(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下のものを有する湿式研削装置：
第１面を有し、第１方向に回転軸まわりに回転可能な、第１定盤、該第１定盤は該第１面に連通し、クーラントを供給可能な少なくとも１つの第１孔を有する；
該第１面に対向する第２面を有し、該第１方向と反対向きの第２方向に該回転軸まわりに回転可能な、第２定盤；
各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第1面に取り付けられる、複数の第１研削砥石セグメント；そして
各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第２面に取り付けられる、複数の第２研削砥石セグメント；を有し、
該第１定盤は該第２定盤の上側に位置し、該第１研削砥石セグメントと該第２研削砥石セグメントの間に被加工物は配置され、該クーラントは該被加工物に対して供給される；
各該第２研削砥石セグメントには、該第１孔に対向する位置を含む該回転軸を中心とする円弧状を有し、該第２方向両端縁間に延設される、少なくとも１つの溝が形成される。
【請求項２】
以下のものを有する湿式研削装置：
第１面を有し、第1方向に回転軸まわりに回転可能な、第１定盤、該第１定盤は該第１面に連通し、クーラントを供給可能な少なくとも１つの第１孔を有する；
該第１面に対向する第２面を有し、該第１方向と反対向きの第２方向に該回転軸まわりに回転可能な、第２定盤；
各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第1面に取り付けられる、複数の第１研削砥石セグメント；そして
各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第２面に取り付けられる、複数の第２研削砥石セグメント；を有し、
該第１定盤は該第２定盤の上側に位置し、該第１研削砥石セグメントと該第２研削砥石セグメントの間に被加工物は配置され、該クーラントは該被加工物に対して供給される；
各該第２研削砥石セグメントには、該第１孔に対向する位置を含む該回転軸を中心とする円弧と接する接線状を有し、該第２方向両端縁間に延設される、少なくとも１つの溝が形成される。
【請求項３】
請求項２記載の湿式研削装置において、該溝は該回転軸を中心とする円弧と接する複数の接線状の溝からなる。
【請求項４】
請求項1〜３のいずれかに記載の湿式研削装置において、該第1砥石セグメントは、該第１孔と連通する少なくとも１つの第２孔を有する。
【請求項５】
請求項1〜３にいずれかに記載の湿式研削装置において、該第１孔は、隣接する該第１砥石セグメントの間の隙間に連通する。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれかに記載の湿式研削装置において、該第１孔から被加工物に供給された該クーラントが該溝を介して流出される。
【請求項７】
請求項１〜３のいずれかに記載の湿式研削装置において、該溝の幅は３〜１５ｍｍである。
【請求項８】
請求項１〜３のいずれかに記載の湿式研削装置において、隣接する該第２砥石セグメントの間隔は１〜１０ｍｍである。
【請求項９】
請求項１〜３のいずれかに記載の湿式研削装置において、該溝の幅中心と該第１孔の中心との距離は１５ｍｍ以下である。
【請求項１０】
第１面を有し、第１方向に回転軸まわりに回転可能な、第１定盤、該第１定盤は該第１面に連通し、クーラントを供給可能な少なくとも１つの第１孔を有する；該第１面に対向する第２面を有し、該第１方向と反対向きの第２方向に該回転軸まわりに回転可能な、第２定盤；該第１定盤は該第２定盤の上側に位置する；そして、各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第１面に取り付けられる、複数の第１研削砥石セグメント；を有する湿式研削装置に設けられる、研削砥石セグメントであって：
該第２面に取り付けられ、
略扇状を有し、円盤状の研削砥石の一部であり、そして
該第１孔に対向する位置を含む該回転軸を中心とする円弧状を有し、該第２方向両端縁間に延設される、少なくとも１つの溝が形成される。
【請求項１１】
第１面を有し、第１方向に回転軸まわりに回転可能な、第１定盤、該第１定盤は該第１面に連通し、クーラントを供給可能な少なくとも１つの第１孔を有する；該第１面に対向する第２面を有し、該第１方向と反対向きの第２方向に該回転軸まわりに回転可能な、第２定盤；該第１定盤は該第２定盤の上側に位置する；そして、各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第１面に取り付けられる、複数の第１研削砥石セグメント；を有する湿式研削装置に設けられる、研削砥石セグメントであって：
該第２面に取り付けられ、
略扇状を有し、円盤状の研削砥石の一部であり、そして
該第１孔に対向する位置を含む該回転軸を中心とする円弧と接する接線状を有し、該第２方向両端縁間に延設される、少なくとも１つの溝が形成される。
【請求項１２】
請求項１１記載の研削砥石セグメントにおいて、該溝は該回転軸を中心とする円弧と接する複数の接線状の溝からなる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属、ガラス、石英、セラミックス等の素材からなる平板状部材の表面を、クーラントの存在下で研削するようにした湿式研削装置の改良、およびこうした装置に用いる研削砥石セグメントに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属、ガラス、石英、セラミックス等の素材からなる平板状部材の表面を平坦に研削するに当たっては、上下一対の定盤上の夫々に取り付けた研削砥石の間に被加工物（被研削物）を挟み、所定の荷重を負荷した状態で定盤を反対方向回転させることによって行われる。このとき用いられる砥石としては、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）やシリコンカーバイド（ＳｉＣ）等の砥粒を樹脂で結合したいわゆるレジンボンド砥石が用いられる。また砥粒としては、上記の他、ＺｒＯ，ＴｉＯ2等の酸化物やダイヤモンド等の微粉用いられることがある。
【０００３】
上記のような研削加工では、被加工物の両面を同時に研削するものであるので、高い平坦度が実現できるだけでなく、厚さの均一性も高いという特徴がある。
【０００４】
また上記のような研削加工では、界面活性剤や潤滑剤を含むクーラントと呼ばれる溶液（以下、「クーラント」と呼ぶ）を加工領域に連続的に供給しながら、湿式で行われるのが一般的である。このクーラントの主な役割は、（ａ）加工によって発生する熱を取り除くこと、（ｂ）砥石と被加工物との摩擦を制御して加工面の品質を保つこと、（ｃ）研削屑や脱落砥粒を加工箇所から効率良く除去することによって、疵の発生や砥石の目詰まりを制御して、加工速度の低下を防止すること、等が挙げられる。
【０００５】
上記のような研削加工を実施するための装置（湿式研削装置）の構成を、図面を用いて説明する。図１は、湿式研削装置の構成例を示す概略説明図であり、図中１は上側定盤、２は下側定盤、３は定盤回転軸、４は被加工物、５は加工物を固定するキャリアを夫々示し、６および７は夫々太陽ギヤおよびリングギヤと呼ばれ、定盤回転軸３と一致した回転中心を持ち、両者の回転の組合わせによりキャリア５を自転および定盤回転軸周りで公転させる。尚、上側定盤１および下側定盤２には、夫々研削砥石が取り付けられ、また上側定盤１には、上記クーラントを供給するための供給孔が設けられることになるが（後記図２参照）、図１では説明の便宜上図示していない。
【０００６】
上記のような装置構成において、上下一対となった定盤（上側定盤１および下側定盤２）を、定盤回転軸３を中心として反対方向に回転させることになる（上側定盤１の回転方向：矢印Ａ、下側定盤回転方向：矢印Ｂ）。このときキャリア５は、下側定盤２に追随して定盤回転軸３を中心として回転（公転：矢印Ｃ）すると共に、ギヤ６，７、およびキャリアの外周に設けられたギヤ等の連動によって、キャリア５自体も回転（自転：矢印Ｄ）することになる。
【０００７】
各キャリア５に固定された被加工物４は、上側定盤１および下側定盤２の夫々に取り付けられた研削砥石間に挟まれた状態となり（後記図２参照）、上記回転運動を行うことによって、被加工物の両面が研削加工されることになる。このような装置においては、通常、下側定盤２とキャリア５の公転Ｃの相対速度と、上側定盤１とキャリア５の公転Ｃの相対速度は互いに逆方向となり、且つ大きさがほぼ等しくなるように、各回転数や方向が設定されることになる。これによって、被加工物の上・下定盤に対する各相対摺動速度をほぼ等しくなるように設定される。また、キャリア５が自転することによって、被加工物を定盤のほぼ全面を均一に使用して研削できるものとなる。
【０００８】
上下一対の定盤（上側定盤１および下側定盤）、夫々に取り付けられる研削砥石、および被加工物の関係を図２（断面説明図）に示す。図２に示すように、上側定盤１の下方には研削砥石１０（上側研削砥石）が取り付けられると共に、下側定盤２の上方にも研削砥石１１（下側研削砥石）が取り付けられる。これらの研削砥石１０、１１間に、被加工物４が挟まれた状態となり、上記のような回転運動によって被加工物４の両面が研削砥石１０、１１によって研削されることになる。
【０００９】
クーラント２０の供給は、図２に示したように、上側定盤１に形成されたクーラント供給孔１７ａ，１７ｃを通して行われる。このクーラント供給孔１７ａ，１７ｃと、上側定盤に取り付けられる研削砥石セグメント１０ａ（後記図３参照）の間の隙間の位置を合わせ、この隙間を通してクーラントを被加工物４の表面に供給することもできるし、また図２に示したように上側定盤１に形成されたクーラント供給孔１７ａ，１７ｃと連通する孔１５を研削砥石１０に設けて、それを通してクーラントを被加工物４の表面に供給することもできる。
【００１０】
このようにクーラント２０が被加工物表面に供給されて上記した作用を発揮した後、装置の外周（図２における左方向）から外に排出される。また、夫々略扇状を有する研削砥石セグメント１０ａおよび研削砥石セグメント１１ａは、図３の平面図に示すように、円盤状に配置され、上側定盤１および下側定盤２に取り付けられる。
【００１１】
上記のような装置を用いた研削では、クーラント２０を供給しつつ行うため、このクーラント２０によって研削屑や脱落する砥粒を加工箇所から効率良く除去することができる。しかし、それでも研削屑や脱落砥粒が排除されずにこれらが研削砥石セグメントの表面に部分的に堆積し、研削砥石セグメント表面の目詰まりを発生させることがある。こうした目詰まりが発生すると、研削効率の低下が避けられない。
【００１２】
こうしたことから、研削砥石セグメントの形状や配列を工夫することによって、研削屑や脱離砥粒を研削砥石セグメント表面から効率的に外部に排出する関連技術も提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、クーラント２０中に分散された研削屑や脱落砥粒を効率良く外部に排出できるように、研削砥石セグメントに幅方向の斜めに伸びる溝加工を施す技術も提案されている（例えば、特許文献２〜４参照）。
【００１３】
上記の関連技術は、定盤の回転運動と被加工物との自・公転運動、およびこれらによって生じるクーラントの流れに着目して溝構造が決定されているものである。これらの関連技術によって、研削砥石セグメント表面の目詰まりの発生を或る程度抑制することができるのであるが、砥石の研削屑や脱落砥粒による目詰まりを十分に抑制することができない場合があり、目詰まりに基づく、被加工物表面の疵の発生や生産性の低下等が問題となっている。
【特許文献１】特開昭６０−２４２９７５号公報
【特許文献２】特開平６―１３４６７４号公報
【特許文献３】特開平６―２２６６４０号公報
【特許文献４】特開平６―２２６６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
従って、本発明の目的は、クーラント中に分散した研削屑や脱落砥粒を外部に効率良く排出することができ、砥石表面での目詰まりの発生を回避することのできる湿式研削装置、およびこうした湿式研削装置で用いる研削砥石セグメントを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明によると、以下のものを有する湿式研削装置が提供される。
第１面を有し、第1方向に回転軸まわりに回転可能な、第１定盤、該第１定盤は該第１面に連通し、クーラントを供給可能な少なくとも１つの第１孔を有する；
該第１面に対向する第２面を有し、該第１方向と反対向きの第２方向に該回転軸まわりに回転可能な、第２定盤；
各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第1面に取り付けられる、第１研削砥石セグメント；そして
各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第２面に取り付けられる、第２研削砥石セグメント；を有し、
各該２砥石セグメントには、該第１孔に対向する位置を含む該回転軸を中心とした円に沿って、該第２方向両端縁間に延設される、少なくとも１つの溝が形成される、湿式研削装置。
【００１６】
本発明の湿式研削装置においては、（ａ）該溝は該回転軸を中心とする円弧状を有していてもよい、（ｂ）該溝は該回転軸を中心とする円弧と接する接線状を有してもよい、（ｃ）該溝は該回転軸を中心とする円弧と接する複数の接線状の溝からなってもよい、（ｄ）該第1砥石セグメントは、該第１孔と連通する少なくとも１つの第２孔を有していてもよい、（ｅ）該第１孔は、隣接する該第１砥石セグメントの間の隙間に連通してもよい、（ｆ）該第１孔から被加工物に供給された該クーラントが該溝を介して流出されてもよい、（ｇ）該第１定盤は該第２定盤の上側に位置し、該第１研削砥石セグメントと該第２研削砥石セグメントの間に被加工物は配置され、該クーラントは該被加工物に対して供給されてもよい、（ｈ）該溝の幅は３〜１５ｍｍであってもよい、（ｉ）隣接する該第２砥石セグメントの間隔は１〜１０ｍｍであってもよい、（ｊ）該溝の幅中心と該第１孔の中心との距離は１５ｍｍ以下であってもよい、等の構成を採用できる。
【００１７】
本発明によると、以下のものを有する研削砥石セグメントも提供される。
第１面を有し、第１方向に回転軸まわりに回転可能な、第１定盤、該第１定盤は該第１面に連通し、クーラントを供給可能な少なくとも１つの第１孔を有する；該第１面に対向する第２面を有し、該第１方向と反対向きの第２方向に該回転軸まわりに回転可能な、第２定盤；そして、各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第１面に取り付けられる、第１研削砥石セグメント；を有する湿式研削装置に設けられる、研削砥石セグメントであって：
該第２面に取り付けられ、
略扇状を有し、円盤状の研削砥石の一部であり、そして
該第１孔に対向する位置を含む該回転軸を中心とした円に沿って、該第２方向両端縁間に延設される、少なくとも１つの溝が形成される、研削砥石セグメント。
【発明の効果】
【００１８】
本発明においては、円盤状に配置され、下側定盤に取り付けられた略扇状の研削砥石セグメントにおいて、研削砥石セグメントにおけるクーラント供給孔の回転軌道に対応する領域に、定盤回転軸を中心とした円弧状または同一セグメント内で該円弧と接する接線状のクーラント流出溝、或は複数の接線が折れ線状に連続したクーラント流出溝を該研削砥石セグメント全幅に形成することによって、クーラント中に分散した研削屑や脱落砥粒を外部に効率良く排出することができ、研削砥石セグメント表面での目詰まりの発生を回避することのできる湿式研削装置が実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明者らは、磁気ディスク用アルミ基板の湿式研削を行ったときの、研削砥石の詰まりの発生機構について詳細に検討した。その結果、目詰まりは研削砥石全体に生じるのではなく、また目詰まりは不規則に生じるのではなく、研削砥石の特定の箇所で目詰まりが発生し易いことが判明した。また研削砥石の目詰まりは、上側に比べて下側の砥石で発生頻度が高く、クーラントの供給位置と良い相関関係があることも分かった。こうした状況を、図面を用いて説明する。尚、上述した関連技術と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
【００２０】
図４Ａは、上側定盤１の上から見た平面模式図であり、図４Ｂはその別の例である。上側定盤１の下には、複数の略扇状研削砥石セグメント１０ａ（前記図３参照）を配置することによって、上側研削石１０が構成されることになる。同様に、下側定盤２の上には、複数の略扇状研削砥石セグメント１１ａを配置することによって、下側研削石１１が構成される。クーラントの供給は、通常上下対となった定盤の上側定盤１に形成されたクーラント供給孔１７ａ〜１７ｃを通して行われることになる。クーラント供給孔１７ａ〜１７ｃは、図４Ａに示すように、同心円上に配置される。図４Ａでは、３本のクーラント供給孔が配置される同心円Ｅ〜Ｇが示されているが、３本に限らず、３本より多くても少なくてもよい。図４Ｂでは、２本の同心円Ｈ，Ｉが示されている。
【００２１】
クーラント供給孔に連通して、上側研削砥石１０には孔１５（前記図２参照）が形成されることになる。孔１５を形成する代りに、研削砥石セグメント１０ａの間の隙間の位置をクーラント供給孔に合わせてもよい。図４Ｂでは、研削砥石セグメント１０ａの間の隙間の位置をクーラント供給孔１７ｄ，１７ｅの位置に合わせている。
【００２２】
こうした構成において、研削砥石の目詰まりは、上側定盤１に形成されたクーラント供給孔１７ａ〜１７ｃ、およびこのクーラント供給孔１７ａ〜１７ｃに連通する上側研削砥石１０に形成された孔１５に相当する位置、即ち、クーラント供給孔１７ａ〜１７ｃが形成される円形軌道上（図４Ａ中、Ｅ〜Ｇで示す）の下側研削砥石１１の表面でその頻度が高くなる傾向があることが分かった。
【００２３】
こうした現象が生じる原因について、本発明者らが検討したところ、次のような知見が得られた。まずクーラントは、重力の影響を受けて、上から下に流れることになるので、研削屑や脱落砥粒による研削砥石の目詰まりも、下側研削砥石１１で起こり易いと考えられる。また、研削屑や脱落砥粒等が分散されたクーラントは、定盤の回転、被加工物の自転・公転だけでなく、クーラント供給孔での流れの影響をも受けるので、クーラント供給孔の形成箇所（前記回転軌道Ｅ〜Ｇ上）で目詰まりが発生し易くなるものと考えられた。
【００２４】
具体的には、上側定盤１および下側定盤２は、代表的には２０〜６０ｒｐｍ程度で回転するので、基本的にクーラントは遠心力により定盤の内周側から外周側に向かって（前記図２の右側から左側に向かって）流れることになる。しかしながら、クーラント供給孔１７ａ〜１７ｃの直下では、内周側から流れてきたクーラントと、クーラント供給孔１７ａ〜１７ｃから流入してきた新鮮なクーラントが合流するので、内周側から流れてきたクーラントの流れが阻害されることになる。そして、内周側から流れてきたクーラント中には研削屑や脱落砥粒が分散しており、合流地点（クーラント供給孔１７ａ〜１７ｃの直下）でクーラントの流れが阻害されることに起因して、当該合流地点での下側研削砥石１１上に研削屑や脱落砥粒等が堆積しやすくなるものと考えることができた。
【００２５】
そこで、こうした状況を考慮し、上記した機構に基づく研削砥石の目詰まりを防止する構成について、様々な角度から検討した。その結果、クーラント供給孔に対応する領域に、上側定盤の回転軸を中心とした円弧状の溝（以下、「クーラント流出溝」と呼ぶ）を、研削砥石セグメントの全幅に形成してやれば、上記目的が達成されることを見出した。
【００２６】
図５は、本発明で用いる研削砥石セグメントの構成例を示す平面図である。研削砥石セグメント１１ａにおいては、前記クーラント供給孔１７ａ〜１７ｃの回転軌道（前記図４ＡのＥ〜Ｇ）に対応する領域に、上側定盤１の回転軸を中心とした円弧状のクーラント流出溝１８が砥石セグメント全幅に形成されている。つまり、クーラント流出溝１８は、下側定盤２の回転方向における各研削砥石セグメント１１ａの両端縁間にわたって、前記回転軸軌道に沿って延設される。このクーラント流出溝１８のクーラント流れを考慮した形状は、図５に示したような円弧状である。また、加工の容易性等をも考慮すれば、図６（他の構成例）に示すような、同一セグメント内で上記円弧と接する接線状（直線状）のクーラント流出溝１８ａを平行に設けてもよい。或は、図７に示すように、同一円弧での複数の接線が折れ線状に連続したクーラント流出溝１８ｂとしてもよい。
【００２７】
こうしたクーラント流出溝１８（または１８ａ，１８ｂ）を研削砥石セグメント１１ａに形成したときのクーラントの流れについて、図８を参照しつつ説明する。図８は、クーラント流出溝１８（１８ａ，１８ｂ）を研削砥石セグメント１１ａに形成したときのクーラント２０の流れを説明するための図であり、この図８はクーラント流出溝１８，１８ａ，１８ｂを形成すること以外は、前記図２に相当するものであり、対応する部分には同一の参照符号が付してある。
【００２８】
図８に示すように、クーラント供給孔１７ａ〜１７ｃの回転軌道に対応する領域に、上側定盤１の回転軸を中心とした円弧状または接線状のクーラント流出溝１８，１８ａ（或いは折れ線状のクーラント流出溝１８ｂ）を形成した場合には、内周側から流れてきた研削屑等を含むクーラント２０は、内周側に配置された被加工物の周囲を経た後、クーラント流出溝１８，１８ａ，１８ｂに流れ込み、研削砥石表面に堆積することなく当該表面から効率良く除去されることになる。そして、クーラント流出溝１８，１８ａ，１８ｂに流れ込んだクーラント２０は、更に研削砥石セグメント１１ａ間の空隙を通って定盤外周側に経て外部に排出されることになる。一方、クーラント供給孔１５から流入してきた新鮮なクーラント２０は、研削砥石の回転によって生じる遠心力によって、被加工物４の周囲を経て定盤外周側に効率良く供給されることになる。
【００２９】
上記のような作用によって、研削砥石表面には新鮮なクーラントが効率良く供給されると共に、研削屑や脱落砥粒を含むクーラント２０が効率良く外部に排出されることになる。その結果、研削砥石の目詰まりの発生を抑制でき、生産性良く被加工物の表面研削が実行できることになる。
【００３０】
上記のようなクーラント流出溝１８，１８ａ，１８ｂは、研削砥石（下側研削砥石セグメント１１ａ）の使用による摩耗も考慮して十分な深さが必要である。研削砥石の初期の厚さが４０〜６０ｍｍ程度であり、使用による摩耗に伴って薄くなる。どの程度薄くなるまで使用できるかは、加工対象、加工目的、装置構成等によって異なるが、代表的には１０〜２０ｍｍ程度である。こうした摩耗を考慮して、砥石を使用する最小厚さにおいてもクーラント流出溝には十分な溝（５ｍｍ程度）が残っているようにする必要がある。
【００３１】
クーラント流出溝１８，１８ａ，１８ｂの溝幅については、上記の様な流出機構を考慮すれば、３ｍｍ以上であることが好ましい。これよりも狭くなると、研削屑を含むクーラントを効率良く排出しにくくなる。また、溝幅の上限については、研削効率および加工後の表面品質を劣化しない範囲という観点から決定する必要がある。この溝幅が広くなり過ぎると、加工に使われる有効な砥石面積が小さくなってしまい、加工効率が低下することになる。また、被加工物４が研削砥石１１の溝部分を通過する際に、溝の淵により加工への妨害を受けることになる。極端な場合には、被加工物４自体が溝に落ちて加工が不可能となることがある。こうした観点から、クーラント流出溝１８，１８ａ，１８ｂの溝幅は１５ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００３２】
砥石セグメント１１ａを配置するときの（前記図３参照）の相互に間隔についても、上記クーラント流出溝１８，１８ａ，１８ｂの溝幅と同様の理由から、１〜１０ｍｍとして配置することが好ましい。砥石セグメント１１ａ間をクーラントが流れる際には、遠心力が強く作用するので、砥石セグメント１１ａに形成される溝幅よりも、狭い幅で十分なクーラントの流れを実現できる。
【００３３】
下側定盤２に取り付けられる研削砥石１１（砥石セグメント１１ａ）に形成されるクーラント流出溝１８，１８ａ，１８ｂと、上側研削砥石セグメント１０ａに形成されるクーラント供給孔１５との位置関係については、クーラント流出溝１８，１８ａ，１８ｂの溝幅中心と、クーラント供給孔１５の中心との距離が１５ｍｍ以下であることが好ましい。上記溝幅中心とクーラント供給孔１５の中心との距離が１５ｍｍよりも大きくなると、クーラント供給孔１５から流れてくるクーラント２０と、研削砥石内周側から遠心力によって移動してくるクーラント２０とが合流して、研削砥石上でのクーラントの流れが乱され、目詰まりの原因になりやすくなる。尚、クーラント供給孔１５の形状は特に限定されず、加工し易さから多くの場合は円形に形成されるが、クーラント供給孔１５の形状が他の形状に形成された場合であっても、この基準に則して決定すれば良い。
【００３４】
クーラント流出溝の形状は、円弧に接する接線状のクーラント流出溝（前記図６の１８ａ）とすることがでもできるが（或いは折れ線状のクーラント流出溝１８ｂ）、こうした溝を形成した場合においても、溝幅中心とクーラント供給孔１５の中心との距離が１５ｍｍ以下となるような位置関係を保つことによって、十分なクーラント排出効果が達成されることになる。尚、クーラント流出溝１８，１８ａ，１８ｂの各研削砥石セグメント１１ａ毎の形成個数は、クーラント供給孔１７ａ〜１７ｃの形成個数によって決定すれば良く、通常２〜３本となるが（前記図４Ａおよび図４Ｂ参照）、研削砥石セグメント１１ａの大きさによっては、各研削砥石セグメント１１ａに１本のクーラント流出溝を形成するだけで、十分なクーラント排出効果が得られる場合もある。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】湿式研削装置の構成例を示す概略説明図である。
【図２】上下一対の定盤（上側定盤１および下側定盤）、夫々に取り付けられる研削砥石、並びに被加工物の関係を示す断面説明図である。
【図３】定盤上の研削砥石セグメントの配置を説明する平面図である。
【図４Ａ】上定盤の上から見た平面模式図である。
【図４Ｂ】図４Ａで示した上定盤の別の例である。
【図５】本発明で用いる研削砥石セグメントの構成例を示す平面図である。
【図６】本発明で用いる研削砥石セグメントの他の構成例を示す平面図である。
【図７】本発明で用いる研削砥石セグメントの更に他の構成例を示す平面図である。
【図８】クーラント流出溝を形成したときのクーラント流れの状況を説明するための図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  上側定盤
２  下側定盤
３  定盤回転軸
４  被加工物
５  キャリア
・  ギヤ
１０  上側研削砥石
１０ａ  研削砥石セグメント
１１  下側研削砥石
１１ａ  研削砥石セグメント
１５  孔
１７ａ〜１７ｅ  クーラント供給孔
１８，１８ａ，１８ｂ  クーラント流出溝
２０  クーラント
【図１】
0005275788.tif 000002
【図２】
0005275788.tif 000003
【図３】
0005275788.tif 000004
【図４Ａ】
0005275788.tif 000005
【図４Ｂ】
0005275788.tif 000006
【図５】
0005275788.tif 000007
【図６】
0005275788.tif 000008
【図７】
0005275788.tif 000009
【図８】
0005275788.tif 000010