(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の板状部材に液体を吐出するスプレー処理工程中において前記板状部材を搬送する搬送装置であって、
回転駆動する複数の搬送ローラと、
前記搬送ローラに対して板状部材を挟むように対向して配置され、板状部材を搬送ローラに向けて押さえる複数の押さえローラとを具備し、
各前記押さえローラは、
軸線方向の両端側に板状部材に当接する当接部が設けられ、
各当接部の間に、板状部材との間に隙間があくように小径部が設けられ、
各前記当接部の外側に設けられた錘が、各前記押さえローラを前記搬送ローラ方向に付勢する付勢手段として設けられていることを特徴とするスプレー処理用搬送装置。
【請求項２】
４つの搬送ローラに対して２つの押さえローラが設けられていることを特徴とする請求項１記載のスプレー処理用搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スプレー処理工程中に平板状の板状部材を搬送するスプレー処理用搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、サブトラクティブ法により回路基板に導体パターンを形成する場合、通常、樹脂基材に銅箔を貼り付けた基板素材を準備し、基板素材の銅箔の表面にマスキング用として、ドライ・フィルム・レジスト（ＤＦＲ）を形成し又は液状レジストを塗布することにより、レジストを形成し、周知の方法でこのレジストの露光、現像を行ってレジストパターンを形成する。次に、エッチング液をスプレーノズルによって吹き付けて銅箔のレジストパターン形成部分以外の部分を溶解させて銅パターン部分を残す。そして、レジストパターンを除去することにより、残された銅箔の部分が導体パターンとなる。
【０００３】
上述のようなエッチング液を吹き付ける等のＷＥＴプロセスにおける、板状部材の搬送装置について、図３に基づいて説明する
ＷＥＴプロセスにおいて板状部材を搬送する搬送装置１０は、複数の搬送ローラ１１と、搬送ローラ１１の上方に配置された押さえローラ１２とを備えている。搬送ローラ１１は、モータ等の駆動手段によって回転駆動可能に設けられており、押さえローラ１２は自ら回転駆動はしないが自由に回転可能となるように設けられている。
板状部材９は、搬送ローラ１１と押さえローラ１２に挟み込まれて、搬送ローラ１１の回転駆動により、搬送方向に搬送される。
【０００４】
ＷＥＴプロセスでは、このような搬送装置１０の上方に複数のスプレーノズル１４が配置されている。上述の例ではスプレーノズル１４からエッチング液が吐出され、搬送装置１０で搬送される基板素材（板状部材）にエッチング液が降りかかり、エッチング処理がなされる（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１５２９８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のＷＥＴプロセスにおける搬送装置１０では、搬送ローラ１１と押さえローラ１２の形状はほぼ同一である。押さえローラ１２の形状を図４に示す。押さえローラ１２は、軸棒１６と板状部材９に当接する大径の当接部１８とから構成されている。当接部１８は板状部材９の幅方向よりも長尺に形成され、押さえローラ１２が設けられている部位では、板状部材９の幅方向全体に当接部１８が当接している。
【０００７】
このように、押さえローラ１２が搬送ローラ１１同じ形状であると、スプレーノズル１４からエッチング液等の反応液が吐出されると押さえローラ１２が邪魔になって板状部材９に所定量の反応液が付着せず、処理反応が阻害されるおそれがあるという課題があった。
【０００８】
このような課題に対して、押さえローラ１２の数を減らして反応液の付着の機会を増やそうとする考え方もあるが、スプレーノズル１４によってエッチング液等の反応液が吹き付けられると、搬送する板状部材９の姿勢が変化する可能性もあり、姿勢を維持するためにも押さえローラ１２の数は減らすことができない。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、スプレーノズルにより液体が吐出されても、板状部材の所望の部位に確実に液体が吹き付けられるスプレー処理用搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記目的を達成すべく、以下の構成を備える。
すなわち、本発明のスプレー処理用搬送装置によれば、平板状の板状部材に液体を吐出するスプレー処理工程中において前記板状部材を搬送する搬送装置であって、回転駆動する複数の搬送ローラと、前記搬送ローラに対して板状部材を挟むように対向して配置され、板状部材を搬送ローラに向けて押さえる複数の押さえローラとを具備し、各前記押さえローラは、軸線方向の両端側に板状部材に当接する当接部が設けられ、各当接部の間に、板状部材との間に隙間があくように小径部が設けられ、各前記当接部の外側に設けられた錘が、各前記押さえローラを前記搬送ローラ方向に付勢する付勢手段として設けられていることを特徴としている。
この構成を採用することにより、板状部材がスプレーノズルに対してあらわになる面積が大きくなるので、液体が板状部材に確実に吹き付けられる。そして板状部材に当接する当接部は、処理反応にあまり関係の無い板状部材の幅方向端部に当接することで、液体を吹き付けるべき所望の位置に対して問題なく板状部材を押さえつけることができる。
また、錘による付勢手段が設けられていることによって板状部材の姿勢が変わりにくくなり、押さえローラの本数を減らすことができるので、さらに板状部材がスプレーノズルに対してあらわになる面積を大きくして液体が板状部材に確実に吹き付けられる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明にかかるスプレー処理用搬送装置によれば、液体が板状部材に吐出されるスプレー処理を実行する際に、液体が板状部材の所望の位置に確実に吹き付けられるようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１が、スプレー処理用搬送装置の概略の全体構成を示す説明図である。
スプレー処理用搬送装置（以下、単に搬送装置と称する場合がある）３１は、めっき液やエッチング液などの反応液を吹き付けるＷＥＴプロセスにおいて、反応液を吹き付ける対象物である板状部材２９を搬送する装置である。板状部材２９とはリードフレームや樹脂基板などが例として挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００１５】
搬送装置３１は、搬送ローラ３３とモータ等の駆動装置（図示せず）と押さえローラ３０とを具備している。搬送ローラ３３は、板状部材２９の下方に配置され、板状部材２９が載置されるローラである。搬送ローラ３３は、駆動装置によって回転駆動する。
【００１６】
搬送装置３１は、ＷＥＴプロセスを実行するチャンバー内に設置され、チャンバーにおける搬送装置３１の上方には、反応液を板状部材２９に向けて噴射するスプレーノズル３６が配置されている。スプレーノズル３６は複数個配置され、板状部材２９に対してもれなく反応液を吹き付けることができるような位置に配置されている。図１に示した例では、幅方向に対して２つ並んだスプレーノズル３６を搬送方向に約１００ｍｍの間隔をあけて複数列にわたって配置している。
【００１７】
押さえローラ３０は、搬送ローラ３３の上方に位置しており、搬送ローラ３３に板状部材２９を押さえつける役割を有している。本実施形態では、押さえローラ３０は駆動装置には接続されておらず、自由に回転可能となるように設けられている。
【００１８】
図２に、押さえローラの外観形状を示す。
押さえローラ３０は、軸棒４０に対して２つの当接部４２が設けられている。当接部４２は、軸棒４０よりも大径に形成されており、板状部材２９に当接する部位である。当接部４２は、互いに所定間隔をあけ、板状部材２９の幅方向の両端部に当接する位置に配置されている。その当接位置は、板状部材２９が反応液に対して反応させる部位ではない位置である。
【００１９】
当接部４２どうしの間は、板状部材２９に当接しない小径部４４として設けられている。小径部４４は、板状部材２９に当接せず、板状部材２９との間で隙間があくので、反応液が充分に板状部材２９に吹き付けられる。このように押さえローラ３０の小径部４４は、板状部材２９における反応液を吹き付ける必要がある部位に対応するように形成されている。
このため、反応液による処理反応が阻害されないようにすることができる。
【００２０】
押さえローラ３０の軸棒４０と当接部４２は一体に形成されていてもよいし、別部材で形成されていてもよい。別部材で形成されている場合は、軸棒４０に対してリング状に形成された当接部４２を挿入し、ネジ止め等の手段により軸棒４０と当接部４２とを固定する。
なお、本実施形態では、軸棒４０をチタンで形成し、当接部４２をポリ塩化ビニル等の反応液で溶解しない合成樹脂で形成している。軸棒４０をチタンで形成することで強度を維持することができるとともに反応液にも溶解することがなく、好適である。また、当接部４２を反応液で溶解しない合成樹脂で形成することによって、軽量化および製造コストの低減を図れるとともに、反応液にも溶解することがなく、好適である。なお、実際にチタンで軸棒４０と当接部４２とを一体に成形しようとすると、製造コストがかさむため、別部材で成形することが現実的であると考えられる。
【００２１】
また、押さえローラ３０には、板状部材２９を押圧するための付勢手段を設けると良い。図１では、付勢手段の一例として、押さえローラ３０の両端部（当接部４２よりも外方側の所定位置）に錘４８を設けている。錘４８としては、鉄などの金属材料で形成したリング状の部材を採用し、軸棒４０にネジ止め等の手段によって装着すればよい。
このように、付勢手段を設けることにより、押さえローラ３０によって板状部材２９が確実に搬送ローラ３３へ押さえつけられる。このため、押さえローラ３０の本数を減らしても、板状部材２９の姿勢が変わることが無い。
【００２２】
付勢手段の他の例としては、スプリングなどを採用し、押さえローラ３０を搬送ローラ３３側へ付勢するようにしても良い（図示せず）。
【００２３】
そして、従来であれば、隣接する搬送ローラ３３と搬送ローラ３３との間には、１つの押さえローラ３０が必要であったのに対し（図３参照）、本実施形態では、各押さえローラ３０の両端に錘４８を設けたことにより、４つの搬送ローラ３３に対して２つの押さえローラ３０を設ければ済むようになり、押さえローラ３０の数を減らして反応液が板状部材２９に確実に吹き付けられるようになった。
【００２４】
なお、上述してきた実施形態では、スプレーノズル３６から噴射される液体を反応液と説明したが、めっき後の洗浄工程において水を噴射する場合などの洗浄液を噴射する工程において本発明の搬送装置３１を適用させてもよい。
その他本発明においては、何らかの液体を板状部材に吹き付ける工程であれば、その技術分野にかかわらずにどのような工程であっても適用させることができる。
【００２５】
なお、上述した実施形態では、押さえローラ３０が設けられている側のみにスプレーノズル３６が配置されていた。具体的には、搬送ローラ３３および押さえローラ３０の上方にスプレーノズル３６が配置されている形態について説明した。
しかし、スプレーノズル３６は、押さえローラ３０が設けられている側だけでなく、押さえローラ３０が設けられていない側に配置してもよい。すなわち図１に示した実施形態では、板状部材２９に対して上方および下方にスプレーノズル３６が設けられ、板状部材２９は上方と下方から液体を吹き付けられても良い。
【００２６】
また、上述した実施形態では、各押さえローラ３０は駆動装置に接続されておらず、単に自由に回転可能に設けられている場合について説明した。
しかし、本発明はこの構成に限定されるものではなく、押さえローラ３０も搬送ローラ３３と同様に駆動装置に接続されて回転駆動可能に設けられていても良い。さらに、かかる場合、複数の押さえローラ３０のうちのいずれかが回転駆動可能に設けられていても良い。
【００２７】
以上本発明につき好適な実施形態を挙げて種々説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明のスプレー処理用搬送装置の全体構成を説明する説明図である。
【図２】押さえローラの正面図である。
【図３】従来のスプレー処理用搬送装置の全体構成を説明する説明図である。
【図４】従来の押さえローラの正面図である。
【符号の説明】
【００２９】
２９  板状部材
３０  押さえローラ
３１  搬送装置
３３  搬送ローラ
３６  スプレーノズル
４０  軸棒
４２  当接部
４４  小径部
４８  錘
【図１】
0005165354.tif 000002
【図２】
0005165354.tif 000003
【図３】
0005165354.tif 000004
【図４】
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