(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
波形状に折曲して形成された濾材に密に接合固定する凹凸部と基部で構成される凹凸形状をした透明度のある材質からなり、
前記基部は平面にＶ形の溝を、少なくとも１つ以上設けたライトガイド。
【請求項２】
波形状に折曲して形成された濾材に密に接合固定する凹凸部と基部で構成される凹凸形状をした透明度のある材質からなり、
前記基部または凹凸部側面の対向する２面の中央部分にポケットを設けたライトガイド。
【請求項３】
前記凹凸部は少なくとも１つ以上の凹凸の組み合わせからなることを特徴とする請求項１または２記載のライトガイド。
【請求項４】
前記凹凸部の山部先端にフラット部を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のライトガイド。
【請求項５】
前記山部先端の側面にＲ面を設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のライトガイド。
【請求項６】
前記基部の長手方向２面に、挿入深さ調整用の庇を設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のライトガイド。
【請求項７】
波形状に折曲して形成された濾材を用いたエアフィルタであって、請求項１〜６のいずれかに記載のライトガイドを表裏両面に設けたエアフィルタ。
【請求項８】
前記エアフィルタの上流側に発光手段を設け、発光手段から発せられる光を前記ライトガイドに受け、エアフィルタの表面から発光手段の光を確認できることを特徴とする請求項７記載のエアフィルタ。
【請求項９】
ファンとモータとで構成されるファンモータユニットと、このファンモータユニットを内蔵するチャンバーと、そのチャンバー下流部に請求項７または８記載のエアフィルタを搭
載したファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体やフラットパネルディスプレイ等を製造する製造装置あるいはそれらの検査装置等において、清浄な空気を必要とする環境下で使用されるエアフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、清浄空気を必要とされる空間であるクリーンルーム等の天井面に配設されるエアフィルタは、上流側の状況を下流側から容易に確認できることが求められている。図６に示すように、クリーンルームの天井面設備の運転状況を確認することができるクリーンユニット本体１０１のフィルタ支持装置として、エアフィルタ１を保持したクリーンユニット支持枠１０２に運転表示ユニット１０３（ＬＥＤランプなど）を組み込んだものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１９３９２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来のフィルタ支持装置として上流にあるクリーンユニットの運転表示が組み込める支持枠が必要となり、施工面において特殊な支持枠を用いなければならない。また支持枠は表示可能な枠幅が必要であり、その枠幅に必要なコストがかかってしまうという課題があり、容易にフィルタ下流側から上流側の状況が確認できることが要求されている。
【０００５】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、下流側から上流側が視認できる透明度のあるライトガイドにて構成されたことを特徴とするエアフィルタを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための手段は、波形状に折曲して形成された濾材に密に接合固定する凹凸部と基部で構成される凹凸形状をした透明度のある材質からなり、前記基部は平面にＶ形の溝を、少なくとも１つ以上設けたライトガイドである。
【０００７】
この手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができる。また、上流側光源が前記Ｖ形の溝部で屈折することにより、上流側の状態を下流側のあらゆる方向からでも確認することできる。
【０００８】
また、他の手段は、波形状に折曲して形成された濾材に密に接合固定する凹凸部と基部
で構成される凹凸形状をした透明度のある材質からなり、前記基部または凹凸部側面の対向する２面の中央部分にポケットを設けたライトガイドである。
【０００９】
この手段により、前記ポケット部にホットメルトを注入することが出来るため、ライトガイドと濾材とを確実に固定することができる。
【００１０】
また、他の手段は、前記凹凸部は少なくとも１つ以上の凹凸からなることを特徴とするものである。
【００１１】
この手段により、設置場所を問わず容易に濾材と密に接合固定でき、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができる。
【００１２】
また、他の手段は、前記凹凸部の山部先端にフラット部を設けたことを特徴とするものである。
【００１３】
この手段により、微弱な光源でも、エアフィルタの上流側の状態を下流側から確認することできる。
【００１４】
また、他の手段は、前記山部先端の側面にＲ面を設けたことを設けたことを特徴とするものである。
【００１５】
この手段により、ライトガイドは濾材を傷付けることなく密に接合固定することができる。
【００１６】
また、他の手段は、前記基部の長手方向２面に、挿入深さ調整用の庇を設けたことを特徴とするものである。
【００１７】
この手段により、ライトガイド挿入時の深さを調整することができる。
【００１８】
また、他の手段は、波形状に折曲して形成された濾材を用いたエアフィルタであって、波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイドで濾材を表面と裏面の両面から挟み込んだエアフィルタである。
【００１９】
この手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況が明確に視認することができ、ファンフィルタユニットなどの機器に組み込むことができるエアフィルタを提供することができる。
【００２０】
また、他の手段は、前記エアフィルタの上流側に発光手段を設け、発光手段から発せられる光をライトガイドに受け、エアフィルタの表面から発光手段の光を確認できることを特徴とするエアフィルタである。
【００２１】
この手段により、強、弱運転、停止、警報等の情報を確認可能なエアフィルタを提供できる。
【００２２】
また、他の手段は、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流部にフィルタを有し、波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイドを表面に設け、上流側の状態を下流側から確認できるエアフィルタを備えたファンフィルタユニットである。
【００２３】
この手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるファ
ンフィルタユニットを提供できる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、下流側から上流側の状況が視認できるライトガイドが提供できる。
【００２５】
また、容易に濾材と密に接合固定でき、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認できるライトガイドが提供できる。
【００２６】
また、前記凹凸形状をした表示機能を有する透明度のある前記凹凸部の山部または谷部先端にフラット部を設けることにより、微弱な光源でもエアフィルタの下流側から上流側の状況が視認できるライトガイドが提供できる。
【００２７】
また、前記凹凸形状をした表示機能を有する透明度のある前記凹凸部の山部先端の側面にＲ面を設けることにより、濾材に傷が付かないライトガイドが提供できる。
【００２８】
また、前記基部の平面である底部にＶ形の溝を設けることにより、微弱な光源でも光を効率良く拡散できるため、上流側の状態を下流側水平方向からでも確認することできるライトガイドを提供できる。
【００２９】
また、前記基部または凹凸部側面の対向する２面の中央部分にポケットを設けることによりホットメルトを注入できるため、濾材とライトガイドを確実に接合固定することができる。
【００３０】
また、前記基部に挿入深さ調整用の庇を長手方向２面に設けることにより挿入時の深さ調整ができるライトガイドを提供できる。
【００３１】
また、前記ライトガイドをろ材の表裏両面に設けることで、下流側から上流側の状況が視認することができるエアフィルタを供給できる。
【００３２】
また、前記エアフィルタの上流側に発光手段を設け、発光手段から発せられる光をライトガイドに受け、エアフィルタの表面から発光手段の光を確認することができるエアフィルタを供給できる。
【００３３】
また、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流部にフィルタを有し、波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイドを表面に設けることにより、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるファンフィルタユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】同実施の形態１のライトガイドの取付け状態の断面図
【図２】同実施の形態１のライトガイドの斜視図
【図３】同実施の形態１のライトガイドの取付け状態の上面図
【図４】同実施の形態１のライトガイドの取付け状態の斜視図
【図５】同実施の形態２のファンフィルタユニットを示す構成図
【図６】従来のクリーンユニットのフィルタ支持装置を示す断面図
【発明を実施するための形態】
【００３５】
本発明の請求項１記載の発明は、波形状に折曲して形成された濾材に密に接合固定する凹凸部と基部で構成される凹凸形状をした透明度のある材質からなり、前記基部は平面に
Ｖ形の溝を、少なくとも１つ以上設けたライトガイドであり、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるという作用を有する。また、微弱な光源でも光を効率良く拡散できるため、上流側の状態を下流側水平方向からでも確認することできるという作用を有する。
【００３６】
また、波形状に折曲して形成された濾材に密に接合固定する凹凸部と基部で構成される凹凸形状をした透明度のある材質からなり、前記基部または凹凸部側面の対向する２面の中央部分にポケットを設けたものであり、前記ポケット部にホットメルトを注入できるため、濾材とライトガイドを確実に接合固定することができるという作用を有する。
【００３７】
また、前記凹凸部は少なくとも１つ以上の凹凸の組み合わせからなることを特徴とするものであり、容易に濾材と密に接合固定でき、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるという作用を有する。
【００３８】
また、前記凹凸部の先端にフラット部を設けたことを特徴とするものであり、微弱な光源でもエアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるという作用を有する。
【００３９】
また、前記山部先端の側面にＲ面を設けたことを特徴とするものであり、濾材にライトガイドを挿入する際、濾材を傷付けずに挿入することができるという作用を有する。
【００４０】
また、前記基部に表示機能を有する透明度のある挿入深さ調整用の庇を長手方向２面に設けたことを特徴とするものであり、ライトガイドを挿入する際の深さ調整ができるという作用を有する。
【００４１】
また、波形状に折曲して形成された濾材を用いたエアフィルタであって、ライトガイドを表裏両面に設けたエアフィルタであり、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができ、ファンフィルタニットなどの機器に組み込むことができるエアフィルタを提供することができるという作用を有する。
【００４２】
また、前記エアフィルタの裏面側に発光手段を設け、発光手段から発せられる光をライトガイドに受け、エアフィルタの表面から発光手段の光を確認できることを特徴とするエアフィルタであり、強、弱運転、停止、警報等の情報を確認可能なエアフィルタを提供できるという作用を有する。
【００４３】
また、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流部にフィルタを有し、波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイドを表面に設け、上流側の状態を下流側から確認できるエアフィルタを備えたファンフィルタユニットであり、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるファンフィルタユニットを提供できるという作用を有する。
【００４４】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００４５】
（実施の形態１）
図１に示すように、本発明のエアフィルタ１は、波形状に折曲して形成された濾材２と、濾材２を枠体３の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体３とを備えている。この折曲したエアフィルタ１の波形に接合するように、濾材２に密に接合固定する凹凸形状で、透明度のある材質のライトガイド４を表裏両面に４ａ、４Ｂとして設ける。
【００４６】
図２には、ライトガイド４の斜視図を示す。ライトガイド４は、凹凸形を形成する凹凸部４Ｆと、凹凸部４Ｆを連結する基部４Ｇから成り立っている。凹凸の山となる山部４Ａは波形状に折曲して形成された濾材２と同一の傾きを備え、濾材２と密に接合固定されることとなる。山部４Ａは１山以上で構成するものとしたが、３山以上が望ましい。
【００４７】
図４は、ライトガイド４を濾材２の表裏両面に装着した状態を示す斜視図である。
【００４８】
上記構成において、その作用を説明する。例えば、図１に示すように、エアフィルタ１の上流側に点燈ランプ５を設ける。点燈ランプ５の光は、濾材２の上流側に設けられた上流側のライトガイド４ａの基部４Ｇで受光する。この光は上流側のライトガイド４ａ内を通過した後、山部４Ａから放出される。この放出された光は下流側のライトガイド４ｂの山部４Ａから下流側のライトガイド４ｂ内に取り込まれる。取り込まれた光は、下流側のライトガイド４ｂの基部４Ｇから下流側に放出される。すなわち、エアフィルタ１の上流側の発光状態を、下流側から容易に視認することができる。
【００４９】
また、山部４Ａの先端部４Ｂは平坦なフラット面を備え、光の伝達を向上させることとなる。
【００５０】
さらに、凹凸部４Ｆの先端部４Ｂの両端には、Ｒ面４Ｃを設けており、Ｒ面４Ｃは濾材の傷つきを防止することができる。
【００５１】
また、基部４Ｇの底部４Ｈには、溝部４Ｅを設けており、点燈ランプ５からの光を屈折する機能を備え、上流側の状態を下流側水平方向からでも確認できることになる。
【００５２】
また、図２、図３に示すように、ライトガイド４にはポケット４Ｉが設けられている。ポケット４Ｉは、底部４Ｈの短手方向の両サイド中心部分を長方形にくり貫いた形状であり、その深さは山部４Ａの全長の半分以下である。ポケット４Ｉにホットメルト６を注入することで、濾材２とライトガイド４を確実に接合固定することができるようになる。
【００５３】
また、図２に示すように、基部４Ｇの長手方向２面に庇４Ｄを設けることにより、ライトガイド４は挿入深さ調整効果を供えることができる。
【００５４】
なお、本実施の形態では、ライトガイドの部材としては、透明度を有したアクリル、ガラスなどの透明度を有した材質で、押し出し成形、または、射出成形にて製作され、ライトガイドに使用できる強度を有したものであればよい。
【００５５】
上記構成により、エアフィルタ１の下流側に配置した点燈ランプ５の光は、上流側のライトガイド４ａが受光し、その光は減衰することなく下流側のライトガイド４ｂに伝達する。従って、エアフィルタ１の表面側では、高い輝度の光を広範囲に視認することができる。
【００５６】
また、点燈ランプ５は、装置の状態表示ランプとし、連続点滅、点滅時間が異なるなど、状態によって変化するものとする。
【００５７】
上記構成において、例えば、ある状態（例えば空調機器の運転）表示として点燈ランプ５が点灯する。点燈ランプ５の光は、エアフィルタ１の濾材２の下流側に設けたライトガイド４を通過し、エアフィルタ１の下流側で、上流側で点燈ランプ５の光を視認することができるため、エアフィルタ１の状態を俊時に確認することができる。
【００５８】
（実施の形態２）
図５は、図１〜４に示したようなライトガイド、エアフィルタを搭載したファンフィルタユニットの構成図である。
【００５９】
図に示すように、本実施の形態のファンフィルタユニット８は、ファンモータユニット１３と、その下流側に配したエアフィルタ１で構成される。ファンモータユニット１３は、ファン１１とモータ１０とこれらを収納する箱形状のチャンバー１２とで構成され、その天面に吸込口９が設けられている。エアフィルタ１は、箱形状のチャンバー１２の下流側に設けられている。ここでは、エアフィルタ１として、図１、図２に示した凹凸形状をしたライトガイド４を配したものを例にして説明する。ファンモータユニット１３とエアフィルタ１の間には、ファンフィルタユニット８の運転状態などを表示する点燈ランプ５を設けている。点燈ランプ５に表示するファンフィルタユニット８の運転状態などの情報は、上流側のファンモータユニット１３を制御する制御装置１４から出力されることになる。表示手段１５とは、運転表示ランプ、異常表示ランプなどである。
【００６０】
上記構成において、点燈ランプ５による運転表示などは、ランプの点灯により示される。この表示内容は、ライトガイド４を通して、下流側から視認できることになる。ファンフィルタユニット８は吸込口９から吸入された粉塵などを含んだ汚染空気を、ファンモータユニット１３の動作によってエアフィルタ１によって浄化して下流側に供給するものである。本発明のようなエアフィルタ１を用いることによって上流側に情報源があっても、汚染空気を下流側に漏らすことなく下流側から上流側の情報（ファンフィルタユニット８の運転状態など）を確認が可能することが可能になる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明にかかるエアフィルタは、上流側にある設備の運転状態など確認することができる。そのためエアフィルタと一体となったファンフィルタユニットなど空気清浄装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００６２】
１    エアフィルタ
２    濾材
３    枠体
４    ライトガイド
４ａ  上流側のライトガイド
４ｂ  下流側のライトガイド
４Ａ  山部
４Ｂ  先端部
４Ｃ  Ｒ面
４Ｄ  庇
４Ｅ  溝部
４Ｆ  凹凸部
４Ｇ  基部
４Ｉ  ポケット
５    点燈ランプ
６    ホットメルト
８    ファンフィルタユニット
９    吸込口
１０  モータ
１１  ファン
１２  チャンバー
１３  ファンモータユニット
１４  制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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