(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一平面内に配置された少なくとも２つの柱状の支持体と、
前記支持体の表面の少なくとも一部にそれぞれ配置されたゴムからなる柱状の挟持体と、
を備え、
隣接する前記支持体に配置された前記柱状の挟持体どうしが、所定の間隔を離隔した状態で対向し、前記柱状の挟持体どうしが、ハの字状に配置されているＯリング取り外し治具。
【請求項２】
前記挟持体が、貫通孔を有する柱状であり、前記貫通孔に前記支持体が挿入されている請求項１に記載のＯリング取り外し治具。
【請求項３】
前記挟持体が、シリコンゴムからなる請求項１または２に記載のＯリング取り外し治具。
【請求項４】
その外周面に溝が形成された略柱状のフィルター本体と、前記溝に嵌め込まれたＯリングとを有するフィルターから、前記Ｏリングを取り外すためのＯリング取り外し方法であって、
請求項１〜３のいずれか一項に記載のＯリング取り外し治具の隣接する支持体に配置された挟持体の間に前記フィルターの前記Ｏリングを押し込み、前記Ｏリングの一部を前記溝から離間させる工程を含むＯリング取り外し方法。
【請求項５】
隣接する前記支持体に配置された前記挟持体の間に前記フィルターの前記Ｏリングを押し込む際に、その長手方向の中心軸を中心に前記フィルターを回転させる請求項４に記載のＯリング取り外し方法。
【請求項６】
前記溝から離間させた前記Ｏリングの一部と前記溝との間に、棒を挿入した後、前記棒を固定しつつ、前記フィルターを前記挟持体の間から外す工程を更に含む請求項４または５に記載のＯリング取り外し方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｏリング取り外し治具及びＯリング取り外し方法に関する。更に詳しくは、電子部品などの精密機器を汚染するおそれがなく、フィルターからＯリングを容易に取り外すことができるＯリング取り外し治具及びＯリング取り外し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体などの電子部品を製造する製造装置には、半導体などの製造工程で使用される樹脂などの化合物を精製するためのフィルターなどが用いられている。このフィルターの端部には、溝が形成されており、この溝には、例えば、図４に示すフィルター３０のようにＯリング３１が嵌め込まれている。
【０００３】
従来、このようなＯリングは、フィルターの交換と同時に回収され、廃棄されていたが、Ｏリングの使用可能期間はフィルターの使用可能期間よりも長いため、Ｏリングを廃棄することなく、フィルターから取り外して再び使用する場合もあった。
【０００４】
このようにＯリングを取り外して再び使用すると、Ｏリングのコストを削減することが可能になるという利点があり、特に、高価なＯリングを使用している場合にはその効果は大きくなる。しかし、例えば、Ｏリングがフィルターに固着している場合があるため、フィルターからＯリングを取り外す際に、Ｏリングを無理に取り外そうとして作業者が指先などに怪我をすることがあった。そのため、フィルターからＯリングを取り外すための治具が報告されている（特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−８５６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の治具は、木材を材料として用いているため、例えば、特許文献１に記載の治具を用いて電子部品などの精密機器を製造する装置に使用されているフィルターのＯリングを取り外した場合、Ｏリングが汚染されるおそれがある。そして、Ｏリングが汚染されることに起因して、電子部品などの精密機器が汚染されるおそれある。また、特許文献１に記載の治具は、フィルターからＯリングを容易に取り外すことができるという点においても未だ改良の余地があった。そのため、電子部品などの精密機器を汚染するおそれがなく、フィルターからＯリングを容易に取り外すことができる治具が切望されていた。
【０００７】
本発明は、上述のような従来技術の課題を解決するためになされたものであり、電子部品などの精密機器を汚染するおそれがなく、フィルターからＯリングを容易に取り外すことができるＯリング取り外し治具及びＯリング取り外し方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明により、以下のＯリング取り外し治具及びＯリング取り外し方法が提供される。
【０００９】
［１］  同一平面内に配置された少なくとも２つの柱状の支持体と、前記支持体の表面の少なくとも一部にそれぞれ配置されたゴムからなる柱状の挟持体と、を備え、隣接する前記支持体に配置された前記柱状の挟持体どうしが、所定の間隔を離隔した状態で対向し、前記柱状の挟持体どうしが、ハの字状に配置されているＯリング取り外し治具。
【００１１】
［２］  前記挟持体が、貫通孔を有する柱状であり、前記貫通孔に前記支持体が挿入されている前記［１］に記載のＯリング取り外し治具。
【００１４】
［３］  前記挟持体が、シリコンゴムからなる前記［１］または［２］に記載のＯリング取り外し治具。
【００１５】
［４］  その外周面に溝が形成された略柱状のフィルター本体と、前記溝に嵌め込まれたＯリングとを有するフィルターから、前記Ｏリングを取り外すためのＯリング取り外し方法であって、前記［１］〜［３］のいずれかに記載のＯリング取り外し治具の隣接する支持体に配置された挟持体の間に前記フィルターの前記Ｏリングを押し込み、前記Ｏリングの一部を前記溝から離間させる工程を含むＯリング取り外し方法。
【００１６】
［５］  隣接する前記支持体に配置された前記挟持体の間に前記フィルターの前記Ｏリングを押し込む際に、その長手方向の中心軸を中心に前記フィルターを回転させる前記［４］に記載のＯリング取り外し方法。
【００１７】
［６］  前記溝から離間させた前記Ｏリングの一部と前記溝との間に、棒を挿入した後、前記棒を固定しつつ、前記フィルターを前記挟持体の間から外す工程を更に含む前記［４］または［５］に記載のＯリング取り外し方法。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のＯリング取り外し治具は、同一平面内に配置された少なくとも２つの柱状の支持体と、この支持体の表面の少なくとも一部にそれぞれ配置されたゴムからなる挟持体と、を備え、隣接する支持体に配置された挟持体どうしが、所定の間隔を離隔した状態で対向しているため、電子部品などの精密機器を汚染するおそれがなく、フィルターからＯリングを容易に取り外すことができるという効果を奏するものである。
【００１９】
本発明のＯリング取り外し方法は、本発明のＯリング取り外し治具を使用するため、電子部品などの精密機器を汚染するおそれがなく、フィルターからＯリングを容易に取り外すことができるという効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための最良の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。即ち、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、以下の実施の形態に対し適宜変更、改良等が加えられたものも本発明の範囲に属することが理解されるべきである。
【００２１】
［１］Ｏリング取り外し治具：
図１に示すＯリング取り外し治具１００は、本発明のＯリング取り外し治具の一実施形態であり、同一平面内に配置された少なくとも２つの柱状の支持体２０と、この支持体２０の表面の少なくとも一部にそれぞれ配置されたゴムからなる挟持体１０と、を備え、隣接する支持体２０に配置された挟持体１０どうしが、所定の間隔を離隔した状態で対向しているものである。このようなＯリング取り外し治具であると、電子部品などの精密機器を汚染するおそれがなく、フィルターからＯリングを容易に取り外すことができる。
【００２２】
［１−１］支持体：
本実施形態のＯリング取り外し治具に備えられる支持体は、同一平面内に配置された少なくとも２つの柱状のものである。支持体の数は、２つ以上である限り特に制限はなく、Ｏリングを挟むことができる部分が、取り外されるＯリングのサイズの数に合わせた数になるような本数が好ましい。例えば、図１に示すＯリング取り外し治具１００は、支持体２０を３つ備えた例であり、３つの支持体２０を備えることによってＯリングを挟むことができる部分が２箇所になるという利点がある。即ち、Ｏリングを挟む部分を適宜選択することができるという利点がある。
【００２３】
支持体の材質は、特に制限はなく、鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレンなどの樹脂等を挙げることができる。なお、支持体は、挟持体と同じ材質のものを用いることもできる。また、支持体と挟持体とを一体に形成することもできる。
【００２４】
支持体の形状は、柱状である限り特に制限はなく、例えば、三角柱状、四角柱状、多角柱状、円柱状、楕円柱状などを例示することができる。
【００２５】
支持体としては、具体的には、直径が３〜７ｍｍで長さが２５０〜３００ｍｍである円柱状の金属製のものを用いることができる。
【００２６】
支持体は、隣接するものどうしが、図１に示すようにハの字状となるように配置することが必要である。
【００２７】
［１−２］挟持体：
本実施形態のＯリング取り外し治具に備えられた挟持体は、支持体の表面の少なくとも一部にそれぞれ配置されたゴムからなる。このようにゴムからなる挟持体は、Ｏリングと間で生じる摩擦が大きいため、挟持体によってＯリングを挟持した際に加えた力が、効果的にＯリングに伝わる。そのため、フィルター本体の溝からＯリングを容易に離間させることができる。また、ゴムからなる挟持体を用いることによって、Ｏリングを傷めずに取り外すことができるという利点がある。
【００２８】
挟持体のゴムとしては、例えば、シリコンゴム、ＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ジエンゴム）、ＮＢＲ（アクリルニトリルゴム）、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素ゴムなどを挙げることができる。これらの中でも、弾性があり、耐溶剤性に優れたシリコンゴムが好ましい。
【００２９】
挟持体は、支持体の表面の少なくとも一部にそれぞれ配置されたものである限りその形状は特に制限はないが、柱状であることが必要である。柱状としては、例えば、三角柱状、四角柱状、多角柱状、円柱状、楕円柱状などを例示することができる。これらの中でも、Ｏリングとの接触角度があり、ゴム凹み時にＯリングとの接触面積が広い四角柱状が好ましい。即ち、四角柱状であると、三角柱状である場合に比べて、ゴム凹み時（即ち、Ｏリングを挟持したとき）のＯリングとの接触面積が広いため、良好にＯリングを取り外すことができる。また、例えば、２本のＯリングを備えたフィルターから、一方のＯリングのみを取り外す際には、多角柱状である場合に比べて、取り外したいＯリングを視認し易く、容易に挟持することができるため、Ｏリングを容易に取り外すことができる。柱状の挟持体の大きさは、Ｏリングの大きさや数に応じて適宜選択することができるが、例えば、四角柱状の挟持体の場合、縦が１０〜２０ｍｍ、横が１０〜２０ｍｍ、長さが１００〜１４０ｍｍであるものを用いることができる。なお、挟持体は、１つの支持体に複数配置されてもよい。図３に示すＯリング取り外し治具１０２は、１つの支持体２０に２つの挟持体１１ａ，１１ｂが配置されている例である。
【００３０】
支持体の表面に挟持体を配置して固定する場合、その方法は特に制限はないが、例えば、接着剤により接着する方法、ネジにより固定する方法、金属溶着により固定する方法などを挙げることができる。
【００３１】
また、挟持体は、貫通孔を有する柱状であり、その貫通孔に支持体が挿入されているものであることも好ましい。このような挟持体を用いると、支持体に固定する必要がないため、容易に作製することができる。例えば、図１に示すＯリング取り外し治具１００は、貫通孔を有する四角柱状の挟持体１０を備え、この挟持体１０の貫通孔に支持体２０が挿入されている例である。柱状としては、例えば、三角柱状、四角柱状、多角柱状、円柱状、楕円柱状などを例示することができる。
【００３２】
本実施形態のＯリング取り外し治具は、更に、隣接する支持体に配置された挟持体どうしが、所定の間隔を離隔した状態で対向しているものである。ここで、「所定の間隔を離隔した状態」とは、Ｏリングの外径によって適宜選択される間隔であり、具体的には、取り外されるＯリングの外径よりも狭い間隔を有するように離隔した状態を意味する。
【００３３】
本実施形態のＯリング取り外し治具は、柱状の挟持体どうしが、ハの字状になるように配置することが必要である。図１に示すＯリング取り外し治具１００は、隣接する四角柱状の挟持体１０をハの字状に配置している例であり、このように、隣接する柱状の挟持体をハの字状に配置することによって、Ｏリングを押し込んだ際に、その力が効果的にＯリングに伝わるため、溝から容易にＯリングの一部を離間させることができる。
【００３４】
例えば、外径が４２〜４８ｍｍのＯリングを取り外す場合、ハの字状に配置した２つの柱状の挟持体の狭い方の間隔（図１に示す距離Ａ）は、３０〜４２ｍｍであることが好ましく、３２〜３４ｍｍであることが更に好ましい。上記挟持体の間隔が３０ｍｍ未満であると、挟持体の間にＯリングを押し込んだとしても、Ｏリングを溝から離間させるのに十分な力が生じないおそれがある。一方、４２ｍｍ超であると、Ｏリングが挟持体に挟持されない。このとき、ハの字状に配置した２つの柱状の挟持体の広い方の間隔（図２に示す距離Ｂ）は、４０〜４８ｍｍであることが好ましく、４３〜４５ｍｍであることが更に好ましい。上記挟持体の間隔が４０ｍｍ未満であると、挟持体の間にＯリングを押し込んだとしても、Ｏリングを溝から離間させるのに十分な力が生じないおそれがある。一方、４８ｍｍ超であると、Ｏリングを挟持しない部分が多くなるため、Ｏリング取り外し治具が大きくなるおそれがある。
【００３５】
なお、図１に示すＯリング取り外し治具１００ように、３つの柱状の挟持体を備える場合、それぞれの柱状の挟持体の狭い方の間隔（図１に示す距離Ａ及び距離Ｃ）は、同じであっても、異なってもよい。また、それぞれの柱状の挟持体の広い方の間隔（図１に示す距離Ｂ及び距離Ｄ）は、同じであっても、異なってもよい。
【００３６】
また、Ｏリング取り外し治具は、柱状の挟持体どうしが、平行になるように配置されてもよい。例えば、図２に示すＯリング取り外し治具１０１は、隣接する柱状の挟持体１０を平行に配置している例であり、このように、隣接する柱状の挟持体を平行に配置することによって、Ｏリングを押し込んだ際に、その力がＯリングに伝わるため、溝から容易にＯリングの一部を離間させることができる。また、手で外す場合に比べて、Ｏリングにかかる力を低減することができるため、Ｏリングの負荷を低減できるという利点がある。
【００３７】
例えば、外径が４２〜４８ｍｍのＯリングを取り外す場合、平行に配置した２つの柱状の挟持体の間隔は、３５〜４５ｍｍであることが好ましく、３８〜４２ｍｍであることが更に好ましい。上記挟持体の間隔が３５ｍｍ未満であると、挟持体の間にＯリングを押し込んだとしても、Ｏリングを溝から離間させるのに十分な力が生じないおそれがある。一方、４５ｍｍ超であると、Ｏリングが挟持体に挟持されない。
【００３８】
［１−３］固定体：
本実施形態のＯリング取り外し治具の支持体は、固定体に固定されていることが好ましく、固定体の形状は、枠状であってもよいし、枠状でなくてもよい。枠状としては、例えば、正方形状、長方形状、多角形状、円形状、楕円形状などを挙げることができ、また、枠状でない形状としては、例えば、２本の柱状体を平行に配置した形状（例えば、二の字状）などを挙げることができる。図１に示すＯリング取り外し治具１００は、長方形状の枠である固定体２２を備えている例であり、この長方形状の固定体２２は、４つの柱状体を組み合わせて形成することができる。柱状体は、その短手方向の断面形状が、三角形状、四角形状、多角形状、円形状、楕円形状、Ｌ字状などの形状のものを例示することができる。なお、固定体は、柱状体を組み合わせて形成するのではなく、一体に形成することもできる。固定体の材質（柱状体を組み合わせて形成する場合は柱状体の材質）は、例えば、鉄、ステンレスなどの金属、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレンなどの樹脂等を挙げることができる。
【００３９】
［２］Ｏリング取り外し方法：
本発明のＯリング取り外し方法の一実施形態は、その外周面に溝が形成された略柱状のフィルター本体と、溝に嵌め込まれたＯリングとを有するフィルターから、Ｏリングを取り外すためのＯリング取り外し方法であって、本発明のＯリング取り外し治具の隣接する支持体に配置された挟持体の間にフィルターのＯリングを押し込み、Ｏリングの一部を溝から離間させる工程を含むものである。このようなＯリング取り外し方法によると、本発明のＯリング取り外し治具を使用しているため、電子部品などの精密機器を汚染するおそれがなく、フィルターからＯリングを容易に取り外すことができる。
【００４０】
本実施形態のＯリング取り外し方法に用いるフィルターは、外周面に溝が形成された略柱状のフィルター本体と、上記溝に嵌め込まれたＯリングとを有するものであり、例えば、図４は、外周面に溝が形成された略柱状のフィルター本体３２と、上記溝に嵌め込まれたＯリング３１とを有するフィルター３０を例示している。このようなフィルターとしては、電子部品などの精密機器を製造する装置に使用されているフィルター、飲料品用の濾過フィルター、高純度な化学薬品の濾過フィルターなどを挙げることができる。
【００４１】
フィルター本体は、外周面に溝が形成された略柱状であり、その材質や大きさなどは特に制限はなく、ポリプロピレン製、ポリエチレン製、ポリテトラフルオロエチレン製、ナイロン製などを挙げることができる。また、フィルター本体としては、例えば、外径が５０〜７０ｍｍで長さが５００〜６００ｍｍであるものを例示することができる。なお、フィルター本体の外周面に形成される溝は、Ｏリングを嵌め込むことができるものである限り特に制限はなく、溝の数は１つであっても、複数であってもよい。また、「略柱状」とは、柱状、筒状、及び、有底の筒状を含む概念であり、柱状としては、三角柱状、四角柱状、多角柱状、円柱状、楕円柱状などを例示することができ、筒状としては、三角筒状、四角筒状、多角筒状、円筒状、楕円筒状などを例示することができる。
【００４２】
Ｏリングは、フィルター本体の溝に嵌め込まれるものであり、その材質や大きさなどは特に制限はなく、その材質は、パーフロロゴム、ポリテトラフルオロエチレン、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ（エチレン・プロピレン・ジエンゴム）、ＮＢＲ（アクリルニトリルゴム）、シリコンゴムなどを挙げることができる。Ｏリングとしては、例えば、外径が４３〜４７ｍｍ、内径が３５〜３９ｍｍであるものを例示することができる。フィルター本体の溝に嵌め込まれているＯリングの数は、１つであっても、複数であってもよい。
【００４３】
本実施形態のＯリング取り外し方法は、まず、図５に示すように、Ｏリング３１の径方向とＯリング取り外し治具１００の隣接する四角柱状の挟持体１０，１０の長手方向とが同一平面内に位置する状態で、Ｏリング３１を挟持体１０，１０の間に配置する。なお、柱状の挟持体どうしが、ハの字状になるように配置する場合、例えば、図５に示すように、柱状の挟持体どうしの間隔が広い方の間に配置する。
【００４４】
次に、四角柱状の挟持体１０，１０の長手方向にＯリングを押し込むことによって、図６に示すように、Ｏリング３１の一部を溝から離間させる。このように挟持体１０，１０の間に押し込まれたＯリング３１は、弾性変形してその一部が溝から離間する。即ち、Ｏリング３１を挟持体１０，１０の間に押し込むと、挟持体１０，１０とＯリング３１との当接面を始点として、Ｏリング３１に対し、Ｏリング３１を押し込んだ方向と逆の方向に力が加わる。従って、この力がＯリング３１内で衝突し、力のバランスが崩れた部分においてＯリング３１が溝から離間することになる。なお、図５は、Ｏリングが装着されたフィルターを隣接する柱状の挟持体に当接させた状態を示す平面図である。図６は、Ｏリングの一部を溝から離間させた状態を示す平面図である。
【００４５】
なお、本実施形態のＯリング取り外し方法は、隣接する支持体に配置された挟持体の間にフィルターのＯリングを押し込む際に、その長手方向の中心軸を中心にフィルターを回転させることが好ましい。このようにすると、Ｏリングを容易に弾性変形させることができるという利点がある。
【００４６】
本実施形態のＯリング取り外し方法は、図７に示すように、溝から離間させたＯリング３１の一部と溝との間に、棒４０を挿入した後、棒４０を固定しつつ、フィルター３０を挟持体１０，１０の間から外す工程を更に含むことが好ましい。フィルター３０を挟持体１０，１０の間から外す場合、例えば、フィルター３０のＯリング３１を押し込こんだ方向にフィルター本体３２を倒すことによって、フィルター３０を挟持体１０，１０の間から外すことが好ましい。なお、図７は、溝から離間したＯリングの一部と溝との間に棒を挿入した状態を示す平面図である。
【００４７】
棒としては、例えば、ＳＵＳ製、ポリエチレン製等の、強度を有した樹脂のなどを挙げることができる。このような棒を用いることによって、Ｏリングを容易に回収することができる。
【００４８】
フィルターを挟持体の間から外すことによって、溝に嵌め込まれていたＯリングの残部を溝から離間することができ、フィルターからＯリングを容易に取り外すことができる。
【実施例】
【００４９】
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００５０】
（実施例１）
まず、直径５ｍｍ、長さ２７０ｍｍのＳＵＳ製の円柱体（支持体）を３本用意し、この円柱体に、縦１５ｍｍ、横１５ｍｍ、長さ１２０ｍｍの四角柱状であって長手方向の中心軸に沿って貫通孔が形成されているシリコンゴムからなる挟持体１０を装着した。次に、４つのＳＵＳ製の断面Ｌ字状の柱状体を組み合わせて長方形状の枠（固定体）を形成した。次に、上記３つの円柱体を、隣接するものどうしがハの字状を形成するように上記枠の短手方向に沿って配置して固定した。このようにして図１に示すようなＯリング取り外し治具１００を形成した。なお、３つの円柱体は、図１に示すように、シリコンゴムからなる挟持体１０の間隔Ａが３３ｍｍ、間隔Ｂが４４ｍｍ、間隔Ｃが４８ｍｍ、間隔Ｄが５３ｍｍとなるように配置した。
【００５１】
次に、上記のようにして形成したＯリング取り外し治具を用いてフィルターの溝に嵌め込まれたパーフロロゴムからなるＯリング（外径４５ｍｍ、内径３８ｍ）を取り外した。即ち、まず、図５に示すように、Ｏリングの径方向と一対のシリコンゴムの長手方向とが同一平面上に位置するように、一対のシリコンゴムの間隔が広い側（図１においては間隔Ｂ側）にＯリングを配置した。次に、一対のシリコンゴムの間隔が狭い側（図１においては間隔Ａ側）に向かってＯリングを押し込むことによってＯリングの一部をフィルターの溝から離間させた（図６参照）。次に、溝から離間したＯリングの一部と溝との間にＳＵＳ製の棒（直径２ｍｍ、長さ１５０ｍｍ）を挿入した後、挿入した方の先端を上方（一対のシリコンゴムの間隔が広い側）に向けた。次に、この棒が移動しないように手で固定した。その後、一対のシリコンゴムの間隔が狭い側に向けてフィルターを倒すことによって、溝に嵌め込まれていたＯリングの残部を溝から離間させ、フィルターからＯリングを取り外した。なお、外径５６〜６０ｍｍのＯリングをフィルターから取り外す場合には、間隔ＤにフィルターのＯリングを配置し、上述した手順と同様にしてＯリングを取り外すことが好ましい。
【００５２】
実施例１のＯリング取り外し治具は、比較例１のＯリング取り外し治具に比べて、電子部品などの精密機器を汚染するおそれがなく、フィルターからＯリングを容易に取り外すことができることが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明のＯリング取り外し治具は、電子部品などの精密機器を製造する装置に使用されているフィルターのＯリングを取り外す治具として好適である。
【００５４】
本発明のＯリング取り外し方法は、電子部品などの精密機器を製造する装置に使用されているフィルターのＯリングを好適に取り外すことが可能な方法である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明のＯリング取り外し治具の一実施形態を示す平面図である。
【図２】Ｏリング取り外し治具の別の実施形態を示す平面図である。
【図３】Ｏリング取り外し治具の別の実施形態を示す平面図である。
【図４】Ｏリングが取り付けられたフィルターの一実施形態を示す斜視図である。
【図５】Ｏリングが装着されたフィルターを隣接する柱状の挟持体に当接させた状態を示す平面図である。
【図６】Ｏリングの一部を溝から離間させた状態を示す平面図である。
【図７】溝から離間したＯリングの一部と溝との間に棒を挿入した状態を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１００，１０１，１０２：Ｏリング取り外し治具、１０，１１ａ，１１ｂ：挟持体、２０：支持体、２２：固定体、３０：フィルター、３１：Ｏリング、３２：フィルター本体、４０：棒。
【図１】
0005181706.tif 000002
【図２】
0005181706.tif 000003
【図３】
0005181706.tif 000004
【図４】
0005181706.tif 000005
【図５】
0005181706.tif 000006
【図６】
0005181706.tif 000007
【図７】
0005181706.tif 000008