(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
主動力源である電動モータに駆動され圧縮気体を吐出する遠心圧縮機と、補助動力源として前記遠心圧縮機を駆動するタービンとを備えた圧縮装置において、
前記遠心圧縮機の吐出流路から分岐して、前記タービンの吸込流路に連絡する分岐流路と、前記吸込流路における前記分岐流路との接続点より下流側に設けられ、前記タービンに流入する流体の流量を計測する流量計と、前記分岐流路に設けられ、この分岐流路を開閉する開閉弁と、前記分岐流路に設けられ、この分岐流路を流れる前記吐出流路からの圧縮気体を加熱するヒータと、前記分岐流路に設けられ、前記ヒータの下流側における圧縮気体の温度を検出する温度センサと、前記流量計で計測された流量計測値が所定の流量設定値より大きい場合には前記開閉弁を閉じ、流量計測値が前記流量設定値以下の場合には前記開閉弁を開放する開閉弁制御手段と、前記温度センサによる温度検出結果に基づいて前記ヒータの下流側における圧縮気体の温度を所定温度に維持するように前記ヒータの通電を制御するヒータ通電制御手段と、を備えたことを特徴とする圧縮装置。
【請求項２】
前記所定温度が、前記開閉弁が閉じられた状態で前記タービンにタービン駆動流体が流入するときのタービン入口温度の温度範囲であることを特徴とする請求項１記載の圧縮装置。
【請求項３】
前記タービンの前記吸込流路に、このタービンの出力が前記遠心圧縮機の軸動力の９０〜９５％になるように前記タービンに流入するタービン駆動流体の供給量を制御する制御弁が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の圧縮装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回収した蒸気等にてタービンを運転し、そのタービンを遠心圧縮機の動力源の一部として活用するようにした圧縮装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の圧縮装置として例えば特許文献１，２に示されている圧縮装置がある。まず、図３を用いて特許文献１に示されている圧縮装置を説明する。図３は従来の圧縮装置の構成を示す図である。
【０００３】
この従来の圧縮装置４１は、蒸気にて膨張タービンを運転し、その膨張タービンを、複数の遠心圧縮機を駆動する動力源の一部として活用するように構成されている。図３に示すように、圧縮装置４１は、ブルギヤ４３に二つのピニオンギヤ４５，４７が噛合して形成される増速機４２を有している。そして、この増速機４２のピニオンギヤ４５のピニオン軸４６の一方の端部に第１段の遠心圧縮機（ターボ圧縮機）のインペラ５１ａが直に取り付けられるとともに、他方の端部に第２段の遠心圧縮機のインペラ５２ａが直に取り付けられている。また、増速機４２のピニオンギヤ４７のピニオン軸４８の一方の端部に第３段の遠心圧縮機のインペラ５３ａが直に取り付けられるとともに、他方の端部に膨張タービンのタービンインペラ（タービンロータ）５６ａが直に取り付けられている。
【０００４】
そして、空気流入管路５９を通して流入する空気を１段圧縮するインペラ５１ａを有する１段遠心圧縮機から１段冷却器５７には１段圧縮空気流出管路６０が連絡しており、１段遠心圧縮機で圧縮された１段圧縮空気がこの１段冷却器５７で冷却されるようになっている。また、前記１段冷却器５７から２段冷却器５８には２段圧縮用空気流入管路６１とインペラ５２ａを有する２段遠心圧縮機とを介して２段圧縮空気流出管路６２が連絡しており、２段遠心圧縮機で圧縮された２段圧縮空気が前記２段冷却器５８で冷却されるようになっている。さらに、この２段冷却器５８からインペラ５３ａを有する３段ターボ圧縮機には３段圧縮用空気流入管路６３が連絡しており、前記２段ターボ圧縮機で圧縮されるとともに前記２段冷却器５８で冷却された２段圧縮空気が３段ターボ圧縮機により３段圧縮されて３段圧縮空気流出管路６４を通して流出するようになっている。
【０００５】
この特許文献１に開示の圧縮装置４１では、圧力蒸気の量が十分である場合には、膨張タービンだけの駆動力で安定運転することができ、また圧力蒸気の量が不十分である場合には、前記ブルギヤ４３のブルギヤ軸４４に図示しない電動モータの出力軸を継手（カップリング）を介して接続し、膨張タービンと電動モータとをその一方を補完動力源として併用することにより安定運転を行うようにしている。
【０００６】
次に、図４を用いて特許文献２に示されている圧縮装置を説明する。図４は従来の別の圧縮装置の構成を示す図である。
【０００７】
この従来の圧縮装置７１は、需要側へ圧縮気体を供給する装置であって、原動機７２、トルク伝達機構７３、遠心圧縮機（ターボ圧縮機）７７、膨張タービン７８、クーラ７９、レシーバタンク８０、吸入フィルタ８１、サイレンサ８２、吸入開閉弁８３、回生開閉弁８４、放風弁８５、逆止弁８６、圧力センサ８７、風量センサ８８、制御装置８９、送気配管９０及び分岐配管９１とで構成されている。前記トルク伝達機構７３は、原動機７２の出力トルクと後述する膨張タービン７８の出力トルクを遠心圧縮機７７へ伝達する機構であり、１個のブルギヤ７５と２個のピニオンギヤ７４，７６とを有している。
【０００８】
この圧縮装置７１は、遠心圧縮機７７を回転駆動させる動力源として、１台の原動機（電動モータ）７２のほか、１台の膨張タービン７８を備えている。前記遠心圧縮機７７は、３台の遠心圧縮機７７ａ，７７ｂ，７７ｃで構成されている。そして、第１段低圧遠心圧縮機７７ａの吸入口から気体を吸気し、第１段低圧遠心圧縮機７７ａと第２段低圧遠心圧縮機７７ｂと高圧遠心圧縮機７７ｃとが気体を順番に圧縮し、高圧遠心圧縮機７７ｃの吐出口から圧縮気体を吐出するようになっている。前記膨張タービン７８は、圧力気体を吸入口から吸い込み、膨張した圧力気体を吐出口から吐出する。この膨張タービン７８の出力軸が、トルク伝達機構７３の高速ピニオンギヤ７６の回転軸に連結されている。膨張タービン７８によって圧力気体が膨張する際に仕事をして、出力が前記回転軸から取りだされるようなっている。
【０００９】
また、この圧縮装置７１は、開閉弁である回生開閉弁８４を備えている。この回生開閉弁８４の一方の口が分岐配管９１の他の一つの出口に連絡しており、回生開閉弁８４の他方の口が膨張タービン７８の吸入口に連絡している。そして、回生開閉弁８４の開度を制御して、高圧遠心圧縮機７７ｃの吐出風量がその高圧遠心圧縮機７７ｃのサージング現象をおこす上限の風量であるサージング限界風量を下回らないようにすることか好ましいとされている。
【００１０】
また、この圧縮装置７１は、その一方の口が膨張タービン７８の吸入口に連絡し、他方の口から気体を放出する開閉弁である放風弁８５を備えている。この放風弁８５は、回生開閉弁８４から膨張タービン７８の吸入口に連絡する配管から枝分かれしてサイレンサ８２に連絡する配管に設けられている。そして、高圧遠心圧縮機７７ｃの吐出圧力が所定の値を超えた際に、前記放風弁８５の開度を大きくするのが好ましいとされている。例えば、放風弁８５は定常時に全閉し、高圧遠心圧縮機７７ｃの吐出圧力が所定の値を超えた際に全開される。
【００１１】
すなわち、この圧縮装置７１では、圧縮気体の需要量が少なくなって高圧遠心圧縮機７７ｃのサージング領域に近づいた場合、この高圧遠心圧縮機７７ｃからの吐出気体を膨張タービン７８の吸入口へ流すか、大気に放風するかを選択できるよう構成されている。当然ながら、高圧遠心圧縮機７７ｃからの吐出気体を膨張タービン７８へ流した場合は、膨張タービン７８での回収動力が増えて、原動機７２の動力を補うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２０００−１０４６９８号公報
【特許文献２】特開２００４−３６０４６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
前述した特許文献１,２に開示された圧縮装置４１,７１は、遠心圧縮機を運転していれば、膨張タービンもまた運転し続けるように構成されている。ここで、一般に、膨張タービンを駆動する流体が、不安定現象を引き起こすことなく膨張タービンの運転を行なうための許容最低流量を下回った場合、膨張タービンを運転し続けると、その膨張タービンは駆動流体を膨張させるのではなく圧縮（コンプレッサアクション）してしまうことになる。そして、この状態では、膨張タービンのタービン入口温度が上昇し、そのタービン入口温度が許容温度を超えると、膨張タービンのランナが遠心力で破損するおそれが生じる。
【００１４】
前述した特許文献１に開示された圧縮装置４１では、遠心圧縮機による圧縮気体の需要量の減少に伴い膨張タービンを駆動するタービン駆動流体の流量が減少した場合、前記許容最低流量を下回らないようにするための手段が設けられていない。このため、この従来の圧縮装置４１では、前述したところの、膨張タービンのランナが破損するおそれがあるという問題があった。
【００１５】
一方、前述した特許文献２に開示された圧縮装置７１では、遠心圧縮機による圧縮気体の需要量が少なくなってこの遠心圧縮機のサージング領域に近づいた場合には、当該遠心圧縮機からの吐出気体を膨張タービンの吸入口へ流すことができるように構成されている。したがって、この従来の圧縮装置７１では、特許文献１に開示された圧縮装置４１における前記問題点は解消されている。
【００１６】
しかしながら、この特許文献２に開示された圧縮装置７１では、膨張タービンのタービン入口温度と遠心圧縮機の吐出温度との温度差が大きい場合、遠心圧縮機の吐出気体を膨張タービンの吸入口に送ると、膨張タービンのタービンロータが急激に冷却される（通常、タービン入口温度：２００〜４００℃、圧縮機の吐出温度：１００〜１５０℃である。）。このため、この従来の圧縮装置７１では、タービンロータ（タービンロータはランナや軸などの主要部品で構成される）に大きな熱歪が生じて寿命の低下を招くという問題があった。
【００１７】
そこで、本発明の課題は、回収した蒸気等にてタービンを運転し、そのタービンを遠心圧縮機の動力源の一部として活用する圧縮装置において、前記遠心圧縮機による圧縮気体の需要量の減少に伴い前記タービンを駆動するタービン駆動流体の流量が減少する場合でも、前記タービンに破損や、熱歪みによる寿命低下などの悪影響を招くことなく装置運転を継続することができる圧縮装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
前記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を講じている。
【００１９】
請求項１の発明は、主動力源である電動モータに駆動され圧縮気体を吐出する遠心圧縮機と、補助動力源として前記遠心圧縮機を駆動するタービンとを備えた圧縮装置において、前記遠心圧縮機の吐出流路から分岐して、前記タービンの吸込流路に連絡する分岐流路と、前記吸込流路における前記分岐流路との接続点より下流側に設けられ、前記タービンに流入する流体の流量を計測する流量計と、前記分岐流路に設けられ、この分岐流路を開閉する開閉弁と、前記分岐流路に設けられ、この分岐流路を流れる前記吐出流路からの圧縮気体を加熱するヒータと、前記分岐流路に設けられ、前記ヒータの下流側における圧縮気体の温度を検出する温度センサと、前記流量計で計測された流量計測値が所定の流量設定値より大きい場合には前記開閉弁を閉じ、流量計測値が前記流量設定値以下の場合には前記開閉弁を開放する開閉弁制御手段と、前記温度センサによる温度検出結果に基づいて前記ヒータの下流側における圧縮気体の温度を所定温度に維持するように前記ヒータの通電を制御するヒータ通電制御手段と、を備えたことを特徴とする圧縮装置である。
【００２０】
請求項２の発明は、請求項１記載の圧縮装置において、前記所定温度が、前記開閉弁が閉じられた状態で前記タービンにタービン駆動流体が流入するときのタービン入口温度の温度範囲であることを特徴とするものである。
【００２１】
請求項３の発明は、請求項１又は２記載の圧縮装置において、前記タービンの前記吸込流路に、このタービンの出力が前記遠心圧縮機の軸動力の９０〜９５％になるように前記タービンに流入するタービン駆動流体の供給量を制御する制御弁が設けられていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の圧縮装置は、主動力源である電動モータに駆動され圧縮気体を吐出する遠心圧縮機と、補助動力源として前記遠心圧縮機を駆動するタービンとを備えた圧縮装置において、前記遠心圧縮機の吐出流路から分岐して、前記タービンの吸込流路に連絡する分岐流路を設け、前記タービンを駆動するタービン駆動流体の流量が減少する場合には、前記遠心圧縮機からの圧縮気体（圧縮プロセスガス）を前記分岐流路に導いて所定温度に加熱し、この加熱された圧縮気体を前記タービンに前記吸込流路からのタービン駆動流体とともに流入させるように構成されている。
【００２３】
したがって、本発明の圧縮装置は、前記遠心圧縮機による圧縮気体の需要量の減少に伴い前記タービンを駆動するタービン駆動流体の流量が減少する場合でも、前記タービンに許容最低流量を下回らない量の流体をタービン入口温度の低下を招くことなく供給することができ、これにより、前記タービンに破損や、熱歪みによる寿命低下などの悪影響を招くことなく装置運転を継続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態による圧縮装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の別の実施形態による圧縮装置の構成を示す図である。
【図３】従来の圧縮装置の構成を示す図である。
【図４】従来の別の圧縮装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態による圧縮装置の構成を示す図である。
【００２６】
図１に示すように、本実施形態の圧縮装置１は、主動力源に連結されるブルギヤ（大歯車）３にピニオンギヤ（小歯車）４が噛合して前記主動力源の回転を増速する増速機２を備えている。すなわち、後述する遠心圧縮機７の主動力源である電動モータ５の出力軸５ａが、カップリング５を介して前記増速機２のブルギヤ３のプルギア軸３ａに連結されている。
【００２７】
そして、増速機２の前記ピニオンギヤ４のピニオン軸４ａの一端には遠心圧縮機７のインペラ７ａが直に嵌着される一方、ピニオン軸４ａの他端には、補助動力源として遠心圧縮機７を駆動する膨張タービン１１のタービンインペラ（ランナ）１１ａが直に嵌着されている。
【００２８】
前記遠心圧縮機７は、ターボ圧縮機であり、そのインペラ７ａの回転によって、吸込流路８を介して、いわゆるプロセスガス（空気、窒素ガスなど）を吸い込み、これを圧縮したうえ、吐出流路９に吐出して需要側へ圧縮気体（圧縮プロセスガス）を供給するものである。遠心圧縮機７の吐出流路９における遠心圧縮機７の出側には、遠心圧縮機７から吐出される圧縮気体の流量を計測する流量計１０が設けられている。
【００２９】
前記膨張タービン１１は、圧力蒸気の流入により運転されるラジアルタービンである。膨張タービン１１には、吸込流路１２と吐出流路１５とが接続されている。吸込流路１２を介して供給されるタービン駆動流体である圧力蒸気によって膨張タービン１１のタービンインペラ１１ａが回転される。膨張タービン１１に流入した圧力蒸気は、タービンインペラ１１ａの回転に伴って膨張し、吐出流路１５に吐出される。そして、膨張タービン１１の回転は、ピニオン軸４ａを介して遠心圧縮機７に伝達される。すなわち、膨張タービン１１を運転し、その膨張タービン１１を、遠心圧縮機７を駆動する動力源の一部として活用するように構成されている。
【００３０】
この場合、膨張タービン１１にその吸込流路１２を介して供給される圧縮蒸気の供給量は、遠心圧縮機７による圧縮気体の需要量に応じて増減されるようになっている。膨張タービン１１の吸込流路１２には、膨張タービン１１の出力が遠心圧縮機７の軸動力の９０〜９５％になるように膨張タービン１１に流入するタービン駆動流体（圧縮蒸気）の供給量を制御する制御弁１３が設けられている。また、膨張タービン１１の吸込流路１２における膨張タービン１１の入側位置（吸込流路１２における後述の分岐流路１６との接続点より下流側の位置）には、膨張タービン１１に流入する流体の流量を計測するタービン用流量計１４が設けられている。
【００３１】
また、この圧縮装置１には、遠心圧縮機７の吐出流路９における前記流量計１０の下流側位置から分岐して、膨張タービン１１の吸込流路１２における前記タービン用流量計１４の上流側位置に連絡する分岐流路１６が設けられている。
【００３２】
この分岐流路１６には、遠心圧縮機７の吐出流路９との分岐箇所から順に、開閉弁１７、ヒータ１８、温度センサ１９、圧力制御弁２０及び逆止弁２１が設けられている。
【００３３】
前記開閉弁１７は、分岐流路１６を開閉するものである。前記ヒータ１８は、分岐流路１６を流れる前記吐出流路９からの圧縮気体（圧縮プロセスガス）を加熱するものである。前記温度センサ１９は、前記ヒータ１８の下流側における圧縮気体の温度を検出するセンサである。前記圧力制御弁２０は、その開度を調整することにより、分岐流路１６を流れる圧縮気体を所定の圧力範囲に調整するためのものである。また、前記逆止弁２１は、膨張タービン１１の吸込流路１２に向かう圧縮気体の流れのみを許容するものである。
【００３４】
そして、分岐流路１６に設けられた前記開閉弁１７は、開閉弁制御装置（開閉弁制御手段）２３によって開閉制御されるようになっている。すなわち、この開閉弁制御装置２３により、膨張タービン１１の吸込流路１２に設けられたタービン用流量計１４で計測された流量計測値が所定の流量設定値ＱＲより大きい場合には開閉弁１７を閉じ、流量計測値が前記流量設定値ＱＲ以下の場合には開閉弁１７を開放するようになっている。
【００３５】
この場合、前記開閉弁１７を開閉のための閾値となる前記流量設定値ＱＲは、不安定現象が発生することなく膨張タービン１１の運転を行なうための許容最低流量に基づいて定められるものであり、許容最低流量よりは若干高い値にて所定範囲幅を持たせて設定されることが望ましい。なお、許容最低流量は、この圧縮装置１に備えられる膨張タービンごとの仕様に基づいて予め決定されるものである。
【００３６】
また、分岐流路１６に設けられた前記ヒータ１８は、ヒータ通電制御装置（ヒータ通電制御手段）２２によって制御されるようになっている。すなわち、前記開閉弁１７が開放されているとき、このヒータ通電制御装置２２により、前記温度センサ１９による温度検出結果に基づいてヒータ１８の下流側における圧縮気体の温度を所定温度ＴＲに維持するように、圧縮気体を加熱するヒータ１８の通電を制御するようになっている。
【００３７】
つまり、ヒータ１８は、前記開閉弁１７が開放されて遠心圧縮機７からの圧縮気体（例えば、温度１００〜１５０℃）が分岐流路１６に導かれているとき、分岐流路１６を通って膨張タービン１１の吸込流路１２に流入する圧縮気体の温度が所定温度ＴＲ（例えば、２００〜４００℃）に維持されるように、該圧縮気体の加熱を行なう。この所定温度ＴＲは、例えば２００〜４００℃に設定されており、前記開閉弁１７が閉じられた状態、つまり膨張タービン１１に吸込流路１２からタービン駆動流体として前記許容最低流量を上回る流量でもって圧力蒸気が流入するときのタービン入口温度の温度範囲に相当するものである。
【００３８】
次に、このように構成される前記圧縮装置１の動作を説明する。遠心圧縮機７は、主動力源である電動モータ５と補助動力源である膨張タービン１１とによって駆動されており、圧縮気体の需要量に応じて、電動モータ５による駆動力と膨張タービン１１の吸込流路１２への圧力蒸気の供給量とが調節されるようになっている。
【００３９】
そして、タービン用流量計１４で計測された流量計測値が所定の流量設定値ＱＲより大きい場合、つまり、膨張タービン１１にその許容最低流量を上回る圧力蒸気が供給されている場合は、開閉弁１７によって分岐流路１６は閉じられている。
【００４０】
圧縮気体の需要量の減少に伴って膨張タービン１１への圧力蒸気の供給量が減少し、タービン用流量計１４で計測される流量計測値が流量設定値ＱＲ以下となると、つまり、膨張タービン１１への圧力蒸気の供給量が許容最低流量に近づくと、開閉弁制御装置２３によって分岐流路１６の開閉弁１７が開放される。
【００４１】
開閉弁１７が開放されると、遠心圧縮機７からの圧縮気体（例えば、温度１００〜１５０℃）が分岐流路１６に流入する。この分岐流路１６に流入した圧縮気体は、ヒータ通電制御装置２２によって制御されるヒータ１８によりその温度が所定温度ＴＲ（例えば、２００〜４００℃）に維持されるように加熱され、分岐流路１６を通って膨張タービン１１の吸込流路１２に導かれる。これにより、膨張タービン１１には、圧力蒸気と分岐流路１６からの加熱された圧縮気体とが供給されて、膨張タービン１１の許容最低流量を上回る駆動流体が流入することとなり、膨張タービン１１は、不安定現象が発生することなく運転される。
【００４２】
そして、圧縮気体の需要量が回復して増加すると、これに伴い膨張タービン１１への圧力蒸気の供給量が増加し、タービン用流量計１４で計測される流量計測値が流量設定値ＱＲを上回ると、分岐流路１６が閉じられることになる。
【００４３】
このように、本実施形態による圧縮装置１は、主動力源である電動モータ５に駆動され圧縮気体を吐出する遠心圧縮機７と、補助動力源として遠心圧縮機７を駆動する膨張タービン１１とを備えた圧縮装置において、遠心圧縮機７の吐出流路９から分岐して、膨張タービン１１の吸込流路１２に連絡する分岐流路１６を設け、膨張タービン１１を駆動する圧力蒸気の流量が減少する場合には、遠心圧縮機７からの圧縮気体（圧縮プロセスガス）を分岐流路１６に導いて所定温度に加熱し、この加熱された圧縮気体を膨張タービン１１に圧力蒸気とともに流入させるように構成されている。
【００４４】
したがって、本実施形態による圧縮装置１は、遠心圧縮機７による圧縮気体の需要量の減少に伴い膨張タービン１１を駆動する圧力蒸気の流量が減少する場合でも、膨張タービン１１に許容最低流量を下回らない量の流体をタービン入口温度の低下を招くことなく供給することができる。よって、膨張タービン１１に破損や、熱歪みによる寿命低下などの悪影響を招くことなく装置運転を継続することができる。
【００４５】
図２は、本発明の別の実施形態による圧縮装置の構成を示す図である。この圧縮装置１ａは蒸気温度センサ２４が付加されている点以外は、前述の圧縮装置１と同一構成であり、両者の共通する部分には同一の符合を付してある。すなわち、本実施形態の圧縮装置１ａは、膨張タービン１１の吸込流路１２（吸込流路１２における分岐流路との接続点より上流側の位置）に、膨張タービン１１に流入する圧力蒸気の温度を検出する蒸気温度センサ２４を備えている。
【００４６】
そして、この圧縮装置１ａでは、蒸気温度センサ２４で検出された温度と、前記温度センサ１９による温度との差がなくなるように、ヒータ通電制御装置２２により、分岐流路１６を流れる圧縮気体を加熱するヒータ１８の通電を制御するようになっている。通常、圧力蒸気は十分に高温であるので、このように構成しても、膨張タービン１１に許容最低流量を下回らない量の流体をタービン入口温度の低下を招くことなく供給することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１，１ａ…圧縮装置
２…増速機  ３…ブルギヤ  ４…ピニオンギヤ
５…電動モータ  ６…カップリング
７…遠心圧縮機  ７ａ…インペラ
８…吸込流路  ９…吐出流路  １０…流量計
１１…膨張タービン  １１ａ…タービンインペラ
１２…吸込流路  １３…制御弁  １４…タービン用流量計  １５…吐出流路
１６…分岐流路  １７…開閉弁  １８…ヒータ
１９…温度センサ  ２０…圧力制御弁  ２１…逆止弁
２２…ヒータ通電制御装置  ２３…開閉弁制御装置  ２４…蒸気温度センサ
【図１】
0005320366.tif 000002
【図２】
0005320366.tif 000003
【図３】
0005320366.tif 000004
【図４】
0005320366.tif 000005