(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造指示情報を保管する段階と、
ガラス基板の洗浄を行う洗浄工程ラインにガラス基板を投入し、このガラス基板を識別する仮識別コードを発行する段階と、
前記製造指示情報に基づきガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けて保管する段階と、
前記洗浄工程ラインから前記ガラス基板をカセットに回収し、前記ガラス基板を識別する仮識別コードと前記カセットの情報とを紐付けて保管する段階と、
前記カセットに収納されたガラス基板をブラックマトリクス工程のラインに投入し、前記カセットの情報と、前記仮識別コードとを照合する段階と、
前記ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置の一つである露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを読み取る段階と、
読み取ったフォトマスクの識別コードを、報告された仮識別コードに紐付けられているフォトマスクの識別コードと照合し、照合の結果、正常ならば、この露光機に正しいフォトマスクがセットされていると判断し、他方、異常ならば、間違ったフォトマスクがセットされていると判断する段階とを備えることを特徴とするマスク照合方法。
【請求項２】
製造指示情報を保管する手段と、
ガラス基板の洗浄を行う洗浄工程ラインにガラス基板を投入し、このガラス基板を識別する仮識別コードを発行する手段と、
前記製造指示情報に基づきガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けて保管する手段と、
前記洗浄工程ラインから前記ガラス基板をカセットに回収し、前記ガラス基板を識別する仮識別コードと前記カセットの情報とを紐付けて保管する手段と、
前記カセットに収納されたガラス基板をブラックマトリクス工程のラインに投入し、前記カセットの情報と、前記仮識別コードとを照合する手段と、
前記ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置の一つである露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを読み取る手段と、
読み取ったフォトマスクの識別コードを、報告された仮識別コードに紐付けられているフォトマスクの識別コードと照合し、照合の結果、正常ならば、この露光機に正しいフォトマスクがセットされていると判断し、他方、異常ならば、間違ったフォトマスクがセットされていると判断する手段とを備えることを特徴とするマスク照合システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルター等をフォトリソグラフィ法で製造する際のフォトマスクのセット間違いやガラス基板の取り違えを防止する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラーフィルターの製造方法として、ガラス基板上にレジストを塗布しフォトマスクを介して露光し現像することを、ブラックマトリクス、ＲＧＢ各色ごとに繰り返して、それらのパターンを形成するフォトリソグラフィ法によるものが知られている。
【０００３】
そして従来から、露光機へのフォトマスクのセット間違えを防止する為、フォトマスクに二次元コード等の識別コードを付け露光機の識別コード読取装置で読み取り、読み取った識別コードを、データベースに保管されている製造指示情報と照合することにより、正しいフォトマスクが露光機にセットされたかを判定するマスク照合方法及びマスク照合システムが知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら特許文献１のマスク照合方法及びマスク照合システムは、露光機へのフォトマスクのセット間違えによる不良品の製造防止は可能であるが、パターニングするガラス基板の取り違えまでは判別不可であった。
【０００５】
そこで本願出願人は、特許文献１のマスク照合方法及びマスク照合システムにおいて、ガラス基板にも二次元コード等の識別コードを付け露光機の識別コード読取装置で読み取り、読み取った識別コードを、データベースに保管されている製造指示情報と照合することにより、正しいガラス基板が露光機にセットされたかをも判定するものを、特願２００６−２５２３０５で出願した。
【０００６】
ところで、ガラス基板への識別コードの付与はブラックマトリクス工程の中の露光工程においてタイトラーで印字することにより行われる。そのため、ブラックマトリクス用露光機にガラス基板をセットした時点では、ガラス基板に識別コードがなく、特願２００６−２５２３０５のマスク照合方法及びマスク照合システムによって、正しいガラス基板が露光機にセットされたかを判定することはできない。
【特許文献１】特開２００６−２４３２１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は斯かる従来技術の問題に鑑みてなされたもので、ガラス基板に識別コードが付与される前でも、正しいガラス基板が露光機にセットされたかを判定できるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明において上記課題を解決するために、まず請求項１の発明では、
製造指示情報を保管する段階と、
ガラス基板の洗浄を行う洗浄工程ラインにガラス基板を投入し、このガラス基板を識別する仮識別コードを発行する段階と、
前記製造指示情報に基づきガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けて保管する段階と、
前記洗浄工程ラインから前記ガラス基板をカセットに回収し、前記ガラス基板を識別する仮識別コードと前記カセットの情報とを紐付けて保管する段階と、
前記カセットに収納されたガラス基板をブラックマトリクス工程のラインに投入し、前記カセットの情報と、前記仮識別コードとを照合する段階と、
前記ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置の一つである露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを読み取る段階と、
読み取ったフォトマスクの識別コードを、報告された仮識別コードに紐付けられているフォトマスクの識別コードと照合し、照合の結果、正常ならば、この露光機に正しいフォトマスクがセットされていると判断し、他方、異常ならば、間違ったフォトマスクがセットされていると判断する段階とを備えることを特徴とするマスク照合方法としたものである。
【００１１】
また請求項２の発明では、
製造指示情報を保管する手段と、
ガラス基板の洗浄を行う洗浄工程ラインにガラス基板を投入し、このガラス基板を識別する仮識別コードを発行する手段と、
前記製造指示情報に基づきガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けて保管する手段と、
前記洗浄工程ラインから前記ガラス基板をカセットに回収し、前記ガラス基板を識別する仮識別コードと前記カセットの情報とを紐付けて保管する手段と、
前記カセットに収納されたガラス基板をブラックマトリクス工程のラインに投入し、前記カセットの情報と、前記仮識別コードとを照合する手段と、
前記ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置の一つである露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを読み取る手段と、
読み取ったフォトマスクの識別コードを、報告された仮識別コードに紐付けられているフォトマスクの識別コードと照合し、照合の結果、正常ならば、この露光機に正しいフォトマスクがセットされていると判断し、他方、異常ならば、間違ったフォトマスクがセットされていると判断する手段とを備えることを特徴とするマスク照合システムとしたものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、ガラス基板に識別コードが付与される前でも、正しいガラス基板が露光機にセットされたかを判定できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明の最良の一実施形態を説明する。
【００１４】
本実施形態のマスク照合システムは、図１に示すように、装置コントローラ１〜Ｎ、ラインコントローラ、ライン管理システム、データベース、端末を備える。また、装置コン
トローラ１〜Ｎとラインコントローラとはリング状の通信ネットワークを介して接続される。また、ラインコントローラーとライン管理システム、ライン管理システムとデータベース、データベースと端末は、それぞれ通信ネットワークを介して接続される。
【００１５】
装置コントローラ１〜Ｎは、カラーフィルタの製造ラインを構成する装置１〜Ｎを、それぞれコントロールするコントローラである。カラーフィルタの製造ラインは、一枚ずつ装置１に投入されたガラス基板を装置１からＮまで順番に移動させながら、このガラス基板に対してカラーフィルタの製造工程を実行するラインである。
【００１６】
ラインコントローラは、カラーフィルタの製造ライン全体をコントロールするコントローラである。
【００１７】
ライン管理システムは、カラーフィルタの製造ラインにおいてガラス基板に施されるワークを、そのガラス基板一枚単位で管理するコンピュータシステムである。
【００１８】
データベースは、製造指示情報、仮識別コード紐付け情報など、カラーフィルタの製造に係る情報を保管する装置である。仮識別コード紐付け情報は、識別コードが付与される前にガラス基板を識別するために発行された仮識別コードと他の情報とを紐付けた情報であって、例えば、仮識別コードと、この仮識別コードで識別されるガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けた情報や、仮識別コードと、この仮識別コードで識別されるガラス基板に実際に付与された識別コードとを紐付けた情報などがある。
【００１９】
端末は、データベースに保管されている情報を参照するためのコンピュータである。
【００２０】
以下に、ガラス基板に識別コードが付けられ、その識別コードで管理されるまでになされる処理の流れを、図２のフローチャートに従って説明する。
【００２１】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１；
一枚のガラス基板が装置１に投入されると、装置コントローラ１は、その投入を、ラインコントローラを介して、ライン管理システムに伝える。
【００２２】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２；
ライン管理システムは、装置１に投入されたガラス基板を識別する仮識別コードを発行し、ラインコントローラを介して、装置コントローラ１に送ると同時に、ライン管理システムは、製造指示情報に基づいて、この仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けてデータベースに保管する。
【００２３】
Ｓ（ＳＴＥＰ）３；
ガラス基板が露光機又はタイトラーにセットされるまで、このガラス基板を装置ｉ（１≦ｉ≦Ｎ−１）から装置（ｉ＋１）へ移動させ、その移動にともなって、このガラス基板を識別する仮識別コードも装置コントローラｉから装置コントローラ（ｉ＋１）へ引き継がせるトラッキングを行い、
このガラス基板が露光機にセットされたら、ＳＴＥＰ４に進み、
このガラス基板がタイトラーにセットされたら、ＳＴＥＰ１０に進む。
【００２４】
ＳＴＥＰ４；
ガラス基板が露光機にセットされると、この露光機のコントローラは、この露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを、この露光機の識別コード読取装置で読み取り、読み取ったフォトマスクの識別コードと、このガラス基板を識別する仮識別コードとを、ラインコントローラを介して、ライン管理システムに送る。
【００２５】
ＳＴＥＰ５；
ライン管理システムは、データベースから製造指示情報を読み出し、この製造指示情報と露光機から送られた仮識別コードとを照合し、
照合の結果が正常な場合、露光機に正しいガラス基板がセットされたと判断して、ＳＴＥＰ６に進み、
照合の結果が異常な場合、間違ったガラス基板がセットされたと判断して、ＳＴＥＰ９に進む。
【００２６】
尚、ライン管理システムは、この照合結果をデータベースに保管しても良い。
【００２７】
ＳＴＥＰ６；
ライン管理システムは、露光機から送られた仮識別コードと紐付けられたフォトマスクの識別コードをデータベースから読み出し、このフォトマスクの識別コードと、露光機から送られたフォトマスク識別コードとを照合し、
照合が正常である場合、露光機に正しいフォトマスクがセットされていると判断して、ＳＴＥＰ７に進み、
照合が異常な場合、間違ったフォトマスクがセットされていると判断して、ＳＴＥＰ９に進む。
【００２８】
尚、ライン管理システムは、この照合結果をデータベースに保管しても良い。
【００２９】
ＳＴＥＰ７；
ライン管理システムは、ラインコントローラを介して、露光機にセットされたガラス基板に対して露光を行わせる。
【００３０】
ＳＴＥＰ８；
露光機にセットされているガラス基板を、露光機の次の装置に移動させ、その移動にともなって、このガラス基板を識別する仮識別コードも露光機のコントローラから次の装置のコントローラへ引き継がせるトラッキングを行い、ＳＴＥＰ３に戻る。
【００３１】
ＳＴＥＰ９；
ライン管理システムは、ラインコントローラを介して、露光機に露光を停止させると同時に、異常報告をオペレータに伝え、ＥＮＤに進む。
【００３２】
ＳＴＥＰ１０；
ガラス基板がタイトラーにセットされて、このガラス基板に識別コードが付与されると、タイトラーのコントローラーは、このガラス基板に付与された識別コードと、このガラス基板を識別する仮識別コードとを、ラインコントローラを介して、ライン管理システムに報告する。
【００３３】
ＳＴＥＰ１１；
ライン管理システムは、ガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板に付与された識別コードとを紐付けてデータベースに保管する。
【００３４】
ＳＴＥＰ１２；
ライン管理システムは、ガラス基板に付与された識別コードを用いて、このガラス基板に施されるワークを管理する。
【実施例】
【００３５】
本発明の実施例を具体的に説明する。
【００３６】
本実施例では、カラーフィルタの製造ラインは、受入洗浄工程のライン、ブラックマトリクス工程のラインなどに別れている。
【００３７】
受入洗浄工程のラインは、ガラス基板として一枚ずつ投入された素ガラスに対して、受入洗浄工程を実行して、カセットに回収するラインである。
【００３８】
またブラックマトリクス工程のラインは、カセットから一枚ずつ投入されたガラス基板に対して、ブラックマトリクス工程を実行して、カセットに回収するラインである。
【００３９】
以下に、ガラス基板に識別コードが付けられ、その識別コードで管理されるまでになされる処理の流れを、図３及び４を参照しながら説明する。
【００４０】
ＳＴＥＰ１；
図３に示すように、パレットに積載された素ガラスがガラス基板として受入洗浄工程のラインに一枚投入されると、ライン管理システムは、このガラス基板を識別する仮識別コードを発行して、受入洗浄工程のラインにダウンロードすると同時に、製造指示情報に基づいて、この仮識別コードと、このガラス基板にパターニングするために用いるフォトマスクの識別コードとを紐付けてデータベースに保管する。
【００４１】
ＳＴＥＰ２；
受入洗浄工程のラインを構成する装置間をガラス基板が移動すると、このガラス基板の仮識別コードも、装置のコントローラ間で移動させるトラッキングが行われる。
【００４２】
ＳＴＥＰ３；
受入洗浄工程が終了してガラス基板がカセットに回収された時、ライン管理システムは、受入洗浄工程のラインから、このカセットを識別するカセットＩＤと、このガラス基板が収納されたこのカセットの収納段と、このガラス基板を識別する仮識別コードとを受け取り、このカセットＩＤ及び収納段と、この仮識別コードとを紐付けてデータベースに保管する。
【００４３】
ＳＴＥＰ４；
図４に示すように、カセットに収納されたガラス基板がブラックマトリクス工程のラインに一枚投入されると、ライン管理システムは、ブラックマトリクス工程のラインから、このガラス基板を収納していたカセットのカセットＩＤと、このガラス基板が収納されていたこのカセットの収納段とを受け取り、このカセットＩＤ及び収納段と紐付いている仮識別コードをデータベースから読み出してブラックマトリクス工程のラインにダウンロードする。
【００４４】
ＳＴＥＰ５；
ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置間をガラス基板が移動すると、このガラス基板の仮識別コードも、装置のコントローラ間で移動させるトラッキングが行われる。
【００４５】
ＳＴＥＰ６；
ガラス基板が露光機にセットされると、この露光機のコントローラは、この露光機にセットされているフォトマスクに付いている識別コードを、この露光機の識別コード読取装置で読み取り、読み取ったフォトマスクの識別コードと、このガラス基板を識別する仮識別コードとをライン管理システムに送る。
【００４６】
ＳＴＥＰ７；
ライン管理システムは、データベースから製造指示情報を読み出し、この製造指示情報と露光機から送られた仮識別コードとを照合する。またライン管理システムは、露光機から送られた仮識別コードと紐付けられたフォトマスクの識別コードをデータベースから読み出し、このフォトマスクの識別コードと、露光機から送られたフォトマスク識別コードとを照合する。
【００４７】
何れの照合も正常である場合、ライン管理システムは、正しいガラス基板と正しいフォトマスクとが露光機にセットされたと判断して、露光機にセットされたガラス基板に対して露光を行わせて、次のＳＴＥＰ８に進む。
【００４８】
何れかの照合が異常な場合、間違ったガラス基板又は間違ったフォトマスクが露光機にセットされたと判断して、ライン管理システムは、露光機に露光を停止させると同時に、異常報告をオペレータに伝える。
【００４９】
ＳＴＥＰ８；
再び、ブラックマトリクス工程のラインを構成する装置間をガラス基板が移動すると、このガラス基板の仮識別コードも、装置のコントローラ間で移動させるトラッキングが行われる。
【００５０】
ＳＴＥＰ９；
ガラス基板がタイトラーにセットされて、このガラス基板に識別コードが付与されると、ライン管理システムは、タイトラーのコントローラーから、このガラス基板に付与された識別コードと、このガラス基板を識別する仮識別コードとを受け取り、このガラス基板を識別する仮識別コードと、このガラス基板に付与された識別コードとを紐付けてデータベースに保管する。
【００５１】
ＳＴＥＰ１０；
ライン管理システムは、ガラス基板に付与された識別コードを用いて、このガラス基板に施されるワークを管理する。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明のマスク照合システムの一実施形態の構成を示す図。
【図２】本発明のマスク照合システムの一実施形態において、ガラス基板に識別コードが付けられ、その識別コードで管理されるまでになされる処理の流れを示すフローチャート。
【図３】本発明の実施例における受入洗浄工程を示す図。
【図４】本発明の実施例におけるブラックマトリクス工程を示す図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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