(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を照射することで照射面の状態が溶融により改質された平板状態のワークによ
り、前記照射面にて、スライダを所定方向に変位可能に支持するディンプル部と、記録再
生装置のガイド部に摺動ガイドされるタブ部と、の両者若しくはいずれか一方を溶融軟化
した状態でのプレスにより立体的に加工成形し、
前記レーザ光による溶融とプレスとが相俟って表面粗度を向上及び均一化することで製
造される、
ことを特徴とするロードビーム。
【請求項２】
平板状態のワークのうち、少なくとも、スライダを所定方向に変位可能に支持するディ
ンプル部となる部分の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を溶融により改質し
てロードビーム半製品を得る工程と、
前記ロードビーム半製品における前記照射面に、前記ディンプル部を溶融軟化した状態
でのプレスにより立体的に加工成形して前記レーザ光による溶融とプレスとが相俟って表
面粗度を向上及び均一化したロードビーム本製品を得る工程と、
を備えたことを特徴とするロードビームの製造方法。
【請求項３】
平板状態のワークのうち、少なくとも、記録再生装置のガイド部に摺動ガイドされるタ
ブ部となる部分の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を溶融により改質してロ
ードビーム半製品を得る工程と、
前記ロードビーム半製品における前記照射面に、前記タブ部を溶融軟化した状態でのプ
レスにより立体的に加工成形して前記レーザ光による溶融とプレスとが相俟って表面粗度
を向上及び均一化したロードビーム本製品を得る工程と、
を備えたことを特徴とするロードビームの製造方法。
【請求項４】
平板状態のワークのうち、少なくとも、スライダを所定方向に変位可能に支持するディ
ンプル部となる部分、及び記録再生装置のガイド部に摺動ガイドされるタブ部となる部分
、の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を溶融により改質してロードビーム半
製品を得る工程と、
前記ロードビーム半製品における前記照射面に、前記タブ部と前記ディンプル部とを溶
融軟化した状態でのプレスにより立体的に加工成形して前記レーザ光による溶融とプレス
とが相俟って表面粗度を向上及び均一化したロードビーム本製品を得る工程と、
を備えたことを特徴とするロードビームの製造方法。
【請求項５】
請求項２〜４のうちいずれか一項に記載のロードビームの製造方法によって製造される
ことを特徴とするロードビーム。
【請求項６】
請求項５記載のロードビームを備えたことを特徴とするヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンピュータの例えば外部記憶装置として内蔵されるディスク装置のスライダを支持するロード／アンロード用のヘッドサスペンション、ロードビーム、ロードビームの製造方法、及びワーク加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータの例えば外部記憶装置として磁気ディスク装置や光ディスク装置等をはじめとするディスク装置が広く利用されている。このようなディスク装置、例えば磁気ディスク装置（ＨＤＤ）は、スライダを支持するためのヘッドサスペンションを備えている。
【０００３】
このヘッドサスペンションは、ベースプレートと、フレキシャが設けられるロードビームとなどを含み、ロードビームに、スライダに対して負荷を与えながら可動支持するためのディンプルを設けて構成されている。このディンプルは、ロードビームにプレス成形加工を施すことでその表面が球面形状に形成されている。これにより、ヘッドサスペンションが浮上した状態でスライダがディンプルに支持されて、この状態でディスク回転時にスライダの揺動が許容されて、ハードディスクに対する円滑な動作が確保されるようになっている。
【０００４】
このため、ディンプルにおける球面形状の外側表面にあっては、その仕上げ精度を可及的に高くすべきとの要請がある。
【０００５】
かかる要請に応えるために、本件出願人は、ディンプルをプレス成形加工する際に用いられるディンプルダイの凹面に、ウォーター・ジェットの噴流を噴射するジェットノズルと、ウォータージェットにより凹面に衝突させる微細粒を供給する微細粒供給管とからなり、ウォータージェットにより凹面に微細粒を衝突させて鏡面状に表面仕上げを行ない、このときディンプルダイを可動支持して凹面全体にウォータージェットを当て、噴流は、噴射速度を２００ｍ／ｓｅｃ〜１０００ｍ／ｓｅｃの範囲とし、微細粒は、粒径を６ｎｍ〜１００ｎｍの範囲とすることで、摩擦係数の変動を抑制可能とする技術を提案している（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
特許文献１に記載の技術によれば、治具（ディンプルダイ）の表面を鏡面状に仕上げることを通じて、ワーク（ディンプル）の立体的な表面仕上げ精度を間接的に向上させることができる。
【０００７】
ところで、本発明者らの研究によると、ワークそれ自体の表面仕上げ精度を直接的に向上させるためのアプローチのひとつとして、レーザを用いた表面改質技術がきわめて有効であることが判明した。ここで、レーザを用いた表面改質技術とは、ワークに対してレーザ光を照射することを通じて、ワークそれ自体の表面仕上げ処理を行う技術をいう。
【０００８】
しかし、レーザを用いた表面改質技術といっても、ワークそれ自体の表面仕上げ精度を直接的に向上させる観点から、いかなる工程を採用すべきかが問題となる。
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−１９２５３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
解決しようとする問題点は、レーザを用いた表面改質技術を適用するにあたり、ワークそれ自体の表面仕上げ精度を直接的に向上させる観点から、いかなる工程を採用すべきかの解を得るのが困難であった点である。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
レーザを用いた表面改質技術を適用するにあたり、ワークそれ自体の表面仕上げ精度を直接的に向上させる観点から相応しい工程を具現化すること目的として、本発明に係るロードビームは、レーザ光を照射することで照射面の状態が溶融により改質された平板状態のワークにより、前記照射面にて、スライダを所定方向に変位可能に支持するディンプル部と、記録再生装置のガイド部に摺動ガイドされるタブ部と、の両者若しくはいずれか一方を溶融軟化した状態でのプレスにより立体的に加工成形し、前記レーザ光による溶融とプレスとが相俟って表面粗度を向上及び均一化することで製造されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るロードビームは、レーザ光を照射することで照射面の状態が溶融により改質された平板状態のワークにより、前記照射面にて、スライダを所定方向に変位可能に支持するディンプル部と、記録再生装置のガイド部に摺動ガイドされるタブ部と、の両者若しくはいずれか一方を溶融軟化した状態でのプレスにより立体的に加工成形し、前記レーザ光による溶融とプレスとが相俟って表面粗度を向上及び均一化する。すなわち、本発明では、レーザを用いた表面溶融後の平板状態のワークにより、スライダの姿勢制御を適正に行う上で重要な役割を果たすディンプル部と、ランプ機構のロード／アンロードを円滑に行う上で重要な役割を果たすタブ部と、の両者若しくはいずれか一方をプレスにより立体的な加工成形が施されることでロードビームを製造するので、ロードビームにおいて特に重要な役割を果たすディンプル部又はタブ部に係る表面粗度の向上並びに均一化を実現することができる。従って、レーザを用いた表面改質技術を適用するにあたり、ワークそれ自体の表面仕上げ精度を直接的に向上させる観点から相応しい工程を具現化することが可能になるとともに、かかる具現化工程をもって製造される、ディンプル部又はタブ部に係る表面粗度の向上並びに均一化が実現されたロードビームを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
レーザを用いた表面改質技術を適用するにあたり、ワークそれ自体の表面仕上げ精度を直接的に向上させる観点から相応しい工程を具現化するといった目的を、レーザ光を照射することで照射面の状態が改質された平板状態のワークにより、前記照射面にて、スライダを所定方向に変位可能に支持するディンプル部と、記録再生装置のガイド部に摺動ガイドされるタブ部と、の両者若しくはいずれか一方を立体的に加工成形することによりロードビームを製造することで実現した。
【実施例】
【００１４】
以下、本発明実施例に係るヘッドサスペンション、ロードビーム、ロードビームの製造方法、及びワーク加工方法について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１５】
まず、本発明実施例に係るワーク加工方法について説明する。なお、本発明でいうワークとは、加工対象物を総称する概念であり、最終製品となる以前の中間段階にある加工対象物をも含むものである。
【００１６】
［本発明実施例に係るワーク加工方法］
図１は、本発明実施例に係るワーク加工方法を示す説明図である。
【００１７】
図１に示すように、本発明実施例に係るワーク加工方法は、平板状態のワークにおける表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質する工程（ステップ１１）と、前記ワークにおける前記照射面に所要の立体的加工成形を施す工程（ステップ１２）と、を備えている。ここで、ステップ１１における「ワークにおける表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質する」とは、ワーク表面にレーザ光を照射することで照射面を急速加熱又は急速凝固（溶融）させることを通じて、その表面状態を改質することを意味する。なお、本発明で用いられるレーザの種類としては、例えば、半導体レーザ、ＹＡＧレーザ、炭酸ガスレーザなどのなかから適宜のものを用いることができる。なお、これらのレーザ照射条件は、ワークの材質等に応じて適切とされる条件が異なってくる。従って、本発明実施例に係るワーク加工方法を実施するにあたっては、ワークの材質等に応じた適切なレーザ照射条件を適宜設定すればよい。
【００１８】
本発明実施例に係るワーク加工方法によれば、平板状態のワークにおける表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した後に、ワークにおける前記照射面に所要の立体的加工成形を施すこととしたので、ワークに所要の立体的加工成形を施した後に、その加工成形部分を含む表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質する場合と比較して、レーザを用いた表面改質技術を適用するにあたり、ワークそれ自体の表面仕上げ精度を直接的に向上させる観点から相応しい工程を具現化することができる。
【００１９】
すなわち、ワークに所要の立体的加工成形を施した後に、その加工成形部分の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質する場合であって、当該加工成形部分が、折り曲げ加工、プレス加工等によって立体的に加工成形された場合には、レーザ光の出射点と、レーザ光の入射点である前記加工成形部分の表面との間の距離（以下、「レーザ光出入射点間距離」という。）は、当該加工成形部分の表面における場所が変わることによって変わってくる。ここで、一般に、レーザ光照射装置では、ジャストフォーカス（合焦）モードかデフォーカス（非合焦）モードかにかかわらず、レーザ光出入射点間距離が所定間隔に保たれている部分（レーザ光のエネルギー密度が所定値に保たれている部分）では略均一の表面改質効果が得られる反面、レーザ光出入射点間距離が所定間隔から外れている部分（レーザ光のエネルギー密度が所定値から外れている部分）ではその表面改質効果にばらつきが生じる。そのため、立体的な加工成形部分におけるレーザ光照射面の全域にわたり略均一の表面改質効果を得ようとすると、レーザ光出入射点間距離を所定間隔に維持させるための間隔制御が別途必要になる。ところが、この間隔制御の要請はレーザ光照射装置における構成の複雑化を招来するとともに、いかに精密な間隔制御を試みたとしても、立体的な加工成形部分におけるレーザ光照射面の全域にわたり略均一の表面改質効果を得ることは容易でない。
【００２０】
これに対し、本発明実施例に係るワーク加工方法では、平板状態のワークにおける表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質するので、煩雑な間隔制御を一切考慮することなく、そのレーザ光照射面の全域にわたり略均一の表面改質効果を得ることが可能であり、こうしてレーザ光照射面の状態を改質した後に、ワークにおける前記照射面に所要の立体的加工成形を施すこととしたので、ワークに所要の立体的加工成形を施した後に、その加工成形部分の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質する場合と比較して、レーザを用いた表面改質技術を適用するにあたり、ワークそれ自体の表面仕上げ精度を直接的に向上させる観点から相応しい工程を具現化することができる。
【００２１】
また、本発明実施例に係るワーク加工方法によれば、平板状態のワーク表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質（溶融）した後に、そのレーザ光照射面に所要の立体的加工成形を施すこととしたので、これにより、溶融軟化することで表面状態が改質されたワークに対して、例えば金型を用いたプレス加工などの立体的加工成形が施される結果として、ワーク表面へのレーザ光照射に由来する金属組織の冷間鍛圧による緻密化と、プレス加工成形に由来するワーク表面の平滑化と、などがあいまって、ワーク表面の均一な平滑化を高い水準で実現することができる。
【００２２】
次に、本発明実施例に係るワーク加工方法を、ロードビームの製造方法に適用した実施例について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２３】
［本発明実施例に係るヘッドサスペンション］
本発明実施例に係るロードビームの製造方法の説明に先立って、ロードビームが組み込まれたヘッドサスペンションについて説明する。
【００２４】
図２（１）は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの全体構成を示す正面図、図２（２）は、本ヘッドサスペンションの全体構成を示す側面図、図２（３）は、本ヘッドサスペンションの全体構成を示す裏面図である。
【００２５】
図２に示すように、ヘッドサスペンション１１は、ロードビーム１３と、ベースプレート１５と、フレキシャ（flexure）１７と、などを備えて構成されている。
【００２６】
ロードビーム１３は、後述するロードビームの製造方法により製造されるものであり、精密な薄板ばねから構成されて、後述するスライダに負荷荷重を与える機能を有している。ロードビーム１３の材料としては、例えばＳＵＳ３０４あるいはＳＵＳ３０５などのオーステナイト系ステンレス鋼からなる金属板（板厚が例えば数１０μｍ程度から１００μｍ程度）が好ましい。ＳＵＳ３０４の成分は、Ｃ：0.08％以下、Ｓｉ：1 ％以下、Ｍｎ：2 ％以下、Ｐ：0.04％以下、Ｓ：0.03％以下、Ｎｉ：8-10.5％、Ｃｒ：18-20 ％、残りがＦｅである。
【００２７】
ベースプレート１５には、ロードビーム１３の基部１３ａが、レーザ溶接等の溶着部１４を介して固着接続される。ベースプレート１５は、例えばばね性のある薄いステンレス鋼圧延板からなる一対のばね部１５ａを有しており、このばね部１５ａを介して、ロードビーム１３を支持するようになっている。ベースプレート１５は、ボス部１６を備え、ボス部１６においてキャリッジ側のアーム（不図示）に取り付けられて、軸回りに旋回駆動されるように構成されている。なお、ベースプレート１５は、アームに一体に形成されてキャリッジ側に取り付けられる構成を採用することもできる。ベースプレート１５が旋回駆動されると、ディスクを横切る方向にヘッドサスペンション１１が移動することにより、スライダ実装部１９がディスク上における所要のトラック位置まで移動するようになっている。
【００２８】
フレキシャ１７は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板などの厚さ２０μｍ程度の導電性金属薄板で構成され、レーザ溶接等によってロードビーム１３に固着されている。フレキシャ１７には、電気絶縁層を介して配線パターン（不図示）が形成されている。フレキシャ１７は、スライダ実装部１９を備えている。フレキシャ１７における配線パターンの一端は、スライダ実装部１９に設けてある書き込み用又は読み取り用の端子部１９ａに導通接続される一方、他端はベースプレート１５側に延設されている。このスライダ実装部１９には、ディスクのトラック（不図示）と対向可能な位置に設けたスライダ（不図示）と、スライダに内蔵されるトランスデューサ（不図示）等が設けられる。これにより、ディスクが高速回転することによってスライダがディスクから僅かに浮上し、ディスクとスライダとの間に周知のエアベアリング機構が形成されるようになっている。
【００２９】
次に、本発明実施例に係るロードビーム、及びその製造方法について説明する。
【００３０】
［本発明実施例に係るロードビーム、及びその製造方法］
図３（１）は、本発明実施例に係るロードビーム（成形加工前）の正面図、図３（２）は、本ロードビーム（成形加工後）の正面図、図３（３）は、本ロードビーム（成形加工後）の側面図、図４は、本発明実施例に係るロードビームの製造方法を示す説明図、図５は、タブ部の金型成形加工手順を示す説明図、図６は、ディンプル部の金型成形加工手順を示す説明図である。
【００３１】
図２及び図３に示すように、ロードビーム１３の先端部分には、ロード／アンロード用のタブ部２１が、ロードビーム１３と一体に舌状に延出形成されている。タブ部２１は、ディスクの停止時において、サスペンション１１がディスクの側方に設定された退避ゾーン（不図示）に退避したとき、記録再生装置のガイド部（不図示）に摺動ガイドされることで、例えば合成樹脂の成形品よりなるランプブロックの傾斜支持面（不図示）に乗り上げるように構成されている。
【００３２】
また、ロードビーム１３は、タブ部２１の他に、傾斜部２３と、ディンプル部２５と、その側縁部両側にわたり設けられる箱曲げ部２７と、などをプレス加工成形することで製造される。
【００３３】
ロードビーム（となる部分）１３は、そのプレス成形加工前（図３（１）参照）においては、平板状態とされている。実際の製造工程では、略長方形状の金属材料ワークからエッチング等によって所定の輪郭形状に成型された平板状態のロードビーム１３となる部分（図３（１）参照）が、複数連鎖状に配置されることになる。
【００３４】
図３（２）及び（３）に示すように、ロードビーム１３の先端部分には、傾斜部２３が、反ディスク側へ所定の角度を持って傾斜形成される。前述のタブ部２１は、傾斜部２３から突設形成される。ディンプル部２５は、ロードビーム１３におけるスライダ実装部１９に対応する位置に設けられ、スライダをロール及びピッチ方向に変位可能に支持する機能を有している。箱曲げ部２７は、ロードビーム１３本体の側縁部から前記傾斜部２３の側縁部側にわたって形成される。傾斜部２３は、タブ部２１の基部を支えており、箱曲げ部２７が傾斜部２３を補強することでタブ部２１の基部側を補強するようになっている。
【００３５】
図３（１）に示すように、ロードビーム１３となる部分のうち、タブ部２１又はディンプル部２５が形成される該当部分（図３（１）の網掛け部分２１ａ，２５ａ参照）には、その周辺部分を含んで、ロードビーム１３が平板状態にある段階（タブ部２１及びディンプル部２５のプレス加工成形前段階）において、その表面状態を改質するためのレーザ光照射処理がなされる。ここで、レーザ光の照射範囲として、タブ部２１又はディンプル部２５が形成される該当部分に加えて、その周辺部分をも含むように設定したのは、タブ部２１又はディンプル部２５が形成されるワーク上の該当部分については、もれなく表面状態を改質しておくのが好ましいからである。
【００３６】
すなわち、本発明実施例に係るロードビーム１３は、レーザ光を照射することで照射面の状態が改質された平板状態のワークにより、前記照射面にて、ディンプル部２５と、タブ部２１と、の両者若しくはいずれか一方を立体的にプレス加工成形することで製造される。
【００３７】
また、レーザを用いた表面改質技術を適用するにあたり、ロードビーム（本発明の「ワーク」に相当する。）１３それ自体の表面仕上げ精度を直接的に向上させる観点から相応しい工程として、本発明実施例に係るロードビームの製造方法は、平板状態のワークのうち、少なくとも、タブ部となる部分２１ａ（図３（１）の網掛け部分、及び図５（１）参照）、及びディンプル部となる部分２５ａ（図３（１）の網掛け部分参照、及び図６（１）参照）、の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質してロードビーム半製品を得る工程（ステップＳ２１）と、このロードビーム半製品における前記照射面に、タブ部２１とディンプル部２５を立体的にプレス加工成形してロードビーム本製品を得る工程（ステップＳ２２）と、を採用した。
【００３８】
ここで、タブ部２１を加工成形するにあたっては、図５に示すように、略半円筒形状の平滑な成形凹部３１が設けられるタブ用パンチ３３と、略半円筒形状とされる平滑な成形凸部３５が設けられる固定側のタブ用ダイ３７と、からなるタブ用金型セット３９が用いられる。すなわち、まず、平板状態のワークにおける、ロードビーム１３本体のタブ部となる部分２１ａ（図３（１）の網掛け部分、及び図５（１）参照）に対してレーザ光照射処理後のロードビーム半製品を、タブ用金型セット３９における所定位置にセットする（図５（１）参照）。なお、ここで言うロードビーム半製品とは、ロードビーム１３本体のディンプル部となる部分２５ａの表面側（外側凸面となる部分）にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した後の、例えばステンレス圧延鋼板等の金属製シートからなる平板状態のワークを含むことは当然として、上記と同様のレーザ光照射による表面状態改質後の、金属製シートからなる平板状態のワークからエッチング等によって所定の輪郭形状に成型されたロードビーム１３となる部分が複数連鎖状に配置（ただし、単数配置の態様をも含む。）されたワークをも含む概念である。
【００３９】
次に、ロードビーム半製品がセットされた固定側のタブ用ダイ３７に対して、タブ用パンチ３３を下降させて所定の圧力をもってプレス加工する（図５（２）参照）。これにより、厚み方向に打圧されることで外形形状が細長く隆起する略かまぼこ型に加工成形されたタブ部２１を得る（図５（３）参照）。このとき、タブ部２１の湾曲外側の表面が平滑化されることで、良好な表面粗度をもって均一化された平滑加工面４０を得ることができる。この平滑加工面４０は、ランプブロックと接する側の表面であるから、ランプ機構のロード／アンロードを円滑に行う上で重要な役割を果たすことになる。
【００４０】
一方、ディンプル部２５を加工成形するにあたっては、図６に示すように、略半円球状の平滑な成形凹部４１が設けられるディンプル用パンチ４３と、略半円球状の平滑な成形凸部４５が設けられる固定側のディンプル用ダイ４７と、からなるディンプル用金型セット４９が用いられる。すなわち、まず、平板状態のワークにおける、ロードビーム１３本体のディンプル部となる部分２５ａ（図３（１）の網掛け部分、及び図６（１）参照）に対してレーザ光照射処理後のロードビーム半製品を、ディンプル用金型セット４９における所定位置にセットする（図６（１）参照）。なお、ここで言うロードビーム半製品とは、前記と同様、ロードビーム１３本体のディンプル部となる部分２５ａの表面側（外側凸面となる部分）にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した後の、例えばステンレス圧延鋼板等の金属製シートからなる平板状態のワークを含むことは当然として、上記と同様のレーザ光照射による表面状態改質後の、金属製シートからなる平板状態のワークからエッチング等によって所定の輪郭形状に成型されたロードビーム１３となる部分が複数連鎖状に配置（ただし、単数配置の態様をも含む。）されたワークをも含む概念である。
【００４１】
次に、ロードビーム半製品がセットされた固定側のディンプル用ダイ４７に対して、ディンプル用パンチ４３を下降させて所定の圧力をもってプレス加工する（図６（２）参照）。これにより、厚み方向に打圧されることで外観が略半円球状に加工成形されたディンプル部２５を得る（図６（３）参照）。このとき、ディンプル部２５の湾曲外側の球状表面が平滑化されることで、良好な表面粗度をもって均一化された平滑加工面５０を得ることができる。この平滑加工面５０は、スライダと接する側の球状表面であるから、スライダの姿勢制御を適正に行う上で重要な役割を果たすことになる。
【００４２】
［タブ部とディンプル部の表面粗度測定］
上述したプレス加工によってタブ部２１とディンプル部２５を加工成形したときの、各平滑加工面４０，５０の表面粗度を粗さ測定器によって測定した。その結果を表１に示す。また、図７（１）に、参考例に係るタブ部２１のレーザ顕微鏡写真（倍率：２０倍）を示し、図７（２）に、実施例に係るタブ部２１のレーザ顕微鏡写真（倍率：２０倍）を示す。さらに、図８（１）に、参考例に係るディンプル部２５のレーザ顕微鏡写真（倍率：５０倍）を示し、図８（２）に、実施例に係るディンプル部２５のレーザ顕微鏡写真（倍率：５０倍）を示す。
【００４３】
【表１】
0005225647.tif 000002
【００４４】
（測定条件）
上記表１において、比較例は、レーザ光照射による表面改質処理を実施しない場合における各部の表面粗度を示し、参考例は、各部の立体成形加工後に、固定焦点によるレーザ光照射による表面改質処理を実施した（間隔制御なし。）場合における各部の表面粗度を示し、実施例は、固定焦点によるレーザ光照射による表面改質処理を実施した後に、各部の立体成形加工を行った場合における各部の表面粗度を示す。なお、参考例と実施例におけるタブ部２１の表面粗度については、タブ部２１を正立させたときの表面粗度データ（表１中の「中央」欄参照）と、タブ部２１を正立状態から左右に約１５度程度傾けたときのそれぞれの表面粗度データ（表１中の「右側」及び「左側」欄参照）と、を測定した。
（測定結果）
表１に示すとおり、比較例では、タブ部２１の「中央」欄の測定値が 0.119μm 、ディンプル部２５の測定値が 0.020μm であり、参考例では、タブ部２１の「右側」欄の測定値が 0.083μm 、「中央」欄の測定値が 0.071μm 、「左側」欄の測定値が 0.075μm 、ディンプル部２５の測定値が 0.050μm であり、そして、実施例では、タブ部２１の「右側」欄の測定値が 0.051μm 、「中央」欄の測定値が 0.052μm 、「左側」欄の測定値が 0.050μm 、ディンプル部２５の測定値が 0.016μm であった。
（測定結果の考察）
以上の測定結果から、タブ部２１における参考例と実施例の各表面粗度を比較すると、参考例では、「右側」、「中央」、「左側」の各欄の測定値が0.071μm〜0.083μm の範囲でばらついているのに対し、実施例では、0.050μm〜0.052μm の範囲に収束していてばらつきが少ないことがわかる。また、タブ部２１における比較例及び参考例と実施例の各表面粗度を比較すると、実施例の測定値が最も低い値（0.052μm）を示していることがわかる。さらに、ディンプル部２５における比較例及び参考例と実施例の各表面粗度を比較すると、タブ部２１と同様に、実施例の測定値が最も低い値（0.016μm）を示していることがわかる。
【００４５】
上記実施例に係るタブ部２１の平滑加工面４０における表面粗度は、レーザ顕微鏡写真をもって図７（１），（２）に参考例と比較して示すように、良好かつ均一であることが確認された。
【００４６】
また、上記実施例に係るディンプル部２５の平滑加工面５０における表面粗度は、レーザ顕微鏡写真をもって図８（１），（２）に参考例と比較して示すように、良好かつ均一であることが確認された。
【００４７】
従って、上記のように滑らかな平滑加工面４０を有するタブ部２１によれば、良好かつ均一な平滑加工面４０がランプブロックに接触してもランプブロックを削るおそれがなく、ランプ機構におけるロード／アンロードの円滑化を期待することができる。また、上記のように滑らかな平滑加工面５０を有するディンプル部２５によれば、良好かつ均一な平滑加工面５０がスライダと接触することでスライダにおける姿勢制御の適正化を期待することができる。
【００４８】
［実施例の効果］
以上説明したように、本発明実施例に係るロードビームの製造方法によれば、平板状態のワークのうち、少なくとも、タブ部となる部分２１ａ、及びディンプル部となる部分２５ａ、の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質してロードビーム半製品を得る工程と、このロードビーム半製品における前記照射面に、タブ部２１とディンプル部２５を立体的にプレス加工成形してロードビーム本製品を得る工程と、を順次実行することでロードビームを製造するので、ロードビームにおいて特に重要な役割を果たすタブ部２１とディンプル部２５について表面粗度の向上並びに均一化を実現することができる。従って、レーザを用いた表面改質技術を適用するにあたり、ロードビーム１３本体の表面仕上げ精度を直接的に向上させる観点から相応しい工程を具現化することができる。
【００４９】
すなわち、前述の参考例に示したように、プレス加工によってタブ部２１とディンプル部２５を立体的に加工成形した後に、タブ部２１とディンプル部２５の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した場合には、レーザ光出入射点間距離は、当該加工成形部分の表面における場所が変わることによって変わってくる。ここで、一般に、レーザ光照射装置では、ジャストフォーカス（合焦）モードかデフォーカス（非合焦）モードかにかかわらず、レーザ光出入射点間距離が所定間隔に保たれている部分（レーザ光のエネルギー密度が所定値に保たれている部分）では略均一の表面改質効果が得られる反面、レーザ光出入射点間距離が所定間隔から外れている部分（レーザ光のエネルギー密度が所定値から外れている部分）ではその表面改質効果にばらつきが生じる。そのため、立体的な加工成形部分におけるレーザ光照射面の全域にわたり略均一の表面改質効果を得ようとすると、レーザ光出入射点間距離を所定間隔に維持させるための間隔制御が別途必要になる。ところが、この間隔制御の要請はレーザ光照射装置における構成の複雑化を招来するとともに、いかに精密な間隔制御を試みたとしても、立体的な加工成形部分におけるレーザ光照射面の全域にわたり略均一の表面改質効果を得ることは容易でない。
【００５０】
これに対し、本発明実施例に係るロードビームの製造方法では、ワークが平板状態の段階で、少なくとも、ロードビーム１３本体におけるタブ部２１とディンプル部２５となる部分の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質するので、煩雑な間隔制御を一切考慮することなく、そのレーザ光照射面の全域にわたり略均一の表面改質効果を得ることが可能であり、こうしてレーザ光照射面の状態を改質した後に、ワーク（ロードビーム１３本体）に対してタブ部２１とディンプル部２５をプレス加工成形することとしたので、ワーク（ロードビーム１３本体）にタブ部２１とディンプル部２５をプレス加工成形した後に、タブ部２１とディンプル部２５の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質する場合と比較して、レーザを用いた表面改質技術を適用するにあたり、ワーク（ロードビーム１３本体）の表面仕上げ精度を直接的に向上させる観点から相応しい工程を具現化することができる。
【００５１】
また、本発明実施例に係るロードビームの製造方法によれば、平板状態のワーク（ロードビーム１３本体）におけるタブ部２１とディンプル部２５となる部分の各表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質（溶融）した後に、ワークに対してタブ部２１とディンプル部２５をプレス加工成形することとしたので、これにより、溶融軟化したワークを用いて金型によるプレス加工が施される結果として、ワーク表面へのレーザ光照射に由来する金属組織の冷間鍛圧による緻密化と、プレス加工成形に由来するワーク表面の平滑化と、などがあいまって、ワーク（ロードビーム１３本体）におけるタブ部２１とディンプル部２５につき、その均一な平滑化を高い水準で実現することができる。
【００５２】
一般に、プレス用金型の長寿命化を図る観点からは、プレス加工圧を低くすることが効果的である反面、プレス加工圧を低くすることは、ワーク表面の均一な平滑化を促進させる観点からは好ましくない。すなわち、プレス用金型の長寿命化と、ワーク表面の均一な平滑化促進効果とは、相互にトレードオフ関係にあるといえる。
【００５３】
この点、本発明実施例に係るロードビームの製造方法によれば、溶融軟化したワークを用いて金型によるプレス加工が施される関係から、予めレーザ表面改質技術を適用しない従来技術と比較してプレス加工圧を低くしたとしても、この従来技術と同等又はそれ以上の、ワーク表面の均一な平滑化促進効果を得ることができる。従って、許容水準を越えるワーク表面の均一な平滑化促進効果を享受しながら、プレス用金型の長寿命化を図ることが可能になる。
【００５４】
さらに、前述の参考例に示したように、プレス加工によってタブ部２１とディンプル部２５を立体的に加工成形した後に、タブ部２１とディンプル部２５の表面にレーザ光を照射することで照射面の状態を改質した場合であって、レーザ光照射に係る熱的影響に起因してタブ部２１のそり等の変形が許容範囲を超えることとなった場合には、これを修正するため後加工が必要となるのに対し、本発明実施例に係るロードビームの製造方法によれば、例えワーク（タブ部２１）にレーザ光照射に係る熱的影響に起因したそり等の変形が生じたとしても、その後のプレス加工によってかかる変形は矯正される。従って、変形修正のための余計な後加工が不要となるといった副次的な効果を期待することもできる。
【００５５】
以上述べた効果を奏するロードビームの製造方法によって製造される、本発明実施例に係るロードビーム１３によれば、ランプ機構のロード／アンロードを円滑に行う上で重要な役割を果たすタブ部２１と、スライダの姿勢制御を適正に行う上で重要な役割を果たすディンプル部２５とについて、表面粗度の向上並びに均一化が図られているので、ランプ機構におけるロード／アンロードの円滑化、及びスライダにおける姿勢制御の適正化を実現することができる。
【００５６】
また、上述の効果を奏するロードビームを備えた本発明実施例に係るヘッドサスペンション１１によれば、ランプ機構におけるロード／アンロードの円滑化、及びスライダにおける姿勢制御の適正化を実現することができる。
【００５７】
［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンション、ロードビーム、ロードビームの製造方法、及びワーク加工方法もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明実施例に係るワーク加工方法を示す説明図である。
【図２】図２（１）、（２）、（３）は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの全体構成を示す正面図、側面図、及び裏面図である。
【図３】図３（１）、（２）、（３）は、本発明実施例に係るロードビーム（成形加工前）の正面図、本ロードビーム（成形加工後）の正面図、及び本ロードビーム（成形加工後）の側面図である。
【図４】本発明実施例に係るロードビームの製造方法を示す説明図である。
【図５】タブ部の金型成形加工手順を示す説明図である。
【図６】ディンプル部の金型成形加工手順を示す説明図である。
【図７】図７（１），（２）は、実施例と参考例に係るタブ部の平滑加工面における表面粗度を比較して示すレーザ顕微鏡写真である。
【図８】図７（１），（２）は、実施例と参考例に係るディンプル部の平滑加工面における表面粗度を比較して示すレーザ顕微鏡写真である。
【符号の説明】
【００５９】
１１  ヘッドサスペンション
１３  ロードビーム
１５  ベースプレート
１７  フレキシャ
１９  スライダ実装部
２１  タブ部
２１ａ  タブ部となる部分
２３  傾斜部
２５  ディンプル部
２５ａ  ディンプル部となる部分
２７  箱曲げ部
３１  成形凹部
３３  タブ用パンチ
３５  成形凸部
３７  タブ用ダイ
３９  タブ用金型セット
４０  平滑加工面（タブ部）
４１  成形凹部
４３  ディンプル用パンチ
４５  成形凸部
４７  ディンプル用ダイ
４９  ディンプル用金型セット
５０  平滑加工面（ディンプル部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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