(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多角形又は略円形底面を有する無数の錐体状突起が可視光線の波長よりも短いピッチで配置されて成る反射防止微細構造において、
上記錐体状突起の頂点を通る垂直断面における底面をＸ軸上に、上記頂点をＺ軸上にとり、錐体状突起の高さをＨ、錐体状突起の底面の平面形状に外接する円の直径をＤとしたとき、上記頂点を含み、底面に垂直な断面における頂点と底辺を結ぶ線が次式（１）によるｎ次の線形式で表される曲線であると共に、１．２≦ｎ≦３、２５０ｎｍ≦Ｄ≦３００ｎｍ、３００ｎｍ≦Ｈ≦７５０ｎｍの関係を有していることを特徴とする反射防止微細構造。
Ｘ＝（Ｄ／２）×｛１−（Ｚ／Ｈ）ｎ｝・・・（１）
【請求項２】
多角形又は略円形底面を有する無数の錐体状突起が可視光線の波長よりも短いピッチで配置されて成る反射防止微細構造において、
上記錐体状突起の頂点を通る垂直断面における底面をＸ軸上に、上記頂点をＺ軸上にとり、錐体状突起の高さをＨ、錐体状突起の底面の平面形状に外接する円の直径をＤとしたとき、上記頂点を含み、底面に垂直な断面における頂点と底辺を結ぶ線が次式（２）によるｎ次の線形式で表される曲線であると共に、１．５≦ｎ≦２．５（但し、ｎ≠２）、Ｄ＝２５０ｎｍ、５００ｎｍ≦Ｈ≦７５０ｎｍの関係を有していることを特徴とする反射防止微細構造。ことを特徴とする反射防止微細構造。
Ｚ＝Ｈ−〔Ｈ／｛（Ｄ／２）ｎ｝〕×Ｘｎ ・・・（２）
【請求項３】
請求項１又は２に記載の反射防止微細構造を基材の少なくとも一方の面に備えていることを特徴とする反射防止構造体。
【請求項４】
上記基材が透明であることを特徴とする請求項３に記載の反射防止構造体。
【請求項５】
上記基材の他方の面に多層反射防止膜を備えていることを特徴とする請求項４に記載の反射防止構造体。
【請求項６】
請求項１又は２に記載の反射防止微細構造を備えた成形型と、基材の少なくとも一方を加熱した状態で両者を相対的に押し当て、基材表面に上記微細構造を形成することを特徴とする反射防止構造体の製造方法。
【請求項７】
請求項１又は２に記載の反射防止微細構造を備えた成形型と基材の間に活性エネルギー線硬化性樹脂を介在させた状態で活性エネルギー線を照射し、基材表面に上記微細構造を形成することを特徴とする反射防止構造体の製造方法。
【請求項８】
請求項１又は２に記載の反射防止微細構造を備えていることを特徴とする自動車用部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光の反射防止機能を発揮させることのできる反射防止微細構造と、このような微細構造を備え、無反射パネルとして、例えば、自動車を始めとする車両や、船舶、航空機などの各種メーター類や、ディスプレイ装置などに好適に使用することができる反射防止構造体、さらには、当該反射防止構造体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやＣＲＴディスプレイなど各種のディスプレイ装置、例えば家庭用テレビの画面に外光や室内の照明などが映り込むと、映像の視認性が著しく低下することがある。
【０００３】
また、自動車の運転席には、スピードメータや燃料計などの各種計器類をまとめて収納したディスプレイ部の前面にメーターフロントカバーが嵌め込まれているが、このメーターフロントカバーに、フロントウインドウやサイドウインドウを通して車外の景色が映り込むことによって、ディスプレイ部の各種表示が見づらくなることがあるため、メーターフロントカバーへの外光の入射を防止するために、その上方にメーターフードを配置するようにしている。
【０００４】
このような光の反射を防止するための構造としては、屈折率の異なる複数の薄膜から成る多層反射防止膜が知られているが、このような多層反射防止膜よりもさらに反射率を低下できるものとして、微細構造を用いた反射防止構造の提案がなされている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２６７８１５号公報
【０００５】
上記特許文献１には、透明性成形品の表面に、透明性素材から成る無数の微細凹凸を光の波長以下のピッチで形成することによって、光の屈折率が厚み方向に変化するようにした反射防止構造が記載されている。
すなわち、例えば波形あるいは三角形をなす無数の微細凹凸が表面に形成されていることによって、凹凸の最表面では透明性素材の存在割合が限りなく０％に近いものとなって、実質的に空気の屈折率（１．０）に等しくなる一方、凹凸の最底部では逆に空気の存在割合が限りなく０％に近いものとなって成形品の屈折率と等しくなり、中間部ではその断面における透明性素材の占める断面積に応じた屈折率となる結果、光の屈折率が当該反射防止構造の厚み方向に、空気の屈折率から透明性素材の屈折率の間で連続的に変化するようになることから、屈折率の異なる複数の薄膜から成る多層反射防止膜（この場合の屈折率は段階的に変化する）と同様の原理によって、当該反射防止膜よりも優れた反射防止性能を備えたものとなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１には、その反射防止構造が光の波長以下のピッチに無数の微細凹凸から成るものであることが記載されているものの、その形状については、上記したような波形や三角形、台形などの形状例が記載されているに過ぎなく、微細凹凸の断面形状については、ほとんど検討されていないのが実情である。
すなわち、微細凹凸構造の最表面から底面までの有効屈折率変化を考えれば、微細凹凸の断面形状、すなわちその頂点と底部を結ぶ稜線の形状には、さらなる最適化の余地があるものと思われ、これによって微細凹凸構造を備えた反射防止構造体における光の反射防止効果をさらに向上させることができるものと考えられる。
【０００７】
本発明は、光の波長以下のピッチに形成した微細凹凸から成る従来の反射防止構造における上記課題を解決すべくなされたものであって、その目的とするところは、微細凹凸の断面形状を最適化し、さらに優れた光の反射防止機能を備えた反射防止微細構造と共に、このような微細構造を備えた反射防止構造体及びその製造方法、さらには、上記反射防止微細構造を備えた自動車用部品、例えばメーターフロントカバーやウインドウガラスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記目的を達成すべく、鋭意検討を重ねた結果、微細凹凸構造を構成する個々の微細突起の頂点から底面に到る突起の稜線形状をｎ次の線形式で表した場合に、上記次数ｎを所定範囲の数値とすることによって、微細凹凸構造の最表面（微細突起の頂部）から基材（微細突起の底部）に到る厚み方向の屈折率変化をなだらかなものとすることができ、反射率をさらに小さなものとすることができることを見出し、本発明を完成するに到った。
【０００９】
本発明は上記知見に基づくものであって、本発明の反射防止微細構造は、多角形又は略円形底面を有する無数の微細な錐体状突起が可視光線の波長よりも短いピッチで配置された反射防止微細構造であって、上記錐体状突起の底面と直角をなし、当該突起の頂点を含む断面における頂点と底辺を結ぶ線が次式（１）で表されるｎ次の線形式（但し、錐体状突起の頂点を通る垂直断面における底面をＸ軸上に、上記頂点をＺ軸上にとり、錐体状突起の高さをＨ、錐体状突起の底面の平面形状に外接する円の直径をＤとし、１．２≦ｎ≦３、２５０ｎｍ≦Ｄ≦３００ｎｍ、３００ｎｍ≦Ｈ≦７５０ｎｍ）で表される曲線であることを特徴としている。
Ｘ＝（Ｄ／２）×｛１−（Ｚ／Ｈ）ｎ｝    ・・・（１）
また、同様の反射防止微細構造において、上記錐体状突起の底面と直角をなし、当該突起の頂点を含む断面における頂点と底辺を結ぶ線が次式（２）で表されるｎ次の線形式（但し、錐体状突起の頂点を通る垂直断面における底面をＸ軸上に、上記頂点をＺ軸上にとり、錐体状突起の高さをＨ、錐体状突起の底面の平面形状に外接する円の直径をＤとし、１．５≦ｎ≦２．５（ｎ≠２）、Ｄ＝２５０ｎｍ、５００ｎｍ≦Ｈ≦７５０ｎｍ）で表される曲線であることを特徴としている。
Ｚ＝Ｈ−〔Ｈ／｛（Ｄ／２）ｎ｝〕×Ｘｎ  ・・・（２）
【００１０】
また、本発明の反射防止構造体は、本発明の上記反射防止微細構造を基材の少なくとも片面に備えていることを特徴とし、当該反射防止構造体の製造方法においては、上記反射防止微細構造を備えた成形型を用意し、当該成形型及び基材の一方又は双方を加熱した状態で両者を相対的に押し当てることによって当該基材の表面に上記した本発明の微細構造を形成したり、上記成形型と基材の間に活性エネルギー線硬化性樹脂を介在させた状態で活性エネルギー線を照射することによって同様の反射防止微細構造を基材の表面に形成したりするようにしている。
【００１１】
さらに、本発明の自動車用部品は、上記反射防止微細構造を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、反射防止微細構造における錐体状突起の頂点と底部を結ぶ稜線形状を上記（１）式又は（２）式で表されるｎ次の線形式で表され、ｎ、Ｄ、Ｈがそれぞれ特定の値をとる曲線となるようにしたため、当該微細構造の厚み方向の各断面における微細構造材料の占有面積によって定まる厚み方向の屈折率が急激に変化することなく、空気の屈折率１．０から、基材の屈折率までなだらかに、直線的に変化するようになることから、当該微細構造に入射した光は、ほとんど回折や反射が起こることなく直進することになって、入射表面における光の反射率を効果的に低減することができる。
【００１３】
また、本発明の反射防止構造体は、基材の表面に上記反射防止微細構造を形成したものであるから、光の反射を極めて低レベルに抑えることができ、自動車を始めとする各種の部品、例えばメーターフロントカバーに適用することによって、屋外景色などの映り込みを防止することができ、メーターフードを廃止したフードレスメーターを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の反射防止微細構造やこれを適用した反射防止構造体について、その製造方法や実施形態などと共に、さらに詳細に説明する。
【００１５】
本発明の反射防止微細構造は、上記したように、底面が多角形や略円形をなす無数の錐体状突起が可視光線の波長よりも短いピッチで配置され、この錐体状突起の頂点を通る縦断面（底面に対する垂直断面）における頂点と底辺の一端を結ぶ線（以下、『稜線』と略称することがある）がｎ次の線形式で表わされる曲線をなしているものである。
【００１６】
すなわち、当該反射防止微細構造における個々の錐体状突起の高さをＨ、錐体状突起の底面の平面形状に外接する円の直径をＤとし、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、錐体状突起Ｐの頂点を通る垂直断面における底辺をＸ軸上に、頂点をＺ軸上にとると、稜線上のＸ座標値は以下のようなｎ次の線形式（１）又は（２）で表わすことができる。このとき、頂点の位置によって定数項を加えて補正することもできる。
Ｘ＝（Ｄ／２）×｛１−（Ｚ／Ｈ）ｎ｝    ・・・（１）
Ｚ＝Ｈ−〔Ｈ／｛（Ｄ／２）ｎ｝〕×Ｘｎ    ・・・（２）
【００１７】
図２は、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、高さＨ＝７５０ｎｍ、外接する円｛底面）の直径Ｄ＝２５０ｎｍ（Ｈ／Ｄ＝３）の円錐状をなし、次数ｎが異なる種々の形状の突起を形成した場合に、上記次数ｎと平均反射率（波長：３８０〜７８０ｎｍ）の関係を示したものであって、この図から明らかなように、次数ｎが１．５程度の時に極小値を示すと共に、次数ｎが１を超え、３以下の範囲で反射率を従来のものよりも低下させることができることが判る。
このとき、円錐状突起のアスペクト比（Ｈ／Ｄ）が小さくなると、極小値を示す次数ｎが低い方に若干移行することが確認されている。
【００１８】
なお、上記線形式のうち、線形式（１）によれば、図１（ａ）に示したように、錐体状突起Ｐは、その先端が尖った形状となるため、構造転写時の離型性が良くなり、一方線形式（２）による錐体状突起Ｐは、図１（ｂ）に示すように、先端が丸みを帯びた形状となることから、耐傷付き性が必要な場合に好適なものとなる。
【００１９】
そして、上記線形式における次数ｎが１を超えると、錐体状突起Ｐの断面形状は、図３（ａ）に示すように、側面が外側に膨出した釣鐘形となり、１＜ｎ≦３の場合に、上記した反射率の低減効果が得られることは、上述の通りである。
【００２０】
因みに、次数ｎが１の場合には、図３（ｂ）に示すように、突起の稜線形状が直線となり、完全な円錐や角錐形状となる。
また、次数ｎが１よりも小さい場合には、図３（ｃ）に示すように、側面が内側に凹んだ形状となる。
【００２１】
なお、『錐体』とは、本来、平面状の側面を有する角錐や、直線状の母線を有する円錐を意味するものであるが、本発明において『錐体状突起』とは、図３（ａ）に示したような縦断面を有し、２次元曲面（底面が多角形の場合）あるいは３次元曲面（底面が円形、楕円形の場合）を有するものを意味する。
【００２２】
また、上記錐体状突起の底面形状については、多角形や円形、楕円形、卵形など、特に限定されないが、代表的には、形状に異方性のない円形や、平面上に隙間なく敷き詰めることができることから、正三角形、正方形、正六角形とすることが望ましい。
【００２３】
さらに、錐体状突起の底面形状が円形の場合には、頂点を通る縦断面の方向に拘らず稜線形状が同一になるのに対し、底面形状が多角形の場合には、断面方向によって、稜線形状が異なることになるが、少なくとも１つの断面における稜線形状を表わす線形式の次数ｎが上記範囲内であればよい。
【００２４】
本発明において、錐体状突起の寸法・形状としては、その高さＨと底面に外接する円の直径Ｄとの比Ｈ／Ｄを１以上３以下の範囲とすることが望ましい。すなわち、上記Ｈ／Ｄ値が１に満たない場合には、反射防止効果が著しく低下し、３を超えた場合には、Ｈ／Ｄを大きくしていっても、反射防止効果はそれ以上ほとんど変わらない傾向があることによる。
また、外接する円の直径Ｄについて、一般には、５０ｎｍを超え、３８０ｎｍ未満とすることが望ましい。すなわち、底面に外接する円の直径Ｄが５０ｎｍ以下となるような微細構造を工業的に得ることが極めて困難である一方、この直径Ｄが可視光線の最短波長である３８０ｎｍ以上となると、反射防止効果が得られなくなることによる。
【００２５】
本発明の上記反射防止微細構造を基材、代表的には透明基材の片面、望ましくは両面に形成することによって、反射防止構造体とすることができ、各種ディスプレイ装置のパネルや、ショウウインドウや展示ケースなどの透明パネルに適用することによって、外光や室内照明の映り込みを防止して、映像や表示、内部展示物の視認性を向上させることができる。
また、自動車を始めとする各種の部品、例えば、ウインドウやルーフのガラス、メーターフロントカバー、ヘッドランプ、リヤフィニッシャー、液晶などの表示装置の最前面に用いるフィルムなど適用することによって、同様の反射防止効果を得ることができる。
【００２６】
上記反射防止構造体においては、基材の片面に本発明の上記反射防止微細構造を形成する一方、他面側に多層反射防止膜を形成することもでき、これによって反射防止微細構造を基材の両面に形成したものに較べれば、反射防止機能に若干劣るものの、多層反射防止膜を外面側に向けることによって、反射防止微細構造の傷つき易さを改善することができるようになる。
【００２７】
本発明の上記反射防止構造体を製造するには、上記のような無数の微細錐体状突起から成る本発明の反射防止微細構造を備えた成形型を用意し、この成形型と基材の一方、又は双方を加熱した状態でこれらを相対的に押し当てることによって、あるいは上記成形型と基材の間に、活性エネルギー線硬化性樹脂を介在させた状態で活性エネルギー線を照射し、当該樹脂を硬化させることによって、当該基材の表面に上記のような微細構造を形成するようになすことができる。
【００２８】
上記基材の材料としては、代表的には透明性があるものが望ましく、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニール、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ＡＳ樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ガラス強化ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶性ポリマー、フッ素樹脂、ポリアレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリイミド等の熱可塑性樹脂や、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリアミドビスマレイミド、ポリビスアミドトリアゾール等の熱硬化性樹脂、及びこれらを２種以上ブレンドした材料を用いることができる。
【００２９】
また、例えば紫外線などの照射によって重合を開始して、硬化する活性エネルギー線硬化樹脂としては、例えば、紫外線硬化型アクリルウレタン計樹脂、紫外線硬化型ポリエステルアクリレート系樹脂、紫外線硬化型エポキシアクリレート樹脂、紫外線硬化型ポリオールアクリレート樹脂、紫外線硬化型エポキシ樹脂などを挙げることができ、必要に応じて活性エネルギー線を照射することによってラジカルを発生する重合開始剤を用いることもでき、より強固に固めるためイソシアネートのような硬化剤を加えることもできる。
なお、ここで用いられる活性エネルギー線としては、一般に紫外線やＸ線、その他電子線、電磁波などが挙げられるが特に限定されるものではない。
【００３０】
また、ガラス等の無機系透明材料を用いることも可能であり、この場合には、電子ビーム等によってガラス表面を切削する方法や、本発明の反射防止微細構造を備えた型に溶融した無機系透明材料を流し込む方法によって基材表面に当該微細構造を形成することができる。
なお、溶融した無機系透明材料を流し込んだのち、必要に応じて、冷却しないうちに同様の反射防止微細構造を有する第２の型を押し当てることによって、基材の両面に微細構造を形成することができる。
【実施例】
【００３１】
以下に、実施例に基づいて、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明がこれらの実施例のみに限定されないことは言うまでもない。
【００３２】
（実施例１）
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、この金型を１５０℃に加熱したのち、１０ＭＰａの圧力でポリメチルメタクリレート基材の両面に１時間押し当てた後、７０℃以下まで冷却することによって、底面形状が正方形であって、これに外接する円の直径Ｄが２５０ｎｍ、高さＨが５００ｎｍであって（Ｈ／Ｄ＝２）、次数が１．２次の線形式（１）で表わされる稜線形状を有する錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を備えた反射防止構造体を作成した。
得られた反射防止構造体について、変角分光光度計（大塚電子製）を用い、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、０．０８％であった。
【００３３】
（実施例２）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面形状が正方形であって、外接する円の直径Ｄが２５０ｎｍ、高さＨが７５０ｎｍであって（Ｈ／Ｄ＝３）、次数が１．５次の線形式（１）で表わされる稜線形状を有する錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を備えた反射防止構造体を作成した。
得られた反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用い、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、０．０６％であった。
【００３４】
（実施例３）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面形状が正方形であって、これに外接する円の直径Ｄが３００ｎｍ、高さＨが３００ｎｍであって（Ｈ／Ｄ＝１）、次数が２次の線形式（１）で表わされる稜線形状を有する錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を両面に備えた反射防止構造体を作成した。
得られた反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用いて、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、０．５１％であった。
【００３５】
（実施例４）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返し、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面形状が正方形であって、外接する円の直径Ｄが２５０ｎｍ、高さＨが５００ｎｍであって（Ｈ／Ｄ＝２）、次数が３次の線形式（１）で表わされる稜線形状を有する錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を備えた反射防止構造体を作成した。
得られた反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用いて、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、０．５７％であった。
【００３６】
（実施例５）
上記実施例２で作成した金型を使用し、当該金型と基材の間に紫外線硬化樹脂を挟持した状態で紫外線を照射し、ポリメチルメタクリレート基材の裏面側に、上記実施例２と同様の形状の錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を形成した。ついで、当該基材の表面側に、基材に近い側から、膜厚が１８１．９ｎｍであって屈折率が１．３８の第１層、膜厚が１２．８ｎｍであって屈折率が２．５の第２層、膜厚が３４．９ｎｍであって屈折率が１．４５の第３層、膜厚が３７．４ｎｍであって屈折率が２．５の第４層、膜厚が２２．３ｎｍであって屈折率が１．４５の第５層、膜厚が２８．６ｎｍであって屈折率が２．５の第６層、及び膜厚が９７．１ｎｍであって屈折率が１．３８の第７層をそれぞれ順次蒸着することによって、都合７層から成る多層反射防止膜を形成した。
得られた反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用いて、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、０．７７％であった。
【００３７】
（実施例６）
上記実施例２で作成した金型を使用して、同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、上記実施例２と同様の形状の錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を形成した。次いで、当該基材の表面側のみに、直径２μｍ、深さ１μｍの円形凹部をその表面に占める占有率が２％となるようにランダムに形成した。
得られた反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用いて、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、０．０５％であった。
【００３８】
（実施例７）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返し、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面形状が正方形であって、外接する円の直径Ｄが２５０ｎｍ、高さＨが７５０ｎｍであって（Ｈ／Ｄ＝３）、次数が２次の線形式（２）で表わされる稜線形状を有する錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を備えた反射防止構造体を作成した。
得られた反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用いて、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、０．０３％であった。
【００３９】
（実施例８）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型の加熱温度のみを１７０℃に変更したこと以外は上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリカーボネート基材の両面に、底面形状が円形であって、その直径（外接する円の直径）Ｄが２５０ｎｍ、高さＨが５００ｎｍであって（Ｈ／Ｄ＝２）、次数が１．５次の線形式（２）で表わされる稜線形状を有する錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を備えた反射防止構造体を作成した。
得られた反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用いて、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、０．１８％であった。
【００４０】
（実施例９）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、金型の加熱温度のみを１７０℃に変更したこと以外は上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリカーボネート基材の両面に、底面形状が円形であって、その直径（外接する円の直径）Ｄが２５０ｎｍ、高さＨが５００ｎｍであって（Ｈ／Ｄ＝２）、次数が２．５次の線形式（２）で表わされる稜線形状を有する錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を備えた反射防止構造体を作成した。
得られた反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用いて、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、０．３９％であった。
【００４１】
（比較例１）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返し、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面形状が正方形であって、これに外接する円の直径Ｄが２５０ｎｍ、高さＨが５００ｎｍであって（Ｈ／Ｄ＝２）、次数が０．４次の線形式（１）で表わされる稜線形状を有する錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を備えた反射防止構造体を作成した。
得られた反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用いて、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、１．２０％であった。
【００４２】
（比較例２）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返し、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面形状が正方形であって、外接する円の直径Ｄが３００ｎｍ、高さＨが１５０ｎｍであって（Ｈ／Ｄ＝０．５）、次数が１次の線形式（１）で表わされる稜線形状を有する錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を備えた反射防止構造体を作成した。
得られた反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用いて、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、２．３０％であった。
【００４３】
（比較例３）
ポリメチルメタクリレート基材の両面に、上記実施例５において表面側に形成した７層から成る多層反射防止膜をそれぞれ形成した。
得られた多層反射防止膜から成る反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用いて、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、３．５１％であった。
【００４４】
（比較例４）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返し、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面形状が正方形であって、外接する円の直径Ｄが４００ｎｍ、高さＨが８００ｎｍであって（Ｈ／Ｄ＝２）、次数が１次の線形式（１）で表わされる稜線形状を有する錐体状突起Ｐが六方細密状態に配列された反射防止微細構造を備えた反射防止構造体を作成した。
得られた反射防止構造体について、同様の変角分光光度計を用いて、光の入射角度が０度の場合における波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率を測定した結果、１．６％であった。
【００４５】
以上の結果を反射防止微細構造の諸元と共に、表１にまとめて示す。
この結果、稜線形状を表わす線形式の次数が低い比較例１、Ｈ／Ｄ比が低い比較例２、多層反射防止膜から成る比較例３、さらに錐体状突起の底面に外接する円の直径Ｄが可視光線の最短波長よりも大きい比較例４の平均反射率に較べて、所定の寸法、形状を備えた反射防止微細構造を備えた実施例１〜９の反射防止構造体の平均反射率が大幅に低下していることが確認された。
なお、錐体状突起が可視光線の最短波長よりも大きい４００ｎｍの頂点間距離で配置された比較例４の構造体においては、波長３８０〜７８０ｎｍの平均反射率は１．６であったが、短波長光の反射率が特に高くなる傾向が認められた。
【００４６】
【表１】
0005170495.tif 000002
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は本発明の反射防止微細構造における錐体状突起の稜線形状をｎ次の線形式（１）及び（２）で表したそれぞれ説明図である。
【図２】上記錐体状突起の稜線形状をｎ次の線形式で表した場合に、次数ｎと平均反射率の関係を示すグラフである。
【図３】（ａ）（ｂ）及び（ｃ）は、ｎ次の線形式で表した錐体状突起における稜線形状変化について次数ｎとの関係を示した概略図である。
【符号の説明】
【００４８】
Ｐ  錐体状突起
【図１】
0005170495.tif 000003
【図２】
0005170495.tif 000004
【図３】
0005170495.tif 000005