(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料を蓄圧する蓄圧器から高圧配管を通じて燃料噴射弁に燃料を供給し、前記燃料噴射弁に形成された噴孔から燃料を噴射する、内燃機関用の燃料噴射システムに適用される燃圧検出装置であって、
前記蓄圧器の出口部から前記噴孔に至るまでの高圧燃料通路を形成する通路部材に、前記高圧燃料通路から分岐した分岐通路を形成し、前記分岐通路の端部に前記通路部材の肉厚を局部的に薄肉にした薄肉部を形成し、
前記薄肉部に取り付けられ、前記高圧燃料通路内の燃料圧力により生じる前記薄肉部の歪みを検出する歪み検出センサを備えることを特徴とする燃圧検出装置。
【請求項２】
前記燃料噴射弁は、前記高圧燃料通路の一部を形成するボディを備えて構成され、
前記薄肉部は前記ボディに形成されていることを特徴とする請求項１に記載の燃圧検出装置。
【請求項３】
前記薄肉部の温度又はその温度と相関のある温度を検出する温度検出センサを備え、
前記温度検出センサの検出値に応じて前記歪み検出センサの検出値を補正することを特徴とする請求項１又は２に記載の燃圧検出装置。
【請求項４】
前記温度検出センサは、前記高圧燃料通路又は前記蓄圧器に取り付けられ、燃料の温度を検出することを特徴とする請求項３に記載の燃圧検出装置。
【請求項５】
前記温度検出センサは、前記蓄圧器に取り付けられて当該蓄圧器内部の燃料の温度を検出することを特徴とする請求項４に記載の燃圧検出装置。
【請求項６】
前記高圧燃料通路に燃料を供給した時の実際の燃料圧力と、その時の前記歪み検出センサによる検出値との関係が燃圧特性値として予め記憶された記憶手段を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の燃圧検出装置。
【請求項７】
前記薄肉部の温度又はその温度と相関のある温度と、その時の前記歪み検出センサによる検出値との関係が温度特性値として予め記憶された記憶手段を備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の燃圧検出装置。
【請求項８】
内燃機関に搭載されて噴孔から燃料を噴射する燃料噴射弁、及び前記燃料噴射弁に高圧燃料を供給する高圧配管の少なくとも１つと、
請求項１〜７のいずれか１つに記載の燃圧検出装置と、
を備えることを特徴とする燃圧検出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蓄圧器から供給された燃料を燃料噴射弁にて噴射させる内燃機関用の燃料噴射システムにおいて、その燃料の圧力を検出する燃圧検出装置、及び燃圧検出システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
内燃機関の出力トルク及びエミッション状態を精度良く制御するには、燃料噴射弁から噴射される燃料の噴射量及び噴射開始時期等、その噴射形態を精度良く制御することが重要である。そこで従来より、噴射に伴い変動する燃料の圧力を検出することで、実際の噴射形態（噴射率の推移）を検出する技術が提案されている。
【０００３】
例えば、噴射に伴い燃圧が下降を開始した時期を検出することで実際の噴射開始時期を検出したり、噴射に伴い生じた燃圧の下降量を検出することで実際の噴射量を検出することを図っている。このように実際の噴射形態を検出できれば、その検出値に基づき噴射形態を精度良く制御することができる。
【０００４】
このような燃圧の変動を検出するにあたり、コモンレール（蓄圧器）に直接設置された燃圧センサ（レール圧センサ）では、噴射に伴い生じた燃圧変動がコモンレール内で緩衝されてしまうため、正確な燃圧変動を検出することができない。そこで、特許文献１記載の発明では、燃圧センサを、コモンレールから燃料噴射弁に燃料を供給する高圧配管のうちコモンレールとの接続部分に設置することで、噴射に伴い生じた燃圧変動がコモンレール内で緩衝する前に、その燃圧変動を検出することを図っている。
【特許文献１】特開２０００−２６５８９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１では、高圧配管のうちコモンレールとの接続部分に燃圧センサを配置しているのに対し、本発明者らは、燃圧センサを燃料噴射弁に取り付けることを検討した。具体的には、燃料噴射弁の構成部材であり高圧燃料通路を内部に形成するボディに、歪ゲージが貼り付けられたステム（起歪体）を取り付け、高圧燃料の圧力を受けて弾性変形したステムの変形量を歪ゲージにより検出することで燃圧を検出する構成であり、ステム及び歪ゲージにより燃圧センサを構成する。
【０００６】
しかしながら、上述の如くステムに歪ゲージを貼り付けた構造では、ステムの分だけボディの体格が大型化してしまう。また、ステムとボディとの間から高圧燃料が漏れ出ないようにするために、ステムとボディとの間をシールするシール構造が必要となるため構造が複雑化する。なお、この問題は燃料噴射弁以外の箇所に燃圧センサを取り付けた場合にも同様であり、高圧燃料通路を形成する通路部材に燃圧センサを取り付けた場合、その通路部材の大型化抑制を十分に図ることは困難であり、通路部材とステムとの間のシール構造が必要となる。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、通路部材に形成された高圧燃料通路を流通する燃料の圧力を検出するにあたり、通路部材の大型化抑制及び構造簡素化を図った燃圧検出装置、及び燃圧検出システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以下、上記課題を解決するための手段、及びその作用効果について記載する。
【０００９】
請求項１記載の発明では、
燃料を蓄圧する蓄圧器から高圧配管を通じて燃料噴射弁に燃料を供給し、前記燃料噴射弁に形成された噴孔から燃料を噴射する、内燃機関用の燃料噴射システムに適用される燃圧検出装置であって、
前記蓄圧器の出口部から前記噴孔に至るまでの高圧燃料通路を形成する通路部材に、前記高圧燃料通路から分岐した分岐通路を形成し、前記分岐通路の端部に前記通路部材の肉厚を局部的に薄肉にした薄肉部を形成し、
前記薄肉部に取り付けられ、前記高圧燃料通路内の燃料圧力により生じる前記薄肉部の歪みを検出する歪み検出センサを備えることを特徴とする。
【００１０】
これによれば、通路部材に薄肉部を形成し、その薄肉部に歪み検出センサを直接取り付けるので、通路部材とは別体に構成された上述のステムを不要にして高圧燃料通路の燃圧を検出できる。よって、燃圧検出装置を備えさせることによる通路部材の大型化を抑制できる。また、上述のステムは高圧燃料に触れる必要があったためシール構造を要していたのに対し、本発明による歪み検出センサはその必要がないので、燃圧検出装置の構造簡素化を図ることができる。
さらに、高圧燃料通路から分岐して薄肉部へ高圧燃料を導入するよう形成された分岐通路は、高圧燃料通路に比べて燃料の流れを殆ど無くすことができる。そして、燃料流れが殆ど生じない分岐通路の高圧燃料を歪み検出センサは検出することとなるので、燃料の流れによる燃圧検出の精度悪化を回避できる。
【００１１】
第１の構成では、前記薄肉部は、前記通路部材のうち前記高圧燃料通路の側面部分に形成されていることを特徴とするので、薄肉部の加工を容易にできる。
【００１２】
請求項２記載の発明では、前記燃料噴射弁は、前記高圧燃料通路の一部を形成するボディを備えて構成され、前記薄肉部は前記ボディに形成されていることを特徴とする。これによれば、通路部材のうち燃料噴射弁よりも上流側の部分（例えば高圧配管）にて薄肉部を形成する場合に比べて、噴孔に近い位置で燃圧を検出できる。よって、噴射に伴い生じる燃圧変動を高精度で検出できる。
【００１３】
請求項３記載の発明では、前記薄肉部の温度又はその温度と相関のある温度を検出する温度検出センサを備え、前記温度検出センサの検出値に応じて前記歪み検出センサの検出値を補正することを特徴とする。
【００１４】
ここで、実際の燃圧が同じであってもその時の薄肉部の温度によって薄肉部の歪量は異なる値となる。この点に鑑み請求項３記載の発明では、前記薄肉部の温度又はその温度と相関のある温度を検出する温度検出センサを備え、前記温度検出センサの検出値に応じて前記歪み検出センサの検出値を補正することを特徴とする。これによれば、燃圧検出時の薄肉部の温度に応じて歪み検出センサによる検出値を補正するので、薄肉部の温度に起因した歪検出センサによる検出値の誤差を小さくできる。
【００１５】
薄肉部の温度と燃料温度との相関は高い点に着目し、請求項４記載の発明では、前記温度検出センサは、前記高圧燃料通路又は前記蓄圧器に取り付けられ、燃料の温度を検出することを特徴とする。薄肉部の温度を直接検出する場合に比べて、温度検出センサの取付位置の自由度を向上できる。具体的には、請求項５記載の如く、前記温度検出センサを前記蓄圧器に取り付けることが望ましい。
【００１６】
ところで、薄肉部に歪み検出センサを取り付けた構造の請求項１記載の発明では、ステムに歪ゲージを貼り付けた上述の構造に比べ、実際の燃圧と検出値との関係に個体差が生じ易いことが懸念される。つまり、通路部材を加工して形成した薄肉部は、通路部材とは別体のステムに比べて形状に個体差が生じ易い。この懸念に対し請求項６記載の発明では、前記高圧燃料通路に燃料を供給した時の実際の燃料圧力と、その時の前記歪み検出センサによる検出値との関係が燃圧特性値として予め記憶された記憶手段を備えることを特徴とする。これによれば、記憶手段に記憶された燃圧特性値に基づき歪み検出センサによる検出値を補正できるので、上記個体差に起因した検出値の誤差を解消できる。
【００１７】
ここで、実際の燃圧が同じであってもその時の薄肉部の温度によって薄肉部の歪量は異なる値となる。この点に鑑み請求項８記載の発明では、前記薄肉部の温度又はその温度と相関のある温度と、その時の前記歪み検出センサによる検出値との関係が温度特性値として予め記憶された記憶手段を備えることを特徴とする。これによれば、燃圧検出時の薄肉部の温度に応じて、記憶手段に記憶された温度特性値に基づき歪み検出センサによる検出値を補正できるので、温度に起因した検出値の誤差を解消できる。
【００１８】
請求項８記載の発明は、内燃機関に搭載されて噴孔から燃料を噴射する燃料噴射弁、及び前記燃料噴射弁に高圧燃料を供給する高圧配管の少なくとも１つと、上記燃圧検出装置と、を備えることを特徴とする燃圧検出システムである。この燃圧検出システムによれば、上述の各種効果を同様に発揮することができる。
【００１９】
第２の構成によれば、外部から高圧流体が供給される流体通路と、前記流体通路に接続されて前記高圧流体の少なくとも一部を噴射する噴孔と、前記流体通路から前記高圧流体の一部が供給され、前記噴孔を開閉するノズルニードルを閉弁方向に付勢する力を発生する圧力制御室と、前記圧力制御室に直接または間接的に接続され、少なくとも一部が前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能なダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の変位を検出する変位検出手段と、を備えることを特徴としている。
【００２０】
ダイアフラム部を、圧力制御室に直接または間接的に接続しているため、ダイアフラム部を流体通路に接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００２１】
ここで、圧力制御室の内部に高圧流体の一部が供給され、充填されることで圧力制御室にノズルニードルを閉弁方向に付勢する力が生じ、噴孔が閉弁される。これにより噴射が停止状態となる。一方、圧力制御室に充填された高圧燃料を排出することで、圧力制御室の内部に生じている力が低下し、ノズルニードルが開弁する。これにより噴孔からの噴射が開始される。つまり、圧力制御室の内部に発生している内部圧力の変化のタイミングは、噴孔からの噴射タイミングと略一致していると言える。従って、本発明においては、圧力制御室にダイアフラム部を直接または間接的に接続して設け、そのダイアフラム部の変位を変位検出手段により検出しているため、実際に噴孔から噴射するタイミングも精度良く検出することができる。
【００２２】
さらに、第２の構成によれば、前記圧力制御室に連通された分岐通路を備え、前記ダイアフラム部は、前記分岐通路に連通された薄肉部からなっている。これにより、分岐通路を流体通路に接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００２３】
第３の構成によれば、内部に前記流体通路及び前記噴孔が形成されたインジェクタボデーと、前記インジェクタボデーとは別体形成されて該インジェクタボデー内に配置された別体部材を備え、前記別体部材が、自身の内部に、前記圧力制御室に連通された前記分岐通路と、前記分岐通路に連通された前記薄肉部とを備えることを特徴としている。インジェクタボデーとは別体形成された別体部材内に圧力制御室に連通された分岐通路と薄肉部を有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、第２の構成の効果に比べ、更にダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【００２４】
第４の構成によれば、前記別体部材が、前記高圧流体が導入されるインオリフィスと、前記インオリフィスに連通するとともに前記圧力制御室の一部を構成する圧力制御室用空間と、前記圧力制御室用空間に連通するとともに前記高圧流体を低圧通路に排出するアウトオリフィスとを有し、前記分岐通路が前記別体部材内において前記圧力制御室用空間に連通して設けられ、前記ダイアフラム部が前記分岐通路に接続されて前記別体部材内に形成されていることを特徴としている。インジェクタボデーとは別体形成された別体部材内に圧力制御室に連通された分岐通路とダイアフラム部を有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、第２の構成の効果に比べ、更にダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【００２５】
第５の構成によれば、前記分岐通路が、前記インオリフィス及び前記アウトオリフィスとは異なる部位において前記圧力制御室用空間に接続されていることを特徴としている。インオリフィス及びアウトオリフィス内部は、高圧流体の流れが速いため、圧力の変化が定常的になるまでにタイムラグが生じる。しかしながら、本願発明によれば、上記構成を採用するため、圧力制御室内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができる。
【００２６】
第６の構成によれば、前記別体部材が、前記インオリフィス、前記圧力制御室用空間、及び前記アウトオリフィスを有する第１部材と、前記インジェクタボデー内において前記第１部材に直接又は間接的に積層配置され、前記接続通路及び前記分岐通路を有するとともに、前記ダイアフラム部が前記接続通路とは異なる部位において前記分岐通路に接続されて形成された第２部材と、を備えることを特徴としている。
【００２７】
インジェクタボデーとは別体形成された第２部材内に薄肉部を有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、ダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。さらに、ダイアフラム部を含む第２部材を圧力制御室の一部を構成する第１部材と積層させて配置させるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００２８】
第７の構成によれば、前記第２部材は、所定厚さを有する板状部材からなり、前記変位検出手段は、前記第２部材の前記ダイアフラム部の前記高圧流体の導入側とは反対面に設けられた歪検出素子を有し、前記ダイアフラム部は、少なくとも前記歪検出素子の厚さ分、前記第２部材の表面から深い位置に配置されていることを特徴としている。
【００２９】
ダイアフラム部が、少なくとも歪検出素子の厚さ分、第２部材の表面から深い位置に配置されているため、第２部材をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【００３０】
なお、第８の構成のように、前記ダイアフラム部を、前記圧力制御室を構成する内壁の一部に設けられた薄肉部により構成させても良い。これにより、圧力制御室内部の圧力変動をタイムラグなく検出することができる。
【００３１】
第９の構成によれば、内部に前記流体通路及び前記噴孔が形成されたインジェクタボデーと、前記インジェクタボデーとは別体形成されて該インジェクタボデー内に配置された別体部材を備え、前記別体部材が、自身の内部に、一部に他部より薄肉の薄肉部を有する前記圧力制御室を備えることを特徴としている。これにより、圧力制御室内部の圧力変動をタイムラグなく検出することができる。
【００３２】
第１０の構成によれば、前記別体部材が、前記高圧流体が導入されるインオリフィスと、前記インオリフィスに連通するとともに前記圧力制御室の一部を構成する圧力制御室用空間と、前記圧力制御室用空間に連通するとともに前記高圧流体を低圧通路に排出するアウトオリフィスと、前記圧力制御室用空間の一部に設けられた前記薄肉部を備えることを特徴としている。
【００３３】
インジェクタボデーとは別体形成された別体部材内の圧力制御室用空間の一部に薄肉部を有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、第２の構成の効果に比べ、更にダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【００３４】
第１１の構成によれば、前記ダイアフラム部が、前記インオリフィス及び前記アウトオリフィスとは異なる部位において前記圧力制御室用空間に形成されていることを特徴としている。インオリフィス及びアウトオリフィス内部は、高圧流体の流れが速いため、圧力の変化が定常的になるまでにタイムラグが生じる。しかしながら、本願発明によれば、圧力制御室内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができる。
【００３５】
第１２の構成によれば、前記別体部材は、所定厚さを有する板状部材からなり、前記変位検出手段は、前記別体部材の前記ダイアフラム部の前記高圧流体の導入側とは反対面に設けられた歪検出素子を有し、前記ダイアフラム部は、少なくとも前記歪検出素子の厚さ分、前記別体部材の表面から深い位置に配置されていることを特徴としている。
【００３６】
ダイアフラム部が、少なくとも歪検出素子の厚さ分、第２部材の表面から深い位置に配置されているため、第２部材をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【００３７】
第１３の構成によれば、前記別体部材が、該インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材からなることを特徴としている。
【００３８】
別体部材をインジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材で形成するため、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００３９】
第１４の構成によれば、前記ノズルニードルの閉弁方向に付勢する力を前記ノズルニードルに対して伝連する制御ピストンを備え、前記制御ピストンは、前記インジェクタボデー内において、上端部が前記圧力制御室に臨んで配置されることで前記圧力制御室で発生される力を受けるものであり、前記上端部は、前記噴孔の開弁時に、前記分岐通路が開口する部分よりも所定距離（Ｌ）だけ前記噴孔側に離間されて配置されることを特徴としている。
【００４０】
開弁時に制御ピストンの上端部が分岐通路よりも反噴孔側にある場合、制御ピストンが分岐通路を覆ってしまう場合が生じる。この場合、変位検出手段が圧力制御室内の圧力変化を検出できるのは、圧力制御室内の圧力が上昇して制御ピストンが閉弁方向に移動して分岐通路が開放された後となるため、検出までの時間的なロスが生じる。一方、本願発明では、上記構成を採るため、噴孔の開弁時にも分岐通路を常に圧力制御室と連通した状態にできる。
【００４１】
第１５の構成のように、前記圧力制御室が、前記流体通路から前記高圧流体の一部が導入されるインオリフィス、前記インオリフィスに連通する圧力制御室用空間、及び前記圧力制御室用空間に連通するとともに前記高圧流体を低圧通路に排出するアウトオリフィスを有し、前記ダイアフラム部が前記圧力制御室用空間に接続されることが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明を具体化した各実施形態、及び本発明を実施する上で参考となる各実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【００４３】
（参考となる第１実施形態）
本発明を実施する上で参考となる第１実施形態について図１〜図３を用いて説明する。図１は、本実施形態のインジェクタＩＮＪｚ（燃料噴射弁）をコモンレールＣＬｚ（蓄圧器）に接続した状態を示す図、図２はインジェクタＩＮＪｚ単体を示す断面図、図３は歪ゲージ６０ｚ（歪み検出センサ）の取付構造を示す図である。
【００４４】
まず、図１及び図２に基づいて、インジェクタの基本的な構成、作動について説明する。インジェクタＩＮＪｚは、コモンレールＣＬｚ内に蓄えられた高圧燃料を、内燃機関の気筒内に形成された燃焼室Ｅ１ｚに噴射するものであり、内燃機関のシリンダヘッドＥ２ｚに組み付けられている。
【００４５】
なお、本実施形態では、４輪自動車用ディーゼルエンジン（内燃機関）を対象にしており、燃焼室Ｅ１ｚに直接的に高圧燃料（例えば噴射圧力「１０００気圧」以上の軽油）を噴射供給（直噴供給）する方式のエンジンである。また、当該エンジンは、多気筒（例えば直列４気筒）の４ストローク、レシプロ式ディーゼルエンジンを想定している。また、コモンレールＣＬｚには、図示しない燃料ポンプにより燃料タンク内の燃料が高圧で供給されている。
【００４６】
インジェクタＩＮＪｚは、開弁時に燃料を噴射するノズル１ｚ、電荷の充放電により伸縮するピエゾアクチュエータ２ｚ、ピエゾアクチュエータ２ｚにより駆動されてノズル１ｚの背圧を制御する背圧制御機構３ｚを備えている。なお、背圧制御機構３ｚを駆動させるアクチュエータとして、ピエゾアクチュエータ２ｚに替えて電磁コイルを採用してもよい。また、背圧制御機構３ｚを廃止してアクチュエータによりノズル１ｚを直接駆動させる直動式インジェクタを採用してもよい。
【００４７】
ノズル１ｚは、噴孔１１ｚが形成されたノズルボディ１２ｚ（通路部材）、ノズルボディ１２ｚの弁座に接離することにより噴孔１１ｚを開閉するニードル１３ｚ、及びニードル１３ｚを閉弁向きに付勢するスプリング１４ｚを備えている。
【００４８】
ピエゾアクチュエータ２ｚは、ピエゾ素子を多数積層してなる積層体（ピエゾスタック）により構成されている。ピエゾ素子は圧電効果により伸縮する容量性の負荷であり、その充電と放電とで伸長状態と縮小状態とが切り替えられる。これにより、ピエゾスタックはニードル１３ｚを作動させるアクチュエータとして機能する。なお、ピエゾアクチュエータ２ｚへの電力供給は、図１に示す電気コネクタＣＮｚに接続された配線（図示せず）からなされる。
【００４９】
背圧制御機構３のバルブボディ３１ｚ（通路部材）内には、ピエゾアクチュエータ２ｚの伸縮に追従して移動するピストン３２ｚ、ピストン３２ｚに駆動される球状の弁体３３ｚが収納されている。ちなみに、図１ではバルブボディ３１ｚを１つの部品として図示しているが、実際には複数に分割されている。
【００５０】
略円筒状のインジェクタボディ４ｚ（通路部材）は、その径方向中心部に、インジェクタ軸線方向（図２の上下方向）に延びる段付き円柱状の収納孔４１ｚが形成されており、この収納孔４１ｚにピエゾアクチュエータ２ｚ及び背圧制御機構３が収納されている。また、略円筒状のリテーナ５ｚをインジェクタボディ４ｚに螺合させることにより、インジェクタボディ４ｚの端部にノズル１ｚが保持されている。
【００５１】
インジェクタボディ４ｚ、バルブボディ３１ｚ及びノズルボディ１２ｚには、コモンレールＣＬｚから常に高圧燃料が供給される高圧燃料通路４ａｚ，３１ａｚ，１２ａｚが形成され、インジェクタボディ４ｚおよびバルブボディ３１ｚには、図示しない燃料タンクに接続される低圧通路４ｂｚが形成されている。また、これらのボディ１２ｚ，４ｚ，３１ｚは金属製であり、内燃機関のシリンダヘッドＥ２ｚに形成された挿入穴Ｅ３ｚに挿入配置されている。インジェクタボディ４ｚにはクランプＫｚの一端と係合する係合部４２ｚ（押付面）が形成されており、クランプＫｚの他端をシリンダヘッドＥ２ｚにボルトで締め付けることにより、クランプＫｚの一端が係合部４２ｚを挿入穴Ｅ３ｚに向けて押し付けることとなる。これにより、インジェクタは挿入穴Ｅ３ｚ内に押し付けられた状態で固定される。
【００５２】
ニードル１３ｚの外周面とノズルボディ１２ｚの内周面との間には、高圧室１５ｚ（高圧燃料通路）が形成されている。この高圧室１５ｚは、ニードル１３ｚが開弁方向に変位した際に噴孔１１ｚと連通する。また、高圧室１５ｚには、高圧燃料通路３１ａｚを介して常に高圧燃料が供給されている。ニードル１３ｚにおける反噴孔側には背圧室１６ｚが形成されている。この背圧室１６ｚには前述したスプリング１４ｚが配置されている。
【００５３】
バルブボディ３１ｚには、バルブボディ３１ｚ内の高圧燃料通路３１ａｚとノズル１ｚの背圧室１６ｚとを連通させる経路中に高圧シート面３５ｚが形成され、バルブボディ３１ｚ内の低圧通路４ｂｚとノズル１ｚの背圧室１６ｚとを連通させる経路中に低圧シート面３６ｚが形成されている。そして、高圧シート面３５ｚと低圧シート面３６ｚとの間に前述した弁体３３ｚが配置されている。
【００５４】
インジェクタボディ４ｚには、後に詳述するコネクタ７０ｚ（図１及び図３参照）により高圧配管５０ｚと接続される高圧ポート４３ｚ（コネクタ接続部）、及び低圧配管（リーク配管）と接続される低圧ポート４４ｚ（リーク配管接続部）が形成されている。なお、高圧ポート４３ｚは、図２に示すようにクランプＫｚに対して噴孔１１ｚの反対側に配置してもよいし、クランプＫｚに対して噴孔側に配置してもよい。また、高圧ポート４３ｚは、図２に示すようにインジェクタボディ４ｚの軸方向（図２の上下方向）端部に形成してもよいし、インジェクタボディ４ｚの側面に形成してもよい。
【００５５】
上記構成において、コモンレールＣＬｚにて蓄圧された高圧燃料は、各気筒に対して設けられたコモンレールＣＬｚの出口部から流出し、高圧配管５０ｚ及びコネクタ７０ｚを通じて高圧ポート４３ｚに供給され、高圧燃料通路４ａｚ，３１ａｚを流通した後、高圧室１５ｚ及び背圧室１６ｚに向けて流通する。そして、ピエゾアクチュエータ２ｚが縮んだ状態では、図２に示すように弁体３３ｚが低圧シート面３６ｚに接して背圧室１６ｚは高圧燃料通路３１ａｚと接続され、背圧室１６ｚには高圧燃料が導入される。そして、この背圧室１６ｚ内の燃料圧とスプリング１４ｚとによってニードル１３ｚが閉弁向きに付勢されて噴孔１１ｚが閉じられている。
【００５６】
一方、ピエゾアクチュエータ２ｚに電圧が印加されてピエゾアクチュエータ２ｚが伸びた状態では、弁体３３ｚが高圧シート面３５ｚに接して背圧室１６ｚは低圧通路４ｂｚと接続され、背圧室１６ｚ内は低圧になる。そして、高圧室１５ｚ内の燃料圧が低下することに伴ってニードル１３ｚが開弁向きに付勢されて噴孔１１ｚが開かれ、この噴孔１１ｚから燃焼室Ｅ１ｚへ燃料が噴射される。
【００５７】
次に、インジェクタＩＮＪｚ、コネクタ７０ｚ及び高圧配管５０ｚ等のシリンダヘッドＥ２ｚへの組み付け手順について簡単に説明する。
【００５８】
はじめに、シリンダヘッドＥ２ｚの挿入穴Ｅ３ｚにインジェクタＩＮＪｚを挿入し、クランプＫｚをシリンダヘッドＥ２ｚにボルトで締め付けることにより、インジェクタＩＮＪｚをシリンダヘッドＥ２ｚに組み付ける。次に、歪ゲージ６０ｚが薄肉部７０ｂｚに予め組み付けられた状態のコネクタ７０ｚと高圧配管５０ｚとを互いに接続する。次に、高圧配管５０ｚが組み付けられた状態のコネクタ７０ｚと、インジェクタＩＮＪｚの高圧ポート４３ｚとを接続する。以上により、インジェクタＩＮＪｚ、コネクタ７０ｚ及び高圧配管５０ｚ等のシリンダヘッドＥ２ｚへの組み付けが完了する。そして、全ての気筒に対して同様の組み付けが完了した後、各気筒の高圧配管５０ｚをコモンレールＣＬｚに接続する。なお、上記説明では高圧配管５０ｚとコネクタ７０ｚとを接続した後にインジェクタＩＮＪｚとコネクタ７０ｚとを接続しているが、インジェクタＩＮＪｚとコネクタ７０ｚとを接続した後に高圧配管５０ｚとコネクタ７０ｚとを接続するようにしてもよい。
【００５９】
ここで、噴孔１１ｚからの燃料噴射に伴い高圧燃料の圧力は変動する。この圧力変動を検出する歪ゲージ６０ｚがコネクタ７０ｚに取り付けられている。歪ゲージ６０ｚにより検出された圧力変動波形中に、噴孔１１ｚからの噴射開始に伴い燃圧が下降を開始した時期を検出することで、実際の噴射開始時期を検出することができる。また、噴射終了に伴い燃圧が上昇を開始した時期を検出することで、実際の噴射終了時期を検出することができる。また、これらの噴射開始時期及び噴射終了時期に加え、噴射に伴い生じた燃圧の下降量を検出することで、噴射量を検出することができる。換言すれば、歪ゲージ６０ｚは燃料噴射に伴う噴射率の変化を検出していると言える。
【００６０】
次に、歪ゲージ６０ｚ及びコネクタ７０ｚの取付構造について、図３を用いて説明する。
【００６１】
コネクタ７０ｚは金属製であり、インジェクタＩＮＪｚの高圧ポート４３ｚと高圧配管５０ｚとの間に取り付けられている。また、コネクタ７０ｚはインジェクタＩＮＪｚの軸線方向（図３の上下方向）に延びる略円筒形状であり、円筒内部は連通路７０ａｚとして機能する。この連通路７０ａｚは、高圧ポート４３ｚに形成された燃料流入口４３ａｚ（図２参照）と高圧配管５０ｚの流出口とを連通させる。
【００６２】
コネクタ７０ｚ（通路部材）のうち連通路７０ａｚ（高圧燃料通路）の側面部分、すなわちコネクタ７０ｚの円筒部分には、その肉厚を局部的に薄くした薄肉部７０ｂｚが形成されており、この薄肉部７０ｂｚの外周側の面（連通路７０ａｚと反対側の面）に歪ゲージ６０ｚを貼り付けている。換言すれば、コネクタ７０ｚの外周面に外周側から凹む凹部７０ｃｚを形成することで上記薄肉部７０ｂｚを形成しており、歪ゲージ６０ｚは凹部７０ｃｚ内に収容される。
【００６３】
さらに凹部７０ｃｚ内には、後述する電圧印加回路及び増幅回路を構成する回路部品６１ｚが収容されている。これらの回路は、ワイヤボンドにより歪ゲージ６０ｚと接続されている。電圧印加回路から電圧印加された歪ゲージ６０ｚは、図示しない他の抵抗素子とブリッジ回路を構成するとともに、薄肉部７０ｂｚにて生じた歪の大きさに応じて抵抗値が変化する。これにより、薄肉部７０ｂｚの歪に応じてブリッジ回路の出力電圧が変化し、当該出力電圧が高圧燃料の圧力検出値として増幅回路に出力される。増幅回路は、歪ゲージ６０ｚ（ブリッジ回路）から出力される圧力検出値を増幅し、増幅した信号を出力する。
【００６４】
ここで、実際の燃圧が同じであってもその時の薄肉部７０ｂｚの温度によって薄肉部７０ｂｚの歪量は異なる値となる。そこで本実施形態では、圧力検出値に対して以下に説明する温度補正を行っている。先ず、連通路７０ａｚに既知の温度及び圧力の燃料を供給し、その時の歪ゲージ６０ｚによる検出圧力を計測する試験を行う。薄肉部７０ｂｚの温度と燃料温度とは相関が高いため、薄肉部７０ｂｚの温度に替えて燃料温度を計測している。この計測では、想定される温度範囲について試験計測する。そして、実際の燃料温度と検出圧力との関係を温度特性値として取得し、取得した温度特性値を記憶手段としてのＱＲコード（登録商標）に記憶させ、そのＱＲコード９０ｚはインジェクタＩＮＪｚに貼り付けられている（図１参照）。
【００６５】
ＱＲコード９０ｚに記憶された温度特性値はスキャナ装置により読み込まれ、その後、インジェクタＩＮＪｚの作動を制御するエンジンＥＣＵ（図示せず）に記憶される。そして、インジェクタＩＮＪｚを内燃機関に搭載した工場出荷後の状態において、エンジンＥＣＵは、記憶された温度特性値と燃料温度の検出値とを用いて、歪ゲージ６０ｚから出力された圧力検出値を補正する。なお、燃料温度は、コモンレールＣＬｚに取り付けられた温度検出センサ８０ｚ（図１参照）により検出する。
【００６６】
さらに本実施形態では、個体差による圧力検出値のばらつきを補正する以下の処理を行っている。先ず、連通路７０ａｚに既知の圧力（実際の圧力）の燃料を供給し、その時の歪ゲージ６０ｚによる検出圧力を計測する。この計測では、想定される圧力範囲について試験計測する。そして、実際の圧力と検出圧力との関係を燃圧特性値として取得し、取得した燃圧特性値をＱＲコード９０ｚに記憶させる。ＱＲコード９０ｚに記憶された燃圧特性値は、スキャナ装置により読み込まれてエンジンＥＣＵに記憶される。そして、インジェクタＩＮＪｚを内燃機関に搭載した工場出荷後の状態において、エンジンＥＣＵは、記憶された燃圧特性値を用いて、歪ゲージ６０ｚから出力された圧力検出値を補正する。
【００６７】
以上詳述した本実施形態によれば、以下の効果が得られるようになる。
【００６８】
（１）インジェクタＩＮＪｚと高圧配管５０ｚとを連結するためのコネクタ７０ｚに薄肉部７０ｂｚを形成し、その薄肉部７０ｂｚに歪ゲージ６０ｚを直接貼り付けるので、コネクタ７０ｚとは別体に構成された上述のステムを不要にして連通路７０ａｚの燃圧を検出できる。よって、燃圧検出装置を備えさせることによりコネクタ７０ｚが大型化することを抑制できる。また、上述のステムは高圧燃料に触れる必要があったためシール構造を要していたのに対し、本実施形態による歪ゲージ６０ｚ（歪み検出センサ）はその必要がないので、燃圧検出装置の構造簡素化を図ることができる。
【００６９】
（２）ここで、薄肉部７０ｂｚの内周側の面（連通路７０ａｚ側の面）に歪ゲージ６０ｚを貼り付けた場合には、歪ゲージ６０ｚの配線（図示せず）をコネクタ７０ｚの内部から外部に取り出すための取出穴が必要となる。しかも、この取出穴と歪ゲージ６０ｚの配線との間をシールするための構造も必要となる。これに対し本実施形態では、薄肉部７０ｂｚの外周側の面（連通路７０ａｚと反対側の面）に歪ゲージ６０ｚを貼り付けているので、上述の取出穴及びシール構造を不要にできる。
【００７０】
（３）ところで、薄肉部７０ｂｚに歪ゲージ６０ｚを貼り付けた上記構造では、ステムに歪ゲージを貼り付けた先述の構造に比べ、実際の燃圧と検出値との関係（燃圧特性）に個体差が生じ易いことが懸念される。つまり、コネクタ７０ｚを切削加工して形成した薄肉部７０ｂｚは、コネクタ７０ｚとは別体のステムに比べて形状に加工誤差等による個体差が生じ易いので、その個体差により燃圧特性にばらつきが生じることが懸念される。この懸念に対し本実施形態では、試験により予め取得された燃圧特性値をＱＲコード９０ｚに記憶させ、記憶された燃圧特性値に基づき歪ゲージ６０ｚによる圧力検出値を補正するので、上記個体差に起因した圧力検出値の誤差を解消できる。
【００７１】
（４）試験により予め取得された温度特性値をＱＲコード９０ｚに記憶させ、記憶された温度特性値と温度検出センサ８０ｚにより検出された燃料温度とに基づき、歪ゲージ６０ｚによる圧力検出値を補正するので、薄肉部７０ｂｚの温度に起因した歪ゲージ６０ｚによる圧力検出値の誤差を小さくできる。
【００７２】
（５）インジェクタＩＮＪｚの高圧ポート４３ｚと高圧配管５０ｚとの間にコネクタ７０ｚを取り付け、そのコネクタ７０ｚに高圧燃料の圧力を検出する歪ゲージ６０ｚを取り付けている。そのため、高圧配管５０ｚの配置スペースの一部をコネクタ７０ｚ及び歪ゲージ６０ｚの配置スペースとして置き換えて利用できる。よって、インジェクタＩＮＪｚ自体が歪ゲージ６０ｚ取り付けのために大型化することを抑制でき、歪ゲージ６０ｚ搭載のための新規配置スペースを最小限にできる。
【００７３】
（６）コネクタ７０ｚは、インジェクタボディ４ｚとは別体に形成されるとともにインジェクタＩＮＪｚに対して脱着可能に取り付けられているので、コネクタ７０ｚが取り外された状態でインジェクタＩＮＪｚをシリンダヘッドＥ２ｚに取り付けることができる。よって、インジェクタＩＮＪｚのシリンダヘッドＥ２ｚへの取付作業性を良好にできる。
【００７４】
（７）コネクタ７０ｚは、インジェクタボディ４ｚとは別体に形成されるとともにインジェクタＩＮＪｚに対して脱着可能に取り付けられているので、コモンレールＣＬｚの下流側に歪ゲージ６０ｚを搭載しない燃料噴射システムにおけるインジェクタと、本実施形態にかかるインジェクタＩＮＪｚとの構造を共通化して互換可能にできる。
【００７５】
（参考となる第２実施形態）
上記第１実施形態では、インジェクタＩＮＪｚと高圧配管５０ｚとを連結するコネクタ７０ｚに薄肉部７０ｂｚを形成しているのに対し、図４に示す本実施形態では、インジェクタボディ４ｚ（通路部材）に薄肉部４３ｂｚを形成している。
【００７６】
より具体的に説明すると、インジェクタボディ４ｚのうち高圧ポート４３ｚ近傍部分における高圧燃料通路４ａｚの側面部分には、その肉厚を局部的に薄くした薄肉部４３ｂｚが形成されており、この薄肉部４３ｂｚの外周側の面（高圧燃料通路４ａｚと反対側の面）に歪ゲージ６０ｚを貼り付けている。換言すれば、インジェクタボディ４ｚの外周面に外周側から凹む凹部４３ｃｚを形成することで上記薄肉部４３ｂｚを形成しており、歪ゲージ６０ｚ及び回路部品６１ｚは凹部４３ｃｚ内に収容される。
【００７７】
電気コネクタＣＮｚは、インジェクタボディ４ｚの外周面に沿って環状に延びる係合部ＣＮ１ｚを有している。この係合部ＣＮ１ｚがインジェクタボディ４ｚと係合することで、電気コネクタＣＮｚはインジェクタボディ４ｚに支持されている。そして凹部４３ｃｚは、係合部ＣＮ１ｚにより閉塞される位置に形成されており、これにより、歪ゲージ６０ｚ及び回路部品６１ｚは係合部ＣＮ１ｚにより覆われている。
【００７８】
以上の構成による本実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果が発揮されることに加え、電気コネクタＣＮｚの係合部ＣＮ１ｚにより歪ゲージ６０ｚ及び回路部品６１ｚを覆っているので、これらを覆う専用の蓋部材等を備える場合に比べて、部品点数を減らすことができる。しかも、電気コネクタＣＮｚの近傍に歪ゲージ６０ｚが配置されることとなるので、歪ゲージ６０ｚに接続される配線（図示せず）を電気コネクタＣＮｚ内の端子に接続することを容易にできる。つまり、歪ゲージ６０ｚ用の電気コネクタと、ピエゾアクチュエータ２ｚに電力供給するための電気コネクタとを共通化させることを、容易に実現できる。
【００７９】
さらに、本実施形態による薄肉部４３ｂｚは、第１実施形態による薄肉部７０ｂｚに比べて噴孔１１ｚに近い位置となるので、燃料を噴孔１１ｚから噴射させることに伴い生じる燃圧変動を、より一層精度良く検出できる。
【００８０】
（参考となる第３実施形態）
インジェクタＩＮＪｚがシリンダヘッドＥ２ｚの挿入穴Ｅ３ｚに挿入配置されていることは先述した通りであるが、上記第２実施形態では、インジェクタボディ４ｚのうち挿入穴Ｅ３ｚの外部に位置する部分に薄肉部４３ｂｚを形成している。これに対し、図５に示す本実施形態では、インジェクタボディ４ｚのうち挿入穴Ｅ３ｚの内部に位置する部分に薄肉部４ｃｚを形成している。
【００８１】
より具体的に説明すると、インジェクタボディ４ｚに形成された高圧燃料通路４ａｚの最下流位置に薄肉部４ｃｚが形成されており、この薄肉部４ｃｚの外周側の面（高圧燃料通路４ａｚと反対側の面）に歪ゲージ６０ｚを貼り付けている。換言すれば、インジェクタボディ４ｚの外周面に外周側から凹む凹部４ｄｚを形成することで上記薄肉部４ｃｚを形成しており、歪ゲージ６０ｚ及び回路部品６１ｚは凹部４ｄｚ内に収容される。
【００８２】
歪ゲージ６０ｚに接続される配線（図示せず）は、インジェクタボディ４ｚと挿入穴Ｅ３ｚとの間にて配策するようにしてもよいし、インジェクタボディ４ｚの内部に配線経路を形成するようにしてもよい。この場合、低圧通路４ｂｚ内に配線を配策することで、低圧通路４ｂを配線経路とすることが一例として挙げられる。
【００８３】
図２を用いて先述した通り、リテーナ５ｚをインジェクタボディ４ｚに螺合させることによりインジェクタボディ４ｚの端部にノズル１ｚを保持させている。そして本実施形態では、リテーナ５ｚの端部に軸方向に延びる延出部５ａｚを形成し、この延出部５ａｚにより凹部４ｄｚを閉塞して歪ゲージ６０ｚ及び回路部品６１ｚを覆っている。
【００８４】
以上の構成による本実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果が発揮されることに加え、リテーナ５ｚに形成された延出部５ａｚにより歪ゲージ６０ｚ及び回路部品６１ｚを覆っているので、これらを覆う専用の蓋部材等を備える場合に比べて、部品点数を減らすことができる。
【００８５】
さらに、本実施形態による薄肉部４ｃｚは、第２実施形態による薄肉部４３ｂｚに比べて噴孔１１ｚに近い位置となるので、燃料を噴孔１１ｚから噴射させることに伴い生じる燃圧変動を、より一層精度良く検出できる。
【００８６】
（第４実施形態）
上記各実施形態による薄肉部７０ｂｚ，４３ｂｚ，４ｃｚは、コネクタ７０ｚ又はインジェクタボディ４ｚ（通路部材）のうち、高圧燃料通路７０ａｚ，４ａｚの側面部分に形成されている。これに対し、図６に示す本実施形態では、高圧燃料通路４ａｚから分岐した分岐通路４３ｆｚを形成し、インジェクタボディ４ｚのうち分岐通路４３ｆｚの端面部分に薄肉部４３ｄｚを形成している。これによれば、高圧燃料通路４ａｚから分岐して薄肉部４３ｄｚへ高圧燃料を導入するよう形成された分岐通路４３ｆｚは、高圧燃料通路４ａｚに比べて燃料の流れを殆ど無くすことができる。そして、燃料流れが殆ど生じない分岐通路４３ｆｚの高圧燃料を歪ゲージ６０ｚは検出することとなるので、燃料の流れによる燃圧検出の精度悪化を回避できる。
【００８７】
（第５実施形態）
図７は、上記ディーゼル機関を含む蓄圧式燃料噴射装置１００の全体構成図である。図８は、本実施形態に係るインジェクタ２を示す断面図である。図９（ａ）、（ｂ）は、本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ）〜（ｅ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図及び平面図である。図１０（ａ）,（ｂ）は、圧力検出部材の要部を示す断面図及び平面図である。図１１（ａ）〜（ｃ）は、圧力センサの製造方法を示す断面図である。以下、本実施形態にかかる燃料噴射装置１００を図面を参照しつつ説明する。
【００８８】
図７に示されるように、燃料タンク１０２から汲み上げられた燃料は、高圧燃料供給ポンプ（以下、サプライポンプ）１０３により加圧され高圧状態でコモンレール１０４に供給される。コモンレール１０４は、サプライポンプ１０３から供給される燃料を高圧状態で蓄え、高圧燃料通路１０５を介してインジェクタ２に供給する。インジェクタ２は、例えば自動車等の車両に搭載された多気筒（本実施形態では、４気筒）のディーゼルエンジン（以下、エンジンと呼ぶ）の各気筒ごとに設けられ、コモンレール１０４内に蓄圧された高圧燃料（高圧流体）を燃焼室内に直接噴射供給する。また、インジェクタ２は、低圧燃料通路１０６とも接続されており、低圧燃料通路１０６を介して燃料タンク１０２に燃料を戻すことが可能となっている。
【００８９】
電子制御装置（ＥＣＵ）１０７は、マイクロコンピュータやメモリ等を備えて構成され、ディーゼル機関の出力の制御を行なう。この制御に際しては、ＥＣＵ１０７は、コモンレール１０４内の燃料圧を検出する燃圧センサ１０８の検出結果や、ディーゼル機関のクランク軸の回転角度を検出するクランク角センサ１０９の検出結果、ユーザによるアクセルペダルの操作量を検出するアクセルセンサ１１０、各インジェクタ２に設けられてインジェクタ内の燃料圧を検出する圧力検出部８０等、各種センサの検出結果を取り込み、これら検出結果を参照する。
【００９０】
図８に示されるように、インジェクタ２は、ノズルニードル２０を軸方向に移動可能に収容するノズルボデー１２と、ノズルニードル２０を閉弁側に付勢する付勢部材としてのスプリング３５を収容するロアボデー１１と、ノズルボデー１２とロアボデー１１とを所定の締付軸力により締結する締付け部材としてのリテーニングナット１４と、流体制御弁としての電磁弁装置７、高圧燃料の圧力を検出する圧力検出部８０とを含んで構成されている。ノズルボデー１２、ロアボデー１１、およびリテーニングナット１４は、ノズルボデー１２とロアボデー１１とをリテーニングナット１４で締結することでインジェクタのノズル本体を構成している。本実施形態では、ロアボデー１１とノズルボデー１２がインジェクタボデーを構成している。また、ノズルニードル２０とノズルボデー１２はノズル部を構成している。
【００９１】
ノズルボデー１２は、略筒状体に形成され、先端部（図８中の下方側の端部）側に、高圧燃料を燃焼室に噴射するための噴孔１２ｂを１個又は複数個備えた略筒状部材である。
【００９２】
このノズルボデー１２の内部には、中実円柱状のノズルニードル２０を軸方向移動可能に保持するための収容孔（以下、第１ニードル収容孔）１２ｅが形成されている。この第１ニードル収容孔１２ｅの図中の中間部位には、その孔径が拡げられた燃料溜り室１２ｃが設けられている。具体的には、ノズルボデー１２の内周は、燃料流れの下流に向かって、第１ニードル収容孔１２ｅ、燃料溜り室１２ｃ、弁座１２ａの順に形成されており、弁座１２ａの下流側にノズルボデー１２の内外を貫通する噴孔１２ｂが設けられている。
【００９３】
弁座１２ａは、円錐台面を有しており、円錐台面の大径側が第１ニードル収容孔１２ｅに連続し、小径側が噴孔１２ｂに向かって延びている。この弁座１２ａにノズルニードル２０が着座および離座可能に配置され、着座および離間することでノズルニードル２０が閉弁および開弁する。
【００９４】
さらに、ノズルボデー１２には、このノズルボデー１２の図示上端側の合わせ面から燃料溜り室１２ｃへ延びる燃料送出路１２ｄが設けられている。この燃料送出路１２ｄは、ロアボデー１１の後述の燃料供給路１１ｂと連通することで、コモンレール１０４内で蓄圧された高圧燃料を燃料溜り室１２ｃを経由し弁座１２ａ側へ送り込む。燃料送出路１２ｄと燃料供給路１１ｂとは高圧燃料通路を構成する。
【００９５】
ロアボデー１１は、略筒状体に形成されており、内部に、スプリング３５、およびノズルニードル２０を駆動するための制御ピストン３０を軸方向に移動可能に収容するための収容孔（以下、第２ニードル収容孔）１１ｄが設けられている。この第２ニードル収容孔１１ｄの図示下端側の合わせ面には、中間の内周１１ｄ１よりは大きく拡げられた内周１１ｄ２が形成されている。
【００９６】
具体的には、この内周（以下、スプリング室とも呼ぶ）１１ｄ２には、スプリング３５、および環状部材３１、および制御ピストン３０のニードル部３０ｃを収容するいわゆるスプリング室が形成されている。環状部材３１は、スプリング３５とノズルニードル２０との間に挟み込まれて配置されており、スプリング３５によりノズルニードル２０を閉弁方向に付勢するスプリング受け部を構成する。ニードル部３０ｃは、ノズルニードル２０に、環状部材３１を介して間接的に、もしくは直接的に当接可能に構成されている。
【００９７】
さらに、ロアボデー１１には、コモンレール１０４の分岐管に接続される高圧配管（図７参照）が気密に連結する継手部（以下、インレット部）１１ｆが設けられている。このインレット部１１ｆは、コモンレール１０４から供給された高圧燃料を導入する入口である流体導入部２１と、燃料供給路１１ｂ（第１の流体通路）へ導く燃料導入路１１ｃ（第２の流体通路）とを有し、燃料導入路１１ｃ内部には、バーフィルタ１３が配置されている。ロアボデー１１のインレット部１１ｆの内部、およびスプリング室１１ｄ２の周囲には、燃料供給路１１ｂが設けられている。
【００９８】
また、ロアボデー１１には、スプリング室１１ｄ２に導かれた燃料を、図７に示した燃料タンク等の低圧配管系内に戻すための燃料逃がし通路（リーク回収用通路とも呼ぶ）（図示せず）が設けられている。燃料逃がし通路、スプリング室１１ｄ２は低圧燃料通路を構成する。
【００９９】
なお、図８に示すように、制御ピストン３０の他端部側には、電磁弁装置７により油圧が給排される圧力制御室（以下、油圧制御室とも言う）８、１６ｃが設けられている。
【０１００】
この油圧制御室８、１６ｃの油圧を増減することで、ノズルニードル２０を閉弁および開弁する。具体的には、油圧制御室８、１６ｃから油圧が抜かれ、減少すると、ノズルニードル２０および制御ピストン３０がスプリング３５の付勢力に抗して図８中の軸方向上方に移動し、ノズルニードル２０が開弁する。一方、油圧制御室８、１６ｃに油圧が導入され、増加すると、ノズルニードル２０および制御ピストン３０がスプリング３５の付勢力によって図９中の軸方向下方に移動し、ノズルニードル２０が閉弁する。
【０１０１】
なお、制御ピストン３０の端部外壁（上端部）３０ｐと、第２ニードル収容孔１１ｄと、オリフィス部材１６、及び圧力検出部材８１（通路部材に相当）とによって圧力制御室８、１６ｃ、１８ｃが形成されている。端部外壁３０ｐは、噴孔１２ｂの開弁時に、オリフィス部材１６と面接触している圧力検出部材８１の平坦面８２と同一面かそれよりも噴孔１２ｂ側に位置ずれして配置されている。つまり、噴孔１２ｂの開弁時に、端部外壁３０ｐが圧力検出部材８１の圧力制御室１８ｃ部分に収納される。
【０１０２】
次に、電磁弁装置７について詳細に説明する。電磁弁装置７は、圧力制御室８、１６ｃ、１８ｃと低圧通路（以下、導通路とも呼ぶ）１７ｄとを断続する電磁二方弁である。電磁弁装置７は、ロアボデー１１の反噴孔側の端部に配設されている。電磁弁装置７は、ボデーアッパー５２によりロアボデー１１に固定されている。第２ニードル収容孔１１ｄの反噴孔側の端部には、弁ボデーとしてのオリフィス部材１６が設けられている。
【０１０３】
オリフィス部材１６は、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第１部材）から構成されている。また、オリフィス部材１６はインジェクタボデーを構成するロアボデー１１及びノズルボデー１２とは別体的に（別工程にて、及び／又は別部材として）形成され、形成後、ロアボデー１１に組み付けられて一体的に保持される。オリフィス部材１６には、図９（ａ）、図９（ｂ）に示すように、連通路１６ａ、１６ｂ、１６ｃが設けられている。ここで、図９（ｂ）はオリフィス部材１６をバルブアーマチャ４２側から見た平面図である。連通路（以下、オリフィスとも呼ぶ）１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、出口側絞り部としてのオリフィス（以下、アウトオリフィス）１６ａと、入口側絞り部としてのオリフィス（以下、インオリフィス）１６ｂと、第２ニードル収容孔１１ｄに連通する圧力制御室１６ｃとを有する。
【０１０４】
アウトオリフィス１６ａは、弁座１６ｄと圧力制御室１６ｃとを連通するように配置され、弁部材４１を介したバルブアーマチャ４２の閉弁および開弁により閉塞および流通する。インオリフィス１６ｂは、平坦面１６２に開口して燃料を導入する入口部１６ｈを有する。この入口部１６ｈは、圧力制御室１６ｃと後述する圧力検出部材８１に形成された検出部連通路１８ｈを介して、燃料供給路１１ｂから分岐された分岐燃料供給路１１ｇとを連通する位置に配置されている。
【０１０５】
なお、弁部材４１を介して開弁および閉弁するオリフィス部材１６の弁座１６ｄと、バルブアーマチャ４２の弁構造については後述する。
【０１０６】
オリフィス部材１６の反噴孔側には、弁ハウジングとしてのバルブボデー１７が設けられている。バルブボデー１７の外周部には雄ねじが形成されており、バルブボデー１７がロアボデー１１の筒状ねじ部にねじ込まれることによってオリフィス部材１６がバルブボデー１７とロアボデー１１とに挟持されている。バルブボデー１７は略円筒形状に形成されており、貫通孔１７ａ、１７ｂが設けられている（図８参照）。貫通孔（以下、ガイド孔とも呼ぶ）１７ａと貫通孔１７ｂとの間には、導通路１７ｄが形成されている。
【０１０７】
オリフィス部材１６のバルブボデー側端面１６１と、貫通孔１７ａの内壁とによって弁室１７ｃが形成されている。オリフィス部材１６の外壁には、二面幅面（図示せず）が形成されており、二面幅面と、ロアボデー１１の内壁の間に形成された隙間１６ｋは貫通孔１７ｂに連通している（図８参照）。
【０１０８】
図９（ｃ）、（ｄ）に示すように、圧力検出部８０は、インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体的に（別々に）形成された圧力検出部材８１からなる。ここで、図９（ｄ）は圧力検出部材８１をオリフィス部材１６側から見た平面図である。圧力検出部材８１は、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第２部材）で構成され、ロアボデー１１内において、オリフィス部材１６と直接又は間接的に積層されて、ロアボデー１１及びノズルボデー１２に対して一体的に保持されている。本実施形態では、圧力検出部材８１は平坦面８２を有し、オリフィス部材１６の噴射弁側の平坦面１６２と、面同士で液密に直接積層されている。圧力検出部材８１とオリフィス部材１６は、略同一の外形を有し、両者を重ね合わせた際に、オリフィス部材１６の入口部１６ｈ、貫通穴１６ｐ、圧力制御室１６ｃの位置が、圧力検出部材８１の検出部連通路１８ｈ、貫通穴１８ｐ、圧力制御室１８ｃの位置に夫々一致するように形成されている。また、検出部連通路１８ｈの反オリフィス部材側は、燃料供給路１１ｂから分岐した分岐燃料供給路１１ｇに対応した位置に開口している。これにより、圧力検出部材８１の貫通孔１８ｈは、燃料供給路１１ｂから圧力制御室への通路の一部を構成している。
【０１０９】
圧力検出部材８１は、更に、オリフィス部材１６側から所定深さと内径を有する溝からなる圧力検出空間１８ｂを備え、その溝底部がダイアフラム部１８ｎを構成している。ダイアフラム部１８ｎの、圧力検出空間１８ｂとは反対側の表面には、後述する半導体式の圧力センサ１８ｆが一体的に貼り合され、接合されている。
【０１１０】
ダイアフラム部１８ｎは、圧力検出空間１８ｂの反対側表面から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置しており、圧力センサ１８ｆが接合される側の表面は、圧力検出空間１８ｂよりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部１８ｎの厚さが制御される。圧力検出部材８１の平坦面８２には、検出部連通路１８ｈと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａ（分岐通路）が、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。溝部１８ａは圧力検出部材８１がオリフィス部材１６と面接触した際に、オリフィス部材１６の平坦面を壁の一部とする合成通路（分岐通路）を形成する。これにより、溝部１８ａ（分岐通路）は、燃料供給路１１ｂから圧力制御室８，１６ｃへの通路であるインオリフィス１６ｂに一部が接続され、他部がダイアフラム部１８ｎに接続されている。これにより、ダイアフラム部１８ｎは圧力検出空間１８ｂに導入された高圧燃料の作用する圧力により歪むことが可能となる。
【０１１１】
ここで、ダイアフラム部１８ｎは、溝部１８ａとオリフィス部材１６との間で形成される合成通路と圧力検出空間１８ｂを含めた分岐通路のうちで、その通路肉厚が最も薄く構成されている。合成通路の通路肉厚は合成通路の内壁から見た圧力検出部材８１及びオリフィス部材１６の厚さを言う。
【０１１２】
なお、溝部１８ａに代えて、図９（ｅ）に示すように、検出部連通路１８ｈから圧力検出空間１８ｂに連結するように傾斜して設けられた孔部としても良い。なお、圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）とダイアフラム部１８ｎとで圧力検出部を構成する。
【０１１３】
以下に、図１０を参照して、圧力検出部について詳細に説明する。
【０１１４】
圧力センサ１８ｆは、圧力検出空間１８ｂに形成された円形のダイアフラム部１８ｎと、一面側がダイアフラム部１８ｎの一面をなす窪み部１８ｇの底部に接着された変位検出手段としての単結晶半導体チップ（以下、半導体チップという）１８ｒとを備え、ダイアフラム部１８ｎの他面１８ｑ側にエンジンの燃料噴射圧力等に応じた圧力媒体（気体、液体等）を導入し、ダイアフラム部１８ｎおよび半導体チップ１８ｒの変形に基づき圧力検出を行うようにしたものである。
【０１１５】
圧力検出部材８１は切削等により形成され、中空円筒形状の圧力検出空間１８ｂを成し、ガラスと熱膨張率が同程度であるＦｉ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金であるコバール等により構成されている。圧力検出部材８１においては、ダイアフラム部１８ｎが形成され、圧力検出空間１８ｂ側から、圧力媒体としての高圧燃料が導入され、ダイアフラム部１８ｎの他面１８ｑに圧力が印加されるようになっている。
【０１１６】
ここで、圧力検出部材８１の寸法の一例を示すと、円筒の外径は６．５ｍｍ、円筒の内径は２．５ｍｍ、ダイアフラム部１８ｎの肉厚は、例えば２０ＭＰａの測定に際しては０．６５ｍｍ、２００ＭＰａの測定に際しては１．４０ｍｍである。窪み部１８ｇの底面であるダイアフラム部１８ｎの一面に接着された半導体チップ１８ｒは、面方位が（１００）面であり且つ全体が均一な肉厚の平面形状を成す単結晶シリコン基板よりなり、その一面１８ｉが低融点ガラス等よりなるガラス層１８ｋにより、ダイアフラム部１８ｎの一面（窪み部１８ｇの底面）に固定されている。
【０１１７】
ここで、半導体チップ１８ｒの寸法の一例を示すと、３．５６ｍｍ×３．５６ｍｍの正方形状で、肉厚は０．２ｍｍである。また、ガラス層１８ｋの厚さは０．０６ｍｍである。また、半導体チップ１８ｒの他面１８ｊ側には、４個のピエゾ抵抗素子である長方形状のゲージ１８ｍ（歪み検出センサに相当）が配設されている。上述のように、（１００）面方位を有する半導体チップ１８ｒには、その構造上、＜１１０＞結晶軸が相直交して存在する。
【０１１８】
４個のゲージ１８ｍは、＜１１０＞結晶軸方向の２軸方向に沿ってそれぞれ２個ずつ配置される。ここで、一対のゲージはその長辺方向をＸ方向に沿って位置し、一対のゲージがその短辺方向をＹ方向に沿って位置する。さらに、これら４個のゲージ１８ｍは、ダイアフラム部１８ｎの中心Ｏに対する円周上に配置されている。
【０１１９】
また、図示しないが、半導体チップ１８ｒには、４個のゲージ１８ｍがブリッジ回路を構成し且つ外部回路と接続するための配線・パッド、さらには保護膜が形成される。半導体チップ１８ｒの主な製造工程としては、図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、ｎ型サブウエハ１９ａに、フォトリソグラフィにより所望のパターンを形成後、ボロン等を拡散させてＰ＋領域１９ｂを形成し、ピエゾ抵抗素子であるゲージ１８ｍが形成される。これに、配線・パッド１９ｃ及び配線・パッドの絶縁を確保する酸化膜１９ｄを形成し、さらに保護膜を形成し、パッド上の保護膜をエッチングすれば、半導体チップ１８ｒは完成である。
【０１２０】
そして、完成したチップ１８ｒを、圧力検出部材８１のダイアフラム部１８ｎ上に低融点ガラスを用いて接着することにより、図１０に示す圧力センサ１８ｆが出来上がる。圧力センサ１８ｆは上記構成により、高圧燃料の作用する圧力により変位する（撓む）ダイアフラム部１８ｎの変位を電気的な信号（本実施例では、ピエゾ抵抗素子の抵抗変化に伴うブリッジ回路の電位差）に変換する。その電気的な信号が、図示しない外部の処理回路で処理されて圧力が検出される。
【０１２１】
なお、処理回路は、チップ１８ｒ上にモノリシックに作り込まれても良いが、本実施形態では、チップ１８ｒの上方に、例えばフリップチップのような表面実装接続により電気接続された処理基板１８ｄ上に、上記のブリッジ回路を構成する定電流源や比較器等を作り込んでも良い。処理基板１８ｄには、また、圧力センサ１８ｆの感度データとインジェクタの噴射量特性を示すデータが記憶された不揮発性メモリを有する（図示せず）。そして、処理基板１８ｄの一辺に配置された接続パッドに電気配線１８ｅの一端が接続され、電気配線１８ｅの他端は、バルブボデー１７内に形成された配線通路（図示せず）を通って、コネクタ５０に一体形成されたターミナルピン５１ｂへ接続され、ＥＣＵ１０７と接続されている。
【０１２２】
ピエゾ抵抗素子を含む圧力センサ１８ｆと低融点ガラスが歪検出素子を構成する。ここで、ダイアフラム部１８ｎは、少なくとも圧力センサ１８ｆと低融点ガラスの厚さ分、圧力検出部材８１の圧力検出空間１８ｂとは反対の表面から深い位置に配置されている。処理基板１８ｄと電気配線１８ｅが更に厚さ方向に配置される場合は、その分の厚さも含めた距離よりも深い位置にダイアフラム部１８ｎの反圧力検出空間１８ｂ表面が配置される。
【０１２３】
なお、本実施形態では、変位検出手段として金属製のダイアフラム部１８ｎに貼り合わせられた半導体式の圧力センサ１８ｆを採用しているが、これに限られたものでなく、ダイアフラム部１８ｎに金属膜等で構成される歪検出素子を、貼り合わせたり蒸着形成したりして形成しても良い。
【０１２４】
図８に戻り、コイル６１は、樹脂製のスプール６２に直接巻回され、スプール６２およびコイル６１の外周側は図示しない樹脂モールドにより覆われている。なお、巻回装置により巻回されたコイル（以下、巻回コイル）６１の外周を樹脂モールドにより被覆した後に、被覆された巻回コイル６１に２次樹脂成形を行なってスプール６２と一体に成形されるものであってもよい。コイル６１の端部は、コネクタ５０にターミナルピン５１ｂと一体的に形成されたターミナルピン５１ａへ電気的に接続され、ＥＣＵ１０７と接続されている。
【０１２５】
固定コア６３は、略円筒状に形成されており、内周側コア部と、外周側コア部と、これら両コア部に接続する上端部とを備え、内周側コア部と外周側コア部との間にコイル６１が挟み込まれている。固定コアは磁性材で形成されている。
【０１２６】
固定コア６３の図８中の下部側には、バルブアーマチャ４２が固定コア６３に向き合うように配置されおり、固定コア６３の下端面（以下、磁極面）とバルブアーマチャ４２の上端面（以下、磁極面）が近接および離間可能に配置されている。電流供給によりコイル６１に発生する電磁力を利用し、内周側コア部および外周側コア部の磁極面からバルブアーマチャ４２の磁極面に向けて磁束が流れ、磁束密度に応じた吸引力がバルブアーマチャ４２に作用する。
【０１２７】
固定コア６３の内側には、略円筒状のストッパ６４が挿入配置され、固定コア６３と上部ハウジング５３の間に挟まれて固定されている。ストッパ６４内には、圧縮スプリングなどの付勢部材５９（バネ部材）が配置されている。この付勢部材５９の付勢力は、バルブアーマチャ４２に作用し、バルブアーマチャ４２の磁極面と固定コアの磁極面のエアギャップが広がる方向に付勢している。ストッパ６４のバルブアーマチャ側の端面は、バルブアーマチャ４２がフルリフトする際のリフトを規制する。
【０１２８】
ストッパ６４およびボデーアッパー５２の内側には、弁室１７ｃ、貫通孔１７ｂを介して流出した燃料が低圧側へ流出する燃料通路３７が形成されている。
【０１２９】
ここで、上部ハウジングとしてのボデーアッパー５２と、中間ハウジング５４と、下部ハウジングとしてのバルブボデー１７とは、弁ハウジングを構成している。中間ハウジング５４は略筒状に形成され、固定コア６３をガイドするように収容している。具体的には、固定コア６３は段付きの略有底円筒状に形成され、中間ハウジング５４の下端部の内周側に挿入されている。固定コア６３の外周は、段付きを境に下方に向かって縮径しており、その段付きが、中間ハウジング５４の内周側に形成された段差に係止されることにより、固定コア６３が中間ハウジング５４から脱落するのを防止している。
【０１３０】
バルブアーマチャ４２は、略平板状に形成された平板部と、平板部より小径の小径軸部とを備えている。平板部の上端面は、固定コア６３の内側コア部および外側コア部の磁極面に対向して配置される磁極面が形成されている。バルブアーマチャ４２は磁性材からなり、例えばパーメンジュールで形成されている。平板部の下部側に小径軸部が形成されている。
【０１３１】
バルブアーマチャ４２の小径軸部の端面４２ａには、略球状の弁部材４１が設けられており、バルブアーマチャ４２は、弁部材４１を介してオリフィス部材１６の弁座１６ｄに着座および離座が可能である。なお、オリフィス部材１６は、ピン等の位置決め部材９２を介してロアボデー１１に位置決め固定されている。オリフィス部材１６の貫通穴１６ｐ及び圧力検出部材８１の貫通穴１８ｐは、位置決め部材９２を挿入する係止穴である。
【０１３２】
次に、弁部材４１を介して互いに着座および離座するバルブアーマチャ４２と、弁座１６ｄを有するオリフィス部材１６の弁構造について、図９に従って説明する。
【０１３３】
図９に示すように、バルブアーマチャ４２の小径軸部の弁部材側の端面４２ａは、平坦面に形成され、弁部材４１の球面部４１ａに当接および離間可能である。また、バルブアーマチャ４２の小径部は、バルブボデー１７の貫通孔１７ａの内周に軸方向移動可能に保持されるとともに、弁室１７ｃに挿通可能に配置されている。弁部材４１を介してバルブアーマチャ４２と弁座１６ｄが着座および離座することにより、油圧制御室８、１６ｃより弁室１７ｃへの燃料流れが遮断および流通する。
【０１３４】
具体的には、弁部材４１は、平面部４１ｂを有する球状体であって、平面部４１ｂが、弁座１６ｄに着座および離座可能に配置されている。弁部材４１は、平面部４１ｂの着座時にアウトオリフィス１６ａを閉塞する。平面部４１ｂは、第２の平坦面を構成する。
【０１３５】
また、オリフィス部材１６のバルブアーマチャ側の端面１６１には、弁部材４１の球面部４１ａを摺動自在に支持する有底孔状のガイド孔１６ｇが設けられている。弁座１６ｄは、ガイド孔１６ｇの内周の底部に設けられており、平面状のシート面を形成している。弁座１６ｄはシート部を構成し、ガイド孔１６ｇはガイド部を構成する。また、弁座１６ｄは、オリフィス部材１６に形成された段差部を構成する。また、ガイド孔１６ｇの開口端と、オリフィス部材１６の端面１６１は面一であり、ガイド部とオリフィス部の端面は面一である特徴を有する。
【０１３６】
弁座１６ｄの外周は、ガイド孔１６ｇの内周より小さく形成されており、弁座１６ｄとガイド孔１６ｇとの間には、環状の燃料逃がし通路１６ｅが設けられている。弁座１６ｄの外周は、弁部材４１の平面部４１ｂの外周より小さく形成されている。これにより、弁部材４１の平面部４１ｂと、弁座１６ｄが着座および離座する際に、ガイド孔１６ｇの底部のうち、平面部４１ｂに着座する弁座１６ｄ以外の部位で燃料流れを制限することはない。
【０１３７】
なお、燃料逃がし通路１６ｅは、弁座と第２の平坦面との密着領域において設けられる流体逃がし通路を構成する。
【０１３８】
また、燃料逃がし通路１６ｅは、弁座１６ｄ側からガイド孔１６ｇ側に向かって流路断面積が大きくなるように形成されている。これにより、弁部材４１が弁座１６ｄより離座したときに弁座１６ｄより流出する燃料をスムースに低圧側へ流すことができる。
【０１３９】
上述のように弁部材４１はガイド孔１６ｇに軸方向移動可能に支持されているため、ガイド孔１６ｇの内周と、弁部材４１の球面部４１ａの球面との隙間の大きさは、互いに摺動可能な程度のガイドクリアランスに設定されている。このガイドクリアランスによる燃料リーク量だけでは、弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料流量が限られる。
【０１４０】
本実施形態では、ガイド孔１６ｇの内壁には、低圧側の弁室１７ｃに連通する燃料リーク溝１６ｒが設けられており、この燃料リーク溝１６ｒによって弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料の流路面積を拡大する。これにより、ガイド孔１６ｇの内壁に、弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料の流路面積を拡大する燃料リーク溝１６ｒを設けるので、弁部材４１が弁座１６ｄより離座したときに、弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料の流量が絞られることはなく、連通路１６ａ、１６ｂ、１６ｃより流出すべき燃料流量を確保することができる。
【０１４１】
なお、上記燃料リーク溝１６ｒは、弁座１６ｄより放射状に延出するように、ガイド孔１６ｇの内壁に形成されている（図示せず）。これにより、上記連通路１６ａ、１６ｂ、１６ｃより流出すべき燃料流量に応じて、複数個（本実施例では、６個）の燃料リーク溝１６ｒを設けることができる。さらに複数個の燃料リーク溝１６ｒを放射状に設けるので、弁座１６ｄから流出し、燃料リーク溝１６ｒを流れる燃料の流体力によって弁部材４１の姿勢が不安定になることを防止できる。
【０１４２】
なお、弁座１６ｄの内周は、段付き内周に形成されており、出口側内周１６ｌ、アウトオリフィス１６ａ、および圧力制御室１６ｃの順に形成されている。
【０１４３】
なお、ここで、バルブアーマチャ４２は、支持部材を構成する。オリフィス部材１６は、弁座を有する弁ボデーを構成する。また、バルブボデー１７は、弁ハウジングを構成する。
【０１４４】
上述の構成を有するインジェクタ２の作動について以下説明する。高圧源であるコモンレール１０４から高圧配管、燃料供給路１１ｂ、燃料送出路１２ｄを介して燃料溜り室１２ｃに高圧燃料が供給されるとともに、燃料供給路１１ｂ、インオリフィス１６ｂを介して油圧制御室８、１６ｃに高圧燃料が供給される。
【０１４５】
コイル６１への非通電時には、バルブアーマチャ４２および弁部材４１は、付勢部材５９の付勢力により弁座１６ｄ側（図８の下方）へ押し当てられ、弁部材４１が弁座１６ｄに着座する。弁部材４１の着座によりアウトオリフィス１６ａが閉塞され、油圧制御室８、１６ｃから弁室１７ｃ、低圧通路１７ｄへの燃料流れが遮断される。
【０１４６】
このとき、油圧制御室８、１６ｃに蓄えられている燃料圧力（以下、背圧）は、コモンレール１０４の内部の燃料圧力（以下、コモンレール圧）と同一の圧力に維持される。油圧制御室８、１６ｃに蓄えられている背圧により制御ピストン３０を介してノズルニードル２０を噴孔閉塞方向へ付勢する作用力（以下、第１作用力）と、スプリング３５の付勢力によりノズルニードル２０を噴孔閉塞方向へ付勢する作用力（以下、第２作用力）との和は、燃料溜り室１２ｃおよび弁座１２ａ近傍のコモンレール圧によりノズルニードル２０が噴孔開放方向に受ける作用力（以下、第３作用力）より大きくなっている。そのため、ノズルニードル２０は弁座１２ａに着座し、噴孔１２ｂが閉塞されている。噴孔１２ｂから燃料は噴射されない。なお、弁座１６ｄに着座している弁部材４１には、閉塞されているアウトオリフィス１６ａ（詳しくは、出口側内周１６ｌ）内の燃料圧力（背圧）が作用している。
【０１４７】
コイル６１への通電が開始されると（以下、インジェクタ２の開時）、コイル６１に電磁力が発生し、固定コア６３とバルブアーマチャ４２の両磁極面間に発生する磁気吸引力により、バルブアーマチャ４２が固定コア６３方向に吸引される。このとき、弁部材４１は、上記アウトオリフィス１６ａの背圧により離座方向に向かう作用力（以下、第４作用力） が働いているので、バルブアーマチャ４２と共に弁部材４１が弁座１６ｄから離座する。その弁部材４１が離座すると、ガイド孔１６ｇに沿って弁部材４１が固定コア６３方向に移動する。
【０１４８】
このとき、バルブアーマチャ４２および弁部材４１の弁座１６ｄからの離座により、アウトオリフィス１６ａを介して油圧制御室８、１６ｃから弁室１７ｃ、低圧通路１７ｄへ流れる燃料流れが発生する。油圧制御室８、１６ｃ内の燃料が低圧側へ開放されるため、油圧制御室８、１６ｃによる背圧が低下する。背圧が低下すると、第１作用力が次第に減少する。そして、ノズルニードル２０の噴孔閉塞方向に作用する第１作用力および第２作用力より、ノズルニードル２０の噴孔開放方向に作用する第３作用力が大きくなると、ノズルニードル２０は弁座１２ａより離座し、図８の上方へリフトする。ノズルニードル２０がリフトすると、噴孔１２ｂは開放され、噴孔１２ｂより燃料が噴射される。
【０１４９】
また、コイル６１への通電が停止されると（以下、インジェクタ２の閉時）、コイル６１の電磁力が消滅するため、付勢部材５９の付勢力によりバルブアーマチャ４２および弁部材４１が弁座１６ｄ方向に移動する。弁部材４１の平面部４１ｂが弁座１６ｄに着座すると、油圧制御室８、１６ｃから弁室１７ｃ、低圧通路１７ｄへの燃料の流出が停止される。そして油圧制御室８、１６ｃによる背圧が増加し、第１作用力および第２作用力が第３作用力に勝るようになると、ノズルニードル２０が図８の下方へ移動し始める。そして、ノズルニードル２０が弁座１２ａに着座すると、燃料噴射が終了する。
【０１５０】
上記構成の実施形態によれば、自身の内部に圧力検出部を配置することが可能となった。そして、上記に加え、更に、以下の効果を奏する。
【０１５１】
薄肉部からなるダイアフラム部１８ｎを、燃料供給路１１ｂから分岐された分岐通路に設けるため、燃料通路近傍のインジェクタ外壁に直接ダイアフラム部１８ｎを設けることに比べて、ダイアフラム部１８ｎの形成が容易になる。また、この結果、ダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になるために厚さバラツキを防止でき、圧力検出精度を向上することができる。
【０１５２】
ダイアフラム部１８ｎは、分岐通路を構成する部分の中で、通路肉厚が最も薄く構成されている部分であるため、圧力変動に伴うダイアフラムの変位を大きくすることができる。
インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体形成された圧力検出部材８１内にダイアフラム部１８ｎと孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部１８ｎを容易に加工・形成することができる。この結果、更にダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０１５３】
さらに、ダイアフラム部１８ｎを含む圧力検出部材８１を圧力制御室８，１６ｃの一部を構成するオリフィス部材１６と積層させて配置させるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１５４】
圧力検出部材８１を、インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材で形成するため、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１５５】
分岐通路を燃料供給路１１ｂから圧力制御室８，１６ｃへの通路から分岐させるようにしているため、分岐通路を燃料供給路１１ｂに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１５６】
ダイアフラム部１８ｎが、少なくとも歪検出素子の厚さ分、圧力検出部材８１の表面から深い位置に配置されているため、圧力検出部材８１をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【０１５７】
インジェクタボデー内に配線通路を備えるため、結線の取り回しが簡単になる。また、電磁弁装置７（アクチュエータ）のコイル６１への信号を導入するターミナルピン５１ａと、圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）からの信号を出力するターミナルピン５１ｂとが、共通のコネクタ５０に一体的に形成されているため、外部との接続のための組み付け工程を一度に行うことができる。
【０１５８】
なお、本実施形態では、検出部連通路１８ｈが「高圧燃料通路」に相当し、その高圧燃料通路を形成している圧力検出部材８１が「通路部材」に相当する。そして、この圧力検出部材８１に形成されたダイアフラム部１８ｎが「薄肉部」に相当する。
【０１５９】
（第６実施形態）
図１２は、本発明の第６実施形態に係るインジェクタ２２を示す断面図である。図１３（ａ）〜（ｃ）は、圧力検出部材の要部を示す部分断面図及び平面図である。以下、本実施形態にかかる燃料噴射装置を図面を参照しつつ説明する。なお、第５実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１６０】
第６実施形態は、第５実施形態で用いた圧力検出部８０に代わり、圧力検出部８５を備えたものである。
【０１６１】
図１２に示されるように、インジェクタ２２は、ノズルニードル２０を軸方向に移動可能に収容するノズルボデー１２と、ノズルニードル２０を閉弁側に付勢する付勢部材としてのスプリング３５を収容するロアボデー１１と、ノズルボデー１２とロアボデー１１との間に挟持された圧力検出部８５と、ノズルボデー１２と圧力検出部８５とロアボデー１１とを所定の締付軸力により締結する締付け部材としてのリテーニングナット１４と、流体制御弁としての電磁弁装置７、を含んで構成されている。
【０１６２】
オリフィス部材１６の入口部１６ｈは、圧力制御室１６ｃと燃料供給路１１ｂから分岐された分岐燃料供給路１１ｇとを連通する位置に配置されている。また、圧力制御室は、オリフィス部材１６の圧力制御室８、１６ｃにより構成されている。
【０１６３】
圧力検出部８５は、図１３（ａ）〜（ｃ）に示すように、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０（及びノズルニードル２０）の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第２の板状部材）で構成される圧力検出部材８６（通路部材に相当）からなり、ノズルボデー１２とロアボデー１１との間に挟持されている。本実施形態では、圧力検出部材８６は平坦面８２を有し、ノズルボデー１２に形成される平坦面と、面同士で液密に直接積層されている。圧力検出部材８６は、ロアボデー１１のノズルボデー１２側端面と略同一形状を有し、略円形に形成されている。圧力検出部材８６は、ノズルボデー１２とロアボデー１１との間に挟持された際に、ロアボデー１１の燃料供給路１１ｂ、制御ピストン３０のニードル部３０ｃの先端部分、位置決め部材９２挿入部の位置が、圧力検出部材８６の検出部連通路１８ｈ、貫通穴１８ｓ、位置決め用貫通穴１８ｔの位置に一致するように形成されている。また、検出部連通路１８ｈの反ロアボデー側は、ノズルボデー１２側の燃料送出路１２ｄに対応した位置に開口している。これにより、圧力検出部材８６の検出部連通穴１８ｈは、燃料供給路１１ｂから燃料送出路１２ｄへの通路の一部を構成している。
【０１６４】
圧力検出部材８６は、更に、ノズルボデー１２側から所定深さと内径を有する溝からなる圧力検出空間１８ｂを備え、その溝底部がダイアフラム部１８ｎを構成している。ダイアフラム部１８ｎの表面には、図１０と図１１で説明した半導体式の圧力センサ１８ｆが接合されている。ダイアフラム部１８ｎは、圧力検出空間１８ｂが形成された側と反対側の圧力検出部材８６の表面から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置しており、圧力センサ１８ｆが接合される側の表面は、圧力検出空間１８ｂよりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部の厚さが制御される。圧力検出部材８１の平坦面８２には、検出部連通路１８ｈと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａ（分岐通路）が、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。本実施形態では、溝部１８ａは、制御ピストン３０のニードル部３０ｃの先端部分の挿入部を挟んで、左右に複数（好ましくは２つ）形成されている。よって、燃料供給路１１ｂの燃料を効率良く圧力検出空間１８ｂへ導出することができる。
【０１６５】
第５実施形態同様、ピエゾ抵抗素子を含む圧力センサ１８ｆと低融点ガラスが歪検出素子を構成する。ここで、ダイアフラム部１８ｎは、少なくとも圧力センサ１８ｆと低融点ガラスの厚さ分、圧力検出部材８６の圧力検出空間１８ｂとは反対の表面から深い位置に配置されている。処理基板１８ｄと電気配線１８ｅが更に厚さ方向に配置される場合は、その分の厚さも含めた距離よりも深い位置にダイアフラム部１８ｎの反圧力検出空間１８ｂ表面が配置される。
【０１６６】
本実施形態によっても、第５実施形態と同様な効果を奏することができる。特に、第６実施形態では、第５実施形態に加え、以下の効果がある。
【０１６７】
インジェクタボデーとは別体形成された圧力検出部材８６内にダイアフラム部１８ｎと孔部又は溝部１８ａとを有するため、ダイアフラム部１８ｎを容易に加工・形成することができる。この結果、ダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。圧力検出部材８６は、ロアボデー１１とノズルボデー１２との間に積層配置されるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。さらに、ノズルボデー１２近傍の高圧燃料の圧力を検出できるため、実際に噴射されている燃料の圧力変化をタイムラグが少なく検出することができる。
【０１６８】
分岐通路をロアボデー１１とノズルボデー１２との間に積層配置された金属の圧力検出部材８６内に設けているため、分岐通路を燃料供給路１１ｂ、及び燃料送出路１２ｄに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。よって、自身の内部に圧力検出部８５が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１６９】
ダイアフラム部１８ｎが、少なくとも歪検出素子の厚さ分、圧力検出部材８６の表面から深い位置に配置されているため、圧力検出部材８６をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【０１７０】
なお、本実施形態では、検出部連通路１８ｈが「高圧燃料通路」に相当し、その高圧燃料通路を形成している圧力検出部材８６が「通路部材」に相当する。そして、この圧力検出部材８６に形成されたダイアフラム部１８ｎが「薄肉部」に相当する。
【０１７１】
（第７実施形態）
本発明の第７実施形態について説明する。図１４（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ），（ｄ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｅ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図である。なお、第５〜第６実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１７２】
第７実施形態は、圧力検出部８０として、第５実施形態で用いた圧力検出部材８１の代わりに、図１４（ｃ），（ｄ）で示すような圧力検出部材８１Ａ（通路部材に相当）を用いたものであり、その他の構成・機能・効果は、同図（ａ），（ｂ）に示す本実施形態のオリフィス部材１６も含め、第５実施形態と同様である。
【０１７３】
図１４（ｃ），（ｄ）に示すように、本実施形態の圧力検出部材８１Ａは、インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体的に（別々に）形成された圧力検出部材８１Ａからなる。圧力検出部材８１Ａは、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第２部材）で構成され、ロアボデー１１内において、オリフィス部材１６と直接又は間接的に積層されて、ロアボデー１１及びノズルボデー１２に対して一体的に保持されている。
【０１７４】
本実施形態では、圧力検出部材８１Ａは平坦面８２を有し、オリフィス部材１６の噴孔側の平坦面１６２と、面同士で液密に直接積層されている。圧力検出部材８１Ａとオリフィス部材１６は、略同一の外形を有し、両者を重ね合わせた際に、オリフィス部材１６の入口部１６ｈ、貫通穴１６ｐ、圧力制御室１６ｃの位置が、圧力検出部材８１の検出部連通路１８ｈ、貫通穴１８ｐ、圧力制御室１８ｃの位置に夫々一致するように形成されている。また、検出部連通路１８ｈの反オリフィス部材側は、燃料供給路１１ｂから分岐した分岐燃料供給路１１ｇに対応した位置に開口している。これにより、圧力検出部材８１の貫通孔１８ｈは、燃料供給路１１ｂから圧力制御室１６ｃ、１８ｃへの通路の一部を構成している。
【０１７５】
圧力検出部材８１Ａは、更に、オリフィス部材１６側から所定深さと内径を有する溝からなる圧力検出空間１８ｂを備え、その溝底部がダイアフラム部１８ｎを構成している。ダイアフラム部１８ｎの、圧力検出空間１８ｂとは反対側の表面には、図１０で示したような半導体式の圧力センサ１８ｆが一体的に貼り合され、接合されている。
【０１７６】
ダイアフラム部１８ｎは、圧力検出空間１８ｂの反対側表面から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置しており、圧力センサ１８ｆが接合される側の表面は、圧力検出空間１８ｂよりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部１８ｎの厚さが制御される。圧力検出部材８１Ａの平坦面８２には、圧力検出部材８１Ａ内の圧力制御室１８ｃと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａ（分岐通路）が、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。溝部１８ａは圧力検出部材８１Ａがオリフィス部材１６と液密に面接触することで、オリフィス部材１６の平坦面１６２を壁の一部とする合成通路（分岐通路）を形成する。これにより、溝部１８ａ（分岐通路）は、貫通孔１８ｈとは異なる位置にて、圧力制御室１６ｃ，１８ｃに対して一部が接続され、他部がダイアフラム部１８ｎに接続されている。これにより、ダイアフラム部１８ｎは圧力検出空間１８ｂに導入された高圧燃料の作用する圧力により歪むことが可能となる。
【０１７７】
ここで、ダイアフラム部１８ｎは、溝部１８ａとオリフィス部材１６との間で形成される合成通路と圧力検出空間１８ｂを含めた分岐通路のうちで、その通路肉厚が最も薄く構成されている。合成通路の通路肉厚は合成通路の内壁から見た圧力検出部材８１Ａ及びオリフィス部材１６の厚さを言う。
【０１７８】
図１４（ｅ）に示すように、制御ピストン３０の端部外壁（上端部）３０ｐ、オリフィス部材１６、及び圧力検出部材８１Ａによって圧力制御室１６ｃ、１８ｃが形成されている。端部外壁３０ｐは、噴孔１２ｂの開弁時に、溝部１８ａの下端部位置と同位置かそれよりも噴孔１２ｂ側に所定距離（Ｌ）だけ位置ずれして配置されている。つまり、噴孔１２ｂの開弁時（制御ピストン３０が弁部材４１側へリフトアップされた状態）に、端部外壁３０ｐが圧力検出部材８１Ａの圧力制御室１８ｃ部分に収納される。
【０１７９】
開弁時に制御ピストン３０の端部外壁３０ｐが溝部１８ａよりも反噴孔１２ｂ側にある場合、制御ピストン３０が溝部１８ａを覆ってしまう場合が生じる。この場合、圧力センサが圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内の圧力変化を検出できるのは、圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内の圧力が上昇して制御ピストン３０が閉弁方向に移動して溝部１８ａが開放された後となるため、検出までの時間的なロスが生じる。しかしながら、本実施形態では、端部外壁３０ｐが上記位置関係となっているため、噴孔１２ｂの開弁時にも分岐通路を常に圧力制御室と連通した状態にできる。なお、言うまでも無いが、閉弁時には制御ピストン３０は噴孔側に戻るので、端部外壁３０ｐは所定距離（Ｌ）＋リフト量分だけ、溝部１８ａよりも噴孔１２ｂ側に位置する。この際、閉弁時にも、端部外壁３０ｐが圧力検出部材８１Ａの圧力制御室１８ｃ部分に収納されるように配置されることが好ましい。これにより、圧力検出部材８１Ａとロアボデー１１との接触面付近を端部外壁３０ｐが通過する際に発生する可能性のある「引っかかり」を防止できる。
【０１８０】
上記構成の本実施形態では、オリフィス部材１６内に形成された空間１６ｃと圧力検出部材８１Ａ内に形成された空間１８ｃとで圧力制御室１６ｃ、１８ｃが形成される。動作時においては、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内部に高圧燃料の一部が供給され、充填されることで圧力制御室１６ｃ、１８ｃにノズルニードル２０を閉弁方向に付勢する力が生じ、噴孔１２ｂが閉弁される。これにより噴射が停止状態となる。一方、圧力制御室１６ｃ、１８ｃに充填された高圧燃料を排出することで、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内部に生じている力が低下し、ノズルニードルが開弁する。これにより噴孔からの噴射が開始される。つまり、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内部に発生している内部圧力の変化のタイミングは、噴孔からの噴射タイミングと略一致していると言える。
【０１８１】
従って、本実施形態においては、圧力制御室１６ｃ、１８ｃに溝部１８ａを介してダイアフラム部１８ｎを間接的に接続し、そのダイアフラム部１８ｎの変位を圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）により検出しているため、実際に噴孔１２ｂから噴射するタイミングも精度良く検出することができる。例えば、コモンレールシステムにおいて、各インジェクタから実際に噴射されている噴射量を検出したい場合、インジェクタボデー内の高圧燃料の圧力変化とその変化タイミングを計算することが考えられる。この場合においても、本実施形態においては、圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内部の圧力変化を検出しているため、その圧力変化量（圧力の絶対値、又は圧力の変動量）だけでなく、その変化タイミングも精度良く（タイムラグが少なく）検出することができる。
【０１８２】
圧力検出部材８１Ａは、第５実施形態のようなＦｉ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金であるコバール等により構成されていても良いが、本実施形態では、金属ガラスを用いて構成されている。金属ガラスは、結晶構造を持たないガラス状のアモルファス金属材料であり、低ヤング率であるため、圧力検出の感度を向上させることができる。例えば、Ｆｅ系：｛Ｆｅ−（Ａｌ、Ｇａ）−（Ｐ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ）｝や、Ｎｉ系：｛Ｎｉ−（Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ）−Ｂ｝やＴｉ系：｛Ｔｉ−Ｚｒ−Ｎｉ−Ｃｕ｝やＺｒ系：Ｚｒ−Ａｌ−ＴＭ（ＴＭ：ＶＩ〜ＶＩＩＩ族遷移金属）の金属ガラスを用いることができる。
【０１８３】
その一方で、オリフィス部材１６は、高流速の高圧燃料を内部で流通させ、また弁部材４１との接触を繰り返すため、硬度が高い方が好ましい。つまり、圧力検出部材８１Ａを構成する材料よりもオリフィス部材１６を構成する材料の硬度が高いことが好ましい。
【０１８４】
本実施形態では、溝部１８ａ（分岐通路）は圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内壁のうち、インオリフィス１６ｂとアウトオリフィス１６ａとは異なる（離間した）位置に形成されている。つまり、インオリフィス１６ｂからアウトオリフィス１６ａへの高圧燃料の流れ経路とは異なる位置である圧力検出部材８１Ａ側に形成されている。インオリフィス１６ｂ及びアウトオリフィス１６ａの内部及びその開口部付近は、高圧燃料の流れが速いため、圧力の変化が定常的になるまでにタイムラグが生じる。しかしながら、上記構成を採ることにより、圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができる。
【０１８５】
なお、図示しないが、図９（ｅ）に示した変形例同様、図１４（ｃ）の溝部１８ａに代えて、圧力検出部材８１Ａの圧力制御室１８ｃから圧力検出空間１８ｂに連結するように傾斜して設けられた孔部としても良い。
【０１８６】
上記構成の実施形態によれば、自身の内部に圧力検出部を配置することが可能となった。そして、上記に加え、第５実施形態同様、以下の効果を奏する。
【０１８７】
薄肉部からなるダイアフラム部１８ｎを、燃料供給路１１ｂから分岐された分岐通路に設けるため、燃料通路近傍のインジェクタ外壁に直接ダイアフラム部１８ｎを設けることに比べて、ダイアフラム部１８ｎの形成が容易になる。また、この結果、ダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になるために厚さバラツキを防止でき、圧力検出精度を向上することができる。
【０１８８】
ダイアフラム部１８ｎは、分岐通路を構成する部分の中で、通路肉厚が最も薄く構成されている部分であるため、圧力変動に伴うダイアフラムの変位を大きくすることができる。
【０１８９】
インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体形成された圧力検出部材８１Ａ内にダイアフラム部１８ｎと孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部１８ｎを容易に加工・形成することができる。この結果、更にダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０１９０】
さらに、ダイアフラム部１８ｎを含む圧力検出部材８１Ａを圧力制御室１６ｃ、１８ｃの一部を構成するオリフィス部材１６と積層させて配置させるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１９１】
圧力検出部材８１Ａを、インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材で形成するため、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１９２】
分岐通路を燃料供給路１１ｂから圧力制御室１６ｃ、１８ｃへの通路から分岐させるようにしているため、分岐通路を燃料供給路１１ｂに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部８０が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１９３】
ダイアフラム部１８ｎが、少なくとも歪検出素子の厚さ分、圧力検出部材８１Ａの表面から深い位置に配置されているため、圧力検出部材８１Ａをインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【０１９４】
インジェクタボデー内に配線通路を備えるため、結線の取り回しが簡単になる。また、電磁弁装置７（アクチュエータ）のコイル６１への信号を導入するターミナルピン５１ａと、圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）からの信号を出力するターミナルピン５１ｂとが、共通のコネクタ５０に一体的に形成されているため、外部との接続のための組み付け工程を一度に行うことができる。
【０１９５】
なお、本実施形態では、検出部連通路１８ｈが「高圧燃料通路」に相当し、その高圧燃料通路を形成している圧力検出部材８１Ａが「通路部材」に相当する。そして、この圧力検出部材８１Ａに形成されたダイアフラム部１８ｎが「薄肉部」に相当する。
【０１９６】
（参考となる第８実施形態）
本発明を実施する上で参考となる第８実施形態について説明する。図１５（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ），（ｄ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｅ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図である。なお、第５〜第７実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１９７】
第８実施形態は、圧力検出部８０として、第７実施形態で用いた圧力検出部材８１Ａの代わりに、図１５（ｃ），（ｄ）で示すような圧力検出部材８１Ｂ（通路部材に相当）を用いたものであり、その他の構成・機能・効果は、同図（ａ），（ｂ）に示す本実施形態のオリフィス部材１６も含め、第５実施形態と同様である。
【０１９８】
図１５（ｃ），（ｄ）に示すように、本実施形態の圧力検出部材８１Ｂも、インジェクタボデーとは別体的に形成されている。この圧力検出部材８１Ｂは、インジェクタ２の軸方向に対して、略垂直方向に配置される金属性の板状部材（第２部材）で構成され、ロアボデー１１内において、オリフィス部材１６と積層されて、ロアボデー１１に一体的に保持されている。
【０１９９】
また、本実施形態でも、圧力検出部材８１Ｂは平坦面８２を有し、オリフィス部材１６の噴孔側の平坦面１６２と、面同士で液密に直接積層されている。圧力検出部材８１Ｂとオリフィス部材１６は、略同一の外形を有し、両者を重ね合わせた際に、オリフィス部材１６の入口部１６ｈ、貫通穴１６ｐ、圧力制御室１６ｃの位置が、圧力検出部材８１Ｂの検出部連通路１８ｈ、貫通穴１８ｐ、圧力制御室１８ｃの位置に夫々一致するように形成されている。また、検出部連通路１８ｈの反オリフィス部材側は、燃料供給路１１ｂから分岐した分岐燃料供給路１１ｇに対応した位置に開口している。
【０２００】
ただし、本実施形態における圧力検出部材８１Ｂは、第７実施形態における圧力検出部材８１Ａと異なり、ダイアフラム部１８ｎが圧力制御室１８ｃに直接設けられた薄肉部からなる。より具体的には、ダイアフラム部（薄肉部）１８ｎは、圧力制御室１８ｃの内壁に直接設けられた凹部（圧力検出空間）１８ｂと、圧力検出部材８１Ｂの外部側壁から圧力制御室１８ｃに向かって形成された窪み部１８ｇとの間に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎの、圧力制御室１８ｃとは反対側の窪み部１８ｇの底面に、図１０で示したような半導体式の圧力センサ１８ｆが一体的に貼り合され、接合されている。
【０２０１】
窪み部１８ｇの深さは、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きく、また、窪み部１８ｇは、圧力制御室１８ｃに設けられた凹部１８ｂよりも大径に形成されている。そして、凹部１８ｂ及び窪み部１８ｇを形成する際の深さ制御により、ダイアフラム部１８ｎの厚さが制御される。
【０２０２】
このように、本実施形態では、ダイアフラム部１８ｎを、圧力制御室１８ｃを構成する内壁の一部に設けられた薄肉部により構成した。これにより、上述した第８実施形態と同様の作用効果を奏することができる。すなわち、圧力制御室１８ｃ内部の圧力変動を圧力センサ１８ｆによってタイムラグなく検出することができる。
【０２０３】
また、本実施形態においても、図１５（ｅ）に示すように、制御ピストン３０の端部外壁（上端部）３０ｐは、噴孔１２ｂの開弁時に、凹部１８ｂの下端部位置と同位置かそれよりも噴孔１２ｂ側に所定距離（Ｌ）だけ位置ずれするように配置されている。これにより、噴孔１２ｂの開弁時にも、圧力制御室１８ｃに導入された高圧燃料による圧力が、何ら障害なく、圧力制御室１８ｃの内壁に設けられた凹部１８ｂに作用する。このため、圧力センサ１８ｆにより、圧力制御室１８ｃ内の高圧燃料の圧力を精度良く検出することができる。
【０２０４】
さらに、本実施形態においても、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内壁の一部にダイアフラム部１８ｎとして機能する薄肉部を設け、そのダイアフラム部１８ｎの変位を圧力センサ１８ｆにより検出しているため、実際に噴孔１２ｂから燃料を噴射するタイミングも精度良く検出することができる。
【０２０５】
また、本実施形態では、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内壁の一部にダイアフラム部１８ｎを設けており、その位置は、インオリフィス１６ｂとアウトオリフィス１６ａから離間している。このため、インオリフィス１６ｂ及びアウトオリフィス１６ａの内部及びその開口部付近における、流れの速い高圧燃料の影響を受けにくくすることができ、圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができる。
【０２０６】
その他の作用効果は、第８実施形態と同様であるため、説明を省略する。なお、本実施形態においても、圧力検出部材８１Ｂを、金属ガラスを用いて形成しても良い。
【０２０７】
なお、本実施形態では、検出部連通路１８ｈが「高圧燃料通路」に相当し、その高圧燃料通路を形成している圧力検出部材８１Ｂが「通路部材」に相当する。そして、この圧力検出部材８１Ｂに形成されたダイアフラム部１８ｎが「薄肉部」に相当する。
【０２０８】
（第９実施形態）
本発明の第９実施形態について説明する。図１６（ａ），（ｂ）は本発明の第９実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの流体制御弁（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図及び平面図であり、同図（ｃ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図である。なお、第５〜第８実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２０９】
前述の第５〜第８実施形態では、高圧燃料の圧力を検出するための圧力検出部８０，８５，８７が、オリフィス部材１６とは別個の圧力検出部材８１，８１Ａ，８１Ｂ，８６に設けられていた。それに対して、本実施形態においては、圧力検出部８０として機能する構成をオリフィス部材１６Ａ（通路部材に相当）に組み込んだものである。
【０２１０】
以下、本実施形態におけるオリフィス部材１６Ａの具体的な構成を、図面を参照しつつ説明する。図１６（ａ），（ｂ）に示すように、本実施形態によるオリフィス部材１６Ａは，インジェクタ２の軸方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材から構成されている。このオリフィス部材１６Ａは、インジェクタボデーを構成するロアボデー１１及びノズルボデー１２とは別体的に形成され、その形成後、ロアボデー１１に組み付けられて一体的に保持される。
【０２１１】
オリフィス部材１６Ａには、第５実施形態におけるオリフィス部材１６と同様に、平坦面１６２に開口して燃料を導入する入口部１６ｈ、インオリフィス１６ｂ、アウトオリフィス１６ａ、圧力制御室１６ｃ、弁座１６ｄ、及び燃料リーク溝１６ｒ等が形成されている。それらの機能は、第５実施形態におけるオリフィス部材１６の該当する構成と同様である。
【０２１２】
ただし、本実施形態では、オリフィス部材１６Ａが、オリフィス部材１６Ａの反弁体部４１側の平坦面１６２に形成された溝部又は孔部からなる圧力検出空間１８ｂと、同様に平坦面１６２に形成されて、圧力検出空間１８ｂと圧力制御室１６ｃとを接続する溝部１８ａとを備える。
【０２１３】
また、オリフィス部材１６Ａのバルブボデー側端面１６１における、圧力検出空間１８ｂの形成位置に対応する位置に、半導体式の圧力センサ１８ｆを設置するための窪み部１８ｇが形成されている。従って、本実施形態では、オリフィス部材１６Ａの、圧力検出空間１８ｂと圧力センサ１８ｆを設置するための窪み部１８ｇとによって挟まれた部分が、高圧燃料によって歪むダイアフラム部１８ｎとなる。なお、図１６（ａ）などに示すように、バルブボデー１７の内部に、圧力センサ１８ｆからの信号線である電気配線をコネクタ５０まで導出するための配線通路が形成されており、その配線通路の開口部が圧力センサ１８ｆが配置された窪み部１８ｇに対応した位置に開口している。
【０２１４】
ダイアフラム部１８ｎの圧力検出空間１８ｂとは反対側表面（すなわち、窪み部１８ｇの底面）は、オリフィス部材１６Ａのバルブボデー側端面１６１から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置し、圧力検出空間１８ｂ側の表面よりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部１８ｎの厚さが制御される。
【０２１５】
オリフィス部材１６Ａの反弁体部４１側の平坦面１６２には、上述したように、圧力制御室１６ｃと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａが、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。本実施形態におけるオリフィス部材１６Ａは、圧力検出部材ではなく、ロアボデー１１と面接触される。その面接触時に、溝部１８ａは、ロアボデー１１の上端面を一部とする合成通路（分岐通路）を形成する。これにより、溝部１８ａ（分岐通路）を介して、圧力制御室１６ｃ内に導入された高圧燃料が、圧力検出空間１８ｂにも流入することができるようになる。
【０２１６】
なお、オリフィス部材１６Ａがロアボデー１１に重ね合わせられた際、オリフィス部材１６Ａの入口部１６ｈ、貫通穴１６ｐ、及び圧力制御室１６ｃの位置が、ロアボデー１１の燃料供給路１１ｂから分岐した分岐燃料供給路１１ｇ、有底孔（図示せず）、及び圧力制御室８の位置に夫々一致する。これにより、オリフィス部材１６Ａの入口部１６ｈ及びインオリフィス１６ｂは、燃料供給路１１ｂから圧力制御室１６ｃへの通路の一部を構成する。
【０２１７】
上述した構成を採用することにより、本実施形態においても、第８実施形態と同様の作用効果を奏することができる。特に、本実施形態では、オリフィス部材１６Ａが圧力検出部として機能する構成を兼ね備えているので、圧力検出部材を別個に設ける必要がなくなる。
【０２１８】
なお、本実施形態においても、図１６（ｃ）に示すように、制御ピストン３０の端部外壁（上端部）３０ｐの位置が、噴孔１２ｂの開弁時に、溝部１８ａの下端部位置と同位置かそれよりも噴孔１２ｂ側に所定距離（Ｌ）だけ位置ずれするように配置されている。これにより、噴孔１２ｂの開弁時にも、溝部１８ａ（の一部）が制御ピストン３０によって閉塞されないので、圧力制御室１６ｃに導入された高圧燃料と実質的に同じ圧力を持つ高圧燃料が常に圧力検出空間１８ｂにも導入される。このため、圧力センサ１８ｆにより、圧力制御室１６ｃ内の高圧燃料の圧力をタイムタグなく検出することができ、実際に噴孔１２ｂから燃料を噴射するタイミングも精度良く検出することができる。
【０２１９】
また、本実施形態でも、溝部１８ａ（分岐通路）は圧力制御室１６ｃの内壁のうち、インオリフィス１６ｂとアウトオリフィス１６ａから離間した位置に形成されている。このため、圧力センサ１８ｆにより、圧力制御室１６ｃ内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができる。その他の作用効果は、第８実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【０２２０】
ただし、本実施形態でも、溝部１８ａに代えて、図１６（ｄ）に示すように、圧力制御室１６ｃから圧力検出空間１８ｂに連結するように傾斜して設けられた孔部１８ａ’としても良い。
【０２２１】
なお、本実施形態では、入口部１６ｈ、インオリフィス１６ｂ、アウトオリフィス１６ａ、圧力制御室１６ｃ、溝部１８ａ及び圧力検出空間１８ｂが「高圧燃料通路」に相当し、その高圧燃料通路を形成しているオリフィス部材１６Ａが「通路部材」に相当する。そして、このオリフィス部材１６Ａに形成されたダイアフラム部１８ｎが「薄肉部」に相当する。
【０２２２】
（第１０実施形態）
本発明の第１０実施形態について説明する。図１７（ａ），（ｂ）は本発明の第１０実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの流体制御弁（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第５〜第９の実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２２３】
本実施形態によるオリフィス部材１６Ｂ（通路部材に相当）は、上述したオリフィス部材１６Ａと同様に、圧力検出部８０として機能する構成を組み込むように構成されている。このため、本実施形態においても、独立した圧力検出部材は設けられず、オリフィス部材１６Ｂのみが、ロアボデー１１に組み付けられる。
【０２２４】
ただし、第９実施形態によるオリフィス部材１６Ａと、本実施形態によるオリフィス部材１６Ｂとでは、圧力検出空間１８ｂの形成位置が相違する。その他の構成は、第９実施形態によるオリフィス部材１６Ａと同じであるため、以下、その相違点について説明する。
【０２２５】
図１７（ａ），（ｂ）に示すように、本実施形態によるオリフィス部材１６Ｂでは，圧力検出空間１８ｂが、平坦面１６２に開口して燃料を導入する入口部１６ｈからインオリフィス１６ｂを介して圧力制御室１６ｃに向かう流体通路から分岐するように形成されている。このように、圧力検出空間１８ｂには、上述した第９実施形態のように、一旦、圧力制御室１６ｃに導入された高圧燃料を分岐通路を介して導入する他に、本実施形態のように、圧力制御室１６ｃに導入される前の高圧燃料を、圧力検出空間１８ｂを分岐通路として、当該圧力検出空間１８ｂに導入するようにしても良い。いずれの場合であっても、分岐通路として、入口部１６ｈから圧力制御室１６ｃまでの流体通路に接続するための、あるいは圧力制御室１６ｃに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、オリフィス部材１６Ｂの内部に圧力検出部が設けられるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。その他の作用効果は、第９実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【０２２６】
なお、上記説明では、第５実施形態から第８の実施形態の圧力検出部８０，８５，８７を別々の実施形態として説明したが、１つのインジェクタ内に、複数の圧力検出部８０，８５，８７を用いても良い。また、複数の圧力検出部の一部又は全部として、第９，１０実施形態に記載した圧力検出部８０として機能する構成を備えたオリフィス部材１６Ａ，１６Ｂを用いても良い。
【０２２７】
この場合、使用方法にもよるが、一例としては、各圧力センサ１８ｆの信頼性を相互に保証するために冗長的に使用することができる。また、他の例としては、各センサの信号を利用して、更に細かい噴射量制御をすることが可能となる。つまり、燃料噴射直後、燃料供給路１１ｂの圧力は、微視的には噴孔１２ｂ側から低下して、流体導入部２１に向かってその圧力低下による脈動が伝播する。そして、燃料噴射後に閉弁した直後、やはり噴孔１２ｂ側から燃料圧力が上昇して、流体導入部２１に向かってその圧力上昇による脈動が伝播する。このように、燃料供給路１１ｂの燃料導入部２１から見た上流側と下流側との間の圧力変化の時間差を利用して、更に細かい噴射量制御をすることが可能となる。
【０２２８】
以下に、上記のような用途に適用可能な、１つのインジェクタ内に複数の圧力検出部を含む実施形態を、第５実施形態〜第１７実施形態に示す。
【０２２９】
なお、本実施形態では、入口部１６ｈ及び圧力検出空間１８ｂが「高圧燃料通路」に相当し、その高圧燃料通路を形成しているオリフィス部材１６Ｂが「通路部材」に相当する。そして、このオリフィス部材１６Ｂに形成されたダイアフラム部１８ｎが「薄肉部」に相当する。
【０２３０】
（第１１実施形態）
図１８は、本発明の第１１実施形態に係るインジェクタ２を示す断面図である。第５〜第４実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２３１】
本実施形態は、第５実施形態における圧力検出部８０と第６実施形態における圧力検出部８５を併せ持つものである。圧力検出部８０を構成する圧力検出部材８１は図９（ｃ），（ｄ）にて説明したものと同一であり、圧力検出部８５を構成する圧力検出部材８６は図１３（ａ）〜（ｃ）にて説明したものと同一である。
【０２３２】
第５、第６実施形態と異なるのは、圧力検出部８０からの出力信号と圧力検出部８５からの出力信号を共に出力するため、コネクタ５０のターミナルピン５１ｂが、圧力検出部８０用のターミナルピン５１ｂ１と圧力検出部８５用のターミナルピン５１ｂ２からなることである（図示せず）。
【０２３３】
本実施形態によれば、圧力検出部８０は燃料導入部２１の近傍に配置され、圧力検出部８５は、噴孔１２ｂ側に配置されているので、圧力検出部８０と圧力検出部８５とが検出する高圧燃料圧力の圧力変動タイミングが異なる。これにより、それぞれの圧力検出部８０，８５により、内部の圧力変化に対して、変動タイミングの異なる複数の圧力信号を検出できる。
【０２３４】
（第１２実施形態）
本発明の第１２実施形態について説明する。図１９（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ），（ｄ）は圧力検出部材８１Ｃの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第５〜第１１実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２３５】
第１２実施形態は、第５実施形態で用いた圧力検出部材８１において、更に、図１９（ｃ），（ｄ）で示すように、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８０（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。その他の構成・機能・効果は、図１９（ａ），（ｂ）に示す本実施形態のオリフィス部材１６も含め、第５実施形態と同様である。
【０２３６】
圧力検出部材８１Ｃは、検出部連通路１８ｈに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部によりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部によりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０２３７】
ここで、２つの溝部１８ａは、図１９（ｄ）に示すように、検出部連通路１８ｈに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。更に、図示しないが、２つの溝部１８ａの長さと深さは、夫々略同一であることが好ましい。これにより２つの圧力センサ１８ｆからの信号の同一性を向上することができる。しかしながら、２つの溝部１８ａは、検出部連通路１８ｈに対して夫々同一側に配置されても良い（図示せず）。この場合、２つの圧力センサ１８ｆからの配線を圧力検出部材８１の同一側面から導出することができ、配線の取り回しを容易にできる。
【０２３８】
（第１３実施形態）
本発明の第１３実施形態について説明する。図２０（ａ）〜（ｃ）は本実施形態の圧力検出部材８６Ａの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第５〜第１２実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
第１３実施形態は、第６実施形態で用いた圧力検出部材８６において、更に、図２０（ａ）〜（ｃ）で示すように、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８５（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。その他の構成・機能・効果は、第６実施形態と同様である。
【０２３９】
圧力検出部材８６Ａは、検出部連通路１８ｈに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０２４０】
２つの溝部１８ａは、図２０（ａ）に示すように、検出部連通路１８ｈに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。更に、第１２実施形態同様、２つの溝部１８ａの長さと深さは、夫々略同一であることが好ましい。これにより２つの圧力センサ１８ｆからの信号の同一性を向上することができる。
【０２４１】
圧力検出部材８６Ａのうちの圧力センサ１８ｆが配置される側の２つの空間は連結溝１８ｌにより連結されている。このため、連結溝１８ｌを通して圧力センサ１８ｆからの電気配線の取り回しを容易にできる。
【０２４２】
（第１４実施形態）
本発明の第１４実施形態について説明する。図２１（ａ）、（ｂ）は本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ）、（ｄ）は圧力検出部材８１Ｄの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第５〜第１３実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２４３】
第１４実施形態は、第７実施形態で用いた圧力検出部材８１Ａにおいて、更に、図２１（ｃ），（ｄ）で示すように、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８０（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。その他の構成・機能・効果は、同図（ａ），（ｂ）に示す本実施形態のオリフィス部材１６も含め、第７実施形態と同様である。
【０２４４】
圧力検出部材８１Ｄは、圧力制御室１８ｃに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０２４５】
２つの溝部１８ａは、圧力制御室１８ｃに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。
なお、２つの溝部１８ａは、圧力制御室１８ｃに対して夫々同一側に配置されても良い（図示せず）。これにより、２つの圧力センサ１８ｆからの配線を圧力検出部材８１Ｄの同一側面から導出することができ、配線の取り回しを容易にできる。
【０２４６】
また、本実施形態では、溝部１８ａがオリフィス部材１６の平坦面１６２との間で通路を形成したが、圧力検出部材８１Ｄを上下反対に配置しても良い。この場合、溝部１８ａとロアボデー１１の平坦面（図示せず）との間で通路が形成され、第１及び第２の圧力センサ１８ｆが、オリフィス部材１６側に配置される。
【０２４７】
（第１５実施形態）
本発明の第１５実施形態について説明する。図２２（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁（オリフィス部材）１６Ｃの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第５〜第１４実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２４８】
第１５実施形態は、第９実施形態で用いた圧力検出部８０として機能する構成を備えたオリフィス部材１６Ａにおいて、更に、図２２（ａ），（ｂ）で示すように、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８０（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。その他の構成・機能・効果は、第９実施形態と同様である。
【０２４９】
オリフィス部材１６Ｃは、圧力制御室１６ｃに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０２５０】
２つの溝部１８ａは、図２２（ｂ）に示すように、圧力制御室１６ｃに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。
なお、２つの溝部１８ａは、圧力制御室１６ｃに対して夫々同一側に配置されても良い（図示せず）。この場合、２つの圧力センサからの配線をオリフィス部材１６Ｃの同一側面から導出することができ、配線の取り回しを容易にできる。
【０２５１】
また、本実施形態でも、溝部１８ａに代えて、図２２（ｃ）に示すように、圧力制御室１６ｃから圧力検出空間１８ｂに連結するように傾斜して設けられた孔部１８ａ’としても良い。
【０２５２】
（第１６実施形態）
本発明の第１６実施形態について説明する。図２３（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁（オリフィス部材）１６Ｄの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第５〜第１５実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２５３】
第１６実施形態は、第９実施形態の圧力検出部と第１０実施形態の圧力検出部を併せもつものである。すなわち、本実施形態のオリフィス部材１６Ｄでは、圧力制御室１６ｃと溝部１８ａを介して接続された第１の圧力検出空間１８ｂと、燃料を導入する入口部１６ｈからインオリフィス１６ｂを介して圧力制御室１６ｃに向かう流体通路から分岐するように形成された第２の圧力検出空間１８ｂとが形成されている。さらに、第１及び第２の圧力検出空間１８ｂに対応して、それぞれ、第１及び第２のダイアフラム部１８ｎと、第１及び第２の圧力センサ１８ｆとが設けられている。
【０２５４】
本実施形態では、第１の圧力検出空間１８ｂと第２の圧力検出空間１８ｂとの間に、分岐通路よりも小径のインオリフィス１６ｂを有している。これにより、第１の圧力検出空間１８ｂと第２の圧力検出空間１８ｂとで圧力変動タイミングをずらすことができる。その他の構成・機能・効果は、第９、第１０実施形態と同様である。
【０２５５】
（他の実施形態）
上記各実施形態は、以下のように変更して実施してもよい。また、本発明は上記実施形態の記載内容に限定されず、各実施形態の特徴的構造をそれぞれ任意に組み合わせるようにしてもよい。
【０２５６】
・上記各実施形態では、薄肉部７０ｂｚ，４３ｂｚ，４ｃｚ，４３ｄｚの外側（高圧燃料通路と反対側）に歪ゲージ６０ｚを貼り付けているが、薄肉部７０ｂｚ，４３ｂｚ，４ｃｚ，４３ｄｚの内側（高圧燃料通路の側）に歪ゲージ６０ｚを貼り付けるようにしてもよい。但し、この場合には、歪ゲージ６０ｚの配線（図示せず）を高圧燃料通路の内部から外部に取り出すための取出穴を、インジェクタボディ４ｚ等に形成することを要する。
【０２５７】
・上記第２〜第４実施形態においては、コネクタ７０ｚを廃止してインジェクタＩＮＪｚと高圧配管５０ｚとを直接接続するようにしてもよい。
【０２５８】
・上記第１実施形態では、軸線方向においてコネクタ７０ｚの中間位置に薄肉部７０ｂｚを形成しているが、コネクタ７０ｚの端部に薄肉部７０ｂｚを形成するようにしてもよい。
【０２５９】
・上記各実施形態の薄肉部７０ｂｚ，４３ｂｚ，４ｃｚ，４３ｄｚは、コネクタ７０ｚ又はインジェクタボディ４ｚの周方向の一部分に形成されているが、周方向に延びるよう環状に薄肉部７０ｂｚを形成してもよい。
【０２６０】
・上記第１実施形態では、温度検出センサ８０ｚにより検出された燃料の温度に基づき圧力検出値を補正しているが、薄肉部７０ｂｚや歪ゲージ６０ｚの温度を直接検出し、その検出温度に基づき圧力検出値を補正するようにしてもよい。
【０２６１】
・上記第１実施形態では、歪ゲージ６０ｚによる圧力検出値に関する温度特性値及び燃圧特性値を、ＱＲコード９０ｚに記憶させているが、ＱＲコード９０ｚに替えてＩＣチップに記憶させ、当該ＩＣチップをインジェクタＩＮＪｚに取り付けるようにしてもよい。
【０２６２】
・上記各実施形態では、ディーゼルエンジンのインジェクタＩＮＪｚに本発明を適用しているが、ガソリンエンジン、特に、燃焼室Ｅ１ｚに燃料を直接噴射する直噴式のガソリンエンジンに本発明を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０２６３】
【図１】本発明を実施する上で参考となる第１実施形態において、インジェクタをコモンレールに接続した状態を示す図。
【図２】第１実施形態に係るインジェクタの内部構成を示す断面図。
【図３】第１実施形態に係る歪ゲージの取付位置を示す図。
【図４】本発明を実施する上で参考となる第２実施形態に係る歪ゲージの取付位置を示す図。
【図５】本発明を実施する上で参考となる第３実施形態に係る歪ゲージの取付位置を示す図。
【図６】本発明の第４実施形態に係る歪ゲージの取付位置を示す図。
【図７】本発明の第５実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタをコモンレースシステムに取り付けた構成の概略図である。
【図８】第５実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの断面図である。
【図９】（ａ）は第５実施形態に係るオリフィス部材の断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は同実施形態に係る圧力検出部材の断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図、（ｅ）は（ｃ）の変形例に係る圧力検出部材の断面図である。
【図１０】（ａ）は第５実施形態に係る圧力検出部材のダイアフラム部付近の拡大平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図１１】（ａ）は第５実施形態に係る圧力センサの製造方法を示す断面図である。
【図１２】第６実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの断面図である。
【図１３】（ａ）は第６実施形態に係る圧力検出部材の平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１４】（ａ）は第７実施形態に係るオリフィス部材の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は同実施形態に係る圧力検出部材の要部を示す部分断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図、（ｅ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図である。
【図１５】（ａ）は参考となる第８実施形態に係るオリフィス部材の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図、（ｅ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図である。
【図１６】（ａ）は第９実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタのオリフィス部材（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図、（ｄ）は（ａ）の変形例に係る圧力検出部材の断面図である。
【図１７】（ａ）は第１０実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタのオリフィス部材（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図である。
【図１８】第１１実施形態に係るインジェクタを示す断面図である。
【図１９】（ａ）は第１２実施形態のオリフィス部材の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図である。
【図２０】（ａ）は第１３実施形態の圧力検出部材の要部を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図２１】（ａ）は第１４実施形態のオリフィス部材の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図である。
【図２２】（ａ）は第１５の実施形態に係るオリフィス部材（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は（ａ）の変形例に係るオリフィス部材の断面図である。
【図２３】（ａ）は第１６の実施形態に係るオリフィス部材（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図である。
【符号の説明】
【０２６４】
４ｚ…インジェクタボディ（通路部材）、４ａｚ，３１ａｚ，１２ａｚ…高圧燃料通路、１２ｚ…ノズルボディ（通路部材）、３１ｚ…バルブボディ（通路部材）、５０ｚ…高圧配管（通路部材）、６０ｚ…歪ゲージ（歪み検出センサ）、７０ｚ…コネクタ（通路部材）、７０ａｚ…連通路、７０ｂｚ，４３ｂｚ，４ｃｚ，４３ｄｚ…薄肉部、ＣＬｚ…コモンレール（蓄圧器）、ＩＮＪｚ…燃料噴射弁。
１１…ロアボデー、１１ｂ…燃料供給路（第１の流体通路）、１１ｃ…燃料導入路（第２の流体通路）、１１ｄ…収容孔、１１ｆ…継手部（インレット部）、１１ｇ…分岐燃料供給路、１２…ノズルボデー、１２ａ…弁座、１２ｂ…噴孔、１２ｃ…高圧室（燃料溜り室）、１２ｄ…燃料送出路、１２ｅ…収容孔、１３…バーフィルタ、１４…リテーニングナット（リテーナ）、１６…オリフィス部材、１６１…バルブボデー側端面、１６２…平坦面、１６ａ…連通路（出口側絞り部、アウトオリフィス）、１６ｂ…連通路（入口側絞り部、インオリフィス）、１６ｃ…連通路（圧力制御室）、１６ｄ…弁座、１６ｅ…燃料逃がし通路、１６ｇ…ガイド孔、１６ｈ…入口部、１６ｋ…隙間、１６ｐ…貫通孔、１６ｒ…燃料リーク溝、１７…バルブボデー、１７ａ、１７ｂ…貫通孔、１７ｃ…弁室、１７ｄ…低圧通路（導通路）、１８ａ…溝部（分岐通路）、１８ｂ…圧力検出空間、１８ｃ…連通路（圧力制御室）、１８ｄ…処理基板、１８ｅ…電気配線、１８ｆ…圧力センサ、１８ｇ…ロアボデー、１８ｈ…検出部連通路、１８ｋ…ガラス層、１８ｍ…ゲージ、１８ｎ…ダイアフラム部、１８ｐ…貫通穴、１８ｑ…他面、１８ｒ…単結晶半導体チップ、１８ｓ…貫通穴、１８ｔ…位置決め部材、１９ｃ…配線・パッド、１９ｄ…酸化膜、１０２…燃料タンク、１０３…高圧燃料ポンプ、１０４…コモンレール、１０５…高圧燃料通路、１０６…低圧燃料通路、１０７…電子制御装置（ＥＣＵ）、１０８…燃圧センサ、１０９…クランク角センサ、１１０…アクセルセンサ、２…インジェクタ、２０…ノズルニードル、２１…流体導入部、２２…インジェクタ、３０…制御ピストン、３０ｃ…ニードル部、３０ｐ…端部外壁、３１…環状部材、３２…インジェクタ、３５…スプリング、３７…燃料通路、３０１…ノズル、３０２…ピエゾアクチュエータ（アクチュエータ）、３０３…背圧制御機構、３０８…保持部材、３２１…ハウジング、３２２…圧電素子、３２３…リード線、３３１…バルブボデー、３３５…高圧シート面、３３６…低圧シート面、３４１、３４１ａ〜３４１ｃ…収納穴、４１…弁部材、４１ａ…球面部、４２…バルブアーマチャ、５０…コネクタ、５１ａ、５１ｂ…ターミナルピン、５２…ボデーアッパー、５３…上部ハウジング、５４…中間ハウジング、５９…付勢部材（バネ部材）、６１…コイル、６２…スプール、６３…固定コア、６４…ストッパ、７…電磁弁装置、８…背圧室（圧力制御室）、８０、８５、８７…圧力検出部、８１、８６…圧力検出部材、８２…平坦面、９２…位置決め部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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