(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１又は２以上のコロナ電極を有し、前記コロナ電極のそれぞれが、シースエアが供給されるシースエアノズル内に配置され、該コロナ電極に高電圧を印加することによりイオンを生成し、このイオンを除電対象物に供給して除電する低発塵シースエア式イオナイザーにおいて、
該イオナイザー本体の断面形状が流線形とされると共に、
前記コロナ電極の先端部が、前記ノズルの先端よりノズル内部に一定距離没入した位置に設けられ、前記ノズルの吹出口に至るシースエアの直線流路の最大長さであるシースエアの走行距離Ｌがノズルの内径ｄｉの４倍以上長く、ノズル内径ｄｉと前記コロナ電極の外径ｄｏが形成する二重円管部の相当直径Ｄｅ＝ｄｉ−ｄｏがφ３〜１ｍｍとされ、前記二重円管部のシースエア速度ｖ（ただし、ｖは１ｍ／ｓ以上）が、二重円管部のレイノルズ数Ｒｅが４００以下になるように設定されていることを特徴とする低発塵シースエア式イオナイザー。
【請求項２】
前記流線形の断面形状は、上流端が丸く、下流側へ行くほど細くなっている翼形であることを特徴とする請求項１記載の低発塵シースエア式イオナイザー。
【請求項３】
前記イオナイザー本体の断面形状を流線形とする場合に、イオナイザーの縦方向の長さＨと横方向の最大長さＤが、Ｈ／Ｄ≧２．０となるように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の低発塵シースエア式イオナイザー。
【請求項４】
前記ノズルのシースエア吹出し部に、４５度の面取り又はＲ＝０．５〜１．２５ｍｍの丸みが形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一に記載の低発塵シースエア式イオナイザー。
【請求項５】
前記イオナイザー本体の側面に、所定の幅の溝が複数個形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一に記載の低発塵シースエア式イオナイザー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シースエアの効果を維持しつつ、生成したイオンにより除電対象を除電することが可能なシースエア式イオナイザーに係り、特に、そのシースエアの流れを整流にして、必要とされるシースエア量の低減を可能とした低発塵シースエア式イオナイザーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体製造のクリーンルームでは、低湿度環境であること、及びウエハ及び半導体素子を運搬するプラスチック容器が帯電しやすいこと等により、静電気が発生している。この静電気は、ウエハ表面上に塵埃を付着させたり、ウエハ上のＩＣや半導体素子を破壊してしまい、製品の歩留りを低下させている。しかも、最近の半導体素子の高密度化に伴い、クリーンルームの超高清浄度化が望まれると共に、半導体素子の静電気耐性も低下し、このような静電気による生産障害が益々問題となっている。
【０００３】
また、クリーンルーム以外の生産環境においても、静電気の帯電による製品への塵埃付着、もしくは、静電気放電による静電破壊、及び電撃ショックにより、種々の生産障害が引き起こされ、問題となっている。
【０００４】
そこで、従来から、このようなクリーンルーム等の生産環境における静電気を除去する対策として、コロナ放電で生成したイオンにより帯電体の電荷を中和するコロナ放電式イオナイザーが利用されている。このコロナ放電式イオナイザーは、針状のコロナ放電電極（以下、コロナ電極という）に高電圧を印加することによりコロナ放電を発生させ、上記電極先端の周囲の空気をイオン化し、このイオンをクリーンルーム内の気流によって搬送して帯電体上の電荷を逆極性のイオンで中和するものである。
【０００５】
ところが、上記のコロナ放電式イオナイザーでは、クリーンルーム内等のエア中の微量ガス（シリコンシーラントから脱ガスしたシロキサン等）等の不純物が粒子化して、コロナ電極上に堆積していた。そして、コロナ電極上に堆積したこれらの不純物が、電極から再飛散する現象が発生するという問題点があった。
【０００６】
このような問題点を解決するために、上記のようなコロナ放電式イオナイザーにおいては、例えば、コロナ電極の周囲に、高価な高純度ガスをシースエアとして流すことにより、電極上への不純物の析出を防止し、発塵を防止することを可能としたものがある（特許文献１）。
【０００７】
特許文献１に示されたような従来のコロナ放電式イオナイザー（以下、シースエア式イオナイザーという）は、図１１に示したような構成を有している。すなわち、図１１（Ａ）に示すように、クリーンルームの天井には、清浄な空気を送り込む高性能フィルタであるＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air filter）フィルタ１と、シースエア式イオナイザー２とが設置されている。このシースエア式イオナイザー２には複数個のコロナ電極３が設けられ、これら各コロナ電極３には、それぞれ高電圧発生器４が接続されている。
【０００８】
また、このシースエア式イオナイザー２には、下方に向かってシースエアノズル５が設けられており、上記コロナ電極３が各シースエアノズル５内に配置されている。また、各シースエアノズル５には、バルブ６を介して、シースエアとして高純度Ｎ2ガスが供給されている。この高純度Ｎ2ガスは、半導体製造工程等において使用されるＮ2ガスであり、図示しない配管より供給されるように構成されている。また、図１１（Ｂ）に示すように、このシースエア式イオナイザー２は、その断面形状が略矩形とされている。
【０００９】
以上のように構成された従来のシースエア式イオナイザーにおいて、バルブ６を介して供給される高純度Ｎ2ガスは、各コロナ電極３の近傍に供給される。また、高電圧発生器４によって、コロナ電極３に高電圧が印加されることにより、コロナ放電が発生する。これによって、シースエアノズル５においては、コロナ電極３の周囲の高純度Ｎ2ガスがイオン化し、このイオンが上記高純度Ｎ2ガスにより、シースエアノズル５の外部へ運び出される。すなわち、高純度Ｎ2ガスがシースエアノズル５の上方から流入し、矢印方向に流れて、シースエアノズル５の下部先端から流出するように構成されている。
【特許文献１】特許第２８８０４２７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、近年、高純度Ｎ2ガスが高価であることと、液晶ガラス基板の大型化に伴ってイオナイザーも大型化し、設置するシースエアノズルの個数の増加により必要なシースエア量が急速に増加したため、シースエア量の低減が求められていた。
【００１１】
また、図１１（Ｂ）に示すような断面形状が略矩形の従来のシースエア式イオナイザーについて、数値気流シミュレーションにより計算したところ、０．３５ｍ／ｓのダウンフロー下で、その本体下部において、図１２に示すような気流の乱れが生じていることが分かった。
【００１２】
さらに、上記と同じ従来のシースエア式イオナイザーを用い、供給するシースエア量を１．０Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅとした場合と、２．０Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅとした場合について、シースエアの流れを可視化した結果を図１３（Ａ）（Ｂ）に示した。
【００１３】
図１３（Ａ）に示すように、供給するシースエア量が１．０Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅと少ない場合には、イオナイザー本体下部にできる気流の乱れにより、シースエアが乱されていることが分った。一方、供給するシースエア量を２．０Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅと多くした場合には、図１３（Ｂ）に示すように、シースエアは乱されないことが分った。
【００１４】
このように、断面形状が略矩形の従来のシースエア式イオナイザーにおいては、供給するシースエア量を多くしなければ整流とはならず、シースエアが乱されてしまうという問題点があった。
【００１５】
本発明は、上述したような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、ノズルから吹き出すシースエアの流れを常に整流とすることができ、必要とされるシースエア量の低減を可能とした低発塵シースエア式イオナイザーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、１又は２以上のコロナ電極を有し、前記コロナ電極のそれぞれが、シースエアが供給されるシースエアノズル内に配置され、該コロナ電極に高電圧を印加することによりイオンを生成し、このイオンを除電対象物に供給して除電する低発塵シースエア式イオナイザーにおいて、該イオナイザー本体の断面形状が流線形とされると共に、前記コロナ電極の先端部が、前記ノズルの先端よりノズル内部に一定距離没入した位置に設けられ、前記ノズルの吹出口に至るシースエアの直線流路の最大長さであるシースエアの走行距離Ｌがノズルの内径ｄｉの４倍以上長く、ノズル内径ｄｉと前記コロナ電極の外径ｄｏが形成する二重円管部の相当直径Ｄｅ＝ｄｉ−ｄｏがφ３〜１ｍｍとされ、前記二重円管部のシースエア速度ｖ（ただし、ｖは１ｍ／ｓ以上）が、二重円管部のレイノルズ数Ｒｅが４００以下になるように設定されていることを特徴とするものである。
【００２１】
上記のような構成を有する請求項１に記載の発明によれば、イオナイザー本体の断面形状を流線形とすることにより、ノズルから吹き出すシースエアの流れを整った栓流とすることができるので、シースエア量を削減することができる。また、イオナイザーによってクリーンルーム内のダウンフローが乱されることも防止できる。さらに、ノズル内の電極から発生した正負イオンが、イオナイザー本体下部にできる渦によって再結合することも防止できる。また、イオナイザー本体の断面形状を流線形とすると共に、シースエアノズルの形状を上記の条件を満たすように改良することにより、シースエア量が非常に少ない場合であっても、より安定したシースエアの流れ（栓流）を形成することができる。
【００２２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の低発塵シースエア式イオナイザーにおいて、前記イオナイザー本体の断面形状を流線形とする場合に、イオナイザーの縦方向の長さＨと横方向の最大長さＤが、Ｈ／Ｄ≧２．０となるように構成されていることを特徴とするものである。
【００２３】
請求項３に記載の発明は、イオナイザー本体の断面形状を流線形とする場合に、イオナイザーの縦方向の長さＨと横方向の最大長さＤの最適な比率を具体的に規定したものである。
【００２４】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか一に記載の低発塵シースエア式イオナイザーにおいて、前記ノズルのシースエア吹出し部に、４５度の面取り又はＲ＝０．５〜１．２５ｍｍの丸みが形成されていることを特徴とするものである。
【００２５】
上記のような構成を有する請求項４に記載の発明によれば、ノズルのシースエア吹出し部に面取り又は丸みを形成することにより、シースエアのノズル内壁からの剥離を良くすることができるので、シースエア量が非常に少ない場合であっても、より安定したシースエアの流れ（栓流）を形成することができる。
【００２６】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか一に記載の低発塵シースエア式イオナイザーにおいて、前記イオナイザー本体の側面に、所定の幅の溝が複数個形成されていることを特徴とするものである。
上記のような構成を有する請求項５に記載の発明によれば、流線形に沿う空気の流れをより整流化することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、ノズルから吹き出すシースエアの流れを常に整流とすることができ、必要とされるシースエア量の低減を可能とした低発塵シースエア式イオナイザーを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明に係る低発塵シースエア式イオナイザーの具体的な実施の形態（以下、実施形態という）を、図面を参照して説明する。
【００２９】
（１）第１実施形態の参考例１
（１−１）構成
本実施形態の低発塵シースエア式イオナイザーは、図１（Ａ）に示すように、その基本的な構成は図１１（Ａ）に示した従来型と同様であるが、図１（Ｂ）に示すように、その断面形状が流線形となるように構成されている。この場合、Ｈ／Ｄ≧２．０とすることが好ましい。なお、ここでいう断面形状が流線形とは、断面形状が図１（Ｂ）に示すような翼形で、上流端が丸く、下流側へ行くほど細くなっている形状をいう。
【００３０】
（１−２）作用
上記のような構成を有する本実施形態の低発塵シースエア式イオナイザーを用いた場合について、数値気流シミュレーションにより計算したところ、図２に示すように、０．３５ｍ／ｓのダウンフロー下で、その本体下部における気流の乱れは、図１２に示した従来型と比較して大幅に低減されていることが分った。
【００３１】
また、図１３に示したように、従来の断面形状が略矩形のシースエア式イオナイザーを用いた場合に、シースエアが乱されていた供給量（１．０Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅ）について、本実施形態の断面形状が流線形の低発塵シースエア式イオナイザーを用いてシースエアの流れを可視化したところ、図３に示すような結果が得られた。
【００３２】
図３から明らかなように、供給するシースエア量が１．０Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅと少ない場合でも、シースエアは整った栓流（整流）となっており、シースエアは乱されないことが分った。
【００３３】
（１−３）効果
上述したように、本実施形態の低発塵シースエア式イオナイザーにおいては、イオナイザー本体の断面形状を流線形とすることにより、ノズルから吹き出すシースエアの流れを整った栓流とすることができ、その結果、シースエア量を削減することができる。また、イオナイザーによってクリーンルーム内のダウンフローが乱されることも防止できる。さらに、ノズル内の電極から発生した正負イオンが、イオナイザー本体下部にできる渦によって再結合することも防止できる。
【００３４】
（２）第１実施形態の参考例２
本発明者等は、必要とされるシースエア量の低減を図りつつ、シースエアの安定化を図るべく、シースエア量を２．０Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅ程度以下（換言すれば、二重円管部のシースエアの流速ｖを１〜３ｍ／ｓ程度）に抑えることができるノズルの形状について種々検討を重ねた結果、以下の条件を満たすノズルを用いることが好ましいことが分かった。
【００３５】
（２−１）構成
本実施形態の低発塵シースエア式イオナイザーにおいては、図４に示すように、コロナ電極１３をシースエアノズル１５の先端から内部に約１ｍｍ没入させ、シースエアの走行距離Ｌとノズル内径ｄｉとの比（Ｌ／ｄｉ）を４以上とした上で、二重円管部の相当直径Ｄｅ（ノズル内径ｄｉ−電極外径ｄｏ）をΦ３〜１ｍｍの範囲内で決め、シースエア量Ｑすなわち二重円管部のシースエア速度ｖ（ただし、ｖは１ｍ／ｓ以上）を、二重円管部のレイノルズ数Ｒｅが４００以下になるように設定する。
【００３６】
ここで、シースエアの走行距離Ｌは、ノズルの吹出口に至る直線流路の最大長さを示す。すなわち、シースエアが乱れる流路部分を過ぎた後の直線部分を示す。なお、図４においては、シースエアが乱れる流路部分は図示されていない。
【００３７】
また、コロナ電極１３をシースエアノズル１５の先端から内部に一定距離没入させることにより、クリーンルームエア中の微量ガス成分（主に、Ｓｉ元素を含むガス：シロキサン等）が粒子化して析出する現象を防止することができる。一方、没入させる長さを大きくするとイオンが生成されなくなるため、電極先端の位置は、シースエアノズル１５の先端から１ｍｍ以内とすることが好ましい。
【００３８】
また、レイノルズ数Ｒｅは、次式により求められる。
【数１】
0005225694.tif 000002
【００３９】
（２−２）作用
上記のような構成を有する本実施形態の低発塵シースエア式イオナイザーにおいて、例えば、Ｌ／ｄｉ＝４．１、Ｄｅ＝３ｍｍ、レイノルズ数Ｒｅ＝１９４、シースエア量：１．０Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅとした場合の、シースエアの可視化結果を図５に示した。
【００４０】
図５から明らかなように、本実施形態の低発塵シースエア式イオナイザーにおいては、従来の断面形状が略矩形のシースエア式イオナイザーを用いた場合に、シースエアが乱されていた供給量（１．０Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅ）と同様の供給量であっても、シースエアが整った栓流となっていることが分った。
【００４１】
一般に、円管流路においてＬ／ｄｉが大きい程、流体が整流化され安定になるが、このシースエアノズルにおいては、Ｌ／ｄｉ＝４．１でも、レイノルズ数Ｒｅが小さければ、図５のように安定なシースエアの流れ（栓流）を形成できることが分った。
【００４２】
（２−３）効果
上述したように、本実施形態の低発塵シースエア式イオナイザーにおいては、コロナ電極をシースエアノズルの先端から内部に所定の長さ没入させ、シースエアの走行距離Ｌとノズル内径ｄｉとの比（Ｌ／ｄｉ）を４以上とした上で、二重円管部の相当直径Ｄｅ（ノズル内径ｄｉ−電極外径ｄｏ）をΦ３〜１ｍｍの範囲内で決め、シースエア量Ｑすなわち二重円管部のシースエア速度ｖ（ただし、ｖは１ｍ／ｓ以上）を、二重円管部のレイノルズ数Ｒｅが４００以下になるように設定することにより、シースエア量が少ない場合であっても、安定したシースエアの流れ（栓流）を形成することができる。
【００４３】
（３）第１実施形態
（３−１）構成
本実施形態の低発塵シースエア式イオナイザーにおいては、その断面形状を上記参考例１に示したような流線形とし、さらに、図６に示すように、シースエアノズル２５のエア吹出し部に丸みをつけ、コロナ電極１３をシースエアノズル２５の先端から内部に約１ｍｍ没入させ、シースエアの走行距離Ｌとノズル内径ｄｉとの比（Ｌ／ｄｉ）を４以上とした上で、二重円管部の相当直径Ｄｅ（ノズル内径ｄｉ−電極外径ｄｏ）をΦ３〜１ｍｍの範囲内で決め、シースエア量Ｑすなわち二重円管部のシースエア速度ｖ（ただし、ｖは１ｍ／ｓ以上）を、二重円管部のレイノルズ数Ｒｅが４００以下になるように設定する。
【００４４】
なお、シースエアノズル２５のエア吹出し部に形成する丸みは、Ｒ＝０．５ｍｍ〜１．２５ｍｍ程度とすることが好ましい。また、シースエアノズル２５のエア吹出し部に丸みを形成する代わりに、４５°の面取りを施しても良い。
【００４５】
（３−２）作用
上記のような構成を有する本実施形態の低発塵シースエア式イオナイザーにおいて、例えば、Ｌ／ｄｉ＝５．４、Ｄｅ＝２．１ｍｍ、レイノルズ数Ｒｅ＝１３９、シースエア量：０．５Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅとした場合の、シースエアの可視化結果を図７に示した。
【００４６】
シースエア量が０．５Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅと非常に少ない場合には、ノズルから吹き出すシースエアがイオナイザー本体下部にできる気流の乱れにより乱されやすくなるが、本実施形態の低発塵シースエア式イオナイザーを用いた場合には、図７に示すように、シースエアの流れは安定した栓流となった。
【００４７】
このように、シースエア量が０．５Ｌｉｔｅｒ／ｍｉｎ／ｎｏｚｚｌｅ程度と非常に少ない場合でも、イオナイザーの断面形状を流線形とし、且つ、ノズルの形状を上記のように設定することにより、安定したシースエアの流れ（整った栓流）を形成できることが分った。
【００４８】
なお、シースエアノズル２５のエア吹出し部に丸みを形成した場合に、図８（Ｂ）に示すように、安定したシースエアの流れを形成することができる理由は、シースエアのノズル内壁からの剥離を良くすることができるからであると考えられる。一方、図８（Ａ）に示すように、シースエアノズル１５のエア吹出し部に丸みを形成しない場合には、丸みを形成した場合と比較して、シースエアの流れに若干の乱れが生じていることが分かった。
【００４９】
（３−３）効果
上述したように、本実施形態の低発塵シースエア式イオナイザーにおいては、イオナイザーの断面形状を流線形とし、シースエアノズルのエア吹出し部に丸みをつけ、コロナ電極をシースエアノズルの先端から内部に所定の長さ没入させ、シースエアの走行距離Ｌとノズル内径ｄｉとの比（Ｌ／ｄｉ）を４以上とした上で、二重円管部の相当直径Ｄｅ（ノズル内径ｄｉ−電極外径ｄｏ）をΦ３〜１ｍｍの範囲内で決め、シースエア量Ｑすなわち二重円管部のシースエア速度ｖ（ただし、ｖは１ｍ／ｓ以上）を、二重円管部のレイノルズ数Ｒｅが４００以下になるように設定することにより、シースエア量が非常に少ない場合であっても、より安定したシースエアの流れ（栓流）を形成することができる。
【００５０】
（４）他の実施形態
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、具体的な各部材の形状、あるいは取付位置及び方法は適宜変更可能である。例えば、上記実施形態においては、流線形は図１（Ｂ）のように上流端が丸く、下流側へ行くほど細くなっている形状をいうとしたが、本発明においては、図９（Ａ）に示すように上流端が楕円形であるもの、（Ｂ）に示すように中央部が一定の幅で長いもの、（Ｃ）に示すように下流端が尖っていないものも流線形に含む。
【００５１】
また、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、イオナイザー本体の側面に複数の溝３０を形成しても良い。これにより、流線形に沿う空気の流れをより整流化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】（Ａ）は、本発明に係る低発塵シースエア式イオナイザーの第１実施形態の参考例１の概略構成を示す図、（Ｂ）は（Ａ）に示したイオナイザーのＡ−Ａ´断面図。
【図２】本発明に係る断面形状が流線形のイオナイザーを用いた場合の数値気流シミュレーションの計算結果を示す図。
【図３】本発明に係る断面形状が流線形のイオナイザーを用いてシースエアの流れを可視化した結果を示す模式図。
【図４】本発明に係る低発塵シースエア式イオナイザーの第１実施形態の参考例２の構成を示す断面図。
【図５】第１実施形態の参考例２に示すシースエアノズルを用いてシースエアの流れを可視化した結果を示す模式図。
【図６】本発明に係る低発塵シースエア式イオナイザーの第１実施形態の構成を示す断面図。
【図７】第１実施形態に示すシースエアノズルを用いてシースエアの流れを可視化した結果を示す模式図。
【図８】（Ａ）は、シースエアノズルのエア吹出し部に丸みが形成されていない場合のシースエアの流れを可視化した結果を示す模式図、（Ｂ）は、シースエアノズルのエア吹出し部に丸みを形成した場合のシースエアの流れを可視化した結果を示す模式図。
【図９】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明に係る低発塵シースエア式イオナイザーの他の実施形態の構成を示す断面図。
【図１０】本発明に係る低発塵シースエア式イオナイザーの他の実施形態の構成を示す図であって、（Ａ）は断面図、（Ｂ）は側面図。
【図１１】（Ａ）は、従来のシースエア式イオナイザーの概略構成を示す図、（Ｂ）は（Ａ）に示したイオナイザーのＡ−Ａ´断面図。
【図１２】従来の断面形状が略矩形のイオナイザーを用いた場合の数値気流シミュレーションの計算結果を示す図。
【図１３】従来の断面形状が略矩形のイオナイザーを用いてシースエアの流れを可視化した結果を示す模式図であって、（Ａ）は、供給されるシースエア量が１．０Ｌ／ｍｉｎの場合、（Ｂ）は、供給されるシースエア量が２．０Ｌ／ｍｉｎの場合を示す図。
【符号の説明】
【００５３】
１…ＵＬＰＡフィルタ
２…シースエア式イオナイザー
３、１３…コロナ電極
４…高電圧発生器
５、１５、２５…シースエアノズル
６…バルブ
３０…溝
【図１】
0005225694.tif 000003
【図２】
0005225694.tif 000004
【図３】
0005225694.tif 000005
【図４】
0005225694.tif 000006
【図５】
0005225694.tif 000007
【図６】
0005225694.tif 000008
【図７】
0005225694.tif 000009
【図８】
0005225694.tif 000010
【図９】
0005225694.tif 000011
【図１０】
0005225694.tif 000012
【図１１】
0005225694.tif 000013
【図１２】
0005225694.tif 000014
【図１３】
0005225694.tif 000015