(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、
支持フレームと、
前記支持フレームに前記搬送方向へ沿って設けられ、基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記支持フレームに設けられ、前記搬送方向へ間隔を置いて並んだ複数の基準ローラとからなる基準ローラ群と、
前記支持フレームに前記基準ローラ群に搬送幅方向に離隔して設けられ、前記搬送方向へ間隔を置いて並びかつ前記搬送幅方向へ移動可能な複数の押えローラとからなり、前記基準ローラ群と協働して基板を狭持する押えローラ群と、
複数の前記押えローラを前記搬送幅方向へ移動させる移動用アクチュエータと、
前記基準ローラ群と前記押えローラ群のうちの一方のローラ群における複数のローラを垂直な軸心周りに回転させる回転用アクチュエータと、
前記支持フレームにおける前記基準ローラ群と前記押えローラ群との間に設けられ、前記搬送方向へ間隔を置いて並びかつ前記搬送幅方向へ移動可能な複数の追加押えローラとからなり、各追加押えローラが前記浮上ユニットによる浮上高さ位置に対して出没可能に構成され、前記基準ローラ群と協働して基板を狭持する追加押えローラ群と、
複数の前記追加押えローラを前記搬送幅方向へ移動させる移動用追加アクチュエータと、
複数の前記追加押えローラを前記浮上高さ位置に対して出没させる出没用追加アクチュエータと、を備え、
前記基準ローラ群と前記押えローラ群のうちの他方のローラ群における各ローラは、垂直な軸心周りに回転自在なフリーローラになっていることを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
前記支持フレームを水平な軸心周りに旋回可能に支持する固定フレームと、
水平な第１旋回位置と水平に対して傾斜した第２旋回位置との間で前記支持フレームを旋回させる旋回用アクチュエータと、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばガラス基板等の基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、浮上搬送装置の先行技術として特許文献１に示すものがある。そして、先行技術に係る浮上搬送装置の構成等は、次のようになる。
【０００３】
先行技術に係る浮上搬送装置は、搬送方向へ延びた支持フレームを具備しており、この支持フレームの上部には、空気の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向に沿って設けられている。
【０００４】
支持フレームの上部における浮上ユニットの一方側には、第１押えローラ群が設けられており、この第１押えローラ群は、搬送方向へ間隔を置いて並んだ複数の第１押えローラからなるものである。また、各第１押えローラは、垂直な軸心周りに回転可能であって、第１スプリングの付勢力によって基板の一方の端面を押えるようになっている。そして、支持フレームにおける第１押えローラ群の近傍には、複数の第１押えローラを垂直な軸心周りに正方向へ回転させる第１回転用モータが設けられている。
【０００５】
支持フレームの上部における浮上ユニットの他方側には、第１押えローラ群と協働して基板を狭持する第２押えローラ群が搬送幅方向に離隔して設けられており、この第２押えローラ群は、搬送方向へ間隔を置いて並んだ複数の第２押えローラからなるものである。また、各第２押えローラは、垂直な軸心周りに回転可能であって、第２スプリングの付勢力によって基板の他方の端面を押えるようになっている。そして、支持フレームにおける第２押えローラ群の近傍には、複数の第２押えローラを垂直な軸心周りに逆方向へ回転させる第２回転用モータが設けられている。
【０００６】
従って、複数の浮上ユニットを適宜に動作させつつ、第１押えローラ群と第２押えローラ群の間に基板を搬入することにより、第１押えローラ群と第２押えローラ群との協働により基板を狭持する。そして、第１回転用モータの駆動によって複数の第１押えローラを垂直な軸心周りに正方向へ回転させると共に、第２回転用モータの駆動によって複数の第２押えローラを垂直な軸心周りに逆方向へ回転させる。これにより、基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送することができる。
【特許文献１】特開２００３−２９２１５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の特徴は、基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、支持フレームと、前記支持フレームに前記搬送方向へ沿って設けられ、基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、前記支持フレームに設けられ、前記搬送方向へ間隔を置いて並んだ複数の基準ローラとからなる基準ローラ群と、前記支持フレームに前記基準ローラ群に搬送幅方向に離隔して設けられ、前記搬送方向へ間隔を置いて並びかつ前記搬送幅方向へ移動可能な複数の押えローラとからなり、前記基準ローラ群と協働して基板を狭持する押えローラ群と、複数の前記押えローラを前記搬送幅方向へ移動させる移動用アクチュエータと、前記基準ローラ群と前記押えローラ群のうちの一方のローラ群における複数のローラを垂直な軸心周りに回転させる回転用アクチュエータと、前記支持フレームにおける前記基準ローラ群と前記押えローラ群との間に設けられ、前記搬送方向へ間隔を置いて並びかつ前記搬送幅方向へ移動可能な複数の追加押えローラとからなり、各追加押えローラが前記浮上ユニットによる浮上高さ位置に対して出没可能に構成され、前記基準ローラ群と協働して基板を狭持する追加押えローラ群と、複数の前記追加押えローラを前記搬送幅方向へ移動させる移動用追加アクチュエータと、複数の前記追加押えローラを前記浮上高さ位置に対して出没させる出没用追加アクチュエータと、を備え、前記基準ローラ群と前記押えローラ群のうちの他方のローラ群における各ローラは、垂直な軸心周りに回転自在なフリーローラになっていることを要旨とする。
【０００８】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の特徴は、基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、支持フレームと、前記支持フレームに前記搬送方向へ沿って設けられ、基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、前記支持フレームに設けられ、前記搬送方向へ間隔を置いて並んだ複数の基準ローラとからなる基準ローラ群と、前記支持フレームに前記基準ローラ群に搬送幅方向に離隔して設けられ、前記搬送方向へ間隔を置いて並びかつ前記搬送幅方向へ移動可能な複数の押えローラとからなり、前記基準ローラ群と協働して基板を狭持する押えローラ群と、複数の前記押えローラを前記搬送幅方向へ移動させる移動用アクチュエータと、前記基準ローラ群と前記押えローラ群のうちの一方のローラ群における複数のローラを垂直な軸心周りに回転させる回転用アクチュエータと、前記基準ローラ群と前記押えローラ群のうちの他方のローラ群における各ローラは、垂直な軸心周りに回転自在なフリーローラになっていることを要旨とする。
【００１０】
なお、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、「搬送幅方向」とは、搬送方向に直交する方向のことであって、「垂直」とは、基板の搬送領域に対して垂直のことである。また、一方のローラ群における複数のローラが複数の前記基準ローラの場合には、他方のローラ群における各ローラは各押えローラになり、一方のローラ群における複数のローラが複数の前記押えローラの場合には、他方のローラ群における各ローラは各基準ローラになる。
【００１１】
本発明の特徴によると、複数の前記浮上ユニットを適宜に動作させつつ、前記基準ローラ群と前記押えローラ群との間に基板を搬入する。次に、前記移動用アクチュエータの駆動によって複数の前記押えローラを前記搬送幅方向の一方側へ移動させて、前記押えローラ群と前記基準ローラ群の協働により基板を挟持する。そして、前記回転用アクチュエータの駆動によって一方のローラ群における複数の前記ローラを垂直な軸心の周りに回転させる。これにより、基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送することができる。
【００１２】
ここで、他方のローラ群における各ローラを垂直な軸心周りに回転自在なフリーローラとしたことにより、基板の搬送中に、前記回転用アクチュエータに不調が生じても、基板の振れを十分に抑制することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、基板の搬送中に、前記回転用アクチュエータに不調が生じても、基板の振れを十分に抑制できるため、基板の損傷を防止しつつ、基板を円滑かつ安定して搬送することできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施形態について図１から図６を参照して説明する。ここで、図１は、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の平面図、図２は、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の正面図、図３は、図１におけるIII-III線に沿った図、図４は、図２における矢視部IVの拡大図、図５は、図２における矢視部Vの拡大図、図６は、図２における矢視部VIの拡大図である。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００１５】
図１から図３に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の基板Ｗを浮上させた状態で搬送方向（本発明の実施形態にあっては、前後方向）へ搬送する装置であって、固定フレーム３を具備している。
【００１６】
固定フレーム３の上部には、前後方向へ水平に延びた旋回軸５が一対の軸受部材７を介して回転可能に設けられており、この旋回軸５には、前後方向及び搬送幅方向（本発明の実施形態にあっては、左右方向）へ延びた支持フレーム９が一体的に設けられている。換言すれば、固定フレーム３は、支持フレーム９を旋回軸５及び一対の軸受部材７を介して水平な軸心（旋回軸の軸心）周りに旋回可能に支持するようになっている。そして、固定フレーム３の上部には、水平な第１旋回位置（図２において実線で示す位置）と水平に対して傾斜した第２旋回位置（図２において仮想線で示す位置）との間で支持フレーム９を旋回させる旋回用モータ１１（旋回用アクチュエータの一例）が設けられており、旋回用モータ１１の出力軸は、減速機構１３及びカップリング１５を介して旋回軸５に連動連結してある。
【００１７】
なお、固定フレーム３の左側の適宜位置には、支持フレーム９が第１旋回位置を越えて逆方向（図２において反時計回り方向）へ旋回することを規制する一対（１つのみ図示）の第１ストッパ１７が設けられており、固定フレーム３の右側の適宜位置には、支持フレーム９が第２旋回位置を越えて正方向（図２において時計回り方向）へ旋回することを規制する一対の第２ストッパ１９が設けられている。
【００１８】
支持フレーム９の上部には、空気を収容する複数のチャンバー２１が前後方向及び左右方向へ沿って配設されており、各チャンバー２１の下面には、各チャンバー２１の内部に清浄化した空気を供給するファン・フィルタユニット２３が設けられている。また、各チャンバー２１の上面には、空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる複数の浮上ユニット２５が前後方向及び左右方向に沿って設けられており、換言すれば、支持フレーム９の上部には、複数の浮上ユニット２５が複数のチャンバー２１を介して前後方向及び左右方向に沿って設けられている。そして、各浮上ユニット２５の内部は、対応するチャンバー２１の内部に連通してあって、各浮上ユニット２５の上面には、空気を噴出するスリット状のノズル２７が形成されている（図４参照）。更に、各ノズル２７は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、垂直に対してユニット中心側（浮上ユニット２５の中心側）へ傾斜するようにそれぞれ構成されている。なお、各浮上ユニット２５の上面にスリット状のノズル２７が形成されるの代わりに、丸穴状の複数のノズルが形成されるようにしても構わない。
【００１９】
図１、図２、及び図４に示すように、支持フレーム９の上部における浮上ユニット２５の右方側（支持フレーム９の上部右側）には、前後方向へ延びたローラ支持部材２９が設けられており、このローラ支持部材２９には、基準ローラ群３１Ｇが設けられており、この基準ローラ群３１Ｇは、複数の基準ローラ３１が前後方向へ間隔を置いて並んでいる。換言すれば、支持フレーム９の上部には、前後方向へ間隔を置いて並んだ複数の基準ローラ３１からなる基準ローラ群３１Ｇがローラ支持部材２９を介して設けられている。そして、支持フレーム９の上部右側の適宜位置には、複数の基準ローラ３１を垂直な軸心周りに回転させる回転用モータ３３（回転用アクチュエータの一例）が設けられており、この回転用モータ３３の出力軸は、複数（１つのみ図示）の主動プーリ３５、タイミングベルト３７、及び複数（１つのみ図示）の従動プーリ３９を介して複数の基準ローラ３１のローラ軸に連動連結してある。
【００２０】
なお、ローラ支持部材２９には、複数（１つのみ図示）の補助ローラ４１が前後方向に沿って間隔を置いて配設されており、各補助ローラ４１は、搬送方向に平行な軸心周りに回転自在になっている。
【００２１】
図１、図２、及び図５に示すように、支持フレーム９の上部における浮上ユニット２５の左方側（支持フレームの上部左側）には、基準ローラ群３１Ｇと協働して基板Ｗを挟持する押えローラ群４３Ｇが設けられており、この押えローラ群４３Ｇは、前後方向へ間隔を置いて並んだ複数の押えローラ４３からなるものである。そして、各押えローラ４３は、左右方向へ移動可能に構成されており、各押えローラ４３周辺の構成は、次のようになる。
【００２２】
即ち、支持フレーム９の上部における浮上ユニット２５の上部左側には、複数（１つのみ図示）の下部ブラケット４５が前後方向へ間隔を置いて設けられており、各下部ブラケット４５には、下部スライダ４７が左右方向へ移動可能に設けられている。そして、各下部ブラケット４５の左端部には、対応する下部スライダ４７を左右方向へ移動させる移動用モータ４９が設けられている。また、各下部ブラケット４５には、対応する移動用モータ４９の出力軸に連動連結しかつ左右方向へ延びたボールねじ５１が回転可能に設けられており、各下部スライダ４７には、対応するボールねじ５１に螺合したナット部材５３が設けられている。
【００２３】
各下部スライダ４７には、上部ブラケット５５が設けられており、各上部ブラケット５５には、移動用シリンダ５７が設けられている。また、各移動用シリンダ５７は、上部ブラケット５５に固定されたシリンダ本体５９と、このシリンダ本体５９に左右方向へ移動可能に設けられたピストンロッド６１とを備えている。更に、各移動用シリンダ５７におけるシリンダ本体５９には、上部スライダ６３が左右方向へ移動可能に設けられており、各移動用シリンダ５７におけるピストンロッド６１の先端部は、対応する上部スライダ６３の適宜位置に連結してある。
【００２４】
そして、各上部スライダ６３の先端部には、前述の押えローラ４３が設けられており、各押えローラ４３は、ベアリングを介して垂直な軸心周りに回転自在なフリーローラになっている。ここで、各移動用モータ４９及び各移動用シリンダ５７は、下部スライダ４７等を介して各押えローラ４３を左右方向へ移動させる移動用アクチュエータとしての機能を有している。
【００２５】
なお、各上部ブラケット５５の先端部には、補助ローラ６５が設けられており、各補助ローラ６５は、搬送方向に平行な軸心周りに回転自在になっている。
【００２６】
図１、図２、及び図６に示すように、支持フレーム９の上部における基準ローラ群３１Ｇと押えローラ群４３Ｇの間には、基準ローラ群３１Ｇと協働して基板Ｗを挟持する追加押えローラ群６７Ｇがチャンバー２１等を介して設けられており、この追加押えローラ群６７Ｇは、前後方向へ間隔を置いて並んだ複数の追加押えローラ６７からなるものである。そして、各押えローラ４３は、左右方向へ移動可能及び浮上ユニット２５による浮上高さ位置（換言すれば、基板Ｗの搬送高さ位置）に対して出没可能に構成されおり、各追加押えローラ６７周辺の構成は、次のようになる。
【００２７】
支持フレーム９の上部における基準ローラ群３１Ｇと押えローラ群４３Ｇの間には、複数の出没用追加シリンダ６９が適宜のチャンバー２１を介して前後方向へ沿って間隔を置いて設けられている。また、各出没用追加シリンダ６９は、適宜のチャンバー２１に固定されたシリンダ本体７１と、このシリンダ本体７１に昇降可能に設けられたピストンロッド７３とを備えている。更に、各出没用追加シリンダ６９におけるシリンダ本体７１には、昇降体７５が昇降可能に設けられており、各出没用追加シリンダ６９におけるピストンロッド７３の先端部は、対応する昇降体７５の適宜位置に連結してある。
【００２８】
各昇降体７５には、ブラケット７７が設けられており、各ブラケット７７には、移動用追加シリンダ７９が設けられている。また、各移動用追加シリンダ７９は、ブラケット７７に固定されたシリンダ本体８１と、このシリンダ本体８１に左右方向へ移動可能に設けられたピストンロッド８３とを備えている。更に、各移動用追加シリンダ７９におけるシリンダ本体８１には、スライダ８５が左右方向へ移動可能に設けられており、各移動用追加シリンダ７９におけるピストンロッド８３の先端部は、対応するスライダ８５の適宜位置に連結してある。
【００２９】
そして、各スライダ８５の先端部には、前述の追加押えローラ６７が設けられており、各追加押えローラ６７は、ベアリングを介して垂直な軸心周りに回転自在なフリーローラになっている。ここで、各移動用追加シリンダ７９は、スライダ８５等を介して各追加押えローラ６７を左右方向へ移動させる移動用追加アクチュエータとしての機能を有してあって、各出没用追加シリンダ６９は、昇降体７５等を介して各追加押えローラ６７を浮上高さ位置に対して出没させる出没用追加アクチュエータとしての機能を有している。
【００３０】
なお、各ブラケット７７の先端部には、補助ローラ８７が設けられており、各補助ローラ８７は、搬送方向に平行な軸心周りに回転自在になっている。
【００３１】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３２】
幅の大きい基板Ｗ（ＷＡ）を搬送方向へ搬送する場合には、まず、複数の出没用追加シリンダ６９の駆動によって複数の昇降体７５を下降させることにより、複数の追加押えローラ６７を浮上高さ位置に対して没入させておく。次に、複数のファン・フィルタユニット２３によって複数のチャンバー２１の内部に清浄化した空気を供給することにより、複数の浮上ユニット２５のノズル２７から空気を噴出させる。そして、適宜の搬入装置（図示省略）によって基準ローラ群３１Ｇと押えローラ群４３Ｇとの間に幅の大きい基板ＷＡを搬入する。なお、このとき、支持フレーム９は第２旋回位置に位置しており、複数の浮上ユニット２５のノズル２７による空気の噴出動作は、幅の大きい基板ＷＡの搬送が終了するまで継続される。
【００３３】
基準ローラ群３１Ｇと押えローラ群４３Ｇとの間に幅の大きい基板ＷＡを搬入した後に、旋回用モータ１１の駆動によって支持フレーム９を第２旋回位置から第１旋回位置まで旋回させる。次に、複数の移動用モータ４９の駆動によって複数の下部スライダ４７を、複数の移動用シリンダ５７の駆動によって複数の上部スライダ６３を右方向へそれぞれ移動させることにより、複数の押えローラ４３を右方向へ移動させて、押えローラ群４３Ｇと基準ローラ群３１Ｇの協働により幅の大きい基板ＷＡを挟持する。そして、回転用モータ３３の駆動によって複数の基準ローラ３１を垂直な軸心の周りに回転させる。これにより、幅の大きい基板ＷＡを浮上させた状態で搬送方向へ搬送することができる。なお、幅の大きい基板ＷＡの搬送中に、各押えローラ４３の前側近傍位置又は後側近傍位置に幅の大きい基板ＷＡに存在しなくなったことが適宜の光学センサ（図示省略）によって検知されると、各押えローラ４３は対応する移動用シリンダ５７の駆動によって左方向へ移動するようになっている。
【００３４】
幅の小さい基板Ｗ（ＷＢ）を搬送方向へ搬送する場合には、まず、複数の出没用追加シリンダ６９の駆動によって複数の昇降体７５を上昇させることにより、複数の追加押えローラ６７を浮上高さ位置に対して突出させる。また、複数のファン・フィルタユニット２３によって複数のチャンバー２１の内部に清浄化した空気を供給することにより、複数の浮上ユニット２５のノズル２７から空気を噴出させる。そして、適宜の搬入装置によって基準ローラ群３１Ｇと追加押えローラ群６７Ｇとの間に幅の小さい基板ＷＢを搬入する。なお、このとき、支持フレーム９は第２旋回位置に位置しており、複数の浮上ユニット２５のノズル２７による空気の噴出動作は、幅の小さい基板ＷＢの搬送が終了するまで継続される。
【００３５】
基準ローラ群３１Ｇと追加押えローラ群６７Ｇとの間に幅の小さい基板ＷＢを搬入した後に、旋回用モータ１１の駆動によって支持フレーム９を第２旋回位置から第１旋回位置まで旋回させる。次に、複数の移動用追加シリンダ７９の駆動によって複数のスライダ８５を右方向へそれぞれ移動させることにより、複数の追加押えローラ６７を右方向へ移動させて、追加押えローラ群６７Ｇと基準ローラ群３１Ｇの協働により幅の小さい基板ＷＢを挟持する。そして、回転用モータ３３の駆動によって複数の基準ローラ３１を垂直な軸心の周りに回転させる。これにより、幅の小さい基板ＷＢを浮上させた状態で搬送方向へ搬送することができる。なお、幅の小さい基板ＷＢの搬送中に、各追加押えローラ６７の前側近傍位置又は後側近傍位置に幅の小さい基板ＷＢに存在しなくなったことが適宜の追加光学センサ（図示省略）によって検知されると、各追加押えローラ６７は対応する移動用追加シリンダ７９の駆動によって左方向へ移動するようになっている。
【００３６】
ここで、押えローラ群４３Ｇにおける各押えローラ４３、追加押えローラ群６７Ｇにおける各追加押えローラ６７を垂直な軸心周りに回転自在なフリーローラとしたことにより、基板Ｗ（ＷＡ、ＷＢ）の搬送中に、回転用モータ３３に不調が生じても、基板Ｗの振れを十分に抑制することができる。
【００３７】
また、支持フレーム９の上部における基準ローラ群３１Ｇと押えローラ群４３Ｇの間に複数の追加押えローラ６７からなる追加押えローラ群６７Ｇが設けられ、複数の追加押えローラ６７が複数の移動用追加シリンダ７９の駆動によって左右方向へ移動しかつ複数の出没用追加シリンダ６９の駆動によって浮上高さ位置に対して出没するようになっているため、浮上搬送装置１によって幅の異なる多数種の基板Ｗを搬送方向へ搬送することができる。
【００３８】
以上の如き、本発明の実施形態によれば、基板Ｗの搬送中に、回転用モータ３３に不調が生じても、基板Ｗの振れを十分に抑制できるため、基板Ｗの損傷を防止しつつ、基板Ｗを円滑かつ安定に搬送することができる。
【００３９】
また、浮上搬送装置１によって幅の異なる多数種の基板Ｗを搬送方向へ搬送することができるため、浮上搬送装置１の利用価値を高めることができる。
【００４０】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、例えば、複数の基準ローラ３１を回転用モータ３３の駆動によって回転する駆動ローラとし、複数の押えローラ４３及び複数の追加押えローラ６７を垂直な軸心周りに回転自在なフリーローラとする代わりに、複数の押えローラ４３及び複数の追加押えローラ６７を回転用モータ（図示省略）の駆動によって回転する駆動ローラとし、複数の基準ローラ３１を垂直な軸心周りに回転自在なフリーローラとする等、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の平面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の正面図である。
【図３】図１におけるIII-III線に沿った図である。
【図４】図２における矢視部IVの拡大図である。
【図５】図２における矢視部Vの拡大図である。
【図６】図２における矢視部VIの拡大図である。
【符号の説明】
【００４２】
１          浮上搬送装置
３          固定フレーム
９          支持フレーム
１１          旋回用モータ
２５          浮上ユニット
３１          基準ローラ
３１Ｇ        基準ローラ群
３３          回転用モータ
４３          押えローラ
４３Ｇ        押えローラ群
４９          移動用モータ
５７          移動用シリンダ
６７          追加押えローラ
６７Ｇ        追加押えローラ群
６９          出没用追加シリンダ
７９          移動用追加シリンダ
【図１】
0005194813.tif 000002
【図２】
0005194813.tif 000003
【図３】
0005194813.tif 000004
【図４】
0005194813.tif 000005
【図５】
0005194813.tif 000006
【図６】
0005194813.tif 000007