(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向配置されたＸ線発生装置とＸ線検出器の間に、対象物を配置する試料ステージが設けられ、上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器に対する試料ステージの位置を相対的に移動させる移動機構を備え、上記Ｘ線発生装置からのＸ線を上記試料ステージ上の対象物に照射して得られる透過Ｘ線を上記Ｘ線検出器で検出し、その検出出力を用いて対象物のＸ線像を得るＸ線検査装置において、
入力された対象物の３次元形状情報および寸法情報と上記試料ステージ上への対象物の設置位置情報に基づき、対象物の３次元モデルを表示する３次元モデル表示手段と、その表示された３次元モデル上で、対象物を実際に観察する際の複数の観察ポイントと観察方向、および観察倍率を逐次設定するための設定手段と、その設定された各観察ポイントと観察方向、および観察倍率を順に記憶する記憶手段と、その記憶内容に従って、対象物の実際の観察時に、その観察ポイントと観察方向、および観察倍率が順次変化するように上記移動機構を駆動制御する制御手段を備え、
さらに、上記設定手段による設定の終了後、上記記憶手段に記憶された設定内容に基づき、上記３次元モデルを透視像に擬して、当該３次元モデルのアニメーション表示により設定内容のシミュレーションのための表示を行うシミュレーション表示手段を備えていることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
上記設定手段による設定内容に、観察ポイントと観察方向、および観察倍率を設定していくほかに、観察方向と観察倍率を連続的に変化させるとともに、その変化速度を設定する設定内容を含んでいることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
入力された上記対象物の３次元形状情報および寸法と上記試料ステージ上への対象物の設置位置情報に基づき、上記設定手段による設定内容を、対象物の実際の観察時に当該対象物と装置構造物とが干渉しない範囲に制限を加えることを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
上記記憶手段の内容に基づく対象物の実際の観察時に、対象物のＸ線透視像とは別に、上記移動機構の駆動に同期して、刻々の観察視野を上記３次元モデルを用いて表示する観察視野表示手段を備えていることを特徴とする請求項１、２または３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
上記記憶手段の内容に基づく対象物の実際の観察時に、任意の透視像の表示状態で指定することにより、その時点における移動機構の位置情報を記憶し、一連の観察動作の終了後に上記指定時における移動機構の状態を再現できるように構成されていることを特徴とする請求項１、２、３または４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線発生装置とＸ線検出器の間に各種工業製品等の対象物を配置し、Ｘ線発生装置からのＸ線を対象物に照射して得られる透過Ｘ線をＸ線検出器で検出し、その検出出力を用いて対象物のＸ線透視像を表示するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば物品内部の欠陥の有無などを非破壊のもとに検査する用途には、Ｘ線を用いた透視方法が多用されている。Ｘ線を用いた透視方法においては、互いに対向配置されたＸ線発生装置とＸ線検出器の間に対象とする物品を置いてＸ線を照射し、物品を透過したＸ線をＸ線検出器で検出して、その物品のＸ線透視像を構築するＸ線検査装置が用いられる。      
【０００３】
この種のＸ線検査装置においては、通常、Ｘ線発生装置とＸ線検出器の対と、透視対象の物品とを相対的に移動させる移動機構を備えており、透視対象の物品上の任意のポイントを任意の方向から透視できるように構成されている。
【０００４】
このようなＸ線検査装置を用いた物品の透視手法を用いて、例えばアルミダイキャスト部品の内部のボイドの有無を検査する場合等、互いに同じ形状および寸法の多数の物品を繰り返し観察する場合には、いわゆるティーチング機能を備えたＸ線検査装置を用いることが有用である（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
ティーチング機能を有するＸ線検査装置においては、一般に、実際の観察に先立ち、対象物を用いてオペレータが手動操作でＸ線発生装置とＸ線検出器に対して対象物を相対移動させ、所要の観察ポイント（教示ポイント）に位置決めし、これらの各ポイントを順次登録していく方式が採られており、実際の対象物の観察時には、登録された順に観察ポイントを変更するように移動機構を自動的に駆動制御する。
また、対象物をＣＣＤカメラ等によって撮影し、その光学像を用いて、Ｘ線装置に組み込まれたアプリケーションを起動した状態で観察ポイントを順次登録していく方式も採用されている。
【特許文献１】特開２００４−１１７２１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記した従来のティーチング機能を備えたＸ線検査装置によれば、ティーチングに際して、対象とする物品の実物が必要であり、実物がなければティーチングを行うことができない。実物を用いずにティーチングする方法として、対象とする物品を光学カメラ等で撮影し、その外観像を用いて観察ポイントや観察方向等を順次設定していく方法や、当該物品の平面的な設計図を用いて同様の設定をする方法が考えられるが、いずれの方法を採ったとしても、観察ポイントや観察方向等をオペレータが感覚的に把握しにくいという問題がある。
【０００７】
また、従来のティーチング機能を備えたＸ線検査装置においては、複数の観察ポイントや観察方向等を順次登録して、実際の観察時にはその順に観察ポイントや観察方向等を変化させていくのであるが、ある観察ポイントから次の観察ポイントに変化させる過程については、移動機構によるＸ線発生装置とＸ線検出器の対と対象物との相対的な移動の速度は、対象物の落下等の危険などを考慮して設定可能になっている場合もあるものの、２つの観察ポイント間を移動する過程での観察（透視）、言わば流れるような観察を行う点については考慮されていない。
【０００８】
更に、従来のティーチング機能を備えたＸ線検査装置においては、実際の観察時に、ティーチングにより登録された各観察ポイント・観察方向等を順次自動的に変化させながら最終の観察ポイントに到達するまでの一連の動作が終了するか、あるいはその動作を一旦停止しなければ、既に観察したポイントに戻ったり、あるいは登録された観察ポイント以外のポイントを観察することができないという不具合もある。
【０００９】
本発明の主たる課題は、対象とする物品を用意することなく、その物品を検査するために必要な観察ポイントや観察方向等をティーチングすることができ、しかもそのティーチング作業において観察ポイントや観察方向などをオペレータが感覚的に把握しやすく、作業性を良好なものとすることのできるＸ線検査装置を提供することにある。
【００１０】
また、本発明の他の課題は、観察ポイントや観察方向等を連続的に変化させる、流れるような観察を行うことのできるＸ線検査装置を提供することにある。
【００１１】
本発明の更に他の課題は、ティーチングにより登録された手順のもとに、実際の観察を行っているとき、特に上記のように流れるような観察を行っているときに、指定した時点の移動機構の状態を再現することができ、流れるような観察作業で刻々と変化する透視像上で再確認する必要のある部位の透視を容易に再現することのできるＸ線検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するため、本発明のＸ線検査装置は、互いに対向配置されたＸ線発生装置とＸ線検出器の間に、対象物を配置する試料ステージが設けられ、上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器に対する試料ステージの位置を相対的に移動させる移動機構を備え、上記Ｘ線発生装置からのＸ線を上記試料ステージ上の対象物に照射して得られる透過Ｘ線を上記Ｘ線検出器で検出し、その検出出力を用いて対象物のＸ線像を得るＸ線検査装置において、入力された対象物の３次元形状情報および寸法情報と上記試料ステージ上への対象物の設置位置情報に基づき、対象物の３次元モデルを表示する３次元モデル表示手段と、その表示された３次元モデル上で、対象物を実際に観察する際の複数の観察ポイントと観察方向、および観察倍率を逐次設定するための設定手段と、その設定された各観察ポイントと観察方向、および観察倍率を順に記憶する記憶手段と、その記憶内容に従って、対象物の実際の観察時に、その観察ポイントと観察方向、および観察倍率が順次変化するように上記移動機構を駆動制御する制御手段を備え、さらに、上記設定手段による設定の終了後、上記記憶手段に記憶された設定内容に基づき、上記３次元モデルを透視像に擬して、当該３次元モデルのアニメーション表示により設定内容のシミュレーションのための表示を行うシミュレーション表示手段を備えていることによって特徴づけられる（請求項１）。
【００１３】
ここで、本発明においては、上記設定手段による設定内容に、観察ポイントと観察方向、および観察倍率を設定していくほかに、観察方向と観察倍率を連続的に変化させるとともに、その変化速度を設定する設定内容を含んでいる構成（請求項２）を好適に採用することができる。
【００１４】
また、本発明においては、入力された上記対象物の３次元形状情報および寸法情報と上記試料ステージ上への対象物の設置位置情報に基づき、上記設定手段による設定内容を、対象物の実際の観察時に当該対象物と装置構造物とが干渉しない範囲に制限を加える構成（請求項３）を採用することが好ましい。
【００１６】
また、本発明においては、上記記憶手段の内容に基づく対象物の実際の観察時に、対象物のＸ線透視像とは別に、上記移動機構の駆動に同期して、刻々の観察視野を上記３次元モデルを用いて表示する観察視野表示手段を備えた構成（請求項４）を採用してもよい。
【００１７】
更にまた、本発明においては、上記記憶手段の内容に基づく対象物の実際の観察時に、任意の透視像の表示状態で指定することにより、その時点における移動機構の位置情報を記憶し、一連の観察動作の終了後に上記指定時における移動機構の状態を再現できるように構成すること（請求項５）を採用することもできる。
【００１８】
本発明は、例えば３ＤＣＡＤデータのような対象物の３次元形状情報および寸法情報と、試料ステージ上への配設位置情報を用い、対象物のワイヤフレームモデルもしくはサーフェースモデル等の３次元モデルを表示し、その３次元モデル上で観察ポイントや観察方向、観察倍率等を順次設定できるようにすることで、実物の対象物を用いることなくティーチングを容易に行えるようにしようとするものである。
【００１９】
すなわち、対象物の３ＤＣＡＤデータ等の３次元形状情報および寸法情報と、試料ステージ上への設置位置情報を用いることにより、Ｘ線発生装置とＸ線検出器の対と試料ステージとの相対位置と、Ｘ線検出器の視野中に現れる対象物の位置との関係、ひいては得られるＸ線透視像との関係を求めることができる。本発明においては、対象物の３次元形状情報に基づく３次元モデルの表示を用いて観察ポイントや観察方向等を順次設定することにより、これらの設定内容が順に記憶されていき、実際の対象物の観察時にその記憶内容に従って移動機構が自動制御される。つまり、３次元モデルの表示を用いてティーチングを行うことができる。このような３次元モデルを用いることにより、対象物をどの方向からどのポイントを観察しているのかを立体的に把握しやすく、ティーチング作業を容易かつ効率的なものとすることができる。
【００２０】
請求項２に係る発明では、ティーチング時の設定内容として、観察ポイントと観察方向および観察倍率を設定していくほかに、観察方向と観察倍率を連続的に変化させるとともに、その変化速度を設定できるように構成することで、実際の対象物の観察時には、透視視野が連続的に変化する、前記した流れるような観察を可能としている。
【００２１】
また、対象物の３次元形状情報および寸法情報と装置に対する設置位置情報を用いると、Ｘ線発生装置およびＸ線検出器などの装置構造物と、対象物とが干渉する相対位置関係が判るので、請求項３に係る発明では、３次元モデルを用いたティーチング時に、Ｘ線発生装置とＸ線検出器などの装置構造物と、対象物とが干渉する位置関係の設定を禁止するように構成している。これによって、実物を用いることなく、実際の観察時に対象物と装置との衝突の可能性をなくすることができる。
【００２２】
３次元モデルのアニメーション表示を用いることにより、ティーチングの終了後、設定されている各観察ポイントや観察方向、観察倍率で得られるＸ線透視像を、３次元モデルを透視像に擬して表示すること、つまり設定内容のシミュレーションのための表示を行うことができ、請求項１に係る発明はこの機能をも有したことを特徴とするものである。
【００２３】
また、同じく３次元モデルのアニメーション表示等を用いることにより、記憶手段に記憶されているティーチング内容に基づく実際の観察動作時に、移動機構の駆動に同期して、刻々の観察視野を３次元モデルを用いて表示することができ、請求項４に係る発明はこの機能を備えている点を特徴としている。
【００２４】
そして、前記した請求項２に係る発明のように、観察方向や観察倍率を連続的に変化させ、その変化速度を任意に設定可能として、実際の観察時に流れるような観察を行った場合には、特に、オペレータがその一連の観察動作中に再度観察したい状況が生じる可能性がある。請求項５に係る発明では、実際の観察動作時に、任意の透視像の表示状態において指定することにより、その時点における移動機構の位置情報を記憶し、一連の観察動作の終了後に、指定時点の移動機構の状況を再現し、指定した状態でのＸ線透視像を表示することを可能としている。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、対象物の３次元形状情報および寸法と試料ステージ上への設置位置情報を用いることで、対象物の３次元モデル上で検査に必要とする観察ポイントや観察方向、観察倍率などをあらかじめ設定して記憶させることができ、実際の物品の検査時に、その記憶内容に従った動作を自動的に繰り返し実行することができる。つまり、本発明によると、検査対象となる物品を必要とすることなく、３次元モデルを用いたティーチングを行うことができ、３次元モデルを用いてティーチングを行うため、対象物の光学像や平面的な設計モデルを用いる場合に比して、オペレータにとって方向や位置が判りやすく、ティーチング作業の容易化と効率化を達成することができる。
【００２６】
また、請求項２に係る発明のように、観察方向や観察倍率を連続的に変化させる動作の設定を可能とすることにより、Ｘ線透視視野が連続的に変化する、いわゆる流れるような観察が可能となり、検査効率を更に向上させることができる。
【００２７】
３次元モデルを用いたティーチングに当たり、対象物と装置構造物との干渉が生じないように、設定内容に制限を加えることにより（請求項３）、実物を用いることなく、実際の観察時に対象物と装置構造物との衝突を防止することが可能となり、また、３次元モデルのアニメーションを用いたシミュレーション表示機能を持たせることで（請求項１）、ティーチング結果を確認することが可能となって、使いやすいＸ線検査装置が得られる。
【００２８】
また、対象物の実際の観察時に、刻々の観察視野を３次元モデルを用いたアニメーション等により表示することで（請求項４）、オペレータは対象物のどの位置をどの方向から観察しているのかを容易に把握することができる。
【００２９】
そして、ティーチング後の実際の対象物の観察時に、随時に指定をすることによって、その指定時点の観察状況が再現されるように構成することで（請求項５）、特に、流れるような観察動作を行う場合に、欠陥等を見逃してしまうことを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
【００３１】
図１は本発明の実施の形態の構成図で、装置本体の構成を表す斜視図と、システム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【００３２】
装置本体１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２、および対象物を載せて移動させるための試料ステージ１３を主体として構成されている。Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とは、互いに対向した状態で共通の支持アーム１４に支持されている。支持アーム１４はコラム１５に対して傾動機構１６およびＺステージ１７を介して支承されており、傾動機構１６の駆動により、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２は対向状態を維持しつつ水平軸の回りに傾動（旋回）するとともに、Ｚステージ１７の駆動によって、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２の対は同じく対向状態を維持しつつ、傾動機構１６とともに鉛直方向（ｚ軸方向）に移動する。
【００３３】
Ｘ線発生装置１１はコーンビーム状のＸ線を発生し、Ｘ線検出器１２は例えばＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）等の２次元Ｘ線検出器である。
【００３４】
試料ステージ１３はコラム１５に隣接して配置されている。試料ステージ１３は対象物を搭載して鉛直の回転軸の回りに回転する回転テーブル１８と、その回転テーブル１８を水平面上で互いに直交する２軸方向（ｘ，ｙ軸方向）に移動させるＸＹテーブル１９を主体として構成されている。
【００３５】
傾動機構１６、Ｚステージ１７、回転テーブル１８および、ＸＹテーブル１９は、軸制御部２１から供給される制御信号によって駆動制御され、この軸制御部２１は、コンピュータを主体とする演算・制御装置２２の制御下に置かれている。また、Ｘ線発生装置１１の管電流、管電圧はＸ線コントローラ２３から供給され、このＸ線コントローラ２３も演算・制御装置２２の制御下に置かれている。
【００３６】
Ｘ線検出器１２の出力は画像データ取り込み回路２４を介して演算・制御装置２２に取り込まれる、演算・制御装置２２では、Ｘ線検出器１２により検出された対象物の透過Ｘ線を用いて、対象物のＸ線透視像を構築して表示器２５に表示する。
【００３７】
演算・制御装置２２には、後述するジョグダイアルやキーボード、マウス、ジョイスティック等からなる操作部２６が接続されており、この操作部２６の手動操作により、軸制御部２１を介して傾動機構１６、Ｚステージ１７、回転テーブル１８およびＸＹテーブル１９に対して駆動制御信号を供給し、随意に移動させることができる。また、後述するティーチング後の自動運転に際しては、演算・制御部２２はこれらのＸＹテーブル１９等を、ティーチングされた内容に基づいて自動的に駆動制御する。
【００３８】
対象物のＸ線透視に際しては、ＸＹステージ１９を駆動して回転テーブル１８上の対象物をｙ軸方向に移動させること、および、Ｚステージ１７を駆動してＸ線発生装置１１とＸ線検出器１２の対をｚ軸方向に移動させることによって、観察ポイント（Ｘ線検出器１２の視野）を変化させることができ、また、回転テーブル１８を駆動して対象物を回転させること、あるいは傾動機構１６を駆動してＸ線発生装置１１とＸ線検出器１２の対を傾動させるにより、観察方向（透視方向）を変化させることができる。更に、ＸＹテーブル１９を駆動して対象物をｘ軸方向に移動させることによって、観察倍率（透視倍率）を変化させることができる。
【００３９】
さて、この演算・制御装置２２は、３ＤＣＡＤシステム３とリンクされており、この３ＤＣＡＤシステム３から、対象物の３次元設計データ（３次元形状情報と寸法情報）を演算・制御装置２２に転送することができ、演算・制御装置２２では、そのデータに基づいて対象物の３次元モデル、例えばワイヤフレームモデルもしくはサーフェースモデル、を表示することができる。また、操作部２６の操作により、対象物の回転テーブル１８上への設置位置情報を入力することができ、その入力情報と上記の転送情報を用いて、対象物の３次元モデルを使って以下のようにティーチングを行うことができる。
【００４０】
図２（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）に、対象物の３次元形状の例を平面図、正面図および右側面図で示す。このような３次元モデルを表示器２５に表示した状態で、オペレータが操作部２６を操作することによって、実際の対象物の検査を行う際のティーチングを行うこと、つまり観察ポイント、観察方向および観察倍率等を順次変更していく一連の観察動作を設定することができる。図３にその観念図を示す。対象物の３次元モデルＭと、Ｘ線内部の駆動系モデル（回転テーブル１８とＸＹテーブル１９）ｍとの位置関係ｒ、例えば図２（Ｂ）の正面図で示した姿勢で対象物を回転テーブル１８上に設置し、その設置位置については、図２（Ｂ）の左右および前後の中心と回転テーブル１８の回転中心が一致する位置関係とする等、を用いて、観察ポイントおよび観察方向等の変化手順Ｖを設定していく。
【００４１】
ティーチング時における３次元モデルの実際の表示方法については特に限定されるものではないが、例えば３ＤＣＡＤシステム等において常用的に有している図形の回転機能等を用いて、観察方向に対応して３次元モデルを回転させ、また、表示画面の中央を観察の中心（視野中心）として３次元モデルを移動させるとともに、観察倍率に対応して３次元モデルの大きさを変化させる等の方法を採用することができる。図４にその例を示す。この図４の例では、当初の観察方向を図２（Ｂ）の正面図の方向とし（図４（Ａ））、その観察方向を変化させずに観察ポイントをｙ，ｚ軸方向に移動させ（図４（Ｂ），（Ｃ））、その後観察方向をｚ軸の回りに回転するように変化させていく（図４（Ｄ），（Ｅ））という例を示している。
【００４２】
以上の図４（Ａ）〜（Ｅ）に例示するようなＸ線透視像が得られる状態は、対象物の３次元形状情報と寸法情報、および回転テーブル１８上への対象物の設置位置情報を用いることにより、回転テーブル１８の回転角度とＸＹテーブル１９のｘ，ｙ軸方向への位置、傾動機構１６の傾動角度とＺステージ１７のｚ軸方向への位置の組み合わせによって一意的に現出させることができ、演算・制御装置２２は、ティーチングされた各状態を得るためのこれらの各移動機構の位置や角度を記憶していく。また、演算・制御装置２２では、対象物の３次元形状情報と寸法情報、および回転テーブル１８上への設置位置情報を用いることにより、回転テーブル１８の回転位置、ＸＹテーブル１９の位置、傾動機構１６およびＺステージ１７によるＸ線発生装置１１とＸ線検出器１２の位置との関連において、対象物がＸ線発生装置１１やＸ線検出器１２などの装置構造物に干渉する範囲が判るので、上記のティーチング動作時においては、対象物と装置構造物とが干渉するような移動機構の動作範囲への設定を禁止する。
【００４３】
以上のティーチングにおいては、図４（Ａ）〜（Ｅ）に示した状態をそれぞれ教示点としてそれぞれ一定の時間ずつ停止してもよいし、また、これらの各教示点間の移動速度（観察ポイントと観察方向の変化速度）を設定することもでき、あるいは上記のような各教示点での停止を行わずに、図４（Ａ）〜（Ｅ）の各状態を通過点として、観察ポイント、観察方向を連続的に変化させる、いわゆる流れるような観察とすることもできる。このような設定には、例えば図５に示すようなジョグダイアル２６ａ等を用いると操作性が良好なものとなる。この図５の例では、観察ポイントないしは観察方向の変化の方向と、その各方向への変化の速度の設定、更には停止を一つのジョグダイアルＪの操作によって行えるように考慮されている。
【００４４】
また、以上の実施の形態において、上記のようにして対象物を必要とすることなく行われるティーチングの後、そのティーチング内容について、図４に例示した表示に準じた表示手法で、３次元モデルをＸ線透視像に擬したアニメーション表示により、ティーチングシミュレーションを行うことができる。このようなシミュレーションの表示により、オペレータはティーチングの内容を確認することができる。
【００４５】
そして、実際の対象物の検査時においては、ティーチング時に入力した通りの姿勢、および位置に対象物を設置して、自動運転の実行指令を与えることにより、演算・制御装置２２から、ティーチング内容に従って回転テーブル１８、ＸＹテーブル１９、Ｚステージ１７および傾動機構１６を自動的に駆動制御するための信号が刻々と軸制御部２１に供給される。そして、その間、対象物のＸ線透視像が表示器２５に表示されるのであるが、その表示と併せて、刻々の観察ポイントや観察方向、観察倍率に係る情報を表示器２５に表示することができる。その例を図６に示す。
【００４６】
図６の例においては、表示器２５の表示画面上に、Ｘ線透視像を表示する透視像表示エリアＡｔと、３次元モデルのアニメーションを表示するアニメーション表示エリアＡａとが設定されており、アニメーション表示エリアＡａの表示により、その時点で表示されているＸ線透視像が、対象物の全体のどのポイントをどの方向からどのような倍率の元に観察しているのかを報知するようになっている。
【００４７】
すなわち、アニメーション表示エリアＡａには、常に対象物の全体を表す３次元モデルＭが表示され、回転テーブル１８のｚ軸回りへの回転、および傾動機構１６のｙ軸回りの傾動に応じて、３次元モデルを該当方向に回転させることによって観察方向を報知するとともに、このアニメーション表示エリアＡａ上の３次元モデルに重畳して、Ｘ線検出器１２のその時点における視野、つまりその時点におけるＸ線透視像の表示範囲、を表す枠Ｑを表示することにより、観察ポイントと観察倍率に係る情報を報知している。
【００４８】
また、Ｘ線透視像上の任意の点をクリックすることによって、アニメーション表示エリアＡａに表示されている枠Ｑ内の該当の位置にクリックポイントＰが表示される。このような表示により、例えばアルミダイキャスト部品のボイドの検査等において、Ｘ線透視像上でボイドの位置をクリックし、その位置が部品全体のどの位置にあるのかを知ることができ、例えばボイドの存在位置により合否がわかれるような場合に有効である。
【００４９】
また、ティーチング内容に基づく一連の自動運転による観察時に、任意の時点で操作部２６を操作して指定することにより、その時点における回転テーブル１８、ＸＹテーブル１９、傾動機構１６およびＺステージ１７の状態が記憶され、一連の自動運転の終了後にその状態が再現されるように軸制御部２１に駆動制御信号が供給される。これにより、指定した観察状態が再現されてＸ線透視像が表示されることになる。この機能は、特に、前記したような流れるような観察を設定してアルミダイキャスト部品のボイドの検査を行うような場合、自動運転時の刻々と変化していくＸ線透視像からは合否判断を下せなかったボイドの有無やその位置、大きさ等を再度観察することが可能となって有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態の構成図で、装置本体の構成を表す斜視図と、システム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図２】本発明の実施の形態により観察する対象物の３次元形状の例の説明図で、（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）は平面図、正面図および右側面図である。
【図３】本発明の実施の形態における３次元モデルを用いたティーチングの方法を説明するための観念図である。
【図４】本発明の実施の形態における３次元モデルを用いたティーチング時の表示方法の例の説明図である。
【図５】本発明の実施の形態における３次元モデルを用いたティーチング時に用いられるジョグダイアルの例の説明図である。
【図６】本発明の実施の形態における表示器２５の表示態様の例の説明図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  装置本体
１１  Ｘ線発生装置
１２  Ｘ線検出器
１３  試料ステージ
１４  支持アーム
１５  コラム
１６  傾動機構
１７  Ｚステージ
１８  回転テーブル
１９  ＸＹテーブル
２１  軸制御部
２２  演算・制御装置
２３  Ｘ線コントローラ
２４  画像データ取り込み回路
２５  表示器
２６  操作部
３  ３ＤＣＡＤシステム
Ａａ  アニメーション表示エリア
Ａｔ  透視像表示エリア
Ｍ  ３次元モデル
Ｐ  クリックポイント
Ｑ  枠
【図１】
0005266792.tif 000002
【図２】
0005266792.tif 000003
【図３】
0005266792.tif 000004
【図４】
0005266792.tif 000005
【図５】
0005266792.tif 000006
【図６】
0005266792.tif 000007