(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＤＭＡ転送方式によりデータ転送を行うデータ転送制御部を備える複数のテスタデバイスと、該テスタデバイスを制御して被試験デバイスの試験を行う制御部とを備える半導体試験装置において、
前記制御部は、前記テスタデバイスの各々に設けられた前記データ転送制御部に対する制御命令と、出力先の前記テスタデバイスを指定するデバイス番号を対応付けた該制御命令を一まとめにした制御命令群を出力する制御手段と、
前記制御手段から前記テスタデバイスに対して個別に出力される前記制御命令を受信する前記テスタデバイスの各々に対応して設けられた第１受信ノードと、前記制御手段からの前記制御命令群を受信する第２受信ノードとを有しており、前記第１受信ノードで受信した前記制御命令を対応する前記テスタデバイスに出力し、前記第２受信ノードで受信した前記制御命令群に含まれる制御命令の各々を、該制御命令に対応付けられた前記デバイス番号で指定される前記テスタデバイスに振り分ける振分手段とを備える
ことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記テスタデバイスに対して個別に前記制御命令を出力し、或いは前記制御命令群を出力することにより、前記被試験デバイスの試験に係るデータを、前記データ転送制御部により前記テスタデバイスにそれぞれ転送させることを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記制御命令には、転送すべきデータが格納されているアドレス、転送すべきデータのサイズ、及び前記テスタデバイス内におけるデータの転送先を示すアドレスが含まれることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＤＭＡ（Direct Memory Access）転送方式によってデータを転送するデータ転送装置を備える半導体試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＭＡ転送方式とは、周知の通り、ＣＰＵ（中央処理装置）を介さずにメモリとメモリとの間、又はメモリと各種デバイスとの間で直接データを転送するデータ転送方式をいう。被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置では、例えば被試験デバイスに印加する試験パターンを生成するために用いられるパターンデータを所定のテスタデバイス（例えば、ピンエレクトロニクスカード）に転送するのに要する時間を短縮するためにＤＭＡ転送方式が用いられている。
【０００３】
図５は、半導体試験装置に設けられる従来のデータ転送装置の要部構成を示すブロック図である。図５に示す通り、データ転送装置１００は、ＣＰＵ１０１と複数のテスタデバイス１０２ａ〜１０２ｎに設けられたＤＭＡコントローラ１２１ａ〜１２１ｎとを備えている。ＣＰＵ１０１は半導体試験装置の動作を統括的に制御するものであり、所定の制御プログラム及び所定のデバイスプログラムを実行することによりＣＰＵ１０１にはシステム制御部１１１及びデバイスドライバ部１１２がそれぞれ実現されている。
【０００４】
システム制御部１１１は、デバイスドライバ部１１２に対してテスタデバイス１０２ａ〜１０２ｎを制御するための制御命令（例えば、ＤＭＡ転送コマンド等）を出力する。デバイスドライバ部１１２は、システム制御部１１１とテスタデバイス１０２ａ〜１０２ｎとの間に介在されて、テスタデバイス１０２ａ〜１０２ｎ毎のハードウェア上の相違を吸収して、システム制御部１１１がテスタデバイス１０２ａ〜１０２ｎを論理的に制御することを橋渡しするものである。このデバイスドライバ部１１２には、テスタデバイス１０２ａ〜１０２ｎ毎に、システム制御部１１１に対する論理的な入出力部となるデバイスノード１１３ａ〜１１３ｎが設けられる。
【０００５】
テスタデバイス１０２ａ〜１０２ｎは、ピンエレクトロニクスカード、電源カード、その他の半導体試験装置に設けられる各種デバイスであって、ＤＭＡコントローラ１２１ａ〜１２１ｎをそれぞれ備えている。ＤＭＡコントローラ１２１ａ〜１２１ｎは、システム制御部１１１から出力されるＤＭＡ転送コマンドに基づいてＤＭＡ転送方式によりデータ転送を行う。尚、データ転送は、ＤＭＡコントローラ１２１ａ〜１２１ｎの制御の下で、例えば不図示のメモリから不図示のデータバスを介してテスタデバイス１０２ａ〜１０２ｎ内の所定のアドレスに対して行われる。
【０００６】
上記構成において、システム制御部１１１がテスタデバイス１０２ａ〜１０２ｎに設けられたＤＭＡコントローラ１２１ａ〜１２１ｎにＤＭＡ転送を行わせる場合には、ＤＭＡ転送を行わせるべきテスタデバイスに対応したデバイスノードに対してＤＭＡ転送コマンドを出力する。このＤＭＡ転送コマンドは、デバイスドライバ部１１２を介してＤＭＡ転送を行わせるべきテスタデバイスに入力され、これによりそのテスタデバイスにおいて入力されたＤＭＡ転送コマンドに応じたＤＭＡ転送が開始される。
【０００７】
尚、半導体試験装置における従来のデータ転送方法の詳細については、例えば以下の特許文献１を参照されたい。
【特許文献１】特開２０００−２０６２００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、半導体試験装置では複数のテスタデバイスに対して同時にＤＭＡ転送が行われる頻度が極めて高い。複数のテスタデバイスに対して同時にＤＭＡ転送を行う場合には、システム制御部１１１は、デバイスドライバ部１１２に設けられた複数のデバイスノード１１３ａ〜１１３ｎに順次アクセスする必要があるため、システムコールのオーバーヘッドが大きくなって時間を要するという問題があった。
【０００９】
また、図５に示す従来のデータ転送装置１００においては、基本的には１つのＤＭＡコントローラ毎にＤＭＡ転送を行わせている。このため、データバスの帯域が１つのＤＭＡコントローラが取り扱うことができる帯域よりも大きくても、一時には１つのＤＭＡコントローラが取り扱うことができる帯域しか使用されず、データバスの帯域が十分生かされていないという問題があった。
【００１０】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、システムコールのオーバーヘッドを削減するとともにデータバスの帯域を十分生かすことにより、データの転送効率を向上することができ、これにより試験時間を短縮することができる半導体試験装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の半導体試験装置は、ＤＭＡ転送方式によりデータ転送を行うデータ転送制御部（３１ａ〜３１ｎ）を備える複数のテスタデバイス（１２ａ〜１２ｎ）と、該テスタデバイスを制御して被試験デバイスの試験を行う制御部（１１）とを備える半導体試験装置において、前記制御部は、前記テスタデバイスの各々に設けられた前記データ転送制御部に対する制御命令と、出力先の前記テスタデバイスを指定するデバイス番号を対応付けた該制御命令を一まとめにした制御命令群を出力する制御手段（２１）と、前記制御手段から前記テスタデバイスに対して個別に出力される前記制御命令を受信する前記テスタデバイスの各々に対応して設けられた第１受信ノード（２３ａ〜２３ｎ）と、前記制御手段からの前記制御命令群を受信する第２受信ノード（２４）とを有しており、前記第１受信ノードで受信した前記制御命令を対応する前記テスタデバイスに出力し、前記第２受信ノードで受信した前記制御命令群に含まれる制御命令の各々を、該制御命令に対応付けられた前記デバイス番号で指定される前記テスタデバイスに振り分ける振分手段（２２）とを備えることを特徴としている。
この発明によると、テスタデバイスに対する個別の制御命令が制御手段から出力されると、振分部の第１受信ノードで受信されて対応するテスタデバイスに出力され、出力先のテスタデバイスを指定するデバイス番号が対応付けられた制御命令を一まとめにした制御命令群が制御手段から出力されると、振分部の第２受信ノードで受信され、受信された制御命令群に含まれる制御命令の各々が、振分部において対応付けられたデバイス番号で指定されるテスタデバイスに振り分けられる。
また、本発明の半導体試験装置は、前記制御手段が、前記テスタデバイスに対して個別に前記制御命令を出力し、或いは前記制御命令群を出力することにより、前記被試験デバイスの試験に係るデータを、前記データ転送制御部により前記テスタデバイスにそれぞれ転送させることを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置は、前記制御命令には、転送すべきデータが格納されているアドレス、転送すべきデータのサイズ、及び前記テスタデバイス内におけるデータの転送先を示すアドレスが含まれることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、制御手段から出力されるテスタデバイスに対する個別の制御命令を振分部の第１受信ノードで受信して対応するテスタデバイスに出力する一方で、制御手段から出力される制御命令群（出力先のテスタデバイスを指定するデバイス番号が対応付けられた制御命令を一まとめにしたもの）を振分部の第２受信ノードで受信し、受信した制御命令群に含まれる制御命令の各々を、対応付けられたデバイス番号で指定されるテスタデバイスに振り分けている。このため、制御手段から制御命令群が出力されたときには、従来必要であった第１受信ノードの切り替えが不要となり、システムコールのオーバーヘッドを削減することができる。また、あるデータ転送制御部の制御下におけるＤＭＡ転送が終了していなくとも、他のデータ転送制御部の制御下におけるＤＭＡ転送を順次開始することができるため、データバスの帯域を十分生かすことができる。以上から、ＤＭＡ転送方式によるデータの転送効率を向上することができるという効果がある。また、被試験デバイスの試験に係るデータの転送に要する時間を短縮した分だけ試験時間を短縮することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態による半導体試験装置について詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態による半導体試験装置に設けられるデータ転送装置の要部構成を示すブロック図である。
【００１４】
図１に示す通り、データ転送装置１は、ＣＰＵ１１と複数のテスタデバイス１２ａ〜１２ｎに設けられたＤＭＡコントローラ３１ａ〜３１ｎ（データ転送制御部）とを備えている。ＣＰＵ１１は半導体試験装置の動作を統括的に制御するものであり、所定の制御プログラム及び所定のデバイスプログラムを実行することによりＣＰＵ１１にはシステム制御部２１（制御手段）及びデバイスドライバ部２２（振分手段）がそれぞれ実現されている。
【００１５】
システム制御部２１は、デバイスドライバ部２２に対してテスタデバイス１２ａ〜１２ｎを制御するための制御命令（例えば、ＤＭＡ転送コマンド等）を出力する。このシステム制御部２１は、テスタデバイス１２ａ〜１２ｎの各々に対する個別の制御命令、及びテスタデバイス１２ａ〜１２ｎの各々に対する個別の制御命令を一まとめにした制御命令群を出力する。
【００１６】
図２は、システム制御部２１から出力される制御命令の一例を示す図である。尚、図２においては、制御命令としてＤＭＡ転送コマンドを例示している。図２に示す通り、ＤＭＡ転送コマンドは、転送すべきデータが格納されているアドレス（データアドレス）が指定されるフィールドＦ１、転送すべきデータのサイズ（大きさ）が指定されるフィールドＦ２、及びテスタデバイス内におけるデータの転送先を示すアドレス（デバイスアドレス）が指定されるフィールドＦ３からなる。
【００１７】
図３は、システム制御部２１から出力される制御命令群の一例を示す図である。尚、図３においては、制御命令群として複数のＤＭＡ転送コマンドからなるＤＭＡ転送コマンド群を例示している。図３に示す通り、ＤＭＡ転送コマンド群は、図２に示すフィールドＦ１〜Ｆ３からなるＤＭＡ転送コマンドと、テスタデバイス１２ａ〜１２ｎの何れかを指定するデバイス番号が格納されるフィールドＦ４とからなるレコードＲ１〜Ｒｋが複数設けられたものである。尚、レコードの数は１以上であってＤＭＡコントローラ３１ａ〜３１ｎの数以下である。
【００１８】
デバイスドライバ部２２は、システム制御部２１とテスタデバイス１２ａ〜１２ｎとの間に介在されて、テスタデバイス１２ａ〜１２ｎ毎のハードウェア上の相違を吸収して、システム制御部２１がテスタデバイス１２ａ〜１２ｎを論理的に制御することを橋渡しするものである。このデバイスドライバ部２２には、システム制御部２１から出力される制御命令に対する論理的な入出力部となるデバイスノード２３ａ〜２３ｎ（第１受信ノード）がテスタデバイス１２ａ〜１２ｎ毎に設けられている。また、システム制御部２１から出力される制御命令群に対する論理的な入出力部となるデバイスノード２４（第２受信ノード）が設けられている。このデバイスノード２４を設けるのは、システムコールのオーバーヘッドを削減するためである。
【００１９】
このデバイスドライバ部２２は、システム制御部２１から制御命令が出力された場合には、デバイスノード２３ａ〜２３ｎの何れかで受信し、制御命令を受信したデバイスノードに対応したテスタデバイスに対して制御命令を出力する。また、システム制御部２１から制御命令群が出力された場合には、デバイスノード２４で受信し、受信した制御命令群に含まれる制御命令を、その内容に従ってテスタデバイス１２ａ〜１２ｎの各々に振り分ける。
【００２０】
具体的に、制御命令群がＤＭＡ転送コマンド群である場合には、図３に示すレコードＲ１〜Ｒｋ毎に、フィールドＦ１〜Ｆ３からなるＤＭＡ転送コマンドを、フィールドＦ４に格納されたデバイス番号に従って振り分ける。例えば、レコードＲ１のフィールドＦ１にデバイス番号「１」が格納されていた場合には、デバイスドライバ部２２は、レコードＲ１のフィールドＦ１〜Ｆ３を、デバイス番号「１」が予め割り当てられたテスタデバイス１２ａに振り分ける。
【００２１】
テスタデバイス１２ａ〜１２ｎは、ピンエレクトロニクスカード、電源カード、その他の半導体試験装置に設けられる各種デバイスであって、ＤＭＡコントローラ３１ａ〜３１ｎをそれぞれ備えており、システム制御部２１からデバイスドライバ部２２を介して出力されるＤＭＡ転送コマンドに基づいてＤＭＡ転送方式によりデータ転送を行う。尚、データ転送は、ＤＭＡコントローラ３１ａ〜３１ｎの制御の下で、例えば不図示のメモリから不図示のデータバスを介してテスタデバイス１２ａ〜１２ｎ内の所定のアドレスに対して行われる。
【００２２】
次に、ＤＭＡ転送時の動作について説明する。図４は、ＤＭＡ転送時にデバイスドライバ部２２で行われる処理を示すフローチャートである。システム制御部２１がデバイスドライバ部２２に対してＤＭＡ転送コマンド又はＤＭＡ転送コマンド群を出力するとＤＭＡ転送に係る処理が開始される。システム制御部２１からＤＭＡ転送コマンドが出力される場合には、図５に示した従来のデータ転送装置１００と同様の処理が行われるため、ここでは、システム制御部２１からＤＭＡ転送コマンド群が出力される場合について詳細に説明する。
【００２３】
システム制御部２１から、ＤＭＡ転送コマンド群が出力されると、デバイスドライバ部２２に設けられたデバイスノード２４で受信される。これにより、デバイスドライバ部２２は、ＤＭＡ転送依頼を受け付けたことになる（ステップＳ１１）。次に、デバイスドライバ部２２は、受信したＤＭＡ転送コマンド群に基づいて、ＤＭＡ転送を開始すべきＤＭＡコントローラが有るか否かを判断する（ステップＳ１２）。
【００２４】
ＤＭＡ転送を開始すべきＤＭＡコントローラが有ると判断した場合（判断結果が「ＹＥＳ」の場合）には、ＤＭＡ転送コマンド群に含まれる１つのＤＭＡ転送コマンドを１つのテスタデバイスに対して振り分け、そのテスタデバイスに設けられたＤＭＡコントローラに対してＤＭＡ転送に必要な設定を行わせてＤＭＡ転送を開始させる（ステップＳ１３）。例えば、レコードＲ１のフィールドＦ１にデバイス番号「１」が格納されていた場合には、デバイスドライバ部２２は、レコードＲ１のフィールドＦ１〜Ｆ３を、デバイス番号「１」が予め割り当てられたテスタデバイス１２ａに振り分け、ＤＭＡ転送に必要な設定をＤＭＡコントローラ３１ａに行わせてＤＭＡ転送を開始させる。
【００２５】
ステップＳ１３の処理を終えるとステップＳ１２の処理に戻り、受信したＤＭＡ転送コマンド群に基づいてＤＭＡ転送を開始すべきＤＭＡコントローラが有るか否かを判断する処理が再び行われる。例えば、レコードＲ２のフィールドＦ１にデバイス番号「２」が格納されていた場合には、デバイスドライバ部２２は、レコードＲ２のフィールドＦ１〜Ｆ３を、デバイス番号「２」が予め割り当てられたテスタデバイス１２ｂに振り分けてＤＭＡ転送に必要な設定をＤＭＡコントローラ３１ｂに行わせてＤＭＡ転送を開始させる。ここでステップＳ１２の判断結果が「ＹＥＳ」の間は、ステップＳ１３の処理が繰り返し行われ、他のＤＭＡコントローラに対する設定が順次行われてＤＭＡ転送が順次開始される。
【００２６】
一方、ステップＳ１２の判断結果が「ＮＯ」になると、デバイスドライバ部２２は、システム制御部２１から出力されたＤＭＡ転送コマンド群に含まれるＤＭＡ転送コマンドで指定される全てのＤＭＡコントローラについてのＤＭＡ転送が終了したか否かを判断する（ステップＳ１４）。かかる判断により、全てのＤＭＡコントローラについてのＤＭＡ転送が終了したかが再確認される。そして、全てのＤＭＡコントローラについてのＤＭＡ転送が終了していないと判断した場合（判断結果が「ＮＯ」の場合）にはステップＳ１２の処理に戻り、全てのＤＭＡコントローラについてのＤＭＡ転送が終了したと判断した場合（判断結果が「ＹＥＳ」の場合）にはＤＭＡ転送コマンド群の受付の処理（ステップＳ１１）に戻る。
【００２７】
以上の通り、本実施形態では、ＤＭＡコントローラ３１ａ〜３１ｎに対するＤＭＡ転送コマンドを一まとめにしたＤＭＡ転送コマンド群をシステム制御部２１から出力してデバイスドライバ部２２のデバイスノード２４で受信し、ＤＭＡ転送コマンド群に含まれるＤＭＡ転送コマンドを、その内容に従ってテスタデバイス１２ａ〜１２ｎに振り分けている。このため、従来必要であったデバイスノード２３ａ〜２３ｎの切り替えが不要となり、システムコールのオーバーヘッドを削減することができる。また、あるＤＭＡコントローラの制御下におけるＤＭＡ転送が終了していなくとも、他のＤＭＡコントローラの制御下におけるＤＭＡ転送を順次開始することができるため、データバスの帯域を十分生かすことができる。
【００２８】
以上から、本実施形態では、ＤＭＡ転送方式によるデータの転送効率を向上することができる。また、本実施形態では、被試験デバイスの試験に係るデータ（例えば、パターンデータ）を転送する時間を短縮することができるため、その分だけ試験時間を短縮することができる。
【００２９】
以上、本発明の実施形態による半導体試験装置について説明したが、本発明は上記実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態では、ＣＰＵ１１が所定の制御プログラム及び所定のデバイスプログラムを実行することによって、システム制御部２１及びデバイスドライバ部２２がＣＰＵ１１に実現される場合を例に挙げて説明したが、システム制御部２１及びデバイスドライバ部２２はハードウェアにより実現されていても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施形態による半導体試験装置に設けられるデータ転送装置の要部構成を示すブロック図である。
【図２】システム制御部２１から出力される制御命令の一例を示す図である。
【図３】システム制御部２１から出力される制御命令群の一例を示す図である。
【図４】ＤＭＡ転送時にデバイスドライバ部２２で行われる処理を示すフローチャートである。
【図５】半導体試験装置に設けられる従来のデータ転送装置の要部構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００３１】
１                データ転送装置
１２ａ〜１２ｎ    テスタデバイス
２１              システム制御部
２２              デバイスドライバ部
２３ａ〜２３ｎ    デバイスノード
２４              デバイスノード
３１ａ〜３１ｎ    ＤＭＡコントローラ
【図１】
0005196293.tif 000002
【図２】
0005196293.tif 000003
【図３】
0005196293.tif 000004
【図４】
0005196293.tif 000005
【図５】
0005196293.tif 000006