(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品が実装された連続シートを巻き取る際に該連続シート間に介在させる層間材であって、
前記連続シートとともに巻き取る際に前記連続シートに接し、目開きが前記電子部品を少なくとも１つ収容する大きさのメッシュクロスを有し、
前記メッシュクロスの長手方向に沿う両縁部に帯状の部材が並設され、
前記メッシュクロスの長手方向と垂直な方向の繊維が、前記メッシュクロスの長手方向に沿う繊維の外側面の一方に配されてなることを特徴とする層間材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品が実装された連続シートを巻き取る際に該連続シート間に介在させる層間材に関し、さらに詳しくは、ＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ＩＤｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）用のアンテナとこのアンテナを通じて通信するＩＣチップが等間隔に多数設けられたインレットシートを巻き取る際、巻き絞りの力によってＩＣチップが破壊させることを防止するために、インレットシート間に介在させる層間材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野では、半導体ウエハーの輸送、保管の際に、半導体ウエハーの間に発泡材シートからなり、緩衝性がある層間材を介在させている（例えば、特許文献１参照）。
また、ＲＦＩＤ用のアンテナとこのアンテナを通じて通信するＩＣチップが等間隔に多数設けられたインレットシート（連続シート）は、以下のような理由から、通常、ロール形態に再び巻き取られることが少ない。
（１）ＩＣチップの実装部が凸部をなしているため、その凹凸により、インレットシートを歪みなく、整然と巻き取ることができない。
（２）インレットシートを整然と巻き取るためには、インレットシートを巻き絞る力を強めにする必要があるが、それではＩＣチップが破壊されてしまう。
（３）ＩＣチップの破壊の頻度は、インレットシートを巻き絞る力と巻き取り用のロールの外径に依存し、ロールに近い位置で巻き取られたインレットシートでは、ＩＣチップが破壊されやすい。
【０００３】
ところが、ＩＣカードやＩＣタグの製造方法によっては、インレットシートをロール形態で使用しなければならない場合もある。その場合、インレットシートを巻き取る際、インレットシートの間に、上記のような層間材を介在させる方法が採用されている。
層間材としては、高発泡ポリエチレンシートなどの発泡材シートが用いられている。具体的には、ＩＣチップの厚み０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍを吸収できる、厚み０．５ｍｍの発泡材シートが用いられている。
【特許文献１】特開２００７−３２４３６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の層間材は、ＩＣチップの破壊を防止することができるものの、後の工程において、インレットシートから層間材を剥離した際、インレットおよび層間材が静電気により帯電（剥離帯電）し、この静電気がＩＣチップの回路を流れると、静電破壊されるという現象を解消することができなかった。
また、発泡材シートからなる層間材は、非常に厚みが薄く、腰が弱いため、インレットシートとともに巻き取る場合には巻きずれが発生しないものの、層間材のみを巻き取る場合には巻きずれが発生し、整然と巻き取ることが難しかった。このように層間材に巻きずれが発生すると、層間材を再利用することができなかった。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、電子部品が実装された連続シートを巻き取る際に該連続シート間に介在させるために用いられ、連続シートを巻き絞る力により電子部品が破壊されることを防止するとともに、ＩＣチップが静電破壊されることを防止し、かつ、再利用が可能な層間材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の層間材は、電子部品が実装された連続シートを巻き取る際に該連続シート間に介在させる層間材であって、前記連続シートとともに巻き取る際に前記連続シートに接し、目開きが前記電子部品を少なくとも１つ収容する大きさのメッシュクロスを有し、前記メッシュクロスの長手方向に沿う両縁部に帯状の部材が並設され、前記メッシュクロスの長手方向と垂直な方向の繊維が、前記メッシュクロスの長手方向に沿う繊維の外側面の一方に配されてなることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の層間材は、本発明の層間材は、電子部品が実装された連続シートを巻き取る際に該連続シート間に介在させる層間材であって、前記連続シートとともに巻き取る際に前記連続シートに接し、目開きが前記電子部品を少なくとも１つ収容する大きさのメッシュクロスを有するので、連続シートとともに層間材を巻き取った場合、電子部品と、層間材の横糸や縦糸とが接触する頻度が低くなり、結果として、横糸や縦糸により電子部品が押圧されて破壊されることや、インレットおよび層間材が静電気により帯電し、この静電気が電子部品の回路を流れて、静電破壊されることを防止できる。また、層間材が、連続シートとともに巻き取る際に連続シートに接するメッシュクロスを有するので、従来、長時間保管していた連続シートが層間材と徐々に密着してより一層剥離帯電しやすくなっていた現象も解決できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の層間材の最良の形態について説明する。
なお、この形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
【００１０】
図１は、本発明の層間材の一実施形態を示す概略平面図である。
この実施形態の層間材１０は、ＩＣチップなどの電子部品が実装された連続シートを巻き取る際に、連続シート間に介在させるものであって、連続シートとともに巻き取る際に連続シートに接し、その長手方向と垂直な方向に所定の間隔で張り渡された多数の繊維（以下、「横糸」という。）１１、および、長手方向に沿って所定の間隔で張り渡された多数の繊維（以下、「縦糸」という。）１２から構成されるメッシュクロス１３と、メッシュクロス１３の長手方向に沿う両縁部に並設された帯状の部材（以下、「帯状部材」という。）１４とから概略構成されるメッシュクロスからなる長尺のシート材である。
なお、この実施形態において、層間材１０の長手方向とは、上記の連続シートの巻き取り方向に相当する。
【００１１】
この層間材１０をなすメッシュクロス１３の大きさは、これとともに巻き取られる連続シートと同じか、あるいは、同等である。
メッシュクロス１３の目開きは、連続シートに実装された電子部品を少なくとも１つ収容することができる大きさとする。
例えば、連続シートが、図２に示すように、ベース基材２１と、その一方の面２１ａに設けられ、ＲＦＩＤ用のアンテナ２２およびこのアンテナ２２を通じて通信するＩＣチップ２３とが等間隔に多数設けられたインレットシート２０である場合、図３に示すように、横糸１１と縦糸１２からなるメッシュクロス１３の網目（目開き）１５は、ＩＣチップ２３を少なくとも１つ収容することができる大きさとする。
具体的には、ＩＣチップ２３が、一辺が０．４ｍｍ〜０．８ｍｍの正方形状である場合、目開き１５は２０ｍｍ以上であることが好ましい。目開き１５が２０ｍｍ未満では、インレットシート２０とともに層間材１０を巻き取った場合、ＩＣチップ２３と、層間材１０の横糸１１や縦糸１２とが接触する頻度が高くなり、結果として、横糸１１や縦糸１２によりＩＣチップ２３が押圧されて破壊されるか、あるいは、インレットシート２０および層間材１０が静電気により帯電し、この静電気がＩＣチップ２３の回路を流れて、静電破壊される。
【００１２】
また、ＩＣチップ２３が上記の大きさである場合、層間材１０の横糸１１および縦糸１２の線径は、０．５ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０．３ｍｍ以上、０．５ｍｍ以下である。
横糸１１および縦糸１２の線径は、０．５ｍｍを超えると、インレットシート２０とともに層間材１０を巻き取った場合、ＩＣチップ２３と、層間材１０の横糸１１や縦糸１２とが接触する頻度が高くなり、結果として、横糸１１や縦糸１２によりＩＣチップ２３が押圧されて破壊されるか、あるいは、インレットシート２０および層間材１０が静電気により帯電し、この静電気がＩＣチップ２３の回路を流れて、静電破壊される。また、インレットシート２０に実装されたＩＣチップ２３の厚みは、０．２ｍｍ程度であるから、横糸１１および縦糸１２の線径が０．３ｍｍ以上であれば、インレットシート２０とともに層間材１０を巻き取った場合、図４に示すように、目開き１５内に収容されたＩＣチップ２３は、その周囲を囲む横糸１１および縦糸１２により、その上に重ねられたインレットシート２０に直接接触することがなくなるので、ＩＣチップ２３が破壊されるのを防止できる。
【００１３】
横糸１１および縦糸１２の長手方向の断面形状は、特に限定されないが、円形が好ましい。横糸１１および縦糸１２の長手方向の断面形状が円形であれば、四角形の場合よりも、ＩＣチップ２３と、横糸１１や縦糸１２との接触する頻度が低くなり、結果として、横糸１１や縦糸１２によりＩＣチップ２３が押圧されて破壊されることや、インレットシート２０および層間材１０が静電気により帯電し、この静電気がＩＣチップ２３の回路を流れて、静電破壊されることを防止できる。また、前記の断面形状が円形であれば、ＩＣチップ２３に、横糸１１または縦糸１２が重なっても、両者の接触面積が小さいので、ＩＣチップ２３が破壊され難い。さらに、前記の断面形状が円形であれば、前記の断面形状が四角形の場合よりも、ＩＣチップが逃げる空間（目開き１５の空間）を大きく確保することができる。
【００１４】
また、図５に示すように、層間材１０の横糸１１が、縦糸１２の外側面の一方、すなわち、層間材１０の横糸１１が、縦糸１２に対して、帯状部材１３の一方の面１３ａ側、あるいは、帯状部材１３の一方の面１３ａとは反対の面側に配されたことが好ましい。言い換えれば、層間材１０は、横糸１１と縦糸１２の上下関係が交互に繰り返されるように織り込まれておらず、横糸１１のみから構成される繊維の層と、縦糸１２のみから構成される繊維の層とが交差することなく重ね合わせられていることが好ましい。
このようにすれば、横糸１１が層間材１０の長手方向にずれやすく（撓みやすく）なり、かつ、縦糸１２が層間材１０の長手方向と垂直な方向にずれやすく（撓みやすく）なるので、インレットシート２０とともに層間材１０を巻き取った場合、層間材１０の目開き１５内にＩＣチップ２３が収容されやすくなるから、ＩＣチップ２３と、横糸１１や縦糸１２との接触する頻度が低くなり、結果として、横糸１１や縦糸１２によりＩＣチップ２３が押圧されて破壊されることや、インレットシート２０および層間材１０が静電気により帯電し、この静電気がＩＣチップ２３の回路を流れて、静電破壊されることを防止できる。
【００１５】
横糸１１および縦糸１２をなす繊維としては、金属繊維、ステンレス繊維、フッ素樹脂含浸繊維、炭素繊維、ステンレス繊維とポリエステル繊維との混紡繊維、これらの繊維を混紡した混紡繊維などが用いられる。
横糸１１および縦糸１２をなす繊維としてフッ素樹脂含浸繊維を用いれば、ＩＣチップ２３と、横糸１１や縦糸１２とが接触しても、両者の間で摩擦が生じ難く、結果として、横糸１１や縦糸１２によりＩＣチップ２３が押圧されて破壊されることや、インレットシート２０および層間材１０が静電気により帯電し、この静電気がＩＣチップ２３の回路を流れて、静電破壊されることを防止できる。また、インレットシート２０から層間材１０を剥離する際、ＩＣチップ２３を破壊することなく、層間材１０を容易に剥離することができる。
横糸１１および縦糸１２をなす繊維として金属繊維、ステンレス繊維、炭素繊維、ステンレス繊維とポリエステル繊維との混紡繊維などの導電性の繊維を用いれば、インレットシート２０および層間材１０が静電気により帯電し、この静電気がＩＣチップ２３の回路を流れて、静電破壊されることを防止できる。
また、横糸１１および縦糸１２をなす繊維として金属繊維、ステンレス繊維などのより腰の強い繊維を選択すれば、層間材１０を巻き取った場合、巻きずれが発生し難くなり、層間材１０を再利用することができる。
【００１６】
帯状部材１４は、柔軟性のある材料からなり、例えば、フッ素樹脂含浸繊維、炭素繊維材などからなり、開口部を有していない部材である。
帯状部材１４の幅は、１０ｍｍ以上、１００ｍｍ以下とすることが好ましく、より好ましくは２０ｍｍ以上、５０ｍｍ以下である。
帯状部材１４の幅が１０ｍｍ未満では、層間材１０の腰が弱く、層間材１０を巻き取った場合、巻きずれが発生しやすくなり、層間材１０を再利用することができない。また、インレットシート２０から層間材１０を剥離する際、層間材１０が破れるおそれがある。一方、帯状部材１４の幅が１００ｍｍを超えると、インレットシートから剥離した際、剥離帯電によってＩＣチップが静電破壊されやすい。
【００１７】
また、帯状部材１４の厚みは、上記の横糸１１および縦糸１２の線径と同程度とすることが好ましい。
このようにすれば、層間材１０を巻き取る際、巻きずれが発生することなく、整然と巻き取ることができる。
【００１８】
次に、図６を参照して、このような層間材１０の使用方法を説明する。
第一のロール３１に巻き回されていた層間材１０を、長尺のインレットシート２０のＩＣチップ２３が設けられた面と重なるように送り出し、第二のロール３２に、層間材１０とともにインレットシート２０を巻き取る。
これにより、ＩＣチップ２３を破壊することなく、かつ、整然と、層間材１０とともにインレットシート２０を巻き取ることができる。
【００１９】
この実施形態の層間材１０によれば、目開き１５がインレットシート２０に実装されたＩＣチップ２３を少なくとも１つ収容する大きさのメッシュクロス１３を有するので、インレットシート２０とともに層間材１０を巻き取った場合、ＩＣチップ２３と、層間材１０の横糸１１や縦糸１２とが接触する頻度が低くなり、結果として、横糸１１や縦糸１２によりＩＣチップ２３が押圧されて破壊されることや、インレットシート２０および層間材１０が静電気により帯電し、この静電気がＩＣチップ２３の回路を流れて、静電破壊されることを防止できる。
また、メッシュクロス１３の長手方向に沿う両縁部に帯状部材１４が並設されているので、インレットシート２０から層間材１０を剥離する際、層間材１０が破れることを防止でき、また、層間材１０を巻き取る際、巻きずれが発生することなく、整然と巻き取ることができるので、層間材１０を再利用することができる。
【００２０】
なお、この実施形態では、連続シートとしてインレットシート２０を例示したが、本発明の層間材が適用可能な連続シートはインレットシートに限定されない。本発明の層間材は、ＩＣチップ以外の電子部品が等間隔に多数実装された連続シートを巻き取る場合にも好適に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の層間材の一実施形態を示す概略平面図である。
【図２】連続シートの一例としてインレットシートを示す概略平面図である。
【図３】本発明の層間材の目開きとインレットシートのＩＣチップとの関係を示す概略平面図である。
【図４】本発明の層間材の繊維とインレットシートのＩＣチップとの関係を示す概略断面図である。
【図５】本発明の層間材の横糸と縦糸との関係を示す概略断面図である。
【図６】層間材１０の使用方法を示す概略図である。
【符号の説明】
【００２２】
１０・・・層間材、１１・・・横糸、１２・・・縦糸、１３・・・メッシュクロス、１４・・・帯状部材、１５・・・目開き、２０・・・インレットシート、２１・・・ベース基材、２２・・・アンテナ、２３・・・ＩＣチップ、３１・・・第一のロール、３２・・・第二のロール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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