(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
与えられる多値データに応じた電圧を出力する多値ドライバ回路であって、
第１の電源電圧および第２の電源電圧を受け取り、与えられる入力データの論理値に応じて選択される前記第１の電源電圧または前記第２の電源電圧に応じた出力電圧を出力する出力ドライバと、
前記多値データに基づいて、前記第１の電源電圧および前記第２の電源電圧の少なくとも一方の電圧値を制御する電源電圧制御部と
を備え、
前記電源電圧制御部は、
前記第１の電源電圧および前記第２の電源電圧を交互に選択させるように、前記入力データの論理値を制御する多値ドライバ回路。
【請求項２】
前記電源電圧制御部は、
前記多値データに基づいて、前記入力データの論理値を制御する
請求項１に記載の多値ドライバ回路。
【請求項３】
前記電源電圧制御部は、
前記第１の電源電圧を生成する第１の電源電圧生成部および前記第２の電源電圧を生成する第２の電源電圧生成部を有し、
前記第１の電源電圧生成部および前記第２の電源電圧生成部のそれぞれは、複数段に渡って設けられた複数の電源ドライバを有し、
それぞれの電源ドライバのうち、
前段に対応する２つの前記電源ドライバが設けられている前記電源ドライバは、当該２つの電源ドライバからハイ側電源電圧およびロー側電源電圧を受け取り、与えられる選択信号に応じて選択した前記ハイ側電源電圧またはロー側電源電圧に応じた電源電圧を出力し、
前段に対応する前記電源ドライバが設けられていない前記電源ドライバは、電源電圧供給線から前記ハイ側電源電圧および前記ロー側電源電圧を受け取り、与えられる選択信号に応じて選択した前記ハイ側電源電圧またはロー側電源電圧に応じた電源電圧を出力する
請求項１または２に記載の多値ドライバ回路。
【請求項４】
前段に対応する前記電源ドライバが設けられていない前記電源ドライバは、ハイ側の前記電源電圧供給線と、ロー側の前記電源電圧供給線との間に直列に設けられた複数の抵抗により分圧された電源電圧を受け取る
請求項３に記載の多値ドライバ回路。
【請求項５】
前記第１の電源電圧生成部および前記第２の電源電圧生成部は、同一構成の前記複数の電源ドライバをそれぞれ有する
請求項３または４に記載の多値ドライバ回路。
【請求項６】
前記電源電圧供給線から前記ハイ側電源電圧および前記ロー側電源電圧を受け取る前記電源ドライバは、単一の段に配置される
請求項３から５のいずれか１項に記載の多値ドライバ回路。
【請求項７】
それぞれの前記電源ドライバは、前記ハイ側電源電圧および前記ロー側電源電圧の差が、同一の段に設けられた他の前記電源ドライバと同一となるように設けられる
請求項３から６のいずれか１項に記載の多値ドライバ回路。
【請求項８】
前記電源電圧制御部は、前記第１の電源電圧および前記第２の電源電圧のそれぞれの電圧値を、共通する複数種類の電圧値のなかから選択する
請求項１から７のいずれか１項に記載の多値ドライバ回路。
【請求項９】
前記電源電圧制御部は、
前記第１の電源電圧を生成する第１の電源電圧生成部と、
前記第２の電源電圧を生成する第２の電源電圧生成部と、
前記出力ドライバが一方の電源電圧生成部を選択している間に、他方の電源電圧生成部に対して、次に前記出力ドライバに供給すべき電源電圧の電圧値を設定する電圧値設定部と
を有する請求項１から７のいずれか１項に記載の多値ドライバ回路。
【請求項１０】
前記出力ドライバおよび複数の前記電源ドライバは、同一の半導体チップ内に設けられる
請求項３から７のいずれか１項に記載の多値ドライバ回路。
【請求項１１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに入力すべき試験信号の論理パターンとして、各ビットが多値の論理値を取りうる多値データを生成するパターン発生部と、
前記多値データの各ビットの論理値に応じた電圧を順次出力することで、前記試験信号を生成する多値ドライバ回路と、
前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力する応答信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記多値ドライバ回路は、
第１の電源電圧および第２の電源電圧を受け取り、与えられる入力データの論理値に応じて選択される前記第１の電源電圧または前記第２の電源電圧に応じた出力電圧を出力する出力ドライバと、
前記多値データに基づいて、前記第１の電源電圧および前記第２の電源電圧の少なくとも一方の電圧値を制御する電源電圧制御部と
を有し、
前記電源電圧制御部は、
前記第１の電源電圧および前記第２の電源電圧を交互に選択させるように、前記入力データの論理値を制御する試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多値ドライバ回路および試験装置に関する。本発明は、特に、与えられる多値データに応じた電圧を出力する多値ドライバ回路、および、与えられる多値データの論理値に応じた電圧の試験信号を生成する多値ドライバ回路を備えて被試験デバイスを試験する試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣあるいはＬＳＩ等の半導体集積回路を試験する装置として、試験対象の被試験デバイスに所定の試験信号を入力し、被試験デバイスからの応答信号を測定することにより、被試験デバイスの良否を判定する試験装置が知られている（例えば特許文献１を参照）。このような試験装置は、試験パターンに基づいて生成される試験信号を被試験デバイスに入力したときに被試験デバイスが出力する応答信号の論理パターンが、上記試験パターンに対応する期待値と一致するか否かを判定することにより、被試験デバイスの動作が正常か否かを試験することができる。
【０００３】
例えば下記特許文献１に記載された試験装置では、被試験デバイスと装置本体とが、所謂シングルトランスミッション配線方式により接続されている。したがって、被試験デバイスに入力する試験信号および被試験デバイスから出力される応答信号は、同じ伝送路上を伝播する。上記特許文献１に記載された試験装置は、与えられる試験パターンに応じてハイ側電圧およびロー側電圧の一方を被試験デバイスに対して出力する出力ドライバを備える。
【特許文献１】特開２００６−２３２３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、試験対象とする被試験デバイスのなかには、多値の試験信号、例えば８つの異なる電圧レベルの試験信号により試験すべきものがある。しかしながら、上記試験装置は、出力ドライバがハイまたはローの２値の試験信号しか出力できないので、このような被試験デバイスを試験することができなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、与えられる多値データに応じた電圧を出力する多値ドライバ回路であって、第１の電源電圧および第２の電源電圧を受け取り、与えられる入力データの論理値に応じて選択される前記第１の電源電圧または前記第２の電源電圧に応じた出力電圧を出力する出力ドライバと、前記多値データに基づいて、前記第１の電源電圧および前記第２の電源電圧の少なくとも一方の電圧値を制御する電源電圧制御部とを備える多値ドライバ回路が提供される。
【０００６】
また、本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、前記被試験デバイスに入力すべき試験信号の論理パターンとして、各ビットが多値の論理値を取りうる多値データを生成するパターン発生部と、前記多値データの各ビットの論理値に応じた電圧を順次出力することで、前記試験信号を生成する多値ドライバ回路と、前記被試験デバイスが前記試験信号に応じて出力する応答信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備え、前記多値ドライバ回路は、第１の電源電圧および第２の電源電圧を受け取り、与えられる入力データの論理値に応じて選択される前記第１の電源電圧または前記第２の電源電圧に応じた出力電圧を出力する出力ドライバと、前記多値データに基づいて、前記第１の電源電圧および前記第２の電源電圧の少なくとも一方の電圧値を制御する電源電圧制御部とを有する試験装置が提供される。
【０００７】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００９】
図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１０の全体構成を示す。試験装置１０は、ＩＣおよびＬＳＩ等の被試験デバイス９００を試験する装置である。この試験装置１０は、例えば所定の試験プログラムを実行することにより、当該試験プログラムに対応する多値の試験パターンに基づいて生成される試験信号を被試験デバイス９００に供給し、当該被試験デバイス９００からの応答信号の論理値と、上記試験パターンに対応する期待値とを比較した結果に基づいて、被試験デバイス９００の良否を判定する。
【００１０】
試験装置１０は、制御装置２０と、タイミング発生部３０と、パターン発生部４０と、波形成形部５０と、基準電圧源６０と、多値ドライバ回路７０と、比較部８０と、判定部９０とを備える。多値ドライバ回路７０および比較部８０は、共通の伝送線路８００を介して被試験デバイス９００の端子９１０と電気的に接続される。
【００１１】
制御装置２０は、タイミング発生部３０およびパターン発生部４０などを制御する。この制御装置２０は、例えば利用者による入力を受け付けるキーボード、および試験プログラムの実行結果等を表示するディスプレイ等を有するコンピュータシステムであってよい。
【００１２】
タイミング発生部３０は、被試験デバイス９００の試験をする試験周期を示す周期信号１０１Ｓ、各試験周期内における所定のタイミングを示すタイミング信号１０２Ｓ、被試験デバイス９００に試験信号１０５Ｓを入力するタイミング等を示すタイミング信号１０８Ｓ、および被試験デバイス９００からの応答信号１０６Ｓの検出タイミングを示すタイミング信号１０９Ｓを発生する。そして、タイミング発生部３０は、周期信号１０１Ｓをパターン発生部４０および判定部９０に、タイミング信号１０２Ｓを波形成形部５０に、タイミング信号１０８Ｓを多値ドライバ回路７０に、タイミング信号１０９Ｓを比較部８０にそれぞれ供給する。
【００１３】
パターン発生部４０は、制御装置２０から供給される試験プログラムを実行する。そして、パターン発生部４０は、タイミング発生部３０から供給される周期信号１０１Ｓに基づいて、例えば試験内容に応じて被試験デバイス９００に入力すべき試験信号１０５Ｓの論理パターンを含む試験パターン１０３Ｄを生成する。そして、パターン発生部４０は、生成した試験パターン１０３Ｄを波形成形部５０に送る。本実施形態において、パターン発生部４０は、多値の論理値を取り得る多値データが配列された試験パターン１０３Ｄを生成してよい。以下、多値データが０〜７の値をとる場合を例として説明する。
【００１４】
パターン発生部４０は、さらに、タイミング発生部３０から供給される周期信号１０１Ｓに基づいて、被試験デバイス９００に試験信号１０５Ｓを供給したときに被試験デバイス９００が出力すべき応答信号１０６Ｓの論理値（期待値）を含む期待値パターン１０６Ｄを生成する。パターン発生部４０は、生成した期待値パターン１０６Ｄを判定部９０に送る。
【００１５】
波形成形部５０は、タイミング発生部３０から供給されるタイミング信号１０２Ｓ、および、パターン発生部４０から送られる試験パターン１０３Ｄに基づいて、試験パターン信号１０４Ｓを生成し、多値ドライバ回路７０に送る。具体的には、波形成形部５０は、タイミング信号１０２Ｓのタイミングに応じて試験パターン１０３Ｄの多値データが切り替わる試験パターン信号１０４Ｓに変換し、多値ドライバ回路７０に送る。
【００１６】
基準電圧源６０は、所定レベルの電圧を発生する電圧源であり、当該電圧を後述する電源電圧供給線６１、６２を介して多値ドライバ回路７０に供給する。以下において、基準電圧源６０が多値ドライバ回路７０に供給する電圧を供給電圧と称する。基準電圧源６０は、例えば一定レベルの電圧を安定的に供給することのできる直流電圧源であってよい。
【００１７】
多値ドライバ回路７０は、基準電圧源６０から供給される電圧に基づいて、波形成形部５０から送られる試験パターン信号１０４Ｓにおける多値データの各論理値に応じた電圧レベルを有する試験信号１０５Ｓを生成する。そして、多値ドライバ回路７０は、生成した試験信号１０５Ｓを伝送線路８００を介して被試験デバイス９００の端子９１０に出力する。本例において、多値ドライバ回路７０は、タイミング発生部３０から供給されるタイミング信号１０８Ｓのタイミングに基づいて、試験パターン信号１０４Ｓにおける各論理値に応じたレベルの電圧を順次出力することで試験信号１０５Ｓを生成してよい。
【００１８】
比較部８０は、伝送線路８００を介して多値ドライバ回路７０と共通に被試験デバイス９００の端子９１０に対して電気的に接続される。比較部８０は、例えばコンパレータおよびラッチ回路等を有し、被試験デバイス９００の端子９１０から伝送線路８００を介して与えられる応答信号１０６Ｓの論理値を、タイミング発生部３０から供給されるタイミング信号１０９Ｓのタイミングに基づいて検出するとともに、当該論理値を当該タイミングで取り込む。そして、比較部８０は、取り込んだ応答信号１０６Ｓの論理値のパターンデータ１０７Ｓを判定部９０に送る。
【００１９】
判定部９０は、パターン発生部４０から送られる期待値パターン１０６Ｄにおける期待値と、比較部８０から送られるパターンデータ１０７Ｓの論理値とを、例えばタイミング発生部３０から供給される周期信号１０１Ｓの試験周期毎に比較する。そして、判定部９０は、パターンデータ１０７Ｓの論理値が期待値パターン１０６Ｄの期待値と一致したか否かに基づいて応答信号１０６Ｓの良否を判定する。
【００２０】
図２は、多値ドライバ回路７０の構成を示す。多値ドライバ回路７０は、電源電圧制御部２００と、出力ドライバ２３０と、出力側抵抗２８０と、分圧抵抗２９０とを備える。
【００２１】
電源電圧制御部２００は、基準電圧源６０からの供給電圧に基づいて、波形成形部５０から受け取った試験パターン信号１０４Ｓにおける多値データの各論理値に応じた電源電圧（以下、「多値データに応じた電源電圧」と称する）を生成する。そして、電源電圧制御部２００は、生成した電源電圧を出力ドライバ２３０のハイ側またはロー側に供給する。
【００２２】
出力ドライバ２３０は、電源電圧制御部２００からハイ側またはロー側に供給される電源電圧を選択して出力する。出力側抵抗２８０は、伝送線路８００の特性インピーダンスに応じた抵抗値を有する。したがって、本実施形態において、多値ドライバ回路７０の出力インピーダンスと伝送線路８００の特性インピーダンスとが整合される。
【００２３】
分圧抵抗２９０は、電源電圧供給線６１と電源電圧供給線６２との間を接続する配線上に設けられ、基準電圧源６０からの供給電圧を分圧する。なお、本実施形態において、基準電圧源６０からの供給電圧における分圧抵抗２９０にかかる電圧を除く電圧は、当該分圧抵抗２９０の電源電圧供給線６１側と電源電圧供給線６２側とに等しく分配されてよい。以下において、分圧抵抗２９０よりも電源電圧供給線６１側の電圧を「第１供給電圧」と称し、電源電圧供給線６２側の電圧を「第２供給電圧」と称する。また、第１供給電圧の大きさは所定の基準電圧以上であり、さらに、第２供給電圧の大きさは当該所定の基準電圧より小さくてよい。一例として、各供給電圧は、例えば０Ｖを中心とした正負の電圧であってよい。
【００２４】
電源電圧制御部２００は、第１の電源電圧生成部２０１、第２の電源電圧生成部２０２、および電圧値設定部２０３を有する。
【００２５】
第１の電源電圧生成部２０１は、複数段に渡って設けられた複数の電源ドライバ２１０（２１０（１／１）、２１０（１／２）、２１０（２／１））、および、複数の抵抗２６０（２６０−１、２６０−２、２６０−３）を含む。この第１の電源電圧生成部２０１は、所定の基準電圧以上の範囲で電圧値を制御して第１の電源電圧を生成し、出力ドライバ２３０のハイ側に供給する。
【００２６】
以下の説明において、「電源ドライバ（ａ／ｂ）」と称する電源ドライバは、前段（ａ−１段目）に設けられた２つの電源ドライバがそれぞれハイ側およびロー側に接続された「ａ段目」の電源ドライバのうち、図２において上から「ｂ番目」の電源ドライバを示す。また、出力ドライバ２３０および各電源ドライバのハイ側は、図２においてそれぞれのドライバを示す記号に「＋」を付して示し、ロー側は、当該記号に「−」を付して示す。
【００２７】
複数の抵抗２６０は、電源電圧供給線６１と電源電圧供給線６２との間を接続する配線上における電源電圧供給線６１と分圧抵抗２９０との間に直列に設けられ、第１供給電圧を分圧する。これら複数の抵抗２６０のそれぞれは、例えば分圧抵抗２９０と略等しい抵抗値を有してよく、また、互いに略等しい大きさの抵抗値を有してよい。
【００２８】
電源ドライバ２１０（１／１）および電源ドライバ２１０（１／２）は、複数の抵抗２６０が設けられた配線に最も近い側である１段目に配される。電源ドライバ２１０（１／１）のハイおよびローの各入力側は、抵抗２６０−１の両端に接続される。また、電源ドライバ２１０（１／２）のハイおよびローの各入力側は、抵抗２６０−３の両端に接続される。したがって、電源ドライバ２１０（１／１）のローの入力側、および電源ドライバ２１０（１／２）のハイの入力側は、抵抗２６０−２の両端に接続される。
【００２９】
電源ドライバ２１０（２／１）は、２段目に配され、そのハイおよびローの各入力側は、１段目に配される２つの電源ドライバ２１０（１／１）、２１０（１／２）のそれぞれの出力側に接続される。また、電源ドライバ２１０（２／１）の出力側は、出力ドライバ２３０のハイ側に接続される。
【００３０】
一方、第２の電源電圧生成部２０２は、複数段に渡って設けられた複数の電源ドライバ２２０（２２０（１／１）、２２０（１／２）、２２０（２／１））、および、複数の抵抗２７０（２７０−１、２７０−２、２７０−３）を含む。この第２の電源電圧生成部２０２は、上記所定の基準電圧より小さい範囲で電圧値を制御して第２の電源電圧を生成し、出力ドライバ２３０のロー側に供給する。
【００３１】
複数の抵抗２７０は、電源電圧供給線６１と電源電圧供給線６２との間を接続する配線上における電源電圧供給線６２と分圧抵抗２９０との間に直列に設けられ、第２供給電圧を分圧する。これら複数の抵抗２７０は、例えば略等しい大きさの抵抗値を有してよい。
【００３２】
電源ドライバ２２０（１／１）および電源ドライバ２２０（１／２）は、複数の抵抗２７０が設けられた配線に最も近い側である１段目に配される。電源ドライバ２２０（１／１）のハイおよびローの各入力側は、抵抗２７０−１の両端に接続される。また、電源ドライバ２２０（１／２）のハイおよびローの各入力側は、抵抗２７０−３の両端に接続される。したがって、電源ドライバ２２０（１／１）のローの入力側、および電源ドライバ２２０（１／２）のハイの入力側は、抵抗２７０−２の両端に接続される。
【００３３】
電源ドライバ２２０（２／１）は、２段目に配され、そのハイおよびローの各入力側は、電源ドライバ２２０（１／１）、２２０（１／２）それぞれの出力側に接続される。また、電源ドライバ２２０（２／１）の出力側は出力ドライバ２３０のハイ側に接続される。
【００３４】
電源ドライバ２２０（２／１）は、２段目として配され、そのハイおよびローの各入力側は、１段目に配される２つの電源ドライバ２２０（１／１）、２２０（１／２）のそれぞれの出力側に接続される。また、電源ドライバ２２０（２／１）の出力側は、出力ドライバ２３０のロー側に接続される。
【００３５】
このように、多値ドライバ回路７０の第１の電源電圧生成部２０１および第２の電源電圧生成部２０２は、ともに３つの電源ドライバが２段に配された対称かつ同一構成をとってよい。また、多値ドライバ回路７０において、出力ドライバ２３０および複数の電源ドライバ２１０、２２０は、同一の半導体チップ５００内に設けられてよい。
【００３６】
電圧値設定部２０３は、波形成形部５０、並びに、第１の電源電圧生成部２０１および第２の電源電圧生成部２０２の各電源ドライバ２１０、２２０とそれぞれ接続する。この電圧値設定部２０３は、波形成形部５０からの試験パターン信号１０４Ｓの値をタイミング発生部３０からのタイミング信号１０８Ｓのタイミングで受け取る。そして、電圧値設定部２０３は、受け取った値に応じた電圧値を、第１の電源電圧生成部２０１または第２の電源電圧生成部２０２に生成させる。また、電圧値設定部２０３は、第１の電源電圧生成部２０１または第２の電源電圧生成部２０２が生成した上記電圧値を出力ドライバ２３０に選択させる。
【００３７】
本実施形態において、試験パターン信号１０４Ｓは、０〜７の異なる８つの値を取り得る。また、基準電圧源６０からの供給電圧により、複数の抵抗２６０、２７０のそれぞれの両端、すなわち、図２に「Ａ」、「Ｂ」、「Ｃ」、「Ｄ」、「Ｅ」、「Ｆ」、「Ｇ」、「Ｈ」で示す位置における電圧値は、それぞれＶ０、Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ５、Ｖ６、Ｖ７となる。
【００３８】
なお、それぞれの電圧値Ｖ０〜Ｖ７は、試験パターン信号１０４Ｓにおける０〜７の各値に応じて出力ドライバ２３０が試験信号１０５Ｓとして出力すべき電圧値と略等しくてよい。また、電圧値Ｖ０〜Ｖ３は、上記基準電圧の大きさより小さい電圧値であり、電圧値Ｖ４〜Ｖ７は、上記基準電圧の大きさ以上の電圧値であってよい。
【００３９】
電源ドライバ２１０（１／１）は、Ｖ７の電圧値をハイ側電源電圧として受け取り、Ｖ６の電圧値をロー側電源電圧として受け取る。また、同様に、電源ドライバ２１０（１／２）、電源ドライバ２２０（１／１）、電源ドライバ２２０（１／２）のそれぞれは、Ｖ５、Ｖ３、Ｖ１の電圧値をハイ側電源電圧として受け取り、Ｖ４、Ｖ２、Ｖ０の電圧値をロー側電源電圧として受け取る。
【００４０】
電圧値設定部２０３は、例えば、波形成形部５０から受け取った試験パターン信号１０４Ｓの値が上記基準電圧の大きさ以上の電圧値に対応する値であるか、あるいは上記基準電圧の大きさより小さい電圧値に対応する値であるかに応じて、第１の電源電圧生成部２０１または第２の電源電圧生成部２０２に何れかに電源電圧を生成させるための選択信号を送る。
【００４１】
例えば、電圧値設定部２０３は、試験パターン信号１０４Ｓの値が４〜７の何れかである場合、その値に応じた第１の電源電圧を生成させるための選択信号１２１Ｓ、１２２Ｓを第１の電源電圧生成部２０１に送る。また、電圧値設定部２０３は、試験パターン信号１０４Ｓの値が０〜３の何れかである場合、その値に応じた第２の電源電圧を生成させるための選択信号１３１Ｓ、１３２Ｓを第２の電源電圧生成部２０２に送る。
【００４２】
図３は、電圧値設定部２０３が第１の電源電圧生成部２０１に送る選択信号１２１Ｓ、１２２Ｓ、および、第２の電源電圧生成部２０２に送る選択信号１３１Ｓ、１３２Ｓの真理値表を示す。電圧値設定部２０３は、例えば電圧値設定部２０３が受け取った試験パターン信号１０４Ｓの値が７である場合、電源ドライバ２１０（１／１）に対して、論理Ｈの選択信号１２１Ｓを送る。
【００４３】
電源ドライバ２１０（１／１）は、論理Ｈの選択信号１２１Ｓを受け取ったことに応じてハイ側電源電圧Ｖ７を選択する。そして、電源ドライバ２１０（１／１）は、ハイ側電源電圧Ｖ７を電源ドライバ２１０（２／１）のハイ側に出力する。
【００４４】
また、電圧値設定部２０３は、電源ドライバ２１０（２／１）に対して、論理Ｈの選択信号１２２Ｓを送る。電源ドライバ２１０（２／１）は、論理Ｈの選択信号１２２Ｓを受け取ったことに応じて、電源ドライバ２１０（１／１）からハイ側に与えられる電源電圧Ｖ７を選択する。そして、電源ドライバ２１０（２／１）は、選択した電源電圧Ｖ７を出力ドライバ２３０のハイ側に出力する。
【００４５】
また、電圧値設定部２０３は、出力ドライバ２３０に対して、論理Ｈの出力選択信号１１３Ｓを送る。出力ドライバ２３０は、論理Ｈの出力選択信号１１３Ｓを受け取ったことに応じて、電源ドライバ２１０（２／１）からハイ側に与えられる電源電圧Ｖ７を選択する。そして、出力ドライバ２３０は、選択した電源電圧Ｖ７に応じた大きさの出力電圧を試験信号１０５Ｓとして被試験デバイス９００の端子９１０に出力する。
【００４６】
なお、電圧値設定部２０３は、電源ドライバ２１０（１／２）に対しては、論理Ｈまたは論理Ｌの何れの論理値の選択信号１２１Ｓを送っても試験信号１０５Ｓの出力電圧に影響を与えない。したがって、図３において電源ドライバ２１０（１／２）への選択信号１２１Ｓの論理値を「−」（「ｄｏｎ'ｔ  ｃａｒｅ」を意味する）で示す。また、同様に、図３において電源ドライバ２２０（１／１）、２２０（１／２）への選択信号１３１Ｓの論理値、および、電源ドライバ２２０（２／１）への選択信号１３２Ｓの論理値を「−」で示す。
【００４７】
試験パターン信号１０４Ｓの値が０〜６である場合における選択信号１２１Ｓ、１２２Ｓ、１３１Ｓ、１３２Ｓの論理値およびこれらの選択信号が何れの電源ドライバに送られるかについては図３に示すとおりである。また、これらの場合における各電源ドライバおよび出力ドライバ２３０の動作は上記と同様であり説明を省略する。
【００４８】
このように、本実施形態の試験装置１０は、２値ドライバを組み合わせることにより、多値データが与えられた場合にその各値に応じた大きさの電圧を最終段から出力する多値ドライバ回路７０を備える。したがって、多値データが配列された試験パターン１０３Ｄに応じた電圧レベルの試験信号１０５Ｓを生成して被試験デバイス９００を試験することができる。
【００４９】
なお、本実施形態では、多値ドライバ回路７０における電源ドライバ２１０（１／１）、２１０（１／２）、２２０（１／１）、２２０（１／２）のそれぞれは、基準電圧源６０からの供給電圧が複数の抵抗２６０、２７０により分圧された電圧をハイ側電源電圧およびロー側電源電圧として受け取るが、これに限られない。本実施形態の他の例として、これらの電源ドライバ２１０（１／１）、２１０（１／２）、２２０（１／１）、２２０（１／２）の少なくとも一つの電源ドライバが、基準電圧源６０とは異なる別個の電圧源からハイ側電源電圧およびロー側電源電圧を受け取ってもよい。
【００５０】
図４は、本実施形態の変形例に係る多値ドライバ回路７１の構成の一部を示す。多値ドライバ回路７１は、本実施形態の試験装置１０が多値ドライバ回路７０に替えて備え得る回路の一例であり、より多くの段数にわたって多数の電源ドライバが配された第１の電源電圧生成部３０１および第２の電源電圧生成部３０２と、電圧値設定部３０３とを含む電源電圧制御部３００を有する。なお、多値ドライバ回路７１において、第１の電源電圧生成部３０１および第２の電源電圧生成部３０２は互いに対称な構成を有するので、図４において、第２の電源電圧生成部３０２の詳細な構成の図示は省略する。
【００５１】
多値ドライバ回路７１において、第２の電源電圧生成部３０２は、第１の電源電圧生成部３０１と対称な構成であるので図示および説明を一部省略する。また、電圧値設定部３０３は、上記多値ドライバ回路７０の電源電圧制御部２００における電圧値設定部２０３と略同様の機能を有するので当該電圧値設定部３０３に関する説明を省略する。
【００５２】
多値ドライバ回路７１の第１の電源電圧生成部２０１は、ｎ段にわたって電源ドライバが配される。例えば、電源電圧供給線６１と電源電圧供給線６２との間を接続する配線上に直列に設けられる複数の抵抗３６０（３６０−１、３６０−２、・・・、３６０−２ｎ）に最も近い側である１段目には、２ｎ個の電源ドライバ３１０（１／１）、３１０（１／２）、・・・、３１０（１／２ｎ）が配される。また、ｎ段目には、１個の電源ドライバ３１０（ｎ／１）が配される。また、この電源ドライバ３１０（ｎ／１）の出力側は、出力ドライバ２３０のハイ側に接続される。また、多値ドライバ回路７１において、出力ドライバ２３０および複数の電源ドライバ電源ドライバ３１０は、同一の半導体チップ５０１内に設けられてよい。
【００５３】
このような多値ドライバ回路７１を備えた試験装置１０によれば、最大で２ｎ＋１種類の異なる電圧レベルの試験信号１０５Ｓで被試験デバイス９００を試験することができる。なお、本実施形態の試験装置１０は、上記多値ドライバ回路７０、７１に替えて、第１の電源電圧生成部２０１および第２の電源電圧生成部２０２がそれぞれ異なる数および異なる段数の複数の電源ドライバを有する多値ドライバ回路を備えてもよい。
【００５４】
図５は、本実施形態のさらに他の変形例に係る多値ドライバ回路７２の構成の一部を示す。多値ドライバ回路７２は、本実施形態の試験装置１０が多値ドライバ回路７０に替えて備え得る回路の他の一例であり、試験信号の電圧値を試験周期毎に異なる電源電圧生成部で交互に生成して出力する。多値ドライバ回路７２において、多値ドライバ回路７０と同じ構成については、同じ符号を付してその説明を省略する。
【００５５】
多値ドライバ回路７２は、第１の電源電圧生成部４０１、第２の電源電圧生成部４０２、および電圧値設定部４０３を有する電源電圧制御部４００を備える。
【００５６】
第１の電源電圧生成部４０１において、複数の抵抗２６０は、電源電圧供給線６１と電源電圧供給線６２との間を接続する配線上に直列に設けられ、電源電圧供給線６１と電源電圧供給線６２との間にかかる第１供給電圧を分圧する。また、第２の電源電圧生成部４０２において、複数の抵抗２７０は、電源電圧供給線６３と電源電圧供給線６４との間を接続する配線上に直列に設けられ、電源電圧供給線６３と電源電圧供給線６４との間にかかる第２供給電圧を分圧する。本例において、第１供給電圧の大きさと第２供給電圧の大きさは等しくてよい。また、複数の抵抗２６０、２７０は、それぞれ略等しい大きさの抵抗値を有してよい。
【００５７】
電圧値設定部４０３は、波形成形部５０、並びに、第１の電源電圧生成部４０１および第２の電源電圧生成部４０２の各電源ドライバ２１０、２２０とそれぞれ接続する。波形成形部５０は、本例において、０〜３の４つの異なる値を取り得る試験パターン信号１５１Ｓおよび試験パターン信号１５２Ｓを電圧値設定部４０３に送る。
【００５８】
本例において、波形成形部５０は、試験信号１５５Ｓの周期毎の論理パターンが交互に配列された試験パターン信号１５１Ｓおよび試験パターン信号１５２Ｓを電圧値設定部４０３に送ってよい。具体的には、波形成形部５０は、試験信号１５５Ｓにおける奇数周期の論理パターンが配列された試験パターン信号１５１Ｓ、および、試験信号１５５Ｓにおける偶数周期の論理パターンが配列された試験パターン信号１５２Ｓを電圧値設定部４０３に送ってよい。
【００５９】
また、波形成形部５０は、試験パターン信号１５１Ｓおよび試験パターン信号１５２Ｓを、試験信号１５５Ｓの周期毎に一方の論理パターンが交互に切り替わるようにパターンデータを配列して電圧値設定部４０３に送ってよい。
【００６０】
電圧値設定部４０３は、波形成形部５０からの試験パターン信号１５１Ｓおよび試験パターン信号１５２Ｓの値をタイミング発生部３０からのタイミング信号１０８Ｓにおける異なるタイミングで受け取る。そして、電圧値設定部４０３は、試験パターン信号１５１Ｓの値を受け取ると、その値に応じた電圧値を第１の電源電圧生成部４０１に生成させる。また、電圧値設定部４０３は、試験パターン信号１５２Ｓの値を受け取ると、その値に応じた電圧値を第２の電源電圧生成部４０２に生成させる。
【００６１】
具体的には、電圧値設定部４０３は、タイミング信号１０８Ｓのタイミング毎に試験パターン信号１５１Ｓの値と試験パターン信号１５２Ｓの値とを交互に受け取り、試験パターン信号１５１Ｓの値に応じた電圧値を第１の電源電圧生成部４０１に生成させるとともに、試験パターン信号１５２Ｓの値に応じた電圧値を第２の電源電圧生成部４０２に生成させる。
【００６２】
そして、電圧値設定部４０３は、出力ドライバ２３０に対して出力選択信号１６３Ｓを送り、第１の電源電圧生成部４０１または第２の電源電圧生成部４０２が一のタイミングにおいて生成した上記電圧値を次のタイミングで出力ドライバ２３０に選択させる。具体的には、電圧値設定部４０３は、試験パターン信号１５１Ｓの値に応じた電圧値を第１の電源電圧生成部４０１に生成させたタイミングでは、論理Ｌの出力選択信号１６３Ｓを送り、当該タイミングの一つ前のタイミングで第２の電源電圧生成部４０２に生成させた電圧値を出力ドライバ２３０に選択させる。
【００６３】
また、電圧値設定部４０３は、試験パターン信号１５２Ｓの値に応じた電圧値を第２の電源電圧生成部４０２に生成させたタイミングでは、論理Ｈの出力選択信号１６３Ｓを送り、当該タイミングの一つ前のタイミングで第１の電源電圧生成部４０１に生成させた電圧値を出力ドライバ２３０に選択させる。出力ドライバ２３０は、第１の電源電圧生成部４０１および第２の電源電圧生成部４０２を交互に選択して受け取った電圧値を試験信号１５５Ｓとして被試験デバイス９００の端子９１０に出力する。
【００６４】
本実施形態の試験装置１０は、このような多値ドライバ回路７２を備えることにより、第１の電源電圧生成部４０１および第２の電源電圧生成部４０２において試験信号１５５Ｓの周期毎の電圧値を生成するチャージ時間を十分に取ることができる。
【００６５】
なお、本例では、チャージ時間は試験信号１５５Ｓの略１周期分であるが、これに限られない。すなわち、電源電圧生成部を３つ以上に増やすとともに、電圧値設定部４０３が試験信号１５５Ｓの周期毎に各電源電圧生成部に電圧値を生成させることにより、より長いチャージ時間を確保することができる。
【００６６】
また、本例では、試験装置１０は、４つの異なる値が与えられた場合にその各値に応じた大きさの電圧を出力することができるが、電源電圧生成部が備える電源ドライバの段数を増やすことにより、さらに多くの値を取り得る多値データに対応した電圧レベルの試験信号を生成して被試験デバイス９００を試験することができる。
【００６７】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施形態に係る試験装置１０の全体構成を示す。
【図２】多値ドライバ回路７０の構成を示す。
【図３】電圧値設定部２０３が第１の電源電圧生成部２０１に送る選択信号１２１Ｓ、１２２Ｓ、および、第２の電源電圧生成部２０２に送る選択信号１３１Ｓ、１３２Ｓの真理値表を示す。
【図４】本実施形態の変形例に係る多値ドライバ回路７１の構成の一部を示す。
【図５】本実施形態のさらに他の変形例に係る多値ドライバ回路７２の構成を示す。
【符号の説明】
【００６９】
１０  試験装置
２０  制御装置
３０  タイミング発生部
４０  パターン発生部
５０  波形成形部
６０  基準電圧源
６１、６２、６３、６４  電源電圧供給線
７０、７１、７２  多値ドライバ回路
８０  比較部
９０  判定部
２００、３００、４００  電源電圧制御部
２０１、３０１、４０１  第１の電源電圧生成部
２０２、３０２、４０２  第２の電源電圧生成部
２０３、３０３、４０３  電圧値設定部
２１０、２２０、３１０  電源ドライバ
２３０  出力ドライバ
２６０、２７０、３６０  抵抗
２８０  出力側抵抗
２９０  分圧抵抗
５００、５０１  半導体チップ
８００  伝送線路
９００  被試験デバイス
９１０  端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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