(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜容器内に保持されている基板に原料ガスを供給することによって、前記基板に膜を成膜する成膜装置において、
前記成膜容器内で基板を水平面内で回転可能に保持する基板保持部と、
前記成膜容器内に設けられるとともに、原料ガスを供給するための供給孔が形成された、供給管を含み、前記供給孔を介して前記成膜容器内に原料ガスを供給する供給機構と、
前記成膜容器内に設けられるとともに、ガスを排気するための排気孔が形成された、排気管を含み、前記排気孔を介して前記成膜容器内からガスを排気する排気機構と、
前記基板保持部と前記供給機構と前記排気機構とを制御する制御部と
を有し、
前記供給孔と前記排気孔とは、前記基板保持部に保持されている基板を挟んで互いに対向するように形成されており、
前記制御部は、前記基板保持部に保持されている基板を回転させた状態で、前記供給機構により原料ガスを供給するとともに前記排気機構によりガスを排気することによって、前記基板に膜を成膜するように制御するものであり、
前記成膜装置は、前記成膜容器内に保持されている基板に第１の原料ガスと第２の原料ガスとを供給することによって、前記基板に膜を成膜するものであり、
前記供給機構は、前記供給管の前記供給孔が形成されている部分よりも上流側の部分に収容されるとともに、前記第１の原料ガス及び前記第２の原料ガスのいずれか一方の原料ガスを供給するための開口が形成された、内側供給管を含み、前記供給管を流れる前記第１の原料ガス及び前記第２の原料ガスの他方の原料ガスに、前記内側供給管を流れる前記一方の原料ガスを、前記開口を介して合流させて混合し、混合した前記第１の原料ガスと前記第２の原料ガスとを、前記供給孔を介して前記成膜容器内に供給するものであり、
前記制御部は、前記供給管に前記他方の原料ガスを流す第１の流量と、前記内側供給管に前記一方の原料ガスを流す第２の流量とを予め設定し、設定した前記第１の流量で前記他方の原料ガスを前記供給管に流すとともに、設定した前記第２の流量で前記一方の原料ガスを前記内側供給管に流すことによって、前記第１の原料ガスと前記第２の原料ガスとを所定の混合比で混合させた状態で前記成膜容器内に供給するように制御するものであり、
前記供給孔及び前記開口は、前記供給管の延在する方向に垂直な方向に形成されており、前記開口は、前記開口の方向が、前記供給管の延在する方向に垂直な断面視で、前記供給孔の方向と異なる方向を向くように形成されている、
成膜装置。
【請求項２】
前記基板保持部は、複数の基板を上下方向に所定の保持間隔で保持するものであり、
前記供給管と前記排気管とは、いずれも上下方向に延在するように設けられており、
前記供給管には、複数の供給孔が形成されており、
前記排気管には、複数の排気孔が形成されており、
前記複数の供給孔と前記複数の排気孔とは、各々の供給孔と排気孔とが、前記基板保持部に保持されている各々の基板を挟んで互いに対向するように、それぞれ所定の間隔で形成されている、請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記排気管には、前記複数の排気孔が、それぞれの排気孔の孔径が上流側から下流側に向かって小さくなるように形成されている、請求項２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記基板保持部は、上下に隣り合う基板の裏面同士が対向するか、又は、上下に隣り合う基板の表面同士が対向するとともに、裏面同士で対向して上下に隣り合う２枚の基板の間隔が、表面同士で対向して上下に隣り合う２枚の基板の間隔よりも狭くなるように、前記複数の基板を上下方向に保持するものである、請求項２又は請求項３に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記基板保持部は、裏面同士で対向して上下に隣り合う２枚の基板の隙間を塞ぐ塞ぎ部材を有する、請求項４に記載の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に膜を成膜する成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスに用いられる材料は、近年無機材料から有機材料へと幅を広げつつあり、無機材料にはない有機材料の特質等から半導体デバイスの特性や製造プロセスをより最適なものとすることができる。
【０００３】
このような有機材料の１つとして、ポリイミドが挙げられる。ポリイミドは密着性が高く、リーク電流も低い。従って、基板の表面にポリイミドを成膜して得られるポリイミド膜は、絶縁膜として用いることができ、半導体デバイスにおける絶縁膜として用いることも可能である。
【０００４】
このようなポリイミド膜を成膜する方法としては、原料モノマーとして例えばピロメリット酸二無水物（Pyromellitic Dianhydride、以下「ＰＭＤＡ」と略す。）と、例えば４，４'−オキシジアニリン（4,4'-Oxydianiline、以下「ＯＤＡ」と略す。）を含む４，４'−ジアミノジフェニルエーテルを用いた蒸着重合による成膜方法が知られている。蒸着重合は、原料モノマーとして用いられるＰＭＤＡ及びＯＤＡを基板の表面で熱重合反応させる方法である（例えば特許文献１参照）。特許文献１では、ＰＭＤＡ及びＯＤＡのモノマーを気化器で蒸発させ、蒸発させたそれぞれの蒸気を蒸着重合室に供給し、基板上で蒸着重合させてポリイミド膜を成膜する成膜方法が開示されている。
【０００５】
蒸着重合を用いて膜質に優れたポリイミド膜を安価かつ短時間で成膜するためには、気化したＰＭＤＡ（以下「ＰＭＤＡガス」という。）と、気化したＯＤＡ（以下「ＯＤＡガス」という。）とを、継続的に一定量で基板に供給する必要がある。従って、ポリイミド膜を成膜する成膜装置においては、ＰＭＤＡガスとＯＤＡガスとよりなる原料ガスを成膜容器内に供給する供給機構と、成膜容器内からガスを排気して減圧する排気機構とが設けられていることが好ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許４２８３９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このようなＰＭＤＡガスとＯＤＡガスを基板に供給してポリイミド膜を成膜する成膜装置には、以下のような問題がある。
【０００８】
ＰＭＤＡガスとＯＤＡガスとよりなる原料ガスを供給することによって基板の表面にポリイミド膜を成膜するためには、基板の面内における原料ガスの供給量が均一であることが好ましく、そのためには、基板の表面上での原料ガスの流れが層流となることが好ましい。しかし、供給機構により成膜容器内に原料ガスが供給され、排気機構により成膜容器内からガスが排気されることによって発生する基板の表面上での原料ガスの流れは、層流にならず、基板の面内における原料ガスの供給量の均一性に劣るという問題がある。そして、成膜される膜の膜厚その他の膜質の均一性に劣るという問題がある。
【０００９】
特に、成膜容器内で複数の基板を所定の間隔で保持する場合には、それぞれの基板の表面上での原料ガスの流れが互いに略等しい流量を有する平行な層流となることが好ましい。
【００１０】
更に、上記した課題は、ＰＭＤＡガスよりなる原料ガス、及び、ＯＤＡガスよりなる原料ガスを基板に供給してポリイミド膜を成膜する場合に限定されず、各種の原料ガスを基板に供給して各種の膜を成膜する場合にも共通する課題である。
【００１１】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、基板の面内における原料ガスの供給量を均一にし、成膜される膜の膜質を一定にすることができる成膜装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１３】
本発明の一実施例によれば、成膜容器内に保持されている基板に原料ガスを供給することによって、前記基板に膜を成膜する成膜装置において、前記成膜容器内で基板を水平面内で回転可能に保持する基板保持部と、前記成膜容器内に設けられるとともに、原料ガスを供給するための供給孔が形成された、供給管を含み、前記供給孔を介して前記成膜容器内に原料ガスを供給する供給機構と、前記成膜容器内に設けられるとともに、ガスを排気するための排気孔が形成された、排気管を含み、前記排気孔を介して前記成膜容器内からガスを排気する排気機構と、前記基板保持部と前記供給機構と前記排気機構とを制御する制御部とを有し、前記供給孔と前記排気孔とは、前記基板保持部に保持されている基板を挟んで互いに対向するように形成されており、前記制御部は、前記基板保持部に保持されている基板を回転させた状態で、前記供給機構により原料ガスを供給するとともに前記排気機構によりガスを排気することによって、前記基板に膜を成膜するように制御するものであり、前記成膜装置は、前記成膜容器内に保持されている基板に第１の原料ガスと第２の原料ガスとを供給することによって、前記基板に膜を成膜するものであり、前記供給機構は、前記供給管の前記供給孔が形成されている部分よりも上流側の部分に収容されるとともに、前記第１の原料ガス及び前記第２の原料ガスのいずれか一方の原料ガスを供給するための開口が形成された、内側供給管を含み、前記供給管を流れる前記第１の原料ガス及び前記第２の原料ガスの他方の原料ガスに、前記内側供給管を流れる前記一方の原料ガスを、前記開口を介して合流させて混合し、混合した前記第１の原料ガスと前記第２の原料ガスとを、前記供給孔を介して前記成膜容器内に供給するものであり、前記制御部は、前記供給管に前記他方の原料ガスを流す第１の流量と、前記内側供給管に前記一方の原料ガスを流す第２の流量とを予め設定し、設定した前記第１の流量で前記他方の原料ガスを前記供給管に流すとともに、設定した前記第２の流量で前記一方の原料ガスを前記内側供給管に流すことによって、前記第１の原料ガスと前記第２の原料ガスとを所定の混合比で混合させた状態で前記成膜容器内に供給するように制御するものであり、前記供給孔及び前記開口は、前記供給管の延在する方向に垂直な方向に形成されており、前記開口は、前記開口の方向が、前記供給管の延在する方向に垂直な断面視で、前記供給孔の方向と異なる方向を向くように形成されている、成膜装置が提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基板の面内における原料ガスの供給量を均一にし、成膜される膜の膜質を一定にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施の形態に係る成膜装置を概略的に示す縦断面図である。
【図２】ローディングエリアを概略的に示す斜視図である。
【図３】前のバッチのウェハＷが成膜容器中で成膜処理されているときの、後のバッチのウェハＷの状態を示す図である。
【図４】ボートの一例を概略的に示す斜視図である。
【図５】ボートに複板ユニットが搭載されている状態を示す断面図である。
【図６】移載機構の一例を概略的に示す側面図である。
【図７】移載機構が複板ユニットを構成して搬送する手順を示す側面図である（その１）。
【図８】移載機構が複板ユニットを構成して搬送する手順を示す側面図である（その２）。
【図９】移載機構が複板ユニットを構成して搬送する手順を示す側面図である（その３）。
【図１０】下側フォークが支持環を介して２枚のウェハＷを搭載しているときに、上側フォークが上側のウェハＷを掴んでいる部分を拡大して示す断面図である。
【図１１】成膜容器、供給機構及び排気機構の構成の概略を示す断面図である。
【図１２】インジェクタの例を示す側面図である。
【図１３】図１２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図１４】開口からＬの距離にある位置における原料ガスの濃度分布を模式的に示す図である。
【図１５】図１４に示す点Ｐ１、Ｐ２における、第２の原料ガスの濃度分布の距離依存性の一例を示すグラフである。
【図１６】開口からＬの距離にある位置における原料ガスの濃度分布を模式的に示す図である。
【図１７】図１６に示す点Ｐ１、Ｐ２における、第２の原料ガスの濃度分布の距離依存性の一例を示すグラフである。
【図１８】排気管の一例を示す側面図である。
【図１９】第１の実施の形態に係る成膜装置を用いた成膜処理を含む各工程の手順を説明するためのフローチャートである。
【図２０】原料ガスの流量を変えた場合において、成膜工程により成膜されるポリイミド膜のウェハＷの中心からの各位置における成膜速度の計算結果を示すグラフである。
【図２１】成膜容器内の圧力を変えた場合において、成膜工程により成膜されるポリイミド膜のウェハＷの中心からの各位置における成膜速度の計算結果を示すグラフである。
【図２２】ウェハＷの間隔を変えた場合において、成膜工程により成膜されるポリイミド膜のウェハＷの中心からの各位置における成膜速度の計算結果を示すグラフである。
【図２３】第２の実施の形態に係る成膜装置を概略的に示す縦断面図である。
【図２４】成膜容器、供給機構及び排気機構の構成の概略を示す断面図である。
【図２５】成膜容器、供給機構、排気機構及び制御部の構成を示す正面図である。
【図２６】図２５に示す構成の一部を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
次に、本発明を実施するための形態について図面と共に説明する。
（第１の実施の形態）
最初に、図１から図６を参照し、本発明の第１の実施の形態に係る成膜装置について説明する。本実施の形態に係る成膜装置は、例えばピロメリット酸二無水物（ＰＭＤＡ）を気化した第１の原料ガスと、例えば４，４'−３オキシジアニリン（ＯＤＡ）を気化した第２の原料ガスとを、成膜容器内に保持されている基板に供給することによって、基板にポリイミド膜を成膜する成膜装置に適用することができる。
【００１７】
図１は、本実施の形態に係る成膜装置１０を概略的に示す縦断面図である。図２は、ローディングエリア４０を概略的に示す斜視図である。図３は、前のバッチ（バッチ１）のウェハＷが成膜容器中で成膜処理されているときの、後のバッチ（バッチ２）のウェハＷの状態を示す図である。図４は、ボート４４の一例を概略的に示す斜視図である。図５は、ボート４４に複板ユニット５６が搭載されている状態を示す断面図である。図６は、移載機構４７の一例を概略的に示す側面図である。
【００１８】
成膜装置１０は、載置台（ロードポート）２０、筐体３０、及び制御部９０を有する。
【００１９】
載置台（ロードポート）２０は、筐体３０の前部に設けられている。筐体３０は、ローディングエリア（作業領域）４０及び成膜容器６０を有する。ローディングエリア４０は、筐体３０内の下方に設けられており、成膜容器６０は、筐体３０内であってローディングエリア４０の上方に設けられている。また、ローディングエリア４０と成膜容器６０との間には、ベースプレート３１が設けられている。なお、後述する供給機構７０は、成膜容器６０に接続されるように設けられている。
【００２０】
ベースプレート３１は、成膜容器６０の後述する反応管６１を設置するための例えばＳＵＳ製のベースプレートであり、反応管６１を下方から上方に挿入するための図示しない開口部が形成されている。
【００２１】
載置台（ロードポート）２０は、筐体３０内へのウェハＷの搬入搬出を行うためのものである。載置台（ロードポート）２０には、収納容器２１が載置されている。収納容器２１は、前面に図示しない蓋を着脱可能に備えた、複数枚例えば５０枚程度のウェハを所定の間隔で収納可能な密閉型収納容器（フープ）である。
【００２２】
また、本実施の形態では、載置台（ロードポート）２０は、筐体３０内への後述する支持環（サポートリング）５５の搬入搬出を行うためのものであってもよい。載置台（ロードポート）２０には、収納容器２２が載置されていてもよい。収納容器２２は、前面に図示しない蓋を着脱可能に備えた、複数枚例えば２５枚程度の後述する支持環５５を所定の間隔で収納可能な密閉型収納容器（フープ）である。
【００２３】
また、載置台２０の下方には、後述する移載機構４７により移載されたウェハＷの外周に設けられた切欠部（例えばノッチ）を一方向に揃えるための整列装置（アライナ）２３が設けられていてもよい。
【００２４】
ローディングエリア（作業領域）４０は、収納容器２１と後述するボート４４との間でウェハＷの移載を行い、ボート４４を成膜容器６０内に搬入（ロード）し、ボート４４を成膜容器６０から搬出（アンロード）するためのものである。ローディングエリア４０には、ドア機構４１、シャッター機構４２、蓋体４３、ボート４４、基台４５ａ、４５ｂ、昇降機構４６、及び移載機構４７が設けられている。
【００２５】
なお、蓋体４３及びボート４４は、本発明における基板保持部に相当する。
【００２６】
ドア機構４１は、収納容器２１、２２の蓋を取外して収納容器２１、２２内をローディングエリア４０内に連通開放するためのものである。
【００２７】
シャッター機構４２は、ローディングエリア４０の上方に設けられている。シャッター機構４２は、蓋体４３を開けているときに、後述する成膜容器６０の開口６３から高温の炉内の熱がローディングエリア４０に放出されるのを抑制ないし防止するために開口６３を覆う（又は塞ぐ）ように設けられている。
【００２８】
蓋体４３は、保温筒４８及び回転機構４９を有する。保温筒４８は、蓋体４３上に設けられている。保温筒４８は、ボート４４が蓋体４３側との伝熱により冷却されることを防止し、ボート４４を保温するためのものである。回転機構４９は、蓋体４３の下部に取り付けられている。回転機構４９は、ボート４４を回転するためのものである。回転機構４９の回転軸は蓋体４３を気密に貫通し、蓋体４３上に配置された図示しない回転テーブルを回転するように設けられている。
【００２９】
昇降機構４６は、ボート４４のローディングエリア４０から成膜容器６０に対する搬入、搬出に際し、蓋体４３を昇降駆動する。そして、昇降機構４６により上昇させられた蓋体４３が成膜容器６０内に搬入されているときに、蓋体４３は、後述する開口６３に当接して開口６３を密閉するように設けられている。そして、蓋体４３に載置されているボート４４は、成膜容器６０内でウェハＷを水平面内で回転可能に保持することができる。
【００３０】
なお、成膜装置１０は、ボート４４を複数有していてもよい。以下、本実施の形態では、図２を参照し、ボート４４を２つ有する例について説明する。
【００３１】
ローディングエリア４０には、ボート４４ａ、４４ｂが設けられている。そして、ローディングエリア４０には、基台４５ａ、４５ｂ及びボート搬送機構４５ｃが設けられている。基台４５ａ、４５ｂは、それぞれボート４４ａ、４４ｂが蓋体４３から移載される載置台である。ボート搬送機構４５ｃは、ボート４４ａ、４４ｂを、蓋体４３から基台４５ａ、４５ｂに移載するためのものである。
【００３２】
図３に示すように、前のバッチ（バッチ１）のウェハＷが搭載されたボート４４ａが成膜容器６０に搬入され、成膜処理されている時に、ローディングエリア４０において、後のバッチ（バッチ２）のウェハＷを収納容器２１からボート４４ｂへ移載することができる。これにより、前のバッチ（バッチ１）のウェハＷの成膜工程が終了し、成膜容器６０からボート４４ａを搬出した直後に、後のバッチ（バッチ２）のウェハＷを搭載したボート４４ｂを成膜容器６０に搬入することができる。その結果、成膜処理に要する時間（タクト時間）を短縮することができ、製造コストを低減することができる。
【００３３】
ボート４４ａ、４４ｂは、例えば石英製であり、大口径例えば直径３００ｍｍのウェハＷを水平状態で上下方向に所定の間隔（ピッチ幅）で搭載するようになっている。ボート４４ａ、４４ｂは、例えば図４に示すように、天板５０と底板５１の間に複数本例えば３本の支柱５２を介設してなる。支柱５２には、ウェハＷを保持するための爪部５３が設けられている。また、支柱５２と共に補助柱５４が適宜設けられていてもよい。
【００３４】
また、ボート４４ａ、４４ｂは、上下に隣り合うウェハＷの裏面同士が対向するか、又は、上下に隣り合うウェハＷの表面同士が対向するとともに、裏面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの間隔が、表面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの間隔よりも狭くなるように、複数のウェハＷを上下方向に保持するものであってもよい。以下、本実施の形態では、上下に隣り合うウェハＷが支持環（サポートリング）５５を介して裏面同士が対向するようにボート４４ａ、４４ｂに搭載される例について説明する。
【００３５】
図５に示すように、ボート４４ａ、４４ｂの爪部５３には、２枚のウェハＷを支持するように構成される複板ユニット５６が保持されていてもよい。複板ユニット５６は、支持環（サポートリング）５５によりウェハＷの周縁部を支持することによって、２枚のウェハＷを、裏面同士が対向するように支持する。１つの複板ユニット５６における裏面同士が対向するように支持される２枚のウェハＷの間隔をＰａとし、複板ユニット５６が上下方向に保持される間隔、すなわち爪部５３の間隔をＰｂとする。このとき、表面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの間隔は、Ｐｂ−Ｐａである。このような配置のとき、ＰａがＰｂ−Ｐａよりも小さくなるようにすることが好ましい。すなわち、裏面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの間隔Ｐａが、表面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの間隔（Ｐｂ−Ｐａ）よりも狭くなるように、上下方向に複数保持されることが好ましい。
【００３６】
支持環５５は、ウェハＷと同一又はウェハＷよりも少し大きい内径を有する円環部５５ａと、円環部５５ａの上端及び下端の部分を除き、円環部５５ａの内周に沿って中心側に、２枚のウェハＷの間隔を埋めるように設けられたスペーサ部５５ｂとを有している。スペーサ部５５ｂは、成膜容器６０内で成膜処理される際に、裏面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの隙間を塞ぐためのものである。そして、スペーサ部５５ｂは、裏面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの隙間に原料ガスが入り込み、ウェハＷの裏面に膜が成膜されることを防止するためのものである。支持環５５は、例えば石英製である。
【００３７】
なお、支持環５５のスペーサ部５５ｂは、本発明における塞ぎ部材に相当する。
【００３８】
図５に示すように、爪部５３には、裏面Ｗｂを上面（すなわち表面Ｗａを下面）にしたウェハＷが支持されている。爪部５３に支持されているウェハＷの上方には、円環部５５ａの下面が爪部５３に接触している状態で、支持環５５が支持されている。そして、支持環５５のスペーサ部５５ｂには、裏面Ｗｂを下面（すなわち表面Ｗａを上面）にしたウェハＷが支持されている。
【００３９】
ここで、１つの複板ユニット５６における裏面同士が対向するように支持される２枚のウェハＷの間隔Ｐａを例えば２ｍｍとし、複板ユニット５６が上下方向に保持される間隔（爪部５３の間隔）Ｐｂを例えば１１ｍｍとすることができる。すると、表面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの間隔（Ｐｂ−Ｐａ）を９ｍｍとすることができる。一方、ボート４４のウェハ搭載枚数を変えずに全てのウェハＷの間隔が等しくなるように支持するときは、上下に隣り合う２枚のウェハＷの間隔は、１１ｍｍの半分の５．５ｍｍであり、９ｍｍよりも小さい。従って、複板ユニット５６を用いて裏面同士が対向するようにウェハＷを支持することにより、一のウェハＷの表面Ｗａと他のウェハＷの表面Ｗａとの隙間を大きくすることができ、ウェハＷの表面Ｗａに十分な量の原料ガスを供給することができる。
【００４０】
移載機構４７は、収納容器２１、２２とボート４４ａ、４４ｂの間でウェハＷ又は支持環５５の移載を行うためのものである。移載機構４７は、基台５７、昇降アーム５８、及び、複数のフォーク（移載板）５９を有する。基台５７は、昇降及び旋回可能に設けられている。昇降アーム５８は、ボールネジ等により上下方向に移動可能（昇降可能）に設けられ、基台５７は、昇降アーム５８に水平旋回可能に設けられている。
【００４１】
また、一例として、移載機構４７は、水平動可能な下側フォーク５９ａ、及び、水平動可能であるとともに上下反転可能な上側フォーク５９ｂを有していてもよい。このような移載機構４７の一例を、図６の側面図に示す。
【００４２】
下側フォーク５９ａは、移動体５９ｃにより、複板ユニット５６を搭載するボート４４ａ、４４ｂに向けて進退可能に設けられており、ボート４４ａ、４４ｂとの間で複板ユニット５６を受け渡しするためのものでもある。一方、上側フォーク５９ｂは、移動体５９ｄにより、水平動可能に設けられているとともに、ウェハＷを収納する収納容器２１に向けて進退可能に設けられており、収納容器２１との間でウェハＷを受け渡しするためのものである。また、上側フォーク５９ｂは、移動体５９ｄにより、支持環５５を収納する収納容器２２に向けて進退可能に設けられており、収納容器２２との間で支持環５５を受け渡しするためのものである。
【００４３】
なお、移載機構４７は、複数枚の下側フォーク５９ａ及び複数枚の上側フォーク５９ｂを有していてもよい。
【００４４】
図７から図９は、移載機構４７が複板ユニット５６を構成して搬送する手順を示す側面図である。まず、上側フォーク５９ｂが収納容器２１内に前進し、収納容器２１に収納されているウェハＷを受け取って収納容器２１内から後退し、ウェハＷを保持したまま上下反転し、下側フォーク５９ａに下側のウェハＷとして受け渡す（図７）。次に、上側フォーク５９ｂが上下反転した状態で収納容器２２に前進し、収納容器２２に収納されている支持環５５を受け取って収納容器２２内から後退し、下側フォーク５９ａが保持している下側のウェハＷの上に支持環５５を載置する（図８）。次に、上側フォーク５９ｂが上下反転した状態で収納容器２１内に前進し、収納容器２１に収納されているウェハＷを受け取って収納容器２１内から後退し、下側フォーク５９ａが保持している支持環５５の上に上側のウェハＷとして載置する（図９）。
【００４５】
図１０は、下側フォーク５９ａが支持環５５を介して２枚のウェハＷを搭載しているときに、上側フォーク５９ｂが上側のウェハＷを掴んでいる部分を拡大して示す断面図である。なお、図１０では、下側フォーク５９ａの図示を省略している。
【００４６】
支持環５５を構成する円環部５５ａ及びスペーサ部５５ｂであって、上側フォーク５９ｂが２枚目のウェハＷを載置する際に支持環５５に接触するおそれがある部分には、図１０に示すように、上側フォーク５９ｂの爪部５９ｅと干渉しないように切り欠き部５５ｃ、５５ｄが設けられていてもよい。ただし、切り欠き部５５ｃ、５５ｄが設けられている部分においても、スペーサ部５５ｂが、２枚のウェハＷの隙間を塞ぐように設けられていることが好ましい。これにより、裏面同士が対向するように搭載されている２枚のウェハＷの間に原料ガスが入り込み、ウェハＷの裏面に成膜されることを確実に防止できる。
【００４７】
図１１は、成膜容器６０、供給機構７０及び排気機構８０の構成の概略を示す断面図である。
【００４８】
成膜容器６０は、例えば、複数枚の被処理基板例えば薄板円板状のウェハＷを収容して所定の処理例えばＣＶＤ処理等を施すための縦型炉とすることができる。成膜容器６０は、反応管６１、及びヒータ（加熱装置）６２を有する。
【００４９】
反応管６１は、例えば石英製であり、縦長の形状を有しており、下端に開口６３が形成されている。ヒータ（加熱装置）６２は、反応管６１の周囲を覆うように設けられており、反応管６１内を所定の温度例えば３００〜１２００℃に加熱制御可能である。
【００５０】
供給機構７０は、原料ガス供給部７１、及び、成膜容器６０内に設けられたインジェクタ７２を含む。インジェクタ７２は、供給管７３ａを含む。原料ガス供給部７１は、インジェクタ７２の供給管７３ａに接続されている。
【００５１】
本実施の形態では、供給機構７０は、第１の原料ガス供給部７１ａ及び第２の原料ガス供給部７１ｂを有していてもよい。このとき、第１の原料ガス供給部７１ａ及び第２の原料ガス供給部７１ｂは、インジェクタ７２（供給管７３ａ）に接続されている。第１の原料ガス供給部７１ａは、例えばＰＭＤＡ原料を気化するための第１の気化器７４ａを有し、ＰＭＤＡガスを供給することができる。また、第２の原料ガス供給部７１ｂは、例えばＯＤＡ原料を気化するための第２の気化器７４ｂを有し、ＯＤＡガスを供給することができる。
【００５２】
図１２は、インジェクタ７２の例を示す側面図である。また、図１３は、図１２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【００５３】
供給管７３ａには成膜容器６０内に開口する供給孔７５が形成されている。インジェクタ７２は、原料ガス供給部７１から供給管７３ａを流れる第１の原料ガス及び第２の原料ガスを、供給孔７５を介して成膜容器６０内に供給する。供給孔７５と後述する排気孔８３とは、ボート４４に保持されているウェハＷを挟んで互いに対向するように形成されている。
【００５４】
また、本実施の形態は、ボート４４が複数のウェハＷを上下方向に所定の間隔で保持する例について説明するものである。このとき、供給管７３ａは、上下方向に延在するように設けられていてもよい。そして、供給管７３ａには、複数の供給孔７５が形成されていてもよい。また、後述するように、排気管８２には、複数の排気孔８３が形成されていてもよい。このとき、複数の供給孔７５と複数の排気孔８３とは、各々の供給孔７５と排気孔８３とが、ボート４４に保持されている各々のウェハＷを挟んで互いに対向するように、それぞれ所定の間隔で形成されていてもよい。
【００５５】
なお、供給孔７５の形状は、円形、楕円形、矩形等各種の形状であってもよい。
【００５６】
インジェクタ７２は、内側供給管７３ｂを含むことが好ましい。内側供給管７３ｂは、供給管７３ａの供給孔７５が形成されている部分よりも上流側の部分に収容されていてもよい。そして、内側供給管７３ｂの下流側の端部付近には、供給管７３ａの内部空間に第１の原料ガス及び第２の原料ガスのいずれか一方の原料ガスを供給するための開口７６が形成されていてもよい。このような構造を有する内側供給管７３ｂを含むことによって、第１の原料ガスと第２の原料ガスとを供給孔７５から成膜容器６０内に供給する前に、予め供給管７３ａの内部空間において第１の原料ガスと第２の原料ガスとを十分混合させることができる。
【００５７】
なお、以下では、供給管７３ａに第１の原料ガスを供給し、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを供給する場合を例示して、説明する。しかし、内側供給管７３ｂに第１の原料ガスを供給し、供給管７３ａに第２の原料ガスを供給してもよい。
【００５８】
また、開口７６の形状は、円形、楕円形、矩形等各種の形状であってもよい。
【００５９】
本実施の形態は、ボート４４が複数のウェハＷを上下方向に所定の間隔で保持する例について説明するものである。このとき、供給管７３ａとともに、内側供給管７３ｂも、上下方向に延在するように設けられていてもよい。更に、下方側を上流側、上方側を下流側とするときは、内側供給管７３ｂは、供給管７３ａの供給孔７５が形成されている部分よりも下方側の部分において、供給管７３ａの内部に収容されるように設けられていてもよい。そして、内側供給管７３ｂの上端部付近には、供給管７３ａの内部空間と連通するための開口７６が設けられていてもよい。
【００６０】
供給機構７０は、例えば供給管７３ａに第１の原料ガスを流すとともに、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを流す。そして、内側供給管７３ｂを流れる第２の原料ガスを、開口７６を介して供給管７３ａに合流させ、第１の原料ガスと第２の原料ガスとを混合させた状態で、供給孔７５を介して成膜容器６０内に供給する。
【００６１】
図１２に示す例では、第１の原料ガスが、供給管７３ａの延在する方向と垂直な方向から供給管７３ａに導入される位置Ｓ１は、第２の原料ガスが、供給管７３ａの延在する方向と垂直な方向から内側供給管７３ｂに導入される位置Ｓ２よりも開口７６に近い。
【００６２】
図１２に示すように、内側供給管７３ｂの上端部付近の側周面に開口７６が形成されていてもよい。開口７６を内側供給管７３ｂの上端の端面に設けると、開口７６から第２の原料ガスが供給される方向が、第１の原料ガスが供給管７３ａを流れる方向と平行になる。そして、このような配置で、かつ、第１の原料ガスの供給量及び第２の原料ガスの供給量が多い場合には、第１の原料ガスと第２の原料ガスとを容易に混合できない。従って、開口７６を内側供給管７３ｂの上端部付近の側周面に形成することによって、第１の原料ガスと第２の原料ガスとをより容易に混合しやすくなる。
【００６３】
図１３に示すように、内側供給管７３ｂの延在する方向（上下方向）に垂直な断面（水平断面）において、内側供給管７３ｂの周方向に複数の開口７６が形成されていてもよい。いずれの開口７６も、供給管７３ａの延在する方向に垂直な断面視で（平面視で）、供給管７３ａに供給孔７５が形成されている方向と異なる方向を向くように形成されていることが好ましい。すなわち、いずれの開口７６も、ウェハＷ及び排気管８２に向かう方向と異なる方向を向くように形成されていることが好ましい。また、内側供給管７３ｂの周方向に等配に４つの開口７６が形成されており、それぞれの開口７６が形成されている方向は、供給孔７５が形成されている方向に対して４５°、１３５°、２２５°、３１５°の角度をなすことがより好ましい。このように開口７６を配置することによって、図１４から図１７を用いて後述するように、供給孔７５の全てにおいて、供給される原料ガスの濃度を一定にすることができる。
【００６４】
供給管７３ａの外径を例えば３３ｍｍとし、内径を例えば２９ｍｍとし、供給孔７５の孔径を例えば２ｍｍとし、形成された供給孔７５の数を例えば１０とする。そして、内側供給管７３ｂの外径を例えば２２ｍｍとし、内径を例えば１８ｍｍとし、４５°等配に形成された開口７６の孔径を例えば１０ｍｍとすることができる。
【００６５】
ここで、２つの例を参照し、供給孔７５から供給される原料ガスの濃度を一定にするために、開口７６が形成される方向を供給孔７５が形成される方向と異なる方向を向くのが好ましいことを説明する。以下でも、供給管７３ａから第１の原料ガスを供給し、内側供給管７３ｂから第２の原料ガスを供給する場合について説明する。
【００６６】
第１の例として、図１４及び図１５を参照し、供給管７３ａから供給する第１の原料ガスの供給量と、内側供給管７３ｂから供給する第２の原料ガスの供給量との比が１：２である場合について説明する。図１４は、開口７６からＬの距離にある位置における第２の原料ガスの濃度分布を模式的に示す図である。図１４は、Ｌ＝１５０ｍｍ、２００ｍｍ、３００ｍｍの各位置における第２の原料ガスの濃度分布を示す。図１５は、図１４に示す点Ｐ１、Ｐ２における、第２の原料ガス（内側供給管から供給する原料ガス）の濃度分布の距離依存性の一例を示すグラフである。
【００６７】
供給孔７５の方向と異なる方向にある点を点Ｐ１とし、供給孔７５と同じ方向にある点を点Ｐ２とする。図１４では、一例として供給孔７５の方向と１３５°をなす方向にある点を点Ｐ１とする。
【００６８】
開口７６が図１３に示すように配置されているため、開口７６から供給される第２の原料ガスの濃度分布は、開口７６が形成されている方向、すなわち、供給孔７５が形成されている方向と４５°、１３５°、２２５°、３１５°をなす方向では高くなる。そして、例えば点Ｐ１における第２の原料ガスの濃度は、図１４及び図１５に示すように、Ｌが増加し、濃度分布が平均化されるのに伴って減少する。
【００６９】
また、第２の原料ガスの濃度分布は、開口７６が形成されている方向と異なる方向、すなわち、供給孔７５が形成されている方向と０°、９０°、１８０°、２７０°をなす方向では高くなく、相対的に平均化されている。そして、例えば点Ｐ２における第２の原料ガスの濃度は、図１４及び図１５に示すように、Ｌが増加してもほとんど変わらず一定である。
【００７０】
次に、第２の例として、図１６及び図１７を参照し、供給管７３ａから供給する第１の原料ガスの供給量と、内側供給管７３ｂから供給する第２の原料ガスの供給量との比が２：１である場合について説明する。図１６は、開口７６からＬの距離にある位置における第２の原料ガスの濃度分布を模式的に示す図である。図１６は、Ｌ＝１５０ｍｍ、２００ｍｍ、３００ｍｍの各位置における第２の原料ガスの濃度分布を示す。図１７は、図１６に示す点Ｐ１、Ｐ２における、第２の原料ガス（内側供給管から供給する原料ガス）の濃度分布の距離依存性の一例を示すグラフである。
【００７１】
供給孔７５の方向と異なる方向にある点を点Ｐ１とし、供給孔７５と同じ方向にある点を点Ｐ２とする。図１６でも、一例として供給孔７５の方向と１３５°をなす方向にある点を点Ｐ１とする。
【００７２】
開口７６が図１３に示すように配置されているため、開口７６から供給される第２の原料ガスの濃度分布は、開口７６が形成されている方向、すなわち、供給孔７５が形成されている方向と４５°、１３５°、２２５°、３１５°をなす方向では高くなる。そして、例えば点Ｐ１における第２の原料ガスの濃度は、図１６及び図１７に示すように、Ｌが増加し、濃度分布が平均化されるのに伴って減少する。
【００７３】
また、第２の原料ガスの濃度分布は、供給孔７５が形成されている方向では、その他の方向に比べ、低くなる。これは、供給管７３ａに第１の原料ガスが横向きに導入される位置が、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスが横向きに導入される位置よりも開口７６に近いためと考えられる。すなわち、供給管７３ａを流れる第１の原料ガスに横向きの慣性力が残っており、供給孔７５側で第１の原料ガスの濃度が増加するのに伴って、第２の原料ガスの濃度が減少するためと考えられる。そして、例えば点Ｐ２における第２の原料ガスの濃度は、図１６及び図１７に示すように、Ｌが増加し、濃度分布が平均化されるのに伴って増加する。
【００７４】
更に、供給管７３ａから供給する第１の原料ガスの供給量と、内側供給管７３ｂから供給する第２の原料ガスの供給量との比が１：１である場合には、第１の例と第２の例との間の傾向を示すものと考えられる。
【００７５】
また、供給管７３ａから第２の原料ガスを供給し、内側供給管７３ｂから第１の原料ガスを供給する場合についても、第２の原料ガスと第１の原料ガスが入れ替わっただけであり、全く同様の効果が得られる。
【００７６】
従って、供給管７３ａに原料ガスを横向きに導入する位置が、内側供給管７３ｂに原料ガスを横向きに導入する位置よりも開口７６に近いときは、開口７６の方向を供給孔７５の方向に対してずらすとともに、供給管７３ａに導入する原料ガスの供給量を、内側供給管７３ｂに導入する原料ガスの供給量と略等しくするか、又は、少なくすることによって、供給孔７５の全てにおいて、供給される原料ガスの濃度を一定にすることができる。
【００７７】
図１１に示すように、排気機構８０は、排気装置８１、及び、成膜容器６０内に設けられた排気管８２を含む。排気機構８０は、成膜容器６０内からガスを排気するためのものである。
【００７８】
排気装置８１は、排気管８２に接続されている。排気管８２には、排気孔８３が形成されている。前述したように、供給孔７５と排気孔８３とは、ボート４４に保持されているウェハＷを挟んで互いに対向するように形成されている。
【００７９】
本実施の形態は、ボート４４が複数のウェハＷを上下方向に所定の間隔で保持する例について説明するものである。このとき、排気管８２は、上下方向に延在するように設けられていてもよい。そして、排気管８２には、複数の排気孔８３が形成されていてもよい。また、前述したように、供給管７３ａには、複数の供給孔７５が形成されていてもよい。そして、複数の供給孔７５と複数の排気孔８３とは、各々の供給孔７５と排気孔８３とが、ボート４４に保持されている各々のウェハＷを挟んで互いに対向するように、それぞれ所定の間隔で形成されていてもよい。
【００８０】
更に、本実施の形態では、複数の排気孔８３が、それぞれの排気孔８３の孔径が上流側から下流側に向かって小さくなるように形成されていてもよい。そのような排気管８２の一例を図１８の側面図に示す。
【００８１】
図１１に示すように、排気管８２の下方に排気装置８１を接続することによって、上方側を上流側、下方側を下流側とすることができる。このときは、図１８に示すように、排気孔８３の孔径が上方側から下方側に向かって小さくなるように形成することができる。
【００８２】
排気管８２の上流側から下流側に所定の間隔で等しい孔径を有する排気孔８３を形成した場合、排気管８２の各部分におけるコンダクタンスは、下流側から上流側に向かって小さくなる。すなわち、上流側（上方側）において排気量が減少するおそれがある。一方、排気孔８３の孔径を上流側から下流側に向かって小さくなるように形成することによって、排気管８２の各部分におけるコンダクタンスの差を小さくすることができる。従って、排気孔８３の全てにおいて、排気管８２に排気されるガスの排気量を均一にすることができるため、ウェハの面内における原料ガスの供給量を均一にし、基板に膜を安定に成膜できる。
【００８３】
排気管８２の内径を例えば３３６ｍｍとし、排気孔８３の数を例えば１０とする。このとき、最上段における排気孔８３の孔径を例えば３０ｍｍとし、最下段における排気孔８３の孔径を例えば２８．２ｍｍとし、それぞれの排気孔８３の孔径が最上段側から最下段側に向かって小さくなるようにすることができる。
【００８４】
制御部９０は、例えば、図示しない演算処理部、記憶部及び表示部を有する。演算処理部は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を有するコンピュータである。記憶部は、演算処理部に、各種の処理を実行させるためのプログラムを記録した、例えばハードディスクにより構成されるコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。表示部は、例えばコンピュータの画面よりなる。演算処理部は、記憶部に記録されたプログラムを読み取り、そのプログラムに従って、ボート４４（基板保持部）、供給機構７０、及び、排気機構８０を構成する各部に制御信号を送り、後述するような成膜処理を実行する。
【００８５】
次に、本実施の形態に係る成膜装置を用いた成膜処理について説明する。図１９は、本実施の形態に係る成膜装置を用いた成膜処理を含む各工程の手順を説明するためのフローチャートである。
【００８６】
成膜処理開始後、ステップＳ１１では、成膜容器６０にウェハＷを搬入する（搬入工程）。図１から図４に示した成膜装置１０の例では、例えばローディングエリア４０において、移載機構４７により収納容器２１からボート４４ａへウェハＷ（複板ユニット５６）を搭載し、ウェハＷ（複板ユニット５６）を搭載したボート４４ａをボート搬送機構４５ｃにより蓋体４３に載置することができる。そして、ボート４４ａを載置した蓋体４３を昇降機構４６により上昇させて成膜容器６０内に挿入することにより、ウェハＷを搬入することができる。
【００８７】
次に、ステップＳ１２では、成膜容器６０の内部を減圧する（減圧工程）。排気装置８１の排気能力又は排気装置８１と排気管８２との間に設けられている図示しない流量調整バルブを調整することにより、排気管８２を介して成膜容器６０を排気する排気量を増大させる。そして、成膜容器６０の内部を所定圧力例えば大気圧（７６０Ｔｏｒｒ）から例えば０．３Ｔｏｒｒに減圧する。
【００８８】
次に、ステップＳ１３では、ポリイミド膜を成膜する（成膜工程）。
【００８９】
予め、又はステップＳ１３において、制御部９０により、供給管７３ａに第１の原料ガスを流す第１の流量Ｆ１と、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを流す第２の流量Ｆ２とを予め設定しておく。そして、回転機構４９によりウェハＷを回転させた状態で、設定した第１の流量Ｆ１で第１の原料ガス供給部７１ａから第１の原料ガスを供給管７３ａに流し、設定した第２の流量Ｆ２で第２の原料ガス供給部７１ｂから第２の原料ガスを内側供給管７３ｂに流すことによって、第１の原料ガスと第２の原料ガスとを所定の混合比で混合させた状態で成膜容器６０内に供給する。そして、ウェハＷの表面でＰＭＤＡとＯＤＡを重合反応させ、ポリイミド膜を成膜する。具体的には、例えば第１の流量Ｆ１を９００ｓｃｃｍとし、第２の流量Ｆ２を９００ｓｃｃｍとすることができる。
【００９０】
このときの、ＰＭＤＡとＯＤＡとの重合反応は、次の式（１）に従う。
【００９１】
【化１】
0005243519.tif 000002
成膜工程では、ウェハＷの側方の一点からガスを供給しているため、原料ガスはウェハＷの周縁部には到達しやすいが、ウェハＷの中心部には到達しにくい。従って、中心部における成膜速度と周縁部における成膜速度を等しくし、ウェハＷの面内における膜厚を均一にするためには、以下に述べるように、原料ガスの流量、成膜容器内の圧力、ウェハＷの間隔を制御することが重要である。
【００９２】
図２０から図２２は、それぞれ原料ガスの流量、成膜容器内の圧力、ウェハＷの間隔を変えた場合において、成膜工程により成膜されるポリイミド膜のウェハＷの中心からの各位置における成膜速度の計算結果を示すグラフである。なお、図２０から図２２では、それぞれ原料ガスの流量、成膜容器内の圧力、ウェハＷの間隔を変えた場合における、等しい成膜時間の間成膜工程を行ったときに成膜される膜のポリイミド膜の成膜速度を縦軸に示している。また、図２０から図２２では、ウェハＷの直径を３００ｍｍとした例を示している。
【００９３】
図２０は、第１の原料ガスの流量と第２の原料ガスの流量とを１：１にした状態で、合計の原料ガスの流量を、２５０ｓｃｃｍ、１０００ｓｃｃｍ、２０００ｓｃｃｍと変えた場合の成膜速度を示している。原料ガスの流量が２５０ｓｃｃｍから２０００ｓｃｃｍまで増加するのに伴って、ウェハＷの周縁部及び中心部のいずれにおいても成膜速度は増加する。しかし、ウェハＷの各位置における成膜速度の分布は同様ではない。周縁部の成膜速度に対する中心部の成膜速度の比は、流量が２５０ｓｃｃｍから２０００ｓｃｃｍまで増加するのに伴って、顕著に増加する。周縁部の成膜速度に対する中心部の成膜速度の比は、流量が２５０ｓｃｃｍでは１よりも小さいが、流量が２０００ｓｃｃｍでは１よりも大きい。これは、流量が少ないときは、積層されているウェハＷの間に原料ガスが容易に入り込めないが、流量が増加するのに伴って、積層されているウェハＷの間に原料ガスが入り込みやすくなり、中心部に原料ガスが到達しやすくなるためと考えられる。従って、各ウェハＷに成膜されるポリイミド膜の膜厚を面内で均一にするためには、各ウェハＷに供給される原料ガスの流量が適切な流量範囲内になるように、制御することが重要である。
【００９４】
図２１は、成膜容器内の圧力を０．１Ｔｏｒｒ、０．５Ｔｏｒｒ、１Ｔｏｒｒと変えた場合の成膜速度を示している。成膜容器内の圧力が０．１Ｔｏｒｒから１Ｔｏｒｒまで増加するのに伴って、ウェハＷの周縁部における成膜速度は増加する。しかし、ウェハＷの各位置における成膜速度の分布は同様ではない。周縁部の成膜速度に対する中心部の成膜速度の比は、成膜容器内の圧力が０．１Ｔｏｒｒから１Ｔｏｒｒまで増加するのに伴って、顕著に減少する。これは、圧力が低いときは、積層されているウェハＷの間に原料ガスが拡散しやすいが、圧力が増加するのに伴って、積層されているウェハＷの間に原料ガスが容易に入り込めなくなり、中心部に原料ガスが到達しにくくなるためと考えられる。従って、各ウェハＷに成膜されるポリイミド膜の膜厚を面内で均一にするためには、成膜容器内の圧力が相対的に小さい所定の圧力になるように、制御することが重要である。
【００９５】
図２２は、ウェハＷの間隔を７ｍｍ、１５ｍｍ、２３ｍｍと変えた場合の成膜速度を示している。ウェハＷの間隔が７ｍｍから２３ｍｍまで増加するのに伴って、ウェハＷの周縁部における成膜速度は増加する。しかし、ウェハＷの各位置における成膜速度の分布は同様ではない。周縁部の成膜速度に対する中心部の成膜速度の比は、ウェハＷの間隔が７ｍｍから２３ｍｍまで増加するのに伴って、徐々に増加する。これは、ウェハＷの間隔が増加するのに伴って、所定の間隔で積層されているウェハＷの間に原料ガスが入り込みやすくなり、中心部に原料ガスが到達しやすくなるためと考えられる。従って、各ウェハＷに成膜されるポリイミド膜の膜厚を面内で均一にするためには、ウェハＷの間隔が相対的に大きい所定の間隔になるように、制御することが重要である。
【００９６】
一方、本実施の形態では、複数の供給孔７５と複数の排気孔８３とが、各々の供給孔７５と排気孔８３とが、ボート４４に保持されている各々のウェハＷを挟んで互いに対向するように、それぞれ所定の間隔で形成されている。また、制御部９０が供給機構７０及び排気機構８０を制御することによって、供給機構７０により原料ガスを供給するともに、排気機構８０によりガスを排気する。そして、制御部９０は、供給孔７５の全てにおいて供給される原料ガスの濃度を一定にしつつ、設定した第１の流量Ｆ１で例えばＰＭＤＡガスよりなる第１の原料ガスを流し、設定した第２の流量Ｆ２で例えばＯＤＡガスよりなる第２の原料ガスを流すように制御することができる。また、制御部９０は、排気孔８３の全てにおいて、排気管８２に排気されるガスの排気量も等しくなるように制御することができる。これにより、第１の原料ガスと第２の原料ガスを所定の混合比で混合させた状態で、供給量を一定にしつつウェハＷの表面に層流として供給することができる。そのため、ウェハＷの面内における成膜速度を均一にすることができ、ウェハＷの面内における膜厚及び膜質を一定にすることができる。
【００９７】
更に、本実施の形態では、裏面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの間隔が、表面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの間隔よりも狭くなるように、複数のウェハＷを上下方向に保持することができる。これにより、ボート４４のウェハ搭載枚数を等しくした状態で、表面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの間隔を増加することが可能となる。その結果、一のウェハＷの表面と他のウェハＷの表面との隙間を大きくすることができ、ウェハＷの表面に十分な量の原料ガスを供給することができる。
【００９８】
また、本実施の形態では、支持環５５は、裏面同士で対向して上下に隣り合う２枚のウェハＷの隙間を塞ぐように設けられたスペーサ部５５ｂを有することができる。これにより、成膜容器６０内で成膜処理される際に、裏面同士が対向する２枚のウェハＷの間に原料ガスが入り込み、ウェハＷの裏面に成膜されることを防止することができる。
【００９９】
次に、ステップＳ１４では、第１の原料ガス供給部７１ａからのＰＭＤＡガスの供給及び第２の原料ガス供給部７１ｂからのＯＤＡガスの供給を停止し、成膜容器６０の内部を大気圧に復圧する（復圧工程）。排気装置８１の排気能力又は排気装置８１と排気管８２との間に設けられている図示しない流量調整バルブを調整することにより、成膜容器６０を排気する排気量を減少させ、成膜容器６０の内部を例えば０．３Ｔｏｒｒから例えば大気圧（７６０Ｔｏｒｒ）に復圧する。
【０１００】
次に、ステップＳ１５では、成膜容器６０からウェハＷを搬出する（搬出工程）。図１から図４に示した成膜装置１０の例では、例えばボート４４ａを載置した蓋体４３を昇降機構４６により下降させて成膜容器６０内からローディングエリア４０に搬出することができる。そして、移載機構４７により、搬出した蓋体４３に載置されているボート４４ａから収納容器２１へウェハＷを移載することによって、ウェハＷを成膜容器６０から搬出することができる。その後、成膜処理を終了する。
【０１０１】
なお、複数のバッチについて連続して成膜処理を行うときは、更に、ローディングエリア４０において、移載機構４７により収納容器２１からウェハＷをボート４４へ移載し、再びステップＳ１１に戻り、次のバッチの成膜処理を行う。
【０１０２】
前述したように、本実施の形態では、成膜装置１０がボートを２つ有することができる。従って、後のバッチのステップＳ１１を前のバッチのステップＳ１５の直後に行うことができる。すなわち、前のバッチのステップＳ１５の前に、後のバッチのウェハＷを収納容器２１からボート４４ｂへ移載して準備することができる。そして、前のバッチのステップＳ１５において成膜容器６０からボート４４ａを搬出した直後に、後のバッチのウェハＷを搭載したボート４４ｂを成膜容器６０に搬入することができる。これにより、成膜処理に要する時間（タクト時間）を短縮することができ、製造コストを低減することができる。
（第２の実施の形態）
次に、図２３及び図２４を参照し、本発明の第２の実施の形態に係る成膜装置について説明する。
【０１０３】
本実施の形態に係る成膜装置１０ａは、ボートが１つである点で、第１の実施の形態に係る成膜装置１０と相違する。また、本実施の形態に係る成膜装置１０ａは、ボート４４が、上下に隣り合うウェハＷの裏面同士が対向せず、かつ、上下に隣り合うウェハＷの表面同士も対向しないように、複数のウェハＷを上下方向に保持する点で、第１の実施の形態に係る成膜装置１０と相違する。更に、本実施の形態に係る成膜装置１０ａは、第１の原料ガスのみを供給する点で、第１の実施の形態に係る成膜装置１０と相違する。それ以外の部分については、第１の実施の形態に係る成膜装置１０と同様であり、説明を省略する。
【０１０４】
図２３は、本実施の形態に係る成膜装置１０ａを概略的に示す縦断面図である。
【０１０５】
成膜装置１０ａは、載置台（ロードポート）２０、筐体３０、及び制御部９０を有する。また、筐体３０は、ローディングエリア（作業領域）４０及び成膜容器６０を有する。載置台（ロードポート）２０、筐体３０、ローディングエリア（作業領域）４０、成膜容器６０の位置関係については、第１の実施の形態に係る成膜装置１０と同様である。
【０１０６】
載置台（ロードポート）２０は、支持環を収納する収納容器が載置されていない点を除き、第１の実施の形態に係る成膜装置１０の載置台２０と同様にすることができる。
【０１０７】
ローディングエリア（作業領域）４０には、ドア機構４１、シャッター機構４２、蓋体４３、ボート４４、昇降機構４６、及び移載機構４７が設けられている。蓋体４３、ボート４４、及び移載機構４７以外の部分については、第１の実施の形態に係る成膜装置１０と同様にすることができる。
【０１０８】
蓋体４３及びボート４４については、ボート４４が一つのみであり、蓋体４３に常にボート４４が載置されている点で、第１の実施の形態に係る成膜装置１０の載置台２０と相違する。すなわち、第１の実施の形態に係る成膜装置１０で設けられていた基台４５ａ、４５ｂ及びボート搬送機構４５ｃについては、設けられていなくてもよい。
【０１０９】
ボート４４は、例えば図４に示したボート４４と同様であり、天板５０と底板５１の間に複数本例えば３本の支柱５２を介設してなる。そして、支柱５２には、ウェハＷを保持するための爪部５３が設けられている。ただし、本実施の形態では、複数のウェハＷのいずれのウェハＷも表面を下面とした状態で、又は、いずれのウェハＷも表面を上面とした状態で搭載される。従って、第１の実施の形態と相違し、搭載されるウェハＷの枚数と同じ数の爪部５３が設けられている。よって、第１の実施の形態と同じ枚数のウェハＷを搭載するためには、ボート４４には、第１の実施の形態における爪部５３の数の倍の数の爪部５３が、第１の実施の形態における爪部５３の間隔の半分の間隔で設けられている。
【０１１０】
移載機構４７は、基台５７、昇降アーム５８、及び、複数のフォーク（移載板）５９を有する。本実施の形態では、上下反転可能な上側フォークを有していなくてもよく、複数のフォーク５９は移動体５９ｃにより水平動のみ可能に設けられていてもよい。
【０１１１】
図２４は、成膜容器６０、供給機構７０ａ及び排気機構８０の構成の概略を示す断面図である。
【０１１２】
成膜容器６０は、第１の実施の形態と同様にすることができる。
【０１１３】
供給機構７０ａは、原料ガス供給部７１、及び、成膜容器６０内に設けられたインジェクタ７２ａを含む。インジェクタ７２ａは、供給管７３ａを含む。原料ガス供給部７１は、インジェクタ７２ａの供給管７３ａに接続されている。
【０１１４】
本実施の形態では、第２の原料ガス供給部を有しておらず、第１の原料ガス供給部７１ａのみを有している。そして、第１の原料ガス供給部７１ａのみが、インジェクタ７２ａ（供給管７３ａ）に接続されている。
【０１１５】
その他、排気機構８０及び制御部９０は、第１の実施の形態と同様にすることができる。
【０１１６】
本実施の形態でも、制御部９０が供給機構７０ａ及び排気機構８０を制御することによって、供給機構７０ａにより原料ガスを供給するともに、排気機構８０によりガスを排気する。また、供給孔７５と排気孔８３とは、ボート４４に保持されているウェハＷを挟んで互いに対向するように形成されている。これにより、原料ガスを、供給量を一定にしつつウェハＷの表面に層流として供給することができる。そのため、ウェハＷの面内における成膜速度を均一にすることができ、ウェハＷの面内における膜厚及び膜質を一定にすることができる。
【０１１７】
また、本実施の形態でも、複数の供給孔７５と複数の排気孔８３とは、各々の供給孔７５と排気孔８３とが、ボート４４に保持されている各々のウェハＷを挟んで互いに対向するように、それぞれ所定の間隔で形成されている。これにより、原料ガスを、供給量を一定にしつつ各々のウェハＷの表面に層流として供給することができる。そのため、複数のウェハＷの各々における成膜速度を均一にすることができ、各々のウェハＷに成膜される膜の膜厚及び膜質を一定にすることができる。
（第３の実施の形態）
次に、図２５及び図２６を参照し、本発明の第３の実施の形態に係る成膜装置について説明する。
【０１１８】
本実施の形態に係る成膜装置１０ｂは、ウェハＷを１枚ずつ枚葉処理する点において、第１の実施の形態に係る成膜装置１０と相違する。なお、本実施の形態に係る成膜装置１０ｂも、第１の実施の形態に係る成膜装置１０と同様に、載置台（ロードポート）２０、筐体３０を有していてもよい。
【０１１９】
成膜装置１０ｂは、成膜容器６０ａ、供給機構７０及び排気機構８０及び制御部９０を有する。
【０１２０】
図２５は、成膜容器６０ａ、供給機構７０、排気機構８０及び制御部９０の構成を示す正面図である。また、図２６は、図２５に示す構成の一部を示す平面図である。
【０１２１】
成膜容器６０ａは、反応室６１、ヒータ（加熱装置）６２及び基板保持部４４ｃを有する。
【０１２２】
基板保持部４４ｃは、ウェハＷを保持可能であってかつ回転可能に設けられている。ただし、基板保持部４４ｃは、ウェハＷを１枚保持可能に設けられている。
【０１２３】
供給機構７０は、第１の原料ガス供給部７１ａ、第２の原料ガス供給部７１ｂ、インジェクタ７２を含む。第１の原料ガス供給部７１ａ、第２の原料ガス供給部７１ｂは第１の実施の形態と同様にすることができる。
【０１２４】
インジェクタ７２は、供給管７３ａ及び内側供給管７３ｂを含む。原料ガス供給部７１は、インジェクタ７２の供給管７３ａに接続されている。供給管７３ａと内側供給管７３ｂとは、水平方向に延在するように設けられている点を除き、第１の実施の形態に係るインジェクタ７２と同様にすることができる。すなわち、供給管７３ａには、複数の供給孔７５が形成されている。内側供給管７３ｂの下流側の端部付近には、供給管７３ａの内部空間に第１の原料ガスを供給するための開口７６が形成されている。
【０１２５】
なお、図２６では、内側供給管７３ｂに第１の原料ガス供給部７１ａから第１の原料ガスを供給し、供給管７３ａに第２の原料ガス供給部７１ｂから第２の原料ガスを供給する例を示している。しかし、供給管７３ａに第１の原料ガスを供給し、内側供給管７３ｂに第２の原料ガスを供給してもよい。
【０１２６】
排気機構８０は、排気装置８１、及び、成膜容器６０ａ内に設けられた排気管８２を含む。排気管８２は、水平方向に延在するように設けられている点を除き、第１の実施の形態に係る排気管８２と同様にすることができる。すなわち、排気管８２には、複数の排気孔８３が形成されている。
【０１２７】
制御部９０は、第１の実施の形態と同様にすることができる。
【０１２８】
本実施の形態でも、複数の供給孔７５と複数の排気孔８３とが、各々の供給孔７５と排気孔８３とが、基板保持部４４ｃに保持されているウェハＷを挟んで互いに対向するように、それぞれ所定の間隔で形成されている。また、制御部９０が供給機構７０及び排気機構８０を制御することによって、供給機構７０により原料ガスを供給するともに、排気機構８０によりガスを排気する。そして、制御部９０は、供給孔７５の全てにおいて供給される原料ガスの濃度を一定にしつつ、設定した第１の流量Ｆ１で例えばＰＭＤＡガスよりなる第１の原料ガスを流し、設定した第２の流量Ｆ２で例えばＯＤＡガスよりなる第２の原料ガスを流すように制御することができる。また、制御部９０は、排気孔８３の全てにおいて、排気管８２に排気されるガスの排気量も等しくなるように制御することができる。これにより、第１の原料ガスと第２の原料ガスを所定の混合比で混合させた状態で、供給量を一定にしつつウェハＷの表面に層流として供給することができる。そのため、ウェハＷの面内における成膜速度を均一にすることができ、ウェハＷの面内における膜厚及び膜質を一定にすることができる。
【０１２９】
以上、本発明の好ましい実施の形態について記述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【０１３０】
１０  成膜装置
４３  蓋体（基板保持部）
４４、４４ａ、４４ｂ  ボート（基板保持部）
５６  複板ユニット
６０  成膜容器
７０  供給機構
７１  原料ガス供給部
７２  インジェクタ
７３ａ  供給管
７３ｂ  内側供給管
７５  供給孔
７６  開口
８０  排気機構
８２  排気管
８３  排気孔
９０  制御部
Ｗ  ウェハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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