(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
缶体と、
前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、
前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、
前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、
前記通気性シート内の気体を排気する排気手段と、
前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行う制御手段と、
前記貯蔵タンク内の第１の気圧を測定する第１の気圧測定手段と、
前記換気用ガスの通流経路の第２の気圧を測定する第２の気圧測定手段と、
前記排気手段により排気される気体の通流経路の第３の気圧を測定する第３の気圧測定手段と、
を有し、
前記制御手段は、
前記第１の気圧と前記第２の気圧との第１の比較を行い、
前記第１の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧より大きい場合には、前記第２の気圧と前記第３の気圧との第２の比較を行い、
前記第１の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧以下の場合には、前記供給手段による供給量を前記第１の比較時のものより小さくした後に、前記第１の気圧と前記第２の気圧との第３の比較を行い、
前記第３の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧より大きい場合には、前記第２の比較を行い、
前記第２の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧より大きい場合には、前記換気用ガスの流量と予め設定されている流量との第４の比較を行い、
前記第２の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧以下の場合には、前記排気手段による排気量を前記第２の比較時のものより大きくするか、又は前記供給手段による供給量を前記第２の比較時のものより小さくした後に、前記第２の気圧と前記第３の気圧との第５の比較を行い、
前記第５の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧より大きい場合には、前記第４の比較を行い、
前記第４の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量より大きければ、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がないか判断し、
前記排気手段により排気される気体の成分に異常がなければ、前記第１の比較に戻ることを特徴とする貯蔵タンク。
【請求項２】
前記制御手段は、
前記第３の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧以下、
前記第４の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量以下、又は
前記第５の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧以下、
のいずれかの条件が満たされた場合には、換気に異常がある旨の警報を発し、
前記排気手段により排気される気体の成分に異常がある場合には、故障が生じている旨の警報を発することを特徴とする請求項１に記載の貯蔵タンク。
【請求項３】
缶体と、
前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、
前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、
前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、
前記通気性シート内の気体を排気する排気手段と、
前記貯蔵タンク内の第１の気圧を測定する第１の気圧測定手段と、
前記換気用ガスの通流経路の第２の気圧を測定する第２の気圧測定手段と、
前記排気手段により排気される気体の通流経路の第３の気圧を測定する第３の気圧測定手段と、
を有する貯蔵タンクに対し、
前記貯蔵タンク内の気圧を測定するステップと、
前記換気用ガスの通流経路の気圧を測定するステップと、
前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧を測定するステップと、
前記貯蔵タンク内の気圧、前記換気用ガスの通流経路の気圧及び前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧に基づいて、前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行うステップと、
を有し、
前記制御を行うステップは、
前記第１の気圧と前記第２の気圧との第１の比較を行うステップと、
前記第１の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧より大きい場合には、前記第２の気圧と前記第３の気圧との第２の比較を行うステップと、
前記第１の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧以下の場合には、前記供給手段による供給量を前記第１の比較時のものより小さくした後に、前記第１の気圧と前記第２の気圧との第３の比較を行うステップと、
前記第３の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧より大きい場合には、前記第２の比較を行うステップと、
前記第２の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧より大きい場合には、前記換気用ガスの流量と予め設定されている流量との第４の比較を行うステップと、
前記第２の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧以下の場合には、前記排気手段による排気量を前記第２の比較時のものより大きくするか、又は前記供給手段による供給量を前記第２の比較時のものより小さくした後に、前記第２の気圧と前記第３の気圧との第５の比較を行うステップと、
前記第５の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧より大きい場合には、前記第４の比較を行うステップと、
前記第４の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量より大きければ、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がないか判断するステップと、
前記排気手段により排気される気体の成分に異常がなければ、前記第１の比較に戻るステップと、
を有することを特徴とする貯蔵タンクの制御方法。
【請求項４】
前記制御を行うステップは、
前記第３の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧以下、
前記第４の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量以下、又は
前記第５の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧以下、
のいずれかの条件が満たされた場合には、換気に異常がある旨の警報を発するステップと、
前記排気手段により排気される気体の成分に異常がある場合には、故障が生じている旨の警報を発するステップと、
を有することを特徴とする請求項３に記載の貯蔵タンクの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、腐食性の高い薬液の貯蔵に好適な貯蔵タンク及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、硝酸、フッ酸及び塩酸等の腐食性の高い薬液の貯蔵に、フッ素樹脂等の樹脂膜を用いたライニングタンクが用いられている。図３は、従来のライニングタンクの構造を示す模式図である。
【０００３】
従来のライニングタンクでは、金属製の缶体１０１の内側に樹脂膜が耐薬品性シート１０３として設けられている。また、缶体１０１には、複数のベントホール１０１ａが形成されている。ライニングタンクを製造する際には、耐薬品性シート１０３を貼り付けた後にベントホール１０１ａを介した外部からの吸引を行う。この結果、耐薬品性シート１０３と缶体１０１との間の隙間に残存している気体が取り除かれ、耐薬品性シート１０３の缶体１０１への密着性が向上する。そして、このように構成されたライニングタンク内に硝酸、フッ酸及び塩酸等の薬液１０４が貯蔵される。なお、薬液１０４の貯蔵中に、薬液１０４の分子が耐薬品性シート１０３を透過し、耐薬品性シート１０３と缶体１０１との間の僅かな隙間に入り込むことがあるが、その大部分はベントホール１０１ａから外部に排出される。
【０００４】
しかし、すべての分子が排出される訳ではなく、耐薬品性シート１０３と缶体１０１との間の隙間に滞留することがある。このような場合、図４に示すように、その一部が気体化し、耐薬品性シート１０３が缶体１０１から剥がれて剥離部１０２が生じることがある。更に、剥離部１０２に滞留する気体によって缶体１０１の内面が腐食し、腐食に伴う生成物が成長して肥大する場合もある。
【０００５】
そして、このような現象が進むと、図５に示すように、耐薬品性シート１０３の一部が破断してしまうこともある。この結果、薬液１０４が金属製の缶体１０１に接触することとなるため、薬液１０４に缶体１０１から不純物が混入したり、缶体１０１に穴が開いて薬液１０４が外部に漏れ出したりしてしまう。
【０００６】
また、特許文献２には、ライニングシートと缶体との間にガラスクロス等を設け、缶体に形成された吸引孔から吸引する技術が開示されているが、この技術によってもライニングシートと缶体との間に滞留するガスを効率的に排除することは困難である。
【０００７】
【特許文献１】特許第３１９７１４９号公報
【特許文献２】特許第２７１４５９９号公報
【特許文献３】特公平７−２３１８０号公報
【特許文献４】特開平７−２１５３９５号公報
【特許文献５】特開２００５−３０６３９９号公報
【特許文献６】特開２００３−６３５９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、薬液の分子が耐薬品性シートを透過した場合に、これを効率的に排除することができる貯蔵タンク及びその制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明者は、上記課題を解決すべく、鋭意検討を重ねた結果、以下に示す発明の諸態様に想到した。
【００１０】
貯蔵タンクの一態様には、缶体と、前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、が設けられている。更に、前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、前記通気性シート内の気体を排気する排気手段と、が設けられている。更に、前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行う制御手段と、前記貯蔵タンク内の第１の気圧を測定する第１の気圧測定手段と、前記換気用ガスの通流経路の第２の気圧を測定する第２の気圧測定手段と、前記排気手段により排気される気体の通流経路の第３の気圧を測定する第３の気圧測定手段と、が設けられている。
前記制御手段は、前記第１の気圧と前記第２の気圧との第１の比較を行い、前記第１の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧より大きい場合には、前記第２の気圧と前記第３の気圧との第２の比較を行い、前記第１の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧以下の場合には、前記供給手段による供給量を前記第１の比較時のものより小さくした後に、前記第１の気圧と前記第２の気圧との第３の比較を行い、前記第３の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧より大きい場合には、前記第２の比較を行う。前記第２の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧より大きい場合には、前記換気用ガスの流量と予め設定されている流量との第４の比較を行い、前記第２の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧以下の場合には、前記排気手段による排気量を前記第２の比較時のものより大きくするか、又は前記供給手段による供給量を前記第２の比較時のものより小さくした後に、前記第２の気圧と前記第３の気圧との第５の比較を行い、前記第５の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧より大きい場合には、前記第４の比較を行う。前記第４の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量より大きければ、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がないか判断し、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がなければ、前記第１の比較に戻る。
【００１１】
貯蔵タンクの制御方法の制御対象は、缶体と、前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、前記通気性シート内の気体を排気する排気手段と、前記貯蔵タンク内の第１の気圧を測定する第１の気圧測定手段と、前記換気用ガスの通流経路の第２の気圧を測定する第２の気圧測定手段と、前記排気手段により排気される気体の通流経路の第３の気圧を測定する第３の気圧測定手段と、が設けられた貯蔵タンクである。そして、この制御方法では、前記貯蔵タンク内の気圧を測定し、前記換気用ガスの通流経路の気圧を測定し、前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧を測定する。そして、前記貯蔵タンク内の気圧、前記換気用ガスの通流経路の気圧及び前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧に基づいて、前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行う。
この制御では、前記第１の気圧と前記第２の気圧との第１の比較を行い、前記第１の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧より大きい場合には、前記第２の気圧と前記第３の気圧との第２の比較を行い、前記第１の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧以下の場合には、前記供給手段による供給量を前記第１の比較時のものより小さくした後に、前記第１の気圧と前記第２の気圧との第３の比較を行い、前記第３の比較において前記第１の気圧が前記第２の気圧より大きい場合には、前記第２の比較を行う。前記第２の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧より大きい場合には、前記換気用ガスの流量と予め設定されている流量との第４の比較を行い、前記第２の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧以下の場合には、前記排気手段による排気量を前記第２の比較時のものより大きくするか、又は前記供給手段による供給量を前記第２の比較時のものより小さくした後に、前記第２の気圧と前記第３の気圧との第５の比較を行い、前記第５の比較において前記第２の気圧が前記第３の気圧より大きい場合には、前記第４の比較を行う。前記第４の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量より大きければ、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がないか判断し、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がなければ、前記第１の比較に戻る。
【発明の効果】
【００１３】
上記の貯蔵タンク等によれば、換気用ガスが通気性シート内を流れるため、薬液の分子が耐薬品性シートを透過した場合でも、この分子を換気用ガスの流れに伴って缶体の外部へと排除することができる。従って、薬液の分子の滞留に伴う異常を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は、本発明の実施形態に係る貯蔵タンクを示す模式図である。
【００１５】
本実施形態の貯蔵タンクでは、金属製の缶体１の内側に樹脂膜が耐薬品性シート３として設けられている。また、缶体１と耐薬品性シート３との間に、通気性シート２が設けられている。耐薬品性シート３及び通気性シート２は、同一の材料、例えばフッ素樹脂から構成されている。但し、耐薬品性シート３が液体が透過しない密な膜から構成されているのに対し、通気性シート２は気体が通流可能な疎な膜から構成されている。缶体１には、複数の排気口１ａ及び吸気口１ｂが形成されている。
【００１６】
排気口１ａには排気管６の一端が繋がっており、排気管６の他端は強制排気を行うポンプ等の排気装置に繋がっている。排気管６には、その内部の気圧を測定する圧力計ＰＶ及びその内部の気体の成分を検出する成分計ＧＳが設けられている。成分計ＧＳとしては、Ｐｈ計又は湿度計等が用いられる。更に、排気管６には、排気用の圧力制御弁ＶＶが設けられている。
【００１７】
一方、吸気口１ｂには吸気管７の一端が繋がっており、吸気管７の他端は換気用ガスを供給するガスタンク又はガスボンベ等の供給装置に繋がっている。吸気管７には、その内部の気圧を測定する圧力計ＰＳ及びその内部の気体の流量を測定する流量計ＦＭが設けられている。更に、吸気管７には、吸気用の圧力制御弁ＶＳが設けられている。なお、換気用ガスとしては、窒素ガス等の不活性ガス、又は乾燥空気等が用いられる。本明細書では、露点が−２０℃以下の気体をいう。
【００１８】
また、この貯蔵タンクには、耐薬品性シート３内の空間、つまり薬液４が貯蔵される空間の気圧を測定する圧力計Ｐ０が設けられている。更に、圧力計ＰＶ、ＰＳ及びＰ０による測定結果に基づいて、圧力制御弁ＶＶ及びＶＳの開度を制御する制御部５が設けられている。制御部５は、流量計ＦＭ及び成分計ＧＳの測定結果をも監視しており、これらの測定結果に応じて警報を発することがある。
【００１９】
このように構成された貯蔵タンクにおいては、平常時には、吸気管７及び吸気口１ａを介して通気性シート２に換気用ガス（太い矢印）が供給される。換気用ガスは、通気性シート２内を流れ、排気口１ｂから排出される。そして、排気管６を介して外部に強制排気される。従って、硝酸、フッ酸及び塩酸等の薬液４の分子（細い矢印）が耐薬品性シート３を透過したとしても、この分子は耐薬品性シート３と缶体１との間に滞留することなく、換気用ガスの流れに沿って外部に強制的に確実に排出される。つまり、本実施形態では、換気用ガスを用いた通気性シート２の換気が常に行われる。このため、耐薬品性シート３の剥がれ及び破断、缶体１の内面の腐食、薬液４への不純物の混入、並びに、薬液４の漏出が防止される。
【００２０】
なお、換気用ガスを缶体１内に供給するため、缶体１の内外の気圧差等によっては耐薬品性シート３及び通気性シート２に剥がれ等が生じるおそれがある。そこで、本実施形態では、制御部５が圧力制御弁ＶＶ及びＶＳの開度を制御することとしている。次に、制御部５が行う制御の内容について説明する。図２は、制御部５が行う制御の内容を示すフローチャートである。
【００２１】
制御部５は、先ず、圧力制御弁ＶＶ及びＶＳを中程度に開く（ステップＳ１）。このときの開度は、例えば５０％とする。
【００２２】
次に、制御部５は、缶体１内の圧力計Ｐ０により測定される気圧が、吸気管７に設けられた圧力計ＰＳにより測定される気圧より高いか判断する（ステップＳ２）。そして、制御部５は、圧力計Ｐ０により測定される気圧が圧力計ＰＳにより測定される気圧より高ければ、ステップＳ３の処理を行うとし、そうでなければ、ステップＳ６の処理を行うこととする。
【００２３】
ステップＳ３において、制御部５は、圧力計ＰＳにより測定される気圧が、排気管６に設けられた圧力計ＰＶにより測定される気圧より高いか判断する。そして、制御部５は、圧力計ＰＳにより測定される気圧が圧力計ＰＶにより測定される気圧より高ければ、ステップＳ４の処理を行うとし、そうでなければ、ステップＳ９の処理を行うこととする。
【００２４】
ステップＳ４において、制御部５は、流量計ＦＭにより測定される換気用ガスの流量が予め定められた設定値（流量閾値）より高いか判断する。そして、制御部５は、流量計ＦＭにより測定される流量が設定値より高ければ、ステップＳ５の処理を行うとし、そうでなければ、ステップＳ８の処理を行うこととする。
【００２５】
ステップＳ５において、制御部５は、成分計ＧＳにより検出された組成が異常なものとなっていないか判断する。異常の有無は、例えば薬液４の分子の量が予め定められた設定値（組成閾値）未満となっているかに基づいて判断することができる。そして、制御部５は、組成が異常なものとなっていなければ、ステップＳ２の処理を再度行うこととし、組成が異常なものとなっていれば、ステップＳ１１の処理を行うこととする。
【００２６】
ステップＳ６では、制御部５は、吸気管７に設けられた圧力制御弁ＶＳを若干閉じ、小開とする。例えば、圧力制御弁ＶＳの開度を１０％下げる。ステップＳ６の処理は、圧力計Ｐ０により測定される気圧が圧力計ＰＳにより測定される気圧以下の場合に行われるが、この場合には、通気性シート２及び耐薬品性シート３に対して缶体１の外側から内側に０又は正の圧力がかかっている。従って、この状態をそのままにしておくと、通気性シート２及び耐薬品性シート３が缶体１から剥がれる可能性がある。そこで、外側から作用する圧力を下げるために、ステップＳ６では、圧力制御弁ＶＳを小開として換気用ガスの供給量を減らすのである。
【００２７】
ステップＳ６の後、制御部５は、ステップＳ２と同様に、圧力計Ｐ０により測定される気圧が、圧力計ＰＳにより測定される気圧より高いか判断する（ステップＳ７）。そして、制御部５は、圧力計Ｐ０により測定される気圧が圧力計ＰＳにより測定される気圧より高ければ、通気性シート２及び耐薬品性シート３の剥がれが回避されたとして、ステップＳ３の処理を行うとする。一方、そうでなければ、制御部５は、換気装置から排気装置までの換気に何らかの異常があるとして、換気に異常がある旨の警報を発する（ステップＳ８）。これは、ステップＳ４の判断の結果、流量計ＦＭにより測定される流量が設定値以下となっている場合も同様である。ステップＳ８の警告の原因としては、例えば通気性シート２の目詰まりが挙げられる。
【００２８】
ステップＳ９では、制御部５は、排気管６に設けられた圧力制御弁ＶＶを大きく開くか、吸気管７に設けられた圧力制御弁ＶＳの開度を小さくする。例えば、圧力制御弁ＶＶの開度を９５％まで上げるか、圧力制御弁ＶＳの開度を５％まで下げる。ステップＳ９の処理は、圧力計ＰＳにより測定される気圧が圧力計ＰＶにより測定される気圧以下の場合に行われるが、この場合には、換気用ガスの流れに異常が生じている。従って、この状態をそのままにしておくと、薬液４の分子が耐薬品性シート３を透過した場合に、これを適切に排気できない可能性がある。そこで、換気用ガスの流れを適切なものとするために、ステップＳ９では、圧力制御弁ＶＶを大きく開いて換気用ガスの排出量を大きくするか、圧力制御弁ＶＳの開度を小さくして換気用ガスの供給量を減らすのである。
【００２９】
ステップＳ９の後、制御部５は、ステップＳ３と同様に、圧力計ＰＳにより測定される気圧が、圧力計ＰＶにより測定される気圧より高いか判断する（ステップＳ１０）。そして、制御部５は、圧力計ＰＳにより測定される気圧が圧力計ＰＶにより測定される気圧より高ければ、換気用ガスの流れが適切なものになったとして、ステップＳ４の処理を行うとする。一方、そうでなければ、制御部５は、換気装置から排気装置までの換気に何らかの異常があるとして、換気に異常がある旨の警報を発する（ステップＳ８）。
【００３０】
ステップＳ１１では、制御部５は、ライニング膜として機能する耐薬品性シート３が劣化しているか、又は他の故障が生じているとして、その旨の警報を発する。ステップＳ１１の処理は、成分計ＧＳにより検出された成分が異常である場合に行われるが、この場合には、薬液４の分子が耐薬品性シート３を透過していると想定される。従って、経年変化に伴って耐薬品性シート３が機能しなくなりつつあり、故障ともよべる状態となっていることを報知するのである。
【００３１】
制御部５がこのような制御を行うことにより、常に適切な換気を行うことができ、長期間安定して使用することが可能となる。また、劣化等による異常を速やかに検出することも可能となるため、異常に基づく被害を極めて小さなものに抑えることができる。
【００３２】
なお、ステップＳ８及びＳ１１の警報に際しては、その警報の原因をも報知することが好ましい。原因が特定されれば、その後の対処が容易になるからである。
【００３３】
また、貯蔵タンクを製造する際には、通気性シート２及び耐薬品性シート３を貼り付けた後に排気口１ａ及び吸気口１ｂを介した外部からの吸引を行うことが好ましい。この結果、通気性シート２及び耐薬品性シート３と缶体１との間の隙間に残存している気体が取り除かれ、通気性シート２及び耐薬品性シート３の缶体１への密着性が向上する。
【００３４】
また、上述の実施形態では、通気性シート２及び耐薬品性シート３の材料が同一のものとなっているが、これらが相違していてもよい。
【００３５】
次に、上述のような貯蔵タンク内に貯蔵された薬液を用いて半導体装置を製造する方法について説明する。図６Ａ乃至図６Ｄは、半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【００３６】
先ず、図６Ａに示すように、半導体基板５１の表面にＳＴＩ法により素子分離絶縁膜５２を形成する。素子分離絶縁膜５２の形成に当たっては、半導体基板５１に溝を形成し、この溝内及び半導体基板５１上に絶縁膜を形成し、これを研磨する。溝の形成の際に、上述の薬液を用いたウェットエッチングを行うことができる。素子分離絶縁膜５２の形成後に、ウェル５３を形成する。
【００３７】
ウェル５３の形成後に、図６Ｂに示すように、ゲート絶縁膜５４及びゲート電極５５を形成する。ゲート絶縁膜５４及びゲート電極５５の形成後に、不純物拡散層５６及びサイドウォール絶縁膜５７を形成する。このようにして、電界効果トランジスタが形成される。
【００３８】
電界効果トランジスタの形成後に、図６Ｃに示すように、この電界効果トランジスタを覆う層間絶縁膜５８を形成し、これに不純物拡散層５６まで達するコンタクトホール５９を形成する。コンタクトホール５９の形成の際に、上述の薬液を用いたウェットエッチングを行うことができる。コンタクトホール５９の形成後に、コンタクトホール５９内にコンタクトプラグ６０を形成する。
【００３９】
コンタクトプラグ６０の形成後に、図６Ｄに示すように、コンタクトプラグ６０に接続される配線６１を層間絶縁膜５８上に形成する。配線６１の形成の際に、金属膜の形成及び上述の薬液を用いた金属膜のウェットエッチングを行うことができる。
【００４０】
その後、上層の配線、プラグ及び層間絶縁膜等を形成し、半導体装置を完成させる。
【００４１】
なお、薬液の種類は、エッチングの対象に応じて異ならせる。
【００４２】
以下、本発明の諸態様を付記としてまとめて記載する。
【００４３】
（付記１）
缶体と、
前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、
前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、
前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、
前記通気性シート内の気体を排気する排気手段と、
を有することを特徴とする貯蔵タンク。
【００４４】
（付記２）
前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行う制御手段を有することを特徴とする付記１に記載の貯蔵タンク。
【００４５】
（付記３）
前記貯蔵タンク内の気圧を測定する第１の気圧測定手段と、
前記換気用ガスの通流経路の気圧を測定する第２の気圧測定手段と、
前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧を測定する第３の気圧測定手段と、
を有し、
前記制御手段は、前記第１の気圧測定手段、前記第２の気圧測定手段及び前記第３の気圧測定手段による測定の結果に基づいて、前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行うことを特徴とする付記２に記載の貯蔵タンク。
【００４６】
（付記４）
前記供給手段は、前記換気用ガスとして不活性ガス又は乾燥空気を供給することを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項に記載の貯蔵タンク。
【００４７】
（付記５）
前記耐薬品性シート及び前記通気性シートは、同一の材料から構成されていることを特徴とする付記１乃至４のいずれか１項に記載の貯蔵タンク。
【００４８】
（付記６）
缶体と、
前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、
前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、
前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、
前記通気性シート内の気体を排気する排気手段と、
を有する貯蔵タンクに対し、
前記貯蔵タンク内の気圧を測定するステップと、
前記換気用ガスの通流経路の気圧を測定するステップと、
前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧を測定するステップと、
前記貯蔵タンク内の気圧、前記換気用ガスの通流経路の気圧及び前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧に基づいて、前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行うステップと、
を有することを特徴とする貯蔵タンクの制御方法。
【００４９】
（付記７）
貯蔵タンクに貯蔵された薬液を用いて半導体基板のエッチングを行う工程を有し、
前記貯蔵タンクとして、
缶体と、
前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、
前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、
前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、
前記貯蔵タンク内の気体を排気する排気手段と、
を有するものを用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施形態に係る貯蔵タンクを示す模式図である。
【図２】制御部５が行う制御の内容を示すフローチャートである。
【図３】従来のライニングタンクの構造を示す模式図である。
【図４】従来のライニングタンクの損傷の一例を示す模式図である。
【図５】従来のライニングタンクの重大な損傷の一例を示す模式図である。
【図６Ａ】本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図６Ｂ】図６Ａに引き続き、半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図６Ｃ】図６Ｂに引き続き、半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図６Ｄ】図６Ｃに引き続き、半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１：缶体
１ａ：排気口
１ｂ：吸気口
２：通気性シート
３：耐薬品性シート
４：薬液
５：制御部
６：排気管
７：吸気管
【図１】
0005167837.tif 000002
【図２】
0005167837.tif 000003
【図３】
0005167837.tif 000004
【図４】
0005167837.tif 000005
【図５】
0005167837.tif 000006
【図６Ａ】
0005167837.tif 000007
【図６Ｂ】
0005167837.tif 000008
【図６Ｃ】
0005167837.tif 000009
【図６Ｄ】
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