(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハを洗浄する洗浄液を噴射するノズルと、前記ノズルを回転させるエアタービンが設けられたノズル本体部とを備えた回転霧化式洗浄ノズルにおいて、
前記ノズル本体部は、前記ノズル本体部と接合される第１の板状部材と、前記第１の板状部材と接合される第２の板状部材とにより半導体製造装置に取り付けられることを特徴とする回転霧化式洗浄ノズル。
【請求項２】
前記ノズル本体部は、前記第１の板状部材が接合された後に前記エアタービンの調芯が行われていることを特徴とする請求項１に記載の回転霧化式洗浄ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークを洗浄する回転霧化式洗浄ノズルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品が形成された半導体ウェーハは、その製造過程において各種の半導体製造装置により様々な処理が行われ、その都度各種の洗浄液によりその表面が洗浄される。また、製造されたウェーハより個々の半導体装置や電子部品とするためには、研磨や切削による切断等の加工が半導体ウェーハに対し半導体製造装置により行われ、加工中または加工後には半導体ウェーハが入念に洗浄される。
【０００３】
このような半導体ウェーハの洗浄では、ノズルより半導体ウェーハに向けて洗浄液を噴射することによって洗浄する方法が広く用いられている。洗浄用のノズルとしては、例えば、特許文献１に記載される高圧のガスを混合することにより洗浄液の流速を高め洗浄力を増す２流体式の洗浄ノズル等が提案されている。
【０００４】
このような洗浄用のノズルでは、製造工程の変更や半導体ウェーハの品種変更などにより使用する洗浄液を変更する必要が出た場合、洗浄液の残留による混合を防ぐ為その都度ノズルを外して変更する必要がある。また、高圧で洗浄液が噴射されるノズルや腐食性の高い洗浄液が使用されるノズルでは頻繁にメンテナンスを行う必要があり、その都度ノズルの着脱が行われている。
【特許文献１】特開２００５−４６７３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載されるようなノズルはノズル本体が直接半導体製造装置に取り付けられているため、洗浄液が変更される際には着脱に時間がかかり非効率的であった。
【０００６】
また、エアタービンによりノズルを高速に回転させて洗浄液を霧化して噴射する回転霧化式洗浄ノズルの場合、ノズル変更やメンテナンスでノズルを取り外す際には、回転部を備えているので回転軸の回転中心を合わせる調芯作業がその都度発生する。調芯作業には多くの時間がかかりメンテナンスの時間を増大させ非効率的であった。
【０００７】
本発明は、このような問題に対して成されたものであり、回転霧化式洗浄ノズルの着脱を容易にし、交換時の調芯作業を必要としない回転霧化式洗浄ノズルを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は前記目的を達成するために、半導体ウェーハを洗浄する洗浄液を噴射するノズルと、前記ノズルを回転させるエアタービンが設けられたノズル本体部とを備えた回転霧化式洗浄ノズルにおいて、前記ノズル本体部は、前記ノズル本体と接合される第１の板状部材と、前記第１の板状部材と接合される第２の板状部材とにより半導体製造装置に取り付けられることを特徴としている。
【０００９】
また、本発明は前記発明において、前記ノズル本体部は、前記第１の板状部材が接合された後に前記エアタービンの調芯が行われていることを特徴としている。
【００１０】
本発明によれば、半導体ウェーハを加工する半導体製造装置に取り付けられる回転霧化式洗浄ノズルのノズル本体部には、第１の板状部材が接合されている。第１の板状部材が接合された回転霧化式洗浄ノズルのノズル本体部に設けられたエアタービンは、第１の板状部材が接合された後に調芯が行われている。第１の板状部材は第２の板状部材と接合され、第２の板状部材が半導体製造装置に取り付けられることにより回転霧化式洗浄ノズルが半導体製造装置に取り付けられる。
【００１１】
これにより、第２の板状部材を取り外せば回転霧化式洗浄ノズルは調芯された状態で着脱可能となり、ノズル交換時の調芯作業が不要となるとともに、着脱が容易であって着脱にかかる時間を大幅に減らすことが出来る。また、洗浄液が変更される場合にも第２の板状部材を変更するだけで容易にノズルを変更することが可能なため、洗浄液毎にノズルを用意する必要がなくノズルの数を減らすことも可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように、本発明の回転霧化式洗浄ノズルによれば、回転霧化式洗浄ノズルの着脱を容易にし、交換時の調芯作業を必要とせず、効率的に回転霧化式洗浄ノズルの交換やメンテナンス等を行なうことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面に従って本発明に係る回転霧化式洗浄ノズルの好ましい実施の形態について詳説する。
【００１４】
まず初めに、回転霧化式洗浄ノズルの構成について説明する。図１は回転霧化式洗浄ノズルの全体断面図である。回転霧化式洗浄ノズル１は、ノズル本体部２、第１の板状部材である中間マニホールド３、第２の板状部材である取付けマニホールド４を備えている。
【００１５】
ノズル本体部２は、エアタービン１１が内部に備えられたスピンドル１２と、洗浄液を噴射するベルカップ１３、スピンドル１２先端部とベルカップ１３を覆うキャップ１４、ノズル本体部２後端部を封止するバックプレート１５、ベルキャップ１４が先端に取り付けられた管状部材である中空軸１６により構成される。
【００１６】
中空軸１６は、スピンドル１２へ供給される高圧のエアがエアベアリングとなって回転自在に支持され、同様にスピンドル１２に供給される高圧のエアによって回転するエアタービン１１により高速度で回転駆動される。
【００１７】
中空軸１６へは、ノズル本体部２後端部を封止するバックプレート１５の供給口１７に供給された洗浄液が供給され、エアタービン１１が高速で回転することにより先端に取り付けられたベルカップ１３より洗浄液が霧化されて噴射される。ベルカップ１３の噴射口内面１８には複数の洗浄液が噴射される穴と回転方向に傾斜した複数の溝とが形成されており、効率的に霧化した洗浄液が噴射される。
【００１８】
キャップ１４は、スピンドル１２後部よりも小さい外径形状を成し、スピンドル１２先端部とベルカップ１３を覆うことによりベルカップ１３から噴射された洗浄液の噴射形状の調整を行うシェーピングエアを供給する流路１９、１９・・・を形成する。流路１９は中空軸１６周囲に複数形成され、複数のシェーピングエア噴射口２０、２０・・・より効率よくベルカップ１３周囲に沿って噴射される。
【００１９】
また、図２に示すように、スピンドル１２のキャップ取付面２１に形成されたシェーピングエア供給口２２、２２は、穴内部の直角部を斜めに削り取ることにより傾斜面２３、２３が形成され、流路１９、１９・・・へのシェーピングエアの流量を増やされている。これによりシェーピングエアがシェーピングエア噴射口２０、２０・・・より十分に噴射され、効率よくベルカップ１３から噴射された洗浄液の噴射形状が調整される。
【００２０】
次に、中間マニホールド３は、一方の面にノズル本体部２に形成された各エア供給口に対応した供給口が形成され、ガスケット２４を介して一方の面がノズル本体部２に接合される。中間マニホールド３の他方の面には取付けマニホールド４に形成された各エア供給口に対応した供給口が形成され、ガスケット２５を介して他方の面が取付けマニホールド４と接合される。中間マニホールド３と接合している面とは反対側の取付けマニホールド４の面には、半導体製造装置に固定するためのネジ穴、エアを供給するための継ぎ手を接続するテーパーネジ穴が形成されている。
【００２１】
以上のように構成された回転霧化式洗浄ノズル１は、図３に示すように、ノズル本体部２、中間マニホールド３、取付けマニホールド４がネジにより接合される。ネジにより各部が接合された回転霧化式洗浄ノズル１は、図４に示すように、半導体製造装置のノズル取付け部２６に取り付けられる。ノズル取付け部２６に取り付けられた回転霧化式洗浄ノズル１の取付けマニホールド４には、エアタービン１１駆動用、エアベアリング用、またはシェーピングエア用の各エアを供給するための継ぎ手が接続され、ノズル本体部２上部のバックプレート１５の供給口１７にも洗浄液を供給する継ぎ手が接続される。
【００２２】
このとき、ノズル本体部２は、最初に中間マニホールド３が接合された後に、スピンドル１２内のエアタービン１１の調芯作業が行われる。調芯された後に回転霧化式洗浄ノズル１をノズル取付け部２６から取り外す場合、または回転霧化式洗浄ノズル１の付け替えを行なう場合には、取付けマニホールド４と中間マニホールド３との接合用ネジを取り外すことにより行われる。
【００２３】
これにより、ノズル本体部２は調芯済みの状態のままメンテナンス等が行われ、回転霧化式洗浄ノズル１の付け替えを行なう際には既に調芯済みの別のノズル本体部２を取り付ければ取付け後に調芯作業を行うことなく、回転霧化式洗浄ノズル１の付け替えを容易に行うことが出来る。
【００２４】
以上、説明したように、本発明に係わる回転霧化式洗浄ノズルによれば、回転霧化式洗浄ノズルの着脱を容易にし、交換時の調芯作業を必要とせず、効率的に回転霧化式洗浄ノズルの交換やメンテナンス等を行なうことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態に係る回転霧化式洗浄ノズルの全体断面図。
【図２】キャップ取付面の形状を示した平面図と断面図。
【図３】回転霧化式洗浄ノズルの取り付け状態を示した斜視図。
【図４】半導体製造装置に取り付けられた回転霧化式洗浄ノズルを示した斜視図。
【符号の説明】
【００２６】
１…回転霧化式洗浄ノズル，２…ノズル本体部，３…中間マニホールド（第１の板状部材），４…取付けマニホールド（第２の板状部材），１１…エアタービン，１２…スピンドル，１３…ベルカップ，１４…キャップ，１５…バックプレート，１６…中空軸，１７…供給口，１８…噴射口内面タ，１９…流路，２０…シェーピングエア噴射口，２１…キャップ取付面，２２…シェーピングエア供給口，２３…傾斜面，２４、２５…ガスケット，２６…ノズル取付け部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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