(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に第１の窒化膜を形成する工程と、
前記第１の窒化膜上に第１の酸化膜を形成する工程と、
前記第１の酸化膜上に第２の窒化膜を形成する工程と、
前記第２の窒化膜上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
前記フォトレジスト膜に開口部を形成する工程と、
前記フォトレジスト膜をマスクとして、前記第２の窒化膜をエッチングし、前記開口部を前記第１の酸化膜まで到達させる第１のエッチング工程と、
前記第２の窒化膜をマスクとして、前記第１の酸化膜をエッチングし、前記開口部を前記第１の窒化膜まで到達させる第２のエッチング工程と、
前記開口部の底部の径を広げるとともに、前記第１の窒化膜を途中までエッチングする第３のエッチング工程と、
前記第１の窒化膜を更にエッチングし、前記開口部を前記半導体基板まで到達させることにより、前記半導体基板に達するコンタクトホールを形成する第４のエッチング工程とを有し、
第３のエッチング工程における前記第１の窒化膜に対する前記第１の酸化膜の選択比は、前記第２のエッチング工程における前記第１の窒化膜に対する前記第１の酸化膜の選択比より大きい
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１の窒化膜を形成する工程では、トランジスタが形成された前記半導体基板上に前記第１の窒化膜を形成し、
前記第４のエッチング工程では、前記トランジスタのソース／ドレイン電極に達する前記コンタクトホールを形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の半導体装置の製造方法において、
前記第３のエッチング工程では、前記第２の窒化膜における前記開口部の径を変化させることなく、前記開口部の前記底部の径を広げる
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第２の窒化膜を形成する工程の後、前記フォトレジスト膜を形成する工程の前に、前記第２の窒化膜上に第２の酸化膜を形成する工程を更に有し、
前記第１のエッチング工程では、前記フォトレジスト膜をマスクとして、前記第２の酸化膜及び前記第２の窒化膜をエッチングする
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第３のエッチング工程では、前記第１の酸化膜に対するオーバーエッチング量に基づいて、前記開口部の前記底部の径を制御する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第３のエッチング工程において用いられるエッチングガスのＣＦ系ポリマの含有率は、第２のエッチング工程において用いられるエッチングガスのＣＦ系ポリマの含有率より大きい
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１のエッチング工程では、ＣＦ４ガスより成るエッチングガス、ＣＦ４ガスとＣＨＦ３との混合ガスより成るエッチングガス、ＣＦ４ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガスより成るエッチングガス、又は、ＣＦ４ガスとＣＨＦ３とＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガスより成るエッチングガスを用いる
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１のエッチング工程において形成される前記開口部の形状は、前記開口部の底部に向かって先細った形状である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第４のエッチング工程では、前記第１の窒化膜をエッチングするとともに、前記第２の窒化膜をエッチング除去する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法に係り、特にコンタクトホールの微細化を実現しうる半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体装置の製造方法を以下に説明する。
【０００３】
まず、半導体基板上にゲート電極とソース／ドレイン拡散層とを有するトランジスタを形成する。次に、半導体基板上に、トランジスタを覆うように層間絶縁膜を形成する。次に、層間絶縁膜上にフォトレジスト膜を形成する。次に、フォトリソグラフィ技術を用い、フォトレジスト膜に開口部を形成する。次に、例えばドライエッチングにより、ソース／ドレイン拡散層に達するコンタクトホールを層間絶縁膜に形成する。次に、コンタクトホール内に導電性プラグを埋め込む。次に、層間絶縁膜上に、導電性プラグに接続された配線を形成する。
【０００４】
こうして、従来の半導体装置が製造されていた。
【０００５】
近時、半導体装置の高集積化に伴い、半導体装置の各構成要素を微細化することが求められており、コンタクトホールの径も小さくすることが求められている。
【特許文献１】特開２００５−１３６０９７号公報
【特許文献２】特開２００５−２２９０５２号公報
【特許文献３】特開２００１−３３２５１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、コンタクトホールの径を単に小さくした場合には、コンタクトホールを確実に形成することが困難となり、製造歩留まりや信頼性を確保することが困難となる。
【０００７】
本発明の目的は、製造歩留まりや信頼性を損なうことなく微細なコンタクトホールを形成し得る半導体装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一観点によれば、半導体基板上に第１の窒化膜を形成する工程と、前記第１の窒化膜上に第１の酸化膜を形成する工程と、前記第１の酸化膜上に第２の窒化膜を形成する工程と、前記第２の窒化膜上にフォトレジスト膜を形成する工程と、前記フォトレジスト膜に開口部を形成する工程と、前記フォトレジスト膜をマスクとして、前記第２の窒化膜をエッチングし、前記開口部を前記第１の酸化膜まで到達させる第１のエッチング工程と、前記第２の窒化膜をマスクとして、前記第１の酸化膜をエッチングし、前記開口部を前記第１の窒化膜まで到達させる第２のエッチング工程と、前記開口部の底部の径を広げるとともに、前記第１の窒化膜を途中までエッチングする第３のエッチング工程と、前記第１の窒化膜を更にエッチングし、前記開口部を前記半導体基板まで到達させることにより、前記半導体基板に達するコンタクトホールを形成する第４のエッチング工程とを有し、第３のエッチング工程における前記第１の窒化膜に対する前記第１の酸化膜の選択比は、前記第２のエッチング工程における前記第１の窒化膜に対する前記第１の酸化膜の選択比より大きいことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、開口部が第１の窒化膜まで達した後に、オーバーエッチングを行うことにより、開口部の底部の径ｄ２を広げるため、径の小さいコンタクトホールを形成する場合であっても、コンタクトホールの底部の径ｄ２を十分に大きくすることができる。従って、本発明によれば、製造歩留まりや信頼性を損なうことなくコンタクトホールの微細化を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
［一実施形態］
本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を図１乃至図１６を用いて説明する。図１乃至図９は、本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【００１１】
まず、図１（ａ）に示すように、例えばシリコンより成る半導体基板に、素子領域を画定する素子分離領域１２を形成する。素子分離領域１２は、例えばＳＴＩ（Shallow Trench Isolation）法により形成することができる。
【００１２】
次に、全面に、例えば膜厚１〜２０ｎｍのゲート絶縁膜１４を形成する。ゲート絶縁膜１４は、例えば熱酸化法により形成することできる。
【００１３】
次に、全面に、例えば膜厚５０〜１５０ｎｍのポリシリコン膜を形成する。この後、フォトリソグラフィ技術を用い、ポリシリコン膜をゲート電極１６の形状にパターニングする。ポリシリコン膜をパターニングする際には、例えば異方性のドライエッチングを用いる。こうして、ポリシリコンより成るゲート電極１６が形成される。
【００１４】
次に、例えばイオン注入法により、ゲート電極１６をマスクとして、ゲート電極１６の両側の半導体基板１０内にドーパント不純物を導入する。こうして、ゲート電極１６の両側の半導体基板１０内に、エクステンションソース／ドレイン構造の浅い領域を構成する不純物拡散領域１８ａ、即ちエクステンション領域が形成される。
【００１５】
次に、全面に、例えばＣＶＤ法により、例えば膜厚１０〜５０ｎｍのシリコン酸化膜を形成する。
【００１６】
次に、シリコン酸化膜を異方性エッチングする。こうして、ゲート電極１６の側壁部分に、シリコン酸化膜から成るサイドウォール絶縁膜２０が形成される。
【００１７】
次に、例えばイオン注入法により、ゲート電極１６及びサイドウォール絶縁膜２０をマスクとして、半導体基板１０内にドーパント不純物を導入する。こうして、側壁部分にサイドウォール絶縁膜２０が形成されたゲート電極１６の両側の半導体基板１０内に、エクステンションソース／ドレイン構造の深い領域を構成する不純物拡散領域１８ｂが形成される。浅い不純物拡散領域１８ａと深い不純物拡散領域１８ｂとにより、エクステンションソース／ドレイン構造のソース／ドレイン拡散層１８が構成される。
【００１８】
次に、例えばＲＴＡ（Rapid Thermal Annealing）法により、ソース／ドレイン拡散層１８に導入されたドーパント不純物を活性化するための熱処理を行う。
【００１９】
次に、全面に、例えばスパッタ法により、例えばＣｏ等の高融点金属より成る金属膜を形成する。金属膜の膜厚は、例えば１〜３０ｎｍとする。
【００２０】
次に、熱処理を行うことにより、金属膜のＣｏと半導体基板１０のＳｉとを反応させる。こうして、例えばコバルトシリサイドより成る金属シリサイド膜２２が形成される。この後、Ｓｉと反応しなかった金属をエッチング除去する。こうして、金属シリサイド膜より成るソース／ドレイン電極２２が、ソース／ドレイン拡散層１８上に形成される（図１（ｂ）参照）。ソース／ドレイン電極２２の厚さは、例えば１〜４０ｎｍ程度とする。
【００２１】
こうして、ゲート電極１６とソース／ドレイン拡散層１８とを有するトランジスタ２３が形成される。
【００２２】
次に、図１（ｃ）に示すように、全面に、例えばＣＶＤ法により、シリコン窒化膜２４（第１のシリコン窒化膜）を形成する。シリコン窒化膜２４の膜厚は、例えば６０ｎｍとする。
【００２３】
次に、図２に示すように、全面に、例えばＣＶＤ法により、シリコン酸化膜（第１のシリコン酸化膜）２６を形成する。シリコン酸化膜２６の膜厚は、例えば２６０ｎｍとする。
【００２４】
次に、全面に、例えばＣＶＤ法により、シリコン窒化膜（第２のシリコン窒化膜）２８を形成する。シリコン窒化膜２８の膜厚は、例えば６０ｎｍとする。かかるシリコン窒化膜２８は、シリコン酸化膜２６をエッチングする際にハードマスクとなるものである。
【００２５】
次に、全面に、例えばＣＶＤ法により、シリコン酸化膜（第２のシリコン酸化膜）３０を形成する。シリコン酸化膜３０の膜厚は、例えば１０ｎｍとする。
【００２６】
ハードマスクとなるシリコン窒化膜２８上にかかるシリコン酸化膜３０を形成するのは、以下のような理由によるものである。
【００２７】
即ち、シリコン窒化膜２８上には後工程においてフォトレジスト膜３４（図３参照）が形成され、かかるフォトレジスト膜３４はフォトリソグラフィ技術を用いて、露光・現像される。露光・現像されたフォトレジスト膜３４が所定の規格を満たさない場合には、かかるフォトレジスト膜３４を剥離して、フォトレジスト膜を再度形成することが必要となる。シリコン窒化膜２８上にシリコン酸化膜３０を形成することなくフォトレジスト膜３４を形成した場合には、フォトレジスト膜３４を剥離する際にシリコン窒化膜２８にダメージが加わってしまう虞がある。そこで、本実施形態では、フォトレジスト膜３４を剥離する際にシリコン窒化膜２８を保護すべく、シリコン窒化膜２８上にシリコン酸化膜３０を形成している。本実施形態によれば、シリコン窒化膜２８上にシリコン酸化膜３０が形成されているため、フォトレジスト膜３４を剥離する際にシリコン窒化膜２８にダメージが加わるのを防止することが可能となる。
【００２８】
次に、図３に示すように、全面に、例えばスピンコート法により、反射防止膜３２を形成する。反射防止膜３２の材料としては、例えばＡＲＣ２９Ａ（商品名）を用いる。反射防止膜３２の膜厚は、例えば８２ｎｍとする。
【００２９】
次に、全面に、例えばスピンコート法により、フォトレジスト膜３４を形成する。フォトレジスト膜３４の膜厚は、例えば２００ｎｍとする。
【００３０】
次に、図４に示すように、フォトリソグラフィ技術を用い、フォトレジスト膜３４に開口部３６を形成する。開口部３６の径は、例えば６５ｎｍ程度とする。開口部３６の平面形状は、例えば円形状とする。
【００３１】
次に、図５に示すように、フォトレジスト膜３６をマスクとして、反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０、シリコン窒化膜２８をエッチングする。これにより、開口部３６がシリコン酸化膜２６の上部まで到達する。エッチングガスとしては、例えばＣＦ４ガスを用いる。ＣＦ４ガスの流量は、例えば１６０ｓｃｃｍとする。チャンバ内の圧力は、例えば１００ｍＴｏｒｒとする。ＲＦパワーは、例えば６００Ｗとする。反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０及びシリコン窒化膜２８をエッチングする際には、エッチングにより生じた反応生成物が開口部３６の側壁（内壁）に再付着する。このため、開口部３６の形状は、図５に示すように、開口部３６の底部に向かって先細った形状となる。
【００３２】
フォトレジスト膜３４に形成する開口部３６の径を例えば６５ｎｍとし、反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０及びシリコン窒化膜２８を、ＣＦ４ガスより成るエッチングガスを用いてエッチングすると、シリコン窒化膜（ハードマスク）２８の上面における開口部３６の径ｄ１、即ち、上部ホール径ｄ１は例えば４８ｎｍとなる。即ち、ＣＦ４ガスより成るエッチングガスを用いて反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０及びシリコン窒化膜２８をエッチングした場合には、シリコン窒化膜２８に形成される開口部３６の径が比較的大きくなる。
【００３３】
なお、ここでは、反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０及びシリコン窒化膜２８をエッチングする際にＣＦ４ガスより成るエッチングガスを用いる場合を例に説明したが、反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０及びシリコン窒化膜２８をエッチングする際のエッチングガスは、これに限定されるものではない。
【００３４】
例えば、反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０及びシリコン窒化膜２８をエッチングする際に、ＣＦ４ガスとＣＨＦ３ガスとの混合ガスから成るエッチングガスを用いてもよい。即ち、ＣＦ４ガスにＣＨＦ３ガスを添加して成るエッチングガスを用いてもよい。
【００３５】
図１０は、エッチングガス中に含まれる添加ガスの割合Ｘとハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１との関係を示すグラフである。
【００３６】
図１０において□印で示すプロットは、ＣＦ４ガスにＣＨＦ３ガスを添加して成る混合ガスをエッチングガスとして用いた場合を示している。図１０の横軸はエッチングガス中に含まれる添加ガスの割合Ｘを示しており、縦軸はハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１を示している。
【００３７】
図１１は、ＣＦ４ガスにＣＨＦ３ガスを添加して成る混合ガスをエッチングガスとして用いた場合の開口部の顕微鏡写真を示す図である。図１１は、添加ガス（ＣＨＦ３ガス）の割合Ｘが０％、５％、１０％、１５％、２０％、２５％、３０％の場合について、それぞれ観測したものである。
【００３８】
図１０及び図１１に示すように、混合ガス中における添加ガス（ＣＨＦ３ガス）の割合Ｘが大きくなるに伴って、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなる。
【００３９】
ＣＦ４ガスとＣＨＦ３ガスとの混合ガス中におけるＣＨＦ３ガスの割合Ｘを４０％より大きく設定した場合には、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎてしまう。ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎると、コンタクトホール３８の底部の径を十分に大きくすることが困難となる。また、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径が小さくなりすぎると、コンタクトホール３８を形成するのに長時間を要してしまうこととなる。また、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎると、トランジスタ２３のソース／ドレイン電極２２に達するようにコンタクトホール３８を形成することが困難となる。従って、ＣＦ４ガスとＣＨＦ３ガスとの混合ガス中におけるＣＨＦ３ガスの割合Ｘは、４０％以下とすることが望ましい。
【００４０】
なお、ＣＦ４ガスとＣＨＦ３ガスとの混合ガスを用いて、上記のように反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０及びシリコン窒化膜２８をエッチングした場合にも、開口部３６の形状は、開口部３６の底部に向かって先細った形状となる。
【００４１】
また、反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０及びシリコン窒化膜２８をエッチングする際のエッチングガスとして、ＣＦ４ガスにＣＨ２Ｆ２ガスを添加して成る混合ガスを用いてもよい。
【００４２】
図１０において○印で示すプロットは、ＣＦ４ガスにＣＨ２Ｆ２ガスを添加して成る混合ガスをエッチングガスとして用いた場合を示している。
【００４３】
図１２は、ＣＦ４ガスにＣＨ２Ｆ２ガスを添加して成る混合ガスをエッチングガスとして用いた場合の開口部の顕微鏡写真を示す図である。図１２は、添加ガス（ＣＨ２Ｆ２ガス）の割合Ｘが０％、２．５％、５％、７．５％の場合について、それぞれ観測したものである。
【００４４】
図１０及び図１２に示すように、混合ガス中における添加ガス（ＣＨ２Ｆ２ガス）の割合Ｘが増加するに伴って、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなる。
【００４５】
ＣＦ４ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガス中におけるＣＨ２Ｆ２ガスの割合Ｘを１０％より大きく設定した場合には、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎてしまう。ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎると、所望の径のコンタクトホール３８（図８参照）を形成することが困難となる。また、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎると、コンタクトホール３８を形成するのに長時間を要してしまうこととなる。また、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎると、トランジスタ２３のソース／ドレイン電極２２に達するようにコンタクトホール３８を形成することが困難となる。従って、ＣＦ４ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガス中におけるＣＨ２Ｆ２ガスの割合Ｘは、１０％以下とすることが望ましい。
【００４６】
なお、ＣＦ４ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガスを用いて反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０及びシリコン窒化膜２８をエッチングした場合にも、開口部３６形状は、開口部３６の底部に向かって先細った形状となる。
【００４７】
また、反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０及びシリコン窒化膜２８をエッチングする際のエッチングガスとして、ＣＦ４ガスにＣＨＦ３とＣＨ２Ｆ２ガスとを添加して成る混合ガスを用いてもよい。
【００４８】
図１０において◇印で示すプロットは、ＣＦ４ガスにＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとを添加して成る混合ガスをエッチングガスとして用いた場合であって、ＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの流量比を４：１とした場合を示している。
【００４９】
図１０に示すように、混合ガス中における添加ガス（ＣＨＦ３ガス及びＣＨ２Ｆ２ガス）の割合Ｘが大きくなるに伴って、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなる。
【００５０】
ＣＦ４ガスとＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガス中におけるＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの和の割合Ｘを２５％より大きく設定した場合には、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎてしまう。ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎると、所望の径のコンタクトホール３８（図８参照）を形成することが困難となる。また、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎると、コンタクトホール３８を形成するのに長時間を要してしまうこととなる。また、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎると、トランジスタ２３のソース／ドレイン電極２２に達するようにコンタクトホール３８を形成することが困難となる。従って、ＣＦ４ガスとＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガス中におけるＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの和の割合Ｘは、２５％以下とすることが望ましい。
【００５１】
図１０において△印で示すプロットは、ＣＦ４ガスにＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとを添加して成る混合ガスをエッチングガスとして用いた場合であって、ＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの流量比を２：１とした場合を示している。
【００５２】
図１０に示すように、混合ガス中における添加ガス（ＣＨＦ３ガス及びＣＨ２Ｆ２ガス）の割合Ｘが増加するに伴って、ハードマスクの上面における開口部の径が小さくなる。
【００５３】
ＣＦ４ガスとＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガス中におけるＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの和の割合Ｘを１５％より大きく設定した場合には、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎてしまう。ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎると、所望の径のコンタクトホール３８（図８参照）を形成することが困難となる。また、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎると、コンタクトホール３８を形成するのに長時間を要してしまうこととなる。また、ハードマスク２８の上面における開口部３６の径ｄ１が小さくなりすぎると、トランジスタ２３のソース／ドレイン電極２２に達するようにコンタクトホール３８を形成することが困難となる。従って、ＣＦ４ガスとＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガス中におけるＣＨＦ３ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの和の割合Ｘは、１５％以下とすることが望ましい。
【００５４】
なお、ＣＦ４ガスとＣＨＦ３とＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガスを用いて反射防止膜３２、シリコン酸化膜３０及びシリコン窒化膜２８をエッチングした場合にも、開口部３６の形状は、開口部３６の底部に向かって先細った形状となる。
【００５５】
次に、図６に示すように、開口部３６が形成されたシリコン窒化膜（ハードマスク）２８をマスクとして、開口部３６がシリコン窒化膜２４の表面に達するまで、シリコン酸化膜２６をエッチングする。シリコン窒化膜２６をエッチングする際には、異方性のドライエッチングを用いる。シリコン酸化膜２６をエッチングする際のエッチング条件は、例えば以下の通りとする。エッチングガスとしては、ＡｒガスとＯ２ガスとＣ４Ｆ６ガスとの混合ガスを用いる。チャンバ内の圧力は、例えば４０ｍＴｏｒｒとする。ＲＦパワーは、例えば１４００Ｗとする。Ｏ２ガスの流量は、例えば９ｓｃｃｍとする。Ａｒガスの流量は、例えば６００ｓｃｃｍとする。Ｃ４Ｆ６ガスの流量は、例えば９ｓｃｃｍとする。上記のようなエッチング条件を、ここでは条件１という。このようなエッチング条件に設定した場合には、シリコン窒化膜２４に対するシリコン酸化膜２６の選択比は例えば４程度となる。
【００５６】
このようなエッチング条件でシリコン酸化膜２６をエッチングするのは、シリコン窒化膜２４に対するシリコン酸化膜２６の選択比が極めて高くなるような条件でシリコン酸化膜２６をエッチングした場合には、コンタクトホール３８の平面形状が円形にならず、コンタクトホール３８の平面形状が菱形に近い状態になってしまうからであり、また、断面形状がテーパー形状になってしまうからである。本実施形態では、上記のようなエッチング条件でシリコン酸化膜２６をエッチングするため、所望の平面形状及び断面形状のコンタクトホール３８を形成することが可能となる。
【００５７】
開口部３６がシリコン窒化膜２８の上面まで到達した段階では、開口部３６の形状は、開口部３６の底部に向かって先細った形状のまま維持されている。
【００５８】
次に、図７に示すように、シリコン酸化膜２６に対するオーバーエッチングを行うことにより、開口部３６の底部の径ｄ２、即ち、下部ホール径ｄ２を広げる。シリコン酸化膜２６に対するオーバーエッチングを行う際には、シリコン窒化膜２４もある程度エッチングされるため、シリコン窒化膜２４が途中までエッチングされることとなる。オーバーエッチングを行う際には、シリコン窒化膜（ハードマスク）２８における開口部３６の径（上部ホール径）ｄ１を広げることなく、開口部３６の底部の径（下部ホール径）ｄ２を広げる。開口部３６の底部の径は、シリコン酸化膜２６に対してのオーバーエッチング量に基づいて制御される。本明細書中において、オーバーエッチング量とは、シリコン酸化膜２６をエッチングするのに要する時間ｔ１に対するオーバーエッチングの時間ｔ２の割合（ｔ２／ｔ１）のことである。
【００５９】
オーバーエッチングを行う際のエッチング条件は、例えば以下の通りとする。エッチングガスとしては、例えばＡｒガスとＯ２ガスとＣ４Ｆ６ガスとの混合ガスを用いる。チャンバ内の圧力は、例えば４０ｍＴｏｒｒとする。ＲＦパワーは、例えば１０００Ｗとする。Ｏ２ガスの流量は、例えば７ｓｃｃｍとする。Ａｒガスの流量は、例えば６００ｓｃｃｍとする。Ｃ４Ｆ６ガスの流量は、例えば１１ｓｃｃｍとする。オーバーエッチングを行う際におけるシリコン窒化膜に対するシリコン酸化膜の選択比は、例えば８とする。このようなエッチング条件を、ここでは条件２という。
【００６０】
オーバーエッチングを行う際に用いられるエッチングガス中に含まれるＣ４Ｆ６ガスの割合は、シリコン窒化膜２８をマスクとしてシリコン酸化膜２６をエッチングする際に用いられるエッチングガス中に含まれるＣ４Ｆ６ガスの割合より大きい。また、オーバーエッチングを行う際に用いられるエッチングガス中に含まれるＯ２ガスの割合は、シリコン窒化膜２８をマスクとしてシリコン酸化膜２６をエッチングする際に用いられるエッチングガス中に含まれるＯ２ガスの割合より小さくなっている。即ち、オーバーエッチングを行う際に用いられるエッチングガスのＣＦ系ポリマの含有率は、シリコン窒化膜２８をマスクとしてシリコン酸化膜２６をエッチングする際に用いられるエッチングガスのＣＦ系ポリマの含有率より大きい。オーバーエッチングを行う際に用いられるエッチングガスのＣＦ系ポリマの含有率を比較的大きく設定するのは、シリコン窒化膜２４に対するシリコン酸化膜２６の選択比を十分に大きく設定するためである。
【００６１】
上述したように、シリコン窒化膜２８をマスクとしてシリコン酸化膜２６をエッチングする際における、シリコン窒化膜２４に対するシリコン酸化膜２６の選択比は４程度と比較的小さい。これに対し、オーバーエッチングを行う工程では、シリコン窒化膜２４に対するシリコン酸化膜２６の選択比が８程度と比較的大きい。
【００６２】
オーバーエッチングを行う工程において、シリコン窒化膜２４に対するシリコン酸化膜２６の選択比を比較的大きくしているのは、以下のような理由によるものである。即ち、シリコン窒化膜２４に対するシリコン酸化膜２６の選択比が比較的小さい条件でオーバーエッチングを行った場合には、開口部３６の底部の径ｄ２を広げる際に、シリコン窒化膜２４が比較的深くエッチングされてしまうこととなる。オーバーエッチングを行う際にシリコン窒化膜２４が過度に深くエッチングされた場合には、開口部３６がシリコン窒化膜２４を突き抜けてソース／ドレイン電極２２にまで達してしまい、ソース／ドレイン電極２２までもが大きくエッチングされてしまう虞がある。このため、オーバーエッチングを行う際には、シリコン窒化膜２４に対するシリコン酸化膜２６の選択比が十分に大きい条件でエッチングを行う。
【００６３】
図１３は、オーバーエッチング量とシリコン窒化膜のエッチング量との関係を示すグラフである。横軸は、シリコン酸化膜２６に対するオーバーエッチング量を示している。縦軸は、シリコン窒化膜２４のエッチング量、即ち、シリコン窒化膜２４に形成される凹部の深さを示している。図１３において△印で示すプロットは、上述した条件１でオーバーエッチングを行った場合を示している。図１３において□印で示すプロットは、上述した条件２でオーバーエッチングを行った場合を示している。
【００６４】
上述した条件１でオーバーエッチングを行った場合、即ち、シリコン窒化膜２８をマスクとしてシリコン酸化膜２６をエッチングする際の条件と同じ条件でオーバーエッチングを行った場合には、オーバーエッチング量が比較的小さい場合であっても、シリコン窒化膜２４が比較的大きくエッチングされてしまう。
【００６５】
これに対し、上述した条件２でオーバーエッチングを行った場合には、オーバーエッチング量を比較的大きく設定した場合であっても、シリコン窒化膜２４のエッチング量は比較的小さい。シリコン窒化膜２４のエッチング量が比較的小さいため、オーバーエッチング量を比較的大きく設定した場合であっても、開口部３６がシリコン窒化膜２４を突き抜けてしまうのを防止することができ、ひいては、ソース／ドレイン電極２２が過度にエッチングされてしまうのを防止することができる。
【００６６】
図１４は、オーバーエッチング量と開口部の径ｄ１、ｄ２との関係を示すグラフである。図１４における横軸はオーバーエッチング量を示しており、縦軸は開口部の径ｄ１、ｄ２を示している。
【００６７】
図１４において△印で示すプロットは、上述した条件１でオーバーエッチングを行った場合における開口部３６の上部ホール径ｄ１を示している。図１４において▲印で示すプロットは、上述した条件１でオーバーエッチングを行った場合における開口部３６の下部ホール径ｄ２を示している。図１４において□印で示すプロットは、上述した条件２でオーバーエッチングを行った場合における開口部３６の上部ホール径ｄ１を示している。図１４において■印で示すプロットは、上述した条件２でオーバーエッチングを行った場合における開口部３６の下部ホール径ｄ２を示している。
【００６８】
図１５は、上述した条件１でオーバーエッチングを行った際の開口部の顕微鏡写真を示す図である。図１５は、オーバーエッチング量が１９％、３１％、５０％の場合について、それぞれ観測したものである。
【００６９】
図１６は、上述した条件２でオーバーエッチングを行った際の開口部の顕微鏡写真を示す図である。図１６は、オーバーエッチング量が９％、１８％、３０％、５０％、６３％、８１％、１００％、１１６％の場合について、それぞれ観測したものである。
【００７０】
図１４乃至図１６から分かるように、開口部３６の下部ホール径ｄ２は、オーバーエッチング量に応じて増加する。即ち、開口部３６の下部ホール径ｄ２は、オーバーエッチング量に基づいて制御することが可能である。
【００７１】
なお、開口部３６の上部ホール径ｄ１は、オーバーエッチング量を変化させたとしても殆ど変化しない。このことから、開口部３６の上部ホール径ｄ１は、オーバーエッチングを行う際に殆ど変化しないことがわかる。
【００７２】
こうして、ハードマスク２８における開口部３６の径ｄ１を広げることなく、開口部３６の底部の径ｄ２を広げることができる。
【００７３】
次に、フォトレジスト膜３４及び反射防止膜３２を除去する。
【００７４】
次に、図８に示すように、開口部３６内に露出しているシリコン窒化膜２４をエッチングすることにより、開口部３６をソース／ドレイン電極２２まで到達させる。シリコン窒化膜２４をエッチングする際には、シリコン酸化膜２６上に存在しているシリコン窒化膜２８をもエッチング除去する。本実施形態では、シリコン窒化膜２４をエッチングする際に、シリコン酸化膜２６上のシリコン窒化膜２８までもがエッチング除去されるため、シリコン窒化膜２８を除去するための工程を別個に設ける必要がない。このため、生産コストの増加を防止することが可能となる。
【００７５】
こうして、開口部３６がソース／ドレイン電極２２にまで到達し、ソース／ドレイン電極２２に達するコンタクトホール３８が形成される。
【００７６】
次に、全面に、例えばスパッタリング法により、バリアメタル４０を形成する。バリアメタル４０の材料としては、例えばＴｉ膜とＴｉＮ膜とを順次積層して成る積層膜を用いる。バリアメタル４０の膜厚は、例えば１〜５０ｎｍとする。
【００７７】
次に、全面に、例えばＣＶＤ法により、例えばタングステンより成る導電膜を形成する。導電膜の膜厚は、例えば５００ｎｍ程度とする。
【００７８】
次に、例えばＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing、化学的機械的研磨）により、シリコン酸化膜２６の表面が露出するまで導電膜を研磨する。これにより、タングステンより成る導電性プラグ４２がコンタクトホール３６内に形成される（図９参照）。
【００７９】
この後、図示しない多層配線を形成する。
【００８０】
こうして、本実施形態による半導体装置が製造される。
【００８１】
このように、本実施形態によれば、開口部３６がシリコン窒化膜２４まで達した後に、オーバーエッチングを行うことにより、開口部３６の底部の径ｄ２を広げるため、径の小さいコンタクトホール３８を形成する場合であっても、コンタクトホール３８の底部の径ｄ２を十分に大きくすることができる。従って、本実施形態によれば、製造歩留まりや信頼性を損なうことなくコンタクトホールの微細化を実現することができる。
【００８２】
［変形実施形態］
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
【００８３】
例えば、開口部３６が形成されたシリコン窒化膜２８をマスクとしてシリコン酸化膜２６をエッチングする際の条件は、上述した条件に限定されるものではない。例えば、チャンバ内の圧力を、例えば３５〜６０ｍＴｏｒｒとしてもよい。また、ＲＦパワーを、例えば８００〜２０００Ｗとしてもよい。また、Ｏ２ガスの流量を、例えば３〜１０ｓｃｃｍとしてもよい。また、Ａｒガスの流量を、例えば４００〜７００ｓｃｃｍとしてもよい。また、Ｃ４Ｆ６ガスの流量を、例えば３〜１０ｓｃｃｍとしてもよい。また、チャンバ内の圧力、ＲＦパワー、Ｏ２ガスの流量、Ａｒガスの流量、及び、Ｃ４Ｆ６ガスの流量等は、かかる範囲に限定されるものではなく、適宜設定することができる。
【００８４】
また、シリコン酸化膜２６に対するオーバーエッチングを行う際の条件は、上述した条件に限定されるものではない。例えば、チャンバ内の圧力を、例えば３０〜５０ｍＴｏｒｒとしてもよい。また、ＲＦパワーを、例えば８００〜２０００Ｗとしてもよい。また、Ｏ２ガスの流量を、例えば３〜１２ｓｃｃｍとしてもよい。また、Ａｒガスの流量を、例えば４００〜７００ｓｃｃｍとしてもよい。また、Ｃ４Ｆ６ガスの流量を、例えば４〜１５ｓｃｃｍとしてもよい。また、チャンバ内の圧力、ＲＦパワー、Ｏ２ガスの流量、Ａｒガスの流量、及び、Ｃ４Ｆ６ガスの流量等は、かかる範囲に限定されるものではなく、適宜設定することができる。
【００８５】
以上詳述した通り、本発明の特徴をまとめると以下のようになる。
【００８６】
（付記１）
半導体基板上に第１の窒化膜を形成する工程と、
前記第１の窒化膜上に第１の酸化膜を形成する工程と、
前記第１の酸化膜上に第２の窒化膜を形成する工程と、
前記第２の窒化膜上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
前記フォトレジスト膜に開口部を形成する工程と、
前記フォトレジスト膜をマスクとして、前記第２の窒化膜をエッチングし、前記開口部を前記第１の酸化膜まで到達させる第１のエッチング工程と、
前記第２の窒化膜をマスクとして、前記第１の酸化膜をエッチングし、前記開口部を前記第１の窒化膜まで到達させる第２のエッチング工程と、
前記開口部の底部の径を広げるとともに、前記第１の窒化膜を途中までエッチングする第３のエッチング工程と、
前記第１の窒化膜を更にエッチングし、前記開口部を前記半導体基板まで到達させることにより、前記半導体基板に達するコンタクトホールを形成する第４のエッチング工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００８７】
（付記２）
付記１記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１の窒化膜を形成する工程では、トランジスタが形成された前記半導体基板上に前記第１の窒化膜を形成し、
前記第４のエッチング工程では、前記トランジスタのソース／ドレイン電極に達する前記コンタクトホールを形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００８８】
（付記３）
付記１又は２記載の半導体装置の製造方法において、
前記第３のエッチング工程では、前記第２の窒化膜における前記開口部の径を変化させることなく、前記開口部の前記底部の径を広げる
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００８９】
（付記４）
付記１乃至３のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第２の窒化膜を形成する工程の後、前記フォトレジスト膜を形成する工程の前に、前記第２の窒化膜上に第２の酸化膜を形成する工程を更に有し、
前記第１のエッチング工程では、前記フォトレジスト膜をマスクとして、前記第２の酸化膜及び前記第２の窒化膜をエッチングする
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００９０】
（付記５）
付記１乃至４のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第３のエッチング工程では、前記第１の酸化膜に対するオーバーエッチング量に基づいて、前記開口部の前記底部の径を制御する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００９１】
（付記６）
付記１乃至５のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第３のエッチング工程において用いられるエッチングガスのＣＦ系ポリマの含有率は、第２のエッチング工程において用いられるエッチングガスのＣＦ系ポリマの含有率より大きい
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００９２】
（付記７）
付記１乃至６のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
第３のエッチング工程における前記第１の窒化膜に対する前記第１の酸化膜の選択比は、前記第２のエッチング工程における前記第１の窒化膜に対する前記第１の酸化膜の選択比より大きい
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００９３】
（付記８）
付記１乃至７のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１のエッチング工程では、ＣＦ４ガスより成るエッチングガス、ＣＦ４ガスとＣＨＦ３との混合ガスより成るエッチングガス、ＣＦ４ガスとＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガスより成るエッチングガス、又は、ＣＦ４ガスとＣＨＦ３とＣＨ２Ｆ２ガスとの混合ガスより成るエッチングガスを用いる
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００９４】
（付記９）
付記１乃至８のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１のエッチング工程において形成される前記開口部の形状は、前記開口部の底部に向かって先細った形状である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００９５】
（付記１０）
付記１乃至９のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１の窒化膜は、第１のシリコン窒化膜であり、
前記第１の酸化膜は、第１のシリコン酸化膜であり、
前記第２の窒化膜は、第２のシリコン窒化膜である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００９６】
（付記１１）
付記１乃至１０のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第４のエッチング工程では、前記第１の窒化膜をエッチングするとともに、前記第２の窒化膜をエッチング除去する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その１）である。
【図２】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その２）である。
【図３】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その３）である。
【図４】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その４）である。
【図５】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その５）である。
【図６】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その６）である。
【図７】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その７）である。
【図８】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その８）である。
【図９】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その９）である。
【図１０】エッチングガス中に含まれる添加ガスの割合Ｘとハードマスクの上面における開口部の径ｄ１との関係を示すグラフである。
【図１１】ＣＦ４ガスにＣＨＦ３ガスを添加して成る混合ガスをエッチングガスとして用いた場合の開口部の顕微鏡写真を示す図である。
【図１２】ＣＦ４ガスにＣＨ２Ｆ２ガスを添加して成る混合ガスをエッチングガスとして用いた場合の開口部の顕微鏡写真を示す図である。
【図１３】オーバーエッチング量とシリコン窒化膜のエッチング量との関係を示すグラフである。
【図１４】オーバーエッチング量と開口部の径ｄ１、ｄ２との関係を示すグラフである。
【図１５】条件１でオーバーエッチングを行った際の開口部の顕微鏡写真を示す図である。
【図１６】条件２でオーバーエッチングを行った際の開口部の顕微鏡写真を示す図である。
【符号の説明】
【００９８】
１０…半導体基板
１２…素子分離領域
１４…ゲート絶縁膜
１６…ゲート電極
１８…ソース／ドレイン拡散層
１８ａ、１８ｂ…不純物拡散領域
２０…サイドウォール絶縁膜
２２…ソース／ドレイン電極
２３…トランジスタ
２４…シリコン窒化膜
２６…シリコン酸化膜
２８…シリコン窒化膜
３０…シリコン酸化膜
３２…反射防止膜
３４…フォトレジスト膜
３６…開口部
３８…コンタクトホール
４０…バリアメタル
４２…導体プラグ
【図１】
0005277628.tif 000002
【図２】
0005277628.tif 000003
【図３】
0005277628.tif 000004
【図４】
0005277628.tif 000005
【図５】
0005277628.tif 000006
【図６】
0005277628.tif 000007
【図７】
0005277628.tif 000008
【図８】
0005277628.tif 000009
【図９】
0005277628.tif 000010
【図１０】
0005277628.tif 000011
【図１３】
0005277628.tif 000012
【図１４】
0005277628.tif 000013
【図１１】
0005277628.tif 000014
【図１２】
0005277628.tif 000015
【図１５】
0005277628.tif 000016
【図１６】
0005277628.tif 000017