(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン粉が炭化水素系溶媒に分散している分散液に、アルキルグリコシド及び水を含有するシリコン粉の分離促進剤組成物（Ｐ）を加える工程（１）、
分離促進剤組成物（Ｐ）が加えられた分散液に、遠心分離手段を施して、炭化水素系溶媒を主として含有する層（ｘ）とシリコン粉を含有する層（ｙ）に分離する工程（２）、及び
前記分離されたシリコン粉を含有する層（ｙ）を取り出す工程（３）、を有するシリコン粉の回収方法。
【請求項２】
分離促進剤組成物（Ｐ）が、更に、グリセリルエーテルを含有する請求項１記載のシリコン粉の回収方法。
【請求項３】
前記の炭化水素系溶媒を主として含有する層（ｘ）から分離されて取り出されたシリコン粉を含有する層（ｙ）に対して、さらに、前記遠心分離工程（２）及び取り出し工程（３）と同様の、遠心分離工程（２’）及び取り出し工程（３’）を、少なくとも１回施し、かつ、
前記遠心分離工程（２’）及び取り出し工程（３’）に際して、前記遠心分離工程（２’）の前に、炭化水素系溶媒を主として含有する層（ｘ）から分離されて取り出されたシリコン粉を含有する層（ｙ）に対して、アルキルグリコシド、グリセリルエーテル及び水を含有する分離促進剤組成物（Ｐ’）を加える工程（１’）を施す、請求項１又は２記載のシリコン粉の回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無機粉が、分散媒体中に分散している分散液（懸濁液を含む）からの、無機粉の回収方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、産業の発展、多様化に伴い、各種の分野において、水や有機溶媒等の媒体中に無機粉を含有する排液が多数発生している。これら排液は、水や有機溶媒等の媒体から無機粉を分離することが困難であり、また無機粉を有することから蒸留が困難なため、廃棄されることが多い。一方、環境問題等から、排液中の水や油等の媒体と無機粉とは、分離して再利用することが望まれる。
【０００３】
前記排液としては、例えば、シリコン粉を含有する排液があげられる。シリコン粉を含有する排液は、例えば、シリコン結晶インゴットをシリコンウエハにする場合、通常、スライス工程及び／又は研磨工程を含み、前記スライス工程由来の切削屑等としてシリコン粉が生じ、また、前記スライス工程で用いた潤滑油や前記研磨工程で用いた砥粒とともに、シリコン粉が洗浄剤により除去され、その結果として生じる。当該洗浄剤としては、主に灯油等の炭化水素系溶媒が用いられる。
【０００４】
上記シリコン粉を含有する排液に対する処理方法としては、例えば、前記排水に、シリカゾル−水溶性金属塩よりなる無機凝集剤を所定濃度となるように含有させ、次いで、有機高分子凝集剤を添加する方法が提案されている（特許文献１）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１８５６４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１の処理方法は、無機凝集剤を所定濃度となるように含有させ、さらに、有機高分子凝集剤を添加するため、複数の材料を用いることによって処理操作が煩雑であること、また、無機凝集剤の割合を所定濃度に設置することなどの処理操作が難しいなども問題がある。また、特許文献１の処理方法は、シリコン粉を含有する排水を処理対象にしているため、シリコンウエハ等のスライス工程後の洗浄剤として、炭化水素系溶媒が用いられている場合には、当該洗浄剤（炭化水素系溶媒）の排液に対しては、到底適用することができない。
【０００７】
本発明は、シリコン粉等の無機粉を含有する排液等から、簡易な方法によって、無機粉を回収する方法、を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
即ち、本発明は、無機粉が分散媒体に分散している分散液に、アルキルグリコシド及び水を含有する無機粉の分離促進剤組成物（Ｐ）を加える工程（１）、
分離促進剤組成物（Ｐ）が加えられた分散液に、遠心分離手段を施して、分散媒体を主として含有する層（ｘ）と無機粉を含有する層（ｙ）に分離する工程（２）、及び
前記分離された無機粉を含有する層（ｙ）を取り出す工程（３）、を有する無機粉の回収方法、に関する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の無機粉の回収方法では、アルキルグリコシド及び水を含有する無機粉の分離促進剤組成物（Ｐ）を用いる。当該分離促進剤組成物（Ｐ）によれば、当該分離促進剤組成物（Ｐ）を、無機粉を含有する分散液等の排液中に加え、撹拌、混合した後、静置することにより、容易に、前記分散液を、分散媒体を主として含有する層（ｘ）と無機粉を含有する層（ｙ）に分離することができる。本発明では、前記撹拌混合手段として、遠心分離手段を施すことで、分散媒体を主として含有する層（ｘ）と無機粉を含有する層（ｙ）の分離を速やかに行う。このようにして分離された無機粉を含有する層（ｙ）からは、無機粉を容易に取り出して回収することができる。上記のようにして回収された無機粉は、再利用することができる。例えば、無機粉がシリコン粉の場合には、回収したシリコン粉から、シリコン結晶インゴットを再度作製することができる。
【００１０】
例えば、シリコンウエハ等のスライス工程後の洗浄剤として、炭化水素系溶媒（例えば灯油）を用いる場合には、当該洗浄剤（例えば灯油）の排液から、灯油を含有する層とシリコン粉を含有する層を分離して、シリコン粉を含有する層からシリコン粉を取り出して回収することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の無機粉の回収方法では、無機粉が分散媒体に分散している分散液に、アルキルグリコシド及び水を含有する無機粉の分離促進剤組成物（Ｐ）を加える工程（１）を施す。
【００１２】
前記工程（１）で用いる本発明の分離促進剤組成物（Ｐ）は、例えば、アルキルグリコシド及び水を含有する水溶液として用いることができる。本発明に用いられるアルキルグリコシドは、無機粉が分散している排液等の分散液に加えて、撹拌、静置することにより、排液中の無機粉と分散媒体の分離を促進することができる。
【００１３】
本発明に用いられるアルキルグリコシドは、例えば、下記の一般式（１）：
Ｒ１（ＯＲ２）ｘＧｙ（１）
〔式中、Ｒ１は直鎖又は分岐鎖の炭素数８〜１８のアルキル基、アルケニル基、又はアルキルフェニル基を示し、Ｒ２は炭素数２〜４のアルキレン基を示し、Ｇは炭素数５〜６を有する還元糖に由来する残基を示し、ｘ（平均値）は０〜５を、ｙ（平均値）は１〜５を示す〕で表される。
【００１４】
式中、ｘは、好ましくは０〜２、より好ましくは０である。ｙは、好ましくは１〜１．５、より好ましくは１〜１．４である。Ｒ１の炭素数は、好ましくは９〜１６、さらに好ましくは１０〜１４である。Ｒ２は、好ましくはエチレン基である。Ｇは、その原料として使用される単糖類又は多糖類等の還元糖によってその構造が決定され、単糖類としては、グルコース、ガラクトース、キシロース、マンノース、リキソース、アラビノース、これらの混合物などが挙げられ、多糖類としては、マルトース、キシロビオース、イソマルトース、セロビオース、ゲンチビオース、ラクトース、スクロース、ニゲロース、ツラノース、ラフィノース、ゲンチアノース、メレジトース、これらの混合物などが挙げられる。これらのうち、単糖類としては、入手性及び低コストの点からグルコース又はフルクトースが好ましく、多糖類ではマルトース又はスクロースが好ましい。尚、ｘ及びｙはプロトン（１Ｈ）ＮＭＲにより求める。
【００１５】
アルキルグリコシドとしては、前記一般式（１）を満たすものであれば特に限定はないが、例えば、アルキルポリグルコシドが好ましく、中でも、デシルポリグルコシド、ドデシルポリグルコシド、ミリスチルポリグルコシドなどがより好ましい。
【００１６】
ここで、アルキルポリグルコシドとは、前記一般式（１）において、Ｇがグルコース由来の残基であり、ｙが１以上であるアルキルグリコシドをいい、例えば、単糖類又は多糖類をその構造として含むものが挙げられる。
【００１７】
本発明の分離促進剤組成物（Ｐ）は、アルキルグリコシドに、水を配合することにより調製される。本発明の分離促進剤組成物（Ｐ）は、当該組成物（Ｐ）中のアルキルグリコシドと水の合計量に対する、アルキルグリコシドの割合が、通常、０．０１〜５０重量％になるように調製される。前記割合は、好ましくは０．０５〜３０重量％、さらに好ましくは０．１〜２０重量％である。前記割合で、アルキルグリコシドを含有することにより、無機粉、特にシリコン粉の分離を促進することができる。
【００１８】
本発明に用いられる水としては、特に限定はなく、イオン交換水、純水、脱イオン水などが挙げられ、イオン交換水が好ましい。
【００１９】
本発明の分離促進剤組成物（Ｐ）は、さらにグリセリルエーテルを含有することができる。グリセリルエーテルを含有することにより、さらに無機粉、特にシリコン粉の分離を促進することができ、その結果、シリコン粉等の無機粉の回収を容易にすることができる。
【００２０】
本発明で用いられるグリセリルエーテルとしては、無機粉、特にシリコン粉に対する分離を促進することができ、無機粉の回収を容易にできる観点から、例えば、炭素数４〜１２の直鎖又は分岐鎖のアルキル基又はアルケニル基を有するものが挙げられ、例えばｎ−ブチル基、イソブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｎ−ヘキシル基、イソヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デシル基などの炭素数４〜１２のアルキル基を有するものが好ましく、炭素数５〜１０、さらに炭素数５〜８のアルキル基を１又は２個、特に１個有するものがさらに好ましい。さらに本発明に用いるグリセリルエーテルとしては、無機粉、特にシリコン粉に対する分離を促進することができ、無機粉の回収を容易にできる観点から、グリセリル基が２個以上、好ましくは２〜３個のグリセリル基がエーテル結合で繋がった、モノアルキルジグリセリルエーテル又はモノアルキルポリグリセリルエーテルを使用できる。
【００２１】
アルキルグリコシド及び水とともに、グリセリルエーテルを併用する場合、分散媒体中の無機粉、特にシリコン粉を沈殿させ分離を促進する観点から、アルキルグリコシドと水の合計量１００重量部に対して、グリセリルエーテルは好ましくは０．０００１〜１０００重量部であり、より好ましくは０．０００５〜５００重量部であり、更に好ましくは０．００５〜１００重量部である。
【００２２】
前記アルキルグリコシド及びグリセリルエーテルの好ましい組み合わせとしては、アルキルグリコシドがデシルポリグルコシド及び／又はドデシルポリグルコシドであり、グリセリルエーテルが２−エチルヘキシルグリセリルエーテル及び／又はヘキシルグリセリルエーテルがあげられる。
【００２３】
本発明の分離促進剤組成物（Ｐ）は、さらに、本発明の効果を損なわない範囲で任意の添加剤を加えることができる。添加剤としては、有機酸又は無機酸、炭化水素、アルカリ剤、消泡剤、他の界面活性剤、防腐剤、防錆剤などを含有してもよい。
【００２４】
本発明の無機粉の回収方法の対象は、無機粉が分散媒体に分散している分散液である。無機粉としては、例えば、シリコン粉、シリカ粉、炭化珪素粉、アルミナ、セリア等の金属粉又はこれらの金属酸化物粉、ベントナイト等の鉱物粉等が例示されるが、本発明の分離促進剤組成物は、これらのなかでもシリコン粉への適用が好適である。なお、無機粉は、通常、平均粒径が０．１〜１０μｍのものである。前記平均粒径は、実施例に記載した測定方法による。
【００２５】
無機粉が分散している分散液の分散媒体としては、各種の溶媒があげられ、例えば、水、炭化水素、グリコールエーテル等の有機溶媒が例示される。
【００２６】
無機粉が分散している分散液の分散媒体として用いられる炭化水素は、本発明の分離促進効果が好ましく発現する観点から、例えば、灯油、オレフィン系炭化水素及び／又はパラフィン系炭化水素が好ましく、灯油がより好ましい。オレフィン系炭化水素及びパラフィン系炭化水素としては、炭素数１０〜１８、好ましくは１０〜１４の化合物が好ましく、例えば、デカン、ドデカン、テトラデカン、ヘキサデカン、オクタデカン、デセン、ドデセン、テトラデセン、ヘキサデセン、オクタデセンなどの直鎖又は分岐鎖の飽和又は不飽和の炭化水素；シクロデカン、シクロドデセンなどのシクロ化合物などの脂環式炭化水素などが挙げられる。
【００２７】
上記以外の炭化水素としては、例えば、ノニルベンゼン、ドデシルベンゼンなどのアルキルベンゼン、メチルナフタレン、ジメチルナフタレンなどのナフタレン化合物などの芳香族炭化水素系溶媒があげられる。芳香族炭化水素系溶媒は、前記オレフィン系炭化水素及びパラフィン系炭化水素に加えて、使用することができる。
【００２８】
前記分散液の具体例としては、例えば、シリコン結晶インゴットをシリコンウエハにする際にはスライス工程や、研磨工程の後に施される、洗浄剤による洗浄工程による排液があげられる。当該洗浄剤排液中には、洗浄剤（水系洗浄剤や、灯油が用いられる）中に無機粉としてシリコン粉を含有している他、潤滑油（加工油）、増粘剤、砥粒等を含有する。また、分散液の分散媒体としては、水、灯油等の炭化水素、グリコールエーテル等の有機溶媒等、好ましくは灯油等の炭化水素、より好ましくは灯油があげられる。
【００２９】
前記工程（１）において、処理対象である、無機粉を含有する分散液には、上記分離促進剤組成物（Ｐ）が加えられるが、無機粉に対する分離を促進することができる観点から、分離促進剤組成物（Ｐ）は、通常、分散液中の分散媒体１００重量部に対して、分離促進剤組成物（Ｐ）中のアルキルグリコシドが好ましくは０．０００１〜１０００重量部、より好ましくは０．００１〜１００重量部、さらに好ましくは０．００１〜１０重量部、さらに好ましくは０．００１〜１重量部、さらに好ましくは０．００１〜０．１重量部となるように配合するのが好ましい。
【００３０】
無機粉が分散媒体に分散している分散液が、比重の異なる２種類以上の無機粉を含有している分散液である場合には、分離促進剤組成物（Ｐ）を加える工程（１）を施す前に、当該分散液に、遠心分離手段を施して、比重の大きい無機粉を主として含有する層（ａ）と比重の小さい無機粉が主として分散する層（ｂ）に分離する工程（Ａ）を施した後に、当該工程（Ａ）で分離された、前記比重の小さい無機粉が主として分散する層（ｂ）である分散液に対して、前記分離促進剤組成物（Ｐ）を加える工程（１）を施すことが好ましい。なお、前記層（ａ）と層（ｂ）において「主として」とは、比重の大きい無機粉と比重の小さい無機粉が分離されていることが、肉眼により区別できる状態であればよいことを示している。前記層（ｂ）中では比重の小さい無機粉は通常分散した状態であり、一方前記層（ａ）中において、比重の大きい無機粉は通常は沈殿した状態で分離されるが、前記層（ａ）中において比重の大きい無機粉は分散した状態で分離されていてもよい。
【００３１】
比重の異なる２種類以上の無機粉を含有する分散液は、本発明の分離促進剤組成物（Ｐ）を加えなくても、遠心分離手段を施すことで、比重の大きい無機粉を主として含有する層（ａ）と比重の小さい無機粉が主として分散する層（ｂ）に分離することができる場合がある。特に、２種類以上の無機粉の比重差が０．２以上、さらには０．５以上である場合に、前記工程（Ａ）は有効である。かかる工程（Ａ）を、前記工程（１）の前に施すことは、後述の遠心分離工程（２）において、分離促進剤組成物（Ｐ）が加えられた分散液を、より効率よく、分散媒体を主として含有する層（ｘ）と無機粉を含有する層（ｙ）に分離するうえで好ましい。なお、工程（Ａ）の遠心分離手段、条件は、工程（２）と同様の手段、条件を採用することができる。
【００３２】
本発明の無機粉の回収方法では、前記工程（１）の後に、工程（２）として、分離促進剤組成物（Ｐ）が加えられた分散液に、遠心分離手段を施す。遠心分離手段が施されることによって、前記分散液は、分散媒体を主として含有する層（ｘ）と無機粉を含有する層（ｙ）に分離される。
【００３３】
遠心分離によって、分離された、前記層（ｘ）は、分散液の分散媒体を主として含有する。一方、前記層（ｙ）には、分離促進剤組成物（Ｐ）を主な媒体として、無機粉が分散又は凝集した状態で含有されていると考えられる。従って、層（ｘ）と層（ｙ）が、上層または下層のいずれに分離されるかは、分散液の分散媒体と分離促進剤組成物（Ｐ）の成分の比重を指標とすることができる。例えば、分離促進剤組成物（Ｐ）の比重が分散媒体の比重より大きい場合には、下層の無機粉を含有する層（ｙ）と、上層の分散媒体を主として含有する層（ｘ）とを分離することができる。一方、分散媒体の比重が分離促進剤組成物（Ｐ）の比重より大きい場合には、上層の無機粉を含有する層（ｙ）と、下層の分散媒体を主として含有する層とを分離することができる。なお、前記層（ｘ）において「主として」とは、層（ｘ）では分散媒体に関わる層と、層（ｙ）では無機粉に関わる層とが分離されていることが、肉眼により区別できる状態であればよいことを示しており、層（ｘ）では媒体中の分散媒体の濃度が好ましくは８０重量％以上、より好ましくは９０重量％以上、更に好ましくは９５重量％以上であり、層（ｙ）では媒体中の分離促進剤組成物（Ｐ）の濃度が好ましくは８０重量％以上、より好ましくは９０重量％以上、更に好ましくは９５重量％以上である。通常、層（ｘ）は、通常、肉眼で透明であればよく、微量の無機粉を含有していてもよく、一方、層（ｙ）は無機粉が分散媒体を含有した状態で分離されていてもよい。
【００３４】
遠心分離手段は、公知の装置を用いることができる。遠心分離の条件は、通常は、回転速度が、１００〜２５０００ｒｐｍ、好ましくは５００〜１００００ｒｐｍであり、１〜１８０分間、好ましくは１〜１２０分間、より好ましくは１〜６０分間、さらに好ましくは１〜３０分間、さらに好ましくは２〜１０分間の条件下で行うことが好ましい。なお、遠心分離の際の温度は、通常、２５〜６０℃が好ましく、さらに好ましくは２５〜４０℃である。なお、遠心分離の条件は、前記分散液中の無機粉、その他不純物の濃度や、分離促進剤組成物（Ｐ）中の成分濃度によって適宜に設定することができる。
【００３５】
本発明の無機粉の回収方法では、前記工程（２）によって分離された、上層又は下層の分散媒体を主として含有する層（ｘ）と下層又は上層の無機粉を含有する層（ｙ）から、工程（３）によって、無機粉を含有する層（ｙ）を取り出して回収する。
【００３６】
例えば、前記無機粉を含有する層（ｙ）が上層として分離される場合には、前記分離した上層を、上から抜き出すことで無機粉を含有する層（ｙ）を取り出して回収することができる。また分液ロートを用いて前記分離を行った場合は、分散媒体を含有する下層を、分液ロートの下側から抜き出すことで、上層の無機粉を含有する層（ｙ）を取り出して回収することができる。前記無機粉を含有する層（ｙ）が下層として分離される場合には、分液ロートの下側から抜き出すことで、下層の無機粉を取り出して回収することができる。
【００３７】
上記のようにして取り出し工程（３）により回収された無機粉を含有する層（ｙ）には、通常、分離促進剤組成物が含有されている。そのため、前記層（ｙ）に対して、層（ｙ）から無機粉を取り出す工程（４）を施すことができる。無機粉を取り出し工程（４）によって、層（ｙ）に含まれている分離促進剤組成物は適宜に除去されて、無機粉の再利用に供することができる。また、回収された無機粉を含有する層（ｙ）は、適宜に乾燥して、無機粉の再利用に供することができる。
【００３８】
前記工程（１）乃至（３）を施されて、無機粉が分散媒体に分散している分散液から、回収された無機粉を含有する層（ｙ）に対しては、さらに、前記遠心分離工程（２’）及び取り出し工程（３’）を少なくとも１回施すことができる。遠心分離工程（２’）及び取り出し工程（３’）は、前記遠心分離工程（２）及び取り出し工程（３）と同様の方法を採用することができる。遠心分離工程（２’）及び取り出し工程（３’）を繰り返すことによって、さらに、無機粉の回収率を向上することができる。上記取り出し工程（３’）により回収された無機粉を含有する層（ｙ）に対しても、上記同様の層（ｙ）から無機粉を取り出す工程（４）を施すことができる。
【００３９】
また、前記遠心分離工程（２’）及び取り出し工程（３’）に際して、前記遠心分離工程（２’）の前に、分散媒体を主として含有する層（ｘ）から分離されて、取り出された無機粉を含有する層（ｙ）に対して、アルキルグリコシド及び水を含有する分離促進剤組成物（Ｐ’）を加える工程（１’）を施すことができる。分離促進剤組成物（Ｐ’）は前記分離促進剤組成物（Ｐ）と同様のものを用いることができ、また、分離促進剤組成物（Ｐ’）を加える工程（１’）は、前記分離促進剤組成物（Ｐ）を加える工程（１）と同様の方法を採用することができる。分離促進剤組成物（Ｐ’）を加える工程（１’）によって、さらに、無機粉の回収率を向上することができる。特に、工程（１）乃至（３）で回収した、無機粉を含有する層（ｙ）が、分散媒体を含有する分散液として回収された場合に有効である。
【実施例】
【００４０】
実施例１
＜分離促進剤組成物（Ｐ）の調製＞
アルキルポリグルコシド（一般式（１）においてＲ１＝平均炭素数１１．３の直鎖アルキル基，ｘ＝０，ｙ＝１．３，Ｇ＝グルコース残基）、２‐エチルへキシルグリセリルエーテル及び水を、順に、各成分の重量が、０．３１ｇ、０．０９ｇ、及び１９．６１ｇになるように混合して分離促進剤組成物（Ｐ）を調製した。
【００４１】
なお、表１中、アルキルグリコシドはＡＧと略す。表１に、分離促進剤組成物（Ｐ）における各成分の配合量（ｇ）、ＡＧと水の合計量に対するＡＧの割合（表１中、[ＡＧ／（ＡＧ＋水）]×１００（％）で表記）、ＡＧと水の合計量１００重量部に対するグリセリルエーテルの割合（重量部）を表１に示す。
【００４２】
＜処理対象物：分散液＞
切削砥粒であるＳｉＣ（平均粒径が５〜１５μｍの範囲にある）２５重量％とシリコン粉（平均粒径が０．１〜１μｍの範囲にある）２０重量％を含む油溶性切削油組成物を準備した。さらに、灯油１００重量部（６７ｇ）に対して、当該油溶性切削油組成物（２０重量部）を加えて、分散液を準備した。なお、切削砥粒であるＳｉＣの比重は３．２、シリコン粉の比重は２．３である。
【００４３】
なお、切削砥粒であるＳｉＣ及び無機粉であるシリコン粉の平均粒径は、光学顕微鏡で倍率２０００倍、５０μｍ×５０μｍの一の視野におけるＳｉＣの粒子投影断面からランダムに配向させた球状鋳物砂粒子の長軸径（μｍ）と短軸径（μｍ）を測定して（長軸径＋短軸径）／２を求める。前記視野中から任意の１０個、他の視野中から任意の１０個の計２０個のＳｉＣにつき、それぞれ得られた値を平均して平均粒径（μｍ）とする。長軸径と短軸径は、以下のように定義される。粒子を平面上に安定させ、その粒子の平面上への投影像を２本の平行線ではさんだとき、その平行線の間隔が最小となる粒子の幅を短軸径といい、一方、この平行線に直角な方向の２本の平行線で粒子をはさむときの距離を長軸径という。他の無機粉の場合も同様とする。但し、本実施例では、前記視野中に認められるＳｉＣの平均粒径は５〜１５μｍに入り、シリコン粉の平均粒径は、０．１〜１μｍに入ることを目視で簡易に確認した。
【００４４】
＜遠心分離後のシリコン粉を含有する層（沈殿層）の分離＞
上記油溶性切削油組成物（灯油１００重量部に切削油２０重量部）を含有する分散液１０ｇを高速遠心分離機（ＳＩＧＭＡ製，３Ｋ３０Ｃ）にて１０００ｒｐｍで５分間遠心分離を行い、上層となるシリコン粉、切削油組成物及び灯油を含む分散液層（上層）を取り除くことによって、下層に沈殿したＳｉＣ砥粒を回収した。更に、この取り除いた分散液層中の灯油基準（これを１００重量部とする）に対して、上記記載の分離促進剤組成物（前記灯油基準１００重量部に対し、重量基準で３０重量）を加えて、前記遠心分離機にて１０００ｒｐｍ、１０分間遠心分離を行ない、遠心分離後、透明に分離した灯油層（上層）、そして、シリコン粉を含有する層（シリコン粉が沈殿した層；下層）の有無を確認した。
【００４５】
＜無機粉の回収＞
前記分散液中のシリコン粉は、前記した透明に分離した灯油層を上から抜き出した後、残存したシリコン粉を含有する層（沈殿層）を回収した。回収したシリコン粉を含有する層（シリコン粉が沈殿した層：下層）から、分離促進剤組成物（Ｐ）の水以外の成分を除去し、得られたシリコン粉を含む残渣をろ過した後、室温で乾燥して、シリコン粉を回収した。
【００４６】
実施例２〜４
実施例１において、分離促進剤組成物（Ｐ）の各成分の配合割合を表１に示すように変えたこと以外は実施例１と同様にして分離促進剤組成物（Ｐ）を調製した。当該分離促進剤組成物（Ｐ）を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作を行い、無機粉（シリコン粉）を回収した。結果を表１に示す。
【００４７】
比較例１
実施例１において、分離促進剤組成物を添加することなく、分散液の遠心分離を行なったが、シリコン粉は分散液中に分散したままで沈降しない結果となった。
【００４８】
【表１】
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【００４９】
実施例では、処理対象物の分散液に、分離促進剤組成物を添加した結果、上層として、透明の灯油層から、下層のシリコン粉を含有する（沈殿層）を分離し、取り出して回収することができた。特に、実施例１乃至３のように、分離促進剤組成物としてアルキルグリコシドとともに、グリセリルエーテルを用いている場合には、分離促進効果が大きい。一方、比較例１のように、分離促進剤組成物の代わりに、灯油のみを用いた場合には、分散液が希釈されたのみで、シリコン粉は分散液中に分散したまま沈降しない結果となった。