(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）複数の貫通孔が形成されたキャリアの一面にテープを付着する段階と、
（ｂ）前記複数の貫通孔の内部の露出されている前記テープに、それぞれの一面に電極が形成された、複数のチップが一定の大きさで区画された集合体であるウェハーの前記電極が露出されるように前記複数のウェハーを付着する段階と、
（ｃ）前記キャリアにパッケージング工程を行い前記複数のウェハーをパッケージングする段階と、
を含むことを特徴とするウェハーをパッケージングする方法。
【請求項２】
前記（ｃ）段階の以後に、
前記ウェハーをダイシングして複数のチップに分離する段階をさらに含むことを特徴と
する請求項１に記載のウェハーをパッケージングする方法。
【請求項３】
前記ウェハーの一面には前記電極を選択的に露出させる保護膜が積層されており、
前記（ｂ）段階が、前記ウェハーの他面が前記テープに付着されることを特徴とする請
求項１または請求項２に記載のウェハーをパッケージングする方法。
【請求項４】
前記（ｃ）段階が、
（ｃ１）前記保護膜の上面に第１感光性絶縁層を積層する段階と、
（ｃ２）前記電極の上部に位置する前記第１感光性絶縁層を露光及び現像工程により除
去する段階と、
（ｃ３）前記電極と前記第１感光性絶縁層の一部分とにメッキ層を積層する段階と、
（ｃ４）前記メッキ層に第２感光性絶縁層を積層する段階と、
（ｃ５）前記第２感光性絶縁層を露光及び現像により除去して前記メッキ層の一部を露
出させる段階と、
（ｃ６）前記露出されたメッキ層にソルダボールを実装する段階と、
を含むことを特徴とする請求項３に記載のウェハーをパッケージングする方法。
【請求項５】
前記（ｃ５）と前記（ｃ６）との間に、前記露出されたメッキ層の上部にアンダーバン
プメタルを塗布する段階をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載のウェハーをパッケージングする方法。
【請求項６】
前記（ｃ）段階が、
（ｃ７）前記ウェハーの前記電極に導電性バンプを形成する段階と、
（ｃ８）前記ウェハーの上面に第１絶縁層を積層する段階と、
（ｃ９）前記バンプの上部をカバーする前記第１絶縁層の一部を除去する段階と、
（ｃ１０）前記バンプと前記第１絶縁層との上部にメッキ層を積層する段階と、
（ｃ１１）前記メッキ層に第２絶縁層を積層する段階と、
（ｃ１２）前記メッキ層の一部が露出されるように前記第２絶縁層を除去する段階と、
（ｃ１３）露出された前記メッキ層に表面処理層を形成する段階と、
（ｃ１４）前記表面処理層にソルダボールを実装する段階と、
を含むことを特徴とする請求項３に記載のウェハーをパッケージングする方法。
【請求項７】
前記第１及び第２絶縁層が、非感光性材質であることを特徴とする請求項６に記載のウ
ェハーをパッケージングする方法。
【請求項８】
前記（ｃ７）が、電解メッキにより前記バンプを形成することを特徴とする請求項６に
記載のウェハーをパッケージングする方法。
【請求項９】
前記（ｃ７）が、無電解メッキにより前記バンプを形成することを特徴とする請求項６に
記載のウェハーをパッケージングする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウェハーをパッケージングする方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、あらゆるパッケージング工程をウェハー状態で完了させる新たなパッケージング概念、すなわち、ウェハーレベルパッケージング（wafer level packaging）技術が活発に開発されている。ウェハーレベルパッケージングは既存のシングルチップパッケージング（single chip packaging）と異なってウェハー内に全てのチップを一度にパッケージングするので、原理的には低価格になるべきであるが、ウェハーレベルパッケージングは新たな設備投資を要し、絶縁物質が感光性物質であって高価であるため、実際には価格競争力があまり高くない現実である。
【０００３】
製品の生産単価を低下させるためには、一度の工程で多くのウェハーに対するパッケージングが行われ、かつ、チープ（低価）な材料を適用しなくてはならない。しかし、既存のウェハーレベルパッケージング装備は一つのウェハーに対してのみ工程を行うので生産性が低く、高価の材料を使用する工法であるので根本的な問題があった。
【０００４】
また、印刷回路基板の製造工程を用いてより低価のパッケージング方法を具現する必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前述した問題点を解決するために、印刷回路基板の製造工程を用いてウェハーをパッケージングする方法を提供することを目的とする。すなわち、このようなパッケージング方法からウェハーパッケージングの製造単価を低めることができるウェハーパッケージング方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態によれば、（ａ）貫通孔が形成されたキャリアの一面にテープを付着する段階と、（ｂ）前記貫通孔の内部に露出されている前記テープに、電極が露出されるようにウェハーを付着する段階と、（ｃ）前記キャリアにパッケージング工程を行い前記ウェハーをパッケージングする段階と、を含むウェハーをパッケージングする方法が提供される。
【０００７】
一方、前記ウェハーをパッケージングする方法において、前記ウェハーの一面には電極が露出されている状態で保護膜が積層されており、前記（ｂ）段階は前記ウェハーの他面が前記テープに付着されることを特徴とする。ここで、前記（ｃ）段階は、（ｃ１）前記保護膜の上面に第１感光性絶縁層を積層する段階と、（ｃ２）前記電極の上部に位置する前記第１感光性絶縁層を露光及び現像の工程により除去する段階と、（ｃ３）前記電極と前記第１感光性絶縁層の一部分とにメッキ層を積層する段階と、（ｃ４）前記メッキ層に第２感光性絶縁層を積層する段階と、（ｃ５）前記第２感光性絶縁層を露光及び現像の工程により除去して前記メッキ層の一部を露出させる段階と、（ｃ６）前記露出されたメッキ層にソルダボールを実装する段階と、を含むことができる。また、前記（ｃ５）と前記（ｃ６）との間に前記露出されたメッキ層の上部にアンダーバンプメタルを塗布する段階をさらに含むことができる。
【０００８】
また、前記（ｃ）段階は、（ｃ７）前記ウェハーの前記電極に導電性バンプを形成する段階と、（ｃ８）前記ウェハーの上面に第１絶縁層を積層する段階と、（ｃ９）前記バンプの上部をカバーする前記第１絶縁層の一部を除去する段階と、（ｃ１０）前記バンプと前記第１絶縁層との上部にメッキ層を積層する段階と、（ｃ１１）前記メッキ層に第２絶縁層を積層する段階と、（ｃ１２）前記メッキ層の一部が露出されるように第２絶縁層を除去する段階と、（ｃ１３）露出された前記メッキ層に表面処理層を形成する段階と、（ｃ１４）前記表面処理層にソルダボールを実装する段階と、を含むことができる。前記（ｃ７）は電解メッキ、または無電解メッキによりバンプを形成することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、キャリアを用いてウェハーを固定し、これを用いて印刷回路基板の製造工程に前記キャリアを投入することによりウェハーのパッケージング（再配線）が可能になる。印刷回路基板の製造工程にてウェハーのパッケージングを行うと、一つ以上のウェハーを同時にパッケージングすることにより生産性を高める効果があり、スパッタリングのような高価の工法を無電解メッキに代替し、感光性絶縁層のような高価の材料を低価の非感光性材料に代替することができるので、結果的に、ウェハーのパッケージングに必要とされる費用を節減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下では、添付された図面に基づいて本発明によるウェハーをパッケージングする方法の実施例に対してより詳しく説明し、添付図面を参照して説明することにおいて図面符号にかかわらず同一かつ対応する構成要素は同一の参照番号を付し、これに対する重複される説明は省略する。
【００１１】
図１は本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法のフローチャートであり、図２ないし図１４は本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。図２ないし図１４を参照すると、キャリア１１、貫通孔１１１、テープ１２、ウェハー１３、チップ１３１、シリコーン層１３１１、保護膜１３１２、電極１３１３、第１感光性絶縁層１４１、ドライフィルム１４２、第２感光性絶縁層１４３、シード層１５１、メッキ層１６、アンダバンプメタル１７、ソルダボール１８が示されている。
【００１２】
段階Ｓ１１で、図２ないし図４に示すように、貫通孔１１１が形成されたキャリアの一面にテープを付着する。キャリア１１は板部材である。アルミニウム、銅、ニッケル、ステンレススチールのような材質の金属板を用いることができ、銅箔積層板を用いることもできる。キャリア１１には一つ以上の貫通孔１１１が形成されており、貫通孔１１１は図４のウェハー１３が入られる大きさであればよい。図２の斜視図に示すように、キャリア１１に貫通孔１１１は複数形成されることもできる。キャリア１１の一面には図４に示すように、テープ１２が付着される。テープ１２は後工程でウェハー１３を固定させる目的として用いられる。テープ１２の下にはテープ１２を補助するために薄い金属シート（sheet）を追加的に付着することができる。
【００１３】
段階Ｓ１２で、貫通孔の内部に露出されている前記テープに電極が露出されるようにウェハーを付着する。図３に示すように、ウェハー１３は電子素子が集積された複数のチップ１３１が一定の大きさで区画された集合体である。このようなウェハー１３を図２の貫通孔１１１の内部に挿入する。この際、キャリア１１の一面にはテープ１２が付着されているので、ウェハー１３は貫通孔１１１内部のテープ１２に付着され固定されるようになる。ウェハー１３と貫通孔１１１との間の空隙には別途の充填材を充填することもできる。工程中、ウェハー１３が遊動されないように、貫通孔１１１はウェハー１３の大きさと同じであることがよい。
【００１４】
段階Ｓ１３は、キャリアにパッケージング工程を行ない前記それぞれのウェハーがパッケージングされる段階である。図５ないし図１４に示すようにチップ１３１単位の断面図に基づいて説明する。図４ないし図１４においては、一つのチップ１３１の断面図を主として説明するが、このようなパッケージング工程は、図４に示すようにキャリア１１に結合されている全てのウェハー１３に適用され、また、全てのウェハー１３にあるチップ１３１に対しても適用される。図５に示すように、チップ１３１にはシリコン層１３１１の一面に電極１３１３が形成されており、電極１３１３が露出されるように保護膜１３１２が積層されている。
【００１５】
段階Ｓ１３は、具体的に、図１のＳ１３１〜Ｓ１３６の工程に細分化して行われることができる。
【００１６】
段階Ｓ１３１で、図６に示すように、保護膜１３１２が積層されているウェハーの一面に第１感光性絶縁層１４１が積層され、段階Ｓ１３２で、前記電極の上部に位置する前記第１感光性絶縁層を露光及び現像の工程により除去する。図４に示したように、キャリア１１にはウェハー１３が付着されてパッケージング工程が行われる。したがって、段階Ｓ１３１ないしＳ１３６はキャリア１１に結合されている全てのウェハー１３に対して行われる工程である。
【００１７】
より具体的には、図６はウェハー１３の一部分であるチップ１３１の断面図である。第１感光性絶縁層１４１は光に反応する性質を有する。マスクを用いて露光し、第１感光性絶縁層１４１を現像すると、図６に示すように電極１３１３の上部に位置する第１感光性絶縁層１４１が除去される。
【００１８】
段階Ｓ１３３で、図７ないし図１１に示すように、前記電極と前記第１感光性フィルムの一部分とにメッキ層を積層する。図９に示されているメッキ層１６は電極１３１３を再配線する役割をする。メッキ層１６としては電気伝導性に優れた銅を使用することができる。
【００１９】
段階Ｓ１３３を行うために、先ず、図７に示すように、第１感光性絶縁層１４１の上面にシード層１５１を積層する。シード層の材料としてはチタンと銅との合金、アルミニウムと銅との合金、クロムと銅との合金を用いることができる。
【００２０】
以後、図８に示すように、感光性ドライフィルム１４２を付着した後、露光及び現像してメッキ層１６が形成される部分だけを露出させる。以後、電解メッキを行うと、図９に示すように、メッキ層１６が積層される。ドライフィルム１４２を除去した後に露出されたシード層１５１を除去すると、図１１に示すような断面図が出来上がる。
【００２１】
段階Ｓ１３４で、図１２に示すように、メッキ層に第２感光性フィルムを積層し、段階Ｓ１３５で、第２感光性フィルムを露光及び現像工程を通して除去し、前記メッキ層の一部を露出させる。第２感光性フィルム１４３を積層することによりメッキ層１６のパッドが保護されることができる。第２感光性フィルム１４３を露光及び現像工程により一部除去することにより、図１４に示すように、ソルダボール１８が実装される空間を確保する。
【００２２】
段階Ｓ１３６で、露出されたメッキ層にソルダボールを実装する。ソルダボール１８が電気的に接触される面積を増加させて接続力を増加させるために、段階Ｓ１３６の前に第２感光性フィルム１４３にアンダバンプメタルを形成することもできる。
【００２３】
以後、ウェハーに結合されたチップを分離するためにダイシング工程を行うことができる。ダイシング工程が済んだら、パッケージングが出来上がったチップを得ることができる。
【００２４】
図１５は本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法のフローチャートであり、図１６ないし図３４は本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。図１６ないし図３４を参照すると、キャリア２１、貫通孔２１１、テープ２２、ウェハー２３、チップ２３１、シリコーン層２３１１、保護膜２３１２、電極２３１３、第１ドライフィルム２５１、バンプ２６、第２ドライフィルム２５２、第１絶縁層２７１、第２絶縁層２７２、第１シード層２４１、第２シード層２４２、メッキ層２８１、表面処理層２９、ソルダボール３１が示されている。
【００２５】
段階Ｓ２１で、図１６及び図１７に示すように、貫通孔が形成されたキャリアの一面にテープを付着する。キャリア２１は板部材である。アルミニウム材質の金属板を用いることができ、銅箔積層板を用いることもできる。本実施例では銅箔積層板を用いている。キャリア２１には貫通孔２１１が形成されており、貫通孔２１１は図４のウェハー１３が入られる大きさである。キャリア２１の一面には図１７に示すように、テープ２２が付着される。テープ２２は後工程でウェハー２３を固定する目的として使用する。
【００２６】
段階Ｓ２２で、図１８及び図１９に示すように、貫通孔の内部の露出されている前記テープに電極が露出するようにウェハーを付着する。ウェハー２３は電子素子が集積されている複数のチップ２３１が一定の大きさで区画された集合体である。このようなウェハー２３が図１６の貫通孔２１１の内部に挿入される。この際、キャリア２１の一面にはテープ２２が付着されているので、ウェハー２３は貫通孔２１１の内部のテープ２２に付着され固定されることができる。工程の進行中に、ウェハー２３が遊動されないように、貫通孔２１１はウェハー２３の大きさと同じであることがよい。または、ウェハー２３と貫通孔２１１との間に充填材を充填することもできる。
【００２７】
段階Ｓ２３は、キャリアにパッケージング工程を行い前記それぞれのウェハーをパッケージングする段階である、段階Ｓ２３の各工程を、図２０ないし図３４に示すように、チップ２３１単位の断面図に基づいて説明する。図２０ないし図３４は一つのチップ２３１の断面図を主として説明するが、このようなパッケージング工程はキャリア２１に結合されている全てのウェハー２３のチップ２３１に対しても適用される。図２０に示すように、チップ２３１にはシリコン層２３１１の一面に電極２３１３が形成されており、電極２３１３が露出されるように保護膜２３１２が積層されている。保護膜（passivation）としては、ポリイミド（polyimide）、シリコンオキシナイトライド（silicon oxinitride）を用いることができる。
【００２８】
段階Ｓ２３は、具体的にＳ２３１〜Ｓ２３８の工程に細分化されて行われることができる。
【００２９】
段階Ｓ２３１は、図２０ないし図２４に示すように、ウェハーの前記電極に導電性バンプを形成する段階である。図２４にはチップ２３１単位の断面図が示されているが、図１９のキャリア２１に結合されている全てのウェハー２３に対して行われる工程である。図２０ないし図２４に示すように、チップ２３１単位で説明する理由は、その他の全てのチップにも同じ工程を行うからである。
【００３０】
図２０は、第１シード層２４１をチップ２３１の表面に積層する工程である。第１シード層２４１は伝導性材質であり、以後の電解メッキのための層である。図２１には、第１ドライフィルム２５１を積層し、チップ２３１の電極２３１３が形成されている部分の上面に位置する第１ドライフィルム２５１を露光及び現像の工程により除去する工程が示されている。ドライフィルムは感光性材質である。
【００３１】
露出された電極２３１３の上面を電解メッキすると、図２２に示すように、導電性バンプ２６が形成され、その後、第１ドライフィルム２５１と第１シード層２４１とを除去すると、図２４のような形態になる。
【００３２】
一方、バンプ２６を形成する方法として無電解メッキを行うこともできる。無電解メッキに使用される金属としては、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）などを用いることができる。以上の工程により形成されたバンプ２６は後工程でのレーザーから電極２３１３を保護する役割をする。
【００３３】
段階Ｓ２３２で、図２５に示すように、ウェハーの上面に第１絶縁層を積層する。第１絶縁層２７１はレジンまたはレジンと補強材から構成され、補強材としてはＳｉＯ２のようなセラミックフィラー（ceramic filler）、ガラス繊維（glass fiber）などが使用できる。第１絶縁層２７１としては、経済的側面から非感光性材質を使用することがよい。
【００３４】
段階Ｓ２３３で、図２６に示すように、電極の上部をカバーする前記第１絶縁層の一部を除去する。この際、レーザーを用いてバンプ２６の上部をカバーする第１絶縁層２７１を除去することができる。結果的にバンプ２６は図２６に示すように外部に露出される。
【００３５】
段階Ｓ２３４で、図２７ないし図３０に示すように、バンプと第１絶縁層との上部にメッキ層を積層する。図２７に示すように第１絶縁層２７１とバンプ２６との上面に第２シード層２４２を積層し、第２ドライフィルム２５２を第２シード層２４２上に積層した後、露光及び現像の工程を行うと、図２８に示すような段階のものが出来上がる。以後、電解メッキすると、図２９に示すように、メッキ層２８１が形成される。
【００３６】
以後、第２ドライフィルム２５２を除去した後、露出された第２シード層２４２を除去すると、図３０に示すような形態のものになる。
【００３７】
段階Ｓ２３５で、図３１に示すように、メッキ層に第２絶縁層を積層する。第２絶縁層２７２は第１絶縁層２７１と同じ材質を使用することができる。
【００３８】
段階Ｓ２３６で、図３２に示すように、メッキ層の一部が露出されるように第２絶縁層を除去する。第２絶縁層２７２はレーザーなどを用いて除去することができる。露出されたメッキ層２８１にはソルダボール３１が結合されることになるため、ソルダボール３１の結合に適合した幅でメッキ層２８１が露出されるようにする。
【００３９】
図３３を参照すると、 露出された前記メッキ層に表面処理層を形成する。露出されたメッキ層２８１を保護し、後でソルダボール３１との接着性を増加させるために、ニッケル−金メッキで表面処理層２９を形成することができる。
【００４０】
段階Ｓ２３８で、表面処理層２９にソルダボールを実装する。ソルダボール３１を表面処理層２９に位置させ、リフロー工程を行いソルダボール３１を表面処理層２９に接着させる。
【００４１】
前述したように、本実施例の工程はキャリアに付着されているウェハーの全てに行われる。以後、ウェハーを形成するチップを分離する工程のダイシング工程をさらに行い、パッケージングが完成されたチップを得ることができる。
【００４２】
前記では本発明の好ましい実施例に対して説明したが、当該技術分野において通常の知識を有する者であれば特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更することができることを理解できよう。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法のフローチャートである。
【図２】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図３】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図４】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図５】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図６】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図７】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図８】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図９】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図１０】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図１１】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図１２】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図１３】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図１４】本発明の第１実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図１５】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法のフローチャートである。
【図１６】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図１７】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図１８】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図１９】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図２０】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図２１】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図２２】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図２３】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図２４】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図２５】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図２６】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図２７】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図２８】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図２９】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図３０】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図３１】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図３２】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図３３】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【図３４】本発明の第２実施例によるウェハーをパッケージングする方法の工程図である。
【符号の説明】
【００４４】
１１  キャリア
１１１  貫通孔
１２  テープ
１３  ウェハー
１３１  チップ
１３１１  シリコーン層
１３１２  保護膜
１３１３  電極
１４１  第１感光性絶縁層
１４２  ドライフィルム
１４３  第２感光性絶縁層
１５１  シード層
１６  メッキ層
１７  アンダバンプメタル
１８  ソルダボール
【図１】
0005114239.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0005114239.tif 000014
【図１４】
0005114239.tif 000015
【図１５】
0005114239.tif 000016
【図１６】
0005114239.tif 000017
【図１７】
0005114239.tif 000018
【図１８】
0005114239.tif 000019
【図１９】
0005114239.tif 000020
【図２０】
0005114239.tif 000021
【図２１】
0005114239.tif 000022
【図２２】
0005114239.tif 000023
【図２３】
0005114239.tif 000024
【図２４】
0005114239.tif 000025
【図２５】
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【図２６】
0005114239.tif 000027
【図２７】
0005114239.tif 000028
【図２８】
0005114239.tif 000029
【図２９】
0005114239.tif 000030
【図３０】
0005114239.tif 000031
【図３１】
0005114239.tif 000032
【図３２】
0005114239.tif 000033
【図３３】
0005114239.tif 000034
【図３４】
0005114239.tif 000035