(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象板の電極に応じて複数の接触子の位置を調整する可動式プローブユニット機構であって、
前記検査対象板の電極の配置された辺に対応する位置であって長辺側に２以上、短辺側に１以上のプローブユニットを備え、当該プローブユニットは、アライメントカメラと、当該プローブユニットを長手方向へ移動させる駆動機構と、複数の接触子を設けたプローブブロックとを備えて構成され、
前記各プローブユニットのアライメントカメラで前記検査対象板のアライメントマークを常時又は定期的に監視して、前記検査対象板の熱膨張により各電極がそれぞれの位置によっても長辺側か短辺側かによっても異なる熱膨張量でずれていくのに対して、前記駆動機構が、前記検査対象板の各電極に前記各接触子が整合するように、当該各接触子を支持する前記各プローブユニットを、前記検査対象板の電極の配置された辺に沿う方向に個別に移動させて調整することを特徴とする可動式プローブユニット機構。
【請求項２】
請求項１に記載の可動式プローブユニット機構において、
前記駆動機構を、前記検査対象板の電極の配置された辺に臨ませて１又は複数有することを特徴とする可動式プローブユニット機構。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の可動式プローブユニット機構において、
前記プローブユニットを支持して前記接触子を前記検査対象板の各電極に接触させる先端側移動ブロックと、
当該先端側移動ブロックを支持して繰り出し、前記プローブユニットの接触子を前記検査対象板の各電極に接触させる基端側移動ブロックとを備え、
前記駆動機構が、前記基端側移動ブロックを支持して前記プローブユニットを前記検査対象板の電極の配置された辺に沿う方向に移動させて前記接触子と前記電極との間を位置決め調整することを特徴とする可動式プローブユニット機構。
【請求項４】
請求項３に記載の可動式プローブユニット機構において、
前記プローブユニットは、
先端に多数の接触子を支持して前記検査対象板の各電極にそれぞれ接触させるプローブブロックと、
当該プローブブロックの先端の接触子を前記検査対象板の各電極位置に整合させるためのアライメントマークを写すアライメントカメラと、
前記プローブブロックと前記アライメントカメラとを一体的に支持するプローブベースと
を備えて構成されたことを特徴とする可動式プローブユニット機構。
【請求項５】
請求項３に記載の可動式プローブユニット機構において、
前記先端側移動ブロックは、
前記プローブユニットを支持する支持板と、
前記基端側移動ブロック側に連結して上下に移動する先端側連結ブロックと、
当該先端側連結ブロック側に取り付けられて前記基端側移動ブロック側に嵌合して斜めに移動するガイドと、
前記先端側移動ブロックの移動を規制する移動規制ローラと、
前記先端側移動ブロックに取り付けられて、当該先端側移動ブロックを上方へ付勢するバネをその上端から支持する上端側バネ受けと
を備えて構成されたことを特徴とする可動式プローブユニット機構。
【請求項６】
請求項３に記載の可動式プローブユニット機構において、
前記基端側移動ブロックは、
全体を支持する移動ベース板と、
当該移動ベース板の繰り出し方向に沿って２本配設されたレールと、
当該レールに繰り出し方向にスライド可能に支持された移動板と、
当該移動板の下側面に取り付けられて前記レールに嵌合して前記移動板をスライド可能に支持するガイドと、
前記先端側移動ブロックの前記先端側連結ブロックと協働して先端側移動ブロックを上下に移動させる基端側連結ブロックと、
当該基端側連結ブロックの傾斜した当接面に設けられて前記先端側移動ブロックの上下への移動を案内する傾斜レールと、
前記移動板の上端側バネ受けに対向する位置に設けられて前記先端側移動ブロックを上方へ付勢するバネをその下側から支持する下端側バネ受けと、
前記移動板側に当接することで、前記プローブブロックの先端の接触子が前記検査対象板の電極の直上まで移動して、さらに下方へ降下されて前記検査対象板の電極に接触しオーバードライブがかかる第２ストッパと、
前記移動板の両端部にそれぞれ設けられ、当該第２ストッパに当接することで当該第２ストッパと協働して前記移動板の移動量を規制する当接部と、
前記移動板に連結されてこの移動板を前方へ繰り出す繰り出し機構と、
当該繰り出し機構による前記移動板の前記検査対象板側への繰り出し量を規制すると共に、前記先端側移動ブロックのバネによる上昇位置を規制する第３ストッパと
を備えて構成されたことを特徴とする可動式プローブユニット機構。
【請求項７】
請求項３に記載の可動式プローブユニット機構において、
前記駆動機構は、
左右方向に平行に２本配設されたレールと、
当該レールにスライド可能に嵌合されて移動ベース板を左右方向にスライド可能に支持するガイドと、
当該ガイドに支持された前記移動ベース板を左右方向に移動させる移動機構と
を備えて構成されたことを特徴とする可動式プローブユニット機構。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の可動式プローブユニット機構において、
品種の違う前記検査対象板の異なる寸法に応じて、４枚の枠板を移動させて前記開口を調整する可動枠機構を備えて構成されたことを特徴とする可動式プローブユニット機構。
【請求項９】
品種の違う検査対象板の異なる寸法に応じて、開口を調整すると共に、接触子の位置を調整して検査を行う電気検査装置において、
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の可動式プローブユニット機構を備えたことを特徴とする電気検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような表示パネルの電気検査のために、通電回路と表示パネルを接続するための電気的接続機構を有する可動式プローブユニット機構及び電気検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような表示パネルの検査装置の一つに、検査を受ける表示パネルが配置される検査ステージに、検査のための複数の接触子ユニットを設けたものがある。
【０００３】
複数の接触子ユニットは、検査時にそれらの接触子が検査ステージのパネル受け上の表示パネルに対応する電極に接触することにより、通電回路からの電力を表示パネルへ供給する。
【０００４】
また、検査に先立つパネル受けへの表示パネルの配置及び検査後のパネル受けからの表示パネルの取り出し時には、各接触子ユニットは、表示パネルの配置領域から後退する。
【０００５】
したがって、多数の接触子ユニットが表示パネルのパネル受けへの配置およびその取り出しの妨げになることはなく、表示パネルの取扱が円滑に行える（特許文献１）。
【０００６】
また、従来、大きさの異なる表示パネルに対しては、表示パネル専用の検査ステージおよびプローブユニットを設置する必要があったが、大きさの異なる表示パネルのサイズに合わせて、開口部を調整することにより新たな専用の検査ステージおよびプローブユニットを設置する必要をなくした装置も見られる（特許文献２）。
【特許文献１】特開２００２−３５０４８５号公報
【特許文献２】特開２００２−９１３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年、表示パネルが50〜80インチと大型化し、またＴＶ用途の表示パネルでは、バックライトの輝度が10,000〜20,000cd程度で検査が行われている。このバックライトの熱により表示パネルが熱膨張してしまう。
【０００８】
ところが、プローブユニットは熱による影響をさほど受けないため、接触子のピッチと表示パネルの電極ピッチとにずれが生じ、良好な電気検査を行えないという問題が生じている。
【０００９】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、バックライトの熱による熱膨張を許容してプローブ針等の接触子電極との位置合わせを容易に行うことができる可動式プローブユニット機構及び電気検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る電気検査装置は、検査対象板の電極に応じて複数の接触子の位置を調整する可動式プローブユニット機構であって、前記検査対象板の電極の配置された辺に対応する位置であって長辺側に２以上、短辺側に１以上のプローブユニットを備え、当該プローブユニットは、アライメントカメラと、当該プローブユニットを長手方向へ移動させる駆動機構と、複数の接触子を設けたプローブブロックとを備えて構成され、前記各プローブユニットのアライメントカメラで前記検査対象板のアライメントマークを常時又は定期的に監視して、前記検査対象板の熱膨張により各電極がその位置によっても長辺側か短辺側かによっても異なる熱膨張量でずれていくのに対して、前記駆動機構が、前記検査対象板の各電極に前記各接触子が整合するように、当該各接触子を支持する前記各プローブユニットを、前記検査対象板の電極の配置された辺に沿う方向に個別に移動させて調整することを特徴とする。
【００１１】
前記構成により、前記プローブユニットは、そのアライメントカメラで、検査対象板のアライメントマークを写して常時又は定期的に監視し、前記駆動機構で前記プローブユニットの長手方向へ当該プローブユニットを移動させて、前記プローブブロックの複数の接触子を検査対象板の各電極に整合させる。また、前記駆動機構が、前記各接触子を前記プローブユニットの長手方向である、前記検査対象板の電極の配置された辺に沿う方向に移動させて、品種交換や熱膨張等でずれた前記検査対象板の各電極に前記各接触子を整合させる。
【００１２】
前記駆動機構を、前記検査対象板の電極の配置された辺に臨ませて１又は複数有することが望ましい。
【００１３】
前記構成により、前記駆動機構が、前記各接触子を支持して、当該各接触子を前記検査対象板の電極の配置された辺に沿う方向に移動させる。
【００１４】
前記プローブユニットを支持して前記接触子を前記検査対象板の各電極に接触させる先端側移動ブロックと、当該先端側移動ブロックを支持して繰り出し、前記プローブユニットの接触子を前記検査対象板の各電極に接触させる基端側移動ブロックとを備え、前記駆動機構が、前記基端側移動ブロックを支持して前記プローブユニットを前記検査対象板の電極の配置された辺に沿う方向に移動させて前記接触子と前記電極との間を位置決め調整することが望ましい。
【００１５】
前記構成により、前記駆動機構で前記接触子と前記電極との間を位置決め調整して、前記基端側移動ブロックで前記先端側移動ブロックを支持して繰り出し、前記プローブユニットの接触子を前記検査対象板の各電極に接触させる。
【００１６】
前記プローブユニットは、先端に多数の接触子を支持して前記検査対象板の各電極にそれぞれ接触させるプローブブロックと、当該プローブブロックの先端の接触子を前記検査対象板の各電極位置に整合させるためのアライメントマークを写すアライメントカメラと、前記プローブブロックと前記アライメントカメラとを一体的に支持するプローブベースとを備えて構成されたことを特徴とする。
【００１７】
前記構成により、前記アライメントカメラで前記アライメントマークを写して、このアライメントマークと基準点とのズレ量をゼロにするように調整して、前記接触子を前記電極に整合させる。
【００１８】
前記先端側移動ブロックは、前記プローブユニットを支持する支持板と、前記基端側移動ブロック側に連結して上下に移動する先端側連結ブロックと、当該先端側連結ブロック側に取り付けられて前記基端側移動ブロック側に嵌合して斜めに移動するガイドと、前記先端側移動ブロックの移動を規制する移動規制ローラと、前記先端側移動ブロックに取り付けられて、当該先端側移動ブロックを上方へ付勢するバネをその上端から支持する上端側バネ受けとを備えて構成されたことを特徴とする。
【００１９】
前記構成により、先端側連結ブロックのガイドが前記基端側移動ブロック側に嵌合して、基端側移動ブロックに押されることで、前記移動規制ローラで移動を規制されて前記先端側移動ブロックが上下に移動される。
【００２０】
前記基端側移動ブロックは、全体を支持する移動ベース板と、当該移動ベース板の繰り出し方向に沿って２本配設されたレールと、当該レールに繰り出し方向にスライド可能に支持された移動板と、当該移動板の下側面に取り付けられて前記レールに嵌合して前記移動板をスライド可能に支持するガイドと、前記先端側移動ブロックの前記先端側連結ブロックと協働して先端側移動ブロックを上下に移動させる基端側連結ブロックと、当該基端側連結ブロックの傾斜した当接面に設けられて前記先端側移動ブロックの上下への移動を案内する傾斜レールと、前記移動板の上端側バネ受けに対向する位置に設けられて前記先端側移動ブロックを上方へ付勢するバネをその下側から支持する下端側バネ受けと、前記移動板側に当接することで、前記プローブブロックの先端の接触子が前記検査対象板の電極の直上まで移動して、さらに下方へ降下されて前記検査対象板の電極に接触しオーバードライブがかかる第２ストッパと、前記移動板の両端部にそれぞれ設けられ、当該第２ストッパに当接することで当該第２ストッパと協働して前記移動板の移動量を規制する当接部と、前記移動板に連結されてこの移動板を前方へ繰り出す繰り出し機構と、当該繰り出し機構による前記移動板の前記検査対象板側への繰り出し量を規制すると共に、前記先端側移動ブロックのバネによる上昇位置を規制する第３ストッパとを備えて構成されたことが望ましい。
【００２１】
前記構成により、前記繰り出し機構で前記移動板を、前記第２ストッパに前記当接部が当接するまで前方へ繰り出すことで、前記プローブブロックの先端の接触子が前記検査対象板の電極の直上まで移動して、さらに下方へ降下されて前記検査対象板の電極に接触しオーバードライブがかかる。
【００２２】
前記駆動機構は、左右方向に平行に２本配設されたレールと、当該レールにスライド可能に嵌合されて移動ベース板を左右方向にスライド可能に支持するガイドと、当該ガイドに支持された前記移動ベース板を左右方向に移動させる移動機構とを備えて構成されたことを特徴とする。
【００２３】
前記構成により、前記移動機構が、前記ガイドに支持された前記移動ベース板を左右方向に移動させて、前記接触子を前記電極に整合させることができる。
【００２４】
品種の違う前記検査対象板の異なる寸法に応じて、４枚の枠板を移動させて前記開口を調整する可動枠機構を備えて構成されることが望ましい。
【００２５】
前記構成により、前記可動枠機構が、品種の違う前記検査対象板の異なる寸法に応じて枠板を移動させて、前記検査対象板の大きさに前記開口を調整する。
【００２６】
品種の違う検査対象板の異なる寸法に応じて、開口を調整すると共に、接触子の位置を調整して検査を行う電気検査装置において、前記各可動式プローブユニット機構を備えることが望ましい。
【００２７】
前記構成により、異なる寸法の検査対象板に交換する場合は、前記可動式プローブユニット機構で前記開口を調整すると共に、接触子の位置を調整する。
【発明の効果】
【００２８】
以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００２９】
前記プローブユニットは、そのアライメントカメラで、検査対象板のアライメントマークを写して、前記駆動機構で前記プローブユニットの長手方向へ当該プローブユニットを移動させて、前記プローブブロックの複数の接触子を検査対象板の各電極に整合させるため、検査対象板の熱膨張等による各電極の各接触子に対するずれを吸収することができる。
【００３０】
前記コンタクトユニットの前記駆動機構が、前記各接触子を支持して、当該各接触子を前記検査対象板の一辺に沿う方向に移動させるため、前記検査対象板の熱膨張による各電極のズレや、検査対象板の品種交換による各電極のズレを吸収して、各接触子を各電極に整合させることができる。
【００３１】
前記コンタクトユニットが、前記接触子を支持した状態で、当該接触子を、前記検査対象板の電極に対して整合するように位置合わせして繰り出し、この接触子を電極に接触させるため、熱膨張による電極の位置ずれを吸収することができると共に、異なる寸法の検査対象板に対して迅速に品種交換作業を行うことができる。
【００３２】
特に、大型の検査対象板に対して、前記可動枠機構の前記枠板に配設された複数のコンタクトユニットが個別に前記接触子の位置合わせをするため、熱膨張によるズレを容易に吸収することができると共に迅速に品種交換作業を行うことができる。
【００３３】
前記位置調整機構で前記接触子と前記端子との間を位置決め調整して、前記基端側移動ブロックで前記先端側移動ブロックを支持して繰り出し、前記プローブユニットの接触子を前記検査対象板の各端子に接触させるため、異なる寸法の検査対象板に対して、前記接触子と前記端子との位置決めを容易にかつ迅速に行うことができる。
【００３４】
前記アライメントカメラで前記アライメントマークを写して、このアライメントマークと基準点とのズレ量をゼロにするように調整して、前記接触子を前記端子に整合させるため、前記接触子と前記端子との位置決めを容易にかつ迅速に行うことができる。
【００３５】
先端側連結ブロックのガイドが前記基端側移動ブロック側に嵌合して、基端側移動ブロックに押されることで、前記移動規制ローラで移動を規制されて前記先端側移動ブロックが上下に移動されるため、前記基端側移動ブロックで前記先端側連結ブロックを押すだけで、前記接触子を前記端子側へ繰り出して降下させて互いに接触させることができる。
【００３６】
前記繰り出し機構で前記移動板を、前記第２ストッパに前記当接部が当接するまで前方へ繰り出すことで、前記プローブブロックの先端の接触子が前記検査対象板の端子の直上まで移動して、さらに下方へ降下されて前記検査対象板の端子に接触しオーバードライブがかかるため、異なる寸法の検査対象板に対して細かい調整をする必要がなくなり、迅速に品種交換作業を行うことができる。
【００３７】
前記移動機構が、前記ガイドに支持された前記移動ベース板を左右方向に移動させて、前記接触子を前記端子に整合させることができるため、前記接触子と前記端子との位置合わせを容易に行うことができる。
【００３８】
前記可動枠機構が、品種の違う前記検査対象板の異なる寸法に応じて枠板を移動させて、前記検査対象板の大きさに前記開口を調整するため、迅速に品種交換作業を行うことができる。
【００３９】
電気検査装置において、異なる寸法の検査対象板に交換する場合は、前記可動式プローブユニット機構で前記開口を調整すると共に、接触子の位置を調整するため、迅速に品種交換作業を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、本発明の実施形態に係る可動式プローブユニット機構を備えた電気検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。なおここでは、検査対象板として液晶パネルを例に説明する。また、点灯検査を行う電気検査装置の全体構成は上述した従来の電気検査装置とほぼ同様であるため、同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。そして、本発明の特徴部分である、可動式プローブユニット機構を中心に説明する。
【００４１】
可動式プローブユニット機構２１は、図１，２に示すように、品種の違う液晶パネル２２の異なる寸法に応じて、ワークテーブルベース２３の開口２３Ａ（図３参照）を調整すると共に、プローブ針(図示せず)の位置を調整するための機構である。可動式プローブユニット機構２１は、電気検査装置１のフレーム部分に固定されるベース板２４と、このベース板２４に支柱２５を介して支持されたトップベース２６と、このベース板２４とトップベース２６の間に設けられたバックライト２７と、トップベース２６に支持されたワークテーブルベース２３とからなる土台の上に取り付けられている。
【００４２】
可動式プローブユニット機構２１は、可動枠機構３０と、コンタクトユニット３１とから構成されている。
【００４３】
可動枠機構３０は、品種の違う液晶パネル２２の異なる寸法に応じて、枠板としてのＸ軸上辺パネル受け７５、Ｘ軸下辺パネル受け８０、Ｙ軸左辺パネル受け８４、Ｙ軸右辺パネル受け９０を移動させてワークテーブルベース２３の開口２３Ａを調整するための機構である。ワークテーブルベース２３は、図３，４に示すように、四角形板状に形成されると共に、その中央位置に四角形状の開口２３Ａが設けられている。可動枠機構３０はこのワークテーブルベース２３に重ねて設けられ、ワークテーブルベース２３の開口２３Ａを覆う可動枠機構３０の開口３０Ａ（図１参照）が、液晶パネル２２の大きさに応じて調整されるようになっている。
【００４４】
可動枠機構３０は、図１〜４に示すように、Ｙ軸移動機構３３と、Ｘ軸移動機構３４とから構成されている。
【００４５】
Ｙ軸移動機構３３は、可動枠機構３０の開口３０ＡのＹ軸方向（図１中の上下方向）の調整をするための機構である。このＹ軸移動機構３３は、レール３６と、ガイド３７と、上側ベース板３８と、下側ベース板３９と、Ｙ軸駆動部４０とから構成されている。
【００４６】
レール３６は、ワークテーブルベース２３に２本設けられている。具体的には、２本のレール３６は、ワークテーブルベース２３の開口２３Ａを挟んでＸ軸方向（図１中の左右方向）の両側においてＹ軸方向にそれぞれ並列に配設されている。
【００４７】
ガイド３７は、各レール３６に嵌合されて、Ｙ軸方向にスライド可能に支持されている。
【００４８】
上側ベース板３８は、ガイド３７に支持されてＹ軸方向にスライド可能に取り付けられている。下側ベース板３９は、上側ベース板３８と同様に、ガイド３７に支持されてＹ軸方向にスライド可能に取り付けられている。上側ベース板３８と下側ベース板３９とは、ワークテーブルベース２３の開口２３Ａを挟んで両側に配設されている。
【００４９】
Ｙ軸駆動部４０は、上側ベース板３８及び下側ベース板３９をＹ軸方向に移動させるための機構である。このＹ軸駆動部４０は、上側ベース板３８用と下側ベース板３９用の２つが設けられている。Ｙ軸駆動部４０は、ワークテーブルベース２３に前記レール３６と平行に配設されている。Ｙ軸駆動部４０は、ボールネジ４２と、軸受け４３と、移動ナット４４と、駆動モータ４５とから構成されている。
【００５０】
ボールネジ４２は、外周面にネジ山が刻まれた棒材である。軸受け４３は、ボールネジ４２をその両端部で回転可能に支持するための部材である。この軸受け４３によってボールネジ４２が、その両端を回転可能に支持されてＹ軸方向に配設されている。移動ナット４４は、上側ベース板３８及び下側ベース板３９をＹ軸方向に移動させるための部材である。この移動ナット４４は、上側ベース板３８及び下側ベース板３９にそれぞれ固定された状態でボールネジ４２にねじ込まれて、このボールネジ４２の回転によってＹ軸方向に移動されるようになっている。駆動モータ４５は、ボールネジ４２を回転駆動するためのモータである。駆動モータ４５は、ワークテーブルベース２３側に固定された状態で、ボールネジ４２の一端に連結されている。
【００５１】
Ｘ軸移動機構３４は、可動枠機構３０の開口３０ＡのＸ軸方向の調整をするための機構である。このＸ軸移動機構３４は、図２，３，５に示すように、Ｘ軸上辺フレーム部４８と、Ｘ軸下辺フレーム部４９と、Ｙ軸右辺フレーム部５０と、Ｙ軸左辺フレーム部５１と、Ｘ軸下辺駆動部５２と、Ｘ軸上辺駆動部５３とから構成されている。Ｘ軸上辺フレーム部４８とＸ軸下辺フレーム部４９とＹ軸右辺フレーム部５０とＹ軸左辺フレーム部５１とは、ワークテーブルベース２３の開口２３Ａを覆うように設けられている。
【００５２】
Ｘ軸上辺フレーム部４８は、Ｘ軸方向に配設された棒状部材である。このＸ軸上辺フレーム部４８は、断面Ｃ字型に形成されている。具体的には、Ｘ軸上辺フレーム部４８は、四角形筒状に形成され、その内側面（図５中の左下側面）の全長に亘ってスリット４８Ａが設けられている。Ｘ軸上辺フレーム部４８の内部の上側面には、その全長に亘ってレール５４（図２参照）が設けられている。Ｘ軸上辺フレーム部４８の一端部（図５中の右端部）には２つのガイド５５が設けられている。Ｘ軸上辺フレーム部４８の一端部は、Ｙ軸方向に拡大され、２つのガイド５５がＹ軸方向に直列に並べて配設されている。この２つのガイド５５に後述するＹ軸右辺フレーム部５０のレール６５が嵌合されて、Ｙ軸右辺フレーム部５０がＸ軸上辺フレーム部４８の一端部に、Ｙ軸方向にスライド可能に支持されている。
【００５３】
Ｘ軸上辺フレーム部４８の下側面には、その全長に亘ってレール５６（図２参照）が設けられ、上側ベース板３８に設けられたガイド５７に嵌合されている。これにより、Ｘ軸上辺フレーム部４８は、上側ベース板３８に対してＸ軸方向にスライド可能に支持されている。
【００５４】
Ｘ軸下辺フレーム部４９は、Ｘ軸上辺フレーム部４８と並列にＸ軸方向に配設された棒状部材である。このＸ軸下辺フレーム部４９は、Ｘ軸上辺フレーム部４８と同様に断面Ｃ字型に形成されている。具体的には、Ｘ軸下辺フレーム部４９は、四角形筒状に形成され、その内側（図４中の右上側）の全長に亘ってスリット４９Ａが設けられている。Ｘ軸下辺フレーム部４９の内部の上側面には、その全長に亘ってレール６０が設けられている。
【００５５】
Ｘ軸下辺フレーム部４９の他端部は、Ｙ軸方向に拡大され、２つのガイド(図示せず)がＹ軸方向に直列に並べて配設されている。この２つのガイドに後述するＹ軸左辺フレーム部５１のレール６１が嵌合されて、Ｙ軸左辺フレーム部５１がＸ軸下辺フレーム部４９の他端部に、Ｙ軸方向にスライド可能に支持されている。Ｘ軸下辺フレーム部４９の下側面には、その全長に亘ってレール６２が設けられ、下側ベース板３９に設けられたガイド６３に嵌合されている。これにより、Ｘ軸下辺フレーム部４９は、下側ベース板３９に対してＸ軸方向にスライド可能に支持されている。
【００５６】
Ｙ軸右辺フレーム部５０は、Ｙ軸方向に配設された棒状部材である。このＹ軸右辺フレーム部５０は、ほぼ断面四角形状に形成されている。具体的には、Ｙ軸右辺フレーム部５０は、四角形棒状に形成され、その下側の全長に亘ってレール溝５０Ａが設けられている。このレール溝５０Ａに、その全長に亘ってレール６５が設けられている。このレール６５がＸ軸上辺フレーム部４８の２つのガイド５５に嵌合して、Ｙ軸右辺フレーム部５０がＸ軸上辺フレーム部４８に対してＹ軸方向にスライド可能に支持されている。
【００５７】
Ｙ軸右辺フレーム部５０の一端部（図５中の左下側端部）には、Ｘ軸下辺フレーム部４９への係止部６６が設けられている。この係止部６６は、Ｙ軸右辺フレーム部５０の一端部から延出した下側板部６７と、この下側板部６７の上側面に設けられたガイド６８とから構成されている。そして、下側板部６７がＸ軸下辺フレーム部４９のスリット４９Ａから内部に挿入され、ガイド６８がＸ軸下辺フレーム部４９の内部のレール６０に嵌合されている。これにより、Ｙ軸右辺フレーム部５０がＸ軸下辺フレーム部４９に対して、Ｙ軸方向の移動が規制された状態でＸ軸方向にスライド可能に支持されている。
【００５８】
Ｙ軸左辺フレーム部５１は、Ｙ軸右辺フレーム部５０と同様に、Ｙ軸方向に配設された棒状部材である。このＹ軸左辺フレーム部５１は、ほぼ断面四角形状に形成され、その下側の全長に亘ってレール溝５１Ａが設けられている。このレール溝５１Ａに、その全長に亘ってレール６１が設けられている。このレール６１がＸ軸下辺フレーム部４９の２つのガイドに嵌合して、Ｙ軸左辺フレーム部５１がＹ軸方向にスライド可能に支持されている。
【００５９】
Ｙ軸左辺フレーム部５１の他端部には、Ｘ軸上辺フレーム部４８への係止部(図示せず)が設けられている。この係止部は、Ｙ軸右辺フレーム部５０の係止部６６と同様に構成されている。そして、この係止部によって、Ｙ軸左辺フレーム部５１がＸ軸上辺フレーム部４８に対して、Ｙ軸方向の移動が規制された状態でＸ軸方向にスライド可能に支持されている。
【００６０】
Ｘ軸下辺駆動部５２は、Ｘ軸下辺フレーム部４９をＸ軸方向に移動させるための装置である。Ｘ軸下辺駆動部５２は、ボールネジ７０と、軸受け７１と、移動ナット７２と、駆動モータ７３とから構成されている。
【００６１】
ボールネジ７０は、外周面にネジ山が刻まれた棒材である。このボールネジ７０は、下側ベース板３９にＸ軸方向に向けて設けられている。軸受け７１は、ボールネジ７０をその両端部で回転可能に支持するための部材である。移動ナット７２は、Ｘ軸下辺フレーム部４９をＸ軸方向に移動させるための部材である。この移動ナット７２は、Ｘ軸下辺フレーム部４９に固定された状態でボールネジ７０にねじ込まれて、このボールネジ７０の回転によってＸ軸方向に移動されるようになっている。駆動モータ７３は、ボールネジ７０を回転駆動するためのモータである。駆動モータ７３は、軸受け７１に固定された状態で、ボールネジ７０の一端に連結されている。
【００６２】
Ｘ軸上辺駆動部５３は、Ｘ軸上辺フレーム部４８をＸ軸方向に移動させるための装置である。Ｘ軸上辺駆動部５３は、Ｘ軸下辺駆動部５２と同様に、ボールネジと、軸受けと、移動ナットと、駆動モータ(いずれも図示せず)とから構成されている。
【００６３】
Ｘ軸上辺フレーム部４８には、Ｘ軸上辺パネル受け７５が取り付けられている。Ｘ軸上辺パネル受け７５は、検査対象の液晶パネル２２を受けると共にコンタクトユニット３１を支持するための枠板である。このＸ軸上辺パネル受け７５は、パネル受け部７６と、コンタクトユニット支持部７７とから構成されている。
【００６４】
パネル受け部７６は、検査対象の液晶パネル２２を支持するための部分である。このパネル受け部７６は、Ｘ軸上辺パネル受け７５のうち先端側（液晶パネル２２側）の部分を隆起させて設けられている。パネル受け部７６には、３箇所の位置にパネル位置決め用のパネルプッシャー７８が設けられている。
【００６５】
コンタクトユニット支持部７７は、コンタクトユニット３１を取り付けるための平坦面状の部分である。このコンタクトユニット支持部７７は、パネル受け部７６の基端側に形成されている。
【００６６】
Ｘ軸下辺フレーム部４９には、Ｘ軸下辺パネル受け８０（図１参照）が取り付けられている。Ｘ軸下辺パネル受け８０は、検査対象の液晶パネル２２を受けるための枠板である。このＸ軸下辺パネル受け８０は、パネル受け部８１を備えて構成されている。パネル受け部８１には、３箇所の位置にパネル位置決めピン８２が設けられている。
【００６７】
Ｙ軸左辺フレーム部５１には、Ｙ軸左辺パネル受け８４が取り付けられている。Ｙ軸左辺パネル受け８４は、検査対象の液晶パネル２２を受けると共にコンタクトユニットを支持するための枠板である。このＹ軸左辺パネル受け８４は、パネル受け部８５と、コンタクトユニット支持部８６とから構成されている。
【００６８】
パネル受け部８５は、検査対象の液晶パネル２２を支持するための枠板である。このパネル受け部８５は、Ｙ軸左辺パネル受け８４のうち先端側（液晶パネル２２側）の部分を隆起させて設けられている。パネル受け部には、３箇所の位置にパネル位置決め用のパネルプッシャー８７が設けられている。
【００６９】
コンタクトユニット支持部８６は、コンタクトユニット３１を取り付けるための平坦面状の部分である。このコンタクトユニット支持部８６は、パネル受け部８５の基端側に形成されている。
【００７０】
Ｙ軸右辺フレーム部５０には、Ｙ軸右辺パネル受け９０が取り付けられている。Ｙ軸右辺パネル受け９０は、検査対象の液晶パネル２２を受けるための枠板である。このＹ軸右辺パネル受け９０は、パネル受け部９１を備えて構成されている。パネル受け部９１には、３箇所の位置にパネル位置決めピン９２が設けられている。
【００７１】
コンタクトユニット３１は、プローブ針(図示せず)を支持して液晶パネル２２の多数の電極（端子）２２Ａに整合するように位置合わせして接触させるための機構である。このコンタクトユニット３１は、可動枠機構３０の各パネル受けに一体的に取り付けられている。これにより、ワークテーブルベース２３とプローブユニット９５とが一体型の装置として構成されている。コンタクトユニット３１は、図６〜８に示すように、プローブユニット９５と、先端側移動ブロック９６と、基端側移動ブロック９７と、位置調整機構９８とから構成されている。
【００７２】
プローブユニット９５は、多数のプローブ針を支持して液晶パネル２２の端子２２Ａに接触させるための部材である。このプローブユニット９５は、プローブベース１００と、プローブブロック１０１と、アライメントカメラ１０２とから構成されている。
【００７３】
プローブベース１００は、プローブブロック１０１とアライメントカメラ１０２とを一体的に支持する板材である。このプローブベース１００が、先端側移動ブロック９６に取り付けられる。
【００７４】
プローブブロック１０１は、その先端に多数のプローブ針(図示せず)を支持して、液晶パネル２２の各端子２２Ａにそれぞれ接触させるための部材である。プローブブロック１０１は、側面形状がＬ字型に形成されている。このＬ字型のプローブブロック１０１は、その基端側がプローブベース１００に支持されて、先端側がプローブベース１００から下方（装着された液晶パネル側）へ延出して構成されている。プローブブロック１０１は、液晶パネルの端子数に合わせた個数だけ取り付けられる。本実施形態では、３個のプローブブロックがプローブベース１００に取り付けられているが、１個、２個又は４個以上のプローブブロック１０１がプローブベース１００に取り付けられる場合もある。各プローブブロック１０１はプローブベース１００の設定位置に取り付けられる。
【００７５】
アライメントカメラ１０２は、プローブブロックの先端のプローブ針を、液晶パネルの端子位置に整合させるためのアライメントマーク２２Ｂを写すためのカメラである。このアライメントカメラ１０２は、プローブベース１００の設定位置に取り付けられている。これにより、アライメントカメラ１０２が液晶パネル２２のアライメントマーク２２Ｂ（図１２参照）に対して自己の位置を調整することで、このアライメントカメラ１０２に対して設定間隔で配設された各プローブブロック１０１の位置を液晶パネルの端子に整合する位置に調整できるようになっている。
【００７６】
このとき、プローブベース１００に設置されるプローブブロック１０１の個数は、各プローブブロック１０１の設置間隔に応じて設定される。液晶パネル２２の熱膨張による変化量（端子２２Ａの移動量）は、長さ（間隔）に比例するためである。液晶パネル２２の寸法が大きくなると、その寸法に比例して熱膨張量（端子２２Ａの移動量）が変化する。例えば、同じ熱膨張係数の液晶パネルの場合、寸法が２倍になれば、熱膨張量も２倍になる。図１３に示すように、６個のプローブブロック１０１を配設した場合であってプローブブロック１０１の個数に変化がないとすると、液晶パネルの寸法が２倍になると、各プローブブロック１０１の間隔は２倍になる。これにより、アライメントカメラ１０２の隣のプローブブロック１０１と、最も離れたプローブブロック１０１との間隔も２倍になる。
【００７７】
そして、プローブベース１００は、熱による影響をほとんど受けないため、熱膨張はほとんどないが、液晶パネル２２は、熱膨張量が２倍になる。即ち、アライメントカメラ１０２の隣のプローブブロック１０１のプローブ針と、それに対応した端子２２Ａとを整合させると、アライメントカメラ１０２と最も離れたプローブブロック１０１と、それに対応した端子２２Ａとが大きくずれてしまう。これは、プローブブロック１０１側では、アライメントカメラ１０２の隣のプローブブロック１０１と、最も離れたプローブブロック１０１との間隔がほとんど変化しないのに対して、液晶パネル２２側では、プローブベース１００の両側の各プローブブロック１０１に対応した各端子２２Ａの間は、液晶パネルの寸法が２倍になるのに伴って、その熱膨張量が２倍になるためである。
【００７８】
この結果、図１３中のＡ点のように、プローブ針と端子２２Ａとが完全にずれてしまうことがある。この場合、プローブベース１００で全てのプローブブロック１０１を同時にずらしても、各プローブ針を各端子２２Ａに整合させるのは不可能である。
【００７９】
このため、各プローブブロック１０１は、図１３のように全てを一体的に取り付けるのではなく、図１４のように３個ずつ別々に取り付ける。即ち１つのコンタクトユニット３１に３つのプローブブロック１０１を取り付ける。なお、熱膨張量は、バックライト２７の発熱量や、液晶パネル２２の寸法等によって異なるため、諸条件に応じて、プローブベース１００に配設されるプローブブロック１０１の個数を、１，２又は４つ以上に設定する場合もある。
【００８０】
コンタクトユニット３１が２つ配設される場合は、図１４に示すように、２つのプローブユニット９５がそれぞれ配設され、各プローブユニット９５のアライメントカメラ１０２がそれぞれのプローブユニット９５を位置合わせして、各プローブブロック１０１のプローブ針を各端子２２Ａに整合させることで、液晶パネル２２の熱膨張を吸収する。
【００８１】
先端側移動ブロック９６は、プローブユニット９５を支持してプローブ針を液晶パネル２２の各端子２２Ａに接触させるための部材である。先端側移動ブロック９６は、支持板１０５と、先端側連結ブロック１０６と、ガイド１０７と、移動規制ローラ１０８と、上端側バネ受け１０９とから構成されている。
【００８２】
支持板１０５は、プローブユニット９５を支持するための板材である。この支持板１０５は、断面Ｌ字型に形成され、プローブユニット９５が取り付けられている。具体的には、プローブユニット９５のプローブベース１００の下側面と背面とが、断面Ｌ字型の支持板１０５に直接的に当接して、プローブ針の２方向の位置決めがなされている。即ち、支持板１０５に対するプローブ針の繰り出し方向（図８中の右方向）の位置と、支持板１０５に対するプローブ針の上下方向の位置との、プローブ針の２方向の位置決めがなされている。これにより、前記位置調整機構９８で、プローブユニット９５の長手方向（図１１の左右方向）の位置決めがなされることで、プローブ針のＸＹＺ方向の位置決めがなされるようになっている。これにより、先端側移動ブロック９６が繰り出された最終位置（図１０の位置）で、プローブ針が液晶パネル２２の端子２２Ａに正確に位置決めされて接触するようになっている。
【００８３】
先端側連結ブロック１０６は、後述する基端側移動ブロック９７の基端側連結ブロック１１９に連結して上下に移動するようになっている。具体的には、先端側連結ブロック１０６は、楔状に形成されて支持板１０５の背面（図８中の左側面）に一体的に設けられ、基端側連結ブロック１１９との当接面が斜め（図８中の上端が右方向へ傾斜した状態）になるように設定されている。
【００８４】
ガイド１０７は、後述する基端側移動ブロック９７の基端側連結ブロック１１９の傾斜レール１２０に嵌合して斜めに移動するようになっている。ガイド１０７は、先端側連結ブロック１０６の傾斜面に取り付けられ、基端側連結ブロック１１９の傾斜レール１２０に嵌合して斜めに移動することで先端側連結ブロック１０６を上下に移動させるようになっている。
【００８５】
移動規制ローラ１０８は、先端側移動ブロック９６の移動を規制するためのローラである。この移動規制ローラ１０８は、水平方向に配設された支持柱１１１の先端に取り付けられている。移動規制ローラ１０８は、後述する基端側移動ブロック９７の第３ストッパ１２５に当接することで、先端側移動ブロック９６の繰り出し方向の移動を規制すると共に、先端側移動ブロック９６の上下方向の移動を許容する。さらに、移動規制ローラ１０８が基端側移動ブロック９７の第３ストッパ１２５に当接することで、プローブ針が液晶パネル２２の端子２２Ａの直上まで移動して停止するように設定されている。
【００８６】
上端側バネ受け１０９は、先端側移動ブロック９６に取り付けられて、この先端側移動ブロック９６を上方へ付勢するバネ１２６をその上端から支持するための部材である。この上端側バネ受け１０９でバネ１２６の上端部を支持することで、このバネ１２６の付勢力によって先端側移動ブロック９６が上方へ付勢されるようになっている。
【００８７】
基端側移動ブロック９７は、先端側移動ブロック９６を支持して繰り出し、プローブユニット９５の先端のプローブ針を液晶パネル２２の端子２２Ａに接触させるための機構である。この基端側移動ブロック９７は、移動ベース板１１５と、レール１１６と、ガイド１１７と、移動板１１８と、基端側連結ブロック１１９と、傾斜レール１２０と、下端側バネ受け１２１と、第２ストッパ１２２と、当接部１２３と、繰り出し機構１２４（復動シリンダ）と、第３ストッパ１２５とから構成されている。
【００８８】
移動ベース板１１５は、全体を支持するための板材である。移動ベース板１１５は、位置調整機構９８に支持されている。レール１１６は、移動ベース板１１５の繰り出し方向に沿って２本配設されている。ガイド１１７は移動板１１８の下側面に取り付けられている。ガイド１１７はレール１１６にスライド可能に嵌合して移動板１１８を支持している。移動板１１８は、液晶パネル２２側へ繰り出される板材である。この移動板１１８は、断面Ｌ字状に形成され、その平板部１１８Ａの下側面にガイド１１７が取り付けられている。これにより、移動板１１８は、レール１１６に支持されたガイド１１７を介して、繰り出し方向にスライド可能に支持されている。
【００８９】
基端側連結ブロック１１９は、前記先端側移動ブロック９６の先端側連結ブロック１０６と協働して先端側移動ブロック９６を上下に移動させるための部材である。この基端側連結ブロック１１９は、移動板１１８の縦板部１１８Ｂのうち、前記先端側移動ブロック９６の先端側連結ブロック１０６に対向する位置にそれぞれ設けられている。基端側連結ブロック１１９は、楔状に形成されて、先端側連結ブロック１０６の当接面に整合するように傾斜した当接面を備えている。
【００９０】
傾斜レール１２０は、前記先端側移動ブロック９６の上下への移動を案内するためのレールである。この傾斜レール１２０は、基端側連結ブロック１１９の傾斜した当接面に設けられている。
【００９１】
下端側バネ受け１２１は、先端側移動ブロック９６を上方へ付勢するバネ１２６をその下側から支持するための部材である。この下端側バネ受け１２１は、移動板１１８の縦板部１１８Ｂの下部において、前記上端側バネ受け１０９に対向する位置に設けられている。そして、下端側バネ受け１２１は、バネ１２６の下端部を支持することで、このバネ１２６に付勢力によって上端側バネ受け１０９を介して先端側移動ブロック９６を上方へ付勢するようになっている。
【００９２】
第２ストッパ１２２は、移動板１１８の移動を規制するためのストッパである。この第２ストッパ１２２の位置は、移動板１１８の当接部１２３に当接することで、プローブブロック１０１の先端のプローブ針が、液晶パネル２２の端子２２Ａの直上まで移動して、さらに下方へ降下されて液晶パネル２２の端子２２Ａに接触しオーバードライブがかかるように設定されている。
【００９３】
当接部１２３は、第２ストッパ１２２と協働して移動板１１８の移動を規制するための部材である。当接部１２３は、移動板１１８の両端部にそれぞれ設けられ、各第２ストッパ１２２にそれぞれ当接することで、上述のように移動板１１８の移動量を規制している。
【００９４】
繰り出し機構１２４は、移動板１１８を前方へ繰り出すための機構である。この繰り出し機構１２４は、復動シリンダによって構成されている。復動シリンダは、移動ベース板１１５に固定されて、この復動シリンダの連結棒が移動板１１８に連結されて、この連結棒の復動シリンダからの出没動作によって移動板１１８を移動させるようになっている。
【００９５】
第３ストッパ１２５は、移動板１１８の液晶パネル２２側への繰り出し量を規制すると共に、先端側移動ブロック９６のバネ１２６による上昇位置を規制するための部材である。第３ストッパ１２５は、規制支柱部１２５Ａと、規制ローラ部１２５Ｂとから構成されている。規制支柱部１２５Ａは、垂直方向に配設されて、移動ベース板１１５に固定されている。この規制支柱部１２５Ａに移動規制ローラ１０８が当接することで、先端側移動ブロック９６の液晶パネル２２側への繰り出し量が規制されると共に、先端側移動ブロック９６の上下方向への移動が許容される。規制ローラ部１２５Ｂは、規制支柱部１２５Ａの上端部に設けられ、先端側移動ブロック９６の支持柱１１１に当接するようになっている。この規制ローラ部１２５Ｂが支持柱１１１に当接することで、バネ１２６で押し上げられる先端側移動ブロック９６の上限を規制している。
【００９６】
位置調整機構９８は、移動ベース板１１５を介してプローブユニット９５を左右方向（液晶パネル２２の一辺に沿うプローブユニットの長手方向）に移動させるための駆動機構である。この位置調整機構９８は、液晶パネル２２の熱膨張や品種の違いによる各端子２２Ａのズレを、プローブユニット９５の位置調整によって吸収する。位置調整機構９８は、レール１３１と、ガイド１３２と、移動機構１３３とから構成されている。レール１３１は、パネル受け７５，８４に、その左右方向に平行に２本配設して構成されている。ガイド１３２は、レール１３１にスライド可能に嵌合されている。このガイド１３２が移動ベース板１１５に取り付けられて、移動ベース板１１５を左右方向にスライド可能に支持している。移動機構１３３は、移動ベース板１１５を左右方向に移動させるための機構である。この移動機構１３３は、ボールネジ１３５と、軸受け１３６と、移動ナット１３７と、駆動モータ１３８とから構成されている。
【００９７】
ボールネジ１３５は、外周面にネジ山が刻まれた棒材である。軸受け１３６は、ボールネジ１３５をその両端部で回転可能に支持するための部材である。移動ナット１３７は、移動ベース板１１５を左右方向に移動させるための部材である。この移動ナット１３７は、移動ベース板１１５に固定された状態でボールネジ１３５にねじ込まれて、このボールネジ１３５の回転によって左右方向に移動されるようになっている。駆動モータ１３８は、ボールネジ１３５を回転駆動するためのモータである。駆動モータ１３８は、軸受け１３６に固定された状態で、ボールネジ１３５の一端に連結されている。
【００９８】
前記各駆動モータ等は、制御部(図示せず)にそれぞれ接続されて、制御部で駆動量が正確に制御されるようになっている。この制御部での制御方法としては、自動制御と手動制御がある。自動制御の場合は、液晶パネル２２の種類に応じて各駆動モータの制御量が予めプルグラムされ、このプログラムによって各駆動モータが制御される。手動制御の場合は、液晶パネル２２の種類に応じて各駆動モータの制御量を作業者が逐次入力して、各駆動モータが制御される。また、位置調整機構９８の駆動モータ１３８は、プローブユニット９５のアライメントカメラ１０２と連動され、アライメントカメラ１０２の基準点と液晶パネル２２のアライメントマーク２２Ｂとのズレ量をゼロにするように、自動制御又は手動制御される。
【００９９】
［動作］
以上のように構成された電気検査装置は、次のように動作する。
【０１００】
品種の違う液晶パネル２２を検査する場合は、まず、可動式プローブユニット機構２１の可動枠機構３０が液晶パネル２２の寸法に合わされる。可動枠機構３０では、Ｙ軸移動機構３３とＸ軸移動機構３４とが作動して、開口３０Ａが液晶パネル２２の大きさに調整される。
【０１０１】
Ｙ軸移動機構３３では、Ｙ軸駆動部４０の駆動モータ４５が作動されて、ボールネジ４２と移動ナット４４とを介して、上側ベース板３８と下側ベース板３９がＹ軸方向に設定量だけ移動される。これにより、上側ベース板３８と下側ベース板３９のそれぞれ取り付けられたＸ軸上辺パネル受け７５とＸ軸下辺パネル受け８０の間隔が液晶パネル２２に合わされる。
【０１０２】
このとき、Ｙ軸左辺パネル受け８４は、Ｘ軸上辺パネル受け７５側に押されてＹ軸方向下方へ移動すると共に、Ｘ軸下辺パネル受け８０のＹ軸方向上方へ移動を許容する。即ち、Ｙ軸左辺パネル受け８４を支持するＹ軸左辺フレーム部５１が、Ｘ軸上辺パネル受け７５を支持するＸ軸上辺フレーム部４８に押されてＹ軸方向下方へ移動して、Ｙ軸左辺パネル受け８４をＹ軸方向下方へ移動させる。Ｘ軸下辺パネル受け８０を支持するＸ軸下辺フレーム部４９は、Ｙ軸左辺フレーム部５１に対してＹ軸方向にスライド可能に支持されているため、Ｙ軸左辺フレーム部５１がＸ軸上辺フレーム部４８で押されてＹ軸方向下方へ移動することでＹ軸左辺パネル受け８４をＹ軸方向下方へ移動させ、Ｙ軸左辺フレーム部５１に対してＹ軸方向にスライド可能に支持されたＸ軸下辺フレーム部４９をＹ軸方向上方へ移動することでＸ軸下辺パネル受け８０をＹ軸方向上方へ移動させる。
【０１０３】
Ｙ軸右辺パネル受け９０の場合も、Ｙ軸左辺パネル受け８４と同様に、Ｘ軸下辺パネル受け８０側に押されてＹ軸方向上方へ移動すると共に、Ｘ軸上辺パネル受け７５のＹ軸方向下方への移動を許容する。
【０１０４】
これにより、Ｘ軸上辺パネル受け７５とＸ軸下辺パネル受け８０との間隔が、液晶パネル２２のＹ軸方向の寸法に整合される。
【０１０５】
次いで、Ｘ軸移動機構３４のＸ軸下辺駆動部５２の駆動モータ７３が作動されて、ボールネジ７０と移動ナット７２とを介してＸ軸下辺フレーム部４９がＸ軸方向に移動される。これにより、Ｘ軸下辺フレーム部４９に引かれてＹ軸左辺フレーム部５１がＸ軸方向に移動される。その一方で、Ｙ軸右辺フレーム部５０は、Ｘ軸下辺フレーム部４９の移動と逆方向に移動される。
【０１０６】
Ｘ軸移動機構３４のＸ軸上辺駆動部５３の駆動モータ(図示せず)が作動されて、ボールネジと移動ナットとを介してＸ軸上辺フレーム部４８がＸ軸方向に移動される。これにより、Ｘ軸上辺フレーム部４８に引かれてＹ軸右辺フレーム部５０がＸ軸方向に移動される。その一方で、Ｙ軸左辺フレーム部５１は、Ｘ軸上辺フレーム部４８の移動と逆方向に移動される。
【０１０７】
これにより、Ｙ軸左辺パネル受け８４とＹ軸右辺パネル受け９０とが、液晶パネル２２のＸ軸方向の寸法に整合される。
【０１０８】
この状態で、Ｘ軸上辺パネル受け７５のパネルプッシャー７８と、Ｙ軸左辺パネル受け８４のパネルプッシャー８７と、Ｘ軸下辺パネル受け８０のパネル位置決めピン８２と、Ｙ軸右辺パネル受け９０のパネル位置決めピン９２とで、液晶パネル２２が正確な位置に整合されて支持される。
【０１０９】
次に、可動式プローブユニット機構２１で、プローブ針と液晶パネル２２の端子２２Ａとの位置あわせが行われる。この場合において、プローブ針の繰り出し方向と、高さ方向は、Ｘ軸上辺パネル受け７５とＹ軸左辺パネル受け８４が位置あわせされた時点で同時に位置あわせされる。即ち、液晶パネル２２が、Ｘ軸上辺パネル受け７５のパネルプッシャー７８と、Ｙ軸左辺パネル受け８４のパネルプッシャー８７とに当接することが、コンタクトユニット３１と液晶パネル２２との繰り出し方向に間隔が設定値になり、プローブ針の繰り出し方向の位置合わせがなされる。また、液晶パネル２２が、Ｘ軸上辺パネル受け７５のパネル受け部７６と、Ｙ軸左辺パネル受け８４のパネル受け部８５とに載置されることで、コンタクトユニット３１と液晶パネル２２との上下方向に間隔が設定値になり、プローブ針の上下方向の位置合わせがなされる。
【０１１０】
このため、コンタクトユニット３１では、主にプローブ針の左右方向に位置あわせが行われる。具体的には、図１１，１２に示すように、プローブユニット９５のアライメントカメラ１０２が液晶パネル２２のアライメントマーク２２Ｂを写して、画像処理等によって基準点とのズレ量を測定し、そのズレ量をゼロにするように、駆動モータ１３８を制御する。これにより、ボールネジ１３５が設定角度（ズレ量をゼロにする角度）だけ回転して移動ナット１３７を設定量だけ移動させる。これにより、移動ベース板１１５が左右へ設定量だけ移動して、プローブブロック１０１のプローブ針が液晶パネル２２の端子２２Ａに整合する。
【０１１１】
このコンタクトユニット３１のプローブ針の左右方向の位置あわせは、品種交換時に行われると共に、液晶パネル２２の熱膨張によって端子２２Ａがずれたときにも行われる。アライメントカメラ１０２で常時監視して、制御部による制御で、常に微調整するように設定してもよい。特に、液晶パネル２２は、設置直後と、バックライト２７で熱せられた後とでは、熱膨張によって寸法が変わってしまうため、アライメントカメラ１０２で常時又は定期的に監視して、プローブ針の位置を常に又は定期的に微調整するように設定することで、熱膨張による影響を吸収して、各プローブ針を各端子２２Ａに対して正確な位置に調整することができる。なお、熱膨張を見越した位置に予め調整しておく場合もある。
【０１１２】
次に、プローブ針を液晶パネル２２の端子２２Ａに接触させて検査が行われる。
【０１１３】
この場合は、まず、図８の退避状態から、基端側移動ブロック９７の繰り出し機構１２４で、先端側移動ブロック９６を液晶パネル２２側へ繰り出す。具体的には、繰り出し機構１２４で移動板１１８を押し出す。これにより、図９に示すように、先端側移動ブロック９６の移動規制ローラ１０８が第３ストッパ１２５の規制支柱部１２５Ａに当接するまで移動板１１８が押し出され、当接したところで先端側移動ブロック９６の繰り出しは停止する。
【０１１４】
さらに、繰り出し機構１２４で移動板１１８を押し出すと、基端側連結ブロック１１９の傾斜レール１２０に嵌合した先端側連結ブロック１０６のガイド１０７が傾斜に沿って下方へ押され、第３ストッパ１２５の規制支柱部１２５Ａに当接した移動規制ローラ１０８に支持されて、先端側移動ブロック９６が下方へ降下する。この先端側移動ブロック９６は、移動板１１８の当接部１２３が第２ストッパ１２２に当接するまで降下して、プローブ針が液晶パネル２２の端子２２Ａに接触し、オーバードライブがかかる。
【０１１５】
この状態で、点灯試験が行われる。
【０１１６】
点灯試験が終了したら、上記工程を逆に辿って待機状態に戻す。
【０１１７】
［効果］
以上のように、プローブユニット９５は、そのアライメントカメラ１０２で、液晶パネル２２のアライメントマーク２２Ｂを写して、このアライメントマーク２２Ｂを基準にプローブユニット９５を左右方向に移動させて、プローブ針を液晶パネル２２の各端子２２Ａに整合させるため、液晶パネル２２の熱膨張による各端子２２Ａのズレや、液晶パネル２２の品種交換による各端子２２Ａのズレを吸収して、各プローブ針を各端子２２Ａに整合させることができる。
【０１１８】
また、可動枠機構３０で、品種の違う液晶パネル２２の異なる寸法に応じて、ワークテーブルベース２３の開口２３Ａを調整できるようにしたため、品種の違う液晶パネル２２に応じてワークテーブル等を交換する必要がなくなり、品種の違う液晶パネル２２に迅速に対応することができるようになる。この結果、液晶パネル２２の品種交換時の作業性が大幅に向上する。
【０１１９】
プローブユニット９５がブロック単位の構造となるため、重量物の交換作業が不要となり、液晶パネル２２の品種交換時の作業性が大幅に向上する。
【０１２０】
大型の液晶パネル２２に対して、大型のプローブユニットベースを製作する必要がなくなり、ランニングコストの低減を図ることができる。
【０１２１】
液晶パネル２２が大型になっても、プローブユニットやワークテーブル等を大型にする必要がなくなるため、荷重の偏り等を考慮する必要が無くなり、フレーム剛性、ガイド剛性等の種々の剛性を低く設計することができるようになり、装置全体の重量の軽減及び製造コストの低減を図ることができる。
【０１２２】
さらに、荷重の偏り等による歪みが小さくなるため、プローブ針と端子とのコンタクト時の信頼性を向上させることができる。
【０１２３】
コンタクトユニット３１によってプローブブロック１０１のプローブ針を液晶パネル２２の端子２２Ａに対して正確に位置合わせすることができるため、バックライトの熱により液晶パネル２２が膨張した場合でも容易に位置合わせして対応することができる。
【０１２４】
前記可動枠機構３０を、前記開口２３ＡのＹ軸方向の調整をするＹ軸移動機構３３と、前記開口２３ＡのＸ軸方向の調整をするＸ軸移動機構３４とを備えて構成されることで、前記Ｙ軸移動機構３３で前記開口２３ＡのＹ軸方向の調整をし、前記Ｘ軸移動機構３４で前記開口２３ＡのＸ軸方向の調整をする。この結果、前記開口２３Ａを、品種の違う液晶パネル２２の異なる寸法に容易に対応することができる。
【０１２５】
前記Ｙ軸移動機構３３を、レール３６と、ガイド３７と、上側ベース板３８と、下側ベース板３９と、Ｙ軸駆動部４０とを備えて構成し、前記レール３６は、前記開口２３Ａを挟んでＸ軸方向の両側においてＹ軸方向にそれぞれ並列に２つ配設され、前記ガイド３７は、前記各レール３６に嵌合されてＹ軸方向にスライド可能に支持され、前記上側ベース板３８は、前記ガイド３７に支持されてＹ軸方向にスライド可能に取り付けられ、前記下側ベース板３９は、前記上側ベース板３８と同様に、前記ガイド３７に支持されてＹ軸方向にスライド可能に取り付けられ、前記Ｙ軸駆動部４０は、前記上側ベース板３８及び前記下側ベース板３９をＹ軸方向に移動させるように構成し、この構成により、前記Ｙ軸駆動部４０で、前記ガイド３７に支持されてＹ軸方向にスライド可能に取り付けられた前記上側ベース板３８と、前記ガイド３７に支持されてＹ軸方向にスライド可能に取り付けられた前記下側ベース板３９とをＹ軸方向に移動させることで、前記開口２３ＡのＹ軸方向の調整を行う。
【０１２６】
この結果、前記Ｙ軸駆動部４０で、前記ガイド３７に支持されてＹ軸方向にスライド可能に取り付けられた前記上側ベース板３８と、前記ガイド３７に支持されてＹ軸方向にスライド可能に取り付けられた前記下側ベース板３９とをＹ軸方向に移動させることで、前記開口２３ＡのＹ軸方向の調整を行うため、前記開口２３ＡのＹ軸方向の寸法を、品種の違う液晶パネル２２の異なる寸法に容易に対応することができる。
【０１２７】
前記Ｘ軸移動機構３４は、Ｘ軸上辺フレーム部４８と、Ｘ軸下辺フレーム部４９と、Ｙ軸右辺フレーム部５０と、Ｙ軸左辺フレーム部５１と、Ｘ軸下辺駆動部５２と、Ｘ軸上辺駆動部５３とから構成され、前記Ｘ軸上辺フレーム部４８は、Ｘ軸方向に配設されてＸ軸方向にスライド可能に支持されると共に、その一端部に前記Ｙ軸右辺フレーム部５０をＹ軸方向にスライド可能に支持し、前記Ｘ軸下辺フレーム部４９は、前記Ｘ軸上辺フレーム部４８と並列にＸ軸方向に配設されてＸ軸方向にスライド可能に支持されると共に、その他端部に前記Ｙ軸左辺フレーム部５１をＹ軸方向にスライド可能に支持し、前記Ｙ軸右辺フレーム部５０は、Ｙ軸方向に配設されて前記Ｘ軸上辺フレーム部４８にＹ軸方向にスライド可能に支持された状態で、その一端部が前記Ｘ軸下辺フレーム部４９にＸ軸方向にスライド可能に支持され、前記Ｙ軸左辺フレーム部５１は、前記Ｙ軸右辺フレーム部５０と同様にＹ軸方向に配設されて前記Ｘ軸下辺フレーム部４９にＹ軸方向にスライド可能に支持された状態で、その他端部が前記Ｘ軸上辺フレーム部４８にＸ軸方向にスライド可能に支持され、前記Ｘ軸下辺駆動部５２は、前記Ｘ軸下辺フレーム部４９をＸ軸方向に移動させ、前記Ｘ軸上辺駆動部５３は、前記Ｘ軸上辺フレーム部４８をＸ軸方向に移動させることで、前記開口２３ＡのＸ軸方向の調整を行う。
【０１２８】
この結果、前記開口２３ＡのＸ軸方向の寸法を、品種の違う液晶パネル２２の異なる寸法に容易に対応することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】本発明の実施形態に係る電気検査装置の可動式プローブユニット機構を示す平面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る電気検査装置の可動式プローブユニット機構を示す側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る電気検査装置の可動式プローブユニット機構を示す一部破断斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る電気検査装置のＹ軸移動機構を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係る電気検査装置のＸ軸移動機構を示す一部破断斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係る電気検査装置のコンタクトユニットを示す斜視図である。
【図７】本発明の実施形態に係る電気検査装置のコンタクトユニットを示す一部破断斜視図である。
【図８】本発明の実施形態に係る電気検査装置の退避状態のコンタクトユニットを示す側面図である。
【図９】本発明の実施形態に係る電気検査装置の延出状態のコンタクトユニットを示す側面図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る電気検査装置の接触状態のコンタクトユニットを示す側面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る電気検査装置の接触状態のコンタクトユニットを示す平面図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る電気検査装置のコンタクトユニットの位置決め動作を示す概略平面図である。
【図１３】従来の電気検査装置のプローブユニットを示す平面図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る電気検査装置のプローブユニットを示す平面図である。
【符号の説明】
【０１３０】
１：電気検査装置、２：パネルセット部、３：測定部、２１：可動式プローブユニット機構、２２：液晶パネル、２３：ワークテーブルベース、２３Ａ：開口、２４：ベース板、２５：支柱、２６：トップベース、２７：バックライト、３０：可動枠機構、３０Ａ：開口、３１：コンタクトユニット、３３：Ｙ軸移動機構、３４：Ｘ軸移動機構、３６：レール、３７：ガイド、３８：上側ベース板、３９：下側ベース板、４０：Ｙ軸駆動部、４２：ボールネジ、４３：軸受け、４４：移動ナット、４５：駆動モータ、４８：Ｘ軸上辺フレーム部、４８Ａ：スリット、４９：Ｘ軸下辺フレーム部、４９Ａ：スリット、５０：Ｙ軸右辺フレーム部、５０Ａ：レール溝、５１：Ｙ軸左辺フレーム部、５１Ａ：レール溝、５２：Ｘ軸下辺駆動部、５３：Ｘ軸上辺駆動部、５４：レール、５５：ガイド、５６：レール、６０：レール、６１：レール、６２：レール、６３：ガイド、６５：レール、６６：係止部、６７：下側板部、６８：ガイド、７０：ボールネジ、７１：軸受け、７２：移動ナット、７３：駆動モータ、７５：Ｘ軸上辺パネル受け、７６：パネル受け部、７７：コンタクトユニット支持部、７８：パネルプッシャー、８０：Ｘ軸下辺パネル受け、８１：パネル受け部、８２：パネル位置決めピン、８４：Ｙ軸左辺パネル受け、８５：パネル受け部、８６：コンタクトユニット支持部、８７：パネルプッシャー、９０：Ｙ軸右辺パネル受け、９１：パネル受け部、９２：パネル位置決めピン、９５：プローブユニット、９６：先端側移動ブロック、９７：基端側移動ブロック、９８：位置調整機構、１００：プローブベース、１０１：プローブブロック、１０２：アライメントカメラ、１０５：支持板、１０６：先端側連結ブロック、１０７：ガイド、１０８：移動規制ローラ、１０９：上端側バネ受け、１１１：支持柱、１１５：移動ベース板、１１６：レール、１１７：ガイド、１１８：移動板、１１９：基端側連結ブロック、１２０：傾斜レール、１２１：下端側バネ受け、１２２：第２ストッパ、１２３：当接部、１２４：繰り出し機構、１２５：第３ストッパ、１２５Ａ：規制支柱部、１２５Ｂ：規制ローラ部、１３１：レール、１３２：ガイド、１３３：移動機構、１３５：ボールネジ、１３６：軸受け、１３７：移動ナット、１３８：駆動モータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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