(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体の表面に沿って延設され、厚さ方向に撓み変形可能に構成されたサスペンションと、前記サスペンションの先端側において、前記磁気記録媒体の表面と対向するように配置されたスライダと、前記スライダを挟んで前記磁気記録媒体とは反対側において前記スライダを直接的または間接的に点支持し、前記磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに前記スライダを回動自在とする支持部と、前記スライダの基端側に接続され、光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、を備え、
前記スライダは、前記光導波路から導入された光束を集光する光学系と、集光された前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子と、を備え、
前記スポット光により前記磁気記録媒体を加熱するとともに、前記磁気記録媒体に対して記録磁界を与えることで磁化反転を生じさせ、前記磁気記録媒体に情報を記録させるヘッドジンバルアセンブリであって、
前記支持部による前記スライダの支持点を荷重点、前記光導波路における光束の伝搬方向において前記スライダと前記光導波路とが前記荷重点に対して相対移動不能に固定される部位を固定点とすると、
前記固定点全体は、前記磁気記録媒体の面方向において前記荷重点からオフセットした位置に設定され、かつ前記面方向における前記スライダの外周上または前記外周から前記荷重点までの間に設定されるとともに、
前記固定点は、前記磁気記録媒体の表面に垂直な前記スライダの厚さ方向における中間部より前記支持部側に設定されていることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項２】
前記スライダには、前記光導波路を収容保持する収容部が形成され、前記光導波路は、少なくとも前記面方向における前記収容部の端縁部で前記スライダに固定されていることを特徴とする請求項１記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項３】
前記面方向における前記スライダの前記外周と、前記光導波路が固定された前記収容部の端縁部との間における前記スライダには、前記光導波路と接触しないように切り欠かれた切欠き部が形成されていることを特徴とする請求項２記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項４】
前記固定点と前記荷重点とが前記スライダの厚さ方向に直交する幅方向において一致していることを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項５】
前記スライダは、前記光学系及び前記スポット光発生素子を備えたスライダ基板と、
前記光導波路内に導かれた前記光束を前記光学系に向けて反射させるミラー面を有するミラー基板とを備え、
前記ミラー基板に前記収容部が形成されていることを特徴とする請求項２ないし請求項４の何れか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項６】
前記スライダは、前記光学系及び前記スポット光発生素子を備えたスライダ基板を備え、前記スライダ基板における前記支持部側の面には前記収容部が形成され、
前記光導波路の先端面は、前記光導波路内に導かれた前記光束を前記光学系に向けて反射させるミラー面が構成されていることを特徴とする請求項２ないし請求項４の何れか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６の何れか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリと、
一定方向に回転する磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体を加熱するため光束を出射する光源と、
前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、
前記ピボット軸のまわりを回動可能に形成されるとともに、前記ヘッドジンバルアセンブリを支持するアーム部を有するキャリッジと、を備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光を集光したスポット光を利用して磁気記録媒体に各種の情報を記録再生するヘッドジンバルアセンブリ及びそれを備えた情報記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の容量増加に伴い、単一記録面内における情報の記録密度が増加している。例えば、磁気ディスクの単位面積当たりの記録容量を多くするためには、面記録密度を高くする必要がある。ところが、記録密度が高くなるにつれて、記録媒体上で１ビット当たりの占める記録面積が小さくなっている。このビットサイズが小さくなると、１ビットの情報が持つエネルギーが、室温の熱エネルギーに近くなり、記録した情報が熱揺らぎ等のために反転したり、消えてしまったりする等の熱減磁の問題が生じてしまう。
【０００３】
一般的に用いられてきた面内記録方式では、磁化の方向が記録媒体の面内方向に向くように磁気を記録する方式であるが、この方式では上述した熱減磁による記録情報の消失等が起こり易い。そこで、このような不具合を解消するために、記録媒体に対して垂直な方向に磁化信号を記録する垂直記録方式に移行しつつある。この方式は、記録媒体に対して、単磁極を近づける原理で磁気情報を記録する方式である。この方式によれば、記録磁界が記録膜に対してほぼ垂直な方向を向く。垂直な磁界で記録された情報は、記録膜面内においてＮ極とＳ極とがループを作り難いため、エネルギー的に安定を保ち易い。そのため、この垂直記録方式は、面内記録方式に対して熱減磁に強くなっている。
【０００４】
しかしながら、近年の記録媒体は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものが記録媒体として採用され始めている。そのため、上述した垂直記録方式であっても、記録媒体に情報を記録することが困難になっていた。
【０００５】
そこで、この不具合を解消するために、光を集光したスポット光、若しくは、光を集光した近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間に書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式が提供されている。特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域における光学情報を扱うことが可能となる。よって、従来の光情報記録再生装置等を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。
【０００６】
上述したハイブリッド磁気記録方式による情報記録再生装置としては、各種のものが提供されているが、その１つとして、近接場光の生成を行うための光を近接場光ヘッドに供給することで、微小開口から十分大きな近接場光を生成し、超高分解能の再生記録、高速記録再生、高ＳＮ比化を図ることができる情報記録再生装置が知られている。この情報記録再生装置は、近接場光ヘッドを備えたスライダにディスク上をスキャンさせ、スライダをディスク上の所望する位置に配置する。その後、光源から放射された近接場光とスライダから発生する記録磁界とを協働させることで、ディスクに情報を記録することができる。
【０００７】
ここで、近接場光ヘッドに光束を供給する構成としては、例えば特許文献１，２に示されるように、スライダに光ファイバ等の光導波路を接続し、この光導波路を介して光源から出射される光束を近接場光ヘッドまで導くような構成が知られている。
【特許文献１】特開２００１−２９７４６３号公報
【特許文献２】特開２００３−６７９０１号公報
【特許文献３】特開２００１−１４３３１６号公報
【特許文献４】特開２００６−３２３９０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上述した情報記録再生装置のスライダは、撓み変形可能なサスペンションに支持されるとともに、ディスクとの対向面にＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）と呼ばれる浮上面を有している。そして、スライダは、サスペンションによりディスクに向けて荷重が付与された状態で支持されており、ディスクのうねり等により、スライダに風圧が加わったときに、この風圧に追従して浮上する等の姿勢変動を行うように構成されている。
【０００９】
しかしながら、上述した特許文献１，２に示されるような、光源から出射された光束を光導波路によりスライダに導入する構成の場合、光の伝搬効率は高い一方、スライダの浮上特性が低いという課題がある。つまり、スライダの基端側の端面から光導波路が接続されているため、スライダに風圧が加わった際に光導波路からスライダに作用する回転モーメントが大きい。そのため、スライダの浮上時（姿勢変動時）において、光導波路がスライダの姿勢変動の妨げになり、スライダの安定性が低下する。その結果、スライダの浮上特性やトラッキングの精度等が低下するとともに、スライダがディスク面に衝突してディスクが破損する虞もある。
【００１０】
これに対して、特許文献３に示すように、光導波路を介してスライダに負荷荷重を付与する構成も考えられる。また、特許文献４に示すように、スライダに光導波路を固定する固定部を、スライダにおけるサスペンションから荷重がかかる方向に延伸した位置の近傍部に設定することも考えられる。
しかしながら、上述した特許文献３，４の構成では、光導波路からスライダに作用する回転モーメントが小さくなる一方、設計の自由度が低く、レイアウト性が低下するという問題がある。例えば、特許文献３の構成では、光路上に荷重点を設定している構成であるため、スライダに荷重を付与する荷重点と、スライダに設けられた近接場光ヘッド等とを一致させなければならない。そのため、両者間の位置合わせが難しく、製造効率が低下する。また特許文献４の構成では、スライダ内における光導波路とスライダとを接着する部位のみ、つまりスライダにおけるサスペンションから荷重がかかる方向に延伸した位置の近傍部のみに接着剤を塗布して光導波路を固定しなければならないため、所望の部位で接着を行うことが難しく、製造効率が悪いという課題がある。
【００１１】
そこで本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、レイアウト性及び製造効率を向上させた上で、光の伝搬効率及びスライダの浮上特性の両立を図ることができるヘッドジンバルアセンブリ及びそれを備えた情報記録再生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本願発明者は、上記目的を達成するために、鋭意努力検討した結果、スライダの浮上特性が、支持部によりスライダにおける磁気記録媒体に向けて荷重が付与される荷重点と、スライダと光導波路とが固定される固定点との間の空間的な距離に関係することを見出した。
【００１３】
よって、本発明は以下の手段を提供する。
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、磁気記録媒体の表面に沿って延設され、厚さ方向に撓み変形可能に構成されたサスペンションと、前記サスペンションの先端側において、前記磁気記録媒体の表面と対向するように配置されたスライダと、前記スライダを挟んで前記磁気記録媒体とは反対側において前記スライダを直接的または間接的に点支持し、前記磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに前記スライダを回動自在とする支持部と、前記スライダの基端側に接続され、光源から出射された光束を前記スライダに導入する光導波路と、を備え、前記スライダは、前記光導波路から導入された光束を集光する光学系と、集光された前記光束からスポット光を発生させるスポット光発生素子と、を備え、前記スポット光により前記磁気記録媒体を加熱するとともに、前記磁気記録媒体に対して記録磁界を与えることで磁化反転を生じさせ、前記磁気記録媒体に情報を記録させるヘッドジンバルアセンブリであって、前記支持部による前記スライダの支持点を荷重点、前記光導波路における光束の伝搬方向において前記スライダと前記光導波路とが前記荷重点に対して相対移動不能に固定される部位を固定点とすると、前記固定点全体は、前記磁気記録媒体の面方向において前記荷重点からオフセットした位置に設定され、かつ前記面方向における前記スライダの外周上または前記外周から前記荷重点までの間に設定されるとともに、前記固定点は、前記磁気記録媒体の表面に垂直な前記スライダの厚さ方向における中間部より前記支持部側に設定されていることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スポット光と記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により、回転する光ディスク等の磁気記録媒体に対して情報の記録を行うことができる。まず、磁気記録媒体に対して、サスペンションの先端に支持されたスライダを、磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動させてスキャンさせる。これにより、磁気記録媒体上の所望する位置にスライダを位置することができる。次いで、光源から出射される光束をスライダに導く。そして、スライダに導かれた光束は、光学系によって集光される。これにより、スポット光発生素子が、集光された光束からスポット光を発生させることができる。なお、このスポット光発生素子は、光学的な微小開口やナノメートルサイズに形成された突起部等から構成されているものである。
そして磁気記録媒体は、このスポット光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。その結果、スライダを用いて記録媒体に各種の情報を記録再生することができる。
【００１５】
特に、本発明のヘッドジンバルアセンブリによれば、面方向におけるスライダの外周上または外周から荷重点までの間であって、磁気記録媒体の表面に垂直なスライダの厚さ方向における中間部より支持部側に固定点を設定することで、荷重点と固定点との間の空間的な距離を可能な限り短縮することができる。これにより、スライダの記録再生動作時において、磁気記録媒体の表面の凹凸やうねり、磁気記録媒体の回転に伴う面ぶれに追従するようにスライダが姿勢変動した場合でも、光導波路からスライダに作用する回転モーメントが小さい。つまり、光導波路がスライダに固定されている場合であっても、光導波路がスライダの姿勢制御の妨げになることを防ぐことができる。そのため、スライダの安定浮上を維持して、浮上量をできるだけ小さくすることができるので、スライダの浮上特性やトラッキングの精度等に与える影響が少ない。
したがって、光の伝搬効率及びスライダの浮上特性の双方を両立させることが可能になるため、スライダのスキャン性能を向上させ、情報の記録再生を正確且つ高密度に行うことができる。
また、スライダと光導波路との固定点を、スライダの外周上または外周から荷重点までの間に設定することで、従来のようにサスペンションから荷重がかかる方向に延伸した位置の近傍部のみでスライダと光導波路とを固定する場合に比べて、設計の自由度を向上させ、固定点のレイアウト性を向上することができる。また、これに伴い光導波路とスライダとの位置合わせや固定が容易になるため、製造効率を向上させることができる。
【００１６】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記スライダには、前記光導波路を収容保持する収容部が形成され、前記光導波路は、少なくとも前記面方向における前記収容部の端縁部で前記スライダに固定されていることを特徴とするものである。
【００１７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダと光導波路とを、スライダ基板の収容部における端縁部で固定することで、その端縁部が固定点として設定されることになる。この場合、従来のように所望の部位のみに接着剤等を塗布してスライダと光導波路とを固定する場合に比べて、光導波路とスライダとの位置合わせや固定が容易になるため、製造効率を向上させることができる。
【００１８】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記面方向における前記スライダの前記外周と、前記光導波路が固定された前記収容部の端縁部との間における前記スライダには、前記光導波路と接触しないように切り欠かれた切欠き部が形成されていることを特徴とするものである。
【００１９】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダにおける外周と、光導波路が固定された収容部の端縁部との間に、光導波路と接触しないように切り欠かれた切欠き部を形成することで、スライダ内において光導波路と切欠き部との間にはクリアランスを有することになる。つまり、光導波路は切欠き部内を遊挿された状態となる。そして、切欠き部の先端側、すなわち収容部の端縁部でスライダ基板と光導波路とを固定することで、荷重点と固定点との間の面方向の距離をより短縮することができる。したがって、スライダの記録再生動作時における、光導波路からスライダに作用する回転モーメントをより小さくすることができる。
【００２０】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記固定点と前記荷重点とが前記スライダの厚さ方向に直交する幅方向において一致していることを特徴とするものである。
【００２１】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、固定点と荷重点とを幅方向において一致させることで、荷重点と固定点との間の幅方向の距離をより短縮することができる。したがって、スライダの記録再生動作時における、光導波路からスライダに作用する回転モーメントをより小さくすることができる。
【００２２】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記スライダは、前記光学系及び前記スポット光発生素子を備えたスライダ基板と、前記光導波路内に導かれた前記光束を前記光学系に向けて反射させるミラー面を有するミラー基板とを備え、前記ミラー基板に前記収容部が形成されていることを特徴とするものである。
【００２３】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、光導波路内に伝搬された光束をミラー基板のミラー面に入射させることで、このミラー面により光束を反射させて光束を光学系へと導くことができる。よって、光の伝搬効率を向上させることができる。
【００２４】
また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記スライダは、前記光学系及び前記スポット光発生素子を備えたスライダ基板を備え、前記スライダ基板における前記支持部側の面には前記収容部が形成され、前記光導波路の先端面は、前記光導波路内に導かれた前記光束を前記光学系に向けて反射させるミラー面が構成されていることを特徴とするものである。
【００２５】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、光導波路がミラー面を備えているため、光導波路内を伝搬した光束は光導波路の先端面に構成されたミラー面によって光学系へと導かれる。これにより、１枚の基板によりスライダを構成することができるため、スライダの薄型化及び小型化を実現することができる。したがって、スライダの厚さ方向における荷重点から固定点までの距離も短縮することができ、光導波路からスライダに作用する回転モーメントをより小さくすることができる。
【００２６】
一方、本発明に係る情報記録再生装置は、上記本発明のヘッドジンバルアセンブリと、一定方向に回転する磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体を加熱するため光束を出射する光源と、前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、前記ピボット軸のまわりを回動可能に形成されるとともに、前記ヘッドジンバルアセンブリを支持するアーム部を有するキャリッジと、を備えていることを特徴とするものである。
【００２７】
本発明に係る情報記録再生装置においては、磁気記録媒体を回転させた後、ピボット軸まわりにキャリッジを回動させて、アーム部に支持されたスライダをスキャンさせる。そして、スライダを磁気記録媒体上の所望する位置に配置させる。その後、光源から光導波路内に光束を入射させる。これにより、ヘッドジンバルアセンブリのスライダを利用して、磁気記録媒体に各種の情報の記録再生を行うことができる。
特に、本発明のヘッドジンバルアセンブリを備えているので、情報の記録再生を正確且つ高密度に行うことができ、高品質化を図ることができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリによれば、レイアウト性及び製造効率を向上させた上で、光の伝搬効率及びスライダの浮上特性の両立を図ることができるため、高性能な情報記録再生装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
（第１実施形態）
（情報記録再生装置）
以下、本発明に係る第１実施形態を、図１から図６を参照して説明する。図１は、本発明に係る情報記録再生装置１の一実施形態を示す構成図である。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、垂直記録層を有するディスク（磁気記録媒体）Ｄに対して、垂直記録方式で書き込みを行う装置である。
【００３０】
本実施形態の情報記録再生装置１は、図１に示すように、キャリッジ１１と、キャリッジ１１の基端側から光電気複合配線３３を介して光束（図４中矢印参照）を供給するレーザ光源２０と、キャリッジ１１の先端側に支持されたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２と、ヘッドジンバルアセンブリ１２をディスク面Ｄ１（ディスクＤの表面）に平行なＸＹ方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータ６と、ディスクＤを所定の方向に向けて回転させるスピンドルモータ７と、情報に応じて変調した電流をヘッドジンバルアセンブリ１２のスライダ２に対して供給する制御部５と、これら各構成品を内部に収容するハウジング９とを備えている。
【００３１】
ハウジング９は、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部９ａと、底部９ａの周縁において底部９ａに対して鉛直方向立設する周壁（不図示）とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品等を収容する凹部が形成される。なお、図１においては、説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略する。
また、このハウジング９には、ハウジング９の開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部９ａの略中心には、上記スピンドルモータ７が取り付けられており、該スピンドルモータ７に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定される。
【００３２】
ディスクＤの外側、つまり底部９ａの隅角部には、上記アクチュエータ６が取り付けられている。このアクチュエータ６には、ピボット軸１０を中心にＸＹ方向に対して回動可能なキャリッジ１１が取り付けられている。
このキャリッジ１１は、基端部から先端部に向けてディスク面Ｄ１に沿って延設されたアーム部１４と、基端部を介してアーム部１４を片持ち状に支持する基部１５とが、削り出し加工等により一体形成されたものである。
基部１５は、直方体形状に形成されたものであり、ピボット軸１０まわりを回動可能に支持されている。つまり、基部１５はピボット軸１０を介してアクチュエータ６に連結されており、このピボット軸１０がキャリッジ１１の回転中心となっている。
【００３３】
アーム部１４は、基部１５におけるアクチュエータ６が取り付けられた側面１５ａと反対側の側面（隅角部の反対側の側面）１５ｂにおいて、基部１５の上面の面方向（ＸＹ方向）と平行に延出する平板状のものであり、基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３枚延出している。具体的には、アーム部１４は、基端部から先端部に向かうにつれ先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部１４間に、ディスクＤが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部１４とディスクＤとが、互い違いになるように配されており、アクチュエータ６の駆動によってアーム部１４がディスクＤの表面に平行な方向（ＸＹ方向）に移動可能とされている。なお、キャリッジ１１及びヘッドジンバルアセンブリ１２は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータ６の駆動によって、ディスクＤ上から退避するようになっている。
【００３４】
ヘッドジンバルアセンブリ１２は、図示しない近接場光発生素子（スポット光発生素子）を有する近接場光ヘッドであるスライダ２に、レーザ光源２０からの光束を導いて近接場光（スポット光）を発生させ、該近接場光を利用してディスクＤに各種情報を記録再生させるものである。なお、近接場光発生素子は、例えば、光学的微小開口や、ナノメートルサイズに形成された突起部等により構成されている。
【００３５】
図２は、スライダ２を上向きにした状態でサスペンション３をスライダ２側から見た斜視図である。図３は、スライダ２を上向きにした状態でジンバル１７を見た平面図である。図４は図３のＡ−Ａ’線に沿う断面図であり、図５は図３のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。
図２から図５に示すように、本実施形態のヘッドジンバルアセンブリ１２は、上記スライダ２をディスクＤから浮上させる機能を有しており、スライダ２と、金属性材料により薄い板状に形成され、ディスク面Ｄ１に平行なＸＹ方向に移動可能なサスペンション３と、スライダ２を、ディスク面Ｄ１に平行で且つ互いに直交する２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）回りに回動自在な状態、即ち、２軸を中心として捻れることができるようにサスペンション３の下面に固定させるジンバル手段１６とを備えている。
【００３６】
まず上記スライダ２は、ディスクＤとサスペンション３との間に配置された状態で、サスペンション３の下面に後述するジンバル１７を挟んで支持されている。スライダ２は、石英ガラス等の光透過性材料や、ＡｌＴｉＣ（アルチック）等のセラミック等からなる１枚のスライダ基板６０を備えている。スライダ基板６０の先端側には再生素子と記録素子とからなる磁気素子５８が固定されている。また、スライダ２は、磁気素子５８の先端側、つまりスライダ２の先端面に、後述する光導波路３２から導入された光束を近接場光発生素子へ導くヘッド内導波路５９を備えている。なお、ヘッド内導波路５９は、レーザ光源２０から出射された光束を集光させる図示しない集光レンズ（光学系）や、該集光レンズによって集光された光束から近接場光を発生させる上記近接場光発生素子等を有している。つまり、スライダ２には、先端面２ｃ側にヘッド内導波路５９、磁気素子５８が並んだ状態で配置されている。スライダ２の長手方向（Ｙ方向）において、先端面２ｃ側は最もディスク面Ｄ１に近接する。したがって、先端面２ｃ側にヘッド内導波路５９、磁気素子５８を配置することで、ヘッド内導波路５９、磁気素子５８を可能な限りディスク面Ｄ１に近づけることができる。
【００３７】
また、スライダ２の下面は、ディスク面Ｄ１に対向する浮上面２ａとなっている。この浮上面２ａは、回転するディスクＤによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳと呼ばれている。具体的には、スライダ２をディスク面Ｄ１から離そうとする正圧とスライダ２をディスク面Ｄ１に引き付けようとする負圧とを調整して、スライダ２を最適な状態で浮上させるように設計されている。
スライダ２は、この浮上面２ａによってディスク面Ｄ１から浮上する力を受けているとともに、サスペンション３によってディスクＤ側に押さえ付けられる力を受けている。そしてスライダ２は、この両者の力のバランスによって、ディスク面Ｄ１から浮上するようになっている。
【００３８】
図２，３に示すように、上記サスペンション３は、上面視略四角状に形成されたベースプレート２２と、ベースプレート２２の先端側にヒンジ板２３を介して連結された上面視略三角状のロードビーム２４とで構成されている。
【００３９】
ベースプレート２２は、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、基端側には厚さ方向に貫通する開口２２ａが形成されている。そして、この開口２２ａを介してベースプレート２２がアーム部１４の先端に固定されるようになっている。ベースプレート２２の下面には、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のヒンジ板２３が配置されている。このヒンジ板２３は、ベースプレート２２の下面の全面に亘って形成された平板状のものであり、その先端部分はベースプレート２２の先端からベースプレート２２の長手方向に沿って延出する延出部２３ａとして形成されている。延出部２３ａは、ヒンジ板２３の幅方向両端部から２本延出しており、その先端部分には幅方向内側、つまり互いの延出部２３ａに向かう方向に幅が拡大する拡大部２３ｂが形成されている。この拡大部２３ｂの上面には、ロードビーム２４が連結されている。
ロードビーム２４は、ベースプレート２２と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、その基端がベースプレート２２の先端との間に間隙を有した状態でヒンジ板２３に連結されている。これにより、サスペンション３はベースプレート２２とロードビーム２４との間を中心に屈曲して、ディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓み易くなっている。
【００４０】
サスペンション３上には、フレクシャ２５が設けられている。フレクシャ２５は、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のものであり、シート状に形成されることで厚さ方向に撓み変形可能に構成されている。フレクシャ２５は、ロードビーム２４の先端側に固定され、外形が上面視略五角形状に形成されたジンバル１７と、ジンバル１７より幅狭に形成され、ジンバル１７の基端からサスペンション３上に沿って延在する支持体１８とで構成されている。
【００４１】
ジンバル１７は、中間付近から先端にかけてディスク面Ｄ１に向けて厚さ方向に僅かながら反るように形成されている。そして、この反りが加わった先端側がロードビーム２４に接触しないように、基端側から略中間付近にかけてロードビーム２４に固定されている。
また、この浮いた状態のジンバル１７の先端側には、周囲がコ形状に刳り貫かれた切欠き部２６が形成されており、この切欠き部２６に囲まれた部分には連結部１７ａによって片持ち状に支持されたパッド部（舌片部）１７ｂが形成されている。つまり、このパッド部１７ｂは、連結部１７ａによってジンバル１７の先端側から基端側に向けて張出し形成されており、その周囲に切欠き部２６を備えている。これにより、パッド部１７ｂはジンバル１７の厚さ方向に撓みやすくなっており、このパッド部１７ｂのみがサスペンション３の下面と平行になるように角度調整されている。そして、このパッド部１７ｂ上に上記スライダ２が載置固定されている。つまり、スライダ２は、パッド部１７ｂに接着固定されており、パッド部１７ｂを介してロードビーム２４にぶら下がった状態となっている。
【００４２】
また、図２から図５に示すように、ロードビーム２４の先端には、パッド部１７ｂ及びスライダ２の略中心に向かって突出する突起部（支持部）１９が形成されている。この突起部１９の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部１９は、スライダ２がディスクＤから受ける風圧によりロードビーム２４側に浮上したときに、パッド部１７ｂの表面（上面）に点接触するようになっている。つまり、突起部１９は、ジンバル１７のパッド部１７ｂを介して、間接的にスライダ２を支持するとともに、ディスク面Ｄ１に向けて（Ｚ方向に向けて）スライダ２に荷重を付与するようになっている。そして、突起部１９とパッド部１７ｂとの接触点（支持点）が、突起部１９によるスライダ２の荷重点Ｆになっている。なお、これら突起部１９とパッド部１７ｂを有するジンバル１７とが、ジンバル手段１６を構成している。
【００４３】
図２に示す支持体１８は、ジンバル１７に一体形成されたシート状のものであり、サスペンション３上をアーム部１４に向かって延設されている。つまり、支持体１８は、サスペンション３が変形した際にサスペンション３の変形に追従するように構成されている。支持体１８は、アーム部１４上から側面に回りこんで、アーム部１４の基部１５に至るまで引き回されている。
【００４４】
図６は、キャリッジ１１の基部１５に取り付けられたターミナル基板３０の平面図である。
図１，６に示すように、キャリッジ１１の基部１５における側面１５ｃには、ターミナル基板３０が配置されている。このターミナル基板３０は、ハウジング９に設けられた制御部５とスライダ２とを電気的に接続する際の中継点となるものであり、その表面には、各種制御回路（不図示）が形成されている。制御部５とターミナル基板３０とは可撓性を有するフラットケーブル４により電気的に接続されている一方、ターミナル基板３０とスライダ２とは、電気配線３１により接続されている。電気配線３１は、各キャリッジ１１毎に設けられたスライダ２の数に対応して３組設けられており、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号が、電気配線３１を介してスライダ２に出力されるようになっている。
【００４５】
また、ターミナル基板３０上には、スライダ２のヘッド内導波路（集光レンズ）５９に向けて光束を供給する上記レーザ光源２０が配置されている。レーザ光源２０は、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号を受信し、この信号に基づいて光束を出射するものであり、各アーム部１４に設けられたスライダ２の数に対応して基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３個配列されている。各レーザ光源２０の出射側には、各レーザ光源２０から出射された光束をスライダ２の集光レンズまで導く光導波路３２が接続されている。
【００４６】
図２，３に示すように、各スライダ２に対応する１個の光導波路３２と１組の電気配線３１とは、レーザ光源２０とスライダ２との間において、その基端側から先端に至るまで一体的に形成された光電気複合配線３３として構成されている。この光電気複合配線３３は、ターミナル基板３０の表面からアーム部１４の側面を通って、アーム部１４上に引き回されている。具体的には、光電気複合配線３３は、アーム部１４及びサスペンション３上において、フレクシャ２５の上述した支持体１８上に配置されており、支持体１８を間に挟んだ状態でサスペンション３の先端まで引き回されている。このように、光電気複合配線３３が撓み変形可能な支持体１８上に形成されているため、スライダ２の移動時やサスペンション３の変形時等には、光電気複合配線３３が支持体１８とともに追従するように変形する。これにより、光電気複合配線３３の断線等を防ぐことができる。
電気配線３１は、アルミニウムや銅等からなり、クラッド３４内にコア３５とともに閉じ込められている。
【００４７】
図５に示すように、光電気複合配線３３を構成する上記光導波路３２は、外径が例えば３〜１０μｍで形成され、レーザ光源２０から出射された光束を全反射条件で導くコア３５と、外径が例えば数十μｍで形成され、コア３５の屈折率より低い屈折率の材料からなり、コア３５に密着してコア３５を封止するクラッド３４とを有する断面視円形状のものである。そして、レーザ光源２０から出射された光束はコア３５とクラッド３４との間の屈折率の違いにより全反射条件でスライダ２の集光レンズまで導かれるようになっている。
【００４８】
なお、クラッド３４及びコア３５として使用される材料の組み合わせの一例を記載すると、例えば、石英（ＳｉＯ２）でコア３５を形成し、フッ素をドープした石英でクラッド３４を形成する組み合わせが考えられる。この場合には、光束の波長が４００ｎｍのときに、コア３５の屈折率が１．４７となり、クラッド３４の屈折率が１．４７未満となるので好ましい組み合わせである。また、ゲルマニウムをドープした石英でコア３５を形成し、石英（ＳｉＯ２）でクラッド３４を形成する組み合わせも考えられる。この場合には、光束の波長が４００ｎｍのときに、コア３５の屈折率が１．４７より大きくなり、クラッド３４の屈折率が１．４７となるのでやはり好ましい組み合わせである。
特に、コア３５とクラッド３４との屈折率差が大きいほど、コア３５内に光束を閉じ込める力が大きくなるので、コア３５に酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５：波長が５５０ｎｍのときに屈折率が２．１６）を用い、クラッド３４に石英等を用いて、両者の屈折率差を大きくすることがより好ましい。また、赤外領域の光束を利用する場合には、赤外光に対して透明な材料であるシリコン（Ｓｉ：屈折率が約４）でコア３５を形成することも有効である。
また、例えばＰＭＭＡ（メタクリル酸メチル樹脂）により、厚さが３〜１０μｍでコア３５を形成し、フッ素含有重合体により、厚さが数十μｍでクラッド３４を形成する組み合わせが考えられる。また、コア３５及びクラッド３４をともにエポキシ樹脂（例えば、コア屈折率１．５２２〜１．５２３、クラッド屈折率１．５１８〜１．５１９）で構成したり、フッ素化ポリイミドで構成したりすることも可能である。この場合、コア３５とクラッド３４とを構成する樹脂材料の配合等を調整して、両者の屈折率差を大きくすることが好ましい。例えば、フッ素化ポリイミドの場合、フッ素含有量を調整したり、放射光等のエネルギー照射によって、屈折率を制御することができる。このように、光導波路３２の構成材料に樹脂材料を用いることで、光電気複合配線３３を半導体プロセスにより製造することが可能である。
【００４９】
また、光電気複合配線３３は、サスペンション３の先端、すなわちジンバル１７の中間位置において電気配線３１と光導波路３２とに分岐している。具体的には、光導波路３２は、光電気複合配線３３の先端側における分岐地点からジンバル１７の長手方向に沿って延在しており、ジンバル１７の切欠き部２６を跨いでスライダ２の基端側に直接接続されている。光導波路３２は、光電気複合配線３３の分岐地点においてジンバル１７の下面から離間されており、分岐地点からスライダ２の基端側に向かうにつれ、パッド部１７ｂとジンバル１７との間を架け渡すように僅かながら浮いた状態で延在している。つまり、ジンバル１７の下面において、光導波路３２は略直線的（曲率半径が略無限大）に延在した状態で、スライダ２の幅方向（Ｘ方向）中央部からスライダ２の基端面２ｂ側に引き回されている（図３参照）。つまり、後述するスライダ２と光導波路３２との固定点Ｔと荷重点Ｆとはスライダ２の幅方向において一致している。
【００５０】
一方、分岐地点において、電気配線３１はジンバル１７の外周部分に向けて屈曲されており、ジンバル１７の外周部分、つまり切欠き部２６の外側から引き回されている。そして、切欠き部２６の外側から引き回された電気配線３１は、連結部１７ａ上を通ってスライダ２の先端面側に接続されている。すなわち、電気配線３１は、スライダ２の先端面側に設けられた上記磁気素子５８に対して、スライダ２の外部から直接接続されている。
【００５１】
ここで、図４，５に示すように、上述したスライダ２のスライダ基板６０には、スライダ２内において光導波路３２を保持してヘッド内導波路５９まで案内する収容部６１が形成されている。この収容部６１は、側面視三角形状のＶ溝であり、スライダ基板６０におけるジンバル１７との接着面、すなわちスライダ基板６０の上面であって、スライダ２の長手方向における基端面２ｂから先端面２ｃまで形成されている。そして、スライダ２の基端面２ｂ側から引き回された光導波路３２は、収容部６１内に保持された状態でスライダ２内を案内され、スライダ２の先端面２ｃ側でヘッド内導波路５９の一端側に接続されている。
【００５２】
ところで、光導波路３２の先端面は、光導波路３２の軸方向（延出方向）に対して交差する方向に向けて切断されており、その切断面がコア３５内を伝搬された光束を導入方向とは異なる方向に反射させるためのミラー面３２ａを構成している。このミラー面３２ａは、光導波路３２によって導入された光束を、光束の向きが略９０度変わるように反射させている。これにより、ミラー面３２ａで反射された光束が、ヘッド内導波路５９内に導入されるようになっている。
【００５３】
光導波路３２とスライダ２とは、収容部６１内の基端部側の端縁部、すなわちスライダ２の基端面２ｂ近傍で接着剤等により接着固定されている。この時、光導波路３２とスライダ基板６０とが接着固定された部位を固定点Ｔとすると、この固定点Ｔは、サスペンション３の突起部１９（荷重点Ｆ）に対して、ディスク面Ｄ１の面方向（ＸＹ方向）、具体的にはスライダ２の長手方向（Ｙ方向）にオフセットした位置で接着固定されている。さらに、光導波路３２は、スライダ２の浮上面２ａ（ディスクＤとの対向面）と、上面（ジンバル１７との接触面）との間の厚さ方向（Ｚ方向）における上半部に設定されている。具体的には、固定点Ｔは、スライダ２の上面と収容部６１内との間、つまりスライダ２における厚さ方向の最上端に設定されている。
【００５４】
なお、収容部６１の基端側の端縁部から収容部６１の先端側まで接着剤により固定した場合であっても、固定点Ｔは収容部６１の基端側の端縁部となる。つまり、固定点Ｔとは、スライダ基板６０と光導波路３２とが接着固定されている領域のうち、荷重点Ｆから最も離れた点である。また、光導波路３２と収容部６１との接着方法は、光導波路３２を収容部６１内にセットした後、光導波路３２と収容部６１との間の隙間から接着剤を注入してもよく、光導波路３２を収容部６１内にセットする前に、収容部６１内に接着剤を塗布してもよい。
【００５５】
このように、固定点Ｔは、スライダ２における幅方向（Ｘ方向）中央部で、かつ長手方向（Ｙ方向）基端部、厚さ方向（Ｚ方向）上端部に設定されている。したがって、上述した荷重点Ｆ、すなわちサスペンション３の突起部１９とパッド部１７ｂの上面との接触点から固定点Ｔまでの空間的な距離は、距離ｄ１に設定されている。
【００５６】
次に、このように構成された情報記録再生装置１により、ディスクＤに各種の情報を記録再生する手順について以下に説明する。
まず、スピンドルモータ７を駆動させてディスクＤを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ６を作動させて、ピボット軸１０を回転中心としてキャリッジ１１を回動させ、キャリッジ１１を介してヘッドジンバルアセンブリ１２をＸＹ方向にスキャンさせる。これにより、ディスクＤ上の所望する位置にスライダ２を位置させることができる。
【００５７】
次いで、レーザ光源２０から光束を光導波路３２（光電気複合配線３３）に入射させて、光束をスライダ２に導く。レーザ光源２０から出射された光束は、光電気複合配線３３におけるコア３５の一端側からコア３５内に導入され、コア３５とクラッド３４との界面で全反射を繰り返しながらスライダ２に向かって伝搬される。光束が光導波路３２の先端面まで到達すると、光導波路３２の先端面に形成されたミラー面３２ａでヘッド内導波路５９に向けて反射される。ヘッド内導波路５９内に導入された光束は、ヘッド内導波路５９内で集光レンズによって集光され、スポットサイズが徐々に絞り込まれる。これにより、近接場光発生素子の周囲には、近接場光が滲み出るように発生する。また、コア３５はクラッド３４が密着した状態で封止されているので、伝搬している光束が途中でコア３５の外部に漏れることがない。よって、導入された光束を無駄にすることなく効率良く近接場光にすることができる。
【００５８】
そして、近接場光が入射されたディスクＤは、この近接場光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。一方、制御部５によってスライダ２の記録素子に電流が供給されると、電磁石の原理によりディスクＤに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。その結果、近接場光と記録素子で発生した記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。
これに対して、ディスクＤに記録された情報を再生する場合には、記録素子に隣接して固定されている再生素子が、ディスクＤから漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子の電圧が変化する。これにより制御部５は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部５は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、情報の再生を行うことができる。
このように、スライダ２を利用してディスクＤに対して各種の情報を記録再生することができる。
【００５９】
ここで、スライダ２は、サスペンション３によって支持されていると共に所定の力でディスクＤ側に押さえ付けられている。また、これと同時にスライダ２は、浮上面２ａがディスクＤに対向しているので、回転するディスクＤによって生じる風圧の影響を受けて浮上する力を受けている。この両者の力のバランスによって、スライダ２はディスクＤ上から離間した位置に浮遊している状態となっている。
この際スライダ２は、風圧を受けてサスペンション３側に押されるので、スライダ２を固定するジンバル１７のパッド部１７ｂとサスペンション３に形成された突起部１９とが、点接触した状態となる。そして、この浮上する力は、突起部１９を介してサスペンション３に伝わり、該サスペンション３をディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓ませるように作用する。これにより、上述したようにスライダ２は浮上する。また、ディスクＤの凹凸やうねり等により、スライダ２にＸＹ方向に向かう風圧が加わったときに、スライダ２及びパッド部１７ｂは、突起部１９を中心としてＸ軸及びＹ軸の２軸回りに捩じれるようになっている。これにより、ディスクＤのうねりによるＺ方向の変位（ディスク面Ｄ１に略直交する方向への変位）を吸収することができ、スライダ２の姿勢が安定するようになっている。
【００６０】
またスライダ２は、ディスクＤのうねりに起因して発生する風圧（ＸＹ方向に向かう風圧）を受けたとしても、ジンバル手段１６、すなわち、突起部１９の先端に点接触したパッド部１７ｂを介してＸＹ軸回りに捩じれるようになっている。そのため、うねりによるＺ方向への変位を吸収することができ、浮上している際のスライダ２の姿勢を安定にすることができる。
【００６１】
このように、本実施形態の情報記録再生装置１では、スライダ２におけるディスク面Ｄ１に向けて荷重が付与される荷重点Ｆ、スライダ２における光導波路３２が固定される固定点Ｔとし、荷重点Ｆから固定点Ｔまでの間の距離ｄ１を設定する構成とした。
この構成によれば、面方向におけるスライダ２の基端面２ｂから荷重点Ｆまでの間であって、かつスライダ２の浮上面２ａと、パッド部１７ｂとの接触面との間の厚さ方向における上半部に固定点Ｔを設定することで、荷重点Ｆと固定点Ｔとの間の空間的な距離を可能な限り短縮することができる。これにより、スライダ２の記録再生動作時において、ディスク面Ｄ１の凹凸や、ディスクＤの回転に伴う面ぶれに追従するようにスライダ２が姿勢変動した場合でも、光導波路３２からスライダ２に作用する回転モーメントが小さい。つまり、光導波路３２がスライダ２に固定されている場合であっても、光導波路３２がスライダ２の姿勢制御の妨げになることを防ぐことができる。そのため、スライダ２の安定浮上を維持して、浮上量をできるだけ小さくすることができるので、スライダ２の浮上特性やトラッキングの精度等に与える影響が少ない。
したがって、光の伝搬効率及びスライダの浮上特性の双方を両立させることが可能になるため、スライダ２のスキャン性能を向上させ、情報の記録再生を正確且つ高密度に行うことができる。
【００６２】
さらに、光導波路３２が先端面にミラー面３２ａを備えているため、光導波路３２のコア３５内を伝搬した光束は光導波路３２の先端面に構成されたミラー面３２ａによってヘッド内導波路５９へと導かれる。１枚の基板（スライダ基板６０）によりスライダ２を構成することができるため、スライダ２の薄型化及び小型化を実現することができる。
したがって、荷重点Ｆから固定点Ｔまでの厚さ方向（Ｚ方向）の距離も短縮することができる。
また、スライダ２と光導波路３２との固定点Ｔと荷重点Ｆとをスライダ２の幅方向において一致させることで、荷重点Ｆから固定点Ｔまでの幅方向（Ｘ方向）の距離も短縮することができ、光導波路２１からスライダ２に作用する回転モーメントをより小さくすることができる。
【００６３】
また、スライダ２と光導波路３２とを、スライダ基板６０の収容部６１における基端側の端縁部で固定し、その端縁部を固定点Ｔとして設定する構成とした。
この構成によれば、従来のようにサスペンション３から荷重がかかる方向に延伸した位置の近傍部のみでスライダ２と光導波路３２とを固定する場合に比べて、設計の自由度を向上させ、固定点Ｔのレイアウト性を向上することができる。また、これに伴い光導波路３２とスライダ２との位置合わせや固定が容易になるため、製造効率を向上させることができる。
【００６４】
このように、本発明の情報記録再生装置１は、上述したヘッドジンバルアセンブリ１２を備えているので、情報の記録再生を正確且つ高密度に行うことができ、高品質化を図ることができる。
【００６５】
（第２実施形態）
次に、図７，８に基づいて本発明の第２実施形態について説明する。図７は、第２実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの断面図であり、図８のＣ−Ｃ‘線に沿う断面図である。また、図８は図７のＤ矢視図である。なお、本実施形態においては、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明は省略する。
図７，８に示すように、本実施形態のヘッドジンバルアセンブリ１１２は、ジンバル１１７のパッド部１１７ｂにおける下面（スライダ１０２との対向面）に切欠き部１１７ｃが形成されている。この切欠き部１１７ｃは、パッド部１１７ｂの幅方向（Ｘ方向）の中央部において、厚さ方向の中途部まで側面視矩形状に切欠き形成されたものである。つまり、切欠き部１１７ｂの形成部位におけるパッド部１１７ｂの肉厚は、切欠き部１１７ｃの周囲の肉厚より薄く形成されている。また、切欠き部１１７ｃは、パッド部１１７ｂの長手方向（Ｙ方向）先端側から基端側に向けて形成されており、ＸＹ平面方向における荷重点Ｆの近傍に至るまで形成されている。そして、切欠き部１１７ｂの先端側には、切欠き部１１７ｃとパッド部１１７ｂの下面との間で段差部１１７ｄが形成されている。なお、切欠き部１１７ｃはパッド部１１７ｂの厚さ方向に貫通する構成でもよい。
【００６６】
また、スライダ基板１６０にも、その基端面２ｂから先端側に向けて長手方向に沿って、切欠き部１６３が形成されている。この切欠き部１６３は、側面視三角形状に形成されたＶ溝であり、収容部６１の外形より大きく形成されている。つまり、光導波路３２の軸方向に直交する断面積よりも大きく形成されており、光導波路３２の外周面と切欠き部１６３の内面とは接触しないようになっている。切欠き部１６３は、スライダ基板１６０の幅方向（Ｘ方向）中央部であって、長手方向においてパッド部１１７ｂの切欠き部１１７ｃの段差部１１７ｄと同様に、ＸＹ平面方向における荷重点Ｆの近傍に至るまで形成されている。そして、切欠き部１６３の先端側には、切欠き部１６３と収容部６１との間に段差部１６４が形成されている。段差部１６４は、パッド部１１７ｂの段差部１１７ｄと面一に形成されている。
【００６７】
そして、切欠き部１６３の先端には、段差部１６４を介して上述した第１実施形態と同様の収容部６１が形成されている。つまり、本実施形態では、収容部６１とスライダ１０２の基端面２ｂとの間に、収容部６１の外形より外形が大きい切欠き部１６３が形成されている。そして、スライダ基板１６０の上面は、切欠き部１６３及び収容部６１により、基端側から先端側に向けてＶ溝の外形が小さく（浅く）なっている。そして、光導波路３２は、スライダ１０２とパッド部１１７ｂとの間、すなわちスライダ１０２の収容部６１及び切欠き部１６３内に収容された状態で、スライダ１０２の先端側に配置されたヘッド内導波路５９に接続されている。
【００６８】
ここで、スライダ１０２の基端側において、光導波路３２の周囲にはクリアランスを有している。つまり、スライダ１０２の切欠き部１６３及びパッド部１１７ｂの切欠き部１１７ｃと光導波路３２との間にはクリアランスを有しており、光導波路３２はクリアランス内に遊挿された状態となっている。この場合、光導波路３２は、収容部６１の基端側の端縁部、すなわち段差部１１７ｄ，１６４の近傍で接着剤等により接着固定されている。このように、本実施形態の光導波路３２は、スライダ１０２の基端面２ｂよりも先端側に近づいた部位で接着固定されている。よって、スライダ１０２の段差部１６４が、光導波路３２とスライダ１０２とが接着固定された領域のうち、荷重点Ｆから最も離れた部位の端面となる。そして、段差部１６４の端面を光導波路３２の固定点Ｔとすると、荷重点Ｆと固定点Ｔとの距離は、距離ｄ２に設定されている。つまり、スライダ１０２の基端面２ｂを固定点とした場合に比べて、固定点と荷重点との間の距離ｄ２が短くなっている。
【００６９】
したがって、本実施形態によれば、上述した第１実施形態と同様の効果を奏することに加えて、スライダ基板１６０における収容部６１より基端側に、光導波路３２の外周面が接触しないように切欠き部１６３を形成することで、スライダ１０２内において光導波路３２と切欠き部１６３との間にはクリアランスを有することになる。つまり、光導波路３２は切欠き部１６３内を遊挿された状態となる。そして、切欠き部１６３の先端側、すなわち収容部６１の端縁部でスライダ基板１６０と光導波路３２とを固定することで、荷重点Ｆと固定点Ｔとの間の空間的な距離ｄ２をより短縮することができる。具体的には、上述した第１実施形態と比べて、幅方向（Ｘ方向），厚さ方向（Ｚ方向）の距離は同じであるが、スライダ２の長手方向（Ｙ方向）の距離を短縮することができる。したがって、スライダ１０２の記録再生動作時における、光導波路３２からスライダ１０２に作用する回転モーメントをより小さくすることができる。
【００７０】
（第３実施形態）  
次に、図９，１０に基づいて本発明の第３実施形態について説明する。図９は、第３実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの断面図であり、図１０のＥ−Ｅ‘線に沿う断面図である。また、図１０は図９のＧ矢視図である。なお、本実施形態においては、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明は省略する。
【００７１】
図９，１０に示すように、本実施形態のヘッドジンバルアセンブリ２１２のスライダ２０２は、スライダ基板２６０とミラー基板２７０とが重ね合わされて構成されている。
スライダ基板２６０は、第１実施形態と同様に石英ガラス等の光透過性材料等からなり、その先端側には上面が厚さ方向に刳り抜かれた凹部２６１が形成されている。凹部２６１の底面における中央部は、スライダ基板２６０の厚さ方向に半球状に突出する集光レンズ２６２が形成されている。スライダ基板２６０の浮上面２６０ａにおいて、集光レンズ２６２の厚さ方向における直下部には、浮上面２６０ａから下方に向けて突出する近接場光発生素子２６３が設けられている。この近接場光発生素子２６３は、光学的な微小開口やナノメートルサイズに形成された突起部等により構成されており、集光レンズ２６２により集光された光束から近接場光を発生するものである。なお、集光レンズ２６２と近接場光発生素子２６３との間には、集光レンズ２６２により集光された光束を近接場光発生素子２６３まで導くヘッド内導波路（不図示）が設けられている。また、近接場光発生素子２６３に隣接して、再生素子と記録素子とからなる磁気素子２５８が設けられている。
【００７２】
ミラー基板２７０は、シリコン等からなり、その上面２７０ｂがパッド部１７ｂの下面に接着固定されるとともに、下面２７０ａがスライダ基板２６０の上面２６０ｂに接着固定されている。ミラー基板２７０の下面２７０ａにおける幅方向の中央部であって、長手方向（Ｙ方向）における基端面から先端側に向けて光導波路３２の収容部２７１が形成されている。この収容部２７１は、ミラー基板２７０の下面２７０ａから厚さ方向に切り欠かれたＶ溝である。収容部２７１の先端側は、徐々にＶ溝の深さが浅くなってミラー基板２７０の下面２７０ａまで到達しており、ミラー基板２７０の下面２７０ａに対して傾斜したミラー面２７２が形成されている。ミラー面２７２は、その表面にＡｌ膜等が成膜されており、光導波路３２から導入された光束を反射させてスライダ基板２６０の集光レンズ２６２に導くようになっている。
【００７３】
ここで、光導波路３２は、ミラー基板２７０の収容部２７１内に保持されており、収容部２７１の基端側の端縁部で接着剤等により接着固定されている。そして、光導波路３２とミラー基板２７０とが接着固定された部位を固定点Ｔとすると、この固定点Ｔは、光導波路３２は、サスペンション３の突起部１９（荷重点Ｆ）に対してディスク面Ｄ１の面方向（ＸＹ方向）にオフセットした位置で接着固定されている。さらに、スライダ２０２の浮上面２６０ａ（スライダ基板２６０の浮上面２６０ａ）と、上面（ミラー基板２７０の上面）との間の厚さ方向（Ｚ方向）における上半部に設定されている。
【００７４】
このように、固定点Ｔは、スライダ２０２における幅方向（Ｘ方向）中央部で、かつ長手方向（Ｙ方向）基端部、厚さ方向（Ｚ方向）上半部に設定されている。したがって、上述した荷重点Ｆ、すなわちサスペンション３の突起部１９とパッド部１７ｂの上面との接触点から固定点Ｔまでの空間的な距離は、距離ｄ３に設定されている。
したがって、本実施形態のように、スライダ２０２をスライダ基板２６０とミラー基板２７０との２枚で構成した場合においても、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。また、ミラー基板２７０に収容部２７１を形成するのみで、光導波路３２を保持することができるので、スライダ基板２６０に加工を施すことがなく、加工を容易にすることができる。
【００７５】
なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、上述した実施形態で挙げた構成等はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
例えば、上述した実施形態では、固定点を収容部の端縁部に設定する場合について説明したが、これに限らずスライダの端面のみでスライダと光導波路とを固定し、スライダの端面を固定点として設定することも可能である。つまり、光導波路を収容部内に保持した場合であって、スライダの外周上または外周から荷重点までの間であれば、固定点は任意に設定可能である。
【００７６】
例えば、図１１に示すように、スライダ基板６０に形成された収容部（不図示）をスライダ２の幅方向一端寄りに形成し、この収容部内に光導波路３２を保持させるような構成も可能である。この構成によれば、荷重点Ｆと固定点Ｔとがスライダ２の幅方向（ＸＹ方向）に対してもオフセットする。そして、この場合における荷重点と固定点との距離は、距離ｄ’となる。つまり、上述した実施形態のように、荷重点Ｆと固定点Ｔとを幅方向（Ｘ方向）に一致させた場合に比べ、荷重点Ｆと固定点Ｔとの幅方向（Ｘ方向）の距離が長くなる。
【００７７】
また、上述の実施形態では、スライダを浮上させた空気浮上タイプの情報記録再生装置を例に挙げて説明したが、この場合に限られず、ディスク面に対向配置されていればディスクとスライダとが接触していても構わない。つまり、本発明のスライダは、コンタクトスライダタイプのスライダであっても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏することができる。
【００７８】
また、上述の実施形態では、アーム部の片面側のみにヘッドジンバルアセンブリが設けられている構成について説明したが、各ディスク間に差し入れられるアーム部の両面に、各ディスクに対向するようにそれぞれヘッドジンバルアセンブリを設けるような構成も可能である。この場合、アーム部の両面側に設けられたヘッドジンバルアセンブリの各スライダにより、各スライダに対向するディスク面の情報の記録再生を行うことができる。つまり、１つのアーム部により２枚のディスクの情報を記録再生することができるため、情報記録再生装置の記録容量の増加及び装置の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明に係る情報記録再生装置の一実施形態を示す構成図である。
【図２】図１に示すヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。
【図３】図２に示すジンバルの平面図である。
【図４】第１実施形態に係る図３のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。
【図５】第１実施形態に係る図３のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。
【図６】図１に示すターミナル基板の平面図である。
【図７】第２実施形態に係る図８のＣ−Ｃ’線に沿う断面図である。
【図８】図７のＤ矢視図である。
【図９】第３実施形態に係る図１０のＥ−Ｅ’線に沿う断面図である。
【図１０】図９のＧ矢視図である。
【図１１】本発明に係る情報記録再生装置の他の実施形態を示すスライダの平面図である。
【符号の説明】
【００８０】
Ｄディスク（磁気記録媒体）  Ｄ１ディスク面（磁気記録媒体の表面）  Ｆ荷重点  Ｔ固定点  １情報記録再生装置  ２スライダ  ３サスペンション  １０ピボット軸  １１キャリッジ  １２ヘッドジンバルアセンブリ  １４アーム部  １７ジンバル  １９突起部（支持部）  ２０レーザ光源（光源）  ３２光導波路  ３２ａミラー面  ６０，１６０，２６０スライダ基板  ６１，２７１収容部  １６３切欠き部  ２６２  集光レンズ（光学系）  ２６３近接場光発生素子（スポット光発生素子）  ２７０ミラー基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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