(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リール状に巻かれた条材を徐々に解いてリードフレームを連続的に製造するリードフレームの製造方法において、
前記各リードフレーム又はリードフレーム群の外枠領域に、ハーフエッチング加工によって凹部からなるドット群を形成し、前記凹部はレジスト膜が形成された前記条材を、光ファイバーが隙間を有して配置され、前記各光ファイバーの一端部にオンオフされる発光ダイオードが設けられ、他端部は露光部となった光ファイバー露光装置によって露光し、かつ現像処理した後、前記ハーフエッチング加工を行って形成されていることを特徴とするリードフレームの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に短冊状で、又はリールトゥリール（Reel  to  Reel）で生産されるリードフレームにおいて、製造工程途中における不良品を判別してデータ化しておき、このデータに基づいて最終工程でリードフレームを良品と不良品とに自動的に振り分けることができるリードフレームの製造方法に関する。なお、本発明において、リードフレーム連続体とは、所定個数（例えば、４〜１０個）のリードフレームが短冊状の板材に形成されているものと、連続した条材に所定ピッチで１列又は複数列にわたって製造されているものを含む。
【背景技術】
【０００２】
従来、リードフレームの製造にあっては、製品の一部に刻印やレーザー光を用いてマーキングするほか、エッチング又はパンチングにより透過窓を形成するなどして、これを光学的に読み取ることで製品の管理を自動で行うものが種々提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１１２３９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、レーザー光を用いて形成した刻印は、レーザー光を照射した周囲が溶けてこの部分が後工程においてコンタミネーションを発生させるので、光学的な読み取り精度に劣るという問題がある。またレーザー光で溶融した穴は浅く、光学的に読み取りにくいという問題がある。そして、特許文献１に記載のように、透過窓を形成するものは孔形が小さいほどパンチングにおいてはパンチ刃物が折れ易くなるほか、エッチングにおいてはリードフレームの表裏に同じパターンを形成して位置合わせしなければならないため、僅かでも表裏パターンの位置がずれた場合には孔位置が表裏でずれて透過窓が形成されないなどの問題が生じる。
また、特に、リールトゥリール生産でリードフレームを製造する場合、従来は、不良箇所のみを除去することができないため、大量不良につながっている。
【０００５】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、読み取り精度が高くしかも製造も容易なドット群を各リードフレーム又はリードフレーム群に形成し、特に、リールトゥリールで生産されるリードフレームの不良を早期に発見するリードフレームの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
【０００７】
前記目的に沿う本発明に係るリードフレームの製造方法は、リール状に巻かれた条材を徐々に解いてリードフレームを連続的に製造するリードフレームの製造方法において、
前記各リードフレーム又はリードフレーム群の外枠領域に、ハーフエッチング加工によって凹部からなるドット群を形成し、前記凹部はレジスト膜が形成された前記条材を、光ファイバーが隙間を有して配置され、前記各光ファイバーの一端部にオンオフされる発光ダイオードが設けられ、他端部は露光部となった光ファイバー露光装置によって露光し、かつ現像処理した後、前記ハーフエッチング加工を行って形成されている。
【０００８】
【０００９】
本発明に係るリードフレームの製造方法において、前記ドット群は不良品検査工程にて識別されるのがよく、これによって、不良品の識別が可能となる。また、この不良品検査工程はエッチング工程の直後に配置されているのがよく、一般的である。
【００１０】
そして、本発明に係るリードフレームの製造方法において、前記不良品検査工程は画像処理を用いて行われるのが能率的で好ましく、更には、前記画像処理は前記リードフレームの表裏面に対して同時に行うのが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
請求項１記載のリードフレームの製造方法においては、リール状に巻かれた条材を徐々に解いてリードフレームを連続的に製造するリードフレームの製造方法において、各リードフレーム又はその群の一部に、ハーフエッチング加工によって凹部からなるドット群を形成しているので、その製造が容易である。特に、両側からエッチングする場合には、表裏のパターンを正確に一致させる必用がないので、密度の高いドット群を形成できる。
【００１４】
特に、請求項１記載のリードフレームの製造方法は、ドット群がリードフレームのパターン露光とは異なる位置で露光される。これによって、リードフレームのパターンを一定としており、異なるパターンのドット群を別の場所で容易に作り出して個々のリードフレームに独立してドット群のパターンを形成できる。
【００１５】
このリードフレームの製造方法は、ドット群が、光ファイバーにて露光されるので、非常に小さいスポットを正確に形成できるほか、異なるドット群の製造も容易である。なお、光源にＬＥＤを使用することによってその制御も容易となる。また、装置自体のメンテナンス性も向上し、低消費電力となる。
【００１６】
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
ここで、図１は本発明の一実施の形態に係るリードフレームの製造方法の主要工程図、図２は同リードフレームの製造方法の説明図、図３は本発明の他の実施の形態に係るリードフレームの製造方法の説明図、図４は検査装置の概略説明図である。
【００１８】
図１に示すように、本発明の一実施の形態に係るリードフレームの製造方法は、リール１０から徐々に巻き解かれた銅、銅合金、鉄合金からなる薄板条材１１の両面にレジスト膜形成装置１２でレジスト膜を被せる。そして、レジスト膜が表裏に形成された薄板条材１１にパターン露光装置１３によってリードフレームのパターンを露光し、次に、ドット群によって構成されるシリアル番号（識別符号の一例）の形成を光ファイバー露光装置１４によって所定のパターンを露光して行い、現像装置１５、エッチング装置１６、洗浄装置１６ａ及び乾燥装置１７を介して検査装置１８を通過してリードフレーム連続体となってリール２０に巻き取られる。
【００１９】
以上の装置において、リール１０、２０、レジスト膜形成装置１２、パターン露光装置１３、現像装置１５、洗浄装置１６及び乾燥装置１７は周知の構造であるので、詳しい説明を省略する。
図２に光ファイバー露光装置１４を示すが、図に示すように、この実施の形態においては、隙間を有して配置された複数（この実施の形態では１４本）の光ファイバー２１を束にしそれぞれの光ファイバー２１の一端部を薄板条材１１の片側面に向けて露出させた露光部（ヘッド）２２と、この光ファイバー２１のそれぞれ他端部に設けられて個々の光ファイバー２１に光を送る発光ダイオード２３と、個々の発光ダイオード２３のオンオフを行う露光制御装置２４を有している。
【００２０】
この実施の形態においては、発光ダイオード２３として紫外線発光ダイオードが使用され、個々の発光ダイオード２３から出た紫外線は、集光レンズを介して光ファイバー２１の他端部に入光させている。
露光部２２の大きさは、この実施の形態では縦幅が１〜３ｍｍ、横幅が４〜１０ｍｍとなって、横方向２列でジグザグ状に規則正しく光ファイバー２１の一端部が並んでいる。この露光部２２での各光ファイバー２１の間隔は、例えば、隣り合う光ファイバー２１の軸心間距離が光ファイバー２１の直径の３〜１０倍となっている。
【００２１】
更に、露光部２２には、この露光部２２が、レジスト膜で覆われて所定位置を間欠送り装置によって移動する薄板条材１１に対して、上下左右方向にその位置を調整できる３次元調整機構（露光位置合せ機構）が設けられて、薄板条材１１、即ち最終製品となるリードフレーム２６（又はリードフレーム群）に対して所定の位置に露光部２２によって、露光できるようになっている。
露光制御装置２４は、所定の位置にある薄板条材１１の位置を検知し、各光ファイバー２１の発光ダイオード２３をオンオフし、二列ジグザグ状に配置された光ファイバー２１の一端部から所定のパターンの露光を薄板条材１１に対して照射し、ドット群でシリアル番号２７を形成している。
【００２２】
シリアル番号２７は、図２の拡大図に示すように、左から１、２、・・・１４と光ファイバー２１の位置を決め、右から２0、２1、２2、・・・・２13となるように重みが決められ、このドット２８の組み合わせによって、製造順にシリアル番号２７をリードフレーム２６（又はリードフレーム群）の外枠領域に付すようになっている。
従って、図２に示す実施の形態では、一つのリードフレーム２６に対して一つのシリアル番号２７が付され、これらがリードフレーム連続体２９を構成している。
【００２３】
なお、図３に本発明の他の実施の形態に係るリードフレームの製造方法を示すが、一つの薄板条材１１に対して３列（複数列）にリードフレーム３０が形成されている。そして、横方向に複数行（この例では８行）のリードフレーム３０が同時に露光され、一つのリードフレーム群３１を形成している。この実施の形態においては、一つのリードフレーム群３１（即ち３列８行のリードフレーム３０）に対して一つのドット群から構成されるシリアル番号３２がその外枠領域に形成されて、リードフレーム連続体３４が構成されている。
【００２４】
また、パターン露光装置１３による露光は所定形状のリードフレーム２６（又はリードフレーム群３１）のパターンをレジスト膜が形成された薄板条材１１に焼き付けるためのもので、表裏両面から露光が行われているが、シリアル番号２７、３２の露光は片側面からのみ行われる。この理由は、光ファイバー２１による露光はドットの直径が極めて小さく、表裏面から同時に露光すると、ドットの位置合わせが難しいからである。片側からのみ露光されると、エッチングは両面からなされるので、ハーフエッチングとなり、貫通しないドットを形成する。このドットは薄板条材１１の表面に光学読み取り可能な凹部となる。なお、パターン露光装置１３による露光の際、後で光ファイバー２１によって露光されるエリアは、未露光部となるように予め設定されている。
【００２５】
検査装置１８の概要を図４に示すが、リードフレーム連続体２９（又は３４）の表裏面に対して斜め方向から投光器３６、３７によって光を当ててその反射方向又はその近傍にあるカメラ３８、３９によってリードフレーム２６（又はリードフレーム群３１）の画像を認識する。
【００２６】
この場合、裏面側にあるカメラ３９ではシリアル番号２７（又は３２）は認識しない。上下のカメラ３８、３９はリードフレーム連続体２９（又は３４）に対して、時間をずらして同一位置の表裏画像を同時に認識する。なお、カメラ３８、３９は斜めからリードフレーム２６（又はリードフレーム群３１）の画像を認識しているので画像歪みを発生するが、画像処理して同一画像に修正している。
【００２７】
この画像処理を用いる検査装置１８によって、リードフレーム２６（又はリードフレーム群３１）の良否の判定ができ、同時にその製品番号もシリアル番号２７（又は３２）から認識できるので、それを別に設けた記憶装置に記憶しておく。これによってどのリードフレーム２６が又はどのリードフレーム群３１が不良品であるかが明確に分かるので、不良品をシリアル番号２７（又は３２）による画像処理によって識別し、最終工程で除去することができる。この検査装置１８による処理が不良品検査工程となり、エッチング工程の直後に配置されている。なお、洗浄装置１６ａと乾燥装置１７はエッチング工程には必須のものであるからエッチング工程に含まれる。
以上の検査を終えたリードフレーム連続体２９（又は３４）は再度リール２０に巻かれて保管される。
【００２８】
前記実施の形態においては、リードフレーム２６又はリードフレーム群３１を識別するためのドット群はシリアル番号２７、３２によって区別しているが、異なる構成のドット群であればよく、シリアル番号に限定されない。
また、ドット群はこの実施の形態では２列であったが、１列、又は３列以上であってもよいし、本発明はその数も限定されない。
更にまた、前記実施の形態においては、リールトゥリール生産によるリードフレームについて説明したが、本発明は短冊状のリードフレーム連続体にも適用することができる。この場合、短冊状のリードフレーム連続体には複数のリードフレームを備えているが、一つのドッド群を形成するのが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施の形態に係るリードフレームの製造方法の主要工程図である。
【図２】同リードフレームの製造方法の説明図である。
【図３】本発明の他の実施の形態に係るリードフレームの製造方法の説明図である。
【図４】検査装置の概略説明図である。
【符号の説明】
【００３０】
１０：リール、１１：薄板条材、１２：レジスト膜形成装置、１３：パターン露光装置、１４：光ファイバー露光装置、１５：現像装置、１６：エッチング装置、１６ａ：洗浄装置、１７：乾燥装置、１８：検査装置、２０：リール、２１：光ファイバー、２２：露光部、２３：発光ダイオード、２４：露光制御装置、２６：リードフレーム、２７：シリアル番号、２８：ドット、２９：リードフレーム連続体、３０：リードフレーム、３１：リードフレーム群、３２：シリアル番号、３４：リードフレーム連続体、３６、３７：投光器、３８、３９：カメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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