(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送用容器内の液剤をノズルから対象物に対して滴下する液剤滴下装置であって、
前記搬送用容器から供給される前記液剤を前記ノズルから滴下するディスペンサと、
前記搬送用容器の開口部を閉塞する閉塞部材と、
前記ディスペンサに固定され、前記搬送用容器を該搬送用容器の開口部が下方に向いた状態となるように前記閉塞部材を着脱可能に支持する支持部材と、
前記搬送用容器から前記ディスペンサに前記液剤を供給する管路と、
を備え、
前記ディスペンサは、前記搬送用容器から供給される前記液剤を貯留するシリンジと、
前記シリンジから前記ノズルへ前記液剤を供給する流路を開閉する滴下弁と、前記シリンジ内に貯留された液晶に圧力を加えるプランジャとから構成され、
前記閉塞部材は、前記開口部を閉塞する本体部と、前記開口部を前記本体部に固定する固定手段と、前記搬送用容器内と前記管路内とを連通する貫通孔と、前記貫通孔を開閉する供給弁とから構成され、
前記固定手段は、有底状の収容部材と、前記閉塞部材及び前記収容部材のうちの何れか一方に設けられた締結部材と、前記閉塞部材及び前記収容部材のうちの何れか他方に設けられるとともに前記締結部材に係止する係止部材とから構成され、
前記搬送用容器は、前記本体部と前記収容部材の底部とに当接した状態で前記収容部材に収容されることを特徴とする液剤滴下装置。
【請求項２】
前記搬送用容器の開口部外周面に雄ねじ部が形成され、
前記固定手段は、前記閉塞部材に形成され前記雄ねじ部が螺入される雌ねじ部であることを特徴とする請求項１に記載の液剤滴下装置。
【請求項３】
前記収容部材は、有底筒状に形成されるとともに、該収容部材の筒部には、開口窓が形成されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液剤滴下装置。
【請求項４】
前記収容部材は、前記締結部材及び前記係止部材のうちの何れか一方が設けられるロック部と、該ロック部と前記底部とを連結する棒状の連結部とを備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液剤滴下装置。
【請求項５】
前記閉塞部材には、前記搬送用容器内に不活性ガスを供給する給気孔が形成されたことを特徴とする請求項１〜４のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置。
【請求項６】
前記貫通孔は、前記閉塞部材における前記開口部が固定される固定面、及び前記支持部材に当接する当接面に開口して形成され、
前記管路は、前記貫通孔に連結するように前記支持部材における前記閉塞部材を支持する支持面に開口して形成された垂直部と、前記垂直部と前記シリンジ内とを連通するように前記支持部材に形成された水平部とから構成され、
前記閉塞部材は、前記支持部材上に載置されて固定されることを特徴とする請求項１〜５のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置。
【請求項７】
前記貫通孔の前記固定面側には、該貫通孔よりも大径の大径部が形成されるとともに、前記貫通孔の前記当接面側には、該貫通孔よりも小径の小径部が形成され、
前記供給弁は、前記貫通孔内の当接面側に配置されるボール部材と、前記ボール部材よりも前記固定面側に配置されるコイルばねと、前記大径部に圧入され前記コイルばねを押さえる押さえ部材とから構成され、
前記垂直部内には、前記小径部よりも小径に形成された棒状のロッドが上下動可能に挿入されたことを特徴とする請求項６に記載の液剤滴下装置。
【請求項８】
前記貫通孔の前記固定面側には、該貫通孔よりも大径の大径部が形成されるとともに、前記貫通孔の前記当接面側には、該貫通孔よりも小径の小径部が形成され、
前記供給弁は、前記貫通孔内の当接面側に配置されるボール部材と、前記ボール部材よりも前記固定面側に配置されるコイルばねと、前記大径部に圧入され前記コイルばねを押さえる押さえ部材とから構成され、
前記支持面における前記垂直部の周囲には、前記小径部に挿入され前記ボール部材を押し上げる突起部が形成され、
前記支持部材には、前記管路を開閉する開閉弁が設けられたことを特徴とする請求項６に記載の液剤滴下装置。
【請求項９】
前記支持部材に収容され、軸方向両端に径方向外側に向かって第１及び第２フランジ部が延設されるとともに、前記第１及び第２フランジ部の端面に環状の凸部が形成されたチューブを備え、
前記水平部は、前記垂直部に連結された第１流路と、前記シリンジ内に連結される第２流路とから構成され、
前記支持部材には、前記第１流路と前記第２流路との間にて一側面側に開口した空洞部と、前記第１流路と前記空洞部との間にて前記第１フランジ部が収容される第１収容部と、前記第２流路と前記空洞部との間にて前記第２フランジ部が収容される第２収容部とが形成されるとともに、前記第１収容部と前記空洞部との間には、前記第１フランジ部よりも小径、且つ前記チューブの円筒部よりも大径の第１鍔部が径方向内側に向かって延設され、前記空洞部と前記第２収容部との間には、前記第２フランジ部よりも小径、且つ前記円筒部よりも大径の第２鍔部が径方向内側に向かって延設され、
前記チューブは、前記第１フランジ部が前記第１収容部に軸方向に押圧された状態で収容され、前記第２フランジ部が前記第２収容部に軸方向に押圧された状態で収容されて前記第１流路と前記第２流路とを連通し、
前記空洞部内に前記チューブを開閉する前記開閉弁が配置されたことを特徴とする請求項８に記載の液剤滴下装置。
【請求項１０】
前記閉塞部材を前記支持部材上に保持する保持手段を備えたことを特徴とする請求項６〜９のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置。
【請求項１１】
前記保持手段は、前記閉塞部材及び前記支持部材のうちの何れか一方に設けられた締結部材と、前記閉塞部材及び前記支持部材のうちの何れか他方に設けられるとともに前記締結部材に係止する係止部材とから構成されることを特徴とする請求項１０に記載の液剤滴下装置。
【請求項１２】
前記保持手段は、前記支持部材に支持された状態の前記搬送用容器の底部よりも上方に固定された固定部材と、先端が前記支持部材側に露出するように前記固定部材に螺入されたボルトと、前記ボルトの先端に設けられ前記搬送用容器の底部に当接する押さえ部材とから構成されることを特徴とする請求項１０に記載の液剤滴下装置。
【請求項１３】
前記シリンジの下端に設けられる筐体と、前記筐体内に収容され、軸方向両端に径方向外側に向かって第１及び第２フランジ部が延設されるとともに、前記第１及び第２フランジ部の端面に環状の凸部が形成されたチューブとを備え、
前記筐体には、前記シリンジが固定される第１挿入孔と、前記ノズルが固定される第２挿入孔と、前記第１挿入孔と前記第２挿入孔との間に一側面側に開口した空洞部とが形成されるとともに、前記第１挿入孔と前記空洞部との間には、前記第１フランジ部よりも小径、且つ前記チューブの円筒部よりも大径の第１鍔部が径方向内側に向かって延設され、前記空洞部と前記第２挿入孔との間には、前記第２フランジ部よりも小径、且つ前記円筒部よりも大径の第２鍔部が径方向内側に向かって延設され、
前記チューブは、前記第１フランジ部が前記第１鍔部と前記シリンジとの間で軸方向に押圧された状態で収容され、前記第２フランジ部が前記第２鍔部と前記ノズルとの間で軸方向に押圧された状態で前記筐体に収容されて前記シリンジ内と前記ノズルとを連通し、
前記空洞部内に前記チューブを開閉する前記滴下弁が配置されたことを特徴とする請求項１〜１２のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置。
【請求項１４】
前記搬送用容器内の前記液剤の残量を検出する検出手段と、
前記搬送用容器を移動させる移動手段と、
前記検出手段からの出力信号により前記搬送用容器内に前記液剤が無くなったと判定した場合に、前記移動手段を駆動して前記搬送用容器及び前記閉塞部材を前記支持部材から取り外し、前記液剤が充填され且つ前記閉塞部材が取り付けられた前記搬送用容器を前記支持部材に支持させる制御装置と
を備えたことを特徴とする請求項１〜１３のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置。
【請求項１５】
請求項１〜１４のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置と、上面に基板が固定されるステージと、前記液剤滴下装置を前記基板の上方にて支承する支承部材と、前記液剤滴下装置を前記基板に対して水平方向に相対移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液剤を充填して搬送する搬送用容器内の液剤をノズルから対象物に対して滴下する液剤滴下装置及び該液剤滴下装置を備えた基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、このような液剤滴下装置として、搬送用容器から供給される液剤を貯留するシリンジと、該シリンジからノズルへ液剤を供給する流路を開閉する滴下弁と、シリンジ内に貯留された液剤に圧力を加えるプランジャとから構成されるディスペンサとを備え、液剤として液晶を滴下するものがある。例えば、特許文献１に記載の液晶滴下装置では、搬送用容器から供給される液晶をシリンジよりも大量に貯留可能なバレルと、該バレルとシリンジとを連通するチューブを開閉する供給弁とを備えている。そして、供給弁を開き且つ滴下弁を閉じた状態でプランジャを上昇させることでバレル内に貯留された液晶をシリンジ内に供給するとともに、供給弁を閉じ且つ滴下弁を開いた状態でプランジャを下降させ、シリンジ内に貯留された液晶に圧力を加えることで、ノズルから液晶を滴下している。さらに、特許文献１では、バレルの下端にチューブが接続されることで、バレル内に貯留された液晶が無駄なくシリンジに供給されるようになっている。
【特許文献１】特開２００５−１２５１８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、液晶は、例えばガラス瓶等の搬送用容器に充填された状態で液晶材料メーカから提供されるため、バレル内の液晶が無くなった場合には、搬送用容器に充填された液晶をバレルに移し替える必要がある。そのため、作業効率が低下するとともに、液晶を移し替える作業中にちり等が混入するおそれがあった。そこで、搬送用容器の上方からチューブ等を差し込み、液晶を吸い上げてシリンジに供給することが考えられるが、搬送用容器の底に液晶が残りやすく、液晶を無駄なくシリンジに供給することができないという問題があった。なお、このような問題は、液剤として液晶を滴下する場合に限らず、例えば接着剤やはんだペースト等の液剤を滴下する場合においても同様に生じる。
【０００４】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、液剤を無駄にすることなく、搬送用容器からシリンジへ液剤を供給できる液剤滴下装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、搬送用容器内の液剤をノズルから対象物に対して滴下する液剤滴下装置であって、前記搬送用容器から供給される前記液剤を前記ノズルから滴下するディスペンサと、前記搬送用容器の開口部を閉塞する閉塞部材と、前記ディスペンサに固定され、前記搬送用容器を該搬送用容器の開口部が下方に向いた状態となるように前記閉塞部材を着脱可能に支持する支持部材と、前記搬送用容器から前記ディスペンサに前記液剤を供給する管路と、を備え、前記ディスペンサは、前記搬送用容器から供給される前記液剤を貯留するシリンジと、前記シリンジから前記ノズルへ前記液剤を供給する流路を開閉する滴下弁と、前記シリンジ内に貯留された液晶に圧力を加えるプランジャとから構成され、前記閉塞部材は、前記開口部を閉塞する本体部と、前記開口部を前記本体部に固定する固定手段と、前記搬送用容器内と前記管路内とを連通する貫通孔と、前記貫通孔を開閉する供給弁とから構成され、前記固定手段は、有底状の収容部材と、前記閉塞部材及び前記収容部材のうちの何れか一方に設けられた締結部材と、前記閉塞部材及び前記収容部材のうちの何れか他方に設けられるとともに前記締結部材に係止する係止部材とから構成され、前記搬送用容器は、前記本体部と前記収容部材の底部とに当接した状態で前記収容部材に収容されるようにした。
【０００６】
同構成によれば、液晶材料メーカ等から提供される液晶が充填された搬送用容器に閉塞部材を取り付け、供給弁を閉じた状態にすることで、搬送用容器の開口部を下方に向けた状態にしても液晶が漏洩しない。そして、この閉塞部材を開口部が下方に向いた状態で支持されるため、搬送用容器の上方からチューブ等を差し込み、液晶を吸い上げてシリンジに供給する場合と異なり、搬送用容器の底に液晶が残らず、液晶が無駄なくシリンジに供給できる。また、搬送用容器を交換する際に、搬送用容器及び閉塞部材を支持部材から取り外し、液晶が貯留された新たな搬送用容器に閉塞部材を取り付けて支持部材に支持させることで搬送用容器が交換される。そのため、上記従来のように、搬送用容器からバレルに液晶を移し替える必要がなく作業効率の低下を防止できるとともに、液晶を移し替える作業中にちり等が混入することを防止できる。
また一般に、搬送用容器は、液晶などの液剤に対して耐食性に優れるとともに、安価なガラス瓶であることが多い。しかしながら、ガラスは破損しやすい材質であるため、金属製のロボットハンド等で持ち運ぶことが困難である。この点、同構成によれば、搬送用容器が収容部材に収容されてその開口部が閉塞部材の本体部に固定されるため、収容部材を把持することで容易に搬送用容器をロボットハンド等で持ち運ぶことが可能になり、容易に自動化することができる。また、搬送用容器にねじ部が形成されていない場合であっても、その開口部を本体部に固定できる。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液剤滴下装置において、前記搬送用容器の開口部外周面に雄ねじ部が形成され、前記固定手段は、前記閉塞部材に形成され前記雄ねじ部が螺入される雌ねじ部である。同構成によれば、閉塞部材を搬送用容器に螺合することで、開口部が閉塞部材の本体部に固定されるため、例えば搬送用容器全体を収容して開口部を固定する収容部材を用いる場合に比べ、部品点数を削減できる。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の液剤滴下装置において、前記収容部材は、有底筒状に形成されるとともに、該収容部材の筒部には、開口窓が形成された。同構成によれば、収容部材の筒部に開口部が形成されているため、搬送用容器内の液晶の残量を容易に視認することができる。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は２に記載の液剤滴下装置において、前記収容部材は、前記締結部材及び前記係止部材のうちの何れか一方が設けられるロック部と、該ロック部と前記底部とを連結する棒状の連結部とを備えた。同構成によれば、連結部間の隙間から搬送用容器内の液晶の残量を容易に視認することができる。また、棒状の連結部を把持することで搬送用容器を持ち運ぶことが可能になり、収容部材全体を把持せずに済むため、搬送用容器の容量が大きな場合であっても容易に持ち運ぶことができる。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置において、前記閉塞部材には、前記搬送用容器内に不活性ガスを供給する給気孔が形成された。同構成によれば、シリンジ内に液剤を供給する際に搬送用容器内に不活性ガスを給気することで、プランジャでシリンジ内を負圧にすることのみでシリンジ内に液剤を供給する場合と異なり、気泡を発生させずに素早く液剤を供給できる。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置において、前記貫通孔は、前記閉塞部材における前記開口部が固定される固定面、及び前記支持部材に当接する当接面に開口して形成され、前記管路は、前記貫通孔に連結するように前記支持部材における前記当接面を支持する支持面に開口して形成された垂直部と、前記垂直部と前記シリンジ内とを連通するように前記支持部材に形成された水平部とから構成され、前記閉塞部材は、前記支持部材上に載置されて固定されるようにした。同構成によれば、閉塞部材が取り付けられた搬送用容器内とシリンジ内とが支持部材内に形成された管路を介して連通されるため、例えば搬送用容器内とシリンジ内とをチューブで接続する場合と異なり継手等が不要であり、閉塞部材の取り付け作業の効率化を図ることができる。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、請求項６記載の液剤滴下装置において、前記貫通孔の前記固定面側には、該貫通孔よりも大径の大径部が形成されるとともに、前記貫通孔の前記当接面側には、該貫通孔よりも小径の小径部が形成され、前記供給弁は、前記貫通孔内の当接面側に配置されるボール部材と、前記ボール部材よりも前記固定面側に配置されるコイルばねと、前記大径部に圧入され前記コイルばねを押さえる押さえ部材とから構成され、前記垂直部内には、前記小径部よりも小径に形成された棒状のロッドが上下動可能に挿入されるようにした。同構成によれば、垂直部内に挿入されたロッドを上下動させることでボール部材が移動して供給弁が開閉されるため、例えば搬送用容器内とシリンジ内とをチューブで接続し、該チューブをピンチバルブで開閉する場合等に比べ、液剤滴下装置の小型化を図ることができる。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、請求項６に記載の液剤滴下装置において、前記貫通孔の前記固定面側には、該貫通孔よりも大径の大径部が形成されるとともに、前記貫通孔の前記当接面側には、該貫通孔よりも小径の小径部が形成され、前記供給弁は、前記貫通孔内の当接面側に配置されるボール部材と、前記ボール部材よりも前記固定面側に配置されるコイルばねと、前記大径部に圧入され前記コイルばねを押さえる押さえ部材とから構成され、前記支持面における前記垂直部の周囲には、前記小径部に挿入され前記ボール部材を押し上げる突起部が形成され、前記支持部材には、前記管路を開閉する開閉弁が設けられた。同構成によれば、閉塞部材を支持部材上に載置することで、突起部が小径部内に挿入されてボール部材が押し上げられ、供給弁が常に開いた状態になる。そして、管路を構成する開閉弁としてその他の弁を用いることができ、既存の弁を用いることで製造コストの低減を図ることができる。
【００１５】
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の液剤滴下装置において、前記支持部材に収容され、軸方向両端に径方向外側に向かって第１及び第２フランジ部が延設されるとともに、前記第１及び第２フランジ部の端面に環状の凸部が形成されたチューブを備え、前記水平部は、前記垂直部に連結された第１流路と、前記シリンジ内に連結される第２流路とから構成され、前記支持部材には、前記第１流路と前記第２流路との間にて一側面側に開口した空洞部と、前記第１流路と前記空洞部との間にて前記第１フランジ部が収容される第１収容部と、前記第２流路と前記空洞部との間にて前記第２フランジ部が収容される第２収容部とが形成されるとともに、前記第１収容部と前記空洞部との間には、前記第１フランジ部よりも小径、且つ前記チューブの円筒部よりも大径の第１鍔部が径方向内側に向かって延設され、前記空洞部と前記第２収容部との間には、前記第２フランジ部よりも小径、且つ前記円筒部よりも大径の第２鍔部が径方向内側に向かって延設され、前記チューブは、前記第１フランジ部が前記第１収容部に軸方向に押圧された状態で収容され、前記第２フランジ部が前記第２収容部に軸方向に押圧された状態で収容されて前記第１流路と前記第２流路とを連通し、前記空洞部内に前記チューブを開閉する前記開閉弁が配置された。同構成によれば、第１及び第２フランジ部（凸部）が押圧されてそれぞれ第１及び第２収容部に収容されることで、凸部と第１及び第２収容部とが密着し、液晶が漏洩することを防止できる。従って、このように支持部材を形成することで、継手を介さずにチューブを取り付けることができ、取り付け作業の効率化を図ることができる。また、滴下弁を同様に構成することで、部品を共通化することが可能になり、製造コストの低減を図ることができる。
【００１６】
請求項１０に記載の発明は、請求項６〜９のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置において、前記閉塞部材を前記支持部材上に保持する保持手段を備えた。同構成によれば、保持手段によって閉塞部材が支持部材に保持されるため、液剤滴下装置を移動させても、搬送用容器及び閉塞部材が支持部材から落下することを防止できる。
【００１７】
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載の液剤滴下装置において、前記保持手段は、前記閉塞部材及び前記支持部材のうちの何れか一方に設けられた締結部材と、前記閉塞部材及び前記支持部材のうちの何れか他方に設けられるとともに前記締結部材に係止する係止部材とから構成されるようにした。同構成によれば、例えばフックを有する締結部材にリンク状の係止部材が係止することで閉塞部材が支持部材に保持され、搬送用容器及び閉塞部材が支持部材から落下することを防止できる。
【００１８】
請求項１２に記載の発明は、請求項１０に記載の発明において、前記保持手段は、前記支持部材に支持された状態の前記搬送用容器の底部よりも上方に固定された固定部材と、先端が前記支持部材側に露出するように前記固定部材に螺入されたボルトと、前記ボルトの先端に設けられ前記搬送用容器の底部に当接する押さえ部材とから構成されるようにした。同構成によれば、固定部材に螺入されたボルトを回すことで、ボルトとともに押さえ部材が移動する。そして、押さえ部材によって搬送用容器を支持部材に押圧することで閉塞部材が支持部材に保持され、搬送用容器及び閉塞部材が支持部材から落下することを防止できる。また、ボルトを回すことで閉塞部材の保持、又はその解除を行うことができるので、閉塞部材の保持をモータ等により容易に自動化できる。
【００１９】
請求項１３に記載の発明は、請求項１〜１２のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置において、前記シリンジの下端に設けられる筐体と、前記筐体内に収容され、軸方向両端に径方向外側に向かって第１及び第２フランジ部が延設されるとともに、前記第１及び第２フランジ部の端面に環状の凸部が形成されたチューブとを備え、前記筐体には、前記シリンジが固定される第１挿入孔と、前記ノズルが固定される第２挿入孔と、前記第１挿入孔と前記第２挿入孔との間に一側面側に開口した空洞部とが形成されるとともに、前記第１挿入孔と前記空洞部との間には、前記第１フランジ部よりも小径、且つ前記チューブの円筒部よりも大径の第１鍔部が径方向内側に向かって延設され、前記空洞部と前記第２挿入孔との間には、前記第２フランジ部よりも小径、且つ前記円筒部よりも大径の第２鍔部が径方向内側に向かって延設され、前記チューブは、前記第１フランジ部が前記第１鍔部と前記シリンジとの間で軸方向に押圧された状態で収容され、前記第２フランジ部が前記第２鍔部と前記ノズルとの間で軸方向に押圧された状態で前記筐体に収容されて前記シリンジ内と前記ノズルとを連通し、前記空洞部内に前記チューブを開閉する前記滴下弁が配置されるようにした。同構成によれば、シリンジ及びノズルが筐体に固定されることで第１及び第２フランジ部（凸部）が押圧されてシリンジと凸部、及びノズルと凸部が密着し、液晶が漏洩することを防止できる。従って、このような筐体を用いることで、継手を介さずにチューブを取り付けることができ、取り付け作業の効率化を図ることができる。
【００２０】
請求項１４に記載の発明は、請求項１〜１３のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置において、前記搬送用容器内の前記液剤の残量を検出する検出手段と、前記搬送用容器を移動させる移動手段と、前記検出手段からの出力信号により前記搬送用容器内に前記液剤が無くなったと判定した場合に、前記移動手段を駆動して前記搬送用容器及び前記閉塞部材を前記支持部材から取り外し、前記液剤が充填され且つ前記閉塞部材が取り付けられた前記搬送用容器を前記支持部材に支持させる制御装置とを備えた。同構成によれば、搬送用容器内の液晶が無くなった場合に、新たな搬送用容器に自動に交換することができる。
【００２１】
請求項１５に記載の発明は、請求項１〜１４のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置と、上面に基板が固定されるステージと、前記液剤滴下装置を前記基板の上方にて支承する支承部材と、前記液剤滴下装置を前記基板に対して水平方向に相対移動させる移動手段と、を備えた。
【００２２】
同構成によれば、液剤滴下装置が移動することでステージ上に固定された基板の所定位置に液晶が滴下され、基板が処理される。そして、液剤を無駄にすることなく搬送用容器からディスペンサ（シリンジ）へ液剤を供給できるため、基板の低コスト化を図ることできる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、液晶を無駄にすることなく、搬送用容器からシリンジへ液晶を供給可能な液剤滴下装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を貼り合せ基板製造装置の液晶滴下装置に具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
図１に示す基板処理装置１は、２種類の基板（下基板、上基板）の間に液晶を封入してアクティブマトリクス型液晶表示パネル等を製造する製造ライン（図示略）に備えられている。基板処理装置１は、液晶ディスプレイパネルの製造工程のうち、２枚の基板の対向面（本実施形態では、下基板Ｗ）に液剤としての液晶を滴下する工程において用いられる。
【００２５】
基板処理装置１を構成する直方体状の基台１１上には、直方体状をなすステージ１２が載置されている。このステージ１２の上面１２ａは水平に形成されている。対象物としての下基板Ｗはステージ１２内に設けられた吸着装置（図示略）によって、該下基板Ｗとステージ１２との間に介在する気体が吸引されることで発生する真空吸着力によりステージ１２上に固定される。
【００２６】
ステージ１２が載置された基台１１には、ステージ１２を跨ぐガントリ１３が設けられている。ガントリ１３は、基台１１から上方に向かって互いに平行に延びる一対の支持脚１３ａと、２つの支持脚１３ａ間に掛け渡され該支持脚１３ａの上端部同士を連結する連結部１３ｂとによりコ字状をなしている。一対の支持脚１３ａの基端部は、基台１１の上面においてステージ１２の両側に該ステージ１２に沿って平行に形成された一対の案内溝１１ａ内にそれぞれ挿入されている。そして、ガントリ１３は、基台１１内に一対の支持脚１３ａにそれぞれ対応して設けられたｙ軸アクチュエータ１４により、案内溝１１ａに沿ってｙ方向（図１における紙面垂直方向）に移動される。ガントリ１３の連結部１３ｂには、ｘ軸アクチュエータ１５の駆動力により該連結部１３ｂに沿ってｘ方向に移動するｘ軸ベース１６が設けられている。本実施形態では、ガントリ１３及びｘ軸ベース１６によって支承部材が構成され、ｙ軸アクチュエータ１４及びｘ軸アクチュエータ１５によって移動手段が構成される。なお、ｘ方向はｙ方向と直交する方向であり、図１においては、左右方向がｘ方向となっている。
【００２７】
ｘ軸ベース１６には、液晶滴下装置２１が該ｘ軸ベース１６と一体移動可能に取り付けられている。液晶滴下装置２１は、ｘ軸ベース１６に固着された取り付け部材２２にディスペンサ２３が取着されている。図２に示すように、ディスペンサ２３のシリンジ２４は、中空略円筒状に形成されており、該シリンジ２４内に液晶が貯留されるようになっている。シリンジ２４には、その側面とシリンジ２４内とに開口する供給孔２５が形成されるとともに、該供給孔２５と対応する位置に支持部材２６が固着されている。支持部材２６には、液晶が貯留された搬送用容器２７の開口部２８を閉塞した閉塞部材２９が固定されている。また、搬送用容器２７内には、外部から不活性ガス（例えば、窒素ガスなど）が供給されるようになっている。そして、閉塞部材２９が支持部材２６に支持された状態で、シリンジ２４内に液晶を供給する管路と、搬送用容器２７内とが連通するようになっている。これにより、搬送用容器２７内に貯留された液晶がシリンジ２４内に供給可能となっている。
【００２８】
シリンジ２４の上端には、開口３０を介して円柱状に形成されたプランジャ３１がシリンジ２４内に挿入されている。プランジャ３１は、シリンジ２４の内径よりもやや小径に形成されるとともに、該シリンジ２４とプランジャ３１との間にシール部材３２及びスペーサ３３が介在されることで、開口３０から液晶が溢れ出すことが防止されている。また、プランジャ３１には、該プランジャ３１をシリンジ２４に対してｚ方向に沿って相対移動させる駆動機構４１が連結されている。
【００２９】
駆動機構４１は、取り付け部材２２の上方においてｘ軸ベース１６に固定されている。本実施形態では、駆動機構４１は、ボールねじ（図示略）を回転させることで、該ボールねじに螺合するブラケット４２を任意の位置に移動させるボールねじ駆動装置が採用されている。そして、ボールねじには、カップリング４３を介してモータ等からなるプランジャ駆動部４４が連結されるとともに、ブラケット４２には、プランジャ３１の把持部３１ａが連結され、プランジャ駆動部４４の回転によりプランジャ３１がｚ方向に沿って移動するようになっている。なお、ｚ方向はｘ方向及びｙ方向の両方向と直交する方向（図２における上下方向）である。
【００３０】
また、シリンジ２４の下端には、四角筒状の筐体５１が固定されるとともに、該筐体５１内には、シリンジ２４内とノズル５２の吐出口５２ａとを連通する流路としてのチューブ５３が収容されている。チューブ５３は、可撓性を備え、かつ液晶に対し耐食性を備えた合成ゴム、例えばシリコンゴム等で形成されている。図３に示すように、チューブ５３は、その軸方向両端に径方向外側に向かって第１及び第２フランジ部５４，５５が延設されるとともに、第１及び第２フランジ部５４，５５の端面には環状の凸部５６，５７が形成されている。
【００３１】
筐体５１の上端にはシリンジ２４が固定される第１挿入孔５８が形成されるとともに、筐体５１の下端にはノズル５２が固定される第２挿入孔５９が形成されている。また、第１挿入孔５８と第２挿入孔５９との間には、一側面側に開口した空洞部６０が形成されており、筐体５１にチューブ５３が収容された状態で、チューブ５３の円筒部６１が露出するようになっている。第１挿入孔５８と空洞部６０との間には、第１フランジ部５４よりも小径、且つ円筒部６１よりも大径の第１鍔部６２が径方向内側に向かって延設されるとともに、空洞部６０と第２挿入孔５９との間には、第１鍔部６２と同径の第２鍔部６３が径方向内側に向かって延設されている。そして、チューブ５３は、第１フランジ部５４が第１鍔部６２よりもシリンジ２４側となり、第２フランジ部５５が第２鍔部６３よりもノズル５２側となるように筐体５１に収容されている。従って、シリンジ２４と第１鍔部６２との間に第１フランジ部５４が介在し、第２鍔部６３とノズル５２との間に第２フランジ部５５が介在する。そして、シリンジ２４及びノズル５２が筐体５１に螺着されることで第１及び第２フランジ部５４，５５（凸部５６，５７）が押圧されてシリンジ２４と凸部５６、及びノズル５２と凸部５７が密着し、液晶が漏洩することが防止されている。
【００３２】
また、空洞部６０内には、ピンチバルブからなる滴下弁６４が配置されている。詳しくは、滴下弁６４はソレノイド等からなる滴下弁駆動部６５からアーム６６が突出形成され、そのアームから３本の挟着片６７ａ〜６７ｃが平行に突出形成されている。挟着片６７ａ〜６７ｃのうち両側の挟着片６７ａ，６７ｃはアーム６６に対し固定され、中央の挟着片６７ｂは挟着片６７ａ又は挟着片６７ｃに向かって移動可能に構成されている。そして、チューブ５３は挟着片６７ａ，６７ｂの間に挿通されている。滴下弁６４は、挟着片６７ｂを挟着片６７ａに向かって移動させることによりチューブ５３を挟着して流路を閉じ、挟着片６７ｂを挟着片６７ｃに向かって移動させることによりチューブ５３の挟着を解除して流路を開いた状態にするようになっている。このように、ピンチバルブからなる滴下弁６４を用いることで、流路の開閉に際して気泡が発生し難くなっている。
【００３３】
図１に示すように、制御装置７１は、ｙ軸アクチュエータ１４及びｘ軸アクチュエータ１５に接続されている。ｙ軸アクチュエータ１４及びｘ軸アクチュエータ１５は、制御装置７１からの信号により、それぞれ液晶滴下装置２１をｙ方向又はｘ方向に移動させることで、液晶滴下装置２１が下基板Ｗ上方の所定位置に移動するようになっている。また、図２に示すように、制御装置７１は、プランジャ駆動部４４及び滴下弁駆動部６５に接続されている。プランジャ駆動部４４は制御装置７１からの信号によりプランジャ３１を移動させるとともに、滴下弁駆動部６５は制御装置７１からの信号によりチューブ５３の流路を開閉するようになっている。
【００３４】
そして、液晶滴下装置２１は、シリンジ２４内と搬送用容器２７内とを連通する管路が開き、シリンジ２４内とノズル５２の吐出口５２ａとを連通する流路が閉じた状態において、プランジャ３１が上動するとともに、搬送用容器２７内に不活性ガスが供給されることにより、液晶がシリンジ２４内に供給されるようになっている。なお、搬送用容器２７内に不活性ガスが供給されることで、シリンジ２４内に素早く液晶を供給することができる。また、上記管路が閉じ、上記流路が開いた状態において、プランジャ３１が下動することによりシリンジ２４内の液晶がチューブ５３を介してノズル５２に供給され、吐出口５２ａから液晶が吐出されるようになっている。
【００３５】
次に、搬送用容器２７を閉塞する閉塞部材２９及び支持部材２６について説明する。なお、搬送用容器２７は、例えば透明のガラス瓶等により形成されており、その開口部２８の外周面に形成された雄ねじ部２８ａに蓋（図示略）が螺着されて、搬送用容器２７内が密閉されるようになっている。そして、液晶は、液晶材料メーカから搬送用容器２７に充填された状態で提供される。
【００３６】
図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、閉塞部材２９は、略直方体状に形成されるとともに、その上面８１には、搬送用容器２７の開口部２８を閉塞する本体部としての凹部８２が形成されている。また、凹部８２の固定面としての底面８３における周縁部には、円環状に形成されたシール部材８４が取着されるとともに、凹部８２の内周面には、搬送用容器２７の雄ねじ部２８ａに対応する固定手段としての雌ねじ部８５が形成されている。そして、搬送用容器２７に閉塞部材２９が螺合することで、開口部２８がシール部材８４を介して凹部８２に密着して固定されている。
【００３７】
また、閉塞部材２９には、底面８３及び支持部材２６に当接する当接面８６に開口する直線状の貫通孔８７と、底面８３及び該閉塞部材２９の側面８８に開口するＬ字状の給気孔８９とが形成されている。
【００３８】
貫通孔８７における底面８３側には該貫通孔８７よりも大径の大径部９０が形成されるとともに、その当接面８６側には貫通孔８７よりも小径の小径部９１が形成されている。そして、閉塞部材２９は、貫通孔８７を開閉する供給弁９２を備えている。供給弁９２は、貫通孔８７内の当接面８６側に配置されるボール部材９３と、ボール部材９３よりも底面８３側に配置されるコイルばね９４と、大径部９０に圧入されコイルばね９４を押さえる押さえ部材９５とを備えている。ボール部材９３は、小径部９１よりも大径、且つ貫通孔８７よりも小径に形成されている。つまり、コイルばね９４によりボール部材９３が当接面８６側に向かって押圧されることでボール部材９３が貫通孔８７を閉塞し、外部からボール部材９３に力が作用しない限り貫通孔８７が開口しないようになっている。なお、供給弁９２は、外部から力が作用しない場合には閉じている、所謂ノーマルクローズ型の弁として構成されている。そのため、閉塞部材２９が取り付けられた搬送用容器２７の開口部２８を下方に向けても、液晶が漏洩しないようになっている。また、コイルばね９４は、プランジャ３１が下降することで液晶に付与された圧力では、供給弁９２が開かないように構成されている。
【００３９】
また、給気孔８９の側面８８側には、逆止弁付きの導入口９６が取着されており、該導入口９６には、不活性ガス（例えば、窒素ガス等）を供給するホース９７が接続されるようになっている。ホース９７には、制御装置７１が接続されており、ホース９７は制御装置７１からの信号に応じて駆動機構（図示略）により導入口９６に着脱されるようになっている。また、給気孔８９の底面８３側には、液晶に対し耐食性を備えた合成ゴム、例えばシリコンゴム等からなる導管９８が取着されており、外部から供給される不活性ガスが導管９８を介して搬送用容器２７内に導入されるようになっている。
【００４０】
図５に示すように、支持部材２６は、略直方体状に形成されるとともに、その側面がシリンジ２４に固着されている。また、支持部材２６の上面１０１には、閉塞部材２９の当接面８６と略同形状の嵌合部１０２が凹設されている。そして、支持部材２６には、貫通孔８７に連結される直線状の垂直部１０３と、該垂直部１０３とシリンジ２４内とを連通する水平部１０４とから構成されるＬ字状の流路が形成されている。本実施形態では、垂直部１０３及び水平部１０４によって管路が構成されている。具体的には、垂直部１０３は、嵌合部１０２における支持面１０２ａに開口して貫通孔８７と連結され、水平部１０４は、垂直部１０３から水平方向に形成されるとともに支持部材２６の側面に開口して供給孔２５に連結されている。さらに、垂直部１０３と水平部１０４との交差点及び支持部材２６の下面１０５との間を貫通する直線状の挿入孔１０６が形成されている。そして、挿入孔１０６内には、小径部９１及び垂直部１０３よりも小径の棒状のロッド１０７がｚ方向に移動可能に挿入されるとともに、ロッド１０７と挿入孔１０６との間にはシール部材１０８が介在されている。このシール部材１０８により、挿入孔１０６から液晶が漏洩することが防止されるようになっている。そして、ロッド１０７は、下面１０５に設けられたロッド駆動部１０９により、ｚ方向に移動することで、ボール部材９３をコイルばね９４の付勢力に抗して押し上げ、貫通孔８７が開口するようになっている。
【００４１】
また、図６に示すように、支持部材２６の上面１０１には、嵌合部１０２を挟むようにして配置された複数（本実施形態では、４本）の柱１１１が立設されるとともに、柱１１１の上端部には固定部材としての天板１１２が固定されている。なお、柱１１１の上端部は、支持部材２６に支持された状態の搬送用容器２７の底部よりも上方に位置し、天板１１２は搬送用容器２７の底部よりも上方に固定されている。天板１１２には、ねじ溝が形成されたねじ孔１１３が形成されるとともに、先端が支持部材２６側に露出するようにボルト１１４が挿入されている。また、ボルト１１４の先端（図６において下側）には搬送用容器２７の底部に当接する円板状の保持板１１５が設けられるとともに、ボルト１１４の基端（図６において上側）には保持板駆動部１１６が設けられている。そして、保持板駆動部１１６によりボルト１１４が回転することで、保持板１１５がボルト１１４とともに上下方向に移動するようになっている。搬送用容器２７及び閉塞部材２９が支持部材２６に支持された状態で保持板１１５を下方に移動させることで、搬送用容器２７及び閉塞部材２９を支持部材２６に押圧し、閉塞部材２９が支持部材２６上に保持されている。本実施形態では、柱１１１，天板１１２，ボルト１１４、保持板１１５及び保持板駆動部１１６により保持手段が構成されている。
【００４２】
図２に示すように、制御装置７１には、ロッド駆動部１０９及び保持板駆動部１１６が接続されている。ロッド駆動部１０９は制御装置７１からの信号により、ロッド１０７を移動させて供給弁９２を開閉させるようになっている。保持板駆動部１１６は制御装置７１からの信号により、ボルト１１４を回転させることで保持板１１５を上下方向に移動させ、搬送用容器２７及び閉塞部材２９の保持、又はその解除を行うようになっている。また、制御装置７１には、搬送用容器２７を把持する移動手段としてのロボットアーム１１７及び検出手段としての光電センサ１１８が接続されている。本実施形態では、ロボットアーム１１７は、搬送用容器２７を挟み込むことで把持し、ロボットアーム１１７の搬送用容器２７との接触部には、高摩擦係数の弾性材料が設けられている。これにより、搬送用容器２７がロボットアーム１１７から脱落すること、及び搬送用容器２７がロボットアーム１１７により把持される際に加わる力で破損することが防止されている。また、光電センサ１１８は、搬送用容器２７の開口部２８付近に設けられ、搬送用容器２７の液晶の残量を検出している。
【００４３】
次に、搬送用容器２７の交換について説明する。
制御装置７１は、光電センサ１１８からの出力信号に基づいて搬送用容器２７の液晶が無くなったと判断すると、ホース９７を導入口９６から取り外し、保持板駆動部１１６を駆動して保持板１１５を上方向に移動させ、搬送用容器２７及び閉塞部材２９の支持部材２６に対する保持を解除する。次に、制御装置７１は、ロボットアーム１１７を駆動させて搬送用容器２７を挟持し、搬送用容器２７及び閉塞部材２９を支持部材２６から取り外して、この搬送用容器２７及び閉塞部材２９を使用済み棚（図示略）に載置する。続いて、制御装置７１は、ロボットアーム１１７を駆動して、液晶が充填され且つ閉塞部材２９が取着された搬送用容器２７を未使用棚（図示略）から取り出し、開口部２８が下方に向くようにして支持部材２６上に載置する。なお、未使用棚には、液晶が充填され且つ閉塞部材２９が取着された搬送用容器２７が載置されている。そして、制御装置７１は、保持板駆動部１１６を駆動して保持板１１５を下方向に移動させ、搬送用容器２７及び閉塞部材２９を支持部材２６上に保持し、ホース９７を導入口９６に取り付けることで搬送用容器２７を取り替える。
【００４４】
従って、搬送用容器２７の開口部２８が下方を向いた状態で支持部材２６に支持されるため、搬送用容器２７の上方からチューブ等を差し込み、液晶を吸い上げてシリンジ２４に供給する場合と異なり、搬送用容器２７の底に液晶が残らず、液晶が無駄なくシリンジ２４に供給される。また、上記従来のように、搬送用容器２７からバレルに液晶を移し替える必要がなく、作業効率の低下が防止されるとともに、液晶を移し替える作業中にちり等が混入することが防止される。
【００４５】
また、雌ねじ部８５により開口部２８が閉塞部材２９の凹部８２に固定されているため、例えば搬送用容器全体を収容する収容部材を用いる場合に比べ、部品点数が削減される。加えて、搬送用容器２７を容易に視認することができ、液晶の残量が容易に把握される。
【００４６】
さらに、液晶滴下装置２１は、ｘ軸アクチュエータ１５及びｙ軸アクチュエータ１４により移動して、基板状の所定位置に液晶を滴下するため、搬送用容器２７が落下するおそれがある。この点、本実施形態では、保持板１１５により保持されているため、液晶滴下装置２１が移動しても、搬送用容器が落下することが防止される。
【００４７】
以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）液晶滴下装置２１は、搬送用容器２７の開口部２８を閉塞する閉塞部材２９と、シリンジ２４に固定され、搬送用容器２７をその開口部２８が下方に向いた状態となるように閉塞部材２９を着脱可能に支持する支持部材２６と、搬送用容器２７からシリンジ２４に液晶を供給する管路とを備えた。そして、閉塞部材２９は、搬送用容器２７の開口部２８を閉塞する本体部としての凹部８２と、搬送用容器２７を凹部８２に固定する雌ねじ部８５と、搬送用容器２７内と管路とに連通する貫通孔８７と、貫通孔８７を開閉する供給弁９２とから構成される。従って、搬送用容器２７の開口部２８が下方を向いた状態で支持部材２６に支持されるため、搬送用容器２７の上方からチューブ等を差し込み、液晶を吸い上げてシリンジ２４に供給する場合と異なり、搬送用容器２７の底に液晶が残らず、液晶が無駄なくシリンジ２４に供給できる。また、上記従来のように、搬送用容器２７からバレルに液晶を移し替える必要がなく、作業効率の低下を防止できるとともに、液晶を移し替える作業中にちり等が混入することを防止できる。
【００４８】
（２）雌ねじ部８５により開口部２８を閉塞部材２９の凹部８２に固定したため、例えば搬送用容器２７全体を収容する収容を用いる場合に比べ、部品点数を削減できる。加えて、搬送用容器２７を容易に視認することが可能になり、液晶の残量が容易に把握できる。
【００４９】
（３）搬送用容器２７内に不活性ガスを供給する給気孔８９が形成されたため、シリンジ２４内に液晶を供給する際に搬送用容器２７内に不活性ガスを給気することで、プランジャ３１によりシリンジ２４内を負圧にすることのみでシリンジ２４内に液晶を供給する場合と異なり、気泡を発生させずに素早く液晶を供給できる。
【００５０】
（４）閉塞部材２９が取り付けられた搬送用容器２７内と、シリンジ２４内とが支持部材２６に形成された垂直部１０３及び水平部１０４を介して連通されるため、例えば搬送用容器２７内とシリンジ２４内とをチューブで接続する場合と異なり継手等が不要であり、閉塞部材２９の取り付け作業の効率化を図ることができる。
【００５１】
（５）垂直部１０３内に挿入されたロッド１０７を上下動させることでボール部材９３が移動して供給弁９２が開閉されるため、例えば搬送用容器２７内とシリンジ２４内とをチューブで接続し、該チューブをピンチバルブで開閉する場合等に比べ、液晶滴下装置２１の小型化を図ることができる。
【００５２】
（６）保持板１１５が搬送用容器２７及び閉塞部材２９を支持部材２６に押圧することで搬送用容器２７及び閉塞部材２９を保持したため、液晶滴下装置２１を移動させても、搬送用容器２７及び閉塞部材２９が支持部材２６から落下することを防止できる。
【００５３】
（７）ボルト１１４を回すことで保持板１１５が移動し、搬送用容器２７及び閉塞部材２９の保持、又はその解除を行うことができるので、搬送用容器２７及び閉塞部材２９の保持、又はその解除をモータ等により容易に自動化できる。
【００５４】
（８）チューブ５３は、第１フランジ部５４がシリンジ２４と第１鍔部６２との間で軸方向に押圧された状態で収容され、第２フランジ部５５が第２鍔部６３とノズル５２との間で軸方向に押圧された状態で筐体５１に収容されてシリンジ２４内とノズル５２とを連通している。そのため、シリンジ２４と凸部５６、及びノズル５２と凸部５７が密着し、液晶が漏洩することを防止できる。また、このような筐体５１を用いることで、継手を介さずにチューブ５３を取り付けることができ、取り付け作業の効率化を図ることができる。
【００５５】
（９）制御装置７１は、光電センサ１１８からの出力信号により搬送用容器２７内に液晶が無くなったと判定した場合に、ロボットアーム１１７を駆動して搬送用容器２７及び閉塞部材２９を支持部材２６から取り外し、液晶が充填され且つ閉塞部材２９が固定された搬送用容器２７を支持部材２６上に載置させるようにした。そのため、搬送用容器２７内の液晶が無くなった場合に、新たな搬送用容器２７に自動に交換することができる。
【００５６】
（１０）液晶滴下装置２１が移動することでステージ１２上に固定された下基板Ｗの所定位置に液晶が滴下され、下基板Ｗが処理される。そして、液晶を無駄にすることなく搬送用容器２７からディスペンサ２３（シリンジ２４）へ液晶を供給できるため、下基板Ｗの低コスト化を図ることできる。
【００５７】
なお、本実施形態は、以下の態様で実施してもよい。
・本実施形態では、閉塞部材２９を搬送用容器２７に螺合させることで、開口部２８が凹部８２に固定されるようにした。しかし、これに限らず、図７に示すように、搬送用容器２７を閉塞部材１２１及び有底筒状の収容部材１２２内に収容して、開口部２８が閉塞部材１２１の凹部８２に固定されるようにしてもよい。具体的には、搬送用容器２７は、開口部２８が閉塞部材１２１の凹部８２に当接し、搬送用容器２７の底部が収容部材１２２の底部１２３に当接するようにして収容されている。そして、図８に示すように、閉塞部材１２１に設けられたフックを有する締結部材１２４に収容部材１２２に設けられた環状の係止部材１２５が係止することで、閉塞部材１２１と収容部材１２２とが固定されている。また、図７に示すように、収容部材１２２の筒部１２６に開口窓１２７が形成されている。なお、この場合、閉塞部材１２１、収容部材１２２、締結部材１２４及び係止部材１２５により固定手段が構成される。また、閉塞部材１２１は、閉塞部材２９と同様に構成されている。
【００５８】
一般に、搬送用容器２７は、液晶などの液剤に対して耐食性に優れるとともに、安価なガラス瓶であることが多い。しかしながら、ガラスは破損しやすい材質であるため、金属製のロボットハンド等で持ち運ぶことが困難である。この点、閉塞部材１２１及び収容部材１２２に搬送用容器２７を収容する構成では、収容部材１２２を把持することで容易に搬送用容器２７をロボットハンド等で持ち運ぶことが可能になり、容易に自動化することができる。また、搬送用容器２７に雄ねじ部２８ａが形成されていない場合であっても、その開口部２８を閉塞部材１２１の凹部８２に固定できる。さらに、収容部材１２２の筒部１２６に開口窓１２７が形成されているため、搬送用容器２７内の液晶の残量を容易に視認することができる。
【００５９】
また、図９に示すように、収容部材１３１を、係止部材１２５が設けられるロック部１３２と、ロック部１３２と底部１３３とを連結する棒状の連結部１３４とから構成してもよい。このようにすることで、図８で示した構成の効果に加え、連結部１３４を把持することで搬送用容器２７を持ち運ぶことが可能になり、収容部材１３１全体を把持せずに済むため、搬送用容器２７の容量が大きな場合であっても容易に持ち運ぶことができる。なお、この場合、閉塞部材１２１、締結部材１２４、係止部材１２５及び収容部材１３１により固定手段が構成される。
【００６０】
・本実施形態では、保持板１１５が搬送用容器２７及び閉塞部材２９を支持部材２６に押圧することで搬送用容器２７及び閉塞部材２９を保持したが、これに限らない。例えば、図１０に示すように、閉塞部材２９の外周に締結部材１２４が設けられたロック部材１４１を固着するとともに、支持部材２６に係止部材１２５を設け、これらによって閉塞部材２９を支持部材２６上に保持するようにしてもよい。また、閉塞部材２９を鉄などの磁性材料で形成するとともに、支持部材２６に磁石を設けることで、磁力によって閉塞部材２９を支持部材２６上に保持するようにしてもよい。
【００６１】
・本実施形態では、垂直部１０３内にロッド１０７をｚ方向に移動可能に挿入し、ボール部材９３を押し上げることにより供給弁９２を開閉するようにした。しかし、これに限らず、例えば、図１１に示すように、閉塞部材２９を支持部材２６上に載置した状態で供給弁９２が常に開いた状態になるとともに、管路（垂直部１０３及び水平部１０４）を開閉する開閉弁を設けてもよい。具体的には、支持部材１５１は、略直方体状に形成されるとともに、その側面がシリンジ２４に固着されている。また、支持部材１５１における上面１５２には、閉塞部材２９の当接面８６と略同形状の嵌合部１５３が凹設されている。そして、支持部材１５１には、貫通孔８７に連結される直線状の垂直部１５４と、該垂直部１５４とシリンジ２４内とを連通する水平部１５５とから構成されるＬ字状の流路が形成されている。詳述すると、図１２に示すように、垂直部１５４は、嵌合部１５３における支持面１５６に開口して貫通孔８７と連結されるようになっている。支持面１５６における垂直部１５４の周囲には、小径部９１内に挿入可能な複数の突起部１５７が形成されている。これにより、閉塞部材２９が支持部材１５１上に載置されると、突起部１５７が小径部９１内に挿入されてボール部材９３が押し上げられ、供給弁９２が常に開いた状態になり、隣り合う突起部１５７の隙間から垂直部１５４に液晶が流れ込むようになっている。また、水平部１５５は、垂直部１５４に連結する第１流路１５８と、シリンジ２４内と連結される第２流路１５９と、第１流路１５８と第２流路１５９との間に設けられる円筒状のチューブ１６０とから構成されている。チューブ１６０は、チューブ５３と同様に形成されている。
【００６２】
支持部材１５１には、第１流路１５８と第２流路１５９との間で該支持部材１５１の下方に開口した空洞部１６１と、第１流路１５８と空洞部１６１との間にてチューブ１６０の第１フランジ部１６２が収容される第１収容部１６３と、第２流路１５９と空洞部１６１との間にて第２フランジ部１６４が収容される第２収容部１６５とが形成されている。さらに、第１収容部１６３と空洞部１６１との間には、第１フランジ部１６２よりも小径、且つ円筒部１６６よりも大径の第１鍔部１６７が径方向内側に向かって延設され、空洞部１６１と第２収容部１６５との間には、第２フランジ部１６４よりも小径、且つ円筒部１６６よりも大径の第２鍔部１６８が径方向内側に向かって延設されている。そして、チューブ１６０は、第１フランジ部１６２が第１収容部１６３に軸方向に押圧された状態で第１収容部１６３に収容され、第２フランジ部１６４が第２収容部１６５に軸方向に押圧された状態で収容されて第１流路１５８と第２流路１５９とを連通している。また、空洞部１６１内には、滴下弁６４と同様に構成されたピンチバルブからなる開閉弁１６９が配置されている。なお、開閉弁１６９は、制御装置７１に接続されており、シリンジ２４内へ液晶を供給する場合及びノズル５２から液晶を滴下する場合には、開閉弁１６９が本実施形態における供給弁９２と同様の作用をする。
【００６３】
このように構成することで、第１及び第２フランジ部１６２，１６４が押圧されてそれぞれ第１及び第２収容部１６５に収容されることで、凸部１７０，１７１がそれぞれ第１及び第２収容部１６３，１６５と密着し、液晶が漏洩することを防止できる。従って、継手を介さずにチューブ１６０を取り付けることができ、取り付け作業の効率化を図ることができる。また、例えば垂直部１５４内に挿入されたロッドを上下動させることで供給弁を開閉させる場合と異なり、チューブ１６０をチューブ５３と同様の構成とし、開閉弁１６９を滴下弁６４と同様のピンチバルブとして部品を共通化したため、製造コストの低減を図ることができる。なお、チューブ１６０を水平部１５５に設けなくともよく、垂直部１５４に設けてもよい。また、開閉弁１６９はピンチバルブでなくともよく、ダイヤフラム式の弁等その他の弁でもよい。
【００６４】
・本実施形態では、搬送用容器２７及び閉塞部材２９を支持部材２６上に保持するようにしたが、これに限らず、搬送用容器２７及び閉塞部材２９を支持部材２６上に保持しなくてもよい。
【００６５】
・本実施形態では、搬送用容器２７の開口部２８に雄ねじ部２８ａが形成されていたが、これに限らず、開口部に雄ねじ部が形成されていない搬送用容器からシリンジに液晶を供給してもよい。この場合には、図８又は図９に示した収容部材１２２，１３１に搬送用容器２７を収容する構成を用いることが望ましい。
【００６６】
・本実施形態では、支持部材２６にＬ字状の流路を形成するとともに、該支持部材２６上に閉塞部材２９を載置して固定したが、これに限らず、例えば支持部材が搬送用容器２７を吊り下げて支持するとともに、搬送用容器２７内とシリンジ２４内とを管路としてのチューブ等で連通するようにしてもよい。
【００６７】
・本実施形態では、ロボットアーム１１７を、ロボットアーム１１７の搬送用容器２７との接触部に高摩擦係数の弾性材料を設けたが、これに限らず、弾性材料を設けなくともよい。特に、図８及び図９に示したように、搬送用容器２７が収容部材１２２，１３１内に収容された場合には、ロボットアーム１１７に弾性材料を設けなくとも、搬送用容器２７が破損することが防止される。
【００６８】
・本実施形態では、ロボットアーム１１７を、搬送用容器２７を挟み込むことで把持するようにしたが、これに限らず、搬送用容器２７を保持して移動させることができれば、ロボットアームでなくともよく、どのような移動手段でもよい。
【００６９】
・本実施形態では、検出手段として光電センサ１１８を用いたが、これに限らず、搬送用容器内の残量を検出することができればよく、例えば搬送用容器２７内の圧力によって液晶の残量を検出してもよい。
【００７０】
・本実施形態では、基板処理装置１を液晶滴下装置２１がｙ方向及びｘ方向に移動可能に構成したが、これに限らず、下基板Ｗをｙ方向及びｘ方向に移動可能に構成してもよい。
【００７１】
・本実施形態では、液晶を滴下する液晶滴下装置に具現化したが、液晶以外の液剤を滴下してもよく、例えば接着剤やはんだペーストを滴下する装置に具現化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】基板処理装置の概略構成図。
【図２】液晶滴下装置の概略構成図。
【図３】筐体の拡大断面図。
【図４】（ａ）搬送用容器に取り付けられた閉塞部材の拡大断面図、（ｂ）閉塞部材の底面図。
【図５】支持部材の拡大断面図。
【図６】液晶滴下装置の側面図。
【図７】別の閉塞部材及び収容部材に収容された搬送用容器を示す断面図。
【図８】締結部材及び係止部材を示す図７の側面図。
【図９】別の閉塞部材及び収容部材に収容された搬送用容器を示す断面図。
【図１０】別の液晶滴下装置の一部側面図。
【図１１】別の液晶滴下装置の概略構成図。
【図１２】別の支持部材を示す図１１の拡大断面図。
【符号の説明】
【００７３】
１…基板処理装置、１２…ステージ、１２ａ…上面、１３…ガントリ、１３ａ…支持脚、１３ｂ…連結部、１６…ｘ軸ベース、２１…液晶滴下装置、２３…ディスペンサ、２４…シリンジ、２６，１５１…支持部材、２７…搬送用容器、２８…開口部、２８ａ…雄ねじ部、２９，１２１…閉塞部材、３１…プランジャ、５１…筐体、５２…ノズル、５３，１６０…チューブ、５４，１６２…第１フランジ部、５５，１６４…第２フランジ部、５６，５７，１７０，１７１…凸部、５８…第１挿入孔、５９…第２挿入孔、６０，１６１…空洞部、６１，１６６…円筒部、６２，１６７…第１鍔部、６３，１６８…第２鍔部、６４…滴下弁、７１…制御装置、８５…雌ねじ部、８６…当接面、８７…貫通孔、８９…給気孔、９０…大径部、９１…小径部、９２…供給弁、９３…ボール部材、９４…コイルばね、９５…押さえ部材、１０２ａ，１５６…支持面、１０３，１５４…垂直部、１０４，１５５…水平部、１０７…ロッド、１１１…柱、１１２…天板、１１４…ボルト、１１５…保持板、１１６…保持板駆動部、１１７…ロボットアーム、１１８…光電センサ、１２２，１３１…収容部材、１２３，１３３…底部、１２４…締結部材、１２５…係止部材、１２６…筒部、１２７…開口窓、１３２…ロック部、１３４…連結部、１５７…突起部、１５８…第１流路、１５９…第２流路、１６３…第１収容部、１６５…第２収容部、１６９…開閉弁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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