(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン材料を収納した状態で洗浄するための洗浄籠であって、その底板部及び周壁部に多数の貫通孔が形成されるとともに、これら底板部及び周壁部のうちの上方に向けられた各表面のうちの少なくとも一部が、内方から外方に向けて漸次下方に傾斜する傾斜面とされ、
前記上方に向けられた表面には、前記周壁部に形成された貫通孔の内周面のうちの底部の表面が含まれており、
前記周壁部の外面には、外方に突出する補強用の横リブが前記底板部に平行に設けられるとともに、前記上方に向けられた表面には、前記横リブの上面が含まれており、
前記底板部の中央部には、前記底板部の他の部分よりも厚さが大きい厚肉部が形成されており、この厚肉部の上面が、中心から外方に向けて下方に傾斜する傾斜面とされていることを特徴とするシリコン材料用洗浄籠。
【請求項２】
前記厚肉部においては、貫通孔が形成されていないことを特徴とする請求項１に記載のシリコン材料用洗浄籠。
【請求項３】
前記底板部の外底面には、当該外底面を設置面から離間させる突起部が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のシリコン材料用洗浄籠。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多結晶シリコン（シリコン材料）を洗浄する際に使用されるシリコン材料用洗浄籠に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、高純度多結晶シリコンを製造する方法として知られるシーメンス法は、金属シリコンと塩化水素ガスの反応により三塩化シランを製造し、その三塩化シランを水素還元又は熱分解することにより、シリコン芯棒上にシリコンを析出させて円柱状の多結晶シリコンを生成する方法である。この多結晶シリコンは、短尺に切断したり破砕したりして小さい塊状とされ、その塊状のシリコン材料を洗浄籠の中に収納した状態で、フッ酸と硝酸を混合した酸（以下、洗浄液という）で満たされた洗浄槽にその洗浄籠ごと浸漬させてエッチング洗浄を行い、その後、純水で洗浄される。
【０００３】
この多結晶シリコンを洗浄する洗浄籠として、特許文献１に示される洗浄用具が知られている。この洗浄用具は、円柱状の多結晶シリコンを直立状態で収納可能する洗浄籠と、該洗浄籠内に直立収納された多結晶シリコンと該洗浄籠の内壁との間に配置された洗浄治具とを有している。その洗浄治具は、洗浄籠内に直立収納された多結晶シリコンに局部的に接触する構成とされており、部分接触状態とすることにより、洗浄液が洗浄籠内の多結晶シリコンに付着、残存することが防止されて、多結晶シリコンにおける酸化しみの形成が防止される。
【特許文献１】特開２０００−１４３４００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、洗浄治具が介在していたとしても、洗浄籠に未だ洗浄液が残留していると、状況によっては洗浄籠に残留した洗浄液が多結晶シリコンに付着することもあり、可能な限り洗浄籠にも、洗浄液を残留させずに取り除くことが求められている。また、洗浄治具を用いず、直接、洗浄籠内に砕いた多結晶シリコンの塊を入れた状態で、洗浄液に浸漬して、当該多結晶シリコンを洗浄する場合もあり、この場合も同様に、洗浄籠に洗浄液が残留しないように、可能な限り洗浄液を取り除く必要がある。
【０００５】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、多結晶シリコンの洗浄時において可能な限り洗浄液を残留させず、多結晶シリコンに酸化しみを発生させることを防止するシリコン材料用洗浄籠の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の洗浄籠は、シリコン材料を収納した状態で洗浄するための洗浄籠であって、その底板部及び周壁部に多数の貫通孔が形成されるとともに、これら底板部及び周壁部のうちの上方に向けられた各表面のうちの少なくとも一部が、内方から外方に向けて漸次下方に傾斜する傾斜面とされ、前記上方に向けられた表面には、前記周壁部に形成された貫通孔の内周面のうちの底部の表面が含まれており、前記周壁部の外面には、外方に突出する補強用の横リブが前記底板部に平行に設けられるとともに、前記上方に向けられた表面には、前記横リブの上面が含まれており、前記底板部の中央部には、前記底板部の他の部分よりも厚さが大きい厚肉部が形成されており、この厚肉部の上面が、中心から外方に向けて下方に傾斜する傾斜面とされていることを特徴とする。
このような構成の洗浄籠において、上方に向けられた表面に洗浄液が溜まり易いが、それが傾斜面とされることにより、この傾斜面を通じて外方側に流れ落ち、これによって洗浄液の排出、液切れを確実にすることができる。この傾斜面は、上方に向けられた表面のすべてでなくとも、そのうちの必要な箇所に形成すればよい。
この場合、前記上方に向けられた表面には、前記周壁部に形成された貫通孔の内周面のうちの底部の表面が含まれる。
すなわち、シリコン材料洗浄後に、周壁部の貫通孔内に付着した洗浄液が、この貫通孔の底部の傾斜面を通じて外方側に流れ落ち、これによって洗浄液の排出、液切れを確実にすることができる。
【０００７】
また、前記周壁部の外面には、外方に突出する補強用の横リブが前記底板部に平行に設けられるとともに、前記上方に向けられた表面には、前記横リブの上面が含まれる構成とされている。
この洗浄籠では、横リブが突出形成されていることから、搬送等の取り扱い時に横リブの部分を支持するなどにより、洗浄籠の変形等を防止することができ、搬送作業の自動化を図ることが可能になる。そして、この横リブの上面を傾斜面としたことにより、シリコン材料洗浄後に、横リブ上に付着した洗浄液がその傾斜面を通じて外方側に流れ落ち、これによって上述した貫通孔と同様に、洗浄液の排出、液切れを確実に行うことができる。
【０００８】
また、前記上方に向けられた表面には、前記底板部の少なくとも中央部の表面が含まれる構成とされている。
このような構成の洗浄籠においても、シリコン材料洗浄後において、底板部上に付着した洗浄液が、その傾斜面によって外方に流れ落ち、これによって上述した貫通孔、横リブの傾斜面と同様に、洗浄液の排出、液切れを確実に行うことができる。特に、洗浄籠の底板部上にはシリコン材料が載置されているため、シリコン材料と底板部との間に洗浄液が付着し易い状態となっているが、この底板部の少なくとも中央部に傾斜面を形成したことから、シリコン材料と底板部との間の洗浄液を効果的に排出することができる。
さらに、前記厚肉部においては、貫通孔が形成されていない構成としてもよい。
また、前記底板部の外底面には、当該外底面を設置面から離間させる突起部が形成されている構成としてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のシリコン材料用洗浄籠によれば、傾斜面を通じて洗浄液が外方側に流れ落ちて表面に溜まらないので、洗浄液の排出、液切れを確実に行うことができ、内部に収容されているシリコン材料への酸化しみの発生を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は一実施形態のシリコン材料用洗浄籠１の外観を示す正面図、図２はその平面図である。
この洗浄籠１は、合成樹脂の射出成形により、図１及び図２に全体を示すように角形の箱状に形成されており、ほぼ正方形の底板部２の上に周壁部３が一体に立設された構成とされている。周壁部３は、底板部２の四つの辺のそれぞれに沿う四面の壁３ａからなる角筒状をなしており、この周壁部３の上部には開口４が形成される。つまり、このシリコン洗浄籠１は、上方を開放状態とした箱状に形成されており、その上部の開口４から内部空間５に塊状のシリコン材料が出し入れされる構成である。
【００１１】
また、これら底板部１及び周壁部３の各壁３ａには、多数の貫通孔６，７が格子状に形成されており、これら貫通孔６，７を通じて、洗浄後の洗浄液が排出されるようになっている。この場合、各貫通孔６，７は、横断面が正方形の角孔とされており、上下左右に整列された格子状に配置されている。また、周壁部３に形成された各貫通孔６の内周面のうち、底部を除く３面はほぼ壁３ａの厚さ方向に沿って形成されているが、図４に示すように底部は厚さ方向に対して若干傾斜しており、外方に向けて漸次下方に傾斜する傾斜面８とされている。この貫通孔６の傾斜面８の傾斜角θは、適宜設定されるものであるが、この実施形態では、周壁部３のすべての貫通孔６において同じ傾斜角とされ、例えば厚さ方向に対して１０度程度傾斜するものであることが好ましい。
【００１２】
また、周壁部３の外面には、その上端に外向きのフランジ１１が一体に形成されるとともに、このフランジ１１よりも下方位置の上下２段に、外方に突出するように補強用の横リブ１２が設けられている。これら横リブ１２は、周壁部３の高さ方向の中央部よりも若干上方の位置と底板部付近の下部位置との２箇所に水平にかつ周壁部３の全周に亙って形成されており、その上面は、外方に向けて漸次下方に傾斜する傾斜面１３とされている。
【００１３】
また、図１及び図２において符号１４，１５で示すものは、横リブ１２に接続される縦リブである。これら縦リブ１４，１５は、フランジ１１と上段の横リブ１２との間、及び両横リブ１２の間をそれぞれ接続するように設けられている。この場合、周壁部３の各壁３ａの面に２本ずつ縦リブ１４，１５が設けられており、特に、フランジ１１と上段の横リブとの間に縦リブ１４が平行に設けられることにより、これらフランジ１１、横リブ１２、縦リブ１４によって囲まれた矩形の凹部１６が横向きに形成され、この凹部１６に、この洗浄籠１を搬送する際に洗浄籠１を把持するための図示略のハンドリングアームが係合することができるようになっている。
【００１４】
また、底板部２の中央部には、他の部分よりも厚さが大きい厚肉部２１が形成されている。この厚肉部２１は、図５に示すように、他の部分とは異なり貫通孔が形成されない板状に形成されており、この厚肉部２１の上面が、中心から外方に向けて下方に傾斜する傾斜面２２とされている。このため、厚肉部２１は底板部２の上面中央部が傾斜面２２によって山形に突出して形成されることになり、シリコン材料を洗浄した後において、この山形の厚肉部２１上に接触した洗浄液が、その傾斜面２２によって中央から外方に流れ落ち、これによって上述した貫通孔６や横リブ１２の傾斜面８，１３と同様に、洗浄液の排出、液切れがなされる構成である。
また、底板部２の外底面には、この正方形の底板部２の四隅に対応するように四つの突起部２３が設けられており、これら突起部２３はすべて同じ高さに形成され、洗浄籠１を床面等の設置面に設置したときに底板部２の外底面を設置面から離間させることができるようになっている。
【００１５】
以上のように構成したシリコン材料用洗浄籠１では、塊状のシリコン材料が収容された状態で、搬送装置のハンドリングアームを前記凹部１６に係合させて搬送しながら、複数の洗浄槽（図示略）内に順次浸漬され洗浄される。洗浄後は洗浄槽から引き上げられた後、乾燥機（図示略）で乾燥され、梱包等がなされるが、洗浄籠１はこの梱包までの間シリコン材料を収容状態とする。
【００１６】
この一連の作業において、洗浄籠１には、底板部２及び周壁部３に貫通孔６，７が形成されていることから、洗浄槽から洗浄籠１を引き上げれば、洗浄液が貫通孔６，７から流れ落ちることになる。また、一般に横向きの孔等には内周面の底部に液が溜まり易いが、この洗浄籠１において水平方向に向く周壁部３の貫通孔６においては、その内周面の底部が外方に向けて漸次下方に傾斜する傾斜面８に形成されていることから、洗浄液が溜まることなく、速やかに外方に流れ落ちる。また、周壁部３の横リブ１２上面にも、外方に向けて漸次下方に傾斜する傾斜面１３が形成されているから、この横リブ１２上にも洗浄液は溜まりにくい。
【００１７】
一方、洗浄籠１の底板部２は、その上にシリコン材料が載置されているため、シリコン材料と底板部２との間が微小隙間となって洗浄液が溜まり易い状態にあるが、洗浄液は、底板部２の貫通孔７から大部分は流れ落ち、また、底板部２の中央部には山形の厚肉部２１が形成され、中心から外方に向けて漸次下方に傾斜する傾斜面２２が形成されていることから、底板部２上に残る若干の洗浄液もこの傾斜面２２に沿って外方に流れ落ち、その周りに配置されている貫通孔７から流下させられることになる。
さらに、洗浄後に洗浄籠１ごと乾燥機内に載置されて乾燥されるが、このとき洗浄籠１の外底面は突起部２３によって乾燥機の床面から浮かせられた状態となって、底板部２の外底面が床面と面接触することがないので、素早く液切れを行うことができる。
【００１８】
なお、本発明においては、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更をすることが可能である。例えば、前記実施形態では洗浄籠の概観を角形の箱状としたが、円筒形状のものであってもよく、四角形以上の多角形であってもよい。また、周壁部に形成された貫通孔のすべてに傾斜面を形成したが、一部の貫通孔にのみ形成するものも含むものとする。さらに、本実施形態は、補強用の横リブは周壁部の中間位置と下部との２箇所に設けたが、２箇所に限定されず、上部のみであっても良いし、さらに追加して３箇所以上であっても良い。また、底壁部の中央部に貫通孔を有しない厚肉部を形成したが、貫通孔を有する構造としてもよい。さらに、周壁部上端に形成したフランジの上面も、横リブと同様に、洗浄液が流れ落ちるように外方に向けて下方に傾斜させるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明のシリコン材料用洗浄籠の一実施形態を示す正面図である。
【図２】図１の洗浄籠の平面図である。
【図３】図１の洗浄籠の縦断面図である。
【図４】図３のＡで囲った部分の拡大図である。
【図５】図３のＢで囲った部分の拡大図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  洗浄籠
２  底板部
３  周壁部
３  開口
５  内部空間
６，７  貫通孔
６  傾斜面
１１  フランジ
１２  横リブ
１３  傾斜面
１４，１５  縦リブ
１６  凹部
２１  厚肉部
２２  傾斜面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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