(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
柱状のガイド体と、前記ガイド体に直線往復移動可能に支持された移動体と、前記ガイド体の両端部を支持する支持体とを備え、クリーンルーム内に設置された直線移動装置において、
前記支持体の前記移動体側の端面と、前記移動体の前記支持体側の端面とのそれぞれ間に、前記ガイド体の外周面を覆うジャバラを設け、
前記それぞれのジャバラに通気穴を設け、
前記通気穴をそれぞれ前記クリーンルームの外部に連通させ、
前記ガイド体が、ボールねじ装置のねじ軸である場合に、
前記ジャバラを螺旋構造とし、前記ジャバラの螺旋の捩れ方向と、前記ねじ軸に形成された軸軌道溝の螺旋の捩れ方向とを、逆方向に設定したことを特徴とする直線移動装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記通気穴にホースを接続し、
前記ホースを、それぞれ吸排装置に接続したことを特徴とする直線移動装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記ジャバラは、樹脂材料で形成されていることを特徴とする直線移動装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２において、
前記ジャバラは、金属材料で形成されていることを特徴とする直線移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械や産業機械、半導体製造装置、精密機械等の機械装置の移動台の直線往復移動の駆動に用いるボールねじ装置や、移動台の直線往復移動を案内するボールスプライン装置やスプラインナット装置等を用いた直線移動装置に関し、特にクリーン環境で用いられる直線移動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のボールねじ装置を用いた直線移動装置は、ねじ軸の外周面に螺旋状に形成した軸軌道溝と、ボールねじナットの内周面に形成した軸軌道溝に対向するナット軌道溝とを複数のボールを介して螺合させたボールねじ装置のねじ軸の両端部をサポートユニットに支持させ、ねじ軸を回転させてボールねじナットに固定された移動台を直線往復移動可能とし、ボールねじナットの両側にねじ軸の外周面を覆うジャバラを配置し、それぞれのジャバラの一端をボールねじナットの端面に、他端をサポートユニットのボールねじナット側の端面に取付け、ボールねじナットの移動に応じてジャバラを伸縮させ、ねじ軸等への異物の付着を防止している（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
また、上記の構成のボールねじ装置を用いた直線移動装置をクリーンルームに設置する場合に、サポートユニット間に、ねじ軸およびボールねじナットを覆い、ボールねじナットに設けた移動台を固定するための突起部を挿通させる開口溝を設けたハウジングを設け、サポートユニットの外方に排気ボックスを設けると共に、両側のサポートユニットにハウジングと排気ダクトとを内部で連通させる風孔を設け、ハウジングの底面の中央に設けた１つの排気孔に排気ポンプを接続して、ハウジング内の空気を吸引し、ボールねじナットの移動に伴って、ハウジング内の塵埃を含む空気が開口溝からクリーンルーム内に漏れることを防止しているものがある（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３４３３７４号公報（主に、第３頁段落００２８−第４頁段落００３６、第４図）
【特許文献２】特許第２６５２８８４号公報（第２頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来の特許文献１の技術においては、ボールねじナットの両端面と両側のサポートユニットとの端面間にそれぞれジャバラを取付けているため、ジャバラの内部空間が密封された状態になり、ボールねじナットの移動に伴って、移動方向に配置された圧縮側のジャバラの内圧が上昇し、ジャバラと端面との取付部からボールねじ装置で発生したグリースの飛沫や磨耗粉等の発塵が漏れ出す虞があるという問題がある。
【０００６】
また、特許文献２の技術においては、ねじ軸およびボールねじナットを覆うハウジングに、突起部を挿通させる開口溝が設けられているため、排気ポンプによりハウジング内の空気を吸引したとしても、遠心力によりねじ軸から飛散したグリースの飛沫等が、開口溝から外部へ漏れ出す可能性があり、クリーンルーム内を汚染させる虞があるという問題がある。
【０００７】
このことは、ボールねじ装置を高速運転した場合に、特に顕著になる。
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、ボールねじ装置等を用いた直線移動装置からの発塵の漏れを、確実に防止する手段を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するために、柱状のガイド体と、前記ガイド体に直線往復移動可能に支持された移動体と、前記ガイド体の両端部を支持する支持体とを備え、クリーンルーム内に設置された直線移動装置において、前記支持体の前記移動体側の端面と、前記移動体の前記支持体側の端面とのそれぞれ間に、前記ガイド体の外周面を覆うジャバラを設け、前記それぞれのジャバラに通気穴を設け、前記通気穴をそれぞれ前記クリーンルームの外部に連通させ、前記ガイド体が、ボールねじ装置のねじ軸である場合に、前記ジャバラを螺旋構造とし、前記ジャバラの螺旋の捩れ方向と、前記ねじ軸に形成された軸軌道溝の螺旋の捩れ方向とを、逆方向に設定したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
これにより、本発明は、ホースを通気穴に連通させて、ジャバラの内部空間とクリーンルームの内部とを隔離することができ、直線移動装置からの発塵の漏れを確実に防止することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例１の直線移動装置の断面を示す説明図
【図２】実施例１の支持板の外観を示す説明図
【図３】実施例２の直線移動装置の断面を示す説明図
【図４】実施例２の支持板の外観を示す説明図
【図５】実施例３の直線移動装置の断面を示す説明図
【図６】実施例３のサポート板の外観を示す説明図
【図７】実施例４の直線移動装置の断面を示す説明図
【図８】実施例の固定具の他の態様を示す説明図
【図９】実施例の固定具の他の態様を示す説明図
【図１０】図９の固定具を用いた場合の支持板の外観を示す説明図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、図面を参照して本発明による直線移動装置の実施例について説明する。
【実施例１】
【００１２】
図１は実施例１の直線移動装置の断面を示す説明図、図２は実施例１の支持板の外観を示す説明図である。
図１において、１はボールねじ装置であり、円柱状部材の外周面に円弧状断面形状の軸軌道溝２が所定のリードで螺旋状に形成されたガイド体としてのねじ軸３と、円筒状部材の内周面に軸軌道溝２と対向する円弧状断面形状のナット軌道溝４が軸軌道溝２と同じリードで形成された移動体としてのボールねじナット５とを、軸軌道溝２とこれに対向するナット軌道溝４とにより形成される負荷路を転動する鋼球等のボール６により螺合させて形成される。
【００１３】
また、ボールねじナット５の外周部の一方の端部には、ボールねじナット５を図示しない機械装置の移動台にボルト等で固定するためのフランジ部７が設けられ、ねじ軸３の両端部には、ねじ軸３と同軸に設けられた段付部である嵌合部８が設けられ、その嵌合部８の一方は、図示しないカップリング等を介して、ねじ軸３を回転させるための図示しないモータ等の駆動装置に接続されている。
【００１４】
１０はジャバラであり、合成ゴムやエラストマ等の弾性に富んだ樹脂材料で形成された複数のひだを有する伸縮自在な円筒状部材であって、一方の端部の円筒部の内周面をボールねじナット５の端面に突出形成された円筒状の取付部１１の外周面に嵌合させて、固定具としてのホースバンド１２ａにより固定され、ボールねじナット５の両側に配置されている。
【００１５】
１４は支持体としてのサポートユニットであり、支持板１５に設けた嵌合穴１５ａ（図２参照）に外輪を嵌合させた転がり軸受等の支持軸受１６を有しており、支持板１５の座部１５ｂに設けられたボルト穴に挿通するボルトにより図示しない機械装置の基台等に固定され、支持軸受１６の内輪が、ねじ軸３の両端部の嵌合部８に嵌合してねじ軸３を回転自在に支持している。
【００１６】
図２において、１７はサポートユニット１４の取付部であり、支持板１５のボールねじナット５側の端面に突出形成された円筒部であって、その外周面にはジャバラ１０の他方の端部の円筒部の内周面が嵌合して、固定具としてのホースバンド１２ｂにより固定される。
これにより、ボールねじナット５と、両側のサポートユニット１４との間のねじ軸３の外周面が、ジャバラ１０により樹脂材料の弾性を利用した密封性が確保された状態で、伸縮自在に覆われ、ボールねじナット５の直線移動を可能にすると共に、ボールねじ装置１の発塵の外部への漏れを防止する。
【００１７】
１８は密封キャップであり、図１に示すように、支持板１５のボールねじナット５の反対側の端面に取付けられており、ホース１９が接続する吸排口２０が設けられている。
２２は通気穴であり、支持板１５の取付部１７の半径方向の内側で、支持板１５をねじ軸３の軸方向に貫通する貫通穴（図２参照）であって、複数設けられており、ジャバラ１０の内部空間（ジャバラ１０の内周面とねじ軸３の外周面、およびボールねじナット５の端面とサポートユニット１４の端面とで囲まれた空間をいう。）と、密封キャップ１８の内部空間とを連通する機能を有している。
【００１８】
上記したボールねじ装置１の負荷路の両端部は、図示しないリターンチューブ等の連通部材により連通されて循環路が形成され、この循環路には、複数のボール６と所定の量の潤滑剤、例えばグリースが装填され、サポートユニット１４に両端部を回転支持されたねじ軸３の回転に伴ってボール６が循環路を循環し、負荷路を転動するボール６がボールねじナット５に加えられた荷重を往復動自在に支持してボールねじナット５がねじ軸３の軸方向に沿った直線往復移動可能に支持される。これによりねじ軸３の回転運動がボールねじナット５の直線運動に変換される。
【００１９】
上記のねじ軸３にボールねじナット５をボール６を介して螺合させたボールねじ装置１と、ねじ軸３の両端部を回転支持するサポートユニット１４、ボールねじナット５の両側のサポートユニット１４との間に配置されたジャバラ１０等により本実施例の直線移動装置２４が構成される。
本実施例の直線移動装置２４は、クリーンルームの内部に設置されており、密封キャップ１８の吸排口２０に接続するホース１９は、クリーンルームの外部に通じている。
【００２０】
このような直線移動装置２４は、そのねじ軸３を回転させるとボールねじナット５がねじ軸３を直線的に移動し、移動方向の前方に配置されたジャバラ１０が圧縮され、後方に配置されたジャバラ１０が伸張する。
このとき、本実施例のサポートユニット１４の支持板１５には、通気穴２２が設けられ、ジャバラ１０の内部空間と密封キャップ１８の内部空間とを連通しているので、圧縮側のジャバラ１０の内部空間の空気は、圧縮により生じた正圧により、通気穴２２、密封キャップ１８、吸排口２０、ホース１９を経由してクリーンルームの外部に導かれて排出され、伸張側のジャバラ１０の内部空間へは、伸張により生じた負圧により、ホース１９、吸排口２０、密封キャップ１８、通気穴２２を経由してクリーンルームの外部から導かれた空気が吸引され、ボールねじナット５の移動が円滑に行われると共に、ジャバラ１０の内部空間とクリーンルームの内部とが隔離され、ボールねじ装置１の発塵がクリーンルームの内部に漏れ出すことを防止する。
【００２１】
このため、本実施例の直線移動装置２４においては、通常のグリースを装填したボールねじ装置１を用いることが可能になり、ボールねじ装置１の運転の円滑化を図ることができると共に、その耐久性を向上させることができる。
また、ジャバラ１０は、ボールねじナット５とサポートユニット１４のそれぞれの取付部１１、１７にホースバンド１２ａ、１２ｂにより固定されているので、圧縮側のジャバラ１０の内部の圧力が僅かに上昇したとしても、取付部１１、１７における密封性を保つことができ、クリーンルームの内部にボールねじ装置１の発塵が漏れ出すことはない。
【００２２】
更に、ジャバラ１０は、ボールねじナット５とサポートユニット１４のそれぞれの端面間に取付けられているので、開口溝等を設けなくても、ボールねじナット５に移動台を容易に取付けることができ、遠心力によりグリースの飛沫等が飛散したとしても、クリーンルームの内部にグリースの飛沫等が漏れ出すことはない。
以上説明したように、本実施例では、柱状のねじ軸と、そのねじ軸にボールを介して螺合して直線往復移動可能に支持されたボールねじナットと、ねじ軸の両端部を回転自在に支持するサポートユニットとを備えた直線移動装置に、サポートユニットのボールねじナット側の端面と、ボールねじナットのサポートユニット側の端面との間に、それぞれねじ軸の外周面を覆うジャバラを設けると共に、サポートユニットのボールねじナットの反対側の端面に吸排口を有する密封キャップを設け、サポートユニットの支持板に設けたねじ軸の軸方向に貫通する通気穴により、ジャバラの内部空間と、密封キャップの内部空間とを連通するようにしたことによって、ホースを密封キャップの吸排口を介して通気穴に連通させ、ジャバラの内部空間とクリーンルームの外部とを連通させて、ジャバラの内部空間とクリーンルームの内部とを隔離することができ、ボールねじ装置からの発塵の、クリーンルームの内部への漏れを確実に防止することができる。
【００２３】
なお、本実施例の両側のサポートユニットをクリーンルームの境に設置した場合には、密封キャップおよびホースを省略して、ジャバラの内部空間とクリーンルームの外部とを通気穴で連通して、外部との吸排を直接行うようにしてもよい。
【実施例２】
【００２４】
図３は実施例２の直線移動装置の断面を示す説明図、図４は実施例２の支持板の外観を示す説明図である。
なお、上記実施例１と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施例の直線移動装置３０においては、図３に示すように、上記実施例１と同様に構成されたボールねじ装置１のボールねじナット５と、両側のサポートユニット１４とのそれぞれの端面間に、実施例１と同様の材料で同様に形成されたジャバラ３２がそれぞれ配置されており、そのジャバラ３２のサポートユニット１４側の端部には、ジャバラ３２の半径方向の外側に貫通する通気穴３３が設けられ、それぞれの通気穴３３にホース１９が直接接続されている。
【００２５】
このため、図４に示すように、本実施例のサポートユニット１４の支持板１５には、実施例１で説明した通気穴２２が省略され、密封キャップ１８も省略されている。
本実施例の直線移動装置３０は、実施例１と同様に、クリーンルームの内部に設置され、ジャバラ３２の通気穴３３に直接接続されたホース１９は、クリーンルームの外部に通じている。
【００２６】
このようにしても、ねじ軸３を回転させてボールねじナット５を直線的に移動させたときに、圧縮側のジャバラ３２の内部空間の空気は、圧縮により生じた正圧により、通気穴３３、ホース１９を経由してクリーンルームの外部に導かれて排出され、伸張側のジャバラ３２の内部空間へは、伸張により生じた負圧により、ホース１９、通気穴３３を経由してクリーンルームの外部から導かれた空気が吸引され、ボールねじナット５の移動が円滑に行われると共に、ジャバラ３２の内部空間とクリーンルームの内部とが隔離され、ボールねじ装置１の発塵がクリーンルームの内部に漏れ出すことを防止する。
【００２７】
以上説明したように、本実施例では、柱状のねじ軸と、そのねじ軸にボールを介して螺合して直線往復移動可能に支持されたボールねじナットと、ねじ軸の両端部を回転自在に支持するサポートユニットとを備えた直線移動装置に、サポートユニットのボールねじナット側の端面と、ボールねじナットのサポートユニット側の端面との間に、それぞれねじ軸の外周面を覆うジャバラを設け、ジャバラのサポートユニット側の端部に通気穴を設けたことによって、ホースをジャバラの通気穴に連通させ、ジャバラの内部空間とクリーンルームの外部とを連通させて、ジャバラの内部空間とクリーンルームの内部とを隔離することができ、ボールねじ装置からの発塵の、クリーンルームの内部への漏れを確実に防止することができる。
【実施例３】
【００２８】
図５は実施例３の直線移動装置の断面を示す説明図、図６は実施例３の支持板の外観を示す説明図である。
なお、上記実施例１および実施例２と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図５において、４１はボールスプライン装置であり、円柱状部材の外周面に円弧状断面形状のボールスプライン溝４２が軸方向に沿って所定の角度ピッチで直線状に形成されたガイド体としてのボールスプライン軸４３と、円筒状部材の内周面にボールスプライン溝４２と対向する円弧状断面形状の図示しないボールスプライン溝がボールスプライン溝４２と同じ角度ピッチで形成された移動体としてのボールスプラインナット４５とを、ボールスプライン軸４３のボールスプライン溝４２とこれに対向するボールスプラインナット４５の図示しないボールスプライン溝とにより形成される負荷路を転動する鋼球等の図示しないボールにより嵌合させて形成される。
【００２９】
本実施例のボールスプラインナット４５は、その外周部等を利用して、実施例１のボールねじ装置１等により直線的に駆動される図示しない機械装置の移動台に固定され、ボールスプライン軸４３の両端部には、ボールスプライン軸４３と同軸に設けられた実施例１の嵌合部８と同様の図示しない嵌合部が設けられている。
また、ボールスプラインナット４５の両側の端面には、ジャバラ３２の一方の端部の円筒部を嵌合させる実施例１の取付部１１と同様の図示しない取付部が設けられている。
【００３０】
４６は支持体としてのサポート板であり、サポート板４６に設けた嵌合穴４６ａ（図６参照）にボールスプライン軸４３の両端部の嵌合部を嵌合させてボールスプライン軸４３を固定しており、サポート板４６の座部４６ｂに設けられたボルト穴に挿通するボルトにより図示しない機械装置の基台等に固定される。
また、サポート板４６のボールスプラインナット４５側の端面には、図６に示すように、ジャバラ３２の他方の端部の円筒部を嵌合させる実施例１と同様の取付部１７が設けられている。
【００３１】
これにより、ボールスプラインナット４５と両側のサポート板４６の間のボールスプライン軸４３の外周面が、ジャバラ３２により樹脂材料の弾性を利用した密封性が確保された状態で、伸縮自在に覆われ、ボールスプラインナット４５の直線移動を可能にすると共に、ボールスプライン装置４１の発塵の外部への漏れを防止する。
上記したボールスプライン装置４１の負荷路の両端部は、ボールスプラインナット４５に形成された図示しない連通路により連通されて循環路が形成され、この循環路には、複数のボールと所定の量の潤滑剤、例えばグリースが装填され、実施例１のボールねじ装置１等により直線的に駆動される移動台の移動に伴って、ボールスプラインナット４５がサポート板４６に両端部を固定されたボールスプライン軸４３を直線的に移動するときに、ボールが循環路を循環し、負荷路を転動するボールがボールスプラインナット４５に加えられた荷重を支持して、ボールスプラインナット４５が、ボールスプライン軸４３の軸方向に沿った直線往復移動可能に支持される。
【００３２】
上記のボールスプライン軸４３にボールスプラインナット４５をボールを介して嵌合させたボールスプライン装置４１と、ボールスプライン軸４３の両端部を固定するサポート板４６、ボールスプラインナット４５の両側のサポート板４６との間に配置されたジャバラ３２等により本実施例の直線移動装置４８が構成される。
本実施例の直線移動装置４８は、クリーンルームの内部に設置されており、ジャバラ３２の通気穴３３に直接に接続するホース１９は、クリーンルームの外部に通じている。
【００３３】
このようにしても、ボールスプライン軸４３を、ボールスプラインナット４５が直線的に移動させられたときに、圧縮側のジャバラ３２の内部空間の空気は、圧縮により生じた正圧により、通気穴３３、ホース１９を経由してクリーンルームの外部に導かれて排出され、伸張側のジャバラ３２の内部空間へは、伸張により生じた負圧により、ホース１９、通気穴３３を経由してクリーンルームの外部から導かれた空気が吸引され、ボールスプラインナット４５の移動が円滑に行われると共に、ジャバラ３２の内部空間とクリーンルームの内部とが隔離され、ボールスプライン装置４１の発塵がクリーンルームの内部に漏れ出すことを防止する。
【００３４】
以上説明したように、本実施例では、柱状のボールスプライン軸と、そのボールスプライン軸にボールを介して嵌合して直線往復移動可能に支持されたボールスプラインナットと、ボールスプライン軸の両端部を固定するサポート板とを備えた直線移動装置に、サポート板のボールスプラインナット側の端面と、ボールスプラインナットのサポート板側の端面との間の、それぞれボールスプライン軸の外周面を覆うジャバラを設け、そのジャバラのサポート板側の端部に通気穴を設けたことによって、ホースをジャバラの通気穴に連通させ、ジャバラの内部空間とクリーンルームの外部とを連通させて、ジャバラの内部空間とクリーンルームの内部とを隔離することができ、ボールスプライン装置からの発塵の、クリーンルームの内部への漏れを確実に防止することができる。
【実施例４】
【００３５】
図６は実施例４の直線移動装置の断面を示す説明図である。
なお、上記実施例１、実施例２および実施例３と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図６において、５１はスプラインナット装置であり、円柱状部材の外周面に台形断面形状の外歯のスプライン５２が軸方向に沿って所定の角度ピッチで直線状に形成されたガイド体としてのスプライン軸５３と、円筒状部材の内周面にスプライン５２に遊嵌する図示しない内歯のスプラインが形成された移動体としてのスプラインナット５５とで滑り軸受を形成して構成される。
【００３６】
本実施例のスプラインナット５５は、その外周部等を利用して、実施例１のボールねじ装置１等により直線的に駆動される図示しない機械装置の移動台に固定され、スプライン軸５３の両端部には、スプライン軸５３と同軸に設けられた実施例１の嵌合部８と同様の図示しない嵌合部が設けられている。
また、スプラインナット５５の両側の端面には、ジャバラ３２の一方の端部の円筒部を嵌合させる実施例１の取付部１１と同様の図示しない取付部が設けられており、サポート板４６の取付部１７に他方の端部の円筒部を嵌合させたジャバラ３２により、スプラインナット５５と両側のサポート板４６の間のスプライン軸５３の外周面が、樹脂材料の弾性を利用した密封性が確保された状態で伸縮自在に覆われ、スプラインナット５５の直線移動を可能にすると共に、スプラインナット装置５１の発塵の外部への漏れを防止する。
【００３７】
上記したスプラインナット装置５１のスプライン軸５３のスプライン５２と、スプラインナット５５の図示しないスプラインには所定の量の潤滑剤、例えばグリースが塗布され、実施例１のボールねじ装置１等により直線的に駆動される移動台の移動に伴って、スプラインナット５５がサポート板４６に両端部を固定されたスプライン軸５３を直線的に移動するときに、スプライン軸５３のスプライン５２と、スプラインナット５５の図示しないスプラインとにより形成された滑り軸受が、スプラインナット５５に加えられた荷重を支持して、スプラインナット５５が、スプライン軸５３の軸方向に沿った直線往復移動可能に支持される。
【００３８】
上記のスプライン軸５３のスプライン５２にスプラインナット５５の図示しないスプライン嵌合させたスプラインナット装置５１と、スプライン軸５３の両端部を固定するサポート板４６、スプラインナット５５の両側のサポート板４６との間に配置されたジャバラ３２等により本実施例の直線移動装置５８が構成される。
本実施例の直線移動装置５８は、クリーンルームの内部に設置されており、ジャバラ３２の通気穴３３に直接に接続するホース１９は、クリーンルームの外部に通じている。
【００３９】
このようにしても、スプライン軸５３を、スプラインナット５５が直線的に移動させられたときに、圧縮側のジャバラ３２の内部空間の空気は、圧縮により生じた正圧により、通気穴３３、ホース１９を経由してクリーンルームの外部に導かれて排出され、伸張側のジャバラ３２の内部空間へは、伸張により生じた負圧により、ホース１９、通気穴３３を経由してクリーンルームの外部から導かれた空気が吸引され、スプラインナット５５の移動が円滑に行われると共に、ジャバラ３２の内部空間とクリーンルームの内部とが隔離され、スプラインナット装置５１の発塵がクリーンルームの内部に漏れ出すことを防止する。
【００４０】
以上説明したように、本実施例では、柱状のスプライン軸と、そのスプライン軸に嵌合して直線往復移動可能に支持されたスプラインナットと、スプライン軸の両端部を固定するサポート板とを備えた直線移動装置に、サポート板のスプラインナット側の端面と、スプラインナットのサポート板側の端面との間の、それぞれスプライン軸の外周面を覆うジャバラを設け、そのジャバラのサポート板側の端部に通気穴を設けたことによって、上記実施例３と同様の効果を得ることができる。
【００４１】
なお、上記各実施例においては、ジャバラを固定する固定具はホースバンドであるとして説明したが、図８に示す、バネ鋼等の鋼線で形成されたホースクリップ６１を用いて固定するようにしてもよく、図９に示すように、ジャバラ３２の端部に設けたフランジ部６３を、その外側に配置した円環状の固定板６４を支持板１５に設けた段付ボルト穴６５（図１０参照）に挿通させたボルト６６により締結して固定するようにしてもよい。
【００４２】
また、上記各実施例においては、ジャバラは樹脂材料で形成するとして説明したが、ステンレス鋼等の金属材料の薄板で形成するようにしてもよい。この場合には取付部との間にシーリング材を挟んで固定具で固定すれば密封性を向上させることができる。
更に、上記各実施例においては、ジャバラに複数のひだを設けるとして説明したが、これらのひだを螺旋状に連結して螺旋構造に形成するようにしてもよい。この場合に螺旋構造の螺旋の捩れ方向を、ボールねじ装置のねじ軸の軸軌道溝の螺旋の捩れ方向と逆方向に設定すれば、ジャバラが撓んでねじ軸と接触したとしても、軸軌道溝とジャバラの捩れ方向が逆方向であるので、螺旋構造のジャバラの谷部の稜線が軸軌道溝に噛み込むことを防止することができる。
【００４３】
このことは、軸軌道溝のリードが小さい場合に、特に有効である。
更に、上記各実施例においては、通気穴に連通するホースの反対側の端部は、クリーンルームの外部に通じているとして説明したが、ホースの反対側の端部を吸排装置に接続して、ジャバラの伸縮に応じて自動切換えにより空気を高速で吸排するようにしてもよい。このようにすれば、高速で往復移動する移動体をより円滑に往復移動させることが可能になる。
【００４４】
更に、上記各実施例においては、通気穴に連通するホースは、クリーンルームの外部に通じているとして説明したが、クリーンルームの内部で、両側の通気穴に連通するホースの端部を接続して両側のジャバラの内部空間を連通させるようにしてもよい。このようにしても、圧縮側のジャバラの排気を、伸張側のジャバラに吸引して、ジャバラの内部空間の圧力の上昇を軽微なものとすることができ、上記各実施例と同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００４５】
１ ボールねじ装置
２ 軸軌道溝
３ ねじ軸
４ ナット軌道溝
５ ボールねじナット
６ ボール
７、６３ フランジ部
８ 嵌合部
１０、３２ ジャバラ
１１、１７ 取付部
１２ａ、１２ｂ ホースバンド
１４ サポートユニット
１５ 支持板
１５ａ、４６ａ 嵌合穴
１５ｂ、４６ｂ 座部
１８ 密封キャップ
１９ ホース
２０ 吸排口
２２、３３ 通気穴
２４、３０、４８、５８ 直線移動装置
４１ ボールスプライン装置
４２ ボールスプライン溝
４３ ボールスプライン軸
４５ ボールスプラインナット
４６ サポート板
５１ スプラインナット装置
５２ スプライン
５３ スプライン軸
５５ スプラインナット
６１ ホースクリップ
６４ 固定板
６５ 段付ボルト穴
６６ ボルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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