(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
球状の圧電体基材を有し、前記圧電体基材の結晶の中心を通るＺ軸に垂直で前記圧電体基材の中心を通る平面と前記圧電体基材の表面との交線に沿った前記圧電体基材の表面の周回領域の部分に一対の櫛型電極を有し、前記櫛型電極対に接続する第１素子電極と第２素子電極を前記圧電体基材の表面に有する球状弾性表面波素子を備え、前記球状弾性表面波素子を保持する素子ホルダを有し、前記素子ホルダが端子リードを前記第１素子電極および前記第２素子電極に接触させつつ保持することを特徴とする球状弾性表面波部品。
【請求項２】
前記第１素子電極と前記第２素子電極が近づけられ前記圧電体基材の表面の前記Ｚ軸の近くに形成され、前記端子リードが一つの面内に配置されて前記第１素子電極と前記第２素子電極に接触していることを特徴とする請求項１記載の球状弾性表面波部品。
【請求項３】
前記端子リードが前記球状弾性表面波素子の両極に設置されたことを特徴とする請求項１記載の球状弾性表面波部品。
【請求項４】
前記櫛型電極と前記第１素子電極と前記第２素子電極とともに位置合わせマークのパターンが同時に形成されて成る前記球状弾性表面波素子を備え、前記位置合わせマークにより位置を合わせて前記第１素子電極と前記第２素子電極に電気接続した前記端子リードを有することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項記載の球状弾性表面波部品。
【請求項５】
請求項１乃至３に記載の球状弾性表面波部品の端子リードをセンサーホルダの表面の導体パターンに半田付けして成ることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項６】
前記センサーホルダが透孔を有し、前記透孔に前記球状弾性表面波部品の球状弾性表面波素子の部分を収納したことを特徴とする請求項５記載の弾性表面波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、球状弾性表面波素子に端子を接続した球状弾性表面波部品と、その球状弾性表面波部品を実装した弾性表面波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１のように、球状弾性表面波素子は、水晶やニオブ酸リチウム等の圧電体基材を用い直径が１ｍｍから１０ｍｍ程度の球状に形成される。その球面に櫛型電極対を形成し、櫛型電極間に高周波電圧を印加することで圧電体基材の表面に弾性表面波を発生させ、その弾性表面波を圧電体基材の球面の円環状の周回領域で、圧電体基材の結晶のＺ軸に垂直な平面と球面の交線に沿った周回領域を周回させる。この弾性表面波の周波数や上記圧電体基材の上記周回領域を構成している材料やその周回領域の曲率等がある条件を満たしていると、弾性表面波は周回領域の範囲外に拡散することなく周回領域の範囲内を繰り返し周回して伝搬する。この球状弾性表面波素子は、特許文献２のように、上記周回領域に所定の物質を付着させる感応膜を形成し、この感応膜に所定の物質が付着した場合に、その物質の量に応じて上記周回領域を周回する弾性表面波の周回時間（即ち、周回速度）が変化することを利用して所定物質の存在を感知する物質のセンサーとして用いる。
【０００３】
この球状弾性表面波素子の径は開発の進行に伴い徐々に小さくなり、現在は１ｍｍ程度に径が小さくなっている。そのように径が小さいことと球状であるため、球状弾性表面波素子の取り扱いが難しい問題がある。更に、所定の物質の量を測定する為の感応膜は、多くの場合、１回目の測定の際に感応膜に付着された所定の物質が速やかに上記感応膜から分離せず、次回の測定の際に、前回の測定のときから感応膜に残留していた物質が影響を与えるため、測定の度に球状弾性表面波素子を新鮮な感応膜を有する素子に頻繁に交換する必要がある。そのための球状弾性表面波素子をホルダに速やかに着脱する作業が必要であった。
【０００４】
特許文献２では、圧電体基材の表面の周回領域以外の部分に何かが接触しても周回領域を周回する弾性表面波の周回時間（即ち、周回速度）には何等影響がないため、圧電体基材の表面の周回領域以外の部分は必ずしも球面状である必要はないことを利用して、球状弾性表面波素子の周回領域以外の部分を削って球形から変形させて転がりを少なくしている。すなわち、球状弾性表面波素子の削った部分に素子電極を配置し、削った部分をセンサーホルダで支持し、かつ、素子電極をセンサーホルダの導体パターンと電気接続していた。
【０００５】
また、特許文献３では、球状弾性表面波素子の球面の北極および南極を平面に削り、そこに素子電極を形成し、その素子電極に電極プローブを接触させていた。
【０００６】
以下に公知文献を記す。
【特許文献１】国際公開番号ＷＯ０１／０４５２５５号公報
【特許文献２】特開２００３−２９４７１３号公報
【特許文献３】特開２００５−１４７７３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１の技術では、センサーホルダの電極がセンサーホルダに直立に設置され、球状弾性表面波素子をセンサーホルダの電極の間に挟むように力を加えて押し込み、センサーホルダの電極の間の適正な位置に設置するとともに、所定の向きに配向させる必要がある。そのように球状弾性表面波素子を押し込むために、センサーホルダの電極に接する素子電極以外の球状弾性表面波素子の部分を治具で掴む必要があり、その治具が周回領域に当たり周回領域を損傷させる場合がある問題があった。また、特許文献２および特許文献３の技術では、球状弾性表面波素子の周回領域以外の部分の研削による製造コストが高価になる問題があった。
【０００８】
本発明は、かかる従来の技術における問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、弾性表面波素子を球状のまま用い、球状弾性表面波素子の径が小さくても球状弾性表面波素子の弾性表面波装置への着脱を速やかに行うことが出来る球状弾性表面波部品と、それを実装して成る弾性表面波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、この課題を解決するために、球状の圧電体基材を有し、前記圧電体基材の結晶の中心を通るＺ軸に垂直で前記圧電体基材の中心を通る平面と前記圧電体基材の表面との交線に沿った前記圧電体基材の表面の周回領域の部分に一対の櫛型電極を有し、前記櫛型電極対に接続する第１素子電極と第２素子電極を前記圧電体基材の表面に有する球状弾性表面波素子を備え、前記球状弾性表面波素子を保持する素子ホルダを有し、前記素子ホルダが端子リードを前記第１素子電極および前記第２素子電極に接触させつつ保持することを特徴とする球状弾性表面波部品である。
【００１０】
また、本発明は、上記第１素子電極と上記第２素子電極が近づけられ上記圧電体基材の表面の上記Ｚ軸の近くに形成され、上記端子リードが一つの面内に配置されて上記第１素子電極と上記第２素子電極に接触していることを特徴とする上記の球状弾性表面波部品である。
【００１１】
また、本発明は、上記端子リードが上記球状弾性表面波素子の両極に設置されたことを特徴とする上記の球状弾性表面波部品である。
【００１２】
また、本発明は、球状の圧電体基材を有し、前記圧電体基材の結晶の中心を通るＺ軸に垂直で前記圧電体基材の中心を通る平面と前記圧電体基材の表面との交線に沿った前記圧電体基材の表面の周回領域の部分に一対の櫛型電極を有し、前記櫛型電極対に接続する第１素子電極と第２素子電極を近づけて前記圧電体基材の表面の前記Ｚ軸の近くに形成した球状弾性表面波素子を備え、一つの面内に配置した端子リードを前記第１素子電極と前記第２素子電極に接合したことを特徴とする上記の球状弾性表面波部品である。
【００１３】
また、本発明は、上記櫛型電極と上記第１素子電極と上記第２素子電極とともに位置合わせマークのパターンが同時に形成されて成る上記球状弾性表面波素子を備え、前記位置合わせマークにより位置を合わせて上記第１素子電極と上記第２素子電極に電気接続した上記端子リードを有することを特徴とする上記の球状弾性表面波部品である。
【００１４】
また、本発明は、上記の球状弾性表面波部品の端子リードをセンサーホルダの表面の導体パターンに半田付けして成ることを特徴とする弾性表面波装置である。
【００１５】
また、本発明は、上記センサーホルダが透孔を有し、前記透孔に上記球状弾性表面波部品の球状弾性表面波素子の部分を収納したことを特徴とする上記の弾性表面波装置である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、球状弾性表面波素子に端子リードを設置した球状弾性表面波部品を製造して、その端子リードを球状弾性表面波部品をセンサーホルダの表面の導体パターンの部品端子に半田付けして弾性表面波装置を製造できるので、球状弾性表面波素子のセンサーホルダへの位置合わせが容易であり、球状弾性表面波素子のセンサーホルダへの着脱が速やかに行える効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
＜第１の実施形態＞
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は、第１素子電極１３ａと第２素子電極１３ｂを有する球状弾性表面波素子１０を示す。図１（ａ）は、第１の実施形態の球状弾性表面波素子１０の斜視図であり、図１（ｂ）は、端子１４を素子電極１３（１３ａ、１３ｂ）に接合した球状弾性表面波部品１０ａの側面図であり、図１（ｃ）は、その端子１４側から見た球状弾性表面波部品１０ａの正面図である。図２は、この球状弾性表面波部品１０ａをセンサーホルダ２０に設置した弾性表面波装置を示す図である。
【００１８】
本実施形態では、図１（ｂ）の側面図のように、球状弾性表面波素子１０の第１素子電極１３ａと第２素子電極１３ｂそれぞれに、銀ペースト、あるいは導電性接着剤等の導電性接合材で端子１４を接合した球状弾性表面波部品１０ａを製造する。端子１４は、図１（ｃ）の正面図のように、例えば、幅０．２ｍｍで厚さ０．０５ｍｍで長さ１０ｍｍの矩形断面の銅やアルミニウム等の金属材料から成る細長い板状の端子リード１４ａと金属板の端子接合部１４ｂから成る。端子接合部１４ｂを、球状弾性表面波素子１０の素子電極に接合する。端子接合部１４ｂには、弾性表面波素子１０の球面の曲率半径の凹面を形成することが望ましい。
【００１９】
図２のように、球状弾性表面波部品１０ａを厚さ０．０５ｍｍから１０ｍｍ程度のガラスエポキシ樹脂材やポリイミド樹脂材やセラミックス材等の絶縁材から成るプリント配線板で構成したセンサーホルダ２０に設置して弾性表面波装置を得る。図２（ａ）は弾性表面波装置の側面図を示し、図２（ｂ）は平面図を示す。図２のように、センサーホルダ２０にドリル孔あけ加工やパンチング加工等の加工作業により球状弾性表面波素子１０より大きい透孔２１を形成し、その透孔２１の近傍の表面に、球状弾性表面波部品１０ａの端子リード１４ａをはんだ付けする部品端子の導体パターン２２を形成する。
【００２０】
（球状弾性表面波素子の構造）
球状弾性表面波素子１０は、図１（ａ）に示すように、直径が約１ｍｍの球状の圧電体基材１１を主要な部分とする。この圧電体基材１１は、水晶、ＬｉＮｂＯ3（ニオブ酸リチウム）やＬｉＴａＯ3（タンタル酸リチウム）、ＢＳＯ（ビスマスシリコンオキサイド）、ランガサイト等の圧電性材料で形成される。この圧電体基材１１は、特開２００３−１１５７４４号公報の図４および段落００５３から００５４に示されている結晶のＺ軸１１ｚを有する。圧電体基材１１の中心を通る結晶のＺ軸１１ｚが圧電体基材１１の表面に交わる２点を北極１１Ｎと南極１１Ｓとする。
【００２１】
その圧電体基材１１の、北極１１Ｎと南極１１Ｓの間の球面に、圧電体基材１１の中心を通り結晶のＺ軸１１ｚに垂直な平面に沿った円環状の周回領域１２を有する。周回領域１２には、弾性表面波の周回のため必要な幅を確保する。周回領域１２のその幅は、弾性表面波の周波数に依存するが、例えば直径１ｍｍの圧電体基材１１に１５０ＭＨｚの弾性表面波を周回させる場合に、圧電体基材１１の直径の概ね１／４から１／３程度を必要とする。この周回領域１２に、周回領域１２の幅の大きさの北極１１Ｎ側の北側櫛型電極１５Ｎを、第１素子電極１３ａと一体の導体パターンで圧電体基材１１の球面に形成する。更に、北側櫛型電極１５Ｎに南極１１Ｓ側で対向する南側櫛型電極１５Ｓを第２素子電極１３ｂと一体の導体パターンで圧電体基材１１の球面に形成する。また、位置合わせマーク１６を第１素子電極１３ａと第２素子電極１３ｂ内のパターンで形成する。これらの一対の導体パターンと位置合わせマーク１６は圧電体基材１１の球面に同時に金属めっきパターンで形成することで、北側櫛型電極１５Ｎと南側櫛型電極１５Ｓの一対による弾性表面波発生部１５を形成する。
【００２２】
この弾性表面波発生部１５の北側櫛型電極１５Ｎと南側櫛型電極１５Ｓの間に高周波電圧を印加することで周回領域１２に沿って周回する弾性表面波を発生させる。このとき、球状弾性表面波素子１０の弾性表面波の振動伝達経路は、圧電体基材１１の直径の４分の１から３分の１の幅の周回領域１２内に限定され、北極１１Ｎと南極１１Ｓには弾性表面波が伝わらない。そのため、北極１１Ｎと南極１１Ｓの部分の球面に圧力が加えられても影響が無く弾性表面波を伝達させることができる。
【００２３】
球状弾性表面波素子１０の周回領域１２には、例えば、特定の蛋白質と結合する抗体から成る感応膜を形成しておく。また、例えば、水素分子を検出する弾性表面波装置では、周回領域１２に、真空環境中でパラジウム・ニッケル合金の薄膜を約３０ｎｍの厚さに蒸着して感応膜を形成する。周回領域１２に感応膜としてパラジウム・ニッケル合金の薄膜を形成した球状弾性表面波素子１０は、濃度１０ｐｐｍから１００％までの水素濃度を検出するガスセンサとして用いる。その他に、周回領域１２にその他の特定の分子に結合する感応膜を形成することで、気体中の微少量の匂い分子を検出する匂いセンサを構成することもできる。
【００２４】
（球状弾性表面波部品の組み立て）
先ず、位置合わせマーク１６で球状弾性表面波素子１０の位置（配向）を判別させ、端子１４の端子接合部１４ｂを球状弾性表面波素子１０に位置合わせして、素子電極に接合する。球状弾性表面波素子１０の圧電体基材１１が水晶の場合は２００℃以下の温度で端子接合部１４ｂを素子電極に接合する。例えば、５０℃から２００℃の温度範囲で超音波接合処理で素子電極に接合する。また、銀ペーストや導電性接着剤等の導電性接合材で端子接合部１４ｂを素子電極に接合する。あるいは、銀ナノ粒子を素子電極と端子接合部１４ｂに塗布して２００℃に加熱・加圧することで銀ナノ粒子を溶融させて素子電極と端子接合部１４ｂを接合させることもできる。圧電体基材１１がランガサイトの場合は、圧電体基材１１の表面の素子電極に固相線温度が６４５℃程度のリン銅ロウを用いてハンダ付けする、あるいは、銅粉末とスズ系粉末とを混ぜ合わせた高温無鉛はんだペーストを２８０℃に加熱・加圧してハンダ付けして高融点の接合部を形成することで球状弾性表面波部品１０ａを組み立てることができる。
【００２５】
（センサーホルダ）
図２の、プリント配線板から成るセンサーホルダ２０は、ガラスエポキシ基板、フレキシブルなポリイミド基板、熱可塑性樹脂基板、あるいはセラミックス基板を用いることができる。センサーホルダ２０のプリント配線板には球状弾性表面波素子１０を収納する空間を空けるための透孔２１を形成する。このセンサーホルダ２０のプリント配線板の上下面に導体パターン２２を形成し、透孔２１の近傍のセンサーホルダ２０の上面には、球状弾性表面波部品１０ａの端子リード１４ａを接合する部品端子を導体パターン２２で形成する。このセンサーホルダ２０は、その上面あるいは下面に電子部品を、その面に形成した導体パターン２２に半田付けして設置することができる。あるいは、このセンンサーホルダ２０の下面の導体パターン２２にはんだボールや部品リード等の外部接続用電極を接合して設置することができる。外部接続用電極を有するセンサーホルダ２０は、マザーボードに部品ソケットを設置し、その部品ソケットの電極にセンサーホルダ２０の外部接続用電極を電気接続して使用することができる。あるいは、センサーホルダ２０の外部接続用電極を部品ソケットを介さずにマザーボードの導体パターンに直に半田付けすることもできる。
【００２６】
（弾性表面波装置の製造手順）
（ステップ１）
先ず、球状弾性表面波部品１０ａを端子リード１４ａで掴んで持ち上げて、球状弾性表面波素子１０の両端子リード１４ａの位置をセンサーホルダ２０の導体パターン２２の部品端子の位置に合わせする。
（ステップ２）
次に、球状弾性表面波部品１０ａの両端子リード１４ａを導体パターン２２の部品端子の位置に降下させ、球状弾性表面波素子１０の圧電体基材１１部分を、センサーホルダ２０の透孔２１に収容する。
（ステップ３）
次に、球状弾性表面波部品１０ａの端子リード１４ａを導体パターン２２の部品端子にはんだ付けすることで、球状弾性表面波部品１０ａをセンサーホルダ２０に設置して弾性表面波装置を得る。
【００２７】
（物質の検出作業）
次に、この球状弾性表面波素子１０の上に露出した周回領域１２の感応膜に被分析液を塗布する。ここで、被分析液は、周回領域１２の感応膜の一部に、すなわち、弾性表面波発生部１５以外の部分に、被分析液を塗布して感応膜に結合する蛋白質を検出する。本実施形態は、周回領域１２が球状弾性表面波素子１０の直上にあるため、被分析液の周回領域１２の感応膜への塗布が容易になる効果がある。
【００２８】
同一環境により正確に測定するためには以下のように弾性表面波装置を構成する。すなわち、第１の球状弾性表面波素子１０を用意し、その周回領域１２の感応膜に被分析溶液を塗布して蛋白質を結合させ、更に、蛋白質を結合させない第２の球状弾性表面波素子１０を用意する。そして、第１の球状弾性表面波素子１０での測定結果と、第２の球状弾性表面波素子１０での測定結果を比較し、両者の違いを検出することで蛋白質を検出する弾性表面波装置を構成することができる。
【００２９】
球状弾性表面波素子１０の第１素子電極１３ａと第２素子電極１３ｂに４０ＭＨｚから５５０ＭＨｚの矩形波の電気パルスを加え、例えば４５ＭＨｚの近傍のＲＦバースト信号を印加する。このＲＦバースト信号は、更に、北側櫛型電極１５Ｎと南側櫛型電極１５Ｓから成る弾性表面波発生部１５に印加される。これにより圧電体基材１１の周回領域１２内に弾性表面波が発生する。その弾性表面波を周回領域１２内を１回から５００回ほど周回させ、周回して戻って来た弾性表面波を、弾性表面波検出部を兼ねる弾性表面波発生部１５で検出する。弾性表面波が弾性表面波発生部１５に戻る時間は球状弾性表面波素子１０の周回領域１２の感応膜に物質が結合することで変わる現象を利用することで球状弾性表面波素子１０の周回領域１２の感応膜への物質の結合の有無を検出する。
【００３０】
本実施形態は、こうして圧電体基材１１の北極１１Ｎと南極１１Ｓに設置した第１素子電極１３ａと第２素子電極１３ｂに棒状の端子リード１４ａを接合した、球状弾性表面波素子１０の両極に端子リード１４ａを接合した球状弾性表面波部品１０ａを製造した。この球状弾性表面波部品１０ａは、端子リード１４ａを掴むことで容易に取り扱うことができ、速やかにセンサーホルダ２０に実装できる効果がある。
【００３１】
（変形例１）
本実施形態の変形例１を図３を用いて説明する。
（球状弾性表面波素子の構造）
図３は、圧電体基材１１に貫通孔１０ｂを形成した球状弾性表面波素子１０を示す。図３（ａ）では、圧電体基材１１の結晶のＺ軸１１ｚに平行に貫通孔１０ｂを形成した球状弾性表面波素子１０の斜視図を示す。貫通孔１０ｂは圧電体基材１１にレーザー穴あけ等
の加工作業を行い形成する。貫通孔１０ｂの位置は、周回領域１２に重ならなければ、必ずしも結晶のＺ軸１１ｚに平行に形成しないでも良い。
（端子の構造）
端子１４は、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂やセラミックス等の棒を主材料として構成する。また、この棒は両端間が絶縁されていれば十分で、例えば、２つの金属棒を絶縁樹脂で接着して１本にした棒を用いても良い。
【００３２】
（球状弾性表面波部品の組み立て手順）
（ステップ１）
図３（ｂ）の側面図と図３（ｃ）の正面図で示すように、端子１４用の棒を圧電体基材１１の貫通孔１０ｂに挿入する。
（ステップ２）
次に、その棒と圧電体基材１１の表面を連結する銅や金等の金属めっきの被膜を形成し、金属めっきの被膜のエッチングやアディティブめっきにより、第１素子電極１３ａと棒の表面の金属めっき被膜とが一体になった金属被膜パターンを形成する。こうして、圧電体基材１１の貫通孔１０ｂに挿入した棒において、第１素子電極１３ａと金属被膜パターンで一体になった棒の導電部分を北極側の端子リード１４ａとする。同様に、第２素子電極１３ｂと一体になった棒の金属被膜パターンを形成し、その金属被膜パターンが接続する棒の導電部分を南極側の端子リード１４ａとする。
【００３３】
変形例１は、端子リード１４ａを形成するために加熱する金属接合作業を行わないので、球状弾性表面波素子１０の圧電体基材１１を熱処理で損傷させない効果がある。特に、耐熱性が２００℃以下の水晶の圧電体基材１１から成る球状弾性表面波素子１０に対しては、この効果が大きい。
【００３４】
（変形例２）
本実施形態の変形例２を図４を用いて説明する。図４は、センサーホルダ２０の断面と球状弾性表面波部品１０ａの側面を示す。
（球状弾性表面波素子の構造）
圧電体基材１１の球面に同時に形成する金属めっきパターンにより、その北極１１Ｎに北側の櫛型電極１５Ｎと一体にした第１素子電極１３ａを形成し、南極１１Ｓに南側の櫛型電極１５Ｓと一体にした第２素子電極１３ｂを形成し、また、それぞれの素子電極に位置合わせマーク１６を形成した球状弾性表面波素子１０を製造する。
（端子リード）
端子リード１４ａは、銅やアルミニウム等の金属から成る、厚さ０．１ｍｍで幅０．３ｍｍ程度の矩形の帯状の端子リード１４ａを用いる。
【００３５】
（球状弾性表面波部品の組み立て手順）
（ステップ１）
先ず、球状弾性表面波素子１０の位置合わせマーク１６を観察することで素子電極１３の位置を確認して、端子リード１４ａの位置を合わせ第１素子電極１３ａ及び第２素子電極１３ｂに端子接合部１４ｂにより接合する。端子接合部１４ｂは、半田や導電性接着剤等の導電性接合材を用いる。
（ステップ３）
第１素子電極１３ａの端子リード１４ａと第２素子電極１３ｂの端子リード１４ａは、互いに平行に、その接合位置の球状弾性表面波素子１０の面に平行に伸ばし、途中で、球状弾性表面波素子１０から離れる方向に直角に折り曲げる。こうして、球状弾性表面波素子１０の一方に端子リード１４ａを接合した球状弾性表面波部品１０ａを形成する。
【００３６】
（弾性表面波装置の製造手順）
先ず、球状弾性表面波部品１０ａを端子リード１４ａで掴んで持ち上げて、球状弾性表面波素子１０の両端子リード１４ａの位置をセンサーホルダ２０の導体パターン２２の部品端子の位置に合わせる。次に、球状弾性表面波部品１０ａの両端子リード１４ａを導体パターン２２の部品端子の位置に降下させ、導体パターン２２の部品端子にはんだ付けすることで、球状弾性表面波部品１０ａをセンサーホルダ２０に設置して弾性表面波装置を得る。変形例２の球状弾性表面波部品１０ａは、それを設置するセンサーホルダ２０に透孔２１を設けなくても実装できる効果がある。
【００３７】
（変形例３）
本実施形態の変形例３を図５を用いて説明する。図５は、球状弾性表面波部品１０ａの斜視図である。
（球状弾性表面波素子の構造）
変形例３の球状弾性表面波素子１０は、図５のように、球状弾性表面波素子１０の圧電体基材１１の球面に同時に形成する金属めっきパターンにより、その南極１１Ｓ側に、北側の櫛型電極１５Ｎと一体にした第１素子電極１３ａと、南側の櫛型電極１５Ｓと一体にした第２素子電極１３ｂとの２つの素子電極を形成し、また、北極１１Ｎ側に位置合わせマーク１６を形成する。こうして、櫛型電極対に接続する第１素子電極１３ａと第２素子電極１３ｂを圧電体基材１１の表面の下側（南極１１Ｓ側）に寄せて形成した球状弾性表面波素子１０を形成する。
（端子リード）
端子リード１４ａは、帯状の端子リード１４ａを平面上の直線上に設置して、端子リード対の中央部の端子リード１４ａの端部に半田や導電性接着剤等の導電性接合材から成る端子接合部１４ｂを設置する。
【００３８】
（球状弾性表面波部品の組み立て手順）
（ステップ１）
先ず、球状弾性表面波素子１０の位置合わせマーク１６を観察することで配向を確認して、その配向に合わせて位置合わせマーク１６の位置を真空ピンセットで掴んで球状弾性表面波素子１０を持ち上げる。
（ステップ２）
次に、球状弾性表面波素子１０を掴んだ真空ピンセットを移動して、球状弾性表面波素子１０を端子リード対の中央部の位置に合わせ、端子リード１４ａの端子接合部１４ｂの上にその第１素子電極１３ａと第２素子電極１３ｂを降下させて、端子接合部１４ｂにより端子リード１４ａに接合する。こうして、球状弾性表面波素子１０の下側（南極１１Ｓ側）の面に接する平面に平行する端子リード１４ａを第１素子電極１３ａと第２素子電極１３ｂに接合した球状弾性表面波部品１０ａを形成する。
【００３９】
変形例３の球状弾性表面波部品１０ａは、変形例２の有する効果に加えて、以下の効果がある。すなわち、端子リード１４ａが球状弾性表面波素子１０の下側（南極１１Ｓ側）の面に接する平面に平行である為、この球状弾性表面波部品１０ａは、平面状の仮置台の上面に端子リード１４ａを伸ばして仮置台の上面に接させて、球状弾性表面波部品１０ａを支えて置いて保管することができる。そして、この端子リード１４ａ上に設置した球状弾性表面波素子１０の上部に北極１１Ｎが位置し、周回領域１２が上部に露出しないため、周回領域１２を傷つけずにその上部を真空ピンセットで掴んで速やかに持ち上げてセンサーホルダ２０まで移動させて実装することができる効果がある。特に、周回領域１２の位置が、設置するセンサーホルダ２０の面から一定の高さの位置にあり、周回領域１２の近くの空間が解放されているので、分析すべき流体が障害無く自由に周回領域１２に触れることができ、その成分分析を速やかに行える効果がある。
【００４０】
＜第２の実施形態＞
第２の実施形態を、図６と図７を用いて説明する。図６（ｂ）は、第２の実施形態の球状弾性表面波部品１０ａの素子ホルダ１７の正面と球状弾性表面波素子１０ａを観察した図である。図６（ｂ）のように、素子ホルダ１７は、４つの支持腕部１７ａを有し、その支持腕部１７ａで球状弾性表面波素子１０を挟み込む。また、端子リード１４ａを接合した端子固定部１４ｃを支持腕部１７ａで球状弾性表面波素子１０に押さえつける。端子リード１４ａは図６（ｂ）の紙面に平行に伸びる。図６（ａ）は、素子ホルダ１７の側面と球状弾性表面波素子１０ａの北極１１Ｎ側を観察した図である。端子リード１４ａは図６（ａ）の紙面に垂直な方向に伸びる。図６（ｃ）は、図６（ｂ）と方向が９０度異なる方向で端子リード１４ａの伸びる方向に垂直な方向から素子ホルダ１７の側面と球状弾性表面波素子１０を観察した図である。図７は、本実施形態の球状弾性表面波部品１０ａを設置したセンサーホルダ２０の断面と球状弾性表面波部品１０ａの側面を示す図である。
【００４１】
本実施形態が第１の実施形態と相違する点は、本実施形態は、図６のように、球状弾性表面波素子１０と、その北極１１Ｎと南極１１Ｓの部分に設置する棒状の端子１４を保持するために素子ホルダ１７を用いる点である。
（素子ホルダ）
素子ホルダ１７は、図６（ｂ）の正面図のように、４つの支持腕部１７ａを突出させた構造を有する。その４つの支持腕部１７ａが球状弾性表面波素子１０と端子固定部１４ｃを挟み込んで支える。支持腕部１７ａの間には、球状弾性表面波素子１０を保持する治具を入れられる隙間を設ける。４つの支持腕部１７ａを支える素子ホルダ１７の基底部分は、硬質ゴム材料等の弾性を有する材料から構成することで球状弾性表面波素子１０を挟んで押さえる弾力を与える。あるいは、支持腕部１７ａをリン青銅等のバネ材で形成することで弾力を与え、その支持腕部１７ａを素子ホルダ１７の絶縁材料に設置して素子ホルダ１７を製造しても良い。
【００４２】
（端子の構造）
端子１４は、銅板やＳＵＳ板などの金属板を球状弾性表面波素子１０の球面の曲率半径と同じ曲率の円筒面状に曲げた板状の端子固定部１４ｃを有する。そして、その端子固定部１４ｃに円形断面の棒状の端子リード１４ａを接合した構造に構成する。なお、端子リード１４ａは、円形断面に限られず、矩形断面の板状の端子リードを用いることもできる。
【００４３】
（球状弾性表面波部品の組み立て手順）
（ステップ１）
先ず、球状弾性表面波素子１０の位置合わせマーク１６を観察することで球状弾性表面波素子１０の配向を確認して、その配向に合わせて北極１１Ｎの部分を真空ピンセットで掴んで球状弾性表面波素子１０を持ち上げる。次に、南極１１Ｓの部分に下から棒状の治具を押し付けることで、上下から北極１１Ｎと南極１１Ｓを押さえて保持する。
（ステップ２）
次に、図６（ａ）および図６（ｂ）のように、治具で北極１１Ｎと南極１１Ｓの両側から押さえた球状弾性表面波素子１０を素子ホルダ１７の４つの支持腕部１７ａの間に押し込み、素子ホルダ１７に突き当てる。球状弾性表面波素子１０を北極１１Ｎと南極１１Ｓの両側から押さえる治具は、支持腕部１７ａの間の隙間に入れるようにして、素子ホルダ１７に突き当てるまで球状弾性表面波素子１０を支える。図６（ｃ）のように、球状弾性表面波素子１０を突き当てる素子ホルダ１７には、球状弾性表面波素子１０の周回領域１２を避ける溝１７ｂを形成しておき、周回領域１２を素子ホルダ１７に接触させないようにする。
（ステップ３）
次に、図６（ｃ）のように、端子１４の端子固定部１４ｃを、素子ホルダ１７の支持腕部１７ａと球状弾性表面波素子１０の間の隙間に差し込む。この端子固定部１４ｃは、支
持腕部１７ａの弾性により、球状弾性表面波素子１０の素子電極１３（すなわち、１３ａおよび１３ｂ）に密着されて電気接続する。こうして、素子ホルダ１７を利用することで球状弾性表面波部品１１ａを得る。
【００４４】
（球状弾性表面波部品のセンサーホルダへの設置）
次に、図７のように、透孔２１を設けたセンサーホルダ２０のその透孔２１に球状弾性表面波部品１０ａの素子ホルダ１７を収容させ、その端子リード１４ａをセンサーホルダ２０の導体パターン２２の部品端子の位置に半田付けして弾性表面波装置を得る。
【００４５】
本実施形態の弾性表面波装置は、球状弾性表面波素子１０への端子１４の取り付けを素子ホルダ１７を用いて行い、端子１４の取り付け作業において球状弾性表面波素子１０に熱ストレスを加えないため、球状弾性表面波素子１０の圧電体基材１１を熱処理で損傷させない効果がある。特に、耐熱性が２００℃以下の水晶の圧電体基材１１から成る球状弾性表面波素子１０に対しては、この効果が大きい。また、こうして端子リードを設置した球状弾性表面波部品１０ａは、素子ホルダ１７で球状弾性表面波素子１０を保護するため、取り扱いが容易で、速やかにセンサーホルダ２０へ実装できる効果がある。更に、図７のように、この球状弾性表面波部品１０ａを実装した弾性表面波装置は、その感応膜を有する周回領域１２を上方に向けるので、上方から被分析液を容易に感応膜に塗布できる効果がある。
【００４６】
＜第３の実施形態＞
第３の実施形態を、図８を用いて説明する。図８（ａ）は、第３の実施形態の球状弾性表面波部品１０ａを北極１１Ｎ側のＡ−Ａ’面（図８（ｃ））から観察した図であり、図８（ｂ）は、結晶のＺ軸１１ｚに垂直な方向で素子ホルダ１７の下側ホルダ１７ｃと上側ホルダ１７ｄが突出する方向から球状弾性表面波素子１０と素子ホルダ１７を観察した図である。図８（ｃ）は、結晶のＺ軸１１ｚに垂直な方向で図８（ｂ）と９０度異なる方向から観察した、球状弾性表面波素子１０の側面と、素子ホルダ１７の断面を示す図である。
【００４７】
本実施形態も第２の実施形態と同様に素子ホルダ１７を用いるが、本実施形態が第２の実施形態と相違する点は、図８のように、素子ホルダ１７を下側ホルダ１７ｃと上側ホルダ１７ｄから構成し、球状弾性表面波素子１０を下側ホルダ１７ｃ上に設置した後に、球状弾性表面波素子１０の上に上側ホルダ１７ｄを被せた点である。
（素子ホルダ）
図８のように、本実施形態の素子ホルダ１７はエポキシ樹脂や四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）等の樹脂から成る下側ホルダ１７ｃと上側ホルダ１７ｄから構成する。下側ホルダ１７ｃには、球状弾性表面波素子１０を保持するための椀状の凹部を形成し、その椀状の凹部の底には球状弾性表面波素子１０の第２素子電極１３ｂに接して電気接続する端子リード１４ａを露出させて設置する。上側ホルダ１７ｄは、図８（ａ）のように、下側ホルダ１７ｃに垂直に設置した回転軸棒１７ｅを中心として回転させる。上側ホルダ１７ｄには、球状弾性表面波素子１０の第１素子電極１３ａに接して電気接続する端子リード１４ａを設置しておく。
【００４８】
（球状弾性表面波部品の組み立て手順）
（ステップ１）
素子ホルダ１７の上側ホルダ１７ｄを、図８（ａ）のように、下側ホルダ１７ｃの上部を開放する位置まで、回転軸棒１７ｅを中心として回転させる。
（ステップ２）
次に、球状弾性表面波素子１０の位置合わせマーク１６を観察することで球状弾性表面波素子１０の配向を確認して、その配向に合わせて北極１１Ｎの部分を真空ピンセットで
掴んで球状弾性表面波素子１０を持ち上げる。次に、球状弾性表面波素子１０を素子ホルダ１７の下側ホルダ１７ｃの椀状の凹部に設置し、その底部の端子リード１４ａに接させ、第２素子電極１３ｂに電気接続させる。
（ステップ３）
次に、素子ホルダ１７の上側ホルダ１７ｄを、下側ホルダ１７ｃを覆う位置まで回転軸棒１７ｅを中心として回転させる。これにより、図８（ｂ）および図８（ｃ）のように、上側ホルダ１７ｄに設置した端子リード１４ａを球状弾性表面波素子１０の第１素子電極１３ａに接触させて電気接続させ、球状弾性表面波部品１１ａを得る。
【００４９】
本実施形態では、上側ホルダ１７ｄ又は下側ホルダ１７ｃの端子リード１４ａとその取り付け部分に、互いに嵌め合わせるネジを形成することもできる。そうすることで、そのネジを形成した端子リード１４ａを回転させてネジ締めすることで、球状弾性表面波素子１０を強く押さえることができる。
【００５０】
（球状弾性表面波部品のセンサーホルダへの設置）
次に、第２の実施形態の図７と同様に、球状弾性表面波部品１１ａを透孔２１を形成したセンサーホルダ２０に実装して弾性表面波装置を得る。本実施形態の弾性表面波装置は、球状弾性表面波素子１０の北極１１Ｎ部分を真空ピンセットで摘むだけで球状弾性表面波素子１０を速やかに下側ホルダ１７ｃに設置することができる。次に、上側ホルダ１７ｄの端子リード１４ａを、球状弾性表面波素子１０の第１素子電極１３ａに速やかに接触させ電気接続させることができる。本実施形態は、第２の実施形態よりも球状弾性表面波素子１０を保持する治具の数が少ないので、作業が容易になる効果がある。また、素子ホルダ１７への設置作業をより速やかに行える効果がある。
【００５１】
（変形例４）
本実施形態の変形例４を図９を用いて説明する。図９（ａ）は、変形例４の球状弾性表面波部品１０ａを北極１１Ｎ側のＡ−Ａ’面（図９（ｃ））から観察した図であり、図９（ｂ）は、結晶のＺ軸１１ｚに垂直な方向で素子ホルダ１７の下側ホルダ１７ｃと上側ホルダ１７ｄが突出する方向から球状弾性表面波素子１０と素子ホルダ１７を観察した図である。図９（ｃ）は、結晶のＺ軸１１ｚに垂直な方向で図９（ｂ）と方向が９０度異なる方向から観察した、球状弾性表面波素子１０の側面と、素子ホルダ１７の断面を示す図である。
（素子ホルダ）
変形例４の素子ホルダ１７は、ピン１７ｆ付きの上側ホルダ１７ｄを、ピン１７ｆを下側ホルダ１７ｃに、球状弾性表面波素子１０の上面に平行方向に移動させて差し込むことで設置する構造を有する。
【００５２】
（球状弾性表面波部品の組み立て手順）
変形例４では、図９のように、球状弾性表面波素子１０を下側ホルダ１７ｃ上に設置した後に、球状弾性表面波素子１０の上に、ピン１７ｆ付きの上側ホルダ１７ｄを、ピン１７ｆを下側ホルダ１７ｃに差し込んで設置することで、上側ホルダ１７ｄに設置した端子リード１４ａを球状弾性表面波素子１０の第１素子電極１３ａに電気接続させ、球状弾性表面波部品１１ａを得る。この球状弾性表面波部品１１ａを、第２の実施形態の図７と同様に透孔２１を形成したセンサーホルダ２０に実装して弾性表面波装置を得る。
【００５３】
（変形例５）
本実施形態の変形例５を図１０を用いて説明する。図１０は、結晶のＺ軸１１ｚに垂直な方向から観察した、球状弾性表面波素子１０の側面と、素子ホルダ１７の断面を示す図である。
（素子ホルダ）
変形例５の素子ホルダ１７は、ネジ１７ｇ付きの上側ホルダ１７ｄを、下側ホルダ１７ｃに、ネジ１７ｇで締め付けることで設置する構造を有する。
（球状弾性表面波部品の組み立て手順）
変形例５では、図１０のように、球状弾性表面波素子１０を下側ホルダ１７ｃ上に設置し、次に、球状弾性表面波素子１０の上に、上側ホルダ１７ｄを設置し、上側ホルダ１７ｄを貫通して下側ホルダ１７ｃのネジ穴に嵌るネジ１７ｇを締め付けることで、上側ホルダ１７ｄを下側ホルダ１７ｃに固定する。この際に、ネジ１７ｇを締めることで、上側ホルダ１７ｄとそれに設置した端子リード１４ａを、球状弾性表面波素子１０の第１素子電極１３ａに強く押し付けて電気接続させるとともに、球状弾性表面波素子１０を強く保持する球状弾性表面波部品１１ａを得る。ここで、ネジ１７ｇと上側ホルダ１７ｄの間、あるいは、上側ホルダ１７ｄと下側ホルダ１７ｃの間にスプリングバネを入れることで、端子リード１４ａを球状弾性表面波素子１０へ押し付ける力をスプリングバネの弾力による一定の力に調整することが望ましい。また、上側ホルダ１７ｄ自体に板バネを内在させて弾力性を持たせても良い。
【００５４】
本変形例５は、ネジ１７ｇを下側ホルダ１７ｃのネジ穴に締め付けることで上側ホルダ１７ｄとそれに設置した端子リード１４ａを球状弾性表面波素子１０の第１素子電極１３ａに強く押し付けて強固に保持できる効果がある。
【００５５】
（変形例６）
本実施形態の変形例６の球状弾性表面波部品１１ａを図１１を用いて説明する。図１１（ａ）は、結晶のＺ軸１１ｚに垂直な方向から観察した、球状弾性表面波素子１０の側面と、素子ホルダ１７の断面を示す図である。図１１（ｂ）は、球状弾性表面波部品１１ａを実装したセンサーホルダ２０の断面とその球状弾性表面波部品１１ａの側面を示す図である。
（球状弾性表面波素子の構造）
変形例６の球状弾性表面波素子１０は、図１１（ａ）のように、球状弾性表面波素子１０の圧電体基材１１の球面に同時に形成する金属めっきパターンにより、その南極１１Ｓ側に、北側の櫛型電極１５Ｎと一体にした第１素子電極１３ａと、南側の櫛型電極１５Ｓと一体にした第２素子電極１３ｂとの２つの素子電極を形成し、また、北極１１Ｎ側に位置合わせマーク１６を形成する。
（素子ホルダ）
また、素子ホルダ１７は、その下側ホルダ１７ｃには、球状弾性表面波素子１０を保持するための椀状の凹部を形成し、その椀状の凹部の底には２つの端子リード１４ａを露出させて設置する。その端子リード１４ａは、椀状の凹部の底面に接する直線に沿って伸ばす。
【００５６】
（球状弾性表面波部品の組み立て手順）
（ステップ１）
先ず、球状弾性表面波素子１０の位置合わせマーク１６を観察することで配向を確認して、その配向に合わせて位置合わせマーク１６の位置を真空ピンセットで掴んで球状弾性表面波素子１０を持ち上げる。
（ステップ２）
次に、球状弾性表面波素子１０を掴んだ真空ピンセットを移動して、球状弾性表面波素子１０を下側ホルダ１７ｃの凹部の位置に合わせ、その上に降下させて、その第１素子電極１３ａ及び第２素子電極１３ｂを下側ホルダ１７ｃの凹部に露出した端子リード１４ａに接触させ電気接続させる。
（ステップ３）
変形例５と同様に上側ホルダ１７ｄをネジ１７ｇで締め付けて下側ホルダ１７ｃに固定する。
【００５７】
変形例６の球状弾性表面波部品１０ａは、こうして、下側ホルダ１７ｃと上側ホルダ１７ｄで球状弾性表面波素子１０を挟み込むことで下側ホルダ１７ｃに設置した端子リード１４ａを球状弾性表面波素子１０に接触させて電気接続する。変形例６の球状弾性表面波部品１０ａは、その上側ホルダ１７ｄの上部を真空ピンセットで掴んで持ち上げて透孔２１を設けないセンサーホルダ２０に表面実装できるので、速やかにセンサーホルダ２０に実装できる効果がある。
【００５８】
（弾性表面波装置の製造手順）
変形例６では、以上のように球状弾性表面波部品１０ａを透孔２１を設けないセンサーホルダ２０に表面実装する以外に、以下のようにして、透孔２１を設けたセンサーホルダ２０に球状弾性表面波部品１０ａを実装することもできる。
（ステップ１）
先ず、球状弾性表面波部品１０ａの上下を逆さにして球状弾性表面波部品１０ａの端子リード１４ａ側を真空ピンセット等の治具で掴んで持ち上げ、球状弾性表面波素子１０の両端子リード１４ａの位置をセンサーホルダ２０の導体パターン２２の部品端子の位置に合わせする。
（ステップ２）
次に、球状弾性表面波部品１０ａの両端子リード１４ａを導体パターン２２の部品端子の位置に降下させ、素子ホルダ１７の球状弾性表面波素子１０の部分を、センサーホルダ２０の透孔２１に収容する。
（ステップ３）
次に、球状弾性表面波部品１０ａの端子リード１４ａを導体パターン２２の部品端子に半田付けすることで、球状弾性表面波部品１０ａをセンサーホルダ２０に設置して弾性表面波装置を得る。また、この後に、上側ホルダ１７ｄのネジ１７ｇを緩めて上側ホルダ１７ｄを取り外して球状弾性表面波素子１０を解放することで、球状弾性表面波素子１０を取り外して速やかに交換することができる。
【００５９】
変形例６の弾性表面波装置は、センサーホルダ２０の透孔２１に球状弾性表面波素子１０の部分を収納するため、球状弾性表面波素子１０の部分がセンサーホルダ２０内に収納されることで突出することが無いので、センサーホルダ２０を含めた弾性表面波装置の全体の高さを低くできる効果がある。また、球状弾性表面波部品１０ａをセンサーホルダ２０に実装した後に、上側ホルダ１７ｄを取り外すことができるので、球状弾性表面波素子１０をこの弾性表面波装置から取り外して速やかに交換できる効果がある。
【００６０】
なお、この球状弾性表面波部品１１ａは、図１１の紙面に垂直方向に複数重ねて、互いに連結し、上側ホルダ１７ｄ同士を連結し、下側ホルダ１７ｃ同士を連結し、また、センサーホルダ２０の透孔２１を連結し、それらで囲まれた透孔２１の空間を、矩形の断面を有するパイプ状に形成することができる。そして、そのパイプ状空間に成分を分析する流体を流して複数の球状弾性表面波素子１０に接させて流体の成分を分析させることができる。
【００６１】
（変形例７）
本実施形態の変形例７の弾性表面波装置と球状弾性表面波部品１１ａを図１２を用いて説明する。図１２（ａ）は、球状弾性表面波部品１１ａを実装したセンサーホルダ２０の断面とその球状弾性表面波部品１１ａの側面を示す図である。
（素子ホルダ）
図１２（ａ）のように、変形例７の球状弾性表面波部品１１ａの素子ホルダ１７の下側ホルダ１７ｃは平板状であり、球状弾性表面波素子１０を保持するための椀状の凹部の底に２つの端子リード１４ａを露出させて設置する。そして、上側ホルダ１７ｄは、コの字
型に形成し、ネジ１７ｇで下側ホルダ１７ｃに締め付けて固定する。
【００６２】
この球状弾性表面波部品１１ａは、図１２の紙面に垂直方向に複数重ねて、互いに連結し、上側ホルダ１７ｄ同士を連結し、下側ホルダ１７ｃ同士を連結し、それらで囲まれた空間を、矩形の断面を有するパイプ状に形成することができる。そして、そのパイプ状空間に成分を分析する流体を流して複数の球状弾性表面波素子１０に接させて流体の成分を分析させることができる。
【００６３】
また、図１２（ｂ）のように、球状弾性表面波素子１０を下側ホルダ１７ｃに接着剤で固定して、上側ホルダ１７ｄを設置しない球状弾性表面波部品１０ａも製造できる。その接着剤としては、導電性接着剤を用い、それにより下側ホルダ１７ｃの端子リード１４ａに球状弾性表面波素子１０の素子電極１３を接着することができる。また、熱可塑性樹脂や熱硬化性のエポキシ樹脂等の絶縁樹脂の接着剤で、球状弾性表面波素子１０を下側ホルダ１７ｃに接着し、接着剤の硬化収縮により弾性表面波素子１０の素子電極１３を端子リード１４ａに押し付けた球状弾性表面波部品１０ａを製造しても良い。この球状弾性表面波部品１０ａは、球状弾性表面波素子１０の左右の空間から流体の流れを妨げる障害を無くし、分析すべき流体が障害無く自由に球状弾性表面波素子１０の周回領域１２に触れることができ、その成分分析を速やかに行える効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】（ａ）本発明の第１の実施形態の球状弾性表面波素子の斜視図である。（ｂ）本発明の第１の実施形態の球状弾性表面波部品の側面図である。（ｃ）本発明の第１の実施形態の球状弾性表面波部品を端子リード側から観察した正面図である。
【図２】（ａ）本発明の第１の実施形態のセンサーホルダの断面と球状弾性表面波部品の側面を示す図である。（ｂ）本発明の第１の実施形態のセンサーホルダと球状弾性表面波部品の平面図である。
【図３】（ａ）本発明の第１の実施形態の変形例１の球状弾性表面波素子の斜視図である。（ｂ）本発明の第１の実施形態の変形例１の球状弾性表面波部品の側面図である。（ｃ）本発明の第１の実施形態の変形例１の球状弾性表面波部品を端子リード側から観察した正面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態の変形例２のセンサーホルダの断面と球状弾性表面波部品の側面を示す図である。
【図５】本発明の第１の実施形態の変形例３の球状弾性表面波部品の斜視図である。
【図６】本発明の第２の実施形態の球状弾性表面波部品を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施形態のセンサーホルダの断面と球状弾性表面波部品の側面を示す図である。
【図８】本発明の第３の実施形態の球状弾性表面波部品を示す図である。
【図９】本発明の第３の実施形態の変形例４の球状弾性表面波部品を示す図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態の変形例５の球状弾性表面波部品を示す図である。
【図１１】（ａ）本発明の第３の実施形態の変形例６の球状弾性表面波部品を示す図である。（ｂ）本発明の第３の実施形態の変形例６のセンサーホルダの断面と球状弾性表面波部品の側面を示す図である。
【図１２】本発明の第３の実施形態の変形例７のセンサーホルダの断面と球状弾性表面波部品の側面を示す図である。
【符号の説明】
【００６５】
１０・・・球状弾性表面波素子
１０ａ・・・球状弾性表面波部品
１０ｂ・・・貫通孔
１１・・・圧電体基材
１１Ｎ・・・北極
１１Ｓ・・・南極
１１ｚ・・・結晶のＺ軸
１２・・・周回領域
１３・・・素子電極
１３ａ・・・第１素子電極
１３ｂ・・・第２素子電極
１４・・・端子
１４ａ・・・端子リード
１４ｂ・・・端子接合部
１４ｃ・・・端子固定部
１５・・・弾性表面波発生部
１５Ｎ・・・北側櫛型電極
１５Ｓ・・・南側櫛型電極
１６・・・位置合わせマーク
１７・・・素子ホルダ
１７ａ・・・支持腕部
１７ｂ・・・溝
１７ｃ・・・下側ホルダ
１７ｄ・・・上側ホルダ
１７ｅ・・・回転軸棒
１７ｆ・・・ピン
１７ｇ・・・ネジ
２０・・・センサーホルダ
２１・・・透孔
２２・・・導体パターン
【図１】
0005151346.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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