(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
作製途中および作製後の表示装置用パネル部材の欠陥部の確認、修正処理を、表示装置用パネル部材の作製ラインとは独立して行う修正システム（装置）であって、前記作製ラインとは別に、前記表示装置用パネル部材を収納する１以上の自動倉庫と、欠陥検出部からの前記表示装置用パネル部材の欠陥情報を保管する１以上の欠陥情報保管部と、前記欠陥検出部から独立して、前記各欠陥情報保管部の欠陥情報にもとづき前記表示装置用パネル部材の欠陥部を確認、修正する１以上の確認修正部と、前記各自動倉庫、前記各確認修正部を、相互に関連付けて搬送する搬送部とを備えたものであり、前記１以上の欠陥情報保管部の欠陥情報にもとづいて、確認修正処理の対象となる表示装置用パネル部材を自動倉庫に収納し、収納されている確認修正処理の対象となる表示装置用パネル部材を自動倉庫から搬出し、各確認修正部の所望の１以上へ順に必要に応じて搬送し、各確認修正部において、欠陥部の確認、修正処理をそれぞれ行うもので、且つ、各確認修正部において、それぞれの処理を終えた後に、必要に応じて、処理済の表示装置用パネル部材を、所望の自動倉庫へと搬入し、その所望の収納位置において再び収納するものであることを特徴とする修正システム。
【請求項２】
請求項１に記載の修正システムであって、前記表示装置用パネル部材の欠陥部を検出し、該表示装置用パネル部材の欠陥情報を前記１以上の欠陥情報保管部へ送る１以上の欠陥検出部を、前記表示装置用パネル部材の作製ラインとは分離して備え、前記各自動倉庫、前記各欠陥検出部を、相互に関連付けて搬送する搬送部とを備えたものであることを特徴とする修正システム。
【請求項３】
請求項１ないし２のいずれか１項に記載の修正システムであって、前記各自動倉庫には、多段に棚が並んでおり、前記表示装置用パネル部材を複数収納するカセットを、倉庫の収納単位として、各段の棚に収納するもので、各自動動倉庫には、出庫口と入庫口があり、出庫口に前記確認、修正処理の対象となる表示装置用パネル部材の入ったカセットが搬送され、出庫口に接続された搬送ラインへ、該対象とする表示装置用パネル部材基板がカセットから１枚ずつ搬出され、また、入庫口に収納余裕のある収納用カセットが搬送され、収納用の表示装置用パネル部材を収納し、所定の収納を終えた後に、所定の棚段の所定の位置に該収納用カセットは配置されるものであることを特徴とする修正システム。
【請求項４】
請求項３に記載の修正システムであって、前記各自動倉庫内の搬送部は、前記カセットを所定の棚の所定の位置、入庫口、出庫口の各位置において、カセットを出し入れするハンドを有し、所定の敷設されたレール上を搬送する、走行クレーンを備えたものであることを特徴とする修正システム。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の修正システムであって、前記欠陥検出部の少なくとも１つは、前記表示装置用パネル部材の検査領域を撮影する撮影部と、該撮影部により撮影されたデジタル画像を画像処理して、欠陥部を検出する画像処理部とを、備えている欠陥検出装置を有することを特徴とする修正システム。
【請求項６】
請求項５に記載の修正システムであって、前記撮影部は、前記表示装置用パネル部材を、搬送しながら検査領域の撮影を行うもので、欠陥検出のための撮影を行う際に前記表示装置用パネル部材を搬送する搬送手段と、該搬送手段により搬送中の前記表示装置用パネル部材の反射画像およびまたは透過画像を撮影するラインセンサからなる撮影手段とを備えていることを特徴とする修正システム。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の検査、修正システムであって、前記確認修正部の少なくとも１つは、前記各確認、修正処理の対象とする表示装置用パネル部材を載置するステージと、前記ステージと相対的にＸＹ移動して、観察用画像を得るための顕微鏡と、該顕微鏡による観察用画像を表示するためのカメラ、モニターを備えた表示手段と、前記欠陥情報保管部の欠陥情報にもとづき、前記表示装置に表示された欠陥部の観察用画像に基づき所定の欠陥修正を行う、１以上の欠陥修正手段とを有する、欠陥修正装置を備えていることを特徴とする修正システム。
【請求項８】
請求項７に記載の修正システムであって、前記各確認、修正処理の対象となる表示装置用パネル部材が、ベース基板の一面側にカラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成用基板もしくはベース基板の一面側にカラーフィルタを形成したカラーフィルタ形成基板であって、前記１以上の欠陥修正手段として、前記表示装置に表示された欠陥部の観察用画像にもとづき、着色層の黒欠陥を除去するためのレーザ修正装置、およびまたは、着色層の白欠陥部をインクで埋めて修正を行うためのインク塗布修正装置を備えていることを特徴とする修正システム。
【請求項９】
請求項７ないし８のいずれか１項に記載の修正システムであって、前記確認修正部の少なくとも１つは、前記ステージ上に載置された表示装置用パネル部材の突起欠陥の高さを測定するための高さ測定装置と、研磨により突起欠陥を規格内の高さに修正するための研磨装置とを備えたものであることを特徴とする修正システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作製途中および作製後の表示装置用パネル部材の欠陥部の確認、修正処理を、表示装置用パネル部材の作製ラインとは独立して行う修正システム（装置）に関し、特に、ベース基板の一面側にカラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成用基板もしくはベース基板の一面側にカラーフィルタを形成したカラーフィルタ形成基板の、修正システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、フラットディスプレイとして、カラーの液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）が盛んに使用されている。
カラーの液晶ディスプレイは、構成画素部を３原色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）とし、液晶の電気的スイッチングにより３原色の各光の透過を制御してカラー表示が行われるもので、３原色の制御を行うためにアクティブマトリックス方式および単純マトリックス方式とがあるが、いずれの方式においてもカラーフィルタ（以下ＣＦとも言う）が用いられている。
このカラーフィルタは、例えば、透明基板上にＲ，Ｇ，Ｂの各着色パターンからなる着色層、各画素の境界部分に位置するブラックマトリックス（ＢＭとも言う）、保護層および透明電極層からなるカラーフィルタ層を備えた、カラーフィルタ形成基板の形態で、液晶ディスプレイに供されている。
このようなカラーフィルタの作製方法としては、染色用基材をガラス基板上に塗布し、フォトマスクを介して露光・現像して形成したパターンを染色する染色法、感光性レジスト層内に予め着色顔料を分散させておき、フォトマスクを介して露光、現像する顔料分散法や、印刷インキで各色を印刷する印刷法、基板上にパターンニングされた透明電極を使用して電着により各色の着色層を形成する電着法等が知られているが、現在は、顔料分散法が主流となっている。
主流である顔料分散法により作製されるカラーフィルタの作製においては、製造コストの低減の要求やディスプレイの大サイズ化要求等から製造段階での多面付化が進み、処理基板の大型化が進んでいる。
顔料分散法により着色層が形成されたガラス基板は、更に、該着色層上に、画素毎に液晶をスイッチング素子としてオン−オフ制御するための透明導電性のＩＴＯ膜（錫をドープしたインジウム酸化物）からなる制御用電極を設ける。
ここでは、ベースとなるガラス基板の一面側に、ＩＴＯ膜が形成された場合も含み、着色層が形成された基板を、カラーフィルタ形成基板あるいは着色層形成基板と言う。
生産性向上の面、低コスト化の面等から、面付け生産が行われているが、これに用いられる透明なガラス基板の大型化の要求は強く、最近では、第６世代サイズ（１５００ｍｍ×１８５０ｍｍサイズ、単にＧ６サイズとも言う）、第７世代サイズ（１８７０ｍｍ×２２００ｍｍサイズ、単にＧ７サイズとも言う）の大サイズのガラス基板での量産化も現実のものとなってきている。
【０００３】
このような、顔料分散法により作製されるカラーフィルタ形成基板の作製においては、その作製途中あるいは作製後に、各着色層やＩＴＯ層等に対応して、種々の欠陥の検出と、欠陥に対応した修正を行う。
例えば、各着色層については、黒欠陥、白欠陥、突起高さ不良を検出し、それぞれに対して、レーザ修正、インク塗布修正、研磨が行われる。
このため、このようなカラーフィルタ形成基板の作製においては、
（１）欠陥を検出のための装置、欠陥を修正のための装置は種類が多く、それらの管理が大変（手間がかかる）である。
（２）欠陥を検出のための装置、欠陥を修正のための装置の種類が多く、各々の装置に対する負荷が、おりおりの製造品質によって変化し、バランスをとるのが大変である。
（３）各製造ラインに接続される欠陥を検出のための装置、欠陥を修正のための装置の数には制限があり、各々の装置に対する負荷のバランスを調整することができない。
等の問題があった。
本願出願人は、先に、例えば、突起高さ不良の検出（高さ検査）、その不良箇所の確認、突起の研磨、インク塗布を一体化した装置を、欠陥の検出、確認、修正を行う１つのラインとして構築し、上記（１）、（２）に対応してきたが、装置台数を限定して設けた製造の専用ラインであることに変わりはなく、（３）の問題は残っていた。
【０００４】
尚、例えば、カラーフィルタ形成用基板としては、図７にその断面を示すような、透明基板７１上に、ブラックマトリクス７２と各着色層７３ａ、７３ｂ、７３ｃを形成し、オーバーコート層７４で覆い平坦化した表面に透明電極７５を配した構造のものが挙げられ、このような、カラーフィルタ形成基板（図７の７０）を用いた液晶表示素子としては、例えば、図８に示すような、カラーフィルタ形成基板７０と多数の画素電極８２を備えるＴＦＴ側基板８０を対向させ、この間に液晶８４を封入した構造のものが挙げられる。
このようなカラーフィルタ形成基板を作製するための、ブラックマトリクス、各着色層のパターンニング方法は、特開２０００−１９９９６７号公報（特許文献１）、特願２００３−０３６０６８号公報（特許文献２）等に記載されている。
【特許文献１】特開２０００−１９９９６７号公報
【特許文献２】特願２００３−０３６０６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように、近年、カラーの液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）が盛んに使用されており、これに伴い、顔料分散法により作製される表示装置用のパネル部材であるカラーフィルタ形成基板の作製が盛んに行われており、その作製途中あるいは作製後に、作製途中のカラーフィルタ形成用基板および作製後のカラーフィルタ形成基板の、欠陥検出と検出された欠陥の修正とが行われているが、従来は、欠陥を検出するための装置、欠陥を修正するための装置を、カラーフィルタ形成基板の作製ライン毎に、該作製ラインに付随して設ける形態を採っていたため、欠陥検出の装置、欠陥修正の装置の数には制限があり、生産量の多少という負荷の違いによって各装置の使用配分を容易に変えられなかった。
例えば、各層形成ラインに検出部をそれぞれ組み込み、カラーフィルタ形成基板の作製ラインに接続して、単一の機能を有する異なる確認修正部を複数、機能毎に一貫して並べた一貫修正ラインを、カラーフィルタ形成基板の作製ライン毎に、配していた。
特に、この形態の場合、カラーフィルタ形成基板の作製ラインに付随して設けられる欠陥検出のための装置、欠陥を修正のための装置の数には制限があり、各々の装置に対する負荷のバランスを調整することができない、と言う問題を解決できる、検査、修正システムが求められていた。
本発明はこれに対応するもので、特に、顔料分散法により作製される表示装置用のパネル部材であるカラーフィルタ形成基板の作製において、従来の、カラーフィルタ形成基板の作製ライン毎に、カラーフィルタ形成基板の作製ラインに付随して設けられる欠陥検出のための装置、欠陥修正のための装置の数には制限があり、各々の装置に対する負荷のバランスを容易に調整することができない、と言う問題を解決できる、修正システムを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の修正システムは、作製途中および作製後の表示装置用パネル部材の欠陥部の確認、修正処理を、表示装置用パネル部材の作製ラインとは独立して行う修正システム（装置）であって、前記作製ラインとは別に、前記表示装置用パネル部材を収納する１以上の自動倉庫と、欠陥検出部からの前記表示装置用パネル部材の欠陥情報を保管する１以上の欠陥情報保管部と、前記欠陥検出部から独立して、前記各欠陥情報保管部の欠陥情報にもとづき前記表示装置用パネル部材の欠陥部を確認、修正する１以上の確認修正部と、前記各自動倉庫、前記各確認修正部を、相互に関連付けて搬送する搬送部とを備えたものであり、前記１以上の欠陥情報保管部の欠陥情報にもとづいて、確認修正処理の対象となる表示装置用パネル部材を自動倉庫に収納し、収納されている確認修正処理の対象となる表示装置用パネル部材を自動倉庫から搬出し、各確認修正部の所望の１以上へ順に必要に応じて搬送し、各確認修正部において、欠陥部の確認、修正処理をそれぞれ行うもので、且つ、各確認修正部において、それぞれの処理を終えた後に、必要に応じて、処理済の表示装置用パネル部材を、所望の自動倉庫へと搬入し、その所望の収納位置において再び収納するものであることを特徴とするものである。
そして、上記の修正システムであって、前記表示装置用パネル部材の欠陥部を検出し、該表示装置用パネル部材の欠陥情報を前記１以上の欠陥情報保管部へ送る１以上の欠陥検出部を、前記表示装置用パネル部材の作製ラインとは分離して備え、前記各自動倉庫、前記各欠陥検出部を、相互に関連付けて搬送する搬送部とを備えたものであることを特徴とするものである。
そして、上記いずれかの修正システムであって、前記各自動倉庫には、多段に棚が並んでおり、前記表示装置用パネル部材を複数収納するカセットを、倉庫の収納単位として、各段の棚に収納するもので、各自動動倉庫には、出庫口と入庫口があり、出庫口に前記確認、修正処理の対象となる表示装置用パネル部材の入ったカセットが搬送され、出庫口に接続された搬送ラインへ、該対象とする表示装置用パネル部材基板がカセットから１枚ずつ搬出され、また、入庫口に収納余裕のある収納用カセットが搬送され、収納用の表示装置用パネル部材を収納し、所定の収納を終えた後に、所定の棚段の所定の位置に該収納用カセットは配置されるものであることを特徴とするものであり、前記各自動倉庫内の搬送部は、前記カセットを所定の棚の所定の位置、入庫口、出庫口の各位置において、カセットを出し入れするハンドを有し、所定の敷設されたレール上を搬送する、走行クレーンを備えたものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの修正システムであって、前記欠陥検出部の少なくとも１つは、前記表示装置用パネル部材の検査領域を撮影する撮影部と、該撮影部により撮影されたデジタル画像を画像処理して、欠陥部を検出する画像処理部とを、備えている欠陥検出装置を有することを特徴とするものであり、前記撮影部は、前記表示装置用パネル部材を、搬送しながら検査領域の撮影を行うもので、欠陥検出のための撮影を行う際に前記表示装置用パネル部材を搬送する搬送手段と、該搬送手段により搬送中の前記表示装置用パネル部材の反射画像およびまたは透過画像を撮影するラインセンサからなる撮影手段とを備えていることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの検査、修正システムであって、前記確認修正部の少なくとも１つは、前記各確認、修正処理の対象とする表示装置用パネル部材を載置するステージと、前記ステージと相対的にＸＹ移動して、観察用画像を得るための顕微鏡と、該顕微鏡による観察用画像を表示するためのカメラ、モニターを備えた表示手段と、前記欠陥情報保管部の欠陥情報にもとづき、前記表示装置に表示された欠陥部の観察用画像に基づき所定の欠陥修正を行う、１以上の欠陥修正手段とを有する、欠陥修正装置を備えていることを特徴とするものであり、前記各確認、修正処理の対象となる表示装置用パネル部材が、ベース基板の一面側にカラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成用基板もしくはベース基板の一面側にカラーフィルタを形成したカラーフィルタ形成基板であって、前記１以上の欠陥修正手段として、前記表示装置に表示された欠陥部の観察用画像にもとづき、着色層の黒欠陥を除去するためのレーザ修正装置、およびまたは、着色層の白欠陥部をインクで埋めて修正を行うためのインク塗布修正装置を備えていることを特徴とするものである。
また、請求項７ないし８のいずれか１項に記載の修正システムであって、前記確認修正部の少なくとも１つは、前記ステージ上に載置された表示装置用パネル部材の突起欠陥の高さを測定するための高さ測定装置と、研磨により突起欠陥を規格内の高さに修正するための研磨装置とを備えたものであることを特徴とするものである。
【０００７】
尚、ここで、「表示装置用パネル部材の作製ラインとは独立して行う、修正システム」とは、表示装置用パネル部材の作製ラインとは独立して、修正を専門に行うシステムを意味する。
また、自動倉庫とは、人手でなく、表示装置用のパネル部材の収納、出し入れを自動で行うことができる倉庫を意味し、該自動倉庫内に、表示装置用のパネル部材を自動で搬送する搬送部を有することを意味する。
尚、欠陥部とは、ここでは、欠陥検出部にて欠陥部として検出されるもので、欠陥候補をも含めたものである。
【０００８】
（作用）
本発明の修正システムは、このような構成にすることにより、表示装置用パネル部材の作製ラインとは別に、独立して、欠陥部の修正を行うことができる修正システムの提供を可能としている。
特に、顔料分散法により作製される表示装置用のパネル部材であるカラーフィルタ形成基板の作製において、従来の、カラーフィルタ形成基板の作製ライン毎に、カラーフィルタ形成基板の作製ラインに付随して設けられる欠陥を検出のための装置、欠陥を修正のための装置の数には制限があり、各々の装置に対する負荷のバランスを容易に調整することができない、と言う従来の問題を解決できる、修正システムの提供を可能としている。
具体的には、作製ラインとは別に、前記表示装置用パネル部材を収納する１以上の自動倉庫と、欠陥検出部からの前記表示装置用パネル部材の欠陥情報を保管する１以上の欠陥情報保管部と、前記欠陥検出部から独立して、前記各欠陥情報保管部の欠陥情報にもとづき前記表示装置用パネル部材の欠陥部を確認、修正する１以上の確認修正部と、前記各自動倉庫、前記各確認修正部を、相互に関連付けて搬送する搬送部とを備えたものであり、前記１以上の欠陥情報保管部の欠陥情報にもとづいて、確認修正処理の対象となる表示装置用パネル部材を自動倉庫に収納し、収納されている確認修正処理の対象となる表示装置用パネル部材を自動倉庫から搬出し、各確認修正部の所望の１以上へ順に必要に応じて搬送し、各確認修正部において、欠陥部の確認、修正処理をそれぞれ行うもので、且つ、各確認修正部において、それぞれの処理を終えた後に、必要に応じて、処理済の表示装置用パネル部材を、所望の自動倉庫へと搬入し、その所望の収納位置において再び収納するものであることにより、これを達成している。
詳しくは、本発明の修正システムは、表示装置用パネル部材の作製ラインに組み込まれたものではなく、作製ラインとは独立して、作製途中ないし作製後の表示装置用パネル部材の欠陥部の確認、修正処理を行うもので、表示装置用パネル部材の作製のための、種々のラインに汎用的に対応できる。
そして、欠陥部の確認、修正機能を、それぞれ、作製ラインと切り離して確認修正部としてまとめることにより、表示装置用パネル部材に対する余分なハンドリングを排除でき、欠陥部を確認、修正する装置の台数を低減でき、コストダウンを実現可能としている。  そして、１以上の自動倉庫、１以上の欠陥情報保管部と、１以上の確認修正部を有し、各自動倉庫、各確認修正部を、相互に関連付けて搬送する搬送部を有することにより、欠陥部を確認、修正のための装置の各装置への負荷配分に応じて、自動倉庫からの、各確認、修正処理対象の表示装置用パネル部材の投入量を、調整できる。
勿論、表示装置用パネル部材は、確認修正部での確認、修正結果によって、さらに、別の確認修正部へ搬送される場合もある。
ここで、前記表示装置用パネル部材の欠陥部を検出し、該表示装置用パネル部材の欠陥情報を前記１以上の欠陥情報保管部へ送る１以上の欠陥検出部を、前記表示装置用パネル部材の作製ラインとは分離して備え、前記各自動倉庫、前記各欠陥検出部を、相互に関連付けて搬送する搬送部とを備えたものである、請求項２の発明の形態も挙げられる。
この場合は、汎用の作製ラインに効率的に対応できる。
また、各自動倉庫には、多段に棚が並んでおり、前記表示装置用パネル部材を複数収納するカセットを、倉庫の収納単位として、各段の棚に収納するもので、各自動動倉庫には、出庫口と入庫口があり、出庫口に前記各確認、修正処理の対象となる表示装置用パネル部材の入ったカセットが搬送され、出庫口に接続された搬送ラインへ、該対象とする表示装置用パネル部材基板がカセットから１枚ずつ搬出され、また、入庫口に収納余裕のある収納用カセットが搬送され、収納用の表示装置用パネル部材を収納し、所定の収納を終えた後に、所定の棚段の所定の位置に該収納用カセットは配置されるものである、請求項３の発明の形態とすることにより、表示装置用パネル部材の収納と出し入れとを、実用レベルで、容易に行えるものとしている。
各自動倉庫内の搬送部としては、カセットを所定の棚の所定の位置、入庫口、出庫口の各位置において、カセットを出し入れするハンドを有し、所定の敷設されたレール上を搬送する、走行クレーンを備えたものである、請求項４の形態が挙げられる。
更に、具体的には、検出部の少なくとも１つは、各処理の対象となる表示装置用パネル部材の検査領域を撮影する撮影部と、該撮影部により撮影されたデジタル画像を画像処理して、欠陥部を検出する画像処理部とを、備えている欠陥検出装置を有する、請求項５の発明の形態が挙げられる。
これにより、表示装置用パネル部材の欠陥部の検出を自動で簡単に行えるものとし、また、検出結果に対応した欠陥部の情報を、確認修正部にて容易に利用できるものとしている。
この場合、特に、撮影部は、前記各確認、修正処理の対象となる表示装置用パネル部材を、搬送しながら検査領域の撮影を行うもので、欠陥検出のための撮影を行う際に前記表示装置用パネル部材を搬送する搬送手段と、該搬送手段により搬送中の前記表示装置用パネル部材の反射画像およびまたは透過画像を撮影するラインセンサからなる撮影手段とを備えている、請求項６の発明の形態とすることにより、大型基板にも対応できる自動検出を容易に可能とするものである。
そして、前記各確認、修正処理の対象とする表示装置用パネル部材を載置するステージと、前記ステージと相対的にＸＹ移動して、観察用画像を得るための顕微鏡と、該顕微鏡による観察用画像を表示するためのカメラ、モニターを備えた表示手段と、前記欠陥情報保管部の欠陥情報にもとづき、前記表示装置に表示された欠陥部の観察用画像に基づき所定の欠陥修正を行う、１以上の欠陥修正手段とを有する、欠陥修正装置を備えている、請求項７の発明の形態を挙げることができる。
このような表示手段を備えていることにより、適宜拡大して、検出部で検出された欠陥部を目視確認することができる。
尚、確認修正部の装置として、必要に応じて、欠陥部の大きさを測定する機能を有する装置を配しても良い。
特に、前記各確認、修正処理の対象となる表示装置用パネル部材が、ベース基板の一面側にカラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成用基板もしくはベース基板の一面側にカラーフィルタを形成したカラーフィルタ形成基板である場合には、前記１以上の欠陥修正手段として、前記表示装置に表示された欠陥部の観察用画像にもとづき、着色層の黒欠陥を除去するためのレーザ修正装置、およびまたは、着色層の白欠陥部をインクで埋めて修正を行うためのインク塗布修正装置を備えている、請求項８の発明の形態が挙げられる。
あるいは、前記確認修正部の少なくとも１つは、前記ステージ上に載置された突起欠陥の高さを測定するための高さ測定装置と、研磨により突起欠陥を規格内の高さに修正するための研磨装置とを備えたものである、請求項９の発明の形態が挙げられる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、上記のように、表示装置用パネル部材の作製ラインとは別に、独立して、欠陥部の確認、修正を行うことができる修正システムの提供を可能とした。
これにより、表示装置用のパネル部材の欠陥部の確認、修正を、量産レベルで、実用レベルで対応できるものとした。
特に、顔料分散法により作製される表示装置用のパネル部材であるカラーフィルタ形成基板の作製において、従来の、カラーフィルタ形成基板の作製ライン毎に、カラーフィルタ形成基板の作製ラインに付随して設けられる欠陥を検出するための欠陥検出装置、欠陥を修正のための欠陥修正装置の数には制限があり、各々の装置に対する負荷のバランスを容易に調整することができない、と言う従来の問題を解決できる、修正システムの提供を可能とした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１は本発明の修正システムの実施の形態の１例の概略機能構成を示した構成図で、図２は搬送部の１例と確認修正部の１配置例を示した上面図で、図３（ａ）はカラーフィルタ形成用基板の作製処理の１例のフローを示した処理フロー図で、図３（ｂ）は図３（ａ）に示す処理に対応する、処理される表示装置用パネル部材の流れをその位置で示した図で、図４（ａ）はカラーフィルタ形成用基板の作製処理の別の１例のフローを示した処理フロー図で、図４（ｂ）は図４（ａ）に示す処理に対応する、処理される表示装置用パネル部材の流れをその位置で示した図で、図５（ａ）はカラーフィルタ形成用基板の作製処理の更に別の１例のフローを示した処理フロー図で、図５（ｂ）は図５（ａ）に示す処理に対応する、処理される表示装置用パネル部材の流れをその位置で示した図で、図６は本発明の修正システムの実施の形態の別の１例の概略機能構成を示した構成図である。
尚、図１の各検出部、各確認修正部と、欠陥情報保管部とを結ぶ細い実線は情報の伝送路である。
また、図１、図６においては、オーバーコート層形成ラインは省略して示している。
また、図１、図６において、矢印は基板の移動方向を示しており、図２において、点線の両矢印は搬送用ロボットの移動方向を示し、実線の両矢印はハンド部の回転方向を示し、実線の片矢印は基板の移動方向を示している。
また、図１の各検出部と各確認修正部とを結ぶ細い実線は情報の伝送路である。
また、図３のＳ１１〜Ｓ１８、図４のＳ２１〜Ｓ３０、図５のＳ３１〜Ｓ３７は、処理ステップを示す。
図１〜図６中、１００は修正システム、１１０は自動倉庫、１１１は入庫口、１１１Ａはアンローダ、１１２は出庫口、１１２Ａはローダ、１２０は検出部群、１２１〜１２５は欠陥検出部、１３０は確認修正部群、１３１〜１３５は確認修正部、１４０、１４５、は搬送路、１５０は欠陥情報保管部、１６１はＢＭ層形成ライン、１６２は赤色着色層形成ライン、１６３は緑色着色層形成ライン、１６４は青色着色層形成ライン、１６５はＩＴＯ層形成ライン、２３１〜２３４は確認修正装置、２４０は搬送用ロボット、２４１は回転部、２４２はハンド部、２４５は搬送レール、２５１〜２５３はコンベアである。
【００１１】
はじめに、本発明の修正システムの実施の形態の１例を図１に基づいて説明する。
本例の修正システム１００は、ベースとなるガラス基板の一面に、ブラックマトリクス（以下ＢＭ層とも言う）、赤色、緑色、青色の各色の着色層を形成し、更にこれらの着色層の上側にＩＴＯ層（ＩＴＯ；錫をドープしたインジウム酸化物）からなる電極層を配する、図７に示すような断面を有するカラーフィルタ形成用基板を、表示装置用パネル部材製品として製造する際に、その作製途中および作製後の表示装置用パネル部材の検査処理、修正処理を、カラーフィルタ形成用基板の作製ラインとは独立して行う、修正システム（装置）である。
尚、図１では、オーバーコート層形成ラインは省略して示しており、以下の説明においても、便宜上、オーバーコート層形成の工程は省いて説明を行う。
そして、１つの自動倉庫１１０と、５つの各層形成ライン１６１〜１６５各々に組み込まれた５つの欠陥検出部１２１〜１２５により検出された表示装置用パネル部材の欠陥情報を保管する１つの欠陥情報保管部１５０と、５つの確認修正部１３１〜１３５とを備え、更に、これらを相互に関連付けて搬送路１４０上を、対象とする表示装置用パネル部材を搬送させる搬送部（図２参照）を備えている。
また、５つの各層形成ライン１６１〜１６５と自動倉庫１１０とを相互に関連付けて搬送路１４５上を、対象とする表示装置用パネル部材を搬送させる搬送部（図２参照）を備えている。
自動倉庫１１０は、入庫口１１１を各層形成ライン１６１〜１６５側に、出庫口１１２を確認修正部１３１〜１３５側に有するものである。
ここでは、異なる製造側の各層形成ライン１６１〜１６５から、それぞれ、検査、修正の各処理の対象となる作製途中あるいは作製後の表示装置用パネル部材が、搬送路１４５を経て、入庫口１１１に搬送されてきて、カセットごとの形態で自動倉庫１１０に収納される。
そして、本例の修正システム１００は、前記確認、修正処理の対象となる表示装置用パネル部材を、収納されている自動倉庫１１０の出庫口１１２から搬出し、各確認修正部１３１〜１３５の所望の１以上へ順に必要に応じて搬送し、各部において、それぞれの欠陥の確認と修正の処理を行うもので、且つ、各部でそれぞれの処理を終えた後に、必要に応じて、処理済の表示装置用パネル部材を、自動倉庫１１０の入庫口１１１から搬入し、その所望の収納位置において再び収納するものである。
本例では、自動倉庫１１０は、各層形成ライン１６１〜１６５毎に対応して入庫口１１１、出庫口１１２を、それぞれ１つづつ設けており、また、各確認修正部１３１〜１３５毎に対応して入庫口１１１、出庫口１１２を、それぞれ１つづつ設けている。
ここでは、確認、修正処理が済んだ表示装置用パネル部材は、その確認修正部に対応した入庫口１１１を経て自動倉庫１１０へと搬入され、自動倉庫１１０から次の層形成ラインに対応した出庫口１１２を経て搬出され、次の層形成ラインへ投入される。
また、本例では、各層形成ライン１６１〜１６５内に組み込んだ形態で、それぞれ、対応する検出部１２１〜１２５を設けている。
【００１２】
本例における自動倉庫１１０には、多段に棚（図示していない）が並んでおり、前記表示装置用パネル部材を複数収納するカセット（図示していない）を、倉庫の収納単位として、各段の棚に収納するもので、自動動倉庫１１０には、入庫口１１１と出庫口１１２が各層形成要ラインに対応して、また、各確認修正部に対応して、それぞれ設けられている。
そして、各確認修正部側の出庫口１１２に、検査、修正各処理の対象となる表示装置用パネル部材の入ったカセットが搬送され、出庫口１１２に接続された搬送路１４０へ、該対象とする表示装置用パネル部材基板がカセットから１枚ずつ搬出される。
また、入庫口１１１に、収納余裕のある収納用カセット（図示していない）が搬送され、収納用の表示装置用パネル部材を収納し、所定の収納を終えた後に、所定の棚段の所定の位置に該収納用カセットは配置されるものである。
尚、カセットとしては、例えば、各表示装置用パネル部材を、水平にして出し入れし、水平にして搬送、保管する形態のもので、且つ、各表示装置用パネル部材の保管箇所が互いに仕切られている形態のものが適用できるが、これに限定はされない。
カセットに扉を設ける形態も挙げられる。
自動倉庫１１０内の搬送部は、ここでは図示していないが、前記カセットを所定の棚の所定の位置、入庫口１１１、出庫口１１２の各位置において、カセットを出し入れするハンドを有し、所定の敷設されたレール上を搬送する、走行クレーンを備えたものである。      
【００１３】
本例では、出庫口１１２から搬出された各処理の対象となる表示装置用パネル部材は、図２に示すように、各確認修正部１３１〜１３５へと搬送される。
コンベア２５２、２５３にて搬送され、搬送レール２４５上を移動する搬送用ロボット２４０のハンド２４２へ渡される。
搬送用ロボット２４０は、伸縮可能なハンド部２４２とそれを回転移動させる回転部２４１を備え、搬送レール２４５上を搬送される。
所定の確認修正処理を終えた表示装置用パネル部材は、搬送用ロボット２４０からコンベア２５１を経て入庫口１１１を通り、搬入される。
本例では、図１に示すように、各確認修正部１３１〜１３５を直線状に並べ、これに合わせて搬送路１４０を設けているが、配置の仕方はこれに限定されない。
図２の場合、所望の確認修正装置２３１〜２３４への、搬送ロボット２４０による、対象となる表示装置用パネル部材（図示していないがハンド上に載置して搬送される）の搬送は、搬送レール２４５による搬送と、回転部２４１による搬送ハンド２４２の回転と、搬送ハンド２４２の伸縮等により行える。
【００１４】
本例における欠陥検出部１２１〜１２５は、それぞれ、前記各処理の対象となる表示装置用パネル部材を、搬送しながら欠陥検出のための検査領域の撮影を行うもので、欠陥検出を行う際に前記各処理の対象となる表示装置用パネル部材を搬送する搬送手段と、該搬送手段により搬送中の前記各処理の対象となる表示装置用パネル部材の反射画像およびまたは透過画像を撮影するラインセンサからなる撮影手段とを有する撮影部と、撮影されたデジタル画像を画像処理して、欠陥部を検出する画像処理部とを、備えている欠陥検出装置を有する。
各欠陥検出部により検出された欠陥部の情報は、欠陥情報を保存するための欠陥情報保管部１５０へと送られ、保管される。
画像処理としては、公知の欠陥検出処理が適用できる。
通常、撮影されたデジタル画像に対し、必要に応じてノイズやドリフト成分を除去する処理を行い、２値化処理、微分処理、スライス処理等を適宜施して欠陥部を検出する。
【００１５】
ここでは、それぞれ、１６１はＢＭ層形成ライン、１６２は赤色着色層形成ライン、１６３は緑色着色層形成ライン、１６４は青色着色層形成ライン、１６５はＩＴＯ層形成ラインである。
確認修正部１３１は、ここでは、余分な黒欠陥部を照射して除去するレーザ照射装置と突起部を研磨する研磨装置とを一体化した装置、白欠陥をインクを塗布して修正するインク塗布装置等を備えたもので、形成されたＢＭ層を修正することができるものである。
確認修正部１３２〜１３４は、ここでは、突起部を研磨する研磨装置、余分な黒欠陥を照射して除去するレーザ照射装置、白欠陥をインクを塗布して修正するインク塗布装置等を備えたもので、それぞれ、形成された各色の着色層を修正することができるものである。
確認修正部１３５は、ここでは、突起部を研磨する研磨装置を備えたもので、形成されたＩＴＯ層を修正することができるものである。
尚、各確認修正部は、そこに備えた確認修正装置により、その確認修正機能を変えることができ、多くの確認修正機能を備えることにより、複数の層形成ラインの確認修正に対応できるようにできる。
【００１６】
本例の修正システム１００における、修正の処理フローの第１の例を、図３（ａ）にもとづいて、簡単に説明する。
尚、先にも述べたが、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示す処理に対応する、処理される表示装置用パネル部材の流れをその位置で示した図である。
第１の例は、ＢＭ層形成、ＢＭ層の欠陥部を確認修正した後、赤色着色層、緑色着色層、青色着色層の各着色層を形成した後に、まとめてこれらの各着色層の確認、修正を行うものである。
先ず、ＢＭ形成ライン１６１にて、ベースとなるガラス基板の一面に顔料分散法により、黒色の着色層からなるＢＭ層を形成する。（Ｓ１１）
ＢＭ層が形成された基板は、ＢＭ層形成ラインに接続した（組み込まれた）欠陥検出部１２１に投入され、ＢＭ層の欠陥部が検出される。（Ｓ１２）
そして、欠陥検出部１２１にてＢＭ層の欠陥部の検出が行なわれたＢＭ層が形成された基板は、全数、自動倉庫１１０の入庫口１１１へと搬送され、そこから自動倉庫１１０の所定の位置に収納しておく。
欠陥検出部１２１により得られた、該基板のＢＭ層の欠陥情報を、該基板と対応させて欠陥情報保管部１５０に保管しておく。
次いで、欠陥情報保管部１５０のＢＭ層の欠陥情報に基づき、収納された前記基板を、出庫口１１２から搬出し、確認修正部１３１にて、その欠陥部位置にて欠陥状態を確認し、必要に応じて、レーザ照射による黒欠陥の除去、突起を研磨する研磨処理、インク塗布による白欠陥修正を行う。
欠陥情報保管部１５０の欠陥情報にしたがいその欠陥位置にて欠陥状態を確認する確認修正部１３１は、ここでは、対象とする表示装置用パネル部材（カラーフィルタ形成用基板）を載置するステージと、該ステージと相対的にＸＹ移動して、観察用画像を得るための顕微鏡と、該顕微鏡による観察用画像を表示するためのカメラ、モニターを備えた表示手段とを有し、且つ、欠陥情報保管部１５０の欠陥情報にもとづき、前記表示装置に表示された欠陥部の観察用画像に基づき、レーザ照射による黒欠陥の除去するレーザ照射装置、突起を研磨する研磨装置を共に有する欠陥修正装置、白欠陥をインクを塗布して修正するインク塗布装置等を備えているものである。
ＢＭ層の確認、修正を終えた基板は、搬送路１４０、入庫口１１１を通り、自動倉庫１１０へ再び搬入され、必要に応じて、その所望の収納位置において再び収納される。
そして、自動倉庫１１０内の、ＢＭ層の確認、修正を終えた基板は、更に、出庫口１１２を通り、自動倉庫１１０から搬出され、搬送路１４５を通り、赤色の着色層形成ライン１６２へ投入され、そして、顔料分散法により赤色の着色層が形成され、欠陥検出部１２２にて、赤色の着色層の欠陥部を検出し、その欠陥情報を、その欠陥情報保管部１５０に保管しておく。（Ｓ１３）
次いで、前記赤色の着色層が形成された基板は、緑色の着色層形成ライン１６３へ投入され、そして、顔料分散法により緑色の着色層が形成され、欠陥検出部１２３にて、緑色の着色層の欠陥部を検出し、その欠陥情を、その欠陥情報保管部１５０に保管しておく。（Ｓ１４）
次いで、前記緑色の着色層が形成された基板は、青色の着色層形成ライン１６４へ投入され、そして、顔料分散法により青色の着色層が形成され、欠陥検出部１２４にて、青色の着色層の欠陥部を検出し、その欠陥情報を、その欠陥情報保管部１５０に保管しておく。（Ｓ１５）
そして、欠陥検出部１２２〜１２４にて着色層の欠陥部の検出が行なわれた着色層を形成した基板は、全数、自動倉庫１１０の入庫口１１１へと搬送され、そこから自動倉庫１１０の所定の位置に収納しておく。
次いで、この収納された着色層を形成した基板を、出庫口１１２から搬出し、前記各着色層の各欠陥情報に基づき、順に、確認修正部１３２、１３３、１３４にてそれぞれの確認、修正を行う。（Ｓ１６）
例えば、図３（ｂ）に示すように、先ず、必要に応じて、確認修正部１３２、あるいは確認修正部１３３にて対応する処理を行い、その後、必要に応じて、確認修正部１３４にて対応する処理を行う。
各色毎に、先の検出結果の欠陥情報にしたがいその欠陥部位置においてを欠陥の状態を確認し、必要に応じて、突起を研磨する研磨処理、余分な黒欠陥を照射して除去するレーザ照射処理、白欠陥を修正するインク塗布を行う。
各色毎の確認修正部１３２、１３３、１３４は、ここでは、対象とする表示装置用パネル部材（カラーフィルタ形成用基板）を載置するステージと、該ステージと相対的にＸＹ移動して、観察用画像を得るための顕微鏡と、該顕微鏡による観察用画像を表示するためのカメラ、モニターを備えた表示手段とを有し、且つ、欠陥情報保管部１５０の欠陥情報にもとづき、前記表示装置に表示された欠陥部の観察用画像に基づき、突起を研磨する研磨装置、余分な黒欠陥を照射して除去するレーザ照射装置、白欠陥を修正するインク塗布装置を共に有する欠陥修正装置等を備えているものである。
着色層の確認、修正を終えた基板は、搬送路１４０、自動倉庫１１０、搬送路１４５を経て、ＩＴＯ層形成ライン１６５へ投入され、そして、マグネトロン型スパッタ等によりＩＴＯ層形成が行われ、更に、ＩＴＯ層が形成された基板は、欠陥検出部１２５に投入され、ＩＴＯ層の欠陥部が検出される。（Ｓ１７）
そして、欠陥検出部１２５にてＩＴＯ層の欠陥部の検出が行なわれたＩＴＯ層を形成した基板は、全数、自動倉庫１１０の入庫口１１１へと搬送され、そこから自動倉庫１１０の所定の位置に収納しておく。
欠陥検出部１２５により得られた、該基板の欠陥情報を、該基板と対応させて、その欠陥情報保管部１５０に保管しておく。
次いで、この収納されたＩＴＯ層を形成した基板を、出庫口１１２から搬出し、前記各ＩＴＯ層の欠陥情報に基づき、順に、確認修正部１３５にて確認し、必要に応じて、修正を行う。（Ｓ１８）
ここでは、最終的に突起を研磨する研磨処理を修正処理として行う。
ＩＴＯ層の欠陥情報にしたがいその欠陥位置にて欠陥状態を確認するＩＴＯ層に対応した確認修正部１３５は、ここでは、対象とする表示装置用パネル部材（カラーフィルタ形成用基板）を載置するステージと、該ステージと相対的にＸＹ移動して、観察用画像を得るための顕微鏡と、該顕微鏡による観察用画像を表示するためのカメラ、モニターを備えた表示手段とを有し、且つ、ＩＴＯ層の欠陥情報保管部１５０の欠陥情報にもとづき、前記表示装置に表示された欠陥部の観察用画像に基づき突起を研磨する研磨装置を有する欠陥修正装置を備えているものである。
このように、所定の部所にて、所定の処理が行われる。
尚、ＩＴＯ層の確認修正部１３５による確認、修正を終えた基板は、必用に応じて、再度、自動倉庫の所定の位置に収納される。
【００１７】
次に、本例の修正システム１００における、修正の処理フローの第２の例を、図４（ａ）にもとづいて、簡単に説明する。
尚、先にも述べたが、図４（ｂ）は、図４（ａ）に示す処理に対応する、処理される表示装置用パネル部材の流れをその位置で示した図である。
第２の例は、第１の例と異なり、ＢＭ層形成、ＢＭ層の欠陥部の確認、修正をした後、各色の着色層の形成を行うが、その際、各色の着色層形成毎にその欠陥部の確認、修正を行うものである。
先ず、第１の例の場合と同様に、ＢＭ形成ライン１６１にて、ベースとなるガラス基板の一面に顔料分散法により、黒色の着色層からなるＢＭ層を形成し、欠陥検出部１２１によりＢＭ層の欠陥部を検出して、ＢＭ層の欠陥部の確認修正を行う。（Ｓ２１〜Ｓ２２）  次いで、第１の例の場合と同様に、赤色着色層形成ライン１６２にて赤色の着色層を形成した後、欠陥検出部１２２にて赤色の着色層の欠陥部の検出を行い（Ｓ２３）、該検出が終えた基板を、全数、搬送路１４５から自動倉庫１１０の入庫口１１１へ搬送し、そこから自動倉庫１１０の所定の位置に収納しておく。
そして、収納された該基板を、出庫口１１２から搬出し、赤色の着色層の欠陥情報に基づき、確認修正部１３２にて確認、修正を行う。（Ｓ２４）
確認、修正を終えた基板は、第１の例と同様に、再度自動倉庫に搬入され、更に、搬送路１４５から、緑色着色層形成ライン１６３に投入され、第１の例と同様、緑色着色層形成ライン１６３にて緑色の着色層を形成した後、欠陥検出部１２３にて欠陥部の検出を行い（Ｓ２５）、該検出を終えた基板、全数を、搬送路１４５から自動倉庫１１０の入庫口１１１へ搬送し、そこから自動倉庫１１０の所定の位置に収納しておく。
そして、この収納された該基板を、出庫口１１２から搬出し、緑色の着色層の欠陥情報に基づき、確認修正部１３３にて確認、修正を行う。（Ｓ２６）
次いで、確認、修正を終えた基板は、先と同様に、再度自動倉庫に搬入され、更に、搬送路１４５から、青色着色層形成ライン１６４に投入され、第１の例と同様、青色着色層形成ライン１６４にて青色の着色層を形成した後、欠陥検出部１２４にて欠陥部の検出を行い（Ｓ２７）、該検出を終えた基板、全数を、搬送路１４５から自動倉庫１１０の入庫口１１１へ搬送し、そこから自動倉庫１１０の所定の位置に収納しておく。
そして、収納された該基板を、出庫口１１２から搬出し、青色の着色層の欠陥情報に基づき、確認修正部１３４にて確認、修正を行う。（Ｓ２８）
この後、第１の例と同様に、ＩＴＯ層の形成と、その確認、修正を行う。（Ｓ２９〜Ｓ３０）
このように、所定の部所にて、所定の処理が行われる。
第２の例は、第１の例に比べて、基板のハンドリングが多く必要であるが、各色の着色層形成ラインでの欠陥発生率によっては、コストに見合う品質保証が可能である。
尚、第２の例の場合も、ＩＴＯ層の確認、修正を終えた基板は、必用に応じて、再度、自動倉庫の所定の位置に収納される。
【００１８】
次に、本例の修正システム１００における、修正の処理フローの第３の例を、図５（ａ）にもとづいて、簡単に説明する。
尚、先にも述べたが、図５（ｂ）は、図５（ａ）に示す処理に対応する、処理される表示装置用パネル部材の流れをその位置で示した図である。
本例は、第１の例、第２の例と異なり、順に、ＢＭ層、赤色着色層、緑色着色層、青色着色層の層を形成した後に、まとめてこれらの層の確認、修正を行う。（Ｓ３１〜Ｓ３５）
但し、各層形成後に、各層について、それぞれ、対応する検出部欠陥１２１〜１２４にて欠陥部を検出しておき、欠陥情報を基板と対応して保管しておく。
各層の欠陥部の検出、欠陥部の確認、修正は、第１の例と同様に行う。
次いで、第１の例と同様、ＩＴＯ層の形成と、その欠陥部の確認、修正を行う。（Ｓ３６〜Ｓ３３７）
このように、所定の部所にて、所定の処理が行われる。
第３の例は、ＢＭ層の歩留まりが高くなった場合には有効な処理フローである。
尚、第３の例においても、ＩＴＯ層の欠陥部の確認、修正を終えたものを、必要に応じて再度、自動倉庫に収納しても良いことは言うまでもない。
【００１９】
尚、上記本例の修正システム１００は１例で、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、図１における修正システムにおいて、表示装置用パネル部材の各層形成ライン１６１〜１６５と分離して、各欠陥検出部１２１〜１２５を備え、自動倉庫１１０、前記各欠陥検出部１２１〜１２５を、相互に関連付けて、搬送路１４５上を搬送する搬送部とを備えた、図６に示す形態のものが挙げられる。
図６に示す形態例の修正システムは、図１に示す形態例とは異なり、各欠陥検出部１２１〜１２５を、各層形成ラインとは別に独立して、修正システム１００に一体的にして設けたものである。
修正システム１００に一体的にして設けられた各欠陥検出部１２１〜１２５が、仕様や品種の異なる種々の表示装置用パネル部材の作製ラインの種々の層形成ラインに、検出部として汎用的に適用できる形態である。
図６に示す形態のものも、自動倉庫１１０は、各層形成ライン１６１〜１６５毎に対応して入庫口１１１、出庫口１１２を、それぞれ１つづつ設けており、また、各確認修正部１３１〜１３５毎に対応して入庫口１１１、出庫口１１２を、それぞれ１つづつ設けている。
ここでも、確認、修正処理が済んだ表示装置用パネル部材は、その確認修正部に対応した入庫口１１１を経て自動倉庫１１０へと搬入され、自動倉庫１１０から次の層形成ラインに対応した出庫口１１２を経て搬出され、次の層形成ラインへ投入される。
尚、各部の機能や、処理フローは、図１に示す修正システムを用いた場合と同様に行え、ここでは、説明を省く。
【００２０】
また、例えば、自動倉庫を複数設けた形態が挙げられる。
また、上記第１の例のフロー〜第３の例のフローでは、全基板を対象として確認、修正を行うものとしているが、あらかじめ、各検出部の結果から対応する確認、修正を行う必要のないものについては、該当する確認修正部の確認、修正を行わずに、次の層形成ラインへ直接投入するフローもある。
また、最近の実際の作製ラインでは、ＩＴＯ層形成後、更に、リブ形成工程、柱形成工程などが採られている。
そしてまた、カラーフィルタ形成基板の作製ラインとしては、他に、開梱装置、梱包装置等も必要であるが、ここではこれらを省略してある。
また、本例では、液晶用の表示装置用のパネル部材を対象としたが、ＰＤＰ等他のフラットパネルディスプレイ部材の作製にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は本発明の検査、修正システムの実施の形態の１例の概略機能構成を示した構成図である。
【図２】図２は搬送部の１例と確認修正部の１配置例を示した上面図である。
【図３】図３（ａ）はカラーフィルタ形成用基板の作製処理の１例のフローを示した処理フロー図で、図３（ｂ）は図３（ａ）に示す処理に対応する、処理される表示装置用パネル部材の流れをその位置で示した図である。
【図４】図４（ａ）はカラーフィルタ形成用基板の作製処理の別の１例のフローを示した処理フロー図で、図４（ｂ）は図４（ａ）に示す処理に対応する、処理される表示装置用パネル部材の流れをその位置で示した図である。
【図５】図５（ａ）はカラーフィルタ形成用基板の作製処理の更に別の１例のフローを示した処理フロー図で、図５（ｂ）は図５（ａ）に示す処理に対応する、処理される表示装置用パネル部材の流れをその位置で示した図である。
【図６】図６は本発明の修正システムの実施の形態の別の１例の概略機能構成を示した構成図である。
【図７】カラーフィルタ形成用基板の一断面を示した断面図である。
【図８】液晶表示素子の一断面を示した断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１００              修正システム、
１１０              自動倉庫
１１１              入庫口
１１１Ａ            アンローダ
１１２              出庫口
１１２Ａ            ローダ
１２０              検出部群
１２１〜１２５      欠陥検出部
１３０              確認修正部群
１３１〜１３５      確認修正部
１４０、１４５      搬送路
１５０              欠陥情報保管部
１６１              ＢＭ層形成ライン
１６２              赤色着色層形成ライン
１６３              緑色着色層形成ライン
１６４              青色着色層形成ライン
１６５              ＩＴＯ層形成ライン
２３１〜２３４      確認修正装置
２４０              搬送用ロボット
２４１              回転部
２４２              ハンド部
２４５              搬送レール
２５１〜２５３      コンベア
７０                カラーフィルタ形成基板
７１                透明基板
７２                ブラックスマトリクス
７３ａ              赤着色層（Ｒフィルターとも言う）
７３ｂ              緑着色層（Ｇフィルターとも言う）
７３ｃ              青着色層（Ｂフィルターとも言う）
７４                オーバーコート層
７５                透明電極（共通透明電極とも言う）
８０                ＴＦＴ基板
８１                透明基板
８２                画素電極
８３ａ、８３ｂ      配向膜
８４                液晶
８５ａ，８５ｂ      偏光板
８６                バックライト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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