(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定子を被測定物に直接接触させて、その形状測定を行う形状測定機構の異常検出に際して、
前記測定子の形状を校正するための複数の基準球を測定し、
該基準球の測定により得られた、位置と大きさの共通する形状異常値と共通しない形状異常値とを判別し、
該共通する形状異常値から判別される測定子の磨耗状況と汚れ又はごみ付着状況、および該共通しない形状異常値から判別される基準球の磨耗状況と汚れ又はごみ付着状況のうちの少なくともいずれか１つを知らせることを特徴とする形状測定機構の異常検出方法。
【請求項２】
前記共通する形状異常値は、測定子の磨耗又は汚れ又はごみ付着であり、共通しない形状異常値は、基準球の磨耗又は汚れ又はごみ付着であると判別することを特徴とする請求項１に記載の形状測定機構の異常検出方法。
【請求項３】
前記共通する形状異常値が凹であれば、測定子の磨耗と判別することを特徴とする請求項２に記載の形状測定機構の異常検出方法。
【請求項４】
前記共通する形状異常値から測定子の磨耗状況を判別することにより、測定子の交換時期を知らせることを特徴とする請求項３に記載の形状測定機構の異常検出方法。
【請求項５】
前記共通する形状異常値が凸であれば、測定子の汚れ又はごみ付着と判別することを特徴とする請求項２に記載の形状測定機構の異常検出方法。
【請求項６】
前記共通しない形状異常値の一方が凹であれば、基準球の磨耗と判別することを特徴とする請求項２に記載の形状測定機構の異常検出方法。
【請求項７】
前記共通しない形状異常値から基準球の磨耗状況を判別することにより、基準球の交換時期を知らせることを特徴とする請求項６に記載の形状測定機構の異常検出方法。
【請求項８】
前記共通しない形状異常値の一方が凸であれば、基準球の汚れ又はごみ付着と判別することを特徴とする請求項２に記載の形状測定機構の異常検出方法。
【請求項９】
測定子を被測定物に直接接触させて、その形状測定を行う形状測定機構において、
前記測定子の形状を校正するための複数の基準球と、
該基準球の測定により得られた、位置と大きさの共通する形状異常値と共通しない形状異常値とを判別する判別手段と、
該共通する形状異常値から判別される測定子の磨耗状況と汚れ又はごみ付着状況、および該共通しない形状異常値から判別される基準球の磨耗状況と汚れ又はごみ付着状況のうちの少なくともいずれか１つを知らせる伝達手段と、
を有することを特徴とする形状測定機構。
【請求項１０】
前記共通する形状異常値は、測定子の磨耗又は汚れ又はごみ付着であり、共通しない形状異常値は、基準球の磨耗又は汚れ又はごみ付着であると判別する手段を更に備えたことを特徴とする請求項９に記載の形状測定機構。
【請求項１１】
前記共通する形状異常値が凹であれば、測定子の磨耗と判別する手段を更に備えたことを特徴とする請求項１０に記載の形状測定機構。
【請求項１２】
前記共通する形状異常値から測定子の磨耗状況を判別手段で判断することにより、前記伝達手段で測定子の交換時期を知らせることを特徴とする請求項１１に記載の形状測定機構。
【請求項１３】
前記共通する形状異常値が凸であれば、測定子の汚れ又はごみ付着と判別する手段を更に備えたことを特徴とする請求項１０に記載の形状測定機構。
【請求項１４】
前記共通しない形状異常値の一方が凹であれば、基準球の磨耗と判別する手段を更に備えたことを特徴とする請求項１０に記載の形状測定機構。
【請求項１５】
前記共通しない形状異常値から基準球の磨耗状況を判別手段で判断することにより、前記伝達手段で基準球の交換時期を知らせることを特徴とする請求項１４に記載の形状測定機構。
【請求項１６】
前記共通しない形状異常値の一方が凸であれば、基準球の汚れ又はごみ付着と判別する手段を更に備えたことを特徴とする請求項１０に記載の形状測定機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、倣いプローブ、タッチ測定プローブ、表面粗さ測定機用プローブ、輪郭形状測定機用プローブなどの各種測定子が用いられる形状測定機構の異常検出方法及び形状測定機構に係り、特に、測定子を被測定物に直接接触させて、その変化量の測定を行う形状測定機構に用いるのに好適な、測定子に汚れが付着した場合や、磨耗した場合などに、その判別が容易にでき、測定子の洗浄や取替えを適切に行うことが可能となる形状測定機構の異常検出方法及び形状測定機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
被測定物の形状測定を行う測定機構において、接触式の測定子（以下、単に測定子と称する）は、被測定物の測定を行っていると、徐々に被測定物上の数μｍ〜０．１ｍｍオーダの埃や油などにより、測定子先端が汚れてしまう。すると、接触感度が変化してしまったり、埃などの異物が測定子先端と被測定物の間に挟まったりするので、測定異常を生ずることとなる。これを回避するために、被測定物や測定子を洗浄液に浸けるなどして、洗浄がされている。しかし、浸けているだけでは汚れの除去が十分にできず、また除去された汚れが再付着する場合もあり、特許文献１に示すように測定子先端にエアを吹き付けて適時洗浄することが提案されている。
【０００３】
また、測定子は使用により、先端が磨耗し変形する。そこで、測定子先端の形状が磨耗によって変形しても正確な測定を行うことができるように、特許文献２に示す如く、測定子形状の校正用に基準球を設けて、測定子の校正を行うことが提案されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３５３２５号公報
【特許文献２】特開２００１−２８０９４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図１３（ａ）に示す如く、特許文献２に示される基準球３０を用いて、埃２などが基準球３０や測定子２４に付着した状態で測定したとする。この場合に測定される形状は、図１３（ｂ）で示される測定されるべき形状ではなく、図１３（ｃ）に示される形状が実際に測定される形状となる。従って、図１３（ｃ）の結果のみから、測定異常の要因が、測定子２４先端の汚れによるのか、もしくは基準球３０の汚れによるのかの判別が不明であった。従って、測定子２４先端と基準球３０の洗浄と測定をやみくもに繰り返すという余計な手間をかけていた。
【０００６】
また、もし基準球３０あるいは測定子２４先端の汚れであると特定できても、場所の特定が不十分であれば、やはり洗浄を複数回繰り返さなければならなかった。
【０００７】
さらに、測定子２４を長期間使用すると、基準球３０で校正しても、磨耗が極度に進行していると所望の測定精度が確保できなくなるため、測定子２４を交換する必要があった。しかし、汚れの影響もあり、測定子２４が磨耗しているかどうかを特定するのは困難であり、いつ測定子２４を交換するか判断がつかなかった。
【０００８】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、測定子２４先端の汚れやごみ付着なのか、測定子２４先端の磨耗による変形によるのか、もしくは基準球３０の汚れやごみ付着なのか、基準球３０先端の磨耗による変形によるのかの特定を可能として、少なくとも測定子２４先端の汚れやごみ付着あるいは基準球３０の汚れやごみ付着であればその場所の特定ができる、測定子２４先端の磨耗あるいは基準球３０の磨耗であればその磨耗領域の状況を特定できる、あるいは、測定子２４あるいは基準球３０の交換が必要かどうかの判断が可能となる、形状測定機構の異常検出方法及び形状測定機構を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明は、測定子を被測定物に直接接触させて、その形状測定を行う形状測定機構の異常検出に際して、前記測定子の形状を校正するための複数の基準球を測定し、該基準球の測定により得られた、位置と大きさの共通する形状異常値と共通しない形状異常値とを判別し、該共通する形状異常値から判別される測定子の磨耗状況と汚れ又はごみ付着状況、および該共通しない形状異常値から判別される基準球の磨耗状況と汚れ又はごみ付着状況のうち少なくともいずれか１つを知らせることにより前記課題を解決したものである。
【００１０】
本願発明の解決手段の原理について、図１を用いて説明する。基準球を複数、例えば、１３０ａと１３０ｂの２つ用意して、測定子１２４により、基準球１３０ａ、１３０ｂを測定する。このとき、汚れ又はごみ（埃とも称する）４が測定子１２４の表面に、埃６が基準球１３０ａの表面に、埃８が基準球１３０ｂの表面に、それぞれ付着しているとすると、基準球１３０ａ、１３０ｂの測定結果は、図１においてそれぞれの下段に示すような結果となる。このとき、測定子１２４の埃４はいずれの測定結果においても傾斜角度θで共通した形状異常値を示す。それに比べて、埃６は基準球１３０ａの測定結果に、埃８は基準球１３０ｂの測定結果に出てくるのみである。このように、測定子１２４の埃４は複数の基準球の共通した形状異常値から判別できる。
【００１１】
本発明は、又、測定子を被測定物に直接接触させて、その形状測定を行う形状測定機構において、前記測定子の形状を校正するための複数の基準球と、該基準球の測定により得られた、位置と大きさの共通する形状異常値と共通しない形状異常値とを判別する判別手段と、該共通する形状異常値から判別される測定子の磨耗状況と汚れ又はごみ付着状況、および該共通しない形状異常値から判別される基準球の磨耗状況と汚れ又はごみ付着状況のうちの少なくともいずれか１つを知らせる伝達手段と、を有することにより前記課題を解決したものである。
【００１２】
前記共通する形状異常値は、測定子の磨耗又は汚れ又はごみ付着であり、共通しない形状異常値は、基準球の磨耗又は汚れ又はごみ付着であると判別することができる。
【００１３】
前記共通する形状異常値が凹であれば、測定子の磨耗と判別することができる。
【００１４】
又、前記共通する形状異常値から測定子の磨耗状況を判別することにより、測定子の交換時期を知らせことができる。
【００１５】
前記共通する形状異常値が凸であれば、測定子の汚れやごみ付着と判別することができる。
【００１６】
前記共通しない形状異常値の一方が凹であれば、基準球の磨耗と判別することができる。
【００１７】
又、前記共通しない形状異常値から基準球の磨耗状況を判別することにより、基準球の交換時期を知らせることができる。
【００１８】
前記共通しない形状異常値の一方が凸であれば、基準球の汚れやごみ付着と判別することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、測定誤差の原因となる測定子先端や基準球に付着している汚れやごみが、測定子や基準球のどの位置に分布しているのか特定できるため、局部的な汚れやごみ付着箇所を狙って測定子先端や基準球を直接拭き取ることが可能である。
【００２０】
また、測定子や基準球に汚れやごみが付着しているかどうかの確認することができるので、他の構成部分を余計に洗浄しなくてすむため、作業の効率が向上する。
【００２１】
さらに、継続的に測定子や基準球の形状変化を追跡した場合には、測定子や基準球の磨耗による寿命を判断でき、より信頼性の高い測定が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００２３】
本発明に係る第１実施形態について、図２から図１１を用いて説明する。図２は本実施形態に係る形状測定機構の構成概略図、図３は本実施形態の形状測定機構の全体ブロック図、図４は基準球を用いた測定子の校正方法を示したフローチャート、図５は基準球の実際の測定方法を示した図、図６は１次元的に走査した基準球の形状測定値の一例を示した図、図７は測定子上の位置特定のための座標基準を示した図、図８は形状誤差を３次元的に示した図、図９は特定の緯度における２つの基準球の形状異常値を示した図、図１０は表示部に特定の緯度における測定子の磨耗状況を前回校正時と対比する一例を示した図、図１１は表示部に測定子の汚れ状況の一例を示した図である。
【００２４】
本実施形態の形状測定機構１００は、図３に示す如く、形状測定機構本体１１０と制御装置１５０とを有する。まず形状測定機構本体１１０について、図２に従い、説明する。
【００２５】
本実施形態の形状測定機構本体１１０は、例えば、３次元座標測定機の本体であり、基台１１２上に定盤１１４を備え、その上の門形のフレーム上にヘッド１２０を有する。該ヘッド１２０上には検出器１２２が設けられており、その先端部分に測定子１２４が取付けられている。前記門形のフレームは、定盤１１４から立ち上がる１対のコラム１１６と、該１対のコラム１１６間にかけ渡されたビーム１１８からなる。コラム１１６はビーム１１８を支え、ヘッド１２０は該ビーム１１８に沿って図の左右方向（Ｘ方向）に移動可能となっている。また、ヘッド１２０に取付けられた検出器１２２は図の上下方向（Ｚ方向）に移動可能となっている。また、コラム１１６は定盤１１４上を図の前後方向（Ｙ方向）に移動できるため、ヘッド１２０はＹ軸方向にも移動可能となっている。前記検出器１２２は、測定子１２４を介して、ＸＹＺ方向において圧力ないし変位を検出できる検出器である。なお、図３に示す如く、これらの移動にはＸＹＺモータ１２６が使用され、各方向への移動距離はリニアエンコーダ１２８により測定される。
【００２６】
図２に示す如く、定盤１１４上には、２つの基準球１３０ａ、１３０ｂが設けられる。基準球１３０ａ、１３０ｂは測定子１２４の校正に用いられて形状測定の際の基準となるため、基準球１３０ａ、１３０ｂの形状誤差が無視できるくらい真球度は十分によいもの、例えば、形状測定機構１００の測定精度の１／１０以下の形状誤差であるものを使用することができる。本実施形態では、例えば、基準球１３０ａは基準球１３０ｂよりも半径の大きなものを使用することができる。また、定盤１１４には、被測定物１０２が固定される。
【００２７】
次に、図３を用いて、制御装置１５０を説明する。制御装置１５０は、記憶部１５２と、コントローラ１５４と、表示部１５６と、操作部１５８と、を有する。
【００２８】
前記記憶部１５２はコントローラ１５４に接続され、形状測定機構本体１１０の制御に必要な設定値やプログラムが読み込まれている。また、後述する測定子１２４の校正に使用されるプログラムや、基準球１３０ａ、１３０ｂの形状異常値や基準データ、補正データも読み込まれている。
【００２９】
前記コントローラ１５４は、検出器１２２とＸＹＺモータ１２６とリニアエンコーダ１２８とに接続されている。被測定物１０２の測定の際には、例えば、測定子１２４を介して検出器１２２の受ける圧力ないし変位が一定となるようにＸＹＺモータ１２６を駆動させて、そのときのリニアエンコーダ１２８の値から、被測定物１０２の形状を求めることができる。なお、後述する形状異常値を判別する判別手段としても機能している。
【００３０】
前記表示部１５６は、コントローラ１５４に接続され、モニタ画面やスピーカを備え、必要に応じて作業者に必要な情報を画像と音声により伝達する伝達手段を構成している。
【００３１】
前記操作部１５８は、例えば、キーボードやマウスなどの入力器を有し、コントローラ１５４に接続されている。必要に応じて作業者からの指示が入力されて、その指示に基づき、測定値の処理や制御を行う。
【００３２】
次に、本実施形態の作用である校正動作について、図４から図１１を用いて説明する。なお、本実施形態の校正動作は、記憶部１５２からコントローラ１５４に読み込まれたプログラムで実行される。
【００３３】
本実施形態にかかわる基準球１３０ａ、１３０ｂを用いた測定子１２４の校正が開始されると、まず、２つの基準球１３０ａ、１３０ｂの測定を行う（図４のステップＳ１０）。このとき、測定子１２４により基準球１３０ａ、１３０ｂの上半球の表面全てがくまなく、例えば、測定子１２４によりラスタ走査される。すなわち、図５（ａ）、（ｂ）に示す如く、Ｚ方向から見ると一定間隔で基準球１３０ａ、１３０ｂが形状測定される。このとき、１次元的に走査した際の基準球１３０ａ、１３０ｂを測定した形状の一例を図６に示す。図６（ａ）は基準球１３０ａに、図６（ｂ）は基準球１３０ｂに、それぞれ対応する。
【００３４】
次に基準球１３０ａと１３０ｂの形状測定値が座標変換される（図４のステップＳ１２）。形状測定が２次元量の測定であれば、図６（ａ）、（ｂ）で示す如く、傾斜角度θａ、θｂと、半径誤差ΔＲａ、ΔＲｂで表してもよい。しかし、例えば、球面上の座標を緯度と経度で示すことで、２つの基準球１３０ａ、１３０ｂの大きさに係らず、測定値の読み込みと読み出しおよび処理が容易となるので、本実施形態では緯度と経度に座標変換する。ここで、予め経度、緯度に座標変換されて記憶部１５２に読み込まれていた基準球１３０ａ、１３０ｂの基準データを、コントローラ１５４に読み出し、基準球１３０ａ、１３０ｂ毎に差分を行う。
【００３５】
この結果が測定子１２４の形状異常値として求められる（図４のステップＳ１４）。このとき、測定子１２４の経度と緯度について、図７に示す如く、基準となる位置を定めておくことにより、測定子１２４の形状異常値を示すグラフを、図８に示す如く、求めることができる。ここで、図８は、１つの基準球１３０ａについて測定したときの形状異常値を経度と緯度との２次元座標上で、形状異常値について等高線により３次元的に示した図である。図８に示す如く、測定子１２４上でＡあるいはＢである凸と、ＣあるいはＤである凹の状況がどのように分布しているか一目で判別可能となる。なお、ＡとＢ、ＣとＤの違いについては後述する。同様にして、もう１つの基準球１３０ｂについても形状測定の結果を得ることとなる。
【００３６】
次に、２つの基準球１３０ａ、１３０ｂにより得られた形状測定結果から、形状異常個所Ｎを確認する（図４のステップＳ１６）。そして、形状異常個所を全てについて判別するために、形状異常個所を数えるためのプログラム中のカウンタを初期化し（図４のステップ１８）、一箇所ずつ判別を開始する（図４のステップ２０）。
【００３７】
次に形状異常値が基準球１３０ａ、１３０ｂに共通して現れているかを判断する（図４のステップＳ２２）。これは、例えば、図９に示す、特定の緯度で示した基準球１３０ａの形状異常値ΔＺａと基準球１３０ｂの形状異常値ΔＺｂの比較により、同じ経度で同じ形状異常値を示すのは共に凸であるＡ又は共に凹であるＣと判断されることによるものである。
【００３８】
次に、ΔＺａとΔＺｂの２つに共通している形状異常値があるとき、その形状は凹か否かを判断する（図４のステップＳ２４）。図９で説明すれば、ΔＺａ、ΔＺｂにおいて、共に０以下であるのはＣであると判断されることによるものである。ΔＺａとΔＺｂの２つの形状異常値が凹であれば、測定子１２４の磨耗によるものと判別して、その位置と異常値を記憶部１５２に読み込む（図４のステップＳ２６）。ΔＺａとΔＺｂの２つの形状異常値が凹でなく、凸であれば、測定子１２４の汚れ付着と判別して、その位置と異常値を記憶部１５２に読み込む（図４のステップＳ２８）。
【００３９】
また、ΔＺａとΔＺｂの２つに共通していない形状異常値があるとき、図９で示す如く、一方のみが凸であるＢ又は一方のみが凹であるＤと判断され、次にその形状異常値が凹か否かの判断がされる（図４のステップＳ３０）。図９で説明すれば、ΔＺｂにおいて、０以下にあるのはＤであると判断されることによるものである。ΔＺａかΔＺｂのどちらかの形状異常値が凹であれば、基準球１３０ａ、あるいは１３０ｂの凹みと判別して、その位置と異常値を記憶部１５２に読み込む（図４のステップＳ３２）。ΔＺａかΔＺｂのどちらかの形状異常値が凸であれば、基準球１３０ａ、あるいは１３０ｂの汚れ付着と判別して、その位置と異常値を記憶部１５２に読み込む（図４のステップＳ３４）。
【００４０】
形状異常個所１つについて判別後、順次全ての箇所Ｎについて判別を行う（図４のステップＳ３６）。そして、全ての箇所Ｎについて判別後、形状異常値が許容範囲であるか否かを判断する（図４のステップＳ３８）。許容範囲であるか否かは、記憶部１５２に予め、基準球１３０ａ、１３０ｂ、測定子１２４についての磨耗量、凹み、ごみ付着量のそれぞれの許容値を読み込んでおき、コントローラ１５４で判断するものである。
【００４１】
許容範囲であれば、補正データを記憶部１５２から読み込み、形状異常値の状況と補正内容を表示する（図４のステップＳ４０）。なお、補正データは予め記憶部１５２に用意しておく。このとき、例えば、磨耗量については、前回校正の時の形状異常値ΔＺａｐよりも今回校正の時の形状異常値ΔＺａで、測定子１２４の磨耗量が進行している場合には、図１０に示す如く、その磨耗状況を表示部１５６に表示し、前回からの使用回数と使用時間から測定子１２４の寿命と交換時期を算出して表示、さらには今回の磨耗補正量までを表示することもできる。基準球１３０ａ、１３０ｂの汚れや凹みなどについても同様の判別と表示を行うことができる。
【００４２】
許容範囲でなければ、作業者に警告を発し、該当する構成要素の交換、あるいは、その構成要素の洗浄箇所を表示する（図４のステップＳ４２）。例えば、測定子１２４が汚れたときは、図１１に示す如く、その情報である場所、範囲、付着厚みなどと、その場所を視覚的に容易に判別可能に表示することができる。基準球１３０ａ、１３０ｂの洗浄や交換、測定子１２４の磨耗による交換についても同様の判別と表示を行うことができる。
【００４３】
以上により、本実施形態における基準球１３０ａ、１３０ｂを用いた校正は終了するが、形状異常値が許容範囲でなければ、確認のために洗浄などの後に再度本実施形態の基準球１３０ａ、１３０ｂを用いた校正を行うことができる。
【００４４】
このようにして、本実施形態により、測定子１２４先端の汚れやごみ付着と、測定子１２４先端の磨耗による変形と、基準球１３０ａ、１３０ｂの汚れやごみ付着と、基準球１３０ａ、１３０ｂの凹み（磨耗による変形を含む）を判別することができる。そのため、汚れやごみを洗浄する際には、対象となる構成要素のみを行うことができ、他の構成要素を余計に洗浄しなくてすむため、作業の効率が向上する。
【００４５】
測定子１２４先端の汚れやごみ付着であるときには、測定子１２４のどの位置にどれだけ分布しているのか特定できるため、測定子１２４先端の局部的な汚れやごみ付着箇所を直接拭き取ることが可能である。
【００４６】
測定子１２４先端の磨耗による変形であるときには、磨耗領域の状況を把握でき、補正の可能な範囲で補正を行い、正確な形状測定を行う事ができる。補正できない場合には迅速に交換可能である。又、前回の校正時と今回の校正時との磨耗量の比較をすることにより、継続的に測定子１２４の形状変化を追跡できるので、測定子１２４の磨耗による寿命を事前に判断でき、寿命までは補正による効果によって、より信頼性の高い測定が可能となる。
【００４７】
基準球１３０ａ、１３０ｂの汚れやごみ付着であるときには、基準球１３０ａ、１３０ｂのどの位置にどれだけ分布しているのか特定できるため、基準球１３０ａ、１３０ｂの局部的な汚れやごみ付着箇所を直接拭き取ることが可能である。
【００４８】
基準球１３０ａ、１３０ｂの凹みであるときには、許容範囲内で、補正データに反映させて、正確な形状測定を行う事ができる。許容範囲外であれば、迅速に基準球１３０ａ、１３０ｂを交換することができる。
【００４９】
なお、基準球１３０ａ（１３０ｂ）と測定子１２４で同じ緯度、経度に汚れやごみ付着があった場合にも、基準球１３０ｂ（１３０ａ）の同じ緯度、経度の形状を測定することで、本実施形態により、測定子１２４の汚れやごみ付着か、基準球１３０ａ（１３０ｂ）の汚れやごみ付着かを分離判別することができる。
【００５０】
以上、本実施形態では、２つの基準球１３０ａ、１３０ｂは異なる半径としたが、半径が同一のものを使用しても良い。なお、基準球１３０ａ、１３０ｂが、測定子１２４の校正に十分に精度の高いものであれば、必ずしも基準データを必要とするものではない。
【００５１】
又、基準球は２つに限られるものではなく、３つ以上を定盤１１４上に配置させても良い。この場合には、測定子１２４と２つの基準球に緯度、経度を同一にする汚れなどが存在する際に、その判別を容易にする効果を有する。
【００５２】
又、基準球１３０ａ、１３０ｂの走査方法はラスタ走査としていたが、本発明はこれに限られるのものではなく、図１２に示す、スパイラル走査を行ってよい。
【００５３】
なお、Ｘ方向、Ｙ方向は便宜的なものであるので、いずれがＸ、Ｙ軸であってもよい。
【００５４】
又、本実施形態では２つの基準球１３０ａ、１３０ｂによって求められた形状異常値が共通するか否かを先に判断しているが、形状異常値が凹あるいは凸であるか否かを先に判別するのであっても、本発明に含まれる。
【００５５】
又、本実施形態では形状異常値の許容範囲と補正データを、記憶部１５２に読み込んで使用しているが、本発明はこれに限られることなく、操作部１５８からの入力値を用いてもよい。
【００５６】
又、表示部１５６のモニタに表示されるのは、図１０や図１１に限られるものではなく、作業者に測定した結果によりどこに汚れやごみなどが付着しているかを知らせるために、図４から図９をそのまま、あるいは、それらの一部や組合せを図４のフローチャートの各ステップで表示してもよいし、音声ガイダンスを行うことなどしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の校正原理を示した図
【図２】本発明の実施形態に係る形状測定機構の構成概略図
【図３】同じく形状測定機構の全体ブロック図
【図４】同じく基準球を用いた測定子の校正方法を示したフローチャート
【図５】同じく基準球の実際の測定方法を示した図
【図６】同じく１次元的に走査した基準球の形状測定値の一例を示した図
【図７】同じく測定子上の位置特定のための座標基準を示した図
【図８】同じく形状誤差を３次元的に示した図
【図９】同じく特定の緯度における２つの基準球の形状異常値を示した図
【図１０】同じく表示部に特定の緯度における測定子の磨耗状況を前回校正時と対比する一例を示した図
【図１１】同じく表示部に測定子の汚れ状況の一例を示した図
【図１２】基準球の実際の第１実施形態とは別の測定方法を示した図
【図１３】従来の基準球を使用した時に測定される形状を示した図
【符号の説明】
【００５８】
２、４、６、８…埃
２４、１２４…測定子
３０、１３０ａ、１３０ｂ…基準球
１００…形状測定機構
１０２…被測定物
１１０…形状測定機構本体
１１２…基台
１１４…定盤
１１６…コラム
１１８…ビーム
１２０…ヘッド
１２２…検出器
１２６…ＸＹＺモータ
１２８…リニアエンコーダ
１５０…制御装置
１５２…記憶部
１５４…コントローラ
１５６…表示部
１５８…操作部
【図１】
0005203028.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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