(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面および前記第１面とは反対側の第２面を有し、前記第１面と前記第２面との間を延びる貫通孔が形成された金属製シートを備え、
前記金属製シートの前記第１面側に、直線状に延びる溝が形成され、
前記金属製シートの前記第２面側に、穴が形成されており、
前記溝と前記穴とは通じており、前記溝と前記穴とによって前記金属製シートを貫通する貫通孔が形成され、
前記第１面側から前記第２面側に向け、前記金属製シートのシート面に沿った断面における前記溝の断面積はしだいに小さくなっていき、
前記第２面側から前記第１面側に向け、前記金属製シートのシート面に沿った断面における前記穴の断面積はしだいに小さくなっていき、
前記穴は、前記溝の長手方向に沿って間隔を空けて複数設けられ、
前記溝の前記長手方向に直交する方向に沿った前記溝の前記第１面上における幅は、前記長手方向における前記穴が形成されている部分よりも、前記長手方向における隣り合う二つの穴の間の部分において狭く、
前記溝は、直線状に並べて前記第１面側に形成された複数の穴によって形成されており、前記複数の穴のうちの前記溝の前記長手方向に沿って隣り合う二つの穴は前記第１面において接続されており、
前記第２面側に形成された穴は、前記第１面側に形成され前記溝を構成する穴に対面する位置に配置されている
ことを特徴とする、有機ＥＬ表示装置の製造時に有機発光材料を蒸着する際に用いられる蒸着マスク。
【請求項２】
前記溝の壁面と前記穴の壁面との接続部によって囲まれる領域は、前記金属製シートのシート面に直交する方向からの視野において、長方形状を有し、
前記接続部によって囲まれる領域の長手方向は、前記直線状の溝の長手方向に沿って延びている
ことを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
【請求項３】
直線状に延びる前記溝が、互いに平行に複数設けられている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着マスク。
【請求項４】
互いに平行に延びる複数の溝が等間隔をあけて設けられ、
各溝の長手方向に沿って複数の穴が等間隔をあけて設けられ、
前記金属製シートの平面視において、溝の長手方向に沿って隣り合う二つの貫通孔の間の長さは、隣り合う溝にそれぞれ形成された二つの貫通孔の間の長さよりも短い
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の蒸着マスク。
【請求項５】
第１面および前記第１面とは反対側の第２面を有する金属製シートをエッチングして、前記金属製シートの前記第１面側に直線状に延びる溝を形成する工程と、
前記金属製シートをエッチングして、前記金属製シートの前記第２面側に穴を形成する工程と、を含み、
前記溝と前記穴とが通じ、前記溝と前記穴とによって前記金属製シートを貫通する貫通孔が形成されるように、前記溝および前記穴が形成され、
前記穴を形成する工程において、前記溝の長手方向に沿うようにして複数の穴が等間隔をあけて形成され、
前記溝を形成する工程において、隣り合う二つの穴が前記第１面において接続されるようにして、複数の穴を直線状に並べて前記第１面側から形成することにより、前記溝を形成し、
前記溝の前記長手方向に直交する方向に沿った前記溝の前記第１面上における幅は、前記長手方向における前記穴が形成されている部分よりも、前記長手方向における隣り合う二つの穴の間の部分において狭く、
前記第２面側に形成される穴は、前記第１面側に形成され前記溝を構成する穴に対面するようになる位置に形成される
ことを特徴とする、有機ＥＬ表示装置の製造時に有機発光材料を蒸着する際に用いられる蒸着マスクの製造方法。
【請求項６】
互いに平行に延びる複数の溝が等間隔をあけて形成され、
前記金属製シートの平面視において、溝の長手方向に沿って隣り合う二つの貫通孔の間の長さは、隣り合う溝にそれぞれ形成された二つの貫通孔の間の長さよりも短くなるようになっている
ことを特徴とする請求項５に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項７】
前記溝の壁面と前記穴の壁面との接続部によって囲まれる領域が、前記金属製シートの平面視において、長方形状を有するように、前記溝および前記穴が形成され、
前記接続部によって囲まれる領域の長手方向は、前記直線状の溝の長手方向に沿って延びるようになっている
ことを特徴とする請求項５または６に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項８】
前記金属製シートをエッチングすることによって前記溝が形成され、
前記金属製シートをエッチングすることによって前記穴が形成される
ことを特徴とする請求項５乃至７のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項９】
前記金属製シートの前記第１面および前記第２面が同時にエッチングされ、前記穴を形成する工程および前記溝を形成する工程が並行して行われる
ことを特徴とする請求項８に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項１０】
前記金属製シートの前記第１面および前記第２面が同時にエッチングされ前記穴を形成する工程および前記溝を形成する工程が並行して行われ、その後、前記穴を形成する工程および前記溝を形成する工程のいずれか一方のみが引き続き行われる
ことを特徴とする請求項８に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項１１】
前記金属製シートをエッチングすることによって前記穴が形成された後に実施される工程であって、形成された前記穴を樹脂で封止する工程をさらに備え、
前記穴を封止された後に、前記金属製シートを前記第１面側からエッチングすることにより、前記穴まで通じる前記溝が形成される
ことを特徴とする請求項８に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項１２】
前記穴を形成する工程において、前記金属製シートの前記第１面および前記第２面が同時にエッチングされ、前記溝の形成が部分的に進む
ことを特徴とする請求項１１に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項１３】
前記穴を形成する工程は、前記溝を形成する工程の前に行われる
ことを特徴とする請求項５乃至８のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項１４】
前記溝を形成する工程は、前記穴を形成する工程の前に行われる
ことを特徴とする請求項５乃至８のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項１５】
前記溝を形成する工程において、
前記溝を構成する複数の穴は、複数の貫通穴が間隔を空けて並べて形成されたレジストを前記第１面上に設けられた状態で前記金属製シートの前記第１面をエッチングすることにより、前記レジストの前記貫通穴に対応する位置において前記金属製シートの前記第１面側に形成され、
前記複数の穴からなる溝を形成するためのエッチングは、前記溝の長手方向に沿って隣り合う二つの穴が、当該二つの穴にそれぞれ対応する前記レジストの二つの貫通穴の間に位置するレジストのブリッジ部の下方において接続されるように、行われる
ことを特徴とする請求項５乃至１４のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクに係り、とりわけ、蒸着材料を高い利用効率で成膜することができる蒸着マスクに関する。
【０００２】
また、本発明は、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクを製造する方法に係り、とりわけ、蒸着材料を高い利用効率で成膜することができる蒸着マスクの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
従来、所望のパターンで配列された貫通孔を含む蒸着用マスクを用い、所望のパターンで薄膜を形成する方法が知られている。そして、昨今においては、例えば有機ＥＬ表示装置の製造時において有機材料を基板上に蒸着する場合等、極めて高価な材料を成膜する際に蒸着が用いられることがある。なお、蒸着用マスクは、一般的に、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に貫通孔を形成することにより、製造され得る（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００４−３９３１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、蒸着マスクを用いて蒸着材料を基板に成膜する場合、蒸着マスクにも蒸着材料が付着する。すなわち、使用された蒸着材料のすべてが基板に付着するわけではない。また、蒸着マスクの開孔率が低くなれば、蒸着材料の利用効率も低下してしまう。例えば、カラー表示装置を製造するために有機発光材料を基板に蒸着する場合、一つの色を発光し得る有機発光材料を蒸着するための蒸着マスクの開孔率は通常３４％未満となり、蒸着材料の利用効率は非常に低い値となる。高価な蒸着材料を用いる場合、利用効率が低いことは大きな問題となる。なお、ここでいう利用効率とは、用いられた蒸着材料のうちの基板に付着した割合を指している。
【０００５】
また、蒸着材料の中には、蒸着マスクをなす金属製シートのシート面に対して斜めに移動して基板に向かうものもある。斜めに移動する蒸着材料を有効に利用して蒸着材料の利用効率を高めるためには、壁面が大きく傾斜して先細りする貫通孔を金属製シートに形成することが好ましい。しかしながら、エッチングによって金属製シートに貫通孔を形成しようとすると、貫通孔の壁面を大きく傾斜させることが困難な場合がある。具体的には、隣り合う孔の離間間隔が短い場合、隣りの孔に面する側の壁面が切り立ってしまう傾向がある。また、平面視において長方形状を有する貫通孔をエッチングによって作製する場合には、貫通孔の長辺沿いの壁面を大きく傾かせることができる一方で、貫通孔の短辺沿いの壁面が切り立ってしまう傾向がある。
【０００６】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、蒸着材料を高い利用効率で成膜することができる蒸着マスクを提供することを目的とする。また、本発明は、蒸着材料を高い利用効率で成膜することができる蒸着マスクの製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
ところで、貫通孔の壁面が切り立っていると、蒸着材料の利用効率が悪化するだけでなく、さらに他の不具合を生じさせる。蒸着マスクをなす金属製シートは、製造上の制約または使用上の制約から、或る程度の厚みを有している。したがって、貫通孔の壁面が切り立っていると、上述したように蒸着材料の一部が斜めに移動することから、被蒸着領域（成膜されるべき領域）の縁部領域に所定の厚みで安定して成膜することが困難となる。この不具合を回避するため、貫通孔を所望のパターンよりも大きくすることが有効と考えられている。しかしながら、この方法を採用すると、隣り合う被蒸着領域が近接している場合に、蒸着マスクの貫通孔がつながってしまう。したがって、例えば表示装置の各画素として有機発光材料を成膜する場合等においては、この方法を採用することができず、隣り合う被成膜領域（画素）を別々の蒸着工程にて蒸着しなければならない。すなわち、一回の蒸着工程において一つおきに半分の被成膜領域を蒸着し、二回目の蒸着工程において残りの被成膜領域を蒸着することにより、同一材料を二回に分けて蒸着しなければならない。このため、カラー表示装置を作製するために三種類の有機発光材料を蒸着する場合には、一種類の有機発光材料につき二回、合計六回の蒸着工程を設けなければならない。本発明によってこのような不具合を解決し、蒸着工程の回数を削減することができれば、さらに都合がよい。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による蒸着マスクは、第１面および前記第１面とは反対側の第２面を有し、前記第１面と前記第２面との間を延びる貫通孔が形成された金属製シートを備え、前記金属製シートの前記第１面側に、線状に延びる溝が形成され、前記金属製シートの前記第２面側に、穴が形成されており、前記溝と前記穴とは通じており、前記溝と前記穴とによって前記金属製シートを貫通する貫通孔が形成されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明による蒸着マスクにおいて、前記溝は、前記金属製シートを前記第１面の側からエッチングすることによって形成されているようにしてもよい。
【００１０】
また、本発明による蒸着マスクにおいて、前記第１面側から前記第２面側に向け、前記金属製シートのシート面に沿った断面における前記溝の断面積はしだいに小さくなっていくようにしてもよい。
【００１１】
さらに、本発明による蒸着マスクにおいて、前記穴は、前記金属製シートを前記第２面の側からエッチングすることによって形成されているようにしてもよい。
【００１２】
さらに、本発明による蒸着マスクにおいて、前記第２面側から前記第１面側に向け、前記金属製シートのシート面に沿った断面における前記穴の断面積はしだいに小さくなっていくようにしてもよい。
【００１３】
さらに、本発明による蒸着マスクにおいて、前記溝の壁面と前記穴の壁面との接続部によって囲まれる領域は、前記金属製シートの平面視において、長方形状を有し、前記接続部によって囲まれる領域の長手方向は、前記線状の溝の長手方向に沿って延びているようにしてもよい。
【００１４】
さらに、本発明による蒸着マスクにおいて、直線状に延びる前記溝が、互いに平行に複数設けられているようにしてもよい。
【００１５】
さらに、本発明による蒸着マスクにおいて、前記穴が、前記溝の長手方向に沿って間隔を空けて複数設けられているようにしてもよい。
【００１６】
さらに、本発明による蒸着マスクにおいて、互いに平行に延びる複数の溝が等間隔をあけて設けられ、各溝の長手方向に沿って複数の穴が等間隔をあけて設けられ、前記金属製シートの平面視において、各溝の長手方向に沿って隣り合う二つの貫通孔の間の長さは、隣り合う溝にそれぞれ形成された二つの貫通孔の間の長さよりも短くしてもよい。
【００１７】
さらに、本発明による蒸着マスクにおいて、前記穴が前記溝の長手方向に沿って間隔を空けて複数設けられている場合、前記溝の前記長手方向に直交する方向に沿った前記溝の前記第１面上における幅は、前記長手方向における前記穴が形成されている部分よりも、前記長手方向における隣り合う二つの穴の間の部分において狭くなっているようにしてもよい。
【００１８】
さらに、本発明による蒸着マスクにおいて、前記溝は、前記第１面側に形成された複数の穴によって形成されており、前記複数の穴のうちの前記溝の前記長手方向に沿って隣り合う二つの穴は前記第１面において接続されているようにしてもよい。
【００１９】
さらに、本発明による蒸着マスクにおいて、前記穴が前記溝の長手方向に沿って間隔を空けて複数設けられている場合、前記溝は、前記第１面側に形成された複数の穴によって形成されており、前記複数の穴のうちの前記溝の前記長手方向に沿って隣り合う二つの穴は前記第１面において接続されており、前記第２面側に形成された穴は、前記第１面側に形成され前記溝を構成する穴に対面する位置に配置されているようにしてもよい。
【００２０】
本発明による蒸着マスクの製造方法は、第１面および前記第１面とは反対側の第２面を有する金属製シートをエッチングして、前記金属製シートの前記第１面側に線状に延びる溝を形成する工程と、前記金属製シートをエッチングして、前記金属製シートの前記第２面側に穴を形成する工程と、を含み、前記溝と前記穴とが通じ、前記溝と前記穴とによって前記金属製シートを貫通する貫通孔が形成されるように、前記溝および前記穴が形成されることを特徴とする。
【００２１】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、互いに平行に延びる複数の溝が等間隔をあけて形成され、各溝の長手方向に沿うようにして複数の穴が等間隔をあけて形成され、  前記金属製シートの平面視において、各溝の長手方向に沿って隣り合う二つの貫通孔の間の長さは、隣り合う溝にそれぞれ形成された二つの貫通孔の間の長さよりも短くなるようにしてもよい。
【００２２】
また、本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記溝の壁面と前記穴の壁面との接続部によって囲まれる領域が、前記金属製シートの平面視において、長方形状を有するように、前記溝および前記穴が形成され、前記接続部によって囲まれる領域の長手方向は、前記線状の溝の長手方向に沿って延びるようにしてもよい。
【００２３】
さらに、本発明による蒸着マスクの製造方法が、前記金属製シートを供給する工程をさらに含み、前記溝を形成する工程において、前記金属製シートの供給方向に沿って延びる溝が形成されるようにしてもよい。
【００２４】
さらに、本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記金属製シートをエッチングすることによって前記溝が形成され、前記金属製シートをエッチングすることによって前記穴が形成されるようにしてもよい。
【００２５】
このような蒸着マスクの製造方法において、前記金属製シートの前記第１面および前記第２面が同時にエッチングされ、前記穴を形成する工程および前記溝を形成する工程が並行して行われるようにしてもよい。
【００２６】
あるいは、このような蒸着マスクの製造方法において、前記金属製シートの前記第１面および前記第２面が同時にエッチングされ前記穴を形成する工程および前記溝を形成する工程が並行して行われ、その後、前記穴を形成する工程および前記溝を形成する工程のいずれか一方のみが引き続き行われるようにしてもよい。
【００２７】
あるいは、このような蒸着マスクの製造方法が、前記金属製シートをエッチングすることによって前記穴が形成された後に実施される工程であって、形成された前記穴を樹脂で封止する工程をさらに備え、前記穴を封止された後に、前記金属製シートを前記第１面側からエッチングすることにより、前記穴まで通じる前記溝が形成されるようにしてもよい。このような蒸着マスクの製造方法の前記穴を形成する工程において、前記金属製シートの前記第１面および前記第２面が同時にエッチングされ、前記溝の形成が部分的に進むようにしてもよい。
【００２８】
さらに、本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記穴を形成する工程は、前記溝を形成する工程の前に行われるようにしてもよい。
【００２９】
さらに、本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記溝を形成する工程は、前記穴を形成する工程の前に行われるようにしてもよい。
【００３０】
さらに、本発明による蒸着マスクの製造方法の前記溝を形成する工程において、隣り合う二つの穴が前記第１面において接続されるようにして、複数の穴を線状に並べて前記第１面側から形成することにより、前記溝を形成するようにしてもよい。このような蒸着マスクの製造方法において、前記第２面側に形成される穴は、前記第１面側に形成され前記溝を構成する穴に対面するようになる位置に形成されてもよい。また、このような蒸着マスクの製造方法の前記溝を形成する工程において、前記溝を構成する複数の穴は、複数の貫通穴が間隔を空けて並べて形成されたレジストを前記第１面上に設けられた状態で前記金属製シートの前記第１面をエッチングすることにより、前記レジストの前記貫通穴に対応する位置において前記金属製シートの前記第１面側に形成され、前記複数の穴からなる溝を形成するためのエッチングは、前記溝の長手方向に沿って隣り合う二つの穴が、当該二つの穴にそれぞれ対応する前記レジストの二つの貫通穴の間に位置するレジストのブリッジ部の下方において接続されるように、行われてもよい。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、線状の溝と穴とによって金属製シートに貫通孔が形成されている。したがって、金属製シートのシート面に対して斜めに進む蒸着材料であって溝の長手方向に概ね沿うようにして進む蒸着材料を高い効率で蒸着に用いることができる。これにより、蒸着材料の利用効率を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図１乃至図１８を参照して本発明による蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法の一実施の形態について説明する。ここで図１乃至図１８は本発明の一実施の形態を説明するための図である。なお、以下の実施の形態では、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に有機発光材料を所望のパターンでガラス基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）および蒸着マスクの製造方法を例にあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）および蒸着マスクの製造方法に対し、本発明を適用することができる。
【００３３】
まず最初に、本発明による蒸着マスクの製造方法により製造され得る蒸着マスクの一例について、主に図１乃至図５を参照して説明する。ここで図１は蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の一例を示す斜視図であり、図２は蒸着マスクの部分平面図であり、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図であり、図４は図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【００３４】
図１乃至図４に示すように、蒸着マスク２０は、対向する第１面３４ａおよび第２面３４ｂを有する金属製シート３４からなっている。金属製シート３４には、第１面３４ａと第２面３４ｂとの間を延びる多数の貫通孔２５が形成されている。蒸着マスク装置１０は、図１に示すように、蒸着マスク２０と、この蒸着マスク２０と固定されたフレーム１５と、を有している。図１に示す例において、フレーム１５は、蒸着マスク２０（金属製シート３４）の周縁部に取り付けられている。
【００３５】
図１に示された蒸着マスク装置１０は、図５に示すように、蒸着マスク２０がガラス基板４２に対面するようにして、蒸着装置４０内に支持される。ここで図５は、蒸着マスク装置１０の使用方法を説明するための図である。蒸着装置４０内には、この蒸着マスク装置１０を挟んだガラス基板４２の下方に、蒸着材料（一例として、有機発光材料）４８を収容するるつぼ４４と、るつぼ４４を加熱するヒータ４６とが配置されている。るつぼ４４内の蒸着材料４８は、ヒータ４６からの加熱により、気化または昇華してガラス基板４２の表面に付着するようになる。上述したように、蒸着マスク２０には多数の貫通孔２５が形成されており、蒸着材料４８はこの貫通孔２５を介してガラス基板４２に付着する。この結果、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料４８がガラス基板４２の表面に成膜される。
【００３６】
図１および図２に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク２０をなす金属製シート３４は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。図３および図４に示すように、金属製シート３４の第１面３４ａの側に、線状に延びる溝２６が形成され、金属製シート３４の第２面３４ｂの側に、穴（凹部、孔）２７が形成されている。穴２７と溝２６とは通じており、この結果、穴２７と溝２６とによって金属製シート３４を貫通する貫通孔２５が形成されている。
【００３７】
図３に示す例において、第１面３４ａ側から第２面３４ｂ側に向け、金属製シート３４のシート面に沿った断面における溝２６の断面積はしだいに小さくなっていく。このような溝２６は、例えば後述するように、金属製シート３４を第１面３４ａの側からエッチングすることによって形成され得る。同様に、図３および図４に示す例において、第２面３４ｂ側から第１面３４ａ側に向け、金属製シート３４のシート面に沿った断面における穴２７の断面積はしだいに小さくなっていく。このような穴２７は、例えば後述するように、金属製シート３４を第２面３４ｂの側からエッチングすることによって形成され得る。
【００３８】
図１および図２に示すように、溝２６は金属製シート３４のシート面に沿って直線状に延びている。金属製シート３４の第１面３４ａには、互いに平行に延びる多数の溝２６が形成されている。各溝２６に対し、当該溝２６に通じる穴２７が多数形成されている。各溝２６に対面する多数の穴２７は、当該溝２６の長手方向に沿って一定の間隔をあけて直線上に配列されている。
【００３９】
金属製シート３４のシート面に直交する方向（厚さ方向）からの視野において、言い換えると金属製シート３４の平面視において、穴２７は矩形状、さらに詳細には長方形状に形成されている。穴２７の長手方向、つまり、穴２７が有する長方形状輪郭の長辺に沿った方向は、溝２６の長手方向（溝２６が延びる方向（延在方向））に沿っている。図２に示すように、穴２７は溝２６に対面する位置に形成されている。さらに具体的には、溝２６の長手方向に直交する幅方向中心に、穴２７の平面視における中心が位置するように、穴２７が配置されている。穴２７の幅は、溝２６の幅よりも狭い。なお、ここでいう矩形状または長方形状とは、正確な矩形状や正確な長方形だけを指すものではなく、エッチングにより矩形状または長方形を作製しようとした場合に作製され得る略矩形状および略長方形を含む概念である。
【００４０】
穴２７は金属製シート３４の第２面３４ｂから溝２６の底部へ延びている。溝２６の壁面２６ａと穴２７の壁面２７ａとは、周状の接続部２８で接続されている。図３および図４に示すように、接続部２８は、開孔面積（平面視における貫通孔２５の面積）が最小となる張り出し部２８ａの稜線からなっている。穴２７の平面視における形状が長方形状であることから、周状の接続部２８によって囲まれる領域も、金属製シート３４のシート面に直交する方向からの視野において（平面視において）、長方形状となっている。また、図２に示すように、接続部２８によって囲まれる領域の長手方向は、線状の溝２６の長手方向に沿って延びている。さらに、本実施の形態では、図２に示すように、金属製シート３４のシート面に直交する方向からの視野において（平面視において）、各溝２６の長手方向に沿って隣り合う二つの貫通孔２５（接続部２８によって囲まれる領域）の間の長さＬａは、隣り合う溝２６にそれぞれ形成された二つの貫通孔２５（接続部２８によって囲まれる領域）の間の長さＬｂよりも短くなっている。
【００４１】
ところで、図６および図７に示すように、蒸着マスク装置１０が蒸着装置４０に収容された場合、金属製シート３４の第２面３４ｂに対応する蒸着マスク２０の第２面２０ｂはガラス基板４２に対面し、金属製シート３４の第１面３４ａに対応する蒸着マスク２０の第１面２０ａが蒸着材料４８を保持したるつぼ４４に対面する。すなわち、図６および図７に示すように、蒸着材料４８は次第に先細りしていく溝２６側から貫通孔２５に入り、その後、穴２７を経て貫通孔２５から出る。
【００４２】
上述したように、穴２７は第２面３４ｂ側から第１面３４ａ側へ向けて先細りしているので、貫通孔２５内に開孔面積が最小となる張り出し部２８ａが形成されている。そして、このような蒸着マスク２０を用いて蒸着を行った場合、ガラス基板４２のうちの張り出し部２８ａの裏側に対応する領域に成膜される蒸着膜４９の膜厚は安定しない。本件発明者が確認したところ、有機ＥＬディスプレイを作製する際に有機発光材料を蒸着させるために用いられる蒸着マスク２０においては、溝２６の壁面２６ａと穴２７の壁面２７ａとの接続部２８から第２面３４ｂ（２０ｂ）までの金属製シート３４のシート面に直交する方向に沿った長さＬｃが、１０μｍ以下（さらに望ましくは５μｍ以下）であれば、あるいは、溝２６の壁面２６ａと穴２７の壁面２７ａとの接続部２８から第１面３４ａ（２０ａ）までの金属製シート３４のシート面に直交する方向に沿った長さＬｄの三分の一以下であれば、安定した膜厚で被成膜領域（成膜されるべき領域）に蒸着膜４９を形成することができた。
【００４３】
また、図６および図７に示すように、一部の蒸着材料４８は、るつぼ４４からガラス基板４２に向けて直線的に移動せず、ガラス基板４２の板面に対して斜めに移動することもある。上述したように、貫通孔２５の断面形状が金属製シート３４のシート面に直交する方向に切り立っていれば、斜めに移動する蒸着材料４８を有効に利用することができない。
【００４４】
そして一般的に、隣り合う貫通孔２５の離間間隔が短い場合、隣りの貫通孔側の壁面が切り立ってしまう傾向がある。本実施の形態においては、平面視において、貫通孔２５が、一方向に沿って一定の離間間隔Ｌａをあけて配列されているとともに、一方向とは異なる他方向に沿って離間間隔Ｌａよりも長い離間間隔Ｌｂをあけて配列されている。しかしながら、本実施の形態によれば、より離間間隔Ｌａが短くなる一方向に沿って溝２６が延びているため、貫通孔２５の長手方向を横切る断面において、一方向における隣りの貫通孔側の壁面が切り立つどころか、図７に示すように貫通孔２５を成す壁面自体が、厚さＬｃを調整された穴２７部分のみしか存在しない。
【００４５】
また一般的に、平面視において長方形状を有する貫通孔２５の長手方向を横切る断面（長方形状の短辺を横切る断面）において、貫通孔２５の壁面は切り立つ傾向がある。すなわち、平面視において長方形状を有する貫通孔２５の短辺沿いの壁面は切り立つ傾向がある。しかしながら、本実施の形態によれば、貫通孔２５の長手方向は溝２６の長手方向に一致しているため、貫通孔２５の長手方向を横切る断面において、貫通孔２５を成す壁面が切り立つどころか、図７に示すように貫通孔２５を成す壁面自体が、厚さＬｃを調整された穴２７部分のみしか存在しない。
【００４６】
以上のことから、図７に示す貫通孔２５の長手方向を横切る断面において、斜めに移動してガラス基板４２に向かう蒸着材料４８を、有効に利用して、蒸着材料の利用効率（成膜効率）を大幅に向上させることができる。さらに、図７に示すように貫通孔２５を成す壁面がほとんど存在しないので、ガラス基板４２のうちの貫通孔２５の縁部領域に対応する領域おいても十分な膜厚で安定して成膜することができる。したがって、従来のように被成膜領域（成膜されるべき領域）よりも貫通孔２５の開孔面積を大きめに形成しておく必要がない。このため、貫通孔２５を短い間隔で形成し、ファインピッチでのパターニングを精度良く一回で行うことができる。
【００４７】
一方、図６に示すように、平面視において長方形状を有する貫通孔２５の幅方向を横切る断面（長方形状の長辺を横切る断面）において、貫通孔２５の壁面は、溝２６部分にも存在している。貫通孔２５の幅方向における断面において、溝２６の壁面２６ａが図６の点線で示す輪郭を有していたとすると、斜めに移動する蒸着材料４８は、蒸着マスク２０に付着してガラス基板４２まで到達しない。すなわち、蒸着材料の利用効率（ガラス基板４２に付着する割合）を高めて高価な蒸着材料を節約するためには、溝２６の長手方向に直交するとともに金属製シート３４のシート面に直交する断面（図６に示す断面）において、溝２６の壁面２６ａおよび穴２７の壁面２７ａの接続部２８と溝２６の第１面３４ａ（２０ａ）側の端部とを結ぶ直線Ｌが第２面３４ｂ（２０ｂ）となす角度θが小さい方がよく、角度θが４５°以下となっていることが好ましい。
【００４８】
なお、角度θを小さくしていくと、図６に二点鎖線で示すように、隣り合う溝２６の壁面２６ａ同士が接続されるようになる。しかしながら、蒸着マスク２０の強度を考慮すると、隣り合う溝２６の壁面２６ａ同士は接続されていないことが好ましく、平坦な第１面３４ａ（２０ａ）において隣り合う溝２６の間に５μｍ以上の平坦な面が形成されていることがさらに好ましい。
【００４９】
すなわち、直線Ｌが第２面３４ｂ（２０ｂ）に対してなす角度θは、第１面３４ａ（２０ａ）において溝２６の間に５μｍ以上の平坦な面が形成されるようになる角度以上であって、４５°以下であることが好ましい。
【００５０】
上述したように、本実施の形態では、直線状に延びる溝２６に沿って複数の貫通孔２５が一定の離間距離Ｌａをあけて配置されている。また、所定の間隔をあけて複数の溝２６が形成されている。この結果、図２に示すように、貫通孔２５は、溝２６の長手方向だけでなく、溝２６の長手方向に直交する方向に沿っても一定の離間距離Ｌｂをあけて配置されている。一例として、蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）が中型のディスプレイ（例えば２０インチ型のディスプレイ）を作製するために用いられる場合、上述した離間距離Ｌａは２０μｍ以上５０μｍ以下程度とすることができ、離間距離Ｌｂは８４μｍ以上２５４μｍ以下程度とすることができる。また、矩形状を有する貫通孔２５の一辺（貫通孔２５が長方形状を有する場合は、長辺または短辺）の長さは、８μｍ以上６４μｍ以下程度とすることができる。
【００５１】
そして、溝２６の長手方向に直交する方向に沿って蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）とガラス基板４２とを少しずつ相対移動させ、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に蒸着させていくことにより、カラー表示用のディスプレイを作製することができる。とりわけ、本実施の形態によれば、貫通孔２５の開孔面積を蒸着されるべき領域に比べて大きく設定しておく必要がないので、小さな離間距離Ｌａで離間した画素を一回の蒸着工程で成膜することができる。したがって、三色の有機発光材料を蒸着する場合、各色の成膜を二回にわけて行っていた従来の方法に比べ、三工程も省略することができる。
【００５２】
なお、蒸着マスク２０の周縁部に取り付けられたフレーム１５は、蒸着マスク２０が撓んでしまうことがないように蒸着マスク２０を張った状態に保持するためのものである。蒸着マスク２０とフレーム１５とは、例えばスポット溶接により互いに対して固定される。上述したように、蒸着マスク装置１０は、高温雰囲気となる蒸着装置４０の内部に保持される。したがって、蒸着マスク２０およびフレーム１５は、蒸着フレームの撓みや熱応力の発生を防止するため、熱膨張率が低い同一の材料によって作製されていることが好ましい。このような材料として、例えば、３６％Ｎｉインバー材を用いることができる。
【００５３】
次に、このような蒸着マスク２０および蒸着マスク装置１０の製造方法について、主に図８乃至図１０を用いて説明する。このうち図８は蒸着マスクの製造方法を全体的に説明するための図であり、図９は金属製シートにレジストパターンを形成する方法を説明するための図であり、図１０は金属製シートをエッチングする方法を説明するための図である。
【００５４】
図８に示すように、本実施の形態における蒸着マスクの製造方法は、帯状に延びる金属製シート３４を供給する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを金属製シート３４に施して、金属製シート３４の第１面３４ａ側に線状に延びる溝２６を形成する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを金属製シート３４に施して、金属製シート３４の第２面３４ｂ側に穴２７を形成する工程と、を含んでいる。各工程について、以下においてさらに詳細に説明する。なお、本実施の形態においては、以下に説明するように、金属製シート３４の第１面３４ａおよび第２面３４ｂが同時にエッチングされ、溝２６を形成する工程および穴２７を形成する工程が並行して行われる。
【００５５】
図８に示すように、本実施の形態においては、金属製シート３４を供給コア３１に巻き取った巻体２９が準備される。そして、この供給コア３１が回転して巻体２９が巻き戻されることにより、図８に示すように帯状に延びる金属製シート３４が供給される。なお、金属製シート３４は貫通孔２５を形成されて蒸着マスク２０をなすようになる。したがって、上述したように、金属製シート３４は、例えば３６％Ｎｉインバー材からなる。ただし、これに限られず、ステンレス、銅、鉄、アルミニウムからなるシートを金属製シート３４として用いることも可能である。
【００５６】
供給された金属製シート３４はエッチング装置（エッチング手段）５０によってエッチング処理を施される。具体的には、まず、金属製シート３４の第１面３４ａ上（図９の紙面における下側の面上）および第２面３４ｂ上に感光性レジスト材料を塗布し、金属製シート３４上にレジスト膜３６ａ，３６ｂを形成する。次に、レジスト膜３６ａ，３６ｂのうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板３７ａ，３７ｂを準備し、ガラス乾板３７ａ，３７ｂをレジスト膜３６ａ，３６ｂ上に配置する。
【００５７】
その後、図９に示すように、レジスト膜３６をガラス乾板３７越しに露光し、さらにレジスト膜３６を現像する。以上のようにして、金属製シート３４の第１面３４ａ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）３５ａが形成されるとともに、金属製シート３４の第２面３４ｂ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）３５ｂが形成される。
【００５８】
なお、ガラス乾板３７ａ，３７ｂのうちの除去すべきレジスト膜３６ａ，３６ｂに対面する領域を黒色にしておき、露光光として可視光を用いるようにしてもよい。この場合、黒色部分で可視光が吸収されることにより、レジスト膜３６ａ，３６ｂの除去すべき領域には光が入射せず、レジスト膜３６ａ，３６ｂが金属製シート３４上に定着しない。一方、レジスト膜３６ａ，３６ｂの除去すべきでない領域には光が入射して、当該領域におけるレジスト膜３６ａ，３６ｂが金属製シート３４上に定着する。定着していないレジスト膜３６ａ，３６ｂは、例えば湯洗によって除去される。
【００５９】
次に、図１０に示すように、金属製シート３４上の形成されたレジストパターン３５ａ，３５ｂをマスクとして、エッチング液（例えば塩化第二鉄溶液）３８により金属製シート３４を第１面３４ａ側および第２面３４ｂ側からエッチングする。本実施の形態においては、エッチング液３８が、搬送される金属製シート３４の下方に配置されたエッチング装置５０の下方ノズル５１ａから、レジストパターン３５ａ越しに金属製シート３４の第１面３４ａに向けて噴射される。同時に、エッチング液３８が、搬送される金属製シート３４の上方に配置されたエッチング装置５０の上方ノズル５１ｂから、レジストパターン３５ｂ越しに金属製シート３４の第２面３４ｂに向けて噴射される。このとき、図１０に点線で示すように、金属製シート３４のうちのレジストパターン３５ａ，３５ｂによって覆われていない領域で、エッチング液による浸食が始まる。その後、浸食は、金属製シート３４の厚み方向だけでなく、金属製シート３４のシート面に沿った方向にも進んでいく。以上のようにして、エッチング液による浸食が金属製シート３４の第１面３４ａから第２面３４ｂ側に向けて進んで溝２６が形成されていき、同様に、エッチング液による浸食が金属製シート３４の第２面３４ｂから第１面３４ａ側に向けて進んで穴２７が形成されていく。最終的に、溝２６と穴２７とが互いに通じ、溝２６と穴２７とによって金属製シート３４を貫通する貫通孔２５が形成される。
【００６０】
その後、金属製シート３４上のレジストパターン３５ａ，３５ｂを除去し、さらに金属製シート３４を水洗いする。このようにして、多数の貫通孔２５を形成された金属製シート３４からなる蒸着マスク用シート状部材１８が得られる。
【００６１】
このようにして得られた蒸着マスク用シート状部材１８は、当該蒸着マスク用シート状部材１８を狭持した状態で回転する一対の搬送ローラ５２，５２により、切断装置（切断手段）５３へ搬送される。なお、この搬送ローラ５２，５２の回転によって蒸着マスク用シート状部材１８および金属製シート３４に作用するテンション（引っ張り力）を介し、上述した供給コア３１が回転させられ、巻体２９から金属製シート３４が供給されるようになっている。
【００６２】
多数の貫通孔２５が形成された金属製シート３４を切断装置（切断手段）５３によって所定の長さに切断することにより、枚葉状の蒸着マスク２０が得られる。そして、各蒸着マスク２０に対してフレーム１５を取り付けることにより、蒸着マスク装置１０が得られる。なお、フレーム１５は、蒸着マスク２０の一方の面２０ａに取り付けられてもよいし、蒸着マスク２０の他方の面２０ｂに取り付けられてもよい。
【００６３】
なお、上述したように直線状に細長く延びる溝２６を形成する場合、溝２６が延びる方向と、金属製シート３４が供給される方向（金属製シート３４が搬送される方向）とが略平行となっていることが好ましい。この場合、蒸着マスク２０の製造中に、厚みの薄くなっている溝２６の部分において金属製シート３４が延びてしまったり切断されてしまったりすることを防止することができる。
【００６４】
以上のように本実施の形態によれば、線状の溝２６と穴２７とによって金属製シート３４に貫通孔２５が形成されている。したがって、金属製シート３４のシート面に対して斜めに進む蒸着材料４８であって溝２６の長手方向に概ね沿うようにして進む蒸着材料４８を高い効率で蒸着に用いることができる。これにより、蒸着材料４８の利用効率を大幅に高めることができる。そして、本実施の形態による蒸着マスク２０は、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に、例えば高価な有機発光材料を所望のパターンで基板４２上にパターニングするために用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）に非常に適している。
【００６５】
また、本実施の形態によれば、金属製シート３４の厚みをある程度以上に確保しながら、蒸着材料４８の利用効率を大幅に高めている。言い換えると、金属製シート３４の厚みを全体的に薄くすることなく、金属製シート３４の厚みを局所的に削って、蒸着材料４８の利用効率を大幅に高めている。したがって、金属製シート３４および蒸着マスク２０の剛性を確保することが可能となり、蒸着マスク２０の作製時や取り扱い時（搬送や使用等）に、蒸着マスク２０（金属製シート３４）が変形してしまうことを効果的に防止することができる。この結果、得られた蒸着マスク２０を用いた場合、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる。
【００６６】
さらに、本実施の形態によれば、金属製シート３４を供給する工程において、金属製シート３４を巻き取った巻体２９を巻き戻して、帯状に延びる金属製シート３４を供給する。このような巻体２９は安価に入手可能であり、しかも取り扱い上の都合が非常に良い。
【００６７】
なお、上述した実施の形態に関し、本発明の要旨の範囲内で種々の変更が可能である。以下、変形例の一例について適宜図面を参照しながら説明する。なお、以下で参照する図１３乃至図１８において、上述した実施の形態との同一な部分、並びに、以下に説明する変形例同士で同一な部分には同一な符号を付し、重複する詳細な説明は省略する。
【００６８】
（変形例１）
上述した実施の形態において、金属製シート３４の第１面３４ａおよび第２面３４ｂが同時にエッチングされ、溝２６および穴２７が並行して形成されていく例を示したが、これに限られない。例えば、図１１に示すように、穴２７を形成する工程が、溝２６を形成する工程の前に行われるようにしてもよいし、図１２に示すように、溝２６を形成する工程が、穴２７を形成する工程の前に行われるようにしてもよい。穴２７を形成する工程が溝２６を形成する工程の前に行われる場合、金属製シート３４の第２面３４ｂ側からエッチングして穴２７を形成した後に、穴２７を樹脂で埋める工程、あるいは、穴２７を樹脂で埋めるとともに金属製シート３４の第２面３４ｂを樹脂膜で被覆する工程をさらに設けるようにしてもよい。この場合、エッチングにより溝２６を精度良く形成することができる。なお、穴２７および第２面３４ｂ上の樹脂膜は、溝２６を形成した後に除去される。同様に、溝２６を形成する工程が穴２７を形成する工程の前に行われる場合、金属製シート３４の第１面３４ａ側からエッチングして溝２６を形成した後に、溝２６を樹脂で埋める工程、あるいは、溝２６を樹脂で埋めるとともに金属製シート３４の第１面３４ａを樹脂膜で被覆する工程をさらに設けるようにしてもよい。この場合、エッチングにより穴２７を精度良く形成することができる。なお、溝２６および第１面３４ａ上の樹脂膜は、穴２７を形成した後に除去される。
【００６９】
あるいは、図１３に示すように、金属製シート３４の第１面３４ａおよび第２面３４ｂが同時にエッチングされ穴２７を形成する工程および溝２６を形成する工程が並行して行われ、その後、穴２７を形成する工程および溝２６を形成する工程のいずれか一方のみが引き続き行われるようにしてもよい。すなわち、この方法において、エッチングが二段階に分けて実施され、第１回目のエッチングにおいて、穴２７を形成する工程および溝２６を形成する工程が並行して行われる。そして、第１回目のエッチングにおいて、穴２７を形成する工程および溝２６を形成する工程のいずれか一方が終了し、第２回目のエッチングにおいて、穴２７を形成する工程および溝２６を形成する工程のいずれか他方のみが引き続き実施される。上述した実施の形態の蒸着マスク２０の製造に適用する場合、エッチングによる削り込む量が少なくてよい穴２７の形成が第１回目のエッチングによって完成するようになっていることが好ましい。このような方法によれば、エッチングによる削り込み量の異なる溝２６および穴２７を効率的に作製することが可能となる。
【００７０】
ここで、図１４に示す製造方法の変形例を詳細に説明しておく。ここで、図１４（ａ）乃至図１４（ｅ）は蒸着マスクの製造方法の一変形例を説明するための図であって、いずれも溝２６の幅方向に沿った断面において金属製シート３４を示している。
【００７１】
図１４（ａ）に示すように、上述した方法と同様にして、金属製シート３４の第１面３４ａ上にレジスト（レジストパターン）３５ａを形成し、金属製シート３４の第２面３４ｂ上にレジスト（レジストパターン）３５ｂを形成する。次に、レジスト３５ａ，３５ｂ越しに金属製シート３４に対して第１回目のエッチングを行う。第１回目のエッチングにおいては、金属製シート３４の第１面３４ａおよび第２面３４ｂが同時にエッチングされ、第１面３４ａ側の溝２６および第２面３４ｂ側の穴２７が並行して形成されていく。ただし、穴２７を形成するためのエッチングによる削り込み量は、溝２６を形成するためのエッチングによる削り込み量よりも格段に少ない。したがって、図１４（ｂ）に示すように、所望の形状の穴２７が金属製シート３４の第２面３４ｂ側に形成された時点で、溝２６は未だ形成途中の段階にある。この図１４（ｂ）に示す状態において、金属製シート３４に対する第１回目のエッチングが終了する。
【００７２】
次に、図１４（ｃ）に示すように、エッチング液３８に対する耐性を有した樹脂３９によって、形成された穴２７が被覆される。すなわち、エッチング液３８に対する耐性を有した樹脂３９によって、穴２７が封止される。図１４（ｃ）に示す例において、樹脂３９の膜が、形成された穴２７だけでなく、第２面３４ｂ（レジスト３５ｂ）も覆うように形成されている。
【００７３】
その後、金属製シート３４に対して第２回目のエッチングを行う。第２回目のエッチングにおいて、金属製シート３４は第１面３４ａの側のみからエッチングされ、第１面３４ａの側から溝２６の形成が進行していく。金属製シート３４は第２面３４ｂの側には、エッチング液３８に対する耐性を有した樹脂３９が被覆されているからである。したがって、第１回目のエッチングにより所望の形状に形成された穴２７の形状が損なわれてしまうことはない。そして、図１４（ｄ）に示すように、所望の形状の溝２６が金属製シート３４の第１面３４ａ側に形成された時点で、金属製シート３４に対する第２回目のエッチングが終了する。このとき、図１４（ｄ）に示すように、溝２６は金属製シート３４の厚さ方向に沿って穴２７に到達する位置まで延びており、これにより、互いに通じ合っている溝２６および穴２７によって貫通孔２５が金属製シート３４に形成されている。
【００７４】
次に、金属製シート３４からレジスト３５ａ，３５ｂおよび樹脂膜３９が除去される。なお、樹脂膜３９は、例えば燃焼させることにより、除去することができる。このようにして、図１４（ｅ）に示すように、蒸着マスク２０（蒸着マスク用シート状部材１８）が得られる。
【００７５】
以上の製造方法においては、第２回目のエッチングが終了し、穴２７と溝２６とが連通して貫通孔２５が作製された際、穴２７は樹脂３９によって封止されている。そして、このような製造方法によれば、溝２６および穴２７（すなわち、貫通孔２５）を、極めて精度よく安定して形成することができる。
【００７６】
仮に、穴２７が樹脂で封止されていなかったとすると、金属製シート３４ａの第１面３４ａおよび第２面３４ｂが貫通孔２５を介して連通するようになる。この場合、浸食能力の高いフレッシュなエッチング液３８（図１０参照）が、溝２６内から穴２７側へ向けて流れ込むようになる。このとき、断面積（開孔面積）が小さくなる穴２７内や張り出し部２８ａ近傍において液圧が高くなり、これらの領域がフレッシュなエッチング液により局所的に激しく浸食される。また、第１面３４ａ側から第２面３４ｂ側へ流れ込んだエッチング液が、第２面３４ｂ上における穴２７の周囲に残留することもある。これらのことから、貫通孔２５の輪郭を画定させる接続部２８の形状を安定させること、さらには、すべての貫通孔２５の輪郭を均一にすることが難しくなる。またそもそも、穴２７が樹脂３９で封止されていなかったとすると、溝２６が穴２７に通じてエッチング液が第２面３４ｂ側へ流れ込みはじめる際に発生する圧力により、貫通孔２５の断面形状（とりわけ、張り出し部２８ａの形状）がだれてしまうことがある。
【００７７】
その一方で、穴２７と溝２６とが連通して貫通孔２５が作製された際に、穴２７が樹脂３９によって封止されている本変形例によれば、以上の問題点をすべて回避することができ、所望の形状の貫通孔２５を精度良く安定して形成することができる。また、この方法によれば、穴２７と溝２６とを極めて精度良く所望の形状に形成することができるので、上述した、接続部２８から第２面３４ｂ（２０ｂ）までの金属製シート３４のシート面に直交する方向に沿った長さＬｃ（図６参照）を安定して５μｍ以下（さらに詳細には、２〜４μｍ）にすることができる。この結果、得られた蒸着マスク２０を用いた場合、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる。とりわけ、被成膜領域（成膜されるべき領域）内のうちの縁部における蒸着膜の膜厚をも安定させることができるようになる。
【００７８】
（変形例２）
さらに、上述した実施の形態において、金属製シート３４を第１面３４ａの側からエッチングすることによって溝２６が形成され、金属製シート３４を第２面３４ｂの側からエッチングすることによって穴２７が形成される例を示したが、これに限られない。例えば、金属製シート３４を第１面３４ａの側からエッチングして溝２６を形成した後に、さらに、金属製シート３４の第１面３４ｂの側にレジストパターン（レジスト）を形成し、金属製シート３４を第１面３４ａの側からエッチングすることによって穴２７を形成するようにしてもよい。この場合、溝２６の底部から金属製シート３４の第２面３４ｂに延びる穴２７を形成することができ、形成された穴２７は、溝２６と同様に、金属製シート３４の第１面３４ａ側から第２面３４ｂ側へ向けて断面積が小さくなっていくようになる。すなわち、この方法によれば、第１面３４ａ側から第２面３４ｂ側に向け、金属製シート３４のシート面に沿った断面における貫通孔２５の断面積（開孔面積）がしだいに小さくなっていく。したがって、このようにして製造された金属製シート３４からなる蒸着マスク２０によれば、高精細なパターンでの蒸着を極めて精度よく行うことができるようになる。
【００７９】
（変形例３）
さらに、上述した実施の形態における金属製シート３４の第１面３４ａ側に形成された溝２６の構成は一例に過ぎない。例えば、上述した実施の形態において、溝２６がその長手方向に沿って略均一な幅および略均一な深さを有する例を示したが、これに限れない。一例として、図１５に示すように、溝２６の長手方向に直交する方向（つまり、溝の幅方向）に沿った溝２６の第１面３４ａ上における幅が、一定でないようにしてもよい。図１５に示す蒸着マスク２０において、溝２６の長手方向において穴２７が形成されている部分の幅Ｗａは、溝２６の長手方向において隣り合う二つの穴２７の間の部分の幅Ｗｂよりも太くなっている。
【００８０】
このような溝２６は、溝２６の長手方向に沿って並べて第１面３４ａ側に形成された複数の穴（溝構成用穴）３０から形成されている。この溝２６を構成する複数の穴３０のうちの、溝２６長手方向に沿って隣り合う二つの穴２７は第１面３４ａにおいて接続されている。言い換えると、二つの穴２７は、第１面３４ａ上において、部分的に重なり合うようにして形成されている。すなわち、第１面３４ａにおいて、二つの穴２７の外輪郭はつながっている。また、図１５および図１６に示されているように、第２面３４ｂ側に形成された穴２７は、溝２６を構成するために第１面３４ａ側に形成された穴３０に対面する位置に配置されている。とりわけ、本実施の形態においては、図１５および図１６から理解され得るように、第２面３４ｂ側に形成された穴２７の溝２６の長手方向に沿った中心位置Ｃ２７は、第１面３４ａ側に形成された溝構成用穴３０の溝２６の長手方向に沿った中心位置Ｃ３０と、溝２６の長手方向において一致している。さらに、本実施の形態においては、図１５から理解され得るように、第２面３４ｂ側に形成された穴２７の溝２６の幅方向に沿った中心位置は、第１面３４ａ側に形成された溝構成用穴３０の溝２６の幅方向に沿った中心位置と、溝２６の幅方向において一致している。なお、図１６には、この溝２６の長手方向に沿った断面が示されている。
【００８１】
また、図１６に示すように、溝２６は線状に延びているものの、溝２６の深さは一定ではない。溝２６の長手方向において穴２７が形成されている部分の深さＤａは、溝２６の長手方向において隣り合う二つの穴２７の間の部分の深さＤｂよりも深くなっている。
【００８２】
なお、図１５および図１６に示された蒸着マスク２０のその他の構成については、上述した実施の形態において説明した蒸着マスクと同一の構成とすることができる。例えば、溝２６の幅方向に沿った断面形状は、上述した蒸着マスクにおける溝の断面形状（図３参照）と同一にすることができる。
【００８３】
このような蒸着シート２０によれば、上述した実施の形態における蒸着シートと同一の作用効果を期待することができる。例えば、線状の溝２６と穴２７とによって金属製シート３４に貫通孔２５が形成されているため、金属製シート３４のシート面に対して斜めに進む蒸着材料４８（図５参照）であって溝２６の長手方向に概ね沿うようにして進む蒸着材料４８を高い効率で蒸着に用いることができる。これにより、蒸着材料４８の利用効率を大幅に高めることができる。とりわけ、本変形例によれば、上述した実施の形態における蒸着マスクよりも、金属製シート３４および蒸着マスク２０の剛性を確保することが可能となる。このため、蒸着マスク２０の作製時や取り扱い時（搬送や使用等）に、蒸着マスク２０（金属製シート３４）が変形してしまうことをさらに効果的に防止することができる。この結果、得られた蒸着マスク２０を用いた場合、極めて高精細なパターンでの蒸着をさらに精度良く行うことができる。
【００８４】
ここで、図１５および図１６に示された蒸着シートの製造方法の一例について、図１７および図１８を参照して説明しておく。なお、図１５および図１６に示された蒸着シート２０は、図８、図１１、図１２および図１３に示した上述の製造方法のいずれによっても作製され得る。一例として、以下に説明する製造方法は、図１３および図１４を参照して説明した製造方法と同様の方法となっている。ここで、図１７（ａ）乃至図１７（ｅ）は蒸着マスクの製造方法を説明するための図であって、いずれも溝の長手方向に沿った断面において金属製シート３４を示している。また、図１８は、金属シート３４の第１面３４ａ上に配置され得るレジスト（レジストパターン）３５ａの一例を、形成されるべき溝２６および貫通孔２５の外輪郭とともに示す平面図である。
【００８５】
まず、図１７（ａ）に示すように、金属製シート３４の第１面３４ａ上にレジスト（レジストパターン）３５ａを形成し、金属製シート３４の第２面３４ｂ上にレジスト（レジストパターン）３５ｂを形成する。なお、本例においては、図１８に示すように、金属製シート３４の第１面３４ａ上に形成されるレジスト３５ａには、第１面３４ａ上において溝２６を構成するようになる穴３０が形成されるべき位置にそれぞれ貫通穴３５ａ１が形成されている。図１８に示すように、複数の貫通穴３５ａ１は、形成されるべき溝２６の長手方向（図１８の紙面における上下方向）に沿って間隔を空けて配列されている。したがって、レジスト３５ａは、形成されるべき溝２６の長手方向に沿って隣り合う二つの貫通穴３５ａ１の間に位置するブリッジ部３５ａ２を有するようになっている。
【００８６】
次に、レジスト３５ａ，３５ｂ越しに金属製シート３４に対して第１回目のエッチングを行う。第１回目のエッチングにおいては、金属製シート３４の第１面３４ａおよび第２面３４ｂが同時にエッチングされ、第１面３４ａ側の溝２６を構成するようになる穴３０と、第２面３４ｂ側の穴２７と、が並行して形成されていく。すなわち、溝２６を構成する複数の穴３０は、複数の貫通穴３５ａ１が間隔を空けて線状に並べて形成されたレジスト３５ａを第１面３４ａ上に配置された状態で金属製シート３４の第１面３４ａをエッチングすることにより、レジスト３５ａの貫通穴３５ａ１に対応する位置において金属製シート３４の第１面３４ａ側に形成されていく。そして、図１７（ｂ）に示すように、所望の形状の穴２７が金属製シート３４の第２面３４ｂ側に形成された状態であって、溝２６を構成する穴３０が完全に形成されていない状態において、金属製シート３４に対する第１回目のエッチングが終了する。次に、図１７（ｃ）に示すように、エッチング液３８に対する耐性を有した樹脂からなる樹脂膜３９が、形成された穴２７および第２面３４ｂ（レジスト３５ｂ）を覆うように形成される。すなわち、エッチング液３８に対する耐性を有した樹脂３９によって、穴２７が封止される。
【００８７】
その後、金属製シート３４に対して第２回目のエッチングを行う。第２回目のエッチングにおいて、金属製シート３４は第１面３４ａの側のみからエッチングされ、第１面３４ａ側から溝２６を構成する穴３０の形成が進行していく。このとき、穴２７がエッチング液３８に対する耐性を有した樹脂３９に封止されているので、第１回目のエッチングにより形成された穴２７の形状が損なわれてしまうことはない。そして、図１７（ｄ）に示すように、所望の形状の穴３０が金属製シート３４の第１面３４ａ側に形成された時点で、金属製シート３４に対する第２回目のエッチングが終了する。
【００８８】
上述したようにエッチングによる金属製シート３４の浸食は、金属製シート３４の厚み方向だけでなく、金属製シート３４のシート面に沿った方向にも進んでいく。そして、図１７（ｄ）に示すように、二段階のエッチング工程を経て、第１面３４ａから形成された穴３０は、第２面３４ｂ側に形成された穴２７まで金属製シート３４の厚さ方向に延びるとともに、形成されるべき溝２６の長手方向に沿って隣り合う穴３０と第１面３４ａにおいてつながるように金属製シート３４のシート面に沿った方向にも延びる。そして、二回目のエッチングは、複数の穴３０のうちの溝２６の長手方向に沿って隣り合うすべての二つの穴３が、当該二つの穴３０にそれぞれ対応するレジスト３５ａの二つの貫通穴３５ａ１の間に位置するレジスト３５ａのブリッジ部３５ａ２の下方において接続されるまで、続けられる。つまり、二回目のエッチングが終了した後には、レジスト３５ａのブリッジ部３５ａ２と金属製シート３４との間に隙間が形成されるようになる。このようにして、二段階のエッチングにより、隣り合う二つの穴３０が最終的に第１面３４ａにおいて接続されるようにして、複数の穴（溝構成用穴）３０が線状に並べて第１面３４ａ側から形成されていき、最終的に、この複数の穴３０から溝２６が形成される。なお、溝２６の長手方向に沿って隣り合う二つの穴３０が第１面３４ａ上において重なり合い始めるのは、第１回目のエッチング工程中であってもよいし、第２回目のエッチング工程中であってもよい。
【００８９】
その後、金属製シート３４からレジスト３５ａ，３５ｂおよび樹脂膜３９が除去され、図１７（ｅ）に示すように、蒸着マスク２０（蒸着マスク用シート状部材１８）が得られる。
【００９０】
以上の製造方法によれば、図１３および図１４を参照しながら説明した製造方法と同様の作用効果を期待することができる。例えば、以上の製造方法によれば、所望の形状の貫通孔２５を精度良く安定して形成することができる。また、以上の製造方法によれば、上述した、接続部２８から第２面３４ｂ（２０ｂ）までの金属製シート３４のシート面に直交する方向に沿った長さＬｃ（図６参照）を安定して５μｍ以下（さらに詳細には、２〜４μｍ）にすることができる。この結果、得られた蒸着マスク２０を用いた場合、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる。とりわけ、被成膜領域（成膜されるべき領域）内のうちの縁部における蒸着膜の膜厚をも安定させることができるようになる。
【００９１】
また、金属製シート３４の第１面３４ａ上に形成されるレジスト３５ａは、貫通穴３５ａ１間にブリッジ部３５ａ２を有している。したがって、レジスト３５ａは、形成されるべき溝２６に対応して線状に延びる細長い貫通穴が並べて配列されている場合と比較して、高い剛性を有するようになるとともに、金属製シート３４への接着性が向上する。すなわち、エッチングの途中に、レジスト３５ａが金属製シート３４の第１面３４ａ上で変形してしまうこと、あるいは、レジスト３５ａが金属製シート３４の第１面３４ａから剥がれてしまうことを、効果的に防止することができる。これにより、所望の形状の貫通孔２５をさらに精度良くさらに安定して形成することができる。
【００９２】
（変形例４）
さらに、上述した実施の形態における金属製シート３４の第１面３４ａ側に形成された穴２７の構成は一例に過ぎない。例えば、上述した実施の形態において、穴２７が平面視において長方形状である例を示したが、これに限られず、例えば、正方形等の種々の形状を有するようにしてもよい。
【００９３】
（変形例５）
さらに、上述した実施の形態において、帯状に延びる金属製シート３４を供給する例を示したが、これに限られない。枚葉状の金属製シート３４を供給し、この金属製シート３４にエッチングを施して蒸着マスク２０を形成するようにしてもよい。
【００９４】
（変形例６）
さらに、上述した実施の形態においては、所定の長さに切断された蒸着マスク２０に対してフレーム１５を取り付ける例を示したが、これに限られない。例えば、切断前の蒸着マスク用シート状部材１８に対してフレーム１５を取り付け、その後、フレーム１５が固定された蒸着マスク用シート状部材１８を所定の長さに切断していくようにしてもよい。
【００９５】
（変形例７）
なお、以上において上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】図１は、本発明による蒸着マスクの一実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に示された蒸着マスクを示す部分平面図である。
【図３】図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面における断面図である。
【図４】図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面における断面図である。
【図５】図５は、蒸着マスクの使用方法を説明するための図である。
【図６】図６は、図３に対応する断面において、蒸着マスクの作用を説明するための図である。
【図７】図７は、図４に対応する断面において、蒸着マスクの作用を説明するための図である。
【図８】図８は、本発明による蒸着マスクの製造方法の一実施の形態を説明するための図である。
【図９】図９は、金属製シートにレジストパターンを形成する方法を説明するための図である。
【図１０】図１０は、金属製シートをエッチングする方法を説明するための図である。
【図１１】図１１は、図８に対応する図であって、蒸着マスクの製造方法の一変形例を説明するための図である。
【図１２】図１２は、図８に対応する図であって、蒸着マスクの製造方法の他の変形例を説明するための図である。
【図１３】図１３は、図８に対応する図であって、蒸着マスクの製造方法のさらに他の変形例を説明するための図である。
【図１４】図１４（ａ）乃至図１４（ｅ）は、図１３に示された製造方法を説明するための図であって、いずれも形成されるべき溝の幅方向に沿った断面において金属製シートを示す図である。
【図１５】図１５は、図２に対応する図であって、蒸着マスクの一変形例を示す部分平面図である。
【図１６】図１６は、図１５のＸＶＩ−ＸＶＩ線に沿った断面図である。
【図１７】図１７（ａ）乃至図１７（ｅ）は、図１５に示された蒸着マスクの製造方法も一例を説明するための図であって、いずれも形成されるべき溝の長手方向に沿った断面において金属製シートを示す図である。
【図１８】図１８は、図１７に示された製造方法において用いられる得るレジストの一例を示す部分平面図である。
【符号の説明】
【００９７】
２０  蒸着マスク
２０ａ  一方の面
２０ｂ  他方の面
２５  貫通孔
２６  溝
２６ａ  壁面
２７  穴
２７ａ  壁面
２８  接続部
３０  穴
３４  金属製シート
３４ａ  第１面
３４ｂ  第２面
３５ａ  レジスト（レジストパターン）
３５ａ１  貫通穴
３５ａ２  ブリッジ部
３５ｂ  レジスト（レジストパターン）
３９  樹脂（樹脂膜）
Ｌ  直線
Ｌａ  長さ
Ｌｂ  長さ
Ｌｃ  長さ
Ｌｄ  長さ
θ  角度
Ｗａ  幅
Ｗｂ  幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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