(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体やその他部品を大量で製造する工程のうちめっき工程などの自動化されたインライン工程でベルト本体（１０）に一定のピッチ間隔でフィンガー（３０）を結合し、ベルト本体（１０）とフィンガー（３０）との間にストリップ状部品（５０）を把持した状態でストリップ状部品（５０）が移送されるように活用し、
ベルト本体（１０）の一側に一定のピッチ間隔でストリップ状部品（５０）の把持用把持突出部（１２）を延長形成し、
一つの把持突出部（１２）とこれと隣接した把持突出部（１２）との間にはそれぞれ凹部（１４）を形成し、
前記把持突出部（１２）の中央後部にはフィンガー（３０）の把持先端部（３２）を嵌めて装着するための設置長孔（１６）をそれぞれ設け、フィンガー（３０）の装着時に把持先端部（３２）が前記把持突出部（１２）の中央に位置し、前記把持先端部（３２）の端部と前記把持突出部（１２）の端部とが互いに一致するように構成されることを特徴とするストリップ状部品の移送用ベルト。
【請求項２】
前記把持突出部（１２）の中央には長さ方向に折曲突起（１８）を形成し、ストリップ状部品（５０）と前記折曲突起（１８）とが互いに線接触するように構成されることを特徴とする、請求項１に記載のストリップ状部品の移送用ベルト。
【請求項３】
前記折曲突起（１８）は、ベルト本体（１０）と隣接した部位に形成された後方傾斜部（２０）と、
前記後方傾斜部（２０）と連続する部位に形成された前方垂直部（２２）と、を含んで構成されることを特徴とする、請求項２に記載のストリップ状部品の移送用ベルト。
【請求項４】
前記フィンガー（３０）の把持先端部（３２）は、前記後方傾斜部（２０）及び前記前方垂直部（２２）と互いに一致するように折り曲げて形成し、前方垂直部（２２）と把持先端部（３２）とが互いに密着及び圧着された状態で内側にストリップ状部品（５０）を把持・装着するように構成されることを特徴とする、請求項1又は３に記載のストリップ状部品の移送用ベルト。
【請求項５】
前記把持突出部（１２）は、ベルト本体（１０）と隣接した部位の幅が広く、ベルト本体（１０）から離れるほどその幅が狭くなるように構成されることを特徴とする、請求項１に記載のストリップ状部品の移送用ベルト。
【請求項６】
前記ベルト本体（１０）は、フィンガー（３０）の装着部（３４）と支持固定部（３６）を結合するための装着孔（２４）と、フィンガー（３０）の把持先端部（３２）を結合し、作動位置を移動できるように形成した設置長孔（１６）と、を設けて構成され、
前記装着孔（２４）は、前記各設置長孔（１６）とこれと隣接した設置長孔（１６）との間の中央上部に設けてフィンガー（３０）との結合が容易であり、フィンガー（３０）の左右両側が互いに均衡をなしながら作動が円滑に行われることを特徴とする、請求項１に記載のストリップ状部品の移送用ベルト。
【請求項７】
前記フィンガー（３０）は、上端に設けられた装着部（３４）と、
前記装着部（３４）と隣接した位置から延長され、ベルト本体（１０）とフィンガー（３０）をコイルスプリング状に弾性的に支持・結合する支持固定部（３６）と、
前記装着部（３４）と前記支持固定部（３６）との間で前記装着孔（２４）に嵌められて結合される結合凹部（３８）と、
前記支持固定部（３６）と隣接した位置から延長形成され、前記装着部（３４）とは反対に下端に位置する把持先端部（３２）にコイルスプリング状に弾性把持力を加えながらヒンジとしての役割をする角度変換ヒンジ部（４０）と、
前記角度変換ヒンジ部（４０）と隣接して延長されて折り曲げられ、端部に把持先端部（３２）が位置する折曲部（４２）と一体に構成されることを特徴とする、請求項１に記載のストリップ状部品の移送用ベルト。
【請求項８】
前記フィンガー（３０）には、前記装着部（３４）の中央を中心に両側に左右対称に前記結合凹部（３８）、前記支持固定部（３６、３６）、前記角度変換ヒンジ部（４０、４０）、前記折曲部（４２、４２）及び前記把持先端部（３２、３２）がそれぞれ一体に形成され、
前記両側の結合凹部（３８）は、前記ベルト本体（１０）の装着孔（２４）に嵌められて結合され、前記把持先端部（３２）は、両側にそれぞれ形成された設置長孔（１６、１６）にそれぞれ嵌められて結合され、左右が均衡をなして作動が安定的に行われるように構成されることを特徴とする、請求項７に記載のストリップ状部品の移送用ベルト。
【請求項９】
前記フィンガー（３０）は鋼線を折り曲げて成形して構成され、前記フィンガー（３０）の把持先端部（３２）は、単一鋼線の端部を切断した円筒状断面部を有するように構成され、把持先端部（３２）との線接触が行われることを特徴とする、請求項１に記載のストリップ状部品の移送用ベルト。
【請求項１０】
前記ベルト本体（１０）の把持突出部（１２）に設けられた折曲突起（１８）と前記フィンガー（３０）の把持先端部（３２）は互いに対をなし、
これら折曲突起（１８）と把持先端部（３２）は、一定のピッチごとに繰り返して設けられることを特徴とする、請求項１又は２に記載のストリップ状部品の移送用ベルト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体などの部品を製造するめっき工程などの処理工程でストリップ状部品を移送するために活用される移送用ベルトに関するもので、特に、めっき処理工程時にベルトとストリップ状部品とが重なる部分によって未めっき部が発生することを最小化し、めっき不良率を低下させるようにしたストリップ状部品の移送用ベルトに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のベルトとフィンガーが分離結合型で構成された形態としての特許文献１は、図１及び図２に示すように、ベルト本体１とフィンガー２をそれぞれ別途に製作し、ベルト本体１にフィンガー２を装着して使用できるように構成されており、ストリップ状部品３をローディングする場合、ベルト本体１とフィンガー２の先端部２ａとの間に挟んで装着するようになる。このとき、ストリップ状部品３の一側にはベルト本体１と互いに重なるベルト重畳部分３ａが発生し、他側には、フィンガー２の先端部２ａと互いに重なったフィンガー重畳部分３ｂが発生するので、その結果、めっき処理作業時に、めっき液が前記ベルト重畳部分３ａとフィンガー重畳部分３ｂには及ばなくなり、未めっき部分が形成される。このように形成される未めっき部分は、実際に品質管理上要求される仕様より広く形成されるので、ストリップ状部品３のめっき処理作業上、製品不良の要因となっている。
【０００３】
特に、前記ベルト重畳部分３ａがストリップ状部品３の上部の一部分に長さ方向に一定の幅だけ全体的に形成されると同時に、未めっき部分も所定の幅だけ全体的に形成されるので、製品不良の主な要因となっている。また、フィンガー２の先端部分２ａの場合、ストリップ状部品３と互いに重なるフィンガー重畳部分３ｂがＵ字状に形成されると同時に、未めっき部位が形成されるので望ましくない。
【０００４】
さらに、従来は、図３及び図４に示すように、ベルト１とフィンガー２が分離結合型で構成されている形態が知られている。この場合も、ベルト１に部分的に多数のスリット１ｂが形成されているが、ストリップ状部品３をローディングしながらめっき処理作業を行う場合、前記スリット１ｂを除いた残りの部位がベルト重畳部分３ｃとなり、未めっき部分が形成され、フィンガー２の先端部分２ａの場合は、図１及び図２に例示した場合と同様に、ストリップ状部品３と互いに重なるフィンガー重畳部分３ｂがＵ字状に形成されると同時に、未めっき部位が形成されるので望ましくない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第５，０２４，７４５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような従来の問題を解消するために研究・開発されたものである。
【０００７】
本発明の目的は、ベルトとフィンガーが分離結合型で構成されるストリップ状部品の移送用ベルトにおいて、ベルト本体とフィンガーとの間にストリップ状部品を装着したローディングが行われ、めっき槽内部のめっき液に沈積された状態でストリップ状部品が給送されながらめっき処理作業を行う場合、ベルト本体とフィンガーとの間に装着されるストリップ状部品がベルト本体又はフィンガーと互いに重なる部分を最小化し、めっき処理作業後に形成される未めっき部分も最小化することによって、めっき作業上、品質仕様で要求される条件を充足させ、製品の不良率を減少させることにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、ベルト本体とフィンガーとの間に装着されるストリップ状部品がベルト本体又はフィンガーと互いに重なる部分を最小化しながらも、ストリップ状部品の給送中にベルト本体とフィンガーとの間でストリップ状部品が動いたり、分離・離脱されないように十分な把持力を有して構成されるストリップ状部品の移送用ベルトを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、このような各目的を達成するために、半導体やその他部品を大量で製造する工程のうちめっき工程などの自動化されたインライン工程でベルト本体に一定のピッチ間隔でフィンガーを結合し、ベルト本体とフィンガーとの間にストリップ状部品を把持した状態でストリップ状部品が移送されるように活用し、ベルト本体の一側に一定のピッチ間隔でストリップ状部品の把持用把持突出部を延長形成し、一つの把持突出部とこれと隣接した把持突出部との間にはそれぞれ凹部を形成し、前記把持突出部の中央後部にはフィンガーの把持先端部を嵌めて装着するための設置長孔をそれぞれ設け、フィンガーの装着時に把持先端部が前記把持突出部の中央に位置し、前記把持先端部の端部と前記把持突出部の端部とが互いに一致するように構成されるストリップ状部品の移送用ベルトを提供する。
【００１０】
また、前記把持突出部が中央に長さ方向に形成された折曲突起を有して構成されるストリップ状部品の移送用ベルトを提供する。
【００１１】
また、前記折曲突起が、ベルト本体と隣接した部位に形成された後方傾斜部と、前記後方傾斜部と連続する位置に形成された前方垂直部とを含んで構成されるストリップ状部品の移送用ベルトを提供する。
【００１２】
また、前記フィンガーの把持先端部も前記後方傾斜部及び前記前方垂直部と互いに一致するように折り曲げて形成し、ストリップ状部品が前記折曲突起の前方垂直部とフィンガーの把持突出部との間で把持されるように構成されるストリップ状部品の移送用ベルトを提供する。
【００１３】
また、前記把持突出部は、ベルト本体と隣接した部位の幅が広く、ベルト本体から離れるほどその幅が狭くなるように構成されるストリップ状部品の移送用ベルトを提供する。
【００１４】
また、前記ベルト本体は、フィンガーの装着部と支持固定部を結合するための装着孔とフィンガーの把持突出部を結合し、作動位置を移動できるように形成した設置長孔を設けて構成され、前記装着孔は、前記設置長孔とこれと隣接した設置長孔との間の中央上部に設けて構成されるストリップ状部品の移送用ベルトを提供する。
【００１５】
また、前記フィンガーは上端に設けられた装着部と、前記装着部と隣接した位置から延長され、ベルト本体とフィンガーをコイルスプリング状に弾性的に支持結合する支持固定部と、前記装着部と前記支持固定部との間に設けられ、前記装着孔に嵌められて結合される結合凹部と、前記支持固定部と隣接した位置から延長形成され、前記装着部とは反対に下端に位置する把持先端部にコイルスプリング状に弾性把持力を加えながらヒンジとしての役割をする角度変換ヒンジ部と、前記角度変換ヒンジ部と隣接して延長されて折り曲げられ、端部に把持先端部が位置する折曲部とが一体に構成されるストリップ状部品の移送用ベルトを提供する。
【００１６】
また、前記フィンガーは、前記装着部の中央を中心に両側に左右対称に前記結合凹部、前記支持固定部、前記角度変換ヒンジ部、及び前記把持先端部を含む前記把持部がそれぞれ一体に形成され、前記両側の結合凹部は、前記ベルト本体の装着孔に嵌められて結合され、前記把持先端部は、両側にそれぞれ形成された設置長孔にそれぞれ嵌められて結合されるストリップ状部品の移送用ベルトを提供する。
【００１７】
また、前記フィンガーの把持先端部は、円筒状断面部を有するように構成されるストリップ状部品の移送用ベルトを提供する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、ベルトとフィンガーが分離結合型で構成されるストリップ状部品の移送用ベルトにおいて、ベルト本体とフィンガーとの間にストリップ状部品を装着したローディングが行われ、めっき槽内部のめっき液に沈積された状態でストリップ状部品が給送されながらめっき処理作業を行う場合、ベルト本体とフィンガーとの間に装着されるストリップ状部品がベルト本体又はフィンガーと互いに重なる部分を最小化することによって、めっき処理作業後に形成される未めっき部分も最小化できるようにし、めっき作業上、品質仕様で要求される条件を充足させ、製品の不良率を減少させることができる。また、ベルト本体とフィンガーとの間に装着されるストリップ状部品がベルト本体又はフィンガーと互いに重なる部分を最小化しながらも、ストリップ状部品の給送中にベルト本体とフィンガーとの間でストリップ状部品が動いたり、分離・離脱されないように十分な把持力を持たせることによって作動が安定的に行われるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】従来技術を説明するための正面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】他の従来技術を説明するための一部を省略した外観斜視図である。
【図４】図３の側面図である。
【図５】本発明の好適な一例を示す正面図である。
【図６】図５の底面図である。
【図７】図５の底面斜視図である。
【図８】図６の要部拡大図である。
【図９】図５の右側面図である。
【図１０】図９の要部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付の図面を参照して本発明についてより具体的かつ詳細に説明する。
【００２１】
図５〜図１０に例示したように、本発明の好適な例によると、半導体やその他部品を大量で製造する工程のうちめっき工程などの自動化されたインライン工程でベルト本体１０に一定のピッチ間隔でフィンガー３０を結合し、ベルト本体１０とフィンガー３０との間にストリップ状部品５０を把持した状態でストリップ状部品５０が移送されるように活用し、ベルト本体１０の一側に一定のピッチ間隔でストリップ状部品５０の把持用把持突出部１２を延長形成し、一つの把持突出部１２とこれと隣接した把持突出部１２との間にはそれぞれ凹部１４を形成し、前記把持突出部１２の中央後部にはフィンガー３０の把持先端部３２を嵌めて装着するための設置長孔１６をそれぞれ設け、フィンガー３０の装着時に把持先端部３２が前記把持突出部１２の中央に位置し、前記把持先端部３２の端部と前記把持突出部１２の端部とが互いに一致するように構成される。
【００２２】
このとき、前記把持突出部１２の中央には長さ方向に折曲突起１８を形成し、前記折曲突起１８と前記把持先端部３２との間にストリップ状部品５０を把持してローディングする場合、ストリップ状部品５０と前記折曲突起１８が互いに線接触し、最小限の接触が行われるように構成することが望ましい。
【００２３】
また、前記折曲突起１８は、ベルト本体１０と隣接した部位に形成される後方傾斜部２０と、前記後方傾斜部２０と連続する部位に形成される前方垂直部２２とを含んで構成される。
【００２４】
また、前記フィンガー３０の把持先端部３２も、前記後方傾斜部２０及び前記前方垂直部２２と互いに一致するように折り曲げて形成し、ストリップ状部品５０が前記折曲突起１８の前方垂直部２２とフィンガー３０の把持先端部３２との間で把持され、前方垂直部２２、ストリップ状部品５０の一部分及び把持先端部３２が互いに密着及び圧着された状態で把持・装着されるように構成される。
【００２５】
また、前記把持突出部１２は、ベルト本体１０と隣接した部位の幅が広く、ベルト本体１０から離れるほどその幅が狭くなるように構成され、ストリップ状部品５０の把持力を十分に有しながらも資材の消耗量を減少させ、折曲突起１８の成形時に塑性加工が容易に行われるようにする。
【００２６】
また、前記ベルト本体１０は、フィンガー３０の装着部３４と支持固定部３６を結合するための装着孔２４と、フィンガー３０の把持先端部３２を結合し、作動位置を移動できるように形成した設置長孔１６とを設けて構成される。前記装着孔２４は、前記設置長孔１６とこれと隣接した設置長孔１６との間の中央上部に設けてフィンガー３０との結合が容易であり、フィンガー３０との結合が行われた後、フィンガー３０の左右両側が互いに均衡をなしながら作動が円滑に行われるようにする。
【００２７】
また、前記フィンガー３０は、上端に設けられた装着部３４と、前記装着部３４と隣接した位置から延長され、ベルト本体１０とフィンガー３０をコイルスプリング状に弾性的に支持・結合する支持固定部３６と、前記装着部３４と前記支持固定部３６との間で前記装着孔２４に嵌められて結合される結合凹部３８と、前記支持固定部３６と隣接した位置から延長形成され、前記装着部３４とは反対に下端に位置する把持先端部３２にコイルスプリング状に弾性把持力を加えながらヒンジとしての役割をする角度変換ヒンジ部４０と、前記角度変換ヒンジ部４０と隣接して延長されて折り曲げられ、端部に把持先端部３２が位置する折曲部４２と一体に構成される。
【００２８】
このとき、前記フィンガー３０には、前記装着部３４の中央を中心に両側に左右対称に前記結合凹部３８、前記支持固定部３６、３６、前記角度変換ヒンジ部４０、４０、前記折曲部４２、４２及び前記把持先端部３２、３２がそれぞれ一体に形成され、前記両側の結合凹部３８は、前記ベルト本体１０の装着孔２４に嵌められて結合され、前記把持先端部３２は、両側にそれぞれ形成された設置長孔１６、１６にそれぞれ嵌められて結合され、左右が均衡をなして安定的な作動が行われる。
【００２９】
また、前記フィンガー３０は、鋼線を折り曲げて成形してなるが、前記フィンガー３０の把持先端部３２は、単一鋼線の端部を切断した円筒状断面部を有するように構成され、ストリップ状部品５０を把持する場合、把持先端部３２と線接触し、接触面積が最小化されるように構成される。
【００３０】
また、前記ベルト本体１０の把持突出部１２に設けられた折曲突起１８と前記フィンガー３０の把持先端部３２とは互いに対をなし、これら折曲突起１８と把持先端部３２は、一定のピッチごとに繰り返して設けられ、前記ストリップ状部品５０を一定のピッチごとに繰り返して把持・装着するので、ストリップ状部品５０の給送中にベルト本体１０とフィンガー３０との間でストリップ状部品５０が動いたり、分離・離脱されないように十分な把持力を有して構成される。
【００３１】
次は、上述したように構成される本発明の作動過程を詳細に説明する。
【００３２】
まず、ベルト本体１０とフィンガー３０を互いに結合する場合、ベルト本体１０の上部に予め形成した装着孔２４にはフィンガー３０の装着部３４と支持固定部３６の一部を嵌めて結合し、結合凹部３８を装着孔２４の上面に嵌めて密着させ、ベルト本体１０の装着孔２４を中心に下部両側に形成された設置長孔１６、１６にはフィンガー３０の両側に形成された把持先端部３２、３２をそれぞれ嵌めて結合し、折曲部４２、４２をそれぞれ係合することによって、把持先端部３２、３２の内側部分が折曲突起１８、１８の前方垂直部２２、２２とそれぞれ当接し、ストリップ状部品５０を把持・装着するのに適した状態を維持するように結合される。
【００３３】
このとき、ベルト本体１０に一定のピッチごとに形成された一対の設置長孔１６と一つの装着孔２４にフィンガー３０をそれぞれ装着し、ベルト本体１０全体にわたってフィンガー３０を装着するようになり、装着されたこれらフィンガー３０のそれぞれが、コイルスプリング状の支持固定部３６によってベルト本体１０と弾性的に支持・結合されながら、コイルスプリング状の角度変位ヒンジ部４０によって把持先端部３２の弾性的な開閉とともにストリップ状部品５０のアンローディング又はローディング作業が行われる。
【００３４】
また、ストリップ状部品５０をベルト本体１０に装着・ローディングして把持する場合、一定のピッチごとに設置されていたベルト本体１０の前方垂直部２２とフィンガー３０の把持先端部３２も互いに対をなし、これら各前方垂直部２２と各把持先端部３２との間にストリップ状部品５０の上部一側が装着・把持され、ストリップ状部品５０のローディング作業が行われるようになる。このとき、前方垂直部２２や把持先端部３２の構造的な特性上、内側に位置するストリップ状部品５０とはそれぞれ線接触する状態で密着及び圧着による把持が行われる。結局、前記のようにストリップ状部品５０がベルト本体１０にローディングされ、ベルト本体１０によってストリップ状部品５０が給送されながら、めっき槽内部で沈積された状態でめっき処理が行われる場合、めっき液のほとんどがストリップ状部品５０の表面全体にわたって到逹し、めっきが行われるようになる。
【００３５】
もちろん、前方垂直部２２や把持先端部３２の構造的な特性上、ストリップ状部品５０との線接触がそれぞれ行われる把持部は、未めっき部位として残るおそれがあるが、このような未めっき部位は極めて微々たるものであり、ストリップ状部品５０のめっき部位は、品質管理上要求される仕様に十分に充足する程度に良好な状態を維持できるようになる。
【００３６】
また、前記のようにめっき作業が行われた後、めっきされたストリップ状部品５０をアンローディングしようとする場合、フィンガー３０の把持先端部３２を後部から加圧し、前方垂直部２２と把持先端部３２を互いに広げた状態でストリップ状部品５０をベルト本体１０から分離してアンローディング作業を行えばよい。
【００３７】
以上説明したように、本発明によると、ベルト本体１０とフィンガー３０が分離結合型で構成されるストリップ状部品の移送用ベルトにおいて、ベルト本体１０とフィンガー３０との間にストリップ状部品５０を装着したローディングが行われ、めっき槽内部のめっき液に沈積された状態でストリップ状部品５０が給送されながらめっき処理作業を行う場合、ベルト本体１０とフィンガー３０との間に装着されるストリップ状部品５０がベルト本体１０又はフィンガー３０と互いに重なる部分を最小化することによって、めっき処理作業後に形成される未めっき部分も最小化できるようにし、めっき作業上、品質仕様で要求される条件を充足させ、製品の不良率を減少させることができる。また、ベルト本体１０とフィンガー３０との間に装着されるストリップ状部品５０がベルト本体１０又はフィンガー３０と互いに重なる部分を最小化しながらも、ストリップ状部品５０の給送中にベルト本体１０とフィンガー３０との間でストリップ状部品５０が動いたり、分離・離脱されないように十分な把持及び装着力を持たせるようにし、作動が安定的に行われるようになる。
【符号の説明】
【００３８】
１０    ベルト本体
１２    把持突出部
１４    凹部
１６    設置長孔
１８    折曲突起
２０    後方傾斜部
２２    前方垂直部
２４    装着孔
３０    フィンガー
３２    把持先端部
３４    装着部
３６    支持固定部
３８    結合凹部
４０    角度変換ヒンジ部
５０    ストリップ状部品
【図１】
0005371129.tif 000002
【図２】
0005371129.tif 000003
【図３】
0005371129.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0005371129.tif 000007
【図７】
0005371129.tif 000008
【図８】
0005371129.tif 000009
【図９】
0005371129.tif 000010
【図１０】
0005371129.tif 000011