(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１μｍ以上１００μｍ以下の膜厚のポリテトラフルオロエチレンからなる多孔膜に補強材を熱ラミネートして得られ、
濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．３μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９７％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用いられるエアフィルタ濾材を、
相対湿度が６０％以上８０％以下に管理されたクリーンルーム内で作製する、
エアフィルタ濾材の製造方法。
【請求項２】
前記エアフィルタ濾材は、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．１μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９９９９％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用いられる、
請求項１に記載のエアフィルタ濾材の製造方法。
【請求項３】
相対湿度が６０％以上８０％以下に管理されたクリーンルーム内で、請求項１または２に記載の製造方法により得られたエアフィルタ濾材を用いてエアフィルタパックを作製する、
エアフィルタパックの製造方法。
【請求項４】
前記エアフィルタパックは、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．３μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９７％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用いられる、
請求項３に記載のエアフィルタパックの製造方法。
【請求項５】
前記エアフィルタパックは、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．１μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９９９９％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用いられる、
請求項３に記載のエアフィルタパックの製造方法。
【請求項６】
相対湿度が６０％以上８０％以下に管理されたクリーンルーム内で、請求項３から５のいずれかに記載の製造方法により得られたエアフィルタパックを用いてエアフィルタユニットを作製する、
エアフィルタユニットの製造方法。
【請求項７】
濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．３μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９７％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットとして用いられる、
請求項６に記載のエアフィルタユニットの製造方法。
【請求項８】
濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．１μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９９９９％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットとして用いられる、
請求項６に記載のエアフィルタユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エアフィルタ濾材、エアフィルタパック及びエアフィルタユニットの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
高い清浄度の要求されるクリーンルーム、半導体製造装置等においては、ＨＥＰＡ（:High Efficiency Particulate Air）フィルタ、ＵＬＰＡ（:Ultra Low Penetration Air）フィルタ等の高捕集型のエアフィルタユニットが用いられている。これらのエアフィルタユニットは、空気を透過させ浮遊微粒子を捕集するためのフィルタ濾材を備えているが、従来のこの種のフィルタ濾材としてはガラス繊維からなるフィルタ濾材が用いられていた。
【０００３】
フィルタ濾材の作製時においては、濾材がロール等に接触することにより静電気が発生する場合があるが、ガラス繊維製のフィルタ濾材においては、静電気自体はあまり発生せず、また、静電気が発生し放電が起こったとしても、濾材の厚みは通常２００〜４００μｍと厚いため、リーク等のダメージが生じることはなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述のＨＥＰＡ及びＵＬＰＡフィルタに用いられるフィルタ濾材として、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥ）からなる多孔膜が用いられた場合、帯電列にも示されるように静電気が発生し易く、また、静電気が蓄積されて静電気放電が起こった場合、ＰＴＦＥ多孔膜の厚みは小さいため、リーク等のダメージが生じうることが本発明者らの研究により判明した。
【０００５】
濾材の材質によりこのような相違が生じる理由は、ＰＴＦＥ濾材は、濾過層のＰＴＦＥと、サポート材のポリオレフィンとで構成されるが、帯電列に示されるように、ＰＴＦＥやポリオレフィン等は、マイナス側の最も静電気が発生しやすい性質を有する領域に属するためであり、一方、従来のガラス製濾材は、ガラス自体が帯電列で中央部の領域に属すること等から静電気は発生しにくいためである。
【０００６】
また、静電気の発生は室内の雰囲気湿度に大きく影響され、相対湿度が小さいほど発生する静電気の電圧は高くなるが。これは、相対湿度が大きくなると、静電気が空気中の水分と中和して大気に開放されやすくなるためである。
【０００７】
本発明の目的は、リークが抑えられたエアフィルタ濾材、エアフィルタパック及びエアフィルタユニットを作製することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のエアフィルタ濾材の製造方法では、１μｍ以上１００μｍ以下の膜厚のポリテトラフルオロエチレンからなる多孔膜に補強材を熱ラミネートして得られ、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．３μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９７％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用いられるエアフィルタ濾材を、相対湿度が６０％以上８０％以下に管理されたクリーンルーム内で作製する。
【０００９】
前述のように、エアフィルタ濾材は、その製造時において、ロールによる巻き取り、他の部材との接触等により静電気が発生して、静電気放電が起こる場合があるこのような静電気放電が起きると、エアフィルタ濾材が損傷し、空気中の浮遊微粒子が捕集されずに損傷部分から漏れるリークが生じてしまう。
【００１０】
そこで、このエアフィルタ濾材の製造方法では、エアフィルタ濾材が作製されるクリーンルーム内の相対湿度を所定の範囲内に管理し、このような室内でエアフィルタ濾材を作製することにより、エアフィルタ濾材等に静電気が溜まって静電気放電が起きるのを抑え、エアフィルタ濾材におけるリークの発生を抑えることとしている。
【００１１】
また、前述のように、エアフィルタ濾材は、相対湿度が所定の範囲内に管理された室内で作製することにより、静電気放電の発生を抑えてリーク等のダメージが抑えられるが、この相対湿度をより適当な範囲内に管理することで、エアフィルタ濾材のリークの発生をより一層有効に抑えられることが本発明者らの研究により明らかにされた。
【００１２】
そこで、この製造方法では、相対湿度を上記範囲内に管理した室内でエアフィルタ濾材を作製し、リーク等のダメージが抑えられたエアフィルタ濾材を得ることとしている。
【００１３】
また、前述のように、ＰＴＦＥ多孔膜は、帯電列にも示されるように、従来のガラス繊維製の濾材に比べ静電気が発生しやすく、このため、静電気放電によるリーク等のダメージを受けやすい性質を有している。また、ＰＴＦＥ多孔膜に熱ラミネートされる補強材も、一般にポリオレフィン系樹脂製のものが用いられており、ＰＴＦＥ多孔膜と同様、ガラス濾材に比べ静電気を発生しやすい。
【００１４】
そこで、ここでは、特に、ＰＴＦＥ多孔膜及びその補強材で構成されるエアフィルタ濾材を作製する場合において、静電気放電の発生を抑えて、リーク等のダメージを防止することとしている。
【００１５】
また、前述のように、ＰＴＦＥ多孔膜のような膜厚の小さい捕集層を有するエアフィルタ濾材は、ガラス濾材に比べ静電気放電によるダメージが大きくなり易い。しかし、ここでは、相対湿度が所定の範囲内に管理された室内でエアフィルタ濾材を作製するため、静電気放電が発生するのを抑えることができ、したがって、膜厚の小さいＰＴＦＥ多孔膜を有するエアフィルタ濾材においてもリークの発生を有効に抑えることができる。
【００１６】
また、エアフィルタ濾材は、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．３μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９７％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用いられる。
【００１７】
このような性能を有するエアフィルタユニットは、一般に、ＨＥＰＡフィルタとしての規格を有し、高い清浄度が要求される空間での使用に適したエアフィルタユニットとして近年そのニーズが高まっている。しかし、このようなエアフィルタとして用いられるエアフィルタ濾材は、繊維径が小さく微細な繊維構造を有しているため、静電気放電によりエアフィルタ濾材が受けるダメージは特に大きくなる。
【００１８】
ここでは、このようなＨＥＰＡフィルタとして使用可能なエアフィルタ濾材を、所定の相対湿度に管理された室内で作製する場合において、リーク等のダメージが生じるのを抑えるようにしている。
【００１９】
請求項２に記載の製造方法は、請求項１に記載の製造方法において、エアフィルタ濾材は、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．１μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９９９９％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用いられる。
【００２０】
このような性質を有するエアフィルタユニットは、一般に、ＵＬＰＡフィルタとしての規格を有し、ＨＥＰＡフィルタよりさらに高い清浄度が要求される空間での使用に適している。しかし、このようなエアフィルタとして用いられるエアフィルタ濾材は、さらに繊維径が小さく微細な繊維構造を有しているため、静電気放電によりエアフィルタ濾材が受けるダメージは一層大きくなる。
【００２１】
ここでは、このようなＵＬＰＡフィルタとして使用可能なエアフィルタ濾材を、所定の相対湿度に管理された室内で製造する場合において、リーク等のダメージが生じるのを抑えるようにしている。
【００２２】
請求項３に記載のエアフィルタパックの製造方法では、相対湿度が６０％以上８０％以下に管理されたクリーンルーム内で、請求項１または２に記載の製造方法により得られたエアフィルタ濾材を用いてエアフィルタパックを作製する。
【００２３】
エアフィルタパックの製造においても、他の部材との接触等により静電気が発生しうるが、ここでも、所定の相対湿度に管理された室内でエアフィルタパックを製造するため、静電気放電の発生を抑えてリーク等のダメージを抑えることができる。
【００２４】
また、この製造方法では、相対湿度がより適当な範囲内に管理された室内で、エアフィルタパックを製造することにより、静電気放電の発生を抑えてリーク等のダメージより有効に抑えるようにしている。
【００２５】
また、この製造方法では、特に、ＰＴＦＥ多孔膜及びその補強材で構成されるエアフィルタ濾材からエアフィルタパックを作製する場合において、静電気放電の発生を抑えて、リーク等のダメージを防止することとしている。
【００２６】
また、この製造方法では、特に、膜厚の小さいＰＴＦＥ多孔膜を用いたエアフィルタ濾材からエアフィルタパックを作製する場合において、静電気放電の発生を抑えて、リーク等のダメージを防止することとしている。
【００２７】
請求項４に記載のエアフィルタパックの製造方法は、請求項３に記載の製造方法に記載の製造方法において、エアフィルタパックは、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．３μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９７％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用いられる。
【００２８】
この製造方法では、特に、ＨＥＰＡフィルタとして使用可能なエアフィルタパックを作製する場合において、静電気放電の発生を抑えて、リーク等のダメージを防止することとしている。
【００２９】
請求項５に記載のエアフィルタパックの製造方法は、請求項３に記載の製造方法において、エアフィルタパックは、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．１μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９９９９％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットに用いられる。
【００３０】
この製造方法では、特に、ＵＬＰＡフィルタとして使用可能なエアフィルタパックを作製する場合において、静電気放電の発生を抑えて、リーク等のダメージを防止することとしている。
【００３１】
請求項６に記載のエアフィルタユニットの製造方法では、相対湿度が６０％以上８０％以下に管理されたクリーンルーム内で、請求項８から１４のいずれかに記載の製造方法により得られたエアフィルタパックを用いてエアフィルタユニットを作製する。
【００３２】
エアフィルタユニットの製造においても、他の部材との接触等により静電気が発生しうるが、ここでも、所定の相対湿度に管理された室内でエアフィルタユニットを製造するため、静電気放電の発生を抑えてリーク等のダメージが生じるのを抑えることができる。
【００３３】
また、この製造方法では、相対湿度がより適当な範囲内に管理された室内で、エアフィルタパックを製造することにより、リーク等のダメージをより有効に抑えるようにしている。
【００３４】
また、この製造方法では、特に、ＰＴＦＥ多孔膜及びその補強材で構成されるエアフィルタ濾材からエアフィルタパックを作製する場合において、静電気放電の発生を抑えて、リーク等のダメージを防止することとしている。
【００３５】
また、この製造方法では、特に、膜厚の小さいＰＴＦＥ多孔膜を用いたエアフィルタ濾材からエアフィルタパックを作製する場合において、静電気放電の発生を抑えて、リーク等のダメージを防止することとしている。
【００３６】
請求項７に記載のエアフィルタユニットの製造方法は、請求項６に記載の製造方法において、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．３μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９７％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットとして用いられる。
【００３７】
この製造方法では、特に、ＨＥＰＡフィルタとして使用可能なエアフィルタパックを作製する場合において、静電気放電の発生を抑えて、リーク等のダメージを防止することとしている。
【００３８】
請求項８に記載のエアフィルタユニットの製造方法は、請求項６に記載の製造方法において、濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における粒子径が０．１μｍ以上の粒子の捕集効率が９９．９９９９％以上でありかつ濾材透過風速が１．４ｃｍ／秒の場合における圧力損失が５０Ｐａ以上５００Ｐａ以下であるエアフィルタユニットとして用いられる。
【００３９】
この製造方法では、特に、ＵＬＰＡフィルタとして使用可能なエアフィルタパックを作製する場合において、静電気放電の発生を抑えて、リーク等のダメージを防止することとしている。
【００４０】
【発明の実施の形態】
［フィルタ濾材の製造方法］
図１及び図２に、本発明の一実施形態が採用されたフィルタ濾材の製造方法の概要を示す。 図１において、１は巻き出しロール、２は巻き取りロール、３〜５はロール、６，７はヒートロール、８〜１２はロールをそれぞれ示す。また、図２において、１４は巻き出しロール、１５は余熱ゾーン、１６は延伸ゾーン、１７は熱固定ゾーン、１９はラミネートロール、２１は巻き取りロールをそれぞれ示す。
【００４１】
このフィルタ濾材の製造方法は、雰囲気湿度が所定の範囲内になるよう管理されたクリーンルーム内で行われる。具体的には、雰囲気湿度は、４０〜８０％であるが、微少なリークをも抑えられる点で、５０〜８０％であるのが好ましく、６０〜８０％であるのがより好ましい。なお、湿度が８０％を超えると、濾材作製工程で用いられる機器、装置等に露結が発生し、特に電気系に問題が発生し易くなる。
【００４２】
このように雰囲気湿度が管理されたクリーンルーム内で、多孔膜作製工程と、熱ラミネート工程と、巻き取り工程とが行われる。多孔膜作製工程では、図１に示す工程と図２の左半分に示す工程とにより、ＰＴＦＥ未焼成フィルムを２軸延伸してＰＴＦＥ多孔膜を作製する。ＰＴＦＥ多孔膜の膜厚は、１〜１００μｍであるが、圧力損失を低減させる点で、１〜５０μｍが好ましく、１〜３０μｍがより好ましい。
【００４３】
熱ラミネート工程では、図２の右半分に示す工程により、ＰＴＦＥ多孔膜の両側に不織布からなる通気性支持材１８を熱ラミネートしてフィルタ濾材１３を得る。
【００４４】
巻き取り工程では、フィルタ濾材１３を巻き取りロール２１に巻き取る。このような方法によりフィルタ濾材１３を製造した場合、室内が比較的高い雰囲気湿度に管理されているため、フィルタ濾材１３、不織布１８等がロールや他の部材と接触しても、静電気が生じるのを有効に抑えることができ、したがって、静電気が溜まって静電気放電が起きることが無く、フィルタ濾材１３等がリーク等のダメージを受けるのを抑えることができる。
【００４５】
特に、巻き取り工程においては、巻き取られたフィルタ濾材１３に静電気が蓄積され易いが、本方法により、冬場等の乾燥時においても静電気放電が生じるのを有効に抑えることができる。
【００４６】
なお、本実施形態の方法により製造されるフィルタ濾材１３は、ＨＥＰＡフィルタまたはＵＬＰＡフィルタに用いることが可能であるが、ＰＴＦＥ多孔膜を利用したこれらのフィルタは、繊維径が非常に細かく、微細な繊維構造を有するとともに膜厚が小さいため、静電気放電が起きることにより受ける影響が大きい。
【００４７】
しかし、上述のように、フィルタ濾材１３の作製は、湿度が所定の範囲内に管理されたクリーンルーム内で行われるため、静電気放電によるリーク等が生じず、したがって、その高い捕集機能が損なわれるのを抑えることができる。
［フィルタパックの製造方法］
図３及び図４に、本発明の一実施形態が採用されたフィルタパックの製造方法の概要を示す。
【００４８】
このフィルタパックの製造方法は、上記実施形態と同様に雰囲気湿度が管理されたクリーンルーム内で行われる。このような室内において、巻き出し工程と、プリーツ加工工程と、展開工程と、スペーサ塗布工程と、再プリーツ加工工程とが行われる。
【００４９】
巻き出し工程では、上記実施形態の巻き取り工程で巻き取られたフィルタ濾材１３を巻き出す。プリーツ加工工程では、図３に示すように、フィルタ濾材１３を、交互に折り返して波型形状に加工（プリーツ加工）し、これにより、波型の折り目を形成する。
【００５０】
展開工程では、プリーツ加工されたフィルタ濾材１３をシート状に展開する。スペーサ塗布工程では、 図４に示すように、展開されたフィルタ濾材１３にスペーサ２４を塗布する。
【００５１】
再プリーツ加工工程では、スペーサ２４が塗布されたフィルタ濾材１３を再度プリーツ加工してフィルタパック２５を得る。このような方法により得られたフィルタパック２５は、上記実施形態と同様、所定の雰囲気湿度に管理されたクリーンルーム内で作製されるため、静電気が発生するのを抑えることができ、したがって、静電気放電が起きるのを抑え、フィルタ濾材１３及びフィルタパック２５にリーク等のダメージが発生するのを抑えることができる。
【００５２】
また、フィルタパック２５は、上記フィルタ濾材１３と同様、ＨＥＰＡ及びＵＬＰＡフィルタに用いることが可能であるが、本方法により製造することで、高捕集機能を維持しつつリークの無いフィルタパックを得ることができる。
［エアフィルタユニットの製造方法］
図５に、本発明の一実施形態がされたエアフィルタユニットの製造方法の概要を示す。
【００５３】
このエアフィルタユニットの製造方法は、上記実施形態と同様に雰囲気湿度が管理されたクリーンルーム内で行われる。このような室内において、梱包工程と、取り出し工程と、組み立て工程とが行われる。
【００５４】
梱包工程では、上記実施形態で得られたフィルタパック２５を、後の組み立て工程が行われるまでの間、有機物質等の付着を防止するために、一旦袋詰めにする。
【００５５】
取り出し工程では、次の組み立て工程を行うために、梱包されたフィルタパック２５を袋から取り出す。組み立て工程では、図５に示すように、取り出されたフィルタパック２５を枠体２６に組み込んで、エアフィルタユニットを得る。
【００５６】
このような方法により得られたエアフィルタユニットは、上記実施形態と同様、雰囲気湿度が所定の範囲内に管理された室内で作製されるため、静電気の発生を抑えることができ、したがって、静電気放電が起きることが無く、フィルタパック２５及びエアフィルタユニットにリーク等のダメージが生じるのを抑えることができる。
【００５７】
また、ここで得られるエアフィルタユニットは、ＨＥＰＡ及びＵＬＰＡフィルタとして用いることができるが、本方法で製造することにより、高捕集機能を維持しつつリークの無いものが得られる。
【００５８】
【実施例】
［フィルタ濾材のリークの有無］
フィルタ濾材の測定サンプルを、直径１００ｍｍのフィルタホルダーにセットし、コンプレッサーで入口側を加圧し、流量計で空気の透過する流量を５.３ｃｍ／秒に調整した。この状態で上流側から多分散ＤＯＰを粒子濃度１０8個／３００ｍｌで流し、下流側に設置したパーティクルカウンターによって、粒径別の透過粒子数を求め、上流、下流の粒子数の比率から粒径０.１０〜０.１２μｍ及び０.２５〜０.３５μｍのＤＯＰ粒子の捕集効率を求め、粒径０.２５〜０.３５μｍのＤＯＰの捕集効率が粒径０.１０〜０.１２μｍのＤＯＰの捕集効率より１００倍以上高ければリーク無しと判定した。
［フィルタ濾材の圧力損失（Ｐａ）］
ＰＴＦＥ多孔膜及びフィルタ濾材の測定サンプルを直径１００ｍｍのフィルタホルダーにセットし、コンプレッサーで入口側を加圧し、流量計で空気の透過する流量を５.３ｃｍ／秒に調整した。そして、この時の圧力損失をマノメーターで測定した。
［フィルタ濾材の捕集効率（％）］
ＰＴＦＥ多孔膜及びフィルタ濾材の測定サンプルを、直径１００ｍｍのフィルタホルダーにセットし、コンプレッサーで入口側を加圧し、流量計で空気の透過する流量を５.３ｃｍ／秒に調整した。この状態で、上流側から粒子径０.１〜０.１２μｍの多分散ＤＯＰを粒子濃度１０8個／３００ｍｌで流し、下流側に設置したパーティクルカウンター（ＰＭＳ ＬＡＳ−Ｘ−ＣＲＴ ＰＡＲＴＩＣＬＥＭＥＡＳＵＲＩＮＧ ＳＹＳＴＥＭ ＩＮＣ．（ＰＭＳ）社製、以下同じ）によって、粒子径０.１０〜０.１２μｍのＤＯＰの透過粒子数を求め、上流の粒子濃度をＣｉ、下流粒子濃度をＣｏとして下記式により測定サンプルの捕集効率を計算した。
［数１］
捕集効率（％）＝（１−Ｃｏ／Ｃｉ）×１００
捕集効率が非常に高いフィルタ濾材については、吸引時間を長くしサンプリング空気量を多くして測定を行った。例えば吸引時間を１０倍にすると下流側のカウント粒子数が１０倍に上がり、即ち測定感度が１０倍になる。
［エアフィルタユニットのリークの有無］
エアフィルタユニットのリーク箇所の測定は、ＪＡＣＡ Ｎｏ．１０Ｃ ４.５.４に準拠して行った（日本空気清浄協会発行１９７９年「空気清浄装置性能試験方法基準」）。
【００５９】
図６に示した装置を用い、ラスキンノズルより発生させたシリカ粒子を清浄空気に混合して、粒径が０.１μｍ以上の粒子を濃度１０8個／ｆｔ3以上で含む検査流体を調製する。次に、エアフィルタユニットの上流から検査流体を、エアフィルタユニット面の風速が０.５ｍ／秒になるようにしてエアフィルタユニットに通す。その後、エアフィルタユニットの下流側２５ｍｍの位置で、捜査プローブを１秒間に５ｃｍの速度で走査させながら、下流側空気を２８．３ｌ／分で吸引し、パーティクルカウンターで下流側のシリカ粒子濃度を測定する。但し、この走査は、エアフィルタユニットの濾材及び濾材とフレームとの結合部の全面にわたって行い、そのストロークはわずかに重なり合うようにする。エアフィルタユニットのリーク判定基準は、捕集効率が９９.９９９％を下回る点を第１判定基準とし、それを越えるときは、下流側のシリカ粒子の粒径分布が、上流側の粒径分布と同じようになる場合をリークと判定した。
［エアフィルタユニットの圧力損失（Ｐａ）］
図６に示した装置を用い、エアフィルタユニットを装着後フィルタ濾材を透過する風速が１.４ｃｍ／秒になるように調整し、その時のエアフィルタユニット前後の圧力損失をマノメーターで測定した。
［エアフィルタユニットの捕集効率（％）］
図６示した装置を用い、エアフィルタユニットを装着後フィルタ濾材を透過する風速が１.４ｃｍ/秒になるように調整し、この状態で上流側に粒子径が０.１〜０.１２μｍのＤＯＰ粒子を濃度１×１０9／ft3で流し、下流側の粒子径０.１〜０.１２μｍの粒子数をパーティクルカウンターで測定し、上流の粒子濃度をＣｉ、下流粒子濃度をＣoとして下記式により測定サンプルの捕集効率を計算した。
捕集効率（％）＝（１−Ｃｏ／Ｃｉ）×１００
なお、 図６中の符号の説明は以下のとおりである。
【００６０】
３１：送風機、３２,３２'：ＨＥＰＡフィルタ、３３：試験用粒子導入管、３４,３４'：整流板、３５：上流側試験用粒子採取管、３６：静圧測定孔、３７：供試フィルタユニット、３８：下流側試験用粒子採取管、３９：層流型流量計
［帯電量の測定方法］
静電気帯電量の測定は、春日電機株式会社製振動式静電電位測定器「ＫＳＤ−０１０３」を用いて測定した。
［ＰＴＦＥフィルタ濾材の製造］
まず、数平均分子量６２０万のＰＴＦＥファインパウダー（ダイキン工業株式会社製「ポリフロンファインパウダーＦ−１０４Ｕ」）１００重量部に、押出助剤としての炭化水素油（エッソ石油株式会社製「アイソパー」）２５重量部を加えて混合した。
【００６１】
次に、この混合物をペースト押出により丸棒状に成形した。そして、この丸棒状成形体を、７０℃に加熱したカレンダーロールによりフィルム状に成形し、ＰＴＦＥフィルムを得た。このフィルム、２５０℃の熱風乾燥炉に通して押出助剤を蒸発除去し、平均厚み２００μｍ、平均幅１５０ｍｍの未焼成フィルムを得た。
【００６２】
次に、この未焼成ＰＴＦＥフィルムを、 図１に示す装置を用いて長手方向に延伸倍率５倍で延伸した。未焼成フィルムはロール１にセットし、延伸したフィルムは巻き取りロール２に巻き取った。
【００６３】
次に、得られた長手方向延伸フィルムを、連続クリップで挟むことのできる図２の左半分に示す装置（テンター）を用いて幅方向に延伸倍率３０倍で延伸し、熱固定を行った。この時の延伸温度は２９０℃、熱固定温度は３６０℃、また延伸速度は３３０％／秒であった。上記のＰＴＦＥ多孔膜の両面に、下記の不織布Ａ，Ｂを用いて、図２の右半分に示す装置によって熱融着することにより、フィルタ濾材を得た。
不織布Ａ：ユニチカ株式会社製「エルベスＳ０４０３ＷＤＯ」ＰＥＴ／ＰＥ芯／鞘不織布、目付４０ｇ／ｍ2不織布Ｂ：ユニチカ株式会社製「エルベスＴ０４０３ＷＤＯ」ＰＥＴ／ＰＥ芯／鞘不織布、目付４０ｇ／ｍ2
＜実施例１＞
クリーンルーム内の雰囲気湿度を３０％、４０％、５０％、６０％、８０％にコントロールして、上記濾材の作製を行った。
【００６４】
これらの各雰囲気湿度で作製したフィルタ濾材について測定した圧力損失、捕集効率、帯電量、リークの有無を表１に示す。帯電量については、濾材を巻き取ってから１０分後のロール表面の帯電量を測定した。又、リークの有無は濾材ロールから２０枚サンプリングし、それについてリークの有無を測定した。
【００６５】
湿度が４０％、５０％の場合のサンプルは、リークの有るものと無いものとが混在していたため、捕集効率は測定していない。これは、リークの有るものと無いものとでは値が大きく異なるためである。
【００６６】
【表１】
0005124069.tif 000002
【００６７】
表１に示すように、湿度が４０％以上で濾材を作製した場合は、湿度が３０％の場合に比べ帯電量が大幅に抑えられるとともにリークの発生が抑えられていることが分かる。また、湿度の値が大きくなるほど、帯電量及びリークの発生量が抑えられており、湿度の上げることによるリーク発生の抑制効果が認められる。
［フィルタユニットの製造］
実施例１の雰囲気湿度８０％で製造したフィルタ濾材を、レシプロ折り機で高さ５.５ｃｍにプリーツ加工し、プリーツ後９０℃の温度をかけて折りくせをつけた。この後、プリーツされたフィルタ濾材を一旦開き（展開）、ポリアミドホットメルト樹脂製のスペーサーを塗布し、再度プリーツ状にレシプロ立ち上げ機で立ち上げ、大きさ５８ｃｍ×５８ｃｍに切断して、エアフィルタパックを得た。この時のプリーツ間隔は３.１２５ｍｍ／プリーツであった。
【００６８】
次に、外寸６１ｃｍ×６１ｃｍ、内寸５８ｃｍ×５８ｃｍ、厚さ６.５ｃｍのアルマイト加工アルミニウム製枠を用意し、この枠内にプリーツ加工されたエアフィルタパックを入れ、ウレタン接着剤でエアフィルタパック周囲とアルミニウム枠とをシールしてエアフィルタユニットを作製した。
＜実施例２＞
クリーンルーム内の雰囲気湿度を３０％、４０％、５０％、６０％、８０％にコントロールして、上記フィルタユニットの作製を行った。
【００６９】
上記実施例２のエアフィルタユニットについて測定した圧力損失、捕集効率、リークの有無について、表２に示す。
【００７０】
【表２】
0005124069.tif 000003
【００７１】
表２に示すように、湿度が４０％以上で濾材を作製した場合はリークの発生が無く、湿度が３０％の場合に比べ捕集効率が高いことが分かる。また、湿度の値が大きくなるほど、リークの程度が小さくなり、この結果、捕集効率が高くなることが分かる。
【００７２】
【本発明の効果】
本発明によれば、所定の雰囲気湿度に管理されたクリーンルーム内でエアフィルタ濾材等の作製が行われるため、静電気が発生するのを抑えることができ、これにより、静電気放電の発生によるリーク等のダメージを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態によるフィルタ濾材の製造方法の概要の一部を示す。
【図２】本発明の一実施形態によるフィルタ濾材の製造方法の概要の一部を示す。
【図３】本発明の一実施形態によるフィルタパックの製造方法の概要の一部を示す。
【図４】本発明の一実施形態によるフィルタパックの製造方法の概要の一部を示す。
【図５】本発明の一実施形態によるエアフィルタユニットの製造方法の概要の一部を示す。
【図６】エアフィルタユニットの圧力損失の測定装置を示す模式図。
【符号の説明】
１３  フィルタ濾材
２５  フィルタパック
２６  枠体
【図１】
0005124069.tif 000004
【図２】
0005124069.tif 000005
【図３】
0005124069.tif 000006
【図４】
0005124069.tif 000007
【図５】
0005124069.tif 000008
【図６】
0005124069.tif 000009