(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に搬送される樹脂フィルムに、空気を吹き付けるエア噴出ノズルであって、
前記エア噴出ノズルは、前記樹脂フィルム表面と対向する面に噴出孔を複数設けてあり、
前記噴出孔の配列は、樹脂フィルム搬送方向に直交する方向の複数の噴出孔から形成される列が、樹脂フィルム搬送方向に４列以上でかつ偶数列となるｎ列配列であり、
前記ｎ列の孔列は、フィルム搬送方向上流側から１列目、２列目、以後３、４、・・・・・ｎ列目とし、２列目と３列目、４列目と５列目、・・・・・、ｎ−２列目とｎ−１列目の間隔が、１列目と２列目、３列目と４列目、・・・・・、ｎ−１列目とｎ列目の間隔より広いことを特徴とするエア噴出ノズル。
【請求項２】
前記全ての列において、樹脂フィルム搬送方向に直交する方向の噴出孔のピッチは一定（Ｐｙ）であり、
全ての列の孔を、全ての列と同一面上にあるフィルム搬送方向と直交する方向の１列（α）に投影したときの、列（α）における孔ピッチＴは、下記式（１）を満足し、
前記ｎ列の孔列は、１列目と２列目、３列目と４列目、・・・・・、ｎ−１列目とｎ列目という隣り合う２列を１対として、各対における２列が千鳥配列となっていることを特徴とする請求項１に記載のエア噴出ノズル。
Ｔ＝Ｐｙ／ｎ・・・・・・式（１）
【請求項３】
前記ｎ列配列が４列配列であることを特徴とする、請求項１または２に記載のエア噴出ノズル。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のエア噴出ノズルが、延伸ゾーン、熱固定ゾーン、及び冷却ゾーンから選ばれる少なくとも１つのゾーンに配置されたことを特徴とするテンターオーブン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂フィルムの加熱または冷却に用いるエア噴出ノズルおよびそれを用いたテンターオーブンに関する。
【背景技術】
【０００２】
二軸延伸ポリエステルフィルムなどの樹脂フィルムの製造方法としては、口金からシート状に吐出してキャストドラム上で冷却固化した未延伸フィルムを、縦延伸機で樹脂フィルムの搬送方向に延伸した後、テンターオーブン内で樹脂フィルムの幅方向に延伸する逐次二軸延伸法や、前記未延伸フィルムをテンターオーブン内で樹脂フィルムの搬送方向と樹脂フィルムの幅方向とに延伸する同時二軸延伸法などが知られている。
【０００３】
これらの製造方法に用いられるテンターオーブンは、樹脂フィルム表面と対向する面に空気の噴出孔を設けたエア噴出ノズルが、樹脂フィルムの搬送方向に複数配置されている。熱交換器によって所望の温度に制御された空気は、ファンによって各エア噴出ノズルに送り込まれ、噴出孔から樹脂フィルム表面に向かって吹き付けられる。吹き付けられた空気は、テンターオーブン内の吸引口から回収され、再使用される。
【０００４】
一般にテンターオーブンは、樹脂フィルムの搬送方向に予熱ゾーン、延伸ゾーン、熱固定ゾーンや冷却ゾーンなど複数のゾーンに区分されており、少なくとも各ゾーン毎に空気の温度を設定できるように構成される。クリップによって両端を把持されて搬送される樹脂フィルムは、予熱ゾーンで延伸に適した温度まで加熱され、延伸ゾーンで少なくとも幅方向に延伸された後、熱固定ゾーンや冷却ゾーンなどで熱処理や冷却処理される。エア噴出ノズルは、所望の温度に制御された空気を樹脂フィルム表面に吹き付けることで、空気と樹脂フィルムとの熱交換を促進し、樹脂フィルムを加熱または冷却するものである。
【０００５】
このようにして製造される樹脂フィルムの特性は、テンターオーブンの各ゾーンを通過する際に受ける熱履歴に影響される。したがって、幅方向に均一な特性を有する樹脂フィルムを得るためには、エア噴出ノズルから放出する空気と樹脂フィルムとの熱交換を幅方向に均一化することが重要である。そのためエア噴出ノズルには、樹脂フィルムに当たる空気の温度が幅方向に均一であることと、エア噴出ノズルの伝熱効率が幅方向に均一であることが要求される。
【０００６】
樹脂フィルム表面と対向する面に、樹脂フィルム幅方向に連続した噴出孔が設けられたエア噴出ノズルは、スリットノズルと呼ばれる。従来、空気の噴出速度および温度を樹脂フィルムの幅方向に均一化することを目的としたスリットノズルとして、対向流方式のダクトを有するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、スリットノズルには、噴流の進行方向が曲がりやすいという問題がある。噴流の進行方向が曲がると、設定温度の異なるゾーンが隣接する部分で異なる温度の空気が混ざり、樹脂フィルム幅方向に大きな幅方向の温度ムラを生じ、幅方向に均一な特性を有する樹脂フィルムを得るのは困難であった。樹脂フィルムを製造する上で、特に熱固定ゾーンや冷却ゾーンでの幅方向の温度差は、厚みムラを悪化させるので大きな問題であった。
【０００７】
本発明者らの知見によると、上記噴流の進行方向が曲がりやすいという問題は、樹脂フィルムの幅方向に噴出孔を不連続に配置することで改善される。これは、樹脂フィルムの幅方向に噴流を細かく分割し、噴流と噴流の間にエア噴出ノズル前後の空間が導通した部分を形成すると、エア噴出ノズル前後の圧力差が緩和されるためと考えられる。このようなエア噴出ノズルとしては、樹脂フィルム表面と対向する面に円形の噴出孔が複数設けられたホールノズルがある。しかしながら、樹脂フィルムの幅方向に噴出孔を不連続に配置すると、樹脂フィルム表面の伝熱率が幅方向に不均一となるため、伝熱効率の均一性が悪化するという問題がある。
【０００８】
従来のホールノズルとしては、樹脂フィルム表面の伝熱率を大きくすることを目的に、噴出孔と樹脂フィルムとの距離が噴出孔直径の４〜６倍で、噴出孔の配列を樹脂フィルム搬送方向に６列の千鳥配列としたものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。しかしながら、これだけでは熱履歴が幅方向に不均一なので、均一な性質を有する樹脂フィルムを得るのは困難であった。樹脂フィルムを製造する上で、熱固定ゾーンや冷却ゾーンでの熱履歴の差は、厚みムラを悪化させ、かつ、製品の熱収縮率を左右するので幅方向の差は大きな問題であった。
【特許文献１】特許第１６３４９１５号公報
【特許文献２】実用新案登録第２５２８６６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、樹脂フィルム幅方向の伝熱効率と熱履歴との均一性が良好で、テンターオーブンに用いて好適なエア噴出ノズルを提供することにある。本発明の目的の他の一つは、本発明のエア噴出ノズルを用いた樹脂フィルムの幅方向における伝熱効率と熱履歴との均一性が良好なテンターオーブンを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を達成するため、本発明は以下の構成を採用する。すなわち、
１）一方向に搬送される樹脂フィルムに、空気を吹き付けるエア噴出ノズルであって、
前記エア噴出ノズルは、前記樹脂フィルム表面と対向する面に噴出孔を複数設けてあり、
前記噴出孔の配列は、樹脂フィルム搬送方向に直交する方向の複数の噴出孔から形成される列が、樹脂フィルム搬送方向に４列以上でかつ偶数列となるｎ列配列であり、
前記ｎ列の孔列は、フィルム搬送方向上流側から１列目、２列目以後３、４、・・・・・ｎ列目とし、２列目と３列目、４列目と５列目、・・・・・、ｎ−２列目とｎ−１列目の間隔が、１列目と２列目、３列目と４列目、・・・・・、ｎ−１列目とｎ列目の間隔より広いことを特徴とするエア噴出ノズル。
【００１１】
２）全ての列において、樹脂フィルム搬送方向に直交する方向の噴出孔のピッチは一定（Ｐｙ）であり、
全ての列の孔を、全ての列と同一面上にあるフィルム搬送方向と直交する方向の１列（α）に投影したときの、列（α）における孔ピッチＴは、下記式（１）を満足し、
前記ｎ列の孔列は、１列目と２列目、３列目と４列目、・・・・・、ｎ−１列目とｎ列目という隣り合う２列を１対として、各対における２列が千鳥配列となっていることを特徴とする前記１）に記載のエア噴出ノズル。
【００１２】
Ｔ＝Ｐｙ／ｎ・・・・・・式（１）  
３）前記ｎ列配列が４列配列であることを特徴とする、前記１）または２）に記載のエア噴出ノズル。
【００１３】
４）前記１）〜３）のいずれかに記載のエア噴出ノズルが、延伸ゾーン、熱固定ゾーン、及び冷却ゾーンから選ばれる少なくとも１つのゾーンに配置されたことを特徴とするテンターオーブン。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、以下に説明するとおり、噴流の噴き出し方向の安定性に優れ、樹脂フィルム表面の伝熱率を幅方向に均一にすることができるテンターオーブンに用いた場合に好適なエア噴出ノズルを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明におけるエア噴出ノズルを用いた樹脂フィルムの製造工程としては、溶融製膜法もしくは溶液製膜法によってシート状に成形した一方向に搬送される樹脂フィルムを、少なくとも熱固定ゾーンにおいて、本発明におけるエア噴出ノズルを配置したテンター装置に通す製造工程が好ましい。また、本発明のエア噴出ノズルは、延伸ゾーン、熱固定ゾーン、冷却ゾーンなどの少なくとも一つのゾーンに配置されることも好ましい態様である。また、該テンター装置では、少なくとも幅方向に延伸する製造工程を含むことが好ましい。
【００１７】
以下に、本発明の最良の実施形態を、溶融製膜法による二軸延伸樹脂フィルムの製造工程に適用した場合を例にとって、図面を参照しながら説明する。
【００１８】
図８は逐次二軸延伸法による樹脂フィルム３１の製造工程の一形態を示す概略図である。
【００１９】
逐次二軸延伸法による樹脂フィルム３１の製造工程は、図８に示すように、押出機９１、口金９２、キャストドラム９３、縦延伸機９４、テンターオーブン９５、巻取りロール９６からなり、樹脂ポリマーを押出機９１で溶融して押し出し、口金９２のスリット間隙からシート状に吐出し、キャストドラム９３で冷却固化して得られる未延伸の樹脂フィルム３１を、縦延伸機９４で搬送方向に延伸して一軸延伸の樹脂フィルム３１とし、該一軸延伸の樹脂フィルム３１をテンターオーブン９５で樹脂フィルム３１幅方向に延伸して二軸延伸の樹脂フィルム３１とし、該二軸延伸の樹脂フィルム３１を巻取りロール９６によって連続的に巻き取るものである。上記の工程中において、樹脂フィルム３１表面に塗液を塗布する際は、テンターオーブン９５の直前に塗布装置（図示せず）を設置しても良い。ここでは逐次二軸延伸法における例を示したが、同時二軸延伸法においては縦延伸機９４を用いず、キャストドラム９３で冷却固化して得られる未延伸の樹脂フィルム３１を、テンターオーブン９５で樹脂フィルム３１の搬送方向と樹脂フィルム３１の幅方向とに同時延伸して二軸延伸の樹脂フィルム３１とする方法であってもよい。なお、本発明でいう搬送方向とは、図８の製造工程において、押出機９１から巻取りロール９６に向かう方向を示す。
【００２０】
図９はテンターオーブン９５の一形態を示す平面図（上面図）である。図９に示すように、テンターオーブン９５は、相対して配置されたレール７１、７２と、レール７１または７２に沿って走行する複数のクリップ７３と、所望の温度に制御された空気を循環するテンターオーブン９５を有する。
【００２１】
クリップ７３は、テンターオーブン９５の入口で樹脂フィルム３１の両端を把持し、テンターオーブン９５内を通過し、テンターオーブン９５の出口で樹脂フィルム３１を解放する。
【００２２】
テンターオーブン９５は、樹脂フィルム３１搬送方向の上流側から下流側に、予熱ゾーン１０１、延伸ゾーン１０２、熱固定ゾーン１０３、冷却ゾーン１０４に区分されており、少なくとも各ゾーン毎に空気の温度が設定できるように構成されている。これら各ゾーンは、樹脂フィルム３１の搬送方向に、複数の室に区分され、各室毎に空気の温度が設定できるように構成されていても良い。つまり、テンターオーブン９５は、例えば予熱ゾーン１０１として３室有し、延伸ゾーン１０２として４室有し、熱固定ゾーン１０３として２室有し、冷却ゾーン１０４として１室有し、などとすることが可能であり、さらに各ゾーン内の各室の温度を独立に設定することも可能である。
【００２３】
また、各ゾーンの温度範囲は、例えば、樹脂フィルム３１がポリエステルフィルムの場合、空気の温度は、予熱ゾーン８０〜１４０℃、延伸ゾーン８０〜２００℃、熱固定ゾーン１５０〜２４０℃、冷却ゾーン５０〜２００℃に設定することができる。
【００２４】
レール７１、７２は、延伸ゾーン１０２内において、レール７１とレール７２の相対距離が徐々に広がるように配置されることで、樹脂フィルム３１を幅方向に延伸することができる。また必要に応じ、熱固定ゾーン内や冷却ゾーン内に、レール７１とレール７２の相対距離が徐々に狭くなる区間を設けることで、樹脂フィルム３１を幅方向に弛緩処理することもできる。
【００２５】
なお、同時二軸延伸法による樹脂フィルム３１の製造工程では、テンターオーブン９５の延伸ゾーン１０２内で各クリップ７３の間隔を徐々に広げることで、樹脂フィルム３１を搬送方向にも延伸することができる。
【００２６】
図５は図９中のＩ−Ｉ矢視図であり、図６は図５中のＩＩ−ＩＩ矢視図である。図５、図６に示すように、テンターオーブン９５は、樹脂フィルム３１の搬送方向に複数のエア噴出ノズル１を有する。エア噴出ノズル１は、樹脂フィルム３１の上側と下側とに、樹脂フィルム３１の幅方向に延在するように配置される。熱交換器５２によって所望の温度に制御された空気は、ファン５３によって供給ダクト５５を介して各エア噴出ノズル１に送り込まれ、エア噴出ノズル１の樹脂フィルム３１表面と対向する面に設けられた噴出孔２から放出される。放出された空気は、テンターオーブン９５内の吸引口５４から回収ダクト５６を介して回収されることで、テンターオーブン９５内を循環する。なお図５、図６は、テンターオーブン９５の熱固定ゾーンを示すものであるが、上述したように本発明のエア噴出ノズル１は、熱固定ゾーンに限らず延伸ゾーン、冷却ゾーンにも用いることができる。
【００２７】
エア噴出ノズル１は、所望の温度に制御された空気を、一方向に搬送される樹脂フィルム３１の表面に吹き付けることで、空気と樹脂フィルム３１との熱交換を促進する働きがある。すなわち、樹脂フィルム３１は、エア噴出ノズル１が吹き付ける空気の温度より樹脂フィルム３１の温度が低い場合には加熱され、エア噴出ノズル１が吹き付ける空気の温度より樹脂フィルム３１の温度が高い場合には冷却され、エア噴出ノズル１が吹き付ける空気の温度と樹脂フィルム３１の温度が等しい場合には保温される。また、テンターオーブン９５の直前で樹脂フィルム３１の表面に塗液を塗布する場合には、該塗布膜はエア噴出ノズル１から吹き付ける空気との熱交換によって乾燥または硬化される。
【００２８】
図１、図２は一方向に搬送される樹脂フィルムに空気を吹付ける本発明のエア噴出ノズル１の一形態を示す図であり、エア噴出ノズル１の樹脂フィルム３１表面と対向する面を示す平面図である。エア噴出ノズル１は、エア噴出ノズル１が樹脂フィルム３１表面と対向する面に、直径Ｄ（ｍｍ）の円形の噴出孔２を複数設けてある。なお、噴出孔２の形状は、幾何学的に円に近いほど好ましいが、必ずしも真円である必要はない。
【００２９】
噴出孔２の配列は、樹脂フィルム搬送方向に直交する方向の複数の噴出孔から形成される列が、樹脂フィルム３１の搬送方向に４列以上でかつ偶数列となるｎ列配列である。
【００３０】
本発明でいう直交とは、９０度から１度でも外れれば直交ではないという訳ではなく、外観上で直交に見える範囲であれば良く、許容範囲として９０度±７度の範囲が好ましい。さらに９０度±２度の範囲であれば、より好ましい。
【００３１】
そしてｎ列の孔列は、１列目と２列目、３列目と４列目、・・・・・、ｎ−１列目とｎ列目という隣り合う２列を１対として、各対における２列が千鳥配列であることが好ましい。
【００３２】
また、全ての列において、樹脂フィルム搬送方向に直交する方向の噴出孔２のピッチは一定（Ｐｙ）であることが好ましい。
【００３３】
樹脂フィルム搬送方向に直交する方向の噴出孔２のピッチが一定（Ｐｙ）とは、１μｍでも異なれば一定では無いと言うわけではなく、ほぼ一定であればよく、許容範囲として±１０％の範囲が好ましい。更に±２％の範囲が、より好ましい。
【００３４】
なおここで千鳥配列は、例えば図１のように各対となった２列における搬送方向と直交する方向における噴出孔２の中心の間隔が（Ｐｙ）／２であることが好ましい（図１の直線３ａの噴出孔２の中心と直線３ｂの噴出孔２の中心の、搬送方向と直交する方向における間隔が（Ｐｙ）／２であり、直線３ｃの噴出孔２の中心と直線３ｄの噴出孔２の中心の、搬送方向と直交する方向における間隔が（Ｐｙ）／２であることが好ましい）。
【００３５】
図１はエア噴出ノズル１の孔列数ｎがｎ＝４の場合を示す。図１のＰab（ｍｍ）・Ｐbc（ｍｍ）・Ｐcd（ｍｍ）は、図示しない樹脂フィルム３１の幅方向に配列されている複数の噴出孔２の中心を通る直線３ａと３ｂ、直線３ｂと３ｃ、直線３ｃと３ｄとの間隔である。ここで、一方向に搬送される樹脂フィルム３１の搬送方向の上流側を第１列とし、搬送方向の下流側の列を第２列、第３列、第４列としたとき、第１列と第２列、第３列と第４列がそれぞれ対になっており、この対の２列は噴出孔２が搬送方向と直交する方向にＰｙ／２ずれた千鳥配置となっている。図１のＰｙ（ｍｍ）は、樹脂フィルム３１の幅方向に配列されている噴出孔２の搬送方向と直交する方向における噴出孔２の中心の間隔である。
【００３６】
噴出孔２の千鳥配列は、図１のように第１列（直線３ａ）の噴出孔２の中心と、第２列（直線３ｂ）の噴出孔２の中心とが樹脂フィルム３１の幅方向にＰｙ／２ずらして配置したものである。
【００３７】
本発明のエア噴出ノズル１は、ｎ列の孔列をフィルム搬送方向上流側から１列目、２列目以後３、４、・・・・・ｎ列目とした時、２列目と３列目、４列目と５列目、・・・・・、ｎ−２列目とｎ−１列目の間隔が、１列目と２列目、３列目と４列目、・・・・・、ｎ−１列目とｎ列目の間隔より広いことが特徴である。
【００３８】
そのため図１の間隔Ｐab（ｍｍ）・Ｐbc（ｍｍ）・Ｐcd（ｍｍ）において、Ｐbc（ｍｍ）は、Ｐab（ｍｍ）およびＰcd（ｍｍ）より広い。Ｐbc（ｍｍ）は、Ｐab（ｍｍ）またはＰcd（ｍｍ）の１．１倍より広いことが好ましい。更にＰbc（ｍｍ）は、Ｐab（ｍｍ）またはＰcd（ｍｍ）の１．２倍より広いことが最も好ましいが、無限に広ければ良い訳ではなく、エア噴出ノズル１のフィルム搬送方向の大きさが大きくなりすぎるので、Ｐbc（ｍｍ）はＰab（ｍｍ）またはＰcd（ｍｍ）の２倍程度までが現実的な範囲である。また、間隔Ｐab（ｍｍ）とＰcd（ｍｍ）は等しいことが好ましい。
【００３９】
また本発明では、直線３ａと３ｂとの噴出孔２の配置が千鳥配置となり、直線３ｃと３ｄとの噴出孔２の配置も千鳥配置となることが好ましいことは上述の通りであるが、図１のように第２列（直線３ｂ）の噴出孔２の中心と第３列（直線３ｃ）の噴出孔２の中心とがＰｙ／４ずらして配置してあることが好ましい。
【００４０】
つまり本発明のエア噴出ノズル１は、全ての列の噴出孔２を、全ての列と同一面上にあるフィルム搬送方向と直交する方向の１列（α）に投影したときの、列（α）における孔ピッチＴが、下記式（１）を満足することが好ましい。
【００４１】
Ｔ＝Ｐｙ／ｎ・・・・・・式（１）
仮想直線３αは直線３a〜３dと同一面上にあるフィルム搬送方向と直交する方向に並行な仮想直線である。この仮想直線３αに、直線３a〜３dの全ての噴出孔２の中心位置を投影した時に、噴出孔２の樹脂フィルム３１の搬送方向に直交する方向のピッチＴは、Ｔ＝Ｐｙ／ｎ（この場合ｎ＝４）となる。
【００４２】
図２はエア噴出ノズル１の孔列数ｎがｎ＝６の場合を示す。図２のＰab（ｍｍ）・Ｐbc（ｍｍ）・Ｐcd（ｍｍ）・Ｐde（ｍｍ）・Ｐef（ｍｍ）は、図示しない樹脂フィルム３１の幅方向に配列されている複数列の噴出孔２の中心を通る直線３aと３b、直線３bと３c、直線３cと３d、直線３dと３e、直線３eと３f、との間隔である。ここで、一方向に搬送される樹脂フィルム３１の搬送方向の上流側を第１列とし、搬送方向の下流側の列を第２列、第３列、第４列、第５列、第６列、とし、第１列と第２列、第３列と第４列、第５列と第６列、がそれぞれ対になっており、この対の２列は噴出孔２が搬送方向と直交する方向にＰｙ／２ずれた千鳥配置となっている。
【００４３】
図２のＰｙ（ｍｍ）は、樹脂フィルム３１の幅方向に配列されている各列の噴出孔２の中心の間隔である。
【００４４】
噴出孔２の千鳥配列は、図２のように第１列（直線３ａ）の噴出孔２の中心と、第２列（直線３ｂ）の噴出孔２の中心とが樹脂フィルム３１の幅方向にＰｙ／２ずらして配置したものである。第３列（直線３ｃ）の噴出孔２の中心と、第４列（直線３ｄ）の噴出孔２の中心とが樹脂フィルム３１の幅方向にＰｙ／２ずらして配置したものである。同様に第５列（直線３ｅ）の噴出孔２の中心と、第６列（直線３ｆ）の噴出孔２の中心とが樹脂フィルム３１の幅方向にＰｙ／２ずらして配置したものである。
【００４５】
間隔Ｐab（ｍｍ）・Ｐbc（ｍｍ）・Ｐcd（ｍｍ）・Ｐde（ｍｍ）・Ｐef（ｍｍ）において、Ｐbc（ｍｍ）は、Ｐab（ｍｍ）およびＰcd（ｍｍ）より広い。Ｐbc（ｍｍ）は、Ｐab（ｍｍ）またはＰcd（ｍｍ）の１．１倍より広いことが好ましい。更にＰbc（ｍｍ）は、Ｐab（ｍｍ）またはＰcd（ｍｍ）の１．２倍より広いことが最も好ましいが、無限に広ければ良い訳ではなく、Ｐbc（ｍｍ）はエア噴出ノズル１の大きさから、Ｐab（ｍｍ）またはＰcd（ｍｍ）の２倍程度までが現実的な範囲である。同じように、Ｐde（ｍｍ）は、Ｐcd（ｍｍ）およびＰef（ｍｍ）より広い。Ｐde（ｍｍ）は、Ｐcd（ｍｍ）またはＰef（ｍｍ）の１．１倍より広いことが好ましい。更にＰde（ｍｍ）は、Ｐcd（ｍｍ）またはＰef（ｍｍ）の１．２倍より広いことが最も好ましいが、無限に広ければ良い訳ではなく、Ｐde（ｍｍ）はエア噴出ノズル１の大きさから、Ｐcd（ｍｍ）またはＰef（ｍｍ）の２倍程度までが現実的な範囲である。ＰbcとＰdeは等しくても良いが、どちらか一方が広くても良い。なおＰbc（ｍｍ）は、Ｐef（ｍｍ）よりも大きいことが好ましい。同様に、Ｐde（ｍｍ）は、Ｐab（ｍｍ）よりも大きいことが好ましい。
【００４６】
また、間隔Ｐab（ｍｍ）とＰcd（ｍｍ）とＰef（ｍｍ）は等しいことが好ましい。
【００４７】
直線３aと３bとの噴出孔２の配置が千鳥配置となり、直線３ｃと３ｄとの噴出孔２の配置も千鳥配置となり、直線３eと３fとの噴出孔２の配置が千鳥配置となり、第２列（直線３ｂ）の噴出孔２の中心と第３列（直線３ｃ）の噴出孔２の中心とがずらして配置してあり、第４列（直線３d）の噴出孔２の中心と第５列（直線３e）の噴出孔２の中心ともずらして配置してある。
【００４８】
仮想直線３αは直線３a〜３fと同一面上にあるフィルム搬送方向と直交する方向に並行な仮想直線である。この仮想直線３αに、直線３a〜３fの全ての噴出孔２の中心位置を投影した時に、噴出孔２の樹脂フィルム３１の搬送方向に直交する方向のピッチＴは、Ｔ＝Ｐｙ／ｎ（この場合ｎ＝６）となる。
【００４９】
すなわち、本発明においては、一方向に搬送される樹脂フィルム３１に、空気を吹き付けるエア噴出ノズル１であって、前記エア噴出ノズル１は、前記樹脂フィルム３１表面と対向する面に噴出孔２を複数設けてあり、前記噴出孔２の配列は、樹脂フィルム搬送方向に直交する方向の複数の噴出孔２から形成される列が、樹脂フィルム搬送方向に４列以上でかつ偶数列となるｎ列配列であり、前記ｎ列の孔列は、フィルム搬送方向上流側から１列目、２列目以後３、４、・・・・・ｎ列目とし、２列目と３列目、４列目と５列目、・・・・・、ｎ−２列目とｎ−１列目の間隔が、１列目と２列目、３列目と４列目、・・・・・、ｎ−１列目とｎ列目の間隔より広いことを特徴とするエア噴出ノズル１である。そして好ましくは、前記全ての列において、樹脂フィルム搬送方向に直交する方向の噴出孔２のピッチは一定（Ｐｙ）であり、全ての列の孔を、全ての列と同一面上にあるフィルム搬送方向と直交する方向の１列（α）に投影したときの、列（α）における孔ピッチＴは、下記式（１）を満足し、前記ｎ列の孔列は、１列目と２列目、３列目と４列目、・・・・・、ｎ−１列目とｎ列目という隣り合う２列を１対として、各対における２列が千鳥配列となっていることを特徴とする前記エア噴出ノズル１である。
【００５０】
Ｔ＝Ｐｙ／ｎ・・・・・・式（１）
この式（１）の意味するものは、この式（１）より算出されるずらし距離Ｔについて１μｍでも外れればこの式の範囲外という訳ではなく、この式（１）より算出されるずらし距離Ｔ付近にあればよく、許容範囲としては±２０％が好ましい。この式より算出されるずらし距離Ｔに対して±１０％の範囲であればより好ましい。
【００５１】
また、前記ｎ列の孔列は、フィルム搬送方向上流側から１列目、２列目以後３、４、・・・・・・、ｎ−１、ｎ列目としたとき、ｎ列の孔列とは４列以上の偶数列であれば特に限定するものではないが、無限に多くても好ましい訳ではない。装置の構造上適正な範囲が考えられる。４列、６列であればエア噴出ノズル１は最適な大きさである。８列、１０列になると少し大きなエア噴出ノズル１となる。１０列、１２列になるとかなり大きなエア噴出ノズル１となる。エア噴出ノズル１が大型になると製作、取り扱いが困難になることはもとよりエア噴出ノズル１から出たエアが吸引口５４に吸引されにくくなってしまいよどみが出来てしまうという問題が発生する。１４列以上は特殊な場合のみに有効となるので、一般的には１２列以下が好ましい。更に４列であれば最も好ましく、その理由は、図５に示すとおり、エア噴出ノズル１の樹脂フィルム３１表面と対向する面に設けられた噴出孔２から放出された空気は、各エア噴出ノズル１の間隙を通り吸引口５４から回収ダクト５６を介して回収されるので、各エア噴出ノズル１は所定の間隙で複数本配置してあることが好ましく、噴出孔２から放出された空気が回収ダクト５６に回収されるための間隙を確保するためには、各エア噴出ノズル１の孔列は４列であることが好ましい。
【００５２】
図３、図４は従来技術のエア噴出ノズル１の一形態を示す図であり、エア噴出ノズル１の樹脂フィルム３１表面と対向する面を示す平面図である。エア噴出ノズル１は、エア噴出ノズル１が樹脂フィルム３１表面と対向する面に、直径Ｄ（ｍｍ）の円形の噴出孔２を複数設けてある。
【００５３】
図３のＰｘは、図示しない樹脂フィルム３１の幅方向に配列されている複数の噴出孔２の中心を通る直線３ａと３ｂ、直線３ｂと３ｃ、直線３ｃと３ｄとの間隔である。つまり、４列の間隔が一定のＰｘである。ここで、一方向に搬送される樹脂フィルム３１の搬送方向の上流側を第１列とし、搬送方向の下流側の列を第２列、第３列、第４列とする。図３のＰｙ（ｍｍ）は、樹脂フィルム３１の幅方向に配列されている各列の噴出孔２の中心の間隔である。第２列は第１列に対してＰｙ／４ずらして配置してあり、第３列は第２列に対してＰｙ／４ずらして配置してあり、第４列は第３列に対してＰｙ／４ずらして配置してある。この場合、例えば直線３a上の任意の噴出孔２を選び孔２a-1とする。孔２a-1に近い直線３b上の噴出孔２を２個選び孔２b-1と孔２b-2とする。孔２a-1と孔２b-1との中心間距離を間隔ab-1とする。孔２a-1と孔２b-2との中心間距離を間隔ab-2とする。間隔ab-1と間隔ab-2とは、間隔ab-1の方が狭く、間隔ab-2の方が広くなる。このため中心間距離の狭い方の２個の噴出孔２から噴出される噴流が樹脂フィルム３１の到達する前に合流してしまい、樹脂フィルム３１への伝熱効率が樹脂フィルム３１の幅方向で不均一になるという問題が発生する。また、必ずしも合流状態で安定する訳では無く、合流−分離を繰り返すことで噴流が否定常に揺れて、空気の流が不安定になることもある。また、直線３b上の任意の噴出孔２を孔２b-1とする。孔２b-1に近い直線３c上の噴出孔２を２個選び孔２c-1と孔２c-2とする。孔２b-1と孔２c-1との中心間距離を間隔bc-1とする。孔２b-1と孔２c-2との中心間距離を間隔bc-2とする。間隔bc-1と間隔bc-2とは、間隔bc-1の方が狭く、間隔bc-2の方が広くなる。また、直線３c上の任意の噴出孔２を孔２c-1とする。孔２c-1に近い直線３d上の噴出孔２を２個選び孔２d-1と孔２d-2とする。孔２c-1と孔２d-1との中心間距離を間隔cd-1とする。孔２c-1と孔２d-2との中心間距離を間隔cd-2とする。間隔cd-1と間隔cd-2とは、間隔cd-1の方が狭く、間隔cd-2の方が広くなる。同じ位置関係がエア噴出ノズル１全体にいえるのでエア噴出ノズル１全体が不安定なる。
【００５４】
図４は図３を改良したものである。
【００５５】
図４のＰｘは、図示しない樹脂フィルム３１の幅方向に配列されている複数の噴出孔２の中心を通る直線３ａと３ｂ、直線３ｂと３ｃ、直線３ｃと３ｄとの間隔である。つまり、４列の間隔が一定のＰｘである。ここで、一方向に搬送される樹脂フィルム３１の搬送方向の上流側を第１列とし、搬送方向の下流側の列を第２列、第３列、第４列とする。図４のＰｙ（ｍｍ）は、樹脂フィルム３１の幅方向に配列されている各列の噴出孔２の中心の間隔である。第２列は第１列に対してＰｙ／２ずらして配置してあり、第３列は第２列に対してＰｙ／４ずらして配置してあり、第４列は第３列に対してＰｙ／２ずらして配置してあり、第１列と第２列および第３列と第４列は千鳥配置の関係にある。この場合、例えば直線３a上の任意の噴出孔２を選び孔２a-1とする。孔２a-1に近い直線３b上の噴出孔２を２個選び孔２b-1と孔２b-2とする。孔２a-1と孔２b-1との中心間距離を間隔ab-1とする。孔２a-1と孔２b-2との中心間距離を間隔ab-2とする。間隔ab-1と間隔ab-2とは等しい。３つの噴出孔２から噴出される噴流は安定状態にある。しかし、直線３b上の任意の噴出孔２を孔２b-2とする。孔２b-2に近い直線３c上の噴出孔２を２個選び孔２c-1と孔２c-2とする。孔２b-1と孔２c-1との中心間距離を間隔bc-1とする。孔２b-1と孔２c-2との中心間距離を間隔bc-2とする。間隔bc-1と間隔bc-2とは、間隔bc-1の方が広く、間隔bc-2の方が狭くなる。このため中心間距離の狭い方の２個の噴出孔２から噴出される噴流が樹脂フィルム３１の到達する前に合流してしまい、樹脂フィルム３１への伝熱効率が樹脂フィルム３１の幅方向で不均一になるという問題が発生する。また、必ずしも合流状態で安定する訳では無く、合流−分離を繰り返すことで噴流が否定常に揺れて、空気の流が不安定になることもある。また、直線３c上の任意の噴出孔２を孔２c-1とする。孔２c-1に近い直線３d上の噴出孔２を２個選び孔２d-1と孔２d-2とする。孔２c-1と孔２d-1との中心間距離を間隔cd-1とする。孔２c-1と孔２d-2との中心間距離を間隔cd-2とする。間隔cd-1と間隔cd-2とは等しい。図４に示すエア噴出ノズル１の場合は、図３に示すエア噴出ノズル１よりも改善されるが、エア噴出ノズル１中央部が不安定なる。
【００５６】
このような従来ノズルの問題に対して、２列目と３列目、４列目と５列目・・・・・、ｎ−２列目とｎ−１列目の間隔を、１列目と２列目、３列目と４列目、・・・・・、ｎ−１列目とｎ列目の間隔より広くすることで、２列目、４列目、・・・・ｎ−２列目の偶数列の噴出孔２と、３列目、５列目・・・・・ｎ−１列目の奇数列の噴出孔２とが近くなることを防ぐことができる。これにより噴流が不安定になることを防ぐ。さらに１列目と２列目、３列目と４列目、・・・・・ｎ−１列目とｎ列目を対として、それぞれの対が千鳥配置とすることにより、１列目の１個の任意の噴出孔２と、１列目の１個の任意の噴出孔２に近い２列目上の２個の噴出孔２との位置関係は、２等辺三角形となる。これにより、この３個の噴出孔２から出る噴流がお互いに支え合い安定した噴流となる。
【００５７】
図１０は本発明のエア噴出ノズル１において、数値解析によって求めた樹脂フィルム３１表面（図示しない）の伝熱率分布３３の一例である。
【００５８】
解析は、市販の汎用熱流体解析ソフトウェアである「ＳＴＡＲ−ＣＤ」（株式会社シー・ディー・アダプコ・ジャパン製）を用い、非定常計算を行った。乱流の取り扱いにはｋ−ε乱流モデルを用い、壁近傍の乱流境界層の取り扱いには壁法則を用いた。
【００５９】
上記のソフトウェアは、流体の運動方程式であるナヴィエ・ストークス方程式を有限体積法により解析するものである。もちろん、同様の解析ができるものであればどのような熱流体解析ソフトウェアを用いてもよい。
【００６０】
伝熱率分布３３は、噴出孔２の中心位置で最も大きく、噴出孔２の中心位置から離れるほど小さくなっている。図１０は非定常解析作業のうち初期状態から２０秒経過後の伝熱率分布であるが、計算時間がさらに経過しても安定している。
【００６１】
図１１、図１２は従来技術のエア噴出ノズル１において、数値解析によって求めた樹脂フィルム３１表面（図示しない）の伝熱率分布３３の一例である。図１１は図３に示す従来技術のエア噴出ノズル１解析結果である。図１２は図４に示す従来技術のエア噴出ノズル１解析結果である。
【００６２】
伝熱率分布３３は、噴出孔２の中心位置で最も大きくなっている部分もあるがそうでない部分もある。これは噴出孔２から出た２本の噴流が樹脂フィルム３１に衝突する前に合流してしまったものである。常に合流している訳ではなく、合流−分離を繰り返したり、別の噴流と合流したりする。よって図１１、図１２はある瞬間の一例であるが、時間が経過しても安定していない。このような場合は、樹脂フィルム３１への伝熱効率が幅方向で不均一になり問題である。
【００６３】
図１３、図１４は巻き取りロール９６で巻き取った樹脂フィルム３１の幅方向の厚み分布を測定したものである。測定には、アンリツ株式会社製のフィルムシックネステスター「ＫＧ６０１Ａ」および電子マイクロメータ「Ｋ３０６Ｃ」を用いた。この厚み分布の平均値をＴａ（単位はμｍ）、最小値をＴｎ（単位はμｍ）、最大値をＴｘ（単位はμｍ）とし、幅方向の厚みムラＲｔ（単位は％）を、関係式Ｒｔ＝｛（Ｔｘ−Ｔｎ）／Ｔａ｝×１００（％）を用いて、求めた。
【００６４】
図１３は本発明のエア噴出ノズル１を用いて樹脂フィルム３１を製造したときの測定結果である。
【００６５】
図１４は従来技術のエア噴出ノズル１を用いて樹脂フィルム３１を製造したときの測定結果である。
【００６６】
図７は樹脂フィルム３１の製造を一時中止して、テンターオーブン９５の内部全体に樹脂フィルム３１を残して冷却し、図９に示すとおり、熱固定ゾーン１０３と冷却ゾーン１０４の間で測定した結果である。測定位置は図５に示すとおり熱固定ゾーン１０３と冷却ゾーン１０４の間の仕切板５７の部分で、樹脂フィルム３１の下側のフィルム搬送方向に流れる空気の流速を測定し、この流れを曲がり風速とした。熱固定ゾーン１０３と冷却ゾーン１０４とは設定温度が異なり、このそれぞれ温度の違う空気が仕切板５７を越えてゾーン間を行き来する曲がり風速が大きくなると、樹脂フィルム３１への伝熱効率が幅方向で不均一になる。伝熱効率が幅方向で不均一な状態になると、樹脂フィルム３１の厚みムラや、熱収縮率等の機械的特性を悪化させる。この曲がり風速の測定は、風速計２１の上端を樹脂フィルム３１に接触させた。また図６に示すとおり、樹脂フィルム３１の幅方向の位置は、ほぼ中央付近した。測定器はカノマックス社製ベーン式風速計（ＭＯＤＥＬ６８０４、ベーン径Φ６５（ｍｍ）、測定範囲０．４〜４０ｍ／ｓ、使用温度範囲−３０〜１００℃）を使用し、時定数を１秒に設定し測定した。すなわち３０秒間の風速変動を１秒刻みで測定した。
【００６７】
図１５は本発明にかかるエア噴出ノズル１の概略斜視図である。エア噴出ノズル１の幅方向両端部には供給口１１があり、図６に示すとおりファン５３からから送り込まれた空気は供給ダクト５５を介して、フランジ１２により接続された噴出孔２に供給される。
【００６８】
噴出孔２の直径Ｄは一般的にΦ５ｍｍ〜Φ３５ｍｍの範囲が望ましい。噴出孔２の直径ＤがΦ５ｍｍより小さいと、エア噴出ノズル中に噴出孔２の数が多くなりすぎて、加工費用が高価になってしまう場合があり、また噴出孔２の直径ＤがΦ３５ｍｍより大きいと、エア噴出ノズル中の噴出孔２の数が少なくなりすぎて、温度斑になりやすい。
【００６９】
また、各列における樹脂フィルム３１幅方向（樹脂フィルム搬送方向に直交する方向）の噴出孔２の中心の間隔（噴出孔２のピッチ）Ｐｙは、噴出孔２の直径Ｄの１．５倍から５倍の範囲が好ましい。例えば噴出孔２の直径ＤがΦ５ｍｍの場合は、幅方向の噴出孔２の中心の間隔Ｐｙは、７．５〜２５ｍｍの範囲であり、直径ＤがΦ３５ｍｍの場合は５２．５〜１７５ｍｍの範囲が好ましい。また、Ｐｙの許容範囲として±１０％の範囲が好ましい。更に±２％の範囲が、より好ましい。
【００７０】
エア噴出ノズル１の表面に噴出孔２を形成する方法について特に規定は無いが、パンチング法と呼ばれる雄型と雌型による打ち抜き加工方法でも良いし、レーザー加工法と呼ばれるレーザー光と圧力空気とによる溶融吹き飛ばし加工方法であっても良い。いずれの加工方法であっても高精度で噴出孔２を形成することがきる。ドリルなどによる切削加工法ではパンチング法やレーザー加工法ほど精度を出すことは難しいと考えられる。
【００７１】
噴出孔２それぞれから噴き出される空気の流量は（噴出孔２それぞれから噴き出される空気の流量を、以下風量と記載する。）、平均風量に対して±１０％以内の範囲であることが望ましい。さらには平均風量に対して±５％以内が好ましい。各噴出孔２から噴き出される風量が、平均風量に対して±１０％を越えると、温度斑を与えてしまうという問題がある。また、この場合の風量測定方法としては、各噴出孔２の噴出風速を測定するのが一般的である。風速を測定する方法としては（Ａ）熱式風速計、（Ｂ）超音波式風速計、（Ｃ）翼車式風速計、（Ｄ）ピトー管式風速計などがあるが、噴出孔２から噴き出される空気の風速を測定するのはピトー管式風速計が好ましい。（Ａ）の熱式風速計は、通電状態にあるセンサーが風で冷却された時に生じる電気抵抗の変化を測定することにより、風速を測定する方式であり、センサーがある程度大きさがあり噴出孔２より大きい事もあるので、噴出孔２から噴き出される空気の流速の測定には不向きである。（Ｂ）の超音波式風速計も、所定の距離を伝わる超音波の時間を測定し、風の影響による到着時間の遅れから風速を計る方式であり、２つのセンサーを所定の距離に離して設置する必要があるので、噴出孔２から噴き出される空気の流速の測定には不向きである。（Ｃ）の翼車式風速計は、風車の原理を応用し、翼の回転数を測定することにより風速を測定するものであるが、翼車はある程度大きさが必要であるため、翼車が噴出孔２より大きい事もあるので、噴出孔２から噴き出される空気の流速の測定には不向きである。前記平均風量とは、前記風速計を使用して複数の噴出孔２から噴き出される空気の流速を測定して平均を計算したものであり、望ましくは全ての噴出孔２を測定して平均を計算する。
【００７２】
また、この風速測定について、樹脂フィルム３１の製造中や、樹脂フィルム３１の製造を始めるために加熱している時は測定が困難である。この場合、加熱していない常温時に測定しても良い。
【００７３】
図１６は噴出孔２がスリットであるエア噴出ノズル１の概略斜視図である。エア噴出ノズル１の幅方向両端部には供給口１１があり、そこから供給された空気がスリット幅Ｂ（mm）のスリット間隙２２より幅方向に繋がって噴出する。スリット間隙２２のスリット幅Ｂは、一般的に３ｍｍ〜１５ｍｍの範囲が望ましい。また、このスリット幅Ｂの精度は、スリット間隙２２がら噴出する空気の幅方向の噴き出し分布に影響するので、相応の精度が求められる。スリット幅Ｂの精度は±１０％以下が望ましい。それ以上悪いと、スリット幅が他の部分より広いところは圧損が下がりその部分の噴き出し風量が他の部分より多くなり、スリット幅が他の部分より狭い部分は圧損が上がりその部分の噴き出し風量が他の部分より少なくなり問題となる。しかし、スリット幅Ｂの精度を±１０％以下にするにはエア噴出ノズル１の製作上種々の工夫が必要となり容易に実現できる物ではない。
【００７４】
本発明に用いる樹脂フィルム３１としては特に限定されることはなく、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリ乳酸フィルム、ポリオレフィンフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルムなどが挙げられる。
【００７５】
また本発明のエア噴出ノズル１は、これを少なくとも熱固定ゾーンに配置したテンターオーブン９５とすることで、上述したポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリ乳酸フィルム、ポリオレフィンフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルムなどの製造工程において好適に用いられる。
【００７６】
本発明のテンターオーブン９５としては、本発明のエア噴出ノズル１が、延伸ゾーン、熱固定ゾーン、および冷却ゾーンからなる群より選ばれる少なくとも１つのゾーンに配置された場合であり、特に好ましくは予熱ゾーン、延伸ゾーン、熱固定ゾーンおよび冷却ゾーンの全てに本発明のエア噴出ノズル１を配置したテンターオーブン９５とした場合である。
【００７７】
また本発明の樹脂フィルム３１は、前述の本発明のテンターオーブン９５を用いて製造された樹脂フィルム３１をいう。本発明の樹脂フィルム３１は、本発明のテンターオーブン９５を用いて製造されることにより、熱収縮率、引っ張り強度及び破断伸び率が樹脂フィルム３１の幅方向において中央部付近と端部付近とで同等となり、幅方向にフィルム物性の均一性に優れた樹脂フィルム３１を製造することができる。
【実施例】
【００７８】
次に本発明の効果を実施例により説明する。実施例では樹脂フィルム３１としてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を用いて樹脂フィルム３１を製造して比較した。また、テンターオーブン９５のエア噴出ノズル１から噴き出される空気の直進性を比較するために、連続して生産される樹脂フィルム３１の製造を一時中断し、曲がり速度を測定して比較した。
【００７９】
実施例、比較例では、エア噴出ノズル１の噴出孔２のパターンを変更して検討をした。幅方向の厚みムラＲｔの許容値は３％以下とし、３％を超える場合は許容できないものとした。
【００８０】
実施例
実施例では、樹脂フィルム３１としてＰＥＴフィルムを用いて、幅方向の延伸が可能なテンターオーブン９５により樹脂フィルム３１を製造した。ＰＥＴ（限界粘度０．６５ｄｌ／ｇ）チップを１８０℃で３時間十分に真空乾燥した後、押出機９１に供給し２８５℃で溶融後、口金９２からフィルム状に押し出し静電印加キャスト法を用いて表面温度２５℃の表面が鏡面のキャストドラム９３に巻き付けて冷却固化し未延伸の樹脂フィルム３１とした。この時、キャストドラム９３での冷却時間（接触時間）を２．４秒とした。このようにして得られた未延伸の樹脂フィルム３１を縦延伸機９４で長さ方向に３．２倍に延伸した。縦延伸機の温度条件は、予熱部分では７５℃で加熱し、延伸部分では９５℃で加熱しながら延伸し、冷却部分では４０℃で冷却した。このようにして得られた１軸延伸の樹脂フィルム３１をテンターオーブン９５で幅方向に延伸した後、巻き取りロール９６で巻き取った。
【００８１】
実施例のテンターオーブン９５としては、図９に示すとおり、予熱ゾーン１０１・延伸ゾーン１０２・熱固定ゾーン１０３・冷却ゾーン１０４を有する。各ゾーンは図５の断面図に示すとおり、樹脂フィルム３１の上下にエア噴出ノズル１が各６本のものを使用した。また幅方向断面は図６に示すものを使用した。
【００８２】
各ゾーンの設定温度（℃）と噴出風速（ｍ／ｓ）入り口の幅（ｍｍ）と出口の幅（ｍｍ）については、予熱ゾーン１０１は設定温度１０４（℃）と噴出風速２５（ｍ／ｓ）入り口の幅５８０（ｍｍ）と出口の幅５８２（ｍｍ）で、延伸ゾーン１０２は設定温度１２２（℃）と噴出風速１８（ｍ／ｓ）入り口の幅５８２（ｍｍ）と出口の幅１９０５（ｍｍ）で、熱固定ゾーン１０３は設定温度２２２（℃）と噴出風速１８（ｍ／ｓ）入り口の幅１９０５（ｍｍ）と出口の幅１８９０（ｍｍ）で、冷却ゾーン１０４は設定温度１００（℃）と噴出風速１２（ｍ／ｓ）入り口の幅１８９０（ｍｍ）と出口の幅１８５５（ｍｍ）とした。
【００８３】
各ゾーンのエア噴出ノズル１の形式は、予熱ゾーン１０１は図１６に示すとおりとし、スリット幅ＢはＢ＝１２（ｍｍ）とし、延伸ゾーン１０２、熱固定ゾーン１０３、冷却ゾーン１０４は図１に示す通りとして、噴出孔２の直径Ｄは１３（ｍｍ）、孔列の中心間距離Ｐab＝４０（ｍｍ）・Ｐbc＝５０（ｍｍ）・Ｐcd＝４０（ｍｍ）で、各列における樹脂フィルム３１幅方向の噴出孔２の中心間隔Ｐｙ＝４４（ｍｍ）とした。このような条件で得られた樹脂フィルム３１の幅方向の厚み分布を測定した結果は、図１３に示すとおりで、平均値はＴａ＝６４．９（μｍ）、最小値はＴｎ＝６４．４（μｍ）、最大値はＴｘ＝６５．６（μｍ）、幅方向の厚みムラＲｔは、Ｒｔ＝｛（６５．６−６４．４）／６４．９｝×１００＝１．８５（％）であった。
【００８４】
次に、樹脂フィルム３１を残した状態で、製造を中止し、テンターオーブン９５の内部に人が中に入って風速が測定出来る程度に冷却した（約６時間）。図９に示すとおり、熱固定ゾーン１０３と冷却ゾーン１０４の間の中央１カ所について、各ゾーンのファン５３を運転した時の曲がり風速を測定した。なおこの時、各ゾーンの設定温度は２５℃として、熱交換機５２により加熱されることのないようにした。測定結果は、平均風速１．２ｍ／ｓで変動率は１９％であった。
【００８５】
比較例
比較例では、基本的な条件は実施例と同じとし、エア噴出ノズル１について異なる物とした。樹脂フィルム３１としてＰＥＴフィルムを用いて、幅方向の延伸が可能なテンターオーブン９５により樹脂フィルム３１を製造した。ＰＥＴ（限界粘度０．６５ｄｌ／ｇ）チップを１８０℃で３時間十分に真空乾燥した後、押出機９１に供給し２８５℃で溶融後、口金９２からフィルム状に押し出し静電印加キャスト法を用いて表面温度２５℃の表面が鏡面のキャストドラム９３に巻き付けて冷却固化し未延伸の樹脂フィルム３１とした。この時、キャストドラム９３での冷却時間（接触時間）を２．４秒とした。このようにして得られた未延伸の樹脂フィルム３１を縦延伸機９４で長さ方向に３．２倍に延伸した。縦延伸機の温度条件は、予熱部分では７５℃で加熱し、延伸部分では９５℃で加熱しながら延伸し、冷却部分では４０℃で冷却した。このようにして得られた１軸延伸の樹脂フィルム３１をテンターオーブン９５で幅方向に延伸した後、巻き取りロール９６で巻き取った。
【００８６】
比較例のテンターオーブン９５としては、図９に示すとおり、予熱ゾーン１０１・延伸ゾーン１０２・熱固定ゾーン・冷却ゾーンを有する。各ゾーンは図５の断面図に示すとおり、樹脂フィルム３１の上下にエア噴出ノズル１が各６本のものを使用した。また幅方向断面は図６に示すものを使用した。
【００８７】
各ゾーンの設定温度（℃）と噴出風速（ｍ／ｓ）入り口の幅（ｍｍ）と出口の幅（ｍｍ）については、予熱ゾーン１０１は設定温度１０４（℃）と噴出風速２５（ｍ／ｓ）入り口の幅５８０（ｍｍ）と出口の幅５８２（ｍｍ）で、延伸ゾーン１０２は設定温度１２２（℃）と噴出風速１８（ｍ／ｓ）入り口の幅５８２（ｍｍ）と出口の幅１９０５（ｍｍ）で、熱固定ゾーン１０３は設定温度２２２（℃）と噴出風速１８（ｍ／ｓ）入り口の幅１９０５（ｍｍ）と出口の幅１８９０（ｍｍ）で、冷却ゾーン１０４は設定温度１００（℃）と噴出風速１２（ｍ／ｓ）入り口の幅１８９０（ｍｍ）と出口の幅１８５５（ｍｍ）とした。
【００８８】
各ゾーンのエア噴出ノズル１の形式は、予熱ゾーン１０１は図１６に示すとおりとし、スリット幅ＢはＢ＝１２（ｍｍ）とし、延伸ゾーン１０２、熱固定ゾーン１０３、冷却ゾーン１０４は図３に示すとおりとして、噴出孔２の直径Ｄは１３（ｍｍ）、孔列の中心間距離Ｐｘ＝４０（ｍｍ）で、各列における樹脂フィルム３１幅方向の噴出孔２の中心間隔Ｐｙ＝４４（ｍｍ）とた。
【００８９】
このような条件で得られた樹脂フィルム３１の幅方向の厚み分布を測定した結果は、図１４に示すとおりで、平均値はＴａ＝６４．９（μｍ）、最小値はＴｎ＝６３．５（μｍ）、最大値はＴｘ＝６６．２（μｍ）で、幅方向の厚みムラＲｔは、Ｒｔ＝｛（６６．２−６３．５）／６４．９）｝×１００＝４．１６（％）であった。
【００９０】
次に、樹脂フィルム３１を残した状態で、製造を中止し、テンターオーブン９５の内部に人が中に入って風速が測定出来る程度に冷却した（約６時間）。図９に示すとおり、熱固定ゾーン１０３と冷却ゾーン１０４の間の中央１カ所について、各ゾーンのファン５３を運転した時の曲がり風速を測定した。なおこの時、各ゾーンの設定温度は２５℃として、熱交換機５２により加熱されることのないようにした。
【００９１】
測定結果は、平均風速３．６ｍ／ｓで変動率は４４％であった。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明のエア噴出ノズルの一形態を示す平面図である。
【図２】本発明のエア噴出ノズルの一形態を示す平面図である。
【図３】従来技術のエア噴出ノズルの一形態を示す平面図である。
【図４】従来技術のエア噴出ノズルの一形態を示す平面図である。
【図５】図９中のＩ−Ｉ矢視図である。
【図６】図５中のＩＩ−ＩＩ矢視図である。
【図７】曲がり風速の時間変化を示すグラフである。
【図８】逐次二軸延伸法による樹脂フィルムの製造工程の一形態を示す概略図である。
【図９】テンター装置の一形態を示す平面図である。
【図１０】本発明のエア噴出ノズルの樹脂フィルム表面の伝熱率分布の性能を説明する平面図である。
【図１１】従来技術のエア噴出ノズルの樹脂フィルム表面の伝熱率分布の性能を説明する平面図である。
【図１２】従来技術のエア噴出ノズルの樹脂フィルム表面の伝熱率分布の性能を説明する平面図である。
【図１３】本発明で製造した樹脂フィルム３１の幅方向の厚み分布
【図１４】従来技術で製造した樹脂フィルム３１の幅方向の厚み分布
【図１５】本発明のエア噴出ノズル１の概略斜視図
【図１６】噴出孔がスリットであるエア噴出ノズル１の概略斜視図
【符号の説明】
【００９３】
１：エア噴出ノズル
２：噴出孔
２a-1：直線３a上の噴出孔
２b-1：直線３b上の噴出孔
２b-2：直線３b上の噴出孔
２c-1：直線３c上の噴出孔
２c-2：直線３c上の噴出孔
２d-1：直線３c上の噴出孔
２d-2：直線３c上の噴出孔
３a：樹脂フィルム３１幅方向に配列されている第１列の噴出孔２の中心を通る直線
３b：樹脂フィルム３１幅方向に配列されている第２列の噴出孔２の中心を通る直線
３c：樹脂フィルム３１幅方向に配列されている第３列の噴出孔２の中心を通る直線
３d：樹脂フィルム３１幅方向に配列されている第４列の噴出孔２の中心を通る直線
３e：樹脂フィルム３１幅方向に配列されている第５列の噴出孔２の中心を通る直線
３f：樹脂フィルム３１幅方向に配列されている第６列の噴出孔２の中心を通る直線
１１：供給口
１２：フランジ
２１：風速計
２２：スリット間隙
３１：樹脂フィルム
３３：樹脂フィルム３１表面の伝熱率分布
５２：熱交換器
５３：ファン
５４：吸引口
５５：供給ダクト
５６：回収ダクト
５７：仕切り板
６１：テンターオーブン９５の外側空間
６２：解析空間の端部境界
７１：レール
７２：レール
７３：クリップ
９１：押出機
９２：口金
９３：キャストドラム
９４：縦延伸機
９５：テンターオーブン
９６：巻取りロール
１０１：予熱ゾーン
１０２：延伸ゾーン
１０３：熱固定ゾーン
１０４：冷却ゾーン
ｎ：孔列数
Ｄ：噴出孔２の直径
Ｌ：噴出孔２と樹脂フィルム３１との距離
Ｐｘ：噴出孔２の中心を通る直線の間隔
Ｐｙ：各列における樹脂フィルム３１幅方向の噴出孔２の中心の間隔
Ｔａ：樹脂フィルム３１の幅方向厚み分布測定結果の平均値
Ｔｎ：樹脂フィルム３１の幅方向厚み分布測定結果の最小値
Ｔｘ：樹脂フィルム３１の幅方向厚み分布測定結果の最大値
Ｒｔ：樹脂フィルム３１の厚みムラで、Ｒｔ＝｛（Ｔｘ−Ｔｎ）／Ｔａ｝×１００（％）で計算される計算値
Ｐab：直線３aと直線３bとの間隔
Ｐbc：直線３bと直線３cとの間隔
Ｐcd：直線３cと直線３dとの間隔
Ｐde：直線３dと直線３eとの間隔
Ｐef：直線３eと直線３fとの間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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