(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に吸気した水素ガスを外部へと送り出す駆動ロータと従動ロータとを備えるポンプにおいて、
前記水素ガスを昇圧する昇圧部材が収容される昇圧部と、
駆動源としてのモータの駆動力を前記昇圧部に伝達する前記従動ロータと、
を備え、
前記従動ロータは、前記モータの駆動ロータと、隔壁を介して磁気カップリングした構造となっており、該磁気カップリングにより前記駆動源の駆動力を受けて回転するものであり、
前記磁気カップリングを構成する複数の磁石が前記従動ロータに配置されており、
前記従動ロータに設けられている前記磁石の一部が前記駆動ロータ側に向けて当該従動ロータの面よりも突出しており、一部が突出した前記磁石が接触しうる前記隔壁の表面に接触時の摩擦を軽減させるコーティングが施されていることを特徴とするポンプ。
【請求項２】
前記磁気カップリングを構成する複数の磁石あるいは金属片が、前記駆動ロータおよび前記従動ロータの少なくとも一方に周方向へ等間隔に配置されている請求項１に記載のポンプ。
【請求項３】
複数の前記昇圧部材がそれぞれ前記従動ロータを備えているとともに、これら従動ロータのそれぞれが前記駆動ロータと磁気カップリングにより回転する構造である請求項２に記載のポンプ。
【請求項４】
前記従動ロータは、歯車以外のロータからなることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のポンプ。
【請求項５】
前記駆動ロータが、該駆動ロータよりも小径の前記従動ローラに対し同時に駆動力を伝達する構造の請求項１から３のいずれか一項に記載のポンプ。
【請求項６】
前記隔壁は、密閉容器の一部である請求項１に記載のポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動ロータと従動ロータとを備えるポンプに関する。さらに詳述すると、本発明は、水素ポンプとして好適な、駆動ロータと従動ロータとを備えるポンプの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば燃料電池システム等で使用されている水素ポンプ装置における課題の一つに、水素ガスの影響による脆化現象がある。これは、金属材料中に高圧水素雰囲気から水素が侵入して材料を腐食させ、場合によっては破壊に繋がる現象（水素脆化現象と呼ばれる）のことである。
【０００３】
このような水素脆化現象に関連した技術として、従来、ロータとステータ間に金属仕切りを設けた構造のキャンドモータが水素ポンプ用の駆動源として提案されている。
【０００４】
また、装置のモータ室に排気口を設けて水素を排出できるようにしておき、水素脆化しやすい希土類系磁石をモータ部にて用いるといった水素ポンプ装置も提案されている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００７−２４０１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のようなモータ（キャンドモータ）は、従動ロータは駆動ロータとギアで噛合連結されているため、ギアのためにオイルやオイルシールが必要である。
【０００６】
そこで、本発明は、ギア等を用いた場合に必要なオイルやオイルシールを廃することを可能とした、駆動ロータと従動ロータとを備えるポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、内部に吸気した水素ガスを外部へと送り出す駆動ロータと従動ロータとを備えるポンプにおいて、水素ガスを昇圧する昇圧部材が収容される昇圧部と、駆動源の駆動力を昇圧部に伝達する従動ロータと、を備え、従動ロータは磁気カップリングにより駆動源の駆動力を受けて回転するというものである。
【０００８】
このように、本発明にかかるポンプにおいては、磁気カップリングを用いて駆動力を伝達する構造とすることにより、駆動源から水素ガスを隔離させることが可能となる。したがって、例えば駆動源たるモータにおいて希土類系磁石（希土類元素を含む磁石）が用いられている場合に、当該希土類系磁石が水素によって脆化してしまうのを回避することが可能となる。
【０００９】
また、本発明にかかるポンプにおいては、駆動源の駆動力が磁気カップリングによって従動ロータへと伝えられ、これによって当該従動ロータが回転する構造となっているから、駆動力を伝達するためのシャフト等を用いる必要がない。このため、シャフト等を用いた場合に必要なオイルやオイルシールを廃することが可能である。
【００１０】
このようなポンプにおいて、従動ロータは、例えば駆動源の駆動ロータとの磁気カップリングにより回転するものである。また、例えば駆動源はモータであり、従動ロータは、当該モータの駆動ロータとの磁気カップリングにより回転するものである。さらに、本発明にかかるポンプにおける従動ロータは、モータの駆動ロータと隔壁を介して磁気カップリングした構造となっている。この場合の隔壁は、密閉容器の一部であってもよい。
【００１１】
さらに、このようなポンプにおいて、従動ロータとモータの駆動ロータとの距離をより小さくするための手段が設けられていることも好ましい。こうした場合、伝達トルクが大きくなる分だけより小型の磁石等を用いることが可能となるから、磁気カップリングを構成する駆動ロータや従動ロータをさらに小型軽量化し、イナーシャを小さくすることができるようになる。従動ロータとモータの駆動ロータとの距離をより小さくするための手段は、例えば従動ロータに設けられている磁石の一部を駆動ロータ側に向けて当該従動ロータの面よりも突出させることである。この場合には、一部が突出した磁石が接触しうる隔壁の表面に接触時の摩擦を軽減させるコーティングが施されていることが好ましい。
【００１２】
さらに、ポンプにおいて、磁気カップリングを構成する複数の磁石あるいは金属片が、駆動ロータおよび従動ロータの少なくとも一方に周方向（等間隔）に配置されていることが好ましい。このような構造のポンプでは、磁石や金属片がいわばタイミングギアの機能を兼ねる。
【００１３】
さらに本発明にかかるポンプは、例えば、複数の昇圧部材がそれぞれ従動ロータを備えているとともに、これら従動ロータのそれぞれが駆動ロータと磁気カップリングにより回転する構造となっている。
【００１４】
また、従動ロータは、歯車以外のロータからなっていてもよい。この場合、複数の当該従動ロータ間において互いに等速回転させるための歯を備えていない構造（連動歯車を備えていない構造）となる。
【００１５】
また、駆動ロータが、該駆動ロータよりも小径の従動ローラに対し同時に駆動力を伝達する構造であることも好ましい。例えば、大径の駆動ロータに埋設した磁石を利用する等し、小径の従動ローラに同時に駆動力を伝達して回転させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ギア等を用いた場合に必要なオイルやオイルシールを廃することが可能となる。これにより、水素ガスによる脆化の影響を抑え、小型軽量化を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態に係る水素ポンプを燃料電池システムに適用した例について説明する。
【００１８】
図１に示すように、燃料電池システム１は、燃料電池２、酸化ガス配管系３及び燃料ガス配管系４を備える。燃料電池システム１は、車両に搭載することができるが、もちろん車両のみならず各種移動体（例えば、船舶や飛行機、ロボットなど）や定置型電源にも適用可能である。
【００１９】
燃料電池２は、多数の単セルを積層したスタック構造を備える。固体高分子電解質型の単セルは、電解質膜の一方の面に空気極を有し、他方の面に燃料極を有し、さらに空気極及び燃料極を両側から挟みこむように一対のセパレータを有する。電解質膜は、一般にフッ素系の膜が用いられる。一方のセパレータの酸化ガス流路２ａに酸化ガスが供給され、他方のセパレータの燃料ガス流路２ｂに燃料ガスが供給される。供給された酸化ガス及び燃料ガスの電気化学反応により、燃料電池２は電力を発生する。また、電気化学反応により、燃料電池２は発熱すると共に空気極側に水を生成する。固体高分子電解質型の燃料電池２の温度は、およそ６０〜８０℃となる。
【００２０】
酸化ガス配管系３は、供給路１１及び排出路１２を有する。コンプレッサ１４は、供給路１１に設けられ、エアクリーナ１３を介して酸化ガスとしての外気を取り込み、燃料電池２の酸化ガス流路２ａに圧送する。圧送される酸化ガスは、加湿器１５によって酸化オフガスとの間で水分交換がなされ、適度に加湿される。酸化オフガスは、酸化ガス流路２ａから排出路１２に排出され、エア調圧弁１６及び加湿器１５を経た後、図示省略したマフラーを経て最終的に排ガスとしてシステム外の大気中に排気される。
【００２１】
燃料ガス配管系４は、燃料ガスとしての水素ガスを燃料電池２に給排する。燃料ガス配管系４は、水素供給源２１、供給路２２、循環路２３、水素ポンプ２４及びパージ路２５を有する。水素ガスは、元弁２６を開くことで水素供給源２１から供給路２２に流出し、レギュレータ２７及び遮断弁２８を経て燃料ガス流路２ｂに供給される。その後、水素ガスは、燃料ガス流路２ｂから水素オフガスとして循環路２３に排出される。水素オフガスは、循環路２３と供給路２２との合流点Ａに水素ポンプ２４によって圧送され、水素ガスに合流して再び燃料ガス流路２ｂに供給される。水素オフガスの一部は、パージ弁３３の適宜の開弁により、循環路２３からパージ路２５へと排出され、図示省略した水素希釈器を経て外部に排出される。
【００２２】
続いて、本発明にかかる水素ポンプ２４について説明する（図２等参照）。本発明にかかる水素ポンプ２４は内部に吸気した水素ガスを外部へと送り出す例えばルーツ型のポンプであり、水素ガスを昇圧するポンプロータ４２，４３、これらポンプロータ４２，４３が収容されるロータ室（昇圧部）５３、駆動源の駆動力をロータ室５３のポンプロータ４２，４３へと伝達する従動ロータ６７等を備えている。なお、以下では水素ポンプ２４がルーツ型である場合を例示して説明するが、この他、スクリュー式ポンプ（駆動ロータと従動ロータとをタイミングギアで駆動するタイプのポンプ）等においても本発明を適用することはもちろん可能である。
【００２３】
図２は、水素ポンプ２４の要部を示す断面図であり、図３は、水素ポンプ２４の要部を示す斜視図である。また、図４は図３のIV-IV線における断面図である。本実施形態の水素ポンプ２４は２つのロータ（回転子）が互いに接触しながら回転して流体を送り出すいわゆるルーツ型のポンプであり、ケーシング４１と、昇圧部材たる一対のポンプロータ４２，４３と、を備えている。
【００２４】
ケーシング４１には、吸気口５１、排気口５２及びロータ室５３が形成されており、該ロータ室５３には、昇圧部材を構成するポンプロータ４２，４３が収容されている。吸気口５１と排気口５２とは、ロータ室５３を挟んで対向するように位置し、いずれもロータ室５３に連通している。水素オフガスは、吸気口５１からロータ室５３へと吸入され、各ポンプロータ４２，４３とロータ室５３の内面との間で移動し、排気口５２から外部へと吐出される。
【００２５】
ケーシング４１の内面は、ポンプロータ４２に面する断面円弧形状の内面５５と、ポンプロータ４３に面する断面円弧形状の内面５６と、を有する。また、ケーシング４１の内面は、内面５５，５６に連なる吸気側内面５７と排気側内面５８とを有する。吸気側内面５７によって吸気口５１が画定され、排気側内面５８によって排気口５２を画定される。内面５５及び内面５６によってロータ室５３が画定されており、内面５５とポンプロータ４２との間には互いに干渉しないように隙間が設定されている。また、内面５６とポンプロータ４３との間にも、干渉しないように隙間が設定されている。
【００２６】
なお、本実施形態では特に詳しく説明しないが、ケーシング４１の内面やポンプロータ４２，４３の表面のうち水素オフガスが接触し得る面にイオン交換樹脂をコーティングしておくことが好ましい。本実施形態では、ケーシング４１の内面５５，５６及びポンプロータ４２，４３の外周面を、イオン交換樹脂がコーティングされてなるイオン交換膜７１で被覆している。イオン交換樹脂は、例えばカチオン交換樹脂及びアニオン交換樹脂を有する粒子状又は繊維状のものであり、イオン交換膜７１は、水素オフガス及び生成水中の腐食生成イオンをイオン交換により吸着する。
【００２７】
一対のポンプロータ４２，４３はいわゆる瓢箪形（中央部がくびれた楕円形状）であり（図２参照）、ロータ室５３において位相を約９０度ずらした状態で配置されている。ポンプロータ４２，４３は、それぞれがロータシャフト６１，６２に接続されており、互いに逆向きに回転するように構成されている。ロータシャフト６１，６２は、互いに噛み合うギア６３，６４をそれぞれ備えるとともに、ボールベアリング装置６５，６６により軸受けされている（図４参照）。一方のロータシャフト６１は、モータ３１の出力軸３２の軸延長上に配置されている（図４参照）。このロータシャフト６１にモータ３１の出力が伝達されると、ギア６３，６４を介してポンプロータ４２とポンプロータ４３とが互いに逆方向に回転し、ロータ室５３内にて水素オフガスを昇圧して送り出す（図２等参照）。
【００２８】
ケーシング４１は、水素ガスを漏らさずに圧送することを可能にする密閉容器である。ケーシング４１の一部は、当該ケーシング４１の内部と外部とを隔てる隔壁（図４中において符号４１ａで示す）として機能する。本実施形態における隔壁４１ａは、水素ポンプ２４を流通する水素ガス（水素オフガス）がモータ３１側へと流れ込まないように形成されている。
【００２９】
ロータシャフト６１の一端には従動ロータ６７が設けられている（図４参照）。この従動ロータ６７は、隔壁４１ａを介してモータ３１側の駆動ロータ３４と磁気カップリングされており、モータ３１の駆動力を受けて回転する。
【００３０】
モータ３１は、ポンプロータ４２，４３を回転させるための駆動源である。本実施形態のモータ３１は、その出力軸３２が、水素ポンプ２４のロータシャフト６１と同軸となる位置に配置されている（図４参照）。また、出力軸３２の先端には、隔壁４１ａを介して従動ロータ６７と磁気カップリングされる駆動ロータ３４が設けられている（図４参照）。従動ロータ３４は、隔壁４１ａを介して当該駆動ロータ３４と磁気カップリングされている従動ロータ６７を回転させる。符号３５はステータである。
【００３１】
ここで、上述したように、本実施形態ではモータ３１側の駆動ロータ３４と水素ポンプ２４側の従動ロータ６７とを磁気カップリングし、磁力を利用してモータ３１の出力をポンプロータ４２，４３へと伝達するようにしている。このように磁力を利用して出力を伝達することとすれば、隔壁４１ａを超えて一方側から他方側へと出力を伝達することが可能となり、これにより、本実施形態ではケーシング（密閉容器）４１内に収容された構造の水素ポンプ２４を実現している（図４等参照）。なお、上述した隔壁４１ａは、磁力の伝達を妨げない部材により薄く形成されていることが好ましい。
【００３２】
また、駆動ロータ３４と従動ロータ６７とを磁気カップリングするための具体的な構造は特に限定されるものではないが、例えば本実施形態では磁気カップリングを構成する複数の磁石（あるいは金属片）８１を駆動ロータ３４および従動ロータ６７の一部に配置した構成としている。これら磁石８１は、駆動ロータ３４あるいは従動ロータ６７において周方向に等間隔に配置されていることが好ましい（図５参照）。
【００３３】
モータ３１を構成する磁石８１として好適なものに、希土類系磁石（希土類元素を含む磁石）がある。希土類系磁石は強い磁界を生じさせうるものであるため、当該磁石の小型化、ひいては水素ポンプ２４の小型軽量化を可能とする。しかも、ケーシング４１および隔壁４１ａによってモータ３１が隔てられている限り、当該モータ３１内に配置されている希土類系磁石が水素により脆化するおそれがない。したがって、モータ３１においてＮｄ（ネオジム）等の希土類系磁石８１を利用することができる。
【００３４】
従来、例えば、モータ用磁石としての希土類系磁石（希土類元素を含む磁石）は、強い磁界を生じさせるという特徴を有するが、水素により脆化するという性質も併せ有していることから、水素ポンプにおいて使用することが一般に難しいものである。また、従来、ロータのシャフト材料に金属材料を用いざるを得ない構造が、機械効率の向上の妨げの一因となっていることもある。この点、以上説明したように、本実施形態にかかるルーツ型の水素ポンプ２４においては、磁気カップリングを用いて駆動力を伝達する構造とすることにより、駆動源たるモータ３１から水素ガスを隔離させることが可能となっている。したがって、例えばモータ３１において希土類系磁石（希土類元素を含む磁石）が用いられている場合に、当該希土類系磁石が水素によって脆化してしまうのを回避することができる。
【００３５】
また、従来のごとくギア等を介して駆動力を伝達する構造であればオイルやオイルシールが必要となっていたが、磁気カップリングを用いた本実施形態の水素ポンプ２４によればギア等が不要であり、オイルやオイルシールも必要ない。したがって、水素ポンプ２４自体さらにはモータ３１を含む装置全体の小型軽量化を図ることが可能である。
【００３６】
また、従来のモータ（例えばキャンドモータ）では、当該モータ内の金属仕切りによるロータとステータ間の隙間（エアギャップ）が大きくなる影響で出力効率が低下することがあったのに対し、本実施形態の水素ポンプ２４によれば出力効率の低下を抑えることが可能である。さらに、従来は仕切りの構造によってはＮｄ（ネオジム）等の希土類系磁石を用いることができず、このような場合には出力向上がさらに困難であったのに対し、本実施形態の水素ポンプ２４においてはこのようなこともない。
【００３７】
さらに、従来の水素ポンプにおいては、モータ駆動力をシャフトで伝達する構造の場合、摺動部などにオイルを設け、さらに密封のためのオイルシールを設けなければならないなど、小型軽量化が図り難い場合があったが、本実施形態の水素ポンプ２４では、このようなことに起因して小型軽量化が困難だというような問題はない。加えて、従来、水素ガスを昇圧させるポンプロータのシャフト材料には、モータシャフトと同じ金属材料（例えば磁性金属）を用いないと金属の熱膨張によりシール性能が保たれず、ところがその一方で、ロータのシャフト材料にモータシャフトと同種の金属を用いると重量が嵩張り機械効率に劣るという問題があった。この点、本実施形態の水素ポンプ２４の場合には、上述したように当該水素ポンプ２４自体さらにはモータ３１を含む装置全体の小型軽量化を図ることが可能である。
【００３８】
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば本実施形態ではギア６３と一体化された従動ロータ６７を例示したが（図４参照）、このほか、ギア６３自体に磁石８１（あるいは金属片８２）を埋設する等して当該ギア６３が従動ロータの機能を併せ有した構造とすることもできる（図６参照）。こうした場合、従動ロータ６７とギア６３とを別体とした構造よりも小型軽量化を図ってイナーシャをさらに小さくすることが可能である（図６、図７参照）。
【００３９】
また、上述した水素ポンプ２４において、駆動ロータ３４と従動ロータ６７との距離をより小さくするための手段が設けられていることも好ましい。こうした場合、伝達トルクが大きくなる分だけより小型の磁石８１および金属片８２を用いることが可能となるから、磁気カップリングを構成する駆動ロータ３４や従動ロータ６７をさらに小型軽量化し、イナーシャを小さくすることができるようになる。このような手段の一例としては、駆動ロータ３４（あるいは従動ロータ６７）側に向けて突出した磁石８１を採用することを挙げることができる。例えば本実施形態では、従動ロータ６７（ギア６３）に埋設される磁石８１が当該従動ロータ６７の面よりも突出させ、当該磁石８１と隔壁４１ａとの隙間（エアギャップ）Ｇがより小さくなるようにしている（図６参照）。従動ロータ６７の面から磁石８１のみを突出させた構造とすれば、駆動時、隔壁４１ａとの接触が生じたとしても当該磁石８１のみに抑えることができるから、従動ロータ６７の全体が隔壁４１ａに接触するような事態を回避することができる。もちろん、磁石８１と同様に金属片８２を突出させるようにしてもよい。また、駆動ロータ３４の磁石８１あるいは金属片８２を突出させても同様に伝達トルクを大きくして同様の効果を得ることができる。
【００４０】
さらに、この場合において、突出した磁石８１（あるいは金属片８２）が接触しうる隔壁４１ａの表面に符号８３で示す低摩擦コーティング（低μコーティング）を施しておくことも好ましい（図６参照）。例えば駆動ロータ３４等の回転中に磁石８１（あるいは金属片８２）の突出部分が隔壁４１ａに接触したとしても、このようなコーティング８３が施されていれば当該隔壁４１ａを保護することができる。また、接触時に駆動力が減衰するのを抑えることも可能である。低摩擦コーティング８３の具体例としては、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）などを用いた表面処理がある。
【００４１】
また、上述のように突出させた磁石８１の当該突出部分を覆った構造とすることも好ましい。例えば、従動ロータ６７（ギア６３）側の磁石８１を金属板等の覆い８４で覆って密閉した構造とすることにより、当該磁石８１が流体により腐食する（水素ガスにより脆化する）のを回避することが可能である（図８参照）。したがって、このような構造によればＮｄ（ネオジム）等の希土類系磁石を利用することもできる。
【００４２】
さらに、上述した構成の磁気カップリングにおいては、磁石８１（あるいは金属片８２）をタイミングギアのように機能させ、駆動ロータ３４と従動ロータ６７とを同期回転させることが可能である。こうした場合には、駆動ロータ３４および従動ロータ６７を歯車以外のロータ（例えば、ロータを互いに等速回転させるための歯を周囲に備えていない円形回転板）で構成することもできる（図９参照）。
【００４３】
さらには、駆動ロータ３４として大径のロータを用いることも好ましい。例えば１つの大径駆動ロータ３４によって、互いに噛み合っていない２つの従動ロータ６７を同時に駆動して回転させることも可能である（図１０、図１１参照）。こうした場合には従動ロータ６７としてタイミングギア以外のロータを採用しうるばかりでなく、伝達トルクを低減（例えば１／２程度にまで低減）させることも可能である。なお、図１０および図１１に例示する構造の場合、一対の従動ロータ６７は互いに逆回転する。
【００４４】
また、必要に応じてモータ３１に通気孔３６を設けて大気開放することも好ましい（図４参照）。こうした場合には、特にモータ３１においてＮｄ等の希土類系磁石を利用している場合に空冷能力を強化しうるという点で好ましい。シャフトを介していない本実施形態の水素ポンプ２４およびモータ３１においては、このような通気孔３６を設けること、あるいは空冷に好適な設計をすることが比較的容易だという利点もある。
【００４５】
また、上述の実施形態ではモータ３１が水素ポンプ２４の駆動源である場合について例示したがこれは一例にすぎない。例えば、他のシャフト等を利用してポンプ外から駆動力を得る構造であっても本発明を適用することが可能である。この場合には、従動ロータ６７等に駆動力を伝達するポンプ外の駆動力発生源が駆動源ということになる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係る水素ポンプを適用した燃料電池システムの構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る水素ポンプの要部を示す断面図である。
【図３】水素ポンプの要部を示す斜視図である。
【図４】図２のIV-IV線における水素ポンプの断面と、該水素ポンプの駆動源たるモータとを示す図である。
【図５】磁石が周方向に等間隔に配置された従動ロータ（ギア）の一例を示す図である。
【図６】ギア自体に磁石を埋設し、尚かつ当該磁石の一部と突出させた構造のギア（従動ロータ）を示す拡大図である。
【図７】従動ロータとギアとを別体とした構造の一例を拡大して示す図である。
【図８】突出させた磁石の当該突出部分を覆った構造のギア（従動ロータ）の一例を示す図である。
【図９】磁石等により連動する従動ロータの一例示す図である。
【図１０】大径の駆動ロータによって２つの従動ロータを同時に駆動して回転させる場合の構造例を示す図である。
【図１１】大径の駆動ロータによって２つの従動ロータを同時に駆動して回転させる場合の構造例を示す側面図である。
【符号の説明】
【００４７】
２４…水素ポンプ（ポンプ）、３４…駆動ロータ、４１ａ…隔壁、４２，４３…ポンプロータ（昇圧部材）、５３…ロータ室（昇圧部）、６７…従動ロータ、８１…磁石、８２…金属片、８３…低摩擦コーティング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図４】
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【図１１】
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