(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出対象である流体の力学量を検出するセンサ部と、
該センサ部と機械的及び電気的に接続されたターミナルと、
前記センサ部及び前記ターミナルそれぞれの一部を収納するケースと、
前記流体が流入するための導入孔が形成されたハウジングと、
前記ケースと前記ハウジングとの間に介在された、弾性材料から成るＯ−リングと、を備え、
前記センサ部における前記ケースから露出された部位が前記導入孔に設置されるように、前記ケースが前記ハウジングに組み付けられ、前記導入孔が前記ケースと前記Ｏ−リングとによって閉塞された力学量センサであって、
前記ケースは、前記センサ部及び前記ターミナルそれぞれの一部を一体的に被覆するモールド部材と、該モールド部材における前記導入孔側の部位を内壁面によって囲む筒状のカップと、該カップと前記モールド部材との間に介在され、前記カップと前記モールド部材とを機械的に接続する接着剤と、を有し、
前記カップにおける前記Ｏ−リングと接触する外壁面が平滑性を有することを特徴とする力学量センサ。
【請求項２】
前記ターミナルの長手方向が、前記Ｏ−リングの内環部によって囲まれた面を貫く方向に沿っており、
前記ターミナルの一部が、前記モールド部材における前記導入孔から離反された部位から露出していることを特徴とする請求項１に記載の力学量センサ。
【請求項３】
前記カップは、単一材料から成ることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の力学量センサ。
【請求項４】
前記カップの形成材料は、金属であることを特徴とする請求項３に記載の力学量センサ。
【請求項５】
前記カップの形成材料は、樹脂であることを特徴とする請求項３に記載の力学量センサ。
【請求項６】
前記接着剤が介在される、前記カップと前記モールド部材との間の空間の厚さが、前記圧力導入孔に向かうにしたがって薄くなっていることを特徴とする請求項１〜５いずれか１項に記載の力学量センサ。
【請求項７】
前記カップは、円筒状であり、その軸方向に垂直な方向の長さが、前記導入孔に近づくにつれて短くなっていることを特徴とする請求項１〜６いずれか１項に記載の力学量センサ。
【請求項８】
前記ターミナルにおける前記モールド部材から露出された部位と機械的及び電気的に接続されるコネクタピンが設けられたコネクタケースを有することを特徴とする請求項１〜７いずれか１項に記載の力学量センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検出対象である流体の力学量を検出するセンサ部と、該センサ部と機械的及び電気的に接続されたターミナルと、センサ部及びターミナルそれぞれの一部を収納するケースと、流体が流入するための導入孔が形成されたハウジングと、を備え、センサ部が導入孔に設置されるように、ケースがハウジングに組み付けられて成る力学量センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
測定部位が流体に晒されるように、流体の流れる流路内に配置されるセンサとしては、従来、例えば、特許文献１に示される熱式空気流量センサが提案されている。この熱式空気流量センサは、半導体基板に被測定空気流の流量を測定するための測定部位が形成された半導体センサ素子と、該半導体センサ素子が機械的及び電気的に接続されたターミナルと、半導体センサ素子とターミナルとを一体被覆するモールド材と、を有する。
【０００３】
半導体センサ素子（半導体基板）の一部は、モールド部材から露出されており、その露出された部位に、測定部位が形成されている。また、ターミナルの一部も、モールド部材から露出されており、その露出された部位が、外部素子とのコネクタとしての機能を果たすようになっている。
【０００４】
上記した熱式空気流量センサは、内燃機関の吸入空気量を測定するのに適用される。その適用において、半導体センサ素子の測定部位が、吸気通路内を流れる被測定空気流に晒されるように、吸気通路内に配置される。この場合、特許文献１の図４に示されるように、吸気通路に形成された挿入孔に、熱式流量センサの一部が挿入され、挿入孔を構成する吸気通路の壁面とモールド材の側面とが接触することで、挿入孔が閉塞される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３３２８５４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記したように、特許文献１に記載の熱式空気流量センサでは、半導体センサ素子とターミナルとが、モールド部材によって被覆され、コネクタとしての機能を果たすターミナルの一部（以下、接続部と示す）がモールド部材から露出されている。このようなモールド部材を形成するためには、例えば上型と下型とから成る金型によってターミナルの接続部を挟み込んだ状態で、上型と下型とによって構成されたキャビティ内に液状の樹脂を注入し、その注入した樹脂を固化した後、固化した樹脂を上型と下型とから離型する。これによって、上記したモールド部材が形成される。
【０００７】
ところで、上記した上型と下型とを用いる場合、その構成上、上型と下型との噛み合わせ部位が、モールド部材におけるターミナルの長手方向に沿う側面に位置することとなる。上型と下型との噛み合わせ部位には、多少なりとも微小な隙間が生じるため、モールド部材の側面にバリが生じる虞がある。このようなバリが生じると、モールド部材の側面の平滑性が低下する虞がある。更に言えば、上型と下型との噛み合わせが多少なりともズレた場合、モールド部材の側面の外形が変形する虞がある。
【０００８】
したがって、特許文献１に示されるように、吸気通路の壁面とモールド部材の側面とが接触することで、挿入孔が閉塞される構成の場合、上記した、モールド部材の側面の平滑性の低下や、モールド部材の側面の外形の変形などによって、モールド部材と吸気通路（挿入孔）とのシール性が損なわれる虞がある。シール性が損なわれると、被測定空気流が外部に漏れる虞がある。
【０００９】
また、シール性を向上するために、モールド部材の側面（以下、シール面と示す）と吸気通路を構成する壁面との間に、ゴムからなるＯ−リングを介在することも考えられる。しかしながら、この構成の場合においても、シール面の平滑性の低下や、シール面の外形の変形などによって、モールド部材とＯ−リングとのシール性が損なわれ、その結果、被測定空気流が外部に漏れる虞がある。
【００１０】
なお、シール面を鏡面加工することで、シール面の平滑性を確保することも考えられる。しかしながら、該モールド部材は、半導体センサ素子の測定部位やターミナルの接続部を露出した状態で被覆しているために、その露出した部位が、鏡面加工によって汚染されることを抑制しなくてはならないので、その加工が困難である。
【００１１】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、加工が容易であって、シール性が低下することが抑制された力学量センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記した目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、被検出対象である流体の力学量を検出するセンサ部と、該センサ部と機械的及び電気的に接続されたターミナルと、センサ部及びターミナルそれぞれの一部を収納するケースと、流体が流入するための導入孔が形成されたハウジングと、ケースとハウジングとの間に介在された、弾性材料から成るＯ−リングと、を備え、センサ部におけるケースから露出された部位が導入孔に設置されるように、ケースがハウジングに組み付けられ、導入孔がケースとＯ−リングとによって閉塞された力学量センサであって、ケースは、センサ部及びターミナルそれぞれの一部を一体的に被覆するモールド部材と、該モールド部材における導入孔側の部位を内壁面によって囲む筒状のカップと、該カップとモールド部材との間に介在され、カップとモールド部材とを機械的に接続する接着剤と、を有し、カップにおけるＯ−リングと接触する外壁面が平滑性を有することを特徴とする。
【００１３】
このように本発明によれば、センサ部及びターミナルそれぞれの一部を一体的に被覆するモールド部材に、筒状のカップが接着剤を介して機械的に接続されている。そして、カップとハウジングとの間に、弾性材料から成るＯ−リングが介在され、導入孔が、Ｏ−リングと、カップと、接着剤と、モールド部材とによって閉塞されている。このように、本発明では、モールド部材の側面ではなく、カップの側面（外壁面）が、導入孔を閉塞するシール面としての機能を果たす構成となっている。そして、このシール面は平滑性を有する。これにより、カップとＯ−リング（ハウジング）とのシール性が低下することが抑制され、流体が外部に漏れることが抑制される。なお、ケースは、センサ部及びターミナルそれぞれの一部を一体的に被覆するモールド部材とは別に、シール面を備えたカップを有している。そのため、カップの形成において、センサ部の測定部位やターミナルの接続部が汚染されることを注意しなくとも良いので、その形成が容易となる。
【００１４】
なお、モールド部材は、センサ部及びターミナルそれぞれの一部を一体的に被覆する構成となっている。このようなモールド部材を形成する上型と下型は、その構成上、上型と下型との噛み合わせ部位が、モールド部材におけるターミナルの長手方向に沿う側面に位置することとなる。上型と下型との噛み合わせ部位には、多少なりとも微小な隙間が生じるため、モールド部材の側面にバリが生じる虞がある。また、上型と下型との噛み合わせが多少なりともズレた場合、モールド部材の側面の外形が変形する虞がある。このように、モールド部材の側面（モールド部材におけるカップとの対向面）にバリが生じたり、その外形が変形したりする虞がある。
【００１５】
しかしながら、本発明では、モールド部材とカップとの間に設けられた接着剤によって、モールド部材とカップとが機械的に接続されている。これによれば、上記したバリや外形の変形がモールド部材に生じていたとしても、モールド部材とカップとの間の隙間が接着剤によって閉塞されるので、モールド部材とカップとの間を介して、流体が外部に漏れることが抑制される。
【００１６】
また、接着剤を介して、モールド部材とカップとが機械的に接続され、ケースとハウジングとのシール性が、カップのシール面に依存する構成となっているので、モールド部材の外形形状を、シール性を考慮せずに、適宜変更することができる。
【００１７】
以上、示したように、本発明におけるケースは、センサ部やターミナルを被覆する部材と、ハウジングに対するシール面を提供する部材とをそれぞれ別体として有している。したがって、ケースの加工が容易であって、ケースのシール面のシール性が低下することが抑制された力学量センサを提供することができる。
【００１８】
ターミナルとモールド部材との具体的な構造としては、請求項２に記載のように、ターミナルの長手方向が、Ｏ−リングの内環部によって囲まれた面を貫く方向に沿っており、ターミナルの一部が、モールド部材における導入孔から離反された部位から露出した構成を採用することができる。この形状の場合、モールド部材における、接着剤が塗布される面にバリが生じる。したがって、接着剤を介して、モールド部材に、平滑性を有するシール面を備えたカップを設けた構成とすることで、加工が容易であって、シール性が低下することが抑制された力学量センサを提供することができる。
【００１９】
請求項３に記載のように、カップは、単一材料から成る。したがって、例えば、このカップを、上型と下型とによって構成されるキャビティ内に液状の金属若しくは液状の樹脂を流し込むことで形成する場合、この上型と下型として、上型と下型との噛み合わせ位置が、カップにおけるＯ−リングと接触する外壁面（シール面）に位置しない上型と下型とを選択することができる。これにより、シール面にバリが生じることや、シール面の外形が変化することが抑制され、カップとＯ−リング（ハウジング）とのシール性が低下することが抑制される。この結果、流体が外部に漏れることが抑制される。
【００２０】
カップの形成材料としては、請求項４及び請求項５に記載のように、金属や樹脂を採用することができる。特に、カップの形成材料が金属の場合、ケースにおける流体と直接接触する樹脂材料から成る部位がモールド部材のみとなるので、ケースにおける樹脂材料から成る部位を介して、外部に漏れる流体の量が低減される。
【００２１】
請求項６に記載のように、接着剤が介在される、カップとモールド部材との間の空間の厚さが、圧力導入孔に向かうにしたがって薄くなった構成が良い。これによれば、力学量センサの製造時において、例えば、液状の樹脂をカップとモールド部材との間の空間に塗布した際に、その液状の樹脂が、モールド部材から露出されたセンサ部に塗布されることが抑制される。
【００２２】
請求項７に記載のように、カップの形状としては、軸方向に垂直な方向の長さが、導入孔に近づくにつれて短くなる円筒形状を採用することができる。これによれば、ケースの外形が、導入孔に近づくにつれて窄まった形状となるので、ケースをハウジングの導入孔に設置することが容易となる。
【００２３】
請求項８に記載のように、ターミナルにおける樹脂部から露出された部位と機械的及び電気的に接続されるコネクタピンが設けられたコネクタケースを有しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１実施形態に係る圧力センサの概略構成を示す断面図である。
【図２】図１に示す圧力センサの主要部を拡大した拡大断面図である。
【図３】図２に示すカップを形成するための金型の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係る力学量センサを、圧力センサに適用した実施の形態を図に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る圧力センサの概略構成を示す断面図である。図２は、図１に示す圧力センサの主要部を拡大した拡大断面図である。図３は、図２に示すカップを形成するための金型の断面図である。
【００２６】
図１に示すように、圧力センサ１００は、要部として、被検出対象である流体の圧力を検出するための主要部１０と、流体が流入するための導入孔５１が形成されたハウジング５０と、外部素子と電気的に接続するためのコネクタピン６１が形成されたコネクタケース６０と、弾性材料から成るＯ−リング７０と、を有する。主要部１０は、導入孔５１を閉塞するように、Ｏ−リング７０とバックアップリング７１とを介して、ハウジング５０に取り付けられ、コネクタケース６０における導入孔５１側の部位（挿入部６２）は、主要部１０を導入孔５１に押し付けるように、ハウジング５０に取り付けられている。
【００２７】
図２に示すように、主要部１０は、流体を検出するセンサ部２０と、該センサ部２０の電気信号をコネクタピン６１に出力するためのターミナル３０と、センサ部２０とターミナル３０それぞれの一部を収納するケース４０と、を有する。
【００２８】
センサ部２０は、流体の圧力を電気信号に変換するセンシング部（図示略）が半導体基板に形成されて成るセンサチップ２１と、センサチップ２１の出力信号を処理する処理回路が半導体基板に形成されて成る回路チップ２２と、回路チップ２２の入出力信号に含まれるノイズを除去するためのコンデンサが半導体基板に形成されて成るチップコンデンサ２３と、を有する。
【００２９】
ターミナル３０は、センサチップ２１を固定するための第１アイランド３１と、回路チップ２２を固定するための第２アイランド３２と、チップコンデンサ２３を固定し、センサ部２０の出力信号をコネクタピン６１に出力するための接続端子３３と、を有し、これらターミナル３０の構成要素３１〜３３の長手方向が、Ｏ−リング７０の内環部によって囲まれた面を貫く方向に沿っている。センサチップ２１は、接着剤（図示略）を介して第１アイランド３１に機械的に接続され、回路チップ２２は、接着剤（図示略）を介して第２アイランド３２に機械的に接続され、チップコンデンサ２３は、バンプ（図示略）を介して、接続端子３３と機械的及び電気的に接続されている。
【００３０】
接続端子３３の一部は、ケース４０から外部に露出され、その露出された部位が、バンプ（図示略）を介して、コネクタピン６１と機械的及び電気的に接続されている。図２に示すように、センサチップ２１と回路チップ２２とは、第１ワイヤ２４を介して電気的に接続され、回路チップ２２と接続端子３３（チップコンデンサ２３）とは、第２ワイヤ２５を介して電気的に接続されている。以上の電気的な接続構成により、センサチップ２１の出力信号が、第１ワイヤ２４と、回路チップ２２と、第２ワイヤ２５と、チップコンデンサ２３と、接続端子３３とを介して、コネクタピン６１に出力される。
【００３１】
ケース４０は、センサ部２０及びターミナル３０それぞれの一部を被覆するモールド部材４１と、該モールド部材４１の導入孔５１側の部位に、接着剤４３を介して機械的に接続された円筒状のカップ４２と、を有する。モールド部材４１によって、センサ部２０とターミナル３０との機械的及び電気的な接続部位の全てが被覆されており、センサチップ２１におけるセンシング部が形成された部位が、モールド部材４１における導入孔５１側の端部から外部に露出され、接続端子３３におけるコネクタピン６１側の端部が、モールド部材４１におけるコネクタピン６１側の端部から外部に露出されている。これにより、センシング部が流体に晒され、コネクタピン６１が外部素子と接続可能となっている。図２に示すように、モールド部材４１におけるカップ４２が接続される部位の外形形状と、カップ４２の内部形状とが対応しており、モールド部材４１とカップ４２との間の第１空間を満たす接着剤４３の厚さが一定となっている。
【００３２】
カップ４２は、軸方向に対して垂直な方向に沿う外径の長さが、コネクタケース６０側の導入孔５１の径よりも短い第１円筒部４４と、第１円筒部４４におけるコネクタケース６０側の端部と連結され、外径の最大長さが導入孔５１の径よりも長い第２円筒部４５と、を有する。カップ４２は、単一材料から成り、カップ４２の構成要素４４，４５は、一体的に連結されている。第２円筒部４５の外径は、第１円筒部４４に近づくにしたがって、徐々に短くなっており、ケース４０の外形の一部が、導入孔５１に近づくにつれて窄まった形状となっている。本実施形態では、この導入孔５１に近づくにつれて窄まった形状を成す第２円筒部４５の外壁面に、Ｏ−リング７０やバックアップリング７１が設けられる。以下、第２円筒部４５の外壁面を、シール面４５ａと示す。なお、上記した単一材料とは、形成材料が一つであることを示しており、例えば、ステンレスなどの合金も含む。
【００３３】
次に、ハウジング５０、コネクタケース６０、Ｏ−リング７０、及びバックアップリング７１を、図１に基づいて説明する。
【００３４】
ハウジング５０は、導入孔５１が形成された筒部５２と、コネクタケース６０を固定するための固定部５３と、を有する。固定部５３は、内径が、導入孔５１の径よりも長い環状部５４と、該環状部５４における筒部５２から離反された端部に形成された鉤部５５と、を有する。環状部５４によって周囲が囲まれた領域に、主要部１０及びコネクタケース６０それぞれの一部が設けられており、局所的に径が短くなった鉤部５５によって、コネクタケース６０が、ハウジング５０に固定されている。上記した鉤部５５は、主要部１０及びコネクタケース６０それぞれをハウジング５０に設置した状態で、環状部５４における筒部５２から離反された端部をかしめることで形成される。このかしめによる応力によって、コネクタケース６０がハウジング５０に押し付けられ、このコネクタケース６０を押し付ける力によって、主要部１０が導入孔５１に押し付けられている。
【００３５】
コネクタケース６０は、環状部５４によって周囲が囲まれた領域に挿入される挿入部６２と、コネクタピン６１と接続される外部素子と共に、コネクタピン６１を保護する保護部６３と、を有する。挿入部６２は、導入孔５１側に開口する有底筒状を成し、その内径が第２円筒部４５の外径よりも長く、その外径が環状部５４の内径よりも僅かに短くなっている。そして、挿入部６２の底部内面にモールド部材４１のコネクタケース６０側の端部が接触し、底部外面に鉤部５５が接触している。これにより、鉤部５５のコネクタケース６０を押し付ける力が、挿入部６２の底部を介してケース４０に伝達され、このケース４０を押し付ける力によって、主要部１０が導入孔５１に取り付けられている。
【００３６】
Ｏ−リング７０は、流体が、導入孔５１を介して外部に流出することを抑制するためのものである。Ｏ−リング７０は環状を成し、第２円筒部４５のシール面４５ａと導入孔５１を構成する壁面との間の第２空間に配置されている。
【００３７】
バックアップリング７１は、流体の圧力などによって押されたＯ−リング７０が、シール面４５ａと導入孔５１を構成する壁面とによって形成された微小な隙間に入り込むことを抑制するためのものである。バックアップリング７１は環状を成し、Ｏ−リング７０と、シール面４５ａと、導入孔５１を構成する壁面と、によって構成された空間内に配置されている。
【００３８】
次に、本実施形態に係る圧力センサ１００の主な構成要素である主要部１０の製造方法を説明する。先ず、センサ部２０とターミナル３０とが一体的に被覆されたモールド部材４１と、カップ４２とを準備する。この際、カップ４２は、図３に示す金型８０を用いて形成する。この金型８０は、上型８１と下型８２とによって構成されており、その上型８１と下型８２との噛み合わせ位置が、第１円筒部４４における第２円筒部４５側の端部と第２円筒部４５におけるコネクタケース６０側の端部とに位置している。上型８１と下型８２との噛み合わせ部位には、多少なりとも微小な隙間が生じるため、第１円筒部４４における第２円筒部４５側の端部と第２円筒部４５におけるコネクタケース６０側の端部それぞれにバリが生じる虞がある。また、上型８１と下型８２との噛み合わせが多少なりともズレた場合、第１円筒部４４における第２円筒部４５側の端部と第２円筒部４５におけるコネクタケース６０側の端部それぞれが変形する虞がある。これに対して、第２円筒部４５の内壁は上型によって全て構成され、第２円筒部４５の外壁（シール面４５ａ）は下型によって全てが構成されるので、上記したバリや、外形の変形などがシール面４５ａに生じる虞がない。したがって、第２円筒部４５のシール面４５ａにバリが生じたり、シール面４５ａの形状が変形したりすることが抑制される。なお、カップ４２を構成する材料として、本実施形態ではＰＢＴを採用している。
【００３９】
上記した工程の後、接着剤４３を、モールド部材４１における導入孔５１側の部位の表面、若しくは、カップ４２の内壁面に塗布して、モールド部材４１とカップ４２とを接着剤４３を介して機械的に接続する。以上の工程を経ることで、図２に示す主要部１０が形成される。なお、この接着剤４３を塗布する工程において、モールド部材４１の表面に凹凸が形成されている場合、その凹凸を埋めるように、接着剤４３を、モールド部材４１とカップ４２との間に介在させる。
【００４０】
次に、本実施形態に係る圧力センサ１００の作用効果を説明する。上記したように、センサ部２０及びターミナル３０それぞれの一部を一体的に被覆するモールド部材４１に、筒状のカップ４２が接着剤４３を介して機械的に接続されている。そして、カップ４２とハウジング５０との間に、弾性材料から成るＯ−リング７０とバックアップリング７１とが介在され、導入孔５１が、Ｏ−リング７０と、バックアップリング７１と、カップ４２と、接着剤４３と、モールド部材４１とによって閉塞されている。このように、本実施形態に係る圧力センサ１００では、モールド部材４１の側面ではなく、カップ４２の側面が、導入孔５１を閉塞するシール面としての機能を果たす構成となっている。上記したように、カップ４２は、第２円筒部４５のシール面４５ａにバリが生じたり、シール面４５ａの形状が変形したりすることが抑制される金型８０によって形成されている。したがって、カップ４２とＯ−リング７０、及びカップ４２とバックアップリング７１とのシール性が、上記したバリや、シール面４５ａの形状の変形によって低下することが抑制される。この結果、流体が外部に漏れることが抑制される。
【００４１】
上記したように、モールド部材４１は、センサ部２０及びターミナル３０それぞれの一部を一体的に被覆する構成となっている。このようなモールド部材４１を形成する上型と下型は、その構成上、上型と下型との噛み合わせ部位が、モールド部材４１におけるターミナル３０の長手方向に沿う側面に位置することとなる。上型と下型との噛み合わせ部位には、多少なりとも微小な隙間が生じるため、モールド部材４１の側面にバリが生じる虞がある。また、上型と下型との噛み合わせが多少なりともズレた場合、モールド部材４１の側面の外形が変形する虞がある。このように、モールド部材４１の側面（モールド部材４１におけるカップ４２との対向面）にバリが生じたり、その外形が変形したりする虞がある。したがって、例えば、モールド部材とカップとの間に設けられた環状の弾性材料によって、モールド部材とカップとが機械的に接続された構成の場合、上記したバリや外形の変形のために、モールド部材とカップとの間に隙間が生じ、その隙間を介して、流体が外部に露出する虞がある。
【００４２】
これに対して、本実施形態では、モールド部材４１とカップ４２との間に設けられた接着剤４３によって、モールド部材４１とカップ４２とが機械的に接続されている。これによれば、上記したバリや外形の変形がモールド部材４１に生じていたとしても、モールド部材４１とカップ４２との間の隙間が接着剤４３によって閉塞されるので、モールド部材４１とカップ４２との間を介して、流体が外部に漏れることが抑制される。
【００４３】
また、接着剤４３を介して、モールド部材４１とカップ４２とが機械的に接続され、ケース４０とハウジング５０とのシール性が、カップ４２のシール面４５ａに依存する構成となっているので、モールド部材４１の外形形状を、シール性を考慮せずに、適宜変更することができる。なお、モールド部材４１の外形形状が変更された場合、モールド部材４１とカップ４２との間の隙間を小さくするために、カップ４２の内部形状を、モールド部材４１の外形形状の変更に応じて変更することが好ましい。
【００４４】
本実施形態では、第２円筒部４５の外径が、第１円筒部４４に向かうにしたがって徐々に短くなっており、その外形が、導入孔５１に近づくにつれて窄まった形状となっている。これによれば、カップ４２（ケース４０）を導入孔５１に設置することが容易となる。
【００４５】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
【００４６】
本実施形態では、特許請求の範囲に記載の力学量センサが、圧力センサ１００である例を示した。しかしながら、力学量センサとしては上記例に限定されず、例えば、流体の流量を検出する流量センサに適用することができる。なお、流体とは、流れを有する気体若しくは液体を指している。
【００４７】
本実施形態では、カップ４２が、ＰＢＴによって形成される例を示した。しかしながら、カップ４２の形成材料としては、上記例に限定されず、例えば、ステンレスなどの金属を採用することができる。この変形例の場合、ケース４０における流体と直接接触する樹脂材料から成る部位がモールド部材４１のみとなるので、ケース４０における樹脂材料から成る部位を介して、外部に漏れる流体の量が低減される。
【００４８】
本実施形態では、モールド部材４１におけるカップ４２が接続される部位の外形形状と、カップ４２の内部形状とが対応しており、モールド部材４１とカップ４２との間の第１空間を満たす接着剤４３の厚さが一定となっている例を示した。しかしながら、モールド部材４１におけるカップ４２が接続される部位の外形形状と、カップ４２の内部形状とが対応しておらず、モールド部材４１とカップ４２との間の第１空間を満たす接着剤４３の厚さが、チップコンデンサ２３からセンサチップ２１に向かうにしたがって、薄くなる形状を採用することもできる。これによれば、圧力センサ１００の製造時において、第１空間に液状の接着剤４３を塗布した際に、液状の接着剤４３が、第１空間におけるセンサチップ２１側の端部から垂れることが抑制される。これにより、センサチップ２１のセンシング部に接着剤４３が塗布されることが抑制される。
【符号の説明】
【００４９】
１０・・・主要部
２０・・・センサ部
２１・・・センサチップ
３０・・・ターミナル
４０・・・ケース
４１・・・モールド部材
４２・・・カップ
４３・・・接着剤
４５ａ・・・シール面
５０・・・ハウジング
５１・・・導入孔
６０・・・コネクタケース
７０・・・Ｏ−リング
８０・・・金型
１００・・・圧力センサ
【図１】
0005278387.tif 000002
【図２】
0005278387.tif 000003
【図３】
0005278387.tif 000004