(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物体の被検面に検査用照明光を照射する照明ユニットと、前記照明ユニットによる前記検査用照明光の照射を受けて前記被検面から出射される散乱光を受光する受光ユニットとを有して構成され、
前記照明ユニットによる前記検査用照明光の照射を受けて前記被検面から反射される正反射光の出射光軸が、前記被検面の法線に対してなす角度を出射角θｏとし、前記正反射光の開口角をδθｏとし、前記正反射光の出射光軸から前記受光ユニットの光軸を見込む角度をθｒとし、前記受光ユニットの開口角をδθｒとしたときに、
δθｏ  ＜  （θｒ−δθｒ）
θｒ  ≦  １０度
θｏ  ≦  ６０度
に設定されていることを特徴とする被検物体の表面欠陥検査装置。
【請求項２】
前記受光ユニットの光軸を見込む角度θｒが前記正反射光に対して暗視野の光学系を構成する角度範囲内で可能な限り小さな角度に設定され、且つ前記被検面から出射する回折光に対しても暗視野の光学系を構成する角度に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項３】
前記照明ユニットの光軸および前記正反射光の出射光軸を含む照明光軸面内に前記受光ユニットの光軸が位置することを特徴とする請求項１もしくは２に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項４】
前記被検物体、前記照明ユニットおよび前記受光ユニットの少なくともいずれかが、前記被検面と前記照明ユニットの光軸との交点を通り前記照明光軸面に垂直な回転軸を中心として回転可能に構成され、前記正反射光の出射角θｏおよび前記受光ユニットの光軸を見込む角度θｒの設定が変更可能であることを特徴とする請求項３に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項５】
前記正反射光の出射光軸を通り、前記照明ユニットの光軸および前記正反射光の出射光軸を含む照明光軸面に対して所定の角度θｓを有する受光光軸面内に、前記受光ユニットの光軸が位置しており、
前記受光ユニットの光軸を見込む角度θｒが、前記受光光軸面内において前記正反射光の出射光軸から前記受光ユニットの光軸を見込む角度であることを特徴とする請求項１もしくは２に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項６】
前記所定の角度θｓが９０度であることを特徴とする請求項５に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項７】
前記被検物体および前記照明ユニットの少なくともいずれかが、前記被検面と前記照明ユニットの光軸との交点を通り前記照明光軸面に垂直な回転軸を中心として回転可能に構成され、前記正反射光の出射角θｏを可変設定可能であり、
前記受光ユニットは、前記照明ユニットの光軸と前記被検面との交点を通り前記受光光軸面に垂直な回転軸を中心として回転可能に構成され、前記受光ユニットの光軸を見込む角度θｒの設定が変更可能であることを特徴とする請求項５もしくは６に記載の表面欠陥検査装置。
【請求項８】
前記被検物体が前記被検面に垂直な軸を中心として回転可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の表面欠陥検査装置。
【請求項９】
前記照明ユニットおよび前記受光ユニットの少なくともいずれかに波長選択手段を備えることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の表面欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、ＩＣチップ、液晶表示パネルに代表される半導体ウエハ等の製造工程において、この半導体ウエハ等の表面欠陥を検査する表面欠陥検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  ＩＣチップや液晶表示パネルはウエハ表面に種々の異なる回路パターンを何層にも積み重ねて構成されており、各回路パターンはフォトリソグラフィー工程等を用いてウエハ上に一層ずつ積み重ねるようにして形成される。この回路パターンの形成に際してウエハ表面に傷等の欠陥があると、最終製品としてのＩＣチップ等の作動不良等に結びつくため、製造工程における表面欠陥検査は非常に重要である。【０００３】  このような半導体ウエハ等の表面欠陥の検査は、従来は、ウエハ表面に種々の検査用照明光を様々な角度から照射し、被検物体となるウエハを回転又は揺動させながら検査員が目視観察して行われていた。但し、最近においては検査品質のバラツキを小さくし、検査の省力化、効率化を図るため、表面欠陥検査を自動化する要請も強くなっている。このようなことから、例えば、特開平１０−３３９７０１号に開示されているように、ウエハの表面に８０度〜８９度という大きな入射角で検査用照明光を照射し、ウエハの表面からの散乱光に基づいて表面欠陥の検査を行う装置が知られている。
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  このような散乱光を用いた表面欠陥検査では、上記のように８０度〜９０度という大きな入射角の照明光に対して、ウエハ表面上に付着した塵、ゴミや、ウエハ表面から突出するような傷からは確実に散乱光が発生するため、その検出が容易である。しかしながら、一般的にウエハ表面等に形成される傷は表面が凹状にえぐられて形成されており、上記のような大きな入射角の照明光に対して反射光があまり発生せず、散乱光を用いた従来の検査では凹状の傷等のような表面欠陥の検出が難しいという問題がある。
【０００５】  本発明はこのような問題に鑑み、被検物体の表面に形成された凹状の優等の有無を効率良く且つ確実に検出することができるような構成の表面欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
このような目的達成のため、本発明においては、被検物体の被検面に検査用照明光を照射する照明ユニットと、この照明ユニットによる検査用照明光の照射を受けて被検面から出射される散乱光を受光する受光ユニットとを有して表面欠陥検査装置が構成される。そして、照明ユニットによる検査用照明光の照射を受けて被検面から反射される正反射光の出射光軸が、前記被検面の法線に対してなす角度を出射角θｏとし、正反射光の開口角をδθｏとし、正反射光の出射光軸から受光ユニットの光軸を見込む角度をθｒとし、受光ユニットの開口角をδθｒとしたときに、下記の式（１），（２），（３）の関係が成り立つように各角度が設定される。
【０００７】【数１】
δθｏ  ＜  （θｒ−δθｒ）  ・・・（１）
θｒ  ≦  １０度              ・・・（２）
θｏ  ≦  ６０度              ・・・（３）
【０００８】  表面欠陥検査装置をこのように構成すれば、照明ユニットからの検査用照明光は被検面に対して小さな入射角で上方から照射され、被検面に形成された凹状の傷等からも確実に散乱光が出射する。ここで、検査用照明光の正反射光を受光せず且つ散乱光を最も効率良く受光する位置に受光ユニットを配置すれば、この散乱光を効率良く検出し、凹状の傷を精度良く検出できる。上記の式（１），（２），（３）の関係が検査用照明光の正反射光を受光することなく散乱光を効率良く受光するために要求される受光ユニットの位置を規定するものであり、本発明では上記式（１），（２），（３）を満足する位置関係に各ユニットを配設して表面欠陥検査装置を構成しており、これにより被検面の凹状の傷等も確実に検出できる。
【０００９】
なお、受光ユニットの光軸を見込む角度θｒを正反射光に対して暗視野の光学系を構成する角度範囲内（すなわち、正反射光が入り込まない角度範囲内）で可能な限り小さな角度（すなわち、正反射光の出射光軸に近い角度）に設定し、且つ被検面から出射する回折光に対しても暗視野の光学系を構成する角度（すなわち、回折光が入り込まない角度）に設定するのが好ましい。これにより散乱光を効率良く受光することができるとともに回折光の影響を受けることもない。
【００１０】
本発明において、照明ユニットの光軸および正反射光の出射光軸を含む照明光軸面内に受光ユニットの光軸が位置するように表面欠陥検査装置を構成することができる。この場合、被検物体、照明ユニットおよび受光ユニットの少なくともいずれかを、被検面と照明ユニットの光軸との交点を通り照明光軸面に垂直な回転軸を中心として回転可能に構成し、正反射光の出射角θｏおよび受光ユニットの光軸を見込む角度θｒの設定が変更可能とするのが好ましい。
【００１１】
また、本発明の表面欠陥検査装置を、正反射光の出射光軸を通り、照明ユニットの光軸および正反射光の出射光軸を含む照明光軸面に対して所定の角度θｓを有する受光光軸面内に、受光ユニットの光軸が位置するように構成し、受光ユニットの光軸を見込む角度θｒが、受光光軸面内において正反射光の出射光軸から受光ユニットの光軸を見込む角度となるように構成することもできる。この場合に、所定の角度θｓが９０度となるように構成しても良い。
【００１２】  なお、上記の構成の表面欠陥検査装置において、被検物体および照明ユニットの少なくともいずれかが被検面と照明ユニットの光軸との交点を通り照明光軸面に垂直な回転軸を中心として回転可能となるように構成して正反射光の出射角θｏを可変設定可能となし、さらに、受光ユニットが照明ユニットの光軸と被検面との交点をとおり受光光軸面に垂直な回転軸を中心として回転可能となるように構成して受光ユニットの光軸を見込む角度θｒの設定が変更可能とするのが好ましい。
【００１３】  また、本発明の表面欠陥検査装置において、被検物体が被検面に垂直な軸を中心として回転可能となるように構成するのが好ましい。さらに、本発明の表面欠陥装置において、照明ユニットおよび受光ユニットの少なくともいずれかに波長選択手段を備えるのが好ましい。
【発明を実施するための形態】
【００１４】  以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。本発明の第１の実施形態に係る表面欠陥検査装置の概略構成を図１に示している。この装置は、図示しないチャンバー内に、半導体ウエハ５（被検物体）を載置するウエハ支持テーブル１と、ウエハ支持テーブル１上に載置された半導体ウエハ５の被検面５ａに検査用照明光を照射する照明ユニット１０と、この照明ユニット１０から検査用照明光が被検面５ａに照射されたときにウエハ被検面５ａから出射される散乱光を受光するための受光ユニット２０とを配設して構成される。なお、受光ユニット２０に配線３０を介して繋がれた表示ユニット３１および画像処理ユニット３２がチャンバー外に配設されている。
【００１５】  ウエハ支持テーブル１は垂直に下方に延びる駆動軸２を有し、図示しない駆動機構により駆動軸２を回転駆動してウエハ支持テーブル１を駆動軸２の中心軸ＡＸ１を中心として水平面内で回転させることができるように構成されている。ウエハ支持テーブル１の上にはウエハ５がその上面の被検面５ａ（回路等が形成される面）を水平に位置させて真空吸着等により固定保持される。
【００１６】  照明ユニット１０は、検査用照明光を出射する光源１１と、光源１１の前に置かれた波長選択ユニット１２と、光源１１から出射されて波長選択ユニット１２を通った検査用照明光を平行光束に変換してウエハ支持テーブル１の上に保持されたウエハ５のウエハ被検面５ａに照射させる照明レンズ１３とから構成される。この光源１１としては、メタルハライドランプ、水銀ランプ、ハロゲンランプ等が用いられる。また、波長選択ユニット１２は光源１１から出射された照明光から所定の波長域以外の光を選択して通過させたりしてウエハ被検面５ａに照射する光の波長を選択するもので、種々のダイクロイックミラー、干渉フィルタ等を交換使用して波長選択を行うように構成されている。
【００１７】  このように光源１１から出射されてウエハ被検面５ａを照射する検査用照明光の入射光軸Ｃ１が被検面５ａの法線Ｃ２に対してなす角度、すなわち入射角θｉが６０度以下の角度となるように、照明ユニット１０が配設されている。このため、入射角θｉで照射された検査用照明光がウエハ被検面５ａで反射されて出射される正反射光の出射角θｏ（法線Ｃ２に対して出射光軸Ｃ３のなす角度）も６０度以下の角度で、入射角θｉと等しい角度（θｉ＝θｏ）である。
【００１８】  一方、受光ユニット２０は第１および第２受光レンズ２１，２２と、ＣＣＤ撮像素子２３を有して構成される。この受光ユニット２０の受光光軸Ｃ４は、図２に詳しく示すように、上述した入射光軸Ｃ１および出射光軸Ｃ３を含むウエハ被検面５ａに垂直な面（これを照明光軸面Ｐ１と称する）内に位置し、この照明光軸面Ｐ１内において出射光軸Ｃ３に対して所定の見込み角（ずれ角）θｒだけ傾いて受光光軸Ｃ４が延びるように受光ユニット２０が配設されている。すなわち、光軸Ｃ１，Ｃ３，Ｃ４が全て照明光軸面Ｐ１上に位置する。
【００１９】  ここで、上記正反射光の開口角δθｏと受光ユニット２０の開口角δθｒとに対して上記見込み角θｒは、次式（４）の関係となるように設定される。このように設定すれば、図２から分かるように、出射光軸Ｃ３を中心として開口角δθｏの円錐状の広がりを有する正反射光の光束が受光光軸Ｃ４を中心として開口角δθｒの円錐状の広がりを有する受光範囲内に入ることがなく、受光ユニット２０は正反射光に対して暗視野の光学系となる。
【００２０】【数２】
δθｏ  ＜  （θｒ−δθｒ）  ・・・（４）
【００２１】  このような構成において、光源１１から出射された検査用照明光が波長選択フィルタ１２において波長選択がなされた後、照明レンズ１３により平行光束に変換され、ウエハ支持テーブル１の上に保持されたウエハ５の上面すなわちウエハ被検面５ａに入射角θｉで照射される。ウエハ被検面５ａは滑らかな平面であり、且つウエハ支持テーブル１により水平に保持されているため、通常は、上記のようにウエハ被検面５ａに照射された検査用照明光はウエハ被検面５ａにおいて正反射され、光軸Ｃ３で示す方向に出射角θｏ（＝θｉ）を有して出射される。ここで受光ユニット２０は上記式（４）の関係を有して配設されているため、この正反射光は受光ユニット２０に受光されることがない。具体的には、正反射光は第１集光レンズ２１によりＣＣＤ撮像素子２３の受光面の外に集光される。
【００２２】  ところが、ウエハ被検面５ａ上に塵、ゴミが付着していたり、傷が合ったりすると、上記のようにウエハ被検面５ａに照射された検査用照明光はこのように付着した塵、ゴミ等や、傷等に当たって乱反射（散乱）される。この乱反射光（散乱光）のうち、受光ユニット２０の受光光軸Ｃ４に向かう光（より具体的には、受光光軸Ｃ４を中心とした開口角δθｒの範囲内に向かう光）は第１および第２集光レンズ２１，２２により集光されてＣＣＤ撮像素子２３の受光面に入射する。この結果、ウエハ被検面５ａ上の塵、ゴミ、傷等によって生じる散乱光によりこれら塵、ゴミ、傷等の像がＣＣＤ撮像素子２３により撮影される。
【００２３】  ここで上述のように、検査用照明光の入射角θｉおよび出射角θｏが６０度以下の角度となるように設定されており、検査用照明光は比較的上方からウエハ被検面５ａに照射される。このため、ウエハ被検面５ａに凹状にえぐられた傷が存在する場合にも確実に散乱光を発生させることができ、凹状の傷の像もＣＣＤ撮像素子２３により良好に撮影することができる。
【００２４】  ＣＣＤ撮像素子２３により撮影された画像情報は配線３０を介して表示ユニット３１および画像処理ユニット３２に送られる。表示ユニット３１はＣＲＴモニタ、液晶ディスプレイ等から構成され、ＣＣＤ撮像素子２３により撮影された塵、ゴミ、傷等の画像が表示ユニット３１の画面に表示されるので、検査員はこの画面表示を見て、ウエハの表面欠陥の有無を判断可能である。さらに、画像処理ユニット３２は、上記のようにＣＣＤ撮像素子２３から送られる画像情報について画像処理を行い、撮影画面における輝度が所定閾値を越える部分に、塵、ゴミ、傷等による表面欠陥が存在すると判断する。これにより、ウエハ５の表面欠陥の有無を自動的に検査可能である。
【００２５】  一般的に、ウエハ５の上面には多数の回路パターンが形成されており、これら回路パターンは所定ピッチで配列された配線からなる繰り返しパターンを有している。このため、上記のようにウエハ被検面５ａに検査用照明光が照射されると、この繰り返しパターンのピッチに応じて回折光も発生する。この回折光の出射方向は正反射光に対して所定角度ずれており、このずれ角が上述した受光ユニット２０の光軸Ｃ４の見込み角θｒに近いと、回折光が受光ユニット２０に受光され、表面欠陥の検出精度が低下するという問題がある。
【００２６】
このため、受光ユニット２０内に回折光が入り込まないようにする必要があり、受光ユニット２０の光軸Ｃ４が上記式（４）を満足した上で、回折光の出射方向からずらせ、回折光に対して暗視野の光学系を構成するように受光ユニット２０の配設位置が設定される。このようにして回折光の受光を回避するには、ウエハ被検面５ａの全面（検査用照明光が照射される範囲全域）において、入射光θｉが一定となり、回折光の方向が一定となるように設定するのが好ましい。このため、照明ユニット１０および受光ユニット２０をともに、ウエハ被検面５ａ側がテレセントリックとなる光学系として構成するのが好ましい。
【００２７】  回折光の光軸は正反射光の出射光軸とは所定の角度を有しており、受光ユニット２０の光軸Ｃ４をできる限り正反射光の出射光軸Ｃ３に近づけるほうが、受光ユニット２０への回折光の入射を防止できる。このため、上記見込み角θｒは１０度以下の角度に設定される。特に、被検物体が半導体ウエハの場合、一般に回折光の回折角度、すなわち、正反射光に対する回折光の見込み角が大きいため、上記見込み角θｒを１０度以下に設定することにより受光ユニット２０が回折光を受光することを防止できる。
【００２８】  このような配設位置の設定は、ウエハ５の被検面５ａを通り照明光軸面Ｐ１に垂直な軸ＡＸ２を中心として受光ユニット２０を回転させることにより行われる。このため、受光ユニット２０を軸ＡＸ２を中心として回転させることができる機構を設けても良い。さらに、ウエハ支持テーブル１を軸ＡＸ２を中心として回転させる機構や、照明ユニット１０を軸ＡＸ２を中心として回転させる機構を設けても良い。これにより、照明光の入射角θｉおよび出射角θｏと、正反射光の出射光軸Ｃ３に対する受光ユニット２０の光軸Ｃ４の見込み角（ずれ角）θｒとを任意に調整可能となる。
【００２９】  回折光が受光ユニット２０内に受光しないようにするためには、上記のように照明光の入射角θｉおよび出射角θｏや、受光ユニット２０の見込み角θｒを調整すれば良いのであるが、回折光はウエハ５の被検面５ａに形成された繰り返しパターンのピッチと、照明光の波長に応じて定まるため、照明光の波長を代えて回折光が受光ユニット２０内に受光しないように調整することも可能である。このため、波長選択ユニット１２が設けられており、この波長選択ユニット１２により照明光の波長を選択設定し、回折光が受光ユニット２０内に入射しないように回折角を調整したり、回折光が生じないような波長の照明光のみを照射するようにしている。
【００３０】  さらに、ウエハ５の被検面５ａに形成された繰り返しパターンの方向と照明光の方向とが相違すると回折光の出射される方向すなわち回折角が変化するため、ウエハ支持テーブル１の駆動軸２を駆動機構により回転駆動してウエハ支持テーブル１を水平面内で回転させても良い。これによりウエハ５は垂直に延びる中心軸ＡＸ１を中心として回転され、回折角を変化させることができる。
【００３１】  以上説明した表面欠陥検査装置においては、入射光軸Ｃ１、出射光軸Ｃ３を含む照明光軸面Ｐ１内に受光光軸Ｃ４が位置するように受光ユニット２０を配設しているが、受光ユニット２０の配設位置はこれに限られるものではない。例えば、図１および図２の矢視III を示す図３に示すように、正反射光の出射光軸Ｃ３を通り照明光軸面Ｐ１に対して所定角度θS1を有する受光光軸面Ｐ２内に受光光軸Ｃ４が位置するようにしても良い。この場合には、受光光軸面Ｐ２内において、上述の式（４）を満足するように見込み角θｒが設定される。
【００３２】  なお、照明光軸面Ｐ１に対して９０度となる所定角度θS2を有する受光光軸面Ｐ３内に受光光軸Ｃ４が位置するように受光ユニット２０の配設位置を設定しても良い。このようにすれば、見込み角θｒを一定に保持したまま、入射角θｉおよび出射角θｏを変化させることが容易である。
【００３３】  本発明に係る表面欠陥検査装置の第２の実施形態について、図４を参照して説明する。なお、この実施形態において図１に示した装置と同一構成部分については同一番号を付してその説明を省略する。この装置は、図示しないチャンバー内に、ウエハ支持テーブル１と、照明ユニット１１０と、受光ユニット１２０とを配設して構成され、チャンバー外に配設された表示ユニット３１および画像処理ユニット３２が配線３０を介して受光ユニット１２０と繋がれている。
【００３４】  この装置と図１に示す装置とは照明ユニットおよび受光ユニットの構成のみが異なり、この装置の照明ユニット１１０は図１に示す装置の照明ユニット１０における照明レンズ１３を照明球面反射鏡１６に置き換えて構成され、この装置の受光ユニット１２０は図１に示す装置の受光ユニット２０の第１受光レンズ２１を受光球面反射鏡２６に置き換えて構成されている。すなわち、図１の装置では照明および受光ユニットをレンズ光学系から構成しているが、図４の装置でこれらを反射光学系に置換して構成している。
【００３５】  このように図４に示す装置はレンズを反射鏡に置換しただけであり、ウエハ支持テーブル１に載置保持されたウエハ５から見た各光軸Ｃ１，Ｃ２，Ｃ４の位置関係は図１の装置と同一である。すなわち、入射角θｉおよび出射角θｏは６０度以下に設定され、正反射光の開口角δθｏ、受光ユニット１２０の開口角δθｒおよび見込み角θｒが上記式（４）の関係となるように設定され、見込み角θｒは１０度以下の角度に設定される。
【００３６】  このため、照明ユニット１１０により光源１１からの検査用照明光をウエハ被検面５ａに照射し、ここからの散乱光を受光ユニット１２０により受光してウエハ被検面５ａ上のゴミ、塵、傷等の有無を良好に検査することができる。なお、この検査を行う方法は上述した図１の装置の場合と同一であるのでその説明は省略する。
【００３７】  本発明に係る表面欠陥検査装置の第３の実施形態を図５に示している。この実施形態においても図１に示した装置と同一構成部分については同一番号を付してその説明を省略する。この装置は、図示しないチャンバー内に、ウエハ支持テーブル１と、照明ユニット２１０と、受光ユニット２２０とを配設して構成され、チャンバー外に配設された表示ユニット３１および画像処理ユニット３２が配線３０を介して受光ユニット２２０と繋がれている。
【００３８】  この装置と図１に示す装置とは照明ユニットおよび受光ユニットの構成のみが異なり、図１に示す装置における照明ユニット１０の照明レンズ１３および受光ユニット２０の第１受光レンズ２１の役割を果たす大径のレンズ２００がこの装置に設けられている。すなわち、図５に示す装置では、レンズ２００が、照明ユニット２１０の照明レンズとしての役割と、受光ユニット２２０の受光レンズとしての役割を兼用している。
【００３９】  このように図５に示す装置においては、照明ユニット２１０および受光ユニット２２０がレンズ２００を共用しているため、装置構成を簡単にすることができる。但し、両ユニット２１０，２２０を近づけて配設する必要があり、検査用照明光の入射および反射角θｉ，θｏは小さな角度となる。この装置においても、入射角θｉおよび出射角θｏは６０度以下に設定され、正反射光の開口角δθｏ、受光ユニット２２０の開口角δθｒおよび見込み角θｒが上記式（４）の関係となるように設定され、見込み角θｒは１０度以下の角度に設定される。
【００４０】  このため、照明ユニット２１０により光源１１からの検査用照明光をウエハ被検面５ａに照射し、ここからの散乱光を受光ユニット２２０により受光してウエハ被検面５ａ上のゴミ、塵、傷等の有無を良好に検査することができる。なお、この検査を行う方法は上述した図１の装置の場合と同一であるのでその説明は省略する。
【００４１】  本発明に係る表面欠陥検査装置の第４の実施形態を図６に示している。この実施形態に係る装置は、図５に示す装置のレンズ２００を反射鏡３００に置換した構成であり、その他の構成は図５の装置と同一である。すなわち、図６に示す装置は、図５に示すレンズ２００からなるレンズ光学系を反射鏡３００からなる反射光学系に置換して構成される。このように反射鏡３００を用いることにより図５の装置に比較して、装置を小型コンパクトにすることができる。このように図５の装置と同一原理の構成であるため、これ以上の説明は省略する。
【発明の効果】
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、照明ユニットによる検査用照明光の照射を受けて被検面から反射される正反射光の出射角をθｏとし、正反射光の開口角をδθｏとし、正反射光の出射光軸から受光ユニットの光軸を見込む角度をθｒとし、受光ユニットの開口角をδθｒとしたときに、前述の式（１），（２），（３）の関係が成り立つように各角度が設定されており、照明ユニットからの検査用照明光は被検面に対して小さな入射角で上方から照射され、被検面に形成された凹状の傷等からも確実に散乱光が出射し、この散乱光を受光ユニットにより良好に受光検出することができ、被検面の凹状の傷等も確実に検出できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態に係る表面欠陥検査装置の構成を示す概略図である。
【図２】  上記表面欠陥検査装置におけるウエハ被検面に対する各光軸の方向および開口各の関係を示す説明図である。
【図３】  上記各光軸の関係を図１および図２における矢印III の方向から見て示す説明図である。
【図４】  本発明の第２実施形態に係る表面欠陥検査装置の構成を示す概略図である。
【図５】  本発明の第３実施形態に係る表面欠陥検査装置の構成を示す概略図である。
【図６】  本発明の第４実施形態に係る表面欠陥検査装置の構成を示す概略図である。
【符号の説明】  １  ウエハ支持テーブル
５  ウエハ
５ａ  ウエハ被検面
１０  照明ユニット
１１  光源
１２  波長選択ユニット
２０  受光ユニット
２１，２２  第１および第２受光レンズ
２３  ＣＣＤ撮像素子
３１  表示ユニット
３２  画像処理ユニット
【図１】
0005288672.tif 000002
【図２】
0005288672.tif 000003
【図３】
0005288672.tif 000004
【図４】
0005288672.tif 000005
【図５】
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【図６】
0005288672.tif 000007