(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可燃ガスとの接触燃焼を促進する触媒を担持した担持体、及び、前記担持体に覆われた温度センサ、から構成される検出素子と、前記可燃ガスに対して不感となる材料から構成される担持体、及び、前記担持体に覆われた温度センサ、から構成される比較素子と、前記検出素子及び前記比較素子から構成された前記可燃ガスの濃度に応じたセンサ出力を出力するガスセンサと、エアベース時における前記センサ出力と固定された閾値との比較に基づいて前記ガスセンサの劣化を検出する劣化検出手段と、を備えたガスセンサの劣化検出装置であって、前記検出素子の担持体と前記比較素子の担持体との表面積が互いに異なるように、前記検出素子及び前記比較素子が設けられていることを特徴とするガスセンサの劣化検出装置。
【請求項２】
前記検出素子の担持体と前記比較素子の担持体とが、互いに比表面積の異なる材料で設けられていることを特徴とする請求項１に記載のガスセンサの劣化検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスセンサの劣化検出装置に係り、特に、検出素子及び比較素子から構成されるガスセンサの劣化検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上述した従来のガスセンサ２として、例えば図１に示されたものが一般的に知られている。同図に示すように、ガスセンサ２は、検出素子６と比較素子７とを有している。検出素子６は、白金コイルと、この白金コイルに塗布した、可燃ガスとの接触燃焼を促進する触媒が担持されたＡｌ２Ｏ３担体と、で構成されている。比較素子７は、白金コイルと、この白金コイルに塗布した、可燃ガスに対して不感となる材料であるＡｌ２Ｏ３担体のみから構成された担体と、で構成されている。
【０００３】
上記検出素子６の白金コイルと、比較素子７の白金コイルとは、可燃ガスのない空気中（エアベース）では等しい抵抗値になるように設けられている。上述した検出素子６及び比較素子７は、固定抵抗Ｒ１、Ｒ２と共にブリッジ回路４を構成している。このブリッジ回路４の端子ａと端子ｂとの間には、駆動電圧Ｅ０が供給されている。この駆動電圧Ｅ０を供給すると、検出素子６が加熱されて可燃対象ガスと接触燃焼する。
【０００４】
以上の構成によれば、ブリッジ回路４は可燃ガスのない空気中では平衡状態となり、端子ｃと端子ｄとの電位が等しくなる。これに対して、可燃ガスを含む空気中では可燃ガスとの燃焼熱により検出素子６の温度が上昇し、これに伴って検出素子６の白金コイルの抵抗値が増加する。一方、比較素子７は可燃ガスと接触燃焼しないため、検出素子６の温度より低くなる。このため、ブリッジ回路４は不平衡状態となり、端子ｃと端子ｄとの間に電位差が生じる。この電位差が、雰囲気温度による白金コイルの抵抗値の変動分を相殺した可燃ガスの濃度に応じたセンサ出力となる。
【０００５】
上述したガスセンサ２の検出素子６は、触媒で構成されているため経年的に感度が劣化してくる。この感度劣化の速度は、使用環境中の触媒被毒物質の有無に大きく影響すると言われている。例えば、一般家庭の環境から多く発生するガスセンサ２の触媒被毒物質は、環状シロキサンといわれている。環状シロキサンは、炭素、水素、Ｓｉからなる物質である。この環状シロキサンが大気中にガス化して浮遊する状態において、環状シロキサンが加熱されている検出素子６及び比較素子７に触れると、酸化反応を起こし、酸化物（ＳｉＯ２）に変化する。そして、この酸化物は、検出素子６及び比較素子７上に残留してしまう。この残留した酸化物により、検出素子６及び比較素子７の熱容量が変化して、可燃ガス濃度に対するセンサ出力が変動する、という問題があった。
【０００６】
この酸化物の付着量は実験的に表面積に依存している。従って、従来のように検出素子６及び比較素子７が同じ大きさで且つ表面積が同じならば、熱的なバランスが変化せず、劣化してもエアベース時のセンサ出力は変化しない。このため、ガスセンサ２の機能が正常であるか否かは外部やエアベース時のセンサ出力からは判断できず、経験的な劣化度合いから使用できると判断しているのが実情である。しかしながら、劣悪環境下では、予想をはるかに上回る劣化が生じている可能性も否めない。そこで、正確にガスセンサ２の劣化を検出して、ガスセンサ２が機能不全に陥る前に使用者に知らせるガスセンサの劣化検出装置が切望されている。
【０００７】
上述したガスセンサ２の劣化検出装置としては、例えば、特許文献１に示されるガスセンサ２の劣化診断装置や、特許文献２に示されるガスセンサ２の故障検知装置などが提案されている。しかしながら、何れもガスの濃度を検出するガスセンサ２とは、別に基準ガスセンサやダミー素子などを用いる必要があり、コスト的に問題があった。
【特許文献１】特開２００４−２５１８６２号公報
【特許文献２】特開２００３−３４４３３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は、上記のような問題点に着目し、正確にガスセンサの劣化を検出できるガスセンサの劣化検出装置を安価に提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するためになされた請求項１記載の発明は、可燃ガスとの接触燃焼を促進する触媒を担持した担持体、及び、前記担持体に覆われた温度センサ、から構成される検出素子と、前記可燃ガスに対して不感となる材料から構成される担持体、及び、前記担持体に覆われた温度センサ、から構成される比較素子と、前記検出素子及び前記比較素子から構成された前記可燃ガスの濃度に応じたセンサ出力を出力するガスセンサと、エアベース時における前記センサ出力と固定された閾値との比較に基づいて前記ガスセンサの劣化を検出する劣化検出手段と、を備えたガスセンサの劣化検出装置であって、前記検出素子の担持体と前記比較素子の担持体との表面積が互いに異なるように、前記検出素子及び前記比較素子が設けられていることを特徴とするガスセンサの劣化検出装置に存する。
【００１０】
請求項２記載の発明は、前記検出素子の担持体と前記比較素子の担持体とが、互いに比表面積の異なる材料で設けられていることを特徴とする請求項１に記載のガスセンサの劣化検出装置に存する。
【発明の効果】
【００１１】
以上説明したように請求項１記載の発明によれば、検出素子の担持体と比較素子の担持体との表面積が互いに異なるように、前記検出素子及び前記比較素子が設けられていることにより、経年変化に応じて検出素子に吸着する被毒物質量と比較素子に吸着する被毒物質量とが異なり、経年変化に応じてエアベース時のセンサ出力が変化する。そして、エアベース時におけるセンサ出力に基づいてガスセンサの劣化を検出することにより、基準ガスセンサやダミー素子を用いる必要がなく、正確にガスセンサの劣化を検出するガスセンサの劣化検出装置を安価に提供することができる。
【００１２】
請求項２記載の発明によれば、検出素子の担持体と比較素子の担持体とが互いに比表面積の異なる材料で設けられているので、検出素子の担持体と比較素子の担持体との大きさを同じにして、かつ、表面積を異ならせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
参考例
以下、参考例を図面に基づいて説明する。図１は、ガスセンサ２の劣化検出装置を組み込んだガス検出装置の参考例を示す回路図である。図２は、参考例における図１に示す検出素子６及び比較素子７の構成を示す図である。同図に示すように、ガス検出装置１は、ガスセンサ２と、マイクロコンピュータ３（以下μＣＯＭ３）と、を備えている。
【００１４】
ガスセンサ２は、ブリッジ回路４と、駆動電圧Ｅ０と、差動増幅器５と、から構成されている。ブリッジ回路４は、検出素子６及び比較素子７と、固定抵抗Ｒ１、Ｒ２と、から構成されている。上記検出素子６及び比較素子７は互いに直列に接続されている。固定抵抗Ｒ１、Ｒ２は互いに直列に接続されている。そして、検出素子６及び比較素子７から構成される直列回路と、固定抵抗Ｒ１、Ｒ２から構成される直列回路と、が並列に接続されてブリッジ回路４を構成している。
【００１５】
上述した検出素子６及び比較素子７は、同一の構成である。即ち、検出素子６及び比較素子７は各々、図２に示すように、可燃ガスとの接触燃焼を促進する触媒を担持した担持体８と、この担持体８に覆われた温度センサとしての白金コイル９と、から構成されている。担持体８は、上記触媒として白金族、例えばパラジウム（Ｐｄ）を担持したアルミナ（Ａｌ２Ｏ２）からなるＰｄ／Ａｌ２Ｏ２から構成されている。
【００１６】
上記検出素子６は、検出支持部１０に支持されている。比較素子７は、比較支持部１１に支持されている。検出支持部１０及び比較支持部１１は各々、板状のベース１２と、ベース１２に貫通する一対のピン１３と、から構成されている。そして、検出素子６の白金コイル９の両端が検出支持部１０のピン１３に各々接続されて、検出素子６が検出支持部１０に支持される。また、比較素子７の白金コイル９の両端が比較支持部１１のピン１３に各々接続されて、比較素子７が比較支持部１１に支持される。
【００１７】
検出支持部１０及び比較支持部１１は、ベース１２の検出素子６及び比較素子７とは離れた側に突出するピン１３が上記ブリッジ回路４やμＣＯＭ３が搭載された図示しない基板上に搭載されて電気的に接続されるように設けられている。
【００１８】
上記比較支持部１１側のベース１２の比較素子７側には密閉手段としての密閉キャップ１４が嵌められている。この密閉キャップ１４により比較素子７は可燃ガス、即ち外気中に曝されないようになっている。一方、検出素子６側には密閉キャップ１４は嵌められていない。このため、検出素子６は可燃ガス中に曝されるようになっている。上記検出素子６と比較素子７との白金コイル９は、可燃ガスのない空気中（エアベース）中では固定抵抗Ｒ１、Ｒ２と等しい抵抗値になるように設けられている。
【００１９】
駆動電圧Ｅ０は、ブリッジ回路４の端子ａと端子ｂとの間に供給される電圧である。この駆動電圧Ｅ０を供給すると、白金コイル９が発熱して検出素子６及び比較素子７は加熱される。つまり、白金コイル９は温度センサとしての機能と加熱手段としての機能とを兼ねている。上述したブリッジ回路４は可燃ガスのない空気中では平衡状態となり端子ｃ−端子ｄ間の中点電圧は０となる。これに対して、可燃ガスを含む空気中では可燃ガスとの接触燃焼により検出素子６の温度が上昇し、これに伴って検出素子６の白金コイル９の抵抗値が増加する。一方、比較素子７は可燃ガスとの接触燃焼が生じないため、検出素子６の温度よりも低くなる。このため、ブリッジ回路４は不平衡状態となり、中点電圧が、雰囲気温度による白金コイル９の抵抗値の変動分を相殺した可燃ガスの濃度に応じたセンサ出力となる。
【００２０】
差動増幅器５は、ブリッジ回路４の端子ｃ−端子ｄ間の中点電圧をセンサ出力としてμＣＯＭ３に対して出力する。μＣＯＭ３は、処理プログラムに従って各種の処理を行う中央演算処理ユニット（以下ＣＰＵ）３１、ＣＰＵ３１が行う処理のプログラムなどを格納した読出専用のメモリであるＲＯＭ３２、及び、ＣＰＵ３１での各種の処理過程で利用するワークエリア、各種データを格納するデータ記憶エリアなどを有する読出書込自在のメモリであるＲＡＭ３３、を有している。
【００２１】
次に、上述したガスセンサ２の特性について図３及び図４を参照して説明する。ブリッジ回路４の中点電圧、即ちセンサ出力は、可燃ガスがない状況でも検出素子６と比較素子７とのバランスが僅かに崩れると０よりもプラス側又はマイナス側（即ち、ガス有り側又はガス無し側）に経年変化する。また、回路を簡便化するために、いかに検出素子６と比較素子７とのバランスを取るかという研究は多くされている。ここで言う経年変化は被毒物質の有無によっても大きく変わり、且つ変動方向もセンサ構造によるところが大きく影響する。例えば、一般家庭の環境から多く発生するガスセンサ２の被毒物質は、コーキング材であるシリコンから揮発する環状シロキサンといわれている。
【００２２】
そこで、本発明者は、図１及び図２について上述したガスセンサ２を用いて環状シロキサンの暴露試験を実施して、暴露回数（回）とセンサ出力の感度変動率（％）との関係、暴露回数（回）とエアベース時のセンサ出力（ｍＶ）との関係をそれぞれ測定した。結果を図３及び図４に示す。図３からも明らかなように、センサ出力の感度は、環状シロキサンの暴露回数が多くなる程、即ち検出素子６に対する環状シロキサンの付着量が多くなる程、変動率が大きくなり劣化することが分かった。
【００２３】
また、図４からも明らかなように、エアベース時のセンサ出力は、環状シロキサンの暴露回数が多くなる程、マイナス側にドリフトすることがわかった。これは、比較素子７が密閉キャップ１４により密閉されて外気に曝されていない状態では検出素子６及び比較素子７のうち検出素子６のみに選択的に環状シロキサンが付着して、暴露回数が多くなる程、検出素子６と比較素子７との抵抗値のバランスが崩れるためだと考えられる。以上のことから明らかなように、エアベース時のセンサ出力は劣化に依存して変動する。このため、感度低下限界点（図３）に対応する閾値（図４）を設定し、エアベース時のセンサ出力が閾値以下となったときにガスセンサ２の劣化を検出することができる。
【００２４】
次に、上述した構成のガス検出装置１の動作について図５を参照して説明する。図５は、図１に示すＣＰＵ３１の参考例における劣化検出処理手順を示すフローチャートである。ＣＰＵ３１は、定期的にガスセンサ２のセンサ出力に基づいて可燃ガスが存在しないエアベース時であるか否かを判断し、エアベースであると判断したとき劣化検出手段として働き劣化検出処理を行う。例えば、ＣＰＵ３１は、センサ出力が所定時間以上、変動していないときにエアベースであると判断する。まず、ＣＰＵ３１は、ガスセンサ２からのセンサ出力を取り込む（ステップＳ１）。
【００２５】
次に、ＣＰＵ３１は、取り込んだセンサ出力が閾値以下であるか否か判断する（ステップＳ２）。ＣＰＵ３１は、センサ出力が閾値以下であれば（ステップＳ２でＹ）、ガスセンサ２に劣化が生じていることを検出しその旨を報知した後（ステップＳ３）、劣化検出処理を終了する。これに対して、ＣＰＵ３１は、センサ出力が閾値よりも大きければ（ステップＳ２でＮ）、ガスセンサ２に劣化が生じていないと判断して直ちに劣化検出処理を終了する。
【００２６】
上述したガス検出装置１によれば、可燃ガスに触れないように比較素子７の白金コイル９を密閉する密閉キャップ１４を設けることにより、経年変化に応じて検出素子６に吸着する被毒物質量と比較素子７に吸着する被毒物質量とが異なり、経年変化に応じてエアベース時のセンサ出力が変化する。そして、エアベース時におけるセンサ出力に基づいてガスセンサ２の劣化を検出することにより、基準ガスセンサやダミー素子を用いる必要がなく、正確にガスセンサ２の劣化を検出することができる。
【００２７】
なお、上述した参考例では、劣化に応じてエアベース時のセンサ出力がマイナス側にドリフトしていたが、本発明はこれに限ったものではない。ガスセンサ２の構成によっては、劣化に応じてエアベース時のセンサ出力がプラス側にドリフトする場合もある。この場合、エアベース時のセンサ出力が閾値以上であるときに劣化を検出し、閾値未満であるときに劣化していないと判断するようにしてもよい。
【００２８】
本実施形態
次に、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図６は、一実施形態における図１に示す検出素子６及び比較素子７の構成を示す図である。参考例と本実施形態とで大きく異なる点は、検出素子６及び比較素子７の構造である。なお、本実施形態におけるガス検出装置１の回路図は、図１について既に説明した参考例と同様であるため、ここでは詳細な説明は省略する。
【００２９】
図６に示すように、検出素子６は、参考例と同様に、可燃ガスとの接触燃焼を促進する触媒を担持した担持体８に覆われた白金コイル９と、から構成されている。検出素子６の担持体８は、参考例と同様に、上記触媒として白金族、例えばパラジウム（Ｐｄ）を担持したアルミナ（Ａｌ2Ｏ2）で構成されている。一方、比較素子７は、可燃ガスに対して不感となる材料で構成され、例えばアルミナ単独、あるいはアルミナに低融点ガラスを添加した材料である。比較素子７の比表面積は検出素子６の比表面積と基本的に異なる材料である。また、検出素子６と比較素子７とは同じ大きさに設けられている。
【００３０】
上記検出素子６及び比較素子７は、一つの支持部１５に支持されている。支持部１５は、板状のベース１６と、ベース１６に貫通するニ対のピン１７、１８と、から構成されている。そして、検出素子６の白金コイル９の両端が支持部１５のピン１７に各々接続されて、検出素子６が支持部１５に支持される。また、比較素子７の白金コイル９の両端が支持部１５のピン１８に各々接続されて、比較素子７が支持部１５に支持される。
【００３１】
上記支持部１５は、検出素子６及び比較素子７側が可燃ガスの流路内に配置されるように設けられている。また、支持部１５は、ベース１６の検出素子６及び比較素子７とは離れた側に突出するピン１７、１８が上記ブリッジ回路４やμＣＯＭ３が搭載された図示しない基板上に搭載されて電気的に接続されるように設けられている。図６及び図２を比較しても明らかなように、比較素子７の白金コイル９を可燃ガスに対して不感となる材料で構成された担持体８で覆うことにより、密閉キャップ１４を必要とせずに、１枚のベース１６上に検出素子６及び比較素子７を設けることができる。
【００３２】
次に、上述したガスセンサ２の特性について図７〜図１０を参照して説明する。本発明者は、比較素子７の担持体８を検出素子６と同じアルミナで構成した図６に示す構成のガスセンサ２を比較品として作製して、この比較品を用いて環状シロキサンの暴露試験を実施して、暴露回数（回）とセンサ出力との感度変動率（％）との関係、暴露回数（回）とエアベース時のセンサ出力（ｍＶ）との関係をそれぞれ測定した。結果を図７及び図８に示す。なお、比較品は、詳しくは、検出素子６が触媒として白金族、例えばパラジウム（Ｐｄ）を担持したアルミナ（Ａｌ２Ｏ２）からなるＰｄ／Ａｌ２Ｏ２から構成され、比較素子７が触媒を担持していないアルミナから構成されている。これにより検出素子６の担持体８と比較素子７の担持体８との比表面積は同じになる。
【００３３】
また、本発明者は、上述した検出素子６の担持体８と比較素子７の担持体８との比表面積が異なる本発明品を作製して、この本発明品を用いて環状シロキサンの暴露試験を実施して、暴露回数（回）とセンサ出力との感度変動率（％）との関係、暴露回数（回）とエアベース時のセンサ出力（ｍＶ）との関係をそれぞれ測定した。結果を図９及び図１０に示す。
【００３４】
図７からも明らかなように比較品の場合、センサ出力の感度は、環状シロキサンの暴露回数が多くなる程、即ち検出素子６に対する環状シロキサンの付着量が多くなる程、変動率が大きくなり劣化することが分かった。しかしながら、図８からも明らかなように、エアベース時のセンサ出力は、環状シロキサンの暴露回数が多くなっても変動しないことが分かった。これは、検出素子６と比較素子７との担持体８の母材が同じアルミナであり、触媒の有無だけの差なので、検出素子６及び比較素子７に対する環状シロキサンの付着量が同量となり、結果的にブリッジ回路４のバランスが保たれているためである。
【００３５】
これに対して、図９からも明らかなように、本発明品の場合、センサ出力の感度は、環状シロキサンの暴露回数が多くなる程、即ち検出素子６に対する環状シロキサンの付着量が多くなる程、変動率が大きくなり劣化することが分かった。また、図１０からも明らかなように、エアベース時のセンサ出力は、環状シロキサンの暴露回数が多くなる程、プラス側にドリフトすることがわかった。これは、検出素子６の担持体８と比較素子７の担持体８とを比表面積が異なる材料で形成することにより、検出素子６及び比較素子７に対する環状シロキサンの付着量が異なり、ブリッジ回路４のバランスがくずれるためである。以上のことから明らかなように、検出素子６の担持体８と比較素子７の担持体８とを比表面積が異なる材料で形成すれば、感度低下限界点（図９）に対応する閾値（図１０）を設定し、エアベース時のセンサ出力が閾値以上となったときにガスセンサ２の劣化を検出することができる。
【００３６】
次に、上述した構成のガス検出装置１の動作について図１１を参照して説明する。図１１は、図１に示すＣＰＵ３１の一実施形態における劣化検出処理における処理手順を示すフローチャートである。ＣＰＵ３１は、参考例と同様に、定期的にセンサ出力に基づいて可燃ガスが存在しないエアベース時であるか否かを判断し、エアベースであると判断したとき劣化検出処理を行う。
【００３７】
まず、ＣＰＵ３１は、ガスセンサ２のセンサ出力を取り込む（ステップＳ１０）。次に、ＣＰＵ３１は、取り込んだセンサ出力が閾値以上であるか否かを判断する（ステップＳ１１）。ＣＰＵ３１は、センサ出力が閾値以上であれば（ステップＳ１１でＹ）、ガスセンサ２に劣化が生じていることを検出しその旨を報知した後（ステップＳ１２）、劣化検出処理を終了する。これに対して、ＣＰＵ３１は、センサ出力が閾値よりも小さければ（ステップＳ１１でＮ）、ガスセンサ２に劣化が生じていないと判断して直ちに劣化検出処理を終了する。
【００３８】
上述したガス検出装置１によれば、検出素子６の担持体８と比較素子７の担持体８との表面積が互いに異なるように、検出素子６及び比較素子７が設けられていることにより、経年変化に応じて検出素子６に吸着する被毒物質量と比較素子７に吸着する被毒物質量とが異なり、経年変化に応じてエアベース時のセンサ出力が変化する。そして、エアベース時におけるセンサ出力に基づいてガスセンサ２の劣化を検出することにより、基準ガスセンサやダミー素子を用いる必要がなく、正確にガスセンサ２の劣化を検出することができる。
【００３９】
また、上述したガス検出装置１によれば、検出素子６の担持体８と比較素子７の担持体８とが互いに比表面積の異なる材料で設けられているので、検出素子６の担持体８と比較素子７の担持体８との大きさを同じにして、かつ、表面積を異ならせることができる。これにより、ブリッジ回路４のバランスが取れやすくなる。
【００４０】
なお、上述した本実施形態では、劣化に応じてエアベース時のセンサ出力がプラス側にドリフトしていたが、本発明はこれに限ったものではない。ガスセンサ２の構成によっては、劣化に応じてエアベース時のセンサ出力がマイナス側にドリフトする場合もある。この場合、エアベース時のセンサ出力が閾値以下であるときに劣化を検出し、閾値よりも大きいときに劣化していないと判断するようにしてもよい。
【００４１】
また、上述した第１実施形態では、検出素子６及び比較素子７の担持体８を比表面積の異なる材料で設けていたが、本発明はこれに限ったものではない。例えば、検出素子６及び比較素子７の担持体８を比表面積の同じ材料で設け、検出素子６及び比較素子７の担持体８の大きさを互いに異ならせても、上述した第１実施形態と同様に、環状シロキサンの暴露回数に応じてエアベース時のセンサ出力をドリフトさせることができる。
【００４２】
また、上述した第１実施形態では、検出素子６及び比較素子７の担持体８を比表面積の異なる材料で設けると共に同じ大きさに設けていたが、本発明はこれに限ったものではない。例えば、検出素子６及び比較素子７の担持体８を比表面積の異なる材料で設けると共に大きさを互いに異ならせても、上述した第１実施形態と同様に、環状シロキサンの暴露回数に応じてエアベース時のセンサ出力をドリフトさせることができる。
【００４３】
また、前述した実施形態は本発明の代表的な形態を示したに過ぎず、本発明は、実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】ガスセンサの劣化検出装置を組み込んだガス検出装置の参考例を示す回路図である。
【図２】参考例における図１に示す検出素子及び比較素子の構成を示す図である。
【図３】参考例における環状シロキサンの暴露回数とセンサ出力の感度変動率との関係を示すグラフである。
【図４】参考例における環状シロキサンの暴露回数とエアベース時のセンサ出力との関係を示すグラフである。
【図５】図１に示すＣＰＵの本実施形態における劣化検出処理手順を示すフローチャートである。
【図６】本実施形態における図１に示す検出素子及び比較素子の構成を示す図である。
【図７】本実施形態の比較品における環状シロキサンの暴露回数とセンサ出力の感度変動率との関係を示すグラフである。
【図８】本実施形態の比較品における環状シロキサンの暴露回数とエアベース時のセンサ出力との関係を示すグラフである。
【図９】本実施形態の本発明品における環状シロキサンの暴露回数とセンサ出力の感度変動率との関係を示すグラフである。
【図１０】本実施形態の本発明品における環状シロキサンの暴露回数とエアベース時のセンサ出力との関係を示すグラフである。
【図１１】図１に示すＣＰＵの本実施形態における劣化検出処理手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４５】
２  ガスセンサ
６    検出素子
７    比較素子
８    担持体
９    白金コイル
１４  密閉キャップ（密閉手段）
３１  ＣＰＵ（劣化検出手段）
【図１】
0005248206.tif 000002
【図２】
0005248206.tif 000003
【図３】
0005248206.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005248206.tif 000009
【図９】
0005248206.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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