(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦な第１案内面と前記第１案内面の長手方向に沿った辺に隣接する平坦な第２案内面とを有するスライダ案内装置と、前記第１案内面に対向配置される第１流体ベアリング面と前記第２案内面に対向配置される第２流体ベアリング面とを有し前記スライダ案内装置に対して滑動可能に設けられたスライダ装置と、を備えた直線案内装置であって、
前記第１案内面には、流体を吹き出す吹出口と、前記流体を吸い込む吸込口とが形成され、
前記スライダ装置には、静圧伝達孔と、負圧伝達孔とが形成され、
前記静圧伝達孔は、前記第１流体ベアリング面において第１静圧伝達口として開口するとともに前記第２流体ベアリング面において第２静圧伝達口として開口し、前記吹出口から吹き出された前記流体を前記第１静圧伝達口から取り入れ前記第２静圧伝達口から前記第２案内面に向けて吹き出し、
前記負圧伝達孔は、前記第１流体ベアリング面において第１負圧伝達口として開口するとともに前記第２流体ベアリング面において第２負圧伝達口として開口し、前記第２静圧伝達口から吹き出された前記流体を前記第２負圧伝達口から吸い込み前記第１負圧伝達口から吹き出し、
前記吹出口から前記第１流体ベアリング面に向けて吹き出されて前記第１流体ベアリング面と前記第１案内面との間を通ってきた前記流体を前記吸込口が吸い込むことによって生じる負圧によって、前記第１流体ベアリング面が前記第１案内面に引き付けられることにより、前記第１流体ベアリング面と前記第１案内面との間には、厚み方向の剛性が高められた略一定の厚みの流体層が形成され、
前記第２静圧伝達口から前記第２案内面に向けて吹き出されて前記第２流体ベアリング面と前記第２案内面との間を通ってきた前記流体を前記第２負圧伝達口が吸い込むことによって生じる負圧によって、前記第２流体ベアリング面が前記第２案内面に引き付けられることにより、前記第２流体ベアリング面と前記第２案内面との間には、厚み方向の剛性が高められた略一定の厚みの流体層が形成される
ことを特徴とする直線案内装置。
【請求項２】
請求項１に記載の直線案内装置において、
前記スライダ案内装置は、直角に接する前記第１案内面および前記第２案内面を備えた直線ガイドレールを備え、
前記スライダ装置は、断面視Ｌ字状に形成されている
ことを特徴とする直線案内装置。
【請求項３】
請求項１に記載の直線案内装置において、
前記スライダ案内装置は、直線ガイドレールと、定盤とを備えて構成され、
前記直線ガイドレールは、当該直線ガイドレールの長手側の側面が前記定盤の上面と接するようにして前記定盤上に設置され、
前記直線ガイドレールの長手側の側面は、前記第１案内面として形成され、前記定盤の上面は、前記第２案内面として形成されている
ことを特徴とする直線案内装置。
【請求項４】
請求項３に記載の直線案内装置において、
前記直線ガイドレールの側面と前記定盤の上面とは、直角に接しており、
前記スライダ装置は、直方体状に形成されている
ことを特徴とする直線案内装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の直線案内装置において、
前記第１流体ベアリング面の前記吹出口に対向する位置には、前記第１案内面の長手方
向に沿った方向に延びる表面絞り型の流体受溝が形成され、
前記流体受溝の底部には、前記第１静圧伝達口が形成されている
ことを特徴とする直線案内装置。
【請求項６】
請求項５に記載の直線案内装置において、
前記第１案内面には、前記吹出口および前記吸込口が前記第１案内面の長手方向に沿ってそれぞれ同一の間隔で複数形成され、
前記第１流体ベアリング面の前記吸込口に対向する位置には、前記第１案内面の長手方向に沿った方向に延びるとともに底部に前記第１負圧伝達口が形成された吸引溝が形成され、
前記流体受溝は、少なくとも常に１つの前記吹出口を覆うことのできる長さに形成され、
前記吸引溝は、少なくとも常に１つの前記吸込口を覆うことのできる長さに形成され、
前記スライダ装置の前記スライダ案内装置に対する相対位置を検出する検出手段と、
前記第１案内面で前記吹出口として開口する複数の第１流路と
前記第１案内面で前記吸込口として開口する複数の第２流路と、
前記第１流路および前記第２流路にそれぞれ設けられ、前記第１流路および前記第２流路を開閉自在な開閉手段と、
前記検出手段によって検出された前記スライダ装置の位置に対応する前記第１流路および前記第２流路に設けられた前記開閉手段を制御する制御手段とを備えている
ことを特徴とする直線案内装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の直線案内装置と、前記スライダ装置とともに移動する測定ユニット部とを備えている
ことを特徴とする測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直線案内装置および前記直線案内装置を備えた測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、長手状の直線ガイドレールと、この直線ガイドレールに流体薄膜層を介して滑動可能（スライド移動可能）に設けられたスライダ装置とを備えて構成された直線案内装置が知られている（例えば特許文献１、特許文献２、非特許文献１参照）。
【０００３】
これらの直線案内装置では、スライダ装置から直線ガイドレールに向けて空気等の流体が吹き出されることにより、スライダ装置と直線ガイドレールとの間に流体薄膜層が形成される。この流体薄膜層により、これらの直線案内装置では、スライダ装置と直線ガイドレールとの間の抵抗を低減することができ、駆動装置等の適宜の駆動手段によって、スライダ装置を直線ガイドレール上で正確に滑動させることができる。
【０００４】
このような直線案内装置としては、例えば図１２および図１３に示すように、スライダ装置７Ｃ，７Ｄが断面矩形状あるいは断面円形状の直線ガイドレール２Ｃ，２Ｄの周囲を囲むことにより、スライダ装置７Ｃ，７Ｄと直線ガイドレール２Ｃ，２Ｄとの隙間に形成される流体薄膜層７７の厚みを一定の厚みに規制する拘束型の直線案内装置１Ｃ，１Ｄが知られている。また、図１４に示すように、スライダ装置７Ｅが直線ガイドレール２Ｅの周囲の一部を囲むことにより、流体薄膜層７７の厚みを一定の厚みに規制する一部拘束型の直線案内装置１Ｅが知られている。
【０００５】
さらに、直線案内装置としては、図１５に示すように、スライダ装置７Ｆの重量と流体薄膜層７７の静圧（空気静圧）とをバランスさせることにより、流体薄膜層７７の厚みを一定の厚みに規制するバランス型の直線案内装置１Ｆが知られている。また、図１６に示すように、スライダ装置７Ｇから空気等の流体を吹き出すとともに吹き出した流体を吸引することによって流体薄膜層７７の静圧（空気静圧）と真空圧とをバランスさせ、流体薄膜層７７の厚みを一定の厚みに規制する真空圧バランス型の直線案内装置１Ｇが知られている。なお、このような真空圧バランス型の直線案内装置１Ｇのスライダ装置７Ｇには、図１７に示すように、当該スライダ装置７Ｇに静圧を供給するための静圧供給用チューブ３２および負圧を供給するための負圧供給用チューブ４２が取り付けられており、これらのチューブ３２，４２は、ケーブルベアＫなどによってまとめられている。
【０００６】
【特許文献１】特開平８−４７６２号公報
【特許文献２】特開平７−１６７６４１号公報
【非特許文献１】機械設計  第２９巻  第１４号（１９８５年１１月号）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上の直線案内装置１Ｃ〜１Ｇにおいて、図１２,１３に示す拘束型の直線案内装置１Ｃ，１Ｄおよび図１４に示す一部拘束型の直線案内装置１Ｅでは、直線ガイドレール２Ｃ〜２Ｅをスライダ装置７Ｃ〜７Ｅによって囲むので、高剛性の流体薄膜層７７を得ることができる。しかしながら、直線案内装置１Ｃ，１Ｅでは、直線ガイドレール２Ｃ，２Ｅの外面である案内面２０の平面度を高精度に仕上げる必要があることに加え、適正の厚みの流体薄膜層７７を確保するために、直線ガイドレール２Ｃ，２Ｅの案内面２０の形状に合わせて、前記案内面２０と対向するスライダ装置７Ｃ，７Ｅの流体ベアリング面（空気軸受面）７０の平面度やスライダ装置７Ｃ，７Ｅの構成部品の寸法を高精度に仕上げる必要があるので、コストが非常にかかるという問題があった。また、図１３に示す直線案内装置１Ｄでは、ラップなどの手作業で直線ガイドレール２Ｄの真円度やスライダ装置７Ｄの円筒度等の精度を向上させることができず、機械加工で部品精度が決まってしまうため、運動精度に限界があるという問題があった。
【０００８】
図１５に示すバランス型の直線案内装置１Ｆでは、スライダ装置７Ｆの重量によって流体薄膜層７７の剛性を得るためにスライダ装置７Ｆの重量が増大しやすく、そのためにスライダ装置７Ｆの質量と流体薄膜層７７の剛性とから構成される系の固有振動数が低下しやすく、外乱に弱くなりやすいという問題があった。また、スライダ装置７Ｆの重量が増大しやすいため、スライダ装置７Ｆを駆動するための駆動装置の負担が大きくなるという問題もあった。
【０００９】
これらの直線案内装置１Ｃ〜１Ｆに対し、図１６および図１７に示す真空圧バランス型の直線案内装置１Ｇでは、真空圧によって流体薄膜層７７へ負荷をかけるので、軽量のスライダ装置７Ｇでも高剛性の流体薄膜層７７を得ることができる。また、真空圧によって流体薄膜層７７へ負荷をかけるので、スライダ装置７Ｇを断面視Ｌ字状に形成することができ、流体ベアリング面７０を小さくできる。従って、流体ベアリング面７０の平面度やスライダ装置７Ｇの構成部品の寸法を高精度に仕上げるといった加工上の負担を軽減することができ、コストを低減できる。また、直線ガイドレール２Ｇの案内面２０が平面なので、ラップ等により当該案内面２０の平面度を高精度化でき、スライダ装置７Ｇの運動精度を向上できる。
【００１０】
しかしながら、図１６および図１７に示す直線案内装置１Ｇでは、スライダ装置７Ｇに静圧供給用チューブ３２のみならず負圧供給用チューブ４２が接続され、これらのチューブ３２，４２がケーブルベアＫでまとめられる。そのため、これらのチューブ３２，４２およびケーブルベアＫがスライダ装置７Ｇの駆動の際に当該スライダ装置７Ｇに絶えず力を加え制御上の外乱となるので、高い運動精度を維持することが難しいという問題があった。しかも、これらのチューブ３２，４２およびケーブルベアＫは、スライダ装置７Ｇの移動速度が高くなればなる程、当該速度に追従できなくなりスライダ装置７Ｇに大きな力を加えるので、制御上の大きな外乱となるという問題があった。
【００１１】
本発明の目的は、スライダ装置の運動精度を向上させることのできる直線案内装置、および前記直線案内装置を備えた測定機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の直線案内装置は、平坦な第１案内面と前記第１案内面の長手方向に沿った辺に隣接する平坦な第２案内面とを有するスライダ案内装置と、前記第１案内面に対向配置される第１流体ベアリング面と前記第２案内面に対向配置される第２流体ベアリング面とを有し前記スライダ案内装置に対して滑動可能に設けられたスライダ装置と、を備えた直線案内装置であって、前記第１案内面には、流体を吹き出す吹出口と、前記流体を吸い込む吸込口とが形成され、前記スライダ装置には、静圧伝達孔と、負圧伝達孔とが形成され、前記静圧伝達孔は、前記第１流体ベアリング面において第１静圧伝達口として開口するとともに前記第２流体ベアリング面において第２静圧伝達口として開口し、前記吹出口から吹き出された前記流体を前記第１静圧伝達口から取り入れ前記第２静圧伝達口から前記第２案内面に向けて吹き出し、前記負圧伝達孔は、前記第１流体ベアリング面において第１負圧伝達口として開口するとともに前記第２流体ベアリング面において第２負圧伝達口として開口し、前記第２静圧伝達口から吹き出された前記流体を前記第２負圧伝達口から吸い込み前記第１負圧伝達口から吹き出し、前記吹出口から前記第１流体ベアリング面に向けて吹き出されて前記第１流体ベアリング面と前記第１案内面との間を通ってきた前記流体を前記吸込口が吸い込むことによって生じる負圧によって、前記第１流体ベアリング面が前記第１案内面に引き付けられることにより、前記第１流体ベアリング面と前記第１案内面との間には、厚み方向の剛性が高められた略一定の厚みの流体層が形成され、前記第２静圧伝達口から前記第２案内面に向けて吹き出されて前記第２流体ベアリング面と前記第２案内面との間を通ってきた前記流体を前記第２負圧伝達口が吸い込むことによって生じる負圧によって、前記第２流体ベアリング面が前記第２案内面に引き付けられることにより、前記第２流体ベアリング面と前記第２案内面との間には、厚み方向の剛性が高められた略一定の厚みの流体層が形成されることを特徴とする。
【００１３】
このような構成によれば、吹出口から第１流体ベアリング面に向けて流体が吹き出される（静圧が供給される）とともに、吸込口に流体が引き込まれる（吸込口から第１流体ベアリング面に向けて負圧が供給される）。すると、吹出口から吹き出された流体の一部が第１流体ベアリング面と第１案内面との間を通って吸込口に引き込まれるとともに、この引き込みによって生じる負圧によって、第１流体ベアリング面が第１案内面に引き付けられ、第１流体ベアリング面と第１案内面との間には、厚み方向の剛性が高められた略一定の厚みの流体層が形成される。
また、この際、吹出口から第１流体ベアリング面に向かって供給された静圧が静圧伝達孔を介して第２静圧伝達口に伝達されるとともに、吸込口から第１流体ベアリング面に向けて供給された負圧が負圧伝達孔を介して第２負圧伝達口に伝達される。これにより、第２静圧伝達口から流体が吹き出され、この流体が第２流体ベアリング面と第２案内面との間を通って第２負圧伝達口に引き込まれるとともに、この引き込みによって生じる負圧によって、第２流体ベアリング面が第２案内面に引き付けられ、第２流体ベアリング面と第２案内面との間にも、厚み方向の剛性が高められた略一定の厚みの流体層が形成される。
従って、スライダ装置に静圧および負圧を送るための配管を取り付けることなく、スライダ装置を直線ガイドレール上に滑動可能に設置することができる。よって、静圧および負圧を送るための配管がスライダ装置に取り付けられることによる外乱を無くすことができ、スライダ装置の運動精度を向上させることができる。
なお、スライダ案内装置としては、例えば、第１案内面および第２案内面を備えた直方体状の直線ガイドレールを挙げることができる。また、スライダ装置は、断面視コ字状やロ字状等、適宜の形状に形成されていてよい。
【００１４】
本発明では、前記スライダ案内装置は、直角に接する前記第１案内面および前記第２案内面を備えた直線ガイドレールを備え、前記スライダ装置は、断面視Ｌ字状に形成されていることが好ましい。
【００１５】
このような構成によれば、スライダ装置を断面視Ｌ字状に形成するので、背景技術において述べたように、スライダ装置を断面視コ字状やロ字状（直線ガイドレールを囲む形状）等に形成することに比べ、スライダ装置の製造コストを低減できる。
【００１６】
本発明では、前記スライダ案内装置は、直線ガイドレールと、定盤とを備えて構成され、前記直線ガイドレールは、当該直線ガイドレールの長手側の側面が前記定盤の上面と接するようにして前記定盤上に設置され、前記直線ガイドレールの長手側の側面は、前記第１案内面として形成され、前記定盤の上面は、前記第２案内面として形成されていることが好ましい。
【００１７】
このような構成によれば、スライダ装置を直線ガイドレールに沿うようにして定盤上で滑動させることができるので、スライダ装置を直線ガイドレール上で滑動させていた従来に比べ、スライダ装置の形状の自由度を向上させることができる。すなわち、例えば、スライダ装置を直方体状や、定盤と対向する部分が長い断面視Ｌ字状等に形成することができる。
【００１８】
本発明では、前記直線ガイドレールの側面と前記定盤の上面とは、直角に接しており、前記スライダ装置は、直方体状に形成されていることが好ましい。
【００１９】
このような構成によれば、スライダ装置が直方体状に形成されているので、スライダ装置がＬ字状等に形成されていることに比べ、スライダ装置のバランスを向上させることができる。従って、スライダ装置の運動精度をより向上させることができる。
【００２０】
本発明では、前記第１流体ベアリング面の前記吹出口に対向する位置には、前記第１案内面の長手方向に沿った方向に延びる表面絞り型の流体受溝が形成され、前記流体受溝の底部には、前記第１静圧伝達口が形成されていることが好ましい。
【００２１】
このような構成によれば、流体受溝が表面絞り型に形成されているので、吹出口から当該流体受溝に向けて吹き出された空気を、確実に第１静圧伝達口に送りつつ吸込口に吸い込ませることができる。従って、第１流体ベアリング面と第１案内面との間に確実に一定の厚みの流体薄膜層を形成することができ、スライダ装置の運動精度をより一層向上させることができる。
【００２２】
本発明では、前記第１案内面には、前記吹出口および前記吸込口が前記第１案内面の長手方向に沿ってそれぞれ同一の間隔で複数形成され、前記第１流体ベアリング面の前記吸込口に対向する位置には、前記第１案内面の長手方向に沿った方向に延びるとともに底部に前記第１負圧伝達口が形成された吸引溝が形成され、前記流体受溝は、少なくとも常に１つの前記吹出口を覆うことのできる長さに形成され、前記吸引溝は、少なくとも常に１つの前記吸込口を覆うことのできる長さに形成され、前記スライダ装置の前記スライダ案内装置に対する相対位置を検出する検出手段と、前記第１案内面で前記吹出口として開口する複数の第１流路と前記第１案内面で前記吸込口として開口する複数の第２流路と、前記第１流路および前記第２流路にそれぞれ設けられ、前記第１流路および前記第２流路を開閉自在な開閉手段と、前記検出手段によって検出された前記スライダ装置の位置に対応する前記第１流路および前記第２流路に設けられた前記開閉手段を制御する制御手段とを備えていることが好ましい。
【００２３】
ここで、第１案内面に吹出口および吸込口がそれぞれ１つずつ形成されている場合には、スライダ装置は流体受溝および吸引溝の長さ分だけ滑動することができる。従って、可動ストロークを拡張するには、流体受溝および吸引溝を長くする必要、すなわちスライダ装置を大型化させる必要がある。
しかしながら、このような本発明の構成によれば、第１案内面には複数の吹出口および吸込口が形成されており、スライダ装置の位置に対応する吹出口および吸込口の開閉を制御することでスライダ装置を滑動させるので、流体受溝および吸引溝の長さに限定されることなくスライダ装置を滑動させることができる。従って、スライダ装置を大型化させることなく、可動ストロークを拡張させることができる。
【００２４】
本発明の測定機は、請求項１から請求項６のいずれかに記載の直線案内装置と、前記スライダ装置とともに移動する測定ユニット部とを備えていることを特徴とする。
【００２５】
このような構成によれば、スライダ装置が移動する際に、測定ユニット部によって被測定物の表面凹凸を測定することができる。この際、測定機は、前述と略同様の直線案内装置を備えて構成されているので、スライダ装置を運動精度よく移動させることができる。従って、スライダ装置とともに移動する測定ユニット部も運動精度よく移動させることができ、当該測定ユニット部によって被測定物の真直度を精密に測定することができる。なお、測定機としては、例えば、三次元測定機や表面性状測定機等のように、プローブ部分を移動させる駆動軸を備えたものを挙げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図面を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係る直線案内装置１の斜視図である。
直線案内装置１は、スライダ案内装置としての直線ガイドレール２と、直線ガイドレール２の後述する鉛直案内面２１で開口し空気を吹き出す複数の第１流路３と、直線ガイドレール２の鉛直案内面２１で開口し空気を吸い込む複数の第２流路４と、第１流路３および第２流路４に設けられた開閉手段としての電磁弁５と、電磁弁５を制御する制御手段としてのコンピュータ６と、直線ガイドレール２上に設置されるスライダ装置７と、スライダ装置７を駆動する図示しない駆動手段とを備えて構成されている。
【００２７】
直線ガイドレール２は長手状の直方体状に形成され、定盤（図３参照）８上に設置されている。この直線ガイドレール２の長手側の側面が第１案内面としての鉛直案内面２１となっており、上面が第２案内面としての水平案内面２２となっている。
【００２８】
鉛直案内面２１では、第１流路３が吹出口３１として開口しているとともに、第２流路４が吸込口４１として開口している。吹出口３１は、垂直方向（図１中上下方向）においては、同じ線状に配置されるように一対形成され、水平方向（図１中左右方向）においては、一定の間隔Ｌ１ごとに形成されている。吸込口４１は、垂直方向においては、前記一対の吹出口３１に挟まれるように１つ形成され、水平方向においては、一定の間隔Ｌ１ごとに形成されている。すなわち、これら吹出口３１および吸込口４１は、鉛直案内面２１において、垂直方向では一列となるように、かつ水平方向では一定の間隔Ｌ１ごとに形成されている。鉛直案内面２１の下部には、当該鉛直案内面２１の長手方向に沿ってスケール（目盛り）２１１が取り付けられている。
【００２９】
第１流路３は、直線ガイドレール２外では静圧伝達用配管３２によって形成されており、当該静圧伝達用配管３２により、流体供給源としてのコンプレッサ５１に接続されている。コンプレッサ５１は、第１流路３に圧縮空気（静圧）を供給する。
第２流路４は、直線ガイドレール２外では負圧伝達用配管４２によって形成されている。負圧伝達用配管４２は、エジェクタ部５２（負圧発生部）を介して静圧伝達用配管３２と連通している。エジェクタ部５２は、第２流路４中の空気を吸い込み、第２流路４に負圧を供給する。以下に、エジェクタ部５２について説明する。
【００３０】
図２は、エジェクタ部５２を示す図である。
エジェクタ部５２は、静圧伝達用配管３２の噴出口３２１と、この噴出口３２１に若干の隙間を介して対向配置された吸込口３２２と、隙間部分に向かって配置された負圧伝達用配管４２の吐出口４２１とを備えて構成されている。エジェクタ部５２では、噴出口３２１から吸込口３２２に向かって空気が噴流しており、この空気噴流が第２流路（負圧伝達用配管４２）４中の空気を当該空気噴流中に引き込み、第２流路４に負圧を発生させている。
【００３１】
図１に示すように、第１流路３および第２流路４中には、それぞれ当該第１流路３および第２流路４を開閉自在な電磁弁５が設けられている。電磁弁５は、電磁弁用コントローラ６１を介してコンピュータ６に接続されている。
【００３２】
スライダ装置７は、鉛直案内面２１に対向するように配置される鉛直部７１と、水平案内面２２に対向するように配置される水平部７２とを備え、側面視Ｌ字状に形成されている。
鉛直部７１の底面には、スケール２１１を読み取る検出ヘッド６２が取り付けられている。検出ヘッド６２は、配線６３でカウンターユニット６４と接続されており、このカウンターユニット６４を介してコンピュータ６に接続されている。本実施形態では、これら検出ヘッド６２およびスケール２１１からなるリニアエンコーダユニットを含んで本発明の検出手段が構成されている。
【００３３】
図３は、スライダ装置７の側面図である。
スライダ装置７には、静圧伝達孔７３と負圧伝達孔７４とが形成されている。これら静圧伝達孔７３と負圧伝達孔７４とは、共に鉛直部７１の直線ガイドレール２に対向する面に形成された第１流体ベアリング面７５、および水平部７２の直線ガイドレール２に対向する面に形成された第２流体ベアリング面７６で開口している。
【００３４】
図４は、図１のIV方向から見た第１流体ベアリング面７５を示す平面図である。
第１流体ベアリング面７５は、略中央部において矩形の外形の内側が凹状に刻設され当該第１流体ベアリング面７５の長手方向に沿って延びた吸引溝７５１と、吸引溝７５１の上側（図４中上側）および下側（図４中下側）に刻設された一対の流体受溝７５２とを備えている。
【００３５】
吸引溝７５１は、水平方向に並んだ吸込口４１と対向する位置に形成されている。吸引溝７５１の底部には、負圧伝達孔７４が第１負圧伝達口７４１として開口している。このような吸引溝７５１は、吸込口４１の間隔Ｌ１と、第１負圧伝達口７４１の直径Ｄとを加算した長さよりも若干長い長さＬ２に形成されている。すなわち、吸引溝７５１は、スライダ装置７が滑動する際に、少なくとも常に１つの吸込口４１を覆うことのできる長さＬ２に形成されている。吸引溝７５１は、吸込口４１からの負圧を負圧伝達孔７４、ひいては、後述する第２負圧伝達口７４２に伝達する。
【００３６】
流体受溝７５２は、表面絞り型の溝となっており、吸引溝７５１の上側および下側において、それぞれ水平方向に並んだ吹出口３１の列と対向する位置に形成されている。このような流体受溝７５２は、図４に示すように、第１流体ベアリング面７５の長手方向に沿って延びる一条の主流体受溝７５３と、この主流体受溝７５３から上下方向に向かって延びる複数の細い副流体受溝７５４とから構成されている。主流体受溝７５３の底部において、第１負圧伝達口７４１の上下側には、静圧伝達孔７３が第１静圧伝達口７３１として開口している。流体受溝７５２は、吸引溝７５１と等しい長さＬ２に形成されており、吸引溝７５１と同様に、スライダ装置７が滑動する際に、少なくとも常に１つの吹出口３１を覆うことのできる長さＬ２に形成されている。流体受溝７５２は、吹出口３１からの静圧を静圧伝達孔７３、ひいては、後述する第２静圧伝達口７３２に伝達する。
【００３７】
以上のような第１流体ベアリング面７５の流体受溝７５２には、吹出口３１から空気が吹き付けられる。この際、吹出口３１が空気を吹き出すのと同時に吸込口４１が空気を吸い込むので、流体受溝７５２中の空気の一部が当該流体受溝７５２を出て吸込口４１に引き込まれ、第１流体ベアリング面７５と鉛直案内面２１との間に流体薄膜層７７が形成される。また、この際、吸引溝７５１内部の空気が吸込口４１に吸い込まれ、当該吸引溝７５１内部が略真空状態となるので、第１流体ベアリング面７５が鉛直案内面２１に引き付けられる。これにより、流体薄膜層７７の厚み方向の剛性が高められるとともに、流体薄膜層７７の厚みが一定の厚みに規制され、第１流体ベアリング面７５と鉛直案内面２１との距離が一定の距離に規制される。
【００３８】
図５は、図１のＶ方向から見た第２流体ベアリング面７６を示す平面図である。
第２流体ベアリング面７６は、略中央部において矩形の外形の内側が凹状に刻設され当該第２流体ベアリング面７６の長手方向に沿って延びた吸引溝７６１と、吸引溝７６１を取り囲んで矩形枠状に刻設された吹出溝７６２とを備えている。
【００３９】
吸引溝７６１の底部には、負圧伝達孔７４が第２負圧伝達口７４２として開口している。第２負圧伝達口７４２には、吸込口４１から負圧伝達孔７４を介して負圧が伝達される。
吹出溝７６２の底部において、第２負圧伝達口７４２の上下左右側には、静圧伝達孔７３が第２静圧伝達口７３２として開口している。第２静圧伝達口７３２には、吹出口３１から静圧伝達孔７３を介して静圧が伝達される。なお、図３に示すように、静圧伝達孔７３の第２静圧伝達口７３２側の端部はオリフィス絞りとなっており、第２静圧伝達口７３２から勢いよく空気を吹き出すことができるようになっている。
【００４０】
以上のような第２流体ベアリング面７６では、吹出口３１から空気が吹き出されると、流体受溝７５２および静圧伝達孔７３を介して第２静圧伝達口７３２から水平案内面２２に向けて当該空気が吹き出される。これと同時に吸込口４１が空気を吸い込むと、負圧が吸引溝７５１および負圧伝達孔７４を介して第２負圧伝達口７４２に伝達され、当該第２負圧伝達口７４２に空気が引き込まれる。従って、第２静圧伝達口７３２から吹き出された空気が第２負圧伝達口７４２に向かって移動し当該第２負圧伝達口７４２に引き込まれることとなるので、第２流体ベアリング面７６と水平案内面２２との間に流体薄膜層７７が形成される。この際、吸引溝７６１内部が略真空状態となり、第２流体ベアリング面７６が水平案内面２２に引き付けられるので、流体薄膜層７７の厚み方向の剛性が高められるとともに、流体薄膜層７７が一定の厚みに規制され、第２流体ベアリング面７６と水平案内面２２との距離が一定の距離に規制される。
【００４１】
このように、本実施形態では、直線ガイドレール２に吹出口３１および吸込口４１が形成されている。また、スライダ装置７に、これら吹出口３１および吸込口４１からの静圧および負圧を、第１流体ベアリング面７５から第２流体ベアリング面７６に伝達する静圧伝達孔７３および負圧伝達孔７４が形成されている。このため、吹出口３１から空気を吹き出すとともに吸込口４１から空気を吸い込むことにより、第１流体ベアリング面７５と鉛直案内面２１との間、および第２流体ベアリング面７６と水平案内面２２との間に一定の厚みの流体薄膜層７７を形成することができ、スライダ装置７を当該流体薄膜層７７を介して直線ガイドレール２上に滑動可能に設置することができる。
【００４２】
駆動手段は、スライダ装置７を直線ガイドレール２に沿って駆動させるためのものであり、適宜の機械で構成することができる。
【００４３】
図６の（Ａ）〜（Ｄ）は、直線案内装置１の動作を説明するための側面図である。以下に直線案内装置１の動作について説明する。なお、図６（Ａ）〜（Ｄ）において、吹出口３１、吸込口４１、および電磁弁５には、それぞれ左側から３１Ａ，３１Ｂ、４１Ａ，４１Ｂ、５Ａ，５Ｂと符号をつけた。また、スライダ装置７は、最初は、図６（Ａ）に示すように、縦一列分の吹出口３１Ａおよび吸込口４１Ａのみを流体受溝７５２および吸引溝７５１で覆う位置に設置されているものとする。
【００４４】
図６（Ａ）の状態において、コンピュータ６は、スケール２１１および検出ヘッド６２（リニアエンコーダユニット）によってスライダ装置７の直線ガイドレール２に対する相対位置を検出しており、当該位置に基づいて吹出口３１Ａおよび吸込口４１Ａの開閉を制御する電磁弁５Ａのみを開けている。これより、スライダ装置７は、一定の厚みの流体薄膜層７７を介した状態で直線ガイドレール２上に設置されている。
【００４５】
この図６（Ａ）の状態からスライダ装置７を直線ガイドレール２に沿って図６（Ａ）中右側へ駆動すると、図６（Ｂ）に示すように、吹出口３１Ｂおよび吸込口４１Ｂがそれぞれ流体受溝７５２および吸引溝７５１に覆われる。すると、コンピュータ６により、吹出口３１Ｂおよび吸込口４１Ｂ側の電磁弁５Ｂが開けられる。
【００４６】
そして、この図６（Ｂ）の状態からスライダ装置７をさらに駆動すると、図６（Ｃ）に示すように、吹出口３１Ａおよび吸込口４１Ａが流体受溝７５２および吸引溝７５１から外れる。すると、コンピュータ６により、吹出口３１Ａおよび吸込口４１Ａ側の電磁弁５Ａが閉じられる。
【００４７】
図６（Ｃ）の状態からスライダ装置７をさらに駆動すると、図６（Ｄ）に示すように、吹出口３１Ａおよび吸込口４１Ａがスライダ装置７から外れ、吹出口３１Ｂおよび吸込口４１Ｂのみが流体受溝７５２および吸引溝７５１に覆われた状態、すなわち、図６（Ａ）の状態に戻る。このような工程を繰り返すことで、本実施形態のスライダ装置７は滑動される。
【００４８】
以上のように、本実施形態では、流体受溝７５２および吸引溝７５１の長さＬ２が吹出口３１および吸込口４１の間隔Ｌ１と、負圧伝達口および静圧伝達口の直径Ｄとを加算したものより長くされているので、スライダ装置７の位置に対応する吹出口３１および吸込口４１の開閉を制御することで、常にスライダ装置７に静圧および負圧を供給することができ、継続的にスライダ装置７を滑動させることができるようになっている。
また、直線ガイドレール２側からスライダ装置７に向かって空気の吹き出しおよび吸い込みを行う構成としたため、スライダ装置７に静圧伝達用配管３２および負圧伝達用配管４２を取り付けることを不要にできる。従って、本実施形態では、これらの配管３２，４２による外乱を無くすことができ、スライダ装置７の運動精度を向上させることができる。
【００４９】
ここで、本実施形態では、直線ガイドレール２に複数の吹出口３１および吸込口４１が設けられていたが、直線ガイドレール２に縦一列分の吹出口３１および吸込口４１のみしか設けられていない場合について考えてみる。なお、以降、前記第１実施形態と同一機能部位には同一符号を付し、それらの説明を省略若しくは簡略化する。
【００５０】
図７の（Ａ），（Ｂ）は、直線ガイドレール２に縦１列分の吹出口３１および吸込口４１（一対の吹出口３１、および一対の吹出口３１の間に配置された吸込口４１）のみが設けられた直線案内装置１Ａの側面図である。
このような直線案内装置１Ａでも、図７（Ａ），（Ｂ）に示すように、吹出口３１および吸込口４１が流体受溝７５２および吸引溝７５１に覆われる範囲でスライダ装置７を滑動させることができる。
【００５１】
しかしながら、このような直線案内装置１Ａでは、スライダ装置７の可動ストロークをＬ０とし、スライダ装置７の長さをＬｓとし、直線ガイドレール２の長さをＬｇとすると、以下の式（１），（２）が成り立つので、
Ｌ０＜Ｌ２＜Ｌｓ‥‥‥（１）
Ｌｓ＋Ｌ０＜Ｌｇ‥‥‥（２）
スライダ案内装置の可動ストロークをΔＬ拡張する場合、以下の式（３），（４）により、
（Ｌ０＋ΔＬ）＜（Ｌ２＋ΔＬ）＜（Ｌｓ＋ΔＬ）‥‥‥（３）
（Ｌｓ＋ΔＬ）＋（Ｌ０＋ΔＬ）
＝Ｌｓ＋Ｌ０＋２ΔＬ＜Ｌｇ＋２ΔＬ‥‥‥（４）
直線ガイドレール２の長さを少なくとも２ΔＬ長くする必要があることがわかる。
【００５２】
従って、このような直線案内装置１Ａでは、可動ストロークＬ０を拡張しようとすると、スライダ装置７が大型化してしまい、スライダ装置７の質量が増加したり製造コストが高くなってしまう。これに対し、本実施形態の直線案内装置１では、直線ガイドレール２に吹出口３１および吸込口４１が複数設けられているので、流体受溝７５２および吸引溝７５１の長さＬ２に限定されることなくスライダ装置７を滑動させることができる。すなわち、スライダ装置７を大型化させることなく可動ストロークを拡張することができる。
【００５３】
本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）直線ガイドレール２の鉛直案内面２１から第１流体ベアリング面７５に向かって供給される静圧および負圧を、静圧伝達孔７３および負圧伝達孔７４を介して第２流体ベアリング面７６に伝達することができるので、第１流体ベアリング面７５と鉛直案内面２１との間、および第２流体ベアリング面７６と水平案内面２２との間に一定の厚みの流体薄膜層７７を形成することができる。従って、スライダ装置７に静圧伝達用配管３２および負圧伝達用配管４２を取り付けることなく当該スライダ装置７を直線ガイドレール２上に滑動可能に設置することができるので、それらの配管３２，４２による外乱を無くすことができ、スライダ装置７の運動精度を向上させることができる。
【００５４】
（２）直線ガイドレール２に複数の吹出口３１および吸込口４１を形成し、スライダ装置７の位置に対応するこれら吹出口３１および吸込口４１の開閉を制御することでスライダ装置７を滑動させるので、流体受溝７５２および吸引溝７５１の長さＬ２に限定されることなくスライダ装置７を滑動させることができる。従って、スライダ装置７を大型化させることなく可動ストロークを拡張することができる。
【００５５】
（３）流体受溝７５２が表面絞り型に形成されているので、吹出口３１から当該流体受溝７５２に向けて吹き出された空気を、確実に静圧伝達孔７３に送りつつ吸込口４１に吸い込ませることができる。従って、第１流体ベアリング面７５と鉛直案内面２１との間に確実に一定の厚みの流体薄膜層７７を形成することができ、よりスライダ装置７の運動精度を向上させることができる。
【００５６】
（４）静圧伝達孔７３の第２静圧伝達口７３２側の端部がオリフィス絞りにされているので、当該絞り部分において強い絞り効果を発揮させることができ、確実に第２流体ベアリング面７６と水平案内面２２との間に一定の厚みの流体薄膜層７７を形成することができる。従って、より一層スライダ装置７の運動精度を向上させることができる。
【００５７】
〔第２実施形態〕
図８は、本発明の第２実施形態に係る直線案内装置１Ｂの斜視図である。
本実施形態は、前記第１実施形態と略同様の構成を備えるが、前記第１実施形態では、スライダ装置７は、直線ガイドレール２の水平案内面２２および鉛直案内面２１上を滑動したが、本実施形態では、スライダ装置７Ａは、直線ガイドレール２の鉛直案内面２１に沿って定盤８上を滑動する点が前記第１実施形態との第１の相違点である。
【００５８】
また、前記第１実施形態では、スライダ装置７の直線ガイドレール２に対する相対位置を、検出ヘッド６２およびスケール２１１を用いて検出していたが、本実施形態では、定盤８上に設置されたレーザ干渉測長計６５およびスライダ装置７Ａに取り付けられた反射鏡６８を用いて検出する点が前記第１実施形態との第２の相違点である。
以下に本発明の第２実施形態について説明する。
【００５９】
本実施形態では、図８に示すように、直線ガイドレール２は、鉛直案内面２１が定盤８の上面８１と直角に接するようにして当該定盤８上に設置されている。本発明のスライダ案内装置は、これら直線ガイドレール２および定盤８を含んで構成されている。定盤８は、石定盤であり、その上面８１は水平とされている。
【００６０】
定盤８上において、スライダ装置７Ａの滑動方向上にはレーザ干渉測長計６５が設置されている。レーザ干渉測長計６５は、実用波長安定化レーザ光源６６に光ファイバ６７で接続されている。また、レーザ干渉測長計６５は、カウンターユニット６４を介してコンピュータ６に接続されている。本実施形態では、レーザ干渉測長計６５がスライダ装置７Ａに設置された反射鏡６８に向けて光を射出し、当該反射鏡６８で反射した光を受けることで、スライダ装置７Ａの直線ガイドレール２に対する相対位置を検出することができるようになっている。
スライダ装置７Ａは直方体状に形成されている。スライダ装置７Ａの短手側の側面７８には反射鏡６８が設けられている。本実施形態では、これら反射鏡６８およびレーザ干渉測長計６５を含んで本発明の検出手段が構成されている。
【００６１】
図９は、スライダ装置７Ａの断面図である。
スライダ装置７Ａは、鉛直案内面２１と対向する第１流体ベアリング面７５と、定盤８の上面８１と対向する第２流体ベアリング面７６とを備えている。第１流体ベアリング面７５は、前記第１実施形態と同様に構成されており、底部に第１静圧伝達口７３１が形成された流体受溝７５２と、底部に第１負圧伝達口７４１が形成された吸引溝７５１とを備えて構成されている。第２流体ベアリング面７６も前記第１実施形態と同様に構成されており、底部に第２静圧伝達口７３２が形成された吹出溝７６２と、底部に第２負圧伝達口７４２が形成された吸引溝７６１とを備えて構成されている。
また、スライダ装置７Ａは、前記第１実施形態と同様に、第１静圧伝達口７３１および第２静圧伝達口７３２を連通する静圧伝達孔７３と、第１負圧伝達口７４１および第２負圧伝達口７４２を連通する負圧伝達孔７４とを備えて構成されている。
【００６２】
このような本実施形態でも、直線ガイドレール２の鉛直案内面２１から第１流体ベアリング面７５に向かって供給される静圧および負圧を、静圧伝達孔７３および負圧伝達孔７４を介して第２流体ベアリング面７６に伝達することができるので、第１流体ベアリング面７５と鉛直案内面２１との間、および第２流体ベアリング面７６と定盤８の上面８１との間に一定の厚みに規制された流体薄膜層７７を形成することができる。また、直線案内装置１Ｂは、定盤８上に設置されたレーザ干渉測長計６５、およびレーザ干渉測長計６５と対向するようにスライダ装置７Ａに設置された反射鏡６８を備えているので、前記第１実施形態と同様に、スライダ装置７Ａの直線ガイドレール２に対する相対位置を検出することができる。
【００６３】
従って、本実施形態でも、吹出口３１および吸込口４１の開閉を制御することで、静圧伝達用配管３２および負圧伝達用配管４２をスライダ装置７Ａに取り付けることなくスライダ装置７Ａを滑動させることができ、これらの配管３２，４２による外乱を無くすことができる。よって、本実施形態でも、前記第１実施形態と同様の効果（１）〜（４）を奏することができるうえ、以下の効果を奏することができる。
【００６４】
（５）スライダ装置７Ａが直方体状に形成されているので、スライダ装置７ＡがＬ字状に形成されていることに比べ、スライダ装置７Ａのバランスを向上させることができ、スライダ装置７Ａの運動精度を十分に向上させることができる。
【００６５】
（６）スライダ装置７Ａに検出ヘッド６２を設けた場合には、検出ヘッド６２とカウンターユニット６４とを接続する配線６３によって僅かとはいえスライダ装置７Ａに力が加わる。しかしながら、本実施形態では、定盤８上に設けられたレーザ干渉測長計６５およびスライダ装置７Ａに設けられた反射鏡６８を用いてスライダ装置７Ａの直線ガイドレール２に対する相対位置を検出するので、そのような配線６３を不要にすることができ、より十分にスライダ装置７Ａの運動精度を向上させることができる。
【００６６】
〔第３実施形態〕
図１０は、本発明の第３実施形態に係る測定機１００の斜視図である。
本実施形態の測定機１００は、直線状の被測定物１１０の真直度を測定するためのものである。このような測定機１００は、図１０に示すように、直線ガイドレール２および直線ガイドレール２上に滑動可能に設置されたスライダ装置７を有する前記第１実施形態と略同様の直線案内装置１と、スライダ装置７とともに移動して被測定物１１０の凹凸を測定する測定ユニット部９とを備えて構成されている。
【００６７】
図１１は、直線ガイドレール２の斜視図である。
本実施形態の直線案内装置１では、直線ガイドレール２に吹出口３１および吸込口４１が縦１列分しか形成されておらず、スライダ装置７が当該スライダ装置７に形成された流体受溝７５２および吸引溝７５１の長さ分だけ移動する点が前記第１実施形態の直線案内装置１とは異なる点である。また、本実施形態の直線案内装置１では、直線ガイドレール２内の第１流路３および第２流路４が当該直線ガイドレール２の長手方向に沿って形成されており、直線ガイドレール２の短手側の側面２３に静圧伝達用配管３２および負圧伝達用配管４２が取り付けられている点も前記第１実施形態の直線案内装置１とは異なる点である。
【００６８】
図１０に示すように、測定ユニット部９は、一端がスライダ装置７の水平部７２の直線ガイドレール２の延出方向に沿った側面７２１に取り付けられたケーシング部９１と、ケーシング部９１の他端から被測定物１１０に向けて進退可能に設けられたスピンドル９２と、ケーシング部９１の内部に設けられスピンドル９２の進退量を検出する検出部（図示略）とを備えて構成されている。スピンドル９２の先端には被測定物１１０の表面に当接する測定子９２１が設けられている。なお、検出部は特に限定されず、静電容量式や光電式、磁気式など種々の変位検出手段を利用できる。
【００６９】
直線状の被測定物１１０は、直線ガイドレール２に対して略平行、かつ被測定面１１１が水平部７２の直線ガイドレール２の延直方向に沿った側面７２１と対向するように配置されており、当該被測定面１１１には測定子９２１が当接している。
このような測定機１００では、スライダ装置７を直線ガイドレール２に沿って直線移動させると、測定ユニット部９もスライダ装置７にあわせて直線移動し、スピンドル９２が被測定面１１１の凹凸に従って進退する。そして、当該スピンドル９２の進退量が検出部で検出されることにより、被測定面１１１の真直度が測定される。
【００７０】
本実施形態の測定機１００では、直線案内装置１が前記第１実施形態の直線案内装置１と略同様に構成されているので、前記第１実施形態と同様の効果（１），（３），（４）を奏することができるうえ、以下の効果を奏することができる。
【００７１】
（７）本実施形態の測定機１００は、前記第１実施形態の直線案内装置１と略同様の直線案内装置１を備えているので、スライダ装置７を直線ガイドレール２上で運動精度よく移動させることができる。従って、スライダ装置７に取り付けられた測定ユニット部９も運動精度良く移動させることができ、被測定物１１０の真直度を精密に測定することができる。
【００７２】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記第１，第３実施形態では、スライダ装置７は断面視Ｌ字状に形成されていたが、これに限定されない。すなわち、スライダ装置７は、第１流体ベアリング面７５で受けた静圧および負圧を内部に形成された静圧伝達孔７３および負圧伝達孔７４を介して第２流体ベアリング面７６に伝達し、これにより直線ガイドレール２に流体薄膜層７７を介して滑動可能に設置されるのものであれば、背景技術で説明したような断面視コ字状やロ字状等の様々な形状に形成されていてもよく、適宜の形状に形成されていてよい。
【００７３】
前記第１実施形態では、吹出口３１および吸込口４１は、直線ガイドレール２の鉛直案内面２１側に形成されていたが、水平案内面２２側に形成されていてもよい。
前記第２実施形態では、スライダ装置７Ａは直方体状に形成されていたが、断面視Ｌ字状等に形成されていてもよく、適宜の形状に形成されていてよい。
【００７４】
前記第１，２実施形態では、検出手段は、スケール２１１および検出ヘッド６２（リニアエンコーダユニット）、あるいはレーザ干渉測長計６５および反射鏡６８を備え、スライダ装置７，７Ａの直線ガイドレール２に対する相対位置を逐次検出できるように構成されていたが、検出手段は、近接スイッチやリミットスイッチを備え、スライダ装置７，７Ａの位置に対応したトリガー信号を検出することによりスライダ装置７，７Ａの位置を検出できるように構成されていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明は、例えば直線ガイドレールを備えた直線案内装置に用いることができる。また、本発明は、例えば三次元測定機や表面性状測定機等の測定機に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る直線案内装置の斜視図。
【図２】前記実施形態のエジェクタ部を示す図。
【図３】前記実施形態のスライダ装置の側面図。
【図４】図１のIV方向から見た前記実施形態の第１流体ベアリング面を示す平面図。
【図５】図１のＶ方向から見た前記実施形態の第２流体ベアリング面を示す平面図。
【図６】前記実施形態の直線案内装置の動作を説明するための側面図。
【図７】縦１列の吹出口および吸込口のみが設けられた直線案内装置の側面図。
【図８】第２実施形態に係る直線案内装置の斜視図。
【図９】前記実施形態のスライダ装置の断面図。
【図１０】第３実施形態に係る測定機の斜視図。
【図１１】前記実施形態の直線ガイドレールの斜視図。
【図１２】従来の断面矩形状の拘束型の直線案内装置の断面図。
【図１３】従来の断面円形状の拘束型の直線案内装置の断面図。
【図１４】従来の一部拘束型の直線案内装置の断面図。
【図１５】従来のバランス型の直線案内装置の断面図。
【図１６】従来の真空圧バランス型の直線案内装置の断面図。
【図１７】従来の真空圧バランス型の直線案内装置におけるケーブルベアを示す図。
【符号の説明】
【００７７】
１，１Ｂ…直線案内装置、２…直線ガイドレール（スライダ案内装置）、３…第１流路、４…第２流路、５…電磁弁（開閉手段）、６…コンピュータ（制御手段）、７，７Ａ…スライダ装置、８…定盤（スライダ案内装置）、９…測定ユニット部、２１…鉛直案内面（第１案内面）、２２…水平案内面（第２案内面）、３１…吹出口、４１…吸込口、６２…検出ヘッド（検出手段）、６５…レーザ干渉測長計（検出手段）、６８…反射鏡（検出手段）、７３…静圧伝達孔、７４…負圧伝達孔、７５…第１流体ベアリング面、７６…第２流体ベアリング面、７７…流体薄膜層（流体層）、８１…定盤の上面、２１１…スケール（検出手段）、７３１…第１静圧伝達口、７３２…第２静圧伝達口、７４１…第１負圧伝達口、７４２…第２負圧伝達口、７５１…吸引溝、７５２…流体受溝。
【図１】
0005208456.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
0005208456.tif 000016
【図１６】
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【図１７】
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