(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を浮上させる浮上ステージと、
前記基板の搬送方向に一直線状に延びるガイドレールと、
該ガイドレールに沿って互いに独立して移動可能な複数の基板搬送部とを備え、
前記複数の基板搬送部は、前記搬送方向の上流側に搬送された前記基板を受け取ると共に該受け取った基板を前記搬送方向の下流側に搬送する第１基板搬送部と、該第１基板搬送部から前記基板を受け取ると共に該受け取った基板を前記搬送方向の下流側に搬送する第２基板搬送部とを含み、
前記ガイドレールは、前記浮上ステージの片側又は前記浮上ステージ内に配置され、
前記第１基板搬送部の少なくとも一部と前記第２基板搬送部の少なくとも一部とは、前記第１基板搬送部と前記第２基板搬送部とによる前記基板の受け渡し位置において、前記浮上ステージの片側又は前記浮上ステージ内で、互いに前記ガイドレールの幅方向に並んで位置する、
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部は、前記ガイドレールに沿って移動するスライダを有し、
前記第１基板搬送部のスライダの少なくとも一部と前記第２基板搬送部のスライダの少なくとも一部とは、前記第１基板搬送部と前記第２基板搬送部とによる前記基板の受け渡し位置において、前記浮上ステージの片側又は前記浮上ステージ内で、互いに前記ガイドレールの幅方向に並んで位置する、
ことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記第１基板搬送部の前記スライダは、前記搬送方向側の後端から前記第２基板搬送部側に突出する突出部を有し、
前記第２基板搬送部の前記スライダは、前記搬送方向側の前端から前記第１基板搬送部側に突出する突出部を有する、
ことを特徴とする請求項２記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部の前記スライダは、それぞれ平面視Ｌ字状を呈することを特徴とする請求項３記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記第１基板搬送部の前記スライダは、前記搬送方向側の前端に前記第２基板搬送部の前記スライダの前記凸部と対向する凹部を有し、
前記第２基板搬送部の前記スライダは、前記搬送方向側の後端に前記第１基板搬送部の前記スライダの前記凸部と対向する凹部を有する、
ことを特徴とする請求項３記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部は、前記基板を保持する基板保持部を有し、前記第１基板搬送部と前記第２基板搬送部とによる前記基板の受け渡し位置において、前記第１基板搬送部の基板保持部により前記基板を保持した状態で前記第２基板搬送部の基板保持部による前記基板の保持を開始し、前記第２基板搬送部の基板保持部により前記基板の保持を開始した後、前記第１基板搬送部の基板保持部による前記基板の保持を解除することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記浮上ステージは、前記基板を下方から支持して静止させる基板静止部を有し、
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部は、前記基板を保持する基板保持部を有し、前記第１基板搬送部と前記第２基板搬送部とによる前記基板の受け渡し位置において、前記基板静止部により前記基板を支持して静止させた状態で前記第１基板搬送部の基板保持部による前記基板の保持を解除し、前記第１基板搬送部の基板保持部により前記基板の保持を解除した後、前記第２基板搬送部の基板保持部による前記基板の保持を開始する、
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部は、前記基板保持部を上下方向に移動させることにより、該基板保持部を、前記基板を保持する位置とそこから退避した位置とに移動させる上下方向移動手段を有することを特徴とする請求項６又は請求項７記載の基板搬送装置。
【請求項９】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部の少なくとも一方は、前記基板保持部を前記ガイドレールの幅方向に移動させる幅方向移動手段を有することを特徴とする請求項６から請求項８のいずれか１項記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部の少なくとも一方は、前記基板保持部を支持し前記搬送方向に交差する方向に延びるアーム部を有することを特徴とする請求項６から請求項９のいずれか１項記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部は、複数の前記基板保持部を有し、
前記第１基板搬送部の複数の基板保持部の少なくとも１つは、前記第１基板搬送部と前記第２基板搬送部とによる前記基板の受け渡し位置において、前記第２基板搬送部の複数の基板保持部の間で前記基板を保持する、
ことを特徴とする請求項１０記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
前記基板を処理する基板処理部を更に備え、
前記第２基板搬送部は、前記基板処理部により処理された基板を前記第１基板搬送部から受け取る、
ことを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項記載の基板搬送装置。
【請求項１３】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部は、共通の前記ガイドレールに沿って移動することを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項記載の基板搬送装置。
【請求項１４】
前記ガイドレールは、複数のガイドレールを一直線状に並べてなり、
前記第１基板搬送部と前記第２基板搬送部とは、互いに異なる前記ガイドレールに沿って移動し、
前記第２基板搬送部は、前記複数のガイドレール間の接続位置において前記第１基板搬送部から前記基板を受け取る、
ことを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項記載の基板搬送装置。
【請求項１５】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部のうち一方の基板搬送部の前記搬送方向の端部に位置する１又は２以上の基板保持部は、前記第１基板搬送部と前記第２基板搬送部とによる前記基板の受け渡し位置において、他方の基板搬送部の前記搬送方向の端部に位置する基板保持部とそれに隣接する基板保持部との間に位置し、
前記他方の基板搬送部の前記端部に位置する基板保持部の前記搬送方向における幅は、前記一方の基板搬送部の前記端部に位置する１又は２以上の基板保持部の前記搬送方向における幅よりも狭い、
ことを特徴とする請求項１０又は請求項１１記載の基板搬送装置。
【請求項１６】
前記他方の基板搬送部の前記端部に位置する基板保持部は、前記基板の前記搬送方向における端部を保持することを特徴とする請求項１５記載の基板搬送装置。
【請求項１７】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部の少なくとも一方は、前記基板を吸着により保持する複数の吸着保持部と、前記基板を非吸着で保持する非吸着保持部とを有し、
前記非吸着保持部は、前記複数の吸着保持部の間に位置する、
ことを特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか１項記載の基板搬送装置。
【請求項１８】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部の少なくとも一方は、複数の前記吸着保持部を支持する複数の支持部と、複数の前記非吸着保持部を支持する支持部とを有し、
前記複数の非吸着保持部を支持する支持部は、前記複数の吸着保持部を支持する複数の支持部の間に位置する、
ことを特徴とする請求項１７記載の基板搬送装置。
【請求項１９】
前記複数の吸着保持部を支持する複数の支持部は、前記第１基板搬送部と前記第２基板搬送部とによる前記基板の受け渡し位置において前記基板の搬送方向における前端に位置する支持部と後端に位置する支持部とを含むことを特徴とする請求項１８記載の基板搬送装置。
【請求項２０】
浮上ステージにより浮上させた基板を、該基板の搬送方向に一直線状に延び前記浮上ステージの片側又は前記浮上ステージ内に配置されたガイドレールに沿って移動する第１基板搬送部により、前記搬送方向の下流側に搬送し、
前記ガイドレールに沿って前記第１基板搬送部と独立して移動可能な第２基板搬送部に、前記第１基板搬送部から前記基板を受け渡し、
該受け渡した基板を前記第２基板搬送部により前記搬送方向の下流側に搬送し、
前記基板を受け渡す工程では、前記第１基板搬送部の少なくとも一部と前記第２基板搬送部の少なくとも一部とは、前記浮上ステージの片側又は前記浮上ステージ内で、互いに前記ガイドレールの幅方向に並んで位置する、
ことを特徴とする基板搬送方法。
【請求項２１】
前記第１基板搬送部により前記基板を保持した状態で前記第２基板搬送部による前記基板の保持を開始し、前記第２基板搬送部により前記基板の保持を開始した後、前記第１基板搬送部による前記基板の保持を解除することにより、前記第１基板搬送部から前記第２基板搬送部に前記基板を受け渡すことを特徴とする請求項２０記載の基板搬送方法。
【請求項２２】
前記第１基板搬送部及び前記第２基板搬送部は、前記ガイドレールに沿って移動するスライダを有し、
前記基板を受け渡す工程では、前記第１基板搬送部のスライダの少なくとも一部と前記第２基板搬送部のスライダの少なくとも一部とは、前記浮上ステージの片側又は前記浮上ステージ内で、互いに前記ガイドレールの幅方向に並んで位置する、
ことを特徴とする請求項２０又は請求項２１記載の基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）などの基板を搬送する基板搬送装置及び基板搬送方法に関し、更に詳しくは、複数の基板搬送部の間で基板を受け渡しながら搬送する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フラットパネルディスプレイなどの基板の製造及び検査等の工程において、下方からエアを吹き付けて基板を浮上させ、この非接触状態の基板を保持して搬送する手法が採られている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００３】
特許文献１記載の基板搬送装置は、浮上ステージを挟んで位置する一対のガイドレールが基板搬送方向（搬入側から搬送側）に３組並べて配置されており、基板の先端を保持する搬送端部（基板保持部）が各ガイドレール上で移動する構成となっている。
【０００４】
そして、上記特許文献１記載の基板搬送装置では、上流側（搬入側）の一対の搬送端部が基板を受け渡し位置まで搬入すると、この受け渡し位置に待機していた下流側（搬出側）の一対の搬送端部が基板の下方に移動して基板を裏面から吸着することで、基板をガイドレール間で受け渡しながら搬送している。
【０００５】
特許文献２記載の基板処理装置は、浮上ステージの片側に第１のガイドレールが、残る片側に第２のガイドレールが、それぞれ基板搬送方向に平行に配置されている。また、第１のガイドレールには第１の基板搬送部が、第２のガイドレールには第２の基板搬送部が、それぞれ移動可能に設けられている。
【０００６】
そして、上記特許文献２記載の基板処理装置は、搬入位置から塗布開始位置までの第１の区間では第１の基板搬送部により基板の片側のみを保持し、塗布開始位置から塗布終了位置までの第２の区間では第１及び第２の基板搬送部により基板の両側を保持し、塗布終了位置から搬出位置までの第３の区間では第２の基板搬送部により基板の片側のみを保持して、基板を上流側から下流側に搬送している。
【０００７】
特許文献３記載の基板搬送装置は、浮上ステージの一方の側縁に沿ってガイドレールが配置され、このガイドレールには単一の基板搬送部が基板の搬入側から搬出側へ移動可能に設けられており、基板の片側を吸着保持して、基板を上流側（搬入側）から下流側（搬出側）に搬送している。
【特許文献１】国際公開第０３／０８６９１７号パンフレット
【特許文献２】特開平２００６−２３７４８２号公報
【特許文献３】特開２００７−１１２６２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１記載の基板搬送装置のように基板の先端両側を吸着保持して搬送する場合、基板をその先端の狭い領域で吸着保持しなければならないため、基板の搬入側（以下「上流側」という。）から搬出側（以下「下流側」という。）に基板を受け渡す際に、吸着保持力が小さいために基板に対するアライメントがずれてしまう問題が生ずる。このアライメントのずれは、搬送距離が長くなるほど、顕著に発生してしまう。
【０００９】
また、上記特許文献１記載の基板搬送装置及び上記特許文献２記載の基板処理装置のように浮上ステージの両側にガイドレールを配置し、基板の両側縁部を吸着保持して搬送する場合、両側のガイドレールの平行度が高精度に出されていないと、ガイドレールの平行度の狂いに起因して搬送時に基板が変形してしまう。このように基板が変形してしまうと、基板搬送中に基板検査等を行う場合、検査精度に悪影響を及ぼしてしまう。
【００１０】
また、浮上ステージの両側にガイドレールを配置すると、装置全体が大きくなり、設置面積を小さくすることができないという問題も生じる。
更には、上記特許文献３記載の基板搬送装置のように浮上ステージの片側に沿ってガイドレールを設け、単一の基板搬送部により基板の一側縁部を保持して搬送すると、基板搬送部は、一枚の基板を上流側から下流側まで搬送し終わった後に再度新たな基板を搬送する場合に搬入位置まで戻る必要がある。この場合、現在搬送している基板を搬出し終えるまで、新たな基板を受け入れてアライメントなどの前処理を施すことができなくなり、搬送及び検査におけるタクトタイムを短縮することができないという問題が生じてしまう。
【００１１】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、基板を効率的に短時間で高精度に搬送及び検査を行うことができると共に基板搬送装置の設置面積を小さくすることができる基板搬送装置及び基板搬送方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明の基板搬送装置は、基板を浮上させる浮上ステージと、上記基板の搬送方向に一直線状に延びるガイドレールと、このガイドレールに沿って互いに独立して移動可能な複数の基板搬送部とを備え、上記複数の基板搬送部は、上記搬送方向の上流側に搬送された上記基板を受け取ると共にこの受け取った基板を上記搬送方向の下流側に搬送する第１基板搬送部と、この第１基板搬送部から上記基板を受け取ると共にこの受け取った基板を上記搬送方向の下流側に搬送する第２基板搬送部とを含む構成とする。
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明の基板搬送方法は、浮上させた基板を、この基板の搬送方向に一直線状に延びるガイドレールに沿って移動する第１基板搬送部により、上記搬送方向の下流側に搬送し、上記ガイドレールに沿って上記第１基板搬送部と独立して移動可能な第２基板搬送部に、上記第１基板搬送部から上記基板を受け渡し、この受け渡した基板を上記第２基板搬送部により上記搬送方向の下流側に搬送するようにする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明では、一直線状に延びるガイドレール上を複数の基板搬送部が移動するため、ガイドレールの平行度の狂いに起因する基板の変形を防ぐことができると共に、浮上ステージの片側のみにガイドレールを配置するため、基板搬送装置全体を小さくすることができる。
【００１５】
また、複数の基板搬送部は互いに独立して移動するため、基板を他の基板搬送部に受け渡した基板搬送部は他の基板搬送部が基板を搬送し終える前でも新たな基板を受け取る位置に移動させることができ、搬送及び検査におけるタクトタイムを短縮することもできる。
【００１６】
よって、本発明によれば、基板を効率的に短時間で高精度に搬送及び検査を行うことができると共に基板搬送装置の設置面積を小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
＜一実施の形態＞
図１は、本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置１の概略構成を示す斜視図であり、図２は、図１のＡ部拡大図である。
【００１８】
図３は、上記基板搬送装置１の第１基板搬送部５を示す斜視図であり、図４は、図３のＢ部拡大図である。図５は、上記第１基板搬送部５を基板搬送方向から見た概略構成図である。
【００１９】
図６は、上記基板搬送装置１の第２基板搬送部６を示す斜視図であり、図７は、図６のＣ部拡大図である。
図１において、基板搬送装置１は、基板としてＦＰＤを製造するガラス基板２を浮上させる浮上ステージ３、ガラス基板２の搬送方向（矢印Ｄ）に一直線状に延びる２本１組のガイドレール４、このガイドレール４に沿って互いに独立して移動可能な複数の基板搬送部としての第１基板搬送部５（図３〜図５参照）及び第２基板搬送部６（図６及び図７参照）などを備えている。なお、ガイドレール４は、２本１組の一体型のガイドレールであり、調整を行う必要のないものである。このガイドレール４は、１本のリニアガイドレールで構成することも可能である。
【００２０】
浮上ステージ３は、ガラス基板２を例えばエアにより浮上させる複数の浮上プレート３ａを敷設してなる。後述する基板搬入領域Ｐ１（上流側）及び基板搬出領域Ｐ６（下流側）に位置する浮上プレート３ａは、その長手方向が基板搬送方向Ｄに平行に敷設されている。また、これらの浮上プレート３ａは、浮上ステージ３の幅方向に、浮上プレート３ａ毎に所定の間隙Ｇをもって敷設されている。
【００２１】
そして、検査領域（処理領域）における浮上プレート３ａは、その長手方向が基板搬送方向Ｄに直交し、且つ、上述のような間隙を隔てることなく敷設されている。
ガイドレール４は、浮上ステージ３の片側のみに設けられた搬送軸フレーム７上に配置されている。
【００２２】
第１基板搬送部５は、搬送方向（矢印Ｄ）の上流側に搬送されてきたガラス基板２を図示しないアライメント機構により基準位置に位置決めされた状態で受け取ると共に、この受け取ったガラス基板２を搬送方向（矢印Ｄ）の下流側に搬送している。また、第２基板搬送部６は、第１基板搬送部５から位置決めされたガラス基板２を受け取ると共に、この受け取ったガラス基板２を搬送方向（矢印Ｄ）の下流側に搬送している。
【００２３】
第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６のそれぞれは、基板保持部５ａ，６ａ、支持部５ｂ，６ｂ、スライダ５ｃ，６ｃ、上下方向移動手段としての上下機構５ｄ，６ｄ、及び、連結部５ｅ，６ｅを有している。
【００２４】
基板保持部５ａ，６ａは、図示しないエアチューブを介した真空吸着によりガラス基板２の裏面を吸着保持している。なお、基板保持部５ａ，６ａによってガラス基板２を保持するには、ガラス基板２の裏面の真空吸着に限らず、例えば、ガラス基板２を挟み込んで保持しても、或いは、ガラス基板２の表面を真空吸着してもよい。
【００２５】
図３及び図６に示すように、支持部５ｂ，６ｂは、矩形のガラス基板２の一辺に沿う前端、中央及び後端の３箇所に位置することができるように、互いに間隔をもって各基板搬送部５，６に３つ配置されている。詳しくは後述するが、各支持部５ｂ，６ｂは、基板保持部５ａ，６ａを８個支持している。
【００２６】
第１基板搬送部５の支持部５ｂは、図５に示すように、鉛直方向に延びる鉛直部分５ｂ−１と水平方向に延びる水平部分５ｂ−２とに折り曲げられた断面Ｌ字形状を呈する。水平部分５ｂ−２は、鉛直部分５ｂ−１の下端から浮上ステージ３と離れる方向に延びている。鉛直部分５ｂ−１の側面の上部には、８個の基板保持部５ａが固定されている。これら８個の基板保持部５ａは、図３及び図４に示すように、隣接する２個（１組）の基板保持部５ａが４箇所に間隔をもって配置されている。
【００２７】
第２基板搬送部６の各支持部６ｂは、図６及び図７に示すように、各基板保持部６ａを固定する８個のアーム部６ｆ、及び、鉛直方向に延びる鉛直部分６ｇ−１と水平方向に延びる水平部分６ｇ−２とに折り曲げられた断面Ｌ字形状を呈する支持プレート６ｇから構成されている。
【００２８】
なお、支持プレート６ｇの水平部分６ｇ−２は、第１基板搬送部５の支持部５ｂとは反対に、鉛直部分６ｇ−１の下端から浮上プレート３側に延びている。
アーム部６ｆは、搬送方向（矢印Ｄ）に直交する水平方向に延びており、先端側に基板保持部６ａが固定さ、基端側が支持プレート６ｇの水平部分６ｇ−２上面に固定されている。詳しくは後述するが、アーム部６ｆは、搬送方向（矢印Ｄ）に交差する方向に延びていればよく、搬送方向（矢印Ｄ）に直交する水平方向に延びていなくともよい。
【００２９】
上記８個のアーム部６ｆに支持される８個の基板保持部６ａは、第１基板搬送部５の基板保持部５ａと同様に、隣接する２個（１組）の基板保持部６ａが４箇所に間隔をもって配置されている。
【００３０】
ここで、第１基板搬送部５の各支持部５ｂに配置された４組（８個）の基板保持部５ａと、第２基板搬送部６の各支持部６ｂ（アーム部６ｆ）に配置された４組（８個）の基板保持部６ａとは、ガラス基板２の受け渡し位置において１組ずつ交互に基板搬送方向に平行に一直線に並ぶように配置されている。
【００３１】
第１基板搬送部５のスライダ５ｃ及び第２基板搬送部６のスライダ６ｃは、それぞれ平面視略Ｌ字状を呈し、２本１組のガイドレール４の上方に、独立して移動可能に配置されている。各スライダ５ｃ、６ｃは、細長い矩形状の板を２分割にカットした形状、つまり、第１基板搬送部５のスライダ５ｃは、搬送方向（矢印Ｄ）側の後端から第２基板搬送部６側に突出する突出部を有し、第２基板搬送部６のスライダ６ｃは、搬送方向（矢印Ｄ）側の前端から第１基板搬送部５側に突出する突出部を有している。
【００３２】
そして、第１基板搬送部５のスライダ５ｃと第２基板搬送部６のスライダ６ｃとは、ガラス基板２の受け渡し位置において、上記突出部を除く部分（少なくとも一部）が互いにガイドレール４の幅方向に並んで位置している。このように、第１基板搬送部５と第２基板搬送部６とは、ガラス基板２の受け渡し位置において、一部（少なくとも一部）が互いにガイドレール４の幅方向に並んで対峙する。
【００３３】
また、スライダ５ｃ，６ｃは、リニアモータ駆動により、ガイドレール４に沿って移動する。なお、スライダ５ｃ，６ｃの駆動方法としては、リニアモータ駆動に限らず、例えば、別の駆動源であるモータ等を利用して、ベルト駆動、ボールネジ駆動などを用いることもできる。
【００３４】
上下機構５ｄ，６ｄは、支持部５ｂ，６ｂを介して基板保持部５ａ，６ａを上下方向に移動させることにより、基板保持部５ａ，６ａを、浮上したガラス基板２を保持する位置とそこから下方に退避した位置とに移動させることが可能となっている。
【００３５】
なお、第１基板搬送部５の上下機構５ｄは図４に示すようにスライダ５ｃに設けられ、第２基板搬送部６の上下機構６ｄは図７に示すように後述する水平機構６ｊの可動プレート６ｋに設けられている。
【００３６】
第１基板搬送部５の連結部５ｅは、図４に示すように、支持部５ｂに固定された支持部側連結部５ｈと、スライダ５ｃに固定されたスライダ側連結部５ｉとからなり、上下機構５ｄを挟んで１対配置されている。支持部側連結部５ｈは、上下機構５ｄによる支持部５ｂの上下動に合わせて摺動可能にスライダ側連結部５ｉに接続されている。
【００３７】
第２基板搬送部６の連結部６ｅは、図７に示すように、支持プレート６ｇに固定された支持プレート側連結部６ｈと、後述する可動プレート６ｋに固定された可動プレート側連結部６ｉとからなり、上下機構６ｄを挟んで１対配置されている。支持プレート側連結部６ｈは、上下機構６ｄによる支持部６ｂの上下動に合わせて摺動可能に可動プレート側連結部６ｉに接続されている。
【００３８】
第２基板搬送部６には、各支持部６ｂをガラス基板２側に移動させる幅方向移動手段としての水平機構６ｊを備えている。この水平機構６ｊは、可動プレート６ｋ、２本のレール６ｌ、固定プレート６ｍ及び駆動部６ｎから構成されている。
【００３９】
可動プレート６ｋには、上述のように、上下機構６ｄ及び連結部６ｅが固定されている。可動プレート６ｋは、駆動部６ｎのボールネジ駆動によって、固定プレート６ｍ上に固定される２本のレール６ｌ上をスライドすることが可能となっている。
【００４０】
駆動部６ｎは、固定プレート６ｍ上に配置され、可動プレート６ｋを介して基板保持部６ａを水平方向に移動させることによって、基板保持部６ａを、ガラス基板２の下方の吸着位置とそこから基板保持部５ａと干渉しないガラス基板２の外側に退避した位置（図９参照）とに移動させる。
【００４１】
なお、本実施の形態では、水平機構（幅方向移動手段）６ｊにより基板保持部６ａを搬送方向（矢印Ｄ）に対して直交する方向に移動させるが、搬送方向（矢印Ｄ）に対して直交する方向にずらすことができれば、その他の機構でも構わない。
【００４２】
また、本実施の形態では、水平機構６ｊを第２基板搬送部６のみに設ける例について説明しているが、第１基板搬送部５のみに設けても、或いは、第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６の両方に設けてもよい。
【００４３】
図１に示すように、基板搬送装置１は、浮上ステージ３及び搬送軸フレーム７を跨ぐように配置されたガントリ８、並びに、このガントリ８に配置された基板処理部を有している。基板処理部としては、例えばＦＰＤの製造工程で製造されたガラス基板２の検査を行うための撮像部９，１０、ミラー１１，１２及び図示しない照明部を備えた基板検査装置や、カラーフィルタなどの基板検査装置がある。また、基板処理部には、基板検査装置以外に、ＴＦＴガラス基板を製造するレジスト塗布装置や露光装置、現像装置、カラーフィルタ基板を製造する各種製造装置であっても良い。
【００４４】
ガントリ８は、浮上ステージ３及び搬送軸フレーム７を挟んで対向する一対のガントリ支持部１３（一側のみ図示）に支持されている。
以下、ガラス基板２の搬送方法について説明する。
【００４５】
図８は、上記被検査基板２の受け渡しを説明するための基板搬送装置１を示す概略平面図である。なお、図８においては、説明しやすくするため、第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６をそれぞれ移動する２つの位置に図示しているが、本実施の形態では第１基板搬送部５と第２基板搬送部６とが各１つずつ配置されている。
【００４６】
図９は、上記第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６の要部拡大図であり、第２基板搬送部６の基板保持部６ａがガラス基板２を保持する位置から退避している点を除いては、図１のＡ部（図２）と同一である。
【００４７】
まず、図８に示す基板搬送装置１の基板搬入領域Ｐ１に、他の装置からガラス基板２が搬入される。基板搬入領域Ｐ１では、ガラス基板２が図示しない整列手段により、基準位置に位置決めされる。
【００４８】
次に、基板搬入領域Ｐ１の位置に待機していた第１基板搬送部５（基板保持部５ａ）により、ガラス基板２を保持する。具体的には、第１基板搬送部５の上下機構５ｄにより、下降させておいた基板保持部５ａを、ガラス基板２を保持する位置まで上昇させる。この後、図示しないエアチューブを介した真空吸着によって、ガラス基板２の保持を開始する。
【００４９】
そして、第１基板搬送部５（基板保持部５ａ）によりガラス基板２を保持しながら検査開始領域Ｐ２まで搬送し、第１検査位置Ｐ３及び第２検査位置Ｐ４を通過させて上述の撮像部９，１０等によりガラス基板２を撮像する。
【００５０】
第２検査位置Ｐ４を通過した検査終了領域Ｐ５までガラス基板２を搬送した後には、第１基板搬送部５の基板保持部５ａによりガラス基板２を保持した状態で、検査終了領域Ｐ５に待機していた第２基板搬送部６の基板保持部６ａによりガラス基板２を保持する。そして、第２基板搬送部６の基板保持部６ａがガラス基板２の保持し受け渡し完了した後、第１基板搬送部５の基板搬送部５ａによる保持を解除する。
【００５１】
具体的には、図９に示すように、第２基板搬送部６の基板保持部６ａは、検査終了領域Ｐ４における待機時には、第１基板搬送部５によるガラス基板２の搬送を妨げない位置（ガラス基板２の下方の位置から退避した位置）にある。そして、第１基板搬送部５が検査終了領域Ｐ５（ガラス基板２の受け渡し位置）まで到着すると、図２に示すように、水平機構６ｊにより、第２基板搬送部６の基板保持部６ａをガラス基板２の下方に移動させる。この後、上下機構６ｄにより、基板保持部６ａを、ガラス基板２を保持する位置まで上昇させ、真空吸着を開始する。
【００５２】
このようにして第２基板搬送部６の基板保持部６ａがガラス基板２の保持を完了すると、第１基板搬送部５の基板保持部５ａの真空吸着を解除し、上下機構５ｄにより、第１基板搬送部５の基板保持部５ａを、ガラス基板２を保持する位置から退避（下降）させる。
【００５３】
なお、ガラス基板２を下方から支持して静止させる基板静止部を浮上プレート３に配置し、ガラス基板２の受け渡し位置において、上記基板静止部を介して第１基板搬送部５（基板保持部５ａ）から第２基板搬送部６（基板保持部６ａ）にガラス基板２を受け渡すようにしてもよい。
【００５４】
次に、第２基板搬送部６によりガラス基板２を基板搬出領域Ｐ６まで搬送し、他の装置等へガラス基板２を搬出する。第１基板搬送部５は、検査終了領域Ｐ５でガラス基板２の保持を解除した後（即ち、第２基板搬送部６にガラス基板２を受け渡した後）、新たなガラス基板２を受け取るべく、基板搬入領域位置Ｐ１に移動する。同様に、基板搬出領域Ｐ６においてガラス基板２を搬送し終わった第２基板搬送部６も検査終了領域Ｐ５に移動させて待機させる。
【００５５】
なお、検査態様によっては、ガラス基板２を第１検査位置Ｐ３及び第２検査位置Ｐ４の一方又は両方に往復移動させて複数回通過させることも考えられる。また、第２基板搬送部６を検査終了領域Ｐ５で待機させるのではなく、図１に示すように検査開始領域Ｐ２において待機させて第２基板搬送部６によりガラス基板２を搬送しながら検査処理することも考えられる。
【００５６】
更には、第１基板搬送部５又は第２基板搬送部のいずれか一方が吸着エラーを起こした場合、第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６を一体にした状態でガイドレール４上を移動させてガラス基板２を基板搬入領域Ｐ１、検査領域（処理領域）Ｐ２〜Ｐ５及び基板搬出領域Ｐ６の全領域を搬送させるようにしても良い。また、第１基板搬送部５が吸着エラーを起こした場合、この第１基板搬送部５を第２基板搬送部６の移動の邪魔にならない基板搬入領域Ｐ１に待避させるとともに、基板保持部５ａを基板保持部６ａと干渉しないように下方に待避させ、この状態で第２基板搬送部６をガイドレール４上を移動させるようにしても良い。同様に、第２基板搬送部６が吸着エラーを起こした場合、この第２基板搬送部６を第１基板搬送部５の移動の邪魔にならない基板搬出領域Ｐ６に待避させるとともに、基板保持部６ａを基板保持部５ａと干渉しないように下方に待避させ、この状態で第１基板搬送部５をガイドレール４上を移動させるようにしても良い。
【００５７】
また、本実施の形態では、基板搬送部を第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６の２つとして説明したが、３つ以上の基板搬送部を用いてガラス基板２を受け渡すようにしてもよい。
【００５８】
また、本実施の形態では、基板搬送装置１をガラス基板２の撮像を行う検査装置に用いる例を説明したが、基板搬送装置１は顕微鏡などの指定された検査位置を拡大目視してガラス基板２の欠陥検査を行うミクロ検査もしくはレビュー検査や、検査装置で検出された欠陥を修正する欠陥修正装置又はＦＰＤを製造するための各種基板を製造する基板製造装置の基板搬送に用いることも可能である。
【００５９】
また、処理対象となる基板は、矩形のガラス基板の他に、ＦＰＤを構成するカラーフィルタなどの他の基板や樹脂性の透明基板であっても良い。
以上説明した本実施の形態では、一直線状に延びるガイドレール４上を複数の基板搬送部５，６が移動するため、ガイドレールの平行度の狂いに起因する被検査基板２の変形を防ぐことができると共に、浮上ステージ３の片側のみにガイドレール４を配置するため基板搬送装置１全体を小さくすることができる。
【００６０】
また、第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６は互いに独立して移動するため、処理対象となる基板２を第２基板搬送部６に受け渡した第１基板搬送部５は、第２基板搬送部６が搬送し終える前に新たな基板２を受け取る位置に移動させることができ、搬送及び処理（検査）におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００６１】
よって、本実施の形態によれば、処理対象となる基板２を効率的に短時間で高精度に搬送及び処理（検査）を行うことができると共に基板搬送装置１の設置面積を小さくすることができる。
【００６２】
また、本実施の形態では、第１基板搬送部５及び前記第２基板搬送部６は、基板２を保持する基板保持部５ａ，６ａを有し、基板２の受け渡し位置において、第１基板搬送部５の基板保持部５ａにより基板２を保持した状態で第２基板搬送部６の基板保持部６ａによる基板２の保持を開始し、第２基板搬送部６の基板保持部６ａにより基板２の保持を完了した後、第１基板搬送部５の基板保持部５ａによる基板２の保持を解除するようにしている。
【００６３】
そのため、位置決めされた基板２を第１基板搬送部５で吸着保持した状態で第２基板搬送部６に受け渡すことができるため、基板２の位置がずれることなく基板２を受け渡すことが可能になり、高い位置決め精度で基板２を受け渡しながら搬送することができる。
【００６４】
なお、被検査基板２を下方から支持して静止させる基板静止部を浮上ステージ３に配置し、上記基板静止部を介して第１基板搬送部５から第２基板搬送部６に被検査基板２を受け渡すことでも、安定して被検査基板２を保持することができる。
【００６５】
また、本実施の形態では、第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６は、基板保持部５ａ，６ａを上下方向に移動させることにより、この基板保持部５ａ，６ａを、被検査基板２を保持する位置とそこから退避した位置とに移動させる上下機構（上下方向移動手段）５ｄ，６ｄを有している。
【００６６】
そのため、第１基板搬送部５と第２基板搬送部６との干渉を防ぐことができ、したがって、効率的に短時間で基板２の受け渡し及び搬送を行うことができる。
また、本実施の形態では、第２基板搬送部６（第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６の少なくとも一方）は、基板保持部６ａをガイドレール４の幅方向に移動させる水平機構（幅方向移動手段）６ｊを有している。そのため、第１基板搬送部５と第２基板搬送部６との干渉を有効に防ぐことができると共に、第１基板搬送部５と第２基板搬送部６とを、基板２の受け渡し位置においてガイドレール４の幅方向に並ばせて、それぞれが基板２を搬送方向（矢印Ｄ）の広い範囲に亘って保持するようにすることができる。したがって、より高精度に基板２を搬送することができる。
【００６７】
また、本実施の形態では、第２基板搬送部６（第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６の少なくとも一方）は、基板保持部６ａを支持し搬送方向（矢印Ｄ）に交差する方向に延びるアーム部６ｆを有している。
【００６８】
また、本実施の形態では、第１基板搬送部５と第２基板搬送部６とは、基板２の受け渡し位置において、少なくとも一部が互いにガイドレール４の幅方向に並んで位置している。
【００６９】
また、本実施の形態では、第１基板搬送部５の各支持部５ｂに配置された４組（８個）の基板保持部５ａと、第２基板搬送部６の各支持部６ｂ（アーム部６ｆ）に配置された４組（８個）の基板保持部６ａとは、基板２の受け渡し位置において１組ずつ交互に並ぶように配置されている。
【００７０】
また、本実施の形態では、第１基板搬送部５のスライダ５ｃと第２基板搬送部６のスライダ６ｃとは、基板２の受け渡し位置において、他方のガイドレール側に突出する突出部を除く部分（少なくとも一部）がガイドレール４の幅方向に並んで位置している。
【００７１】
これらにより、第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６のそれぞれが干渉することなく被検査基板２を搬送方向（矢印Ｄ）の広い範囲に亘って保持するようにすることができる。したがって、より高精度に基板２を搬送することができる。
【００７２】
また、本実施の形態では、第２基板搬送部６は、撮像部９，１０（基板処理部）により撮像（処理）された基板２を第１基板搬送部５から受け取っている。そのため、検査終了領域Ｐ５から基板搬出領域Ｐ６までの基板２の搬送時に、第１基板搬送部５を基板搬入領域Ｐ１に戻すことができ、より短時間で基板２を搬送することができる。
【００７３】
また、本実施の形態では、第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６は、共通のガイドレール４に沿って移動している。そのため、従来技術のように複数のガイドレールを用いたものに比べて基板２の位置ずれが生じるのを有効に防ぐことができ、高精度に基板２を搬送することができる。
【００７４】
なお、第１基板搬送部５及び第２基板搬送部６がそれぞれ１つずつ配置される２つ（複数）のガイドレールを一直線状に並べてガイドレール４を構成し、上記２つのガイドレール間の接続位置において第１基板搬送部５から第２基板搬送部６に被検査基板２を受け渡すようにすることでも、被検査基板２を短時間で高精度に搬送することができると共に基板搬送装置１のフットプリントを小さくすることができる、という上述の効果を得ることは可能である。
【００７５】
＜一実施の形態の第１変形例＞
図１３は、上記一実施の形態の変形例に係る、図１のＡ部拡大図である。
第１基板搬送部５´の基板搬送方向（矢印Ｄ）の端部としての後端に位置する２つの基板保持部５ａ−１，５ａ−２は、図１３に示すガラス基板２の受け渡し位置において、第２基板搬送部６´の基板搬送方向（矢印Ｄ）の後端に位置する基板保持部としての端部保持部６ｐと基板保持部６ａ−１との間に位置する。
【００７６】
第２基板搬送部６´の端部保持部６ｐの基板搬送方向（矢印Ｄ）における幅Ｌ１は、第１基板搬送部５´の基板搬送方向（矢印Ｄ）の後端に位置する２つの基板保持部５ａ−１，５ａ−２の基板搬送方向（矢印Ｄ）における幅Ｌ２よりも狭くなっている。更には、端部保持部６ｐの幅Ｌ１は、２つの基板保持部５ａ−１，５ａ−２の幅Ｌ２の半分よりも狭くすることが好ましい。
【００７７】
支持部６ｂ´の支持プレート６ｇ´は、上記一実施の形態よりも基板搬送方向（矢印Ｄ）の後方に延出させてあり、端部保持部６ｐは、支持プレート６ｇ´の後端に設けられて、ガラス基板２の基板搬送方向（矢印Ｄ）における後端の隅部を保持する。
【００７８】
また、第１基板搬送部５の基板保持部５ａ及び第２基板搬送部６の基板保持部６ａが吸着によりガラス基板２を保持するのに対し、端部保持部６ｐは、ガラス基板２の基板搬送方向（矢印Ｄ）における後端の隅部を非吸着で保持する。
【００７９】
なお、本変形例においても、第１基板搬送部５´の各支持部５ｂに配置された４組（８個）の基板保持部５ａと、第２基板搬送部６´の各支持部６ｂ´（アーム部６ｆ）に配置された４組（８個）の基板保持部６ａとは、ガラス基板２の受け渡し位置において１組ずつ交互に並ぶように配置されている。
【００８０】
また、上記一実施の形態では、ガラス基板２の上流側に位置する第２基板搬送部６の固定プレート６ｍが、その一部をスライダ６ｃに載った状態でスライダ６ｃに固定されている。これに対し、本変形例では、ガラス基板２の上流側に位置する第２基板搬送部６´の固定プレート６ｍは、スライダ６ｃ´を基板搬送方向（矢印Ｄ）後方に長くすることで、スライダ６ｃ´上に完全に載った状態でスライダ６ｃ´に固定されている。
【００８１】
なお、ガラス基板２の下流側に位置する基板搬送部６´も同様の構成となっているため、ここでは説明を省略する。
以上説明した本変形例では、第１基板搬送部５´（第１基板搬送部５´及び第２基板搬送部６´のうち一方の基板搬送部）の基板搬送方向（矢印Ｄ）におけるガラス基板２の後端（または先端）に相当する位置に配置された基板保持部５ａ−１，５ａ−２は、ガラス基板２の受け渡し位置において、第２基板搬送部６´（他方の基板搬送部）の基板搬送方向（矢印Ｄ）の後端（または先端）に位置する端部保持部６ｐ（基板保持部）と基板保持部６ａ−１との間に位置する。また、端部保持部６ｐの基板搬送方向（矢印Ｄ）における幅Ｌ１は、第１基板搬送部５´の基板搬送方向（矢印Ｄ）の端部（先端または後端）に位置する上記２つの基板保持部５ａ−１，５ａ−２の基板搬送方向（矢印Ｄ）における幅Ｌ２よりも狭い。また、本変形例では、端部保持部６ｐは、他方の基板搬送部６´よりも外側に位置するガラス基板２の先端及び後端の隅部分を保持する。
【００８２】
ここで、本変形例の端部保持部６ｐを設けない場合には、第２基板搬送部６の後端（または先端）に位置する基板保持部６ａ−１からガラス基板２が飛び出し、第１基板搬送部５´の基板搬送方向（矢印Ｄ）の後端に位置する上記２つの基板保持部５ａ−１，５ａ−２の幅Ｌ２の長さ分（厳密には、基板保持部５ａ，６ａ間の間隙や、ガラス基板２の後端と保持部５ａ−１との間の長さも含まれる。）、ガラス基板２の隅部分を保持できなくなり、ガラス基板２の後端の反りや撓みを抑えることができなくなる。
【００８３】
それに対し、本変形例では、上記２つの基板保持部５ａ−１，５ａ−２の幅Ｌ２よりも短い幅Ｌ１の端部保持部６ｐを配置したことで、基板保持部５ａ，６ａにより保持できなくなるガラス基板２の隅部分を確実に支えることが可能になり、ガラス基板２の隅部分の反りや撓みを抑えることができる。更には、ガラス基板２の一辺の両端部をそれぞれの基板搬送部５´，６´で吸着保持することで、ガラス基板２の位置ずれが生じるのを有効に防ぐことができ、したがって、より一層高精度にガラス基板２を搬送することができる。
【００８４】
なお、本変形例では、ガラス基板２、第１基板搬送部５´及び第２基板搬送部６´の端部を後端として説明したが、下流側に配置される第１基板搬送部においては前端として読みかえる。その場合には、ガラス基板２の前端の反りや撓みを下流側に配置された第２基板搬送部６´の端部保持部６ｐで矯正することができる。
【００８５】
また、本変形例では、第１基板搬送部及び第２基板搬送部の一方の基板搬送部として第１基板搬送部５´を、他方の基板搬送部として第２基板搬送部６´を例に説明したが、その逆に、一方の基板搬送部として第２基板搬送部を、他方の基板搬送部として第１基板搬送部を用いることも可能である。
【００８６】
また、本変形例では、端部保持部６ｐが被検査基板２を非吸着で保持するため、端部保持部６ｐに吸着機構を省略することができるが、端部保持部６ｐが吸着により被検査基板２を保持するようにしてもよい。さらに、端部保持部６ｐは、ガラス基板の隅部分の下方の撓みを矯正できればピンや板状に形成したものでも良い。
【００８７】
＜一実施の形態の第２変形例＞
図１４は、上記一実施の形態の第２変形例に係る基板保持部１５ａ，１６ａを示す概略平面図である。
【００８８】
本変形例では、第１基板搬送部１５´の各支持部１５ｂに配置された基板保持部１５ａと、第２基板搬送部１６の各支持部１６ｂ（支持プレート１６ｇ）に固定されたアーム部１６ｆに配置された基板保持部１６ａとは、ガラス基板２の受け渡し位置において２個１組ずつ交互に並ぶのではなく、１個ずつ交互に並ぶように配置されている。また、本変形例の基板保持部１５ａ，１６ａは、平面視において、基板搬送方向（矢印Ｄ）に長い矩形状を呈する。本変形例のその他の構成は、上記第１変形例と概ね同様である。
【００８９】
ガラス基板２の上流側に位置する第１基板搬送部１５の基板搬送方向（矢印Ｄ）の後端に位置する１つの基板保持部１５ａ−１は、図１４に示すガラス基板２の受け渡し位置において、ガラス基板２の上流側に位置する第２基板搬送部１６の基板搬送方向（矢印Ｄ）の後端に位置する基板保持部としての端部保持部１６ｐと基板保持部１６ａ−１との間に位置する。
【００９０】
第２基板搬送部１６の端部保持部１６ｐの基板搬送方向（矢印Ｄ）における幅Ｌ１１は、第１基板搬送部１５の後端に位置する基板保持部１５ａ−１の基板搬送方向（矢印Ｄ）における幅Ｌ１２よりも小さくなっている。
【００９１】
更には、ガラス基板２の基板搬送方向（矢印Ｄ）の後端と第１基板搬送部１５の後端に位置する基板保持部１５ａ−１との間隔Ｌ１３は、第１基板搬送部１５の後端に位置する基板保持部１５ａ−１の幅Ｌ１２よりも狭くなっている。
【００９２】
ここで、第１基板搬送部１５の後端に位置する基板保持部１５ａ−１の幅Ｌ１２が例えば５０ｍｍ〜１５０ｍｍ程度である場合、端部保持部１６ｐの幅Ｌ１１は、例えば１０ｍｍ程度とし、ガラス基板２の後端と第１基板搬送部１５の後端に位置する基板保持部１５ａ−１との間隔Ｌ１３は、例えば２０ｍｍ〜３０ｍｍ程度とするとよいが、各幅Ｌ１１，Ｌ１２及び間隔Ｌ１３は、上記の値に限定されない。
【００９３】
以上説明した本変形例においても、上記第１変形例と同様に、第１基板搬送部１５の後端に位置する基板保持部１５ａ−１は、ガラス基板２の受け渡し位置において、第２基板搬送部１６の端部保持部１６ｐと基板保持部１６ａ−１との間に位置する。また、端部保持部１６ｐの基板搬送方向（矢印Ｄ）における幅Ｌ１１は、第１基板搬送部１５の後端に位置する基板保持部１５ａ−１の基板搬送方向（矢印Ｄ）における幅Ｌ１２よりも狭い。また、端部保持部１６ｐは、ガラス基板２の基板搬送方向（矢印Ｄ）における後端の隅部分を保持する。
【００９４】
そのため、本変形例によれば、上記第１変形例と同様に、ガラス基板２の隅部分の反りや撓みを矯正することができる。更には、ガラス基板２の一辺の両端部をそれぞれの基板搬送部１５，１６で吸着保持することで、被検査基板２の位置ずれが生じるのを有効に防ぐことができ、したがって、より一層高精度に被検査基板２を搬送することができる。
【００９５】
なお、本変形例では、ガラス基板２、第１基板搬送部１５及び第２基板搬送部１６の端部を後端として説明したが、下流側に配置される第１基板搬送部においては前端として読みかえる。その場合には、ガラス基板２の前端の反りや撓みを下流側に配置された第２基板搬送部１６の端部保持部１６ｐで矯正することができる。
【００９６】
＜一実施の形態の第３変形例＞
図１５は、上記一実施の形態の第３変形例に係る第１基板搬送部５´´を示す斜視図であり、図１６は、上記一実施の形態の第３変形例に係る第２基板搬送部６´´を示す斜視図である。
【００９７】
図１５に示す第１基板搬送部５´´の基板保持部５ａを支持する３つの支持部５ｂ、及び、図１６に示す第２基板搬送部６´´の基板保持部５ａを支持する３つの支持部６ｂは、上述の一実施の形態と同様に、ガラス基板２の基板搬送方向（矢印Ｄ）における前端、中央及び後端の３箇所に位置することができるように、互いに間隔をもって配置されている。
【００９８】
各基板搬送部５´´，６´´の３つの支持部のうち中央に位置する支持部５ｂ´´，６ｂ´´に支持される基板保持部５ａ´´，６ａ´´は、被検査基板２を非吸着で保持する非吸着保持部となっている。それに対し、ガラス基板２の基板搬送方向（矢印Ｄ）における上流側及び下流側に位置する支持部５ｂ，６ｂに支持される基板保持部５ａ，６ａは、ガラス基板２を吸着により保持する吸着保持部となっている。このように、非吸着保持部５ａ´´はガラス基板２の基板搬送方向（矢印Ｄ）における上流側及び下流側に位置する支持部５ｂの間に位置し、非吸着保持部６ａ´´はガラス基板２の基板搬送方向（矢印Ｄ）における上流側及び下流側に位置する支持部６ｂの間に位置する。
【００９９】
なお、吸着保持部５ａ，６ａを支持する２つの支持部５ｂ，５ｂ，６ｂ，６ｂは、受け渡し位置において必ずしも被検査基板２の基板搬送方向（矢印Ｄ）における前端及び後端に位置する必要はないが、前端及び後端に位置するように配置することで、ガラス基板２を安定して保持することができる。
【０１００】
以上説明した本変形例では、第１基板搬送部５´´及び第２基板搬送部６´´は、ガラス基板２を非吸着で保持する非吸着保持部５ａ´´，６ａ´´を有し、非吸着保持部５ａ´´，６ａ´´によりガラス基板２の一辺に沿う中央部分を支持する。このようにガラス基板２の中央部を支持する保持部を非吸着保持部５ａ´´，６ａ´´に換えることにより、上記一実施の形態及び変形例に比べて構造が複雑で高価な吸着保持部５ａ，６ａの数を減らしてコスト低減を図ると共に、上流側と下流側に位置するガラス基板２の中央部分を安定して保持することができる。
【０１０１】
また、本変形例では、第１基板搬送部５´´及び第２基板搬送部６´´の少なくとも一方に、非吸着保持部５ａ´´，６ａ´´としてもよい。更に、支持部５ｂ´´，６ｂ´´は、複数の吸着保持部５ａ，６ａを支持する複数の支持部５ｂ，６ｂの間に位置させることにより、吸着保持部５ａ，６ａを支持する支持部５ｂ，６ｂの間隔を広げることが可能になる。このように吸着保持部の間に非吸着保持部を配置することで、吸着機構をより一層簡素にすることができると共に、各吸着保持部５ａ，６ａの間のガラス基板２を水平に支え吸着効果を高めることができる。
【０１０２】
また、本変形例では、吸着保持部５ａ，６ａを支持する２つ（複数）の支持部５ｂ，６ｂは、被検査基板２の受け渡し位置において基板搬送方向（矢印Ｄ）におけるガラス基板２の前端部分（上流側）及び後端部分（下流側）に位置する。そのため、ガラス基板２を一辺の前端及び後端において吸着保持部５ａ，６ａにより吸着保持することで被検査基板２の位置ずれが生じるのを有効に防ぐことができ、したがって、より一層高精度に被検査基板２を搬送することができる。
【０１０３】
なお、本変形例においては、各支持部５ｂ，６ｂが吸着保持部５ａ，６ａ及び非吸着保持部５ａ´´，６ａ´´のいずれか一方のみを支持する例について説明したが、各支持部５ｂ，６ｂが吸着保持部５ａ，６ａ及び非吸着保持部５ａ´´，６ａ´´の両方を支持するようにしてもよい。その場合には、被検査基板２の中央側を保持する基板保持部には、被検査基板２の端部側を保持する基板保持部よりも非吸着保持部５ａ´´，６ａ´´の数を相対的に増やすとよい。
【０１０４】
＜他の実施の形態＞
図１０は、本発明の他の実施の形態に係る基板搬送装置２１の概略構成を示す斜視図である。
【０１０５】
図１１は、上記基板搬送装置２１の第１基板搬送部２５及び第２基板搬送部２６を示す斜視図であり、図１２は、図１１のＥ部拡大図である。
図１０において、基板搬送装置２１は、基板としてＦＰＤを製造するガラス基板２２を浮上させる浮上ステージ２３、ガラス基板２２の搬送方向（矢印Ｄ）に一直線状に延びる２本１組のガイドレール２４、このガイドレール２４に沿って互いに独立して移動可能な第１基板搬送部２５及び第２基板搬送部２６（複数の基板搬送部）などを備えている。
【０１０６】
浮上ステージ２３は、ガラス基板２２を例えばエアにより浮上させる複数の浮上プレート２３ａを敷設してなる。本実施の形態の浮上プレート２３ａは、細長い矩形状に形成され、その長手方向がガラス基板２２の搬送方向（矢印Ｄ）に平行に敷設されている。また、浮上プレート２３ａは、浮上ステージ２３の幅方向に、浮上プレート２３ａ毎に所定の間隙Ｇをもって敷設されている。
【０１０７】
ガイドレール２４は、浮上ステージ２３の中央において浮上プレート２３ａの下方に設けられた搬送軸フレーム２７上に配置されている。なお、ガイドレール２４（搬送軸フレーム２７）の位置は、浮上ステージ２３内（幅方向の内側）であれば、基板搬送装置１の幅を小さくすることができる。
【０１０８】
第１基板搬送部２５は、搬送方向（矢印Ｄ）の上流側に搬送されてきたガラス基板２２を受け取ると共にこの受け取ったガラス基板２２を搬送方向（矢印Ｄ）の下流側に搬送している。また、第２基板搬送部２６は、第１基板搬送部２５からガラス基板２２を受け取ると共にこの受け取ったガラス基板２２を搬送方向（矢印Ｄ）の下流側に搬送している。
【０１０９】
第１基板搬送部２５及び第２基板搬送部２６のそれぞれは、基板保持部２５ａ，２６ａ、支持部２５ｂ，２６ｂ、スライダ２５ｃ，２６ｃ、上下方向移動手段としての上下機構２５ｄ，２６ｄ、及び、連結部２５ｅ，２６ｅを有している。
【０１１０】
基板保持部２５ａ，２６ａは、図示しないエアチューブを介した真空吸着によりガラス基板２２の裏面を吸着保持している。本実施の形態の基板保持部２５ａ，２６ａは、ガラス基板２２裏面を吸着保持するために、浮上プレート２３ａの間隙Ｇからガラス基板２２の浮上高さに突出している。なお、上記一実施の形態と同様に、基板保持部２５ａ，２６ａによってガラス基板２２を保持するには、ガラス基板２２の裏面の真空吸着に限らず、例えば、ガラス基板２２の前後の端部を挟み込んで保持してもよい。
【０１１１】
図１１及び図１２に示すように、支持部２５ｂ，２６ｂは、ガラス基板２２の前端及び後端に位置するように、スライダ２５ｃ，２６ｃの前端及び後端の２箇所に配置されている。各支持部２５ｂ，２６ｂは、基板保持部２５ａ，２６ａを４個支持している。
【０１１２】
第１基板搬送部２５及び第２基板搬送部２６の支持部２５ｂ，２６ｂは、図１２に示すように、鉛直方向に延びる鉛直部分２５ｂ−１，２６ｂ−１と水平方向に延びる水平部分２５ｂ−２，２６ｂ−２とに折り曲げられた断面Ｌ字形状を呈する。
【０１１３】
スライダ２５ｃ，２６ｃの前端に配置された水平部分２５ｂ−２，２６ｂ−２と後端に配置された水平部分とは、鉛直部分２５ｂ−１，２６ｂ−１の下端から互いに対向する方向に延びている。
【０１１４】
鉛直部分２５ｂ−１，２６ｂ−１の側面の上部には、それぞれ２個の基板保持部２５ａ，２６ａが固定されている。これらの基板保持部２５ａ，２６ａは、２個（１組）の基板保持部２５ａ，２６ａが２箇所に間隔をもって配置されている。
【０１１５】
互いに略同一な形状を呈する第１基板搬送部２５のスライダ２５ｃと第２基板搬送部２６のスライダ２６ｃとは、互いに対向し、２本１組のガイドレール２４の１本ずつに分かれて搬送方向（矢印Ｄ）に延びている。なお、第１基板搬送部２５のスライダ２５ｃは、搬送方向（矢印Ｄ）側の後端から第２基板搬送部２６側に突出する突出部２５ｃ−１を有し、第２基板搬送部２６のスライダ２６ｃは、搬送方向（矢印Ｄ）側の前端から第１基板搬送部２５側に突出する突出部２６ｃ−１を有している。また、第１基板搬送部２５及び第２基板搬送部２６には、突出部２５ｃ−１，２６ｃ−１に対応する凹部２５ｃ−２，２６ｃ−２が形成されている。
【０１１６】
そして、第１基板搬送部２５のスライダ２５ｃと第２基板搬送部２６のスライダ２６ｃとは、ガラス基板２２の受け渡し位置において、互いにガイドレール２４の幅方向に並んで位置している。
【０１１７】
なお、第１基板搬送部２５と第２基板搬送部２６とは、上記一実施の形態のように、少なくとも一部がガイドレール２４の幅方向に並んでいれば有効にガラス基板２２を受け渡すことができる。
【０１１８】
スライダ２５ｃ，２６ｃは、リニアモータ駆動により、ガイドレール２４に沿って移動する。スライダ２５ｃ，２６ｃの駆動方法としては、上記一実施の形態において述べたように、リニアモータ駆動に限らず、例えば、別の駆動源であるモータ等を利用して、ベルト駆動、ボールネジ駆動などを用いることもできる。
【０１１９】
上下機構２５ｄ，２６ｄは、支持部２５ｂ，２６ｂを介して基板保持部２５ａ，２６ａを上下方向に移動させることにより、基板保持部２５ａ，２６ａを、ガラス基板２２を保持する上昇位置とそこから下降した退避位置とに移動させることが可能となっている。なお、上下機構２５ｄ，２６ｄはスライダ２５ｃ，２６ｃに設けられている。
【０１２０】
連結部２５ｅ，２６ｅは、図１２において明確に図示していないが、上記一実施の形態と同様に、支持部２５ｂ，２６ｂに固定された支持部側連結部と、スライダ２５ｃ，２６ｃに固定されたスライダ側連結部とからなり、上下機構２５ｄ，２６ｄを挟んで１対配置されている。支持部側連結部とスライダ側連結部とは、上下機構２５ｄ，２６ｄによる支持部２５ｂ，２６ｂの上下動に合わせて互いに摺動可能に接続されている。
【０１２１】
基板搬送装置２１は、浮上ステージ２３を跨ぐように配置された２つのガントリ２８，２８、並びに、これらガントリ２８，２８に配置された異なる基板処理部を有している。基板処理部としては、例えばＦＰＤ製造工程で製造されたガラス基板２２の検査を行う撮像部２９，３０、ミラー３１，３２及び図示しない照明部をも備えた自動マクロ検査装置とラインセンサカメラを複数配置した自動パターン検査装置が取り付けられている。
【０１２２】
ガントリ２８，２８は、浮上ステージ２３を挟んで対向する一対のガントリ支持部３３（一側のみ図示）に支持されている。
本実施の形態におけるガラス基板２２の受け渡しは、上記一実施の形態のものと同様であるため、詳細な説明は省略する。
【０１２３】
まず、図示しない整列手段により、他の装置から基板搬送装置２１へ搬入されたガラス基板２２を基準位置に位置決めする。
次に、基板搬入領域に待機していた第１基板搬送部２５（基板保持部２５ａ）により、ガラス基板２２を保持する。具体的には、第１基板搬送部２５の上下機構２５ｄにより、下降させておいた基板保持部２５ａを、ガラス基板２２を保持する位置まで上昇させる。この後、図示しないエアチューブを介した真空吸着によって、ガラス基板２２の裏面を吸着保持する。
【０１２４】
そして、第１基板搬送部２５によって、ガラス基板２２を下流側に向けて一定速度で移動させながら上述の自動マクロ検査装置及び自動パターン検査装置によりガラス基板２２を検査する。
【０１２５】
ガラス基板２２を、ガントリ２８，２８の下を通過させて検査した後には、第１基板搬送部２５の基板保持部２５ａによりガラス基板２２を保持した状態で、検査終了位置に待機していた第２基板搬送部２６の基板保持部２６ａによりガラス基板２２を保持する。そして、第２基板搬送部２６の基板保持部２６ａがガラス基板２２の裏面を吸着保持した後、第１基板搬送部２５の基板搬送部２５ａによる吸着保持を解除する。
【０１２６】
具体的には、第２基板搬送部２６の基板保持部２６ａは、待機時には、第１基板搬送部２５によるガラス基板２２の搬送を妨げない位置（ガラス基板２２を保持する位置から退避した位置、即ち下降した位置）にある。そして、第１基板搬送部２５が検査終了位置（ガラス基板２２の受け渡し位置）まで到着すると、上下機構２６ｄにより、基板保持部２６ａを、ガラス基板２２を保持する位置まで上昇させ、真空吸着を開始する。
【０１２７】
このようにして第２基板搬送部２６の基板保持部２６ａがガラス基板２２の保持を完了すると、第１基板搬送部２５の基板保持部２５ａによる真空吸着を解除し、上下機構２５ｄにより、第１基板搬送部２５の基板保持部２５ａを退避（下降）させることによりガラス基板の受け渡しが行われる。
【０１２８】
次に、第２基板搬送部２５によりガラス基板２２を基板搬出位置まで搬送し、他の装置等によりガラス基板２２を搬出する。ガラス基板２２の保持を解除した第１基板搬送部２５は、新たなガラス基板２２を受け取るべく、基板搬入位置に移動し待機する。同様に、基板搬出位置においてガラス基板２２を受け渡した第２基板搬送部２６を検査領域に移動させて待機させる。
【０１２９】
なお、本実施の形態においても、基板搬送部を第１基板搬送部２５及び第２基板搬送部２６の２つとして説明したが、３つ以上の基板搬送部を用いて被検査基板２２を受け渡すようにしてもよい。
【０１３０】
以上説明した本実施の形態では、一直線状に延びるガイドレール２４上を複数の基板搬送部２５，２６が移動するため、ガイドレールの平行度の狂いに起因する基板の変形を防ぐことができると共に、浮上ステージ２３の外側にガイドレール２４を配置する必要がなくなるため基板搬送装置２１全体（幅方向）を小さくすることができる。
【０１３１】
また、第１基板搬送部２５及び第２基板搬送部２６は互いに独立して移動するため、ガラス基板２２を他の基板搬送部に受け渡した基板搬送部は他の基板搬送部が搬送し終える前に新たなガラス基板２２を受け取る位置に移動させることができ、搬送及び検査におけるタクトタイムを短縮することができる。
【０１３２】
よって、本実施の形態によっても、上記一実施の形態と同様に、ガラス基板２２を効率的に短時間で高精度に搬送及び検査を行うことができると共に基板搬送装置２１の設置面積を小さくすることができる。
【０１３３】
また、本実施の形態では、ガイドレール２４を浮上ステージ２３内（幅方向の内側）に配置している。そのため、ガイドレール２４（搬送軸フレーム２７）を浮上ステージ２３の外側に配置する必要がなく、基板搬送装置２１の設置面積をより小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ部拡大図である。
【図３】上記一実施の形態に係る基板搬送装置の第１基板搬送部を示す斜視図である。
【図４】図３のＢ部拡大図である。
【図５】上記一実施の形態に係る第１基板搬送部を基板搬送方向から見た概略構成図である。
【図６】上記一実施の形態に係る基板搬送装置の第２基板搬送部を示す斜視図である。
【図７】図６のＣ部拡大図である。
【図８】上記一実施の形態に係る被検査基板の受け渡しを説明するための基板搬送装置を示す概略平面図である。
【図９】上記一実施の形態に係る第１基板搬送部及び第２基板搬送部の要部拡大図である。
【図１０】本発明の他の実施の形態に係る基板搬送装置の概略構成を示す斜視図である。
【図１１】上記他の実施の形態に係る基板搬送装置の第１基板搬送部及び第２基板搬送部を示す斜視図である。
【図１２】図１１のＥ部拡大図である。
【図１３】上記一実施の形態の変形例に係る、図１のＡ部拡大図である。
【図１４】上記一実施の形態の第２変形例に係る基板保持部を示す概略平面図である。
【図１５】上記一実施の形態の第３変形例に係る第１基板搬送部を示す斜視図である。
【図１６】上記一実施の形態の第３変形例に係る第２基板搬送部を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１３５】
１      基板搬送装置
２      被検査基板
３      浮上ステージ
３ａ      浮上プレート
４      ガイドレール
５      第１基板搬送部
６      第２基板搬送部
５ａ，６ａ      基板保持部
５ｂ，６ｂ      支持部
５ｃ，６ｃ      スライダ
５ｄ，６ｄ      上下機構
５ｅ，６ｅ        連結部
５ｈ      支持部側連結部
５ｉ      スライダ側連結部
６ｆ      アーム部
６ｇ      支持プレート
６ｈ      支持プレート側連結部
６ｉ      可動プレート側連結部
６ｊ      水平機構
６ｋ      可動プレート
６ｌ      レール
６ｍ      固定プレート
６ｎ      駆動部
６ｐ      端部保持部
７      搬送軸フレーム
８      ガントリ
９，１０      撮像部
１１，１２      ミラー
１３      ガントリ支持部
１５      第１基板搬送部
１６      第２基板搬送部
１５ａ，１６ａ      基板保持部
１５ｂ，１６ｂ      支持部
１６ｆ      アーム部
１６ｇ      支持プレート
１６ｐ      端部保持部
Ｄ      基板搬送方向
Ｇ      間隙
Ｐ１      基板搬入位置
Ｐ２      検査開始位置
Ｐ３      第１検査位置
Ｐ４      第２検査位置
Ｐ５      検査終了位置
Ｐ６      基板搬出位置
２１      基板搬送装置
２２      被検査基板
２３      浮上ステージ
２３ａ      浮上プレート
２４      ガイドレール
２５      第１基板搬送部
２６      第２基板搬送部
２５ａ，２６ａ      基板保持部
２５ｂ，２６ｂ      支持部
２５ｃ，２６ｃ      スライダ
２５ｄ，２６ｄ      上下機構
２５ｅ，２６ｅ        連結部
２５ｈ，２６ｈ    支持部側連結部
２５ｉ，２６ｉ      スライダ側連結部
２７      搬送軸フレーム
２８      ガントリ
２９，３０      撮像部
３１，３２      ミラー
３３      ガントリ支持部
【図５】
0005315013.tif 000002
【図１３】
0005315013.tif 000003
【図１４】
0005315013.tif 000004
【図１】
0005315013.tif 000005
【図２】
0005315013.tif 000006
【図３】
0005315013.tif 000007
【図４】
0005315013.tif 000008
【図６】
0005315013.tif 000009
【図７】
0005315013.tif 000010
【図８】
0005315013.tif 000011
【図９】
0005315013.tif 000012
【図１０】
0005315013.tif 000013
【図１１】
0005315013.tif 000014
【図１２】
0005315013.tif 000015
【図１５】
0005315013.tif 000016
【図１６】
0005315013.tif 000017