(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の方向に延びる長尺の圧力室と、
それぞれ前記圧力室に連通する複数のノズルを前記圧力室の長尺方向に列状に並べて配置したノズル列と、
前記圧力室に連通すると共に、当該圧力室に液体を供給する少なくとも１の供給口と、
前記圧力室内の液体に対して圧力を印加するように変形駆動し、それによって前記ノズルのそれぞれから前記液体を吐出させる少なくとも１のアクチュエータと、
を含むヘッド本体を備え、
前記圧力室と外部とを連通させると共に、前記各ノズルの出口径よりも大きい口径を有する少なくとも１のクリーニング口をさらに備え、
前記圧力室に対し前記ノズル列の形成側に直交する側に前記アクチュエータが配置されたヘッド本体を２つ備え、
前記２つのヘッド本体は、前記アクチュエータ同士が前記圧力室を挟んで相対するように、直接的又は間接的に互いに接合されており、
前記２つのヘッド本体のアクチュエータは、前記対向する方向に同位相で変形駆動し、
前記ノズル列が２つ並んで形成された１つのノズル板をさらに備え、
前記２つのヘッド本体は、前記各ノズル列が前記各ヘッド本体の圧力室に連通するように、前記ノズル板に対してそれぞれ接合されている液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出する液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、各種デバイス等の製造過程において液体を多数の点に塗布するための装置として、例えば特許文献１には、複数のノズルを列状に並べて配置したノズル列を有すると共に、その各ノズルと液室とを開閉バルブを介して互いに連通させたディスペンサーが知られている。このディスペンサーでは、各バルブの開閉制御を行うことによって液室内の液体を各ノズルからワークに向かって吐出するようにしている。このディスペンサーは、液体を多数の点に一度に塗布することができるため、各種デバイス等の生産性を向上させることができるという利点がある。
【特許文献１】特開２００７−９８３４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前記のディスペンサーは、バルブの開閉制御の応答性が悪いため、ノズルにおける液体の切れが悪く、少量の液滴を吐出させることが困難である。
【０００４】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、多数の点に少量の液滴を吐出することが可能な装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一側面によると、液体吐出ヘッドは、所定の方向に延びる長尺の圧力室と、それぞれ前記圧力室に連通する複数のノズルを前記圧力室の長尺方向に列状に並べて配置したノズル列と、前記圧力室に連通すると共に、当該圧力室に液体を供給する少なくとも１の供給口と、前記圧力室内の液体に対して圧力を印加するように変形駆動し、それによって前記ノズルのそれぞれから前記液体を吐出させる少なくとも１のアクチュエータと、を含むヘッド本体を備えている。
【０００６】
この構成によると、ヘッド本体では、長尺の圧力室に対してそれぞれ連通する複数のノズルがその長尺方向に列状に並んで配置されているため、アクチュエータの変形駆動によって圧力室内の液体に対して圧力を印加したときには、複数のノズルそれぞれから液体が吐出する。こうして、多数の点に液体を同時に吐出することが可能になる。
【０００７】
この構成の液体吐出ヘッドでは、アクチュエータを変形駆動させるため、圧力室内の液体に対し圧力を瞬時に印加することができ、それによって各ノズルから少量の液滴を吐出することが可能になる。アクチュエータは、例えば圧電素子や磁歪素子等の応答性の高い素子を含むアクチュエータとすればよい。
【０００８】
前記液体吐出ヘッドは、前記圧力室とが産とを連通させると共に、前記各ノズルの出口径よりも大きい口径を有する少なくとも１のクリーニング口をさらに備えている、としてもよい。
【０００９】
前記圧力室は長尺であるため、従来のいわゆるインクジェットヘッドにおける小さな圧力室とは異なり、クリーニング口を設けるスペースが確保可能である。こうしたクリーニング口を設けることによって、圧力室内に異物等が混入していることが判明したときには、液体吐出ヘッド（ヘッド本体）の組み立て後においても、その異物をクリーニング口を通じて取り除くことが可能になる。このことにより、そうした異物に起因するノズルの詰まりが未然に回避されるため、液体吐出ヘッドの信頼性が高まる。
【００１０】
前記アクチュエータは、前記圧力室を挟んだ両側それぞれに相対して配置されており、前記両側のアクチュエータは、前記対向する方向に同位相で変形駆動する、としてもよい。
【００１１】
圧力室が長尺であって比較的大きいため、その圧力室内の液体に圧力を印加するようにアクチュエータを一方向にのみ変形駆動させたときには、液体吐出ヘッドの振動が発生してしまい、液滴の着弾位置にずれが生じる虞がある。
【００１２】
これに対し、前記の構成では、圧力室を挟んだ両側それぞれに相対してアクチュエータを配置し、それらを対向する方向に同位相で変形駆動することで、振動成分が互いにキャンセルされて、液体吐出ヘッドが振動してしまうことが回避される。その結果、液滴の着弾位置の精度が向上する。
【００１３】
前記液体吐出ヘッドは、前記圧力室に対し前記ノズル列の形成側に直交する側に前記アクチュエータが配置されたヘッド本体を２つ備え、前記２つのヘッド本体は、前記アクチュエータ同士が前記圧力室を挟んで相対するように、直接的又は間接的に互いに接合されており、前記２つのヘッド本体のアクチュエータは、前記対向する方向に同位相で変形駆動する、としてよい。
【００１４】
この構成では、前記と同様に、２つのアクチュエータを対向する方向に同位相で変形駆動することで、振動成分が互いにキャンセルされて、液体吐出ヘッドが振動してしまうことが回避される。
【００１５】
またこの構成の液体吐出ヘッドは、圧力室及びノズル列をそれぞれ２つ有することになるため、例えばその各ノズル列から同じ液体を吐出するように構成してもよいし、各ノズル列から異なる液体を吐出するように構成してもよい。これらの構成では、生産性のより一層の向上を図ることが可能になる。
【００１６】
また、一方のノズル列が連通する圧力室には液体を充填する一方、他方のノズル列が連通する圧力室には液体を充填しないことで、２列のノズル列の一方のノズル列からのみ、液体を吐出するようにしてもよい。
【００１７】
前記液体吐出ヘッドは、前記ノズル列が２つ並んで形成された１つのノズル板を備え、前記２つのヘッド本体は、前記各ノズル列が前記各ヘッド本体の圧力室に連通するように、前記ノズル板に対してそれぞれ接合されている、としてもよい。こうすることで、液体吐出ヘッドのコンパクト化及び部品点数の低減化が図られる。
【００１８】
前記液体吐出ヘッドは、前記圧力室を区画形成する圧力室部材と、この圧力室部材に対して弾性部材を介して接合されると共に、前記圧力室の一部を区画形成する加圧部材と、を備え、前記加圧部材は、前記アクチュエータの変形駆動によって前記弾性部材の弾性変形を伴いながら変位することで、前記圧力室内の液体に対して圧力を印加する、としてもよい。
【００１９】
この構成では、アクチュエータの変形駆動によって、圧力室を大きく体積変化させることができ、圧力室内の液体に対して高い圧力を瞬時に印加することが可能になる。このことにより、長尺方向に並ぶ多数のノズルの全てから安定して、小液滴を吐出したり、高粘度液体を吐出したりすることが実現する。
【００２０】
前記液体吐出ヘッドは、それぞれ板厚方向に貫通する複数のノズルが列状に並んで配置された前記ノズル列を有するノズル板を備え、前記ノズル板は、前記各ノズルの周縁部を囲む弾性部材と、前記弾性部材の周りを囲む接着層と、を介して前記圧力室部材に接合されている、としてもよい。
【００２１】
この構成は、液体吐出ヘッドの歩留まりを向上させる。つまり、液体吐出ヘッドの製造の際に、先ず圧力室部材とノズル板とを、弾性部材を間に介在させた状態で、例えばクランピングにより組み付ける。そうして、この分解可能な組み付け状態において、各ノズルの液体の吐出状態を確認する。
【００２２】
こうすることで、例えば吐出不良のノズルが存在している場合には、ノズル板を圧力室部材から取り外してノズルの再加工を行うことが可能になる。
【００２３】
そうすることで全てのノズルの吐出状態を良好にすることができ、そのような状態になれば、圧力室部材とノズル板とを接着剤によって互いに接合することによって、圧力室部材とノズル板とを分解不能に組み付ける。
【００２４】
このように、各ノズルの周縁部を囲む弾性部材を設けることによって、分解可能な組み付け状態において各ノズルの液体の吐出状態を確認することが可能になる。このことによって、前述したように、歩留まりの高い液体吐出ヘッドが製造可能になる。
【００２５】
本発明の他の側面によると、液体吐出装置は、前記液体吐出ヘッドを備えている。このため、多数の点に少量の液滴を吐出することが可能な液体吐出装置が実現し、各種デバイス等の生産性が大幅に向上する。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本発明によると、アクチュエータの変形駆動により圧力室内の液体に対し圧力を瞬時に印加して、当該圧力室に連通する各ノズルから液体を吐出することができるため、多数の点に、小液滴を同時に吐出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００２８】
（実施形態１）
図１は、液体吐出装置Ａの概略構成を示している。この液体吐出装置Ａは、例えばフラットパネルディスプレイの製造に用いられる装置であり、所定の液体材料をワーク４に対して均一に塗布する。この液体吐出装置Ａは、液体吐出ヘッド２１と、ワーク４を支持するステージ３１と、を備えている。
【００２９】
液体吐出ヘッド２１は、ワーク４の全幅に亘って主走査方向（図１に示すＸ方向）に延びて配設されている。
【００３０】
ステージ３１は、装置基台６に支持されたステージ移動装置３によって副走査方向（図１に示すＹ方向）に往復移動する。ステージ移動装置３は、主走査方向に所定間隔を開けて配置されかつ、それぞれ副走査方向に延びる２つのステージ軸３２，３２を含む。ステージ３１はこれらのステージ軸３２，３２にガイドされ、図示を省略する駆動源（例えばモータ）によって、副走査方向に往復移動する。
【００３１】
液体吐出装置Ａはこの構成によって、液体吐出ヘッド２１とステージ３１上のワーク４とを相対移動させながら、液体吐出ヘッド２１からワーク４に向かって液体材料を吐出する。
【００３２】
液体吐出ヘッド２１は、図２，３に示すように、ヘッド本体９１を備えている。このヘッド本体９１は、液体材料が収容される圧力室１１と、それぞれ圧力室１１に連通する複数のノズル１２とを備えている。換言すれば、ヘッド本体９１は、圧力室用凹部１４１が形成された圧力室部材１４と、ノズル１２が形成されたノズル板１３とを備えている。ヘッド本体９１はまた、圧力室１１に対し、ノズル１２の形成側に直交する側に配置されて圧力室部材１４に接合される加圧部材１５と、図３における左右方向に伸縮変形駆動するアクチュエータ１６と、アクチュエータ１６を保持する保持部材１７と、をさらに備えている。尚、図２では保持部材１７の図示を省略している。
【００３３】
圧力室部材１４は、例えばステンレス鋼やセラミック等からなる板状部材であり、図２における左右方向に長い長尺形状を有している。圧力室用凹部１４１は、この圧力室部材１４に対し、その下面に開口すると共に、長尺方向に延びて形成されている。圧力室用凹部１４１は、その内面によって、圧力室１１の正面（図３における左側面）、左右の側面（図２における左右側面）及び上面をそれぞれ区画する。本実施形態では、圧力室用凹部１４１の長尺方向の長さが約１１０ｍｍ、奥行きが０．５ｍｍ、高さが３ｍｍ程度に設定されている。
【００３４】
圧力室部材１４には、図２に示すように、その長手方向の左右両側部それぞれにおいて供給パイプ５１が上下方向に延びるように取り付けられている。この供給パイプ５１は、圧力室部材１４の上面から圧力室用凹部１４１まで貫通して配設されており、この供給パイプ５１によって、図示は省略する液体材料の供給源から圧力室１１内に液体材料を供給するための供給口を形成する。供給パイプ５１は、例えばその内径がφ８０μｍで、長さ２ｍｍ程度のステンレス鋼製のパイプとすればよい。
【００３５】
圧力室部材１４にはまた、その長手方向の左右両側部それぞれにおいて、クリーニングパイプ５２が左右方向に延びるように取り付けられている。このクリーニングパイプ５２は、例えばその内径がφ２００μｍで長さが５ｍｍ程度のステンレス鋼製のパイプであり、圧力室部材１４の左右両側面から圧力室用凹部１４１まで貫通して配設されている。このクリーニングパイプ５２は、ヘッド本体９１の、特に製造時において、圧力室１１内に混入した異物を除去するためのクリーニング口を形成する。クリーニングパイプ５２は、ヘッド本体９１の製造後には、封止栓５２ａが圧入されることで、封止される。尚、封止栓５２ａは、クリーニングパイプ５２に対して着脱可能に内挿してもよい。
【００３６】
そうして圧力室部材１４の背面には、前記加圧部材１５を配設するための、長尺方向に延びる凹溝１４２が形成されている。凹溝１４２は、圧力室部材１４の背面から内方に向かって凹陥して形成されており、連通部１４３を通じて圧力室用凹部１４１と連通している。連通部１４３の高さ方向（上下方向）の幅は、凹溝１４２の高さ方向の幅に比べて小さく設定されており、これによって、凹溝１４２と連通部１４３との境界には、その連通部１４３の周縁に沿う段部が形成されている。
【００３７】
加圧部材１５は、ヘッド本体９１の長尺方向に延びる板状部材であり、例えばステンレス鋼やセラミック等の、比較的高剛性の材料によって構成すればよい。加圧部材１５は、本実施形態では、その長尺方向の長さが例えば約１０５ｍｍ程度、その高さがは約２．５ｍｍ、その厚みが１．０ｍｍ程度に設定された、ステンレス鋼製の板材とされている。
【００３８】
加圧部材１５は、前記凹溝１４２内に内挿されかつ、弾性部材１８を介して前記段部に対し接合されている。弾性部材１８は、前記段部に沿う環状に形成されている。弾性部材１８は、圧力室１１内に充填される液体に対する耐食性を考慮して、例えばフッ素ゴムやシリコーンゴム等の耐溶剤性のゴムにより構成することが好適である。こうして、圧力室１１の背面は、加圧部材１５の正面によって区画されることになる。
【００３９】
アクチュエータ１６は、本実施形態では、例えばその長さが３０ｍｍ程度、その高さが２．０ｍｍ程度、その厚みが１．５ｍｍ程度の積層型圧電体からなり、図示を省略する電極に電圧が印可されることによって、前後方向（図３における左右方向）に伸縮変形する。アクチュエータ１６は、図２に示すように、加圧部材１５の長尺方向に３つ並んで配設されており、それぞれの一側面（図３の左側面）が、加圧部材１５の側面に対して接合されている。
【００４０】
各アクチュエータ１６の他側面（図３の右側面）は、前記保持部材１７に固定されていると共に、この保持部材１７は、圧力室部材１４に対して固定されている。これによって、図３に矢印で示すような各アクチュエータ１６の伸縮駆動により、弾性部材１８の伸縮変形を伴いながら、加圧部材１５が図３における左右方向に変位し、それによって圧力室１１の体積が増減するようになっている。
【００４１】
尚、本実施形態では、アクチュエータ１６を３つ備えている（換言すれば、アクチュエータを３つに分割している）が、アクチュエータとしては、例えば長尺の一つのアクチュエータを備えるようにしてもよい。また、その分割数も、３に限定されるものではなく、２つに分割してもよいし、また４つ以上に分割してもよい。
【００４２】
アクチュエータを分割する場合には、その電極を複数のアクチュエータで共通化してもよい。また、加圧部材１５を共通電極とすることも可能である。
【００４３】
ノズル板１３は、例えばステンレス鋼からなる長尺の板材であり、圧力室部材１４の下面に対して接合されている。これにより、圧力室１１の底面は、ノズル板１３の上面によって区画されることになる。
【００４４】
ノズル板１３に対しては、それぞれ板厚方向に貫通形成された複数のノズル１２が、長尺方向に列状に並ぶように配置されることにより、ノズル列１２ａが形成されている。ノズル列１２ａは、複数のノズル１２を一列に並べても構成してもよいし、千鳥に並べて構成してもよい。本実施形態では、３００個のノズル１２を０．３ｍｍピッチで一列に配置することによってノズル列１２ａを形成している。尚、図２では理解容易のためにノズル１２の数を減らして図示している。
【００４５】
各ノズル１２は、ノズル板１３を圧力室部材１４に接合した状態において、圧力室１１に連通するように形成されている。各ノズル１２は、径が先端に向かって小さくなるテーパ状を有している。ここで、各ノズルの出口径は、例えばφ０．０３ｍｍ程度とすればよい。尚、各ノズル１２の形状は、図示は省略するが、径が先端に向かって小さくなるテーパ部と、そのテーパ部に連続すると共に径が一定のストレート部と、を備えるものとしてもよい。
【００４６】
また、ノズル板１３において、ノズル１２の先端開口が形成される側面（図２，３の下面）には、液体材料の吐出安定性の観点から撥水膜を形成することが好ましい。こうした撥水膜は、公知の方法により形成することが可能である。
【００４７】
ノズル板１３と圧力室部材１４との間には、ノズル１２の基端開口を囲む弾性部材５３と、その弾性部材５３を囲みかつ、ノズル板１３と圧力室部材１４とを互いに接合するための接着層５４と、が介在している。これは、このヘッド本体９１の歩留まりを向上させるための構成である。
【００４８】
つまり、ヘッド本体９１の製造の際には、ノズル板１３と圧力室部材１４とを、前記弾性部材５３のみを介在させた状態でクランピングによって互いに組み付けた状態にする。このようにノズル板１３と圧力室部材１４とを分解可能な組み付け状態にし、この状態で、アクチュエータ１６を変形駆動させて、各ノズル１２の液体吐出状態（例えば目詰まりや着弾位置精度等）を確認する。
【００４９】
その結果、ノズル１２の微調整が必要な場合には、圧力室部材１４からノズル板１３を取り外して、ノズル１２の再加工を施す。そうして全てのノズル１２の液体吐出状態が良好になれば、ノズル板１３と圧力室部材１４とを、接着剤によって互いに接合する。つまり、ノズル板１３と圧力室部材１４とを分解不能に接合する。
【００５０】
このヘッド本体９１は、前記のような製造手順を踏むため、ノズル板１３と圧力室部材１４との間には、弾性部材５３と接着層５４とが存在することになるが、前述したように、全てのノズル１２について液体吐出状態を良好にすることが可能になるため、ヘッド本体９１の歩留まりを向上させることができるという利点がある。尚、弾性部材５３は、例えばフッ素ゴムやシリコーンゴム等の耐溶剤性のゴムにより構成することが好適であり、前記圧力室部材１４と加圧部材１５との接合部分に介在する弾性部材１８と同じ材料としてもよい。
【００５１】
また、ノズル板１３と圧力室部材１４とを接着層５４を介して接合した後に、圧力室１１内に異物等が混入しているときには、前述したように、その異物をクリーニングパイプ５２を通じて除去することが可能である。このクリーニングパイプ５２は、各ノズル１２の内径よりも大きい内径（例えばφ２００μｍ）を有しており、圧力室１１内の異物を効果的に除去することが可能である。こうして、圧力室１１内の異物によるノズル１２の詰まり等が未然に防止されるため、ヘッド本体９１の信頼性を大幅に向上させることができる
次に、前記構成のヘッド本体９１の動作について説明する。供給パイプ５１、圧力室１１、及び各ノズル１２内のそれぞれに液体材料が充填された状態で各アクチュエータ１６に所定の電圧を印可する。このことによって、各アクチュエータ１６を伸長変形させる。
【００５２】
各アクチュエータ１６の伸長変形に伴い加圧部材１５は、図３における左方に変位するため、弾性部材１８が伸縮変形し、圧力室１１の体積が減少する。これによって、圧力室１１内の液体材料に対して圧力が印加される。そうして液体材料が各ノズル１２から押し出されてワーク４に向かって液滴として吐出される。液滴はワーク４表面にドット状に付着する。
【００５３】
その後、各アクチュエータ１６への電圧印加を解除することによって、伸長していたアクチュエータ１６が元に戻り、加圧部材１５が右方に変位して、圧力室１１の体積が元に戻る。このときに、供給パイプ５１を通じて圧力室１１内に液体材料が補充される。
【００５４】
このヘッド本体９１では、長尺の圧力室１１に対し、複数のノズル１２をその長尺方向に列状に並べて配置しており、各アクチュエータ１６の変形駆動によって全てのノズル１２から圧力室１１内の液体材料をワークに向かって同時に吐出することができる。
【００５５】
このとき、圧電体からなるアクチュエータ１６の変形駆動によって圧力室１１内の液体材料に圧力を印加するため、その液体材料に瞬時に大きい圧力を印加することができる。その結果、長尺方向に並ぶ多数のノズル１２の全てから安定して、小液滴の液体材料を、液切れ良く吐出することができる。特にこのヘッド本体９１では、加圧部材１５を変位させることによって圧力室１１の体積を大きく変化させて液体材料に圧力を印加しているため、比較的高粘度の液体を小液滴で吐出することができる。具体的には、アクチュエータ１６に高い電圧（例えば２０Ｖ）を印加して、粘度が３０ｃＰ（０．０３Ｐａ・ｓ）の高粘度液体を、約５０ｐｌ（ピコリットル）の小さい液滴量で吐出することが可能である。
【００５６】
そうして、このヘッド本体９１を備えた液体吐出装置Ａでは、多数の点に小液滴を吐出することが可能であるため、各種デバイス等の生産性を向上させることができる。
【００５７】
ここで、アクチュエータ１６の駆動は、前記のようないわゆる押し引き駆動ではなくて、加圧部材１５を右方に変位させて圧力室１１内に液体材料を供給させた後に、その加圧部材１５を元に戻すことで、液体材料を各ノズル１２から吐出させる、いわゆる引き押し駆動としてもよい。
【００５８】
また、前記のヘッド本体９１では、アクチュエータ１６を３つに分割していることから、例えば３つのアクチュエータ１６の変位特性のばらつきに応じて、その変位量が互いに同じになるように、各アクチュエータ１６に印加する電圧（通電波形）を調整してもよい。さらに、長尺の加圧部材１５の変位がその長尺方向に一定となるように、各アクチュエータ１６に印加する電圧（通電波形）を調整してもよい。
【００５９】
（実施形態２）
尚、液体吐出ヘッド２１におけるヘッド本体の構成は、前記の構成に限定されるものではない。例えば、図４に示すような構成を採用してもよい。
【００６０】
このヘッド本体９２は、前記のヘッド本体９１と比較して、加圧部材を備えていない点が異なる。つまり、このヘッド本体９２の圧力室部材１４は、圧力室用凹部１４１と凹溝１４２とが互いに連通しておらず、両者の間に振動板６１が介在している。振動板６１の厚みは、例えば０．２ｍｍ程度とすればよい。振動板６１は、図４に示すように、圧力室部材１４の一部分としても一体に設けてもよいし、図示は省略するが、別体の振動板６１を圧力室部材１４に対して取り付けてもよい。
【００６１】
このヘッド本体９２では、アクチュエータ１６の変形駆動に伴い、振動板６１が撓み変形をし、それによって圧力室１１内の液体材料に対して圧力が印可されることになる。そうして、圧力室１１に連通する全てのノズル１２から液体材料がワーク４に向かって吐出することになる。
【００６２】
（実施形態３）
図５に示すヘッド本体９３は、図３に示すヘッド本体９１と比較して、加圧部材１５を、圧力室１１を挟んでノズル板１３に相対する位置に配設している点が異なる。
【００６３】
このヘッド本体９３における圧力室部材１４には、長尺方向に延びる凹溝１４４が、その上面から凹陥するように形成されており、その底部が連通部１４５を介して圧力室用凹部１４１の上面と連通している。この上面開口の凹溝１４４内に加圧部材１５が内挿され、この加圧部材１５は弾性部材１８を介してその段部に対し接合されている。これによって、圧力室１１の上面は、加圧部材１５の底面によって区画されることになる。
【００６４】
上下方向に伸縮変形駆動するアクチュエータ１６は、その下面が加圧部材１５の上面に対して接合されていると共に、その上面が保持部材１９に固定されている。アクチュエータ１６が上下方向に伸縮変形することによって、加圧部材１５は、上下方向に変位する。
【００６５】
尚、このヘッド本体９３では、供給パイプ５１は、圧力室部材１４の正面から前後方向に延びるように取り付けられている。
【００６６】
（実施形態４）
図６に示すヘッド本体９４は、図３に示すヘッド本体９１と比較して、圧力室１１を挟んだ両側それぞれにアクチュエータ１６Ｆ，１６Ｒを配設している点が異なる。
【００６７】
つまり、このヘッド本体９４の圧力室部材１４は、その正面と背面とのそれぞれに、加圧部材１５を配設するための凹溝１４２Ｆ，１４２Ｒが、長尺方向に延びて形成されており、前側及び後側の凹溝１４２Ｆ，１４２Ｒはそれぞれ、連通部１４３を介して、圧力室用凹部１４１の正面及び背面と連通している。
【００６８】
そうして、前側及び後側の凹溝１４２Ｆ，１４２Ｒのそれぞれに、前側及び後側の加圧部材１５Ｆ，１５Ｒが内挿されており、これによって、圧力室１１の正面及び背面はそれぞれ、前側及び後側の加圧部材１５Ｆ，１５Ｒの側面によって区画されることになる。
【００６９】
各加圧部材１５Ｆ，１５Ｒに対しては、前後方向（図６における左右方向）に伸縮変形駆動するアクチュエータ１６Ｆ，１６Ｒが接合されており、これによって、このヘッド本体９４では、圧力室１１を挟んだ前側のアクチュエータ１６Ｆと後側のアクチュエータ１６Ｒとが、相対して配設されることになる。
【００７０】
このヘッド本体９４では、前側のアクチュエータ１６Ｆと、後側のアクチュエータ１６Ｒとを、対向する方向に同位相で変形駆動させる。これによって、アクチュエータ１６Ｆ，１６Ｒの駆動に伴う振動成分が、互いにキャンセルすることになる。つまり、このヘッド本体９４は振動を抑制可能なヘッド本体９４である。この振動抑制効果によって、本ヘッド本体９４は、液体材料の着弾位置の精度がさらに向上するという利点が得られる。
【００７１】
（実施形態５）
図７に示す液体吐出ヘッド２１は、図３に示すヘッド本体９１を２つ用意し、その２つのヘッド本体９１を相対するように配置して、その間に介在させたヘッド保持部材６２にそれぞれ接合している。尚、図示は省略するが、ヘッド保持部材６２を介在させずに、ヘッド本体９１，９１の側面同士を直接的に接合するようにしてもよい。
【００７２】
この構成により液体吐出ヘッド２１は、アクチュエータ１６，１６が圧力室１１を挟んで相対するように配置されることになる。その結果、図６に示すヘッド本体９４と同様に、２つのアクチュエータ１６，１６を対向する方向に同位相で駆動させることで、液体吐出ヘッド２１の振動を抑制することができる。
【００７３】
この液体吐出ヘッド２１では、一方の圧力室１１内に充填する液体材料と、他方の圧力室１１内に充填する液体材料とを同じ液体材料としてもよいし、互いに異なる液体材料としてもよい。
【００７４】
また、いずれか一方の圧力室１１内には液体材料を充填しないようにして、液体吐出ヘッド２１の振動抑制のためにアクチュエータ１６の駆動のみを行うようにしてもよい。
【００７５】
さらに、この液体吐出ヘッド２１では、一方のヘッド本体９１のノズル１２と、他方のヘッド本体９１のノズル１２とを同じピッチで配置してもよいし、一方のヘッド本体９１のノズル１２に対し、他方のヘッド本体９１のノズル１２を半ピッチだけずらすことによって、千鳥状にノズルを配置してもよい。
【００７６】
（実施形態６）
図８に示す液体吐出ヘッド２１は、図７に示す液体吐出ヘッド２１と比較して、ノズル板６３を２つの圧力室部材１４で共通化している点が異なる。
【００７７】
つまり、この液体吐出ヘッド２１では、ノズル板６３に、ノズル列１２ａが２列形成されており、各ノズル列１２ａが各圧力室１１と対応するように、１つのノズル板６３に対して２つの圧力室部材１４それぞれが並んで接合されている。このときにアクチュエータ１６，１６は、圧力室１１を挟んで相対するように配設され、それによって、２つの圧力室部材１４の側面同士が互いに接合されている。
【００７８】
（実施形態７）
図９に示すヘッド本体９５は、図３に示すヘッド本体９１と比較して、加圧部材１５における前面の全体に弾性部材１８が接合されている点が異なる。
【００７９】
つまり、このヘッド本体９５では、前述した長尺の加圧部材１５の前面に、シート状の弾性部材１８を予め接合しており、この弾性部材１８を接合した加圧部材１５を、凹溝１４２内で圧力室部材１４に対し接合している。この構成は、加圧部材１５を圧力室部材１４に対し接合することが容易になるという利点がある。
【００８０】
（他の実施形態）
尚、前記の各実施形態は、組み合わせ可能な範囲において適宜組み合わせてもよい。
【００８１】
また、圧力室１１内の液体に対して圧力を印加するためのアクチュエータとしては、圧電体に限らず、例えば磁歪素子を採用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
以上説明したように、本発明は、多数の点に、少量の液滴を同時に吐出することが可能であるため、例えばフラットパネルディスプレイや回路基板等の各種デバイスの製造といったエレクトロニクス分野を始めとして、オプトエレクトロニクス分野、バイオ・メディカル分野等の各種の技術分野での製造に用いられる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】実施形態に係る液体吐出装置を示す概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係るヘッド本体を示す縦断面図である。
【図３】実施形態１に係るヘッド本体を示す横断面図である。
【図４】実施形態２に係るヘッド本体を示す横断面図である。
【図５】実施形態３に係るヘッド本体を示す横断面図である。
【図６】実施形態４に係るヘッド本体を示す横断面図である。
【図７】実施形態５に係る液体吐出ヘッドを示す横断面図である。
【図８】実施形態６に係る液体吐出ヘッドを示す横断面図である。
【図９】実施形態７に係るヘッド本体を示す横断面図である。
【符号の説明】
【００８４】
１１  圧力室
１２  ノズル
１２ａ  ノズル列
１３  ノズル板
１４  圧力室部材
１５  加圧部材
１６  アクチュエータ
１８  弾性部材
２１  液体吐出ヘッド
５１  供給パイプ（供給口）
５２  クリーニングパイプ（クリーニング口）
５３  弾性部材
５４  接着層
６３  ノズル板
９１  ヘッド本体
９２  ヘッド本体
９３  ヘッド本体
９４  ヘッド本体
９５  ヘッド本体
Ａ  液体吐出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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