(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被覆シートが被覆された矩形基板を保持し、矩形基板の周縁からはみ出た前記被覆シートの端縁部を切断する切断装置において、
前記矩形基板の周縁部が載置される周縁載置部と、前記矩形基板の周縁を吸着する周縁吸着部と、を備え、前記矩形基板の辺毎に設けられた周縁保持手段と、
対向する前記周縁保持手段の、互いに近接、離間する方向の移動を案内する移動案内手段と、
前記矩形基板の中央部が載置されて保持される中央保持手段と、
前記周縁保持手段で囲まれる領域外に配置され、前記中央保持手段に向けて前記矩形基板を搬送する外側コンベアと、
前記周縁保持手段で囲まれる領域内に配置され、前記外側コンベアにより搬送された前記矩形基板を前記中央保持手段に受け渡す内側コンベアと、
前記内側コンベアおよび前記中央保持手段の少なくとも一方を昇降する昇降手段と、
を備えたことを特徴とする切断装置。
【請求項２】
前記移動案内手段が、
対向する第１組の前記周縁保持手段の、互いに近接、離間する方向の移動を案内する第１移動案内手段と、
対向する第２組の前記周縁保持手段の、互いに近接、離間する方向の移動を案内する第２移動案内手段と、を備え、
前記第１及び第２移動案内手段が搭載されたベース部材を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の切断装置。
【請求項３】
前記周縁載置部が、前記周縁部に沿って延設され、前記矩形基板の周縁部を下方から水平に支持する管状部材を備え、
前記周縁吸着部を、前記管状部材の長手方向に沿って複数設けたことを特徴とする請求項１に記載の切断装置。
【請求項４】
前記中央保持手段は、
前記矩形基板の中央部が載置される中央載置部と、前記矩形基板の中央部を吸着する中央吸着部と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の切断装置。
【請求項５】
前記移動案内手段が、
前記周縁保持手段が搭載される移動ベース部材と、
前記移動ベース部材のスライド移動を案内する案内部材と、
前記移動ベース部材を前記案内部材に沿って移動させる駆動手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の切断装置。
【請求項６】
前記矩形基板のサイズを示すサイズ情報に基づいて、前記周縁保持手段が前記矩形基板の各周縁内側部分に位置するように前記駆動手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とする請求項５に記載の切断装置。
【請求項７】
各々の前記周縁保持手段の外側にそれぞれ配置され、切断された前記被覆シートの端縁部を回収する回収手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の切断装置。
【請求項８】
前記回収手段は、
前記矩形基板の辺に沿う方向に、切断された前記端縁部を搬送するコンベアと、
前記コンベアの周囲に設けられ、前記被覆シートから切断されて落下する前記端縁部を前記コンベアに導く回収ガイド部材と、
を備えたことを特徴とする請求項７に記載の切断装置。
【請求項９】
前記回収手段は、
各々の前記周縁保持手段の外側に配置され、前記被覆シートから切断されて落下する前記端縁部を受けて回収する回収ガイド部材と、
前記回収ガイド部材に連通され、前記回収ガイド部材に回収された前記端縁部を吸引する吸引手段と、
を備えたことを特徴とする請求項７に記載の切断装置。
【請求項１０】
各々の前記周縁保持手段の外側にそれぞれ配置され、切断された前記端縁部を回収する回収手段を備え
前記移動案内手段が、
該周縁保持手段と前記回収手段とが搭載される移動ベース部材と、
前記移動ベース部材のスライド移動を案内する案内部材と、
前記移動ベース部材を前記案内部材に沿って移動させる駆動手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の切断装置。
【請求項１１】
前記外側コンベアが、
前記周縁保持手段で囲まれる領域外に配置された第１コンベアと、
前記第１コンベアの搬送方向に延設して前記第１コンベアに設けられた案内部材と、
前記案内部材に沿って移動可能に支持され、前記周縁保持手段を跨ると共に前記第１コンベア及び前記内側コンベアと連続した搬送経路を形成する進出位置と、前記周縁保持手段で囲まれる領域外の退避位置と、において進退自在に設けられた第２コンベアと、
前記第２コンベアの一端部側に接続され、前記第２コンベアを前記進出位置と前記退避位置との間で進退移動させる進退移動手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の切断装置。
【請求項１２】
第１ヘッドユニットと、
第２ヘッドユニットと、
前記第１及び第２ヘッドユニットをそれぞれ移動する移動ユニットと、
を更に備え、
前記第１及び第２のヘッドユニットは、それぞれ、
前記被覆シートの端縁部を切断する切断ユニットと、
前記周縁載置部に載置された前記矩形基板の辺に当接する当接部材と、
を備えたことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の切断装置。
【請求項１３】
第１ヘッドユニットと、
第２ヘッドユニットと、
前記第１及び第２ヘッドユニットをそれぞれ移動する移動ユニットと、
を更に備え、
前記第１及び第２のヘッドユニットは、それぞれ、
前記被覆シートの端縁部を切断する切断ユニットと、
前記周縁載置部に載置された前記矩形基板をその上面側から前記周縁載置部に押圧する押圧部材と、
を備えたことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を被覆する被覆シートの切断技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板や半導体ウエハのような基板は、その表面を保護するために被覆シートで被覆される場合がある。例えば、太陽電池モジュール基板においては、受光面を保護すると共に、太陽電池モジュール基板を構成する複数の部材が複数層で構成され、これらの部材を一纏めに構成させるためにも被覆シートを使用している。被覆シートのうち、基板の周辺からはみ出た端縁部は不要であるため、これを切断する必要がある。そこで、被覆シートの端縁部を切断する装置が提案されている（特許文献１及び２）。
【０００３】
このような装置では、被覆シートの端縁部を良好に切断するため、端縁部の切断の間、基板の位置がずれないようにこれを保持しておく必要がある。特許文献１には、基板の下面を吸着して保持する複数の真空吸着ヘッドを備えた装置が開示されている。また、特許文献２には基板の両側部を挟み込んで保持する基板用クランプを備えた装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３２００６９号公報
【特許文献２】特公平０７−０４９１８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献２のように基板を挟み込んで保持する方式では、クランプが当接している基板の両側部については被覆シートのトリミングが困難であり、基板の全周に渡って被覆シートのトリミングをするためには基板の持ち替えを必要とする。よって、特許文献１のように、基板の下面を吸着する方式の方が基板の持ち替えが必要とされない点で好ましい。一方、被覆シートのトリミングの際に基板周縁が振れると、円滑な切断を阻害する。特許文献１のように吸着ヘッドを縦横に複数配置した構成の場合、各サイズの基板の周縁に、適切に吸着ヘッドが配置されない場合が生じて、基板周縁の保持が不十分な場合が生じ得る。しかも、複数サイズの基板に対応するためには多数の吸着ヘッドが必要となり、小サイズの基板を保持する場合には、吸着に使用されない無駄な吸着ヘッドが生じることになる。
【０００６】
本発明の目的は、基板のサイズに応じてその周縁をより確実に保持し、被覆シートの端縁部を良好に切断することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、被覆シートが被覆された矩形基板を保持し、矩形基板の周縁からはみ出た前記被覆シートの端縁部を切断する切断装置において、前記矩形基板の周縁部が載置される周縁載置部と、前記矩形基板の周縁を吸着する周縁吸着部と、を備え、前記矩形基板の辺毎に設けられた周縁保持手段と、対向する前記周縁保持手段の、互いに近接、離間する方向の移動を案内する移動案内手段と、前記矩形基板の中央部が載置されて保持される中央保持手段と、前記周縁保持手段で囲まれる領域外に配置され、前記中央保持手段に向けて前記矩形基板を搬送する外側コンベアと、前記周縁保持手段で囲まれる領域内に配置され、前記外側コンベアにより搬送された前記矩形基板を前記中央保持手段に受け渡す内側コンベアと、前記内側コンベアおよび前記中央保持手段の少なくとも一方を昇降する昇降手段と、を備えたことを特徴とする切断装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、基板のサイズに応じてその周縁をより確実に保持し、被覆シートの端縁部を良好に切断することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係る切断装置Ａの平面図。
【図２】切断装置Ａの正面図。
【図３】ヘッドユニットＨの斜視図。
【図４】ヘッドユニットＨの一部の構成の分解斜視図。
【図５】駆動ユニット１３の断面図。
【図６】（Ａ）は位置決め・押圧ユニット３０の断面図、（Ｂ）は制御装置３００のブロック図。
【図７】（Ａ）は図１の線Ｉ−Ｉに沿う周縁保持ユニット６０の断面図、（Ｂ）は図１の線ＩＩ−ＩＩに沿う回収ユニット８０の断面図、（Ｃ）は回収ユニット８０をその端部側から見た図。
【図８】回収ユニット８０'の説明図。
【図９】移動案内ユニット９０の説明図。
【図１０】（Ａ）は外側コンベア１００の平面図、（Ｂ）は外側コンベア１００の側面図、（Ｃ）は外側コンベア１００の正面図、（Ｄ）は外側コンベア１００の動作説明図。
【図１１】中央保持ユニット７０と外側コンベア１００との間における基板１の受け渡し動作の説明図。
【図１２】中央保持ユニット７０と外側コンベア１００との間における基板１の受け渡し動作の説明図。
【図１３】（Ａ）は図１の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う中央保持ユニット７０及び内側コンベア２００の断面図、（Ｂ）及び（Ｃ）は中央保持ユニット７０及び内側コンベア２００の動作説明図。
【図１４】（Ａ）及び（Ｂ）はティーチングの説明図。
【図１５】ティーチングの説明図。
【図１６】位置決め動作の説明図。
【図１７】位置決め動作の説明図。
【図１８】トリミング動作の説明図。
【図１９】トリミング動作の説明図。
【図２０】トリミング動作の説明図。
【図２１】トリミング動作の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜装置の概略＞
図１は本発明の一実施形態に係る切断装置Ａの平面図、図２は切断装置Ａの正面図である。なお、図２においては外側コンベア１００の図示を省略している。図中、矢印Ｘ及びＹは水平方向であって互いに直交する２方向を示し、矢印Ｚは垂直方向を示す。
【００１１】
切断装置Ａは、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２と、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２をＹ方向に移動させる移動ユニットＭｙと、周縁保持ユニット６０と、中央保持ユニット７０と、回収ユニット８０と、移動案内ユニット９０と、外側コンベア１００と、内側コンベア２００と、を備え、これらの構成は、図中、簡易な方式で図示したフレームＦに支持される。
【００１２】
基板１は例えばガラス板であり、本実施形態の場合、矩形の基板を想定している。基板１は互いに対向する１組目の辺１ａ、１ａと、２組目の辺１ｂ、１ｂと、を含む。基板１は、図１及び図２においては不図示の被覆シート２により被覆される。後述するように切断装置Ａは、辺１ａ、１ａがＸ方向と、辺１ｂ、１ｂがＹ方向と平行となるように基板１を位置決めして水平姿勢で保持し、基板１の各辺からはみでた被覆シート２の端縁部を切断する。
【００１３】
＜移動ユニットＭｙ＞
移動ユニットＭｙは、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２を、それぞれ独立して基板１の辺１ｂと平行な方向（本実施形態の場合Ｙ方向）に移動させる。本実施形態の場合、移動ユニットＭｙは、Ｘ方向に互いに離間し、Ｙ方向に延びる一対のレール部５１を備える。レール部５１はその上面にＹ方向に延設された案内溝５１ａを有する。
【００１４】
一方のレール部５１には、案内溝５１ａに案内されてレール部５１上を移動可能な２つの駆動スライダ５２が設けられ、他方のレール部５１には、案内溝５１ａに案内されてレール部５１上を移動可能な２つの従動スライダ５３が設けられている。駆動スライダ５２と従動スライダ５３とは組をなし、本実施形態の場合、２組の駆動スライダ５２と従動スライダ５３とが設けられている。
【００１５】
各駆動スライダ５２はそれぞれ独立した駆動源を有して、独立してレール部５１上を自走する。駆動スライダ５２を自走させる機構としては、例えばレール部５１に設けられるボールネジと、そのボールネジに螺合するボールナットのボールネジ機構を採用できる。各駆動スライダ５２は、ボールナットと、そのボールナットを回転自在に保持すると共に、ボールナットを回転させる回転駆動手段（例えば、中空モータ）とを備えたものとすることができる。各従動スライダ５３はそれ自体が自走する機構を有していないが、自走可能に駆動手段を構成し、駆動スライダ５２と同期駆動を行うようにさせて駆動制御してもよい。
【００１６】
各組の駆動スライダ５２と従動スライダ５３とには、移動ユニットＭＵ１又はＭＵ２のレール部４１が架設されている。レール部４１はＸ方向に延び、駆動スライダ５２のＹ方向の移動によってＹ方向に移動する。これにより、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２を、それぞれ独立してＹ方向に移動させることができる。
【００１７】
＜移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２＞
移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２は、それぞれ、ヘッドユニットＨと、ヘッドユニットＨを支持し、かつ、基板１の辺１ａと平行な方向（本実施形態の場合Ｘ方向）にヘッドユニットＨを移動させる移動機構Ｍｘと、を備える。本実施形態では、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２において、各ヘッドユニットＨと、各移動機構Ｍｘとは同じ構成であるが、異なる構成としてもよい。
【００１８】
＜移動機構Ｍｘ＞
移動機構Ｍｘは、その両端部が駆動スライダ５２、従動スライダ５３に支持され、Ｘ方向に延びるレール部４１を備える。レール部４１はその上面にＸ方向に延設された案内溝４１ａを有する。レール部４１には、案内溝４１ａに案内されてレール部４１上を移動可能な駆動スライダ４２が設けられている。駆動スライダ４２は、上述した駆動スライダ５２と同様の機構でレール部４１上を自走する。ヘッドユニットＨは、その回動・昇降ユニット２０が駆動スライダ４２に固定されている。こうして本実施形態では、駆動スライダ４２の移動により、ヘッドユニットＨをＸ方向に移動させ、移動ユニットＭｙで移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２をＹ方向に移動させることで、各ヘッドユニットＨをＸ−Ｙ平面上で移動できる。
【００１９】
なお、切断装置ＡはヘッドユニットＨのＸ−Ｙ方向の位置を検出するための不図示のセンサ装置を備える。そのようなセンサとしては、例えば、駆動スライダ４２、５２の位置を検出するセンサ装置が挙げられ、更に具体的には駆動スライダ４２、５２の駆動源がモータの場合、モータの回転量を検出するセンサ（例えば、エンコーダ）が挙げられる。
【００２０】
＜ヘッドユニットＨ＞
図１乃至図３を参照してヘッドユニットＨの構成について説明する。図３はヘッドユニットＨの斜視図である。ヘッドユニットＨは、切断ユニット１０と、位置決め・押圧ユニット３０と、切断ユニット１０を回動し、昇降する回動・昇降ユニット２０と、を備える。なお、本実施形態の場合、位置決め・押圧ユニット３０が切断ユニット１０の主支持部１１に搭載されているため、回動・昇降ユニット２０によって、切断ユニット１０と共に位置決め・押圧ユニット３０も回動され、昇降される。
【００２１】
＜回動・昇降ユニット２０＞
回動・昇降ユニット２０は、軸体２１、及び、軸体２１をその軸心（図２において破線Ｌ１）周りに回転させると共に軸体２１を昇降させる機構（不図示）を備える。軸体２１は基板１の基板面における法線方向と平行な方向（Ｚ方向）に延長している。
【００２２】
本実施形態の場合、軸体２１には切断ユニット１０が連結されており、軸体２１を回転させることで切断ユニット１０を、Ｚ方向の回動中心軸（図２における破線Ｌ１）回りに回動してその回動角度を維持することができると共に、軸体２１を昇降させることで切断ユニット１０をＺ方向に昇降することができる。
【００２３】
切断ユニット１０を回動させ、その回動角度を維持することで、トリミング対象の辺１ａ又は１ｂを含む基板１の基板面に垂直な面（本実施形態の場合、Ｚ方向の垂直面）と、円板刃１４が形成する平面（本実施形態の場合、Ｚ方向の垂直面）との角度（交差角度）を調整することができる。この角度を調整し、維持することで、円板刃１４を基板１の端縁に対して好適な角度で当接させて切断させるようにすることができ、被覆シートの切断時に基板１の端縁が損傷することを防止できる。
【００２４】
また、切断ユニット１０を昇降させることで、基板１の基板面における法線方向と平行な方向に垂直な面（本実施形態の場合、Ｚ方向の垂直面）と、円板刃１４が形成する平面（本実施形態の場合、Ｚ方向の垂直面）に対する円板刃１４の切断刃位置（高さ位置）を調整することができる。
【００２５】
このように円板刃１４の向きと切断刃位置とを調整することができるので、被覆シートのタイプに応じて最適な傾き及び切断刃位置で辺１ａ、１ｂに沿って被覆シートを切断することができる。また、位置決め・押圧ユニット３０を昇降させることで、基板１の位置決め時において、位置決め・押圧ユニット３０の当接部材３２と基板１とのＺ方向の位置合わせを行い、続けて円板刃１４の切断位置の位置合わせが行える。
【００２６】
軸体２１を回転・昇降させる機構としては公知の機構を採用できる。例えば、軸体２１を回転させる機構としては、モータ等の駆動源と、歯車機構或いはベルト機構等の機構の組み合わせを挙げることができる。軸体２１の回転角度を維持する機構としては、例えば、駆動源をサーボモータとした場合には、サーボモータの電磁ロック機能を利用することができるが、或いは、軸体２１の回転を解除可能に規制するロック機構を別途設けてもよい。また、軸体２１を昇降させる機構としては、モータ等の駆動源と、ラック−ピニオン機構等の機構の組み合わせを挙げることができる。
【００２７】
なお、回動・昇降ユニット２０は切断ユニット１０の回動角度（回動位置）、Ｚ方向の位置を検出するための不図示のセンサ装置を備える。そのようなセンサとしては、例えば、軸体２１を回転、昇降する駆動源がそれぞれモータの場合、モータの回転量を検出するセンサ（例えば、エンコーダ）が挙げられる。
【００２８】
＜切断ユニット１０＞
図３乃至図５を参照して切断ユニット１０について説明する。図４はヘッドユニットＨの一部の構成の分解斜視図であり、特に切断ユニット１０の主要な構成を示している。図５は駆動ユニット１３の断面図である。本実施形態の場合、切断ユニット１０として、円板刃１４を回転させて被覆シートを切断する機構を採用しているがこれに限られない。例えば、固定の刃により被覆シートを切断する機構等、他の種類の切断機構が採用可能である。
【００２９】
切断ユニット１０は、板状の主支持部１１と、回動・昇降ユニット２０の軸体２１と主支持部１１とを連結する連結部１２と、円板刃１４を基板１の面方向（本実施形態の場合水平方向）に対して垂直に支持し、回転させる駆動ユニット１３と、を有する。
【００３０】
駆動ユニット１３は、垂直部と水平部とを備え、断面形状が略Ｌ字型の支持部（スライダ）１３１を有する。支持部１３１の垂直部の背面側（円板刃１４の側と反対側）には駆動部１３２が取り付けられている。駆動部１３２は駆動源としてのモータ１３２ａと、モータ１３２ａの出力を減速する減速機１３２ｂとを備える。減速機１３２ｂには、円板刃１４の回転軸体１３３の後端部１３３ｂが接続されており、モータ１３２ａの回転により回転軸体１３３がその軸心回りに回転することになる。
【００３１】
回転軸体１３３は、その先端部に、円板刃１４が取り付けられる取付部１３３ａを有しており、取付部１３３ａの近傍には鍔状の円板刃当接部１３３ｃが形成されている。取付部１３３ａには、回り止めとなるキー溝付の円板刃１４、押圧部材１３５、止め部材１３４が順に装着され、止め部材１３４は取付部１３３ａの先端に係合される。止め部材１３４と押圧部材１３５との間には弾性部材１３６が装填される。本実施形態の場合、弾性部材１３６はコイルスプリングである。弾性部材１３６の付勢により、押圧部材１３５は円板刃１４側に向かって付勢され、円板刃当接部１３３ｃと押圧部材１３５との間に円板刃１４が挟持されるため、円板刃１４の回転振れが抑制される。
【００３２】
回転軸体１３３は水平方向に延設されており、この回転軸体１３３に円板刃１４を取り付けると、円板刃１４が形成する平面は、水平面に対して垂直な面となる。そして、回動・昇降ユニット２０の回動中心軸（図２の線Ｌ１：垂直方向）が、円板刃１４を含む平面（本実施形態の場合垂直面）と平行な平面上に含まれるように、回動・昇降ユニット２０に対する切断ユニット１０の連結位置が調整される。この調整は、連結部１２の形状と、連結部１２と主支持部１１との連結位置と、の少なくともいずれかの調整によりなすことができる。このように調整することで、回動・昇降ユニット２０の回動中心軸の直下に円板刃１４を位置させることができるため、回動・昇降ユニット２０を用いて切断ユニット１０を回動させる際、基板１の辺１ａ、１ｂに対する円板刃１４が形成する平面の傾きを調整し易いという利点がある。
【００３３】
回転軸体１３３は、ボールベアリング１３８ａにより軸支されている。ボールベアリング１３８ａは、筒状の支持部材１３８の後端部側における内周壁内に嵌挿され、ボルト留めされた固定部材１３８ｄによって抜け止め防止が図られている。また、回転軸体１３３の後端部側には固定用リング１３３ｄが螺着され、固定用リング１３３ｄとボールベアリング１３８ａとの間に固定用筒体１３３ｅが配設される。回転軸体１３３に対して固定用リング１３３ｄを螺合させ、先端側に向かって固定用リング１３３ｄを螺進させることで、回転軸体１３３の軸方向における固定用リング１３３ｄの位置が固定される。これにより、固定用リング１３３ｄが固定用筒体１３３ｅに当接され、固定用筒体１３３ｅがボールベアリング１３８ａに当接される。これによって、支持部材１３８の軸方向における回転軸体１３３の相対位置が位置決めされる。
【００３４】
支持部材１３８に形成された小径部１３８ｓの先端側には、小径部１３８ｓの内側にシール部１３８ｃが構成され、回転軸体１３３の円板刃当接部１３３ｃから後端部側に連続して形成される第1径部１３３ｆの外周面にシール部１３８ｃの内周面が密接する。このシール部１３８ｃにより、被覆シートの切断粉等がボールベアリング１３８ａへ侵入することを防止している。また、支持部材１３８には円板刃当接部１３３ｃと支持部材１３８との間にできる隙間に連通するエア通路１３８ｂが形成されている。エア通路１３８ｂには不図示のエア供給部から圧縮空気が供給され、この圧縮空気は回転軸体１３３、支持部材１３８、及びシール部材１３８ｃで囲まれた空間（隙間）に供給される。これにより、この隙間内部の気圧が高まり隙間から外部（大気側）への気流が発生して、被覆シートの切断粉等がボールベアリング１３８ａへ侵入することを更に防止できる。
【００３５】
筒体１３７は、円板刃１４を境に円板刃１４の後端部側の面（背面）に近接して配置され、回転軸体１３３の円板刃当接部１３３ｃの外周面を囲繞して設けられている。筒体１３７は支持部材１３８の先端部外周面の小径部に遊転自在に装着されている。そして、円板刃１４の後端部側の面と支持部材１３８の先端部外周面に形成された小径部の段差部とによって、筒体１３７の回転軸体１３３の軸心方向の移動を規定している。円板刃１４によって切断された被覆シートの切除部分は帯状になって回転軸体１３３の周囲に絡みつく場合がある。本実施形態の場合、円板刃１４の背面部位において、筒体１３７を遊転自在に設けたことにより、切除部分が筒体１３７に接触した際に（乗り上げた際に）、筒体１３７が遊転するので切断部分が筒体１３７に絡まることを防止できる。
【００３６】
次に、図４を参照して駆動ユニット１３の進退機構について説明する。支持部１３１の水平部の上面には、スライド部材１３１ａが一対固定されている。主支持部１１の下面には、スライド部材１３１ａを案内するレール部材１１１が一対固定されている。レール部材１１１及びスライド部材１３１ａは円板刃１４の回転中心線方向（回転軸体１３３の軸方向）に延設されており、駆動ユニット１３は支持部１３１を介して主支持部１１に支持されると共にレール部材１１１に案内されて円板刃１４の回転中心線方向に進退自在となっている。
【００３７】
主支持部１１には、ストッパ部１１２ａ、１１２ｂが設けられており、ストッパ部１１２ａは支持部１３１に設けたストッパ部１３１ｂに当接することで、ストッパ部１１２ｂは支持部１３１の背面に当接すること、駆動ユニット１３、すなわち円板刃１４の移動範囲を規制する。
【００３８】
主支持部１１の下面には、駆動ユニット１３を、基板１に近接する方向に常時付勢する付勢部１１３が設けられている。付勢部１１３は、伝達部材１１３ａと、支持軸１１３ｂと、支持部１１３ｃと、弾性部材１１３ｄと、受け部材１１３ｅと、を備える。支持軸１１３ｂはレール部材１１１と平行に延設され、その両端部が支持部１１３ｃで支持されている。伝達部材１１３ａは、支持軸１１３ｂが貫通する穴を有したＬ字型の部材であり、支持軸１１３ｂに案内されて移動可能となっている。そして、伝達部材１１３ａの下部に駆動ユニット１３の支持部１３１が連結されている。
【００３９】
受け部材１１３ｅには支持軸１１３ｂが貫通しており、伝達部材１１３ａと受け部材１１３ｅとの間には、支持軸１１３ｂに挿通させて弾性部材１１３ｄが介在されている。弾性部材１１３ｄは本実施形態の場合コイルスプリングであり、伝達部材１１３ａと受け部材１１３ｅとを互いに離間させる方向に付勢力を発揮する圧縮コイルばねである。この弾性部材１１３ｄの付勢力は伝達部材１１３ａを介して支持部１３１に伝達される。
【００４０】
弾性部材１１３ｄの付勢により、伝達部材１１３ａに連結された駆動ユニット１３（円板刃１４）は、基板１に近接する方向に常時付勢される。このため、被覆シートの切断時に、基板１の辺１ａ、１ｂに円板刃１４を安定して当接させることができ、被覆シートの切断の円滑化を図れる。また、予め定められた切断位置と実際に位置決めされた基板の切断位置とにずれがあったとしても、弾性部材１１３ｄの付勢ストロークの範囲内であれば、そのずれ分を吸収して被覆シートを切断することができる。更に、基板１の辺１ａ、１ｂの途中から被覆シートの切断を開始した場合には、円板刃１４が辺１ａ、１ｂに当接したとしても、円板刃１４が近接する方向とは反対の方向に押され、弾性部材１１３ｄが撓むことにより、円板刃１４が当接する際の衝撃を吸収することができる。
【００４１】
＜位置決め・押圧ユニット３０＞
図１乃至図４及び図６（Ａ）、特に図６（Ａ）を参照して位置決め・押圧ユニット３０を説明する。図６（Ａ）は位置決め・押圧ユニット３０の断面図である。位置決め・押圧ユニット３０は、切断ユニット１０の主支持部１１に固定された本体部３１を備える。本体部３１には当接部材３２が固定されている。位置決め・押圧ユニット３０は、当接部３２が円板刃１４よりも基板１寄りに位置するよう、主支持部１１に対して配置されて取り付けられる。
【００４２】
当接部材３２は、基板１の一辺（本実施形態の場合、辺１ａ）に当接され、それにより基板１の位置決めを行うための部材である。当接部材３２の形状は特に問われないが、本実施形態の場合、水平断面（図６（Ａ）は垂直断面）で略三角形状となっており、その先端が基板１の辺１ａに当接される。
【００４３】
本実施形態の場合、一つのヘッドユニットＨが位置決め・押圧ユニット３０を２つ備えており、水平方向に離間した２つの当接部材３２を有している。そして、位置決め時には、基板１の一つの辺に対して水平方向に離間した２つの当接部材３２を当接させて、基板１の位置決めを行う。しかし、一つのヘッドユニットＨについて、当接部材３２を一つとしてもよい。この場合、基板１の辺に当接する部分は、辺の長手方向に一定の幅を有する面状であることが好ましい。
【００４４】
次に、本体部３１には、Ｚ方向に貫通した孔３１ａが設けられており、この孔３１ａには軸３４が挿入されている。孔３１ａの中程には、大径部３２ｂが形成されており、大径部３２ｂには弾性部材３５が収容されている。弾性部材３５は本実施形態の場合、コイルスプリングである。軸３４はその中程に鍔部３４ａが形成されており、この鍔部３４ａは大径部３２ｂに収容されると共に、弾性部材３５により常時下方へ付勢されている。
【００４５】
軸３４の下端部には押圧部材３３が固定されている。押圧部材３３は基板１の端部を保持ユニット６０の上面に対して、基板１の表面側（上面側）から押圧するための部材であり、例えば、下面が平滑なプラスチック等である。本実施形態では、この押圧部材３３で基板１の端部を緩やかに押圧することで基板１を後述する保持ユニット６０に構成される吸着部６１に押し付け、確実に吸着保持をさせることができる。これは、基板１に生じるわずかな歪みがある場合に吸着部と基板との間に空間が生じることで発生する吸着不良を防止することができる。
【００４６】
後述するように、被覆シートの切断前に、押圧部材３３は基板１の上方に配置され、回動・昇降ユニット２０による切断ユニット１０の降下により基板１の表面に押し付けられる。このとき、反力として押圧部材３３及び軸３４には上方へ移動する力が基板１から作用するが、弾性部材３５による付勢によって、適度な押圧力で押圧部材３３が基板１を保持ユニット６０へ押圧することになる。
【００４７】
なお、本実施形態では、基板１の位置決め用のユニットと、基板１の表面押圧用のユニットを１つの位置決め・押圧ユニット３０で構成したが、別々のユニットとして構成してもよい。
【００４８】
＜周縁保持ユニット６０＞
図１、図２及び図７（Ａ）を参照して周縁保持ユニット６０を説明する。図７（Ａ）は図１の線Ｉ−Ｉに沿う周縁保持ユニット６０の断面図である。周縁保持ユニット６０は基板１の各辺１ａ、１ｂ毎に設けられており、合計４つ設けられている。各周縁保持ユニット６０は、基板１の周縁部が載置される周縁載置部６１と、基板１の周縁を吸着する周縁吸着部６２と、支持部材６３と、を備える。
【００４９】
支持部材６３は、水平方向に延設された角型筒状の管状部材である。４つの周縁保持ユニット６０のうち、基板１の辺１ａ、１ａに対応する２つの周縁保持ユニット６０の各支持部材６３はＸ方向に延設されており、基板１の辺１ｂ、１ｂに対応する２つの周縁保持ユニット６０の各支持部材６３はＹ方向に延設されている。各支持部材６３は、周縁載置部６１及び周縁吸着部６２を介して基板１をその下方から水平に支持する。特に基板１の周縁（それぞれの辺部）を水平に支持することで、被覆シート２のトリミングを好適に行うことができる。
【００５０】
周縁吸着部６２は真空吸着パッドであり、支持部材６３の内部空間と連通している。支持部材６３は、配管６５を介して不図示のバキュームポンプに接続されており、バキュームポンプを作動して支持部材６３内を真空状態とすることで、基板１の周縁部が周縁吸着部６２に吸着され、保持される。周縁吸着部６２により基板１の周縁部を吸着すると、その吸着力により基板１の周縁部が周縁載置部６１に引き寄せられ、周縁載置部６１に密着する。これにより、基板１の各辺１ａ、１ａ、１ｂ、１ｂに沿う周縁部が水平かつ確実に保持され、被覆シート２のトリミング時に基板周縁が振れたり、ガタついたりすることを防止できる。この結果、被覆シート２の端縁部を良好に切断することができる。
【００５１】
本実施形態の場合、支持部材６３を基板１を支持する部材としてだけではなく、周縁吸着部６２から空気を吸引する空気通路としても利用しており、これは構成部品の削減に役立つ。周縁吸着部６２は支持部材６３の長手方向に沿って等間隔で複数設けられており、基板１の周縁部の吸着力をより強固かつ均一なものとしている。
【００５２】
周縁載置部６１は、その上面に基板１の周縁部が載置される部分であり、支持部材６３と一体であっても別体であってもいずれでもよい。本実施形態では周縁載置部６１は支持部材６３と別体として支持部材６３に固定する構成としている。本実施形態では、周縁載置部６１と周縁吸着部６２とを交互に配置している。これにより、基板１の周縁部をその全域に渡って均一な吸着力で周縁載置部６１に密着させることができる。
【００５３】
＜回収ユニット８０＞
図１、図２及び図７（Ｂ）及び（Ｃ）を参照して回収ユニット８０を説明する。図７（Ｂ）は図１の線ＩＩ−ＩＩに沿う回収ユニット８０の断面図、図７（Ｃ）は回収ユニット８０をその端部側から見た図である。
【００５４】
回収ユニット８０は各々の周縁保持ユニット６０の外側にそれぞれ配置されており、合計４つ設けられている。回収ユニット８０は、切断された被覆シート２の端縁部を回収するための装置である。これにより、切断された被覆シート２の端縁部が散乱することを防止できる。
【００５５】
本実施形態の場合、回収ユニット８０は、隣接する周縁保持ユニット６０に沿って、基板１の辺１ａ、１ｂに沿う方向（つまりＸ方向又はＹ方向）に延設されており、コンベア８１と、回収ガイド部材８２と、を備える。
【００５６】
横断面Ｕ字状の回収ガイド部材８２は、両側部に、上方へ向かって開口が徐々に大きくなるように傾斜したガイド部８２ａ、８２ａを備え、コンベア８１の周囲に設けられて被覆シート２から切断されて落下する端縁部をコンベア８１に導く。２つのガイド部８２ａ、８２ａのうち、内側（周縁保持ユニット６０側）に位置するガイド部８２ａの上端は、本実施形態のように、周縁載置部６１の上面よりも下側に位置していることが好ましく、更に、周縁載置部６１の外縁よりも内側（中央保持ユニット７０側）に位置していることが好ましい。これにより、被覆シート２から切断されて落下する端縁部の捕捉能力を向上することができる。
【００５７】
コンベア８１は、回収ガイド部材８２の底部に設けられており、一対のプーリ８１ａと、一対のプーリ８１ａに巻き回された無端のベルト８１ｂと、を備えたベルトコンベアである。一対のプーリ８１ａのうちの一方は、モータ等の駆動部（不図示）により回転駆動され、これによりベルト８１ｂが走行する。
【００５８】
切断ユニット１０により切断された、被覆シート２の端縁部がベルト８１ｂ上に落下すると、ベルト８１ｂの走行により図７（Ｂ）の矢印で示すように、基板１の辺１ａ又は１ｂに沿う方向（つまりＸ方向又はＹ方向）に端縁部が搬送され、回収ユニット８０の端部から下方へ落下する。
【００５９】
図１及び図２に示すように、回収ユニット８０の端部下方には回収箱ｄｂが配設されており、回収ユニット８０の端部から下方へ落下した端縁部は回収箱ｄｂに収容される。こうして切断された端縁部を回収できる。なお、ベルト８１ｂはトリミング作業中、常時走行させておいてもよいし、定期的に走行させるようにしてもよい。
【００６０】
なお、端縁部の回収は吸引搬送であってもよい。図８は別例を示す回収ユニット８０'の説明図であり、図７（Ｂ）の断面図に相当する。同図の例では、回収ガイド部材８２'が、その長手方向の中央部に向かって全体的に傾斜した漏斗状をなしており、被覆シート２から切断されて落下する端縁部を受けて回収する。回収ガイド８２'の長手方向の中央部に配管８３を介して吸引装置８４が接続されている。吸引装置８４は、例えばバキュームポンプ等を含み、回収ガイド８２'内の切断された端縁部を吸引して回収箱ｄｂに排出する。
【００６１】
＜移動案内ユニット９０＞
図１、図２及び図９を参照して移動案内ユニット９０を説明する。図９は移動案内ユニット９０の説明図であり、移動ベース部材９１Ｘ、９１Ｘ、９１Ｙ、９１Ｙ（以下、総称する場合は移動ベース部材９１という。）の間隔が異なる２態様を示している。
【００６２】
移動案内ユニット９０は、対向する周縁保持ユニット６０、６０の、互いに近接、離間する方向の移動を案内する。対向する周縁保持ユニット６０、６０間の間隔を調整できるため、基板１ｂのサイズに応じてその周縁（各辺）を保持することができる。
【００６３】
本実施形態の場合、移動案内ユニット９０は、移動案内ユニットＭＧＸと、移動案内ユニットＭＧＹと、これらが搭載された共通のベース部材９３と、を備える。ベース部材９３は、平面視で十字型の板体である。ベース部材９３を共通とすることで、移動案内ユニットＭＧＸ及びＭＧＹの組み付け時に、ベース部材９３の上面を共通の基準面とすることができる。この結果、周縁保持ユニット６０の移動の前後で周縁載置部６１の上面の水平精度を向上できる。また、各周縁保持ユニット６０の組立時に周縁載置部６１の上面を基準とすることができるので、容易に組立を行うことができると共に、それぞれの周縁保持ユニット６０の周縁載置部６１の載置面の高さ位置あわせが容易にできる。
【００６４】
移動案内ユニットＭＧＸは、移動ベース部材９１Ｘ、９１ＸをＸ方向に近接、離間し、移動案内ユニットＭＧＹは、移動ベース部材９１Ｙ、９１ＹをＹ方向に近接、離間する。各移動ベース部材９１は、支柱部材６４を介して周縁保持ユニット６０が搭載されている。
【００６５】
移動案内ユニットＭＧＸは、移動ベース部材９１Ｘ、９１ＸのＸ方向のスライド移動を案内する案内部材９２を備える。案内部材９２は移動ベース部材９１ＸのＹ方向両端部にそれぞれ設けられており、Ｘ方向に延在してベース部材９３上に固定されている。そして、移動ベース部材９１Ｘの下面に設けたスライド部と係合して、移動ベース部材９１の移動を案内する。
【００６６】
移動案内ユニットＭＧＸは、移動ベース部材９１Ｘ、９１Ｘの移動を連動させるための、ベルト伝動機構９４を備える。ベルト伝動機構９４は、ベース部材９３に回転自在に支持され、Ｘ方向に離間した一対のプーリ９４ａと、一対のプーリ９４ａ間に巻き回された無端のベルト９４ｂと、を備える。移動ベース部材９１Ｘ、９１は、連結部材９４ｃ、９４ｃを介してベルト９４ｂに固定されている。移動ベース部材９１Ｘ、９１Ｘのベルト９４ｂに対する固定部位は、それぞれベルト９４ｂの走行方向が異なる部位としている。このため、移動ベース部材９１Ｘ、９１Ｘは互いに逆方向に移動することになる。
【００６７】
移動案内ユニットＭＧＸは、移動ベース部材９１Ｘ、９１Ｘを案内部材９２に沿って移動するための駆動機構９５を備える。移動案内ユニットＭＧＸの駆動機構９５は、一方の移動ベース部材９１Ｘを移動させるが、上記のベルト伝動機構９４により双方の移動ベース部材９１Ｘ、９１Ｘが移動することになる。
【００６８】
駆動機構９５は、ベース部材９３に固定されたモータ９５ａと、モータ９５ａにより回転駆動されるボールネジ９５ｂと、ベース部材９３に固定され、ボールネジ９５ｂの端部を軸支する軸支部９５ｃと、連結部材９５ｄと、を備える。ボールネジ９５ｂはＸ方向に延在している。連結部材９５ｄは、ボールネジ９５ｂに噛み合うボールナットを有すると共に、移動ベース部材９１Ｘに接続されている。このため、モータ９５ａを駆動してボールネジ９５ｂを回転すると、移動ベース部材９１Ｘが移動することになる。移動ベース部材９１Ｘ、９１Ｘの位置は、ボールネジ９５ｂの回転量を検出するエンコーダ等の不図示のセンサにより検出される。
【００６９】
こうして本実施形態では、モータ９５ａの駆動により、移動ベース部材９１Ｘ、９１Ｘ間の間隔調整、つまり、これらに搭載される周縁保持ユニット６０、６０の間隔調整を自動化できる。なお、本実施形態では、このようにボールネジ機構を採用したが他の種類の機構でもよい。
【００７０】
移動案内ユニットＭＧＹの構成も移動案内ユニットＭＧＸと同様である。即ち、移動案内ユニットＭＧＹは、移動ベース部材９１Ｙ、９１ＹのＹ方向のスライド移動を案内する案内部材９２を備える。案内部材９２は移動ベース部材９１ＹのＸ方向両端部にそれぞれ設けられており、Ｙ方向に延在してベース部材９３上に固定されている。そして、移動ベース部材９１Ｙの下面に設けたスライド部と係合して、移動ベース部材９１Ｙの移動を案内する。
【００７１】
移動案内ユニットＭＧＹは、移動ベース部材９１Ｙ、９１Ｙの移動を連動させるための、ベルト伝動機構９４を備える。ベルト伝動機構９４は、ベース部材９３に回転自在に支持され、Ｙ方向に離間した一対のプーリ９４ａと、一対のプーリ９４ａ間に巻き回された無端のベルト９４ｂと、を備える。移動案内ユニットＭＧＸのベルト９４ｂと、移動案内ユニットＭＧＹのベルト９４ｂと、の干渉を回避するため、これらはＺ方向にずれた位置を走行している。
【００７２】
移動ベース部材９１Ｙ、９１Ｙは連結部材９４ｃ、９４ｃを介してベルト９４ｂに固定されている。移動ベース部材９１Ｙ、９１Ｙのベルト９４ｂに対する固定部位は、それぞれベルト９４ｂの走行方向が異なる部位としている。このため、移動ベース部材９１Ｙ、９１Ｙは互いに逆方向に移動することになる。
【００７３】
移動案内ユニットＭＧＹは、移動ベース部材９１Ｙ、９１Ｙを案内部材９２に沿って移動するための駆動機構９５を備える。移動案内ユニットＭＧＹの駆動機構９５は、移動案内ユニットＭＧＸの駆動機構９５と同じ構成であり、但し、ボールネジ９５ｂの延在方向がＹ方向である。移動案内ユニットＭＧＹも駆動機構９５を備えたことで、移動ベース部材９１Ｙ、９１Ｙ間の間隔調整、つまり、これらに搭載される周縁保持ユニット６０、６０の間隔調整を自動化できる。
【００７４】
また、本実施形態の場合、各移動ベース部材９１には回収ユニット８０も搭載されている。これにより、周縁保持ユニット６０の移動の際、回収ユニット８０も同時に移動するので、周縁保持ユニット６０に対して最適な位置に回収ユニット８０を常時位置させることができ、基板の複数サイズ対応できる。
【００７５】
＜外側コンベア１００＞
図１、図１０乃至図１２を参照して外側コンベア１００を説明する。図１０（Ａ）は外側コンベア１００の平面図、図１０（Ｂ）は外側コンベア１００の側面図、図１０（Ｃ）は外側コンベア１００の正面図、図１０（Ｄ）は外側コンベア１００の動作説明図である。図１１及び図１２は中央保持ユニット７０と外側コンベア１００との間における基板１の受け渡し動作の説明図である。
【００７６】
図１に示すように、本実施形態の場合、外側コンベア１００は、Ｙ方向に離間して２つ設けられている。同図で下側の外側コンベア１００はトリミング前の基板１の搬入用であり、上側の外側コンベア１００はトリミング済みの基板１の搬出用である。なお、図１では、いずれの外側コンベア１００もその一部が省略されている。
【００７７】
図１０を参照して、外側コンベア１００は２列の第１コンベア１０１と、これらの間に設けられた第２コンベア１０２と、を備える。第１コンベア１０１は一対のプーリ１０１ａと、一対のプーリ１０１ａ間に巻き回された無端のベルト１０１ｂと、を備えたベルトコンベアである。一対のプーリ１０１ａのうちの一方は、モータ等の駆動部（不図示）により回転駆動され、これによりベルト１０１ｂが走行する。ベルト１０１ｂの走行方向はＹ方向である。
【００７８】
第２コンベア１０２は軸体１０２ａと、フリーローラ１０２ｂとを備える。各第１コンベア１０１の内側側面には、案内部材１０３が設けられており、第２コンベア１０２は案内部材１０３を介してコンベア１０１に支持されると共に、ベルト１０１ｂの走行方向と同方向に進退自在になっている。図１０（Ａ）は第２コンベア１０２が退避位置にある場合を、図１０（Ｄ）は第２コンベア１０２が進出位置にある場合を示している。第２コンベア１０２は第１コンベア１０１の搬送距離を可変とするために設けられている。進出位置では、第２コンベア１０２は第１コンベア１０１と連続した搬送経路を形成する。つまり、第１コンベア１０１の駆動力で搬送可能な基板１の搬送距離を延長している。退避位置では、第２コンベア１０２は第１コンベア１０１の全長内に収められており、第１コンベア１０１の駆動力で搬送可能な基板１の搬送距離は延長されない。
【００７９】
外側コンベア１００は、また、第２コンベア１０２を進退させる駆動源となるアクチュエータ１０４を備える。アクチュエータ１０４は、ここではエアシリンダであり、ロッド部１０４ａの移動により第２コンベア１０２を進退させる。
【００８０】
図１に示すように、第１コンベア１０１は、４つの周縁保持ユニット６０で囲まれる領域外に配置されており、周縁保持ユニット６０を跨いで基板１を中央保持ユニット７０へ搬送する必要がある。但し、切断ユニット１０によるトリミング作業の都合上、周縁保持ユニット６０上の空間は空けておかなければならない。
【００８１】
そこで、本実施形態では、第２コンベア１０２を設け、基板１の搬入時のみこれを進出位置に位置するように構成している。図１１及び図１２に示すように、進出位置において第２コンベア１０２は周縁保持ユニット６０を跨ると共に第１コンベア１０１と連続した搬送経路を形成している。基板１の搬入が終了すると、周縁保持ユニットで囲まれる領域外の退避位置に戻る。基板１の搬出時も同様の動作となる。
【００８２】
＜中央保持ユニット７０及び内側コンベア２００＞
図１、図２及び図１３を参照して中央保持ユニット７０及び内側コンベア２００を説明する。図１３（Ａ）は図１の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う中央保持ユニット７０及び内側コンベア２００の断面図、図１３（Ｂ）及び（Ｃ）は中央保持ユニット７０及び内側コンベア２００の動作説明図である。
【００８３】
基板１の保持は、周縁保持ユニット６０で十分であるが、大型基板の場合は中央が弛む場合がある。そこで、本実施形態では基板１の中央部分を保持する中央保持ユニット７０を設けている。
【００８４】
図１及び図１３（Ａ）を参照して、中央保持ユニット７０は、基板１の中央部が載置される板状の中央載置部７１を備える。中央載置部７１はその上面が基板１を載置する水平面をなし、その中央部分には開口部７１ａが形成されている。開口部７１ａに臨んで、基板１の中央部を吸着する中央吸着部７２が配置されている。中央吸着部７２は基板１をその裏面側から保持する真空吸着パッドであり、不図示のバキュームポンプに接続される。中央吸着部７２は支持体７３を介してフレームＦに固定的に支持されている。
【００８５】
一方、中央載置部７１は、支持体７３に支持された昇降装置７４、７４によりＺ方向に昇降される。昇降装置７４はエアシリンダや、モータ等の駆動源と、ラック−ピニオン機構等の機構を組み合わせた駆動機構を挙げることができる。図１３（Ａ）は中央載置部７１が降下した位置にある場合を図示しており、この場合、中央載置部７１上面と、各周縁載置部６１の上面とは、同一水平面上にある。
【００８６】
内側コンベア２００は２列設けられており、いずれも外側コンベア１００の第１コンベア１００と搬送方向が同方向である。内側コンベア２００は、一対のプーリ２０１と、一対のプーリ２０１ａ間に巻き回された無端のベルト２０２と、を備えたベルトコンベアである。一対のプーリ２０１のうちの一方は、モータ等の駆動部（不図示）により回転駆動され、これによりベルト２０２が走行する。ベルト２０２の走行方向はＹ方向である。
【００８７】
２つの内側コンベア２００は、梁状の連結部材２１０、２１０で連結されている。連結部材２１０、２１０と、フレームＦとの間には昇降装置２２０、２２０が配設されており、内側コンベア２００、２００はＺ方向に昇降される。昇降装置２２０はエアシリンダや、モータ等の駆動源と、ラック−ピニオン機構等の機構を組み合わせた駆動機構を挙げることができる。図１３（Ａ）は内側コンベア２００、２００が降下した位置にある場合を図示しており、この場合、同図に示すように、内側コンベア２００、２００の搬送面は、降下位置にある中央載置部７１上面よりも低い位置にある。
【００８８】
図１に示すように、内側コンベア２００、２００は４つの周縁保持ユニット６０で囲まれる領域内に配置されており、外側コンベア１００と中央保持ユニット７０との間で基板１の受け渡しを行う。以下、基板１の搬入時の動作について説明する。
【００８９】
まず、図１３（Ｂ）に示すように、昇降装置２２０によって内側コンベア２００、２００が上昇位置に上昇される。この場合、同図に示すように、内側コンベア２００、２００の搬送面は、降下位置にある中央載置部７１上面よりも高い位置にある。この状態で、図１１、図１２を参照して説明したように、外側コンベア１００の第２コンベア１０２を進出位置に移動し、内側コンベア２００と第１コンベア１０１を駆動する。トリミング対象の基板１は、ロボット装置等により第１コンベア１０１上に搬送され、第１コンベア１０１→第２コンベア１０２→内側コンベア２００の順で基板１が搬送され、不図示のセンサで基板１の位置を検出して搬送量を制御する。これにより、中央保持ユニット７０の上方に基板１を位置させることができる。
【００９０】
続いて、外側コンベア１００の第２コンベア１０２が退避位置に戻され、図１３（Ｃ）に示すように、昇降装置２２０によって内側コンベア２００、２００が降下され、昇降装置７４により中央載置部７１が上昇される（または、上昇した位置で待機している）。この場合、中央載置部７１の上面は、各周縁載置部６１の上面よりも高い位置にある。こうして、中央載置部７１への基板１の搬入作業が完了する。この後、基板１の位置決め、保持動作を行うがこの点は後述する。なお、基板１の搬出時の動作は、搬出用の外側コンベア１００を用いて、搬入時と略逆の手順となる。
【００９１】
＜制御装置＞
次に、切断装置Ａを制御する制御装置３００について説明する。図６（Ｂ）は制御装置３００のブロック図である。制御装置３００は、ＣＰＵ等の処理部３０１と、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク等の記憶部３０２と、外部デバイスと処理部３０１とをインターフェースするインターフェース部３０３と、を備える。
【００９２】
処理部３０１は、記憶部３０２に記憶されたプログラムを実行して、各種センサ３０６の検出結果に基づいて、各種アクチュエータ７７を制御する。各種センサ３０６には、切断ユニット１０の位置を検出するセンサ、移動ベース部材９１の位置を検出するセンサ等が含まれ、各種アクチュエータ３０７にはモータ１３２ａ、モータ９５ａ等が含まれる。入力部３０４は作業者の指示を受け付けるキーボード、マウス等であり、表示部３０５は各種の情報を表示する画像表示装置である。
【００９３】
＜動作例＞
次に、切断装置Ａによる被覆シート２のトリミング動作について説明する。トリミング動作に至る前段階の作業として、まず、対象とする基板１のサイズに応じて、対向する周縁保持ユニット６０、６０間の間隔を調整する。間隔の調整は、基板１のサイズを示すサイズ情報に基づいて、周縁保持ユニット６０が基板１の各周縁内側部分に位置するように駆動機構９５のモータ９５ａを制御する。
【００９４】
サイズ情報は、入力部３０４からの入力で制御装置３００が認識するようにしてもよいし、制御装置３００に通信可能に接続された上位のコンピュータからの指令により制御装置３００が認識するようにしてもよい。そして、記憶部３０２には、予め、サイズ情報に対応した周縁保持ユニット６０の位置情報を記憶しておき、この位置情報に基づきモータ９５ａを制御してもよい。こうした構成により、対向する周縁保持ユニット６０、６０間の間隔調整の自動化が一層図れる。
【００９５】
次に、トリミング動作について説明する。本実施形態の場合、移動ユニットＭＵ１の切断ユニット１０と、移動ユニットＭＵ２の切断ユニット１０とが、それぞれ基板１の互いに対向する辺を分担し、基板１の４辺に対して被覆シート２のトリミングを行う。切断時における円板刃１４の向き（辺１ａ、１ｂを含む垂直面に対する円板刃１４の交差角度）は、回動・昇降ユニット２０による切断ユニット１０の回動角度（回動量）により調整されるが、最適値を設定しておくことが好ましい。また、当接部材３２による位置決め時の当接部材３２の位置も最適値を設定しておくことが好ましい。本実施形態では、いわゆるティーチングにより予め記憶部７２に切断時の切断ユニット１０の回動角度（回動量）や、基板１のサイズに応じた切断開始位置のデータ、或いは、当接部材３２の位置のデータを設定し、記憶させておく。
【００９６】
図１４（Ａ）及び（Ｂ）並びに図８はティーチングの説明図である。図１４（Ａ）は当接部材３２による位置決め位置の設定、図１４（Ｂ）は基板１の辺１ａに沿う被覆シートの切断に関する情報の設定、図１５は基板１の辺１ｂに沿う被覆シートの切断に関する情報の設定を示している。
【００９７】
いずれの場合も、基準となるサンプルの基板１が周縁保持ユニット６０及び中央保持ユニット７０に、位置決めされた状態で保持される。そして、２つのヘッドユニットＨを基板１の近傍に移動した状態で、作業者が手動で切断ユニット１０の回動或いは移動を行い、各位置の設定を行う。
【００９８】
図１４（Ａ）の例では、基板１の一方の辺１ａに移動ユニットＭＵ１の２つの当接部材３２を、他方の辺１ａに移動ユニットＭＵ２の２つの当接部材３２を、それぞれ当接させて、その当接時の位置情報を記憶部７２に記憶させる。
【００９９】
また、図１４（Ｂ）や図１５の例では、作業者が手動で切断ユニット１０の回動或いは移動を行い、円板刃１４を辺１ａや辺１ｂに対して最適な切断位置に位置させる。そして、制御装置７０に、このときの各切断ユニット１０の位置及び回動量を、切断する基板および被覆シートにあわせてサンプル切断動作（基準切断動作）を行うことで最適な切断位置（基準切断位置）を求め、記憶部７２に記憶させる。後述するよう本実施形態では辺１ａに沿ったトリミングにおいては、切断ユニット１０をＸ方向の一方向に移動する場合と、他方向に移動する場合とがあるので、切断ユニット１０の回動量はそれぞれの場合について設定する。以上のティーチング処理により、位置決め時の位置や、切断時の切断ユニット１０の回動角度（回動量）や位置の設定が終了する。
【０１００】
次に、図１６乃至図２１を参照して、実際の位置決め動作及びトリミング動作の例について説明する。まず、図１６及び図１７を参照して被覆シート２で被覆された基板１の位置決め動作の例について説明する。
【０１０１】
図１６のＳＴ１は、被覆シート２で表面が被覆された基板１が、図１３（Ｃ）で示したように、中央載置部７１上に搬入された状態を示す。図１７のＳＴ１１は、図１６のＳＴ１の状態の切断装置Ａの要部をＸ方向から見た図である。この状態では基板１が位置決めされておらず、本来の位置からずれて載置されている。周縁吸着部６２及び中央吸着部７２は非吸着状態であり、中央載置部７１上で基板１が水平に移動できる状態にある。
【０１０２】
移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２の各ヘッドユニットＨは、基板１の辺１ａ、１ａからＹ方向に離間して、基板１を挟んで対向する位置に位置付けた初期位置に位置している。この初期位置においては、その後、ヘッドユニットＨをＹ方向に移動させれば当接部材３２による基板１の位置決めがなされるよう、当接部材３２のＸ方向及びＺ方向の位置はティーチング処理で設定された位置決め用の位置情報に基づく位置とされている。
【０１０３】
次に、当接部材３２のＹ方向の位置がティーチング処理で設定された位置決め用の位置情報に基づく位置となるまで、移動ユニットＭｙの働きにより、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２を互いに近接する方向に移動する（図１６のＳＴ２、図１７のＳＴ１２）。各当接部材３２が基板１の辺１ａ、１ａに対して当接（実際には、被覆シート２が介在する。）することで基板１の位置決めがなされる。本実施形態では、当接部材３２が基板１の辺１ａに当接する位置は、辺１ａの途中部（略真ん中（中央部））としている。
【０１０４】
本実施形態では、このように当接部材３２の基板１への当接により基板１の位置決め（センタリング）を行うので、比較的簡易な構成で基板の位置決めを行うことができ、効率よく被覆シート２の端縁部を切断できる。しかも、当接部材３２の移動機構として、円板刃１４を移動するための機構（移動機構Ｍｘ、Ｍｙ、回動・昇降ユニット２０）を兼用しており、当接部材３２の移動用の移動機構を独自に有する必要がないので、更に簡易な構成となる。
【０１０５】
基板１の位置決めが終了すると、図１７のＳＴ１３に示すように、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２を互いに離間する方向に移動し、中央載置部７１を降下させる（図１３（Ａ）の状態）。これにより、基板１が中央載置部７１と共に各周縁保持ユニット６０の周縁載置部６１上に載置された状態となる。
【０１０６】
続いて、図１７のＳＴ１４に示すように、移動ユニットＭＵ１及びＭＵ２を互いに近接する方向に移動し、各ヘッドユニットＨを降下させ、押圧部材３３により基板１の端部を緩やかに保持ユニット６０に押し付ける。押し付けた状態で、周縁吸着部６２及び中央吸着部７２を吸着状態とし、基板１を保持する。これにより、基板１が所定の位置（切断位置）に位置決めされた状態が維持される。押圧部材３３で押し付けることにより、基板１に生じるわずかな歪みがある場合に、周縁吸着部６２及び中央吸着部７２と基板１との間、特に、周縁吸着部６２と基板１との間に空間が生じることで発生する吸着不良を防止することができる。
【０１０７】
次に、各ヘッドユニットＨを上昇し、各ヘッドユニットＨ（の押圧部材３３）を基板１から退避した後、被覆シート２のトリミング（切断）動作に移る。本実施形態では、位置決め動作からトリミング動作に短時間で移行できるよう、辺１ａの途中部（略真ん中）から被覆シート２の切断を開始する。これにより、位置決めの動作から切断開始までの動作を連続して行うことができるので、効率よく円板刃１４を移動するための機構を動作させることができる。
【０１０８】
まず、各ヘッドユニットＨを切断準備位置に移動する。その後、円板刃１４の回転を開始すると共にヘッドユニットＨをＺ方向に移動させ、円板刃１４を被覆シート２の端縁部側に移動する（押し付ける）ことで切断を開始する。このとき、円板刃１４による被覆シート２の端縁部の切断が開始される切断開始位置に切断ユニット１０が位置するよう、切断ユニット１０のＸ及びＹ方向の位置、並びに、回動角度（回動量）はティーチング処理で設定された切断用の情報に基づく位置、回動角度とされている。そして、ヘッドユニットＨを基板１の辺に沿って水平移動（Ｘ又はＹ方向への移動）することで、基板１の辺１ａからはみ出た被覆シート２の端縁部が切断される。切断された端縁部は、回収ユニット８０内に落下し、回収箱ｄｂに回収されることになる。
【０１０９】
なお、切断開始位置と、当接部材３２による基板１の位置決め時の位置とにおいて、Ｘ方向の切断ユニット１０の位置を共通としておくことで、図１７のＳＴ１３で示した切断ユニット１０の移動の際、Ｘ方向の移動が不要となり、位置決め動作からトリミング動作に更に短時間で移行できることになる。
【０１１０】
次に、図１８乃至図２１を参照して、実際のトリミング動作の例について説明する。図１８のＳＴ３に示すように、本実施形態では、位置決め動作からトリミング動作に短時間で移行できるよう、辺１ａの途中部（略真ん中）から被覆シート２の切断を開始する。各移動機構Ｍｘの働きにより、２つの切断ユニット１０を、Ｘ方向に、かつ、互いに逆向きに移動させながら円板刃１４により辺１ａに沿って被覆シート２の端縁部を切断する。基板１の２辺について同時に被覆シート２のトリミングを行うことができるので、作業効率が高まる。なお、被覆シート２の端縁部を直線的に切断するだけでなく、移動ユニットＭｙも作動させることで、被覆シート２の端縁部をジグザグに切断することも可能である。
【０１１１】
図１８のＳＴ４に示すように、切断ユニット１０が辺１ａの一方端部に至ると、辺１ａからはみ出る被覆シート２の端縁部の略半分が切断されたことになる（第１部分切断工程）。続いて、残りの半分を切断する作業に移る。まず、移動機構Ｍｘ及び移動ユニットＭｙの働きにより、切断ユニット１０を図１９のＳＴ５で示す準備位置を経由して、ＳＴ６で示す切断開始位置に移動し、切断を開始する。その際、回動・昇降ユニット２０の働きにより、切断ユニット１０の回動角度をティーチング処理で設定した回動角度にする。なお、図１８のＳＴ４の位置から図１９のＳＴ６の位置への切断ユニット１０の移動に際して、そのＺ方向の移動を伴ってもよい。
【０１１２】
続いて、各移動機構Ｍｘの働きにより、２つの切断ユニット１０をＸ方向に、かつ、互いに逆向きに移動させながら円板刃１４により辺１ａに沿って被覆シート２の端縁部を切断する。この場合は、第１部分切断工程における切断方向とは逆方向へ、すなわち辺１ａの他方端部へ切断ユニット１０を移動させることで、被覆シート２の残りの端縁部が切断される（第２部分切断工程）。
【０１１３】
基板１の辺１ａに沿う被覆シート２の残りの端縁部の切断が完了すると、辺１ｂに沿う被覆シート２の端縁部の切断作業に移行する。まず、各切断ユニット１０を一旦基板１から離間させ、ティーチングにより設定した辺１ｂ用の回動角度に、各切断ユニット１０を回動させ、図２０のＳＴ７で示すように一方の切断ユニット１０を切断開始位置に移動させて被覆シートの切断を開始する。
【０１１４】
辺１ｂからはみ出た被覆シート２の端縁部を切断する場合は、２つの駆動スライダ５２が干渉することを防止するために、片側ずつ順次行う。図２０のＳＴ７は、移動ユニットＭＵ１側から切断作業を行う場合を示している。移動ユニットＭＵ２の切断ユニット１０は基板１から離れた位置で待機される。
【０１１５】
そして、図２０のＳＴ８で示すように移動ユニットＭｙの働きにより移動ユニットＭＵ１を一方のＹ方向（図２０中では上方向）に移動し、同図で左側の辺１ｂからはみ出た被覆シート２の端縁部を切断する。移動ユニットＭＵ１の切断ユニット１０による切断が完了すると、図２１のＳＴ９に示すように、移動ユニットＭＵ２の切断ユニット１０を他方のＹ方向（図２０中では下方向）に移動させることで、同図で右側の辺１ｂからはみ出した被覆シート２の端縁部の切断を行う。このとき、移動ユニットＭＵ１は、基板１から離間した状態で、かつ、２つの駆動スライダ５２が干渉しない位置まで他方のＹ方向に移動させる。移動ユニットＭＵ２による切断移動と、移動ユニットＭＵ１の退避移動とは、同時に行っても良いし、別々に行っても良い。
【０１１６】
図２１で右側の辺１ｂからはみ出した被覆シート２の端縁部の切断が完了すると、一連のトリミング作業が終了する。その後、別の基板１について同様のトリミング作業を繰り返し行うことになる。このように本実施形態では、基板１の位置決めに続いて連続的に被覆シート２の端縁部の切断作業を行うことができ、作業効率を向上できる。なお、ティーチング処理は、同サイズの基板１については１度行えばよく、基板１ごとに行う必要はないことは言うまでもない。また、辺１ｂの切断動作については、辺１ａの切断動作と同様に辺１ｂの途中から切断を行ってもよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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