(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記ディスク面と対向する下面が第１平面内に位置された状態で前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面内に位置された状態で前記基端領域からサスペンション長手方向先端側に離間され且つ前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面内に位置された状態でサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子の間において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する中央梁と、前記中央梁からサスペンション幅方向一方側及び他方側へそれぞれ延びる左右一対の中央延在片とを有し、
前記一対の中央延在片の各々は、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面よりも前記ディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記中央梁から折り曲げられた中央重合領域を有し、
前記中央重合領域は、前記ディスク面と直交する平面視において対応する前記圧電素子のサスペンション幅方向内方側エッジを跨いでサスペンション幅方向外方へ延在し且つ対応する前記圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側で終焉しており、
前記一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で前記ディスク面とは反対側の上面側電極層が上面側接着剤によって対応する前記中央重合領域の下面に固着され、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域におけるサスペンション長手方向基端側を向く基端壁面と対向した状態で先端側絶縁性接着剤によって固着され、基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域におけるサスペンション長手方向先端側を向く先端壁面と対向した状態で基端側絶縁性接着剤によって固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記一対の圧電素子の各々はサスペンション幅方向長さがＷとされ、
前記中央重合領域は対応する前記圧電素子のサスペンション幅方向内方側エッジからサスペンション幅方向外方へ２／３×Ｗの位置で終焉していることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記中央重合領域は対応する前記圧電素子のサスペンション長手方向中央部分にのみ重合していることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記中央重合領域は対応する前記圧電素子のサスペンション長手方向全域と重合していることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記支持部は、前記先端領域のうち前記中央梁を基準にしてサスペンション幅方向一方側及び他方側に位置する部分からそれぞれサスペンション長手方向基端側へ延びる左右一対の先端延在片と、前記基端領域のうち前記中央梁を基準にしてサスペンション幅方向一方側及び他方側に位置する部分からそれぞれサスペンション長手方向先端側へ延びる左右一対の基端延在片とを有し、
前記一対の先端延在片の各々は、前記ディスク面と対向する下面が前記第２平面内に位置するように前記先端領域から折り曲げられた先端重合領域を有し、
前記一対の基端延在片の各々は、前記ディスク面と対向する下面が前記第２平面内に位置するように前記基端領域から折り曲げられた基端重合領域を有し、
前記先端重合領域は、対応する前記圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置し且つ平面視において対応する前記圧電素子のサスペンション長手方向先端側エッジを跨いでサスペンション長手方向基端側へ延在し、
前記基端重合領域は、対応する前記圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置し且つ平面視において対応する前記圧電素子のサスペンション長手方向基端側エッジを跨いでサスペンション長手方向先端側へ延在し、
前記上面側電極層の先端側及び基端側は上面側先端接着剤及び上面側基端接着剤によって前記先端重合領域及び前記基端重合領域の下面にそれぞれ固着されていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記ディスク面と対向する下面が第１平面内に位置された状態で前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面内に位置された状態で前記基端領域からサスペンション長手方向先端側に離間され且つ前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション幅方向中央において前記先端領域及び前記基端領域の間を連結する連結領域とを有し、
前記連結領域は、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面よりも前記ディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記先端領域及び前記基端領域から折り曲げられた中央重合領域を有し、
前記中央重合領域は、前記ディスク面と直交する平面視において前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向内方側エッジとオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向外方側エッジとはオーバーラップしないようなサスペンション幅方向長さを有しており、
前記一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で前記ディスク面とは反対側の上面側電極層が上面側接着剤によって前記中央重合領域に固着され、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域におけるサスペンション長手方向基端側を向く基端壁面と対向した状態で先端側絶縁性接着剤によって固着され、基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域におけるサスペンション長手方向先端側を向く先端壁面と対向した状態で基端側絶縁性接着剤によって固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記支持部は、前記基端領域及び前記先端領域のサスペンション幅方向一端側同士及び他端側同士を連結する左右一対の連結梁を有していることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記ディスク面と対向する下面が第１平面内に位置された状態で前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面内に位置された状態で前記基端領域からサスペンション長手方向先端側に離間され且つ前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、前記基端領域及び前記先端領域のサスペンション幅方向一端側同士及び他端側同士を連結する左右一対の連結梁と、前記先端領域からサスペンション長手方向基端側へ延びる先端延在片と、前記基端領域からサスペンション長手方向先端側へ延びる基端延在片とを有し、
前記先端延在片は、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面よりも前記ディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記先端領域から折り曲げられた先端重合領域を有し、
前記先端重合領域は、前記ディスク面と直交する平面視において前記一対の圧電素子の双方のサスペンション長手方向先端側エッジ及びサスペンション幅方向内方側エッジの交点を含む先端内方領域とオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置され、
前記基端延在片は、前記第２平面内に位置するように前記基端領域から折り曲げられた基端重合領域を有し、
前記基端重合領域は、前記平面視において前記一対の圧電素子の双方のサスペンション長手方向基端側エッジ及びサスペンション幅方向内方側エッジの交点を含む基端内方領域とオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置され、
前記一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で前記ディスク面とは反対側の上面側電極層が上面側先端接着剤及び上面側基端接着剤によって前記先端重合領域及び前記基端重合領域の下面にそれぞれ固着され、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域におけるサスペンション長手方向基端側を向く基端壁面と対向した状態で先端側絶縁性接着剤によって固着され、基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域におけるサスペンション長手方向先端側を向く先端壁面と対向した状態で基端側絶縁性接着剤によって固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
前記先端延在片及び前記基端延在片は間隙を介して離間されていることを特徴とする請求項８に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１０】
サスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子の間の間隙には中央絶縁性接着剤が充填されていることを特徴とする請求項６、８又は９に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１１】
前記上面側接着剤は上面側導電性接着剤を含み、前記上面側導電性接着剤が前記上面側電極層を対応する前記重合領域の下面に電気的に接続させることで前記上面側電極層が接地電位とされていることを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１２】
前記上面側接着剤は前記上面側導電性接着剤のサスペンション幅方向外方側，サスペンション長手方向先端側及び基端側を囲繞するように前記上面側電極層と対応する前記重合領域の下面との間を閉塞する上面側絶縁性接着剤を含むことを特徴とする請求項１１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１３】
前記フレクシャ部は、前記磁気ヘッドスライダが装着されるヘッド搭載領域を有し且つ前記ロードビーム部及び前記支持部に固着されるフレクシャ金属基板と、前記フレクシャ金属基板の下面に積層される配線体とを備え、
前記配線体は、前記フレクシャ金属基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される導体層と、前記導体層を囲繞するカバー層とを有し、
前記導体層は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続される信号配線と、基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線とを含み、
前記カバー層にはサスペンション長手方向に関し前記先端領域及び前記基端領域の間において前記電圧供給配線を露出させる開口が形成され、
前記開口を介して露出された前記電圧供給配線が電圧供給用導電性接着剤を介して前記圧電素子の下面側電極層に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダを目的トラックに対して迅速且つ正確に位置させることが求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する一対の圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている（例えば下記特許文献１〜３参照）。
【０００３】
詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記支持部に装着された前記一対の圧電素子とを備えている。
【０００４】
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有している。
【０００５】
前記一対の圧電素子の各々は、圧電体と前記圧電体の厚み方向両側に配設された一対の上面側電極層及び下面側電極層とを有しており、前記一対の電極層間への電圧印可に応じて前記厚み方向とは直交する長手方向に伸長又は短縮する。
【０００６】
前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子は、サスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なった状態で、先端部が前記先端領域に固着され且つ基端部が前記基端領域に固着されている。
【０００７】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子の一方を伸長させ且つ他方を短縮させることにより、前記一対の連結梁を弾性変形させつつ前記先端領域が前記基端領域に対してシーク方向へ揺動し、これにより、前記先端領域に前記荷重曲げ部，前記ロードビーム部及び前記フレクシャ部を介して支持される前記磁気ヘッドスライダがシーク方向へ微動する。
【０００８】
ところで、前記一対の圧電素子の伸縮動作を効率的に前記先端領域の揺動動作に変換させる為、及び、前記一対の圧電素子を含む前記磁気ヘッドサスペンションの厚みを可及的に低減する為には、前記一対の圧電素子の先端側端面及び基端側端面の少なくとも一部が前記先端領域の基端壁面及び前記基端領域の先端壁面とそれぞれ対向するように前記一対の圧電素子を配置すること、即ち、前記一対の圧電素子の少なくとも一部をディスク面に直交するｚ方向に関し前記先端領域及び前記基端領域とオーバーラップさせることが好ましい。
【０００９】
この点に関し、前記特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記先端領域の基端側エッジを含む部分が上方から薄肉化されて上方側及び基端側へ開く先端側切り欠き部が形成され且つ前記基端領域の先端側エッジを含む部分が上方から薄肉化されて上方側及び先端側へ開く基端側切り欠き部が形成されている。
【００１０】
前記先端側切り欠き部は、サスペンション長手方向基端側を向く先端側垂直面と前記先端側垂直面の下端部からサスペンション長手方向基端側へ延びて前記開口領域に到達する先端側水平面とを有している。
前記基端側切り欠き部は、サスペンション長手方向先端側を向く基端側垂直面と前記基端側垂直面の下端部からサスペンション長手方向先端側へ延びて前記開口領域に到達する基端側水平面とを有している。
【００１１】
そして、前記一対の圧電素子の各々は、先端側端面と前記先端側垂直面との間、前記下面側電極層の先端側と前記先端側水平面との間、基端側端面と前記基端側垂直面との間、及び、前記下面側電極層の基端側と前記基端側水平面との間にそれぞれ介挿された絶縁性接着剤によって、前記支持部に固着されている。
【００１２】
前記特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションは、前記先端側切り欠き部及び前記基端側切り欠き部によって、前記一対の圧電素子の少なくとも一部がｚ方向に関し前記先端領域及び前記基端領域とオーバーラップすることを可能としているが、前記先端側切り欠き部及び前記基端側切り欠き部を形成する為の前記薄肉化にはエッチング等の高度な製造技術が必要とされる。
【００１３】
前記特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記支持部に、平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように前記先端領域の下面に固着された先端側プレートと、平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように前記基端領域の下面に固着された基端側支持プレートとが設けられている。
【００１４】
そして、前記一対の圧電素子の各々は、先端側端面と前記先端領域の壁面との間、前記下面側電極層の先端側と前記先端側プレートとの間、基端側端面と前記基端領域の壁面との間、及び、前記下面側電極層の基端側と前記基端側プレートとの間にそれぞれ介挿された絶縁性接着剤によって、前記支持部に固着されている。
【００１５】
前記特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションは、前記先端側支持プレート及び前記基端側支持プレートによって、前記一対の圧電素子の少なくとも一部がｚ方向に関し前記先端領域及び前記基端領域とオーバーラップすることを可能としているが、前記先端側支持プレート及び前記基端側支持プレートの固着を精度良く行うことは容易ではない。
【００１６】
さらに、前記特許文献１〜３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記先端領域を揺動させる為の前記一対の圧電素子の伸縮動作性に関しても改善の余地があった。
【００１７】
前記先端領域を揺動させる際には、前記一対の圧電素子のうちサスペンション幅方向一方側に位置する第１圧電素子が伸長し且つサスペンション幅方向他方側に位置する第２圧電素子が圧縮する。
【００１８】
この際、前記先端領域は、サスペンション幅方向一方側の第１端部がサスペンション長手方向先端側へ最も移動し且つサスペンション幅方向他方側の第２端部がサスペンション長手方向基端側へ最も移動するように、揺動基準軸回りに揺動する。
【００１９】
このような前記先端領域の揺動動作時における前記一対の圧電素子の伸縮動作量をサスペンション幅方向位置に関して検討すると、前記圧電素子のうちサスペンション幅方向外方側エッジが最も大きく伸長又は圧縮し且つサスペンション幅方向内方側エッジが最も小さく伸長又は圧縮する。
【００２０】
しかしながら、前記特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子の前記下面側電極層の先端側及び基端側は、前記先端側水平面及び前記基端側水平面に接着剤を介してサスペンション幅方向全域に亘って一定の接着幅で固着されている。
【００２１】
同様に、前記特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子の前記下面側電極層の先端側及び基端側は、前記先端側支持プレート及び前記基端側プレートにサスペンション幅方向全域に亘って接着剤を介して一定の接着幅で固着されている。
【００２２】
斯かる構成においては、前記一対の圧電素子は、伸縮動作に対する拘束をサスペンション幅方向全域に亘って略均等に受けることになる。
つまり、前記特許文献１〜３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子の各々のサスペンション幅方向外方側エッジはサスペンション幅方向内方側エッジと同じ拘束力を受けながら、サスペンション幅方向内方側エッジよりも大きく伸縮しなければならず、結果として、前記一対の圧電素子の各々の円滑な伸縮動作が妨げられるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２３】
【特許文献１】特開２００２−２５１８５４号公報
【特許文献２】特開２００９−０８０９１５号公報
【特許文献３】特開２００２−０５０１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２４】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、メインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダの粗動に加えて一対の圧電素子の伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダの微動を行える磁気ヘッドサスペンションであって、前記一対の圧電素子の伸縮動作性を損なうことなく、前記一対の圧電素子の少なくとも一部がディスク面に直交するｚ方向に関し支持部の先端領域及び基端領域にオーバーラップした状態での前記一対の圧電素子の支持安定化を図り得る磁気ヘッドサスペンションの提供を、目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記ディスク面と対向する下面が第１平面内に位置された状態で前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面内に位置された状態で前記基端領域からサスペンション長手方向先端側に離間され且つ前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面内に位置された状態でサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子の間において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する中央梁と、前記中央梁からサスペンション幅方向一方側及び他方側へそれぞれ延びる左右一対の中央延在片とを有し、前記一対の中央延在片の各々は、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面よりも前記ディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記中央梁から折り曲げられた中央重合領域を有し、前記中央重合領域は、前記ディスク面と直交する平面視において対応する前記圧電素子のサスペンション幅方向内方側エッジを跨いでサスペンション幅方向外方へ延在し且つ対応する前記圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側で終焉しており、前記一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で前記ディスク面とは反対側の上面側電極層が上面側接着剤によって対応する前記中央重合領域の下面に固着され、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域におけるサスペンション長手方向基端側を向く基端壁面と対向した状態で先端側絶縁性接着剤によって固着され、基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域におけるサスペンション長手方向先端側を向く先端壁面と対向した状態で基端側絶縁性接着剤によって固着されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００２６】
前記一対の圧電素子の各々のサスペンション幅方向長さをＷとした場合に、好ましくは、前記中央重合領域は対応する前記圧電素子のサスペンション幅方向内方側エッジからサスペンション幅方向外方へ２／３×Ｗの位置で終焉される。
【００２７】
一形態においては、前記中央重合領域は対応する前記圧電素子のサスペンション長手方向中央部分にのみ重合するように構成される。
これに代えて、前記中央重合領域は対応する前記圧電素子のサスペンション長手方向全域と重合するように構成され得る。
【００２８】
前記種々の構成において、好ましくは、前記支持部は、前記先端領域のうち前記中央梁を基準にしてサスペンション幅方向一方側及び他方側に位置する部分からそれぞれサスペンション長手方向基端側へ延びる左右一対の先端延在片と、前記基端領域のうち前記中央梁を基準にしてサスペンション幅方向一方側及び他方側に位置する部分からそれぞれサスペンション長手方向先端側へ延びる左右一対の基端延在片とを有し得る。
前記一対の先端延在片の各々は、前記ディスク面と対向する下面が前記第２平面内に位置するように前記先端領域から折り曲げられた先端重合領域を有する。
前記一対の基端延在片の各々は、前記ディスク面と対向する下面が前記第２平面内に位置するように前記基端領域から折り曲げられた基端重合領域を有する。
前記先端重合領域は、対応する前記圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置し且つ平面視において対応する前記圧電素子のサスペンション長手方向先端側エッジを跨いでサスペンション長手方向基端側へ延在する。
前記基端重合領域は、対応する前記圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置し且つ平面視において対応する前記圧電素子のサスペンション長手方向基端側エッジを跨いでサスペンション長手方向先端側へ延在する。
前記上面側電極層の先端側及び基端側は上面側先端接着剤及び上面側基端接着剤によって前記先端重合領域及び前記基端重合領域の下面にそれぞれ固着される。
【００２９】
又、本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記ディスク面と対向する下面が第１平面内に位置された状態で前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面内に位置された状態で前記基端領域からサスペンション長手方向先端側に離間され且つ前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション幅方向中央において前記先端領域及び前記基端領域の間を連結する連結領域とを有し、前記連結領域は、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面よりも前記ディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記先端領域及び前記基端領域から折り曲げられた中央重合領域を有し、前記中央重合領域は、前記ディスク面と直交する平面視において前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向内方側エッジとオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向外方側エッジとはオーバーラップしないようなサスペンション幅方向長さを有しており、前記一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で前記ディスク面とは反対側の上面側電極層が上面側接着剤によって前記中央重合領域に固着され、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域におけるサスペンション長手方向基端側を向く基端壁面と対向した状態で先端側絶縁性接着剤によって固着され、基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域におけるサスペンション長手方向先端側を向く先端壁面と対向した状態で基端側絶縁性接着剤によって固着された磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００３０】
前記種々の構成において、好ましくは、前記支持部は、前記基端領域及び前記先端領域のサスペンション幅方向一端側同士及び他端側同士を連結する左右一対の連結梁をさらに有し得る。
【００３１】
さらに、本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記ディスク面と対向する下面が第１平面内に位置された状態で前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面内に位置された状態で前記基端領域からサスペンション長手方向先端側に離間され且つ前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、前記基端領域及び前記先端領域のサスペンション幅方向一端側同士及び他端側同士を連結する左右一対の連結梁と、前記先端領域からサスペンション長手方向基端側へ延びる先端延在片と、前記基端領域からサスペンション長手方向先端側へ延びる基端延在片とを有し、前記先端延在片は、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面よりも前記ディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記先端領域から折り曲げられた先端重合領域を有し、前記先端重合領域は、前記ディスク面と直交する平面視において少なくとも前記一対の圧電素子の双方のサスペンション長手方向先端側エッジ及びサスペンション幅方向内方側エッジの交点を含む先端内方領域とオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置され、前記基端延在片は、前記第２平面内に位置するように前記基端領域から折り曲げられた基端重合領域を有し、前記基端重合領域は、前記平面視において少なくとも前記一対の圧電素子の双方のサスペンション長手方向基端側エッジ及びサスペンション幅方向内方側エッジの交点を含む基端内方領域とオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置され、前記一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で前記ディスク面とは反対側の上面側電極層が上面側先端接着剤及び上面側基端接着剤によって前記先端重合領域及び前記基端重合領域の下面にそれぞれ固着され、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域におけるサスペンション長手方向基端側を向く基端壁面と対向した状態で先端側絶縁性接着剤によって固着され、基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域におけるサスペンション長手方向先端側を向く先端壁面と対向した状態で基端側絶縁性接着剤によって固着されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００３２】
好ましくは、前記先端延在片及び前記基端延在片は間隙を介して離間される。
【００３３】
前記支持部が前記中央梁を有さない構成において、好ましくは、サスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子の間の間隙には中央絶縁性接着剤が充填され得る。
【００３４】
前記種々の構成において、好ましくは、前記上面側接着剤は上面側導電性接着剤を含み、前記上面側導電性接着剤が前記上面側電極層を対応する前記重合領域の下面に電気的に接続させることで前記上面側電極層が接地電位とされる。
【００３５】
より好ましくは、前記上面側接着剤は前記上面側導電性接着剤のサスペンション幅方向外方側，サスペンション長手方向先端側及び基端側を囲繞するように前記上面側電極層と対応する前記重合領域の下面との間を閉塞する上面側絶縁性接着剤を含む。
【００３６】
一形態においては、前記フレクシャ部は、前記磁気ヘッドスライダが装着されるヘッド搭載領域を有し且つ前記ロードビーム部及び前記支持部に固着されるフレクシャ金属基板と、前記フレクシャ金属基板の下面に積層される配線体とを備え、前記配線体は、前記フレクシャ金属基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される導体層と、前記導体層を囲繞するカバー層とを有する。
斯かる形態において、好ましくは、前記導体層は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続される信号配線と、基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線とを含み得る。
この場合に、前記電圧供給配線は、前記カバー層に形成された開口を介してサスペンション長手方向に関し前記先端領域及び前記基端領域の間において露出され、且つ、電圧供給用導電性接着剤を介して前記圧電素子の下面側電極層に電気的に接続される。
【発明の効果】
【００３７】
本発明の一態様に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、基端領域及び先端領域を連結する中央梁から幅方向外方側へ延びる一対の中央延在片が支持部に設けられ、前記一対の中央延在片の各々は下面が前記基端領域，前記先端領域及び前記中央梁の下面が位置する第１平面よりもディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記中央梁から折り曲げられた中央重合領域を有し、前記中央重合領域は平面視において対応する圧電素子の幅方向内方側エッジを跨いで幅方向外方へ延在し且つ対応する前記圧電素子の幅方向外方側エッジよりも幅方向内方側で終焉しており、前記一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で上面側電極層，先端側の端面及び基端側の端面が前記中央重合領域，前記先端領域の基端壁面及び前記基端領域の先端壁面に接着剤によってそれぞれ固着されているので、前記一対の圧電素子の伸縮動作性を損なうことなく、少なくとも一部がディスク面に直交するｚ方向に関し前記先端領域及び前記基端領域にオーバーラップした状態での前記一対の圧電素子の支持安定化を図ることができる。
【００３８】
又、本発明の他態様に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、サスペンション幅方向中央において先端領域及び基端領域の間を連結する連結領域が支持部に設けられ、前記連結領域は下面が前記先端領域及び前記基端領域の下面が位置する第１平面よりもディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記先端領域及び前記基端領域から折り曲げられた中央重合領域を有し、前記中央重合領域は平面視において前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向内方側エッジとオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向外方側エッジとはオーバーラップしないようなサスペンション幅方向長さを有しており、前記一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で上面側電極層，先端側の端面及び基端側の端面が前記中央重合領域，前記先端領域の基端壁面及び前記基端領域の先端壁面に接着剤によってそれぞれ固着されているので、前記一対の圧電素子の伸縮動作性を損なうことなく、少なくとも一部がディスク面に直交するｚ方向に関し前記先端領域及び前記基端領域にオーバーラップした状態での前記一対の圧電素子の支持安定化を図ることができる。
【００３９】
又、本発明のさらに他態様に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、先端領域からサスペンション長手方向基端側へ延びる先端延在片と基端領域からサスペンション長手方向先端側へ延びる基端延在片とが支持部に設けられ、前記先端延在片は下面が前記先端領域及び前記基端領域の下面が位置する第１平面よりもディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記先端領域から折り曲げられた先端重合領域を有し、前記基端延在片は下面が前記第２平面内に位置するように前記基端領域から折り曲げられた基端重合領域を有し、前記先端重合領域は平面視において前記一対の圧電素子の双方のサスペンション長手方向先端側エッジ及びサスペンション幅方向内方側エッジの交点を含む先端内方領域とオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置され、前記基端重合領域は平面視において前記一対の圧電素子の双方のサスペンション長手方向基端側エッジ及びサスペンション幅方向内方側エッジの交点を含む基端内方領域とオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子の双方のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置され、前記一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で上面側電極層が前記先端重合領域及び前記基端重合領域の双方に、先端側の端面が前記先端領域の基端壁面に、基端側の端面が前記基端領域の先端壁面に、それぞれ、接着剤によって固着されているので、前記一対の圧電素子の伸縮動作性を損なうことなく、少なくとも一部がディスク面に直交するｚ方向に関し前記先端領域及び前記基端領域にオーバーラップした状態での前記一対の圧電素子の支持安定化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図２】図２は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図３】図３は、図１におけるIII-III線に沿った断面図である。
【図４】図４は、図１におけるIV-IV線に沿った断面図である。
【図５】図５は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の下面図である。
【図６】図６は、前記実施の形態１の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図７】図７は、図６に示す前記磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の下面図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図９】図９は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の下面図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１１】図１１は、図１０におけるXI-XI線に沿った断面図である。
【図１２】図１２は、図１０におけるXII-XII線に沿った断面図である。
【図１３】図１３は、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の下面図である。
【図１４】図１４は、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１５】図１５は、図１４におけるXV-XV線に沿った断面図である。
【図１６】図１６は、図１４におけるXVI-XVI線に沿った断面図である。
【図１７】図１７は、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の下面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１及び図２に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図２における○印は溶接点を示している。
又、図３及び図４に、それぞれ、図１におけるIII-III線及びIV-IV線に沿った断面図を示す。
【００４２】
図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッドスライダ５０をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッドスライダ５０に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに前記ディスク面と平行なシーク方向へ揺動される支持部１０Ａと、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０Ａに支持されるフレクシャ部４０と、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部１０Ａに装着された左右一対の圧電素子６０とを備えている。
【００４３】
前記支持部１０Ａは、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００４４】
本実施の形態においては、前記支持部１０Ａは、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０Ａは、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００４５】
図５に、前記支持部１０Ａの下面図を示す。なお、図５においては、前記一対の圧電素子６０を破線で示している。
【００４６】
図１〜図５に示すように、前記支持部１０Ａは、前記ディスク面と対向する下面が第１平面内に位置された状態で前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域１１と、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面内に位置された状態で前記基端領域１１からサスペンション長手方向先端側に離間され且つ前記荷重曲げ部２０が連結される先端領域１２と、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面内に位置された状態でサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子６０の間において前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間を連結する中央梁１００と、前記中央梁１００からサスペンション幅方向一方側及び他方側へそれぞれ延びる左右一対の中央延在片１１０とを有している。
前記中央延在片１１０の詳細構造については後述する。
【００４７】
本実施の形態においては、前記支持部１０Ａは、さらに、前記基端領域１１及び前記先端領域１２のサスペンション幅方向一端側同士及び他端側同士を連結する左右一対の連結梁１４を有している。
【００４８】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００４９】
詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３を有している。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００５０】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００５１】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０Ａに連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００５２】
図１及び図２に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向するように配置された左右一対の板バネ２１を有している。
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００５３】
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
【００５４】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０を一体形成するロードビーム部／荷重曲げ部形成部材を有しており、前記ロードビーム部／荷重曲げ部形成部材における前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０Ａの前記先端領域１２における前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記ロードビーム部形成部材が前記支持部１０Ａに溶接されている。
【００５５】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０Ａに接合される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図２に示すように、前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０Ａにおける前記ディスク面との対向面に溶接等によって接合される本体領域４１と、前記本体領域４１から先端側へ延びる一対の支持片４２と、前記支持片４２によって支持された前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００５６】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００５７】
前記フレクシャ部４０は、前記ヘッド搭載領域４３がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ部４０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００５８】
なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０には、前記磁気ヘッド５０に書き込み信号及び／又は読み取り信号を伝達する為の信号配線がプリント回路として一体的に備えられている。
即ち、前記フレクシャ部４０は、前記本体領域４１，前記一対の支持片４２及び前記ヘッド搭載領域４３を一体的に有するフレクシャ金属基板４００と、前記フレクシャ金属基板４００に積層されたフレクシャ配線体４１０とを有している。
【００５９】
前記フレクシャ配線体４１０は、前記フレクシャ金属基板４００におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層４１１（図４参照）と、前記絶縁層４１１におけるディスク面との対向面に積層された導体層４１２と、前記導体層４１２を囲繞するカバー層４１３とを有し得る。
前記導体層４１２は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダ５０に電気的に接続される信号配線４１２ａ（図２参照）を含んでいる。
【００６０】
本実施の形態においては、前記フレクシャ金属基板４００の前記本体領域４１は、図２に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体領域３１，前記支持部１０Ａの前記先端領域１２及び前記基端領域１１にそれぞれ溶接によって接合されている。
【００６１】
前記圧電素子６０は、図３及び図４に示すように、ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）からなる圧電体６１と、前記圧電体６１の前記ディスク面と対向する側の下面に配設された下面側電極層６２と、前記圧電体６１の前記ディスク面とは反対側の上面に配設された上面側電極層６３とを有している。
前記圧電体６１は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍとされ、前記電極層６２，６３は、例えば厚さ０．０５μｍ〜数μｍのＮｉやＡｕによって形成される。
【００６２】
前記一対の圧電素子６０は、先端部及び基端部が前記支持部１０Ａの前記先端領域１２及び前記基端領域１１にそれぞれ連結された状態で、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置されている。
【００６３】
本実施の形態においては、前記一対の圧電素子６０の各々は、図３及び図４に示すように、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で前記上面側電極層６３が上面側接着剤７０によって対応する前記中央延在片１１０に固着され、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域１２におけるサスペンション長手方向基端側を向く基端壁面１２ａと対向した状態で先端側絶縁性接着剤７６によって固着され且つ基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域１１におけるサスペンション長手方向先端側を向く先端壁面１１ａと対向した状態で基端側絶縁性接着剤７５によって固着されている。
【００６４】
ここで、前記中央延在片１１０の詳細構造について説明する。
図１及び図３〜図５に示すように、前記一対の中央延在片１１０の各々は、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面よりも前記ディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記中央梁１００から折り曲げられた中央重合領域１１１を有している。
【００６５】
前記中央重合領域１１１は、図１及び図５に示すように、前記ディスク面と直交する平面視において対応する前記圧電素子６０のサスペンション幅方向内方側エッジを跨いでサスペンション幅方向外方へ延在し且つ対応する前記圧電素子６０のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側で終焉している。
【００６６】
そして、前記一対の圧電素子６０の各々は、図３〜図５に示すように、サスペンション幅方向外方側のエッジがフリーな状態で前記上面側電極層６３が上面側接着剤７０によって対応する前記中央延在片１１０に固着され、先端側の端面が前記先端領域１２の基端壁面１２ａに先端側絶縁性接着剤７６によって固着され、且つ、基端側の端面が前記基端領域１１の先端壁面１１ａに基端側絶縁性接着剤７５によって固着されている。
【００６７】
斯かる構成の磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては以下の効果を得ることができる。
即ち、前記左右一対の中央延在片１１０の各々は、下面が第１平面内に位置する前記中央梁１００からサスペンション幅方向外方へ延在され且つ下面が前記第１平面よりも前記ディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記中央梁１００から折り曲げられた前記中央重合領域１１１を有している。
【００６８】
そして、前記一対の圧電素子は、前記上面側電極層６３が上面側接着剤７０によって対応する前記中央延在片１１０に固着され、先端側の端面が前記先端領域１２の基端壁面１２ａに先端側絶縁性接着剤７６によって固着され、且つ、基端側の端面が前記基端領域１１の先端壁面１１ａに基端側絶縁性接着剤７５によって固着されている。
【００６９】
従って、前記圧電素子の少なくとも一部をｚ方向に関し前記先端領域及び前記基端領域とオーバーラップさせた状態で前記圧電素子を安定的に支持することができる。
【００７０】
さらに、前記中央重合領域１１１は、前記ディスク面と直交する平面視において対応する前記圧電素子６０のサスペンション幅方向内方側エッジを跨いでサスペンション幅方向外方へ延在しつつ対応する前記圧電素子６０のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側で終焉している。
【００７１】
従って、前記圧電素子６０の前記支持安定化を図りつつ、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作性が損なわれることを有効に防止することができる。
【００７２】
即ち、前記磁気ヘッドスライダ５０を前記一対の圧電素子６０によってシーク方向に微動させる際には、前記一対の圧電素子６０のうちサスペンション幅方向一方側に位置する第１圧電素子が伸長され且つサスペンション幅方向他方側に位置する第２圧電素子が圧縮される。
【００７３】
この際に、前記先端領域１２は、サスペンション幅方向中央部分がサスペンション長手方向に関し実質的に固定された状態でサスペンション幅方向一方側の端部がサスペンション長手方向先端側へ最も移動し且つサスペンション幅方向他方側の端部がサスペンション長手方向基端側へ最も移動するように、揺動する。
【００７４】
従って、このような前記先端領域１２の揺動動作に際して、前記第１圧電素子６０は、サスペンション幅方向外方側エッジが最も大きく伸長し且つサスペンション幅方向内方側エッジが最も小さく伸長する。
一方、前記第２圧電素子６０は、サスペンション幅方向外方側エッジが最も大きく圧縮し且つサスペンション幅方向内方側エッジが最も小さく圧縮する。
【００７５】
この点に関し、本実施の形態においては、前述の通り、前記中央重合領域１１１は前記平面視において対応する前記圧電素子６０のサスペンション幅方向内方側エッジを跨いでサスペンション幅方向外方へ延在し且つ対応する前記圧電素子６０のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側で終焉しており、前記一対の圧電素子６０の各々はサスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で前記上面側電極層６３が上面側接着剤７０によって対応する前記中央重合領域１１１に固着されている。
【００７６】
従って、前記一対の圧電素子６０の支持安定化を図りつつ、前記一対の圧電素子６０の各々がサスペンション幅方向外方側エッジにおいてサスペンション長手方向に最も大きく伸縮することを有効に許容することができる。
前記一対の圧電素子６０の支持安定化は該圧電素子６０及び前記支持部１０Ａを含む磁気ヘッドサスペンション１Ａの支持領域の曲げ剛性や捩れ剛性の向上につながり、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの全体としての共振周波数や耐衝撃性を大幅に高めることができる。
【００７７】
前記一対の圧電素子６０の各々のサスペンション幅方向長さをＷとした場合に、好ましくは、前記中央重合領域１１１は対応する前記圧電素子６０のサスペンション幅方向内方側エッジからサスペンション幅方向外方へ２／３×Ｗの位置で終焉される。
斯かる構成によれば、前記圧電素子６０のサスペンション幅方向中央を前記中央重合領域１１１によって支持することができる。従って、前記圧電素子６０のサスペンション幅方向外方側エッジの伸縮性を損なうことなく、前記圧電素子６０の前記中央重合領域１１１への固着作業効率の向上を図ることができる。
【００７８】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記上面側電極層６３と前記中央重合領域１１１と固着させる前記上面側接着剤７０を介して、前記上面側電極層６３が接地電位とされている。
【００７９】
詳しくは、図３及び図４に示すように、前記上面側接着剤７０は上面側導電性接着剤７０ａを含んでおり、前記上面側導電性接着剤７０ａが前記上面側電極層６３を前記中央重合領域１１１の下面に電気的に接続させることで前記上面側電極層６３が接地電位とされている。
斯かる構成によれば、前記上面側電極層６３を接地電位とする為の構造簡略化を図ることができる。
【００８０】
本実施の形態においては、前記上面側接着剤７０は、図３及び図４に示すように、前記上面側導電性接着剤７０ａのサスペンション幅方向外方側，サスペンション長手方向先端側及び基端側を囲繞するように前記上面側電極層６３と前記中央重合領域１１１の下面との間を閉塞する上面側絶縁性接着剤７０ｂをさらに含んでいる。
斯かる構成によれば、前記上面側導電性接着剤７０ａに含まれるＡｇフィラー粒子の脱落を有効に防止できる。なお、Ａｇフィラー粒子が前記ディスク面上に脱落すると、前記磁気ヘッドスライダ５０のクラッシュの原因となる。
【００８１】
さらに、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記フレクシャ配線体４１０を利用して前記下面側電極層６２に所定電圧を供給するように構成されている。
【００８２】
詳しくは、図２及び図４に示すように、前記フレクシャ配線体４１０の前記導体層４１２は、前記信号配線４１２ａに加えて、基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線４１２ｂを有している。
【００８３】
一方、前記フレクシャ配線体４１０の前記カバー層４１３には、図４に示すように、サスペンション長手方向に関し前記先端領域１２及び前記基端領域１１の間において前記電圧供給配線４１２ｂを露出させる開口４１３ａが形成されている。
【００８４】
そして、図４に示すように、前記開口４１３ａを介して露出された前記電圧供給配線４１２ｂと前記下面側電極層６２とが電圧供給用導電性接着剤８０を介して電気的に接続されている。
前記電圧供給用導電性接着剤８０は絶縁性接着剤８１によって囲繞されている。
斯かる構成によれば、前記電圧供給用導電性接着剤８０に含まれるＡｇフィラー粒子の脱落を有効に防止できる。なお、Ａｇフィラー粒子が前記ディスク面上に脱落すると、前記磁気ヘッドスライダ５０のクラッシュの原因となる。
【００８５】
なお、本実施の形態においては、前記中央重合領域１１１は、図１等に示すように、前記圧電素子６０のサスペンション長手方向中央部分のみと重合するように構成されているが、当然ながら、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
例えば、図６及び図７に示すように、対応する前記圧電素子６０のサスペンション長手方向全域と重合するように前記中央重合領域１１１を形成することも可能である。
【００８６】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図８に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図を示す。
又、図９に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおける支持部１０Ｂの下面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００８７】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記支持部１０Ａが支持部１０Ｂに変更されている点において前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【００８８】
前記支持部１０Ｂは、前記実施の形態１における支持部１０Ａに比して、左右一対の先端延在片１３０及び左右一対の基端延在片１２０をさらに有している。
即ち、前記支持部１０Ｂは、前記基端領域１１、前記先端領域１２、前記中央梁１００及び前記一対の中央延在片１１０に加えて、前記一対の先端延在片１３０及び前記一対の基端延在片１２０を有している。
なお、前記支持部１０Ｂも、前記実施の形態１における前記支持部１０Ａと同様に、好ましくは、さらに前記一対の連結梁１４を有する。
【００８９】
前記一対の先端延在片１３０の各々は、図８及び図９に示すように、前記ディスク面と対向する下面が前記第２平面内に位置するように前記先端領域１２から折り曲げられた先端重合領域１３１を有している。
前記先端重合領域１３１は、対応する前記圧電素子６０のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置し且つ平面視において対応する前記圧電素子６０のサスペンション長手方向先端側エッジを跨いでサスペンション長手方向基端側へ延在している。
【００９０】
前記一対の基端延在片１２０の各々は、図８及び図９に示すように、前記ディスク面と対向する下面が前記第２平面内に位置するように前記基端領域１１から折り曲げられた基端重合領域１２１を有している。
前記基端重合領域１２１は、対応する前記圧電素子６０のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置し且つ平面視において対応する前記圧電素子６０のサスペンション長手方向基端側エッジを跨いでサスペンション長手方向先端側へ延在している。
【００９１】
そして、前記一対の圧電素子６０の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で、前記ディスク面とは反対側の前記上面側電極層６３が前記上面側接着剤７０、上面側先端接着剤７２及び上面側基端接着剤７１によって、それぞれ、対応する前記中央重合領域１１１、対応する前記先端重合領域１３１及び対応する前記基端重合領域１２１の下面に固着され、さらに、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域１２におけるサスペンション長手方向基端側を向く基端壁面１２ａと対向した状態で先端側絶縁性接着剤７６によって固着され、基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域１１におけるサスペンション長手方向先端側を向く先端壁面１１ａと対向した状態で基端側絶縁性接着剤７５によって固着されている。
【００９２】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂによれば、前記圧電素子６０の伸縮動作性の悪化を有効に防止しつつ、前記圧電素子６０のさらなる支持安定化を図ることができる。
ここで、前記一対の圧電素子６０の支持安定化は該圧電素子６０及び前記支持部１０Ｂを含む磁気ヘッドサスペンション１Ｂの支持領域の曲げ剛性や捩れ剛性の向上につながり、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂの全体としての共振周波数や耐衝撃性を大幅に高めることができる。
【００９３】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃの上面図を示す。
又、図１１及び図１２に、それぞれ、図１０におけるXI-XI線及びXII-XII線に沿った断面図を示す。
さらに、図１３に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおける支持部１０Ｃの下面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び２におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００９４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、前記支持部１０Ａが支持部１０Ｃに変更されている点において前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【００９５】
前記支持部１０Ｃは、図１０に示すように、前記基端領域１１及び前記先端領域１２と、サスペンション幅方向中央において前記先端領域１１及び前記基端領域１２の間を連結する連結領域１４０とを有している。
なお、前記支持部１０Ｃにも、前記支持部１０Ａ，１０Ｂにおけると同様に、前記一対の連結梁１４が任意的に備えられ得る。
【００９６】
前記連結領域１４０は、図１１及び図１２に示すように、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面よりも前記ディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記先端領域１２及び前記基端領域１１から折り曲げられた中央重合領域１４１を有している。
【００９７】
前記中央重合領域１４１は、図１２及び図１３に示すように、前記ディスク面と直交する平面視において前記一対の圧電素子６０の双方のサスペンション幅方向内方側エッジとオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子６０の双方のサスペンション幅方向外方側エッジとはオーバーラップしないようなサスペンション幅方向長さを有している。
【００９８】
即ち、前記中央重合領域１４１は、サスペンション幅方向一方側のエッジが一方の前記圧電素子６０のサスペンション幅方向内方側エッジ及び外方側エッジの間に位置し且つサスペンション幅方向他方側のエッジが他方の前記圧電素子６０のサスペンション幅方向内方側エッジ及び外方側エッジの間に位置するように、サスペンション幅方向長さが設定されている。
【００９９】
そして、前記一対の圧電素子６０の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で前記ディスク面とは反対側の前記上面側電極層６３が前記上面側接着剤７０によって前記中央重合領域１４１に固着され、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域１２におけるサスペンション長手方向基端側を向く基端壁面１２ａと対向した状態で先端側絶縁性接着剤７６によって固着され、基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域１１におけるサスペンション長手方向先端側を向く先端壁面１１ａと対向した状態で基端側絶縁性接着剤７５によって固着されている。
【０１００】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおいても、前記実施の形態１及び２と同様に、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作性が損なわれることを可及的に防止しつつ、前記一対の圧電素子６０の少なくとも一部を前記ディスク面に直交するｚ方向に関し前記先端領域１２及び前記基端領域１１とオーバーラップさせた状態での前記一対の圧電素子６０の支持安定化を図ることができる。
ここで、前記一対の圧電素子６０の支持安定化は該圧電素子６０及び前記支持部１０Ｃを含む磁気ヘッドサスペンション１Ｃの支持領域の曲げ剛性や捩れ剛性の向上につながり、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃの全体としての共振周波数や耐衝撃性を大幅に高めることができる。
【０１０１】
好ましくは、図１２に示すように、サスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子６０の間の間隙は中央絶縁性接着剤７７によって充填され得る。斯かる構成によれば、前記一対の圧電素子６０の支持安定化をさらに図ることができる。
なお、前述の通り、前記一対の圧電素子６０のサスペンション幅方向内方側エッジは最も伸縮量が小さい。従って、前記間隙に中央絶縁性接着剤７７を充填しても前記一対の圧電素子６０の伸縮動作性を大きく悪化させることはない。
【０１０２】
本実施の形態においては、好ましくは、前記一対の圧電素子６０の各々のサスペンション幅方向長さをＷとした場合に、前記中央重合領域１４１は、前記一対の圧電素子６０の間の領域と前記一対の圧電素子６０の各々についてサスペンション幅方向内方側エッジからサスペンション幅方向外方へ２／３×Ｗへ至る領域とを覆うようにサスペンション幅方向長さが設定される。
斯かる構成によれば、前記一対の圧電素子６０の支持安定化を図りつつ、前記一対の圧電素子６０のサスペンション幅方向外方側領域の伸縮性を有効に確保することができる。
【０１０３】
実施の形態４
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１４に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄの上面図を示す。
又、図１５及び図１６に、それぞれ、図１４におけるXV-XV線及びXVI-XVI線に沿った断面図を示す。
さらに、図１７に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおける支持部１０Ｄの下面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜３におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄは、前記支持部１０Ａが支持部１０Ｄに変更されている点において前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【０１０５】
前記支持部１０Ｄは、図１４及び図１７に示すように、前記基端領域１１と前記先端領域１２と前記一対の連結梁１４とを備えており、さらに、前記先端領域１２からサスペンション長手方向基端側へ延びる先端延在片１６０と前記基端領域１１からサスペンション長手方向先端側へ延びる基端延在片１５０とを備えている。
【０１０６】
図１５に示すように、前記先端延在片１６０は、前記ディスク面と対向する下面が前記第１平面よりも前記ディスク面から離間された第２平面内に位置するように前記先端領域１２から折り曲げられた先端重合領域１６１を有している。
【０１０７】
前記先端重合領域１６１は、図１７に示すように、前記ディスク面と直交する平面視において少なくとも前記一対の圧電素子６０の双方のサスペンション長手方向先端側エッジ及びサスペンション幅方向内方側エッジの交点を含む先端内方領域６０ａとオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子６０の双方のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置されている。
【０１０８】
図１５及び図１６に示すように、前記基端延在片１５０は、前記第２平面内に位置するように前記基端領域１１から折り曲げられた基端重合領域１５１を有している。
前記基端重合領域１５１は、図１７に示すように、前記平面視において少なくとも前記一対の圧電素子６０の双方のサスペンション長手方向基端側エッジ及びサスペンション幅方向内方側エッジの交点を含む基端内方領域６０ｂとオーバーラップしつつ前記一対の圧電素子６０の双方のサスペンション幅方向外方側エッジよりもサスペンション幅方向内方側に位置されている。
【０１０９】
前記一対の圧電素子６０の各々は、サスペンション幅方向外方側エッジがフリーな状態で前記ディスク面とは反対側の前記上面側電極層６３が上面側先端接着剤７２及び上面側基端接着剤７１によって前記先端重合領域１６１及び前記基端重合領域１５１の下面にそれぞれ固着され、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域１２におけるサスペンション長手方向基端側を向く基端壁面１２ａと対向した状態で先端側絶縁性接着剤７６によって固着され、基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域１１におけるサスペンション長手方向先端側を向く先端壁面１１ａと対向した状態で基端側絶縁性接着剤７５によって固着されている。
【０１１０】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおいても、前記実施の形態１〜３と同様に、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作性が損なわれることを可及的に防止しつつ、前記一対の圧電素子６０の少なくとも一部を前記ディスク面に直交するｚ方向に関し前記先端領域１２及び前記基端領域１１とオーバーラップさせた状態での前記一対の圧電素子６０の支持安定化を図ることができる。
【０１１１】
なお、前記上面側先端接着剤７２及び前記上面側基端接着剤７１の少なくとも一方は導電性接着剤を有し、前記上面側電極層６３を対応する重合領域に電気的に接続するように構成される。
【０１１２】
本実施の形態においては、前記上面側先端接着剤７２及び前記上面側基端接着剤７１の双方共に導電性接着剤を有している。
このように、前記上面側先端接着剤７２及び前記上面側基端接着剤７１の双方共に導電性接着剤を含めることで、前記上面側電極層６３と前記支持部１０Ｄとの間の電気的接続の信頼性を高めることができる。
【０１１３】
詳しくは、図１５に示すように、前記上面側先端接着剤７２は、上面側先端導電性接着剤７２ａと前記上面側先端導電性接着剤７２ａを囲繞する上面側先端絶縁性接着剤７２ｂとを有している。
同様に、図１５及び図１６に示すように、前記上面側基端接着剤７１は、上面側基端導電性接着剤７１ａと前記上面側基端導電性接着剤７１ａを囲繞する上面側基端絶縁性接着剤７１ｂとを有している。
【０１１４】
又、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおいては、前記実施の形態３におけると同様に、サスペンション幅方向に関する前記一対の圧電素子６０の間の間隙は中央絶縁性接着剤７７によって充填されている（図１４及び図１６参照）。
斯かる構成によれば、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作性を悪化させることなく、前記一対の圧電素子６０のさらなる支持安定化を図ることができる。
【０１１５】
本実施の形態においては、図１４，図１５及び図１７に示すように、前記先端延在片１６０及び前記基端延在片１５０は間隙を介して離間されている。
斯かる構成によれば、前記先端延在片１６０及び前記基端延在片１５０の曲げ加工を容易に行うことができる。即ち、前記先端延在片１６０と前記基端延在片１５０の間に隙間を設けることで、前記先端延在片１６０及び前記基端延在片１５０の曲げ加工によって前記支持部１０Ｄに反り及び／又は変形を生じることを低減又は防止できる。
【０１１６】
本実施の形態においては、好ましくは、前記一対の圧電素子６０の各々のサスペンション幅方向長さをＷとした場合に、前記先端重合領域１６１及び前記基端重合領域１５１の各々は、前記一対の圧電素子６０の間の領域と前記一対の圧電素子６０の各々についてサスペンション幅方向内方側エッジからサスペンション幅方向外方へ２／３×Ｗへ至る領域とを覆うようにサスペンション幅方向長さが設定される。
斯かる構成によれば、前記一対の圧電素子６０の支持安定化を図りつつ、前記一対の圧電素子６０のサスペンション幅方向外方側領域の伸縮性を有効に確保することができる。
【符号の説明】
【０１１７】
１Ａ〜１Ｄ                      磁気ヘッドサスペンション
１０Ａ〜１０Ｄ                  支持部
１１                            基端領域
１１ａ                          先端壁面
１２                            先端領域
１２ａ                          基端壁面
１４                            連結梁
２０                            荷重曲げ部
３０                            ロードビーム部
４０                            フレクシャ部
５０                            磁気ヘッドスライダ
６０                            圧電素子
６２                            下面側電極層
６３                            上面側電極層
７０                            上面側接着剤
７０ａ                          上面側導電性接着剤
７０ｂ                          上面側絶縁性接着剤
７１                            上面側基端接着剤
７２                            上面側先端接着剤
７５                            基端側絶縁性接着剤
７６                            先端側絶縁性接着剤
７７                            中央絶縁性接着剤
８０                            電圧供給用導電性接着剤
１００                          中央梁
１１０                          中央延在片
１１１                          中央重合領域
１２０                          基端延在片
１２１                          基端重合領域
１３０                          先端延在片
１３１                          先端重合領域
１４０                          連結領域
１４１                          中央重合領域
１５０                          基端延在片
１５１                          基端重合領域
１６０                          先端延在片
１６１                          先端重合領域
４００                          フレクシャ金属基板
４１０                          フレクシャ配線体
４１１                          絶縁層
４１２                          導体層
４１２ａ                        信号配線
４１２ｂ                        電圧供給配線
４１３                          カバー層
４１３ａ                        開口
ＣＬ                            サスペンション長手方向中心線
【図１】
0005131938.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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