(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹陥性を有する捲回状の被運搬物を運搬するための容器を備えた運搬用具において、前記被運搬物は研磨加工に用いられる研磨布または保持布であり、前記容器は、長手方向に対向する隔壁を有し、前記隔壁間に可撓性を有するとともに非伸縮性のポリエチレンテレフタレート製のシート部材が掛け渡されており、前記シート部材が前記隔壁間で弛み部分を有していることを特徴とする運搬用具。
【請求項２】
凹陥性を有する捲回状の被運搬物を運搬するための容器を備えた運搬用具において、前記被運搬物は研磨加工に用いられる研磨布または保持布であり、前記容器は、長手方向で略等間隔に配置された複数の隔壁を有し、前記複数の隔壁間に可撓性を有するとともに非伸縮性のポリエチレンテレフタレート製の１枚のシート部材が掛け渡されており、前記シート部材が隣り合う前記隔壁間で弛み部分を有していることを特徴とする運搬用具。
【請求項３】
前記シート部材は、前記被運搬物が前記隔壁の上端より下側に位置するように掛け渡されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の運搬用具。
【請求項４】
前記シート部材は、前記弛み部分の下面が前記容器の内底面から離隔していることを特徴とする請求項３に記載の運搬用具。
【請求項５】
前記シート部材は、表面が略平坦であることを特徴とする請求項４に記載の運搬用具。
【請求項６】
前記容器は材質が平板状の紙材であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の運搬用具。
【請求項７】
前記容器は、前記隔壁のうち少なくとも２つの隔壁の上面に突起を有しており、底面の前記突起に対応する位置に嵌合穴が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の運搬用具。
【請求項８】
前記被運搬物は、樹脂製のフィルムまたは不織布を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の運搬用具。
【請求項９】
前記容器の上部を覆う蓋材を更に備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の運搬用具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は運搬用具に係り、特に、凹陥性を有する捲回状の被運搬物を運搬するための容器を備えた運搬用具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から荷物（被運搬物）の運搬に際しては、当該被運搬物が種々の容器に収容され梱包されている。梱包時には、運搬中の揺れや振動による荷物の損傷等を回避するため、発泡性プラスチック、スポンジ等の緩衝材、ハニカム構造等を有する衝撃吸収材等が使用されている。
【０００３】
被運搬物がシート状のフィルムや紙等の場合、ある程度までの大きさであれば積層状態で梱包することができるが、長尺状や大型のものになるとロール状に捲回され容器に収容されるのが一般的である。捲回状のフィルム等が容器内面に接触するように収容された場合は、運搬中の揺れ等により容器内面に接触したフィルム等の表面が損傷することとなり、外圧等を受けると被運搬物自体を変形させる可能性がある。これらを避けるために緩衝材等を使用すると、緩衝材等との接触でフィルム等の表面を損傷する可能性もある。
【０００４】
また、捲回状の被運搬物では、運搬中に巻き弛みや端面のずれが生じるため、容器内に固定しておく必要がある。捲回時に捲き芯が使用されていれば、捲き芯の両端部を容器内で固定するようにすることができる。例えば、容器の対向する内壁面にホルダを保持させ、ホルダに捲き芯を支持させる技術が開示されている（特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１０３７８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の技術では、捲回時に捲き芯の使用が必要であり、容器にホルダを保持させる等の手間を要し、梱包用の部品点数を増加させることとなる。また、捲き芯を使用しない場合には適用することができなくなる。液晶ディスプレイ用のガラス基板や半導体デバイス用のシリコンウエハ等の被研磨物の表面を平坦化するための研磨加工で使用される研磨布や保持布では、外力によって変形を受けやすい柔らかな材質が用いられている。被研磨物の平坦性を向上させるため、研磨布や保持布は表面の平坦性が重要となる。このため、研磨布や保持布、とりわけ、大型や長尺の研磨布等では、運搬時に捲回状にされるが、捲き癖を嫌うことから、捲き芯が使用されないのが通常である。また、捲き芯がない状態で捲回された研磨布等では、外力を受けたときや自重によって凹陥（へこみ）を生じやすく、捲回された形状が崩れやすい、という問題がある。捲回形状が崩れた場合は、研磨布等の平坦性が損なわれ、捲回跡が残されるため、研磨加工される被研磨物の平坦化が不十分となるおそれがある。
【０００７】
本発明は上記事案に鑑み、捲回状の被運搬物に凹陥を生じさせることなく運搬することができる運搬用具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様は、凹陥性を有する捲回状の被運搬物を運搬するための容器を備えた運搬用具において、前記被運搬物は研磨加工に用いられる研磨布または保持布であり、前記容器は、長手方向に対向する隔壁を有し、前記隔壁間に可撓性を有するとともに非伸縮性のポリエチレンテレフタレート製のシート部材が掛け渡されており、前記シート部材が前記隔壁間で弛み部分を有していることを特徴とする。
【０００９】
第１の態様では、容器が長手方向に対向する隔壁間に可撓性を有するとともに非伸縮性のポリエチレンテレフタレート製のシート部材が掛け渡されており、シート部材が隔壁間で弛み部分を有しているため、研磨加工に用いられる研磨布または保持布であり凹陥性を有する捲回状の被運搬物をシート部材の弛み部分に載置して運搬するときにシート部材が変形しない程度の強度を有するとともに被運搬物が捲回状の下側に沿ってシート部材で支持されるので、運搬中に揺れや振動が加わっても被運搬物の凹陥を抑制することができる。
【００１０】
また、本発明の第２の態様は、凹陥性を有する捲回状の被運搬物を運搬するための容器を備えた運搬用具において、前記被運搬物は研磨加工に用いられる研磨布または保持布であり、前記容器は、長手方向で略等間隔に配置された複数の隔壁を有し、前記複数の隔壁間に可撓性を有するとともに非伸縮性のポリエチレンテレフタレート製の１枚のシート部材が掛け渡されており、前記シート部材が隣り合う前記隔壁間で弛み部分を有していることを特徴とする。
【００１１】
第１、第２の態様において、シート部材が被運搬物が隔壁の上端より下側に位置するように掛け渡されていれば、被運搬物を損傷させることなく複数の運搬用具を重ねることができる。また、シート部材の弛み部分の下面が容器の内底面から離隔していることが好ましい。このとき、シート部材の表面が略平坦であることが好ましい。容器の材質を平板状の紙材とすることができる。容器が隔壁のうち少なくとも２つの隔壁の上面に突起を有しており、底面の突起に対応する位置に嵌合穴が形成されているようにすれば、複数の運搬用具を重ねたときにずれの発生を抑制することができる。また、被運搬物を樹脂製のフィルムまたは不織布を有していてもよい。また、容器の上部を覆う蓋材を更に備えるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、容器が長手方向に対向する隔壁間に可撓性を有するとともに非伸縮性のポリエチレンテレフタレート製のシート部材が掛け渡されており、シート部材が隔壁間で弛み部分を有しているため、研磨加工に用いられる研磨布または保持布であり凹陥性を有する捲回状の被運搬物をシート部材の弛み部分に載置して運搬するときにシート部材が変形しない程度の強度を有するとともに被運搬物が捲回状の下側に沿ってシート部材で支持されるので、運搬中に揺れや振動が加わっても被運搬物の凹陥を抑制することができる、という効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明を被研磨物保持用の保持パッドを運搬するための運搬用具に適用した実施の形態について説明する。
【００１４】
図１に示すように、本実施形態の運搬用具１０は、捲回状の保持パッド（被運搬物）２０を収容可能な直方体状の容器１を備えている。容器１は、平板状の紙材で形成されており、６個の隔壁２を有している。各隔壁２は容器１の長手方向で略等間隔に配置されている。
【００１５】
容器１の各隔壁２の間には、可撓性を有する１枚のシート部材としてのフィルム３が掛け渡されている。フィルム３は、隣り合う隔壁２間で弛み部分４を有している。すなわち、容器１では、５箇所に弛み部分４が形成されており、弛み部分４に保持パッド２０を載置することで５個の保持パッド２０を収容することができる。フィルム３は、弛み部分４に保持パッド２０を載置したときに、保持パッド２０の上端が隔壁２の上端より下側に位置するように掛け渡されている。換言すれば、隔壁２の高さ（容器１の深さ）は、捲回状の保持パッド２０の外径より大きく形成されている。
【００１６】
また、フィルム３の弛み部分４は、下面が容器１の内底面から離隔している。フィルム３は、各隔壁２の上端部に位置する部分がそれぞれ図示を省略した両面テープで各隔壁２の上端部に固定されている。フィルム３には、非伸縮性の材質が用いられており、矩形状に形成されている。本例では、フィルム３としてポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと略記する。）製フィルムが用いられており、フィルム３の厚みが０．０５〜２．０ｍｍ程度に設定されている。少なくともフィルム３の保持パッド２０と接触する表面は、平坦状に形成されている。
【００１７】
保持パッド２０は、半導体デバイス用シリコンウエハや液晶ディスプレイ用ガラス基板等の被研磨物の表面に研磨加工を施す際に、当該被研磨物を研磨装置の定盤に保持させるために使用されるものである。図２に示すように、保持パッド２０は、１００％モジュラス（２倍長に引っ張る時の張力）が２０ＭＰａ以下のポリウレタン樹脂で形成されたポリウレタンシート２２を有している。ポリウレタンシート２２は、被研磨物を定盤に保持させるときに被研磨物に当接する保持面Ｐを有している。ポリウレタンシート２２の保持面Ｐと反対の面（図２の下面）側には、ポリウレタンシート２２の厚さ（図２の縦方向の長さ）が一様となるようにバフ処理が施されている。このため、ポリウレタンシート２２の保持面Ｐが略平坦となる。
【００１８】
ポリウレタンシート２２には、湿式成膜法により、保持面Ｐ側に、図示を省略した緻密な微多孔が形成され平坦性を有するスキン層（表面層）２４が形成されている。スキン層２４の下層（ポリウレタンシート２２のスキン層２４より内部側）には、ポリウレタンシート２２の厚さ方向に沿って丸みを帯びた断面略三角状の発泡２３が形成されている。発泡２３は、保持面Ｐ側の大きさが、保持面Ｐと反対の面側より小さく形成されている。発泡２３同士の間のポリウレタン樹脂中には、スキン層２４に形成された微多孔より大きく発泡２３より小さい図示しない発泡が形成されている。発泡２３及び図示しない発泡は、不図示の連通孔で立体網目状につながっている。保持面Ｐと反対の面側がバフ処理されているため、発泡２３及び図示しない発泡の一部が保持面Ｐと反対の面側の表面で開孔している。また、保持パッド２０は、保持面Ｐと反対の面側（バフ処理された面側）に、一面側（図２の最下面側）に剥離紙２７を有し研磨装置に保持パッド２０を装着するための両面テープ２６の他面側が貼り合わされている。両面テープ２６は、ＰＥＴフィルム製の基材２６ａを有しており、基材２６ａの両面に接着剤層２６ｂが形成されている。
【００１９】
この保持パッド２０は、湿式成膜法によりポリウレタン樹脂がシート状に形成され製造されたものである。すなわち、ポリウレタン樹脂を有機溶媒に溶解させたポリウレタン樹脂溶液が成膜基材に連続的に塗布され、水系凝固液に浸漬することでポリウレタン樹脂がシート状に凝固再生され、洗浄後乾燥させた後、裁断され、定盤に固定するための両面テープが貼り合わされたものである。具体的には、保持パッド２０は、以下のようにして製造される。
【００２０】
ポリウレタン樹脂溶液は、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒及び添加剤を混合し、濾過により凝集塊等を除去した後、真空下で脱泡することで調製される。有機溶媒には、本例では、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略記する。）が用いられている。ポリウレタン樹脂には、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から選択して用いられる。添加剤としては、発泡の大きさや量（個数）を制御するため、顔料、親水性活性剤及び疎水性活性剤等を用いることができる。調製されたポリウレタン樹脂溶液は、常温下でナイフコータ等により帯状の成膜基材に略均一に塗布される。成膜基材には、可撓性フィルム、不織布、織布等を用いることができる。本例では、成膜基材として、液体の浸透性を有していないＰＥＴ製フィルムが用いられている。
【００２１】
ポリウレタン樹脂溶液が塗布された成膜基材は、ポリウレタン樹脂に対して貧溶媒である水を主成分とする凝固液に浸漬される。凝固液中では、まず、塗布されたポリウレタン樹脂溶液の表面側に厚さ数μｍ程度のスキン層２４が形成される。その後、ポリウレタン樹脂溶液中のＤＭＦと凝固液との置換の進行によりポリウレタン樹脂が成膜基材の片面にシート状に凝固再生する。ＤＭＦのポリウレタン樹脂溶液からの脱溶媒による凝固液との置換に伴い、スキン層２４より内側のポリウレタン樹脂中に発泡２３及び図示しない発泡が形成され、発泡２３及び図示しない発泡を立体網目状に連通する不図示の連通孔が形成される。このとき、成膜基材のＰＥＴ製フィルムが水を浸透させないため、スキン層２４側で脱溶媒が生じて成膜基材側が表面側より大きな発泡２３が形成される。
【００２２】
凝固再生したポリウレタン樹脂（以下、成膜樹脂という。）が成膜基材から剥離され、水等の洗浄液中で洗浄されて成膜樹脂中に残留するＤＭＦが除去される。洗浄後、成膜樹脂をシリンダ乾燥機等で乾燥させる。乾燥後の成膜樹脂は、厚さが一様となるように、成膜樹脂のスキン層２４と反対の面側がバフ処理され、ロール状に巻き取られる。ポリウレタンシート２２のバフ処理された面側に、一面側に剥離紙２７が貼付された両面テープ２６の他面側を接着剤層２６ｂで貼り合わせる。円形等の所望の形状、サイズに裁断した後、汚れや異物等の付着がないことを確認する等の検査を行い保持パッド２０を完成させる。
【００２３】
得られた保持パッド２０を運搬するときは、形状やサイズにもよるが、３〜２０回、好ましくは５〜１０回捲回した筒状、すなわち、捲回状に形成される。このとき、保持面Ｐを損傷させないため、捲き芯を使用せずに保持面Ｐを内側とし内径がおよそ１００〜２００ｍｍ、好ましくは１２０〜１８０ｍｍとなるように捲回される。内径が１００ｍｍより小さいと捲回跡ができて保持パッドの性能を損なうため、好ましくない。反対に、２００ｍｍを超えると容積が大きくなるので、運搬効率が低下する。捲回終端部には、捲き戻りや捲きずれが生じないようにテープ等が貼付されてもよい。保持パッド２０がポリウレタンシート２２を有して形成されるため、捲き芯を使用せずに捲回された状態では、外圧が掛けられたときや自重でも凹陥（へこみ）が生じやすい凹陥性を有している。保持パッド２０が運搬用具１０に収容され運搬される。このとき、保持パッド２０は、フィルム３の弛み部分４に載置される。
【００２４】
（作用等）
次に、本実施形態の運搬用具１０の作用等について説明する。
【００２５】
本実施形態の運搬用具１０では、容器１の各隔壁２の間にフィルム３が掛け渡されており、フィルム３が隣り合う隔壁２間で弛み部分４を有している。このため、凹陥性を有する捲回状の保持パッド２０を弛み部分４に載置して運搬用具１０に収容することができる。運搬時には、保持パッド２０が下側（容器１の底側）の外周に沿ってフィルム３で支持されるので、運搬中に揺れや振動（ローリングやピッチ）が加えられても保持パッド２０の凹陥を抑制することができる。
【００２６】
また、保持パッド２０が研磨加工に用いられるため、運搬中に損傷を受けたり、捲回された形状が崩れて保持面Ｐに捲回跡がついたりした場合は、研磨加工される被研磨物の平坦性を損なうこととなる。本実施形態の運搬用具１０では、フィルム３が容器１の内底面から離隔しており、保持パッド２０の上端が隔壁２の上端より下側に位置するようにフィルム３が掛け渡されている。このため、弛み部分４に載置された保持パッド２０は、容器１の内壁面や内底面と接触しない位置に宙づりの状態となる。従って、保持パッド２０が容器１の内壁面や内底面と直接接触することなくフィルム３に支持された状態で運搬されるので、運搬中に揺れ等が加わっても、保持パッド２０の損傷や捲回された形状が崩れることを抑制して保持パッド２０の平坦さを確保することができる。
【００２７】
更に、本実施形態の運搬用具１０では、平板状の紙材で形成された容器１の各隔壁２の間にフィルム３が掛け渡されている。このため、捲き芯を使用して捲回された被運搬物を運搬するために容器に捲き芯の固定部材等を組み込む場合と比べて、外力や自重による変形を受けやすく捲き芯を使用せずに捲回された被運搬物を運搬するための運搬用具を少ない部品数で構成することができ容器１の構造を単純化することができる。保持パッド２０や研磨加工に使用される研磨布等の場合、例えば、矩形状の１辺や円形状の直径が１０００ｍｍ程度までであれば、積層状態で梱包することができるのに対して、例えば、１辺が１４００ｍｍを超える矩形状や直径が１４００ｍｍを超える円形状では、積層状態で梱包すると却って梱包時や運搬時に手間がかかることとなる。これに対して、本実施形態の運搬用具１０では、フィルム３の弛み部分４に載置することで収容、梱包ができることから、大判の保持パッド２０等が捲回された被運搬物の運搬に好適に使用することができる。
【００２８】
なお、本実施形態では、容器１の材質に平板状の紙材を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、樹脂製や木材製としてもよいが、軽量さ、丈夫さ、コスト等を考慮すれば、段ボール製とすることが好ましい。また、本実施形態では、容器１を直方体状とする例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、複数の隔壁２が長手方向で略等間隔に配置されていればよい。
【００２９】
また、本実施形態では、フィルム３としてＰＥＴ製フィルムを例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、非伸縮性で表面が略平坦であればよい。換言すれば、弛み部分４に被運搬物を載置して運搬したときに変形しないようにある程度の強度を有する材質であればよい。このような材質としては、例えば、ナイロンやポリエステル等の樹脂を挙げることができる。また、フィルム３の厚みが０．０５ｍｍを下回ると運搬中の揺れ等でフィルム３自体が破損する可能性があり、反対に２．０ｍｍを上回ると被運搬物を柔らかく支持することが難しくなる。このため、フィルム３の厚みを０．０５〜２．０ｍｍとすることが好ましい。
【００３０】
更に、本実施形態では言及していないが、運搬用具１０が容器１の上部を覆う蓋材を備えるようにしてもよい。この場合、蓋材を別部材とし容器１の上側に載置するようにしてもよく、容器１と蓋材とを一体形成するようにしてもよい。このようにすれば、運搬時等に外部からの異物混入、ひいては、保持パッド２０等の被運搬物に対する異物付着を抑制することができる。蓋材の形状は、容器１を覆うことができればよく、特に制限されないことはもちろんである。
【００３１】
また更に、本実施形態では、容器１が６個の隔壁２を有する例を示したが、本発明は隔壁２の数に限定されるものではない。例えば、図３に示すように、隔壁２を２個としてもよく、この場合には被運搬物が１個ずつ収容される。反対に、隔壁２の数を増やすことで、５個を超える被運搬物を運搬できるようにすることも可能である。また、図３に示すように、隔壁２のうち少なくとも２つの隔壁２が上面に突起７を有するようにし、容器１の底面の突起７に対応する位置に突起７と嵌合可能な嵌合穴８を形成するようにしてもよい。突起７が嵌合穴８と嵌合するように複数の運搬用具１０を上下に重ねることで、運搬中の揺れ等による荷崩れや運搬用具１０のずれを抑制することができる。運搬用具１０を重ねた場合は、上側の容器１が下側の容器１の上部を覆うため、最上部に位置する容器１のみを蓋材で覆うようにすればよい。
【００３２】
更にまた、本実施形態では、被運搬物として保持パッド２０を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、凹陥性を有する捲回状の被運搬物の運搬に好適に使用することができる。このような被運搬物としては、例えば、樹脂製のフィルムや不織布等を有する研磨布を挙げることができる。また、本実施形態では、保持パッド２０が湿式成膜法で作製したポリウレタンシート２２と両面テープ２６とを有する例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、乾式法で作製された樹脂シートを有していてもよく、両面テープを有することなく樹脂シートのみでもよい。また、保持パッドや研磨布の材質や内部の発泡構造についても、特に制限されるものではない。更に、本実施形態では、保持パッド２０を捲回状とするときに保持面Ｐを内側とする例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、保持面Ｐを外側としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明は捲回状の被運搬物に凹陥を生じさせることなく運搬することができる運搬用具を提供するため、運搬用具の製造、販売に寄与するため、産業上の利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明を適用した実施形態の運搬用具を示す断面図である。
【図２】実施形態の運搬用具で運搬される保持パッドを示す断面図である。
【図３】運搬用具の別の態様を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  容器
２  隔壁
３  フィルム（シート部材）
４  弛み部分
１０  運搬用具
２０  保持パッド（被運搬物）
【図１】
0005160206.tif 000002
【図２】
0005160206.tif 000003
【図３】
0005160206.tif 000004