(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路構造との間で電気信号の入出力をそれぞれ行う複数の導電性接触子を収容し、異なる回路構造間を電気的に接続する導電性接触子ユニットであって、
前記複数の導電性接触子をガイドするために互いに対向して設けられる第１および第２ガイド部材を有し、前記第１ガイド部材と前記第２ガイド部材との間に前記複数の導電性接触子を挿入して収容保持する導電性接触子ホルダと、
前記導電性接触子ホルダに対して振動を印加する振動印加手段と、
を備え、
前記導電性接触子は板状をなし、
前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部と、
前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部と、
前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部と、
前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部と、
前記弾性部と前記第２接触部とを接続する第２接続部と、
を有し、
前記振動印加手段は、
前記導電性接触子ホルダの共振周波数を有する振動を前記導電性接触子ホルダに印加することを特徴とする導電性接触子ユニット。
【請求項２】
前記振動印加手段は、
前記導電性接触子ホルダの側面に貼付された振動体を含むことを特徴とする請求項１記載の導電性接触子ユニット。
【請求項３】
前記第２接触部の少なくとも一部は、前記導電性接触子ホルダの外側面であって内側にガイド溝が形成された部分の外側面よりも当該外側面の法線方向に突出していることを特徴とする請求項１または２記載の導電性接触子ユニット。
【請求項４】
前記第１ガイド部材は、
前記導電性接触子の幅方向の一方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第１のガイド溝が複数個形成され、
前記第２ガイド部材は、
前記第１のガイド溝と対向して位置し、前記第１のガイド溝に嵌め込まれた前記導電性接触子の他方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第２のガイド溝が複数個形成されたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の導電性接触子ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや半導体集積回路などの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行う際に、その電子部品の電極や端子に接触して電気信号の送受信を行う導電性接触子ユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路等の検査対象の電気特性検査に関する技術分野において、半導体集積回路の接続端子に対応して複数の導電性接触子（プローブ）を配設し、導電性接触子を接続端子に物理的に接触させることによって電気的導通を確保する機能を有する導電性接触子ユニットに関する技術が知られている。かかる導電性接触子ユニットは、複数の導電性接触子と、導電性接触子を保持する導電性接触子ホルダとを少なくとも備えた構造を有する。このような導電性接触子ユニットにおいては、検査対象たる半導体集積回路等の微細化傾向に伴う接続端子の配列間隔の狭小化に対応可能とするために、複数の導電性接触子の配列間隔を狭小化するさまざまな技術が提案されている。
【０００３】
例えば、配列間隔の狭小化を実現する導電性接触子として、検査対象等と接触する接触部およびその接触部に対して弾発付勢する弾性部を板状の導電性部材によって一体的に形成した構造が提案されている。この技術では、板状の導電性接触子を板厚方向に配列することによって狭い領域に多数の導電性接触子を配置することが理論上可能となり、検査対象に備わる接続端子の配列間隔の狭小化に対応した導電性接触子を実現することが可能である（例えば、特許文献１および２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３４３３９７号公報
【特許文献２】特開平１０−１３２８５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
導電性接触子ホルダにガイドを設け、そのガイドの間に導電性接触子を挿入する構成とする導電性接触子ユニットの場合、導電性接触子とガイドの間にクリアランスがある。このため、導電性接触子がガイドに接触しながら荷重を発生する場合、各導電性接触子とガイドとの接触位置が揃わず、摩擦力にばらつきが生じ、検査対象に対して安定した検査信号を供給できなくなる恐れがあった。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、導電性接触子とガイドとの間に生じる摩擦力のばらつきを低減し、検査信号を安定的に供給することができる導電性接触子ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る導電性接触子ユニットは、回路構造との間で電気信号の入出力をそれぞれ行う複数の導電性接触子を収容し、異なる回路構造間を電気的に接続する導電性接触子ユニットであって、前記複数の導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダと、前記導電性接触子ホルダに対して振動を印加する振動印加手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、前記振動印加手段は、前記導電性接触子ホルダの側面に貼付された振動体を含むことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、前記振動印加手段は、前記導電性接触子ホルダの共振周波数または前記導電性接触子の共振周波数を有する振動を前記導電性接触子ホルダに印加することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、前記振動印加手段は、前記導電性接触子ホルダの側面に貼付された振動体を含むことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、前記導電性接触子は板状をなし、前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部と、前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部と、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部、前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部と、前記弾性部と前記第２接触部とを接続する第２接続部と、を有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、前記第２接触部の少なくとも一部は、前記導電性接触子ホルダの外側面であって内側にガイド溝が形成された部分の外側面よりも当該外側面の法線方向に突出していることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、前記導電性接触子ホルダは、前記導電性接触子の幅方向の一方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第１のガイド溝と、前記第１のガイド溝と対向して位置し、前記第１のガイド溝に嵌め込まれた前記導電性接触子の他方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第２のガイド溝と、をそれぞれ複数個有することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、上記発明において、前記導電性接触子は、前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１針状部材と、前記第１針状部材とは別の回路構造と物理的に接触する第２針状部材と、前記第１針状部材と前記第２針状部材とを連結し、長手方向に伸縮自在なばね部材と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る導電性接触子ユニットによれば、回路構造との間で電気信号の入出力をそれぞれ行う複数の導電性接触子を収容し、異なる回路構造間を電気的に接続する導電性接触子ユニットであって、前記複数の導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダと、前記導電性接触子ホルダに対して振動を印加する振動印加手段と、を備えたことにより、導電性接触子とガイドとの間に生じる摩擦力のばらつきを低減し、検査信号を安定的に供給することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットの構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１の矢視Ａ方向の矢視図である。
【図３】図３は、導電性接触子の構成を示す図である。
【図４】図４は、導電性接触子ホルダの上面部の部分拡大斜視図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットの内部構成を示す図である。
【図６】図６は、導電性接触子ホルダの上方に、検査用回路に接続される回路基板を取り付けた状態を示す部分拡大図である。
【図７−１】図７−１は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットに対して検査対象を接触させた直後の状態を示す図である。
【図７−２】図７−２は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットに対して検査対象を検査時の位置まで上昇させたときの状態を示す図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットに収容された導電性接触子のたわみ−荷重特性（振動印加時）を示す図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットに収容された導電性接触子のたわみ−荷重特性（振動非印加時）を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態２に係る導電性接触子ユニットの内部構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の形態（以後、「実施の形態」と称する）を説明する。なお、図面は模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なる場合もあることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる場合があることは勿論である。
【００１８】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットの構成を示す斜視図である。また、図２は、図１の矢視Ａ方向の矢視図である。これらの図に示す導電性接触子ユニット１は、検査対象である液晶パネル等の回路構造の導通状態検査や動作特性検査を行うものであり、各々が板状をなす複数の導電性接触子２と、複数の導電性接触子２を収容保持する導電性接触子ホルダ３と、導電性接触子ホルダ３に固着され、複数の導電性接触子２を支持する棒状部材４と、導電性接触子ホルダ３の側面部３ｃに貼付されて導電性接触子ホルダ３に対して振動を印加する振動体５（振動印加手段）と、振動体５を振動させるための所定周波数の信号を発生する発振部６とを備える。
【００１９】
図３は、導電性接触子２の構成を示す図である。以下の説明では、図３における鉛直方向を「導電性接触子２の長手方向」、図３における水平方向を「導電性接触子２の幅方向」、これら長手方向と幅方向とに直交する方向を「導電性接触子２の板厚（厚さ）方向」とそれぞれ称することにする。
【００２０】
図３に示す導電性接触子２は、異なる回路構造間の電気的な接続を確立するものであり、所定の回路構造（具体的には検査信号が供給されるフレキシブル基板）と物理的に接触する第１接触部２１と、第１接触部２１とは別の回路構造（具体的には液晶パネル等の検査対象）と物理的に接触する第２接触部２２と、第１接触部２１および第２接触部２２の間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部２３と、弾性部２３と同じ幅および厚さを有し、第１接触部２１および弾性部２３を接続する第１接続部２４と、弾性部２３と同じ幅および厚さを有し、第２接触部２２および弾性部２３を接続し、板厚方向に貫通する開口部２６が形成された第２接続部２５と、を備える。第２接触部２２は、第２接続部２５の幅方向の縁端部よりも当該幅方向に突出している。
【００２１】
導電性接触子２は、導電性材料によって形成される。具体的には、例えばニッケル（Ｎｉ）系の薄箔をエッチング加工することによって形成される。なお、導電性接触子２の表面の一部または全部に絶縁層を形成してもよい。また、第１接続部２４および第２接続部２５が、弾性部２３と異なる幅および／または厚さを有していてもよい。
【００２２】
次に、導電性接触子ホルダ３について説明する。導電性接触子ホルダ３は、中空略直方体状をなす保持部３１と、保持部３１の中空部に互いに対向して取り付けられて複数の導電性接触子をガイドする第１ガイド部材３２および第２ガイド部材３３と、保持部３１を介して互いに対向する側面部３ｂの所定位置にそれぞれ形成され、棒状部材４の端部を固着する固着用孔部３４とを有する。
【００２３】
図４は、導電性接触子ホルダ３の上面部３ａの部分拡大斜視図である。同図に示すように、第１ガイド部材３２には、導電性接触子２を装着する際にその導電性接触子２の幅方向の一方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する直線状のガイド溝３２１が複数形成され、第２ガイド部材３３には、第１ガイド部材３２のガイド溝３２１（第１のガイド溝）と対向して位置し、ガイド溝３２１にはめ込まれた導電性接触子２の幅方向の他方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する直線状のガイド溝３３１（第２のガイド溝）が複数形成されている。対をなすガイド溝３２１およびガイド溝３３１は、導電性接触子２をその長手方向と垂直な面方向に対して位置決めする機能を有するとともに、導電性接触子２の伸縮動作をガイドする機能を有している。また、ガイド溝３２１およびガイド溝３３１のなす対のうち隣接する対同士の間隔は全て等しく、かつ互いに平行である。
【００２４】
ガイド溝３２１およびガイド溝３３１の各々は同じ溝幅（ｗとする）を有するとともに、同じ溝深さ（ｄとする）を有する。このうち溝深さは、導電性接触子２が外れることなく確実に保持できる値を有していればよく、この意味では、ガイド溝３２１の溝深さとガイド溝３３１の溝深さとが異なっていても構わない。
【００２５】
各ガイド溝の溝幅（ｗ）は、導電性接触子２の板厚より若干大きい。また、対向するガイド溝３２１および３３１の溝底部同士の距離は、導電性接触子２の幅よりも若干大きい。このように導電性接触子２と導電性接触子ホルダ３との間にはクリアランスがあるため、導電性接触子２はガイド内で拘束されずに運動可能な自由度を有している。
【００２６】
引き続き、導電性接触子ホルダ３の構成を説明する。図５は、導電性接触子ユニット１の内部構成を示す図である。第１ガイド部材３２および第２ガイド部材３３は、図５のｚ軸方向（溝幅方向および溝深さ方向と直交する方向）に沿って互いに平行に延伸した構造を有する。ガイド溝３２１が図５のｚ軸方向に延伸する長さは、ガイド溝３３１が同じｚ軸方向に延伸する長さよりも短く、ガイド溝３２１は導電性接触子ホルダ３の底面部３ｄまで到達しているが、ガイド溝３２１は底面部３ｄよりも鉛直上方の位置までしか到達していない。
【００２７】
以上の構成を有する導電性接触子ホルダ３において、第１接触部２１および第２接触部２２に荷重が加わっていない状態（図５に示す状態）で、第２接触部２２の先端は、導電性接触子ホルダ３の側面部３ｃよりもｘ軸方向に所定量突出している（突出量をδ1とする）。突出量δ1は、導電性接触子２や導電性接触子ホルダ３の大きさ、検査対象に加えるべき荷重等の条件に応じて適宜定められる。
【００２８】
上記の如く第２接触部２２を導電性接触子ホルダ３の側面部３ｃよりも幅方向に突出させることにより、オペレータは、実際の検査の際、導電性接触子ユニットの上方からの目視や顕微鏡による観察を容易に行い、導電性接触子の先端と検査対象の物理的な接触を確認しながら検査作業を行うことができる。この結果、オペレータは、姿勢を屈めたりして導電性接触子と検査対象との接触状況を観察する必要がなくなる。したがって、検査の作業性、信頼性を一段と向上させることができるとともに、オペレータの負担を軽減することができる。
【００２９】
なお、第２接触部２２の先端は、底面部３ｄからｚ軸負の方向に所定量突出する（突出量をｈとする）とともに、第２接触部２２は弾性部２３や第１接続部２４の長手方向に平行な対称軸Ｏから所定距離オフセットした位置（オフセット量をΔ1とする）に形成されている。ここでの突出量ｈやオフセット量Δ1も、突出量δ1と同様に、導電性接触子２や導電性接触子ホルダ３の大きさ、検査対象に加えるべき荷重等の条件に応じて適宜定められる。
【００３０】
導電性接触子ホルダ３のうち、少なくとも導電性接触子２と直接接触する第１ガイド部材３２および第２ガイド部材３３は、短絡の発生を防止するため、絶縁性材料によって形成されることが好ましい。例えば、低熱膨張の合成樹脂を用いて導電性接触子ホルダ３を形成し、ダイシング等によってガイド溝３２１およびガイド溝３３１を形成すればよい。他にも、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、ジルコニア（ＺｒＯ2）、シリカ（ＳｉＯ2）等のセラミックス、シリコン、エポキシ等の熱硬化性樹脂、ポリカーボネート等のエンジニアリングプラスチックなどによって導電性接触子ホルダ３の母材を形成し、エッチング等の加工技術によってガイド溝３２１およびガイド溝３３１を形成してもよい。
【００３１】
なお、絶縁性材料を用いて導電性接触子ホルダ３を形成する代わりに、他の適当な材料（絶縁性の有無は問わない）を用いて母材を形成し、導電性接触子２と接触しうる部分（ガイド溝３２１やガイド溝３３１を含む部分）に対して適当な絶縁性塗料を塗布するような構成としてもよい。さらに、第１ガイド部材３２や第２ガイド部材３３と同様の絶縁性材料を用いることによって保持部３１を構成してもよい。
【００３２】
棒状部材４の両端部は、複数の導電性接触子２を第１ガイド部材３２および第２ガイド部材３３に収容し、各導電性接触子２の開口部２６を貫通した後、固着用孔部３４に挿通され、導電性接触子ホルダ３に対して固着される。棒状部材４は、保持部３１で保持する複数の導電性接触子２の開口部２６を一括して貫通することによって導電性接触子２の保持部３１からの抜け止め機能を果たすとともに、導電性接触子２に対して初期たわみを付与する機能を果たす。
【００３３】
棒状部材４の長手方向に垂直な断面は、長方形の角を面取りした形状をなし、その面積は、導電性接触子２が有する開口部２６の面積よりも小さい。このような断面形状とすることにより、導電性接触子２に対して固着用孔部３４を形成する際の加工を容易にすることができる。また、前述した断面形状とすることにより、導電性接触子２に荷重を加えた際の導電性接触子２の動きを円滑にするとともに、導電性接触子２に所定の荷重を加えたときの棒状部材４における支持安定性を確保することも可能となる。さらに、導電性接触子２に検査対象を接触させたとき、開口部２６が棒状部材４から離間し、棒状部材４に対して自由に移動できるようになる。この結果、後述するように導電性接触子２が微小な回転を生じることが可能となる。
【００３４】
なお、棒状部材４の長手方向に垂直な断面形状は上述したものに限られるわけではなく、例えば多角形や正方形などでもよいし、円形でもよい。固着用孔部３４の形状が、棒状部材４の断面形状に応じて変わることは勿論である。
【００３５】
以上の構成を有する棒状部材４も絶縁性材料から形成される。この棒状部材４は、多数の導電性接触子２の開口部２６を貫通してそれら全ての導電性接触子２を支持することに鑑み、剛性が高く荷重が加わってもたわみが少ないセラミックスなどの絶縁性材料が特に好ましい。
【００３６】
振動体５は、例えば圧電素子等を適用することができるが、他にも回転モータに対して不釣合いとなるようなバランサを取り付けたものを適用してもよい。かかる振動体５は、発振部６からの所定周波数の信号によって振動し、第１ガイド部材３２および第２ガイド部材３３に対して振動を加える。なお、振動体５は、側面部３ｃに貼付されているが、第１ガイド部材３２および第２ガイド部材３３に対して振動を加えることができれば、その貼付位置は制限されない。
【００３７】
振動体５の振動周波数は、導電性接触子ホルダ３を構成する保持部３１の共振周波数、または第１ガイド部材３２や第２ガイド部材３３の共振周波数、または導電性接触子２の共振周波数と略一致するような値であれば、振動体５に対して印加する電極を低減して効率よく振動させることが可能となるため、より好ましい。
【００３８】
また、振動体５は、導電性接触子ホルダ３の近傍であって導電性接触子ホルダ３を振動させることができる位置であれば、導電性接触子ホルダ３に貼付しなくてもよく、例えば導電性接触子２を貫通する棒状部材を振動体としてもよい。
【００３９】
図６は、導電性接触子ホルダ３の上方に、検査用信号を生成出力する信号処理回路との電気的な接続を確立する回路基板を取り付けた状態を示す部分拡大図であり、比較のため、図５に示す導電性接触子２の位置を１点鎖線によって図示している。図６に示す回路基板２０１は、ポリイミドなどからなるシート状の基材の一方の表面に、ニッケル等からなる多数の配線および接続用の電極が形成されたものである。図６では、フレキシブル基板等の回路基板２０１の電極が導電性接触子２の第１接触部２１と接触するように位置決めを行い、導電性接触子ホルダ３と同様の材料からなる固定部材２０２および導電性接触子ホルダ３によって回路基板２０１を挟持して固定した状態を図示している。回路基板２０１を導電性接触子ユニット１に固定する際には、導電性接触子ホルダ３と固定部材２０２とをねじ等によって締結すればよい（図示せず）。このようにして、図５に示す状態から図６に示す状態に遷移すると、各導電性接触子２には自身に作用する重力以外の力に起因する荷重（初期荷重）が加わり、各弾性部２３が長手方向に収縮する。
【００４０】
回路基板２０１の他端は、上述したように信号処理回路（図示せず）に接続されており、第２接触部２２に接触する検査対象との間で電気信号の送受信を行う。なお、図６では導電性接触子２に回路基板２０１を接触させているが、この代わりとして、信号出力回路の接続用端子を、導電性接触子２に対して直接接触させるような構成とすることも可能である。
【００４１】
従来の導電性接触子ユニットでは、導電性接触子に初期荷重を付与するために平板状の蓋部材を用いていたが、かかる蓋部材を用いると、その蓋部材の厚み分だけ導電性接触子の先端の接触部の突起量を増加させる必要があった。このため、荷重が加わったときに不安定となる部分の占める割合が大きくなり、先端付近が曲がり易くなるという問題があった。本実施の形態１に係る導電性接触子ユニット１では、蓋部材を用いないため、前述した問題が生じる恐れがなく、第１接触部２１を従来よりも顕著に小さく形成することができる。
【００４２】
次に、導電性接触子ユニット１と検査対象との接触態様について説明する。図７−１は、検査対象２０３が導電性接触子２の第２接触部２２に接触した直後の導電性接触子２の下端部近傍の状態を示す図である。また、図７−２は、検査対象２０３を検査時の位置まで上昇させたときの導電性接触子２の下端部近傍の状態を示す図である。図７−２においては、比較のために接触直後の導電性接触子２の位置を１点鎖線によって図示している。
【００４３】
第２接触部２２の先端は、図５を参照して説明したように、弾性部２３や第１接続部２４の長手方向の対称軸（中心軸）ＯからΔ1だけオフセットされている。このため、検査対象２０３に接触した第２接触部２２の先端部に作用する荷重の作用線が導電性接触子２の重心を通過しないため、導電性接触子２にはモーメントが発生する。この結果、図７−１に示す状態から図７−２に示す状態に遷移する間、導電性接触子２は、弾性部２３が収縮するとともに開口部２６が棒状部材４から離間し、前述したモーメントによって微小に回転する。この回転は、弾性部２３の幅方向の縁端部とガイド溝３２１およびガイド溝３３１の間に微小な隙間が存在していることによって生じうる。
【００４４】
上述した回転により、第２接触部２２は図７−２で時計回りに微小角だけ回転し、接触状態を持続しながら検査対象２０３の表面上を移動する。より具体的には、第２接触部２２の先端は、初期接触点Ｐ1から最終接触点Ｐ2まで検査対象２０３上を引っ掻いて滑りながらｘ軸方向にｘ1（＞０）だけ移動する。このようにして、第２接触部２２の先端が検査対象２０３上を移動することにより、検査対象２０３の表面に形成された酸化膜やその表面に付着した汚れを除去し、検査対象２０３との間で安定した電気的接触を得ることが可能となる。その際、検査対象２０３の移動速度（上昇速度）を適切に制御すれば、第２接触部２２の先端が検査対象２０３の表面を大きく傷付けることがなく、導電性接触子２にも過度の荷重を加えずに済むためより好ましい。
【００４５】
なお、図７−２に示す状態では、振動体５による振動が導電性接触子２にも伝わり、導電性接触子２は微小に振動する。これにより、コンタクト時に検査対象２０３のパッド上の酸化皮膜を剥がすスクラッチ効果を一段と期待することができる。
【００４６】
以上説明した導電性接触子ユニット１は、振動体５が振動することによって第１ガイド部材３２や第２ガイド部材３３が微小に振動しているため、導電性接触子２がガイド溝３２１や３３１に接触してもすぐに離れる。このため、見かけ上の動摩擦係数が小さくなり、摩擦力が小さくなる。導電性接触子２の幅方向の縁端部がガイド溝３２１および３３１に接触する時間が短くなるため、ガイド溝３２１および３３１との間で生じる摩擦力を低減することが可能となる。
【００４７】
また、導電性接触子ユニット１では、導電性接触子２の弾性部２３の伸縮方向に沿って延伸したガイド溝３２１およびガイド溝３３１に一部を嵌め込んだ状態で導電性接触子２を保持している。このため、板状の導電性接触子２に特有な問題である弾性部２３の収縮時の座屈およびねじれの発生を防止し、それらに起因する弾性部２３のばね特性の劣化を生じさせずに済む。したがって、導電性接触子２に適切な範囲内で一定以上の荷重を加えても座屈やねじれを生じることなく大きなストロークを実現することができ、検査対象２０３との間で所望の接触状態を得ることが可能となる。
【００４８】
さらに、導電性接触子ユニット１においては、第１ガイド部材３２のガイド溝３２１および第２ガイド部材３３のガイド溝３３１によって導電性接触子２を保持することとしたため、導電性接触子２と導電性接触子ホルダ３との間の接触面積を低減して摺動抵抗を減少させることができ、導電性接触子２の伸縮動作をスムーズに行うことが可能となる。
【００４９】
また、導電性接触子ユニット１は、ガイド溝３２１およびガイド溝３３１の溝幅（ｗ）が導電性接触子２の板厚と同程度の値でよく、互いに隣接するガイド溝３２１間およびガイド溝３３１間の各間隔は、隣接する導電性接触子２間の絶縁性が十分確保できる値であれば、任意の小さな値としてよい。したがって、複数の導電性接触子２の配列間隔を狭小化することが可能であり、接触対象の回路構造が有する接続用の電極や端子の配列間隔の狭小化にも十分に対応することができる。
【００５０】
加えて、導電性接触子ユニット１においては、導電性接触子２に棒状部材４を貫通することによって導電性接触子２に初期たわみを与えるとともに、抜け止めをしている。この結果、第２接触部２２の先端すなわち導電性接触子２の下端が導電性接触子ホルダ３の底面部３ｄから鉛直下方に突出する突出量ｈを小さくすることができる。換言すれば、第２接触部２２を小さくすることができ、導電性接触子２の先端の曲がりを防止し、安定して保持することが可能となり、導電性接触子２が下端部付近でガイド溝３２１および／またはガイド溝３３１から外れてしまうのを抑制することができる。この結果、導電性接触子２の先端の位置精度が高くなり、導電性接触子ユニット１の信頼性および耐久性を向上させることができる。
【００５１】
図８は、導電性接触子ユニット１において、振動体５が振動している状態での導電性接触子２のたわみと荷重との間の関係（たわみ−荷重特性）を示す図である。また、図９は、振動体５が振動していない状態での導電性接触子２のたわみ−荷重特性を例示する図である。両図ともに、上方が圧縮時であり、下方が伸長時である。
【００５２】
図８に示す特性曲線Ｌ1と図９に示す特性曲線Ｌ2とを比較した場合、振動体５が振動しているときの方が導電性接触子２を圧縮時と伸長時の特性差（ヒステリシス）が小さい。また、導電性接触子２の圧縮時の発生荷重と伸長時の発生荷重との差を同じたわみ量で比較すると、その差は図８の方が図９よりも３０％程度少ない。この傾向は、発振部６で発振する信号の周波数によらずにいえることである。
【００５３】
このように、本実施の形態１に係る導電性接触子ユニット１によれば、導電性接触子２が導電性接触子ホルダ３内部で振動することによってガイド溝３２１および３３１との間の摩擦力が低減されるため、導電性接触子２に発生する荷重値のばらつきが従来よりも小さくなり、検査対象２０３に対して安定した検査信号を供給することが可能となる。かかる効果は、検査対象２０３が狭ピッチ化すればするほど大きくなる。
【００５４】
以上説明した本発明の実施の形態１によれば、回路構造との間で電気信号の入出力をそれぞれ行う複数の導電性接触子を収容し、異なる回路構造間を電気的に接続する導電性接触子ユニットであって、前記複数の導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダと、前記導電性接触子ホルダに対して振動を印加する振動印加手段と、を備えたことにより、導電性接触子とガイドとの間に生じる摩擦力のばらつきを低減し、検査信号を安定的に供給することが可能となる。
【００５５】
なお、導電性接触子の第２接触部の形状は、その導電性接触子の材質、その導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダの形状、その導電性接触子ホルダに加えるべき荷重、検査対象の種類などさまざまな条件によって定められるべきものであり、本発明に係る技術的特徴を備えていれば、その形状の細部については適宜変更することが可能である。
【００５６】
（実施の形態２）
図１０は、本発明の実施の形態２に係る導電性接触子ユニットの構成を示す部分断面図である。同図に示す導電性接触子ユニット７は、複数の導電性接触子８と、導電性接触子８を収容する導電性接触子ホルダ９と、導電性接触子ホルダ９に貼付された振動体１０とを備える。また、振動体１０は発振部（図示せず）に接続されており、発振部から出力される所定周波数の信号に応じて振動する。
【００５７】
なお、図１０において実施の形態１と同様の符号を付した構成要素は、特に言及しない限りにおいて実施の形態１と同様の構造を有するものとする。
【００５８】
導電性接触子８はピン型プローブであり、回路基板２０１に接触する針状部材８１（第１針状部材）と、検査対象２０３上の接続端子（図示せず）に接触する針状部材８２（第２針状部材）と、針状部材８１および針状部材８２の間に介在して両針状部材を伸縮自在に連結するばね部材８３とを備える。導電性接触子８を構成する針状部材８１および８２、ならびにばね部材８３は、導電性材料によって同一の軸線を有するように構成されており、全体として、導電性接触子ホルダ９に形成されるホルダ孔９１を貫通している。
【００５９】
導電性接触子ホルダ９は、二つの基板９ａおよび９ｂを積層することによって形成されている。ホルダ孔９１の端部付近は、針状部材８１および８２が有するフランジ形状に対応した段付き形状をなしており、導電性接触子８の導電性接触子ホルダ９からの抜け止め機能を果たしている。
【００６０】
以上説明した本発明の実施の形態２によれば、上記実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【００６１】
（その他の実施の形態）
ここまで、本発明を実施するための最良の形態として、実施の形態１および２を詳述してきたが、本発明はそれら２つの実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。例えば、実施の形態１では、第１ガイド部材および／または第２ガイド部材をセラミックスなどで構成し、このガイド部材自体を振動体として直接振動を印加する構成としてもよい。
【００６２】
また、本発明に係る導電性接触子ユニットは、液晶パネルを検査する以外にも、半導体チップを搭載したパッケージ基板やウェハレベルの検査に用いる高密度プローブユニットの検査にも適用可能である。
【００６３】
このように、本発明は、ここでは記載していないさまざまな実施の形態等を含みうるものであり、特許請求の範囲により特定される技術的思想を逸脱しない範囲内において種々の設計変更等を施すことが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
以上のように、本発明に係る導電性接触子ユニットは、液晶パネルや半導体集積回路などの電子部品における導通状態検査や動作特性検査に好適である。
【符号の説明】
【００６５】
１、７  導電性接触子ユニット
２、８  導電性接触子
３、９  導電性接触子ホルダ
３ａ  上面部
３ｂ、３ｃ  側面部
３ｄ  底面部
４  棒状部材
５、１０  振動体
６  発振部
９ａ、９ｂ  基板
２１  第１接触部
２２  第２接触部
２３  弾性部
２４  第１接続部
２５  第２接続部
２６  開口部
３１  保持部
３２  第１ガイド部材
３３  第２ガイド部材
３４  固着用孔部
８１、８２  針状部材
８３  ばね部材
９１  ホルダ孔
２０１  回路基板
２０２  固定部材
２０３  検査対象
３２１、３３１  ガイド溝
Ｌ1、Ｌ2  特性曲線
Ｐ1  初期接触点
Ｐ2  最終接触点
Δ1  オフセット量
δ1、ｈ  突出量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７−１】
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【図７−２】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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