(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１動作モードと第２動作モードを備えた半導体装置において、
動作状態が所定の条件を満たしたときに、前記第１動作モードと前記第２動作モードを切り換えるための内部切換信号を出力する切換信号発生回路と、
前記内部切換信号に優先して、前記第１動作モードを選択することができる外部切換信号を入力するモード選択パッドと、
前記外部切換信号、もしくは前記内部切換信号に応じて、前記第１動作モードと前記第２動作モードを切り換えるための切換回路を備え、
前記切換信号発生回路の出力を、トリミングヒューズを介して前記モード選択パッドに接続した半導体装置。
【請求項２】
前記半導体装置は、前記第１動作モードとして通常動作モードと、前記第２動作モードとして省エネ動作モードを備えた定電圧回路を備え、
前記定電圧回路の出力電流が所定の電流値以上か否かを検出する電流検出回路と、
前記電流検出回路の出力信号に応じて、前記通常動作モードと前記省エネ動作モードを切り換えるための内部切換信号を出力する切換信号発生回路と、
前記内部切換信号に優先して、前記通常動作モードを選択することができる外部切換信号を入力するモード選択パッドと、
前記外部切換信号、もしくは前記内部切換信号に応じて、前記通常動作モードと前記省エネ動作モードを切り換えるための切換回路を備え、
前記切換信号発生回路の出力を、トリミングヒューズを介して前記モード選択パッドに接続した請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
前記半導体装置は、前記第１動作モードとしてＰＷＭ動作モードと、前記第２動作モードとしてＰＦＭ動作モードを備えたスイッチングレギュレータ回路を備え、
前記スイッチングレギュレータ回路の出力電流が所定の電流値以上か否かを検出する電流検出回路と、
前記電流検出回路の出力信号に応じて、前記ＰＷＭ動作モードと前記ＰＦＭ動作モードを切り換えるための内部切換信号を出力する切換信号発生回路と、
前記内部切換信号に優先して、前記ＰＷＭ動作モードを選択することができる外部切換信号を入力するモード選択パッドと、
前記外部切換信号、もしくは前記内部切換信号に応じて、前記ＰＷＭ動作モードと前記ＰＦＭ動作モードを切り換えるための切換回路を備え、
前記切換信号発生回路の出力を、トリミングヒューズを介して前記モード選択パッドに接続した請求項１記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第１動作モードと前記第２動作モードとの切り換え条件を調整するためのトリミング手段を備えた請求項１から３のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかの半導体装置の検査時において、前記内部切換信号の状態を、前記モード選択パッドにより検査するようにした半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１から３のいずれかの半導体装置の検査後に、前記トリミングヒューズをカットするようにした請求項５記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
請求項４の半導体装置の前記トリミング手段をトリミングした後に、前記トリミングヒューズをカットするようにした請求項５記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置とその製造方法に関し、特に半導体装置の精度及び半導体装置の検査精度を向上させることができる半導体装置とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置に含まれる内部回路の検査を行う場合は、検査に必要な信号を入出力するためのパッドや外部端子を半導体装置に設ける必要がある。しかし、パッドを増やすと半導体装置のチップ面積が大きくなる。さらに外部端子まで増えると場合によっては半導体装置のパッケージをより大型の物にしなければならず、コストや製品の大きさに大きな影響を与えることになる。すなわち、半導体装置の検査時だけでしか使用しない信号のためのパッドや外部端子はできるだけ少ないほうが望ましい。
【０００３】
そのため、パッドや端子に直接接続されていない内部回路の信号を検査する場合は、既存のパッドや端子の出力信号を調べ、内部回路の信号の状態を類推することが行われていた。
例えば、図３に示す定電圧回路は、出力電流Ｉｏに応じて通常動作モードと省エネモードに切り換わるようになっている。
この定電圧回路は常時動作している第１誤差増幅回路１１と通常動作モード時だけ動作する第２誤差増幅回路１２を備えている。
【０００４】
第１誤差増幅回路１１は、応答速度は遅いが消費電流が少なく、第２誤差増幅回路１２は、応答速度は早いが消費電流が多い増幅回路である。両誤差増幅回路の入出力端子は共通接続され、反転入力端子には基準電圧Ｖｒｅｆが、非反転入力には出力電圧Ｖｏを抵抗Ｒ１１とＲ１２で分圧した電圧Ｖｆｂが印加され、出力は出力トランジスタＭ１１のゲートに接続されている。
第２誤差増幅回路１２はさらに制御入力を備えている。第２誤差増幅回路１２は自身の動作モードを切り換える切換回路を内蔵しており、切換回路は制御入力に印加された信号に応じて第２誤差増幅回路１２の動作モードを制御する。
【０００５】
制御入力にはオア回路１３の出力が接続されている。制御入力がローレベルの場合は、第２誤差増幅回路１２は動作を停止し、消費電流はほぼ０アンペアになる。また、制御入力がハイレベルの場合は、動作を行い、消費電流も通常の値になる。
オア回路１３の第１入力はモード選択パッドＭＯＤＥに接続されると共に、抵抗Ｒ１４を介して接地されている。そのため、モード選択パッドＭＯＤＥに何も信号が印加されていない場合は、ローレベルとなっている。また、第２入力はインバータ１５の出力に接続されている。
【０００６】
ＰＭＯＳトランジスタＭ１２と抵抗Ｒ１３、インバータ１４，１５で出力電流検出回路を構成している。
ＰＭＯＳトランジスタＭ１２は出力トランジスタＭ１１とカレントミラー回路を構成している。出力電流ＩｏはＰＭＯＳトランジスタＭ１２のドレイン電流Ｉｄ１２として検出し、そのドレイン電流Ｉｄ１２を、ＰＭＯＳトランジスタＭ１２のドレインと接地間に接続されている抵抗Ｒ１３で電圧に変換している。
この変換された電圧がインバータ１４の閾値電圧以下の場合はインバータ１４の出力がハイレベル、インバータ１５の出力がローレベルとなり、オア回路１３の第２入力はローレベルとなる。前記したようにモード選択パッドＭＯＤＥに何も信号が印加されていない場合は、オア回路１３の第１入力もローレベルとなっているので、オア回路１３の出力はローレベルとなり、第２誤差増幅回路１２の制御入力をローレベルにする。すると、第２誤差増幅回路１２は不作動となり省エネ動作モードとなる。
【０００７】
抵抗Ｒ１３で変換された電圧がインバータ１４の閾値電圧以上の場合は、インバータ１５の出力がハイレベルとなり、オア回路１３を通って第２誤差増幅回路１２の制御入力をハイレベルにするので第２誤差増幅回路１２は動作して通常動作モードに移行する。なお、インバータ１４の入力にはヒステリシス電圧を設けてあり、省エネ動作モードから通常動作モードに切り換えるときの閾値電圧を、通常動作モードから省エネ動作モードに切り換えるときの閾値電圧より高くしている。これにより動作モードの切り換え時点におけるジッタを防止している。
【０００８】
また、この定電圧回路ではモード選択パッドＭＯＤＥにハイレベルの信号を入力した場合は、オア回路１３の出力は常にハイレベルとなるので、インバータ１５の出力に関係なく常に第２誤差増幅回路１３が動作する通常動作モードになる。出力電流検出回路によって動作モードが切り換わるときの出力電流Ｉｏは、下記（１）式のようになる。
Ｉｏ＝Ｖｔｈ／（Ｋ×Ｒ１３）………………（１）
なお、Ｖｔｈはインバータ１４の閾値電圧であり、Ｋは出力トランジスタＭ１１とＰＭＯＳトランジスタＭ１２のミラー比（Ｉｄ１２／Ｉｏ）である。
【０００９】
前記（１）式のＶｔｈ、Ｋ、Ｒ１３とも製造過程においてバラツキが発生するため、動作モードが切り換わるときの出力電流Ｉｏ値を正確に設定するために、抵抗Ｒ１３の抵抗値をトリミングによって調整するようにしている。そこで、出力電流Ｉｏを増加又は減少させて動作モードが切り換わった時点の出力電流Ｉｏを測定し、その測定値から抵抗Ｒ１３のトリミング量を算出するようにしている。
しかし、動作モードを切り換えるための内部切換信号を出力するインバータ１５の出力はパッドや外部端子に接続されていないため、動作モード切り換えが行われたかどうかを調べるには、第２誤差増幅回路１２が動作したことによって半導体装置の消費電流が僅かに増加するのを検出していた。しかし消費電流の増加は、全体の消費電流に対し微小のため正確に動作モードが切り換わった時点の出力電流Ｉｏを測定することは困難であり、また精度の高い高価な検査装置が必要であった。
【００１０】
内部切換信号であるインバータ１５の出力端子の状態を調べるために専用のパッドや外部端子を備えることができれば、動作モードの切り換わりをロジックレベルの信号として取り出して検査することができるので、動作モード切り換わり時の出力電流Ｉｏを正解に、しかも安価な検査装置で測定することができる。しかし、内部切換信号は検査時以外に使用しないので、前記したように、このような検査専用のパッドや端子を設けることはコストや製品の大きさに大きな影響を与えることになるので望ましくなかった。
【００１１】
そのため、従来テスト端子を減らすための努力が行われており、例えば、第１の回路の出力が接続されているパッドに、半導体装置の内部回路に出力するが、その出力を検査する必要のある第２の回路の出力を、ヒューズを介して接続し、第２の回路の検査中は、第１の回路の出力をハイインピーダンス状態にして、第２の回路の検査が終了したときにヒューズをカットするようにしている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００６−３１３７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、前記第１の回路と第２の回路が同時に動作せず、しかも前記第２の回路の動作中に、前記第１の回路の出力をハイインピーダンスにすることができる場合に限られているという問題があった。
【００１３】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、内部切換信号と外部切換信号を備えた半導体装置において、内部切換信号の動作を正確に検出し、モード切り換えの条件を精度よく設定することができるようにした半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の課題を解決するために、
請求項１では、第１動作モードと第２動作モードを備えた半導体装置において、動作状態が所定の条件を満たしたときに、前記第１動作モードと前記第２動作モードを切り換えるための内部切換信号を出力する切換信号発生回路と、前記内部切換信号に優先して、前記第１動作モードを選択することができる外部切換信号を入力するモード選択パッドと、前記外部切換信号、もしくは前記内部切換信号に応じて、前記第１動作モードと前記第２動作モードを切り換えるための切換回路を備え、前記切換信号発生回路の出力を、トリミングヒューズを介して前記モード選択パッドに接続したので、モードが切り換わった時点が簡単に検査できるようになり、切り換わり時点の条件を正確に測定できるようになった。
【００１５】
請求項２では、前記半導体装置は、前記第１動作モードとして通常動作モードと、前記第２動作モードとして省エネ動作モードを備えた定電圧回路を備え、前記定電圧回路の出力電流が所定の電流値以上か否かを検出する電流検出回路と、前記電流検出回路の出力信号に応じて、前記通常動作モードと前記省エネ動作モードを切り換えるための内部切換信号を出力する切換信号発生回路と、前記内部切換信号に優先して、前記通常動作モードを選択することができる外部切換信号を入力するモード選択パッドと、前記外部切換信号、もしくは前記内部切換信号に応じて、前記通常動作モードと前記省エネ動作モードを切り換えるための切換回路を備え、前記切換信号発生回路の出力を、トリミングヒューズを介して前記モード選択パッドに接続したので、省エネ動作モードと通常動作モードの切り換わり時の出力電流が簡単にしかも正確に測定できるようになった。
【００１６】
請求項３では、前記半導体装置は、前記第１動作モードとしてＰＷＭ動作モードと、前記第２動作モードとしてＰＦＭ動作モードを備えたスイッチングレギュレータ回路を備え、前記スイッチングレギュレータ回路の出力電流が所定の電流値以上か否かを検出する電流検出回路と、前記電流検出回路の出力信号に応じて、前記ＰＷＭ動作モードと前記ＰＦＭ動作モードを切り換えるための内部切換信号を出力する切換信号発生回路と、前記内部切換信号に優先して、前記ＰＷＭ動作モードを選択することができる外部切換信号を入力するモード選択パッドと、前記外部切換信号、もしくは前記内部切換信号に応じて、前記ＰＷＭ動作モードと前記ＰＦＭ動作モードを切り換えるための切換回路を備え、前記切換信号発生回路の出力を、トリミングヒューズを介して前記モード選択パッドに接続したので、ＰＷＭ動作モードとＰＦＭ動作モードの切り換わり時の出力電流が簡単にしかも正確に測定できるようになった。
【００１７】
請求項４では、前記第１動作モードと前記第２動作モードとの切り換え条件を調整するためのトリミング手段を備えたので、第１動作モードと第２動作モードの切り換え条件を高精度に設定できるようになった。
【００１８】
請求項５では、前記半導体装置の検査時において、前記内部切換信号の状態を、前記モード選択パッドにより検査するようにしたので、モードが切り換わった時点が簡単に検査できるようになり、切り換わり時点の条件を正確に測定できるようになった。
【００１９】
請求項６又は７では、前記半導体装置の検査後、又は前記トリミング手段をトリミングした後に、前記トリミングヒューズをカットするようにしたので、検査後は外部切換信号によるモード選択が可能となった。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、通常動作モードと省エネ操作モードが切り換わったことをモード選択パッドからロジックレベルの信号として検査することができるようになったので、動作モード切り換わり時点における出力電流の電流値を正確に測定することができるようになった。その結果、電流設定抵抗のトリミングが正確に行え、動作モード切り換わり時の出力電流の設定が高精度にできるようになった。さらに、検査装置も安価なもので済むので、製造工程のコストダウンも可能となった。
【００２１】
また、ＰＷＭ動作モードとＰＦＭ動作モードを備えたスイッチングレギュレータ回路を内蔵した半導体装置の場合も同様に、動作モード切り換わり時点における出力電流の電流値を正確に測定することができるようになり、電流設定用参照電圧のトリミングが高精度に行え、動作モード切り換わり時の出力電流の設定が高精度にできるようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
次に、図面に示す実施の形態に基づいて、本発明を詳細に説明する。
第１の実施の形態．
図１は、本発明の第１の実施の形態を示す定電圧回路図である。図３の従来技術と異なるところは、オア回路１３の第１入力と第２入力間にトリミングヒューズＦ１１が接続されたところである。定電圧回路の動作は背景技術の項ですでに述べたので、トリミングヒューズの働きについてだけ説明を行う。
省エネ動作モードと通常動作モードの切り換えが行われる出力電流Ｉｏを検査する場合は、モード選択パッドＭＯＤＥには何も信号を印加せずに電圧計を接続して、出力電流Ｉｏを増加又は減少させる。
【００２３】
出力電流検出回路の出力で内部切換信号であるインバータ１５の出力は、トリミングヒューズＦ１１を介してモード選択パッドＭＯＤＥに接続されているので、モード選択パッドＭＯＤＥの電圧を測定することにより、動作モードの切り換わりを検出することができる。しかも、電圧変化はロジックレベルなので、安価な電圧計でも確実に変化を測定することができる。そのため、動作モードが切り換わった時点の出力電流も正確に測定可能となるので、動作モード切り換えを行う出力電流値を設定するための抵抗１３のトリミング量も正確に算出可能となる。
【００２４】
抵抗Ｒ１３のトリミングを行い、動作モード切り換わり時の出力電流Ｉｏが設定値になったことを確認した場合は、トリミングヒューズＦ１１をレーザ照射などによって切断する。
トリミングヒューズＦ１１が切断された後は、図３の従来技術とまったく同じ回路になるので、モード選択パッドＭＯＤＥによって動作モードの選択ができるようになる。すなわち、モード選択パッドＭＯＤＥに何も接続しないか、外部切換信号をローレベルにした場合は、内部切換信号に応じて、自動的に通常動作モードと省エネモードに切り換わる自動切り換えモードが選択され、外部切換信号をハイレベルにした場合は内部切換信号の状態に関わらず通常動作モードが選択される。
【００２５】
このように、本発明によれば、通常動作モードと省エネ操作モードが切り換わったことをモード選択パッドＭＯＤＥからロジックレベルの信号として検査することができるようになったので、動作モード切り換わり時点における出力電流Ｉｏの電流値を正確に測定することができるようになった。その結果、正確に抵抗Ｒ１３のトリミングが行え、動作モード切り換わり時の出力電流Ｉｏの設定が正確にできるようになった。さらに、検査装置も安価なもので済むので、製造工程のコストダウンも可能となった。
【００２６】
第２の実施の形態．
図２は、本発明の第２の実施の形態を示すスイッチングレギュレータの回路図である。このスイッチングレギュレータは、ＰＷＭ（Pulse width modulation）動作モードとＰＦＭ（Pulse frequency modulation）動作モードを備えている。
ＰＷＭ動作モードは、一定の周期でスイッチングトランジスタＭ２１のオン／オフを繰り返し、出力電圧Ｖｏの変化に応じてスイッチングトランジスタＭ２１のオン時間を制御する方式である。この方式は、スイッチング損失は多くなるが、高速応答が可能であり、出力電流Ｉｏが大きい場合に用いることで電源効率は高効率を保つことができる。
【００２７】
ＰＦＭ動作モードは、スイッチングトランジスタＭ２１をオン／オフ制御する周波数を変更することで出力電圧Ｖｏを安定化させている。本発明の実施例では、ＰＷＭ動作モード時のオン周期を適宜間引くことで周波数制御を行っている。このように、スイッチングトランジスタＭ２１がオン／オフする回数が減少するので、オン／オフ時に発生するスイッチング損失を少なくすることができるので、出力電流Ｉｏが少ないときでも電源効率を上げることができるが、負荷変動などに対する応答速度は遅くなる。
【００２８】
本第２の実施の形態のスイッチングレギュレータ回路は、基準電圧Ｖｒｅｆ、誤差増幅回路２１、ＰＷＭコンパレータ２２、発振回路２３、出力制御回路２４、スイッチングトランジスタＭ２１、同期整流トランジスタＭ２２、インダクタＬ２１、出力コンデンサＣ２１、抵抗Ｒ２１からＲ２３、コンパレータ２５、参照電圧Ｖｓ、オア回路２６、ＰＷＭ／ＰＦＭ切換回路２７、トリミングヒューズＦ２１で構成され、電源端子Ｖｄｄ、接地端子Ｖｓｓ、出力端子ＯＵＴ、モード選択パッドＭＯＤＥを備えている。
誤差増幅回路２１の非反転入力には基準電圧Ｖｒｅｆが接続され、反転入力には出力電圧Ｖｏを抵抗Ｒ２１とＲ２２で分圧した電圧Ｖｆｂが接続されている。
【００２９】
誤差増幅回路２１の出力はＰＷＭコンパレータ２２の反転入力と、コンパレータ２５の非反転入力に接続されている。ＰＷＭコンパレータ２２の非反転入力には発振回路２３の出力である三角波パルス信号が入力されている。ＰＷＭコンパレータ２２の出力は出力制御回路２４に入力されて、出力制御回路２４の出力からは、スイッチングトランジスタＭ２１と同期整流トランジスタＭ２２のゲート制御信号が出力されている。
スイッチングトランジスタＭ２１はＰＭＯＳトランジスタで、ソースは電源端子Ｖｄｄに接続され、ドレインはＮＭＯＳトランジスタを用いた同期整流トランジスタＭ２２のドレインとインダクタＬ２１の一端に接続されている。同期整流トランジスタＭ２２のソースは接地端子Ｖｓｓに接続されている。
【００３０】
インダクタＬ２１の他端は出力端子ＯＵＴに接続されている。出力端子ＯＵＴと接地端子Ｖｓｓ間には出力コンデンサＣ２１が接続されている。コンパレータ２５と参照電圧Ｖｓが出力電流検出回路を構成している。コンパレータ２５の反転入力には参照電圧Ｖｓが印加されている。コンパレータ２５の出力が内部切換信号であり、オア回路２６の第１入力に接続されている。
オア回路２６の第２入力はモード選択パッドＭＯＤＥに接続されると共に、抵抗Ｒ２３を介して接地されている。そのため、モード選択パッドＭＯＤＥに何も信号が印加されていない場合は、ローレベルとなっている。さらに、オア回路２６の第１入力と第２入力間にはトリミングヒューズＦ２１が接続されている。オア回路２６の出力はＰＷＭ／ＰＦＭ切換回路２７に入力されている。ＰＷＭ／ＰＦＭ切換回路２７の出力は出力制御回路２４に入力されている。
【００３１】
次に回路の動作を説明する。まず、トリミングヒューズＦ２１が切断されていない場合である。この状態では、モード選択パッドＭＯＤＥには外部信号は印加していない。誤差増幅回路２１は基準電圧Ｖｒｅｆと出力電圧Ｖｏを分圧した電圧Ｖｆｂの差を増幅する。
ＰＷＭコンパレータ２２は誤差増幅回路２１の出力と発振回路２３から出力される三角波パルス信号の電圧を比較し、誤差増幅回路２１の出力電圧に応じたパルス幅のパルス信号を出力する。出力制御回路２４は入力されたパルス信号に応じて、スイッチングトランジスタＭ２１と同期整流トランジスタＭ２２を相補的にオン／オフするための制御信号を出力する。
【００３２】
スイッチングトランジスタＭ２１がオン、同期整流トランジスタＭ２２がオフのときは、出力端子ＯＵＴに接続された図示しない負荷回路に電力を供給すると共に、インダクタＬ２１と出力コンデンサＣ２１にエネルギーを蓄積する。スイッチングトランジスタＭ２１がオフ、同期整流トランジスタＭ２２がオンの場合は、インダクタＬ２１と出力コンデンサＣ２１に蓄積されたエネルギーを図示しない負荷回路に放出する。
【００３３】
コンパレータ２５は、誤差増幅回路２１の出力電圧と参照電圧Ｖｓを比較する。誤差増幅回路２１の出力電圧は、スイッチングレギュレータの出力電圧Ｖｏが高い場合は低下し、低い場合は上昇する。出力電流Ｉｏが少ないときは、スイッチングレギュレータの出力電圧Ｖｏは高くなっているので、誤差増幅回路２１の出力電圧は低下する。誤差増幅回路２１の出力電圧が参照電圧Ｖｓ以下まで低下している状態では、コンパレータ２５の出力はローレベルである。出力電流Ｉｏが増加するとスイッチングレギュレータの出力電圧Ｖｏは低下するので、誤差増幅回路２１の出力電圧は上昇する。誤差増幅回路２１の出力電圧が参照電圧Ｖｓを超えるとコンパレータ２５の出力は反転しハイレベルを出力する。
【００３４】
コンパレータ２５の出力信号である内部切換信号は、オア回路２６を通ってＰＷＭ／ＰＦＭ切換回路２７に入力される。ＰＷＭ／ＰＦＭ切換回路２７は、入力がローレベルの場合は出力制御回路２４がＰＦＭ制御を行い、ハイレベルの場合は出力制御回路２４がＰＷＭ制御を行うように切換信号を出力する。すなわち、出力電流Ｉｏが所定の電流値より少なく、コンパレータ２５の出力がローレベルの場合には、出力制御回路２４はＰＦＭ動作モードでスイッチングを行い、出力電流Ｉｏが所定の電流値以上になると、コンパレータ２５の出力はハイレベルになり、出力制御回路２４はＰＷＭ動作モードでスイッチングを行うようになる。
【００３５】
また、内部切換信号はトリミングヒューズＦ２１を介してモード選択パッドＭＯＤＥにも出力されているので、モード選択パッドの電圧を調べることで、内部切換信号の状態を知ることができる。すなわち、半導体装置の検査において、スイッチングレギュレータの動作モードが切り換わる出力電流Ｉｏを測定する場合は、モード選択パッドＭＯＤＥの電圧がロジックレベルで変化することをモード選択パッドＭＯＤＥに接続した電圧計によって調べることで正確に測定することができる。
【００３６】
本発明では、ＰＦＭ動作モードとＰＷＭ動作モードが切り換わる出力電流Ｉｏの電流値を高精度に設定するために、参照電圧Ｖｓの電圧をトリミングによって変更できるようにしている。参照電圧Ｖｓのトリミングを終えた後、動作モード切り換わり時の出力電流Ｉｏを測定し設定値内であれば、第１の実施の形態の場合と同様にトリミングヒューズＦ２１をカットする。
トリミングヒューズＦ２１がカットされた後は、モード選択パッドＭＯＤＥに印加する外部切換信号のレベルによって動作モードを選択することができるようになる。すなわち、ハイレベルを印加するとコンパレータ２５の出力である内部切換信号に無関係にＰＷＭ動作モードを選択することができ、ローレベルを印加するか、外部切換信号を印加しない場合は、内部切換信号に応じてＰＷＭ動作モードとＰＦＭ動作モードに切り換える自動切り換えモードが選択される。
【００３７】
なお、コンパレータ２５の入力にはヒステリシス電圧が設けてある。その結果、ＰＦＭ動作モードからＰＷＭ動作モードに切り換えるときの誤差増幅回路２１の出力電圧を、ＰＷＭ動作モードからＰＦＭ動作モードに切り換えるときの出力電圧より高くしている。これにより動作モードの切り換え時点におけるジッタを防止している。
以上のように、本発明によれば、半導体装置の検査において、ＰＷＭ動作モードとＰＦＭ動作モードが切り換わったことをモード選択パッドＭＯＤＥの電圧を調べることでロジックレベルの信号として検査することができるようになったので、動作モード切り換わり時点における出力電流Ｉｏの電流値を正確に測定することができるようになった。その結果、動作モード切り換わり時の出力電流Ｉｏの設定を行う参照電圧Ｖｓのトリミング調整も高精度に行え、さらにモード選択パッドＭＯＤＥの電圧測定には安価な電圧計が使用できるので、製造工程のコストダウンも可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の第１の実施の形態の定電圧回路の例を示した回路図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態の定電圧回路の例を示した回路図である。
【図３】従来の定電圧回路の例を示した回路図である。
【符号の説明】
【００３９】
１１  第１誤差増幅回路
１２  第２誤差増幅回路
１３  オア回路
２１  誤差増幅回路
２２  ＰＷＭコンパレータ
２３  発振回路
２４  出力制御回路
２５  コンパレータ
２６  オア回路
２７  ＰＷＭ／ＰＦＭ切換回路
Ｍ１１  出力トランジスタ
Ｍ１２  ＰＭＯＳトランジスタ
Ｍ２１  スイッチングトランジスタ
Ｍ２２  同期整流トランジスタ
Ｖｒｅｆ  基準電圧
Ｖｓ  トリミング調整可能な参照電圧
ＭＯＤＥ  モード選択パッド
Ｆ１１，Ｆ２１  トリミングヒューズ
Ｒ１３  トリミング可能な抵抗
【図１】
0005186925.tif 000002
【図２】
0005186925.tif 000003
【図３】
0005186925.tif 000004