(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
管の外周面に取り付けられた冷却部と、
液化したフラックスを回収する回収容器と、
上記管の少なくとも一部の管内に挿入／離脱自在に配され、雰囲気ガスが上記管内を通過する場合の長さを実質的により長くする管内フィンとを備え、
上記管内フィンは、上記管の延長方向に延びる軸に所定の間隔でもって取り付けられた板状フィンと上記軸の一端に取り付けられた係合部とを有し、上記板状フィンは、直径方向に形成されたスリットと、上記スリットの閉塞側に上記管の延長方向に延びる軸が挿入される孔を有する円板からなり、上記スリットを挟んで二つの半円部を反対方向にねじった形状を有し、
はんだ付け装置から導出された雰囲気ガスが上記管を通過することによって冷却され、冷却後の雰囲気ガスが上記はんだ付け装置に戻されるフラックス回収装置。
【請求項２】
上記管がほぼ垂直に配されると共に、上記管の一方の開口と通じる上部チャンバ内に上記雰囲気ガスが導入され、上記管の下部チャンバ内から液化したフラックスが回収容器に取り出される請求項１記載のフラックス回収装置。
【請求項３】
上記冷却部が上記管の外周面に、上記管とほぼ直交して固定された複数の冷却フィンで構成された請求項１記載のフラックス回収装置。
【請求項４】
上記はんだ付け装置は、加熱装置と、送風機と、上記加熱装置により加熱された雰囲気ガスを多数の孔を介して被加熱物に吹きつけるパネルとを有し、
上記送風機により生じる圧力の高い箇所から上記雰囲気ガスが上記はんだ付け装置から導出されて上記管に導かれ、上記送風機により生じる圧力の低い箇所から上記雰囲気ガスが上記はんだ付け装置内に導入される請求項１記載のフラックス回収装置。
【請求項５】
上記はんだ付け装置がそれぞれ上記加熱装置、上記送風機および上記パネルを有する上部炉と下部炉とから構成され、上記上部炉と上記下部炉との対向間隙を上記被加熱物が通過する構成とされ、
上記上部炉と上記下部炉のそれぞれに対して設けられた請求項４記載のフラックス回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばリフロー装置に使用されるフラックス回収装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品またはプリント配線基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中に基板を搬送コンベヤで搬送するリフロー装置が使用されている。リフロー装置は、基板を搬送する搬送コンベヤと、この搬送コンベヤによって被加熱物としての基板が供給されるリフロー炉本体とを備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに分割されており、これらの複数のゾーンがインライン状に配列されている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。
【０００３】
加熱ゾーンのそれぞれは、上部炉体および下部炉体を有する。例えばゾーンの上部炉体から基板に対して熱風が吹きつけられ、下部炉体から基板に対して熱風が吹きつけられることによって、はんだ組成物内のはんだを溶融させて基板の電極と電子部品とがはんだ付けされる。
【０００４】
はんだ組成物は、粉末はんだ、溶剤、フラックスを含む。フラックスは、成分としてロジンなどを含み、はんだ付けされる金属表面の酸化膜を除去し、はんだ付けの際に加熱で再酸化するのを防止し、はんだの表面張力を小さくして濡れを良くする塗布剤の働きをするものである。このフラックスは、加熱により、気化しリフロー炉内に充満する。気化したフラックスは、温度の低い部位に付着し易く、気化したフラックスが付着すると、付着している部位から滴下し、基板の上面に付着することもあり、基板の性能を損うこととなる。また、炉体内において温度が低下する部分に堆積する等によりリフロー工程に大きな影響を与える場合もある。したがって、リフロー炉内のフラックスを除去または回収する幾つかの方法が提案されている。
【０００５】
近年の鉛フリーのはんだのリフローでは、一般にＳｎ−Ｐｂ用クリームはんだに比して濡れ性が劣るために、リフロー温度も高めに推移するので、フラックスなどに耐熱性を持たせて濡れ性の低下を抑えるようになされる。すなわち、ソルダーペースト中に含まれるロジン成分が増量され、熱分解しにくい成分が使用される。このことは、炉体内に放出される気化したフラックスの成分が増加する結果をもたらす。
【０００６】
例えば、下記の特許文献１には、炉体の雰囲気ガスを炉体の外部の不純物除去手段に導いて不純物を除去した後に炉体に戻すリフロー装置が記載されている。特許文献１に記載の不純物除去手段は、熱交換フィンが設けられた本体内に冷却フィンおよびフィルタを有する筒状カートリッジを配置する構成とされている。
【０００７】
【特許文献１】特開平０４−０１３４７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載の不純物除去手段は、水平方向にカートリッジを配置し、カートリッジの交換によって不純物（フラックスの液化、または固化成分）を回収するので、カートリッジ交換作業が面倒であり、メインテナンスの作業性が劣っている問題があった。
【０００９】
したがって、この発明の目的は、雰囲気ガス中のフラックス成分を効率良く、簡単に回収することができるフラックス回収装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決するために、この発明は、管の外周面に取り付けられた冷却部と、
液化したフラックスを回収する回収容器と、
管の少なくとも一部の管内に挿入／離脱自在に配され、雰囲気ガスが管内を通過する場合の長さを実質的により長くする管内フィンとを備え、
管内フィンは、管の延長方向に延びる軸に所定の間隔でもって取り付けられた板状フィンと軸の一端に取り付けられた係合部とを有し、板状フィンは、直径方向に形成されたスリットと、スリットの閉塞側に管の延長方向に延びる軸が挿入される孔を有する円板からなり、スリットを挟んで二つの半円部を反対方向にねじった形状を有し、
はんだ付け装置から導出された雰囲気ガスが上記管を通過することによって冷却され、冷却後の雰囲気ガスが上記はんだ付け装置に戻されるフラックス回収装置である。
【００１１】
好ましくは、冷却部が上記管の外周面に、上記管とほぼ直交して固定された複数の冷却フィンで構成される。
【００１２】
好ましくは、管がほぼ垂直に配されると共に、管の一方の開口と通じる上部チャンバ内に雰囲気ガスが導入され、管の下部チャンバ内から液化したフラックスが回収容器に取り出される。管の外周面に、管とほぼ直交して固定された複数の冷却フィンで冷却部が構成される。
【００１３】
はんだ付け装置は、加熱装置と、送風機と、加熱装置により加熱された雰囲気ガスを多数の孔を介して被加熱物に吹きつけるパネルとを有し、
送風機により生じる圧力の高い箇所から雰囲気ガスがはんだ付け装置から導出されて管に導かれ、送風機により生じる圧力の低い箇所から雰囲気ガスがはんだ付け装置内に導入される。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、はんだ付け装置から取り出された雰囲気ガスが通過する管内に管内フィンが配されているので、短い長さの管であっても冷却効果を高めることができ、雰囲気ガス中のフラックス成分を効率良く回収できる。また、管内で液化したフラックス成分が下部チャンバに溜まり、外部の回収容器に流れ出るので、回収のために管内フィンを管から取り出す必要がなく、メンテナンス作業が面倒となることを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、この発明の一実施の形態によるリフロー装置の外板を除く概略的構成を示す。なお、この発明は、リフロー装置に限らずフロー装置に対しても適用することができる。図１では、説明の便宜上リフロー炉外に配置されるフラックス回収装置の図示が省略されている。なお、以下に説明する一実施の形態は、この発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発明の範囲は、以下の説明において、特にこの発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。
【００１６】
プリント配線基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物が搬送コンベヤの上に置かれ、搬入口１１からリフロー装置の炉体内に搬入される。搬送コンベヤが所定速度で矢印方向（図１に向かって左から右方向）へ被加熱物を搬送し、被加熱物が搬出口１２から取り出される。
【００１７】
搬入口１１から搬出口１２に至る搬送経路に沿って、リフロー炉が例えば９個のゾーンＺ１からＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１〜Ｚ９がインライン状に配列されている。入り口側から７個のゾーンＺ１〜Ｚ７が加熱ゾーンであり、出口側の２個のゾーンＺ８およびＺ９が冷却ゾーンである。冷却ゾーンＺ８およびＺ９に関連して強制冷却ユニット１４が設けられている。
【００１８】
上述した複数のゾーンＺ１〜Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがって被加熱物の温度を制御する。図２に温度プロファイルの例の概略を示す。横軸が時間であり、縦軸が被加熱物例えば電子部品が実装されたプリント配線基板の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間が温度がほぼ一定のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間が本加熱部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。
【００１９】
昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０°Ｃ〜１７０°Ｃ）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント配線基板の加熱ムラをなくすための期間である。本加熱部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０°Ｃ〜２４０°Ｃ）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。本加熱部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。本加熱部Ｒ３は、プリヒート部Ｒ２を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント配線基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。
【００２０】
図２において、曲線１は、鉛フリーはんだの温度プロファイルを示す。共晶はんだの場合の温度プロファイルは、曲線２で示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部Ｒ２における設定温度が共晶はんだに比して高いものとされている。
【００２１】
リフロー装置では、図２における昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１およびＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４およびＺ５が受け持つ。本加熱部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６およびＺ７が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ８およびゾーンＺ９が受け持つ。
【００２２】
加熱ゾーンＺ１〜Ｚ７のそれぞれは、それぞれ送風機を含む上部炉体１５および下部炉体３５を有する。例えばゾーンＺ１の上部炉体１５および下部炉体３５から搬送される被加熱物に対して熱風が吹きつけられる。
【００２３】
図３を参照して加熱装置の一例について説明する。例えばゾーンＺ６を搬送方向に対して直交する面で切断した場合の断面が図３に示されている。上部炉体１５と下部炉体３５との対向間隙内で、プリント配線基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物Ｗが搬送コンベヤ３１上に置かれて搬送される。上部炉体１５内および下部炉体３５内は、雰囲気ガスである例えば窒素（Ｎ2 ）ガスが充満している。上部炉体１５および下部炉体３５は、被加熱物Ｗに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出して被加熱物Ｗを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。
【００２４】
上部炉体１５は、例えばターボファンの構成の送風機１６と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ１８と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）１９とを有し、パネル１９の小孔を通過した熱風が被加熱物Ｗに対して上側から吹きつけられる。パネル１９は、例えばアルミニウムからなる。
【００２５】
下部炉体３５も上述した上部炉体１５と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機２６と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ２８と、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）２９とを有する。パネル２９の小孔を通過した熱風が被加熱物Ｗに対して下側から吹きつけられる。
【００２６】
上部炉体１５に対して、フラックス回収装置４１が設けられる。フラックス回収装置４１は、例えば外板で囲まれた空間内で上部炉体１５の背面側に設置される。下部炉体３５に対して、フラックス回収装置６１が設けられる。フラックス回収装置６１は、例えば外板で囲まれた空間内で下部炉体３５の背面側に設置される。フラックス回収装置４１は、上部炉体１５から導出された雰囲気ガスを冷却させるラジエター部４２と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器４３とからなる。同様に、フラックス回収装置６１は、下部炉体３５から導出された雰囲気ガスを冷却させるラジエター部６２と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器６３とからなる。
【００２７】
上部炉体１５内における風の流れを模式的に図４に示す。送風機１６は、モータ３８とモータ３８により回転される羽根３９とを有している。ターボファンの場合、羽根３９が回転すると、周辺の２箇所から送風が行われ、この風が炉体上部に２箇所設けられた穴５０および５１を介して上部炉体１５内に送り込まれる。さらに、ヒータ１８およびパネル１９を通過して被加熱物Ｗに吹きつけられる。さらに、送風機１６は、中心部付近の穴を介して炉体内の雰囲気ガスを導入する。
【００２８】
送風機１６によって熱風が循環する経路中に雰囲気ガスをフラックス回収装置４１に導出するための導出口としての穴５２が設けられる。穴５２は、炉内において圧力が高い箇所に設けられる。圧力が低い箇所には、フラックス回収装置４１からのガスを上部炉体１５内に導入するための導入口としての穴５３が設けられる。これらの穴５２および５３は、実際には、接続用管５４および５５のそれぞれの一端側の開口に対応している。接続用管５４および５５のそれぞれとフラックス回収装置４１の接続用管とが図示を省略したホースによって接続されている。下部炉体３５においても、炉内において圧力が高い箇所に設けられた穴から雰囲気ガスがフラックス回収装置６１に導出され、フラックス回収装置６１からのフラックス成分が減少したガスが炉内において圧力が低い箇所に設けられた穴から導入される。
【００２９】
なお、フラックス回収装置４１および６１は、リフロー装置の各ゾーンの中で雰囲気ガスの汚れが大きいゾーンに設けられる。但し、リフロー装置の全ゾーンまたは装置の出入り口にあるスロー部にフラックス回収装置４１および６１を配置しても良い。
【００３０】
図５を参照してフラックス回収装置例えばフラックス回収装置４１についてより詳細に説明する。フラックス回収装置４１のラジエター部４２は、ほぼ等しい径（内径および外径）で、ほぼ等しい長さの複数本例えば８本の管７１ａ，７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ，７１ｅ，７１ｆ，７１ｇ，７１ｈと、８本の管７１ａ〜７１ｈの延長方向と直交して取り付けられた多数の放熱板７２とを有する。管７１ａ〜７１ｈは、耐熱性および耐腐食性の優れた材料例えばステンレスからなる。
【００３１】
図５Ｂは、上部蓋を除いた状態を示す。図５Ｃに示すように、多数の金属製の放熱板７２のそれぞれの同一位置を管７１ａ〜７１ｈが貫通することによって、管７１ａ〜７１ｈのそれぞれの周面が放熱坂７２と接し、管７１ａ〜７１ｈ内を通る雰囲気ガスが冷却されることになる。
【００３２】
ラジエター部４２の管７１ａ〜７１ｈの上部開口が上部チャンバ７３の底面側に通じている。上部チャンバ７３は、垂直方向に板面が延びる隔壁７４によってほぼ２分割される。隔壁７４は、上部チャンバ７３を分割するもので、上部チャンバ７３より下方に延長させなくても良い。図５Ｂに示すように、一方の分割された上部チャンバの底面側に４本の管７１ａ〜７１ｄが通じ、他方の分割された上部チャンバの底面側に４本の管７１ｅ〜７１ｈが通じている。管７１ａ〜７１ｄが通じる上部チャンバから接続用管７５が導出され、管７１ｅ〜７１ｈが通じる上部チャンバから接続用管７６が導出される。
【００３３】
ラジエター部４２の下方において、管７１ａ〜７１ｈの開口が下部チャンバ７７に通じている。下部チャンバ７７は、全ての管７１ａ〜７１ｈの開口が通じるものである。下部チャンバの７７の壁面が底面中央に向って傾斜した面とされる。底面中央には、液化して溜まっているフラックス成分を外部の回収容器４３に流すためのドレイン（図示せず）が設けられている。
【００３４】
隔壁７４で分割された上部チャンバ７３の一方のチャンバに設けられた接続管７５が上部炉体１５の接続管５４とホース（図示せず）によって接続され、上部炉体内の雰囲気ガスがフラックス回収装置４１の上部チャンバ７３の一方のチャンバに導入される。隔壁７４で分割された上部チャンバ７３の他方のチャンバに設けられた接続管７６が上部炉体の接続管５５とホース（図示せず）によって接続され、フラックス回収装置によってフラックス成分が除去されたガスが上部炉体１５に戻される。
【００３５】
図５Ｄに模式的に示すように、接続管５４、ホース（図示せず）および接続管７５を介して上部炉体１５から雰囲気ガスがフラックス回収装置４１の上部チャンバ７３内に導入される。雰囲気ガスが管７１ａ〜７１ｄを上方から下方に通過して下部チャンバ７７に至る。さらに、下部チャンバ７７から管７１ｅ〜７１ｈを通って上部チャンバ７３の分割した他方のチャンバに至る。そして、フラックス回収装置４１から導出された雰囲気ガスが接続用管７６、ホース（図示せず）および接続管５５を介して上部炉体１５内に戻される。
【００３６】
フラックス回収装置４１の管７１ａ〜７１ｈには、放熱板７２が取り付けられており、管７１ａ〜７１ｈを通過する間で、雰囲気ガスが冷却される。冷却の結果、雰囲気ガス内のフラックス成分が液化し、下部チャンバ７７に溜まる。適切なタイミングが下部チャンバ７７のドレインを開放して回収容器４３にフラックスを流し込ませることによって、フラックスが回収される。
【００３７】
下部炉体３５に関連して設けられたフラックス回収装置６１も、上述したフラックス回収装置４１と同様の構成を有し、冷却作用によって雰囲気ガス内のフラックス成分を液化させてフラックスを回収する。
【００３８】
フラックス回収装置４１の雰囲気ガスに対する冷却効果が高いことが回収効率を高める上で必要とされる。例えば管７１ａ〜７１ｈの長さを長くすることによって冷却効果を高めることが可能である。しかしながら、その場合には、フラックス回収装置の大型化を招く問題が生じる。この発明は、管の長さが同等であってもより高い冷却能力を生じさせることができるようにするものである。
【００３９】
この発明では、複数の管７１ａ〜７１ｈの少なくとも一部の管内に挿入／離脱自在に配され、管７１ａ〜７１ｈの延長方向に延びる軸の一端に取り付けられた係合部と軸の一端側から他端側に所定の間隔でもって取り付けられた複数の板とを有する管内フィンを使用する。軸に取り付けられる板の形状の一例は、図６Ａに示すように、半円形の金属製例えばステンレスの板８１であり、板８１の中心の位置に軸の挿入孔８２が形成されている。但し、挿入孔８２を中心からずらした位置に形成しても良い。ステンレスのような金属以外に耐熱性の樹脂成型品の板を使用しても良い。板８１が軸に直交して取り付けられる場合には、板の直径が管７１ａ〜７１ｈの内径とほぼ等しいものとされる。管７１ａ〜７１ｈの内面と板８１の外周面とが接することによって、板８１が冷却される。但し、管７１ａ〜７１ｈの内面と板８１の外周面とが接することは必ずしも必要ではない。例えば管内フィンの軸を中空とし、軸内に水冷媒体を循環させることによって、管内フィンの板８１を冷却させることができる。
【００４０】
図６Ｂに示すように、直径方向に形成されたスリット８４と、スリット８４の閉塞側に軸が挿入される孔８５を有する円板８３を使用しても良い。孔８５の位置は、板８３の中心位置とされる。但し、孔８５を中心からずらした位置に形成しても良い。円板８３を使用する場合には、スリット８４を挟んで二つの半円部を反対方向にねじった形状とされる。半円部が斜めに管７１ａ〜７１ｈ内に配置される場合、半円部の直径を管７１ａ〜７１ｈと直交する面への投影した長さが管７１ａ〜７１ｈの内径とほぼ等しいものとされる。
【００４１】
図７Ａおよび図７Ｂに示すように、図６Ａに示す半円形の板８１が孔８２の位置で例えばステンレスからなる軸８６に溶接等で固着される。複数の板８１が軸８６に対して直交してほぼ等間隔で取り付けられた構成の管内フィンが構成される。板８１の周面が二点鎖線で示す管７１ａ〜７１ｈの内面と接触するようになされる。管７１ａ〜７１ｈは、多数の放熱板７２を有するので、冷却されており、管内フィンの板８１が管７１ａ〜７１ｈの内面と接触することによって、管内フィンの温度上昇を抑えることができる。
【００４２】
管７１ａ〜７１ｈの例えば全てに図７Ａに示す管内フィンが挿入される。管内フィンの軸８６の一端には、例えば棒状の係合片８７が固着され、係合片８７によって、管７１ａ〜７１ｈの挿入口付近で管内フィンの落下が阻止される。管内フィンが挿入された結果、管７１ａ〜７１ｈの長さを長くしたことと同等の効果が生じる。その結果、管の長さを長くすることなく、管内フィンを挿入しない場合に比して冷却能力を向上させることができる。
【００４３】
図８Ａおよび図８Ｂに示すように、半円部が互いに逆方向にねじられた形状の円板８３（図６Ｂ参照）が孔８５の位置で例えばステンレスからなる軸８６に溶接等で固着される。複数の円板８３のそれぞれの半円部が軸８６に対して傾斜して取り付けられ、軸８６の一端に係合片８７が固着された構成の管内フィンが構成される。上下に隣接する二つの円板８３の接触点が溶接される。円板８３の周面が二点鎖線で示す管７１ａ〜７１ｈの内面と接触するようになされる。管７１ａ〜７１ｈの例えば全てに図８Ａに示す管内フィンが挿入される。管内フィンが挿入された結果、管７１ａ〜７１ｈの長さを長くしたことと同等の効果が生じる。その結果、管内フィンを挿入しない場合に比して冷却能力を向上させることができる。なお、フィンの形状は、これらのものに限定されず、図１０に示すように、らせん状のフィンを有するものでも良い。らせん状のフィンの場合に中心軸を省略しても良い。
【００４４】
上述したこの発明の一実施の形態において、フラックス回収装置４１の冷却能力を測定した結果を表１に示す。表１において、フィン形状Ａは、図７に示すように、板８１を軸８６に対して等間隔で固着した管内フィンの構成を意味する。フィン形状Ｂは、図８に示すように、円板８３の半円部を互いに逆方向にねじった形状として軸８６に対して固着した管内フィンの構成を意味する。最初に雰囲気ガスが導入される上部チャンバ７３の一方の分割チャンバの接続管７５の近傍で測定された温度が冷却ＩＮ〔°Ｃ〕であり、上部チャンバ７３の他方の分割チャンバの接続管７６の近傍で測定された温度がＯＵＴ〔°Ｃ〕である。そして、これらの温度差（ＩＮ−ＯＵＴ〔°Ｃ〕が冷却能力を示している。
【００４５】
【表１】
0005366395.tif 000002
【００４６】
例えばフィン形状Ａの管内フィンを使用した場合には、１５０〔°Ｃ〕以上の温度降下を達成することができる。フィン形状Ｂの管内フィンを使用した場合には、１２０〔°Ｃ〕以上の温度降下を達成することができる。
【００４７】
比較例として、管内フィンを全く挿入しない場合の温度測定結果を表２に示す。
【００４８】
【表２】
0005366395.tif 000003
【００４９】
表２の測定結果から分かるように、管内フィンを挿入しない場合では、温度降下が高々２０〔°Ｃ〕程度であり、冷却能力がこの発明に比して劣っていることが分かる。
【００５０】
なお、管７１ａ〜７１ｈは、空冷方式に限らず、水冷方式での冷却を行うようにしても良い。図９に示すように、炉から雰囲気ガスをホース９１を介して導出し、回収ポット９２で接続すると共に、接続部９３を介してフレキシブル回収筒９４に導き、フレキシブル回収筒９４から接続部９５とホース９６とを介して炉に戻すようにしても良い。フレキシブル回収筒９４の周面と同心円状に設けた筒を水冷媒体を循環させたり、または、二点鎖線で示すように、フレキシブル回収筒９４の周面に螺旋状に設けた通路を水冷媒体を循環させることによってフレキシブル回収筒９４を冷却することができる。
【００５１】
この発明は、上述したこの発明の実施の形態に限定されるものでは無く、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。例えば、フラックス回収装置からガスを炉体内に戻す場合に、炉内の温度の低下を防止するために、戻すガスを加熱してから戻すようにしても良い。さらに、ラジエター部としてＵ字形状の管を使用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】この発明の一実施の形態によるリフロー装置の概略を示す略線図である。
【図２】リフロー時の温度プロファイルの例を示すグラフである。
【図３】この発明の一実施の形態によるリフロー装置の一つのゾーンの構成の一例を示す断面図である。
【図４】この発明の一実施の形態における上部炉体におけるガスの流れを模式的に示す略線図である。
【図５】この発明によるフラックス回収装置の一実施の形態の説明に用いる略線図である。
【図６】フラックス回収装置の一実施の形態における管内フィンに使用できる板の一例および他の例の平面図である。
【図７】この発明の一実施の形態における管内フィンの一例の説明のための図である。
【図８】この発明の一実施の形態における管内フィンの他の例の説明のための図である。
【図９】この発明の一実施の形態における冷却構成の他の例の説明のための図である。
【図１０】この発明の一実施の形態における管内フィンのさらに他の例の説明のための図である。
【符号の説明】
【００５３】
１１・・・搬入口
１２・・・搬出口
１４・・・強制冷却ユニット
１５・・・上部炉体
１６，２６・・・送風機
１８，２８・・・ヒータ
１９，２９・・・パネル
３１・・・搬送コンベヤ
３５・・・下部炉体
４１，６１・・・フラックス回収装置
４２，６２・・・ラジエータ部
４３，６３・・・フラックス回収容器
７１ａ〜７１ｈ・・・管
７２・・・放熱板
７３・・・上部チャンバ
７４・・・隔壁
７７・・・下部チャンバ
８１，８３・・・板
８６・・・軸
８７・・・係合片
【図１】
0005366395.tif 000004
【図２】
0005366395.tif 000005
【図３】
0005366395.tif 000006
【図４】
0005366395.tif 000007
【図５】
0005366395.tif 000008
【図６】
0005366395.tif 000009
【図７】
0005366395.tif 000010
【図８】
0005366395.tif 000011
【図９】
0005366395.tif 000012
【図１０】
0005366395.tif 000013