(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送ユニットの吸引部によりウェーハの裏面が吸引されるときに、前記ウェーハの表面に貼付けられた保護フィルムを洗浄する第一洗浄手段と、
前記ウェーハを吸引していないときに前記搬送ユニットの前記吸引部を洗浄する第二洗浄手段と、
前記第一洗浄手段を前記第二洗浄手段に対して相対的に昇降させる昇降手段とを具備し、
前記第一洗浄手段は、前記ウェーハの直径の両端部に対応した二つの第一洗浄部材を含んでおり、
前記第二洗浄手段は、前記ウェーハの半径に概ね等しい長さの二つの第二洗浄部材を含んでおり、
前記第一洗浄部材は前記ウェーハの中心に位置する回転軸線回りに回転可能に配置されており、前記第二洗浄部材は該第二洗浄部材の中心回りに回転可能でかつ前記第一洗浄部材と共通の回転軸線周りに周回可能に配置される、クリーニング装置。
【請求項２】
前記第一洗浄部材がスポンジまたはブラシである請求項１に記載のクリーニング装置。
【請求項３】
さらに、前記第一洗浄手段による洗浄時に、液体を前記ウェーハに供給する液体供給手段を具備する請求項１または２に記載のクリーニング装置。
【請求項４】
さらに、前記液体供給手段により液体を供給した後で、気体を前記ウェーハに供給する気体供給手段を具備する請求項３に記載のクリーニング装置。
【請求項５】
前記第二洗浄部材は砥石である請求項１に記載のクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの表面に貼付けられた保護フィルムとそのようなウェーハを吸引する搬送ユニットの吸引部との両方を洗浄するクリーニング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野においてはウェーハが年々大型化する傾向にあり、また、実装密度を高めるためにウェーハの薄葉化が進んでいる。ウェーハを薄葉化するために、半導体ウェーハの裏面を研削するバックグラインド（裏面研削）が行われている。バックグラインド時には、ウェーハ表面に形成された回路パターンを保護するために表面保護フィルムがウェーハ表面に貼付けられる。
【０００３】
裏面研削直後においてはスラッジ、パーティクル等（以下、「スラッジ等」と称する）がウェーハの裏面に残存している。さらに、裏面研削時に発生したスラッジ等はウェーハの表面側に回込んで、保護フィルムに付着する場合がある。このようなスラッジ等により、後工程においてウェーハがこのようなスラッジを起点として破損する可能性がある。
【０００４】
また、通常、ウェーハの表面に貼付けられた保護フィルムは後工程において剥離テープを用いて剥離される。しかしながら、フィルムにスラッジ等が付着している場合には、剥離テープを保護フィルムに貼付けると、スラッジが剥離テープと保護フィルムとの間に介在するようになる。これにより、剥離テープの接着力が部分的に低下して、剥離テープは保護フィルムに適切に貼付かず、従って、保護フィルムの剥離自体が困難になる可能性がある。それゆえ、ウェーハの裏面研削後においては、ウェーハの表面に貼付けられた保護フィルムおよびウェーハの裏面は洗浄される（特許文献１）。
【０００５】
裏面研削後のウェーハは、通常、その裏面が搬送ユニットの吸引部により吸引されて、後工程の装置まで搬送される。ウェーハの裏面に残存したスラッジ等が搬送ユニットの吸引部に付着すると、搬送ユニットが別のウェーハを搬送する際に、ウェーハがスラッジを起点として同様に破損する可能性がある。従って、搬送ユニットの吸引部も洗浄することが望まれる。従来技術においては、吸引部を搬送ユニットから取外して別途洗浄するか、または、搬送ユニット吸引部専用の洗浄ユニットを使用していた。
【特許文献１】特開２００５−９８７７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、研削後のウェーハおよび保護フィルムを洗浄する洗浄ユニットと、搬送ユニットの吸引部を洗浄する他の洗浄ユニットとを別個に備える場合には、装置全体が大型化する。この場合には装置全体の価格が上昇し、また設置場所の確保も困難となる。従って、より小型のクリーニング装置が望まれている。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、研削後のウェーハの保護フィルムを洗浄する洗浄ユニットと、搬送ユニットの吸引部を洗浄する他の洗浄ユニットとを備えた比較的小型のクリーニング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述した目的を達成するために１番目の発明によれば、搬送ユニットの吸引部によりウェーハの裏面が吸引されるときに、前記ウェーハの表面に貼付けられた保護フィルムを洗浄する第一洗浄手段と、前記ウェーハを吸引していないときに前記搬送ユニットの前記吸引部を洗浄する第二洗浄手段と、前記第一洗浄手段を前記第二洗浄手段に対して相対的に昇降させる昇降手段とを具備し、前記第一洗浄手段は、前記ウェーハの直径の両端部に対応した二つの第一洗浄部材を含んでおり、前記第二洗浄手段は、前記ウェーハの半径に概ね等しい長さの二つの第二洗浄部材を含んでおり、前記第一洗浄部材は前記ウェーハの中心に位置する回転軸線回りに回転可能に配置されており、前記第二洗浄部材は該第二洗浄部材の中心回りに回転可能でかつ前記第一洗浄部材と共通の回転軸線周りに周回可能に配置されるクリーニング装置が提供される。
【０００９】
すなわち１番目の発明においては、ウェーハの保護フィルムを洗浄するときには第一洗浄手段を第二洗浄手段よりも上昇させて第一洗浄手段のみが保護フィルムに接触するようにする。さらに、搬送ユニットの吸引部を洗浄するときには第一洗浄手段を第二洗浄手段よりも下降させて、第二洗浄手段のみが吸引部に接触するようにする。これにより、同一のクリーニング装置内に二つの洗浄ユニットを備えつつ、比較的小型のクリーニング装置を形成することができる。さらに、裏面研削時に生ずるスラッジ等は通常は保護フィルムの中心部分まで到達しないので、ウェーハの縁部付近のみを洗浄できれば十分である。すなわち１番目の発明においては、第一洗浄部材を小型にすることができ、従って、クリーニング装置全体を軽量化できる。さらに、１番目の発明においては、第二洗浄部材がウェーハに対して周回し、第二洗浄部材自体が回転しているので搬送ユニットの吸引部を均等に洗浄することができる。また、ウェーハの中心回りに第一洗浄部材が回転可能で第二洗浄部材が周回可能であるので、クリーニング装置をさらに小型化できる。
【００１１】
２番目の発明によれば、１番目の発明において、前記第一洗浄部材がスポンジまたはブラシである。
すなわち２番目の発明においては、比較的簡易な構成により、第一洗浄部材を形成し、保護フィルムに付着したスラッジ等を容易に洗浄できる。
【００１２】
３番目の発明によれば、１番目または２番目の発明において、さらに、前記第一洗浄手段による洗浄時に、液体を前記ウェーハに供給する液体供給手段を具備する。
すなわち３番目の発明においては、第一洗浄手段による保護フィルムの洗浄の効果を高めることができる。
【００１３】
４番目の発明によれば、３番目の発明において、さらに、前記液体供給手段により液体を供給した後で、気体を前記ウェーハに供給する気体供給手段を具備する。
すなわち４番目の発明においては、第一洗浄手段による洗浄後に気体を供給して、保護フィルムを乾燥させられる。
【００１５】
５番目の発明によれば、１番目の発明において、前記第二洗浄部材は砥石である。
すなわち５番目の発明においては、比較的簡易な構成により、第二洗浄部材を形成し、吸引部に付着したスラッジ等を研磨により除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同様の部材には同様の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図１（ａ）は本発明に係るクリーニング装置を備えたウェーハ処理装置の略平面図である。ウェーハ処理装置１０には、複数の回路パターンが形成された表面２１が保護フィルム３により保護されている複数のウェーハ２０がカセット１１ａから供給されるものとする。
【００１７】
図１（ａ）に示されるウェーハ処理装置１０は、四つのチャック部１２ａ〜１２ｄを備えていて矢印Ａ方向にインデックス回転する回転テーブル１３と、チャック部１２ａ〜１２ｄを洗浄する洗浄ユニット１４と、ウェーハ２０を搬送する搬送ロボット１５とを含んでいる。
【００１８】
さらに、図１（ａ）に示されるように、ウェーハ処理装置１０においては、粗研削ユニット３１、仕上研削ユニット３２および研磨ユニット３３が回転テーブル１３の回転方向Ａに沿って順番に配置されている。なお、粗研削ユニット３１は粗研削砥石（図示しない）によりウェーハ２０の裏面２２を粗研削し、仕上研削ユニット３２は仕上研削砥石（図示しない）により裏面２２を仕上研削する。同様に、研磨ユニット３３はウェーハ２０の裏面２２を研磨するのに使用される。
【００１９】
また、図１（ａ）においては、研磨後のウェーハ２０を搬送する搬送ユニット３５、後述するクリーニング装置４０、およびウェーハ２０を洗浄するスピンナー洗浄機３９が示されている。搬送ユニット３５、はウェーハ２０の特に裏面２２をクリーニング装置４０、スピンナー洗浄機３９およびカセット１１ｂに搬送することが可能である。
【００２０】
図１（ｂ）は搬送ユニットの先端部分の縦断面図である。搬送ユニット３５はその底面に吸引部３６を備えている。吸引部３６は多孔質材料から形成されているか、または多数の小孔が形成された部材であり、真空源（図示しない）に接続されている。図１（ｂ）に示されるように、搬送ユニット３５の動作時には、ウェーハ２０の裏面２２が吸引部３６に吸引される。
【００２１】
図２は本発明に基づくクリーニング装置の頂面図であり、図３は図２の線Ｂ−Ｂに沿ってみたクリーニング装置の側断面図である。これら図面から分かるように、クリーニング装置４０は略筒型に構成されている。また、図３に示されるように、クリーニング装置４０のハウジング４１の頂部には、開口部４２が形成されている。この開口部４２の寸法は、クリーニング装置４０により洗浄されるべき最大のウェーハ２０の寸法に概ね等しい。
【００２２】
図示されるように、開口部４２に対して平行な中間プレート４３がハウジング４１に設けられている。そして、シャフト４４が中間プレート４３の中心孔に回転可能に挿入されている。シャフト４４の下方部分は二つのスライダ４７ａ、４７ｂに結合されている。また、二つのロッド４８ａ、４８ｂがクリーニング装置４０の底部と中間プレート４３との間に延びている。スライダ４７ａ、４７ｂのそれぞれは、これらロッド４８ａ、４８ｂに摺動可能に取付けられている。
【００２３】
図３から分かるように、スライダ４７ａ、４７ｂはシャフト４４の下方に配置されたエアシリンダ４６に連結されている。従って、エアシリンダ４６が駆動すると、スライダ４７ａ、４７ｂおよびシャフト４４は鉛直方向に昇降する。また、シャフト４４は、クリーニング装置４０の下方部分に配置されたモータ４５に連結されている。従って、モータ４５が駆動されると、シャフト４４はクリーニング装置４０の中心軸線Ｘ回りに回転するようになる。
【００２４】
図２および図３に示されるように、クリーニング装置４０は、ウェーハ２０の表面２１に貼付けられた保護フィルム３を洗浄する第一洗浄ユニット５０を含んでいる。第一洗浄ユニット５０は、シャフト４４に固定されたスリーブ５１と、スリーブ５１の上端に一体的に連結されたアーム５２とを含んでいる。図２から分かるように、アーム５２はクリーニング装置４０の直径方向に水平に延びている。アーム５２の長さはウェーハ２０の直径に概ね等しいものとする。
【００２５】
さらに、図３に示されるように、アーム５２の両端部上面のそれぞれには、第一洗浄部材５５、例えばＰＶＡ製スポンジが取付けられている。そして、配管５６が、第一洗浄部材５５の下面からシャフト４４の内部通路４４ａを通ってシャフト４４の下端まで延びている。シャフト４４の下端には、洗浄水源（図示しない）に接続された接続口４４ｂが取付けられている。第一洗浄部材５５の使用時には、洗浄水源からの洗浄水が配管５６を通って二つの第一洗浄部材５５まで供給される。これにより、第一洗浄部材５５、例えばＰＶＡ製スポンジを適度に保湿することができる。
【００２６】
なお、図示しない実施形態においては第一洗浄部材５５はブラシでもよい。
【００２７】
また、図２から分かるように、第一洗浄部材５５は少なくとも保護フィルム３の外周部近傍を部分的に洗浄可能に形成されている。裏面研削時にはウェーハ２０の保護フィルム３はチャック部に保持されているので、裏面研削時に生じるスラッジ等はせいぜい保護フィルム３の外周部付近にのみ付着し、中央部にはほとんど到達しない。従って、第一洗浄部材５５はウェーハ２０の直径の少なくとも両端部に対応した位置に配置されていれば足りる。
【００２８】
図示されるように、本発明においては第一洗浄部材５５はウェーハ２０の半径方向に所定の長さを有している。従って、第一洗浄部材５５は、第一洗浄部材５５の長さの範囲内において半径の異なるウェーハに貼付けられた保護フィルム３の外周部を洗浄できるのが分かるであろう。なお、図示しない実施形態においては、一つの第一洗浄部材５５の長さがウェーハ２０の半径にほぼ等しくてもよい。この場合には、半径がさらに異なるウェーハに対応できる。さらに、スラッジ等が保護フィルム３の中心付近まで到達している場合であっても、これらスラッジ等を洗浄できることが分かるであろう。
【００２９】
また、図２に示されるように、複数、例えば八つの液体供給ノズル７１がクリーニング装置４０の周方向に等間隔で配置されている。図３から分かるように、これら液体供給ノズル７１は第一洗浄ユニット５０の第一洗浄部材５５と第二洗浄ユニット６０の第二洗浄部材６５とに対応した位置において中間プレート４３に配置されている。液体供給ノズル７１の先端はクリーニング装置４０の半径方向内側に向かってわずかながら傾斜している。これら液体供給ノズル７１は洗浄水源（図示しない）に接続されており、その先端から洗浄水を供給する。
【００３０】
また、中間プレート４３の外周部には、排出孔４３ａが形成されている。ハウジング４１および中間プレート４３により受容された液体は排出孔４３ａおよび排出管４９を通ってクリーニング装置４０の外部まで排出される。
【００３１】
再び図２を参照すると、気体供給管７５がハウジング４１の半周を越えてハウジング４１の内壁に沿って配置されている。図２に示される実施形態においては気体供給管７５は約１９５°にわたってハウジング４１の周方向に延びているが、気体供給管７５の長さを変更してもよい。図３から分かるように、気体供給管７５はハウジング４１の上端近傍に配置されており、気体源（図示しない）に接続されている。
【００３２】
この気体供給管７５には、多数の孔（図示しない）が気体供給管７５の長さ部分に沿って形成されている。従って、気体源（図示しない）から乾燥空気などの気体が気体供給管７５に供給されると、気体は気体供給管７５の多数の孔を通ってクリーニング装置４０の半径方向に供給される。これにより、第一洗浄ユニット５０により洗浄されたウェーハ２０の保護フィルム３を迅速に乾燥することが可能となる。この目的のために、多数の孔は、クリーニング装置４０の半径方向内側でかつ気体供給管７５の上方に形成されるのが好ましい。
【００３３】
さらに、クリーニング装置４０は、搬送ユニット３５の吸引部３６を洗浄する第二洗浄ユニット６０を含んでいる。図３に示されるように、第二洗浄ユニット６０は、シャフト４４およびスリーブ５１が挿入される中央スリーブ６１と、中間プレート４３に結合された太陽歯車６２と、太陽歯車６２の上方において中央スリーブ６１に取付けられたターンテーブル６４とを備えている。これら中央スリーブ６１およびターンテーブル６４は、モータ４５によりシャフト４４と一緒に回転する。
【００３４】
図３に示されるように、ロッド６７が中心に結合された二つの遊星歯車６３が太陽歯車６２に係合している。また、二つのスリーブ６６がターンテーブル６４から上方に延びている。図から分かるように、遊星歯車６３のロッド６７はスリーブ６６内に回転可能に係合している。
【００３５】
第二洗浄部材６５が、ロッド６７の端部に取付けられている。図示されるように、第二洗浄部材６５の中心とロッド６７の中心とは互いに一致している。また、第二洗浄部材６５の長さはウェーハ２０の半径に概ね等しい。なお、典型的な第二洗浄部材６５は砥石である。従って、第二洗浄部材６５は、搬送ユニット３５の吸引部３６に付着したスラッジ等を研磨により除去することが可能である。
【００３６】
本発明に基づくクリーニング装置４０においてモータ４５が駆動すると、中央スリーブ６１およびターンテーブル６４が一体的に回転する。これにより、遊星歯車６３は該遊星歯車６３の中心回りに回転しつつ、太陽歯車６２周りを周回するようになる。従って、遊星歯車６３と一体的な第二洗浄部材６５は、その中心回りに回転しつつ、太陽歯車６２周りを周回する。なお、モータ４５の駆動時には、第一洗浄ユニット５０の第一洗浄部材５５も同時に軸線Ｘ回りに回転していることに注意されたい。
【００３７】
このように第二洗浄部材６５は回転しながら周回しているので、動作時には搬送ユニット３５の吸引部３６の全面を洗浄することができる。また、このような構成であるために、例えば第一洗浄部材５５の上面が水平面に対してわずかなが傾斜している場合であっても、吸引部３６を均等に洗浄できるのが分かるであろう。
【００３８】
なお、図３においては、ターンテーブル６４の外周部から中間プレート４３近傍まで下方に延びた周囲カバー６８が示されている。この周囲カバー６８は、太陽歯車６２と遊星歯車６３との係合部分に液体、スラッジ等が進入するのを防止する。
【００３９】
図４は本発明に基づくクリーニング装置の動作を示すフローチャートである。以下、図４を参照しつつ、本発明に基づくクリーニング装置の動作を説明する。以下の動作は、ウェーハ２０がウェーハ処理装置１０の粗研削ユニット３１および仕上研削ユニット３２においてその裏面が研削され、さらに研磨ユニット３３により研磨された後で実施されるものとする。
【００４０】
はじめにステップ１０１において、搬送ユニット３５が研磨ユニット３３のチャック部１２ｄにおいて研磨後のウェーハ２０の裏面２２を吸引部３６により吸引保持する。次いで、ステップ１０２においては、エアシリンダ４６を駆動して、スライダ４７ａ、４７ｂをロッド４８ａ、４８ｂに摺動させ、それにより、シャフト４４および第一洗浄ユニット５０を上昇させる。第一洗浄ユニット５０の第一洗浄部材５５が第二洗浄ユニット６０の第二洗浄部材６５を越えてハウジング４１の頂部まで移動すると（図３を参照されたい）、第一洗浄ユニット５０の上昇を停止させる。
【００４１】
次いで、搬送ユニット３５を移動させて、ウェーハ２０をクリーニング装置４０と同心に配置する（ステップ１０３）。これにより、ウェーハ２０はクリーニング装置４０の開口部４２を概ね被覆するようになる。このときには、ウェーハ２０に貼付けられた保護フィルム３が第一洗浄部材５５に対面する。
【００４２】
その後、液体供給ノズル７１から洗浄水を保護フィルム３に向かって供給すると共に、モータ４５を駆動して第一洗浄部材５５を軸線Ｘ回りに回転させる（ステップ１０４、１０５）。これにより、第一洗浄部材５５は保護フィルム３の外周部分に接触しつつ、この外周部分を洗浄するようになる。従って、保護フィルム３の外周部分に付着していたスラッジ等が洗流される。洗流されたスラッジ等および液体供給ノズル７１から供給された洗浄水は排出管４９を通ってクリーニング装置４０から排出される。
【００４３】
なお、このときには第二洗浄部材６５も回転しながら軸線Ｘ周りを周回する。しかしながら、第二洗浄部材６５は第一洗浄部材５５よりも低い位置にあるので、第二洗浄部材６５はウェーハ２０の保護フィルム３に接触することはない。
【００４４】
所定時間にわたって保護フィルム３を洗浄すると、モータ４５を停止させ、さらに液体供給ノズル７１も停止させる（ステップ１０６）。次いで、ステップ１０７において、気体供給管７５に気体、例えば乾燥空気を供給する。これにより、気体は気体供給管７５の多数の孔から保護フィルム３に向かってクリーニング装置４０の半径方向内側に供給される。従って、保護フィルム３を乾燥させられる。なお、保護フィルム３を乾燥するときには、エアシリンダ４６を駆動して第一洗浄部材５５を下降させ、それにより、第一洗浄部材５５が保護フィルム３に接触しないようにするのが好ましい。
【００４５】
次いで、搬送ユニット３５を移動させて、ウェーハ２０を後工程の装置、例えばスピンナー洗浄機３９まで搬送する。スピンナー洗浄機３９においては、搬送ユニット３５の吸引部３６を解除して、ウェーハ２０をスピンナー洗浄機３９に残置する（ステップ１０８）。ウェーハ２０はスピンナー洗浄機３９によって、特にその裏面２２が洗浄され、搬送ロボット１５によってカセット１１ｂまで搬送される。
【００４６】
その後、エアシリンダ４６を再び駆動して、スライダ４７ａ、４７ｂをロッド４８ａ、４８ｂに摺動させ、それにより、シャフト４４および第一洗浄ユニット５０を下降させる（ステップ１０９）。図５は本発明に基づくクリーニング装置の他の側断面図である。図５に示されるように、第一洗浄ユニット５０は、第一洗浄部材５５が第二洗浄ユニット６０の第二洗浄部材６５よりも低い位置になるまで下降されて停止される。なお、第一洗浄ユニット５０を昇降させる際であっても、第二洗浄ユニット６０の高さは変化しないことに注意されたい。
【００４７】
次いで、後工程の装置、例えばスピンナー洗浄機３９からクリーニング装置４０まで搬送ユニット３５を移動させる（ステップ１１０）。搬送ユニット３５はウェーハ２０を保持していないので、搬送ユニット３５の吸引部３６がクリーニング装置４０の開口部４２を概ね被覆するようになる。このときには、搬送ユニット３５の露出した吸引部３６が第二洗浄部材６５に対面する。
【００４８】
次いで、ステップ１１１においてモータ４５を駆動して、第二洗浄部材６５を回転させつつ軸線Ｘ周りに周回させる。これにより、第二洗浄部材６５が搬送ユニット３５の吸引部３６に接触しつつ、吸引部３６全体を洗浄する。従って、吸引部３６上に付着していたスラッジ等が研磨により除去される。なお、このときには第一洗浄ユニット５０の第一洗浄部材５５が軸線Ｘ回りに回転するものの、第一洗浄部材５５は第二洗浄部材６５よりも低い位置に在るので第一洗浄部材５５は吸引部３６に接触しない。
【００４９】
所定時間にわたって搬送ユニット３５の吸引部３６を洗浄すると、モータ４５を停止させる。次いで、搬送ユニット３５の吸引部３６から気体を噴出させながら、第二洗浄部材６５で吸引部３６を洗浄することも好ましい。その後、ステップ１１２において、研磨後のウェーハ２０を再び保持するために、搬送ユニット３５を研磨ユニット３３のチャック部１２ｄまで移動させ、処理を終了する。
【００５０】
このように、本発明においては、単一のクリーニング装置４０内に第一洗浄ユニット５０と第二洗浄ユニット６０との両方を組込んでいる。そして、ウェーハ２０の保護フィルム３を洗浄するときには第一洗浄ユニット５０を第二洗浄ユニット６０よりも上昇させて第一洗浄ユニット５０の第一洗浄部材５５のみが保護フィルム３に接触するようにしている。さらに、搬送ユニット３５の吸引部３６を洗浄するときには第一洗浄ユニット５０を第二洗浄ユニット６０よりも下降させて、第二洗浄ユニット６０のみが吸引部３６に接触するようにしている。つまり、本発明のクリーニング装置４０は、より上方に位置する洗浄ユニットのみが対象物に接触するようになっている。このような構成であるので、本発明においては、比較的小型のクリーニング装置を提供することが可能である。
【００５１】
さらに、本発明においては、第一洗浄ユニット５０の第一洗浄部材５５は軸線Ｘ回りに回転し、第二洗浄ユニット６０の第二洗浄部材６５は回転しつつ同一の軸線Ｘ周りに周回するようにしている。このため、さらに小型のクリーニング装置４０を提供できることが分かるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】（ａ）本発明に基づくクリーニング装置を備えたウェーハ処理装置の略平面図である。（ｂ）搬送ユニットの先端部分の縦断面図である。
【図２】本発明に基づくクリーニング装置の頂面図である。
【図３】図２の線Ｂ−Ｂに沿ってみたクリーニング装置の側断面図である。
【図４】本発明に基づくクリーニング装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】本発明に基づくクリーニング装置の他の側断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
３    保護フィルム
２０    ウェーハ
２１    表面
２２    裏面
３５    搬送ユニット
３６    吸引部
３９    スピンナー洗浄機
４０    クリーニング装置
４１    ハウジング
４２    開口部
４３    中間プレート
４３ａ    排出孔
４４    シャフト
４４ａ    内部通路
４４ｂ    接続口
４５    モータ
４６    エアシリンダ（昇降手段）
４７ａ、４７ｂ    スライダ
４８ａ、４８ｂ    ロッド
４９    排出管
５０    第一洗浄ユニット
５１    スリーブ
５２    アーム
５５    第一洗浄部材
５６    配管
６０    第二洗浄ユニット
６１    中央スリーブ
６２    太陽歯車
６３    遊星歯車
６４    ターンテーブル
６５    第二洗浄部材
６６    スリーブ
６７    ロッド
６８    周囲カバー
７１    液体供給ノズル（液体供給手段）
７５    気体供給管（気体供給手段）
７６    閉鎖部
【図１】
0005241317.tif 000002
【図２】
0005241317.tif 000003
【図３】
0005241317.tif 000004
【図４】
0005241317.tif 000005
【図５】
0005241317.tif 000006