(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
四角柱状のシリコンインゴットをスライス加工することでシリコンウエハが形成される加工工程前に前記シリコンインゴットの寸法を測定することができるシリコンインゴット用測定装置であって、該シリコンインゴット用測定装置に、前記シリコンインゴットの前後をチャッキングするチャッキング部と、該チャッキング部を回転させる回転軸部と、該回転軸部を介して前記チャッキング部にチャッキングされたシリコンインゴットを回転する旋回用モータとを備え、該旋回用モータの回転駆動により、前記回転軸部の軸心を中心として、前記チャッキング部にチャッキングされた前記シリコンインゴットを連続回転、１８０度、９０度、４５度単位で回転駆動できるように構成し、前記軸心を基準位置として、前記シリコンインゴットの側面までの４方向の長さ寸法を測定する測定装置を備えたことを特徴とするシリコンインゴット用測定装置。
【請求項２】
前記測定装置にはタッチセンサーを備え、該タッチセンサーが前記シリコンインゴットの４箇所の側面に接触されることにより、前記軸心を基準位置として、前記シリコンインゴットの側面までの４方向の長さ寸法を測定することを特徴とする請求項１記載のシリコンインゴット用測定装置。
【請求項３】
前記角柱状のシリコンインゴットを前記チャッキング部でチャッキングした際、シリコンインゴットの２箇所の側面を垂直になるように配置し、該垂直に配置された前記シリコンインゴットの側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を配設したことを特徴とする請求項２記載のシリコンインゴット用測定装置。
【請求項４】
前記角柱状のシリコンインゴットを前記チャッキング部でチャッキングした際、シリコンインゴットの２箇所の側面を水平になるように配置し、該水平に配置された前記シリコンインゴットの側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を配設したことを特徴とする請求項２記載のシリコンインゴット用測定装置。
【請求項５】
前記シリコンインゴットの垂直又は水平に配置された側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を備える一方で、該測定装置の配置していない側面に対向する位置に前記シリコンインゴットの側面を研削／研磨する研削研磨装置を配設したことを特徴とする請求項２に記載のシリコンインゴット用測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、角柱状に切断加工されるシリコンインゴットの寸法を高精度で測定することができるシリコンインゴット用測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、太陽電池等に用いられるシリコンウエハの需要に伴い、その高品質化も要請されている。こうしたシリコンウエハの製造工程においては、単結晶や多結晶からなる角柱状に切断加工されたシリコンインゴットをスライスし薄板状のシリコンウエハを形成する前に、シリコンインゴットの表面を研削／研磨する加工工程が行なわれることから、この加工工程前にシリコンインゴットが仕上り寸法よりも小さくはないかなど、所定の寸法の範囲（公差の範囲）におさまっているか否かを判別するためにシリコンインゴットの外観寸法を測定することが行われている。
【０００３】
上記背景技術に関連するものとして特許文献１には、シリコンウエハ製造用の角柱状シリコンブロックを、シリコンウエハにスライス加工して形成する前に、その側面に存在する微小な凹凸を研磨して平坦化する加工方法が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特許第３６４９３９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１などにおいては、直方体のシリコンインゴットを角柱状に切り出したシリコンブロックの側面を研磨する方法が提案されているが、研磨の前後などにシリコンインゴットが所定の仕上り寸法になっているかどうかを測定する点ついては示唆も開示もされてはない。しかしながら、研削や研磨を行う前後にシリコンインゴットが所定の外形であるか否かを測定することは必須の工程であることから、この測定を短時間で高精度に行えるようにすることが望まれていた。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、シリコンインゴットが研削／研磨される工程の前後などにおいて、シリコンインゴットが所定寸法を有しているか否かを高精度で測定することができるシリコンインゴット用測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係るシリコンインゴット用測定装置は、四角柱状のシリコンインゴットをスライス加工することでシリコンウエハが形成される加工工程前に前記シリコンインゴットの寸法を測定することができるシリコンインゴット用測定装置であって、該シリコンインゴット用測定装置に、前記シリコンインゴットの前後をチャッキングするチャッキング部と、該チャッキング部を回転させる回転軸部と、該回転軸部を介して前記チャッキング部にチャッキングされたシリコンインゴットを回転する旋回用モータとを備え、該旋回用モータの回転駆動により、前記回転軸部の軸心を中心として、前記チャッキング部にチャッキングされた前記シリコンインゴットを連続回転、１８０度、９０度、４５度単位で回転駆動できるように構成し、前記軸心を基準位置として、前記シリコンインゴットの側面までの４方向の長さ寸法を測定する測定装置を備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項１のシリコンインゴット用測定装置の発明によれば、機械的に開閉することができるチャッキング部により四角柱状のシリコンインゴットの前後をチャッキングして保持するので、シリコンインゴットの側面を非接触にした状態でシリコンインゴットの寸法を測定することが可能となるからシリコンインゴットの側面に傷や汚れなどが付かないようした状態でその寸法を計測することが可能であり、回転軸部の軸心の中心を基準位置として、例えば相対向する左右２箇所の側面までの寸法を測定した後に、シリコンインゴットをさらに９０度回転させて、回転されてきた相対向する２箇所の側面までの寸法を同様に測定することにより、回転軸部の軸心を基準位置として、シリコンインゴットの４方向の側面までの寸法を測定することでシリコンインゴットの外形寸法を測定する際、測定の基準点となる基準位置はシリコンインゴットをチャッキングすることで変化することがないよう位置決めされるので、シリコンインゴットの外形の寸法を高精度に測定することができる。
【０００９】
請求項２に係るシリコンインゴット用測定装置は、請求項１のシリコンインゴット用測定装置において、前記測定装置にはタッチセンサーを備え、該タッチセンサーが前記シリコンインゴットの４箇所の側面に接触されることにより、前記軸心を基準位置として、前記シリコンインゴットの側面までの４方向の長さ寸法を測定することを特徴とする。
【００１０】
請求項２のシリコンインゴット用測定装置の発明によれば、請求項１において、機械的に開閉するチャッキング部により四角柱状のシリコンインゴットの前後をチャッキングして保持した状態でシリコンインゴットの寸法を測定する際、シリコンインゴットの側面を非接触にした状態で９０度単位で回転等されてきたシリコンインゴット対し、その４箇所の側面にタッチセンサーを接触させることで、軸心を基準位置として各側面までの４方向の寸法を測定することができる。
【００１１】
請求項３に係るシリコンインゴット用測定装置は、請求項２のシリコンインゴット用測定装置において、前記角柱状のシリコンインゴットを前記チャッキング部でチャッキングした際、シリコンインゴットの２箇所の側面を垂直になるように配置し、該垂直に配置された前記シリコンインゴットの側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を配設したことを特徴とする。
【００１２】
請求項３のシリコンインゴット用測定装置の発明によれば、請求項２において、垂直に配置されたシリコンインゴットの側面に対向して測定装置を配設することで、シリコンインゴットの上下側面に対向する位置にシリコンインゴットの側面を研削／研磨等するための砥石やブラシ等の加工装置を配置することが可能となる。
【００１３】
請求項４に係るシリコンインゴット用測定装置は、請求項２のシリコンインゴット用測定装置において、前記角柱状のシリコンインゴットを前記チャッキング部でチャッキングした際、シリコンインゴットの２箇所の側面を水平になるように配置し、該水平に配置された前記シリコンインゴットの側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を配設したことを特徴とする。
【００１４】
請求項４のシリコンインゴット用測定装置の発明によれば、請求項２において、水平に配置されたシリコンインゴットの側面に対向して測定装置を配設することで、シリコンインゴットの左右の側面に対向する位置にシリコンインゴットの側面を研削／研磨等するための砥石やブラシ等を配置することが可能となる。
【００１５】
請求項５に係るシリコンインゴット用測定装置は、請求項２のシリコンインゴット用測定装置において、前記シリコンインゴットの垂直又は水平に配置された側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を備える一方で、該測定装置の配置していない側面に対向する位置に前記シリコンインゴットの側面を研削／研磨する研削研磨装置を配設したことを特徴とする。
【００１６】
請求項５のシリコンインゴット用測定装置の発明によれば、請求項２において、垂直又は水平に配置されたシリコンインゴットの側面に対向して測定装置を配設した際、このタッチセンサーの配置されていないシリコンインゴットの上下側や左右側等の空間部にシリコンインゴットの側面を研削／研磨する研削研磨装置を配設することができる。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１の本発明のシリコンインゴット用測定装置によれば四角柱状のシリコンインゴットをスライス加工することでシリコンウエハが形成される加工工程前に前記シリコンインゴットの寸法を測定することができるシリコンインゴット用測定装置であって、該シリコンインゴット用測定装置に、前記シリコンインゴットの前後をチャッキングするチャッキング部と、該チャッキング部を回転させる回転軸部と、該回転軸部を介して前記チャッキング部にチャッキングされたシリコンインゴットを回転する旋回用モータとを備え、該旋回用モータの回転駆動により、前記回転軸部の軸心を中心として、前記チャッキング部にチャッキングされた前記シリコンインゴットを連続回転、１８０度、９０度、４５度単位で回転駆動できるように構成し、前記軸心を基準位置として、前記シリコンインゴットの側面までの４方向の長さ寸法を測定する測定装置を備えたものであり、シリコンインゴットをチャッキングした軸心位置を基準として、各側面までの４方向の距離を測定することで、測定したシリコンインゴットが所定の仕上がり寸法に研削／研磨できるか否か等の条件を満たしているか正確に把握することができる。
【００１８】
請求項２の本発明のシリコンインゴット用測定装置によれば、請求項１において、前記測定装置にはタッチセンサーを備え、該タッチセンサーが前記シリコンインゴットの４箇所の側面に接触されることにより、前記軸心を基準位置として、前記シリコンインゴットの側面までの４方向の長さ寸法を測定するものであり、測定したシリコンインゴットが所定の仕上がり寸法に研削／研磨できるか否か等の条件を満たしているかを正確に把握することができる。
【００１９】
請求項３の本発明のシリコンインゴット用測定装置によれば、請求項２において、前記角柱状のシリコンインゴットを前記チャッキング部でチャッキングした際、シリコンインゴットの２箇所の側面を垂直になるように配置し、該垂直に配置された前記シリコンインゴットの側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を配設したものである。これにより、垂直に配置されたシリコンインゴットの側面に対向する位置に測定装置を配設することで、シリコンインゴットの上又は下側面に対向した位置にシリコンインゴットの側面を加工することができる砥石やブラシ等の加工装置を配設することができる。よって、測定を行う測定装置と測定を終えたシリコンインゴットの加工を行う加工装置の両者を、常にシリコンインゴットの側面に臨むようにして配設することができるので、測定の前後に行われるシリコンインゴットの加工工程を測定の後に速やかに行うことが可能になり、生産効率をも向上することができる。
【００２０】
請求項４の本発明のシリコンインゴット用測定装置によれば、請求項２において、前記角柱状のシリコンインゴットを前記チャッキング部でチャッキングした際、シリコンインゴットの２箇所の側面を水平になるように配置し、該水平に配置された前記シリコンインゴットの側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を配設したものである。これにより、水平に配置されたシリコンインゴットの側面に対向する位置に測定装置を配設することで、シリコンインゴットの左又は右側面に対向した位置にシリコンインゴットの側面を加工することができる砥石やブラシ等の加工装置を配設することができる。よって、測定を行う測定装置と測定を終えたシリコンインゴットの加工を行う加工装置の両者を、常にシリコンインゴットの側面に臨むようにして配設することができるので、測定の前後に行われるシリコンインゴットの加工工程を測定の後に速やかに行うことが可能になり、生産効率をも向上することができる。
【００２１】
請求項５の本発明のシリコンインゴット用測定装置によれば、請求項２において、前記シリコンインゴットの垂直又は水平に配置された側面に対向する位置に前記タッチセンサーを備えた測定装置を備える一方で、該測定装置の配置していない他方の側面に対向する位置に前記シリコンインゴットの側面を研削／研磨する研削研磨装置を配設したので、測定を行う測定装置と測定を終えたシリコンインゴットの加工を行う研削研磨装置の両者を、常にシリコンインゴットの側面に臨むようにして配設することができるので、測定の前後に行われるシリコンインゴットの加工工程を測定後に速やかに行うことが可能になり、生産性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明を実施するための最良の形態としての実施例を以下に説明する。もちろん、本発明は、その発明の趣旨に反しない範囲で、実施例において説明した以外の構成のものに対しても容易に適用可能なことは説明を要するまでもない。
【００２３】
図１は研削／研磨されるシリコンインゴットの外形を測定することが可能なシリコンインゴット用測定装置の構成を示す側面図、図２はシリコンインゴット用測定装置を示す平面図、図３はシリコンインゴット用測定装置を示す概略構成図、図４はチャッキングされたシリコンインゴットを示す斜視図である。
【００２４】
図１等に示すシリコンインゴット用測定装置１は、四角柱状に切り出されたシリコンインゴット２をスライス加工してシリコンウエハが製造される前に、そのシリコンインゴット２の表面を研削／研磨できると共に、研削／研磨を行うその前後等の工程において、シリコンインゴット２が所定の寸法を有して意いるか否かを測定する機器であり、シリコンインゴット用測定装置１を大別すると、シリコンインゴット２の長手方向の前後をチャッキングして保持するワーク保持装置３、このワーク保持装置３にシリコンインゴット２を供給するワーク供給装置４、ワーク保持装置３でチャッキングされているシリコンインゴット２の４箇所の側面５及びこれら側面５を結ぶ４箇所の角部６を研削／研磨する研削研磨装置７、及びワーク保持装置３でチャッキングされたシリコンインゴット２が所定形状であるか否かを測定する測定装置８により構成されている。なお、前記「研削／研磨」とは、研削及び研磨と、研削又は研磨を指すものとして定義するものである。
【００２５】
ワーク保持装置３には、シリコンインゴット２の前後を機械的にチャッキング部１０ａ，１０ｂと、このチャッキング部１０ａ，１０ｂでチャッキングされたシリコンインゴット２を回転させる回転装置たる旋回用モータ１２と、シリコンインゴット２をチャッキングするに際しチャッキング部１０ａ，１０ｂを開閉動作させる芯押出し用モータ１３とを備え、前記旋回用モータ１２は、回転軸部１４を介してチャッキング部１０ａ，１０ｂを回転させることでシリコンインゴット２を、１８０度、９０度、４５度の単位や連続的に回転駆動できるようになっている。
【００２６】
相対向する一対のチャッキング部１０ａ，１０ｂは、その一方のチャッキング部１０ａが回転軸部１４により回動自在に保持されている一方で、他方のチャッキング１０ｂは回転軸部１４により回動自在に保持されると共に芯押出し用モータ１３により前後に進退されるようになっており、ワーク供給装置４から一対のチャッキング部１０ａ，１０ｂの間である所定位置へと搬送されてきたシリコンインゴット２は、芯押出し用モータ１３により他方のチャッキング１０ｂが前進されることで、ワーク保持装置３のチャッキング部１０ａ，１０ｂにその前後が挟持され、図３に示すように、シリコンインゴット２の前後を除いた４箇所の側面５は非接触状態で保持される。なお、本実施例においては、チャッキング部１０ａ，１０ｂ間の開閉を芯押出し用モータ１３で行なっているが、それに代えてエアー圧や油圧シリンダを利用してチャッキング１０ｂを進退させ開閉を行なうようにしてもよく機械的にチャッキングする構造であれば適宜選定してもよい。また、「チャッキング」とは、機械的に物を挟持することとして定義するものである。
【００２７】
また、ワーク供給装置４は、前述したようにシリコンインゴット２をワーク保持装置３に供給したり、ワーク保持装置３でチャッキングされ、表面（側面５及び角部６）が研削／研磨されたシリコンインゴット２をワーク供給位置（ｂ）に回転移動させるものであり、図示しないモータの駆動により、軸部１５を中心としてワーク供給装置４に構成された挟持装置１６が正逆回転されることでこの挟持装置１６に挟持されたシリコンインゴット２を、円を描くようにして移動できるようになっている。
【００２８】
次に、加工装置たる研削研磨装置７について説明する。この研削研磨装置７には、粗研手段たる粗研砥石２０と、この粗研手段の粗研砥石２０より肌理の細かい（粒子の細かい）精研手段たる精研砥石２１とが並設して備えられ、粗研砥石２０でシリコンインゴット２の側面５や角部６の表面を研削／研磨した後、精研砥石２１でさらにその表面を研磨し、シリコンインゴット２の４箇所の側面５及び角部６を極めて平滑化することができる。なお、本実施例においては、シリコンインゴット２の側面５や角部６を粗研砥石２０で研削及び研磨した後に精研砥石２１で研磨してより平滑化することが可能となっているが、精研砥石２１石に代えてブラシ等の精研手段を採用してもよく、また、粗研砥石２０及び精研砥石２１（ブラシも含む）は、図示しないモータ等の回転駆動手段により駆動されるようになっている。
【００２９】
次に、シリコンインゴット２の外形を計測する測定装置８について説明する。この測定装置８には、図１及び図３に示すように、その下端にタッチセンサー２５が設けられた測定機本体２６、測定機本体２６を前後方向に移動させるＸ軸移動用モータ２７、測定機本体２６を左右方向に移動させるＹ軸移動用モータ２８、及び測定機本体２６を上下方向に移動させるＺ軸移動用モータ２９等を備え、研削研磨装置７で研削／研磨を行う前後等において、チャッキングされたシリコンインゴット２の側面５にタッチセンサー２５が接触されることにより、シリコンインゴット２が所定の寸法を有しているか否かを計測する。
【００３０】
次に、シリコンインゴットの寸法を計測する際の動作について説明する。先ず、ワーク供給位置（ｂ）に配置された挟持装置１６に断面が四角形状のシリコンインゴット２を挟持させると、軸部１５を中心として挟持装置１６が円を描くように１８０度回転される（図１に示した状態）。
【００３１】
次に、挟持装置１６に挟持されたシリコンインゴット２は、ワーク供給装置４の前進動作により測定位置（ａ）に配設された後、芯押出し用モータ１３により一方のチャッキング部１０ｂが前進され、シリコンインゴット２の長手方向の前後をワーク保持装置３のチャッキング部１０ａ，１０ｂがチャッキングすることでシリコンインゴット２が宙に浮いたような状態で保持される。
【００３２】
続いて、チャッキング部１０ａ，１０ｂが４５度回転されることで、図４に示すように、シリコンインゴット２の左右の側面５が垂直に配置されると共に上下の側面５が水平に配置されると、測定機本体２６が下方に移動され、この測定機本体２６の下端に設けられた一対の相対向するタッチセンサー２５がシリコンインゴット２の左右の側面５に接触され、チャッキング部１０ａ，１０ｂを回転させる回転軸部１４の軸心の中心を基準位置Ｘとしてシリコンインゴット２の左右各々の側面までの寸法を、図５に示すように、各２箇所（Ａ１，Ａ２、Ｂ１，Ｂ２）ずつ測定する。次に、チャッキング部１０ａ，１０ｂが９０度回転されることに伴い、上下側に配置されていたシリコンインゴット２の側面５が左右側に配置されると、この配置された側面５までの寸法が軸心を基準位置Ｘとして、各２箇所（ａ１，ａ２、ｂ１，ｂ２）ずつさらに測定される。そして、これらにより、基準位置Ｘを基点として、各側面までの４方向の寸法が２箇所ずつ測定されることでシリコンインゴット２の外観形状が研削／研磨することが可能な所定形状を有しているか否かが測定される。そして、シリコンインゴット２の外観形状が研削／研磨可能な所定寸法を有している場合には、続いて、シリコンインゴット２の４箇所の側面５及びこれら各側面５を結ぶ角部６が、粗研砥石２０、及び精研砥石２１の回転駆動により研削／研磨されることになる。
【００３３】
以上のように、本発明の一例のシリコンインゴット用測定装置１によれば、チャッキング部１０ａ，１０ｂでチャッキングしたシリコンインゴット２を、回転軸部１４を介して９０度単位で回転させ、この回転軸部１４の軸心の中心を基準位置Ｘとして、測定装置８のタッチセンサー２５によってシリコンインゴット２の各側面５までの４方向の長さ寸法を測定し、シリコンウエハへとスライス加工する前のシリコンインゴット２の外形寸法を測定することができ、チャッキング部１０ａ，１０ｂでシリコンインゴット２の前後をチャッキングした際、このシリコンインゴット２の側面５及び角部６を非接触にした状態で寸法測定を行うことが可能となる。そして、基準位置Ｘを基準とする左右側面までの寸法を、タッチセンサー２５をシリコンインゴット２の前記左右側面に接触させて測定した後、シリコンインゴット２をさらに９０度回転させて、回転されてきた左右側面までの寸法を、基準位置Ｘを基準として同様に測定し、チャッキングされたシリコンインゴット２が回転軸部１４の軸心の中心（基準位置Ｘ）に対して変化しないよう保持されて位置決めされた状態でシリコンインゴット２の外形を測定することができる。すなわち、回転軸部１４の軸心の中心を基準位置Ｘとして、各側面までの４方向の寸法を位置ずれすることなく一定に保持した状態で測定することができることから、シリコンインゴット等の加工物の寸法を計測するに際し、その計測の基準となる位置が変化してしまうような不具合を回避でき、シリコンインゴット２の外形寸法を高精度に測定することが可能となる。
【００３４】
さらに、図４に示すように、４角柱状のシリコンインゴット２をチャッキング部１０ａ，１０ｂでチャッキングした際に、シリコンインゴット２の２箇所の側面５が垂直になるように配置し、この配置されたシリコンインゴット２の側面５に対向する側方位置にタッチセンサー２５を備えた測定装置８を配設し、その一方で、シリコンインゴット２の上側の空間部に、測定後にシリコンインゴット２の４箇所の側面５及びこれら側面５を結ぶ４箇所の角部６を研削／研磨することが可能な研削研磨装置７を配置したことから、シリコンインゴット２の測定を終えた後、シリコンインゴット２に対向して配置した研削研磨装置７によりシリコンインゴットの加工（研削／研磨）を速やかに行うことが可能となる。つまり、シリコンインゴット２の測定を行うタッチセンサー２５を備えた測定装置８と測定を終えたシリコンインゴット２の加工を行う研削研磨装置７の両者は、シリコンインゴット２の前後をチャッキングするチャッキング部１０ａ，１０ｂによって宙に浮かしたような状態で保持することにより、シリコンインゴット２の側面５に臨むようにして配置することが可能となることから、測定装置８及びこの測定装置８で測定されたシリコンインゴット２の加工を行う研削研磨装置７のレイアウトの自由度を増すことができ、さらには、シリコンインゴット２の測定後、シリコンインゴット２の研削／研磨を速やかに行うことが可能になることから、生産効率を向上することができる。
【００３５】
以上、本発明の一例を詳述したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、種々の変形実施が可能である。例えば本実施例では、シリコンインゴット２の上部側の側面に対向する位置に測定装置８を配設しているが、上部側でなく下部側に配設するようにしてもよい。また、シリコンインゴット２の上部側に測定装置８を配設すると共にシリコンインゴット２の左右側の側部側に研削研磨装置７を配設しているが、これに代えて、測定装置８をシリコンインゴット２の左右側の側部側に配設し、シリコンインゴット２の上部側に研削研磨装置７を配設するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一例のシリコンインゴットの外形を測定するシリコンインゴット用測定装置の構成を示す側面図である。
【図２】同上、シリコンインゴット用測定装置を示す平面図である。
【図３】同上、シリコンインゴット用測定装置を示す概略構成図である。
【図４】同上、チャッキングされたシリコンインゴットを示す斜視図である。
【図５】同上、シリコンインゴットの寸法の測定方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  シリコンインゴット用測定装置
２  シリコンインゴット
５  側面
７  研削研磨装置
８  測定装置
１０ａ，１０ｂ  チャッキング部
１２ 旋回用モータ
１４  回転軸部
２５  タッチセンサー
【図１】
0005271581.tif 000002
【図２】
0005271581.tif 000003
【図３】
0005271581.tif 000004
【図４】
0005271581.tif 000005
【図５】
0005271581.tif 000006