(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、正の屈折力を有する第４レンズ群との実質的に４群から構成され、
前記第２レンズ群は２組の接合レンズから構成されるとともにこれら２組の接合レンズは互いに凹面が向かい合うように配置され、前記第３レンズ群は２組の接合レンズから構成されるとともにこれら２組の接合レンズは互いに凹面が向かい合うように配置され、前記第２レンズ群を構成する前記２組の接合レンズのうちの像側に配置された接合レンズと、前記第３レンズ群を構成する前記２組の接合レンズのうちの物体側に配置された接合レンズとは隣接して配置され、物体側にテレセントリックであり、
前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２とし、前記第３レンズ群の焦点距離をｆ３とし、対物レンズ全系の焦点距離をＦとしたとき、次式
０．０２＜｜ｆ２／Ｆ｜＜０．２
０．０２＜｜ｆ３／Ｆ｜＜０．２
の条件を満足することを特徴とする顕微鏡用対物レンズ。
【請求項２】
前記第２レンズ群の２組の接合レンズは、凸レンズと凹レンズとを貼り合わせて構成され、
前記第２レンズ群における物体側の接合レンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝財のアッベ数をそれぞれνｄｐ２１およびνｄｎ２１とし、前記第２レンズ群における像側の接合レンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材のアッベ数をそれぞれνｄｐ２２及びνｄｎ２２とするとき、次式
１．５＜νｄｐ２１／νｄｎ２１＜５．１
１．１＜νｄｎ２２／νｄｐ２２＜３．２
の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡用対物レンズ。
【請求項３】
前記第３レンズ群の２組の接合レンズは、凸レンズと凹レンズとを貼り合わせてメニスカス形状に構成され、
前記第３レンズ群における物体側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材のアッベ数をそれぞれνｄｐ３１およびνｄｎ３１とし、前記第３レンズ群における像側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材のアッベ数をそれぞれνｄｐ３２およびνｄｎ３２とするとき、次式
１．１＜νｄｎ３１／νｄｐ３１＜３．２
１．５＜νｄｐ３２／νｄｎ３２＜５．１
の条件を満足することを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡用対物レンズ。
【請求項４】
前記第２レンズ群における物体側の接合レンズは、凸レンズと凹レンズとを貼り合わせてメニスカス形状に構成され、
前記第２レンズ群における物体側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材の屈折率をそれぞれｎｄｐ２およびｎｄｎ２とするとき、次式
１．１＜ｎｄｎ２／ｎｄｐ２＜１．５
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の顕微鏡用対物レンズ。
【請求項５】
前記第３レンズ群における像側の接合メニスカスレンズは、凸レンズと凹レンズとを貼り合わせて構成され、
前記第３レンズ群における像側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材の屈折率をそれぞれｎｄｐ３およびｎｄｎ３とするとき、次式
１．１＜ｎｄｎ３／ｎｄｐ３＜１．５
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の顕微鏡用対物レンズ。
【請求項６】
物体面から最も像側に配置されたレンズ面の頂点までの距離をＬとするとき、次式
０．２５＜Ｌ／Ｆ＜０．７
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の顕微鏡用対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対物レンズに関し、さらに詳細には、極低倍率の顕微鏡用対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、肉眼でも見ることが可能な標本等を、広い視野に渡って観察するマクロ観察は、生物用および工業用に広く利用されている。このようなマクロ観察をする際、一般的に低倍（例えば１０倍以下）の対物レンズが使用されており（例えば、特許文献１を参照）、また極低倍率（例えば１倍）の対物レンズも使用されている。このマクロ観察は、広い視野の画像データを一度に取り込むことができるので、標本の寸法測定および画像解析等が容易になるという利点がある。ここで上記観察時には、標本からの反射光を利用する落射照明が一般的に用いられるが、ケラレおよび色ムラが小さい良好な画像が得られるように対物レンズの諸収差を補正する際、瞳の収差も考慮して補正する必要がある。
【特許文献１】特開２００７−１１０９２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、一般に対物レンズの全長には寸法上の制限があるため、テレフォトタイプと呼ばれる構成にすることによって、焦点距離が長い極低倍率の対物レンズでは全長を短くする必要がある。しかしながら、対物レンズの全長が短く構成されるに応じて、特に倍率色収差および像面の平坦性の補正が困難になるとともに、瞳の収差補正も困難になるという課題があった。
【０００４】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、諸収差が良好に補正されて、落射照明時においても広視野に渡って視野周辺まで良好に観察可能なＮＡが０．０３および倍率−１倍程度の極低倍率の顕微鏡用対物レンズを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的を達成するため、本発明では、物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、正の屈折力を有する第４レンズ群との実質的に４群から構成され、前記第２レンズ群は２組の接合レンズから構成されるとともにこれら２組の接合レンズは互いに凹面が向かい合うように配置され、前記第３レンズ群は２組の接合レンズから構成されるとともにこれら２組の接合レンズは互いに凹面が向かい合うように配置され、前記第２レンズ群を構成する前記２組の接合レンズのうちの像側に配置された接合レンズと、前記第３レンズ群を構成する前記２組の接合レンズのうちの物体側に配置された接合レンズとは隣接して配置され、物体側にテレセントリックであり、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２とし、前記第３レンズ群の焦点距離をｆ３とし、対物レンズ全系の焦点距離をＦとしたとき、次式（１）および（２）の条件を満足することを特徴とする。
【０００６】
０．０２＜｜ｆ２／Ｆ｜＜０．２    …（１）
０．０２＜｜ｆ３／Ｆ｜＜０．２    …（２）
【０００７】
また、前記第２レンズ群の２組の接合レンズは、凸レンズと凹レンズとを貼り合わせて構成され、
前記第２レンズ群における物体側の接合レンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝財のアッベ数をそれぞれνｄｐ２１およびνｄｎ２１とし、前記第２レンズ群における像側の接合レンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材のアッベ数をそれぞれνｄｐ２２及びνｄｎ２２とするとき、次式（３）および（４）の条件を満足することが好ましい。
【０００８】
１．５＜νｄｐ２１／νｄｎ２１＜５．１    …（３）
１．１＜νｄｎ２２／νｄｐ２２＜３．２    …（４）
【０００９】
さらに、前記第３レンズ群の２組の接合レンズは、凸レンズと凹レンズとを貼り合わせてメニスカス形状に構成され、前記第３レンズ群における物体側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材のアッベ数をそれぞれνｄｐ３１およびνｄｎ３１とし、前記第３レンズ群における像側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材のアッベ数をそれぞれνｄｐ３２およびνｄｎ３２とするとき、次式（５）および（６）の条件を満足することが好ましい。
【００１０】
１．１＜νｄｎ３１／νｄｐ３１＜３．２    …（５）
１．５＜νｄｐ３２／νｄｎ３２＜５．１    …（６）
【００１１】
また、前記第２レンズ群における物体側の接合レンズは、凸レンズと凹レンズとを貼り合わせてメニスカス形状に構成され、前記第２レンズ群における物体側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材の屈折率をそれぞれｎｄｐ２およびｎｄｎ２とするとき、次式（７）の条件を満足することが好ましい。
【００１２】
１．１＜ｎｄｎ２／ｎｄｐ２＜１．５    …（７）
【００１３】
また、前記第３レンズ群における像側の接合メニスカスレンズは、凸レンズと凹レンズとを貼り合わせて構成され、前記第３レンズ群における像側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材の屈折率をそれぞれｎｄｐ３およびｎｄｎ３とするとき、次式（８）の条件を満足することが好ましい。
【００１４】
１．１＜ｎｄｎ３／ｎｄｐ３＜１．５    …（８）
【００１５】
さらに、物体面から最も像側に配置されたレンズ面の頂点までの距離をＬとするとき、次式（９）の条件を満足することが好ましい。
【００１６】
０．２５＜Ｌ／Ｆ＜０．７    …（９）
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明によれば、諸収差（倍率色収差、像面の平坦性および瞳の収差等）が良好に補正されて、落射照明時においても広視野に渡って視野周辺まで良好に観察可能な極低倍率の顕微鏡用対物レンズを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本願の好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。まず、図１を用いて、本願に係る顕微鏡用対物レンズの構成について説明する。この顕微鏡用対物レンズは、所謂無限系対物レンズで、物体Ｏ側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、正の屈折力の第４レンズ群Ｇ４とを備えて構成されている。第１レンズ群Ｇ１には、物体Ｏに対して凸面を向けた凸メニスカスレンズ（図１におけるレンズＬ１）が設けられている。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体Ｏ側から順に並んだ、凸レンズ（図１におけるレンズＬ２１）と凹レンズ（図１におけるレンズＬ２２）との貼り合わせからなり、全体として像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズ（図１におけるレンズＬ２）と、凹レンズ（図１におけるレンズＬ３１）と凸レンズ（図１におけるレンズＬ３２）との貼り合わせからなり、全体として物体Ｏ側に凹面を向けた接合レンズ（図１におけるレンズＬ３）とから構成されている。
【００１９】
さらに、第３レンズ群Ｇ３は、物体Ｏ側から順に並んだ、凸レンズ（図１におけるレンズＬ４１）と凹レンズ（図１におけるレンズＬ４２）との貼り合わせからなり、全体として像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズ（図１におけるレンズＬ４）と、凹レンズ（図１におけるレンズＬ５１）と凸レンズ（図１におけるレンズＬ５２）との貼り合わせからなり、全体として物体Ｏ側に凹面を向けた接合メニスカスレンズ（図１におけるレンズＬ５）とから構成されている。また、第４レンズ群Ｇ４には、凸レンズ（図１におけるレンズＬ６）が設けられている。
【００２０】
ところで、例えば回路基板等の金属標本を観察する顕微鏡において、標本からの反射光を利用する落射照明が一般的に用いられるが、視野周辺まで均一な明るさの画像を得るためには、対物レンズの物体側において略テレセントリックに照明されることが必要とされる。また、例えばＤＩＣ観察（微分干渉観察）を行う場合において、色ムラのない画像を得るために対物レンズの像側瞳の色収差や球面収差が十分小さく補正されていることが必要とされる。このように、低倍率でマクロ観察を行う場合、必然的に実視野が大きくなるが、物体高が大きくなるほど、レンズを通過する光軸上の物点からの光束と周辺の光束との高さの差が大きくなるため、瞳の収差補正が困難となる。したがって、良好な画像を得るためには、物体と像との結像性能のみならず、瞳の結像性能も併せて良好にすることが求められる。上述のように構成された本願に係る顕微鏡用対物レンズは、良好な画像を得るためにこのような課題を解決した構成となっており、その詳細について以下に説明する。
【００２１】
上記構成の顕微鏡用対物レンズにおいて、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離をｆ２とし、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離をｆ３とし、対物レンズ全系の焦点距離をＦとしたとき、次式（１）および（２）を満足するように構成されている。
【００２２】
０．０２＜｜ｆ２／Ｆ｜＜０．２    …（１）
０．０２＜｜ｆ３／Ｆ｜＜０．２    …（２）
【００２３】
上記条件式（１）および（２）は、像面湾曲および瞳収差を良好に補正するための条件である。上記条件式（１）および（２）の上限値を超えると、第２レンズ群Ｇ２あるいは第３レンズ群Ｇ３の屈折力が弱くなりすぎるため、物体Ｏ側に対するテレセン性を保つことができなくなり、視野全体を均一に照明することが困難となる。また、上記条件式（１）および（２）の下限値を超えると、負の屈折力が強くなりすぎるため、ペッツバール和がマイナスになりすぎて像面湾曲が増大してしまう。なお、更に良好な結像性能を発揮するためには、上記条件式（１）および（２）において、上限値を０．１１とし、下限値を０．０３とすることが好ましい。
【００２４】
また、第２レンズ群Ｇ２における物体Ｏ側の接合メニスカスレンズ（図１におけるレンズＬ２）を構成する凸レンズ（図１におけるレンズＬ２１）および凹レンズ（図１におけるレンズＬ２２）の硝財のアッベ数をそれぞれνｄｐ２１およびνｄｎ２１とし、第２レンズ群Ｇ２における像側の接合レンズ（図１におけるレンズＬ３）を構成する凸レンズ（図１におけるレンズＬ３２）および凹レンズ（図１におけるレンズＬ３１）の硝材のアッベ数をそれぞれνｄｐ２２及びνｄｎ２２とするとき、次式（３）および（４）を満足することが好ましい。
【００２５】
１．５＜νｄｐ２１／νｄｎ２１＜５．１    …（３）
１．１＜νｄｎ２２／νｄｐ２２＜３．２    …（４）
【００２６】
上記条件式（３）および（４）は、色収差の補正上好ましい条件与えるものであって、上記条件式（３）は、第２レンズ群Ｇ２における物体Ｏ側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズと凹レンズとの、アッベ数の比率の範囲を規定している。また、上記条件式（４）は、第２レンズ群Ｇ２における像側の接合レンズを構成する凸レンズと凹レンズとの、アッベ数の比率の範囲を規定しており、上記条件式（３）および（４）を同時に満足させることで、対物レンズ全系の色収差補正および像側瞳の色収差補正を両立させることが可能となる。上記条件式（３）および（４）の上限値を超えると、第２レンズ群Ｇ２の色消しが過剰となり、倍率の色収差の補正が困難となる。また、上記条件式（３）および（４）の下限値を超えると、第２レンズ群Ｇ２の色消しが不足となり、対物レンズの像側瞳の軸上色収差が増大してしまう。なお、より効果的に対物レンズ全系の色収差および像側瞳の色収差を補正するためには、上記条件式（３）の上限値を２．９、下限値を１．９とし、また、上記条件式（４）の上限値を２．９、下限値を１．９とすることが好ましい。
【００２７】
さらに、第３レンズ群Ｇ３における物体Ｏ側の接合メニスカスレンズ（図１におけるレンズＬ４）を構成する凸レンズ（図１におけるレンズＬ４１）および凹レンズ（図１におけるレンズＬ４２）の硝材のアッベ数をそれぞれνｄｐ３１およびνｄｎ３１とし、第３レンズ群Ｇ３における像側の接合メニスカスレンズ（図１におけるレンズＬ５）を構成する凸レンズ（図１におけるレンズＬ５２）および凹レンズ（図１におけるレンズＬ５１）の硝材のアッベ数をそれぞれνｄｐ３２およびνｄｎ３２とするとき、次式（５）および（６）を満足することが好ましい。
【００２８】
１．１＜νｄｎ３１／νｄｐ３１＜３．２    …（５）
１．５＜νｄｐ３２／νｄｎ３２＜５．１    …（６）
【００２９】
上記条件式（５）および（６）は、色収差の補正上好ましい条件を与えるものである。上記条件式（５）は、第３レンズ群Ｇ３における物体Ｏ側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズと凹レンズとの、アッベ数の比率の範囲を規定している。また、上記条件式（６）は、第３レンズ群Ｇ３における像側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズと凹レンズとの、アッベ数の比率の範囲を規定している。上記条件式（５）および（６）を同時に満足させることで、対物レンズ全系の軸上色収差の補正および倍率色収差の補正を良好に行うことが可能となる。上記条件式（５）の上限値を超えると、第３レンズ群Ｇ３の色消しが過剰となり、一方、上記条件式（５）の下限値を超えると、第３レンズ群Ｇ３の色消しが不足となり対物レンズ全系の倍率色収差が増大してしまう。なお、より効果的に対物レンズ全系の倍率色収差を補正するためには、上記条件式（５）の上限値を２．９とし、下限値を１．９とすることが好ましい。
【００３０】
また、上記条件式（６）の上限値を超えると、第３レンズ群Ｇ３の色消しが過剰となり、一方、下限値を超えると、第３レンズ群Ｇ３の色消しが不足となり対物レンズ全系の軸上色収差が増大してしまう。なお、より効果的に対物レンズ全系の軸上色収差を補正するためには、上記条件式（６）の上限値を２．９とし、下限値を１．９とすることが好ましい。
【００３１】
また、第２レンズ群Ｇ２における物体Ｏ側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材の屈折率を、それぞれｎｄｐ２およびｎｄｎ２とするとき、次式（７）を満足することが好ましい。
【００３２】
１．１＜ｎｄｎ２／ｎｄｐ２＜１．５    …（７）
【００３３】
上記条件式（７）は、第２レンズ群Ｇ２における物体Ｏ側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズと凹レンズとの、屈折率の比率の範囲を規定している。上記条件式（７）の上限値を超えると、第２レンズ群Ｇ２における物体Ｏ側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズと凹レンズとの屈折率差が大きくなりすぎて、対物レンズ全系の非点収差および像側瞳の球面収差の補正が困難となってしまう。なお、より効果的に像側瞳の球面収差の補正を行うためには、上記条件式（７）の上限値を１．４とし、下限値を１．２５とすることが好ましい。
【００３４】
さらに、第３レンズ群Ｇ３における像側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズおよび凹レンズの硝材の屈折率を、それぞれｎｄｐ３およびｎｄｎ３とするとき、次式（８）を満足することが好ましい。
【００３５】
１．１＜ｎｄｎ３／ｎｄｐ３＜１．５    …（８）
【００３６】
上記条件式（８）は、第３レンズ群Ｇ３における像側の接合メニスカスレンズを構成する凸レンズと凹レンズとの、屈折率の比率の範囲を規定している。上記条件式（８）の上限値を超えると、第３レンズ群Ｇ３における像側の接合メニスカスレンズの凸レンズと凹レンズとの屈折率差が大きくなりすぎて、対物レンズ全系の球面収差やコマ収差の補正が困難となってしまう。なお、より効果的に対物レンズ全系の球面収差およびコマ収差の補正を行うためには、上記条件式（８）の上限値を１．４とし、下限値を１．２５とすることが好ましい。
【００３７】
またさらに、物体面から最も像側に配置されたレンズ面の頂点までの距離をＬとするとき、次式（９）を満足することが好ましい。
【００３８】
０．２５＜Ｌ／Ｆ＜０．７    …（９）
【００３９】
上記条件式（９）は、対物レンズ全系の焦点距離Ｆと物体面から最も像側に配置されるレンズ面の頂点までの距離Ｌ（レンズ長）との、比率の範囲を規定している。上記条件式（９）の上限値を越えると、レンズ全長が長くなりすぎて対物レンズが大型化してしまい、一方、上記条件式（９）の下限値を越えると収差補正が困難となり、実際の観察において必要とされる実用的な作動距離ＷＤおよび視野数を確保できなくなってしまう。
【００４０】
以下、本願に係る顕微鏡用対物レンズの各実施例を添付図面に基づいて説明する。
【００４１】
以下に示す表１および表２は、本願に係る顕微鏡用対物レンズの第１実施例および第２実施例の各レンズの諸元の表である。いずれの表においても、βは対応倍率、ＮＡは物体側開口数、Ｄ０は物体Ｏから第１レンズ群Ｇ１の第１レンズ面（表中の面番号１）の頂点までの距離、Ｆは対物レンズ全系の合成焦点距離をそれぞれ示している。また、第１欄ＮＯ.は光線の進行する方向に沿った物体Ｏ側からのレンズ面の順序（以下、面番号と称する）、第２欄Ｒは各レンズ面の曲率半径、第３欄ｄは各光学面から次の光学面（又は像面）までの光軸上の距離（以下、面間隔と称する）、第４欄ｎｄはｄ線（波長587.562nm）に対する屈折率、第５欄νｄはｄ線におけるアッベ数をそれぞれ示している。
【００４２】
表中において、焦点距離Ｆ、曲率半径Ｒ、面間隔ｄ、その他の長さの単位は、一般に「ｍｍ」が使われている。ただし、光学系は、比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「ｍｍ」に限定されることなく、他の適当な単位を用いることが可能である。また、表中において、曲率半径Ｒの「INFINITY」は平面を示し、空気の屈折率「1.00000」の記載は省略している。また、表中において、上記の条件式（１）〜（９）に対応する値、すなわち条件対応値も示している。
【００４３】
（第１実施例）
上述の説明で用いた図１は、本願の顕微鏡用対物レンズの第１実施例を示しており、この第１実施例に係る顕微鏡用対物レンズについて、図１、図２、図５（ａ）および表１を用いて説明する。この顕微鏡用対物レンズは上述したように、物体Ｏ側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、正の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４とを備えて構成される。
【００４４】
第１レンズ群Ｇ１は、物体Ｏに対して凸面を向けた凸メニスカスレンズＬ１を設けて構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体Ｏ側から順に並んだ、凸レンズＬ２１と凹レンズＬ２２との貼り合わせからなり、全体として像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズＬ２と、凹レンズＬ３１と凸レンズＬ３２との貼り合わせからなり、全体として物体Ｏ側に凹面を向けた接合レンズＬ３とから構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、物体Ｏ側から順に並んだ、凸レンズＬ４１と凹レンズＬ４２との貼り合わせからなり、全体として像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズＬ４と、凹レンズＬ５１と凸レンズＬ５２との貼り合わせからなり、全体として物体Ｏ側に凹面を向けた接合メニスカスレンズＬ５とから構成される。また、第４レンズ群Ｇ４は、凸レンズＬ６を設けた構成となっている。
【００４５】
表１に、第１実施例における各諸元の表を示す。なお、表１における面番号１〜１６は、図１に示す面１〜１６に対応している。
【００４６】
（表１）
［全体諸元］
β＝−1，ＮＡ＝0.03，Ｄ０＝6.319，Ｆ＝198.054
［レンズ諸元］
ＮＯ.      Ｒ            ｄ            ｎｄ        νｄ
１      22.69900      5.200000      1.81600      46.6
２    174.64400      0.500000
３      13.31000      6.500000      1.43425      95.0
４      INFINITY    2.500000      1.84666      23.8
５      12.87300      15.207107
６    ‐9.35550      1.000000      1.90265      35.7
７      4.57300      2.800000      1.80809      22.8
８      111.81000      0.500000
９      18.19300      2.800000      1.80809      22.8
１０    ‐4.71940      1.000000      1.90265      35.7
１１      14.53020      8.669947
１２    ‐28.65800      1.000000      1.90265      35.7
１３      19.49200      3.500000      1.43425      95.0
１４    ‐13.00200      1.526871
１５      120.02800      4.300000      1.49782      82.5
１６    ‐11.80120
［条件対応値］
条件式（１）｜ｆ２／Ｆ｜＝0.031
条件式（２）｜ｆ３／Ｆ｜＝0.103
条件式（３）νｄｐ２１／νｄｎ２１＝3.99
条件式（４）νｄｎ２２／νｄｐ２２＝1.57
条件式（５）νｄｎ３１／νｄｐ３１＝1.57
条件式（６）νｄｐ３２／νｄｎ３２＝2.66
条件式（７）ｎｄｎ２／ｎｄｐ２＝1.29
条件式（８）ｎｄｎ３／ｎｄｐ３＝1.33
条件式（９）Ｌ／Ｆ＝0.32
【００４７】
上記表１に示す諸元の表から明らかなように、第１実施例では上記条件式（１）から（９）を全て満たしていることが分かる。
【００４８】
図２には、この第１実施例の顕微鏡用対物レンズの後続の結像レンズの焦点距離ｆｋが200mmの理想レンズとして計算された、Ｃ線（波長656.279nm）、ｄ線（波長587.562nm）、Ｆ線（波長486.133nm）およびｇ線（波長435.835nm）に対する諸収差図（球面収差、非点収差およびコマ収差）を示している。ここで、図２に示す非点収差図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリジオナル像面をそれぞれ示す。また、図５（ａ）には、上記各線に対する瞳の球面収差図を示している。なお、各収差図において、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を示しており、この収差図の説明は後述する第２実施例においても同様である。
【００４９】
各収差図から明らかなように、第１実施例に係る顕微鏡用対物レンズでは、Ｃ線、ｄ線、Ｆ線およびｇ線の各波長において、ＮＡ＝０．０３、視野数２５まで良好に補正されていることが分かる。
【００５０】
（第２実施例）
本願の第２実施例について、図３、図４、図５（ｂ）および表２を用いて説明する。図３に示す第２実施例に係る顕微鏡用対物レンズは、第２レンズ群Ｇ２の像側の接合レンズ（図３に示す接合レンズＬ３）がメニスカス形状となっていることを除けば、図１に示す第１実施例とほぼ同じ構成となっている。そのため、以下の説明において、第１実施例と同一部分には同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する（図３を参照）。表２に、第２実施例における各諸元の表を示しており、表２における面番号１〜１６は、図３に示す面１〜１６に対応している。
【００５１】
（表２）
［全体諸元］
β＝−1，ＮＡ＝0.03，Ｄ０＝7.65，Ｆ＝198.037
［レンズ諸元］
ＮＯ.      Ｒ            ｄ            ｎｄ        νｄ
１      20.58079      5.200000      1.75500      52.3
２      87.93078      0.550000
３      14.99529      6.500000      1.43425      95.0
４      INFINITY    2.000000        1.84666      23.8
５      20.00000      13.300000
６    ‐10.04292      1.000000      1.90265      35.7
７      4.53365      3.000000        1.80809      22.8
８    ‐32.60227      2.000000
９      56.61271      3.000000      1.80809        22.8
１０    ‐4.48893      1.000000      1.90265        35.7
１１      11.17116      7.000000
１２    ‐23.99958      1.000000      1.90265      35.7
１３      13.99140      4.000000      1.43425      95.0
１４    ‐10.85567      2.500000
１５    ‐205.25741      4.300000      1.49782      82.5
１６    ‐10.50822
［条件対応値］
条件式（１）｜ｆ２／Ｆ｜＝0.062
条件式（２）｜ｆ３／Ｆ｜＝0.045
条件式（３）νｄｐ２１／νｄｎ２１＝3.99
条件式（４）νｄｎ２２／νｄｐ２２＝1.57
条件式（５）νｄｎ３１／νｄｐ３１＝1.57
条件式（６）νｄｐ３２／νｄｎ３２＝2.66
条件式（７）ｎｄｎ２／ｎｄｐ２＝1.29
条件式（８）ｎｄｎ３／ｎｄｐ３＝1.33
条件式（９）Ｌ／Ｆ＝0.32
【００５２】
上記表２に示す諸元の表から明らかなように、第２実施例では上記条件式（１）から（９）を全て満たしていることが分かる。
【００５３】
図４には、この第２実施例の顕微鏡用対物レンズの後続の結像レンズの焦点距離ｆｋが200mmの理想レンズとして計算された、Ｃ線（波長656.279nm）、ｄ線（波長587.562nm）、Ｆ線（波長486.133nm）およびｇ線（波長435.835nm）に対する諸収差図（球面収差、非点収差およびコマ収差）を示している。また、図５（ｂ）には、上記各線に対する瞳の球面収差図を示している。各収差図から明らかなように、第２実施例に係る顕微鏡用対物レンズでは、Ｃ線、ｄ線、Ｆ線およびｇ線の各波長において、ＮＡ＝０．０３、視野数２５まで良好に補正されている。
【００５４】
以上説明したように、本発明に係る顕微鏡用対物レンズによれば、倍率が１倍で開口数が０．０３において視野数２５まで諸収差が良好に補正され、落射照明観察時の視野周辺においてもシェーディングおよび色ムラの少ない優れた結像性能を発揮することができる。
【００５５】
上述の第１実施例および第２実施例において、物体Ｏと対物レンズの第１面との間に１／４波長板やデポラライザ（偏光解消板）を配置することにより、落射照明時に対物レンズ各面において反射されるフレアーを防止する構成が望ましい。さらにこのとき、１／４波長板やデポラライザにおける物体Ｏ側の面からの反射光を視野外に除去するために、これらの光学素子は対物レンズのＮＡ相当を傾けて使用することがより望ましい。
【００５６】
なお、以上のような本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明に係る要旨を逸脱しない範囲であれば適宜改良可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の第１実施例に係る顕微鏡用対物レンズのレンズ構成図である。
【図２】本発明の第１実施例に係る顕微鏡用対物レンズの諸収差図である。
【図３】本発明の第２実施例に係る顕微鏡用対物レンズのレンズ構成図である。
【図４】本発明の第２実施例に係る顕微鏡用対物レンズの諸収差図である。
【図５】（ａ）は第１実施例に係る瞳の球面収差図で、（ｂ）は第２実施例に係る瞳の球面収差図である。
【符号の説明】
【００５８】
Ｇ１  第１レンズ群
Ｇ２  第２レンズ群
Ｇ３  第３レンズ群
Ｇ４  第４レンズ群
Ｌ２  第２レンズ群を構成する物体側の接合レンズ
Ｌ３  第２レンズ群を構成する像側の接合レンズ
Ｌ４  第３レンズ群を構成する物体側の接合レンズ
Ｌ５  第３レンズ群を構成する像側の接合レンズ
【図１】
0005369503.tif 000002
【図２】
0005369503.tif 000003
【図３】
0005369503.tif 000004
【図４】
0005369503.tif 000005
【図５】
0005369503.tif 000006