(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面矩形状の半導体パッケージ用放熱板であって、
前記半導体パッケージ用放熱板の表面全体にはニッケルめっきが施されており、
一面に設けた凹部、
前記凹部の内側壁部に設けた段差部、
を有し、
前記凹部の内側壁部は、前記凹部の内底面部と前記段差部との間のめっきエリアと、前記段差部よりも底面側のマスクエリアと、に区分され、
前記凹部の内底面部の全面及び前記凹部の内側壁部のめっきエリアのみに、さらに金めっきが施されている半導体パッケージ用放熱板。
【請求項２】
前記段差部は、前記凹部の底面側開口面積が前記内底面部の面積よりも大きくなるよう形成されている請求項１に記載の半導体パッケージ用放熱板。
【請求項３】
平面矩形状の半導体パッケージ用放熱板であって、
前記半導体パッケージ用放熱板の表面全体にはニッケルめっきが施されており、
一面に設けた凹部、
前記凹部の内側壁部に設けた傾斜部、
を有し、
前記凹部の内底面部の全面及び前記内底面部から前記傾斜部の一部にかけてのみに、さらに金めっきが施されている半導体パッケージ用放熱板。
【請求項４】
前記傾斜部は、前記内底面部の面積が前記凹部の底面側開口面積に向かって大きくなるように形成されている請求項３に記載の半導体パッケージ用放熱板。
【請求項５】
平面矩形状で、その表面全体にニッケルめっきが施され、一面に設けた凹部、前記凹部の内側壁部に設けた段差部を有し、
前記凹部の内側壁部は、前記凹部の内底面部と前記段差部との間のめっきエリアと、前記段差部と前記凹部の開口部との間のマスクエリアと、に区分される半導体パッケージ用放熱板に対し、
前記段差部にマスクゴムを密着させ、前記マスクエリアをマスクすることにより、
前記凹部の内底面部の全面及び前記めっきエリアのみに金めっきを施す、半導体パッケージ用放熱板のめっき方法。
【請求項６】
前記段差部は、前記凹部の前記内側壁部に、前記凹部の底面側開口面積が前記内底面部の面積よりも大きくなるよう形成されている請求項５記載の半導体パッケージ用放熱板のめっき方法。
【請求項７】
平面矩形状で、その表面全体にニッケルめっきが施され、一面に設けた凹部、前記凹部の内側壁部に設けた傾斜部を有する半導体パッケージ用放熱板に対し、
前記傾斜部にマスクゴムを密着させ、前記凹部の内底面部近傍を除く内側壁部をマスクエリアとしてマスクすることにより、
前記凹部の内底面部の全面及び前記内底面部から前記傾斜部の一部にかけてのみに、金めっきを施す、半導体パッケージ用放熱板のめっき方法。
【請求項８】
前記マスクゴムは、その先端部が前記半導体パッケージ用放熱板の傾斜部と略同一角度の傾斜面を有する請求項７に記載の半導体パッケージ用放熱板のめっき方法。
【請求項９】
前記傾斜部は、前記凹部の前記内側壁部に、前記内底面部の面積が前記凹部の底面側開口面積に向かって大きくなるように形成されている、請求項７または８に記載の半導体パッケージ用放熱板のめっき方法。
【請求項１０】
前記凹部を覆うようにマスクプレートを配置し、前記マスクプレートに設けられた孔を通って、めっき液を前記凹部に供給することにより、前記内底面部の全面に金めっきを施す請求項５乃至９いずれか一項に記載の半導体パッケージ用放熱板のめっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、中央部に凹部を有する半導体パッケージ用放熱板であって、特に底面部全体にめっきが施された半導体パッケージ用放熱板に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子を搭載した半導体パッケージでは、半導体素子の背面に放熱板を熱的に接続して、半導体素子が発する熱を伝熱放散させることが行われている。図１は、基板２００に１個の半導体素子３００を搭載し、半導体素子３００の背面に放熱板１００を熱的に接続して形成した半導体パッケージの例である。放熱板１００は、銅またはアルミニウムなどの熱伝導率の良い材料からなり、半導体素子３００を収容する凹部１５０が設けられている。凹部１５０の内底面部１６０には、半導体素子３００が熱伝導接合材（thermal interface material，TIM）４００を介して接合されている。
【０００３】
この熱伝導接合材４００は、半導体素子３００と放熱板１００とを直接的に接触させずに熱的に接続する手段として使用されているものであり、材料には熱伝導性の良いインジウム等が使用されている。
【０００４】
しかしながら、熱伝導接合材４００を溶融して、半導体素子３００と放熱板１００とを接合する際には、半導体素子３００と放熱板１００との間にボイド（空気孔）が生じ、このため熱伝導性が阻害されるという問題があった。これは、銅などの材料にニッケルめっきされた放熱板１００と熱伝導接合材４００の材料であるインジウムとの接合界面にボイド（空気孔）が生じるためである。
【０００５】
そこで、放熱板１００の内底面部１６０の熱伝導接合材４００に対応する部分に金めっき５００を施すことにより、ボイドの発生を抑制し、放熱板１００と熱伝導接合材４００との密着性を確保することが行われている。
【特許文献１】特開２００３−３７２２８号公報
【特許文献２】特開平１１−６８３６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
マルチチップ半導体パッケージの場合、基板上に半導体素子を複数個搭載するため、それらの複数個の半導体素子からの熱を放熱板１００に確実に伝える必要がある。そのため、複数個の半導体素子の背面にある熱伝導接合材４００の全体を放熱板１００の凹部１５０内に接合する必要が生じていた。このことから、金めっきは、従来の熱伝導接合材４００が接合された内底面部１６０よりもより広い領域に対して、施すことが求められていた。
【０００７】
しかしながら、基板２００と接着剤で接合される放熱板１００のフット部１７０に金めっきがついてしまった場合には、基板２００とフット部１７０との接合力が弱くなってしまう。また、金めっきは高価なため、放熱板１００の凹部１５０のうち、熱伝導接合材４００が接合する必要最低限の領域にのみめっきをしたいとの要望もある。
【０００８】
これらのことから、金めっきは、熱伝導接合材４００が接合する必要最低限で、かつ必要十分な領域である、放熱板１００の内底面部１６０のより広い領域（例えば全領域）に対して、施されることが求められていた。
【０００９】
図２（Ａ）は、従来の放熱板１００を示した断面図であり、図２（Ｂ）は、従来の放熱板１００に金めっき５００を施す方法を示した図である。図示のように金めっき５００は、周回状マスクゴム６０を放熱板１００の内底面部１６０に当接させて密閉空間を作り、マスクプレート６４を通して密閉された空間にめっき液を注入することにより行われていた。
【００１０】
しかしながら、放熱板１００の凹部１５０を密閉するマスクゴム６０には厚さがあるため、このようなマスクゴム６０を使用した従来のめっき方法によれば、放熱板１００の内底面部１６０に金めっきを施すことができない部分が生じていた（図２（Ｃ）（Ｄ）参照）。
【００１１】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、中央部に凹部を有する半導体パッケージ用放熱板であって、特に凹部の内底面部全体にめっきが施された放熱板およびそのめっき方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１３】
平面矩形状の半導体パッケージ用放熱板であって、平面矩形状の半導体パッケージ用放熱板であって、前記半導体パッケージ用放熱板の表面全体にはニッケルめっきが施されており、一面に設けた凹部、前記凹部の内側壁部に設けた段差部、を有し、前記凹部の内側壁部は、前記凹部の内底面部と前記段差部との間のめっきエリアと、前記段差部よりも底面側のマスクエリアと、に区分され、前記凹部の内底面部の全面及び前記凹部の内側壁部のめっきエリアのみに、さらに金めっきが施されている半導体パッケージ用放熱板によって解決することができる。また、前記段差部は、前記凹部の底面側開口面積が前記内底面部の面積よりも大きくなるよう形成されていても良い。
【００１４】
また、平面矩形状の半導体パッケージ用放熱板であって、前記半導体パッケージ用放熱板の表面全体にはニッケルめっきが施されており、一面に設けた凹部、前記凹部の内側壁部に設けた傾斜部、を有し、前記凹部の内底面部の全面及び前記内底面部から前記傾斜部の一部にかけてのみに、さらに金めっきが施されている半導体パッケージ用放熱板であっても良い。また、前記傾斜部は、前記内底面部の面積が前記凹部の底面側開口面積に向かって大きくなるように形成されていても良い。
【００１６】
また、平面矩形状で、その表面全体にニッケルめっきが施され、一面に設けた凹部、前記凹部の内側壁部に設けた段差部を有し、前記凹部の内側壁部は、前記凹部の内底面部と前記段差部との間のめっきエリアと、前記段差部と前記凹部の開口部との間のマスクエリアと、に区分される半導体パッケージ用放熱板に対し、前記段差部にマスクゴムを密着させ、前記マスクエリアをマスクすることにより、前記凹部の内底面部の全面及び前記めっきエリアのみに金めっきを施す、半導体パッケージ用放熱板のめっき方法により解決することができる。
【００１７】
また、前記段差部は、前記凹部の前記内側壁部に、前記凹部の底面側開口面積が前記内底面部の面積よりも大きくなるよう形成されている半導体パッケージ用放熱板のめっき方法であっても良い。
【００１８】
また、平面矩形状で、その表面全体にニッケルめっきが施され、一面に設けた凹部、前記凹部の内側壁部に設けた傾斜部を有する半導体パッケージ用放熱板に対し、前記傾斜部にマスクゴムを密着させ、前記凹部の内底面部近傍を除く内側壁部をマスクエリアとしてマスクすることにより、前記凹部の内底面部の全面及び前記内底面部から前記傾斜部の一部にかけてのみに、金めっきを施す、半導体パッケージ用放熱板のめっき方法であっても良い。また、前記マスクゴムは、その先端部が前記半導体パッケージ用放熱板の傾斜部と略同一角度の傾斜面を有していてもよい。また、前記傾斜部は、前記凹部の前記内側壁部に、前記内底面部の面積が前記凹部の底面側開口面積に向かって大きくなるように形成されていてもよい。また、前記凹部を覆うようにマスクプレートを配置し、前記マスクプレートに設けられた孔を通って、めっき液を前記凹部に供給することにより、前記内底面部の全面に金めっきを施してもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、中央部に凹部を有する半導体パッケージ用放熱板であって、特に凹部の内底面部全体にめっきが施された放熱板を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
【００２１】
［第１実施形態］
図３は、本発明の第１実施形態に係る放熱板１Ａを示す図である。図３（Ａ）は、放熱板１Ａの断面図であり、図３（Ｂ）は、めっきをするにあたり、放熱板１Ａの配置を説明するための断面図である。また、図３（Ｃ）は、放熱板１Ａに金めっきを施す方法を説明するための断面図であり、図３（Ｄ）は、金めっきが施された放熱板１Ａの断面図であり、図３（Ｅ）は、金めっきが施された放熱板１Ａの底面平面図である。
【００２２】
本実施形態に係る放熱板１０は、上面から見ると正方形であり、全体がほぼ直方体状であって、図３（Ａ）に示すように底面中央に凹部１５が加工形成され、底面周縁部にはフット部１７が残されている。フット部１７の底面から内底面部１６までの間の側壁である内側壁部１８には、その全周にわたって、後述するマスクエリア１９ａとなる段差部１８ａが形成されている。段差部１８ａは、内底面部１６の面積よりも、フット部１７側の凹部１５の開口面積が大きくなるように形成されている。
【００２３】
放熱板１０の材料としては、熱伝導性の良い、アルミニウムや銅などの金属を使用する。本実施形態の放熱板１０は、約３ｍｍの厚さの銅板を裁断して、３０ｍｍ角の正方形に形成したものである。凹部１５は、おおよそ縦２０ｍｍ×横２０ｍｍ×奥行き０．６ｍｍであり、フット部１７の幅は、約３ｍｍである。放熱板１０の表面全体（凹部１５の内底面部１６及び内側壁部１８の表面を含む）にはニッケルめっきが施されている。なお、上記放熱板１０の材料、大きさ、形状等はこれらに限定されず、適宜選択することが可能である。例えば、放熱板１０は、上面から見て長方形、円形、多角形等であっても良い。
【００２４】
凹部１５の内側壁部１８に形成された段差部又は肩部１８ａは、内底面部１６の近傍に形成される。具体的には、段差部１８ａの奥行きＬ１は、フット部１７の底面から０．２ｍｍから０．５ｍｍ程度であり、段差部１８ａの幅Ｌ２は、約１ｍｍである。
【００２５】
後述するように、段差部１８ａにマスクゴム６０ａを密着させることにより、内底面部１６の全領域に金めっきを施す。この場合、段差部１８ａは、マスクゴム６０ａの先端部６０ｂと凹部１５の内底面部１６との距離が、めっき液６５を凹部１５の内底面部１６の隅々（全面）に十分にいきわたる程度の距離に形成する必要がある。
【００２６】
めっき液６５が接する部分は、内側壁部１８におけるめっきエリア１９ｂとなる。言いかえると、内側壁部１８は、マスクエリア１９ａとめっきエリア１９ｂに区分される（図３（Ｂ）参照）。
【００２７】
このように、段差部１８ａのＬ１及びＬ２の長さは、放熱板１０の形状及びマスクゴム６０ａ厚さ等に合わせて適宜変更することが可能である。
【００２８】
この段差部１８ａは、マスクゴム６０ａを使用して内底面部１６の全領域に金めっきを施す際に、マスクゴム６０ａと内側壁部１８の密閉を確保するために利用される。
【００２９】
次に、放熱板１Ａに電解めっきにより金めっきを施す方法を説明する。
【００３０】
まず図３（B）に示すように、放熱板１０、断面長方形状のマスクゴム６０a、マスク６２、マスクプレート６４を用意する。マスクゴム６０aの材料は、シリコンゴム等である。凹部１５が、マスク６２とマスクプレート６４に対応するように放熱板１０を配置する。次に、図３（Ｃ）に示すように、マスクゴム６０aを段差部１８ａに密着させて、内底面部１６とマスクゴム６０aとマスク６２とで囲まれた密閉空間を形成する。
【００３１】
めっき液６５は、マスクプレート６４の下から、マスクプレート６４に設けた孔を通って、密閉空間内へ内底面部１６に向けて注入される。電解めっき用プレートの働きにより、めっき液６５内の金が内底面部１６にめっきされる。本実施態様では電解めっきを用いているが、本発明は無電解めっきなどのその他のめっき法を用いることができる。
【００３２】
このとき長方形状のマスクゴム６０aが、内側壁部１８に設けた段差部１８ａの段差形状に密着して収容されるので、放熱板１０の内底面部１６をめっき流から遮ることがない。これにより、マスクゴム６０aの厚さ分が放熱板１０の内底面部１６上を覆わないため、図３（Ｄ）（Ｅ）に示すように、内底面部１６の全領域に対して金めっき（金めっき層）５０を施すことが可能となる。
【００３３】
放熱板１０の凹部１５の内底面部１６一体に施された金めっき５０は、０．０５μｍから０．５μｍ程度の厚さを有する。この金めっき５０は、放熱板１０と熱伝導接合材４００との密着性を確保する働きをする。
【００３４】
なお、マスクゴム６０ａに覆われなかった内側壁部１８の一部がめっきされるが、めっきされることによる問題は特に生じない。このように、内側壁部１８にはほとんど金めっきは施されないため、放熱板１０に対して必要最小限の金めっきを少ない費用で施すことが可能となる。
【００３５】
また、マスクゴム６０ａが段差部１８ａと密着するため、めっき液６５が漏れることがない。これにより、めっきが不必要なフット部１７に対して確実にめっき漏れを防ぐことができる。
【００３６】
なお、レジスト等を用いれば、選択的に金めっきを施すことが可能ではあるが、コストが高くなる。またレプリカマスクを使用することも可能であるが、めっきが漏れる問題があり、また量産性の面でも問題がある。よって、このように内側壁部１８にマスクゴム６０を密着させることにより、少ないコストで、選択的に金めっきを施した放熱板を量産することができる。
【００３７】
［第２実施形態］
図４は、本発明の第２実施形態に係る放熱板２Ａを示す図である。図４（Ａ）は、放熱板２Ａの断面図であり、図４（Ｂ）は、めっきをするにあたり、放熱板２Ａの配置を説明するための断面図である。また、図４（Ｃ）放熱板２Ａに金めっきを施す方法を説明するための断面図であり、図４（Ｄ）は、金めっきが施された放熱板２Ａの断面図であり、図４（Ｅ）は、金めっきが施された放熱板２Ａの底面平面図である。
【００３８】
本実施形態に係る放熱板１０は、上面が正方形であり全体がほぼ直方体状であって、図４（Ａ）に示すように底面中央に凹部１５が加工形成され、底面周縁部にはフット部１７が残されている。フット部１７の底面から内底面部１６までの間の側壁である内側壁部１８には、その全周にわたって、後述するマスクエリア１９ａが形成される傾斜部１８ｂが設けられている。傾斜部１８ｂは、内底面部１６の面積よりも、フット部１７側に向かって開口面積が大きくなるように形成されている。
【００３９】
放熱板１０の材料としては、熱伝導性の良い、アルミニウムや銅などの金属を使用する。本実施形態の放熱板１０は、約３ｍｍの厚さの銅板を裁断して、３０ｍｍ角の正方形に形成したものである。凹部１５は、縦２０ｍｍ×横２０ｍｍ×奥行き０．６ｍｍ程度であり、フット部１７の幅は、約３ｍｍである。放熱板１０の表面全体（凹部１５の内底面部１６及び内側壁部１８の表面を含む）にはニッケルめっきが施されている。なお上記放熱板１０の材料、大きさ、形状等はこれらに限定されず、適宜選択することが可能であり、例えば放熱板１０は、上面から見て長方形、円形、多角形等であっても良い。
【００４０】
凹部１５の内側壁部１８に形成された傾斜部またはテーパー部１８ｂの傾斜角度θは、垂直方向に対して５度から７０度程度であり、適宜変更可能である。この傾斜部１８ｂは、後述するように、マスクゴム６０ｃを使用して内底面部１６の全領域に金めっきを施す際に、マスクゴム６０ｃと内側壁部１８の密閉を確保するために利用される。
【００４１】
次に、放熱板２Ａに電解めっきにより金めっきを施す方法を説明する。
【００４２】
まず図４（Ｂ）に示すように、放熱板１０、先端部（頭部）６０ｄが斜めに切断され、放熱板１０の傾斜部１８ｂと略同一角度の傾斜面を有するマスクゴム６０ｃ、マスク６２、マスクプレート６４を用意する。マスクゴム６０ｃの材料は、シリコンゴム等である。放熱板１０は、凹部１５がマスク６２とマスクプレート６４に対応するように配置する。
【００４３】
マスクゴム６０ｃと傾斜部１８ｂとを密着させるときには、マスクゴム６０ｃの先端部６０ｄと凹部１５の内底面部１６との距離は、めっき液６５が凹部１５の内底面部１６の隅々（全面）に十分にいきわたる程度にする。このように、マスクゴム６０ｃが密着する内側壁部１８のフット部１７の底面から内底面部１６近傍に、マスクエリア１９ａが形成される。また、めっき液６５が接する内側壁部１８の内底面部１６近傍はめっきエリア１９ｂが形成される。言いかえると、内側壁部１８は、マスクエリア１９ａとめっきエリア１９ｂに区分される。
【００４４】
図４（Ｃ）に示すように、マスクゴム６０ｃを傾斜部１８ｂに密着させた後、内底面部１６とマスクゴム６０ｃとマスク６２とで囲まれた密閉空間を形成する。
【００４５】
めっき液６５は、マスクプレート６４の下から、マスクプレート６４に設けた孔を通って、密閉空間内へ内底面部１６に向けて注入される。電解めっき用プレートの働きにより、めっき液６５内の金が内底面部１６にめっきされる。本実施態様では電解めっきを用いているが、本発明は無電解めっきなどのその他のめっき法を用いることができる。
【００４６】
このとき頭部６０ｄが斜めに切断され、放熱板１０の傾斜部１８ｂと同一角度の傾斜面を有するマスクゴム６０ｃが、内側壁部１８に設けた傾斜部１８ｂの傾斜面に密着して収容されるので、放熱板１０の内底面部１６をめっき流から遮ることがない。これにより、マスクゴム６０ｃの厚さ分が放熱板１０の内底面部１６上を覆わないため、図４（Ｄ）（Ｅ）に示すように、内底面部１６の全領域に対して金めっき（金めっき層）５０を施すことができる。
【００４７】
放熱板１０の凹部１５の内底面部１６一体に施された金めっき５０は、０．０５μｍから０．５μｍ程度の厚さを有する。この金めっき５０は、放熱板１０と熱伝導接合材４００との密着性を確保する働きをする。
【００４８】
なお、マスクゴム６０ｃに覆われなかった内側壁部１８の一部がめっきされるが、めっきされることによる問題は特に生じない。上記の方法では、内側壁部１８にはほとんど金めっきは施されないため、放熱板１０に対して必要最小限の金めっきを少ない費用で施すことが可能となる。
【００４９】
また、マスクゴム６０ｃが傾斜部１８ｂと密着するため、めっき液６５が漏れることがない。これにより、めっきが不必要なフット部１７に対して確実にめっき漏れを防ぐことができる。
【００５０】
以上、本発明の好ましい実施例について、金めっきを例に詳述したが、本発明は、錫や、金めっきに代わるその他金属めっきなど、マスクゴムを使用し、凹部を有する放熱板等の内底面部全体にめっきする方法に適用可能である。よって、本発明は、上記した特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲において、種々の変形、変更が可能なものである。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】図１（Ａ）は、半導体素子に放熱板を接続した半導体パッケージの従来の例を示す断面図である。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）断面図におけるＢ−Ｂ’平面図である。
【図２】図２（Ａ）は、従来の放熱板を示す断面図である。図２（Ｂ）は、従来の放熱板めっき方法を示す断面図である。図２（Ｃ）は、従来のめっき方法によりめっきされた様子を示す断面図である。図２（Ｄ）は、図２（Ｃ）断面図におけるＤ−Ｄ’平面図である。
【図３】図３（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係る放熱板１Ａの断面図である。図３（Ｂ）は、放熱板１Ａにめっきするときの配置を示す断面図である。図３（Ｃ）は、放熱板１Ａにめっきする方法を示す断面図である。図３（Ｄ）は、めっきされた放熱板１Ａの断面図である。図３（Ｅ）は、図３（Ｄ）断面図におけるＥ−Ｅ’平面図である。
【図４】図４（Ａ）は、本発明の第２実施形態に係る放熱板２Ａの断面図である。図４（Ｂ）は、放熱板２Ａにめっきするときの配置を示す断面図である。図４（Ｃ）は、放熱板２Ａにめっきする方法を示す断面図である。図４（Ｄ）は、めっきされた放熱板２Ａの断面図である。図４（Ｅ）は、図４（Ｄ）断面図におけるＥ−Ｅ’平面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０、１００  放熱板
１５、１５０  凹部
１６、１６０  内底面部
１７、１７０  フット部
１８、１８０  内側壁部
１８ａ   段差部
１８ｂ  傾斜部
１９ａ  マスクエリア
１９ｂ  めっきエリア
６０ａ、６０ｃ  マスクゴム
６２  マスク
６４  マスクプレート
６５  めっき液
５０、５００  金めっき
２００  基板
３００  半導体素子
４００  熱伝導接合材
【図１】
0005153316.tif 000002
【図２】
0005153316.tif 000003
【図３】
0005153316.tif 000004
【図４】
0005153316.tif 000005