(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リフロー装置であって、
複数の対象物を同時に保管するローダーユニットと、
前記対象物に提供されたソルダーボールをリフローするために、誘導加熱方式で前記対象物を加熱する加熱ユニットと、
前記ローダーユニットから前記対象物を前記加熱ユニットへ移動させる移動ユニットと、
前記加熱ユニットでリフローの完了した前記対象物を保管するアンローダーユニットと、
前記対象物を互いに積層されるように収納するマガジンと、を備え、
前記ローダーユニットは、
前記加熱ユニットに流入する対象物が収納された前記マガジンが置かれる入力モジュールと、
前記マガジンを保管する複数の収納空間を有する入力スタッカと、を更に備え、
前記加熱ユニットは、その長さ方向が第１方向に配置され、
前記入力モジュールは、その長さ方向が前記第１方向に垂直な第２方向に配置され、前記入力モジュールの前方領域は、前記加熱ユニットの一側と隣接するように配置され、
前記入力スタッカは、前記入力モジュールを基準に前記加熱ユニットと同じ側方向に前記入力モジュールの後方領域と隣接するように配置されることを特徴とするリフロー装置。
【請求項２】
前記ローダーユニットは、
前記入力スタッカを上下方向へ移動するスタッカ移動部材と、
前記入力スタッカの収納空間に保管された前記マガジンを前記入力モジュールに移動する運搬部材と、を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項３】
前記アンローダーユニットは、前記加熱ユニットから流出した前記対象物を収納するための前記マガジンが置かれる出力モジュールと、
リフローの完了した前記対象物が収納されたマガジンを保管する複数の収納空間を有する出力スタッカと、
前記出力モジュールに流出した前記マガジンを前記出力スタッカの前記収納空間へ移動させる運搬部材と、を更に備え、
前記出力モジュールは、その長さ方向が前記第１方向に垂直な第２方向に配置され、前記出力モジュールの前方領域は、前記加熱ユニットの他側と隣接するように配置され、前記出力モジュールは、前記入力モジュールと対向するように位置し、
前記出力スタッカは、前記出力モジュールを基準に前記加熱ユニットと同じ側方向に前記出力モジュールの後方領域と隣接するように配置されることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項４】
前記入力モジュールは、前記入力スタッカから前記入力モジュールの後方領域へ移動したマガジンを前記入力モジュールの前方領域へ移動させる駆動器を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項５】
前記移動ユニットは、
前記入力モジュールと隣接した位置から前記加熱ユニット内の加熱部材により加熱される領域を通るように延び、かつ互いに離隔されるように配置される１対のレールと、
前記入力モジュールに置かれた前記マガジン内に収納された前記対象物を前記マガジンから取り出して、前記レールに沿って移動させる移動部材と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項６】
前記レールの各々には、その長さ方向に沿って前記対象物のエッジ領域が挿入されるスリット形状の溝が形成されることを特徴とする請求項５に記載のリフロー装置。
【請求項７】
前記レールの各々には、複数の前記スリット形状の溝が提供され、前記溝は、互いに上下方向に離隔されるように形成されることを特徴とする請求項６に記載のリフロー装置。
【請求項８】
前記移動ユニットは、
前記入力モジュールと隣接した位置から前記加熱ユニット内の加熱部材により加熱される領域を通るように延び、かつ互いに離隔されるように配置される１対のレールと、
前記入力モジュールに置かれたマガジンを前記１対のレールに沿って移動させる前記移動部材と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項９】
前記マガジンは、外側方向に突出したガイド突起を含み、
前記１対のレールの各々には、その長さ方向に沿って前記ガイド突起が挿入されるスリット形状の溝が形成されることを特徴とする請求項８に記載のリフロー装置。
【請求項１０】
前記マガジンは、非金属材質であることを特徴とする請求項８に記載のリフロー装置。
【請求項１１】
前記移動部材は、
前記加熱ユニット内に水平方向へ移動可能に提供される移動バーと、
前記移動バーに対して上下方向へ移動できるように前記移動バーに結合され、前記マガジン内の対象物を前記マガジンから取り出す引込みフィンガーと、
前記移動バーに対して上下方向へ移動できるように前記移動バーに結合され、前記引込みフィンガーと一定距離が離隔されて加熱が完了した対象物を前記加熱ユニットから送りだす引出しフィンガーと、を備えることを特徴とする請求項５に記載のリフロー装置。
【請求項１２】
前記リフロー装置は、前記移動ユニットを複数備え、前記移動ユニットは、互いに水平方向に並べて配置され、
各々の前記移動ユニットは、
前記入力モジュールと隣接した位置から前記加熱ユニット内の加熱部材により加熱される領域を通るように延び、かつ互いに離隔されるように配置される１対のレールと、
前記入力モジュールに置かれた前記マガジン内に収納された対象物を前記マガジンから取り出して前記１対のレールに沿って移動させる移動部材と、を備え、
前記加熱部材は、前記１対のレールの各々に対応するように複数提供されることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項１３】
前記リフロー装置は、前記移動ユニットを複数備え、前記移動ユニットは、互いに水平方向に並べて配置され、
各々の前記移動ユニットは、
前記入力モジュールと隣接した位置から前記加熱ユニット内の加熱部材により加熱される領域を通るように延び、かつ互いに離隔されるように配置される１対のレールと、
前記入力モジュールに置かれた前記マガジン内に収納された前記対象物を前記マガジンから取り出して前記１対のレールに沿って移動させる移動部材と、を備え、
前記加熱部材は、複数の前記移動ユニットの前記１対のレールに置かれた対象物を同時に加熱するように、上部から眺める時に前記１対のレール全体を横切るように配置されることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項１４】
前記リフロー装置は、前記移動ユニットを複数備え、前記移動ユニットは、互いに水平方向に並べて配置され、
各々の前記移動ユニットは、
前記入力モジュールと隣接した位置から前記加熱ユニット内の加熱部材により加熱される領域を通るように延び、かつ互いに離隔されるように配置される１対のレールと、
前記入力モジュールに保管された前記マガジン内に収納された前記対象物を前記マガジンから取り出して前記１対のレールに沿って移動させる前記移動部材と、を備え、
前記加熱部材は、上部から眺める時に複数の前記１対のレールの間に移動できるように提供されることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項１５】
前記加熱ユニットは、加熱部材を備え、
前記加熱部材は、
コイルと、
前記コイルに交流電流を印加する電源と、
前記コイル又は前記対象物を回転させる回転部材と、を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項１６】
前記回転部材は、前記コイル又は前記対象物を同一平面上で回転させるように提供されることを特徴とする請求項１５に記載のリフロー装置。
【請求項１７】
前記回転部材は、前記コイルと前記対象物との間の角度が変化するように前記コイル又は前記対象物を回転させるように提供されることを特徴とする請求項１５に記載のリフロー装置。
【請求項１８】
前記加熱ユニットは、加熱部材を備え、
前記加熱部材は、
前記対象物に対して傾斜するように固設されるコイルと、
前記コイルに交流電流を印加する電源と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項１９】
前記リフロー装置は、前記加熱ユニット内の加熱部材により加熱される前記対象物を撮像する赤外線カメラと、撮像結果を表示するディスプレイを更に備えることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項２０】
前記マガジンは、前記対象物として半導体チップのマウントされたプリント回路基板を収納できる形状からなることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項２１】
前記マガジンは、前記対象物としてソルダーボールの接着された半導体チップを収納できる形状からなることを特徴とする請求項１に記載のリフロー装置。
【請求項２２】
複数の対象物を同時に保管するローダーユニット、前記対象物を加熱する加熱部材を有する加熱ユニット、前記対象物を前記加熱ユニットへ移動させる移動ユニット、及びリフローの完了した前記対象物を保管するアンローダーユニットを備えるリフロー装置における前記対象物のソルダーボールをリフローする方法であって、
前記加熱部材は、コイルと前記コイルに交流電流を印加する電源と前記コイル又は前記対象物を回転させる回転部材とを備え、
前記複数の対象物を前記ローダーユニットのマガジンに積層して提供し、前記移動ユニットにより前記マガジンから一つ又は複数の前記対象物を取り出して加熱領域へ移動させ、前記加熱ユニット内の前記加熱部材を前記回転部材により回転させながら誘導加熱方式を使用して前記対象物に提供されたソルダーボールをリフローすることを特徴とするリフロー方法。
【請求項２３】
複数の対象物を同時に保管するローダーユニット、前記対象物を加熱する加熱部材を有する加熱ユニット、前記対象物を前記加熱ユニットへ移動させる移動ユニット、及びリフローの完了した前記対象物を保管するアンローダーユニットを備えるリフロー装置における前記対象物のソルダーボールをリフローする方法であって、
前記加熱部材は、対象物に対して傾斜するように固設されるコイルと前記コイルに交流電流を印加する電源とを備え、
前記複数の対象物を前記ローダーユニットのマガジンに積層して提供し、前記移動ユニットにより前記マガジンから一つ又は複数の前記対象物を取り出して加熱領域へ移動させ、前記加熱ユニット内の対象物に対して傾斜するように固設された前記加熱部材により誘導加熱方式を使用して前記対象物に提供されたソルダーボールをリフローすることを特徴とするリフロー方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体を製造する装置及び方法に関し、より詳細には、パッケージ工程でソルダーボールをリフローする装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体をパッケージする工程は、半導体チップに外部との電気的接続のための端子として機能するソルダーボールを提供する組み立て工程と、ソルダーボールの提供された半導体チップをプリント回路基板に実装する実装工程とを含む。組み立て工程と実装工程とも、ソルダーボールに熱を加えてソルダーボールをリフローする過程が求められる。
【０００３】
通常のリフロー装置は、対象物に直接的に熱を加えるヒーターを使用して対象物を加熱する。ここで、対象物は、ソルダーボールの接着された半導体チップであるか、半導体チップのマウントされたプリント回路基板である。通常使用されているリフロー装置は、対象物を長時間高温で加熱するので、対象物全体が熱的ストレスに露出し、これによって対象物の反り（ｗａｒｐａｇｅ）などのような変形が発生する。最近に半導体内のパターンが微細化し、半導体部品が薄膜化するにつれて、変形の許容範囲は次第に減っているので、上述した問題点は、今後より一層大きくなる。
【０００４】
かかる変形を最小化するために、対象物の加熱が複数の領域で順次行われる。しかしながら、上述した変形が依然として発生し、加熱領域を複数提供することにより、設備面積が大きく増大し、リフロー工程に多くの時間がかかる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は上記従来のリフロー装置及び方法の問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、ソルダーボールをリフローする工程を効果的に行うことができるリフロー装置及び方法を提供することにある。
【０００６】
また、本発明の他の目的は、ソルダーボールをリフローする工程を行う装置の設備面積を減らすことができるリフロー装置及び方法を提供することにある。
【０００７】
また、本発明のさらに他の目的は、ソルダーボールをリフローする間に対象物全体が熱的変形するのを減らすことができるリフロー装置及び方法を提供することにある。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、ここに制限されず、言及されないさらに他の課題は、以下の記載から当業者が明確に理解できるはずである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明によるリフロー装置は、複数の対象物を同時に保管するローダーユニットと、前記対象物に提供されたソルダーボールをリフローするために、誘導加熱方式で前記対象物を加熱する加熱ユニットと、前記ローダーユニットから前記対象物を加熱ユニットへ移動させる移動ユニットと、前記加熱ユニットでリフローの完了した対象物を保管するアンローダーユニットと、前記対象物を互いに積層されるように収納するマガジンと、を備え、前記ローダーユニットは、前記加熱ユニットに流入する対象物が収納された前記マガジンが置かれる入力モジュールと、前記マガジンを保管する複数の収納空間を有する入力スタッカと、を更に備え、前記加熱ユニットは、その長さ方向が第１方向に配置され、前記入力モジュールは、その長さ方向が前記第１方向に垂直な第２方向に配置され、前記入力モジュールの前方領域は、前記加熱ユニットの一側と隣接するように配置され、前記入力スタッカは、前記入力モジュールを基準に前記加熱ユニットと同じ側方向に前記入力モジュールの後方領域と隣接するように配置されることを特徴とする。
【００１０】
前記マガジンは、前記対象物として半導体チップのマウントされたプリント回路基板を収納できる形状からなり、選択的に前記マガジンは、前記対象物としてソルダーボールの接着された半導体チップを収納できる形状からなることが好ましい。
【００１１】
前記ローダーユニットは、前記入力スタッカを上下方向へ移動するスタッカ移動部材と、前記入力スタッカの収納空間に保管されたマガジンを前記入力モジュールに移動する運搬部材とを備え、前記アンローダーユニットは、前記加熱ユニットから流出した対象物を収納するための前記マガジンが置かれる出力モジュールと、リフローの完了した対象物が収納されたマガジンを保管する複数の収納空間を有する出力スタッカと、前記出力モジュールに流出した前記マガジンを前記出力スタッカの収納空間へ移動させる運搬部材とを備えることが好ましい。
【００１２】
一例によれば、前記出力モジュールは、その長さ方向が前記第１方向に垂直な第２方向に配置され、前記出力モジュールの前方領域は、前記加熱ユニットの他側と隣接するように配置され、前記出力モジュールは、前記入力モジュールと対向するように位置し、前記出力スタッカは、前記出力モジュールを基準に前記加熱ユニットと同じ側方向に前記出力モジュールの後方領域と隣接するように配置されることが好ましい。
【００１３】
前記移動ユニットは、前記入力モジュールと隣接した位置から前記加熱ユニット内の加熱部材により加熱される領域を通るように延び、かつ互いに離隔されるように配置される１対のレールと、前記入力モジュールに置かれた前記マガジン内に収納された対象物を前記マガジンから取り出して、前記レールに沿って移動させる移動部材とを備え、前記レールの各々には、その長さ方向に沿って前記対象物のエッジ領域が挿入されるスリット形状の溝が形成され、選択的に前記レールの各々には、複数の前記スリット形状の溝が提供され、前記溝は、互いに上下方向に離隔されるように形成されることが好ましい。
【００１４】
他の例によれば、前記移動ユニットは、前記入力モジュールと隣＋接した位置から前記加熱ユニット内の加熱部材により加熱される領域を通るように延び、かつ互いに離隔されるように配置される１対のレールと、前記入力モジュールに置かれたマガジンを前記１対のレールに沿って移動させる前記移動部材と、を備え、前記マガジンは、外側方向に突出したガイド突起を含み、前記１対のレールの各々には、その長さ方向に沿って前記ガイド突起が挿入されるスリット形状の溝が形成されることが好ましい。
【００１５】
前記移動部材は、前記加熱ユニット内に水平方向へ移動可能に提供される移動バーと、前記移動バーに対して上下方向へ移動できるように、前記移動バーに結合され、前記マガジン内の対象物を前記マガジンから取り出す引込みフィンガーと、前記移動バーに対して上下方向へ移動できるように前記移動バーに結合され、前記引込みフィンガーと一定距離が離隔されて加熱が完了した対象物を前記加熱ユニットから送りだす引出しフィンガーとを備えることが好ましい。
【００１６】
一例によれば、前記リフロー装置は、前記移動ユニットを複数備え、前記移動ユニットは、互いに水平方向に並べて配置され、各々の前記移動ユニットは、前記入力モジュールと隣接した位置から前記加熱ユニット内の加熱部材により加熱される領域を通るように延び、かつ互いに離隔されるように配置される１対のレールと、前記入力モジュールに置かれた前記マガジン内に収納された対象物を前記マガジンから取り出して前記１対のレールに沿って移動させる移動部材と、を備え、前記加熱部材は、前記１対のレールの各々に対応するように複数提供されることが好ましい。
【００１７】
他の例によれば、前記リフロー装置は、前記移動ユニットを複数備え、前記移動ユニットは、互いに水平方向に並べて配置され、各々の前記移動ユニットは、前記入力モジュールと隣接した位置から前記加熱部材により加熱される領域を通るように延び、互いに離隔されるように配置される１対のレールと、前記入力モジュールに置かれた前記マガジン内に収納された対象物を前記マガジンから取り出して前記１対のレールに沿って移動させる移動部材とを備え、前記加熱部材は、複数の前記移動ユニットの前記１対のレールに置かれた対象物を同時に加熱するように、上部から眺める時に前記１対のレール全体を横切るように配置されることが好ましい。
【００１８】
さらに他の例によれば、前記リフロー装置は、前記移動ユニットを複数備え、前記移動ユニットは、互いに水平方向に並べて配置され、各々の前記移動ユニットは、前記入力モジュールと隣接した位置から前記加熱部材により加熱される領域を通るように延び、互いに離隔されるように配置される１対のレールと、前記入力モジュールに保管されたマガジン内に収納された対象物を前記マガジンから取り出して前記１対のレールに沿って移動させる移動部材とを備え、前記加熱部材は、上部から眺める時に複数の前記１対のレールの間に移動できるように提供されることが好ましい。
また、前記加熱部材は、前記コイル又は前記対象物を回転させる回転部材をさらに備えることが好ましい。
【００１９】
一例によれば、前記回転部材は、前記コイル又は前記対象物を同一平面上で回転させるように提供され、他の例によれば、前記回転部材は、前記コイルと前記対象物との間の角度が変化するよう、前記コイル又は前記対象物を回転させるように提供されることが好ましい。
【００２０】
上記目的を達成するためになされた本発明によるリフロー方法は、複数の対象物を同時に保管するローダーユニット、前記対象物を加熱する加熱部材を有する加熱ユニット、前記対象物を前記加熱ユニットへ移動させる移動ユニット、及びリフローの完了した前記対象物を保管するアンローダーユニットを備えるリフロー装置における前記対象物のソルダーボールをリフローする方法であって、前記加熱部材は、コイルと前記コイルに交流電流を印加する電源と前記コイル又は前記対象物を回転させる回転部材とを備え、前記複数の対象物を前記ローダーユニットのマガジンに積層して提供し、前記移動ユニットにより前記マガジンから一つ又は複数の前記対象物を取り出して加熱領域へ移動させ、前記加熱ユニット内の前記加熱部材を前記回転部材により回転させながら誘導加熱方式を使用して前記対象物に提供されたソルダーボールをリフローすることを特徴とする。選択的に、前記加熱部材は、対象物に対して傾斜するように固設されるコイルと前記コイルに交流電流を印加する電源とを備え、前記加熱ユニット内の対象物に対して傾斜するように固設された前記加熱部材により誘導加熱方式を使用して前記対象物に提供されたソルダーボールをリフローしてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
対象物に直接的に熱を加えるヒーターを使用して対象物を加熱し、加熱による変形を最小化するために、複数の領域で順次行なわれていた従来の方式にかわって、誘導加熱方式を使用して対象物に対してリフロー工程を行うので、リフロー工程にかかる時間を短縮することができ、リフロー工程を行う装置の面積を減らすことができ、対象物全体を加熱せずに、導電性材質からなる部分のみが加熱されるので、高温加熱によって対象物が反るのを防止できるという効果がある。
【００２２】
また、対象物が加熱ユニットに流入する前にマガジン及びスタッカで待機しているので、リフロー工程が速く行え、加熱ユニットを使用する時に加熱ユニットの使用効率が高まるという効果がある。
【００２３】
また、複数の対象物が上下に積層された状態で誘導加熱方式を使用して加熱するので、狭い空間内で多くの数の対象物に対してリフロー工程を同時に行うことができるという効果がある。
【００２４】
また、通常の構造のパッケージ装置を使用してソルダーボールの接着された半導体チップに対してリフロー工程を行う場合、リフロー工程以後にフラックスを除去する洗浄工程が求められるが、本発明のように誘導加熱方式を使用してリフロー工程を行う場合、洗浄工程を必ず行う必要はない。したがって、フラックスを除去するための洗浄装置が要らないので、設備全体の面積及び工程全体にかかる時間を減らすことができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
次に、本発明に係るリフロー装置を実施するための最良の形態の具体例を図面を参照しながら説明する。本実施の形態は、当業者に本発明をさらに完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状などは、さらに明確な説明を強調するために誇張された。
【００２６】
図１は、本発明のリフロー装置１の一実施の形態を概略的に示す構成図である。図１に示すように、リフロー装置１は、ローダーユニット（ｌｏａｄｅｒ  ｕｎｉｔ）２０、加熱ユニット３０、アンローダーユニット（ｕｎｌｏａｄｅｒ  ｕｎｉｔ）４０、及び移動ユニット（図２１の５０）を有する。加熱ユニット３０は、対象物（図２の５、図３の５’）のソルダーボール５６、５６’をリフローする。ローダーユニット２０は、加熱ユニット３０でリフロー工程を行う対象物を保管し、アンローダーユニット４０は、加熱ユニット３０でリフロー工程の完了した対象物を保管する。移動ユニット５０は、ローダーユニット２０で対象物を加熱ユニット３０へ移動し、加熱ユニット３０でリフロー工程の完了した対象物をアンローダーユニット４０へ移動する。以下、説明の便宜のために、加熱ユニット３０の長さ方向を第１方向６２と言い、水平面上で第１方向６２と垂直な方向を第２方向６４と言い、上下方向を第３方向（図４の６６）と言う。
【００２７】
一例によれば、対象物５は、図２のようにチップマウント工程（ｃｈｉｐ  ｍｏｕｎｔｉｎｇ  ｐｒｏｃｅｓｓ）の行われた半導体チップ５４がマウントされたプリント回路基板５２であり、他の例によれば、対象物５’は、図３のようにボールアタッチ工程が行われたソルダーボール５６’の接着された半導体チップ５４’である。対象物５’は、一つの半導体チップであるか、又は分離されない複数の半導体チップである。本発明において対象物５、５’は、これに限定されず、ソルダーボールのようにリフロー工程の必要な外部端子を有する多様な種類の部品である。
【００２８】
以下の実施の形態では、主に対象物５は、半導体チップ５４のマウントされたプリント回路基板５２である場合を説明する。
【００２９】
図４は、図１のリフロー装置１の斜視図である。マガジン１００は、複数の対象物を積層して保管する。リフロー工程の行われる対象物５は、マガジン１００に収納された状態で加熱ユニット３０の入口に隣接した位置で待機する。本実施の形態において加熱ユニット３０は、誘導加熱方式（ｉｎｄｕｃｔｉｏｎ  ｈｅａｔｉｎｇ  ｍｅｔｈｏｄ）を使用してリフロー工程（ｒｅｆｌｏｗ  ｐｒｏｃｅｓｓ）を行うので、リフロー工程が行われる速度は極めて速い。マガジン１００の使用は、対象物５を加熱ユニット３０内に連続的に供給するのに有用である。
【００３０】
図５は、マガジン１００の一例を示す斜視図である。マガジン１００は、底板１２２と二つの側板１２４、１２６を有する。側板１２４、１２６は、底板１２２の両側端から上部に向かって延びる。側板１２４、１２６は、互いに同じ形状を有する。マガジン１００の前方と後方、そして上部に該当する面は、開放される。マガジン１００の前方と後方に該当する面は、対象物５がマガジン１００内に流入又は対象物５がマガジン１００から流出する通路として機能し、底板１２２と側板１２４、１２６との間に提供された空間には、対象物５が収納される。それぞれの側板１２４、１２６の内側面には、対象物５のエッジ領域が挿入されるスロット１４０が形成される。スロット１４０は、側板１２４、１２６の内側面の一端から他端まで延びるように提供される。スロット１４０は、上下方向に互いに離隔するように複数個が提供される。対象物５は、マガジン１００内に互いに離隔するように積層された状態で収納される。
【００３１】
ローダーユニット２０は、入力モジュール２２０、入力スタッカ２４０、及びスタッカ移動部材２８０を有する。図６は、入力スタッカ２４０の断面図である。図４と図６とに示すように、入力スタッカ２４０は、各々のマガジン１００を収納する収納空間２４６を複数有する。入力スタッカ２４０は、複数の水平板２４２と複数の垂直板２４４とを有する。水平板２４２は、マガジン１００が置かれる底として機能する。水平板２４２は、第３方向６６に沿って互いに一定の距離が離隔するように配列される。垂直板２４４は、水平板２４２の間に提供された空間を複数の空間に区画する。垂直板２４４は、第２方向６４に沿って互いに一定の距離が離隔するように配列される。水平板２４２と垂直板２４４とは、一体に製造されるか、又は互いに固定結合される。上述した構造によって、入力スタッカ２４０には、第２方向６４及び第３方向６６のそれぞれに沿って複数の収納空間２４６が提供される。各々の収納空間２４６は、二つの垂直板２４４と二つの水平板２４２とにより取り囲まれて提供され、収納空間２４６の前方及び後方に該当する面は開放される。収納空間２４６の前方及び後方に該当する面は、マガジン１００が収納空間２４６に流入したり、マガジン１００が収納空間２４６から流出したりする通路として機能する。最上層に提供される収納空間の上方に該当する面は、開放される。各々の収納空間２４６には、一つのマガジン１００が収納される。選択的に各々の収納空間２４６には、複数のマガジン１００が第１方向６２に沿って収納される。
【００３２】
入力モジュール２２０は、入力スタッカ２４０から移送されたマガジン１００を加熱ユニット３０の入口（図８の３２１ａ）と隣接した位置まで移動する。入力モジュール２２０は、その長さ方向が第２方向６４に配置される。入力モジュール２２０の前方領域２２４は、加熱ユニット３０の入口３２１ａと隣接する。入力スタッカ２４０は、入力モジュール２２０を基準に加熱ユニット３０と同じ側に位置する。入力スタッカ２４０は、入力モジュール２２０の後方領域２２２と隣接する。選択的に入力スタッカ２４０は、入力モジュール２２０を基準に加熱ユニット３０と反対側に提供される。しかしながら、リフロー装置１の占有面積を減らすために、加熱ユニット３０、入力モジュール２２０、及び入力スタッカ２４０は、図１のように配置されることが好ましい。一例によれば、入力モジュール２２０の上面には、コンベヤベルト２２１のような駆動器が提供される。コンベヤベルト２２１は、入力モジュール２２０の後方領域２２２から前方領域２２４まで延びるように配置されて、入力スタッカ２４０から入力モジュール２２０の後方領域２２２に運搬されたマガジン１００は、入力モジュール２２０の前方領域２２４まで移動する。後方領域２２２に運搬されたマガジン１００から対象物５が加熱ユニット３０へ移動する途中にコンベヤベルト２２１の動作は停止する。対象物５が加熱ユニット３０にすべて移動すれば、空いたマガジン１００は、作業者又は移送ロボット（図示せず）により、入力モジュール２２０から除去されうる。マガジン１００が移送ロボットにより移動する場合、マガジン１００には、移送ロボットにより支持できるように支持手段（図示せず）が提供される。また、図示はしていないが、入力モジュール２２０の前方領域２２４には、マガジン１００の位置を整列する整列部材が設置される。
【００３３】
選択的にコンベヤベルト２２１の代わりに、入力モジュール２２０の後端には、プッシャー（図示せず）が提供されて、マガジン１００を入力モジュール２２０の後方領域２２２から前方領域２２４へ押すことができる。上述した例においてマガジン１００は、前方及び後方の両方が開放されると説明した。しかしながら、加熱ユニット３０、入力モジュール２２０、及び入力スタッカ２４０が図１のように配置された場合、マガジン１００の四側面のうち、一面のみが開放される。
【００３４】
図７は、入力スタッカ２４０から入力モジュール２２０の後方領域２２２にマガジン１００を移動する一例を示す断面図である。マガジン１００は、対象物５が収納された状態で入力スタッカ２４０の収納空間２４６に保管される。入力スタッカ２４０を基準に入力モジュール２２０の反対側には、入力スタッカ２４０内に保管されたマガジン１００を入力モジュール２２０に押す運搬部材が配置される。運搬部材としては、プッシュプレート（ｐｕｓｈ  ｐｌａｔｅ）２６２を有するプッシャー２６０が使用される。プッシュプレート２６２は、概して直六面体形状を有する。プッシュプレート２６２の後面には、水平軸２６４が接続され、水平軸２６４は、これと接続するシリンダー２６６により第１方向６２に直線移動する。プッシュプレート２６２を速く移動させるために、上述したようにシリンダー２６６を使用することが好ましいが、シリンダー２６６の代わりにモータが使用してもよい。プッシャー２６０は、一つ又は複数提供される。プッシャー２６０が複数提供される場合、プッシャー２６０は、第２方向６４に沿って互いに並べて配置される。
【００３５】
入力モジュール２２０に移動しようとするマガジン１００が保管された収納空間２４６がプッシャー２６０と対向して位置するように、スタッカ移動部材２８０は、入力スタッカ２４０を直線移動させる。再度図４と図６を参照すれば、スタッカ移動部材２８０は、移動板２８２、垂直駆動器２８４、及び水平駆動器２８６を有する。移動板２８２は、長方形の板状を有する。垂直駆動器２８４は、移動板２８２上で入力スタッカ２４０を第３方向６６に沿って直線移動させる。垂直駆動器２８４は、ガイド板２８４ａ、移動軸２８４ｂ、及びモータ２８４ｃを有する。ガイド板２８４ａは、移動板２８２の両終端から第３方向６６に延びる。各々のガイド板２８４ａには、ガイド溝２８５が形成される。ガイド溝２８５は、その長さ方向が第３方向６６になるように提供される。ガイド溝２８５は、上部から眺める時に入力スタッカ２４０の四側の隅と対応する部分にそれぞれ設けられる。最も外側にある垂直板２４４には、ガイド溝２８５に沿って第３方向６６へ移動できるように、ガイド溝２８５と結合される突起２４１が提供される。移動軸２８４ｂは、入力スタッカ２４０の底面に固定結合され、モータ２８４ｃは、移動軸２８４ｂを第３方向６６に沿って移動させる。モータ２８４ｃとしては、ステッピングモータが使用される。
【００３６】
水平駆動器２８６は、移動板２８２を第２方向６４に沿って直線移動させる。水平駆動器２８６は、スクリュー２８６ａ、水平ガイド２８６ｂ、及びモータ２８６ｃを有する。スクリュー２８６ａは、移動板２８２に形成されたねじホール２８２ａに挿入され、モータ２８６ｃにより回転する。水平ガイド２８６ｂは、その長さ方向が第２方向６４になるように、スクリュー２８６ａの両側にそれぞれ配置される。本実施の形態において水平駆動器２８６は、スクリュー２８６ａとモータ２８６ｂとを利用した駆動アセンブリーを有することと説明したが、これとは異なり、リニアモータなどが使用される。
【００３７】
加熱ユニット３０は、対象物５に提供されたソルダーボール５６を加熱してリフロー工程を行う。図８は、加熱ユニット３０の一例が示された斜視図である。
【００３８】
加熱ユニット３０は、チャンバー３２０と加熱部材３４０とを有する。チャンバー３２０は、前方壁３２１、後方壁３２２、両側壁３２３、３２４、下部壁３２５、及び上部壁３２６を有する。前方壁３２１は、入力スタッカ２４０と対向する壁であり、後方壁３２２は、前方壁３２１と対向する壁である。チャンバー３２０は、概して直六面体形状に提供され、電磁気干渉（ｅｌｅｃｔｒｏ  ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ）を遮蔽するように、アルミニウムのような金属材質からなる。
【００３９】
チャンバー３２０内には、加熱室３６０が提供される。加熱室３６０は、その長さ方向が第１方向６２に沿うように配置される。前方壁３２１には、対象物５がチャンバー３２０内に流入する通路として機能する入口３２１ａが形成され、後方壁３２２には、対象物５がチャンバー３２０から流出する通路として機能する出口３２２ａが形成される。チャンバー３２０には、入口３２１ａと出口３２２ａとをそれぞれ開閉するシャッター３２８が提供される。シャッター３２８は、シリンダー３２９により上下方向へ移動しつつ入口３２１ａや出口３２２ａを開閉する。シャッター３２８の直線移動を案内するように、ガイド３２７が提供されうる。シャッター３２８は、電磁気干渉を遮蔽するようにアルミニウムなどのような金属材質からなる。
【００４０】
加熱部材３４０は、誘導加熱方式でソルダーボール５６を加熱する。コイルに交流電流を印加すると、コイルの内部に交流磁界が発生する。磁界が発生した領域に提供された導体には、磁界の方向と垂直な方向に渦電流（ｅｄｄｙ  ｃｕｒｒｅｎｔ）が発生する。渦電流は、導体の表面に沿って流れ、熱を発生させる。誘導加熱方式は、このとき発生する熱を利用して、対象物を加熱する方式である。
【００４１】
加熱部材３４０は、ハウジング３４２、コイル（図９の３４４）、及び電源（図９の３４６）を有する。ハウジング３４２は、内部にコイル３４４が挿入される空間の提供された筒状を有する。一例によれば、ハウジング３４２は、直六面体形状を有する。コイル３４４は、ハウジング３４２内に固定挿入される。図９のように、コイル３４４は、一直線からなり、互いに対向する二つの直線部３４４ａ、３４４ｂとこれらを接続するラウンドされた曲線部３４４ｃとを有する。又は、図１０のように、コイル３４４’は、上述した二つの直線部３４４ａ、３４４ｂ及び曲線部３４４ｃからなるセットを複数有する。各々のセットは、互いに接続されており、互いに異なる層をなすように提供される。
【００４２】
電源３４６は、コイル３４４に交流電流を印加する。電流は、数十キロヘルツ（ＫＨｚ）から数メガヘルツ（ＭＨｚ）の周波数で提供される。加熱部材３４０により加熱される領域は、コイル３４４の二つの直線部３４４ａ、３４４ｂと曲線部３４４ｃとにより取り囲まれた領域の垂直上部及び垂直下部領域である。加熱部材３４０は、加熱室３６０に提供される。
【００４３】
誘導加熱方式を利用してリフロー工程を行うと、加熱にかかる時間は極めて短い。これによって、リフロー工程を速く行うことができる。また、誘導加熱方式を使用する場合、導電体のみが加熱され、半導体チップ５４又はプリント回路基板５２が高温の熱に直接露出しない。したがって、半導体チップ５４又はプリント回路基板５２が熱的変形により反るのを防止できる。また、加熱部材３４０の構成が簡単で、かつ占有面積が狭いので、リフロー装置１の全体の面積を減らすことができる。
【００４４】
上述した例では、加熱部材３４０が対象物５の上部に位置することを示した。しかしながら、選択的に加熱部材３４０は、対象物５の下部に位置できる。また、選択的に図１１に示すように、加熱部材３４０は、上下方向に互いに対向するように二つが提供され、対象物５は、加熱部材３４０の間に位置できる。加熱部材３４０が上下方向に複数提供される場合、加熱時間をさらに短縮できる。また、選択的に図１２に示すように、加熱部材３４０は、対象物５の上部に又は下部に複数積層されるように提供されうる。
【００４５】
図１３〜図１５は、加熱部材３４０ａ、３４０ｂ、３４０ｃの他の例を示す。加熱部材３４０ａは、ハウジング３４２、電源が接続したコイル３４４、及び回転部材３４９ａ、３４９ｂ、３４９ｃを有する。ハウジング３４２とコイル３４４とは、既に説明された構造と同一なので、重複説明は省略する。回転部材３４９ａ、３４９ｂ、３４９ｃは、コイル３４４と対象物５との間に相対位置が変化するように、コイル３４４又は対象物５を回転させる。コイル３４４の回転は、ハウジング３４２を回転させることにより行われる。
【００４６】
一例によれば、図１３に示すように、回転部材３４９ａは、コイル３４４を同一平面上で回転させる。同一平面は、水平面である。コイル３４４は、ハウジング３４２内に固設され、ハウジング３４２は、概して加熱が行われる対象物５と平行に提供される。回転部材３４９ａは、コイル３４４が固設されたハウジング３４２の上部壁に固定結合された回転軸３４７ａと、回転軸３４７ａに回転力を提供するモータ３４７ｂを有する。一般に、半導体チップ５４には、複数のソルダーボール５６が提供される。コイル３４４が固定された状態で加熱が行われる場合、ソルダーボール５６間に加熱均一度が異なる。しかしながら、図１３のように、コイル３４４を同一平面上で回転しつつ加熱が行われる場合、ソルダーボール５６間に加熱均一度が向上する。回転部材３４９ａは、一方向にコイル３４４を回転し続けるか、又は回転方向を変えつつ、コイル３４４を回転させることができる。また、回転部材３４９ａは、停止せずにコイル３４４を回転し続けるか、又はコイル３４４を一定角度回転させた後、コイル３４４を停止する過程を繰り返すことができる。
【００４７】
上述した例では、回転部材３４９ａがコイル３４４を回転すると説明した。しかしながら、これとは異なり、コイル３４４は固定され、回転部材３４９ａは、対象物５を同一平面上で回転できる。この場合、移動ユニット５０の構造は、本実施の形態とは異なる構造で提供される。例えば、対象物５は、回転板（図示せず）上に置かれた状態で加熱が行われ、加熱が行われる間に回転板が回転されうる。また、選択的にコイル３４４と対象物５とが互いに異なる方向に同時に回転できる。
【００４８】
図１４と図１５とは、回転部材３４９ｂ、３４９ｃの他の例を示す。回転部材３４９ｂは、コイル３４４と対象物５との間に角度が変化するように対象物５を回転させる。回転部材３４９ｂは、コイル３４４が設置されたハウジング３４２の側壁に固定結合された回転軸３４７ｂと、回転軸３４７ｂに回転力を提供するモータ３４８ｂとを有する。回転軸３４７ｂは、対象物５と平行に提供された軸である。図１４に示すように、回転軸３４７ｂは、コイル３４４の二つの直線部３４４ａ、３４４ｂと平行であり、これらの中心を通る線である。選択的に、図１５に示すように、回転軸３４７ｃは、コイル３４４の二つの直線部３４４ａ、３４４ｂを垂直に横切る線である。コイル３４４が対象物５と平行に提供された状態を基準に、コイル３４４は、約−９０度〜９０度の間で回転方向を変えつつ回転できる。図１６に示すように、回転部材は、対象物５の加熱が行われる間、停止せずにコイル３４４を回転させ続けることができる。選択的に、図１７に示すように、回転部材３４９ｂは、コイル３４４を一定角度回転させた後、コイル３４４を停止する過程を繰り返すことができる。
【００４９】
上述した例では、回転部材３４９ｂがコイル３４４を回転させることと説明した。しかしながら、これとは異なり、コイル３４４は固定され、回転部材３４９ｂは、コイル３４４と対象物５との間の角度が変化するように、対象物５を回転できる。選択的にコイル３４４と対象物５とが互いに異なる方向に同時に回転されうる。
【００５０】
図１４及び図１５のような回転は、以下のような利点がある。プリント回路基板５２と半導体チップ５４内には、概して水平方向に提供された導電性ライン５７が複数形成されている。コイル３４４と対象物５とが互いに平行に提供された場合、図１８のように、プリント回路基板５２又は半導体チップ５４内に提供された導電性ライン５７と磁力線５８とは、互いに垂直になり、これによって、導電性ライン５７が高温に加熱される。しかしながら、図１９のように、コイル３４４と対象物５とが傾斜αするように配置される場合、磁力線５８の方向と導電性ライン５７とがなす角は、垂直から外れるので、導電性ライン５７が高温に加熱され続けるのを減らすことができる。したがって、図１４及び図１５のような回転は、導電性ライン５７が高温に加熱されるのを減らすことができ、一つのソルダーボール５６で全体領域を概して均一に加熱できる。
【００５１】
図２０は、加熱部材３４０ｄのさらに他の例を示す。コイル３４４がチャンバー３２０内に固設され、図１８のように半導体チップ５４又はプリント回路基板５２内の導電性ライン５７が高温に加熱されるのを防止するために、コイル３４４は、対象物５と傾斜をなすように配置される。選択的に、コイル３４４が対象物５と傾斜をなすように配置された状態で、コイル３４４は、対象物５と垂直な軸を中心に回転されうる。
【００５２】
加熱部材３４０には、加熱部材３４０により加熱される対象物５の領域別温度を検出する検出器３８０がさらに提供される。再度図８を参照すれば、検出器３８０は、高速で加熱が行われている加熱ユニット３０内で加熱が正常に行われているか否かを検出する。一例によれば、検出器３８０としては、対象物５の領域別温度を画像イメージで見せる赤外線カメラ（ｉｎｆｒａｒｅｄ  ｃａｍｅｒａ）が使用され、赤外線カメラにより撮像されたイメージは、作業者が肉眼にて確認できるように、ディスプレイ（図示せず）に送信される。
【００５３】
再度図１及び図４を参照すれば、アンローダーユニット４０は、リフロー工程の完了した対象物５を保管する。アンローダーユニット４０は、出力モジュール４２０、出力スタッカ４４０、及びスタッカ移動部材４８０を有する。出力モジュール４２０は、その長さ方向が第２方向６４に配置される。出力モジュール４２０の前方領域４２４は、加熱ユニット３０と隣接して位置する。出力スタッカ４４０は、出力モジュール４２０を基準に加熱ユニット３０と同じ側で出力モジュールの後方領域４２２に隣接する。出力スタッカ４４０は、出力モジュール４２０を基準に加熱ユニット３０と反対側に提供されうる。しかしながら、リフロー装置１の占有面積を減らすために、加熱ユニット３０、出力モジュール４２０、及び出力スタッカ４４０は、図１のように配置されることが好ましい。アンローダーユニット４０の出力モジュール４２０、出力スタッカ４４０、及びスタッカ移動部材４８０は、ローダーユニット２０の入力モジュール２２０、入力スタッカ２４０、及びスタッカ移動部材と概して同じ構造を有する。空いたマガジン１００は、作業者又は移送ロボットにより、出力モジュール４２０の前方領域４２４に置かれる。リフロー工程の完了した対象物５は、複数枚ずつ出力モジュール４２０の前方領域４２４に置かれたマガジン１００内に収納され、複数のマガジン１００は、出力モジュール４２０の後方領域に移動された後、出力スタッカ４４０に保管される。出力モジュール４２０を基準に出力スタッカの反対側には、運搬部材が配置される。運搬部材としては、プッシャー４６０が使用されうる。プッシャー４６０は、出力モジュール４２０の後方領域４２２に移動されたマガジン１００を出力スタッカ４４０の空いた収納空間に押す。プッシャー４６０は、ローダーユニット２０のプッシャー２６０と概して同じ構造を有する。
【００５４】
移動ユニット５０は、対象物５をローダーユニット２０から加熱ユニット３０へ移動し、リフロー工程の完了した対象物５を加熱ユニット３０からアンローダーユニット４０へ移動する。図２１は、図８に示す移動ユニット５０を示す。移動ユニット５０は、１対のレール５２０と移動部材５４０とを有する。
【００５５】
レール５２２は、互いに並べて対向するように加熱室３６０内に位置する。レール５２０は、第１方向６２に沿って加熱室３６０の入口３２１ａと隣接した領域から加熱室３６０の出口３２２ａと隣接した領域まで延びる。レール５２０は、対象物５の直線移動を案内するガイドとして機能する。各々のレール５２０の内側面には、一つのスリット形状の溝５２２が形成される。溝５２２は、レール５２０の一端から他端まで長く延びる。対象物５のエッジ領域は、レール５２０の溝５２２に挿入され、対象物５は、溝５２２に沿って移動する。
【００５６】
移動部材５４０は、入力スタッカ２４０に保管されたマガジン１００から対象物５を取り出し、レール５２０に沿って対象物５を移動させる。移動部材５４０は、移動バー５４２、引込みフィンガー５４６、及び引出しフィンガー５４８を有する。移動バー５４２は、ロッド形状を有し、加熱室３６０内に配置される。移動バー５４２は、レール５２０の下領域に位置できる。移動バー５４２は、駆動器５４４により加熱室３６０内で第１方向６２に沿って直線移動される。上下方向用の駆動器５４７には、対象物５の迅速な移動のためにシリンダーが使用される。シリンダーは、加熱室３６０の入口３２１ａと対向する領域である移動バー５４２の前端領域に結合されうる。引込みフィンガー５４６と引出しフィンガー５４８とは、移動バー５４２に対して上下方向へ移動できるように移動バー５４２に結合される。引込みフィンガー５４６は、移動バー５４２の前端領域で移動バー５４２と結合され、マガジン１００から対象物５を取り出して、加熱領域まで対象物５を移動させる。引出しフィンガー５４８は、移動バー５４２の後端領域で移動バー５４２と結合され、加熱が完了した対象物５を加熱領域で出力ポート４６０に置かれたマガジン１００へ移動させる。引込みフィンガー５４６は、移動バー５４２の上部に位置し、概して長方形の板状を有する。引込みフィンガー５４６と引出しフィンガー５４８とは、それぞれの駆動器５４７により上下方向へ移動する。引込みフィンガー５４６の下面には、移動軸５４７ａが固定結合され、移動軸５４７ａは、シリンダー５４７ｂにより上下に移動できるように移動バー５４２に結合される。引出しフィンガー５４８は、引込みフィンガー５４６と同じ形状を有し、引込みフィンガー５４６と同じ構造で移動バー５４２に結合される。
【００５７】
図８及び図２１では、加熱部材３４０がレール５２０の上部に位置し、移動部材５４０がレール５２０の下部に位置すると説明した。しかしながら、加熱部材３４０、レール５２０、移動部材５４０の位置関係は、これと異なりうる。例えば、加熱部材３４０と移動部材５４０との位置が反対に提供されるか、又は加熱部材３４０と移動部材５４０の両方がレール５２０の上部又は下部に提供されうる。
【００５８】
移動ユニット５０により対象物５が移動する過程を説明すれば、以下のとおりである。まず引込みフィンガー５４６と引出しフィンガー５４８とが第１位置に置かれる。第１位置は、引込みフィンガー５４６と引出しフィンガー５４８との上端が移動させようとする対象物５より低い位置である。移動バー５４２は前進移動して、マガジン１００内に挿入される。引込みフィンガー５４６は、マガジン１００内の対象物５を通るように位置し、引出しフィンガー５４８は、加熱領域内の対象物５を通るように位置する。以後、引込みフィンガー５４６と引出しフィンガー５４８とが第２位置に移動する。第２位置は、引込みフィンガー５４６と引出しフィンガー５４８との上端が移動させようとする対象物５より高い位置である。移動バー５４２は後進移動し、これと共に引込みフィンガー５４６は、マガジン１００から対象物５を加熱領域へ移動させ、引出しフィンガー５４８は、加熱領域で対象物５を出力モジュール４２０に置かれたマガジン１００へ移動させる。
【００５９】
図８及び図２１において、移動ユニット５０の構成及び形状などは、本発明の一実施の形態を示すものであり、移動ユニット５０の構成及び形状などは、多様に変化されうる。例えば、図２１では、引込みフィンガー５４６と引出しフィンガー５４８とが一つの移動バー５４２に結合されることが示された。しかしながら、これとは異なり、引込みフィンガー５４６と引出しフィンガー５４８とは、互いに独立的に移動するように提供される。
【００６０】
図２２と図２３とは、移動ユニット５０ａの他の例を示す。図２２は、レール５２０ａの斜視図であり、図２３は、対象物５が移動ユニット５０ａにより移動する過程を示す。誘導加熱方式を利用して加熱する時に、加熱は、磁界の形成された領域で行われる。磁界は、上下方向に形成されるので、対象物５を加熱領域内で積層して提供した場合、複数の対象物５を同時に加熱できる。移動ユニット５０ａは、上下方向に積層された対象物５を一つの加熱室３６０に同時に移動して、一つの加熱室３６０内で複数の対象物５が同時に加熱されるようにする。移動ユニット５０ａは、１対のレール５２０ａと移動部材５４０ａとを有する。１対のレール５２０ａ及び移動部材５４０ａは、概して図２１の移動ユニット５０の１対のレール５２０及び移動部材５４０と類似の形状を有する。ただし、１対のレール５２０ａには、スリット形状の溝５２２が複数形成される。溝５２２は、上下方向に互いに一定の距離が離隔するように形成される。移動部材５４０ａの引込みフィンガー５４６と引出しフィンガー（図示せず）とは、図２１の移動部材５４０の引込みフィンガー５４６及び引出しフィンガー５４８に比べて、上下方向に長い長さを有する。したがって、図２３に示すように、移動部材５４０ａは、一回にマガジン１００から複数個の対象物５を取り出し、これらを同時に１対のレール５２０ａに沿って移動させる。
【００６１】
図２４と図２５とは、マガジン１００ｂとこれを移動させる移動ユニット５０ｂとの他の例を示す。図２４は、マガジンの他の例を示す斜視図であり、図２５は、図２４のマガジン１００ｂが移動する過程を示す図である。移動ユニット５０ｂは、入力モジュール２２０に置かれたマガジン１００ｂを加熱ユニット３０へ移動させ、加熱ユニット３０内のマガジン１００ｂを出力モジュール４２０に移動させる。一例によれば、移動ユニット５０ｂは、１対のレール５２０ｂと移動部材５４０ｂとを有する。１対のレール５２０ｂ及び移動部材５４０ｂは、概して図２１の１対のレール５２０及び移動部材５４０と類似の構造を有する。ただし、移動部材５４０ｂの引込みフィンガー５４６と引出しフィンガー（図示せず）とは、マガジン１００ｂを直接移動させることができる形状からなる。図２４に示すように、マガジン１００ｂは、両側壁にそれぞれ外側方向に突出したガイド突起２２９を有する。ガイド突起２２９は、レール５２０に形成された溝５２２に挿入されて移動できる形状からなる。図２５の場合、移動部材５０４ｂは、レールの上部に位置できる。
【００６２】
マガジン１００ｂが直接加熱領域へ移動する場合、マガジン１００ｂは、非金属材質から製造される。マガジン１００ｂが金属材質からなる場合、加熱領域で対象物５の加熱が行われる間、マガジン１００ｂも加熱される。この場合、マガジン１００ｂにより対象物５が加熱され、これは、対象物５の反りに影響を与える。
【００６３】
上述した例では、マガジン１００ｂにガイド突起２２９を提供して、マガジン１００ｂが直接レール５２０の溝５２２に挿入されて移動することと説明した。しかしながら、これとは異なり、レール５２０の溝５２２に挿入されて移動する移動板（図示せず）を提供し、マガジン１００は、移動板が置かれた状態で移動することができる。
【００６４】
図２３及び図２５のように、複数枚の対象物５が積層されて加熱ユニット３０へ移動する場合、加熱ユニット３０は、対象物５の上部及び下部にそれぞれ提供される。これは、対象物５間に加熱均一度を向上させることができる。
【００６５】
次には、本発明のリフロー装置１を使用して工程が行われる過程を説明する。以下では、一つの対象物５が加熱室３６０に移動する構造の装置を例に挙げて説明する。まず、チップマウンター工程又はボールアタッチ工程が行われた対象物５がマガジン１００に収納された状態で、マガジン１００が入力スタッカ２４０の収納空間２４６に置かれる。リフロー工程が行われるマガジン１００の置かれた収納空間２４６がプッシャー２６０と対向するように入力スタッカ２４０が移動する。プッシャー２６０は、入力スタッカ２４０内のマガジン１００を入力モジュール２２０の後方領域２２２に押す。マガジン１００は、入力モジュール２２０の後方領域２２２から前方領域２２４に移動する。また、他のマガジン１００が入力スタッカ２４０から入力モジュール２２０の後方領域２２２に移動した後、入力モジュール２２０の前方領域２２４で待機する。
【００６６】
以後、加熱室３６０の入口３２１ａ及び出口３２２ａが開く。移動部材５４０の引込みフィンガー５４６がマガジン１００に収納された対象物５を取り出して、加熱領域へ移動させる。加熱領域で加熱が行われていた対象物５は、引出しフィンガー５４８により出力モジュール４２０上に置かれたマガジン１００内に収納される。加熱室３６０の入口３２１ａと出口３２１ｂとは閉められ、対象物５の加熱が行われる。このような過程は、繰り返され続ける。
【００６７】
入力モジュール２２０に置かれたマガジン１００から対象物５がすべて取り出されると、空いたマガジン１００は、作業者又は移送ロボット（図示せず）により入力モジュール２２０から除去され、入力モジュール２２０の後方領域２２２で待機していたマガジン１００が入力モジュール２２０の前方領域２２４に移動する。出力モジュール４２０の前方領域４２４に置かれたマガジン１００にリフロー工程の完了した対象物がすべて収納されると、マガジン１００は、出力モジュール４２０の後方領域に移動した後、出力スタッカ４４０の空いた収納空間に保管される。
【００６８】
図２６は、リフロー装置１ａの他の例を示す構成図であり、図２７は、図２６のリフロー装置の加熱ユニット３０ａを示す斜視図である。図２６と図２７とに示すように、リフロー装置１ａは、ローダーユニット２０、加熱ユニット３０ａ、アンローダーユニット４０、及び移動ユニット５０を有する。ローダーユニット２０、アンローダーユニット４０、及び移動ユニット５０の構成は、図１の装置のローダーユニット２０、アンローダーユニット４０、及び移動ユニット５０の構成と概して類似している。加熱ユニット３０ａは、加熱室３６０を複数有する。加熱室３６０は、第２方向６４に沿って互いに隣接するように配列される。各々の加熱室３６０は、側壁３２３、３２４と並べて提供された隔壁３３０により区画されうる。ローダーユニット２０の入力モジュール２２０は、各々の加熱室３６０と対向する位置にマガジン１００が置かれることができるように、図１の入力モジュール２２０に比べて長い前方領域２２４を有する。各々の加熱室３６０には、対象物の移動通路である入口３２１ａ及び出口３２２ａが提供される。また、加熱部材３４０は、各々の加熱室３６０に独立的に提供され、移動ユニット５０は、各々の加熱室３６０に対応する数で提供される。
【００６９】
図２８は、図２６の加熱ユニット３０ｂの他の例を示す斜視図である。チャンバー３２０には、複数の加熱室３６０が第２方向６４に沿って並べて配列される。加熱部材３４０は、複数の加熱室３６０を横切るように第２方向６４に沿って長く配置される。隔壁３３０には、ハウジング３４２が挿入されるように溝３３２が形成される。図２８の加熱ユニット３０ａを使用する際に、複数の加熱室３６０に提供された対象物５を一つのコイル３４４及び一つの電源３４６を使用して同時に加熱できる。ハウジング３４２の両端は、チャンバー３２０の両側壁３２３、３２４に固設されうる。図２８の加熱ユニット３０ｂの場合、対象物５が各加熱室３６０に同時に流入する場合に有利である。しかしながら、コイル３４４に交流電流が印加され続ける場合、対象物５が各加熱室３６０に相異なる時点に流入する場合にも使用される。
【００７０】
図２９は、加熱ユニット３０ｃのさらに他の例を示す。加熱部材３４０は、チャンバー３２０内の加熱室３６０間に加熱部材移動器３５０により移動できるように提供される。各々の隔壁３３０には、ハウジング３４２が通る通路である溝３３２が形成される。加熱部材移動器３５０は、スクリュー３５２、ガイド３５４、及びモータ３５６を有する。スクリュー３５２は、複数の加熱室３６０をすべて横切るように、第２方向６４に沿って提供される。スクリュー３５２は、隔壁３３０の溝３３２を通過するように位置する。ハウジング３４２には、ねじホール３４２ａが形成され、スクリュー３５２は、ハウジング３４２のねじホール３４２ａに挿入される。また、スクリュー３５２と平行にスクリュー３５２の両側にそれぞれガイド３５４が提供される。ガイド３５４は、チャンバー３２０に固設され、ハウジング３４２は、ガイド３５４に沿って直線移動できるようにガイド３５４に結合される。図２９の加熱ユニット３０ｃの場合、対象物５が各加熱室３６０に流入する時点が相異なる場合に有利である。しかしながら、対象物５が各加熱室３６０に同時に流入する場合にも、加熱室３６０で対象物５が待機する間に加熱部材３４０が各加熱室３６０を順次移動しつつ、リフロー工程を行うことができる。
【００７１】
図２６の装置を使用するとき、ローダーユニット２０には、プッシャー２６０が加熱室３６０の数と対応する数で提供され、複数のマガジン１００が同時に入力スタッカ２４０から入力モジュール２２０の後方領域２２２へ移動できる。以後、入力モジュール２２０の後方領域２２２に置かれたマガジン１００がコンベヤベルト２２１の動作などにより、同時に入力モジュール２２０の前方領域２２４へ移動できる。選択的にローダーユニット２０には、一つのプッシャー２６０が提供され、入力スタッカ２４０が第２方向６４へ移動しつつ、マガジン１００が入力スタッカ２４０から入力モジュール２２０の後方領域２２２へ順次移動し、一定数のマガジン１００が入力スタッカ２４０の後方領域２２２にすべて移動するまで、コンベヤベルト２２１は、連続的に又は一定時間の間隔で動作できる。
【００７２】
図３０は、図２７のリフロー装置１ｃのさらに他の例を示す。リフロー装置は、入力モジュール２２０及び出力モジュール４２０を除いては、概して図２７のリフロー装置１ｂと類似の構成を有する。図３０に示すように、コンベヤベルト２２１、４２１のような移動手段は、入力モジュール２２０の後方領域２２２と出力モジュール４２０の後方領域４２２のみに提供され、入力モジュール２２０の後方領域２２２から前方領域２２４へのマガジン１００の移動及び出力モジュール４２０の前方領域４２４から後方領域４２２へのマガジン１００の移動は、各々の移送ロボット２７０、４７０により行われる。
【００７３】
尚、本発明は、上述の実施形態に限られるものではない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明のリフロー装置の一実施の形態を概略的に示す構成図である。
【図２】本発明のリフロー装置に提供される対象物の例を示す図である。
【図３】本発明のリフロー装置に提供される対象物の例を示す図である。
【図４】図１のリフロー装置の斜視図である。
【図５】マガジンの一例を示す斜視図である。
【図６】入力スタッカの断面図である。
【図７】入力スタッカから入力モジュールにマガジンを移動させる運搬部材を示す断面図である。
【図８】加熱ユニットの一例を示す斜視図である。
【図９】コイルの一例を示す斜視図である。
【図１０】コイルの一例を示す斜視図である。
【図１１】加熱部材の他の例を示す斜視図である。
【図１２】加熱部材の他の例を示す斜視図である。
【図１３】加熱部材の他の例を示す斜視図である。
【図１４】加熱部材の他の例を示す斜視図である。
【図１５】加熱部材の他の例を示す斜視図である。
【図１６】図１４でコイルが回転される方法を示す図である。
【図１７】図１５でコイルが回転される方法を示す図である。
【図１８】コイルの位置に応じて各々の対象物に提供された導電性ラインと磁力線との間の角度を示す図である。
【図１９】コイルの位置に応じて各々の対象物に提供された導電性ラインと磁力線との間の角度を示す図である。
【図２０】加熱部材のさらに他の例を示す斜視図である。
【図２１】移動ユニットの斜視図である。
【図２２】レールの他の例を示す斜視図である。
【図２３】図２２のレールを使用して対象物が移動する過程を示す図である。
【図２４】マガジンの他の例を示す斜視図である。
【図２５】図２４のマガジンを使用して対象物が移動する過程を示す斜視図である。
【図２６】本発明の半導体リフロー装置の他の実施の形態を概略的に示す構成図である。
【図２７】図２６のリフロー装置で加熱ユニットの多様な例を示す斜視図である。
【図２８】図２６のリフロー装置で加熱ユニットの多様な例を示す斜視図である。
【図２９】図２６のリフロー装置で加熱ユニットの多様な例を示す斜視図である。
【図３０】本発明の半導体リフロー装置のさらに他の実施の形態を概略的に示す構成図である。
【符号の説明】
【００７５】
５      対象物
２０      ローダーユニット
３０      加熱ユニット
４０      アンローダーユニット
５０      移動ユニット
５６      ソルダーボール
１００      マガジン
２２０      入力モジュール
２４０      入力スタッカ
２６０      プッシャー
３２０      チャンバー
３４０      加熱部材
３４２      ハウジング
３４４      コイル
３４４ａ，３４４ｂ  直線部
３４４ｃ    曲線部
３６０      加熱室
３８０      検出器
４２０      出力モジュール
４４０      出力スタッカ
５２０      レール
５４０      移動部材
５４２      移動バー
５４６      引込みフィンガー
５４８      引出しフィンガー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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