(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高剛性材料で形成された気密性を有する二つのケーシングと、前記ケーシングに連通して設けられた流入経路及び流出経路と、前記ケーシングの容積を増加・減少させるため前記ケーシングの一部に膨縮可能に設けられた可動部と、前記可動部に付設された磁性体と、前記磁性体と共に前記可動部を膨縮運動させるために設けられた電磁石と、前記可動部の膨縮運動による前記ケーシングの容積の増加・減少に伴い前記流入経路を開放・閉止する弁体及び前記流出経路を閉止・開放する弁体と、を備え、
二つの前記ケーシングは平面視形状が円形をなす略円錐台形状の部材であり、
前記可動部は、高剛性材料で形成された円板形状の隔壁部と、前記隔壁部の周縁と前記ケーシングとを気密状に連接するドーナツ形状の伸縮性を有する隔膜と、で形成され、
前記隔壁部と前記隔膜との境界及び前記隔膜と前記ケーシングとの境界をいずれも円形とし、
二つの前記ケーシングをそれぞれの前記可動部同士が対向する状態で配置し、二つの前記可動部の両方に付設され、一体化された状態で前記磁性体を設け、
一方の前記ケーシングの前記可動部と対向する当該ケーシングの上面の中央部分に電磁石を配置し、他方の前記ケーシングの前記可動部と対向する当該ケーシングの下面の中央部分に電磁石を配置したことを特徴とする流体送給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体、液体あるいはこれらと他の物質との混合流体などの送給手段として使用する流体送給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁力の変化によって振動する磁性体を駆動源とした流体送給装置については、従来、種々の形式が提案されているが、本願発明に関連するものとして、特許文献１記載の電磁振動ポンプがある。この電磁振動ポンプは、非磁性体からなる管体内に緩挿された二つの磁性振動子と、これらの振動子を作動させるため管体の両側の外周部に設けられた二つの空芯電磁コイルと、を備えたものである。
【０００３】
この電磁振動ポンプの場合、高い周波数の交流電流やパルス電流を二つの空芯電磁コイルに通電することによって生じる磁力を二つの振動子に作用させると、これらの振動子が高速振動するので、多くの吐出量を確保することができる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−５７６１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１記載の電磁振動ポンプは、その作動中、振動子に内蔵された磁性体に設けられた漏斗状中空部内を流体が通過する構成となっているため、固形物を含有しない液体や気体あるいは気液混合流体の送給手段として使用する限り、問題は生じない。しかしながら、微細な粉状体や塵埃などの固形物を含む流体の送給手段として使用すると、これらの物質が記漏斗状中空部内に付着したり、堆積したりして、比較的短期間のうちにポンプ機能が低下する。
【０００６】
また、微細な粉状体や塵埃などが管体と振動子との隙間などに侵入した状態で高速振動すると、互いに摺動し合う管体内周面や振動子外周面が急速に摩耗することがあるため、耐久性に乏しい。さらに、前記漏斗状中空部内などに微細な粉状体や塵埃などが付着、堆積すると、これらを清掃除去するのが困難である。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、微細な粉状体や塵埃などが混在した流体を安定的に送給することができ、運転音が静かで、耐久性にも優れた流体送給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の流体送給装置は、高剛性材料で形成された気密性を有する二つのケーシングと、前記ケーシングに連通して設けられた流入経路及び流出経路と、前記ケーシングの容積を増加・減少させるため前記ケーシングの一部に膨縮可能に設けられた可動部と、前記可動部に付設された磁性体と、前記磁性体と共に前記可動部を膨縮運動させるために設けられた電磁石と、前記可動部の膨縮運動による前記ケーシングの容積の増加・減少に伴い前記流入経路を開放・閉止する弁体及び前記流出経路を閉止・開放する弁体と、を備え、
二つの前記ケーシングは平面視形状が円形をなす略円錐台形状の部材であり、
前記可動部は、高剛性材料で形成された円板形状の隔壁部と、前記隔壁部の周縁と前記ケーシングとを気密状に連接するドーナツ形状の伸縮性を有する隔膜と、で形成され、
前記隔壁部と前記隔膜との境界及び前記隔膜と前記ケーシングとの境界をいずれも円形とし、
二つの前記ケーシングをそれぞれの前記可動部同士が対向する状態で配置し、二つの前記可動部の両方に付設され、一体化された状態で前記磁性体を設け、
一方の前記ケーシングの前記可動部と対向する当該ケーシングの上面の中央部分に電磁石を配置し、他方の前記ケーシングの前記可動部と対向する当該ケーシングの下面の中央部分に電磁石を配置したことを特徴とする。ここで、「膨縮可能」とは、ケーシングが膨張する方向に突出したり、収縮する方向に凹んだりすることが可能であることをいう。
【０００９】
電磁石に発生する磁力により磁性体と共に可動部を膨縮運動させ、ケーシングの容積を増加・減少させると、二つの弁体が交互に開閉してケーシング内の圧力が減少・増加することにより、流入経路に吸引作用が発生し、流出経路に排出作用が発生する。このため、流入経路から吸い込まれた流体は、ケーシング内を経由して、流出経路から排出される。このとき、流体の流動経路中には狭隘な部分や摺動部分がないので、流体中に含まれる塵埃などが流動経路中に付着、堆積して、流体送給機能が低下したり、部材の摩耗が生じたりすることがない。従って、微細な粉状体や塵埃などが混在した流体を安定的に送給することができ、動作音が静かで、耐久性にも優れている。
【００１０】
ここで、前記可動部を、高剛性材料で形成された隔壁部と、前記隔壁部の周縁と前記ケーシングとを気密状に連接する伸縮性を有する隔膜と、で形成したことにより、前記隔膜の伸縮作用により高剛性の隔壁部は変形することなく膨縮方向に往復移動可能となり、ケーシングの容積を確実に増減させることができるため、強力な吸引作用及び排出作用を得ることができる。
【００１１】
また、前記隔壁部と前記隔膜との境界及び前記隔膜と前記ケーシングとの境界がいずれも円形をなすようにしたことにより、前記隔壁部と前記隔膜との境界及び前記隔膜と前記ケーシングとの境界に、応力が集中し易い角部が存在しなくなるため、前記隔壁部の往復運動に伴う前記隔膜の損傷を防止することができ、耐久性向上に有効である。
【００１２】
一方、二つの前記ケーシングをそれぞれの前記可動部同士が対向する状態で配置し、二つの前記可動部に付設された前記磁性体を一体化させているので、構造の複雑化を抑制しながら、流体送給機能の増大を図ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により、微細な粉状体や塵埃などが混在した流体を安定的に送給することができ、運転音が静かで、耐久性にも優れた流体送給装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の第１実施形態である流体送給装置を示す平面図、図２は図１に示す流体送給装置の正面図、図３は図１におけるＡ−Ａ線断面図、図４及び図５は図１に示す流体送給装置の動作状態を示す断面図である。
【００１５】
図１〜図３に示すように、本実施形態の流体送給装置１０は、高剛性材料で形成された気密性を有するケーシング１１ｘ，１１ｙと、それぞれのケーシング１１ｘ，１１ｙに連通して設けられた流入経路１２ａ，１２ｂ及び流出経路１３ａ，１３ｂと、ケーシング１１ｘ，１１ｙの容積を増加・減少させるためケーシング１１ｘ，１１ｙの一部に膨縮可能に設けられた可動部１４ａ，１４ｂと、可動部１４ａ，１４ｂに付設された磁性体である磁石１５と、磁石１５と共に可動部１４ａ，１４ｂを膨縮運動させるために設けられた電磁石１６ａ，１６ｂと、可動部１４ａ，１４ｂの膨縮運動によるケーシング１１ｘ，１１ｙの容積の増加・減少に伴い流入経路１２ａ，１２ｂを開放・閉止する弁体１２ａｖ，１２ｂｖ及び流出経路１３ａ，１３ｂを閉止・開放する弁体１３ａｖ，１３ｂｖと、を備えている。
【００１６】
また、電磁石１６ａ，１６ｂと制御装置１７との間に、それぞれ給電コード１８ａ，１８ｂが配線され、制御装置１７の電源コード１９が商用電源（ＡＣ１００Ｖ）に接続されている。制御装置１７は、パイロットランプ１７ａ、電源スイッチ１７ｂ及び調節ダイヤル１７ｃを備えている。電源スイッチ１７ｂは、電磁石１６ａ，１６ｂへの給電を開始・停止するためのスイッチであり、パイロットランプ１７ａは電源スイッチ１７ｂがＯＮ状態のときに点灯するランプであり、調節ダイヤル１７ｃは、電磁石１６ａ，１６ｂへ供給される交流電流の周波数を増減させるためのものである。
【００１７】
二つのケーシング１１ｘ，１１ｙは略円錐台形状の部材であり、これらのケーシング１１ｘ，１１ｙは、それぞれの可動部１４ａ，１４ｂ同士が対向する状態で配置され、二つの可動部１４ａ，１４ｂ両方に付設された状態で磁石１５が付設されている。即ち、それぞれの可動部１４ａ，１４ｂに個別に付設されるべき磁石を一体化した状態で磁石１５が設けられている。また、二つのケーシング１１ｘ，１１ｙの可動部１４ａ，１４ｂ側の周縁同士を気密状に連接することにより、一体構造をなす本体ケーシング１１が形成されている。
【００１８】
図１に示すように、平面視形状が円形をなす本体ケーシング１１の上面（可動部１４ａと対向する面）の中央部分に電磁石１６ａが配置され、この電磁石１６ａを挟んで１８０度対向する位置に流入経路１２ａ、流出経路１３ａが接続されている。また、図３に示すように、本体ケーシング１１の下面（可動部１４ｂと対向する面）の中央部分に電磁石１６ｂが配置され、この電磁石１６ｂを挟んで１８０度対向する位置にそれぞれ流入経路１２ｂ、流出経路１３ｂが接続されている。
【００１９】
可動部１４ａ，１４ｂは、高剛性材料で形成された隔壁部１４ａｐ，１４ｂｐと、隔壁部１４ａｐ，１４ｂｐの周縁とケーシング１１ｘ，１１ｙとを気密状に連接する伸縮性を有する隔膜１４ａｓ，１４ｂｓと、で形成されている。隔壁部１４ａｐ，１４ｂｐは円板形状の部材であり、それぞれの周縁とケーシング１１ｘ，１１ｙの内周面とを連接する隔膜１４ａｓ，１４ｂｓはドーナツ形状の膜部材である。従って、隔壁部１４ａｐ，１４ｂｐと隔膜１４ａｓ，１４ｂｓとの境界及び隔膜１４ａｓ，１４ｂｓとケーシング１１ｘ，１１ｙとの境界はいずれも円形をなしている。
【００２０】
次に、図４，図５に基づいて、流体送給装置１０の動作について説明する。図４，図５は図１に示す流体送給装置の動作状態を示す断面図である。図４に示すように、制御装置１７の電源コード１９を商用電源に接続し、電源スイッチ１７ｂをＯＮすると、給電コード１８ａ，１８ｂを介して電磁石１６ａ，１６ｂへ交流電流が供給され、電磁石１６ａ，１６ｂに極性が周期的に変化する磁力が発生する。一方、可動部１４ａ，１４ｂを構成する隔壁部１４ａｐ，１４ｂｐの間には極性が一定な永久磁石１５が配置されているため、電磁石１６ａ，１６ｂの極性が周期的に変化すると、電磁石１６ａ，１６ｂと磁石１５との間には吸引力と反発力が交互に発生し、これによって可動部１４ａ，１４ｂが連動して上下運動を行う。
【００２１】
本実施形態の場合、図４に示すように、上方の電磁石１６ａのケーシング側端部にＳ極が発生したとき、同時に、下方の電磁石１６ｂのケーシング側端部にもＳ極が発生するように設定されているため、電磁石１６ａ，１６ｂと磁石１５との間に生じる吸引力、反発力により磁石１５は可動部１４ａ，１４ｂとともに上方へ移動する。これにより、ケーシング１１ｘの容積が収縮し、弁体１２ａｖが閉じて流入経路１２ａが閉塞されるとともに、弁体１３ａｖが開いて流出経路１３ａが開放される。これと同時に、ケーシング１１ｙの容積が増大し、弁体１２ｂｖが開いて流入経路１２ｂが開放されるとともに、弁体１３ｂｖが閉じて流出経路１３ｂが閉塞される。
【００２２】
一方、図５に示すように、上方の電磁石１６ａのケーシング側端部にＮ極が発生したとき、同時に、下方の電磁石１６ｂのケーシング側端部にもＮ極が発生するように設定されているため、電磁石１６ａ，１６ｂと磁石１５との間に生じる反発力、吸引力により磁石１５は可動部１４ａ，１４ｂとともに下方へ移動する。これにより、ケーシング１１ｘの容積が増大し、弁体１２ａｖが開いて流入経路１２ａが開放されるとともに、弁体１３ａｖが閉じて流出経路１３ａが閉塞される。これと同時に、ケーシング１１ｙの容積が減少し、弁体１２ｂｖが閉じて流入経路１２ｂが閉塞されるとともに、弁体１３ｂｖが開いて流出経路１３ｂが開放される。
【００２３】
このように、電磁石１６ａ，１６ｂに発生する磁力により、磁石１５と共に可動部１４ａ，１４ｂを上下往復運動（膨縮運動）させ、ケーシング１１ｘ，１１ｙの容積を増加・減少させると、弁体１２ａｖ，１３ａｖ及び弁体１２ｂｖ，１３ｂｖがそれぞれ交互に開閉し、ケーシング１１ｘ，１１ｙ内の圧力が減少・増加することにより、流入経路１２ａ，１２ｂに吸引作用が発生し、流出経路１３ａ，１３ｂに排出作用が発生する。
【００２４】
このため、流入経路１２ａ，１２ｂから吸い込まれた流体はそれぞれケーシング１１ｘ，１１ｙ内を経由して、流出経路１３ａ，１３ｂから排出される。このとき、流体の流動経路中に狭隘な部分や摺動部分がないので、流体中に含まれる塵埃などが、流入経路１２ａ，１２ｂ、ケーシング１１ｘ，１１ｙの内部空間１１ａ，１１ｂあるいは流出経路１３ａ，１３ｂなどに付着、堆積して、ポンプ機能を低下させたり、部材の摩耗が生じたりすることがない。従って、流体送給装置１０は、微細な粉状体や塵埃などが混在した流体を安定的に送給することができ、運転音が静かで、耐久性にも優れている。
【００２５】
また、制御装置１７の調節ダイヤル１７ｃを操作すると、電磁石１６ａ，１６ｂへ供給される交流電流の周波数が変化するため、電磁石１６ａ，１６ｂの極性変化の周期が変化し、可動部１４ａ，１４ｂの往復速度（単位時間当たりの往復回数）が変化する。従って、調節ダイヤル１７ｃを操作することにより、流体送給装置１０の送給流量を調節することができる。なお、電磁石１６ａ，１６ｂへ供給する電流は交流に限定しないので、極性が変化するパルス電流であっても良い。また、電磁石１６ａ，１６ｂに供給される電流の極性を可動部１４ａ，１４ｂの往復運動に伴って交互に変更する機構を設ければ、直流電源で稼働させることもできる。
【００２６】
一方、流体送給装置１０を構成する流入経路１２ａ，１２ｂ、ケーシング１１ｘ，１１ｙ、流出経路１３ａ，１３ｂ及び可動部１４ａ，１４ｂを耐酸性や耐塩基性に優れた合成樹脂材料などで形成すれば、金属を侵す性質を有する流体（例えば、硫酸、塩酸など）あるいは金属イオンの溶出などによる悪影響を避けたい流体の送給手段としても好適に使用することができるようになる。
【００２７】
また、流体送給装置１０の可動部１４ａ，１４ｂは、高剛性材料で形成された隔壁部１４ａｐ，１４ｂｐと、隔壁部１４ａｐ，１４ｂｐの周縁とケーシング１１ｘ，１１ｙとを気密状に連接する伸縮性の隔膜１４ａｓ，１４ｂｓとで形成している。従って、隔膜１４ａｓ，１４ｂｓの伸縮作用により、隔壁部１４ａｐ，１４ｂｐは変形することなく膨縮方向に往復可能であり、ケーシング１１ｘ，１１ｙの容積を確実に増減させることができる。このため、流体送給装置１０は強力な吸引作用及び排出作用を発揮する。
【００２８】
さらに、隔壁部１４ａｐ，１４ｂｐと隔膜１４ａｓ，１４ｂｓとの境界及び隔膜１４ａｓ，１４ｂｓとケーシングケーシング１１ｘ，１１ｙとの境界はいずれも滑らかな閉曲線である円形をなしている。従って、隔壁部１４ａｐ，１４ｂｐと隔膜１４ａｓ，１４ｂｓとの境界及び隔膜１４ａｓ，１４ｂｓとケーシングケーシング１１ｘ，１１ｙとの境界に、応力が集中し易い角部が存在しない。このため、隔壁部１４ａｐ，１４ｂｐの往復運動による隔膜１４ａｓ，１４ｂｓに損傷が発生し難く、耐久性に優れている。
【００２９】
一方、流体送給装置１０は、二つのケーシング１１ｘ，１１ｙは、それぞれの可動部１４ａ，１４ｂ同士が対向する状態で配置され、二つの可動部１４ａ，１４ｂ両方に付設された状態で一つの磁石１５が付設された構成である。このため、構造の複雑化を招くことなく、流体送給機能を増大させることができる。
【００３０】
次に、図６〜図９に基づき、本発明の第２実施形態について説明する。図６は本発明の第２実施形態である流体送給装置を示す断面図、図７は図６に示す流体送給装置を構成する極性切替機構を示す図、図８，図９は図６に示す流体送給装置の動作状態を示す断面図である。なお、図６〜図９中において図１〜図７と同符号を付している部分は前述した流体送給装置１０の構成部分と同じ構造、機能を有する部分であり、説明を省略する。
【００３１】
図６に示すように、本実施形態の流体送給装置２０は直流電流によって作動するものであり、前述した流体送給装置１０の制御装置１７に代わる電源装置２７と、極性切替機構２１と、を備えている。電源装置２７は、商用電源に接続された電源コード１９を経由して入力される交流電流を直流電流に変換して給電コード２７ｍ，２７ｐから出力する。また、極性切替機構２１と電磁石１６ａとを給電コード２８ａで接続し、電磁石１６ａと電磁石１６ｂとの間を給電コード２８ｂで接続し、電磁石１６ｂと極性切替機構２１との間を給電コード２８ｃで接続することにより、直列回路が形成されている。
【００３２】
図６に示すように、極性切替機構２１は、その極性切替アーム２２の先端部２２ａ側が本体ケーシング１１内の隔膜１４ａｓ，１４ｂｓの間に位置する状態で本体ケーシング１１に取り付けられている。図７に示すように、極性切替機構２１は、支持部２２ｂに正逆回動可能に軸支され極性切替アーム２２と、極性切替アーム２２の正逆回動に伴って支持部２２ｂを中心に正逆交互に回動する作動部２２ｃと、作動部２２ｃの回動により往復移動する可動電極２８ｘ，２８ｙと、給電コード２７ｍ，２７ｐに接続された固定電極２７ｘ，２７ｙ，２７ｚと、を備えている。
【００３３】
本体ケーシング１１内の可動部１４ａ，１４ｂの往復移動に伴って動く隔膜１４ａｓ，１４ｂｓが極性切替アーム２１の先端部２２ａに接触することにより、極性切替アーム２２の正逆回動する。この場合、極性切替アーム２２は、図７（ａ），（ｂ）の何れか一方のみの状態で静止するように付勢されているため、途中の状態で静止することはない。
【００３４】
図７（ａ）に示す状態では、固定電極２７ｘと可動電極２８ｘとが導通するとともに固定電極２７ｙと可動電極２８ｙとが導通し、図７（ｂ）に示す状態では、固定電極２７ｙと可動電極２８ｘとが導通するとともに固定電極２７ｚと可動電極２８ｙとが導通する。
【００３５】
図７（ａ）の状態において、電源スイッチ２７ｂをＯＮすると、パイロットランプ２７ａが点灯し、電源装置２７から給電コード２７ｍ、極性切替機構２１、給電コード２８ａ、電磁石１６ａ、給電コード２８ｂ、電磁石１６ｂ、給電コード２８ｃ、極性切替機構２１及び給電コード２７ｐを経由して電源装置２７へ戻る直流電流が流れる。これにより、電磁石１６ａ，１６ｂには図８に示す極性の磁力が発生するため、電磁石１６ａ，１６ｂと磁石１５との間に生じる吸引力、反発力により磁石１５は可動部１４ａ，１４ｂとともに上方へ移動する。
【００３６】
これにより、ケーシング１１ｘの容積が収縮し、弁体１２ａｖが閉じて流入経路１２ａが閉塞されるとともに、弁体１３ａｖが開いて流出経路１３ａが開放される。これと同時に、ケーシング１１ｙの容積が増大し、弁体１２ｂｖが開いて流入経路１２ｂが開放されるとともに、弁体１３ｂｖが閉じて流出経路１３ｂが閉塞される。
【００３７】
一方、可動部１４ａ，１４ｂとともに隔膜１４ａｓ，１４ｂｓが上方へ移動するとき、隔膜１４ｂｓが極性切替アーム２２の先端部２２ａに当接して極性切替アーム２２を回動させるため、極性切替機構２１は図７（ｂ）に示す状態に変化する。これにより、可動電極２８ｘ，２８ｙに印加される直流の極性が逆となるため、前述と逆方向に直流電流が流れ、電磁石１６ａ，１６ｂに発生する磁力の極性は図９に示す状態に変化する。従って、電磁石１６ａ，１６ｂと磁石１５との間に生じる吸引力、反発力により磁石１５は可動部１４ａ，１４ｂとともに下方へ移動する。このとき、隔膜１４ａｓが極性切替アーム２２の先端部２２ａに当接して極性切替アーム２２を回動させるため、極性切替機構２１は再び図７（ａ）に示す状態に変化する。以下、このような可動部１４ａ，１４ｂの移動及び電磁石１６ａ，１６ｂに発生する磁力の極性変化が反復される。
【００３８】
このように、可動部１４ａ，１４ｂとともに移動する隔膜１４ａｓ，１４ｂｓと当接することによって回動する極性切替アーム２２により、電磁石１６ａ，１６ｂに流れる直流電流の向きが交互に変化するため、磁石１５と共に可動部１４ａ，１４ｂは上下往復運動（膨縮運動）する。これによって、ケーシング１１ｘ，１１ｙの容積が増加・減少し、弁体１２ａｖ，１３ａｖ及び弁体１２ｂｖ，１３ｂｖがそれぞれ交互に開閉し、ケーシング１１ｘ，１１ｙ内の圧力が減少・増加することにより、流入経路１２ａ，１２ｂに吸引作用が発生し、流出経路１３ａ，１３ｂに排出作用が発生する。従って、流入経路１２ａ，１２ｂから吸い込まれた流体はそれぞれケーシング１１ｘ，１１ｙ内を経由して、流出経路１３ａ，１３ｂから排出される。なお、電源装置２７は、調節ダイヤル２７ｃを回動操作すると出力電圧が昇降する機能を有するため、調節ダイヤル２７ｃの回動操作によって流体送給装置２０の送給能力を増減させることもできる。
【００３９】
流体送給装置２０は整流機能を有する電源装置２７を具備しているため、商用電源を用いて作動させることができるが、電源装置２７の代わりに、乾電池や蓄電池などの直流電源を用いて作動させることもできる。このため、商用電源設備のない場所での使用も可能であり、利便性に優れている。その他の部分の構造、機能などは流体送給装置１０と同様である。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明の流体送給装置は、気体、液体あるいはこれらと他の物質との混合流体などの送給手段、例えば、換気扇、送風機、掃除機などとして、広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第１実施形態である流体送給装置を示す平面図である。
【図２】図１に示す流体送給装置の正面図である。
【図３】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図１に示す流体送給装置の動作状態を示す断面図である。
【図５】図１に示す流体送給装置の動作状態を示す断面図である。
【図６】本発明の第２実施形態である流体送給装置を示す断面図である。
【図７】図６に示す流体送給装置を構成する極性切替機構を示す図である。
【図８】図６に示す流体送給装置の動作状態を示す断面図である。
【図９】図６に示す流体送給装置の動作状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０，２０  流体送給装置
１１  本体ケーシング
１１ａ，１１ｂ  内部空間
１１ｘ，１１ｙ  ケーシング
１２ａ，１２ｂ  流入経路
１２ａｖ，１２ｂｖ，１３ａｖ，１３ｂｖ  弁体
１３ａ，１３ｂ  流出経路
１４ａ，１４ｂ  可動部
１４ａｐ，１４ｂｐ  隔壁部
１４ａｓ，１４ｂｓ  隔膜
１５  磁石
１６ａ，１６ｂ  電磁石
１７  制御装置
１７ａ，２７ａ  パイロットランプ
１７ｂ，２７ｂ  電源スイッチ
１７ｃ，２７ｃ  調節ダイヤル
１８ａ，１８ｂ，２７ｍ，２７ｐ，２８ａ，２８ｂ，２８ｃ  給電コード
１９  電源コード
２１  極性切替機構
２２  極性切替アーム
２２ａ  先端部
２２ｂ  支持部
２２ｃ  作動部
２７  電源装置
２７ｘ，２７ｙ，２７ｚ  固定電極
２８ｘ，２８ｙ  可動電極
【図１】
0005121483.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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