(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持する基板支持部と、
粘着部と離型紙とを有するテープ部材を、前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給部と、
前記テープ部材供給部の下流側に配置され、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断部と、
前記切断部の下流側に配置されるとともに、該切断部によって切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する抜取テープと、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を有する剥離装置と、
前記剥離装置の下流側に配置され、該剥離装置によって不要な部分が剥離されたテープ部材を、前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧部と、
前記加圧部の下流側に配置され、該加圧部によって加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収部と、を備え、
前記剥離装置は、前記抜取テープを所定の供給方向に沿って送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部とを有し、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方は、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動可能であることを特徴とする貼着装置。
【請求項２】
前記抜取テープは、該抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることを特徴とする請求項１に記載の貼着装置。
【請求項３】
前記剥離支持部および前記テープ部材は、前記抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることを特徴とする請求項１に記載の貼着装置。
【請求項４】
前記剥離装置は、前記抜取テープ供給部によって送り出された抜取テープの送出量を検出する送出量検出部をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の貼着装置。
【請求項５】
前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを停止させた後、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させ、その後、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを再開させることを特徴とする請求項１に記載の貼着装置。
【請求項６】
前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部から前記抜取テープを送り出すときに、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させことを特徴とする請求項１に記載の貼着装置。
【請求項７】
基板支持部と、粘着部と離型紙とを有するテープ部材を送り出すテープ部材供給部と、該テープ部材供給部の下流側に配置された切断部と、該切断部の下流側に配置されて抜取テープを有する剥離装置と、該剥離装置の下流側に配置された加圧部と、該加圧部の下流側に配置されたテープ部材回収部と、を有し、該剥離装置が、該抜取テープを送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部と、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を含む、貼着装置を用いた貼着方法において、
前記基板支持部によって、基板を支持する基板支持工程と、
前記テープ部材供給部によって、前記テープ部材を前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給工程と、
前記切断部によって、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断工程と、
前記剥離装置の前記抜取テープによって、前記切断部により切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する剥離工程と、
前記加圧部によって、不要な部分が剥離されたテープ部材を前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧工程と、
前記テープ部材回収部によって、加圧部により加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収工程と、
前記抜取テープ供給部によって、前記抜取テープが所定の供給方向に沿って送り出される抜取テープ供給工程と、
前記抜取テープ回収部によって、抜取テープが回収される抜取テープ回収工程と、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方を、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動させる抜取テープ移動工程と、
を備えたことを特徴とする貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切断装置にて切断された粘着部のうち不要な部分を剥離する剥離装置を有する貼着装置と、このような貼着装置を用いた貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、粘着部と離型紙とを有するテープ部材を送り出す送り装置と、離型紙に貼り付けられた粘着部を離型紙を残して切断する切断部と、切断部にて切断された粘着部が貼着される基板を粘着部の貼着位置へ位置付ける基板支持部と、貼着位置に位置付けられた基板に対して切断された粘着部を圧着する加圧部と、切断部にて切断された粘着部のうち、不要な粘着部を離型紙から剥離する剥離装置と、を有する貼着装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このうち、剥離装置は、エアシリンダなどの昇降装置にて上下動するベース部材に設けられ、粘着性を有する抜取テープを供給するための抜取テープ供給リールと、抜取テープを支持する剥離ヘッドと、抜取テープを巻き取る抜取テープ回収リールとを有している。
【特許文献１】特開２００３−５１５１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなテープ剥離装置においては、抜取テープ供給リールに巻き付けられている抜取テープが無くなると、当該抜取テープ供給リールに新しい抜取テープを取り付ける必要がある。そして、このときには、貼着装置の稼働を停止させる必要がある。このため、抜取テープの交換頻度を低くすることによって、貼着装置の稼働効率を向上させることが望まれている。
【０００５】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、抜取テープを有効に利用することによって、抜取テープの交換頻度を低くして、稼働効率を向上させることができる貼着装置および貼着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による貼着装置は、
基板を支持する基板支持部と、
粘着部と離型紙とを有するテープ部材を、前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給部と、
前記テープ部材供給部の下流側に配置され、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断部と、
前記切断部の下流側に配置されるとともに、該切断部によって切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する抜取テープと、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を有する剥離装置と、
前記剥離装置の下流側に配置され、該剥離装置によって不要な部分が剥離されたテープ部材を、前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧部と、
前記加圧部の下流側に配置され、該加圧部によって加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収部と、を備え、
前記剥離装置が、前記抜取テープを所定の供給方向に沿って送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部とを有し、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方が、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動可能になっている。
【０００７】
本発明による貼着装置において、
前記抜取テープは、該抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることが好ましい。
【０００８】
本発明による貼着装置において、
前記剥離支持部は、前記抜取テープの供給方向に直交する方向において移動可能であることが好ましい。
【０００９】
本発明による貼着装置において、
前記剥離装置は、前記抜取テープ供給部によって送り出された抜取テープの送出量を検出する送出量検出部をさらに有することが好ましい。
【００１０】
本発明による貼着装置において、
前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを停止させた後、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させ、その後、前記抜取テープ供給部からの前記抜取テープの送り出しを再開させることが好ましい。
【００１１】
本発明による貼着装置において、
前記抜取テープと前記剥離支持部との間の相対的な位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記抜取テープ供給部から前記抜取テープを送り出すときに、該抜取テープおよび前記剥離装置の一方を他方に対して該抜取テープの供給方向に直交する方向に相対的に移動させことが好ましい。
【００１２】
本発明による貼着方法は、
基板支持部と、粘着部と離型紙とを有するテープ部材を送り出すテープ部材供給部と、該テープ部材供給部の下流側に配置された切断部と、該切断部の下流側に配置されて抜取テープを有する剥離装置と、該剥離装置の下流側に配置された加圧部と、該加圧部の下流側に配置されたテープ部材回収部と、を有し、該剥離装置が、該抜取テープを送り出す抜取テープ供給部と、該抜取テープ供給部によって送り出された該抜取テープを回収する抜取テープ回収部と、該抜取テープを支持する剥離支持部と、を含む、貼着装置を用いた貼着方法において、
前記基板支持部によって、基板を支持する基板支持工程と、
前記テープ部材供給部によって、前記テープ部材を前記基板支持部に支持された基板上に送り出すテープ部材供給工程と、
前記切断部によって、テープ部材の離型紙を残して粘着部を切断する切断工程と、
前記剥離装置の前記抜取テープによって、前記切断部により切断された粘着部のうち不要な部分を離型紙から剥離する剥離工程と、
前記加圧部によって、不要な部分が剥離されたテープ部材を前記基板に押しつけて粘着部を圧着する加圧工程と、
前記テープ部材回収部によって、加圧部により加圧された後のテープ部材を回収するテープ部材回収工程と、
前記抜取テープ供給部によって、前記抜取テープが所定の供給方向に沿って送り出される抜取テープ供給工程と、
前記抜取テープ回収部によって、抜取テープが回収される抜取テープ回収工程と、
前記抜取テープおよび前記剥離支持部の一方を、他方に対して、該抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動させる抜取テープ移動工程と、
を備えている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、抜取テープおよび剥離支持部の一方が、他方に対して、抜取テープの供給方向に直交する方向において相対的に移動可能となっているので、抜取テープを有効に利用することができる。このため、抜取テープの交換頻度を低くして、稼働効率を向上させることができる。また、抜取テープの有効利用を図ることができる。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
第１の実施の形態
以下、本発明に係る貼着装置および貼着方法の第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図６は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【００１５】
図１に示すように、貼着装置は、基板６０を支持する基板支持部１と、粘着部６６と離型紙６７とを有するテープ部材６５（図５参照）を、基板支持部１に支持された基板６０上に送り出すテープ部材供給リール（テープ部材供給部）２と、テープ部材供給リール２の下流側に配置され、テープ部材６５の離型紙６７を残して粘着部６６を切断する切断部３５と、切断部３５の下流側に配置され、切断部３５によって切断された粘着部６６のうち不要な部分を離型紙６７から剥離する抜取テープ１５を有する剥離装置１０と、を備えている。
【００１６】
なお、テープ部材供給リール２から供給されるテープ部材６５は、基板６０上において、下方側に粘着部６６が位置し上方側に離型紙６７が位置するようになっており（図５参照）、このような粘着部６６としてはＡＣＦなどを例に挙げることができる。また、抜取テープ１５は、粘着性を有している。
【００１７】
また、図１に示すように、剥離装置１０の下流側には、剥離装置１０によって不要な部分が剥離されたテープ部材６５を基板６０に押しつけて、残った粘着部６６を圧着する加圧部６が配置されている。また、この加圧部６の下流側には、加圧部６によって加圧された後の離型紙６７のみが残っているテープ部材６５を回収するテープ部材回収リール（テープ部材回収部）３が配置されている。
【００１８】
また、図１に示すように、剥離装置１０は、ベース部材１７と、ベース部材１７を上下動させるエアシリンダなどの昇降部材１８と、ベース部材１７に設けられ、抜取テープ１５を所定の供給方向に沿って送り出す抜取テープ供給リール（抜取テープ供給部）１１と、ベース部材１７に設けられ、抜取テープ供給リール１１によって送り出された抜取テープ１５を回収する抜取テープ回収リール（抜取テープ回収部）１２と、抜取テープ１５を下方から支持する剥離ヘッド（剥離支持部）１４と、を有している。
【００１９】
なお、抜取テープ供給リール１１と抜取テープ回収リール１２とは、ベース部材１７に対して、抜取テープ１５の幅方向に移動可能となっている（図２参照）。この結果、抜取テープ１５は、テープ部材供給リール２とテープ部材回収部３との間に位置するテープ部材６５の幅方向（供給方向に直交する方向）に、移動可能となっている（図２参照）。なお本願で、供給方向に直交する方向に移動可能になっているとは、供給方向に直交する方向に移動することができればどのようなものでもよいことを意味する。すなわち、抜取テープ１５は、供給方向に直交する方向に移動できるようになっていてもよいし（図４（ａ）参照）、供給方向に対して斜め方向に移動できるようになっていてもよい（図４（ｂ）参照）。
【００２０】
また、図１に示すように、剥離装置１０の上方には、テープ部材６５の離型紙６７を吸着して保持する吸着部４０が設けられている。また、テープ部材供給リール２の下流側には、テープ部材供給リール２から送り出されたテープ部材６５を案内する案内リール２１，２２が設けられている。また、テープ部材回収リール３の上流側には、加圧部６によって加圧された後のテープ部材６５（離型紙６７）を案内する案内リール３１，３２が設けられている。
【００２１】
また、図１に示すように、剥離装置１０には、抜取テープ供給リール１１と抜取テープ回収リール１２の動きを制御する制御部５０が設けられている。具体的には、この制御部５０は、抜取テープ供給リール１１からの抜取テープ１５の送り出しを停止させた後、抜取テープ供給リール１１と抜取テープ回収リール１２をベース部材１７に対して抜取テープ１５の幅方向に二回移動させ、その後、抜取テープ供給リール１１からの抜取テープ１５の送り出しを再開させるように、抜取テープ供給リール１１と抜取テープ回収リール１２の動きを制御するように構成されている（図４（ａ）参照）。なお、図４（ａ）に示された矢印は、剥離された粘着部６６の抜取テープ１５に貼り着けられた順序を示している。
【００２２】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。
【００２３】
まず、基板支持部１によって、基板６０が支持される（基板支持工程８１）（図１および図３参照）。
【００２４】
次に、テープ部材供給リール２によって、テープ部材６５が基板支持部１に支持された基板６０上に送り出される（テープ部材供給工程８２）（図１および図３参照）。
【００２５】
次に、切断部３５によって、テープ部材６５の離型紙６７を残して粘着部６６が切断される（切断工程８３）（図１および図３参照）。
【００２６】
次に、剥離装置１０の抜取テープ１５によって、切断部３５により切断された粘着部６６のうち不要な部分が離型紙６７から剥離される（剥離工程８４）（図３および図５参照）。このとき、剥離装置１０の上方に位置する吸着部４０によって、テープ部材６５の離型紙６７が吸着されて保持されている（図１参照）。
【００２７】
この剥離工程８４においては、まず、抜取テープ供給リール１１によって、抜取テープ１５が所定の供給方向に沿って、所定の量だけ送り出されて停止される（抜取テープ供給工程９１）（図３および図４（ａ）参照）。このとき、抜取テープ回収リール１２によって、抜取テープ１５が回収される（抜取テープ回収工程９７）。
【００２８】
次に、昇降部材１８によって、ベース部材１７が上方に位置づけられる（上方位置づけ工程９２）（図３および図５参照）。このとき、抜取テープ１５が、切断部３５により切断された粘着部６６のうち不要な部分に接着される。その後、昇降部材１８によって、ベース部材１７が下方に位置づけられる（下方位置づけ工程９３）（図３および図５参照）。このとき、粘着部６６のうち不要な部分が、離型紙６７から剥離される。
【００２９】
このように不要な部分が剥離されたテープ部材６５は、次に、加圧部６によって基板６０に押しつけられ、残った粘着部６６が基板６０に圧着される（加圧工程８５）（図１および図３参照）。その後、テープ部材回収部３によって、加圧部６により加圧された後の離型紙６７のみからなるテープ部材６５が回収される（テープ部材回収工程８６）（図１および図３参照）。
【００３０】
次に、別の基板６０が基板支持部１に支持される（基板支持工程８１）（図１および図３参照）。その後、上述したのと同様に、テープ部材供給工程８２および切断工程８３が行われる（図３参照）。
【００３１】
次に、抜取テープ供給リール１１と抜取テープ回収リール１２は、ベース部材１７に対して抜取テープ１５の幅方向（抜取テープ１５の供給方向に直交する方向）に移動させられる（図２参照）。この結果、抜取テープ１５が、その幅方向に移動させられることとなる（抜取テープ移動工程９５）（図２、図３および図４（ａ）参照）。なお、このとき、剥離ヘッド１４はベース部材１７に対して固定されており、テープ部材６５も抜取テープ１５の幅方向に移動されない。
【００３２】
その後は、加圧工程８５およびテープ部材回収工程８６が順次行われる（図３参照）。そして、上述した工程が、所定の回数（本実施の形態では二回）だけ繰り返されるまで（抜取テープ１５がその幅方向に所定の回数だけ移動されるまで）、剥離工程８４において抜取テープ移動工程９５が行われる（図３および図４（ａ）参照）。他方、上述した工程が、所定の回数だけ繰り返されると、剥離工程８４において抜取テープ移動工程９５が行われる代わりに、抜取テープ供給工程９１が行われる（図３および図４（ａ）参照）。
【００３３】
上述のように、本実施の形態によれば、粘着部６６のうち不要な部分を剥離した後の抜取テープ１５が、剥離ヘッド１４およびテープ部材６５に対して、抜取テープ１５の幅方向に移動させられる。このため、抜取テープ１５を有効に利用することができる。
【００３４】
すなわち、従来技術では、粘着部のうち不要な部分を剥離した後の抜取テープは、抜取テープ供給リール側から抜取テープ回収リール側へと送られるだけであったので、幅方向で余った未使用部分もそのまま抜取テープ回収リールで回収されていた。
【００３５】
これに対して、本発明によれば、抜取テープ供給リール１１と抜取テープ回収リール１２が、ベース部材１７に対して抜取テープ１５の幅方向に移動可能となっているので、抜取テープ１５を、剥離ヘッド１４およびテープ部材６５に対して、抜取テープ１５の幅方向に移動させることができる。このため、従来では使用できなかった幅方向で余った部分を有効に利用することができる（図４（ａ）参照）。
【００３６】
このように、本実施の形態によれば、抜取テープ１５を有効に利用することができるので、抜取テープの交換頻度を低くすることができ、粘着装置の稼働効率を向上させることができる。また、抜取テープ１５の有効利用を図ることもできる。
【００３７】
なお、上述した剥離装置１０の一連の駆動は、制御部５０からの指示に従って行われる。
【００３８】
ところで、上記では、制御部５０が、抜取テープ供給リール１１からの抜取テープ１５の送り出しを停止させた後、抜取テープ１５を、剥離ヘッド１４およびテープ部材６５に対して、抜取テープ１５の幅方向に移動させ、その後、抜取テープ供給リール１１からの抜取テープ１５の送り出しを再開させる態様を用いて説明したが（図４（ａ）参照）、これに限られない。
【００３９】
制御部５０は、例えば、抜取テープ供給リール１１から抜取テープ１５を送り出すときに、抜取テープ１５を、剥離ヘッド１４およびテープ部材６５に対して、抜取テープ１５の幅方向に移動させるような態様であってもよい（図４（ｂ）参照）。なお、抜取テープ供給リール１１から抜取テープ１５を送り出すときに、抜取テープ１５が抜取テープ１５の幅方向に移動させられるので、剥離された粘着部６６の順序を示す矢印は斜め方向を向くこととなる。
【００４０】
なお、図６に示すように、剥離装置１０は、制御部５０に接続されるとともに、抜取テープ供給リール１１によって送り出された抜取テープ１５の送出量を検出する送出量検出部４５を有していてもよい。このような送出量検出部４５を用いることによって、抜取テープ１５を正確な量だけ送ることができるようになるので、好ましい。なお、送出量検出部４５としては、検尺ローラを有する検知円検やエンコーダなどを用いることができる。
【００４１】
また、本実施の形態では、上方位置づけ工程９２、下方位置づけ工程９３および抜取テープ移動工程９５を順次行う態様を用いて説明したが、これに限られない。例えば、下方位置づけ工程９３と抜取テープ移動工程９５を同時に行い、ベース部材１７を下方に位置づける際に、抜取テープ１５を幅方向に移動させたり、また、上方位置づけ工程９２と抜取テープ移動工程９５を同時に行い、ベース部材１７を上方に位置づける際に、抜取テープ１５を幅方向に移動させたりしてもよい。このように、下方位置づけ工程９３と抜取テープ移動工程９５を同時に行ったり、上方位置づけ工程９２と抜取テープ移動工程９５を同時に行ったりすることによって、さらに稼働効率を向上させることができる。
【００４２】
第２の実施の形態
次に、図７により、本発明の第２の実施の形態について説明する。図７に示す第２の実施の形態は、抜取テープ１５が、抜取テープ１５の幅方向において移動可能となる代わりに、剥離ヘッド１４およびテープ部材６５が、抜取テープ１５の幅方向において移動可能となっているものであり、その他の構成は図１乃至図６に示す第１の実施の形態と略同一である。
【００４３】
図７に示す第２の実施の形態において、図１乃至図６に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４４】
本実施の形態では、剥離ヘッド１４およびテープ部材６５が、抜取テープ１５の幅方向において移動可能となっている（図７参照）。なお、本実施の形態では、テープ部材供給リール２とテープ部材回収リール３の各々が、テープ部材６５の幅方向（抜取テープ１５の幅方向）において移動可能となることによって（図１参照）、テープ部材６５が抜取テープ１５の幅方向において移動可能となっている。ここで、案内リール２１，２２，３１，３２はテープ部材６５の幅方向に延在しており、テープ部材供給リール２とテープ部材回収リール３がテープ部材６５の幅方向に移動しても、このテープ部材６５を案内することができるようになっている。
【００４５】
本実施の形態でも、第１の実施の形態と同様の効果を奏することができ、主たる効果としては、以下の効果を奏することができる。
【００４６】
すなわち、上述のように、剥離ヘッド１４およびテープ部材６５が、抜取テープ１５の幅方向において移動可能となっているので、剥離ヘッド１４およびテープ部材６５を、抜取テープ１５に対して、抜取テープ１５の幅方向に移動させることができる。このため、従来では使用できなかった幅方向で余った部分を有効に利用することができ、ひいては、抜取テープの交換頻度を低くすることができ、粘着装置の稼働効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１の実施の形態による貼着装置の構成を示す概略側方図。
【図２】本発明の第１の実施の形態による剥離装置の一部を示す概略斜視図。
【図３】本発明の第１の実施の形態による貼着方法の流れを示すフロー図。
【図４】本発明の第１の実施の形態による剥離装置の抜取テープに貼り着いた粘着部を示した概略平面図。
【図５】本発明の第１の実施の形態による剥離装置によって、粘着部の不要な部分が剥離される様子を示した概略側方図。
【図６】本発明の第１の実施の形態の変形例による剥離装置の構成を示す概略側方図。
【図７】本発明の第２の実施の形態による剥離装置の一部を示す概略斜視図。
【符号の説明】
【００４８】
１      基板支持部
２      テープ部材供給部
３      テープ部材回収部
６      加圧部
１０    剥離装置
１１    抜取テープ供給リール（抜取テープ供給部）
１２    抜取テープ回収リール（抜取テープ回収部）
１４    剥離ヘッド（剥離支持部）
１５    抜取テープ
６０    基板
６５    テープ部材
６６    粘着部
６７    離型紙
３５    切断部
４５    送出量検出部
５０    制御部
８１    基板支持工程
８２    テープ部材供給工程
８３    切断工程
８４    剥離工程
８５    加圧工程
８６    テープ部材回収工程
９１    抜取テープ供給工程
９２    上方位置づけ工程
９３    下方位置づけ工程
９５    抜取テープ移動工程
９７    抜取テープ回収工程
【図１】
0005116506.tif 000002
【図２】
0005116506.tif 000003
【図３】
0005116506.tif 000004
【図４】
0005116506.tif 000005
【図５】
0005116506.tif 000006
【図６】
0005116506.tif 000007
【図７】
0005116506.tif 000008