(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行に離間対向して配置された一対のガイドレールによって基板の幅方向の両端部を支持して搬送する基板の搬送装置であって、
上記一対のガイドレールの少なくとも一方を互いに接近する方向に駆動する駆動手段と、
上記一対のガイドレールの間に設けられ上記一対のガイドレールによって幅方向両端部が支持された基板の下面を支持するステージと、
上記駆動手段によって駆動される少なくとも一方のガイドレールに設けられ一対のガイドレール間に位置する上記ステージの幅方向の端面に対して正圧或いは負圧の気体圧を作用させるノズル体と、
上記ノズル体から上記ステージの側面に対して正圧或いは負圧の気体圧を作用させながら上記ノズル体が設けられた少なくとも一方のガイドレールが上記駆動手段によって上記ステージの側面に接近する方向に駆動されることで、上記ノズル体と上記ステージの側面との間隔の変化によって生じる上記ノズル体に流れる上記気体の圧力変化を検出する圧力センサと、
この圧力センサが検出する上記ノズル体に流れる上記気体の圧力変化によって上記駆動手段の駆動を制御して上記一対のガイドレールの間隔を設定する制御手段と
を具備したことを特徴とする基板の搬送装置。
【請求項２】
上記圧力センサによって上記ノズル体に流れる上記気体の圧力が予め設定された所定値に達したことが検出されたとき、上記制御手段は上記駆動手段による上記ガイドレールの駆動を停止させることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【請求項３】
上記制御手段には、
上記基板のサイズが設定される設定部と、
上記駆動手段によって少なくとも一方の上記ノズル体が設けられた上記ガイドレールを駆動して一対のガイドレールの間隔を設定するとき、一対のガイドレールの間隔が上記設定部で設定された基板の間隔になる前に上記圧力センサが検出する気体の圧力が設定値になったときは上記ステージのサイズが上記基板に対応するサイズよりも幅寸法が大きいことを知らせ、一対のガイドレールの間隔が上記設定部で設定された上記基板に対応する間隔になっても上記圧力センサが検出する気体の圧力が設定値にならないときは上記ステージのサイズが上記基板に対応するサイズよりも幅寸法が小さいことを知らせる警報手段と
が設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【請求項４】
上記駆動手段が一対のガイドレールを駆動するとき、上記一対のガイドレールを上記ステージに対して接近する方向に同期させて駆動することを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【請求項５】
上記駆動手段が一対のガイドレールのうちの一方だけを駆動するとき、上記ガイドレールの駆動に対して上記ステージを上記一方のガイドレールと同方向に上記一方のガイドレールの２分の１の距離で駆動することを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【請求項６】
平行に離間対向して配置された一対のガイドレールによって基板の幅方向の両端部を支持して搬送する基板の搬送方法であって、
上記一対のガイドレールの少なくとも一方を駆動手段によって駆動して一対のガイドレールの間隔を設定する工程と、
上記一対のガイドレールの間に設けられたステージによって上記一対のガイドレールによって幅方向両端部が支持された基板の下面を支持する工程と、
上記駆動手段によって駆動される少なくとも一方のガイドレールに設けられたノズル体から、一対のガイドレール間に位置する上記ステージの幅方向の端面に対して正圧或いは負圧の気体圧を作用させる工程と、
上記ノズル体から上記ステージの側面に対して正圧或いは負圧の気体圧を作用させながら上記ノズル体が設けられた少なくとも一方のガイドレールを上記駆動手段によって上記ステージの側面に接近する方向に駆動して、上記ノズル体と上記ステージの側面との間隔の変化によって生じる上記ノズル体に流れる上記気体の圧力変化を圧力センサによって検出する工程とを具備し、
上記一対のガイドレールの間隔を設定する工程では、上記圧力センサが検出する上記ノズル体に流れる上記気体の圧力変化によって上記駆動手段を駆動制御して一対のガイドレールの間隔を設定することを特徴とする基板の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板を一対のガイドレールに沿って搬送位置決めする基板の搬送装置及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、基板にＩＣチップなどの電子部品を実装する場合、上記基板をガイドレールに沿って、実装用のステージが設けられた実装位置まで搬送し、この実装位置で上記基板の下面を上記ステージで支持したならば、上記基板の上面に上記電子部品を実装ツールによって実装するということが行われている。
【０００３】
上記基板は平行に離間対向した一対のガイドレールによって幅方向の両端部が支持されていて、上記ガイドレールに沿ってたとえばチャック機構などの送り機構によって所定距離ずつ間欠的に搬送されるようになっている。
【０００４】
上記基板に上記電子部品を実装する場合、最近では基板に対して電子部品の実装密度を高めるため、一対のガイドレールの離間方向である、上記基板の幅方向に対して所定間隔で上記電子部品を複数列で実装するということが行われている。つまり、基板の幅方向に対して無駄なスペースが生じないよう、上記電子部品が実装される。
【０００５】
そのため、上記ステージは、上記基板における上記ガイドレールによって支持された部分を除く幅寸法のほぼ全長の部分を支持することができる幅寸法を有するものが用いられることになる。つまり、ステージは一対のガイドレールの間隔よりもわずかに小さな幅寸法を有するものが用いられる。
【０００６】
このようにして基板に電子部品を実装する場合、品種が変更されたときなどには上記基板のサイズが前回のときと変更になるということがある。つまり、基板が、異なる幅寸法にサイズ変更されるということがある。
【０００７】
基板のサイズが変更された場合、そのサイズ変更に応じて一対のガイドレールの間隔を設定するということが行われる。それと同時に、基板の下面を支持するステージも基板のサイズ変更に応じて異なるサイズのものに交換されることになる。つまり、ステージはサイズ変更された基板の幅寸法よりもわずかに小さな幅寸法のものに交換される。
【０００８】
基板のサイズ変更に応じてステージを異なる幅寸法のものに変更する場合、このステージを基板のサイズ変更に応じて所定の間隔に設定された一対のガイドレール間の中央に位置決めし、ガイドレールに支持された基板の下面を幅方向のほぼ全長にわたって確実に支持できるようにしなければならない。
【０００９】
上記ステージは可動体に着脱可能に取付けられる。この可動体は、駆動源によって水平方向及び上下方向に対して駆動されるようになっている。そして、基板のサイズ変更に対応するサイズのステージが上記可動体に取付けられることになる。
【００１０】
従来、一対のガイドレールの間隔を設定する場合、まず、一対のガイドレールを十分に大きな間隔で離間させておき、これらガイドレールの間に位置する上記可動体にサイズ変更されたステージを取付ける。
【００１１】
ついで、上記ステージを幅方向の一側面が一方のガイドレールに対して所定の間隔になるよう水平方向に対して位置決めしながら、上記ステージを一対のガイドレールの中心に位置するよう位置決めするということが行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平５−５５７８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、従来は上述したように基板のサイズが変更になった場合、一対のガイドレールの間隔を調整するとともに、これらガイドレールに対してステージを位置決め調整するということが行われる。
【００１４】
しかしながら、上記一対のガイドレールの間隔調整と、一対のガイドレールに対する上記ステージの位置決め調整を行う際、作業ミスが発生するということがあったり、間違ったサイズのステージを取付けてしまうということがある。
【００１５】
上記ステージを交換すべきサイズのものよりも大きなものに間違った場合、ステージとガイドレールが干渉するということがあり、逆にステージを小さなものに間違うと、ステージの幅方向の端部とガイドレールとの間隔が大きくなり過ぎ、基板の幅方向全体を確実に支持することができなくなるから、基板の幅方向に対して所定間隔で複数の電子部品を確実に実装することができなくなるということがある。
【００１６】
なお、ガイドレールの間隔調整時における上記した作業ミスは、基板のサイズが変更になった場合に限らず、最初の基板を搬送するための調整時にも生じる可能性がある。
【００１７】
この発明は、搬送する基板のサイズに応じて、一対のガイドレールの間隔と、基板を支持するステージのサイズを設定するとき、それらの作業を確実かつ迅速に行うことができ、しかもステージのサイズを間違ったときには、そのことを検知することができるようにした基板の搬送装置及び搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
この発明は、平行に離間対向して配置された一対のガイドレールによって基板の幅方向の両端部を支持して搬送する基板の搬送装置であって、
上記一対のガイドレールの少なくとも一方を互いに接近する方向に駆動する駆動手段と、
上記一対のガイドレールの間に設けられ上記一対のガイドレールによって幅方向両端部が支持された基板の下面を支持するステージと、
上記駆動手段によって駆動される少なくとも一方のガイドレールに設けられ一対のガイドレール間に位置する上記ステージの幅方向の端面に対して正圧或いは負圧の気体圧を作用させるノズル体と、
上記ノズル体から上記ステージの側面に対して正圧或いは負圧の気体圧を作用させながら上記ノズル体が設けられた少なくとも一方のガイドレールが上記駆動手段によって上記ステージの側面に接近する方向に駆動されることで、上記ノズル体と上記ステージの側面との間隔の変化によって生じる上記ノズル体に流れる上記気体の圧力変化を検出する圧力センサと、
この圧力センサが検出する上記ノズル体に流れる上記気体の圧力変化によって上記駆動手段の駆動を制御して上記一対のガイドレールの間隔を設定する制御手段と
を具備したことを特徴とする基板の搬送装置にある。
【００１９】
この発明は、平行に離間対向して配置された一対のガイドレールによって基板の幅方向の両端部を支持して搬送する基板の搬送方法であって、
上記一対のガイドレールの少なくとも一方を駆動手段によって駆動して一対のガイドレールの間隔を設定する工程と、
上記一対のガイドレールの間に設けられたステージによって上記一対のガイドレールによって幅方向両端部が支持された基板の下面を支持する工程と、
上記駆動手段によって駆動される少なくとも一方のガイドレールに設けられたノズル体から、一対のガイドレール間に位置する上記ステージの幅方向の端面に対して正圧或いは負圧の気体圧を作用させる工程と、
上記ノズル体から上記ステージの側面に対して正圧或いは負圧の気体圧を作用させながら上記ノズル体が設けられた少なくとも一方のガイドレールを上記駆動手段によって上記ステージの側面に接近する方向に駆動して、上記ノズル体と上記ステージの側面との間隔の変化によって生じる上記ノズル体に流れる上記気体の圧力変化を圧力センサによって検出する工程とを具備し、
上記一対のガイドレールの間隔を設定する工程では、上記圧力センサが検出する上記ノズル体に流れる上記気体の圧力変化によって上記駆動手段を駆動制御して一対のガイドレールの間隔を設定することを特徴とする基板の搬送方法にある。
【発明の効果】
【００２０】
この発明によれば、基板のサイズに応じたガイドレールの間隔設定やステージの設定を容易に、しかも確実に行うことができるばかりか、ステージのサイズを誤った場合にはそのことを確実に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１はこの発明の第１の実施の形態を示す搬送装置の概略的構成の平面図である。
【図２】図２は図１に示す搬送装置の側面図である。
【図３】図３は電子部品が行列状に実装された基板の平面図である。
【図４】図４は図１に示す搬送装置の制御系統のブロック図である。
【図５】図５は可動体からステージを取り外すとともに、一対のガイドレールを最大の間隔で離間させた状態を示す搬送装置の側面図である。
【図６】図６は可動体に新たなステージを取り付け、一対のガイドレールを最大の間隔で離間した状態から接近方向に駆動した状態を示す搬送装置の側面図である。
【図７】図７はこの発明の第２の実施の形態を示す搬送装置の概略的構成の平面図である。
【図８】図８はこの発明の第３の実施の形態を示す搬送装置の概略的構成の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。  
図１乃至図６はこの発明の第１の実施の形態を示す。図１に示す搬送装置は矩形状のベース盤１１を備えている。このベース盤１１の上面の幅方向には所定間隔で離間した一対のガイドレール１を備えている。一対のガイドレール１の離間方向は図１に示すＸ、Ｙ方向のうちのＹ方向とする。一対のガイドレール１の上端には、図２に示すように上面にＩＣチップなどの電子部品Ｐが実装される基板Ｗの幅方向の両端部を係合支持する段部２が形成されている。
【００２３】
幅方向の両端部を上記段部２に係合させて載置された基板Ｗは図示しないチャック機構などによって上記ガイドレール１に沿って所定の距離ずつピッチ送りされるようになっている。
【００２４】
そして、上記基板Ｗが所定の位置、たとえば実装位置に位置決めされると、上記基板Ｗは上記一対のガイドレール１の対向間隔よりも小さな幅寸法に設定された平面形状が矩形状のステージ３によって下面が支持された後、その上面に上記電子部品Ｐが幅方向に所定間隔で、しかも幅方向と直交する長手方向に対して複数の電子部品Ｐが一列に実装される。つまり、基板Ｗの上面には図３に示すように幅方向と、幅方向と直交する方向とのほぼ全面にわたって複数の電子部品Ｐが行列状に実装される。
【００２５】
上記一対のガイドレール１の長手方向の両端部の下端面にはそれぞれ係合部材５が設けられている。各ガイドレール１のそれぞれ一対の係合部材５は、上記ベース盤１１の上記一対のガイドレール１の対向方向であるＹ方向に直交するＸ方向の両端部に配置された一対のリニアガイド６に移動可能に係合している。
【００２６】
上記一対のガイドレール１の長手方向中央部にはそれぞれめねじ体７が設けられている。一方のガイドレール１に設けられためねじ体７と他方のガイドレール１に設けられためねじ体７とは逆ねじに形成されていて、各めねじ体７にはねじ軸８の上記一対のめねじ体７に対応する向きの逆ねじに形成された第１のおねじ部８ａと第２のおねじ部８ｂがそれぞれ螺合している。
【００２７】
図１に示すように、上記ねじ軸８は回転駆動源９によって回転駆動されるようになっている。上記ねじ軸８が上記回転駆動源９によってたとえば時計方向に駆動されれば、一対のガイドレール１は上記ねじ軸８の逆向きに形成された第１のおねじ部８ａと第２のおねじ部８ｂとによって接近する方向に同期して駆動され、上記ねじ軸８が反時計方向に駆動されれば、離反する方向に同期して駆動されるようになっている。
【００２８】
つまり、一対のガイドレール１は、上記回転駆動源９によってこれらガイドレール１の対向方向の中心線、つまり幅方向の中心線Ｏ（図１に示す）に対して接近する方向あるいは離反する方向に上記ねじ軸８の回転に対して同じ距離で駆動されてＹ方向に沿う間隔の調整ができるようになっている。  
なお、上記回転駆動源９、上記ねじ軸８によって一対のガイドレール１の間隔を設定する駆動手段を構成している。
【００２９】
上記一対のガイドレール１の間には上記ステージ３が配置される。このステージ３はＸ、Ｙ及びＺ方向に駆動される可動体１３の上面に着脱可能に設けられている。上記可動体１３は図２に示すようにＸＹテーブル１４及びＺテーブル１５を介して水平方向及び上下方向に駆動可能に設けられている。これらのテーブル１４，１５は図４に示すＸＹ駆動源１６及びＺ駆動源１７によってそれぞれＸＹ方向及びＺ方向に駆動されるようになっている。
【００３０】
上記可動体１３は、一対のガイドレール１の離間方向であるＹ方向に沿う幅方向の中心が上記一対のガイドレール１の離間方向の中心線Ｏに一致するよう位置決めされるようになっていて、この可動体１３には上記ステージ３の幅方向の中心が上記可動体１３の幅方向中心に一致するよう着脱可能に取付けられる。
【００３１】
したがって、上記可動体１３に取付けられたステージ３の幅方向の中心は、一対のガイドレール１の離間方向の中心、つまり中心線Ｏに一致することになる。
【００３２】
上記一対のガイドレール１の一方の長手方向の中央部にはノズル体１９が先端をガイドレール１の内面側、つまり一対のガイドレール１間に設けられる上記ステージ３の幅方向の一側面に向けて設けられている。
【００３３】
上記ノズル体１９には圧縮空気などの加圧気体の給気管２１の先端が接続されている。この給気管２１の基端は給気源２２に圧力調整弁２３を介して接続されている。さらに、上記給気管２１には図１や図４に示すように、上記圧力調整弁２３よりも下流側に上記給気管２１内の気体の圧力変化を検出する圧力センサ２４が設けられている。
【００３４】
上記圧力センサ２４が検出する上記給気管２１内の気体の圧力は、一方のガイドレール１に設けられたノズル体１９の先端と、この先端が対向する上記ステージ３の幅方向の一側面との間隔が小さくなればなる程、大きくなる。
【００３５】
上記圧力センサ２４が上記給気管２１内の上記圧力調整弁２３よりも下流側の加圧気体の圧力変化を検出すると、その検出信号は図４に示すように制御手段を構成する制御装置２５に出力される。
【００３６】
上記制御装置２５では上記圧力センサ２４の検出信号を図４に示す設定部２７によって予め設定された設定値Ｓと比較するようになっている。この設定値Ｓは、たとえば上記ノズル体１９の先端と、上記ステージ３の側面との間隔が数ｍｍ程度の所定の間隔、たとえばＮｍｍになったとき、上記圧力センサ２４が出力する検出信号の出力と同等の値に設定される。
【００３７】
図４に示すように、上記制御装置２５は上記回転駆動源９、上記ＸＹ駆動源１６及び上記Ｚ駆動源１７の駆動を制御するようになっている。上記制御装置２５には、この制御装置２５に接続された上記設定部２７は、上記設定値Ｓの他に、一対のガイドレール１に支持されて搬送される基板Ｗの幅寸法に対応する一対のガイドレール１の間隔など、種々の設定を行うことができるようになっている。
【００３８】
上記制御装置２５には上記圧力センサ２４により検出された圧力が制御装置２５に設定された設定値Ｓよりも大きくなったときに、警報を出力するブザー２８（図４に示す）が接続されている。さらに、上記制御装置２５には図４に示すように、上記回転駆動源９による上記ねじ軸８の回転数を検出するエンコーダ２９からの検出信号が入力される。上記制御装置２５は上記エンコーダ２９からの検出信号によって上記ねじ軸８の回転数、つまり基板Ｗの幅寸法に対応する一対のガイドレール１の間隔を検出できるようになっている。
【００３９】
上記エンコーダ２９の検出信号は制御装置２５にて、上記設定部２７によって設定された基板Ｗの幅寸法と対応する一対のガイドレール１の間隔と比較され、その差がほぼ０、つまり一対のガイドレール１の間隔が設定された基板Ｗを支持するに最適な間隔になると、上記制御装置２５による上記回転駆動源９の駆動が停止され、一対のガイドレール１の間隔設定が終了されるようになっている。
【００４０】
つぎに、上記構成の搬送装置において、基板Ｗのサイズ変更に応じてガイドレール１とステージ３Ａの位置合わせについて図５と図６を参照しながら説明する。  
まず、図５に示すように搬送装置の一対のガイドレール１を予め設定された最大間隔に自動で開いた後、搬送する基板Ｗの幅寸法、つまり一対のガイドレール１の間隔を設定部２７によって制御装置２５に入力設定し、さらに可動体１３からステージ３を取り外す。
【００４１】
ついで、図６に示すように、搬送装置に供給される基板Ｗの幅寸法に対応する幅寸法のステージ３Ａを上記可動体１３に取付ける。この実施の形態では、ステージ３Ａは交換前のステージ３Ａよりも幅寸法が大きいものとなっている。
【００４２】
このようにしてステージ３Ａの交換が終了したならば、給気源２２からノズル体１９に圧力調整弁２３によって所定の圧力に設定された加圧気体を供給しながら、上記制御装置２５によって搬送装置の一対のガイドレール１の間隔の自動設定を開始する。
【００４３】
自動設定が開始されると、回転駆動源９が作動してねじ軸８がたとえば時計方向に回転駆動される。それによって、図５に示すように最大間隔で離間した一対のガイドレール１がリニアガイド６に沿って図６に矢印＋Ｙと−Ｙで示すように互いに接近する方向に駆動される。
【００４４】
そして、図６に示すように一方リニアガイド６に設けられたノズル体１９の先端と、このノズル体１９の先端が対向するステージ３Ａの側面３ａとの間隔が次第に小さくなってくると、上記ノズル体１９の先端開口から噴射する圧力気体の抵抗が増大するから、上記ノズル体１９に接続された給気管２１内の上記圧力調整弁２３よりも下流側に流れる気体の圧力が上昇する。
【００４５】
上記給気管２１に流れる気体の圧力は圧力センサ２４によって検出され、その検出信号は制御装置２５に出力され、この制御装置２５によって検出信号の検出値と、制御装置２５に設定された設定値Ｓとが比較される。
【００４６】
そして、圧力センサ２４が検出する圧力である検出値が制御装置２５に設定された設定値と同等となり、しかも上記エンコーダ２９が検出する上記回転駆動源９による上記ねじ軸８の回転数、つまり一対のガイドレール１の間隔が制御装置２５に予め設定された基板Ｗの幅寸法に対応する一対のガイドレールの間隔とほぼ同じになると、上記制御装置２５による上記回転駆動源９の駆動が停止される。つまり、一対のガイドレール１の間隔設定が終了することになる。
【００４７】
このような構成において、たとえば基板Ｗの幅寸法に応じて交換されるステージ３の幅寸法をたとえば小さなものに間違えて交換した場合、一対のガイドレール１が設定された間隔になっても、圧力センサ２４が検出する圧力は設定値Ｓよりも低い状態にある。
【００４８】
そのような場合には、制御装置２５によってステージ３が異常であることを検出し、その検出に基いてブザー２８が鳴り、作業者に異常を知らせると同時に、一対のガイドレール１の駆動が停止される。
【００４９】
逆に、基板Ｗの幅寸法に応じて交換されるステージ３Ａの幅寸法をたとえば大きなものに間違えて交換した場合、一対のガイドレール１が設定された間隔になる前に、圧力センサ２４が検出する圧力は設定値Ｓよりも高くなる。
【００５０】
そのような場合にも、制御装置２５はステージ３Ａの幅寸法が異常であることを検出し、その検出に基いてブザー２８が鳴り、作業者に異常を知らせると同時に、一対のガイドレール１の駆動が停止される。
【００５１】
すなわち、上記構成の搬送装置によれば、基板Ｗの幅寸法の変更に応じて、その基板Ｗの下面を支持するステージ３を、上記基板Ｗの幅寸法よりもわずかに小さな異なる幅寸法のものに交換し、上記ステージ３に対して一対のガイドレール１の間隔を基板Ｗの幅寸法に応じて位置決めする場合、上記一対のガイドレール１の位置決めを自動的に、しかも正確に行うことができる。
【００５２】
さらには、基板Ｗの幅寸法に対して交換すべきステージ３の幅寸法を小さなものや大きなものに間違って交換してしまった場合には、圧力センサ２４が検出するノズル体１９とステージ３との側面の間隔、及びエンコーダ２９によって検出される一対のガイドレール１の間隔と、制御装置２５に設定された基板Ｗの幅寸法に対する一対のガイドレール１の間隔との比較によって、交換されたステージ３Ａの幅寸法が基板Ｗの幅寸法に適応する場合だけ、一対のガイドレール１が所定の間隔になるよう位置決めされ、そうでない場合にはそのことが検知された時点でガイドレール１の駆動が停止され、しかもブザー２８によって異常が警報されることになる。
【００５３】
したがって、基板Ｗの幅寸法に対して不適切な幅寸法のステージ３Ａに交換された場合、そのことを確実に検出できるから、幅寸法の大きなステージ３Ａに間違った場合にガイドレール１をステージ３Ａにぶつけて変形などの損傷を招いたり、幅寸法の小さなステージ３Ａに間違った場合に基板Ｗの幅方向のほぼ全長を確実に支持できない状態で電子部品の実装が行われて実装不良を招くなどのことを確実に防止することができる。
【００５４】
第１の実施の形態ではステージ３を水平方向及び上下方向に駆動位置決めできる構成を例に挙げて説明したが、上記ステージ３を可動体１３に取付けたとき、ステージ３の幅方向の中心が一対のガイドレール１の対向方向の中心線Ｏに一致していれば、上記ステージ３はＸ、Ｙ方向に対して駆動せず、Ｚ方向だけに駆動できる構成であればよい。
【００５５】
図７はこの発明の第２の実施の形態を示す。第２の実施の形態では一対のガイドレール１の間に複数、この実施の形態では少なくとも幅方向（Ｙ方向）の寸法が同じサイズの３つのステージ、つまり第１乃至第３のステージ３Ｘ〜３Ｚが設けられている。各ステージ３Ｘ〜３Ｚは水平方向と上下方向のうち、少なくとも上下方向に対して位置決め駆動できるようになっている。
【００５６】
一対のガイドレール１に沿って搬送される基板Ｗは、第１のステージ３Ｘに対応する位置では予熱され、第２のステージ３Ｙに対応する位置では予熱された基板Ｗに電子部品Ｐを実装する。第３のステージ３Ｚに対応する位置では電子部品Ｐが実装された基板Ｗを徐冷するようになっている。
【００５７】
一対のガイドレール１の一方の、たとえば第２のステージ３Ｙの側面に対応する箇所にはノズル体１９が設けられている。そして、一対のガイドレール１は上記ノズル体１９が検出する気体の圧力変化によって第１の実施の形態と同様に、間隔設定が行われる。
【００５８】
すなわち、ノズル体１９を用いて一対のガイドレール１の間隔設定を行うようにすれば、３つのステージ３Ｘ〜３Ｚを有する搬送装置であっても、１つのノズル体１９から第２のステージ３Ｙの側面に向かって噴射される気体の圧力変化を検出する１つの圧力センサ２４の検出信号によって一対のガイドレール１の間隔を設定することができる。つまり、ステージ３Ｘ〜３Ｚの数に応じた数の圧力センサ２４を用いずに済むから、構成の簡略化やコストダウンを図ることができる。
【００５９】
上記第２の実施の形態では、３個のステージに対してノズル体を１つ設ける例を挙げて説明したが、ガイドレールの各ステージの側面に対応する箇所にそれぞれノズル体を設けるようにしてもよい。
【００６０】
このようにすれば、各ステージのうち、１つ或いは２つ以上のステージ、つまり少なくとも１つのステージに対してサイズの異なるステージが取付けられた場合であっても、３つのノズル体のうちの少なくとも１つのノズル体に流れる気体の圧力が変化すれば、そのことを給気管に設けられた１つの圧力センサによって検出することができる。
【００６１】
つまり、複数のステージがある場合、ステージの数に対応する数のノズル体を設けるようにすれば、１つの圧力センサによってステージの位置決めを容易に、しかもサイズを間違えて取付けたステージの検出を確実に行うことが可能となる。
【００６２】
たとえば、ノズル体に代わり光学センサを設けた場合、各光学センサに対してそれぞれ制御用のアンプが必要となるが、ノズル体から気体を噴射させるようにしたことで、１つの圧力センサを用いるだけで検出することができるから、全体の構成を簡略化することが可能となる。
【００６３】
なお、第２の実施の形態では、第１の実施の形態と同一部分には同一記号を付して説明を省略する。
【００６４】
図８はこの発明の第３の実施の形態である。この実施の形態は一対のガイドレール１のうち、一方のガイドレール１はリニアガイド６によってＹ方向に移動可能に設けられ、他方のガイドレール１はベース盤１１に固定して設けられている。
【００６５】
上記一方のガイドレール１の一端部にはめねじ体７が設けられ、このめねじ体７には回転駆動源９によって回転駆動される第１のねじ軸３１が螺合している。それによって、一方のガイドレール１はベース盤１１に固定して配置された他方のガイドレール１に対して接離する方向に駆動されるようになっている。
【００６６】
一方、ステージ３が交換可能に載置される可動体１３は第１の実施の形態と同様、Ｚテーブル１５に設けられ、このＺテーブル１５はＺ駆動源１７によって上下方向に駆動されるようになっている。図８では上記可動体１３及びＺテーブル１５は省略している。
【００６７】
上記Ｚテーブル１５は一対のガイドレール１の対向方向であるＹ方向に沿って移動可能なＹテーブル１８上に載置されている。このＹテーブル１８には上記第１のねじ軸３１と軸線を平行にして配置された第２のねじ軸３２の一端側が螺合している。上記第２のねじ軸３２の他端は上記ベース盤１１に設けられた軸受３０に回転可能に支持され、中途部は一方のガイドレール１に形成された通孔３７に挿通されている。
【００６８】
上記第２のねじ軸３２は上記第１のねじ軸３１と同様、上記回転駆動源９によって回転駆動されるようになっている。すなわち、上記第１のねじ軸３１の一端部には駆動スプロケット３３が嵌着され、第２のねじ軸３２の他端部には上記駆動スプロケット３３と同径の従動スプロケット３４が嵌着されている。これらスプロケット３３，３４にはチェーン３５が張設されている。したがって、第１のねじ軸３１が回転されれば、その回転に第２のねじ軸３２が連動するようになっている。
【００６９】
上記第１のねじ軸３１のピッチは上記第２のねじ軸３２のピッチの２倍の間隔に設定されている。そのため、第１、第２のねじ軸３１，３２が回転駆動されると、上記第１のねじ軸３１が螺合した一方のガイドレール１は、上記ステージ３が設けられた可動体１３よりも倍の距離で他方のガイドレール１に接近する方向或いは離反する方向に駆動されるようになっている。
【００７０】
なお、第１の実施の形態と同様、上記一方のガイドレール１にはノズル体１９が設けられ、第１、第２のねじ軸３１，３２を回転駆動する回転駆動源９の回転はエンコーダ２９によって検出されて制御装置２５に出力される。
【００７１】
なお、この第３の実施の形態において、第１の実施の形態と同一部分には同一記号を付して説明を省略する。
【００７２】
一方のガイドレール１を他方のガイドレール１に対して開方向に最大限移動させた初期状態のとき、上記ステージ３は幅方向の中心線が一対のガイドレール１の間隔の中心線に一致するよう設定されている。
【００７３】
つまり、上記初期状態のとき、他方のガイドレール１とステージ３の一方の側面３ａとの間隔をｄ１としたとき、一方のガイドレール１とステージ３の他方の側面３ｂとの間隔がｄ１＝ｄ２になるよう、上記ステージ３のＹ方向の位置が設定される。
【００７４】
このような構成によれば、ノズル体１９が設けられた一方のガイドレール１が全開位置から回転駆動源９によって回転駆動される第１のねじ軸３１の回転でステージ３に接近する方向に駆動されると、このステージ３は第２のねじ軸３２の回転で他方のガイドレール１に接近する方向に、一方のガイドレール１の移動量の半分の移動量で移動する。
【００７５】
一方のガイドレール１に設けられたノズル体１９から気体が噴射される。そして、ノズル体１９がステージ３の一側面に接近すると、このノズル体１９に気体を供給する給気管２１内の圧力が上昇し、そのことが圧力センサ２４によって検出される。
【００７６】
圧力センサ２４が検出する圧力が制御装置２５に設定された設定値Ｓになり、しかもエンコーダ２９によって検出される一方のガイドレール１の移動量が制御装置２５に設定された移動量、つまり一対のガイドレール１の間隔がサイズ変更される基板Ｗの幅寸法に対応する移動量になると、上記回転駆動源９による一方のガイドレール１の駆動が停止される。このことは第１の実施の形態と同じである。
【００７７】
つまり、上記構成の搬送装置によれば、一方のガイドレール１の駆動量に対してステージ３の駆動量を２分の１になるようにしたから、一方のガイドレール１だけを駆動する構成であっても、基板Ｗのサイズ変更に応じて上記ステージ３の幅方向の中心を、一対のガイドレール１間の対向方向の中心に一致するよう、位置決めすることができる。
【００７８】
上記各実施の形態では、ノズル体からステージの側面に向かって気体を噴射させる、つまり正圧を作用させる場合を例に挙げて説明したが、ノズル体から気体を噴射させる代わりにノズル体に負圧を作用させ、ノズル体とステージの側面との間隔に応じて変化する負圧の変化によって圧力センサを作動させるようにしてもよい。
【００７９】
この場合、ガイドレールが閉方向に駆動されてノズル体の先端がステージの側面に近付けば、ノズル体に作用する負圧が大きくなるから、上記圧力センサによってノズル体の先端がステージの側面の間隔を検出することができる。
【００８０】
また、ステージを誤って定められた幅寸法のものよりも小さなものに交換した場合には、一対のガイドレールの間隔が設定間隔になっても、ノズル体に作用する負圧の変化がほとんどないから、ノズル体に正圧を作用させる場合と同様、そのことを検出することができる。
【００８１】
逆にステージを誤って定められた幅寸法のものよりも大きなものに交換した場合には、一対のガイドレールの間隔が設定間隔になる前にノズル体に作用する負圧が大きくなってそのことが圧力センサによって検出されるから、ステージが設定された幅寸法のものよりも大きなものであることが検出される。
【００８２】
また、上記各実施の形態では、一対のガイドレールの間隔を設定する場合にだけ、ノズル体に正圧或いは負圧を作用させるため、一対のガイドレールの間隔設定が終了すれば、上記ノズル体に対して正圧或いは負圧を作用させずに基板の搬送を行うことができる。
【００８３】
したがって、一対のガイドレールの間隔設定が終了した後は、ノズル体に作用する正圧或いは負圧が周囲に影響及ぼすことがない。たとえば、第２の実施の形態において３つのステージを設けた場合、第１のステージの予熱温度、第２のステージの実装温度、或いは第３のステージの徐冷温度が変動するのを防止することができる。さらに、ステージの周囲で塵埃を舞い上げることがないから、基板や電子部品が汚れるのを防止することができる。
【００８４】
なお、上記実施の形態ではノズル体を一方のガイドレールにだけ組み込むようにしたが、他方のガイドレールにも組み込むようにしてもよい。このようにすることで、ステージが一対のガイドレールに対して対称でない場合であっても、対応することが可能となる。
【００８５】
また、上記実施の形態においては、基板のサイズが変更になった場合におけるガイドレールの調整について説明したが、本発明は、最初の基板を搬送するための調整時においても適用することができる。
【符号の説明】
【００８６】
１…ガイドレール、３…ステージ、８…ねじ軸、９…回転駆動源、１３…可動体、１９…ノズル体、２１…給気管、２４…圧力センサ、２５…制御装置、２７…設定部、２８…ブザー、２９…エンコーダ。
【図１】
0005186053.tif 000002
【図２】
0005186053.tif 000003
【図３】
0005186053.tif 000004
【図４】
0005186053.tif 000005
【図５】
0005186053.tif 000006
【図６】
0005186053.tif 000007
【図７】
0005186053.tif 000008
【図８】
0005186053.tif 000009