(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管に形成された装置挿入孔に挿入して設置され、配管通路を通過する被計測流体の流量を測定する流量測定装置において、
基端部に前記配管の外部に突出したコネクタを有するベース本体、このベース本体から径方向に延びて設けられ前記装置挿入孔に嵌着されるフランジを含む樹脂製のベースと、
前記ベース本体に部分的に重ねて設けられたプレートと、
このプレートに露出して設けられ前記被計測流体の流量を検出する流量検出素子と、
前記プレートの前記コネクタ側に設けられ前記流量検出素子からの信号を処理する制御回路を有する回路基板と、
この回路基板を覆った回路収納部、前記プレートと協同して計測用通路を形成する流体通路溝を有する樹脂製のカバーと、
前記回路収納部の内部に設けられ前記コネクタと前記回路基板とを電気的に接続したワイヤと、
前記フランジの内壁面とこの内壁面に対向した前記カバーの外周壁面との間に設けられ、フランジとカバーとを連結し、前記配管の振動に起因するベース本体の変形を抑制する変形抑制手段とを備え、
前記変形抑制手段は、接着剤が硬化した接着部であることを特徴とする流量測定装置。
【請求項２】
配管に形成された装置挿入孔に挿入して設置され、配管通路を通過する被計測流体の流量を測定する流量測定装置において、
基端部に前記配管の外部に突出したコネクタを有するベース本体、このベース本体から径方向に延びて設けられ前記装置挿入孔に嵌着されるフランジを含む樹脂製のベースと、
前記ベース本体に部分的に重ねて設けられたプレートと、
このプレートに露出して設けられ前記被計測流体の流量を検出する流量検出素子と、
前記プレートの前記コネクタ側に設けられ前記流量検出素子からの信号を処理する制御回路を有する回路基板と、
この回路基板を覆った回路収納部、前記プレートと協同して計測用通路を形成する流体通路溝を有する樹脂製のカバーと、
前記回路収納部の内部に設けられ前記コネクタと前記回路基板とを電気的に接続したワイヤと、
前記フランジの内壁面とこの内壁面に対向した前記カバーの外周壁面との間に設けられ、フランジとカバーとを連結し、前記配管の振動に起因するベース本体の変形を抑制する変形抑制手段とを備え、
前記変形抑制手段は、前記フランジの内壁面及び前記カバーの外周壁面が溶着した溶着部であることを特徴とする流量測定装置。
【請求項３】
配管に形成された装置挿入孔に挿入して設置され、配管通路を通過する被計測流体の流量を測定する流量測定装置において、
基端部に前記配管の外部に突出したコネクタを有するベース本体、このベース本体から径方向に延びて設けられ前記装置挿入孔に嵌着されるフランジを含む樹脂製のベースと、
前記ベース本体に部分的に重ねて設けられたプレートと、
このプレートに露出して設けられ前記被計測流体の流量を検出する流量検出素子と、
前記プレートの前記コネクタ側に設けられ前記流量検出素子からの信号を処理する制御回路を有する回路基板と、
この回路基板を覆った回路収納部、前記プレートと協同して計測用通路を形成する流体通路溝を有する樹脂製のカバーと、
前記回路収納部の内部に設けられ前記コネクタと前記回路基板とを電気的に接続したワイヤと、
前記フランジの内壁面とこの内壁面に対向した前記カバーの外周壁面との間に設けられ、フランジとカバーとを連結し、前記配管の振動に起因するベース本体の変形を抑制する変形抑制手段とを備え、
前記変形抑制手段は、少なくとも前記フランジの内壁面及び前記カバーの外周壁面の一方に形成され、押圧により塑性変形された突起部であることを特徴とする流量測定装置。
【請求項４】
前記ワイヤは、両端部がワイヤボンディングにより前記コネクタ及び前記回路基板に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の流量測定装置。
【請求項５】
前記接着剤は、エポキシ系接着剤であることを特徴とする請求項１に記載の流量測定装置。
【請求項６】
前記カバーの前記回路収納部を形成する囲い部とこの囲い部と対向した前記ベース本体との間には、硬化後の剛性が前記エポキシ系接着剤よりも低い低剛性接着剤が塗布、硬化されていることを特徴とする請求項５に記載の流量測定装置。
【請求項７】
前記エポキシ系接着剤と前記低剛性接着剤とは分離されて塗布されていることを特徴とする請求項６に記載の流量測定装置。
【請求項８】
前記カバーのフランジ側には、前記エポキシ接着剤を充填するための溝がフランジの前記内壁面と平行に延びて形成されているとともに、この溝には前記ベース本体から突出した接着用リブが遊挿しており、
前記カバーの回路基板側には、前記低剛性接着剤を充填するための溝がカバーの前記囲い部に沿って全周にわたって形成されているとともに、この溝には前記ベース本体から突出した接着用リブが遊挿していることを特徴とする請求項７に記載の流量測定装置。
【請求項９】
前記エポキシ系接着剤は、非アミン系硬化剤を用いたエポキシ樹脂を主成分とした接着剤であり、前記低剛性接着剤は、加熱硬化型シリコーン接着剤であることを特徴とする請求項６〜８の何れか１項に記載の流量測定装置。
【請求項１０】
前記非アミン系硬化剤は、潜在型硬化剤であることを特徴とする請求項９に記載の流量測定装置。
【請求項１１】
前記突起部は、先端部が鋭角あるいは円弧形状の突起形状であることを特徴とする請求項３に記載の流量測定装置。
【請求項１２】
前記接着部よりも反ベース本体側であって、前記フランジの内壁面または前記カバーの外周壁面に、硬化前の前記接着剤が外部に漏れるのを防止する漏洩防止手段が設けられていることを特徴とする請求項１，５〜１０の何れか１項に記載の流量測定装置。
【請求項１３】
前記漏洩防止手段は、前記接着剤が溜まる接着剤溜まり部であることを特徴とする請求項１２に記載の流量測定装置。
【請求項１４】
前記漏洩防止手段は、前記接着剤の流出を止める突起部であることを特徴とする請求項１２に記載の流量測定装置。
【請求項１５】
前記突起部は、ラビリンス構造で複数配置されていることを特徴とする請求項１４に記載の流量測定装置。
【請求項１６】
前記プレートと前記ベースとは、一部材で構成されていることを特徴とする請求項１〜１５の何れか１項に記載の流量測定装置。
【請求項１７】
前記配管は、内燃機関の吸気配管であり、前記被計測流体は空気であることを特徴とする請求項１〜１６の何れか１項に記載の流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、流量に応じて信号を出力する流量測定装置に係り、例えば内燃機関の吸入空気流量を測定するのに適した流量測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、吸気配管に形成された装置挿入孔に挿入して設置され、吸気配管を通過する空気流量を測定する流量測定装置が知られている（特許文献１参照）。
この流量測定装置は、基端部に吸気配管の外部に突出したコネクタを有するベース本体及びこのベース本体から径方向に延びて設けられ前記装置挿入孔に嵌着されるフランジを含む樹脂製のベースと、前記ベース本体に部分的に重ねて設けられたプレートと、このプレートに露出して設けられ前記空気流量を検出する流量検出素子と、前記プレートの前記コネクタ側に設けられ前記流量検出素子からの信号を処理する制御回路を有する回路基板と、前記プレートと協同して計測用通路を形成する流体通路溝を有するとともに回路基板を囲う囲い部が形成された樹脂製のハウジングと、この囲い部を閉じて前記回路基板を覆ったカバーとを備えている。
前記プレートは、一面では前記ベースのベース本体と接着剤で接着され、他面では流量検出素子、回路基板及びハウジングと接着剤で接着されている。
前記ハウジングは、前記囲い部が前記ベースの前記フランジの内壁面に形成された凹部に嵌着されているとともに、ベース本体及びプレートに接着されている（図１６参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−００８６１９号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記構成の流量測定装置では、ハウジングは、囲い部がベースの凹部に嵌着されてベースに組み付けられており、吸気配管に振動が印加された場合、ベースのフランジが固定端、プレート及びハウジングの先端を自由端として所謂片持ち梁の状態になり、ある振動周波数域ではフランジを基点とした共振振動が生じ、基点を中心にして自由端で左右に変形する。
このものの場合、囲い部を凹部に嵌着してハウジングをベースに組み付けたときに、囲い部とベースの凹部との間では僅かではあるが隙間が存在しているので、隙間の分だけベース本体の変形代が大きくなり、その変形に伴い回路基板が変形し、コネクタと回路基板とを電気的に接続したワイヤには繰返し応力が発生し、ワイヤの疲労断線が生じ易いといった問題点があった。
【０００５】
この発明は、かかる問題点を解決することを課題とするものであって、配管の振動に起因したワイヤの断線の発生を低減できる等の流量測定装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係る流量測定装置は、配管に形成された装置挿入孔に挿入して設置され、配管通路を通過する被計測流体の流量を測定する流量測定装置において、基端部に前記配管の外部に突出したコネクタを有するベース本体、このベース本体から径方向に延びて設けられ前記装置挿入孔に嵌着されるフランジを含む樹脂製のベースと、前記ベース本体に部分的に重ねて設けられたプレートと、このプレートに露出して設けられ前記被計測流体の流量を検出する流量検出素子と、前記プレートの前記コネクタ側に設けられ前記流量検出素子からの信号を処理する制御回路を有する回路基板と、この回路基板を覆った回路収納部、前記プレートと協同して計測用通路を形成する流体通路溝を有する樹脂製のカバーと、前記回路収納部の内部に設けられ前記コネクタと前記回路基板とを電気的に接続したワイヤと、前記フランジの内壁面とこの内壁面に対向した前記カバーの外周壁面との間に設けられ、フランジとカバーとを連結し、前記配管の振動に起因するベース本体の変形を抑制する変形抑制手段とを備え、前記変形抑制手段は、接着剤が硬化した接着部であるものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明による流量測定装置によれば、フランジの内壁面とこの内壁面に対向したカバーの外周壁面との間にフランジとカバーとを連結する変形抑制手段を設けたので、配管の振動に起因するベース本体の変形が抑制され、配管の振動に起因したワイヤの断線の発生を低減できる等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】この発明の実施の形態１の流量測定装置を上流側から視たときの縦断面図である。
【図２】図１の流量測定装置の一部を切り欠いて正面図である。
【図３】図１の流量測定装置の要部拡大図である。
【図４】図４（ａ）は図１に示したプレートの側断面図、図４（ｂ）は図４（ａ）の正面図である。
【図５】図５（ａ）は図１に示したプレートに回路基板及び流量検出素子が接着されたときの側断面図、図５（ｂ）は図５（ａ）の正面図である。
【図６】図６（ａ）は図１に示したベースに、図５（ａ），（ｂ）に示したプレートが接着されたときの側断面図、図６（ｂ）は図６（ａ）の正面図である。
【図７】図７（ａ）は図６（ａ）に示したプレートにカバーが接着されてときの側断面図、図７（ｂ）は図７（ａ）の正面図である。
【図８】この発明の実施の形態２の流量測定装置を示す要部拡大断面図である。
【図９】この発明の実施の形態３の流量測定装置を示す要部拡大断面図である。
【図１０】図９の流量測定装置の一部を切り欠いた正面図である。
【図１１】この発明の実施の形態４の流量測定装置を示す要部拡大断面図である。
【図１２】図１１の流量測定装置の一部を切り欠いた正面図である。
【図１３】この発明の実施の形態５の流量測定装置を上流側から視たときの縦断面図である。
【図１４】この発明の実施の形態５の流量測定装置の変形例を示す要部拡大断面図である。
【図１５】この発明の実施の形態６の流量測定装置を上流側から視たときの縦断面図である。
【図１６】従来の流量測定装置を上流側から視たときの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、この発明の各実施の形態について、図に基づいて説明するが、各図において同一、または相当部材、部位については、同一符号を付して説明する。
【００１０】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１の流量測定装置１を上流側から視たときの縦断面図、図２は図１の流量測定装置１の一部を切り欠いて正面図、図３は図１の流量測定装置１の要部拡大図である。
内燃機関の吸気配管５０には装置挿入孔５１が形成されている。流量測定装置１は、この装置挿入孔５１に挿入されて円筒形状の吸気配管５０に設置されている。
この流量測定装置１は、ベース１１と、このベース１１に被測定流体である空気の流れ方向に沿った面で接合されたプレート１０と、このプレート１０に露出して設けられ空気の流量を検出する流量検出素子２と、流量検出素子２と同じ側のプレート１０の面に取り付けられ流量検出素子２からの信号を処理する制御回路が内蔵された回路基板５と、プレート１０及びベース１１に接着されたカバー６とを備えている。
【００１１】
上記ベース１１は、先端部が配管通路である主通路１９の内部で径方向に延出しているとともに基端部に吸気配管５０の外部に突出したコネクタ１３を有するベース本体３２と、このベース本体３２から径方向に延びて設けられ装置挿入孔５１に嵌着されたフランジ１７とを有している。
ベース１１は、ターミナル１２がモールド成形で一体化されている。このターミナル１２は、一端部がコネクタ１３の端子を構成し、他端部が回路基板５とワイヤ８を介して電気的に接続されている。
流量測定装置１は、フランジ１７の四隅のそれぞれの取付ネジ１８により、吸気配管５０に固定されている。フランジ１７の周側面の溝部には、装置挿入孔５１とフランジ１７との間からの空気の漏れを防止するＯリング１４が密接している。
【００１２】
上記プレート１０は、例えばＰＢＴ(ポリブチレンテレフタレート)樹脂で成形されている。プレート１０では、窓状の枠部３３に回路基板５が載置されている。枠部３３には、段差部を介して平板部３４が連結されている。平板部３４の枠部３３側には、流量検出素子２を収めた凹部７が形成されている。この流量検出素子２は、回路基板５とワイヤ８により電気的に接続されている。
【００１３】
樹脂で一体成形された上記カバー６は、回路基板５を覆い、収納した回路収納部２０と流体通路溝２３がそれぞれ形成されている。流体通路溝２３は、プレート１０と協同して、空気を導くとともに内部に流量検出素子２が配置された計測用通路９を形成している。
このカバー６は、図２の編み目で示す部位に、熱硬化型シリコーン接着剤が塗布され、プレート１０及びベース１１に接着されている。フランジ１７の内壁面１７ａとこの内壁面１７ａに対向したカバー６の外周壁面６ａとの間には、接着剤が硬化した接着部１６が形成されている。
この接着部１６は、フランジ１７とカバー６とを強固に連結し、固定して、吸気配管５０の振動により起因するベース本体３２の変形を抑制する変形抑制手段を構成している。
【００１４】
上記流量検出素子２は、流量検出抵抗体３及び温度補償用抵抗体４を備えているとともに、表面がプレート１０と共に計測用通路９の壁面の一部を形成している。
また、流量検出抵抗体３と温度補償用抵抗体４とは、絶縁基板上に複合形成されているが、流量検出抵抗体３の熱が温度補償用抵抗体４に伝導し難いような熱絶縁手段（図示せず）が施されている。
【００１５】
次に、上記構成の流量測定装置１の製造手順について、図４〜図７に基づいて説明する。
先ず、図４（ａ），（ｂ）に示されたプレート１０において、シリコーン接着剤を凹部７に塗布した上に回路基板５及び流量検出素子２を載置し、さらに回路基板５と流量検出素子２とをワイヤボンディングによりワイヤ８を用いて電気的に接続する（図５（ａ），（ｂ））。
この状態で回路基板５と流量検出素子２のマッチングのための回路調整を実施する。
【００１６】
次に、プレート１０の枠部３３に接着剤を塗布し、プレート１０をベース本体３２に接着する（図６（ａ），（ｂ））。
さらに、回路基板５とターミナル１２をワイヤボンディングにより、ワイヤ８を用いて電気的に接続し、封止用ゲル（図示せず）を注入後、接着剤を用いてカバー６をベース１１及びプレート１０に接着する。その後、封止用ゲル及び接着剤を熱硬化させる（図７（ａ），（ｂ））。
なお、この実施の形態では、熱硬化タイプの接着剤を使用しているが、常温硬化タイプの接着剤でも構わない。
また、この実施の形態では、フランジ１７の内壁面１７ａとカバー６の外周壁面６ａとの間に接着部１６が形成され、この接着部１６が変形抑制手段を構成しているが、フランジ１７の内壁面１７ａ及びカバー６の外周壁面６ａを溶着して溶着部を形成してフランジ１７とカバー６とを連結し、この溶着部を、吸気配管５０の振動により起因するベース本体３２の変形を抑制する変形抑制手段とすることもできる。
【００１７】
次に、実施の形態１の上記流量測定装置１の効果について、上記特許文献１に記載された流量測定装置１Ａと比較して説明する。
図１６は、流量測定装置１Ａを上流側から視たときの縦断面図である。
この流量測定装置１Ａでは、流体通路溝２３を有するハウジング６０及びカバー６１が実施の形態１の流量測定装置１のカバー６に相当し、回路基板５を囲った、ハウジング６０の囲い部６２にカバー６１が設けられている。
プレート１０は、一面ではベース６３のベース本体６６と熱硬化性の接着剤で接着され、他面では流量検出素子２、回路基板５及びハウジング６０と熱硬化性の接着剤で接着されている。ハウジング６０は、囲い部６２がベース６３のフランジ６５の内壁面６５ａに形成された凹部６４に嵌着されているとともに、ベース本体６３及びプレート１０に接着されている。
ベース６３及びハウジング６０は、モールド樹脂成形で製造され、金型からの抜き工程があるので、ベース６３の凹部６４及びハウジング６０の囲い部６２の各面には、僅かなテーパが生じている。
従って、囲い部６２を凹部６４に嵌着してハウジング６０をベース６３に組み付けたときに、囲い部６２とベース６３の凹部６４との間では僅かではあるが隙間Ｃが存在している。
【００１８】
上記構成の流量測定装置１Ａでは、吸気配管５０に振動が印加された場合、フランジ６５が固定端、プレート１０及びハウジング６０の先端を自由端として所謂片持ち梁の状態になり、ある振動周波数域ではフランジ６５を基点とした共振振動が生じ、基点を中心にして自由端で左右に変形する。
この場合、囲い部６２とベース６３の凹部６４との間で隙間Ｃがあるので、少なくとも隙間Ｃの分だけベース本体６６の変形代が大きくなる。
また、ベース６３のベース本体６６上に載置された、プレート１０、回路基板５、ハウジング６０及びカバー６１の質量と振動加速度との積による力と、フランジ６５からハウジング６０の反コネクタ１３側の先端までの距離とを乗じた曲げモーメントが負荷されるので、ベース本体６６の変形は助長される。
ベース本体６６上にはプレート１０を介し回路基板５が載置されているので、ベース本体６６の変形により回路基板５も同様に繰返し変形する。
従って、回路基板５の変形に伴い、ターミナル１２と回路基板５とを電気的に接続したワイヤ８にはターミナル１２側の接続部を固定端、回路基板５側の接続部を自由端とした繰返し応力が発生し、ワイヤ８の疲労断線に至るおそれがある。
【００１９】
また、上記構成の流量測定装置１Ａでは、ベース６３に、プレート１０、回路基板５及びハウジング６０が同一方向に載置されて組み立てられるが、組み立て途中において、ハウジング６０の囲い部６２を凹部６４に嵌着させるため、プレート１０、回路基板５の載置方向に対して垂直な方向にハウジング６０を嵌合しつつ、組み立てる必要があるため、一方向のみに載置、組立てすることができず、製造工程の機械化が困難であり、低コスト化を図ることができない。
【００２０】
これに対して、この実施の形態１の流量測定装置１でも、吸気配管５０に振動が印加された場合、フランジ１７が固定端、プレート１０及びカバー６の先端を自由端として所謂片持ち梁の状態になり、ある振動周波数域ではフランジ１７を基点とした共振振動が生じ、基点を中心にして自由端で矢印Ａ（図１）に示すように左右に変形する。
【００２１】
しかしながら、この実施の形態の流量測定装置１では、カバー６の外周壁面６ａとフランジ１７の内壁面１７ａとは変形抑制手段である接着部１６により強固に連結、固定されているので、プレート１０及びカバー６に共振振動が発生した場合でも、固定端では剛性が確保され、一体の、ベース本体３２、プレート１０及びカバー６の変位量は抑制される。
従って、ベース１１上にプレート１０を介し載置された回路基板５は、ベース本体３２の変位量が最小限に抑制されるので、ターミナル１２と回路基板５とを電気的に接続したワイヤ８の変形量は抑制され、ワイヤ８に発生する繰返し応力が低減され、ワイヤ８の疲労断線に至ることが大幅に低減される。
【００２２】
また、上記構成の流量測定装置１では、フランジ１７とカバー６とを連結する接着部１６は、フランジ１７の内壁面１７ａ上にあり、ベース本体３２に、プレート１０、回路基板５及びカバー６を同一方向に載置して組み立てることができるので、製造工程の機械化が容易となり、低コスト化を図ることができる。
【００２３】
実施の形態２．
図８はこの発明の実施の形態２の流量測定装置１の要部拡大断面図である。
この実施の形態では、カバー６は、ベース本体３２では熱硬化型シリコーン接着剤で接着され、フランジ１７の内壁面１７ａではシリコーン接着剤よりも硬化後の剛性が高いエポキシ接着剤と接着されている。
他の構成は、実施の形態１と同じである。
【００２４】
上記構成の流量測定装置１においては、フランジ１７とカバー６とは、エポキシ接着剤が硬化した、実施の形態１の接着部１６と比較して剛性の高い、変形抑制手段である接着部２４で連結されているので、ベース１１とカバー６とはより強固に結合される。
従って、一体の、ベース本体３２、プレート１０及びカバー６の変位量は、実施の形態１のものと比較してより抑制され、ワイヤ８の疲労断線の発生がより大幅に低減される。
また、カバー６は、ベース本体３２及びプレート１０に、エポキシ接着剤と比較して剛性の低いシリコーン接着剤で接着されているので、ベース本体３２、プレート１０及びカバー６の変形のより生じる各部材間に生じる応力は、エポキシ接着剤を用いた場合と比較して緩和される。
【００２５】
なお、この実施の形態の流量測定装置１の製造工程において、エポキシ接着剤とシリコーン接着剤は同時に熱硬化するのが製造効率の点から望ましい。
その際、エポキシ接着剤に含まれる硬化剤がアミン系物質を含んだアミン系硬化剤である場合、シリコーン接着剤と接触すると、シリコーン接着剤の硬化不良が発生する場合がある。
これはアミン系硬化剤が、シリコーン接着剤に含まれる白金触媒に対しビニル基より強く配位するため、シリコーン接着剤の硬化が阻害されるためである。
従って、この実施の形態では、エポキシ接着剤の硬化剤は非アミン系硬化剤が用いられている。
さらにまた、エポキシ接着剤の硬化剤は、例えば、非アミン系硬化剤であって、加熱によって硬化剤として作用する潜在型硬化剤を用いることが望ましい。
なお、シリコーン接着剤を熱硬化させた後、エポキシ接着剤を塗布、硬化させる場合には、シリコーン接着剤の硬化不良の心配がないので、エポキシ接着剤に含まれる硬化剤は、アミン系物質を含んだ硬化剤であってもよい。
【００２６】
実施の形態３．
図９はこの発明の実施の形態３の流量測定装置１を示す要部拡大断面図、図１０は図９の流量測定装置１の一部を切り欠いた正面図である。
この実施の形態では、カバー６のフランジ１７側には、エポキシ接着剤を充填するための溝２７がフランジ１７の内壁面１７ａと平行に延びて形成されている。ベース本体３２には、溝２７に遊挿した接着用リブ２８が形成されている。
また、カバー６の回路基板５側には、シリコーン接着剤を充填するための溝２５が形成されている。この溝２５は、カバー６の囲い部２１に沿って全周にわたって形成されている。ベース本体３２の回路基板５を囲った周縁部には、溝２５に遊挿した接着用リブ２６が形成されている。
さらに、カバー６の外周壁面６ａとフランジ１７の内壁面１７ａとの間にも、エポキシ接着剤が充填され、この接着剤が硬化して接着部２４を構成している。
他の構成は、実施の形態１の流量測定装置１と同じである。
【００２７】
この実施の形態の流量測定装置１では、変形抑制手段である接着部２４は、エポキシ接着剤が充填した溝２７に遊挿した接着用リブ２８で補強されており、実施の形態２のものと比較して、ベース本体３２、プレート１０及びカバー６の変位量は、より抑制され、ワイヤ８の疲労断線の発生がより大幅に低減される。
また、エポキシ系接着剤の充填、接着個所とエポキシ系でないシリコーン系接着剤の充填、接着個所とが分離されているので、エポキシ接着剤と熱硬化性シリコーン接着剤とが接触することがない。
従って、流量測定装置１の製造工程において、エポキシ系接着剤とシリコーン系接着剤とを同時に熱硬化しても、シリコーン接着剤の硬化不良が発生することがなく、効率的に製造することができ、製造コストが低減化される。
【００２８】
実施の形態４．
図１１はこの発明の実施の形態４の流量測定装置１を示す要部拡大断面図、図１２は図１１の流量測定装置１の一部を切り欠いた正面図である。
【００２９】
この実施の形態では、カバー６の外周壁面６ａに、ベース本体３２に向かって延びた、三角柱形状の突起部２９が全幅にわたって間隔を空けて形成されている。
カバー６は、接着剤でベース本体３２に接着固定されており、回路基板５を覆っている。
変形抑制手段である突起部２９は、カバー６を接着剤でベース本体３２に固定する際に、フランジ１７の内壁面１７ａに押圧され、塑性変形してフランジ１７の内壁面１７ａに圧接している。
他の構成は、実施の形態１の流量測定装置１と同じである。
【００３０】
この流量測定装置１では、フランジ１７の内壁面１７ａに圧接した突起部２９が、フランジ１７とカバー６とを強固に連結する、実施の形態１の変形抑制手段である接着部１６と同じ機能を有している。
従って、吸気配管５０に振動が印加された場合、実施の形態１の流量測定装置１と同様の効果を接着剤を使用せずとも得ることができるとともに、実施の形態１で必要とした、接着剤を塗布し、硬化して接着部１６を形成する工程が不要となり、実施の形態１のものと比較して低コスト化が得られる。
なお、突起部２９の形状は、三角柱形状に限定されるものではなく、例えば半円柱形状等の他の形状であってもよい。
また、突起部２９は、フランジ１７の内壁面１７ａに形成してもよいし、同時にカバー６の外周壁面６ａにも形成してもよい。
【００３１】
実施の形態５．
図１３はこの発明の実施の形態５の流量測定装置１を示す要部拡大断面図である。
この実施の形態では、カバー６には、シリコーン接着剤を充填するための溝２５が形成されている。この溝２５は、カバー６の囲い部２１に沿って全周にわたって形成されている。ベース本体３２の回路基板５を囲った周縁部には、溝２５に遊挿した接着用リブ２６が形成されている。
カバー６は、シリコーン接着剤でベース本体３２に接着固定されており、回路基板５を覆っている。また、カバー６は、フランジ１７の内壁面１７ａとカバー６の外周壁面６ａとの間には、変形抑制手段である接着部１６が設けられている。この接着部１６は、シリコーン接着剤が硬化して形成されている。
また、カバー６の外周壁面６ａには、フランジ１７の内壁面１７ａに先端部が圧接した断面三角形状の突起部１５が形成されており、漏洩防止手段である突起部１５により、硬化される前のシリコーン接着剤が外部に漏れるのが防止される。
他の構成は、実施の形態１の流量測定装置１と同じである。
【００３２】
流量測定装置１の製造工程において、接着剤として熱硬化型のシリコーン接着剤を用いて、カバー６をベース１１に接着、熱硬化する際、シリコーン接着剤の粘度が低下し、カバー６の表面６ｂに漏れ出し、商品価値を損なう場合がある。
この実施の形態の流量測定装置１では、カバー６に突起部１５が設けられているので、シリコーン接着剤がカバー６の表面６ｂに漏れ出すことが無いため、実施の形態１で得られる効果と共に、シリコーン接着剤の漏れによる汚れで商品価値の低下を防止するのを防止することができる。
また、突起部１５をフランジ１７の内壁面１７ａに圧接することで、接着部１６と相俟ってフランジ１７とカバー６とをより強固に連結することができる。
【００３３】
なお、突起部１５をフランジ１７の内壁面１７ａに形成するようにしてもよい。
また、図１４に示すように、突起部１５をラビリンス構造となるように、カバー６の外周壁面６ａ、フランジ１７の内壁面１７ａにそれぞれ形成するようにしてもよい。
さらに、接着剤として熱硬化型のシリコーン接着剤の代わりに、エポキシ系接着剤を用
いることができるのは勿論であり、フランジ１７とカバー６とをより強固に連結することができる。
【００３４】
実施の形態６．
図１５にこの発明の実施の形態６の流量測定装置１を示す要部断面図である。
この実施の形態では、フランジ１７の内壁面１７ａであって、突起部１５の内側に漏洩防止手段である接着剤溜まり部３５が形成されている。
他の構成は、実施の形態５の流量測定装置１と同じである。
【００３５】
この流量測定装置１では、フランジ１７の内壁面１７ａであって、突起部１５の内側に接着剤溜まり部３５が形成されているので、実施の形態５の流量測定装置１と比較してシリコーン接着剤がカバー６の表面６ｂに漏れ出すのがより低減される。
なお、接着剤溜まり部３５は、カバー６の外周壁面６ａに形成してもよい。
【００３６】
なお、上記各実施の形態では、内燃機関の吸気配管５０に設置された流量測定装置１について説明したが、勿論このものに限定されるものではなく、例えば内燃機関の排気配管に設置され、排気ガスの流量を測定する流量測定装置にも適用することができる。
また、この吸気配管５０は、吸入空気濾過装置（図示せず）と一体の構成であってもよい。
さらに、プレート１０とベース１１とは別部材で構成されているが、プレート１０とベース１１は一部材で構成してもよい。一部材で構成することで、部品管理、製造工程での部品の取り扱い等で利点がある。
さらにまた、回路基板５とターミナル１２とのワイヤ８による接続手段、及び回路基板５と流量検出素子２とのワイヤ８による接続手段は、ワイヤボンディング以外であって、例えば溶接、半田付けでもよい。
また、流量検出抵抗体３及び温度補償用抵抗体４は、シリコンあるいはセラミック等の絶縁基板の表面に、白金膜をパターニング（図示せず）して形成されているが、白金に限らず、例えばニッケル、パーマロイ等であってもよい。
【符号の説明】
【００３７】
１，１Ａ  流量測定装置、２  流量検出素子、３  流量検出抵抗体、４  温度補償用抵抗体、５  回路基板、６，６１  カバー、６ａ  外周壁面、６ｂ  表面、７  凹部、８  ワイヤ、９  計測用通路、１０  プレート、１１，６３  ベース、１２  ターミナル、１３  コネクタ、１４  Ｏリング、１５  突起部（漏洩防止手段）、１６  接着部（変形抑制手段）、１７，６５  フランジ、１７ａ，６５ａ  内壁面、１８  取付ネジ、１９  主通路、２０  回路収納部、２１  囲い部、２３  流体通路溝、２４  接着部（変形抑制手段）、２５，２７  接着用溝、２６，２８  接着用リブ、２９  突起部（変形抑制手段）、３２，６６  ベース本体、３３  枠部、３４  平板部、３５  接着剤溜まり部（漏洩防止手段）、５０  吸気配管、５１  装置挿入孔、６０  ハウジング、６２  囲い部、６４  凹部、Ｃ  隙間。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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