(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
断面が矩形状の２つのコイルを互いに直交させて配置した励磁コイルと、
前記２つのコイルに互いに９０度の位相差を持つ交流電流を供給する電流供給装置と、  前記２つのコイルが交叉する位置に配置した磁気検出素子と、
を有し、
前記励磁コイルは、前記２つのコイルを検査対象物が貫通可能なように配置されており、
前記励磁コイルを当該励磁コイルを貫通する前記検査対象物の廻りに回転させる回転装置が設けられてなる、
ことを特徴とする検査対象物の探傷装置。
【請求項２】
断面が矩形状の２つのコイルを互いに直交させて配置した励磁コイルと、
前記２つのコイルに互いに９０度の位相差を持つ交流電流を供給する電流供給装置と、  前記２つのコイルが交叉する位置に配置した磁気検出素子と、
を有し、
前記励磁コイルは、前記２つのコイルを検査対象物が貫通可能なように配置されており、
複数個の前記励磁コイルが用いられ、
前記複数個の励磁コイルは、前記検査対象物の廻りに所定の回転角度だけ互いにずらせて配置され、
それぞれの励磁コイルには、前記検査対象物の外周面における互いに異なる角度範囲の傷を検出するように前記磁気検出素子が配置されている、
ことを特徴とする検査対象物の探傷装置。
【請求項３】
前記磁気検出素子は、サーチコイル、ホール素子、フラックスゲート素子、ＧＭＲ素子、ＭＩ素子、または薄膜プレーナコイルのいずれかである、
請求項１または２記載の検査対象物の探傷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属管や金属棒などの検査対象物の表面を探傷する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、金属管や金属棒などの検査対象物の表面に存在するきずの有無を非破壊で検査する方法として、渦流探傷法が用いられている。
【０００３】
図１７は従来の渦流探傷用プローブ８０を示す図である。
【０００４】
図１７に示すように、従来の渦流探傷用プローブ８０は、円筒状のボビン８１の外周面に巻き線を施してソレノイド状の３つのコイル８２、８３ａ、８３ｂを形成する。このうち、１つのコイル８２は励磁コイルであり、他の２つのコイル８３ａ、８３ｂは検出コイルである。ボビン８１の内部に、検査対象物である金属管や金属棒などを貫通させて試験を行う。
【０００５】
このようなボビン型の渦流探傷用プローブ８０では、ボビン８１の内側に置かれた検査対象物の表面に、コイル８２の巻き線方向つまり検査対象物の周方向（軸心と直角方向）に渦電流が流れる。検査対象物の表面に軸方向に沿った亀裂などのきずが存在した場合には、渦電流のための電流路が遮断されて変化する。この変化を、励磁コイル８２の近傍に巻かれた検出コイル８３ａ、８３ｂのインピーダンスの変化として検出する。
【０００６】
また、金属管の内表面のきずを探傷したい場合には、このような渦流探傷用プローブ８０を管の内部に挿入する方法が取られる。この方法は、日本非破壊検査協会編の「渦流探傷試験ＩＩ、５、試験コイル」に規定されている。
【０００７】
また、２個以上の小型のパンケーキコイルを、試験対象物の軸方向又は渦巻き状に渦電流が発生するように配置し、欠陥が渦電流をさえぎることによりコイル内にインピーダンスの変化を生ずるようにした渦流探傷用プローブが提案されている（特許文献１）。
【特許文献１】特開平９−４３２０４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図１７に示した従来の渦流探傷用プローブ８０によると、比較的簡単な構成により非接触で高速の検査が実現可能であるが、しかし、検査対象物の表面に流れる渦電流と同じ方向に沿ったきずつまり周方向のきずが存在していても渦電流の電流路を大きく阻害することが無いため、周方向のきずの検出はきわめて困難であるという問題がある。
【０００９】
つまり、従来から広く用いられている貫通型のコイルを用いた渦流探傷用プローブ８０では、金属管や金属棒のような圧延加工で製造される長い形状の検査対象物の軸方向きず、周方向きず、および微細孔形状のきずなどを同時に検出することは困難であった。
【００１０】
また、特許文献１に示された小型のパンケーキコイルを複数配置する方法では、多数のパンケーキコイルを検査対象物に接近させて配置することが容易ではなく、装置が複雑で高価になるという問題がある。
【００１１】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、簡単な構成で検査対象物に二方向の磁界を容易に与えることを可能とし、どのような方向のきずをも検出することのできる検査対象物の探傷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る装置は、断面が矩形状の２つのコイルを互いに直交させて配置した励磁コイルと、前記２つのコイルに互いに９０度の位相差を持つ交流電流を供給する電流供給装置と、前記２つのコイルが交叉する位置に配置した磁気検出素子と、を有し、前記励磁コイルは、前記２つのコイルを検査対象物が貫通可能なように配置されており、前記励磁コイルを当該励磁コイルを貫通する前記検査対象物の廻りに回転させる回転装置が設けられてなる。
または、複数個の前記励磁コイルが用いられ、前記複数個の励磁コイルは、前記検査対象物の廻りに所定の回転角度だけ互いにずらせて配置され、それぞれの励磁コイルには、前記検査対象物の外周面における互いに異なる角度範囲の傷を検出するように前記磁気検出素子が配置されている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によると、簡単な構成で検査対象物に二方向の磁界を容易に与えることが可能となり、検査対象物のどのような方向のきずをも検出して探傷することが可能である。しかも、検査対象物の径が大きい場合であっても検査対象物の全周の探傷を行うことが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
〔第１の実施形態〕
図１は本発明に係る第１の実施形態の渦流探傷用プローブ３の構造を示す図、図２は渦流探傷用プローブ３のコイル１１，１２に流す電流の波形を示す図、図３は渦流探傷用プローブ３によって誘導される金属板の表面の渦電流の様子を示す図、図１７はコイル２１，２２の各寸法の位置を示す図である。
【００１７】
なお、図１（Ａ）は渦流探傷用プローブ３の正面図、図１（Ｂ）は渦流探傷用プローブ３の右側面図、図１（Ｃ）は渦流探傷用プローブ３の底面図である。
【００１８】
図１において、渦流探傷用プローブ３は、断面が矩形状の２つのコイル２１，２２を互いに直交させて配置した励磁コイル１１、および２つのコイル２１，２２が交叉する位置に配置された磁気検出素子１２からなる。２つのコイル２１，２２に互いに９０度の位相差を持つ交流電流を流すことにより回転磁界を発生させ、２つのコイル２１，２２の近辺に存在する金属の検査対象物ＷＫの表面の傷を探傷する。
【００１９】
各コイル２１，２２は、合成樹脂、陶磁器、または紙などの非磁性材料からなるボビンに電線を巻いたものである。そのようなボビンは、直方体形状、細長い直方体形状のものが直交する形状、２つの矩形状の枠体が直交するように組み合わされたものなど、種々の構造または構成とすることができる。
【００２０】
なお、２つのコイル２１，２２は、いずれも、矩形状の長辺Ｌ２が短辺Ｌ１の３倍以上の寸法であり、コイル２１，２２の長さＬ３が矩形状の短辺Ｌ１の３分の１ないし５分の３となっている。しかしこれ以外の寸法であってもよい。なお、コイル２１，２２の短辺Ｌ１、長辺Ｌ２、および長さＬ３については、図１６を参照のこと。
【００２１】
磁気検出素子１２として、サーチコイル、ホール素子、フラックスゲート素子、ＧＭＲ素子、ＭＩ素子、薄膜プレーナコイル、その他の素子が用いられる。なお、磁気検出素子１２は、２つのコイル２１，２２が交叉する２箇所の位置にそれぞれ配置してもよい。
【００２２】
検査対象物ＷＫの検査のために、２つのコイル２１，２２には、互いに９０度の位相差を持つサイン波である交流電流Ｊ１，Ｊ２を供給する。
【００２３】
つまり、一方のコイル２１には図２に示す電流Ｊ１が流れるように、他方のコイル２１には図２に示す電流Ｊ２が流れるように、図示しない電流供給装置によってコイル２１，２２に電圧ＳＡ，ＳＢを印加する。このように、互いに９０度の位相差を持つ電流Ｊ１および電流Ｊ２をコイル２１，２２に流すことによって、コイル２１，２２の交差部分に回転磁界が発生する。
【００２４】
コイル２１，２２の交差部分を検査対象物ＷＫ１である金属板に近づけると、図３に示すように、金属板ＷＫ１の表面には、コイル２１の電流Ｊ１による渦電流Ｚ１、およびコイル２２の電流Ｊ２による渦電流Ｚ２が、それぞれ流れる。これら渦電流Ｚ１，Ｚ２の方向は、互いに直交する方向である。渦電流Ｚ１，Ｚ２の大きさは、各電流Ｊ１，Ｊ２に応じて変化するので、それぞれサイン波状に変化する。その結果、渦電流Ｚ１，Ｚ２を合成すると回転渦電流となる。
【００２５】
いずれにしても、金属板ＷＫ１の表面には互いに直交する渦電流Ｚ１，Ｚ２が流れるので、これら渦電流Ｚ１，Ｚ２の方向にそれぞれ直交する方向に沿ったきずをも容易に検出することが可能となる。
〔第２の実施形態〕
次に、金属管や金属棒などのように長い検査対象物ＷＫを検査可能とした第２の実施形態の渦流探傷用プローブ３Ｂについて説明する。
【００２６】
図４は第２の実施形態の渦流探傷用プローブ３Ｂを示す図、図５および図６は渦流探傷用プローブ３Ｂによって検査対象物ＷＫ２の表面に流れる渦電流の様子を示す図である。
【００２７】
図４に示すように、励磁コイル１１Ｂには、管状または棒状の検査対象物ＷＫ２が２つのコイル２１，２２を貫通可能なように、コイル２１，２２の中央部に断面円形状の穴１３が設けられている。
【００２８】
穴１３を貫通することによって２つのコイル２１，２２の中を挿通した検査対象物ＷＫ２の表面には、コイル２１，２２に流す電流に応じた渦電流が流れる。例えば、２つのコイル２１，２２に同位相の交流電流を流した場合には、図５に示すように、互いに直交する方向に渦電流Ｚ３，Ｚ４が流れる。この場合に、コイル２１，２２は、検査対象物ＷＫ２の軸心方向（軸線方向）に対して４５度の方向に巻かれているため、検査対象物ＷＫ２の表面のきずとして、軸心方向に対し±４５度、±１３５度の方向に沿ったきずが、磁気検出素子１２によって最大感度で検出されることとなる。しかし一般的には、軸心方向に対して、０度（±２５度）、９０度（±２５度）のきずが多いため、図５に示す方向の渦電流Ｚ３，Ｚ４によってはきずによって磁気検出素子１２で検出される信号の評価を良好に行うことができない。
【００２９】
そこで、第１の実施形態の図２で示したように、２つのコイル２１，２２に、互いに９０度の位相差を持つ交流電流を供給し、検査対象物ＷＫ２の表面に回転渦電流を発生させる。
【００３０】
つまり、図６に示すように、コイル２１，２２による回転磁界によって、検査対象物ＷＫ２の表面には時間に応じて流れる方向が変化する渦電流、つまり回転渦電流Ｚ５が流れる。回転渦電流Ｚ５は、いずれの方向のきずをも検出することが可能である。つまり、回転渦電流Ｚ５は、どの方向のきずに対しても磁気検出素子１２に同等の信号が得られるように作用する。その結果、金属管や金属棒などの検査対象物ＷＫ２の表面の軸方向のきずおよび周方向のきずの両方について、同等の振幅の信号が磁気検出素子１２の出力信号として得られる。
【００３１】
また、従来においては、断面が矩形や六角形状の管や棒の探傷はできなかったが、本実施形態においてはそれらの形状の検査対象物ＷＫについても、上と同様に容易に探傷が可能となる。
〔第３の実施形態〕
次に、断面形状が矩形である管（角管）を検査対象物ＷＫ３とする場合について説明する。
【００３２】
図７は第３の実施形態の渦流探傷用プローブ３Ｃを示す図である。
【００３３】
図７において、渦流探傷用プローブ３Ｃは、同じ構造の２個の渦流探傷用プローブ３Ｃ１，３Ｃ２を、同軸上で互いに９０度の角度だけ回転した角度位置に配置することによって構成される。
【００３４】
各渦流探傷用プローブ３Ｃ１，３Ｃ２は、２つのコイル２１，２２を互いに直交させて配置した励磁コイル１１Ｃ、その交叉位置に配置した２つの磁気検出素子１２Ｃを有する。各励磁コイル１１Ｃには、検査対象物ＷＫ３が挿通可能なように断面矩形の穴１３Ｃが設けられている。
【００３５】
このように、渦流探傷用プローブ３Ｃにおいては、複数個の励磁コイル１１Ｃが用いられ、各励磁コイル１１Ｃは、検査対象物ＷＫ３の廻りに所定の回転角度、ここでは９０度だけ互いにずらせて配置されている。各励磁コイル１１Ｃには、検査対象物ＷＫ３の外周面における互いに異なる角度範囲の傷を検出するように、２つの磁気検出素子１２が配置されている。
【００３６】
各渦流探傷用プローブ３Ｃ１，３Ｃ２において、２つのコイル２１，２２に互いに９０度の位相差を持つ交流電流を流すことにより回転磁界を発生させ、検査対象物ＷＫ３の四角の４つの周面のきずを検出する。つまり、渦流探傷用プローブ３Ｃ１によって検査対象物ＷＫ３の左右の面を検査し、渦流探傷用プローブ３Ｃ２によって検査対象物ＷＫ３の上下の面を検査する。このように、渦流探傷用プローブ３Ｃによると、検査対象物ＷＫ３の全周についてのきずの検査を同時に行うことができる。
【００３７】
なお、検査対象物ＷＫ３が四角である場合に２つの渦流探傷用プローブ３Ｃ１，３Ｃ２を用いたが、六角である場合には３つの渦流探傷用プローブ３Ｃ１，３Ｃ２，３Ｃ３を用いればよい。
〔第４の実施形態〕
上の説明で明らかなように、本実施形態の渦流探傷用プローブ３〜３Ｃによると、貫通型コイルや内挿プローブでありながら、検査対象物ＷＫに対して二方向の磁化が可能であるという利点がある。
【００３８】
一般的には、検出コイルを配置する位置が励磁コイルの交叉点に限定されるため、図７に示すような角型の検査対象物ＷＫである場合を除き、図４に示すような丸い検査対象物ＷＫである場合には、１組みのコイル２１，２２つまり１つの励磁コイル１１に対して磁気検出素子１２の配置可能な場所は２箇所しかない。
【００３９】
そのため、検査対象物ＷＫの全周の探傷のためには、多数の励磁コイル１１または渦流探傷用プローブ３を軸方向に配列するとともに、各磁気検出素子１２の検出範囲から割り出された一定の角度ずつそれらをずらせて配置するなどの処置が必要である。
【００４０】
しかし、その場合には、検査対象物ＷＫの径が大きい場合、例えば外径が５０ｍｍである場合には、１個の渦流探傷用プローブ３の検出範囲が４ｍｍ程度であるから、検査対象物ＷＫの全周の探傷のためには渦流探傷用プローブ３が４０個も必要となってしまう。
【００４１】
したがって、その場合に、４０個の渦流探傷用プローブ３を配置した全体の長さは、１個の渦流探傷用プローブ３の長さが１０ｍｍ程度であったとしても、全長で４００ｍｍとなり、軸方向に４００ｍｍの長さを有する部分を同時に深傷していることになる。しかし、これでは軸方向の特定箇所の全周を一時に探傷していることにはならないため、渦流探傷用プローブ３の個数が多いにもかかわらずガタ信号に鋭敏になってしまい、圧延工程中における検査対象物ＷＫのオンライン検査などには適さない。
【００４２】
そこで、渦流探傷用プローブ３をそのようなオンライン探傷などに適用するために、渦流探傷用プローブ３を回転させる方式が有効である。次に、そのような回転駆動装置を用いた探傷装置について、第４の実施形態として説明する。
【００４３】
図８は回転駆動装置を用いた探傷装置１の構成を示す図である。
【００４４】
図８において、渦流探傷用プローブ３Ｄは、円筒状のプローブホルダ３４の中に保持されている。プローブホルダ３４は、基台３１に回転可能に設けられた２つのベアリングローラ３２，３３によって回転可能に支持されている。モータやギヤなどを含んで構成された回転駆動装置３５が、プローブホルダ３４の表面に当接しており、回転駆動装置３５の回転によってプローブホルダ３４が回転する。プローブホルダ３４の回転とともに、渦流探傷用プローブ３Ｄは一体的に回転する。渦流探傷用プローブ３Ｄからの出力信号は、例えば図示しないスリップリングを用いて取り出される。
【００４５】
渦流探傷用プローブ３Ｄの中央に設けられた穴１３Ｄには、検査対象物ＷＫ４が貫通してその軸方向に移動（走行）しており、検査対象物ＷＫ４の外周が渦流探傷用プローブ３Ｄによって探傷される。そして、その際に、渦流探傷用プローブ３Ｄも回転するので、検査対象物ＷＫ４の全周が探傷されることとなる。
【００４６】
なお、渦流探傷用プローブ３Ｄとして、上に述べた渦流探傷用プローブ３〜３Ｃのいずれを用いてもよい。穴１３Ｄとして、走行する検査対象物ＷＫ４と干渉しない程度に余裕を持って大きくしておけばよい。
【００４７】
なお、この方式では、渦流探傷用プローブ３Ｄの２箇所に設けられた磁気検出素子１２のみがきずの検出に寄与するため、検出の有効領域（回転角度領域）は、例えば、外径が２０ｍｍの管の場合に、１個の磁気検出素子１２あたり±１５度程度であるため、通常の場合に、渦流探傷用プローブ３Ｄが１回転するうち６０度／３６０度しか得られない。そのため、渦流探傷用プローブ３Ｄの回転速度を高速にする必要がある。検査対象物ＷＫ４が外径４０ｍｍ以上の大径の場合などには、複数個の渦流探傷用プローブ３Ｄを所定の角度範囲内を揺動させ、有効探傷範囲を大きくすることが有効である。
〔具体例〕
さて、ここで、渦流探傷用プローブ３〜３Ｄの具体的な寸法の一例を示す。
【００４８】
上に述べた渦流探傷用プローブ３〜３Ｄにおいて、コイル２１，２２は、軸方向の長さＬ３が４ｍｍ程度、幅（矩形状の長辺）Ｌ２が１６ｍｍ程度、高さ（矩形状の短辺）Ｌ１が１０ｍｍ程度である。なお、幅Ｌ２が高さＬ１よりも３倍程度以上となるようにしてもよい。磁気検出素子１２は、直径が３ｍｍ程度、厚さが５０μｍ程度、巻き数７０程度のプレーナコイルである。磁気検出素子１２は、２つのコイル２１，２２の交叉部分（４×４ｍｍの部分）において、巻き線の下側に貼り付けられる。
【００４９】
また、コイル２１，２２の巻き数は、例えば１００〜２００回程度、コイル２１，２２に流す電流の周波数は数ＫＨｚ〜数百ＫＨｚ、または数百ＫＨｚ〜数ＧＨｚ程度である。そのような電流を流すための電流供給装置として、位相が異なり振幅が同じである２系統のサイン波形の交流の電圧ＳＡ，ＳＢを出力する回路を用いることができる。その場合の出力電圧としては、例えば数ボルト〜数十ボルト程度である。
【００５０】
この渦流探傷用プローブを用い、板状の検査対象物ＷＫに加工したドリル孔、ＥＤＭスリットの検出結果を図９に示した。図９において、検査対象物ＷＫの長さ方向の位置がｘ軸に、それぞれの位置における磁気検出素子１２に基づく出力信号がｙ軸に、それぞれ示されている。
【００５１】
図９（Ａ）に示すように、ドリル孔の位置（目盛り約１８の位置）において、ドリル孔による微分波形の出力信号が得られる。また、図９（Ｂ）に示すように、ＥＤＭスリットの位置（目盛り約１８の位置）において、ＥＤＭスリットによる微分波形の出力信号が得られる。このように、渦流探傷用プローブ３を用いて、従来のプローブと同じようなきず信号が得られた。
【００５２】
また、上と同じ渦流探傷用プローブを用い、検査対象物ＷＫとして外径が８ｍｍのアルミ管を挿入し、アルミ管に加工したドリル孔の検出結果を図１０〜図１２に示した。
【００５３】
つまり、図１０には、ドリル径が、１．５ｍｍ、０．７ｍｍ、０．５ｍｍ、１．０ｍｍであった場合のそれらのよる出力信号が示されている。
【００５４】
また、同じアルミ管に１．０ｍｍのドリル孔を設けてきずと磁気検出素子１２との位置関係を調べた結果が図１１に示されている。図１１において、ドリル孔が磁気検出素子１２の中心を通過した場合が実線で示され、ドリル孔が磁気検出素子１２の中心から約５度ずれた位置を通過した場合が破線で示されている。
【００５５】
これによると、ドリル孔が磁気検出素子１２の中心から約５度ずれると、出力信号の大きさは２０パーセント程度低下している。
【００５６】
したがって、上の第４の実施形態で説明した探傷装置１を用いて検査対象物ＷＫを回転させることにより、ドリル孔が検査対象物ＷＫの周方向のどの位置あっても、図１２に示すように良好に検出することができる。
【００５７】
また、第４の実施形態のところでも述べたように、渦流探傷用プローブ３を多数個、例えば６個用い、それぞれの渦流探傷用プローブ３を回転角度位置を３０度ずつずらせた状態で並べた場合について説明する。
【００５８】
図１３は６個の渦流探傷用プローブ３Ｅ１〜３Ｅ６を回転角度位置をずらせて配置した渦流探傷用プローブ３Ｅを開口部の側から見て示す図、図１４は検査対象物ＷＫ５であるアルミ管の外周に設けたきずＫＺの位置を示す図、図１５は検査対象物ＷＫ５に設けたきずによる検出結果を示す図である。
【００５９】
図１３に示すように、６個の渦流探傷用プローブを回転角度位置をずらせて配置すると、１２個の磁気検出素子１２が円周方向に３０度間隔で並べられているのと同じ状態となる。したがって、渦流探傷用プローブ３Ｅの中央の穴１３Ｅを貫通する検査対象物ＷＫ５の外周のどの角度位置にきずがあっても、図１５に示すようにそのきずＫＺを検出することが可能である。
【００６０】
図１３に示す渦流探傷用プローブ３Ｅを用い、検査対象物ＷＫ５として銅パイプを穴１３Ｅに通してローラで駆動して走行させることにより、銅パイプの外周面のきずを高速で精密に検査することが可能である。
【００６１】
また、検査対象物ＷＫ５として、平板状の金属板、その他の種々の形状の金属について、その表面のきずを検査することが可能である。
【００６２】
上に述べた渦流探傷用プローブ３、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ、３Ｅは、本発明における探傷装置にも対応するものである。
【００６３】
なお、磁気検出素子１２から出力される信号を処理するための回路として、増幅回路、同期検波回路、微分回路、演算回路、メモリ回路、出力回路などを組み合わせた公知の種々の回路構成を用いることが可能である。その場合に、複数の磁気検出素子１２の出力を直列に接続して１つの増幅回路に入力するようにしてもよい。
【００６４】
上に述べた各実施形態の渦流探傷用プローブ３〜３Ｅまたは探傷装置１によると、簡単な構成で検査対象物ＷＫに二方向の磁界を容易に与えることが可能となり、検査対象物ＷＫのどのような方向のきずをも検出して探傷することが可能である。
【００６５】
上に述べた各実施形態において、コイル２１，２２、励磁コイル１１、磁気検出素子１２、渦流探傷用プローブ３〜３Ｅ、または探傷装置１の全体または各部の構造、構成、形状、寸法、個数、材質、回路構成、電圧、周波数などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更することができる。                                                              
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明に係る第１の実施形態の渦流探傷用プローブの構造を示す図である。
【図２】渦流探傷用プローブのコイルに流す電流の波形を示す図である。
【図３】渦流探傷用プローブによって流れる渦電流の様子を示す図である。
【図４】第２の実施形態の渦流探傷用プローブを示す図である。
【図５】検査対象物の表面に流れる渦電流の様子を示す図である。
【図６】検査対象物の表面に流れる渦電流の様子を示す図である。
【図７】第３の実施形態の渦流探傷用プローブを示す図である。
【図８】回転駆動装置を用いた探傷装置の構成を示す図である。
【図９】板状の検査対象物に加工したきずの検出結果を示す図である。
【図１０】アルミ管に加工したきずの検出結果を示す図である。
【図１１】アルミ管に加工したきずの検出結果を示す図である。
【図１２】アルミ管に加工したきずの検出結果を示す図である。
【図１３】６個の渦流探傷用プローブを用いた装置を示す図である。
【図１４】アルミ管の外周に設けたきずの位置を示す図である。
【図１５】アルミ管に設けたきずによる検出結果を示す図である。
【図１６】断面が矩形状のコイルの各寸法の位置を示す図である。
【図１７】従来の渦流探傷用プローブを示す図である。
【符号の説明】
【００６７】
１  探傷装置
３，３Ｂ〜３Ｅ  渦流探傷用プローブ
１１  励磁コイル
１２  磁気検出素子
１３  穴
２１，２２  コイル
３５  回転駆動装置（回転装置）
ＷＫ  検査対象物
ＳＡ，ＳＢ  電圧（電流供給装置）
【図１】
0005153274.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005153274.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0005153274.tif 000011
【図１１】
0005153274.tif 000012
【図１２】
0005153274.tif 000013
【図１３】
0005153274.tif 000014
【図１４】
0005153274.tif 000015
【図１５】
0005153274.tif 000016
【図１６】
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【図１７】
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