(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズの前面側に配置される固浸レンズを保持する固浸レンズホルダであって、
前記固浸レンズを保持するレンズ保持部を有するホルダ本体と、
前記ホルダ本体を前記対物レンズの前端部に取り付けるための対物レンズソケットと、
前記ホルダ本体を振動させる振動発生部とを備え、
前記レンズ保持部は、前記固浸レンズを前記レンズ保持部に対して動くことが可能な状態で保持しており、
前記振動発生部は、前記対物レンズの側面に配置されるように前記対物レンズソケットに取り付けられている、ことを特徴とする固浸レンズホルダ。
【請求項２】
前記振動発生部は、観察対象物に対して平行な水平方向に延在する軸を振動軸とした振動を発生させる、ことを特徴とする請求項１記載の固浸レンズホルダ。
【請求項３】
前記レンズ保持部は、前記固浸レンズを受けるレンズ受け面を有し、前記固浸レンズを前記レンズ受け面に対して１点接触の状態で保持するように構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の固浸レンズホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固浸レンズを保持する固浸レンズホルダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
観察対象物の画像を拡大するレンズとして固浸レンズ（ＳＩＬ：Solid Immersion Lens）が知られている。固浸レンズは、半球形状又はワイエルストラス球と呼ばれる超半球形状をなし、大きさが１ｍｍ〜５ｍｍ程度の微小レンズである。そして、この固浸レンズを観察対象物の表面に密着させて設置すると、開口数（ＮＡ）及び倍率が共に拡大されるため、高い空間分解能での観察が可能となる。
【０００３】
このような固浸レンズを保持する固浸レンズホルダとして、例えば特許文献１に記載のものが知られている。特許文献１に記載の固浸レンズホルダは、対物レンズの前端部に腕部材を介して連結されており、対物レンズの前面側において固浸レンズを保持するように構成されている。
【特許文献１】国際公開第２００５／０４３２１０号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記従来技術のように固浸レンズを利用して観察対象物を観察する際には、固浸レンズと観察対象物とが良好に密着されていないと、固浸レンズと観察対象物との光学的結合（エバネッセント結合）が得られにくくなる。
【０００５】
本発明の目的は、固浸レンズと観察対象物との密着性を向上させることができる固浸レンズホルダを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、対物レンズの前面側に配置される固浸レンズを保持する固浸レンズホルダであって、固浸レンズを保持するレンズ保持部を有するホルダ本体と、ホルダ本体を振動させる振動発生部とを備え、レンズ保持部は、固浸レンズをレンズ保持部に対して動くことが可能な状態で保持していることを特徴とするものである。
【０００７】
このような本発明の固浸レンズホルダでは、固浸レンズがレンズ保持部に対して固定されずにフリーの状態に（レンズ保持部に対して動くことが可能な状態で）保持されているので、固浸レンズを利用して観察対象物を観察する際に、固浸レンズが観察対象物に密着しやすくなる。しかし、例えばレンズ保持部や観察対象物の加工状態等によっては、レンズ保持部に対する固浸レンズの自由な動きが妨げられ、固浸レンズと観察対象物との良好な密着が得られないことがある。この場合には、振動発生部によりホルダ本体を振動させることにより、その振動がレンズ保持部から固浸レンズに伝わり、固浸レンズが揺れ動いて観察対象物の表面に倣って密着するようになる。これにより、固浸レンズと観察対象物との良好な密着を達成することができる。
【０００８】
本発明に係る固浸レンズホルダは、ホルダ本体を対物レンズの前端部に取り付けるための対物レンズソケットを更に備え、振動発生部は、対物レンズの側面に配置されるように対物レンズソケットに取り付けられている。このように対物レンズソケットが設けられている構造では、部品サイズや組み付けやすさ等の点から、振動発生部を対物レンズソケットに取り付けるのが好適である。この場合には、振動発生部により対物レンズソケットに生じた振動がホルダ本体を介して固浸レンズに伝わり、固浸レンズが揺れ動くようになる。
【０００９】
また、好ましくは、レンズ保持部は、固浸レンズを受けるレンズ受け面を有し、固浸レンズをレンズ受け面に対して１点接触の状態で保持するように構成されている。この場合には、固浸レンズがレンズ保持部に対して最も自由に動きやすくなるため、固浸レンズと観察対象物とを更に良好に密着させることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、固浸レンズと観察対象物との密着性を向上させることができる。これにより、固浸レンズと観察対象物との適切な光学的結合（エバネッセント結合）を得ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面と共に本発明に係る固浸レンズホルダの好適な実施形態について説明する。なお、各図において、同一の要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１２】
図１は、本発明に係る固浸レンズホルダの一実施形態を備えた半導体検査装置を示す構成図である。図２は、図１に示した半導体検査装置の主要部の一つである顕微鏡の対物レンズ及び固浸レンズホルダの構成を示す断面図であり、図３は、図２に示した対物レンズ及び固浸レンズホルダの斜視図である。なお、図２では、試料の観察時の状態を示している。以下の説明では、固浸レンズに対して、対物レンズ側を上側とし、試料側を下側として説明する。
【００１３】
図１及び図２に示すように、半導体検査装置１は、例えば試料１０であるモールド型半導体デバイスが有する半導体デバイス１１を観察対象物とし、半導体デバイス１１の画像を取得しその内部情報を検査する検査装置である。
【００１４】
「モールド型半導体デバイス」とは、半導体デバイス１１が樹脂１２によってモールドされたものである。また、「内部情報」としては、半導体デバイスの回路パターンや半導体デバイスからの微弱発光が含まれる。この微弱発光としては、半導体デバイスの欠陥に基づく異常個所に起因するものや、半導体デバイス中のトランジスタのスイッチング動作に伴うトランジェント発光などが挙げられる。さらには、半導体デバイスの欠陥に基づく発熱も含まれる。
【００１５】
試料１０は、樹脂１２内に埋設された半導体デバイス１１の裏面が露出するように樹脂１２が切削された状態で、観察部Ａに設けられたステージ２上に半導体デバイス１１の裏面が上を向くように載置される。このように、試料１０の一部を切削して半導体デバイス１１の裏面を露出させているので、半導体デバイス１１は、樹脂１２が切削されてなる凹部１３の底面に位置することになる。そして、検査装置１は、本実施形態にあっては、半導体デバイス１１の図示下面（半導体デバイス１１の基板表面に形成された集積回路等）を検査する。
【００１６】
半導体検査装置１は、半導体デバイス１１の観察を行う観察部Ａと、観察部Ａの各部の動作を制御する制御部Ｂと、半導体デバイス１１の検査に必要な処理や指示等を行う解析部Ｃと、を備えている。
【００１７】
観察部Ａは、半導体デバイス１１からの画像を取得する画像取得手段としての高感度カメラ３及びレーザスキャン光学系（ＬＳＭ：Laser Scanning Microscope）ユニット４と、高感度カメラ３及びＬＳＭユニット４と半導体デバイス１１との間に配置され、対物レンズ２１を含む光学系２０を有する顕微鏡５と、半導体デバイス１１の拡大観察画像を得るための固浸レンズ６（図２参照）と、これらを直交するＸ−Ｙ−Ｚ方向に各々移動させるＸＹＺステージ７と、を具備している。
【００１８】
光学系２０は、上記対物レンズ２１に加えて、カメラ用光学系２２と、ＬＳＭユニット用光学系２３と、を備えている。対物レンズ２１は、倍率が異なるものが複数設けられ、切り換え可能とされている。また、対物レンズ２１は補正環２４を有しており、この補正環２４を調整することで観察時に収差補正を行うことが可能となっている。カメラ用光学系２２は、対物レンズ２１を通した半導体デバイス１１からの光を高感度カメラ３に導く。これにより、高感度カメラ３は、半導体デバイス１１の回路パターン等の画像を取得する。
【００１９】
一方、ＬＳＭユニット用光学系２３は、ＬＳＭユニット４からの赤外レーザ光をビームスプリッタ（不図示）で対物レンズ２１側に反射し半導体デバイス１１に導くと共に、対物レンズ２１を通し高感度カメラ３に向かう半導体デバイス１１からの反射レーザ光をＬＳＭユニット４に導く。
【００２０】
ＬＳＭユニット４は、赤外レーザ光をＸ−Ｙ方向に走査し半導体デバイス１１側に出射する一方で、半導体デバイス１１からの反射光を光検出器（不図示）で検出する。この検出光の強度は、半導体デバイス１１の回路パターンを反映した強度となっている。従って、ＬＳＭユニット４は、赤外レーザ光が半導体デバイス１１をＸ−Ｙ走査することで、半導体デバイス１１の回路パターン等の画像を取得する。
【００２１】
また、ＸＹＺステージ７は、高感度カメラ３、ＬＳＭユニット４、顕微鏡５及び固浸レンズ６等を、Ｘ−Ｙ方向（水平方向；観察対象物である半導体デバイス１１に対して平行を成す方向）及びこれに直交するＺ方向（垂直方向）の各々に、必要に応じて移動するためのものである。
【００２２】
制御部Ｂは、カメラコントローラ３１と、レーザスキャン（ＬＳＭ）コントローラ３２と、ペリフェラルコントローラ３３と、を備えている。カメラコントローラ３１及びＬＳＭコントローラ３２は、高感度カメラ３及びＬＳＭユニット４の動作を各々制御することで、観察部Ａで行われる半導体デバイス１１の観察の実行（画像の取得）や観察条件の設定等を制御する。
【００２３】
ペリフェラルコントローラ３３は、ＸＹＺステージ７の動作を制御することで、半導体デバイス１１の観察位置に対応する位置への高感度カメラ３、ＬＳＭユニット４及び光学系２０等の移動、位置合わせ、焦点合わせ等を制御する。この際、ペリフェラルコントローラ３３は、固浸レンズホルダ２００に取り付けられた種々のセンサなどの検出結果に応じてＸＹＺステージ７の動作を制御する。また、ペリフェラルコントローラ３３は、対物レンズ２１に取り付けられた補正環調整用モータ２５を駆動して補正環２４を調整する。
【００２４】
さらに、ペリフェラルコントローラ３３は、固浸レンズホルダ２００に取り付けられた振動モータ１４０の駆動を制御する。振動モータ１４０を含む固浸レンズホルダ２００については、後で詳述する。
【００２５】
解析部Ｃは、画像解析部４１と指示部４２とを備え、コンピュータにより構成されている。画像解析部４１は、カメラコントローラ３１及びＬＳＭコントローラ３２からの画像情報に対して必要な解析処理等を実施する。指示部４２は、操作者からの入力内容や画像解析部４１による解析内容等を参照し、制御部Ｂを介して、観察部Ａにおける半導体デバイス１１の検査の実行に関する必要な指示を行う。また、解析部Ｃにより取得又は解析された画像、データ等は、必要に応じて解析部Ｃに接続された表示装置４３に表示される。
【００２６】
図２に示すように、固浸レンズ６は、半球形状の微小レンズであり、外部（例えば、顕微鏡５の対物レンズ２１）に対する光の入出力面となると共に球面形状に形成された上面６ａと、半導体デバイス１１に対する取付面となると共に平面形状に形成された底面６ｂとを有する。固浸レンズ６の底面６ｂが半導体デバイス１１の観察位置（図示上面）に密着することで、裏側となる半導体デバイス１１の表面（図示下面）の拡大観察画像が得られる。
【００２７】
具体的には、固浸レンズ６は、半導体デバイス１１の基板材料と実質的に同一またはその屈折率に近い、高屈折率材料からなる。その代表的な例としては、Ｓｉ、ＧａＰ、ＧａＡｓなどが挙げられる。このような微小な固浸レンズ６を半導体デバイス１１の基板表面に光学密着させることにより、半導体基板自身を固浸レンズ６の一部として利用する。固浸レンズ６を利用した半導体デバイス１１の裏面解析によれば、対物レンズ２１の焦点を半導体基板表面に形成された集積回路に合わせた際に、固浸レンズ６の効果により、基板中にＮＡの高い光束を通すことが可能となり、高分解能化が期待できる。
【００２８】
固浸レンズ６のレンズ形状は、収差がなくなる条件によって決まるものである。半球形状を有する固浸レンズ６では、その球心が焦点となる。このとき、開口数（ＮＡ）および倍率はともにｎ倍となる。なお、固浸レンズ６の形状は、半球形状に限定されず、例えば、ワイエルストラス形状のものでもよい。
【００２９】
本実施形態の特徴をなす固浸レンズホルダ２００は、そのような固浸レンズ６を対物レンズ２１に対して好適に保持するものである。固浸レンズホルダ２００は、ホルダ本体８と、このホルダ本体８を対物レンズ２１の前端部に取り付けるための対物レンズソケット９とを備えている。
【００３０】
図４は、ホルダ本体８の分解斜視図である。図２〜図４に示すように、ホルダ本体８は、円板状の対物レンズキャップ５０と、この対物レンズキャップ５０の中心から対物レンズキャップ５０に略直交する方向に延在するレンズ保持部６０とを有する。図４に示した矢印Ａ１の方向からみた場合、ホルダ本体８の外形は略Ｔ字状となっている。
【００３１】
対物レンズキャップ５０は、対物レンズソケット９（図２参照）に螺合する周壁５１を有しており、対物レンズソケット９を介して対物レンズ２１の先端部に取り付けられる。また、対物レンズキャップ５０を形成する底板５２は、光束を通過させるための３つの開口５３を有する。各開口５３は、ＬＳＭユニット４から出力された光を固浸レンズ６側に通すと共に、半導体デバイス１１によって反射され固浸レンズ６から出力された光を対物レンズ２１側に通す。各開口５３は、略扇状をなし、対物レンズキャップ５０の中心に対して互いに同心状であって周方向に等間隔に配置されている。これによって、隣り合う開口５３，５３間には、レンズ保持部６０と底板５２とを連結すると共に、対物レンズキャップ５０の中心から放射状に延びる３つの連結部５４が等間隔で形成されることになる。
【００３２】
レンズ保持部６０は、３つの連結部５４の交差部分から対物レンズキャップ５０に略直交する方向（対物レンズ２１の光軸Ｌ方向）に延在するレンズ保持部材６１と、円筒形状のレンズカバー６３とを有する。レンズ保持部材６１は、各連結部５４上に位置すると共に、固浸レンズ６を受ける３つの保持片６２からなる。各保持片６２は、レンズ保持部材６１の中心線に対して放射状に配置されると共に、幅ｄがレンズ保持部材６１の中心線に向かうにつれて狭くなるテーパ形状を有している。
【００３３】
各保持片６２の先端部（対物レンズキャップ５０と反対側の端部）には、固浸レンズ６の上面６ａの曲率とほぼ同じ曲率を有するレンズ受け面６２ａがそれぞれ形成されており、レンズ保持部材６１は、３つのレンズ受け面６２ａによって固浸レンズ６を安定的に受けることになる。また、各保持片６２の先端部には、レンズカバー６３を固定するための爪部６２ｂがそれぞれ形成されている。レンズカバー６３は底板６４を有しており、底板６４の周縁部には、爪部６２ｂに嵌め合わされる周壁６５が設けられている。底板６４には、固浸レンズ６の底面６ｂを外側（試料１０側）に突出させるための開口６４ａが形成されている。
【００３４】
図５は、固浸レンズ６がレンズ保持部６０に保持されている状態を示す拡大断面図である。この構成では、レンズ保持部材６１のレンズ受け面６２ａとレンズカバー６３との間に固浸レンズ６を配置してから、接着剤などによってレンズカバー６３をレンズ保持部材６１に固定することによって、固浸レンズ６の底面６ｂが開口６４ａから突出した状態で、固浸レンズ６がレンズ受け面６２ａとレンズカバー６３との間に収容・保持されることになる。
【００３５】
固浸レンズ６がレンズ保持部６０に保持されている状態では、固浸レンズ６の上面６ａとレンズ保持部材６１のレンズ受け面６２ａとの間には間隙（クリアランス）が設けられている。このため、固浸レンズ６は、レンズ保持部６０に対して固定されずにフリーな状態で保持されることとなる。これにより、固浸レンズ６は、レンズ保持部材６１に対して自由に動くことが可能となる。
【００３６】
固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触していない状態では、固浸レンズ６は、レンズカバー６３の底板６４に自重方向に支持されることになる。一方、ＸＹＺステージ７の操作によって対物レンズ２１がその光軸Ｌ方向に移動させられることで、固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触した状態では、固浸レンズ６の上面６ａがレンズ保持部材６１のレンズ受け面６２ａに接触し、固浸レンズ６がレンズカバー６３の底板６４から離れた状態で保持されることになる。このとき、固浸レンズ６はレンズ保持部材６１に対してフリーな状態で保持されているため、固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触するときには、固浸レンズ６の底面６ｂが半導体デバイス１１の裏面に倣って密着しやすくなる。
【００３７】
固浸レンズ６と半導体デバイス１１とが接触した状態では、図５（ａ）に示すように、固浸レンズ６の上面６ａの頂上がレンズ保持部材６１のレンズ受け面６２ａに１点で接触するような構造であるのが望ましい。これにより、固浸レンズ６が当該接触点を中心としてレンズ保持部材６１に対して十分に動くようになるため、固浸レンズ６と半導体デバイス１１との良好な面接触を得ることができる。
【００３８】
ただし、レンズ受け面６２ａは湾曲状（Ｒ状）をなしているため、レンズ受け面６２ａの加工精度を上げるのは極めて困難であり、レンズ受け面６２ａの曲率半径に加工誤差が生じることは避けられない。このため、固浸レンズ６と半導体デバイス１１とが接触した状態では、図５（ｂ）に示すように、固浸レンズ６の上面６ａの複数部分がレンズ保持部材６１のレンズ受け面６２ａに接触することがある。
【００３９】
固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触した状態で、フォーカス位置の調整などによって更に固浸レンズ６が押し下げられると、固浸レンズ６から加わる力によって半導体デバイス１１が損傷する虞がある。そこで、ホルダ本体８は、図４に示すように、各連結部５４に加わる応力を検出する検出応力検知センサＳをそれぞれ有することが好ましい。各応力検知センサＳは、ペリフェラルコントローラ３３に電気的に接続されており、応力検知センサＳにより所定の応力以上の力が検知されると、ペリフェラルコントローラ３３がＸＹＺステージ７の駆動を停止する。これによって、所定の負荷以上の力が半導体デバイス１１に加わらないようになっている。
【００４０】
図６は、対物レンズソケット９の断面図である。図２及び図６に示すように、対物レンズソケット９は、対物レンズ２１の対物レンズ鏡筒２６の先端部（前端部）に嵌め合わされる円筒形状のベース部７０と、このベース部７０に嵌め合わされる可動部材８０とを有する。
【００４１】
図７（ａ）は、ベース部７０及び可動部材８０を対物レンズ２１側から見た図であり、図７（ｂ）は、ベース部７０及び可動部材８０の側面図であり、図７（ｃ）は、ベース部７０及び可動部材８０を試料１０側から見た図である。図７では、ベース部７０に可動部材８０が嵌め合わされた状態を示しているが、連結ピンなどの図示は省略している。
【００４２】
図６及び図７に示すように、ベース部７０及び可動部材８０は、それぞれ底板７１，８１を有しており、この底板７１，８１の中心側には、対物レンズ２１から出力される光束又は対物レンズ２１に入射される光束を通すための円形の開口７２，８２がそれぞれ形成されている。開口７２，８２の直径は、光束を遮らない大きさであればよく、開口８２の直径は開口７２の直径よりも大きくなっている。ベース部７０の開口７２の周りには、複数の貫通孔７３が形成されており、ベース部７０は、貫通孔７３を介して対物レンズ２１の対物レンズ鏡筒２６に螺子止めされる。
【００４３】
底板７１，８１の周縁部には周壁７４，８３がそれぞれ設けられている。周壁７４の内径は、対物レンズ鏡筒２６の先端部の外径に等しく、ベース部７０は対物レンズ２１の対物レンズ鏡筒２６の先端部に嵌め合わされて取り付けられる。
【００４４】
また、周壁７４の外径と周壁８３の内径とは等しく、可動部材８０は、ベース部７０に嵌め合わされるようになっている。そして、周壁７４の外面と周壁８３の内面とは摺動接触しており、その結果として、可動部材８０は、ベース部７０に対して光軸Ｌ方向に摺動可能である。周壁８３の外径（可動部材８０の外径）は、対物レンズキャップ５０（図２参照）の周壁５１の内径に等しい。そして、可動部材８０の底板８１側の端部の外周面には、対物レンズキャップ５０の周壁５１を螺合させるための螺子溝８４（図７（ｂ）参照）が形成されており、可動部材８０に対物レンズキャップ５０を取り付けられるようになっている。
【００４５】
可動部材８０の周壁８３には、互いに対向する一対の貫通孔８５が設けられており、ベース部７０の周壁７４において各貫通孔８５とそれぞれ対応する位置に形成された貫通孔７５にピンＰ１を挿入することによって、可動部材８０はベース部７０に連結される。貫通孔８５は、光軸Ｌ方向の長さが周方向の長さよりも長い長円形状を有しており、貫通孔８５の周方向の長さはピンＰ１の外径とほぼ同じである。その結果、可動部材８０は、光軸Ｌ方向に対しては、長円形状の光軸Ｌ方向の長さだけベース部７０に対して可動でき、周方向に対しては、回転が防止されることになる。
【００４６】
ベース部７０と可動部材８０とは、ベース部７０の周壁７４の底面に形成された３つのバネ収容溝７６にそれぞれ収容されたバネ１００を挟んで嵌め合わされる。なお、図２では、バネ収容溝７６と貫通孔８５とを同じ断面で表示しているが、これらの配置関係は実際には異なり、実際の配置は図７に示している。バネ収容溝７６の深さは、バネ１００の自然長よりも短いので、バネ１００の先端部はバネ収容溝７６から突出する。
【００４７】
従って、ベース部７０に可動部材８０が嵌め合わされた状態では、バネ１００の両端部は、それぞれバネ収容溝７６の底面７６ａ（図６中の上側の面）及び可動部材８０の底板８１に当接し、可動部材８０を光軸Ｌ方向に付勢することになる。これによって、半導体デバイス１１を観察するときには、固浸レンズ６は、半導体デバイス１１に付勢されて密着されるようになる。
【００４８】
ここで、バネ１００による付勢力が強すぎると、前述したように半導体デバイス１１が損傷する虞がある。そのため、対物レンズソケット９は、図２及び図６に示すように、ベース部７０に対する可動部材８０の光軸Ｌ方向における位置（部材位置）を検出する部材位置検出部１１０を有する。
【００４９】
図８は、部材位置検出部１１０の構成を示す図である。図８は、図６の矢印Ａ２の方向から見た状態を示しており、ホルダ本体８を取り付けた状態の図である。図６及び図８に示すように、部材位置検出部１１０は、センサ保持部材１１１と、このセンサ保持部材１１１に保持された２つの近接センサ１１２，１１３と、略Ｌ字状の金属板１１４とを有する。
【００５０】
センサ保持部材１１１は、外形が略直方体であってベース部７０の周壁７４の上面に形成された螺子孔７７（図７（ａ）参照）に螺子止めされている。センサ保持部材１１１は、近接センサ１１２，１１３の先端部がセンサ保持部材１１１から突出するように近接センサ１１２，１１３を保持している。
【００５１】
金属板１１４は、可動部材８０の周壁８３の上面に形成された螺子孔８６（図７（ａ）参照）に螺子止めされており、可動部材８０に合わせて光軸Ｌ方向に動くことになる。そして、金属板１１４は、その一部（光軸Ｌ方向に延びる部分）が近接センサ１１２，１１３と対面するように配置されている。
【００５２】
近接センサ１１２，１１３は、光軸Ｌ方向に互いに段違いであって光軸Ｌと直交する方向に並列に配置された状態で、センサ保持部材１１１に保持されている。近接センサ１１２，１１３は、ペリフェラルコントローラ３３（図１参照）に電気的に接続されており、金属板１１４が近づく（図６中、上側に移動する）ことによる磁界の変化によって金属板１１４を検出することで、ベース部７０に対する可動部材８０の位置を検出する。
【００５３】
近接センサ１１２は、ベース部７０と可動部材８０との間に配置されたバネ１００が自然長のときから縮み始めたときに金属板１１４と対面するように配置されている。これにより、固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触したときに、近接センサ１１２は金属板１１４を検出することになる。このため、近接センサ１１２は、固浸レンズ６と半導体デバイス１１との接触開始位置に対応する可動部材８０の位置を検出するセンサとして機能する。
【００５４】
また、近接センサ１１３は、近接センサ１１２よりも上側に配置されており、固浸レンズ６を介したバネ１００による半導体デバイス１１への付勢を停止するための可動部材８０の位置を検出する。つまり、近接センサ１１３は、半導体デバイス１１に損傷を与えない範囲の最大の付勢力を生じせしめるような可動部材８０のベース部７０に対する位置を検出できるように、近接センサ１１２よりも上方に配置されている。
【００５５】
ここで、図９を参照して、部材位置検出部１１０の動作について説明する。図９（ａ）に示すように、先ず、ペリフェラルコントローラ３３によって対物レンズ２１のフォーカス位置の調整が実施されているとき、対物レンズ２１に伴って対物レンズソケット９が半導体デバイス１１側に押し下げられると、固浸レンズ６は半導体デバイス１１に接触することになる。
【００５６】
固浸レンズ６は可動部材８０に取り付けられたホルダ本体８に保持されているので、固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触することで可動部材８０はベース部７０側に押され、その結果として、金属板１１４も上側に移動するので、近接センサ１１２が金属板１１４を検出する。すなわち、半導体デバイス１１への固浸レンズ６の接触が検出される。近接センサ１１２の検出結果は、ペリフェラルコントローラ３３を介して指示部４２に入力され、操作者（観察者）に固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触したことを知らせる。
【００５７】
そして、図９（ｂ）に示すように、対物レンズ２１が半導体デバイス１１側に更に押し下げられた状態（すなわち、対物レンズソケット９が押し下げられた状態）では、近接センサ１１２は金属板１１４を検出している旨の検出結果を出力し続けており、近接センサ１１３が金属板１１４を検出していない状態では、継続してフォーカス位置の調整が実施される。
【００５８】
また、図９（ｃ）に示すように、対物レンズソケット９が半導体デバイス１１側に更に押し下げられ、近接センサ１１３が金属板１１４を検出したとき、ペリフェラルコントローラ３３は、対物レンズ２１の押し下げを停止する。これによって、設定した付勢力以上の負荷が半導体デバイス１１に加えられないので、フォーカス位置の調整などによって半導体デバイス１１が損傷することが抑制されることになる。
【００５９】
ところで、上述したように、ホルダ本体８におけるレンズ保持部材６１のレンズ受け面６２ａの加工状態によっては、固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触したときに、図５（ｂ）に示すように固浸レンズ６の複数箇所がレンズ受け面６２ａに接触することがあり、この場合には固浸レンズ６が動きにくくなる。また、固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触したときに、図５（ａ）に示すように固浸レンズ６の上面６ａがレンズ受け面６２ａに１点接触の状態になっている場合でも、例えばレンズ受け面６２ａに生じたバリや埃等によって固浸レンズ６の自由な動きが妨げられることがある。そのような場合には、固浸レンズ６と半導体デバイス１１との密着性が不十分になってしまう虞がある。
【００６０】
そこで、本実施形態の半導体検査装置１は、固浸レンズ６を半導体デバイス１１に確実に密着させるべく、図２、図３及び図６に示すように、固浸レンズホルダ２００のホルダ本体８を振動させる振動発生部１２０を更に備えている。
【００６１】
振動発生部１２０は、略Ｌ字状のモータ保持部材１３０と、このモータ保持部材１３０に保持・固定された振動モータ１４０（前述）とを有する。振動モータ１４０は、ペリフェラルコントローラ３３（図１参照）に電気的に接続されている。
【００６２】
モータ保持部材１３０は、例えば対物レンズソケット９におけるベース部７０の周壁７４の上面に形成された螺子孔７７（図７（ａ）参照）に螺子止めされている。また、モータ保持部材１３０は、振動モータ１４０がモータ保持部材１３０を水平方向（半導体デバイス１１に対して平行な方向）に貫通するように振動モータ１４０を保持している。つまり、振動モータ１４０は、その出力軸１４１が水平方向に延在するようにモータ保持部材１３０に保持されることとなる。
【００６３】
振動モータ１４０の出力軸１４１には、重り１４２が取り付けられている。この重り１４２は、円筒形状ではなく断面略Ｌ字状を有しており、出力軸１４１に対して偏心して重量的にアンバランスな構造となっている。このような構造によって、振動モータ１４０の出力軸１４１を高速で回転駆動させると、振動モータ１４０を保持したモータ保持部材１３０に振動が発生するようになる。すなわち、出力軸１４１に対して重量的に偏った構造の重り１４２は、振動を生じさせる振動子として機能するものである。
【００６４】
このような振動発生部１２０で発生した振動は、対物レンズソケット９のベース部７０を介してホルダ本体８を伝搬し、ホルダ本体８のホルダ保持部６０から固浸レンズ６に伝えられる。そして、固浸レンズ６がホルダ保持部６０に対して揺れ動くようになる。従って、上述したように固浸レンズ６の自由な動きが妨げられていても、それが固浸レンズ６の振動によって強制的にキャンセルされるようになる。
【００６５】
このとき、振動モータ１４０の出力軸１４１は水平方向に延びているため、振動発生部１２０は、水平方向に延びる軸を振動軸とした振動を発生させることとなる。この場合には、固浸レンズホルダ２００を水平方向及び光軸方向の双方に効率良く振動させることが可能となる。このような振動を加えることで、固浸レンズ６の試料接触面は、試料１０に倣った状態でホルダ保持部６０に押さえられる状態となり、光学的結合が良好に達成される。
【００６６】
振動発生部１２０の振動モータ１４０は、解析部Ｃからの指示によりペリフェラルコントローラ３３を介して制御される。図１０は、解析部Ｃの機能ブロックを示す図である。図１０において、解析部Ｃの画像解析部４１は、画像入力部４１ａと、画像記憶部４１ｂと、輝度値算出部４１ｃと、入射光量取得部４１ｄと、閾値記憶部４１ｅと、光学的結合判定部４１ｆとを有する。
【００６７】
画像入力部４１ａは、高感度カメラ３により取得された半導体デバイス１１の発光画像等の観察画像を、カメラコントローラ３１を介して入力する。また、画像入力部４１ａは、ＬＳＭユニット４により取得された半導体デバイス１１からの回路パターンの反射光の像（反射光像）や、固浸レンズ６からの反射光像を、ＬＳＭコントローラ３２を介して入力する。画像記憶部４１ｂは、画像入力部４１ａで入力されたこれらの観察画像や反射画像を記憶する。
【００６８】
輝度値算出部４１ｃは、画像入力部４１ａで入力された反射光像のうち、固浸レンズ６からの反射光像の輝度値を算出することにより、固浸レンズ反射光像の反射光量ｍを算出する。入射光量取得部４１ｄは、ＬＳＭユニット４から出射されて半導体デバイス１１に入射される赤外レーザ光の光量（入射光量）ｎをＬＳＭコントローラ３２より取得する。
【００６９】
光学的結合判定部４１ｆは、入射光量取得部４１ｄで取得された入射光量ｎと輝度値算出部４１ｃで算出された反射光量ｍとに基づいて、固浸レンズ６と半導体デバイス１１との光学的結合（エバネッセント結合）が得られているかどうかを判断する。固浸レンズ６と半導体デバイス１１とのエバネッセント結合が得られているかどうかは、ＬＳＭユニット４から出射された赤外レーザ光（入射光）を固浸レンズ６の底面６ｂにフォーカシングしたときに得られる反射光量に基づいて判断される。
【００７０】
具体的には、固浸レンズ６と半導体デバイス１１とのエバネッセント結合が得られていない状態で、入射光を固浸レンズ６の底面６ｂにフォーカシングすると、その入射光が固浸レンズ６の底面６ｂで全反射されるため、入射光量と反射光量とが実質的に等しくなる。固浸レンズ６と半導体デバイス１１との接触面の一部においてエバネッセント結合が得られている状態で、入射光を固浸レンズ６の底面６ｂにフォーカシングすると、その入射光の一部だけが固浸レンズ６の底面６ｂで反射されるため、反射光量が入射光量に比して少なくなる。固浸レンズ６と半導体デバイス１１との接触面全体においてエバネッセント結合が得られている状態で、入射光を固浸レンズ６の底面６ｂにフォーカシングすると、その入射光の大部分が半導体デバイス１１へ透過するため、固浸レンズ６の底面６ｂからの反射光が殆ど発生しない。
【００７１】
そこで、光学的結合判定部４１ｆは、入射光量取得部４１ｄにより得られた入射光量ｎと輝度値算出部４１ｃにより得られた反射光量ｍとの相対比率（ｍ／ｎ）を算出し、閾値記憶部４１ｅに予め記憶されている判定用閾値Ａと相対比率（ｍ／ｎ）とを比較することにより、固浸レンズ６と半導体デバイス１１とのエバネッセント結合が得られているかどうかを判断する。
【００７２】
図１１は、半導体デバイス１１の観察画像を取得する際に解析部Ｃによって実行される処理手順の詳細を示すフローチャートである。以下、図１１に示すフローチャートを用いて、半導体デバイス１１を観察する方法について説明する。
【００７３】
まずＸＹＺステージ７を制御することで対物レンズ２１を光軸Ｌ方向（Ｚ軸方向）に沿って半導体デバイス１１側に移動させ、対物レンズソケット９を半導体デバイス１１側に押し下げる。そして、ＬＳＭユニット４及びペリフェラルコントローラ３３を介して入力された部材位置検出部１１０の検出値に基づいて、固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触したかどうかを検知・判断する（手順Ｓ１０１）。
【００７４】
固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触したと判断されたときは、ペリフェラルコントローラ３３からの制御信号によって振動モータ１４０を駆動させることにより、振動発生部１２０に振動を発生させる（手順Ｓ１０２）。すると、振動発生部１２０で発生した振動が固浸レンズホルダ２００を介して固浸レンズ６に伝わり、固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触した状態で、固浸レンズ６が振動するようになる。
【００７５】
続いて、ＬＳＭユニット４から出射された赤外レーザ光（入射光）を固浸レンズ６の底面６ｂにフォーカシングさせて、固浸レンズ６の底面６ｂからの反射光像をＬＳＭユニット４及びペリフェラルコントローラ３３を介して入力する。そして、上述したように固浸レンズ６の底面６ｂからの反射光像の反射光量ｍを算出し、この反射光量ｍの入射光量ｎに対する比率（ｍ／ｎ）が判定用閾値Ａを越えていないかどうかを判断する（手順Ｓ１０３）。
【００７６】
入射光量ｎに対する反射光量ｍの比率（ｍ／ｎ）が判定用閾値Ａを越えているときは、固浸レンズ６と半導体デバイス１１とのエバネッセント結合が得られていないと判断され、手順Ｓ１０２に戻り、再び振動発生部１２０により固浸レンズホルダ２００に振動を発生させる。
【００７７】
一方、入射光量ｎに対する反射光量ｍの比率（ｍ／ｎ）が判定用閾値Ａを越えていないときは、固浸レンズ６と半導体デバイス１１とのエバネッセント結合が得られていると判断され、ペリフェラルコントローラ３３からの制御信号によってＸＹＺステージ７を駆動することにより、半導体デバイス１１内の所定の観察面に対して入射光の焦点合わせを行う（手順Ｓ１０４）。そして、高感度カメラ３により撮像して得られた半導体デバイス１１の観察画像をカメラコントローラ３１より取得し、その観察画像を画像記憶部４１ｂに記憶する（手順Ｓ１０５）。以上により、半導体デバイス１１の観察処理が終了する。
【００７８】
以上のように本実施形態においては、固浸レンズホルダ２００を振動させる振動発生部１２０を設けたので、固浸レンズ６を振動させながら半導体デバイス１１に密着させることができる。これにより、固浸レンズ６の自由な動きが阻害されることが防止され、固浸レンズ６の底面６ｂが半導体デバイス１１の裏面に倣うように密着するようになるため、固浸レンズ６と半導体デバイス１１とを十分に密着させることができる。その結果、固浸レンズ６と半導体デバイス１１との光学的なエバネッセント結合が確実に得られるようになるため、半導体デバイス１１の高精度の観察を行うことが可能となる。
【００７９】
また、固浸レンズ６と半導体デバイス１１とのエバネッセント結合が達成されるまで、振動発生部１２０による固浸レンズホルダ２００の振動処理を自動的に行うようにしたので、操作者の利便性を向上させることができる。
【００８０】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。
【００８１】
例えば上記実施形態では、ホルダ本体８の外形が略Ｔ字状をなしているが、例えば図１２に示すようなホルダ本体１６０を用いても良い。ホルダ本体１６０は、固浸レンズ６を頂点として対物レンズ２１側に向かって外径が広がったテーパ形状のレンズ保持部材１６１と、上記のレンズカバー６３とを有する。この場合でも、固浸レンズ６は、図１３に示すように、その底面６ｂがレンズカバー６３の開口６４ａから突出するように、レンズ保持部材１６１に対してフリーの状態で保持される。
【００８２】
また、上記実施形態では、振動モータ１４０は、その出力軸１４１が水平方向に延びるようにモータ保持部材１３０に保持されているが、図１４に示すように、振動モータ１４０の出力軸１４１が垂直方向に延びるような構造としてもよい。この場合には、振動発生部１２０は、垂直方向に延びる軸を振動軸とした振動を発生させることとなるため、固浸レンズホルダ２００を水平方向に効率良く振動させることが可能となり、薄い試料など壊れやすい試料の場合でも、垂直方向の振動を最小限に抑えながら光学的な密着性を高めることが可能となる。
【００８３】
さらに、上記実施形態では、振動発生部１２０が固浸レンズホルダ２００の対物レンズソケット９に取り付けられているが、可能であれば、ホルダ本体に振動発生部１２０を取り付けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明に係る固浸レンズホルダの一実施形態を適用した半導体検査装置の構成図である。
【図２】図１に示した顕微鏡の対物レンズ及び固浸レンズホルダの構成を示す断面図である。
【図３】図２に示した対物レンズ及び固浸レンズホルダの斜視図である。
【図４】図２に示したホルダ本体の分解斜視図である。
【図５】図４に示した固浸レンズがレンズ保持部に保持されている状態を示す拡大断面図である。
【図６】図２に示した対物レンズソケットの断面図である。
【図７】図６に示した対物レンズソケットの平面図、側面図（一部断面を含む）及び裏面図である。
【図８】図６に示した部材位置検出部の構成図である。
【図９】図８に示した部材位置検出部及び固浸レンズホルダの動作を示す断面図である。
【図１０】図１に示した解析部の機能ブロック図である。
【図１１】半導体デバイスの観察画像を取得する際に図１１に示した解析部によって実行される処理手順の詳細を示すフローチャートである。
【図１２】変形例として他の固浸レンズホルダを示す断面図である。
【図１３】図１２に示したレンズ保持部材に固浸レンズが保持されている状態を示す拡大断面図である。
【図１４】変形例として更に他の固浸レンズホルダを対物レンズと共に示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８５】
６…固浸レンズ、８…ホルダ本体、９…対物レンズソケット、２１…対物レンズ、６０…レンズ保持部、６１…レンズ保持部材、６２ａ…レンズ受け面、１２０…振動発生部、１６０…ホルダ本体、２００…固浸レンズホルダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005189321.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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