(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気部品のＳｎ（錫）を含む端子に接触して電気的に接続される電気接触子において、
少なくとも前記端子に接触する接触部は、半田に含まれるＳｎが拡散する、大部分がＰｄ（パラジウム）からなるＰｄメッキ層及び大部分がＡｇ（銀）からなるＡｇメッキ層が積層されたものから形成され、前記Ｐｄメッキ層の上側に前記Ａｇメッキ層が積層されていることを特徴とする電気接触子。
【請求項２】
電気部品のＳｎ（錫）を含む端子に接触して電気的に接続される電気接触子において、
少なくとも前記端子に接触する接触部は、半田に含まれるＳｎが拡散する、大部分がＰｄ（パラジウム）からなるＰｄメッキ層及び大部分がＰｄとＡｇ（銀）との合金からなるＰｄ−Ａｇメッキ層が積層されたものから形成され、前記Ｐｄメッキ層の上側に前記Ｐｄ−Ａｇメッキ層が積層されていることを特徴とする電気接触子。
【請求項３】
電気部品のＳｎ（錫）を含む端子に接触して電気的に接続される電気接触子において、
少なくとも前記端子に接触する接触部は、半田に含まれるＳｎが拡散する、大部分がＰｄ（パラジウム）とＡｇ（銀）との合金からなるＰｄ−Ａｇメッキ層及び大部分がＡｇからなるＡｇメッキ層が積層されたものから形成され、前記Ｐｄ−Ａｇメッキ層の上側に前記Ａｇメッキ層が積層されていることを特徴とする電気接触子。
【請求項４】
ソケット本体と、前記電気部品が収容される収容部と、前記ソケット本体に配設されて前記電気部品の前記端子に接触される請求項１乃至３の何れか一つに記載の電気接触子とを有することを特徴とする電気部品用ソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体装置（以下「ＩＣパッケージ」という）等の電気部品に電気的に接続される電気接触子及び、この電気接触子が配設された電気部品用ソケットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、この種の電気接触子としては、電気部品用ソケットとしてのＩＣソケットに設けられたコンタクトピンが知られている。このＩＣソケットは、配線基板上に配置されると共に、検査対象であるＩＣパッケージが収容されるようになっており、このＩＣパッケージの端子と、配線基板の電極とが、そのコンタクトピンを介して電気的に接続されるようになっている。【０００３】
そのコンタクトピンは接触部がＡｕメッキ（極微量のＣｏが添加されている）層で、下地層がＮｉで成形されており、一方のＩＣパッケージ端子は鉛が設けられていない、主成分が錫でできている、いわゆる鉛フリー半田により形成されたものがあり、これらが接触されることにより、互いに電気的に接続されて、バーンイン試験が行われるようになっている。
【０００４】
この種のものとしては、特許文献１に記載されたようなものがある。
【特許文献１】特表２００５−５０４９６２号公報。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような従来のものにあっては、バーンイン試験を繰り返すことにより、電気抵抗値が早期の段階で大きくなってしまい、適切な試験を行えない場合があった。なお、ＩＣパッケージ端子とコンタクトピンとの接触荷重を上げることで、ある程度、電気抵抗値の増加を抑えられるが、接触荷重の上昇には、制約があり、電気抵抗値の増加抑制には限界があった。【０００６】
そこで、この発明は、バーンイン試験を繰り返し行っても、電気抵抗値の上昇を抑制し、適切な試験が行える電気接触子及び電気部品用ソケットを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる課題を達成するために、本発明者らは鋭意検討した結果、以下のことを見出した。すなわち、従来では、コンタクトピンの接触部がＡｕメッキ層で、下地層がＮｉで成形されているため、鉛フリー半田の端子を有するＩＣパッケージを対象としたバーンイン試験を繰り返すうちにＡｕが端子側に溶け込んでＡｕメッキ層が無くなり、下地層Ｎｉが露出するようになる。そして、Ｎｉが空気中で酸化し、比抵抗の大きい酸化被膜を作る。その結果、コンタクトピンの端子に対する接触部分の電気抵抗値が大きくなることを見出した。
【０００８】
このことにより、本発明者らは、電気接触子側の接触部が電気部品端子側に溶け込まず、下地層Ｎｉが露出しないように、電気部品端子の半田中のＳｎがバーンイン環境（高温）下で、電気接触子側に転写するようにし、且つ、接触部中に拡散して表面にＳｎが酸化物として蓄積され難いようにすれば、繰り返して使用しても、接触部分の電気抵抗の早期の上昇が抑制されるものと考えた。
【０００９】
そこで、請求項１に記載の発明は、電気部品のＳｎ（錫）を含む端子に接触して電気的に接続される電気接触子において、少なくとも前記端子に接触する接触部は、半田に含まれるＳｎが拡散する、大部分がＰｄ（パラジウム）からなるＰｄメッキ層及び大部分がＡｇ（銀）からなるＡｇメッキ層が積層されたものから形成され、前記Ｐｄメッキ層の上側に前記Ａｇメッキ層が積層されている電気接触子としたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、電気部品のＳｎ（錫）を含む端子に接触して電気的に接続される電気接触子において、少なくとも前記端子に接触する接触部は、半田に含まれるＳｎが拡散する、大部分がＰｄ（パラジウム）からなるＰｄメッキ層及び大部分がＰｄとのＡｇ（銀）と合金からなるＰｄ−Ａｇメッキ層が積層されたものから形成され、前記Ｐｄメッキ層の上側に前記Ｐｄ−Ａｇメッキ層が積層されている電気接触子としたことを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、電気部品のＳｎ（錫）を含む端子に接触して電気的に接続される電気接触子において、少なくとも前記端子に接触する接触部は、半田に含まれるＳｎが拡散する、大部分がＰｄ（パラジウム）とＡｇ（銀）との合金からなるＰｄ−Ａｇメッキ層及び大部分がＡｇからなるＡｇメッキ層が積層されたものから形成され、前記Ｐｄ−Ａｇメッキ層の上側に前記Ａｇメッキ層が積層されている電気接触子としたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、ソケット本体と、前記電気部品が収容される収容部と、前記ソケット本体に配設されて前記電気部品の前記端子に接触される請求項１乃至３の何れか一つに記載の電気接触子とを有する電気部品用ソケットとしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３６】
上記発明によれば、少なくとも端子に接触する接触部は、半田に含まれるＳｎが拡散する、大部分がＰｄ（パラジウム）からなるＰｄメッキ層及び大部分がＡｇ（銀）からなるＡｇメッキ層が積層されたものから形成され、Ｐｄメッキ層の上側にＡｇメッキ層が積層されている電気接触子（請求項１）、または、少なくとも端子に接触する接触部は、半田に含まれるＳｎが拡散する、大部分がＰｄ（パラジウム）からなるＰｄメッキ層及び大部分がＰｄとＡｇ（銀）との合金からなるＰｄ−Ａｇメッキ層が積層されたものから形成され、Ｐｄメッキ層の上側にＰｄ−Ａｇメッキ層が積層されている電気接触子（請求項２）、または、少なくとも端子に接触する接触部は、半田に含まれるＳｎが拡散する、大部分がＰｄ（パラジウム）とＡｇ（銀）との合金からなるＰｄ−Ａｇメッキ層及び大部分がＡｇからなるＡｇメッキ層が積層されたものから形成され、Ｐｄ−Ａｇメッキ層の上側にＡｇメッキ層が積層されている電気接触子（請求項３）としたため、バーンイン環境下で、この電気接触子が接触する電気部品端子の半田中のＳｎが、接触部に転写して拡散することから、この接触部の成分が電気部品端子側に溶け込むことなく、下地層が露出しないと共に、接触部表面にＳｎが酸化物として蓄積され難い。その結果、バーンイン試験を繰り返しても、電気接触子の接触部分の電気抵抗の早期の上昇を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】参考例１に係るＡｇ−Ｐｄメッキによるコンタクトピンの接触部を示す拡大模式断面図である。
【図２】参考例１に係るプローブを示す図である。
【図３】参考例１に係る半田試料を示す図である。
【図４】従来のプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図５】従来のプローブの接触部の表面分析結果を示す拡大図である。
【図６】従来のプローブの接触部のサイクルと電気抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【図７】参考例１に係るＡｇ−Ｐｄメッキによるプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図８】参考例１に係るＡｇ−Ｐｄメッキによるプローブの接触部のサイクルと電気抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【図９】参考例１に係るイオンプレーティングによるプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図１０】参考例１に係るイオンプレーティングによるプローブの接触部のサイクルと電気抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【図１１】この発明の実施の形態１の変形例を示す図１に相当するコンタクトピン接触部の拡大模式断面図である。
【図１２】参考例１の変形例を示す図１に相当するコンタクトピン接触部の拡大模式断面図である。
【図１３】参考例１の他の変形例を示す図１に相当するコンタクトピン接触部の拡大模式断面図である。
【図１４】この発明の実施の形態１の他の変形例を示す図１に相当するコンタクトピン接触部の拡大模式断面図である。
【図１５】この発明の実施の形態１の他の変形例を示す図１に相当するコンタクトピン接触部の拡大模式断面図である。
【図１６】参考例１の他の変形例を示す図１に相当するコンタクトピン接触部の拡大模式断面図である。
【図１７】参考例２に係るＡｇ−Ｓｎメッキによるコンタクトピンの接触部を示す拡大模式断面図である。
【図１８】従来のプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図１９】従来のプローブの接触部のサイクルと電気抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【図２０】参考例２に係るＡｇ−Ｓｎメッキによるプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図２１】参考例２に係るＡｇ−Ｓｎメッキによるプローブの接触部のサイクルと電気抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【図２２】参考例３の評価試験用のプローブを示す図である。
【図２３】参考例３の評価試験用の半田試料を示す図である。
【図２４】従来のプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図２５】従来のプローブの接触部のサイクルと電気抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【図２６】参考例３に係るＡｇ−ＺｎＯ複合材によるプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図２７】参考例３に係るＡｇ−ＺｎＯ複合材によるプローブの接触部のサイクルと電気抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【図２８】参考例３に係るＡｇ−Ｃ複合材によるプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図２９】参考例３に係るＡｇ−Ｃ複合材によるプローブの接触部のサイクルと抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【図３０】参考例３に係るＡｇ−ＳｎＯ２複合材によるプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図３１】参考例３に係るＡｇ−ＳｎＯ２複合材によるプローブの接触部のサイクルと抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【図３２】参考例４に係るコンタクトピン接触部を示す概略断面図である。
【図３３】参考例５に係るコンタクトピン接触部を示す概略断面図である。
【図３４】評価試験用のプローブを示す図である。
【図３５】評価試験用の半田試料を示す図である。
【図３６】従来のプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図３７】従来のプローブの接触部のサイクルと抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【図３８】参考例４に係る接点材料がＰｄ−Ａｇ合金のプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図３９】参考例４に係る接点材料がＰｄ−Ａｇ合金のプローブの接触部のサイクルと抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【図４０】参考例５に係る接点材料がＡｇにＺｎＯを添加した材料のプローブの接触部の断面分析結果を示す拡大断面図である。
【図４１】参考例５に係る接点材料がＡｇにＺｎＯを添加した材料のプローブの接触部のサイクルと抵抗値との関係を示すグラフ図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、この発明の実施の形態について説明する。
［参考例１］
【００４１】
図１乃至図１０には、参考例１を示す。
【００４２】
参考例１の電気接触子は、ここでは、バーンイン試験用のＩＣソケット（電気部品用ソケット）に配設されるコンタクトピン１１で、このコンタクトピン１１を介して、バーンイン試験時に、「電気部品」であるＩＣパッケージと配線基板とを電気的に接続するようにしている。
【００４３】
このＩＣパッケージは、方形状のパッケージ本体の下面に多数の端子が設けられ、この端子は、主成分がＳｎで鉛を含まないいわゆる鉛フリー半田により成形されている。【００４４】
そのＩＣソケットは、配線基板上に取り付けられるソケット本体を有し、このソケット本体に、複数のコンタクトピン１１が配設されている。【００４５】
そのコンタクトピン１１は、図１に示すように、基材１２と、下地層１３と、最表層（接触部）１４とから構成されている。その基材１２は、導電性を有する材料から成形され、ここでは、リン青銅から成形されている。また、下地層１３は、２〜３μｍのＮｉメッキにより成形されている。
【００４６】
さらに、最表層１４は、熱を加えることによりＳｎが溶け込む材料、ここでは、１μｍ程度のＰｄ−Ａｇメッキ層から構成され、ＰｄとＡｇとの重量比は、Ａｇが大きく設定されている。【００４７】
このＰｄ−Ａｇメッキ層は、例えばメッキによる製法又はイオンプレーティングによる製法により成形されている。【００４８】
そのメッキによる製法は、下地層１３としてＮｉメッキ２〜３μｍを施し、その上に密着層としてストライクＡｕメッキをした上で、最表層１４としてＰｄメッキ０．５μｍとＡｇメッキ０．５μｍを交互に重ねた後恒温槽にて所定の温度でＰｄ及びＡｇを熱拡散させるものである。このときＰｄとＡｇとの重量比は、Ｐｄ：Ａｇ＝５４：４６であるが、この比は、Ｐｄメッキ層及びＡｇメッキ層の膜厚を調整することで自由に変えることができる。【００４９】
また、イオンプレーティングによる製法は、下地層１３としてＮｉメッキ２〜３μｍを施し、その上に最表層１４としてＰｄ及びＡｇをイオンプレーティングにより１μｍ付着させた。この場合、ＰｄとＡｇとの重量比は、Ｐｄ：Ａｇ＝３６：６４で、Ａｇの方が大きい。【００５０】
これによれば、かかるコンタクトピン１１を、ＩＣパッケージの端子に接触させ、バーンイン試験を繰り返し行うことにより、従来では、コンタクトピン１１の電気抵抗値が早期に上昇していたが、この参考例１では、電気抵抗値の上昇を抑制できて、バーンイン試験を適性に行うことができる。
【００５１】
すなわち、従来では、コンタクトピン１１の最表層１４がＡｕメッキ層で、下地層１３がＮｉで成形されているため、鉛フリー半田の端子を有するＩＣパッケージを対象としたバーンイン試験を繰り返すうちにＡｕが端子側に溶け込んでＡｕメッキ層が無くなり、下地層１３のＮｉが露出するようになる。そして、Ｎｉが空気中で酸化し、比抵抗の大きい酸化被膜を作る。その結果、コンタクトピン１１の端子に対する接触部分の電気抵抗値が大きくなっていた。【００５２】
しかし、この参考例１では、コンタクトピン１１の最表層１４にＰｄとＡｇからなるメッキ層を設けたため、バーンイン環境下（８０℃〜１７０℃）で、ＩＣパッケージ端子の半田中のＳｎが、コンタクトピン１１の最表層１４に転写して拡散する。従って、ＰｄとＡｇがＩＣパッケージ端子側に溶け込むことなく、下地層１３のＮｉが露出しないと共に、最表層１４の表面にＳｎが酸化物として蓄積され難い。
【００５３】
してみれば、バーンイン試験を繰り返しても、コンタクトピン１１の接触部分の電気抵抗の早期の上昇が抑制されることとなる。【００５４】
次に、この発明の効果を裏付ける評価試験について説明する。【００５５】
ここでは、バーンイン試験における従来のＡｕメッキのプローブ１７と、この発明に係る上記最表層がＰｄ−Ａｇメッキ層であるプローブ１８との電気抵抗値増加傾向を比較した。
（１）試験内容【００５６】
実際のコンタクトピンを用いた実装試験ではなく、単純な形状のプローブ及び半田試料を用いたモデル試験とする。理由は、接触部の材料特性をより正確に評価するためである。つまり、電気部品用ソケットにコンタクトピンを配設した状態での接触では、不安定要素が多く、試験条件再現の信頼性に問題があると考えられる。【００５７】
本モデル試験で用いるプローブ及び半田試料は次の仕様とする。
（２）Ａｕプローブ仕様【００５８】
基材にリン青銅を使用する。【００５９】
プローブ１７の形状は、図２に示すように、接触部１７ａがＲ形状に形成されている。【００６０】
この接触部１７ａの管理及び製法は、基材先端部を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げた上で、Ｎｉメッキ２〜３μｍを施し、その上にＡｕメッキ０．８μｍを施す。
（３）Ｐｄ−Ａｇプローブ仕様【００６１】
基材にリン青銅を使用する。【００６２】
プローブ１８の形状は、図２に示すように、接触部１８ａがＲ形状に形成した。【００６３】
この接触部１８ａの管理及び製法は、メッキによる製法とイオンプレーティングによる製法で行った。【００６４】
メッキによる製法：基材先端部を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げた上で、Ｎｉメッキ２〜３μｍを施し、その上に密着層としてストライクＡｕメッキをした上で、Ｐｄメッキ０．５μｍとＡｇメッキ０．５μｍを交互に重ねた後恒温槽にて所定の温度でＰｄ及びＡｇを熱拡散させた。このときＰｄとＡｇとの重量比は、Ｐｄ：Ａｇ＝５４：４６である。【００６５】
イオンプレーティングによる製法：基材先端部を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げた上で、Ｎｉメッキ２〜３μｍを施し、その上にＰｄ及びＡｇをイオンプレーティングにより１μｍ付着させた。この場合、ＰｄとＡｇとの重量比は、Ｐｄ：Ａｇ＝３６：６４とした。
（４）半田試料仕様【００６６】
基材にリン青銅を使用した。【００６７】
半田試料２０の形状は、図３に示すように、長手方向に直交する方向の断面が略半円形状（かまぼこ形状）とした。【００６８】
製法：基材にバリア層としてＮｉメッキ２〜３μｍを施した上に、鉛フリー半田メッキ１０μｍを施す。
（５）測定方法
・抵抗値測定法：４端子法により行った。
・試験条件
接触加重：３０ｇ（分銅による管理）
摺動距離：０．５ｍｍ（一方向）
周囲温度：室温〜１５０℃
電流    ：８０ｍＡ
・試験サイクル【００６９】
ａ．プローブ接触部１７ａ，１８ａを半田試料２０に接触
ｂ．プローブ接触部１７ａ，１８ａを半田試料２０に対し摺動
ｃ．プローブ接触部１７ａ，１８ａの抵抗値測定
ｄ．プローブ１７，１８を１５０℃まで昇温
ｅ．６時間１５０℃を保つ
ｆ．室温まで降温
ｇ．非接触状態で３０分放置
ｈ．プローブ接触部１７ａ，１８ａを半田試料２０の新しい面に移動
上記ａ〜ｈを４０サイクル
（６）接触部断面分析【００７０】
上記試験サイクルを行い、各プロ−ブ１７，１８の接触部１７ａ，１８ａの分析を行った。【００７１】
Ａｕメッキのプローブ１７では、バーンイン試験を繰り返すと、Ａｕが半田試料２０側に溶け込んで無くなり、下地層Ｎｉが露出する部分が生じた。【００７２】
すなわち、図４は、プローブ１７の接触部１７ａの転写後における８０００倍の断面分析結果を示す。（ａ）はコンポ像を示し、色の薄い部分がプローブ１７の断面を示し、（ｂ）の色の薄い部分がＡｕを示し、（ｃ）の色の薄い部分がＳｎを示し、（ｄ）の色の薄い部分がＮｉを示す。また、図５には、プローブ１７の接触部１７ａの表面を示し、色の薄い部分がＮｉを示す。これらの図から、Ｎｉが接触部１７ａの表面の露出していることが分かる。【００７３】
そして、このようにＮｉが露出することにより、このＮｉが空気中で比抵抗の大きい酸化皮膜を作るため、電気的接触抵抗が増加するものと考えられる。【００７４】
これを裏付けるものとして、測定結果による図６のサイクル数と電気抵抗値との関係を示すグラフがある。このグラフは、上記プローブ１７の４つのサンプルを用い、サイクル毎に接触部１７ａの電気抵抗値を測定したものであり、このグラフを観れば、サイクル数が増加するに従って、電気抵抗値も増加していることが分かる。【００７５】
一方、Ｐｄ−Ａｇメッキのプローブ１８では、半田試料２０のＳｎがプローブ１８に転写し、拡散してＡｇ及びＰｄとの合金層を形成することにより、Ｎｉが露出せず、且つ、Ｓｎが酸化物として接触部１８ａに蓄積され難いことが考えられる。接触部１８ａは比較的電気抵抗値の低い、Ｓｎ−Ｐｄ−Ａｇの合金あるいは偏析したＡｇとなる。【００７６】
すなわち、図７は、プローブ１８の接触部１８ａの転写後における８０００倍の断面分析結果を示す。（ａ）はコンポ像を示し、色の薄い部分がプローブの断面を示し、（ｂ）の色の薄い部分がＡｇを示し、（ｃ）の色の薄い部分がＰｄを示し、（ｄ）の色の薄い部分がＳｎを示し、全体的に拡散しており、（ｅ）の色の薄い部分がＮｉを示す。【００７７】
これによれば、図７（ｅ）に示すように、Ｎｉが接触部１８ａの表面に露出しておらず、又、図７（ｄ）に示すように、Ｓｎは内部に拡散していることが分かる。【００７８】
このＳｎの拡散過程で、Ｐｄ−Ａｇメッキのプローブ１８の接触部１８ａ表面に存在するであろう各種金属の酸化膜が破壊されることが予想される。また、このＳｎ拡散部分は、酸化してもその酸化膜が、Ｎｉの酸化膜に比較し、半田試料２０との接触により物理的に破壊され易いことが考えられる。【００７９】
そして、このことにより、接触部１８ａの電気的な接触抵抗の増加が抑制されるものと考えられる。【００８０】
これを裏付けるものとして、測定結果による図８のサイクル数と電気抵抗値との関係を示すグラフがある。このグラフは、上記プローブ１８の２つのサンプルを用い、サイクル毎に接触部１８ａの電気抵抗値を測定したものであり、このグラフを観れば、サイクル数が増加しても、電気抵抗値が増加していないことが分かる。【００８１】
また、図９には、Ｐｄ−Ａｇイオンプレーティングによる、接触部断面分析の結果を示すが、Ｐｄ−Ａｇメッキの場合と略同様に、Ｎｉが接触部の表面に露出しておらず、又、Ｓｎは内部に拡散していることが分かる。【００８２】
そして、図１０に示すグラフによれば、サイクル数が増加しても、電気抵抗値が増加していないことが分かる。【００８３】
ここで、図１１、図１４、図１５は、それぞれ、発明の実施の形態１の異なる変形例を示す。また、図１２、図１３、図１６は、それぞれ、参考例１の異なる変形例を示す。
【００８４】
図１１に示すコンタクトピン１１は、Ｐｄ−Ａｇメッキ層１４ａと下地層１３との間に、Ｐｄメッキ層１４ｂが形成され、図１２に示すコンタクトピン１１は、Ｐｄ−Ａｇメッキ層１４ａと下地層１３との間に、Ａｇメッキ層１４ｃが形成され、図１３に示すコンタクトピン１１は、Ｐｄ−Ａｇメッキ層１４ａの上に、Ｐｄメッキ層１４ｂが形成され、図１４に示すコンタクトピン１１は、Ｐｄ−Ａｇメッキ層１４ａの上に、Ａｇメッキ層１４ｃが形成され、図１５に示すコンタクトピン１１は、下地層１３の上に、Ｐｄメッキ層１４ｂとＡｇメッキ層１４ｃとが順に積層され、図１６に示すコンタクトピン１１は、下地層１３の上に、Ａｇメッキ層１４ｃとＰｄメッキ層１４ｂとが順に積層されている。【００８５】
このようなものにあっても、コンタクトピン１１の最表層１４にＰｄとＡｇからなるメッキ層を設けたため、バーンイン環境下（８０℃〜１７０℃）で、ＩＣパッケージ端子の半田中のＳｎが、コンタクトピン１１の最表層１４に転写して拡散する。従って、ＰｄとＡｇがＩＣパッケージ端子側に溶け込むことなく、下地層１３のＮｉが露出しないと共に、最表層１４の表面にＳｎが酸化物として蓄積され難い。その結果、バーンイン試験を繰り返しても、コンタクトピン１１の接触部分の電気抵抗の早期の上昇が抑制されることとなる。
［参考例２］
【００８６】
図１７乃至図２１には、参考例２を示す。
【００８７】
参考例２のコンタクトピン１１は、図１７に示すように、基材１２と、下地層１３と、最表層１４とから構成されている。その基材１２は、導電性を有する材料から成形され、ここでは、リン青銅から成形されている。また、下地層１３は、２〜３μｍのＮｉメッキにより成形されている。
【００８８】
さらに、最表層１４は、熱を加えることによりＳｎが溶け込む材料、ここでは、１μｍ程度のＡｇ−Ｓｎ（Ａｇ１０ｗｔ％）メッキ層から構成され、ＡｇとＳｎとの重量比は、Ａｇが８０％以上に設定されている。【００８９】
このＡｇ−Ｓｎメッキ層は、例えばメッキによる製法又はイオンプレーティングによる製法により成形されている。【００９０】
これによれば、かかるコンタクトピン１１を、ＩＣパッケージの端子に接触させ、バーンイン試験を繰り返し行うことにより、従来では、コンタクトピン１１の電気抵抗値が早期に上昇していたが、この参考例２では、電気抵抗値の上昇を抑制できて、バーンイン試験を適性に行うことができる。
【００９１】
すなわち、従来では、コンタクトピン１１の最表層１４がＡｕメッキ層で、下地層１３がＮｉで成形されているため、鉛フリー半田の端子を有するＩＣパッケージを対象としたバーンイン試験を繰り返すうちにＡｕが端子側に溶け込んでＡｕメッキ層が無くなり、下地層１３のＮｉが露出するようになる。そして、Ｎｉが空気中で酸化し、比抵抗の大きい酸化被膜を作る。その結果、コンタクトピン１１の端子に対する接触部分の電気抵抗値が大きくなっていた。【００９２】
しかし、参考例２では、コンタクトピン１１の最表層１４にＡｇとＳｎとからなるメッキ層を設けたため、バーンイン環境下（８０℃〜１７０℃）で、ＩＣパッケージ端子の半田中のＳｎが、コンタクトピン１１の最表層１４に転写して拡散する。従って、ＡｇとＳｎとがＩＣパッケージ端子側に溶け込むことなく、下地層１３のＮｉが露出しないと共に、最表層１４の表面にＳｎが酸化物として蓄積され難い。
【００９３】
してみれば、バーンイン試験を繰り返しても、コンタクトピン１１の接触部分の電気抵抗の早期の上昇が抑制されることとなる。【００９４】
次に、この発明の効果を裏付ける評価試験について説明する。【００９５】
ここでは、バーンイン試験における従来のＡｕメッキのプローブ１７と、この発明に係る上記最表層がＰｄーＡｇメッキ層であるプローブ１８との電気抵抗値増加傾向を比較した。
（１）試験内容【００９６】
実際のコンタクトピンを用いた実装試験ではなく、単純な形状のプローブ及び半田試料を用いたモデル試験とする。理由は、接触部の材料特性をより正確に評価するためである。つまり、電気部品用ソケットにコンタクトピンを配設した状態での接触では、不安定要素が多く、試験条件再現の信頼性に問題があると考えられる。【００９７】
本モデル試験で用いるプローブ及び半田試料は次の仕様とする。
（２）Ａｕプローブ仕様【００９８】
基材にリン青銅を使用する。【００９９】
プローブ１７の形状は、前述の図２に示すように、接触部１７ａがＲ形状に形成されている。【０１００】
この接触部１７ａの管理及び製法は、基材先端部を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げた上で、Ｎｉメッキ２〜３μｍを施し、その上にＡｕメッキ０．８μｍを施す。
（３）Ａｇ−Ｓｎプローブ仕様【０１０１】
基材にリン青銅を使用する。【０１０２】
プローブ１８の形状は、前述の図２に示すように、接触部１８ａがＲ形状に形成した。【０１０３】
この接触部１８ａの管理及び製法は、メッキによる製法とイオンプレーティングによる製法で行った。【０１０４】
メッキによる製法：基材先端部を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げた上で、Ｎｉメッキ２〜３μｍを施し、その上にＡｇ−Ｓｎ（Ａｇ１０Ｗｔ％）メッキ１．０μｍを施した。
（４）半田試料仕様【０１０５】
基材にガラスエポキシを使用した。【０１０６】
半田試料２０の形状は、前述の図３に示すように、長手方向に直交する方向の断面が略半円形状（かまぼこ形状）とした。【０１０７】
製法：ガラスエポキシ基板にＡｕをプリントし、その上に鉛フリー（Ｓｎ−３Ａｇ−０．５Ｃｕ）ペースト半田をスクリーン印刷しリフローした。
（５）測定方法
・抵抗値測定法：４端子法により行った。
・試験条件
接触加重：１５ｇ（分銅による管理）
周囲温度：室温〜１５０℃
電流    ：８０ｍＡ
・試験サイクル
a ．プローブ接触部１７ａ，１８ａを半田試料２０に接触
b ．プローブ接触部１７ａ，１８ａの抵抗値測定
c ．プローブ１７，１８を１５０℃まで昇温
d ．６時間１５０℃を保つ
e ．室温まで降温
f ．非接触状態で３０分放置
g ．プローブ接触部１７ａ，１８ａを半田試料２０の新しい面に移動
上記ａ〜gを４０サイクル
（６）試験全体の流れ
a ．プローブ接触部１７ａ，１８ａをマイクロスコープにより観察及び撮影
b ．前述した試験サイクルを繰り返す。１５サイクル毎に半田試料２０を新しいものに交換する。その際、プローブ先端の接触部１７ａ，１８ａおよび半田試料２０の接触痕をマイクロスコープにより観察及び撮影
c ．４０サイクルで終了。プローブ先端の接触部１７ａ，１８ａおよび半田試料２０の接触痕をマイクロスコープにより観察及び撮影
d ．プローブ先端の接触部１７ａ，１８ａ表面の元素分析
e ．プローブ先端の接触部１７ａ，１８ａ断面の元素分析
（７）接触部断面分析【０１０８】
上記試験サイクルを行い、各プロ−ブ１７，１８の接触部１７ａ，１８ａの分析を行った。【０１０９】
Ａｕメッキのプローブ１７では、バーンイン試験を繰り返すと、Ａｕが半田試料２０側に溶け込んで無くなり、下地層Ｎｉが露出する部分が生じた。【０１１０】
すなわち、図１８は、プローブ１７の接触部１７ａの転写後における８０００倍の断面分析結果を示す。（ａ）はコンポ像を示し、色の多少薄い部分がプローブ１７の断面を示し、（ｂ）の色の薄い部分がＡｕを示し、（ｃ）の色の薄い部分がＳｎを示し、（ｄ）の色の薄い部分がＮｉを示す。これらの図から、Ｎｉが接触部１７ａの表面の露出していることが分かる。【０１１１】
そして、このようにＮｉが露出することにより、このＮｉが空気中で比抵抗の大きい酸化被膜を作るため、接触抵抗値が増加するものと考えられる。【０１１２】
これを裏付けるものとして、測定結果による図１９のサイクル数と電気抵抗値との関係を示すグラフがある。このグラフは、上記プローブ１７の４つのサンプルを用い、サイクル毎に接触部１７ａの電気抵抗値を測定したものであり、このグラフを観れば、サイクル数が増加するに従って、電気抵抗値も増加していることが分かる。【０１１３】
一方、Ａｇ−Ｓｎメッキのプローブ１８では、表層部分が無くなることはなく、プローブ１８側の下地Ｎｉが露出することはない。これが低抵抗を保つ一つの理由と考えられる。Ａｇ−Ｓｎメッキのプローブ１８では、プローブ１８側の接触部１８ａと半田試料２０側の接触部との間で生じる物質の転写は、半田試料２０側の接触部１８ａからプローブ１８側の接触部へのＳｎの拡散であることが図２０から予想される。このＳｎの拡散過程で、接触部表面の各種金属の酸化物層が破壊されることが予想され、これが低抵抗を保つもう一つの理由として考えられる。また、Ａｇ−Ｓｎメッキのプローブ１８側の接触部１８ａのＳｎ拡散部分は、酸化してもその酸化被膜が、Ｎｉの酸化被膜に比較し、半田試料２０との接触により物理的に破壊されやすいことが考えられる。【０１１４】
すなわち、図２０は、プローブ１８の接触部１８ａの転写後における８０００倍の断面分析結果を示す。（ａ）はコンポ像を示し、色の薄い部分がプローブの断面を示し、（ｂ）の色の薄い部分がＡｇを示し、（ｃ）の色の薄い部分がＳｎを示し、（ｄ）の色の薄い部分がＮｉを示す。【０１１５】
これによれば、図２０（ｄ）に示すように、Ｎｉが接触部１８ａの表面に露出しておらず、又、図２０（ｃ）に示すように、Ｓｎは内部に拡散していることが分かる。【０１１６】
そして、このことにより、接触部１８ａの電気的な接触抵抗の増加が抑制されるものと考えられる。【０１１７】
これを裏付けるものとして、測定結果による図２１のサイクル数と電気抵抗値との関係を示すグラフがある。このグラフは、上記プローブ１８の２つのサンプルを用い、サイクル毎に接触部１８ａの電気抵抗値を測定したものであり、この図２１のグラフと従来の図１９のグラフとを比較すれば、図２１に示すものの方がサイクル数が増加しても、電気抵抗値が増加していないことが分かる。
［参考例３］
【０１１８】
図２２乃至図３１には、参考例３を示す。
【０１１９】
参考例３の電気接触子は、ここでは、バーンイン試験用のＩＣソケット（電気部品用ソケット）に配設されるコンタクトピンで、このコンタクトピンを介して、バーンイン試験時に、「電気部品」であるＩＣパッケージと配線基板とを電気的に接続するようにしている。
【０１２０】
このＩＣパッケージは、例えば方形状のパッケージ本体の下面に多数の端子が設けられ、この端子は、主成分がＳｎで鉛を含まない、いわゆる鉛フリー半田により成形されている。【０１２１】
そのＩＣソケットは、配線基板上に取り付けられるソケット本体を有し、このソケット本体に、複数のコンタクトピンが配設されている。【０１２２】
このコンタクトピンは、熱を加えることによりＳｎ（錫）が溶け込んで拡散する、Ａｇ−金属元素の酸化物の複合材料である、Ａｇ−ＺｎＯの材質の複合材から形成されている。この場合のＡｇとＺｎＯとの重量比は、８９．７：１０．３であり、Ａｇが８０％以上である。【０１２３】
また、そのコンタクトピンは、Ａｇ−金属元素の酸化物の複合材料として、Ａｇ−ＺｎＯの材質以外に、Ａｇ−ＳｎＯ２の材質の複合材から形成することもできる。【０１２４】
さらに、そのコンタクトピンは、Ａｇ−金属以外の物質の複合材料である、Ａｇ−Ｃの材質の複合材から形成することもできる。この場合のＡｇとＣとの重量比は、９９：１であり、Ａｇが８０％以上である。【０１２５】
これによれば、かかるコンタクトピンを、ＩＣパッケージの端子に接触させ、バーンイン試験を繰り返し行うことにより、従来では、コンタクトピンの電気抵抗値が早期に上昇していたが、この参考例３では、電気抵抗値の上昇を抑制できて、バーンイン試験を適性に行うことができる。
【０１２６】
すなわち、従来では、コンタクトピンの最表層がＡｕメッキ層で、下地層がＮｉで成形されているため、鉛フリー半田の端子を有するＩＣパッケージを対象としたバーンイン試験を繰り返すうちにＡｕが端子側に溶け込んでＡｕメッキ層が無くなり、下地層のＮｉが露出するようになる。そして、Ｎｉが空気中で比抵抗の大きい酸化被膜を作るため、コンタクトピンの端子に対する接触部分の電気抵抗値が増加するものと考えられる。【０１２７】
しかし、参考例３では、コンタクトピンの接触部をＡｇ−ＺｎＯ複合材又は、Ａｇ−Ｃ複合材で成形することにより、Ｓｎが接触部の内部まで拡散し、接触部表面にＳｎが酸化物として蓄積され難くなり、低抵抗を保つこととなる。
【０１２８】
してみれば、バーンイン試験を繰り返しても、コンタクトピンの接触部の電気抵抗の早期の上昇が抑制されることとなる。【０１２９】
次に、この発明の効果を裏付ける評価試験について説明する。【０１３０】
ここでは、バーンイン試験における従来のＡｕメッキのプローブ１１７と、この発明に係る上記接触部がＡｇ−ＺｎＯ複合材のプローブ１１８又は、Ａｇ−Ｃ複合材のプローブ１１９との電気抵抗値増加傾向を比較した。
（１）試験内容【０１３１】
実際のコンタクトピンを用いた実装試験ではなく、単純な形状のプローブ１１７，１１８，１１９及び半田試料１２０を用いたモデル試験とする。理由は、接触部の材料特性をより正確に評価するためである。つまり、電気部品用ソケットにコンタクトピンを配設した状態での接触では、不安定要素が多く、試験条件再現の信頼性に問題があると考えられる。【０１３２】
本モデル試験で用いるプローブ１１７，１１８，１１９及び半田試料１２０は次の仕様とする。
（２）Ａｕプローブ仕様【０１３３】
基材にリン青銅を使用する。【０１３４】
プローブ１１７の形状は、図２２に示すように、接触部１１７ａが９０度の角度に形成されている。【０１３５】
この接触部１１７ａの管理及び製法は、基材先端部を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げる。その後、Ｎｉメッキ２〜３μｍを施し、その上にＡｕメッキ０．８μｍを施す。
（３）Ａｇ−ＺｎＯプローブ仕様【０１３６】
全体がＡｇ−ＺｎＯ複合材で形成され、ＡｇとＺｎＯとの重量比は、８９．７：１０．３である。【０１３７】
プローブ１１８の形状は、図２２に示すように、接触部１８ａが９０度の角度に形成されている。【０１３８】
この接触部１１８ａは、先端の両面を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げる。
（４）Ａｇ−Ｃプローブ仕様【０１３９】
全体がＡｇ−Ｃ複合材で形成され、ＡｇとＣとの重量比は、９９：１である。
プローブ１１９の形状は、図２２に示すように、接触部１１９ａが９０度の角度に形成されている。
【０１４０】
この接触部１１９ａは、先端の両面を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げる。
（５）半田試料仕様【０１４１】
基材にガラスエポキシを使用した。【０１４２】
半田試料１２０は、図２３に示すように、ガラエポ基板にＣｕ／ＮｉＡｕをプリントし、その上に鉛フリー（Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ，重量比９６．５：３：０．５）ペースト半田をスクリーン印刷し、リフローして表面張力により、接触部１２０ａを形成した。
（６）測定方法【０１４３】
・抵抗値測定法：４端子法により行った。
・試験条件
接触加重：１５ｇ（分銅による管理）
周囲温度：室温〜１５０℃
電流    ：８０ｍＡ
・試験サイクル
ａ．プローブ接触部１１７ａ，１１８ａ，１１９ａを半田試料１２０に接触
ｂ．プローブ接触部１１７ａ，１１８ａ，１１９ａの抵抗値測定
ｃ．プローブ１１７，１１８，１１９を１５０℃まで昇温
ｄ．６時間１５０℃を保つ
ｅ．室温まで降温
ｆ．非接触状態で３０分放置
ｇ．プローブ接触部１１７ａ，１１９ａを半田試料２０の新しい面に移動
上記ａ〜ｇを４０サイクル
（７）接触部断面分析
【０１４４】
上記試験サイクルを行い、各プロ−ブ１１７，１１８，１１９の接触部１１７ａ，１１８ａ，１１９ａの分析を行った。【０１４５】
Ａｕメッキのプローブ１１７では、バーンイン試験を繰り返すと、Ａｕが半田試料１２０側に溶け込んでＡｕメッキ層が無くなり、下地層Ｎｉが露出する部分が生じた。【０１４６】
すなわち、図２４は、プローブ１１７の接触部１１７ａの転写後における８０００倍の断面分析結果を示す。（ａ）はコンポ像を示し、色の薄い部分がプローブ接触部１１７ａの断面を示し、（ｂ）の色の薄い部分がＡｕを示し、（ｃ）の色の薄い部分がＳｎを示し、（ｄ）の色の薄い部分がＮｉを示す。これらの図、特に、図２４の（ｄ）から、Ｎｉが接触部１１７ａの表面に露出していることが分かる。
【０１４７】
そして、このようにＮｉが露出することにより、このＮｉが空気中で比抵抗の大きい酸化被膜を作るため、電気的な接触抵抗が増加するものと考えられる。【０１４８】
これを裏付けるものとして、測定結果による図２５のサイクル数と電気抵抗値との関係を示すグラフがある。このグラフは、上記プローブ１１７の４つのサンプルを用い、サイクル毎に接触部１１７ａの電気抵抗値を測定したものであり、このグラフを観れば、サイクル数が増加するに従って、電気抵抗値も増加していることが分かる。【０１４９】
一方、Ａｇ−ＺｎＯ複合材のプローブ１１８では、半田試料１２０のＳｎがプローブ１１８に転写し、内部まで拡散することにより、接触部１１８ａ表面の各種金属の酸化物層が破壊されることが考えられる。また、プローブ１１８側の接触部１１８ａと半田試料１２０側の接触部１２０ａとの間で生じる物質の移動は、半田試料１２０側の接触部１２０ａからプローブ１１８側の接触部１１８ａへのＳｎの移動であるため、プローブ１１８の表面部分が無くなることはなく、プローブ１１８側に下地層としてＮｉが存在したとしても、Ｎｉが露出することはないものと考えられる。【０１５０】
すなわち、図２６は、プローブ１１８の接触部１１８ａの転写後における８０００倍の断面分析結果を示す。（ａ）はコンポ像を示し、色の薄い部分がプローブ接触部１１８ａの断面を示し、（ｂ）の色の薄い部分がＡｇを示し、（ｃ）の色の薄い部分がＺｎを示し、（ｄ）の色の薄い部分がＳｎを示す。
【０１５１】
これによれば、図２６（ｄ）に示すように、Ｓｎが内部に拡散していることが分かる。このＳｎの拡散過程で、接触部１１８ａ表面に存在するであろう各種金属の酸化被膜が破壊されることが予想される。また、この接触部１１８ａのＳｎ拡散部分は、表面が酸化してもその酸化被膜が、Ｎｉの酸化被膜に比較して半田試料１２０との接触により物理的に破壊されやすいことが考えられる。【０１５２】
そして、このことにより、接触部１１８ａの接触抵抗の増加が抑制されるものと考えられる。【０１５３】
これを裏付けるものとして、測定結果による図２７のサイクル数と電気抵抗値との関係を示すグラフがある。このグラフは、上記プローブ１１８の２つのサンプルを用い、サイクル毎に接触部１１８ａの電気抵抗値を測定したものであり、このグラフを観れば、サイクル数が増加しても、電気抵抗値が増加していないことが分かる。【０１５４】
また、Ａｇ−Ｃ複合材のプローブ１１９では、半田試料１２０のＳｎがプローブ１１９に転写し、内部まで拡散することにより、接触部１１９ａ表面の各種金属の酸化物層が破壊されることが考えられる。また、プローブ１１９側の接触部１１９ａと半田試料１２０側の接触部１２０ａとの間で生じる物質の移動は、半田試料１２０側の接触部１２０ａからプローブ１１９側の接触部１１９ａへのＳｎの移動であるため、プローブ１１９の表面部分が無くなることはなく、プローブ１１９側に下地層としてＮｉが存在したとしても、Ｎｉが露出することはないものと考えられる。
【０１５５】
すなわち、図２８は、プローブ１１９の接触部１１９ａの転写後における８０００倍の断面分析結果を示す。（ａ）はコンポ像を示し、色の薄い部分がプローブ接触部１１９ａの断面を示し、（ｂ）の色の薄い部分がＡｇを示し、（ｃ）の色の薄い部分がＳｎを示す。【０１５６】
これによれば、図２８（ｃ）に示すように、Ｓｎが内部に拡散していることが分かる。このＳｎの拡散過程で、接触部１１９ａ表面に存在するであろう各種金属の酸化被膜が破壊されることが予想される。また、この接触部１１９ａのＳｎ拡散部分は、表面が酸化してもその酸化被膜が、Ｎｉの酸化被膜に比較して半田試料１２０との接触により物理的に破壊されやすいことが考えられる。【０１５７】
そして、このことにより、接触部１１９ａの接触抵抗の増加が抑制されるものと考えられる。【０１５８】
これを裏付けるものとして、測定結果による図２９のサイクル数と電気抵抗値との関係を示すグラフがある。このグラフは、上記プローブ１１９の２つのサンプルを用い、サイクル毎に接触部１１９ａの電気抵抗値を測定したものであり、このグラフを観れば、サイクル数が増加しても、電気抵抗値がそれ程増加していないことが分かる。【０１５９】
次に、バーンイン試験における従来のＡｕメッキのプローブ１１７と、この発明に係る上記接触部がＡｇ−ＳｎＯ２複合材のプローブ１２１との電気抵抗値増加傾向を比較した。【０１６０】
なお、試験内容は、前述のＡｇ−ＺｎＯ及びＡｇ−Ｃの場合と同様である。ちなみに、Ａｇ−ＳｎＯ２複合材のプローブ１２１は、Ａｇが９０．０、ＳｎＯ２が１０．０の重量比であり、このプローブ１２１の先端の両面を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げる。【０１６１】
そのＡｕメッキのプローブ１１７では、前述と同様、Ｎｉが露出することにより、このＮｉが空気中で比抵抗の大きい酸化被膜を作るため、接触抵抗が増加するものと考えられる。【０１６２】
一方、Ａｇ−ＳｎＯ２複合材のプローブ１２１は、Ｓｎの拡散がプローブ１２１の内部深くまで見られたことから、Ａｇ−ＳｎＯ２複合材のプローブ１２１では、接触部１２１ａでのＳｎの拡散過程で、プローブ側接触部表面の各種金属の酸化物層が破壊されることが低抵抗を保つ理由として考えられる。また、Ａｇ−ＳｎＯ２複合材のプローブ１２１の接触部１２１ａのＳｎ拡散部分は、表面が酸化されても、その酸化被膜が、Ｎｉの酸化被膜に比較し、半田試料１２０との接触により物理的に破壊されやすいことが考えられる。【０１６３】
図３０は、プローブ１２１の接触部１２１ａの転写後における８０００倍の断面分析結果を示す。（ａ）はコンポ像を示し、色の薄い部分がプローブ接触部１２１ａの断面を示し、（ｂ）の色の薄い部分がＡｇを示し、（ｃ）の色の薄い部分がＳｎを示す。【０１６４】
これによれば、図３０（ｃ）に示すように、Ｓｎが内部に拡散していることが分かる。このＳｎの拡散過程で、接触部１２１ａ表面に存在するであろう各種金属の酸化被膜が破壊されることが予想される。また、この接触部１２１ａのＳｎ拡散部分は、表面が酸化してもその酸化被膜が、Ｎｉの酸化被膜に比較して半田試料１２０との接触により物理的に破壊されやすいことが考えられる。【０１６５】
そして、このことにより、接触部１２１ａの電気的な接触抵抗の増加が抑制されるものと考えられる。【０１６６】
これを裏付けるものとして、測定結果による図３１のサイクル数と電気抵抗値との関係を示すグラフがある。このグラフは、上記プローブ１２１の２つのサンプルを用い、サイクル毎に接触部１２１ａの電気抵抗値を測定したものであり、このグラフを観れば、サイクル数が増加しても、電気抵抗値が増加していないことが分かる。
［参考例４］
【０１６７】
図３２には、参考例４を示す。
【０１６８】
参考例４の電気接触子は、ここでは、バーンイン試験用のＩＣソケット（電気部品用ソケット）に配設されるコンタクトピンで、このコンタクトピンを介して、バーンイン試験時に、「電気部品」であるＩＣパッケージと配線基板とを電気的に接続するようにしている。
【０１６９】
このＩＣパッケージは、例えば方形状のパッケージ本体の下面に多数の端子が設けられ、この端子は、主成分がＳｎで鉛を含まない、いわゆる鉛フリー半田により成形されている。【０１７０】
そのＩＣソケットは、配線基板上に取り付けられるソケット本体を有し、このソケット本体に、複数のコンタクトピンが配設されている。【０１７１】
このコンタクトピンは、端子２１５に接触する接触部２１０が、図３２に示すように、銅（Ｃｕ）の基材２１１と、この基材２１１の表面側に設けられたＮｉ（ニッケル）メッキ層２１２と、このＮｉメッキ層２１２の表面側に設けられた接点材料２１３とから構成されている。【０１７２】
この接点材料２１３は、半田に含まれるＳｎが拡散する材料で、この接点材料２１３は、鉛フリー半田より引っ張り強度が高く、且つ、Ｓｎが拡散した合金においても鉛フリー半田より引っ張り強度が高くなるような材料が選択されている。【０１７３】
その接点材料２１３としては、例えばＰｄ（パラジウム）−Ａｇ（銀）合金のメッキ層、Ａｇメッキ層及びＰｄ−Ａｇ合金のメッキ層が積層されたもの、Ａｇメッキ層及びＰｄメッキ層が積層されたもの、又は、Ａｇ−Ｓｎ合金のメッキ層から形成されている材料等が用いられている。【０１７４】
そして、接点材料２１３であるＰｄ−Ａｇ合金の引っ張り強度は、５００ＭＰａ前後である。これに対して、半田の強度は、５０ＭＰａ程度であり、接点材料２１３であるＰｄ−Ａｇ合金にＳｎが拡散した場合の合金の引っ張り強度も、半田の引っ張り強度より高い。勿論、Ａｇメッキ層及びＰｄ−Ａｇ合金のメッキ層が積層されたもの、Ａｇメッキ層及びＰｄメッキ層が積層されたもの、又は、Ａｇ−Ｓｎ合金のメッキ層の引っ張り強度、及び、これらとＳｎとの合金の引っ張り強度は、半田の引っ張り強度よりも高い。【０１７５】
これによれば、かかるコンタクトピンを、ＩＣパッケージの端子２１５に接触させ、バーンイン試験を繰り返し行うことにより、従来では、コンタクトピンの電気抵抗値が早期に上昇していたが、この実施の形態では、電気抵抗値の上昇を抑制できて、バーンイン試験を適性に行うことができる。【０１７６】
すなわち、従来では、コンタクトピンの最表層がＡｕメッキ層で、下地層がＮｉで成形されているため、鉛フリー半田の端子を有するＩＣパッケージを対象としたバーンイン試験を繰り返すうちにＡｕが端子側に溶け込んでＡｕメッキ層が無くなり、下地層のＮｉが露出するようになる。そして、Ｎｉが空気中で比抵抗の大きい酸化被膜を作るため、コンタクトピンの端子に対する接触部分の電気抵抗値が増加するものと考えられる。【０１７７】
しかし、参考例４では、コンタクトピンの接触部２１０を半田に含まれるＳｎが拡散する接点材料２１３で形成することにより、Ｓｎが接触部２１０の内部まで拡散し、接触部２１０表面にＳｎが酸化物として蓄積され難くなる。
【０１７８】
また、この接点材料２１３は、コンタクトピンの接触部２１０の引っ張り強度が半田より強いため、電気部品を取り出す際に、結果として、コンタクトピンの接触部２１０と電気部品端子２１５との境界面で引き剥がされることとなり、電気部品端子２１５側に接触部２１０表面の金属が引き剥がされて持って行かれることが無く、下地層であるＮｉメッキ層２１２が露出せずに、低抵抗を保つため、バーンイン試験を繰り返しても、接触部２１０の電気抵抗の早期の上昇を抑制できる。
［参考例５］
【０１７９】
図３３には、参考例５を示す。
【０１８０】
この参考例５は、接点材料２１４が参考例４のものと相違している。
【０１８１】
この参考例５の接点材料２１４は、半田に含まれるＳｎが拡散し難い材料に、酸化物、又は有機物を添加することで、半田に含まれるＳｎの拡散を可能としたものである。また、この接点材料２１４も、半田より引っ張り強度が高く、且つ、Ｓｎが拡散した合金においても半田より引っ張り強度が高いものである。
【０１８２】
この接点材料２１４としては、例えば銀に酸化亜鉛、炭素、又は、酸化錫が添加された材料等が用いられる。【０１８３】
そして、接点材料２１４である銀に酸化亜鉛が添加された材料の引っ張り強度は、１５０〜３００ＭＰａであり、又、この接点材料２１４にＳｎが拡散した場合の合金の引っ張り強度も、半田の引っ張り強度より高く、半田の強度は、５０ＭＰａである。勿論、他のＡｇにＣを添加した材料、又はＡｇにＳｎＯ２を添加した材料等の引っ張り強度、及び、これらとＳｎとの合金の引っ張り強度も、半田の引っ張り強度よりも高い。【０１８４】
参考例５では、半田に含まれるＳｎが拡散し難い材料に、酸化物、又は有機物を添加することで、コンタクトピンの接触部２１０を半田に含まれるＳｎが拡散する接点材料２１４で形成することにより、Ｓｎが接触部２１０の内部まで拡散し、接触部２１０表面にＳｎが酸化物として蓄積され難くなる。
【０１８５】
また、この接点材料２１４は、コンタクトピンの接触部２１０の引っ張り強度が半田より強いため、電気部品を取り出す際に、結果として、コンタクトピンの接触部２１０と電気部品端子２１５との境界面で引き剥がされることとなり、電気部品端子２１５側に接触部２１０表面の金属が引き剥がされて持って行かれることが無く、下地層であるＮｉメッキ層２１２が露出せずに、低抵抗を保つため、バーンイン試験を繰り返しても、接触部２１０の電気抵抗の早期の上昇を抑制できる。【０１８６】
また、ここで、Ｎｉメッキ層２１２が無くても機能上問題ない。また、Ｎｉメッキ層２１２及びＣｕ基材２１１が無く、接触部２１０全体が接点材料２１４から成っていても機能上問題はない（図３３の（ａ´），（ｂ´），（ｃ´），（ｄ´）参照）。【０１８７】
次に、この発明の効果を裏付ける評価試験について説明する。【０１８８】
ここでは、バーンイン試験における従来のＡｕメッキのプローブ２１７と、この発明に係る上記接触部２１０の接点材料２１３（Ｐｄ−Ａｇ）が設けられたプローブ２１８、又は、接点材料２１４（ＡｇにＺｎＯを添加）が設けられたプローブ２１９との電気抵抗値増加傾向を比較した。
（１）試験内容【０１８９】
実際のコンタクトピンを用いた実装試験ではなく、単純な形状のプローブ２１７，２１８，２１９及び半田試料２２０を用いたモデル試験とする。理由は、接触部の材料特性をより正確に評価するためである。つまり、電気部品用ソケットにコンタクトピンを配設した状態での接触では、不安定要素が多く、試験条件再現の信頼性に問題があると考えられる。【０１９０】
本モデル試験で用いるプローブ２１７，２１８，２１９及び半田試料２２０は次の仕様とする。
（２）Ａｕプローブ仕様（従来）【０１９１】
基材にリン青銅を使用する。【０１９２】
プローブ２１７の形状は、図３４に示すように、接触部２１７ａが９０度の角度に形成されている。【０１９３】
この接触部２１７ａの管理及び製法は、基材先端部を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げる。その後、Ｎｉメッキ２〜３μｍを施し、その上にＡｕメッキ０．８μｍを施す。
（３）Ｐｄ−Ａｇプローブ仕様【０１９４】
基材にリン青銅を使用する。【０１９５】
プローブ２１８の形状は、図３４に示すように、接触部２１８ａが９０度の角度に形成されている。【０１９６】
この接触部２１８ａの管理及び製法は、基材先端部を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げる。その後、Ｎｉメッキ２〜３μｍを施し、その上にＰｄ−Ａｇメッキを２〜３μｍ施している。ＰｄとＡｇとの重量比は、６：４である。
（４）Ａｇ−ＺｎＯプローブ仕様【０１９７】
全体にＡｇ−ＺｎＯを使用する。【０１９８】
プローブ２１９の形状は、図３４に示すように、接触部２１９ａが９０度の角度に形成されている。【０１９９】
この接触部２１９ａの管理及び製法は、先端部を＃１２００粗さの研磨紙で研磨の後、＃４０００粗さの研磨紙で仕上げる。ＡｇとＺｎＯとの重量比は、９：１である。
（５）半田試料仕様【０２００】
基材にガラスエポキシを使用した。【０２０１】
半田試料２２０は、図３５に示すように、ガラエポ基板にＣｕ／ＮｉＡｕをプリントし、その上に鉛フリー（Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ，重量比９６．５：３：０．５）ペースト半田をスクリーン印刷し、リフローして表面張力により、接触部２２０ａを形成した。
（６）測定方法
【０２０２】
・抵抗値測定法：４端子法により行った。【０２０３】
・試験条件【０２０４】
接触加重：１５ｇ（分銅による管理）【０２０５】
周囲温度：室温〜１５０℃【０２０６】
電流    ：８０ｍＡ【０２０７】
・試験サイクル【０２０８】
ａ．プローブ接触部２１７ａ，２１８ａ，２１９ａを半田試料２２０に接触
ｂ．プローブ接触部２１７ａ，２１８ａ，２１９ａの抵抗値測定
ｃ．プローブ２１７，２１８，２１９を１５０℃まで昇温
ｄ．６時間１５０℃を保つ
ｅ．室温まで降温
ｆ．非接触状態で３０分放置
ｇ．プローブ接触部２１７ａ，２１８ａ，２１９ａを半田試料２２０の新しい面に移動【０２０９】
上記ａ〜ｇを４０サイクル
（７）接触部断面分析【０２１０】
上記試験サイクルを行い、各プロ−ブ２１７，２１８，２１９の接触部２１７ａ，２１８ａ，２１９ａの分析を行った。【０２１１】
Ａｕメッキのプローブ２１７では、バーンイン試験を繰り返すと、Ａｕが半田試料２２０側に溶け込んでＡｕメッキ層が無くなり、下地層Ｎｉが露出する部分が生じた。【０２１２】
すなわち、図３６は、プローブ２１７の接触部２１７ａの転写後における約８０００倍の断面分析結果を示す。この図３６から、Ｎｉが接触部２１７ａの表面に露出していることが分かる。【０２１３】
そして、このようにＮｉが露出することにより、このＮｉが空気中で比抵抗の大きい酸化被膜を作るため、接触抵抗が増加するものと考えられる。【０２１４】
これを裏付けるものとして、測定結果による図３７のサイクル数と電気抵抗値との関係を示すグラフがある。このグラフは、上記プローブ２１７の４つのサンプルを用い、サイクル毎に接触部２１７ａの電気抵抗値を測定したものであり、このグラフを観れば、サイクル数が増加するに従って、電気抵抗値も増加していることが分かる。【０２１５】
一方、参考例４にかかるＰｄ−Ａｇのプローブ２１８では、半田試料２２０のＳｎがプローブ２１８に転写し、内部まで拡散することにより、接触部２１８ａ表面の各種金属の酸化物層が破壊されることが考えられる。また、プローブ２１８側の接触部２１８ａと半田試料２２０側の接触部２２０ａとの間で生じる物質の移動は、半田試料２２０側の接触部２２０ａからプローブ２１８側の接触部２１８ａへのＳｎの移動であるため、プローブ２１８の表面部分が無くなることはなく、プローブ２１８側に下地層としてＮｉが存在しても、Ｎｉが露出することはない。
【０２１６】
すなわち、図３８は、プローブ２１８の接触部２１８ａの転写後における約８０００倍の断面分析結果を示す。この図３８によれば、Ｓｎが内部に拡散していることが分かる。【０２１７】
また、Ｐｄ−Ａｇの接点材料２１３は、強度が半田より強いため、半田試料２２０側に接触部２１８ａ表面の金属が持って行かれることが無く、下地層であるＮｉが露出していないことが分かる。【０２１８】
そして、このことにより、接触部２１８ａの接触抵抗の増加が抑制されるものと考えられる。【０２１９】
これを裏付けるものとして、測定結果による図３９のサイクル数と電気抵抗値との関係を示すグラフがある。このグラフは、上記プローブ２１８の２つのサンプルを用い、サイクル毎に接触部２１８ａの電気抵抗値を測定したものであり、このグラフを観れば、サイクル数が増加しても、電気抵抗値が増加していないことが分かる。【０２２０】
また、参考例５にかかるＡｇにＺｎＯを添加した材料のプローブ２１９では、半田試料２２０のＳｎがプローブ２１９に転写し、内部まで拡散することにより、接触部２１９ａ表面の各種金属の酸化物層が破壊されることが考えられる。また、プローブ２１９側の接触部２１９ａと半田試料２２０側の接触部２２０ａとの間で生じる物質の移動は、半田試料２２０側の接触部２２０ａからプローブ２１９側の接触部２１９ａへのＳｎの移動であるため、プローブ２１９の表面部分が無くなることはなく、プローブ２１９側に下地層としてＮｉが存在したとしても、Ｎｉが露出することはないものと考えられる。
【０２２１】
すなわち、図４０は、プローブ２１９の接触部２１９ａの転写後における約８０００倍の断面分析結果を示す。（ａ）はコンポ像を示し、（ｂ）の色の薄い部分がＡｇを示し、（ｃ）の色の薄い部分がＺｎＯを示し、（ｄ）の色の薄い部分がＳｎを示す。【０２２２】
これによれば、図４０（ｄ）に示すように、Ｓｎは、接触部２１９ａの内部に拡散していることが分かる。【０２２３】
ちなみに、Ａｇのみでは、ＳｎはＡｇ内部に拡散せず、合金は形成されず、Ａｇの表面に積層されたＳｎが酸化して電気抵抗値が上昇してしまう。【０２２４】
そして、このことにより、接触部２１９ａの接触抵抗の増加が抑制されるものと考えられる。【０２２５】
これを裏付けるものとして、測定結果による図４１のサイクル数と電気抵抗値との関係を示すグラフがある。このグラフは、上記プローブ２１９の２つのサンプルを用い、サイクル毎に接触部２１９ａの電気抵抗値を測定したものであり、このグラフを観れば、サイクル数が増加しても、電気抵抗値が増加していないことが分かる。【０２２６】
なお、上記実施の形態１では、「電気接触子」であるコンタクトピンをＩＣソケットに適用したが、これに限らず、他のものにも適用できる。
【符号の説明】
【０２２７】
11  コンタクトピン
12  基材
13  下地層
14  最表層
14a Ｐｄ−Ａｇメッキ層
14b Ｐｄメッキ層
14c Ａｇメッキ層
118Ａｇ−ＺｎＯ複合材によるプローブ
119Ａｇ−Ｃ複合材によるプローブ
120 半田試料
121Ａｇ−ＳｎＯ２複合材によるプローブ
210 接触部
211 基材
212 Ｎｉメッキ層
213,214 接点材料
218 接点材料がＰｄ−Ａｇのプローブ
219 接点材料がＡｇにＺｎＯを添加した材料のプローブ
220 半田試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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