(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨物を保持するための軟質プラスチックシートと、樹脂成形された枠材であって前記軟質プラスチックシートの一面側に配置され前記被研磨物の横ずれを抑制する枠材とを備えた保持具において、前記枠材は、少なくとも前記軟質プラスチックシートと対向する面側が該面から成形時の残留物を溶出させると共に該面を清浄するための有機溶媒で処理されており、前記一面側に熱可塑性接着剤で貼り合わされていることを特徴とする保持具。
【請求項２】
前記有機溶媒は、溶解度パラメータが前記枠材の溶解度パラメータと異なることを特徴とする請求項１に記載の保持具。
【請求項３】
前記枠材は、繊維強化樹脂で形成されたことを特徴とする請求項１に記載の保持具。
【請求項４】
前記枠材はガラス繊維強化エポキシ樹脂で形成されており、前記有機溶媒は酢酸エチルであることを特徴とする請求項３に記載の保持具。
【請求項５】
前記軟質プラスチックシートは、湿式成膜または乾式成形で形成されたポリウレタンシートであることを特徴とする請求項１に記載の保持具。
【請求項６】
前記熱可塑性接着剤は、ウレタン系接着剤であることを特徴とする請求項５に記載の保持具。
【請求項７】
前記軟質プラスチックシートは、前記枠材が貼り合わされた面と反対面側に、被研磨物保持用定盤に装着するための粘着剤層を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は保持具に係り、特に、被研磨物を保持するための軟質プラスチックシートと、樹脂成形された枠材であって軟質プラスチックシートの一面側に配置され被研磨物の横ずれを抑制する枠材とを備えた保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス基板、カラーフィルタ、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）成膜済基板等の材料（被研磨物）では、高精度な平坦性が要求されるため、研磨布を使用した研磨加工が行われている。通常、これらの被研磨物の研磨加工には、被研磨物を片面ずつ研磨加工する片面研磨機が使用されている。この片面研磨機では、保持用定盤に被研磨物が保持され、研磨用定盤に研磨布が装着されている。研磨加工時には、研磨粒子を含む研磨液を循環させつつ供給し、被研磨物に圧力をかけながら両定盤を回転させることで被研磨物が研磨加工される。
【０００３】
一般に、片面研磨機を使用した研磨加工では、被研磨物が金属製の保持用定盤と直接接触することで生じる被研磨物のスクラッチ（キズ）等を抑制するため、保持用定盤に軟質クロス等の保持パッドが装着されている。保持パッドの装着によりスクラッチ等を回避することはできるが、保持パッドおよび被研磨物間の粘着性や静摩擦が不十分なとき、すなわち、保持パッドの被研磨物保持性が不十分なときは、研磨加工中に被研磨物の横ずれが生じるため、被研磨物を平坦に研磨加工することが難しくなる。この横ずれを抑制するため、被研磨物を挿入可能な開口が形成されたテンプレート（枠材）と保持パッドとを貼り合わせた保持具（テンプレートアセンブリ）が開示されている（例えば、特許文献１参照）。テンプレートを使用した保持具では、テンプレートの開口に被研磨物を挿入して研磨加工が行われ、研磨加工後に被研磨物が保持具から取り外される。被研磨物の挿入および取り外しを容易にするため、被研磨物とテンプレートとの間には、隙間（ギャップ）が形成されている。
【０００４】
通常、保持パッドには、湿式成膜や乾式成形で形成された軟質プラスチックシートが使用されている。湿式成膜では、軟質プラスチック（樹脂）を水混和性の有機溶媒に溶解させた樹脂溶液がシート状の成膜基材に塗布され、水系凝固液中で樹脂を凝固再生させることで製造されている。湿式成膜で形成された軟質プラスチックシートは、表面に微多孔が厚さ数μｍ程度に亘って形成されたスキン層を有しており、内部に発泡が形成されている。スキン層の表面が被研磨物との接触性に優れるため、スキン層に水等の液体を含ませておくことで液体の表面張力等により被研磨物の保持が可能となる。
【０００５】
一方、乾式成形では、樹脂の溶融液またはプレポリマが型枠等でブロック状に硬化成型され、得られた成型物がシート状にスライスされることで製造されている。硬化成型時に水や気体等が混合されることでブロック状の成型物の内部には発泡が形成されている。このため、スライスして得られた軟質プラスチックシートでは表面に開孔が形成されている。この開孔が形成された表面で被研磨物が保持される。
【０００６】
ところが、テンプレートを使用した保持具では、搬送時や保管時にはドライ（乾燥）状態にあり、研磨加工時には上述したように研磨液が供給されるため、ウェット（湿潤）状態にある。通常、テンプレートと軟質プラスチックシートとの貼り合わせには熱可塑性接着剤が使用されるが、ドライ状態、ウェット状態のいずれでもテンプレートおよび軟質プラスチックシート間の剥離強度を確保し、かつ、両状態での剥離強度の差異を低減することが重要となる。テンプレートおよび軟質プラスチックシート間の剥離強度を向上させるため、テンプレートと熱可塑性接着剤との間にウレタン系のプライマ層を介在させる技術が開示されている（特許文献２参照）。
【０００７】
【特許文献１】実開昭５９−１８８１４７号公報
【特許文献２】特開２００７−６９２９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献２の技術では、プライマ層を介在させることでテンプレートおよび軟質プラスチックシート間の剥離強度をある程度は向上させることができるものの、ドライ状態とウェット状態とのいずれの状態でも剥離強度が十分に確保されているとはいえない。剥離強度が不十分でテンプレートの剥離が生じると、被研磨物の横ずれにより被研磨物がテンプレートに当接してひずみや摩耗を生じさせる。このため、被研磨物の浮きが発生し、被研磨物がテンプレートから飛び出すこととなる。また、通常、テンプレートが樹脂で形成されるため、成形時の離型剤等の不純物が残留している可能性がある。この不純物が溶出すると、テンプレートおよび軟質プラスチックシート間を剥離強度を低下させ、研磨加工時には予期せぬ研磨トラブルを招くおそれもある。
【０００９】
本発明は上記事案に鑑み、枠材の剥離を抑制することができる保持具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、被研磨物を保持するための軟質プラスチックシートと、樹脂成形された枠材であって前記軟質プラスチックシートの一面側に配置され前記被研磨物の横ずれを抑制する枠材とを備えた保持具において、前記枠材は、少なくとも前記軟質プラスチックシートと対向する面側が該面から成形時の残留物を溶出させると共に該面を清浄するための有機溶媒で処理されており、前記一面側に熱可塑性接着剤で貼り合わされていることを特徴とする。
【００１１】
本発明では、樹脂成形された枠材が、少なくとも軟質プラスチックシートと対向する面側が有機溶媒で処理されることで成形時の離型剤等の残留物が溶出されると共に清浄されることから、枠材が軟質プラスチックシートの一面側に熱可塑性接着剤で貼り合わされても残留物の溶出が抑制され枠材および熱可塑性接着剤間の剥離強度を向上させるため、枠材の剥離を抑制することができる。
【００１２】
この場合において、有機溶媒の溶解度パラメータが枠材の溶解度パラメータと異なるようにすれば、枠材が有機溶媒により膨潤、変形することを抑制することができる。また、枠材を繊維強化樹脂で形成されるようにしてもよい。このとき、枠材をガラス繊維強化エポキシ樹脂で形成し、有機溶媒を酢酸エチルとすることができる。軟質プラスチックシートを湿式成膜または乾式成形で形成されたポリウレタンシートとしてもよい。このとき、熱可塑性接着剤をウレタン系接着剤とすることが好ましい。また、軟質プラスチックシートが、枠材が貼り合わされた面と反対面側に、被研磨物保持用定盤に装着するための粘着剤層を更に備えるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、樹脂成形された枠材が、少なくとも軟質プラスチックシートと対向する面側が有機溶媒で処理されることで成形時の離型剤等の残留物が溶出されると共に清浄されることから、枠材が軟質プラスチックシートの一面側に熱可塑性接着剤で貼り合わされても残留物の溶出が抑制され枠材および熱可塑性接着剤間の剥離強度を向上させるため、枠材の剥離を抑制することができる、という効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明に係る保持具の実施の形態について説明する。
【００１５】
（構成）
図１に示すように、本実施形態の保持具１は、軟質プラスチックシートとしてのポリウレタンシート２と、被研磨物が横ずれを起こして飛び出すことを抑制する（横ずれ範囲を制限する）枠材としてのテンプレート４とを備えている。
【００１６】
ポリウレタンシート２は、１００％モジュラス（２倍長に引っ張る時の張力）が２０ＭＰａ以下のポリウレタン樹脂を湿式成膜することで形成されている。ポリウレタンシート２は、一面側に図示を省略した微多孔が形成されたスキン層２ａを有しており、スキン層２ａより内側にナップ層２ｂを有している。スキン層２ａの表面が被研磨物を保持するための保持面Ｐとなる。ナップ層２ｂ（ポリウレタンシート２の内部）には、スキン層２ａの微多孔より大きい孔径でポリウレタンシート２の厚さ方向（図１の縦方向）に沿って丸みを帯びた断面略三角状の発泡３が形成されている。発泡３は、保持面Ｐ側の大きさが、保持面Ｐと反対の面側より小さく形成されている。発泡３同士の間のポリウレタン樹脂中には、スキン層２ａの微多孔より大きく発泡３より小さい孔径の図示しない発泡が形成されている。スキン層２ａの微多孔は発泡３及び図示しない発泡に通じており、発泡３及び図示しない発泡は不図示の連通孔で立体網目状につながっている。
【００１７】
テンプレート４は、エポキシ樹脂やフェノール樹脂等の熱硬化性樹脂を主体とした材質が用いられており、熱硬化性樹脂にガラス繊維等の繊維材を含有させることで強化されている。換言すれば、テンプレート４は繊維強化樹脂製であり、本例では、ガラス繊維強化エポキシ樹脂が用いられている。図２に示すように、テンプレート４は、外径がポリウレタンシート２と同じ大きさで、内径が被研磨物を挿入可能な大きさの円環状となるように型成型により形成されている。すなわち、テンプレート４の略中央部には、被研磨物を挿入可能な開口が形成されている。テンプレート４は、ポリウレタンシート２の保持面Ｐ側に熱可塑性接着剤（感熱型接着剤）６を介して接着されている。
【００１８】
図１に示すように、テンプレート４とポリウレタンシート２との接着時には、テンプレート４のポリウレタンシート２と対向する接着面Ｓ側が有機溶媒で処理されている。この有機溶媒は、テンプレート４の成形時に用いられる離型剤やエポキシ樹脂の未反応物等の残留物を接着面Ｓから溶出させると共に、接着面Ｓを清浄する機能を有している。換言すれば、有機溶媒は、接着面Ｓを物理的に清浄するばかりではなく、化学的に処理する（テンプレート４の一部を溶解させる）役割を果たしている。用いられる有機溶媒は、テンプレート４の溶解度パラメータと異なる溶解度パラメータを有している。本例では、エポキシ樹脂製のテンプレート４の溶解度パラメータが９．７〜１０．９であることから、有機溶媒には、溶解度パラメータが９．０の酢酸エチルが用いられている。なお、溶解度パラメータは、分子量や分子構造等により定まる物質固有の値である。
【００１９】
熱可塑性接着剤６としては、アクリル系、ニトリル系、ニトリルゴム系、ポリアミド系、ポリウレタン系、ポリエステル系の各種の接着剤を挙げることができる。ポリウレタンシート２と接着することを考慮すれば、ポリウレタン系の熱可塑性接着剤６を用いることが好ましい。テンプレート４の接着面Ｓを酢酸エチルで処理した後、接着面Ｓにポリウレタン系の熱可塑性接着剤６を塗布しポリウレタンシート２と貼り合わせる。このとき、テンプレート４およびポリウレタンシート２を略均等に押圧することで、テンプレート４の接着面Ｓとポリウレタンシート２の保持面Ｐとが熱可塑性接着剤６を介してほぼ一定の間隔で接着される。
【００２０】
また、ポリウレタンシート２の保持面Ｐと反対の面側には、保持具１を研磨装置の保持用定盤に装着するために、基材７の両面にアクリル系粘着剤やゴム系粘着剤等の図示を省略した粘着剤が塗着された両面テープが貼り合わされている。すなわち、両面テープは、基材７の一面側に塗着された粘着剤でポリウレタンシート２と貼り合わされており、他面側に塗着された粘着剤が剥離紙８で覆われている。基材７には、ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと略記する。）製等の可撓性フィルム、不織布又は織布から選択される１種が使用されている。
【００２１】
（保持具の製造）
保持具１は、ポリウレタン樹脂溶液を調製する準備工程、ポリウレタン樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液に浸漬することでポリウレタン樹脂をシート状に凝固再生させる凝固再生工程、凝固再生したポリウレタン樹脂を洗浄・乾燥させてポリウレタンシートを得る洗浄・乾燥工程、ポリウレタンシート２とテンプレート４とを貼り合わせるテンプレート貼合工程を経て製造される。以下、工程順に説明する。
【００２２】
準備工程では、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略記する。）および添加剤を混合してポリウレタン樹脂を溶解させる。ポリウレタン樹脂には、１００％モジュラスが２０ＭＰａ以下のポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から選択して用い、例えば、ポリウレタン樹脂が３０％となるようにＤＭＦに溶解させる。添加剤としては、発泡３の大きさや量（個数）を制御するカーボンブラック等の顔料、発泡を促進させる親水性活性剤およびポリウレタン樹脂の凝固再生を安定化させる疎水性活性剤等を用いることができる。得られた溶液を濾過することで凝集塊等を除去した後、真空下で脱泡してポリウレタン樹脂溶液を調製する。
【００２３】
凝固再生工程では、準備工程で調製したポリウレタン樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液に浸漬することでポリウレタン樹脂をフィルム状に凝固再生させる。ポリウレタン樹脂溶液は、塗布装置により常温下で帯状の成膜基材に略均一に塗布される。塗布装置には、本例では、ナイフコータが用いられる。このとき、ナイフコータと成膜基材との間隙（クリアランス）を調整することで、ポリウレタン樹脂溶液の塗布厚さ（塗布量）が調整される。成膜基材には、可撓性フィルム、不織布、織布等を用いることができる。不織布、織布を用いる場合は、ポリウレタン樹脂溶液の塗布前に、成膜基材内部へのポリウレタン樹脂溶液の浸透を抑制するため、予め水またはＤＭＦ水溶液（ＤＭＦと水との混合液）等に浸漬する前処理（目止め）が行われる。成膜基材としてＰＥＴ製等の可撓性フィルムを用いる場合は、液体の浸透性を有していないため、前処理が不要となる。以下、本例では、成膜基材をＰＥＴ製フィルムとして説明する。
【００２４】
ポリウレタン樹脂溶液が塗布された成膜基材は、ポリウレタン樹脂に対して貧溶媒である水を主成分とする凝固液に浸漬される。凝固液中では、まず、塗布されたポリウレタン樹脂溶液の表面にスキン層２ａを構成する微多孔が厚さ数μｍ程度にわたって形成される（図１も参照）。その後、ポリウレタン樹脂溶液中のＤＭＦと凝固液との置換の進行によりポリウレタン樹脂が成膜基材の片面にシート状に凝固再生する。ＤＭＦがポリウレタン樹脂溶液から脱溶媒し、ＤＭＦと凝固液とが置換することにより、スキン層２ａより内側のポリウレタン樹脂中にナップ層２ｂが形成される。ナップ層２ｂには、発泡３および図示しない発泡が形成され、発泡３および図示しない発泡を立体網目状に連通する不図示の連通孔が形成される。このとき、成膜基材のＰＥＴ製フィルムが水を浸透させないため、ポリウレタン樹脂溶液の表面側（スキン層２ａ側）で脱溶媒が生じて成膜基材側が表面側より大きな発泡３が形成される。
【００２５】
洗浄・乾燥工程では、凝固再生した帯状（長尺状）のポリウレタン樹脂（以下、成膜樹脂という。）を洗浄した後乾燥させる。すなわち、成膜樹脂は、成膜基材から剥離され、水等の洗浄液中で洗浄されて成膜樹脂中に残留するＤＭＦおよび調整有機溶媒が除去される。洗浄後、成膜樹脂をシリンダ乾燥機で乾燥させる。シリンダ乾燥機は内部に熱源を有するシリンダを備えている。成膜樹脂がシリンダの周面に沿って通過することで乾燥する。乾燥後の成膜樹脂はロール状に巻き取られる。巻き取られた帯状の成膜樹脂を引き出し、スキン層２ａの表面と反対の面側に、一面側を剥離紙８で覆われた両面テープの他面側を貼り合わせる。その後、円形、角形等の所望の形状に裁断することで、保持面Ｐと反対の面側に両面テープが貼り合わされたポリウレタンシート２を得る。
【００２６】
テンプレート貼合工程では、少なくともテンプレート４のポリウレタンシート２と対向する接着面Ｓ側が酢酸エチルで処理される。このとき、テンプレート４の接着面Ｓには酢酸エチルが塗布された後拭き取られる。テンプレート４の全体を酢酸エチルに浸漬するようにしてもよいが、浸漬後の拭き取りを考慮すれば、接着面Ｓに塗布することが好ましい。接着面Ｓを処理した後、接着面Ｓに熱可塑性接着剤６を塗布し、ポリウレタンシート２と貼り合わせる。このとき、テンプレート４およびポリウレタンシート２を、表面が平坦な治具を用いて押圧する。これにより、熱可塑性接着剤６を介して保持面Ｐと接着面Ｓとがほぼ一定の間隔で接着される。そして、汚れや異物等の付着がないことを確認する等の検査を行い、保持具１を完成させる。
【００２７】
被研磨物の研磨加工を行うときは、片面研磨機の保持用定盤に装着した保持具１で保持用定盤に被研磨物を保持させる。保持用定盤と対向するように配置されている研磨用定盤には被研磨物を研磨するための研磨布が装着されている。保持用定盤に保持具１を装着するときは、剥離紙８を取り除いて粘着剤を露出させた後、露出した粘着剤を保持用定盤に接触させ押圧する。テンプレート４の開口部の保持面Ｐに適量の水を含ませて被研磨物を押し付けることで、スキン層２ａの微多孔に浸入した水の表面張力及びポリウレタンシート２のポリウレタン樹脂の粘着性により被研磨物が保持具１を介して保持用定盤に保持される。研磨加工時には、被研磨物および研磨布間に研磨粒子を含む研磨液（スラリ）を循環供給すると共に、被研磨物に圧力をかけながら研磨用定盤および保持用定盤を回転させることで、被研磨物の加工面が研磨加工される。
【００２８】
（作用）
次に、本実施形態の保持具１の作用等について説明する。
【００２９】
本実施形態では、テンプレート４とポリウレタンシート２とが熱可塑性接着剤６を介して貼り合わされている。テンプレート４には、成形時に用いられる離型剤や樹脂の未反応成分等が残留している可能性があり、残留成分が熱可塑性接着剤の接着力を低下させることがある。本実施形態では、テンプレート４の接着面Ｓが有機溶媒の酢酸エチルで処理されているため、少なくとも接着面Ｓ側では、テンプレート４の残留成分が溶出し除去される。このため、接着面Ｓと保持面Ｐとを熱可塑性接着剤６を介して接着したときの接着力を向上させることができる。換言すれば、テンプレート４とポリウレタンシート２との剥離強度を向上させることができる。これにより、運搬時や保管時のドライ（乾燥）状態でも、また、研磨加工時に研磨液が供給されることによるウェット（湿潤）状態でも、テンプレート４がポリウレタンシート２から剥離することを抑制することができる。
【００３０】
また、本実施形態では、テンプレート４の接着面Ｓが酢酸エチルで処理されることにより、残留成分が除去されている。このため、研磨加工時に研磨液が供給されてウェット状態となっても、テンプレート４から残留成分が溶出することを抑制することができる。残留成分が溶出した場合は、研磨液中に含まれる研磨粒子を凝集させたり、研磨液の液性を変化させたりすることで研磨特性を低下させることがあり、被研磨物の平坦性を損なうおそれがある。本実施形態で示したように、接着面Ｓを酢酸エチルで処理することで、残留成分の溶出を抑制することができ、研磨加工時の予期せぬトラブル（溶出によるコンタミネーション等）を抑制することができる。
【００３１】
更に、本実施形態では、ポリウレタンシート２が１００％モジュラスで２０ＭＰａ以下のポリウレタン樹脂で形成されている。このため、保持面Ｐが被研磨物の形状に合うように密着して粘着性を発揮するので、保持用定盤に装着した保持具１に被研磨物を押し付けることで、被研磨物保持性を向上させることができる。また、本実施形態では、保持面Ｐと反対の面側に基材７としてＰＥＴ製フィルムを有する両面テープが貼り合わされている。このため、柔軟なポリウレタンシート２が基材７で支持されるので、保持具１の搬送時や研磨機への装着時の取り扱いを容易にすることができる。
【００３２】
従来保持具では、テンプレートとポリウレタンシートとが熱可塑性接着剤で貼り合わされている。ところが、保持具は、保管時や運搬時にはドライ状態にさらされ、研磨加工時には研磨液によりウェット状態にさらされる。このため、ドライ状態とウェット状態とのいずれの状態でも剥離強度が確保されることが重要となる。剥離強度が不十分でテンプレートの剥離が生じると、被研磨物の横ずれにより被研磨物がテンプレートに当接してひずみや摩耗を生じさせる。このため、被研磨物の浮きが発生し、被研磨物がテンプレートから飛び出すこととなる。剥離強度の向上を図るためにテンプレートと熱可塑性接着剤との間にウレタン系のプライマを介在させる技術もあるが、剥離強度の向上が十分とはいえない。また、通常、テンプレートが樹脂で形成されるため、成形時の離型剤等の残留物がテンプレートに残留している可能性がある。このような残留物が溶出すると、テンプレートおよびポリウレタンシート間の剥離強度を低下させ、研磨加工時に予期せぬ研磨トラブルを招くおそれもある。本実施形態は、これらの問題を解決することができる保持具である。
【００３３】
なお、本実施形態では、テンプレート４の材質として、ガラス繊維強化エポキシ樹脂を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。研磨加工時の物理的耐性や研磨液に対する化学的耐性を考慮すれば、エポキシ樹脂やフェノール樹脂等の熱硬化性樹脂にガラス繊維等の繊維材が含有されることで強化された繊維強化樹脂を用いることが好ましい。また、樹脂や繊維材に制限がないことはもちろんである。また、円環状のテンプレート４を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、被研磨物の形状に合わせて矩形状や楕円形状としてもよく、大型の保持具で複数の被研磨物を同時に保持させる場合には、テンプレートに複数の開口が形成されていてもよい。
【００３４】
また、本実施形態の保持具１では、テンプレート４の接着面Ｓに熱可塑性接着剤６を塗布しポリウレタンシート２と貼り合わせることでテンプレート４およびポリウレタンシート２を貼り合わせる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、ＰＥＴ製フィルム等の基材の両面に熱可塑性接着剤６を塗布した両面テープを使用することも可能である。このようにすれば、テンプレート４とポリウレタンシート２との貼り合わせ作業を簡略化することができる。また、本実施形態では、テンプレート４とポリウレタンシート２との接着にウレタン系の熱可塑性接着剤６を用いる例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない。例えば、ポリウレタンシート２に代えてポリエチレンやポリエステル等の樹脂製シートを用いた場合は、それぞれの樹脂との接着に適した熱可塑性接着剤を用いるようにしてもよい。
【００３５】
更に、本実施形態では、テンプレート４の接着面Ｓの処理に用いる有機溶媒として酢酸エチルを例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。用いる有機溶媒としては、テンプレート４の溶解度パラメータと異なる溶解度パラメータを有していればよい。本実施形態で示したガラス繊維強化エポキシ樹脂製のテンプレート４では、エポキシ樹脂の溶解度パラメータが９．７〜１０．９であることから、９．５以下または１１以上の溶解度パラメータを有する有機溶媒を用いることができる。このような有機溶媒としては、本例で示した酢酸エチル（溶解度パラメータが９．０）以外に、例えば、溶解度パラメータが１２．０のＤＭＦ等を用いることができる。また、本実施形態では、接着面Ｓに酢酸エチルを塗布し拭き取ることで接着面Ｓを処理する例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、少なくとも接着面Ｓ側が処理されていればよい。例えば、テンプレート４を酢酸エチルに浸漬することも可能である。この場合は、酢酸エチルの拭き取りに手間がかかることを考慮すれば、接着面Ｓに塗布することが好ましい。
【００３６】
また更に、本実施形態では、テンプレート４の接着面Ｓを酢酸エチルで処理した後、熱可塑性接着剤６でポリウレタンシート２と貼り合わせる例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない。例えば、熱可塑性接着剤６と接着面Ｓとの間にウレタン系樹脂を介在させるようにしてもよい。例えば、ウレタン系プレポリマ（少なくとも２つの末端イソシアネート基を有する化合物）とポリオール化合物やポリアミン化合物等の鎖伸長剤とを混合し、接着面Ｓに塗布することで、ウレタン系樹脂を形成させることができる。このようにすれば、ウレタン系プレポリマおよび鎖伸長剤が熱可塑性接着剤６と比べて低分子量のため、ウレタン系の熱可塑性接着剤６が接触する場合と比べて接触面Ｓになじみやすくすることができ、ウレタン系の熱可塑性接着剤６が接着面Ｓに形成されたウレタン系樹脂と同質となり接着力を向上させることができる。
【００３７】
更にまた、本実施形態では、ポリウレタンシート２を湿式成膜により形成する例を示したが、本発明はこれに制限されるものではなく、乾式成形により形成するようにしてもよい。例えば、乾式成形では、ウレタン系プレポリマと、ポリオール化合物やポリアミン化合物等の硬化剤（鎖伸長剤）とを混合し、硬化させた成形物をシート状にスライスすることでポリウレタンシートを得ることができる。
【００３８】
また、本実施形態では、ポリウレタンシート２の材質として１００％モジュラスが２０ＭＰａ以下のポリウレタン樹脂を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、ポリエステル樹脂等を用いてもよく、樹脂の１００％モジュラスを２０ＭＰａ以下とすれば、得られた樹脂シートが被研磨物の形状に合うように密着するので、被研磨物保持性の向上を図ることができる。また、ポリウレタン樹脂を用いれば、湿式成膜で容易にスキン層２ａを有するポリウレタンシート２を作製することができる。
【００３９】
更に、本実施形態では、ポリウレタンシート２の保持面Ｐと反対の面側に基材７を有する両面テープを貼り合わせる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、ポリウレタンシート２と両面テープとの間にＰＥＴ製等のフィルムや不織布、織布等の基材を貼り合わせるようにしてもよい。
【００４０】
また、本実施形態では言及していないが、ポリウレタンシート２の保持面Ｐと反対の面側に、両面テープを貼り合わせる前にバフ処理やスライス処理を施すようにしてもよい。バフ処理やスライス処理により、ポリウレタンシート２の厚さを均一化することができるため、保持具１を研磨機に装着することで、保持面Ｐの平坦性を格段に向上させることができる。これにより、保持具１の保持面Ｐと被研磨物との接触性が向上するため、被研磨物を確実に保持することができる。更に、ポリウレタンシート２の保持面Ｐ側にバフ処理やスライス処理を施すようにしてもよいことはもちろんである。
【実施例】
【００４１】
以下、本実施形態に従い製造した保持具１の実施例について説明する。なお、比較のために製造した比較例の保持具についても併記する。
【００４２】
（実施例１）
実施例１では、ポリウレタン樹脂として、１００％モジュラスが１０ＭＰａのポリエステルＭＤＩ（ジフェニルメタンジイソシアネート）ポリウレタン樹脂を用いた。このポリウレタン樹脂のＤＭＦ溶液１００部に対して、粘度調整用のＤＭＦの４５部、顔料のカーボンブラックを３０％含むＤＭＦ分散液の４０部、疎水性活性剤の２部を混合してポリウレタン樹脂溶液を調製した。ポリウレタン樹脂溶液を塗布する際に塗布装置のクリアランスを１ｍｍに設定しポリウレタンシート２を得た。ガラス繊維強化エポキシ樹脂製のテンプレート４を、接着面Ｓを酢酸エチルで処理した後、得られたポリウレタンシート２と貼り合わせ実施例１の保持具１を製造した。なお、ポリウレタンシート２の単位面積あたりの重量から換算するとポリウレタン樹脂溶液４５の塗布量は、９１６ｇ／ｍ２（固形換算２０８ｇ／ｍ２）である。
【００４３】
（実施例２）
実施例２では、テンプレート４の接着面ＳをＤＭＦで処理した以外は実施例１と同様にして実施例２の保持具１を製造した。
【００４４】
（比較例１）
比較例１では、テンプレート４の接着面Ｓを有機溶媒で処理せず、ポリウレタンシート２と貼り合わせる以外は実施例１と同様にして比較例１の保持具を製造した。すなわち、比較例１は従来の保持具である。
【００４５】
（評価）
次に、各実施例及び比較例で製造した保持具１について、テンプレート４およびポリウレタンシート２間の剥離強度を測定した。剥離強度は、日本工業規格（ＪＩＳ  Ｋ  ６７７２、「ビニルレザークロス」）に準拠して測定した。すなわち、ポリウレタンシート２およびテンプレート４を貼り合わせた試験片を作製し、試験片の一端のポリウレタンシート２およびテンプレート４をそれぞれ引張試験機の把持部に把持させて一定スピードで反対方向（試験片を一端から引き剥がす方向）に引っ張ることで測定した。引張スピードは、２００ｍｍ／ｍｉｎ．に設定した。また、保持具１をコロイダルシリカスラリ（常温）に浸漬して２４時間及び９０時間放置後の剥離強度を同様に測定した。剥離強度の測定結果を下表１に示した。
【００４６】
【表１】
0005160265.tif 000002
【００４７】
表１に示すように、接着面Ｓを有機溶媒で処理していない比較例１の保持具では、剥離強度が０．７４ｋｇ／１０ｍｍ程度のため、研磨加工中に研磨液等が浸潤すると、ポリウレタンシート２とテンプレート４とが剥離して被研磨物が損傷するおそれがある。これに対して、テンプレート４を酢酸エチルで処理してポリウレタンシート２と貼り合わせた実施例１の保持具１、ＤＭＦで処理した実施例２の保持具１では、剥離強度が、初期で１．２ｋｇ／１０ｍｍ以上、コロイダルシリカスラリに浸漬後でも０．８ｋｇ／１０ｍｍ以上の優れた結果を示している。このことから、接着面Ｓを酢酸エチルやＤＭＦで処理することで、ポリウレタンシート２およびテンプレート４間の剥離強度を向上させることができ、研磨液が浸潤しても剥離強度を確保することができることが判明した。従って、保持具１では、保管時や研磨加工時にテンプレート４の剥離を抑制することができることが明らかとなり、長期間に亘り保持具１を使用することが期待できることが判った。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明は枠材の剥離を抑制することができる保持具を提供するため、保持具の製造、販売に寄与するため、産業上の利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明に係る実施形態の保持具を示す断面図である。
【図２】実施形態の保持具の斜視図である。
【符号の説明】
【００５０】
Ｐ  保持面
１  保持具
２  ポリウレタンシート（軟質プラスチックシート）
４  テンプレート（枠材）
６  熱可塑性接着剤
【図１】
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【図２】
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