(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨槽が、固定槽と、該固定槽の底部に配され前記固定槽の内周面との間に摺接隙間を形成する外周端面を有して水平回転する回転盤とで構成され、
前記固定槽は、縦筒状剛体の内周面に筒状ライナーを備え、また、前記回転盤はその上面に皿状ライナーを備え、
前記筒状ライナーおよび前記皿状ライナーは、それぞれ耐摩耗性高分子材からなる構成の流動バレル研磨装置において、
前記固定槽を形成する前記縦筒状剛体が、前記摺接隙間が位置する高さ方向位置で、上部の縦筒状剛体と下部の縦筒状剛体に分断されて、前記筒状ライナーの外周に、全周に亘って大気解放の環状開口部を備えているとともに、
前記回転盤の外周部に、環状の拡径抑制剛体が交換可能に配され、該拡径抑制剛体で前記回転盤の外周端面を形成するようにしたことを特徴とする流動バレル研磨装置。
【請求項２】
前記上部の縦筒状剛体と前記下部の縦筒状剛体とが、外周側で縦桟により接続補強されていることを特徴とする請求項１記載の流動バレル研磨装置。
【請求項３】
前記拡径抑制剛体が、拡径抑制剛体部の内側部上面側に、耐摩耗性高分子材からなる環状の段差調節ライナー部が一体形成されているものであることを特徴とする請求項１又は２記載の流動バレル研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨槽が、固定槽と、該固定槽の底部に配され固定槽の内周面との間に摺接隙間を形成する外周端面を有して水平回転する回転盤とで構成される流動バレル研磨装置に関する。
【０００２】
ここでは、図１に示す形式の流動バレル研磨装置を例に採り説明するが、本発明は、温度が上昇し易い湿式に限られず、乾式、さらには、環状の研磨加工域を内筒により形成した流動バレル研磨装置等、上記の摺接隙間を有するあらゆる流動バレル研磨装置に適用可能である。
【背景技術】
【０００３】
図１に従来の流動バレル研磨装置（湿式・乾式兼用）の装置の一例を示す。
【０００４】
研磨槽１２は、固定槽１４と、該固定槽１４の底部に配され固定槽１４の内周面１４ａとの間に摺接隙間２４を形成する外周端面を有して水平回転する回転盤１５とで構成される。
【０００５】
上記固定槽１４は、縦筒状剛体１６の内周面に耐摩耗性高分子材からなる筒状ライナー（以下、「ライナー」は耐摩耗性高分子材からなるものを意味する。）１８を備えている。上記回転盤１５は、皿状剛体（下地）２０の上面に皿状ライナー２２を備えている。
【０００６】
なお、回転盤１５は、モータ２６とベルト伝動２８により駆動される変速機３０の出力軸と連結されて駆動回転可能とされている。また、研磨により発生する摩耗粉乃至摩耗粉含有液は、回転盤１５の下側に形成された滞留室３２に流入し、該滞留室３２の底壁の排出管３３から排出バルブ３４を介して排出可能とされている。なお、乾式研磨の場合は、排出バルブ３４の排出側が、バッグ集塵装置（図示せず。）に連結されている。
【０００７】
ここで、固定槽１４の内部に投入されたワークとメディア（湿式の場合は、研磨助剤（コンパウンド）と水からなる研磨液を含む。）は、回転盤１５の水平回転によって、回転中心から固定槽１４の側壁（内壁）に向かう遠心力Ａが付与される。ワークとメディアに付与された遠心力Ａは、固定槽１４の内壁に到達して上昇力Ｂに変換される。そして、この上昇力Ｂによりワークとメディアは押し上げられ、頂点Ｃに達した後、重力及び拡散力により回転中心に向いながら矢印D方向に下降する。このようにして、ワークとメディアは旋回流動し、該ワークとメディアの接触圧と相対速度によってワークが研磨されることになる。
【０００８】
そして、昨今、上記流動バレル研磨装置を用いる研磨加工では、研磨対象（ワーク）が、従来に比して、さらに、微小、薄くなる傾向にあり、それに伴い、メディアも微小なものを用いることが多くなってきている。
【０００９】
このため、ワークやメディアの摺接隙間２４への噛込み防止のために、摺接隙間２４は、0.5〜0.8ｍｍ程度まで狭小化する要請が出てきている。
【００１０】
また、上記各ライナー１８、２２は、通常、ウレタン樹脂等の耐摩耗性高分子材からなるもので注型成形されている。
【００１１】
しかし、摺接隙間２４を狭小化した場合、下記のような問題点が発生する。
【００１２】
ライナーを形成するウレタン樹脂等の耐摩耗性高分子材の熱膨張率は前記各剛体１６、２０を形成する鉄等の金属に比して大きい。例えば、線膨張率は、ウレタン：略6×10-5K-1であるのに対し、耐摩耗鋳鉄：1.0×10-5K-1である。このため、研磨加工中に槽内温度が上昇してウレタンが膨張すると、摺接隙間２４の間隔が徐々に狭くなり、ついには間隔がゼロになって、固定槽１４の内周面１４ａと回転盤１５の外周端面１５ａを形成するライナー相互間にカジリが生じ、さらには熱融着して、回転盤１５が回転不能となる。
【００１３】
すなわち、加工時間が長くなると研磨槽内温度が徐々に上昇し、各ライナー１８、２２も膨張する。このとき回転盤１５の外周端面１５ａは外周に向かって拡径する。固定槽１４の筒状ライナー１８の外周面も同様に外周に向かって拡径する筈であるが、固定槽１４の外側は縦筒状剛体（金属製）１６で固定されており、外に向かって拡径することができない。このため筒状ライナー１８は内側に縮径することになる。すなわち、固定槽１４の内周面１４ａも回転盤１５の外周端面１５ａに向かって縮径するため対向する摺接隙間２４の間隔は徐々に狭くなっていくことになる。
【００１４】
本発明の特許性に影響を与えるものではないが、上記課題を解決するための技術が、特許文献１〜３等に提案されている。
【００１５】
特許文献１には、回転槽（回転盤）のライニング（皿状ライナー）の外側への膨張を防ぐために、阻止部材（ストッパ）が回転槽（回転盤）の下地（皿状剛体）に一体形成乃至着脱可能に形成した技術が記載されている。
【００１６】
特許文献２には、固定槽と回転槽（回転盤）との微小間隙部（摺接隙間）に対応する高さに、固定槽のライニング層（筒状ライナー）の外周に熱膨張許容手段（連続気泡ゴム層乃至空間層）を設けて、筒状ライナーの外側への膨張を許容するようにした技術が記載されている。
【００１７】
しかし、当該技術では、下記のような問題点があったと、同一人の出願に係る特許文献３に記載されている（段落０００６・０００７）。
【００１８】
連続気泡ゴム層を設ける場合は、ライニング層の自由膨張を阻害しないために連続気泡ゴム層を厚くする必要があり、ライニング層を薄くしなければならない。
【００１９】
また、空間層を設ける場合は、空気層を形成させるための別型を必要とするのみならず、ライニング液の注入時に、型材の変形を防止するために、水などの非圧縮性流体を出し入れしなければならないので、全体としてコストアップになる。
【００２０】
そこで、特許文献３において、固定槽の金属壁内面と、ライニング層との間に、所望の面積に亘りライニング層の膨張退避層を介装させた構成の流動バレル研磨装置が記載されるとともに、前記膨張退避層は、ライニング層の注型に際して、回転槽の微小間隙部に対応する位置の固定槽の金属壁内面に剥離手段を施し、固化収縮を利用して形成する技術が記載されている（要約、請求項１・２、段落００４８等）。
【００２１】
特許文献４は、固定槽の中央に内筒を設けて、環状の研磨加工域を形成した流動バレル研磨装置を記載した先行技術文献であって、本発明は、特許文献４の流動バレル研磨装置にも適用可能である（要約等）。
【特許文献１】特開平5−38670号公報、
【特許文献２】特開平9−225808号公報
【特許文献３】特開平10-277917号公報
【特許文献４】特開2008-833号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
本発明者らは、流動バレル研磨装置における前記摺接隙間の狭小化の要請に対応するために、実験を重ねた結果、上記特許文献１〜３に記載されている技術では対応が困難であることを知見した。
【００２３】
本発明は、上記にかんがみて、摺接隙間の狭小化の要請への対応が容易となる流動バレル研磨装置を提供することを目的（課題）とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
すなわち、本発明者らは、上記実験に続き鋭意開発に努力をした結果、温度の上昇に拘わらず前記摺接隙間を一定に保つには、回転盤、固定槽の双方のライナーとも対策を施す必要のあることが分った。
【００２５】
固定槽１４の筒状ライナー１８を外周側に膨張させるとその固定槽１４の内周面（内径）１４ａは、拡径するのが当業者常識であった。例えば、剛性の高い鉄のパイプに物が詰まった場合、パイプを暖めることで詰まったものを外すことができる。即ち、この現象はパイプの外径と共に内径も膨張して大きくなったことを意味している。これと同じことが起これば、筒状ライナー１８の膨張により、その外径が拡径して、その内径も大きくなる。その結果、筒状ライナー１８が膨張しても摺接隙間２４の間隔は一定に保つことができることとなると考えられる。この発想に基づいて発明されたものに特許文献２・３に記載された流動バレル研磨装置がある。
【００２６】
このため、特許文献２・３に記載された発明では、固定槽側ライナー（筒状ライナー）の熱膨張許容手段だけで摺接隙間の間隔を一定に保つことができるものとされており、特許文献１に記載の回転盤側ライナーの外周部に剛性環状体等の熱膨張抑制乃至阻止手段と組み合わせることは想定していないことは明らかである。
【００２７】
また、パイプの内径が熱によって膨張する現象を、特許文献２・３はいずれも単純な線膨張に立脚していると考えている。しかし、摺接部の筒状ライナー（ウレタン樹脂）の厚さは通常30ｍｍ前後あるため、体積膨張としてとらえた場合、膨張は外側方向にのみに均一に発生するとは考え難く、高さ方向を含めた複雑な挙動を示すと思われる。何故なら、筒状ライナー（ウレタン樹脂）は縦筒状剛体の内周面に密着して成形されるため、筒状ライナーの熱膨張が縦筒状剛体によって拘束されることを考慮する必要がある。このため筒状ライナーの内径が拡径して、回転盤のライナー膨張に伴う拡径を吸収して、温度上昇に関係なく摺接隙間の間隔が一定に維持されるとは考え難い。
【００２８】
例えば、特許文献２の段落0010には「回転槽のライニング層は外周側（間隔を狭める側）へ熱膨張するが、固定槽のライニング層も外周側（間隔を広める側）へ熱膨張するので、両者の熱膨張差がない場合に固定槽と回転槽の対向部の間隙は一定（設計寸法）に保たれる。」と記載され、また、特許文献３の段落0030には「渦流バレル加工機１３では、金属壁１とライニング層３との間に空間層５を形成しているので、回転槽１２のライニング層１４の外側への熱膨張と共に、対向する固定槽４のライニング層３も外側へ熱膨張して間隙Ｓが一定に保たれる。」と記載されている。
【００２９】
しかし、実験で確認すると、図２に示す如く、摺接隙間２４が位置する高さ方向位置で筒状ライナー１８の外周側に熱膨張逃げ部（開口部３８）を形成したとしても、固定槽側ライナー（筒状ライナー１８）は、温度上昇により膨張して、熱膨張逃げ部の外周面が拡径するが、該熱膨張逃げ部に対応する固定槽１４Ａの内周面１４ａの内径はほとんど拡径しないことを発見（知見）した。
【００３０】
このため、回転盤１５Ａの外周端面１５ａの皿状ライナー２２Ａの熱膨張による拡径を吸収することはできず、回転盤１５Ａの外周端面１５ａが拡径して、それに伴い摺接隙間２４の間隔が狭くなる（図５、表１の比較例１）。
【００３１】
そして、上記知見に基づき、回転盤側及び固定槽側の双方に対策をすることで、はじめて摺接隙間が槽内温度に関係なく、初期に設定した隙間をそのまま保つことができることを知見（発見）して、下記構成の流動バレル研磨装置に想到した。
【００３２】
研磨槽が、固定槽と、該固定槽の底部に配され前記固定槽の内周面との間に摺接隙間を形成する外周端面を有して水平回転する回転盤とで構成され、
前記固定槽は、縦筒状剛体の内周面に筒状ライナーを備え、また、前記回転盤はその上面に皿状ライナーを備え、
前記筒状ライナーおよび前記皿状ライナーは、それぞれ耐摩耗性高分子材からなる構成の流動バレル研磨装置において、
前記固定槽を形成する前記縦筒状剛体が、前記摺接隙間が位置する高さ方向位置で、上部の縦筒状剛体と下部の縦筒状剛体に分断されて、前記筒状ライナーの外周、全周に亘って大気解放の環状開口部を備えているとともに、
前記回転盤の外周部に、環状の拡径抑制剛体が交換可能に配され、該拡径抑制剛体で前記回転盤の外周端面を形成するようにしたことを特徴とする。
【００３３】
なお、本発明を適用可能な流動バレル研磨装置は、上記図１に示すようなものに限定されず、特許文献４等に記載されているような環状の研磨加工域を内筒により固定槽に形成した湿式乃至乾式の流動バレル研磨装置等にも適用可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の望ましい一実施形態について説明する。図１に示す従来の流動バレル研磨装置において、図２に示すような構成としたものである。
【００３５】
本実施形態の流動バレル研磨装置は、下記構成を前提的要件とする。
【００３６】
研磨槽１２は、固定槽１４Ａと、該固定槽１４Ａの底部に配され固定槽１４Ａの内周面１４ａとの間に摺接隙間２４を有して水平回転する回転盤１５Ａとで構成される。
【００３７】
上記固定槽１４Ａは、縦筒状剛体１６Ａの内周面に耐摩耗性高分子材からなる筒状ライナー１８を備えている。上記回転盤１５Ａは、皿状剛体（下地）２０Ａの上面に皿状ライナー２２Ａを備えている。
【００３８】
ここでは、回転盤１５Ａの皿状剛体及び皿状ライナーの皿状とは、回転盤の上面がワーク／メディアに必要な流動性を付与できる湾曲面とされておれば、図例のものに限定されるものではない。即ち、平板状に近いものから椀状に近いものまで含まれる。
【００３９】
ここで、各剛体は、剛体であれば特に限定されず、セラミック等でもよいが、通常、金属製（例えば、耐摩耗鋳鉄）とする。
【００４０】
また、ライナーは、耐摩耗性高分子材からなるものとする。該耐摩耗性高分子材は、通常、耐摩耗性に優れたウレタン樹脂とするが、ウレタン樹脂と略同等以上の耐摩耗性を有する高分子材であれば、樹脂乃至エラストマー(ゴムを含む。)等、特に限定されない。
【００４１】
上記回転盤１５Ａは、皿状ライナー２２Ａが、皿状剛体２０Ａに注型一体化されている。皿状ライナー２２Ａの平均肉厚は、通常、外周側を20ｍｍ前後とし、中心部に向かって漸次薄くなり、中心部は約7ｍｍ前後とする。
【００４２】
そして、固定槽１４Ａの内周面１４ａと回転盤１５Ａの外周端面１５ａとの間に摺接隙間２４を形成して水平回転可能とされている。ここで、摺接隙間２４は、ワーク（被加工物）及びメディアの大きさに対応させて、通常、1.5〜0.5ｍｍの範囲で適宜設定する。即ち、本発明では、従来困難視されていた0.5ｍｍ近くでも連続運転可能で、小さなワーク及びメディアの湿式研磨が可能となる。
【００４３】
摺接隙間２４が位置する高さ方向位置で、前記筒状ライナー１８の外周側に、研磨中に発生する研磨槽１２内の温度上昇により熱膨張する前記筒状ライナー１８を外周方向に逃がすための（筒状ライナー１８の外周面が拡径可能な）熱膨張逃げ部３８を備えている。
【００４４】
当該熱膨張逃げ部３８は、例えば、縦筒状剛体１６Ａを、図例のような上下に分離する連続開口部又は縦格子状開口部を形成して設けることができる。なお、熱膨張逃げ部３８を形成する開口部の高さは、摺接隙間２４の高さより大きなものとする。例えば、後述の試験例で用いた装置の摺接隙間２４の高さが20ｍｍの場合、熱膨張逃げ部３８の高さは70ｍｍとする。
【００４５】
ここで、熱膨張逃げ部３８を、縦筒状剛体１６Ａを上下に分離する連続開口部で形成した場合は、筒状ライナー１８の外周が全周に亘り自由空間となり、筒状ライナー１８の熱膨張逃げ（外周面拡径）が部分的に阻害されるおそれがないとともに、前記連続開口部を塞ぐ簡単な半割りのリング状補助型を配することにより、筒状ライナー１８の注型（成形）が簡単にでき、特許文献２に記載の前述の問題点「別型を必要とするのみならず、ライニング液の注入時に、型材の変形を防止するために、水などの非圧縮性流体を出し入れしなければならない。」が解決できる。
【００４６】
必然的ではないが、縦筒状剛体１６Ａを上下に分離することにより剛性が不足する場合（研磨槽が大型で且つ自動機等）は、その部分を、適宜、図２に示すように複数本の縦桟（ステイ）４０で補強する。
【００４７】
なお、縦格子状開口部とした場合は、縦筒状剛体１６Ａが上下に分離されないため剛性が不足するおそれがない。
【００４８】
さらに、上記熱膨張逃げ部３８は、特許文献２・３に記載されている如く、筒状ライナー１８の外周面側を凹状として形成してもよい。特許文献２の構成の場合は、特許文献３に記載されるような問題点が発生し、特許文献３の構成の場合は、固化剥離で形成するため熱膨張逃げ部の空間厚みを薄くしか形成できず、十分な逃げ効果（外周面拡径）を期待し難いと考えられる。
【００４９】
さらに、本実施形態では、皿状ライナー２２Ａの外方向への熱膨張を防ぐために、回転盤１５Ａの外周部に、回転盤１５Ａの外周端面１５ａ（摺接隙間２４の内周面）を形成する拡径抑制剛体４２を交換可能に配してある。
【００５０】
ここで、拡径抑制剛体４２は、通常、所要の剛性を有し熱膨張率が低い耐摩耗性金属（例えば、耐摩耗クロム鋳鉄）又はセラミック（例えば窒化ケイ素）からなるものとする。
【００５１】
このとき、線膨張率は、ライナーとしてウレタンを使用する場合、ウレタンの1／2以下、望ましくは、1／5以下のものを使用する。拡径抑制剛体４２は、剛性が高いため、所定の厚み（高さ）、環状幅を確保することで皿状ウレタンの外側への膨張を防ぐことができる。上記耐摩耗性金属を使用する場合、厚みは例えば20ｍｍ前後、環状幅は13ｍｍ前後とする。
【００５２】
この拡径抑制剛体４２は、耐摩耗性金属を使用したとしても、耐摩耗性高分子材であるウレタンより摩耗が早いことが多いため着脱自在（交換式）とする。なお、セラミックの場合、摩耗が少なくなるが、セラミックメディアやワークが鉄系金属で且つサイズが大きくなると研磨加工中の衝撃等で割れが発生するおそれがある。
【００５３】
そして、この拡径抑制剛体４２は、環状剛体部４４の内側部上面側に、耐摩耗性高分子材からなる環状の段差調節ライナー部４６が一体成形されているものを使用することが望ましい。この構成により、拡径抑制剛体４２が摩耗して交換するに際して、交換された新品の環状剛体部４４に一体成形した段差調節ライナー部４６の上面を研削して摩耗後の皿状ライナー２２Ａの上面と面一化の調製が容易となる。金属を切削して調節する場合に比して遥かに容易に研削調整可となる。
【００５４】
図例では、断面Ｌ字状の環状剛体部４４の内側部に、該Ｌ字状の内側を埋めるように段差調節ライナー部４６が一体成形されている。環状剛体部４４の形状は、図例の形状に限定されず、例えば、内側にリブ４６ａを備えた断面横Ｔ字形（変形例）４４Ａ等であってもよい。
【００５５】
但し、前記段差調節ライナー部４６は回転盤１５Ａの皿状ライナー２２Ａと同材質の耐摩耗性高分子材でなければならない。
【００５６】
なぜなら、例えば、図３に示すように拡径抑制剛体４２Ｂを、前記環状剛体部４４と同質材料の金属のみからなるものとした場合、当初の図３（Ａ）に示す段差の無い状態から、交換時には、図３（Ｂ）に示す如く、拡径抑制剛体４２Ｂが接している皿状ライナー２２Ｂも摩耗している状態となって、新しい拡径抑制剛体４２Ｂを交換すると、図３（Ｃ）に示す如く、拡径抑制剛体４２Ｂが皿状ライナー２２Ｂより突出した状態となる。このため、図３（Ａ）に示す如く、現場で段差がないように切削加工する必要がある。即ち、図３（Ｃ）に示す如く、拡径抑制剛体４２Ｂが皿状ライナー２２Ｂより突出した状態でバレル研磨を行うとメディアとワークの流動がうまくいかず、ワークに打痕や変形が生ずることになるからである。しかし、拡径抑制剛体４２Ｂは耐摩耗鋳鉄からなるものであるから、現場で段差がないように研磨加工することは困難である。
【００５７】
次に、本発明の拡径抑制剛体４２について説明する。
【００５８】
段差調節ライナー部４６が内側に形成された拡径抑制剛体４２（又は４２Ａ）の場合も、使用開始時の状態を示す図２から、図４（Ａ）に示す如く、交換時には接している箇所の皿状ライナー２２Ａも摩耗している状態となる。そして、新しい拡径抑制剛体４２を交換した場合、図４（Ｂ）に示したように、耐摩耗性高分子材（例えば、ウレタン樹脂）からなる段差調整ライナー部４６が皿状ライナー２２Ａと段差を形成することとなる。したがって、段差調整ライナー部４６部を簡単に面取りすることができる。即ち、ウレタン樹脂研削用の多孔性砥石によるハンド工具により現場で容易に研削加工できる。
【００５９】
このようにして交換を行えば、メディアとワークの流動もスムーズでまったく問題とはならない。
【実施例】
【００６０】
以下、本発明の効果を確認するために、実施例・比較例について行った試験例について説明する。
【００６１】
図１に示す流動バレル研磨装置又は該流動バレル研磨装置において図２・図５若しくは図６に示す構成とした研磨槽１２に水を入れ、投げ込みヒーターを装入して研磨槽内の水温を上昇させ、そのときの摺接隙間２４の間隔を、隙間ゲージ（測定限界0.05ｍｍ）で測定した。
【００６２】
研磨装置・・・「ＥＶＦＸ−Ｉ」新東ブレーター社製（呼称処理容量40Ｌ）
摺接高さ位置の筒状ライナー１８厚み：30ｍｍ、
縦筒状剛体１６Ａの開口部長さ：70ｍｍ、
回転盤外径：400ｍｍ
ライナー（ウレタン樹脂）：ポリウレタンエラストマー、硬度JIS A 90
耐摩耗クロム鋳鉄組成：
Ｃｒ 26〜29、Ｃ 2.8〜3.2、Ｍｎ 0.6〜1.2、Ｓｉ 1.0以下、Ｐ 0.05以下、Ｓ 0.05以下、残部 Ｆｅ
測定ではメディアは装入せず水だけで行った。なぜならば、実際の研磨ではワーク、メディア、コンパウンド、水を装入して研磨を行うものであるが、この状態で摺接隙間の間隙を測定することはできないので、研磨槽１２内に水を張り、測定の間も温度変化がないように水を張ったままで計測した。実施例は固定槽、回転盤共に対策を施したもの（図２）、比較例１は固定槽だけに対策を施したもの（図５）、比較例２は回転盤だけを対策したもの（図６）、従来例は何ら対策を施していないもの（図１）である。
【００６３】
測定はそれぞれの温度で10分間保持し、ライナー（ウレタン）の膨張が進行した後、隙間ゲージによって摺接隙間２４の間隔を慎重に測定した。
【００６４】
【表１】
0005266890.tif 000002
表１は、それぞれの温度における摺接隙間の間隔（寸法）を示す。
【００６５】
従来例は回転盤、固定槽とも膨張に対する対策が施されていないから、温度の上昇とともに摺接隙間２４の間隔が徐々に狭くなっている。７０℃では当該隙間間隔は完全にゼロになっている。これは、初期の隙間間隔が1.05ｍｍと大きいため隙間間隔がゼロとなったのは70℃であったが、初期の設定が仮に0.5ｍｍであったとしたら、40℃で隙間間隔はゼロになったと解釈できる。
【００６６】
比較例１（図５）は、固定槽１４Ａ側に環状開口部３８で対策を施し、回転盤１５側に対策を施さなかったものである。環状開口部３８の存在により筒状ライナー１８は膨張により環状開口部３８に逃げるが固定槽１４Ａの内周面１４ａの内径の寸法にはほとんど変化が無い。対策が施されていない皿状ライナー２２の膨張による回転盤１５の外周端面１５ａの膨張による拡径を吸収することはできていない。従って、摺接隙間２４の間隔は、皿状ライナー２２の膨張により回転盤１５の外周端面１５ａが拡径する分だけの寸法は徐々に狭くなっていく。この場合初期の隙間間隔が1.0ｍｍでなく0.5ｍｍであったら、60〜70℃では隙間間隔がゼロとなり回転が止まるか又は摺接隙間２４が融着するなどのトラブルが予想される。
【００６７】
比較例２（図６）は、回転盤１５Ａの外周部に拡径抑制剛体（耐摩耗性クロム鋳鉄）４２を配して対策を施し、固定槽１４側に対策を施さなかったものである。この場合は、回転盤１５Ａの外周端面１５ａへの拡径は発生しないが、固定槽１４の内周面１４ａが縮径して摺接隙間２４の間隔は徐々に小さくなり70℃の温度では当該間隔はゼロとなり回転が止まってしまうことになる。
【００６８】
本発明の実施形態である実施例は、回転盤、固定槽とも対策が施されているため摺接隙間２４の隙間はほとんど変化していない。
【００６９】
この一連の実験結果から、摺接隙間２４の間隔を一定に保つためには回転盤だけ，及び固定槽だけ、では不十分で、両方を同時に対策する必要があることが分った。固定槽と回転盤の双方に対策を施すことによって、初期の摺接隙間の間隔設定を0.5ｍｍ程度にすることができ、微小なワーク，小サイズのメディアを使用でき、適用範囲も拡大することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】従来例の流動バレル研磨装置の全体概略断面図及びその摺接隙間部位の要部拡大図である。
【図２】本発明の流動バレル研磨装置の摺接隙間部位の一例を示す要部拡大断面図及び他の例を示す要部拡大断面図である。
【図３】回転盤の外周部に環状剛体部のみからなる拡径抑制剛体を配した場合の拡径抑制剛体及び皿状ライナー部の摩耗態様の経過図である。
【図４】本発明の段差調節ライナー部を備えた拡径抑制剛体を配した場合の拡径抑制剛体及び皿状ライナー部の摩耗態様の経過図である。
【図５】流動バレル研磨装置において、固定槽側に環状開口部を設けて対策を施し、回転盤側に対策を施さなかった摺接隙間部位の拡大断面図である。
【図６】同じく、回転盤側にその外周部に拡径抑制剛体を配して対策を施し、固定槽側に対策を施さなかった摺接隙間部位の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１２    研磨槽
１４、１４Ａ    固定槽
１４ａ    固定槽の内周面
１５、１５Ａ    回転盤
１５ａ    回転盤の外周端面
１６、１６Ａ    縦筒状剛体
１８    筒状ライナー
２０、２０Ａ    皿状剛体
２２、２２Ａ    皿状ライナー
２４    摺接隙間
３８    熱膨張逃げ部
４０    縦桟
４２    拡径抑制剛体
４４    環状剛体部
４６    段差調節ライナー部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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