(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の空気圧アクチュエータにより開閉動作する開閉弁が、閉動作に連動するダイヤフラムによって液だれを防止するサックバック機能を備えている一体型サックバックバルブと、該一体型サックバックバルブの動作不良対策として同一流路の上流側に隣接して設けられ、第２の空気圧アクチュエータにより開閉動作する保護開閉弁とを具備してなるサックバックシステムにおいて、
前記一体型サックバックバルブの全閉操作時に、前記一体型サックバックバルブが全閉となるより早く前記保護開閉弁の全閉動作を完了させて、前記一体型サックバックバルブよりも上流側の流れを先に遮断して前記一体型サックバックバルブによるウォーターハンマーの発生を防止する開閉制御部が設けられていることを特徴とするサックバックバルブシステム。
【請求項２】
第１の空気圧アクチュエータにより開閉動作する開閉弁が、閉動作に連動するダイヤフラムによって液だれを防止するサックバック機能を備えている一体型サックバックバルブと、該一体型サックバックバルブの動作不良対策として同一流路の上流側に隣接して設けられ、第２の空気圧アクチュエータにより開閉動作する保護開閉弁とを具備してなるサックバックシステムの閉弁動作制御方法において、
前記一体型サックバックバルブの全閉操作時に、前記一体型サックバックバルブが全閉となるより早く前記保護開閉弁の全閉動作を完了させて、前記一体型サックバックバルブよりも上流側の流れを先に遮断して前記一体型サックバックバルブによるウォーターハンマーの発生を防止することを特徴とするサックバックバルブシステムの閉弁動作制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サックバックバルブシステム及びその閉弁動作制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、たとえば薬液等の液体を取り扱う配管系統に設置される開閉弁においては、全閉操作時に生じる液だれ（流体のボタ落ち）を防止するため、別体のサックバック専用バルブを併設することが行われている。このようなサックバック専用バルブは、開閉弁の閉動作に同期して作動するものであり、サックバック室の空間容積を増す方向へダイヤフラムを動作させることにより、出口側の液体をサックバック室側に吸引して液だれを防止することができる。（たとえば、特許文献１参照）
【０００３】
また、上述した開閉弁及びサックバックバルブは別体であるため、装置全体の設置スペース低減やアクチュエータを同期させる困難性等を解消することなどを目的として、両者を一体化した構成の一体型サックバックバルブが本出願人により提案されている。
一方、一体型サックバックバルブに動作不良が生じた場合の保護対策として、一体型サックバックバルブの上流側に保護開閉弁を設置する場合がある。このように、一体型サックバックバルブと保護開閉弁とを併設して構成されるサックバックバルブシステムにおいては、一体型サックバックバルブの動作不良対策として設置される保護開閉弁を、まんがいち一体型サックバックバルブが閉じない（動作しない）場合の流体流出量を最小限に抑えるため、できるだけ一体型サックバックバルブに近い位置でタイムラグを最小限にして動作させることが望ましい。
【特許文献１】特開２００２−３１６０８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述したサックバックシステムにおいては、保護開閉弁を一体型サックバックバルブに近い上流位置で略同時に閉じると、ウォーターハンマーの影響により一体型サックバックバルブから液だれを生じることがある。すなわち、一体型開閉弁の上流側に保護開閉弁を設けたことにより、一体型サックバックバルブのサックバック機能に不具合を生じることが認められた。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、サックバック機能の不具合を解消したサックバックバルブシステム及びその閉弁動作制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明に係るサックバックバルブシステムは、第１の空気圧アクチュエータにより開閉動作する開閉弁が、閉動作に連動するダイヤフラムによって液だれを防止するサックバック機能を備えている一体型サックバックバルブと、該一体型サックバックバルブの動作不良対策として同一流路の上流側に隣接して設けられ、第２の空気圧アクチュエータにより開閉動作する保護開閉弁とを具備してなるサックバックシステムにおいて、前記一体型サックバックバルブの全閉操作時に、前記一体型サックバックバルブが全閉となるより早く前記保護開閉弁の全閉動作を完了させて、前記一体型サックバックバルブよりも上流側の流れを先に遮断して前記一体型サックバックバルブによるウォーターハンマーの発生を防止する開閉制御部が設けられていることを特徴とするものである。
【０００６】
このようなサックバックバルブシステムによれば、一体型サックバックバルブの全閉操作時に、一体型サックバックバルブが全閉となるより早く同一流路の上流側に隣接して設けられた保護開閉弁の全閉動作を完了させる開閉制御部を備えているので、保護開閉弁より遅れて全閉となる一体型サックバックバルブによりウォーターハンマーが生じることを防止できる。
【０００７】
本発明に係るサックバックシステムの閉弁動作制御方法は、第１の空気圧アクチュエータにより開閉動作する開閉弁が、閉動作に連動するダイヤフラムによって液だれを防止するサックバック機能を備えている一体型サックバックバルブと、該一体型サックバックバルブの動作不良対策として同一流路の上流側に隣接して設けられ、第２の空気圧アクチュエータにより開閉動作する保護開閉弁とを具備してなるサックバックシステムの閉弁動作制御方法において、前記一体型サックバックバルブの全閉操作時に、前記一体型サックバックバルブが全閉となるより早く前記保護開閉弁の全閉動作を完了させて、前記一体型サックバックバルブよりも上流側の流れを先に遮断して前記一体型サックバックバルブによるウォーターハンマーの発生を防止することを特徴とするものである。
【０００８】
このようなサックバックバルブシステムの閉弁動作制御方法によれば、一体型サックバックバルブの全閉操作時に、一体型サックバックバルブが全閉となるより早く同一流路の上流側に隣接して設けられた保護開閉弁の全閉動作を完了させるように閉弁動作制御をするので、保護開閉弁より遅れて全閉となる一体型サックバックバルブによりウォーターハンマーが生じることを防止できる。
【発明の効果】
【０００９】
上述した本発明によれば、一体型サックバックバルブを全閉操作する際、一体型サックバックバルブが全閉となるより早く保護開閉弁の全閉動作を完了するようにしたので、保護開閉弁より遅れて全閉となる一体型サックバックバルブによりウォーターハンマーが生じることを防止し、このウォーターハンマーにより生じるサックバック機能の不具合を解消することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係るサックバックバルブシステム及びその閉弁動作制御方法の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図２に示すサックバックシステム１は、流体として薬液を流す配管流路等に設けられている。このサックバックシステム１において、薬液を流す配管２には、上流側から順に、保護開閉弁３及び一体型サックバックバルブＳＶが設けられている。従って、一体型サックバックバルブＳＶを全閉にした際、一体型サックバックバルブＳＶの下流側となる配管２の出口側端部２ａから液だれが生じないようになっている。
【００１１】
保護開閉弁３は、上部に設けた空気圧アクチュエータ３ａにより動作する空気圧操作弁である。この保護開閉弁３は、一体型サックバックバルブＳＶの動作不良対策として、すなわち、一体型サックバックバルブＳＶが完全に閉じなかった場合等の安全対策として、上流側近傍に隣接して設けられている。
空気圧アクチュエータ３ａは、図示省略のエア供給源に連結された空気圧配管４から所定圧力に調整された空気圧の供給をピストンに受けて動作するものであり、空気圧のＯＮ／ＯＦＦにより弁体を開閉動作させることができる。
【００１２】
空気圧配管４は、保護開閉弁３の空気圧アクチュエータ３ａへ連結される空気圧配管４ａと、後述する一体型サックバックバルブＳＶの空気圧アクチュエータ３０へ連結される空気圧配管４ｂとに分岐される。空気圧配管４ａ，４ｂは、それぞれに電磁弁５ａ，５ｂ及びスピードコントローラ６ａ，６ｂが設けられている。
【００１３】
電磁弁５ａ，５ｂは、空気圧供給のＯＮ／ＯＦＦを行う開閉弁である。この場合の電磁弁５ａ，５ｂは、空気圧供給をＯＦＦとした場合に空気圧アクチュエータ３ａ，３０側の空気圧を排気するため、三方弁が採用されている。
スピードコントローラ６ａ，６ｂは、空気圧アクチュエータ３ａ，３０へ供給される空気圧の流量調整機能を有するものである。従って、このスピードコントローラ６ａ、６ｂの設定を変えることにより、空気圧アクチュエータ３ａ，３０が動作するタイミング、すなわち、保護開閉弁３及び一体型サックバックバルブＳＶが開閉動作するタイミングを調整することができる。なお、ここで使用するスピードコントローラ６ａ，６ｂは、メータアウト型とする。
制御部７は、電磁弁５ａ，５ｂの開閉制御等を行うものである。
【００１４】
一体型サックバックバルブＳＶは、たとえば図３〜図５に示すように構成されている。
図示のサックバックバルブＳＶは、薬液等の液体を流す流路に設置され、全閉時の液だれを防止するサックバック機能を備えている開閉弁１０と、開閉操作用のアクチュエータ３０とが一体に構成されている。すなわち、サックバックバルブＳＶは、アクチュエータ操作用の空気圧を受けるアクチュエータ３０のピストン３１と、開閉弁１０の開閉操作を行う弁体１１とが軸部５０を介して連結され、空気圧により開閉動作を行う開閉弁１０がサックバック機能を備えたものとなる。
なお、図示のサックバックバルブＳＶにおいて、図３は開閉弁１０が全開の状態、図４は開閉弁１０を全閉にしてサックバック機能が動作する前の状態、図５は図４の状態からサックバック機能が動作した状態を示している。
【００１５】
開閉弁１０の基本構成は、バルブ本体（ケーシング）１２に流体入口１３及び流体出口１４を備え、バルブ本体１２の内部空間１５には流体流路１６を開閉する弁体１１が配設されている。流体流路１６の上方には、流体流路１６を介して内部空間１５と連通するサックバック室１７が形成されている。このサックバック室１７は、開閉弁１０内において液体を流す流路（以下、「弁内流路」と呼ぶ）の一部となり、かつ、弁体１１に連結された軸部５０の一部が配設された空間である。また、このサックバック室１７は、後述するダイヤフラム６０を動作させることにより、空間容積を増してサックバック機能を発揮する空間でもある。
なお、流体入口１３は入口流路１３ａを介して内部空間１５と連通し、流体出口１４は出口流路１４ａを介してサックバック室１７と連通している。
【００１６】
上述した弁体１１は、後述するアクチュエータ３０に連動してピストン３１及び軸部５０とともに内部空間１５内を上下方向へ動作し、開閉弁１０内に形成された流体流路１６を開閉する。内部空間１５の上端部には、換言すれば、流体流路１６の入口部には、シート部１８が設けられている。そして、この開閉弁１０においては、弁体１１が上方へ動作してシート部１８に密着すると流体流路１６を閉じ、弁体１１が下方へ移動してシート部１８から離間すると流体流路１６を開く。
【００１７】
開閉弁１０内に形成された弁内流路は、開閉弁１０内の流れ方向から順に、流体入口１３、入口流路１３ａ、内部空間１５、流体流路１６、サックバック室１７、出口流路１４ａ及び流体出口１４に配列されている。
また、図示の開閉弁１０において、図中の符号１９は基部１９ａが弁体１１の下部に連結された下部ダイヤフラム、２０は基部１９ａを上向きに付勢するコイルバネ、２１は排気流路である。なお、弁体１１の下部を絞って小径にしているので、下部ダイヤフラム１９を小径化することができる。
【００１８】
アクチュエータ３０は、アクチュエータ本体３２に形成された内部空間のシリンダ部３３内にピストン３１を配設し、ピストン３１により分割されたシリンダ部３３のいずれか一方に空気圧を供給して開閉弁１０を開閉操作するものである。図示の構成例では、アクチュエータ本体３２には二つの空気圧供給口３４，３５が設けられ、いずれか一方を選択して使用できるようになっている。この場合、上方に配置された空気圧供給口３４は、シリンダ部３３内を軸方向に摺動するピストン３１の上面側に空気圧を供給し、下方に配置された空気圧供給口３５は、シリンダ部３３を軸方向に摺動するピストン３１の下面側に空気圧を供給するようになっている。
なお、図示の例では、上方の空気圧供給口３４から空気圧が供給され、下方の空気圧供給口３５はプラグ３６により閉じられている。
【００１９】
上述したピストン３１は、コイルバネ３７から上向き（弁体１１が閉の方向）の付勢を常時受けており、従って、図示の開閉弁１０は空気圧の供給がない状態で常時閉のノーマルクローズ型となる。すなわち、弁体１１はコイルバネ３７の付勢により常時閉の状態にあるが、空気圧供給口３４から空気圧を供給してピストン３１を下向きに押圧すると、コイルバネ２０，３７の付勢に打ち勝って軸部５０を介して連結された弁体１１を押し下げる。この結果、弁体１１はシート部１８から離間して開状態となる。
なお、空気圧供給口３４の空気圧供給を停止すると、ピストン３１による下向きの押圧力がなくなるので、弁体１１はコイルバネ２０，３７の付勢を受けてシート部１８に密着する閉状態となる。
【００２０】
また、上述したアクチュエータ３０は、後述するサックバック機能について、ピストン３１側の軸部５０の軸方向動作量を規制するサックバック量調整手段を備えている。このサックバック整量調整手段は、ハンドル３８の操作により軸方向へ移動する螺合軸３９であり、先端部３９ａがシリンダ部３３内へ突出する量の調整を可能とするものである。すなわち、先端部３９ａがシリンダ部３３内へ突出する量を増せば、ピストン３１が上昇可能となる範囲（ピストンストローク）が減少するので、後述するダイヤフラム６０の動作量（変形量）によって定まるサックバック量（サックバック室１７の容積変化量）も減少する。
なお、図中の符号４０はコイルバネ設置スペースであり、開閉弁１０やアクチュエータ３０の動作方式（ノーマルクローズやノーマルオープン）を選択して変更する場合等において、必要に応じて使用される。
【００２１】
続いて、ピストン３１と弁体１１との間を連結し、アクチュエータ３０の動作により開閉弁１０の弁体１１を開閉させる部材である軸部５０について説明する。
この軸部５０は、ピストン３１の下面側に設けられたピストン軸部５１と、弁体１１の上部に設けられた弁体軸部２２とを備えている。ピストン軸部５１には、下面から下方へ突出するようにして、遊嵌軸部５２が軸中心位置に螺合されている。この遊嵌軸部５２には、下端面５２ａから軸中心位置を通って軸側面へ連通する排気流路５３が設けられている。この排気流路５３は、後述するサックバック機能をスムーズに動作させるため、遊嵌軸部５２により狭められる遊嵌部５４内の空気を大気へ流出させる流路となる。なお、排気流路５３を通って遊嵌部５４の外部へ流出した空気は、アクチュエータ本体３２に設けた貫通孔４１を通って大気へ流出する。
【００２２】
弁体軸部２２の上面には、ダイヤフラム６０の基部６１が螺合により連結されている。基部６１には、上述した遊嵌軸部５２の周囲を覆うベローズ６２が一体に設けられ、さらに、ベローズ６２の上端部は、遊嵌軸部５２に係合された上端基部６３ａが設けられている。この上端基部６３ａは、遊嵌軸部５２と一体に軸方向へ動作するように、互いの凹凸により係合されている。
そして、上端基部６３ａには、水平方向へ延びるダイヤフラム本体６３が一体に設けられている。さらに、ダイヤフラム本体６３の外周部には、開閉弁１０とアクチュエータ３０との間に挟み込んで固定される外縁部６４が設けられている。従って、ダイヤフラム本体６３は、サックバルブ室１７の上部を覆ってアクチュエータ３０側との間を分離するとともに、ダイヤフラム本体６３が遊嵌軸部５２と一体に動作するようになっている。
【００２３】
また、基部６１の上面側には、遊嵌軸部５２を軸方向に移動可能とする遊嵌部５４がベローズ６２の内側に形成されている。従って、遊嵌部５４は、ダイヤフラム６０よりアクチュエータ３０側に設けられており、開閉弁１０の内部を流れる流体は、ダイヤフラム６０によりアクチュエータ３０の駆動部から完全に分離されている。すなわち、ダイヤフラム６０は、開閉弁１０側のサックバック室１７とアクチュエータ３０とを分離するように設置されており、アクチュエータ３０の遊嵌軸部５２は、薬液等の流体と接触しない領域で動作するように構成されている。  
【００２４】
このように、サックバックバルブＳＶは、開閉弁１０の弁内流路に形成されたサックバック室１７とピストン１１を動作させるアクチュエータ３０との間が軸部５０に連結されて一体に動作するダイヤフラム６０により分離されている。また、軸部５０は、弁体軸部２２により構成される弁体側軸部と、ピストン軸部５１及び遊嵌軸部５２により構成されるピストン側軸部とに分割され、弁体側軸部２２と一体に連結されたダイヤフラム６０の基部６１にはピストン側軸部の遊嵌軸部５２を遊嵌して軸方向の独立した動作を許容している。
【００２５】
従って、弁体１１の閉動作時には、軸部５０がピストン１１及びダイヤフラム６０とともに弁体１１の全閉位置まで移動する閉弁動作段階と、ピストン側軸部のピストン軸部５１及び遊嵌軸部５２がピストン３１及びダイヤフラム６０のダイヤフラム本体６１とともに移動してサックバック室１７の空間容積を増すサックバック動作段階との二段階動作を行うようになっている。
【００２６】
より具体的に説明すると、図３に示す全開状態にあるサックバックバルブＳＶは、空気圧供給口３４への空気圧供給を停止することにより、ピストン３１による下向きの押圧力がなくなるので、コイルバネ２０，３７の付勢により弁体１１がピストン及び軸部５０とともに押し上げられる。この結果、開閉弁１０は、図４に示すように、弁体１１がシート部１８に密着して流体流路１６を閉じる全閉状態となるので、弁体１１の閉弁動作段階が完了する。なお、この段階では、上述した図３の全開状態と同様に、遊嵌軸部５２の下端面５２ａがダイヤフラム６０の基部６１に密着しているので、サックバック機能は動作していない。
【００２７】
上述した閉弁動作段階が完了した後には、弁体１１がシート部１８に係止されてこれ以上の上昇を阻止されるため、遊嵌軸部５２が基部６０から離間してピストン３１及び軸部５０とともに上昇する。この結果、ダイヤフラム本体６３の上端基部６３ａが遊嵌軸部５２とともに引き上げられることにより、図５に示すように、ダイヤフラム本体６３が変形してサックバック室１７の容積を増すこととなる。そして、ピストン３１がアクチュエータ本体３２の上端部まで戻ると、サックバック室１７内の容積増加も終了し、サックバック動作段階が完了する。こうしてサックバック室１７の容積が増すと、弁体１１が閉じて分断された開閉弁１０の弁内流路では、弁体１１より下流側に残った流体がサックバック室１７側へ吸引されるため、液だれの防止が可能となる。
【００２８】
また、ハンドル３８を操作して螺合軸３９ａの突出量を変化させれば、ピストン３１が上昇して戻る位置が変化するので、遊嵌軸部５２のストローク量及びダイヤフラム本体６３の変形量も変化する。従って、ダイヤフラム本体１７が変形することに応じて増加するサックバック室１７の容積は、変化量（サックバック量）の調整が可能となる。
【００２９】
このように、上述したサックバックバルブＳＶによれば、開閉弁１０の開閉操作及びダイヤフラム６０によるサックバック機能をひとつのアクチュエータ３０により実施できるようになる。すなわち、開閉弁１０にサックバック機能を備えたサックバックバルブＳＶとなるので、開閉弁の機能及びサックバック機能が一体化したサックバックバルブＳＶにより、設置スペースの低減が可能となるばかりか、アクチュエータの同期問題も解消される。
【００３０】
また、サックバック動作を行う遊嵌部５４においては、サックバック機能の動作を行う軸部５２がベローズ６２により分離されて、弁内流路を流れる流体と接触することのない構成になっているので、取り扱う薬液等の液体が遊嵌部に固着することはない。従って、サックバック機能の動作不良が生じることを防止するとともに、信頼性の高いサックバックバルブＳＶとなっている。
【００３１】
このように、第１の空気圧アクチュエータ３０により開閉動作する開閉弁１０が閉動作に連動するダイヤフラム６０によって液だれを防止するサックバック機能を備えている一体型サックバックバルブＳＶと、この一体型サックバックバルブＳＶの動作不良対策として上流側に隣接して設けられ、第２の空気圧アクチュエータ３ａにより開閉動作する保護開閉弁３とを具備して構成されたサックバックバルブシステム１は、一体型サックバックバルブＳＶの全閉操作時に、一体型サックバックバルブＳＶが全閉となるより早く保護開閉弁３の全閉動作を完了させる開閉制御部を備えている。
【００３２】
この場合の開閉制御部は、電磁弁５ａ，５ｂを同時に開閉操作する制御部（ＣＰＵ）７と、空気圧アクチュエータ３ａ，３０へ供給される空気圧の流量調整機能を有するスピードコントローラ６ａ，６ｂとなる。そこで、スピードコントローラ６ａ、６ｂが互いに異なる設定とすることにより、空気圧アクチュエータ３ａ，３０が動作するタイミング、すなわち、保護開閉弁３及び一体型サックバックバルブＳＶが開閉動作するタイミングを調整することができる。
【００３３】
図１は、サックバックバルブシステム１を構成する保護開閉弁３及び一体型サックバックバルブＳＶについて、閉動作を行う場合のタイムチャートを示している。
この図によれば、制御部７により電磁弁５ａ，５ｂの開閉動作が同時に開始されると、設定の異なるスピードコントローラ６ａ，６ｂが機能し、保護開閉弁３を時間Δｔだけ早く全閉とする。すなわち、電磁弁５ａ，５ｂを閉じて空気圧アクチュエータ３ａ，３０から空気圧を排気する閉動作を行うと、空気圧はスピードコントローラ６ａ，６ｂを通過して流れるので、保護開閉弁３と一体型サックバックバルブＳＶの開閉弁１０との間には、全閉動作が完了するまでに時間的な差を生じることとなる。
【００３４】
従って、一体型サックバックバルブＳＶの全閉操作時に、開閉制御部により一体型サックバックバルブＳＶが全閉となるより早く保護開閉弁３の全閉動作を完了させることにより、保護開閉弁３より遅れて全閉となる一体型サックバックバルブＳＶによりウォーターハンマーが生じることを防止できる。すなわち、一体型サックバックバルブＳＶの開閉弁１０が全閉となるより先に保護開閉弁３が全閉となっているので、開閉弁１０の上流側ではすでに薬液の流れが遮断された状態となるので、開閉弁１０側でウォーターハンマーが生じることはない。
【００３５】
このようにして、一体型サックバックバルブＳＶの全閉操作時に、一体型サックバックバルブＳＶが全閉となるより早く保護開閉弁３の全閉動作を完了させる閉弁動作制御方法により、保護開閉弁３より遅れて全閉となる一体型サックバックバルブＳＶによるウォーターハンマーが防止されると、ウォーターハンマーの影響を受けたダイヤフラム６０の余分な動作がなくなるため、配管２の出口側端部２ａから液だれすることを防止できる。
すなわち、一体型サックバックバルブＳＶを全閉操作する際、一体型サックバックバルブＳＶが全閉となるより早く保護開閉弁３の全閉動作を完了するようにしたので、保護開閉弁３より遅れて全閉となる一体型サックバックバルブＳＶによりウォーターハンマーが生じることを防止し、このウォーターハンマーにより液だれを生じるというサックバック機能の不具合を解消することができる。
【００３６】
ところで、上述した実施形態では、サックバックバルブシステム１が別体の保護開閉弁３及び一体型サックバックバルブＳＶにより構成されているが、たとえば図６の示すように、両者を一体化（ユニット化）した構成として小型化してもよい。この場合、保護開閉弁３及び一体型サックバックバルブＳＶは、配管２に相当する流路７０が形成された共通ベース７１に組み付けられて一体化されている。なお、図中の符号３ｂは、保護開閉弁３の弁体である。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に係るサックバックバルブシステム及びその閉弁動作制御方法の一実施形態として、保護開閉弁及び一体型サックバックバルブについて閉動作を行う場合のタイムチャートを示している。
【図２】サックバックシステムの構成例を示す図である。
【図３】一体型サックバックバルブの構成例を示す図で、開閉弁が全開の状態を示している。
【図４】一体型サックバックバルブの構成例を示す図で、開閉弁を全閉にしてサックバック機能が動作する前の状態を示している。
【図５】一体型サックバックバルブの構成例を示す図で、図４の状態からサックバック機能が動作した状態を示している。
【図６】保護開閉弁及び一体型サックバックバルブを一体化した構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１    サックバックバルブシステム
３    保護開閉弁
５ａ，５ｂ    電磁弁
６ａ，６ｂ    スピードコントローラ
１０    開閉弁
１１    弁体
１２    バルブ本体
１３    流体入口
１３ａ    入口流路
１４    流体出口
１４ａ    出口流路
１５    内部空間
１６    流体流路
１７    サックバック室
１８    シート部
１９    下部ダイヤフラム
１９ａ    基部
２０    コイルバネ
２１    排気流路
２２    弁体軸部
３０    アクチュエータ
３１    ピストン
３２    アクチュエータ本体
３３    シリンダ部
３４，３５    空気圧供給口
３６    プラグ
３７    コイルバネ
３８    ハンドル
３９    螺合軸
３９ａ    先端部
４０    コイルバネ設置スペース
４１    貫通孔
５０    軸部
５１    ピストン軸部
５２    遊嵌軸部
５２ａ    下端面
５３    排気通路
５４    遊嵌部
６０    ダイヤフラム
６１    基部
６２    ベローズ
６３    ダイヤフラム本体
６４    外縁部
７０    流路
７１    共通ベース
【図１】
0005301805.tif 000002
【図２】
0005301805.tif 000003
【図３】
0005301805.tif 000004
【図４】
0005301805.tif 000005
【図５】
0005301805.tif 000006
【図６】
0005301805.tif 000007