(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層されると共に、最下層又は最上層に配置された第１の樹脂層を有する複数の樹脂層と、前記複数の樹脂層に形成された配線パターンと、前記第１の樹脂層に設けられ、外部接続端子が配設される外部接続用パッドと、を備えた配線基板であって、
前記外部接続用パッドが設けられた側の前記第１の樹脂層の面に、前記外部接続用パッドを露出する開口部を有するようにモールド樹脂を設けると共に、
前記モールド樹脂の厚さを、前記外部接続用パッドに配設された前記外部接続端子よりも突出しない厚さにしたことを特徴とする配線基板。
【請求項２】
積層された前記複数の樹脂層は、前記第１の樹脂層の反対側に配置された第２の樹脂層を有しており、
前記第２の樹脂層に、前記配線パターンを介して、前記外部接続用パッドと電気的に接続されると共に、電子部品が搭載される電子部品搭載用パッドを設けたことを特徴とする請求項１記載の配線基板。
【請求項３】
前記外部接続端子が、はんだボール、または、ネイルヘッドとピン本体とを有するピン形状の端子であることを特徴とする請求項１または２記載の配線基板。
【請求項４】
前記モールド樹脂の厚さが０．２ｍｍ〜０．３ｍｍであることを特徴とする請求項１乃至３いずれか一項に記載の配線基板。
【請求項５】
前記モールド樹脂内に電子部品が内蔵されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれか一項に記載の配線基板。
【請求項６】
前記配線基板がコアレス基板であることを特徴とする請求項１乃至５いずれか一項に記載の配線基板。
【請求項７】
請求項１乃至６のうち、いずれか一項記載の配線基板と、
前記配線パターンと電気的に接続される電子部品と、を備えたことを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
積層されると共に、最下層又は最上層に配置された第１の樹脂層を有する複数の樹脂層と、前記複数の樹脂層に形成された配線パターンと、前記第１の樹脂層に設けられ、外部接続端子が配設される外部接続用パッドと、を備えた配線基板の製造方法であって、
前記最下層又は前記最上層に配置された前記第１の樹脂層の前記外部接続用パッドが設けられた側の面に、前記外部接続用パッドを露出するようにモールド樹脂を形成するモールド樹脂形成工程を、含み、
前記モールド樹脂形成工程では、前記モールド樹脂が前記外部接続用パッドに配設される前記外部接続端子よりも突出しない厚さに前記モールド樹脂を形成することを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項９】
前記モールド樹脂は、トランスファーモールド法により形成することを特徴とする請求項８記載の配線基板の製造方法。
【請求項１０】
前記外部接続端子が、はんだボール、または、ネイルヘッドとピン本体とを有するピン形状の端子であることを特徴とする請求項８または９記載の配線基板の製造方法。
【請求項１１】
前記モールド樹脂の厚さが０．２ｍｍ〜０．３ｍｍであることを特徴とする請求項８乃至１０いずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
【請求項１２】
前記モールド樹脂内に電子部品が内蔵されていることを特徴とする請求項８乃至１１いずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
【請求項１３】
前記配線基板がコアレス基板であることを特徴とする請求項８乃至１２いずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板及びその製造方法、及び半導体装置に係り、特にコアレス構造（コア基材が無い構造）とされた配線基板及びその製造方法、及び半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の配線基板には、コア基材を無くして薄板化を図ったコアレス基板がある。このようなコアレス基板に電子部品を実装した構成とされた半導体装置としては、例えば、図１に示すような半導体装置２００がある。
【０００３】
図１は、従来の半導体装置の断面図である。
【０００４】
図１を参照するに、従来の半導体装置２００は、コアレス基板である配線基板２０１と、電子部品２０２，２０３と、外部接続端子２０４とを有する。
【０００５】
配線基板２０１は、積層された樹脂層２１１，２１７，２２１と、パッド２１２，２１３と、配線パターン２１５，２１６，２１８，２１９と、ビア２２２，２２６と、外部接続用パッド２２３，２２７と、ソルダーレジスト２３１，２３２とを有する。
【０００６】
樹脂層２１１は、電子部品２０２，２０３が接続されるパッド２１２，２１３を形成するための層である。パッド２１２は、パッド２１２の側面が樹脂層２１１に覆われるように、樹脂層２１１の面２１１Ａ（電子部品２０２，２０３が搭載される側の樹脂層２１１の面）側に設けられている。パッド２１２は、Ａｕ層２４１と、Ｎｉ層２４２とが積層された構成とされている。パッド２１２は、Ａｕ層２４１の面２４１Ａが樹脂層２１１の面２１１Ａと略面一となるように配置されている。パッド２１２を構成するＡｕ層２４１上には、バンプ２０６が配設されている。パッド２１２は、バンプ２０６を介して、電子部品２０２と電気的に接続されている。
【０００７】
パッド２１３は、パッド２１３の側面が樹脂層２１１に覆われるように、樹脂層２１１の面２１１Ａ側に設けられている。パッド２１３は、Ａｕ層２４１と、Ｎｉ層２４２とが積層された構成とされている。パッド２１３は、Ａｕ層２４１の面２４１Ａが樹脂層２１１の面２１１Ａと略面一となるように配置されている。パッド２１３を構成するＡｕ層２４１上には、電子部品２０３が接続されている。
【０００８】
配線パターン２１５は、ビア２４４と、配線２４５とを有する。ビア２４４は、パッド２１２と対向する部分の樹脂層２１１を貫通するように設けられている。ビア２４４は、パッド２１２と接続されている。配線２４５は、ビア２４４と一体的に構成されており、樹脂層２１１の面２１１Ｂ（面２１１Ａとは反対側の樹脂層２１１の面）に設けられている。配線２４５は、ビア２４４を介して、パッド２１２と電気的に接続されている。
【０００９】
配線パターン２１６は、ビア２４６と、配線２４７とを有する。ビア２４６は、パッド２１３と対向する部分の樹脂層２１１を貫通するように設けられている。ビア２４６は、パッド２１３と接続されている。配線２４７は、ビア２４６と一体的に構成されており、樹脂層２１１の面２１１Ｂに設けられている。配線２４７は、ビア２４６を介して、パッド２１３と電気的に接続されている。
【００１０】
樹脂層２１７は、配線２４５，２４７の一部を覆うように、樹脂層２１１の面２１１Ｂに設けられている。配線パターン２１８は、ビア２５１と、配線２５２とを有する。ビア２５１は、配線２４５と対向する部分の樹脂層２１７を貫通するように設けられている。ビア２５１は、配線２４５と電気的に接続されている。配線２５２は、ビア２５１と一体的に構成されており、樹脂層２１７の面２１７Ｂ（樹脂層２２１が設けられる側の樹脂層２１７の面）に設けられている。上記構成とされた配線パターン２１８は、配線パターン２１５を介して、パッド２１２と電気的に接続されている。
【００１１】
配線パターン２１９は、ビア２５３と、配線２５４とを有する。ビア２５３は、配線２４７と対向する部分の樹脂層２１７を貫通するように設けられている。ビア２５３は、配線２４７と接続されている。配線２５４は、ビア２５３と一体的に構成されており、樹脂層２１７の面２１７Ｂに設けられている。上記構成とされた配線パターン２１９は、配線パターン２１６を介して、パッド２１３と電気的に接続されている。
【００１２】
樹脂層２２１は、配線２５２，２５４の一部を覆うように、樹脂層２１７の面２１７Ｂに設けられている。ビア２２２は、配線２５２と対向する部分の樹脂層２２１を貫通するように設けられている。ビア２２２は、配線２５２と接続されている。外部接続用パッド２２３は、ビア２２２と一体的に構成されており、樹脂層２２１の面２２１Ｂ（ソルダーレジスト２３２が設けられる側の樹脂層２２１の面）に設けられている。
【００１３】
ビア２２６は、配線２５４と対向する部分の樹脂層２２１を貫通するように設けられている。ビア２２６は、配線２５４と接続されている。外部接続用パッド２２７は、ビア２２６と一体的に構成されており、樹脂層２２１の面２２１Ｂに設けられている。
【００１４】
ソルダーレジスト２３１は、樹脂層２１１の面２１１Ａを覆うように設けられている。ソルダーレジスト２３１は、パッド２１２を露出する開口部２３１Ａと、パッド２１３を露出する開口部２３１Ｂとを有する。
【００１５】
ソルダーレジスト２３２は、樹脂層２２１の面２２１Ｂを覆うように設けられている。ソルダーレジスト２３２は、外部接続用パッド２２３を露出する開口部２３２Ａと、外部接続用パッド２２７を露出する開口部２３２Ｂとを有する。
【００１６】
電子部品２０２は、バンプ２０６を介して、パッド２１２と接続されている。これにより、電子部品２０２は、パッド２１２と電気的に接続されている。電子部品２０２と配線基板２０１との間には、アンダーフィル樹脂２０７が充填されている。
【００１７】
電子部品２０３は、はんだ２０８により、パッド２１３上に固定されている。電子部品２０３は、パッド２１３と電気的に接続されている。外部接続端子２０４は、開口部２３２Ａ，２３２Ｂから露出された部分の外部接続用パッド２２３，２２７に配設されている。
【００１８】
外部接続端子２０４は、外部接続用パッド２２３，２２７に設けられている。外部接続端子２０４は、マザーボード等の実装基板（図示せず）に設けられたパッドと接続される端子である。
【００１９】
このように、コアレス基板である配線基板２０１に電子部品２０２，２０３を実装することで、半導体装置２００の厚さ方向のサイズを小型化することができる（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２０００−３２３６１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
しかしながら、従来の配線基板２０１は、配線基板２０１の厚さ方向のサイズを小型化することは可能であるが、積層された樹脂層２１１，２１７，２２１を支持する支持板となるコア基材が無いため、反りが発生しやすいという問題があった。
【００２１】
具体的には、配線基板２０１の反りが大きい場合、電子部品２０２，２０３を配線基板２０１のパッド２１２，２１３に精度良く接続（実装）できない（電子部品２０２，２０３と配線基板２０１との間で接続不良が発生する）という問題や、配線基板２０１の外部接続端子２０４をマザーボード等の実装基板（図示せず）のパッドに精度良く接続（実装）できない（配線基板２０１と実装基板との間で接続不良が発生する）という問題が発生する。
【００２２】
そこで本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、配線基板のサイズを大型化することなく、配線基板の反りを低減することのできる配線基板及びその製造方法、及び半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明の一観点によれば、積層されると共に、最下層又は最上層に配置された第１の樹脂層を有する複数の樹脂層と、前記複数の樹脂層に形成された配線パターンと、前記第１の樹脂層に設けられ、外部接続端子が配設される外部接続用パッドと、を備えた配線基板であって、前記外部接続用パッドが設けられた側の前記第１の樹脂層の面に、前記外部接続用パッドを露出する開口部を有するようにモールド樹脂を設けると共に、前記モールド樹脂の厚さを、前記外部接続用パッドに配設された前記外部接続端子よりも突出しない厚さにしたことを特徴とする配線基板が提供される。
【００２４】
本発明によれば、外部接続用パッドが設けられた側の第１の樹脂層の面に外部接続用パッドを露出するようにモールド樹脂を設けることにより、モールド樹脂が積層された複数の樹脂層を支持する支持板として機能するため、配線基板の反りを低減することができる。
【００２５】
また、モールド樹脂の厚さを外部接続用パッドに配設された外部接続端子よりも突出しない厚さにすることにより、配線基板のサイズを大型化させることなく、配線基板の反りを低減することができる。
【００２６】
本発明の他の観点によれば、請求項１乃至６のうち、いずれか一項記載の配線基板と、前記配線パターンと電気的に接続される電子部品と、を備えたことを特徴とする半導体装置が提供される。
【００２７】
本発明によれば、半導体装置のサイズを大型化することなく、配線基板の反りを低減することができる。
【００２８】
本発明のその他の観点によれば、積層されると共に、最下層又は最上層に配置された第１の樹脂層を有する複数の樹脂層と、前記複数の樹脂層に形成された配線パターンと、前記第１の樹脂層に設けられ、外部接続端子が配設される外部接続用パッドと、を備えた配線基板の製造方法であって、前記最下層又は前記最上層に配置された前記第１の樹脂層の前記外部接続用パッドが設けられた側の面に、前記外部接続用パッドを露出するようにモールド樹脂を形成するモールド樹脂形成工程を、含み、前記モールド樹脂形成工程では、前記モールド樹脂が前記外部接続用パッドに配設される前記外部接続端子よりも突出しない厚さに前記モールド樹脂を形成することを特徴とする配線基板の製造方法が提供される。
【００２９】
本発明によれば、積層された複数の樹脂層のうち、最下層又は最上層に配置された樹脂層の外部接続用パッドが設けられた側の面に、外部接続用パッドを露出するようにモールド樹脂を形成するモールド樹脂形成工程を設け、このモールド樹脂形成工程において、モールド樹脂が外部接続用パッドに配設された外部接続端子よりも突出しないようにモールド樹脂を形成することにより、配線基板のサイズを大型化することなく、配線基板の反りを低減することができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、配線基板のサイズを大型化することなく、配線基板の反りを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
次に、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。
【００３２】
（第１の実施の形態）
図２は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の断面図である。
【００３３】
図２を参照するに、第１の実施の形態の半導体装置１０は、コアレス基板である配線基板１１と、電子部品１２，１３と、外部接続端子１４とを有する。
【００３４】
配線基板１１は、積層された樹脂層２１，２７，３１と、電子部品搭載用パッドであるパッド２２，２３と、配線パターン２５，２６，２８，２９と、ビア３２，３６と、外部接続用パッド３３，３７と、ソルダーレジスト４１と、モールド樹脂４２とを有する。
【００３５】
樹脂層２１（第２の樹脂層）は、電子部品１２，１３が接続されるパッド２２，２３を形成するための層である。樹脂層２１としては、例えば、エポキシ樹脂を用いることができる。
【００３６】
パッド２２は、パッド２２の側面が樹脂層２１に覆われるように、樹脂層２１の面２１Ａ（電子部品１２，１３が搭載される側の樹脂層２１の面）側に設けられている。パッド２２は、Ａｕ層５１と、Ｎｉ層５２とが積層された構成とされている。パッド２２は、Ａｕ層５１の面５１Ａ（電子部品１２が搭載される側のＡｕ層５１の面）が樹脂層２１の面２１Ａと略面一となるように配置されている。パッド２２を構成するＡｕ層５１上には、バンプ１６が設けられている。パッド２２は、バンプ１６を介して、バンプ１６と接続された電子部品１２と電気的に接続されている。Ａｕ層５１の厚さは、例えば、０．５μｍとすることができる。Ｎｉ層５２の厚さは、例えば、５μｍとすることができる。
【００３７】
パッド２３は、パッド２３の側面が樹脂層２１に覆われるように、樹脂層２１の面２１Ａ側に設けられている。パッド２３は、Ａｕ層５１と、Ｎｉ層５２とが積層された構成とされている。パッド２３は、Ａｕ層５１の面５１Ａが樹脂層２１の面２１Ａと略面一となるように配置されている。パッド２３を構成するＡｕ層５１上には、電子部品１３が実装されている。
【００３８】
配線パターン２５は、ビア５４と、配線５５とを有する。ビア５４は、パッド２２と対向する部分の樹脂層２１を貫通するように設けられている。ビア５４は、パッド２２を構成するＮｉ層５２と接続されている。配線５５は、ビア５４と一体的に構成されており、樹脂層２１の面２１Ｂ（樹脂層２７が配設される側の樹脂層２１の面）に設けられている。配線５５は、ビア５４を介して、パッド２２と電気的に接続されている。配線パターン２５の材料としては、例えば、Ｃｕを用いることができる。
【００３９】
配線パターン２６は、ビア５６と、配線５７とを有する。ビア５６は、パッド２３と対向する部分の樹脂層２１を貫通するように設けられている。ビア５６は、パッド２３と接続されている。配線５７は、ビア５６と一体的に構成されており、樹脂層２１の面２１Ｂに設けられている。配線５７は、ビア５６を介して、パッド２３と電気的に接続されている。配線パターン２６の材料としては、例えば、Ｃｕを用いることができる。
【００４０】
樹脂層２７は、配線５５，５７の一部を覆うように、樹脂層２１の面２１Ｂに設けられている。樹脂層２７としては、例えば、エポキシ樹脂を用いることができる。
【００４１】
配線パターン２８は、ビア６１と、配線６２とを有する。ビア６１は、配線５５と対向する部分の樹脂層２７を貫通するように設けられている。ビア６１は、配線５５と接続されている。配線６２は、ビア６１と一体的に構成されており、樹脂層２７の面２７Ｂ（樹脂層３１が配設される側の樹脂層２７の面）に設けられている。上記構成とされた配線パターン２８は、配線パターン２５を介して、パッド２２と電気的に接続されている。配線パターン２８の材料としては、例えば、Ｃｕを用いることができる。
【００４２】
配線パターン２９は、ビア６３と、配線６４とを有する。ビア６３は、配線５７と対向する部分の樹脂層２７を貫通するように設けられている。ビア６３は、配線５７と接続されている。配線６４は、ビア６３と一体的に構成されており、樹脂層２７の面２７Ｂに設けられている。上記構成とされた配線パターン２９は、配線パターン２６を介して、パッド２３と電気的に接続されている。配線パターン２９の材料としては、例えば、Ｃｕを用いることができる。
【００４３】
樹脂層３１（最下層又は最上層に配置された第１の樹脂層）は、配線６２，６４の一部を覆うように、樹脂層２７の面２７Ｂに設けられている。樹脂層３１としては、例えば、エポキシ樹脂を用いることができる。
【００４４】
ビア３２は、配線６２と対向する部分の樹脂層３１を貫通するように設けられている。ビア３２は、配線６２と接続されている。外部接続用パッド３３は、ビア３２と一体的に構成されており、樹脂層３１の面３１Ｂ（樹脂層２７が配設された側とは反対側の樹脂層３１の面）に設けられている。外部接続用パッド３３の厚さＭ１は、例えば、２０μｍとすることができる。ビア３２及び外部接続用パッド３３の材料としては、例えば、Ｃｕを用いることができる。
【００４５】
ビア３６は、配線６４と対向する部分の樹脂層３１を貫通するように設けられている。ビア３６は、配線６４と接続されている。外部接続用パッド３７は、ビア３６と一体的に構成されており、樹脂層３１の面３１Ｂに設けられている。外部接続用パッド３７の厚さＭ２は、例えば、２０μｍとすることができる。ビア３６及び外部接続用パッド３７の材料としては、例えば、Ｃｕを用いることができる。
【００４６】
ソルダーレジスト４１は、樹脂層２１の面２１Ａを覆うように設けられている。ソルダーレジスト４１は、パッド２２を露出する開口部４１Ａと、パッド２３を露出する開口部４１Ｂを有する。
【００４７】
モールド樹脂４２は、外部接続用パッド３３，３７が設けられた側の樹脂層３１の面３１Ｂに、層状に設けられている。モールド樹脂４２は、外部接続端子１４が配設される部分の外部接続用パッド３３の面３３Ａを露出する開口部６６と、外部接続端子１４が配設される部分の外部接続用パッド３７の面３７Ａを露出する開口部６７とを有する。モールド樹脂４２の厚さＭ３（樹脂層３１の面３１Ｂに設けられた部分のモールド樹脂４２の厚さ）は、外部接続用パッド３３，３７に配設された外部接続端子１４よりも突出しないような厚さとされている。具体的には、外部接続用パッド３３，３７の厚さＭ１，Ｍ２が２０μｍ、外部接続端子１４の高さＨ１が０．５ｍｍ〜０．６ｍｍの場合、モールド樹脂４２の厚さＭ３は、例えば、０．２ｍｍ〜０．３ｍｍとすることができる。モールド樹脂４２としては、例えば、剛性が２０ＧＰａ以上のものを用いるとよい。また、具体的なモールド樹脂４２としては、例えば、熱硬化性を有したエポキシ樹脂を用いることができる。
【００４８】
このように、外部接続用パッド３３，３７が設けられた側の樹脂層３１の面３１Ｂに外部接続用パッド３３，３７を露出するモールド樹脂４２を設けることにより、モールド樹脂４２が積層された複数の樹脂層２１，２７，３１を支持する支持板として機能するため、配線基板１１の反りを低減することができる。
【００４９】
また、モールド樹脂４２の厚さＭ３を外部接続用パッド３３，３７に配設された外部接続端子１４よりも突出しないような厚さにすることにより、配線基板１１のサイズ（厚さ）を大型化させることなく、配線基板１１の反りを低減することができる。
【００５０】
電子部品１２は、バンプ１６により、パッド２２に対してフリップチップ接続されている。これにより、電子部品１２は、パッド２２と電気的に接続されている。電子部品１２と配線基板１１との間には、アンダーフィル樹脂１７が充填されている。電子部品１２としては、例えば、半導体チップを用いることができる。
【００５１】
電子部品１３は、はんだ１８により、パッド２３上に固定されている。電子部品１３は、パッド２３と電気的に接続されている。電子部品１３としては、例えば、チップキャパシタやチップ抵抗等を用いることができる。
【００５２】
外部接続端子１４は、モールド樹脂４２に形成された開口部６６，６７から露出された部分の外部接続用パッド３３，３７に設けられている。外部接続端子１４は、マザーボード等の実装基板（図示せず）に接続される端子である。外部接続端子１４の高さ（外部接続用パッド３３，３７の面３３Ａ，３７Ａを基準としたときの高さ）は、例えば、５００μｍ〜６００μｍとすることができる。外部接続端子１４としては、例えば、はんだボールを用いることができる。
【００５３】
本実施の形態の配線基板によれば、外部接続用パッド３３，３７が設けられた側の樹脂層３１の面３１Ａに外部接続用パッド３３，３７を露出するモールド樹脂４２を設けることにより、モールド樹脂が積層された複数の樹脂層２１，２７，３１を支持する支持板として機能するため、配線基板１１の反りを低減することができる。
【００５４】
また、モールド樹脂４２の厚さＭ３を外部接続用パッド３３，３７に配設された外部接続端子１４よりも突出しないような厚さにすることにより、配線基板１１のサイズ（厚さ）を大型化させることなく、配線基板１１の反りを低減することができる。
【００５５】
さらに、上記説明したモールド樹脂４２を備えた配線基板１１を半導体装置１０に設けることにより、半導体装置１０のサイズを大型化させることなく、配線基板１１の反りを低減することができる。
【００５６】
図３〜図１３は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図である。図３〜図１３において、第１の実施の形態の半導体装置１０と同一構成部分には同一符号を付す。
【００５７】
始めに、図３に示す工程では、支持板となる金属板７１上に、Ａｕ層５１と、Ｎｉ層５２とを順次積層させて、パッド２２，２３を形成する。具体的には、例えば、金属板７１上に、パッド２２，２３の形成領域に対応する部分に開口部を有したレジスト膜（図示せず）を形成し、次いで、金属板７１を給電層とする電解めっき法により、金属板７１上にＡｕ層５１と、Ｎｉ層５２とを順次析出成長させることによりパッド２２，２３を形成する。金属板７１としては、例えば、Ｃｕ板やＣｕ箔等を用いることができる。Ａｕ層５１の厚さは、例えば、０．５μｍとすることができる。Ｎｉ層５２の厚さは、例えば、５μｍとすることができる。
【００５８】
次いで、図４に示す工程では、金属板７１上にパッド２２，２３の一部を覆う樹脂層２１（最下層又は最上層に形成された樹脂層）を形成し、その後、ビア５４及び配線５５を有した配線パターン２５と、ビア５６及び配線５７を有した配線パターン２６とを同時に形成する。具体的には、例えば、パッド２２，２３を覆うようにシート状の樹脂層（例えば、エポキシ樹脂からなる樹脂層）を形成し、次いで、レーザによりパッド２２，２３の一部を露出する開口部を形成し、その後、セミアディティブ法により配線パターン２５，２６を形成する。配線パターン２５，２６の材料としては、例えば、Ｃｕを用いることができる。
【００５９】
次いで、図５に示す工程では、図４に示す工程の処理と同様な手法を用いて、樹脂層２７、ビア６１及び配線６２を有した配線パターン２８、ビア６３及び配線６４を有した配線パターン２９、樹脂層３１、ビア３２，３６、及び外部接続用パッド３３，３７を形成する。樹脂層２７，３１としては、例えば、エポキシ樹脂を用いることができる。配線パターン２８，２９、ビア３２，３６、及び外部接続用パッド３３，３７の材料としては、例えば、Ｃｕを用いることができる。外部接続用パッド３３の厚さＭ１は、例えば、２０μｍとすることができる。外部接続用パッド３７の厚さＭ２は、例えば、２０μｍとすることができる。
【００６０】
なお、図５に示す工程において、外部接続用パッド３３，３７上に、Ｎｉ層と、Ａｕ層とを順次積層させたＮｉ／Ａｕめっき層を設けてもよい。また、樹脂層３１の面３１Ａに外部接続用パッド３３，３７を露出する開口部を有するソルダーレジストを設けてもよい。
【００６１】
次いで、図６に示す工程では、図５に示す金属板７１を除去する。具体的には、例えば、金属板７１のエッチング液により外部接続用パッド３３，３７がエッチングされることを防止するための保護フィルム（図示せず）を図５に示す構造体の上面側に貼り付け、その後、保護フィルム（図示せず）が設けられた構造体をエッチング液に浸漬させることで、金属板７１を除去する。その後、保護フィルム（図示せず）を図５に示す構造体から除去する。
【００６２】
次いで、図７に示す工程では、図６に示す構造体の下面（パッド２２，２３及び樹脂層２１が設けられた側の面）と接触する下部金型７３と、外部接続用パッド３３と接触する突出部７５及び外部接続用パッド３７と接触する突出部７６を備えた上部金型７４とを準備し、その後、下部金型７３と上部金型７４との間に、図６に示す構造体を収容する。このとき、突出部７５が外部接続用パッド３３と接触すると共に、突出部７６が外部接続用パッド３７と接触することにより、上部金型７４と図６に示す構造体との間に空間Ａが形成される。この空間Ａは、後述する図８に示す工程において、モールド樹脂４２により充填される空間である。
【００６３】
突出部７５の突出量Ｂは、外部接続用パッド３３の厚さＭ１の値と突出部７５の突出量Ｂの値とを加算した値が外部接続端子１４の高さＨ１の値よりも小さくなるように設定されている。外部接続用パッド３３の厚さＭ１が２０μｍ、外部接続端子１４の高さＨ１が５００μｍ〜６００μｍの場合、突出部７５の突出量Ｂは、例えば、２００μｍとすることができる。
【００６４】
また、突出部７６の突出量Ｃは、外部接続用パッド３７の厚さＭ２の値と突出部７６の突出量Ｃの値とを加算した値が外部接続端子１４の高さＨ１の値よりも小さくなるように設定されている。外部接続用パッド３７の厚さＭ２が２０μｍ、外部接続端子１４の高さＨ１が５００μｍ〜６００μｍの場合、突出部７６の突出量Ｃは、例えば、２００μｍとすることができる。
【００６５】
上記説明したように、突出部７５の突出量Ｂ及び突出部７６の突出量Ｃを設定することにより、樹脂層３１に設けられたモールド樹脂４２が外部接続用パッド３３，３７に配設された外部接続端子１４よりも突出することがなくなるので、外部接続端子１４を介して、半導体装置１０とマザーボード等の実装基板（図示せず）とを電気的に接続することができる。
【００６６】
次いで、図８に示す工程では、上部金型７４と図６に示す構造体との間に形成された空間Ａにモールド樹脂４２を圧入して、空間Ａをモールド樹脂４２で充填する。空間Ａへのモールド樹脂４２の圧入は、例えば、トランスファーモールド法を用いることができる。このように、トランスファーモールド法を用いることにより、精度良くモールド樹脂４２を形成することができる。モールド樹脂４２は、後述する図９に示す工程において、加熱処理されることで硬化する。モールド樹脂４２としては、例えば、熱硬化性のエポキシ樹脂を用いることができる。
【００６７】
次いで、図９に示す工程では、モールド樹脂４２が形成された図６に示す構造体を下部金型７３及び上部金型７４から取り出し、その後、モールド樹脂４２を加熱して硬化させる。モールド樹脂４２として熱硬化性のエポキシ樹脂を用いた場合、モールド樹脂４２の加熱温度としては、例えば、１８０℃を用いることができる。なお、図８及び図９に示す工程がモールド樹脂形成工程に相当する工程である。
【００６８】
このように、積層された複数の樹脂層２１，２７，３１のうち、最上層に配置された樹脂層３１（図９に示す状態において、積層された複数の樹脂層２１，２７，３１のうちの最上層の樹脂層）の外部接続用パッド３３，３７が設けられた側の面３１Ｂに、外部接続用パッド３３，３７を露出するようにモールド樹脂４２を形成するモールド樹脂形成工程を設け、モールド樹脂形成工程において、モールド樹脂４２が外部接続用パッド３３，３７に配設される外部接続端子１４よりも突出しないようにモールド樹脂４２を形成することにより、配線基板１１のサイズを大型化させることなく、配線基板１１の反りを低減することができる。
【００６９】
次いで、図１０に示す工程では、周知の手法により、パッド２２を露出する開口部４１Ａと、パッド２３を露出する開口部４１Ｂとを有したソルダーレジスト４１を形成する。これにより、配線基板１１に相当する構造体が複数製造される。図３〜図１０に示す工程が配線基板１１の製造工程に相当する工程である。なお、ソルダーレジスト４１は、図６に示す工程で金属板７１を除去した直後に形成してもよい。図１０において、Ｄは複数の配線基板１１を個片化する際に切断する切断位置（以下、「切断位置Ｄ」とする）、Ｅは配線基板１１が形成される配線基板形成領域をそれぞれ示している。
【００７０】
次いで、図１１に示す工程では、モールド樹脂４２から露出された部分の外部接続用パッド３３，３７に外部接続端子１４を形成する。外部接続端子１４としては、例えば、はんだボールを用いることができる。
【００７１】
次いで、図１２に示す工程では、図１１に示す構造体を切断位置Ｄに沿って切断する。これにより、外部接続端子１４を備えた複数の配線基板１１が個片化される。
【００７２】
次いで、図１３に示す工程では、電子部品１２を複数の配線基板１１のパッド２２に実装すると共に、電子部品１３を複数の配線基板１１のパッド２３に実装する。具体的には、電子部品１２は、例えば、バンプ１６を介して、電子部品１２をパッド２２上に固定し、その後、電子部品１２と配線基板１１との間にアンダーフィル樹脂１７を充填することで実装を行う。電子部品１３の場合は、例えば、パッド２３上に溶融したはんだ１８を配置し、その後、溶融したはんだ１８が形成されたパッド２３上に電子部品１３を載置することで実装を行う。これにより、半導体装置１０が製造される。
【００７３】
本実施の形態の配線基板の製造方法によれば、積層された複数の樹脂層２１，２７，３１のうち、最上層に配置された樹脂層３１（図９に示す状態において、積層された複数の樹脂層２１，２７，３１のうちの最上層の樹脂層）の外部接続用パッド３３，３７が設けられた側の面３１Ｂに、外部接続用パッド３３，３７を露出するようにモールド樹脂４２を層状に形成するモールド樹脂形成工程を設け、モールド樹脂形成工程において、モールド樹脂４２が外部接続用パッド３３，３７に配設される外部接続端子１４よりも突出しないようにモールド樹脂４２を形成することにより、配線基板１１のサイズ（厚さ）を大型化させることなく、配線基板１１の反りを低減することができる。
【００７４】
（第２の実施の形態）
図１４は、本発明の第２の実施の形態に係る半導体装置の断面図である。図１４において、第１の実施の形態の半導体装置１０と同一構成部分には同一符号を付す。
【００７５】
図１４を参照するに、第２の実施の形態の半導体装置８０は、第１の実施の形態の半導体装置１０に設けられた外部接続端子１４の代わりに外部接続端子８１を設けた以外は半導体装置１０と同様に構成される。
【００７６】
外部接続端子８１は、ピン形状とされた端子であり、支持体８４（ネイルヘッド）と、ピン本体８５とを有する。支持体８４は、平板形状とされており、はんだ８２により、モールド樹脂４２から露出された部分の外部接続用パッド３３，３７に固定されている。支持体８４は、ピン本体８５を支持するための部材である。ピン本体８５は、支持体８４に設けられている。ピン本体８５は、支持体８４と一体的に構成されている。
【００７７】
上記構成とされた外部接続端子８１の高さＨ２は、例えば、２ｍｍとすることができる。モールド樹脂４２の厚さＭ３は、外部接続用パッド３３，３７に配設された外部接続端子８１よりも突出しないような厚さとされている。具体的には、外部接続端子８１の高さＨ２が２ｍｍの場合、モールド樹脂４２の厚さＭ３は、例えば、２００μｍ〜５００μｍとすることができる。外部接続端子８１の材料としては、例えば、Ｃｕ合金を用いることができる。
【００７８】
上記構成とされた半導体装置８０は、第１の実施の形態で説明した図１０に示す構造体を切断位置Ｄに沿って切断した後、外部接続用パッド３３，３７に外部接続端子８１を固定し、その後、パッド２２，２３に電子部品１２，１３を実装することで製造できる。
【００７９】
本実施の形態の配線基板によれば、外部接続用パッド３３，３７が設けられた側の樹脂層３１の面３１Ｂに外部接続用パッド３３，３７を露出するモールド樹脂４２を設けることにより、モールド樹脂４２が積層された複数の樹脂層２１，２７，３１を支持する支持板として機能するため、配線基板１１の反りを低減することができる。
【００８０】
また、モールド樹脂４２の厚さＭ３を外部接続用パッド３３，３７に配設された外部接続端子８１よりも突出しないような厚さにすることにより、配線基板１１の厚さ方向のサイズを大型化させることなく、配線基板１１の反りを低減することができる。
【００８１】
さらに、第１の実施の形態で説明した配線基板１１を半導体装置８０に設けることにより、半導体装置８０のサイズを大型化させることなく、配線基板１１の反りを低減することができる。
【００８２】
（第３の実施の形態）
図１５は、本発明の第３の実施の形態に係る半導体装置の断面図である。図１５において、第１の実施の形態の半導体装置１０と同一構成部分には同一符号を付す。
【００８３】
図１５を参照するに、第３の実施の形態の半導体装置９０は、コアレス基板である配線基板９１と、電子部品９２と、外部接続端子１４とを有する。
【００８４】
配線基板９１は、第１の実施の形態で説明した配線基板１１に設けられたソルダーレジスト４１及びモールド樹脂４２の代わりに、ソルダーレジスト９４及びモールド樹脂９５を設けた以外は配線基板１１と同様に構成される。
【００８５】
ソルダーレジスト９４は、外部接続用パッド３３，３７の一部を覆うように、樹脂層３１の面３１Ｂに設けられている。ソルダーレジスト９４は、外部接続用パッド３３，３７の一部を露出する開口部９４Ａを有する。
【００８６】
モールド樹脂９５は、パッド２２，２３が形成された側の樹脂層２１の面２１Ａを覆うように層状に設けられている。モールド樹脂９５は、パッド２２を露出する開口部９５Ａと、パッド２３を露出する開口部９５Ｂとを有する。モールド樹脂９５の厚さは、パッド２２，２３に配設された外部接続端子１４よりも突出しないような厚さとされている。モールド樹脂９５としては、例えば、剛性が２０ＧＰａ以上のものを用いるとよい。また、具体的なモールド樹脂９５としては、例えば、熱硬化性を有したエポキシ樹脂を用いることができる。
【００８７】
このように、パッド２２，２３が形成された側の樹脂層２１の面２１Ａにパッド２２，２３を露出するモールド樹脂９５を設けることにより、モールド樹脂９５が積層された複数の樹脂層２１，２７，３１を支持する支持板として機能するため、配線基板９１の反りを低減することができる。
【００８８】
また、モールド樹脂９５の厚さをパッド２２，２３に配設された外部接続端子１４よりも突出しない厚さにすることにより、配線基板９１のサイズ（厚さ）を大型化させることなく、配線基板９１の反りを低減することができる。
【００８９】
電子部品９２は、バンプ１６により、外部接続用パッド３３，３７に対してフリップチップ接続されている。これにより、電子部品９２は、外部接続用パッド３３，３７と電気的に接続されている。電子部品９２と配線基板９１との間には、アンダーフィル樹脂１７が充填されている。電子部品９２としては、例えば、半導体チップを用いることができる。外部接続端子１４は、開口部９５Ａ，９５Ｂに露出された部分のパッド２２，２３に配設されている。
【００９０】
本実施の形態の半導体装置によれば、パッド２２，２３が形成された側の樹脂層２１の面２１Ａにパッド２２，２３を露出するモールド樹脂９５を設けることにより、モールド樹脂９５が積層された複数の樹脂層２１，２７，３１を支持する支持板として機能するため、配線基板９１の反りを低減することができる。つまり、第１の実施の形態で説明した金属板７１と接触していた樹脂層２１の面２１Ａにモールド樹脂９５を設けてもよい。
【００９１】
（第４の実施の形態）
図１６は、本発明の第４の実施の形態に係る半導体装置の断面図である。図１６において、第２の実施の形態の半導体装置８０と同一構成部分には同一符号を付す。
【００９２】
図１６を参照するに、第４の実施の形態の半導体装置１００は、コアレス基板である配線基板１０１と、電子部品９２と、外部接続端子８１とを有する。
【００９３】
配線基板１０１は、第１の実施の形態で説明した配線基板１１に電子部品１０５を内蔵した以外は配線基板１１と同様に構成される。電子部品１０５は、モールド樹脂４２により封止されている。電子部品１０５は、一対の端子を有し、電子部品１０５の一方の端子は、はんだ１０６により外部接続用パッド３３と電気的に接続されており、他方の端子は、はんだ１０６により外部接続用パッド３７と電気的に接続されている。電子部品１０５としては、例えば、チップキャパシタやチップ抵抗等を用いることができる。
【００９４】
本実施の形態の半導体装置によれば、外部接続用パッド３３，３７と電気的に接続された電子部品１０５をモールド樹脂４２により封止することにより、電子部品１０５の一対の端子間がモールド樹脂４２で絶縁され、電子部品１０５の一対の端子間の絶縁性を向上させることができる。また、電子部品１０５のサイズが微小な場合、配線基板１１から電子部品１０５が脱落することを防止できる。
【００９５】
なお、本実施の形態では、ピン形状とされた外部接続端子８１を設けた場合を例に挙げて説明したが、外部接続端子８１の代わりに、第１の実施の形態で説明したボール形状の外部接続端子１４を設けてもよい。
【００９６】
以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００９７】
本発明は、コアレス構造（コア基材が無い構造）とされた配線基板及びその製造方法、及び半導体装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】従来の半導体装置の断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図（その１）である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図（その２）である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図（その３）である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図（その４）である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図（その５）である。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図（その６）である。
【図９】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図（その７）である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図（その８）である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図（その９）である。
【図１２】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図（その１０）である。
【図１３】本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す図（その１１）である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態に係る半導体装置の断面図である。
【図１５】本発明の第３の実施の形態に係る半導体装置の断面図である。
【図１６】本発明の第４の実施の形態に係る半導体装置の断面図である。
【符号の説明】
【００９９】
１０，８０，９０，１００  半導体装置
１１，９１，１０１  配線基板
１２，１３，９２，１０５  電子部品
１４，８１  外部接続端子
１６  バンプ
１７  アンダーフィル樹脂
１８，８２，１０６  はんだ
２１，２７，３１  樹脂層
２１Ａ，２１Ｂ，２７Ｂ，３１Ｂ，３３Ａ，３７Ａ，５１Ａ  面
２２，２３  パッド
２５，２６，２８，２９  配線パターン
３２，３６，５４，５６，６１，６３  ビア
３３，３７  外部接続用パッド
４１  ソルダーレジスト
４１Ａ，４１Ｂ，６６，６７，９４Ａ，９５Ａ，９５Ｂ  開口部
４２  モールド樹脂
５１  Ａｕ層
５２  Ｎｉ層
５５，５７，６２，６４  配線
７１  金属板
７３  下部金型
７４  上部金型
７５，７６  突出部
８４  支持体
８５  ピン本体
Ａ  空間
Ｂ，Ｃ  突出量
Ｄ  切断位置
Ｈ１，Ｈ２  高さ
Ｍ１〜Ｍ３  厚さ
【図１】
0005114130.tif 000002
【図２】
0005114130.tif 000003
【図３】
0005114130.tif 000004
【図４】
0005114130.tif 000005
【図５】
0005114130.tif 000006
【図６】
0005114130.tif 000007
【図７】
0005114130.tif 000008
【図８】
0005114130.tif 000009
【図９】
0005114130.tif 000010
【図１０】
0005114130.tif 000011
【図１１】
0005114130.tif 000012
【図１２】
0005114130.tif 000013
【図１３】
0005114130.tif 000014
【図１４】
0005114130.tif 000015
【図１５】
0005114130.tif 000016
【図１６】
0005114130.tif 000017