(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持フレーム（２）に上支持部（３）と下支持部（４）とが設けられ、この上下支持部（３，４）に駆動シャフト（７）とバランスシャフト（８）とが互いに平行でかつ上下方向の軸心に沿って移動自在に支持され、駆動シャフト（７）とバランスシャフト（８）との間に両シャフト（７，８）間を通る水平軸心廻りに回転駆動されるカム部材（１５）が設けられ、駆動シャフト（７）に固着されかつバランスシャフト（８）にその軸心方向に相対移動自在に外嵌保持された駆動シャフト連動部材（１７）と、バランスシャフト（８）に固着されかつ駆動シャフト（７）にその軸心方向に相対移動自在に外嵌保持されたバランスシャフト連動部材（１８）とが、カム部材（１５）を上下に挟んで設けられ、前記両シャフト連動部材（１７，１８）の一方をカム部材（１５）に向けて上方に付勢する下バネ（２３）と、両シャフト連動部材（１７，１８）の他方をカム部材（１５）に向けて下方に付勢する上バネ（２４）とが設けられ、前記下支持部（４）に下バネ（２３）の付勢力を調整する下バネ調整機構（２５）が設けられ、上支持部（３）に上バネ（２４）の付勢力を調整する上バネ調整機構（２６）が設けられ、超仕上げ砥石（４４）を先端側に向けて押圧するように保持した砥石ホルダ（４３）が駆動シャフト（７）の端部に装着されており、
前記カム部材（１５）は互いに逆方向に偏心した第１偏心カム（３７）と第２偏心カム（３８）とを有し、駆動シャフト連動部材（１７）側が第１偏心カム（３７）に接当されると共にバランスシャフト連動部材（１８）側が第２偏心カム（３８）に接当されて、カム部材（１５）の回転により砥石ホルダ（４３）を上下方向に往復運動させるようにした超仕上げ装置であって、
駆動シャフト（７）及び砥石ホルダ（４３）を加算した重量とバランスシャフト（８）の重量とを均一化するように、駆動シャフト（７）が中空とされると共にバランスシャフト（８）が中実とされ、駆動シャフト連動部材（１７）の第１偏心カム（３７）への押圧力とバランスシャフト連動部材（１８）の第２偏心カム（３８）への押圧力が同等になるように、前記上バネ（２４）の付勢力よりも下バネ（２３）の付勢力が大に設定されていることを特徴とする超仕上げ装置。
【請求項２】
カム部材（１５）が低速回転から高速回転まで可変可能になっていて、カム部材（１５）の回転時に駆動シャフト連動部材（１７）側が第１偏心カム（３７）に対して接当状態を保持すると同時にバランスシャフト連動部材（１８）側が第２偏心カム（３８）に対して接当状態を保持するべく、カム部材（１５）の最大高速回転状態で上バネ（２４）の付勢力と下バネ（２３）の付勢力とが調整可能とされていることを特徴とする請求項１に記載の超仕上げ装置。
【請求項３】
支持フレーム（２）にモータ（３３）が取り付けられ、モータ（３３）の出力軸（３４）に前記カム部材（１５）が外嵌固定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の超仕上げ装置。
【請求項４】
駆動シャフト（７）と上下支持部（３，４）及びバランスシャフト連動部材（１８）との間並びにバランスシャフト（８）と上下支持部（３，４）及び駆動シャフト連動部材（１７）との間に、加圧流体を封入していて軸心が上下方向を向いた流体ベアリング（１０，１１，１２，１３，１９，２０）がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の超仕上げ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超仕上げ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
超仕上げ装置には、支持フレームに左右一対の左支持部と右支持部とを設け、この左右支持部に駆動シャフトとバランスシャフトとを水平状態に配置して、互いに平行でかつ左右方向の軸心に沿って左右移動自在に支持し、駆動シャフトとバランスシャフトとの間に前後軸心廻りに回転駆動されるカム部材を設け、駆動シャフトに固着されかつバランスシャフトにその軸心（左右）方向に相対移動自在に外嵌保持された駆動シャフト連動部材と、バランスシャフトに固着されかつ駆動シャフトにその軸心（左右）方向に相対移動自在に外嵌保持されたバランスシャフト連動部材とを、カム部材を左右に挟んで設け、前記両シャフト連動部材の一方をカム部材に向けて右方に付勢する左バネと、両シャフト連動部材の他方をカム部材に向けて左方に付勢する右バネとを設け、超仕上げ砥石を先端側に向けて押圧するように保持した砥石ホルダを駆動シャフトの左端部又は右端部に装着し、前記カム部材は互いに逆方向に偏心した第１偏心カムと第２偏心カムとを有し、駆動シャフト連動部材側が第１偏心カムに接当されると共にバランスシャフト連動部材側が第２偏心カムに接当されて、カム部材の回転により、駆動シャフトとバランスシャフトとを左右方向に互いに逆向きに往復移動させて、二次振動を除去しながら砥石ホルダを左右方向に高速で往復運動させるようにしたものがある（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１１６５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の従来の超仕上げ装置では、例えばトルク・コンバーターの入出力軸の外周面を超仕上げ加工する場合、トルク・コンバーターの入出力軸をワークとして、それを上下方向に配置して上下方向の軸心廻りに回転させ、砥石ホルダを上下方向に往復移動させながら、ワークの外周面に超仕上げ砥石を押し当てて超仕上げ加工するのが、ワークを支持する上で便利である。
【０００５】
このような場合、単に従来の超仕上げ装置を前後軸廻りに丁度９０度回転して、駆動シャフトとバランスシャフトとを互いに平行でかつ上下方向の軸心に沿って上下動自在になるように配置し、砥石ホルダを上下に往復移動させるようにすることが考えられる。
しかし、このようにすると、駆動シャフトの重量に、砥石ホルダの重量及び駆動シャフト連動部材の重量がかかるため、駆動シャフト側とバランスシャフト側との重量バランスが悪くなる。また、左バネと右バネとが上下に配置され（上バネ、下バネとなり）、その結果、駆動シャフトの重量、砥石ホルダの重量及び駆動シャフト連動部材の重量が下バネに対して該下バネを縮小させる方向にかかり、バランスシャフト及びバランスシャフト連動部材の重量が上バネに対して該上バネを伸長させる方向にかかり、上下バネのバランスも悪くなり、砥石ホルダを高速でスムーズに上下方向に往復移動させることができなくなるという問題があった。
【０００６】
本発明は上記問題点に鑑み、砥石ホルダを高速でスムーズに上下方向に往復移動させることができる超仕上げ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この技術的課題を解決する本発明の技術的手段は、支持フレームに上支持部と下支持部とが設けられ、この上下支持部に駆動シャフトとバランスシャフトとが互いに平行でかつ上下方向の軸心に沿って移動自在に支持され、駆動シャフトとバランスシャフトとの間に両シャフト間を通る水平軸心廻りに回転駆動されるカム部材が設けられ、駆動シャフトに固着されかつバランスシャフトにその軸心方向に相対移動自在に外嵌保持された駆動シャフト連動部材と、バランスシャフトに固着されかつ駆動シャフトにその軸心方向に相対移動自在に外嵌保持されたバランスシャフト連動部材とが、カム部材を上下に挟んで設けられ、前記両シャフト連動部材の一方をカム部材に向けて上方に付勢する下バネと、両シャフト連動部材の他方をカム部材に向けて下方に付勢する上バネとが設けられ、前記下支持部に下バネの付勢力を調整する下バネ調整機構が設けられ、上支持部に上バネの付勢力を調整する上バネ調整機構が設けられ、超仕上げ砥石を先端側に向けて押圧するように保持した砥石ホルダが駆動シャフトの端部に装着され、
前記カム部材は互いに逆方向に偏心した第１偏心カムと第２偏心カムとを有し、駆動シャフト連動部材側が第１偏心カムに接当されると共にバランスシャフト連動部材側が第２偏心カムに接当されて、カム部材の回転により砥石ホルダを上下方向に往復運動させるようにした超仕上げ装置であって、
駆動シャフト及び砥石ホルダを加算した重量とバランスシャフトの重量とを均一化するように、駆動シャフトが中空とされると共にバランスシャフトが中実とされ、駆動シャフト連動部材の第１偏心カムへの押圧力とバランスシャフト連動部材の第２偏心カムへの押圧力が同等になるように、前記上バネの付勢力よりも下バネの付勢力が大に設定されている点にある。
【０００８】
また、本発明の他の技術的手段は、カム部材が低速回転から高速回転まで可変可能になっていて、カム部材の回転時に駆動シャフト連動部材側が第１偏心カムに対して接当状態を保持すると同時にバランスシャフト連動部材側が第２偏心カムに対して接当状態を保持するべく、カム部材の最大高速回転状態で上バネの付勢力と下バネの付勢力とが調整可能とされている点にある。
【０００９】
また、本発明の他の技術的手段は、支持フレームにモータが取り付けられ、モータの出力軸に前記カム部材が外嵌固定されている点にある。
また、本発明の他の技術的手段は、駆動シャフトと上下支持部及びバランスシャフト連動部材との間並びにバランスシャフトと上下支持部及び駆動シャフト連動部材との間に、加圧流体を封入していて軸心が上下方向を向いた流体ベアリングがそれぞれ設けられている点にある。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、駆動シャフトが中空とされると共にバランスシャフトが中実とされているので、駆動シャフトとバランスシャフトとが上下方向の軸心に沿って移動自在に支持されているにも拘わらず、駆動シャフト及び砥石ホルダを加算した重量とバランスシャフトの重量とが均一化され、駆動シャフト側とバラスシャフト側との重量バランスが良くなり、カム部材の回転により、駆動シャフトとバランスシャフトとを上下方向に互いに逆向きに往復移動させて、二次振動を効果的に除去しながら砥石ホルダを上下方向に高速で往復運動させることができる。
【００１１】
また、駆動シャフト及びバランスシャフトが上下方向に配置されて、上下に駆動されるため、駆動シャフトの重量、砥石ホルダの重量及び駆動シャフト連動部材の重量が下バネに対して該下バネを縮小させる方向にかかり、バランスシャフト及びバランスシャフト連動部材の重量が上バネに対して該上バネを伸長させる方向にかかるが、駆動シャフト連動部材の第１偏心カムへの押圧力とバランスシャフト連動部材の第２偏心カムへの押圧力が同等になるように、前記上バネの付勢力よりも下バネの付勢力が大に設定されているので、上下バネのバランスも良くなり、この点からも砥石ホルダを高速でスムーズに上下方向に往復移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態を示す超仕上げ装置の正面断面図である。
【図２】同超仕上げ装置の平面断面図である。
【図３】同超仕上げ装置の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図３において、超仕上げ装置１の支持フレーム２は側面視コの字状に形成されて、上支持部３と下支持部４とが設けられている。この上下支持部３，４に駆動シャフト７とバランスシャフト８とが互いに平行でかつ上下方向の軸心に沿って移動自在に支持されている。
【００１４】
駆動シャフト７とバランスシャフト８とは互いに左右に離間して上下方向に平行に配置されている。駆動シャフト７の上部とバランスシャフト８の上部とは上支持部３にそれぞれエアーベアリング１０，１１を介して上下移動自在に支持され、駆動シャフト７の下部とバランスシャフト８の下部とは下支持部４にそれぞれエアーベアリング１２，１３を介して上下移動自在に支持されている。
【００１５】
駆動シャフト７とバランスシャフト８との間に両シャフト７，８間を通る前後方向の水平軸心廻りに回転駆動されるカム部材１５が設けられている。カム部材１５を上下に挟んで駆動シャフト連動部材１７とバランスシャフト連動部材１８とが設けられている。
駆動シャフト連動部材１７は駆動シャフト７及びバランスシャフト８の下部側に配置され、駆動シャフト連動部材１７の左右一端側は駆動シャフト７の下側中途部に外嵌固定され、駆動シャフト連動部材１７の左右他端側はバランスシャフト８の下側中途部にエアーベアリング１９を介して相対的に上下移動自在に外嵌されている。これにより、駆動シャフト連動部材１７は駆動シャフト７に固着されかつバランスシャフト８にその軸心方向に相対移動自在に外嵌保持され、駆動シャフト７は駆動シャフト連動部材１７と共に上下移動するようになっている。
【００１６】
バランスシャフト連動部材１８は駆動シャフト７及びバランスシャフト８の上部側に配置され、バランスシャフト連動部材１８の左右一端側は駆動シャフト７の上側中途部にエアーベアリング２０を介して相対的に上下移動自在に外嵌され、バランスシャフト連動部材１８の左右他端側はバランスシャフト８の上側中途部に外嵌固定されている。これにより、バランスシャフト連動部材１８はバランスシャフト８に固着されかつ駆動シャフト７にその軸心方向に相対移動自在に外嵌保持され、バランスシャフト８はバランスシャフト連動部材１８と共に上下移動するようになっている。
【００１７】
而して、駆動シャフト７と上下支持部３，４及びバランスシャフト連動部材１８との間並びにバランスシャフト８と上下支持部３，４及び駆動シャフト連動部材１７との間に、加圧エアーを封入していて軸心が上下方向を向いたエアーベアリング１０，１１，１２，１３，１９，２０がそれぞれ設けられている。
駆動シャフト連動部材１７の下方に下バネ２３が設けられ、バランスシャフト連動部材１８の上方に上バネ２４が設けられている。下バネ２３は駆動シャフト連動部材１７をカム部材１５に向けて上方に付勢し、上バネ２４はバランスシャフト連動部材１８をカム部材１５に向けて下方に付勢している。
【００１８】
下支持部４に下バネ２３の付勢力を調整する下バネ調整機構２５が設けられ、上支持部３に上バネ２４の付勢力を調整する上バネ調整機構２６が設けられている。
下バネ調整機構２５は、下支持部４に上下移動自在に螺合された下ねじ軸２９を有し、下ねじ軸２９を回動操作することによって下ねじ軸２９が下支持部４に対して上下に移動して、下バネ２３の付勢力を調整できるように構成されている。
【００１９】
上バネ調整機構２６は、上支持部３に上下移動自在に螺合された上ねじ軸３０を有し、上ねじ軸３０を回動操作することによって上ねじ軸３０が上支持部３に対して上下に移動して、上バネ２４の付勢力を調整できるように構成されている。
支持フレーム２の中央部に取付ブラケット３２を介してモータ３３が取り付けられている。モータ３３の出力軸３４の突出端部側に前記カム部材１５が外嵌固定されている。モータ３３の出力軸３４の後部側はベアリング２７によりモータ３３のケースに回転軸心ａ廻りに回転自在に支持され、モータ３３の出力軸３４の前部側は取付ブラケット３２の支持筒部３５を介して支持フレーム２にベアリング３６により回転軸心ａ廻りに回転自在に支持されている。
【００２０】
前記カム部材１５は互いに逆方向に偏心（周方向１８０°偏位）した第１偏心カム３７と第２偏心カム３８とを有している。第１偏心カム３７と第２偏心カム３８とは互いに前後にずれた位置にあって、第１偏心カム３７は第２偏心カム３８よりも前側にあり、第１偏心カム３７と第２偏心カム３８は、モータ３３の出力軸３４の回転軸心ａに対して互いに逆方向に偏心した位置に軸心ｂ、ｃを有している。第１偏心カム３７に第１ベアリング３９が外嵌装着され、第２偏心カム３８に第２ベアリング４０が外嵌装着されている。
【００２１】
駆動シャフト連動部材１７は下接当部材４１を介して第１偏心カム３７の第１ベアリング３９に接当され、バランスシャフト連動部材１８は上接当部材４２を介して第２偏心カム３８の第２ベアリング４０に接当されており、モータ３３の回転駆動によって、駆動シャフト連動部材１７及び駆動シャフト７と、バランスシャフト連動部材１８及びバランスシャフト８とが上下方向に互いに逆方向に往復移動するようになっている。
【００２２】
下接当部材４１及び上接当部材４２の接当面にはボロンコーティングがなされ、これにより摩擦抵抗の低減及び耐摩耗性を向上させている。
駆動シャフト７の下端部に砥石ホルダ４３が装着されている。砥石ホルダ４３の先端に、超仕上げ砥石４４が外方突出状に保持されると共に、超仕上げ砥石４４を先端側に向けて流体圧力（実施形態ではエアー圧力）にて押圧するシリンダ手段が組み込まれている。従って、モータ３３の駆動によってカム部材１５を回転させることにより砥石ホルダ４３乃至超仕上げ砥石４４を上下方向に往復運動させるように構成されている。
【００２３】
超仕上げ砥石４４を押し当てて超仕上げ加工するワークＷは、例えばトルク・コンバーターの入出力軸とされ、ワークＷは上下方向に配置されて上下方向の軸心廻りに回転駆動される。ワークＷを上下方向の軸心廻りに回転駆動させつつ砥石ホルダ４３を上下方向に往復移動させながら、ワークＷの軸外周面に超仕上げ砥石４４を押し当てて超仕上げ加工するようになっている。
【００２４】
超仕上げ装置１は、前記取付ブラケット３２により超仕上げ装置１をＸ方向（例えば前後方向）とＹ方向（例えば左右方向）とに移動させる図示省略の移動機構に取り付けられる。
前記駆動シャフト７が中空とされると共にバランスシャフト８が中実とされ、またバランスシャフト８の上端部にバランスウエイト４５が固着されており、これらによって、駆動シャフト７及び砥石ホルダ４３を加算した重量とバランスシャフト８及びバランスウエイト４５の重量とを均一化するようにしている。
【００２５】
モータ３３によってカム部材１５は低速回転から高速回転まで可変可能になっていて、カム部材１５の回転時に駆動シャフト連動部材１７側が第１偏心カム３７に対して接当状態を保持すると同時にバランスシャフト連動部材１８側が第２偏心カム３８に対して接当状態を保持するべく、カム部材１５の最大高速回転状態で上バネ２４の付勢力と下バネ２３の付勢力とが調整可能とされている。
【００２６】
例えば、砥石ホルダ４３乃至超仕上げ砥石４４の上下方向へ往復運動（オシレーション）の幅が１．５ｍｍであれば、カム部材１５の最大高速回転が２０００ｒｐｍ／ｍｉｎとされ、往復運動（オシレーション）の幅が０．５ｍｍであれば、カム部材１５の最大高速回転が４０００ｒｐｍ／ｍｉｎとされ、これら２０００ｒｐｍ／ｍｉｎ又は４０００ｒｐｍ／ｍｉｎのカム部材１５の最大高速回転状態で上バネ２４の付勢力と下バネ２３の付勢力とが下バネ調整機構２５及び上バネ調整機構２６によって調整される。この上バネ２４の付勢力と下バネ２３の付勢力との調整により、駆動シャフト７、駆動シャフト連動部材１７、バランスシャフト８、バランスシャフト連動部材１８、バランスウエイト４５及び砥石ホルダ４３の重量の、上バネ２４への付勢力及び下バネ２３への付勢力への影響を考慮して、駆動シャフト連動部材１７の第１偏心カム３７への押圧力とバランスシャフト連動部材１８の第２偏心カム３８への押圧力が同等になると共に、前記カム部材１５の最大高速回転状態でも、駆動シャフト連動部材１７側が第１偏心カム３７に対して接当状態を保持すると同時にバランスシャフト連動部材１８側が第２偏心カム３８に対して接当状態を保持するように、上バネ２４の付勢力よりも下バネ２３の付勢力が大に設定されるのである。
【００２７】
なお、４７は保護カバーで、駆動シャフト７、バランスシャフト８、駆動シャフト連動部材１７及びバランスシャフト連動部材１８等の前面を覆っている。４８は、エアーベアリング１０，１１，１２，１３等に圧縮エアーを供給するための配管ブロックである。
上記実施形態によれば、ワークＷを超仕上げ加工する場合、超仕上げ装置１をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動して、砥石ホルダ４３の超仕上げ砥石４４をワークＷに軸心方向に押し当て、ワークＷを上下方向の軸心廻りに回転させながら、モータ３３の回転駆動により、砥石ホルダ４３を上下に往復移動させて、ワークＷに対して超仕上げ加工をすればよい。
【００２８】
上記実施形態では、駆動シャフト７が中空とされると共にバランスシャフト８が中実とされ、バランスシャフト８の上端部にバランスウエイト４５が固着されているので、駆動シャフト７とバランスシャフト８とが上下方向に配置されているにも拘わらず、駆動シャフト７及び砥石ホルダ４３を加算した重量とバランスシャフト８の重量とが均一化され、駆動シャフト７側とバラスシャフト側との重量バランスが良くなり、カム部材１５の回転により、駆動シャフト７とバランスシャフト８とを上下方向に互いに逆向きに往復移動させて、二次振動を効果的に除去しながら砥石ホルダ４３を上下方向に高速で往復運動させることができる。
【００２９】
また、駆動シャフト７及びバランスシャフト８が上下方向に配置されて、上下に駆動されるため、駆動シャフト７の重量、砥石ホルダ４３の重量及び駆動シャフト連動部材１７の重量が下バネ２３に対して該下バネ２３を縮小させる方向にかかり、バランスシャフト８及びバランスシャフト連動部材１８の重量が上バネ２４に対して該上バネ２４を伸長させる方向にかかるが、駆動シャフト連動部材１７の第１偏心カム３７への押圧力とバランスシャフト連動部材１８の第２偏心カム３８への押圧力が同等になるように、前記上バネ２４の付勢力よりも下バネ２３の付勢力が大に設定されているので、上下バネ２３のバランスも良くなり、この点からも砥石ホルダ４３を高速でスムーズに上下方向に往復移動させることができる。
【００３０】
また、カム部材１５が低速回転から高速回転まで可変可能になっていて、カム部材１５の最大高速回転状態で上バネ２４の付勢力と下バネ２３の付勢力とが調整可能とされているので、カム部材１５の最大高速回転状態で上バネ２４の付勢力と下バネ２３の付勢力との調整により、駆動シャフト７、駆動シャフト７、バランスシャフト８、バランスシャフト連動部材１８、バランスウエイト４５及び砥石ホルダ４３の総重量による、上バネ２４への付勢力及び下バネ２３への付勢力への影響を考慮して、駆動シャフト連動部材１７の第１偏心カム３７への押圧力とバランスシャフト連動部材１８の第２偏心カム３８への押圧力とが同等になると共に、前記カム部材１５の最大高速回転状態でも、駆動シャフト連動部材１７側が第１偏心カム３７に対して接当状態を保持すると同時にバランスシャフト連動部材１８側が第２偏心カム３８に対して接当状態を保持するように、上バネ２４の付勢力よりも下バネ２３の付勢力が大になるように簡単に設定することができる。
【００３１】
また、支持フレーム２にモータ３３が取り付けられ、モータ３３の出力軸３４に前記カム部材１５が外嵌固定されているので、モータ３３の出力軸３４の回転で直接カム部材１５を回転駆動することができて、カム部材１５を簡単な構成で精度良く回転させることができ、超仕上げ装置１全体をコンパクトになし得る。
また、駆動シャフト７と上支持部３、下支持部４及びバランスシャフト連動部材１８との間並びにバランスシャフト８と上支持部３、下支持部４及び駆動シャフト連動部材１７との間に、加圧エアーを封入していて軸心が上下方向を向いたエアーベアリング１０，１１，１２，１３，１９，２０が設けられているので、上下方向を向いたエアーベアリング１０，１１，１２，１３，１９，２０に対して駆動シャフト７又はバランスシャフト８の重量が上下方向に作用するため、エアーベアリング１０，１１，１２，１３，１９，２０の軸心に対して駆動シャフト７又はバランスシャフト８の軸心がずれることが少なくなる。
【００３２】
即ち、従来のようにエアーベアリングが水平方向を向いて、駆動シャフト及びバランスシャフトが水平方向を向いている場合には、エアーベアリングに対して駆動シャフト又はバランスシャフトの重量がエアーベアリングの軸心方向と直交する方向にかかるため、エアーベアリングの軸心に対して駆動シャフト又はバランスシャフトの軸心がずれ易くなり、このため駆動シャフトの往復移動の精度が悪くなって超仕上げの加工精度も悪くなっていたが、上記実施形態の場合、エアーベアリング１０，１１，１２，１３，１９，２０の軸心に対して駆動シャフト７又はバランスシャフト８の軸心がずれることが少なくなり、駆動シャフト７の往復移動の精度を上げることができ、より高精度で超仕上げ加工を行うことができる。
【００３３】
なお、前記実施の形態では、バランスシャフト８の上端部にバランスウエイト４５が固着されているが、中実にしたバランスシャフト８の径を大きくし又は長くすることにより、バランスウエイト４５を省略するようにしてもよい。
また、前記実施の形態では、エアーベアリング１０，１１，１２，１３，１９，２０が設けられているが、これに代え、油その他の加圧流体を封入していて軸心が上下方向を向いた流体ベアリングを設けるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００３４】
１    超仕上げ装置
２    支持フレーム
３    上支持部
４    下支持部
７    駆動シャフト
８    バランスシャフト
１０    エアーベアリング
１１    エアーベアリング
１２    エアーベアリング
１３    エアーベアリング
１５    カム部材
１７    駆動シャフト連動部材
１８    バランスシャフト連動部材
１９    エアーベアリング
２０    エアーベアリング
２３    下バネ
２４    上バネ
２５    下バネ調整機構
２６    上バネ調整機構
３３    モータ
３４    出力軸
３７    第１偏心カム
３８    第２偏心カム
４３    砥石ホルダ
４４    超仕上げ砥石
【図１】
0005302268.tif 000002
【図２】
0005302268.tif 000003
【図３】
0005302268.tif 000004