(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から像面側に向かって光軸に沿って物体側レンズ群及び像面側レンズ群が配されてなり、
各レンズ群の間には、光軸側方から入射した光を物体側に反射させると共に物体からの光を像面側に透過させる同軸落射照明用光学素子が配されて成る物体側テレセントリック光学系において、
前記物体側レンズ群が、物体側から順に、凸レンズでなる第１レンズと、凸レンズでなる第２レンズ及び凹レンズでなる第３レンズの接合レンズから構成され、
以下の（１）〜（３）式を満たすことを特徴とする物体側テレセントリック光学系。
（１） −４.６＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（２） −３.０＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５０
（３） ０.２＜Ｒ５／ｆ５＜
０.５０
Ｒ２：第２面（第１レンズの背面）の曲率半径
ｆ２：第２面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
Ｒ４：第４面（第２レンズの背面）の曲率半径
ｆ４：第４面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
Ｒ５：第５面（第３レンズの背面）の曲率半径
ｆ５：第５面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
【請求項２】
前記（１）〜（３）式の上限値及び下限値が、
（1-2） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（2-2） −２.１ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５０
（3-2） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.４６
である請求項１記載の物体側テレセントリック光学系。
【請求項３】
前記（１）〜（３）式の上限値及び下限値が、
（1-3） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（2-3） −１.０ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５１
（3-3） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.４０
である請求項１記載の物体側テレセントリック光学系。
【請求項４】
前記（１）〜（３）式の上限値及び下限値が、
（1-4） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−３.０
（2-4） −１.０ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５２
（3-4） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.３７
である請求項１記載の物体側テレセントリック光学系。
【請求項５】
前記同軸落射照明光学素子に対して光軸側方から照明光を入射させる光源が配され、前記物体側レンズ群の各レンズの表裏両面に反射防止被膜が施されてなり、前記光源から照射される光の波長域中、前記反射防止被膜の反射防止特性波長域から外れた波長の光をカットする波長カットフィルタが同軸落射照明光学素子と光源の間に配された請求項１乃至４いずれか記載の物体側テレセントリック光学系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、照明光をレンズ光軸と同軸的に被写体に照射する同軸落射照明系を備えた物体側テレセントリック光学系に関する。
【背景技術】
【０００２】
物体側テレセントリック光学系は、例えば光や像を変換する画像処理分野において、高精度な位置決めおよび基板検査に使用されている。
そのような同軸落射照明付き物体側テレセントリック光学系を図１を参照して説明すると、テレセントリック光学系１は、物体ＯＢ側から像面ＩＭ側に向かう光軸Ｘに沿って物体側レンズ群ＯＬ及び像面側レンズＩＬ群が配されると共に、各レンズ群ＯＬ及びＩＬの間には、物体側レンズ群ＯＬの像面側焦点位置に絞り２が配置されて、物体側テレセントリック光学系が構成されている。
【０００３】
また、絞り２と物体側レンズ群ＯＬの間に、光軸Ｘに対して直交する方向に配された光源３から入射された光を物体ＯＢ側に反射させると共に物体からの光を像面ＩＭ側に透過させる同軸落射照明用光学素子としてのビームスプリッタ４やハーフミラーが配されている。
なお、この物体側テレセントリック光学系１の像を撮像する場合はその像面ＩＭ上に撮像素子５が配される。
【０００４】
このテレセントリック光学系は、物体側で主光線が光軸と平行になるため、ピント誤差があっても像の寸法が変化しないという利点があり、また主光線が光軸と平行であることから寸法精度が要求される測定や微細なパターンの転写、電子部品の実装位置決め等に用いることができる。
さらに、物体側がテレセントリックであるため入射瞳位置が無限大となり、照明光は光軸に平行なテレセントリック照明を容易に得ることができる。
したがって、照明系の簡素化、小型化が図れ、また照度の均一性も得られるという大きな利点があり、物体側テレセントリック光学系は、電子部品・液晶部品の実装装置の位置決めや画像処理による寸法計測・検査装置に数多く用いられている。
【０００５】
しかしながら、光源３から照射されてビームスプリッタ４で物体側に反射された照明光が物体側レンズ群ＯＬを構成する各レンズを透過する際に、各レンズの背面でその光の一部が反射され、そのレンズ反射光が撮像素子５に映り込むフレアスポットという現象を生じ、画像周辺部より中央部が明るくなる明るさムラを生じたり、画像のコントラストが低下するという問題を生ずる。
この現象は、特に、光学倍率が等倍より小さく、かつ低反射率を有する物体を観察する際に顕著に現れる。
【０００６】
そして、このように画像に悪影響を与えるレンズからの反射光を低減して、フレアスポットの発生を防止するために、従来は、偏光顕微鏡の原理を用いてλ／４波長板とλ／２波長板を利用したり、２枚の偏光板を利用して物体側レンズ群ＯＬの反射光を除去する方法（特許文献１及び２参照）や、可視光領域の全波長にわたって反射率の極めて小さい（例えば反射率０.０５％以下の）高精度な反射防止膜を使用する方法（特許文献３参照）が提案されている。
しかしながら、いずれも、部品点数が多くなって、コストが嵩むだけでなく、偏光板等の面精度の問題から解像力の劣化を引き起こし、たとえば、画像認識による位置決めを行う場合、その画像認識度が悪化するため、位置決め精度が低下するという問題が残る。
【特許文献１】特開２００５−２７５０６３号公報
【特許文献２】特開２００６−００３５７２号公報
【特許文献３】特開２００７−０９４１５０号公報
【０００７】
そこで本発明者は、フレアスポットによる像面への悪影響を定量的に計測するため、図２に示すように物体ＯＢとして均一な黒色の無反射板１１を置き、撮像面の像高の＋７割に対応する位置に反射率３%の完全拡散板１２を置いて、これらを被写体として撮像実験を行った。
図３は撮像された画像と、像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示す説明図であって、像高０割すなわち中心の反射光量ＰＨ（フレアスポット量）と、像高−７割における無反射板１１からの反射光量ＰＳと、像高＋７割における無反射板１１及び完全拡散板１２の反射光量差ｄＰＣに基づき、フレアスポット指数Ｈを
Ｈ＝(ＰＳ＋ｄＰＣ) ／ＰＨ
で定義した。
【０００８】
そして、フレアスポット指数Ｈ＜１であれば、フレアスポットの最も明るい像面中央部分の方が、完全拡散板１２が撮像された部分より明るいことからフレアスポットの影響を無視することができず、逆に、フレアスポット指数Ｈ≧１であれば、フレアスポットの最も明るい像面中央部分よりも、完全拡散板１２が撮像された部分の方が明るいことからフレアスポットの影響を無視することができる。
【０００９】
この定義に基づき、発明者は様々な光学系を用いて撮像実験を行い、フレアスポット指数Ｈを測定したところ、フレア光を生成する反射面となる各レンズの背面の曲率半径と、その反射面の後方に配置されているレンズの合成焦点距離を条件化することにより、像面に到達するフレア光量を減少させ得ることが判明した。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような実験により得られた発明者の知見に基づいてなされたもので、光学倍率が０.１〜１倍の比較的低倍率であっても、波長板や偏光板を用いたり高精度な反射防止膜を形成したりすることなく、フレアスポットの発生を確実に低減することができ、ひいては、良好な画像認識度が得られるようにすることを技術的課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この課題を解決するために、本発明は、物体側から像面側に向かって光軸に沿って物体側レンズ群及び像面側レンズ群が配されてなり、各レンズ群の間には、光軸側方から入射した光を物体側に反射させると共に物体からの光を像面側に透過させる同軸落射照明用光学素子が配されて成る物体側テレセントリック光学系において、
前記物体側レンズ群が、物体側から順に、凸レンズでなる第１レンズと、凸レンズでなる第２レンズ及び凹レンズでなる第３レンズの接合レンズから構成され、
以下の（１）〜（３）式を満たすことを特徴としている。
（１） −４.６＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（２） −３.０＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５
（３） ０.２＜Ｒ５／ｆ５＜
０.５
Ｒ２：第２面（第１レンズの背面）の曲率半径
ｆ２：第２面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
Ｒ４：第４面（第２レンズの背面）の曲率半径
ｆ４：第４面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
Ｒ５：第５面（第３レンズの背面）の曲率半径
ｆ５：第５面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
【００１２】
また、好ましくは、前記（１）〜（３）式の上限値及び下限値が、
（1-2） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（2-2） −２.１ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５０
（3-2） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.４６
であり、より好ましくは、前記（１）〜（３）式の上限値及び下限値が、
（1-3） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（2-3） −１.０ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５１
（3-3） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.４０
であり、さらに好ましくは、前記（１）〜（３）式の上限値及び下限値が、
（1-4） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−３.０
（2-4） −１.０ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５２
（3-4） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.３７
である。
【００１３】
さらに、上述したいずれかのレンズ構成を有する物体側テレセントリック光学系において、同軸落射照明光学素子に対して光軸側方から照明光を入射させる光源が配され、前記物体側レンズ群の各レンズの表裏両面に反射防止被膜が施されてなり、前記光源から照射される光の波長域中、前記反射防止被膜の反射防止特性波長域から外れた波長の光をカットする波長カットフィルタを同軸落射照明光学素子と光源の間に配した。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、物体側レンズ群の各レンズの背面が反射面となって、物体側に進行する照明光を正反対の像面側に反射させ、フレアスポットの原因となるフレア光を生成することから、反射面となる各レンズの背面の曲率半径と、その反射面の後方に位置するレンズの合成焦点距離を条件化することにより、(ＰＳ＋ｄＰＣ) ／ＰＨで定義したフレアスポット指数Ｈ≧１とすることができた。
【００１５】
すなわち、Ｒ２／ｆ２、Ｒ４／ｆ４、Ｒ５／ｆ５は、いずれも曲率半径と焦点距離の比であるが、その値はそれぞれの面(第２面、第４面、第５面)で反射した光線の振る舞いを意味する。
曲率を持った面から反射した光線は、その曲率半径に依存した量の焦点距離を持っており、反射後の光線は、その面から後ろ側（像面側）のレンズにより集光・発散の状態が決められ、その度合は合成焦点距離(ｆ２、ｆ４、ｆ５)に依存する。
すなわち、反射面の曲率半径とその後側の合成焦点距離により、反射面からの光線の振る舞いを予測することができ、それらの比率により、結像面での集光・発散の状態を確認することができる。
【００１６】
例えば、Ｒ２、Ｒ４、Ｒ５は曲率半径であるから、この値が大きくなれば夫々のレンズ面が平面に近づくため反射光束の平行度が高まり、それより像面側に配されたレンズで集光されてフレアスポットを生じやすくなる。
また、ｆ２、ｆ４、ｆ５は合成焦点までの距離であるから、この値が大きくなれば、焦点位置が像面ＩＭに近づくこととなり、その分、フレアスポットが形成されやすくなる。
すなわち、Ｒ２、Ｒ４、Ｒ５の値が大きくなることにより、Ｒ２／ｆ２、Ｒ４／ｆ４、Ｒ５／ｆ５の値が適正値を上回ればフレアスポットができ易くなり、また、ｆ２、ｆ４、ｆ５の値が大きくなって、Ｒ２／ｆ２、Ｒ４／ｆ４、Ｒ５／ｆ５の値が適正値を下回ってもフレアスポットができ易くなる。
【００１７】
そして、いずれも適正値であれば、フレアスポット指数Ｈ≧１とすることができた。
これにより、像面に到達するフレア光量を減少させることができ、光学倍率が０.１〜１.０の低倍率テレセントリック光学系でも、フレアスポットの形成を防止し、コントラストが向上することが確認できた。
【００１８】
また、本発明では、波長板や偏光板を挿入したり、高精度な反射防止膜を形成したりする必要がないので、低コストで製造でき、煩雑な光学系を必要としないなどの利点があるだけでなく、物体距離が６０〜１２０ｍｍと比較的短いレンズにおいて、共役長を２００〜４００ｍｍ程度に抑えることができ、最短では１３３〜２６６ｍｍ程度に設計することができた。
【００１９】
さらに、本発明では、波長板や偏光板を挿入したり、高精度な反射防止膜を形成する必要がないので、低コストで、煩雑な光学系を必要としないなどの利点があり、安価で有効なテレセントリック光学系を提供することが可能となり、半導体・液晶関連の製造装置において位置決め精度の向上、基板検査の正確性を向上させることができる。
【００２０】
請求項２に記載されたように、（１）〜（３）式の上限値及び下限値を
（1-2） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（2-2） −２.１ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５０
（3-2） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.４６
とすれば、フレアスポット指数Ｈ≧１.１となり、フレアスポットの影響がより少なくなることが確認された。
請求項３に記載されたように、（１）〜（３）式の上限値及び下限値を
（1-3） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（2-3） −１.０ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５１
（3-3） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.４０
とすれば、フレアスポット指数Ｈ≧１.４となり、フレアスポットの影響がより少なくなることが確認された。
請求項４に記載されたように、（１）〜（３）式の上限値及び下限値を
（1-4） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−３.０
（2-4） −１.０ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５２
（3-4） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.３７
とすれば、フレアスポット指数Ｈ≧１.６となり、フレアスポットの影響がより少なくなることが確認された。
【００２１】
また、このようにフレアスポット指数が改善されて、フレアスポットの影響が低くなった物体側テレセントリック光学系において、請求項５に記載されたように、同軸落射照明光学素子とこれに対して光軸側方から照明光を入射させる光源との間に、前記光源から照射される光の波長域中、前記物体側レンズ群の各レンズの表裏両面に施された反射防止被膜の反射防止特性波長域から外れた波長の光をカットする波長カットフィルタを配することにより、さらにフレアスポット指数を改善することができる。
フレアスポットの影響が強く残るレンズ構成で、レンズに反射防止被膜を施し、上述した波長カットフィルタを配しても、フレアスポットの影響を有効に低減することはできなかったが、本発明のレンズ構成を用いれば、レンズによるフレアスポット指数が大きくなるためフレアスポットの影響を排除することができ、したがって、レンズに反射防止被膜を施し、波長カットフィルタを配することにより、これらが有効に機能して、フレアスポットの影響をより低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本例では、比較的低倍率であっても、波長板や偏光板を用いたり高精度な反射防止膜を形成したりすることなく、フレアスポットの発生を確実に低減することができ、ひいては、良好な画像認識度が得られるようにするという目的を達成するために、物体側から像面側に向かって光軸に沿って物体側レンズ群及び像面側レンズ群が配されてなり、各レンズ群の間には、光軸側方から入射した光を物体側に反射させると共に物体からの光を像面側に透過させる同軸落射照明用光学素子が配されて成る物体側テレセントリック光学系において、前記物体側レンズ群が、物体側から順に、凸レンズでなる第１レンズと、凸レンズでなる第２レンズ及び凹レンズでなる第３レンズの接合レンズから構成され、以下の（１）〜（３）式を満たす光学系とした。
（１） −４.６＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（２） −３.０＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５０
（３） ０.２＜Ｒ５／ｆ５＜
０.５０
Ｒ２：第２面（第１レンズの背面）の曲率半径
ｆ２：第２面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
Ｒ４：第４面（第２レンズの背面）の曲率半径
ｆ４：第４面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
Ｒ５：第５面（第３レンズの背面）の曲率半径
ｆ５：第５面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
【００２３】
図１は本発明に係る物体側テレセントリック光学系の一例を示す説明図、図２はフレアスポット指数の測定方法を示す説明図、図３はその像高に対する光強度分布を示す説明図、図４〜図２１は実施例１〜１３及び比較例１〜５の物体側テレセントリック光学系による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ、図２２及び２３は実施例１４についてＩＲカットフィルタを設けた場合と設けていない場合の夫々の画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフである。
また、図２４は実施例１〜７、図２５は実施例８〜１４のレンズ構成図、図２６は比較例１〜５のレンズ構成図である。
【００２４】
本発明に係る物体側テレセントリック光学系１は、図１に示すように、物体ＯＢ側から像面ＩＭ側に向かう光軸Ｘに沿って物体側レンズ群ＯＬ及び像面側レンズＩＬ群が配されると共に、各レンズ群ＯＬ及びＩＬの間には、物体側レンズ群ＯＬの像面側焦点位置に絞り２が配置されて、物体側テレセントリック光学系が構成されている。
また、絞り２と物体側レンズ群ＯＬの間に、光軸Ｘに対して直交する方向に配された光源３から入射された光を物体ＯＢ側に反射させると共に物体からの光を像面ＩＭ側に透過させる同軸落射照明用光学素子としてのビームスプリッタ４が配されている。
なお、この物体側テレセントリック光学系１の像を撮像する場合はその像面ＩＭ上に撮像素子５が配される。
【００２５】
本例では、物体側レンズ群ＯＬが第１レンズＬ１〜第３レンズＬ３の３レンズで構成されており、像面側レンズ群ＩＬも第４レンズＬ４〜第６レンズＬ６の３レンズで構成されている。
物体側レンズ群ＯＬは、第１レンズＬ１が凸レンズ、第２レンズＬ２及び第３レンズＬ３が凸レンズ及び凹レンズの接合レンズで構成されている。
また、像面側レンズ群ＩＬは、第４レンズＬ４及び第５レンズＬ５が凹レンズ及び凸レンズの接合レンズ、第６レンズＬ６が凸レンズで構成されている。
なお、各レンズＬ１〜Ｌ６の表裏両面には、波長４００〜７００ｎｍの光の反射率が１％程度の一般的な反射防止被膜が形成されている。
【００２６】
ここで、光軸Ｘに沿って物体ＯＢ側から像面ＩＭに向かって、光軸Ｘと交差する各面Ｓ０〜Ｓ１３を以下のように定義する（図１参照）。
物体面Ｓ０  ：物体ＯＢが置かれる面
第１面Ｓ１  ：第１レンズＬ１の前面
第２面Ｓ２  ：第１レンズＬ１の背面
第３面Ｓ３  ：第２レンズＬ２の前面
第４面Ｓ４  ：第２レンズＬ２の背面（第３レンズＬ３の前面）
第５面Ｓ５  ：第３レンズＬ３の背面
第６面Ｓ６  ：ビームスプリッタの前面
第７面Ｓ７  ：ビームスプリッタの背面
第８面Ｓ８  ：絞り面
第９面Ｓ９  ：第４レンズＬ４の前面
第10面Ｓ１０：第４レンズＬ４の背面（第５レンズＬ５の前面）
第11面Ｓ１１：第５レンズＬ５の背面
第12面Ｓ１２：第６レンズＬ６の前面
第13面Ｓ１３：第６レンズＬ６の背面
【００２７】
そして、光源３から照射されてビームスプリッタ４で物体ＯＢ側に反射された照明光が、第３レンズＬ３〜第１レンズＬ１を透過して物体面Ｓ０に照射される際に、各レンズＬ３〜Ｌ１の像面側を向いた夫々の面Ｓ５、Ｓ４、Ｓ２で照明光の一部が像面ＩＭ側に反射されるため、フレアスポットの原因となる。
そこで、本発明では、前記各面Ｓ５、Ｓ４、Ｓ２で反射される反射光強度を低減するために以下の条件を満たすようにレンズ設計した。
【００２８】
まず、第２面（第１レンズＬ１の背面）Ｓ２からの反射光を低減するために（１）式を規定し、第４面（第２レンズＬ２の背面）Ｓ４からの反射光を低減するために（２）式を規定し、第５面（第３レンズＬ３の背面）Ｓ５からの反射光を低減するために（３）式を規定した。
（１）  −４.６＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（２）  −３.０＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５
（３）    ０.２＜Ｒ５／ｆ５＜  ０.５
Ｒ２：第２面（第１レンズの背面）の曲率半径
ｆ２：第２面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
Ｒ４：第４面（第２レンズの背面）の曲率半径
ｆ４：第４面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
Ｒ５：第５面（第３レンズの背面）の曲率半径
ｆ５：第５面の反射光が像面に至るまでに透過するレンズ面の合成焦点距離
【００２９】
本例では、Ｒ２は第２面（第１レンズＬ１の背面）Ｓ２の曲率半径、ｆ２はビームスプリッタ４から物体ＯＢに向かう照明光の第２面Ｓ２における反射光が像面ＩＭに至るまでに透過するレンズ面Ｓ３〜Ｓ５、Ｓ９〜Ｓ１３の合成焦点距離である。
また、Ｒ４は第４面（第２レンズＬ２の背面）Ｓ４の曲率半径、ｆ４はビームスプリッタ４から物体ＯＢに向かう照明光の第４面Ｓ４における反射光が像面ＩＭに至るまでに透過するレンズ面Ｓ５、Ｓ９〜Ｓ１３の合成焦点距離である。
さらに、Ｒ５は第５面（第３レンズＬ３の背面）Ｓ５の曲率半径、ｆ５はビームスプリッタ４から物体ＯＢに向かう照明光の第５面Ｓ５における反射光が像面ＩＭに至るまでに透過するレンズ面Ｓ９〜Ｓ１３の合成焦点距離である。
【００３０】
前述したように、Ｒ２／ｆ２、Ｒ４／ｆ４、Ｒ５／ｆ５は、いずれも曲率半径と焦点距離の比であるが、その値は、それぞれの面(Ｓ２、Ｓ４、Ｓ５)から反射した光線の振る舞いを意味し、Ｒ２／ｆ２、Ｒ４／ｆ４、Ｒ５／ｆ５の値が適正値を上回ればフレアスポットができ易くなり、また、ｆ２、ｆ４、ｆ５の値が大きくなって、Ｒ２／ｆ２、Ｒ４／ｆ４、Ｒ５／ｆ５の値が適正値を下回ってもフレアスポットができ易くなる。
【００３１】
実験の結果、Ｒ２／ｆ２の適正値が−４.６を超え−１.４未満であり、Ｒ４／ｆ４の適正値が−３.０を超え−０.５未満であり、且つ、Ｒ５／ｆ５の適正値が０.２９を超え０.５未満であればフレアスポット指数Ｈが１以上となり、フレアスポットによる画像への悪影響は小さいと言える。
【００３２】
特に、Ｒ２／ｆ２の適正値が−４.５を超え−１.４未満であり、Ｒ４／ｆ４の適正値が−２.１を超え−０.５０未満であり、且つ、Ｒ５／ｆ５の適正値が０.２９を超え０.４６未満であれば、フレアスポット指数Ｈ≧１.１となることが確認されており、フレアスポットによる画像への悪影響は小さい。
【００３３】
さらに、Ｒ２／ｆ２の適正値が−４.５を超え−１.４未満であり、Ｒ４／ｆ４の適正値が−１.０を超え−０.５１未満であり、且つ、Ｒ５／ｆ５の適正値が０.２９を超え０.４０未満であれば、フレアスポット指数Ｈ≧１.４となることが確認されており、フレアスポットによる画像への悪影響はさらに小さくなる。
【００３４】
そして、Ｒ２／ｆ２の適正値が−４.５を超え−３.０未満であり、Ｒ４／ｆ４の適正値が−１.０を超え−０.５２未満であり、且つ、Ｒ５／ｆ５の適正値が０.２９を超え０.３７未満であれば、フレアスポット指数Ｈ≧１.６となることが確認されており、フレアスポットによる画像への悪影響はさらに小さくなる
【００３５】
以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明する。
実施例１〜１３は、式（１）〜（３）を全て満たすように設計された物体側テレセントリック光学系であり、比較例１〜５は、式（１）〜（３）のうち１以上の条件を満たさない物体側テレセントリック光学系である。
各実施例１〜１３及び比較例１〜５についてＲ２／ｆ２、Ｒ４／ｆ４、Ｒ５／ｆ５の値と、フレアスポット指数Ｈ＝(ＰＳ＋ｄＰＣ) ／ＰＨの測定結果を表１に示す。
【表１】
0005198919.tif 000002
【００３６】
この測定結果より、実施例１〜４によれば、請求項４に記載されたとおり、
（1-4） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−３.０
（2-4） −１.０ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５２
（3-4） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.３７
の条件を満たし、フレアスポットＨ≧１.６となっていることがわかる。
実施例１〜７によれば、請求項３に記載されたとおり、
（1-3） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（2-3） −１.０ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５１
（3-3） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.４０
の条件を満たし、フレアスポットＨ≧１.４となっていることがわかる。
実施例１〜１３によれば、請求項２に記載されたとおり、
（1-2） −４.５ ＜Ｒ２／ｆ２＜−１.４
（2-2） −２.１ ＜Ｒ４／ｆ４＜−０.５０
（3-2） ０.２９＜Ｒ５／ｆ５＜
０.４６
の条件を満たし、フレアスポットＨ≧１.１となっていることがわかる。
【実施例１】
【００３７】
本例のレンズ構成を表２に示す。
【表２】
0005198919.tif 000003
【００３８】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−４.４９９、Ｒ４／ｆ４＝−０.９９５、Ｒ５／ｆ５＝０.２９６とした。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は２００ｍｍである。
【００３９】
図４は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝１.２１、ＰＨ＝１.２１となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.８２となった。
【実施例２】
【００４０】
本例のレンズ構成を表３に示す。
【表３】
0005198919.tif 000004
【００４１】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−３.２５５、Ｒ４／ｆ４＝−０.６１７、Ｒ５／ｆ５＝０.３６２とした。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.３倍、物体距離は１１３ｍｍ、共役長は３１３ｍｍである。
【００４２】
図５は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝０.９７、ＰＨ＝１.１５となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.７１であった。
【実施例３】
【００４３】
本例のレンズ構成を表４に示す。
【表４】
0005198919.tif 000005
【００４４】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、
Ｒ２／ｆ２＝−３.００３、Ｒ４／ｆ４＝−０.５３０、Ｒ５／ｆ５＝０.３１７とした。
なお、Ｆ値は５.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１７９ｍｍである。
【００４５】
図６は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝１.４２、ＰＨ＝１.４４となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.６８であった。
【実施例４】
【００４６】
本例のレンズ構成を表５に示す。
【表５】
0005198919.tif 000006
【００４７】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−４.４９９、Ｒ４／ｆ４＝−０.９９６、Ｒ５／ｆ５＝０.３０６とした。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１９０ｍｍである。
【００４８】
図７は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布を示すグラフである。（Ｗ／ｃｍ２）
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝１.２２、ＰＨ＝１.３７となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.６２であった。
【実施例５】
【００４９】
本例のレンズ構成を表６に示す。
【表６】
0005198919.tif 000007
【００５０】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−１.９２８、Ｒ４／ｆ４＝−０.５１２、Ｒ５／ｆ５＝０.３８２とした。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.８倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１８０ｍｍである。
【００５１】
図８は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝１.２３、ＰＨ＝１.４７となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.５２であった。
【実施例６】
【００５２】
本例のレンズ構成を表７に示す。
【表７】
0005198919.tif 000008
【００５３】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−３.２９６、Ｒ４／ｆ４＝−０.９９８、Ｒ５／ｆ５＝０.３９４とした。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は２００ｍｍである。
【００５４】
図９は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝０.９８、ＰＨ＝１.３５となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.４７であった。
【実施例７】
【００５５】
本例のレンズ構成を表８に示す。
【表８】
0005198919.tif 000009
【００５６】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−１.４５２、Ｒ４／ｆ４＝−０.６０４、Ｒ５／ｆ５＝０.３８１とした。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.８倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１６０ｍｍである。
【００５７】
図１０は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝１.２０、ＰＨ＝１.５２となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.４５であった。
【実施例８】
【００５８】
本例のレンズ構成を表９に示す。
【表９】
0005198919.tif 000010
【００５９】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−２.８３８、Ｒ４／ｆ４＝−０.９９０、Ｒ５／ｆ５＝０.４０６とした。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１７８ｍｍである。
【００６０】
図１１は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝０.９２、ＰＨ＝１.３９となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.３９であった。
【実施例９】
【００６１】
本例のレンズ構成を表１０に示す。
【表１０】
0005198919.tif 000011
【００６２】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−２.８００、Ｒ４／ｆ４＝−０．５０７、Ｒ５／ｆ５＝０.４５４とした。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１６７ｍｍである。
【００６３】
図１２は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝１.４７、ＰＨ＝１．８３となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.３５であった。
【実施例１０】
【００６４】
本例のレンズ構成を表１１に示す。
【表１１】
0005198919.tif 000012
【００６５】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−３.６１５、Ｒ４／ｆ４＝−２.００６、Ｒ５／ｆ５＝０.３８６とした。
なお、Ｆ値は１０.０、光学倍率は０.３倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１９８ｍｍである。
【００６６】
図１３は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝１.３６、ＰＨ＝１.７８となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.３３であった。
【実施例１１】
【００６７】
本例のレンズ構成を表１２に示す。
【表１２】
0005198919.tif 000013
【００６８】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−２.０８５、Ｒ４／ｆ４＝−１.４４６、Ｒ５／ｆ５＝０.４５４とした。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１８０ｍｍである。
【００６９】
図１４は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝１.１６、ＰＨ＝１.７０となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.２７であった。
【実施例１２】
【００７０】
本例のレンズ構成を表１３に示す。
【表１３】
0005198919.tif 000014
【００７１】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−３.０１５、Ｒ４／ｆ４＝−１.４４６、Ｒ５／ｆ５＝０.４５５とした。
なお、Ｆ値は５.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１８０ｍｍである。
【００７２】
図１５は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝１.４７、ＰＨ＝２.０８となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.１９であった。
【実施例１３】
【００７３】
本例のレンズ構成を表１４に示す。
【表１４】
0005198919.tif 000015
【００７４】
本例では、曲率半径と合成焦点距離の比を、Ｒ２／ｆ２＝−２.７９５、Ｒ４／ｆ４＝−０.９８６、Ｒ５／ｆ５＝０.４５０とした。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１７０ｍｍである。
【００７５】
図１６は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝１.３１、ＰＨ＝２.０８となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.１１であった。
【００７６】
［比較例１］
比較例１のレンズ構成を表１５に示す。
【表１５】
0005198919.tif 000016
【００７７】
比較例１の曲率半径と合成焦点距離の比は、Ｒ２／ｆ２＝−７.９９９、Ｒ４／ｆ４＝−４.０００、Ｒ５／ｆ５＝０.６０２であった。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.３倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は２００ｍｍである。
【００７８】
図１７は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝２.００、ＰＨ＝３.４９となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝０.８６であった。
図１７の画像を見ると、画像の中央部分が周囲に比して明るくなっており、フレアスポットが形成されていることが画像上で確認できる。
【００７９】
［比較例２］
比較例２のレンズ構成を表１６に示す。
【表１６】
0005198919.tif 000017
【００８０】
比較例２の曲率半径と合成焦点距離の比は、Ｒ２／ｆ２＝−６.２８６、Ｒ４／ｆ４＝−４.９５０、Ｒ５／ｆ５＝０.７５４とした。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１８０ｍｍである。
【００８１】
図１８は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝０.２９、ＰＨ＝１.７２となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝０.７５であった。
図１８を見ても明らかに画像の中央部分が周囲に比して明るくなっており、フレアスポットが形成されていることがわかる。
【００８２】
［比較例３］
比較例３のレンズ構成を表１７に示す。
【表１７】
0005198919.tif 000018
【００８３】
比較例３の曲率半径と合成焦点距離の比は、Ｒ２／ｆ２＝−４.９９７、Ｒ４／ｆ４＝−５.００１、Ｒ５／ｆ５＝０.８０２である。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.３倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１８９ｍｍである。
【００８４】
図１９は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝１.３１、ＰＨ＝３.１４となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝０.７４であった。
図１９を見ても明らかに画像の中央部分が周囲に比して明るくなっており、フレアスポットが形成されていることがわかる。
【００８５】
［比較例４］
比較例４のレンズ構成を表１８に示す。
【表１８】
0005198919.tif 000019
【００８６】
比較例４の曲率半径と合成焦点距離の比は、Ｒ２／ｆ２＝−７.９９７、Ｒ４／ｆ４＝−３.９９７、Ｒ５／ｆ５＝１.３３０である。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１８０ｍｍである。
【００８７】
図２０は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝２.９２、ＰＨ＝７.６０となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝０.５２であった。
図２０を見ても明らかに画像の中央部分が周囲に比して明るくなっており、フレアスポットが形成されていることがわかる。
【００８８】
［比較例５］
比較例５のレンズ構成を表１９に示す。
【表１９】
0005198919.tif 000020
【００８９】
比較例５の曲率半径と合成焦点距離の比は、Ｒ２／ｆ２＝−９.０００、Ｒ４／ｆ４＝−６.０００、Ｒ５／ｆ５＝１.４００である。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.３倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１８０ｍｍである。
【００９０】
図２１は図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝７.５９、ＰＨ＝１７.６２となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝０.４９
であった。
図２１を見ても明らかに画像の中央部分が周囲に比して明るくなっており、フレアスポットが形成されていることがわかる。
【実施例１４】
【００９１】
本例では、物体側レンズ群ＯＬの各レンズＬ１〜Ｌ３の表裏両面に反射防止被膜が施されてなり、光源３から照射される光の波長域中、反射防止被膜の反射防止特性波長域から外れた波長の光をカットする波長カットフィルタＣが、ビームスプリッタ４と光源３の間に配されている（図１参照）。
【００９２】
光源３としては発光波長域が可視光領域から近赤外領域に至る４００〜８００ｎｍの白色ハロゲン灯が用いられ、各レンズＬ１〜Ｌ６の表裏両面には、波長４００〜７００ｎｍの光の反射率が１％程度の一般的な反射防止被膜が形成されている。
この場合、レンズ構成を上述のように選定することにより、フレアスポット指数Ｈを１以上にすることができるので、フレアスポットの影響は少なくなるが、反射防止被膜の特性から外れた波長７００〜８００ｎｍの近赤外線領域の光を排除することによって、影響をより少なくすることができる。
そのために、ビームスプリッタ４と光源３の間に、波長６５０ｎｍ以上の光を４０％以上低減し、波長６８０〜８００ｎｍの光を完全に透過しないＩＲカットフィルタ（波長カットフィルタ）Ｃが配されている（図１参照）。
【００９３】
表２０は、実施例１４のＲ２／ｆ２、Ｒ４／ｆ４、Ｒ５／ｆ５の値と、ＩＲカットフィルタＣを設けた場合及び設けなかった場合のフレアスポット指数Ｈ＝(ＰＳ＋ｄＰＣ) ／ＰＨの測定結果を示し、表２１はレンズ構成を示す。
【表２０】
0005198919.tif 000021
【００９４】
【表２１】
0005198919.tif 000022
【００９５】
実施例１４の曲率半径と合成焦点距離の比は、Ｒ２／ｆ２＝−４.２８２、Ｒ４／ｆ４＝−１.４７８、Ｒ５／ｆ５＝０.４５８である。
なお、Ｆ値は７.０、光学倍率は０.５倍、物体距離は６７ｍｍ、共役長は１８０ｍｍである。
【００９６】
図２２はＩＲカットフィルタＣを設けていない光学系について、図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝０.９７、ＰＨ＝１.４８となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.３３であった。
図２３はＩＲカットフィルタＣを設けた光学系について、図２に示す方法で測定したときの画像と、その画像の像高に対する光強度分布（Ｗ／ｃｍ２）を示すグラフである。
このグラフを、ＰＳ＝１.０で正規化すると、ｄＰＣ＝２.０４、ＰＨ＝１.５７となり、その結果、フレアスポット指数Ｈ＝１.９４であった。
ＩＲフィルタを設けていない図２２のグラフでは、光強度分布が像高０の中央付近でやや高くなっているのに対し、ＩＲフィルタを設けた図２３のグラフでは、光強度分布がフラット化されており、フレアスポットの影響がさらに改善されていることが判る。
【産業上の利用可能性】
【００９７】
以上述べたように、本発明は、光や像を変換する画像処理分野において、高精度な位置決めおよび基板検査などに用いられる物体側テレセントリック光学系の用途に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】本発明に係る物体側テレセントリック光学系の一例を示す説明図。
【図２】フレアスポット指数の測定方法を示す説明図。
【図３】像高に対する光強度分布を示す説明図。
【図４】実施例１による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図５】実施例２による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図６】実施例３による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図７】実施例４による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図８】実施例５による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図９】実施例６による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図１０】実施例７による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図１１】実施例８による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図１２】実施例９による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図１３】実施例１０による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図１４】実施例１１による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図１５】実施例１２による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図１６】実施例１３による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図１７】比較例１による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図１８】比較例２による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図１９】比較例３による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図２０】比較例４による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図２１】比較例５による画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図２２】実施例１４におけるＩＲカットフィルタを設けていない場合のない画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図２３】実施例１４におけるＩＲカットフィルタを設けた場合の画像と、その像高に対する光強度分布を示すグラフ。
【図２４】実施例１〜７のレンズ構成図。
【図２５】実施例８〜１４のレンズ構成図。
【図２６】比較例１〜５のレンズ構成図。
【符号の説明】
【００９９】
１    物体側テレセントリック光学系
ＯＢ  物体
ＩＭ  像面
Ｘ    光軸
ＯＬ  物体側レンズ群
ＩＬ  像面側レンズ群  
２    絞り
３    光源
４    ビームスプリッタ
５    撮像素子
Ｌ１  第１レンズ
Ｌ２  第２レンズ
Ｌ３  第３レンズ
Ｌ４  第４レンズ
Ｌ５  第５レンズ
Ｌ６  第６レンズ
【図１】
0005198919.tif 000023
【図２】
0005198919.tif 000024
【図２４】
0005198919.tif 000025
【図２５】
0005198919.tif 000026
【図２６】
0005198919.tif 000027
【図３】
0005198919.tif 000028
【図４】
0005198919.tif 000029
【図５】
0005198919.tif 000030
【図６】
0005198919.tif 000031
【図７】
0005198919.tif 000032
【図８】
0005198919.tif 000033
【図９】
0005198919.tif 000034
【図１０】
0005198919.tif 000035
【図１１】
0005198919.tif 000036
【図１２】
0005198919.tif 000037
【図１３】
0005198919.tif 000038
【図１４】
0005198919.tif 000039
【図１５】
0005198919.tif 000040
【図１６】
0005198919.tif 000041
【図１７】
0005198919.tif 000042
【図１８】
0005198919.tif 000043
【図１９】
0005198919.tif 000044
【図２０】
0005198919.tif 000045
【図２１】
0005198919.tif 000046
【図２２】
0005198919.tif 000047
【図２３】
0005198919.tif 000048