(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水を溶媒とする物理吸収法を利用して、バイオガス中から少なくとも硫黄系不純物及び二酸化炭素を分離し、高濃度なメタンガスを精製するバイオガス精製工程と、
このバイオガス精製工程で得られ、アルゴンを含む精製ガスに水素を添加する水素添加工程と、
この水素添加工程で水素が添加された精製ガスを触媒が充填された酸素除去触媒塔へ供給し、前記水素が添加された精製ガス中に残存する酸素を触媒反応により水に変換する工程と、
前記酸素除去触媒塔に供給される前記精製ガスの流量を測定する流量測定工程と、
前記酸素除去触媒塔に供給される精製ガス中の酸素濃度と、前記酸素除去触媒塔を通った後の前記精製ガス中の酸素濃度とを、電極方式を用いた電気化学的方法により測定する酸素濃度測定工程と、
を備え、
前記水素添加工程には、前記バイオガス精製工程で得られた精製ガスに添加する水素量を、前記酸素濃度測定工程において測定された酸素濃度と、前記流量測定工程において測定された前記精製ガスの流量とに基づいて調整する工程をさらに有したことを特徴とするバイオガスの脱酸素方法。
【請求項２】
前記水素は、水を電気分解して得たものであることを特徴とする請求項１に記載のバイオガスの脱酸素方法。
【請求項３】
水を溶媒とする物理吸収法を利用して、バイオガス中から少なくとも硫黄系不純物及び二酸化炭素を分離し、高濃度なメタンガスを精製するためのバイオガス精製装置と、
このバイオガス精製装置で得られ、アルゴンを含む精製ガスに水素を添加するための水素供給手段と、
この水素供給手段により水素が添加された精製ガスが供給され、前記水素が添加された精製ガス中に残存する酸素を触媒反応により水に変換するための触媒が充填された酸素除去触媒塔と、
前記酸素除去触媒塔に供給される前記精製ガスの流量を測定する流量測定手段と、
前記酸素除去触媒塔に供給される精製ガス中の酸素濃度と、前記酸素除去触媒塔を通った後の前記精製ガス中の酸素濃度とを測定するための、電極方式を用いた電気化学式酸素濃度測定手段と、
前記バイオガス精製装置で得られた精製ガスに前記水素供給手段から添加する水素量を、前記電気化学式酸素濃度測定手段により測定された酸素濃度と、前記流量測定手段において測定された前記精製ガスの流量とに基づいて調整するための水素量調整手段と、
を備えたことを特徴とするバイオガスの脱酸素装置。
【請求項４】
前記水素供給手段は、水電解装置であることを特徴とする請求項３に記載のバイオガスの脱酸素装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精製されたバイオガス中に残存する酸素を除去するバイオガスの脱酸素方法及び装置に関する。ここで「バイオガス」とは、バイオマス（動植物に由来する有機物であってエネルギー源として利用することができるものであり、原油、天然ガス、可燃性天然ガス及び石炭並びにこれらから製造される製品を除くもの）から発生するまたは由来する可燃性ガスを言う。
【背景技術】
【０００２】
下水汚泥や生ごみといった有機性廃棄物や食品工場排水などの有機性排水等のバイオマスをメタン発酵させることにより得られるバイオガスが、新しいエネルギーとして注目されている。このメタン発酵処理され、発生したバイオガスは通常「消化ガス」と呼ばれ、この消化ガス中の成分は、メタンが約６０容量％及び二酸化炭素が約４０容量％である。さらに、微量の不純物として、通常１００〜３０００ｐｐｍの硫化水素（以下、「Ｈ２Ｓ」という）等の硫黄系不純物や約０．３容量％の酸素も含まれている。
【０００３】
この消化ガスは、燃料ガスとして利用される。例えば、発電用のガスエンジン、ガスタービン、燃料電池等、温水や蒸気を製造するボイラー等の燃料である。このような機器の燃料ガスとして使用する場合には、消化ガスに含まれるＨ２Ｓガスを除去する必要が生じる。その理由は、消化ガスを燃焼させる際に消化ガス中のＨ２Ｓガスが酸化されて硫黄酸化物が生成し、機器を腐食させる可能性があるためである。
【０００４】
また、近年では、消化ガスを精製し、都市ガスとして供給されることが待ち望まれている。しかし、この消化ガスを精製し、都市ガスとして利用するためには、上記Ｈ２Ｓ等の硫黄系不純物、二酸化炭素や酸素等（以下、「不純物成分」と言う）を都市ガスが要求する所定基準値以下の濃度まで低減させなければならない。この要求を満足させる技術として、例えば、特許文献１に記載されたようなものが知られている。
【０００５】
この特許文献１に開示された技術は、上記Ｈ２Ｓ等の硫黄系不純物や二酸化炭素が除去され精製されたバイオガス（消化ガス）を都市ガスが要求する所定基準値未満の不純物成分濃度の天然ガスとともに供給するバイオガス供給システムであって、天然ガス導管から前記天然ガスを取り出す分取部と、前記バイオガスに前記天然ガスよりも熱量が大きい高カロリーガスを添加して熱量調整を行う調整部と、前記不純物成分濃度が前記所定基準値以下となるように熱量調整後のバイオガスと前記天然ガスとを混合する混合部と、混合後のガスを前記天然ガス導管に戻すリターン部と、を備えたものである。また、この特許文献１には、酸素濃度測定手段として、ガスクロマトグラフや磁気式酸素分析計が開示されている。
【０００６】
また、ガスクロマトグラフの場合には、分析ガスをマイナス７２℃まで冷却して酸素とアルゴンを分離し、それぞれを分析可能であることも知られている（例えば、特許文献２、非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−５９４１６号公報
【特許文献２】特開平５−１８０８２２号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】ラード他（Ｅ．Ｗ．ＬＡＲＤ  ｅｔ  ａｌ．）、「分析化学（ＡＮＡＬＹＴＩＣＡＬ  ＣＨＥＭＩＳＴＲＹ）」、１９６０年６月、第３２巻、第７号、ｐ．８７８−８７９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記特許文献１に記載された発明では、都市ガスが要求する所定基準値未満の不純物成分濃度を満足させるために、前記天然ガスを多量に使用して、約０．２容量％の酸素が残存したままの前記消化ガスをわざわざ希釈させなければならないという問題点を有していた。
【００１０】
また、上記特許文献１には、酸素濃度測定手段として、確かにガスクロマトグラフや磁気式酸素分析計を使用することが開示されている。
【００１１】
しかし、水を溶媒とする物理吸収法を利用して前記消化ガス中からＨ２Ｓ等の硫黄系不純物や二酸化炭素を除去する場合、吸収水に空気由来の微量のアルゴンが溶存しており、硫黄系不純物や二酸化炭素を吸収する際に溶存しているアルゴンの一部が精製ガスに移行することを本発明者は見出した。このため、通常のガスクロマトグラフで前記精製ガス中の酸素濃度を測定すると、アルゴンの影響を受けて、検出された分析値の中に酸素濃度のみならず、アルゴン濃度が含まれてしまい、都市ガスが要求する所定基準値｛例えば、０．０１容量％（１００ｐｐｍ）以下｝の酸素を正確に測定することは難しいという問題がある。
【００１２】
また、ガスクロマトグラフを用いて、上記特許文献２や非特許文献１に開示されたような複雑な分析手法を採用していては、バイオガスから効率的に所定基準の都市ガスを製造することは難しい。
【００１３】
なお、磁気式酸素分析計の場合、そもそも１００ｐｐｍレベルの酸素濃度の分解能を有さない。
【００１４】
したがって、これらの酸素濃度測定手段によって測定された酸素濃度に基づいたのでは、バイオガスから効率的に所定基準の都市ガスを製造することは困難であり、また、上記都市ガスが要求する所定基準値未満の酸素濃度とするために、バイオガスに添加する水素量を効率的に制御することなど望むべくもない。
【００１５】
本発明の目的は、バイオガスから効率的に所定基準の都市ガスが製造可能であるとともに、都市ガスが要求する所定基準値未満の酸素濃度にするために、多量の都市ガス（天然ガス）を使用してバイオガスを希釈するようなことを要せず、かつ、バイオガスに添加する水素量を効率的に制御可能なバイオガスの脱酸素方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
この目的を達成するために、本発明の請求項１に記載の発明は、
バイオガス中から少なくとも硫黄系不純物を分離し、高濃度なメタンガスを精製するバイオガス精製工程と、
このバイオガス精製工程で得られた精製ガスに水素を添加する水素添加工程と、
この水素添加工程で水素が添加された精製ガスを触媒が充填された酸素除去触媒塔へ供給し、前記水素が添加された精製ガス中に残存する酸素を触媒反応により水に変換する工程と、
前記酸素除去触媒塔前後の精製ガス中の少なくともいずれか一方の酸素濃度を電極方式を用いた電気化学的方法により測定する工程と、
を備え、
前記水素添加工程には、前記バイオガス精製工程で得られた精製ガスに添加する水素量を前記電気化学的方法により測定された酸素濃度に基づいて調整する工程をさらに有したことを特徴とするバイオガスの脱酸素方法である。
【００１７】
また、本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、
前記水素は、水を電気分解して得たものであることを特徴とする。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、
バイオガス中から少なくとも硫黄系不純物を分離し、高濃度なメタンガスを精製するためのバイオガス精製装置と、
このバイオガス精製装置で得られた精製ガスに水素を添加するための水素供給手段と、
この水素供給手段により水素が添加された精製ガスを受入れ、前記水素が添加された精製ガス中に残存する酸素を触媒反応により水に変換するための触媒が充填された酸素除去触媒塔と、
この酸素除去触媒塔前後の精製ガス中の少なくともいずれか一方の酸素濃度を測定するための電極方式を用いた電気化学式酸素濃度測定手段と、
前記バイオガス精製装置で得られた精製ガスに前記水素供給手段から添加する水素量を前記電気化学式酸素濃度測定手段により測定された酸素濃度に基づいて調整するための水素量調整手段と、
を備えたことを特徴とするバイオガスの脱酸素装置である。
【００１９】
また、本発明の請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、
前記水素供給手段は、水電解装置であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように、本発明に係るバイオガスの脱酸素方法によれば、
バイオガス中から少なくとも硫黄系不純物を分離し、高濃度なメタンガスを精製するバイオガス精製工程と、
このバイオガス精製工程で得られた精製ガスに水素を添加する水素添加工程と、
この水素添加工程で水素が添加された精製ガスを触媒が充填された酸素除去触媒塔へ供給し、前記水素が添加された精製ガス中に残存する酸素を触媒反応により水に変換する工程と、
前記酸素除去触媒塔前後の精製ガス中の少なくともいずれか一方の酸素濃度を電極方式を用いた電気化学的方法により測定する工程と、
を備え、
前記水素添加工程には、前記バイオガス精製工程で得られた精製ガスに添加する水素量を前記電気化学的方法により測定された酸素濃度に基づいて調整する工程をさらに有しているため、
都市ガスが要求する所定基準値未満の酸素濃度にするために、多量の都市ガス（天然ガス）を使用してバイオガスを希釈するようなことを要せず、かつ、バイオガスに添加する水素量を効率的に制御可能なバイオガスの脱酸素方法を実現できる。
【００２１】
また、本発明に係るバイオガスの脱酸素装置によれば、
バイオガス中から少なくとも硫黄系不純物を分離し、高濃度なメタンガスを精製するためのバイオガス精製装置と、
このバイオガス精製装置で得られた精製ガスに水素を添加するための水素供給手段と、
この水素供給手段により水素が添加された精製ガスを受入れ、前記水素が添加された精製ガス中に残存する酸素を触媒反応により水に変換するための触媒が充填された酸素除去触媒塔と、
この酸素除去触媒塔前後の精製ガス中の少なくともいずれか一方の酸素濃度を測定するための電極方式を用いた電気化学式酸素濃度測定手段と、
前記バイオガス精製装置で得られた精製ガスに前記水素供給手段から添加する水素量を前記電気化学式酸素濃度測定手段により測定された酸素濃度に基づいて調整するための水素量調整手段と、
を備えているため、
都市ガスが要求する所定基準値未満の酸素濃度にするために、多量の都市ガス（天然ガス）を使用してバイオガスを希釈するようなことを要せず、かつ、バイオガスに添加する水素量を効率的に制御可能なバイオガスの脱酸素装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施の形態のバイオガスの脱酸素装置の全体構成を模式的に説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の一実施の形態について、添付図面を参照しながら説明する。図１は本発明のバイオガスの脱酸素方法を実施するための一実施の形態に係るバイオガスの脱酸素装置の全体構成を模式的に説明する説明図である。
【００２４】
図１において、１は下水汚泥や生ごみといった有機性廃棄物や食品工場排水などの有機性排水等のバイオマスをメタン発酵させるための消化タンク、２は消化タンク１から発生した消化ガス中から硫黄系不純物と二酸化炭素を分離し、高濃度なメタンガスを精製するためのバイオガス精製装置、３はバイオガス精製装置２で精製された精製ガスが供給され約０．６〜１．０ＭＰａＧの範囲の圧力で貯蔵するための中圧ガスホルダー、４は中圧ガスホルダー３内の精製ガスの圧力を計測するための圧力計、５はＣＮＧ車等に精製ガスを供給するために精製ガスに付臭剤（ＴＨＴ）を用いて付臭するための付臭装置、６は減圧弁、７は付臭剤（ＴＨＴ）を用いて付臭された精製ガスが減圧弁６で所定圧力に減圧され供給される消化タンク１の加温用ボイラーである。
【００２５】
また、図１において、１０は精製ガスを都市ガスが要求する所定基準値未満の二酸化炭素濃度（例えば、０．５容量％）まで低減させるための二酸化炭素除去器、１１は二酸化炭素除去器１０で所定値まで二酸化炭素濃度が低減された精製ガスの流量を計測するための流量計、１２は流量計１１で流量が計測された精製ガスの酸素濃度を測定するための電極方式を用いた電気化学式酸素濃度測定手段としての酸素計（品番：ＤＦ−１５３Ｅ、ＧＥセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社製）、１３は水素供給手段としての水電解式高純度水素酸素発生装置｛株式会社神鋼環境ソリューション製の水電解式高純度水素酸素発生装置（商品名：ＨＨＯＧ）｝、１４は水電解式高純度水素酸素発生装置１３から供給される水素（Ｈ２）の流量を計測するための流量計、１５は流量制御装置、１６は流量調整弁である。ここで、水素量調整手段は、流量制御装置１５と流量調整弁１６から構成される。水素供給手段は、上記水電解式高純度水素酸素発生装置１３に限定されるものではなく、通常の水電解装置を用いることも可能である。
【００２６】
尚、電極方式を用いた電気化学式酸素濃度測定手段としては、ガス透過性隔膜を通して電解槽中に拡散吸収された酸素が固体電極表面上で還元される際に生じる電解電流を検出する方式であればよく、例えば、定電位電解形、ポーラログラフ形、あるいはガルバニ電池形が用いられる。
【００２７】
また、図１において、２０はパラジウム（Ｐｄ）が充填された酸素除去触媒塔、２１は酸素除去触媒塔２０で酸素が除去された精製ガスの触媒反応熱を取り去るためのガス冷却器、２２はガス冷却器２１で冷却された精製ガス中の水分を除去するための除湿器、２３は除湿器２２で水分が除去された精製ガスに付臭剤（ＴＢＭ＋ＤＭＳ）を用いて都市ガスとしての付臭を行なうための付臭装置、２４は付臭装置２３で付臭された精製ガスの流量を計測するための流量計、２５は流量計２４で流量が計測された精製ガスの流量を調整するための流量調整弁、２６は遮断弁、２７は減圧弁、２８は都市ガス導管である。また、前記ガス冷却器２１に用いる水としては、下水や排水を処理した処理水を用いることが好ましい。尚、ガス冷却器２１には、ガス冷却器２１で生成された凝縮水を排出するためのドレントラップ（図示せず）が付設されていてもよい。
【００２８】
また、図１において、３０は精製ガスに高カロリーガスであるＬＰＧを供給して熱量を調整するための熱量調整装置、３１は熱量調整装置３０から出たＬＰＧの流量を計測するための流量計、３２は流量制御装置、３３は流量調整弁である。
【００２９】
また、図１において、４０は都市ガス導管へ供給する精製ガスの酸素濃度を測定するための電極方式を用いた電気化学式酸素濃度測定手段としての酸素計（品番：ＤＦ−１５３Ｅ、ＧＥセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社製）、４１は都市ガス導管へ供給する精製ガスのその他の成分濃度を測定するための分析計、５０は遮断弁、５２はガス燃焼装置、６０は流量制御装置である。
【００３０】
次に、本発明に係るバイオガスの脱酸素装置の運転動作について、図１を参照しながら説明する。流量計１１で計測された精製ガスの流量と酸素計１２で測定された精製ガス中の酸素濃度と流量計１４で計測された水素ガスの流量および酸素計４０で測定された酸素濃度を流量制御装置１５に入力し、これらのデータに基づいて、流量調整弁１６を調節する。これにより、バイオガス（精製された消化ガス）を都市ガスが要求する所定基準値未満の酸素濃度（例えば、０．０１容量％）にするために、多量の都市ガス（天然ガス）を使用してバイオガスを希釈するようなことを要せず、かつ、バイオガスに添加する水素量を効率的に制御可能となる。
【００３１】
本実施の形態においては、酸素除去触媒塔２０前後に酸素計１２と酸素計４０を設置した例について説明したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、酸素除去触媒塔２０前後の少なくともいずれか一方に電極方式を用いた電気化学式酸素計が設置されていればよい。
【００３２】
また、本実施の形態においては、酸素濃度を測定するための電極方式を用いた電気化学式酸素濃度測定手段として、品番：ＤＦ−１５３Ｅ、ＧＥセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社製の酸素計の例について説明したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、様々な電極方式を用いた電気化学式酸素計を用いることが可能である。
【実施例】
【００３３】
以下、本発明の作用効果を検証するための試験を実施した。
【００３４】
図１において、バイオガス精製装置２として、例えば水を溶媒とする物理吸収法を用いて精製した既知の精製ガス｛酸素濃度０．３００（容量％）、アルゴン濃度０．０２（容量％）含有｝を本発明に係るバイオガスの脱酸素方法（酸素濃度測定：酸素計１２を使用）により脱酸素した結果を下記表１に示す（試験Ｎｏ．１参照）。また、比較のために、型式：ＧＣ−２０Ｂ−３Ｓ、株式会社島津製作所製のガスクロマトグラフで酸素濃度を測定し、脱酸素を行なった例を試験Ｎｏ．２とし、下記表１に示す。また、同様に比較のために、品番：ＺＲＪ、富士電機システムズ株式会社製の磁気式酸素分析計で酸素濃度を測定し、脱酸素を行なった例を試験Ｎｏ．３とし、下記表１に示す。また、下記表１に示す水素濃度の測定には、通常のガスクロマトグラフである上記型式：ＧＣ−２０Ｂ−３Ｓ、株式会社島津製作所製のガスクロマトグラフを用いた。なお、上述したように、特許文献２や非特許文献１に開示されたような複雑な分析手法を採用していては、バイオガスから効率的に所定基準の都市ガスを製造することはそもそも難しく、本願発明の目的には不適であるため、ここでの比較には挙げない。その他の試験条件は、以下の通りである。
酸素除去触媒塔２０の大きさ：  直径２７ｍｍ−長さ３００ｍｍ
触媒層の容積              ：  ６７ｍＬ（Ｌはリットルの意味） 
【００３５】
【表１】
0005181072.tif 000002
【００３６】
上記表１に示すように、試験Ｎｏ．１の場合は、水を溶媒とする物理吸収法を用いた際の空気由来のアルゴンを含有していても、酸素計１２で精製ガス中の酸素をｐｐｍオーダーで精度良く測定可能である。したがって、この高精度に測定された酸素濃度（＝０．３００容量％  ）に基づいて流量調整弁１６を調節し、前記測定された酸素濃度に対して理想のモル比（＝２）となるように０．６０容量％の水素を添加することにより、酸素除去触媒塔２０で上記精製ガス中の残存酸素を除去できるばかりか、添加する水素量にも過不足を生じない。これは、都市ガス導管２８の直近側である酸素計４０の位置で測定した酸素濃度（＝０.０００容量％）が都市ガスの要求する所定基準値（例えば、０．０１容量％）未満の酸素濃度を満足し、かつ、分析計４１としての型式：ＧＣ−２０Ｂ−３Ｓ、株式会社島津製作所製のガスクロマトグラフで測定した水素濃度（＝０．００容量％）であることからも、十分に証明される。すなわち、本発明を採用することで、バイオガスから効率的に所定基準の都市ガスが製造可能であるとともに、都市ガスが要求する所定基準値未満の酸素濃度にするために、多量の都市ガス（天然ガス）を使用してバイオガスを希釈するようなことを要せず、かつ、バイオガスに添加する水素量を効率的に（無駄なく）制御可能なバイオガスの脱酸素方法及び装置を実現可能である。これに対して、試験Ｎｏ．２、Ｎｏ．３の場合は、試験Ｎｏ．１と同一の精製ガス（残存する酸素濃度もアルゴン濃度も同じ）が中圧ガスホルダー３から供給されているにも拘らず、酸素計１２に相当する位置で上記ガスクロマトグラフ並びに上記磁気式酸素分析計にて測定された酸素濃度は、それぞれ０．３２容量％、０．１容量％となる。したがって、いくら測定された各酸素濃度に対して理想のモル比（＝２）となるように、それぞれ０．６４容量％、０．２０容量％の水素を添加しても、都市ガス導管２８の直近側である酸素計４０に相当する位置で上記ガスクロマトグラフ並びに上記磁気式酸素分析計にて測定した酸素濃度は、それぞれ０．０２容量％、０．１容量％となり、都市ガスが要求する所定基準値未満の酸素濃度を満足できないばかりか、添加する水素量にも過不足を生じてしまい（上記表１参照）、極めて非効率である。
【００３７】
なお、本実施例においては、バイオガス精製装置２として、既知の水を溶媒とする物理吸収法を用いて精製した精製ガスを例について説明したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、消化タンク１から発生した消化ガス中から硫黄系不純物を予め生物脱硫により除去した後（この脱硫時に使用する空気由来のアルゴンが消化ガス中に残存する）、さらに二酸化炭素等を分離して精製ガスを製造していく場合等、アルゴンを含む様々な精製ガスに対して、本発明に係るバイオガスの脱酸素方法および装置は有効である。
【符号の説明】
【００３８】
１  消化タンク
２  バイオガス精製装置
３  中圧ガスホルダー
４  圧力計
５  付臭装置
６  減圧弁
７  加温用ボイラー
１０  二酸化炭素除去器
１１  流量計
１２  酸素計
１３  水電解式高純度水素酸素発生装置
１４  流量計
１５  流量制御装置
１６  流量調整弁
２０  酸素除去触媒塔
２１  ガス冷却器
２２  除湿器
２３  付臭装置
２４  流量計
２５  流量調整弁
２６  遮断弁
２７  減圧弁
２８  都市ガス導管
３０  熱量調整装置
３１  流量計
３２  流量制御装置
３３  流量調整弁
４０  酸素計
４１  分析計
５０  遮断弁  
５２  ガス燃焼装置
６０  流量制御装置
【要約】 
【課題】本発明は、バイオガスから効率的に所定基準の都市ガスが製造可能であるとともに、都市ガスが要求する所定基準値未満の酸素濃度にするために、多量の都市ガス（天然ガス）を使用してバイオガスを希釈するようなことを要せず、かつ、バイオガスに添加する水素量を効率的に制御可能なバイオガスの脱酸素方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流量計１１で計測された流量と酸素計１２で測定された酸素濃度と流量計１４で計測された流量および酸素計４０で測定された酸素濃度を流量制御装置１５に入力し、これらのデータに基づいて、流量調整弁１６を調節するように構成されている。
【選択図】図１【図１】
0005181072.tif 000003