(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズとコンデンサレンズとを検査対象基板を介して対向配置し、かつ前記対物レンズを光軸方向に移動させる第１の移動機構と前記コンデンサレンズを前記光軸方向に移動させる第２の移動機構とを備えた透過型顕微鏡装置において、
前記検査対象基板の厚さ又は屈折率に対する前記対物レンズと前記コンデンサレンズの焦点距離情報を記憶する記憶手段と、
この記憶手段から前記検査対象基板の厚さ又は屈折率に対応した前記対物レンズと前記コンデンサレンズの焦点距離情報を読み出し、この焦点距離情報に従って前記第１と第２の移動機構をそれぞれ移動制御して前記対物レンズの焦点位置に前記コンデンサレンズの焦点位置を調整する制御手段と、
を具備し、
前記制御手段は、前記第１と前記第２の移動機構とをそれぞれ移動制御して前記対物レンズと前記コンデンサレンズとのフォーカスの合った状態での前記対物レンズと前記コンデンサレンズとの距離を登録する距離設定モードと、一定時間毎に前記第１の移動機構を駆動し前記対物レンズの焦点位置を確認し、この後に前記コンデンサレンズを前記対物レンズの焦点位置に従った位置に調整する通常モードとを有する、
ことを特徴とする透過型顕微鏡装置。
【請求項２】
対物レンズとコンデンサレンズとを検査対象基板を介して対向配置し、かつ前記対物レンズを光軸方向に移動させる第１の移動機構と前記コンデンサレンズを前記光軸方向に移動させる第２の移動機構とを備えた透過型顕微鏡装置において、
前記検査対象基板の厚さ又は屈折率に対する前記対物レンズと前記コンデンサレンズの焦点距離情報を記憶し、前記検査対象基板の厚さ又は屈折率に対応した前記対物レンズと前記コンデンサレンズの焦点距離情報を送信するコンピュータと、
このコンピュータから送信された前記焦点距離情報を受け取り、この焦点距離情報に従って前記第１と第２の移動機構をそれぞれ移動制御して前記対物レンズの焦点位置に前記コンデンサレンズの焦点各位置を調整する制御手段と、
を具備し、
前記制御手段は、前記第１と前記第２の移動機構とをそれぞれ移動制御して前記対物レンズと前記コンデンサレンズとのフォーカスの合った状態での前記対物レンズと前記コンデンサレンズとの距離を登録する距離設定モードと、一定時間毎に前記第１の移動機構を駆動し前記対物レンズの焦点位置を確認し、この後に前記コンデンサレンズを前記対物レンズの焦点位置に従った位置に調整する通常モードとを有する、
ことを特徴とする透過型顕微鏡装置。
【請求項３】
前記焦点距離情報は、前記検査対象基板の厚さ又は屈折率ごとに前記対物レンズと前記コンデンサレンズの焦点距離を予め求めて記憶されていることを特徴とする請求項１又は２記載の透過型顕微鏡装置。
【請求項４】
前記焦点距離情報は、前記対物レンズを移動させて前記検査対象基板に対してフォーカスを合わせした各倍率に対する焦点距離と、フォーカスされた各倍率の前記対物レンズに対する最適な照明条件となるように、前記第２の移動機構を介して前記コンデンサレンズを移動させてフォーカスを合わせした前記コンデンサレンズの焦点位置を記憶することを特徴とする請求項１又は２記載の透過型顕微鏡装置。
【請求項５】
前記距離設定モードでは、前記記憶手段に、前記対物レンズの倍率と前記検査対象基板毎に前記距離設定モードの動作を繰り返すことによって、複数の前記厚さ及び前記屈折率の異なる前記各検査対象基板と前記倍率の異なる前記対物レンズに対する前記焦点距離情報が登録されることを特徴とする請求項１記載の透過型顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、標本を介して対物レンズとコンデンサレンズとを対向配置し、かつこれら対物レンズとコンデンサレンズとをそれぞれ光軸方向に移動させてフォーカス合わせを行なう透過型顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  例えば液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の検査として例えばカラー液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルタの分光測光が行われる。【０００３】  かかる分光測光を行なう顕微鏡測光装置として例えば特開平６−１７５０３２号公報に記載された技術がある。この顕微鏡測光装置では、図６に示すように標本（以下、カラーフィルタとして説明する）１を介して対物レンズ２とコンデンサレンズ３とを対向配置し、かつ対物レンズ２を上下移動させるレボルバ上下機構と、コンデンサレンズ３を上下移動させるコンデンサレンズ上下機構とがそれそれ独立して別々に設けられている。【０００４】  このような構成から対物レンズ２の焦点位置にとコンデンサレンズ３の焦点位置を合致させるために、カラーフィルタ１表面に対してフォーカス合わせした対物レンズ２の上下移動に追従させて対物レンズ２とコンデンサレンズ３の間隔が常に一定になるようにコンデンサレンズ３を上下移動させ、対物レンズ２の焦点位置にコンデンサレンズ３の焦点位置を合わせるようにしている。
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  しかしながら、上記ＦＰＤ基板の検査ラインでは、厚さや屈折率の異なるカラーフィルタ１が検査ラインに流れる。このように厚さや材質（屈折率）の異なるカラーフィルタ１が検査ラインに流れると、顕微鏡測光装置では、図７(a)(b)に示すようにフォーカス状態になる対物レンズ２の焦点位置に対するコンデンサレンズ３の焦点位置がカラーフィルタ１の厚さによって変わるために、カラーフィルタ１の厚さや種類（屈折率）が変るごとに対物レンズ２の焦点位置に合致するようにカラーフィルタ１の厚みに起因する焦点ずれ量をコンデンサレンズ３を手動によって再調整しなければならない。
【０００６】  図７（ｂ）に示すように、例えば上記図６に示すカラーフィルタ１の厚さよりも薄い厚さのカラーフィルタ１が検査ラインに流れた場合には、コンデンサレンズ２の焦点位置が短かくなり対物レンズの焦点位置に対してコンデンサレンズ３の焦点位置が対物レンズ２の焦点位置から離れてしまう。この照明側の焦点ずれ量を補正するため、コンデンサレンズ３を上方向に移動させて調整しなければならない。
【０００７】  このように特開平６−１７５０３２号公報のものでは、常に対物レンズとコンデンサレンズとの間隔を一定に保ものであり、厚さや屈折率の異なる検査対象基板が検査ラインに流れた場合には対応できないものである。
【０００８】  そこで本発明は、厚さや材質の異なる複数の検査対象基板に対して対物レンズの焦点位置に対してコンデンサレンズの焦点位置を自動的に調整できる顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、対物レンズとコンデンサレンズとを検査対象基板を介して対向配置し、かつ対物レンズを光軸方向に移動させる第１の移動機構とコンデンサレンズを光軸方向に移動させる第２の移動機構とを備えた透過型顕微鏡装置において、検査対象基板の厚さ又は屈折率に対する対物レンズとコンデンサレンズの焦点距離情報を記憶する記憶手段と、この記憶手段から検査対象基板の厚さ又は屈折率に対応した対物レンズとコンデンサレンズの焦点距離情報を読み出し、この焦点距離情報に従って第１と第２の移動機構をそれぞれ移動制御して対物レンズの焦点位置にコンデンサレンズの焦点位置を調整する制御手段とを具備し、制御手段は、第１と第２の移動機構とをそれぞれ移動制御して対物レンズとコンデンサレンズとのフォーカスの合った状態での対物レンズとコンデンサレンズとの距離を登録する距離設定モードと、一定時間毎に第１の移動機構を駆動し対物レンズの焦点位置を確認し、この後にコンデンサレンズを対物レンズの焦点位置に従った位置に調整する通常モードとを有する透過型顕微鏡装置である。
【００１０】
本発明は、対物レンズとコンデンサレンズとを検査対象基板を介して対向配置し、かつ対物レンズを光軸方向に移動させる第１の移動機構とコンデンサレンズを光軸方向に移動させる第２の移動機構とを備えた透過型顕微鏡装置において、検査対象基板の厚さ又は屈折率に対する対物レンズとコンデンサレンズの焦点距離情報を記憶し、検査対象基板の厚さ又は屈折率に対応した対物レンズとコンデンサレンズの焦点距離情報を送信するコンピュータと、このコンピュータから送信された焦点距離情報を受け取り、この焦点距離情報に従って第１と第２の移動機構をそれぞれ移動制御して対物レンズの焦点位置にコンデンサレンズの焦点各位置を調整する制御手段とを具備し、制御手段は、第１と第２の移動機構とをそれぞれ移動制御して対物レンズとコンデンサレンズとのフォーカスの合った状態での対物レンズとコンデンサレンズとの距離を登録する距離設定モードと、一定時間毎に第１の移動機構を駆動し対物レンズの焦点位置を確認し、この後にコンデンサレンズを対物レンズの焦点位置に従った位置に調整する通常モードとを有する透過型顕微鏡装置である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】（１）以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図６と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００１２】  図１は顕微鏡装置の構成図である。ステージ１０上には、光を透過する検査対象基板（例えばカラー液晶ディスプレイに用いられるガラス基板やカラーフィルタ）１が載置されている。このステージ１０の上方には、倍率の異なる複数の対物レンズ２が取付けられたレボルバ１２を備えた顕微鏡ヘッド９が配置されている。この顕微鏡ヘッド９にはレボルバ１２を上下移動させるレボルバ上下ユニット（第１の移動機構）１１が設けられている。
【００１３】  図２はレボルバ上下ユニット１１の具体的な構成図である。ステッピングモータ１３の回転軸１３ａには、カップリング１３ｂを介してボールネジ１４が連結されている。このボールネジ１４には、ナット部１５が螺合している。このナット部１５には、係止部材１６が一体的に設けられている。このナット部１５は、ステッピングモータ１３の回転によってボールネジ１４が回転すると、直線方向Ａに移動するものとなっている。
【００１４】  又、リンクユニット１７が支点１７ａを中心に矢印Ｂ方向に回動自在に設けられている。このリンクユニット１７は、Ｌ字形状に形成され、一端側にローラ１７ｂが回転自在に設けられ、このローラ１７ｂが係止部材１６に当接している。リンクユニット１７の他端には、ローラ１７ｃが回転自在に設けられ、このローラ１７ｃが後述するＬ字ユニット１８の係止部１８ａに当接している。
【００１５】  顕微鏡ヘッド９の先端部分には、Ｌ字ユニット１８を上下方向（光軸Ｑ方向）にガイドするガイド１８ｂが設けられている。Ｌ字ユニット１８の底面には、複数の対物レンズ２が装着されたレボルバ１２が設けられている。このレボルバ１２は、Ｌ字ユニット１８とともに光軸方向に移動して光軸に選択挿入された対物レンズのフォーカスを合わせる。
【００１６】  従って、ステッピングモータ１３が回転すると、この回転がボールネジ１４に伝達され、このボールネジ１４の回転がナット部１５によって直線運動に変換される。このナット部１５の直線運動は、リンクユニット１７に伝達されることにより、このリンクユニット１７によって直線運動がＬ字ユニット１８に上下運動に変換されて伝達される。
【００１７】  又、顕微鏡ヘッド９には、図３に示すようにレボルバ上下ユニット１１を制御するオートフォーカス機能と、ステッピングモータ１３などの駆動部を制御する機能を有する制御部１９が設けられている。この制御部１９は、オートフォーカスの指令又はコントロールユニット２０から発せられた指令を受け、この指令で指示された対物レンズ２の上下移動の移動量に応じた回転数だけステッピングモータ１３を回転させる。
【００１８】  一方、ステージ１０の下方の光軸上には、コンデンサレンズ３が配置されている。このコンデンサレンズ３には、コンデンサレンズ上下ユニット（第２の移動機構）２１が設けられている。このコンデンサレンズ上下ユニット２１は、コンデンサレンズ３を光軸Ｑ方向に上下移動させ対向配置された対物レンズの焦点位置にコンデンサレンズ３の焦点位置を合わせる機能を有している。
【００１９】  図４はコンデンサレンズ上下ユニット２１の具体的な構成図である。コンデンサレンズ上下ユニット２１は、透過照明用の光源を内蔵したランプハウス２２の導光用の中空体２３の側面に設けられている。
【００２０】  ステッピングモータ２４の回転軸２４ａには、カップリング２４ｂを介してボールネジ２５が連結されている。このボールネジ２５には、ナット部２６が螺合している。このナット部２６は、Ｌ字ユニット２７の一辺に固定される。
【００２１】  このＬ字ユニット２７の一辺は、中空体２３の外側面に設けられたガイド２８上に移動自在に設けられている。又、Ｌ字ユニット２７の他辺には、コンデンサレンズ３を組込んだ中空のレンズ保持体２９が設けられる。
【００２２】  従って、ステッピングモータ２４が回転すると、この回転がボールネジ２５に伝達され、このボールネジ２５の回転がナット部２６によって直線運動に変換される。このナット部２６の直線運動は、Ｌ字ユニット２７を介してコンデンサレンズユニット３０に伝達されることによりコンデンサレンズ３は上下移動する。
【００２３】  コンデンサレンズ上下コントロールユニット３１は、コントロールユニット２０から発せられた指令を受け、この指令で指示されたコンデンサレンズ３の上下移動の移動量に応じた回転数だけステッピングモータ２４を回転させる機能を有している。
【００２４】  コントロールユニット２０は、オペレータにより操作ユニット３２に対して対物レンズ２の上下とコンデンサレンズ３の上下との操作が行なわれると、この操作ユニット３２からの操作指示を受けて対物レンズ２の上下の指令をレボルバ上下ユニット１１の制御部１９に発すると共に、コンデンサレンズ３の上下の指令をコンデンサレンズ上下コントロールユニット３１に発する機能を有している。
【００２５】  具体的にコントロールユニット２０は、距離情報メモリ３３を備え、かつ位置調整制御部３４の機能を有している。
【００２６】  距離情報メモリ３３には、複数のカラーフィルタ１に対する各倍率の異なる対物レンズ２とコンデンサレンズ３との間の距離情報が予め記憶されている。この距離情報は、カラーフィルタ１の厚さ、屈折率ごとに複数記憶されている。
【００２７】  位置調整制御部３４は、距離情報メモリ３２からカラーフィルタ１に対応した対物レンズ２とコンデンサレンズ３と距離情報を読み出し、この距離情報に従ってレボルバ上下ユニット１１の制御部１９とコンデンサレンズ上下コントロールユニット３１に対してそれぞれ制御信号を送出し、レボルバ上下ユニット１１とコンデンサレンズ上下ユニット２１とをそれぞれ移動制御して対物レンズ２とコンデンサレンズ３との各位置を調整する機能を有している。
【００２８】  又、コントロールユニット２０は、距離設定モードと通常モードとの各機能を有している。コントロールユニット２０の距離設定モードは、レボルバ上下ユニット１１を動作させて対物レンズ２を移動させてカラーフィルタ１に対してフォーカスを合わせ、次にコンデンサレンズ上下ユニット２１を動作させてコンデンサレンズ３を移動させてカラーフィルタ１に対してフォーカスを合わせ、これら対物レンズ２とコンデンサレンズ３とのフォーカスの合った状態でのこれら対物レンズ２とコンデンサレンズ３と距離を登録する機能を有するものである。
【００２９】  コントロールユニット２０の通常モードは、一定時間毎にレボルバ上下ユニット１１に対して対物レンズ２の位置確認を行ない、この後にコンデンサレンズ３を位置情報に従った位置に調整する機能を有するものである。
【００３０】  次に、上記の如く構成された装置の作用について説明する。
【００３１】  対物レンズ２とコンデンサレンズ３との距離の調整は、距離設定モードにおいて行われる。
【００３２】  先ず、この距離設定モードにおいてコントロールユニット２０は、レボルバ上下ユニット１１によりレボルバ１２のみが上下移動できる状態（フリーな状態）する。
【００３３】  この状態にオペレータが操作ユニット３２を操作してレボルバ１２を上下移動させる操作指示をコントロールユニット２０に送出する。このコントロールユニット２０は、対物レンズ２の上下の指令をレボルバ上下ユニット１１の制御部１９に発する。
【００３４】  このレボルバ上下ユニット１１の制御部１９は、コントロールユニット２０からの指令を受けて対物レンズ２の上下移動の移動量に応じた回転数だけステッピングモータ１３を回転させる。このステッピングモータ１３が回転すると、この回転がボールネジ１４に伝達され、このボールネジ１４の回転がナット部１５によって直線運動に乗換される。このナット部１５の直線運動は、リンクユニット１７に伝達されることにより、このリンクユニット１７によって直線運動がＬ字ユニット１８に上下運動に変換されて伝達される。これにより、Ｌ字ユニット１８に設けられているレボルバ１２及び対物レンズ２が上下移動する。
【００３５】  このようにオペレータの操作ユニット３２への操作により対物レンズ２が上下移動し、標本ステージ１０上に載置されているカラーフィルタ１に対してフォーカスが合わせられる。
【００３６】  次に、コントロールユニット２０は、コンデンサレンズ上下ユニット２１によりコンデンサレンズ３のみが上下移動できる状態（フリーな状態）する。
【００３７】  この状態にオペレータが操作ユニット３２を操作してコンデンサレンズ３を上下移動させる操作指示をコントロールユニット２０に送出する。このコントロールユニット２０は、コンデンサレンズ３の上下の指令をコンデンサレンズ上下コントロールユニット３１に発する。
【００３８】  このコンデンサレンズ上下コントロールユニット３１は、コントロールユニット２０から発せられた指令を受け、この指令で指示されたコンデンサレンズ３の上下移動の移動量に応じた回転数だけステッピングモータ２４を回転させる。
【００３９】  このステッピングモータ２４が回転すると、この回転がボールネジ２５に伝達され、このボールネジ２５の回転がナット部２６によって直線運動に変換される。このナット部２６の直線運動は、Ｌ字ユニット２７を介してコンデンサレンズユニット３０に伝達され、これによりコンデンサレンズ３は上下移動する。
【００４０】  このようにオペレータの操作ユニット３２への操作によりコンデンサレンズ３が上下移動し、標本ステージ１０上に載置されているカラーフィルタ１に対してフォーカスが合わせられる。
【００４１】  このように対物レンズ２とコンデンサレンズ３とがカラーフィルタ１に対してフォーカスが合わせられると、オペレータによって操作ユニット３２上から登録が行われる。
【００４２】  コントロールユニット２０は、操作ユニット３２からの登録操作を受けると、レボルバ上下ユニット１１により上下移動した対物レンズ２の位置とコンデンサレンズ上下ユニット２１により上下移動したコンデンサレンズ３の位置との差を求め、この差を対物レンズ２とコンデンサレンズ３と距離情報として距離情報メモリ３３に登録する。
【００４３】  以上の距離設定モードでは、倍率の異なる対物レンズ及び複数の標本（カラーフィルタ）１を変えることにより、これら対物レンズの倍率と標本１毎に上記距離設定モードの動作を繰り返すことによって、複数の厚さ及び屈折率の異なる各標本１と倍率の異なる対物レンズに対する距離情報が距離情報メモリ３３に登録される。
【００４４】  次に、通常モードの動作について説明する。
【００４５】  この通常モードにおいてコントロールユニット２０は、一定時間毎にレボルバ上下ユニット１１に対して対物レンズ２の位置確認を行なうための指令を発する。この指令を受けてレボルバ上下ユニット１１の制御部１９は、レボルバ１２を上下移動した情報から対物レンズ２の位置確認結果の返送を行なう。
【００４６】  コントロールユニット２０は、レボルバ上下ユニット１１の制御部１９から返送された対物レンズ２の位置確認結果から当該対物レンズ２の位置を把握し、かつコンデンサレンズ３の位置が対物レンズ２の位置から上記距離情報メモリ３３に記憶されている距離情報を引いた位置に位置決めされるようにコンデンサレンズ上下コントロールユニット３１に対して指令を発する。
【００４７】  このコンデンサレンズ上下コントロールユニット３１は、上記同様に、コントロールユニット２０から発せられた指令で指示されたコンデンサレンズ３の上下移動の移動量に応じた回転数だけステッピングモータ２４を回転させ、この回転をボールネジ２５に伝達し、このボールネジ２５の回転をナット部２６によって直線運動に変換し、コンデンサレンズ３を上下移動する。
【００４８】  以上の通常モードでは、一定時間毎に上記通常モードの動作を繰り返すことによって、コンデンサレンズ３の位置は、対物レンズ２の位置に追従し、対物レンズ２とコンデンサレンズ３との距離は、対物レンズ２の倍率とカラーフィルタ１の厚さ及び屈折率に応じた適性な距離に保たれる。
【００４９】  このように上記第１の実施の形態においては、複数のカラーフィルタ１に対する対物レンズ２とコンデンサレンズ３との間の距離情報を対物レンズ２の倍率とカラーフィルタ１の厚さ及び屈折率ごとに距離情報メモリ３３に予め記憶し、この距離情報メモリ３２からカラーフィルタ１に対応した対物レンズ２とコンデンサレンズ３と距離情報を読み出し、この距離情報に従ってレボルバ上下ユニット１１とコンデンサレンズ上下ユニット２１とをそれぞれ移動制御して対物レンズ２とコンデンサレンズ３との各位置を調整するので、カラーフィルタ１の種類が異なっても、これらカラーフィルタ１に応じて適正な対物レンズ２とコンデンサレンズ３との距離に自動的に調整できる。
【００５０】  従って、カラーフィルタ１の種類（厚さ、屈折率）が変って対物レンズ２とコンデンサレンズ３との距離を変更しなければならなくなった場合でも、予め対物レンズ２とコンデンサレンズ３との距離情報を記憶したカラーフィルタ１であれば、距離情報メモリ３３から距離情報を選択し直すだけでよい。
【００５１】  又、観察することが多い何種類かのカラーフィルタ１については、予め倍率の異なる各対物レンズ２とコンデンサレンズ３との距離情報を距離情報メモリ３３に記憶させておくことにより、カラーフィルタ１の種類が変っても、オペレータによって対物レンズ２とコンデンサレンズ３との各位置を調整し直さなくても自動的に対物レンズ２のフォーカス位置にコンデンサレンズ３のフォーカス位置を合わせ良好な観察ができる。
【００５２】  コントロールユニット２０の距離設定モードは、対物レンズ２とコンデンサレンズ３とのフォーカスの合った状態で、これら対物レンズ２とコンデンサレンズ３と距離を登録するので、新規のカラーフィルタ１を検査する場合でも、当該カラーフィルタ１の厚さ及び屈折率に応じた距離に対物レンズ２とコンデンサレンズ３とを設定することができる
コントロールユニット２０の通常モードでは、一定時間毎にレボルバ上下ユニット１１に対して対物レンズ２の位置確認を行ない、コンデンサレンズ３を位置情報に従った位置に調整するので、コンデンサレンズ３の位置を、対物レンズ２の位置に追従でることができ、対物レンズ２とコンデンサレンズ３との距離を常に対物レンズ２の倍率とカラーフィルタ１の厚さ及び屈折率に応じた適性な距離に保つことができる。
【００５３】  以上のことから半導体デバイス基板の検査ラインにおいて厚さや屈折率の異なる複数種類のカラーフィルタ１が検査ラインに流れても、これらカラーフィルタ１の種類に応じた適正な対物レンズ２とコンデンサレンズ３との焦点距離に調整して、高精度な分光測光を行うことができる。
【００５４】  この分光測光では、カラーフィルタ１に対して均一なスポット光を照射してそのときの色の現われ具合を観察してカラーフィルタ１に対する評価を行なうので、カラーフィルタ１に対するフォーカスを高精度に合わせる必要がある。
【００５５】  従って、本発明装置を用いれば、対物レンズ２とコンデンサレンズ３との距離をカラーフィルタ１の種類に応じて最適に調整できるので、半導体デバイス基板の検査ラインには最適なものと言える。
【００５６】（２）次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００５７】  図５は顕微鏡装置の構成図である。コントロールユニット２０は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）４０がコントロールユニット２０との間で情報の授受が可能に接続されている。
【００５８】  このパーソナルコンピュータ４０は、距離設定モードによってコントロールユニット２０の距離情報メモリ３３に記憶されている対物レンズ２とコンデンサレンズ３との間の距離情報を通信によって取り込み、この距離情報をコンピュータ内部の距離情報メモリ４１に記憶する機能を有している。
【００５９】  又、パーソナルコンピュータ４０は、半導体デバイス基板の検査ラインに適用するものであれば、カラーフィルタ１を搬送するカセット又は上位のサーバに接続する。これにより、パーソナルコンピュータ４０は、半導体デバイス基板の検査ラインにおいてカラーフィルタ１の種類（厚さ及び屈折率）が変った旨の情報をカセット又は上位のサーバから受け取ると、そのカラーフィルタ１の種類に対応した距離情報を距離情報メモリ４１から読み出し、この距離情報をコントロールユニット２０に送信し、コントロールユニット２０の距離情報メモリ３３の距離情報を更新する機能を有している。
【００６０】  次に上記の如く構成された装置の作用について説明する。
【００６１】  半導体デバイス基板の検査ラインで用いる場合、パーソナルコンピュータ４０は、カセット又は上位のサーバから半導体デバイス基板の検査ラインにおいてカラーフィルタ１の種類が変った旨の情報を受け取る。
【００６２】  このパーソナルコンピュータ４０は、そのカラーフィルタ１の種類に対応した距離情報を距離情報メモリ４１から読み出し、この距離情報をコントロールユニット２０に送信する。
【００６３】  このコントロールユニット２０は、パーソナルコンピュータ４０からの距離情報を受け取り、距離情報メモリ３３の距離情報を更新する。
【００６４】  そして、コントロールユニット２０は、更新された距離情報に応じた対物レンズ２の上下の指令をレボルバ上下ユニット１１の制御部１９に発すると共に、コンデンサレンズ３の上下の指令をコンデンサレンズ上下コントロールユニット３１に発する。
【００６５】  これにより、対物レンズ２はレボルバ上下ユニット１１により上下移動し、コンデンサレンズ３はコンデンサレンズ上下ユニット２１により上下移動し、これら対物レンズ２とコンデンサレンズ３との距離は、検査ラインに流れるカラーフィルタ１の厚さ及び屈折率に応じた適性な距離に保たれる。
【００６６】  このように上記第２の実施の形態においては、パーソナルコンピュータ４０をコントロールユニット２０に接続し、パーソナルコンピュータ４０からコントロールユニット２０に対して距離情報を送信し、距離情報メモリ３３の距離情報を更新するようにしたので、半導体デバイス基板の検査ラインにおいてカラーフィルタ１の種類が変った旨の情報をカセット又は上位のサーバから受け取ると、そのカラーフィルタ１の種類に対応した距離情報に応じて対物レンズ２とコンデンサレンズ３との距離をカラーフィルタ１の厚さ及び屈折率に応じた適性な焦点距離に自動的に変更でき、半導体デバイス基板の検査ラインでの高精度な分光測光を自動的に行なうことができる。
【００６７】  なお、本発明は、上記第１及び第２の実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００６８】  さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００６９】  例えば、上記第１及び第２の実施の形態では、標本１として半導体デバイス基板の検査ラインに流れるカラー液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルタ１の測定に適用した場合について説明したが、これに限らず、標本１の材質としてはプラスチックやガラスにより形成されたもの、さらには有機物をガラス板に付着させたもの、例えば有機ＥＬディスプレイの検査にも適用できる。
【００７０】  又、距離設定モードでは、種類の異なるカラーフィルタ１毎に上記距離設定モードの動作を繰り返すことによって、標本１に対する距離情報を距離情報メモリ３３に登録しているが、この距離情報メモリ３３への登録を、距離設定モードの動作を繰り返すのでなく、計算値を距離情報メモリ３３に登録するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００７１】  以上詳記したように本発明によれば、厚さや種類の異なる複数の標本に対して適正な対物レンズとコンデンサレンズとの間隔に自動的に調整できる顕微鏡装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係わる顕微鏡装置の第１の実施の形態を示す構成図。
【図２】  本発明に係わる顕微鏡装置の第１の実施の形態におけるレボルバ上下ユニットの具体的な構成図。
【図３】  本発明に係わる顕微鏡装置の第１の実施の形態におけるレボルバ上下ユニットに設けられた制御部を示す図。
【図４】  本発明に係わる顕微鏡装置の第１の実施の形態におけるコンデンサレンズ上下ユニットの具体的な構成図。
【図５】  本発明に係わる顕微鏡装置の第２の実施の形態を示す構成図。
【図６】  従来の顕微鏡測光装置における対物レンズとコンデンサレンズとのフォーカス状態での配置を示す図。
【図７】  標本（カラーフィルタ）の厚さが異なる場合の対物レンズとコンデンサレンズとのフォーカス状態での配置を示す図。
【符号の説明】１：標本（カラーフィルタ）
２：対物レンズ
３：コンデンサレンズ
１０：標本ステージ
１１：レボルバ上下ユニット
１２：レボルバ
１３：ステッピングモータ
１４：ボールネジ
１５：ナット部
１６：係止部材
１７：リンクユニット
１８：Ｌ字ユニット
１８ａ：ガイド
１９：制御部
２０：コントロールユニット
２１：コンデンサレンズ上下ユニット
２２：ランプハウス
２３：中空体
２４：ステッピングモータ
２５：ボールネジ
２６：ナット部
２７：Ｌ字ユニット
２８：ガイド
２９：レンズ保持体
３０：コンデンサレンズユニット
３１：コンデンサレンズ上下コントロールユニット
３２：操作ユニット
３３：距離情報メモリ
３４：位置調整制御部
４０：パーソナルコンピュータ
４１：距離情報メモリ
【図１】
0005208340.tif 000002
【図２】
0005208340.tif 000003
【図３】
0005208340.tif 000004
【図４】
0005208340.tif 000005
【図５】
0005208340.tif 000006
【図６】
0005208340.tif 000007
【図７】
0005208340.tif 000008