(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための方法であって、
ビーム偏向装置（７）の位置からの位置信号の生成、および前記試料（１５）から来る光（１７）から前記位置信号（２５）に関連する少なくとも１つの検出信号（２１）の生成を行うステップと、
前記位置信号（２５）および前記検出信号（２１）を１つの処理装置（２３，４３）に伝送するステップと、
補正値を決定するステップと、
前記補正値を前記１つの前記処理装置（２３，４３）に伝送し、前記位置信号（２５）と前記検出信号（２１）との間の時間差を補償するステップ、を具え、
前記位置信号（２５）および前記検出信号（２１）を１つの処理装置（２３，４３）に伝送するステップでは、前記検出信号（２１）が、前記１つの前記処理装置（２３，４３）に含まれる２つの遅延素子のうちの一方の遅延素子を通過し、前記位置信号（２５）が他方の遅延素子を通過すること
を特徴とする方法。
【請求項２】
走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための方法であって、
ビーム偏向装置（７）の位置からの位置信号の生成、および前記試料（１５）から来る光（１７）から前記位置信号（２５）に関連する少なくとも１つの検出信号（２１）の生成を行うステップと、
前記位置信号（２５）および前記検出信号（２１）を処理装置（２３，４３）に伝送するステップと、
補正値を決定するステップと、
前記補正値を前記処理装置（２３，４３）に伝送し、前記位置信号（２５）と前記検出信号（２１）との間の時間差を補償するステップ、
を具え、
前記補正値が、画像処理装置（５１）によって、画像の現在の歪みレベルから確認されることを特徴とする方法。
【請求項３】
前記補正値が、ディスプレイ（２７）上に表示される位置決め素子（２９，３２）の設定と、それによって生じる前記ディスプレイ（２７）上に表示される前記試料（１５）の画像（３５）の全体の印象と、によって確認される請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記補正値が、自動的に確認される請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記補正値が、画像処理装置（５１）によって、画像の現在の歪みレベルから確認される請求項１に記載の方法。
【請求項６】
オートフォーカスシステムである画像処理ソフトウェアプログラムを有する帰還制御ループが、試料の現在の画像から、最適画像鮮明度の観点で前記時間差の補償の最適設定を確認し、該最適設定の確認は、隣接ラインの検出信号の相関の比較によって実現される請求項１、請求項２、請求項４又は請求項５に記載の方法。
【請求項７】
走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための装置であって、
ビーム偏向装置の位置から位置信号（２５）を生成するための装置（１１）と、前記位置信号（２５）と関連がある検出信号（２１）を前記試料（１５）から来る光から生成するための装置（１９）と、が設けられることと、
１つの処理装置（２３，４３）が、前記位置信号（２５）および前記検出信号（２１）を受信することと、
前記１つの処理装置（２３，４３）に接続され、前記１つの処理装置（２３，３４）に前記補正値を伝送し、前記位置信号（２５）と前記検出信号（２１）との間の時間差を補償する補正値を決定するための装置（２９，３１，４７，４５，５３）が、設けられ、
前記１つの処理装置（２３，４３）は２つの遅延素子を具え、
前記検出信号（２１）は一方の遅延素子を通過し、前記位置信号（２５）は他方の遅延素子を通過することを特徴とする装置。
【請求項８】
走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための装置であって、
ビーム偏向装置の位置から位置信号を生成するための装置（１１）と、前記位置信号と関連がある検出信号を前記試料（１５）から来る光から生成するための装置（１９）と、が設けられることと、
処理装置が、前記位置信号（２５）および前記検出信号（２１）を受信することと、
処理装置（３４）に接続され、前記処理装置（３４）に前記補正値を伝送し、前記位置信号（２５）と前記検出信号（２１）との間の時間差を補償する補正値を決定するための装置（２３，４３）が、設けられ、
補正値を決定するための手段が、制御装置（５３）に接続され、画像の現在の歪みレベルから前記補正値を確認する画像処理装置（５１）であることを特徴とする装置。
【請求項９】
補正値を決定するための手段がディスプレイ（２７）に表示される位置決め素子（２９，３１）を含み、その調整によって、それによって生じるディスプレイ（２７）上に表示される前記試料（１５）の画像（３５）の全体の印象から前記補正値を確認することができる請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
前記補正値を自動的に確認する装置（４７，４５）が設けられる請求項７又は請求項８に記載の装置。
【請求項１１】
補正値を決定するための手段が、制御装置（５３）に接続され、画像の現在の歪みレベルから前記補正値を確認する画像処理装置（５１）である請求項７に記載の装置。
【請求項１２】
オートフォーカスシステムである画像処理ソフトウェアプログラムを有する帰還制御ループが含まれ、該オートフォーカスシステムは試料の現在の画像から、最適画像鮮明度の観点で前記時間差の補償の最適設定を確認するものであり、該最適設定の確認は、隣接ラインの検出信号の相関の比較によって実現される請求項７、請求項８または請求項１０又は請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
複数の光学装置（５，９，１３）の介在によって、試料（１５）の上に照射系（１）によって生成される光ビーム（３）を走査する走査モジュール（７）と、前記複数の光学装置（５，９，１３）を経て前記試料（１５）から来る光（１７）を受信する少なくとも１つの検出器（１９）と、を有する走査型顕微鏡であって、
ビーム偏向装置（７）の位置から位置信号（２５）を生成するための装置（１１）と、前記位置信号（２５）に関連がある検出信号（２１）を前記試料（１５）から来る光（１７）から生成するための装置（１９）が、設けられることと、
１つの処理装置（２３，４３）が前記位置信号（２５）および前記検出信号（２１）を受信することと、
前記１つの処理装置（２３，４３）に接続され、前記１つの処理装置（２３，４３）に前記補正値を伝送し、前記位置信号（２１）と前記検出信号（２５）との間の時間差を補償する補正値を決定するための装置（２９，３１，４７，４５，５３）が、設けられ、
前記１つの処理装置（２３，４３）は２つの遅延素子を具え、
前記検出信号（２１）は一方の遅延素子を通過し、前記位置信号（２５）は他方の遅延素子を通過する
ことを特徴とする走査型顕微鏡。
【請求項１４】
複数の光学装置（５，９，１３）の介在によって、試料（１５）の上に照射系（１）によって生成される光ビーム（３）を走査する走査モジュール（７）と、前記複数の光学装置（５，９，１３）を経て前記試料（１５）から来る光（１７）を受信する少なくとも１つの検出器（１９）と、を有する走査型顕微鏡であって、
ビーム偏向装置（７）の位置から位置信号（２５）を生成するための装置（１１）と、前記位置信号（２５）に関連がある検出信号（２１）を前記試料（１５）から来る光（１７）から生成するための装置（１９）が、設けられることと、
処理装置（２３，４３）が前記位置信号（２５）および前記検出信号（２１）を受信することと、
処理装置（２３，４３）に接続され、前記処理装置（２３，４３）に前記補正値を伝送し、前記位置信号（２１）と前記検出信号（２５）との間の時間差を補償する補正値を決定するための装置（２９，３１，４７，４５，５３）が、設けられ、
補正値を決定するための前記装置が、制御装置（５３）に接続され、画像の現在の歪みレベルから前記補正値を確認する画像処理装置（５１）であることを特徴とする走査型顕微鏡。
【請求項１５】
補正値を決定するための前記装置（２９，３１，４７，４５，５３）が、ディスプレイ（２７）に表示される位置決め素子（２９，３１）を含み、その調整によって、それによって生じるディスプレイ（２７）上に表示される前記試料（１５）の画像の全体の印象から前記補正値を確認することができる請求項１３に記載の走査型顕微鏡。
【請求項１６】
前記補正値を自動的に確認する装置（４７，４５）が設けられる請求項１３又は請求項１４に記載の走査型顕微鏡。
【請求項１７】
補正値を決定するための前記装置が、制御装置（５３）に接続され、画像の現在の歪みレベルから前記補正値を確認する画像処理装置（５１）である請求項１３に記載の走査型顕微鏡。
【請求項１８】
オートフォーカスシステムである画像処理ソフトウェアプログラムを有する帰還制御ループが含まれ、該オートフォーカスシステムは試料の現在の画像から、最適画像鮮明度の観点で前記時間差の補償の最適設定を確認するものであり、該最適設定の確認は、隣接ラインの検出信号の相関の比較によって実現されることを特徴とする請求項１３、請求項１４、請求項１６または請求項１７に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための方法に関する。走査型顕微鏡はまた、共焦点顕微鏡として構成することができる。
【０００２】
さらに、本発明は、走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための装置に関する。
【０００３】
さらに、本発明は、位置信号および検出信号の位相補正を可能にする走査型顕微鏡に関する。さらに詳細には、本発明は、複数の光学装置を介在させて照射系によって発生する光ビームを試料の上に誘導する走査型顕微鏡と、複数の光学装置によって試料から来る光を受光する少なくとも１つの検出器に関する。
【０００４】
【従来の技術】
走査型顕微鏡法においては、サンプルからの反射光またはサンプルの発する蛍光を観測するために、サンプルが光ビームによって照射される。照射光ビームの焦点は、制御可能なビーム偏向装置、一般には２枚のミラーを傾斜させることによって、によって試料面で移動する。ミラーの偏向軸は一般に、互いに垂直で、一方のミラーがＸ方向に偏向し、他方のミラーがＹ方向に偏向する。ミラーの傾斜は、たとえば検流計位置調整素子によって行われる。試料から来る光のパワーレベルは、走査ビームの位置の関数として測定される。位置調整素子は一般に、現在のミラーの位置を確認するために、センサに装備される。
【０００５】
具体的に言えば、共焦点走査型顕微鏡法において、試料は光ビームの焦点によって３次元的に走査される。
【０００６】
共焦点走査型顕微鏡は一般に、光源と、光源が開口絞り（「励起絞り」と呼ばれる）に集束される集束光学系と、ビームスプリッタと、ビーム制御のためのビーム偏向装置と、顕微鏡光学系と、検出絞りと、検出光または蛍光を検出するための検出器を具備する。照射光は、ビームスプリッタによって結合される。試料から来る蛍光または反射光は、ビーム偏向装置によってビームスプリッタに戻され、次に背後に検出器が位置する検出絞りに集束されるようにするためにビームスプリッタを通過する。焦点領域から直接得られない検出光は異なる光経路を取り、検出絞りを通過しないため、点のデータが得られるが、試料の連続走査によって３次元画像を生じる。３次元画像は一般に、層を成している画像データを検知することによって実現される。
【０００７】
理想的には、試料の上または中における走査光ビームのトラックは、曲折模様を示している。すなわち、１ラインが一定のＹ位置に関してＸ方向に走査された後、Ｘ走査が終了すると走査するべき次のラインに対して旋回するようにＹ方向の移動がなされ、次にそのラインが、一定のＹ位置に関して負のＸ方向に走査される、等である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
試料から来る光のパワーレベルは、走査動作中に一定の時間間隔で測定されるため、一度に１走査点のサンプルを抽出する。測定データから画像を形成することができるようにするために、読出しは適切な走査位置と明確に関連していなければならない。好都合なことに、この目的のために、ビーム偏向装置の調整素子の状態データも連続的に測定されるか、または（これは正確さでは劣るが）ビーム偏向装置の基準制御データが直接用いられる。
【０００９】
検出信号に関する位置信号の正確な関連付けは、特に重要である。信号を検知している検出器の走行時間差および異なる処理時間は、たとえば、遅延素子を用いて、この関連について考慮されなければならない。安定性の観点からきわめて厳しい要求がここでは適用されなければならない。たとえば、１０００像点の画像幅の場合には、走行時間の変動は充分０．１％よりも低くとどめる必要がある。
【００１０】
走査速度が増大すると、走査されるトラックは、曲折形状からますます逸脱する。この現象は、基本的には移動素子の慣性に起因している。高速走査に関して、走査されるトラックは、正弦曲線により類似しているが、正のＸ方向における走査用の軌道部分は、負のＸ方向に走査されるときの軌道部分と異なることがしばしば生じる。
【００１１】
電子素子が走行時間差および処理時間を補償するために設けられているとしても、補償は依然として走査型顕微鏡の製造時にのみ行われる。しかし、厳密に言えば、この設定は１走査速度に対してのみ適用される。
【００１２】
不都合なことに、信号を搬送する素子および補償のために用いられる電子構成要素の両方のほか読出しを検出する検出器も、温度に敏感なため、温度がたとえわずかに変動した場合であっても、関連誤差が生じる。
【００１３】
補償が１走査速度に関してのみ有効であるという問題に加えて、走査型顕微鏡が製作されるときの周辺温度に対してのみ有効であるという事実がさらに複雑にする。
【００１４】
補償誤差は、曲折形状走査に関連して特に破壊的に明白になる。正のＸ方向における走査のための補償誤差および負のＸ方向における走査のための補償誤差は、反対方向に作用し、著しい櫛形の歪みを有する画像を生じる。
【００１５】
上述した事情に鑑み、本発明の第一の目的は、光ビームによって顕微鏡のプレパラートを走査するための方法を提供することにあり、この方法では位置信号および検出信号の最適な関連付けが走査変数および環境変数を変更した場合でも可能である。
【００１６】
また、本発明の第二の目的は、走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための装置を提供することにあり、この装置では位置信号および検出信号の最適な関連付けが走査変数および環境変数を変更した場合でも可能である。
【００１７】
また、本発明の第三の目的は、走査型顕微鏡の位置信号および検出信号の位相補正を実現するために対応して構成される走査型顕微鏡を形成することにあり、位置信号および検出信号の最適な関連付けは、走査変数および環境変数を変更した場合でも可能である。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上述した第一の目的は、請求項１、請求項２に記載のステップを特徴とする方法によって実現される。この請求項１の発明は、走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための方法であって、ビーム偏向装置の位置からの位置信号の生成、および前記試料から来る光から前記位置信号に関連する少なくとも１つの検出信号の生成を行うステップと、前記位置信号および前記検出信号を１つの処理装置に伝送するステップと、補正値を決定するステップと、前記補正値を前記１つの処理装置に伝送し、前記位置信号と前記検出信号との間の時間差を補償するステップ、を具え、前記位置信号および前記検出信号を１つの処理装置に伝送するステップでは、前記検出信号が、前記１つの前記処理装置に含まれる２つの遅延素子のうちの一方の遅延素子を通過し、前記位置信号が他方の遅延素子を通過することを特徴とする。また、請求項２の発明は、走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための方法であって、ビーム偏向装置の位置からの位置信号の生成、および前記試料から来る光から前記位置信号に関連する少なくとも１つの検出信号の生成を行うステップと、前記位置信号および前記検出信号を処理装置に伝送するステップと、補正値を決定するステップと、前記補正値を前記処理装置に伝送し、前記位置信号と前記検出信号との間の時間差を補償するステップ、を具え、前記補正値が、画像処理装置によって、画像の現在の歪みレベルから確認されることを特徴とする。
【００１９】
また、上述した第二の目的は、請求項７、請求項８に記載の特徴を具備する装置によって実現される。この請求項７の発明は、走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための装置であって、ビーム偏向装置の位置から位置信号を生成するための装置と、前記位置信号と関連がある検出信号を前記試料から来る光から生成するための装置と、が設けられることと、１つの処理装置が、前記位置信号および前記検出信号を受信することと、前記１つの処理装置に接続され、前記１つの処理装置に前記補正値を伝送し、前記位置信号と前記検出信号との間の時間差を補償する補正値を決定するための装置が、設けられ、前記１つの処理装置は２つの遅延素子を具え、前記検出信号は一方の遅延素子を通過し、前記位置信号は他方の遅延素子を通過することを特徴とする。また、請求項８の発明は、走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための装置であって、ビーム偏向装置の位置から位置信号を生成するための装置と、前記位置信号と関連がある検出信号を前記試料から来る光から生成するための装置と、が設けられることと、処理装置が、前記位置信号および前記検出信号を受信することと、処理装置に接続され、前記処理装置に前記補正値を伝送し、前記位置信号と前記検出信号との間の時間差を補償する補正値を決定するための装置が、設けられ、補正値を決定するための手段が、制御装置に接続され、画像の現在の歪みレベルから前記補正値を確認する画像処理装置であることを特徴とする。
【００２０】
また、上述した第三の目的は、請求項１３、請求項１４に記載の走査型顕微鏡によって実現される。この請求項１３の発明は、複数の光学装置の介在によって、試料の上に照射系によって生成される光ビームを走査する走査モジュールと、前記複数の光学装置を経て前記試料から来る光を受信する少なくとも１つの検出器と、を有する走査型顕微鏡であって、ビーム偏向装置の位置から位置信号を生成するための装置と、前記位置信号に関連がある検出信号を前記試料から来る光から生成するための装置が、設けられることと、１つの処理装置が前記位置信号および前記検出信号を受信することと、前記１つの処理装置に接続され、前記１つの処理装置に前記補正値を伝送し、前記位置信号と前記検出信号との間の時間差を補償する補正値を決定するための装置が、設けられ、前記１つの処理装置は２つの遅延素子を具え、前記検出信号は一方の遅延素子を通過し、前記位置信号は他方の遅延素子を通過することを特徴とする。また、請求項１４の発明は、複数の光学装置の介在によって、試料の上に照射系によって生成される光ビームを走査する走査モジュールと、前記複数の光学装置を経て前記試料から来る光を受信する少なくとも１つの検出器と、を有する走査型顕微鏡であって、ビーム偏向装置の位置から位置信号を生成するための装置と、前記位置信号に関連がある検出信号を前記試料から来る光から生成するための装置が、設けられることと、処理装置が前記位置信号および前記検出信号を受信することと、処理装置に接続され、前記処理装置に前記補正値を伝送し、前記位置信号と前記検出信号との間の時間差を補償する補正値を決定するための装置が、設けられ、補正値を決定するための前記装置が、制御装置に接続され、画像の現在の歪みレベルから前記補正値を確認する画像処理装置であることを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図１は、共焦点走査型顕微鏡を概略的に図示している。照射系１から来る光ビーム３は、ビームスプリッタ５によって走査モジュール７に反射される。走査モジュール７は、顕微鏡光学系１３を通って試料１５の上またはそれを通るようにビームを誘導するジンバル搭載走査ミラー９を備えている。透明でない試料１５の場合には、光ビーム３は試料面に誘導される。生物学的な試料１５（プレパラート）または透明な試料の場合には、光ビーム３は、試料１５を通過するように誘導することもできる。このことは、試料の異なる焦点面が光ビーム３によって連続的に走査されることを意味している。次に、次のアセンブリが試料の３次元画像を生じる。すべての図（図１〜図３）において、照射系１から来る光ビーム３は、実線によって示されている。試料１５から進む光１７は、顕微鏡光学系１３を通過し、走査モジュール７を経てビームスプリッタ５に進み、ビームスプリッタ５を通過し、具体的には光電子増倍管である検出器１９に達する。すべての図（図１〜図３）において、試料１５から進む光１７は、ダッシュ線によって示されている。検出器１９において、試料から進む光１７のパワーレベルに比例する電気的な検出信号２１が発生され、処理装置２３に伝送される。電磁誘導または静電容量によって作動される位置センサ１１によって走査モジュールで検知される位置信号２５もまた、処理装置２３に伝送される。走査ミラー９もまた、作動信号によって位置を確認することができることは当業者には自明である。入ってくるアナログ信号は、まず処理装置２３においてディジタル処理される。処理装置２３は、２つの遅延素子（図示せず）を含む。検出信号２１（２３）は一方の遅延素子を通過し、位置信号２５は他方を通過する。入力装置３３が接続されたＰＣ（パーソナルコンピュータ）３４によって、利用者は遅延時間を設定することができる。２つの信号の間の遅延時間が設定される第１のスライダ２９および第２のスライダ３１が、ディスプレイ２７上に表示される。ＰＣ３４は、線３７によって対応するデータを処理装置２３に伝送する。位置信号および検出信号は、処理装置２３において設定される特定の遅延時間の関数として互いに関連付けられ、ディスプレイ２７上に表示される画像３５として組み立てられる。利用者は、画像３５の鮮鋭度によって調整スライダ２９，３１の効果を同時に認識することができる。スライダ２９，３１は、「位置決め素子」と呼ばれる。本発明の観点からは、位置決め素子がディスプレイ３５に表示される形態は、重要ではない。共焦点走査型顕微鏡に一般に設けられる照射用ピンホール３９および検出用ピンホール４１は、完全を期するために概略的に示される。しかし、さらに明瞭にするために、光ビームを誘導し、形成するための一定の光学素子は省略されている。これらについては当業者は十分に熟知している。
【００２２】
図２は、光学部分が図１に対応する共焦点走査型顕微鏡を示している。この実施形態に関しても、一方の遅延素子は検出信号を通過させ、他方は位置信号を通過させる２つの遅延素子（図示せず）を再び備える処理装置４３に、位置信号２５および検出信号２１が供給される。特定の遅延時間が、ＰＣ３４からの現在の走査速度に関するデータおよび温度センサ４７からの現在の温度に関するデータを得る制御装置４５によって自動的に規定される。制御装置４５は、一連の較正測定において確認された各走査速度および温度に適した遅延値が格納されるデータメモリ４９を備えている。たとえば、表の形態で対応する値をデータメモリ４９に格納することができる。一定の時間間隔またはそれぞれの新たな画像を獲得する前に、温度が測定され、測定された温度と現在の走査速度に適したデータメモリ４９からの遅延値との関連付けが行われて、読み出され、処理装置４３に伝送される。
【００２３】
図３は、図１および図２の配置と全く同一であるような共焦点顕微鏡を有する本発明による別の構成を示している。この共焦点顕微鏡において、位置信号２５および検出信号２１は、一方の遅延素子が検出信号を通過させ、他方が位置信号を通過させる２つの遅延素子（図示せず）を備えた処理装置４３に供給される。ここでもまた、位置信号および検出信号は、処理装置４３において、設定される特定の遅延時間の関数として互いに関連付けられ、画像３５に組立られ、一方がディスプレイ２７上に表示され、他方が適切な画像処理ソフトウェアプログラムを備えたコンピュータを含む画像処理装置５１に伝送される。画像の現在の歪みレベルは、上記の画像処理装置５１において確認される。歪みレベルは、走査モジュール７の慣性および検出器１９による可能な遅延のために、位置信号２５（２１）および検出信号２１（２５）が正確に同時に処理されないという事実から生じる。位置データと検出される光信号との関連は正確には時間的に一致しないため、正しい画像は補正を必要とする確認された歪みレベルは制御装置５３に伝送され、最適鮮鋭度を設定するための遅延値を算出し、その値を確立するために処理装置４３に伝送する。
【００２４】
本発明は、特定の実施形態に関して説明された。しかし、特許請求の範囲の保護範囲を逸脱することなく、変更および修正を行うことができることは自明である。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、位置信号と検出信号との間の時間差を簡単に補正することができる複数の実現可能な手段を、利用者に提案するという利点がある。好都合な実施形態において、時間差の調整は、利用者によって直接行われる。その目的のため、スライダがディスプレイの１つに表示され、利用者がたとえば、マウスによって位置信号と検出信号との間に時間差がもはや生じないように、スライダの位置を修正することによって調整が行われる。新たな設定の結果が、実時間でディスプレイに表示される。たとえば、位置信号と検出信号が同位相で画像形成される場合または適切に補正される場合には、ディスプレイで鮮明な画像を見ることができる。
【００２６】
時間差の自動設定も可能である。この目的のために、温度センサおよびデータ格納装置を有する制御回路が設けられる。各走査速度および温度に適切な補正値は、一連の較正測定において確認され、データ格納装置に格納されている。温度は連続的または一定の時間間隔で測定され、測定された温度および現在の走査速度に適した補正値はデータ格納装置から読み出され、走行時間差および測定値処理時間を補償するための素子が設定される。たとえば、表の形式で補正値を格納することができる。
【００２７】
走行時間補償の自動設定のための別の実施形態には、たとえばオートフォーカスシステムとしても知られている画像処理ソフトウェアプログラムを有する帰還制御ループが含まれる。このシステムは試料の現在の画像から、最適画像鮮明度の観点で走行時間補償の最適設定を確認する。これは、たとえば、隣接ラインの検出信号の相関の比較によって実現することも出来よう。
【図面の簡単な説明】
【図１】  共焦点走査型顕微鏡について本発明による配置構成を示している。
【図２】  走査速度および温度に依存する制御系について本発明による配置構成を示している。
【図３】  画像処理装置を具備する帰還制御系について本発明による配置構成を示している。
【符号の説明】
１  照射系、  ３  照射系１からの光ビーム、  ５  ビームスプリッタ、  ７  走査モジュール、  ９  ジンバル搭載走査ミラー、  １１  位置センサ、  １３顕微鏡光学系、  １５  試料、  １９  検出器、  ２１  検出信号、  ２３  処理装置、  ２５  位置信号、  ２７  ディスプレイ、  ２９  スライダ、  ３１  スライダ、  ３３  入力装置、  ３４  コンピュータ、  ３５  ディスプレイ、  ３７  線、  ３９  照射用ピンホール、  ４１  検出用ピンホール、  ４３  処理装置、  ４５  制御装置、  ４７  温度センサ、  ４９  データメモリ、  ５１  画像処理装置、  ５３  制御装置
【図１】
0005162783.tif 000002
【図２】
0005162783.tif 000003
【図３】
0005162783.tif 000004