(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方の面に接着剤層を備えた接着テープを支持する支持手段と、前記接着テープを間欠送り可能に繰り出す繰出手段と、前記繰り出しを行う前及び／又は前記間欠送りの送り移動前に、前記支持手段及び繰出手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記繰出手段による接着テープの繰り出しを停止させた状態で、前記支持手段で接着テープを巻き取ることによって、又は、前記支持手段による接着テープの繰り出しを停止させた状態で、前記繰出手段で接着テープを巻き取ることによって、支持手段と繰出手段との間の接着テープに張力を付与し、接着テープが意図しない位置に接着していたときに、当該接着部位を剥がす繰出動作確認を行うことを特徴とするテープ繰出装置。
【請求項２】
前記支持手段と繰出手段との間に設けられるとともに、前記張力に応じて変位可能なダンサローラを含む調整手段と、ダンサローラの位置を検知する検知手段とを含み、
前記制御手段は、前記繰出動作確認で前記張力が一定値以上であり、且つ、ダンサローラが検知手段により所定位置で検知されなかった場合に外部へ信号を出力する外部出力手段を有することを特徴とする請求項１記載のテープ繰出装置。
【請求項３】
基材シートの一方の面に接着剤層を備えた接着テープの繰り出し方法であって、
支持手段で前記接着テープを支持しておき、繰出手段で前記接着テープの繰り出しを行う前及び／又は間欠送りの送り移動前に、前記繰出手段による接着テープの繰り出しを停止させた状態で、前記支持手段で接着テープを巻き取ることによって、又は、前記支持手段による接着テープの繰り出しを停止させた状態で、前記繰出手段で接着テープを巻き取ることによって、支持手段と繰出手段との間の接着テープに張力を付与し、接着テープが意図しない位置に接着していたときに、当該接着部位を剥がす繰出動作確認を行うことを特徴とするテープ繰出方法。
【請求項４】
被着体に貼付された接着シートに、基材シートの一方の面に接着剤層を備えた剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を保持する保持手段と、剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段と、この貼付手段側に剥離用テープを繰り出し可能なテープ繰出装置と、接着シートに貼付された剥離用テープと前記保持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段とを含み、
前記テープ繰出装置は、前記剥離用テープを支持する支持手段と、剥離用テープを間欠送り可能に繰り出す繰出手段と、前記繰り出しを行う前及び／又は前記間欠送りの送り移動前に、前記支持手段及び繰出手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記繰出手段による剥離用テープの繰り出しを停止させた状態で、前記支持手段で剥離用テープを巻き取ることによって、又は、前記支持手段による剥離用テープの繰り出しを停止させた状態で、前記繰出手段で剥離用テープを巻き取ることによって、支持手段と繰出手段との間の剥離用テープに張力を付与し、剥離用テープが意図しない位置に接着していたときに、当該接着部位を剥がす繰出動作確認を行うことを特徴とするシート剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ繰出装置及び繰出方法並びにシート剥離装置に係り、更に詳しくは、接着剤層を備えた接着テープや剥離用テープを繰り出すテープ繰出装置及び繰出方法並びにシート剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）は、その回路面に保護用の接着シートが貼付され、裏面研削等、種々の工程を経た後に接着シートが剥離される（特許文献１参照）。このような接着シートの剥離装置としては、例えば、図６（Ａ）及び（Ｂ）に示されるテープ繰出装置１００を利用したタイプのものがある。このテープ繰出装置１００は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層Ａを備えた剥離用テープＰＴを支持する支持手段１０１と、剥離用テープＰＴを挟み込んで繰り出す駆動ローラ１０２Ａ及びピンチローラ１０２Ｂを有する繰出手段１０２と、支持手段１０１と繰出手段１０２との間に設けられるとともに、剥離用テープＰＴの張力に応じて図中上下方向に変位可能なダンサローラ１０４と、このダンサローラ１０４を通過する前後の剥離用テープＰＴを案内する複数のガイドローラ１０５とを備えている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１７５２５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような構成にあっては、剥離用テープＰＴの接着剤層Ａが意図しない部位に接着する、という不都合がある。具体的には、図６（Ａ）に示されるように、対向する剥離用テープＰＴの接着剤層Ａ同士が接着する場合や、同図（Ｂ）に示されるように、剥離用テープＰＴがガイドローラ１０５に経時的に巻き付くように接着する場合がある。かかる接着により、以後の剥離用テープＰＴの繰り出しに支障を来したり、剥離用テープＰＴの繰り出しが行えなくなる、という不都合を招来する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離用テープや接着テープが意図しない部位に接着しても、これらの繰り出しを正常に行ったり、繰り出し不能な状態にあることを容易に確認することができるテープ繰出装置及び繰出方法並びにシート剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明のテープ繰出装置は、基材シートの一方の面に接着剤層を備えた接着テープを支持する支持手段と、前記接着テープを間欠送り可能に繰り出す繰出手段と、前記繰り出しを行う前及び／又は前記間欠送りの送り移動前に、前記支持手段及び繰出手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記繰出手段による接着テープの繰り出しを停止させた状態で、前記支持手段で接着テープを巻き取ることによって、又は、前記支持手段による接着テープの繰り出しを停止させた状態で、前記繰出手段で接着テープを巻き取ることによって、支持手段と繰出手段との間の接着テープに張力を付与し、接着テープが意図しない位置に接着していたときに、当該接着部位を剥がす繰出動作確認を行う、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記テープ繰出装置は、前記支持手段と繰出手段との間に設けられるとともに、前記張力に応じて変位可能なダンサローラを含む調整手段と、ダンサローラの位置を検知する検知手段とを含み、
前記制御手段は、前記繰出動作確認で前記張力が一定値以上であり、且つ、ダンサローラが検知手段により所定位置で検知されなかった場合に外部へ信号を出力する外部出力手段を有する、という構成を採ってもよい。
【０００８】
また、本発明のテープ繰出方法は、基材シートの一方の面に接着剤層を備えた接着テープの繰り出し方法であって、
支持手段で前記接着テープを支持しておき、繰出手段で前記接着テープの繰り出しを行う前及び／又は間欠送りの送り移動前に、前記繰出手段による接着テープの繰り出しを停止させた状態で、前記支持手段で接着テープを巻き取ることによって、又は、前記支持手段による接着テープの繰り出しを停止させた状態で、前記繰出手段で接着テープを巻き取ることによって、支持手段と繰出手段との間の接着テープに張力を付与し、接着テープが意図しない位置に接着していたときに、当該接着部位を剥がす繰出動作確認を行う、という方法を採っている。
【０００９】
また、本発明のシート剥離装置は、被着体に貼付された接着シートに、基材シートの一方の面に接着剤層を備えた剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を保持する保持手段と、剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段と、この貼付手段側に剥離用テープを繰り出し可能なテープ繰出装置と、接着シートに貼付された剥離用テープと前記保持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段とを含み、
前記テープ繰出装置は、前記剥離用テープを支持する支持手段と、剥離用テープを間欠送り可能に繰り出す繰出手段と、前記繰り出しを行う前及び／又は前記間欠送りの送り移動前に、前記支持手段及び繰出手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記繰出手段による剥離用テープの繰り出しを停止させた状態で、前記支持手段で剥離用テープを巻き取ることによって、又は、前記支持手段による剥離用テープの繰り出しを停止させた状態で、前記繰出手段で剥離用テープを巻き取ることによって、支持手段と繰出手段との間の剥離用テープに張力を付与し、剥離用テープが意図しない位置に接着していたときに、当該接着部位を剥がす繰出動作確認を行う、という構成を採っている。
【００１０】
本発明において、前記テープ繰出装置は、前記支持手段と繰出手段との間に設けられるとともに、前記張力に応じて変位可能なダンサローラを含む調整手段と、ダンサローラの位置を検知する検知手段とを含み、
前記制御手段は、前記繰出動作確認で前記張力が一定値以上であり、且つ、ダンサローラが検知手段により所定位置で検知されなかった場合に外部へ信号を出力する外部出力手段を有する、という構成と採ることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、繰出動作確認を行うので、図６（Ａ）及び（Ｂ）のような意図しない接着があっても、剥離用テープや接着シートに付与する張力によって接着した部位を剥がすことが可能となる。これにより、繰出動作確認後における剥離用テープ等の繰り出し動作の正常化を図ることができ、剥離用テープの貼付や接着シートの剥離等の後工程に支障が生じることを防止可能となる。
【００１３】
また、ダンサローラや検知手段を利用した場合、ダンサローラの位置を検知することで、前述した意図しない接着の有無や、繰り出し不能な状態を容易に確認することができる。これにより、例えば、接着シートを剥離するための剥離用テープが繰り出されないことによる接着シートの剥離不良を回避することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１には、実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図が示されている。この図において、シート剥離装置１０は、被着体としてのウエハＷを上面で吸着して保持するテーブルからなる保持手段１１と、ウエハＷの回路面（上面）に貼付された接着シートＳに貼付して剥離を行う剥離用テープＰＴを繰り出すテープ繰出装置１２と、剥離用テープＰＴのリード端側を接着シートＳの外縁側に貼付する貼付手段１４と、前記保持手段１１を図１中左右方向に移動させるための直動モータ１５Ａ及びそのスライダ１５Ｂからなる移動手段１５とを備えて構成されている。
【００１６】
前記ウエハＷは、回路面の反対面（下面）側からマウント用テープＭＴを介してリングフレームＲＦの開口内部に配置されて一体化された状態で、保持手段１１に保持されている。また、剥離用テープＰＴは、帯状の基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層Ａとを備えた感圧接着性の接着テープとされ、前記テープ繰出装置１２においてロール状に巻回されて支持されている。
【００１７】
前記テープ繰出装置１２は、剥離用テープＰＴを支持する支持手段１８と、剥離用テープＰＴを間欠送り可能に繰り出す繰出手段１９と、支持手段１８と繰出手段１９との間に設けられた調整手段２０と、この調整手段２０の近傍に設けられた検知手段２１と、これらの手段１８〜２１を所定制御する他、保持手段１１、貼付手段１４及び移動手段１５も所定制御する制御手段２３とを備え、前記貼付手段１４側に剥離用テープＰＴを繰り出し可能に設けられている。
【００１８】
前記支持手段１８は、フレームＦに支持された支持軸２４と、この支持軸２４を回転させるモータＭ１とを備えている。
【００１９】
前記繰出手段１９は、モータＭ２を介してフレームＦに回転可能に支持された駆動ローラ２６と、この駆動ローラ２６との間に剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラ２７とを備えている。駆動ローラ２６及びピンチローラ２７の左側には、チャック２８が設けられている。チャック２８は、上下方向に移動して相互に離間、接近可能な上チャック２８Ａ及び下チャック２８Ｂからなり、図示しない駆動装置を介して図１中左右方向に移動可能に構成されている。
【００２０】
前記ピンチローラ２７は、図２に示されるように、３分割とされ、回転軸２７Ｂに取り付けられてクリアランス２７Ａを形成し、各クリアランス２７Ａは、略水平方向に向けられた軸状のガイド部材３０が挿通可能に設けられている。各ガイド部材３０は、シリンダ３１を介して進退可能に設けられ、駆動ローラ２６及びピンチローラ２７の図１中左側に出没するようになっている。これにより、ガイド部材３０は、図１の二点鎖線で示されるように、駆動ローラ２６及びピンチローラ２７の左側に繰り出される剥離用テープＰＴを下から支持し、そのリード端領域をチャック２８により把持できる位置に導くことが可能となる。
【００２１】
前記調整手段２０は、フレームＦに形成された図１中上下方向に延びるスロット３３と、このスロット３３に沿って移動可能なダンサローラ３４と、このダンサローラ３４を通過する前後の剥離用テープＰＴを案内する複数のガイドローラ３５とを備えている。ダンサローラ３４は、剥離用テープＰＴの張力に応じて上下に変位可能に設けられている。具体的には、スロット３３内で自重により下降可能に設けられるとともに、剥離用テープＰＴの張力が所定値以上となることで上昇するようになっている。
【００２２】
前記検知手段２１は、スロット３３の上下各位置に配置された上部センサ３７及び下部センサ３８からなる。各センサ３７、３８は、当該センサ３７、３８の高さ位置におけるダンサローラ３４の有無を検知し、その検知結果をＯＮ／ＯＦＦ信号として制御手段２３に出力可能に設けられている。
【００２３】
前記制御手段２３は、シーケンサやパーソナルコンピュータ等で構成することができる。制御手段２３は、支持手段１８及び繰出手段１９による剥離用テープＰＴの繰出速度や繰出時間、繰出量をコントロールする機能と、支持手段１８のモータＭ１の回転力をトルク信号として入力する機能と、検知手段２１の前記ＯＮ／ＯＦＦ信号を入力する機能と、前記ＯＮ／ＯＦＦ信号及びトルク信号に応じて、警告手段（回転灯やブザー）等の外部装置を作動させるために外部へ信号を出力する機能（外部出力手段２３Ａ）と、移動手段１５の移動量及び貼付手段１４の押圧のタイミングを制御する機能とを備えている。
【００２４】
前記貼付手段１４は、直動モータ４０と、当該直動モータ４０によって上下方向に進退可能に設けられた押圧ヘッド４１とを備えている。この貼付手段１４は、前記チャック２８により接着シートＳの上面側に繰り出された剥離用テープＰＴを前記押圧ヘッド４１で押圧することで、剥離用テープＰＴを接着シートＳに貼付するように構成されている。
【００２５】
貼付手段１４の右側には、テープ切断手段４３が設けられている。このテープ切断手段４３は、カッター刃４４と、このカッター刃４４を図１中紙面直交方向に移動させる切断用シリンダ４５と、同カッター刃４４を同図中上下方向に移動させる上下用シリンダ４６とにより構成されている。
【００２６】
次に、前記シート剥離装置１０による接着シートＳの剥離方法について説明する。
【００２７】
初期作業として、支持軸２４から剥離用テープＰＴを引き出してダンサローラ３４及び各ガイドローラ３５に掛け回した後、剥離用テープＰＴのリード端側を駆動ローラ２６及びピンチローラ２７の間を通過させた状態とする。また、後述する繰出動作確認において、剥離用テープＰＴに付与される張力の許容可能な範囲での上限値を設定し、この上限値となる際の支持手段１８のモータＭ１のトルク信号を「トルク上限値」として制御手段２３に予め記憶する。
【００２８】
前記初期作業終了後、テープ繰出装置１２において以下に述べる繰出動作確認が行われる。
先ず、制御手段２３を介して、繰出手段１９のモータＭ２により駆動ローラ２６の回転をロックさせた後、支持手段１８のモータＭ１により剥離用テープＰＴを巻き取る方向に支持軸２４を回転させる。これにより、支持手段１８及び繰出手段１９間の剥離用テープＰＴに張力が付与され、ダンサローラ３４が重力に抗して上昇する。そして、図３に示されるように、上部センサ３７によりダンサローラ３４が検知されると、そのＯＮ信号が制御手段２３に入力され、モータＭ１は逆回転してダンサローラ３４が下部センサ３８に検出される位置まで下降させる。この張力の付与により、図６（Ａ）及び（Ｂ）に示されるような剥離用テープＰＴの意図しない接着が生じていても、当該接着した部位が剥がされて繰出動作の正常化が図られる。
【００２９】
一方、前記張力の付与を行っても、意図しない接着部位が剥がれない場合、ダンサローラ３４が上部センサ３７に検知される位置まで上昇不能となる。つまり、上部センサ３７のＯＮ信号が制御手段２３に入力されることなく、前記モータＭ１から前記トルク上限値以上のトルク信号が制御手段２３に入力される。この場合、制御手段２３によってモータＭ１の回転を停止させるとともに、外部装置へ出力を行うことで、回転灯やブザー等の警告手段を起動させてオペレータに剥離用テープＰＴの繰り出しに支障を来していることを知らせることができ、シート剥離装置１０の誤作動を未然に防止することができる。
【００３０】
かかる繰出動作確認を行って上部センサ３７がダンサローラ３４を検知した場合、図示しない搬送手段を介して、保持手段１１の上面にリングフレームＲＦと一体化されたウエハＷを保持させる。次いで、移動手段１５を介して保持手段１１を移動させつつ、図示しないセンサを介して接着シートＳの右側外縁を検知し、当該外縁位置が押圧ヘッド４１の直下で停止するように移動手段１５を制御する。
【００３１】
次いで、モータＭ２を作動して駆動ローラ２６を回転させ、駆動ローラ２６及びピンチローラ２７の左側に所定長さの剥離用テープＰＴを繰り出す。この繰り出しにおいて、下部センサ３８がダンサローラ３４を検知しないＯＦＦ信号が出力されると、前記モータＭ１を作動して剥離用テープＰＴを繰り出す方向に支持軸２４を回転させるよう制御手段２３で制御する。この一方、下部センサ３８がダンサローラ３４を検知するＯＮ信号出力中、モータＭ１の回転を停止するよう制御する。剥離用テープＰＴを所定長さ繰り出した後、シリンダ３１を作動してガイド部材３０を図１中二点鎖線で示される位置に進行させ、図示しない駆動手段を作動して上、下チャック２８Ａ、２８Ｂ間にガイド部材３０及び剥離用テープＰＴを位置させる。そして、ガイド部材３０が後退して、上、下チャック２８Ａ、２８Ｂが接近することで剥離用テープＰＴを把持する。その後、当該チャック２８を左方向に移動させて剥離用テープＰＴを引き出し、押圧ヘッド４１の下方に剥離用テープＰＴを位置させる。
【００３２】
次に、図４に示されるように、押圧ヘッド４１を直動モータ４０によって下方へ移動させ、剥離用テープＰＴを接着シートＳに押圧して貼付する。その後、チャック２８による剥離用テープＰＴの把持を解除し、モータＭ２によって駆動ローラ２６の回転をロックさせる。そして、図５に示されるように、接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴと保持手段１１とが同図中左右方向に相対移動するように、移動手段１５を介して支持手段１１を右方向に移動させる。これにより、接着シートＳがウエハＷ上で折り返されるようになり、同図中右側の外縁から接着シートＳが剥離される。
【００３３】
接着シートＳの剥離が終えると、剥離用テープＰＴに貼付された接着シートＳが駆動ローラ２６及びピンチローラ２７の左側で垂れ下がった状態となる。この状態で、ガイド部材３０を進行させてシリンダ４５、４６を作動することで、ガイド部材３０上で剥離用テープＰＴが切断される。そして、保持手段１１が左の位置に戻って図示しない搬送手段によってリングフレームＲＦと共にウエハＷが所定位置に搬送される。
【００３４】
その後、新たなリングフレームＲＦ付のウエハＷから接着シートＳを剥離する場合、前記繰出動作確認を行ってから前述と同様の剥離動作が行われる。つまり、複数のウエハＷから接着シートＳを剥離する毎に、剥離用テープＰＴが間欠送りされ、当該間欠送りの移動前に前記繰出動作確認が繰り返し行われる。
【００３５】
従って、このような実施形態によれば、繰出動作確認により、支持手段１８と繰出手段１９との間における剥離用テープＰＴの意図しない接着が生じても、剥離用テープＰＴを正常に繰り出して接着シートＳに貼付することが可能となる。また、剥離用テープＰＴの意図しない接着を回避できない場合、これを容易に確認でき、接着シートＳの剥離動作を行う前にオペレータ等に知らせることで、接着シートＳの剥離不良を未然に防止することができる。
【００３６】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３７】
例えば、前記張力の付与は、支持手段１８及び繰出手段１９の何れか一方を制御手段２３で制御して作動することにより行ってもよい。
【００３８】
また、前記テープ繰出装置１２は、シート剥離装置１０以外の装置、例えば、繰り出される接着テープを所定の被着体に貼付するシート貼付装置等に適用してもよい。
【００３９】
更に、本発明における被着体としては、半導体ウエハに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００４０】
また、剥離用テープＰＴは、感熱接着性の接着テープを採用してもよい。この場合、押圧ヘッド４１にヒータを内蔵すればよい。
【００４１】
更に、剥離用テープＰＴと保持手段１１との相対移動は、保持手段１１が停止した状態で、剥離用テープＰＴを図５中左側へ移動するようにしたり、両者が離れる方向に移動するように構成してもよい。
【００４２】
また、検知手段２１は各センサとして、光電管、カメラ、リミットスイッチ等、検知結果をＯＮ／ＯＦＦ信号として制御手段２３に出力可能なものであれば何ら限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図。
【図２】ピンチローラの説明図。
【図３】繰出動作確認時の状態の説明図。
【図４】貼付手段が剥離用テープを貼付した状態の説明図。
【図５】接着シートを剥離している状態の説明図。
【図６】（Ａ）及び（Ｂ）は、従来構造の不都合を示す説明図。
【符号の説明】
【００４４】
１０  シート剥離装置
１１  保持手段
１２  テープ繰出装置
１４  貼付手段
１５  移動手段
１８  支持手段
１９  繰出手段
２０  調整手段
２１  検知手段
２３  制御手段
３４  ダンサローラ
ＰＴ  剥離用テープ（接着テープ）
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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