(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロットごとに半導体ウェハに対して処理を行う処理装置と、
前記処理装置の順番待ちをしている前記ロットを保管するロット保管棚と、
前記ロット保管棚に保管された前記ロットの重量を測定する重量計と、
前記重量計が測定した重量が上限値を超えた場合に警告を発する制御装置とを備え、
前記ロットの重量のみを管理項目とすることを特徴とする生産管理システム。
【請求項２】
前記制御装置は、前記警告として、前記ロット保管棚に警告音を発生させることを特徴とする請求項１に記載の生産管理システム。
【請求項３】
前記制御装置は、前記警告として、音声情報を携帯端末に発信することを特徴とする請求項１に記載の生産管理システム。
【請求項４】
前記制御装置は、前記警告として、上限値を超えた旨の文字情報を携帯端末に発信することを特徴とする請求項１に記載の生産管理システム。
【請求項５】
前記制御装置は、前記重量計が測定した重量が下限値を下回った場合に、下限値を下回った旨の文字情報を前記携帯端末に発信することを特徴とする請求項４に記載の生産管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハの生産ラインを管理する生産管理システムに関し、特に多品種少量生産において安価で効率的な生産管理を行うことができる生産管理システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハの生産ラインにおいて、半導体ウェハに対して複数の処理装置により処理が行われる。それぞれの処理装置はロットごとに半導体ウェハに対して処理を行う。このような半導体ウェハの生産ラインを管理する生産管理システムとして様々なものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
小規模な生産の場合、ロットの進捗状況を進捗管理板に掲示して生産の管理を行っていた。また、少品種大量生産の場合、生産に必要な工程フローや処理条件に加え、工期（平均、最短、最長）や装置・作業者の稼動状況から、品種毎に最適な生産計画を適宜見直しできる計算機システムを導入していた。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２３８２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
要求変動、歩留変動、装置不具合に伴う工期変動等が発生するたびに生産計画を見直す必要がある。しかし、進捗管理板による管理では、多品種少量生産の場合、生産計画の見直しに多大な時間を要する。そして、計算機システムによる管理では、多品種少量生産の場合、品種毎に生産に必要な工期や装置・作業者の稼動状況を精度よく設定するのは困難である。このため、効率的な生産管理が困難であった。また、計算機システムを導入するには多大な費用が必要であった。
【０００６】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、多品種少量生産において安価で効率的な生産管理を行うことができる生産管理システムを得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、ロットごとに半導体ウェハに対して処理を行う処理装置と、前記処理装置の順番待ちをしている前記ロットを保管するロット保管棚と、前記ロット保管棚に保管された前記ロットの重量を測定する重量計と、前記重量計が測定した重量が上限値を超えた場合に警告を発する制御装置とを備え、前記ロットの重量のみを管理項目とすることを特徴とする生産管理システムである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明により、多品種少量生産において安価で効率的な生産管理を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
半導体ウェハを生産する場合には、生産管理者が製品の出荷予定日と設定工期から各ロットの進捗計画を作成した後に、ロットを生産ラインへ投入し、数々の工程を進めてゆく。設定工期は、各工程の処理時間の和に待ち時間を加えたものである。これは、異なる工程フローのロットが混在し、同じ処理装置で複数回処理を行うロットもあるため、ロットが装置の順番待ちをするためである。
【００１０】
作業者は複数の処理装置を掛け持ちするため、どの処理装置でどのロットをいつ処理するかによって、生産ライン全体の生産効率が変わってくる。このため、生産管理者は、処理するロットの優先順位を作業者に伝える必要がある。ロット毎に優先順位を指定する方法もあるが、本実施の形態では順番待ちのロットの数である「待ちロット数」に上限を設定する。
【００１１】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る生産管理システムを示す斜視図である。処理装置１０１〜１０ｎは、それぞれロット１２ごとに半導体ウェハに対して処理を行う。ロット保管棚１４１〜１４ｎは、各処理装置１０１〜１０ｎごとに設けられ、対応する処理装置１０１〜１０ｎの順番待ちをしているロット１２を保管する。重量計１６１〜１６ｎは、各ロット保管棚１４１〜１４ｎごとに設けられ、対応するロット保管棚１４１〜１４ｎに保管されたロット１２の重量を測定し、その重量情報を定期的に制御装置１８に送信する。
【００１２】
ここで、半導体装置の生産ラインは、同一サイズの半導体ウェハを加工する場合が多く、加工は表面の極薄い層に限られるため、加工前後での質量変化は極僅かである。従って、制御装置１８は、各重量計１６１〜１６ｎから送信されてきた重量情報から、各ロット保管棚１４１〜１４ｎに保管されたロット１２の数量、即ち「待ちロット数」を把握することができる。
【００１３】
そして、生産管理者は、生産ラインに仕掛かっているロット１２の種類と仕掛工程、装置・作業者の配置状況に基づいて適切な「待ちロット数」を求める。これを基に、重量の上限値２０を求め、制御装置１８に予め入力しておく。なお、図１において上限値２０を視覚的に示したが、実際には制御装置１８内で保持している値である。
【００１４】
制御装置１８は、例えば重量計１６ｎが測定した重量が上限値２０を超えた場合に警告を発する。本実施の形態では、制御装置１８は、対応するロット保管棚１４ｎに信号を送信して、ロット保管棚１４ｎに警告音を発生させる。
【００１５】
この警告音を聞いた作業者は、そのロット保管棚１４ｎに保管されているロット１２を優先的に処理することができる。このように「待ちロット数」が上限を超えた工程を優先させることで停滞が減少する。そして、制御装置１８として複雑な計算機システムを導入する必要は無い。よって、多品種少量生産において安価で効率的な生産管理を行うことができる。
【００１６】
なお、上記実施の形態ではロット保管棚１４１〜１４ｎに警告音を発生させる場合について説明したが、シグナルランプ，パトライト等の光による警告でもよく、上記実施の形態と同様の効果を奏する。
【００１７】
実施の形態２．
図２は、本発明の実施の形態２に係る生産管理システムを示す斜視図である。実施の形態１と同じ構成には同じ番号を付し、説明を省略する。以下、実施の形態１と異なる点について説明する。
【００１８】
ライン内の各作業者がそれぞれ異なるＰＨＳ２２（携帯端末）を所有している。制御装置１８は、例えば重量計１６ｎが測定した重量が上限値２０を超えたことを検出した場合、対応するロット保管棚１４ｎに保管されているロット１２の処理を行う作業者のＰＨＳ２２へ、警告として、上限値を超えた旨の音声情報を発信する。このため、作業者は掛け持ち作業中にも、次の作業を把握することができ、ロット停滞が減少する。よって、多品種少量生産において安価で効率的な生産管理を行うことができる。
【００１９】
実施の形態３．
図３は、本発明の実施の形態３に係る生産管理システムを示す斜視図である。実施の形態１と同じ構成には同じ番号を付し、説明を省略する。以下、実施の形態１と異なる点について説明する。
【００２０】
ライン内の各作業者がそれぞれ異なるポケットベル２４（携帯端末）を所有している。制御装置１８は、例えば重量計１６ｎが測定した重量が上限値２０を超えたことを検出した場合、対応するロット保管棚１４ｎに保管されているロット１２の処理を行う作業者のポケットベル２４へ、警告として「上限値を超えた旨」、「発生時刻」、どのロット保管棚かを示す「棚情報」などの文字情報をポケットベル２４に発信する。このため、作業者は掛け持ち作業中にも、次の作業を把握することができ、ロット停滞が減少する。よって、多品種少量生産において安価で効率的な生産管理を行うことができる。
【００２１】
実施の形態４．
図４は、本発明の実施の形態４に係る生産管理システムを示す斜視図である。実施の形態１，３と同じ構成には同じ番号を付し、説明を省略する。以下、実施の形態３と異なる点について説明する。
【００２２】
制御装置１８は、例えば重量計１６ｎが測定した重量が下限値２６を下回ったことを検出した場合、対応するロット保管棚１４ｎに保管されるべきロット１２の前工程を行う作業者のポケットベル２４へ、警告として「下限値を下回った旨」、「発生時刻」、どのロット保管棚かを示す「棚情報」などの文字情報をポケットベル２４に発信する。このため前工程の作業者は、後工程での仕掛不足にともなう優先作業を把握でき、ライン全体としてのロット停滞が減少する。よって、多品種少量生産において安価で効率的な生産管理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態１に係る生産管理システムを示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態２に係る生産管理システムを示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態３に係る生産管理システムを示す斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態４に係る生産管理システムを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００２４】
１０１〜１０ｎ  処理装置
１２  ロット
１４１〜１４ｎ  ロット保管棚
１６１〜１６ｎ  重量計
１８  制御装置
２０  上限値
２２  ＰＨＳ（携帯端末）
２４  ポケットベル（携帯端末）
２６  下限値
【図１】
0005239526.tif 000002
【図２】
0005239526.tif 000003
【図３】
0005239526.tif 000004
【図４】
0005239526.tif 000005