(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つの波長の光線（１７）を発する１つの電磁的エネルギー源（３）を有すること、
該電磁的エネルギー源（３）には、前記光線（１７）を空間的に分割して少なくとも２つの分割光線（１９、２１）を形成する手段（５）が後置されていること、及び
前記少なくとも２つの分割光線（１９、２１）の少なくとも１つの分割光線には、波長を変化させるための中間素子（９、２５）が配されていること、
前記中間素子（９、２５）は、
前記少なくとも２つの分割光線（１９、２１）の第１の分割光線（１９）が、試料（４１）に直接投光され、そこで第一合焦領域（６２）を光学的に励起し、前記少なくとも２つの分割光線（１９、２１）の第２の分割光線（２１）が、試料（４１）の第二合焦領域に投光され、そこで重畳領域（６３）を形成し、該第１の分割光線（１９）のみによって照射された試料領域のみが検出されるよう、該重畳領域（６３）において前記第１の分割光線（１９）の光によって励起された試料領域が誘導されて基底状態に戻されるように、当該中間素子（９、２５）を通過する分割光線の波長を変化すること、及び
前記第２の分割光線（２１）には、合焦形態変化手段（６１）が配されていること
を特徴とするＳＴＥＤ走査型顕微鏡検査における照明用光源装置。
【請求項２】
前記電磁的エネルギー源（３）は、パルスレーザとして構成されていること
を特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
照明光線を試料に導くための光線偏向装置と、顕微鏡光学系と、検出器とを有するＳＴＥＤ走査型顕微鏡において、
１つの波長の光線（１７）を発する１つの電磁的エネルギー源（３）を有すること
該電磁的エネルギー源（３）には、前記光線（１７）を空間的に分割して少なくとも２つの分割光線（１９、２１）を形成する手段（５）が後置されていること、及び
前記少なくとも２つの分割光線（１９、２１）の少なくとも１つの分割光線には、波長を変化させるための中間素子（９、２５）が配されていること
前記中間素子（９、２５）は、
前記少なくとも２つの分割光線（１９、２１）の第１の分割光線（１９）が、試料（４１）に直接投光され、かつそこで第一合焦領域（６２）を光学的に励起し、前記少なくとも２つの分割光線（１９、２１）の第２の分割光線（２１）が、試料（４１）の第二合焦領域に投光され、そこで重畳領域（６３）を形成し、該第１の分割光線（１９）のみによって照射された試料領域からの光のみが検出器によって検出されるよう、該重畳領域（６３）において該第１の分割光線（１９）の光によって励起された試料領域が誘導されて基底状態に戻されるように、当該中間素子（９、２５）を通過する分割光線の波長を変化すること、及び
前記第２の分割光線（２１）には、合焦形態変化手段（６１）が配されていること
を特徴とするＳＴＥＤ走査型顕微鏡。
【請求項４】
前記電磁的エネルギー源（３）は、パルスレーザとして構成されていること
を特徴とする請求項３に記載のＳＴＥＤ走査型顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、走査型顕微鏡検査における照明用光源装置に関する。この場合、走査型顕微鏡は、共焦点顕微鏡としても構成されうる。【０００２】  更に、本発明は走査型顕微鏡、とりわけ、照明システムから発する光線を複数の光学的手段からなる中間光学回路を介して被検物上へ導き、かつ被横物から発する光を複数の光学的手段を介し受光する少なくとも１つの検出器を有する走査型顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００３】  走査型顕微鏡検査においては、試料（被検物）は光線で照射され、当該試料から放出される反射光又は蛍光が観察される。照明光線の合焦（位置）は、調節可能な光線偏向装置（一般的には２つのミラーの傾動操作）によって物体面で移動させられるが、その際偏向軸は大抵互いに垂直に配され、ミラーの一方はｘ方向の、ミラーの他方はｙ方向の偏向を行う。ミラーの傾動操作は、例えば、ガルバノメータ調節素子によって行われる。被検物から発する光の強度ないしパワー（Leistung）は、走査光線の位置に応じて測定される。通常、調節素子には、ミラーの実際位置を求めるためにセンサが配される。【０００４】  特に共焦点走査型顕微鏡の場合、被検物の走査は、三次元での光線の合焦のより行われる。【０００５】  共焦点走査型顕微鏡は、一般的に、光源、合焦光学系（これにより光源からの光が、ピンホール遮光器−所謂励起遮光器（Anregungsblende）−上で合焦される）、ビームスプリッタ、光線制御用の光線偏向装置、顕微鏡光学系、検出用（ピンホール）遮光器（絞り）、及び検出光ないし蛍光を検出するための検出器を有する。照明光は、ビームスプリッタを介して入射結合される。被検物から発する蛍光ないし反射光は、光線偏向装置を介してビームスプリッタへ戻り、これを通過し、そして検出用遮光器（これには検出器が後置されている）上で合焦する。被検物の合焦領域（スポット）から直接発した光に由来しない検出光は、上記とは別の光路を経由し、検出用遮光器を通過しない（後置の検出器により検出されない）。そのため、被横物の連続的走査によって三次元画像を形成する点情報が得られる。三次元画像は、大抵、断層的な画像データの集積により得られる。【０００６】  被検物から発する光のパワーは、走査過程中一定の時間間隔で測定され、従って走査点毎に点々と走査される。測定データから１つの画像を形成できるように、その測定値は、それに属する走査位置（スポット）に一義的に配属させられていなければならない。そのために、適切な方法により、光線偏向装置の調節素子の状態データを絶えず同時に測定するか、或いは−多少精度は落ちるが−光線偏向装置の制御目標データを直接使用する。【０００７】  透過型構成（ないしシステム）においては、例えば蛍光又は励起透過光をコンデンサ（レンズ系）側で検出することも可能である。この場合、検出光線は、走査（スキャン）ミラーを介さずに検出器に到達する（非走査型構成：Non-Descan-Anordnung）。上述の走査型構成（Descan-Anordnung）の場合のような三次元の分解能を得るために、透過型構成では、蛍光を検出するために、コンデンサ（レンズ系）側の検出用遮光器が必要であろう。尤も二光子励起の場合には、コンデンサ（レンズ系）側の検出用遮光器を省略することができる。というのは、励起確率は、光子密度の平方に依存（強度の２乗に比例）しており、光子密度は、当然のことながら、合焦スポットにおいて、その近傍よりも遥かに大きいからである。それゆえ検出されるべき蛍光は、そのほぼ全てが大きい確率で合焦領域（スポット）に由来するので、合焦領域（スポット）からの蛍光光子をその近傍領域からの蛍光光子から遮光装置によって更に分離・分別する必要はない。【０００８】  共���点走査型顕微鏡の分解能は、とりわけ照明光線の合焦（スポット）の強度分布及び空間的広がりによって与えられる。蛍光の利用に関して分解能を大きくするための装置が、PCT/DE/95/00124から既知である。その装置では、第二レーザ光源から放出される異なる波長のレーザ光によって照明合焦空間の辺縁領域が照明され、そこで第一レーザ光源の光によって励起された試料領域が誘導され基底状態に戻る。この場合検出されるのは、第二レーザ光によって照明されない領域から自発的に生じる光のみであり、そのため分解能は全体として改善される。この方法を行うために、ＳＴＥＤ（誘導放射空乏：Stimulated Emission Depletion）が一般に使用されてきた。
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】  ＳＴＥＤ顕微鏡の分野では、通常、２つのレーザが使用されるが、一方のレーザは試料領域を励起するためのものであり、他方は誘導放射を惹き起すためのものである。とりわけ誘導放射を惹き起すためには、大きな光パワーと、それと同時にできるだけ自由な波長選択能が必要とされる。そのためにしばしば使用されるのは、光学パラメトリック発振器（Optisch parametrische Oszillatoren：ＯＰＯ）である。ＯＰＯは、非常に高価であり、その上更に高出力の励起用レーザ（Pumplaser）を必要とする。励起用レーザは、大抵、これまた非常に高価なモード同期パルスレーザである。そのため励起用光源のためにコストがかかる。更には、レーザは全て、個々の試料領域に正確に当てるために、正確に調節しなければならない。パルス励起の場合では、励起用光パルスを当てた後所定の時間（これは試料構成物質の励起状態の寿命に依存する）内に誘導放射を惹起する光パルスを当てることが顧慮されなければならない。パルスレーザ相互間の同期化は、手間がかかり、しかもその機能が不十分かつ不安定であることしばしばである。
【００１０】  それゆえ、本発明の課題は、上述の問題を解決する光源装置及び走査型顕微鏡を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の第１の視点により、以下の特徴を有するＳＴＥＤ走査型顕微鏡検査における照明用光源装置を提供する。即ち、この光源装置は、１つの波長の光線を発する１つの電磁的エネルギー源を有すること、
該電磁的エネルギー源には、前記光線を空間的に分割して少なくとも２つの分割光線を形成する手段が後置されていること、及び
前記少なくとも２つの分割光線の少なくとも１つの分割光線には、波長を変化させるための中間素子が配されていること
前記中間素子は、
前記少なくとも２つの分割光線の第１の分割光線が、試料に直接投光され、そこで第一合焦領域を光学的に励起し、前記少なくとも２つの分割光線の第２の分割光線が、試料の第二合焦領域に投光され、そこで重畳領域を形成し、該第１の分割光線のみによって照射された試料領域のみが検出されるよう、該重畳領域において前記第１の分割光線の光によって励起された試料領域が誘導されて基底状態に戻されるように、当該中間素子を通過する分割光線の波長を変化すること、及び
前記第２の分割光線には、合焦形態変化手段が配されていること
を特徴とする（形態１・第１基本構成）。
【００１２】
更に、上述の課題を解決するために、本発明の第２の視点により、照明光線を試料に導くための光線偏向装置と、顕微鏡光学系と、検出器とを有するＳＴＥＤ走査型顕微鏡を提供する。このＳＴＥＤ走査型顕微鏡において、
１つの波長の光線を発する１つの電磁的エネルギー源を有すること
該電磁的エネルギー源には、前記光線を空間的に分割して少なくとも２つの分割光線を形成する手段が後置されていること、及び
前記少なくとも２つの分割光線の少なくとも１つの分割光線には、波長を変化させるための中間素子が配されていること
前記中間素子は、
前記少なくとも２つの分割光線の第１の分割光線が、試料に直接投光され、かつそこで第一合焦領域を光学的に励起し、前記少なくとも２つの分割光線の第２の分割光線が、試料の第二合焦領域に投光され、そこで重畳領域を形成し、該第１の分割光線のみによって照射された試料領域からの光のみが検出器によって検出されるよう、該重畳領域において該第１の分割光線の光によって励起された試料領域が誘導されて基底状態に戻されるように、当該中間素子を通過する分割光線の波長を変化すること、及び
前記第２の分割光線には、合焦形態変化手段が配されていること
を特徴とする（形態３・第２基本構成）。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好ましい実施の形態を示す。なお、形態２及び４は、従属請求項の対象でもある。
（形態１）  上記第１基本構成参照。
（形態２）  上記の光源装置において、前記電磁的エネルギー源は、パルスレーザとして構成されていることが好ましい。
（形態３）  上記第２基本構成参照。
（形態４）  上記のＳＴＥＤ走査型顕微鏡において、前記電磁的エネルギー源は、パルスレーザとして構成されていることが好ましい。
【００１４】  本発明の光源装置を使用することにより、電磁的エネルギー源しか必要とされないので、顕微鏡検査、とりわけＳＴＥＤ顕微鏡検査における照明が非常に単純化かつ低価格化される。
【００１５】  好ましい実施形態では、分割光線の一方（第一分割光線）が、試料の第一領域の光学的励起に使用される。分割光線の他方（第二分割光線）（その波長は中間素子によって調節される）は、試料の第二領域における誘導放射を惹き起すために使用される。その際、第一及び第二領域は、少なくとも部分的に重畳する。第二分割光線の波長は、中間素子によって変化させられる。この中間素子は、好ましくは、光学パラメトリック発振器（ＯＰＯ）である。
【００１６】  本発明によれば、更に有利には、パルス励起を行う場合（例えば多光子励起を目的とする）、電磁的エネルギー源（これによって励起も誘導放射も惹き起される）がパルスレーザであれば、パルス光光源相互間の同期化を省略することができる。
【実施例】
【００１７】  本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。なお、請求の範囲に付した図面参照符号は、発明の理解の容易化のためであって、本発明を図示の態様に限定することを意図しない。また、以下の実施例も発明の理解の容易化のために過ぎず、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲において当業者により実施可能な修正・変更を含むことも言うまでもない。【００１８】  図１に本発明の光源装置１を示した。チタン−サファイアレーザとして構成されているパルスレーザが電磁的エネルギー源３として配されている。パルスレーザからの光線１７は、光線を空間的に分割する手段（ビームスプリッタ５として構成されている）によって、第一分割光線１９と第二分割光線２１に分割される。第二分割光線２１は、ミラー７を介して中間素子９（これは光学パラメトリック発振器として構成されている）に達する。光学パラメトリック発振器９から射出された分割光線２３は、ミラー１１を介してダイクロイック光線結合器（入射結合器）１３に達し、そこで第一分割光線１９と結合し、光源装置１から射出する照明光線１５を形成する。ミラー７及び１１は傾動可能に支承され、そのため照明光線の成分相互間の相対的位置関係を調節することができる。【００１９】  図２に共焦点走査型顕微鏡として構成されている本発明の走査型顕微鏡を示す。ここに示した実施例では、光源装置１は、分割光線２３の光路に、光学パラメトリック発振器９に続いて、合焦形態に影響を与える手段（これは、λ／２プレート６１として構成されており、かつ分割光線２３の断面の中央部分のみによって通過される）を含む。分割光線１９もまた光学パラメトリック発振器２５に達する。そこから射出する分割光線は、（元の分割光線とは）異なる波長を有し、ここでは符号２７で表わされる。λ／２プレート６１を通過した分割光線２３は、ダイクロイック光線結合器１３に達し、そこで分割光線２７と結合し、光源装置１から射出する照明光線２９を形成する。【００２０】  照明光線２９は、光線結合器（ビームスプリッタ）３１で反射され光線偏向装置（これはカルダン式に懸架された走査ミラー３２を含む）３３へ向かう。走査ミラー３２は、照明光線２９を走査光学系３５、光学系３７を介し、更に顕微鏡光学系３９を通過して試料（被検物）４１上に導くか、ないしは試料４１を透過させる。照明光線２９は、非透過性試料４１の場合、試料表面に導かれる。生物学的試料４１（標本）又は透過性試料の場合は、照明光線２９は、試料４１を透過するよう導くことも可能である。このことは、試料４１の複数の合焦面が順次（ないし連続的に）照明光線２９によって走査されることを意味する。照明光線２９は、図２では、実線で描かれている。試料から発する検出光線４３は、顕微鏡光学系３９を通過し、光線偏向装置３３を介してビームスプリッタ（光線結合器）３１へ向かい、これを通過し、光電子増倍管（Photomultiplier）として構成されている検出器４７に入射する。試料４１から発する検出光線４３は、図２では、破線で描かれている。検出器４７では、試料（被検物）から発する検出光線４３の強度ないしパワーに比例する電気的検出信号が生成され、処理ユニット（不図示）へ伝送される。検出器４７には、帯域（通過）フィルタ（これは分割光線２３，２７の波長を有する光線を遮光する）４８が前置されている。共焦点走査型顕微鏡の場合に通常配される照明用ピンホール（遮光器）４６と、検出用ピンホール（遮光器）４５は、完全を期すために、図２に模式的に描かれている。これに対して、光線を案内及び形成する幾つかの光学素子は、図をより明瞭化するために省略されている。これらの光学素子は、当該技術分野に従事する当業者には自明のものである。【００２１】  図３に非走査型構成及び多光子励起の形態をとる本発明の走査型顕微鏡を示した。照明には、基本的には、図１に示した光源装置１が用いられるが、合焦形態に影響を与える手段（これはλ／２プレート６１として構成され、かつ分割光線５３の断面の中央部分のみのよって通過される）を更に含む。λ／２プレート６１を通過した分割光線５３は、ミラー５５によって反射されダイクロイック光線結合器３１へ向かい、そこで分割光線１９と結合し、光源装置１から射出する照明光線５１を形成する。試料４１の照明は、図２の装置と同様にして行われる。試料４１の領域の励起は、照明光線５１の一成分（これは分割光線１９の波長を有する）によって惹き起される。誘導放出（射）は、照明光線５１の別の成分（これは分割光線２３の波長を有する）によって惹き起される。λ／２プレート６１によって、照明光線５１の後者の成分は、内側が空（中空）の（中央に光の成分を持たない）合焦（形態）を持ち、そのためその空間の全方向において（誘導）放射空間（ボリューム）が制限（ないし削限）され、従って軸方向及び横方向の分解能は大きくなる。【００２２】  図３の実施例では、検出は、コンデンサ（レンズ系）側で行われる。試料４１から発する検出光線５７は、コンデンサ（レンズ系）５９によって合焦され、光電子増倍管として構成されている検出器４９に導かれる。検出器４９には、帯域（通過）フィルタ（これは分割光線２３の波長を有する光線を遮光する）４８が前置されている。【００２３】  図４は、検査されるべき試料４１の内部又は表面における、第一分割光線１９及び第二分割光線２３の空間配置を明確に示している。第二分割光線２３の直径（又は太さ）は、第一分割光線１９より大きく、そのため第一分割光線１９は、第二分割光線２３によって合焦領域内において完全に取囲まれている。第二分割光線２３は、内部が空の合焦形態を持つ。第一及び第二分割光線１９及び２３の重畳によって、合焦領域において、三次元の重畳領域（図４ではハッチングが付された断面部分として描かれている）６３が画成される。第一分割光線１９の合焦領域でかつ第二分割光線２３の中空部分内に在る領域は、放射空間６５を画成する。【００２４】  同様に、図５は、検査されるべき試料４１の内部又は表面における、第一及び第二分割光線１９及び２３の空間配置を明確に示している。第二分割光線２３と第一分割光線１９は、それぞれその辺縁領域において交差（重量）している。第一及び第二分割光線１９及び２３の辺縁領域における重畳によって、合焦領域において、三次元の重畳領域（図５ではハッチングが付された断面部分として描かれている）６３を画成する。
【発明の効果】
【００２５】
【発明の効果】
本発明の各独立請求項１及び３によりそれぞれ対応する所定の課題として掲げる効果が達成される。即ち、本発明の光源装置及び走査型顕微鏡により、安定的でかつ調節も容易であり、しかも低コストで高分解能を実現できる。各従属請求項により、更に付加的な効果が、前述の通りそれぞれ達成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の光源装置。
【図２】  完全走査構成のＳＴＥＤによって分解能が高められた本発明の走査型顕微鏡。
【図３】  不完全走査構成のＳＴＥＤ及び多光子励起によって分解能が高められた本発明の走査型顕微鏡。
【図４】  試料で重畳する分割光線の一例。
【図５】  試料で重畳する分割光線の他の一例。
【符号の説明】    １  光源装置
３  電磁的エネルギー源
５  ビームスプリッタ
７  ミラー
９  中間素子
１１  ミラー
１３  光線結合器
１５  照明光線
１７  光線
１９  第一分割光線
２１  第二分割光線
２３  分割光線
２５  光学パラメトリック発振器（ＯＰＯ）
２７  分割光線
２９  照明光線
３１  光線結合器
３２  走査ミラー
３３  光線偏向装置
３５  走査光学系
３７  光学系
３９  顕微鏡光学系
４１  試料（被検物）
４３  検出光線
４５  検出用ピンホール
４６  照明用ピンホール
４７  検出器
４８  帯域（通過）フィルタ
４９  検出器
５１  照明光線
５３  分割光線
５５  ミラー
５７  検出光線
５９  コンデンサ（レンズ系）
６１  λ／２プレート（ないし半波長板）
６２  第一領域
６３  重畳領域
６５  放射空間
【図１】
0005265070.tif 000002
【図２】
0005265070.tif 000003
【図３】
0005265070.tif 000004
【図４】
0005265070.tif 000005
【図５】
0005265070.tif 000006