(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（０００−１）面の炭化珪素からなる半導体領域にゲート絶縁膜と、該ゲート絶縁膜上にゲート電極と、上記半導体領域に電極を有する半導体装置において、ゲート絶縁膜と半導体領域の界面に１Ｅ２０／ｃｍ３から１Ｅ２２／ｃｍ３の範囲の水素あるいは水酸基（ＯＨ）が存在することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
（０００−１）面の炭化珪素からなる半導体領域にゲート絶縁膜と、該ゲート絶縁膜上にゲート電極と、上記半導体領域に電極を有する半導体装置において、ゲート絶縁膜中に１Ｅ１９／ｃｍ３から１Ｅ２０／ｃｍ３の範囲の水素あるいは水酸基（ＯＨ）を含み、ゲート絶縁膜と半導体領域の界面に１Ｅ２０／ｃｍ３から１Ｅ２２／ｃｍ３の範囲の水素あるいは水酸基（ＯＨ）が存在することを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の半導体装置において、該半導体装置が金属―絶縁膜―半導体電界効果型トランジスタ（ＭＩＳ  ＦＥＴ）またはＭＩＳ  キャパシタであることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項３に記載の半導体装置において、前記ＭＩＳ  ＦＥＴがｎチャネル型であることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項３に記載の半導体装置において、前記ＭＩＳ  ＦＥＴがｐチャネル型であることを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
請求項１又は２に記載の半導体装置において、該半導体装置がＭＩＳ  ＦＥＴまたはＭＩＳ  キャパシタから構成される相補型金属―絶縁膜―半導体（ＣＭＩＳ）を有する回路であることを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
請求項１又は２に記載の半導体装置において、該半導体装置が横型金属―絶縁膜―半導体電界効果型トランジスタ（Ｌａｔｅｒａｌ  Ｒｅｓｕｒｆ  ＭＩＳ  ＦＥＴ）あるいは横型ＤＭＩＳ電界効果型トランジスタ（Ｌａｔｅｒａｌ  ＤＭＩＳ  ＦＥＴ）であることを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
請求項１又は２に記載の半導体装置において、該半導体装置が縦型ＤＭＩＳ  ＦＥＴであることを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
請求項１又は２に記載の半導体装置において、該半導体装置が絶縁ゲート型バイポーラートランジスタ（ＩＧＢＴ）であることを特徴とする半導体装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の半導体装置において、該半導体装置がｐチャネル型ＩＧＢＴであることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板の結晶面方位を規定した炭化珪素基板上に形成する半導体装置に関し、特に、金属―酸化膜―半導体（ＭＯＳ：Metal Oxide Semiconductor）キャパシタあるいはＭＯＳ電界効果型トランジスタ（ＭＯＳＦＥＴ：Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor）などのゲート絶縁膜を用いる半導体装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、炭化珪素（ＳｉＣ）基板を用いた酸化膜−炭化珪素界面は、界面準位密度がシリコンＭＯＳトランジスタに比べて、約１桁高く、それにより、炭化珪素基板を用いたＭＯＳ電界効果型トランジスタは、シリコン基板を用いたＭＯＳ電界効果型トランジスタよりもチャネル移動度が約１桁低いという問題があった。特に４Ｈ−ＳｉＣと呼ばれる結晶構造を有する炭化珪素のバルク基板の移動度は、６Ｈ−ＳｉＣと呼ばれる結晶構造を有する炭化珪素のバルク基板の移動度の約２倍だが、酸化膜／炭化珪素界面の欠陥（界面準位密度）が多く、チャネル移動度は低い。４Ｈ−ＳｉＣバルク基板の移動度は高いので、本来、パワーＭＯＳＦＥＴのオン抵抗を下げるには有利であるはずである。しかし、チャネル移動度が低いために、４Ｈ−ＳｉＣのオン抵抗値は、６Ｈ−ＳｉＣよりも高く、４Ｈ−ＳｉＣのＭＯＳ構造の界面準位密度を下げることは、ＳｉＣのＭＯＳＦＥＴを実現するためには非常に重要である。ＳｉＣには、代表的な面として（０００１）面、（１１−２０）面、（０００−１）面の３つの面がある。酸化速度は、（０００１）面よりも（１１−２０）面の方が大きく、またこれよりも（０００−１）面の方が大きい。特に、（０００−１）面は、（０００１）面よりも約１０倍大きい。これは、ＳｉとＣの酸化機構が面方位によって異なるためである。したがって、酸化膜／炭化珪素界面における界面準位密度を下げる最適な酸化条件や酸化後のアニール条件は、面方位によって異なり、面方位毎に酸化条件や酸化後のアニール条件を最適化する必要がある。ＳｉＣのＭＯＳＦＥＴは、研究当初においては、（０００１）面に形成されていたが、そのチャネル移動度は、１０ｃｍ2／Ｖｓ以下であった。
【０００３】
最近、ＳｉＣの（１１−２０）面にＨ2Ｏ（水）でゲート絶縁膜を形成した後に、水素アニールをすることにより界面準位密度を下げて、チャネル移動度が１１０ｃｍ2／Ｖｓまで向上することが報告された。しかし、（１１−２０）面は、絶縁破壊電界が（０００１）面や（０００−１）面と比較して小さく、高耐圧パワーデバイスには不利である。また、（０００−１）面に作製されたＭＯＳＦＥＴがチャネルドーピング技術を用いることなく動作する報告はない。チャネルドーピング技術は、チャネル移動度を向上するが、リーク電流が流れやすくなり、耐圧が低下するので、やはり、高耐圧パワーデバイスには向いていない。本発明では、絶縁破壊電圧が、（１１−２０）面よりも大きい（０００−１）面において、（０００１）面よりもチャネル移動度が高い酸化膜／炭化珪素界面形成技術を提供する。
【０００４】
炭化珪素基板の酸化方法とその後の熱処理方法については、以下に説明する様に、既にいくつかの発表が行われ、あるいは発明が開示されている。
例えば、特許文献１には、ＳｉＣ単結晶基板の熱酸化膜の改善方法において、酸化する工程に続き、水素によりアニールする工程と、不活性ガスによりアニールする工程を有することを特徴とするヒステリシスおよびフラットバンドシフトを低減するＳｉＣの熱酸化膜の改善法が開示されている。この公報には、特に、炭化珪素を酸化後に１０００℃で水素熱処理する方法が記載されているが、これは、炭化珪素基板の（０００１）面についての方法であり、（０００−１）面については記載がない。さらに、１０００℃では温度が高すぎて水素により酸化膜が還元されてしまい、この酸化膜をゲート酸化膜として用いた場合のデバイス信頼性を低下させる要因となる。
【０００５】
また、特許文献２には、炭化珪素半導体装置の熱酸化膜形成後の界面凖位密度を低減するために、熱酸化後の不活性ガス中のアニール時間を２時間未満とし、また、一度形成した熱酸化膜を３００〜５００℃の低温で水素ガスや、水蒸気等の水素原子を含むガス中で熱処理するのもよく、更にまた、熱酸化後および熱酸化後の熱処理工程後の冷却期間の少なくとも一部で、水素原子を含むガスを雰囲気とする炭化珪素半導体装置の製造方法が開示されている。特に、ゲート酸化膜形成後に水素原子を含む雰囲気で３００℃から５００℃の範囲において熱処理する方法が記載されているが、これは、炭化珪素基板の（０００１）面についての方法であり、（０００−１）面については記載がない。また、ゲート酸化膜形成後に水素原子を含む雰囲気での熱処理としては、３００℃から５００℃の範囲は温度が低くて不充分である。
【０００６】
また、特許文献３には、炭化珪素半導体装置の熱酸化膜形成後の界面凖位密度を低減するために、（１）水素ガスと酸素ガスを導入して熱酸化するパイロジェニック酸化によって酸化珪素膜を成長させる熱酸化膜形成方法において、水素と酸素の流量比を１：１よりも水素の流量が多い流量比とし、あるいは、（２）水素原子を含む雰囲気中で、酸化後の冷却をおこない、その冷却速度を０．３〜３℃／ｍｉｎの範囲とし、あるいは、（３）酸化、冷却後の取り出し温度を９００℃以下とする炭化珪素半導体装置の熱酸化膜形成方法が開示されている。特に、炭化珪素の酸化をパイロジェニック法で行った後に、水素を含む雰囲気で冷却する方法が記載されているが、これは、炭化珪素基板の（０００１）面についての方法であり、（０００−１）面については記載がない。また、この公報に記載されたパイロジェニック法の水素と酸素の比が最適でない。
【０００７】
また、特許文献４には、少なくとも最上層に炭化珪素を有する半導体基板上に、ゲート絶縁膜として酸化膜及び／或は窒化膜の１層又は２層以上を形成した後、６００〜１６００℃の範囲で水素を含んだ雰囲気でアニールする半導体装置の製造方法が開示されており、ゲート絶縁膜／炭化珪素界面に存在するシリコン或は炭素のダングリングボンドを水素で終端することにより、界面準位密度を十分に減らして、実際の使用に十分に耐える良好なゲート絶縁膜／炭化珪素界面を得ることができる、という効果が記載されている。特に、炭化珪素基板上の酸化膜を形成した後に水素熱処理を行う製造方法が記載されているが、これは、炭化珪素基板の（０００１）面についての方法であり、（０００−１）面についての望ましい水素熱処理方法についての記載はない。
【０００８】
また、特許文献５においては、改善された酸化物層を得て、その結果、酸化物を基礎とする装置でのパフォーマンスを改善する方法が開示されている。その方法は、炭化珪素基板がさらに酸化されるほどには高温で無く、しかし、酸化ソースガスを酸化物の中に拡散するには充分高温で、また、炭化珪素基板がさらに酸化されるほどには長時間で無く、しかし、酸化膜を高密度化して酸化膜と基板との界面特性を改善することができる程度の間、炭化珪素上の酸化物層を、酸化性の雰囲気にさらす、という炭化珪素基板上の酸化物層で欠陥を減らすプロセスである。特に、炭化珪素基板の酸化方法について、ゲート酸化膜を形成した後に、６００℃から１０００℃でＨ2Ｏ（水）ガスを含む雰囲気で処理をする方法が記載されているが、この場合のＨ2Ｏガスは、Ｈ2ガスとＯ2ガスとの反応でなく、純水を熱することにより生成したＨ2Ｏの蒸気によるものである。また、（０００−１）面のゲート酸化膜の形成方法及び酸化膜形成後の熱処理については、記載されていない。
【０００９】
また、非特許文献１に、６Ｈ−ＳｉＣの（０００−１）面について、ゲート酸化膜の下に不純物を注入するチャネルドーピングを用いてＭＯＳＦＥＴを形成して動作させた旨、報告されているが、チャネルドーピングを用いない場合の結果は報告されていない。また、ゲート酸化膜の形成方法は、１１００℃での乾燥酸素を用いたドライ酸化であり、それ以外の形成方法は記載されていない。
【００１０】
また、非特許文献２には、１２００℃で熱酸化法により４Ｈ−ＳｉＣの（０００−１）面にゲート酸化膜の形成方法と界面準位密度の関係についての報告があるが、１２００℃よりも低い温度でのゲート絶縁膜の形成方法と酸化後の処理についての報告はない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平９−１９９４９７号公報
【特許文献２】特開平１０−１１２４６０号公
【特許文献３】特開平１１−３１６９１号公報
【特許文献４】特開２０００−２５２４６１号公報
【特許文献５】米国特許第５９７２８０１号明細書
【非特許文献】
【００１２】
【非特許文献１】S.Ogino, T.Oikawa, and K.Ueno、 Mat. Sci. Forum、 338-342, 1101(2000).
【非特許文献２】K.Fukuda, W.J.Cho, K.Arai, S.Suzuki, J.Senzaki, and T.Tanaka, Appl.Phys. Lett. 77, 866 (2000).
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上記のように、ＳｉＣには、代表的な面として（０００１）面、（１１−２０）面、（０００−１）面の３つの面がある。酸化速度は、（０００１）面よりも（１１−２０）面が大きく、また、さらに（０００−１）面の方が大きい。特に、（０００−１）面は、（０００１）面よりも約１０倍大きい。したがって、酸化膜／炭化珪素界面における界面準位密度を下げる最適な酸化条件や酸化後のアニール条件は、面方位によって異なる。例えば、（０００１）面では、界面準位密度は、Ｈ2Ｏを用いた場合よりも、乾燥酸素を用いた場合の方が低いが、（１１−２０）面では、Ｈ2Ｏを用いた酸化の方が低い。酸化後のアニール効果も面方位により異なる。このように、面毎に、界面準位密度が最小になる酸化条件や酸化後のアニール条件を最適化する必要がある。ＳｉＣのＭＯＳＦＥＴは、研究当初においては、（０００１）面に形成されていたが、そのチャネル移動度は、1０ｃｍ2／Ｖｓ程度にしかならなかった。最近、ＳｉＣの（１１−２０）面にＨ2Ｏ（水）でゲート絶縁膜を形成した後に、水素アニールをすることにより界面準位密度を下げて、チャネル移動度が１１０ｃｍ2／Ｖｓまで向上することが報告された。しかし、（１１−２０）面は、絶縁破壊電界が（０００１）面や（０００−１）面と比較して小さく、高耐圧パワーデバイスには不利である。また、（０００−１）面に作製されたＭＯＳＦＥＴがチャネルドーピング技術を用いることなく動作する報告はない。チャネルドーピング技術は、チャネル移動度を向上するが、リーク電流が流れやすくなり、耐圧が低下するので、やはり、高耐圧パワーデバイスには向いていない。
【００１４】
この発明は上記に鑑み提案されたもので、（０００１）面や（１１−２０）面よりも優れた（０００−１）面の炭化珪素基板を用いた半導体装置において、ゲート酸化後の熱処理方法を最適化することにより、高耐圧で高チャネル移動度を有するＳｉＣ半導体装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の半導体装置は、（０００−１）面の炭化珪素からなる半導体領域にゲート絶縁膜と、そのゲート絶縁膜上にゲート電極と、上記半導体領域に電極を有する半導体装置において、ゲート絶縁膜中に１Ｅ１９／cm3から１Ｅ２０／cm3の範囲の水素あるいは水酸基（ＯＨ）を含むことを特徴とする。
また、本発明の半導体装置は、（０００−１）面の炭化珪素からなる半導体領域にゲート絶縁膜と、そのゲート絶縁膜上にゲート電極と、上記半導体領域に電極を有する半導体装置において、ゲート絶縁膜と半導体領域の界面に１Ｅ２０／cm3から１Ｅ２２／cm3の範囲の水素あるいは水酸基（ＯＨ）が存在することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、（０００１）面や（１１−２０）面よりも優れた（０００−１）面の炭化珪素基板を用いた半導体装置において、ゲート酸化後の熱処理方法を最適化することにより、高耐圧で高チャネル移動度を有するＳｉＣ半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】ＭＯＳ電界効果型トランジスタの製造方法を示す模式図である。
【図２】ＭＯＳキャパシタの断面を示す模式図である。
【図３】乾燥酸素とＡｒ（アルゴン）、Ｈ2（水素）、Ｈ2Ｏ（水）雰囲気での熱処理を用いて形成したゲート絶縁膜を有するＭＯＳキャパシタのＣＶ曲線を示す図で、実線は高周波ＣＶ曲線、破線は準静的ＣＶ曲線を示す。
【図４】図３のＣＶ曲線から算出した界面準位密度のエネルギーギャップ内の分布を示す図である。
【図５】Ｈ2Ｏ雰囲気での酸化とＡｒ、Ｈ2、Ｈ2Ｏ雰囲気での熱処理を用いて形成したゲート絶縁膜を有するＭＯＳキャパシタのＣＶ曲線から算出した界面準位密度のエネルギーギャップ内の分布を示す図である。
【図６】Ｈ2Ｏ雰囲気で酸化して、アルゴン熱処理をした後に、水素熱処理の４００℃から９００℃で温度を変えた場合の界面準位密度を示す図である。
【図７】Ｈ2Ｏ雰囲気でゲート酸化膜を形成して、アルゴン熱処理をした後に、Ｈ2Ｏ熱処理を６５０℃、７５０℃、８５０℃、９５０℃で温度を変えた場合の界面準位密度を示す図である。
【図８】Ｈ2Ｏ雰囲気でゲート酸化膜を形成したのちに、アルゴン雰囲気で熱処理し、さらに、８００℃で水素ガス中にて熱処理をした場合の界面準位密度に対する、酸化温度の効果を示す図である。
【図９】Ｈ2ＯとＯ2（酸素）からなる雰囲気中で（０００−１）面のＳｉＣ基板を酸化して形成されたＳｉＯ2膜及びＳｉＯ2／ＳｉＣ界面における水素密度を２次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ:Secondary Ion Mass Spectroscopy）によって測定した結果を示した図である。一次イオン種としては、Ｃｓを用いている。
【図１０】ｎチャネル金属−絶縁膜−半導体電界効果型トランジスタ（ｎ channel ＭＩＳＦＥＴ：Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor）とｐチャネルＭＩＳＦＥＴによって構成される相補型金属−絶縁膜−半導体（ＣＭＩＳ：Complementary Metal Insulator Semiconductor）回路の断面図である。
【図１１】金属−絶縁膜−半導体（ＤＭＩＳ：Double MetalInsulator Semiconductor）回路の断面図である。
【図１２】横型（Lateral Resurf）ＭＩＳＦＥＴ回路の断面図である。
【図１３】ゲート絶縁型バイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ：Insulator Gate Bipolar Transistor)回路の断面図である。ｎ+型バッファ層はなくてもよい。
【図１４】ｐチャネルＩＧＢＴ回路の断面図である。ｐ+型バッファ層はなくてもよい。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明では、絶縁破壊電圧が、（１１−２０）面よりも大きい、（０００−１）面において、（０００１）面よりもチャネル移動度が高い酸化膜／炭化珪素界面形成技術に注目した半導体装置を提供する。以下にこの発明の実施の形態を、図を用いて詳細に説明する。
【００１９】
まず、具体的な半導体装置の製造方法を、図１を用いて説明する。
図１は、炭化珪素基板を用いたＭＯＳトランジスタの製造プロセス途中の断面図である。図１（ａ）の（０００−１）面のＰ型炭化珪素基板１（４Ｈ−ＳｉＣ、不純物濃度：５×１０15ｃｍ-3）を通常のＲＣＡ洗浄をした後に、Ｐ型炭化珪素基板１にフォトリソグラフィー用のアライメントマークをＲＩＥ（Reactive Ion Etching）で形成した。ここで、炭化珪素基板としては、シリコン基板上に成長した炭化珪素膜を用いることも可能である。
【００２０】
次いで、図１（ｂ）に示すようにソース領域あるいはドレイン領域のイオン注入用マスク２を熱酸化膜やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）によるＳｉＯ2膜で形成する。
本実施例では、図１（ｂ）に示すようにイオン注入マスクとして、ＬＴＯ（Low Temperature Oxide）膜を用いた。ＬＴＯ膜は、シランと酸素を４００℃から８００℃で反応させて二酸化珪素をＰ型炭化珪素基板１に堆積することにより形成した。次いで、フォトリソグラフィーでソース・ドレイン領域を形成した後に、ＨＦ（フッ酸）でＬＴＯをエッチングしてイオン注入されるソース領域あるいはドレイン領域を開口した。次いで、図１（ｂ）に示したソース３あるいはドレイン４を形成するために５００℃で、窒素、燐あるいは砒素をイオン注入した。その後、アルゴン雰囲気中において１２００℃から１７００℃の範囲においで活性化熱処理を行う。本実施例では、１５００℃で５分の熱処理を行った。次いで、基板の清浄化のために、１）犠牲酸化膜形成後ＨＦでエッチング、２）オゾンに紫外光を照射しながらＳｉＣ基板表面処理、３）１０００℃で３０分のＨ2処理、４）２）の後に３）を連続して行う。次いで、８００℃から１２００℃でＯ2あるいは、Ｈ2Ｏ（水）を含むガスで酸化して、約５０ｎｍのゲート絶縁膜５を形成した。
【００２１】
一般に、Ｈ2Ｏを含むガスを用いた酸化には、１）Ｈ2Ｏを加熱した蒸気を酸素あるいは、不活性ガス（アルゴン、窒素、あるいはヘリウム）で炭化珪素基板まで流す方法、あるいは、２）Ｈ2（水素）とＯ2（酸素）を反応させることによりＨ2Ｏを発生させて行う方法とがある。本実施例では、１）あるいは２）で熱酸化膜を形成した。２）の場合には、８００℃から１２００℃で行った。この場合にも、Ｈ2Ｏを不活性ガスと一緒に流してもよい。さらに、熱酸化膜との比較のために５０ｎｍのＬＴＯ膜でゲート絶縁膜を形成した。次いで、不活性ガス中で熱処理して室温まで冷却した。この不活性ガス中で熱処理する工程は、省略することも可能であるが、信頼性の高いものを製造するためには省略しない方が望ましい。次いで、Ｈ2あるいはＨ2Ｏを含んだ雰囲気中で熱処理をした。Ｈ2を含んだ雰囲気の場合には、４００℃から９００℃で行った。Ｈ2Ｏを含んだ雰囲気の場合には、６５０℃から９５０℃で行うことが望ましい。本実施例では、６５０℃、７５０℃、８５０℃、９５０℃のそれぞれで行った。本実施例で使用したＨ2Ｏガスは、全てＨ2ガスとＯ2ガスを８００℃の温度で反応させて発生させたＨ2Ｏガスで、Ｈ2（水素）ガスの流量、［Ｈ2］、とＯ2（酸素）ガスの流量、［Ｏ2］、の比［Ｏ2］／［Ｈ2］は０．１から１０の範囲で調整して行ったが、図１の場合は３であった。この時に、Ｈ2Ｏガスは、不活性ガス（アルゴン、窒素、あるいはヘリウム）と一緒に流してもよい。この後に、アルゴンや窒素などの不活性ガス中で熱処理する。この工程は、上記と同様に、省略することも可能であるが、信頼性の高いものを製造するためには省略しない方が望ましい。次いで、さらに、低温でＨ2Ｏ熱処理をしてからＨ2熱処理を行った。２回目のＨ2あるいはＨ2Ｏ熱処理は省略することも可能であるが、省略しない方が望ましい。本実施例では、Ｈ2Ｏ処理を６５０℃と８５０℃で行った後に、８００℃で水素処理を行った。
【００２２】
その後にゲート電極６を形成するが、ゲート電極は、アルミニウム、あるいは、Ｎ型ポリシリコン、あるいはＰ型ポリシリコンのいずれでもよい。さらに、この上にＷＳｉ2膜、ＭｏＳｉ2膜、あるいはＴｉＳｉ2膜などのシリサイド膜を形成しても良い。この後に、アルミニウム膜、あるいはＮ型ポリシリコン、あるいはＰ型ポリシリコンをエッチングすることによりゲート電極を形成した。引き続いて、その上に酸化膜を堆積して、その酸化膜を局部的にエッチングしてコンタクト孔を開口した。次いで、アルミニウムを蒸着した後にウエットエッチングした。ニッケル、チタン、アルミニウムを含有した金属あるいはこれらの積層膜を蒸着あるいは、スパッタ法で形成した後に、ＲＩＥあるいは、ウエットエッチングにより金属配線１０を形成してもよい。次いで、窒素中で熱処理を行い、ＭＯＳ電界効果型トランジスタを完成させた。
【００２３】
また、ＭＯＳキャパシタは、次の様に作製した。まず、（０００−１）面のＮ型炭化珪素基板（４Ｈ−ＳｉＣ、不純物濃度：５×１０15ｃｍ-3）を通常のＲＣＡ洗浄をした後に、１０ｎｍの犠牲酸化膜を形成して、この犠牲酸化膜を５％フッ酸で除去した。この後に、ゲート絶縁膜を形成して、その後、熱処理を行った。ゲート絶縁膜形成方法と、その後の熱処理方法は、ＭＯＳＦＥＴ作製方法と同様である。次いで、アルミニウム膜を蒸着法によりゲート絶縁膜の上とＳｉＣ基板の裏面につけ、さらに、裏面に金属基板をつけて図２に示す断面構造をもったＭＯＳキャパシタを完成させた。
【００２４】
乾燥酸素でゲート酸化膜を形成した場合とＨ2Ｏ雰囲気でゲート酸化膜を形成した場合とでは、それぞれ酸化後に不活性ガス（アルゴン）でアニールしたが、乾燥酸素でゲート酸化膜を形成した場合は、ＭＯＳＦＥＴは動作しなかったが、Ｈ2Ｏ雰囲気の場合には、動作し、そのチャネル移動度は５０ｃｍ２／Ｖｓであった。このように、１１５０℃以下のＨ2Ｏ雰囲気でゲート酸化膜を形成すると、（０００−１）面でも、ＭＯＳＦＥＴを動作させることができる。
【００２５】
図３に、Ｈ2Ｏを含んだ雰囲気で９５０℃から１２００℃においてゲート絶縁膜を形成した後に、Ａｒ（アルゴン）雰囲気で３０分の熱処理をした試料のＭＯＳキャパシタの同時容量−電圧測定法で測定された高周波ＣＶ特性（測定周波数ｆ＝１００ｋＨｚ）と準静的ＣＶ特性（ステップ電圧Ｖｓ＝５０ｍＶ，遅延時間ｔｄ＝１０秒）を示す。実線が、高周波ＣＶ特性で、破線が準静的ＣＶ特性である。この２つＣＶ特性の容量差が大きいほど、界面準位密度（Ｄit）が大きいことを示している。
【００２６】
図４に図３のデータから、数１を用いて算出された界面準位密度（Ｄit）のＳｉＣのエネルギーバンド内の分布を示す。ここで、Ｃｈ：高周波容量、Ｃｑ：準静的容量、Ｃｏｘ：酸化膜容量、ｑ：電子の電荷である。
【数１】
0005212833.tif 000002
【００２７】
図４に示したデータの試料では、Ｈ2Ｏガスを含んだ雰囲気で９５０℃から１２００℃においてゲート絶縁膜を形成した後に、Ａｒ（アルゴン）雰囲気で３０分の熱処理をしている。酸化温度が１１００℃以上までは、Ｄitは高く、ほぼ一定であるが、１１００℃以下になると減少し、１０００℃以下になると一定になる。したがって、酸化温度は、１１００℃より低い温度が望ましい。
【００２８】
図５では、乾燥酸素（Ｄｒｙ）、Ｈ2Ｏ雰囲気（Ｗｅｔ）でＳｉＣ基板を熱酸化して、アルゴン熱処理のみをしたものと、さらに８００℃で水素熱処理をした試料を比較している。酸化方法にかかわらず、水素熱処理が、Ｄitを減少させているのがわかる。したがって、水素熱処理は、Ｄitの減少に効果がある。
【００２９】
図６にＨ2Ｏ雰囲気で酸化して、アルゴン熱処理をした後に、水素熱処理の４００℃から９００℃で温度を変えた場合の界面準位密度を示す。４００℃までは、変化がないが、４００℃以上で急激に減少して８００℃以上で飽和する。１０００℃より高温だと、水素がゲート絶縁膜を還元してゲート絶縁膜の信頼性を損ねるので、水素熱処理の温度は、４００℃から１０００℃が望ましい。
【００３０】
図７にゲート酸化膜をＨ2Ｏ雰囲気において、９５０℃から１２００℃で形成したのちに、アルゴン雰囲気で熱処理し、さらに、８００℃で水素ガスを含む雰囲気で熱処理をした場合の界面準位密度に対する、酸化温度の効果を示す。酸化温度が１１００℃以上までは、Ｄitは高く、ほぼ一定であるが、１１００℃より低くなると減少し、１０００℃以下になると一定になる。したがって、ゲート絶縁膜を形成した後に水素熱処理をした場合でも、酸化温度は、１１００℃より低い温度が望ましい。
【００３１】
図８にゲート絶縁膜をＨ2Ｏ雰囲気において形成したのちに、アルゴン雰囲気で熱処理し、さらに、８００℃で水素中にて熱処理をする場合において、ゲート絶縁膜形成時のＨ2Ｏ雰囲気のＨ2Ｏガス濃度が、界面準位密度に対する効果を示す。Ｈ2Ｏガス濃度が２５％までは、界面準位密度は一定であるが、５０％以上では、増加する。したがって、Ｈ2Ｏガス濃度は、５０％より低い範囲が望ましい。
この様にして得られた結果について、表１にゲート絶縁膜の形成条件と酸化後の熱処理条件とＭＯＳＦＥＴのチャネル移動度の関係をまとめる。
【００３２】
【表１】
0005212833.tif 000003
【００３３】
ゲート絶縁膜をＨ2Ｏ雰囲気で形成した場合は、チャネル移動度５０ｃｍ2／Ｖｓだが、形成後に、Ｈ2で熱処理した場合にチャネル移動度は、７２ｃｍ2／Ｖｓになった。また、酸化温度を９５０℃にした場合には、６５ｃｍ2／Ｖｓで温度を下げることにより、チャネル移動度が向上する。
【００３４】
次に、ゲート絶縁膜としてＬＴＯ膜と熱酸化膜の比較結果を表２に示す。この表では、共に酸化後のアニール（ＰＯＡ:Post Oxidation Anneal）は、Ａｒ（アルゴン）ガス中でのアニールのみである。この結果から、熱酸化膜がチャネル移動度の向上に効果があることがわかる。
【表２】
0005212833.tif 000004
【００３５】
次に、純水を暖めてＨ2Ｏの蒸気にし、これをアルゴンガスで流して炭化珪素基板を酸化した場合と、Ｈ2とＯ2の反応によりＨ2Ｏを生成して、アルゴンガスで流して炭化珪素基板を酸化した場合のチャネル移動度の結果を表３に示す。ゲート絶縁膜形成条件は、１１５０℃、１４分である。この結果から、Ｈ2とＯ2を反応して、Ｈ2Ｏを生成した方が、チャネル移動度が高く、チャネル移動度の向上に効果があることがわかる。
【表３】
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【００３６】
次に、チャネル移動度に対する清浄効果を表４に示す。ゲート絶縁膜形成条件は、１１５０℃、１４分である。
【表４】
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【００３７】
この結果から、清浄処理をしない場合よりも、清浄処理をした方が、チャネル移動度が向上することがわかる。オゾン雰囲気中で紫外光照射する清浄処理工程の後のその値は、５５ｃｍ2／Ｖｓであるが、水素アニールによる清浄処理後で５７ｃｍ2／Ｖｓになり、オゾン雰囲気中で紫外光照射する清浄処理と水素アニールによる清浄処理を行うと６０ｃｍ2／Ｖｓになった。したがって、清浄処理として、オゾン雰囲気中で紫外光照射する清浄処理、水素アニールによる清浄処理、あるいは、オゾン雰囲気中で紫外光照射する清浄処理と水素アニールによる清浄処理を行う処理、等は、チャネル移動度の改善に効果があることがわかる。
【００３８】
図９にＨ2ＯとＯ2（酸素）からなる雰囲気中で（０００−１）面のＳｉＣ基板を酸化して形成されたＳｉＯ2膜及びＳｉＯ2／ＳｉＣ界面における水素密度を２次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ:Secondary Ion Mass Spectroscopy）によって測定した結果を示す。一次イオン種としては、Ｃｓを用いた。
ゲート酸化膜中に１Ｅ１９／cm3以上の水素を含有している半導体装置のチャネル移動度は１００cm2／Vs以上だが、１Ｅ２０／cm3を超えると、水素によって酸化膜が還元されて酸化膜の耐圧が低下するので、１Ｅ１９／cm3から１Ｅ２０／cm3に限定される。
ゲート酸化膜と半導体領域の界面に１Ｅ２１／cm3以上の水素を含有している半導体装置のチャネル移動度は１００cm2／Vs以上だが、１Ｅ２２／cm3を超えると、水素によって酸化膜が還元されて酸化膜の耐圧が低下するので、１Ｅ２０／cm3から１Ｅ２２／cm3に限定される。
【００３９】
図１０に、ｎチャネル金属−絶縁膜−半導体電界効果型トランジスタ（ｎchannel ＭＩＳＦＥＴ：Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor）とｐチャネルＭＩＳＦＥＴによって構成される相補型金属−絶縁膜−半導体（ＣＭＩＳ：Complementary Metal Insulator Semiconductor）回路の断面図を示す。
【００４０】
図１１に、金属−絶縁膜−半導体（ＤＭＩＳ：Double Metal Insulator Semiconductor）回路の断面図を示す。
図１２に、横型（Lateral Resurf）ＭＩＳＦＥＴ回路の断面図を示す。
図１３に、ゲート絶縁型バイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ：Insulator Gate Bipolar Transistor)回路の断面図を示す。ｎ+型バッファ層はなくてもよい。
図１４に、ｐチャネルＩＧＢＴ回路の断面図を示す。ｐ+型バッファ層はなくてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
以上のように、本発明は上記した構成（ＳｉＣ半導体装置）からなるので、高耐圧で高チャネル移動度を有する高耐圧パワーデバイス、特に、ＭＯＳキャパシタ、ＭＯＳＦＥＴ、ｎチャネルＭＩＳＦＥＴとｐチャネルＭＩＳＦＥＴによって構成されるＣＭＩＳ回路、ＤＭＩＳ回路、あるいはＩＧＢＴ回路などのゲート絶縁膜を用いる半導体装置に用いるのに適している。
【符号の説明】
【００４２】
１  Ｐ型炭化珪素基板
２  イオン注入用マスク
３  ソース
４  ドレイン
５  ゲート絶縁膜
６  ゲート電極
７  金属配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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