(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液の透明な溶媒を導入したインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより、透明なプレート上に前記溶媒を吐出着弾させて、前記機能液滴吐出ヘッドにおける複数の吐出ノズルの吐出性能を検査する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法であって、
前記プレート上の着弾予定位置に沿うように、前記機能液滴吐出ヘッドの複数のノズルから成るノズル列により、列間で前記溶媒同士が接するように複数列捨て吐出するか、または、前記溶媒を重ね打ちで１列捨て吐出する捨て吐出工程と、
前記プレート上の前記着弾予定位置に、前記溶媒を検査吐出する検査吐出工程と、
前記検査吐出より着弾した前記溶媒の着弾ドットを画像認識して、前記複数の吐出ノズルの吐出性能を検査する検査工程と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。
【請求項２】
前記捨て吐出工程では、前記着弾予定位置を挟むように前記着弾予定位置の両側に前記溶媒を捨て吐出することを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。
【請求項３】
前記捨て吐出工程では、前記着弾予定位置を囲むように前記溶媒を捨て吐出することを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。
【請求項４】
前記検査吐出される前記溶媒の量に比して、前記捨て吐出される前記溶媒の量が多いことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。
【請求項５】
前記着弾予定位置と同位置に基準マークが形成されたアライメントマスクを用い、前記基準マークを画像認識する基準位置取得工程と、をさらに備え、
前記検査工程では、画像認識した前記基準マークと画像認識した前記着弾ドットとを比較することで、前記複数の吐出ノズルの吐出性能を検査することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。
【請求項６】
機能液の透明な溶媒を導入したインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより、透明なプレート上に前記溶媒を吐出着弾させて、前記機能液滴吐出ヘッドにおける複数の吐出ノズルの吐出性能を検査する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置であって、
前記プレート上の着弾予定位置に沿うように、前記機能液滴吐出ヘッドの複数のノズルから成るノズル列により、列間で前記溶媒同士が接するように複数列捨て吐出するか、または、前記溶媒を重ね打ちで１列捨て吐出する捨て吐出手段と、
前記プレート上の前記着弾予定位置に、前記溶媒を検査吐出する検査吐出手段と、
前記検査吐出より着弾した前記溶媒の着弾ドットを画像認識して、前記複数の吐出ノズルの吐出性能を検査する検査手段と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドにおける吐出性能の検査を、機能液の透明な溶媒を用いて行う機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の吐出検査方法として、キャリッジに搭載した複数の機能液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの吐出性能を、キャリッジ単位で検査するものが知られている（特許文献１参照）。この吐出検査方法は、まず、アライメントマスクに形成された理想の着弾位置である基準マークを画像認識により取得しておく。次に、検査用ワークに対して、検査する機能液滴吐出ヘッドにより吐出検査用の検査液（実際には、機能液の溶媒）を吐出する。その後、検査用ワークに着弾した着弾ドットを複数個単位で連続的に画像認識する。最後に、画像認識した基準マークと着弾ドットとを比較することで、不吐出や飛行曲がり等の吐出ノズルの吐出性能を評価するようにしている。
【特許文献１】特開２００７−１５２２５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような吐出検査方法では、全吐出ノズルから検査液を検査吐出した後に、その全着弾ドットを複数個単位で連続的に画像認識するため、吐出から画像認識完了までに時間がかかってしまう。このため、溶媒の揮発性が高い場合、吐出と同時に蒸発が促進される。吐出された溶媒の蒸発速度は、着弾ドット周囲の温度分布やエアーの流れに影響され、これらが一様でないと、各着弾ドットの蒸発が部分的に促進される。すなわち、溶媒が、理想の着弾位置に着弾しても、着弾ドットの蒸発速度が一様ではないため、経時的に着弾ドットが小さくなるだけでなく、中心位置がずれることがあり、吐出検査を正確に行うことができないという問題があった。
【０００４】
本発明は、検査環境に関わらず、正確に吐出検査を行うことがでる機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法は、機能液の透明な溶媒を導入したインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより、透明なプレート上に溶媒を吐出着弾させて、機能液滴吐出ヘッドにおける複数の吐出ノズルの吐出性能を検査する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法であって、プレート上の着弾予定位置に沿うように、機能液滴吐出ヘッドの複数のノズルから成るノズル列により、列間で前記溶媒同士が接するように複数列捨て吐出するか、または、溶媒を重ね打ちで１列捨て吐出する捨て吐出工程と、プレート上の着弾予定位置に、溶媒を検査吐出する検査吐出工程と、検査吐出より着弾した溶媒の着弾ドットを画像認識して、複数の吐出ノズルの吐出性能を検査する検査工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置は、機能液の透明な溶媒を導入したインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより、透明なプレート上に溶媒を吐出着弾させて、機能液滴吐出ヘッドにおける複数の吐出ノズルの吐出性能を検査する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置であって、プレート上の着弾予定位置に沿うように、機能液滴吐出ヘッドの複数のノズルから成るノズル列により、列間で前記溶媒同士が接するように複数列捨て吐出するか、または、溶媒を重ね打ちで１列捨て吐出する捨て吐出手段と、プレート上の着弾予定位置に、溶媒を検査吐出する検査吐出手段と、検査吐出より着弾した溶媒の着弾ドットを画像認識して、複数の吐出ノズルの吐出性能を検査する検査手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
これらの構成によれば、着弾ドットの近傍において、着弾ドットを構成する溶媒の他、捨て吐出された溶媒が蒸発する。したがって、着弾ドット周囲が、両溶媒の蒸気（気化溶媒）で満たされるため、検査対象である着弾ドットの蒸発が抑制される。すなわち、着弾ドットの蒸発時間を長くすることができる。これにより、着弾から画像認識完了まで時間を要しても、着弾ドットがほとんど体積変化（蒸発）することなく着弾ドットの検査、すなわち、吐出ノズルの吐出検査を正確に行うことができる。また、透明な溶媒を透明なプレートに吐出着弾させるため、着弾ドットの境界を鮮明に画像認識することができ、より正確に吐出検査を行うことができる。なお、プレートは、ガラス板であることが、好ましい。
【０００８】
この場合、捨て吐出工程では、着弾予定位置を挟むように着弾予定位置の両側に溶媒を捨て吐出することが、好ましい。
【０００９】
また、捨て吐出工程では、着弾予定位置を囲むように溶媒を捨て吐出することが、好ましい。
【００１０】
これらの構成によれば、着弾ドットは、捨て吐出された溶媒で挟まれる（あるいは、囲まれる）ため、着弾ドットの蒸発時間をより長くすることができ、正確に吐出検査を行うことができる。
【００１１】
この場合、検査吐出される溶媒の量に比して、捨て吐出される溶媒の量が多いことが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、検査吐出された溶媒（着弾ドット）の表面積より、捨て吐出された溶媒の表面積が大きいため、捨て吐出された溶媒が着弾ドットより多く蒸発する。したがって、着弾ドットの近傍は、捨て吐出された溶媒の蒸気による雰囲気で満たされるため、着弾ドットの蒸発時間を長くすることができ、正確に吐出検査を行うことができる。
【００１３】
この場合、着弾予定位置と同位置に基準マークが形成されたアライメントマスクを用い、基準マークを画像認識する基準位置取得工程と、をさらに備え、検査工程では、画像認識した基準マークと画像認識した着弾ドットとを比較することで、複数の吐出ノズルの吐出性能を検査することが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、画像認識した着弾ドットおよび基準マークを比較することで、機能液的吐出ヘッドの複数の吐出ノズルにおける着弾位置に関する吐出性能を精度良く検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付した図面を参照して、本実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法を適用した吐出検査装置について説明する。この吐出検査装置は、カラーフィルタなどを製造する描画装置に搭載する前に、機能液の溶媒を用いて機能液滴吐出ヘッド（吐出ノズル）の吐出性能を検査するものである。具体的には、複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに組み込んだ状態で、各機能液滴吐出ヘッドから溶媒を検査吐出させ、その着弾位置や飛行曲がり等の吐出性能を検査する。まず、吐出検査装置の説明に先立ち、検査対象となるヘッドユニットについて説明する。
【００１６】
図１に示すように、ヘッドユニット１は、サブキャリッジ２と、サブキャリッジ２に搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド３と、を備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、サブキャリッジ２に対して、６個ずつ左右（副走査方向）に二分され、Ｒ・Ｇ・Ｂの配色および階段状の配置において同一の配列パターンで配設されている。
【００１７】
サブキャリッジ２は、１２個の機能液滴吐出ヘッド３を取り付けるための１２個の装着開口４が形成された本体プレート５と、本体プレート５の下面に突設され、ヘッドユニット１を後述する吐出検査装置３１（図３参照）のアライメントマスクＭ（図５参照）に対し、位置決めするための基準となる一対の基準ピン（図示省略）と、本体プレート５の両短辺部分に取り付けた左右一対のプレート支持部材６と、一対のプレート支持部材６の上端部に掛け渡され、後述する吐出検査装置３１のメインキャリッジ４３（図３参照）に取り付けられるヘッド取付けプレート７と、を有している。なお、本体プレート５に対し１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、上記の一対の基準ピンを基準としアライメントされた状態で組みつけられている。
【００１８】
また、本体プレート５上には、機能液滴吐出ヘッド３に接続される圧力調整弁付きの左右一対の配管接続アッセンブリ８が設けられ、各配管接続アッセンブリ８は、吐出検査装置３１の溶媒供給ユニット４５（いずれも図３参照）に配管接続されている。また、ヘッド取付けプレート７の内側には、機能液滴吐出ヘッド３に接続される中間基板付きの配線接続アッセンブリが設けられ、各配線接続アッセンブリは、後述する吐出検査装置３１の制御コンピュータに配線接続されている。
【００１９】
図２に示すように、機能液滴吐出ヘッド３は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針１４を有する機能液導入部１１と、機能液導入部１１に連なる２連のヘッド基板１２と、ヘッド基板１２の下方に連なり溶媒を吐出するヘッド本体１３と、を備えている（図２（ａ）参照）。
【００２０】
機能液導入部１１は、一対の接続針１４を有しており、上記の配管接続アッセンブリ８を介して溶媒供給ユニット４５（図３参照）から溶媒の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体１３は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部１５と、複数の吐出ノズル１９が形成されたノズル面１７を有するノズルプレート１６と、を有している。ノズルプレート１６のノズル面１７に形成された多数（複数）の吐出ノズル１９は、相互に平行且つ半ノズルピッチ分、位置ズレして列設された２列のノズル列（Ａ列およびＢ列）１８を構成しており、各ノズル列１８は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル１９で構成されている（図２（ｂ）参照）。なお、１８０個の吐出ノズル１９のうち、列端部の各１０個の吐出ノズル１９は、実際の描画では使用しないダミーノズルとなり、ダミーノズルに挟まれた吐出ノズル１９は、有効ノズルとなる。
【００２１】
ヘッド基板１２には、２連のコネクタ２０が設けられており、各コネクタ２０はフレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して、上記の配線接続アッセンブリ（制御コンピュータ）に接続されている。そして、この制御コンピュータから出力された駆動波形が各コネクタ２０を介して各ポンプ部１５（圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル１９から溶媒（機能液）が吐出される。
【００２２】
次に、図３および図４を参照して、ヘッドユニット１単位で機能液滴吐出ヘッド３（吐出ノズル１９）の吐出性能を検査する吐出検査装置３１について説明する。吐出検査装置３１は、機台３２と、機台３２上に設けた石定盤３３と、石定盤３３上の全域に広く載置され、ヘッドユニット１を搭載した描画検査装置３４と、機能液滴吐出ヘッド３の機能維持・回復を行うメンテナンスユニット（フラッシング装置、ワイピング装置および吸引装置）３５と、上記したヘッドユニット１を描画検査装置３４に供給する給材装置３６と、メンテナンスユニット３５および給材装置３６を支持する共通架台３７と、を備えており、チャンバ装置（図示省略）内に収容されている。また、吐出検査装置３１には、装置全体を統括制御する制御コンピュータが組み込まれており、チャンバ装置の外に配置されている。吐出検査装置３１は、給材装置３６により給材されたヘッドユニット１を描画検査装置３４に搭載すると共に、搭載したヘッドユニット１（機能液滴吐出ヘッド３）の吐出検査をすべく、メンテナンスユニット３５により機能液滴吐出ヘッド３の機能維持・回復を行いながら、描画検査装置３４によりガラス板Ｇ上に溶媒を吐出し、吐出した溶媒の着弾位置や飛行曲がりなどを検査する。
【００２３】
図３に示すように、描画検査装置３４は、石定盤３３上に載置され、主走査方向（Ｙ軸方向）の移動軸を構成するＹ軸テーブル４１と、Ｙ軸テーブル４１を跨いで設置され、副走査方向（Ｘ軸方向）の移動軸を構成するＸ軸テーブル４２と、Ｘ軸テーブル４２上をスライド自在に移動すると共に、ヘッドユニット１を着脱自在に垂設するメインキャリッジ４３と、Ｘ軸テーブル４２上をスライド自在に移動するカメラユニット４４と、メインキャリッジ４３に搭載され、ヘッドユニット１に溶媒を供給する溶媒供給ユニット４５と、を備えている。この描画検査装置３４において、Ｘ軸テーブル４２およびＹ軸テーブル４１が交わる領域が処理エリアとなっており、上記したカメラユニット４４や後述するアンダーカメラ６５のキャリブレーションを行うと共に、機能液滴吐出ヘッド３により溶媒を検査吐出してその検査を行う。
【００２４】
Ｘ軸テーブル４２は、一対の走行レール上を走査するＸ軸リニアモータを有しており、後述するメインキャリッジ４３およびカメラユニット４４を個別に副走査方向にスライド自在に搭載している。Ｘ軸テーブル４２は、石定盤３３上に立設した４本の柱に支持されており、Ｙ軸テーブル４１を跨いでメンテナンスユニット３５の上方に臨む位置まで延在している。Ｘ軸テーブル４２は、メインキャリッジ４３に搭載したヘッドユニット１を、メンテナンスユニット３５の直上部に位置するメンテナンスエリアおよび上記の処理エリアの間で、適宜移動させる。また、Ｘ軸テーブル４２は、カメラユニット４４を、処理エリアおよび処理エリアを挟むように対峙する待機エリアの間で、適宜移動させる。
【００２５】
図４に示すように、Ｙ軸テーブル４１は、第１Ｙ軸テーブル５３と、第１Ｙ軸テーブル５３上に配設された第２Ｙ軸テーブル５４と、で構成されている。第１Ｙ軸テーブル５３は主に後述する基準マーク（吐出基準マークＭｃ）や着弾ドットＤの撮像の際に、後述するアライメントマスクＭおよびガラス板Ｇを微少移動させ、第２Ｙ軸テーブル５４は主に後述するアライメントテーブル７４および吸着テーブル７５を処理エリアに交互に臨ませる。
【００２６】
第１Ｙ軸テーブル５３は、主走査方向に延在するよう石定盤３３上に直接支持された左右一対のテーブル台６１と、一対のテーブル台６１上に設けられ、主走査方向に延びる一対の第１ガイドレール６２と、一方のテーブル台６１上に設けられたＹ軸リニアモータ６３と、Ｙ軸リニアモータ６３により第１ガイドレール６２上をスライド自在に移動する第１スライダ６４と、を備えている。また、一対のテーブル台６１の間の石定盤３３上には、上記したヘッドユニット１と後述するアライメントマスクＭとを位置合わせする際に用いられる２台のアンダーカメラ６５が配設されている。
【００２７】
第２Ｙ軸テーブル５４は、第１スライダ６４上に設けられ、主走査方向に延びる一対の第２ガイドレール７１と、一対の第２ガイドレール７１の外側に設けられたＹ軸ロッドレスシリンダ７２と、Ｙ軸ロッドレスシリンダ７２により第２ガイドレール７１上をスライド自在に移動する板状の第２スライダ７３と、を備えている。また、第２スライダ７３上には、各種基準となるマークが形成されたアライメントマスクＭを保持したアライメントテーブル７４と、機能液滴吐出ヘッド３により吐出される溶媒の着弾面を構成する透明なガラス板Ｇを吸着固定する吸着テーブル７５と、が主走査方向に隣接して配置されている。
【００２８】
図５に示すように、アライメントマスクＭは、透明な石英ガラスで板状に構成され、２つのアンダーカメラ６５のキャリブレーション基準となる上下一対のアンダーカメラ基準マークＭａ（アライメントマスクＭの基準マークであって、ヘッドユニット１の基準ピンと同位置）と、２つの撮像カメラ９３のキャリブレーション基準となる左右一対の撮像カメラ基準マークＭｂと、ヘッドユニット１から吐出された溶媒を検査するための着弾位置の基準となる複数の吐出基準マークＭｃと、を有している。吐出基準マークＭｃは、サブキャリッジ２に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド３が溶媒を吐出したときに、その着弾ドットＤが着弾すべき着弾予定位置Ｍｄに対応する位置（実際には、ヘッドユニット１における全吐出ノズル１９の位置）に形成されている。
【００２９】
吸着テーブル７５は、内部に左右一対のエアーチャンバを有する吸着テーブル本体８２と、各エアーチャンバの直上に配置され、吸着テーブル本体８２の上面に配置された吸着プレート部８３と、各エアーチャンバ内部のエアーを吸引するエアー吸引手段と、を有しており、吸着テーブル７５は、一対の吸着プレート部８３上に載置したガラス板Ｇを吸着固定する（図４参照）。
【００３０】
カメラユニット４４は、Ｘ軸テーブル４２に掛け渡されたカメラキャリッジフレームと、カメラキャリッジフレームに垂設されたカメラ支持フレームと、カメラ支持フレームに取り付けられ、副走査方向に隣接する２台の撮像カメラ９３と、を有しており、この２台の撮像カメラ９３は、後述する吐出検査方法において、上記したアライメントマスクＭの吐出基準マークＭｃおよび溶媒が吐出された着弾ドットＤを撮像する。また、撮像カメラ９３は、マイクロヘッド等の微調整機構によりＸ、ＹおよびＺ軸方向に微調整することが可能となっている。なお、特に図示しないが、撮像カメラ９３による撮像時の照明は、落射照明が採用されている。
【００３１】
メインキャリッジ４３は、一対の走行レールに掛け渡されたキャリッジフレーム９４と、キャリッジフレーム９４に取り付けられ、ヘッドユニット１を昇降自在に移動させるＺ軸テーブル９５と、Ｚ軸テーブル９５に垂設され、ヘッドユニット１をθ方向に回転させるθテーブルと、θテーブルに垂設され、ヘッドユニット１を着脱自在に保持するヘッドユニットホルダと、を有している（図３参照）。
【００３２】
次に、図６ないし図８を参照して、機能液滴吐出ヘッド３の吐出検査方法について説明する。この吐出検査方法は、１２個の機能液滴吐出ヘッド３の吐出着弾位置や飛行曲がりを検査するものであり、アライメントマスクＭの吐出基準マークＭｃを画像認識する基準位置取得工程と、吐出基準マークＭｃに対応するガラス板Ｇ上の着弾予定位置Ｍｄに沿うように、溶媒を捨て吐出する捨て吐出工程と、ガラス板Ｇ上の着弾予定位置Ｍｄに溶媒を検査吐出する検査吐出工程と、着弾ドットＤを画像認識し、取得した吐出基準マークＭｃの位置と比較して複数の吐出ノズル１９の吐出性能を評価する検査工程と、を備えている。なお、基準位置取得工程の前工程で、２つの撮像カメラ９３および２つのアンダーカメラ６５のキャリブレーションが行われるが、このキャリブレーションは、２つの撮像カメラ９３によりアライメントマスクＭの一対の撮像カメラ基準マークＭｂを画像認識すると共に、２つのアンダーカメラ６５により一対のアンダーカメラ基準マークＭａを画像認識することで行われる。
【００３３】
基準位置取得工程では、撮像カメラ９３によりアライメントマスクＭの吐出基準マークＭｃを撮像する。具体的には、図６に示すように、先ず、図示下側に位置した機能液滴吐出ヘッド３の上側のノズル列（Ａ列）１８にあたる吐出基準マークＭｃを、図示左側から図示右側へ移動して撮像する（実際には、着弾ドット８個単位）。図示右側まで移動しきった後、図示下側へ移動し、下側のノズル列（Ｂ列）１８にあたる吐出基準マークＭｃを図示右側から図示左側へ移動して撮像する。今度は、その上側に位置した複数の吐出基準マークＭｃを撮像し、これを６回繰り返すことで、２台の撮像カメラ９３により、アライメントマスクＭの全ての吐出基準マークＭｃを撮像する。撮像した吐出基準マークＭｃの画像データは、制御コンピュータに記憶され後述する検査工程で基準位置（着弾予定位置Ｍｄ）として用いられる。
【００３４】
捨て吐出工程では、まず、ガラス板Ｇおよびヘッドユニット１を処理エリアに臨ませる。その際、２つのアンダーカメラ６５によりヘッドユニット１の一対の基準ピンを画像認識し、この認識結果に基づいて、Ｘ軸テーブル４２およびメインキャリッジ４３のθテーブルによりヘッドユニット１をアライメントする。アライメントが完了したら、ガラス板Ｇ上に各機能液滴吐出ヘッド３により捨て吐出を行う。具体的には、図７に示すように、各着弾予定位置Ｍｄの上側近傍にこれに沿うように、ヘッドユニット１により検査吐出の数倍量の溶媒を、検査吐出する吐出ノズル１９を用いて吐出する（図７（ａ）参照）。そして、第２Ｙ軸テーブル５４によりヘッドユニット１を、着弾予定位置Ｍｄを挟むように反対側の位置（着弾予定位置Ｍｄの下側近傍）に移動させ、同様に溶媒を吐出する（図７（ｂ）参照）。なお、捨て吐出は、それぞれの側において、図示のように第２Ｙ軸テーブル５４を微小移動させながら隣接して複数列吐出するようにしてもよいし、重ね打ちで１列吐出するようにしてもよい。また、各捨打ドットを複数ショットの液滴吐出で行うことが好ましい。
【００３５】
続く検査吐出工程では、第２Ｙ軸テーブル５４によりノズル列１８を着弾予定位置Ｍｄの直上に臨ませる。そして、全機能液滴吐出ヘッド３の全吐出ノズル１９から溶媒を吐出させる（検査吐出）。なお、この検査吐出は、各吐出ノズル１９においてワンショットあるいは複数ショットで行う。
【００３６】
検査工程では、基準位置取得工程と全く同じ手順で、撮像カメラ９３により、ガラス板Ｇに着弾した全着弾ドットＤを撮像し（図６参照）、画像データを制御コンピュータに記憶する。この場合、着弾ドットＤを撮像する時点では、既に捨て吐出した溶媒の蒸発が開始しているため、検査吐出により着弾した溶媒の着弾ドットＤは、ほとんど体積変化しない。また、後述する検査工程においても、着弾時の着弾ドットＤの形状を概ね維持したまま、吐出検査が行われる。なお、捨て吐出工程および検査吐出工程を、連続して行うことで、着弾ドットＤの体積変化をさらに考慮することなく吐出検査を行うことができる。また、着弾ドットＤを透明なガラス板Ｇで受けるようにしているため、上記したように落射照明であっても、透明な着弾ドットＤの境界を鮮明に画像認識することができるようになっている。
【００３７】
そして、基準位置取得工程で予め制御コンピュータに記憶しておいた吐出基準マークＭｃの画像データと上記した着弾ドットＤの画像データとを比較して吐出ノズル１９の吐出検査（性能評価）を行う。具体的には、図８に示すように、吐出基準マークＭｃの画像データと着弾ドットＤの画像データとを比較して、着弾ドットＤと吐出基準マークＭｃとが一致した場合（図８（ａ）参照）、溶媒を吐出した吐出ノズル１９は、着弾予定位置Ｍｄに正常に吐出している判断される。一方、吐出した溶媒が、吐出基準マークＭｃから外れている場合（図８（ｂ）参照）には飛行曲がりと判断され、着弾ドットＤが小さい場合や円形でない場合（図８（ｃ）参照）には不良吐出と判断され、さらに着弾ドットＤが無い場合には不吐出と判断される。なお、図示のものでは、判断しやすいように吐出基準マークＭｃ（着弾予定位置Ｍｄ）を着弾ドットＤよりひと回り大きな円で示している。
【００３８】
なお、上記実施形態では、機能液滴吐出ヘッド３の２つのノズル列（Ａ列、Ｂ列）１８を同時に検査しているが、これを別々に、すなわちＡ列（Ｂ列）について吐出検査を行った後、Ｂ列（Ａ列）について行ってもよい。図９に示すように、この場合の吐出基準マークＭｃおよび着弾ドットＤの撮像は、同図下側に位置した機能液滴吐出ヘッド３の吐出基準マークＭｃ（着弾ドットＤ）を、図示左側から図示右側へ移動して撮像する。図示右側まで移動しきった後、その上側に位置した複数の吐出基準マークＭｃ（着弾ドットＤ）に移動し、図示右側から図示左側へ移動して撮像する。これを３回繰り返すことで、２台の撮像カメラ９３により、アライメントマスクＭの全吐出基準マークＭｃあるいは全着弾ドットＤを撮像する。
【００３９】
なお、捨て吐出は、Ａ列あるいはＢ列のいずれで行ってもよい。また、図１０に示すように、着弾予定位置Ｍｄを囲むように捨て吐出を行ってもよい。この場合、両端の吐出ノズル１９より外側にはみ出した位置で捨て吐出すると共に、着弾予定位置Ｍｄの両外側にも捨て吐出を行う。また、上記のようにノズル列１８には、両側１０個のダミーノズルがあるが、本実施形態においては、このダミーノズルを含む全吐出ノズル１９で、捨て吐出のみならず検査吐出を行うことが好ましい。これにより、検査吐出において、有効ノズルの両側にも溶媒が吐出されるため、検査する吐出ノズル１９の蒸発を抑制することができる。なお、ダミーノズルから吐出された着弾ドットＤを検査するか否かは自由である。
【００４０】
なお、基準位置取得工程と、検査吐出工程と、捨て吐出工程とは、必ずしも上記の順序で行う必要はなく、検査工程の前にいずれもが終了していれば良い。
【００４１】
以上の構成によれば、着弾ドットＤの近傍に溶媒を捨て吐出することで、着弾ドットＤの周囲が、両溶媒の蒸気で満たされるため、着弾ドットＤの蒸発が抑制される。これにより、長時間着弾ドットＤが、体積変化（蒸発）することがないため、吐出ノズル１９の吐出検査を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】ヘッドユニットの外観斜視図である。
【図２】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図３】吐出検査装置の外観斜視図である。
【図４】Ｙ軸テーブルの外観斜視図である。
【図５】アライメントマスクの平面図である。
【図６】吐出基準マークおよび着弾ドットの撮像手順を示す説明図である。
【図７】捨て吐出工程の手順を示す説明図である。
【図８】着弾ドットの撮像結果を示す説明図である。
【図９】吐出基準マークおよび着弾ドットの他の撮像手順を示す説明図である。
【図１０】着弾予定位置を囲むように捨て吐出したときの説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
３…機能液滴吐出ヘッド  １９…吐出ノズル  ４１…Ｙ軸テーブル  ４２…Ｘ軸テーブル  ４４…カメラユニット  ５３…第１Ｙ軸テーブル  ５４…第２Ｙ軸テーブル  ６５…アンダーカメラ  ９３…撮像カメラ  Ｄ…着弾ドット  Ｇ…ガラス板  Ｍ…アライメントマスク  Ｍｃ…吐出基準マーク  Ｍｄ…着弾予定位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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