(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池セルを構成する半導体基板と、
前記半導体基板の表面上に形成された電極と、
前記電極に接続されたインターコネクタとを備え、
前記電極に接続された前記インターコネクタの先端部分において、前記インターコネクタの他の部分よりも、長手方向に直交する方向の幅が狭くなっている部分を有し、
接続されている前記インターコネクタの先端部分が、前記インターコネクタの一方の側辺から他方の側辺に伸びる傾斜直線状の斜辺を有し、
前記電極に接続された前記インターコネクタの部分のうち、前記インターコネクタの先端部分とは反対側の部分が、前記インターコネクタの他の部分よりも細くなるように形成されており、前記先端部分および前記先端部分とは反対側の部分を除く前記インターコネクタの他の部分は略同じ幅となっている、インターコネクタ付き太陽電池。
【請求項２】
前記電極が太陽電池セルのバスバー電極であり、前記バスバー電極に接続された前記インターコネクタの先端部分の角度が、３°〜２５°である、請求項１に記載のインターコネクタ付き太陽電池。
【請求項３】
前記バスバー電極に接続された前記インターコネクタの先端部分の角度が、１０°〜２０°である、請求項２に記載のインターコネクタ付き太陽電池。
【請求項４】
前記電極が太陽電池セルのバスバー電極であり、前記インターコネクタの他の部分より細くなるように形成されている前記部分が、前記インターコネクタの側辺に形成された略三角形の切り込みを設けることによって形成され、前記切り込みの斜辺が前記インターコネクタ側辺となす角度（β）が３°〜２５°、インターコネクタの幅に対する切り込み量の割合が５０％〜７０％である、請求項１〜３のいずれかに記載のインターコネクタ付き太陽電池。
【請求項５】
インターコネクタの長手方向の一方の端部と他方の端部とが、インターコネクタの長手方向中央に対して対称な平面形状を有する、請求項１に記載のインターコネクタ付き太陽電池。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のインターコネクタ付き太陽電池が接続され、封止材によって封止されて形成された、太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インターコネクタ付き太陽電池および太陽電池モジュールに関し、特に、太陽電池素子の製造方法に関し、より詳しくはインターコネクタと太陽電池素子とのはんだ接合時の太陽電池素子の割れの発生を防止する、インターコネクタ付き太陽電池および太陽電池モジュールの構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
太陽光エネルギを直接電気エネルギに変換する太陽電池は、近年、特に地球環境問題の観点から、次世代のエネルギ源としての期待が急激に高まっている。太陽電池としては、化合物半導体または有機材料を用いたものなど様々な種類があるが、現在、主流となっているのは、シリコン結晶を用いたものである。
【０００３】
図３に、従来の太陽電池の一例の模式的な断面図を示す。ここで、太陽電池においては、ｐ型シリコン基板１０の受光面にｎ＋層１１が形成されることによって、ｐ型シリコン基板１０とｎ＋層１１とによりｐｎ接合が形成されており、ｐ型シリコン基板１０の受光面上には反射防止膜１２および銀電極１３がそれぞれ形成されている。また、ｐ型シリコン基板１０の受光面と反対側の裏面にはｐ＋層１５が形成されている。そして、ｐ型シリコン基板１０の裏面上にはアルミニウム電極１４および銀電極１６がそれぞれ形成されている。
【０００４】
図４（ａ）〜（ｉ）に、従来の太陽電池の製造方法の一例を示す。まず、図４（ａ）に示すように、ｐ型シリコン結晶の原料を坩堝で溶解した後に再結晶化して得られたシリコンインゴッド１７をシリコンブロック１８に切断する。次に、図４（ｂ）に示すように、シリコンブロック１８をワイヤソーで切断することにより、ｐ型シリコン基板１０が得られる。
【０００５】
次いで、アルカリまたは酸によりｐ型シリコン基板１０の表面をエッチングすることによって、図４（ｃ）に示すｐ型シリコン基板１０のスライス時のダメージ層１９を除去する。このとき、エッチング条件を調整すると、ｐ型シリコン基板１０の表面に微小な凹凸（図示せず）を形成することができる。この凹凸により、ｐ型シリコン基板１０の表面に入射する太陽光の反射が低減されて、太陽電池の変換効率を高めることができる。
【０００６】
続いて、図４（ｄ）に示すように、ｐ型シリコン基板１０の一方の主面（以下、「第１主面」という）上にリンを含む化合物を含有したドーパント液２０を塗布する。そして、ドーパント液２０の塗布後のｐ型シリコン基板１０を８００℃〜９５０℃の温度で５〜３０分間熱処理することによりｐ型シリコン基板１０の第１主面にｎ型ドーパントであるリンが拡散して、図４（ｅ）に示すように、ｐ型シリコン基板１０の第１主面にｎ＋層１１が形成される。なお、ｎ＋層１１の形成方法としては、ドーパント液を塗布する方法以外にも、Ｐ2Ｏ5やＰＯＣｌ3を用いた気相拡散による方法がある。
【０００７】
次いで、リンの拡散時にｐ型シリコン基板１０の第１主面に形成されるガラス層を酸処理により除去した後、図４（ｆ）に示すように、ｐ型シリコン基板１０の第１主面上に反射防止膜１２を形成する。反射防止膜１２の形成方法としては、常圧ＣＶＤ法を用いて酸化チタン膜を形成する方法やプラズマＣＶＤ法を用いて窒化シリコン膜を形成する方法などが知られている。また、ドーパント液を塗布する方法によりリンを拡散する場合には、リンに加えて反射防止膜１２の材料も含ませたドーパント液を用いることによって、ｎ＋層１１と反射防止膜１２とを同時に形成することもできる。また、反射防止膜１２の形成は、銀電極の形成後に行なう場合もある。
【０００８】
そして、図４（ｇ）に示すように、ｐ型シリコン基板１０の他方の主面（以下、「第２主面」という）上にアルミニウム電極１４を形成するとともにｐ型シリコン基板１０の第２主面にｐ＋層１５を形成する。アルミニウム電極１４およびｐ＋層１５は、たとえば、アルミニウム粉末、ガラスフリット、樹脂および有機溶剤からなるアルミニウムペーストをスクリーン印刷などにより印刷した後に、ｐ型シリコン基板１０を熱処理することによって、アルミニウムが溶融してシリコンと合金化することにより形成されたアルミニウム−シリコン合金層下にｐ＋層１５が形成されるとともに、ｐ型シリコン基板１０の第２主面上にアルミニウム電極１４が形成される。また、ｐ型シリコン基板１０とｐ+層１５のドーパント濃度差が、ｐ型シリコン基板１０とｐ＋層１５の界面に電位差（電位障壁として働く）をもたらし、光生成されたキャリアがｐ型シリコン基板１０の第２主面付近で再結合するのを防いでいる。これにより、太陽電池の短絡電流（Ｉｓｃ：short circuit current）および開放電圧（Ｖｏｃ：open circuit voltage）が共に向上する。
【０００９】
その後、図４（ｈ）に示すように、ｐ型シリコン基板１０の第２主面上に銀電極１６を形成する。銀電極１６は、たとえば、銀粉末、ガラスフリット、樹脂および有機溶剤からなる銀ペーストをスクリーン印刷などにより印刷した後に、ｐ型シリコン基板１０を熱処理することによって得ることができる。
【００１０】
そして、図４（ｉ）に示すように、ｐ型シリコン基板１０の第１主面上に銀電極１３を形成する。銀電極１３は、ｐ型シリコン基板１０との接触抵抗を含む直列抵抗を低く抑えるとともに銀電極１３の形成面積を少なくして太陽光の入射量を減少させないようにするため、銀電極１３の線幅、ピッチおよび厚さなどのパターン設計が重要である。銀電極１３の形成方法としては、たとえば、反射防止膜１２の表面上に銀粉末、ガラスフリット、樹脂および有機溶剤からなる銀ペーストをスクリーン印刷などにより印刷した後に、ｐ型シリコン基板１０を熱処理することによって、銀ペーストが反射防止膜１２を貫通してｐ型シリコン基板１０の第１主面と良好な電気的接触が可能なファイアスルー方式が量産ラインで用いられている。
【００１１】
以上のようにして、図３に示す構成の太陽電池を製造することができる。なお、銀電極１３および銀電極１６の形成後のｐ型シリコン基板１０を溶融半田槽に浸漬することによって銀電極１３および銀電極１６の表面に半田をコーティングすることもできる。この半田のコーティングは、プロセスによっては省略される場合もある。また、上記のようにして製造された太陽電池にソーラシミュレータを用いて擬似太陽光を照射し、太陽電池の電流−電圧（ＩＶ）特性を測定してＩＶ特性を検査することもできる。
【００１２】
太陽電池は、その複数が直列に接続されて太陽電池ストリングとされた後、太陽電池ストリングを封止材によって封止して太陽電池モジュールとして販売および使用されることが多い。上記のような従来の太陽電池ストリングおよび太陽電池モジュールを開示する先行文献として、たとえば、下記の特許文献１および２が挙げられる。
【００１３】
図５（ａ）〜（ｅ）に、従来の太陽電池モジュールの製造方法の一例を示す。まず、図５（ａ）に示すように、太陽電池３０の第１主面の銀電極上に導電性部材であるインターコネクタ３１を接続する。
【００１４】
次に、図５（ｂ）に示すように、インターコネクタ３１が接続された太陽電池３０を一列に配列し、太陽電池３０の第１主面の銀電極に接続されているインターコネクタ３１の他端を他の太陽電池３０の第２主面の銀電極に接続して、太陽電池ストリングを作製する。
【００１５】
次いで、図５（ｃ）に示すように、太陽電池ストリングを並べて、太陽電池ストリングの両端から突出しているインターコネクタ３１と、他の太陽電池ストリングの両端から突出しているインターコネクタ３１とを導電性部材である配線材３３を用いて直列に接続することによって、太陽電池ストリング同士を互いに接続する。
【００１６】
続いて、図５（ｄ）に示すように、接続された太陽電池ストリング３４を封止材としてのＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）フィルム３６で挟み込み、その後、ガラス板３５とバックフィルム３７との間に挟む。そして、ＥＶＡフィルム３６間に入った気泡を減圧して抜き、加熱すると、ＥＶＡフィルム３６が硬化して、太陽電池ストリングがＥＶＡ中に封止される。これにより、太陽電池モジュールが作製される。
【００１７】
その後、図５（ｅ）に示すように、太陽電池モジュールは、アルミニウム枠４０内に配置され、ケーブル３９を備えた端子ボックス３８が太陽電池モジュールに取り付けられる。そして、上記のようにして製造された太陽電池モジュールにソーラシミュレータを用いて擬似太陽光を照射し、太陽電池の電流−電圧（ＩＶ）特性を測定してＩＶ特性が検査される。
【００１８】
図６に、図３に示す太陽電池の受光面となるｐ型シリコン基板１０の第１主面上に形成された銀電極１３のパターンを示す。ここで、銀電極１３は、比較的幅の大きい１本の線状のバスバー電極１３ａと、バスバー電極１３ａから伸びる複数の比較的幅の小さい線状のフィンガー電極１３ｂと、から構成されている。
【００１９】
図７に、図３に示す太陽電池の裏面となるｐ型シリコン基板１０の第２主面上に形成されたアルミニウム電極１４と銀電極１６のパターンを示す。ここで、アルミニウム電極１４はｐ型シリコン基板１０の第２主面のほぼ全面に形成されており、銀電極１６はｐ型シリコン基板１０の第２主面の一部のみに形成されている。これは、アルミニウム電極１４に半田をコーティングをすることは困難であるため、半田をコーティングすることが可能な銀電極１６が必要となることがあるためである。
【００２０】
図８に、図３に示す構成の太陽電池を直列に接続した太陽電池ストリングの模式的な断面図を示す。ここで、太陽電池の受光面のバスバー電極１３ａに半田などによって固定されたインターコネクタ３１は、隣接する他の太陽電池の裏面の銀電極１６に半田などによって固定されている。なお、図８においては、ｎ＋層とｐ＋層の記載は省略されている。
【特許文献１】特開２００６−１２８２９０号公報
【特許文献２】特開２００７−１０９９６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、太陽電池の受光面に形成された銀電極１３のバスバー電極１３ａにインターコネクタ３１を半田付けによって固定すると、インターコネクタ３１とバスバー電極１３ａとの接続部分において、ｐ型シリコン基板に、バスバー電極に接続されるインターコネクタの先端部の形状に起因する割れ４１が発生する。それは、太陽電池のバスバー電極１３ａにインターコネクタを半田付けする時に、インターコネクタの熱収縮の力がバスバー電極１３ａの先端部に掛かり、たとえば図９（ａ）において参照番号４１を伏して示すように、太陽電池の割れとなる。割れ４１の出現頻度が多いと、太陽電池モジュールの組み立て工程の妨げになるほか、生産性を著しく落としてしまうことになる。
【００２２】
半田付けによるインターコネクタの接続時に生じる熱収縮に伴う上記問題点は、インターコネクタをバスバーに接続される場合に限られるものではなく、インターコネクタを太陽電池セルの電極に半田によって接続する際に一般的に解決すべき課題である。すなわち、太陽電池セルとインターコネクタは熱膨張率が違うため、膨張・収縮により太陽電池セルに応力がかかり、割れやクラックが発生することがある。また、応力が集中するインターコネクタ先端部分では、太陽電池セルを形成するシリコンがえぐれることがある。
【００２３】
上記従来の問題点を解消するため、本発明は、バスバー電極等の太陽電池セルの電極にインターコネクタを接続する構造を有する太陽電池において、半導体基板の割れが生じないインターコネクタ形状を備えた、インターコネクタ付き太陽電池および太陽電池モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記目的を達成する本発明のインターコネクタ付き太陽電池は、太陽電池セルを構成する半導体基板と、半導体基板の表面上に形成された電極と、電極に接続されたインターコネクタとを備える。この発明の特徴は、電極に接続されたインターコネクタの先端部分において、インターコネクタの他の部分よりも、長手方向に直交する方向の幅が狭くなっている部分を有することである。
【００２５】
本発明のインターコネクタ付き太陽電池の一実施形態においては、上記電極が太陽電池セルのバスバー電極であり、このバスバー電極に接続されたインターコネクタの先端部分が、鋭角をなすように、インターコネクタの先端近傍において長手方向に傾斜する辺を有する。
【００２６】
バスバー電極に接続されたインターコネクタの先端部分の角度は、３°〜２５°であり、この角度は、１０°〜２０°であることがより好ましい。また、本発明の好ましい実施形態においては、インターコネクタ付き太陽電池においては、接続されているインターコネクタの先端部分が、インターコネクタの一方の側辺から他方の側辺に伸びる傾斜直線状の斜辺を有する。
【００２７】
本発明のインターコネクタ付き太陽電池は、他の局面においては、バスバー電極に接続されたインターコネクタの部分のうち、インターコネクタの先端部分とは反対側の部分が、インターコネクタの他の部分よりも細くなるように形成されている。この構造において、接続されているインターコネクタの先端部分が鋭角をなすことが好ましい。
【００２８】
この局面におけるインターコネクタ付き太陽電池の好ましい実施形態においては、インターコネクタの他の部分より細くなるように形成されている部分が、インターコネクタの側辺に形成された略三角形の切り込みを設けることによって形成される。この切り込みの斜辺がインターコネクタ側辺となす角度（β）は、３°〜２５°が好ましく、インターコネクタの幅に対する切り込み量の割合は、５０％〜７０％であることが好ましい。
本発明におけるインターコネクタ付き太陽電池において、インターコネクタの先端部分を、インターコネクタの長手方向に沿った中心線に対して対称にしてもよい。また、インターコネクタの長手方向の一方の端部と他方の端部とが、対称な平面形状を有するように形成してもよい。  本発明には、上記本発明のインターコネクタ付き太陽電池が接続され、封止材によって封止されて形成された、太陽電池モジュールが含まれる。
【発明の効果】
【００２９】
上記構成を有する本発明のインターコネクタ付き太陽電池よれば、従来形状インターコネクタの場合に比べて、バスバー電極にインターコネクタを接続する構造を有する太陽電池を製造する差異の半田付けに際して、太陽電池の割れ枚数を大幅に減少させることができるという、特有の効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の一実施形態のインターコネクタ付き太陽電池について、図１に基づいて説明する。本発明の一実施形態のインターコネクタ付き太陽電池は、図９に示す従来のインターコネクタの先端形状を、図１（ａ），（ｂ)に示すような鋭角となるように変更したものである。本実施の形態のように、インターコネクタ３１の先端形状を、図１（ｂ）の角αのように鋭角することにより、インターコネクタ３１の先端の面積が小さくなり、インターコネクタ３１をバスバー電極１３ａに半田付けする時に生じるインターコネクタの熱収縮の力が、バスバー電極１３ａの先端部において低減される。
【００３１】
太陽電池のバスバー電極１３ａの先端部とは反対側の根元部においても同様に、従来は図９（ｃ）に示すようになっていた形状を、本実施形態においては、図１（ｃ）に拡大して示すように、根元部のインターコネクタ３１の側辺に切り込みを入れている。このインターコネクタ３１の切り込みより、インターコネクタの根元部の面積が小さくなり、この部分をバスバー電極に半田付けする際に生じるインターコネクタの熱収縮の力が低減される。このように、本実施の形態のようなインターコネクタ３１の形状にすることにより、半田付けの際に生じるバスバー電極１３ａの先端部および根元部からの割れ４１の発生を低減することが出来る。
【００３２】
本発明の上記実施形態による割れ発生の防止効果は、インターコネクタの先端形状に対して先端の面積が小さくなることで、熱収縮が小さくなる効果と、バスバー電極との接続時の熱がｐ型シリコン基板等の版基板に与えるダメージが小さくなり、図９（ａ）に示したような割れ４１が減少するものと考えられる。
【００３３】
本発明の実施形態による効果を立証するために行なった、４通りの実験例の内容とその分析結果は、次のとおりである。
【００３４】
[実験例１]
まず、銅にはんだコーティングしたインターコネクタ（幅２．０ｍｍ、はんだ厚０．２ｍｍ)の先端部を、図９（ｂ）に示した従来形状のもの（比較例）、および、本発明の実施例として、図１（ｂ）に示した、インターコネクタの先端の角度αを３０°、２０°、１０°、３°にしたものを用意し、太陽電池のバスバー電極１３ａに半田付けを行なった。
【００３５】
本実施例によって、図１（ｂ）の角度αが、３°１０°、２０°の先端形状を持つインターコネクタでは、従来形状のインターコネクタの半田付けと比較して、半田付けに際して、太陽電池の割れ枚数が３分の１に減少した。角度αが３０°では従来と割れ枚数が変わらなかった。ただし、角度αが３°になるとインターコネクタの先端形状のばらつきが大きく、生産性には不向きである。
【００３６】
[実験例２]
インターコネクタの根元部を、図９（ｃ）に示した従来形状のもの（比較例）と、本発明の実施例として、図１（ｃ）に示した、切り込み角度βを２０°にしたものを、太陽電池のバスバー電極１３ａに半田付けを行なった。
【００３７】
本実施例のように、インターコネクタの根元部に切り込みを入れることで、従来と比べて根元部での割れ枚数が、２分の１に減少した。このことより、図１（ｂ）における角度αが、１０°〜２０°の先端形状を持ち、図１（ｃ）のような切り込みを持ったインターコネクタが、太陽電池に半田付けする際の割れ４１発生の防止に効果があることが確認できた。
【００３８】
[実験例３]
次に、図１（ｂ）に示した角度αと、半田付け時の割れ発生の効果との関係をより詳細に分析するため、次のような追加の実験を行なった。
（ｉ）角度αの上限を確認するため、αを２０°〜３０°まで１°刻みで実験を行なう。
（ii）次に、下限の確認のため、αを１°、２°、３°で実験を行なう。
【００３９】
上記条件での実験結果は、次のとおりであった。まず、角度αが２０°〜２５°では、切り込みが無い従来形状に対して、割れが３分の１に減る効果が確認された。角度αが２５°より大きいと割れに対する効果は小さくなり、所期の効果を得るための角度αの上限は、２５°であることが確認された。
【００４０】
角度αの下限については、角度αが３°までは実験効果の確認ができたが、１°、２°のものは、インターコネクタの先端が細くなり過ぎて、先端形状を作ること自体が困難であることから、実験による比較を行なうことは不可能であった。
【００４１】
以上の実験結果から、角度αは、３°〜２５°の範囲に設定することにより、所期の効果が得られることが確認された。
【００４２】
[実験例４]
上記実施例２の角度βに関して、切り込み量と角度βをパラメータとして、次の条件で実験を行なった。
（ｉ）角度βを、２°, ３°, １０°, ２０°〜 ３０°まで１°刻みの条件
（ii）上記の各々の角度βの値の場合ごとに、それぞれ切り込み量を、インターコネクタの幅に対して、４０％、５０％、６０％、７０％、８０％に変化させた。
【００４３】
本実験の結果、角度βが３°〜２５°のものは、切り込み量が５０％〜７０％で、従来の切り込みが無い場合と比べて、割れが２分の１に低減した。切り込み量が４０％では従来と割れが変わらず、８０％では、切り込み量が大きすぎるため、インターコネクタが切断されるという問題が起こり、実験の効果確認が困難であった。角度βが２°の場合については、切り込み量に関わらず切り込み形状を作ることが困難であり、実験で効果確認を行なうことが不可能であった。
【００４４】
上記実験結果から、割れ防止に効果のある角度βと切り込み量との関係は、角度β：３°〜２５°、切り込み量：５０％〜７０％であることがわかる。
【００４５】
次に、本発明の実施形態におけるインターコネクタ３１の先端形状の種々の変形例を、図２（ａ）〜（ｌ）に示す。すなわち、本発明の実施形態においては、インターコネクタ３１の先端形状は、図１に示す態様に限られず、図２（ａ）〜（ｌ）に示すような種々の態様を採用し得る。これらの図に示す変形例では、たとえば１５５ｍｍ×１５５ｍｍの大きさの太陽電池セルに設けられたバスバー電極に半田付けによって接続された、インターコネクタの先端より２ｍｍから１０ｍｍの部分に、形状を種々変化させることにより、インターコネクタのその他の部分よりも、長手方向に直行する方向の幅を小さくししている。
【００４６】
また、これらの図においては、図１の場合と同様に、バスバー電極１３ａにインターコネクタ３１の先端が接続されている状態を示しているが、インターコネクタ３１の先端が接続されるのはバスバー電極に限られず、太陽電池セルのその他の電極に接続される場合にも、これらの変形例を適用することができる。
【００４７】
インターコネクタ３１の先端をこれらの変形例のような形状にすることにより、インターコネクタ３１の太陽電池セルとの接続領域において、インターコネクタ３１が他の部分よりも細くなっていることから、インターコネクタ３１と太陽電池セルの電極との接続部の面積をより小さくすることができるため、インターコネクタ３１と太陽電池セルとの熱膨張差による応力の発生を抑制し、太陽電池セルの割れやシリコンのえぐれの発生を抑制することができるという、特有の効果を奏する。
【００４８】
これらの変形例において、インターコネクタ３１の、一つの太陽電池セルの電極に接続される側の端部と、他の太陽電池セルの電極に接続される他方の端部とが、インターコネクタ３１の長手方向中央に関して対称な形状を有するようにしてもよい。このように、対称な両端形状を有するインターコネクタを用いることにより、一方の太陽電池セルにインターコネクタのいずれの端部を接続してもよいことから、インターコネクタの長手方向の向きを一方に限定する必要がない。そのため、太陽電池ストリングを形成する際のインターコネクタ接続時の配置を柔軟に行なうことができ、生産効率が向上する。
【００４９】
今回開示された実施の形態はすべて例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】（ａ）は、本発明の一実施形態のバスバー電極とインターコネクタとの接続構造を示す平面図、（ｂ）は（ａ）における円Ｂ内の拡大図、（ｃ）は（ａ）における円Ｃ内の拡大図である。
【図２】（ａ）〜（ｌ）は、本発明の実施形態のバスバー電極先端近傍とインターコネクタ先端との接続構造の種々の変形例を示す拡大平面図である。
【図３】従来の太陽電池の一例の模式的な断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｉ）は、従来の太陽電池の製造方法の一例における各工程を示す図である。
【図５】（ａ）〜（ｅ）は、従来の太陽電池モジュールの製造方法の一例における各工程を示す図である。
【図６】図３に示す太陽電池の受光面となるｐ型シリコン基板１０の第１主面上に形成された銀電極１３のパターンを示す図である。
【図７】図３に示す太陽電池の裏面となるｐ型シリコン基板１０の第２主面上に形成されたアルミニウム電極１４と銀電極１６のパターンを示す図である。
【図８】図３に示す構成の太陽電池を直列に接続した太陽電池ストリングの模式的な断面図である。
【図９】（ａ）は、従来例におけるバスバー電極とインターコネクタとの接続構造を示す平面図、（ｂ）は（ａ）における円Ｂ内の拡大図、（ｃ）は（ａ）における円Ｃ内の拡大図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  ｐ型シリコン基板、１１  ｎ+層、１２  反射防止膜、１３，１６  銀電極、１
３ａ  バスバー電極、１３ｂ  フィンガー電極、１４  アルミニウム電極、１５  ｐ+層
、１７  シリコンインゴッド、１８  シリコンブロック、２０  ドーパント液、３０  太陽電池、３１  インターコネクタ、３３  配線材、３４  太陽電池ストリング、３５  ガラス板、３６  ＥＶＡフィルム、３７  バックフィルム、３８  端子ボックス、３９  ケーブル、４０  アルミニウム枠、４１  割れ。
【図１】
0005196418.tif 000002
【図２】
0005196418.tif 000003
【図３】
0005196418.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0005196418.tif 000007
【図７】
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【図８】
0005196418.tif 000009
【図９】
0005196418.tif 000010