(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象のＴＦＴアレイに電子線を走査して照射し、当該照射電子線によってアレイから放出される二次電子を検出することによりアレイ検査を行うＴＦＴアレイ検査装置において、
複数の駆動波形データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段から読み出した駆動波形データを用いて前記ＴＦＴアレイを駆動する駆動信号を生成するＴＦＴ駆動手段と、
前記ＴＦＴ駆動手段が生成した複数の駆動信号からＴＦＴアレイに印加する駆動信号を選択する駆動信号選択手段と、
電子線の走査およびＴＦＴアレイの駆動を制御する制御手段とを備え、
前記駆動信号選択手段は、予め定められた電子線の走査位置と駆動波形との間の関係に基づいて、同一パネル内において欠陥種の予測される走査位置に応じて欠陥種に適した駆動波形の駆動信号を逐次選択することを特徴とするＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項２】
検査対象のＴＦＴアレイに電子線を走査して照射し、当該照射電子線によってアレイから放出される二次電子を検出することによりアレイ検査を行うＴＦＴアレイ検査装置において、
複数の駆動波形データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶される複数の駆動波形データを選択する駆動波形データ選択手段と、
前記駆動波形データ選択手段によって記憶手段から読み出した駆動波形データを用いて前記ＴＦＴアレイを駆動する駆動信号を生成するＴＦＴ駆動手段と、
電子線の走査およびＴＦＴアレイの駆動を制御する制御手段とを備え、
前記駆動波形データ選択手段は、予め定められた電子線の走査位置と駆動波形データとの間の関係に基づいて、同一パネル内において欠陥種の予測される走査位置に応じて欠陥種に適した駆動波形データを逐次選択することを特徴とするＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項３】
前記アレイは一基板上に設けられた複数のパネルに形成され、
当該パネル毎に前記選択を行い、各パネルに形成されるアレイを選択された各駆動信号で駆動することを特徴とする、請求項１または２に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＦＴ基板等の基板上に形成されたＴＦＴアレイを駆動し、ＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＴＦＴアレイは、例えば液晶表示装置の画素電極を選択するスイッチング素子として用いられる。ＴＦＴアレイを備える基板は、例えば、走査線として機能する複数本のゲートラインが平行に配設されると共に、信号線として記載する複数本のソースラインがゲートラインに直交して配設され、両ラインが交差する部分の近傍にＴＦＴ（Thin film  transistor）が配設され、このＴＦＴに画素電極が接続される。
【０００３】
ＴＦＴアレイは格子状に配置することによってパネルを形成する。通常、液晶基板の製造では、一枚のガラス基板上に複数のパネルを形成し、各種工程を経た後に、各パネルに切り分けている。
【０００４】
液晶基板等のＴＦＴアレイが形成された半導体基板の製造過程では、製造過程中にパネル上に形成されたＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査工程を含み、このＴＦＴアレイ検査工程において、ＴＦＴアレイの欠陥検査が行われている。このＴＦＴアレイ検査工程では、前記したゲートラインやソースラインに欠陥検査用の信号パターンの駆動信号を印加してＴＦＴアレイを駆動し、このＴＦＴアレイの駆動状態を検出することによってＴＦＴアレイ検査を行う。
【０００５】
このＴＦＴアレイ検査では、ＴＦＴアレイを駆動した際のＩＴＯ電位を電子線照射によって発生する二次電子の強度で検出することが知られている。
【０００６】
ガラス基板上には、多面取りと呼ばれるように、一枚のガラス基板上に複数のパネルが形成されている。この多面取りのＴＦＴガラス基板を検査する場合、ＴＦＴガラス基板上に形成された全パネルに駆動信号を印加して同時に全パネルのＴＦＴアレイを駆動するとともに、このガラス基板を支持するステージを一定速度で移動させながら、パネルに電子線を連続的に走査させることで、ガラス基板上に形成される各パネルのＴＦＴアレイを順に検査している（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００６−１７０６９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＴＦＴアレイ検査装置では、真空チャンバ内に測定用のステージを配置し、真空チャンバの上部に検査用の電子線を照射する電子銃を配置し、電子銃から照射した電子線をステージ上に載置した基板に照射する。この電子線が照射する照射範囲は、１パネルの面積と比較して極めて小さいため、電子線の照射方向を制御したり、ステージを一定速度で移動させることによって基板上において電子線を連続的に走査させている。
【０００８】
基板上に複数のパネルを配置する場合、ＴＦＴアレイ検査では、基板上に配置されるパネルに対して同一の駆動信号を印加してＴＦＴを駆動している。ステージが移動する方向に複数のパネルが配置される場合において、一つの電子銃からの電子線が照射する場所は、基板上に配置されるパネルの内の一つのパネル内に過ぎないが、従来のＴＦＴアレイ検査装置では、基板上に配置されるパネルを同一の駆動信号を同時に駆動している。
【０００９】
図１１は走査時における従来のパネル駆動によってＴＦＴアレイを検査する例を示している。図１１（ａ）は測定前の状態を示し、図１１（ｂ）は測定前半の状態を示し、図１１（ｃ）は測定後半の状態を示している。
【００１０】
なお、ここでは、一枚のガラス基板３０に４枚のパネルＡ〜パネルＤ（３１Ａ〜３１Ｄ）が２×２の配列で配置されているものとし、真空チャンバ１９は２つの電子銃１７ａ，１７ｂがステージの移動方向（図中のｙ方向）と直交する方向（図中のｘ方向）に固定されているものとする。
【００１１】
各電子銃１７ａ，１７ｂは、それぞれ一枚のパネルに電子線を照射し、電子線の照射方向を制御することでｘ方向の走査を行い、ｙ方向の走査はステージの移動方向によって行う。そのため、測定をステージの移動に応じて２段階で行い、測定前半ではパネルＡ（３１Ａ）とパネルＣ（３１Ｃ）を走査し、測定後半ではパネルＢ（３１Ｂ）とパネルＤ（３１Ｄ）を走査する。この各走査において、パネルのＴＦＴアレイを駆動することによって、ＴＦＴアレイの検査を行う。このとき、各パネルＡ〜Ｄ（３１Ａ〜３１Ｄ）に同一の駆動信号を印加し、同一の駆動波形でアレイを駆動し検査を行っている。
【００１２】
ＴＦＴアレイ欠陥として、例えば、ライン間や、ラインとＩＴＯ電極間でのショート欠陥やオープン欠陥など様々な欠陥があり、一枚のＴＦＴ基板上に複数種類の欠陥が存在する場合がある。一方、この欠陥を効果的に抽出するのに適した駆動波形は、欠陥の種類によって異なる場合がある。
【００１３】
このように、一枚のＴＦＴ基板上に存在する複数種類の欠陥を抽出する際に、ＴＦＴ基板上の複数のパネルに同一の駆動信号を印加し同一の駆動波形で駆動すると、欠陥種によっては良好な抽出が困難となる場合がある。そのため、欠陥種によって欠陥の検出性能にばらつきが生じることになる。
【００１４】
また、各種の欠陥を抽出するには、駆動波形が異なる駆動信号を切り替えながら、電子線の照射を繰り返す必要がある。このように、駆動信号を切り替えて複数回の欠陥検査を行う場合には、検査時間が長時間するという問題が発生する。
【００１５】
そこで、本発明は上記課題を解決して、複数の欠陥種の検出を、検出性能を落とすことなく、短時間で行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置は、ＴＦＴアレイの欠陥種に応じた駆動波形を有する駆動信号を複数用意しておき、一つの基板を検査する間に走査条件に応じて印加する駆動信号を切り替えることによって、複数の欠陥種の検出を行う。複数の欠陥種の検出は、一つの基板を検査する間に行うことができるため、検出性能を落とすことなく、短時間で行うことができる。
【００１７】
本発明は、走査条件に応じて欠陥種に対応した駆動信号を選択してＴＦＴアレイに印加することによって、一回の走査中に欠陥種に応じた駆動波形を有する駆動信号を印加することができる。第１の態様は、走査条件に応じて、複数の駆動信号の中から欠陥種に応じた駆動信号を選択してＴＦＴアレイに印加する。一方、第２の態様は、走査条件に応じて、複数の駆動波形データの中から欠陥種に応じた駆動波形データを選択し、選択した駆動波形データを用いて駆動信号を生成し、ＴＦＴアレイに印加する。
【００１８】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第１の態様は、検査対象のＴＦＴアレイに電子線を走査して照射し、当該照射電子線によってアレイから放出される二次電子を検出することによりアレイ検査を行うＴＦＴアレイ検査装置において、複数の駆動波形データを記憶する記憶手段と、この記憶手段から読み出した駆動波形データを用いてＴＦＴアレイを駆動する駆動信号を生成するＴＦＴ駆動手段と、このＴＦＴ駆動手段が生成した複数の駆動信号からＴＦＴアレイに印加する駆動信号を選択する駆動信号選択手段と、電子線の走査およびＴＦＴアレイの駆動を制御する制御手段とを備える。
【００１９】
制御手段は、ＴＦＴ駆動手段および駆動信号選択手段に指令信号を送って駆動信号の生成および生成した駆動信号の選択を制御する。また、電子銃やステージを制御してＴＦＴアレイへの電子線の走査を制御する。
【００２０】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置は、電子線の走査条件と駆動波形との間の関係を予め用意しておく。ここで、電子線の走査条件は、ＴＦＴアレイ基板に電子線を走査する際の走査位置に係わる条件であって、ＴＦＴアレイに含まれる欠陥が存在する位置に対応して定められる。また、駆動信号の駆動波形は欠陥種に対応して設定される。
【００２１】
走査条件で定まる走査位置と欠陥種に応じた駆動波形との間の関係を定めておくことによって、駆動信号選択手段は走査条件に応じた駆動波形を逐次選択する。
【００２２】
走査条件に応じて駆動波形を逐次選択することによって、電子線の走査しながら欠陥種に応じた駆動信号を印加することができる。
【００２３】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第２の態様は、検査対象のＴＦＴアレイに電子線を走査して照射し、当該照射電子線によってアレイから放出される二次電子を検出することによりアレイ検査を行うＴＦＴアレイ検査装置において、複数の駆動波形データを記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶される複数の駆動波形データを選択する駆動波形データ選択手段と、この駆動波形データ選択手段によって記憶手段から読み出した駆動波形データを用いてＴＦＴアレイを駆動する駆動信号を生成するＴＦＴ駆動手段と、電子線の走査およびＴＦＴアレイの駆動を制御する制御手段とを備える。
【００２４】
制御手段は、第１の態様と同様に、ＴＦＴ駆動手段および駆動信号選択手段に指令信号を送って駆動信号の生成および生成した駆動信号の選択を制御する。また、電子銃やステージを制御してＴＦＴアレイへの電子線の走査を制御する。
【００２５】
また、第１の態様と同様に、電子線の走査条件と駆動波形との間の関係を予め用意され、駆動信号の駆動波形は欠陥種に対応して設定される。
【００２６】
駆動波形データ選択手段は、予め定められた電子線の走査条件と駆動波形との間の関係に基づいて、制御手段が制御する走査条件に応じて駆動波形データを記憶手段から逐次選択して読み出す。ＴＦＴ駆動手段は、この駆動波形データ選択手段によって選択した駆動波形データを用いて駆動信号を生成し、ＴＦＴアレイに印加する。
【００２７】
走査条件に応じて駆動波形データを逐次選択し、選択した駆動波形データを用いて駆動信号を生成することによって、電子線の走査しながら欠陥種に応じた駆動信号を印加することができる。
【００２８】
また、一基板上に設けられた複数のパネルを形成し、各パネルにＴＦＴアレイが形成される構成に適応することができる。このパネル毎に選択を行い、各パネルに形成されるアレイを選択された各駆動信号で駆動してもよい。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、検出性能を落とすことなく複数の欠陥種の検出を行うことができる。
【００３０】
また、本発明によれば、複数の欠陥種の検出を短時間で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
【００３２】
図１は、本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第１の態様の概略図である。図１に示すＴＦＴアレイ検査装置１は、真空チャンバ１９内に設けた試料ステージ２０上にＴＦＴガラス基板３０を配置し、このＴＦＴガラス基板３０に形成される複数のパネルＡ〜パネルＤ（３１Ａ〜３１Ｄ）に駆動信号を印加し、この駆動信号によって駆動状態となったパネルについてＴＦＴアレイ検査を行う。
【００３３】
なお、ここでは、ＴＦＴガラス基板３０に形成されるパネルとしてパネルＡ〜パネルＤ（３１Ａ〜３１Ｄ）の４枚のパネルの例を示しているが、このパネル数は説明上から示した一例であり、このパネル数に限られるものではない。
【００３４】
ＴＦＴアレイ検査装置１は、真空チャンバ１９内に内蔵する試料ステージ２０と、真空チャンバ１９の上部に設けた電子銃１７（１７ａ，１７ｂ）を備える他、ＴＦＴアレイを駆動する回路構成として、試料ステージ１９を駆動するステージ駆動回路１２、試料ステージ２０に載置するＴＦＴガラス基板３０のパネルのＴＦＴアレイを駆動するＴＦＴ駆動回路（パネルドライバ）１３ａ，１３ｂおよび駆動信号選択制御回路１４Ａ、電子銃１７ａ、１７ｂを制御し駆動する電子銃制御コントローラ１５および電子銃制御回路１６、およびＴＦＴアレイ検査装置１の全体を制御する制御コントローラ１１を備える。なお、制御コントローラ１１および電子銃制御コントローラ１５は、ＣＰＵおよびこのＣＰＵを駆動するアルゴリズムを記述したソフトウエアを格納するＲＯＭや信号処理のためのＲＡＭ等のメモリ手段等によってソフトウエア処理で制御を行うことができる。
【００３５】
試料ステージ２０は、ＴＦＴガラス基板３０を支持する。また、試料ステージ２０は、ステージ駆動回路１２から出力される駆動信号に基づいて、試料ステージ２０上に載せたＴＦＴガラス基板３０を所定の方向に移動させる。このＴＦＴガラス基板３０の移動は、例えば、パネル上を走査する電子線の走査速度に合わせて一定速度とすることができる。
【００３６】
ここで、試料ステージ２０に駆動信号を供給するステージ駆動回路１２は、制御コントローラ１１からの移動指令を受けて駆動し、電子銃制御コントローラ１５により電子線の照射方向の制御とともに、電子線をパネル上において走査する。
【００３７】
ＴＦＴ駆動回路（パネルドライバ）１３ａ，１３ｂは、制御コントローラ１１から駆動指令を受けると、記憶手段１８ａ、１８ｂに格納している駆動波形データを用いて駆動信号ａ，ｂを生成する。なお、ここでは、ＴＦＴ駆動回路（パネルドライバ）１３ａ，１３ｂおよびは記憶手段１８ａ，１８ｂは、それぞれを２つ備える構成を示しているが、設置個数は２個に限らず、駆動波形の波形数に応じて定めることができる。また、ＴＦＴ駆動回路（パネルドライバ）およびは記憶手段をそれぞれ１つの回路で構成してもよい。
【００３８】
駆動信号選択制御回路１４Ａは、制御コントローラ１１から選択指令を受け、ＴＦＴ駆動回路１３ａ，１３ｂで生成した駆動信号ａ，ｂの中から選択指令に基づいて選択し、選択した駆動信号を各パネル３１Ａ〜３１Ｄに供給する。
【００３９】
ここで、選択指令は、何れの駆動信号を選択するかを定める情報をしている。この情報は駆動波形の種類を特定する情報である。この情報は、記憶手段１８ｃに格納される電子線の走査条件と駆動波形種との対応関係に基づいて、検査対象のＴＦＴアレイを走査する走査条件に対応する駆動波形種を読み出すことで取得することができる。走査条件としては、例えば、パネル上で電子線を照射する走査位置とすることができる。この場合には、走査位置に対応して、その走査時にパネルのＴＦＴアレイに印加する駆動信号の駆動波形を予め定めておき、記憶手段１８ｃに格納する。なお、ここでは、走査位置と駆動波形種とを対応付けているが、走査位置と駆動信号種とを対応付け、この駆動信号種によって駆動信号選択回路１４Ａでの選択を行っても良い。
【００４０】
制御コントローラ１は、制御コントローラ１自身が制御する走査において、その走査条件に対応する駆動波形種の情報を記憶手段１８ｃから読み出し、駆動信号選択制御回路１４Ａに選択指令として送る。駆動信号選択制御回路１４Ａは送られた選択指令に基づいて、ＴＦＴ駆動回路１３ａ，１３ｂの駆動信号ａ，ｂを選択し、選択した駆動信号を各パネル３１Ａ〜３１Ｄに供給する。
【００４１】
また、制御コントローラ１１は電子銃制御コントローラ１５に電子線走査指令を送って電子銃制御回路１６を駆動する。電子銃制御回路１６は、電子銃制御コントローラ１５の制御に基づいて電子銃１７ａ，１７ｂを制御し、照射する電子線を制御する。
【００４２】
ここで、制御コントローラ１１は、パネル上における電子線走査において試料ステージ２０を制御する移動指令と、印加する駆動信号を選択する選択指令と、電子銃からの電子線照射を制御する電子線走査指令の各指令出力が同期するよう制御する。
【００４３】
この制御コントローラ１１により同期した指令によって、ステージ駆動回路１２によるステージ駆動と、駆動信号選択制御回路１４Ａによる駆動信号の選択と、電子銃制御コントローラ１５による電子線照射制御とを同期させ、ステージ駆動回路１２によって目的とするパネルを電子銃の電子線照射位置に移動させ、電子銃制御コントローラ１５によって目的とするパネルに電子銃から電子線を照射させ、駆動信号選択制御回路１４Ａによって目的とする欠陥を検出するための駆動信号を印加する。
【００４４】
駆動信号の選択は、電子線を走査する間に行うことができるため、パネルを複数回走査することなく、一回の走査の間にパネル中に含まれる複数種の欠陥を検出することができる。
【００４５】
次に、本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第１の態様の動作例を図２のフローチャートを用いて説明する。
【００４６】
制御コントローラ１１により走査制御から走査位置を取得する(S1)。制御コントローラ１１は、走査制御によって、ステージ駆動回路１２に移動指令を出力し(S2)、ＴＦＴ駆動回路（パネルドライバ）１３ａ，１３ｂに駆動指令を出力する(S3)。ＴＦＴ駆動回路１３ａ，１３ｂは、駆動指令に基づいて記憶手段１８ａ，１８ｂに記憶される駆動波形データを用いて駆動信号ａ，ｂを形成し、駆動信号選択回路１４Ａに出力する(S4)。
【００４７】
また、制御コントローラ１１は、記憶手段１８に格納する電子線走査条件と駆動波形種との対応関係から、走査位置に対応する駆動波形種を読み出し(S5)、選択指令と共に駆動信号選択制御回路１４Ａに出力する(S6)。駆動信号選択制御回路１４Ａは、選択指令に含まれる駆動波形種（あるいは駆動信号）の情報に基づいて、駆動波形種（あるいは駆動信号）に対応する駆動信号を駆動信号ａ，ｂの中から選択し(S7)、選択した駆動信号をパネルに印加する(S8)。上記S1〜S8の処理を走査処理が終了するまで繰り返す(S9)。
【００４８】
図３は駆動波形の選択例を説明するための図である。ここでは、ＴＦＴガラス基板３０に４枚のパネル３１Ａ〜３１Ｄが配列され、パネル３１Ａ〜３１Ｄ中に主に欠陥種Ａが存在することが予測されると共に、パネル３１Ｂ中に欠陥種４０Ｂが存在することが予測される場合を示している。ここで、欠陥種Ａの検出に適した駆動波形を駆動波形６０Ａとし、欠陥種Ｂの検出に適した駆動波形を駆動波形６０Ｂとし、駆動波形６０Ａは欠陥種Ａの検出に適するが、欠陥種Ｂの検出には不適であり、駆動波形６０Ｂは欠陥種Ｂの検出に適するが、欠陥種Ａの検出には不適であるとする。
【００４９】
図３に示す配置例では、一走査によってパネル３１Ａとパネル３１Ｃ、あるいはパネル３１Ｂとパネル３１Ｄに電子線を照射し、試料ステージ２０の駆動（図では上方へ移動する駆動）によるＴＦＴガラス基板３０の移動により、はじめにパネル３１Ａとパネル３１Ｃとを走査し、次にパネル３１Ｂとパネル３１Ｄを走査する。
【００５０】
図３（ａ），（ｂ）はパネル３１Ａとパネル３１Ｃとを走査する状態を示し、図３（ｃ）はパネル３１Ｂとパネル３１Ｄとを走査する状態を示している。
【００５１】
図３（ａ）に示す走査時には、欠陥種４０Ａの存在が予測されるため、この欠陥種４０Ａの検出に適した駆動波形６０Ａの駆動信号をアレイに印加する。これによって、パネル３１Ｃ中に存在する欠陥種４０Ａを検出する。
【００５２】
次に、ＴＦＴガラス基板３０の移動により、図３（ｂ）に示す走査時には、欠陥種４０Ｂの存在が予測されるため、駆動波形６０Ａに代えて、欠陥種４０Ｂの検出に適した駆動波形６０Ｂの駆動信号をアレイに印加する。これによって、パネル３１Ｂ中に存在する欠陥種４０Ｂを検出する。
【００５３】
次に、ＴＦＴガラス基板３０の移動により、図３（ｃ）に示す走査時には、パネル３１Ｂ，３１Ｄを走査する。このとき、欠陥種４０Ａの存在が予測されるため、欠陥種４０Ａの検出に適した駆動波形６０Ａの駆動信号をアレイに印加する。これによって、パネル３１Ｂ中に存在する欠陥種４０Ａを検出する。
【００５４】
図４は、駆動波形の選択結果を示している。図４において、欠陥種４０Ａの存在が予測される範囲では駆動波形６０Ａの駆動信号を印加する。何れの駆動波形を印加するかは、上述したように欠陥種の予測される走査位置によって定める。基板毎あるいはパネル毎に欠陥種が予測される走査位置は、基板の作成工程や基板の作成装置の特性によって予測されるため、この欠陥種およびその存在する位置と走査位置との関係を予め求めておくことができる。検査時には、この関係を用いて各欠陥種に適した駆動波形の駆動信号を選択して印加することができる。
【００５５】
次に、本発明の第２の態様について説明する。図５は、本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第２の態様の概略図である。
【００５６】
前記図１に示した第１の態様は、複数の駆動信号を生成しておき、この複数の駆動信号から選択指令によって駆動信号を選択する態様である。これに対して、第２の態様は、選択指令によって駆動波形データを選択し、この選択した駆動波形データに基づいて駆動信号を生成する態様である。
【００５７】
第２の態様は、選択指令によって駆動波形データを選択する構成において第１の態様の構成と相違し、その他の構成はほぼ第１の態様の構成と共通する。そこで、以下では、第１の態様と相違する構成についてのみ説明し、共通する構成については説明を省略する。
【００５８】
第２の態様は、第１の態様が備える駆動信号選択制御回路１４Ａに代えて駆動波形データ選択制御回路１４Ｂを備える。駆動波形データ選択制御回路１４Ｂは、制御コントローラ１１からの選択指令に基づいて、記憶手段１８ｄに格納される複数の駆動波形データから走査条件に対応する駆動波形データを選択し、ＴＦＴ駆動回路１３に出力する。ＴＦＴ駆動回路１３は、選択された駆動波形データに基づいて駆動信号を生成し、各パネルに出力する。
【００５９】
次に、本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第２の態様の動作例を図６のフローチャートを用いて説明する。
【００６０】
制御コントローラ１１により走査制御から走査位置を取得する(S11)。制御コントローラ１１は、走査制御によって、ステージ駆動回路１２に移動指令を出力し(S12)、ＴＦＴア駆動回路（パネルドライバ）１３ａ，１３ｂに駆動指令を出力し(S13)、駆動波形データ選択制御回路１４Ｂに選択指令を出力する(S14)。
【００６１】
駆動波形データ選択回路１４Ｂは、記憶手段１８ｃに格納する電子線走査条件と駆動波形種との対応関係から、走査位置に対応する駆動波形種を読み出し(S15)、記憶手段１８ｄに格納する駆動波形種と駆動波形データとの対応関係から、駆動波形データ読み出す。なお、走査条件（走査位置）に対応して駆動波形データを格納することによって、走査条件（走査位置）から駆動波形データを読み出してもよい(S16)。
【００６２】
駆動波形データ選択制御回路１４Ｂは、選択した駆動波形データをＴＦＴ駆動回路１３に出力する(S17)。ＴＦＴ駆動回路１３は、駆動波形データを用いて駆動信号を形成し（S18）、パネルに印加する(S19)。上記S11〜S19の処理を走査処理が終了するまで繰り返す(S20)。
【００６３】
次に、本発明の第３の態様について説明する。図７は、本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第３の態様の概略図である。
【００６４】
第３の態様は、図１に示した第１の態様において、ＴＦＴガラス基板に形成される複数のパネル３１Ａ〜３１Ｄの各パネルに駆動波形を印加する構成例である。この第３の構成例は、駆動信号選択制御回路１４Ａが各パネル３１Ａ〜３１Ｄに個別に駆動信号を印加する構成の他は、図１の第１の構成と同様である。
【００６５】
制御コントローラ１１は、駆動信号選択制御回路１４Ａへの選択指令中のパネルを選択する情報を加えることによって、各パネル３１Ａ〜３１Ｄに対して駆動信号を印加する。
【００６６】
この構成によれば、同一のＴＦＴガラス基板３０に形成された複数のパネルに対して個別の駆動信号を印加することができ、各パネルについて固有のパターンで欠陥種の検出を行うことができる。
【００６７】
次に、上記した各態様における駆動信号の印加例について、図８〜図１０を用いて説明する。各パネルに電子線の走査において、パネルを試料ステージで移動してＴＦＴガラス基板を移動させる際に、パネルを複数のパス３２ａ〜３２ｄに分割し、パス毎に電子線走査を行う場合がある。
【００６８】
本発明は、パス毎に電子線走査を行う場合についても適用することができる。図８は、各パネル３１Ａ〜３１Ｄについて４本のパス３２ａ〜３２ｄによって電子線素走査を行う例を示している。なお、パスの本数は４本に限らず、電子銃の配置等に応じて任意に設定することができる。
【００６９】
図８では、欠陥種４０Ａを丸印で示し、欠陥種４０Ｂを×印で示している。各パスでは、ＴＦＴガラス基板を図中の縦方向に移動させながら、この移動方向と直交する方向（図中の横方向の移動）に電子線を振ることで電子線を走査する。この電子線走査において、ＴＦＴガラス基板の移動方向に沿って駆動波形を切り替える。欠陥種４０Ａの存在が予測される範囲では駆動波形６０Ａを選択し、欠陥種４０Ｂの存在が予測される範囲では駆動波形６０Ｂを選択する。
【００７０】
図９（ａ）、（ｂ）はパス３２ａを走査する場合の例を示し、図１０（ａ）、（ｂ）はパス３２ｂを走査する場合の例を示している。なお、図中の破線はパス内で電子線を振った軌跡を示している。
【００７１】
上記した各例では、ＴＦＴガラス基板の移動方向と直交する方向で電子線を振ることによる走査において駆動波形を変更しない例を示しているが、この電子線の走査動作においても駆動波形を切り替えてもよい。また、ＴＦＴガラス基板の移動方向および直交する方向の両方向について駆動波形を切り替えてもよく、これによれば、パネル内で二次元的に印加する駆動波形を切り替えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明は、液晶製造装置におけるＴＦＴアレイ検査工程の他、有機ＥＬや種々の半導体基板が備えるＴＦＴアレイの欠陥検査に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第１の態様の概略図である。
【図２】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第１の態様の動作例を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の第１の態様の駆動波形の選択例を説明するための図である。
【図４】本発明の第１の態様の駆動波形の選択結果を示す図である。
【図５】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第２の態様の概略図である。
【図６】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第２の態様の動作例を説明するためのフローチャートである。
【図７】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第３の態様の概略図である。
【図８】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の駆動信号の印加例を説明するための図である。
【図９】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の駆動信号の印加例を説明するための図である。
【図１０】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の駆動信号の印加例を説明するための図である。
【図１１】従来のパネル駆動によるＴＦＴアレイの検査を示す図である。
【符号の説明】
【００７４】
１…ＴＦＴアレイ検査装置、１１…制御コントローラ、１２…ステージ駆動回路、１３ａ，１３ｂ…ＴＦＴ駆動回路、１４Ａ…駆動信号選択制御回路、１４Ｂ…駆動波形データ選択制御回路、１５…電子銃制御コントローラ、１６…電子銃制御回路、１７ａ，１７ｂ…電子銃、１８ａ〜１８ｄ…記憶手段、１９…真空チャンバ、２０…試料ステージ、３０…ＴＦＴガラス基板、３１Ａ〜３１Ｄ…パネル、４０Ａ，４０Ｂ…欠陥種、５０ａ，５０ｂ…電子線、６０ａ，６０ｂ…駆動波形。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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