(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、この容器本体の内部側方に取り付けられて基板を支持する支持体とを備えた基板収納容器であって、
容器本体を正面が開口したフロントオープンボックスに構成してその天板と底板とには、支持体用の取付突起をそれぞれ設け、
支持体は、容器本体の側壁内面前方に対向する前部支柱と、容器本体の周壁内面に対向して取り付けられる後部支柱と、これら前部支柱と後部支柱との間に位置する中間支柱と、これら前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の間に架設されて基板を略水平に支持する支持片とを含み、前部支柱の上下部に、容器本体の取付突起に干渉する位置決め干渉片をそれぞれ形成し、支持片を前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の上下方向に複数配列して隣接する支持片と支持片との間には空隙を区画し、各支持片を、前部支柱と中間支柱との間に架設される前部支持片と、後部支柱と中間支柱との間に架設される後部支持片とに分割したことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
容器本体の背面壁側部を内方向に凹ませることにより突部を形成してその表面には支持体用の嵌合突起を形成し、支持体の後部支柱を容器本体の背面壁の突部に対向させ、この後部支柱には、突部の嵌合突起に嵌まる位置決め嵌合溝を形成した請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
容器本体の底板に、容器本体の外部から内部に気体を供給する給気バルブと、容器本体の内部から外部に気体を排気する排気バルブとをそれぞれ取り付け、給気バルブを容器本体の背面壁と側壁、及び支持体の間に位置させ、支持体の後部支持片に、給気バルブの気体を整流する包囲片を容器本体の側壁方向に向けて設けた請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
支持体の後部支柱、後部支持片、あるいは後部支柱と後部支持片との間に、給気バルブの気体を基板方向に流出させる流出口を設けた請求項３記載の基板収納容器。
【請求項５】
容器本体の側壁内面に、支持体を前後方向に位置決めするレールリブを形成してその高さを容器本体の正面から背面壁方向に向かうにしたがい徐々に低くし、容器本体の側壁内面に、支持体の前部支柱に干渉する支持体用の抜け止めストッパを形成し、この抜け止めストッパとレールリブとに支持体の前部支柱を挟み持たせるようにした請求項１ないし４いずれかに記載の基板収納容器。
【請求項６】
容器本体の突部表面と支持体の後部支柱との対向部をそれぞれ平坦面に形成し、嵌合突起を、突部の平坦面に形成されて上下方向に伸びる位置決めリブと、この位置決めリブに交差して形成される交差リブとから形成し、支持体の位置決め嵌合溝を、後部支柱の平坦面に形成されて突部の位置決めリブに嵌まる位置決め溝と、この位置決め溝に交差して形成され、突部の交差リブに嵌まる交差溝とから形成した請求項２ないし５いずれかに記載の基板収納容器。
【請求項７】
支持体の後部支柱の前面を容器本体の幅方向に傾けるとともに、この前面に基板の後部周縁を保持する保持溝を形成することにより、基板の収納位置を規制する規制面を形成した請求項１ないし６いずれかに記載の基板収納容器。
【請求項８】
支持体の前部支持片に、基板の側部周縁を略水平に支持する接触隆起部を形成し、この接触隆起部の前方には、基板の前方への飛び出しを規制する段差隆起部を隣接させ、後部支持片に、後部支柱の規制面の前方に位置して基板の側部周縁を略水平に支持する接触隆起部を形成した請求項７記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来における基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する着脱自在の蓋体とを備え、容器本体の内部両側に、半導体ウェーハを水平に支持する左右一対の支持片が上下方向に複数配設されている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
半導体ウェーハは、φ３００ｍｍのシリコンウェーハからなるが、近年、チップサイズの大型化や生産性向上の観点から、薄く撓みやすいφ４５０ｍｍのシリコンウェーハの採用が検討され始めている。また、容器本体は、高剛性、透明性、導電性等に優れる材料により、フロントオープンボックスに形成されている。一対の支持片は、容器本体の上下方向に所定の間隔で配列され、各支持片が半導体ウェーハの側部周縁に沿うよう細長い剛性の板に形成されている。
【０００４】
ところで、複数の支持片は、半導体ウェーハを接触支持する関係上、容器本体に要求される性能の他、耐磨耗性や耐熱性等をも要求されるので、これら耐磨耗性や耐熱性を有する材料により形成される必要がある。この点に鑑み、従来における容器本体と複数の支持片とは、異なる性能を発揮する成形材料により所定の方法で形成されることが少なくない。
【０００５】
この場合の方法としては、（１）先に成形した複数の支持片を容器本体の成形時に金型にインサートして容器本体と複数の支持片とを一体化する方法、（２）容器本体と複数の支持片とを別々に成形し、容器本体に成形した複雑な取付構造に支持片を後から組み合わせる方法等があげられる。
【０００６】
しかしながら、（１）の方法の場合には、容器本体と複数の支持片とを一体成形することができるものの、容器本体用の成形材料と支持片用の成形材料とが成形時に溶融して接合する必要があるので、選択すべき成形材料が制約されるという大きな問題が生じることとなる。また、（２）の方法の場合には、容器本体の内部両側に複数の支持片をそれぞれ装着することができ、しかも、選択すべき成形材料が制約されることがないものの、容器本体と複数の支持片との寸法出しや寸法精度の維持に支障を来たすことがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３‐６８８３９号公報
【特許文献２】ＷＯ２００９／１５７３２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、支持片が細長い剛性の板に単に形成されるに止まるので、薄く撓みやすいφ４５０ｍｍのシリコンウェーハを収納する場合には、半導体ウェーハを安全に支持することが難しいという問題がある。また、従来における基板収納容器は、容器本体と剛性の支持片とが単に一体成形されたり、容器本体の内部両側に剛性の支持片が単に後付けされるので、輸送時や落下時に容器本体から半導体ウェーハに衝撃や振動が伝播し易く、半導体ウェーハの損傷や破損を招き易いという問題がある。
【０００９】
さらに、容器本体の成形時に容器本体に支持片用の取付構造を共に成形するのは容易ではなく、取付構造を成形しようとすると、容器本体の成形が不安定になったり、金型の構造が非常に複雑化したり、製造コストが嵩むおそれがある。
【００１０】
本発明は上記に鑑みなされたもので、薄く撓みやすい基板をも安全に支持することができ、輸送時等に容器本体から基板に衝撃や振動が伝播するのを防ぎ、容器本体の製造の安定化や製造コストの削減を図ることのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体と、この容器本体の内部側方に取り付けられて基板を支持する支持体とを備えたものであって、
容器本体を正面が開口したフロントオープンボックスに構成してその天板と底板とには、支持体用の取付突起をそれぞれ設け、
支持体は、容器本体の側壁内面前方に対向する前部支柱と、容器本体の周壁内面に対向して取り付けられる後部支柱と、これら前部支柱と後部支柱との間に位置する中間支柱と、これら前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の間に架設されて基板を略水平に支持する支持片とを含み、前部支柱の上下部に、容器本体の取付突起に干渉する位置決め干渉片をそれぞれ形成し、支持片を前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の上下方向に複数配列して隣接する支持片と支持片との間には空隙を区画し、各支持片を、前部支柱と中間支柱との間に架設される前部支持片と、後部支柱と中間支柱との間に架設される後部支持片とに分割したことを特徴としている。
【００１２】
なお、容器本体の開口した正面を開閉する着脱自在の蓋体を含み、この蓋体には、施錠機構を設けるとともに、基板の前部周縁を保持する弾性のリテーナを取り付けることができる。
また、容器本体の背面壁側部を内方向に凹ませることにより突部を形成してその表面には支持体用の嵌合突起を形成し、支持体の後部支柱を容器本体の背面壁の突部に対向させ、この後部支柱には、突部の嵌合突起に嵌まる位置決め嵌合溝を形成することができる。
【００１３】
また、容器本体の底板に、容器本体の外部から内部に気体を供給する給気バルブと、容器本体の内部から外部に気体を排気する排気バルブとをそれぞれ取り付け、給気バルブを容器本体の背面壁と側壁、及び支持体の間に位置させ、支持体の後部支持片に、給気バルブの気体を整流する包囲片を容器本体の側壁方向に向けて設けることができる。
【００１４】
また、支持体の後部支柱、後部支持片、あるいは後部支柱と後部支持片との間に、給気バルブの気体を基板方向に流出させる流出口を設けることが可能である。
また、容器本体の側壁内面に、支持体用の嵌合片を容器本体の正面方向に向けて形成し、支持体の後部支柱に、突部の表面に接触する突片を形成し、後部支持片は、容器本体の嵌合片に嵌まる嵌合ブロックを形成することが可能である。
【００１５】
また、容器本体の側壁内面に、支持体を前後方向に位置決めするレールリブを形成してその高さを容器本体の正面から背面壁方向に向かうにしたがい徐々に低くし、容器本体の側壁内面に、支持体の前部支柱に干渉する支持体用の抜け止めストッパを形成し、この抜け止めストッパとレールリブとに支持体の前部支柱を挟み持たせることが可能である。
【００１６】
また、容器本体の突部表面と支持体の後部支柱との対向部をそれぞれ平坦面に形成し、嵌合突起を、突部の平坦面に形成されて上下方向に伸びる位置決めリブと、この位置決めリブに交差して形成される交差リブとから形成し、支持体の位置決め嵌合溝を、後部支柱の平坦面に形成されて突部の位置決めリブに嵌まる位置決め溝と、この位置決め溝に交差して形成され、突部の交差リブに嵌まる交差溝とから形成することも可能である。
【００１７】
また、支持体の後部支柱の前面を容器本体の幅方向に傾けるとともに、この前面に基板の後部周縁を保持する保持溝を形成することにより、基板の収納位置を規制する規制面を形成しても良い。
また、支持体の前部支持片に、基板の側部周縁を略水平に支持する接触隆起部を形成し、この接触隆起部の前方には、基板の前方への飛び出しを規制する段差隆起部を隣接させ、後部支持片に、後部支柱の規制面の前方に位置して基板の側部周縁を略水平に支持する接触隆起部を形成すると良い。
【００１８】
さらに、基板を収納する容器本体と、この容器本体の内部側方に取り付けられて基板を支持する支持体とを備え、
容器本体を正面が開口したフロントオープンボックスに構成し、この容器本体の側壁内面に、支持体を前後方向に位置決めするレールリブを形成してその高さを容器本体の正面から背面壁方向に向かうにしたがい徐々に低くするとともに、容器本体の側壁内面に支持体用の抜け止めストッパを形成し、
支持体は、容器本体の側壁内面前方に対向してレールリブと抜け止めストッパとに挟み持たれる前部支柱と、容器本体の周壁内面に対向して取り付けられる後部支柱と、これら前部支柱と後部支柱との間に位置する中間支柱と、これら前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の間に架設されて基板を略水平に支持する支持片とを含み、支持片を前部支柱、後部支柱、及び中間支柱の上下方向に複数配列して隣接する支持片と支持片との間には空隙を区画するとともに、各支持片を、前部支柱と中間支柱との間に架設される前部支持片と、後部支柱と中間支柱との間に架設される後部支持片とに分割しても良い。
【００１９】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくともφ３００ｍｍやφ４５０ｍｍの半導体ウェーハ、マスクガラス、液晶基板等が含まれる。また、容器本体は、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。この容器本体の周壁には、少なくとも側壁と背面壁とが含まれる。容器本体の背面壁には、基板の後部周縁を保持可能なリテーナを設けることができる。さらに、支持体の前部支柱には、容器本体の抜け止めストッパに干渉される切り欠きを形成することができる。
【００２０】
本発明によれば、容器本体に別体の支持体を内蔵して取り付ける場合には、容器本体の周壁内面、例えば容器本体の背面壁又は側壁の内面に支持体の後部支柱を固定し、容器本体の側壁内面側に支持体の前部側を撓ませてその前部支柱の位置決め干渉片を取付突起に干渉支持させれば、容器本体に支持体を取り付けることができる。
【００２１】
支持体の複数の支持片間に空隙を形成するとともに、各支持片を前部支持片と後部支持片とに分割・分断し、支持体の弾性を向上させて全体として弾性構造とするので、例え基板が薄く撓みやすい大型の基板でも、基板を安全に支持することができる。また、基板収納容器の輸送時等に容器本体に衝撃や振動が作用しても、この衝撃や振動を支持体が吸収緩和するので、容器本体から基板に衝撃や振動が伝播するのを抑制することができる。また、支持体用の取付突起等が簡易な構成なので、容器本体の成形時に容器本体に支持片用の取付構造を容易に一体成形することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、薄く撓みやすい基板をも安全に支持することができ、輸送時等に容器本体から基板に衝撃や振動が伝播するのを防ぎ、容器本体の製造の安定化や製造コストの削減を図ることができるという効果がある。
【００２３】
また、請求項２記載の発明によれば、容器本体の背面壁に突部と嵌合突起とを併せて形成するので、容器本体の側壁内面に支持体の後部支柱用の取付構造を設ける必要がない。
また、請求項３記載の発明によれば、容器本体内の気体と外部の気体とを短時間で効率的に置換することができる。
【００２４】
また、請求項４記載の発明によれば、支持体の流出口が気体の流通性を向上させるので、給気バルブから容器本体内に供給される気体が支持体の後部支柱や後部支持片付近で滞留するのを防ぐことができる。
また、請求項５記載の発明によれば、支持体の前部支柱を高精度に位置決めし、かつ強固に固定することが可能になる。
【００２５】
また、請求項６記載の発明によれば、嵌合突起の位置決めリブ及び交差リブと、位置決め嵌合溝の位置決め溝及び交差溝との嵌め合いにより、支持体やその支持片、そして、支持片に支持される基板を高精度に位置決めすることが可能になる。
また、請求項７記載の発明によれば、容器本体に対する基板の過剰な挿入や収納を防ぐことが可能になる。
【００２６】
また、請求項８記載の発明によれば、接触隆起部のみに基板の側部周縁を接触支持させることができるので、前部支持片と後部支持片の基板に対する接触領域を減少させ、接触に伴う磨耗や塵埃の発生防止が期待できる。さらに、前部支持片の段差隆起部により、基板が容器本体の正面から外部に飛び出すのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体の裏面を模式的に示す斜視説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体の一部を模式的に示す部分斜視説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体の一部と支持体とを模式的に示す部分斜視説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体に対する支持体の取付構造を模式的に示す部分斜視説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体と支持体とを模式的に示す断面平面図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の実施形態における嵌合突起を模式的に示す斜視説明図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の実施形態における支持体を模式的に示す斜視説明図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における支持体の外側面側を模式的に示す斜視説明図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の実施形態における位置決め嵌合溝を模式的に示す説明図である。
【図１１】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体の湾曲突部と支持体の後部とを模式的に示す部分断面平面図である。
【図１２】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す断面平面図である。
【図１３】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態を模式的に示す部分断面平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１１に示すように、複数枚の基板である半導体ウェーハを収納する容器本体１と、この容器本体１の開口した正面２にシール状態に嵌合される蓋体３０と、容器本体１の内部両側に配設されて複数枚の半導体ウェーハを支持する左右一対の支持体５０とを備え、容器本体１と一対の支持体５０とを別々に成形して各支持体５０を全体として弾性構造とするようにしている。
【００２９】
各半導体ウェーハは、図示しないが、例えばφ３００ｍｍあるいはφ４５０ｍｍのシリコンウェーハからなり、図示しない専用のロボットにより容器本体１に水平に挿入されたり、水平状態で容器本体１から取り出される。
【００３０】
容器本体１と蓋体３０とは、所定の樹脂を含有する成形材料によりそれぞれ射出成形されたり、成形された複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料の所定の樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。
【００３１】
これら成形材料の樹脂には、カーボンブラック、炭素繊維、カーボンナノチューブ、金属繊維、金属酸化物、導電性ポリマー等の導電剤やアニオン、カチオン、非イオン系等の各種帯電防止剤が選択的に添加される。また、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系の紫外線吸収剤を添加したり、剛性を向上させるガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
【００３２】
容器本体１は、図１、図３、図４、図６に示すように、正面２が横長に開口したフロントオープンボックスタイプに成形され、底板３の前部両側と後部中央とに、容器本体１を位置決めする位置決め具がそれぞれ配設されており、開口した正面２を水平横方向に向けた状態で半導体加工装置に付属の蓋体開閉装置上に位置決め具を介し位置決め搭載されたり、洗浄槽の洗浄液により洗浄される。
【００３３】
容器本体１の底板３内面の前部両側には、容器本体１の周壁である側壁２２に隣接する支持体５０用の取付突起４がそれぞれ立設される。各取付突起４は、図３ないし図５に示すように、左右横方向に並ぶ一対のリブ板５を備え、この一対のリブ板５の間に挟持用の狭い隙間６が区画形成されており、各リブ板５が横長の矩形に形成される。また、底板３の外面には図１に示すように、平坦な別体のボトムプレート７が螺子具を介して水平に螺着され、このボトムプレート７から複数の位置決め具がそれぞれ下方に露出する。
【００３４】
容器本体１の天板８内面の前部両側には図示しないが、容器本体１の側壁２２に隣接する支持体５０用の取付突起４がそれぞれ設けられ、この複数の取付突起４が底板３の取付突起４に対向する。各取付突起４は、左右横方向に並ぶ一対のリブ板５を備え、この一対のリブ板５の間に挟持用の狭い隙間６が区画形成されており、各リブ板５が横長の矩形に形成される。また、天板８外面の略中央部には図１に示すように、搬送用のトップフランジ９が着脱自在に装着され、このトップフランジ９が工場の天井搬送機構に把持される。
【００３５】
容器本体１の正面２周縁部には、外方向に張り出すリムフランジ１０が保持リブを介し膨出形成され、このリムフランジ１０内に着脱自在の蓋体３０が蓋体開閉装置により圧入して嵌合される。このリムフランジ１０の内周面の上下両側部、換言すれば、容器本体１の正面２内周面の上下両側部には図３ないし図６に示すように、蓋体３０用の施錠穴１１がそれぞれ穿孔される。
【００３６】
容器本体１の周壁である背面壁１２の両側部は、図３や図６に示すように、剛性確保の観点から容器本体１の内方向にそれぞれ略半円筒形に凹むことにより、支持体５０の後部に対向する断面略Ｕ字形の湾曲突部１３に形成され、各湾曲突部１３の表面の支持体５０後部に対向する対向部が縦長の平坦面１４に形成されており、この平坦面１４に支持体５０用の嵌合突起１５が形成される。
【００３７】
嵌合突起１５は、図３、図６、図７に示すように、湾曲突部１３の平坦面１４に突出形成されて容器本体１の上下方向に伸びる細長い位置決めリブ１６と、この位置決めリブ１６の略中央部に直交して一体形成される短い交差リブ１７とを備え、支持体５０をＸＺ方向に位置決めするよう機能する。これら十字を区画する位置決めリブ１６と交差リブ１７とは、支持体５０との嵌合精度を向上させる観点から側面１８が傾斜形成され、容器本体１の前方に向かうにしたがい徐々に先細りとなる。
【００３８】
容器本体１の背面壁１２の内面中央部付近には図３、図４、図６に示すように、半導体ウェーハの後部周縁を保持可能な左右一対のリアリテーナ１９が必要に応じて配設される。このリアリテーナ１９は、容器本体１の背面壁１２内面に設けられる細長い縦長のリアバー２０を備える。
【００３９】
リアバー２０は、複数の保持ピン２１が上下方向に所定の間隔で配列形成され、各保持ピン２１が基板収納容器の通常の支持状態の場合には、半導体ウェーハと非接触となるよう前方に水平に突出する。保持ピン２１は、基板収納容器が落下等して半導体ウェーハが大きく変位する場合に、半導体ウェーハの後部周縁に接触してその位置ずれを規制し、かつ半導体ウェーハの損傷を防止する。
【００４０】
容器本体１の両側壁２２の内面中央部付近には図３に示すように、容器本体１の前後方向に水平に伸びる断面矩形のレールリブ２３がそれぞれ一体的に突出形成され、各レールリブ２３が支持体５０の前部を支持して前後方向に位置決めするよう機能する。レールリブ２３は、容器本体１の正面２側に位置する先端部２３ａが傾斜形成され、容器本体１の正面２から背面壁１２方向に向かうにしたがい徐々に低くなるよう調整される。
【００４１】
レールリブ２３の先端部２３ａは、図６に示すように、容器本体１の側壁２２から正面２側に張り出すよう鋭角に突出する。このようなレールリブ２３は、後述する抜け止めストッパ２４との間に支持体５０の前部を挟持する。
【００４２】
容器本体１の各側壁２２の内面前部には同図に示すように、レールリブ２３の前方に位置する複数の抜け止めストッパ２４が上下方向に間隔をおき並べて形成され、各抜け止めストッパ２４が上下方向に指向する細長い断面略Ｌ字形に屈曲形成される。この抜け止めストッパ２４は、支持体５０の前部に干渉して支持するとともに、レールリブ２３の突出した鋭利な先端部２３ａとの間に支持体５０の前部を挟持することにより、支持体５０が容器本体１の正面２から外部に飛び出したり、ＹＺ方向に位置ずれするのを抑制する。
【００４３】
容器本体１の各側壁２２外面の略中央部には、ハンドルを備えたグリップ部が着脱自在に装着される。このグリップ部は、握持操作される他、容器本体１を補強して変形を防止するよう機能する。
【００４４】
蓋体３０は、図１や図２に示すように、容器本体１のリムフランジ１０内に圧入して嵌合される中空の蓋本体３１と、この蓋本体３１の開口した正面を被覆する表面プレート４０と、蓋本体３１と表面プレート４０との間に介在される施錠機構４２と、容器本体１のリムフランジ１０と蓋本体３１との間に介在される密封封止用のシールガスケット４５とを備えて構成される。
【００４５】
蓋本体３１は、基本的には底の浅い断面略皿形に形成され、内部に補強用や取付用のリブが複数配設されており、半導体ウェーハに対向する対向面である裏面には、半導体ウェーハの前部周縁を弾発的に保持するフロントリテーナ３２が装着される。
【００４６】
フロントリテーナ３２は、特に限定されるものではないが、例えば図２に示すように、蓋本体３１の裏面両側部に固定される左右一対の支柱３３と、各支柱３３から蓋本体３１の裏面中央部方向に並んで屈曲して伸びる複数の第一の弾性片３４と、この複数の第一の弾性片３４の先端部に連結される左右一対の中間支柱３５と、この一対の中間支柱３５間に水平に架設して連結される複数の第二の弾性片３６とを備えて構成される。
【００４７】
このフロントリテーナ３２は、一対の支柱３３が施錠機構４２の一部とオーバーラップし、各第一、第二の弾性片３４・３６に、半導体ウェーハの前部周縁を断面略Ｖ字形や略Ｙ字形の保持溝で保持する第一、第二の保持ブロック３７・３８がそれぞれ一体形成されており、各中間支柱３５が蓋本体３１の裏面に固定されて第一、第二の弾性片３４・３６を分割し、かつ第二の弾性片３６の撓みを規制する。
【００４８】
蓋本体３１の裏面周縁部には枠形の嵌合溝が凹み形成され、この嵌合溝にシールガスケット４５が密嵌される。また、蓋本体３１の周壁の上下両側部には、容器本体１の施錠穴１１に対向する施錠機構４２用の出没孔３９がそれぞれ穿孔される。
【００４９】
表面プレート４０は、図１に示すように、蓋本体３１の開口した正面に対応する横長の正面矩形に形成され、両側部に施錠機構４２用の操作孔４１がそれぞれ穿孔されており、各操作孔４１が蓋体開閉装置の操作キーに貫通される。
【００５０】
施錠機構４２は、同図に部分的に示すように、蓋本体３１内の両側部に回転可能に軸支されて表面プレート４０の操作孔４１を貫通した蓋体開閉装置の操作キーに操作される左右一対の回転プレート４３と、各回転プレート４３の回転に伴い蓋本体３１内の上下方向にスライドする複数のスライドプレート４４と、各スライドプレート４４のスライドに伴い蓋本体３１の出没孔３９から出没する揺動可能な複数の施錠爪とを備えて構成される。
【００５１】
施錠機構４２は、複数のスライドプレート４４がフロントリテーナ３２の支柱３３や第一の弾性片３４に蓋本体３１を介し間接的に対向し、各施錠爪がスライドプレート４４の先端部と蓋本体３１の出没孔３９とに回転可能に軸支される。
【００５２】
このような施錠機構４２は、容器本体１のリムフランジ１０に蓋体３０が嵌合された後、各回転プレート４３が操作されてスライドプレート４４を蓋本体３１の周壁方向にスライドさせ、各施錠爪が出没孔３９から突出して容器本体１の施錠穴１１に嵌合係止することにより、蓋体３０を強固に施錠して脱落を防止する。
【００５３】
シールガスケット４５は、例えば耐熱性や耐候性等に優れるフッ素ゴム、シリコーンゴム、各種の熱可塑性エラストマー（例えば、オレフィン系、ポリエステル系、ポリスチレン系等）等を成形材料として弾性変形可能な枠形に成形され、容器本体１のリムフランジ１０内に蓋体３０が嵌合された際、リムフランジ１０の内周面に圧接する。
【００５４】
各支持体５０は、摺動性に優れるポリアセタール、ポリエチレン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリフェニレンスルフィド、摺動剤の添加された熱可塑性樹脂を含有する成形材料により成形される。
【００５５】
各支持体５０は、図４ないし図６、図８、図９等に示すように、容器本体１の側壁２２内面前方に対向接触してレールリブ２３の先端部２３ａと複数の抜け止めストッパ２４とに挟持される前部支柱５１と、容器本体１の湾曲突部１３に対向接触する後部支柱５４と、前部支柱５１と後部支柱５４との中間に位置して容器本体１の側壁２２内面に対向接触する中間支柱６１と、これら前部支柱５１、後部支柱５４、及び中間支柱６１の間に水平に架設されて半導体ウェーハの裏面側部周縁を略水平に支持する複数の支持片６２とを備えて構成される。
【００５６】
支持体５０の前部支柱５１の上下両端部には、容器本体１の取付突起４に干渉する位置決め干渉片５２がそれぞれ突出形成され、各位置決め干渉片５２が容器本体１の前後方向に伸びる板形に形成されており、この位置決め干渉片５２が取付突起４の一対のリブ板５間の隙間６に挟持されることにより、容器本体１の側壁２２と前部支柱５１との間の距離が規制されるとともに、前部支柱５１が位置決め固定される。
【００５７】
前部支柱５１の前端面には、縦長の切り欠き５３が上下方向に並べて切り欠かれ、各切り欠き５３に容器本体１の抜け止めストッパ２４が嵌合することにより、支持体５０の位置ずれやガタツキが防止される。
【００５８】
後部支柱５４は、前部支柱５１や中間支柱６１と同様に容器本体１の上下方向に指向してその前面が規制面５５に形成され、後面に位置決め嵌合溝５８が形成されており、この位置決め嵌合溝５８が湾曲突部１３の嵌合突起１５に密嵌する。後部支柱５４の規制面５５は、図４ないし図６、図８、図１１に示すように、後部支柱５４の前面が容器本体１の左右幅方向に傾斜するとともに、この前面に半導体ウェーハの後部周縁を保持するＶ溝５６が上下方向に並べて切り欠かれることにより形成され、容器本体１に対する半導体ウェーハの挿入位置を規制するよう機能する。
【００５９】
後部支柱５４の湾曲突部１３の平坦面１４に対向する後面は、縦長の平坦面５７に形成され、この平坦面５７に位置決め嵌合溝５８が一体形成される。この位置決め嵌合溝５８は、図６、図９ないし図１１に示すように、平坦面５７の上下方向に凹み形成されて湾曲突部１３の位置決めリブ１６に密嵌する細長い位置決め溝５９と、この位置決め溝５９の略中央部に直交して形成され、湾曲突部１３の交差リブ１７に密嵌する短い交差溝６０とを備えて形成される。これら十字を区画する位置決め溝５９と交差溝６０の内面は、嵌合精度を向上させる観点から、湾曲突部１３の嵌合突起１５と同様に傾斜形成される。
【００６０】
複数の支持片６２は、図４ないし図６、図８、図９に示すように、前部支柱５１、後部支柱５４、及び中間支柱６１の上下方向に所定の間隔で配列され、上下方向に隣接する支持片６２と支持片６２との間に空隙６３が区画されており、この空隙６３が半導体ウェーハに対する衝撃や振動を吸収・緩和する。
【００６１】
各支持片６２は、前部支柱５１と中間支柱６１との間に水平に湾曲して架設される前部支持片６４と、後部支柱５４と中間支柱６１との間に水平に湾曲して架設される平面略半円弧形の後部支持片６５とに分割され、これら前後に並ぶ前部支持片６４と後部支持片６５との間に隙間６６が形成されており、この隙間６６が前部支持片６４と後部支持片６５とにそれぞれ弾性を付与して支持体５０の取付作業を容易化する。特に、レールリブ２３の先端部２３ａと複数の抜け止めストッパ２４との狭い間に支持体５０の前部支柱５１を挟持させる作業を容易化する。
【００６２】
各前部支持片６４は、図５や図８に示すように、基本的には細長い平坦な板片に形成され、表面前部に半導体ウェーハの側部周縁を略水平に支持する平坦な接触隆起部６７が形成されており、この接触隆起部６７の前方には、半導体ウェーハの側部周縁前方に接触して前方への飛び出しを規制する段差隆起部６８が接触隆起部６７よりも高く隣接形成される。
【００６３】
複数の後部支持片６５は、容器本体１の側壁２２内面に間隙を介して対向し、この対向する外側面側に、容器本体１の側壁２２内面に接触する縦長の包囲片６９が一体形成される（図６、図９、図１１参照）。各後部支持片６５は、基本的には細長い平坦な板片に形成され、表面後部には、後部支柱５４の規制面５５の前方に位置する接触隆起部７０が平坦に形成されており、この接触隆起部７０が半導体ウェーハの側部周縁を略水平に支持する。
【００６４】
このように前部支持片６４と後部支持片６５の接触隆起部６７・７０のみが半導体ウェーハの側部周縁を接触支持するので、前部支持片６４と後部支持片６５の半導体ウェーハに対する接触領域を大幅に減少させてパーティクルの発生を抑制することができる。
【００６５】
上記構成において、成形した容器本体１に別体の支持体５０を内蔵して装着する場合には、先ず、各湾曲突部１３の嵌合突起１５に支持体５０の位置決め嵌合溝５８を嵌合し、容器本体１の各側壁２２内面に支持体５０の包囲片６９を突き当てて接触させる。この際、嵌合突起１５と位置決め嵌合溝５８とは、ある程度嵌合するものの、完全には密嵌せず、湾曲突部１３の平坦面１４と後部支柱５４の平坦面５７とが接触しない非接触の状態となる（図１１参照）。
【００６６】
容器本体１の側壁２２に支持体５０の包囲片６９を接触させたら、容器本体１の側壁２２内面側に各支持体５０の前部側を撓ませてその前部支柱５１をレールリブ２３の先端部２３ａと複数の抜け止めストッパ２４とにきつく挟持させるとともに、前部支柱５１の複数の切り欠き５３に抜け止めストッパ２４をそれぞれ干渉させて嵌合し、取付突起４の一対のリブ板５間に前部支柱５１の位置決め干渉片５２を挟持させて支持体５０をＸＹＺ方向に位置決め固定する。この際、レールリブ２３は、支持体５０との間の距離を適切に規制する。
【００６７】
次いで、左右一対の支持体５０の支持片６２に半導体ウェーハを水平に支持させ、容器本体１のリムフランジ１０内に蓋体３０を圧入して嵌合することにより、半導体ウェーハの前部周縁にフロントリテーナ３２の第一、第二の保持ブロック３７・３８を圧接して保持させ、支持体５０の後部方向に半導体ウェーハを押しやるとともに、後部支柱５４の傾斜した規制面５５に半導体ウェーハの後部周縁を接触させて位置決め規制し、前部支持片６４の段差隆起部６８に半導体ウェーハの側部周縁を接触させる。
【００６８】
すると、湾曲突部１３の嵌合突起１５と支持体５０の位置決め嵌合溝５８とが完全に密嵌し、湾曲突部１３の平坦面１４と後部支柱５４の平坦面５７とが隙間なく圧接して支持体５０をＸＺ方向に位置決め固定するので、容器本体１に支持体５０を内蔵して強固に装着することができる。支持体５０の後部方向に半導体ウェーハを移動させることで、嵌合突起１５と位置決め嵌合溝５８とが完全に密嵌するので、嵌合突起１５に負荷が繰り返し作用することにより、嵌合突起１５が変形したり、損傷するのを有効に防止することができる。
【００６９】
上記構成によれば、支持体５０の複数の支持片６２間に空隙６３を区画し、各支持片６２の前部支持片６４と後部支持片６５との間に隙間６６を形成してこれら６４・６５を分断し、支持体５０の弾性を著しく向上させて全体として弾性構造とするので、例え半導体ウェーハが薄く撓みやすいφ４５０ｍｍのシリコンウェーハの場合でも、半導体ウェーハを安全に支持することができる。
【００７０】
また、基板収納容器の輸送時や落下時に容器本体１に衝撃や振動が作用しても、この衝撃や振動を支持体５０が吸収・緩和するので、容器本体１から半導体ウェーハに衝撃や振動が伝播するのを大幅に抑制することができる。したがって、半導体ウェーハの損傷や破損の防止が大いに期待できる。また、リアバー２０の保持ピン２１が非常時に半導体ウェーハの位置を規制するので、フロントリテーナ３２の保持溝から半導体ウェーハが外れるのを有効に防止することができる。
【００７１】
また、支持体５０用の取付突起４、嵌合突起１５、レールリブ２３、及び抜け止めストッパ２４が比較的簡易な構成なので、容器本体１の成形時に容器本体１に支持片６２用の取付構造を容易に一体成形することが可能となる。したがって、容器本体１を安定して成形することができ、金型の構造を簡素化したり、製造コストを大幅に削減することが可能となる。また、各支持片６２を前部支持片６４と後部支持片６５とに分断することにより、成形時の反りや変形を防止することができるので、応力を緩和して支持体５０を高精度に成形することが可能となる。
【００７２】
さらに、容器本体１の背面壁１２の両側部を内方向に凹ませて断面略Ｕ字形の湾曲突部１３を形成するので、半導体ウェーハの保持力に対する支持体５０取付部の剛性を向上させて変形を防止することができる。さらにまた、湾曲突部１３の平坦面１４と後部支柱５４の平坦面５７とを接触させて嵌合突起１５と位置決め嵌合溝５８との過剰な密嵌を防止するので、これら嵌合突起１５と位置決め嵌合溝５８の過剰な密嵌に伴う損傷防止が大いに期待できる。
【００７３】
次に、図１２は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１の底板３に、気体置換用の左右一対の給気バルブ８０と排気バルブ８１とをそれぞれ装着し、各給気バルブ８０を容器本体１の湾曲突部１３と側壁２２、及び支持体５０の包囲片６９に包囲された空間８２に位置させ、支持体５０の包囲片６９により、給気バルブ８０の気体を制御して整流するようにしている。
【００７４】
一対の給気バルブ８０は、容器本体１の底板３の後部両側にそれぞれ装着され、容器本体１の外部から内部に各種の不活性ガス（図１２の矢印参照）を供給するよう機能する。また、一対の排気バルブ８１は、容器本体１の底板３の前部両側にそれぞれ装着され、容器本体１の内部から外部にエア（図１２の矢印参照）を排気する。
【００７５】
各支持体５０は、後部支柱５４と複数の後部支持片６５との間に、給気バルブ８０の不活性ガスを半導体ウェーハ方向に流入させる流出口８３がそれぞれ形成され、上下方向に隣接する後部支持片６５と後部支持片６５との空隙６３が不活性ガスの通風口を形成しており、これら流出口８３や通風口が不活性ガスを円滑に流通させてその滞留を防止する。流出口８３は、例えば後部支持片６５の表裏面の少なくともいずれかに溝を切り欠くことにより形成される。
【００７６】
上記構成において、各給気バルブ８０が容器本体１の内部に不活性ガスを供給すると、矢印で示す不活性ガスは、容器本体１の空間８２から包囲片６９に案内されつつ支持体５０の流出口８３や通風口を経由して半導体ウェーハ方向に流入・充満し、各半導体ウェーハに接触してその酸化を防止する。こうして不活性ガスが容器本体１内に充満すると、容器本体１内に充満していたエアは、排気バルブ８１方向に短時間で流出し、排気バルブ８１から容器本体１の外部に効率的に排気される。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【００７７】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、半導体ウェーハにより不活性ガスが滞留するのを流出口８３や通風口が防ぐので、容器本体１内に不活性ガスを効果的に充満させ、半導体ウェーハの酸化を有効に防止することができるのは明らかである。
【００７８】
次に、図１３は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１の両側壁２２の内面後方に、支持体５０用の嵌合片８４をそれぞれ容器本体１の正面２方向に向け形成してその先端部を容器本体１の側壁２２内面から内方向に離隔させ、各支持体５０の後部支柱５４の平坦面５７に、湾曲突部１３の平坦面１４に接触する突片８５を伸長形成するとともに、複数の後部支持片６５の外側面側には、容器本体１の嵌合片８４の先端部に嵌合する嵌合ブロック８６を形成し、嵌合突起１５、位置決め嵌合溝５８、及び包囲片６９を省略するようにしている。
【００７９】
湾曲突部１３の表面は、後部支柱５４の平坦面５７に対向する平坦面１４でも良いが、後部支柱５４の突片８５に嵌入される位置決め用の凹面でも良い。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、湾曲突部１３の平坦面１４に嵌合突起１５を形成することができない場合にも、支持体５０を容易に装着することができるのは明白である。
【００８０】
なお、上記実施形態では容器本体１の背面壁１２にリアリテーナ１９を配設したが、容器本体１の背面壁１２内面にリアリテーナ１９を一体成形しても良いし、容器本体１の背面壁１２内面に別体のリアリテーナ１９を後付けしても良い。また、上記実施形態では前部支柱５１の上下両端部に板形の位置決め干渉片５２をそれぞれ突出形成したが、何らこれに限定されるものではなく、円柱形等の位置決め干渉片５２をそれぞれ突出形成しても良い。
【００８１】
前部支柱５１の位置決め干渉片５２が円柱形の場合には、この円柱形の位置決め干渉片５２よりも一対のリブ板５間の隙間６の挿入側を狭く形成し、中心側に円柱形の位置決め干渉片５２を保持可能な略円弧形の溝、あるいはＶ溝が対向する割ピン形のリブ等を設けることができる。
【００８２】
また、支持片６２を前部支持片６４と後部支持片６５とに完全に分断しても良いが、これらに弾性を付与することができるのであれば、前部支持片６４と後部支持片６５との対向する両端部間を細い線条部等で連結しても良い。さらに、各支持体５０の後部支柱５４や後部支持片６５の後部に、給気バルブ８０の不活性ガスを容器本体１内に流出させる流出口８３を形成しても良い。この流出口８３は、特に限定されるものではないが、例えば必要数の貫通孔の穿孔や溝の加工により形成することもできる。
【符号の説明】
【００８３】
１      容器本体
２      正面
３      底板
４      取付突起
５      リブ板
６      隙間
８      天板
１０    リムフランジ
１２    背面壁（周壁）
１３    湾曲突部（突部）
１４    平坦面
１５    嵌合突起
１６    位置決めリブ
１７    交差リブ
１８    側面
１９    リアリテーナ
２２    側壁（周壁）
２３    レールリブ
２４    抜け止めストッパ
３０    蓋体
３２    フロントリテーナ
４２    施錠機構
５０    支持体
５１    前部支柱
５２    位置決め干渉片
５３    切り欠き
５４    後部支柱
５５    規制面
５６    Ｖ溝
５７    平坦面
５８    位置決め嵌合溝
５９    位置決め溝
６０    交差溝
６１    中間支柱
６２    支持片
６３    空隙
６４    前部支持片
６５    後部支持片
６７    接触隆起部
６８    段差隆起部
６９    包囲片
７０    接触隆起部
８０    給気バルブ
８１    排気バルブ
８３    流出口
８４    嵌合片
８５    突片
８６    嵌合ブロック
【図１】
0005361805.tif 000002
【図２】
0005361805.tif 000003
【図３】
0005361805.tif 000004
【図４】
0005361805.tif 000005
【図５】
0005361805.tif 000006
【図６】
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【図７】
0005361805.tif 000008
【図８】
0005361805.tif 000009
【図９】
0005361805.tif 000010
【図１０】
0005361805.tif 000011
【図１１】
0005361805.tif 000012
【図１２】
0005361805.tif 000013
【図１３】
0005361805.tif 000014