(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
工場における複数負荷温調装置において、
予め設定温度より高くした液体を収納する加熱タンク(1)および、その加熱タンク(1)から負荷(2)側に配管されて液体を循環する加熱液循環配管(3)と、
予め設定温度より低くした液体を収納する冷却タンク(4)および、その冷却タンク(4)から負荷(2)側に配管されて液体を循環する冷却液循環配管(5)と、
加熱液循環配管(3)および冷却液循環配管(5)に、それぞれ三方操作弁(6)を介して並列接続され、温調対象となる複数の負荷(2)と、
各負荷(2)に前記三方操作弁(6)よりなる混合手段を介して接続され、それぞれ負荷循環ポンプ(7)により液体が温調対象を流通して循環する複数の負荷循環路(8)と、を具備し、
各三方操作弁(6)は、入口側ポート(9)からバイパス側ポート(10)を介しておよび、入口側ポート(9)からタンク側ポート(11)を介して、それぞれの液体の流出する開口面積が、そのスプルー(20)の移動により、連続的に変化し、液体を入口側ポート(9)からバイパス側ポート(10)またはタンク側ポート(11)或いは両者に流通させるように構成され、
バイパス側ポート(10)は負荷(2)からの液体を前記負荷循環路(8)に流通させ、
タンク側ポート(11)は、負荷からの液体を各前記循環配管を介して加熱タンク(1)または冷却タンク(4)に導き、それらのタンクからの液体を負荷循環路(8)に導き、
加熱タンク(1)、冷却タンク(4)、各負荷(2)に流通する液体は同一のものであり、
前記加熱液循環配管(3)および冷却液循環配管(5)に、それぞれ一対づつの三方操作弁(6a)(6b)を介して各負荷(2)が並列接続され、前記加熱液循環配管(3)および冷却液循環配管(5)に前記負荷循環路(8)とは別のタンク循環ポンプ(7a)をそれぞれ設け、その吐出側が前記負荷循環路(8)の前記一対のうち下流側に位置する三方操作弁(6b)に連結されたことを特徴とする工場における複数負荷温調装置。
【請求項２】
請求項１において、
ヒートポンプ型熱交換器(12)を用い、その冷媒回路の発熱コア(13)が前記加熱タンク(1)内に設けられると共に、その吸熱コア(14)が冷却タンク(4)内に設けられたことを特徴とする工場における複数負荷温調装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記加熱タンクと冷却タンクとヒートポンプ型熱交換器とが、それぞれ一対づつ設けられ、その第１加熱タンク(1a)と第１冷却タンク(4a)とが第１ヒートポンプ型熱交換器(12a)に配置され、その第２加熱タンク(1b)と第２冷却タンク(4b)とが第２ヒートポンプ型熱交換器(12b)に配置され、第１加熱タンク(1a)と第２加熱タンク(1b)とが接続配管(29)を介して前記加熱液循環配管(3)に直列に接続され、第１冷却タンク(4a)と第２冷却タンク(4b)とが接続配管(30)を介して前記冷却液循環配管(5)に直列に接続されたことを特徴とする工場における複数負荷温調装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３において、
発熱コア(13)と吸熱コア(14)との間に調熱コア(15)を設けると共に、その調熱コア(15)の入口側と出口側とに一対の膨張弁(16)を設けて、その切換により調熱コア(15)の冷却と加温とを切換ることを特徴とする工場における複数負荷温調装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記調熱コア(15)が屋内に設けられ、屋外に設けた補助冷水タンク(17)を循環する冷却水を介して前記調熱コア(15)が冷却され、その補助冷水タンク(17)に屋外の補助熱交換器(18)の補助吸熱コア(38)が設けられたことを特徴する工場における複数負荷温調装置。
【請求項６】
請求項５において、
補助熱交換器(18)がクーリングタワーよりなる工場における複数負荷温調装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を循環して工場内の多数の負荷を同時に、それぞれの設定温度に温度調整する複数負荷温調装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工場における多数の製造装置や機器を設定温度に調整するため、熱交換用の液体を循環させる温度調節装置が使用されている。特に、設定温度の上下許容範囲が狭い集積回路（ＩＣ）等の半導体の製造装置や、液晶表示装置等の製造装置においては、負荷の温度変化に対し応答の速い温度調節が必要となる。
このような温調装置として、従来、図８に示す工場内における温調装置が使用されていた。これは、工場内に配置された多数の負荷２に夫々負荷循環ポンプ７を有する負荷循環路８を設け、その循環路中に放熱コア37とヒータ32を配置する。そして、その放熱コア37を第１水タンク33を介して冷却する。その第１水タンク33には、この例ではヒートポンプ型熱交換器12の吸熱コア14が設けられている。
【０００３】
また、ヒートポンプ型熱交換器12の発熱コア13は第２水タンク34を介して第２の吸熱コア14で冷却される。この第２の吸熱コア14の内部を流通する流体は補助冷水タンク17に連通する。この補助冷水タンク17には、補助熱交換器18の補助吸熱コア38が内蔵されている。そしてこの補助冷水タンク17にポンプ35を介して冷却水循環配管39が設けられ、この冷却水循環配管39に、多数の負荷２に間接的に接続する第２の吸熱コア13が接続されている。
【０００４】
各負荷２は、一例として熱負荷であり、その負荷循環路８及び放熱コア37により負荷循環路８内の液体を、設定温度より低く冷却する。そして過冷却となった液体をヒータ32によって設定温度に調節する。
また、第１水タンク33中の冷却水はヒートポンプ型熱交換器12の吸熱コア14によって冷却される。さらにヒートポンプ型熱交換器12の発熱コア13は、第２水タンク34及び第２の吸熱コア14を介し補助冷水タンク17の冷却水により冷却される。この補助冷水タンク17は補助熱交換器18の補助吸熱コア38によって冷却されるものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の複数負荷温調装置は、各負荷毎に多数の熱交換器を必要とし構造が複雑である。それと共に、放熱コア37で一旦、過冷却した後に、ヒータ32で加温し液体を設定温度に維持する。そのため、エネルギー効率の悪い欠点があった。それと共に、液体を他の媒体を介して間接的に冷却加温するため、負荷の変動に対し応答性の悪い欠点があった。
そこで本発明は、係る問題点を取り除くことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
工場における複数負荷温調装置において、
予め設定温度より高くした液体を収納する加熱タンク(1)および、その加熱タンク(1)から負荷(2)側に配管されて液体を循環する加熱液循環配管(3)と、
予め設定温度より低くした液体を収納する冷却タンク(4)および、その冷却タンク(4)から負荷(2)側に配管されて液体を循環する冷却液循環配管(5)と、
加熱液循環配管(3)および冷却液循環配管(5)に、それぞれ三方操作弁(6)を介して並列接続され、温調対象となる複数の負荷(2)と、
各負荷(2)に前記三方操作弁(6)よりなる混合手段を介して接続され、それぞれ負荷循環ポンプ(7)により液体が温調対象を流通して循環する複数の負荷循環路(8)と、を具備し、
各三方操作弁(6)は、入口側ポート(9)からバイパス側ポート(10)を介しておよび、入口側ポート(9)からタンク側ポート(11)を介して、それぞれ液体の流出する開口面積が、そのスプルー(20)の移動により、連続的に変化し、液体を入口側ポート(9)からバイパス側ポート(10)またはタンク側ポート(11)或いは両者に流通させるように構成され、
バイパス側ポート(10)は負荷(2)からの液体を前記負荷循環路(8)に流通させ、
タンク側ポート(11)は、負荷からの液体を各前記循環配管を介して加熱タンク(1)または冷却タンク(4)に導き、それらのタンクからの液体を負荷循環路(8)に導き、
加熱タンク(1)、冷却タンク(4)、各負荷(2)に流通する液体は同一のものであり、
前記加熱液循環配管(3)および冷却液循環配管(5)に、それぞれ一対づつの三方操作弁(6a)(6b)を介して各負荷(2)が並列接続され、前記加熱液循環配管(3)および冷却液循環配管(5)に前記負荷循環路(8)とは別のタンク循環ポンプ(7a)をそれぞれ設け、その吐出側が前記負荷循環路(8)の前記一対のうち下流側に位置する三方操作弁(6b)に連結されたことを特徴とする工場における複数負荷温調装置である。
【０００７】
請求項２に記載の本発明は、請求項１において、
ヒートポンプ型熱交換器(12)を用い、その冷媒回路の発熱コア(13)が前記加熱タンク(1)内に設けられると共に、その吸熱コア(14)が冷却タンク(4)内に設けられたことを特徴とする工場における複数負荷温調装置である。
【０００８】
請求項３に記載の本発明は、請求項２において、
前記加熱タンクと冷却タンクとヒートポンプ型熱交換器とが、それぞれ一対づつ設けられ、その第１加熱タンク(1a)と第１冷却タンク(4a)とが第１ヒートポンプ型熱交換器(12a)に配置され、その第２加熱タンク(1b)と第２冷却タンク(4b)とが第２ヒートポンプ型熱交換器(12b)に配置され、第１加熱タンク(1a)と第２加熱タンク(1b)とが接続配管(29)を介して前記加熱液循環配管(3)に直列に接続され、第１冷却タンク(4a)と第２冷却タンク(4b)とが接続配管(30)を介して前記冷却液循環配管(5)に直列に接続されたことを特徴とする工場における複数負荷温調装置である。
請求項４に記載の本発明は、請求項２または請求項３において、
発熱コア(13)と吸熱コア(14)との間に調熱コア(15)を設けると共に、その調熱コア(15)の入口側と出口側とに一対の膨張弁(16)を設けて、その切換により調熱コア(15)の冷却と加温とを切換ることを特徴とする工場における複数負荷温調装置である。
【０００９】
請求項５に記載の本発明は、請求項４において、
前記調熱コア(15)が屋内に設けられ、屋外に設けた補助冷水タンク(17)を循環する冷却水を介して前記調熱コア(15)が冷却され、その補助冷水タンク(17)に屋外の補助熱交換器(18)の補助吸熱コア(38)が設けられたことを特徴する工場における複数負荷温調装置である。
請求項６に記載の本発明は、請求項５において、
補助熱交換器(18)がクーリングタワーよりなる工場における複数負荷温調装置である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の複数負荷温調装置は、加熱タンク１に連通する加熱液循環配管３と、冷却タンク４に連通する冷却液循環配管５とに、夫々複数の負荷が三方操作弁６よりなる混合手段を介して接続されたものであるから、工場における複数負荷に対して混合手段を介して、加熱タンク１または冷却タンク４内の液体を各負荷に直接供給し、同時に各負荷の温度調節を迅速に行い、応答性の速い装置を提供できる。それと共に、全体として構造が極めた単純となり、故障が少なく経済的な温調装置を提供できる。
【００１１】
さらに、加熱液循環配管３及び冷却液循環配管５に夫々一対づつの三方操作弁6a，6b，6c,6dを介して、各負荷２を並列接続し、タンク循環ポンプ7aの吐出側を負荷循環路８の一対のうちの下流側に位置する三方操作弁6b，6dに連結したので、液循環配管３，５に均等に内圧を加えて加熱タンク１，冷却タンク４内の液体を負荷循環路８に混入することができる。
上記構成において、請求項２に記載のように、ヒートポンプ型熱交換器12を用い、その冷媒回路の発熱コア13を加熱タンク１内に設け、その吸熱コア14を冷却タンク４内に設けることができる。この場合には、ヒートポンプ型熱交換器12における加熱部と冷却部とを同時に利用できるので、省エネルギー効果が大である。
【００１２】
上記構成において、請求項３に記載のように、加熱タンクと冷却タンクとヒートポンプ型熱交換器とを夫々一対づつ設け、その第１加熱タンク1aと第１冷却タンク4aとを第１ヒートポンプ型熱交換器12aに配置し、その第２加熱タンク1bと第２冷却タンク4bとを第２ヒートポンプ型熱交換器12bに配置すると共に、第１加熱タンク1aと第２加熱タンク1bとを接続配管29を介して加熱液循環配管３に直列に接続し、第１冷却タンク4aと第２冷却タンク4bとを接続配管30を介して冷却液循環配管５に直列に接続することができる。
この場合には、一対のヒートポンプ型熱交換器の一方が故障しても、他方により負荷全体を温調することができる。そのため故障のない、信頼性の高い温調装置を提供できる。
また、必要に応じ、常時は一方のみのヒートポンプ型熱交換器を使用し、省エネルギー効果を得ることもできる。
【００１３】
上記構成において、請求項４に記載のように、発熱コア13と吸熱コア14との間に調熱コア15を設けると共に、その調熱コア15の入口側と出口側とに一対の膨張弁16を設け、その切換えにより調熱コア15の冷却と加温とを切換えることができる。この場合には、加熱タンク１と冷却タンク４との何れか一方をより効率的に温度制御することができる。
即ち、調熱コア15の上流側の膨張弁16を絞り、下流側の膨張弁16を開放すると調熱コア15自体を蒸発器として利用でき、その分だけ冷却タンク４の吸熱コア14の冷却効果を低下させることができる。また、その逆を行う場合には、加熱タンク１の発熱コア13の温調効果を減少させることができる。
そして、各負荷２の温度状況に応じて、冷却タンク４と、加熱タンク１との、いずれか一方をより多く使用し、安定した温調が可能となる。
【００１４】
上記構成において、請求項５に記載のように、調熱コア15を屋内に設け、屋外に補助冷水タンク17を設けて、その冷却水により調熱コア15を冷却し、補助冷水タンク17に補助熱交換器18の補助吸熱コア38を設けることができる。この場合には、補助冷水タンク17に連通する配管を短くし、装置全体をコンパクトにできる。
上記構成において、請求項６に記載のように、補助熱交換器18をクーリングタワーとすることができる。この場合には、熱容量を大きくし、より多数の負荷の温調を同時に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、図面に基づいて本発明の実施の形態につき説明する。
図１は本発明の第１の実施の形態を示すブロック図であり、図２〜図４はその作用を示す説明図、図５は同温調装置に用いられる三方操作弁6a（または6b）の一例を示す説明図である。
図１の例では、屋外にヒートポンプ型熱交換器12が設けられ、鎖線の右側に示す工場の屋内に多数の負荷２が並列されている。この負荷２は、夫々設定温度の上限及び下限の範囲が極めて狭いことが望まれるものである。そして、各負荷２に負荷循環路８が負荷循環ポンプ７を介して設けられており、負荷循環路８内を流通する液体が負荷２を流通する。
【００１６】
負荷循環路８内には、この例では一対づつ合計４つの三方操作弁6a，6b，6c，6dが配置され、それにより混合手段を形成する。そして一対づつの三方操作弁6a，6b，6c，6d（図２参照）を介し、各負荷２が加熱液循環配管３及び冷却液循環配管５に連通する。加熱液循環配管３は、加熱タンク１内の液体をタンク循環ポンプ7aを介して循環させ、冷却液循環配管５は冷却タンク４内の液体を同様にタンク循環ポンプ7aを介して循環させる。そして、各タンク循環ポンプ7aの吐出側が一対の三方操作弁6a，6b，6c，6dのうち下流側に位置する三方操作弁6b，6dに接続されている。
【００１７】
図１に示す如く、加熱タンク１，冷却タンク４には、ヒートポンプ型熱交換器12の発熱コア13、吸熱コア14が内装されている。ヒートポンプ型熱交換器12はこの例では、その冷媒循環回路中にコンプレッサ19が配置され、その下流側における発熱コア13の出口側と、上流側の吸熱コア14の入口側との間に調熱コア15が配置され、その調熱コア15の両端に夫々膨張弁16が配置されている。調熱コア15には、ファン31が対向する。そしてコンプレッサ19およびファン31を駆動し、一例として調熱コア15の下流側の膨張弁16を絞り上流側の膨張弁16を開放する。すると、加熱タンク１内の液体は発熱コア13により加熱され、冷却タンク４内の液体は吸熱コア14によって冷却される。
【００１８】
そして、加熱タンク１内の液体を発熱コア13によって設定温度よりも高く予め加熱し、冷却タンク４内の液体を設定温度よりも予め低く維持する。次いで、加熱液循環配管３及び冷却液循環配管５の各タンク循環ポンプ7aを駆動すると共に、負荷循環路８の負荷循環ポンプ７を駆動する。負荷２が略設定温度である場合には、夫々の三方操作弁6a，6b，6c，6dはバイパス側に維持されている。即ち、図２に示す如く、負荷循環ポンプ７によって負荷２内を流通した液体は、三方操作弁6aの入口ポート９からバイパスポート10を介し、三方操作弁6bのバイパスポート10より出口ポート40を介して、下流側の三方操作弁6cの入口ポート９，バイパスポート10，出口ポート40を介して負荷循環路８内を循環する。
【００１９】
次に、負荷循環路８内の液体が設定温度よりも低くなった場合には、三方操作弁6aのタンク側ポート11とバイパスポート10とが適度な半開きになると共に、三方操作弁6bの入口ポート９及びバイパスポート10が半開きになる。
なお、一対の三方操作弁6a，6b及び三方操作弁6c，6dの開閉動作は連動して行われる。一例として、回転型の三方弁においては一対の三方操作弁6a，6bのスプルーが同軸に連結され、一方の三方操作弁6aのバイパスポート10とタンク側ポート11が半開き状態のときは、他方の三方操作弁6bの入口ポート９とバイパスポート10も同様に半開きになる。
【００２０】
そして、一方の三方操作弁6aの入口ポート９に流入した流体は、そのバイパスポート10及びタンク側ポート11に分流する。そのタンク側ポート11から加熱タンク１に液体が流入すると、その分だけ、加熱タンク１から加熱された液体が他方の三方操作弁6bの入口ポート９に流入し、そのバイパスポート10からの液体と合流して、それが下流側の三方操作弁6c，6dのバイパス管41を介して負荷２に還流する。
加熱タンク１内の液体は、設定温度よりも高い温度のものが収納されているため、そこから流出する液体が負荷循環路８に適量混入し、負荷２内に流通する液体を昇温して、設定温度とする。
【００２１】
なお、タンク循環ポンプ7aによる加熱液循環配管３の液圧は、負荷循環ポンプ７による負荷循環路８の液圧よりも小さく設定されている。それにより、負荷循環路８内の液体を一対の三方操作弁6a，6bを介して円滑に制御する。これはタンク循環ポンプ7aによる加圧を負荷循環ポンプ７の加圧よりも大きくすると、加熱タンク１内の液体が負荷循環路８内を逆流するおそれがあるからである。
また、液体は非圧縮性であるので、三方操作弁6aのタンク側ポート11から流出した量ののみ、加熱タンク１からの液体が三方操作弁6bに流入する。そして、各三方操作弁のバイパスポート10とタンク側ポート11の各開度は、互いに逆比例し連続的に開閉する。即ち、一方の開度を広くすると、その分だけ他方の開度が狭くなる。
【００２２】
このような三方弁は、一例として図５に示すものを用いることができる。この例では、弁ケーシング26にバイパス管41と出口管42とが接続され、弁ケーシング26の内部にスプルー20が回動自在に設けられている。このスプルー20の形状は、一例として筒状又は中空の球状に形成され、外周に一対のバイパスポート10、タンク側ポート11が設けられると共に、そのスプルー20の軸線上に入口ポート９及び回転軸24が取付けられている。そして図の状態で、入口ポート９から流入した液体はバイパスポート10及びタンク側ポート11を介してバイパス管41と出口管42とに分流する。ここで、回転軸24を図において時計方向に回転すると、タンク側ポート11の開口面積が大きくなると共に、それに逆比例しバイパスポート10の開口面積が縮小する。
【００２３】
なお、他方の三方操作弁6bにおいてはスプルー20の軸線上に出口ポート40が開口し、スプルー20の外周に入口ポート９とバイパスポート10とが設けられることになる。そして、三方操作弁6aと6bの回転軸24は連結され両者が連動する。
また、この例ではバイパスポート10の開口縁にはストッパ27が設けられ、回転軸24は時計方向及び半時計方向に一定角度のみ回動可能である。  
【００２４】
次に、図４は負荷２が常時発熱する負荷の場合の温調方法であり、この例では上流側の一方の三方操作弁6aが入口ポート９とバイパスポート10とのみで連通すると共に、他方の三方操作弁6bはバイパスポート10と出口ポート40のみが連通し、液体はバイパス管41を通過する。そして下流側の一方の三方操作弁6cのバイパスポート10とタンク側ポート11が適度の開度の半開きになると共に、他方の三方操作弁6dのバイパスポート10と入口ポート９とが同様に半開きになる。そして、設定温度より低い液体の収納された冷却タンク４から、三方操作弁6cの開度に応じて、冷却された液体が負荷循環路８内に流入し、迅速に負荷循環路８内の液体を設定温度に維持する。
【００２５】
このとき、冷却液が負荷循環路８に過剰に流入すると、制御装置を介して、図３の状態になり、加熱タンク１からの加熱された適量の液体が、負荷循環路８内に流入する。この場合、過渡期において、四つの三方操作弁6a〜6dが同時に開になることがある。これらとは逆の場合も存在する。即ち、設定温度より高い液体を加熱タンク１から負荷循環路８に適量流入中に、過剰の加熱液が流入したときは、図４の状態になり、補正が行われる。
【００２６】
即ち、図示しないが、加熱タンク１内の液体と冷却タンク４内の液体とを夫々適量負荷循環路８に流通することがある。
次に、主として、冷却タンク４内の液体を使用する場合には、図１において調熱コア15の下流側の膨張弁16を絞り、上流側の膨張弁16を開放する。それにより、冷媒回路の吸熱コア14の温度をより低く維持することができる。逆に、主として加熱タンク１内の液体を使用する場合には、調熱コア15の上流側の調熱コア15を絞り、下流側の膨張弁16を開放する。それにより、発熱コア13をより高温に維持することができる。このとき調熱コア15は、大気との間で吸熱を行う。
【００２７】
次に、図６は本発明の第２の実施の形態を示し、この例が図１のそれと異なる点はヒートポンプ型熱交換器12が鎖線の右側の屋内に設置され、その左側の屋外に補助熱交換器18が設置され、それらが調熱コア15を介して接続されている。
補助熱交換器18の補助吸熱コア38は屋外の補助冷水タンク17に内装され、そのタンク内の液体がポンプ35を介して冷却水循環配管39に流通する。そして、配管39に吸熱コア14が設けられ、それが調熱コア15に内装されている。さらに冷却水循環配管39には、下段側に図８と同じ従来型温調装置が取付けられ、旧型温調装置が混在したものである。
【００２８】
次に、図７は本発明の第３の実施の形態を示し、この例が図１のそれと異なる点は一対の第１ヒートポンプ型熱交換器12a，第２ヒートポンプ型熱交換器12bが屋内に設けられ、屋外に補助熱交換器18及び補助冷水タンク17が設けられたものである。そして、第１ヒートポンプ型熱交換器12aの第１加熱タンク1aと、第２ヒートポンプ型熱交換器12bの第２加熱タンク1bとが加熱液循環配管３に直列に連結されている。
【００２９】
また、第１ヒートポンプ型熱交換器12aの第１冷却タンク4aと第２ヒートポンプ型熱交換器12bの第２冷却タンク4bとが、冷却液循環配管５に直列に連結されている。そして夫々の調熱コア15に冷却水循環配管39の吸熱コア14が内装され、補助冷水タンク17内の冷却水をタンク循環ポンプ7aによって循環させる。この補助冷水タンク17内の冷却水は、補助熱交換器18の吸熱コア38によって冷却される。
なお、各図において符号19は冷媒を圧縮するコンプレッサであり、図示の例ではヒートポンプ型熱交換器を用いている。なお、それに代えて、屋外における補助熱交換器18としてクーリングタワーを用いることもできる。
【００３０】
図１において符号43は制御装置であり、この制御装置43には各負荷２ごとに流通した液体の温度が、それぞれ図示しないセンサーを介して入力され、それが各負荷の設定値と比較されて、その設定温度との差をなくすように三方弁よりなる各混合バルブを開閉制御する。それと共に、それぞれの負荷循環ポンプ７，タンク循環ポンプ7a，コンプレッサ19の駆動を行うと共に、調熱コア15の上流側及び下流側に位置する一対の膨張弁16の開閉動作を制御する。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の複数負荷温調装置の第１の実施の形態を示す説明図。
【図２】同装置における負荷循環路８のバイパス状態を示す説明図。
【図３】同装置において加熱タンク１内の液体を負荷循環路８に混入する場合の説明図。
【図４】同装置において冷却タンク４内の液体を負荷循環路８に混入する場合の説明図。
【００３２】
【図５】同装置に用いられる三方操作弁6a，6bの一例を示す説明的略図。
【図６】本発明の複数負荷温調装置の第２の実施の形態を示す説明図。
【図７】本発明の複数負荷温調装置の第３の実施の形態を示す説明図。
【図８】従来型の複数負荷温調装置の説明図。
【符号の説明】
【００３３】
１  加熱タンク
1a  第１加熱タンク
1b  第２加熱タンク
２  負荷
３  加熱液循環配管
４  冷却タンク
4a  第１冷却タンク
4b  第２冷却タンク
５  冷却液循環配管
【００３４】
６  三方操作弁
6a  三方操作弁
6b  三方操作弁
6c  三方操作弁
6d  三方操作弁
７  負荷循環ポンプ
7a  タンク循環ポンプ
【００３５】
８  負荷循環路
９  入口ポート
10  バイパスポート
11  タンク側ポート
12  ヒートポンプ型熱交換器
12a  第１ヒートポンプ型熱交換器
12b  第２ヒートポンプ型熱交換器
13  発熱コア
14  吸熱コア
15  調熱コア
16  膨張弁
【００３６】
17  補助冷水タンク
18  補助熱交換器
19  コンプレッサ
20  スプルー
23  仕切部
24  回転軸
26  弁ケーシング
27  ストッパ
28  サブタンク
29  接続配管
【００３７】
30  接続配管
31  ファン
32  ヒータ
33  第１水タンク
34  第２水タンク
35  ポンプ
36  放熱コア
37  放熱コア
38  補助吸熱コア
39  冷却水循環配管
【００３８】
40  出口ポート
41  バイパス管
42  出口管
43  制御装置
【図１】
0005191806.tif 000002
【図２】
0005191806.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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