(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシング（１）内の空間部（１ａ）に封入された電界共役流体（２０）に電極部（８）によって電圧を印加して流体ジェット（２１）を発生させ、前記ケーシング（１）に角速度（ω）が加えられた際の前記流体ジェット（２１）の偏向を検出部（１０）によって検出することで前記角速度（ω）を検出する流体レートジャイロであって、
前記空間部（１ａ）内に設けられ、互いに離間されて配置された一対の第１及び第２壁部（５ａ，５ｂ）からなる流路壁（５）と、
前記第１壁部（５ａ）と前記第２壁部（５ｂ）との間に形成されたセンシング流路（６）と、
前記流路壁（５）と前記空間部（１ａ）を形成する空間内壁（４）との間に形成された輪状をなす戻り流路（７）と、
ノズル孔（９ａ）を有し、前記センシング流路（６）内に配置されたノズル板（９）と
を備え、
前記電極部（８）は、前記戻り流路（７）内に配置され、
前記検出部（１０）は、前記センシング流路（６）内で前記ノズル板（９）の下流に配置されていることを特徴とする流体レートジャイロ。
【請求項２】
前記戻り流路（７）には、前記センシング流路（６）に対して並行に延びる第１及び第２通路部（７ａ，７ｂ）が設けられており、
前記電極部（８）は、前記第１及び第２通路部（７ａ，７ｂ）内で前記第１及び第２通路部（７ａ，７ｂ）の長手方向に沿って互いに間隔を置いて交互に配置された複数の第１及び第２膜状電極（８３，８４）により構成され、
前記第１及び第２膜状電極（８３，８４）間に直流電圧が印加されて、前記流体ジェット（２１）が発生されることを特徴とする請求項１記載の流体レートジャイロ。
【請求項３】
前記第１及び第２膜状電極（８３，８４）は、先端側に複数の歯（８５ａ）からなる鋸歯部（８５）が設けられ、後端側に前記各歯（８５ａ）に対向した複数の円弧部（８６）が設けられていることを特徴とする請求項２記載の流体レートジャイロ。
【請求項４】
前記ケーシング（１）は、前記空間内壁（４）及び前記流路壁（５）を有する基部（２）と、前記基部（２）に対向して配置される蓋部（３）とにより構成され、
前記第１及び第２膜状電極（８３，８４）は、前記基部（２）又は前記蓋部（３）の内壁面に設けられていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の流体レートジャイロ。
【請求項５】
前記第１及び第２膜状電極（８３，８４）は、蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンスプレーティング、及び印刷のいずれかの方法により形成されていることを特徴とする請求項４記載の流体レートジャイロ。
【請求項６】
前記戻り流路（７）には、前記センシング流路（６）に対して並行に延びる第１及び第２通路部（７ａ，７ｂ）が設けられており、
前記第１及び第２通路部（７ａ，７ｂ）には、前記電極部（８）を構成する少なくとも１組の針電極（８１）及びリング電極（８２）がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１記載の流体レートジャイロ。
【請求項７】
前記電界共役流体（２０）は、適切な粘度を持った電界共役流体単体もしくは、粘度が異なる流体が混合され、粘度が調整された混合型電界共役流体であることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の流体レートジャイロ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体レートジャイロに関し、特に、電極部を戻り流路内に配置するとともに、検出部をセンシング流路に配置することで、電極部と検出部との間の電位差に伴う非一様な電界分布による流体ジェットの偏流を防止でき、角速度検出の精度を向上できるようにするための新規な改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来用いられていたこの種の流体レートジャイロとしては、例えば非特許文献１等に開示された構成を挙げることができる。図８は、従来の流体レートジャイロを示す平面図である。図において、ケーシング１内の空間部１ａには、互いに離間されて配置された一対の第１及び第２壁部５ａ，５ｂからなる流路壁５が設けられており、これら第１及び第２壁部５ａ，５ｂの間にはセンシング流路６が形成されている。また、前記流路壁５と前記空間部１ａを形成する空間内壁４との間には、輪状をなす戻り流路７が形成されている。
【０００３】
前記センシング流路６内には、２組の針電極８１及びリング電極８２からなる電極部８が配置され、この電極部８の下流には第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２を有する検出部１０が配置されている。また、前記空間部１ａ内には、例えば特開平１０−８８１７４号公報や特開２０００−２３９６８３号公報等に記載された電界共役流体２０が封入されている。
【０００４】
次に、この流体レートジャイロの動作について説明する。図９は、図８の流体レートジャイロにおける流体ジェット２１の発生の概念を示す説明図である。図９において、前記針電極８１及び前記リング電極８２間には、高電圧の直流電圧が印加されている。例えば特許第３１５７８０４号等に示されているように、特定の絶縁性液体である電界共役流体２０に電圧を印加することにより、印加電圧に対応した絶縁性液体の移動流、すなわち流体ジェット２１を発生させることができる。
【０００５】
図７に戻り、前記電極部８によって発生された流体ジェット２１は、前記センシング流路６の上流側６ａから下流側６ｂに向けて進み、前記検出部１０に供給される。周知のように、ケーシング１に角速度ωが加えられると、コリオリの力により流体ジェット２１が偏向する。前記検出部１０を構成するホットワイヤは周知のブリッジ回路に組み込まれており、前記検出部１０により流体ジェット２１の偏向が検出されることで、前記角速度ωが検出される。
【０００６】
【非特許文献１】第１６回ＭＡＧＤＡコンファレンス講演論文集「電界共役流体（ＥＣＦ）を用いたレートジャイロの研究」平成１９年１１月２２日、３３９〜３４２ページ
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のような従来の流体レートジャイロでは、前記電極部８と前記検出部１０とを前記センシング流路６内に配置しているので、これら電極部８と検出部１０との間の電位差に伴う非一様な電界分布によって前記流体ジェット２１に偏流が生じてしまい、この偏流が角速度ωの検出に影響を及ぼしてしまう。具体的には、時計回りの角速度に対する感度と、反時計回りの角速度に対する感度が異なるとともに、ノイズが発生してしまう。
【０００８】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、電極部と検出部との間の電位差に伴う非一様な電界分布による流体ジェットの偏流を防止でき、角速度検出の精度を向上できる流体レートジャイロを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る流体レートジャイロは、ケーシング内の空間部に封入された電界共役流体に電極部によって電圧を印加して流体ジェットを発生させ、前記ケーシングに角速度が加えられた際の前記流体ジェットの偏向を検出部によって検出することで前記角速度を検出する流体レートジャイロであって、前記空間部内に設けられ、互いに離間されて配置された一対の第１及び第２壁部からなる流路壁と、前記第１壁部と前記第２壁部との間に形成されたセンシング流路と、前記流路壁と前記空間部を形成する空間内壁との間に形成された輪状をなす戻り流路と、ノズル孔を有し、前記センシング流路内に配置されたノズル板とを備え、前記電極部は、前記戻り流路内に配置され、前記検出部は、前記センシング流路内で前記ノズル板の下流に配置されている。
また、前記戻り流路には、前記センシング流路に対して並行に延びる第１及び第２通路部が設けられており、前記電極部は、前記第１及び第２通路部内で前記第１及び第２通路部の長手方向に沿って互いに間隔を置いて交互に配置された複数の第１及び第２膜状電極により構成され、前記第１及び第２膜状電極間に直流電圧が印加されて、前記流体ジェットが発生される。
さらに、前記第１及び第２膜状電極は、先端側に複数の歯からなる鋸歯部が設けられ、後端側に前記各歯に対向した複数の円弧部が設けられている。
さらにまた、前記ケーシングは、前記空間内壁及び前記流路壁を有する基部と、前記基部に対向して配置される蓋部とにより構成され、前記第１及び第２膜状電極は、前記基部又は前記蓋部の内壁面に設けられている。
また、前記第１及び第２膜状電極は、蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンスプレーティング、及び印刷のいずれかの方法により形成されている。
さらに、前記戻り流路には、前記センシング流路に対して並行に延びる第１及び第２通路部が設けられており、前記第１及び第２通路部には、前記電極部を構成する少なくとも１組の針電極及びリング電極がそれぞれ設けられている。
さらにまた、前記電界共役流体は、適切な粘度を持った電界共役流体単体もしくは、粘度が異なる流体が混合され、粘度が調整された混合型電界共役流体であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の流体レートジャイロによれば、電極部が戻り流路に配置されるとともに、検出部がセンシング流路に配置されるので、前記電極部と前記検出部とを互いに隔離できる。これによって、これら電極部と検出部との間の電位差に伴う非一様な電界分布による流体ジェットの偏流を防止でき、角速度の検出精度を向上できる。
また、前記電極部は、前記第１及び第２通路部内で前記第１及び第２通路部の長手方向に沿って互いに間隔を置いて交互に配置された複数の第１及び第２膜状電極により構成されているので、前記電極部を平面的に形成することができ、ジャイロ全体をより薄く構成できる。
さらに、前記第１及び第２膜状電極は、先端側に複数の歯からなる鋸歯部が設けられ、後端側に前記各歯に対向した複数の円弧部が設けられているので、鋸歯部と円弧部との間に電界変化が急峻な電界分布を形成でき、より強力な流体ジェットを発生できる。
さらにまた、前記第１及び第２膜状電極は、前記基部又は前記蓋部の内壁面に設けられているので、より確実に前記電極部を平面的に形成できる。
また、前記第１及び第２膜状電極は、蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンスプレーティング、及び印刷のいずれかの方法により形成されているので、前記基部又は前記蓋部の内壁面に膜状電極をより確実に形成できる。
さらに、前記第１及び第２通路部には、前記電極部を構成する少なくとも１組の針電極及びリング電極がそれぞれ設けられるので、センシング流路に流体ジェットをより確実に供給でき、角速度をより確実に検出できる。
さらにまた、前記電界共役流体は、適切な粘度を持った電界共役流体単体もしくは、粘度が異なる流体が混合され、粘度が調整された混合型電界共役流体であるので、センシングに適した流体ジェットを前記検出部により確実に供給でき、角速度をより確実に検出できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１による流体レートジャイロを示す平面図であり、図２は図１の流体レートジャイロの断面図である。なお、従来の流体レートジャイロと同一又は同等部分については同一の符号を用いて説明する。
図２において、箱形のケーシング１は、基部２と、蓋部３とから構成されている。なお、図１では、蓋部３の記載を省略している。図１に示すように、前記基部２には、空間内壁４、流路壁５、及び溝１５が設けられている。前記空間内壁４は、内側に凹状の空間部１ａを形成する円環状の壁であり、前記流路壁５は、前記空間部１ａ内で前記基部２から立設された第１及び第２壁部５ａ，５ｂにより構成されている。これら第１及び第２壁部５ａ，５ｂは、互いに離間されて配置されており、前記空間部１ａ内の中央にセンシング流路６を形成している。また、第１及び第２壁部５ａ，５ｂと前記空間内壁４との間には、前記センシング流路６を囲む輪状の戻り流路７が形成されている。
【００１２】
前記戻り流路７には、前記センシング流路６と並行に延びる第１及び第２通路部７ａ，７ｂが設けられており、前記第１及び第２通路部７ａ，７ｂには電極部８が設けられている。電極部８は、２組の針電極８１及びリング電極８２が各通路部７ａ，７ｂ内でそれぞれ直列に配置されたものである。
【００１３】
前記センシング流路６には、ノズル板９と検出部１０とが配置されている。ノズル板９は、前記ケーシング１とともに例えばＰＥＩ（ポリエーテルイミド）等の樹脂で形成された板部材であり、中央に円柱状の貫通孔であるノズル孔９ａが設けられている。なお、ノズル板９は、樹脂以外の材料で形成されてもよい。
【００１４】
前記検出部１０は、前記センシング流路６内で前記ノズル板９の下流に配置されており、第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２を有している。これら第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２は、第１〜第３電極１１〜１３（図２参照）間に張設されている。具体的には、第１ホットワイヤＨ１が第１電極１１と第２電極１２との間に張設されるとともに、第２ホットワイヤＨ２が第１電極１１と第３電極１３との間に張設されることで、前記センシング流路６の上流側６ａから下流側６ｂに向けて狭まるＶ字状に配置されている。なお、第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２は、図１とは逆に上流側６ａから下流側６ｂに向けて広がるＶ字状に配置されてもよく、前記ノズル孔９ａの延長線を中心として互いに並行に配置されてもよい。
【００１５】
前記溝１５には、例えばＯリング等の環状の封止部材１６が取り付けられている。すなわち、前記溝１５に封止部材１６が取り付けられた状態で、図２に示すように前記基部２に前記蓋部３が取り付けられることで、前記空間部１ａは密封される。この空間部１ａ内には、例えば特開平１０−８８１７４号公報や特開２０００−２３９６８３号公報等に記載された周知の電界共役流体２０が封入されている。
【００１６】
前記針電極８１及び前記リング電極８２間には、高電圧の直流電圧が印加される（図８参照）。周知のように、特定の絶縁性液体である電界共役流体２０に電圧を印加することにより、印加電圧に対応した絶縁性液体の移動流、すなわち流体ジェット２１が発生される。各通路部７ａ，７ｂで発生した流体ジェット２１は、上流側６ａからセンシング流路６に各々流入される。このセンシング流路６に流入された流体ジェット２１は、前記ノズル板９のノズル孔９ａで集束され、活発な状態で検出部１０に供給される。前記センシング流路６の下流側６ｂには突部２５が設けられており、前記センシング流路６を抜けた前記流体ジェット２１は、前記突部２５により両脇に案内されて前記戻り流路７に戻される。
【００１７】
次に、図３は、図１の検出部１０の回路構成を示す構成図である。図において、前記第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２は、該第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２と第１及び第２抵抗Ｒ１，Ｒ２とからなるブリッジ回路３０に組み込まれている。このブリッジ回路３０には、定電流源３１が接続されており、第１及び第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２が常に熱せられている。
【００１８】
周知のように、ノズル孔９ａの延在方向に直交する軸回りの角速度ωがケーシング１に加えられると、コリオリの力により流体ジェット２１が偏向する。この流体ジェット２１の偏向が発生すると、流体ジェット２１による各ホットワイヤＨ１，Ｈ２の冷却に偏りが生じ、各ホットワイヤＨ１，Ｈ２の抵抗値に変化が生じる。このとき、ブリッジ回路３０の出力電圧Ｖ１−Ｖ２に変化が生じて、検出部１０の出力変化、すなわち出力電圧Ｖ１−Ｖ２の変化に基づいて、前記角速度ωが検出される。すなわち、この実施の形態の流体レートジャイロは、周知のホットワイヤアネモメトリを利用して角速度ωを検出している。
【００１９】
ここで、前述したように、針電極８１及びリング電極８２間に高電圧が印加されることで流体ジェット２１が発生されるので、前記電極部８を前記検出部１０の近傍に配置すると、これら電極部８と検出部１０との間の電位差に伴う非一様な電界分布によって前記流体ジェット２１に偏流が生じてしまう。この流体ジェット２１の偏流は、角速度ωの検出に影響を及ぼしてしまう。しかしながら、この実施の形態の流体レートジャイロでは、前記電極部８を戻り流路７に配置するとともに、前記検出部１０をセンシング流路６に配置するので、前記電極部８と前記検出部１０とを互いに隔離できる。これによって、これら電極部８と検出部１０との間の電位差に伴う非一様な電界分布による流体ジェット２１の偏流を防止でき、角速度ωの検出精度を向上できる。
また、従来の流体レートジャイロでは、電極部８で発生された流体ジェット２１が検出部１０に直接供給する構成であり、リング電極８２が流体ジェット２１の整流用ノズルの役割を兼ねていたので、整流用ノズルの形状に制限があった。しかしながら、実施の形態の流体レートジャイロでは、リング電極８２とは別にノズル板９を設けるので、ノズル孔９ａの形状に自由度を設けることができ、センシングに適したジェット形状を作ることができる。
【００２０】
また、第１及び第２通路部７ａ，７ｂには、２組の針電極８１及びリング電極８２がそれぞれ設けられるので、センシング流路６に流体ジェット２１をより確実に供給でき、角速度ωをより確実に検出できる。
【００２１】
なお、実施の形態１では、第１及び第２通路部７ａ，７ｂに２組の針電極８１及びリング電極８２がそれぞれ設けられていると説明したが、各通路部に設けられる針電極及びリング電極の組数は、１つ又は３つ以上でもよい。
【００２２】
また、実施の形態１では、第１及び第２通路部７ａ，７ｂに電極部８を配置すると説明したが、電極部は戻り流路に配置されればよく、第１及び第２通路部に隣接するコーナ部等に配置されてもよい。
【００２３】
さらに、実施の形態１では、検出部１０として、ホットワイヤＨ１，Ｈ２を有する構成を説明したが、検出部としては、流体ジェットの偏向を検出できればよく、例えば特許願２００７−０６１８３８で開示した構成、すなわち開口を有する基板と、前記開口を横断するように基板に設けられた接続部と、前記接続部上に蒸着形成された金属薄膜からなるセンシング用抵抗体とを備えた構成等でもよい。
【００２４】
実施の形態２．
図４は、本発明の実施の形態２による流体レートジャイロを示す平面図であり、前記蓋部３の内壁面を示している。実施の形態１では、電極部８は、複数組の針電極８１及びリング電極８２により構成されると説明したが、この実施の形態２では、電極部８は、各通路部７ａ，７ｂにそれぞれ配置された複数組の第１及び第２膜状電極８３，８４により構成されている。図４に示すように、前記第１及び第２膜状電極８３，８４は、前記戻り流路７の第１及び第２通路部７ａ，７ｂの長手方向に沿って互いに間隔を置いて交互に配置されており、前記第１膜状電極８３には直流電圧源の陽極が接続され、前記第２膜状電極８４には前記直流電圧源の陰極（グラウンド）が接続されている。すなわち、これら第１及び第２膜状電極８３，８４間に高電圧の直流電圧が印加されることで、前記流体ジェット２１が発生される。なお、上述した接続とは逆に、第１膜状電極８３に直流電圧源の陰極が接続され、前記第２膜状電極８４には前記直流電圧源の陽極が接続されてもよい。この場合でも、第１及び第２膜状電極８３，８４間に形成された電界変化が急峻な電界分布によって、前記流体ジェット２１が発生される。
【００２５】
これら第１及び第２膜状電極８３，８４は、前記蓋部３の内壁面に設けられた金属膜であり、詳しくは、蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンプレーティング、及び印刷のいずれかの方法により形成されている。なお、前記第１及び第２膜状電極８３，８４は、前記基部２の内壁面、すなわち前記通路部７ａ，７ｂの底部、前記空間内壁４の壁面、及び前記流路壁５の壁面に設けられていてもよい。また、金属膜の製法は上述の蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンプレーティング、及び印刷と類似の方法でもよい。
【００２６】
次に、図５は図４の第１及び第２膜状電極８３，８４を拡大して示す平面図であり、図６は図５の第１及び第２膜状電極８３，８４の一部をさらに拡大して示す平面図である。図５において、第１及び第２膜状電極８３，８４の先端側には複数の歯８５ａからなる鋸歯部８５が設けられ、後端側には各歯８５ａにそれぞれ対向する複数の円弧部８６が設けられている。図６に示すように、前記円弧部８６は、前記歯８５ａの先端を中心とする円の一部をそれぞれ形成しており、各歯８５ａの先端から各円弧部８６まで電界変化が急峻な電界分布が形成される。この電界変化が急峻な電界分布により、前記流体ジェット２１は各通路部７ａ，７ｂの長手方向に沿って形成される。
【００２７】
このような流体レートジャイロでは、前記電極部８が第１及び第２膜状電極８３，８４により構成されているので、前記電極部８を平面的に形成することができ、ジャイロ全体をより薄く構成できる。すなわち、実施の形態１の流体レートジャイロでは、針電極８１及びリング電極８２を設置するためのスペースを確保する必要があり、空間部１ａの高さ方向のサイズの小型化にするのに制限があったが、前記電極部８を平面的に形成することで高さ方向に小型化できる。
【００２８】
また、第１及び第２膜状電極８３，８４の先端側に鋸歯部８５が設けられ、後端側に前記円弧部８６が設けられているので、鋸歯部８５と円弧部８６との間で電界変化が急峻な電界分布を形成でき、より強力な流体ジェットを発生できる。
さらに、このような流体レートジャイロでは、前記第１及び第２膜状電極８３，８４は、前記基部２又は前記蓋部３の内壁面に設けられているので、より確実に前記電極部を平面的に形成できる。
さらにまた、前記第１及び第２膜状電極８３，８４は、蒸着、メッキ、スパッタリング、イオンスプレーティング、及び印刷のいずれかの方法により形成されているので、前記基部２又は前記蓋部３の内壁面に膜状電極８３，８４をより確実に形成できる。
【００２９】
実施の形態３．
本発明の実施の形態３による流体レートジャイロの全体としての構成は、実施の形態１もしくは実施の形態２の構成と同じであるので、実施の形態３の構成の説明に図１〜図５を援用する。まず、実験的に理解されていることだが、電界共役流体２０は、電極部８の周辺で低粘度になる。これは、高電圧下で電界共役流体２０が低粘度のプラズマ流になるためと考えられる。前述した従来の流体レートジャイロでは、電極部８がセンシング流路６に配置され、電極部８と検出部１０とが近傍に位置していたので、検出部１０が設けられている位置でも電界共役流体２０は低粘度を維持しており、流体ジェット２１は角速度ωに対して感度良く偏向する。しかしながら、実施の形態１の構成では、電極部８を戻り流路７に設置するので、流体ジェット２１が検出部１０に到達する時点では、電界共役流体２０の粘度は高くなってしまい、角速度ωに対する流体ジェット２１の応答性が悪くなってしまう。なお、これらは実験的観察に基づいて推論しているが、本発明はこの推論に限定されるものではない。
【００３０】
実施の形態１もしくは実施の形態２の構成では、電界共役流体２０として、特開平１０−８８１７４号公報等に記載された電界共役流体を単体で用いると説明したが、この実施の形態３では、電界共役流体２０として、適切な粘度を持った電界共役流体単体を選択するか、粘度が異なる流体が混合され、粘度が調整された混合型電界共役流体を用いる。このように、電界共役流体２０として、適切な粘度を持った電界共役流体単体を選択するか、粘度が異なる流体が混合され、粘度が調整された混合型電界共役流体を用いることで、流体ジェット２１が検出部１０に到達する時点での電界共役流体２０の粘度を最適に調整でき、角速度ωに対する流体ジェット２１の応答性を良好に保つことができる。
【００３１】
実施の形態３の例として、特開平１０−８８１７４号公報や特開２０００−２３９６８３号公報等に記載された電界共役流体のうちFF-1EHA2とFF-909EHA2の混合があり、それぞれの単体および混合物の粘度の一例を表１に示す。なお、表１では、２５℃での粘度を示している。また、FF-1EHA2とFF-909EHA2の混合時のFF-909EHA2の濃度とレートジャイロのスケールファクタの関連を図７に示す。FF-909EHA2濃度を上げることにより、より低駆動電圧で高いスケールファクタが確保され高感度な測定が可能となっている。
【００３２】
【表１】
0005337929.tif 000002
【００３３】
なお、実施の形態２，３では、前記第１及び第２膜状電極８３，８４は、先端側に鋸歯部８５が設けられ、後端側に前記円弧部８６が設けられている構成であると説明したが、第１及び第２膜状電極の形状は、流体ジェットを発生させる電界変化が急峻な電界分布を形成できる形状であればよく、例えば複数の突部を有する櫛歯状等でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施の形態１による流体レートジャイロを示す平面図である。
【図２】図１の流体レートジャイロの断面図である。
【図３】図１の検出部の回路構成を示す構成図である。
【図４】本発明の実施の形態２による流体レートジャイロを示す平面図である。
【図５】図４の第１及び第２膜状電極を拡大して示す平面図である。
【図６】図５の第１及び第２膜状電極の一部をさらに拡大して示す平面図である。
【図７】本発明の実施の形態３による電界共役流体の粘度変化によるスケールファクタの変化を示すグラフである。
【図８】従来の流体レートジャイロを示す平面図である。
【図９】図８の流体レートジャイロにおける流体ジェットの発生の概念を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  ケーシング
１ａ  空間部
２  基部
３  蓋部
４  空間内壁
５  流路壁
５ａ，５ｂ  第１及び第２壁部
６  センシング流路
７  戻り流路
７ａ，７ｂ  第１及び第２通路部
８  電極部
９  ノズル板
９ａ  ノズル孔
１０  検出部
２０  電界共役流体
２１  流体ジェット
８１  針電極
８２  リング電極
８３，８４  第１及び第２膜状電極
８５  鋸歯部
８５ａ  各歯
８６  円弧部
ω  角速度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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