(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形形状の保持枠部材の内側に収められ、鏡面の法線方向が水平方向に向く姿勢で使用される矩形状の鏡を支持する支持体を有する鏡支持装置において、
前記支持体は、前記鏡がその前記法線方向が前記水平方向に載置されたときの鏡の下側部水平面と前記保持枠部材の下側部水平内面との間に設けられ鏡の重量を支持する重量支持体を有しており、
この重量支持体は、前記鏡の周縁部に設けられて鏡の下側部水平面に当接するパッドと、このパッドと前記保持枠部材の前記下側部との間に設けられ両面が共に平滑面である複数の平板が積層された積層パッドとを有しているとともに、
前記支持体は、さらに前記鏡の周縁部の３箇所にそれぞれ設けられ鏡をその前記法線方向に挟み込む３個の位置決め支持体を有し、１ユニットの前記位置決め支持体は、他の２ユニットの位置決め支持体と異なる辺の周縁部に設けられていることを特徴とする鏡支持装置。
【請求項２】
前記重量支持体は、前記鏡がその前記法線方向が前記水平方向に載置されたときの鏡の下側部に一対離れて設けられ、前記２ユニットの前記位置決め支持体は、それぞれの前記重量支持体に接近して設けられ、前記１ユニットの前記位置決め支持体は、前記鏡の上側部に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の鏡支持装置。
【請求項３】
前記支持体は、さらに前記重量支持体と対向した前記鏡の周縁部の辺、及び周縁部の他の対向した２辺にそれぞれ対向して設けられ前記保持枠部材に対する移動を防止する移動防止支持体を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の鏡支持装置。
【請求項４】
前記支持体は、さらに前記１ユニットの前記位置決め支持体の両側で前記鏡の周縁部にそれぞれ設けられ鏡の鏡面の法線方向に挟み込む補助位置決め支持体を有していることを特徴とする請求項２に記載の鏡支持装置。
【請求項５】
前記位置決め支持体、前記移動防止支持体及び前記補助位置決め支持体は、それぞれ前記鏡の前記周縁部に設けられたパッドと、このパッドに固定された押さえ金具と、前記保持枠部材に対して進退可能に設けられ、先端部が前記押さえ金具と当接し前記鏡と前記パッドとの距離を調整する押しネジとを備えていることを特徴とする請求項４に記載の鏡支持装置。
【請求項６】
前記位置決め支持体、前記移動防止体及び前記補助位置決め支持体の各前記押しネジのうち、少なくともの一つの押しネジの先端部は、半球状であることを特徴とする請求項５に記載の鏡支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばレーザ光等を反射するための大型かつ高精度を要求される反射鏡等の鏡を支持する鏡支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、支持すべき鏡の撓み発生量を低減するために、枠体と対向した鏡の裏面に複数個の凹部を穿設し、その凹部内に配置された、チルト機構、平行シフト機構を備えた支持体を介して、鏡と枠体とを連結することで、枠体と鏡との相対変位を許容し、鏡の余分なストレスによる鏡面の変歪を防止した鏡支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２８８９８号公報（段落［００４３］〜［００６０］、図３〜図９）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記鏡支持装置にあっては、加工形状が複雑なチルト機構、平行シフト機構を備えた支持体を鏡の裏面の凹部の内部に収納する必要があり、部品加工、鏡加工の双方において、製造コスト、加工コストが増大するという問題点があった。
【０００５】
この発明は、このような問題点を解決することを課題とするものであって、簡単な構造で、鏡の余分なストレスによる鏡面の変歪を防止できる等の鏡支持装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係る鏡支持装置は、矩形形状の保持枠部材の内側に収められ、鏡面の法線方向が水平方向に向く姿勢で使用される矩形状の鏡を支持する支持体を有する鏡支持装置において、
前記支持体は、前記鏡がその前記法線方向が前記水平方向に載置されたときの鏡の下側部水平面と前記保持枠部材の下側部水平内面との間に設けられ鏡の重量を支持する重量支持体を有しており、
この重量支持体は、前記鏡の周縁部に設けられて鏡の下側部水平面に当接するパッドと、このパッドと前記保持枠部材の前記下側部との間に設けられ両面が共に平滑面である複数の平板が積層された積層パッドとを有しているとともに、
前記支持体は、さらに前記鏡の周縁部の３箇所にそれぞれ設けられ鏡をその前記法線方向に挟み込む３個の位置決め支持体を有し、１ユニットの前記位置決め支持体は、他の２ユニットの位置決め支持体と異なる辺の周縁部に設けられている。
【発明の効果】
【０００８】
この発明に係る鏡支持装置によれば、簡単な構造で、鏡の余分なストレスによる鏡面の変歪を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、この発明の各実施の形態について図に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。
実施の形態１．
図１（ａ）はこの発明の実施の形態１による鏡１を支持した鏡支持装置を示す正面図、図１（ｂ）は図１（ａ）の平面図、図１（ｃ）は図１（ａ）の右側面図、図２（ａ）は図１の鏡１の正面図、図２（ｂ）は図２（ａ）の平面図、図２（ｃ）は図２（ａ）の右側面図である。
この実施の形態による鏡支持装置により、鏡１は保持枠部材の内側に支持されているが、先ず鏡１及び保持枠部材の配置が分かり易くするために、座標系を定義する。
鏡１の反射面の法線方向をＺ軸とする。鏡１は縦置きされており、エッジが鉛直方向と水平方向を向いている。この状態で鉛直方向をＹ軸とし、Ｚ軸及びＹ軸と直交する水平方向をＸ軸とする。図の＋Ｚ側の面が反射面（鏡面）であり、座標原点は鏡１の表面の中心にあるものとする。
【００１０】
この鏡支持装置は、重量支持体７、位置決め支持体８，９、移動防止支持体１０，１１ａ，１１ｂ及び補助位置決め支持体１２を備えている。
縦置きされた鏡１の４側面を形成する、下側面２、上側面３、右側面４及び左側面５には、全長にわたって延びた溝６ａ，６ｂ，６ｃ及び６ｄがそれぞれ形成されている。
図１において、上記重量支持体７は、下側面２のＹ軸に関する対称位置に２式設置され、下方から鏡１の重量を支えている。
この一対の重量支持体７の近傍には、それぞれ上記位置決め支持体８が設置され、鏡１のＺ方向を拘束している。この位置決め支持体８は、重量支持体７と同様に下側面２のＹ軸に関する対称位置に配設されている。また、鏡１の上側面３の中央部において、上記位置決め支持体９が鏡１の上側面３に配置されている。
【００１１】
また、上記移動防止支持体１０は、上側面３のＹ軸に関する対称位置に２式設置されている。この移動防止支持体１０は、鏡１の＋Ｙ方向の移動を制限している。また、移動防止支持体１１a，１１ｂが、鏡の右側面４、及び左側面５に、それぞれ対向して配置されている。この移動防止支持体パッド１１a，１１ｂは、移動防止支持体１０と同様の構造であり、鏡１の±Ｘ方向の移動を制限するように配置されている。
【００１２】
さらに、上記補助位置決め支持体１２は、上側面３に２式、Ｙ軸に関して左右対称位置に配置されている。この補助位置決め支持体１２は、位置決め支持パッド９と同様の構造で、鏡１の±Ｚ方向の移動を制限するように配置されている。
【００１３】
なお、この実施の形態による鏡保持構造に関する部材の素材は、とくに材料に関する説明を述べていない箇所においては、この種の構造に一般に用いられている金属材料（ステンレス鋼、アルミ合金等）である。
また、鏡１の反射鏡は、石英ガラス、ガラスセラミック等、光学素子に一般的に用いられるガラス材料であり、高い反射効率と高い反射波面精度を維持するため、鏡面が高精度に研磨され、必要に応じて反射性能を高めるためのコーティングが施されている。
【００１４】
次に、上記各支持体７，８，９，１０，１１ａ，１１ｂ，１２の構成について詳述する。
図３は図１（ａ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った矢視拡大断面図であり、保持枠部材の保持枠下側部１３に取り付けられた重量支持体７の断面を示している。
重量支持体７は、保持枠下側部１３に形成された溝６ａの底面に当接した溝面パッド１４aと、同一面形状の平板４b,１４cが積層されて構成された積層パッドと、溝面パッド１４a、積層パッドに形成された貫通穴に挿入され貫通穴よりも僅かに長く上部に鍔部を有するカラー１６と、このカラー１６を貫通したネジ１５とを備えており、このネジ１５が保持枠下側部１３に螺着され、重量支持体７は保持枠下側部１３に固定されている。
溝面パッド１４a、平板１４b,１４cの材質は、金属やガラスに比較して軟らかい樹脂材料で構成されている。また、溝面パッド１４aが平板１４ｂと当接する当接面、平板１４b,１４cのそれぞれの両面は、平滑面である。
【００１５】
ここで用いる樹脂材料は、金属等に比較して軟らかいことに加えて、摩擦係数の小さく、かつ、磨耗しにくい材料、即ち、フッ化エチレン樹脂（商品名「テフロン（登録商標）」等）、ポリアセタール樹脂（商品名「ジュラコン」等）、ＭＣナイロン樹脂、ポリイミド樹脂（商品名「ベスペル」等）等を用いることが好ましい。
とりわけ、この鏡支持装置を真空環境で用いる場合には、樹脂材料からのアウトガスが相対的に少ないフッ化エチレン樹脂等が適している。
カラー１６はこれらの樹脂材料よりも硬い、金属製（ステンレス鋼、アルミ合金等）のものを用いる。
なお、重量支持体７における、平板は、最低限１枚でもよいが、この実施の形態のように、２枚、または３枚以上が望ましい。
【００１６】
図４は図１（ａ）におけるＩＶ−ＩＶ線に沿った矢視拡大断面図であり、位置決め支持体８の断面を示している。
この位置決め支持体８では、鏡１の下部裏面と保持枠部材の保持枠裏面部１７との間には、裏面パッド１８、この裏面パッド１８の面に重ねられ裏面パッド１８にネジ（図示せず）により固定された裏面パッド押さえ金具１９が設けられている。この裏面パッド押さえ金具１９の表面には、押しネジ２４の先端部が当接しており、この押しネジ２４により裏面パッド押さえ金具１９を＋Ｚ方向に押し込むようになっている。押しネジ２４の先端部は半球形状である。
鏡１の溝６ａ内には、裏面パッド１８と対向した溝側面パッド２０と、この溝側面パッド２０に当接した断面Ｌの字形状の溝側面パッド押さえ金具２１の短片部とが設けられている。この溝側面パッド押さえ金具２１の長片部は保持枠下側部１３の当て面２３に当接している。溝側面パッド押さえ金具２１は、当て面２３に押し当てられた位置で、固定ネジ２２によって、保持枠下側面部１３に固定されている。溝側面パッド押さえ金具２１にネジ（図示せず）で固定された溝側面パッド２０は、押しネジ２４による、裏面パッド１８を介しての押し付け力を受け止め、結果として、裏面パッド１８と溝側面パッド２０とによって鏡１を挟み込んでＺ方向の鏡１の位置を固定している。
【００１７】
重量支持体７及び位置決め支持体８は、それぞれが二式ずつあり、それぞれがＹ軸に関して左右対称に配置されているが、右側の重量支持体７と位置決め支持体８との間、及び左側の重量支持体７と位置決め支持体８との間は、それぞれ、互いの部品が干渉しない範囲においてできるだけ接近している。
【００１８】
図５は図１（ａ）におけるＶ−Ｖ線に沿った矢視拡大断面図であり、位置決め支持体９の断面を示している。
この図５における位置決め支持体９の構成は、図４に示した位置決め支持体８と同様の構成であり、取り付け方向が上下反転し、保持枠下側面部１３が保持枠上側面部２５に入れ替わった点が異なる。
また、位置決め支持体８と同様に、裏面パッド１８と溝側面パッド２０とによって鏡１を挟み込んでＺ方向の鏡１の位置を固定している。
【００１９】
図６は図１（ａ）におけるＶＩ−ＶＩ線に沿った矢視拡大断面図であり、移動防止支持体１０の断面を示している。
この移動防止支持体１０では、鏡１の溝６ｂ内には、溝面パッド２６と、この溝面パッド２６の上面にネジ（図示せず）により固定された押さえ金具２７とが設けられている。この押さえ金具２７の表面には、保持枠上側部２５を貫通した押しネジ２４の先端部が当接し、この押しネジ２４により押さえ金具２７を−Ｙ方向に押し込むようになっている。
この移動防止支持体１０では、鏡１を縦置きした状態で、僅かに溝面パッド２６が鏡１の溝６ｂの底面に押し当てられる状態、もしくは僅かな間隙を有する状態となるように押しネジ２４の押し込み量が調整されている。
【００２０】
図７は図１（ａ）におけるＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った矢視拡大断面図であり、移動防止支持体１１ａ，１１ｂの断面を示している。
この移動防止支持体１１ａ，１１ｂでは、鏡１の溝６ｄ内には、溝面パッド２６と、この溝面パッド２６の上面に重ねられた押さえ金具２７とが設けられている。この押さえ金具２７の表面には、保持枠左側部２８を貫通した押しネジ２４の先端部が当接しており、この押しネジ２４により押さえ金具２７を＋Ｘ方向に押し込むようになっている。
また、鏡１の溝６ｃ内には、溝面パッド２６と、この溝面パッド２６の上面に重ねられた押さえ金具２７とが設けられている。この押さえ金具２７の表面には、保持枠右側部２９を貫通した押しネジ２４の先端部が当接しており、この押しネジ２４により押さえ金具２７を−Ｘ方向に押し込むようになっている。
この移動防止支持体１１ａ，１１ｂでは、鏡１を縦置きした状態で、僅かにそれぞれの溝面パッド２６が鏡１の溝６ｃ，６ｄの底面に押し当てられる状態、もしくは僅かな間隙を有する状態となるように押しネジ２４の押し込み量が調整されている。
【００２１】
図８は、移動防止支持体１１ｂをＸ−Ｙ面に沿って切断したときの拡大断面図である。
押しネジ２４が押さえ金具２７を押し込むのと並行して、保持枠左側部２８に形成された穴３０を貫通する２本のガイドピン３１が、押さえ金具２７に螺着して固定されている。このガイドピン３１は、穴３０の径よりも細く、穴３０の内部で抵抗なく出し入れ可能な径寸法で構成されている。
なお、移動防止支持体１１ａも、移動防止支持体１１ｂと同様の構成である。
また、図６に示した移動防止支持体１０をＸ−Ｙ面に沿って切断したときの断面形状は、図８と同様であり、この移動防止支持体１０でも、同様に押しネジ２４の両側にガイドピン３１が設けられている。
【００２２】
図９は図１（ａ）におけるＩＸ−ＩＸに沿った矢視拡大断面図であり、補助位置決め支持体１２の断面を示している。
この補助位置決め支持体１２では、鏡１の上部裏面と保持枠裏面部１７との間には、裏面パッド１８、この裏面パッド１８に固定された裏面パッド押さえ金具１９が設けられている。この裏面パッド押さえ金具１９の表面には、押しネジ２４の先端部が当接しており、この押しネジ２４により裏面パッド押さえ金具１９を＋Ｚ方向に押し込むようになっている。
鏡１の溝６ｂ内には、裏面パッド１８と対向した溝側面パッド２０と、この溝側面パッド２０に当接した断面Ｌの字形状の溝側面パッド押さえ金具２１の短片部とが設けられている。
この溝側面パッド押さえ金具２１の長片部は保持枠上側部２５に当接している。押さえ金具２１は、固定ネジ２２によって、保持枠上側部２５に固定されている。溝側面パッド押さえ金具２１にネジ（図示せず）で固定された溝側面パッド２０は、押しネジ２４による、裏面パッド１８を介しての押し付け力を受け止め、結果として、裏面パッド１８と溝側面パッド２０とによって鏡１を挟み込んでＺ方向の鏡１の位置を固定している。
この補助位置決め支持体１２では、図４に示された当て面２３は設けられておらず、溝側面パット押さえ金具２１は、溝側面パット押さえ金具２１に形成された穴と固定ネジ２２との間のクリアランスの範囲内で自由な位置に固定することができる。
【００２３】
以上説明したように、上記構成の鏡支持装置によれば、鏡１を縦置き状態で保持する場合に、鏡１の自重（−Ｙ方向の荷重）は、下面に配置された重量支持体７の２箇所で確実に支持される。
また、鏡１の反射面位置（Ｚ方向位置）は、位置決め支持体８及び位置決め支持体９の合計３点で保持される、即ち空間上の３点により、平面を決定する原理に従い、鏡１を過不足無く保持される。
また、左右に配置された移動防止支持体１１ａ，１１ｂでＸ方向に拘束することにより、横方向の位置ずれ防止することができる。
また、移動防止支持体１０が鏡１の上面に一対配置されているので、輸送中やその他の外乱力により＋Ｙ方向に外乱荷重が作用した場合にも、Ｙ方向への鏡１のずれを防止することができる。
【００２４】
また、重量支持体７は、両面が共に平滑面で摩擦係数の小さい平板１４ｂ，１４ｃが積層された積層パッドを備えているので、−Ｙ方向の重量荷重を支えている場合においても、その支持点において±Ｘ方向、±Ｚ方向の外力に対する摩擦反力が極めて小さく、重量支持体７による外力に対する拘束作用は弱い。
従って、位置決め支持体８，９の合計３点で確定される平面内に鏡１を位置決め拘束するにあたって、重量支持体７の±Ｚ方向の摩擦反力が鏡１を歪ませる等の悪影響は極めて少ない。
【００２５】
ここで、単に摩擦係数の小さい単体の樹脂材料の平板を用いるだけでも、上記のような摩擦反力を軽減することは、ある程度可能ではある。
しかしながら、このものの場合には、平板と、この平板が当接する鏡１の側面（材料はガラスであり、側面は研磨されていないので面が粗いことが多い）、あるいは平板と、この平板と当接する保持枠部材（材料はアルミ合金などの金属材料であることが多い）との間で摩擦が生じるため、摩擦力低減効果は限られたものとなる。
【００２６】
これに対して、この実施の形態では、両面が共に平滑面で摩擦係数の小さい樹脂材料の平板１４ｂ，１４ｃを積層して用いることにより、平滑で摩擦係数の小さい平板同士の摩擦となり、単体の平板を用いた場合と比較して摩擦力の軽減が確実に得られる。
また、平板が３枚以上積層された積層パッドの場合には、個々の平板の面の摩擦力のばらつきが生じても、最も摩擦抵抗の小さい面が滑ることにより、摩擦力の低減効果がさらに確実に得られ、結果とし、重量支持体７全体としての摩擦力低減効果が非常に大きい。
また、この重量支持体７では、鏡１に当接する溝面パッド１４ａの当接面、保持枠下側部１３に当接する積層パッドの当接面は、ともに平面形状であり、鏡１の損傷を防止するための受圧面積は必要十分なだけ確保でき、接触面圧を軽減しつつ支持荷重を確保することができるので、極めて単純な構造で、所望の低摩擦機能を実現することができる。
【００２７】
また、重量支持体７と位置決め支持体８との間隔を、互いに干渉を生じない範囲で可能な限り近接して配置しているので、重量支持体７に僅かながら残留する±Ｚ方向の摩擦力と位置決め支持体８による±Ｚ方向の拘束力との間での作用・反作用で生ずる鏡１への曲げモーメント（作用力とパッド間距離との積により定まる量）を、非常に小さく抑えることができる。
即ち、重量支持体７の積層パッドによる積層構成によって低減されつつも残存する摩擦力があっても、それによる鏡１の変歪量を極めて小さい範囲に抑止することができる。
【００２８】
また、この実施の形態による移動防止支持体１１ａ，１１ｂは、調整可能な押しネジ２４を介して鏡１の両側面をそれぞれ±Ｘ方向に拘束しているので、重量支持体７、位置決め支持体８，９では拘束しきれない±Ｘ方向の鏡の位置ずれを拘束することができる。
【００２９】
ところで、この実施の形態の鏡支持装置で支持される鏡１は、レーザ応用等の目的で使用される鏡であり、要求される平面精度は極めて厳しいものであることが多く、鏡１に余分なストレス（外力）を加えることは好ましくない。
この移動防止支持体１１ａ，１１ｂは、押し込み量を調整可能な押しネジ２４で押さえ金具２７を押し当てる構造となっているので、鏡１の位置・寸法に合わせて、鏡１と溝面パッド２６との間の隙間がちょうどゼロとなる近傍で押しネジ２４を現物合わせにて固定することができ、鏡１に余分なストレスを加えずに±Ｘ方向の位置固定をすることができる。
【００３０】
ここで、押しネジ２４を調整して溝面パッド２６の出し入れを調整する際において、押しネジ２４に併設されたガイドピン３１が、穴径のクリアランスをもって保持枠左側部２８、保持枠右側部２９に貫通しているので、溝面パッド２６の位置が大きくずれたり外れたりすることを防止することができ、作業の容易性が確保できる。
【００３１】
また、この実施の形態による移動防止支持体１０，１１ａ，１１ｂは、鏡１を保持枠部材の内側に収めた状態で輸送する場合に特に効果を発揮する。
この鏡１は、縦置き状態、即ち、＋Ｙ方向が鉛直上向き、Ｘ，Ｚ方向が水平方向となる状態で、レーザ光の反射などの目的に運用されることが標準的であるが、輸送時には、Ｘ軸，Ｙ軸が水平方向、Ｚ軸が鉛直方向となる姿勢（以後、「水平姿勢」と呼称する）で輸送されることも多い。
保持枠部材内で鏡１を保持して、水平姿勢で輸送する場合において、外乱力が加わると、鏡１が±Ｘ，±Ｙ方向にずれようとすることがある。
このとき、重量支持体７が存在することにより−Ｙ方向へのずれは防止され、移動防止支持体１０が重量支持体７と対向して保持枠上側面部２５に配置されているので、＋Ｙ方向へのずれが防止される。
【００３２】
移動防止支持体１０の構造は、移動防止支持体１１ａ，１１ｂの構造と同一であり、輸送時に必要な場合は押しネジ２４の調整機能により溝面パッド２６が鏡１の溝６ｂの底面を押し当てて、鏡１の＋Ｙ方向へのずれが防止されている。
また、輸送後に鏡１を水平姿勢から運用状態に移行する場合には、押しネジ２４を引き戻して押しネジ２４による押し当て力を解放することができる。
このように、輸送時の安全性（ずれによる鏡１の破損等の防止）と、運用時の鏡１の反射面精度の確保とを両立させることができる。
【００３３】
また、補助位置決め支持体１２は、位置決め支持体８，９とほぼ同等の構造であるが、位置決め支持体８，９において保持枠下側部１３に形成された、押さえ金具２１の位置決め用の当て面２３が形成されていない。そのため、鏡１の裏面側、溝６ｂの内面側ともに裏面パッド１８、溝側面パッド２０の位置調整がそれぞれ可能である。
従って、元々３点で鏡１のＺ方向の位置拘束を行っている位置決め支持体８，９で決定される鏡１のＺ方向位置に対して、ちょうど適合する位置で溝側面パッド２０が鏡１に接触するように現物合わせ調整することが可能であり、所望すれば適当な押し当て量を設定することも可能である。
【００３４】
従って、水平姿勢で鏡１を輸送する場合には、裏面パッド１８、溝側面パッド２０を鏡１に接触させ、補助位置決め支持体１２と位置決め支持体８，９とを併用することにより、Ｚ方向に作用する重量荷重及び輸送にともなうＺ方向加速度荷重を分散して受け持つことができるので、局所的に荷重が集中して、強度が低く破損しやすいガラス材料でできている鏡１の鏡面が破損するのが防止される。
また、この補助位置決め支持体１２は、水平姿勢による鏡１の輸送が終了し、運用状態に移る際において、固定ネジ２２及び押しネジ２４を緩めることにより、鏡１との接触力を解放し、鏡１に余分なストレスが残留するのが防止される。
【００３５】
また、移動防止支持体１０，１１ａ，１１ｂにおいて、押しネジ２４で押さえ金具２７を押し込む場合に、押しネジ２４の先端部は半球状であるので、押しネジ２４の自在な傾きが可能となり、溝面パッド２６を鏡１に押し当てる際において、目的とする押し付け力以外のモーメントを鏡１に加えることを防止することができる。
【００３６】
なお、この押しネジ２４の先端部を半球状にすることは、他の支持体７，８，９，１２においても用いられており、移動防止支持体１０，１１ａ，１１ｂと同様の効果を得ることができる。
また、重量支持体７における、積層パッドによる積層構造は、他の支持体パッド８，９，１０，１１ａ，１１ｂ，１２にも適用することができ、これらの支持体８，９，１０，１１ａ，１１ｂ，１２も目的の方向の拘束力以外の余分な拘束力を発生させないという効果がある。
また、積層パッドを有する重量支持体７については、保持枠下側部の中間部に一個のみ設けてもよい。
【００３７】
また、上記構成の鏡支持装置では、真空中でのアウトガスが問題となるような材料、たとえば接着剤、ポッティング材、ゴム材等を用いる必要が無いので、真空中においてもそのまま使用できる。
従来の鏡支持装置では、鏡の変形を軽減したり、支持位置を拘束したりする場合において、これらのような、アウトガスが問題となる材料を用いなければならない場合がしばしば生じていたが、この発明ではそのようなアウトガス問題を解消することができる。
【００３８】
実施の形態２．
図１０は、この発明の実施の形態２に係る鏡支持装置を示す要部拡大断面図である。
この実施の形態の重量支持体７では、保持枠下側部１３と鏡１の溝６ａとの間に、上側玉保持枠部材３２a、下側玉保持枠部材３２b、複数の玉３３及びリテーナ３４が１ユニットとして設けられている。
玉３３の個数は少なくとも３個以上で、ステンレスなどの硬質材料で径が均一に揃ったものである。リテーナ３４は玉の直径よりも薄く、摩擦係数の低いフッ化エチレン系樹脂材料等で構成され、玉の位置を概略規制するように、穴をあけて玉を通した状態で３２a,３２bの間に挟まれた位置に配設されている。
他の構成は、実施の形態１の鏡支持装置と同じである。
【００３９】
この重量支持体７では、縦置き状態での鏡１の重量荷重（−Ｙ方向荷重）を支えながら、±Ｘ，±Ｚ方向には、玉が自在に転がることにより、摩擦反力が非常に小さい状態で微小移動することができ、積層パッドを配設した実施の形態１の重量支持体７と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】図１（ａ）はこの発明の実施の形態１による鏡支持装置を示す正面図、図１（ｂ）は図１（ａ）の平面図、図１（ｃ）は図１（ａ）の側面図である。
【図２】図２（ａ）は図１の鏡の正面図、図２（ｂ）は図２（ａ）の平面図、図２（ｃ）は図２（ａ）の右側面図である。
【図３】図１（ａ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った矢視拡大断面図である。
【図４】図１（ａ）のＩＶ−ＩＶ線に沿った矢視拡大断面図である。
【図５】図１（ａ）のＶ−Ｖ線に沿った矢視拡大断面図である。
【図６】図１（ａ）のＶＩ−ＶＩ線に沿った矢視拡大断面図である。
【図７】図１（ａ）のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った矢視拡大断面図である。
【図８】移動防止支持体をＸ−Ｙ面に沿って切断したときの拡大断面図を示す。
【図９】図１におけるＩＸ−ＩＸに沿った矢視拡大断面図である。
【図１０】この発明の実施の形態２による鏡支持装置の要部拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  鏡、２  下側面、３  上側面、４  右側面、５  左側面、６  溝、７  重量支持体、８，９  位置決め支持体、１０，１１ａ，１１ｂ  補助位置決め支持体、１２  補助位置決め支持体、１３  保持枠下側部、１４ａ  溝面パッド（パッド）、１４ｂ，１４ｃ  平板、１５  パッド固定ネジ、１６  カラー、１７  保持枠裏面部、１８  裏面パッド、１９  裏面パッド押さえ金具、２０  溝側面パッド、２１  溝側面パッド押さえ金具、２２  固定ネジ、２３  当て面、２４  押しネジ、２５  保持枠上側面部、２６  溝面パッド、２７  押さえ金具、２８  保持枠左側部、  ２９  保持枠右側部、  ３０  穴、  ３１  ガイドピン、３２  玉保持枠部材、３３  玉、  ３４  リテーナ。
【図１】
0005121357.tif 000002
【図２】
0005121357.tif 000003
【図３】
0005121357.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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