(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送面上のシート状の被搬送物を前記搬送面からエアにより浮上させつつ搬送するエア浮上搬送装置において、
前記搬送面下に配置されるエア浮上ユニットが、前記被搬送物の搬送方向と直交するユニット幅方向の両側に、該ユニット幅方向の中央側へエアを噴出する側部噴出部を備えると共に、前記搬送方向の下流側端に、該搬送方向の上流側へエアを噴出する下流側噴出部を備え、
前記搬送方向下流側端の近傍における前記側部噴出部が、前記ユニット幅方向中央側かつ前記搬送方向下流側へ斜めにエアを噴出することを特徴とするエア浮上搬送装置。
【請求項２】
前記側部噴出部及び下流側噴出部の少なくとも一方が、前記被搬送物の下面に向けて斜め上方へエアを噴出することを特徴とする請求項１に記載のエア浮上搬送装置。
【請求項３】
前記側部噴出部及び下流側噴出部の少なくとも一方が、前記ユニット幅方向両側又は搬送方向下流側端に設けられた噴出基部と、該噴出基部に重なるように取り付けられる第一プレートと、該第一プレートに重なるように取り付けられる第二プレートとを有してなり、
前記第一プレートには、前記噴出基部に設けられたエア噴出口に対応する位置から前記側部噴出部又は下流側噴出部におけるエア噴出方向に向けて開放する切り欠きが設けられ、該切り欠きを前記噴出基部及び第二プレートで挟み込むことで、前記側部噴出部又は下流側噴出部におけるエア噴出経路が形成されることを特徴とする請求項１又は２の何れかに記載のエア浮上搬送装置。
【請求項４】
前記噴出基部が前記エア浮上ユニットのユニット本体に一体に設けられ、前記ユニット本体内にはエア通路が設けられ、前記噴出基部の外面から前記エア通路に至る貫通孔が、前記噴出基部のエア噴出口とされることを特徴とする請求項３に記載のエア浮上搬送装置。
【請求項５】
前記噴出基部における前記エア噴出口を開口させる外面が、前記搬送面に対して傾斜して設けられることを特徴とする請求項４に記載のエア浮上搬送装置。
【請求項６】
搬送面上のシート状の被搬送物を前記搬送面からエアにより浮上させつつ搬送するエア浮上搬送装置に用いられるエア浮上ユニットにおいて、
前記被搬送物の搬送方向と直交するユニット幅方向の両側に、該ユニット幅方向の中央側へエアを噴出する側部噴出部を備えると共に、前記搬送方向の下流側端に、該搬送方向の上流側へエアを噴出する下流側噴出部を備え、
前記側部噴出部及び下流側噴出部の少なくとも一方が、前記ユニット幅方向両側又は搬送方向下流側端に設けられた噴出基部と、該噴出基部に重なるように取り付けられる第一プレートと、該第一プレートに重なるように取り付けられる第二プレートとを有してなり、
前記第一プレートには、前記噴出基部に設けられたエア噴出口に対応する位置から前記側部噴出部又は下流側噴出部におけるエア噴出方向に向けて開放する切り欠きが設けられ、該切り欠きを前記噴出基部及び第二プレートで挟み込むことで、前記側部噴出部又は下流側噴出部におけるエア噴出経路が形成されることを特徴とするエア浮上ユニット。
【請求項７】
搬送面上のシート状の被搬送物を前記搬送面からエアにより浮上させつつ搬送するエア浮上搬送方法において、
前記被搬送物の搬送方向と直交するユニット幅方向の両側から該ユニット幅方向の中央側へエアを噴出すると共に、前記搬送方向の下流側端から該搬送方向の上流側へエアを噴出し、
前記搬送方向下流側端の近傍における前記ユニット幅方向両側からは、前記ユニット幅方向中央側かつ前記搬送方向下流側へ斜めにエアを噴出することを特徴とするエア浮上搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板や液晶基板等の平面状の被搬送物の搬送装置等に関し、特に前記被搬送物をエアによって搬送面から浮上させることで該被搬送物の破損や傷付きを防止したエア浮上搬送装置、エア浮上ユニット、及びエア浮上搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、搬送面上のシート状の被搬送物を前記搬送面からエアにより浮上させつつ搬送するエア浮上搬送装置において、前記搬送面下に配置される複数のエア浮上ユニットが、その前記搬送方向の下流側端から該搬送方向の上流側へエアを噴出することで、前記搬送方向下流側端の近傍における被搬送物の浮上量を増加させたものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００６−２２２２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の技術は、被搬送物の搬送方向先端部（下流側端部）がエア浮上ユニットの搬送方向下流側端を過ぎた後に下方に撓んでその先のエア浮上ユニット等に干渉することを防止したものである。
ところで、上記エア浮上搬送装置は、搬送面下に複数のエア浮上ユニットを配列してなるものであり、被搬送物の大きさや重量等に応じてその仕様を容易かつ柔軟に設定可能としているが、さらに搬送ラインの規模等にも対応しようとすると、エア浮上ユニット間の間隔が広がることがあるため、エア浮上ユニットの搬送方向下流側端の近傍における被搬送物の浮上量をより増加させるような構成が要望されている。一方で、エア浮上搬送装置の運転負荷を抑えるために、装置全体のエア噴出量（エア消費量）が低減できるような構成であることが望ましい。
そこで本発明は、エア浮上ユニットの搬送方向下流側端の近傍における被搬送物の浮上量を増加させると共に、装置全体のエア消費量を低減させることを可能としたエア浮上搬送装置、エア浮上ユニット、及びエア浮上搬送方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題の解決手段として、請求項１に記載した発明は、搬送面上のシート状の被搬送物を前記搬送面からエアにより浮上させつつ搬送するエア浮上搬送装置において、前記搬送面下に配置されるエア浮上ユニットが、前記被搬送物の搬送方向と直交するユニット幅方向の両側に、該ユニット幅方向の中央側へエアを噴出する側部噴出部を備えると共に、前記搬送方向の下流側端に、該搬送方向の上流側へエアを噴出する下流側噴出部を備え、前記搬送方向下流側端の近傍における前記側部噴出部が、前記ユニット幅方向中央側かつ前記搬送方向下流側へ斜めにエアを噴出することを特徴とする。
【０００６】
請求項3に記載した発明は、請求項１に記載のエア浮上搬送装置において、前記側部噴出部及び下流側噴出部の少なくとも一方が、前記被搬送物の下面に向けて斜め上方へエアを噴出することを特徴とする。
【０００７】
請求項３に記載した発明は、請求項１又は２の何れかに記載のエア浮上搬送装置において、前記側部噴出部及び下流側噴出部の少なくとも一方が、前記ユニット幅方向両側又は搬送方向下流側端に設けられた噴出基部と、該噴出基部に重なるように取り付けられる第一プレートと、該第一プレートに重なるように取り付けられる第二プレートとを有してなり、前記第一プレートには、前記噴出基部に設けられたエア噴出口に対応する位置から前記側部噴出部又は下流側噴出部におけるエア噴出方向に向けて開放する切り欠きが設けられ、該切り欠きを前記噴出基部及び第二プレートで挟み込むことで、前記側部噴出部又は下流側噴出部におけるエア噴出経路が形成されることを特徴とする。
【０００８】
請求項４に記載した発明は、請求項３に記載のエア浮上搬送装置において、前記噴出基部が前記エア浮上ユニットのユニット本体に一体に設けられ、前記ユニット本体内にはエア通路が設けられ、前記噴出基部の外面から前記エア通路に至る貫通孔が、前記噴出基部のエア噴出口とされることを特徴とする。
【０００９】
請求項５に記載した発明は、請求項４に記載のエア浮上搬送装置において、前記噴出基部における前記エア噴出口を開口させる外面が、前記搬送面に対して傾斜して設けられることを特徴とする。
【００１０】
請求項６に記載した発明は、搬送面上のシート状の被搬送物を前記搬送面からエアにより浮上させつつ搬送するエア浮上搬送装置に用いられるエア浮上ユニットにおいて、前記被搬送物の搬送方向と直交するユニット幅方向の両側に、該ユニット幅方向の中央側へエアを噴出する側部噴出部を備えると共に、前記搬送方向の下流側端に、該搬送方向の上流側へエアを噴出する下流側噴出部を備え、前記側部噴出部及び下流側噴出部の少なくとも一方が、前記ユニット幅方向両側又は搬送方向下流側端に設けられた噴出基部と、該噴出基部に重なるように取り付けられる第一プレートと、該第一プレートに重なるように取り付けられる第二プレートとを有してなり、前記第一プレートには、前記噴出基部に設けられたエア噴出口に対応する位置から前記側部噴出部又は下流側噴出部におけるエア噴出方向に向けて開放する切り欠きが設けられ、該切り欠きを前記噴出基部及び第二プレートで挟み込むことで、前記側部噴出部又は下流側噴出部におけるエア噴出経路が形成されることを特徴とする。
【００１１】
請求項７に記載した発明は、搬送面上のシート状の被搬送物を前記搬送面からエアにより浮上させつつ搬送するエア浮上搬送方法において、前記被搬送物の搬送方向と直交するユニット幅方向の両側から該ユニット幅方向の中央側へエアを噴出すると共に、前記搬送方向の下流側端から該搬送方向の上流側へエアを噴出し、前記搬送方向下流側端の近傍における前記ユニット幅方向両側からは、前記ユニット幅方向中央側かつ前記搬送方向下流側へ斜めにエアを噴出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、エア浮上ユニットのユニット幅方向両側から該ユニット幅方向の中央側へエアを噴出することで、該両エアをユニット幅方向中央側で互いに衝突させ、被搬送物と搬送面との間に外気に対して圧力を高めたエア溜まりを生じさせる。このエア溜まりの圧力は、被搬送物における比較的広い面積に作用するため、エアを上方に噴出してその局所的な圧力のみで被搬送物を浮上させる場合と比べて、少ないエア噴出量（エア消費量）で被搬送物を効率良く浮上させることができる。
【００１３】
また、エア浮上ユニットの搬送方向下流側端の近傍においては、ユニット幅方向両側から該ユニット幅方向中央側へエアを噴出すると共に、搬送方向下流側端からも該搬送方向上流側へエアを噴出することで、当該部位に生じるエア溜まりの圧力を効率良く高め、少ないエア消費量で被搬送物の浮上量を増加させることができる。
【００１４】
特に、エア浮上ユニットの搬送方向下流側端の近傍においては、ユニット幅方向両側からユニット幅方向中央側かつ搬送方向下流側へ斜めにエアを噴出することで、該両エアと前記搬送方向下流側端から噴出するエアとを衝突させてエア圧力を高めると共に、当該部位に生じるエア溜まり中のエアの搬送方向上流側への逃げも抑制し、当該部位におけるエア圧力を効率良く高め、少ないエア消費量で被搬送物の浮上量を増加させることができる。
【００１５】
そして、エア浮上ユニットの搬送方向下流側端の近傍における被搬送物の浮上量を増加させることで、該被搬送物がエア浮上ユニット間の間隙部分を乗り越え易くなり、エア浮上ユニット間の間隙の設定幅が広がると共に、エア浮上ユニット間の高さ方向の位置ズレの許容範囲も広がり、エア浮上搬送装置の設計自由度を高めることができる。
【００１６】
また、側部噴出部及び下流側噴出部が、被搬送物の下面に向けて斜め上方にエアを噴出するものであれば、該エアの噴出圧力の上方への成分を被搬送物の浮上に直接的に作用させることができる。
【００１７】
また、側部噴出部及び下流側噴出部が、噴出基部に第一及び第二プレートを取り付けてなり、第一プレートに設けた切り欠きが、噴出基部及び第二プレートで挟み込まれることで、側部噴出部及び下流側噴出部におけるエア噴出経路を形成するものであれば、第一プレートを交換してその切り欠きを変更することのみで、所望のエア噴出方向を有する側部噴出部及び下流側噴出部を容易かつ柔軟に設定することができる。
【００１８】
また、側部噴出部及び下流側噴出部が、その噴出基部をユニット本体に一体に設けると共に、ユニット本体内にはエア通路を設け、噴出基部の外面からエア通路に至る貫通孔を、噴出基部のエア噴出口とするものであれば、側部噴出部及び下流側噴出部の構成ひいてはエア浮上ユニットの構成を簡素化することができる。
【００１９】
また、噴出基部におけるエア噴出口を開口する外面が、前記搬送面に対して傾斜して設けられるものであれば、該外面に平坦な第一及び第二プレートを取り付けるのみで、被搬送物の下面に向けて斜め上方へエアを噴出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００２１】
図１に示すエア浮上搬送装置１は、略水平な搬送面２（図３，４参照）からこれに沿う平面状の基板等の被搬送物３をエアにより浮上させ、この状態で図外の送り機構により前記搬送面２に沿う一方向へ移送するものである。搬送面２の下方には、複数のエア浮上ユニット５が所定の間隔を有して格子状に配置され、該各エア浮上ユニット５から適宜エアを噴出することで、前記搬送面２から被搬送物３が浮上させられる。なお、前記被搬送物３の搬送方向を図中矢印Ｆで示す。
【００２２】
被搬送物３は例えば平面視で長方形状をなし、該被搬送物３が所定間隔で順次搬送される。被搬送物３の搬送方向先端部３ａ（下流側端部）は、エア浮上ユニット５間の間隙の上方を順次通過することとなる。エア浮上ユニット５は、搬送方向に沿って複数列（図１では二列）に並び、これら複数の列に跨った状態で、被搬送物３が搬送面２上を浮上搬送される。
【００２３】
なお、図１ではエア浮上ユニット５を二列に並べた例を示したが、被搬送物３の大きさや重量等さらには搬送ラインの規模等に応じて、エア浮上ユニット５を一列又は三列以上に並べたりその個数や配置を適宜変更してもよい。すなわち、複数のエア浮上ユニット５を適宜配列してエア浮上搬送装置１を構成することで、その仕様を被搬送物３の大きさや重量等に応じて容易かつ柔軟に設定して被搬送物３の安定した搬送を可能とする。
【００２４】
図２を併せて参照し、エア浮上ユニット５は、前記搬送面２の平面視で搬送方向に長い長方形状をなすもので、その外観を形成する略水平な厚板状のユニット本体６と、搬送方向と直交するユニット幅方向の両側に設けられる側部噴出部７と、搬送方向の下流側端に設けられる下流側噴出部８とを主になる。ユニット本体６の上面は、前記搬送面２と同一面上に配置される。
【００２５】
側部噴出部７は、前記ユニット幅方向の中央側へエアを噴出し、下流側噴出部８は、搬送方向の上流側へエアを噴出する。なお、各噴出部７，８からのエア噴出方向を図中矢印Ｈで示し、ユニット幅方向の中心線を符号Ｃで示す。各噴出部７，８のエア噴出方向は、その上方を通過する被搬送物３の下面に向かうように斜め上方を指向している（図３，４参照）。
【００２６】
ここで、側部噴出部７は、エア浮上ユニット５が搬送方向に長い長方形状に設けられることから、該搬送方向で所定長さ毎に複数（この実施例では三つ）に分けて設けられる。以下、エア浮上ユニット５における最も搬送方向下流側に位置する（搬送方向下流側端の近傍に位置する）側部噴出部７を符号７’で示すことがある。
そして、前記最も搬送方向下流側に位置する側部噴出部７’は、ユニット幅方向中央側かつ搬送方向下流側に向けて、搬送面２の平面視で斜めにエアを噴出する。
【００２７】
図３，４を併せて参照し、上記したエア浮上搬送装置１において、エア浮上ユニット５のユニット幅方向両側から該ユニット幅方向の中央側へエアを噴出し、ユニット幅方向中央側で外気に対して圧力を高めたエア溜まりを生じさせることで、搬送面２上の被搬送物３を搬送面２から浮上させる。
また、エア浮上ユニット５の搬送方向下流側端の近傍では、さらに搬送方向下流側端から該搬送方向上流側へエアを噴出することで、当該部位に生じるエア溜まり（図中符号９で示す）の圧力を高めて被搬送物３の浮上量を増加させる。
【００２８】
このとき、各噴出部７，８が被搬送物３の下面に向けて斜め上方にエアを噴出することで、該エアの噴出圧力の上方への成分によっても被搬送物３を浮上させる。
そして、エア浮上ユニット５の搬送方向下流側端の近傍では、ユニット幅方向両側からユニット幅方向中央側かつ搬送方向下流側へ斜めにエアを噴出することで、当該部位におけるエア圧力を効率良く高めて被搬送物３の浮上量を増加させる。
【００２９】
これにより、被搬送物３の搬送方向先端部３ａがエア浮上ユニット５間の間隙上を通過する際、該搬送方向先端部３ａ（図３参照）が下方に撓んだ場合にも、これがその先のエア浮上ユニット５等に干渉することを防止でき、被搬送物３の浮上搬送中の破損や傷付きを防止できる。
【００３０】
図３，４に示すように、エア浮上ユニット５のユニット本体６は中空とされ、その内部空間は図外のエア供給装置からの圧搾エアが供給されるエア通路６ａとされる。
ユニット本体６のユニット幅方向両側部の上面側は、ユニット幅方向外側ほど下方に位置するように傾斜して設けられ、当該部位が前記側部噴出部７における噴出基部１１を構成する。一方、ユニット本体６の搬送方向下流側端部の上面側は、搬送方向下流側ほど下方に位置するように傾斜して設けられ、当該部位が前記下流側噴出部８における噴出基部１６を構成する。なお、各噴出基部１１，１６における傾斜した外面（上面）を図中符号１１ａ，１６ａで示す。
【００３１】
図５，６を併せて参照し、側部噴出部７は、前記噴出基部１１と、該噴出基部１１に重なるように取り付けられる第一プレート１２と、該第一プレート１２に重なるように取り付けられる第二プレート１３とを有してなる。一方、下流側噴出部８は、前記噴出基部１６と、該噴出基部１６に重なるように取り付けられる第一プレート１７と、該第一プレート１７に重なるように取り付けられる第二プレート１８とを有してなる。
【００３２】
側部噴出部７の噴出基部１１には、搬送方向に並ぶ複数のエア噴出口１４が設けられる。一方、下流側噴出部８の噴出基部１６には、ユニット幅方向に並ぶ複数のエア噴出口１９が設けられる。
各エア噴出口１４，１９は、各噴出基部１１，１６の外面１１ａ，１６ａからユニット本体６内のエア通路６ａに至る貫通孔であり、該エア通路６ａ内に供給された圧搾エアを外部に噴出可能とする。
【００３３】
側部噴出部７の第一プレート１２には、噴出基部１１の各エア噴出口１４と対向する位置から側部噴出部７におけるエア噴出方向に向けて開放する切り欠き１２ａが設けられる。すなわち、前記最も搬送方向下流側に位置する側部噴出部７’の第一プレート１２（図中に符号１２’を併記する）には、各エア噴出口１４と対向する位置からユニット幅方向中央側かつ搬送方向下流側に向けて、搬送面２の平面視でユニット幅方向及び搬送方向に対して傾斜して開放する切り欠き１２ａ（図中に符号１２ａ’を併記する）が設けられ、当該側部噴出部７’を除く他の側部噴出部７の第一プレート１２には、各エア噴出口１４と対向する位置からユニット幅方向中央側に向けて、搬送面２の平面視でユニット幅方向に沿って開放する切り欠き１２ａが設けられる。
【００３４】
一方、下流側噴出部８の第一プレート１７には、噴出基部１６の各エア噴出口１９と対向する位置から下流側噴出部８におけるエア噴出方向に向けて開放する切り欠き１７ａが設けられる。すなわち、下流側噴出部８の第一プレート１７には、各エア噴出口１９と対向する位置から搬送方向上流側に向けて、搬送面２の平面視で搬送方向に沿って開放する切り欠き１７ａが設けられる。
【００３５】
各噴出部７，８の第二プレート１３，１８は、切り欠きを有さない平坦な板状のカバー部材とされ、該第二プレート１３，１８を対応する第一プレート１２，１７に重ねて各切り欠き１２ａ，１７ａの外側を覆った状態で、これらが対応する噴出基部１１，１６に固定されることで、第一プレート１２，１７の各切り欠き１２ａ，１７ａが噴出基部１１，１６と第二プレート１３，１８とに挟み込まれ、各噴出部７，８におけるエア噴出経路が構成される。
【００３６】
このように、ユニット本体６に固定的に設けられた噴出基部１１，１６に対し、各プレート１２，１３，１７，１８（特に第一プレート１２，１７）を交換するのみで、各噴出部７，８のエア噴出方向等を容易かつ柔軟に設定することができる。
【００３７】
このとき、側部噴出部７の噴出基部１１の外面１１ａがユニット幅方向外側ほど下方に位置するように（すなわちユニット幅方向中央側ほど上方に位置するように）傾斜することで、この外面に平坦な板状の第一及び第二プレート１２，１７を取り付けるのみで、ユニット幅方向中央側ほど上方に位置するように傾斜したエア噴出経路を形成できる。同様に、下流側噴出部８の噴出基部１６の外面１６ａが搬送方向下流側ほど下方に位置するように（すなわち搬送方向上流側ほど上方に位置するように）傾斜することで、この外面に平坦な板状の第一及び第二プレート１３，１８を取り付けるのみで、搬送方向上流側ほど上方に位置するように傾斜したエア噴出経路を形成できる。
【００３８】
以上説明したように、上記実施例におけるエア浮上搬送装置１は、搬送面２上のシート状の被搬送物３を前記搬送面２からエアにより浮上させつつ搬送するものであって、前記搬送面２下に配置されるエア浮上ユニット５が、前記被搬送物３の搬送方向と直交するユニット幅方向の両側に、該ユニット幅方向の中央側へエアを噴出する側部噴出部７を備えると共に、前記搬送方向の下流側端に、該搬送方向の上流側へエアを噴出する下流側噴出部８を備え、前記搬送方向下流側端の近傍における前記側部噴出部７が、前記ユニット幅方向中央側かつ前記搬送方向下流側へ斜めにエアを噴出するものである。
【００３９】
上記実施例においては、エア浮上ユニット５のユニット幅方向両側から該ユニット幅方向の中央側へエアを噴出することで、該両エアをユニット幅方向中央側で互いに衝突させ、被搬送物３と搬送面２との間に外気に対して圧力を高めたエア溜まりを生じさせる。このエア溜まりの圧力は、被搬送物３における比較的広い面積に作用するため、エアを上方に噴出してその局所的な圧力のみで被搬送物３を浮上させる場合と比べて、少ないエア噴出量（エア消費量）で被搬送物３を効率良く浮上させることができる。
【００４０】
また、エア浮上ユニット５の搬送方向下流側端の近傍においては、ユニット幅方向両側から該ユニット幅方向中央側へエアを噴出すると共に、搬送方向下流側端からも該搬送方向上流側へエアを噴出することで、当該部位に生じるエア溜まりの圧力を効率良く高め、少ないエア消費量で被搬送物３の浮上量を増加させることができる。
【００４１】
特に、エア浮上ユニット５の搬送方向下流側端の近傍においては、ユニット幅方向両側からユニット幅方向中央側かつ搬送方向下流側へ斜めにエアを噴出することで、該両エアと前記搬送方向下流側端から噴出するエアとを衝突させてエア圧力を高めると共に、当該部位に生じるエア溜まり中のエアの搬送方向上流側への逃げも抑制し、当該部位におけるエア圧力を効率良く高め、少ないエア消費量で被搬送物３の浮上量を増加させることができる。
【００４２】
そして、エア浮上ユニット５の搬送方向下流側端の近傍における被搬送物３の浮上量を増加させることで、該被搬送物３がエア浮上ユニット５間の間隙部分を乗り越え易くなり、エア浮上ユニット５間の間隙の設定幅が広がると共に、エア浮上ユニット５間の高さ方向の位置ズレの許容範囲も広がり、エア浮上搬送装置１の設計自由度を高めることができる。
【００４３】
また、上記実施例おいては、側部噴出部７及び下流側噴出部８が、被搬送物３の下面に向けて斜め上方にエアを噴出することで、該エアの噴出圧力の上方への成分を被搬送物３の浮上に直接的に作用させることができる。
【００４４】
また、上記実施例においては、側部噴出部７及び下流側噴出部８が、噴出基部１１，１６に第一及び第二プレート１２，１３，１７，１８を取り付けてなり、第一プレート１２，１７に設けた切り欠き１２ａ，１７ａが、噴出基部１１，１６及び第二プレート１３，１８で挟み込まれて、側部噴出部７及び下流側噴出部８におけるエア噴出経路を形成することで、第一プレート１２，１７を交換してその切り欠き１２ａ，１７ａを変更するのみで、所望のエア噴出方向を有する側部噴出部７及び下流側噴出部８を容易かつ柔軟に設定することができる。
【００４５】
また、上記実施例においては、側部噴出部７及び下流側噴出部８が、その噴出基部１１，１６をユニット本体６に一体に設けると共に、ユニット本体６内にはエア通路６ａを設け、噴出基部１１，１６の外面１１ａ，１６ａからエア通路６ａに至る貫通孔を、噴出基部１１，１６のエア噴出口１４，１９とすることで、側部噴出部７及び下流側噴出部８の構成ひいてはエア浮上ユニット５の構成を簡素化することができる。
【００４６】
また、上記実施例においては、噴出基部１１，１６におけるエア噴出口１４，１９を開口する外面１１ａ，１６ａが、前記搬送面２に対して傾斜して設けられることで、該外面１１ａ，１６ａに平坦な第一及び第二プレート１２，１３，１７，１８を取り付けるのみで、被搬送物３の下面に向けて斜め上方へエアを噴出することができる。
【実施例２】
【００４７】
次に、本発明の第二実施例について図６を参照して説明する。
この実施例のエア浮上搬送装置２１は、前記第一実施例のものに対して、エア浮上ユニット２５の搬送方向下流側端の近傍における側部噴出部２７が、他の側部噴出部７に対してエア噴出量を増加させたものであることを主に異なるもので、前記実施例と同一部分に同一符号を付してその説明を省略する。
【００４８】
側部噴出部２７は、ユニット幅方向の中央側かつ斜め上方へエアを噴出する点は他の側部噴出部７と同様であるが、前記第一プレート１２に対して拡幅した切り欠き３２ａを有する第一プレート３２を有することで、他の側部噴出部７に対してエア噴出量を増加させている。
なお、図６では、側部噴出部２７がユニット幅方向中央側へユニット幅方向に沿ってエアを噴出するが、前記第一実施例の如く、ユニット幅方向中央側かつ搬送方向下流側に向けて斜めにエアを噴出するようにしてもよい。また、側部噴出部２７のエア噴出方向は、前記第一実施例と同様、被搬送物３の下面を向くように斜め上方を指向している。
【００４９】
この実施例においても、前記第一実施例と同様、少ないエア噴出量（エア消費量）で被搬送物３を効率良く浮上させることができ、エア浮上ユニット５の搬送方向下流側端の近傍における被搬送物３の浮上量を効率良く増加させることができ、エア浮上搬送装置１の設計自由度を高めることができる。
【００５０】
なお、本発明は上記各実施例に限られるものではなく、例えば図８に示すように、エア浮上ユニット４５の上面側のユニット幅方向中央側に凹部４５ａを設け、被搬送物３下のエア溜まりを確保し易くした構成としてもよい。また、図９に示すように、前記凹部４５ａ内に台形状の凸部４５ｂを設け、側部噴出部４７からのエアを斜め上方に案内する構成としてもよい。ここで、図８，９に示す側部噴出部４７47は、ユニット本体４６に一体的（固定的）に設けられたものであるが、これを上記各実施例の如く、ユニット本体４６に固定的に設けた噴出基部と、該噴出基部に取り付けられる別体のプレート部材とで構成するようにしてもよい。他方、上記各実施例の側部及び下流側噴出部７，８の少なくとも一方が、ユニット本体６と別体に設けられた構成であってもよい。
そして、上記実施例における構成は本発明の一例であり、当該発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】この発明の実施例におけるエア浮上搬送装置の斜視図である。
【図２】上記エア浮上搬送装置を構成するエア浮上ユニットの平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】上記エア浮上ユニットの側部及び下流側噴出部の分解斜視図である。
【図６】上記エア浮上ユニットの一部を分解した図２に相当する平面図である。
【図７】この発明の第二実施例における図６に相当する平面図である。
【図８】上記各実施例の変形例を示す図４に相当する断面図である。
【図９】上記各実施例の他の変形例を示す図４に相当する断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１，２１  エア浮上搬送装置
２  搬送面
３  被搬送物
５，２５，４５  エア浮上ユニット
６，４６  ユニット本体
６ａ  エア通路
７，２７，４７  側部噴出部
８  下流側噴出部
１１，１６  噴出基部
１１ａ，１６ａ  外面
１２，１７，３２  第一プレート
１２ａ，１７ａ，３２ａ  切り欠き
１３，１８  第二プレート
１４，１９  エア噴出口
４５ａ  凹部
４５ｂ  凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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