(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
過酸化水素水と、前記過酸化水素水より比重が大きく、銅を溶解する銅溶解液と、を含むエッチング液を管理するエッチング液管理装置であって、
前記エッチング液を溜めるエッチング液管理槽と、
前記エッチング液管理槽に接続され、前記エッチング液管理槽に溜められたエッチング液を搬送するエッチング液配管と、
前記エッチング液管理槽に溜められたエッチング液へ補給される補給用過酸化水素水を溜める過酸化水素水容器と、
前記過酸化水素水容器に接続され、前記補給用過酸化水素水を搬送する過酸化水素水配管と、
を備え、
前記エッチング液配管が鉛直方向の上端に接続され、前記エッチング液配管で搬送されるエッチング液が流れる内管と、前記内管が挿入され、前記過酸化水素水配管が外周面に接続され、前記過酸化水素水配管で搬送される補給用過酸化水素水が流れる外管と、を有する２重管と、
前記外管の鉛直方向の下端に接続され、前記内管を流れるエッチング液と、前記外管を流れる補給用過酸化水素水とが合流した合流液を前記エッチング液管理槽へ搬送する合流配管と、
を含むことを特徴とするエッチング液管理装置。
【請求項２】
請求項１に記載のエッチング液管理装置であって、
前記エッチング液配管に設けられ、前記内管へ搬送されるエッチング液の流量を調整する流量調整バルブを有することを特徴とするエッチング液管理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のエッチング液管理装置であって、
前記合流配管の出口側は、前記エッチング液管理槽に溜められたエッチング液に浸漬されることを特徴とするエッチング液管理装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１つに記載のエッチング液管理装置であって、
前記銅溶解液は、塩化第二銅溶液または硫酸溶液であることを特徴とするエッチング液管理装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１つに記載のエッチング液管理装置であって、
前記エッチング液配管で搬送されるエッチング液を前記内管に流した後に、前記過酸化水素水配管で搬送される補給用過酸化水素水を前記外管に流すことにより、前記合流液が前記合流配管で前記エッチング液管理槽へ搬送されることを特徴とするエッチング液管理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチング液管理装置に係り、特に、過酸化水素水と、前記過酸化水素水より比重が大きく、銅を溶解する銅溶解液と、を含むエッチング液を管理するエッチング液管理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話やデジタルカメラなどの各種電子機器に組み込まれるプリント配線基板は、小型化、薄型化、軽量化及び多機能化並びに部品コストの低減などが益々要求されている。そして、部品コストの低減に有利な配線基板として、ビルドアップ多層配線板やフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）等が広く利用されている。
【０００３】
フレキシブル配線基板等の製造工程において、導体回路パターンを形成するために、例えば、絶縁樹脂基板に設けられる銅箔等をエッチング液でエッチングすることが行われている。このようなエッチング液には、例えば、塩化第二銅溶液と、過酸化水素水とを含んだエッチャント等が用いられている。このようなエッチング液を用いて銅箔等をエッチング処理する場合には、エッチング反応が進むのに伴ってエッチング液中の過酸化水素濃度が過酸化水素の消耗により低下する。そのため、エッチング液には、過酸化水素水が適宜、補給される。
【０００４】
特許文献１には、エッチング浴の管理方法が示され、エッチング浴は基本的に過酸化水素、硫酸及び安定剤で構成されておりエッチング反応の進行と共に過酸化水素濃度、硫酸濃度は低下し、金属イオン濃度は増加する、この内、過酸化水素及び硫酸が消耗するとエッチングスピードが低下するのでこれらの濃度を一定に維持する為、一定時間毎にサンプリングし過酸化水素濃度を酸化還元滴定法、硫酸濃度は中和滴定法により分析し標準値に対し不足する過酸化水素量等を算出し、不足量を補給して一定濃度管理することが記載されている。
【特許文献１】特開平６−２２８７７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、過酸化水素水と、例えば、塩化第二銅溶液のように過酸化水素水よりも比重が大きく、銅を溶解する銅溶解液と、を含んだエッチング液が溜められたエッチング液管理槽に過酸化水素水を補給する場合には、一般的に、銅溶解液の比重よりも過酸化水素水の比重が小さいので、過酸化水素水がエッチング液管理槽に溜められたエッチング液の表面付近に滞留する場合がある。それにより、エッチング液管理槽に溜められたエッチング液の過酸化水素濃度にばらつきが生じる可能性があるので、エッチングレートが安定しない場合がある。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、エッチング液管理槽に溜められたエッチング液の過酸化水素濃度をより一定にできるエッチング液管理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るエッチング液管理装置は、過酸化水素水と、前記過酸化水素水より比重が大きく、銅を溶解する銅溶解液と、を含むエッチング液を管理するエッチング液管理装置であって、前記エッチング液を溜めるエッチング液管理槽と、前記エッチング液管理槽に接続され、前記エッチング液管理槽に溜められたエッチング液を搬送するエッチング液配管と、前記エッチング液管理槽に溜められたエッチング液へ補給される補給用過酸化水素水を溜める過酸化水素水容器と、前記過酸化水素水容器に接続され、前記補給用過酸化水素水を搬送する過酸化水素水配管と、を備え、前記エッチング液配管が鉛直方向の上端に接続され、前記エッチング液配管で搬送されるエッチング液が流れる内管と、前記内管が挿入され、前記過酸化水素水配管が外周面に接続され、前記過酸化水素水配管で搬送される補給用過酸化水素水が流れる外管と、を有する２重管と、前記外管の鉛直方向の下端に接続され、前記内管を流れるエッチング液と、前記外管を流れる補給用過酸化水素水とが合流した合流液を前記エッチング液管理槽へ搬送する合流配管と、を含むことを特徴とする。
【０００８】
本発明に係るエッチング液管理装置は、前記エッチング液配管に設けられ、前記内管へ搬送されるエッチング液の流量を調整する流量調整バルブを有することを特徴とする。
【０００９】
本発明に係るエッチング液管理装置において、前記合流配管の出口側は、前記エッチング液管理槽に溜められたエッチング液に浸漬されることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係るエッチング液管理装置において、前記銅溶解液は、塩化第二銅溶液または硫酸溶液であることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係るエッチング液管理装置は、前記エッチング液配管で搬送されるエッチング液を前記内管に流した後に、前記過酸化水素水配管で搬送される補給用過酸化水素水を前記外管に流すことにより、前記合流液が前記合流配管で前記エッチング液管理槽へ搬送されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
上記構成のエッチング液管理装置によれば、補給用過酸化水素水の補給時に、エッチング液管理槽に溜められたエッチング液の表面付近に過酸化水素水が滞留することが抑制されるので、エッチング液管理槽に溜められたエッチング液の過酸化水素濃度をより一定にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。図１は、エッチング液管理装置１０の構成を示す図である。エッチング液管理装置１０は、エッチング液１１を溜めるエッチング液管理槽１２と、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１を循環させるエッチング液循環部１４と、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１をサンプリングして分析するエッチング液サンプリング部１６と、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１に補給用過酸化水素水を補給する過酸化水素水補給部１８と、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１に補給用塩酸溶液を補給する塩酸溶液補給部（図示せず）と、制御部２０と、を含んで構成される。
【００１４】
エッチング液１１には、塩化第二銅溶液と、過酸化水素水と、塩酸溶液と、を含むエッチャントが用いられる。塩化第二銅溶液は、過酸化水素水より比重が大きく、銅を溶解する銅溶解液である。過酸化水素水と塩酸溶液とが含まれるのは、エッチング過程で生成される塩化第一銅と化学反応させることにより、銅箔等の表面に塩化第一銅が生成されるのを抑えるとともに、塩化第二銅を再生させるためである。塩化第二銅溶液には、例えば、比重１．２７５の塩化第二銅溶液が用いられる。また、過酸化水素水には、例えば、比重１．１３０の過酸化水素水が用いられる。なお、エッチング液１１には、上記エッチャントに限定されることなく、硫酸溶液と、過酸化水素水と、を含むエッチャントを用いてもよい。
【００１５】
エッチング液管理槽１２は、エッチング液１１を溜める機能を有しており、耐食性を有する金属材料または合成樹脂材料で成形される。エッチング液管理槽１２には、エッチング液を目視確認、サンプリングできるように、開閉可能な透明カバー２２が設けられる。また、エッチング液管理槽１２には、例えば、槽内を複数の室に仕切るために、槽内に仕切板２３が設けられる。また、エッチング液管理槽１２は、図示されないヒータ等を有しており、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液の液温度が調節される。
【００１６】
エッチング液循環部１４は、エッチング液管理槽１２内の所定位置から他の所定位置までエッチング液１１を搬送するエッチング液配管２４と、エッチング液配管２４に設けられ、エッチング液１１を圧送する液送ポンプ２６と、を備えている。
【００１７】
エッチング液配管２４は、エッチング液管理槽１２内の所定位置に設けられ、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１を吸引する吸引口２８と、エッチング液管理槽１２内の他の所定位置に設けられ、搬送されたエッチング液１１をエッチング液管理槽１２へ排出する排出口３０と、を有している。エッチング液配管２４の吸引口２８と排出口３０とは、例えば、エッチング液管理槽１２の内側に突出させて設けることができる。エッチング液配管２４には、一般的な耐食性を有する金属材料または合成樹脂材料で成形された配管を用いることが好ましい。
【００１８】
液送ポンプ２６は、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１をエッチング液配管２４の吸引口２８から吸引し、吸引されたエッチング液１１を圧送し、エッチング液１１をエッチング液配管２４の排出口３０から排出させる機能を有している。このように、エッチング液管理槽１２内の所定位置に設けられる吸引口２８からエッチング液１１を吸引して、エッチング液管理槽１２内の他の所定位置に設けられる排出口３０からエッチング液１１を排出させることにより、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１を循環させることができるので、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液の塩化第二銅濃度、過酸化水素濃度、塩酸濃度等をより均一にすることができる。液送ポンプ２６には、薬液等の圧送に使用される一般的な液送ポンプ等を用いることができる。
【００１９】
エッチング液サンプリング部１６は、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１からサンプリングされたエッチング液１１を搬送するエッチング液配管３２と、エッチング液配管３２に設けられ、エッチング液１１を圧送する液送ポンプ３４と、サンプリングされたエッチング液１１を分析するエッチング液分析器３６と、を備えている。
【００２０】
エッチング液配管３２は、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１からサンプリングされたエッチング液１１をエッチング液分析器３６等へ搬送する機能を有している。エッチング液配管３２は、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１をサンプリングする吸引口３８を有している。吸引口３８は、エッチング液管理槽１２内の所定位置に置かれ、例えば、エッチング液管理槽１２の内側に突出させて設けられる。エッチング液配管３２は、エッチング液配管２４と同様の配管が用いられる。
【００２１】
液送ポンプ３４は、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１からサンプリングされたエッチング液１１を圧送する機能を有している。液送ポンプ３４には、液送ポンプ２６と同様の液送ポンプを用いることができる。
【００２２】
エッチング液分析器３６は、サンプリングされたエッチング液１１の過酸化水素濃度と、塩酸濃度と、液比重とを測定する機能を有している。過酸化水素と塩酸とは、上述したように、エッチング過程で生成される塩化第一銅と化学反応させるため、エッチング反応の進行に伴ってエッチング液１１の過酸化水素濃度と塩酸濃度とが低下する。エッチング液１１の過酸化水素濃度と塩酸濃度とが低下すると、銅箔等の表面に塩化第一銅が生成しやすくなるためエッチング液１１のエッチング能力が低下する。このため、エッチング液１１のエッチング能力を略一定に保つため、エッチング液１１の過酸化水素濃度と、塩酸濃度と、液比重と、が測定される。
【００２３】
エッチング液１１の過酸化水素濃度測定は、例えば、酸化還元滴定法で行われ、塩酸濃度測定は、例えば、中和滴定法により行われる。勿論、過酸化水素濃度測定及び塩酸濃度測定は、上記測定法に限定されることはない。エッチング液分析器３６には、一般的に市販されている、過酸化水素濃度や塩酸濃度等の薬液濃度を分析する濃度コントローラ等を用いることができる。
【００２４】
過酸化水素水補給部１８は、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１へ補給される補給用過酸化水素水を溜める過酸化水素水容器４０と、補給用過酸化水素水を搬送する過酸化水素水配管４２と、補給用過酸化水素水を計量する計量マス４４と、を備えている。上述したように、エッチング過程においてエッチング液１１の過酸化水素濃度が低下するため、過酸化水素水補給部１８により補給用過酸化水素水がエッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１へ補給される。
【００２５】
過酸化水素水容器４０は、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１へ補給される補給用過酸化水素水を貯留する機能を有している。過酸化水素水容器４０は、耐食性を有する金属材料等で成形される。
【００２６】
過酸化水素水配管４２は、過酸化水素水容器４０と計量マス４４とに接続され、補給用過酸化水素水を搬送する機能を有している。また、過酸化水素水配管４２は、計量マス４４と、後述する２重管５４とに接続される。過酸化水素水配管４２には、耐食性を有する金属材料等で成形された配管が用いられる。過酸化水素水配管４２には、定量ポンプ４５と、過酸化水素水容器４０の近傍に背圧弁４６が設けられており、背圧を一定にして定量補給を安定させることができる。
【００２７】
計量マス４４は、過酸化水素水配管４２に接続され、補給用過酸化水素水の流量を計量する機能を有している。計量マス４４は、過酸化水素水配管４２に接続され、補給用過酸化水素水が流入する流入口４７と、補給用過酸化水素水が流出する流出口４８とを有している。また、計量マス４４は、締切り運転を防止するため補給用過酸化水素水を排出する排出口４９を有している。また、計量マス４４の流出口４８側には開閉弁５０が設けられ、開閉弁５０を開閉することにより補給用過酸化水素水の計量を行うことができる。
【００２８】
過酸化水素水補給部１８は、エッチング液配管５２が鉛直方向の上端に接続され、エッチング液配管５２で搬送されるエッチング液１１が流れる内管と、内管が挿入され、過酸化水素水配管４２が外周面に接続され、過酸化水素水配管４２で搬送される補給用過酸化水素水が流れる外管と、を有する２重管５４と、外管の鉛直方向の下端に接続され、内管を流れるエッチング液１１と、外管を流れる補給用過酸化水素水とが合流した合流液をエッチング液管理槽１２へ搬送する合流配管５６と、を備えている。
【００２９】
２重管５４の内管に接続されるエッチング液配管５２は、図１に示すように、エッチング液１１をサンプリングするエッチング液配管３２から延設されることが好ましい。また、２重管５４の内管に接続されるエッチング液配管５２は、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１を循環させるために設けられたエッチング液配管２４から分岐させて設けられてもよい。このような構成とすることにより、新たに液送ポンプ等を設ける必要がないのでエッチング液管理装置１０の製造コストを抑えることができる。
【００３０】
エッチング液配管５２には、エッチング液１１の流量を調整できる流量調整バルブ５３が設けられる。流量調整バルブ５３によりエッチング液１１の流量を調整することにより、必要以上のエッチング液１１の供給による空気の巻き込みで生じやすい過酸化水素水の酸化を抑えることができる。
【００３１】
次に、２重管５４の構成について説明する。図２は、２重管５４の構成を示す図である。
【００３２】
２重管５４の内管５８は、例えば、曲率を有する接続用配管６２でエッチング液配管５２と接続される。それにより、エッチング液配管５２で搬送されたエッチング液１１を２重管５４の内管５８に流すことができる。接続用配管６２の一端に内管５８の鉛直方向の上端が挿入され、接続用配管６２の他端にエッチング液配管５２の一端が挿入されて接続される。内管５８と接続用配管６２との接続部には、エッチング液１１の液漏れを防止するため、例えば、筒状のシール材６３を用いることが好ましい。内管５８と接続用配管６２との接続方法及び接続用配管６２とエッチング液配管５２との接続方法には、例えば、溶接、接着等の接合方法が用いられる。勿論、内管５８とエッチング液配管５２とは、上述した接続用配管６２を用いずに直接接続させてもよい。なお、内管５８と接続用配管６２とは、エッチング液配管５２と同様な材質により成形される。
【００３３】
２重管５４の外管６０は、内管５８が挿入され、鉛直方向の上端には接続用配管６２の一端が挿入されて、外管６０と接続用配管６２とが接続される。また、外管６０の外周面には、開口を有し、突出した筒部６４が設けられ、筒部６４の開口から過酸化水素水配管４２の端が挿入されて、外管６０と過酸化水素水配管４２とが接続される。それにより、過酸化水素水配管４２で搬送された補給用過酸化水素水を外管６０に流すことができる。外管６０と接続用配管６２との接続方法及び外管６０と過酸化水素水配管４２との接続方法には、例えば、溶接、接着等の接合方法が用いられる。外管６０は、例えば、過酸化水素水配管４２と同様な材料により成形される。なお、外管６０と過酸化水素水配管４２との接続部は、内管５８の鉛直方向の下端より、鉛直方向の上方に位置しているので、内管５８から流れるエッチング液１１が、過酸化水素水配管４２へ逆流することが抑制される。
【００３４】
合流配管５６は、外管６０の鉛直方向の下端に接続され、内管５８を流れるエッチング液１１と、外管６０を流れる補給用過酸化水素水と、が合流した合流液を、エッチング液管理槽１２へ搬送する機能を有している。合流配管５６は、例えば、その端部が外管６０に挿入されて接続される。合流配管５６と外管６０との接続方法には、上述したように溶接、接着による接合方法が用いられる。
【００３５】
再び、図１に戻り、合流配管５６の排出口６６は、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１に浸漬されることが好ましい。また、合流配管５６の排出口６６は、エッチング液配管２４の吸引口２８に近接して配置されることが好ましい。補給用過酸化水素水の補給時には、合流配管５６における排出口６６の近傍は、過酸化水素濃度が高くなりやすいので、吸引口２８から過酸化水素濃度の高いエッチング液１１を吸引して、エッチング液管理槽１２の他の所定位置に過酸化水素濃度の高いエッチング液１１を排出させて循環させることにより、より速くエッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１の過酸化水素濃度を、より均一にすることができるからである。
【００３６】
塩酸溶液補給部（図示せず）は、エッチング液管理槽１２に溜められるエッチング液１１に補給する補給用塩酸溶液を溜める塩酸溶液容器と、補給用塩酸溶液を搬送する塩酸溶液配管と、補給用塩酸溶液を計量する計量マスと開閉弁と、を有している。上述したように、エッチング過程においてエッチング液１１の塩酸濃度が低下するため、塩酸溶液補給部（図示せず）により塩酸溶液がエッチング液管理槽１２へ補給される。塩酸溶液補給部（図示せず）は、過酸化水素水補給部１８と同様な構成で構成されることが好ましい。なお、エッチング液１１に使用される塩酸溶液は、一般的に、過酸化水素水よりも比重が大きいので、過酸化水素水補給部１８のように２重管５４を用いずに塩酸溶液配管からエッチング液管理槽１２へ補給用塩酸溶液を補給してもよい。
【００３７】
制御部２０は、液送ポンプ２６、３４と、エッチング液分析器３６と、計量マス４４と、開閉弁５０と、流量調整バルブ５３と、を制御する機能を有している。図３は、エッチング液管理装置１０のブロック図である。
【００３８】
制御部２０は、液送ポンプ２６を制御することにより、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１の循環を制御することができる。制御部２０は、液送ポンプ３４を制御することにより、エッチング液分析器３６へ搬送されるエッチング液１１のサンプリングと、補給用過酸化水素水と合流させるエッチング液１１の供給を制御することができる。
【００３９】
制御部２０は、エッチング液分析器３６を制御することにより、サンプリングされたエッチング液１１に含まれる過酸化水素濃度、塩酸濃度、液比重等を所定時間間隔で測定させることができる。制御部２０は、補給用過酸化水素水用の計量マス４４及び開閉弁５０と、補給用塩酸溶液用の計量マス及び開閉弁と、を制御することにより、エッチング液分析器３６で分析された過酸化水素濃度と、塩酸濃度と、液比重等のデータに基づいて、補給用過酸化水素水の補給量と補給用塩酸溶液の補給量とを制御することができる。また、制御部２０は、流量調整バルブ５３を制御することにより、補給用過酸化水素水と合流させるエッチング液１１の流量を調整することができる。
【００４０】
制御部２０は、例えば、一般的なパーソナルコンピュータ等で構成される。制御部２０は、液送ポンプ２６、３４と、エッチング液分析器３６と、補給用過酸化水素水用の計量マス４４と開閉弁５０と、補給用塩酸溶液用の計量マスと開閉弁と、流量調整バルブ５３とを、記憶部７０に記憶された動作手順に従って動作させることができる。記憶部７０には、エッチング液分析器３６で測定されたエッチング液１１の過酸化水素濃度データ、塩酸濃度データ、液比重データ等が記憶される。また、記憶部７０には、エッチング液１１の過酸化水素濃度基準値、塩酸濃度基準値、液比重基準値等が記憶される。記憶部７０は、例えば、バードディスク、ＲＡＭまたはＲＯＭ等で構成される。
【００４１】
制御部２０は、入力部７２による入力により、液送ポンプ２６と、液送ポンプ３４と、エッチング液分析器３６と、計量マス４４と、開閉弁５０と、流量調整バルブ５３とにおける作動開始や作動停止を制御することができる。入力部７２は、例えば、キーボード等で構成される。制御部２０は、出力部７４により、液送ポンプ２６と、液送ポンプ３４と、エッチング液分析器３６と、計量マス４４と、開閉弁５０と、流量調整バルブ５３とにおける作動状況等を出力させることができる。出力部７４は、例えば、ディスプレイ等で構成される。
【００４２】
次に、エッチング液管理装置１０を用いたエッチング液１１の管理方法について説明する。
【００４３】
制御部２０により液送ポンプ２６を駆動させて、エッチング液配管２４の吸引口２８からエッチング液１１を吸引し、エッチング液配管２４の排出口３０からエッチング液１１を排出する。これにより、エッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１が循環する。
【００４４】
制御部２０により液送ポンプ３４を駆動させて、エッチング液配管３２の吸引口３８からサンプリングされたエッチング液１１を、エッチング液配管３２でエッチング液分析器３６へ搬送する。また、エッチング液配管３２の吸引口３８から吸引されたエッチング液１１は、エッチング配管で２重管５４の内管５８まで搬送され、更に、内管５８と合流配管５６とを流れてエッチング液管理槽１２へ搬送される。また、制御部２０は、流量調整バルブ５３を制御して、エッチング液配管５２で２重管５４の内管５８まで搬送されるエッチング液１１の流量を調整する。
【００４５】
制御部２０は、エッチング液分析器３６を制御して、サンプリングされたエッチング液１１の過酸化水素濃度と、塩酸濃度と、液比重とを所定の時間間隔で測定する。測定された過酸化水素濃度データと、塩酸濃度データと、液比重データとは、記憶部７０に記憶される。
【００４６】
制御部２０は、記憶部７０に記憶されたエッチング液１１の過酸化水素濃度基準値と塩酸濃度基準値と液比重基準値と、測定された過酸化水素濃度データと塩酸濃度データと液比重データと、を比較する。制御部２０は、測定された過酸化水素濃度データが過酸化水素濃度基準値より低い場合には、補給用過酸化水素水の補給量を算出する。また、制御部２０は、測定された塩酸濃度データが塩酸濃度基準値より低い場合には、補給用塩酸溶液の補給量を算出する。
【００４７】
制御部２０は、補給用過酸化水素水用の計量マス４４と開閉弁５０とを制御して、算出された補給量の補給用過酸化水素水をエッチング液管理槽１２へ補給する。補給用過酸化水素水は、過酸化水素水配管４２で２重管５４の外管６０まで搬送され、更に、外管６０と合流配管５６とを流れてエッチング液管理槽１２へ補給される。過酸化水素水配管４２で搬送される補給用過酸化水素水を外管６０に流す前には、２重管５４の内管５８には、予めエッチング液１１が流れているので、例えば、過酸化水素水配管４２が略水平に設けられている場合でも、過酸化水素水配管４２で搬送される補給用過酸化水素水が、エッチング液の流れにより吸引され、エッチング液管理槽１２へより速く補給用過酸化水素水を補給することができる。
【００４８】
また、外管６０を流れる補給用過酸化水素水は、内管５８を流れるエッチング液１１と合流し、合流液がエッチング液管理槽１２へ搬送されるため、補給用過酸化水素水がエッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１の表面付近に滞留することが抑制される。合流配管５６には、内管５８からエッチング液１１が流れているので、エッチング液１１の液流により、補給用過酸化水素水をエッチング液管理槽１２に溜められたエッチング液１１へ押し込むことができる。そのため、合流配管５６の中に補給用過酸化水素が残留することが抑制される。なお、２重管５４の内管５８には、常時、エッチング液１１を流しておくことが好ましい。
【００４９】
制御部２０は、補給用過酸化水素水のエッチング液管理槽１２への補給と同様にして、補給用塩酸溶液用の計量マス４４と開閉弁５０とを制御して、算出された補給量の補給用塩酸溶液がエッチング液管理槽１２へ補給される。
【００５０】
なお、上記構成におけるエッチング液管理装置１０は、塩化第二銅溶液と過酸化水素水とを含むエッチング液の液濃度を管理する場合だけでなく、ＦＰＣ製造装置の化学整面ラインや銅めっきライン等で使用される硫酸と過酸化水素水とを含むエッチング液を溜めた整面タンクのエッチング液管理にも適用することができる。
【００５１】
上記構成によれば、エッチング液管理装置は、エッチング液配管が鉛直方向の上端に接続され、エッチング液配管で搬送されるエッチング液が流れる内管と、内管が挿入され、過酸化水素水配管が外周面に接続され、過酸化水素水配管で搬送される補給用過酸化水素水が流れる外管とを有する２重管と、外管の鉛直方向の下端に接続され、内管を流れるエッチング液と、外管を流れる補給用過酸化水素水とが合流した合流液をエッチング液管理槽へ搬送する合流配管と、を備えているので、過酸化水素水の補給時に、エッチング液管理槽に溜められたエッチング液の表面付近に過酸化水素水が滞留することが抑制されるので、エッチング液管理槽に溜められたエッチング液の過酸化水素濃度をより一定にすることができる。これにより、エッチング液のエッチングレートを略一定にすることができる。
【００５２】
上記構成によれば、補給用過酸化水素水がエッチング液と合流してエッチング液管理槽へ搬送されるので、補給用過酸化水素水はエッチング液の液流によりエッチング液管理槽に溜められたエッチング液中に押し込まれる。それにより、合流配管中に補給用過酸化水素水が残留することが抑制される。
【００５３】
上記構成によれば、エッチング液配管で搬送されるエッチング液を内管に流した後に、過酸化水素水配管で搬送される補給用過酸化水素水を外管に流すことにより、過酸化水素配管で搬送される補給用過酸化水素水をエッチング液の流れにより吸引することができるので、より速く補給用過酸化水素水をエッチング液管理槽に補給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の形態において、エッチング液管理装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態において、２重管の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態において、エッチング液管理装置のブロック図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  エッチング液管理装置
１１  エッチング液
１２  エッチング液管理槽
１４  エッチング液循環部
１６  エッチング液サンプリング部
１８  過酸化水素水補給部
２０  制御部
２２  透明カバー
２３  仕切板
２４、３２、５２  エッチング液配管
２６、３４  液送ポンプ
２８、３８  吸引口
３０、４９、６６  排出口
３６  エッチング液分析器
４０  過酸化水素水容器
４２  過酸化水素水配管
４４  計量マス
４５  定量ポンプ
４６  背圧弁
４７  流入口
４８  流出口
５０  開閉弁
５３  流量調整バルブ
５４  ２重管
５６  合流配管
５８  内管
６０  外管
６２  接続用配管
６３  シール材
６４  筒部
７０  記憶部
７２  入力部
７４  出力部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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