の伸縮方向における直線運動と考えられ（駆動しない圧電素子による拘束等によって若干の楕円軌跡を描くとも考えられる）、ヘッド１１がスライダ５０を打撃するときの摩擦力・衝撃力を利用する。したがって、スライダ５０を＋Ｘ側へ移動させるには圧電素子１２ａに駆動電圧を印加し、スライダ５０を−Ｘ側へ移動させる場合には圧電素子１２ｂに駆動電圧を印加する。このように圧電素子１２ａ，１２ｂのいずれか一方を駆動するために、従来のように、同位相と逆位相の２つの共振周波数を合わせて印加したり、位相をずらして印加する必要がないために、駆動周波数の設定が容易であり、電源４０を簡単に構成することができる。
【００５０】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこのような形態に限定されるものではない。例えば、第１付勢部材，第２付勢部材として第１コイルバネ２４，第２コイルバネ２５を用いた形態について説明したが、これらに代えて、板バネを用いることもできる。また、コマは金属材料からなるものに限定されるものではなく、ゴム等の弾性体からなるものを用いることもできる。さらに、コマに代えてリニアガイドを用いることもできる。
【００５１】
コマとしては単純な円柱形状のものを用いることもできる。その場合、コマの曲面の一部が第１側壁部２１ａの外側に露出するように、第１側壁部２１ａにＹ軸方向にコマを挿入することができる貫通孔を設ける構成とすることが好ましく、コマの外径と孔部の内径との公差をできるだけ小さくするかまたはＹ方向側面にカバーを設けることによって、コマの脱落を防止することが好ましい。
【００５２】
また上記実施の形態では、第１ケース部２１を第２ケース部２２に嵌挿保持させた構造について説明したが、リニアステージやＸ−Ｙステージではその装置フレームに第２ケース部と同等な形状の窪みを設けることも可能であるので、そのような窪みに、直接にアクチュエータ部１０，第１ケース部２１，コマ２３，第１コイルバネ２４，第２コイルバネ２５を装着してもよい。
【００５３】
また、上記実施の形態では、超音波モータ１００を固定してスライダ５０をＸ方向に動かす構成について説明したが、ヘッド１１を回転自在に設置された円板の側面に当接させれば、その円板を回転させることができる。さらに、ベアリングと超音波モータ１００のヘッド１１とで固定されたガイドレールを挟み込むように超音波モータ１００とベアリングとを同一基板に配置した構造とすれば、超音波モータ１００を自走させるリニアモータの構成へと変形することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】超音波モータの概略側面図。
【図２】超音波モータの概略断面図。
【図３Ａ】圧電素子の伸張時の保持部材の変形態様を模式的に示す図。
【図３Ｂ】圧電素子の収縮時の保持部材の変形態様を模式的に示す図。
【符号の説明】
【００５５】
１０…アクチュエータ部、１１…ヘッド、１２ａ・１２ｂ…圧電素子、１３…保持部材、１３ａ…第１保持部、１３ｂ…第２保持部、１３ｃ…連結部、２０…ケース部、２１…第１ケース部、２１ａ…第１側壁部、２１ｂ…第２側壁部、２１ｃ…底壁部、２２…第２ケース部、２２ａ…第１外壁部、２２ｂ…第２外壁部、２２ｃ…外底壁部、２３…コマ（円柱部材）、２４…第１コイルバネ、２５…第２コイルバネ、２６…突起部、２７…凹部、２８…切り欠き孔部、３１ａ・３１ｂ・３１ｃ…爪部、３３ａ…突起、３３ｂ…床部、４０…電源、４１…スイッチ、５０…スライダ、１００…超音波モータ。
【図１】
0005183131.tif 000002
【図２】
0005183131.tif 000003
【図３Ａ】
0005183131.tif 000004
【図３Ｂ】
0005183131.tif 000005