(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも顔料と、エネルギー線硬化性樹脂からなるバインダーとを有する着色層形成用塗工液を全面に塗布した後、フォトマスクを用いて露光し、これを現像することにより各色の着色層のパターンを形成する着色層形成工程を有し、３色以上の着色層を有するカラーフィルタの製造方法において、
前記着色層形成工程では、透過率の高い少なくとも２色の前記着色層形成工程において形成された着色層のみを積層したアライメントマークを用いて、透過率の低い着色層のパターンを形成することを特徴とする反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
少なくとも顔料と、エネルギー線硬化性樹脂からなるバインダーとを有する着色層形成用塗工液を全面に塗布した後、フォトマスクを用いて露光し、これを現像することにより赤色、緑色および青色の着色層のパターンを形成する着色層形成工程を有し、前記赤色、緑色および青色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法において、
前記着色層形成工程では、赤色および緑色の着色層および前記赤色および緑色の着色層のみが積層されてなるアライメントマークを形成し、前記アライメントマークを用いて、青色の着色層のパターンを形成することを特徴とする請求項１に記載の反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記カラーフィルタが、ブラックマトリックスが形成されていない態様のカラーフィルタであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記カラーフィルタが反射型液晶表示装置用のカラーフィルタであることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載の反射型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置用のカラーフィルタのアライメントマークに関するものであり、特に反射型液晶表示装置用等、透過率の高い着色層からなるカラーフィルタのアライメントマークに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
通常カラーフィルタは、ガラス基板上にブラックマトリックス並びに赤、緑及び青の着色層を有する。その製造工程は一般にガラス基板上に、クロム等の金属をパターン状に蒸着させることによりブラックマトリックスをパターン形成すると同時にカラーフィルタの有効画素領域外にアライメントマークを形成する。その後、顔料等を含む樹脂を塗布し、露光し、現像する工程を３回繰り返し、赤、青及び緑の着色層のパターンを形成するが、この際、露光の直前にアライメントマークを用いてフォトマスクの位置を調整することにより、精度良く各色の着色パターンを形成するようにしている。
【０００３】
ところが最近モバイルの市場が拡大しており、薄型、小型、低消費電力を必要とするため反射型液晶表示装置が出回っている。この反射型液晶表示装置は、バックライトを使用せず外光を利用するため、明るい画像を得ることが課題であり、１つの解決方法としてブラックマトリックスを形成しない態様のカラーフィルタが用いられている。この場合、アライメントマークをブラックマトリックスにより形成すると、アライメントマークを形成するためにのみブラックマトリックス形成工程が必要となることから、コストダウンを目的として、このアラインメントマークを着色層で形成する方法が提案されている。
【０００４】
このような方法の一例としては、例えば特公平４−４３５６２号公報に開示されている方法を挙げることができる。この方法によれば、赤、緑及び青の３色のうち最も透過率の低い青の着色層のパターンを最初に形成すると同時にカラーフィルタの有効画素領域外にアライメントマークを形成し、このアライメントマークを用いて赤及び緑の着色層のパターンを形成することができる。
【０００５】
しかしながら、カラーフィルタの製造ラインは色々な条件により着色層の形成順序が変わってくるため、必ずしも青のパターンを最初の工程で形成できるとは限らない。
【０００６】
また、従来のカラーフィルタの製造工程では、赤色及び緑色の２色をはじめにパターン形成し、青色を最後にパターン形成する場合が多い。この場合、赤色と緑色はお互い補色の関係であるため、重なったときにコントラストがとりやすく、光源の透過の有無によりアライメントマークを認識しやすいが、青は、赤又は緑とコントラストがとりにくい。このため赤または緑のいずれか１色で形成したアライメントマークを用いて、青の着色層を形成するための樹脂を塗布し、露光の直前にフォトマスクとの位置調整を行うため、アライメントマークを識別しようとしても、アライメントマークと青の着色層とのコントラストがとれず、正確なアライメントが行えない。特に、外光が２回通ることを前提に設計された反射型液晶表示装置用カラーフィルタは、顔料濃度が低い着色レジストを用いることが多いため、アライメントマークが識別しにくいという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、最初に透過率の低い着色層を形成しない場合であっても、アライメントマークの識別度を上げてカラーフィルタとフォトマスクとのアライメントを行い、カラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法を提供することを主目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、３色以上の着色層からなるカラーフィルタの製造方法において、透過率の高い少なくとも２色の着色層を積層したアライメントマークを用いて、透過率の低い着色層のパターンを形成するカラーフィルタの製造方法を提供する。
【０００９】
本発明においては、例えば透過率の低い着色層を最後に形成しなければならない場合であっても、透過率の高い着色層を２色積層してなるアラインメントマークを形成し、用いることにより、透過率の低い着色層に対するフォトマスクの位置決めを行うことが可能となり、精度良くカラーフィルタを製造することができる。
【００１０】
本発明はまた、赤色、緑色および青色の着色層からなるカラーフィルタの製造方法において、赤色および緑色の着色層及びアライメントマークを形成し、上記アライメントマークを用いて、青色の着色層のパターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１１】
本発明によれば、青色着色層を工程上の理由等から最後に形成することが必要な場合であっても、赤色および緑色の着色層を積層してなるアラインメントマークを形成することにより、青色着色層を最後に形成する際に青色着色層形成用のフォトマスクの位置決めを精度良く行うことが可能となり、高品質のカラーフィルタとすることができる。
【００１２】
上記発明においては、上記カラーフィルタが、ブラックマトリックスが形成されていない態様のカラーフィルタであることが好ましい。本発明は、ブラックマトリックス形成時に同時に形成されるアラインメントマークが無い態様において、特に工程上の利点を有するものだからである。
【００１３】
上記発明においては、上記カラーフィルタが反射型液晶表示装置用のカラーフィルタであることが好ましい。
【００１４】
反射型液晶表示装置用のカラーフィルタの着色層は、一般的に透過率が高いため、後で形成する着色層とのコントラストによりアライメントを行う場合に、先に形成する着色層を積層してなるアラインメントマークを用いることによりコントラストを高めるという本発明の利点を活かすことができるからである。
【００１５】
本発明は、また、基板上に赤色、緑色および青色の着色層が形成されてなるカラーフィルタにおいて、基板上に少なくとも赤色および緑色の着色層を積層したアライメントマークを有するカラーフィルタを提供する。
【００１６】
本発明のカラーフィルタは、基板上に少なくとも赤色および緑色の着色層を積層したアラインメントマークを有するカラーフィルタであるので、製造時に青色着色層を最後に形成する工程上の必要が生じた場合であっても、上記赤色および緑色の着色層を積層したアラインメントマークを用いて青色着色層形成用のフォトマスクの位置決めを行うことができ、精度良く製造されるものであるという利点を有する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法について詳細に説明する。本発明のカラーフィルタの製造方法は、３色以上の着色層からなるカラーフィルタの製造方法において、透過率の高い少なくとも２色の着色層を積層したアライメントマークを用いて、透過率の低い着色層のパターンを形成することを特徴とするものである。
【００１８】
本発明は、少なくとも３色の着色層を、例えば顔料分散法等のようにフォトマスクを用いる製造方法で形成する際に、そのフォトマスクの位置決めのために用いられるアラインメントマークの形成方法に特徴を有する。
【００１９】
一般に、複数の着色層を基板上にパターン状に形成してカラーフィルタとする場合、例えば顔料分散法等においては、各色の着色層を全面に形成した後、フォトマスクを用いて露光し、これを現像することにより各色の着色層のパターンを形成する。この際、２色目以降の着色層を形成するためのフォトマスクは、最初の着色層のパターンに対して正確な位置決めがなされている必要がある。このフォトマスクの位置決めのために通常有効画素領域外にアラインメントマークと称される位置決め用のマークが形成される。
【００２０】
このアラインメントマークを用いてフォトマスクの位置決めを行う場合は、通常全面に着色層が形成された状態であるので、このアラインメントマーク上にも着色層が形成された状態で位置決めを行う必要が生じる。
【００２１】
この際、アラインメントマークの光の透過率が高い場合は、その上に比較的光の透過率の低い着色層が形成されてしまうと、アラインメントマークの識別が困難となり、フォトマスクの正確な位置決めができなくなる可能性がある。
【００２２】
このため、このアラインメントマークは通常ブラックマトリックスや比較的光の透過率の低い着色層等を用いて形成されることが好ましい。
【００２３】
しかしながら、コスト面や工程上の理由等によりブラックマトリックスが形成されない場合や、光の透過率の低い着色層を最後に形成する必要が生じる場合等がある。
【００２４】
本発明は、このような場合であってもフォトマスクの正確な位置決めが可能なように、アラインメントマークを形成する点に特徴を有するものであり、具体的には、透過率の高い少なくとも２色の着色層が先に形成され、その後透過率の低い着色層を形成する場合、これら透過率の高い２色の着色層を積層したアラインメントマークを形成し、これを用いてその後に形成される透過率の低い着色層をパターニングする際のフォトマスクの位置決めを行うものである。
【００２５】
ここで、「透過率が高い２色の着色層」とは、後に形成され、これらの着色層を積層することにより形成されるアラインメントマークにより位置決めされる着色層より透過率が高い着色層であることを意味するものである。
【００２６】
また、「透過率の低い着色層」とは、先に形成され、積層されることによりアラインメントマークを形成する着色層の各々の透過率よりも低い透過率を有する着色層であることを意味するものである。
【００２７】
そして、これら「透過率が高い２色の着色層」と「透過率の低い着色層」との関係は、上記「透過率が高い２色の着色層」を積層してなるアラインメントマーク上に上記「透過率の低い着色層」が形成された場合に、受光器等の検出装置がアラインメントマークの位置を検出可能となるような透過率の関係を有するものである。
【００２８】
なお、本発明でいう「透過率」とは、可視光域、すなわち４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲内における平均透過率を意味するものである。
【００２９】
近年、カラーフィルタを製造する場合、着色層として、三原色、すなわち赤色、緑色、および青色の着色層が一般的に用いられる。この場合、上記「透過率が高い２色の着色層」が、赤色着色層および緑色着色層に該当し、上記「透過率の低い着色層」が青色着色層に該当する。したがって、このように赤色着色層、緑色着色層、および青色着色層を用いる場合、本発明は、赤色および緑色の着色層を形成し、その後青色着色層を形成する製造工程において、まず赤色および緑色の着色層を積層することによりアラインメントマークを形成し、そして、この積層されたアラインメントマークを用いて青色着色層をパターニングするためのフォトマスクの位置決めを行う点に特徴を有するものとなる。
【００３０】
このような本発明のカラーフィルタの製造方法の一例について、図面を用いて具体的に説明する。
【００３１】
図１は、基板１上に赤色着色層形成用材料で形成された赤色着色層２およびアラインメントマーク３を示す平面図であり、図２はその正面図である。この際、図１に示すように、アラインメントマーク３は、有効画素領域ａ外に形成されている。このような赤色着色層２およびアラインメントマーク３は、上記赤色層形成用材料をスピンコートにより塗布し、プリベークにより乾燥させ、パターンが描かれたフォトマスクを用いて露光し、現像し、ポストベークを行うことにより得られるものである。
【００３２】
次に、これらの上に、上記赤色着色層と同様の方法により、緑色着色層形成用材料を全面に塗布し、フォトマスクを用いてパターン状に露光した後、現像することにより、図３に示すように緑色着色層４および緑色着色層形成用材料がさらに積層されたアラインメントマーク３’をパターニングする。この際、緑色着色層をパターン露光するためのフォトマスクは、上記赤色層形成用材料で形成されたアラインメントマーク３により位置決めされる。このように緑色着色層形成用材料をパターニングすることにより、図４に示すように上記赤色着色層形成用材料で形成されたアラインメントマーク３上にこの緑色着色層形成用材料が積層されてなるアラインメントマーク３’が形成される。
【００３３】
そして、図５に示すように、青色着色層形成用材料を全面に塗布して、青色着色層形成用材料層５を形成する。この状態で青色着色層形成用材料層５をフォトマスクを用いて露光、現像して青色着色層を形成するのであるが、このフォトマスクの位置決めは、アラインメントマーク３’によりなされる。この際、上述したようにこのアラインメントマーク３’は、赤色着色層形成用材料および緑色着色層形成用材料が積層されてなるものであるので、図５に示すように比較的光の透過率の低い青色着色層形成用材料層５で覆われた場合であっても、受光素子等の検出器が検出し得る程度のコントラストを得ることができる。
【００３４】
そして、最後にこの青色着色層形成用材料層５を露光し現像することにより、図６に示すような赤色着色層２、緑色着色層４および青色着色層６からなる画素部を有するカラーフィルタを精度良く製造することができるのである。
【００３５】
以下、このような本発明のカラーフィルタの製造方法における各構成について詳細に説明する。
【００３６】
１．着色層
本発明に用いられる着色層は、３色以上であり、かつ透過率の高い少なくとも２色の着色層と透過率の低い着色層を有するものであれば特に限定されるものではない。なお、上記「透過率の高い２色の着色層」および「透過率の低い着色層」の定義は、上述した通りである。
【００３７】
しかしながら、通常フルカラー表示を行う場合、赤色着色層、緑色着色層および青色着色層が用いられるものであることから、本発明においては、これらの着色層を有するものであることが好ましい。なお、このように赤色着色層、緑色着色層および青色着色層を有するカラーフィルタの製造方法においては、赤色着色層および緑色着色層のいずれを先に形成してもよい。
【００３８】
本発明において、このような着色層を有する場合は、赤色着色層および緑色着色層が積層されて形成されたアラインメントマーク上に青色着色層を形成した際に、青色着色層領域と、青色着色層が積層されて三層が積層されてなるアラインメントマークの領域とのコントラストがとれて、受光器等の検出装置によりこのコントラストが検出される必要がある。以下、このような赤色着色層、緑色着色層、および青色着色層について説明する。
【００３９】
（赤色着色層）
本発明に用いられる赤色着色層は、一般的には赤色顔料とバインダーとその他の添加剤等で構成されるものである。上記バインダーの種類は着色層の製造方法により変化するものである。本発明は、フォトマスクを用いることが前提となるため、着色層は顔料分散法等のフォトリソグラフィー法により形成される。したがって、本発明においては、ＵＶ硬化型樹脂等のエネルギー線硬化性樹脂がバインダー樹脂として用いられる。
【００４０】
本発明に用いられる赤色着色層は、赤色着色層形成用塗料を塗布し、乾燥させた後、パターン露光され、現像されて形成されるものであり、このような赤色層形成用塗料は、主として、赤色顔料、上述したＵＶ硬化性樹脂等のバインダー樹脂および溶媒から構成されるものである。
【００４１】
上記赤色顔料としては、一般にカラーフィルタに用いられる赤色顔料を用いることが可能であり、具体的には、ピグメントレッド１７７、ピグメントレッド２５４、およびピグメントレッド２０９等を挙げることができ、中でもピグメントレッド２０９が好適に用いられる。
【００４２】
このような赤色顔料は、用いられる顔料の種類にもよるが一般にバインダー樹脂を１００重量部とした場合、３〜６０重量部の範囲内、好ましくは５〜５０重量部の範囲内で用いられる。上記範囲より赤色顔料の含有量が多い場合は、ＵＶ硬化性樹脂等のバインダー樹脂と比較して顔料の含有量が多くなりすぎてしまい、層の強度面で問題が生じる可能性があることから好ましくなく、一方上記範囲より含有量が少ない場合は、緑色着色層と積層した場合でも、青色着色層を積層した場合にコントラストが取れない可能性が生じることから好ましくない。
【００４３】
本発明において、赤色層の膜厚は、０．３μｍ〜３．０μｍの範囲内であることが好ましく、特に０．５μｍ〜２．０μｍの範囲とすることが好ましい。膜厚が上記範囲より厚い場合は、カラーフィルタとしての膜厚が厚くなり、例えば液晶表示装置の薄膜化等の要請に反するものとなることから好ましくなく、上記範囲より膜厚が薄い場合は、緑色着色層と積層した場合であっても、青色着色層とのコントラストが得られない可能性が生じることから好ましく無い。
【００４４】
上記赤色着色層形成用塗料に用いられる、バインダーとしての上記ＵＶ硬化性樹脂等のエネルギー線硬化性樹脂や、溶媒、その他の添加剤などは、通常カラーフィルタを形成する際に用いられるものを用いることができるので、ここでの説明は省略する。また、この点については、以下に説明する緑色着色層および青色着色層に関しても同様である。
【００４５】
なお、本発明において、赤色着色層とは赤色顔料を主として有する着色層であり、波長６００〜７００ｎｍの範囲内に透過率のピークもしくは透過率が８０％を超える領域を有する着色層をいう。したがって、赤色顔料以外の顔料が含まれている場合であっても上記要件を満たす場合は、本発明においては赤色着色層というものとする。
【００４６】
（緑色着色層）
本発明に用いられる緑色着色層は、上記赤色着色層と同様に、緑色着色層形成用塗料を塗布し、乾燥させた後、パターン露光され、現像されて形成されるものであり、このような緑色層形成用塗料は、主として、緑色顔料、ＵＶ硬化性樹脂等のバインダー樹脂および溶媒から構成されるものである。
【００４７】
上記緑色顔料としては、一般にカラーフィルタに用いられる緑色顔料を用いることが可能であり、具体的には、ピグメントグリーン３６、ピグメントグリーン３７、およびピグメントグリーン７等を挙げることができ、中でもピグメントグリーン３６が好適に用いられる。
【００４８】
このような緑色顔料の緑色層中での使用量および緑色層の膜厚は、上記赤色層と同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００４９】
なお、本発明において、緑色着色層とは緑色顔料を主として有する着色層であり、波長５００〜６００ｎｍの範囲内に透過率のピークを有する着色層をいう。したがって、緑色顔料以外の顔料が含まれている場合であっても上記要件を満たす場合は、本発明においては緑色着色層というものとする。
【００５０】
（青色着色層）
本発明に用いられる青色着色層は、上記赤色着色層と同様に、青色着色層形成用塗料を塗布し、乾燥させた後、パターン露光され、現像されて形成されるものであり、このような青色層形成用塗料は、主として、緑色顔料、ＵＶ硬化性樹脂等のバインダー樹脂および溶媒から構成されるものである。
【００５１】
上記青色顔料としては、一般にカラーフィルタに用いられる青色顔料を用いることが可能であり、具体的には、ピグメントブルー１５：３、ピグメントブルー１６、ピグメントブルー１７、およびピグメントブルー１５等を挙げることができ、中でもピグメントブルー１５：３が好適に用いられる。
【００５２】
このような青色顔料の青色層中での使用量および青色層の膜厚は、上記赤色層と同様であるので、ここでの説明は省略する。
【００５３】
なお、本発明において、青色層とは青色顔料を主として有する着色層であり、波長４００〜５００ｎｍの範囲内に透過率のピークを有する着色層をいう。したがって、青色顔料および紫色顔料以外の顔料が含まれている場合であっても上記要件を満たす場合は、本発明においては青色層というものとする。
【００５４】
２．アラインメントマーク
本発明に用いられるアラインメントマークは、上述したように少なくとも透過率の高い少なくとも２色の着色層を積層してなるものであり、赤色着色層、緑色着色層および青色着色層からなる場合は、少なくとも赤色着色層および緑色着色層から形成されるものである。
【００５５】
このようなアラインメントマークの形状は、受光器等の検出装置により検出し、フォトマスクの位置決めを行うことができるものであれば特に限定されるものではなく、例えば図１に示すような「プラス」形状の他、矩形状、円状等の形状とされる。
【００５６】
本発明に用いられるアラインメントマークの膜厚は、上述したように着色層を少なくとも２層積層してなるものであることから、着色層の膜厚により規定されるものである。
【００５７】
３．ブラックマトリックス
本発明においては、カラーフィルタ上にブラックマトリックスが形成されている態様であっても、ブラックマトリックスが形成されていない態様であってもよく、いずれのカラーフィルタの製造に関しても適用できるものである。
【００５８】
しかしながら、通常ブラックマトリックスが形成されている態様のカラーフィルタにおいては、ブラックマトリックス形成時に同時にブラックマトリックス形成用材料を用いてアラインメントマークが形成されることから、本発明においては、ブラックマトリックスが形成されていない態様のカラーフィルタの製造に適用されることが、発明の利点を最大限活かすことができるといった観点から好ましいものであるといえる。
【００５９】
４．用途
本発明により製造されるカラーフィルタは、特に用途を限定するものではないが、カラー液晶表示装置用のカラーフィルタであることが好ましく、特に反射型液晶表示装置用のカラーフィルタであることが好ましい。
【００６０】
反射型液晶表示装置用のカラーフィルタの着色層は、一般に顔料含有量が少なく、着色層によりアラインメントマークを形成した場合に、他の着色層とのコントラストを取ることが困難となる可能性が高い。この点を考慮すると、本発明のカラーフィルタの製造方法を反射型液晶表示装置用のカラーフィルタの製造方法に適用することにより、本発明の利点をより活かすことができるからである。
【００６１】
５．カラーフィルタ
本発明のカラーフィルタは、基板上に赤色、緑色および青色の着色層が形成されてなるカラーフィルタにおいて、基板上に少なくとも赤色および緑色の着色層を積層したアライメントマークを有することを特徴とするものである。
【００６２】
本発明のカラーフィルタは、このように、基板上に少なくとも赤色および緑色の着色層を積層してなるアラインメントマークを有するものであり、最後に青色層を形成するものである。このように青色層を最後に形成するのは、以下の理由によるものである。
【００６３】
すなわち、通常、顔料分散法等においてカラーフィルタを形成する場合は、赤色、緑色、および青色の３色の着色層を形成するために、３回の着色層形成工程が繰り返し行なわれる。そして、この着色層形成工程においては、通常、高温焼成工程が行われる。したがって、最初に形成された着色層は、この高温焼成工程を３回施されることになる。一方、一般的なカラーフィルタの着色層を形成する際に用いられるフォトレジスト剤は、高温処理された際に若干黄変する傾向にあり、この黄変の程度は、高温処理の回数に依存するものである。ここで、黄変とは短波長側の透過率が低下する現象であり、上記３色の着色層の内、青色層は、短波長側の透過率が高いため、もっともこの黄変の影響を受け易い層であるといえる。また、反射型液晶表示装置においては、通常明るさを重要視する。そして、上記３色の着色層のうち、一般的には青色層の透過率が最も低いことから、液晶表示装置の全体的な明るさに対して、青色層は大きな影響を与える場合が多い。
【００６４】
このような理由から、青色層を３色の着色層の形成において最後に形成するようにすることにより、青色層における黄変の影響を最大限に抑えることが可能となり、液晶装置の全体的な明るさを得ることができる。特に反射型液晶表示装置においては、この点が重要となる。
【００６５】
本発明は、上述した理由等から青色層を最後に形成する必要がある場合であっても対応することが可能である。したがって、全体的な明るさの高いカラーフィルタを得るに際して、工程上問題が生じることが無いという利点を有するものである。
【００６６】
本発明においては、上記アラインメントマーク上にさらに青色着色層が積層されたものであってもよい。このようなアラインメントマークは、このカラーフィルタを他の基板と組み合わせるとき、具体的にはカラーフィルタが液晶表示装置である場合においてはセル組みの際の位置決めとして用いることも可能であり、この際に青色着色層が積層されていたものの方がより検出しやすいといえるからである。
【００６７】
本発明のカラーフィルタを構成する材料は、上述した着色層材料を除き、一般的にカラーフィルタに用いられている材料であれば用いることが可能であり、特に限定されるものではない。
【００６８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００６９】
例えば、図面で示した例においては、赤色着色層上に緑色着色層を積層してアラインメントマークを構成していたが、本発明においては、緑色着色層上に赤色着色層を積層したものであってもよい。
【００７０】
【実施例】
以下に実施例を示し、本発明を具体的に説明する。
【００７１】
［実施例］
０．７ｍｍのガラス基板（ＮＨテクノガラス製；ＮＡ３５）上に、赤色、緑色および青色の各着色層を、上記図1から図6に概略示すようなパターンで形成した。
【００７２】
これら赤色着色層、緑色着色層、および青色着色層を形成する際に用いた各塗工液の組成を以下に示す。
・赤色層：ＩＴ−Ｇ  ＨＲ２０（インクテック社製）、固形分比  ３０重量％
・緑色層：ＩＴ−Ｇ  ＨＧ２０（インクテック社製）、固形分比  １８重量％
・青色層：ＩＴ−Ｇ  ＨＢ２０（インクテック社製）、固形分比  １４重量％
・クリア樹脂：感光性アクリル樹脂＋光開始剤
また、その他のフォトリソグラフィー法によるパターン形成に際しての条件を以下の表１にまとめる。
【００７３】
【表１】
0005124897.tif 000002
【００７４】
このカラーフィルタ製造の際に、赤と緑の着色パターンを形成した後にハロゲン光源を用いて透過率を計測したところ、赤および緑のパターンが積層されたアライメントマーク上では８１．９であり、緑の着色パターン上では５０．７であり、その差は３１．２であった。
【００７５】
また、赤色着色層および緑色着色層を積層してなるアラインメントマーク上に青色着色層を形成した状態（図５に示す状態）において、アラインメントマーク部とその他の部分とを、ハロゲン光源を用いて明るさを計測したところ、アライメントマーク部と青の着色層の部分では透過率が、１９．２および４４．９であり、その差が２５．７あった。
【００７６】
これらは、いずれも２５以上の透過率差があり、アライメントマークを用いた青色着色層形成用のフォトマスクのアライメントを精度良く行うことができた。
【００７７】
〔比較例〕
赤の着色パターンを形成した後、青の着色パターンを形成する以外は、全て実施例と同様にして、カラーフィルタを形成した。
【００７８】
赤と青のパターンが積層されたアライメントマーク上では透過率を計測したところ４４．９であり、青の着色パターン上では２３．５で、その差は２１．４しかなかった。
【００７９】
したがって、受光素子による検出が困難となり、青色着色層形成用のフォトマスクのアラインメントを精度良く行うことが困難であった。
【００８０】
【発明の効果】
本発明によれば、例えば透過率の低い着色層を最後に形成しなければならない場合であっても、透過率の高い着色層を２色積層してなるアラインメントマークを形成し、用いることにより、透過率の低い着色層に対するフォトマスクの位置決めを行うことが可能となり、精度良くカラーフィルタを製造することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法において、赤色着色層がパターニングされた状態の一例を示す平面図である。
【図２】図１に示す例の正面を示す正面図である。
【図３】本発明のカラーフィルタの製造方法において、赤色着色層および緑色着色層がパターニングされた状態の一例を示す平面図である。
【図４】図３に示す例の正面を示す正面図である。
【図５】図４に示す例において、さらに青色着色層形成用材料層が全面に形成された状態を示す正面図である。
【図６】本発明のカラーフィルタの製造方法において、赤色着色層、緑色着色層および青色着色層がパターニングされた状態を示す平面図である。
【符号の説明】
１  ……  基板
２  ……  赤色着色層
３、３’  ……  アラインメントマーク
４  ……  緑色着色層
６  ……  青色着色層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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