(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源（２）から進行して視野ファセット（７）においてかつ本方法を用いて割り当てられる瞳ファセット（１１）において照明光学ユニット（２３；３７）によって照明される物体視野（１８）に向けて反射される照明光（３）の部分ビームに対する照明チャンネルの定義のために投影露光装置（１）の照明光学ユニット（２３；３７）の瞳ファセットミラー（１０）の瞳ファセット（１１）を照明光学ユニット（２３；３７）の視野ファセットミラー（６）の視野ファセット（７）に割り当てる方法であって、
物体視野（１８）の照明を評価することができる少なくとも１つの照明パラメータを識別する段階（２６）と、
前記選択された照明パラメータに依存して前記照明光（３）の前記部分ビームを案内するための可能な照明チャンネル、すなわち、前記視野ファセット（７）のうちのちょうど１つと前記瞳ファセット（１１）のうちのちょうど１つとの可能な組合せを評価するための照明チャンネル依存の評価関数を事前定義する段階（２７）と、
前記評価関数の結果としての評価変数の評価ターゲット範囲を事前定義する段階（２８）と、
前記物体視野（１８）の照明に影響を及ぼす少なくとも１つの外乱変数を識別する段階（３１）と、
前記少なくとも１つの外乱変数への前記評価関数の依存性を識別する段階（３２）と、 事前定義された外乱変数変動範囲で事前選択された照明チャンネルに対する前記外乱変数を変更し（３３）、前記評価関数に基づいて前記評価変数のそれぞれ続く変動を計算する段階と、
前記変動範囲全体において前記評価ターゲット範囲内に留まる、変更された評価変数を有する照明チャンネルを選択する段階（３４）と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
それぞれ考慮される前記照明チャンネルに対する均一照明からの前記照明光（３）による前記視野ファセット（７）の照明の強度の偏差が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
考慮される前記照明チャンネルの前記視野ファセット（７）上に入射する前記照明光（３）のその部分ビームの他の光学構成要素による遮蔽（３６）が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項４】
考慮される前記照明チャンネルの前記視野ファセット（７）及び／又は前記瞳ファセット（１１）上の前記照明光（３）の前記部分ビームの入射角が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項５】
考慮される前記照明チャンネルの前記瞳ファセット（１１）と前記物体視野（１８）との間に位置する光学構成要素（１２から１４；３８）のチャンネル依存の反射率が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
考慮される前記照明チャンネルの前記瞳ファセット（１１）上の光源像の形状が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
考慮される前記照明チャンネルの前記視野ファセット（７）の前記物体視野（１８）内への結像の結像スケールが、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
考慮される前記照明チャンネルの前記視野ファセット（７）の前記物体視野（１８）内への結像を記述する結像収差が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
対称性変数が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
迷光変数が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
前記物体視野（１８）に配置された物体（１７）の結像される構造幅が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
前記視野ファセットミラー（６）の場所における前記光源（２）の遠視野内の視野ファセット（７）の位置が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源から進行し、視野ファセット及び本方法を用いて割り当てられた瞳ファセットにおいて照明光学ユニットによって照明される物体視野に向けて反射される照明光の部分ビームに対する照明チャンネルの定義のために投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
視野ファセットミラー及び瞳ファセットミラーを含む照明光学ユニットを含む投影露光装置は、ＷＯ  ２００９／１３２  ７５６  Ａ１、ＤＥ  １０  ２００６  ０５９  ０２４  Ａ１、ＤＥ  １０  ２００６  ０３６  ０６４  Ａ１、ＷＯ  ２０１０／０３７  ４５３  Ａ１、ＤＥ  １０  ２００８  ０４２  ８７６  Ａ、ＤＥ  １０  ２００８  ００１  ５１１  Ａ１、ＤＥ  １０  ２００８  ００２  ７４９  Ａ１、及びＤＥ  １０  ２００９  ０４５  ６９４  Ａ１から公知である。
【０００３】
多くの場合に、投影露光装置の照明光学ユニットの視野ファセットミラー及び瞳ファセットミラーは、各場合に数百個のファセットを有する。Ｎ個の視野ファセット及びＮ個の瞳ファセットを有する照明光学ユニットの場合には、理論上、瞳ファセットへの視野ファセットの割り当てに対する候補数はＮ！で変化する。ファセットミラーのファセット数が増大する時に、この割り当て候補数は、急激に大きくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＷＯ  ２００９／１３２  ７５６  Ａ１
【特許文献２】ＤＥ  １０  ２００６  ０５９  ０２４  Ａ１
【特許文献３】ＤＥ  １０  ２００６  ０３６  ０６４  Ａ１
【特許文献４】ＷＯ  ２０１０／０３７  ４５３  Ａ１
【特許文献５】ＤＥ  １０  ２００８  ０４２  ８７６  Ａ
【特許文献６】ＤＥ  １０  ２００８  ００１  ５１１  Ａ１
【特許文献７】ＤＥ  １０  ２００８  ００２  ７４９  Ａ１
【特許文献８】ＤＥ  １０  ２００９  ０４５  ６９４  Ａ１
【特許文献９】ＵＳ  ６  ８５９  ５１５  Ｂ２
【特許文献１０】ＥＰ  １  ２２５  ４８１  Ａ２
【特許文献１１】ＵＳ  ６，６５８，０８４  Ｂ２
【特許文献１２】ＵＳ  ７．１９６，８４１  Ｂ２
【特許文献１３】ＤＥ  １０３  ２９  １４１  Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、最適化される照明パラメータに基づいて、視野ファセットへの瞳ファセットの割り当ての再現可能な選択及び従って照明光学ユニットの照明チャンネルの再現可能な事前判断を保証する冒頭に示した種類の割り当て方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明により、この目的は、請求項１に明記した段階を含む方法を用いて達成される。
【０００７】
本発明により、重要なことは、考慮される照明パラメータに対する個々の照明チャンネルを通じて案内されるビームの特性の影響が組み込まれる適切な評価関数を指定することであることが認識された。この割り当て方法は、視野ファセット及び瞳ファセットを有する照明光学ユニットの全ての照明チャンネルの識別されて最適化された照明パラメータによる割り当てを可能にする。本方法は、それぞれの照明タスクに柔軟に適応することができる。この適応は、考慮される照明パラメータを選択し、予め判断される評価関数を選択し、例えば、重み付け項を挿入することによって評価関数を適応させ、評価ターゲット範囲を事前定義することによって行うことができる。
【０００８】
請求項２に記載の割り当て方法は、事前定義された外乱に基づいて、評価される照明チャンネルに関するこの評価変数の安定性を更に考慮する。そのような割り当て方法は、視野ファセット及び瞳ファセットを有する照明光学ユニットの全ての照明チャンネルの最適化された安定性による割り当てを可能にする。更に、この適応は、それぞれ使用される外乱変数を選択して適応させ、外乱変数変動範囲を事前定義することによって行われる。
【０００９】
評価変数は、照明チャンネルの実際の選択の前に、事前定義された評価関数に基づいて可能な照明チャンネルのうちの少なくとも選択された照明チャンネルに対して事前計算することができる。このようにして、照明チャンネルの可能なターゲット構成の事前選択を低い計算の複雑さしか伴わずに行うことができる。冒頭からの不適切な構成を特に事前選択を使用することによって除外することができる。例示的に割り当て方法中に最初に特定の対称特性を有する構成が評価関数に基づいて検査されるように、一例として対称性の考慮を事前選択に組み込むことができる。そのような構成は、特に、外乱変数変動のための開始構成として使用することができる。
【００１０】
請求項３に記載の評価関数は、特に、物体視野にわたって事前定義された強度分布によってチャンネル割り当てを事前定義することを可能にする。
【００１１】
請求項４に記載の評価関数を事前定義する段階は、特に、割り当てによって決定される異なるファセット傾斜角の結果として生じる可能性がある互いに隣接する視野ファセットによる遮蔽を考慮することができる。
【００１２】
請求項５に記載の評価関数は、ファセット上の照明光の好ましくない反射率低減入射角が回避されるという効果を有する。
【００１３】
異なる照明位置の間で切り換えることができるファセットが設けられる場合に限り、ファセット切り換え行程を評価関数に組み込むことができる。
【００１４】
請求項６に記載の評価関数を使用すると、照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの下流に配置された光学構成要素の反射率の系統的な影響を記録することができる。
【００１５】
請求項７に記載の評価関数の場合に組み込まれる光源像の形状は、瞳ファセット上の光源像、すなわち、光源の像のサイズ又は形状、瞳ファセット上の光源像の位置、又はそうでなければ瞳ファセット上の光源像のエネルギ重心位置とすることができる。
【００１６】
請求項８及び請求項９に記載の評価関数に組み込まれる結像変数は、それぞれの結像変数が考慮に入れられて最適化されるチャンネル割り当てを事前定義する可能性をもたらす。評価関数に組み込まれる可能な結像収差は、歪曲、像回転、像遮蔽、物体平面からのファセット像の偏位（デフォーカス）、又はそうでなければ結像の焦点深度とすることができる。
【００１７】
請求項１０に記載の対称性変数評価関数は、考慮される照明チャンネル及びそれに対して補完的な照明チャンネルの事前選択時に、両方の照明チャンネルによる物体視野照明の重ね合わせが評価ターゲット範囲に収まるような補完的照明チャンネルが存在する場合に、評価ターゲット範囲自体から外れる照明チャンネルが事前選択に含まれるように事前定義することができる。そのような対称的又は補完的な視野プロフィールの例は、例えば、同一強度及び補完的視野プロフィールを有する照明チャンネル対の点対称配列に対するファセット割り当ての調査の結果として、又は瞳中心の回りに互いに対して極座標で９０度だけ回転されて配置され、特に、補完的プロフィールを有する照明チャンネル対の存在に関する調査時に生じる。
【００１８】
請求項１１に記載の迷光変数は、例えば、一方で視野ファセット間の近傍関係、他方で瞳ファセット間の近傍関係として表すことができる。この場合、隣接する視野ファセットと隣接する瞳ファセットの両方によって形成され、かつその時に近接する照明チャンネルのプロフィールに起因する迷光によって脅かされる照明チャンネルは、こうして回避することができる。
【００１９】
請求項１２及び請求項１３に記載の評価関数は、対応する照明タスクに十分に適応させることができる。
【００２０】
図面を参照して本発明の例示的な実施形態を以下により詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】マイクロリソグラフィのための投影露光装置を照明光学ユニットに関して子午断面内に略示する図である。
【図２】図１に記載の投影露光装置の照明光学ユニットの視野ファセットミラーのファセット配列の平面図である。
【図３】図１に記載の投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーのファセット配列の平面図である。
【図４】視野ファセットミラーの更に別の実施形態のファセット配列を図２と類似の図に示す図である。
【図５】視野ファセットミラーの更に別の実施形態のファセット配列を図２と類似の図に示す図である。
【図６】照明光の部分ビームに対する照明チャンネルの定義のためにＥＵＶリソグラフィのための投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法の概略的な流れ図である。
【図７】図２に記載の実施形態における視野ファセットミラーの長手ファセット辺にわたって互いに直接に接合する互いに対して傾斜された２つの隣接する視野ファセットの斜視図である。
【図８】長手ファセット辺の間に隙間が残るように配置された図７に記載の２つの視野ファセットを示す図である。
【図９】照明チャンネルの定義のために互いに対してそれぞれ割り当てられた２つの瞳ファセット及び視野ファセットを含む照明光学ユニットの視野ファセットミラーを左にかつ瞳ファセットミラーを右に非常に概略的に示す図である。
【図１０】投影露光装置の照明光学ユニットの更に別の実施形態を図１と類似の図に示す図である。
【図１１】図１に記載の照明光学ユニットの正確に１つの視野ファセット及び正確に１つの瞳ファセットを含む照明チャンネルに沿った中間焦点と物体視野の間の光線誘導を図１に対応する側面図に示す非常に概略的かつ正確な縮尺のものではない図である。
【図１２】ＥＵＶ部分ビームが照明チャンネルを通じて印加される図１１に記載の瞳ファセットの物体視野の場所ＸＩＩから見た図である。
【図１３】ＥＵＶ部分ビームが照明チャンネルを通じて印加される図１１に記載の瞳ファセットの物体視野の場所ＸＩＩＩから見た図である。
【図１４】ＥＵＶ部分ビームが照明チャンネルを通じて印加される図１１に記載の瞳ファセットの物体視野の場所ＸＩＶから見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
マイクロリソグラフィのための投影露光装置１は、微細構造又はナノ構造の電子半導体構成要素を生成するように機能する。光源２は、照明に使用され、例えば、５ｎｍと３０ｎｍの間の波長範囲のＥＵＶ放射線を放出する。光源２は、ＧＤＰＰ（ガス放電生成プラズマ）光源又はＬＬＰ（レーザ生成プラズマ）光源とすることができる。シンクロトロンに基づく放射線源を光源２に使用することができる。当業者は、そのような光源に関する情報を例えばＵＳ  ６  ８５９  ５１５  Ｂ２に見出すことができる。投影露光装置１内では、照明及び結像に対してＥＵＶ照明光又は照明放射線３が使用される。ＥＵＶ照明光３は、光源２の下流で最初に例えば従来技術で公知の多殻構成を有する入れ子式コレクター又は代替的に楕円体形状のコレクターとすることができるコレクター４を通過する。対応するコレクターは、ＥＰ  １  ２２５  ４８１  Ａ２から公知である。コレクター４の下流では、ＥＵＶ照明光３は、最初に、望ましくない放射線又は粒子部分からＥＵＶ照明光３を分離するために使用することができる中間焦点面５を通過する。中間焦点面５を通過した後に、ＥＵＶ照明光３は、最初に視野ファセットミラー６上に入射する。
【００２３】
位置関係の表現を容易にするために、各場合に図面内に直交広域ｘｙｚ座標系を示している。図１では、ｘ軸は、作図面と垂直に作図面から現れるように延びている。ｙ軸は、図１の右に向けて延びている。ｚ軸は、図１の上方に延びている。
【００２４】
以下の図では、投影露光装置１の個々の光学構成要素における位置関係の説明を容易にするために、各場合に直交局所ｘｙｚ又はｘｙ座標系を同様に使用する。それぞれの局所ｘｙ座標は、別途説明しない限り、光学構成要素のそれぞれの主配列平面、例えば、反射平面に張られる。広域ｘｙｚ座標系のｘ軸と局所ｘｙｚ又はｘｙ座標系のｘ軸とは互いと平行に延びている。局所ｘｙｚ又はｘｙ座標系のそれぞれのｙ軸は、広域ｘｙｚ座標系のｙ軸に対してそれぞれの光学構成要素のｘ軸回りの傾斜角に対応する角度にある。
【００２５】
図２は、視野ファセットミラー６の視野ファセット７のファセット配列を例示的に示している。視野ファセット７は矩形であり、各場合に同じｘ／ｙアスペクト比を有する。ｘ／ｙアスペクト比は、例えば、１２／５、２５／４、又は１０４／８とすることができる。
【００２６】
視野ファセット７は、視野ファセットミラー６の反射面を事前定義し、各々が６つから８つの視野ファセット群８ａ、８ｂから構成される４つの列にグループ分けされる。視野ファセット群８ａの各々は、７つの視野ファセット７を有する。２つの中央の視野ファセット列の２つの付加的な周辺視野ファセット群８ｂの各々は、４つの視野ファセット７を有する。２つの中央ファセット列の間、及び第３のファセット行と第４のファセット行の間に、視野ファセットミラー６のファセット配列は、視野ファセットミラー６がコレクター４の保持スポークによって遮蔽される隙間９を有する。
【００２７】
視野ファセットミラー６における反射の後に、個々の視野ファセット７に割り当てられた光線束又は部分ビームに分割されたＥＵＶ照明光３は、瞳ファセットミラー１０上に入射する。
【００２８】
視野ファセットミラー６の視野ファセット７は、複数の照明傾斜位置の間で傾斜させることができ、それによってそれぞれの視野ファセット７によって反射される照明光３のビーム経路をその方向に関して変更することができ、従って、瞳ファセットミラー１０上で反射される照明光３の入射点を変更することを可能にする。異なる照明傾斜位置の間で変位させることができる対応する視野ファセットは、ＵＳ  ６，６５８，０８４  Ｂ２及びＵＳ  ７．１９６，８４１  Ｂ２から公知である。
【００２９】
図３は、瞳ファセットミラー１０の丸い瞳ファセット１１の例示的なファセット配列を示している。瞳ファセット１１は、その１つが別のそれの内側にある複数のファセットリングに中心の周りに配置される。視野ファセット７のうちの１つによって反射されるＥＵＶ照明光３の各部分ビームには、視野ファセット７のうちの１つ及び瞳ファセット１１のうちの１つを含む入射を受けるそれぞれのファセット対が、ＥＵＶ照明光３の関連付けられる部分ビームに対する物体視野照明チャンネルを事前定義するように、少なくとも１つの瞳ファセット１１が割り当てられる。視野ファセット７への瞳ファセット１１のチャンネル別割り当ては、投影露光装置１による望ましい照明に依存する方式で行われる。
【００３０】
視野ファセットミラー６は、数百個の視野ファセット７、例えば、３００個の視野ファセット７を有する。瞳ファセットミラー１０は、視野ファセット７の個数と少なくとも等しい個数の瞳ファセット１１を有する。
【００３１】
瞳ファセットミラー１０（図１を参照されたい）及び３つのＥＵＶミラー１２、１３、１４から構成される下流の伝達光学ユニット１５を用いて、視野ファセット７は、投影露光装置１の物体平面１６に結像される。ＥＵＶミラー１４は、かすめ入射のためのミラー（かすめ入射ミラー）として具現化される。物体平面１６内には、下流にあって投影露光装置１の投影光学ユニット１９の物体視野１８と一致する照明視野の形態にある照明領域をＥＵＶ照明光３によって照明するレチクル１７が配置される。物体視野照明チャンネルは、物体視野１８内で重ね合わされる。ＥＵＶ照明光３は、レチクル１７から反射される。
【００３２】
投影光学ユニット１９は、物体平面１６の物体視野１８を像平面２１の像視野２０に結像する。この像平面２１内には、投影露光中に投影露光装置１を用いて露光される感光層を担持するウェーハ２２が配置される。投影露光中に、レチクル１７とウェーハ２２の両方は、ｙ方向に同期方式で走査される。投影露光装置１は、スキャナとして具現化される。以下では走査方向は、物体変位方向とも表す。
【００３３】
視野ファセットミラー６、瞳ファセットミラー１０、及び伝達光学ユニット１５のミラー１２から１４は、投影露光装置１の照明光学ユニット２３の一部である。投影光学ユニット１９と共に、照明光学ユニット２３は、投影露光装置１の照明系を形成する。
【００３４】
視野ファセットミラー６は、照明光学ユニット２３の第１のファセットミラーを構成する。視野ファセット７は、照明光学ユニット２３の第１のファセットを構成する。
【００３５】
瞳ファセットミラー１０は、照明光学ユニット２３の第２のファセットミラーを構成する。瞳ファセット１１は、照明光学ユニット２３の第２のファセットを構成する。
【００３６】
図４は、視野ファセットミラー６の更に別の実施形態を示している。図２に記載の視野ファセットミラー６を参照して上述したものに対応する構成要素は同じ参照番号を伴い、構成要素が図２に記載の視野ファセットミラー６の構成要素とは異なる場合に限って説明を行う。図４に記載の視野ファセットミラー６は、湾曲視野ファセット７を含む視野ファセット配列を有する。これらの視野ファセット７は、各々が複数の視野ファセット群８を有する合計で５つの列で配置される。視野ファセット配列は、視野ファセットミラー６の担持板２４の円形境界内に内接する。
【００３７】
図４に記載の実施形態の視野ファセット７は、全て同じ面積を有し、図２に記載の実施形態に視野ファセット７のｘ／ｙアスペクト比に対応するｘ方向の幅とｙ方向の高さとの同じ比を有する。
【００３８】
図５は、視野ファセットミラー６の更に別の実施形態を示している。図２及び図４に記載の視野ファセットミラー６を参照して上述したものに対応する構成要素は同じ参照番号を伴い、構成要素が図２及び図４に記載の視野ファセットミラー６の構成要素とは異なる場合に限って説明を行う。図５に記載の視野ファセットミラー６もまた、湾曲視野ファセット７を有する視野ファセット配列を有する。この視野ファセット７は、各々が複数の視野ファセット群８ａ、８ｂ、８ｃを有する合計で５つの列で配置される。この視野ファセット配列は、図４に記載の視野ファセット７の配列と類似の方式で、図５に記載の視野ファセットミラー６の担持板２４の円形境界内に内接する。ここでもまた、図５に記載の視野ファセットミラー６は、ｘ軸と平行に延びる中央隙間９を有し、この隙間において、図５に記載の視野ファセットミラー６は、コレクター４の保持スポークによって遮蔽される。更に、図５に記載の視野ファセットミラー６の視野ファセット７が内部に配置される２つの照明区画の境界は、視野ファセットミラー６の中心に向けて視野ファセット群８ｃを有する中央ファセット列の領域内で視野ファセットミラー６が中心で遮蔽される更に別の円形遮蔽面２５によって定義される。全体として、図５に記載の視野ファセットミラー６の視野ファセット７は、第１に担持板２４の境界により、第２に隙間９の境界によって事前定義された２つのほぼ円セグメント形の照明区画内に詰め込まれる。
【００３９】
図６を参照して、照明光３の部分ビームに対するそれぞれの照明チャンネルの定義のために投影露光装置１の照明光学ユニット２３の瞳ファセットミラー１０のそれぞれの瞳ファセット１１を照明光学ユニット２３の視野ファセットミラー６の視野ファセットのうちのそれぞれの１つに割り当てる方法の説明を以下に提供する。光源２から進行して照明チャンネルを通じて案内される照明光３の部分ビームは、視野ファセットミラー６が有する割り当てられた視野ファセット７において、次いで、本方法を用いて割り当てられた瞳ファセットミラー１０の瞳ファセット１１において照明光学ユニット２３によって照明される物体視野１８に向けて反射される。
【００４０】
割り当て方法の関連では、最初に、物体視野１８の照明を特徴付けることができる少なくとも１つの照明パラメータが識別段階２６において識別される。例示的に、照明の均一性、テレセントリック性、又は楕円率を照明パラメータとして使用することができる。均一性、テレセントリック性、及び楕円率というこれらの照明パラメータの定義は、例えば、ＷＯ  ２００９／１３２  ７５６  Ａ１及びＤＥ  １０  ２００６  ０５９  ０２４  Ａ１に見出される。代替的に、照明される物体視野１８の像視野への結像中に照明によって達成することができる構造分解能を照明パラメータとして使用することができる。テレセントリック性又は楕円率の代わりに、例えば、像視野にわたる結像構造の線幅変化を照明パラメータとして使用することができる。
【００４１】
結像構造変数は、臨界寸法（ＣＤ）とすることができる。物体構造像変数は、投影光学ユニットを用いて像視野に結像される一般的な基準構造の像平面内での距離値の大きさである。物体構造像変数の一例は、いわゆる「ピッチ」、すなわち、像視野内の２つの隣接する線の間の距離である。構造像変数変化（ΔＣＤ）は、線状物体構造が結像される場合には、結像光の強度が基板又はウェーハ上の感光層を現像するのに必要とされるレジスト閾値強度を超える線幅変化とすることができる。この線幅、すなわち、結像構造変数は、視野高さにわたって２つの隣接する線の間の距離とは独立して、すなわち、更に別の物体構造変数の例としての物体構造のピッチとは独立して変化する可能性がある。
【００４２】
識別段階２６は、最初に、それぞれの露光タスクに対する物体視野１８の照明から作られる要件の性質を取得する段階を含む。この露光タスクに基づいて、物体視野１８にわたって特に均一な強度分布が望ましいとすることができる。この場合、均一性は、識別段階２６において識別される照明パラメータである。代替的に、例えば、投影露光装置１を用いたウェーハ２２の複数回の露光中に重ね合わせ要件を制御可能にするために、事前定義されたテレセントリック値を設定することを必要とする場合がある。この場合、テレセントリック性は、識別段階２６における照明パラメータとして識別される。相応に同じことは、物体視野１８にわたって特定の重みの照明角度分布が望ましい場合に適用される。この場合、楕円率が、識別段階２６において物体視野１８の照明を特徴付ける照明パラメータとして選択される。代替的又は追加的に、結像することができる線幅、焦点深度、及び／又は視野ファセット７の物体平面１６内への結像のデフォーカスを照明パラメータとして使用することができる。
【００４３】
識別段階２６の後に、識別された照明パラメータに基づいて、可能な照明チャンネルを評価するための照明チャンネル依存照明関数が事前定義段階２７で事前定義される。従って、段階２７において事前定義された評価関数の結果は、段階２６で識別された照明パラメータと相関する。従って、評価関数は、視野ファセット７のうちの１つと瞳ファセット１１のうちの１つとの可能な組合せであり、それによって定義される照明チャンネルを通じて照明光３の部分ビームを案内するための可能な組合せの評価を可能にする。
【００４４】
それぞれ評価される照明チャンネルの以下の特徴を事前定義段階２７において事前定義される評価関数内に組み込むことができる。
−照明光３による視野ファセット７の場合によって不均一な照明。この場合、それぞれ考慮される照明チャンネルにおいて均一な照明強度からの照明光３による視野ファセット７の照明強度の偏差を評価関数に組み込むことができる。
−視野ファセット７の遮蔽、取りわけ、例えば、特に２つの隣接する視野ファセット７が大幅に異なる傾斜位置に傾斜された場合に、隣接する視野ファセットによる視野ファセット７の一方の一部の遮蔽（図７及び図８に関連しての下記の説明も参照されたい）。
−評価される照明チャンネルのファセット７、１１上への照明光３の入射角に依存する照明光３に対するファセット７、１１の反射率。従って、考慮される照明チャンネルのファセット７、１１上への照明光３のそれぞれの部分ビームの入射角を評価関数に組み込むことができる。
−評価される照明チャンネルに依存するファセットミラー６、１０の下流に置かれた伝達光学ユニット１５の反射率。
−視野ファセットのスポット像又は局所幾何学的瞳収差。この場合、スポット像という用語は、ちょうど１つの照明チャンネルに沿ってちょうど瞳ファセット上に案内される部分ビームの形状及び強度分布を表し、これに対しては下記で更に説明する。
−照明チャンネル依存の結像スケール、すなわち、第１にｘ方向と平行であり、第２にｙ方向と平行である第１に評価される照明チャンネルの視野ファセット７の寸法と第２に物体平面１６内のこの視野ファセット７の像の寸法との比。
−例えば、ミラー１４上のかすめ入射、及び瞳ファセットミラー１０の位置と、投影光学ユニット１９の入射瞳又は入射瞳像との間の偏位に起因してもたらされる効果の結果として物体平面１６内への視野ファセット７の結像の照明チャンネル依存の歪曲のパラメータ化。
−構造像変数の照明チャンネル依存の変化、すなわち、例えば、結像線幅変化。この線幅変化は、結像される線の異なるプロフィールに対して異なって査定することができる。例示的に、物体側で互いから同じ距離の位置にある水平及び垂直に延びる構造線の結像線幅の間の差のサイズを記録することができる。代替的又は追加的に、結像される対角に延びる物体線の構造変数変化、すなわち、例えば、線幅変化を評価関数と考えるか、又はその一部と考えることができる。
−光源２の照明チャンネル依存の効果、例えば、変動する遮蔽により、物体視野１８への視野ファセット７の不完全な結像により、又は光源２の放射方向に依存する光源２の変動する放射重心によってもたらされる例えば光源２の放射の照明チャンネル依存の不均一性。
【００４５】
結像光学ユニットによって導入される結像収差に加えて、物体視野１８への視野ファセット７の不完全な結像が、光源２が点光源ではないことからもたらされる可能性がある。従って、それによって最終的に物体平面１６内の縁部においてぼけた視野ファセット７の像が常にもたらされる。この結像の品質は、それぞれの照明チャンネルへの視野ファセット７及び瞳ファセット１１の割り当てに依存する。特定の割り当ては、他の割り当てよりも品質的に良好な結像をもたらす。更に、点光源又は球面光源ではない光源の場合には、これらの視野ファセット７の中で異なる視野ファセットは、光源２を異なる形状で見る。
【００４６】
視野ファセットミラーと物体平面の間の伝達光学ユニットの歪曲効果の結果としての評価関数を用いるパラメータ化可能な収差寄与は、ＷＯ  ２０１０／０３７  ４５３  Ａ１に例示的に解説されている。同様に照明チャンネル依存とすることができ、評価関数に組み込むことができる瞳効果は、例えば、ＤＥ  １０  ２００６  ０５９  ０２４  Ａに説明されている。
【００４７】
割り当て方法の文脈では、評価関数の結果を表す評価変数の評価ターゲット範囲は、更に別の事前定義段階２８において事前定義される。従って、評価される照明チャンネルに関連付けられたペアリング（視野ファセット、瞳ファセット）が評価関数に組み込まれ、それに依存して評価変数が評価関数を用いて識別される。事前定義段階２８は、評価される照明チャンネルの構成が更なる選択に含まれるために達成すべきであるこの評価変数のターゲット範囲を指定する段階を含む。
【００４８】
割り当て方法の文脈では、次に、任意的な計算段階２９において、可能な照明チャンネルのうちの少なくとも選択された照明チャンネルに対して、評価変数が評価関数への挿入によって計算される。
【００４９】
同様に任意的な事前選択段階３０では、段階２８において事前定義された評価ターゲット範囲を達成する、段階２９において計算された評価変数を有する照明チャンネル、すなわち、瞳ファセット１１に対する視野ファセット７のペアリングが事前選択される。
【００５０】
割り当て方法の識別段階３１は、照明光学ユニットによるか又は照明光学ユニット及び光源を含む照明系による物体視野１８の照明に影響を及ぼす少なくとも１つの外乱変数を識別する段階を含む。
【００５１】
例として、光源２のｘ方向、ｙ方向、又はｚ方向の位置変化を外乱変数として選択することができる。光源２の光源変数の変化を外乱変数として使用することができる。例えば、ＬＰＰ光源とＧＤＰＰ光源の間の光源２の種類の変化を外乱変数として使用することができる。更に、例えば、照明光３をもたらす構成要素の反射層の使用時間に関するシミュレートされた寿命効果を外乱変数として使用することができる。照明光学ユニット２３のシミュレートされたエージングの結果として生じる迷光の増大を外乱変数として使用することができる。更に、照明に使用されない照明光３の評価される照明チャンネルの瞳ファセット１１への印加及び従って瞳ファセット１１の付加的な加熱を外乱変数として使用することができる。
【００５２】
外乱変数識別段階３１の後に、識別された少なくとも１つの外乱変数への評価関数の依存性が、更に別の識別段階３２において識別される。
【００５３】
次に、変更段階３３は、事前選択された照明チャンネルに対して識別された外乱変数を事前定義された外乱変数変動範囲で変化させる段階、及びそれに従う評価変数の変動を評価関数及び識別段階３２において識別された依存性を用いて計算する段階を含む。
【００５４】
割り当て方法を完了させる選択段階３４は、全体の外乱変数変動範囲で評価ターゲット範囲に留まる変動を受けた評価変数を有する照明チャンネルを選択する段階を含む。
【００５５】
段階２７から３４を含む割り当て方法は、視野ファセットミラー６の事前定義された個数の視野ファセット７に、瞳ファセットミラー１０のそれぞれ依然として空いている瞳ファセット１１が割り当てられるまで繰り返される。割り当て方法の結果は、全ての複数の割り当てが割り当て方法の段階２７から３４内の評価基準を満たす場合には、各場合に他の瞳ファセット１１への視野ファセット７のこれらの複数の割り当てとすることができる。
【００５６】
次に、選択段階３４の結果に基づいて、視野ファセット７の傾斜照明位置が調節され、選択された照明チャンネルを通じて割り当てられた瞳ファセット１１が相応に調節される。視野ファセットミラー６及び瞳ファセットミラー１０は、それぞれの傾斜照明位置を考慮して、剛性構成要素、すなわち、アクチュエータ手段によって傾斜させることができないファセット７、１１を有するものとして装備することができる。代替的に、図の説明の最初に上述したように、選択した照明チャンネルの微調節、及び／又は選択段階３４の選択の範囲で可能な異なる照明チャンネルの間及び従って視野ファセット−瞳ファセット割り当ての間の変動が、特に異なる照明幾何学構成を事前定義することによって可能であるように、ファセットミラー６、１０をアクチュエータ手段によって傾斜可能であるように設計することができる。
【００５７】
割り当て方法を用いた照明チャンネルの選択は、「模擬焼き鈍し」アルゴリズムを利用することができる。この場合、このアルゴリズムは、特定の照明チャンネルで始まり、変更段階３３において外乱変数を変化させ、それに従う評価変数の変動を計算する。その後に、照明光３の部分ビームの誘導に関して最初に用いた照明チャンネルから殆ど異ならない更に別の照明チャンネルは、例えば２つの視野ファセット７がこれらに割り当てられた瞳ファセット１１を入れ替えることにより、評価に向けて選択することができる。次に、その後にもたらされる照明チャンネルの全てに対して変更段階３３が再度実施される。割り当て方法の評価基準が満たされた場合には、加えられた変更、すなわち、視野ファセット７のうちの２つの特定の視野ファセットに割り当てられた瞳ファセットの交換は受け入れられる。そのような変更段階に基づいて、変更段階３３による外乱変数の変動が逐次適用されることを考慮しながら評価変数が最適化される。
【００５８】
以下では、割り当て方法を実施する開始時の対応する照明チャンネルを通じた個々の瞳ファセット１１への個々の視野ファセット７の割り当てを開始割り当て又はそうでなければ初期割り当てとも表す。
【００５９】
割り当て方法の開始時の全ての照明チャンネルの開始割り当ての選択時又は変更段階の事前定義の後に、対称性の考慮が影響を及ぼすことができる。例示的に、開始割り当ては、光源２による互いに補完的な視野ファセット入射強度プロフィールを有する視野ファセット７の対を考慮することができる。視野ファセット７のそのような対は、瞳ファセット１１のうちで隣接する瞳ファセット上に入射することができる。これに関連して、補完的な視野プロフィールは、物体視野１８にわたる視野依存性を最小にすることができるように、視野ファセット像が物体視野１８内で重ね合わされる場合に互いに補償する。
【００６０】
この場合、評価変数の最適値の検索という流れの中での照明チャンネルの割り当て変更は、補完的な視野プロフィールを有するファセットの対応するペアリングが維持されるようにのみ実施される。外乱変数の変更は、例えば、光源２の変更の場合でさえも望ましい補完性が維持されることを保証する。
【００６１】
割り当て方法を用いて最適化される照明チャンネルの開始割り当ては、照明チャンネルの点対称配列から進めることができ、従って、割り当てられた照明チャンネルは、一方で視野ファセットミラー６の担持板、他方で瞳ファセットミラー１０の担持板の中心の回りの事前定義角度φの回転によって互いに併合される。この場合にも、割り当て変更は、対称性が維持されるように実施される。従って、点対称性は、評価関数に組み込まれるパラメータを構成する。
【００６２】
開始割り当ては、例えば、光源２による同じ入射強度プロフィールを有し、かつ瞳内で互いに対して極座標で９０度だけ回転されて配置された割り当て瞳ファセット１１を有する視野ファセットの極座標で９０度だけ回転された位置を有することができる。各場合に、そのような視野ファセットのうちの２つを開始割り当てに存在させることができ、その割り当て瞳ファセットは、瞳内で互いに対して極座標で９０度だけ回転されて配置される。開始割り当てとして使用することができ、同じ強度プロフィールを有する視野ファセットに互いに対して極座標で９０度だけ回転されて配置された４つの瞳ファセットが割り当てられる別の割り当て方式は、ＤＥ  １０  ２００６  ０３６  ０６４  Ａ１に説明されている。
【００６３】
開始割り当ては、図１に記載の照明光学ユニット２３のこの図の作図面、すなわち、子午平面に関する鏡面対称を考慮することができる。例えば、ＤＥ  １０３  ２９  １４１  Ａ１による照明光学ユニットの設計における更に別の平面に関して少なくとも近似的に同様に鏡面対称である照明光学ユニット２３の別の設計では、この対応する更に別の鏡面対称性は、初期チャンネル割り当てを事前定義する時に考慮することができる。
【００６４】
割り当て方法の開始以前に照明チャンネルの初期割り当てに対して選択することができる対毎の割り当ての更に別の例は、例えば、ＷＯ  ２００９／１３２  ７５６  Ａ１に説明されている。
【００６５】
代替的に、割り当て方法の開始時の瞳ファセット１１への視野ファセット７の割り当ては、視野ファセット７のうちの隣接する視野ファセットが、隣接しない瞳ファセット１１、すなわち、事前定義された個数の更に別の瞳ファセット１１によって互いから分離された瞳ファセット１１を照明するように構成することができる。そのような開始割り当ては、照明チャンネルが全体的に近接するプロフィールを有し、それによって一方の照明チャンネルに沿って案内される照明光が他方の照明チャンネル内に不適切に散乱する場合にもたらされる可能性がある迷光を最小にする。従って、迷光基準も、評価関数に組み込まれる基準とすることができる。
【００６６】
例えば、模擬焼き鈍し最適化方法の文脈においてチャンネル割り当てを変更する時に、照明チャンネルの適切な初期割り当てを選択するか又は方式を事前定義することに関連する更に別の基準は、個々のファセット７、１１上の入射角の最小化、又は少なくとも２つの照明傾斜位置の間で変位させることができる個々のファセット７、１１の使用の場合の切り換え行程の最小化である。
【００６７】
割り当て方法の開始時に照明チャンネルの初期割り当てを事前定義する時に、視野ファセット７が配置される区画の縁部、例えば、担持板２４の縁部に隣接する視野ファセット７を特に考慮することができる。これらの周辺視野ファセット７では、開始割り当てにおいて許される割り当て瞳ファセット１１の選択を例えば瞳ファセット１１のうちの許容瞳ファセットのリストの事前判断によって制限することができる。この選択は、瞳ファセット１１及び下流の伝達光学ユニット１５による周辺視野ファセット７の結像が望ましくない結像収差を被らないように、特に望ましくない回転又は変位を被らないように行うことができる。
【００６８】
視野ファセットミラー６上の視野ファセット７の配列の適切な設計は、外乱変数の中からの特定の外乱変数の評価関数に対する影響を変更し、特に、低減することを可能にする。これを「隣接する視野ファセット７を遮蔽する」外乱変数に関する図７及び図８を参照して以下により詳細に説明する。
【００６９】
図７は、以下で７1及び７2で表す２つの隣接する視野ファセット７を斜視図に示している。２つの視野ファセット７1、７2は、ｙ軸と平行な傾斜軸３５の回りに互いに対して傾斜され、その結果、対応する照明チャンネルを通じて瞳ファセット１１のうちの事前定義された瞳ファセットを割り当てるための対応する照明傾斜位置を取る。図７に記載の２つに視野ファセット７1、７2の配列の場合には、これらの視野ファセットは、反射ファセット面のそれぞれの長辺の上で互いに直接に接合する。傾斜軸３５の回りの２つの視野ファセット７1、７2の異なる傾斜に起因して、視野ファセット７2の反射面上への照明光３の相応に傾斜した入射を仮定すると、視野ファセット７2の反射面の短辺の一方の領域内にｙ軸に沿って、図７ではｄで表す最大広がりを有する三角形の遮光領域３６がもたらされる。
【００７０】
図８は、図７に対応する傾斜軸３５の回りの傾斜配列にある２つの視野ファセット７1、７2を示しており、この傾斜配列は、２つの視野ファセット７1、７2の反射面がｙ軸に沿って互いからｄという距離の位置にあるということにおいてのみ図７に記載の配列とは異なる。従って、図７にあるものと同じ照明光３の入射角を仮定すると、図８に記載の配列の場合には、視野ファセット７1は、ファセット７2を遮蔽しない。
【００７１】
変更段階３３において評価関数を計算する時に、視野ファセット７の特定の対の相応に分離した配列を仮定すると、隣接する視野ファセットに関して存在する距離に起因して、視野ファセット傾斜角における比較的大きい相対差の場合であっても、視野ファセット７のうちの特定の視野ファセットが、視野ファセット７のうちの隣接する視野ファセットに関して厳密にいかなる遮蔽ももたらさないことを考慮することができる。
【００７２】
照明チャンネルの初期割り当てを選択する時には、更に、ｙ軸と平行な傾斜軸の回りの隣接する視野ファセット７の傾斜における大きい差を可能な限り回避することを考慮することができる。これは、図９を参照して以下に解説する。図９は、視野ファセットミラー６及び瞳ファセットミラー１０の更に別の実施形態を非常に概略的に示している。視野ファセット７のうちの２つ、すなわち、視野ファセット７1、７2及び瞳ファセット１１のうちの２つ、すなわち、瞳ファセット１１1及び１１2を同じ種類の対応するハッチングで強調表示している。２つの視野ファセット７1、７2の傾斜調節は、視野ファセット７1が瞳ファセット１１1に、かつ視野ファセット７2が瞳ファセット１１2にそれぞれの照明チャンネルを通じて割り当てられるようなものである。２つの瞳ファセット１１1、１１2は、ほぼ同じｘ座標を有するので、２つの照明チャンネル（７1、１１1）及び（７2、１１2）のこの割り当てを提供するために、２つの視野ファセット７1、７2は、ｙ軸と平行なこれらの視野ファセットのそれぞれの傾斜軸３５の回りに同じ傾斜角だけ良好な近似で傾斜される。従って、傾斜軸３５の回りの傾斜における比較的大きい差の場合に存在することになる２つの隣接する視野ファセット７1、７2の間の判別可能な遮蔽は、図９に記載の初期割り当ての場合は発生しない。
【００７３】
視野ファセット７の物体平面１６への結像の収差の影響を低減するために、投影光学ユニット１９の入射瞳に対応し、すなわち、入射瞳に一致するか又はそれに対して共役な平面内の瞳ファセットミラー１０の配列を最適化することができる。これは、図１０を参照して以下により詳細に説明する。図１０は、投影露光装置１において照明光学ユニット２３の代わりに使用することができる照明光学ユニットの変形３７を示している。照明光学ユニット２３を参照して上述したものに対応する照明光学ユニット３７の構成要素には同じ参照符号を伴い、再度詳細には解説しない。
【００７４】
照明光学ユニット３７は、楕円体ミラーとして具現化されたコレクター４を有する。照明光３のビーム経路内で瞳ファセットミラー１０の下流にある伝達光学ユニット３８は、照明光学ユニット３７の場合には、照明光学ユニット２３のミラー１４に同等のかすめ入射ミラーを唯一のミラーとして有する。
【００７５】
図１０に記載の投影露光装置１の場合は投影光学ユニット１９をより詳細に例示しており、投影光学ユニット１９は、物体視野１８と像視野２０の間の結像ビーム経路の順序で６つのＥＵＶミラーＭ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４、Ｍ５、及びＭ６を有する。
【００７６】
照明光学ユニット３７の場合には、瞳ファセットミラー１０は、鏡像反転の結果として投影光学ユニット１９の入射瞳平面４０から生じる瞳平面３９内に位置する。瞳ファセットミラー１０は、鏡像反転の結果として生じる瞳平面３９内に正確に配置される。この場合、鏡像反転は、物体平面１６において達成され、伝達光学ユニット３８のかすめ入射ミラーによる折り返しが考慮される。
【００７７】
投影光学ユニット１９の入射瞳に対する平面近似が廃棄される場合には、入射瞳の形状において、図１０に４１で表す球面がもたらされる。図１０ではこの球面入射瞳４１の鏡像を４２に示している。
【００７８】
瞳ファセットミラー１０の変形は、瞳ファセット１１がその上に配置された瞳ファセットミラー１０の担持板が、球面瞳面４２の曲率に正確に従うように凹に湾曲させることができる。この場合、１つの同じ瞳ファセット１１が物体視野１８の１つの特定の場所において物体視野１８の別の場所に対して異なる照明角度で出現するという効果を有することになる物体視野１８上の位置に依存する瞳ファセットミラー上の特定の場所の歪曲を回避することができる。それによって特にテレセントリック性及び楕円率の照明パラメータに対する事前定義値に準拠することが容易になる。相応に湾曲したファセットミラーは、ＤＥ  １０  ２００８  ０４２  ８７６  Ａによる視野ファセットミラーの例から公知である。
【００７９】
考慮される照明チャンネルの瞳ファセット１１と物体視野１８の間に位置する光学構成要素のチャンネル依存の反射率を評価関数に組み込むことができる。照明光学ユニット２３の場合には、これらの光学構成要素は、ミラー１２から１４である。照明光学ユニット３７の場合には、この光学構成要素は、伝達光学ユニット３８のミラーである。
【００８０】
考慮される照明チャンネルの瞳ファセット１１上の光源像の形状を評価関数に組み込むことができる。考慮される照明チャンネルの視野ファセットの結像の結像スケールを評価関数に組み込むことができる。
【００８１】
考慮される照明チャンネルの視野ファセット７の物体視野１８への結像を表す変数を評価関数に組み込むことができる。この変数は、特に、結像収差、例えば、歪曲、結像傾斜、像遮蔽、物体平面１６からの視野ファセット像の偏位、投影光学ユニット１９の入射瞳、又はこの入射瞳に対応する平面、特に、共役平面からの考慮される照明チャンネルの瞳ファセット１１の偏位（デフォーカス）、又は結像の焦点深度を含む。
【００８２】
対称性変数、迷光変数、物体視野１８に配置された物体の結像される線幅、又は考慮される照明チャンネルの視野ファセット７の視野ファセットミラー６の場所における光源２の遠視野内の位置を評価関数に組み込むことができる。
【００８３】
視野ファセットのスポット像を割り当て方法で予め判断される評価関数が基づくことができる特徴として上述した。この特徴を図１１から図１４を参照して以下により詳細に説明する。
【００８４】
図１１は、中間焦点面５内に位置する中間焦点と物体視野１８の間のＥＵＶ照明光３のＥＵＶ部分ビーム４３のビーム経路を視線方向に関して図１に記載の側面図に対応する非常に概略的な図に示している。３つのＥＵＶ照明光線４４、４５、４６の進路が示されている。光線４４及び４６は、ＥＵＶ部分ビーム４３の周辺光線を構成する。光線４５は、ＥＵＶ部分ビーム４３の中心光線又は主光線を構成する。図１１には、ＥＵＶ部分ビーム４３の進路を物体視野１８の上流の更に別のＥＵＶミラー１２から１４抜きで表している。更に、例示している単一の視野ファセット７、例示している単一の瞳ファセット１１、及び物体視野１８に関するサイズ関係又は距離関係のいずれも正確な縮尺のものではない。
【００８５】
ＥＵＶ部分ビーム４３のビーム経路に沿って、中間焦点は、視野ファセット７における反射の後、かつ瞳ファセット１１における反射の前に中間焦点像４７に結像される。中間焦点像４７は、瞳ファセット１１における反射の前のＥＵＶ部分ビーム４３のビーム経路に位置するので、光線４４から４６は、瞳ファセット１１上で異なる場所４８、４９、５０において入射し、これらをスポットとも表す。スポット４８から５０における反射の後に、光線４４から４６は、物体視野１８上の異なる場所５１、５２、５３に、すなわち、光線４４及び４６は周辺に、かつ光線４５は中心に入射する。
【００８６】
図１２は、物体視野１８の場所５１から見た瞳ファセット１１を示している。この場所５１から見たスポット４８は、瞳ファセット１１の中心に対して左に向けて、すなわち、負のｘ方向にオフセットされる。
【００８７】
図１３は、物体視野１８の中心の場所５２から見た瞳ファセット１１を示している。この図では、スポット４９、すなわち、光線４５が瞳ファセット１１上に入射する場所は中心に位置する。
【００８８】
図１４は、物体視野１８の周辺の場所５３から見た瞳ファセット１１を示している。この図では、スポット５０は、瞳ファセット１１の中心に対して右に向けて、すなわち、正のｘ方向にオフセットされる。
【００８９】
光源２又は中間焦点の瞳ファセット１１上への結像が完全ではないことに起因して、物体視野１８上で考慮される場所に基づいて、それぞれ考慮される瞳ファセット１１から発する僅かに偏向する照明方向がもたらされる。
【００９０】
図１１から図１４を参照して明らかにした瞳ファセット１１における反射の前のＥＵＶ部分ビーム４３のビーム経路内での中間焦点の結像という原因に加えて、物体視野１８上の異なる点から見た瞳ファセット上のスポットが瞳ファセット１１上に異なって位置するということに関する他の原因も存在する可能性がある。物体視野１８上のそれぞれのスポット像は、照明光学ユニット２３の光学設計の幾何学的分析によって正確に判断することができる。特定の瞳ファセット１１への特定の視野ファセット７の各割り当ては、スポット像が割り当て方法の事前定義段階２７において事前定義される評価関数における特徴として適切であるような異なるスポット像変動をもたらす。
【００９１】
割り当て方法の結果として、視野ファセット７の不均一な照明は、図１１から図１４を参照して上述したスポット像の変位の補償に使用され、瞳ファセットへの視野ファセットの割り当てをもたらすことができる。全ての瞳ファセット上のスポット像の重ね合わせの結果として生じる照明角度分布の幾何学的変位は、照明チャンネルを通じて案内される個々のＥＵＶ部分ビーム４３の強度の対応する適応によって補償することができる。個々の部分光線の方向とその強度との積、又は距離と強度との積もテレセントリック値に組み込まれるので、上述の補償は、テレセントリック性の補償に同等である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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