(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有する基材と、
前記基材に設けられた、配線、及び、所定の曲率以上に折り曲げられたときに断線する検査部を有する検査用配線と、を備えていることを特徴とするフレキシブル配線基板。
【請求項２】
前記フレキシブル配線基板は、前記所定の曲率で折り曲げられるべき折り曲げ領域を有するものであって、且つ、接続対象と接続されるものであって、
前記検査用配線の前記検査部は、前記基材の前記折り曲げ領域に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項３】
前記基材には、前記折り曲げ領域が複数箇所あり、
複数の前記検査用配線の前記検査部が、前記基材の複数の前記折り曲げ領域にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項２に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項４】
前記フレキシブル配線基板は、前記所定の曲率で折り曲げられるべき折り曲げ領域を有するものであって、且つ、接続対象と接続されるものであって、
前記検査用配線の前記検査部は、前記基材の前記折り曲げ領域以外の領域に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項５】
前記フレキシブル配線基板は、前記所定の曲率で折り曲げられるべき折り曲げ領域を有するものであって、且つ、接続対象と接続されるものであって、
前記基材には、前記検査用配線が複数設けられており、
前記基材の前記折り曲げ領域と、前記折り曲げ領域以外の領域との、互いに異なる領域に、異なる検査用配線の前記検査部がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項６】
前記検査用配線の前記検査部の断面積は、前記配線の断面積よりも小さいことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項７】
前記配線は、前記基材の一方の面に複数設けられており、
前記検査用配線は、前記基材の前記一方の面とは反対側の面に形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項８】
所定の曲率で折り曲げられるべき折り曲げ領域を有し、且つ、接続対象と接続されるフレキシブル配線基板の組み付け方法であって、
前記フレキシブル配線基板は、可撓性を有する基材に、配線及び前記所定の曲率以上に折り曲げられたときに断線する検査部を有する検査用配線が設けられて構成されており、
前記フレキシブル配線基板を前記接続対象に接続する接続工程と、
前記フレキシブル配線基板を折り曲げる折り曲げ工程と、
前記折り曲げ工程後に、前記検査用配線の前記検査部の導通を検査して、前記検査用配線が断線しているか否かを検査する検査工程と、を備えていることを特徴とするフレキシブル配線基板の組み付け方法。
【請求項９】
前記検査用配線の前記検査部は、前記基材の前記折り曲げ領域に設けられており、
前記検査工程において、前記検査用配線が断線していることを検出したときには、前記フレキシブル配線基板の姿勢は正常であると判定し、前記検査用配線が断線していないことを検出したときには、前記フレキシブル配線基板の姿勢は異常であると判定する判定工程をさらに備えていることを特徴とする請求項８に記載のフレキシブル配線基板の組み付け方法。
【請求項１０】
前記基材には、前記検査用配線が複数設けられており、
複数の前記検査用配線の前記検査部は、前記基材の前記折り曲げ領域と、前記折り曲げ領域以外の領域との、互いに異なる領域にそれぞれ設けられており、
前記検査工程において、前記折り曲げ領域に前記検査部が設けられた前記検査用配線が断線し、且つ、前記折り曲げ領域以外の領域に前記検査部が設けられた前記検査用配線が断線していないことを検出したときには、前記フレキシブル配線基板の姿勢は正常であると判定し、それ以外のときには前記フレキシブル配線基板の姿勢は異常であると判定する判定工程をさらに備えていることを特徴とする請求項８に記載のフレキシブル配線基板の組み付け方法。
【請求項１１】
請求項１〜７に記載のフレキシブル配線基板と、前記フレキシブル配線基板と接続されるアクチュエータと、を備えたアクチュエータ装置の製造方法であって、
前記フレキシブル配線基板は、前記アクチュエータに接続され、且つ、所定の曲率で折り曲げられるものであって、
前記フレキシブル配線基板と前記アクチュエータとを接続する接続工程と、
前記フレキシブル配線基板を折り曲げる折り曲げ工程と、
少なくとも前記折り曲げ工程後に、前記検査用配線の前記検査部の導通を検査して、前記検査用配線が断線しているか否かを検査する検査工程と、を備えていることを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
【請求項１２】
液体が吐出されるノズルを有する液体流路を備えた流路ユニットと、駆動電極を有し、前記液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与するためのアクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記駆動電極に電気的に接続される、請求項１〜７に記載のフレキシブル配線基板と、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、
前記フレキシブル配線基板は、前記アクチュエータに接続され、且つ、所定の曲率で折り曲げられるものであって、
前記フレキシブル配線基板の前記配線と前記検査用配線は、前記アクチュエータの同じ前記駆動電極と共通に接続されており、
前記フレキシブル配線基板と前記液体吐出ヘッドとを接続する接続工程と、
前記フレキシブル配線基板を折り曲げる折り曲げ工程と、
前記接続工程及び前記折り曲げ工程後に、前記検査用配線に電流を流すことによって、当該検査用配線に対応する前記ノズルから液体が吐出されるか否かを検出して、前記検査部が断線しているか否かを検査する検査工程と、を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
【請求項１３】
液体が吐出される複数のノズルを有する複数の液体流路を備えた流路ユニットと、複数の駆動電極を有し、前記複数の液体流路内の液体にそれぞれ吐出エネルギーを付与するためのアクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記複数の駆動電極に電気的に接続される、請求項１〜７に記載のフレキシブル配線基板と、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、
前記フレキシブル配線基板は、前記アクチュエータに接続され、且つ、所定の曲率で折り曲げられるものであって、
前記複数のノズルは、被吐出媒体への液体吐出に寄与するノズルと、検査用ノズルと、を有しており、
前記フレキシブル配線基板の前記配線は、前記アクチュエータの前記ノズルに対応した前記駆動電極に接続されており、
前記フレキシブル配線基板の前記検査用配線は、前記アクチュエータの前記検査用ノズルに対応した前記駆動電極に接続されており、
前記フレキシブル配線基板と前記液体吐出ヘッドとを接続する接続工程と、
前記フレキシブル配線基板を折り曲げる折り曲げ工程と、
前記接続工程及び前記折り曲げ工程後に、前記検査用配線に電流を流すことによって、当該検査用配線に対応する前記検査用ノズルから液体が吐出されるか否かを検出して、前記検査部が断線しているか否かを検査する検査工程と、を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブル配線基板、フレキシブル配線基板の組み付け方法、アクチュエータ装置の製造方法、液体吐出装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、様々な技術分野において、接続対象と接続されて折り曲げて引き出されるフレキシブル配線基板が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、複数のノズルからそれぞれインクを吐出させるインクジェットヘッドに接続されたフレキシブル配線部材（フレキシブル配線材）について開示されている。このインクジェットヘッドは、複数のノズルが形成されたヘッド本体の上面に圧電式のアクチュエータが貼り付けられている。そして、アクチュエータの上面には、この上面を覆うように配置され、可撓性を有する基材に配線が形成されたフレキシブル配線基板が接続されている。このフレキシブル配線基板は、アクチュエータの縁を越えて、アクチュエータの上面と平行な面方向に引き出された後、面方向と直交する方向（アクチュエータとは反対側の方向）に折り曲げられて引き出されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−０５６６６２号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した特許文献１に記載のフレキシブル配線基板が正しい領域で折り曲げられておらず、正しい姿勢で引き回されていないと、フレキシブル配線基板に過度な曲げ応力がかかって接続対象から剥離しやすくなったり、フレキシブル配線基板が他部材の組み付けの邪魔になって他部材を組み付けにくかったりする。また、フレキシブル配線基板が正しい姿勢で引き回されているかを目視で判断するのは困難である。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、フレキシブル配線基板が正しい姿勢で引き回されているかを簡単に検査可能なフレキシブル配線基板、フレキシブル配線基板の組み付け方法、アクチュエータ装置の製造方法及び液体吐出装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のフレキシブル配線基板は、可撓性を有する基材と、前記基材に設けられた、配線、及び、所定の曲率以上に折り曲げられたときに断線する検査部を有する検査用配線と、を備えている。
【０００８】
本発明のフレキシブル配線基板によると、検査用配線が断線しているか否かで、基材の検査部が設けられた領域が所定の曲率以上に折り曲げられているかを検出することができる。したがって、フレキシブル配線基板単体の状態で、検査部を設ける基材の領域に応じてフレキシブル配線基板が正しい姿勢で引き回されているかを簡単に検査することができる。
【０００９】
また、前記フレキシブル配線基板は、前記所定の曲率で折り曲げられるべき折り曲げ領域を有するものであって、且つ、接続対象と接続されるものであって、前記検査用配線の前記検査部は、前記基材の前記折り曲げ領域に設けられていることが好ましい。
【００１０】
これによると、基材の折り曲げ領域に検査部を設けることで、フレキシブル配線基板がこの折り曲げ領域で折り曲げられているかを検査することができる。
【００１１】
このとき、前記基材には、前記折り曲げ領域が複数箇所あり、複数の前記検査用配線の前記検査部が、前記基材の複数の前記折り曲げ領域にそれぞれ設けられていることが好ましい。
【００１２】
これによると、基材に折り曲げ領域が複数箇所ある場合にも、フレキシブル配線基板が全ての折り曲げ領域で折り曲げられているかを検査することができる。
【００１３】
また、前記フレキシブル配線基板は、前記所定の曲率で折り曲げられるべき折り曲げ領域を有するものであって、且つ、接続対象と接続されるものであって、前記検査用配線の前記検査部は、前記基材の前記折り曲げ領域以外の領域に設けられていてもよい。
【００１４】
これによると、例えば、基材の折り曲げ領域ではないが折り曲げられやすい領域のような、折り曲げ領域以外の領域に検査部を設けることで、フレキシブル配線基板が折り曲げ領域以外の領域で折り曲げられていないかを検査することができる。
【００１５】
また、前記フレキシブル配線基板は、前記所定の曲率で折り曲げられるべき折り曲げ領域を有するものであって、且つ、接続対象と接続されるものであって、前記基材には、前記検査用配線が複数設けられており、前記基材の前記折り曲げ領域と、前記折り曲げ領域以外の領域との、互いに異なる領域に、異なる検査用配線の前記検査部がそれぞれ設けられていてもよい。
【００１６】
これによると、基材の折り曲げ領域に検査部を設けることで、フレキシブル配線基板がこの折り曲げ領域で折り曲げられているかを検査することができる。また、基材の折り曲げ領域以外の領域に検査部を設けることで、フレキシブル配線基板が折り曲げ領域以外の領域で折り曲げられていないかを検査することができる。これらから、フレキシブル配線基板が正しい姿勢で引き回されているかを精度よく検査することができる。
【００１７】
また、前記検査用配線の前記検査部の断面積は、前記配線の断面積よりも小さいことが好ましい。
【００１８】
これによると、基材が所定の曲率で折り曲げられたときに、この折り曲げられた領域に設けられた検査用配線の検査部だけを断線させることができる。
【００１９】
さらに、前記配線は、前記基材の一方の面に複数設けられており、前記検査用配線は、前記基材の前記一方の面とは反対側の面に形成されていることが好ましい。
【００２０】
これによると、基材の配線が形成された一方の面に比べて、この面と反対側の面は検査用配線を形成可能な領域が大きく、基材を大判化することなく検査用配線を設けることができる。
【００２１】
本発明のフレキシブル配線基板の組み付け方法は、所定の曲率で折り曲げられるべき折り曲げ領域を有し、且つ、接続対象と接続されるフレキシブル配線基板の組み付け方法であって、前記フレキシブル配線基板は、可撓性を有する基材に、配線及び前記所定の曲率以上に折り曲げられたときに断線する検査部を有する検査用配線が設けられて構成されており、前記フレキシブル配線基板を前記接続対象に接続する接続工程と、前記フレキシブル配線基板を折り曲げる折り曲げ工程と、前記折り曲げ工程後に、前記検査用配線の前記検査部の導通を検査して、前記検査用配線が断線しているか否かを検査する検査工程と、を備えている。
【００２２】
本発明のフレキシブル配線基板の組み付け方法によると、検査工程において、検査用配線が断線しているか否かを検査することで、フレキシブル配線基板が検査部の設けられた領域で折り曲げられているかを検査することができる。したがって、検査部を設ける基材の領域に応じてフレキシブル配線基板が正しい姿勢で組み付けられているかを検査することができる。
【００２３】
このとき、前記検査用配線の前記検査部は、前記基材の前記折り曲げ領域に設けられており、前記検査工程において、前記検査用配線が断線していることを検出したときには、前記フレキシブル配線基板の姿勢は正常であると判定し、前記検査用配線が断線していないことを検出したときには、前記フレキシブル配線基板の姿勢は異常であると判定する判定工程をさらに備えていてもよい。
【００２４】
これによると、検査用配線が断線しているか否かを検査することで、フレキシブル配線基板がこの折り曲げ領域で折り曲げられているかを把握して、フレキシブル配線基板の姿勢が正常か否かを判定することができる。
【００２５】
また、前記基材には、前記検査用配線が複数設けられており、複数の前記検査用配線の前記検査部は、前記基材の前記折り曲げ領域と、前記折り曲げ領域以外の領域との、互いに異なる領域にそれぞれ設けられており、前記検査工程において、前記折り曲げ領域に前記検査部が設けられた前記検査用配線が断線し、且つ、前記折り曲げ領域以外の領域に前記検査部が設けられた前記検査用配線が断線していないことを検出したときには、前記フレキシブル配線基板の姿勢は正常であると判定し、それ以外のときには前記フレキシブル配線基板の姿勢は異常であると判定する判定工程をさらに備えていてもよい。
【００２６】
これによると、折り曲げ領域に検査部が設けられた検査用配線が断線しているか否かを検査することで、フレキシブル配線基板が折り曲げ領域で折り曲げられているかを把握することができる。また、折り曲げ領域以外の領域に検査部が設けられた検査用配線が断線しているか否かを検査することで、フレキシブル配線基板が折り曲げ領域以外の領域で折り曲げられているかを把握することができる。これらから、フレキシブル配線基板が正しい姿勢で組み付けられているかを判定することができる。
【００２７】
本発明のアクチュエータ装置の製造方法は、上述したいずれかのフレキシブル配線基板と、前記フレキシブル配線基板と接続されるアクチュエータと、を備えたアクチュエータ装置の製造方法であって、前記フレキシブル配線基板は、前記アクチュエータに接続され、且つ、所定の曲率で折り曲げられるものであって、前記フレキシブル配線基板と前記アクチュエータとを接続する接続工程と、前記フレキシブル配線基板を折り曲げる折り曲げ工程と、少なくとも前記折り曲げ工程後に、前記検査用配線の前記検査部の導通を検査して、前記検査用配線が断線しているか否かを検査する検査工程と、を備えている。
【００２８】
本発明のアクチュエータ装置の製造方法によると、アクチュエータと接続する前のフレキシブル配線基板単体の状態でも、検査部を設ける基材の領域に応じてフレキシブル配線基板が正しい領域で折り曲げられて正しい姿勢で引き回されているかを早く簡単に検査することができる。したがって、折り曲げ工程後に組み付けられる他の部材を無駄にすることにない。
【００２９】
本発明の液体吐出装置の製造方法は、液体が吐出されるノズルを有する液体流路を備えた流路ユニットと、駆動電極を有し、前記液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与するためのアクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記駆動電極に電気的に接続される、上述したいずれかのフレキシブル配線基板と、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、前記フレキシブル配線基板は、前記アクチュエータに接続され、且つ、所定の曲率で折り曲げられるものであって、前記フレキシブル配線基板の前記配線と前記検査用配線は、前記アクチュエータの同じ前記駆動電極と共通に接続されており、前記フレキシブル配線基板と前記液体吐出ヘッドとを接続する接続工程と、前記フレキシブル配線基板を折り曲げる折り曲げ工程と、前記接続工程及び前記折り曲げ工程後に、前記検査用配線に電流を流すことによって、当該検査用配線に対応する前記ノズルから液体が吐出されるか否かを検出して、前記検査部が断線しているか否かを検査する検査工程と、を備えている。
【００３０】
本発明の液体吐出装置の製造方法によると、検査用配線が断線していなければ、検査用配線に電流を流したときに駆動電極まで電流が流れて、この駆動電極に対応したノズルから液体が吐出される。一方、検査用断線が断線していれば、検査用配線に電流を流したときに駆動電極まで電流が流れないため、この駆動電極に対応したノズルから液体は吐出されない。したがって、液体吐出ヘッドのノズルから液体が吐出されるか否かを検査することで、フレキシブル配線基板が正しい領域で折り曲げられて正しい姿勢で引き回されているかを簡単に検査することができる。また、被吐出媒体への液体吐出に寄与するノズルを検査用のノズルとして兼用しているため、検査用の専用ノズルを形成する必要がない。
【００３１】
また、別の観点では、本発明の液体吐出装置は、液体が吐出される複数のノズルを有する複数の液体流路を備えた流路ユニットと、複数の駆動電極を有し、前記複数の液体流路内の液体にそれぞれ吐出エネルギーを付与するためのアクチュエータと、を備えた液体吐出ヘッドと、前記複数の駆動電極に電気的に接続される、上述したいずれかのフレキシブル配線基板と、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、前記フレキシブル配線基板は、前記アクチュエータに接続され、且つ、所定の曲率で折り曲げられるものであって、前記複数のノズルは、被吐出媒体への液体吐出に寄与するノズルと、検査用ノズルと、を有しており、前記フレキシブル配線基板の前記配線は、前記アクチュエータの前記ノズルに対応した前記駆動電極に接続されており、前記フレキシブル配線基板の前記検査用配線は、前記アクチュエータの前記検査用ノズルに対応した前記駆動電極に接続されており、前記フレキシブル配線基板と前記液体吐出ヘッドとを接続する接続工程と、前記フレキシブル配線基板を折り曲げる折り曲げ工程と、前記接続工程及び前記折り曲げ工程後に、前記検査用配線に電流を流すことによって、当該検査用配線に対応する前記検査用ノズルから液体が吐出されるか否かを検出して、前記検査部が断線しているか否かを検査する検査工程と、を備えている。
【００３２】
本発明の液体吐出装置の製造方法によると、検査用配線が断線していなければ、検査用配線に電流を流したときに駆動電極まで電流が流れて、この駆動電極に対応したノズルから液体が吐出される。一方、検査用配線が断線していれば、検査用配線に電流を流したときに駆動電極まで電流が流れないため、この駆動電極に対応したノズルから液体は吐出されない。したがって、液体吐出ヘッドのノズルから液体が吐出されるか否かを検出することで、フレキシブル配線基板が正しい領域で折り曲げられて正しい姿勢で引き回されているかを簡単に検査することができる。
【発明の効果】
【００３３】
検査用配線の検査部を設ける基材の領域に応じて、フレキシブル配線基板が正しい姿勢で引き回されているかを簡単に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本実施形態に係るインクジェットプリンタの概略平面図である。
【図２】インクジェットヘッドの走査方向から見た側面図である。
【図３】インクジェットヘッドの図２の矢視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】ＣＯＦの平面図である。
【図６】図５の部分拡大図であり、（ａ）はＢ部の部分拡大図であり、（ｂ）はＣ部の部分拡大図である。
【図７】ＣＯＦを組み付ける工程について説明する図である。
【図８】変形例１におけるインクジェットヘッドの平面図である。
【図９】変形例１におけるＣＯＦの平面図である。
【図１０】変形例２におけるＣＯＦの平面図である。
【図１１】変形例３におけるＣＯＦの厚み方向に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
次に、本発明の実施形態について説明する。本実施形態は、記録用紙に対してインクジェットヘッドからインクを吐出するインクジェットプリンタに本発明を適用した一例である。
【００３６】
まず、本実施形態のインクジェットプリンタの概略構成について説明する。図１は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。図１に示すように、プリンタ１（液体吐出装置）は、所定の走査方向（図１の左右方向）に沿って往復移動可能に構成されたキャリッジ２と、このキャリッジ２に搭載されたインクジェットヘッド３と、記録用紙Ｐを走査方向と直交する搬送方向（図１の下方）に搬送する搬送機構４などを有している。
【００３７】
キャリッジ２は、走査方向に平行に延びる２本のガイド軸１７に沿って往復移動可能に構成されている。また、キャリッジ２には、無端ベルト１８が連結されており、キャリッジ駆動モータ１９によって無端ベルト１８が走行駆動されたときに、キャリッジ２は、無端ベルト１８の走行にともなって走査方向に移動するようになっている。
【００３８】
なお、プリンタ１には、走査方向に間隔を空けて配列された多数の透光部（スリット）を有するリニアエンコーダ１０が設けられている。一方、キャリッジ２には、発光素子と受光素子とを有する透過型のフォトセンサ１１が設けられている。そして、プリンタ１は、キャリッジ２の移動中にフォトセンサ１１が検出したリニアエンコーダ１０の透光部の計数値（検出回数）から、キャリッジ２の走査方向に関する現在位置を認識できるようになっている。
【００３９】
このキャリッジ２には、インクジェットヘッド３が搭載されている。インクジェットヘッド３は、その下面（図１の紙面向こう側の面）に複数のノズル３０（図３、図４参照）を有している。このインクジェットヘッド３は、搬送機構４により図１の下方（搬送方向）に搬送される記録用紙Ｐに対して、図示しないインクカートリッジから供給されたインクを複数のノズル３０から吐出するように構成されている。
【００４０】
搬送機構４は、インクジェットヘッド３よりも搬送方向上流側に配置された給紙ローラ１２と、インクジェットヘッド３よりも搬送方向下流側に配置された排紙ローラ１３とを有している。給紙ローラ１２と排紙ローラ１３は、それぞれ、給紙モータ１４と排紙モータ１５により回転駆動される。そして、この搬送機構４は、給紙ローラ１２により、記録用紙Ｐを図１の上方からインクジェットヘッド３へ搬送するとともに、排紙ローラ１３により、インクジェットヘッド３によって画像や文字などが記録された記録用紙Ｐを図１の下方へ排出する。
【００４１】
次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２は、インクジェットヘッドの走査方向から見た側面図である。図３は、インクジェットヘッドの図２の矢視図である。図４は、図３のＡ−Ａ線断面図である。なお、図２において、正しい姿勢で引き回されていないＣＯＦの例を二点鎖線で示す。また、図３に示すインクジェットヘッドの平面図では、アクチュエータ３２の上方に配置されるＣＯＦ５０を二点鎖線で示し、ＦＰＣ６５の図示を省略している。
【００４２】
図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド３（液体吐出ヘッド）は、ノズル３０を含むインク流路が形成された流路ユニット３１と、流路ユニット３１の上面に配置され、インク流路内のインクに吐出圧力を付与する圧電式のアクチュエータ３２とを有しており、アクチュエータ３２の上面にＣＯＦ５０及びＦＰＣ６５が接続されている。なお、本実施形態におけるアクチュエータ３２とＣＯＦ５０が、本発明におけるアクチュエータ装置に相当する。
【００４３】
流路ユニット３１には、図示しない４つのインクカートリッジにそれぞれ接続される４つのインク供給口２８と、各インク供給口２８に接続され、搬送方向に沿って延びるマニホールド３３と、各マニホールド３３に連通した複数の圧力室３４と、複数の圧力室３４にそれぞれ連通する複数のノズル３０が形成されている。複数の圧力室３４は紙送り方向に延在するマニホールド３３に沿って配列されることで、１つの圧力室列８が構成されている。さらに、走査方向に関して隣接する２つの圧力室列８によって１つの圧力室群７が構成され、流路ユニット３１には、走査方向に並んだ合計５つの圧力室群７が設けられている。なお、５つの圧力室群７のうち、図３中右側に位置する２つの圧力室群７は、インク供給口２８からブラックインクが供給される、ブラック用の圧力室群７である。また、図３中左側に位置する３つの圧力室群７は、３つのインク供給口２８からそれぞれ３色のカラーインク（イエロー、マゼンタ、シアン）が供給される、カラー用の圧力室群７である。
【００４４】
複数の圧力室３４にそれぞれ連通する複数のノズル３０は、流路ユニット３１の下面に貫通している。また、これら複数のノズル３０も、複数の圧力室３４と同様に配列されており、図３中右側には、２つの圧力室群７にそれぞれ対応した、ブラックインクを吐出する２つのノズル群が配置され、図２中左側には、３つの圧力室群７にそれぞれ対応した、３色のカラーインク用を吐出する３つのノズル群が配置されている。
【００４５】
アクチュエータ３２は、複数の圧力室３４を覆うように流路ユニット３１に接合された振動板４０と、振動板４０の上面に配置された圧電層４１と、圧電層４１の上面に複数の圧力室３４と対応して設けられた複数の個別電極４２と、複数の個別電極４２の端部に形成された複数の入力接点４３とを有している。
【００４６】
このアクチュエータ３２は、ＣＯＦ５０の後述するドライバＩＣ５２から個別電極４２に所定の駆動信号が供給されたときに、圧電層４１に生じる圧電歪みを利用して、振動板４０に撓み変形を生じさせるようになっている。この振動板４０の撓み変形により圧力室３４の容積が変動することで、圧力室３４内のインクに圧力が付与され、圧力室３４に連通するノズル３０からインクが吐出される。複数の入力接点４３は、複数のノズル３０に対応して紙送り方向に所定間隔をあけて並べて配置されているとともに、この列が走査方向に並べて配置されている。
【００４７】
次に、ＣＯＦ５０について説明する。図５は、ＣＯＦの平面図である。図６は、図５の部分拡大図であり、（ａ）はＢ部の部分拡大図であり、（ｂ）はＣ部の部分拡大図である。なお、図５においては、一部の配線のみ図示し、残りの配線については図示を省略している。また、図５、図６に示すＣＯＦは、図２に示すように折り曲げられる前の真っ直ぐに延在した状態となっている。
【００４８】
図２、図５に示すように、ＣＯＦ５０は、ポリイミドなどの可撓性を有する合成樹脂フィルムからなる帯状の絶縁性の基材５１と、基材５１の長さ方向両端部に形成された入力端子５３と、基材５１の一表面に形成され、銅などの金属材料からなる複数の配線５４〜５８及び複数のバンプ４６とを有している。また、ＣＯＦ５０の配線５４〜５８が形成された一表面には、アクチュエータ３２を駆動する２つのドライバＩＣ５２が実装されている。
【００４９】
入力端子５３は、基材５１の幅方向に複数の端子部５９が並んで形成されており、複数の端子部５９には、それぞれ所定の電位が入力される。なお、複数の端子部５９のうち、ＣＯＦ５０の幅方向一端（図５の左端）にあるものを端子部５９ｂ、端子部５９ｂに隣接するものを端子部５９ｃ、端子部５９ｄに隣接するものを端子部５９ｄ、これら以外を端子部５９ａとする。
【００５０】
配線５４は、基材５１の一表面に形成され、入力端子５３の端子部５９ａとドライバＩＣ５２との間を電気的に接続している。配線５５は、基材５１の一表面に形成され、ドライバＩＣ５２とバンプ４６との間を電気的に接続している。
【００５１】
配線５６は、基材５１の一表面における複数のバンプ４６の配置領域よりも幅方向の一方側（図５の左方）に搬送方向に延在して形成され、基材５１の両端にある２つの入力端子５３の端子部５９ｂ間を電気的に接続している。
【００５２】
配線５７は、基材５１の一表面における複数のバンプ４６の配置領域よりも幅方向の一方側（図５の左方）において配線５６に隣接して搬送方向に延在して形成され、２つの入力端子５３の端子部５９ｃ間を電気的に接続している。
【００５３】
配線５８は、基材５１の一表面における複数のバンプ４６の配置領域よりも幅方向の一方側（図５の左方）において配線５７に隣接して搬送方向に延在して形成され、２つの入力端子５３の端子部５９ｄ間を電気的に接続している。
【００５４】
複数のバンプ４６は、基材５１の長さ方向中央部に複数の個別電極４２に対応して平面的に配置されており、基材５１の複数のバンプ４６が形成された領域が接続領域６０となっている。基材５１の接続領域６０は、アクチュエータ３２の上面を覆うように配置されて、複数のバンプ４６がアクチュエータ３２の個別電極４２と接続された複数の入力接点４３と接続される。なお、実際には、接続領域６０にはバンプ４６が複数設けられているのであるが、図２では、図面の簡単のため、一部のバンプ４６とそれに接続される入力接点４３のみを図示している。
【００５５】
また、基材５１の、接続領域６０に連なり、且つ、ドライバＩＣ５２が実装された両端部は、アクチュエータ３２と反対側（上方）に折り返されて、接続領域６０から離間した状態で、接続領域６０を挟んでアクチュエータ３２の上面と対向する。これにより、図２に示すように、ＣＯＦ５０は、ほぼリング状（上方に向けて開口したＣ字状）に構成されている。なお、以下においては、基材５１の接続領域６０と対向した領域を対向領域６１とし、接続領域６０と対向領域６１を繋ぎ、折り曲げられた領域をそれぞれ折り曲げ領域６２ａ、６２ｂとして説明する。
【００５６】
そして、ほぼリング状に形成されたＣＯＦ５０の内側には基板支持部材６７が設置されている。図２に示すように、基板支持部材６７は、アクチュエータ３２の上面に平行な姿勢で対向領域６１の下面に接触して、図示しない接着剤により接着されている。そして、基板支持部材６７は、ＣＯＦ５０の対向領域６１を接続領域６０から離間させた状態で下方から支持する。
【００５７】
そして、ＣＯＦ５０の両端部（対向領域６１）に設けられた２つの入力端子５３には、ＦＰＣ６５が共通に重ねられて接続されている。これにより、インクジェットヘッド３の搬送方向への大型化を抑制しつつ、２つの入力端子５３を１枚のＦＰＣ６５に接続することができる。ＦＰＣ６５は、ＣＯＦ５０から水平方向（走査方向）に引き出されて、プリンタ１の図示しない制御基板と接続されており、制御基板からの制御信号及びドライバＩＣ５２の供給電圧は、ＦＰＣ６５を介して、ＣＯＦ５０のドライバＩＣ５２へ入力される。そして、この制御信号に基づいてドライバＩＣ５２は上記駆動電位とグランド電位からなる駆動パルス信号を生成し、配線５５を介して、アクチュエータ３２の複数の個別電極４２に接続された入力接点４３に供給する。
【００５８】
図６（ａ）、（ｂ）に示すように、ドライバＩＣ５２とバンプ４６を接続する配線５５は、長さ方向全域について一定の幅を有しており、基材５１が所定の曲率で折り曲げられても断線しない幅となっている。また、図６（ａ）、（ｂ）には図示していないが、入力端子５３の端子部５９ａとドライバＩＣ５２を接続する配線５４も、長さ方向全域について配線５５と同じ幅となっている。
【００５９】
配線５６は、接続領域６０、対向領域６１及び折り曲げ領域６２ｂに形成されている配線部分については配線５４、５５と同じ幅の配線部５６ａとなっている。また、折り曲げ領域６２ａに形成されている配線部分については、折り曲げられる方向に延在しており、配線部５６ａよりも細い幅であって、所定の曲率以上で折り曲げられると断線する幅の検査部５６ｂとなっている。
【００６０】
配線５７は、接続領域６０、対向領域６１及び折り曲げ領域６２ａに形成されている配線部分については配線５４、５５と同じ幅の配線部５７ａとなっている。また、折り曲げ領域６２ｂに形成されている配線部分については、折り曲げられる方向に延在しており、検査部５６ｂと同じく細い幅の検査部５７ｂとなっている。すなわち、配線５６、５７は、２つの折り曲げ領域６２ａ、６２ｂの互いに異なる方に検査部５６ｂ、５７ｂがそれぞれ設けられている。
【００６１】
配線５８は、２つの折り曲げ領域６２ａ、６２ｂに形成されている配線部分については、配線５４、５５と同じ幅の配線部５８ａとなっている。また、接続領域６０及び対向領域６１に形成されている配線部分については、検査部５６ｂ、５７ｂと同じく細い幅の検査部５８ｂとなっている。
【００６２】
そして、図２に示すように、ＣＯＦ５０はアクチュエータ３２の上面に配置されて折り曲げられた姿勢では、２つの折り曲げ領域６２ａ、６２ｂが所定の曲率で折り曲げられて配線５６、５７の検査部５６ｂ、５７ｂが断線しているため、配線５６、５７の検査部５６ｂ、５７ｂを挟んだ両側の入力端子５３の端子部５９ｂ、５９ｃは導通していない。また、２つの折り曲げ領域６２ａ、６２ｂ以外の接続領域６０や対向領域６１は折り曲げられておらず、配線５８の検査部５８ｂは断線していないため、配線５８の検査部５８ｂを挟んだ両側の入力端子５３の端子部５９ｄは導通している。
【００６３】
次に、上述したインクジェットヘッド３の製造工程について説明する。なお、流路ユニット３１、アクチュエータ３２及びＣＯＦ５０のそれぞれの製造工程については従来公知であるため、その説明を省略する。以下においては、流路ユニット３１、アクチュエータ３２及びＣＯＦ５０を別々の工程で製造した後の工程について説明する。図７は、ＣＯＦを組み付ける工程について説明する図である。図７においては、複数の配線５４〜５８のうち配線５６〜５８だけ図示し、残りの配線５４、５５について図示を省略している。
【００６４】
まず、流路ユニット３１の複数の圧力室３４が形成された上面に、アクチュエータ３２の振動板４０を接着剤により接合した後、図７（ａ）に示すように、アクチュエータ３２の複数の入力接点４３が形成された上面に、ＣＯＦ５０の複数のバンプ４６が形成された接続領域６０を配置して、入力接点４３とバンプ４６を接続する（接続工程）。
【００６５】
その後、図７（ｂ）に示すように、アクチュエータ３２の上面に基板支持部材６７を載置して、ＣＯＦ５０の長さ方向両側を所定の曲率で基板支持部材６７の上面に折り返して、基板支持部材６７の上面とＣＯＦ５０の下面を接着剤で接着する（折り曲げ工程）。
【００６６】
続いて、図７（ｃ）に示すように、基材５１の長さ方向に延在した配線５６の導通を検査する（第１検査工程）。導通検査の方法としては、テスター７０を用いて、配線５６の両側がそれぞれ接続された２つの端子部５９ａの一方に所定の電位を印加して、他方で同じ電位が測定できれば導通している、または、２つの端子部５９ａ間の抵抗値を測定して、ほぼ０Ωであれば導通しているなど、従来公知のさまざまな検査方法を用いればよい。
【００６７】
このとき、配線５６が絶縁していることを検出した場合には、配線５６の検査部５６ｂが設けられた折り曲げ領域６２ａが折り曲げられていると判定することができる。また、逆に、配線５６が導通していることを検出した場合には、折り曲げ領域６２ａが折り曲げられていないと判定することができる。このようにして、ＣＯＦ５０が折り曲げ領域６２ａで折り曲げられているかを検査することができる。
【００６８】
その後、同様の方法を用いて、基材５１の長さ方向に延在した配線５７の導通を検査する（第２検査工程）。そして、配線５７の導通を検査することで、配線５７の検査部５７ｂが設けられた折り曲げ領域６２ｂが折り曲げられているかを判定する。これにより、ＣＯＦ５０が配線５７の検査部５７ｂが設けられた折り曲げ領域６２ｂで折り曲げられているかを検査することができる。
【００６９】
続けて、同様の方法を用いて、基材５１の長さ方向両側の配線５８の導通を検査する（第３検査工程）。このとき、配線５８が導通していることを検出した場合には、配線５８の検査部５８ｂが設けられた接続領域６０及び対向領域６１が折り曲げられていないと判定することができる。また、逆に、配線５８が絶縁していることを検出した場合には、接続領域６０または対向領域６１が折り曲げられていると判定することができる。このようにして、ＣＯＦ５０が２つの折り曲げ領域６２ａ、６２ｂ以外の領域で折り曲げられていないかを検査することができる。
【００７０】
これら３つの検査結果から、配線５６、５７が絶縁し、且つ、配線５８が導通していることを検出した場合には、基材５１が２つの折り曲げ領域６２ａ、６２ｂで折り曲げられて、且つ、接続領域６０及び対向領域６１で折り曲げられておらず、ＣＯＦ５０は正しく折り曲げられて、正しい姿勢で組み付けられていると判定する。
【００７１】
また、逆に、配線５６、５７のいずれかが導通している、または、配線５８が絶縁していることを検出した場合には、基材５１が２つの折り曲げ領域６２ａ、６２ｂのいずれかで折り曲げられていない、または、接続領域６０及び対向領域６１で折り曲げられており、ＣＯＦ５０は正しく折り曲げられておらず、正しい姿勢で組み付けられていないと判定する（判定工程）。なお、本実施形態における配線５６〜５８が、本発明における検査用配線に相当する。その後、ＣＯＦ５０が正しい姿勢で組み付けられたものについてはインクジェットヘッド３が完成したこととなる。なお、配線５８の所定の曲率以上に折り曲げられると断線する細い配線部分については、接続領域６０及び対向領域６１全域に形成されておらず、折り曲げられるべき領域ではないのに、折り曲げられやすい領域（例えば、折り曲げ領域６２ａ、６２ｂの両側の領域）にだけ形成されていてもよい。
【００７２】
これにより、ＣＯＦ５０の２つの折り曲げ領域６２ａ、６２ｂの姿勢、並びに、接続領域６０及び対向領域６１の姿勢を検査していることで、ＣＯＦ５０が正しい姿勢で組み付けられているかを精度よく判定することができる。また、例えば、ＣＯＦ５０に図示しない制御基板を接続するなどの後工程を行う前にＣＯＦ５０の姿勢を検査することができるため、仮に、図２に二点鎖線で示すように、ＣＯＦ５０が正しい姿勢で折り曲げられていないとしても、ＣＯＦ５０の組み付け直しが可能であれば、早い段階でＣＯＦ５０の姿勢を検査することで、組み付け直しに掛かる時間を短くすることができる。また、仮に、ＣＯＦ５０の組み付け直しが不可能であれば、早い製造段階でＣＯＦ５０の姿勢を検査することで、後工程で組み付けられる他の部材を無駄にすることがない。
【００７３】
さらに、配線５６〜５８の検査部５６ｂ〜５８ｂの幅を、配線部５６ａ〜５８ａの幅よりも小さくすることで、基材５１が所定の曲率で折り曲げられたときに、この折り曲げられた領域に設けられた検査部５６ｂ〜５８ｂだけを断線させることができる。
【００７４】
次に、上述した実施形態に種々の変形を加えた変更形態について説明する。ただし、上述した実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００７５】
本実施形態においては、ＣＯＦ５０を、流路ユニット３１と接合されたアクチュエータ３２の上面に接続した後、折り曲げて、折り曲げ姿勢を検査していたが、アクチュエータ３２と接続する前に折り曲げて、折り曲げ姿勢を検査した後、アクチュエータ３２と接続してもよい。このように、本実施形態におけるＣＯＦ５０では、ＣＯＦ５０単体の状態でも、折り曲げ姿勢を検査することができる。したがって、より早い製造段階でＣＯＦ５０の姿勢を検査することで、後工程で組み付けられるより多くの部材を無駄にすることがない。
【００７６】
また、本実施形態においては、ＣＯＦ５０に設けられた検査用の配線５６〜５８の検査部５６ｂ〜５８ｂの導通を検査することで、配線５６〜５８が断線しているか否かを検査していたが、これに限られず、例えば、インクジェットヘッド３のノズル３０からインクが吐出されるか否かを検出することで、配線５６〜５８が断線しているか否かを検査してもよい。以下に２通りの変形例について説明する。なお、以下においては、上述した実施形態において折り曲げ領域６２ａに検査部５６ｂが設けられた配線５６に相当する配線が断線しているか否かを検査する方法について説明する。配線５７、５８については、同様のためその説明を省略する。
【００７７】
（変形例１）
図８に示すように、流路ユニット１３１には、上述した実施形態の記録動作時に用いられる圧力室３４やノズル３０を含むインク流路とは別に、検査時にのみ用いられる圧力室１３４や検査用ノズル１３０を含むインク流路（図示せず）が設けられている。そして、アクチュエータ１３２には、このノズル１３０に対応して個別電極１４２や入力接点１４３が設けられている。
【００７８】
そして、図９に示すように、ＣＯＦ１５０の基材１５１には、入力接点１４３に対応したバンプ１４６と、バンプ１４６とドライバＩＣ５２を接続する配線１５６が設けられている。この配線１５６が、上述した実施形態における配線５６に相当し、折り曲げ領域６２ａに細い幅の検査部（図示せず）が設けられている。
【００７９】
このような構成において、配線１５６が断線しているか否かを検査するには、流路ユニット１３１とアクチュエータ１３２からなるインクジェットヘッド１０３にＣＯＦ１５０を接続して、折り曲げた後（接続工程及び折り曲げ工程後）、ドライバＩＣ５２から配線１５６に駆動パルス信号を供給する。そして、検査用ノズル１３０からインクが吐出されない場合には、配線１５６の検査部が絶縁しており、配線１５６は断線しており、ＣＯＦ１５０の折り曲げ領域６２ａが折り曲げられていると判定することができる。また、検査用ノズル１３０からインクが吐出された場合には、配線１５６の検査部が導通しており、配線１５６は断線しておらず、ＣＯＦ１５０の折り曲げ領域６２ａが折り曲げられていないと判定することができる。なお、インクが吐出されたか否かの検出は、例えば、インクを記録用紙Ｐに吐出させて、作業者が記録用紙Ｐを目視で確認してもよいし、画像センサで記録用紙Ｐを検査してもよい。また、検査用ノズル１３０からインクが吐出されているか否かを直接センサで検出してもよい。
【００８０】
（変形例２）
インクジェットヘッド３は、上述した実施形態と同様である。そして、図１０に示すように、ＣＯＦ２５０の基材２５１には、配線２５６が設けられており、ドライバＩＣ５２から１つのバンプ４６に２本の配線５５、２５６が共通に接続されている。この配線２５６が、上述した実施形態における配線５６に相当し、折り曲げ領域６２ａに細い幅の検査部（図示せず）が設けられている。
【００８１】
このような構成において、配線２５６が断線しているか否かを検査するには、インクジェットヘッド３にＣＯＦ２５０を接続して、折り曲げた後（接続工程及び折り曲げ工程後）、ドライバＩＣ５２から配線２５６に駆動パルス信号を供給する。そして、ノズル３０からインクが吐出されない場合には、配線２５６の検査部が絶縁しており、配線２５６は断線しており、ＣＯＦ２５０の折り曲げ領域６２ａが折り曲げられていると判定することができる。また、ノズル３０からインクが吐出された場合には、配線２５６の検査部が導通しており、配線２５６は断線しておらず、ＣＯＦ２５０の折り曲げ領域６２ａが折り曲げられていないと判定することができる。なお、インクが吐出されたか否かの検出は、変形例１と同様である。
【００８２】
上述した変形例１、２においても、上述した実施形態と同様に、ＣＯＦ１５０、２５０が正しい領域で折り曲げられて正しい姿勢で引き回されているかを検査することができる。また、入力端子５３の端子部５９の数を増やす必要がなく、入力端子５３の幅方向を短くすることができる。
【００８３】
また、本実施形態においては、インクジェットヘッド３を駆動するための配線５４、５５及びＣＯＦ５０の折り曲げ姿勢を検査するための検査用の配線５６〜５８を、基材５１の同じ面に形成していたが、配線５４、５５と検査用の配線５６〜５８を互いに異なる面に形成されていてもよい。これによると、基材５１の配線５４、５５が形成された面に比べて、この面と反対側の面は検査用の配線５６〜５８を形成可能な領域が大きく、基材５１を大判化することなく検査用の配線５６〜５８を設けることができる。
【００８４】
さらに、本実施形態においては、配線５６〜５８の検査部５６ｂ〜５８ｂを所定の曲率以上で断線させるように、配線部５６ａ〜５８ａの幅よりも小さくしていたが、検査部５６ｂ〜５８ｂの断面積を配線部５６ａ〜５８ａの断面積よりも小さくしていれば、例えば、幅は同じで厚みを薄くしてもよい。さらに、検査部５６ｂ〜５８ｂを配線部５６ａ〜５８ａとは異なった材料であり、所定の曲率以上で断線しやすい材料（例えば、強度の弱い材料）にしてもよい。
【００８５】
また、上記のように配線の一部の幅を細くするなどのように、配線を工夫して断線させやすくするのではなく、図１１に示すように、基材３５１の表面に配線３５６を形成する場合に、配線３５６の一部と基材３５１の間に突出部材３８０を設けて、配線基板３５６の一部を突出させて、断線させやすくしてもよい（変形例３）。このとき、基材３５１の突出部材３８０を挟んだ両側を、突出部材３８０を曲げの中心として、突出部材３８０の設けられた面と反対側に折り曲げると、突出部材３８０の上面に形成された配線３５６には、突出部材３８０が設けられていない場合に比べて大きな引っ張り応力が作用することになり、断線させやすくすることができる。なお、本変形例における配線３５６の突出部材３８０により突出した部分と突出部材３８０とが、本発明における検査部に相当する。
【００８６】
加えて、本実施形態においては、配線５６、５７の導通を検査することで、ＣＯＦ５０が２つの折り曲げ領域６２ａ、６２ｂで折り曲げられているかを検査し、さらに、配線５８の導通を検査することで、ＣＯＦ５０が折り曲げられるべきではない接続領域６０及び対向領域６１で折り曲げられていないかを検査していたが、検査用の配線としては、配線５８を設けず、配線５６、５７だけ設けて、ＣＯＦ５０が２つの折り曲げ領域６２ａ、６２ｂで折り曲げられているかを検査するだけであってもよい。
【００８７】
また、本実施形態においては、ＣＯＦ５０は長さ方向の両側が折り曲げられており、２つの折り曲げ領域６２ａ、６２ｂを有していたが、一方のみが折り曲げられて、１つの折り曲げ領域を有するものであってもよいし、３箇所以上が折り曲げられて、３つ以上の折り曲げ領域を有するものであってもよい。この場合、折り曲げ領域の数と同じだけ検査用の配線を設けて、全ての折り曲げ領域に対して検査用配線の検査部を設けることで、ＣＯＦが正しく折り曲げられているかを検査することができる。
【００８８】
また、折り曲げられて使用されるＣＯＦ５０に本発明を適用したが、折り曲げられずに使用されるＣＯＦについても本発明を適用することができる。この場合、ＣＯＦの折り曲げられやすい領域に検査用の配線の検査部を設けておき、この検査用の配線の導通を検査して、導通していれば、ＣＯＦはこの折り曲げられやすい領域で折り曲げられていないと判定することができる。
【００８９】
また、本実施形態においては、折り曲げ領域６２ａ、６２ｂに検査部５６ｂ、５７ｂが設けられた配線５６、５７の両端は、基材５１の長さ方向の両端部の入力端子５３に接続されていたが、一方の入力端子５３に接続されていてもよい。
【００９０】
また、本実施形態においては、ＣＯＦ５０はアクチュエータ３２に接続されて、制御基板からドライバＩＣ５２への制御信号や供給信号、ドライバＩＣ５２から出力される駆動パルス信号を送っていたが、例えば、センサに接続されて、センサの出力信号を送るものであってもよい。すなわち、ＣＯＦ５０の接続対象は、アクチュエータに限らず、例えばセンサなど電流を入力または出力するものであれば、いかなるものであってもよい。
【符号の説明】
【００９１】
１  プリンタ
３  インクジェットヘッド
３１、１３１  流路ユニット
３２、１３２  アクチュエータ
５０  ＣＯＦ
５１、１５１、２５１  基材
５４〜５８、１５６、２５６  配線
５６ｂ〜５８ｂ  検査部
６０  接続領域
６１  対向領域
６２ａ、６２ｂ  折り曲げ領域
【図１】
0005212513.tif 000002
【図２】
0005212513.tif 000003
【図３】
0005212513.tif 000004
【図４】
0005212513.tif 000005
【図５】
0005212513.tif 000006
【図６】
0005212513.tif 000007
【図７】
0005212513.tif 000008
【図８】
0005212513.tif 000009
【図９】
0005212513.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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