(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流量計への入力信号を発生する流量計入力信号発生器において、
クロック信号を発生するクロック発生部と、
前記クロック信号を分周した第１分周信号を出力する第１分周部と、
前記第１分周信号に基づいてリセット信号を発生するリセット発生部と、
変更可能な分周比に基づいて前記クロック信号を分周し、前記リセット信号によりリセットされる第２分周信号を発生する第２分周部と、
前記第２分周信号に基づいて前記第１分周信号を遅延した遅延信号を出力する遅延信号発生部と、
を備え、
前記遅延信号発生部は、
前記第１分周信号を論理否定した第１分周反転信号と前記第２分周信号との論理積信号を発生する第１論理回路部と、
前記第１分周信号と前記第２分周信号との論理積信号を発生する第２論理回路部と、
前記第１論理回路部の論理積信号をリセット入力とし前記第２論理回路部の論理積信号をセット入力として前記遅延信号を出力するＲＳフリップフロップ部と、
を具備することを特徴とする流量計入力信号発生器。
【請求項２】
前記リセット信号の時間幅は前記クロック信号の半周期以上一周期以下であることを特徴とする請求項１に記載の流量計入力信号発生器。
【請求項３】
前記第１分周部および前記第２分周部は同期カウンタであることを特徴とする請求項１または２に記載の流量計入力信号発生器。
【請求項４】
前記第１分周部および前記第２分周部はシフトレジスタであることを特徴とする請求項１または２に記載の流量計入力信号発生器。
【請求項５】
流量信号を検出する検出器と、流量を演算し前記検出器を駆動する変換器との間に、前記変換器への入力信号を発生する流量計入力信号発生器を介在させた流量計システムにおいて、
前記流量計入力信号発生器は、
前記検出器の検出信号を逓倍したクロック信号を発生するクロック発生部と、
前記クロック信号を分周した第１分周信号を前記変換器へ出力する第１分周部と、
前記第１分周信号に基づいてリセット信号を発生するリセット発生部と、
変更可能な分周比に基づいて前記クロック信号を分周し、前記リセット信号によりリセットされる第２分周信号を発生する第２分周部と、
前記第２分周信号に基づいて前記第１分周信号を遅延した遅延信号を前記変換器へ出力する遅延信号発生部と、
を備え、
前記遅延信号発生部は、
前記第１分周信号を論理否定した第１分周反転信号と前記第２分周信号との論理積信号を発生する第１論理回路部と、
前記第１分周信号と前記第２分周信号との論理積信号を発生する第２論理回路部と、
前記第１論理回路部の論理積信号をリセット入力とし前記第２論理回路部の論理積信号をセット入力として前記遅延信号を出力するＲＳフリップフロップ部と、
を具備することを特徴とする流量計システム。
【請求項６】
前記クロック発生部はＰＬＬ回路部であることを特徴とする請求項５に記載の流量計システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量計入力信号発生器に関し、特に、位相差または時間差を有する信号を発生する流量計入力信号発生器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
流量、圧力などを制御するプロセス制御において、一般に、配管などを流れる流体の流量は流量計により測定される。以下に、流量計の一つであるコリオリ式流量計２０について図５を用いて説明する。
【０００３】
図５において、コリオリ式流量計２０は検出器１および変換器１０を備えており、このうち、検出器１は、測定チューブ（図示しない）、上流センサ２、下流センサ３、駆動部４および温度センサ５を備え、変換器１０は、位相差／周波数演算部１１、流量／密度演算部１２、駆動回路部１３および温度演算部１４を備えている。
【０００４】
検出器１の上流センサ２および下流センサ３の出力は変換器１０の位相差／周波数演算部１１に入力され、変換器１０の駆動回路部１３の出力は検出器１の駆動部４に入力され、検出器１の温度センサ５の出力は変換器１０の温度演算部１４に入力される。
【０００５】
検出器１において、測定流体が流れる測定チューブは駆動部４により振動され、この振動は、測定チューブの上下流部近傍に設けられた上流センサ２および下流センサ３により、電気信号（上流検出信号ＳＡおよび下流検出信号ＳＢ）として検出される。
【０００６】
上流検出信号ＳＡと下流検出信号ＳＢのと間には流量に対応した位相差Φを有しており、位相差／周波数演算部１１は、上流検出信号ＳＡおよび下流検出信号ＳＢに基づいて、上流検出信号ＳＡまたは下流検出信号ＳＢの振動周波数、位相差Φを演算する。
【０００７】
また、測定チューブに設けられた温度センサ５は、測定チューブの温度に対応した温度検出信号ＳＴ１を温度演算部１４へ出力する。温度演算部１４は温度検出信号ＳＴ１に基づいて測定チューブの温度ＳＴ２を演算する。
【０００８】
流量／密度演算部１２は、位相差／周波数演算部１１および温度演算部１４から位相差Φ、周波数ｆ（ｆ０、ｆｖ、ｆｃを含む）および温度ＳＴ２を受け取り、下記式（１）より流体の密度Ｄ、下記式（２）より流体の質量流量ＱＭを演算する。
【０００９】
【数１】
0005152479.tif 000002
【００１０】
【数２】
0005152479.tif 000003
【００１１】
ここで、Ｋ２を定数、測定流体が空の状態における測定チューブの振動周波数をｆ０、測定流体が充満している状態における測定チューブの振動周波数をｆｖ、流量測定時における測定チューブの振動周波数をｆｃとする。ｆ（ＳＴ２）は温度補正項、ｆ（Ｄ）は密度補正項である。
【００１２】
なお、駆動回路部１３は、位相差／周波数演算部１１から上流検出信号ＳＡまたは下流検出信号ＳＢに関連する信号を受け取り、この信号に基づいて検出器１の駆動部４へ駆動信号ＳＤを出力する。
【００１３】
なお、上述したコリオリ式流量計２０と同様の構成および動作について、下記特許文献１、２に開示されている。
【００１４】
【特許文献１】特開平７−１８１０６９号公報
【特許文献２】特開平８−２９２２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
コリオリ式流量計２０は、製造時に、ｆ（ＳＴ２）に含まれる定数および定数Ｋ２などを校正するほか、流体の密度Ｄおよび質量流量ＱＭの演算などの動作確認を行うことがある。また、コリオリ式流量計２０が、ユーザーのサイトに設置された状態で動作不良などが疑われた場合、同様に動作確認を行うことがある。
【００１６】
このような校正および動作確認は、実際に測定チューブに測定流体を流して行う必要があるため、多くの費用および作業時間を必要とする。
【００１７】
このような場合、上流検出信号ＳＡおよび下流検出信号ＳＢのように位相差Φを有する信号を発生する信号発生器が、検出器１の代替として使用できれば、校正および動作確認は少ない費用および作業時間で行うことができる。
【００１８】
しかし、質量流量の測定精度の基準となる公称流量が測定チューブに流れたとき、位相差Φは数ｍｒａｄ（ミリラジアン）となる。このため、測定精度０．１％に対する位相差Φの精度は数μｒａｄ（マイクロラジアン）を必要とするとともに、位相差Φの安定性も必要とする。
【００１９】
このような高精度および高安定な位相差を有する信号を出力でき、位相差を変更できる信号発生器は非常に高価なものとなる。
【００２０】
本発明の目的は、流量計入力信号発生器に関し、高精度および高安定な位相差を有する複数の信号を出力できるとともに、位相差を変更できる安価な流量計入力信号発生器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
このような目的を達成するために、請求項１の発明は、
流量計への入力信号を発生する流量計入力信号発生器において、
クロック信号を発生するクロック発生部と、
前記クロック信号を分周した第１分周信号を出力する第１分周部と、
前記第１分周信号に基づいてリセット信号を発生するリセット発生部と、
変更可能な分周比に基づいて前記クロック信号を分周し、前記リセット信号によりリセットされる第２分周信号を発生する第２分周部と、
前記第２分周信号に基づいて前記第１分周信号を遅延した遅延信号を出力する遅延信号発生部と、
を備え、
前記遅延信号発生部は、
前記第１分周信号を論理否定した第１分周反転信号と前記第２分周信号との論理積信号を発生する第１論理回路部と、
前記第１分周信号と前記第２分周信号との論理積信号を発生する第２論理回路部と、
前記第１論理回路部の論理積信号をリセット入力とし前記第２論理回路部の論理積信号をセット入力として前記遅延信号を出力するＲＳフリップフロップ部と、
を具備することを特徴とする。
【００２３】
請求項２の発明は、請求項１に記載の流量計入力信号発生器において、
前記リセット信号の時間幅は前記クロック信号の半周期以上一周期以下であることを特徴とする。
【００２４】
請求項３の発明は、請求項１または２に記載の流量計入力信号発生器において、
前記第１分周部および前記第２分周部は同期カウンタであることを特徴とする。
【００２５】
請求項４の発明は、請求項１または２に記載の流量計入力信号発生器において、
前記第１分周部および前記第２分周部はシフトレジスタであることを特徴とする。
【００２６】
請求項５の発明は、
流量信号を検出する検出器と、流量を演算し前記検出器を駆動する変換器との間に、前記変換器への入力信号を発生する流量計入力信号発生器を介在させた流量計システムにおいて、
前記流量計入力信号発生器は、
前記検出器の検出信号を逓倍したクロック信号を発生するクロック発生部と、
前記クロック信号を分周した第１分周信号を前記変換器へ出力する第１分周部と、
前記第１分周信号に基づいてリセット信号を発生するリセット発生部と、
変更可能な分周比に基づいて前記クロック信号を分周し、前記リセット信号によりリセットされる第２分周信号を発生する第２分周部と、
前記第２分周信号に基づいて前記第１分周信号を遅延した遅延信号を前記変換器へ出力する遅延信号発生部と、
を備え、
前記遅延信号発生部は、
前記第１分周信号を論理否定した第１分周反転信号と前記第２分周信号との論理積信号を発生する第１論理回路部と、
前記第１分周信号と前記第２分周信号との論理積信号を発生する第２論理回路部と、
前記第１論理回路部の論理積信号をリセット入力とし前記第２論理回路部の論理積信号をセット入力として前記遅延信号を出力するＲＳフリップフロップ部と、
を具備することを特徴とする。
【００２７】
請求項６の発明は、請求項５に記載の流量計システムにおいて、
前記クロック発生部はＰＬＬ回路部であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、流量計入力信号発生器に関し、クロック信号に基づいて位相差を発生することにより、高精度および高安定な位相差を有する複数の信号を出力できるとともに、位相差を変更できる安価な流量計入力信号発生器を実現できる。
【００２９】
また、このような流量計入力信号発生器を検出器の代替として使用することにより、製造時またはユーザーのサイトにおいて行われる校正および動作確認を、少ない費用および作業時間で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
［第１の実施例］
図１は、本発明を適用した流量計入力信号発生器１００のブロック図であり、これを用いて第１の実施例を説明する。
【００３１】
本実施例の流量計入力信号発生器１００は、クロック信号ＣＬＫに基づいて、高精度および高安定な位相差を有する第１分周信号ＤＩＶ１および遅延信号ＤＬＹを外部へ出力するものである。
【００３２】
流量計入力信号発生器１００は、クロック発生部３０、周波数設定部３１、第１分周部４０、リセット発生部５０、第２分周部６０、分周比設定部６１および遅延信号発生部７０を備えている。
【００３３】
図１において、周波数設定部３１からの周波数設定信号ＦＳＥＴはクロック発生部３０に入力され、クロック発生部３０からのクロック信号ＣＬＫは第１分周部４０および第２分周部６０に入力される。なお、周波数設定値は、キーボードなどの入力装置（図示しない）のほか通信装置（図示しない）などにより、周波数設定部３１へ入力することができる。
【００３４】
第１分周部４０の出力は、第１分周信号ＤＩＶ１および第１分周反転信号ＮＤＩＶ１であり、第１分周反転信号ＮＤＩＶ１は、第１分周信号ＤＩＶ１を論理否定した信号である。
【００３５】
第１分周反転信号ＮＤＩＶ１はリセット発生部５０に入力され、リセット発生部５０からのリセット信号ＲＳＴは第２分周部６０のリセット入力部ＲＥＳに入力される。
【００３６】
分周比設定部６１からの分周比設定信号ＤＳＥＴは第２分周部６０に入力され、第２分周部６０からの第２分周信号ＤＩＶ２、第１分周信号ＤＩＶ１および第１分周反転信号ＮＤＩＶ１は遅延信号発生部７０に入力される。
【００３７】
第１分周信号ＤＩＶ１は、出力端子Ｔ１０１を介して外部に出力される。なお、分周比設定値は、キーボードなどの入力装置（図示しない）のほか通信装置（図示しない）などにより、分周比設定部６１へ入力することができる。
【００３８】
遅延信号発生部７０は、第１論理回路部７１、第２論理回路部７２およびＲＳフリップフロップ部７３を備えている。
【００３９】
第１分周反転信号ＮＤＩＶ１および第２分周信号ＤＩＶ２は第１論理回路部７１に入力され、第１論理回路部７１はこれらの入力信号の論理積信号を出力する。また、第１分周信号ＤＩＶ１および第２分周信号ＤＩＶ２は第２論理回路部７２に入力され、第２論理回路部７２はこれらの入力信号の論理積信号を出力する。
【００４０】
第１論理回路部７１の出力は、ＲＳフリップフロップ部７３のリセット端子ＲにＲＳリセット信号ＲＦＦとして入力され、第２論理回路部７２の出力は、ＲＳフリップフロップ部７３のセット端子ＳにＲＳセット信号ＳＦＦとして入力される。ＲＳフリップフロップ部７３からの遅延信号ＤＬＹは、出力端子Ｔ１００を介して外部に出力される。
【００４１】
つぎに、流量計入力信号発生器１００について、分周比設定部６１の分周比を２分周にしたときの動作を図２を用いて説明する。図２は、タイミングチャートであり、横軸に時間（最下段に表示）、縦軸に電圧を表している。
【００４２】
クロック信号ＣＬＫ（ａ）は、周波数設定信号ＦＳＥＴに基づいて設定された周波数を有する信号であり、クロック信号ＣＬＫ（ａ）の一周期Ｔｃｌｋは時刻ｔ０からｔ１までの時間である。なお、周波数設定値を変更することにより、クロック信号ＣＬＫ（ａ）の周波数を変更することができる。
【００４３】
第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）は、クロック信号ＣＬＫ（ａ）を分周した信号であり、第１分周反転信号ＮＤＩＶ１（ｃ）は、第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）を論理否定した信号である。第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）および第１分周反転信号ＮＤＩＶ１（ｃ）の電圧は、時刻ｔ０、ｔ２およびｔ４において変化する。なお、クロック信号ＣＬＫ（ａ）の周波数を変更することにより、第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）および第１分周反転信号ＮＤＩＶ１（ｃ）の周波数を変更することができる
【００４４】
リセット信号ＲＳＴ（ｄ）は、第１分周反転信号ＮＤＩＶ１（ｃ）の電圧変化に基づいて、ローレベル電圧となった後にハイレベル電圧に戻るパルス状の信号である。なお、リセット信号ＲＳＴ（ｄ）は、第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）の電圧変化に基づいてパルス状に変化する信号であってもよい。時刻ｔ０、ｔ２およびｔ４において、パルス状のリセット信号ＲＳＴ（ｄ）が図１に示すリセット発生部５０から出力される。
【００４５】
リセット発生部５０は、例えば、単安定マルチバイブレータから構成され、内部の抵抗およびキャパシターの抵抗値および容量値によって、パルス時間幅（ローレベル電圧の時間幅）を変更することができる。
【００４６】
図２に戻り、第２分周信号ＤＩＶ２（ｅ）は、分周比設定信号ＤＳＥＴに基づいて設定された分周比によってクロック信号ＣＬＫ（ａ）を分周するとともに、リセット信号ＲＳＴ（ｄ）のローレベル電圧の間リセットされる信号である。分周比は２分周であるため、第２分周信号ＤＩＶ２（ｅ）の半周期はクロック信号ＣＬＫ（ａ）の一周期Ｔｃｌｋであり、時刻ｔ０、ｔ２およびｔ４において第２分周信号ＤＩＶ２（ｅ）はリセットされる。
【００４７】
ＲＳフリップフロップ部７３のＲＳリセット信号ＲＦＦ（ｆ）は、時刻ｔ０からｔ２までの間にはローレベル電圧となり、時刻ｔ２からｔ４までの間には第２分周信号ＤＩＶ２（ｅ）の信号となる。
【００４８】
ＲＳフリップフロップ部７３のＲＳセット信号ＳＦＦ（ｇ）は、時刻ｔ０からｔ２までの間には第２分周信号ＤＩＶ２（ｅ）の信号となり、時刻ｔ２からｔ４までの間にはローレベル電圧となる。
【００４９】
遅延信号ＤＬＹ（ｈ）は、時刻ｔ１においてハイレベル電圧に変化して（セット動作）、時刻ｔ３においてローレベル電圧に変化する（リセット動作）。
【００５０】
これらの動作により、第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）、およびこの信号を第２分周信号ＤＩＶ２（ｅ）の半周期遅延した遅延信号ＤＬＹ（ｈ）が、流量計入力信号発生器１００から外部へ出力される。
【００５１】
ここで、遅延信号ＤＬＹ（ｈ）の遅延時間は、クロック信号ＣＬＫ（ａ）の一周期Ｔｃｌｋである。第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）の一周期をＴｔｕｂｅとすると、第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）と遅延信号ＤＬＹ（ｈ）との位相差Φ（ｒａｄ）は、下記式（３）により表すことができる。
【００５２】
【数３】
0005152479.tif 000004
【００５３】
つぎに、分周比設定部６１の分周比を３分周にしたときの動作について、図３のタイミングチャートを用いて説明する。以下に、図２と相違する部分を中心に説明する。なお、分周比設定値を変更することにより、第２分周部６０の分周比を変更することができる。
【００５４】
分周比は３分周であるため、第２分周信号ＤＩＶ２（ｅ）の半周期はクロック信号ＣＬＫ（ａ）の一周期半（時刻ｔ１０からｔ１１までの時間）であり、時刻ｔ１０、ｔ１２およびｔ１４において第２分周信号ＤＩＶ２（ｅ）はリセットされる。
【００５５】
遅延信号ＤＬＹ（ｈ）は、時刻ｔ１１においてハイレベル電圧に変化して（セット動作）、時刻ｔ１３においてローレベル電圧に変化する（リセット動作）。
【００５６】
ここで、遅延信号ＤＬＹ（ｈ）の遅延時間は、クロック信号ＣＬＫ（ａ）の一周期半である。第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）と遅延信号ＤＬＹ（ｈ）との位相差Φ（ｒａｄ）は、下記式（４）により表すことができる。
【００５７】
【数４】
0005152479.tif 000005
【００５８】
そして、分周比設定部６１の分周比をＮ分周にしたとき、第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）と遅延信号ＤＬＹ（ｈ）との位相差Φ（ｒａｄ）は、下記式（５）により表すことができる。
【００５９】
【数５】
0005152479.tif 000006
【００６０】
式（５）において、位相差Φは、クロック信号ＣＬＫ（ａ）の一周期Ｔｃｌｋを第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）の一周期Ｔｔｕｂｅで除算したものである。第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）は、クロック信号ＣＬＫ（ａ）を分周した信号であるため、周囲温度の変動によりクロック信号ＣＬＫ（ａ）の周波数（周期）が変動しても、位相差Φは変動せず安定である。また、分周比設定部６１の分周比Ｎを変更することにより、位相差Φを変更することができる。
【００６１】
ここで、第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）の一周期Ｔｔｕｂｅを０．０１秒、クロック信号ＣＬＫ（ａ）の一周期Ｔｃｌｋを０．０１μ秒とすれば、式（３）より（２分周のとき）、位相差Φは、数μｒａｄとなり高精度とすることができる。
【００６２】
なお、流量計入力信号発生器１００は、安価なデジタル回路部品（例えば、汎用の論理回路部品など）などで構成することができる。
【００６３】
また、図１において、出力端子Ｔ１０１およびＴ１００を介して第１分周信号ＤＩＶ１および遅延信号ＤＬＹが変換器１０の位相差／周波数演算部１１に入力され、変換器１０の温度演算部１４に抵抗１１０が接続される。
【００６４】
なお、抵抗１１０は、検出器１の温度センサ５（図５参照）が測温抵抗体の場合の代替回路であり、温度センサ５が熱電対の場合には直流電圧（図示しない）を温度演算部１４に入力する。温度演算部１４は、測温抵抗体の抵抗値または熱電対の起電力（直流電圧）と温度との換算を用いて、抵抗１１０の抵抗値または直流電圧に対応した温度値を演算する。
【００６５】
位相差／周波数演算部１１は、第１分周信号ＤＩＶ１および遅延信号ＤＬＹに基づいて、第１分周信号ＤＩＶ１または遅延信号ＤＬＹの周波数、位相差Φを演算する。
【００６６】
流量／密度演算部１２は、位相差／周波数演算部１１および温度演算部１４から位相差Φ、周波数および温度値を受け取り、前述した式（１）より流体の密度Ｄ、式（２）より流体の質量流量ＱＭを演算する。
【００６７】
これにより、変換器１０は、流量計入力信号発生器１００を使用して、式（１）（２）に含まれる定数の校正のほか、密度Ｄおよび質量流量ＱＭの演算などの動作確認を行うことができる。
【００６８】
本実施例によって、流量計入力信号発生器に関し、クロック信号に基づいて位相差を発生することにより、高精度および高安定な位相差を有する複数の信号を出力できるとともに、位相差を変更できる安価な流量計入力信号発生器を実現できる。
【００６９】
さらに、このような流量計入力信号発生器を検出器の代替として使用することにより、製造時またはユーザーのサイトにおいて行われる校正および動作確認を、少ない費用および作業時間で行うことができる。
【００７０】
また、リセット発生部５０は、クロック信号ＣＬＫを受け取り、この信号の半周期以上一周期以下のパルス時間幅（ローレベル電圧の時間幅）を有するリセット信号ＲＳＴを発生することができる。
【００７１】
これにより、リセット発生部５０は、クロック信号ＣＬＫを基準にしたリセット信号ＲＳＴにより、第２分周部６０をリセットすることができる。
【００７２】
また、第１分周部４０および第２分周部６０は、同期カウンタまたはシフトレジスタを用いることができ、バイナリーカウンタ、プログラムカウンタであってもよい。
【００７３】
同期カウンタを用いることにより、第１分周部４０および第２分周部６０は、分周回路による遅れの影響を小さくすることができる。
【００７４】
［第２の実施例］
図４は、本発明を適用した流量計入力信号発生器１０１、検出器１および変換器１０のブロック図であり、これを用いて第２の実施例を説明する。図１と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００７５】
本実施例は、流量計入力信号発生器１０１、検出器１および変換器１０を備えた流量計システム２００である。以下において、第１の実施例との相違点を中心に説明する。
【００７６】
検出器１において、測定流体が流れる測定チューブ（図示しない）は駆動部４により振動（駆動）される。この振動は、測定チューブの上下流部近傍に設けられた上流センサ２および下流センサ３により、電気信号（上流検出信号ＳＡおよび下流検出信号ＳＢ）として検出される。
【００７７】
上流検出信号ＳＡは、流量計入力信号発生器１０１のクロック発生部８０に入力され、クロック発生部８０は、入力された上流検出信号ＳＡを逓倍したクロック信号ＣＬＫを出力する。クロック発生部８０は、ＰＬＬ（Ｐｈａｓｅ  Ｌｏｃｋｅｄ  Ｌｏｏｐ）回路を用いてもよい。
【００７８】
なお、周波数設定部８１は、クロック発生部８０へ、逓倍比設定信号ＴＳＥＴを出力し逓倍比を設定する。逓倍比設定値を変更することにより、クロック発生部８０の逓倍比およびクロック信号ＣＬＫの周波数を変更することができる。
【００７９】
クロック信号ＣＬＫは、図２におけるクロック信号ＣＬＫ（ａ）と同様の信号となり、第１分周信号ＤＩＶ１（ｂ）の一周期Ｔｔｕｂｅは、分周比設定部６１の設定値により、測定チューブの振動周期と同じ周期にすることができる。なお、クロック発生部８０には下流検出信号ＳＢを入力してもよい。
【００８０】
式（３）で示される位相差Φを有する第１分周信号ＤＩＶ１および遅延信号ＤＬＹが、出力端子Ｔ１００およびＴ１０１を介して変換器１０の位相差／周波数演算部１１へ入力される。位相差／周波数演算部１１は、第１分周信号ＤＩＶ１および遅延信号ＤＬＹに基づいて、第１分周信号ＤＩＶ１または遅延信号ＤＬＹの周波数、位相差Φを演算する。
【００８１】
また、検出器１において、測定チューブに設けられた温度センサ５は、測定チューブの温度に対応した温度検出信号ＳＴ１を変換器１０の温度演算部１４へ出力する。温度演算部１４は温度検出信号ＳＴ１に基づいて測定チューブの温度ＳＴ２を演算する。
【００８２】
変換器１０の流量／密度演算部１２は、位相差／周波数演算部１１および温度演算部１４から位相差Φ、周波数および温度ＳＴ２を受け取り、前述した式（１）より流体の密度Ｄ、式（２）より流体の質量流量ＱＭを演算する。
【００８３】
なお、変換器１０の駆動回路部１３は、位相差／周波数演算部１１から第１分周信号ＤＩＶ１または遅延信号ＤＬＹに関連する信号を受け取り、この信号に基づいて検出器１の駆動部４へ駆動信号ＳＤを出力する。
【００８４】
本実施例によって、流量計入力信号発生器に実際の検出器を接続することにより、実際の検出器を振動させて、製造時またはユーザーのサイトにおいて校正および動作確認を行うことができる。
【００８５】
第１の実施例および第２の実施例において、コリオリ式流量計を用いて説明したが、流量計入力信号発生器１００、１０１により発生する位相差Φは時間差でもある。このため、流量計入力信号発生器１００、１０１は、複数信号間の位相差のほか、時間差を測定演算する装置にも使用することができる。
【００８６】
例えば、超音波を測定チューブへ発射する発射波信号と、測定チューブからの反射波信号との時間差を測定演算する超音波流量計にも使用することができる。
【００８７】
また、流量計入力信号発生器１００、１０１の外部への出力は、第１分周信号ＤＩＶ１および遅延信号ＤＬＹの２つの出力としたが、位相差を有する３つ以上の出力を備えてもよい。
【００８８】
なお、本発明は、前述の実施例に限定されることなく、その本質を逸脱しない範囲で、さらに多くの変更および変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明を適用した流量計入力信号発生器１００のブロック図である。
【図２】図１において、２分周した場合のタイミングチャート図である。
【図３】図１において、３分周した場合のタイミングチャート図である。
【図４】本発明を適用した流量計システム２００のブロック図である。
【図５】背景技術におけるコリオリ式流量計２０のブロック図である。
【符号の説明】
【００９０】
３０  クロック発生部
４０  第１分周部
５０  リセット発生部
６０  第２分周部
７０  遅延信号発生部
１００  流量計入力信号発生器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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