(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方から下方へ延びる回転軸を中心に回転するベース部材と、
長手方向の一端側において揺動自在に保持される片持ち構造であり、前記ベース部材を長手方向中途部分の下面で支持する板状のアームと、
前記ベース部材の周方向に沿って複数配設され、前記ベース部材の回転軸方向に往復移動し、部品を保持する部品保持部材と、
前記アームの長手方向中途部分の下面に固定され、前記ベース部材を回転駆動するモータと、  
前記部品を撮像する待機部品撮像手段と、
前記アームを冷却するアーム冷却手段と、を備え、
前記部品保持部材は、前記ベース部材の回転により前記ベース部材の周りを回転し、
前記アームよりも下方に形成された前記部品保持部材の回転軌道は、前記アームの一端側と重なる重なり部分と、前記重なり部分よりも他端側にて前記アームから張り出す張出部分とを有し、
前記待機部品撮像手段は、前記重なり部分の下流側であって前記張出部分の上方に位置するように前記アームの幅方向の側面に設けられ、
前記張出部分の下方であって、前記待機部品撮像手段の真下には前記部品保持部材による前記部品の保持が開始される受入領域が設定され、
自身の前記回転方向において隣り合う前記部品保持部材は、前記受入領域と前記待機部品撮像手段とを結ぶ撮像光路が確保されるように離れ、
前記アーム冷却手段は、
前記アームの内部に形成され、冷却媒体が流通する冷却媒体通路を有し、
前記冷却媒体通路内を前記冷却媒体が流通することで前記アームの熱を奪うことを特徴とする、部品搬送装置。
【請求項２】
前記アーム冷却手段は、
前記冷却媒体を貯留するタンクと、
前記タンクと前記アームの内部に形成された前記冷却媒体通路とを接続するチューブと、
熱を放散するヒートシンクと、
前記タンクと前記ヒートシンクとの間に配置され、前記タンク内の前記冷却媒体の熱を前記ヒートシンクに移動させるペルチェ素子と、を備えた
ことを特徴とする、請求項１記載の部品搬送装置。
【請求項３】
前記モータを冷却するモータ冷却手段を備え、
前記モータ冷却手段は、前記モータの外周を覆うように配設された筒体を有し、
前記筒体と前記モータとの間の隙間には、冷却媒体である冷却気体が通過する冷却気体通路が形成され、
前記筒体の長手方向の端部側の前記隙間に前記冷却気体の入口を設け、
前記筒体の側面に前記冷却気体流路の出口を設け、
前記入口は、前記出口よりも前記ベース部材の回転方向の上流側に位置することを特徴とする、請求項１または２記載の部品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、極小の部品を搬送するのに好適な回転式の部品搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に開示されているような回転式の部品搬送装置が開発されている。この部品搬送装置は、基台と、基台に対して揺動自在に配設された板状のアームと、アームに回転自在に支持された略円盤状のベース部材と、ベース部材の外周面に周方向に沿って配設された部品保持モジュールと、アームの下面に固定されてベース部材を回転させるモータ（回転駆動装置）と、を備えて構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１９６７３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の部品搬送装置においては、部品搬送時はモータの駆動力によりベース部材と一体に部品保持モジュールが回転しているが、モータが熱を発し、この熱でアームがわずかながらに変形するおそれがある。この種の部品搬送装置は、極めて小さな部品を搬送対象とすることがあり、その場合にはわずかな変形でも部品保持モジュールに保持された部品の位置に影響することが懸念される。
【０００５】
本発明は、斯かる実情に鑑み、回転駆動装置が発する熱を冷却して部品を良好に搬送可能な部品搬送装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の部品搬送装置は、上方から下方へ延びる回転軸を中心に回転するベース部材と、長手方向の一端側において揺動自在に保持される片持ち構造であり、前記ベース部材を長手方向中途部分の下面で支持する板状のアームと、前記ベース部材の周方向に沿って複数配設され、前記ベース部材の回転軸方向に往復移動し、部品を保持する部品保持部材と、前記アームの長手方向中途部分の下面に固定され、前記ベース部材を回転駆動するモータと、前記部品を撮像する待機部品撮像手段と、前記アームを冷却するアーム冷却手段と、を備え、前記部品保持部材は、前記ベース部材の回転により前記ベース部材の周りを回転し、前記アームよりも下方に形成された前記部品保持部材の回転軌道は、前記アームの一端側と重なる重なり部分と、前記重なり部分よりも他端側にて前記アームから張り出す張出部分とを有し、前記待機部品撮像手段は、前記重なり部分の下流側であって前記張出部分の上方に位置するように前記アームの幅方向の側面に設けられ、前記張出部分の下方であって、前記待機部品撮像手段の真下には前記部品保持部材による前記部品の保持が開始される受入領域が設定され、自身の前記回転方向において隣り合う前記部品保持部材は、前記受入領域と前記待機部品撮像手段とを結ぶ撮像光路が確保されるように離れ、前記アーム冷却手段は、前記アームの内部に形成され、冷却媒体が流通する冷却媒体通路を有し、前記冷却媒体通路内を前記冷却媒体が流通することで前記アームの熱を奪うことを特徴とする。
【０００７】
前記アーム冷却手段は、前記冷却媒体を貯留するタンクと、前記タンクと前記アームの内部に形成された前記冷却媒体通路とを接続するチューブと、熱を放散するヒートシンクと、前記タンクと前記ヒートシンクとの間に配置され、前記タンク内の前記冷却媒体の熱を前記ヒートシンクに移動させるペルチェ素子と、を備えたことが好ましい。また、前記モータを冷却するモータ冷却手段を備え、前記モータ冷却手段は、前記モータの外周を覆うように配設された筒体を有し、前記筒体と前記モータとの間の隙間には、冷却媒体である冷却気体が通過する冷却気体通路が形成され、前記筒体の長手方向の端部側の前記隙間に前記冷却気体の入口を設け、前記筒体の側面に前記冷却気体流路の出口を設け、前記入口は、前記出口よりも前記ベース部材の回転方向の上流側に位置することが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の部品搬送装置によれば、冷却手段が回転駆動装置の発する熱を奪い、当該熱が部品保持部材に保持された部品の位置に影響を及ぼすことを排除し、極小の部品であっても良好に搬送することができるという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る部品搬送装置の模式的な正面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る部品搬送装置の本体部分の模式的な正面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る部品搬送装置の本体部分の模式的な左側面図であって、ベース部材等が運転位置にある状態を示している。
【図４】本発明の第１実施形態に係る部品搬送装置の本体部分の模式的な左側面図であって、ベース部材等が退避位置にある状態を示している。
【図５】本発明の第１実施形態に係る部品搬送装置の本体部分の模式的な平面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る部品搬送装置の模式的な図であって、（ａ）はベース部材及び部品保持モジュールの平面図、（ｂ）はその断面図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）ともに、本発明の第１実施形態に係る部品搬送装置の部品保持モジュール及び案内機構の断面構造を示す模式的な図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）ともに、本発明の第１実施形態に係る部品搬送装置の部品保持モジュール及び案内機構の断面構造並びに外部付勢装置を示す模式的な図である。
【図９】本発明の第１実施形態に係る部品搬送装置のベース部材及び冷却装置の一部の模式的な平面図である。
【図１０】本発明の第１実施形態に係る部品搬送装置の動作を示す模式的な平面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係る部品搬送装置の要部を示す模式的な断面図であって、（ａ）は冷却手段の構造を示す縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図１２】本発明の部品搬送装置のその他の変形例を示す模式的な断面図及び側面図である。
【図１３】本発明の部品搬送装置のその他の変形例を示す模式的な正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
【００１２】
［第１実施形態］図１に示すように、第１実施形態の部品搬送装置１は、部品供給装置２の受入トレイ２ａにバルク状態（ランダムにまとまった状態）で載置された部品を取り出して搬送し、途中で部品の高さを一旦下げてから、検査テーブル上で所定の検査を行い、その後、部品を上昇させて、部品搬出装置３の整列トレイ３ａまで搬送し、部品を整列トレイ３ａ上に整列状態で載置するものである。
【００１３】
図１〜図５に示すように、部品搬送装置１は、基台１０と、基台１０に対して揺動自在に配設されたアーム２０と、アーム２０に回転自在に配設されたベース部材３０と、ベース部材３０の外周面に周方向に沿って配設された複数（ここでは４つ）の部品保持モジュール４０と、アーム２０に配設された複数（ここでは２つ）の外部付勢装置５０と、ベース部材３０を回転させるベース部材回転駆動装置６０と、基台１０の上面の中央手前側に配設された部品検査手段７０と、アーム２０を揺動させる揺動手段８０と、部品搬送装置１全体を制御する中央制御装置９０と、ベース部材回転駆動装置６０の外周を覆うようにしてアーム２０側に固定配置される円筒状の固定部材（筒体）１００と、固定部材１００側に配置される案内機構１２０と、ベース部材回転駆動装置６０を冷却する冷却装置（冷却手段）１５０と、を備えて構成されている。
【００１４】
＜基台＞基台１０は、略直方体状の部材である。基台１０の内部には、中央制御装置９０や特に図示しない電源装置等が配設されている。基台１０上面の奥側端部には、図３及び図４に示すように柱部材１１が配設されており、この柱部材１１の上端にはアーム２０を動作可能（揺動自在）に支持するアームブラケット１１ａが配設されている。
【００１５】
本実施形態では、図２に示すように、基台１０の上面の左側部分を搬送する部品を受け入れる受入領域１２、基台１０の上面の右側部分を部品の搬送先である搬出領域１３と設定している。また、部品検査手段７０が配設された基台１０の上面の中央手前側部分を部品検査領域１４としている。受入領域１２には部品供給装置２の受入トレイ２ａが配設されており、搬出領域１３には部品搬出装置３の整列トレイ３ａが配設されている。部品供給装置２及び部品搬出装置３の詳細については後述する。
【００１６】
＜アーム＞  アーム２０は、板状の部材であり、上述のようにアームブラケット１１ａに揺動自在に支持されている。アーム２０は、基台１０の上面に対面する運転位置（図３参照）と、基台１０の上面を開放する退避位置（図４参照）との間で揺動する。また、アーム２０の下面にはベース部材３０、ベース部材回転駆動装置６０及び固定部材１００が取り付けられていると共に、アーム２０の上面には外部付勢装置５０の後述するモータ５３が取り付けられている、
【００１７】
＜ベース部材＞  ベース部材３０は、略円筒状乃至は略円板状の回転可能な部材（ターレットテーブル）であり、部品を搬送可能な位置である運転位置において回転の中心軸が上下方向となるようにアーム２０に支持されている。図１〜図３では、運転位置にベース部材３０がある状態を示している。そして、ベース部材３０は、運転位置において回転した場合に、全ての部品保持モジュール４０が受入領域１２、部品検査領域１４、搬出領域１３の上方を通過するように構成されている。また、運転位置において、いずれかの部品保持モジュール４０が受入領域１２に対向する位置にある場合に、他の部品保持モジュール４０のいずれかが部品検査領域１４に対向し、更に他の部品保持モジュール４０のいずれかが搬出領域１３に対向する位置にあるように構成されている。
【００１８】
ベース部材３０の外周面には、図６（ａ）に示すように、部品保持モジュール４０が等間隔（ここでは９０度間隔）で外側に向けて突設されている。本実施形態では、各部品保持モジュール４０の間の部材を排除して（又は切り欠いて）干渉回避空間部３１が形成されるようにしている。干渉回避空間部３１の機能については後述する。
【００１９】
ベース部材３０の上面の中心には、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、中空軸３２が突設されている。この中空軸３２はベース部材３０の回転の中心になると共に、アーム２０に回転自在に支持される部分となっている。また、中空軸３２は、大径の外側パイプ３２ａと小径の内側パイプ３２ｂが同軸的に配設された二重構造となっている。中空軸３２の外側パイプ３２ａと内側パイプ３２ｂの間隙は、低圧源となる真空ポンプ（図示省略）と部品保持モジュール４０とを繋ぐ通路の一部となっている。中空軸３２の上端部には、スイベルジョイント３３を介して真空ポンプに繋がるエア配管３４が接続されている。
【００２０】
ベース部材３０の内部の中心部には、外側パイプ３２ａと内側パイプ３２ｂの間隙と同軸的に接続された中央気室３５が形成されており、さらに、この中央気室３５から各部品保持モジュール４０に個別に接続された４つの吸引通路３６が放射状に形成されている。各吸引通路３６の途中には、部品保持モジュール４０と真空ポンプの連通・遮断を切り替える切替バルブ３７がそれぞれ配設されている。これにより、本実施形態では、各部品保持モジュール４０と真空ポンプの連通・遮断を個別に切り替えることが可能となっている。本実施形態における切替バルブ３７は、ソレノイドによって弁体を移動させる電磁弁から構成されているが、切替バルブ３７は、電気的に駆動されるものであればその他の構成のものであってもよい。
【００２１】
ベース部材３０の内部にはさらに、切替バルブ３７を制御して後述する吸着ノズル４２ａによる部品の吸着・解放を制御する吸着ノズル切替制御装置９１、及び、後述する保持部自転駆動手段４３を制御する保持部自転制御装置９２が配設されている。吸着ノズル切替制御装置９１及び保持部自転制御装置９２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等を備えた制御装置である。吸着ノズル切替制御装置９１及び保持部自転制御装置９２は、特に図示しない配線によって、切替バルブ３７及び保持部自転駆動手段４３とそれぞれ電気的に接続されると共に、中央制御装置９０に電気的に接続されている。中央制御装置９０と吸着ノズル切替制御装置９１及び保持部自転制御装置９２とを繋ぐ配線は、中空軸３２の先端部に配設されたスリップリング３８を介して接続されている。スリップリング３８と吸着ノズル切替制御装置９１及び保持部自転制御装置９２の間の配線は、中空軸３２の内側パイプ３２ｂの内部を通されている。
【００２２】
＜部品保持モジュール＞  部品保持モジュール４０はそれぞれ、図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、筺体４１と、筺体４１に自転自在に配設された保持部（部品保持部材）４２と、保持部４２を自転駆動する保持部自転駆動手段４３と、を有して構成されている。
【００２３】
部品保持モジュール４０は、特に図示しないボルト等によって容易に着脱可能にベース部材３０に配設されている。本実施形態では、図６（ａ）に示すように部品保持モジュール４０を外側に突出して配置することで、隣接する部品保持モジュール４０間に前述の干渉回避空間部３１が形成される。なお、例えば、ベース部材３０の一部に開口を切り欠いて、その開口を干渉回避空間部３１とすることも可能である。
【００２４】
図７（ａ）及び（ｂ）に戻って、筺体４１は、保持部４２及び保持部自転駆動手段４３を内部に保持し、ベース部材３０にボルト等によって着脱可能に固定されている。
【００２５】
保持部４２は、下方に向けられた先端に吸着ノズル４２ａが配設された細長い円筒状の部材である。保持部４２は、ベース部材３０の自転軸と並行となる中心軸周りに回転（自転）自在であると共に、中心軸（自転軸）方向に沿って往復移動自在に筺体４１に保持されている。保持部４２の内部には、吸着ノズル４２ａに繋がる吸引通路４２ｂが形成されている。吸引通路４２ｂは、軸端に接続されるチューブ状の配管４２ｃによって、ベース部材３０に配設された切替バルブ３７に接続される。
【００２６】
吸着ノズル４２ａは、運転位置においては基台１０の上面に対向するように設けられている。真空ポンプと吸着ノズル４２ａの連通・遮断は切替バルブ３７によって切り替えられると共に、遮断時には、吸着ノズル４２ａは大気開放状態となるように構成されている。すなわち、保持部４２は、切替バルブ３７によって真空ポンプと吸着ノズル４２ａが連通された場合に、吸着ノズル４２ａによって部品を吸引して吸着（保持）し、切替バルブ３７によって真空ポンプと吸着ノズル４２ａが遮断された場合に、吸着ノズル４２ａに保持していた部品を解放するように構成されている。
【００２７】
保持部４２の基端部（上端部）には、ブラケット４４が配設されている。ブラケット４４は、ベース部材３０の半径方向に沿って延在し、保持部４２と中心軸方向（上下方向）に係合している。また、ブラケット４４は保持部４２の自転を許容するようになっている。すなわち、保持部４２が自転してもブラケット４４は回転しないが、ブラケット４４が上下方向に往復移動した場合は、保持部４２も中心軸方向に往復移動するようになっている。ブラケット４４の上面には、外部付勢装置５０からの圧力を受ける受圧部材４４ａが突設されている。また、ブラケット４４の半径方向内側にはカムフォロア１１０が配置されている。カムフォロア１１０については後で詳述する。更に、ブラケット４４は、引っ張りばねとなる内部付勢装置４５によって、筺体４１から常に下側に向けて付勢されている。
【００２８】
保持部自転駆動手段４３は、筺体４１に固定されたモータ４３ａと、モータ４３ａの回転駆動力を保持部４２に伝達する伝達機構４３ｂとを備えて構成されている。
【００２９】
本実施形態では、モータ４３ａはステッピングモータから構成され、特に図示しない配線及びコネクタを介して保持部自転制御装置９２と電気的に接続される。
【００３０】
伝達機構４３ｂは、モータ４３ａの出力軸に固定された駆動歯車４３ｂ１、及び保持部４２に同軸的に固定された従動歯車４３ｂ２からなり、モータ４３ａの回転数を所定の減速比で減速するように構成されている。なお、伝達機構４３ｂを３つ以上の歯車列から構成するようにしてもよいし、ベルト伝達機構やチェーン伝達機構等により構成するようにしてもよい。
【００３１】
保持部４２は、保持部自転駆動手段４３に駆動されて自転し、本実施形態では、このように保持部４２を自転させることによって、吸着ノズル４２ａに吸着保持した部品の姿勢を整えるようになっている。
【００３２】
＜外部付勢装置＞  外部付勢装置５０は、図８（ａ）及び（ｂ）に示すように、先端を受圧部材４４ａに向けてアーム２０に配設された細長い円筒状のガイド部材５１と、ガイド部材５１の内部に挿通された細長い棒状の押圧部材５２と、アーム２０の上面に固定されたモータ５３と、モータ５３の出力軸に固定されたカム５４と、を備えて構成され、受圧部材４４ａに外力を加えてブラケット４４とともに保持部４２を押し下げる。
【００３３】
詳しくは、押圧部材５２は、先端を受圧部材４４ａに向けると共に、基端をカム５４に接続されている。そして、モータ５３に駆動されたカム５４の回転に伴って上下方向（受圧部材４４ａに対して近接離隔する方向）に往復移動するように構成されている。なお、カム５４のカムプロファイルは、搬送装置１の搬送速度等に応じて適宜に設定すればよい。
【００３４】
押圧部材５２は、受圧部材４４ａに近接する方向への移動によって、自身の先端が受圧部材４４ａに当接すると共に、後述する案内機構１２０のガイド面１２２の可動領域１２２Ａに配置される押圧ばね１２４の付勢力に勝る外力を受圧部材４４ａに加える。そして、図８（ｂ）に示すように、ブラケット４４と共に保持部４２を保持部４２の自転軸に沿って移動させる。更にカム５４の回転に伴って押圧部材５２が元の位置に戻ると、ブラケット４４及び保持部４２は、押圧ばね１２４の付勢力により図８（ａ）の状態に自動的に復帰するようになっている。
【００３５】
本実施形態では、運転位置において受入領域１２及び搬出領域１３に対向する位置にある部品保持モジュール４０の受圧部材４４ａを押圧可能な位置に、外部付勢装置５０がそれぞれ配設されている。また、ガイド面１２２の可動領域１２２Ａも受入領域１２及び搬出領域１３に対応する位置に形成されている。
【００３６】
＜ベース部材回転駆動装置＞  ベース部材回転駆動装置６０は、アーム２０の下面に取り付けられ、アーム２０とベース部材３０の間に位置している。本実施形態では、ベース部材回転駆動装置６０は、アーム２０に固定されるステータ、及びステータの外周を回転する筒状のロータから構成されるＤＤモータである。ステータの中心部には軸方向に貫通孔が形成されている（図６（ｂ）参照）。ベース部材３０は、この貫通孔内に中空軸３２を挿通した状態でロータに固定されている。
【００３７】
＜部品検査手段＞  部品検査手段７０は、図５に示すように、第１及び第２Ｘ線検査装置７０Ａ、７０Ｂから構成されている。この部品検査手段７０は、部品検査領域１４において側面からＸ線を照射して、部品の内部構造を非破壊で検査する。後で詳述するが、本実施形態では、案内機構１２０が、受入領域１２と搬出領域１３の途中において、一旦、部品の高さが低くなるような下降領域を形成している。従って、部品の側面に照射したＸ線が、他の保持部４２に保持されている部品や、保持部４２そのものと干渉しないようになっている。この結果、Ｘ線の第１及び第２受光部７０Ｃ、７０Ｄを、保持部４２の移動軌跡よりも外側に配置することが可能となる。部品検査手段７０は中央制御装置９０と電気的に接続されており、中央制御装置９０によって撮像タイミングが制御される。
【００３８】
なお、本実施形態では、より安全性を増すために、保持部４２が部品検査領域１４に存在している状態において、この第１及び第２Ｘ線検査装置７０Ａ、７０Ｂの撮像方向（矢印Ｐ、Ｑで示す方向）の延長線上に、他の保持部４２が存在しないようにしている。つまり、第１及び第２Ｘ線検査装置７０Ａ、７０Ｂの撮像方向を設定する際に、他の保持部４２が干渉しない方向を選定している。
【００３９】
＜揺動手段＞  揺動手段８０は、図３〜図５に示すように、モータ８２と、モータ８２の出力軸に接続されるねじ軸８４と、アーム２０に配設されるナット８６と、アーム２０の後端上方に固定されるナットブラケット８８と、を備えて構成され、アーム２０を略９０度回動させることで、アーム２０と一体にベース部材３０を運転位置から退避位置に移動させる。
【００４０】
モータ８２は、例えばステッピングモータであり、出力軸を上にして柱部材１１の背面にモータブラケット８２ａを介して揺動可能に配設されている。
【００４１】
ねじ軸８４は、外周面におねじが形成された棒状の部材であり、モータ８２の出力軸に同軸的に接続されている。
【００４２】
ナット８６は、ねじ軸８４のおねじと螺合するめねじを備えているとともに、ナットブラケット８８を介してアーム２０の後端上方に回動可能に配設されている。ナット８６はねじ軸８４がモータ８２に駆動されて回転することにより、ねじ軸８４に沿って直線移動する。すなわち、モータ８２を駆動し、ねじ軸８４を一方向に回転させてナット８６を下方に移動させることで、アーム２０と一体にベース部材３０を退避位置へ向かって上昇させ、反対に、ねじ軸８４を逆方向に回転させてナット８６を上方に移動させることで、アーム２０と一体にベース部材３０を運転位置へ向かって下降させることができるようになっている。
【００４３】
このように、ねじ軸８４の回動に伴ってアーム２０が揺動するため、揺動手段８０は、シンプルな構成でありながらも、アーム２０と一体にベース部材３０をスムーズに揺動させることができる。
【００４４】
本実施形態では、退避位置に移動させることによって、ベース部材３０を基台１０から大きく引き離すと共に、ベース部材３０の下面及び部品保持モジュール４０の吸着ノズル４２ａの先端を側方に向けて開放するように構成されている。これにより、吸着ノズル４２ａのメンテナンスや、基台１０に配設された部品供給装置２、部品搬出装置３及び部品検査手段７０等のメンテナンスを容易に行うことができる。
【００４５】
＜中央制御装置＞  中央制御装置９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等を備えた制御装置であり、外部付勢装置５０、ベース部材回転駆動装置６０及び部品検査手段７０等を直接制御すると共に、吸着ノズル切替制御装置９１及び保持部自転制御装置９２に制御情報を送信して、４つの切替バルブ３７及び４つの保持部自転駆動手段４３を個別に制御させるようになっている。
【００４６】
＜固定部材＞  固定部材１００は、アーム２０に固定されて下側に延びる筒状の部材であって、内側のベース部材回転駆動装置６０とは隙間を空けて配置されている。
【００４７】
＜案内機構＞  案内機構１２０は、前述のカムフォロア１１０と当接するガイド面１２２を備えて構成される。ガイド面１２２は、固定部材１００の外周面に周方向に形成される段差を利用してリング状に形成される。
【００４８】
ガイド面１２２は、保持部４２の移動軌跡に沿って周方向に延びると共に、保持部４２の自転軸方向に向かって屈曲又は湾曲している。従って、カムフォロア１１０がこのガイド面１２２に対して従動すると、ガイド面１２２の屈曲又は湾曲によってカムフォロア１１０が軸方向に変位する。この結果、保持部４２は、ガイド面１２２と係合して周方向に案内されながら、自転軸方向に変位する。
【００４９】
つまり、カムフォロア１１０は、固定部材１００の外周面に設けられる案内機構１２０と当接しており、案内機構１２０は、カムフォロア１１０及びブラケット４４を介して、ベース部材３０と共に回転する保持部４２と係合することになる。この結果、案内機構１２０は、保持部４２を自転軸方向に変位させることができる。
【００５０】
また、図８（ａ）及び（ｂ）に示すように、ガイド面１２２の一部には可動領域１２２Ａが形成されている。この可動領域１２２Ａは、ガイド面１２２の残りの領域に対して、自転軸方向に独立して変位することができる。ガイド面１２２における可動領域１２２Ａの裏面側（下側）には、付勢部材の一種である押圧ばね１２４が配置されており、この押圧ばね１２４によって可動領域１２２Ａを押し上げることで、可動領域１２２Ａと残りの領域の高さを一致させる（図７（ａ）参照）。押圧ばね１２４の付勢力に抗して可動領域１２２Ａを押し下げることで、可動領域１２２Ａのみが自転軸方向に変位する（図７（ｂ）参照）。可動領域１２２Ａが形成される場所は、外部付勢装置５０の設置位置に対応している。外部付勢装置５０がブラケット４４を下側に付勢すると、これに連動してカムフォロア１１０が可動領域１２２Ａを下側に付勢する。この付勢力によって可動領域１２２Ａは下側に変位すると、カムフォロア１１０と一緒にブラケット４４も下側に変位する。外部付勢装置５０による付勢が解放されると、押圧ばね１２４の付勢力によって、ブラケット４４と可動領域１２２Ａが元の位置に自動的に復帰する。
【００５１】
前述のように、ブラケット４４が内部付勢装置４５によって筺体４１から常に下側に向けて付勢されているので、カムフォロア１１０はガイド面１２２に常に押しつけられることとなり、ガイド面１２２とカムフォロア１１０が離反することを回避できる。この結果、保持部４２の自転軸方向の位置（高さ）は、カムフォロア１１０とガイド面１２２の係合状態によって決定される。
【００５２】
なお、内部付勢装置４５の引っ張りばねの付勢力と比較して、ガイド面１２２の可動領域１２２Ａに配置される押圧ばね１２４の付勢力の方が強い。従って、カムフォロア１１０が可動領域１２２Ａに位置しても、外部付勢装置５０によって付勢しなければ、可動領域１２２Ａは変位しないようになっている。
【００５３】
ガイド面１２２は、受入領域１２及び搬出領域１３の上方において、保持部４２が保持する電子部品の移動軌跡上から半径方向内側にオフセットした状態で配置されている。勿論、半径方向外側にオフセットさせることもできる。
【００５４】
＜冷却装置＞冷却装置１５０は、図１に示すように、アーム２０の内部に形成された冷却通路１５１と、冷却通路１５１内を流通する液状の冷却媒体を貯留するタンク１５２と、冷却通路１５１とタンク１５２とを接続するチューブ１５３と、熱を放散するヒートシンク１５４と、タンク１５２とヒートシンク１５４との間に配置され、タンク１５２内の冷却媒体の熱をヒートシンク１５４に移動させるペルチェ素子１５５と、ヒートシンク１５４に設置され、ヒートシンク１５４に冷却風を導入する冷却ファン１５６と、冷却通路１５１内で冷却媒体を循環させるポンプ（図示省略）と、を備えて構成されている。本実施形態では、冷却媒体として冷却水を利用する。ただし、液状の冷却媒体であれば水に限定されない。
【００５５】
冷却通路１５１は、図９に示すように、アーム２０の内部において、例えば上面視で略コ字状となるように、入口ポート１５１ａと出口ポート１５１ｂとを連通して形成されている。本実施形態では、アーム２０の内部を後から穿つことで冷却通路１５１を形成している。例えば、アーム２０の奥行方向に２本の直線通路を貫通させるとともに、当該通路に連通するようにアーム２０の幅方向に１本の直線通路を貫通させ、更に、各通路の端部にシール材１５７を封入することで、屈曲した１本道の冷却通路１５１を形成すると好ましい。ただし、冷却通路１５１の形状や形成方法はこれに限定されるものではなく、適宜に設計可能である。ヒートシンク１５４には、性能を上げるためにフィンが設けられている。
【００５６】
本実施形態では、冷却装置１５０は特に図示しない制御装置によって制御され、部品搬送装置１の運転時に稼働するようにする。ただし、冷却装置１５０は、中央制御装置９０によって制御されても良い。勿論、単純にスイッチのみを設けて、手動で冷却装置１５０のオンオフを制御してもよい。
【００５７】
また、冷却装置１５０は、例えば冷却ファン１５６を備えない構成としてもよく、少なくとも液状の冷却媒体をアーム２０の内部に流通させて、部品搬送装置１本体から離れた位置でその熱を放散できるものであれば、適宜に他の構造へ設計変更可能なものである。
【００５８】
＜部品供給装置＞  部品供給装置２は、図２及び図５に示すように、略四角形状の受入トレイ２ａと、例えばＸ−Ｙテーブルから構成され、受入トレイ２ａを移動させるトレイ移動手段２ｂと、アーム２０に配設された待機部品撮像手段２ｃと、を備えて構成されている。
【００５９】
受入トレイ２ａは、トレイ移動手段２ｂ上に配設されている。トレイ移動手段２ｂは、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態におけるトレイ移動手段２ｂは、図３における上下方向及び左右方向に受入トレイ２ａを移動可能となっている。待機部品撮像手段２ｃは、運転位置において、受入トレイ２ａ上に載置された状態で受入領域１２にある部品を上方から撮像する位置に配設されている。トレイ移動手段２ｂ及び待機部品撮像手段２ｃは中央制御装置９０と電気的に接続されている。
【００６０】
部品供給装置２は、図５の左側に示す供給領域１５において外部からバルク状態で受入トレイ２ａ上に載置された複数の部品を、トレイ移動手段２ｂによって受入トレイ２ａを移動させることにより、受入領域１２まで搬送する。すなわち、部品供給装置２は、部品を搬送する搬送装置としても機能する。部品供給装置２は、複数の部品を受入領域１２まで搬送した後、待機部品撮像手段２ｃによって受入領域１２にある複数の部品を撮像し、その画像情報を中央制御装置９０に送信する。中央制御装置９０は、受信した画像情報を解析し、画像情報に含まれる複数の部品のうちの１つを適宜に選択する。そして、吸着ノズル４２ａが吸着可能な位置に選択した１つの部品を配置するようにトレイ移動手段２ｂを制御する。トレイ移動手段２ｂは、中央制御装置９０の制御に基づいて、受入トレイ２ａを移動させ、選択された部品が吸着ノズル４２ａによって適切に吸着可能となるように、その位置を調整する。すなわち、部品供給装置２は、吸着ノズル４２ａに対する部品の位置を整える整列装置としても機能する。
【００６１】
待機部品撮像手段２ｃは、受入領域１２の真上に配設されているため、受入領域１２に対抗する位置に部品保持モジュール４０がある場合には、部品保持モジュール４０に邪魔されて受入トレイ２ａ上の部品を撮像することができない。従って、待機部品撮像手段２ｃは、ベース部材３０の回転中、すなわち、受入領域１２から部品を保持した部品保持モジュール４０が部品検査領域１４まで移動し、次の部品保持モジュール４０が受入領域１２まで到着する間に撮像を行う。つまり、待機部品撮像手段２ｃは、部品保持モジュール４０が受入領域１２及び搬出領域１３の上方に存在しないタイミングを利用して、上方側から受入トレイ２ａ上の部品を撮像することができる。
【００６２】
２つの部品保持モジュール４０の間は、上述したように、大きく切り欠かれて部材が排除された干渉回避空間部３１となっており、更に、案内機構１２０のガイド面１２２も半径方向内側にオフセットしているので、ガイド面１２２と待機部品撮像手段２ｃの撮像領域との干渉を回避し、待機部品撮像手段２ｃは、干渉回避空間部３１を通して上方から受入トレイ２ａ上の部品を撮像することができる。また、これにより、吸着ノズル４２ａに対する部品の位置を微調整することができるため、バルク状態で載置された部品であっても、適切に吸着ノズル４２ａに吸着させて、搬送することが可能となる。なお、干渉回避空間部３１は、部材を全く排除した切り欠きに限定されるものではなく、例えばガラス等の光を透過することができる部材から構成されるものであってもよい。
【００６３】
＜部品搬出装置＞  部品搬出装置３は、略四角形状の整列トレイ３ａと、例えばＸ−Ｙテーブルから構成され、整列トレイ３ａを移動させるトレイ移動手段３ｂとを備えて構成されている。
【００６４】
整列トレイ３ａは、マトリクス状に配置された複数の凹部３ｈが上面に形成されたトレイであり、トレイ移動手段３ｂ上に配設されている。
【００６５】
トレイ移動手段３ｂは、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態におけるトレイ移動手段３ｂは、図３における上下方向及び左右方向に整列トレイ３ａを移動可能となっている。
【００６６】
トレイ移動手段３ｂは、中央制御装置９０に制御されて、搬出領域１３にある部品保持モジュール４０の吸着ノズル４２ａの真下に、複数の凹部３ｈのうちの１つが順番に位置するように整列トレイ３ａを移動させる。すなわち、搬出領域１３において吸着ノズル４２ａから開放された部品が凹部３ｈに収容された後に、次に搬送される部品が収容される凹部３ｈを、次に搬出領域１３に到着する吸着ノズル４２ａの真下となる位置に配置するという動作を繰り返し、全ての凹部３ｈ内に部品を収容させる。全ての凹部３ｈ内に部品が収容された整列トレイ３ａは、例えば次の検査工程等に運ばれる。
【００６７】
＜部品搬送装置の作動＞  次に、部品搬送装置１の作動について説明する。図１０（ａ）〜（ｆ）は、部品搬送装置１の作動を示した平面図である。
【００６８】
まず、図１０（ａ）に示すように、トレイ移動手段２ｂが、供給領域１５において複数の部品を載置された受入トレイ２ａを受入領域１２まで移動させる。そして、図１０（ｂ）に示すように、中央制御装置９０がベース部材回転駆動装置６０を制御して、ベース部材３０を反時計回りに略４５度回転させる。このベース部材３０の回転中に待機部品撮像手段２ｃが受入トレイ２ａ上の部品を撮像し、この画像情報を基に中央制御装置９０がトレイ移動手段２ｂを駆動し受入トレイ２ａを移動させる。中央制御装置９０はベース部材３０を更に略４５度回転させ、図１０（ｃ）に示すように、受入領域１２にある選択された１つの部品の上に部品保持手段４０の吸着ノズル４２ａを位置させる。
【００６９】
次に、中央制御装置９０は、ベース部材回転駆動装置６０を制御して図１０（ｃ）の位置でベース部材３０を一時停止させるとともに、外部付勢装置５０を制御して受入領域１２にある部品保持手段４０の保持部４２を下降させ、吸着ノズル４２ａによって部品を吸着して保持する。その後、外部付勢装置５０による押圧を解除して保持部４２を元の位置へ復帰させる。
【００７０】
次に、ベース部材３０を略９０度回転させ、図１０（ｄ）の位置で一時停止させる。これにより、先ほど受入トレイ２ａ上から取り出された部品は、部品検査領域１４に搬送される。この際、案内機構１２０のガイド面１２２に沿って保持部４２が下降し、部品検査領域１４で最も低い位置となる。ベース部材３０が静止している間に、部品検査手段７０は、吸着ノズル４２ａに保持されている部品をＸ線撮像する。
【００７１】
撮像完了後、ベース部材３０を更に略９０度回転させて、途中、図１０（ｅ）に示すように保持部４２を自転させて保持した部品の姿勢を制御をしながら、図１０（ｆ）の位置で再び一時停止させる。先ほどＸ線撮像された部品は、ガイド面１２２に沿って上昇しながら、搬出領域１３の上に到着している。ベース部材３０が静止している間に、外部付勢装置５０が、搬出領域１３にある部品保持手段４０の保持部４２を下降させ、吸着ノズル４２ａが保持している部品を開放して凹部３ｈに収容させる。その後、外部付勢装置５０による押圧を解除して保持部４２を元の位置へ復帰させる。
【００７２】
部品搬送装置１の運転時には、中央制御装置９０によって冷却装置１５０のポンプを駆動し、冷却通路１５１内に冷却水を循環させる。アーム２０はベース部材回転駆動装置６０に接しているので、アーム２０の内部に形成された冷却通路１５１内の冷却水がベース部材回転駆動装置６０の熱を効率良く奪う。熱を奪って昇温した冷却水は、チューブ１５３を通ってタンク１５２に貯留される。タンク１５２の底面にはペルチェ素子１５５が配設されているので、ペルチェ素子１５５は、タンク１５２の底面に接する面から吸収した熱を反対側の面に移動させ、ヒートシンク１５４がこの熱を放散する。このとき、冷却ファン１５６でヒートシンク１５４に導入される冷却風を増量し、冷却効果を増大させると同時に、ヒートシンク１５４に設けられたフィンで表面積を増大し、この点でも冷却効果を増大させる。
【００７３】
＜効果＞  以上説明したように、本実施形態に係る部品搬送装置１は、上記の図１０（ａ）〜（ｆ）に示す動作を繰り返すことによって、受入トレイ２ａ上にバルク状態で載置された部品を１つずつ取り出して搬送し、Ｘ線撮像による非破壊検査を行ってから、整列トレイ３ａ上に整列状態で載置する。部品搬送装置１では、案内機構１２０のガイド面１２２を利用して回転中に保持部４２を自転軸方向に変位させることで、受入領域１２、部品検査領域１４、搬出領域１３において、目的とする高さまで予め近づけることが出来るので、外部付勢装置５０による移動ストロークを極めて小さくすることができる。この結果、部品の検査速度や搬送速度を高めることができる。
【００７４】
更に、部品搬送装置１は、部品の搬送軌跡に対してガイド面１２２が半径方向にオフセットしているので、待機部品撮像手段２ｃを利用した部品の撮像時に、ガイド面１２２との干渉を回避している。特に、保持部４２の間にも待機部品撮像手段２ｃにより受入領域１２にある部品を撮像するための干渉回避空間部３１が形成されている。このため、ベース部材３０の回転中に、ベース部材３０、部品保持モジュール４０及びガイド面１２２等に邪魔されることなく、受入領域１２にある部品を撮像することができる。これにより、待機部品撮像手段２ｃが撮像した画像情報に基づいて、吸着ノズル４２ａが適切に吸着することが可能な位置に、受入領域１２にある部品の位置を修正することが可能となるため、受入トレイ２ａ上にバルク状態で載置された部品を確実に吸着、保持することができる。
【００７５】
更に、ガイド面１２２は可動領域１２２Ａを備えており自転軸方向に独立して変位するようになっている。この結果、カムフォロア１１０と一緒に保持部４２を更に自転軸方向に変位させることで、部品の吸着や開放を素早く実現できる。
【００７６】
また、ガイド面１２２は、受入領域１２と搬出領域１３の間において、保持部４２が最も低い位置となるように形成されているので、例えば本実施形態のような部品のＸ線検査において、他の部品や吸着ノズル４２ａとの干渉を回避することが可能となる。
【００７７】
また更に、保持部４２には、カムフォロア１１０と案内機構１２０の当接状態を維持するための付勢装置（内部付勢装置４５）が設けられているので、カムフォロア１１０と案内機構１２０の離反が回避され、保持部４２の位置決め精度を高めることが可能になる。
【００７８】
また、必要な場所に限定して、ベース部材３０の外部から保持部４２の一部に外力を加える外部付勢装置５０を備えているため、保持部４２を移動させるためのアクチュエータ等をベース部材３０又は部品保持モジュール４０に配設する必要がない。また、外部付勢装置５０を利用した構造を採用する際、移動ストロークを大きくしようとするとベース部材３０の一時停止時間が増大する。しかし、案内機構１２０によって予め必要な移動ストロークを確保することで、外部付勢装置５０の移動ストロークを小さくすることができるので、ベース部材３０の一時停止時間を短縮できる。この結果、簡潔な構造と、大きな移動ストロークと、搬送速度の増大の３つの利点を極めて合理的に両立することができる。
【００７９】
また、受入領域１２には、複数の部品がバルク状態で載置される受入トレイ２ａが配設され、搬出領域１３には、複数の部品が整列状態で載置される整列トレイ３ａが配設され、受入トレイ２ａから取り出した部品を、姿勢を整えた上で整列トレイ３ａまで搬送し、整列トレイ３ａ上に整列状態で載置する。このため、バルク状態の部品を高速で整列トレイ３ａ上で整列させることができ、部品の生産効率や検査効率を向上させることができる。
【００８０】
また、部品搬送装置１は冷却装置１５０を備えているので、冷却装置１５０がベース部材回転駆動装置６０の発する熱を奪い、当該熱の影響を受けてアーム２０が変形することを防止することができる。したがって、アーム２０の変形によって保持部４２に保持された部品の位置がずれることがなく、位置の精度を向上させ、極小の部品であっても良好に搬送することができる。
【００８１】
また、冷却装置１５０の冷却通路１５１以外の構成要素は部品搬送装置１の本体部分に対して外付けした状態となっており、且つ、冷却通路１５１はアーム２０を後から穿って形成することができるので、既存の部品搬送装置に冷却装置１５０を追加装備することが可能である。
【００８２】
［第２実施形態］  次に、図１１（ａ）及び（ｂ）を用いて第２実施形態の部品搬送装置２００について説明する。第２実施形態の部品搬送装置２００は、第１実施形態の部品搬送装置１とはベース部材回転駆動装置６０を冷却する冷却手段の構成が異なっている。したがって、以下ではこの冷却手段の構成を中心に説明し、第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付すとともに適宜に説明を省略する。
【００８３】
本実施形態の部品搬送装置２００は、第１実施形態の部品搬送装置１のように外付けで冷却装置１５０を設けず、ベース部材回転駆動装置６０と固定部材１００′との間の空間（隙間）を冷却通路２０１とし、この冷却通路２１１に冷却媒体としての冷却空気を流通させることによって冷却手段２１０を構成している。
【００８４】
アーム２０の内部には、装置外部と冷却通路２１１とを接続する案内通路２１３が形成されている。案内通路２１３の装置外部側の端部には吸気ポート２１５が設けられ、この吸気ポート２１５にはチューブ２１７の一端が接続されている。チューブ２１７の他端には例えばエアコンプレッサ（図示省略）が接続されている。また、固定部材１００′の外周壁には、排気口として機能する開口部２１９が少なくとも１つ形成されている。
【００８５】
このような構成により、エアコンプレッサを駆動させて吸気ポート２１５及び案内通路２１３を介して冷却通路２１１内に冷却空気を導入し、この冷却空気でベース部材回転駆動装置６０の発する熱を奪った後、開口部２１９から排気することで、簡素な構成でベース部材回転駆動装置６０を冷却することができる。このとき、ベース部材３０が回転することに伴い、冷却通路２１１において周方向の気流が生じることを利用して、冷却空気をベース部材回転駆動装置６０の周囲で効率良く循環させることができる。
【００８６】
なお、冷却媒体は、低温の空気であれば冷却効果が増大する点で好ましい。また、冷却媒体は空気に限らず、その他の気体（例えば、窒素ガスや酸素ガス）であっても良い。
【００８７】
［その他］  以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明の部品搬送装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００８８】
例えば、上記第１実施形態の部品搬送装置１は、固定部材１００とカムフォロア１１０と案内機構１２０とを備えて、部品の保持／開放の為に必要な上下動のストロークを最小化する構成としたが、これらの構成要素を排除した構成としてもよい。
【００８９】
また、上記第１及び第２実施形態に係る部品搬送装置１，２００は、４つの部品保持モジュール４０を備えたものであるが、部品保持モジュール４０の個数はこれに限定されるものではなく、その他の個数の部品保持モジュール４０を備えるようにしてもよい。
【００９０】
また、保持部４２は、吸着ノズル４２ａを下方に向けているが、これに限定されるものではなく、吸着ノズル４２ａを側方や上方に向けるものであってもよい。さらに、保持部４２は、吸着ノズル４２ａを備えるものに限定されるものではなく、例えばエア駆動により部品を把持する構造のものであってもよい。
【００９１】
また、ベース部材３０は、運転位置において回転の中心軸が上下方向となるように配設されているが、これに限定されるものではなく、運転位置における回転の中心軸が水平方向や斜め方向となるように配設されるものであってもよい。また、ベース部材３０は、本実施形態に示す形状以外の形状であってもよい。
【００９２】
また、アーム２０は、基台１０に配設されるものに限定されるものではなく、他の部材に配設されるものや、独立して設置されるものであってもよい。さらに、アーム２０は、揺動以外の動作を可能に構成されるものであってもよい。例えば、上方に向けて直線移動した後に揺動するように、又は複数の異なる回転軸を中心に揺動もしくは回動するようにアーム２０を構成してもよい。
【００９３】
また、上記実施形態では、案内機構１２０における可動領域１２２Ａにカムフォロア１１０が存在する際、ブラケット４４を外部付勢装置５０で押圧する構造を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば図１２に示すように、可動領域１２２Ａは、カムフォロア１１０を上下から挟み込むような溝構造となっており、外部付勢装置５０がこの可動領域１２２Ａを付勢して、ブラケット４４を上下動させるようにしても良い。この際、押圧ばね１２４を外部付勢装置５０側に配置しても良い。即ち、外部付勢装置５０が押圧する部位や構造については特に限定されない。
【００９４】
また、受入領域１２、搬出領域１３及び部品検査領域１４の位置（高さ位置を含む）は、上記実施形態において示した位置に限定されるものではなく、受入領域１２、搬出領域１３及び部品検査領域１４をその他の位置に配置するようにしてもよい。さらに、部品の加工組立や検査等を行う領域を搬送途中に設けるようにしてもよい。例えば図１３に示すように、案内機構１２０によって、受入領域１２と搬出領域１３において保持部４２の高さが異なるようにすることも好ましい。このようにすると、受入トレイ２ａと整列トレイ３ａを大型化した際に、トレイ同士の干渉を高さ方向で回避することができる。また、このように受入領域１２と搬出領域１３の高さ位置が大きく異なる場合においても、案内機構１２０を利用して搬送工程中にそれぞれの高さまで保持部４２の先端を近づけることができるので、部品の保持／開放の為に必要な上下動のストロークを最小化できる。即ち、外部付勢装置５０の動作時間を短くすることができ、これによっても搬送効率が高められる。
【００９５】
また、ベース部材３０の回転は、９０度回転するごとに静止する間欠回転に限定されるものではなく、部品保持モジュール４０が受入領域１２、搬出領域１３及び部品検査領域１４に対抗する位置にある場合にも、ベース部材３０を低速で回転させ続けるようにしてもよい。
【００９６】
更に、上記実施形態では、部品供給装置２において、部品がバルク状態で載置される場合を示したが、本発明はそれに限定されず、他の供給方法でもよい。例えば、部品供給装置がいわゆる振込装置であって、一時的に部品を整列させる整列凹部を列状に備える仮整列トレイを備えるようにしてもよい。この仮整列トレイを、上下左右に振動させたり傾斜させたりすることで、バルク状態の部品を整列凹部に整列させてから、搬送装置に部品を供給することも好ましい。
【００９７】
また、本発明において搬送される部品は、様々なものが考えられるが、特に、水晶片に適用することが好ましい。水晶片の搬送は、外力によって損傷を受けやすいにも拘らず、製造工程の高度化によって高速搬送が求められている。従って、本実施形態のターレット搬送装置によれば、各水晶片の保持姿勢の制御を回転中に自動的に行うことが可能であるので、水晶片の損傷を低減しながらも、高速搬送を実現できる。また、各吸着ノズルが個別（独立）に回転できることから、一つの部品の姿勢制御が、他の部品の搬送に影響を与えないで済むので、確実な搬送を実現できるようになる。
【産業上の利用可能性】
【００９８】
本発明の部品搬送装置は、電子機器や電子部品もしくはその他の各種物品の製造、又は物流の分野において利用することができる。
【符号の説明】
【００９９】
１、２００  部品搬送装置
２  部品供給装置
２ａ  受入トレイ
２ｂ  トレイ移動手段
２ｃ  待機部品撮像手段
３  部品搬出装置
３ａ  整列トレイ
３ｂ  トレイ移動手段
３ｈ  凹部
１０  基台
１１  柱部材
１２  受入領域
１３  搬出領域
１４  部品検査領域
１５  供給領域
２０  アーム
３０  ベース部材
３１  干渉回避空間部
３２  中空軸
３３  スイベルジョイント
３４  エア配管
３５  中央気室
３６  吸引通路
３７  切替バルブ
３８  スリップリング
４０  部品保持モジュール
４１  筺体
４２  保持部（部品保持部材）
４２ａ  吸着ノズル
４２ｂ  吸引通路
４２ｃ  配管
４３  保持部自転駆動手段
４３ａ  モータ
４３ｂ  伝達機構
４４  ブラケット
４４ａ  受圧部材
４５  内部付勢装置（引っ張りばね）
５０  外部付勢装置（軸方向駆動手段）
５１  ガイド部材
５２  押圧部材
５３  モータ
５４  カム
６０  ベース部材回転駆動装置（回転駆動装置）
７０  部品検査手段
７０Ａ  第１Ｘ線検査装置
７０Ｂ  第２Ｘ線検査装置
７０Ｃ  第１受光部
７０Ｄ  第２受光部
８０  揺動手段
８２  モータ
８２ａ  モータブラケット
８４  ねじ軸
８６  ナット
８８  ナットブラケット
９０  中央制御装置
９１  吸着ノズル切替制御装置
９２  保持部自転制御装置
１００  固定部材（筒体）
１１０  カムフォロア
１２０  案内機構
１２２  ガイド面
１２２Ａ  可動領域
１２４  押圧ばね
１５０  冷却装置（冷却手段）
１５１  冷却通路
１５２  タンク
１５３  チューブ
１５４  ヒートシンク
１５５  ペルチェ素子
１５６  ファン
２１０  冷却手段
２１１  冷却通路
２１３  案内通路
２１５  吸気ポート
２１７  チューブ
２１９  開口部
【図１】
0005266507.tif 000002
【図２】
0005266507.tif 000003
【図３】
0005266507.tif 000004
【図４】
0005266507.tif 000005
【図５】
0005266507.tif 000006
【図６】
0005266507.tif 000007
【図７】
0005266507.tif 000008
【図８】
0005266507.tif 000009
【図９】
0005266507.tif 000010
【図１０】
0005266507.tif 000011
【図１１】
0005266507.tif 000012
【図１２】
0005266507.tif 000013
【図１３】
0005266507.tif 000014