(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像手段の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品と、
前記光学部品の中心に対して異なる外周側の位置にそれぞれ設けられ、前記光学部品を振動させる複数の加振部材と、
前記加振部材による振動音を検出する検出手段と、
前記検出手段を複数の前記加振部材のうちの１つが設けられた前記外周側から、前記加振部材のうちの他の１つが設けられた前記外周側へと、前記光学部品に対し相対移動させる移動手段と、
前記検出手段により検出された振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する監視手段と、を備えたことを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
請求項１に記載の撮像装置において、
前記監視手段は、前記検出手段の移動によって検出された音量分布に基づいて前記加振部材の振動状態の監視をすることを特徴とする撮像装置。
【請求項３】
撮像手段の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品と、
前記光学部品を振動させる複数の加振部材と、
前記複数の加振部材に対し異なる位相の波形の駆動信号を出力する駆動部と、
前記加振部材による振動音を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する監視手段と、を備えたことを特徴とする撮像装置。
【請求項４】
請求項３に記載の撮像装置において、
前記駆動部は、前記複数の加振部材に対し互いに逆相となる波形の駆動信号を出力することを特徴とする撮像装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の撮像装置において、
前記監視手段は、前記振動状態が異常であるか否かを判定し、異常であると判定した場合は、前記撮像手段による撮影動作を禁止する信号を出力することを特徴とする撮像装置。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の撮像装置において、
前記監視手段は、前記振動状態が異常であるか否かを判定し、異常であると判定した場合は、前記振動状態が異常である旨を示す信号を出力することを特徴とする撮像装置。
【請求項７】
撮像手段の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品を振動させる加振部材による振動音を検出する検出手段と、
前記検出手段を、前記光学部品の一方の外周側から他方の外周側へと、前記光学部品に対して相対移動させる移動手段と、
前記検出手段により検出された振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する監視手段と、を備えたことを特徴とする撮像装置の検査装置。
【請求項８】
請求項７に記載の撮像装置の検査装置において、
前記監視手段は、前記検出手段の移動によって検出された音量分布に基づいて前記加振部材の振動状態の監視をすることを特徴とする撮像装置の検査装置。
【請求項９】
撮像手段の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品を振動させる複数の加振部材による振動音を検出する検出手段と、
前記複数の加振部材に対し異なる位相の波形の駆動信号を出力する検査部と、
前記検出手段により検出された振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する監視手段と、を備えたことを特徴とする撮像装置の検査装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の撮像装置の検査装置において、
前記駆動部は、前記複数の加振部材に対し互いに逆相となる波形の駆動信号を出力することを特徴とする撮像装置の検査装置。
【請求項１１】
請求項７〜１０のいずれか一項に記載の撮像装置の検査装置において、
前記監視手段は、前記振動状態が異常であるか否かを判定し、異常であると判定した場合は、前記振動状態が異常である旨を示す信号を出力することを特徴とする撮像装置の検査装置。
【請求項１２】
撮像手段の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品を振動させる加振部材による振動音を検出し、検出した前記振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する検査方法において、
前記振動音を検出する際に、前記振動音の検出手段を、前記光学部品の一方の外周側から他方の外周側へと、前記光学部品に対して相対移動させることを特徴とする検査方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の検査方法において、
前記相対移動によって検出された音量分布に基づいて前記加振部材の振動状態の監視をすることを特徴とする検査方法。
【請求項１４】
撮像手段の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品を振動させる複数の加振部材よる振動音を検出し、検出した前記振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する検査方法において、
前記複数の加振部材に対し異なる位相の波形の駆動信号を出力することを特徴とする撮像装置の検査方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の検査方法において、
前記複数の加振部材に対し互いに逆相となる波形の駆動信号を出力することを特徴とする検査方法。
【請求項１６】
請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の検査方法において、
前記振動状態が異常であるか否かを判定することにより前記監視を行うことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、撮像装置、検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
撮影光学系と撮像素子との間に設けられた防塵フィルタを圧電素子で加振し、防塵フィルタに付着した塵埃を除去するようにした防塵装置付きカメラが知られている（特許文献１）。このカメラでは、圧電素子に設けられた振動検出用電極により防塵フィルタの振動状態を検出し、検出された振動パターンに基づいて圧電素子の故障を検出するようになっている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２９１４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来技術の防塵フィルタは、温度変化する撮像素子に近接して設けられており、防塵フィルタの固有振動数は温度によって変動することから、温度を考慮しないと圧電素子の故障を正確に検出することができないという問題があった。
【０００５】
この発明が解決しようとする課題は、加振部材の振動状態を正確に監視できる撮像装置、検査装置および検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、以下の解決手段によって上記課題を解決する。なお、発明の実施形態を示す図面に対応する符号を付して説明するが、この符号は発明の理解を容易にするためだけのものであって発明を限定する趣旨ではない。
【０００７】
［１］発明に係る撮像装置は、撮像手段（３１）の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品（３６）と、前記光学部品の中心に対して異なる外周側の位置にそれぞれ設けられ、前記光学部品を振動させる複数の加振部材（３７）と、前記加振部材による振動音を検出する検出手段（４０）と、前記検出手段を複数の前記加振部材のうちの１つが設けられた前記外周側から、前記加振部材のうちの他の１つが設けられた前記外周側へと、前記光学部品に対し相対移動させる移動手段（４１，４２，４３）と、前記検出手段により検出された振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する監視手段（２５）と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明に係る撮像装置は、撮像手段（３１）の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品（３６）と、前記光学部品を振動させる複数の加振部材（３７）と、前記複数の加振部材に対し異なる位相の波形の駆動信号を出力する駆動部（２８）と、前記加振部材による振動音を検出する検出手段（４０）と、前記検出手段により検出された振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する監視手段（２５）と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
上記発明において、前記監視手段（２５）は、前記振動状態が異常であるか否かを判定し、異常であると判定した場合は、前記撮像手段（３１）による撮影動作を禁止する信号を出力するように構成することができる。
【０００９】
また上記発明において、前記監視手段（２５）は、前記振動状態が異常であるか否かを判定し、異常であると判定した場合は、前記振動状態が異常である旨を示す信号を出力するように構成することができる。
【００１１】
また上記発明において、前記監視手段（２５）は、前記検出手段（４０）の移動によって検出された音量分布に基づいて前記加振部材（３７）の振動状態の監視をするように構成することができる。
【００１２】
また上記発明において、前記駆動部（２８）は、前記複数の加振部材（３７）に対し互いに逆相となる波形の駆動信号を出力するように構成することができる。
【００１３】
［２］発明に係る撮像装置の検査装置は、撮像手段（３１）の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品（３６）を振動させる加振部材（３７）による振動音を検出する検出手段（４０）と、前記検出手段を、前記光学部品の一方の外周側から他方の外周側へと、前記光学部品に対して相対移動させる移動手段（４１，４２，４３）と、前記検出手段により検出された振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する監視手段（４４）と、を備えたことを特徴とする。
また本発明に係る撮像装置の検査装置は、撮像手段（３１）の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品（３６）を振動させる複数の加振部材（３７）による振動音を検出する検出手段（４０）と、前記複数の加振部材に対し異なる位相の波形の駆動信号を出力する検査部（４４）と、前記検出手段により検出された振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する監視手段（４４）と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
また上記発明において、前記監視手段（４４）は、前記検出手段（４０）の移動によって検出された音量分布に基づいて前記加振部材（３７）の振動状態の監視をするように構成することができる。
【００１６】
上記発明において、前記監視手段（４４）は、前記振動状態が異常であるか否かを判定し、異常であると判定した場合は、前記振動状態が異常である旨を示す信号を出力するように構成することができる。
【００１７】
［３］発明に係る検査方法は、撮像手段（３１）の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品（３６）を振動させる加振部材（３７）による振動音を検出し、検出した前記振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する検査方法において、前記振動音を検出する際に、前記振動音の検出手段を、前記光学部品の一方の外周側から他方の外周側へと、前記光学部品に対して相対移動させることを特徴とする。
また本発明に係る検査方法は、撮像手段（３１）の撮像面の前方に配置された光透過性光学部品（３６）を振動させる複数の加振部材（３７）よる振動音を検出し、検出した前記振動音に基づいて前記加振部材の振動状態を監視する検査方法において、前記複数の加振部材に対し異なる位相の波形の駆動信号を出力することを特徴とする。
【００１９】
また上記発明において、前記相対移動によって検出された音量分布に基づいて前記加振部材（３７）の振動状態の監視をするように構成することができる。
【００２０】
また上記発明において、前記振動状態が異常であるか否かを判定することにより前記監視を行うように構成することができる。
【発明の効果】
【００２１】
上記発明によれば、加振部材の振動状態を正確に監視することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、上記発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
≪第１実施形態≫
図１は、発明の第１実施形態に係る撮像装置１を示すブロック図、図２は図１に示す防塵部材周りの構造を示す断面図、図３は図２のＹ矢視図（正面図）である。
【００２４】
本例の撮像装置１は、カメラボディ２０にレンズ鏡筒１０が着脱可能に装着された一眼レフレックス式デジタルスチルカメラである。なお本実施形態は、後述する防塵部材３６を備えた撮像装置であれば、同図に示す一眼レフレックス式デジタルスチルカメラ以外の撮像装置にも適用することができる。
【００２５】
カメラボディ２０の内部には、ミラー２１、シャッタユニット２３及び撮像ユニット３０が設けられ、レンズ鏡筒１０の内部には光学レンズ群１１が設けられている。レンズ鏡筒１０がカメラボディ２０に装着されると、光学レンズ群１１、ミラー２１、シャッタユニット２３及び撮像ユニット３０が、光学レンズ群１１の光軸Ｌ上に配置されることになる。
【００２６】
ミラー２１は、ミラー駆動モータ２２により所定角度だけ回転可能に構成され、レリーズスイッチ２９が押されていない状態（ＯＦＦ）では光軸Ｌに挿入される位置に回動する一方、レリーズスイッチ２９が押される（ＯＮ）と光軸Ｌ上から退避する位置に回動する。
【００２７】
シャッタユニット２３は、シャッタ駆動モータ２４により開閉可能に構成され、レリーズスイッチ２９が押されていない状態（ＯＦＦ）では全閉を維持するが、レリーズスイッチ２９が押される（ＯＮ）と、指令されるシャッタースピードに応じた時間だけ開くようになっている。
【００２８】
したがって、撮影者がレリーズスイッチ２９を押すまではミラー２１が光軸Ｌ上に挿入された位置にあるので、光学レンズ群１１を介して入射した被写体像は、ミラー２１により反射して、ペンタプリズム等を備えたファインダ光学系（不図示）に導かれる。一方、撮影者がレリーズスイッチ２９を押すと、ミラー駆動モータ２２によりミラー２１が光軸Ｌ上から退避するとともに、シャッタ駆動モータ２４によりシャッタユニット２３が開いて、被写体像が撮像ユニット３０に導かれることになる。
【００２９】
カメラボディ２０には、ボディＣＰＵ２５、バッテリ２６、振動モード選択回路２７及び防塵部材駆動回路２８が内蔵され、レンズ鏡筒１０には、レンズＣＰＵ１３が内蔵されている。
【００３０】
ボディＣＰＵ２５とレンズＣＰＵ１３とは接点１４を介して電気的に接続されている。この接点１４を介して、ボディＣＰＵ２５とレンズＣＰＵ１３との間でデフォーカス量や絞り量等の情報が送受信されるとともに、カメラボディ２０側のバッテリ２６から、レンズ駆動モータ１２やレンズＣＰＵ１３等を駆動させるための電力がレンズ鏡筒１０側に供給される。
【００３１】
振動モード選択回路２７は、例えば、カメラボディ１０のメインスイッチ（不図示）がオンになった際に、後述する撮像ユニット３０の防塵部材３６に発生させる振動モードを防塵部材駆動回路２８に指示する。
【００３２】
防塵部材駆動回路２８は、振動モード選択回路２７からの指示に基づいて、撮像ユニット３０の２つの圧電素子３７，３７に周期的な矩形波又は正弦波等の電圧を印加して、圧電素子３７，３７を励振させる。なお、圧電素子３７，３７の振動数は、低電圧で大きな振幅を得るために、防塵部材３６の表面を共振させる振動数であることが望ましい。この共振周波数は、防塵部材３６の形状や板厚・材質等に依存する。これら振動モード選択回路２７および防塵部材駆動回路２８による振動モード動作の詳細は後述する。
【００３３】
撮像ユニット３０は、図２及び図３に示すように、撮像素子３１、光学ローパスフィルタ３４、防塵部材３６及び圧電素子３７を備える。
【００３４】
撮像素子３１は、例えばＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサ等で構成され、基板３２に実装されている。この撮像素子３１で光電変換された電気画像信号は、図示しないメモリに格納され、種々の画像処理に供される。
【００３５】
撮像素子３１の撮像面上には、スペーサ３３を介して、ローパスフィルタ３４が配置されている。このローパスフィルタ３４は、例えば２枚の水晶複屈折板と、１枚のλ／４枚（波長板）とから構成されている。撮像素子３１とローパスフィルタ３４との間の空間はスペーサ３３により密閉され、これにより撮像素子３１の撮像面やローパスフィルタ３４に塵埃等が付着するのが防止される。
【００３６】
ローパスフィルタ３４の上には、シール部材３５を介して、防塵部材３６が配置されている。この防塵部材３６は、例えば透明な赤外線吸収ガラスで構成され、ネジ（不図示）等を用いて基板３２またはシール部材３５に固定されている。防塵部材３６は撮像素子３１の撮像面と略相似形に形成されている。なお、防塵部材３６Ａは、赤外線吸収ガラス以外のガラスやレンズ或いはフィルタ等の光透過性部材を用いることもできる。
【００３７】
ローパスフィルタ３４と防塵部材３６との間は、シール部材３５により密閉され、これによりローパスフィルタ３４や防塵部材３６の裏面（ローパスフィルタ側の主面）への塵埃等の付着が防止される。ただし、防塵部材３６の表面（被写体側の主面）には塵埃等が付着することがあるため、防塵部材３６を定期的に振動させることにより付着した塵埃等を除去することとしている。
【００３８】
すなわち、図３に示すように防塵部材３６はローパスフィルタ３４よりもＸ軸方向に幅広の略矩形状とされ、Ｚ軸方向の一対の側端部３６１がシール部材３５から外側に突出している。この防塵部材３６の側端部３６１それぞれの裏面には、圧電素子３７，３７が、接着剤等を用いて固定されており、撮像に必要な領域３６２を回避するように配置されている。これら２つの圧電素子３７，３７は、防塵部材３６の側端部３６１の中央近傍に配置されている。
【００３９】
なお、本例では防塵部材３６をＸ軸方向に幅広に形成して、図３に示す左右の両側端部３６１に圧電素子３７を設けたが、防塵部材３６をＺ軸方向に幅広に形成し、上下の両側端部に圧電素子３７を設けることもできる。
【００４０】
図２に示すように、圧電素子３７はいずれも、圧電体３８と、圧電体３８を挟む一対の電極３９ａ，３９ｂとから構成され、図１に示す防塵部材駆動回路２８から送出される駆動信号が図示しない配線を介して電極３９に入力するようになっている。圧電体３８を構成する材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム（ＢＴ）、リン酸二水素カリウム（ＫＤＰ）、水晶（ＳｉＯ２）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）等を例示することができる。また、電極３９を構成する材料としては、例えば、金や白金、銀等を例示することができる。
【００４１】
次に、図４を参照しながら防塵部材３６の表面に付着した塵埃の除去動作について説明する。
【００４２】
図４は図１に示す振動モード選択回路２７および防塵部材駆動回路２８による各振動モードに対応する防塵部材３６の挙動を示す断面図である。
【００４３】
撮影者がカメラ１のメインスイッチ（不図示）をＯＮするとボディＣＰＵ２５に電力が供給され、振動モード選択回路２７を介して一次の屈曲振動モードを実行するように防塵部材駆動回路２８に制御信号を送信する。防塵部材駆動回路２８は、この制御信号に基づいて、第１の周波数ｆ１の励振信号を圧電素子３７，３７のそれぞれに同位相で出力する。これにより防振部材３６は、図４のＡに実線及び二点鎖線で示すように一次の振動モードで振動する。
【００４４】
次いで、ボディＣＰＵ２５は、振動モード選択回路２７を介して三次の屈曲振動モードを実行するように防塵部材駆動回路２８に制御信号を送信する。防塵部材駆動回路２８は、この制御信号に基づいて、第２の周波数ｆ２（＞ｆ１）の励振信号を圧電素子３７，３７のそれぞれに同位相で出力する。これにより防塵部材３６は、図４のＣに実線及び二点鎖線で示すように三次の振動モードで振動する。
【００４５】
最後に、ボディＣＰＵ２５は、振動モード選択回路２７を介して二次の屈曲振動モードを実行するように防塵部材駆動回路２８に制御信号を送信する。防塵部材駆動回路２８は、この制御信号に基づいて、上記第１の周波数ｆ１の励振信号を２つの圧電素子３７，３７に対し互いに逆位相となるように出力する。これにより、図４のＢに実線及び二点鎖線で示すように、防塵部材３６が二次の振動モードで振動する。
【００４６】
なお、圧電素子３７，３７を、三次以上の高次の振動モードで振動させることもできる。また、圧電素子３７，３７を振動させる回数やタイミングは任意に設定することができる。さらに、いずれか一方の圧電素子３７のみを振動させることもできる。
【００４７】
以上のような屈曲振動モードを実行すると防塵部材３６が振動するので、防塵部材３６の表面（被写体側の主面）に付着した塵埃等を振い落して除去することができる。この際、複数の屈曲振動モードで防塵部材３６を振動させて、異なる振動量（振動変位、振動速度、振動加速度その他の塵埃除去の要因となる物理量のことをいう。）の振動を防塵部材３６に発生させるので、防塵部材３６上に塵埃等を残さずに除去することができる。
【００４８】
また、それぞれの屈曲振動モードにおいて振動の「腹」で加振するので、防塵部材３６に振動を効率的に発生させることができる。また、異なる複数の屈曲振動モードで防塵部材３６を振動させて防塵部材３６に振動の「節」となる部分が生じないようにしているので、防塵部材３６の全面に亘って塵埃等を除去することができる。
【００４９】
ところで、何らかの原因で圧電素子３７が動作しないと、防塵部材３６の表面に付着した塵埃等によって撮影品質が低下する。このため、本例のカメラ１には圧電素子３７の駆動状況を監視する機能が付加されている。
【００５０】
すなわち本例の撮像装置１は、図１〜図３に示すように、防塵部材３６の表面に近接して設けられた指向性を有するマイクロフォン４０と、マイクロフォン４０が防塵部材３６の表面に対向するように当該マイクロフォン４０を支持するアーム４１と、当該アーム４１をＸ軸方向に案内するレール４２と、アーム４１をレール４２に沿って防塵部材３６の一方の側端部３６１から他方の側端部３６１へ定速で移動させる駆動部４３とを備える。アーム４１はリニアガイドなどの手段によりレール４２に摺動自在に係合し、駆動部４３はモータとカム機構などから構成することができる。
【００５１】
図３に示すように、マイクロフォン４０は、防塵部材３６の上下中央の位置において一方の側端部３６１から他方の側端部３６１へ定速で移動し、このとき入力された音量信号をボディＣＰＵ２５へ出力する。なお、少なくとも撮影時においては、マイクロフォン４０を撮影範囲から退避させておく。
【００５２】
図５は、図４に示す各振動モードＡ，Ｂ，Ｃによる防塵部材３６の挙動に対応する振動音量分布を示す図である。
【００５３】
防塵部材３６を振動モードＡ（一次振動モード）で駆動しながらマイクロフォン４０を一方の側端部３６１から他方の側端部３６１へ定速で移動させると、図５Ａに示すような音量分布となる。振動モードＡにおいては、防塵部材３６のＸ軸方向の中央に振動の腹が生じ、両端に振動の節が生じるので、これら振動の腹と節に対応した音量分布が観察されることになる。
【００５４】
同様に、防塵部材３６を振動モードＢ（二次振動モード）で駆動しながらマイクロフォン４０を一方の側端部３６１から他方の側端部３６１へ定速で移動させると、図５Ｂに示すような音量分布となる。振動モードＢにおいては、防塵部材３６のＸ軸方向の中央に振動の節が生じ、その左右それぞれの中央に振動の腹が生じるので、これら振動の腹と節に対応した音量分布が観察されることになる。
【００５５】
また、防塵部材３６を振動モードＣ（三次振動モード）で駆動しながらマイクロフォン４０を一方の側端部３６１から他方の側端部３６１へ定速で移動させると、図５Ｃに示すような音量分布となる。振動モードＣにおいては、防塵部材３６のＸ軸方向を三等分したそれぞれの中央に振動の腹が生じ、その間に振動の節が生じるので、これら振動の腹と節に対応した音量分布が観察されることになる。
【００５６】
本例では各振動モードＡ，Ｂ，Ｃのそれぞれに対応した音量分布を基準音量分布としてボディＣＰＵ２５の内部メモリに予め記憶させておき、防塵部材３６を各振動モードＡ，Ｂ，Ｃにて振動させて防塵操作を実行する際にマイクロフォン４０を一方の側端部３６１から他方の側端部３６１へ移動させて音量を測定する。
【００５７】
そして、各振動モードＡ，Ｂ，Ｃにおいて得られた音量分布と、ボディＣＰＵ２５に記憶させておいた基準音量分布とを比較し、所定の閾値範囲にある場合は圧電素子３７が正常に駆動していると判断し、所定の閾値範囲にない場合は圧電素子３７が異常であると判断する。たとえば、２つの圧電素子３７の両方が駆動不良の場合は、いずれの振動モードＡ，Ｂ，Ｃにおいても駆動音が検出されず音量がゼロとなる。また、圧電素子３７の一方が駆動不良の場合は、振動モードＡ，Ｃにおいて検出される音量が１／２となる。
【００５８】
圧電素子３７が正常であると判断した場合は撮影を許可するが、圧電素子３７が異常であると判断した場合は、ボディＣＰＵ２５は撮影を禁止し、ファインダまたはボディ２０のいずれかの部位に圧電素子３７が異常である旨の表示を行って撮影者に注意を喚起する。なお、以上の圧電素子３７の駆動状態の検査は、圧電素子３７を駆動する度に行うほか、所定の間隔で行うこともできる。
【００５９】
以上、本実施形態の撮像装置１によれば、圧電素子３７の駆動音に基づいて駆動状態を検査するので、温度環境に拘わらず正確な判定を行うことができる。また、マイクロフォン４０を撮像装置１に内蔵しているので、圧電素子３７の初期不良のみならず使用中における故障も正確に検出することができる。さらに各振動モードＡ，Ｂ，Ｃにおける音量分布を検出するので各振動モードＡ，Ｂ，Ｃの振動状態の良否も検査することができる。
【００６０】
なお、上述した実施形態では各振動モードＡ，Ｂ，Ｃにおいて得られた音量分布と、各振動モードＡ，Ｂ，Ｃに対応する基準音量分布とを比較するように構成したが、いずれか一つの振動モードＡ，Ｂ，Ｃにおいて得られた音量分布と基準音量分布とを比較することで圧電素子３７の故障を検出することもできる。
【００６１】
≪第１実施形態の変形例≫
本例の圧電素子３７の駆動状態の検査は、上述した例に限定されず、種々の態様で行うことができる。
【００６２】
上述した実施形態ではマイクロフォン４０を防塵部材３６の一方の側端部３６１から他方の側端部３６１へ移動させて音量を測定したが、マイクロフォン４０を防塵部材３６のＸ軸方向の中心に停止させ、この位置における振動モードＡ，Ｃの音量と基準音量とを比較することで圧電素子３７の故障を検出することもできる。たとえば、振動モードＡ，Ｃにおいて圧電素子３７の両方が駆動不良の場合は検出される音量がゼロとなる。また、圧電素子３７の一方が駆動不良の場合は検出される音量が基準音量の１／２となる。これにより、マイクロフォン４０の移動機構であるアーム４１、レール４２および駆動部４３の構成を簡素化しつつ圧電素子３７の駆動状態を正確に検査することができる。
【００６３】
また、上述したように２つの圧電素子３７を同時に駆動しながら音量を測定すると、少なくともいずれか一方の圧電素子３７に異常があることは検査できるが、どちらの圧電素子３７が異常であるかを特定することはできない。
【００６４】
そこで、マイクロフォン４０を防塵部材３６のＸ軸方向の中心に停止させた状態で、駆動し、２つの圧電素子３７のうち一方の圧電素子３７を振動モードＡまたはＣで駆動して音量を測定したのち、他方の圧電素子３７を同じ振動モードで駆動して音量を測定することで、どちらの圧電素子３７が異常であるかを特定することもできる。上述したように振動モードＡまたはＣにおいて圧電素子３７の一方が正常駆動の場合は検出される音量が基準音量の１／２となり、駆動不良の場合は検出される音量がゼロとなるからである。
【００６５】
この場合、正常に駆動している一つの圧電素子３７の音量は基準音量の１／２となることから、特に三次の振動モードＣなどのように基準音量自体が小さい場合には、圧電素子３７の製造バラツキ等を考慮すると判定閾値が厳しい数値になり、異常判定の精度が低下することもある。
【００６６】
そこで、たとえば三次の振動モードＣにおいて、まず２つの圧電素子３７に対し同位相の励振信号を入力し、防塵部材３６のＸ軸方向の中心における音量を測定する。２つの圧電素子３７が正常に駆動している場合は図５Ｃに示すように基準音量となるが、いずれか一方の圧電素子３７が故障している場合は基準音量の１／２となり、両方の圧電素子３７が故障している場合は音量がゼロとなる。
【００６７】
次いで、２つの圧電素子３７に対し逆位相の励振信号（上記励振信号と同一周波数）を入力し、防塵部材３６のＸ軸方向の中心における音量を測定する。この場合、２つの圧電素子３７が正常に駆動しているときは、２つの圧電素子３７による振動が互いに打ち消されて検出される音量はゼロとなるが、いずれか一方の圧電素子３７が故障している場合は基準音量の１／２となり、上記正常駆動の場合と同じ音量となる。
【００６８】
すなわち、励振信号の位相を入れ替えることにより、２つの圧電素子３７がともに正常である場合は、検出される音量が基準音量かゼロのいずれかになるとともに、一方の圧電素子３７が異常である場合は、励振信号の位相を入れ替えても音量は変化しないことになる。したがって、厳しい数値の判定閾値を設定することなく圧電素子３７の駆動状態を正確に検査することができる。
【００６９】
≪第２実施形態≫
図６は、第２実施形態に係る検査装置を示すブロック図である。上述した実施形態ではマイクロフォン４０、アーム４１、レール４２、駆動部４３および故障判定部（ボディＣＰＵ２５）をカメラ１に設けたが、本例ではこれらを備えた検査装置の例を示す。カメラボディ２０の製造工程やカメラ１の保守点検の際に用いることができる検査装置である。
【００７０】
本例の検査装置は、図６に示すように、レンズ鏡筒１０を取り外した状態のカメラボディ２０を搭載する基台４５と、アーム４１の先端に装着されたマイクロフォン４０と、検査部４４とを備える。
【００７１】
マイクロフォン４０は、基台４５に位置決めされて搭載されたカメラボディ２０に対し、レンズ鏡筒１０との接続開口部から内部へ挿入され、Ｘ軸方向に沿って防塵部材３７の一方の側端部３６１から他方の側端部へ移動可能に構成されている。具体的には、マイクロフォン４０を支持するアーム４１の基端部は検査部４４のハウジング等に支持され、ここにアーム４１をＹ軸方向に進退移動させる機構と、Ｘ軸方向に移動させる機構が設けられている。
【００７２】
なお、カメラボディ２０の接続開口部から防塵部材３６の近傍までマイクロフォン４０を挿入するので、クイックリターンミラー２１やシャッタユニット２３の組み付け前の工程あるいはこれらを取り外した状態でこの検査を行う。
【００７３】
また、マイクロフォン４０を進退移動させる機構に代えて、カメラボディ２０と検査部４４とを基台４５上でＹ軸方向に相対移動させることもできる。
【００７４】
検査部４４は、マイクロフォン４０により検出された音量信号を読み込んで、予め記憶しておいた基準音量と比較し、圧電素子３７の駆動状態を検査するとともに、カメラボディ２０のボディＣＰＵ２５に接続されて、圧電素子３７を駆動する指令信号を出力する。検査部４４はメモリとＣＰＵで構成することができ、圧電素子３７の検査結果を示す表示部４６をハウジング等に設けることができる。
【００７５】
カメラボディ２０の圧電素子３７を検査する場合は、カメラボディ２０を基台４５に搭載して位置決めし、マイクロフォン４０を接続開口部から挿入して防塵部材３６の近傍に位置させる。
【００７６】
そして、検査部４４からボディＣＰＵ２５，振動モード選択回路２７，防塵部材駆動回路２８を介して圧電素子３７に励振信号を送出し、マイクロフォン４０をＸ軸方向に沿って防塵部材３７の一方の側端部３６１から他方の側端部へ移動させながら音量分布を測定する。
【００７７】
上述した第１実施形態と同様に、各振動モードＡ，Ｂ，Ｃにおいて得られた音量分布と、検査部４４に記憶しておいた基準音量分布とを比較し、所定の閾値範囲にある場合は圧電素子３７が正常に駆動していると判断し、所定の閾値範囲にない場合は圧電素子３７が異常であると判断する。圧電素子３７が正常であると判断した場合は「正常」、圧電素子３７が異常であると判断した場合は「異常」の表示を表示部４６に示して操作者に注意を喚起する。なお、表示部４６による表示に代えて、またはこれに加えて警告音を発することで、操作者に注意を喚起することもできる。
【００７８】
以上、本実施形態の検査装置によれば、圧電素子３７の駆動音に基づいて駆動状態を検査するので、温度環境に拘わらず正確な判定を行うことができる。また、マイクロフォン４０等を撮像装置１に内蔵しないので、カメラボディ２０のスペースを侵食することなく圧電素子３７の初期不良や整備点検時における故障も正確に検出することができる。さらに各振動モードＡ，Ｂ，Ｃにおける音量分布を検出するので各振動モードＡ，Ｂ，Ｃの振動状態の良否も検査することができる。
【００７９】
なお、本例の検査装置においては上述した第１実施形態の変形例で説明した各種態様も適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】発明の実施形態に係る撮像装置を示すブロック図である。
【図２】図１に示す防塵部材周りの構造を示す断面図である。
【図３】図２のＹ矢視図である。
【図４】図１に示す防塵部材駆動回路による各振動モードに対応する防塵部材の挙動を示す断面図である。
【図５】図４に示す各振動モードによる防塵部材の挙動に対応する振動音量を示す図である。
【図６】発明の他の実施形態に係る検査装置を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０…レンズ鏡筒
１１…光学レンズ群
１２…レンズ駆動モータ
１３…レンズＣＰＵ
１４…接点
２０…カメラボディ
２１…ミラー
２２…ミラー駆動モータ
２３…シャッタユニット
２４…シャッタ駆動モータ
２５…ボディＣＰＵ
２６…バッテリ
２７…振動モード選択回路
２８…防塵部材駆動回路
２９…レリーズスイッチ
３０…撮像ユニット
３１…撮像素子
３２…基板
３３…スペーサ
３４…光学ローパスフィルタ
３５…シール部材
３６…防塵部材
３６１…側端部
３７…圧電素子
３８…圧電体
３９…電極
４０…マイクロフォン
４１…アーム
４２…レール
４３…駆動部
４４…検査部
４５…基台
４６…表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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