(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下動手段を介して上下動する本体枠と、この本体枠の下部に付設されてハンダを上方から押えて扁平状とする押え部材と、本体枠に内装されて押え部材を下方へ押圧する弾発手段とを備えたハンダ形状仕上装置であって、
前記押え部材は、本体枠の下方開口部に上方から係止すると共に下方からの弾発手段の弾発力に抗した押圧力付与によって下方開口部への係止が解除されてその軸心の揺動が可能な押え本体と、この押え本体に取付られてハンダを上方から押える押えブロック体とを備え、前記本体枠に加熱手段を付設して、押え本体の本体枠係止状態でこの加熱手段からの熱伝導にて押え本体が加熱され、
前記本体枠の下方開口部の内径面は、下方に向かって縮径するテーパ面であるとともに、前記押え部材の押え本体の上部に、上方に向かって拡径するコーン部を設け、このコーン部を前記テーパ面に係止させ、
前記弾発手段は、前記押え本体の上面中央に設けられる嵌合部にその先端が下方開口部への係止が解除された状態の押え本体の首振揺動を可能として嵌合するコーン体と、このコーン体を押え本体側へ押圧する弾性材とを備え、
前記コーン体の先端は、前記押え本体の嵌合部に直接嵌合し、
前記押え部材の本体枠に対する回動を規制する回り止め手段を備え、
前記回り止め手段は、前記本体枠の前記テーパ面に突設されたピン部材と、前記押え本体に設けられた切欠部とで構成され、該切欠部は、下方に向かって開口すると共に、該開口部が切欠部の上部より拡大しており、
前記押えブロック体がハンダを押えた状態で、前記コーン部が前記本体枠の前記テーパ面から浮き上がって、最終的に、扁平なハンダ層を形成することを特徴とするハンダ形状仕上装置。
【請求項２】
押えブロック体が押え本体に対して着脱可能であることを特徴とする請求項１に記載のハンダ形状仕上装置。
【請求項３】
加熱手段は、本体枠に付設されるヒータであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のハンダ形状仕上装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレーム等に半導体チップ等をハンダ付けを行う際にリードフレームのマウント部に供給されるハンダを均等厚さの形状を整えるためのハンダ形状仕上装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
リードフレームの半導体チップをハンダ付けする場合、マウント部にハンダを供給する必要がある。供給されたハンダは、一般的に球冠状（半球状体）である。このため、安定した接合を得るために、この球冠状（半球状体）のハンダを押えて均一厚さの平坦なハンダ層とする必要がある。そのため、従来には、圧印面を有する圧印部を備えた装置がある（特許文献１）。
【０００３】
特許文献１に記載の装置は、図４に示すように、上下動するシャフト１と、このシャフト１の下端に連結機構２を介して連結される圧印部３とを備える。この場合、圧印部３は、その下面に圧印面４が形成され、その上面に孔部５が形成されている。支持部材６がシャフト１に収容され、この支持部材６の下部の軸部７が圧印部３の孔部５に嵌入される。また、孔部５の底面は球面５ａに形成され、支持部材６の軸部７の下面は球面６ａに形成され、孔部５の球面５ａに支持部材６の球面６ａが摺動可能に係合されている。
【０００４】
また、連結機構２では、いわゆるユニバーサルジョイント構造にて構成し、圧印部３がシャフト１に対して揺動可能としている。しかも、球面６ａと球面５ａとの摩擦係合が可能とされ、図４（ａ）に示すように、シャフト１の軸心に対して、圧印部３が所定角度で傾斜した状態に維持できる。シャフト１には圧印部３を加熱するための加熱カートリッジ８が内装されている。
【０００５】
次にこの装置の使用方法を説明する。まず、基板１０上にハンダ１１を塗布（配置）する。この際、ハンダ１１は半球状体である。この状態で、この装置をハンダ１１の上方に位置させる。次に、図４（ｂ）に示すように、シャフト１を下降させて、圧印部３の圧印面４にて斜め方向から押圧する。この際、圧印部３は揺動可能であるので、図４（ｃ）に示すように、その圧印面４はハンダを介して基板１０に対して平行状となる。これによって、平坦なハンダ層１２が形成される。その後は、図４（ｄ）に示すように、シャフト１を上昇させることによって終了する。
【特許文献１】特開平１０−２４７６６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、連結機構２を構成するユニバーサルジョイント構造では、球面６ａと球面５ａとの摩擦係合を可能とする必要があり、複雑な構造となっている。このため、圧印部３はこの連結機構２に対応するような形状となって、生産性に劣るとともに、この種の装置に使用される汎用のツール（圧印部）を使用することができない。この圧印部は消耗品であり、汎用のツールを使用できずに特殊な部品を使用することは、コスト高を招くことになる。
【０００７】
また、シャフト１に内装された加熱カートリッジ８によって、支持部材６を加熱し、この支持部材６から連結機構２を介して、圧印部３を加熱するものである。このため、あまり効率のよい加熱を行うことができず、圧印時においてハンダ１１を扁平にするのに最適な温度とすることができない。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みて、構成の簡略化を図ることができて、消耗品であるツール（圧印部）を一般的なものを使用でき、しかも、安定してハンダを均一な肉厚の扁平形状に形成することができるハンダ形状仕上装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のハンダ形状仕上装置は、上下動手段を介して上下動する本体枠と、この本体枠の下部に付設されてハンダを上方から押えて扁平状とする押え部材と、本体枠に内装されて押え部材を下方へ押圧する弾発手段とを備えたハンダ形状仕上装置であって、前記押え部材は、本体枠の下方開口部に上方から係止すると共に下方からの弾発手段の弾発力に抗した押圧力付与によって下方開口部への係止が解除されてその軸心の揺動が可能な押え本体と、この押え本体に取付られてハンダを上方から押える押えブロック体とを備え、前記本体枠に加熱手段を付設して、押え本体の本体枠係止状態でこの加熱手段からの熱伝導にて押え本体が加熱され、前記本体枠の下方開口部の内径面は、下方に向かって縮径するテーパ面であるとともに、前記押え部材の押え本体の上部に、上方に向かって拡径するコーン部を設け、このコーン部を前記テーパ面に係止させ、前記弾発手段は、前記押え本体の上面中央に設けられる嵌合部にその先端が下方開口部への係止が解除された状態の押え本体の首振揺動を可能として嵌合するコーン体と、このコーン体を押え本体側へ押圧する弾性材とを備え、前記コーン体の先端は、前記押え本体の嵌合部に直接嵌合し、前記押え部材の本体枠に対する回動を規制する回り止め手段を備え、前記回り止め手段は、前記本体枠の前記テーパ面に突設されたピン部材と、前記押え本体に設けられた切欠部とで構成され、該切欠部は、下方に向かって開口すると共に、該開口部が切欠部の上部より拡大しており、前記押えブロック体がハンダを押えた状態で、前記コーン部が前記本体枠の前記テーパ面から浮き上がって、最終的に、扁平なハンダ層を形成することを特徴とする。
【００１０】
本発明のハンダ形状仕上装置によれば、押え部材にてハンダを上方から押圧すれば(押しつぶせば)、押え部材はハンダからの反力によって、下方からの弾発手段の弾発力に抗した押圧力が付与される。これによって、押え部材の押え本体は本体枠の下方開口部からの係止状態が解除され、軸心の揺動が可能となる。すなわち、押え部材が首振り自在となり、しかも弾発手段の弾性力によってハンダ側へ押えブロック体が押圧されている。このため、押えブロック体のハンダ押え面（圧印面）によってハンダを押えることができる。この際、ハンダ押え面（圧印面）は最終的に水平状となって、扁平状のハンダ層を形成することができる。
【００１１】
また、押え部材にてハンダを押圧していない状態では、押え部材は弾発手段の弾発力にて、下方へ押圧され、押え本体は本体枠の下方開口部と係止状態、つまり接触状態にある。このため、本体枠に付設された加熱手段にて押え部材は加熱される。
【００１２】
この場合、押え部材にてハンダを押圧していない状態では、押え部材は弾発手段の弾発力にて、下方へ押圧されるので、この状態では、本体枠の下方開口部のテーパ面に、押え部材の押え本体のコーン部が係止する。すなわち、安定した係止状態を維持でき、しかも、この係止状態では、押え本体の軸心を本体枠の軸心に合わせることができる。また、押え部材にてハンダを押圧することによって、反力を受ければ、コーン部の外径面が下方開口部のテーパ面から離間して、押え部材の押え本体は揺動可能状態となる。
【００１３】
この場合、コーン体の先端が押え本体の上面中央に設けられる嵌合部に嵌合することによって、押え本体の首振揺動が安定し、押える前のハンダの種々の表面形状に対応し易い。
【００１４】
また、回り止め手段にて押え部材の本体枠に対する回動が規制され、押え部材の圧印面の回動がなくなり、ハンダからの圧印面のずれを防止できる。                                                                                
【００１５】
押えブロック体が押え本体に対して着脱可能であるのが好ましい。このように、着脱可能であれば、押えブロック体が損傷等した際には押えブロック体を交換することができる。
【００１６】
加熱手段は、本体枠に付設されるヒータにて構成することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明では、押え部材にてハンダを上方から押圧すれば(押しつぶせば)、ハンダ押え面（圧印面）は最終的に水平状となって、扁平状のハンダ層を形成することができる。しかも、押え部材にてハンダを押圧していない状態では、本体枠に付設された加熱手段にて押え部材は加熱される。このため、扁平状のハンダ層を加熱状態で形成することができ、安定して扁平ハンダ層の形成が可能となって、その後の工程において精度のよいハンダ付けを行うことができる。
【００１８】
本体枠の下方開口部のテーパ面に押え部材のコーン部を係止させるものでは、安定した係止状態を維持でき、しかも、この係止状態では、押え本体の軸心を本体枠の軸心に合わせることができる。このため、ハンダの押え作業が安定する。また、押え部材の押え本体は、ハンダを押えることによって簡単に揺動可能状態となる。このため、扁平状のハンダ層の形成が安定する。しかも、構成（形状）としても簡素化でき、低コスト化を図ることができる。
【００１９】
弾発手段は、コーン体と、このコーン体を押え本体側へ押圧する弾性材とを備えたものであれば、押え本体の首振揺動が安定し、押える前のハンダの種々の表面形状に対応し易い。このため、押える前のハンダの形状に影響を受けることなく、扁平状のハンダ層を精度よく形成できる。
【００２０】
回り止め手段にて押え部材の本体枠に対する回動が規制され、押え部材の圧印面の回動がなくなり、ハンダからの圧印面のずれを防止できる。これによって、扁平状のハンダ層の形状が安定する。
【００２１】
押えブロック体が押え本体に対して着脱可能であれば、押えブロック体が損傷等した際には押えブロック体を交換することができる。このため、損傷や摩耗等した押えブロック体を使用することなく、扁平状のハンダ層を形成できるので、安定したハンダ付け作業を行うことができる。また、押えブロック体は押え本体に取付られるものであるので、この押えブロック体としては、特殊な形状とする必要がなく、一般的なもの（ツール）を使用することができる。このため、この押えブロック体を消耗品として扱うことができ、コスト高となるのを防止できる。
【００２２】
加熱手段は、本体枠に付設されるヒータにて構成することができ、押えブロック体を確実に加熱することができ、しかも低コスト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下本発明の実施の形態を図１〜図３に基づいて説明する。
【００２４】
図１は本発明に係るハンダ形状仕上装置の要部簡略断面図を示し、このハンダ形状仕上装置は、上下動手段（図示省略）を介して上下動する本体枠２０と、この本体枠２０の下部に付設されてハンダＷを上方から押えて扁平状とする押え部材２１と、本体枠２０に内装されて押え部材を下方へ押圧する弾発手段２２とを備える。
【００２５】
本体枠２０は筒体からなり、その上方開口部は上蓋２３にて塞がれている。すなわち、上方開口部の内径面に雌ねじ部２４が形成され、また、上蓋２３の外径面に雄ねじ２５が形成されている。このため、上蓋２３の雄ねじ２５を本体枠２０の雌ねじ部２４に螺合させることによって、上蓋２３を本体枠２０に装着することができる。本体枠２０の下方開口部は、その内径面が下方に向かって順次縮径するテーパ面２７とされる。本体枠２０を上下動させる上下動手段としては、シリンダ機構、ボールねじ機構、ロボットアーム機構等の種々の公知・公用の機構を用いることができる。
【００２６】
また、押え部材２１は、本体枠の下方開口部に上方から係止する押え本体３０と、この押え本体３０に取付られてハンダＷを上方から押える押えブロック体３１とを備える。押え本体３０は、押えブロック体３１を支持する支持部３０ａと、この支持部３０ａから上方に向かって拡径するように延びるコーン部３０ｂとからなる。テーパ面２７のテーパ角度とコーン部３０ｂのテーパ角度とは略同一であり、例えば、３０度から８０度程度とされる。すなわち、図１（ａ）に示すように、押え本体３０のコーン部３０ｂが本体枠２０のテーパ面２７に載置された状態で保持され、図１（ｂ）に示すように、押え部材２１が下方から押圧されて浮き上がれば、コーン部３０ｂの外径面がテーパ面２７から離間すればよい。
【００２７】
押え本体３０の支持部３０ａの下面には嵌合用スリット３２が設けられ、この嵌合用スリット３２に押えブロック体３１の嵌合用突出片３３が嵌合している。すなわち、押えブロック体３１は、ハンダ押え用の本体部３４と、この本体部３４の上面３４ａに立設される前記嵌合用突出片３３とからなり、本体部３４の下面３４ｂがハンダＷを押える圧印面３５を形成する。
【００２８】
押えブロック体３１と押え本体３０とは、押えブロック体３１の本体部３４の上面３４ａを押え本体３０の支持部３０ａの下面に当接させて位置決めし、その状態で、支持部３０ａにねじ部材(セットねじ)を螺合させることによって、このねじ部材を押えブロック体３１の嵌合用突出片３３に圧接させればよい。すなわち、押えブロック体３１が押え本体３０に対して着脱可能であればよい。なお、前記押えブロック体３１としては、ハンダが付着しにくい材質、例えばグラファイトやスチール等）とされる。
【００２９】
弾発手段２２は、押え本体３０の上面中央に設けられる嵌合部３７にその先端３８ａが嵌合するコーン体３８と、このコーン体３８を押え本体側へ押圧する弾性材３９とからなる。コーン体３８の上面には膨出部４０が設けられ、上蓋２３の下面には膨出部４１が設けられる。また、弾性材３９はコイルスプリング４２からなり、その一端部（下端部）４２ａがコーン体３８の膨出部４０に嵌合し、その他端部（上端部）４２ｂが上蓋２３の膨出部４１に嵌合している。
【００３０】
このため、弾発手段２２はその弾性材３９の弾性力にて、コーン体３８を下方へ押圧し、コーン体３８を押え本体３０の嵌合部３７を介して押え部材２１を下方へ押圧する。すなわち、弁とこれを受ける弁座との関係のように、押え本体３０のコーン部３０ｂが本体枠２０のテーパ面２７に載置された状態で保持される。また、この図１（ａ）に示す状態から、押え部材２１が弾性材３９の弾性力に抗した押圧力（反力）Ａ１を下方から受ければ、図１（ｂ）に示すように、押え部材２１がテーパ面２７から浮き上がった状態となる。
【００３１】
図１（ｂ）に示すように、押え部材２１がテーパ面２７から浮き上がった状態となれば、コーン体３８の先端３８ａが押え本体３０のコーン部３０ｂの嵌合部３７に嵌合し、しかも弾性材３９の弾性力で押え本体３０を下方へ押圧している。このため、押え本体３０の上面中央部がコーン体３８の先端３８ａに枢支された状態となって、押え本体３０は、その上面中央部を中心に揺動、つまり首振り自在となる。すなわち、図３（ａ）（ｂ）に示すように、ハンダ塗布面５０に対して、押えブロック体３１の圧印面３５が種々の方向に種々の角度で傾斜することになる。
【００３２】
また、押え部材２１は、本体枠２０に介してその軸心廻りに回転（回動）しないのが好ましい。このため、図２に示すような廻り止め手段５１が設けられている。廻り止め手段５１は、例えば、本体枠２０のテーパ面２７から突設されるピン部材５２と、押え本体３０に設けられる切欠部５３とで構成することができる。切欠部５３は下方に向かって開口するともに、開口部５３ａが奥部(上部)５３ｂよりも拡大している。
【００３３】
このため、図１（ａ）に示すように、押え本体３０のコーン部３０ｂが本体枠２０のテーパ面２７に載置された状態では、図２（ａ）に示すように、ピン部材５２が奥部(上部)５３ｂに嵌合した状態となって、押え本体３０の回転（回動）が規制されている。また、図１（ｂ）に示すように、押え部材２１がテーパ面２７から浮き上がった状態では、図２（ｂ）に示すように、ピン部材５２が奥部(上部)５３ｂからの嵌合が解除され、押え部材２１の首振りを許容する。なお、押圧力Ａ１が解除されれば、弾発手段２２にて図１（ａ）に示すように、テーパ面２７にコーン部３０ｂが載置状となり、ピン部材５２が奥部(上部)５３ｂに嵌合した状態とに戻る。
【００３４】
本体枠２０には加熱手段４５を付設され、この加熱手段４５を介して押え部材２１が加熱される。加熱手段４５は、例えば、ヒータ（電気ヒータ）４６にて構成することができる。この場合、本体枠２０にヒータ保持部(保持用孔)４７を設け、ヒータ保持部４７にヒータ４６を埋設状としている。
【００３５】
このため、ヒータ４６に通電することによって、加熱状態とすれば、押え本体３０のコーン部３０ｂが本体枠２０のテーパ面２７に載置された状態では、本体枠２０のテーパ面２７を介して押え本体３０が熱伝導によって加熱され、押えブロック体３１が加熱される。なお、前記押えブロック体３１としては、ハンダＷが付着し難い温度に設定される。
【００３６】
次に前記のように構成されたハンダ形状仕上装置を使用したハンダ塗布方法を説明する。まず、図１（ａ）に示すように、ハンダ塗布面５０(例えば、リードフレームのアイランド部)に、図示省略のハンダ塗布装置にてハンダＷを供給する。この場合、ハンダＷは、半球状となっている。
【００３７】
その後、図１（ａ）に示すように、本装置をハンダＷ上に配置する。次に、この図１（ａ）に示す状態から本体枠２０を矢印Ａ（図１（ｂ）参照）に示すように下降させる。このように、下降させることによって、押え部材２１の圧印面３５がハンダＷに接触する。この場合、圧印面３５の中央にハンダＷが対応しない場合が多く、このような場合には、図３（ａ）（ｂ）等に示すように、押え部材２１の圧印面３５がハンダ塗布面５０に対して傾斜した状態となる。
【００３８】
この状態からさらに、弾発手段２２の弾発力を抗して本体枠２０を下降させる。この状態では、押えブロック体３１が図１（ｂ）に示す矢印Ａ１方向の反力を受け、押え部材２１は、そのコーン部３０ｂは本体枠２０のテーパ面２７から離間して首振り可能状態となり、しかも、弾発手段２２にて下方へ押圧している。このため、圧印面３５とハンダ塗布面５０との間にハンダＷが挟まれ、押えブロック体３１がハンダ塗布面５０に接近するにしたがって圧印面３５に倣うことになって、図１（ｂ）に示すように、扁平なハンダ層Ｗ１を形成することができる。
【００３９】
このように、扁平なハンダ層Ｗ１を形成した後は、図１（ｃ）の矢印Ｂのように、本体枠２０を上昇させる。これによって、押えブロック体３１がハンダ層Ｗ１から離間して、次のハンダ形状形成にそなえることになる。
【００４０】
本発明のハンダ形状仕上装置では、押え部材２１にてハンダＷを上方から押圧すれば(押しつぶせば)、押え部材２１はハンダＷからの反力によって、下方からの弾発手段２２の弾発力に抗した押圧力Ａ１が付与される。これによって、押え部材２１の押え本体３０は本体枠２０の下方開口部からの係止状態が解除され、軸心の揺動が可能となる。すなわち、押え部材２１が首振り自在となり、しかも弾発手段２２の弾性力によってハンダ側へ押えブロック体３１が押圧されている。このため、押えブロック体３１のハンダ押え面（圧印面３５）によってハンダＷを押えることができ、このように、押え部材２１にてハンダＷを上方から押圧すれば(押しつぶせば)、ハンダ押え面（圧印面３５）は最終的に水平状となって、扁平状のハンダ層Ｗ１を形成することができる。しかも、押え部材２１にてハンダＷを押圧していない状態では、本体枠２０に付設された加熱手段４５にて押え部材２１は加熱される。このため、扁平状のハンダ層Ｗ１を加熱状態で形成することができ、安定して扁平ハンダ層Ｗ１の形成が可能となって、その後の工程において精度のよいハンダ付けを行うことができる。しかも、構成（形状）としても簡素化でき、低コスト化を図ることができる。
【００４１】
本体枠２０の下方開口部のテーパ面２７に押え部材のコーン部３０ｂを係止させるものでは、安定した係止状態を維持でき、しかも、この係止状態では、押え本体２１の軸心を本体枠２０の軸心に合わせることができる。このため、ハンダＷの押え作業が安定する。また、押え部材２１の押え本体は、ハンダＷを押えることによって簡単に揺動可能状態となる。このため、扁平状のハンダ層Ｗ１の形成が安定する。
【００４２】
弾発手段２２は、コーン体３８と、このコーン体３８を押え本体側へ押圧する弾性材３９とを備えたものであれば、押え本体２１の首振揺動が安定し、押える前のハンダＷの種々の表面形状に対応し易い。このため、押える前のハンダＷの形状に影響を受けることなく、扁平状のハンダ層Ｗ１を精度よく形成できる。
【００４３】
回り止め手段５１にて押え部材２１の本体枠２０に対する回動が規制され、押え部材２１の圧印面３５の回動がなくなり、ハンダＷに対する圧印面３５のずれを防止できる。これによって、扁平状のハンダ層Ｗ１の形状が安定する。
【００４４】
押えブロック体３１が押え本体３０に対して着脱可能であれば、押えブロック体３１が損傷等した際には押えブロック体３１を交換することができる。このため、損傷や摩耗等した押えブロック体３１を使用することなく、扁平状のハンダ層Ｗ１を形成できるので、安定したハンダ付け作業を行うことができる。また、押えブロック体３１は押え本体３０に取付られるものであるので、この押えブロック体３１としては、特殊な形状とする必要がなく、一般的なもの（ツール）を使用することができる。このため、この押えブロック体３１を消耗品として扱うことができ、コスト高となるのを防止できる。
【００４５】
加熱手段４５は、本体枠２０に付設されるヒータ４６にて構成することができ、押えブロック体３１を確実に加熱することができ、しかも低コスト化を図ることができる。
【００４６】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、加熱手段４５としては、押えブロック体の圧印面でのハンダ押え時にこの圧印面が必要とする温度に加熱できればよいので、電気ヒータに限るものではなく、他の加熱手段、例えば誘導加熱手段等であってもよい。また、図１に示すようにヒータ４６を本体枠２０に付設する場合、周方向いずれの方向でもよく、全周を電熱線で巻設したものであってもよい。
【００４７】
また、押え部材２１の嵌合部３７の傾斜角度とコーン体３８のテーパ角度としては、任意に設定できるが、押え部材２１がコーン体３８に対して揺動するためには、嵌合部３７の傾斜角度がコーン体３８のテーパ角度よりも大きく設定する必要がある。例えば、嵌合部３７の傾斜角度を９０°程度とし、コーン体３８のテーパ角度を６０°程度とすることができる。
【００４８】
弾発手段２２にコイルスプリングを使用しているが、他の弾性材、例えばゴム材、合成樹脂材等を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施形態を示すハンダ形状仕上装置の簡略断面図である。
【図２】前記ハンダ形状仕上装置の廻り止め手段を示す簡略拡大断面図である。
【図３】ハンダ形状仕上装置の押え部材の揺動状態を示す簡略断面図である。
【図４】従来のハンダ形状仕上装置の簡略断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
２０    本体枠
２１    押え部材
２２    弾発手段
２７    テーパ面
３０    押え本体
３０ｂ  コーン部
３１    押えブロック体
３８    コーン体
３９    弾性材
４５    加熱手段
４６    ヒータ
５１    周り止め手段
【図１】
0005165303.tif 000002
【図２】
0005165303.tif 000003
【図３】
0005165303.tif 000004
【図４】
0005165303.tif 000005