(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部が第１駆動端に位置することを検知して検知信号を出力する検知センサが取り付けられた状態で前記第１駆動端と第２駆動端との間で前記可動部を往復移動させるセンサ付アクチュエータを制御するアクチュエータの制御装置であって、
前記第２駆動端に位置する前記可動部を前記第１駆動端に向けて移動させ、当該第１駆動端への可動部移動の開始から前記検知センサが検知信号を出力するまでの往路側駆動時間を測定する駆動時間測定部と、
前記第１駆動端に位置する前記可動部を前記第２駆動端に向けて移動させ、当該第２駆動端への可動部移動の開始から前記往路側駆動時間よりも短い第１中間駆動時間が経過した時点で前記可動部の移動方向を反転させるとともに、当該移動方向の反転から前記検知センサが検知信号を出力するまでの第２中間駆動時間を測定する中間時間測定部と、
前記第１駆動端に位置する前記可動部が前記第２駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、
（復路側駆動時間）＝（往路側駆動時間）×（第１中間駆動時間）／（第２中間駆動時間）
に基づいて計算して出力する駆動時間算出部と
を備えることを特徴とするアクチュエータの制御装置。
【請求項２】
前記駆動時間測定部で測定された前記往路側駆動時間を表示する表示部を備える請求項１に記載のアクチュエータの制御装置。
【請求項３】
前記センサ付アクチュエータにスピードコントローラが接続され、前記センサ付アクチュエータの初期設定時あるいはメンテナンス時に前記スピードコントローラにより前記センサ付アクチュエータの駆動速度が調整される請求項２に記載のアクチュエータの制御装置であって、
前記駆動時間測定部は、前記センサ付アクチュエータの駆動速度調整時に、前記第１駆動端と前記第２駆動端との間で前記可動部を往復移動させながら、前記往路側駆動時間を繰り返して測定し、
前記表示部は、前記駆動時間測定部が測定した最新の往路側駆動時間を表示するように表示内容を更新するアクチュエータの制御装置。
【請求項４】
前記駆動時間算出部で算出された前記復路側駆動時間を表示する表示部を備える請求項１に記載のアクチュエータの制御装置。
【請求項５】
前記センサ付アクチュエータにスピードコントローラが接続され、前記センサ付アクチュエータの初期設定時あるいはメンテナンス時に前記スピードコントローラにより前記センサ付アクチュエータの駆動速度が調整される請求項４に記載のアクチュエータの制御装置であって、
前記駆動時間算出部は、前記センサ付アクチュエータの駆動速度調整時に、前記第１駆動端から前記第１中間駆動時間だけ前記第２駆動端側に前記可動部を移動させた中間位置と、前記第１駆動端との間で前記可動部を往復移動させながら、前記復路側駆動時間を繰り返して算出し、
前記表示部は、前記駆動時間算出部が算出した最新の復路側駆動時間を表示するように表示内容を更新するアクチュエータの制御装置。
【請求項６】
前記センサ付アクチュエータの適正動作が保証される往路側駆動時間および復路側駆動時間の基準範囲を記憶する記憶部と、
前記駆動時間測定部で測定された往路側駆動時間および前記駆動時間算出部で算出された復路側駆動時間のうちの少なくとも一方が前記基準範囲を超えているとき、前記センサ付アクチュエータに異常が発生したと判定する異常発生判定部と、
前記異常発生判定部により異常が発生したと判定されると、前記センサ付アクチュエータの異常を報知する報知部と
を備える請求項１に記載のアクチュエータの制御装置。
【請求項７】
前記報知部は前記センサ付アクチュエータに異常が発生した旨を表示する表示部である請求項６に記載のアクチュエータの制御装置。
【請求項８】
可動部が第１駆動端に位置することを検知して検知信号を出力する検知センサが取り付けられた状態で前記第１駆動端と第２駆動端との間で前記可動部を往復移動させるセンサ付アクチュエータを制御するアクチュエータの制御方法であって、
前記第２駆動端に位置する前記可動部を前記第１駆動端に向けて移動させ、当該第１駆動端への可動部移動の開始から、前記検知センサが検知信号を出力するまでの往路側駆動時間を測定する工程と、
前記第１駆動端に位置する前記可動部を前記第２駆動端に向けて移動させ、当該第２駆動端への可動部移動の開始から、前記往路側駆動時間よりも短い第１中間駆動時間が経過した時点で前記可動部の移動を停止させて前記可動部を前記第１駆動端と前記第２駆動端との中間位置に位置させる工程と、
前記中間位置に位置する前記可動部を前記第１駆動端に向けて移動させ、当該第１駆動端への可動部移動の開始から、前記検知センサが検知信号を出力するまでの第２中間駆動時間を測定する工程と、
前記第１駆動端に位置する前記可動部が前記第２駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、
（復路側駆動時間）＝（往路側駆動時間）×（第１中間駆動時間）／（第２中間駆動時間）
に基づいて計算して出力する工程と
を備えることを特徴とするアクチュエータの制御方法。
【請求項９】
第１駆動端と第２駆動端との間で可動部を往復移動するアクチュエータの駆動時間測定方法であって、
前記第２駆動端に位置する前記可動部が前記第１駆動端に移動してきたのを検知センサで検知することで、前記第２駆動端から前記第１駆動端に前記可動部が移動するのに要する往路側駆動時間を測定する工程と、
前記第１駆動端に位置する前記可動部を前記往路側駆動時間よりも短い第１中間駆動時間だけ前記第２駆動端に向けて移動させて前記第１駆動端と前記第２駆動端との中間位置に位置させる工程と、
前記中間位置に位置する前記可動部が前記第１駆動端に移動してきたのを前記検知センサで検知することで、前記中間位置から前記第１駆動端に前記可動部が移動するのに要する第２中間駆動時間を測定する工程と、
前記第１駆動端に位置する前記可動部が前記第２駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、
（復路側駆動時間）＝（往路側駆動時間）×（第１中間駆動時間）／（第２中間駆動時間）
に基づいて計算して求める工程と
を備えることを特徴とするアクチュエータの駆動時間測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、第１駆動端と第２駆動端との間で可動部を往復移動するアクチュエータを制御する制御装置および制御方法、ならびに第１駆動端と第２駆動端との間で可動部の動作時間、つまりアクチュエータの駆動時間を測定する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を実装した基板を製造するために、電子部品が実装される基板に形成された電極に半田を印刷装置により印刷する印刷工程と、半田が印刷された基板に対して表面実装機により部品を実装する実装工程と、部品が実装された基板をリフロー炉に通過させるリフロー工程とがこの順序で実行される。特に、印刷装置および表面実装機の各々では基板を待機させる待機位置と、基板に対して所定の処理を行う作業位置とが設けられている。そして、各装置に装備される基板搬送装置によって、所定の処理を実行するために待機位置から作業位置への基板の搬入と、次の工程に基板を搬送するために作業位置からの基板の搬出とが実行される。また、基板を待機位置等で停止させる機能を担うストッパーや基板を保持する機能を担うクランパー等の駆動源として、エアシリンダなどのアクチュエータが用いられている。例えば特許文献１では、エアシリンダが動作することでレバーを回転させてストッパーを基板の搬送を阻止して停止させる技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１５９９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
印刷装置や表面実装機では、数多くのエアシリンダを用いているが、各エアシリンダに連結されるスピードコントローラー（速度制御弁）をオペレーターなどがマニュアル操作することでエアシリンダの駆動速度をそれぞれ調整している。そのため、駆動速度にばらつきが生じると、搬送中の基板を突き上げるという問題、余分な時間を持つことでタクトロスを招くという問題等が発生することがあった。
【０００５】
ここで、エアシリンダの駆動速度、つまりエアシリンダのピストンロッドが前進端から後退端まで移動するのに要する往路側駆動時間および後退端から前進端まで移動するのに要する復路側駆動時間を正確に求めることができれば、それらに基づいてエアシリンダの駆動速度を高精度に調整することができ、駆動速度のばらつきを抑えることが可能である。また、駆動時間を定期的に求めることでエアシリンダの経時変化を把握することができ、それらに基づいてエアシリンダの駆動速度を再調整することが可能となる。さらには、駆動時間の変化によりエアシリンダの異常発生や交換時期などを管理することも可能となる。
【０００６】
このようにエアシリンダの駆動時間は非常に有益な情報である。そこで、ピストンロッドが前進端および後退端に位置することを検知する検知センサをエアシリンダの両端部に取り付け、これら２つの検知センサから出力される検知信号を利用して往路側駆動時間および復路側駆動時間を計測することが考えられる。しかしながら、各エアシリンダに対して２個の検知センサを取り付けることは装置コストを増大させる主要因のひとつになってしまう。
【０００７】
この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、エアシリンダなどの可動部を往復移動させるアクチュエータの往路側駆動時間および復路側駆動時間の両方を１つの検知センサにより導出する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の第１態様は、可動部が第１駆動端に位置することを検知して検知信号を出力する検知センサが取り付けられた状態で第１駆動端と第２駆動端との間で可動部を往復移動させるセンサ付アクチュエータを制御するアクチュエータの制御装置および制御方法であって、上記目的を達成するため、以下のように構成している。
【０００９】
このアクチュエータの制御装置は、第２駆動端に位置する可動部を第１駆動端に向けて移動させ、当該第１駆動端への可動部移動の開始から検知センサが検知信号を出力するまでの往路側駆動時間を測定する駆動時間測定部と、第１駆動端に位置する可動部を第２駆動端に向けて移動させ、当該第２駆動端への可動部移動の開始から往路側駆動時間よりも短い第１中間駆動時間が経過した時点で可動部の移動方向を反転させるとともに、当該移動方向の反転から検知センサが検知信号を出力するまでの第２中間駆動時間を測定する中間時間測定部と、第１駆動端に位置する可動部が第２駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、（復路側駆動時間）＝（往路側駆動時間）×（第１中間駆動時間）／（第２中間駆動時間）に基づいて計算して出力する駆動時間算出部とを備えることを特徴としている。
【００１０】
また、このアクチュエータの制御方法は、第２駆動端に位置する可動部を第１駆動端に向けて移動させ、当該第１駆動端への可動部移動の開始から、検知センサが検知信号を出力するまでの往路側駆動時間を測定する工程と、第１駆動端に位置する可動部を第２駆動端に向けて移動させ、当該第２駆動端への可動部移動の開始から、往路側駆動時間よりも短い第１中間駆動時間が経過した時点で可動部の移動を停止させて可動部を第１駆動端と第２駆動端との中間位置に位置させる工程と、中間位置に位置する可動部を第１駆動端に向けて移動させ、当該第１駆動端への可動部移動の開始から、検知センサが検知信号を出力するまでの第２中間駆動時間を測定する工程と、第１駆動端に位置する可動部が第２駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、（復路側駆動時間）＝（往路側駆動時間）×（第１中間駆動時間）／（第２中間駆動時間）に基づいて計算して出力する工程とを備えることを特徴としている。
【００１１】
さらに、この発明の第２態様は、第１駆動端と第２駆動端との間で可動部を往復移動するアクチュエータの駆動時間測定方法であって、上記目的を達成するため、第２駆動端に位置する可動部が第１駆動端に移動してきたのを検知センサで検知することで、第２駆動端から第１駆動端に可動部が移動するのに要する往路側駆動時間を測定する工程と、第１駆動端に位置する可動部を往路側駆動時間よりも短い第１中間駆動時間だけ第２駆動端に向けて移動させて第１駆動端と第２駆動端との中間位置に位置させる工程と、中間位置に位置する可動部が第１駆動端に移動してきたのを検知センサで検知することで、中間位置から第１駆動端に可動部が移動するのに要する第２中間駆動時間を測定する工程と、第１駆動端に位置する可動部が第２駆動端に移動するのに要する復路側駆動時間を次式、（復路側駆動時間）＝（往路側駆動時間）×（第１中間駆動時間）／（第２中間駆動時間）に基づいて計算して求める工程とを備えることを特徴としている。
【００１２】
このように構成された発明（アクチュエータの制御装置、制御方法およびアクチュエータの駆動時間測定方法）では、第２駆動端を出発した可動部が第１駆動端まで移動してきたことを検知センサが検知することで往路側駆動時間が実際に測定される。これに対し、当該検知センサのみでは、復路側駆動時間を実測することは不可能である。
【００１３】
ここで、第１駆動端と第２駆動端との間の任意の位置、つまり中間位置を設定した場合、第１駆動端と中間位置との間を可動部が往復移動するのに要する時間、つまり第１中間駆動時間および第２中間駆動時間を正確に取得することができる。そして、それらの比は、第１駆動端と第２駆動端との間を可動部が往復移動するのに要する時間、つまり往路側駆動時間および復路側駆動時間の比と等しく、次の比例式
（往路側駆動時間）：（第２中間駆動時間）＝（復路側駆動時間）：（第１中間駆動時間）
が成立する。したがって、次式
（復路側駆動時間）＝（往路側駆動時間）×（第１中間駆動時間）／（第２中間駆動時間）
に基づいて復路側駆動時間が正確に算出される。このように、１つの検知センサを用いて往路側駆動時間および復路側駆動時間が正確に導出される。
【００１４】
また、これら往路側駆動時間および復路側駆動時間については表示部に表示するのが望ましく、この表示によって種々の制御が可能となり、アクチュエータ制御の幅が広がる。例えば、センサ付アクチュエータにスピードコントローラが接続される場合、センサ付アクチュエータの初期設定時あるいはメンテナンス時にスピードコントローラによりセンサ付アクチュエータの駆動速度を調整することができる。このようにセンサ付アクチュエータの駆動速度調整を行うとき、第１駆動端と第２駆動端との間で可動部を往復移動させながら、駆動時間測定部が測定した最新の往路側駆動時間を表示するように表示部の表示内容を更新させると、オペレーターは表示内容を見ながらスピードコントローラを操作することで往路側の駆動速度を適切に調整することができる。
【００１５】
この点に関しては、復路側でも同様である。すなわち、中間位置（第１駆動端から第１中間駆動時間だけ第２駆動端側に可動部を移動させた位置）と、第１駆動端との間で可動部を往復移動させながら、駆動時間算出部が算出した最新の復路側駆動時間を表示するように表示部の表示内容を更新させると、オペレーターは表示内容を見ながらスピードコントローラを操作して復路側の駆動速度を適切に調整することができる。
【００１６】
さらに、センサ付アクチュエータの適正動作が保証される往路側駆動時間および復路側駆動時間の基準範囲を記憶する記憶部と、駆動時間測定部で測定された往路側駆動時間および駆動時間算出部で算出された復路側駆動時間のうちの少なくとも一方が基準範囲を超えているとき、センサ付アクチュエータに異常が発生したと判定する異常発生判定部と、異常発生判定部により異常が発生したと判定されると、センサ付アクチュエータの異常を報知する報知部とを設けてもよい。このように往路側駆動時間や復路側駆動時間に基づきアクチュエータの異常を早期に発見することができる。なお、報知部としては、例えば表示部を用いることができ、センサ付アクチュエータに異常が発生した旨を表示することでオペレーター等に的確に報知することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、１つの検知センサによって往路側駆動時間だけでなく、復路側駆動時間も正確に導出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明にかかるアクチュエータの制御装置の一実施形態を示す図である。
【図２】図１に示す制御装置の動作概要を示すフローチャートである。
【図３】往路側駆動速度の調整を示すフローチャートである。
【図４】復路側駆動速度の調整を示すフローチャートである。
【図５】復路側駆動速度の調整を示すフローチャートである。
【図６】往路側駆動時間、第１中間時間、第２中間駆動時間および復路側駆動時間の関係を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
基板に電子部品を実装する基板処理システムでは、印刷機、印刷検査機、表面実装機および実装検査機などの基板処理装置が搬送路に沿って並設されており、各基板処理装置が基板搬送路に沿って搬送される基板に対して処理プログラムにしたがって所望の処理を施す。例えば表面実装機では、装置全体制御する制御装置によって基板搬送機構が制御され、基板を所定の目標位置まで搬送して停止させる。このとき、制御装置がエアシリンダを駆動制御することで基板ストッパーを基板搬送路上に位置させて基板停止を行うことがある。また、制御装置からの制御指令に応じて別のエアシリンダを駆動して目標位置で基板をクランプして固定することもある。そして、テープフィーダーなどの部品供給部から供給されるＩＣ（Integrated Circuit）等の電子部品が目標位置の基板に実装される。また、部品実装の完了後に、制御装置によって上記エアシリンダが駆動制御されてクランプ解除およびストッパー退避が実行されて基板の搬出準備が完了した後、基板搬出が実行される。このように基板処理装置では、数多くのエアシリンダが用いられているが、本実施形態では、制御装置はエアシリンダに取り付けられる単一の検知センサから出力される検知信号に基づいてエアシリンダを制御している。以下、図面を参照しながら、本実施形態における制御装置の構成および動作について詳述する。
【００２０】
図１は、本発明にかかるアクチュエータの制御装置の一実施形態を示す図である。この制御装置１は、印刷機や表面実装機などの基板処理装置を制御するものであり、プログラムにしたがって基板処理を実行するための一動作として、センサ付エアシリンダ２を駆動制御することで基板ストッパーや基板クランプなどを作動させる。このセンサ付エアシリンダ２では、同図に示すように、Ｘ方向に延設されたシリンダチューブ２１内でピストンロッド２２が往復自在に設けられている。このシリンダチューブ２１では、後端部にヘッドカバー２３ａが取り付けられるとともに、先端部にロッドカバー２３ｂが取り付けられている。そして、圧力供給源であるエアー供給源２４が切替バルブ２５を介してヘッドカバー２３ａおよびロッドカバー２３ｂにそれぞれ接続されており、制御装置１からの切替指令に応じて切替バルブ２５が作動することでピストンロッド２２がＸ方向に駆動される。なお、本実施形態では、ピストンロッド２２の駆動端のうち（＋Ｘ）方向側を「第１駆動端」と称するとともに、（−Ｘ）方向側を「第２駆動端」と称する。また、第２駆動端から第１駆動端に駆動する動作を「往路側駆動」と称するとともに、第１駆動端から第２駆動端に駆動する動作を「復路側駆動」と称する。
【００２１】
また、本実施形態では、シリンダチューブ２１の（＋Ｘ）方向側の側端部のみに検知センサ２６が取り付けられており、ピストンロッド２２が第１駆動端に位置することを検知して検知信号を制御装置１に出力する。
【００２２】
さらに、切替バルブ２５とヘッドカバー２３ａとを接続して空圧回路を構成する配管２７ａにはスピードコントローラ（通称：「スピコン」）２８ａが介挿されるとともに、切替バルブ２５とロッドカバー２３ｂとを接続して空圧回路を構成する配管２７ｂにはスピードコントローラ２８ｂが介挿されている。このため、オペレーター等がスピードコントローラ２８ａ、２８ｂをマニュアル操作することで、ピストンロッド２２の往路側駆動速度および復路側駆動速度を可変可能となっている。
【００２３】
制御装置１は、上記したプログラムや各種データなどを記憶するメモリ１１と、プログラムや検知信号などに基づいてセンサ付エアシリンダ２を駆動制御するＣＰＵ（Central Processing Unit）１２と、入出力Ｉ／Ｆ１３と、タッチパネル等の表示・操作部１４とを有している。また、メモリ１１、ＣＰＵ１２および入出力Ｉ／Ｆ１３は制御ボックス１５内に収納されており、バス１６を介して相互間で各種信号やデータなどを授受可能となっている。さらに、入出力Ｉ／Ｆ１３は、表示・操作部１４、切替バルブ２５および検知センサ２６と電気的に接続されている。そして、ＣＰＵ１２はメモリ１１に予め記憶されたプログラムにしたがって入出力Ｉ／Ｆ１３を介して検知センサ２６からの検知信号を受け取り、また切替指令および表示指令をそれぞれ切替バルブ２５および表示・操作部１４に出力することで、次の説明する動作を実行する。以下、図２ないし図６を参照しつつ制御装置１によるセンサ付エアシリンダ２の駆動時間の導出処理、駆動速度の調整処理、異常検出処理について詳述する。
【００２４】
図２は、図１に示す制御装置の動作概要を示すフローチャートである。また、図３は、往路側駆動速度の調整を示すフローチャートである。また、図４および図５は、復路側駆動速度の調整を示すフローチャートである。さらに、図６は、往路側駆動時間、第１中間時間、第２中間駆動時間および復路側駆動時間の関係を模式的に示す図である。この制御装置１は、メモリ１１に予め記憶されたプログラムにしたがってセンサ付エアシリンダ２などを制御することで、往路側駆動速度の調整、復路側駆動速度の調整、エアシリンダ２の異常検知などを実行する。
【００２５】
この実施形態では、図３に示すように、制御装置１のＣＰＵ１２は入出力Ｉ／Ｆ１３を介して切替バルブ２５に切替指令、より詳しくはロッド前進指令を与え（ステップＳ１１）、これに応じてピストンロッド２２が（−Ｘ）方向側に移動する。そして、ピストンロッド２２が第１駆動端から第２駆動端まで移動するに十分な所定時間だけが経過するのを待つ（ステップＳ１２）。これにより、往路側駆動速度の調整を開始した時点でピストンロッド２２がいずれの位置に位置していたとしても、所定時間が経過した時点でピストンロッド２２は第２駆動端に位置することとなる（図３中の上破線領域）。
【００２６】
こうしてピストンロッド２２が第２駆動端に位置している状態で、ＣＰＵ１２は切替指令、より詳しくはロッド後退指令を切替バルブ２５に与える。これによってピストンロッド２２の（＋Ｘ）方向への移動が開始される（ステップＳ１３）。このタイミングで、ＣＰＵ１２は往路側駆動時間ＴＡのカウント値をゼロにリセットした後、カウントを開始して往路側駆動時間ＴＡの計測を開始する（ステップＳ１４）。そして、ピストンロッド２２が第１駆動端まで後退し、検知センサ２６から検知信号が出力される（ステップＳ１５で「ＹＥＳ」）と、それを受けてＣＰＵ１２はカウントを停止して往路側駆動時間ＴＡの計測を終了するとともに、その時点のカウント値から往路側駆動時間ＴＡを取得する。また、ＣＰＵ１２は、取得した値を最新の往路側駆動時間ＴＡとしてメモリ１１に書き込むとともに、同図中の下破線領域に示すように、表示・操作部１４での往路側駆動時間ＴＡの表示を上記のようにして取得した最新値に書き換える（ステップＳ１７）。このように、本実施形態では、ピストンロッド２２を第２駆動端から第１駆動端に移動させ、ピストンロッド２２の第１駆動端への移動を検知する、つまり検知センサ２６がＯＮ状態となることで往路側駆動時間ＴＡを実測している。したがって、往路側駆動時間ＴＡを正確に測定することができる。
【００２７】
次のステップＳ１８では、オペレーター等による往路側駆動速度の調整が完了しているか否かをＣＰＵ１２は判断する。すなわち、表示・操作部１４に表示されている往路側駆動時間ＴＡが所定値である場合には、オペレーター等は調整終了の操作、例えば表示・操作部１４に表示される調整終了ボタンへのタッチを行う一方、その操作が行われない間、ＣＰＵ１２は調整終了とは判断せず、ステップＳ１１に戻って一連の動作を繰り返す。この繰り返し中に、オペレーター等はスピードコントローラ２８ａ、２８ｂを操作して往路側駆動速度を行うのであるが、それに応じて表示・操作部１４に表示されている往路側駆動時間ＴＡも変化する。このため、表示・操作部１４に表示されている往路側駆動時間ＴＡを見ながらスピードコントローラ２８ａ、２８ｂをオペレーター等が操作することで、往路側駆動時間ＴＡを所定値に設定することができ、往路側駆動速度が
（往路側駆動速度）＝（第１駆動端と第２駆動端の距離）／（往路側駆動時間ＴＡ）
に調整される。この往路側駆動速度の調整処理は、通常、装置出荷時やメンテナンス時に実行されるものである。そして、調整終了の操作が行われたことを確認した上で、次のステップＳ２が進む。
【００２８】
このステップＳ２では、図４および図５に示す復路側駆動速度の調整処理が実行される。この調整処理では、ＣＰＵ１２は上記したステップＳ１１〜Ｓ１６と同様に往路側駆動時間ＴＡを測定する（ステップＳ２０１〜Ｓ２０６）。ここで、往路側駆動速度の調整処理から復路側駆動速度の調整処理までの時間が短く、復路側駆動速度の調整開始時点でも往路側駆動速度が変動していない場合には、往路側駆動時間ＴＡの測定は不要である。ただし、次のステップＳ２０７を実行する直前において、図４中の破線領域に示すように、少なくともピストンロッド２２を第１駆動端に位置させておく必要がある。
【００２９】
次のステップＳ２０７では、第１駆動端に位置しているピストンロッド２２を（−Ｘ）方向側、つまり第２駆動端側に移動させるべく、切替バルブ２５に対してロッド前進指令を与える。これによってピストンロッド２２の（−Ｘ）方向への移動が開始される。それから往路側駆動時間ＴＡよりも短い第１中間駆動時間ＴＢが経過した（ステップＳ２０８で「ＹＥＳ」）時点で、ＣＰＵ１２は切替バルブ２５に対してロッド後退指令を与えてピストンロッド２２の移動方向を反転させる（ステップＳ２０９）。つまり、第１中間駆動時間ＴＢの経過時点で、図５の上破線領域に示すように、ピストンロッド２２は第１駆動端と第２駆動端との中間位置で移動停止した後、（＋Ｘ）方向に移動し始める。なお、本実施形態では、第１中間駆動時間ＴＢを予めメモリ１１に記憶しているが、往路側駆動時間ＴＡから所定値を減算することで第１中間駆動時間ＴＢを算出し、その値を用いてもよい。
【００３０】
この移動反転と同時に、ＣＰＵ１２は第２中間駆動時間ＴＣのカウント値をゼロにリセットした後、カウントを開始して第２中間駆動時間ＴＣの計測を開始する（ステップＳ２１０）。そして、ピストンロッド２２が第１駆動端まで後退し、検知センサ２６から検知信号が出力される（ステップＳ２１１で「ＹＥＳ」）と、それを受けてＣＰＵ１２はカウントを停止して第２中間駆動時間ＴＣの計測を終了するとともに、その時点のカウント値から第２中間駆動時間ＴＣを取得する（ステップＳ２１２）。また、ＣＰＵ１２は、取得した値を最新の第２中間駆動時間ＴＣとしてメモリ１１に書き込む。
【００３１】
第１中間駆動時間ＴＢは設定値であり、往路側駆動時間ＴＡおよび第２中間駆動時間ＴＣは検知センサ２６を用いることで正確に測定された値であり、いずれの値ＴＡ、ＴＢ、ＴＣについても、ＣＰＵ１２は正確に取得することができる。ここで、これら３種類の駆動時間ＴＡ、ＴＢ、ＴＣに加え、未取得の復路側駆動時間ＴＤを含めた駆動時間の相互関係を模式的にまとめると図６に示す通りである。これらのうち中間駆動時間ＴＢ、ＴＣの比は、第１駆動端と第２駆動端との間を可動部が往復移動するのに要する時間、つまり往路側駆動時間および復路側駆動時間の比と等しく、次の比例式
（往路側駆動時間ＴＡ）：（第２中間駆動時間ＴＣ）＝（復路側駆動時間ＴＤ）：（第１中間駆動時間ＴＢ）
が成立する。したがって、次式
（復路側駆動時間ＴＤ）＝（往路側駆動時間ＴＡ）×（第１中間駆動時間ＴＢ）／（第２中間駆動時間ＴＣ）
に基づいて復路側駆動時間ＴＤを正確に算出することができる。そこで、本実施形態では、次のステップＳ２１３で、ＣＰＵ１２は上式に基づいて復路側駆動時間ＴＤを算出する。
【００３２】
それに続いて、ＣＰＵ１２は、算出した復路側駆動時間ＴＤをメモリ１１に書き込むとともに、図５中の下破線領域に示すように、表示・操作部１４での復路側駆動時間ＴＤの表示を上記のようにして算出した値に書き換える（ステップＳ２１４）。このように、本実施形態では、１つの検知センサ２６を用いて往路側駆動時間ＴＡだけでなく、復路側駆動時間ＴＤについても正確に導出することができる。
【００３３】
また、復路側駆動速度の調整処理では、往路側駆動速度の調整処理と同様に、オペレーター等による速度調整が終了する（ステップＳ２１５で「ＹＥＳ」）まで、ステップＳ２０７に戻って一連の工程が繰り返される。すなわち、表示・操作部１４に表示されている復路側駆動時間ＴＤが所定値である場合には、オペレーター等は調整終了の操作、例えば表示・操作部１４に表示される調整終了ボタンへのタッチを行う一方、その操作が行われない間、ＣＰＵ１２は調整終了とは判断せず、ステップＳ２０７に戻って一連の動作を繰り返す。この繰り返し中に、オペレーター等はスピードコントローラ２８ａ、２８ｂを操作して復路側駆動速度を行うのであるが、それに応じて表示・操作部１４に表示されている復路側駆動時間ＴＤも変化する。このように、表示・操作部１４に表示されている復路側駆動時間ＴＤを見ながらスピードコントローラ２８ａ、２８ｂをオペレーター等が操作することで、復路側駆動時間ＴＤを所定値に設定することができ、復路側駆動速度が
（復路側駆動速度）＝（第１駆動端と第２駆動端の距離）／（復路側駆動時間ＴＤ）
に調整される。
【００３４】
こうして、復路側駆動速度の調整処理が完了すると、エアシリンダ２の異常検知処理を実行する。この異常検知処理は、図２に示すように、所定の検知タイミングで実行されるものであり（ステップＳ３）、往路側駆動時間ＴＡの測定値および復路側駆動時間ＴＤの算出値に基づいて行われる。この往路側駆動時間ＴＡについては、往路側駆動速度の調整処理におけるステップＳ１１〜Ｓ１６や復路側駆動速度の調整処理におけるステップＳ２０１〜Ｓ２０６と同様にして測定する。また、復路側駆動時間ＴＤについては、復路側駆動速度の調整処理におけるステップＳ２０７〜Ｓ２１３と同様にして算出する。
【００３５】
そして、こうして求められた往路側駆動時間ＴＡおよび復路側駆動時間ＴＤが、エアシリンダ２の適正動作が保証される駆動時間の基準範囲に入っているか否かをＣＰＵ１２が判定する（ステップＳ６）。この「基準範囲」は予め実験などにより求められており、メモリ１１に記憶されている。駆動時間ＴＡ、ＴＤが上記範囲内である場合には、エアシリンダ２は正常に動作していると判断し、ステップＳ３に戻る。一方、駆動時間ＴＡ、ＴＤが上記範囲外である場合には、エアシリンダ２に経時変化が生じており、異常発生の可能性があることがわかる。そこで、ＣＰＵ１２はその旨を表示・操作部１４に表示してオペレーター等に報知する（ステップＳ７）。したがって、上記表示内容に基づきオペレーター等は、メンテナンスが必要であるか否かを判断することができ、その判断結果を表示・操作部１４により入力する。
【００３６】
この入力を受けてＣＰＵ１２は、オペレーター等によりメンテナンスが必要であると判断された場合には、ステップＳ１に戻って速度調整を開始する。一方、メンテナンスは不要であると判断された場合には、ステップＳ３に戻って、次の計測タイミングを待つ。
【００３７】
以上のように、本実施形態によれば、１つの検知センサ２６を用いて往路側駆動時間ＴＡおよび復路側駆動時間ＴＤを正確に導出することができる。
【００３８】
また、往路側駆動時間ＴＡおよび復路側駆動時間ＴＤを表示・操作部１４に表示しているので、エアシリンダ２の初期設定時あるいはメンテナンス時にスピードコントローラ２８ａ，２８ｂによりエアシリンダ２の駆動速度を調整することができる。特に、第１駆動端と第２駆動端との間でピストンロッド２２を往復移動させながら、最新の往路側駆動時間ＴＡを表示するように表示・操作部１４の表示内容を更新させているので、オペレーター等は表示内容を見ながらスピードコントローラ２８ａ，２８ｂを操作することで往路側の駆動速度を適切に調整することができる。
【００３９】
また、復路側でも同様である。すなわち、中間位置と、第１駆動端との間でピストンロッド２２を往復移動させながら、最新の復路側駆動時間ＴＤを表示するように表示・操作部１４の表示内容を更新させているので、オペレーター等は表示内容を見ながらスピードコントローラ２８ａ，２８ｂを操作して復路側の駆動速度を適切に調整することができる。なお、復路側では、第２駆動端に達する前に中間位置でピストンロッド２２を反転移動させる必要があるため、第１駆動端から中間位置に移動する際のピストンロッド２２の駆動速度をスピードコントローラ２８ａ，２８ｂにより予め低く設定しておくのが好適である。
【００４０】
さらに、往路側駆動時間ＴＡや復路側駆動時間ＴＤに基づきエアシリンダ２の異常を早期に発見することが可能となっており、しかも、それを表示・操作部１４に表示するため、オペレーター等に的確に報知することができる。
【００４１】
このように、本実施形態では、ＣＰＵ１２が本発明の「駆動時間測定部」、「中間時間測定部」、「駆動時間算出部」、「異常発生判定部」として機能している。また、表示・操作部１４が本発明の「表示部」および「報知部」に相当している。また、ピストンロッド２２が本発明の「可動部」に相当する。また、メモリ１１が本発明の「記憶部」に相当している。
【００４２】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、復路側駆動時間ＴＤが所定値となるようにスピードコントローラ２８ａ，２８ｂを操作してピストンロッド２２の駆動速度を調整しているが、次のように調整してもよい。すなわち、第１中間駆動時間ＴＢを徐々に長くしていき、第２中間駆動時間が一定となったところで、当該第２中間駆動時間が所定値となるようにスピードコントローラ２８ａ，２８ｂを操作してピストンロッド２２の駆動速度を調整してもよい。
【００４３】
また、上記実施形態では、エアシリンダ２のヘッドカバー２３ａ側を「第１駆動端」とし、ロッドカバー２３ｂ側を「第２駆動端」としているが、ヘッドカバー２３ａ側およびロッドカバー２３ｂ側をそれぞれ「第２駆動端」および「第１駆動端」とした場合も、上記実施形態と全く同様である。
【００４４】
また、上記実施形態では、表示・操作部１４に異常発生を検知した旨を表示してオペレーター等に報知しているが、本発明の「報知部」については表示・操作部１４に限定されるものではなく、その他の報知手段、例えば音声やライト等による報知を行ってもよい。
【００４５】
さらに、上記実施形態では、基板処理装置で基板ストッパーや基板ストッパー等を駆動するセンサ付エアシリンダ２を制御する場合については説明したが、本発明にかかる制御装置および制御方法の適用範囲はこれに限定されるものではなく、可動部が第１駆動端に位置することを検知して検知信号を出力する検知センサが取り付けられた状態で第１駆動端と第２駆動端との間で可動部を往復移動させるセンサ付アクチュエータに対して適用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１…制御装置
２…センサ付エアシリンダ
１１…メモリ（記憶部）
１２…ＣＰＵ（駆動時間測定部、中間時間測定部、駆動時間算出部、異常発生判定部）
１４…表示・操作部
２２…ピストンロッド（可動部）
２６…検知センサ
２８ａ，２８ｂ…スピードコントローラ
ＴＡ…往路側駆動時間
ＴＢ…第１中間駆動時間
ＴＣ…第２中間駆動時間
ＴＤ…復路側駆動時間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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