(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を提供し、前記基板が上表面、および前記上表面に背向する下表面を有することと、
前記基板の前記上表面ならびに前記下表面に連通する第１開口を形成することと、
前記基板の前記第１開口中に熱伝導素子を配置し、そのうち、前記熱伝導素子が絶縁材料を介して前記第１開口中に固定され、かつ前記熱伝導素子が頂表面、および前記頂表面に背向する底表面を有することと、
前記基板の前記上表面上に、第１絶縁層および前記第１絶縁層上に位置する第１金属層をラミネートするとともに、第２絶縁層および前記第２絶縁層上に位置する第２金属層を前記基板の前記下表面上にラミネートし、そのうち、前記第１絶縁層が前記基板および前記第１金属層間に位置し、前記熱伝導素子の前記頂表面ならびに前記絶縁材料の一部を被覆するとともに、第２絶縁層が前記基板ならびに前記第２金属層間に位置し、前記熱伝導素子の前記底表面ならびに前記絶縁材料の一部を被覆することと、
第２開口および第３開口を形成し、前記第２開口が前記第１金属層および前記第１絶縁層を貫通するとともに、前記頂表面の一部を露出させ、前記第３開口が前記第２金属層ならびに前記第２絶縁層を貫通するとともに、前記底表面の一部を露出させることと、
第１金属層、第１絶縁層、前記基板、前記第２絶縁層および前記第２金属層を貫通する少なくとも１つのスルービアを形成することと、
第３金属層を形成して、前記第１金属層、第２開口によって露出された第１絶縁層の一部、第２開口によって露出された前記頂表面の一部、前記第２金属層、前記第３開口によって露出された前記第２絶縁層の一部、前記第３開口によって露出された前記底表面ならびに前記少なくとも１つのスルービアの内壁を被覆することと、
前記第３金属層上にソルダーマスクを形成することと、
表面保護層を形成して、前記表面保護層が前記ソルダーマスクにより露出された前記第３金属層および前記少なくとも１つのスルービアの内壁に位置する前記第３金属層を被覆することと、を備え、
前記表面保護層が、前記第１金属層および前記第２金属層の酸化速度を低減できる金属材料から成る、パッケージキャリアを製造する方法。
【請求項２】
前記基板が、第１銅箔層、第２銅箔層ならびに前記第１銅箔層および前記第２銅箔層間に配置されたコア誘電層を備える請求項１記載のパッケージキャリアを製造する方法。
【請求項３】
さらに、前記基板の前記第１開口中に前記前記熱伝導素子を配置する前に、前記第１銅箔層、前記第２銅箔層および前記第１開口の内壁上にシード層を形成する請求項２記載のパッケージキャリアを製造する方法。
【請求項４】
前記基板が、金属板ならびに少なくとも１つの絶縁ブロックを備えるとともに、前記金属板が前記第１開口を有する請求項１記載のパッケージキャリアを製造する方法。
【請求項５】
さらに、前記第１絶縁層および前記第１金属層を前記基板の前記上表面にラミネートするとともに、前記第２絶縁層および前記第２金属層を前記基板の前記下表面にラミネートする前に、前記金属板を貫通するとともに、前記基板の前記上表面および前記下表面を連通する少なくとも１つのスルーホールを形成することと、
前記少なくとも１つのスルーホールを形成した後に、前記基板の前記少なくとも１つのスルーホール中に少なくとも１つの絶縁ブロックを形成することと、を含む請求項４記載のパッケージキャリアを製造する方法。
【請求項６】
前記熱伝導素子が、第１導電層と、第２導電層と、前記第１導電層および前記第２導電層間に位置する絶縁材料層とを含む請求項１記載のパッケージキャリアを製造する方法。
【請求項７】
前記熱伝導素子の材料が、セラミックス、シリコン、シリコンカーバイド、ダイヤモンドまたは金属を含む請求項１記載のパッケージキャリアを製造する方法。
【請求項８】
前記熱伝導素子の熱膨張係数が、前記基板の熱膨張係数よりも小さいとともに、前記熱伝導素子の熱伝導係数が、前記基板の熱伝導係数よりも大きいものである請求項１記載のパッケージキャリアを製造する方法。
【請求項９】
前記第３金属層を形成する方法が、電気メッキを含むものである請求項１記載のパッケージキャリアを製造する方法。
【請求項１０】
熱発生素子を搭載することに適したパッケージキャリアであり、前記パッケージキャリアが、
上表面、前記上表面に背向する下表面、および前記上表面ならびに前記下表面に連通する第１開口を有する基板と、
前記基板の前記第１開口中に配置されるとともに、頂表面および前記頂表面に背向する底表面を有する熱伝導素子と、
前記基板の前記第１開口を充填して前記熱伝導素子を前記基板の前記第１開口中に固定する絶縁材料と、
前記基板の前記上表面に配置されるとともに、前記上表面および前記絶縁材料の一部を被覆するとともに、前記熱伝導素子の前記頂表面の一部を露出する第２開口を有する、第１絶縁層と、
前記基板の前記下表面に配置されるとともに、前記下表面および前記絶縁材料の一部を被覆するとともに、前記熱伝導素子の前記底表面の一部を露出する第３開口を有する、第２絶縁層と、
前記第１絶縁層上に配置される第１金属層と、
前記第２絶縁層上に配置される第２金属層と、
前記第１金属層、前記第１絶縁層、前記基板、前記第２絶縁層ならびに前記第２金属層を貫通する少なくとも１つのスルービアと、
前記第１金属層、前記第２開口によって露出された前記第１絶縁層、前記第２開口によって露出された前記熱伝導素子の前記頂表面の一部、前記第2金属層、前記第３開口によって露出された前記第２絶縁層、前記第３開口によって露出された前記熱伝導素子の前記底表面の一部、および前記少なくとも１つのスルービアの内壁を被覆する第３金属層と、
前記第３金属層上に配置されたソルダーマスクと、
前記ソルダーマスクによって露出された前記第３金属層ならびに前記少なくとも１つのスルービアの内壁に位置する前記第３金属層を被覆する表面保護層と、を含み、
前記熱発生素子が前記第２開口により露出された前記熱伝導素子の前記頂表面の一部の上方に対応するように位置する前記表面保護層上に配置され、
前記表面保護層が、前記第１金属層および前記第２金属層の酸化速度を低減できる金属材料から成る、パッケージキャリア。
【請求項１１】
前記基板が、第１銅箔層、第２銅箔層、および前記第１銅箔層ならびに前記第２銅箔層間に配置される絶縁層を含む請求項１０項記載のパッケージキャリア。
【請求項１２】
前記基板が、金属板、少なくとも１つの絶縁ブロックを含み、かつ前記金属板が前記第１開口および少なくとも１つのスルーホールを有するとともに、前記絶縁ブロックが前記少なくとも１つのスルーホール中に配置される請求項１０項記載のパッケージキャリア。
【請求項１３】
前記熱伝導素子が、第１導電層と、第２導電層と、前記第１導電層および前記第２導電層間に位置する絶縁材料層を含む請求項１０項記載のパッケージキャリア。
【請求項１４】
前記熱伝導素子の材料が、セラミックス、シリコン、シリコンカーバイド、ダイヤモンドまたは金属を含む請求項１０記載のパッケージキャリア。
【請求項１５】
前記熱伝導素子の熱膨張係数が、前記基板の熱膨張係数よりも小さいとともに、前記熱伝導素子の熱伝導係数が、前記基板の熱伝導係数よりも大きいものである請求項１０記載のパッケージキャリア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体構造およびその製造方法に関する。特に、この発明は、パッケージキャリア（package carrier）およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
チップパッケージは、露出されたチップを保護し、チップの接点密度を低下させ、かつチップによって発生される熱を有効に放散させることを目指している。リードフレーム（leadframe）は、従来のワイヤーボンディング（wire bonding）技術が適用される時、通常、チップのキャリア（carrier）として提供される。チップの接点密度が次第に増大するにつれて、リードフレームは、もはや更に接点密度を向上させることができないとともに、望ましい接点密度を達成できるパッケージ基板（package substrate）に置き換えられる。また、チップは、金属導電ワイヤーまたはバンプ（bump）のような導電媒体によりパッケージ基板上にパッケージされる。
【０００３】
最も一般的な発光ダイオード（light emitting diode = LED）パッケージ構造において、LEDチップが使用される前に、LEDチップがパッケージされる必要があるとともに、発光する時、LEDチップが大量の熱を発生させる。もしもLEDチップにより発生された熱が十分に放散できず、かつLEDチップ構造中に継続して蓄積されるとすれば、LEDチップ構造の温度が継続的に増大する。このように、過熱状態となったLEDチップが輝度を減少させ、寿命を短縮させ、あるいは永久的な損傷さえも受ける。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
集積された回路の集積度が増大するにつれて、LEDチップおよびパッケージ基板間の熱膨張係数のミスマッチ（mismatch）がしばしば熱応力（thermal stress）ならびに、その間の曲がり（warpage）を引き起こす。最後に、LEDチップおよびパッケージ基板間の信頼性が低下する。光抽出効率を強化することに加えて、現在のパッケージ技術は、パッケージ構造の熱応力を減少させて、寿命ならびにパッケージ構造の信頼性を増大することに焦点が置かれている。
【０００５】
そこで、この発明の目的は、熱発生素子を搭載することに適したパッケージキャリアを提供することにある。
【０００６】
この発明は、さらに、パッケージキャリアを製造する方法を提供する。製造方法を適用することにより、上記したパッケージキャリアを形成することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の実施形態中、パッケージキャリアを製造する方法は、以下のステップを含む。基板が提供される。基板が上表面と上表面に背向する下表面とを有する。基板の上表面および下表面に連通する第１開口が形成される。熱伝導素子が基板の第１開口中に配置される。熱伝導素子が絶縁材料を介して基板の第１開口中に固定されるとともに、熱伝導素子が頂表面と頂表面に背向する底表面とを有する。第１絶縁層と第１絶縁層上に位置する第１金属層とが基板の上表面にラミネートされるとともに、第２絶縁層と第２絶縁層上に位置する第２金属層が基板の下表面にラミネートされる。第１絶縁層が基板および第１金属層間に位置するとともに、熱伝導素子の頂表面ならびに絶縁材料の一部を被覆する。第２絶縁層が基板ならびに第２金属層間に位置するとともに、熱伝導素子の底表面および絶縁材料の一部を被覆する。第２開口と第３開口とが形成される。第２開口が第１金属層ならびに第１絶縁層を貫通し、かつ頂表面の一部を露出させる。第３開口が第２金属層および第２絶縁層を貫通し、かつ底表面の一部を露出させる。第１金属層と第１絶縁層と基板と第２絶縁層と第２金属層とを貫通する少なくとも１つのスルービア（through via）が形成される。第３金属層が形成される。第３金属層が第１金属層と、第２開口により露出された第１絶縁層の一部と、第２開口により露出された頂表面の一部と、第２金属層と、第３開口によって露出された第２絶縁層の一部と、第３開口によって露出された底表面の一部と、スルービアの内壁とを被覆する。ソルダーマスクが第３金属層上に形成される。表面保護膜が形成される。表面保護膜がソルダーマスクにより露出された第３金属層とスルービアの内壁上に位置する第３金属層とを共に被覆する。
【０００８】
この発明の実施形態中、熱発生素子を搭載するのに適したパッケージキャリアが提供される。パッケージキャリアが基板と熱伝導素子と絶縁材料と第１絶縁層と第２絶縁層と第１金属層と第２金属層と少なくとも１つのスルービアと第３金属層とソルダーマスクと表面保護層とを含む。基板が上表面と上表面に背向する下表面とを有するとともに、上表面と下表面とに連通する第１開口を有する。熱伝導素子が基板の第１開口中に配置されるとともに、頂表面と頂表面に背向する底表面とを有する。絶縁材料が基板の第１開口を充填して熱伝導素子を第１開口中に固定する。第１絶縁層が基板の上表面に配置され、かつ上表面および絶縁材料の一部を被覆する。ここで、第１絶縁層が第２開口を有するとともに、第２開口が熱伝導素子の頂表面の一部を露出させる。第２絶縁層が基板の下表面に配置され、かつ下表面および絶縁材料の一部を被覆する。ここで、第２絶縁層が第３開口を有するとともに、第３開口が熱伝導素子の底表面の一部を露出させる。第１金属層が第１絶縁層上に配置される。第２金属層が第２絶縁層上に配置される。スルービアが第１金属層、第１絶縁層、基板、第２絶縁層および第２金属層を貫通する。第３金属層が第１金属層、第２開口により露出される第１絶縁層、第２開口により露出される熱伝導素子の頂表面の一部、第２金属層、第３開口によって露出される第２絶縁層、第３開口によって露出される熱伝導素子の底表面の一部ならびにスルービアの内壁を被覆する。ソルダーマスクが第３金属層上に配置される。表面保護層がソルダーマスクによって露出された第３金属層およびスルービアの内壁に位置する第３金属層を被覆する。熱発生素子が第２開口により露出された熱伝導素子の頂表面の一部の上方に対応するように位置する表面保護層上に配置される。
【発明の効果】
【０００９】
上記した観点から、上記した実施形態に述べたパッケージキャリアは、基板に埋め込まれた熱伝導素子を有する。それ故に、熱発生素子がパッケージキャリア上に配置される時、熱発生素子によって発生される熱は、熱伝導素子および基板上に位置する金属層を介して急速に外界へ伝導されることができる。かくして、この発明の実施形態に記述されたパッケージキャリアは、熱発生素子により発生された熱を有効に放散できるとともに、熱発生素子の使用効率および使用寿命を共に改善できる。また、この発明の上記実施形態に記述されたパッケージキャリアは、基板にラミネートされた導電層と絶縁層とを有して、パッケージキャリア全体の構造強度を向上させるだけでなく、パッケージキャリアの熱伝導効果を改善できる。さらに、この実施形態の熱伝導素子の熱膨張係数が基板の熱膨張係数よりも小さいので、熱発生素子の熱膨張係数と熱伝導素子の熱膨張係数と基板の熱膨張係数との差異が次第に減少できる。このようにして、熱膨張係数が熱発生素子と熱伝導素子と基板との間でストレスを増大させるほど大きくない。従って、熱発生素子が剥離または損傷しないとともに、パッケージキャリアの信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１Ａ】この発明の実施形態にかかるパッケージキャリアを製造する方法を示す概略的な断面図である。
【図１Ｂ】この発明の実施形態にかかるパッケージキャリアを製造する方法を示す概略的な断面図である。
【図１Ｃ】この発明の実施形態にかかるパッケージキャリアを製造する方法を示す概略的な断面図である。
【図１Ｄ】この発明の実施形態にかかるパッケージキャリアを製造する方法を示す概略的な断面図である。
【図１Ｅ】この発明の実施形態にかかるパッケージキャリアを製造する方法を示す概略的な断面図である。
【図１Ｆ】この発明の実施形態にかかるパッケージキャリアを製造する方法を示す概略的な断面図である。
【図１Ｇ】この発明の実施形態にかかるパッケージキャリアを製造する方法を示す概略的な断面図である。
【図１Ｈ】この発明の実施形態にかかるパッケージキャリアを製造する方法を示す概略的な断面図である。
【図２】この発明の実施形態にかかる図１Ｈに描いた熱発生素子を持つパッケージキャリアを示す概略的な断面図である。
【図３Ａ】この発明の別な実施形態にかかるパッケージキャリアの製造方法を示す概略的な断面図である。
【図３Ｂ】この発明の別な実施形態にかかるパッケージキャリアの製造方法を示す概略的な断面図である。
【図３Ｃ】この発明の別な実施形態にかかるパッケージキャリアの製造方法を示す概略的な断面図である。
【図３Ｄ】この発明の別な実施形態にかかるパッケージキャリアの製造方法を示す概略的な断面図である。
【図３Ｅ】この発明の別な実施形態にかかるパッケージキャリアの製造方法を示す概略的な断面図である。
【図３Ｆ】この発明の別な実施形態にかかるパッケージキャリアの製造方法を示す概略的な断面図である。
【図３Ｇ】この発明の別な実施形態にかかるパッケージキャリアの製造方法を示す概略的な断面図である。
【図４】図３Ｇに描いた熱発生素子を持つパッケージキャリアを示す概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、この発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。
図１Ａ〜図１Ｈは、この発明の実施形態にかかるパッケージキャリアを製造する方法を示す概略的な断面図である。図１Ａにおいて、この実施形態中のパッケージキャリアを製造する方法に基づき、基板１１０ａが提供される。基板１１０ａが上表面１１１ａと上表面１１１ａに背向する下表面１１３ａとを有する。この実施形態中、基板１１０ａは、例えば、第１銅箔（copper foil）層１１２ａと、第２銅箔層１１４ａと、第１銅箔層１１２ａおよび第２銅箔層１１４ａ間に配置されたコア誘電層１１６ａとを有する。即ち、この実施形態の基板１１０ａは、両面基板である。
【００１２】
図１Ｂにおいて、基板１１０ａの上表面１１１ａおよび下表面１１３ａを連通する第１開口Ｓ１が例えばスタンピング（stamping  打ち抜き）またはルーティング（routing  溝掘り）によって形成される。
【００１３】
図１Ｃに描いたように、シード層１９０が基板１１０ａの上表面１１１ａ、基板１１０ａの下表面１１３ａおよび第１開口Ｓ１の内壁上に形成される。ここで、シード層１９０が第１銅箔層１１２ａと第２銅箔層１１４ａと第１開口Ｓ１の内壁とを被覆するとともに、シード層１９０を形成する方法が電気メッキを含む。別な実施形態では、図示してないが、シード層１９０を必要としない。即ち、シード層１９０が必要かどうかは、製造上の必要性に基づいて決定される。
【００１４】
図１Ｄにおいて、熱伝導素子１２０が基板１１０ａの第１開口Ｓ１中に配置される。ここで、熱伝導素子１２０は、例えば、絶縁材料１３０を介して基板１１０ａの第１開口Ｓ１中に固定される。換言すれば、絶縁材料１３０が基板１１０ａの第１開口Ｓ１中に配置されて、熱伝導素子１２０および基板１１０ａの相対的な位置を固定する。この実施形態中、シード層１９０が基板１１０ａの上表面１１１ａと基板１１０ａの下表面１１３ａおよび第１開口Ｓ１の内壁上に形成されるため、絶縁材料１３０が第１開口Ｓ１中に配置される時、第１開口Ｓ１の内壁との結合力およびその信頼性を向上させることができる。また、この実施形の熱伝導素子１２０は、頂表面１２１と頂表面１２１に背向する底表面１２３とを有する。
【００１５】
特に、この実施形態に基づいて、熱伝導素子１２０は、第１導電層１２２と、第２導電層１２４と、第１導電層１２２および第２導電層１２４間に位置する絶縁材料層１２６とを有する。熱伝導素子１２０の熱膨張係数が基板１１０ａの熱膨張係数よりも小さいとともに、熱伝導素子１２０の熱伝導係数が基板１１０ａの熱伝導係数よりも大きい。詳細には、熱伝導素子１２０の熱膨張係数が例えば３ｐｐｍ／℃〜３０ｐｐｍ／℃の範囲であり、かつ熱伝導素子１２０の熱伝導係数が２０Ｗ／ｍ×Ｋ〜５００Ｗ／ｍ×Ｋの範囲である。熱伝導素子１２０の絶縁材料層１２６の熱伝導係数が基板１１０ａのコア誘電層１１６ａの熱伝導係数よりも大きい。また、熱伝導素子１２０の材料が例えばスルーシリコンビア（through silicon via = TSV）を有する又は有さないセラミックス、TSVを有する又は有さないシリコン、シリコンカーバイド、ダイヤモンドあるいは金属である。
【００１６】
図１Ｅにおいて、第１絶縁層１４２と第１絶縁層１４２上に位置する第１金属層１５２とが基板１１０ａの上表面１１１ａにラミネートされるとともに、第２絶縁層１４４と第２絶縁層１４４上に位置する第２金属層１５４とが基板１１０ａの下表面１１３ａにラミネートされる。詳細には、この実施形態に従って、第１絶縁層１４２が基板１１０ａおよび第１金属層１５２間に位置する。また、第１絶縁層１４２が熱伝導素子１２０の頂表面１２１と絶縁材料１３０の一部と第１銅箔層１１２ａ上に位置するシード層１９０の一部とを被覆する。第２絶縁層１４４が基板１１０ａおよび第２金属層１５４間に位置する。また、第２絶縁層１４４が熱伝導素子１２０の底表面１２３と絶縁材料１３０の一部と第２銅箔層１１４ａ上に位置するシード層１９０の一部とを被覆する。さらに、この実施形態中、第１絶縁層１４２および第１金属層１５２を基板１１０ａの上表面１１１ａにラミネート、ならびに第２絶縁層１４４および第２金属層１５４を基板１１０ａの下表面１１３ａにラミネートする方法は、例えば、熱圧合である。
【００１７】
図１Ｆにおいて、第２開口Ｓ２および第３開口Ｓ３が形成される。第２開口Ｓ２が第１金属層１５２と第１絶縁層１４２とを貫通するとともに、熱伝導素子１２０の頂表面１２１の一部を露出させる。第３開口Ｓ３が第２金属層１５４と第２絶縁層１４４とを貫通するとともに、熱伝導素子１２０の底表面１２３の一部を露出させる。この実施形態に基づき、第２開口Ｓ２および第３開口Ｓ３を形成する方法が機械ドリルまたはレーザードリルを含む。
【００１８】
図１Ｇにおいて、第１金属層１５２と第１絶縁層１４２と基板１１０ａと第２絶縁層１４４と第２金属層１５４を貫通する、少なくとも１つのスルービアＶが形成される。図１Ｇ中、２つのスルービアＶが概略的に示されている。スルービアＶを形成する方法が機械ドリルまたはレーザードリルを含む。
【００１９】
図１Ｇに示したように、第３金属層１６０が形成されて第１金属層１５２と、第２開口Ｓ２によって露出された熱伝導素子１２０の頂表面１２１の一部と、第２開口Ｓ２によって露出された第１絶縁層１４２の一部と、第２金属層１５４と、第３開口Ｓ３によって露出された熱伝導素子１２０の底表面１２３の一部と、第３開口Ｓ３によって露出された第２絶縁層１４４の一部と、スルービアＶの内壁とを被覆する。この実施形態中、第３金属層１６０は、例えば、電気メッキにより形成される。
【００２０】
図１Ｈにおいて、ソルダーマスク１７０が第３金属層１６０上に形成される。表面保護層１８０が形成される。表面保護層１８０がソルダーマスク１７０によって露出された第３金属層１６０およびスルービアＶの内壁上に位置する第３金属層１６０をともに被覆する。この実施形態中、表面保護層１８０が例えばニッケルゴールドからなり、第１および第２金属層１５２＆１５４の酸化速度を低減させる。ここで、パッケージキャリア１００ａの製作が実質的に完了する。
【００２１】
パッケージキャリア１００ａの構造について、図１Ｈに示したように、この実施形態のパッケージキャリア１００ａは、基板１１０ａと、熱伝導素子１２０と、絶縁材料１３０と、第１絶縁層１４２と、第２絶縁層１４４と、第１金属層１５２と、第２金属層１５４と、少なくとも１つのスルービアＶと、第３金属層１６０と、ソルダーマスク１７０と、表面保護層１８０とを含む。図１Ｈ中、２つのスルービアＶが概略的に描かれている。基板１１０ａが第１銅箔層１１２ａと第２銅箔層１１４ａとコア誘電層１１６ａとを含む。また、基板１１０ａが上表面１１１ａと、上表面１１１ａに背向する下表面１１３ａと、上表面１１１ａおよび下表面１１３ａを連通する第１開口Ｓ１とを有する。熱伝導素子１２０が基板１１０ａの第１開口Ｓ１中に配置されるとともに、頂表面１２１と頂表面１２１に背向する底表面１２３とを有する。絶縁材料１３０が基板１１０ａの第１開口Ｓ１を充填して熱伝導素子１２０を基板１１０ａの第１開口Ｓ１中に固定する。第１絶縁層１４２が基板１１０ａの上表面１１１ａに配置されるとともに、上表面１１１ａと絶縁材料１３０の一部を被覆する。ここで、第１絶縁層１４２が第２開口Ｓ２を有し、かつ第２開口Ｓ２が熱伝導素子１２０の頂表面１２１の一部を露出させる。第２絶縁層１４４が基板１１０ａの下表面１１３ａに配置されるとともに、下表面１１３ａと絶縁材料１３０の一部とを被覆する。ここで、第２絶縁層１４４が第３開口Ｓ３を有し、かつ第３開口Ｓ３が熱伝導素子１２０の底表面１２３の一部を露出させる。第１金属層１５２が第１絶縁層１４２上に配置される。第２金属層１５４が第２絶縁層１４４上に配置される。スルービアＶが第１金属層１５２と第１絶縁層１４２と基板１１０ａと第２絶縁層１４４と第２金属層１５４とを貫通する。第３金属層１６０が第１金属層１５２と、第２開口Ｓ２によって露出された第１絶縁層１４２と、第２開口Ｓ２によって露出された熱伝導素子１２０の頂表面１２１の一部と、第２金属層１５４と、第３開口Ｓ３によって露出された第２絶縁層１４４と、第３開口Ｓ３によって露出された熱伝導素子１２０の底表面１２３の一部と、スルービアＶの内壁とを被覆する。ソルダーマスク１７０が第３金属層１６０上に配置される。表面保護層１８０がソルダーマスク１７０によって露出された第３金属層１６０およびスルービアＶの内壁上に位置する第３金属層１６０を両方とも被覆する。
【００２２】
図２は、この発明の実施形態にかかる図１Ｈに描いた熱発生素子を持つパッケージキャリアを示す概略的な断面図である。図２において、この実施形態中、パッケージキャリア１００ａは、熱発生素子２００を持つのに適している。熱発生素子２００は、第２開口Ｓ２によって露出された熱伝導素子１２０の頂表面１２１の一部上方に対応するように位置する表面保護層１８０上に配置される。熱発生素子２００は、例えば、電子チップまたは光電デバイスであるが、この発明を限定するものと解釈されてはならない。例えば、電子チップは、集積回路チップ、即ちチップモジュール、または画像チップ、メモリーチップまたは半導体チップのような単独チップであることができる。光電素子は、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）、レーザーダイオードまたはガス放電光源である。この実施形態中、熱発生素子２００は、例えば、ＬＥＤである。
【００２３】
詳細には、熱発生素子２００は、例えば、半導体チップであり、複数のボンディングワイヤー２２０を介してワイヤーボンディングにより表面保護層１８０に電気接続できる。また、熱発生素子２００、ボンディングワイヤー２２０、パッケージキャリア１００ａの一部がモールド化合物２１０によって被包することができ、熱発生素子２００とボンディングワイヤー２２０とパッケージキャリア１００ａ間の電気接続を確保できる。この実施形態の熱発生素子２００の熱膨張係数は、基板１１０ａの熱膨張係数よりも小さいので、熱発生素子２００の熱膨張係数、熱伝導素子１２０の熱膨張係数および基板１１０ａの熱膨張係数の差異が次第に減少する。かくして、熱膨張係数の差異は、熱発生素子２００、熱伝導素子１２０および基板１１０ａ間のストレスを増大させるほど大きなものとはならない。それにより、熱発生素子２００が剥がれ落ちたり、損傷されたりしないとともに、パッケージキャリア１００ａの信頼性を向上させることができる。
【００２４】
また、熱伝導素子１２０の熱伝導係数が基板１１０ａの熱伝導係数よりも大きく、かつ熱伝導素子１２０が基板１１０ａ内部に埋め込まれる。第１金属層１５２と第２金属層１５４とが熱伝導素子１２０の頂表面１２１および底表面１２３上方にそれぞれ配置される。従って、熱発生素子２００がパッケージキャリア１００ａ上に配置される時、熱発生素子２００により発生される熱が熱伝導素子１２０および基板１１０ａ上に位置する金属層（第１、第２および第３金属層１５２，１５４＆１６０を含む）を介して急速に外界へ伝導されることができる。このようにして、この発明の実施形態中に記述されたパッケージキャリア１００ａが熱発生素子２００により発生される熱を有効に放散できるとともに、熱発生素子２００の使用効率および使用寿命が共に向上する。さらに、構造強度を向上させることのできる絶縁層（即ち、第１および第２絶縁層１４２＆１４４）および金属層（即ち、第１および第２金属層１５２＆１５４）が基板１１０ａ上に配置される。それ故に、パッケージキャリア１００ａが熱発生素子２００を持つ時、この実施形態のパッケージキャリア１００ａは、望ましい構造強度を有する。
【００２５】
注意すべきことは、熱発生素子２００とパッケージキャリア１００ａとを結合する方法および熱発生素子２００のタイプは、この発明を限定するものではないことである。この実施形態中に記述された熱発生素子２００が複数のボンディングワイヤーを介してワイヤーボンディングによりパッケージキャリア１００ａの表面保護層１８０に電気接続されるけれども、別な実施形態の熱発生素子２００は、複数のバンプ（図示せず）を介してフィリップチップボンディングにより熱伝導素子１２０上方に位置する表面保護層１８０に電気接続されることもできる。この発明の別な実施形態中、熱発生素子２００は、チップパッケージ（図示せず）であることができるとともに、表面実装技術（surface mount technology = SMT）を行うことによって設置することができる。熱発生素子２００とパッケージキャリア１００ａとを結合する方法および熱発生素子２００のタイプは、例示であるとともに、この発明に対する限定と解釈されるべきではない。
【００２６】
図３Ａ〜図３Ｇは、この発明の別な実施形態にかかるパッケージキャリアの製造方法を示す概略的な断面図である。図３Ａにおいて、この実施形態のパッケージキャリアの製造方法に基づき、基板１１０ｂが提供される。基板１１０ｂが上表面１１１ｂと上表面１１１ｂに背向する下表面１１３ｂとを有する。この実施形態中、基板１１０ｂが金属板１１２ｂと少なくとも１つの絶縁ブロック１１４ｂとを含む。図３Ａ中、２つの絶縁ブロック１１４ｂが概略的に描かれている。金属板１１２ｂが少なくとも１つの上表面１１１ｂと下表面１１３ｂとを連通するスルーホール１１５ｂを有する。図３Ａ中、２つのスルーホール１１５ｂが概略的に描かれ、かつ絶縁ブロック１１４ｂがそれぞれスルーホール１１５ｂ中に配置される。
【００２７】
図３Ｂにおいて、金属板１１２ｂを貫通する第１開口Ｓ１が例えばスタンピングまたはルーティング（routing）により形成される。
【００２８】
図３Ｃにおいて、熱伝導素子１２０が第１開口Ｓ１中に配置される。ここで、熱伝導素子１２０が例えば絶縁材料１３０を介して第１開口Ｓ１中に固定される。言い換えれば、絶縁材料１３０が第１開口Ｓ１中に配置されて、熱伝導素子１２０および基板１１０ｂの相対位置に固定される。また、この実施形態の熱伝導素子１２０が頂表面１２１と頂表面１２１に背向する底表面１２３とを有する。
【００２９】
特に、この実施形態に基づいて、熱伝導素子１２０が第１導電層１２２と、第２導電層１２４と、第１導電層１２２および第２導電層１２４間に位置する絶縁材料層１２６とを含む。熱伝導素子１２０の熱膨張係数が基板１１０ｂの熱膨張係数よりも小さく、かつ熱伝導素子１２０の熱伝導係数が基板１１０ｂの熱伝導係数よりも大きい。具体的には、熱伝導素子１２０の熱膨張係数が例えば３ｐｐｍ／℃〜３０ｐｐｍ／℃の範囲であり、熱伝導素子１２０の熱伝導係数が２０Ｗ／ｍ＊Ｋ〜５００Ｗ／ｍ＊Ｋの範囲である。また、熱伝導素子１２０の材料が例えばスルーシリコンビア（through silicon via = TSV）を有する又は有さないセラミック、TSVを有する又は有さないシリコン、シリコンカーバイド、ダイヤモンドあるいは金属である。
【００３０】
図３Ｄにおいて、第１絶縁層１４２と第１絶縁層１４２上に位置する第１金属層１５２とは、基板１１０ｂの上表面１１１ｂにラミネートされるとともに、第２絶縁層１４４と第２絶縁層１４４上に位置する第２金属層１５４とは、基板１１０ｂの下表面１１３ｂにラミネートされる。詳細には、この実施形態に基づき、第１絶縁層１４２が基板１１０ｂおよび第１金属層１５２間に位置する。また、第１絶縁層１４２が熱伝導素子１２０の頂表面１２１と絶縁材料１３０の一部と基板１１０ｂの上表面１１１ｂとを被覆する。第２絶縁層１４４が基板１１０ｂならびに第２金属層１５４間に位置する。加えて、第２絶縁層１４４が熱伝導素子１２０の底表面１２３と絶縁材料１３０の一部と基板１１０ｂの下表面１１３ｂを被覆する。さらに、この実施形態中、第１絶縁層１４２と第１金属層１５２とを基板１１０ｂの上表面１１１ｂにラミネートし、第２絶縁層１４４と第２金属層１５４とを基板１１０ｂの下表面１１３ｂにラミネートする方法は、例えば、熱圧合である。
【００３１】
図３Ｅにおいて、第２開口Ｓ２と第３開口Ｓ３とが形成される。第２開口Ｓ２が第１金属増１５２と第１絶縁層１４２とを貫通し、かつ熱伝導素子１２０の頂表面１２１の一部を露出させる。第３開口Ｓ３が第２金属層１５４と第２絶縁層１４４とを貫通し、かつ熱伝導素子１２０の底表面１２３の一部を露出させる。この実施形態に基づき、第２開口Ｓ２および第３開口Ｓ３を形成する方法が機械ドリルまたはレーザードリルを含む。
【００３２】
図３Ｆにおいて、第１金属増１５２と第１絶縁層１４２と基板１１０ｂと第２絶縁層１４４と第２金属層１５４とを貫通する少なくとも１つのスルービアＶが形成される。図３Ｆ中、２つのスルービアＶが概略的に描かれている。スルービアＶを形成する方法が機械ドリルまたはレーザードリルを含む。
【００３３】
図３Ｆに示すように、第３金属層１６０が形成されて第１金属層１５２と、第２開口Ｓ２によって露出された第１絶縁層１４２の一部と、第２開口Ｓ２によって露出された熱伝導素子１２０の頂表面１２１の一部と、第２金属層１５４と、第３開口Ｓ３によって露出された第２絶縁層１４４の一部と、第３開口Ｓ３によって露出された熱伝導素子１２０の底表面１２３の一部と、スルービアＶの内壁とを被覆する。この実施形態中、第３金属層１６０が例えば電気メッキにより形成される。
【００３４】
図３Ｇにおいて、ソルダーマスク１７０が第３金属層１６０上に形成される。表面保護層１８０が形成される。表面保護層１８０がソルダーマスク１７０により露出される第３金属層１６０とスルービアＶの内壁上に位置する第３金属層１６０を両方とも被覆する。この実施形態中、表面保護層１８０が例えばニッケルゴールドから成り、第１および第２金属層１５２＆１５４の酸化速度を低減させる。ここまでで、パッケージキャリア１００ｂの製作が実質的に完了する。
【００３５】
パッケージキャリア１００ｂの構造について、図３Ｇに示すように、この実施形態のパッケージキャリア１００ｂが基板１１０ｂと熱伝導素子１２０と絶縁材料１３０と第１絶縁層１４２と第２絶縁層１４４と第１金属層１５２と第２金属層１５４と少なくとも１つのスルービアＶと第３金属層１６０とソルダーマスク１７０と表面保護層１８０とを含む。図３Ｇ中、２つのスルービアＶが概略的に描かれている。基板１１０ｂが上表面１１１ｂと上表面１１１ｂに背向する下表面１１３ｂとを有する。ここで、基板１１０ｂが金属板１１２ｂと絶縁ブロック１１４ｂとを含む。金属板１１２ｂが第１開口Ｓ１とスルーホール１１５ｂとを有するとともに、絶縁ブロック１１４ｂがスルーホール１１５ｂ中にそれぞれ配置される。熱伝導素子１２０が基板１１０ｂの第１開口Ｓ１中に配置され、かつ頂表面１２１と頂表面１２１に背向する底表面１２３とを有する。絶縁材料１３０が基板１１０ｂの第１開口Ｓ１を充填して熱伝導素子１２０を基板１１０ｂの第１開口Ｓ１中に固定する。第１絶縁層１４２が基板１１０ｂの上表面１１１ｂに配置されるとともに、上表面１１１ｂと絶縁材料１３０の一部と熱伝導素子１２０の頂表面１２１とを被覆する。第１絶縁層１４２が熱伝導素子１２０の頂表面１２１の一部を露出させる第２開口Ｓ２を有する。第２絶縁層１４４は基板１１０ｂの下表面１１３ｂに配置されるとともに、下表面１１３ｂ、絶縁材料１３０、熱伝導素子１２０の底表面１２３の一部とを被覆する。第２絶縁層１４４が熱伝導素子１２０の底表面１２３を露出させる第３開口Ｓ３を有する。第１金属層１５２が第１絶縁層１４２上に配置される。第２金属層１５４が第２絶縁層１４４上に配置される。スルービアＶが第１金属層１５２と第１絶縁層１４２と基板１１０ｂの絶縁ブロック１１４ｂと第２絶縁層１４４と第２金属層１５４とを貫通する。第３金属層１６０が第１金属層１５２と、第２開口Ｓ２によって露出される第１絶縁層１４２と、第２開口Ｓ２によって露出される熱伝導素子１２０の頂表面１２１の一部と、第２金属層１５４と、第３開口Ｓ３により露出される第２絶縁層１４４と、第３開口Ｓ３により露出される熱伝導素子１２０の底表面１２３の一部と、スルービアＶの内壁とを被覆する。ソルダーマスク１７０が第３金属層１６０上に配置される。表面保護層１８０がソルダーマスク１７０によって露出される第３金属層１６０とスルービアＶの内壁上に位置する第３金属層１６０とを両方とも被覆する。
【００３６】
図４は、図３Ｇに描いた熱発生素子を持つパッケージキャリアを示す概略的な断面図である。図４において、この実施形態中、パッケージキャリア１００ｂが熱発生素子２００を持つことに適したものである。熱発生素子２００が第２開口Ｓ２によって露出された熱発生素子２００の頂表面１２１の一部の上方に対応するように位置する表面保護層１８０上に配置される。熱発生素子２００が例えば電子チップまたは光電チップであり、この発明を限定するものと解釈してはならない。電子チップは、例えば、集積回路チップ、つまりチップモジュール、または画像チップ、メモリーチップまたは半導体チップのような単一チップであることができる。光電チップは、例えば、ＬＥＤ、レーザーダイオードまたはガス放電光源である。この実施形態中、熱発生素子２００が例えばＬＥＤである。
【００３７】
詳細には、熱発生素子２００は、例えば、半導体チップが複数のボンディングワイヤー２２０を介してワイヤーボンディングにより表面保護層１８０に電気接続されることができる。あるいは、熱発生素子２００とボンディングワイヤー２２０とパッケージキャリア１００の一部とは、モールド化合物によって被包されることができ、熱発生素子２００とボンディングワイヤー２２０とパッケージキャリア１００ｂ間の電気接続を確保する。この実施形態の熱伝導素子１２０の熱膨張係数が基板１１０ｂの熱膨張係数よりも小さいので、熱発生素子２００の熱膨張係数、熱伝導素子１２０の熱膨張係数および基板１１０ｂの熱膨張係数が次第に減少できる。かくして、熱膨張係数の差異が、熱発生素子２００、熱伝導素子１２０および基板１１０ｂ間のストレスを増大させるほどおおきくはない。従って、熱発生素子２００が剥離または損傷されないとともに、パッケージキャリア１００ｂの信頼性を向上させることができる。
【００３８】
また、熱伝導素子１２０の熱伝導係数は、基板１１０ｂの熱伝導係数よりも大きく、熱伝導素子１２０が基板１１０ｂ中に埋め込まれている。第１金属層１５２と第２金属層１５４とがそれぞれ熱伝導素子１２０の頂表面１２１および底表面１２３上方に配置されている。従って、熱発生素子２００がパッケージキャリア１００ｂ上に配置される時、熱発生素子２００により発生された熱が熱伝導素子１２０および基板１１０上に位置する金属層（第１、第２および第３金属層１５２，１５４＆１６０を含む）を介して急速に外界へ伝導される。このようにして、この発明の実施形態に記述されたパッケージキャリア１００ｂは、熱発生素子２００によって発生された熱を効果的に放散できるとともに、熱発生素子２００の使用効率および使用寿命を両方とも改善できる。
【００３９】
注意すべきことは、熱発生素子２００とパッケージキャリア１００ｂとを結合する方法および熱発生素子２００のタイプがこの発明を限定しないことである。この実施形態中に述べた熱発生素子２００は、パッケージキャリア１００ｂの表面保護膜１８０に電気接続されるものの、別な実施形態中の熱発生素子２００は、複数のバンプ（図示せず）を介してフリップチップボンディングにより熱伝導素子１２０上方に位置する表面保護膜１８０に電気接続されることもできる。この発明の別な実施形態中、熱発生素子２００は、チップパッケージ（図示せず）であることができるとともに、表面実装技術（ＳＭＴ）を行うことによってパッケージキャリア１００ｂに設置される。熱発生素子２００とパッケージキャリア１００ｂとを結合する方法および熱発生素子２００のタイプは例示であって、この発明に対する限定と解釈されるべきでない。
【００４０】
まとめると、上記実施の形態において説明されるパッケージキャリアは、基板に埋められた熱伝導素子を有する。ゆえに、熱発生素子がパッケージキャリア上に構成されるとき、熱発生素子により発生した熱は、熱伝導素子と基板上に位置する金属層を介して急速に外界へ伝達されることができる。そのように、本発明の実施の形態におけるパッケージキャリアは、熱発生素子により発生された熱を効果的に放散できるとともに、熱発生素子の使用効率および使用寿命を両方とも改善できる。さらに、本発明の実施の形態におけるパッケージキャリアは、基板上にラミネートされた導電層と絶縁層を有し、パッケージキャリア全体の構造強度を向上させるだけでなく、パッケージキャリアの熱伝導効果を改善できる。さらに、この実施形態の熱伝導素子の熱膨張係数が基板の熱膨張係数よりも小さいので、熱発生素子の熱膨張係数と熱伝導素子の熱膨張係数と基板の熱膨張係数との差異が次第に減少できる。このようにして、熱膨張係数が熱発生素子と熱伝導素子と基板との間でストレスを増大させるほど大きくない。従って、熱発生素子が剥離または損傷しないとともに、パッケージキャリアの信頼性を向上させることができる。
【００４１】
以上のように、この発明を実施形態により開示したが、もとより、この発明を限定するためのものではなく、当業者であれば容易に理解できるように、この発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに修正が当然なされうるものであるから、その特許権保護の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を基準として定めなければならない。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、LEDチップ等の熱発生素子をパッケージするのに使用できるパッケージキャリア及びその製造方法に関するものである。
【符号の説明】
【００４３】
１００ａ，１００ｂ    パッケージキャリア
１１０ａ，１１０ｂ    基板
１１２ａ    第１銅箔層
１１２ｂ    金属板
１１３ａ，１１３ｂ    下表面
１１４ａ    第２銅箔層
１１４ｂ    絶縁ブロック
１１５ｂ    スルーホール
１１６ａ    コア誘電層
１２０    熱伝導素子
１２１    頂表面
１２２    第１導電層
１２３    底表面
１２４    第２導電層
１２６    絶縁材料層
１３０    絶縁材料
１４２    第１絶縁層
１４４    第２絶縁層
１５２    第１金属層
１５４    第２金属層
１６０    第３金属層
１７０    ソルダーマスク
１８０    表面保護層
１９０    シード層
２００    熱発生素子
２１０    モールド化合物
２２０    ボンディングワイヤー
Ｓ１    第１開口
Ｓ２    第２開口
Ｓ３    第３開口
Ｖ    スルービア
【図１Ａ】
0005296894.tif 000002
【図１Ｂ】
0005296894.tif 000003
【図１Ｃ】
0005296894.tif 000004
【図１Ｄ】
0005296894.tif 000005
【図１Ｅ】
0005296894.tif 000006
【図１Ｆ】
0005296894.tif 000007
【図１Ｇ】
0005296894.tif 000008
【図１Ｈ】
0005296894.tif 000009
【図２】
0005296894.tif 000010
【図３Ａ】
0005296894.tif 000011
【図３Ｂ】
0005296894.tif 000012
【図３Ｃ】
0005296894.tif 000013
【図３Ｄ】
0005296894.tif 000014
【図３Ｅ】
0005296894.tif 000015
【図３Ｆ】
0005296894.tif 000016
【図３Ｇ】
0005296894.tif 000017
【図４】
0005296894.tif 000018