(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶ディスプレイのカラーフィルタのガラス基板にＲ、Ｇ、Ｂの３原色にそれぞれ対応した３種類の着色層を形成する転写装置のステージに載置される転写対象のガラス基板上に熱溶融型の着色剤層が形成された転写フィルムを供給する方法であって、複数回の転写に対応可能な長さの転写フィルムを収容する供給部とそのフィルムを回収する回収部とを備えたカートリッジを用意し、前記供給部から引き出された転写フィルムが前記カートリッジの下端に沿って真っ直ぐに伸ばされた上で前記回収部に回収されるようにして前記供給部と前記回収部との間に一回の転写に必要な長さの転写フィルムを繰り出すとともに、その繰り出した転写フィルムが前記ステージ上の前記ガラス基板と重なるように前記繰り出した転写フィルムを下にした状態の前記カートリッジを前記ステージに搭載し、
前記回収部を駆動する駆動装置、転写フィルムをクリーニングするクリーニング装置及び転写フィルムの欠陥の有無を検査する検査装置を備えた検査・供給部に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色につきそれぞれ１つ以上の前記カートリッジを用意し、前記検査・供給部から前記各色のカートリッジを交互にステージに載せ替えるとともに、いずれか一のカートリッジが前記ステージに搭載されて転写が行われている間に並行して、前記駆動装置に、前記ステージから取り外されて待機中で、前記ステージに搭載されたカートリッジとは別の色のカートリッジの前記供給部と前記回収部との間に次回の転写に必要な長さの転写フィルムを繰り出させ、かつ繰り出した転写フィルムに対して、前記クリーニング装置にクリーニングさせ、前記検査装置に検査させることを特徴とする転写フィルムの供給方法。
【請求項２】
前記検査にて前記転写フィルムに欠陥が検出された場合、その欠陥部分が前記ガラス基板と重なる範囲から外れるように前記供給部から前記回収部へと前記転写フィルムを送出することを特徴とする請求項１に記載の転写フィルムの供給方法。
【請求項３】
前記欠陥部分の検出に伴って新たに繰り出された転写フィルムに対してクリーニング及び検査を行い、前記ガラス基板と重なる範囲から前記欠陥部分が検出されなくなるまで前記転写フィルムの送出、クリーニング及び検査を繰り返すことを特徴とする請求項２に記載の転写フィルムの供給方法。
【請求項４】
前記供給部及び前記回収部のそれぞれにロールを配置し、前記供給部のロールから引き出された転写フィルムを前記回収部のロールに巻き取るようにしたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の転写フィルムの供給方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の転写フィルムの供給方法により前記ガラス基板上に供給された転写フィルムに前記転写装置のレーザ照射部からレーザビームを照射して前記転写フィルム上の被転写物質を前記ガラス基板に転写することを特徴とする転写方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイのカラーフィルタの基板上に熱溶融型の着色剤層が形成された転写フィルムを供給する場合等に好適な転写フィルムの供給方法、その供給方法を利用した転写方法、及び転写フィルムの供給用のカートリッジに関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイ等のカラーフィルタの基板に着色層を形成する方法としてレーザ転写法が提案されている（例えば特開平１０−２０６６２５号公報、特開平７−１０４１１３号公報参照）。レーザ転写法は、フィルム状の基材に予め熱溶融型の着色剤を塗布して転写フィルムを形成し、その転写フィルムとカラーフィルタの基板とを重ね合わせた状態で転写フィルムにレーザビームを当てて着色剤を溶融させることにより、基板に所望のパターンで着色剤を転写する方法である。
【０００３】
上記のレーザ転写法においては、転写装置のステージに載置された基板に対して、これを覆うように転写フィルムを供給する必要がある。従来の供給方法では、転写フィルムのロールから一回の転写に必要な長さの転写フィルムを引き出してこれをロールから切断し、得られた一枚の転写フィルムをステージ上に移送し、基板上へ転写フィルムを展開している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の供給方法では転写フィルムを基板サイズに合わせて切断する工程が必要であり、作業工数が増加してコスト及び時間が嵩む。切断面から塵が発生し、その塵が転写フィルムや基板に付着して転写に悪影響を与えるおそれもある。
【０００５】
こうした不都合を解消するため、転写装置にそのレーザ照射部を挟むようにして一対のロールを装着し、転写が行われる毎に一方のロールから他方のロールへと転写フィルムを所定長ずつ移し替えることにより、多数枚の基板上に連続的に転写フィルムを供給する連続供給方式が検討された。このような方法によれば転写フィルムを切断する必要がないので発塵の問題は生じない。
【０００６】
しかし、上記の連続供給方式では、一対のロールをそれらの間に転写フィルムが巻き掛けられた状態で交換することを可能とするためにレーザ照射部を片持ち構造にする必要が生じる等、転写装置の設計上の制約が大きくなる。レーザ照射部の前後に基板よりも長い距離に亘って転写フィルムを露出させる必要があり、転写フィルムへ異物が付着するおそれが高まる。
【０００７】
そこで、本発明は転写フィルムの切断が不要で、転写フィルムの露出量も小さくて済み、かつ転写フィルムの供給の都合から生じる転写装置の設計の制約を抑えることができる転写フィルムの供給方法及びその供給方法を利用した転写方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の供給方法は、液晶ディスプレイのカラーフィルタのガラス基板にＲ、Ｇ、Ｂの３原色にそれぞれ対応した３種類の着色層を形成する転写装置（１）のステージ（４）に載置される転写対象のガラス基板（１０）上に熱溶融型の着色剤層が形成された転写フィルム（１１）を供給する方法であって、複数回の転写に対応可能な長さの転写フィルムを収容する供給部（１２ａ）とそのフィルムを回収する回収部（１２ｂ）とを備えたカートリッジ（１２）を用意し、前記供給部から引き出された転写フィルムが前記カートリッジの下端に沿って真っ直ぐに伸ばされた上で前記回収部に回収されるようにして前記供給部と前記回収部との間に一回の転写に必要な長さの転写フィルムを繰り出すとともに、その繰り出した転写フィルムが前記ステージ上の前記ガラス基板と重なるように前記繰り出した転写フィルムを下にした状態の前記カートリッジを前記ステージに搭載し、前記回収部を駆動する駆動装置、転写フィルムをクリーニングするクリーニング装置及び転写フィルムの欠陥の有無を検査する検査装置を備えた検査・供給部に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色につきそれぞれ１つ以上の前記カートリッジを用意し、前記検査・供給部から前記各色のカートリッジを交互にステージに載せ替えるとともに、いずれか一のカートリッジが前記ステージに搭載されて転写が行われている間に並行して、前記駆動装置に、前記ステージから取り外されて待機中で、前記ステージに搭載されたカートリッジとは別の色のカートリッジの前記供給部と前記回収部との間に次回の転写に必要な長さの転写フィルムを繰り出させ、かつ繰り出した転写フィルムに対して、前記クリーニング装置にクリーニングさせ、前記検査装置に検査させることにより、上述した課題を解決する。
【０００９】
本発明の供給方法によれば、各回の転写に先立ってカートリッジの供給部から必要な長さの転写フィルムを繰り出して基板に重ねることができ、使用済みの転写フィルムは回収部に回収することができる。これにより、転写フィルムを切断する必要がなくなり、切断面からの発塵の問題が生じない。カートリッジをステージに搭載するようにしたので、転写フィルムの露出量は最小限で足りる。ステージを転写部（例えばレーザ照射部直下の領域）の外へ移動させて基板の載せ替えを行う位置にてカートリッジの搭載及び取り外しを行うことができるので、転写フィルムの供給機構の構成が転写部の設計に与える影響を抑えることができ、その結果、転写部の設計自由度が高まる。また、いずれかのカートリッジがステージに搭載されて転写が行われている間に、待機中のカートリッジの供給部から次回の転写に備えて転写フィルムが繰り出される。従って、転写フィルムを繰り出す作業に起因して転写処理の効率が低下するおそれがない。また、転写フィルムへの異物の付着に起因する転写不良の発生を未然に防止できる。待機中のカートリッジに対してクリーニングが行われるので、転写処理の効率が損なわれるおそれもない。また、転写フィルムの欠陥に起因する転写不良の発生を未然に防止できる。待機中のカートリッジの転写フィルムに対して欠陥検査が行われるので、転写処理の効率が損なわれるおそれもない。
【００１４】
前記検査にて前記転写フィルムに欠陥が検出された場合、その欠陥部分が前記ガラス基板と重なる範囲から外れるように前記供給部から前記回収部へと前記転写フィルムを送出するようにしてもよい。この場合には、転写フィルム上にて検出された欠陥部分が回収部へ送られることにより、その欠陥部分の使用を確実に防止できる。
【００１５】
前記欠陥部分の検出に伴って新たに繰り出された転写フィルムに対してクリーニング及び検査を行い、前記ガラス基板と重なる範囲から前記欠陥部分が検出されなくなるまで前記転写フィルムの送出、クリーニング及び検査を繰り返すようにしてもよい。この場合にはステージ上の基板に対して常に欠陥のない転写フィルムを供給することができる。
【００１６】
本発明の供給方法において、前記供給部及び前記回収部のそれぞれにロール（１４，１５）を配置し、前記供給部のロールから引き出された転写フィルムを前記回収部のロールに巻き取るようにしてもよい。このようにすれば、転写フィルムの供給及び回収を簡単な構造で行うことができ、カートリッジの軽量化、小型化に資することができる。
【００１７】
本発明の転写方法は、上述した転写フィルムの供給方法により前記ガラス基板（１０）上に供給された前記転写フィルム（１１）に前記転写装置（１）のレーザ照射部（６）からレーザビームを照射して前記転写フィルム上の被転写物質を前記ガラス基板に転写することを特徴とする。この転写方法によれば、本発明の供給方法の上述した利点を活かして効率よく高品質で転写を行うことができる。
【００２２】
なお、上記の説明では、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図６を参照して本発明の一実施形態を説明する。図６は液晶ディスプレイのカラーフィルタのガラス基板に着色層を形成する転写装置１の全体構成を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図である。転写装置１は、ベッド２と、門型のコラム３と、ステージ４とを有している。ステージ４は直線案内装置５を介してベッド２に取り付けられて水平面内の所定の軸方向（図６（ａ）に矢印で示す方向。）に沿って段取り位置Ｐ１とコラム３の直下の転写位置Ｐ２との間を移動可能である。段取り位置Ｐ１では基板１０の載せ替え等の段取り作業が行われる。
【００２４】
コラム３にはレーザ照射部６が取り付けられている。レーザ照射部６は転写位置Ｐ２に送られたステージ４に向かってレーザビームを照射する。レーザ照射部６は、水平面内でステージ４の移動方向と直交する方向にレーザビームを走査する機能を有している。転写装置１は、レーザ照射部６におけるレーザビームの走査とステージ４の移動との組み合わせによってステージ４上の任意の位置にレーザビームを照射可能である。なお、ステージ４は一枚の基板１０を搭載するに適した大きさに設計されている。
【００２５】
図１は、本発明の方法により上記の転写装置１のステージ４に載置された一枚の基板１０の上に転写フィルム１１を供給する例を示している。この例においては、転写フィルム１１がカートリッジ１２に収容されており、そのカートリッジ１２がそのままステージ４に搭載されて基板１０上に転写フィルム１１が供給される。図２にも示したように、カートリッジ１２は互いに平行に配置された一対の板状のフレーム１３，１３を有している。フレーム１３，１３の一端側には供給ロール１４が取り付けられ、フレーム１３の他端側には巻取ロール１５が取り付けられている。各ロール１４，１５は互いに平行な軸線の回りに回転自在である。
【００２６】
各ロール１４，１５の間には、ステージ４に載置される基板１０の長さよりも長いスペース１６が確保されている。転写フィルム１１に対するレーザビームの照射と転写フィルム１１から基板１０へのパターンの転写とを可能とするためにスペース１６の上下は開放されている。つまり、レーザビームの導入用の開口部と、転写フィルム１１と基板１０とを密着させるための開口部とがカートリッジ１２の上下に設けられている。
【００２７】
カートリッジ１２の使用開始前の初期状態において、供給ロール１４には多数枚（例えば１００〜４００枚）の基板１０の転写に対応可能な長さの転写フィルム１１が巻き付けられている。これによりフレーム１３の一端側に転写フィルム１１の供給部１２ａが構成される。供給ロール１４から引き出された転写フィルム１１はカートリッジ１２の下端に沿って真っ直ぐに伸ばされた上で巻取ロール１５に巻き取られている。これによりフレーム１３の他端側に転写フィルム１１の回収部１２ｂが構成される。そして、供給部１２ａと回収部１２ｂとの間に転写フィルム１１の繰り出し部１２ｃが構成される。
【００２８】
繰り出し部１２ｃに繰り出されている転写フィルム１１の長さは基板１０よりも長い。また、転写フィルム１１の幅は基板１０の幅よりも大きい。このため、転写装置１の段取り位置Ｐ１にて、ステージ４に基板１０を載置し、その上から繰り出し部１２ｃを下にしてカートリッジ１２をステージ４に載せることにより、基板１０を繰り出し部１２ｃの転写フィルム１１にて完全に覆うことができる。カートリッジ１２を載せままステージ４を転写位置Ｐ２に移動させてレーザ照射部６から転写フィルム１１にレーザビームを照射することにより、基板１０に転写フィルム１１上の着色剤等の被転写物質を基板１０に転写することができる。
【００２９】
なお、カートリッジ１２の全長はステージ４の全長より大きくてもよいし、小さくてもよい。但し、ステージ４の負荷を軽減するため、カートリッジ１２は可能な限り小型かつ軽量に構成することが望ましい。
【００３０】
ステージ４に載置された基板１０とカートリッジ１２の繰り出し部１２ｃに繰り出されている転写フィルム１１との密着性を高めるため、カートリッジ１２には馴染みロール１８が設けられている。馴染みロール１８は供給ロール１４及び巻取ロール１５と比較して十分に小径である。馴染みロール１８はロール１４，１５の間を回転しながら往復移動可能な状態でフレーム１３，１３に取り付けられている。例えば各フレーム１３に転写フィルム１１の送り方向に伸びる溝を形成し、それらに馴染みロール１８の回転軸の両端部を嵌め合わせることにより、馴染みロール１８をその往復運動と回転運動とを許容しつつフレーム１３，１３にて支持することができる。
【００３１】
なお、図１に示すように、ステージ４に載置される基板１０（図１に想像線で示す。）の両側には吸着孔１９…１９が列をなして形成されている。これらの吸着孔１９は不図示の吸引手段と連結されている。各吸着孔１９から空気を吸い込むことにより転写フィルム１１を基板１０と密着した状態でステージ４上に保持することができる。
【００３２】
次に、図３〜図５を参照して上記の供給方法を液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの着色層の形成に使用する場合の実施形態を説明する。
【００３３】
図３は、一台の転写装置１にて液晶ディスプレイのカラーフィルタ用基板に着色層を形成する場合の例を示している。一般に、カラーフィルタの基板１０にはＲ，Ｇ，Ｂの３原色にそれぞれ対応した３種類の着色層を形成する必要がある。これに対して、転写フィルム１１には基板１０に形成すべき３原色の着色層のうちいずれか１色の着色層に対応した熱溶融型の着色剤が予め定着される。このような場合には、一台の転写装置１に対応して、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色につきそれぞれ１つ以上のカートリッジ１２…１２を予め用意する。用意されたカートリッジ１２は所定の検査・供給部２１に集めておく。そして、用意されたカートリッジ１２のうち、転写に使用するいずれか一つのカートリッジ１２を検査・供給部２１からステージ４に供給する。転写後はカートリッジ１２を転写装置１から検査・供給部２１に回収し、別の色のカートリッジ１２を転写装置１へ供給する。こうした処理を各色について繰り返して基板１０に３色の着色層を形成する。
【００３４】
図４は検査・供給部２１にて行われる処理を示している。検査・供給部２１では、転写に使用されていない待機中のカートリッジ１２に対して、フィルム送出処理（ａ）、クリーニング処理（ｂ）及び検査処理（ｃ）が行われる。
【００３５】
フィルム送出処理では、巻取ロール１５が所定の巻取方向（図４（ａ）に矢印で示す。）に駆動されることにより、次回の転写に備えて供給ロール１４から巻取ロール１５に一回の転写に必要な長さだけ転写フィルム１１が送出される。これにより、転写装置１に供給されるカートリッジ１２の繰り出し部１２ｃには、レーザビームが照射されていない使用前の転写フィルム１１が繰り出されることになる。
【００３６】
クリーニング処理では、繰り出し部１２ｃに繰り出されている転写フィルム１１に対してクリーニングが行われる。例えば転写フィルム１１を挟むようにしてノズル２２，２２が配置され、各ノズル２２からクリーニング用の気体（例えば二酸化炭素）が送り出されるとともにノズル２２が転写フィルム１１に沿って送られて転写フィルム１１上の異物が吹き飛ばされる。但し、クリーニング処理においては、気体を利用した方法に限らず、各種のクリーニング方法を利用してよい。
【００３７】
検査処理では、繰り出し部１２ｃに繰り出されている転写フィルム１１の欠陥の有無が検査される。その検査は、例えば検査カメラ２３によって繰り出し部１２ｃの転写フィルム１１を撮影し、得られた画像を解析して欠陥の有無を判別することにより行われる。但し、画像処理を用いた欠陥検査に限らず、各種の欠陥検出方法を利用してよいことは勿論である。ここでいう欠陥とは、転写フィルム１１上に形成された着色層の傷やムラ、転写フィルム１１への異物の付着等、基板１０への着色層の転写品質を劣化させることが懸念される各種の事象をいう。
【００３８】
検査処理において欠陥が検出された場合には、再び転写フィルム１１の送出処理が行われる。このときの転写フィルム１１の送出量は、検出された欠陥が繰り出し部１２ｃから外れる程度でよい。例えば画像処理において欠陥の位置が特定できる場合には、その位置に基づいて欠陥部分が繰り出し部１２ｃから回収部１２ｂに移動するまでに必要な転写フィルム１１の移動量を算出し、その算出された移動量だけ供給部１２ａから回収部１２ｂへと転写フィルム１１を送り出せばよい。但し、欠陥の位置に拘わりなく常に一回の転写で必要な長さだけ転写フィルム１１を送出するようにしてもよい。
【００３９】
欠陥の検出に伴って転写フィルム１１が再度送出された後は、再びクリーニング処理及び検査処理が行われる。検査処理にて再び欠陥が検出されたときは送出処理がさらに行われる。こうした一連の処理は欠陥が検出されなくなるまで繰り返される。これにより、ステージ４に載置されるカートリッジ１２の繰り出し部１２ｃには、欠陥のない転写フィルム１１が常に繰り出される。従って、転写フィルム１１の欠陥に起因する転写不良の発生が未然に防がれる。
【００４０】
上述した検査・供給部２１の各処理は転写装置１に他のカートリッジ１２が搭載されて転写が行われている間に並行して行うことができる。従って、転写の効率が低下するおそれもない。
【００４１】
図５はステージ４にカートリッジ１２を搭載した後の処理を示している。カートリッジ１２をステージ４に搭載した後は、まず図５（ａ）に示すように馴染みロール１８を基板１０の一端側から他端側へ向かって移動させて転写フィルム１１を基板１０に密着させる。このとき、馴染みロール１８の移動に追従するように、吸着孔１９からの吸引力が作用する領域を基板１０の一端側から他端側に向かって拡大すれば転写フィルム１１と基板１０とをより確実に密着できて好ましい。また、馴染みロール１８の移動開始時には終点側で転写フィルム１１を持ち上げておき、馴染みロール１８が終点に近付くほど転写フィルム１１を基板１０に向かって降ろすとよい。
【００４２】
転写フィルム１１を基板１０に密着させた後は、図５（ｂ）に示すようにレーザ照射部６からレーザビームを照射して着色層の転写を開始する。転写終了後はカートリッジ１２をステージ４から取り外し、別の色のカートリッジ１２を検査・供給部２１からステージ４に供給して同様手順で転写を行う。ステージ４に対してＲ，Ｇ，Ｂの３色のカートリッジ１２を交互に載せ代えて３回の転写を行うことにより一枚の基板１０に対する着色層の形成が完了する。
【００４３】
本発明は上述した実施形態に限定されることなく種々の形態にて実施してよい。例えば、ステージ４に２枚以上の基板１０を搭載し、それらの基板１０を単一のカートリッジ１２の転写フィルム１１で覆うことにより、一回の転写で複数枚の基板１０に着色層を形成してもよい。
【００４４】
上記の実施形態ではＲ，Ｇ，Ｂの３原色に対応した３種類の転写フィルムをそれぞれ別々のカートリッジ１２に収容し、それらを交互にステージ４に載せ代えながら転写を繰り返すようにしたが、単一種類の被転写物質、例えば基板１０にブラックストライプを形成するための材料を転写フィルム１１から基板１０に転写する場合にも本発明は利用できる。この場合には同一種類の転写フィルムを複数のカートリッジ１２に収容し、それらのカートリッジ１２をステージ４に対して交互に載せ代えればよい。
【００４５】
供給ロール１４から巻取ロール１５へ転写フィルム１１を送出する際の各ロール１４，１５の駆動は作業者が手動にて行うようにしてもよいが、量産時にはモータ等の駆動源により巻取ロール１５を回転駆動することが望ましい。その場合、ステージ４の負荷を軽減するために駆動装置は可能な限りカートリッジ１２外に配置し、ステージ４へカートリッジ１２を搭載する際にはそれらの駆動装置をカートリッジ１２から切り離せるようにすることが望ましい。例えば巻取ロール１５の回転軸の軸端部を、検査・供給部２１に設置された駆動装置の駆動軸に対して軸継手や歯車列等の連結手段を介して連結及びその解除ができるようにすればよい。
【００４６】
カートリッジ１２にはその繰り出し部１２ｃに繰り出された転写フィルム１１の弛みを防止する手段を設けることが望ましい。例えば、供給ロール１４に対しては、コイルばね等の付勢手段を利用して転写フィルム１１の引き出し時の回転方向と逆方向に回転力を付与するとともに、巻取ロール１５に対してはその回転を阻止する制動機構か、又は転写フィルム１１の巻取方向と逆方向への回転を制限する逆転防止機構（例えばラチェット機構）を付設すればよい。
【００４７】
本発明のカートリッジ１２は上記の実施形態に限定されることなく種々の構成で実施してよい。フィルムの供給部１２ａ及び回収部１２ｂはそれぞれロール以外の手段により長尺のフィルムを保持するものでもよい。例えば、回収部１２ｂは使用済みフィルムを折り畳んで回収するように構成してもよい。
【００４８】
本発明は液晶ディスプレイのカラーフィルタ用の基板に限らず、各種の基板に転写フィルムを重ねて供給する場合に利用できる。
【００４９】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の供給方法によれば、各回の転写に先立ってカートリッジの供給部から必要な長さの転写フィルムを繰り出して基板に重ねることができ、使用済みの転写フィルムは回収部に回収することができる。これにより、転写フィルムを切断する必要がなくなり、切断面からの発塵の問題が生じない。カートリッジをステージに搭載するようにしたので、転写フィルムの露出量は最小限で足りる。ステージを転写部（例えばレーザ照射部直下の領域）の外へ移動させて基板の載せ替えを行う位置にてカートリッジの搭載及び取り外しを行うことができるので、転写フィルムの供給機構の構成が転写部の設計に与える影響を抑えることができ、その結果、転写部の設計自由度が高まる。特に、複数のカートリッジを用意し、それらを交互にステージに載せ替えるとともに、待機中のカートリッジに対して、次回の転写に使用する転写フィルムの送出や転写フィルムのクリーニング、検査を行うようにすれば、転写処理の効率を損なうことなく、転写処理に必要な種々の準備を行うことができて好都合である。また、本発明の転写方法及びカートリッジによれば、本発明の供給方法を利用して高効率で品質の高い転写処理を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の方法により転写装置のステージに載置された一枚の基板上に転写フィルムを供給する実施形態を示す斜視図。
【図２】ステージ上に載置されたカートリッジをその上方からみた状態を示す図。
【図３】転写装置とカートリッジの検査・供給部との関係を示す図。
【図４】検査・供給部にて待機中のカートリッジに対して行われる各種の処理を示す図。
【図５】転写装置のステージにカートリッジを載置した後の処理を示す図。
【図６】転写装置の一例を示す図。
【符号の説明】
１  転写装置
４  ステージ
６  レーザ照射部
１０  基板
１１  転写フィルム
１２  カートリッジ
１２ａ  供給部
１２ｂ  回収部
１２ｃ  繰り出し部
１３  フレーム
１４  供給ロール
１５  巻取ロール
１６  スペース
１８  馴染みロール
１９  吸着孔
２１  検査・供給部
２２  ノズル
２３  検査カメラ
【図１】
0005193407.tif 000002
【図２】
0005193407.tif 000003
【図３】
0005193407.tif 000004
【図４】
0005193407.tif 000005
【図５】
0005193407.tif 000006
【図６】
0005193407.tif 000007