(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体におけるバルブ開口を選択的に密閉及び開封するバルブ機構であって、前記バルブ開口はバルブシート面を有し、前記バルブ機構は、
前記バルブ開口の前記バルブシート面に対して平行及び垂直な方向に前記筐体において可動である少なくとも１つのバルブ部材と、
前記少なくとも１つのバルブ部材に対して接続される前記筐体におけるドライブプレートと、
前記垂直な動作をもたらす手段と、
を有し、
前記ドライブプレートは、前記筐体内に複数の懸架手段を有し、前記筐体内で前記平行な方向に移動可能に構成され、前記少なくとも１つのバルブ部材の前記平行な方向の動作が達成され、
前記ドライブプレートに接続された前記少なくとも１つのバルブ部材は、前記筐体内の２つの側部に形成された案内スロットに係合するホイールを前記バルブ部材の両側部に有し、前記案内スロットにより前記平行な方向に案内可能にされるとともに前記案内スロットの端部における屈曲により前記案内スロットの前記バルブ部材が前記バルブシート面に向かって案内可能にされ、
前記垂直な動作をもたらす前記手段は、
前記ドライブプレートにおける制御スロットと、
夫々の制御スロットと協働し且つ少なくとも部分的に重畳する、前記少なくとも１つのバルブ部材における相補スロットと、
各々が制御スロット及び相補スロットへと延在する、前記少なくとも１つのバルブ部材上に取り付けられる複数のロール本体と、
を有し、
前記制御スロット及び前記相補スロットは壁により取り囲まれて閉じられ、
前記ロール本体と前記制御スロット及び相補スロットとの間の協働動作は、前記バルブ開口の選択的な開閉をもたらす、
バルブ機構。
【請求項２】
前記ロール本体は、軸である、
請求項１記載のバルブ機構。
【請求項３】
前記ドライブプレートにおける各制御スロットは、収容開口の一側を形成する第１の端部領域を有し、前記バルブ部材における前記夫々の相補スロットは、前記収容開口の他側を形成する第２の端部領域を有し、
前記夫々のロール本体は、前記収容開口において保持される、
請求項１または２に記載のバルブ機構。
【請求項４】
前記ドライブプレートにおける前記制御スロットの形状は、前記少なくとも１つのバルブ部材における前記相補スロットの形状と同一であり、前記制御スロットは、相補形状を与えるよう、前記バルブ部材における前記相補スロットに対して、前記収容開口に保持された状態にある前記ロール本体の周りに１８０°回転される、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のバルブ機構。
【請求項５】
前記ロール本体は、１つ又は複数の場所において、少なくとも１つの溝を備え、
前記溝は、Ｏリングを収容する、
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のバルブ機構。
【請求項６】
前記バルブ部材に設けられたスプリング要素を更に有し、
前記スプリング要素は、プレストレスを与えられ、前記バルブ開口から前記バルブ部材が離れるように前記相補スロットにおいて前記ロール本体を押圧する、
請求項１記載のバルブ機構。
【請求項７】
前記スプリング要素は、前記ドライブプレートの前記バルブ開口に向かう方向の移動に関して、前記ドライブプレートに対して前方停止手段を形成する、
請求項６記載のバルブ機構。
【請求項８】
前記筐体は、第１のバルブ開口と、前記第１のバルブ開口と位置合わせをされる第２のバルブ開口とを有して形成され、
前記少なくとも１つのバルブ部材は、
前記第１のバルブ開口を選択的に開閉するよう構成される第１のバルブ部材と、
前記第２のバルブ開口を選択的に開閉するよう構成される第２のバルブ部材と、
を有する、
請求項１記載のバルブ機構。
【請求項９】
前記ロール本体は、前記ドライブプレート上に配置される外付けの外れ防止手段を用いて、前記ロール本体が長手方向において外れることから保護される、
請求項１乃至８のいずれか１項に記載のバルブ機構。
【請求項１０】
前記ドライブプレートの移動方向において離間して平行に配置された前記複数のロール本体の運動を同調させる手段を更に有する、
請求項１乃至９のいずれか１項に記載のバルブ機構。
【請求項１１】
筐体におけるバルブ開口を選択的に密閉及び開封するバルブ機構であって、前記バルブ開口はバルブシート面を有し、前記バルブ機構は、
前記バルブ開口の前記バルブシート面に対して平行及び垂直な方向に前記筐体において可動である少なくとも１つのバルブ部材と、
前記少なくとも１つのバルブ部材に対して接続される前記筐体におけるドライブプレートと、
前記垂直な動作をもたらす手段と、
を有し、
前記ドライブプレートは、前記筐体内に複数の懸架手段を有し、前記筐体内で前記平行な方向に移動可能に構成され、前記少なくとも１つのバルブ部材の前記平行な方向の動作が達成され、
前記垂直な動作をもたらす手段は、
前記ドライブプレートにおける制御スロットと、
夫々の制御スロットと協働し且つ少なくとも部分的に重畳する、前記少なくとも１つのバルブ部材における相補スロットと、
各々が制御スロット及び相補スロットへと延在する、前記少なくとも１つのバルブ部材上に取り付けられる複数のロール本体と、
前記バルブ部材に設けられたスプリング要素と、
を有し、
前記ロール本体と前記制御スロット及び相補スロットとの間の協働動作は、前記バルブ開口の選択的な開閉をもたらし、
前記スプリング要素は、プレストレスを与えられ、前記バルブ開口から前記バルブ部材が離れるように前記相補スロットにおいて前記ロール本体を押圧し、
前記スプリング要素は、前記ドライブプレートの前記バルブ開口に向かう方向の移動に関して、前記ドライブプレートに対して前方停止手段を形成し、
前記筐体は、第１のバルブ開口と、前記第１のバルブ開口と位置合わせをされる第２のバルブ開口とを有して形成され、
前記少なくとも１つのバルブ部材は、
前記第１のバルブ開口を選択的に開閉するよう構成される第１のバルブ部材と、
前記第２のバルブ開口を選択的に開閉するよう構成される第２のバルブ部材と、
を有する、
バルブ機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブに対するバルブ機構に係り、より特には２つの相互に可動である要素の使用を介して高い密閉圧力を加える機構に係る。
【背景技術】
【０００２】
真空バルブは、真空機器において貫通（ｔｈｒｏｕｇｈｇｏｉｎｇ）開口を閉じる際に望ましい。上述された種類のバルブ機構は、液体が運ばれる管又は同等のものにおける遮断要素等の強制誘導（ｆｏｒｃｅｄ  ｇｕｉｄａｎｃｅ）が有利である他のバルブに対しても使用され得る。
【０００３】
既知のバルブ機構は、欧州特許第０６６２５７５  Ｂ１号明細書（特許文献１）において本発願者によって開示される。特許文献１によれば、可動バルブ部材は、固定的に取り付けられた支持シャフト上でロールされる。かかる解決策を実現するコストは高く、開示される支持シャフトは、ベアリングの無い適切な案内手段において案内される自由案内ロール部材と同等の応力に耐え得ない。
【０００４】
ロール又は円筒形ローラーの形状における「ロール本体」と以下では称されるベアリングを有さずに案内されるシャフトの一例は、特開２００１−０９０８４９  Ａ１号公報（特許文献２）において開示される。この既知のバルブ機構では、相互に平行移動可能に可動である３つの円形のプレートが与えられ、その間にはロール本体としての役割を果たす自由に案内される球体が配置される。上方向に傾斜される溝は、回転的に駆動される第１のプレートの周囲にわたって与えられ、球体は、溝において並進運動的に案内可能に配置される。当該球体は、第２の中央のプレートの対応する対向の溝と係合する。該中央の板の対向する側上には、追加的な溝が備えられ、球体は並進的に案内され第３のプレートにおいて対応する溝と係合する。この第３のプレートは、バルブプレート（可動バルブ部材）であり、他の２つのプレートの回転位置に依存して、筐体における貫通開口に対して動かされるか、あるいは、該開口から離れて動かされる。
【０００５】
該案内手段は、重大な問題点を有する。該手段はオープン構造を有するため、球体は、収容するプレートが適切に押され合わない際、例えば障害、振動、衝撃、不具合、スプリング破損、又は同様の場合において、いつでも外れ得る。この問題は、球体がその指定された溝及び位置から外れ得るよう球体の重量に対して十分である非常に短時間の間でさえもプレートが押され合わなくなる場合に発生する。
【０００６】
通常、非常に大きな力は、バルブシートに対する密閉の十分な押圧を達成するよう、かかるバルブを閉じるために用いられる。バルブにわたる圧力差は、達成可能な密閉力を加えるよう可動バルブ部材上で作用し得る一方、かかる圧力差は、可動バルブ部材が閉じられたままにされるよう、対向して作用し得ることもまた事実である。故に、装置全体が実用にならなくなる。バルブ構成部品は外れ、可動なバルブ部材は損傷する傾向にあり、実質的な損害がもたらされ得る。
【０００７】
上述された特許文献１は、閉溝を有するガイドを開示し、ボルトは、一側上のみで支持される溝において移動する。空間を考慮すると、該支持手段は比較的小さく維持されなければならないため、該手段は応力許容限度の近くで作動する。
【特許文献１】欧州特許第０６６２５７５  Ｂ１号明細書
【特許文献２】特開２００１−０９０８４９  Ａ１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の特徴は、互いに対して並進的に可動であるわずか２つの部品が与えられることである。かかる部品の一方はドライブプレートであり、他方は可動バルブ部材である。少なくとも１つのスロットは、ドライブプレートにおいて形成され、隣接する可動バルブ部材における相補スロットと協働且つ重畳する。円筒形又はドラム型又はローラー型を有するロール本体は、ドライブプレートスロットと相補（バルブ部材）スロットとの間の重畳領域において配置される。
【０００９】
この構造は、まず第一に、ロール本体がその収容構造において所望されずに移動される又は完全に失われる危険性無く、２つの相互に可動である部品の使用を有して、密閉するよう高い押圧を許容すること、並びに、同一の力を有してバルブを開くことが可能である、という重要な利点を与える。
【００１０】
本発明の他の利点は、１つの部品及び隣接する部品における協働するスロットがいずれも閉じられているため、ロール本体は、所望されない上方向又は下方向又はその他方向に向かう所望されない移動（又は除去）から保護される、ことである。閉スロットはロール本体の係合を軸長手方向に制限する。
【００１１】
ここに開示されるロール本体は、内輪及び外輪を有するボールベアリング等である自立したベアリングではなく、追加的な機械的要素を使用しない自由に案内されるロール本体である。従って、所定の外径に対して、ロール本体は、非常により高い荷重負担能力を有する。これにより、本発明に従った閉スロットは開放及び閉合動作のいずれにおいても同等の力の伝搬性及び同等の力の維持性を有する、という利点がもたらされる。これにより、本発明が大変高い密閉力及び大変高い解放力を有する、ことが可能になる。また、非常に長い間閉合されていた後に、一般的にはゴム状密閉材（シール）である密閉材が開放動作において克服されなければならない相当な接着力を作った場合に、かかる解放力が必要とされ得る。
【００１２】
本発明の特定の利点は、最も単純な場合、伸張性のある伸縮スプリングが必要とされないことである。これは、ロール本体がスロット間で関連付けられた調整的構造において完全に強制及び案内され、また封入されるためであり、また、バルブ密閉方向及び対向する方向において強制的に案内されるためである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の実施例は、ロール本体が装置の一側から他側まで全体的に延在するロール又はそれと同様のものの形状である構造に制限されない。本発明の他の実施例によれば、ロール本体は、ロールのセグメント又は同様のものの形状でのみ存在すること、及び例えば、バルブの全幅を超えてバルブの一側から他側まで延在しないこと、また、接続部材によって相互接続されないこと、が与えられ得る。
【００１４】
本発明の実施例は、円筒形のロールの形状におけるロール本体の使用に制限されない。特には丸い球体面を有して直接圧延運動を可能にする三角形の本体等である他の形状は使用され得る。
【００１５】
ロール本体上の力は、関連されるバルブ構造において前に用いられた力より実質的に小さいため、ロール本体が広く市販され且つ比較的安価である金属材料を有することで十分である。同様に、ロール本体に対する案内スロットは、特別に硬化した支持面を有する必要がない。
【００１６】
本発明に従ったスロットに対する支持要素として、望ましくはキャリッジは用いられ、水平方向において駆動される。適切なドライブ手段は、先行技術において既知であり、ここでは特には説明されない。
【００１７】
本発明の実施例に対しては、キャリッジが４つの支持ホイールを有することは必須ではない。凸状ローラーベアリング又は同様のもの等である他の種類の支持要素は、利用され得る。
【００１８】
「キャリッジ」という語は、本願中は「ドライブプレート」として称される。これは、該キャリッジが、本体が筐体の支持面上で並進運動において駆動されるローラーによって有されるプレート状の形状にあるため、である。
【００１９】
これに関し、キャリッジによって有される可動バルブ部材は、端部において可動バルブ部材を密閉シートに向かって上方向に動かす案内スロット（ガイドウェイ）によって長手方向に案内される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の目的、利点、及び特性は、添付の図面を参照して、以下の詳細な説明でより明らかにされ得る。
【００２１】
図１は、真空バルブにおける本発明のバルブ部材の全体図であり、貫通バルブ（ｔｈｒｏｕｇｈｇｏｉｎｇ  ｖａｌｖｅ）開口２が筐体１において配置される。バルブ開口は、密閉要素８を用いて可動バルブ部材４によって閉合され得る。
【００２２】
図１及び図３中に図示される移動要素（キャリッジ）は、原則的に、矢印２２（図６参照）の方向において前後に駆動可能であるドライブプレート１４を有する。
【００２３】
可動バルブ部材４の可動域は、図１乃至図３中に示される通り、端部において屈曲されるガイドウェイスロット３を用いてもたらされる。スロット３は、筐体１の２つの側部において形成される。ガイドウェイスロット３は、ロール可能な懸架手段（ホイール又はローラー）９によって両側部上で係合する。
【００２４】
ガイドウェイスロット３及びその機能は、図２中により明確に示される。ホイール９は、軸１０に沿ってのみ動き、該軸は、その主方向に対して垂直に延在する前端部１１を有する。該２つの部分の間には漸進的転移又は半径１２が与えられ、運動の潤滑な転移を確実にする。少量の空気は、ガイドウェイスロットにおいて移動する当該ホイールに達し、ベアリングがガイドウェイスロットの動く面上でロールし得るようにする、ことが理解される。ホイールは、バルブ部材４と一体化される又はそれに固定されるアーム１３を介して可動バルブ部材４に対して接続される。
【００２５】
ホイール９は案内する機能のみを有し、特には、バルブ閉合の密閉又は解放の応力を受けない。該ホイールは、可動バルブ部材４等であるその上に懸架される部分の重量のみを負う。
【００２６】
ドライブプレート１４は、複数の懸架手段１５を有する。懸架手段は、軸に沿って又は矢印２２の方向でドライブプレートにおいて可動であるが、他の軸に沿っては可動ではない。図示される実施例では、懸架手段は、ホイール１５であり、筐体の内部において配置される対応する支持面２４上でロールする。ホイール１５に対する実際の支持面は、筐体１全体の据え付けられた向きに依存して、下方支持面２４又は対向する支持面２４’のいずれかである。
【００２７】
密閉シートに向かって図１中の矢印３３の方向においてバルブ部材４の上昇をもたらすよう、強制的（ｆｏｒｃｅｆｕｌ）な案内要素がロール本体１６の形状において与えられる。ロール本体１６は、貫通輪郭（ｔｈｒｏｕｇｈｇｏｉｎｇ  ｐｒｏｆｉｌｅｄ）のロール、シャフト、又はピン（図３参照）の形状である。各ロール本体１６の外側端部は、ドライブプレート１４の領域において対応する制御スロット２３と係合する。このようにして、２つのスロット（６，２３）間の形状連動（構造上に係合する）接続は、ロール本体１６の夫々の係合するガジオン端部を介して、与えられる。
【００２８】
ロール本体１６がバルブ部材の全幅にわたって延在することが本発明に対しては重要ではない、ことは上述された。ロール本体１６として実現される支持部材は、２つの位置合わせされた接合されていないロール本体を有し得る。故に、ロール本体１６は、その中心において断絶を有し得、可動バルブ部材４における位置合わせを保持する２つのロール本体部を形成する。分割されたロール本体１６を有するかかる構造は、大きな作動幅を有する真空バルブに対して特に望ましい。
【００２９】
スロット６及びスロット７（図５）の形状は、望ましくは弓形湾曲である。しかしながら、他の形状は選択され得、例えば、
・  一定角度における傾斜直線、
・  ２つの角度（反転屈曲）（ｒｅｖｅｒｓｅ  ｂｅｎｄ）を有する直線と及びその間の弓形転移、あるいは、
・  強い力（ｈｉｇｈ  ｆｏｒｃｅ）の領域における直線状の傾斜領域を有する、また、可能であれば終了位置（ｅｎｄ  ｐｏｓｉｔｉｏｎ）をとらえるよう各終了位置において小さい窪みを有する構造、
である。
【００３０】
図７Ａ乃至図７Ｅは、この説明に合致する多種のスロット形状の例を示す。スロットは、その長手方向の範囲に対して垂直である方向において運動を制限する壁によって取り囲まれる。かかる制限はまた、スロットの端部（上方及び下方端部）上に存在する。故に、ロール本体は、制御スロットの長手方向の範囲の平面に対して垂直である平面においてのみ制御スロットと係合し得る。
【００３１】
図７Ａ乃至図７Ｅから、協働する相補スロット６及び２３が重畳する端部領域を有する、ことが判り得る。特には、図８Ａ乃至図８Ｆから、ドライブプレート１４における制御スロット２３が収容開口３２の一側を形成する端部領域２９を有する、ことが判り得る。収容開口３２の他側は、可動バルブ部材３における相補的に配置されるスロット６の端部領域３０によって形成される。このようにして、ロール本体１６を取り囲む完全な収容開口３２は形成され、開口３２においてロール本体は、かなりの遊び（ａｐｐｒｅｃｉａｂｌｅ  ｐｌａｙ）無く保持される。
【００３２】
図７Ａ乃至７Ｅにおいて示される多種のスロットの実施例は、スロットの形状が単純な弓形湾曲に制限されず角度のある屈曲を有し得ること、あるいは、スロット６及び２３が夫々の直線状傾斜領域を実質的に有し得る（図７Ｂ）こと、を明示するものである。故に、スロットの範囲にわたって一定の偏向を与えることが可能である。いずれにしても、ドライブプレート１４の両側上のスロット２３が同一の形状を有する（相補的形状をもたらすよう１８０°回転される）、ことは重要である。
【００３３】
スロットが異なるスロットの形状を有した場合、これは、耐容され得るが望まれないローリング接触及びローリング摩耗の異なる特徴を伴う。それは、ロール本体１６とその支持面３４との間の摩擦角度が一定量の遊びをもたらすためであり、対照的に、幾何学的に適合するが対向して配置されるスロット６及び２３を有して、支持面３１及び３４上の移動接触点がロール本体１６の外周上で基本的に正反対に対向して配置される。故にロール本体は、基本的には、２つの平行な面の間で、これらの面の経路が湾曲されている際でも正確に連続して動く。これによって、支持面３１，３４の領域において、ロール本体と関連付けられた接触点との間に最適な応力伝送を与える。
【００３４】
バルブを開く間の接触点を図示する図８Ａ乃至図８Ｆの実施例に対して、同様の検討材料は、夫々の支持面３1及び３４上の接触点が反転されることを除いて、バルブ閉合工程に対して適用される。
【００３５】
図３に関連して上述される通り、間隔をおいて配置される２つの平行なロール本体１６は、可動バルブ部材４において間隔をおいて配置される平行なスロット６において位置付けられる。
【００３６】
本発明の改良点によれば、間隔をおいて配置される平行なロール本体１６の運動は、同調される。この目的に対して、同調プレート３６（図１０）は、可動バルブ部材とドライブプレート１４の対向する面との間の中間空間において可動バルブ部材４の一側上に配置されて、使用される。図３中に見られる通り、ギャップがそこに与えられ（図９及び図１０中ギャップ３５）、該ギャップにおいて、同調プレート３６は、余分な空間を有して配置され、プレート３６が何らかの遊びを有して作動し得るようにする。かかるギャップ３５及びプレート３６のみが図示されるが、各バルブ部材４上にプレート３６があることは望ましい。各ロールボディ１６の端部は、同調プレート３６を介して延在し且つそれと係合し、同調プレートが可動バルブ部材４の両側上でロール本体の端部を収容且つ案内する。これにより、可動バルブ部材４の各側部上での２つのロール本体１６の絶対的に平行な案内が達成される。
【００３７】
同調プレートを使用するこの同調手段は、（図示される通り）２倍の数のロール本体を有する図５に従った実施例に対して同様に適用される。またこの場合には、横方向に配置されたロール本体は、前方及び後方側部上で同調プレートを介して延在され且つそれと係合されるため、図示された実施例においてここでは、前方及び後方ロール本体が、前出のロール本体の間に配置される同調プレートを介して連続的同調性において動かされる。
【００３８】
図４は、上述されたロール本体の他の実施例を図示する。このロール本体１７は、１つ又はそれ以上の場所において溝２５を有し得、該溝は、Ｏリング１８等のスプリング付き要素を受ける。ドライブプレート１４上の対応する場所において、凹部１９が与えられ、結果もたらされる構造は、Ｏリング１８が一側上、即ち支持面２６の側でのみ（軽く）押圧される構造である。
【００３９】
かかる機構は、製造の工業技術上の理由で必要とされ得る、且つわずかな遊びをもたらす耐容がある際でもロール本体１７が常に１つの横方向において促される、ことを確実なものとする。図４に従ったＯリングを有する配置は、（必須ではなく）任意で図５及び図６に従った実施例において与えられ得る。スプリング要素２０は、わずかにプレストレスを与えられる際にスロット６及び７における対応する面に対してロール本体１６を促す実施例において、与えられる。
【００４０】
また図５及び６中、スプリング要素２０は、前方の位置に対するデテント手段２１として使用される。図示される通り、スプリング要素は、シートスプリングの形状であり得るが、第２の可動バルブ部材５又はドライブプレート１４に対して可動バルブ部材４を促すヘリカルスプリング、プレートスプリング、又はリング型プレートスプリング等の他の種類のスプリング要素も使用され得る。第２の（協働する）可動バルブ部材５の使用は、バルブが閉合される際、上方バルブ開口２が密閉要素８を介して閉合されるだけではなく、下方バルブ開口もまたバルブ部材５を介して閉合される、という利点を有する。
【００４１】
図示される実施例では、ドライブ手段及びその関連付けられた構成要素は、ドライブ手段の特性が本発明に対する題材ではないため、図示されない。単に特定されるのは、既知の通り矢印２２の方向及び対向する方向においてドライブプレート１４に対して力が加えられる、ことである。
【００４２】
図８Ａ乃至図８Ｆは、２つの協働して（対向して）動かされるスロット６及び２３の運動の経過をより詳細に示す。図８Ａから、静止位置において収容開口３２が相互に相補的に郷土するスロット６，２３によって形成される、ことは判る。この重畳領域は、夫々のスロット６，２３の近接する端部領域２９，３０から形成されるよう上述された。
【００４３】
並進的移動力が矢印２２（図３）の方向において制御スロット２３に加えられるとすぐに、スロット２３は、ホイール９（図１乃至図３）がガイドウェイスロット２の湾曲領域１２を通り領域１１へと入るまで、右方向に動かされる。一方、可動バルブ部材４が矢印３３の方向において上方向にのみ動き得るため、スロット６は、動かされないままであり、ロール本体１６はまたスロット６の領域において上方向及び制御スロット２３の領域において下方向に動く。
【００４４】
これは、図８Ｂ及び図８Ｃ中に図示される。制御スロット２３は、スロット６が水平方向において動かされない期間の間、距離２２’（例えば約６ｍｍであり得る）を介して右方向に動かされる。しかしながら、スロット６は、距離３３’によって垂直上方向に動かされる。停止位置（図８Ａ）において、最終位置（図８Ｆ）において、収容開口３２は、ロール本体１６又は１７を収容するよう、円形を有する。
【００４５】
中間位置においては、収容開口は、卵形体（ｏｖａｌｏｉｄ）型に延在する。最終位置（図８Ｆ）では、制御スロット２３は、スロット６が水平方向に動かされずにいる間は再び、完全に右方向に動かされる。この工程は、ロール本体が収容開口の制限下で収容される際、矢印３３の方向においてロール本体の可能な限り最大の垂直又は上方向の可動域を表す。
【００４６】
最終位置では、ロール本体１６がスロット６の支持面３４の端部にあるため、可動バルブ部材４は、密閉シートを押圧するようになる可能な限り最大の上方向リフティング運動を受ける。図８Ａ乃至図８Ｆにおける運動の進捗図はまた、反転の進捗、即ち図８Ｆの位置から左方向への制御スロットの運動がどのように夫々の密閉シートから離れて可動バルブ部材４，５の運動をもたらすかを明らかに図示する。ロール本体が、収容開口２２における全ての側部上で常に取り巻かれ、且つ配置的な係合によって案内されるため、密閉シートから離れるこの運動は、（矢印３３における上方向運動と同様に）遊び無く発生する連続的な強制運動である。
【００４７】
容易に理解できるよう、図５及び図６に従った実施例では、協働する可動バルブ部材５におけるスロット６は、可動バルブ部材４におけるスロット６と同一の機能を有するスロット７として図示される。この実施例では、可動バルブ部材４がバルブ開口２の密閉シートに向かって動かされる際、ギャップ２７は、可動バルブ部材４と協働する可動バルブ部材５との間に形成される。
【００４８】
図５中に示される静止位置への戻りは、スプリング要素２０を用いて逆順に発生する。スプリング要素は、必要な遊びを相殺する役割のみを果たす。
【００４９】
図５及び図６に従った実施例は、デテントとしての役割を果たす部分１１を有するロットを必要としないものであるが、スプリング要素２０がデテント２１としての役割を果たす。
【００５０】
ロール本体１６及び１７は、ドライブプレート１４上に配置される外付けのデテント２８を用いて長手方向において外れることから保護される。
【００５１】
重要であるのは、図８Ａ（静止位置）に従ったロール本体及びスロット６，２３の相互関係が運動の全経過にわたって維持されること、並びに、支持ロール９を有するドライブプレート１４がガイドウェイスロット３の部分１１との係合を外れ、その代わりに軸１０の領域にあることである。この長手方向の運動中、ロール本体１６及び１７は、図８Ａに従った静止位置において安定的に配置される。
【００５２】
本発明は、ドライブプレート１４と可動バルブ部材４（及び協働する可動バルブ部材５）との間の接続が、相互に相補構造を有する２つの共同する制御スロット６，２３を介して、また、支持端部（ガジオン端部）制御される、という利点を与え、ドライブプレート１４と可動バルブ部材４，５との間の案内構造係合を達成するようにする。
【００５３】
図９は、ドライブプレート１４のスロット２３においてローリングを受けるロール本体１６を有する可動バルブ部材４の斜視図である。
【００５４】
明確にするために、２つの梁状の平行な部分は、更に離れて動かされており、該平行な部分の間の空間において配置される可動バルブ部材４がより明確に示される。実際の実施例では、部分４及び１４はより近くにあり、ギャップ３５は更に小さい。
【００５５】
図１０は、図９の拡大された詳細を示す。図中、同調プレート３６は、一定の支持遊びを有するロール本体１６によって係合される２つのボア３７を有して追加される。同調プレート３６は、相互に距離をおいて配置される平行なロール本体１６の運動を同調させる役割を果たす。スロット６及び２３における（移動方向での）最も前方のロール本体の位置が変更される場合、後方のロール本体１６は、同調プレート３６を介して動かされる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】真空バルブにおけるバルブ機構の本発明の第１の実施例の断面図である。
【図２】可動バルブ部材の強制的案内に対する図１中の実施例におけるガイドウェイスロットの平面図である。
【図３】図１中の線ＩＩＩ−ＩＩＩでの断面図である。
【図４】図１中のスロットにおけるロール本体に対する案内手段の詳細の拡大断面図である。
【図５】可動バルブ部材及びカウンタディスクを有する、本発明のバルブ機構の第２の実施例の断面図である。
【図６】図５中の線ＶＩ−ＶＩでの断面図である。
【図７】Ａ〜Ｅは、本発明に従った相補スロットの実施例を図示する。
【図８】Ａ〜Ｆは、本発明に従った相補スロットが互いに対して動かされる運動の経過を示す。
【図９】本発明に従ったロール本体を有するディスクの分解斜視図である。
【図１０】図９中の一部分の拡大図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  筐体
２  バルブ開口
３  ガイドウェイスロット
４  可動バルブ部材
６  スロット
８  密閉要素
１１  前端部
１４  ドライブプレート
１５  懸架手段
１６  ロール本体
２３  制御スロット
２４  下方支持面
２４’  上方支持面
３３  可動バルブ部材４リフティング方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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