(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パイプの外周面を覆った面状ヒーターの温度を調節する、上記面状ヒーターとは別体であって上記面状ヒーターにリード線を介して接続されている温度調節器において、
筺体形状を有する温度調節器本体と、
上記温度調節器本体の底面に設けられ、上記パイプの配管方向に伸びている左右の脚部と、
左右の上記脚部のそれぞれに設けられた、当該温度調節器を係止するための係止用ベルトが貫通できる貫通孔と、
上記温度調節器本体の底面に設けられ、上記パイプの配管方向に伸びている、当該温度調節器が取付け可能な半径のうちで最小の半径を有する円筒の一部に合致する形状の凹条と
を有することを特徴とする温度調節器。
【請求項２】
パイプの振動を吸収する耐振機能、面状ヒーターの温度を温度調節器本体に伝えない断熱機能、接触時の摩擦増大により温度調節器本体と面状ヒーターとの取付けを安定させる保持機能、電気的な絶縁機能の、少なくとも１以上を発揮する介在部材を、上記各脚部の先端に設けたことを特徴とする請求項１に記載の温度調節器。
【請求項３】
パイプの振動を吸収する耐振機能、面状ヒーターの温度を温度調節器本体に伝えない断熱機能、接触時の摩擦増大により温度調節器本体と面状ヒーターとの取付けを安定させる保持機能、電気的な絶縁機能の、少なくとも１以上を発揮する介在部材を、上記凹条を覆うように上記温度調節器本体の底面に設けたことを特徴とする請求項１に記載の温度調節器。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の温度調節器を、パイプと、パイプの外周面を覆った面状ヒーターとでなる被取付対象に取り付ける温度調節器の取付方法であって、
係止用ベルトを２つの上記貫通孔を通し、この通した状態の上記係止用ベルトを、上記被取付対象の外周のほぼ全周を巻回させて縛り付け、左右の上記脚部を、上記被取付対象の外周に押し当てて、上記温度調節器を被取付対象に取り付けた
ことを特徴とする温度調節器の取付方法。
【請求項５】
請求項１又は３に記載の温度調節器を、パイプと、パイプの外周面を覆った面状ヒーターとでなる被取付対象に取り付ける温度調節器の取付方法であって、
係止用ベルトを２つの上記貫通孔を通し、この通した状態の上記係止用ベルトを、上記被取付対象の外周のほぼ下半周に接するように締め、上記被取付対象の外周の上半周の一部を、上記温度調節器本体の底面に押し当てて、上記温度調節器を被取付対象に取り付けた
ことを特徴とする温度調節器の取付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は温度調節器及び温度調節器の取付方法に関し、特に、パイプの外周面を覆って加熱するジャケットヒーターの温度調節用のものに適用し得るものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製品の製造では各種のガスが利用される。例えば、ＣＶＤ装置では、反応室から排気ポンプはパイプで連結され、このパイプを介して反応ガス（排気ガス）が排気される。この排気ガスは、凝固によって流路壁面に固形膜を生成し、排気ポンプの負荷を増大させるなどの悪影響を生じやすい。そのため、パイプ内部でガスが凝結しないように、パイプを一定温度に保つことが行われる。内部に面状の柔軟なヒーターを有する面状のジャケットヒーターで、パイプの外周面を覆い、ジャケットヒーターと温度調節器とを接続して、温度調節器からジャケットヒーターに加熱用の電力供給を行うと共に、ジャケットヒーターの内部に設けられている温度センサの出力を温度調節器にフィードバックし、温度調節器が一定温度に保つように調節する。
【０００３】
ジャケットヒーターは、パイプ長手方向の長さが数十ｃｍ程度のものであり、パイプには複数のジャケットヒーターが設けられ、各ジャケットヒーターにはそれぞれ１個ずつ温度調節器が接続される。これらの温度調節器は、電力供給線や異常通知などの信号線のデジーチェイン接続によって相互に接続されている。ジャケットヒーターからは、電力供給を取り込むリード線やセンサ出力を取り出すリード線などが延出されており、その先端にコネクタが設けられており、このコネクタに温度調節器が接続されている（特許文献１参照）。また、温度調節器間をデジーチェイン接続する接続部材は、リード線を束ねたケーブルのＴ字状の構成となっており、それぞれの端部にコネクタが設けられ、そのうちの１つのコネクタが温度調節器に接続され、他の２つのコネクタが、他のＴ字状ケーブルのコネクタと接続されるようになされている（特許文献１参照）。
【特許文献１】ＵＳ  ２００７／０２３５４４０  Ａ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の温度調節器は、他の要素とコネクタ接続であるため、コネクタに負荷がかかりやすいものであった。例えば、ガスの排気ポンプやガスの利用装置の動作によってパイプが振動したときに、コネクタがその振動を吸収しなければならず、振動を吸収し得ない場合に、コネクタの寿命を短くする恐れがある。また、他の要素との接続がケーブルを介して行われ、温度調節器の位置が安定しないため、パイプ全体の温度を一定に保つシステムとして見た場合、当該システムのために必要な占有空間がかなり大きなものであった。
【０００５】
そのため、コネクタの負荷を軽減し、損傷を未然に防止できる、システム全体としての占有空間を削減できる温度調節器や、その取付方法が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の本発明は、パイプの外周面を覆った面状ヒーターの温度を調節する、上記面状ヒーターとは別体であって上記面状ヒーターにリード線を介して接続されている温度調節器において、（１）筺体形状を有する温度調節器本体と、（２）上記温度調節器本体の底面に設けられ、上記パイプの配管方向に伸びている左右の脚部と、（３）左右の上記脚部のそれぞれに設けられた、当該温度調節器を係止するための係止用ベルトが貫通できる貫通孔と、（４）上記温度調節器本体の底面に設けられ、上記パイプの配管方向に伸びている、当該温度調節器が取付け可能な半径のうちで最小の半径を有する円筒の一部に合致する形状の凹条とを有することを特徴とする。
【０００７】
第２の本発明は、第１の本発明の温度調節器を、パイプと、パイプの外周面を覆った面状ヒーターとでなる被取付対象に取り付ける温度調節器の取付方法であって、係止用ベルトを２つの上記貫通孔を通し、この通した状態の上記係止用ベルトを、上記被取付対象の外周のほぼ全周を巻回させて縛り付け、左右の上記脚部を、上記被取付対象の外周に押し当てて、上記温度調節器を被取付対象に取り付けたことを特徴とする。
【０００８】
第３の本発明は、第１の本発明の温度調節器を、パイプと、パイプの外周面を覆った面状ヒーターとでなる被取付対象に取り付ける温度調節器の取付方法であって、係止用ベルトを２つの上記貫通孔を通し、この通した状態の上記係止用ベルトを、上記被取付対象の外周のほぼ下半周に接するように締め、上記被取付対象の外周の上半周の一部を、上記温度調節器本体の底面に押し当てて、上記温度調節器を被取付対象に取り付けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、コネクタの負荷を軽減し、損傷を未然に防止できる、システム全体としての占有空間を削減できる温度調節器や、その取付方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
（Ａ）主たる実施形態
以下、本発明による温度調節器及び温度調節器の取付方法の一実施形態を、図面を参照しながら詳述する。この実施形態の温度調節器も、パイプの外周面を覆って加熱するジャケットヒーター用のものである。
【００１１】
図１は、実施形態に係る温度調節器の外観形状を示す斜視図である。
【００１２】
図１において、実施形態の温度調節器１は、概ね直方体形状をしており、直方体の長手方向が保温対象の図示しないパイプの延長方向と平行になることが意図されているものである。
【００１３】
長手方向に沿う一側面から上面にかけての角には、図示しないジャケットヒーターに加熱用の電力供給を行う一対のリード線（図示せず）を取り付けるスプリングコネクタでなるコネクタ部２と、ジャケットヒーターの内部に設けられている温度センサに繋がっている一対のリード線（図示せず）を取り付けるスプリングコネクタでなるコネクタ部３と、スプリングコネクタに接続するリード線から被覆部分を除外する長さの目安を与える小さな半円筒状の窪みでなるゲージ４とが設けられている。
【００１４】
短手方向に沿う一側面（図１の手前側）から上面にかけての角には、図示しない手前側の温度調節器（若しくは電力供給源）との間で電力を授受するための一対のリード線（図示せず）を取り付けるスプリングコネクタでなるコネクタ部５と、図示しない手前側の温度調節器（若しくはセンター装置）との間でデジタル通信を行うための４本のリード線（図示せず）を取り付けるスプリングコネクタでなるコネクタ部６と、スプリングコネクタに接続するリード線から被覆部分を除外する長さの目安を与える小さな半円筒状の窪みでなるゲージ７とが設けられている。
【００１５】
短手方向に沿う他側面（図１の奥側）から上面にかけての角には、図示しない奥側の温度調節器との間で電力を授受するための一対のリード線（図示せず）を取り付けるスプリングコネクタでなるコネクタ部８と、図示しない奥側の温度調節器との間でデジタル通信を行うための４本のリード線（図示せず）を取り付けるスプリングコネクタでなるコネクタ部９と、スプリングコネクタに接続するリード線から被覆部分を除外する長さの目安を与える小さな半円筒状の窪みでなるゲージ１０とが設けられている。
【００１６】
上面には、ジャケットヒーターの温度を表示するための３個の７セグメントでなる温度表示部１１（設定動作でも利用される）と、当該温度調節器１の異常時に点灯されるエラー表示ランプ１２と、温度調節時の制御と連動して点滅などを行う制御表示ランプ１３と、設定温度の入力や機器ＩＤの入力などに用いられるアップキー１４、ダウンキー１５及びセットキー１６とが設けられている。
【００１７】
長手方向に沿う２つの側面からそれぞれ、下方に脚部１７、１８が延びている。脚部１７、１８は、その先端のかどがとられたものである。脚部１７、１８の長手方向の中央には係止用ベルト２５（図２参照）を通す貫通孔でなる取り付け穴１９、２０が設けられている（取り付け穴２０は図１で目視できない位置に設けられている）。
【００１８】
底面には、長手方向に延びる凹条２１が設けられている。この凹条２１は、円筒の一部に合致する形状を有している。当該温度調節器１が対応するパイプの半径は限定されるものではないが、所定範囲の半径のパイプに対応するものである。最小半径のパイプにジャケットヒーターを巻回したときにおける半径が考慮されて、凹条２１の半径が決定されている。
【００１９】
温度調節器１は係止用ベルト２５（図２参照）と対をなして市販されるものである。係止用ベルト２５は、上述した取り付け穴１９、２０を通過できる幅及び厚みを有するものである。係止用ベルト２５は、一方の面の全面若しくは一方の先端側部分にマジックテープ（登録商標）の雄構成が適用され、他方の面の全面若しくは他方の先端側部分にマジックテープの雌構成が適用されているものである。
【００２０】
図２は、太いパイプが温度調節対象の場合における、実施形態の温度調節器１の取り付けイメージを示す説明図である。
【００２１】
図２において、仮想線（２点鎖線）で示す円（以下、被取付対象と呼ぶ）３０は、円形パイプの周囲にジャケットヒーターを巻回した状態での外周を表している。太いパイプが温度調節対象の場合には、係止用ベルト２５を、温度調節器１の取り付け穴１９、２０を通した後、係止用ベルト２５の左右の部分を、被取付対象３０に回した後、係止用ベルト２５の左右の部分の先端側（のマジックテープ）で締結する。
【００２２】
太いパイプが温度調節対象の場合、温度調節器１の底面が被取付対象３０に接することはないが、左右の脚部１７及び１８が、係止用ベルト２５の締め込みによって、被取付対象３０に食い込む方向に力が作用し（２点支持）、安定した取り付けを実現することができる。
【００２３】
図３は、細いパイプが温度調節対象の場合における、実施形態の温度調節器１の取り付けイメージを示す説明図である。
【００２４】
細いパイプが温度調節対象の場合には、温度調節器１の底面が被取付対象３０に接するようにし、その状態で、係止用ベルト２５を、温度調節器１の取り付け穴１９、２０を通した後、係止用ベルト２５の左右の部分を、被取付対象３０の、温度調節器１から遠い方の周面に回した後、係止用ベルト２５の左右の部分の先端側（のマジックテープ）で締結する。すなわち、細いパイプが温度調節対象の場合、温度調節器１の底面と係止用ベルト２５とで被取付対象３０を挟み付けるように温度調節器１を取り付ける。
【００２５】
被取付対象３０が、温度調節器１が対応し得る最も細い径のものであれば、底面の凹条２１の全面と被取付対象３０外周面とが面接触し、安定した取り付けを実現することができる。被取付対象３０が、温度調節器１が対応し得る最も細い径より大きな径のものであれば、図４に示すように、凹条２１の左右の角が被取付対象３０に食い込む方向に力が作用し（２点支持）、安定した取り付けを実現することができる。
【００２６】
被取付対象３０に取り付けられた温度調節器１に対し、ジャケットヒーターから伸びている加熱用の電力供給を行う一対のリード線がコネクタ部２に接続され、ジャケットヒーターの温度センサに繋がっている一対のリード線がコネクタ部３に接続される。また、配管方向に隣接する他の温度調節器（１）との間では、電力授受及びデータ通信のための電気的な接続が実行される。図５は、実施形態の温度調節器１を複数取り付け、相互に接続した状態を示している。
【００２７】
なお、例えば、配管が天井の隅になされているような温度調節器１の設置のための空間に余裕がない場合には、図６に示すように、係止用ベルト２５を、温度調節器１の一方の取り付け穴１９又は２０だけを通し、係止用ベルト２５を被取付対象３０に縛り付けて温度調節器１を取り付けるようにしても良い。
【００２８】
以上のように、この実施形態によれば、係止用ベルト２５によって温度調節器１を被取付対象３０に、直接、縛り付けて取り付けるようにしたので、コネクタ部（２、３、５、６、７、８）に機構的な負荷がかかることを未然に防止することができる。
【００２９】
仮に、パイプが振動したとしても、温度調節器１がパイプ（被取付対象）と一体となって振動するので、コネクタ部の負荷変動はほとんど生じることがなく、コネクタ部を損傷させることがない。
【００３０】
また、係止用ベルト２５によって温度調節器１を被取付対象３０に、直接、縛り付けて取り付けるようにしたので、パイプの保温システム全体としての占有空間を、従来より小さくすることができる。
【００３１】
さらに、パイプの径によらず、温度調節器１が、被取付対象３０に対し、２点支持若しくは面接触で取り付けられるので、温度調節器１が取付状態で滑って回転するようなことを防止でき、安定した取り付けを実現することができる。
【００３２】
（Ｂ）他の実施形態
上記実施形態では、温度調節器１の脚部又は底面が被取付対象３０に直接接するものを示したが、図７（Ａ）又は（Ｂ）に示すように、温度調節器１の脚部又は底面と、被取付対象３０との間に、介在物３５を介するようにしても良い。ここで、介在物３５は温度調節器１の脚部又は底面に固着したものであっても良く、温度調節器１を被取付対象３０に取り付ける際に介挿又は貼着させるものであっても良い。
【００３３】
介在物３５には、（１）パイプの振動を吸収する耐振機能、（２）被取付対象３０の温度を温度調節器１に伝えない断熱機能、（３）大きな摩擦係数により温度調節器１と被取付対象３０との取付けを安定させる保持機能、（４）温度調節器１と被取付対象３０との電気的な絶縁をより高める絶縁機能、少なくとも１以上を発揮する部材を適用すれば良い。例えば、発泡シリコーンゴムを介在物３５に適用することができる。
【００３４】
上記実施形態では、左右の脚部に１つずつ取り付け穴を設けたものを示したが、２以上ずつ取り付け穴を設け、係止用ベルト２５による取り付けを２箇所以上で行うようにしても良い。
【００３５】
また、上記実施形態の説明では、係止用ベルト２５の具体例としてマジックテープを挙げたが、他の構成のものであっても良い。例えば、ズボン用ベルトの係止方法のいずれをも流用することができる。また、材質に金属を適用しても良い。
【００３６】
さらに、上記実施形態では、温度調節器１の取り付け穴１９、２０を係止用ベルト２５を通過させて利用するものを示したが、係止用ベルト２５の一端が取り付け穴１９、２０に固着されたものであっても良い。
【００３７】
上記実施形態では、温度調節器１の脚部１７、１８が、側面から面位置で下方に延びているものを示したが、その位置より、底面の中心側にずれた位置に設けられたものであっても良く、逆に、底面の外側にずれた位置に設けられたものであっても良い。
【００３８】
上記実施形態では、温度調節器１の本体形状が概ね直方体形状のものを示したが、半円筒形状、かまぼこ形状など、他の筺体形状をしていても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】実施形態に係る温度調節器の外観形状を示す斜視図である。
【図２】太いパイプが温度調節対象の場合における、実施形態の温度調節器の取り付けイメージを示す説明図である。
【図３】細いパイプが温度調節対象の場合における、実施形態の温度調節器の取り付けイメージを示す説明図である。
【図４】図３の取り付けの場合における凹条と被取付対象との接触の説明図である。
【図５】実施形態の温度調節器を複数取り付けた状態を示す説明図である。
【図６】実施形態の温度調節器の例外的な取り付け状態を示す説明図である。
【図７】実施形態の変形例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１…温度調節器、１７、１８…脚部は、１９、２０…取り付け穴、２１…凹条、２５…係止用ベルト、３０…被取付対象、３５…介在物。
【図１】
0005135017.tif 000002
【図２】
0005135017.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0005135017.tif 000007
【図７】
0005135017.tif 000008