(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルと、前記ノズルから液状体を液滴として吐出させる駆動手段とを備える吐出ヘッドの駆動方法であって、
前記駆動手段に対して充電、保持、放電を促す基準駆動波形を前記駆動手段に印加して得られた前記ノズルごとの前記液滴の吐出量に基づいて、基準吐出量に対する前記ノズルごとの補正量を定め、
前記補正量は、前記複数のノズルにおける前記液滴の吐出量の度数分布に基づいて、前記複数のノズルを複数の区間に分割し、前記区間ごとに前記補正量を定め、
前記区間ごとに定められた前記補正量を、粗な第１補正量と、細かな第２補正量とに分け、
前記液滴群を構成する前記液滴を吐出する際には、前記第１補正量に基づいて放電時の中間電位を補正した第１補正駆動波形と、前記第２補正量に基づいて前記中間電位を補正した第２補正駆動波形とのうちから１つを選択して、使用する前記ノズルの前記駆動手段に印加することを特徴とする吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項２】
前記補正量は、前記液状体が液滴群として付与される塗布領域において、前記液滴群の塗布量が前記基準吐出量に吐出数を乗じた中心値に対して所定の範囲に収まるように、前記液滴群を吐出するために使用するノズルごとに設定されていることを特徴とする請求項１に記載の吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項３】
前記度数分布の中央値を前記基準吐出量として、前記区間ごとに前記中央値に対する前記補正量を定めることを特徴とする請求項１または２に記載の吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項４】
前記液滴群が前記塗布領域に吐出タイミングを変えて前記液滴を吐出することにより構成される場合、
前記吐出タイミングごとに、前記基準駆動波形、前記第１補正駆動波形、前記第２補正駆動波形のうちから１つを選択して、前記使用するノズルの前記駆動手段に印加することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項５】
前記吐出ヘッドにより前記塗布領域を複数回に渡って走査して、前記液滴群を前記塗布領域に付与する場合、
前記走査ごとに、前記基準駆動波形、前記第１補正駆動波形、前記第２補正駆動波形のうちから１つを選択して、前記使用するノズルの前記駆動手段に印加することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項６】
前記吐出ヘッドは、前記複数のノズルからなるノズル列を複数有し、
前記基準駆動波形は、前記ノズル列ごとの平均的な前記吐出量が前記基準吐出量となるように充電時の最大電位が予め補正されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の吐出ヘッドの駆動方法。
【請求項７】
複数の塗布領域を有する基板と、複数のノズルを有する吐出ヘッドとを対向させて相対移動させる走査に同期して、前記塗布領域に少なくとも１つの前記ノズルから液状体を液滴として吐出する液状体の吐出方法であって、
前記吐出ヘッドは、前記ノズルから前記液滴を吐出させる駆動手段を有し、
前記駆動手段に対して充電、保持、放電を促す基準駆動波形を印加して、前記ノズルごとに吐出された前記液滴の吐出量の情報を入手するノズル情報入手工程と、
前記ノズルごとに基準吐出量に対する補正量を求める演算工程と、
前記走査において、前記複数のノズルのうち前記塗布領域に掛かるノズルの前記駆動手段に、当該ノズルの前記補正量に基づいて、前記基準駆動波形の放電時の中間電位を補正した補正駆動波形を印加して、前記塗布領域に少なくとも１つの前記液滴を吐出する吐出工程と、を備え、
前記演算工程は、前記複数のノズルにおける前記液滴の吐出量の度数分布に基づいて、前記複数のノズルを複数の区間に分割し、前記区間ごとの前記補正量を、粗な第１補正量と、細かな第２補正量とに分けて求め、
前記吐出工程は、前記第１補正量に基づいて前記中間電位を補正した第１補正駆動波形と、前記第２補正量に基づいて前記中間電位を補正した第２補正駆動波形とのうちから１つを選択して、前記使用するノズルの前記駆動手段に印加して前記液滴群を構成する前記液滴を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項８】
前記塗布領域に前記液状体を前記液滴として配置する配置情報を生成する配置情報生成工程をさらに備え、
前記演算工程は、前記配置情報に基づいて、複数の前記液滴からなる液滴群の塗布量が前記基準吐出量に吐出数を乗じた中心値に対して所定の範囲に収まるように、前記液滴群を吐出するために使用するノズルの前記補正量を求めることを特徴とする請求項７に記載の液状体の吐出方法。
【請求項９】
前記度数分布の中央値を前記基準吐出量として、前記区間ごとに前記中央値に対する前記補正量を定めることを特徴とする請求項７または８に記載の液状体の吐出方法。
【請求項１０】
前記吐出工程は、前記液滴群が前記塗布領域に吐出タイミングを変えて前記液滴を吐出することにより構成される場合、
前記吐出タイミングごとに、前記基準駆動波形、前記第１補正駆動波形、前記第２補正駆動波形のうちから１つを選択し、前記使用するノズルの前記駆動手段に印加して前記液滴群を構成する前記液滴を吐出することを特徴とする請求項７乃至９のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項１１】
前記吐出工程は、複数回の走査を行って、前記液滴群を前記塗布領域に付与する場合、
前記走査ごとに、前記基準駆動波形、前記第１補正駆動波形、前記第２補正駆動波形のうちから１つを選択して、前記使用するノズルの前記駆動手段に印加して前記液滴群を構成する前記液滴を吐出することを特徴とする請求項７乃至９のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項１２】
前記吐出ヘッドは、前記複数のノズルからなるノズル列を複数有し、
前記ノズル列ごとの平均的な前記吐出量が前記基準吐出量となるように、前記基準駆動
波形の充電時の最大電位を予め補正する工程を、さらに備えたことを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項１３】
基板上に区画形成された複数の発光層形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項７乃至１２のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の発光層形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項１４】
前記吐出工程は、異なる発光色が得られる複数種の前記液状体を所望の前記発光層形成領域に吐出し、
前記固化工程は、吐出された複数種の前記液状体を固化して、少なくとも赤、緑、青、３色の前記発光層を形成することを特徴とする請求項１３に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項１５】
前記吐出工程は、複数種の前記液状体をそれぞれ異なる吐出ヘッドに充填し、前記液状体ごとに前記基準駆動波形の設定と、前記補正駆動波形の設定とを行うことを特徴とする請求項１３または１４に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ヘッドの駆動方法、液状体の吐出方法、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
吐出ヘッドの駆動方法としては、圧電素子にパルス電圧を印加し、該圧電素子の伸縮によってインク室の体積を変化させ、インク滴を吐出するインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置において、温度検出手段と、インク滴を吐出させる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段とを具備し、温度検出手段により検出される温度情報に基づいて、インク滴吐出量およびインク滴吐出タイミングを制御するインクジェットヘッドの駆動方法が知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記インクジェットヘッドの駆動方法では、環境温度の変化に応じて駆動信号波形の形状に補正をかける際に、印字タイミング信号から実際にインク液滴が吐出されるまでの時間を変化させないように補正をかけている。これにより、環境温度によらずインク滴吐出量、およびインク滴着弾位置を一定に保つことができるとしている。
【０００４】
上記インクジェットヘッドの駆動方法に代表される液滴吐出法を用いた有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子の製造方法としては、基板上の所定の領域内において、行方向および列方向に互いに間隔を存した複数の画素を形成すべき位置に、インクジェット塗布装置により、所望の配列でＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）色の発光材料からなるインクの液滴量を吐出塗布して複数の画素を形成する場合、基板上の行方向に形成される複数の画素からなる行配置画素群ごとにインク液滴量を所定の範囲でばらつかせるようにした有機ＥＬ表示装置の製造方法が知られている（特許文献２）。
【０００５】
上記有機ＥＬ表示装置の製造方法では、上記行配置画素群ごとに複数のノズルのそれぞれが対応するようにインクジェットヘッドを配置して、各ノズルごとのアクチュエータに指令電圧にランダムノイズを付加した駆動波形を印加してインクを塗布している。これにより、行配置画素群間におけるインク液滴量の分布が互いに重なり合う範囲が拡大して、インク液滴量の差が目立ち難くなり、結果的に行方向のスジ状ムラが視認し難くなるとしている。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１５３６０８号公報
【特許文献２】特開２００５−９３０９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記有機ＥＬ表示装置の製造方法では、ノズル間のインク液滴量の平均値の差は、依然として解消されない。複数の画素ごとに所望のインク液滴量が塗布されることが望ましいため、上記インクジェットヘッドの駆動方法を採用することが考えられる。
しかしながら、上記インクジェットヘッドの駆動方法では、駆動電圧を補正してインク滴吐出量を一定にしても、インク滴の吐出速度が駆動電圧の補正割合によって変動することになる。したがって、インクの物性にもよるが、吐出速度の変動によって、サテライトと呼ばれる不必要な微小インク滴が吐出されたり、インク滴の飛行曲がりが生じて着弾位置がずれるおそれがあった。
さらに、上記有機ＥＬ表示装置の製造方法において、上記サテライトや上記飛行曲がりの発生は、異なる色の画素間における混色を引き起こすという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］本適用例の吐出ヘッドの駆動方法は、複数のノズルと、前記ノズルから液状体を液滴として吐出させる駆動手段とを備える吐出ヘッドの駆動方法であって、前記駆動手段に対して充電、保持、放電を促す基準駆動波形を前記駆動手段に印加して得られた前記ノズルごとの前記液滴の吐出量に基づいて、基準吐出量に対する前記ノズルごとの補正量を定め、前記補正量に基づいて、前記基準駆動波形の放電時の中間電位を補正した補正駆動波形を、前記ノズルごとの前記駆動手段に印加することを特徴とする。
【００１０】
この方法によれば、基準駆動波形の最大電位すなわち駆動電圧を補正する場合に比べて、補正駆動波形は中間電位が補正されているので、ノズルごとの液滴の吐出量の補正を可能とする一方で、液滴の飛行速度が補正により変化することを抑制することができる。なお、ノズルから吐出された液滴の吐出量が基準吐出量に合致した場合、すなわち吐出量の補正を必要としない場合には、当該ノズルの駆動手段には、基準駆動波形を印加する。
【００１１】
［適用例２］上記適用例の吐出ヘッドの駆動方法において、前記補正量は、前記液状体が液滴群として付与される塗布領域において、前記液滴群の塗布量が前記基準吐出量に吐出数を乗じた中心値に対して所定の範囲に収まるように、前記液滴群を吐出するために使用するノズルごとに設定されていることを特徴とする。
この方法によれば、塗布領域に付与される液滴群の塗布量が所定の範囲に収まるように、液滴群を構成する液滴ごとに補正がなされる。したがって、液滴群において、液滴の吐出数を変えずにその塗布量の補正を行うことができる。特に、塗布領域において液滴の吐出数が少ない場合に効果的に補正を可能とする。
【００１２】
［適用例３］上記適用例の吐出ヘッドの駆動方法において、前記複数のノズルにおける前記液滴の吐出量の度数分布に基づいて、前記複数のノズルを複数の区間に分割し、前記区間ごとに前記補正量を定め、前記補正量に基づいて、前記基準駆動波形の放電時の中間電位を補正した補正駆動波形を、前記区間に含まれる前記使用するノズルの前記駆動手段に印加することが好ましい。
この方法によれば、複数のノズルを吐出量の区間代表値が異なる複数の区間に分けてグループ化することになる。そして、区間ごとに基準吐出量に対する補正量を定めることにより、複数のノズルに対してグループごとに吐出量の補正を行うことができる。ゆえに、ノズルの数が増えても効率的に吐出量の補正が可能である。
【００１３】
［適用例４］上記適用例の吐出ヘッドの駆動方法において、前記区間ごとに定められた前記補正量を、粗な第１補正量と、細かな第２補正量とに分け、前記液滴群を構成する前記液滴を吐出する際には、前記基準駆動波形と、前記第１補正量に基づいて前記中間電位を補正した第１補正駆動波形と、前記第２補正量に基づいて前記中間電位を補正した第２補正駆動波形とのうちから１つを選択して、前記使用するノズルの前記駆動手段に印加することが好ましい。
この方法によれば、少なくとも２種の補正駆動波形を用いて液滴の吐出量の補正を行うことができる。また、塗布領域に塗布される液滴群は、粗な補正と細かな補正とを適用した液滴から構成されることになるので、一律な補正量を用いる場合に比べて、液滴群の塗布量においてより高精度な補正を可能とする。
【００１４】
［適用例５］上記適用例の吐出ヘッドの駆動方法において、前記度数分布の中央値を前記基準吐出量として、前記区間ごとに前記中央値に対する前記補正量を定めるとしてもよい。
この方法によれば、基準吐出量が度数分布の中央値であるため、中央値に対して吐出量が増加する正の補正と、減少する負の補正とを均等に施すことができる。すなわち、正負対称的な吐出量の補正が可能である。
【００１５】
［適用例６］上記適用例の吐出ヘッドの駆動方法において、前記複数の区間の数が、前記吐出量を可変し得る前記基準駆動波形を含む複数の駆動波形の組み合わせにより得られる数と同一であることが好ましい。
この方法によれば、複数の駆動波形を好適に複数の区間にあてはめて吐出量の補正を行うことができる。
【００１６】
［適用例７］上記適用例の吐出ヘッドの駆動方法において、前記液滴群が前記塗布領域に吐出タイミングを変えて前記液滴を吐出することにより構成される場合、前記吐出タイミングごとに、前記基準駆動波形、前記第１補正駆動波形、前記第２補正駆動波形のうちから１つを選択して、前記使用するノズルの前記駆動手段に印加するとしてもよい。
この方法によれば、塗布領域と吐出ヘッドとの相対移動に対応して吐出タイミングを変えると、塗布領域における液滴の着弾位置が変わる。ゆえに、液滴の着弾位置に応じて液滴の吐出量の補正を可能とする。すなわち、塗布領域において所望の位置に補正された液滴を配置することができる。言い換えれば、塗布領域における液滴の配置に伴う吐出量のムラを補正により抑制することができる。
【００１７】
［適用例８］上記適用例の吐出ヘッドの駆動方法において、前記吐出ヘッドにより前記塗布領域を複数回に渡って走査して、前記液滴群を前記塗布領域に付与する場合、前記走査ごとに、前記基準駆動波形、前記第１補正駆動波形、前記第２補正駆動波形のうちから１つを選択して、前記使用するノズルの前記駆動手段に印加するとしてもよい。
この方法によれば、走査ごとに付与される液滴の吐出量を補正することができる。すなわち、走査に伴う液滴の吐出量のムラを補正により抑制することができる。また、同一走査においては、同一の駆動波形を使用することになり、安定した吐出特性で液滴を吐出することができる。
【００１８】
［適用例９］上記適用例の吐出ヘッドの駆動方法において、前記吐出ヘッドは、前記複数のノズルからなるノズル列を複数有し、前記基準駆動波形は、前記ノズル列ごとの平均的な前記吐出量が前記基準吐出量となるように充電時の最大電位が予め補正されていることが好ましい。
この方法によれば、複数のノズルからなるノズル列ごとの吐出量の補正を可能とする。したがって、ノズル間だけでなく、ノズル列間においても吐出量が適正に補正され、液状体を安定的に吐出することができる。
【００１９】
［適用例１０］本適用例の液状体の吐出方法は、複数の塗布領域を有する基板と、複数のノズルを有する吐出ヘッドとを対向させて相対移動させる走査に同期して、前記塗布領域に少なくとも１つの前記ノズルから液状体を液滴として吐出する液状体の吐出方法であって、前記吐出ヘッドは、前記ノズルから前記液滴を吐出させる駆動手段を有し、前記駆動手段に対して充電、保持、放電を促す基準駆動波形を印加して、前記ノズルごとに吐出された前記液滴の吐出量の情報を入手するノズル情報入手工程と、前記ノズルごとに基準吐出量に対する補正量を求める演算工程と、前記走査において、前記複数のノズルのうち前記塗布領域に掛かるノズルの前記駆動手段に、当該ノズルの前記補正量に基づいて、前記基準駆動波形の放電時の中間電位を補正した補正駆動波形を印加して、前記塗布領域に少なくとも１つの前記液滴を吐出する吐出工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この方法によれば、吐出工程では、使用するノズルの補正量に基づいて、基準駆動波形の放電時の中間電位を補正した補正駆動波形を印加して、塗布領域に少なくとも１滴の液滴が吐出される。したがって、基準駆動波形の最大電位すなわち駆動電圧を補正した補正駆動波形を印加する場合に比べて、ノズルごとの液滴の吐出量の補正を可能とする一方で、液滴の飛行速度が補正により変化することを抑制することができる。よって、飛行速度の変化により、不要なサテライトや液滴の着弾位置ずれが発生することを抑制すると共に、塗布領域に必要量の液状体を液滴として安定的に付与することができる。なお、吐出量の補正を必要としない場合には、当該ノズルの駆動手段には、基準駆動波形を印加する。
【００２１】
［適用例１１］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記塗布領域に前記液状体を前記液滴として配置する配置情報を生成する配置情報生成工程をさらに備え、前記演算工程は、前記配置情報に基づいて、複数の前記液滴からなる液滴群の塗布量が前記基準吐出量に吐出数を乗じた中心値に対して所定の範囲に収まるように、前記液滴群を吐出するために使用するノズルの前記補正量を求めることを特徴とする。
この方法によれば、液滴群の塗布量が基準吐出量に吐出数を乗じた中心値に対して所定の範囲に収まるように、液滴群を構成する液滴ごとに吐出量の補正量が求められる。したがって、液滴群において、液滴の吐出数を変えずにその塗布量の補正を行うことができる。特に、塗布領域において液滴の吐出数が少ない場合、効果的に上記塗布量の補正を行うことができる。
【００２２】
［適用例１２］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記演算工程は、前記複数のノズルにおける前記液滴の吐出量の度数分布に基づいて、前記複数のノズルを複数の区間に分割し、前記区間ごとに前記基準吐出量に対する前記補正量を求め、前記吐出工程は、前記使用するノズルが含まれる前記区間の当該補正量を適用して前記中間電位を補正した前記補正駆動波形を当該ノズルの前記駆動手段に印加することが好ましい。
この方法によれば、複数のノズルを吐出量の区間代表値が異なる複数の区間に振り分ける。したがって、１つのノズルを単位として補正する場合に比べて、区間ごとに振り分けられた少なくとも１つ以上のノズルを単位として補正するので、より少ない種類の補正駆動波形を用いて塗布量が補正された液状体を塗布領域に吐出することができる。
【００２３】
［適用例１３］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記演算工程は、前記区間ごとの前記補正量を、粗な第１補正量と、細かな第２補正量とに分けて求め、前記吐出工程は、前記基準駆動波形と、前記第１補正量に基づいて前記中間電位を補正した第１補正駆動波形と、前記第２補正量に基づいて前記中間電位を補正した第２補正駆動波形とのうちから１つを選択して、前記使用するノズルの前記駆動手段に印加して前記液滴群を構成する前記液滴を吐出することを特徴とする。
この方法によれば、吐出工程では、少なくとも２種の補正駆動波形を用いることができる。したがって、粗な補正と細かな補正とを組み合わせることが可能となり、一律な補正量を用いる場合に比べて、より高精度な吐出量の補正を行って、塗布領域に必要量の液状体をばらつきの少ない状態で安定的に塗布することができる。
【００２４】
［適用例１４］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記度数分布の中央値を前記基準吐出量として、前記区間ごとに前記中央値に対する前記補正量を定めることを特徴とする。
この方法によれば、基準吐出量が度数分布の中央値であるため、中央値に対して吐出量が増加する正の補正と、減少する負の補正とを均等に施すことができる。すなわち、正負対称的な吐出量の補正が可能な液状体の吐出方法を提供することができる。
【００２５】
［適用例１５］上記適用例の吐出ヘッドの駆動方法において、前記複数の区間の数が、前記吐出量を可変し得る前記基準駆動波形を含む複数の駆動波形の組み合わせにより得られる数と同一であることが好ましい。
この方法によれば、複数の駆動波形を好適に複数の区間にあてはめて吐出量の補正を行うことができる。
【００２６】
［適用例１６］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記液滴群が前記塗布領域に吐出タイミングを変えて前記液滴を吐出することにより構成される場合、前記吐出タイミングごとに、前記基準駆動波形、前記第１補正駆動波形、前記第２補正駆動波形のうちから１つを選択して、前記使用するノズルの前記駆動手段に印加して前記液滴群を構成する前記液滴を吐出するとしてもよい。
この方法によれば、基板と吐出ヘッドとの相対移動に伴って、吐出タイミングを変えて液滴を吐出すると、塗布領域において異なる位置に液滴が着弾する。したがって、塗布領域において所望の位置に補正された液滴を配置することができる。言い換えれば、塗布領域における液滴の配置に伴う吐出量のムラを補正により抑制することができる。
【００２７】
［適用例１７］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、複数回の走査を行って、前記液滴群を前記塗布領域に付与する場合、前記走査ごとに、前記基準駆動波形、前記第１補正駆動波形、前記第２補正駆動波形のうちから１つを選択して、前記使用するノズルの前記駆動手段に印加して前記液滴群を構成する前記液滴を吐出するとしてもよい。
この方法によれば、走査ごとに付与される液滴の吐出量を補正することができる。すなわち、走査に伴う液滴の吐出量のムラを補正により抑制することができる。また、同一走査においては、同一の駆動波形を使用することになり、安定した吐出特性で液滴を吐出して、塗布領域に液状体を塗布することができる。
【００２８】
［適用例１８］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出ヘッドは、前記複数のノズルからなるノズル列を複数有し、前記ノズル列ごとの平均的な前記吐出量が前記基準吐出量となるように、前記基準駆動波形の充電時の最大電位を予め補正する工程を、さらに備えることが望ましい。
この方法によれば、ノズルごとの吐出量の補正を可能とするだけでなく、ノズル列ごとにおいても吐出量が補正され、塗布領域に必要量の液状体をより安定的に付与することができる。
【００２９】
［適用例１９］本適用例の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上に区画形成された複数の発光層形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の発光層形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、塗布領域としての発光層形成領域に必要量の液状体が安定的に付与されるので、固化工程で付与された液状体を固化すれば、発光層形成領域ごとにほぼ一定の膜厚を有する発光層が形成される。したがって、発光層の膜厚ムラに起因する輝度ムラや発光ムラが低減され、有機ＥＬ素子を歩留りよく製造することができる。
【００３０】
［適用例２０］上記適用例の有機ＥＬ素子の製造方法において、前記吐出工程では、異なる発光色が得られる複数種の前記液状体を所望の前記発光層形成領域に吐出し、前記固化工程では、吐出された複数種の前記液状体を固化して、少なくとも赤、緑、青、３色の前記発光層を形成するとしてもよい。
この方法によれば、フルカラーの発光が得られる有機ＥＬ素子を歩留まりよく製造することができる。
【００３１】
［適用例２１］上記適用例の有機ＥＬ素子の製造方法において、前記吐出工程では、複数種の前記液状体をそれぞれ異なる吐出ヘッドに充填し、前記液状体ごとに前記基準駆動波形の設定と、前記補正駆動波形の設定とを行うことが好ましい。
この方法によれば、発光層形成領域に付与される液状体ごとに必要量が異なっていても、適正に吐出量の補正がなされ、所望の膜厚を有する発光層を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
【００３３】
（実施形態１）
まず、複数のノズルから液状体を液滴として吐出可能な吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置について、図１〜図５を参照して説明する。
【００３４】
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図１に示すように、液滴吐出装置１０は、ワークとしての基板Ｗを主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット９を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。
【００３５】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構としてのθテーブル６を介して配設された基板Ｗを載置するステージ５とを備えている。移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により主走査方向に移動する。ステージ５は基板Ｗを吸着固定することが可能であると共に、θテーブル６によって基板Ｗ内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。
【００３６】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する２つの移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。キャリッジ８には、複数の吐出ヘッド５０が搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。また、吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示せず）と、複数の吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図４参照）とが設けられている。移動台３２がキャリッジ８をＸ軸方向に移動させてヘッドユニット９を基板Ｗに対して対向配置する。
【００３７】
液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構や、ノズルから吐出された液状体の重量を測定する重量測定機構が、複数の吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されているが図示省略した。
【００３８】
図２は吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は概略分解斜視図、同図（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図２（ａ）および（ｂ）に示すように、吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビティ５５に対応する駆動手段としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。
【００３９】
キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有すると共に、このキャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７を有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。
【００４０】
液状体は、液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。
【００４１】
図２（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに駆動電圧パルス（駆動波形）が印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が減少し、キャビティ５５に充填された液状体を加圧して、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。そして、駆動電圧パルスの印加が終了すると、振動板５８は元に戻り、キャビティ５５の体積が復元することにより、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動電圧パルスを制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。
【００４２】
吐出ヘッド５０は、圧電素子（ピエゾ素子）を備えたものに限らない。振動板５８を静電吸着により変位させる電気機械変換素子を備えたものでもよい。
【００４３】
図３は、ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ステージ５（図１参照）に対向する側から見た図である。
【００４４】
図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの吐出ヘッド５０が搭載されている。本実施形態では、各吐出ヘッド５０（Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１）から異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００４５】
各吐出ヘッド５０は、ほぼ等しい間隔（およそ１４１μｍのノズルピッチＰ１）で配設された複数（１８０個）のノズル５２からなる２つのノズル列５２Ａ，５２Ｂを有している。ノズル列５２Ａとノズル列５２Ｂとは互いにノズルピッチＰ１の半分のノズルピッチＰ２ずれた状態で、ノズルプレート５１に設けられている。したがって、ノズル列５２Ａ，５２Ｂに対して直交する方向から見れば、実質上およそ７０．５μｍのノズルピッチＰ２でノズル５２が配置されていることになる。ノズル５２の径はおよそ２８μｍである。１つの吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬとし、これを２つのノズル列５２Ａ，５２Ｂの有効長とする。
【００４６】
本実施形態では、各吐出ヘッド５０（Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１）は互いに並行してヘッドプレート９ａに配設されている。
【００４７】
なお、吐出ヘッド５０のヘッドプレート９ａに対する配設方法は、これに限定されない。また、吐出ヘッド５０に設けられるノズル列は２列に限らず、１列でも、あるいは３列以上でもよい。
【００４８】
図４は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図４に示すように、液滴吐出装置１０は、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０、吐出ヘッド５０に電気的に接続して、各部を統括的に制御する制御部４を備えている。また、制御部４は、上位コンピュータ１１に接続され、上位コンピュータ１１から液滴Ｄの吐出に必要なプログラムや、吐出位置情報、吐出条件、ノズル情報、ノズルデータなどの各種情報を入手することができる。さらには、上位コンピュータ１１は、液滴吐出装置１０から得られた情報を基に、プログラムの修正や、各種データの更新などの処理を行うこともできる。
【００４９】
制御部４は、上位コンピュータ１１との間で各種データをやり取りするためのインターフェイス（Ｉ／Ｆ）４１と、ＤＲＡＭ（Dynamic ＲＡＭ）およびＳＲＡＭ（Static ＲＡＭ）からなり、各種データの記録を行うＲＡＭ４２と、各種データ処理を行うためのルーチン等を記録したＲＯＭ４３と、ＣＰＵ４４と、発振回路４５と、吐出ヘッド５０に供給する駆動信号ＣＯＭを生成する駆動信号生成部４６と、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）４７とを備えている。ＣＰＵ４４は、Ｉ／Ｆ４７を介して吐出位置情報（液滴Ｄの配置情報）がビットマップデータに展開された吐出データを吐出ヘッド５０に転送すると共に、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０を駆動するための制御信号をそれぞれに出力する。
【００５０】
上位コンピュータ１１から送出された各種情報はＩ／Ｆ４１を介してＲＡＭ４２の一部として設けられた受信バッファ４２ａに記憶される。受信バッファ４２ａに記憶された各種情報は、コマンド解析が行われてからＲＡＭ４２の一部として設けられた中間バッファ４２ｂへ送られる。中間バッファ４２ｂ内ではＣＰＵ４４によって中間コードに変換された中間データが保持され、ステージ５上の基板Ｗにおける液状体の吐出位置情報に対して吐出条件やノズル情報、ノズルデータなどを関係付ける処理が行われる。
【００５１】
次に、ＣＰＵ４４は、中間バッファ４２ｂに記憶された中間データの各々を解析してデコード化した後、中間データ毎のビットマップデータを出力バッファ４２ｃに展開して記憶させる。
【００５２】
以上の処理が終了すると、ビットマップデータから吐出ヘッド５０の１スキャン（主走査）分に相当するビットマップデータがＩ／Ｆ４７を介して吐出データＳＩとして吐出ヘッド５０に順次シリアル転送される。吐出データＳＩの転送は、発振回路４５からのクロック信号ＣＬＫに同期して行われる。１つのビットマップデータの転送が完了すると、次のビットマップデータの転送が同様に行われる。このように、スキャンごとに展開されたＮ個のビットマップデータが出力バッファ４２ｃからＩ／Ｆ４７を介して吐出ヘッド５０に順次転送される。
【００５３】
また、吐出ヘッド５０に設けられた振動子５９を駆動するための駆動信号ＣＯＭが駆動信号生成部４６で生成され、Ｉ／Ｆ４７を介して吐出ヘッド５０に転送される。このとき、ＣＰＵ４４は吐出ヘッド５０に転送されるＮ個のビットマップデータ毎に駆動信号ＣＯＭを駆動信号生成部４６に生成させる。駆動信号ＣＯＭの転送も発振回路４５からのクロック信号ＣＬＫに同期して行われる。以上の吐出データＳＩ、駆動信号ＣＯＭ、およびクロック信号ＣＬＫ以外に、後述するラッチ信号ＬＡＴがＩ／Ｆ４７から吐出ヘッド５０に設けられたヘッドドライバ４８に出力される。
【００５４】
吐出ヘッド５０に設けられるヘッドドライバ４８は、シフトレジスタ４８ａ、ラッチ回路４８ｂ、レベルシフタ４８ｃ、およびスイッチ回路４８ｄを含んで構成されている。なお、図４においては図示を簡略化しているが、振動子５９は吐出ヘッド５０に形成されたノズル５２の数だけ（例えば、３６０個（１８０個×２列））設けられており、スイッチ回路４８ｄ内には各々の振動子５９に対応させてスイッチ素子（図示省略）が複数設けられている。
【００５５】
上記シフトレジスタ４８ａは、制御部４から転送された吐出データＳＩをシリアル／パラレル変換するものである。ラッチ回路４８ｂは、制御部４からラッチ信号ＬＡＴが出力された時に、シフトレジスタ４８ａによってパラレル変換された吐出データＳＩをラッチする。レベルシフタ４８ｃは、ラッチ回路４８ｂから出力される吐出データＳＩを、例えば数十ボルト程度のスイッチ回路４８ｄを駆動することができる所定の電圧まで昇圧する。
【００５６】
スイッチ回路４８ｄは、レベルシフタ４８ｃから出力される吐出データＳＩに応じて、駆動信号ＣＯＭを振動子５９に供給するか否かを制御する。つまり、スイッチ回路４８ｄ内に設けられる各スイッチ素子に加わる吐出データＳＩの電圧レベルが「１」である期間中は、対応する振動子５９に駆動信号ＣＯＭを印加する。また、吐出データＳＩの電圧レベルが「０」である期間中は、対応する振動子５９への駆動信号ＣＯＭの印加を遮断する。
【００５７】
＜吐出ヘッドの駆動方法＞
次に、図５および図６を参照して、吐出ヘッド５０の駆動方法について説明する。図５（ａ）および（ｂ）は吐出タイミングを示すタイムチャート、図６は駆動波形を示す詳細図である。
【００５８】
図５（ａ）に示すように、駆動信号生成部４６は、吐出周期において、異なる形状の複数（４つ）の駆動波形（電圧パルス）を有する第１駆動信号ＣＯＭを生成する。第１パルス〜第３パルスは、その電位を最小電位ＶＬ〜最大電位Ｖｐ〜中間電位Ｖｎへと変化させる波形と、電位を中間電位Ｖｎ（Ｖｎ1〜Ｖｎ3）から電位成分Ｃ上昇させた後に最小電位ＶＬに戻す波形とからなる。前者の波形が振動子５９に印加されることにより振動板５８を振動させ、ノズル５２から液状体を押し出し、後者の波形により振動板５８の振動を制振して、押し出された液状体を液滴Ｄとして吐出させる。各電圧パルスの中間電位Ｖｎ1〜Ｖｎ3の設定は、ｈ１＜ｈ２＜ｈ３となっている。第２パルスを基準駆動波形としての基準パルスとすれば、第１パルスは第２パルスに比べてより吐出量が多い液滴Ｄを吐出させることができ、第３パルスは第２パルスに比べてより吐出量が小さい液滴Ｄを吐出させることができる。第４パルスは、液滴Ｄを吐出させないように振動板５８を撓ませる電位成分ｄを振動子５９に与える波形である。これにより、ノズル５２内の液状体のメニスカスを振動させて、液状体の乾燥による目詰まりを防止するものである。
【００５９】
また、図５（ｂ）に示すように、駆動信号生成部４６は、中間電位Ｖｎ（Ｖｎ4〜Ｖｎ6）の設定を変えた第５パルス〜第８パルスからなる第２駆動信号ＣＯＭを生成することができる。第１駆動信号ＣＯＭと比較すると、各パルスの中間電位Ｖｎ4〜Ｖｎ6の設定は、ｈ１＜ｈ４＜ｈ２＝ｈ５＜ｈ６＜ｈ３となっている。よって、第２パルスと第６パルスとは同一である。また、第８パルスは、第４パルスと同一であり、液滴Ｄを吐出させないでメニスカスを振動させる。
【００６０】
各パルスを選択するようにラッチ信号ＬＡＴを発生させ、これに同期して駆動波形の印加時間を制御する吐出データＳＩをスイッチ素子に加えることによって、中間電位Ｖｎの設定を変えた補正駆動波形を振動子５９に印加することができる。これにより、吐出量の設定が異なる液滴Ｄを吐出可能となっている。言い換えれば、基準パルスとしての第２パルスおよび第６パルスに対して、補正駆動波形としての第１パルス、第３パルス、第５パルス、第７パルスを印加すれば、基準パルスを振動子５９に印加したときの液滴Ｄの吐出量に対して、増加方向と減少方向とにそれぞれ２段階に吐出量が補正された液滴Ｄを吐出可能である。なお、図５（ａ）および（ｂ）における吐出周期は、振動子５９の固有振動特性によるが、この場合、１０ｋＨｚに設定されている。
【００６１】
図６に示すように、最大電位Ｖｐを変えずに中間電位Ｖｎを変える駆動波形の生成方法としては、最大電位Ｖｐまで充電する時間ｔ１、最大電位Ｖｐで保持する時間ｔ１〜ｔ２、中間電位Ｖｎまで放電する時間ｔ２〜ｔ３、中間電位Ｖｎで保持する時間ｔ３〜ｔ４を変えないことを基本とする。すなわち、中間電位Ｖｎにおける電位成分ｈの設定状態により放電時の波形の傾きを変えることになる。なお、制振のため再び充放電する波形は、電位成分ｈの設定状態により、不要な液状体のミストが吐出されないように制振電位Ｖｃを設定することが望ましい。このような駆動波形の生成は、デジタル回路を用いて生成し、アナログ変換回路によってアナログ信号に変換して出力される。
【００６２】
吐出周期を１０ｋＨｚとした場合の、時間ｔ１〜時間ｔ７の設定の例を以下に示す。
ｔ１＝８、ｔ２＝１０、ｔ３＝１２、ｔ４＝１４、ｔ５＝１６、ｔ６＝１８、ｔ７＝２２、いずれも単位は、μｓｅｃである。
【００６３】
工業的に各種のデバイスを液滴吐出装置１０を用いて製造する際には、ワークとしての基板Ｗ上の所望の位置に、液状体を所望の量で安定的に吐出することが求められる。ところが、基準パルスすなわち一定の電圧成分を有する駆動波形を各振動子５９に印加しても、各ノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量は、振動子５９の電気的な特性のばらつき、ノズル５２に連通するキャビティ５５やこれに液状体を供給する流路の構造などの機械的な特性のばらつきによって変動する。
【００６４】
そこで、基準パルス（第２パルスまたは第６パルス）を、数千から数万回に渡って振動子５９に印加して液状体を吐出させ、その液状体の重量を測定する。求められた重量を吐出回数で除して１回あたりの液滴Ｄの吐出量をノズル５２ごとに求める。このノズル５２ごとの液滴Ｄの吐出量が前述したノズル情報に含まれている。ノズル情報は、液滴Ｄの吐出量の情報の他に、ノズル５２ごとの目詰まりや飛行曲がりなどの情報を含んでいてもよい。これらの情報を参照して、吐出ヘッド５０の駆動を制御することが可能である。
【００６５】
上記吐出ヘッド５０を用いて、液滴Ｄを吐出し、付与される液状体の塗布量のばらつきを、一定の範囲に収めることは、ノズル５２ごとの吐出量がばらつくので難しい。特に、面積が小さい塗布領域に、例えば１０滴未満の液滴Ｄを吐出する場合は、液滴Ｄの吐出数を増減させて上記ばらつきを調整する方法などは、塗布量を高精度に制御しようとする場合には採用できない。
【００６６】
本実施形態の吐出ヘッド５０の駆動方法では、複数のノズル５２からなるノズル列５２Ａ，５２Ｂごとに、上記ノズル情報を入手し、液滴Ｄの吐出量が所望の吐出量（基準吐出量）となるように、基準パルスにおける最大電位Ｖｐの値をノズル列５２Ａ，５２Ｂごとに設定する。当然ながら、ヘッドユニット９に搭載された複数の吐出ヘッド５０ごとに設定する（図３参照）。これにより、まずノズル列間の平均的な吐出量の補正が行われる。
【００６７】
しかる後に、補正された最大電位Ｖｐの基準パルスを用いて、再び上記ノズル情報を吐出ヘッド５０ごと且つノズル列５２Ａ，５２Ｂごとに求める。すなわち、ノズル間の吐出量のばらつきを求める。具体的には、基準吐出量に対するノズル５２ごとのずれ量を求める。ずれ量は、基準吐出量を１００としたときの割合（±％）として求める。
【００６８】
この場合、ノズル間の吐出量のばらつきを補正する方法としては、ノズル５２ごとの振動子５９に印加する駆動波形の最大電位Ｖｐを調整する方法と、駆動波形の中間電位Ｖｎを調整する方法とが考えられる。しかしながら、異なる駆動波形をノズル５２の数に対応して発生させることは、駆動信号生成部４６が複雑になってしまう。また、最大電位Ｖｐを調整することは、上記ばらつきを補正する方法として必ずしも有効とは言えない。
【００６９】
図７は、液滴の吐出量と飛行速度との関係を示すグラフである。図７に示すように、最大電位Ｖｐ（言い換えれば駆動電圧Ｖｐ）をある一定の電圧範囲で変化させると、基準吐出量を１００％としたときに、吐出量を９０〜１１０％の間で調整可能であるが、一方で基準飛行速度を１００％としたときに、飛行速度が４０〜１６０％の間で変動する。これに対して、最大電位Ｖｐを一定として中間電位Ｖｎをある一定の電圧範囲で変化させると、同様に吐出量を９０〜１１０％の間で調整可能であり、飛行速度を８０〜１２０％の間の変動に収めることが可能であることが判明した。この結果は、後述する有機ＥＬ素子の製造方法において、用いる液状体の例である。当該液状体は、所謂インクジェットプリンタなどに使用される記録用のインクに比べて、高粘度（１０ｍＰａ・ｓ以上３０ｍＰａ・ｓ以下）であるため、このような結果が得られたと推測される。
【００７０】
すなわち、高粘度の液状体において、吐出量のばらつきを補正する方法としては、中間電位Ｖｎを補正した駆動波形を用いることが、飛行速度の変動による液滴Ｄのサテライトや着弾位置不良の発生を抑制可能である。
【００７１】
前述したように本実施形態において駆動信号ＣＯＭは、第１駆動信号ＣＯＭと第２駆動信号ＣＯＭの２種類であり、液滴Ｄの吐出量を補正可能な駆動波形として、第１パルス〜第３パルス、第５パルス〜第７パルスのうちから選択することが可能である。すなわち、吐出量の補正のために用いることができる駆動波形は、４種類である。そこで、基準パルス（基準駆動波形）と中間電位Ｖｎの値が異なるこれらの補正駆動波形とを選択的に組み合わせて液滴Ｄを吐出することにより、吐出された液滴群としての液状体の塗布量のばらつきを一定の範囲に収める。言い換えれば、液滴群としての液状体の塗布量のばらつきを一定の範囲に収めるように、第１パルス〜第３パルス、第５パルス〜第７パルスの中間電位Ｖｎの値を、基準パルスである第２パルスおよび第６パルスに対して補正する。具体的には、続いて説明する液状体の吐出方法にて、その一例を開示する。
【００７２】
＜液状体の吐出方法＞
次に、上記吐出ヘッドの駆動方法を適用した液状体の吐出方法について図８〜図１５を参照して説明する。
【００７３】
まず、液状体を液滴Ｄとして吐出する基板Ｗの構成について説明する。図８は、基板上の塗布領域を示す概略図である。詳しくは、同図（ａ）は概略平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＨ−Ｈ'線で切った概略断面図である。
【００７４】
図８（ａ）に示すように、基板Ｗ上には、複数の塗布領域ＥがＸ軸方向およびＹ軸方向にマトリクス状に配置されている。各塗布領域Ｅは、基板Ｗ上においてバンクＢａにより区画され、Ｙ軸方向に細長いトラック状の形状をなしている。塗布領域Ｅにおいて、Ｙ軸方向の両端部が円弧状となっているのは、着弾した液滴Ｄの当該両端部における濡れ広がりを考慮したものである。
【００７５】
バンクＢａは、少なくともその表面（着弾面）が撥液性を有することが望ましい。液滴Ｄの一部がバンクＢａに掛かって着弾しても、着弾面が撥液性を有していれば、塗布領域Ｅ内に液状体（液滴Ｄ）を収容することができる。バンクＢａの形成方法としては、例えば、撥液性を有する感光性樹脂材料を基板Ｗの表面に塗布して、フォトリソグラフィ法により露光・現像する方法が挙げられる。また、撥液性を有していない感光性樹脂材料を用いた場合でも、バンクＢａを形成後、フッ素系の処理ガスを用いて表面処理することにより、表面に撥液性を付与することも可能である。
【００７６】
基板Ｗ上における塗布領域Ｅの配置は、設計事項であるが、より高精彩な配置が要求されている。例えば、塗布領域Ｅを表示装置の画素構成要素とし、２００ｐｐｉ（pixel  per  inch）の密度で基板Ｗ上に配置する場合の設計寸法の例を示すと次のようになる。Ｘ軸方向の配置ピッチＰｘが４２μｍ、同じく幅Ｐｗが３２μｍ、よってＸ軸方向のバンクＢａの幅Ｂｗが１０μｍとなる。Ｙ軸方向の配置ピッチＰｙが１２６μｍ、同じく幅ＰＬが９６μｍ、よってＹ軸方向のバンクＢａの幅ＢＬが３０μｍとなる。これによれば、塗布領域Ｅの開口率はおよそ１８％である。当然ながら開口率をさらに上げようとすれば、バンクＢａの幅Ｂｗ，ＢＬをさらに狭くする必要がある。バンクＢａの高さは、塗布領域Ｅに付与する液状体の塗布量に応じて決定される。本実施形態では、バンクＢａの高さをおよそ２〜３μｍとした。
【００７７】
塗布領域Ｅの配置が上記のように高精細になると、液滴Ｄがわずかにずれて着弾しても、バンクＢａを越えてしまい、隣接する塗布領域Ｅに液滴Ｄの一部が流出してしまう。言い換えれば、所望の塗布領域Ｅに必要量の液状体を塗布することができなくなるという問題が生ずる。したがって、図８（ｂ）に示すように、吐出条件の１つとして、吐出された液滴Ｄを塗布領域Ｅのほぼ中央付近に着弾させる必要が生じてくる。
【００７８】
また、液滴Ｄを塗布領域Ｅのほぼ中央付近に着弾させても、その液滴Ｄの吐出量がばらついていると、塗布領域Ｅごとに必要量の液状体を安定的に付与することが困難となる。
【００７９】
図９（ａ）および（ｂ）は、液状体の吐出方法を示す概略平面図である。２００ｐｐｉの密度でマトリクス状に配置された複数の塗布領域Ｅのうち、同種の液状体を塗布する塗布領域Ｅは、Ｘ軸方向において２つ置きに配列され、且つＹ軸方向に連続して配列されている（ストライプ方式の配置）。したがって、基板Ｗに対して吐出ヘッド５０を平面視で傾斜するように対向配置して、ノズルピッチＰ１（およそ１４１μｍ）と同種の液状体を付与する塗布領域Ｅの配置ピッチ（およそ１２６μｍ）とを合致させる。吐出ヘッド５０を傾斜させる方向は、どちらの方向でもよい。実際には、液滴吐出装置１０の回転機構７を駆動して、ヘッドユニット９を回転させステージ５上に載置された基板Ｗに対して位置決めする（図１参照）。
【００８０】
本実施形態では、１つの塗布領域Ｅに４滴の液滴Ｄを配置する。その順番として、まず、塗布領域ＥのＹ軸方向の両端部付近にそれぞれ液滴Ｄを離間させて配置する。すなわち、図９（ａ）に示すように、２滴の液滴Ｄ1，Ｄ2を先行吐出する。続いて、図９（ｂ）に示すように、先行吐出された液滴Ｄ1，Ｄ2の間を埋めるようにさらに２滴の液滴Ｄ3，Ｄ4を後行吐出する。これにより、液状体をムラなく塗布領域Ｅ内に行き渡らせようとするものである。言い換えれば、１つの塗布領域Ｅに対して２回の走査を行って、液滴Ｄ1から液滴Ｄ4を配置している。
【００８１】
図１０は、液状体の吐出方法を示すフローチャートである。図１０に示すように、本実施形態の液状体の吐出方法は、ノズル情報を入手するノズル情報入手工程（ステップＳ１）と、複数のノズル５２を液滴Ｄの吐出量に応じてグループ化するグループ化工程（ステップＳ２）と、を備えている。そして、ノズル情報に基づいて、ノズル５２ごとの吐出量のばらつきを補正するための補正量を演算する演算工程（ステップＳ３）と、複数の塗布領域Ｅごとに液状体を液滴として配置する配置情報を生成する配置情報生成工程（ステップＳ４）と、を備えている。また、吐出ヘッド５０と基板Ｗとの走査において、複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ（選択）などのノズルデータを生成するノズルデータ生成工程（ステップＳ５）と、吐出ヘッド５０と基板Ｗとを走査して、塗布領域Ｅに液状体を液滴Ｄとして吐出する吐出工程（ステップＳ６）と、吐出された液状体を乾燥して塗布領域Ｅに薄膜を形成する乾燥工程（ステップＳ７）とを備えている。
【００８２】
図１０のステップＳ１は、ノズル情報入手工程である。ステップＳ１では、前述したように、基準パルス（第２パルスまたは第６パルス）を、数千から数万回に渡って振動子５９に印加して液状体を吐出させ、その液状体の重量を測定する。求められた重量を吐出回数で除して１回あたりの液滴Ｄの吐出量をノズル５２ごとに求める。本実施形態では、１８０個のノズル５２からなるノズル列５２Ａ（５２Ｂ）のうち、ノズル列５２Ａ（５２Ｂ）の両端側に位置する４０個のノズル５２を除いた１００個のノズル５２を有効なノズル５２として、当該ノズル５２ごとに吐出された液滴Ｄの吐出量を求めた。
【００８３】
図１１は、複数のノズルの吐出量と補正方法を示す表である。図１１に示すように、ノズル番号１〜１００で示された各ノズル５２の吐出量は、およそ９ｎｇである。吐出量のばらつきの平均値は８．６４ｎｇ、最大値は９．６ｎｇ、最小値は８．０ｎｇであった。ばらつきのレンジ（範囲）は１．６ｎｇである。このレンジを９等分して度数分布としたときの中央値は８．８ｎｇであり、中央値を１００としてノズル５２ごとの吐出量を規格化すると、補正前ではおよそ±９．０９％程度のばらつきΔＩを有している。そして、ステップＳ２へ進む。
【００８４】
図１０のステップＳ２は、グループ化工程である。ステップＳ２では、複数（１００個）のノズル５２を吐出量に応じてグループ化する。図１２は、複数のノズルの吐出量における度数分布とノズルランクを示す表である。本実施形態では、図１２に示すように、吐出量のばらつきのレンジ（範囲）を９等分して９つの区間に分割した。最小値から最大値までの９つの区間ごとに含まれるノズル数は、表のとおりである。これにより１００個のノズル５２を区間ごとにグループ化したことになる。これに対応して最小値側から１〜９の数字を当てはめたノズルランクを付与した。すなわち、１〜９のグループに区分した。９つの区間は等間隔であり、区間の数は、駆動信号ＣＯＭにおける駆動波形の組み合わせにより与えられる数と同一である。これによりグループ間において均等な補正を可能とすると共に、複数の駆動波形を好適に各グループにあてはめることが可能である。そして、ステップＳ３へ進む。
【００８５】
図１０のステップＳ３は、演算工程である。ステップＳ３では、吐出量のばらつきΔＩを補正するための補正量を演算する。具体的には、補正量を重み付けを変えた以下の数式（１）により導かれる粗な第１補正量と、数式（２）により導かれる細かな第２補正量とに分けて求める。
【００８６】
【数１】
0005211649.tif 000002
吐出量のばらつきΔＩは、前述したように±９．０９％であり、中央値に対する最小値、最大値によって決まる。この場合、ノズル５２ごとの吐出量を９つの区間に分けたので、実質的な区間補正量は、８／９ΔＩとなる。塗布領域ＥにＮ滴の液滴Ｄを配置した場合、液滴群としての総補正量は、８／９ΔＩ×Ｎ（総ｓｈｏｔ数）となり、これに対する重み付けを３／４として、１回の走査にて吐出する吐出数ｎ（ｓｈｏｔ数）の１ｓｈｏｔあたりの補正量は、数式（１）に示すように、２Ｎ／３ｎΔＩとなる。この場合、Ｎ＝４、ｎ＝２であるため、演算結果は、第１補正量が４／３ΔＩ＝１２．１２％となる。
【００８７】
【数２】
0005211649.tif 000003
同様にして、重み付けを残り１／４として、第２補正量を演算すると、４／９ΔＩ＝４．０４％となる。
【００８８】
このように重み付けした補正量に分けることにより、中央値から乖離したノズルランク１あるいはノズルランク９に属するノズル５２に対しては、より大きな補正量を適用し、中央値に近いノズルランク４あるいはノズルランク６に属するノズル５２に対しては、より小さい補正量を適用することが可能となる。このような重み付けは、吐出量のばらつきΔＩに応じて任意に変えることが可能であるが、補正量を一桁異ならせることが好ましい。これにより、塗布領域Ｅにおける液滴群（液状体）の塗布量を高精度に補正することが可能となる。また、度数分布の区間は、９つに限定されず、補正前の吐出量のばらつきを、補正によりどの程度に抑えたいか、または、何種類の駆動波形を組み合わせて補正するかによって設定する。この場合、駆動波形の組み合わせが９通りであり（図１４参照）、これに対応して上記度数分布を９つに区分した。これにより、中央値を含む区間を中心にして吐出量を増加方向と減少方向とにバランスよく補正可能としている。
【００８９】
図１３は、吐出量（％）と中間電位（％）との関係を示すグラフである。図１３に示すように、中央値で規格化した吐出量（％）と中間電位Ｖｎの電位成分ｈ（％）とは、最大電位Ｖｐを１００％としたとき、ｈが２５〜３５％の範囲で直線関係にある。基準パルスである第２パルスおよび第６パルスにおけるｈ２，ｈ５（図５（ａ）および（ｂ）参照）は、およそ３０％である。したがって、第１補正量を適用して吐出量を基準吐出量１００％に対して１２．１２％増加させるとすれば、第１パルスのｈ１（図５（ａ）参照）をおよそ２５％にすればよいことが判る。同様にして、吐出量を基準吐出量１００％に対して１２．１２％減少させるとすれば、第３パルスのｈ３（図５（ａ）参照）をおよそ３５％にすればよいことが判る。また、第２補正量を適用して吐出量を基準吐出量１００％に対して４．０４％増加させるとすれば、第５パルスのｈ４（図５（ｂ）参照）をおよそ２８．５％にすればよいことが判る。同様にして、吐出量を基準吐出量１００％に対して４．０４％減少させるとすれば、第７パルスのｈ６（図５（ｂ）参照）をおよそ３１．５％にすればよいことが判る。駆動信号生成部４６は、演算結果に基づいて、各電圧パルスを生成する。そして、ステップＳ４へ進む。
【００９０】
図１０のステップＳ４は、配置情報生成工程である。ステップＳ４では、塗布領域Ｅにどのように液滴Ｄを配置するかという配置情報を生成する。本実施形態では、図９（ａ）および（ｂ）に示したように、２回の走査に同期して、各塗布領域Ｅに使用するノズル５２からそれぞれ２滴ずつ合計４滴の液滴Ｄ1から液滴Ｄ4を配置する。配置情報には、使用するノズル５２の情報、配置位置（吐出位置）、吐出数の情報が含まれる。使用するノズル５２の情報には、ステップＳ１で得られた吐出量の情報や、ステップＳ２で得られたノズルランクの情報が関係付けられる。配置情報は、走査ごと分けて生成される。そして、ステップＳ５へ進む。
【００９１】
図１０のステップＳ５は、ノズルデータ生成工程である。ステップＳ５では、ステップＳ４で生成された配置情報に基づいて、走査ごとに複数のノズル５２のうちどのノズル５２を使用するか、すなわちＯＮ／ＯＦＦ（選択）の情報を生成する。また、使用するノズル５２の駆動手段である振動子５９に第１駆動信号ＣＯＭおよび第２駆動信号ＣＯＭのうちどの駆動波形（電圧パルス）を印加するかという情報を生成する。本実施形態では、１回目の走査（ｐａｓｓ）で第１駆動信号ＣＯＭを用い、２回目の走査（ｐａｓｓ）で第２駆動信号ＣＯＭを用いる。第１駆動信号ＣＯＭでは、最も補正量が大きく吐出量が増える第１パルスを「１」、基準パルスの第２パルスを「０」、最も補正量が大きく吐出量が減少する第３パルスを「−１」として駆動波形選択のノズルデータとする。同様に第２駆動信号ＣＯＭでは、第５パルスを「１」、第６パルスを「０」、第７パルスを「−１」とする。
【００９２】
このような駆動波形選択のノズルデータは、使用するノズル５２のノズルランクに応じて付与される。図１４は、ノズルランクと駆動波形の選択との関係を示す表である。図１４に示すように、１〜９の各ノズルランクに応じて、走査（ｐａｓｓ）ごとに、「−１」、「０」、「１」のデータが与えられる。言い換えれば、ノズルランクに応じた駆動波形の組み合わせが、走査ごとに設定される。補正が必要なければ、当然ながら走査ごとに「０」のデータが与えられ、基準パルスが使用するノズル５２の振動子５９に印加される。そしてステップＳ６へ進む。
【００９３】
図１０のステップＳ６は、液状体の吐出工程である。ステップＳ６では、液滴Ｄの配置情報とノズルデータとに基づいて、使用するノズル５２の振動子５９に選択された駆動波形を印加して、所望の塗布領域Ｅに対応する液状体を液滴群として吐出する。液滴群は、それぞれに吐出量が補正された液滴Ｄ1から液滴Ｄ4により構成される。その塗布量は、基準吐出量に吐出数を乗じた中心値に対して所定の範囲に収まる。すなわち、必要量の液状体が各塗布領域Ｅにノズル間の吐出量のばらつきΔＩを抑制して付与される。そして、ステップＳ７へ進む。
【００９４】
図１０のステップＳ７は、乾燥工程である。ステップＳ７では、塗布領域Ｅに付与された液状体を乾燥することにより、溶媒成分を除去する。これにより、液状体に含まれる溶質（機能性材料）からなる薄膜が形成される。各塗布領域Ｅに必要量の液状体が安定的に付与されるので、ほぼ一定した膜厚を有する薄膜が形成される。
【００９５】
図１５は、複数のノズルにおける吐出量の補正前のばらつき（％）と補正後のばらつき（％）を示すグラフである。図１５に示すように、本実施形態の吐出ヘッド５０の駆動方法を適用した液状体の吐出方法によれば、ノズル番号１〜１００のノズル５２において、補正前のばらつきはおよそ±９％あったが、補正後のばらつきは、±２％以内に収まっている。また、ノズル列５２Ａ（５２Ｂ）の両端側に近づくほど、吐出量が増加する傾向が改善され、ほぼフラットな吐出量特性を示している。すなわち、ノズル間の吐出量のばらつきが改善された。
【００９６】
なお、上述した吐出ヘッド５０のノズル列間およびノズル間における吐出量のばらつきの補正は、１００個のノズル５２を対象としているがこれに限定されない。また、言うまでもなく、図３に示したヘッドユニット９に搭載された複数（３個）の吐出ヘッド５０のそれぞれにおいて行う。ノズル列間については駆動信号ＣＯＭの最大電位Ｖｐを補正し、ノズル間においては、中間電位Ｖｎを補正しているので、簡単な駆動信号ＣＯＭの構成で多数のノズル５２における液滴Ｄの吐出量のばらつきを補正可能としている。
【００９７】
上記実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）上記吐出ヘッド５０の駆動方法を適用した液状体の吐出方法によれば、基板Ｗ上に高精細に配置された塗布領域Ｅに補正された液滴Ｄ1から液滴Ｄ4により構成される液滴群としての液状体を、基準吐出量に吐出数（ｓｈｏｔ数）を乗じた中心値に対して所定の範囲に収まる塗布量（必要量）で、安定的に塗布することができる。
【００９８】
（２）上記吐出ヘッド５０の駆動方法を適用した液状体の吐出方法において、各液滴Ｄ1から液滴Ｄ4を吐出するための駆動波形（電圧パルス）としての第１パルス〜第３パルス、および第５パルス〜第７パルスは、基準パルスである第２パルスおよび第６パルスがノズル列５２Ａ，５２Ｂごとの平均的な吐出量が基準吐出量となるように、最大電位Ｖｐが予め補正されている。ゆえに、ノズル列間の吐出量のばらつきが予め補正されている。さらに、補正駆動波形としての第１パルス、第３パルス、第５パルス、第７パルスは、基準パルスの中間電位Ｖｎが補正されたものであり、最大電位Ｖｐを補正する場合に比べて、当該補正駆動波形が印加されたノズル５２から吐出される液滴の飛行速度のばらつきを抑制することができる。
【００９９】
（３）また、上記吐出ヘッド５０の駆動方法を適用した液状体の吐出方法において、各液滴Ｄ1から液滴Ｄ4は、第１駆動信号ＣＯＭと第２駆動信号ＣＯＭのうち、中間電位Ｖｎが異なる電圧パルスを組み合わせて振動子５９に印加することにより、その吐出量が補正されて吐出される。したがって、吐出数を変えることなく、液滴群として高精度にその塗布量が補正され塗布領域Ｅに塗布される。見方を変えれば、複数（１００個）のノズル５２を吐出量に応じた９つのノズルランクに区分し、ノズルランクごとに２回の走査に分けて、粗な第１補正量と細かな第２補正量とを設定して、電圧パルスの中間電位Ｖｎを補正し、２種類の駆動信号ＣＯＭで、複数（１００個）のノズル５２の吐出量の補正を可能とした。
【０１００】
（４）さらに、上記吐出ヘッド５０の駆動方法を適用した液状体の吐出方法において、吐出工程では、液滴群は２回の走査に分けて、塗布領域Ｅの走査方向の両端側と中央付近とにそれぞれ２滴ずつ吐出される。したがって、塗布領域Ｅにおいて必要量の液状体を万遍なく行き渡らせ、乾燥工程では、ほぼ一定の膜厚を有する薄膜を形成することができる。
【０１０１】
（実施形態２）
次に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した有機ＥＬ（Electro  Luminescence）素子の製造方法について、図１６および図１７を参照して説明する。図１６は有機ＥＬ装置の構造を示す概略断面図、図１７（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。
【０１０２】
＜有機ＥＬ装置＞
まず、有機ＥＬ装置について説明する。図１６に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、有機ＥＬ発光層としての３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態では、素子基板６０１上において、発光層形成領域Ａが２００ｐｐｉの密度で配置されている。有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。
【０１０３】
封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。
【０１０４】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであって、複数の発光層形成領域Ａを区画するバンク６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、絶縁材料を用いて形成され、正孔注入／輸送層６１７ａ上に積層された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと電極６１３とが電気的に短絡しないように、電極６１３の周囲を覆っている。
【０１０５】
素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１６ではこれらの図示を省略している。
【０１０６】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、バンク６１８と発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。
【０１０７】
有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機ＥＬ装置６００は、発光層Ｌｕが上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、必要量の液状体が各発光層形成領域Ａに付与され、発光ムラ、輝度ムラ等の表示不具合の少ない高い表示品質を有すると共に、高精細な表示を可能としている。
【０１０８】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法について図１７を参照して説明する。なお、図１７（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【０１０９】
本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるようにバンク６１８を形成するバンク形成工程とを備えている。またバンク６１８で区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する工程とを備えている。さらに、バンク６１８と発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて行う。よって、図３に示したヘッドユニット９における吐出ヘッド５０の配置を適用する。
【０１１０】
電極（陽極）形成工程では、図１７（ａ）に示すように、素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そしてバンク形成工程へ進む。
【０１１１】
バンク形成工程では、図１７（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の周囲を覆うようにバンク６１８を形成する。バンク６１８の材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった絶縁性を有する有機材料が好ましい。バンク６１８の形成方法としては、例えば、電極６１３が形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２〜３μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、バンク６１８を形成する方法が挙げられる。形成されたバンク６１８を固定化するためにポストベーク（加熱）を行うと、端部が熱変形して図１７（ｂ）に示したほぼ円弧状の断面を有するバンク６１８ができあがる。そして、表面処理工程へ進む。
【０１１２】
発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、バンク６１８の表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ4等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなるバンク６１８の表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。
【０１１３】
正孔注入／輸送層形成工程では、図１７（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、図３のヘッドユニット９を備えた液滴吐出装置１０と上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いる。吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴Ｄとして素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて必要量が液滴Ｄとして吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。
【０１１４】
乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３のバンク６１８により区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料として３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を用いた。なお、本実施形態では、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして次の液状体の吐出工程へ進む。
【０１１５】
【０１１６】
液状体の吐出工程では、図１７（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０を用いて複数の吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、発光層形成領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。これらの液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する方法としては、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いた。第１駆動信号ＣＯＭおよび第２駆動信号ＣＯＭの各駆動波形（電圧パルス）の設定は、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂごとに行うことが望ましい。すなわち、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが充填される吐出ヘッド５０ごとに駆動波形の設定を行う。そして、乾燥・成膜工程へ進む。
【０１１７】
乾燥・成膜工程では、図１７（ｅ）に示すように、吐出された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。
【０１１８】
陰極形成工程では、図１７（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとバンク６１８の表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【０１１９】
このようにして出来上がった素子基板６０１は、必要量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴Ｄ1から液滴Ｄ4として発光層形成領域Ａに付与され、乾燥・成膜化後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。
【０１２０】
上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法において、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの吐出工程では、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて素子基板６０１の高精細に配置された発光層形成領域Ａに、必要量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが付与されている。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、それぞれ補正された液滴Ｄ1から液滴Ｄ4からなる液滴群として安定的に吐出され、乾燥・成膜後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが得られる。
【０１２１】
（２）上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法を用いて、有機ＥＬ装置６００を製造すれば、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラ等が低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラ等が少なく、高精細で見映えのよい表示品質を有する有機ＥＬ装置６００を製造することができる。
【０１２２】
上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１２３】
（変形例１）上記実施形態１の吐出ヘッド５０の駆動方法および液状体の吐出方法において、ノズル５２ごとの吐出量の補正方法は、これに限定されない。図１８は変形例の吐出ヘッドの駆動方法を適用した複数のノズルにおける吐出量の補正前のばらつき（％）と補正後のばらつき（％）を示すグラフである。例えば、数式（１）と数式（２）における補正量の重み付けを同等としてもよい。図１８のグラフは、第１補正量と第２補正量を６．０６％としてシミュレーションしたときの吐出量の補正後のばらつきを示すものである。これによれば、図１５に示した補正後のばらつきに比べて、その範囲が拡大しているものの、補正前のばらつきに対しては縮小されている。また、複数のノズル５２における吐出量特性もフラットな状態が得られる。第１補正量と第２補正量とが同等であれば、結果的に、駆動信号ＣＯＭが１種類で済み、駆動信号生成部４６を簡略化することができる。
【０１２４】
（変形例２）上記実施形態１の吐出ヘッド５０の駆動方法および液状体の吐出方法において、基準吐出量は、複数のノズル５２における吐出量の度数分布の中央値に限定されない。例えば、中央値以外の区間代表値を基準吐出量とすると、複数のノズルにおいて吐出量が増加傾向または減少傾向となるように、傾向を持たせて補正することが可能である。
【０１２５】
（変形例３）上記実施形態１の吐出ヘッド５０の駆動方法および液状体の吐出方法において、第１駆動信号ＣＯＭ、第２駆動信号ＣＯＭの選択は、走査ごとに行うことに限定されない。例えば、図９（ａ）および（ｂ）に示した、液滴Ｄ1から液滴Ｄ4の配置（吐出）において、吐出タイミングを変えて液滴Ｄ1と液滴Ｄ2を吐出する場合、吐出タイミングごとに選択する駆動信号ＣＯＭを変えても良い。したがって、液滴Ｄ1と液滴Ｄ2の着弾位置ごとに、その吐出量の補正を可能とする。液滴Ｄ3と液滴Ｄ4を吐出する場合も同様である。ゆえに、液滴Ｄ1から液滴Ｄ4の配置に伴う吐出量のムラを補正して吐出することができる。
【０１２６】
（変形例４）上記実施形態１の吐出ヘッド５０の駆動方法および液状体の吐出方法において、ノズル情報としての液滴Ｄの吐出量は、重量に限定されない。例えば、各ノズル５２から吐出された液滴Ｄの飛行状態を撮像して、体積を求め、これを吐出量としてもよい。また、基板上に形成された薄膜の体積から液滴Ｄの体積を求め、これを吐出量としてもよい。
【０１２７】
（変形例５）上記実施形態１の吐出ヘッド５０の駆動方法において、第１駆動信号ＣＯＭ、第２駆動信号ＣＯＭの生成方法は、これに限定されない。例えば、各駆動波形（電圧パルス）をそれぞれ所定の吐出周期において、独立して発生させるように、駆動信号生成部４６を構成してもよい。これによれば、各駆動波形を選択する際のラッチ信号ＬＡＴの発生タイミングが、同一となり、駆動波形ごとのわずかな吐出タイミングのずれを解消することができる。
【０１２８】
（変形例６）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、基板Ｗ上の塗布領域Ｅの配置および形状は、これに限定されない。例えば、塗布領域Ｅが方形でもよく、また、同一の液状体が付与される塗布領域Ｅの配置は、ストライプ方式に限らず、モザイク方式、デルタ方式においても、上記液状体の吐出方法を適用することができる。
【０１２９】
（変形例７）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、塗布領域Ｅに液滴Ｄ1から液滴Ｄ4を配置（吐出）する方法は、同一ノズル５２から吐出する方法に限定されない。例えば、液滴Ｄ1から液滴Ｄ4をそれぞれ異なるノズル５２から吐出する場合にも、適用することが可能である。
【０１３０】
（変形例８）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、塗布領域Ｅに配置（吐出）する液滴Ｄの数は、４滴に限定されない。例えば、塗布領域に塗布される液状体を少なくとも１つの液滴Ｄからなる複数の液滴群とする。これによれば、液滴群ごとに塗布量を補正することが可能となる。また、液滴群ごとの塗布量を異なるように補正すれば、一律的な補正を加える場合に比べて、より高精度な補正が可能となる。すなわち、塗布領域における液滴群の配置に応じた補正を行い、ノズル５２の吐出量のばらつきに起因する塗布領域内の液状体の塗布ムラを改善できる。
【０１３１】
（変形例９）上記実施形態２の有機ＥＬ素子の製造方法において、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３は、３色の発光を可能とするものに限定されない。例えば、白色などの単色の発光層を有する場合にも、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用することができる。これによれば、複数の単色有機ＥＬ素子を備えた、照明装置としての有機ＥＬ装置６００を提供することができる。また、白色発光の有機ＥＬ素子と少なくとも３色のカラーフィルタとを組み合わせて、フルカラー表示が可能な表示装置としての有機ＥＬ装置６００を提供することができる。
【０１３２】
（変形例１０）上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用可能なデバイスの製造方法は、上記実施形態２の有機ＥＬ素子の製造方法に限らない。例えば、カラーフィルタの製造方法に適用することができる。着色材料を含む３色の液状体をそれぞれ吐出ヘッド５０に充填し、図８に示した塗布領域Ｅに複数のノズル５２から液滴Ｄとして吐出する吐出工程と、吐出された液状体を固化して、３色の着色層を形成する固化工程とを備える。これによれば、塗布領域Ｅは着色領域であり、３色の着色層を有する高精細なカラーフィルタを製造することができる。なお、液状体の種類は、３色に限定されず、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）を含む多色とし、これに対応するようにヘッドユニット９に搭載される吐出ヘッド５０の数を増やせばよい。カラーフィルタの製造方法以外にも、レンズ材料を含む液状体を用いれば、高精細な光学レンズを基板Ｗ上に形成する光学レンズの製造方法にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３３】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は吐出ヘッドの構造を示す概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図。
【図３】ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】（ａ）および（ｂ）は吐出タイミングを示すタイムチャート。
【図６】駆動波形を示す詳細図。
【図７】液滴の吐出量と飛行速度との関係を示すグラフ。
【図８】（ａ）は基板上の塗布領域を示す概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＨ−Ｈ'線で切った概略断面図。
【図９】（ａ）および（ｂ）は、液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１０】液状体の吐出方法を示すフローチャート。
【図１１】複数のノズルの吐出量と補正方法を示す表。
【図１２】複数のノズルの吐出量における度数分布とノズルランクを示す表。
【図１３】吐出量（％）と中間電位（％）との関係を示すグラフ。
【図１４】ノズルランクと駆動波形の選択との関係を示す表。
【図１５】複数のノズルにおける吐出量の補正前のばらつき（％）と補正後のばらつき（％）を示すグラフ。
【図１６】有機ＥＬ装置の構造を示す概略断面図。
【図１７】（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１８】変形例の補正方法を適用した複数のノズルにおける吐出量の補正前のばらつき（％）と補正後のばらつき（％）を示すグラフ。
【符号の説明】
【０１３４】
５０…吐出ヘッド、５２…ノズル、５２Ａ，５２Ｂ…ノズル列、５９…駆動手段としての振動子、１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ…発光層形成材料を含む液状体、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…塗布領域としての発光層形成領域、Ｅ…塗布領域、Ｖｎ…中間電位、Ｖｐ…最大電位、Ｗ…基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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