(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの基板処理装置と、該基板処理装置が基板に施す複数のステップからなる処理に関連する複数のパラメータの時系列データからなるプロセスデータを読み込んで解析する解析装置とを備えるシステムにおける基板処理装置の過渡応答特性の検査方法であって、
前記解析装置が前記処理における各ステップの始点及び終点を示すイベントデータに基づいて前記プロセスデータを各前記ステップに対応するデータに分割するデータ分割ステップと、
前記解析装置が前記分割されたプロセスデータから所定の選別条件を満たす過渡応答特性に関連する更に短い時系列データを選別するデータ選別ステップと、
前記解析装置が所定の解析条件に基づいて前記選別されたデータを解析するデータ解析ステップとを有することを特徴とする検査方法。
【請求項２】
前記システムはデータ格納装置をさらに備え、該データ格納装置は前記プロセスデータ及び前記イベントデータを格納することを特徴とする請求項１記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項３】
前記解析装置が前記データ格納装置から前記プロセスデータを読み込む際に前記データ分割ステップ、前記データ選別ステップ及び前記データ解析ステップを実行することを特徴とする請求項１又は２記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項４】
前記所定の選別条件及び前記所定の解析条件は前記解析装置による前記プロセスデータの読み込みに先立って設定されることを特徴とする請求項３記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項５】
前記解析装置はＧＵＩ（Graphic User Interface）を表示する表示部を有し、前記ＧＵＩを通じて前記所定の選別条件及び前記所定の解析条件が設定されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項６】
前記ＧＵＩは前記所定の選別条件を設定する際に利用可能な計算方法として少なくとも差分算出、絶対値算出及び移動平均算出を提供することを特徴とする請求項５記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項７】
前記ＧＵＩは前記所定の解析条件を設定する際に利用可能な計算方法として少なくとも平均算出、最大値算出、最小値算出、標準偏差算出、最先値、最末値、解析範囲期間算出、近似直線傾斜算出、線形回帰直線切片算出及び相関係数算出を提供することを特徴とする請求項５又は６記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項８】
前記解析装置は複数の前記選別条件及び複数の前記解析条件を格納することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項９】
前記基板処理装置の検収時に実行されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項１０】
前記基板処理装置の所定時間運転後に実行されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項１１】
少なくとも１つの基板処理装置と、該基板処理装置が基板に施す複数のステップからなる処理に関連する複数のパラメータの時系列データからなるプロセスデータを読み込んで解析する解析装置とを備えるシステムにおける基板処理装置の過渡応答特性の検査方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、
前記検査方法は、
前記解析装置が前記処理における各ステップの始点及び終点を示すイベントデータに基づいて前記プロセスデータを各前記ステップに対応するデータに分割するデータ分割ステップと、
前記解析装置が前記分割されたプロセスデータから所定の選別条件を満たす過渡応答特性に関連する更に短い時系列データを選別するデータ選別ステップと、
前記解析装置が所定の解析条件に基づいて前記選別されたデータを解析するデータ解析ステップとを有することを特徴とする記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置の検査方法及び記憶媒体に関し、特に、基板処理装置が基板に施す処理に関連するパラメータの時系列データを用いて該基板処理装置の検査を行う検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エッチング装置やＣＶＤ装置等の基板処理装置は、装置製造会社（製造元）で製造された後、一度分解されて装置使用会社（客先）に納入され、さらに、装置使用会社において組み立てられる。通常、装置製造会社は基板処理装置の品質を保証する必要があり、品質保証を行うためには納入されて組み立てられた基板処理装置の性能がその製造時の性能と同じであるか、若しくは殆ど差がないことを証明する必要がある。また、同じ機種の基板処理装置を複数納入した場合、装置製造会社は各基板処理装置間の性能差が殆ど無いことを証明する必要がある。
【０００３】
これらの証明のために、納入されて組み立てられた基板処理装置を一度稼働させて基板処理を行い、このときの処理に関連するパラメータの時系列データをサンプリングし、該データを用いて基板処理装置の検査が行われている。
【０００４】
このような検査方法として、ウエハのプラズマ処理におけるプラズマの発光強度を運転データとしてサンプリングし、該運転データを用いて多変量解析（主として主成分分析）を行い、装置の異常を検出する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）
ところで、近年、ウエハから製造される半導体デバイスの微細化に伴い、装置の過渡応答特性（例えば、装置の下部電極からの高周波電圧印加開始から印加された高周波電圧が安定するまでの時間）をも管理することが求められ、そのため、過渡応答特性も検査可能であることが求められている。
【０００５】
一方、上述した検査方法では多変量解析を行うため、得られる検査結果にはプラズマ処理の全期間に亘る運転データの影響が反映され、過渡的なデータの変化を検査することができない。
【０００６】
そこで、多変量解析を用いず、基準となるプラズマ処理の全期間に亘る、該プラズマ処理に関するパラメータの時系列データを設定値パターンとして設定し、基板処理装置のプラズマ処理において、該プラズマ処理に関するパラメータの時系列データをサンプリングして測定値パターンとして設定し、設定値パターンと測定値パターンとを直接比較する方法が知られている（例えば、特許文献２参照。）。この方法では、比較されるデータに多変量解析等の統計処理が施されないため、過渡的なデータの変化（過渡応答特性）を検査することができる。
【特許文献１】特開２００４−４７５０１号公報
【特許文献２】特開２０００−２６９１０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した設定値パターンはプラズマ処理の全期間に亘る時系列データであるため、設定に多大な時間と労力を要し、測定値パターンとの比較はＰＣ等に多大な負担をかける。
【０００８】
比較工数の低減の観点から、設定値パターンの一部と測定値パターンの一部とを比較することも行われているが、設定値パターン等からのデータの選別（絞り込み）や比較がオペレータの手作業で行われていたため、人為的なミスを誘引し、過渡応答特性の検査の信頼性が低下する。さらに、比較の際に抜き出したデータに簡単な解析処理を手作業で施すことも多々行われているが、解析処理の内容もその都度定義する（表計算ソフトでマクロや計算式を定義する）必要があり、結果として過渡応答特性の検査に時間を要するという問題があった。
【０００９】
本発明の目的は、基板処理装置の過渡応答特性の検査を簡便且つ高い信頼性を伴って行うことができる基板処理装置の検査方法及び記憶媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１記載の基板処理装置の検査方法は、少なくとも１つの基板処理装置と、該基板処理装置が基板に施す複数のステップからなる処理に関連する複数のパラメータの時系列データからなるプロセスデータを読み込んで解析する解析装置とを備えるシステムにおける基板処理装置の過渡応答特性の検査方法であって、前記解析装置が前記処理における各ステップの始点及び終点を示すイベントデータに基づいて前記プロセスデータを各前記ステップに対応するデータに分割するデータ分割ステップと、前記解析装置が前記分割されたプロセスデータから所定の選別条件を満たす過渡応答特性に関連する更に短い時系列データを選別するデータ選別ステップと、前記解析装置が所定の解析条件に基づいて前記選別されたデータを解析するデータ解析ステップとを有することを特徴とする。
【００１２】
請求項２記載の基板処理装置の検査方法は、請求項１記載の検査方法において、前記システムはデータ格納装置をさらに備え、該データ格納装置は前記プロセスデータ及び前記イベントデータを格納することを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載の基板処理装置の検査方法は、請求項１又は２記載の検査方法において、前記解析装置が前記データ格納装置から前記プロセスデータを読み込む際に前記データ分割ステップ、前記データ選別ステップ及び前記データ解析ステップを実行することを特徴とする。
【００１４】
請求項４記載の基板処理装置の検査方法は、請求項３記載の検査方法において、前記所定の選別条件及び前記所定の解析条件は前記解析装置による前記プロセスデータの読み込みに先立って設定されることを特徴とする。
【００１５】
請求項５記載の基板処理装置の検査方法は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の検査方法において、前記解析装置はＧＵＩを表示する表示部を有し、前記ＧＵＩを通じて前記所定の選別条件及び前記所定の解析条件が設定されることを特徴とする。
【００１６】
請求項６記載の基板処理装置の検査方法は、請求項５記載の検査方法において、前記ＧＵＩは前記所定の選別条件を設定する際に利用可能な計算方法として少なくとも差分算出、絶対値算出及び移動平均算出を提供することを特徴とする。
【００１７】
請求項７記載の基板処理装置の検査方法は、請求項５又は６記載の検査方法において、前記ＧＵＩは前記所定の解析条件を設定する際に利用可能な計算方法として少なくとも平均算出、最大値算出、最小値算出、標準偏差算出、最先値、最末値、解析範囲期間算出、近似直線傾斜算出、線形回帰直線切片算出及び相関係数算出を提供することを特徴とする。
【００１８】
請求項８記載の基板処理装置の検査方法は、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査方法において、前記解析装置は複数の前記選別条件及び複数の前記解析条件を格納することを特徴とする。
【００１９】
請求項９記載の基板処理装置の検査方法は、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の検査方法において、前記基板処理装置の検収時に実行されることを特徴とする。
【００２０】
請求項１０記載の基板処理装置の検査方法は、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の検査方法において、前記基板処理装置の所定時間運転後に実行されることを特徴とする。
【００２１】
上記目的を達成するために、請求項１１記載の記憶媒体は、少なくとも１つの基板処理装置と、該基板処理装置が基板に施す複数のステップからなる処理に関連する複数のパラメータの時系列データからなるプロセスデータを読み込んで解析する解析装置とを備えるシステムにおける基板処理装置の過渡応答特性の検査方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、前記検査方法は、前記解析装置が前記処理における各ステップの始点及び終点を示すイベントデータに基づいて前記プロセスデータを各前記ステップに対応するデータに分割するデータ分割ステップと、前記解析装置が前記分割されたプロセスデータから所定の選別条件を満たす過渡応答特性に関連する更に短い時系列データを選別するデータ選別ステップと、前記解析装置が所定の解析条件に基づいて前記選別されたデータを解析するデータ解析ステップとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１記載の基板処理装置の検査方法及び請求項１１記載の記憶媒体によれば、解析装置が基板に施す複数のステップからなる処理に関連する複数のパラメータの時系列データからなるプロセスデータから所定の選別条件を満たすデータを選別し、さらに、解析装置が所定の解析条件に基づいて選別されたデータを解析するので、オペレータが手作業でデータの選別やデータの解析を行う必要が無い。また、選別されたデータの解析結果には該選別されたデータの影響が主として反映されるので、過渡応答特性に関連するデータを選別すれば、基板処理装置の過渡応答特性の検査を簡便且つ高い信頼性を伴って行うことができる。
【００２３】
また、請求項１記載の基板処理装置の検査方法及び請求項１１記載の記憶媒体によれば、データ選別ステップに先立って、処理における各ステップの始点及び終点を示すイベントデータに基づいてプロセスデータが各ステップに対応するデータに分割されるので、所定の選別条件を満たすデータの選別対象を減少させることができ、もって、基板処理装置の過渡応答特性の検査をより簡便に行うことができる。
【００２４】
請求項２記載の基板処理装置の検査方法によれば、データ格納装置はプロセスデータ及びイベントデータを格納するので、プロセスデータの分割の際、イベントデータを直ちに参照することができ、プロセスデータの分割を円滑に行うことができる。
【００２５】
請求項３記載の基板処理装置の検査方法によれば、解析装置がデータ格納装置からプロセスデータを読み込む際にデータ分割ステップ、データ選別ステップ及びデータ解析ステップが実行されるので、オペレータは解析装置によるプロセスデータの読み込み後、直ちにデータの解析結果を利用することができ、検査効率を向上することができる。
【００２６】
請求項４記載の基板処理装置の検査方法によれば、所定の選別条件及び所定の解析条件は解析装置によるプロセスデータの読み込みに先立って設定されるので、プロセスデータの読み込みの際、直ちにデータ選別ステップ及びデータ解析ステップを実行することができ、もって、検査効率をより向上することができる。
【００２７】
請求項５記載の基板処理装置の検査方法によれば、解析装置が有するＧＵＩを通じて所定の選別条件及び所定の解析条件が設定されるので、所定の選別条件及び所定の解析条件を簡便に設定することができ、もって、検査効率をさらに向上することができる。
【００２８】
請求項６記載の基板処理装置の検査方法によれば、ＧＵＩは所定の選別条件を設定する際に利用可能な計算方法として少なくとも差分算出、絶対値算出及び移動平均算出を提供するので、所定の選別条件を効率よく設定することができる。
【００２９】
請求項７記載の基板処理装置の検査方法によれば、ＧＵＩは所定の解析条件を設定する際に利用可能な計算方法として少なくとも平均算出、最大値算出、最小値算出、標準偏差算出、最先値、最末値、解析範囲期間算出、近似直線傾斜算出、線形回帰直線切片算出及び相関係数算出を提供するので、所定の解析条件を効率よく設定することができる。
【００３０】
請求項８記載の基板処理装置の検査方法によれば、解析装置は複数の選別条件及び複数の解析条件を格納するので、オペレータは所望の選別条件や所望の解析条件を、格納された複数の選別条件及び複数の解析条件から選択することができ、もって、所定の選別条件や所定の解析条件をさらに効率よく設定することができる。
【００３１】
請求項９記載の基板処理装置の検査方法によれば、該検査方法は基板処理装置の検収時に実行されるので、客先に納入されて組み立てられた基板処理装置の性能とその製造時の性能とを、過渡応答特性を含め、容易且つ正確に比較することができ、もって、該基板処理装置の付加価値を高めることができる。
【００３２】
請求項１０記載の基板処理装置の検査方法によれば、該検査方法は基板処理装置の所定時間運転後に実行されるので、客先納入時の性能と該所定時間運転後の性能とを、過渡応答特性を含め、容易且つ正確に比較することができ、もって、基板処理装置のメンテナンスの必要性を容易且つ正確に判断することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３４】
まず、本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法が適用される装置検査システムについて説明する。
【００３５】
図１は、本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法が適用される装置検査システムの構成を概略的に示す図である。
【００３６】
図１において装置検査システム１０は、装置使用会社１１（客先）側の工場等に配される複数の基板処理装置１２及び各基板処理装置１２に接続される客先サーバ１３と、装置製造会社１４（製造元）側の工場や開発拠点に配される製造元サーバ１５（データ格納装置）と、該製造元サーバ１５に接続されるＰＣ（Personal Computer）１６（解析装置）とを備える。該装置検査システム１０において客先サーバ１３と製造元サーバ１５とは互いに接続される。
【００３７】
各基板処理装置１２は基板としてのウエハにプラズマ処理、例えば、エッチング処理やＣＶＤ処理を施す複数のプロセスモジュール１７を有する。各プロセスモジュール１７はチャンバ（図示しない）と、該チャンバ内に配置された上下部電極（図示しない）とを有し、上下部電極間の空間に処理ガスを導入するとともに該空間に高周波電圧を印加してプラズマを発生させ、該プラズマによって下部電極に載置されたウエハに複数のステップからなるプラズマ処理を施す。
【００３８】
プロセスモジュール１７の各構成要素（上部電極や下部電極等）には種々のセンサが設けられ、各センサはプラズマ処理に関連するパラメータの値を、例えば、１００ｍｓｅｃ単位でサンプリングし、該サンプリングしたパラメータの値を時系列データとして出力する。プロセスモジュール１７は各センサが出力した時系列データを客先サーバ１３に送信し、該客先サーバ１３は送信された時系列データを格納する。
【００３９】
製造元サーバ１５は、客先サーバ１３にアクセスし、該客先サーバ１３が格納している時系列データのうち基板処理装置１２の検査において有用と考えられるパラメータの時系列データをプロセスデータとして客先サーバ１３から取り出し、該取り出した時系列データをプロセスデータとして格納する。また、製造元サーバ１５は後述するイベントデータも格納する。
【００４０】
ＰＣ１６は、メモリ、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ（いずれも図示しない）を収容する本体１８と、各種ＧＵＩ等を表示するディスプレイ１９（表示部）とを有する。ＲＯＭは本実施の形態にかかる検査方法を実行するプログラムを格納し、該プログラムはＲＡＭに展開され、ＣＰＵは該プログラムに従って後述する解析処理等を行う。また、メモリは後述する選別条件及び解析条件の条件組を格納する。
【００４１】
図２は、図１の製造元サーバが格納するプロセスデータ及びイベントデータの関係を示すグラフである。図２において横軸は時間を表し、縦軸はプラズマ処理に関連するパラメータの値を表す。
【００４２】
図２に示すように、イベントデータはプラズマ処理における各ステップ（Step1，Step2，Step3〜N，De Chuck）の始点及び終点に対応するタイミングをイベント（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ）として有する時系列データであり、各イベントはプロセスモジュール１７の各構成要素の作動開始タイミングや作動終了タイミング等に該当する。また、プロセスデータ（図２では下部電極の印加電圧値）も上述したように時系列データである。したがって、イベントデータ及びプロセスデータは比較可能であり、本実施の形態では、イベントデータに基づいてプロセスデータが各ステップに対応するデータに分割される。
【００４３】
また、本実施の形態では、検査対象となるデータを少なくすることによってパラメータ値（図２では下部電極の印加電圧値）の変動等を明りょうにするために、各ステップに対応して分割されたデータ（以下、「ステップデータ」という。）においてさらにデータを選別する。図２では、データの選別範囲（以下、「解析範囲」という。）として下部電極の印加電圧値が急増する範囲が設定されている。この解析範囲に関しては、装置検査システム１０のオペレータがＰＣ１６のディスプレイ１９に表示されるＧＵＩとしての下記の条件設定画面２０を通じて、解析範囲に対応するデータの選別条件（所定の選別条件）を設定する。
【００４４】
さらに、本実施の形態では、上記選別条件だけでなく、選別されたデータの解析条件（所定の解析条件）に関しても、条件設定画面２０を通じて設定される。設定された選別条件及び解析条件は条件組としてメモリに格納される。
【００４５】
図３は、図１におけるディスプレイに表示される条件設定画面を示す図である。
【００４６】
図３において、条件設定画面２０は、メモリが格納している条件組をリスト形式で表示する条件組表示部２１（図中「Function」で示される欄）と、解析条件を表示する解析条件表示部２２（図中「Output」で示される欄）と、選別条件を表示する選別条件表示部２３（図中「Extract conditions」で示される欄）とを有する。
【００４７】
条件組表示部２１では、例えば、「24. Lower Vpp（安定時間）−着火直後」で示される各条件組の編集・追加・削除が、表示されている釦を押下することによって可能である。また、条件組のリストから或る条件組をポインティングデバイス等によって選択すると、選択された条件組の選別条件や解析条件が解析条件表示部２２及び選別条件表示部２３にそれぞれ表示される。
【００４８】
解析条件表示部２２では、解析条件の編集・追加・削除が、表示されている釦を押下することによって可能である。解析条件の編集や追加を行う際には、該解析条件表示部２２に表示されている「New」釦２２ａや「Edit」釦２２ｂを押下する。この押下に応じてＧＵＩとしての解析条件編集画面２４（図４に示す）がディスプレイ１９に表示される。
【００４９】
解析条件編集画面２４では、解析対象となるパラメータと該パラメータのデータに施す解析内容とを設定可能である。解析対象となりうるパラメータ（例えば、「APC Position」）はリスト表示される。これらのパラメータは製造元サーバ１５が客先サーバ１３から取り出すパラメータに対応する。また、解析内容を設定する際に利用可能な計算式もリスト表示される。具体的には、平均算出（「Average」）式、最大値算出（「MAX」）式、最小値算出（「MIN」）式、標準偏差算出（「STDEV」）式、最先値（「First」）式、最末値（「Last」）式、解析範囲期間算出（「Period」）式、近似直線傾斜算出（「SLOPE」）式、線形回帰直線切片算出（「Intercept」）式及び相関係数算出（「Correl」）式が表示される。オペレータは所望のパラメータ及び計算式をポインティングデバイス等によって選択することによって解析条件（パラメータ及び解析内容）を設定する。
【００５０】
選別条件表示部２３は、解析範囲を含むステップデータ（以下、「解析対象ステップデータ」という。）を指定するステップ指定部２５と、解析範囲の始点及び終点がそれぞれ満たすべき条件を設定する始点設定部２６，終点設定部２７とを有する。
【００５１】
ステップ指定部２５では、プルダウンメニュー２５ａや数値入力欄２５ｂを通じて解析範囲を含むステップデータを指定可能である。指定されたステップデータでは条件組表示部２１にリスト形式で表示される全ての条件組に対応するデータの選別と解析範囲の解析が実行される。
【００５２】
始点設定部２６では、解析範囲の始点が満たすべき条件（以下、「始点条件」という。）の編集・削除が、表示されている釦を押下することによって可能である。始点条件の編集や削除を行う際には、該始点設定部２６に表示されている「Edit」釦２６ａや「Delete」釦２６ｂを押下する。この押下に応じてＧＵＩとしての始点条件編集画面２８（図５に示す）がディスプレイ１９に表示される。
【００５３】
始点条件編集画面２８では、始点条件に用いられる条件式や該条件式で用いられる変数を設定可能である。始点条件に用いられる条件式は、原則として変数「Ｖ」と閾値「ｘ」の関係式である。利用可能な条件式は条件式表示部２９にリスト形式で表示される。オペレータは所望の条件式をポインティングデバイス等によって選択することができる。
【００５４】
条件式表示部２９は、設定された始点条件を満たした時点からの時間差（オフセット値）を設定可能なオフセット値入力欄２９ａと、設定された始点条件を満たす回数を設定可能なフィルタ値入力欄２９ｂと、閾値「ｘ」の値を入力して設定可能な閾値入力欄２９ｃとを有する。特に、フィルタ値入力欄２９ｂに回数が入力されると、入力された回数だけ条件式を満したときに、その時点のプロセスデータにおけるタイミングが出力される。
【００５５】
また、条件式における変数「Ｖ」は変数設定部３０において設定可能である。変数「Ｖ」はプロセスデータにおける各パラメータと計算式とによって定義される。本実施の形態では、変数「Ｖ」の算出に用いられる計算式の数は最大３つに設定されている。
【００５６】
変数「Ｖ」の定義で利用可能なパラメータはリスト形式で表示され、所望のパラメータはポインティングデバイス等によって選択可能である。また、変数「Ｖ」の算出に用いられる各計算式はプルダウンメニュー３０ａや数値入力欄３０ｂを通じて設定可能である。なお、プルダウンメニュー３０ａにおいて提供される計算式としては、差分算出式、絶対値算出式及び移動平均算出式等が該当する。
【００５７】
また、終点設定部２７では、解析範囲の始点が満たすべき条件（以下、「終点条件」という。）の編集・削除が、表示されている釦を押下することによって可能である。終点条件の編集や削除を行う際には、該終点設定部２７に表示されている「Edit」釦２７ａや「Delete」釦２７ｂを押下する。この押下に応じて始点条件編集画面２８と同様の終点条件編集画面（図示しない）がディスプレイ１９に表示される。オペレータは終点条件編集画面を通じて終点条件に用いられる条件式や該条件式で用いられる変数を設定することができる。
【００５８】
さらに、オペレータは始点条件や終点条件に用いる条件式を複数設定することができ、始点設定部２６や終点設定部２７はそれぞれ条件式組み合わせ欄２６ｃ，２７ｃを有する。これらの条件式組み合わせ欄２６ｃ，２７ｃでは、複数の条件式の組み合わせ関係（例えば、「and/or」）が定義される。
【００５９】
後述する解析処理では、設定された始点条件や終点条件を満たした時点のプロセスデータにおけるタイミング（時刻）が出力される。
【００６０】
また、ＰＣ１６では上述した条件組表示部２１、解析条件編集画面２４及び始点条件編集画面２８を通じて設定された複数の条件組がメモリに格納される。
【００６１】
次に、本発明の実施の形態に係る基板処理装置の検査方法について説明する。
【００６２】
図６は、本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法の一部として実行される解析処理のフローチャートである。図６の処理は、上述した条件組表示部２１等において各条件組が設定された後、ＰＣ１６のＣＰＵが製造元サーバ１５に格納されているプロセスデータをダウンロードする際に、該ＣＰＵが実行する。このとき、ＰＣ１６は複数のウエハ（本実施の形態では１ロット分に相当する２５枚のウエハ）のプロセスデータをダウンロードする。
【００６３】
また、該プロセスデータのダウンロードでは、図６の処理に先立ってＣＰＵは、製造元サーバ１５に格納されているイベントデータに基づいてダウンロードするプロセスデータをステップデータに分割する（データ分割ステップ）。このとき、複数のウエハに対応する複数のプロセスデータがダウンロードされるが、各プロセスデータがステップデータに分割される。なお、本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法としては以下の図６の処理やプロセスデータのステップデータへの分割が該当する。
【００６４】
図６において、まず、条件組表示部２１において設定された全ての条件組を取得する（ステップＳ６１）。
【００６５】
次いで、取得された全ての条件組に対応するデータの選別及び解析範囲の解析が終了したか否かを判別し（ステップＳ６２）、全ての条件組に対応する解析等が終了している場合には本処理を終了し、全ての条件組に対応する解析等が終了していない場合には、取得された全ての条件組から解析等が終了していない１つの条件組を選択し、さらに、ステップ指定部２５を通じて指定された解析対象ステップデータを、分割されたステップデータから特定する（ステップＳ６３）。この特定は各ウエハに対応するプロセスデータ毎に実行されるので、結果として２５個の解析対象ステップデータが特定される。
【００６６】
次いで、特定された２５個の解析対象ステップデータについて解析等が終了していない１つの解析対象ステップデータを選択し、さらに、始点設定部２６や始点条件編集画面２８を通じて設定された、上記選択された条件組の選別条件における始点条件を取得する（ステップＳ６４）。
【００６７】
続くステップＳ６５では、選択された解析対象ステップデータにおいて解析範囲の始点が特定できるか否かを判別し、特定できない場合にはエラー信号を出力してディスプレイ１９にエラーメッセージを表示させ（ステップＳ６６）、その後、ステップＳ７２に進む。また、ステップＳ６５において始点を特定できた場合には、始点条件を満たした時点のタイミング（以下、「始点タイミング」という。）が出力される。
【００６８】
次いで、終点設定部２７や終点条件編集画面を通じて設定された、上記選択された条件組の選別条件における終点条件を取得する（ステップＳ６７）。
【００６９】
続くステップＳ６８では、選択された解析対象ステップデータにおいて解析範囲の終点が特定できるか否かを判別し、特定できない場合にはエラー信号を出力してディスプレイ１９にエラーメッセージを表示させ（ステップＳ６６）、その後、ステップＳ７２に進む。また、ステップＳ６８において終点を特定できた場合には、終点条件を満たした時点のタイミング（以下、「終点タイミング」という。）が出力される。
【００７０】
次いで、出力された始点タイミング及び終点タイミングに基づいて選択された解析対象ステップデータから解析範囲のデータを選別し（データ選別ステップ）、さらに、上記選択された条件組の解析条件を取得する（ステップＳ６９）。
【００７１】
次いで、選別された解析範囲のデータを取得された解析条件に基づいて解析し（データ解析ステップ）（ステップＳ７０）、解析結果を出力する（ステップＳ７１）。
【００７２】
図７は、図６のステップＳ７１において出力される解析結果を示す図である。
【００７３】
図７において、各行のデータがステップＳ７１において出力される解析結果であり、解析結果は、選択された条件組の名称（図中「Function名」）、選択された解析対象ステップデータに対応するステップ番号、始点タイミング（図中「先頭時刻」）、終点タイミング（図中「末尾時刻」）、取得された解析条件におけるパラメータ及び解析内容（図中「パラメータ名」）及び解析値等を含む。
【００７４】
図６に戻り、続くステップＳ７２では、２５個（全て）の解析対象ステップデータについて選択された条件組の解析条件に対応する解析等が終了したか否かを判別し、２５個の解析対象ステップデータについて解析等が終了していない場合には、ステップＳ６４に戻り、同じ条件組の下、他の解析対象ステップデータについて解析等を実行する。
【００７５】
また、ステップＳ７２の判別の結果、２５個の解析対象ステップデータについて解析等が終了した場合には、ステップＳ６２に戻り、他の条件組に対応する解析等を実行するか、又は本処理を終了する。
【００７６】
本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法によれば、ＰＣ１６のＣＰＵが分割された解析対象ステップデータから条件組表示部２１を通じて設定された条件組の選別条件（始点条件、終点条件）を満たす解析範囲のデータを選別し、さらに、該ＣＰＵが上記設定された条件組の解析条件に基づいて解析範囲のデータを解析するので、オペレータが手作業で解析範囲のデータの選別や解析範囲のデータの解析を行う必要が無い。また、当該解析範囲のデータの解析結果には該解析範囲のデータの影響が主として反映されるので、過渡応答特性に関連するデータを解析範囲のデータとして選別すれば、基板処理装置１２の過渡応答特性の検査を簡便且つ高い信頼性を伴って行うことができる。
【００７７】
上述した基板処理装置の検査方法では、解析範囲のデータの選別に先立って、イベントデータに基づいてプロセスデータがステップデータに分割されるので、解析範囲のデータの選別対象を減少させることができ、もって、基板処理装置１２の過渡応答特性の検査をより簡便に行うことができる。
【００７８】
また、上述した基板処理装置の検査方法では、ＰＣ１６のＣＰＵが製造元サーバ１５からプロセスデータをダウンロードする際にプロセスデータのステップデータへの分割、解析範囲のデータの選別及び解析範囲のデータの解析が実行されるので、オペレータはＣＰＵによるプロセスデータのダウンロード後、直ちにプロセスデータの解析結果を利用することができ、検査効率を向上することができる。
【００７９】
さらに、上述した基板処理装置の検査方法では、設定された条件組の選別条件及び解析条件はＣＰＵによるプロセスデータのダウンロードに先立って設定されるので、プロセスデータのダウンロードの際、直ちに解析範囲のデータの選別及び解析範囲のデータの解析を実行することができ、もって、検査効率をより向上することができる。
【００８０】
また、本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法が適用される装置検査システム１０では、製造元サーバ１５はプロセスデータ及びイベントデータを格納するので、プロセスデータのステップデータへの分割の際、イベントデータを直ちに参照することができ、ステップデータへの分割を円滑に行うことができる。
【００８１】
上述した装置検査システム１０では、ＧＵＩとしての条件設定画面２０（条件組表示部２１、解析条件編集画面２４、始点条件編集画面２８及び終点条件編集画面）を通じて各条件組の選別条件及び解析条件が設定されるので、各条件組の選別条件及び解析条件を簡便に設定することができ、もって、検査効率をさらに向上することができる。
【００８２】
また、上述した装置検査システム１０では、始点条件編集画面２８の条件式表示部２９や終点条件編集画面の条件式表示部（図示しない）は始点条件や終点条件を設定する際に利用可能な計算式として差分算出式、絶対値算出式及び移動平均算出式を提供するので、始点条件や終点条件を効率よく設定することができる。
【００８３】
さらに、上述した装置検査システム１０では、解析条件編集画面２４は解析条件における解析内容を設定する際に利用可能な計算式として平均算出式、最大値算出式、最小値算出式、標準偏差算出式、最先値式、最末値式、解析範囲期間算出式、近似直線傾斜算出式、線形回帰直線切片算出式及び相関係数算出式を提供するので、解析内容を効率よく設定することができる。
【００８４】
また、上述した装置検査システム１０では、ＰＣ１６のメモリが複数の条件組を格納するので、オペレータは所望の条件組を、格納された複数の条件組から選択することができ、もって、条件組をさらに効率よく設定することができる。
【００８５】
上述した実施の形態では、図６の処理を実行するタイミングを特に限定していないが、基板処理装置１２の客先における検収時に実行されるのが好ましい。この場合、基板処理装置１２の客先への納入に先立って一度装置製造会社側で図６の処理を実行して製造時の性能を把握する。これにより、客先に納入されて組み立てられた基板処理装置１２の性能とその製造時の性能とを、過渡応答特性を含め、容易且つ正確に比較することができ、もって、該基板処理装置１２の付加価値を高めることができる。
【００８６】
また、図６の処理は基板処理装置１２の所定時間運転後に実行されてもよく、この場合、客先納入時の性能と該所定時間運転後の性能とを、過渡応答特性を含め、容易且つ正確に比較することができ、もって、基板処理装置１２のメンテナンスの必要性を容易且つ正確に判断することができる。
【００８７】
上述した図６の処理では、解析結果を出力するだけであったが、解析結果に対する閾値を設け、該閾値との比較に基づいて基板処理装置１２が正常か否かを判断するようにしてもよい。
【００８８】
また、上述した図６の処理では、ダウンロードした全てのウエハについてプロセスデータの解析結果を出力するが、基板処理装置１２の検査において１ロットにおける全てのウエハのプロセスデータの解析結果は必ずしも必要ではない。したがって、所望のウエハについてのみプロセスデータの解析結果を出力するようにしてもよく、これにより、基板処理装置１２の検査を効率良く行うことができる。
【００８９】
また、本発明の目的は、上述した実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録した記憶媒体を、コンピュータに供給し、コンピュータのＣＰＵが記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行することによっても達成される。
【００９０】
この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述した実施の形態の機能を実現することになり、プログラムコード及びそのプログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
【００９１】
また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、ＲＡＭ、ＮＶ−ＲＡＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ（ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ）等の光ディスク、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、他のＲＯＭ等の上記プログラムコードを記憶できるものであればよい。或いは、上記プログラムコードは、インターネット、商用ネットワーク、若しくはローカルエリアネットワーク等に接続される不図示の他のコンピュータやデータベース等からダウンロードすることによりコンピュータに供給されてもよい。
【００９２】
また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行することにより、上記実施の形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、ＣＰＵ上で稼動しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【００９３】
更に、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【００９４】
上記プログラムコードの形態は、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラムコード、ＯＳに供給されるスクリプトデータ等の形態から成ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板処理装置の検査方法が適用される装置検査システムの構成を概略的に示す図である。
【図２】図１の製造元サーバが格納するプロセスデータ及びイベントデータの関係を示すグラフである。
【図３】図１におけるディスプレイに表示される条件設定画面を示す図である。
【図４】図１におけるディスプレイに表示される解析条件編集画面を示す図である。
【図５】図１におけるディスプレイに表示される始点条件編集画面を示す図である。
【図６】本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法の一部として実行される解析処理のフローチャートである。
【図７】図６のステップＳ７１において出力される解析結果を示す図である。
【符号の説明】
【００９６】
１０  装置検査システム
１１  装置使用会社
１２  基板処理装置
１４  装置製造会社
１５  製造元サーバ
１６  ＰＣ
１９  ディスプレイ
２０  条件設定画面
２１  条件組表示部
２２  解析条件表示部
２３  選別条件表示部
２４  解析条件編集画面
２８  始点条件編集画面  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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