(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のインクジェットノズル（５２）を備えたインクジェットヘッド（５１）を複数個配列したインクジェットヘッドバー（５）とブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（２）とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズル（５２）で前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、
インクジェットヘッドバー（５）の長手方向と平行な方向を前記画素の長手方向に設定し、インクジェットノズル（５２）毎のカラー材料の吐出／非吐出を予め設定しておき、インクジェットノズル（５２）に対するガラス基板（２）の相対的位置情報と前記設定情報を基にインクジェットノズル（５２）のカラー材料の吐出を制御し、
前記画素の１画素に対向する前記インクジェットノズル（５２）の数Ｎ、余剰ノズル数ｎ、前記インクジェットノズル（５２）の液滴１滴当たりの量Ｑ、前記相対的な移動方向での前記画素内吐出回数Ｍ、および前記１画素に塗布する前記カラー材料の量Ｖが数１の関係を有することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【数１】
0005243954.tif 000005
【請求項２】
複数個のインクジェットノズル（５２）を備えたインクジェットヘッド（５１）を複数個配列したインクジェットヘッドバー（５）とブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（２）とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズル（５２）で前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、
インクジェットヘッドバー（５）の長手方向と平行な方向を同一色の画素の配列方向に設定し、インクジェットノズル（５２）毎のカラー材料の吐出／非吐出を予め設定しておき、インクジェットノズル（５２）に対するガラス基板（２）の相対的位置情報と前記設定情報を基にインクジェットノズル（５２）のカラー材料の吐出を制御し、
前記画素の１画素に対向する前記インクジェットノズル（５２）の数Ｎ、余剰ノズル数ｎ、前記インクジェットノズル（５２）の液滴１滴当たりの量Ｑ、前記相対的な移動方向での前記画素内吐出回数Ｍ、および前記１画素に塗布する前記カラー材料の量Ｖが数２の関係を有することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【数２】
0005243954.tif 000006
【請求項３】
前記吐出／非吐出の設定は、ガラス基板（２）の前記相対的な移動方向における座標に基づいている請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタ製造方法。 
【請求項４】
前記吐出／非吐出の設定は、ガラス基板（２）の前記画素の長手方向における座標に基づいている請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項５】
前記相対的な移動が終了する毎にインクジェットヘッドバー（５）を長手方向に移動させ、該長手方向の移動量は、長手方向の移動の前後におけるカラー材料の塗布領域が互いに重ならない移動量と画素の長手方向ピッチの整数倍とを加算した値である請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタ製造方法。 
【請求項６】
前記相対的な移動毎に、インクジェットノズル（５２）毎のカラー材料の吐出／非吐出の設定を変更する請求項５に記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項７】
複数個のインクジェットノズル（５２）を備えたインクジェットヘッド（５１）を複数個配列したインクジェットヘッドバー（５）を支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（２）を吸着保持する吸着テーブル（３）と、インクジェットヘッドバー（５）とガラス基板（２）とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる第１移動手段と、インクジェットヘッドバー（５）とガラス基板（２）とを、前記第１移動手段による移動方向と直交する方向に移動させる第２移動手段と、ガラス基板（２）およびインクジェットノズル（５２）の位置情報を入力し、データを記憶する第１記憶手段を含むカラーフィルタ製造装置において、
前記ガラス基板（２）とインクジェットバー（５）の相対位置を検出する検出手段と、検出した相対位置に基づきインクジェットノズル（５２）毎のカラー材料の吐出を制御する
吐出制御手段とを含み、
前記インクジェットヘッドバー（５）と前記ガラス基板（２）とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズル（５２）でカラー材料を塗布する、前記ブラックマトリックスの画素の１画素に対向する前記インクジェットノズル（５２）の数Ｎ、余剰ノズル数ｎ、前記インクジェットノズル（５２）の液滴１滴当たりの量Ｑ、前記相対的な移動方向での前記画素内吐出回数Ｍ、および前記１画素に塗布する前記カラー材料の量Ｖが数３の関係を有することを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【数３】
0005243954.tif 000007
【請求項８】
インクジェットヘッドバー（５）の、前記第１移動手段による移動方向と直交する方向における塗布領域が、ガラス基板（２）の前記第１移動手段による移動方向と直交する方向における塗布領域よりも大きい請求項７に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項９】
入力された相対的移動方向のガラス基板画素およびインクジェットノズル（５２）の位置情報から、ガラス基板（２）とインクジェットヘッドバー（５）の、前記第１移動手段による移動方向における相対位置毎の各インクジェットノズル（５２）のカラー材料の吐出／非吐出を演算／判断する第１演算手段と、第１演算手段による演算／判断結果を記憶する第２記憶手段をさらに含む請求項７に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項１０】
入力された相対的移動方向のガラス基板画素およびインクジェットノズル（５２）の位置情報から、各インクジェットノズル（５２）の前記第１移動手段による移動方向と直交する方向におけるカラー材料の吐出／非吐出を演算／判断する第２演算手段と、第２演算手段による演算／判断結果を記憶する第３記憶手段をさらに含む請求項７に記載のカラーフィルタ製造装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットノズルを用いてガラス基板上にカラーフィルタを製造する方法およびその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、インクジェットノズルを用いてガラス基板上にカラーフィルタを製造する方法が提案されている（特許文献１参照）。【０００３】
具体的には、透明基板上に透明な着色材受容層を少なくとも設け、異なった色の画素間となるべき領域を撥着色材性を持った非着色領域とし、同一色となるべき画素同士が隣り合う箇所では、該同一色となるべき複数の画素部分を画素間領域も含めて切れ目なく着色材付与することで着色してカラーフィルタを製造するようにしている。【０００４】
また、全画面を直線状に平行に主走査して描画する方法を採用し、同一色に着色すべき画素部が主走査方向と同一の方向に並ぶように画素配列を設計することによって、画素列に沿った直線状の主走査で全面描画を達成するようにしている。【０００５】
また、インクジェットノズルを用いてガラス基板上にカラーフィルタを製造するために、第１移動機構によりインクジェットヘッドを第１の方向に駆動し、第２移動機構によりカラーフィルタ用基板載置用の載置台を、第１の方向と異なる第２の方向に移動させ、しかも、ノズルがフィルタエレメントの縦列に沿うように第１移動機構を移動させ、かつノズルから吐出されるインク滴がフィルタエレメント内で重なり合うような吐出周期およびインクジェットヘッドの移動速度で、吐出周期および第１移動機構および第２移動機構を制御する方法が提案されている（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平９−６８６１１号公報
【特許文献２】特開平１０−２６０３０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の方法を採用した場合であって、異なる画面サイズのそれぞれに対処する場合には、画面サイズ毎にピッチが異なるため、インクジェットノズルと画素の中央部とが一致する確率が低くなり、この結果、インクジェットヘッドによるスキャン回数が多くなり、全体としての塗布所要時間が長くなってしまうという問題がある。【０００７】
このような問題を解消させるために、インクジェットヘッドを回転させることによってインクジェットノズルのピッチを変更することが考えられるが、段取り換えに多くの時間がかかるという問題がある。【０００８】
また、近年の傾向としてカラーフィルタの大型化、カラーフィルタが形成されるガラス基板の大型化があり、このようにカラーフィルタ、ガラス基板が大型化した場合において、特許文献１のように全画面を直線状に平行に主走査して描画する方法を採用し、同一色に着色すべき画素部が主走査方向と同一の方向に並ぶように画素配列を設計した場合には、主走査の全範囲にわたって、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料が画素領域の中央部に塗布されるように位置決めすることは困難であり、実際には、一部の画素領域に対しては所望のカラー材料が塗布されず、結果的に不良品を製造してしまう可能性が高くなってしまうという問題もある。【０００９】
特許文献２の方法を採用した場合には、異なる画面サイズのそれぞれに対処するためには、画面サイズ毎にピッチが異なるため、インクジェットノズルと画素の中央部とが一致する確率が低くなり、この結果、インクジェットヘッドによるスキャン回数が多くなり、全体としての塗布所要時間が長くなってしまうという問題がある。【００１０】
また、特許文献２の図４に示すように、全画面を直線状に平行に主走査して描画し、同一色に着色すべき画素部が主走査方向と同一の方向に並ぶように画素配列を設計しているので、カラーフィルタ、ガラス基板が大型化した場合に、主走査の全範囲にわたって、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料が画素領域の中央部に塗布されるように位置決めすることは困難であり、実際には、一部の画素領域に対しては所望のカラー材料が塗布されず、結果的に不良品を製造してしまう可能性が高くなってしまうという問題がある。【００１１】
さらに、両移動機構に高い精度が必要になるので、全体としてコストアップを招いてしまう。【００１２】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、画面サイズに拘わらず、ガラス基板の大型化に拘わらず、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を画素領域の中央部に塗布することができるカラーフィルタ製造方法およびその装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１のカラーフィルタ製造方法は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーとブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズルで前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、インクジェットヘッドバーの長手方向と平行な方向を前記画素の長手方向に設定し、インクジェットノズル毎のカラー材料の吐出／非吐出を予め設定しておき、インクジェットノズルに対するガラス基板の相対的位置情報と前記設定情報を基にインクジェットノズルのカラー材料の吐出を制御し、前記画素の１画素に対向する前記インクジェットノズルの数Ｎ、余剰ノズル数ｎ、前記インクジェットノズルの液滴１滴当たりの量Ｑ、前記相対的な移動方向での前記画素内吐出回数Ｍ、および前記１画素に塗布する前記カラー材料の量Ｖが数１の関係を有する方法である。 
【数１】
0005243954.tif 000002
【００１４】
請求項２のカラーフィルタ製造方法は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーとブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズルで前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、インクジェットヘッドバーの長手方向と平行な方向を同一色の画素の配列方向に設定し、インクジェットノズル毎のカラー材料の吐出／非吐出を予め設定しておき、インクジェットノズルに対するガラス基板の相対的位置情報と前記設定情報を基にインクジェットノズルのカラー材料の吐出を制御し、前記画素の１画素に対向する前記インクジェットノズルの数Ｎ、余剰ノズル数ｎ、前記インクジェットノズルの液滴１滴当たりの量Ｑ、前記相対的な移動方向での前記画素内吐出回数Ｍ、および前記１画素に塗布する前記カラー材料の量Ｖが数２の関係を有する方法である。 
【数２】
0005243954.tif 000003
【００１５】
請求項３のカラーフィルタ製造方法は、前記吐出／非吐出の設定を、ガラス基板の前記相対的な移動方向における座標に基づいて行う方法である。【００１８】
請求項４のカラーフィルタ製造方法は、前記吐出／非吐出の設定を、ガラス基板の前記画素の長手方向における座標に基づいて行う方法である。
【００１９】
請求項５のカラーフィルタ製造方法は、前記相対的な移動が終了する毎にインクジェットヘッドバー（５）を長手方向に移動させる方法であり、該長手方向の移動量は、長手方向の移動の前後におけるカラー材料の塗布領域が互いに重ならない移動量と画素の長手方向ピッチの整数倍とを加算した値である。 
【００２０】
請求項６のカラーフィルタ製造方法は、前記相対的な移動毎に、インクジェットノズル（５２）毎のカラー材料の吐出／非吐出の設定を変更する方法である。 
【００２１】
請求項７のカラーフィルタ製造装置は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーを支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板を吸着保持する吸着テーブルと、インクジェットヘッドバーとガラス基板とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる第１移動手段と、インクジェットヘッドバーとガラス基板とを、前記第１移動手段による移動方向と直交する方向に移動させる第２移動手段と、ガラス基板およびインクジェットノズルの位置情報を入力して位置情報データを記憶する第１記憶手段を含むカラーフィルタ製造装置において、
前記ガラス基板とインクジェットバーの相対位置を検出する検出手段と、検出した相対位置に基づきインクジェットノズル毎のカラー材料の吐出を制御する吐出制御手段とを含み、
前記インクジェットヘッドバーと前記ガラス基板とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズルでカラー材料を塗布する、前記ブラックマトリックスの画素の１画素に対向する前記インクジェットノズルの数Ｎ、余剰ノズル数ｎ、前記インクジェットノズルの液滴１滴当たりの量Ｑ、前記相対的な移動方向での前記画素内吐出回数Ｍ、および前記１画素に塗布する前記カラー材料の量Ｖが数３の関係を有するものである。
【数３】
0005243954.tif 000004
【００２２】
請求項８のカラーフィルタ製造装置は、インクジェットヘッドバーの、前記第１移動手段による移動方向と直交する方向における塗布領域を、ガラス基板の前記第１移動手段による移動方向と直交する方向における塗布領域よりも大きく設定したものである。 
【００２３】
請求項９のカラーフィルタ製造装置は、入力された相対的移動方向のガラス基板画素およびインクジェットノズルの位置情報から、ガラス基板とインクジェットヘッドバーの、前記第１移動手段による移動方向における相対位置毎の各インクジェットノズルのカラー材料の吐出／非吐出を演算／判断する第１演算手段と、第１演算手段による演算／判断結果を記憶する第２記憶手段をさらに含むものである。
【００２４】
請求項１０のカラーフィルタ製造装置は、入力された相対的移動方向のガラス基板画素およびインクジェットノズルの位置情報から、各インクジェットノズルの前記第１移動手段による移動方向と直交する方向におけるカラー材料の吐出／非吐出を演算／判断する第２演算手段と、第２演算手段による演算／判断結果を記憶する第３記憶手段をさらに含むものである。 
【発明の効果】
【００２５】
請求項１のカラーフィルタ製造方法は、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を所定の画素領域の塗布すべき箇所に塗布することができる。換言すれば、他のカラー材料を塗布すべき画素、画素の周囲のブラックマトリックスにカラー材料を塗布してしまうことを防止できる。また、吐出するインクジェットノズルの選択組み合わせを可能にすることができ、塗布むらを分散させることができる。
【００２６】
請求項２のカラーフィルタ製造方法は、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を所定の画素領域の塗布すべき箇所に塗布することができる。換言すれば、他のカラー材料を塗布すべき画素、画素の周囲のブラックマトリックスにカラー材料を塗布してしまう
ことを防止できる。また、吐出するインクジェットノズルの選択組み合わせを可能にすることができ、塗布むらを分散させることができる。
【００２７】
請求項３のカラーフィルタ製造方法は、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を、インクジェットヘッドバーとガラス基板との相対的移動方向における所定の画素領域の塗布方向画素幅のほぼ中央部に塗布することができる。【００２９】
請求項４のカラーフィルタ製造方法は、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を、画素領域のうち、インクジェットヘッドバーとガラス基板との相対的移動と直交する方向における所定位置に塗布することができる。換言すれば、隣り合う同一色の画素領域同士の境界、すなわち、ブラックマトリックスにカラー材料を塗布してしまうことを防止できる。 
【００３０】
請求項５のカラーフィルタ製造方法は、インクジェットノズルによるカラー材料の塗布位置を、画素領域を超えて変化させることにより、画素領域内への均一なカラー材料の塗布を達成することができ、しかも、画素領域とノズル孔との組み合わせを変えて、ノズル孔からの吐出ばらつきによる色むらを抑制することができる。 
【００３１】
請求項６のカラーフィルタ製造方法は、相対的な移動毎にインクジェットヘッドバーとガラス基板との相対的位置を変化させて、カラー材料を画素領域の所望の箇所に塗布することができる。 
【００３２】
請求項７のカラーフィルタ製造装置は、画面サイズに拘わらず、ガラス基板の大型化に拘わらず、インクジェットノズルから吐出されるカラー材料を画素領域の中央部に塗布することができる。また、吐出するインクジェットノズルの選択組み合わせを可能にすることができ、塗布むらを分散させることができる。
【００３３】
請求項８のカラーフィルタ製造装置は、インクジェットヘッドバーをガラス基板との相対的移動と直交する方向に移動させる場合であっても、全ての画素領域にカラー材料を塗布することができる。
【００３４】
請求項９のカラーフィルタ製造装置は、画面サイズに拘わらず、ガラス基板の大型化に拘わらず、塗布方向の所定の画素領域のみにカラー材料を塗布することができる。
【００３５】
請求項１０のカラーフィルタ製造装置は、画面サイズに拘わらず、ガラス基板の大型化に拘わらず、塗布方向と直交する方向の所定の非塗布領域を避けて、所定の画素領域のみにカラー材料を塗布することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付図面を参照して、本願発明のカラーフィルタ製造方法およびその装置の実施の形態を詳細に説明する。【００３７】
図１は本願発明のカラーフィルタ製造装置の一実施形態を示す斜視図である。【００３８】
このカラーフィルタ製造装置は、機台１上に吸着テーブル３、塗布ガントリー４、カメラガントリー６などを支承している。【００３９】
吸着テーブル３は、ガラス基板２を吸着保持するものであり、このガラス基板２の位置決めを達成するために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、θ方向に回転駆動されるとともに、Ｙ方向に駆動される。【００４０】
塗布ガントリー４は、インクジェットヘッドバー５を保持するものであり、ガラス基板２にカラー材料を塗布するために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、Ｘ方向に駆動される。また、ガラス基板２に対する相対位置を調整するために、インクジェットヘッドバー５は、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、Ｚ方向、Ｙ方向に駆動される。【００４１】
カメラガントリー６は、ガラス基板２のアラインメントのためのアラインメントカメラ７、８、およびガラス基板２の画素領域内のカラー材料の着弾痕を検出するためのスキャンカメラ９を保持するものであり、アラインメント、画素検出のために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、Ｘ方向に駆動される。また、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、アラインメントカメラ７、８、スキャンカメラ９をＹ方向に駆動する。【００４２】
アラインメントカメラ７、８はガラス基板２のマーク（図示せず）を検出するものであり、アラインメントカメラ７、８によるマーク検出結果に基づいて吸着テーブル３を回転させ、および／またはＹ方向に移動させることにより、ガラス基板２のアラインメントを達成することができる。【００４３】
なお、Ｘ、Ｙは、吸着テーブル３により吸着保持されたガラス基板２の上面と平行な平面を規定すべく設定された互いに直交する方向を表し、Ｚは、Ｘ、Ｙにより規定された平面と直交する方向を表している。【００４４】
図２はインクジェットヘッドバー５の構成を示す概略図である。【００４５】
このインクジェットヘッドバー５は、複数個のインクジェットヘッド５１を整列させてなるものであり、各インクジェットヘッド５１は、複数個のインクジェットノズル５２を整列させてなるものである。そして、複数個のインクジェットヘッド５１の整列は、全てのインクジェットノズル５２のＸ方向の間隔、Ｙ方向の間隔がそれぞれ所定の間隔となるように設定されている。【００４６】
なお、インクジェットノズル５２は、所定個数を単位として斜め方向に配列されているので、塗布ガントリー４をＸ方向に駆動しながら、インクジェットノズル５２を順次動作させることによって、Ｙ方向に直線的に整列させた状態でカラー材料を塗布することができる。【００４７】
図２に示すインクジェットヘッドバー５は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラー材料のいずれかを塗布するためのものであり、特には図示していないが、他のカラー材料を塗布するためのインクジェットヘッドバーも設けられている。【００４８】
ただし、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラー材料用のインクジェットヘッドバー５が一体的に並べられていてもよい。もちろん、１色のカラー材料を吐出するインクジェットヘッドバーのみが設けられていてもよい。【００４９】
図８はインクジェットノズル５２の配列の一例を示す図である。【００５０】
図８には、ノズル列、ノズル番号により定まるインクジェットノズルを示しており、ＰはＹ方向のインクジェットノズルピッチ、Ｌ１〜Ｌ５はインクジェットノズル列塗布方向間隔である。【００５１】
次いで、上記の構成のカラーフィルタ製造装置の作用を説明する。【００５２】
図６はカラーフィルタ製造処理を説明するフローチャートである。【００５３】
ステップＳＰ１において、図示しない搬入ロボットなどによる吸着テーブル３へのガラス基板２の搬入が行われた後に、ステップＳＰ２において、図示しない外形規制手段によって、ガラス基板２の概略の位置決めを達成する。そして、ステップＳＰ３において、吸着テーブル３によりガラス基板２を吸着し、その後、ステップＳＰ４において、カメラガントリー６を往動させ、ステップＳＰ５において、アラインメントカメラ７、８によりガラス基板２のアラインメントマークを検出し、Y方向、θ方向の位置決めを行うことによって、ガラス基板２のアラインメントを達成し、ステップＳＰ６において、カメラガントリー６を復動させる。【００５４】
次いで、ステップＳＰ７において、塗布ガントリー４を往動／復動させるとともに、Ｘ座標値を出力し、ステップＳＰ８において、Ｘ座標値に基づいて塗布が終端まで行われたか否かを判定する。【００５５】
また、この処理とは別に、ステップＳＰ１６において、インクジェットノズル５２の孔の位置情報（座標値）を入力し、ステップＳＰ１７において、ガラス基板２上の全画素の位置情報（座標値）を入力し、ステップＳＰ１８において、その他のパラメータ（例えば、カラー材料の吐出速度、相対的移動速度、制御系の遅れなどを考慮して定められるオフセット値）を入力する。そして、ステップＳＰ１９において、データテーブルの演算を行い、ステップＳＰ２０において、演算結果を吐出データテーブルに記憶しておく。【００５６】
図７は吐出データテーブルの一例を示す図であり、塗布走査回数、塗布方向画素番号、塗布方向画素位置、ノズル列、塗布ガントリーＸ座標値、全ノズルの吐出パターンが設定されている。なお、Ｘ０は初期移動量、ＰｇはＹ方向における画素ピッチ、Ｌ１〜Ｌｎはノズル列塗布方向間隔、ｍは塗布方向の画素の番号である。初期移動量Ｘ０、画素ピッチＰｇは、図３に示されている。図３は、赤（Ｒ）のカラー材料のみが塗布された状態を示しており、Ｘ方向の１番目の画素までの距離が初期移動量Ｘ０であり、Ｘ方向における赤（Ｒ）のカラー材料が塗布された画素の間隔が画素ピッチＰｇである。【００５７】
そして、ステップＳＰ８において塗布が終端までは行われていないと判定された場合には、ステップＳＰ１３において、塗布ガントリー４のＸ座標出力値と吐出データテーブルとを比較し、ステップＳＰ１４において、Ｘ座標値と吐出データとが一致しているか否かを判定し、一致していれば、ステップＳＰ１５において、インクジェットノズル５２を動作させてインクを吐出する。【００５８】
図５は上記の処理を説明する概略図である。【００５９】
塗布対象となる画素領域とＸ座標値が合致するインクジェットノズル５２を吐出のために動作させ、他のインクジェットノズル５２を動作させないようにすることによって、塗布対象となる画素領域にインクを塗布する。具体的には、インクジェットノズル５２をガラス基板２に対して相対的に移動させながらカラー材料を塗布しているので、カラー材料の吐出速度、相対的移動速度、制御系の遅れなどを考慮して定められるオフセット値を考慮して、吐出のためのインクジェットノズル５２を制御する。【００６０】
また、図４はＹ方向におけるインクジェットノズル５２の制御を説明する概略図である。なお、この処理はフローチャートには示されていないが、図７に示されている。
ガラス基板２におけるＸ方向に延びるブラックマトリックスの幅を表すＹ座標範囲に少なくとも一部がかかるインクジェットノズル５２を動作させないようにするとともに、塗布対象となる画素領域のＹ座標範囲に全体が入るインクジェットノズル５２を吐出のために動作させることによって、塗布対象となる画素領域にインクを塗布する。【００６１】
そして、ステップＳＰ１４においてＸ座標値と吐出データとが一致していないと判定された場合、またはステップＳＰ１５の処理が行われた場合には、再びステップＳＰ７の処理を行う。【００６２】
また、ステップＳＰ８において塗布が終端まで行われたと判定された場合には、ステップＳＰ９において、所定回数の塗布が行われたか否かを判定する。【００６３】
ステップＳＰ９において塗布回数が所定回数に達していないと判定された場合には、ステップ１２において、インクジェットヘッドバー５をＹ方向に移動させ、再びステップＳＰ７の処理を行う。なお、Ｙ方向の移動距離は、例えば、１つの画素領域に塗布したいカラー材料の液滴の数により定まる距離であってもよいが、この距離に対して、Ｙ方向の画素ピッチの整数倍を加算した距離であってもよい。後者の場合には、インクジェットノズルが異なる画素にインクを吐出することになるので、インクジェットノズル毎に着弾痕のサイズのばらつきがあっても、全体として平均化することができる。ここで、インクジェットヘッドバー５の塗布領域をガラス基板２の塗布領域よりも大きく設定しておけば、後者のようにインクジェットヘッドバー５を移動させても、問題なく全画素にカラー材料を塗布することができる。【００６４】
また、ステップＳＰ９において所定回数の塗布が行われたと判定された場合には、ステップＳＰ１０において、塗布処理を終了し、ステップＳＰ１１において、図示しない搬出ロボットなどによりガラス基板２を搬出し、そのまま一連の処理を終了する。【００６５】
以上を要約すれば、
吸着テーブル３へのガラス基板２の搬入が行われた後に、カメラガントリー６を往動させてガラス基板２のマークを検出し、検出結果に応じて吸着テーブル３を動作させることによって、ガラス基板２のアラインメントを達成する。その後、カメラガントリー６を復動させる。【００６６】
次いで、塗布ガントリー４を往動させて１回目の往路塗布を行う。【００６７】
その後、塗布ガントリー４をＹ方向に僅かに移動させた状態で復動させることによって１回目の復路塗布を行い、この間に、カメラガントリー６を往動させてスキャンカメラ９によりガラス基板２の画素領域内のカラー材料の着弾痕の検査を行い、その後、カメラガントリー６を復動させる。【００６８】
その後、塗布ガントリー４をＹ方向に僅かに移動させた状態で往動させることによって、２回目の往路塗布を行う。【００６９】
その後、塗布ガントリー４をＹ方向に僅かに移動させた状態で復動させることによって２回目の復路塗布を行う。【００７０】
その後、ガラス基板２の吸着保持を停止し、吸着テーブル３から搬出する。その後、上記の一連の処理を反復的に行うことによって、所望枚数のカラーフィルタを製造することができる。【００７１】
すなわち、一度のカラー材料の塗布を行った場合には、インクジェットノズル５２同士の間隔と等しい間隔でカラー材料が付着するので、カラー材料を連続的に塗布した状態にはならない。【００７２】
しかし、上記の一連の処理を行った場合には、Ｙ方向の位置を僅かに変化させて塗布を行うのであるから、最終的に、図３に示すように、ガラス基板２上に形成されたブラックマトリックス２１の該当する画素領域２２内にカラー材料２３を連続的に塗布することができる。【００７３】
以上の説明から分かるように、インクジェットヘッドバー５の相対的な移動を行わせながら、インクジェットノズル５２の動作タイミングを制御すればよいので、ガラス基板２上に形成されたブラックマトリックス２１の該当する画素領域２２内にカラー材料を確実に塗布することができる。【００７４】
例えば、インクジェットノズル５２のピッチが８０μｍであり、画素サイズが７０〜１００μｍ×２００〜３００μｍであり、ブラックマトリックスの幅が３０μｍであり、インクジェットノズル５２の吐出サイクルが１０kＨｚ以上である場合において、３００μｍ｛（７０μｍ＋３０μｍ）×３｝ピッチでカラー材料を塗布する場合には、相対的スキャン速度を２１０ｍｍ／ｓとすることによって、全てのインクジェットノズル５２を１０kＨｚで駆動してカラー材料の塗布を行うことができる。また、画素サイズが変わった場合には、スキャン速度を調整することによって容易に対処することができる。
さらに、インクジェットヘッドバー５の相対的な移動方向と直交する方向における画素サイズは２００〜３００μｍであり、インクジェットノズル５２から吐出されるカラー材料の液滴に対して十分に大きいマージンを確保することができる。また、インクジェットヘッドバー５の相対的な移動方向における画素サイズは７０〜１００μｍであり、インクジェットノズル５２から吐出されるカラー材料の液滴に対するマージンが小さくなるが、インクジェットノズル５２を動作させるタイミングを精度よく制御する。この結果、ガラス基板２上に形成されたブラックマトリックス２１の該当する画素領域２２内にカラー材料を確実に塗布することができる。【００７５】
以上には、塗布ガントリー４を吸着テーブル２に対してＸ方向に移動させるようにした実施形態を説明したが、塗布ガントリー４を固定し、吸着テーブル３を移動させるように構成することが可能である。【００７６】
また、吸着テーブル３の一辺をガラス基板２の長辺よりも大きく設定しておくことが好ましく、ガラス基板２の搬入状態に拘わらず、ガラス基板２を確実に吸着テーブル３に吸着させることができる。【００７７】
上記の実施形態において、１画素に対向するインクジェットノズル５２の数Ｎ、余剰ノズル数ｎ、インクジェットノズル５２の液滴１滴当たりの量Ｑ、前記相対的な移動方向での画素内吐出回数Ｍ、および１画素に塗布するカラー材料の量Ｖが数１の関係を有することが好ましい。【００７８】
さらに説明する。【００７９】
図９に画素領域と液滴との関係を概略的に示す。【００８０】
図において、画素内寸がａ、ｂで表され、画素内塗布領域がｃ、ｄで表され、相対的移動方向の液滴数（相対移動方向液滴数）がＭで表され、１画素に対向するインクジェットノズル５２の数（対向ノズル数、または対向ノズル液滴数）がＮで表されている。
また、１画素に対応するインクジェットノズル５２の総数は前記数Ｎよりも１以上多い数であり、この総数と前記数Ｎとの差が余剰ノズル数ｎである。したがって、１画素にカラー材料を塗布するためのインクジェットノズル５２の組み合わせの数ｉは、ｉ＝ＮＣＮ−ｎとなる。【００８１】
そして、カラー材料を画素に塗布するために使用される（吐出状態が選択される）インクジェットノズル５２の組み合わせを変化させることによって、塗布方向の塗布むらを分散させることができ、塗布むらを目立ちにくくすることができる。
実施例
ノズルの幅が２５４００μｍ、ノズル解像度が１４４０ｄｐｉ、ノズルピッチＰが２５４００／１４４０＝１７．６μｍ、画素サイズがａ＝３００μｍ、ｂ＝１００μｍ、塗布領域サイズがｃ＝２２０μｍ、ｄ＝２０μｍ、対向ノズル数がＮ＝ｃ／Ｐ＝２２０／１７．６≒１２、相対移動方向液滴数Ｍが１、画素内塗布量（画素内の充填量）Ｖが３００ｐｌ、液滴１滴当たりの量Ｑが４０ｐｌの条件で塗布テストを実施した。【００８２】
この条件下で、画素内塗布量を満足する余剰ノズル数ｎは、数１に具体的数値を代入することにより求めることができ、余剰ノズル数ｎは４以下となる。【００８３】
この結果、インクジェットノズル５２の組み合わせの数ｉは４９５となる。【００８４】
したがって、４９５通り以下の組み合わせ（例えば、５０通りの組み合わせ）のインクジェットノズル５２を使用して（吐出状態を選択して）カラー材料の塗布を行うことによって、塗布むらを分散させることができ、塗布むらを目立ちにくくすることができた。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本願発明のカラーフィルタ製造装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドバーの構成を示す概略図である。
【図３】Ｒ画素領域にカラー材料が塗布された状態を示す概略図である。
【図４】Ｙ方向におけるインクジェットノズルの制御を説明する概略図である。
【図５】Ｘ方向におけるインクジェットノズルの制御を説明する概略図である。
【図６】カラーフィルタ製造処理を説明するフローチャートである。
【図７】吐出データテーブルの一例を示す図である。
【図８】インクジェットノズルの配列の一例を示す図である。
【図９】画素領域と液滴との関係を概略的に示す図である。
【符号の説明】
【００８６】
２    ガラス基板
３    吸着テーブル
５    インクジェットヘッドバー
５１    インクジェットヘッド
５２    インクジェットノズル
【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図８】
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