(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶振動子の製造方法であって、
釘頭部を突出した少なくとも一対のリード端子を有する複数のベースを耐熱冶具に配置する第１配置工程と、
一対のサポータ支持枠にそれぞれ接続され開口部を有する複数のサポータが前記釘頭部に対して前記開口部がそれぞれ対応するように前記サポータ支持枠を配置する第２配置工程と、
前記開口部に所定の温度で溶融する接合材を配置する第３配置工程と、
前記耐熱冶具、前記サポータ及び前記接合材を加熱し、前記接合材により前記釘頭部と前記サポータとを接続する加熱工程と、
前記サポータ支持枠から前記各サポータを切り離す工程と、を備える水晶振動子の製造方法。
【請求項２】
前記耐熱冶具は互いに積載でき、一度の加熱工程で複数の前記サポータと前記釘頭部と
を接続できることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項３】
前記サポータは、第１の一対のサポータとこの第１の一対のサポータと異なる位置に配置された第２のサポータとを有し、
第１の一対のサポータと前記釘頭部とを接続する前記接合材と、前記第２サポータと前記釘頭部とを接続する前記接合材とは異なることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は水晶振動子に関するものであり、特に水晶振動子のサポートの構造改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、水晶振動子は、通信機器用として、恒温槽を使用した高安定用の水晶振動子がある。これらに用いられる水晶振動子も、より一層の小型化及び高周波数化への対応が求められている。
【０００３】
従来、高安定用の水晶振動子は、例えばＡＴカットした円形状の水晶片をパッケージ内部に水平に収容し、パッケージ内の電極部に接合されている。パッケージは、金属製のハーメチックベースとカバーから成り、ハーメチックベースは、ガラスによって気密化してベースを貫通した一対のネイルリード端子を有する。ネイルリード端子は、Ｌ字状のサポータをレーザー溶接によって接合している。水晶振動片は、サポータにロウ付け（ブレージング）によって接合されている。
【０００４】
高安定用の水晶振動子は、落下時の耐衝撃性を高めるため、水晶振動片を４箇所のサポータによって固定する。このサポータによって固定する技術には、特許文献１に記載されたものが知られている。
【特許文献１】特開２００２−２６１５６６号公報
【特許文献２】特開平０５−５５８６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示されているネイルリード端子にサポータを接合する方法は、特許文献２に開示されるようなネイルリードにサポータを一つ一つレーザー溶接で取り付けるため、量産性に問題があった。また、ネイルリード端子とサポータの密着度の違いにより、溶接による結合の強弱や、サポータが傾くなどの問題があった。
【０００６】
本発明の目的は、ハーメチックベースのネイルリードにサポータを容易に且つ確実に取り付けることができ、これによって量産性を可能にした水晶振動子、及びその水晶振動子の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の観点の水晶振動子は、両主面に設けた励振電極及び励振電極と電気的に接続した端面電極を外周部両端面に有する水晶片と、水晶片の主面に対向して釘頭部を突出した少なくとも一対のリード端子を有するベースと、水晶片を支えるとともに釘頭部に対して開口部を有する少なくとも一対のサポータと、開口部と釘頭部とを接続し所定の温度で溶融する接合材と、を備える。
この構成によって、所定の温度で溶融する接合材を使うことで開口部と釘頭部とを接続することができる。このため炉などの中にサポータなどを入れることで一度に多量の生産ができる。
【０００８】
第２の観点の水晶振動子は、サポータは、水晶片の主面で水晶片を支える。
第３の観点の水晶振動子は、サポータは水晶片の主面と主面との間の側面で水晶片を支える。
【０００９】
第４の観点の水晶振動子は、釘頭部の面積より開口部の面積は小さい。
この構成により、釘頭部に対して開口部を位置決めする際に釘頭部が開口部を貫通することがない。
【００１０】
第５の観点の水晶振動子の接合材は、２６０°Ｃより高い溶融温度のハンダである。
一般に水晶振動子がプリント基板などにリフロー炉でハンダ付けされる際には、２６０°Ｃ以下の溶融するリフローハンダで固定される。このため、接合材が２６０°Ｃより高い溶融温度であれば、リフロー炉でサポータと釘頭部とが剥がれることがない。
【００１１】
第６の観点の水晶振動子の開口部は、その中央付近に橋部を有し２つの開口を有する。
この構成により、接着面積が大きくなり接着強度を高めることができる。
【００１２】
第７の観点の水晶振動子の開口部は折り曲げ部を有しており、この折り曲げ部と釘頭部とが嵌め合う。
折り曲げ部と釘頭部とが嵌め合い仮固定することができるので位置決めが容易で作業性が向上する。
【００１３】
第８の観点の水晶振動子の製造方法は、釘頭部を突出した少なくとも一対のリード端子を有するベースを耐熱冶具に配置する第１配置工程と、釘頭部に対して開口部を有する少なくとも一対のサポータを配置する第２配置工程と、開口部に所定の温度で溶融する接合材を配置する第３配置工程と、耐熱冶具、サポータ及び接合材を加熱する加熱工程と、を備え、接合材により釘頭部とサポータとを接続する。
この構成によって、加熱することによって接合材により釘頭部とサポータとを接続することができるため、釘頭部とサポータとの接続を一度に多量の生産ができる。
【００１４】
第９の観点の水晶振動子の製造方法は、耐熱冶具は互いに積載でき一度の加熱工程で複数のサポータと釘頭部とを接続できる。
【００１５】
第１０の観点の水晶振動子の製造方法において、サポータは第１の一対のサポータとこの第１の一対のサポータと異なる位置に配置された第２のサポータとを有し、第１の一対のサポータと釘頭部とを接続する接合材と、第２サポータと釘頭部とを接続する接合材とは異なる。
複数のサポータを同時の加熱で接続できない場合には接合材の溶融温度を変えることで接続することができる。
【発明の効果】
【００１６】
サポータが傾かないようにするとともに、多量生産が容易に達成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明に係る水晶振動子の実施の形態について説明する。
＜水晶振動子の構成＞
＜＜第１実施例＞＞
図１Ａ（ａ）は、第１実施例の第１水晶振動子１００のカバーを取り去った（ｂ）のＸ−Ｘ’断面図であり、（ｂ）はカバー及びハーメチックベース２を除く平面図である。（ｃ）は（ａ）の一点鎖線で囲まれた範囲の拡大図である。
【００１８】
第１水晶振動子１００は、ＡＴカット又はＳＣカットした円形状の水晶片１を備え、その主面をハーメチックベース２の表面に並行して保持する。水晶片１の両主面には励振電極３ａ、３ｂが形成され、両端外周部の端面（両端面とする）まで引出電極４ａ，４ｂが形成される。引出電極４ａ、４ｂの端面には、銀（Ａｇ）を主体とした導電材を塗布し端面電極５が形成されている。
【００１９】
ハーメチックベース２はコバール合金などから構成され、その一部に孔２ｈが形成されている。その孔２ｈには、一対のネイルリード端子８ａ，８ｂがベース本体を貫通し表面に突出した状態でガラス６によって気密化されている。一対のネイルリード端子８ａ，８ｂはそれぞれその先端に釘頭部７が形成されている。一対のネイルリード端子８ａ、８ｂの釘頭部７には、内面が対向するＬ字状の第１サポータ９−１ａ，９−１ｂが水平に接合される。第１サポータ９−１ａ、９−１ｂの内面に、金ゲルマニューム（Ａｕ・Ｇｅ）のロウ材１０を塗布し、水晶片１の両端面と熱圧着によってブレージング（ロウ付け）する。これにより水晶片１は、その両端面を第１サポータ９−１ａ、９−１ｂに電気的及び機械的に接続する。この第１実施例では、第１サポータ９−１ａ、９−１ｂが水晶片１の裏側の主面を支える構造に形成されている。
【００２０】
図１Ａ（ｂ）に示すように、一対のネイルリード端子８ａ、８ｂに対して直交する方向に、さらに一対のネイルリード端子（不図示）が備えられており、一対のネイルリード端子の釘頭部には、内面が対向するＬ字状の第１サポータ９−１ｃ，９−１ｄが水平に接合される。第１サポータ９−１ｃ、９−１ｄは、水晶片１の端面を接着材１１によって機械的に接着する。なお、Ｌ字状の第１サポータ９−１ｃ，９−１ｄは必ずしも必要なく、また３つの第１サポータで水晶片１を支えてもよい。
【００２１】
第１サポータ９−１ａ、９−１ｂに水晶片１をブレージングし、第１サポータ９−１ｃ，９−１ｄに水晶片１の端面を接着材１１によって機械的に接続した後、冷間圧接や抵抗溶接などによってハーメチックベース２に不図示のカバーを接合して密封封入される。
【００２２】
一対のネイルリード端子８ａ，８ｂの釘頭部７と第１サポータ９−１ａ、９−１ｂとは、高温ハンダ１２によって接続される。図１Ａ（ｃ）に示されるように、第１サポータ９−１の開口部１４とネイルリード端子８の釘頭部７とを位置合わせした状態で高温ハンダ１２を溶かすことで接続される。高温ハンダ１２は例えば融点３５０°Ｃ以上の金ゲルマニューム（Ａｕ・Ｇｅ）合金又は金シリコン（Ａｕ・Ｓｉ）合金などが適用できる。
【００２３】
図２（ａ）は、第１サポータ９−１の斜視図であり、（ｂ）は、第１サポータ９−１を複数有するサポータ支持枠９−５の斜視図である
【００２４】
図２（ａ）に示すように、第１サポータ９−１は開口部１４を設けている。開口部１４は、円形でネイルリード端子８の釘頭部７の大きさよりやや小さめで、高温ハンダ１２が容易に充填できる大きさである。開口部１４は円形でも多角形でもよい。
【００２５】
図２（ｂ）に示すように、第１サポータ９−１の一部がサポータ支持枠９−５と接続されている。サポータ支持枠９−５は、第１サポータ９−１を例えば２０個連結している。このため、一つ一つの第１サポータ９−１を取り扱うことなく１枚のサポータ支持枠９−５の単位で取り扱うことができる。
【００２６】
図３（ａ）は、第１サポータ９−１とネイルリード端子８の接合において、電気炉に入れる際の第１実施例の構成を示す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の断面図である。
【００２７】
図３（ａ）に示す第１実施例に使用される冶具は、第１耐熱トレー４０及びトレー支持具４５から構成される。第１耐熱トレー４０はハーメチックベース２を並べて配置できるように溝部４２が形成されている板状部材である。また第１耐熱トレー４０の所定の位置にネイルリード端子８の通過する孔４０ｈが形成されている。トレー支持具４５は、第１耐熱トレー４０を支える支え部４７とサポータ支持枠９−５を載置する載置部４９とを有する形状である。トレー支持具４５が支え部４７に載置された状態では、ネイルリード端子８の下端がトレー支持具４５と接することなく、位置決めできるようになっている。第１耐熱トレー４０及びトレー支持具４５には、金属またはセラミック材料（耐火物）が用いられる。
【００２８】
次に第１サポータ９−１がネイルリード端子８の釘頭部７に接続される工程について説明する。
【００２９】
最初に、ネイルリード端子８ａ、８ｂを備えたハーメチックベース２を第１耐熱トレー４０にセットして、その第１耐熱トレー４０をトレー支持具４５の支え部４７に載せる。トレー支持具４５の両側の載置部４９に第１サポータ９−１を備えた一対のサポータ支持枠９−５を載せる。図示されていないが冶具には、ハーメチックベース２とサポータ支持枠９−５とを位置決めする基準を有している。そして、第１サポータ９−１の開口部１４とネイルリード端子８の釘頭部７とを位置合わせした状態で、高温ハンダ１２を第１サポータ９−１の開口部１４に載せる。高温ハンダ１２の形状は球形状でも円錐形状であってもよいが、高温ハンダ１２は第１サポータ９−１とネイルリード端子８の釘頭部７とが接続するに適した体積を有し、足りなかったり多すぎたりしないようにする。
【００３０】
次に、高温ハンダ１２を第１サポータ９−１の開口部１４に載せたトレー支持具４５は、電気炉に入れられる。電気炉は３６０°Ｃ以上の温度に維持する。トレー支持具４５が電気炉内で所定時間加熱されると、高温ハンダ１２が溶けて第１サポータ９−１とネイルリード端子８ａ、８ｂとが接続する。そして、トレー支持具４５を電気炉から取り出し、第１サポータ９−１をサポータ支持枠９−５から切り離す。これにより一対のネイルリード端子８ａ、８ｂの釘頭部７には、内面が対向するＬ字状の第１サポータ９−１ａ，９−１ｂが水平に接合される。
【００３１】
電気炉の温度を３６０°Ｃ以上とした理由は、高温ハンダ１２が例えば融点３５０°Ｃ以上の金ゲルマニューム（Ａｕ・Ｇｅ）合金又は金シリコン（Ａｕ・Ｓｉ）合金などを使用したためである。高温ハンダ１２の溶融温度が２６０°Ｃ以下の材料はあまり使用しない方が好ましい。第１水晶振動子１００がリフロー炉でプリント基板などにハンダ付けされる場合には、リフロー炉の温度が２６０°Ｃ程度になってしまい、高温ハンダ１２が再び溶けて、ネイルリード端子８ａ、８ｂの釘頭部７と第１サポータ９−１との接続が取れてしまうおそれがあるからである。
【００３２】
図１Ａ（ｂ）に示したように、第１サポータ９−１ｃ，９−１ｄを有する場合には、ハーメチックベース２を第１耐熱トレー４０から取り出し、ハーメチックベース２を９０度回転させてから再び第１耐熱トレー４０に載置する。そして、第１サポータ９−１の開口部１４とネイルリード端子の釘頭部とを位置合わせした状態で、開口部１４に高温ハンダ１２を載せる。ここで使用する高温ハンダ１２は例えば融点２８０℃の高温ハンダ１２の金スズ（Ａｕ・Ｓｎ）合金である。それから第１耐熱トレー４０をトレー支持具４５の支え部４７に載せて、３００°Ｃ程度の電気炉に入れ高温ハンダ１２を溶融し、第１サポータ９−１ｃ，９−１ｄを接続させる。その後、電気炉からトレー支持具４５を取り出し、サポータ９−１をサポータ支持枠９−５から切り離す。これにより一対のネイルリード端子の釘頭部７には、内面が対向するＬ字状の第１サポータ９−１ｃ，９−１ｄが水平に接合される。
【００３３】
つまり、第１サポータ９−１ａ，９−１ｂに対しては融点３５０°Ｃ以上の金ゲルマニューム（Ａｕ・Ｇｅ）合金又は金シリコン（Ａｕ・Ｓｉ）合金が使用され、第１サポータ９−１ｃ，９−１ｄに対しては融点２８０℃の高温ハンダ１２の金スズ（Ａｕ・Ｓｎ）合金が使用される。このように後に接続するサポータ９に対して溶融温度の低い高温ハンダを使用する。これにより、先に接合した第１サポータ９−１ａ，９−１ｂと釘頭部７との接合が緩んだり変形することがなくなる。
【００３４】
再び図３（ａ）に戻り、図３（ａ）ではハーメチックベース２が７個セットされた状況が示されているが、サポータ支持枠９−５には第１サポータ９−１が例えば２０個接続されており、２０個のハーメチックベース２を第１耐熱トレー４０に載置することができる。そして、第１耐熱トレー４０をトレー支持具４５に載せて電気炉に入れるだけで、２０対の第１サポータ９−１をネイルリード端子に固定することができる。従来のように、ネイルリードにサポータを一つ一つレーザー溶接で取り付ける方法と異なり、効率的に量産できる。
【００３５】
なお、トレー支持具４５を電気炉などに搬送する際に、サポータ支持枠９−５がトレー支持具４５の両側の載置部４９からずれてしまったり、第１耐熱トレー４０がトレー支持具４５の支え部４７からずれてしまったりすることがないように、それらのクランプ機構などをトレー支持具４５に設けても良い。
【００３６】
＜＜第２実施例＞＞
図４（ａ）は、第２実施例の第２水晶振動子１１０のカバーを取り去った（ｂ）のＸ−Ｘ’断面図であり、（ｂ）はカバー及びハーメチックベース２を除く平面図である。（ｃ）は（ａ）の一点鎖線で囲まれた範囲の拡大図である。
【００３７】
第２水晶振動子１１０と第１水晶振動子１００とは、サポータ９の形状が異なっている。図１などで示したように第１実施例では、第１サポータ９−１ａ、９−１ｂが水晶片１の裏側の主面を支えているのに対して、第２実施例では、第２サポータ９−２ａ、９−２ｂが水晶片１の側面を支えている。
【００３８】
一対のネイルリード端子８ａ、８ｂの釘頭部７には、内面が対向するＬ字状の第２サポータ９−２ａ，９−２ｂが水平に接合される。第２サポータ９−２ａ、９−２ｂの内面に、金ゲルマニュームのロウ材１０を塗布し、水晶片１の両端面と熱圧着によってブレージングする。水晶片１は第２サポータ９−２ａ、９−２ｂに両端面を電気的、機械的に接続する。
【００３９】
図４（ｂ）は、一対の第２サポータ９−２ａ、９−２ｂに対して直交する方向に、さらに、Ｌ字状の第２サポータ９−２ｃ，９−２ｄが水平に接合される。第２サポータ９−２ｃ、９−２ｄは水晶片１の端面を接着材１１によって機械的に接着する。一対の第２サポータ９−２ａ、９−２ｂによって水晶片１の保持強度が確保されているのであれば、第２サポータ９−２ｃ、９−２ｄを用意する必要はない。
【００４０】
図４（ｃ）に示すように第２サポータ９−２は開口部１４を設けている。第２サポータ９−２の開口部１４とネイルリード端子８の釘頭部７とを位置合わせした状態で、金ゲルマニューム（Ａｕ・Ｇｅ）合金、金スズ（Ａｕ・Ｓｎ）合金、及び金シリコン（Ａｕ・Ｓｉ）合金などの高温ハンダ１２のいずれか１つをサポータ９の開口部１４に入れて溶して第２サポータ９−２とネイルリード端子８とを接続する。
【００４１】
図５（ａ）は、第２サポータ９−２とネイルリード端子８の接合に於いて、電気炉に入れる際の第２耐熱トレー３０の構成を示す断面図であり、（ｂ）は第２耐熱トレー３０の斜視図である。
【００４２】
図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、第２耐熱トレー３０は所定の位置にネイルリード端子８の通過する孔３０ｈを備えている。第２耐熱トレー３０は耐火物より構成され、例えば、コージエライト質又はムライト質の丸サヤ（匣鉢）である。第２耐熱トレー３０は、軽量で熱膨張率が小さく加熱による変形がない。
【００４３】
第２耐熱トレー３０の底部外周には第１勘合部３１ａが形成されており、第２耐熱トレー３０の外周壁３０ｐの先端３１ｂと重ね合わさるようになっている。このため、複数の第２耐熱トレー３０を重ねることができる。また、外周壁３０ｐの高さＬ１は第２耐熱トレー３０内にネイルリード端子８を備えたハーメチックベース２を入れて第２サポータ９−２を取り付けた際に、第２サポータ９−２が重ね合わせた第２耐熱トレー３０の底面とぶつからない高さになっている。
【００４４】
次に第２サポータ９−２がネイルリード端子８の釘頭部７に接続される工程について説明する。
【００４５】
図５（ａ）に示すように、第２耐熱トレー３０にネイルリード端子８を備えたハーメチックベース２をセットする。また４つの第２サポータ９−２を４つのネイルリード端子８に載置する。そして第２サポータ９−２の開口部１４とネイルリード端子８の釘頭部７とを位置合わせした状態で、高温ハンダ１２を第２サポータ９−２の開口部１４に入れる。このようにハーメチックベース２及び第２サポータ９−２などを入れた第２耐熱トレー３０を電気炉内に順次積載していく。そして電気炉内を所定温度に加熱することで、一度に多くの第２サポータ９−２をネイルリード端子に固定することができ、効率的に量産できる。
【００４６】
図６（ａ）は、サポータ９とネイルリード端子８の接合において、電気炉に入れる際の第３耐熱トレー３５の構成を示す断面図であり、（ｂ）は第３耐熱トレー３５の斜視図である。
【００４７】
図６に示す第３耐熱トレー３５は、所定の位置にネイルリード端子８の通過する孔３５ｈを備えている。第３耐熱トレー３５は耐火物より構成され、例えば、コージエライト質又はムライト質のＨ形サヤである。第３耐熱トレー３５の一方向には外壁３５ｐが形成されておらず解放されているので、ネイルリード端子を備えたハーメチックベース２をセットし易く作業性に優れている。
【００４８】
第３耐熱トレー３５のＨ形サヤの下側の外壁３５ｐの先端には第２勘合部３５ａが形成されており、Ｈ形サヤの上側の外壁３５ｐの先端には第３勘合部３５ｂが形成されている。第２勘合部３５ａと第３勘合部３５ｂとは重ね合わさるようになっている。このため、複数の第３耐熱トレー３５を重ねることができる。また、Ｈ形サヤの上側の外壁３５ｐの高さＬ２とＨ形サヤの下側の外壁３５ｐの高さＬ３とを合わせた高さは、第３耐熱トレー３５内にネイルリード端子８を備えたハーメチックベース２を入れて第２サポータ９−２を取り付けた際に、第２サポータ９−２が重ね合わせた第２耐熱トレー３０の底面とぶつからない高さになっている。
【００４９】
図６において、第３耐熱トレー３５にネイルリード端子８を備えたハーメチックベース２をセットする。また４つの第２サポータ９−２を４つのネイルリード端子８に載置する。そして第２サポータ９−２の開口部１４とネイルリード端子８の釘頭部７とを位置合わせした状態で、高温ハンダ１２を第２サポータ９−２の開口部１４に入れる。このようにハーメチックベース２及び第２サポータ９−２などを入れた第３耐熱トレー３５を電気炉内に順次積載していく。第３耐熱トレー３５は縦方向に積載するだけでなく、電気炉内に横方向に並べることも容易にできる。そして電気炉内を所定温度に加熱することで、一度に多くの第２サポータ９−２をネイルリード端子に固定することができ、効率的に量産できる。
【００５０】
図７（ａ）は、第２サポータ９−２の斜視図である。図７（ｂ）及び（ｃ）は、第２サポータの変形例を示した斜視図である。
【００５１】
図７（ａ）に示すように第２サポータ９−２に開口部１４が設けられている。開口部１４は、円形でネイルリード端子８の釘頭部７の大きさよりやや小さめで、高温ハンダ１２が容易に充填できる大きさである。
【００５２】
図７（ｂ）は、第２サポータの変形例１であり、そのサポータ９−２’は開口部１５が設けられている。開口部１５は、正方形でネイルリード端子８の釘頭部７の大きさよりやや小さめで、中央部に一辺の三分の一の幅の橋部１５ｃを残して両側が打ち抜かれている。このため２つの小さな開口部を有することになり、サポータ９−２’と高温ハンダ１２との接着面積が大きくなり接着強度を高めることができる。
【００５３】
図７（ｃ−１）は、第２サポータ９−２の変形例２であり、そのサポータ９−２”は開口部１６を設けている。開口部１６は矩形で折り曲げ部１６Ｓを長辺ＬＬの両端に備える。短辺ＬＳは、ネイルリード端子８の釘頭部７の大きさより小さく、開口部１６の折り曲げ部１６Ｓをネイルリード端子８の釘頭部７に押し込む（カシメ）ことで嵌め合い、仮固定することができる。短辺ＬＳが釘頭部７に圧着して、押し込み過ぎることはないので、位置決めが容易で作業性がよい。
【００５４】
図７（ｃ−２）は、開口部１６の折り曲げ部１６Ｓがネイルリード端子８の釘頭部７に押し込まれた状態を示す断面図である。サポータ９−２”と高温ハンダ１２との接着面積が大きくなり、接着強度を高めることができる。
【００５５】
なお、第２サポータ９−２に対して、変形例１のサポータ９−２’と変形例２のサポータ９−２”とを示したが、図２（ａ）に示した第１サポータ９−１に対しても開口部１５又は開口部１６を適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
なお上記実施例では、ハーメチックベース２はコバール合金を用いたが、ガラス及びセラミックであってもよい。また、上記実施例では水晶片１の主面はハーメチックベース２の水平面と平行に配置される例を示したが、水晶片１の主面がハーメチックベース２の水平面に対して垂直に配置するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】（ａ）は、第１実施例の水晶振動子のカバーを取り去った（ｂ）のＸ−Ｘ’断面図である。  （ｂ）は、カバー及びハーメチックベース２を除く平面図である。  （ｃ）は、（ａ）の部分拡大断面図である。
【図２】（ａ）は、第１実施例の第１サポータ９―１の斜視図である。  （ｂ）は、第１実施例のサポ−タ支持枠９−５の斜視図である。
【図３】（ａ）は、第１実施例のハーメチックベース２を電気炉に入れる際の構成を示す斜視図である。  （ｂ）は（ａ）の断面図である。
【図４】（ａ）は、本発明の第２実施例の水晶振動子のカバーを取り去った（ｂ）のＸ−Ｘ’断面図である。（ｂ）は、カバー及びハーメチックベース２を除く平面図である。（ｃ）は、（ａ）の部分拡大断面図である。
【図５】（ａ）は、電気炉に入れる際の第２耐熱トレー３０の構成を示す断面図である。（ｂ）は、第２耐熱トレー３０の斜視図である。
【図６】（ａ）は、電気炉に入れる際の第３耐熱トレー３５の構成を示す断面図である。（ｂ）は、第３耐熱トレー３５の斜視図である。
【図７】（ａ）は、第２サポータ９−２の斜視図である。（ｂ）は、第２サポータ９−２の変形例１の斜視図である。（ｃ）は、第２サポータ９−２の変形例２の斜視図である。
【符号の説明】
【００５８】
１  …  水晶片
２  …  ハーメチックベース
３  …  励振電極
４  …  引出電極
５  …  端面電極
６  …  ガラス
７  …  釘頭部
８ａ，８ｂ  …  ネイルリード端子
８ｈ  …  ネイルリード端子通過孔
９−１  …  第１サポータ、９−２，９−２’，９−２”  …  第２サポータ
９−５  …  サポ−タ支持枠
１０  …  ロウ材
１１  …  接着剤
１２  …  高温ハンダ
１４，１５，１６  …  開口部
１６Ｓ  …  折り曲げ部
３０、３５、４０…  耐熱トレー
４５  …  トレー支持具
１００  …  第１水晶振動子
１１０  …  第２水晶振動子
【図１】
0005148972.tif 000002
【図２】
0005148972.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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