(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイシングされたウェハをシートに貼付した状態で支持する部品保持冶具をマガジン内に収納し、このマガジンから取出された部品保持冶具をテーブルに取り付けて、この部品保持冶具から供給される部品を部品保持具がワーク上に実装する部品実装方法において、
前記テーブルに取り付けられた前記保持治具に支持されたウェハから全部品の取出が終了した場合に、マガジン内の新たな部品保持冶具を取出して前記テーブルに取り付け、
このテーブルに取り付けられた前記部品保持冶具に支持されたウェハから取出された部品を前記部品保持具によりワーク上に実装し、
前記マガジンから取出した前記部品保持冶具の前記マガジン内での段数を第１記憶装置に記憶し、
現在記憶している第２記憶装置の段数と前記第１記憶装置が記憶している段数とを比較し、
この比較により一致していない場合には、前記第１記憶装置の段数を前記第２記憶装置に転送して記憶し、
この記憶した段数をインデックスとして、現在実装中のワークのシリアル番号を第３の記憶装置に保存する
ことを特徴とする部品実装方法。
【請求項２】
ダイシングされたウェハをシートに貼付した状態で支持する部品保持冶具をマガジン内に収納し、このマガジンから取出された部品保持冶具をテーブルに取り付けて、この部品保持冶具から供給される部品を部品保持具がワーク上に実装する部品実装方法において、
前記テーブルに取り付けられた前記保持治具に支持されたウェハから全部品の取出が終了した場合に、マガジン内の新たな部品保持冶具を取出した際に、取出した前記部品保持冶具の前記マガジン内での段数を第１記憶装置に記憶し、
前記部品保持具が前記部品保持冶具に支持されたウェハから部品を吸着して取出し、第１記憶装置に記憶している前記段数を第２記憶装置に転送して記憶して、前記部品保持具が保持している部品をワーク上に実装し、
現在記憶している第３記憶装置の段数と前記第２記憶装置が記憶している段数とを比較し、
この比較により一致していない場合には、前記第２記憶装置の段数を前記第３記憶装置に転送して記憶した段数をインデックスとして、現在実装中のワークのシリアル番号を第４の記憶装置に保存する
ことを特徴とする部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングされたウェハをシートに貼付した状態で支持する部品保持冶具をマガジン内に収納し、このマガジンから取出された部品保持冶具をテーブルに取り付けて、この部品保持冶具から供給される部品を部品保持具がワーク上に実装する部品実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の部品実装方法は、例えば特許文献１などに開示されているが、ウェハが貼付されたシートが取付けられたウェハリング（部品保持冶具）を複数段収納するマガジンから取出してテーブルに支持し、このテーブルからダイシングされたダイなどのチップ部品（部品）を取出してワーク上に実装するが、どのワーク上にどのウェハから取出されたチップ部品が実装されたものかは把握していないのが一般的である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１０５３５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このため、例えば前記ワークに不具合が発生した場合に、どのウェハから取出されて実装されたチップ部品であるのかが、把握できないので、不具合の原因究明に相当な時間が掛かるという問題がある。
【０００５】
そこで本発明は、どのウェハから取出されて実装された部品であるのかを把握し、もって生産効率の向上を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このため第１の発明は、ダイシングされたウェハをシートに貼付した状態で支持する部品保持冶具をマガジン内に収納し、このマガジンから取出された部品保持冶具をテーブルに取り付けて、この部品保持冶具から供給される部品を部品保持具がワーク上に実装する部品実装方法において、
前記テーブルに取り付けられた前記保持治具に支持されたウェハから全部品の取出が終了した場合に、マガジン内の新たな部品保持冶具を取出して前記テーブルに取り付け、
このテーブルに取り付けられた前記部品保持冶具に支持されたウェハから取出された部品を前記部品保持具によりワーク上に実装し、
前記マガジンから取出した前記部品保持冶具の前記マガジン内での段数を第１記憶装置に記憶し、
現在記憶している第２記憶装置の段数と前記第１記憶装置が記憶している段数とを比較し、
この比較により一致していない場合には、前記第１記憶装置の段数を前記第２記憶装置に転送して記憶し、
この記憶した段数をインデックスとして、現在実装中のワークのシリアル番号を第３の記憶装置に保存する
ことを特徴とする。
【０００７】
第２の発明は、ダイシングされたウェハをシートに貼付した状態で支持する部品保持冶具をマガジン内に収納し、このマガジンから取出された部品保持冶具をテーブルに取り付けて、この部品保持冶具から供給される部品を部品保持具がワーク上に実装する部品実装方法において、
前記テーブルに取り付けられた前記保持治具に支持されたウェハから全部品の取出が終了した場合に、マガジン内の新たな部品保持冶具を取出した際に、取出した前記部品保持冶具の前記マガジン内での段数を第１記憶装置に記憶し、
前記部品保持具が前記部品保持冶具に支持されたウェハから部品を吸着して取出し、第１記憶装置に記憶している前記段数を第２記憶装置に転送して記憶して、前記部品保持具が保持している部品をワーク上に実装し、
現在記憶している第３記憶装置の段数と前記第２記憶装置が記憶している段数とを比較し、
この比較により一致していない場合には、前記第２記憶装置の段数を前記第３記憶装置に転送して記憶した段数をインデックスとして、現在実装中のワークのシリアル番号を第４の記憶装置に保存する
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、どのウェハから取出されて実装されたチップ部品であるのかを把握でき、もって生産効率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】部品実装装置の概略図を示す。
【図２】部品実装装置の制御ブロック図である。
【図３】フローチャートを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、各電子部品を被実装部材であるプリント基板或いはリードフレームなどに実装する部品実装装置について、説明する。図１は部品実装装置１の概略図であり、部品実装装置１には各部品が実装される被実装部材である基板や、リードフレームなどのワーク２をＸ軸方向に案内する搬送シュート３に沿って搬送する搬送装置が設けられている。前記搬送装置は、前記搬送シュート３上の各ワーク２に係止して移動させるために所定間隔毎に複数の送り爪を備えたトランスファと、このトランスファを所定長さの１ピッチずつ往復動させる往復駆動源２０と、トランスファを支持ピンを支点として下方へ揺動させて送り爪をワーク２に係止させると共にこの係止後に前記往復駆動源２０によりトランスファを１ピッチ往動作により移動させた後に上方へ揺動させてワーク２と送り爪との係止を解除する揺動駆動源２１とを備えている。
【００１１】
また、多数の部品が集合した部品群であるダイシングされた半導体ウェハ（以下、「ウェハ」といい、このウェハから取出されるダイなどのチップ部品を以下「部品」という。）はシートに貼付されて状態でウェハリング４（部品保持冶具である）に取り付けられて、ウェハテーブル（図示せず）に支持されている。
【００１２】
そして、部品保持具である吸着ノズル５を備えた実装ヘッド６がＸ軸モータ２２及びＹ軸モータ２３によりＸＹ方向に移動可能に設けられている。そして、前記実装ヘッド６に備えられた吸着ノズル５はＺ軸モータ２４により上下動可能である。
【００１３】
従って、実装ヘッド６はウェハテーブルと前記ワーク２との間を移動可能であって、吸着ノズル５は昇降してウェハリング４に取り付けられたチップ部品を取出すことができると共にワーク２上に実装することができる。
【００１４】
ウェハ供給装置はウェハリング４を複数段出し入れ可能に収納するマガジン８と、ウェハテーブル上のウェハリング４とマガジン８内のウェハリング４とを交換機構（図示せず）により交換するために、Ｚ軸モータ２５の駆動によりガイドによりマガジン８を鉛直方向に移動可能とするエレベータ機構（図示せず）とを備えている。
【００１５】
前記交換機構は、Ｘ軸モータ２６の駆動によりネジ軸が回動してナットをＸ方向に移動させることにより、このナットに固定されたチャック部材（保持部材）をウェハテーブルとマガジン８との間を往復移動させることによって、一対の爪を備えた前記チャック部材がウェハリング４を把持したり、その把持を解除したりすることにより、ウェハテーブル上のウェハリング４とマガジン８内のウェハリング４との交換が可能となる。
【００１６】
次に、図２において、１０は本部品実装装置１を統括制御する制御装置としてのＣＰＵで、該ＣＰＵ１０にはバスライン１３を介して、記憶装置としてのＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）１１及びＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）１２が接続されている。そして、ＣＰＵ１０は前記ＲＡＭ１１に記憶されたデータに基づき、前記ＲＯＭ１２に格納されたプログラムに従い、部品実装装置１の各動作を統括制御する。即ち、ＣＰＵ１０は、インターフェース１４及び駆動回路１５を介して搬送装置を構成する前記往復駆動源２０などの駆動を制御する。
【００１７】
次に、以下、上述した部品実装装置１の運転について、簡単に説明する。先ず、この部品実装装置１における上流位置における塗布ステーションにおいて、接着剤塗布装置（図示せず）によりワーク２上に接着剤を塗布する。
【００１８】
次いで、接着剤が塗布されたワーク２を前記搬送装置により実装ステーションに搬送し、この実装ステーションにおいて、ワーク２上に実装ヘッド６の吸着ノズル５に吸着保持された部品を実装する。
【００１９】
即ち、ＣＰＵ１０が実装ヘッド６のＸ軸モータ２２及びＹ軸モータ２３を駆動させることにより、ＸＹ方向に移動させ、ウェハリング４に貼付されたウェハのピックアップする部品の上方に位置させ、Ｚ軸モータ２４を駆動させて吸着ノズル５を下降させ、ウェハリング４に取り付けられたシート上の部品を吸着して取出すように制御する。
【００２０】
そして、ＣＰＵ１０が再度Ｘ軸モータ２２及びＹ軸モータ２３を駆動させ、実装ヘッド６をワーク２上方に移動させ、Ｚ軸モータ２４を駆動させて吸着ノズル５を下降させてワーク２上に実装するように制御する。以下、同様に、順次ワーク２上に部品を実装し、この必要な実装を終えたら、前記搬送装置によりワーク２を下流に搬送させる。
【００２１】
次に、ウェハテーブル上のウェハリング４とマガジン８内のウェハリング４との交換作業を行うべく、図示しない指示装置で指示した場合のウェハリング４の交換作業について説明する。
【００２２】
先ず、ＣＰＵ１０がエレベータ機構を駆動させて、Ｚ軸モータ２５を運転させることにより、ウェハリング４を収納していない段が出し入れ高さ位置となるようにマガジン８を移動させる。そして、交換機構のＸ軸モータ２６を運転させることによりチャック部材をＸ方向に移動させて、このチャック部材をマガジン８にまで移動させ、チャック部材に保持されたウェハテーブルから外されたウェハリング４を一対の爪を開いて前記マガジン８内に収納させる。
【００２３】
次いで、Ｘ軸モータ２６を運転させてチャック部材を少し後退させた後、衝突の問題が無くなったマガジン８をエレベータ機構の駆動により上下させて、新しいウェハリング４が出し入れ高さ位置となるように移動させる。そして、チャック部材をＸ軸モータ２６を運転させて少し前進させて一対の爪を閉じることにより新しいウェハリング４を把持する。
【００２４】
そして、Ｘ軸モータ２６を運転させてチャック部材を後退させて、ウェハテーブル上方にチャック部材に把持された新しいウェハリング４を位置させた後、一対の爪を開いて新しいウェハリング４をウェハテーブル上に落下させる。
【００２５】
この後、作業者はこの新しいウェハリング４をウェハテーブルに取り付け固定して、部品の取出しに備える。
【００２６】
次に、どのウェハから取出されて、ワーク２上に実装された部品であるのかを把握するための動作を図３のフローチャートに基づいて、説明する。先ず、ウェハテーブルに取り付けられたウェハリング４に固定されたシート上のウェハから全ての部品の取出が終了したか否かをＣＰＵ１０が判定し（ステップＳ０１）、終了していなければ、次にワーク２が実装ステーションに到達したか否かを判定する（ステップＳ０２）。
【００２７】
そして、ワーク２が実装ステーションに到達していないと判定するとステップＳ０１に戻るが、到達したと判定すると、吸着ノズル５がウェハテーブルに取り付けられたウェハリング４に固定されたシート上のウェハから部品を吸着して取出す（ステップＳ０３）。
【００２８】
このまま、このワーク２へ実装すべき部品が前記ウェハリング４に固定されたシート上に有るものとして説明するが、次に前記ＲＡＭ１１の記憶エリアＡ（マガジン8から取出されたウェハリング４がマガジン８内にあったときの段数を記憶するエリアである。）に記憶していたウェハのマガジン８内での、例えば上段からの段数（この場合、ウェハからの全ての部品の取出が終了していないので、Ｎ段目）を記憶エリアＢ（ピックアップして取出した部品がそのシートに貼付されたウェハリング（ウェハ）４がマガジン８内にあったときの段数を記憶するエリアである。）に転送するように、ＣＰＵ１０は制御する（ステップＳ０４）。
【００２９】
そして、ＣＰＵ１０は、吸着ノズル５に吸着保持している部品をワーク２上に実装するように制御する（ステップＳ０５）。次に、ＣＰＵ１０は、現在記憶している記憶エリアＣ（ワーク２に実装した部品がそのシートに貼付されて取り付けられているウェハリング４がマガジン８内にあったときの段数を記憶するエリアである。）の記憶内容である段数（Ｎ段目）と記憶エリアＢに転送された記憶内容である段数（Ｎ段目）とを比較する（ステップＳ０６）。この場合、両者はＮ段目であって一致するので、終了する。従って、ワーク２上に実装された部品に変更は無いものと、判断されることとなる。
【００３０】
ところが、ステップＳ０１において、ウェハテーブルに取り付けられたウェハリング４に固定されたシート上のウェハから全ての部品の取出が終了したか否かをＣＰＵ１０が判定した際に、終了したと判定した場合には、前述したように、取出が終了したウェハテーブル上のウェハリング４を前記交換機構がマガジン8に戻すと共にマガジン８内の新たなウェハリング（ウェハ）４を取出す（ステップＳ０７）。この取出されたウェハリング（ウェハ）４を作業管理者はウェハテーブル上に取り付ける。
【００３１】
そして、図３におけるステップＳ０８の右方に記載したメモリ内容のように、ＣＰＵ１０は取出したウェハリング（ウェハ）４の段数（Ｎ段目に「１」をプラスしたＮ＋１段目）を記憶エリアＡに記憶するように制御する（ステップＳ０８）。
【００３２】
次に、前述したように、吸着ノズル５がウェハから部品を吸着して取出し（ステップＳ０３）、ＲＡＭ１１の記憶エリアＡに記憶しているウェハのマガジン８内での段数（Ｎ＋１段目）を記憶エリアＢに転送して記憶させ（ステップＳ０４）、吸着ノズル５に吸着保持している部品をワーク２上に実装するように制御する（ステップＳ０５）。次に、ＣＰＵ１０は、現在記憶している記憶エリアＣの記憶内容である段数（Ｎ段目）と記憶エリアＢに転送された記憶内容である段数（Ｎ＋１段目）とを比較する（ステップＳ０６）。
【００３３】
そして、比較して一致しないと判定すると、次にＣＰＵ１０は記憶エリアＢの記憶内容である段数（Ｎ＋１段目）を記憶エリアＣに転送して記憶させる（ステップＳ０９）。そして、転送されて記憶エリアＣに記憶したウェハリング（ウェハ）４の段数（Ｎ＋１段目）をインデックスとして、現在実装中のワーク２のシリアル番号をＲＡＭ１１のファイルＡに保存するようにＣＰＵ１０は制御する（ステップＳ１０）。即ち、ＣＰＵ１０はファイルＡのＮ＋１行目に、ウェハリング（ウェハ）４の段数（Ｎ＋１段目）としてワーク２のシリアル番号を保存するように制御する。
【００３４】
この場合、部品実装装置１における上流位置において、前記ワーク２には印字ユニット（図示せず）によりシリアル番号が印字されており、このシリアル番号が印字されたワーク２は搬送される毎に、このシリアル番号も下流へとシフトされながら、ワーク２の位置とワーク２のシリアル番号とがＲＡＭ１１に格納されて把握される。即ち、ＲＡＭ１１とＣＰＵ１０とで、シフトレジスタを構成する。
【００３５】
従って、前記ワーク２に不具合が発生した場合に、作業管理者はファイルＡの内容を図示しないモニタに表示させることにより、どのシリアル番号のワーク２上にどのウェハから取出された部品（マガジン８内におけるウェハリング（ウェハ）４の段数、即ちＮ＋１団目）が実装されたものかが把握できるので、不具合の原因究明が容易となるので、ワーク２の生産効率の向上を図ることができる。
【００３６】
なお、以上の実施形態において、前記ＲＡＭ１１に記憶領域を分けて記憶エリアＡ、Ｂ、Ｃとしたが、ＲＡＭ１１とは別な記憶装置（メモリ）を設けてもよく、ファイルＡについても同様である。
【００３７】
また、以上の実施形態において、吸着ノズル５がウェハリング４に取り付けられているウェハから部品を取出して、ワーク２上に実装するようにしたが、第１吸着ノズルがウェハから部品を取出して中継テーブル上にこの部品を置き、第２吸着ノズルがこの中継テーブルから部品を取出してワーク２上に実装するようにしてもよい。
【００３８】
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００３９】
１        部品実装装置
２        ワーク
４        ウェハリング（部品保持冶具）
５        吸着ノズル（部品保持具）
６        実装ヘッド
１０      ＣＰＵ
１１      ＲＡＭ
【図１】
0005219102.tif 000002
【図２】
0005219102.tif 000003
【図３】
0005219102.tif 000004