(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に膜状のスタンパが設けられた第１金型と、前記第１金型に設けられたスタンパに対向する表面に溝部が設けられ、前記第１金型に対向して配置された第２金型と、を備えた射出成形用金型であって、
磁気記録媒体用基板を作製するための基準金型と前記第２金型とによって予め基準基板を作製したときに生じる固有のうねりが取得されており、前記第１金型の表面には、前記固有のうねりを反転させた形状のうねりが形成されており、
前記スタンパは、前記第１金型の表面に形成されたうねりに倣わされていることを特徴とする射出成形用金型。
【請求項２】
表面に膜状のスタンパが設けられた第１金型と、前記第１金型に設けられたスタンパに対向する表面に溝部が形成され、前記第１金型に対向して配置された第２金型と、樹脂を射出する射出部と、を備え、前記第１金型と前記第２金型とを密着させることで前記第２金型の溝部による空間を形成し、前記空間に前記射出部によって樹脂を射出する射出成形装置であって、
磁気記録媒体用基板を作製するための基準金型と前記第２金型とによって予め基準金型を作製したときに生じる固有のうねりが取得されており、前記第１金型の表面には、前記固有のうねりを反転させた形状のうねりが形成されており、
前記スタンパは、前記第１金型の表面に形成されたうねりに倣わされていることを特徴とする射出成形装置。
【請求項３】
基準金型と、前記基準金型に対向する表面に溝部が形成された第２金型とを対向して配置し、前記基準金型と前記第２金型とを密着させることで前記第２金型の溝部に空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して基準基板を作製する第１ステップと、
前記第１ステップで作製された前記基準基板の表面のうねりを測定する第２ステップと、
前記第２ステップで測定された前記基準基板の表面のうねりを反転させた形状を求め、その反転形状のうねりを金型の表面に形成することで、第１金型を作製する第３ステップと、
前記第１金型の表面であって前記反転形状のうねりが形成された表面に、膜状のスタンパを設けて、前記スタンパを前記反転形状のうねりに倣わせる第４ステップと、
前記スタンパが設けられた表面と前記溝部とを向かい合わせて前記第１金型と前記第２金型とを対向して配置し、前記第１金型と前記第２金型とを密着させることで前記第２金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して磁気記録媒体用基板を作製する第５ステップと、
を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
【請求項４】
基準金型と、前記基準金型に対向する表面に溝部が形成された第２金型とを対向して配置し、前記基準金型と前記第２金型とを密着させることで前記第２金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して基準基板を作製する第１ステップと、
前記第１ステップで作製された前記基準基板の表面のうねりを測定し、更に、前記基準金型の表面のうねりを測定する第２ステップと、
前記第２ステップで測定された前記基準基板の表面のうねりと、前記基準金型の表面のうねりとの差分を求め、その差分のうねりを金型の表面に形成することで第１金型を作製する第３ステップと、
前記第１金型の表面であって前記差分のうねりが形成された表面に、膜状のスタンパを設けて、前記スタンパを前記差分のうねりに倣わせる第４ステップと、
前記スタンパが設けられた表面と前記溝部とを向かい合わせて前記第１金型と前記第２金型とを対向して配置し、前記第１金型と前記第２金型とを密着させることで、前記第２金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して磁気記録媒体用基板を作製する第５ステップと、
を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気ディスク記録装置の基板に用いられる磁気記録媒体用基板を作製するための射出成形用金型、その金型を用いた射出成形装置、その磁気記録媒体用基板の製造方法、及び磁気記録媒体用基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータなどに用いられる磁気ディスク装置には、アルミニウム基板やガラス基板が磁気記録媒体用基板として用いられている。磁気記録媒体用基板は、円板状の形状を有し、基板の中心に、基板の厚さ方向に貫通する貫通孔が形成されている。この基板上に金属磁気薄膜が形成され、金属磁気薄膜を磁気ヘッドで磁化することによりデータが記録される。また、磁気ディスク装置に用いられる磁気記録媒体用基板として、プラスチック基板などの樹脂製基板を採用する試みがなされている。この場合、樹脂製基板上に磁性層を形成することで磁気記録媒体を作製する。
【０００３】
磁気記録媒体に用いられる基板には、平面性が良い基板が要求される。樹脂製基板を射出成形法によって作製する場合、射出成形装置に設けられている金型の支持台となるプラテンの平行度を調整したり、金型の表面精度を高めたり、成形の条件を調整したりすることで、樹脂製基板の平面性を良くしている。
【０００４】
また、より高精度な磁気記録媒体を作製するためには、平面性がより良い基板が要求されている。例えば、表面のうねりが１〜２μｍの樹脂製基板が要求されている。特に、磁気記録媒体用基板に用いられる樹脂製基板には、表面が鏡面で、平面性が良い基板が要求されている。
【０００５】
また、磁気記録媒体の円周方向に溝を形成し、非磁性領域（非記録領域）によって記録領域を物理的に分離する、いわゆるディスクリートメディアやパターンドメディアが提案されている。例えば、樹脂製基板に微細なパターンを形成することで、パターンドメディアなどを樹脂製基板で作製する試みがなされている。このようなパターンドメディアに用いられる樹脂製基板には、表面に微細なパターンが形成され、平面性が良い基板が要求されている。
【０００６】
従来においては、樹脂製基板の厚さむらを解消するために、厚さむらの生じる方向と同じ方向の傾斜を有するプレートを金型に設けた射出成形装置が提案されている（例えば特許文献１）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−８８２１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載の射出成形装置では、一定の傾きを有する表面を補正することができても、うねった面を補正して平面性を良くすることは困難である。特に、樹脂製基板の表面を鏡面にして、平面性が良い基板を作製することは困難であった。
【０００９】
この発明は上記の問題を解決するものであり、表面を鏡面にしつつ、表面の平面性が良い樹脂製基板を作製することができる射出成形用金型、射出成形装置、磁気記録媒体用基板の製造方法、及び、それによって作製された磁気記録媒体用基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明の第１の形態は、表面に膜状のスタンパが設けられた第１金型と、前記第１金型に設けられたスタンパに対向する表面に溝部が設けられ、前記第１金型に対向して配置された第２金型と、を備えた射出成形用金型であって、磁気記録媒体用基板を作製するための基準金型と前記第２金型とによって予め基準基板を作製したときに生じる固有のうねりが取得されており、前記第１金型の表面には、前記固有のうねりを反転させた形状のうねりが形成されており、前記スタンパは、前記第１金型の表面に形成されたうねりに倣わされていることを特徴とする射出成形用金型である。
また、この発明の第２の形態は、表面に膜状のスタンパが設けられた第１金型と、前記第１金型に設けられたスタンパに対向する表面に溝部が形成され、前記第１金型に対向して配置された第２金型と、樹脂を射出する射出部と、を備え、前記第１金型と前記第２金型とを密着させることで前記第２金型の溝部による空間を形成し、前記空間に前記射出部によって樹脂を射出する射出成形装置であって、磁気記録媒体用基板を作製するための基準金型と前記第２金型とによって予め基準金型を作製したときに生じる固有のうねりが取得されており、前記第１金型の表面には、前記固有のうねりを反転させた形状のうねりが形成されており、前記スタンパは、前記第１金型の表面に形成されたうねりに倣わされていることを特徴とする射出成形装置である。
また、この発明の第３の形態は、基準金型と、前記基準金型に対向する表面に溝部が形成された第２金型とを対向して配置し、前記基準金型と前記第２金型とを密着させることで前記第２金型の溝部に空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して基準基板を作製する第１ステップと、前記第１ステップで作製された前記基準基板の表面のうねりを測定する第２ステップと、前記第２ステップで測定された前記基準基板の表面のうねりを反転させた形状を求め、その反転形状のうねりを金型の表面に形成することで、第１金型を作製する第３ステップと、前記第１金型の表面であって前記反転形状のうねりが形成された表面に、膜状のスタンパを設けて、前記スタンパを前記反転形状のうねりに倣わせる第４ステップと、前記スタンパが設けられた表面と前記溝部とを向かい合わせて前記第１金型と前記第２金型とを対向して配置し、前記第１金型と前記第２金型とを密着させることで前記第２金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して磁気記録媒体用基板を作製する第５ステップと、を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法である。
また、この発明の第４の形態は、基準金型と、前記基準金型に対向する表面に溝部が形成された第２金型とを対向して配置し、前記基準金型と前記第２金型とを密着させることで前記第２金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して基準基板を作製する第１ステップと、前記第１ステップで作製された前記基準基板の表面のうねりを測定し、更に、前記基準金型の表面のうねりを測定する第２ステップと、前記第２ステップで測定された前記基準基板の表面のうねりと、前記基準金型の表面のうねりとの差分を求め、その差分のうねりを金型の表面に形成することで第１金型を作製する第３ステップと、前記第１金型の表面であって前記差分のうねりが形成された表面に、膜状のスタンパを設けて、前記スタンパを前記差分のうねりに倣わせる第４ステップと、前記スタンパが設けられた表面と前記溝部とを向かい合わせて前記第１金型と前記第２金型とを対向して配置し、前記第１金型と前記第２金型とを密着させることで、前記第２金型の溝部による空間を形成し、前記空間に樹脂を射出して磁気記録媒体用基板を作製する第５ステップと、を含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法である。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によると、基準金型を用いて基準基板を作製したときに生じる固有のうねりを取得して、その固有のうねりを反転させた形状のうねりが表面に形成された第１金型を用いることで、磁気記録媒体用基板の表面のうねりを小さくして、平面性を良くすることが可能となる。また、第１金型の表面に設けられて、表面に形成されたうねりに倣わされたスタンパによって、磁気記録媒体用基板の表面を鏡面にすることが可能となる。このように、この発明によると、表面を鏡面にしつつ、表面の平面性が良い磁気記録媒体用基板が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
この発明の実施形態に係る射出成形装置について図１を参照して説明する。図１は、この発明の実施形態に係る射出成形装置を示す断面図である。
【００１３】
この実施形態に係る射出成形装置１は、樹脂製の磁気記録媒体用基板を成形するための第１金型２と第２金型８とを備え、型締装置によって第２金型８を第１金型２に対して接離させることにより、型閉じ、型締め及び型開きを行うようになっている。
【００１４】
第２金型８には、第１金型２に対向する表面に平坦な溝部８１が形成されている。この溝部８１の形状は、成形によって形成すべき磁気記録媒体用基板の形状に対応している。そして、溝部８１を内側にして第１金型２と第２金型８とを対向して配置することで、第１金型２と第２金型８との間に、溝部８１に対応する円形の空間が形成される。また、第２金型８は可動プラテン９によって保持されている。
【００１５】
第１金型２は固定プラテン４によって保持され、第１金型２と固定プラテン４とには、外部から溝部８１に対応する空間に樹脂を充填するためのスプルー６が形成されている。このスプルー６は、第１金型２の厚さ方向に貫通した貫通孔である。
【００１６】
第１金型２の表面２１には、中央に貫通孔が形成された円板状のスタンパ３（金型原盤）が設けられている。このスタンパ３は膜状の原盤であり、１例として、厚さが０．５［ｍｍ］程度のニッケルなどの金属薄膜を用いれば良い。また、第１金型２には、第１金型２を貫通し、一部が第１金型２の表面２１から突出した保持部材５が設けられている。スプルー６はその保持部材５内に形成されている。スタンパ３の貫通孔を、第１金型２の表面２１から突出した保持部材５に嵌め込むことで、スタンパ３は第１金型２の表面に装着される。
【００１７】
さらに、スプルー６に嵌め込まれ、スプルー６に樹脂を供給する射出機７が設けられている。
【００１８】
そして、可動プラテン９を可動させて第２金型８を第１金型２から離間させておく。この状態で、第１金型２の表面２１にスタンパ３を装着する。次に、可動プラテン９を可動させて、第２金型８を第１金型２に密着させ、第２金型８の溝部８１と第１金型２とで囲まれた空間を形成する。型締め状態において、射出ノズル７１を第１金型２に形成されたスプルー６に接触させ、その状態で射出ノズル７１から所定の射出圧で樹脂を射出する。射出ノズル７１から射出された樹脂はスプルー６を通って、第１金型２と第２金型８との間に形成された空間に充填される。空間に樹脂を充填した後、その樹脂を硬化させて基板形状を成形する。
【００１９】
基板を成形した後、型内において、溝部８１の深さ方向（矢印の方向）に移動可能なカット機構１２によって穴あけ加工が行われ、中央に貫通孔が形成された基板１０（磁気記録媒体用基板）が作製される。この穴あけ加工に伴って、スプルー６の形状に相当する成形体１１が、型内において、基板１０から切り離される。
【００２０】
この実施形態においては、第１金型２の表面の形状に特徴がある。ここで、第１金型２について図２を参照して説明する。図２は、この発明の実施形態に係るスタンパと金型とを示す断面図である。図２（ａ）は、スタンパ３を第１金型２に装着する前の状態を示し、図２（ｂ）は、スタンパ３を第１金型２に装着した状態を示す。
【００２１】
この実施形態では、磁気記録媒体用基板を作製するための基準金型を用いて予め基準基板を作製したときに生じる固有のうねりが取得されており、第１金型２の表面２１には、その固有のうねりを反転させた形状のうねりが形成されている。ここで、第１金型２の表面２１にそのうねりを形成する方法を説明する。
【００２２】
まず、表面が平坦な基準金型を用いて、その基準金型と第２金型８とによって、基準基板を作製する。そして、基準基板の表面であって基準金型側の表面を、３次元測定器などの平面度測定装置によって計測し、基準基板の平面形状を評価する。具体的には、基準基板の表面のうねりを求める。
【００２３】
次に、平面度測定装置によって求められた基準基板のうねり（固有のうねり）を反転させた形状を求め、その反転形状を有するうねりを金型の表面に形成する。例えばエンドミルによって金型の表面を加工することで、反転形状のうねりを金型の表面に形成する。この反転形状のうねりが表面に形成された金型が第１金型２に相当し、反転形状のうねりが形成された表面が第１金型２の表面２１に相当する。すなわち、第１金型２の表面２１のうねりは、基準基板の表面のうねりの反転形状となっている。
【００２４】
そして、図２（ａ）と図２（ｂ）とに示すように、中央に貫通孔３１が形成されたスタンパ３を第１金型２の表面２１に装着し、スタンパ３を表面２１のうねりに倣わせる。このように、反転形状のうねりが表面に形成された第１金型２を、成形品形状を転写するためのスタンパ３の背面に配置し、スタンパ３が第１金型２の表面２１のうねりに倣うことで、樹脂製基板の表面のうねりを補正するための補正面が形成される。
【００２５】
そして、上述した射出成形装置１に第１金型２と第２金型８とを設置して、第１金型２と第２金型８とを用いて磁気記録媒体用基板を作製する。成形品である磁気記録媒体用基板に第１金型２による補正面が転写されることで、射出成形機の固有のうねりを軽減して、磁気記録媒体用基板の平面性を向上させることが可能となる。すなわち、基準基板の表面のうねりを反転させた形状を第１金型２の表面２１に形成することで、基準金型によって形成される固有のうねりを補正して、成形品（磁気記録媒体用基板）の平面性を向上させることが可能となる。また、スタンパ３を設けることで、成形品である磁気記録媒体用基板の表面を鏡面状態に形成することができる。
【００２６】
以上のように、うねりの反転形状が表面に形成された第１金型２とスタンパ３とを用いて磁気記録媒体用基板を成形することで、表面を鏡面状態にしつつ、平面性が良い磁気記録媒体用基板を作製することが可能となる。
【００２７】
なお、スタンパ３を用いずに、基準基板の表面のうねりを反転させた形状を表面に形成した第１金型２のみで樹脂製基板を成形した場合、その樹脂製基板の表面の平面性を良くすることができるが、表面粗さＲａが悪化してしまい、表面を鏡面状態に形成することができない。磁気記録媒体用基板の表面には超鏡面が要求されている。具体的には、磁気記録媒体用基板の表面には、表面粗さＲａが数Åのオーダーの超鏡面が要求されている。従って、スタンパ３を用いずに第１金型２のみで樹脂製基板を成形しても、表面を鏡面状態にしつつ、平面性が良い磁気記録媒体用基板を作製することはできない。
【００２８】
また、成形された樹脂製基板の表面を鏡面にするために金型の表面を鏡面にした場合、うねりの反転形状を金型の表面に維持することができず、樹脂製基板の表面の平面性を良くすることができない。金型の表面を鏡面にするためには、ラッピングなどの磨き加工によって金型の表面を研磨する必要がある。この磨き加工では、金型の両面を研磨する必要があるため、うねりの反転形状を金型の表面に維持することができず、その結果、平面性を良くすることができない。
【００２９】
以上のように、うねりの反転形状が表面に形成された第１金型２のみでは、成形された樹脂製基板の表面の平面性を良くすることができるが、その表面を鏡面状態にすることができず、第１金型２の表面を鏡面状態にした場合は、樹脂製基板の表面の平面性を良くすることができない。
【００３０】
そこで、この実施形態では、うねりの反転形状が表面に形成された第１金型２の表面にスタンパ３を設けて、スタンパ３をその反転形状に倣わせる。そのことにより、スタンパ３によって磁気記録媒体用基板の表面を鏡面状態にし、さらに、スタンパ３がその反転形状に倣わされているため、その反転形状によって表面の平面性を良くすることが可能となる。
【００３１】
また、樹脂製基板に微細なパターンを形成してパターンドメディアなどに用いる場合、表面にピットなどのパターンが形成されたスタンパ３を用いて樹脂製基板を作製する。この場合、スタンパ３の表面にはパターンが形成されているため、その面を加工することはできない。また、スタンパ３の裏面を加工しようとしても、その加工の過程において、パターンが形成された面を傷つけてしまうおそれがある。
【００３２】
そこで、うねりの反転形状が表面に形成された第１金型２の表面に、表面に微細なパターンが形成されたスタンパ３を設けて、スタンパ３をその反転形状に倣わせる。そのことにより、磁気記録媒体用基板の表面に微細なパターンを形成しつつ、表面の平面性を良くすることが可能となる。なお、第１金型２の表面に微細なパターンを形成する場合は、電鋳によって形成する必要があるが、この場合、パターンが形成された金型を簡便に作製することができない。これに対して、この実施形態のように、表面に微細なパターンが形成されたスタンパ３と第１金型２とを用いることで、表面にパターンが形成され、その表面の平面性が良い磁気記録媒体用基板を簡便に作製することが可能となる。
【００３３】
なお、第１金型２の表面に対するうねりの補正を複数回行っても良い。具体的には、基準基板のうねりの反転形状が表面に形成された第１金型２を用いて樹脂製基板を成形し、その樹脂製基板の表面のうねりを測定する。そして、その表面のうねりの反転形状を求めて、金型の表面にその反転形状のうねりを形成する。その反転形状のうねりが表面に形成された金型を用いて再び樹脂製基板を成形する。このように、金型の表面に対するうねりの補正を複数回行い、成形された樹脂製基板の平面性を良くすることができる金型を第１金型２として用いれば良い。
【００３４】
また、基準基板を成形するための基準金型の表面のうねりを測定し、その基準金型の表面のうねりを基準にした形状のうねりを金型の表面に形成しても良い。例えば、基準金型の表面のうねりと、基準基板の表面のうねりとの差分を求め、その差分の形状のうねりを金型の表面に形成する。これにより、基準金型の表面のうねりを基準にして、樹脂製基板の表面のうねりを補正することが可能となる。差分のうねりが形成された金型が、第１金型２に相当する。
【００３５】
上記の射出成形装置１によって作製された磁気記録媒体用基板は円板状の形状を有し、その基板の中心に貫通孔が形成されている。そして、磁気記録媒体用基板の表面に、スパッタリングなどの成膜方法によってＣｏ系合金などの磁性膜を成膜することで、磁気ディスク装置に用いられる磁気記録媒体を作製する。
【００３６】
（磁気記録媒体用基板の材料）
射出成形装置１によって作製される磁気記録媒体用基板には、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、又は活性線硬化性樹脂の他、様々な樹脂を用いることができる。
【００３７】
熱可塑性樹脂として、磁気記録媒体用基板には、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ樹脂）、環状ポリオレフィン樹脂、メタクリルスチレン樹脂（ＭＳ樹脂）、ポリスチレン樹脂（ＰＳ樹脂）、ポリエーテルイミド樹脂（ＰＥＩ樹脂）、ＡＢＳ樹脂、ポリエステル樹脂（ＰＥＴ樹脂、ＰＢＴ樹脂など）、ポリオレフィン樹脂（ＰＥ樹脂、ＰＰ樹脂など）、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂（ＰＥＳ樹脂）、ポリアリレート樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリアミド樹脂、又は、アクリル樹脂などを用いることができる。また、熱硬化性樹脂として、例えば、フェノール樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル樹脂（ＢＭＣ樹脂など）、シリコン樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、又は、ポリベンゾイミダゾール樹脂などを用いることができる。その他、ポリエチレンナフタレート樹脂（ＰＥＮ樹脂）などを用いることができる。
【００３８】
活性線硬化性樹脂として、例えば、紫外線硬化性樹脂が用いられる。紫外線硬化性樹脂としては、例えば、紫外線硬化性アクリルウレタン系樹脂、紫外線硬化性ポリエステルアクリレート系樹脂、紫外線硬化性エポキシアクリレート系樹脂、紫外線硬化性ポリオールアクリレート系樹脂、紫外線硬化性エポキシ樹脂、紫外線硬化シリコン系樹脂、又は、紫外線硬化アクリル樹脂などを挙げることができる。
【００３９】
また、塗説された硬化前の層に活性線を照射することによって硬化するときに、光開始剤を用いて硬化反応を促進させることが好ましい。このとき光増感剤を併用しても良い。
【００４０】
また、空気中の酸素が上記硬化反応を抑制する場合は、酸素濃度を低下させる、または除去するために、例えば不活性ガス雰囲気下で活性線を照射することもできる。活性線としては、赤外線、可視光、紫外線などを適宜選択することができるが、硬化速度などの生産性の面で紫外線を選択することが好ましいが、特に限定されるものではない。また、活性線の照射中、または前後に加熱によって硬化反応を強化させても良い。
【００４１】
さらに、磁気記録媒体用基板には、液晶ポリマー、有機／無機ハイブリッド樹脂（例えば、高分子成分にシリコンを骨格として取り込んだもの）などを用いても良い。なお、上記に挙げた樹脂は磁気記録媒体用基板に用いられる樹脂の１例であり、この発明に係る基板がこれらの樹脂に限定されることはない。２種以上の樹脂を混合して樹脂製の基板としても良く、また、別々の層として異なる成分を隣接させた基板としても良い。
【００４２】
また、母材としての樹脂は、極力、耐熱温度又はガラス転移温度Ｔｇが高い方が望ましい。樹脂製の磁気記録媒体用基板にはスパッタリングにより磁性層が形成されるため、耐熱温度又はガラス転移温度Ｔｇは、そのスパッタリングにおける温度以上であることが望ましい。例えば、耐熱温度又はガラス転移温度Ｔｇが１５０℃以上である樹脂を用いることが好ましく、２００℃以上である樹脂を用いることがより好ましい。
【００４３】
耐熱温度又はガラス転移温度Ｔｇが１５０℃以上の代表的な樹脂として、耐熱性ポリカーボネート、シリコン樹脂、テフロン樹脂、無機フィラーを充填したフェノール、メラニン、エポキシ、ポリフェニレンスルファイド、不飽和ポリエステルなどの樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂（ＰＥＳ樹脂）、ポリエーテルイミド樹脂（ＰＥＩ樹脂）、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリベンゾイミダゾール樹脂、ＢＭＣ樹脂、又は、液晶ポリマーなどが挙げられる。より具体的には、ポリエーテルスルホン樹脂（ＰＥＳ樹脂）として、ユーデル（ソルベイアデバンストポリマーズ）、ポリエーテルイミド樹脂（ＰＥＩ樹脂）として、ウルテム（日本ＧＥプラスチック）、ポリアミドイミド樹脂として、トーロン（ソルベイアデバンストポリマーズ）、ポリイミド樹脂（熱可塑性）として、オーラム（三井化学）、ポリイミド（熱硬化性）として、ユーピレックス（宇部興産）、又は、ポリベンゾイミダゾール樹脂として、ＰＢＩ／Ｃｅｌａｚｏｌｅ（クラリアントジャパン）が挙げられる。また、液晶ポリマーとして、スミカスーパーＬＣＰ（住友化学）、ポリエーテルエーテルケトンとして、ビクトレックス（ビクトレックスＭＣ）が挙げられる。
【００４４】
［実施例］
次に、具体的な実施例について図３から図５を参照して説明する。図３は、樹脂製基板の平面度の測定方法を説明するための図である。図３（ａ）は樹脂製基板の断面図であり、図３（ｂ）は樹脂製基板の上面図である。また、図４は、基準基板の表面の平面度を示すグラフである。図５は、基準基板のうねりの反転形状が表面に形成された金型を用いて成形された磁気記録媒体用基板の表面の平面度を示すグラフである。
【００４５】
（基準基板の作製）
まず、表面が平坦な基準金型を用いて、その基準金型と第２金型８とによって、基準基板を作製した。具体的には、基板の材料としてポリカーボネートを用い、外径が１．９インチ（４８［ｍｍ］）の基準基板を作製した。
【００４６】
（平面度の測定）
そして、図３（ａ）に示すように、平面度測定装置２００によって、基準基板１００の表面であって基準金型側の表面の平面度を測定した。平面度の測定には、斜入射干渉計を用いた。この実施例では、ＴＯＲＯＰＥＬ社製のＦｌａｔＭａｓｔｅｒ  ＦＭ１００ＸＲＡを用いた。そして、基準基板１００の表面のうねりの分布を測定した。
【００４７】
この実施例では、基準基板１００の直径上における測定結果を図４に示す。１例として、図３（ｂ）に示す基準基板１００のＸ−Ｘ線上における測定結果を図４（ａ）に示し、Ｘ−Ｘ線に直交するＹ−Ｙ線上における測定結果を図４（ｂ）に示す。なお、図４（ａ）と図４（ｂ）とに示すグラフは、説明の便宜上、Ｘ−Ｘ線上の測定結果と、Ｙ−Ｙ線上の測定結果とを示しているが、この実施例では、基準基板１００の表面の任意の点におけるうねりを測定した。図４（ａ）と図４（ｂ）とにおいて、横軸は基準基板１００の測定ポイントを示し、縦軸は基準基板１００のうねり（高低）を示している。
【００４８】
（第１金型２の作製）
基準基板１００の表面のうねりを反転させた形状を求め、その反転形状のうねりを金型の表面にエンドミルによって形成した。これにより、第１金型２を作製した。
【００４９】
（磁気記録媒体用基板の作製）
そして、うねりの反転形状が表面に形成された第１金型２を射出成形装置１に設置して、第１金型２と第２金型８とを用いて磁気記録媒体用基板を作製した。
【００５０】
（評価）
基準基板１００と同じ条件で磁気記録媒体用基板の表面のうねりを測定し、基準基板１００の表面のうねりと対比した。その結果、第１金型２を用いて成形された磁気記録媒体用基板の表面のうねりの方が、基準基板１００の表面のうねりよりも小さくなった。すなわち、第１金型２を用いて成形された磁気記録媒体用基板の方が、基準基板１００よりも表面の平面性が良くなった。
【００５１】
ここで、磁気記録媒体用基板のうねりと基準基板１００のうねりと対比するために、磁気記録媒体用基板のＸ−Ｘ線上における測定結果を図５（ａ）に示し、Ｘ−Ｘ線に直交するＹ−Ｙ線上における測定結果を図５（ｂ）に示す。図５（ａ）と図５（ｂ）とにおいて、横軸は磁気記録媒体用基板の測定ポイントを示し、縦軸は磁気記録媒体用基板のうねり（高低）を示している。
【００５２】
図４（ａ）に示すグラフと図５（ａ）に示すグラフとを対比し、図４（ｂ）に示すグラフと図５（ｂ）に示すグラフとを対比すると、第１金型２を用いて成形された磁気記録媒体用基板の方が、基準基板１００よりもうねりが小さくなっている。このように、この実施例によると、磁気記録媒体用基板の表面のうねりを小さくして、表面の平面性を良くすることができた。
【００５３】
なお、上述した実施例はこの発明の１例であり、上述した実施形態で説明した別の樹脂を用いても、同様の効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】この発明の実施形態に係る射出成形装置を示す断面図である。
【図２】この発明の実施形態に係るスタンパと金型とを示す断面図である。
【図３】樹脂製基板の平面度の測定方法を説明するための図である。
【図４】基準基板の表面の平面度を示すグラフである。
【図５】基準基板のうねりの反転形状が表面に形成された金型を用いて成形された磁気記録媒体用基板の表面の平面度を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５５】
１  射出成形装置
２  第１金型
３  スタンパ
４  固定プラテン
５  保持部材
６  スプルー
７  射出機
８  第２金型
９  可動プラテン
１０  基板
１１  成形体
１２  カット機構
２１  表面
７１  射出ノズル
８１  溝部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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