(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を供給する機能供給方法であって、
前記複数のデバイス製造処理装置に含まれる計測検査器が測定検査することにより最適化された露光処理に関する情報を、該情報の送信元の前記計測検査器に適合する書式で記載されたファイル又は通信メッセージを通じて受信し、該受信した情報を前記露光装置に適合する書式に変換されたファイル又は通信メッセージを通じて前記露光装置に送信するコミュニケーション・サーバである支援システムに、前記複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を実行するために前記支援システムが用いる支援情報を、前記支援システムが読み込み可能な書式のファイル又は通信メッセージで、インターネット又は装置製造メーカとデバイス製造メーカとを結ぶ通信ネットワークを介して提供する工程を含み、
前記支援情報を用いて前記支援システムが処理した情報の情報量、前記支援情報を用いて前記支援システムが処理した対象データの種類、及び前記対象データを生成するデバイス製造処理装置の種類のうちの少なくとも１つに関する情報を前記支援情報の利用態様に関する情報として収集し、該利用態様に関する情報に応じて前記支援情報を、前記インターネット又は前記通信ネットワークを介して提供することを特徴とする機能供給方法。
【請求項２】
前記利用態様に関する情報に応じて、前記支援情報を提供する際の提供価格を決定することを特徴とする請求項１に記載の機能供給方法。
【請求項３】
前記支援システムを使用する特定ユーザによる過去の購入実績に関する情報を取得し、該購入実績に関する情報に基づいて、前記特定ユーザに対して前記支援情報を提供する際の提供価格を決定することを特徴とする請求項２に記載の機能供給方法。
【請求項４】
前記支援システムを使用する特定ユーザによって発信される前記利用態様に関する情報を受信し、該利用態様に関する情報に基づいて、前記特定のユーザに対して前記支援情報を提供する際の提供価格を決定することを特徴とする請求項２に記載の機能供給方法。
【請求項５】
前記利用態様に関する情報に応じて前記支援情報に制限を設定し、該制限が設定された支援情報を提供することを特徴とする請求項１に記載の機能供給方法。
【請求項６】
前記制限に基づいて、前記支援情報を提供する際の価格を決定することを特徴とする請求項５に記載の機能供給方法。
【請求項７】
前記送信元のデバイス製造処理装置から受信した情報を前記送信先のデバイス製造処理装置に適合した情報に変換するために前記支援システムが使用する変換情報を前記支援情報として提供することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の機能供給方法。
【請求項８】
所定パターンを基板に露光する露光方法において、
請求項１〜７のいずれか一項に記載の機能供給方法で提供された前記支援情報を用いて前記支援システムが実行する支援情報を受けて、前記所定パターンを基板上に露光することを特徴とする露光方法。
【請求項９】
所定パターンを基板に露光する露光装置であって、
請求項１〜７のいずれか一項に記載の機能供給方法で提供された前記支援情報を用いて前記支援システムが実行する支援機能を受けて、前記所定パターンを基板上に露光することを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
デバイス製造処理に関する所定の測定を行う測定方法において、
請求項１〜７のいずれか一項に記載の機能供給方法で提供された前記支援情報を用いて前記支援システムが実行する支援情報を受けて、前記所定の測定を行うことを特徴とする測定方法。
【請求項１１】
デバイス製造処理に関する所定の測定を行う測定装置において、
請求項１〜７のいずれか一項に記載の機能供給方法で提供された前記支援情報を用いて前記支援システムが実行する支援機能を受けて、前記所定の測定を行うことを特徴とする測定装置。
【請求項１２】
複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を供給する機能供給システムであって、
前記複数のデバイス製造処理装置に含まれる計測検査器が測定検査することにより最適化された露光処理に関する情報を、該情報の送信元の前記計測検査器に適合する書式で記載されたファイル又は通信メッセージを通じて受信し、該受信した情報を前記露光装置に適合する書式に変換されたファイル又は通信メッセージを通じて前記露光装置に送信するコミュニケーション・サーバである支援システムに接続され、前記複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を実行するために前記支援システムが用いる支援情報を、前記支援システムが読み込み可能な書式のファイル又は通信メッセージで前記支援システムへインターネット又は装置製造メーカとデバイス製造メーカとを結ぶ通信ネットワークを介して配信する配信部と、
前記支援システムを用いて処理された情報の情報量、前記支援システムによって処理された対象データの種類、及び前記対象データを生成するデバイス製造装置の種類のうちの少なくとも１つに関する情報を前記支援情報の利用態様に関する情報として収集する情報収集部と、
を備え、前記配信部は、前記情報収集部により収集された前記利用態様に関する情報に応じて、前記支援情報を前記支援システムへ前記インターネット又は前記通信ネットワークを介して配信することを特徴とする機能供給システム。
【請求項１３】
前記情報収集部により収集された前記利用態様に関する情報に応じて、前記支援情報を提供する際の提供価格を決定する価格決定部をさらに備える請求項１２に記載の機能供給システム。
【請求項１４】
前記支援システムを使用する特定ユーザによる過去の購入実績に関する情報を記録する記録部をさらに備え、
前記価格決定部は、前記記録部により記録された前記購入実績に関する情報に基づいて、前記特定ユーザに対して前記支援情報を提供する際の提供価格を決定することを特徴とする請求項１３に記載の機能供給システム。
【請求項１５】
前記支援システムを使用する特定ユーザによって発信される前記利用態様に関する情報を受信する受信部をさらに備え、
前記価格決定部は、前記受信部が受信した前記利用態様に関する情報に基づいて、前記特定ユーザに対して前記支援情報を提供する際の提供価格を決定することを特徴とする請求項１３に記載の機能供給システム。
【請求項１６】
前記情報収集部により収集された前記利用態様に関する情報に応じて、前記支援情報に制限を加える制限設定部をさらに備え、
前記配信部は、前記制限設定部により制限が加えられた支援情報を前記支援システムへ配信することを特徴とする請求項１２に記載の機能供給システム。
【請求項１７】
前記制限に基づいて、前記支援情報を提供する際の価格を決定する価格決定部をさらに備える請求項１６に記載の機能供給システム。
【請求項１８】
前記配信部は、前記送信元のデバイス製造処理装置から受信した情報を前記送信先のデバイス製造処理装置に適合した情報に変換するために前記支援システムが使用する変換情報を前記支援情報として配信することを特徴とする請求項１２〜１７のいずれか一項に記載の機能供給システム。
【請求項１９】
複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を実行する支援システムへの前記支援機能を実行するために用いられる支援情報の供給をコンピュータシステムに実行させるプログラムであって、
前記複数のデバイス製造処理装置に含まれる計測検査器が測定検査することにより最適化された露光処理に関する情報を、該情報の送信元の前記計測検査器に適合する書式で記載されたファイル又は通信メッセージを通じて受信し、該受信した情報を前記露光装置に適合する書式に変換されたファイル又は通信メッセージを通じて前記露光装置に送信するコミュニケーション・サーバである前記支援システムに、前記支援機能を実行するために前記支援システムが用いる支援情報を、前記支援システムが読み込み可能な書式のファイル又は通信メッセージで、インターネット又は装置製造メーカとデバイス製造メーカとを結ぶ通信ネットワークを介して配信する手順と、
前記支援情報を用いて前記支援システムが処理した情報の情報量、前記支援情報を用いて前記支援システムが処理した対象データの種類、及び前記対象データを生成するデバイス製造処理装置の種類のうちの少なくとも１つに関する情報を前記支援情報の利用態様に関する情報として収集し、前記利用態様に関する情報に応じて前記支援情報を、前記インターネット又は前記通信ネットワークを介して提供する手順と、を前記コンピュータシステムに実行させるプログラム。
【請求項２０】
前記利用態様に関する情報に応じて、前記支援情報を提供する際の提供価格を決定する手順を前記コンピュータシステムにさらに実行させる請求項１９に記載のプログラム。
【請求項２１】
前記支援システムを使用する特定ユーザによって発信される前記利用態様に関する情報を受信する手順と、
前記利用態様に関する情報に基づいて、前記特定ユーザに対して前記支援情報を提供する際の提供価格を決定する手順と、を前記コンピュータシステムにさらに実行させる請求項２０に記載のプログラム。
【請求項２２】
前記配信する手順では、前記送信元のデバイス製造処理装置から受信した情報を前記送信先のデバイス製造処理装置に適合した情報に変換するために前記支援システムが使用する変換情報を前記支援情報として配信することを特徴とする請求項１９〜２１のいずれか一項に記載のプログラム。
【請求項２３】
請求項１９〜２２のいずれか一項に記載のプログラムを、コンピュータシステムで読み出して実行可能な状態で記録する記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能供給方法及びシステム、露光方法及び装置、測定方法及び装置、プログラム、及び記録媒体に係り、さらに詳しくは、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を供給する機能供給方法及びシステム、所定パターンを基板に露光する露光方法及び装置、デバイス製造処理に関する所定の測定を行う測定方法及び装置、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を実行する支援システムへの前記支援機能を実行するために用いられる支援情報の供給をコンピュータシステムに実行させるプログラム、並びに該プログラムが記録された記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、加工対象となるデバイスを測定・検査する測定・検査器の測定・検査結果を、デバイスを加工する加工装置の加工処理に最も迅速に反映するためには、それらの装置間のデータ通信を可能とした方がよい。しかしながら、それらの装置間では、レシピファイルや計測結果ファイル等のファイル・フォーマットや、ストリーム・ファンクション等の通信メッセージのフォーマット、ＨＳＭＳ［ＴＣＰ／ＩＰ］、ＳＥＣＳ−Ｉ［ＲＳ２３２Ｃ］等の通信プロトコルのフォーマットなどが異なるため、各装置のデータ通信を可能とするためには、各装置の改造が必要となっていた。
【０００３】
一方、各デバイス製造処理装置の故障の発生やメンテナンス、新しい装置の導入などに迅速に対応しようとすれば、複数種類のデバイス製造処理装置の連携動作における処理手順や各装置の処理内容などを速やかに変更できるようにするのが望ましいが、各デバイス製造処理装置は、システム統合の基盤となるべき統一規格の上に築かれた独自の仕様の下で設計されており、処理内容が記述されている個々のレシピファイルのファイル・フォーマットも装置間で統一されていないため、各デバイス製造処理装置は、固定された単純な処理手順の下で、個々のレシピファイルに従って独立して動作しているのが現状である。このような状況では、複数装置に跨る連携動作を柔軟に変更するのが困難であった。
【０００４】
上述したような不都合はデバイスの生産性にとって望ましいものではなく、これらの不都合に対する改善要求がなされている。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、第１の観点からすると、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を供給する機能供給方法であって、前記複数のデバイス製造処理装置に含まれる計測検査器が測定検査することにより最適化された露光処理に関する情報を、該情報の送信元の前記計測検査器に適合する書式で記載されたファイル又は通信メッセージを通じて受信し、該受信した情報を前記露光装置に適合する書式に変換されたファイル又は通信メッセージを通じて前記露光装置に送信するコミュニケーション・サーバである支援システムに、前記複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を実行するために前記支援システムが用いる支援情報を、前記支援システムが読み込み可能な書式のファイル又は通信メッセージで、インターネット又は装置製造メーカとデバイス製造メーカとを結ぶ通信ネットワークを介して提供する工程を含み、前記支援情報を用いて前記支援システムが処理した情報の情報量、前記支援情報を用いて前記支援システムが処理した対象データの種類、及び前記対象データを生成するデバイス製造処理装置の種類のうちの少なくとも１つに関する情報を前記支援情報の利用態様に関する情報として収集し、該利用態様に関する情報に応じて前記支援情報を、前記インターネット又は前記通信ネットワークを介して提供することを特徴とする機能供給方法である。
【０００６】
これによれば、支援システムが複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を実行するために用いる支援情報を、その支援システムが読み込み可能な書式のファイル又は通信メッセージで、利用態様に関する情報に応じて提供するので、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作が変更されても、共通の支援機能でその変更された処理動作に対応する支援情報を用いてその処理動作を支援することが可能となる。
【０００７】
本発明は、第２の観点からすると、所定パターンを基板に露光する露光方法において、本発明の機能供給方法で提供された前記支援情報を用いて前記支援システムが実行する支援情報を受けて、前記所定パターンを基板上に露光することを特徴とする露光方法である。かかる場合には、本発明の機能供給方法で提供された支援情報を受けて露光を行うので、露光工程を含むデバイス製造工程の生産性が向上する。
【０００８】
本発明は、第３の観点からすると、所定パターンを基板に露光する露光装置において、本発明の機能供給方法で提供された前記支援情報を用いて前記支援システムが実行する支援機能を受けて、前記所定パターンを基板上に露光することを特徴とする露光装置である。かかる場合には、本発明の機能供給方法で提供された支援情報を受けて露光が行われるので、露光工程を含むデバイス製造工程の生産性が向上する。
【０００９】
本発明は、第４の観点からすると、デバイス製造処理に関する所定の測定又は検査を行う測定・検査方法において、本発明の機能供給方法で提供された前記支援情報を用いて前記支援システムが実行する支援情報を受けて、前記所定の測定又は検査を行うことを特徴とする測定・検査方法である。かかる場合には、本発明の機能供給方法で提供された支援情報を受けて測定・検査が行われるので、測定・検査工程を含むデバイス製造工程の生産性が向上する。
【００１０】
本発明は、第５の観点からすると、デバイス製造処理に関する所定の測定を行う測定装置において、本発明の機能供給方法で提供された前記支援情報を用いて前記支援システムが実行する支援機能を受けて、前記所定の測定を行うことを特徴とする測定装置である。かかる場合には、本発明の機能供給方法で提供された支援情報を受けて測定が行われるので、デバイス製造処理に関する所定の測定を行う際の測定工程を含むデバイス製造工程の生産性が向上する。
【００１１】
本発明は、第６の観点からすると、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を供給する機能供給システムであって、前記複数のデバイス製造処理装置に含まれる計測検査器が測定検査することにより最適化された露光処理に関する情報を、該情報の送信元の前記計測検査器に適合する書式で記載されたファイル又は通信メッセージを通じて受信し、該受信した情報を前記露光装置に適合する書式に変換されたファイル又は通信メッセージを通じて前記露光装置に送信するコミュニケーション・サーバである支援システムに接続され、前記複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を実行するために前記支援システムが用いる支援情報を、前記支援システムが読み込み可能な書式のファイル又は通信メッセージで前記支援システムへインターネット又は装置製造メーカとデバイス製造メーカとを結ぶ通信ネットワークを介して配信する配信部と、前記支援システムを用いて処理された情報の情報量、前記支援システムによって処理された対象データの種類、及び前記対象データを生成するデバイス製造装置の種類のうちの少なくとも１つに関する情報を前記支援情報の利用態様に関する情報として収集する情報収集部と、を備え、前記配信部は、前記情報収集部により収集された前記利用態様に関する情報に応じて、前記支援情報を前記支援システムへ前記インターネット又は前記通信ネットワークを介して配信することを特徴とする機能供給システムである。
【００１２】
これによれば、支援システムが複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を実行するために用いる支援情報を、その支援システムが読み込み可能な書式のファイル又は通信メッセージで、利用態様に関する情報に応じて提供するので、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作が変更されても、共通の支援機能でその変更された処理動作に対応する支援情報を用いてその処理動作を支援することが可能となる。
【００１３】
本発明は、第７の観点からすると、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を実行する支援システムへの前記支援機能を実行するために用いられる支援情報の供給をコンピュータシステムに実行させるプログラムであって、前記複数のデバイス製造処理装置に含まれる計測検査器が測定検査することにより最適化された露光処理に関する情報を、該情報の送信元の前記計測検査器に適合する書式で記載されたファイル又は通信メッセージを通じて受信し、該受信した情報を前記露光装置に適合する書式に変換されたファイル又は通信メッセージを通じて前記露光装置に送信するコミュニケーション・サーバである前記支援システムに、前記支援機能を実行するために前記支援システムが用いる支援情報を、前記支援システムが読み込み可能な書式のファイル又は通信メッセージで、インターネット又は装置製造メーカとデバイス製造メーカとを結ぶ通信ネットワークを介して配信する手順と、前記支援情報を用いて前記支援システムが処理した情報の情報量、前記支援情報を用いて前記支援システムが処理した対象データの種類、及び前記対象データを生成するデバイス製造処理装置の種類のうちの少なくとも１つに関する情報を前記支援情報の利用態様に関する情報として収集し、前記利用態様に関する情報に応じて前記支援情報を、前記インターネット又は前記通信ネットワークを介して提供する手順と、を前記コンピュータシステムに実行させるプログラムである。
【００１４】
これによれば、支援システムが複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を実行するために用いる支援情報を、その支援システムが読み込み可能な書式のファイル又は通信メッセージで、利用態様に関する情報に応じて提供するので、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作が変更されても、共通の支援機能でその変更された処理動作に対応する支援情報を用いてその処理動作を支援することが可能となる。
【００１５】
本発明は、第８の観点からすると、本発明のプログラムを、コンピュータシステムで読み出して実行可能な状態で記録する記録媒体である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図１２に基づいて説明する。
【００１９】
図１には、本発明の一実施形態に係るネットワークシステム３０００の一例の概略的な構成が示されている。図１に示されるように、ネットワークシステム３０００は、電子デバイスを製造する複数のデバイス製造メーカの製造ラインとその製造ライン上で稼動するデバイス製造処理装置やソフトウエアを製造しデバイス製造メーカに納入するメーカ（以下、装置製造メーカとする）との間を通信ネットワークで接続することにより構築されるシステムである。ネットワークシステム３０００は、デバイス製造メーカと装置製造メーカとの間で行われる取引等を、その通信ネットワークを介したデータ通信により効率化することを目的としている。
【００２０】
本実施形態では、ネットワークシステム３０００は、主として、デバイス製造メーカが稼動する異機種の装置間でのデータ通信を可能とするデータ通信支援機能を有する支援システム（後述するコミュニケーション・サーバ）と、装置の連携動作を可能とする連携動作制御機能を有する支援システム（後述する管理コントローラ）によって用いられるデータファイル又はプログラムファイルの売買やそれらのファイルの使用のライセンス契約を行う際のその契約における提供価格（料金）を決定するためのシステムである。
【００２１】
図１に示されるように、ネットワークシステム３０００は、顧客Ａ、顧客Ｂ、顧客Ｃという３つの顧客メーカのそれぞれの製造ラインやネットワーク端末を含む３つの顧客システム１０００と、通信ネットワーク１５００と、装置製造メーカのライセンスサーバ２０００と、そのライセンスサーバ２０００が参照するデータベース２５００とを含んで構成されている。通信ネットワーク１５００は、インターネットとすることができるが、その際には、送信する通信データを暗号化するのが望ましい。また、通信ネットワーク１５００としては、装置製造メーカと、デバイス製造メーカとを結ぶ専用回線であってもよい。
【００２２】
顧客システム１０００は、デバイスを製造する複数種類のデバイス製造処理装置を備えるデバイス製造ラインと、通信ネットワーク１５００に接続可能なコンピュータ端末とを備える顧客となるデバイス製造メーカのデバイス製造工場内に構築されたデバイス製造システムである。
【００２３】
図２に示されるように、顧客システム１０００は、露光装置１００と、トラック２００と、コミュニケーション・サーバ１５０と、管理コントローラ１６０と、デバイス製造処理装置群９００と、ホストシステム６００を含んで構成されている。
【００２４】
［露光装置］
露光装置１００は、デバイスパターンを、フォトレジストが塗布されたウエハに転写する装置である。露光装置１００は、露光用照明光を射出する照明系、その照明光により照明されるデバイスパターン等が形成されたレチクルを保持するステージ、照明光により照明されたデバイスパターン等を投影する投影光学系、露光対象となるウエハを保持するステージ及びこれらの制御系等を備えている。露光装置１００は、露光用照明光に対し、上記各ステージを駆動して、レチクルとウエハとの相対同期走査と、ウエハのステッピングを繰り返すことにより、レチクル上のデバイスパターンをウエハ上の複数の異なる領域に転写している。すなわち、露光装置１００は、走査露光（ステップ・アンド・スキャン）方式の露光装置である。
【００２５】
露光装置の制御系は、照明光の強度（露光量）を制御する露光量制御系と、両ステージの同期制御や、投影光学系の焦点深度内にウエハ面を一致させるオートフォーカス／レベリング制御（以下、単に、フォーカス制御という）などを行うステージ制御系とを備えている。
【００２６】
露光量制御系は、露光量を検出可能な各種露光量センサの検出値に基づいて、露光量をその目標値に一致させるように制御するフィードバック制御を行っている。ステージ制御系は、ステージの位置を計測する干渉計の計測値に基づいてフィードバック制御を行って、両ステージの位置制御及び速度制御を実現している。露光装置１００には、ウエハ面のフォーカス／レベリングずれを複数検出点にて検出する多点ＡＦ（オートフォーカス）センサが設けられている。ステージ制御系は、この多点ＡＦセンサの複数検出点のうち、例えば９個の検出点（９チャンネル）でウエハ面高さを検出し、露光領域に対応するウエハ面を、投影光学系の像面に一致させるようなフィードバック制御を行うことにより、フォーカス制御を実現している。
【００２７】
なお、露光装置１００においては、両ステージの同期制御に関連する２次元座標系をＸＹ座標系（同期走査方向をＹ軸としている）とし、投影光学系の光軸と平行な座標軸をＺとして、ＸＹＺ座標系の下でステージ制御を行っている。以下では、ステージ制御系のうち、両ステージの同期制御を行う制御系を同期制御系とし、ステージ位置（ウエハ面）のＺ位置やＸ軸回り、Ｙ軸回りの回転量を制御する制御系を、フォーカス制御系として説明する。
【００２８】
露光装置１００では、上記各制御系の動作を規定するファクタが幾つか制御パラメータ化されており、それらの値を、自由に設定することができるようになっている。
【００２９】
ところで、ウエハＷ上には、デバイスパターンが転写形成された複数の領域がある。この領域は、ショット領域と呼ばれている。各ショット領域には、ウエハマークが付設されている。ウエハマークは、その形状等からその位置情報を検出することが可能なマークである。例えば、ウエハマークは、ライン・アンド・スペース・マークとして示されている。ウエハマークの形状としては、他にも、ボックスマーク、十字マークなどを採用することができる。
【００３０】
露光装置１００では、このウエハＷ上のショット領域に対して、レチクル上のデバイスパターンを、正確に重ね合わせ露光する必要がある。正確な重ね合わせ露光を実現するためには、各ショット領域の位置を正確に把握する必要がある。ウエハマークは、各ショット領域の位置（その中心の位置）を把握するために設けられている。ウエハマークは、それが付設されたショット領域のデバイスパターンとともに転写形成されたものであることから、ウエハＷ上のそれらの位置関係はほぼ固定であり、マークの位置がわかればそのショット領域の中心位置がわかるようになっている。
【００３１】
ウエハマークの位置を計測するため、露光装置１００には、このウエハマークの位置を計測するためのアライメント系が設けられている。このアライメント系では、ウエハマークが含まれるウエハ面に関する波形、例えばそのウエハ面の凹凸に対応する波形を、内部に備えるアライメントセンサを用いて光電検出する。この光電検出により、このウエハマークを含むウエハ面に相当する波形データが得られるようになる。アライメント系では、検出した波形データから、マークに対応する波形（マーク波形）を抽出し、その抽出結果に基づいてマーク波形の位置を検出する。アライメント系では、検出されたマーク波形の位置と、アライメントセンサの検出視野の位置とに基づいて、ＸＹ座標系におけるウエハマークの位置を算出する。露光装置１００では、その算出結果に基づいて、デバイスパターンの転写位置が決定される。
【００３２】
なお、デバイスパターンの正確な重ねあわせ露光を行うためには、ウエハ上のすべてのショット領域の位置情報を計測してもよいが、それでは、スループットに影響が出るおそれがある。そこで、露光装置１００では、実際に計測するウエハマークを限定し、計測されたウエハマークの位置の計測結果から、ウエハ上のショット領域の配列を統計的に推定するグローバルアライメント技術を採用している。露光装置１００では、このグローバルアライメントとして、設計上のショット配列に対する実際のショット配列のずれを、Ｘ、Ｙの多項式で表現し、統計演算を行ってその多項式における妥当な係数を求める、いわゆるＥＧＡ方式のウエハアライメントが採用されている。ＥＧＡ方式のウエハアライメントでは、まず、計測対象のウエハマークを計測するショット領域を幾つか選択する。選択されたショット領域をサンプルショットという。アライメント系では、サンプルショットに付設されたウエハマーク（サンプルマーク）の位置を計測する。このような計測動作を、以下ではＥＧＡ計測と呼ぶ。
【００３３】
ＥＧＡ方式のウエハアライメントでは、このＥＧＡ計測の計測結果、すなわち幾つかのサンプルマークの位置情報に基づく統計演算により、各ショット領域のＸＹ位置座標を表す補正量を推定する。このような演算を、以下ではＥＧＡ演算と呼ぶ。なお、ＥＧＡ方式のウエハアライメントについては、例えば特開昭６１−４４４２９号公報等に開示されているので、詳細な説明を省略する。
【００３４】
なお、露光装置１００には、投影光学系の収差を調整可能な調整装置、照度ムラセンサも設けられている。
【００３５】
［トラック］
トラック２００は、露光装置１００を囲むチャンバ（不図示）に接するように配置されている。トラック２００は、主として露光装置１００に対するウエハの搬入・搬出を行っている。
【００３６】
［コータ・デベロッパ］
トラック２００内には、レジスト塗布及び現像を行うコータ・デベロッパ（Ｃ／Ｄ）１１０が設けられている。Ｃ／Ｄ１１０は、ウエハ上に対しフォトレジストの塗布及び現像を行う。Ｃ／Ｄ１１０は、露光装置１００や、測定・検査器１２０とは、独立して動作可能である。Ｃ／Ｄ１１０は、トラック２００の搬送ラインに沿って配置されている。したがって、この搬送ラインによって、露光装置１００と、Ｃ／Ｄ１１０と、測定・検査器１２０との間でウエハの搬送が可能となる。
【００３７】
［測定・検査器］
トラック２００内には、露光装置１００でのウエハの露光前後（すなわち、事前、事後）において、そのウエハに対する様々な測定・検査を行うことが可能な複合的な測定・検査器１２０が設けられている。測定・検査器１２０は、露光前に測定を行う事前測定・検査器と、露光後に測定を行う事後測定・検査器とを備えている。
【００３８】
事前測定・検査器は、ウエハが露光装置１００に搬送される前に、露光装置１００における露光条件を最適化するための測定を行う。事前測定・検査器の測定内容としては、例えば、アライメント関連のパラメータ、プリアライメント関連のパラメータ、ウエハ・フラットネス、レチクル・フラットネス、ウエハ温度、ウエハ膜厚、レチクル温度などがあり、検査内容としては、ウエハ膜検査、ウエハ欠陥・異物検査、レチクル欠陥・異物検査などがある。なお、プリアライメントとは、露光装置１００で行われる、ウエハアライメント前に行われるウエハ外形基準のラフなアライメントである。測定・検査器１２０は、事前測定・検査の結果を、システム内の通信ネットワークを介して外部にデータ出力することができるようになっている。測定・検査器１２０は、露光装置１００やＣ／Ｄ１１０とは、独立して動作可能である。ここで、ウエハ膜検査とは、ウエハ上に形成された膜の膜厚、膜厚ムラ、膜不良、異物、スクラッチなどの検査を含む。
【００３９】
一方、測定・検査器１２０の事後測定・検査器は、露光装置１００で転写されＣ／Ｄ１１０で現像された露光後（事後）のウエハ上のレジストパターン等の線幅や重ね合わせ誤差、投影光学系の収差、照明ムラの測定を行い、ウエハ膜検査、ウエハ欠陥・異物検査、レチクル欠陥・異物検査などを行う。
【００４０】
測定・検査器１２０は、この測定・検査結果を解析する機能を有していても良い。例えば、測定・検査結果に基づいて、露光装置１００のパラメータを最適化する機能があってもよい。このようにすれば、最適化されたパラメータに関するデータを露光装置１００に設定し、測定・検査器１２０から露光装置１００へのフィードフォワード的なパラメータ補正、フィードバック的なパラメータ補正が可能となる。なお、測定・検査器１２０では、上述したすべての測定が可能である必要はなく、少なくとも１つについて測定が可能であればよい。また、測定・検査器１２０では、その測定機能の一部がオプション化されていてもよい。それらの測定機能は、後述するカスタム対応で有効とすることができるようになっていてもよい。
【００４１】
ところで、露光装置１００と、トラック１１０と、測定・検査器１２０とは、相互にインライン接続されている。ここで、インライン接続とは、装置間及び各装置内の処理ユニット間を、ロボットアームやスライダ等のウエハを自動搬送する搬送装置を介して接続することを意味する。このインライン接続により、露光装置１００とＣ／Ｄ１１０との間でのウエハの受け渡し時間を格段に短くすることができる。
【００４２】
インライン接続された露光装置１００とトラック１１０と測定器１２０とは、これを一体として、１つの基板処理装置（１００、１１０、１２０）とみなすこともできる。基板処理装置（１００、１１０、１２０）は、ウエハに対して、フォトレジスト等の感光剤を塗布する塗布工程と、感光剤が塗布されたウエハ上にマスク又はレチクルのパターンの像を投影露光する露光工程と、露光工程が終了したウエハを現像する現像工程等を行う。
【００４３】
すなわち、顧客システム１０００においては、露光装置１００と、トラック１１０と、測定・検査器１２０とが複数台設けられている。各基板処理装置（１００、１１０、１２０）、デバイス製造処理装置群９００は、温度及び湿度が管理されたクリーンルーム内に設置されている。また、各装置の間では、所定の通信ネットワーク（例えばＬＡＮ：Local  Area  Network）を介して、データ通信を行うことができるようになっている。この通信ネットワークは、顧客の工場、事業所あるいは会社に対して設けられたいわゆるイントラネットと呼ばれる通信ネットワークである。
【００４４】
基板処理装置（１００、１１０、１２０）においては、ウエハは複数枚（例えば２０枚）を１単位（ロットという）として処理される。顧客システム１０００においては、ウエハは１ロットを基本単位として処理され製品化されている。
【００４５】
なお、この顧客システム１００では、測定・検査器１２０は、トラック２００内に置かれ、露光装置１００やＣ／Ｄ１１０とインライン接続されているが、測定・検査器１２０を、トラック２００外に配置し、露光装置１００やＣ／Ｄ１１０とはオフラインに構成してもよい。
【００４６】
［デバイス製造処理装置群］
デバイス製造処理装置群９００としては、ＣＶＤ（Chemical Vapor Depositon：化学気相成長法）装置９１０と、エッチング装置９２０と、化学的機械的研磨を行いウエハを平坦化する処理を行うＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing：化学機械研磨）装置９３０と、酸化・イオン注入装置９４０とが設けられている。ＣＶＤ装置９１０は、ウエハ上に薄膜を生成する装置であり、ＣＭＰ装置９２０は、化学機械研磨によってウエハの表面を平坦化する研磨装置である。また、エッチング装置９２０は、現像されたウエハに対しエッチングを行う装置であり、酸化・イオン注入装置９４０は、ウエハの表面に酸化膜を形成し、又はウエハ上の所定位置に不純物を注入するための装置である。また、ＣＶＤ装置９１０、エッチング装置９２０、ＣＭＰ装置９３０及び酸化・イオン注入装置９４０も、露光装置１００などと同様に複数台設けられており、相互間でウエハを搬送可能とするための搬送経路が設けられている。デバイス形成装置群９００には、この他にも、プロービング処理、リペア処理、ダイシング処理、パッケージング処理、ボンディング処理などを行う装置も含まれている。
【００４７】
［コミュニケーション・サーバ］
コミュニケーション・サーバ１５０は、通信仕様などが異なる露光装置１００、測定・検査器１２０などの要求に応じて、それらの間でのデータ通信を支援する通信支援機能を有するサーバである。顧客システム１０００においては、このコミュニケーション・サーバ１５０のデータ通信機能により、各装置のデータ通信機能を改造することなく、異なる種類の装置間のデータ通信が可能となる。
【００４８】
図３には、コミュニケーション・サーバ１５０の概略的な構成が示されている。図３では、コミュニケーション・サーバ１５０を介して、１台の露光装置１００と、１台の測定・検査器１２０とが論理的に接続されている。図３に示されるように、コミュニケーション・サーバ１５０は、制御部５３と、送受信部５１、５２と、変換定義ファイル登録部５４と、変換レシピファイル登録部５５とを備えている。
【００４９】
各装置でのデータ通信の際にそのデータの変換が必要となるのは、ファイル段階、すなわち個々の装置のレシピファイルや測定・検査器１２０における計測結果が記述されたファイルといったファイルの書式（ファイル・フォーマット）と、メッセージ段階、すなわち、ストリーム・ファンクション等の通信メッセージと、プロトコル段階、すなわちＨＳＭＳ、ＳＥＣＳ−Ｉ等の通信プロトコル（いずれもＳＥＭＩ規格で定められる通信プロトコル）との３段階である。そこで、図３に示されるように、制御部５３には、ファイル・フォーマット変換部５３ａと、通信メッセージ変換部５３ｂと、通信プロトコル変換部５３ｃの３つの変換部が設けられている。
【００５０】
各変換部５３ａ〜５３ｃにおけるデータ変換は、変換定義ファイルを参照して行われる。変換定義ファイルとは、データ通信を行うデバイス製造処理装置間のデータ変換規則を定義するファイルであり、変換定義ファイル登録部５４に登録されている。このファイルを参照すれば、一方のデバイス製造処理装置（例えば測定・検査器１２０）から送られてきたデータを、他方のデバイス製造処理装置（例えば露光装置１００）において認識可能なデータに変換することができる。変換定義ファイルについても、ファイル・フォーマット変換定義ファイル５４1、通信メッセージ変換定義ファイル５４2、通信プロトコル変換定義ファイル５４3の３種類の定義ファイルが必要である。
【００５１】
ある装置から他の装置への１回のデータ通信について利用される３種類の変換定義ファイルの情報は、変換レシピファイルにまとめられている。この変換レシピファイル５５1、５５2、５５3、…は、変換レシピファイル登録部５５に、実際にデータ通信を行うデバイス製造処理装置の組み合わせ毎に登録されている。変換レシピファイル５５1、５５2、５５3、…には、対象となる接続装置名、変換定義ファイル名が指定されている。データ変換を行う際には、コミュニケーション・サーバ１５０における制御部５３の各変換部５３ａ、５３ｂ、５３ｃは、データ通信を行う２つのデバイス製造処理装置の組合せに対応する変換レシピファイルをファイルオープンし、データの送信元と送信先の装置名を確認し、変換に必要な変換定義ファイル５４1、５４2、５４3のファイル名を特定し、そのファイル名をキーとしてそれぞれの変換定義ファイルをファイルオープンして、その変換定義ファイルに記述されたデータ変換規則に従って、データを変換する。
【００５２】
コミュニケーション・サーバ１５０では、送信元から送信されたデータを、送受信部５１、５２で受信し、上述したようにして制御部５３により受信したデータを、送信元のデバイス製造処理装置のフォーマットが記述された変換定義ファイルに従って解読する。そして、その解読結果により得られたデータを、変換定義ファイルに従って、送信先のデバイス製造処理装置に適合するように変換し、送受信部５１、５２から変換されたデータを送信先に送信するようにする。これにより、デバイス製造処理装置間のデータ通信が可能となる。以下では、顧客システム１０００内の装置間のデータ通信は、このコミュニケーション・サーバ１５０を介して行われるものとする。このコミュニケーション・サーバ１５０のデータ通信機能によれば、データの送信元、送信先に応じて変換定義ファイルを変更するだけで、顧客システム１０００内の任意の装置間でのデータ通信が可能となる。
【００５３】
なお、コミュニケーション・サーバ１５０におけるデータ通信機能を実現するソフトウエアは、予め、装置製造メーカから供給され、インストールされたものである。また、本実施形態に係るコミュニケーション・サーバ１５０では、変換定義ファイルを参照して、データ変換を行ったが、変換定義ファイルの代わりに、実際に変換処理を行うダイナミック・リンク・ライブラリのような変換プログラムを登録し、その変換プログラムを、データ通信機能のソフトウエアから呼び出して実行することにより、送信元から送信先へのデータ変換を実現するようにしてもよい。
【００５４】
［管理コントローラ］
図２に戻り、管理コントローラ１６０は、露光装置１００により実施される露光工程を集中的に管理するとともに、トラック２００内のＣ／Ｄ１１０及び測定・検査器１２０の管理及びそれらの連携動作の制御を行う。このようなコントローラとしては、例えば、パーソナルコンピュータを採用することができる。管理コントローラ１６０は、顧客システム１０００内の通信ネットワークを通じて（コミュニケーション・サーバ１５０を介して）、処理、動作の進捗状況を示す情報や、処理結果、測定・検査結果を示す情報を各装置から受信し、顧客システム１０００の製造ライン全体の状況を把握し、露光工程等が適切に行われるように、各装置の管理及び制御を行う。露光装置１００と測定・検査器１２０との連携動作の制御は、そのコンピュータ上で動作する制御アプリケーションプログラムが実行されることにより実現されている。図４には、その制御アプリケーションプログラムを中心とする管理コントローラ１６０のソフトウエアの概略構成が示されている。図４に示されるように、管理コントローラ１６０は、送受信部６１、６２と、制御部６３と、記憶装置６４とを備えている。
【００５５】
管理コントローラ１６０の記憶装置６４には、複数の連携レシピファイル６５1、６５2、６５3、６５4、…が格納されている。連携レシピファイル６５nは、複数種類のデバイス製造処理装置、すなわち露光装置１００、測定・検査器１２０に跨る処理手順が所定のスクリプト言語で記述されたスクリプトファイルである。
【００５６】
ファイル読込部６３1は、ホスト６００から送受信部６１を介して指定された連携レシピファイルをメモリに読み込む。ファイル解析部６３2は、メモリに読み込まれた連携レシピファイルを１行１行ずつ解析する。制御指令作成部６３3は、この解析内容に従って、各装置に対する制御指令を作成する。管理コントローラ１６０は、この制御命令に基づいて、送受信部６２を介して各種の制御信号を出力し、顧客システム１０００内の各種装置を協調動作させる。
【００５７】
すなわち、管理コントローラ１６０は、この連携レシピファイル６５1に記述された処理手順に従って、複数種類のデバイス製造処理装置（１００、１１０、１２０）を連携動作させる。この連携レシピファイル６５1等に記述された装置の連携動作により、一連のデバイス製造処理の効率的な運用が可能となる。例えば、露光装置１００によりウエハの前後において、測定・検査器１２０によりそのウエハに対する測定を行い、その測定結果に基づいて、必要な場合には、露光装置１００における露光工程を調整するように、連携レシピファイル６５1等における処理手順を記述すれば、露光装置１００の露光工程の最適化を迅速に実現することができるようになる。
【００５８】
管理コントローラ１６０では、複数装置に跨る種々の連携動作が可能であるため、その連携動作ごとに連携レシピファイルが準備されている。すなわち、管理コントローラ１６０において、制御部６３によって実行する連携レシピファイルを変更するだけで、様々な連携動作を同じ顧客システム１０００で実現することが可能となる。なお、管理コントローラ１６０で連携レシピファイルに基づく制御を行う制御部６３のソフトウエアは、予め供給され、インストールされたものである。
【００５９】
［ホストシステム］
ホストシステム（以下、「ホスト」と呼ぶ）６００は、顧客システム１０００全体を統括管理し、露光装置１００、トラック１１０、測定・検査器１２０、デバイス製造処理装置群９００を統括制御するメインホストコンピュータである。このホスト６００についても、例えばパーソナルコンピュータなどを採用することができる。ホスト６００と、他の装置との間は、有線又は無線の通信ネットワーク又は専用の通信回線を通じて接続されており、コミュニケーション・サーバ１５０を介して、相互にデータ通信を行うことができるようになっている。このデータ通信により、ホスト６００は、このシステムの統括制御を実現している。
【００６０】
［デバイス製造工程］
ホスト６００の制御により行うデバイス製造工程の一例について説明する。図５に示されるように、まず、ＣＶＤ装置９１０においてウエハ上に膜を生成し、そのウエハをＣ／Ｄ１１０に搬送し、Ｃ／Ｄ１１０においてそのウエハ上にレジストを塗布する（ステップＳ１１）。
【００６１】
次に、ウエハを、測定・検査器１２０に搬送し、測定・検査器１２０において上述したような各種事前計測を行う（ステップＳ１２）。ここで、露光装置１００のパラメータの最適化を行う場合には、露光装置１００は、測定・検査器１２０に対し、パラメータの最適化に必要なデータを転送する（［１］）。測定・検査器１２０は、露光装置１００に、測定・検査結果に基づいて、パラメータを最適化し、最適化されたパラメータに関するデータを、露光装置１００に送信する（［２］）。露光装置１００は、そのデータに基づいて、パラメータの最適値を設定する。
【００６２】
続いて、ウエハを露光装置１００に搬送し、露光装置１００にてレチクル上の回路パターンをウエハ上に転写する（ステップＳ１３）。このとき、露光装置１００では、計測ショット露光中の上記露光量、同期精度、フォーカストレースデータをモニタリングし、内部のメモリに記憶しておく。次に、ウエハをＣ／Ｄ１１０に搬送して、Ｃ／Ｄ１１０にて現像を行う（ステップＳ１４）。
【００６３】
この後、ウエハは測定・検査器１２０に搬送される。そして、測定・検査器１２０でウエハに対する事後測定・検査が行われる（ステップＳ１５）。ここでは、例えば、ウエハ上に形成されたレジスト像から、その線幅や重ね合わせ誤差、露光装置１００の投影光学系の収差、照明ムラが測定されたり、パターン上の異物や欠陥が検査される。
【００６４】
測定・検査器１２０は、露光装置１００からの情報に基づいて測定・検査結果に関する解析を行う。図５に示されるように、測定・検査器１２０は、解析の経過、必要に応じて、露光装置１００に対し、各種データ（制御トレースデータ、パラメータ、処理結果、現在の装置の状態に関するデータ）の転送要求［１］’を発したり（露光装置１００は、その要求に応じて、各種データを測定・検査器１２０に送る（［２］’））、露光装置１００に解析結果を発する（［３］’）。なお、測定・検査装置１２０が各種データを取得した後、露光装置１００は、内部に記憶するトレースデータ等を速やかに削除するようにしてもよい。
【００６５】
一方、ウエハは、測定・検査器１２０からエッチング装置９２０に搬送され、エッチング装置９２０においてエッチングが行われ、不純物拡散、アルミ蒸着配線処理、ＣＶＤ装置９１０にて成膜などが行われ、ＣＭＰ装置９３０にて平坦化、酸化・イオン注入装置９４０でのイオン注入などが必要に応じて行われる（ステップＳ１６）。このように、成膜・レジスト塗布（ステップＳ１１）〜エッチング等（ステップＳ１６）という一連のプロセスが工程数分繰り返し実行されることにより、ウエハ上に回路パターンが積層されていき、半導体デバイスが形成される（ステップＳ１）。
【００６６】
繰り返し工程完了後、プロービング処理（ステップＳ１７）、リペア処理（ステップＳ１８）が、デバイス製造処理装置群９００において実行される。このステップＳ１７において、メモリ不良検出時は、例えば、ステップＳ１８において、冗長回路へ置換する処理が行われる。測定・検査器１２０は、検出した線幅の異常が発生した箇所などの情報を、プロービング処理、リペア処理を行う装置に送るようにすることもできる。測定・検査器１２０では、ウエハ上の線幅異常が発生した箇所については、チップ単位で、プロービング処理、リペア処理の処理対象から除外することができる。その後、ダイシング処理（ステップＳ１９）、パッケージング処理、ボンディング処理（ステップＳ２０）が実行され、最終的に製品チップが完成する。なお、ステップＳ１５の事後測定処理は、必要に応じて、ステップＳ１６のエッチング後に行うようにしてもよい。この場合には、ウエハのエッチング像に対し線幅や重ね合わせの測定が行われることになる。
【００６７】
図５に示されるウエハプロセスのフローはあくまで一例であり、その流れについて適宜変更することが可能である。例えば、事前測定・検査を必ずしも行う必要はないし、事後測定・検査処理も必ずしも行う必要はない。本実施形態では、この測定・検査器１２０で行われる事前測定・検査処理と、露光装置１００で行われる露光処理と、測定・検査器１２０で行われる事後測定・検査処理との連続した処理手順を、管理コントローラ１６０の記憶装置６４に登録しておき、管理コントローラ１６０が、いずれかの連携レシピファイルを選択し、その連携レシピファイルの記述内容に従って、露光装置１００と、測定・検査器１２０とを連携動作させる。なお、このような連携動作には、以下に示すようなシーケンスが例示される。
【００６８】
（１）ＥＧＡ計測の最適化シーケンス
事前測定・検査により、ＥＧＡ計測を行ってウエハ上のサンプルマークを選別し、その選別結果に従って露光装置１００におけるＥＧＡ計測を行うシーケンス
（２）フォーカス段差補正シーケンス
事前測定・検査により、フォーカス段差計測を行って、そのフォーカス段差を、露光装置１００におけるフォーカス制御に反映するシーケンス
（３）アライメント最適化シーケンス
事後測定・検査により、重ね合わせ誤差を計測し、その計測結果に基づくアライメント関連パラメータの最適化を行い、露光装置１００を調整するシーケンス
（４）露光線幅最適化シーケンス
事後測定・検査により、露光線幅を計測し、その計測結果と、制御トレースデータと、制御パラメータとに基づいて、制御パラメータの最適化を行い、露光装置１００を調整するシーケンス
この他にも、測定・検査器１２０における測定・検査内容によって、様々なシーケンスを組むことが可能である。
【００６９】
上述したように、顧客システム１０００において、例えば、露光装置１００と測定・検査器１２０との間のデータ通信は、コミュニケーション・サーバ１５０における変換定義ファイルに定義された情報に基づくデータ変換によって実現されている。また、露光装置１００と測定・検査器１２０との連携動作は、管理コントローラ１５０における連携レシピファイルに記述された処理手順によって実現されている。これらのファイルは、データ通信を行う装置の組合せごと、連携動作ごとに必要となるため、新規な露光装置や測定・検査器が顧客システム１０００に導入された場合には、それに応じて新しいファイルが必要となる。
【００７０】
ところで、ホスト６００は、図１の顧客システム１０００のコンピュータ端末に相当する。すなわち、ホスト６００は、通信ネットワーク１５００に接続されており、図１に示されるように、通信ネットワーク１５００を介してライセンスサーバ２０００と通信可能となっている。ホスト６００は、ライセンスサーバ２０００と通信を行い、露光装置１００や測定・検査器１２０とのデータ通信や連携動作に適用する新たなデータ変換定義ファイル及び連携レシピファイルあるいは改良されたそれらファイルが含まれたファイルパッケージの情報（例えば、対応する装置などのファイルの仕様についての情報）を受信する。この情報に基づいて、顧客システム１０００における装置構成が変更され（例えば、新しい露光装置や測定・検査器などが組み込まれ）、新たなファイルパッケージを購入する必要性があるとその製造ラインの責任者等が判断した場合には、顧客システム１０００（ホスト６００）から通信ネットワーク１５００を介してライセンスサーバ２０００に対して、提供価格の問い合わせを行う。この問い合わせがあると、ライセンスサーバ２０００においては、問い合わせを行ったユーザを販売対象としたときの新規なファイルパッケージの提供価格の決定処理を行い、その結果を、問い合わせを行ったユーザの顧客システム１０００に通知する。これをホスト６００において受信し、提供価格を見た顧客（例えば、製造責任者等）は、ファイルパッケージの提供価格を評価し、それを購入すべきか否かを検討する。最終的に、ライセンスサーバ２０００から新たなファイルパッケージを購入することとなった場合には、その購入の意思表示（決済）をライセンスサーバに対して行い、通信ネットワーク１５００を介してライセンスサーバ２０００にその転送要求を行い、ライセンスサーバ２０００からファイルパッケージの配信を受ける。なお、購入したファイルパッケージについては、オンライン配信に限定されるものではなく、その配信については、光ディスクなどの記録メディアに記録し、その記録メディアを送付する方法を用いても良い。
【００７１】
ホスト６００は、配信されたファイルパッケージを解凍し、解凍された変換定義ファイルをコミュニケーション・サーバ１５０に送付し、解凍された連携レシピファイルを、管理コントローラ１６０に送付する。コミュニケーション・サーバ１５０は、新規な変換定義ファイル、変換レシピファイルを受信すると、その変換定義ファイルを、変換定義ファイル登録部５４に登録するとともに、それに応じた変換レシピファイルを作成し、変換レシピファイル５５に登録する。管理コントローラ１６０は、連携レシピファイルを受信すると、その連携レシピファイルを、記憶装置６４に登録する。
【００７２】
［ライセンスサーバ］
ライセンスサーバ２０００は、例えば、上記データ変換機能や連携動作制御機能を提供する装置製造メーカの工場内に設置されたサーバであって、半導体メーカ等の顧客側システムに設置される露光装置１００に搭載する変換定義ファイル又は連携レシピファイルの管理、バージョンアップ及び新たな変換定義ファイル又は連携レシピファイルの販売、供給等を行うサーバである。より具体的には、ライセンスサーバ２０００は、各顧客システム１０００から製品価格の問い合わせ要求がきた場合、購入対象製品のライセンス情報、及びライセンスサーバに登録された該当顧客のライセンス情報から求められたカウント数に基づき割引率（特典）を決定し、顧客に販売価格を通知したり、その製品を、顧客システム１０００に供給したりする。
【００７３】
ライセンスサーバ２０００は、顧客ライセンス管理処理部３１０と、使用状況管理処理部３２０と、販売条件設定処理部３３０と、データベースシステム３４０と、制限設定部３５０と、送受信部３６０と、配信部３７０と、ファイルパッケージ３８０とを含んで構成されている。
【００７４】
［データベースシステム］
まず、データベースシステム３４０の構成について説明する。データベースシステム３４０は、相互に関連するデータを整理・統合し、検索しやすくした複数のデータベースから構成されるシステムである。データベースシステム３４０は、顧客ライセンス管理データベース３４１と、販売条件：カウント数設定データベース３４２と、使用状況監視データベース３４３と、販売条件：割引率設定データベース３４４を有している。
【００７５】
［顧客ライセンス管理データベース］
顧客ライセンス管理データベース３４１は、顧客ライセンスを管理するデータベースである。顧客ライセンス管理データベース３４１は、顧客が過去に購入したソフトウエア（ライセンス）について、使用条件等を含む情報を購入履歴情報として蓄積したデータベースである。顧客ライセンスは、顧客ごと（例えば図１の顧客Ａ、Ｂ、Ｃ）、製品ごとに付与される。また、顧客によっては、同じ製品を、複数購入する場合もあるため、その場合には、顧客ライセンスは、同じ顧客、同じ製品に対して、複数のライセンス番号が付与される。結果的に、顧客ライセンス管理データベース３４１では、顧客ごと、製品名、ライセンス番号ごとに、顧客ライセンスが管理されている。
【００７６】
顧客ライセンスの管理内容は、そのライセンスにおける販売時に交された契約内容（契約条件）や、変換定義ファイル、連携レシピファイルの使用条件（制約条件）や、付帯条件（カスタム対応、カスタマーサービス）や、使用実績（使用量）監視条件の４つの条件に大別される。顧客ライセンス管理データベース３４１は、これらの４つの条件の設定が、ＯＮ（設定有）であるかＯＦＦ（設定無）であるかという形態で登録されている。
【００７７】
図７には、顧客ライセンス管理データベース３４１の管理内容が表形式で示されている。図７に示されるように、顧客ライセンス管理データベース３４１では、キーとして、（顧客ＩＤ、製品名、ライセンス番号）が登録されている。そして、そのキーごと、すなわち顧客ＩＤ（Ａ、Ｂ）、製品名（ＣｎｖＤＬＬ０１、ＣｎｖＤＬＬ０２）、ライセンス番号（Ａ０００１、Ａ０００２、Ｂ０００１）ごとに、制約条件、契約条件、監視する使用量の各項目が設けられ、ＯＮ、ＯＦＦの設定がなされている。
【００７８】
より具体的には、図７では、販売時の契約内容の項目として、アップグレードサービスを受けることができるアップグレードライセンスが示されている。また、制約条件の項目として、使用期間、使用期限、データを変換する変換時間の上限、データを変換する変換回数の上限、ファイル入出力回数の上限、ＣＰＵ処理時間の上限、使用不可とする機能の有無が示されている。また、付帯条件としては、カスタム対応、カスタマーサービスなどが示されている。カスタム対応の例としては、特定なユーザに対する測定・検査器１２０における特別な測定・検査シーケンスや、データ処理などを実現することができる機能の付加、カスタマーサービスとしては、各種装置に関する情報の随時提供、トラブルサポート、運用コンサルティングなどの特定のユーザに対する付加的なサービスがある。また、監視する使用量として、変換時間、変換回数、ファイル入出力回数、ＣＰＵ処理時間、各機能の使用回数が示されている。ここで、データの変換時間、変換回数、変換量には、それぞれファイルフォーマット／通信メッセージ／通信プロトコルで別個に制約条件を設定することが可能である。
【００７９】
さらに、図７では、データ通信や連携動作を行う装置の種別（露光装置１００、測定・検査器１２０、プローバ、リペア装置など）、データ通信や連携動作を行う装置の数、データ通信や連携動作を行う装置の組合せなども制約条件として設定されている。また、測定・検査器１２０で行う測定・検査内容の限定（上述した、事前計測検査、事後測定・検査内容として例示したものの一部の実行を制限する）なども制約条件として設定されている。
【００８０】
また、使用量としては、装置の通信時間、通信回数、通信データ量、測定・検査器１２０での測定・検査結果のデータ量や、データ種別（計測したサンプルマーク数、ショット数、ウエハ数、ロット数など）毎のデータ量も項目として例示される。また、事前測定・検査結果に基づく測定・検査器１２０から露光装置１００へのフィードフォワード補正回数、フィードバック補正回数、フィードフォワード補正データ量、フィードバック補正データ量などを使用量の項目とすることができる。
【００８１】
顧客ライセンス管理データベース３４１の設定内容は、販売条件設定処理部３１０により、ファイルパッケージの販売価格を決定する処理を行う際に参照される。また、顧客ライセンス管理データベース３４１の内容は、ファイルパッケージのライセンスが販売される毎に、顧客ライセンス管理処理部３１０により更新される。
【００８２】
［販売条件：カウント数設定データベース］
販売条件：カウント数設定データベース３４２は、販売条件と、その販売条件としての販売価格を算出するための値引きのカウント数とを対応づけて登録するデータベースである。より具体的には、販売条件：カウント数設定データベース３４２は、製品ごとの使用条件等の条件内容、及び、その条件内容に対する値引きのカウント数が記録されたデータベースである。
【００８３】
図８には、販売条件：カウント数設定データベース３４２の登録内容の一例がされている。図８に示されるように、販売条件：カウント数設定データベース３４２には、製品ごとに、１ライセンスあたりのカウント数、アップグレードライセンスカウント数、各制約条件のカウント数、カスタム対応とカスタマーサービスのカウント数、各使用量の単位時間及び単位回数あたりのカウント数が設定されている。
【００８４】
製品ごとの設定内容は、顧客ライセンス管理データベース３４１の項目と対応しており、そのカウント数は、その特典又は制約条件などの販売条件に対するその製品での値引き度合を示している。例えば、「アップグレードライセンスとして２年間無償で最新バージョンアップ」、「使用期間として３年間」、「使用期限として２００６年１２月まで」、「データ変換時間上限として１００００時間」、「データ変換時間回数上限として３０００回」、「ファイル入出力回数上限として１００００回」、「ＣＰＵ処理時間上限として５０００時間」、「使用禁止とする機能として“レポートファイル出力機能”」、「カスタム対応として顧客ごとの計測結果ファイル形式読み込み対応」、あるいは、「カスタマーサービスとして１年間の無償オンラインサポート」というような、製品ごとの販売条件に対して付与されるカウント数が設定される。
【００８５】
また、販売条件：カウント数設定データベース３４２には、モニタリング（監視）対象の使用量の項目については、カウント数に換算する際の単位が製品ごとに設定される。例えば、「データ変換の単位時間として１０００時間」、「データ変換の単位回数として１０００回」、「ファイル入出力単位回数として３０００回」、「ＣＰＵ処理単位時間として１０００時間」、あるいは、「各機能の使用単位回数として５０００回」というような使用量の１単位を表すカウント数が、製品ごとに設定されるようになる。
【００８６】
さらに、図８に示されるように、販売条件：カウント数設定データベース３４２には、この他にも、使用量として、装置の通信時間、通信回数、通信データ量、測定・検査器１２０での測定・検査結果のデータ量や、データ種別（計測したサンプルマーク数、ショット数、ウエハ数、ロット数など）毎のデータ量も項目として例示されている。また、事前測定・検査結果に基づく測定・検査器１２０から露光装置１００へのフィードフォワード補正回数、フィードバック補正回数、フィードフォワード補正データ量、フィードバック補正データ量などを使用量の項目とすることができる。
【００８７】
販売条件：カウント数設定データベース３４２の内容は、購入実績、使用条件に対するカウント数を求めるために参照される。すなわち、顧客ライセンス管理データベース３４１を参照して検出した各顧客が購入した変換定義ファイル及び連携レシピファイル（ライセンス）に設定されている各制約条件の項目の内容に対するカウント数が、販売条件：カウント数設定データベース３４２を参照して検出される。なお、販売条件：カウント数設定データベース３４２に記憶されている製品ごとの販売条件の条件内容と、その条件内容に対するカウント数とは、ライセンスサーバ２０００に接続された不図示のコンピュータ端末等を介して、装置製造メーカ側のオペレータ等により予め入力されている。
【００８８】
［使用状況監視データベース］
使用状況監視データベース３４３は、各ライセンスのモニタリング（監視）対象の使用量項目ごとに、モニタ結果の使用量に基づくカウント数を記録するデータベースである。ライセンスごとの使用量は、後述する使用状況管理処理部３２０により適宜モニタされる。使用状況管理処理部３２０は、販売条件：カウント数設定データベース３４２に設定されている各使用量の単位時間あるいは単位回数あたりのカウント数を参照して、モニタ値をカウント数に換算し、使用状況管理データベース３４３に記憶する。図９には、使用状況管理データベース３４３に蓄積されている情報の一例が示されている。図９に示されるように、使用状況監視データベース３４３には、顧客のＩＤ、製品名及びライセンス番号ごと（すなわちライセンスごと）に、データ変換時間、データ変換回数、ファイル入出力回数、ＣＰＵ処理時間及び各機能の使用回数の使用量が、カウント数に換算されて記憶される。
【００８９】
また、図９に示されるように、使用量としては、装置の通信時間、通信回数、通信データ量、測定・検査器１２０での測定・検査結果のデータ量や、データ種別（計測したサンプルマーク数、ショット数、ウエハ数、ロット数など）毎のデータ量の換算カウント数の項目として例示される。また、事前測定・検査結果に基づく測定・検査器１２０から露光装置１００へのフィードフォワード補正回数、フィードバック補正回数、フィードフォワード補正データ量、フィードバック補正データ量などを使用量の換算カウント数の項目とすることができる。
【００９０】
販売条件：割引率設定データベース３４４は、算出されたカウント数の累積値と、その顧客がファイルパッケージのライセンスを購入する（バージョンアップする）時の得点とが登録されているデータベースである。販売条件：割引率設定データベース３４４は、２つのテーブルから構成される。１つは、累積カウント数ごとの割引のレベルが登録された割引レベルテーブルであり、もう１つは、各製品の割引レベルごとの割引率（特典）が登録された割引率テーブルである。図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）には、割引レベルテーブルと、割引率テーブルの登録例が示されている。
【００９１】
図１０（Ａ）に示される例では、割引レベルが４段階に設定されている。２つのテーブルの登録内容は、ライセンスサーバ２０００の不図示の端末装置等を介して、オペレータ等により予め入力されている。なお、この割り引きレベルの段階は幾つであってもよいし、割引レベルや割引率は、例えば、演算結果が累積カウント数に比例するような演算式を用いて求められるようにしてもよい。
【００９２】
［顧客ライセンス管理処理部］
顧客ライセンス管理処理部３１０は、顧客、製品、ライセンス番号ごと（すなわちライセンスごと）に、販売されたファイルパッケージのライセンスの販売時契約条件、制約条件、付帯条件、使用状況監視の設定の有無の情報を、顧客ライセンス管理データベース３４１に登録する。
【００９３】
［使用状況管理処理部］
使用状況管理処理部３２０は、ライセンスごとに使用量をモニタ（監視）し、これをカウント数に換算して使用状況監視データベース３４３に登録する。使用状況管理処理部３２０における使用量の監視は、データ変換時間、データ変換回数、ファイル入出力回数、ＣＰＵ処理時間及び各機能の使用回数等について行う。カウント数への換算は、販売条件：カウント数設定データベース３４２に記憶されている使用量項目ごとの単位時間、単位回数あたりのカウント数等を参照して行われる。
【００９４】
［販売条件設定処理部］
販売条件設定処理部３３０は、顧客にファイルパッケージのライセンスを販売する際に、使用条件等の種々の要因を勘案して割引率等の特典を決定し、販売価格等の販売条件を決定する。販売条件設定処理部３３０は、顧客ライセンス管理データベース３４１及び販売条件：カウント数設定データベース３４２を参照して、購入実績、使用条件（使用制約条件）及び販売時契約条件の種々の項目に対するカウント数を検出する。また、販売条件設定処理部３３０は、使用状況監視データベース３４３及び販売条件：カウント数設定データベース３４２を参照して、使用実績に対するカウント数を検出する。販売条件設定処理部３３０は、これらの検出したカウント数を合計し、さらに、販売条件：カウント数設定データベース３４２を参照して、販売対象のファイルパッケージのライセンスの種類や数に対応するカウント数を加えて累積カウント数を算出する。販売条件設定処理部３３０は、累積カウント数に基づいて、販売条件：割引率設定データベース３４４を参照し、最終的なファイルの提供価格（特典）を決定する。
【００９５】
［販売フロー］
次に、本実施形態に係るネットワークシステム３０００を用いた変換定義ファイル及び連携レシピファイルのライセンス販売処理の流れについて説明する。ここでは、この販売価格の決定処理を中心に、変換定義ファイル、連携レシピファイルの販売（バージョンアップ）の流れを説明する。図１１に示されるように、まず、ソフトウエア提供者（装置製造メーカ）は、新しいファイルパッケージを販売しようとする場合、そのファイルパッケージに関する情報を、例えば、通信ネットワーク１５００を介して顧客システム１０００に配信する（ステップ５０１）。顧客システム１０００の各顧客は、自らの顧客システム１０００に配信されたその情報に基づいて、ファイルパッケージの購入あるいはバージョンアップを検討し、必要に応じてより詳細な情報及び価格の情報等の提供を求めて、通信ネットワーク１５００を介してライセンスサーバ２０００に対して問い合わせを行う（ステップ５０３）。以下、そのような問い合わせに販売価格の問い合わせが含まれていた場合に、図１２のフローチャートで示されるライセンスサーバ２０００の販売決定設定処理部３３０において価格決定処理（ステップ５０５）が開始される。
【００９６】
図１２に示されるように、まず、ライセンス・サーバ２０００は、顧客システム１０００からの価格問い合わせを受け取ると、ステップ４０１において、顧客ライセンス管理データベース３４１（図７参照）から、顧客が過去に購入した分のファイルパッケージのライセンスの情報である購入履歴情報をロードする。顧客ライセンス管理データベース３４１には、前述のとおり、顧客ＩＤ、製品名、ライセンス番号ごとに、アップグレードライセンス、前記各制約条件、付帯条件（カスタム対応、カスタマーサービス）、各使用量監視の設定が登録されている。
【００９７】
次のステップ４０３では、購入履歴情報の制約条件の情報を参照し、顧客の所有する各ライセンスに何らかの制約条件があるか否かを判断する。制約条件がある場合には、この判断が肯定されると、ステップ４０５において、販売条件：カウント数設定データベース３４２（図８参照）から、該当顧客の各製品の制約条件設定情報をロードし、その顧客が所有する（ＯＮに設定されている）各製品の制約条件ごとのカウント数を読み出し、全制約条件についてのカウント数の合計を算出する。
【００９８】
次のステップ４０７では、販売決定設定処理部３３０は、ロードされた購入履歴情報を再度参照し、顧客の所有する各ライセンスに何らかの使用量を監視する設定がなされているか否かを判断する。使用量監視の設定がされている場合は、ステップ４０９において、図９に例示した使用状況監視データベース３４３から、その顧客の各ライセンスの監視対象の使用量に対するカウント数換算値をロードし、その顧客の各ライセンスの全使用量に対するカウント数の合計を算出する。
【００９９】
次のステップ４１１では、カスタム対応が有るか否かを、ロードされた購入履歴情報を再度参照して判断する。この判断が肯定された場合にのみステップ４１３において、販売決定設定処理部３３０は、販売条件：カウント数設定データベース３４２より、該当顧客の各製品のカスタム対応情報をロードし、カウント数の合計を算出する。
【０１００】
次のステップ４１５では、カスタマーサービスが有るか否かを、ロードされた購入履歴情報を再度参照して判断する。この判断が肯定された場合にのみステップ４１７において、販売条件：カウント数設定データベースより、該当顧客の各製品のカスタマーサービス情報をロードし、カウント数の合計を算出する。
【０１０１】
次のステップ４１９では、該当顧客の各製品について、ライセンスのカウント数、制約条件のカウント数、使用量のカウント数、及び、カスタム対応とカスタマーサービスのカウント数の合計を算出し、累積カウント数とする。
【０１０２】
次のステップ４２１では、ライセンスサーバ２０００は、新規購入ライセンスの合計カウント数に、上記累積カウント数を加算した値に基づいて、販売条件：割引率設定データベース３４４より割引率を導出し、新規購入ライセンスの販売価格を算出する。
【０１０３】
販売価格を算出したら、次のステップ４２３（図１１のステップ５０７）において、送受信部３６０を介して、算出した新規購入するファイルパッケージのライセンスの販売価格を、通信ネットワーク１５００を介して顧客システム１０００に通知し、処理を終了する。
【０１０４】
図１１に戻り、顧客は、通知された価格について、新規なファイルパッケージを購入するか否かを検討し、購入する場合には、その旨の通知を、ライセンスサーバ２０００に通知する（ステップ５０９）。ライセンス・サーバ２０００の制限設定部３５０は、ファイルパッケージの各変換定義ファイルのヘッダ部に、制約条件に関する情報を書き込む（ステップ５１１）。ライセンスサーバ２０００は、通信ネットワーク１５００を介して、ファイルパッケージを、顧客システム１０００に配信する（ステップ５１３）。
【０１０５】
顧客システム１０００のホスト６００は、配信されたファイルパッケージを解凍し、そのうち、連携レシピファイルを、管理コントローラ１６０に送り、変換定義ファイルを、コミュニケーション・サーバ１５０に送る。管理コントローラ１６０は、連携レシピファイルを、それを記憶装置６４に登録し、コミュニケーション・サーバ１５０は、変換定義ファイルを、変換定義ファイル登録部５４に登録するとともに、その変換定義ファイルを呼び出すための変換レシピファイルを作成し、それを変換レシピファイル登録部５５に登録する。
【０１０６】
この後、コミュニケーション・サーバ１５０は、必要に応じて、新規な変換定義ファイルを参照して、データ変換を行う。また、管理コントローラ１６０は、必要に応じて、新規な連携レシピファイルを参照して、各種デバイス製造処理装置を連携動作させる。
【０１０７】
前述のように、この変換定義ファイル又は連携レシピファイルには、制約条件に関する情報がヘッダ部に記述されている。コミュニケーション・サーバ１５０及び管理コントローラ１６０は、この変換定義ファイル又は連携レシピファイルを適用参照する際には、まず、このヘッダ部に記述されている制約条件を解析し、それらのファイルが制約条件に抵触するか、すなわち使用不可であるか否かを判断し、使用不可である場合には、オペレータに注意を促すような警告を発する。
【０１０８】
なお、制約条件については、変換定義ファイルや連携レシピファイル自体のヘッダ部にその情報を含ませておく他、それらのファイルパッケージに、連携レシピファイルや、変換定義ファイルの他に、ライセンス情報が記述されたライセンスファイルを含ませておき、コミュニケーション・サーバ１５０や管理コントローラ１６０が、そのライセンスファイルを参照することによって制約を実現するようにしてもよい。また、ファイルパッケージの供給と同時にＵＳＢプロテクトキーを顧客に配布し、ＵＳＢプロテクトキー内に制約条件に関する情報を含ませておき、サーバ通信機能や連携動作制御機能は、制約条件となった制約を実現するようにしてもよい。
【０１０９】
また、コミュニケーション・サーバ１５０又は管理コントローラ１６０は、変換定義ファイル及び連携レシピファイルの使用状況を監視して、ホスト６００を介してライセンスサーバ２０００に通知している。
【０１１０】
以上詳細に述べたように、本実施形態によれば、コミュニケーション・サーバ１５０は、２以上のデバイス製造処理装置の間を接続し、いずれかの装置から送信されるデータを、そのデータの送信元のデバイス製造処理装置に適合させて受信し、受信した情報を送信先のデバイス製造処理装置に適合させて通信するサーバであり、本実施形態では、このデータ変換機能の支援情報として、送信元のデバイス製造処理装置から受信した情報を、送信元のデバイス製造処理装置に適合した情報に変換するために用いられる変換定義ファイルを、ライセンスサーバ２０００からコミュニケーション・サーバ１５０に提供する。
【０１１１】
すなわち、本実施形態によれば、データ変換機能を実行するコミュニケーション・サーバ１５０が複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するためのデータ変換機能を実行するために用いる変換定義ファイルを、そのコミュニケーション・サーバ１５０が読み込み可能な形態で、コミュニケーション・サーバ１５０とは別に提供するので、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作が変更されても、コミュニケーション・サーバ１５０の共通のデータ変換機能で、変換定義ファイルを変更するだけで、その処理動作を支援することが可能となるとともに、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作の変更サイクルが短くなったとしても、その変更に合わせた変換定義ファイルを安価に供給することができる。
【０１１２】
また、本実施形態によれば、連携レシピサーバとしての管理コントローラ１６０は、複数種類のデバイス製造処理装置に跨る連携デバイス製造処理を制御するための情報が記述された連携レシピファイルに基づいて、複数種類のデバイス製造処理装置を連携動作させるサーバであり、本実施形態では、この連携動作制御機能を実行するために用いられる支援情報として、ライセンスサーバ２０００から管理コントローラ１６０に連携レシピファイルが提供される。
【０１１３】
すなわち、連携動作制御機能を実行する連携レシピサーバとしての管理コントローラ１６０が複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための連携動作制御機能を実行するために用いる連携レシピファイルを、その管理コントローラ１６０が読み込み可能な形態で、管理コントローラ１６０とは別に提供するので、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作が変更されても、管理コントローラ１６０の機能で、連携レシピファイルを変更するだけで、その処理動作を支援することが可能となるとともに、複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作の変更サイクルが短くなったとしても、その変更に合わせた連携レシピファイルを安価に供給することができる。
【０１１４】
すなわち、本実施形態によれば、装置間のデータ変換処理や装置の連携動作が新規装置の導入やつなぎ変えなどにより、変更されても、安価なファイルを提供するだけで、効率的なデバイス製造を実現することが可能となり、多品種少量生産にも好適に対応することができる。また、少品種生産、大量生産であっても、デバイス製造の歩留まりの状況や、装置の運用状況（故障や稼動の状態、メンテナンスの状況など）に応じて、複数装置の連携動作などを変更する必要が生じた場合に、本発明を好適に適用することが可能である。
【０１１５】
また、本実施形態によれば、変換定義ファイルや連携レシピファイルのような支援情報の利用態様に関する情報として、支援情報を用いてコミュニケーション・サーバ１５０や管理コントローラ１６０が処理した情報の情報量、それらの支援情報を用いてコミュニケーション・サーバ１５０や管理コントローラ１６０が処理した対象データの種類、及び、その種類の対象データを生成するデバイス製造処理装置の種類の少なくとも１つに関する情報を収集し、収集された利用態様に関する情報に応じて支援情報を提供する。このようにすれば、支援情報を、その利用態様に関する情報、すなわち使用状況に応じた最適な状態での支援情報の提供が可能となる。
【０１１６】
例えば、収集された利用態様に関する情報に応じて、支援情報を提供する際の提供価格を決定することができる。このようにすれば、デバイス製造メーカは、そのデータファイルを適切な価格で購入して、装置間のデータ通信や連携動作を行って、デバイスの生産性を向上させることができるようになる。
【０１１７】
このような利用態様に応じた提供価格の決定を実現するため、装置製造メーカのライセンスサーバ２０００は、コミュニケーション・サーバ１５０や管理コントローラ１６０を使用する特定ユーザによって発信される利用態様に関する情報を受信し、利用態様に関する情報を発信した特定のユーザに対して支援情報を提供する際の提供価格を、受信した利用態様に関する情報に基づいて決定する。
【０１１８】
また、本実施形態によれば、ライセンスサーバ２０００において、支援システムを使用する特定ユーザによる過去の購入実績に関する情報を、顧客ライセンス管理データベース３４１から取得し、取得した購入実績に関する情報に基づいて、特定ユーザに対して支援情報を提供する際の提供価格を決定する。このようにすれば、特定ユーザにより支援情報の購入意欲が促進され、デバイスの生産性向上に直結する機能をフルに活用することができるようになる。
【０１１９】
ライセンスサーバ２０００では、支援情報を用いてコミュニケーション・サーバ１５０や管理コントローラ１６０が処理できる情報の情報量、支援情報を用いてコミュニケーション・サーバ１５０や管理コントローラ１６０が処理できる対象データの種類、及び対象データを生成するデバイス製造処理装置の種類の少なくとも１つに関して、収集された利用態様に関する情報に応じた制限を設定された支援情報を提供する。このように制限を設定しておけば、ユーザにより支援情報の利用態様を制御することが可能となる。
【０１２０】
より具体的には、支援情報を用いてコミュニケーション・サーバ１５０及び管理コントローラ１６０が処理できる情報の情報量、その支援情報を用いてコミュニケーション・サーバ１５０及び管理コントローラ１６０が処理できる対象データの種類の少なくとも１つに関して、収集された利用態様に関する情報に応じた制限を設定された支援情報を提供するとともに、提供される支援情報の制限に応じて、支援情報を提供する際の提供価格を決定する。このようにすれば、ユーザの支援情報の利用の制限を加え、その制限に応じた適切な価格で支援情報を提供することが可能となる。
【０１２１】
また、ライセンスサーバ２０００は、支援情報の利用態様に関する情報として、支援情報を用いて支援システムが処理できる情報の情報量、支援情報を用いて支援システムが処理できる対象データの種類、及び対象データを生成するデバイス製造装置の種類の少なくとも１つに関して支援情報にその利用制限を設定することが可能であり、支援情報に設定された制限に基づいて、支援情報を提供する際の価格を決定する。このようにしてライセンス・サーバ２０００は、適切な提供価格の決定を実現している。
【０１２２】
また、本実施形態によれば、コミュニケーション・サーバ１５０及び管理コントローラ１６０を使用する特定ユーザにより過去の購入実績に関する情報を取得し、上記制限に加えて、取得した購入実績に関する情報に基づいて、特定ユーザに対して支援情報を提供する際の提供価格を決定する。このようにすれば、利用態様に加え、特定ユーザの利用度にも応じた価格が設定されるので、特定ユーザによる支援情報の購入意欲が促進され、デバイスの生産性向上に直結する機能をフルに活用することができるようになる。
【０１２３】
また、本実施形態によれば、ライセンスサーバ２０００は、支援システムを使用する特定ユーザによって発信される利用態様に関する情報を受信し、利用態様に関する情報を発信した特定のユーザに対して支援情報を提供する際の提供価格を、受信した利用態様に関する情報に基づいて決定する。このように、支援情報の提供価格を決定する上で、必要なその利用態様を自動的に認識し、提供価格を決定することができる。
【０１２４】
また、本実施形態によれば、インターネット（通信ネットワーク１５００）を介してファイルパッケージを提供するので、その提供の手間を省くことができる。
【０１２５】
また、本実施形態によれば、ライセンスサーバ２０００から提供されたファイルを用いてコミュニケーションサーバ１５０又は管理コントローラ１６０が露光工程を含む一連のデバイス製造工程を支援するので、デバイス製造工程の生産性を向上させることができる。
【０１２６】
なお、コミュニケーション・サーバ１５０や、管理コントローラ１６０が有する支援機能は、露光装置１００や測定・検査器１２０とは独立した装置が有している必要はなく、それらが有していても良い。
【０１２７】
また、本実施形態は、別な観点からすると、デバイス製造処理に関するデータ処理のため情報を提供する際の提供条件を決定する提供条件決定方法を例示している。この方法では、その情報を用いて処理されるそのデータのデータ量と、そのデータ処理で処理される対象データの種類と、の少なくとも１つに基づいて提供価格の演算を実行し、その演算の結果に応じて支援情報の提供価格を決定している。このようにすれば、処理されるデータ量と対象データの種類などに応じて情報の提供価格を適切に決定することができる。
【０１２８】
また、本実施形態は、別な観点からすると、複数種類のデバイス製造処理装置を用いるデバイス製造処理に関して、複数種類のデバイス製造処理装置の少なくとも１つの装置から出力されるデータを処理するために用いられる情報を提供する際の、支援情報の提供条件を決定する提供条件決定方法であるとすることができる。この方法によれば、その情報を用いて処理されるデータを出力するデバイス製造処理装置の種類に基づいて支援情報の提供価格を算出する演算を実行して提供価格を決定する。
【０１２９】
また、本実施形態は、別な観点からすると、特定ユーザに対してデバイス製造処理に関するデータ処理のための情報を提供する際の提供条件を決定する提供条件決定方法である。この方法では、特定ユーザによる過去の購入実績に基づいて支援情報の提供価格を算出する演算を実行し、その結果に応じて提供価格を決定する。
【０１３０】
また、本実施形態によれば、決定された提供価格を、通信ネットワーク１５００を介して、特定ユーザの顧客システム１０００（ホスト６００）に送信する送信工程（図１１のステップ５０７）と、特定のユーザのホスト６００から送信された新規な支援情報の提供条件の注文に関する情報を受信する注文受信工程（図１１のステップ５０９）と、をさらに含んでいる。このようにすれば、発注を自動的に行うことができるので、売買契約を効率化することができる。
【０１３１】
また、本実施形態によれば、注文受信工程が行われた後に、新規な支援情報を、通信ネットワーク１５００を介して、特定ユーザの情報処理装置に提供する提供工程（図１１のステップ５１３）をさらに含んでいる。これによれば、新規なファイルパッケージを、自動的に、顧客に提供することができるので、処理が効率化される。
【０１３２】
また、本実施形態によれば、新規な支援情報に関する情報を、通信ネットワーク１５００を介して、特定のユーザの情報処理装置に配信する配信工程（図１１のステップ５０１）と、特定のユーザの情報処理装置から送信された新規な支援情報の提供条件の見積依頼に関する情報を受信する見積依頼受信工程（図１１のステップ５０３）と、をさらに含んでおり、受信工程が行われた後に決定工程（図１１のステップ５０５）が行われる。このようにすれば、顧客が、新しい装置に対応した新規なファイルパッケージに関する情報を労せずして入手することができるようになるとともに、新規ファイルに興味がある顧客に対してだけライセンスサーバ２０００において、見積もりを行うので、ライセンスサーバ２０００の負荷も軽減される。
【０１３３】
なお、上記実施形態では、データ通信を行う装置を露光装置１００と測定・検査器１２０としたが、本発明はこれには限られない。例えばＣ／Ｄ１１０、デバイス製造処理装置群９００の各装置などのデータ通信を支援する変換定義ファイルの提供にも本発明を適用することができる。同様に、連携動作についても、露光装置と測定・検査器とだけには限らず、Ｃ／Ｄ１１０、デバイス製造処理装置群９００の各装置を含む連携動作を行うための連携レシピファイルの提供にも本発明を適用することができるのは勿論である。
【０１３４】
また、上記実施形態では、変換定義ファイルと連携レシピファイルとの両方を含むファイルパッケージとしたが、どちらか一方を含んでいればよい。また、複数の装置に跨る処理動作を支援するための支援機能に用いられるファイルであれば、本発明を適用することができる。
【０１３５】
なお、本実施形態では、データ変換ファイルと、連携レシピファイルを配信し、コミュニケーション・サーバ１５０において、受信したデータ変換ファイルに基づいて変換レシピファイルを作成したが、変換レシピファイルを配信する支援情報に含めるようにしてもよいことは勿論である。
【０１３６】
また、売買契約だけでなく、レンタル契約や、リース契約における価格決定にも本発明を適用することができる。
【０１３７】
また、上記実施形態に係る方法により決定される販売条件は、ソフトウエアの購入価格の割引に限られるものではない。例えば、「カスタマーサービスの無償提供」、「使用制約条件の解除や緩和」等の他の特典を設定するようにしてもよい。このように、本発明は、販売条件への反映方法には限定されない。
【０１３８】
また、本発明は、その他、デバイス製造に関するデータのデータ変換を行うソフトウエアに関連する商品の販売であれば、適用可能である。
【０１３９】
本実施形態では、露光装置１００を、ステップ・アンド・スキャン方式の露光装置としたが、これに限らず、ステップ・アンド・リピート方式や他の方式の露光装置であってもよい。これに代表されるように、各種装置についても、その種類には限定されない。また、本発明は、半導体製造工程に限らず、液晶表示素子などを含むディスプレイの製造工程にも適用可能である。また、デバイスパターンをガラスプレート上に転写する工程、薄膜磁気ヘッドの製造工程、及び撮像素子（ＣＣＤなど）、マイクロマシン、有機ＥＬ、ＤＮＡチップなどの製造工程の他、すべてのデバイス製造工程における線幅管理に本発明を適用することができるのは勿論である。
【０１４０】
本発明は、あるデバイスを製造する複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を供給する機能供給方法である。この機能供給方法では、支援機能を実行する支援システムが複数のデバイス製造処理装置に跨る処理動作を支援するための支援機能を実行するために用いる支援情報を、支援システムが読み込み可能な形態で、支援システムとは別に提供する。このようにすれば、支援機能を別に供給するだけで、複数のデバイス製造処理装置に跨る種々の処理動作が可能となり、工程に柔軟性が生まれ、効率的な多品種少量生産が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【０１４１】
以上説明したように、本発明の機能供給方法、露光方法、露光装置、測定方法、測定装置、機能供給システム、プログラム、及び記録媒体は、デバイスの製造に適している。
【図面の簡単な説明】
【０１４２】
【図１】本発明の一実施形態に係るネットワークシステムの概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る顧客システムの概略構成図である。
【図３】コミュニケーション・サーバの論理的構成図である。
【図４】管理コントローラの論理的構成図である。
【図５】ウエハプロセスの流れを示す図である。
【図６】ライセンスサーバの概略構成を示す図である。
【図７】ライセンス管理データベースの登録内容の一例を示す図である。
【図８】カウント数設定データベースの一例を示す図である。
【図９】使用状況監視データベースの一例を示す図である。
【図１０】図１０（Ａ）は、割引率設定データベース内の割引レベルを示す図であり、図１０（Ｂ）は、割引率設定データベース内の割引率を示す図である。
【図１１】ライセンスサーバとホストとのデータ送受信の流れを示す送受信チャートである。
【図１２】ライセンス販売の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１４３】
５１、５２…送受信部、５３…制御部、５３ａ…ファイル・フォーマット変換部、５３ｂ…通信メッセージ変換部、５３ｃ…通信プロトコル変換部、５４…変換定義ファイル登録部、５４1、５４2、５４3…変換定義ファイル、５５…変換レシピファイル登録部、５５1、５５2、５５3…変換レシピファイル、６１、６２…送受信部、６３…制御部、６４…記憶装置、６５1、６５2、６５3、６５4…連携レシピファイル、１００…露光装置、１１０…コータ・デベロッパ、１２０…測定・検査器、１４０…解析装置、１５０…コミュニケーション・サーバ、１６０…管理コントローラ、２００…トラック、３１０…販売条件設定処理部、３２０…顧客ライセンス管理処理部、３３０…使用状況管理処理部、３４０…データベースシステム、３４１…顧客ライセンス管理データベース、３４２…販売条件：カウント数設定データベース、３４３…使用状況監視データベース、３４４…販売条件：割引率設定データベース、３５０…制限設定部、３６０…送受信部、３７０…配信部、３８０…ファイルパッケージ、６００…ホストシステム、９００…デバイス製造処理装置群、９１０…ＣＶＤ装置、９２０…エッチング装置、９３０…ＣＭＰ装置、９４０…酸化・イオン注入装置、１０００…顧客システム、１５００…通信ネットワーク、２０００…ライセンスサーバ、２５００…データベース、３０００…ネットワークシステム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005128069.tif 000009
【図９】
0005128069.tif 000010
【図１０】
0005128069.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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