(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路内を流れる被測流体の流量に応じて回転し磁性材により形成されたロータと、
前記ロータが回転する領域に磁界を形成すると共に、前記ロータの回転に伴う磁気変化を検出し、検出信号を出力するピックアップと、
前記ピックアップより出力された検出信号から前記流路内を流れる被測流体の流量を演算する流量演算手段とを備えてなる流量計において、
前記ピックアップより出力される検出信号の電圧値を検出する電圧検出手段と、
前記電圧検出手段により検出された電圧値に基づいて得られた前記検出信号の最小電圧値または最大電圧値から基本波形の周期を演算する周期演算手段と、
前記電圧検出手段により検出された電圧値に基づいて得られたノイズ成分の周波数を算出するノイズ成分周波数演算手段と、
前記ノイズ成分の周波数が所定の異常判断値より大きい場合には前記検出信号の計測波形を前記基本波形の周波数と当該計測波形の波高値より求めた正弦波形に補正する補正手段と、
を備え、
前記流量演算手段は、前記ノイズ成分周波数演算手段により算出された前記ノイズ成分の周波数が所定の異常判断値以下の場合には前記検出信号に基づき前記流路内を流れる被測流体の流量を計測することを特徴とする流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流量計に係り、特に被測流体の流量に応じて回転するロータの回転数を磁気的に検出するピックアップを用いて検出するよう構成された流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、タービン式流量計では、ハブの外周に複数の羽根を有する羽根車（ロータ）を流路中に回転自在に支持し、流路を流れる被測流体の流量に応じた羽根車の回転に伴う磁気変化をピックアップにより検出することで流量計測を行うように構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この種のタービン式流量計に用いられる回転検出手段としては、ピックアップコイルが用いられている。タービン式流量計では、ピックアップコイルを羽根車の外周に対向する流量計本体に設け、磁性材料により形成された羽根車の羽根がピックアップコイルの磁界を横切ることによって磁気回路の磁気抵抗を変化させて誘起電圧を生じさせることで、検出パルスが生成される。
【０００４】
そして、流量計の演算部では、ピックアップコイルから出力された検出信号から得た流量パルスをカウントし、この単位時間当たりのカウント値から瞬時流量及び積算流量を求めている。
【特許文献１】特開２００３−１６６８６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のようにピックアップを用いて羽根車の回転を検出する流量計においては、ピックアップより出力される検出信号の電圧値が被測流体の流量の大きさに応じて大きくなる。このため、ピックアップより出力された検出信号の信号波形が所定の閾値以上のとき流量パルスを生成する方式では、流量計の異常を適確に検出するには、例えば、ノイズの影響を排除するために閾値を高く設定すると、小流量時にピックアップより出力される電圧値が閾値を下回ってしまう結果、小流量の計測が行えないといった問題が生じる。
【０００６】
また、小流量の計測が行えるように閾値を小さく設定した場合には、検出信号に重畳されたノイズも信号として検出されてしまうことになり、異常を速やかに検出できず、異常が発生した状態で流量を誤計測してしまうおそれがある。
【０００７】
そこで、本発明は上記事情に鑑み、上記課題を解決した流量計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。
【０００９】
本発明は、流路内を流れる被測流体の流量に応じて回転し磁性材により形成されたロータと、
前記ロータが回転する領域に磁界を形成すると共に、前記ロータの回転に伴う磁気変化を検出し、検出信号を出力するピックアップと、
前記ピックアップより出力された検出信号から前記流路内を流れる被測流体の流量を演算する流量演算手段とを備えてなる流量計において、
前記ピックアップより出力される検出信号の電圧値を検出する電圧検出手段と、
前記電圧検出手段により検出された電圧値に基づいて得られた前記検出信号の最小電圧値または最大電圧値から基本波形の周期を演算する周期演算手段と、
前記電圧検出手段により検出された電圧値に基づいて得られたノイズ成分の周波数を算出するノイズ成分周波数演算手段と、
前記ノイズ成分の周波数が所定の異常判断値より大きい場合には前記検出信号の計測波形を前記基本波形の周波数と当該計測波形の波高値より求めた正弦波形に補正する補正手段と、
を備え、
前記流量演算手段は、前記ノイズ成分周波数演算手段により算出された前記ノイズ成分の周波数が所定の異常判断値以下の場合には前記検出信号に基づき前記流路内を流れる被測流体の流量を計測することにより、上記課題を解決するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ノイズ成分周波数演算手段により算出されたノイズ成分の周波数が所定の異常判断値以下の場合には検出信号に基づき流路内を流れる被測流体の流量を計測し、また、ノイズ成分の周波数が所定の異常判断値より大きい場合には、検出信号の計測波形を基本波形の周波数と当該計測波形の波高値より求めた正弦波形に補正するため、検出信号に重畳されたノイズの影響を受けず、流量計測可能範囲を低流量域から高流量域まで広く拡大することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１は本発明になるタービン式流量計の一実施例を示す図であり、（Ａ）はタービン式流量計の縦断面図、（Ｂ）は流路内の圧力分布図である。図１（Ａ）に示されるように、タービン式流量計１０は、メータ本体１２の内部に形成された流路１４内に羽根車（ロータ）１６を回転自在に設けてなる。羽根車１６は、流路１４の中心に支持された回転軸１８に挿通されて回転可能に支持されており、流路１４内を流れる被測流体の流量に比例した回転数で回転する。
【００１４】
回転軸１８の両端は、流路１４内に嵌合された軸支持部材２０，２２により保持されている。そして、回転軸１８には、羽根車１６の上流側に位置する上流側コーン２４と、羽根車１６の下流側に位置する下流側コーン２６と、上流側コーン２４と下流側コーン２６との間に介在する円筒軸２８とが挿通されている。
【００１５】
羽根車１６は、ハブ３０の外周に磁性材料により形成された複数の羽根（ブレード）３２が一定間隔で放射状に設けられており、且つハブ３０の中心には円筒軸２８の外周に摺動可能に嵌合する軸受部材３４が一体的に設けられている。また、羽根車１６のハブ３０は、軸方向の厚さＴが上流側コーン２４と下流側コーン２６との間隔Ｌよりも小さくなっている（Ｔ＜Ｌ）。
【００１６】
従って、羽根車１６は、ハブ３０の上下流端面３０ａ，３０ｂが、上流側コーン２４，下流側コーン２６と隙間Ｓ＝（Ｌ−Ｔ）／２を介して対向するように支持されることにより、上流側コーン２４及び下流側コーン２６と接触しないフローティング状態に支持される。
【００１７】
このため、羽根車１６は、軸受部材３４が円筒軸２８によりフローティング状態に回転自在に支持され、且つ上記隙間Ｓ分だけ円筒軸２８の軸方向（上流側または下流側）へ摺動可能に支持されている。
【００１８】
上流側コーン２４は、軸支持部材２０に当接される中空形状の軸部２４ａと、軸部２４ａの外径より大径となるように下流側へ向けて傾斜する円錐形状のコーン部２４ｂと、コーン部２４ｂの端面に埋設され、円筒軸２８の上流側端部が当接する軸受部２４ｃとを有する。
【００１９】
また、下流側コーン２６は、軸支持部材２２に当接される中空形状の軸部２６ａと、軸部２６ａの外径より大径となるように上流側へ向けて傾斜する円錐形状のコーン部２６ｂと、コーン部２６ｂの端面に埋設され、円筒軸２８の下流側端部が当接する軸受部２６ｃと、コーン部２６ｂの端面に下流側の圧力を導入するための圧力導入孔２６ｄとを有する。
【００２０】
回転軸１８は、上流側コーン２４の軸部２４ａ及び下流側コーン２６の軸部２６ａを貫通して軸支持部材２０，２２に挿通されている。そして、回転軸１８の両端は、雄ねじになっており、ナット３５ａ，３５ｂが螺入されて軸支持部材２０，２２に保持される。
【００２１】
圧力導入孔２６ｄは、コーン部２６ｂを軸方向に貫通しており、羽根車１６のハブ３０の下流端面３０ｂとコーン部２６ｂとの間に形成された隙間Ｓに下流側圧力を導入する。これにより、羽根車１６は、ハブ３０の上下流端面３０ａ，３０ｂに作用する上流側の圧力と下流側の圧力とがバランスしてフローティング状態に保持される。
【００２２】
尚、流路１４内の圧力分布は、図１（Ｂ）に示されるように、上流側コーン２４の上流ではＰ１、羽根車１６の羽根３２の外周付近ではＰ２、下流側コーン２６の下流ではＰ３，Ｐ４となる（Ｐ１＞Ｐ３（Ｐ４）＞Ｐ２）。また、羽根車１６の上流側では、圧力がＰ１からＰ２に変化し、羽根車１６の下流側では、圧力がＰ２からＰ３に変化する。圧力導入孔２６ｄは、圧力Ｐ３を羽根車１６のハブ３０の下流端面３０ｂに向けて導入することでハブ３０の上下流端面３０ａ，３０ｂに作用する圧力をバランスさせる。
【００２３】
羽根車１６の羽根３２の外周端部に近接する流路１４の壁面内部には、ピックアップ３６が取り付けられている。そして、ピックアップ３６は、流量演算を行う制御回路３８に接続されている。
【００２４】
ピックアップ３６は、羽根車１６が回転する流路１４に向けて磁界を形成するコイルを有しており、磁性材料により形成された羽根車１６の羽根３２が磁界を横切ることによって磁気回路の磁気抵抗が変化してコイルに誘起電圧を生じさせることで、検出信号を出力する。
【００２５】
そして、制御回路３８では、ピックアップ３６から出力された検出信号の波形から得た流量パルスをカウントし、この単位時間当たりのカウント値から瞬時流量及び積算流量を算出する。
【００２６】
制御回路３８のメモリ３９には、ピックアップ３６より出力された検出信号から流路１４内を流れる被測流体の流量を演算する制御プログラム（流量演算手段）と、ピックアップ３６より出力された検出信号の波高値と周波数との対応関係を記憶するデータベース（波高値−周波数記憶手段）と、検出信号の周波数に対応する波高値をデータベースより読み込み、ピックアップ３６より出力される検出信号の波高値が当該読み込まれた波高値に対して予め設定された範囲内に入っているか否かを判定する制御プログラム（判定手段）と、波高値が範囲内に入っていないと判定された場合には、異常信号を出力する制御プログラム（出力手段）とが格納されている。
【００２７】
ここで、上記のように構成されたタービン式流量計１０の流量計測について説明する。図２は羽根車１６による流量計測方法を示す図であり、（Ａ）は羽根車１６がフローティングされた状態を示す縦断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に対応するピックアップ３６から出力される検出信号の波形図である。
【００２８】
メータ本体１２の流路１４内に流入した被測流体は、上流側コーン２４によって羽根車１６の羽根３２に向けて導かれ、羽根３２を回転方向に押圧しながら下流方向へ移動する。そして、被測流体は、羽根車１６を通過した後、下流側コーン２６に沿って下流側へ流れるが、その一部が圧力導入孔２６ｄを通って羽根車１６のハブ３０の下流端面３０ｂに向けて移動する。
【００２９】
これにより、ハブ３０の下流端面３０ｂに２次圧力が作用して羽根車１６を僅かに上流側へ押し戻す。そのため、羽根車１６は、図２（Ａ）に示されるように、上流側コーン２４と下流側コーン２６との間のほぼ中間位置でフローティング状態に支持される。
【００３０】
このようにフローティング状態とされた羽根車１６の羽根３２は、ピックアップ３６の下方に対向するように位置しており、ピックアップ３６からの磁界４０を横切るようにして回転する。その結果、図２（Ｂ）に示されるように、ピックアップ３６の検出信号が一定の周期の正弦波となって出力される。また、羽根車１６の羽根３２は、ピックアップ３６に対して最も近接した位置で回転しているため、上記検出信号の波高値Ｖ１が規定値以上になる。
【００３１】
図３はピックアップ３６より出力される検出信号の波形図である。図３に示されるように、ピックアップ３６より出力される検出信号は、小流量を計測する場合、実線で示すように周波数はｆ１、波高値はＶ１となる。また、検出信号は、大流量を計測する場合、破線で示すように周波数はｆ２、波高値はＶ２となる。これらの計測値の対応関係としては、周波数はｆ１＞ｆ２，波高値はＶ１＞Ｖ２となることから、流量が増えるほど周波数及び波高値が増大する傾向にあり、流量が減少するほど周波数及び波高値が減少する傾向にある。
【００３２】
従って、ピックアップ３６の検出信号の周波数と波高値は、夫々流量に比例して変化する。また、制御回路３８は、ピックアップコイル３６から出力された検出信号から得られた流量パルスをカウントして瞬時流量及び積算流量を演算する。
【００３３】
ここで、ピックアップ３６より出力された検出信号の波高値と周波数との対応関係について説明する。図４に示されるように、正規特性を示すグラフＡから分かるようにピックアップ３６より出力される検出信号は、周波数と電圧（波高値）とが比例関係にあり、周波数が高くなるほどピックアップ３６のコイルに誘起される電圧も高くなる傾向にある。このグラフＡの正規特性を示すデータは、メモリ３９に予め格納されている。
【００３４】
グラフＡに示す周波数と電圧（波高値）との関係は、次式のように表せる。
Ｅ＝ａ・ｆ・・・（１）
上式において、Ｅはピックアップ３６から出力された検出信号の電圧値（Ｖ）、ｆはピックアップ３６から出力された検出信号の周波数、ａは流量計の口径によって異なる定数である。
【００３５】
上記（１）より被測流体が流れていないときのピックアップ３６からの検出信号の電圧値は、ゼロＶであるが、振動などの影響により羽根車１６が軸方向に微小に往復回転運動を起こし、ピックアップ３６のコイルに起電力が発生する。その際、羽根車１６は、磁性材からなる羽根３２がピックアップ３６の下方で微小に往復運動を起こしているので、磁界の変化は小さいため、ピックアップ３６のコイルに発生する励磁起電力（電圧値）は小さい。しかしながら、羽根車１６の往復運動の周期は、小さいので、ピックアップ３６から出力される検出信号の周波数は大きい。
【００３６】
このときの状態をグラフＡと比較して示すものを図５に示す。図５に示されるように、正規信号によるグラフＡに対する検出信号から得られた波高値（電圧）と周波数との位置が何処になるかによって異常の有無を判定することが可能になる。
【００３７】
さらに、制御回路３８では、図５に示されるように、グラフＡに対して所定の範囲を決める境界線Ｂ（一点鎖線で示す）を設定する。この境界線Ｂは、予め入力される許容範囲のパラメータによって規定される領域を区切るための仮想線である。そして、ピックアップ３６より出力される波高値−周波数の位置が境界線Ｂの範囲内に入っている場合は、グラフＡの近傍に分布しているので、正常と判定し、ピックアップ３６より出力される波高値−周波数の位置が境界線Ｂの範囲の外側に位置する場合は、グラフＡからかなり離れているので、異常と判定する。
【００３８】
次に制御回路３８が実行する流量計測制御処理１について図６に示すフローチャートを参照して説明する。制御回路３８は、図６のＳ１１でピックアップ３６のコイルより出力された検出信号（流量計測信号）の周期から周波数を計測し、記憶する。続いて、Ｓ１２では、ピックアップ３６のコイルより出力された検出信号の電圧（波高値）を計測し、記憶する。
【００３９】
次のＳ１３では、メモリ３９に記憶された波高値−周波数の対応関係を規定するグラフＡのデータを読み出し、Ｓ１１，Ｓ１２で計測された周波数、電圧をグラフＡと比較する（判定手段）。
【００４０】
次のＳ１４では、Ｓ１１，Ｓ１２で計測された周波数に対する電圧（波高値）がグラフＡに対する許容範囲（境界線Ｂによって規定される範囲）内に入っているか否かを判定しており、計測された周波数、電圧が許容範囲に入っている場合は、Ｓ１５に進み、今回検出された信号を正規信号と判断して流量パルスを生成して流量演算処理（流量パルスの積算処理）を行なう。
【００４１】
また、Ｓ１４において、計測された周波数、電圧が許容範囲の外側に位置している場合は、Ｓ１６に進み、今回検出された信号を異常信号と判断して流量演算処理を行なわず、流量積算値に加算する流量パルス数をゼロとする（出力手段）。上記Ｓ１１〜Ｓ１６の処理は、検出信号の各周期毎に繰り返し実行される。
【００４２】
従って、正弦波としてピックアップ３６より出力される検出信号（流量計測信号）の最小値と次の最小値との間隔（周期）から求まる周波数と、検出信号（流量計測信号）の最小値と最大値との差から得られる波高値（電圧）との対応関係を上記グラフＡと比較し、グラフＡの許容範囲内に入っているか否かを判定することで、当該信号が正規信号か、あるいは異常信号かを判断することが可能になる。
【００４３】
すなわち、ピックアップ３６のコイルより出力された検出信号に対して閾値を設定せずに流量計測が行えるので、周波数及び波高値（電圧）が小さくなる小流量域を計測する場合でも、検出信号に重畳されたノイズの影響を受けることなく異常の有無を判定することが可能となる。これにより、小流量域から高流量域まで広範囲な流量計測を安定して行なうことが可能になり、より正確な流量計測が行える。
【００４４】
ここで、ピックアップ３６の変形例について説明する。図７はピックアップ３６の変形例を示す図である。
【００４５】
図７に示されるように、ピックアップ３６は、コア（鉄心）３６ａにコイル３６ｂを巻回したものであり、コア３６ａとその上部に配置されたマグネット３６ｃが磁気回路を構成している。そして、コア３６ａ及びマグネット３６ｃを通る磁界４０が羽根車１６の羽根３２が回転する流路１４まで延びている。
【００４６】
羽根車１６の羽根３２は、磁性材により形成されており、ハブ３０の外周に複数枚（本実施例では８枚）が等間隔で放射状に突出している。そして、被測流体が流路１４を流れると、被測流体の流量（流速）に応じた回転力が羽根３２に作用して羽根車１６が回転する。そのため、羽根車１６の８枚の羽根３２は、回転数に応じた周期でピックアップコイル３６からの磁界４０を横切ることになる。
【００４７】
これにより、ピックアップ３６のコイル３６ｂには、誘導電圧が発生し、羽根車１６の回転数に応じた周波数の検出信号が制御回路３８へ出力される。ピックアップ３６は、マグネット３６ｃからの磁界４０がコア３６ａを通って流路１４内に形成されるため、流路１４内における磁界強度が高まり、その分羽根車１６の回転に伴う磁界変化に応じた電圧が増大してコイル３６ｂによって検出される検出信号の波高値が増大する。
【実施例２】
【００４８】
図８はピックアップ３６から出力された検出信号にノイズが重畳された状態の波形を示す図である。図８のグラフＣに示されるように、検出信号は正弦波形であるが、この正弦波形より振幅の小さいノイズが重畳されると、正弦波形の周期や波高値を正確に判別することが難しい。グラフＣにおいて、ノイズを含んだ状態で最小電圧値Ｖｍｉｎ１，最大電圧値Ｖｍａｘ，最小電圧値Ｖｍｉｎ２の順に検出されるものとする。
【００４９】
実施例２のメモリ３９には、ピックアップ３６より出力される検出信号の電圧値を検出する制御プログラム（電圧検出手段）と、検出された電圧値から最小電圧値と最大電圧値の検出周期を演算する制御プログラム（周期演算手段）とが格納されている。制御回路３８は、メモリ３９の制御プログラムを読み込み、図９に示すような演算処理を行なうことで、ノイズの影響を受けないで正確な流量計測を行なうことができる。
【００５０】
ここで、実施例２の制御回路３８が実行する流量計測制御処理２について説明する。制御回路３８は図９に示すＳ２１で、ピックアップ３６のコイル３６ｂから出力された検出信号の最小電圧値Ｖｍｉｎ１を計測する。この最小電圧値Ｖｍｉｎ１は、直前に検出された電圧値をメモリ３９に記憶し、この電圧値と比較して今回検出された電圧値が小さい場合に最小電圧値を更新し、直前に検出された電圧値と比較して今回検出された電圧値が大きい場合に、直前に検出された電圧値を最小電圧値Ｖｍｉｎ１とすることで記憶される。
【００５１】
続いて、Ｓ２２に進み、ピックアップ３６のコイル３６ｂから出力された検出信号の最大電圧値Ｖｍａｘを計測し、記憶する。この最大電圧値Ｖｍａｘは、直前に検出された電圧値をメモリ３９に記憶し、この電圧値と比較して今回検出された電圧値が大きい場合に最大電圧値を更新し、直前に検出された電圧値と比較して今回検出された電圧値が小さい場合に、直前に検出された電圧値を最大電圧値Ｖｍａｘとすることで記憶される。
【００５２】
さらに、Ｓ２３では、最大電圧値Ｖｍａｘの次にピックアップ３６のコイル３６ｂから出力された検出信号の最小電圧値Ｖｍｉｎ２を計測し、記憶する。この最小電圧値Ｖｍｉｎ２を計測する場合も上記最小電圧値Ｖｍｉｎ１を計測する場合と同様に行なう。
【００５３】
次のＳ２４では、１回目の最小電圧値Ｖｍｉｎ１と２回目の最小電圧値Ｖｍｉｎ２の時間間隔（位相差）から周期Ｔを計測し（周期演算手段）、基本波形の周波数を算出する。
【００５４】
続いて、Ｓ２５に進み、検出信号に含まれるノイズ成分の時間間隔Ｔｎよりノイズ成分の周波数１／Ｔｎを算出する（ノイズ成分周波数演算手段）。
【００５５】
Ｓ２６では、ノイズ成分の周波数１／Ｔｎが基本波形の周波数１／Ｔに対する異常判断値より大きいか否かをチェックする。Ｓ２６において、ノイズ成分の周波数１／Ｔｎが基本波形の周波数１／Ｔに対する異常判断値より小さい場合は、Ｓ２７に進み、正規波形と判定して波形の補正をせずに流量パルスを生成する。
【００５６】
また、Ｓ２６において、ノイズ成分の周波数１／Ｔｎが基本波形の周波数１／Ｔに対する異常判断値より大きい場合は、Ｓ２８に進み、計測波形を基本波形の周波数１／Ｔと計測波形の波高値より求めた正弦波形に補正する（補正手段）。
【００５７】
このように、ピックアップ３６から出力された検出信号にノイズが重畳されている場合でも１回目の最小電圧値Ｖｍｉｎ１と２回目の最小電圧値Ｖｍｉｎ２の時間間隔（位相差）から周期Ｔを計測し、基本波形の周波数を算出することにより擬似的に異常の有無を判定することが可能になる。そのため、正規信号による周波数（または周期）に対してノイズを含む擬似的な正弦波の周波数（または周期）を比較することにより、異常の有無を判定することが可能になり、ノイズの影響を受けることなく小流量から大流量まで計測することが可能になる。
【００５８】
また、上記実施例２の変形例について説明する。上記実施例では、流量計測によって検出された検出信号の電圧値と正規信号の電圧値とを比較して異常の有無を判定したが、この変形例として、正規信号の周波数―電圧値特性より求めた電圧値に対する正規周波数と計測された周波数との比較によって異常の有無を判定することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
尚、上記実施例では、タービン式流量計を例に挙げて説明したが、本発明はピックアップを用いてロータの回転を検出し、その検出信号から流量パルスを生成する計測方式を用いたものであれば良いので、タービン式流量計以外の流量計にも適用することができるのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明になるタービン式流量計の一実施例を示す図であり、（Ａ）はタービン式流量計の縦断面図、（Ｂ）は流路内の圧力分布図である。
【図２】羽根車１６による流量計測方法を示す図であり、（Ａ）は羽根車１６がフローティングされた状態を示す縦断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に対応するピックアップ３６から出力される検出信号の波形図である。
【図３】ピックアップ３６より出力される検出信号の波形図である。
【図４】ピックアップ３６より出力される検出信号の波形図である。
【図５】正規特性を示すグラフＡに対する許容範囲を示す図である。
【図６】制御回路３８が実行する流量計測制御処理１を説明するためのフローチャートである。
【図７】ピックアップ３６の変形例を示す図である。
【図８】ピックアップ３６から出力された検出信号にノイズが重畳された状態の波形を示す図である。
【図９】制御回路３８が実行する流量計測制御処理２を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００６１】
１０  タービン式流量計
１２  メータ本体
１４  流路
１６  羽根車
１８  回転軸
２４  上流側コーン
２６  下流側コーン
３０  ハブ
３２  羽根
３６  ピックアップ
３８  制御回路
３９  メモリ
【図１】
0005184154.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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