(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合レンズとよりなる正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズ成分を含み全体として正の屈折力を有する第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に向けた凸面で全体として負の屈折力を有する第４レンズ群にて構成され、下記条件（１）、（２）、（３）を満足し、全系の焦点距離が下記（５）の範囲内で下記条件（４）を満足する顕微鏡対物レンズ。
（１）  ６＜ｆ2／ｆ＜１６
（２）  ０．２＜ｆ2／ｆ3＜１．２
（３）  ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＞４
（４）  −４．６４３＜ｆ4／ｆ＜−２
（５）  １＜ｆ＜５
ただし、ｆ2は第２レンズ群の焦点距離、ｆ3は第３レンズ群の焦点距離、ｆは対物レンズ全系の焦点距離、Ｒ3は第３レンズ群の最も像側の面の曲率半径、Ｒ4は第４レンズ群の最も物体側の面の曲率半径、ｆ4は第４レンズ群の焦点距離である。
【請求項２】
下記条件（８）を満足する請求項１の顕微鏡対物レンズ。
（８）  １＜ｆ1／ｆ＜５
ただし、ｆ1は前記第１レンズ群の焦点距離である。
【請求項３】
下記条件（９）を満足する請求項１又は２の顕微鏡対物レンズ。
（９）  Ｈ2／Ｈ3＜１
ただし、Ｈ2は第２レンズ群の最も高い光線高、Ｈ3は第３レンズ群の最も高い光線高である。
【請求項４】
下記条件（１０）を満足する請求項１、２又は３の顕微鏡対物レンズ。
（１０）  Ｎ1＞１．７
ただし、Ｎ1は第１レンズ群の最も物体側のレンズの屈折率である。
【請求項５】
下記条件（１１）を満足する請求項１、２、３又は４の顕微鏡対物レンズ。
（１１）  ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＞１
ただし、Ｒ1、Ｒ2は夫々前記第１レンズ群の最も物体側のレンズの物体側の面および像側の面の曲率半径である。
【請求項６】
前記第４レンズ群が凸レンズと凹レンズを接合した接合レンズを含み下記条件（１２）を満足する請求項１、２、３、４又は５の顕微鏡対物レンズ。
（１２）  ν(4p)＜３５
ただし、ν(4p)は、前記第４レンズ群の接合レンズの凸レンズのアッベ数である。
【請求項７】
下記条件（１３）を満足する請求項１、２、３、４、５又は６の顕微鏡対物レンズ。
（１３）  ０＜Ｄ＜３
ただし、Ｄは第３レンズ群と第４レンズ群の光軸上の空気間隔（ｍｍ）である。
【請求項８】
物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合レンズとよりなる前記第１レンズ群と、
物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズを貼り合わせた接合レンズよりなる前記第２レンズ群と、
両凹レンズと両凸レンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズとを貼り合わせた接合レンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズとを貼り合わせた接合レンズよりなる前記第３レンズ群と、
物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズと像側と凹面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと単体の両凹レンズとよりなる前記第４レンズ群とにて構成された請求項１、２、３、４、５、６又は７の顕微鏡対物レンズ。
【請求項９】
物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合レンズとよりなる前記第１レンズ群と、
物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズを貼り合わせた接合レンズよりなる前記第２レンズ群と、
両凹レンズと両凸レンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズとを貼り合わせた接合レンズと両凸レンズと両凹レンズとを貼り合わせた接合メニスカスレンズよりなる前記第３レンズ群と、
両凸レンズと両凹レンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと単体の両凹レンズとよりなる前記第４レンズ群とにて構成された請求項１、２、３、４、５、６又は７の顕微鏡対物レンズ。
【請求項１０】
物体側から順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズと物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズを貼り合わせた接合レンズとよりなる正の屈折力を有する第１レンズ群と、単体の両凸レンズ、または像側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズよりなる正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズ成分を含み全体として正の屈折力を有する第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に向けた凸面で全体として負の屈折力を有する第４レンズ群にて構成され、下記条件（１）、（２）、（３）、（１０）を満足し、全系の焦点距離が下記（５）の範囲内で下記条件（４）を満足する顕微鏡対物レンズ。
（１）  ６＜ｆ2／ｆ＜１６
（２）  ０．２＜ｆ2／ｆ3＜１．２
（３）  ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＞４
（４）  −１０＜ｆ4／ｆ＜−２
（５）  １＜ｆ＜５
（１０）Ｎ1＞１．７
ただし、ｆ2は第２レンズ群の焦点距離、ｆ3は第３レンズ群の焦点距離、ｆは対物レンズ全系の焦点距離、Ｒ3は第３レンズ群の最も像側の面の曲率半径、Ｒ4は第４レンズ群の最も物体側の面の曲率半径、ｆ4は第４レンズ群の焦点距離、Ｎ1は第１レンズ群の最も物体側のレンズの屈折率である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡対物レンズに関し、特に、物体側に配置されたカバーガラス等の透明な平行平面板の厚さが変化した場合でも良好な結像性能が得られるようにした補正環付顕微鏡対物レンズに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、顕微鏡対物レンズは、カバーガラス等の平行平面板の厚さが設計値より大きく異なる場合は、その結像性能が劣化する。この傾向は、対物レンズの開口数（ＮＡ）が大きくなる程顕著になる。
【０００３】
従来、カバーガラスの厚さの変化に応じて、対物レンズ内のレンズ間隔を変化させて、収差変動を補正するいわゆる補正環対物レンズが知られている。
【０００４】
このような補正環対物レンズの従来例として、下記文献のレンズ系が知られている。
【特許文献１】特開平１０−１４２５１０号公報
【特許文献２】特開平８−１１４７４７号公報 これら従来例のうち、特許文献１に記載されている対物レンズは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つレンズと像側に凸面を向けた正の屈折力を持つレンズとの接合レンズからなる第１レンズ群と、負の屈折力の接合面を有する接合レンズの第２レンズ群と、発散光束を収斂光束に変える第３レンズ群と、最も像側の面が凹面である負の屈折力を有する第４レンズ群とより構成され、第２レンズ群を光軸に沿って移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差補正を行なっている。
【０００５】
また、特許文献２には、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正のメニスカスレンズ成分を有し、物体からの光をほぼ平行光束に変換する正の屈折力を有する第１レンズ群と、発散性の接合面を含み合成の屈折力が正の屈折力である第２レンズ群と、強い発散作用を持つ負の屈折面を有する第３レンズ群と負の屈折力を有する第４レンズ群にて構成された対物レンズで、第２レンズ群を光軸に沿って移動させることにより、カバーガラスの厚さの変化による収差補正を行なっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、ガラス等の透明な平行平面板の下に配線を行なう製品や、光学素子を組み込んだ電子機器が増加しており、液晶基板の検査等に見られるような、透明な平行平面板越しに物体の検査を行ない得る装置の需要が高まっている。
【０００７】
このような装置に用いられる顕微鏡対物レンズは、高開口数であることと、長作動距離であることが求められ、補正環対物レンズにおいても高開口数であることと、長作動距離であることが求められる。補正環対物レンズの場合、更に透明な平行平面板越しの物体検査装置に組み込み易いように、コンパクトであることが要求される。
【０００８】
しかし、対物レンズは、高ＮＡで、長作動距離になるにつれ、レンズの径は大になる傾向にある。
【０００９】
前記特許文献１の対物レンズは、ＮＡが大きく、収差が抑えられ、高解像で高コントラストであるが、移動群の後ろの群の光線高を十分に抑えきれず、対物レンズの最大光線高つまり対物レンズ全体の径が大であり、装置に組み込みにくい。
【００１０】
また、特許文献２の対物レンズは、ＮＡが大きく、接合レンズにより色収差が補正され、高解像で高コントラストであるが、移動群の光線高が高く、補正群の移動メカ機構を配置するスペースがなくなり、移動機構を配置すると移動機構を含む対物レンズ全体の径が大になり、装置に組み込みにくい。
【００１１】
本発明は、上記のような従来例の問題点を解決するためになされたもので、良好な結像性能を有し、かつ補正環による移動機構のスペースを確保したコンパクトな対物レンズを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合レンズとよりなる正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズ成分を含み全体として正の屈折力を有する第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に向けた凸面で全体として負の屈折力を有する第４レンズ群にて構成され、次の条件（１）、（２）、（３）を満足するものである。
【００１３】
（１） ６＜ｆ2／ｆ＜１６
（２） ０．２＜ｆ2／ｆ3＜１．２
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＞４
ただし、ｆ2は第２レンズ群の焦点距離、ｆ3は第３レンズ群の焦点距離、ｆは対物レンズ全系の焦点距離、Ｒ3は第３レンズ群の最も像側の面の曲率半径、Ｒ4は第４レンズ群の最も物体側の面の曲率半径である。
【００１４】
また、本発明の対物レンズは、上記構成のレンズ系であって、全系の焦点距離が下記条件（５）を満足するもので、更に条件（４）を満足することを特徴とする。
【００１５】
（４） −１０＜ｆ4／ｆ＜−２
（５） １＜ｆ＜５
ただし、ｆ4は第４レンズ群の焦点距離である。
【００１６】
本発明に対する参考発明の顕微鏡対物レンズは、前記のレンズ構成つまり前記の第１、第２、第３、第４レンズ群よりなり、条件（１）、（２）、（３）を満足するレンズ系で、全系の焦点距離ｆが下記条件（７）を満足する範囲内で、第４レンズ群の焦点距離ｆ4'が条件（６）を満足するものである。
【００１７】
（６） −４０＜ｆ4’／ｆ＜−２０
（７） ８＜ｆ＜１１
本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群が下記条件（８）を満足することが望ましい。
【００１８】
（８） １＜ｆ1／ｆ＜５
ただし、ｆ1は第１レンズ群の焦点距離である。
【００１９】
前記の顕微鏡対物レンズにおいて、即ち、前記第１レンズ群、第２レンズ群、第３レンズ群にて構成され、条件（１）、（２）、（３）を満足する対物レンズで、第２レンズ群のうちの最も高い光線高をＨ2、第３レンズ群のうちの最も高い光線高をＨ3とする時、下記条件（９）を満足することが望ましい。
【００２０】
（９） Ｈ2／Ｈ3＜１
また、前記本発明の対物レンズにおいて、第１レンズ群の最も物体側のレンズの屈折率Ｎ1を下記条件（１０）を満足する範囲内にすることが望ましい。
【００２１】
（１０） Ｎ1＞１．７
前記顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群の物体側の面の曲率半径をＲ1、像側の面の曲率半径をＲ2とする時、下記条件（１１）を満足することが好ましい。
【００２２】
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＞１
前記本発明の対物レンズにおいて、第４レンズ群を凸レンズと凹レンズを接合した接合レンズを含む構成とし、凸レンズのアッベ数をν(4p)とする時、下記条件（１２）を満足することが望ましい。
【００２３】
（１２） ν(4p)＜３５
前記本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、第３レンズ群と第４レンズ群の間の空気間隔をＤとする時、下記条件（１３）を満足することが好ましい。
【００２４】
（１３） ０＜Ｄ＜３
尚、本発明の顕微鏡対物レンズは、以上述べた通りであるが、下記の通りのレンズ系も本発明の目的を達成し得る。
【００２５】
即ち、本発明の対物レンズは、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合レンズとよりなる正の屈折力を有する第１レンズ群と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズを貼り合わせた接合レンズよりなる正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、両凹レンズと両凸レンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズとを貼り合わせた接合レンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズとを貼り合わせた接合レンズよりなる第３レンズ群と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズと像側と凹面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと単体の両凹レンズとよりなる第４レンズ群とよりなり、前記の条件（１）、（２）、（３）を満足するレンズ系で、全系の焦点距離ｆが前記の（５）に示す範囲内であって、条件（４）を満足するもの、更に条件（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）の少なくとも一つの条件を満足するレンズ系も本発明の目的を達成し得る。
また、本発明の対物レンズは、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合レンズとよりなる正の屈折力を有する第１レンズ群と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズを貼り合わせた接合レンズよりなる正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、両凹レンズと両凸レンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズとを貼り合わせた接合レンズと両凸レンズと両凹レンズとを貼り合わせた接合メニスカスレンズよりなる第３レンズ群と、両凸レンズと両凹レンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと単体の両凹レンズとよりなる第４レンズ群とよりなり、前記の条件（１）、（２）、（３）を満足するレンズ系で、全系の焦点距離ｆが前記の（５）に示す範囲内であって、条件（４）を満足するもの、更に条件（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）の少なくとも一つの条件を満足するレンズ系も本発明の目的を達成し得る。
また、本発明の対物レンズは、物体側から順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズと物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズを貼り合わせた接合レンズとよりなる正の屈折力を有する第１レンズ群と、単体の両凸レンズ、または像側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズよりなる正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズ成分を含み全体として正の屈折力を有する第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に向けた凸面で全体として負の屈折力を有する第４レンズ群にて構成され、条件（１）、（２）、（３）、（１０）を満足し、全系の焦点距離ｆが前記の（５）に示す範囲内であって条件（４）を満足するレンズ系も本発明の目的を達成し得る。
【００２６】
次に、上記の本発明のレンズ構成並びに各条件の設定の理由について述べる。
【００２７】
本発明の顕微鏡対物レンズは、前述のように、正の第１レンズ群と、正の第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズ成分を含む正の第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に凸の面である負の第４レンズ群とよりなり、前記条件（１）、（２）、（３）を満足する。
【００２８】
本発明の対物レンズは、まず正の第１レンズ群により物体より出る高いＮＡの光線の開き角を小さくする作用を有する。
【００２９】
そして、次の第２レンズ群により光束径の広がりを抑えるようにしている。これにより、球面収差や色収差を効果的に補正するようにしている。また、この第２レンズ群は、光軸に沿って移動させることによりガラス等の透明な平行平面板の厚さの変化による球面収差の変動を調整している。
【００３０】
更に、第２レンズ群は、条件（１）を満足するようにその屈折力を規定している。
【００３１】
この条件（１）において、ｆ2／ｆが下限値の６よりも小になると、第２レンズ群の屈折力が強くなりすぎて負の球面収差が発生し、第１レンズ群で発生する球面収差を補正することが困難である。逆に条件（１）の上限値の１６より大になると、第２レンズ群の屈折力が弱くなり、光束径を抑えきれず、次の第３レンズ群の最大光線高が高くなりすぎて、対物レンズ全体の径が大になる。
【００３２】
次に、第２レンズ群からの光束は、第３レンズ群により収斂される。
【００３３】
本発明の対物レンズは、第２レンズ群を移動させるため、この移動群の移動機構のスペースを確保する必要がある。そのため、光線高のバランスをとることを特徴としている。
【００３４】
対物レンズ全体の最大光線高よりも、移動レンズ群の光線高が小であるとメカ機構を含めた対物レンズ全体の径を大にすることなしに移動レンズ群のメカ機構を配置することができる。
【００３５】
このような関係にするためには、第２レンズ群と第３レンズ群の屈折力の比が条件（２）を満足する必要がある。
【００３６】
（２） ０．２＜ｆ2／ｆ3＜１．２
この条件（２）は、第２レンズ群と第３レンズ群における収斂させる屈折力の比を定めたもので、これにより第２レンズ群と第３レンズ群の収斂のバランスをとるようにしている。
【００３７】
第２レンズ群の焦点距離が第３レンズ群の焦点距離よりも小さいか、近い値であると両レンズ群による収斂のバランスをとることができる。
【００３８】
ｆ2／ｆ3の値が条件（２）の上限値の１．２よりも大になると、移動レンズ群（第２レンズ群）より後ろのレンズ群の光線高が高くなりすぎて、対物レンズ全体の径が大きくなる。また光線高の高い光線では、高次の収差が発生する。
【００３９】
逆にｆ2／ｆ3の値が下限値の０．２より外れて小になると、移動レンズ群である第２レンズ群の光線高が高くなりすぎて移動群のメカ機構のスペースがなくなる。
【００４０】
更に、本発明の対物レンズは、第３レンズ群が接合レンズ成分を含むことにより、色収差の補正を行なっている。
【００４１】
また、本発明のレンズ径は、第１レンズ群、第２レンズ群、第３レンズ群に大きな屈折力を有する。そのために、第４レンズ群をその最も物体側の面を物体側に凸の面とし、このレンズ群全体を負の屈折力を有するようにし、更に、第３レンズ群の最も像側の面と第４レンズ群の最も物体側の面の曲率半径の関係を条件（３）を満足するように定める必要がある。
【００４２】
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＞４
この条件（３）より外れ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜の値が４より小になると、第３レンズ群から第４レンズ群にかけて光線を十分に下げることができなくなり、十分な負の屈折力を得られず、ペッツバール和を適正な値にコントロールできなくなる。
【００４３】
本発明の対物レンズは、全系の焦点距離ｆが、下記条件（５）の範囲内のレンズ系の場合、第４レンズ群の焦点距離ｆ4を次の条件（４）を満足するようにしている。
【００４４】
（４） −１０＜ｆ4／ｆ＜−２
（５） １＜ｆ＜５
条件（４）においてｆ4／ｆの値が上限値の−２より大になると、コマ収差が発生するため好ましくない。またｆ4／ｆの値が下限値の−１０より小になると、この第４レンズ群の負の屈折力が小になり、ペッツバール和を適正な値に保つことができなくなる。
【００４５】
また、本発明に対する参考発明の対物レンズの全系の焦点距離ｆが下記条件（７）の範囲内の場合は、第４レンズ群の焦点距離ｆ4'が下記条件（６）を満足することが望ましい。
【００４６】
（６） −４０＜ｆ4’／ｆ＜−２０
（７） ８＜ｆ＜１１
この場合も、ｆ4’／ｆの値が条件（６）の上限値の−２０より大になると、コマ収差が発生するため好ましくない。またｆ4’／ｆの値が下限値の−４０より小になると、この第４レンズ群の負の屈折力が小になり、ペッツバール和を適正な値に保つことができなくなる。
【００４７】
本発明の対物レンズは、前述のように、第１レンズ群において物体から出る高ＮＡの光束の開き角を小さくしている。この第１レンズ群の屈折力ｆ1は、次の条件（８）を満足するように設定することが望ましい。
【００４８】
（８） １＜ｆ1／ｆ＜５
この条件（８）は、第１レンズ群の屈折力を規定するもので、球面収差、コマ収差、色収差を補正し、また光線高をコントロールするための条件である。
【００４９】
この条件（８）において、ｆ1／ｆが下限値の１より小になると、この第１レンズ群の屈折力が強くなりすぎて、球面収差、コマ収差、色収差が大きく補正不足になり、この第１レンズ群より後のレンズ群にての補正が困難になる。
【００５０】
逆に、ｆ1／ｆが上限値の５より大になると、第１レンズ群の屈折力が弱くなりすぎて、光束径を十分絞りきれなくなり、次の第２レンズ群で光線高が高くなり、移動群である第２レンズ群の移動させるためのメカ機構のスペースを確保できなるなる。更に、第２レンズ群での光線高が高くなることにより高次の球面収差が発生する。
【００５１】
以上述べた本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、下記条件（９）を満足することが望ましい。
【００５２】
（９） Ｈ2／Ｈ3＜１
この条件（９）において、Ｈ2／Ｈ3の値が上限値１より大になると、第２レンズ群の光線高が高くなりレンズの径が大になり、移動群のメカ機構のスペースがなくなる。
【００５３】
更に、本発明の対物レンズにおいて、下記条件（１０）を満足することが望ましい。
【００５４】
（１０） Ｎ1＞１．７
第１レンズ群の最も物体側のレンズの屈折率Ｎ1に関する条件で、球面収差、コマ収差を良好に補正するための条件である。この屈折率Ｎ1を大きな値にすることにより、このレンズの像側の面の曲率を緩くして球面収差、コマ収差の発生を防ぐことができる。Ｎ1の値の条件（１０）の下限値の１．７より小になると、球面収差、コマ収差が発生し、後のレンズ群にて補正することが困難になる。
【００５５】
また、本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、下記条件（１１）を満足すればより望ましい。
【００５６】
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＞１
ただし、Ｒ1、Ｒ2は、夫々第１レンズ群の最も物体側のレンズの物体側の面の曲率半径および像側の面の曲率半径である。
【００５７】
この条件（１１）は長い作動距離の対物レンズで、球面収差、コマ収差、フレア等に関するものである。
【００５８】
長作動距離の対物レンズは、第１レンズ群の最も物体側の面の曲率半径を大にしてフレアを小さくし、像側の面の曲率半径を小さくして球面収差、コマ収差の発生を防ぐようにしている。
【００５９】
この条件（１１）において、下限値の１より小になると、フレアが発生すると共に、球面収差、コマ収差が発生し、このレンズ以降のレンズにより補正しきれなくなる。
【００６０】
また、本発明の対物レンズにおいて、第４レンズ群中の接合レンズの凸レンズのアッベ数ν(4p)が下記条件（１２）を満足することが望ましい。
【００６１】
（１２） ν(4p)＜３５
上記条件（１２）は、色収差を補正するためのもので、前記凸レンズのアッベ数ν(4p)が３５より大になると、色収差が補正不足になる。
【００６２】
更に、本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、第３レンズ群と第４レンズ群の軸上空気間隔Ｄを下記条件（１３）を満足する範囲内に設定することが望ましい。
【００６３】
（１３） ０＜Ｄ＜３
この空気間隔Ｄが上限値の３以上になって大になると、第３レンズ群にて高くなっている第４レンズ群のスペースが小になりすぎる。もしくは、第４レンズ群の負の屈折力を強くせざるを得なくなり、コマ収差が発生するため好ましくない。
【発明の効果】
【００６４】
本発明の対物レンズは、十分良好な結像性能を有し、補正環による移動機構のスペースを確保し、しかもコンパクトな構成で、透明な平行平面板の厚さの変化による収差変動を良好に補正し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の実施例１の断面図
【図２】本発明の実施例２の断面図
【図３】本発明の実施例３の断面図
【図４】本発明の実施例４の断面図
【図５】本発明の実施例５の断面図
【図６】本発明の実施例６の断面図
【図７】本発明の実施例７の断面図
【図８】本発明の実施例８の断面図
【図９】本発明の実施例９の断面図
【図１０】本発明の実施例１のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図
【図１１】本発明の実施例１のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図
【図１２】本発明の実施例１のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図
【図１３】本発明の実施例２のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図
【図１４】本発明の実施例２のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図
【図１５】本発明の実施例２のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図
【図１６】本発明の実施例３のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図
【図１７】本発明の実施例３のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図
【図１８】本発明の実施例３のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図
【図１９】本発明の実施例４のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図
【図２０】本発明の実施例４のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図
【図２１】本発明の実施例４のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図
【図２２】本発明の実施例５のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図
【図２３】本発明の実施例５のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図
【図２４】本発明の実施例５のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図
【図２５】本発明の実施例６のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図
【図２６】本発明の実施例６のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図
【図２７】本発明の実施例６のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図
【図２８】本発明の実施例７のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図
【図２９】本発明の実施例７のカバーガラスの厚さが０．４ｍｍの場合の収差図
【図３０】本発明の実施例７のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図
【図３１】本発明の実施例８のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図
【図３２】本発明の実施例８のカバーガラスの厚さが０．４ｍｍの場合の収差図
【図３３】本発明の実施例８のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図
【図３４】本発明の実施例９のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図
【図３５】本発明の実施例９のカバーガラスの厚さが０．４ｍｍの場合の収差図
【図３６】本発明の実施例９のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図
【図３７】上記各実施例の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズの断面図
【発明を実施するための形態】
【００６６】
次に本発明の顕微鏡対物レンズの各実施例について述べる。なお、各実施例のうち、実施例１〜３は参考例である。
【実施例１】
【００６７】
本発明の顕微鏡対物レンズの実施例１は、図１に示す通りの構成であって、下記データを有する。
0005277324.tif 000002
上記データ中、ｒ1 ，ｒ2 ，・・・は各レンズ面の曲率半径、ｄ1 ，ｄ2 ，・・・は各レンズの肉厚および空気間隔、ｎ1 ，ｎ2 ，・・・ は各レンズの屈折率、ν1 ，ν2 ，・・・ は各レンズのアッベ数である。また、ＮＡは開口数、ＷＤは作動距離、βは倍率、ｆは全系の焦点距離、である。尚、上記値において長さの単位はｍｍである。
【００６８】
この実施例１は、図１に示すように、単体の両凸レンズ（ｒ1〜ｒ2）よりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ6〜ｒ7）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凹レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と物体側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ12〜ｒ13）と像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ12〜ｒ14）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成された対物レンズである。
【００６９】
この実施例１の対物レンズは、使用するカバーガラスの厚さに応じて第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って移動させて補正を行なう。つまり間隔ｄ2 、ｄ5 を変化させて補正を行なう。
【００７０】
このカバーガラスの厚さに対する作動距離ＷＤ、第２レンズ群の移動量（ｄ2 、ｄ5の変化量）をデータ中に示してある。
【００７１】
この実施例１は、データに示すように全系の焦点距離がｆ＝９であって条件（７）に示す範囲内の値である。したがって、第４レンズ群Ｇ４が条件（６）を満足する。又データに示すように、条件（１）、（２）、（３）、（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）を満足する。                                           
【００７２】
この実施例１における第２レンズ群の各位置における収差状況は、つまりカバーガラスの厚さが０ｍｍの時、０．７ｍｍの時、２ｍｍの時の収差状況は夫々図１０、図１１、図１２に示す通りである。                                   
【００７３】
尚、この実施例１の対物レンズは、無限遠補正型であり、図３７に示す結像レンズと組み合わせて用いられる。したがって、前記収差図も上記結像レンズを装着した状態でのものである。       
【００７４】
これら図１０、図１１、図１２より明らかなように、収差はいずれも良好に補正されており、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は第２レンズ群の移動により良好に補正されている。
【実施例２】
【００７５】
本発明の顕微鏡対物レンズの実施例２は、図２に示す通りの構成であって、下記データを有する。
0005277324.tif 000003
この実施例２は、図２に示すように、単体の両凸レンズ（ｒ1〜ｒ2）よりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ6〜ｒ7）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凹レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と両凹レンズ（ｒ12〜ｒ13）と両凸レンズ（ｒ13〜ｒ14）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ12〜ｒ14）からなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
【００７６】
そして、この実施例２も第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差を補正している。
【００７７】
この第２レンズ群Ｇ２の移動による間隔ｄ2 、ｄ5 の変化で使用するカバーガラスの値に応じた第２レンズ群の移動量は、データ中に示す通りである。
【００７８】
この実施例２も全系の焦点距離がｆ＝９であって条件（７）に示す範囲内の値である。したがって、第４レンズ群Ｇ４が条件（６）を満足するレンズ系である。つまり、この実施例２はデータ中に記載するように、条件（１）、（２）、（３）、（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）を満足する。
【００７９】
また、第２レンズ群の各位置における収差状況は、夫々図１３、図１４、図１５に示す通りで、いずれも良好に補正されている。つまりカバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、第２レンズ群の移動により良好に補正される。
【実施例３】
【００８０】
本発明の顕微鏡対物レンズの実施例３は、図３に示す通りの構成であって、下記データを有する。
0005277324.tif 000004
この実施例３は、図３に示すように、物体側より順に単体の両凸レンズ（ｒ1〜ｒ2）よりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ6〜ｒ7）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凹レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と物体側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ12〜ｒ13）と像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ12〜ｒ14）からなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
【００８１】
この実施例３も第２レンズ群を移動させてカバーガラス等の厚さの変化による収差の補正を行なっている。
【００８２】
データ中にはカバーガラスの厚さに対応する第２レンズ群の位置（ｄ2 、ｄ5 ）等を示してある。
【００８３】
この実施例３は、データに示すように全系の焦点距離がｆ＝９であって条件（７）に示す範囲内の値である。したがって、第４レンズ群Ｇ４が条件（６）を満足する。又データに示すように、条件（１）、（２）、（３）、（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）を満足する。                                     
【００８４】
この実施例３における第２レンズ群がデータ中に示す各位置における収差状況は、図１６、図１７、図１８に示す通りである。これら図より明らかなように、いずれも収差は良好に補正されており、カバーガラスの厚さによる収差の変動は良好に補正されている。
【実施例４】
【００８５】
本発明の実施例４は、図４に示す通りのレンズ構成であって、下記データを有する。
0005277324.tif 000005
この実施例４は、図４に示すように、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と両凸レンズ（ｒ3〜ｒ4）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ6〜ｒ7）と両凸レンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凸レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と両凸レンズ（ｒ12〜ｒ13）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ12〜ｒ14）と両凸レンズ（ｒ15〜ｒ16）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ16〜ｒ17）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ15〜ｒ17）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ19）と像側と凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ19〜ｒ20）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ20）と単体の両凹レンズ（ｒ21〜ｒ22）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
【００８６】
この実施例４は、ｆ＝３．６であって、全系の焦点距離ｆが条件（５）に示す範囲内のレンズ系である。したがって、実施例４は、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。
【００８７】
この実施例４のレンズ系は、第２レンズ群Ｇ２を移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。つまりデータ中にカバーガラスの厚さに応じてｄ5とｄ8を変化させる。
【００８８】
この実施例４の収差状況は、図１９、図２０、図２１に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さに応じて第２レンズ群を移動させて収差の変動を補正している。
【実施例５】
【００８９】
本発明の実施例５は、図５に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。
0005277324.tif 000006
この実施例５は、図５に示すように、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と両凸レンズ（ｒ3〜ｒ4）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ6〜ｒ7）と両凸レンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凸レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と両凸レンズ（ｒ12〜ｒ13）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ12〜ｒ14）と両凸レンズ（ｒ15〜ｒ16）と両凹レンズ（ｒ16〜ｒ17）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ15〜ｒ17）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ18〜ｒ19）と両凹レンズ（ｒ19〜ｒ20）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ20）と単体の両凹レンズ（ｒ21〜ｒ22）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
【００９０】
この実施例５は、全系の焦点距離ｆがデータに示すようにｆ＝３．６であって、条件（５）に示す範囲のレンズ系である。したがって、実施例５は、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する対物レンズである。
【００９１】
この実施例５のレンズ系も、第２レンズ群Ｇ２を移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。つまりデータに示すように、カバーガラスの厚さに対応してｄ5とｄ8を変化させて収差変動を補正している。
【００９２】
この実施例５の収差状況は、図２２、図２３、図２４に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動を補正している。
【実施例６】
【００９３】
本発明の実施例６は、図６に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。
0005277324.tif 000007
この実施例６は、図６に示すように、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と両凸レンズ（ｒ3〜ｒ4）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ6〜ｒ7）と両凸レンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凸レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と両凸レンズ（ｒ12〜ｒ13）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ12〜ｒ14）と両凸レンズ（ｒ15〜ｒ16）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ16〜ｒ17）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ15〜ｒ17）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ19）と像側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ19〜ｒ20）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ20）と単体の両凹レンズ（ｒ21〜ｒ22）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
【００９４】
この実施例６は、全系の焦点距離ｆがｆ＝３．６で、条件（５）の範囲の焦点距離のレンズ系である。
【００９５】
この実施例６は、データに示すように、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。
【００９６】
また、第２レンズ群Ｇ２をデータに示すようにｄ5とｄ8を変化させて移動することによって、カバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。
【００９７】
この実施例６の収差状況は、 図２５、図２６、図２７に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。
【実施例７】
【００９８】
本発明の実施例７は、 図７に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。
0005277324.tif 000008
実施例７のレンズ系は、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、単体の両凸レンズ（ｒ6〜ｒ7）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ8〜ｒ9）と両凸レンズ（ｒ9〜ｒ10）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた３枚の接合レンズ（ｒ8〜ｒ11）と単体の両凸レンズ（ｒ12〜ｒ13）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ14〜ｒ15）と両凸レンズ（ｒ15〜ｒ16）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ16〜ｒ17）とを貼り合わせた３枚接合レンズ（ｒ14〜ｒ17）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ19）と像側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ19〜ｒ20）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ20）と両凸レンズ（ｒ21〜ｒ22）と両凹レンズ（ｒ22〜ｒ23）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ21〜ｒ23）と単体の両凹レンズ（ｒ24〜ｒ25）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
【００９９】
この実施例７のレンズ系は、データ中に示すように全系の焦点距離ｆがｆ＝１．８であって、条件（５）の範囲内の焦点距離である。したがって、第４レンズ群が条件（４）を満足する。つまり実施例７はデータに示すように、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。
【０１００】
この実施例７も、第２レンズ群Ｇ２を移動して、つまり、カバーガラスの厚さの変化に対応して、データに示すように、間隔ｄ5、ｄ7を変化させて、カバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。
【０１０１】
この実施例７の収差状況は、図２８、図２９、図３０に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。
【実施例８】
【０１０２】
本発明の実施例８の光学系は、図８に示す通りの構成で、下記データを有する。
0005277324.tif 000009
この実施例８のレンズ系は、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、単体の両凸レンズ（ｒ6〜ｒ7）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ8〜ｒ9）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ10）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ8〜ｒ10）と単体の両凸レンズ（ｒ11〜ｒ12）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）と両凸レンズ（ｒ14〜ｒ15）と両凹レンズ（ｒ15〜ｒ16）とを貼り合わせた３枚接合レンズ（ｒ13〜ｒ16）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ17〜ｒ18）と像側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ19）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ17〜ｒ19）と両凸レンズ（ｒ20〜ｒ21）と両凹レンズ（ｒ21〜ｒ22）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ20〜ｒ22）と物体側に凹面を向けた単体の負のメニスカスレンズ（ｒ23〜ｒ24）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成された対物レンズである。
【０１０３】
この実施例８の対物レンズの全系の焦点距離ｆはｆ＝１．８であって、条件（５）の範囲内の値で、したがって、この実施例８は条件（４）を満足する。つまり実施例８の対物レンズは、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。
【０１０４】
また実施例８も、第２レンズ群Ｇ２を移動してカバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。例えばデータに示すように、カバーガラスの厚さに応じて、第２レンズ群を移動して、その前後の間隔ｄ5、ｄ7を変化させて収差変動を補正している。
【０１０５】
この実施例８の収差状況は、図３１、図３２、図３３に示す通りで、いずれも良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。
【実施例９】
【０１０６】
本発明の実施例９は、図９に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。
0005277324.tif 000010
この実施例９は、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、像側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ6〜ｒ7）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、物体側に凹面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ8〜ｒ9）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ10）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ8〜ｒ10）と単体の両凸レンズ（ｒ11〜ｒ12）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）と両凸レンズ（ｒ14〜ｒ15）と両凹レンズ（ｒ15〜ｒ16）を貼り合わせた３枚接合レンズ（ｒ13〜ｒ16）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ17〜ｒ18）と両凹レンズ（ｒ18〜ｒ19）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ17〜ｒ19）と両凸レンズ（ｒ20〜ｒ21）と両凹レンズ（ｒ21〜ｒ22）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ20〜ｒ22）と物体側に凹面を向けた単体の負のメニスカスレンズ（ｒ23〜ｒ24）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
【０１０７】
この実施例９の対物レンズは、全系の焦点距離ｆがｆ＝１．８であって、条件（５）の範囲内のレンズ系であり、条件（４）を満足する。つまり実施例９は、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。
【０１０８】
また実施例９のレンズ系は、カバーガラス等の透明な平行平面板の厚さの変化による収差変動を、第２レンズ群Ｇ２を移動して補正している。データに示すように、この実施例９は、カバーガラスの厚さに応じて、第２レンズ群Ｇ２を移動して（間隔ｄ5、ｄ7を変化させて）収差変動を補正している。           
【０１０９】
この実施例９の収差状況は、図３４、図３５、図３６に示す通りで、いずれも良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。
【０１１０】
尚、実施例１と同様に実施例２乃至実施例９も無限遠補正のレンズ系であり、例えば図３７に示すような結像レンズを配置して使用される。
【０１１１】
この図３７に示す結像レンズは、次のデータを有する。
0005277324.tif 000011
ここで、Ｒ1 ，Ｒ2 ，・・・Ｒ6は結像レンズの各レンズ面の曲率半径、Ｄ1 ，Ｄ2 ，・・・Ｄ5 は結像レンズの各レンズの肉厚および空気間隔、Ｎ1 ，Ｎ2 ，Ｎ3 ，Ｎ4は結像レンズの各レンズの屈折率、Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ3 ，Ｖ4は結像レンズの各レンズのアッベ数、Ｆは結像レンズの焦点距離である。                           
【０１１２】
前記実施例１〜実施例９の対物レンズは、図３７に示す結像レンズとの間隔が５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間のいずれかの間隔を設けた配置にて用いられる。
【０１１３】
前記各実施例の収差図は、対物レンズと結像レンズとの間隔が１１９ｍｍの時のものである。しかし、１１９ｍｍ以外で前記範囲内の間隔であれば、前記収差図に示すものとほぼ同様の収差状況である。
【産業上の利用可能性】
【０１１４】
本発明の対物は、補正環付顕微鏡対物レンズで、カバーガラス等の透明な平行平面板の厚さの変化にも対応でき、厚さの変化による収差変動を容易に補正し得て、常に良好な結像性能にての物体の観察が可能である。
【符号の説明】
【０１１５】
Ｇ１ 第１レンズ群
Ｇ２ 第２レンズ群
Ｇ３ 第３レンズ群
Ｇ４ 第４レンズ群
【図１】
0005277324.tif 000012
【図２】
0005277324.tif 000013
【図３】
0005277324.tif 000014
【図４】
0005277324.tif 000015
【図５】
0005277324.tif 000016
【図６】
0005277324.tif 000017
【図７】
0005277324.tif 000018
【図８】
0005277324.tif 000019
【図９】
0005277324.tif 000020
【図１０】
0005277324.tif 000021
【図１１】
0005277324.tif 000022
【図１２】
0005277324.tif 000023
【図１３】
0005277324.tif 000024
【図１４】
0005277324.tif 000025
【図１５】
0005277324.tif 000026
【図１６】
0005277324.tif 000027
【図１７】
0005277324.tif 000028
【図１８】
0005277324.tif 000029
【図１９】
0005277324.tif 000030
【図２０】
0005277324.tif 000031
【図２１】
0005277324.tif 000032
【図２２】
0005277324.tif 000033
【図２３】
0005277324.tif 000034
【図２４】
0005277324.tif 000035
【図２５】
0005277324.tif 000036
【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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