(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光出射口及び冷却風の通気口を有する筐体と、
前記筐体内に配置された放電ランプと、
前記放電ランプに取り付けられたトリガ電極と、
前記放電ランプからの光を反射する、金属よりなる反射ミラーと、
を備えてなる光照射装置において、
前記筐体に前記通気口と流通可能な絶縁性を有する風洞が取り付けられ、
該風洞の一方の端部開口には前記反射ミラーが取り付けられ、他方の端部開口が前記筺体に固定されており、
前記反射ミラーには通気用の貫通孔が形成されている
ことを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
前記反射ミラーの貫通孔は、前記放電ランプの管軸を対称として千鳥状に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
【請求項３】
前記放電ランプは、発光管の少なくとも一部が一平面内においてらせん形状を有するものであり、
前記反射ミラーの貫通孔は、前記発光管のらせん部分の中心側において外周側よりも開口率が大きい
ことを特徴とする請求項２に記載の光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はトリガ電極が取り付けられた放電ランプと該ランプの光を反射する反射ミラーを備えた光照射装置に関し、特にＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）の製造工程において、ディスクを貼り合わせる際使用される紫外線を照射する光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光硬化性樹脂材料を硬化処理するために紫外線を照射する光照射装置が使用されている。このような光照射装置は、ランプハウスの内部に、紫外線を含む光を放射する放電ランプと、この放電ランプからの光を被照射物に向かって反射する光反射性を有する部材、例えば反射ミラーとが配置されて構成されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ：以下、ＤＶＤという。）の製造工程において紫外線を照射する光照射装置が掲載されている。
かかるＤＶＤは少なくとも一方に情報記録面が設けられた２枚の薄型ディスクを貼り合わせる構造であり、上記２枚のディスクの貼り合わせには、光硬化性樹脂を用いた接着が行われる。上記光硬化性樹脂を用いた接着は、通常、光硬化性樹脂をスピンコート法等を用いて板状体の接着面に一様に塗布し、放電ランプを用いて両面もしくは片面から光を照射して接着剤を硬化させる。
この際、光硬化性樹脂には、ディスク基板や情報記録膜を介して光（紫外線）が照射されるため、光源用の放電ランプとしては、前記情報記録膜を通過して光硬化性接着剤を硬化させるために十分な強度の高い光（紫外線）を放射できるものである必要がある。一方、ディスク基板自体は、ポリカーボネート等の樹脂よりなるため熱による変形を生じやすく、貼り合せ工程においては瞬時に非常に強度の高い光（紫外線）を放射し、基板を過熱することなく接着剤を硬化させなければならない。
このような事情から、上記放電ランプとしては閃光的に光を放射するフラッシュランプが好適に使用されている。かかるフラッシュランプは熱輻射が少なく、ディスク材に加熱による変形を生じさせることなくディスクの貼り合わせを確実に実現することができる。
【０００４】
なおこのような、ディスクの貼り合せに用いられる放電ランプ或いは放電ランプを用いた光照射装置に関しては、例えば特許文献１〜３が知られている。
【０００５】
図５〜図７を参照して従来技術にかかる光照射装置について説明する。図５は光照射装置に搭載される放電ランプの斜視図、図６はこのランプの点灯回路の概略図、図７は光照射装置の構成例を示す説明用断面図である。なお、図７で示す装置は、ディスクの片面側から光を照射する構成を有するものである。
【０００６】
図５において、放電ランプ３０は、閃光的に紫外線を含む放射光を放出する、例えばキセノンフラッシュランプであり、同一平面上においてらせん形状をなすように成形された発光部３２と、当該発光部３２の両端のそれぞれに連続する端部領域が、発光部３２を含む平面に対して垂直方向に屈曲されて構成された脚部３３とを有し、内部に放電空間Ｓ１を有する発光管３１を備えている。
発光管３１の脚部３３の内部には、例えばバリウムアルミネートをエミッタ物質として微量に含んだモリブデンにより構成された電極３４，３５が配置されると共に、当該電極３４，３５を先端に有する電極棒が脚部３３の管軸に沿って伸び、発光管３１の外端面から外方に突出して伸びるよう配設されており、発光管３１の端部において気密に溶着されて封止されている。なお、電極３４，３５においては、発光管３１のらせん部分における最外周位置の端部３１ａに陰極３４が、中心側端部３１ｂに陽極３５が位置されている。
発光管３１の外周面上には、光取出し側と反対側にトリガ電極３６が添設されており、発光管３１の端部３１ａ，３１ｂにおいて電極の近傍に取り付けられた金属などの導電性材料からなる環状部材によって支持されている。またこのトリガ電極３６には、放電ランプ３０の陰極側端部３１ａ側にリード線Ｗ１が取り付けられている。
【０００７】
図６において、４１はコンデンサ４４を充電するための直流電圧電源、４２は充電電流制御用抵抗、４３は直流電圧電源４１および充電電流制御用抵抗４２を直列に接続した直流充電回路、４４は直流充電回路４３からの電荷が蓄積され充電されるコンデンサ、４５は放電ランプ３０の放電時の電流波形を制御するリアクタンスＬのコイル、４６は、放電開始用トリガ電圧を放電管のトリガ電極３６と、陰極３４および陽極３５との間に与えるための繰り返しトリガ発生回路である。
【０００８】
放電ランプ３０の発光の機構について説明すると、直流充電回路４３により、コンデンサ４４には高電圧が充電される。スイッチング機構の開成により、かかる充電電圧がランプの陽極３５と陰極３４との間に印加される。これとほぼ同時に、トリガ電圧がトリガ電極３６と陰極３４および陽極３５との間に印加され、トリガ電極３６と陰極３４および陽極３５との間にいわゆる誘電体バリア放電が生じる。これを開始点として、陰極３４と陽極３５との間で放電が発生し、発光する。
【０００９】
図７は、この放電ランプ３０が組み込まれた光照射装置の説明用断面図である。なお、先に図５および図６において説明した構成と同じ構成については同符号で示して詳細説明を省略する。
鋼板等の金属板より構成された筐体６１の内部には、放電ランプ３０および反射ミラー５０が配設されている。反射ミラー５０は、放電ランプ３０からの放射光を、筐体６１底面にある光出射口６２の方向に反射するものであり、その材質は例えばアルミニウムよりなる。また、光出射口６２には石英ガラスよりなる光出射窓６３が設置されている。
【００１０】
筐体６１の一方の側面には冷却風を送風する送風口６４と、これを排気する排気口６５が形成されている。冷却風の送風口６４には、ダクト６６を介してブロア（送風機）６７が接続されており、ブロア６７から送出される冷却風が筐体６１の内部を、紙面において左から右方向に、換言すると放電ランプ３０の発光部３２平面と略平行な方向に流過することにより、放電ランプ３０、反射ミラー５０、および光出射窓６３が冷却される。冷却風は、排気口６５から排気される。
また、図７において符号６８は、貼り合せが行なわれる予定の樹脂が未硬化状態の２枚のディスク基板よりなるワークであり、処理ステージ６９上に載置されている。
なおワーク６８は、具体的には情報記録膜が形成された２枚のディスク基板を備え、前記した情報記録膜と光硬化性樹脂（接着剤）とを挟んで積載状態に配置されている。
【００１１】
トリガ電極３６は被処理物の方向とは反対側、即ち反射ミラー５０側に配設されている。これは、発光管３１のトリガ電極３６が配置された側においては、熱で他の部分に比べて高温に加熱されやすく、白濁や褐色化して光（紫外線）が透過しにくくなることから、被照射面における照度が低下してしまうため、トリガ電極３６が配設された領域を反射ミラー５０側に配置することで、ワーク６８を直接的に照射する光の照度低下を低減するためである。このような装置については、特許文献４に記載されている。
【００１２】
なおこのように発光管３１の特定方向に白濁や褐色化が生じる理由は下記の通りである。
すなわち、放電ランプ３０を発光させる際、トリガ電極３６には、例えば、アース電位である陰極３４に対しては、約−１５ｋＶ、陽極３５に対しては、約−２０ｋＶという高い電圧が印加され、つまり、放電開始時、ランプ全体としては、トリガ電極３６が取り付けられている部分が最も電圧の低い部分となる。そして、トリガ電圧によって、トリガ電極３６と電極３４，３５の間に、発光管３１の壁面を介した放電、すなわち、誘電体バリア放電が発生すると、放電で発生したプラズマはトリガ電極３６に対して正電位にあり、トリガ電極３６に引き寄せられる。その結果、発光管３１のトリガ電極配置側がプラズマの熱で高温化し、上記したように白濁や褐色化が生じる。なおこのようにトリガ電極３６に高電圧を印加する理由は、誘電体である石英ガラスからなる発光管３１の壁を越えてトリガ電極３６と陰極との間に放電を開始させなければならないためである。
【００１３】
【特許文献１】特開平９−１９３２４９号公報
【特許文献２】特開平９−８７５９２号公報
【特許文献３】特表２００２−５２８８４６号公報
【特許文献４】特開２００１−１８５０８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、トリガ電極３６を反射ミラー５０側に位置すると、これらは両部材の距離が極めて接近しているため、トリガ電極３６に高電圧を印加した時、トリガ電極３６と反射ミラー５０との間で放電（地絡）が発生することがあり、陰極３４と陽極３５の間に十分なエネルギー（電圧）を供給することができず、ミス発光が生じることがある。放電ランプ３０がミス発光すると予定された紫外光の照射ができず、ワーク６８の処理を完遂することができないといった事態に至る。
【００１５】
また、トリガ電極３６を発光管３１において反射ミラー５０側に位置した状態では、冷却風は反射ミラー５０のつば部５１にけられてトリガ電極３６の周囲に流れ込み難く、上述したようにプラズマを誘引することと相俟って、発光管３１がますます加熱されるといった事態に至る。そのため、放電ランプ３０は、発光管３１の白濁や変色による光透過性の低下に従い照度が低下し、早期にランプ交換をしなければ所定の光量が得られないといった事態に至る。
【００１６】
本発明が解決しようとする課題は、トリガ電極と反射ミラーとの間で生じる放電（地絡）を確実に防止できるとともに、反射ミラーとランプとの間に冷却風を効率よく供給することができて、発光管の過熱による変色に由来する照度の早期低下を抑制できる光照射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明に係る光照射装置は、
光出射口及び冷却風の通気口を有する筐体と、
前記筐体内に配置された放電ランプと、
前記放電ランプに取り付けられたトリガ電極と、
前記放電ランプからの光を反射する、金属よりなる反射ミラーと、
を備えてなる光照射装置において、
前記筐体に前記通気口と流通可能な絶縁性を有する風洞が取り付けられ、
前記反射ミラーは、前記風洞に、その一方の開口を塞ぐように支持されてなることを特徴とする。
また、前記反射ミラーに貫通孔が形成されていることを特徴とする。
また、前記反射ミラーの開口は放電ランプの管軸を対称として千鳥状に配置されていることを特徴とする。
また、前記放電ランプは、発光管の少なくとも一部が一平面内においてらせん形状を有するものであり、前記反射ミラーの開口は、発光管のらせん部分の中心側において外周側よりも開口率が大きいことを特徴とする。
【００１８】
本発明によれば、筐体と反射ミラーの間に、電気的に絶縁性の材料よりなり、反射ミラーと筐体との間に、反射ミラーおよび筐体間において沿面放電が生じないよう離間させることが可能な高さを有する風洞を備え、当該風洞によって反射ミラーを支持することにより、反射ミラーとトリガ電極とが導通しても、放電を発生させるために十分なエネルギーを陰極と陽極との間に供給することができ、放電ランプを確実に発光させることができる。
さらに、ミラーの風洞を筒状に構成すると共に、反射ミラーに複数の貫通孔を設けてこれを筒状の風洞の一端にその一方の開口を塞ぐように取り付ける。このように風洞と反射ミラーを一体化させて、冷却風が反射ミラーに設けられた穴を通り抜けるようにすると、冷却風によるランプの冷却効率が格段に高まる。
【発明の効果】
【００１９】
（１）  反射ミラーが、絶縁性の風洞で支持されるので、放電ランプのトリガ電極を反射ミラー側に配設しても、反射ミラーは電気的に浮いている状態なので、トリガ電極と反射ミラーとの間で放電（地絡）が発生しない。したがって、トリガ部材に供給したエネルギーは所定通りトリガ電極と、陰極および陽極との間に供給され、ランプを確実に発光させることができる。
（２）反射ミラーに形成した通気用の開口からランプに対して冷却風を供給するので、ランプ周囲に冷却風が確実に流通するようになり、温度が高くなるトリガ電極の近傍においても確実に発光管を冷却することができる。したがって、ランプの温度上昇を防ぐことができ、ランプを長時間使用することができる。
（３）反射ミラーの貫通孔が、発光管の軸を透過した仮想線に対して千鳥状に配置されていることで、風が発光管の周囲をむらなく通過し、発光管の冷却状態が偏ることがなくなる。
（４）放電ランプの発光管の発光部がらせん形状部分を有している場合、反射ミラーに形成される前記開口は、発光管の中心部側が外側よりも開口比率が大きいので、過熱されやすい中心側を効率よく冷却することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１〜３を参照して本発明について詳細に説明する。図１は本発明の光照射器の構成を示す説明用断面図、図２は光照射器の斜視図であり、主要な構成について分解して示す図である。また図３は筐体下面の光出射方向から反射ミラー及び放電ランプを見た透過説明図である。また、放電ランプの構成及び点灯回路図については先に図５または図６で示したものと同じであり、これらを参照して説明する。
光照射装置１０の筐体１１は金属製のフレーム及び外装カバーによって構成されており、紙面において下面には開口が形成され、放電ランプ３０から放射される光が出射される光出射口１２が形成されている。光出射口１２には紫外線透過性を有する例えば石英ガラスからなる光透過窓１３が取り付けられ、放電ランプ３０から放射された光はこれを透過して処理ステージ１９上に配置されたワーク１８に対して照射される。
【００２１】
ワーク１８は例えばＤＶＤ製造における２枚のディスクピース間に光硬化型接着剤が塗布されたものであり、放電ランプ３０から放射された光（紫外線）は、光出射口１２の光透過窓１３を介して、処理ステージ１９に載置されたワーク１８に照射され、この結果、放電ランプ３０からの閃光が照射されることにより、光硬化型接着剤が硬化し、ディスクピースの貼り合わせが行われる。
【００２２】
筐体１１において上面には、送風口１４が設けられており、ダクト１６を介してブロア（送風機）１７が接続されている。ブロア１７から送出される冷却風は、筐体１１内部に設置された風洞２３を通じて反射ミラー２０、放電ランプ３０、及び、光透過窓１３の近傍を流過し、最終的に排気口１５から排気される。
なおブロア１７の位置はこの実施形態の位置に限定されるものではなく、排気口１５側に配置することも可能であり、すなわち、冷却風の送風ルートを逆方向にすることもできる。
【００２３】
本実施例において、放電ランプ３０はフラッシュランプである。このフラッシュランプは、上述したような、２枚の円板状のディスクピースを貼り合わせる工程において、接着用の光硬化性樹脂の硬化処理に好適に用いられるものである。
この放電ランプ３０の構成について、前図、図５を参照して詳細に説明する。
放電ランプ３０は、円筒状の発光管形成用材料が同一平面上においてらせん形状をなすように成形された発光部３２と、当該発光部３２の両端のそれぞれに連続する端部領域が、発光部３２を含む平面に対して垂直方向に屈曲されて構成された脚部３３とを有し、内部に放電空間を有する石英ガラスよりなる発光管３１を備えている。
発光管３１の内部には、希ガスであるキセノン、クリプトンおよびアルゴンのうちの１種あるいは２種以上が封入されており、例えば発光により波長２００〜１１００ｎｍの波長領域の光が放射される。
【００２４】
発光管３１の脚部３３は、らせん状の発光部３２における最外周位置の端部３１ａと中心側端部３１ｂそれぞれに位置されており、各々の脚部３３の内部には、例えばバリウムアルミネートをエミッタ物質として微量に含んだモリブデンにより構成された略円柱状の電極３４，３５が配置されると共に、当該電極３４，３５を先端に有する電極棒が脚部３３の管軸に沿って伸びている。なお、最外周位置の端部３１ａにおいて陰極側電極３４が、中心側端部３１ｂにおいて陽極側電極３５が配置される。
【００２５】
発光管３１の外周面上には、光取出し側と反対側の面（すなわち、図１においては反射ミラー２０側）に添ってトリガ電極３６が添設されており、発光管３１の端部３１ａ，３１ｂにおいて電極の近傍に取り付けられた金属などの導電性材料からなる環状部材によって支持されている。またこのトリガ電極３６には、放電ランプ３０の陰極側端部３１ａ側にリード線Ｗ１が取り付けられている。
この放電ランプ３０は、先に図６で説明したランプ点灯回路によって閃光的に発光が生じる。なお点灯の機構は前述と同様でありここでの説明を省略する。
【００２６】
ここで、再び図１〜図３を参照し、光照射装置における全体構成について説明する。
反射ミラー２０は、放電ランプ３０からの光を光出射口１２の方向に反射するものであり、材質としては金属、例えばアルミニウムより構成される。この反射ミラー２０は、その外郭部分に下方（光出射口方向）に向けて拡開するつば状部２１を備えており、図２及び図３からわかるように、ランプ３０の発光部３２を包囲するような大きさを有する円錐台形状をなしている。また、反射ミラー２０の上底面には、ランプ３０の発光部３２形状の軸に添うように多数の貫通孔２２が形成されている。なお、後段で詳述するが、反射ミラー２０の設けられた貫通孔２２を介して放電ランプ３０への冷却風が供給されるようになる。
【００２７】
放電ランプ３０は、図１、図２に示すように、その脚部３３が反射ミラー２０に形成されている貫通孔２２ａ，２２ｂに挿入された状態で、不図示の固定部材によって反射ミラー２０に固定され、放電ランプ３０の発光管３１と反射ミラー２０とは近接した状態に配置されている。
【００２８】
そして、この反射ミラー２０は、内部が中空の筒状に成形された風洞２３によって支持されている。風洞２３はガラス繊維のような無機絶縁性の材質より構成されており、この風洞２３における一方の端部開口に反射ミラー２０の光出射側の縁部２０Ａが固定され、風洞２３の他方の端部開口が筐体１１における天井面に固定されている。
また、風洞２３は、筐体１１側の端部は送風口１４の内部と空間と連通し、ブロア１７から供給される冷却風をほとんど漏れのない状態で流通させることが可能である。
【００２９】
このように、風洞２３の一方の開口部に反射ミラー２０が固定され、他方の開口部は内部空間が送風口１４と連通するよう固定されているので、ブロア１７から供給される冷却風は、反射ミラー２０に向かって流れ、反射ミラー２０を効果的に冷却することができる。
また、この反射ミラー２０には上述したように、貫通孔２２が多数設けられており、風洞２３から供給された冷却風は反射ミラー２０の貫通孔２２を抜けて、放電ランプ３０の発光管３１の周囲を流過することができる。
この結果、放電ランプ３０もまた効果的に冷却され、トリガ電極３６の近傍において、発光管３１が過熱されることにより発生する白濁を低減することができる。なお、風洞２３および反射ミラー２０を通過し、放電ランプ３０の周囲を巡った冷却風は、光透過窓１３の周囲を流過して筐体１１における排気口１５に向かって流れる。
【００３０】
図３は、筐体１１下面の光出射方向から反射ミラー及び放電ランプを見た透過説明図である。同図において、破線で示した部分は放電ランプ３０の発光部３２の形状を示しており、一点破線で示した曲線Ｍはこの発光部３２の中心に相当する仮想曲線である。本実施形態において、反射ミラー２０の貫通孔２２の位置は、らせん部分の中心側においては外周側に比較してピッチが小さくなっていると共に、放電ランプ３０の発光部３２の中心線Ｍに対して直上ではなく、左右どちらかにずれて形成されており、しかも、中心線Ｍに対して左右交互に配置されるよう、略千鳥状に形成されている。
【００３１】
この結果、図４で示すように貫通孔２２から出た冷却風は発光部３２の側面に沿って流れ、流速が減衰することなく光放射窓１３に向かって流れるようになる。そして、図３で示したように、貫通孔２２は中心線Ｍに対して千鳥状に配置されているので、発光管３１の軸（Ｍ）方向において、均等に冷却することができ、更には、熱がこもり易い発光部３２の中心側においては貫通孔２２のピッチが狭くなっているので、より多くの冷却風が流過させることができるため、発光管３１にらせん形状部分を有する特殊な形態の放電ランプ３０であっても、全体をバランスよく冷却することができる。なお、貫通孔２２については、同図のような丸型に限定されず、長円状であっても良い適宜である。またこの実施形態では、貫通孔２２のピッチを変えることで冷却風の流量を調整したが、貫通孔２２の開口面積を変えることで、同様の効果を得ることも可能である。
【００３２】
再び図１、図２を参照して、本願に係る光照射装置について説明する。
風洞２３の側壁には、２つの貫通孔２３ａ，２３ｂがその中腹部分に設けられており、放電ランプ３０の電極３４，３５と電気的に接続されたリード線３７，３８がそれぞれ貫通孔２３ａ，２３ｂから導出されている。また、風洞２３の外周面上には、貫通孔２３ａ，２３ｂの近傍に端子台２４ａ，２４ｂが取り付けられており、給電線３７，３８はそれぞれ端子台２４ａ，２４ｂに接続されている。
すなわち、放電ランプ３０の陰極側電極３４のリード線３７は、風洞２３の貫通孔２３ａを通過して端子台２４ａに接続され、他方、陽極側電極３５のリード線３８は、風洞２３の貫通孔２３ｂを通過して端子台２４ｂに接続されている。
なお、端子台２４ａ，２４ｂにはそれぞれ、ランプ点灯電源（不図示）からの配線が、コネクタ２５を介して接続され、ランプ点灯電源の直流充電回路によりコンデンサに充電された高電圧が、陰極３４と陽極３５との間に印加されるようになる。
【００３３】
また、トリガ電極３６からの配線Ｗ１は反射ミラー２０の放射側の縁部２０Ａと光透過窓１３の間を通過し、風洞２３の側壁の外周面上に設置された端子台２６に接続されている。
端子台２６には、ランプ点灯電源（不図示）のトリガ発生回路からの配線Ｗ２が、コネクタ２７を介して接続されており、放電開始用トリガ電圧を、トリガ電極３６と陰極３４および陽極３５との間に供給する。
【００３４】
このように、トリガ電極３６は反射ミラー２０側に近接して設けられているが、反射ミラー３０は電気的絶縁性材料からなる風洞２３により支持されているため、結果として、反射ミラー２０はアース電位である筐体１１に対して電気的に浮いた状態になっている。
したがって、トリガ電極３６と反射ミラー２０との間で放電が発生することがないため、トリガ電極３６に供給される高電圧はエネルギーを奪われることなく、トリガ電極３６、陰極３４および陽極３５に確実に供給されるようになり、放電ランプ３０を安定的に発光させることができる。
無論、風洞２３は、反射ミラー２０と筐体１１との間で沿面放電が生じないよう、両部材の距離（間隔）が十分にとれるよう、相応の高さ（長さ）を有している。かかる風洞２３の高さ（長さ）は、トリガ電極３６に印加される電圧を勘案し適宜設定されるものであるが、一例を挙げると、トリガ電圧が陰極３４に対して約−１５ｋＶ、陽極３５に対して約−２０ｋＶという場合には、風洞２３の高さ（長さ）を１００ｍｍ以上とするのが好ましい。
【００３５】
以上説明した本発明に係る光照射装置によれば、以下のような格別の効果が得られる。
１．放電ランプと反射ミラーを電気的絶縁性材料よりなる風洞によって支持しているので、反射ミラーが電気的に浮いている状態になり、トリガ電極と反射ミラーとの間、または、反射ミラーと筐体との間で発生する放電（地絡）を確実に防止することができるようになる。したがって、トリガ部材に供給したエネルギーは所定通りトリガ電極と、陰極および陽極との間に供給され、ランプを確実に発光させることができる。
２．また、風洞は、中空円筒状であり、その一方の開口部において反射ミラーを保持し、他方の開口部においてはその内部が冷却風の流路と連通するよう筐体に固定されているため、反射ミラーと放電ランプに対し、冷却風を効率よく供給することができて、発光管の過熱に由来して生じる変色（白濁）を効果的に抑制することができる。この結果、照度の早期低下を抑制できる光照射装置とすることができる。
３．反射ミラーに形成した貫通孔から放電ランプに対して冷却風を供給するので、ランプの周囲に冷却風が確実に流通するようになり、温度が高くなるトリガ電極の近傍においても確実に発光管を冷却することができる。したがって、ランプの温度上昇を防ぐことができ、ランプを長時間使用することができる。
４．反射ミラーの貫通孔が、発光管の軸を透過した仮想線に対して千鳥状に配置されていることで、風が発光管の周囲をむらなく通過し、発光管の冷却状態が偏ることがなくなる。また、貫通孔の形成されるピッチが反射ミラーの外周側よりも中心側の方が狭く、すなわち、開口率が大きくなっているいため、らせん形状を有する発光管であってもランプ全体においてバランスよく冷却ができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施形態に係る光照射器の構成を示す説明用断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る光照射器の斜視図であり、主要な構成について分解して示す図である。
【図３】本発明の実施形態に係る光照射器の筐体下面の光出射方向から反射ミラー及び放電ランプを見た透過説明図である。
【図４】本発明の実施形態に係る反射ミラーおよび放電ランプの要部を拡大して示す、説明用断面図である。
【図５】光照射装置に搭載される放電ランプの斜視図である。
【図６】図５の放電ランプの点灯回路の概略図である。
【図７】従来技術に係る光照射装置の構成例を示す説明用断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０    光照射装置
１１    筐体
１２    光出射口
１３    光透過窓
１４    送風口
１５    排気口
１６    ダクト
１７    ブロア
１８    ワーク
１９    処理ステージ
２０    反射ミラー
２１    つば状部
２０Ａ  縁部
２２    貫通孔
２２ａ，２２ｂ  貫通孔
２３    風洞
２３ａ，２３ｂ  貫通孔
２４ａ，２４ｂ  端子台
２５    コネクタ
２６    端子台
２７    コネクタ
３０    放電ランプ
３１    発光管
３１ａ  最外周側端部
３１ｂ  中心側端部
３２    発光部
３３    脚部
３４    陰極（電極）
３５    陽極（電極）
３６    トリガ電極
３７，３８  リード線
Ｗ１    リード線
Ｗ２    リード線
４１    直流電圧電源
４２    充電電流制御用抵抗
４３    直流充電回路
４４    コンデンサ
４５    コイル
４６    トリガ発生回路
５０    反射ミラー
６１    筐体
６２    光出射口
６３    光出射窓
６４    送風口
６５    排気口
６６    ダクト
６７    ブロア
６８    ワーク
６９    処理ステージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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