(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属箔の少なくとも片面に多層水溶性樹脂組成物層を形成したプリント配線板材料用のドリル孔明け用エントリーシートの製造方法において、水溶性樹脂組成物の水溶液を金属箔に塗布、乾燥、固化させて水溶性樹脂組成物の層を形成し、その上に水溶性樹脂組成物の水溶液を塗布、乾燥、固化して水溶性樹脂組成物の層を形成し、該層の形成を複数回重ねて形成した多層水溶性樹脂組成物の層の合計厚みが５０μｍ以上であり、多層水溶性樹脂組成物層内の直径３０μｍ以上の気泡の数が１００ｍｍ×１００ｍｍの範囲内に２０個以下であることを特徴とするプリント配線板材料用のドリル孔明け用エントリーシートの製造方法。
【請求項２】
一度に塗布、乾燥、固化させて形成される水溶性樹脂組成物の層の厚みが、１０〜５０μｍの範囲である請求項１に記載のプリント配線板材料用のドリル孔明け用エントリーシートの製造方法。
【請求項３】
金属箔の少なくとも片面に多層水溶性樹脂組成物層を形成したプリント配線板材料用のドリル孔明け用エントリーシートであって、形成された多層水溶性樹脂組成物の層の合計厚みが５０μｍ以上であり、かつ多層水溶性樹脂組成物層内の直径３０μｍ以上の気泡の数が１００ｍｍ×１００ｍｍの範囲内に２０個以下であるプリント配線板材料用のドリル孔明け用エントリーシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板の製造工程において、銅張積層板や多層板のドリル孔明け加工の際に使用されるドリル孔明け用エントリーシートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板材料に使用される銅張積層板や多層板のドリル孔明け加工方法としては、銅張積層板または多層板を１枚または複数枚重ねて、その最上部に当て板としてアルミ箔単体またはアルミ箔表面に樹脂組成物層を形成したドリル孔明け用エントリーシートを配置して孔明け加工を行う方法が一般的に採用されている。近年、プリント配線板材料に対する信頼性向上の要求や高密度化の進展に伴い、孔位置精度の向上や孔壁粗さの低減などの高品質の孔明け加工が求められている。これに対応するために、ポリエチレングリコールなどの水溶性樹脂組成物からなるシートを使用した孔明け加工法(例えば特許文献１参照)、金属箔に水溶性樹脂組成物層を形成した孔明け用滑剤シート(例えば特許文献２参照)、熱硬化性樹脂組成物薄膜を形成したアルミニウム箔に水溶性樹脂組成物層を形成した孔明け用エントリーシート(例えば特許文献３参照)などが提案・実用化されている。ここで孔壁の品質を向上させるためには金属箔に形成された水溶性樹脂組成物層の厚みが非常に重要である。従来のラミネート方式では50μm以上の水溶性樹脂組成物層を金属箔面に張り合せるのは可能であるが、溶液法においては、水溶性樹脂組成物でかつ粘度が低い樹脂組成物の溶液を金属箔面に塗布するコーティング方式で厚塗りする場合、塗布及び乾燥時の液垂れ、乾燥及び水溶性樹脂組成物の固化時に発泡するなどの問題があり製造が困難であった。塗工時に塗工部と金属箔とのクリアランスを広げる、連続的に2つの塗工部からそれぞれ水溶性樹脂組成物層を形成するといった方法で厚い水溶性樹脂溶液層を塗布し乾燥、固化させた場合、水溶性樹脂組成物層内に気泡が存在し、また水溶性樹脂組成物層表面の平滑性が低下する。これらの水溶性樹脂組成物層内の気泡の存在及び水溶性樹脂組成物層表面の平滑性の低下が孔明け加工時の穴位置精度に悪影響を及ぼしていた。
【０００３】
【特許文献１】特開平４−９２４８８号公報
【特許文献２】特開平５−１６９４００号広報
【特許文献３】特開２００３−１３６４８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、金属箔に厚みが50μm以上の水溶性樹脂組成物層を形成する際の従来技術における課題である水溶性樹脂組成物の塗布後、乾燥と固化時に生じる水溶性樹脂組成物層内部での発泡を抑制した孔位置制度の優れたプリント配線板材料用のドリル孔明け用エントリーシートおよび該シートの製造方法を提供することにある。
本発明の目的は、水溶性樹脂組成物の塗布後、乾燥と固化時に生じる水溶性樹脂組成物層内部で、直径３０μｍ以上の気泡の数が１００ｍｍ×１００ｍｍの範囲内に20個以下であることにより、発泡により生じる悪影響を防止できることを見出したことに基づき、上記要件を達成できる孔位置精度に優れたプリント配線板材料用のドリル孔明け用エントリーシートおよび該エントリーシートの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは水溶性樹脂組成物層内の気泡を少なく抑制した状態で、該組成物層を厚く塗工する製造法について鋭意研究を重ねた。その結果、一回の塗布・乾燥・固化で形成される水溶性樹脂組成物層の厚みを少なくし、この層を重ね塗りすることで、上記した従来技術の課題を解決することを見出し、本発明に至った。一度に形成する水溶性樹脂組成物層の厚みを少なくすることで、水溶性樹脂組成物層の形成時の内部発泡を減らし、かつ、薄い水溶性樹脂組成物層を逐次的に形成することで、２回目以降の水溶性樹脂組成物層形成時に生じる、既に形成された水溶性樹脂組成物の再溶融を減らし、これにより内部発泡を抑制できることを見出した。すなわち、本発明は金属箔の少なくとも片面に多層水溶性樹脂組成物層を形成したプリント配線板材料用のドリル孔明け用エントリーシートの製造方法において、水溶性樹脂組成物の水溶液を金属箔に塗布、乾燥、固化させて厚さ10〜50μｍの水溶性樹脂組成物の層を形成し、その上に水溶性樹脂組成物の水溶液を塗布、乾燥、固化して水溶性樹脂組成物の層を形成し、該層の形成を複数回重ねて多層水溶性樹脂組成物層の厚みが50μｍ以上であるプリント配線板材料用のドリル孔明け用エントリーシートの製造方法である。
本発明はさらに、金属箔の少なくとも片面に多層水溶性樹脂組成物層を形成したプリント配線板材料用のドリル孔明け用エントリーシートであって、形成された多層水溶性樹脂組成物層の厚みが50μｍ以上でありかつ多層水溶性樹脂組成物層内の直径30μｍ以上の気泡の数が100mm×100mmの範囲内に20個以下であるプリント配線板材料用のドリル孔明け用エントリーシートおよび該シートの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の、複数回重ねて形成された多層水溶性樹脂組成物層の合計厚みが50μｍ以上であるドリル孔明け用エントリーシートの製造法を用いることにより、多層水溶性樹脂組成物層が厚いためにドリル孔明け加工時に孔内壁粗さを小さくでき、かつ孔位置精度に悪影響を及ぼす多層水溶性樹脂組成物層内の気泡が極めて少なく、多層水溶性樹脂組成物層表面が平滑で厚み精度の良いドリル孔明け用エントリーシートを得ることができる。また、本発明によれば、従来のラミネート法による厚さ50μｍ以上の水溶性樹脂層の製造方法と比較して、樹脂シート製造時に必要な担持基材であるＰＥＴフィルムなどの副資材が不要となり、工業的に有利な製造法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明は、金属箔に形成される多層水溶性樹脂組成物層を複数回に分けて、逐次的に形成することを特徴とするドリル孔明け用エントリーシートの製造法および形成された多層水溶性樹脂組成物層内の気泡を少なくした上記エントリーシートに関する。
【０００８】
本発明のドリル孔明け用エントリーシートの製造法において、まず水溶性樹脂組成物を水やアルコール類、溶剤などの溶媒に溶解、攪拌させて水溶性樹脂組成物溶液の状態にする。このときの固形分濃度は溶媒に対して10％から70％が好ましい。この水溶性樹脂組成物溶液を用いて水溶性樹脂組成物層を複数回で形成する方法としては、例えば、1層目を金属箔にバーコーター、ダイ、押し出し機等のコーティング方式を用いて塗布した後、乾燥機及び冷却装置を用いて金属箔に塗布した水溶性樹脂組成物を乾燥及び固化させることにより1層目を形成し、固化した該水溶性樹脂組成物層表面側に再度上記コーティング方式を用いて塗工し、乾燥機及び冷却装置を用いて水溶性樹脂組成物層を形成する。この方法によって複数回重ねて形成された多層水溶性樹脂組成物層の合計厚みを上げることが可能になる。この多層水溶性樹脂組成物層形成塗工回数は複数回であり、好ましくは2回〜3回の塗工による製造が望ましい。また製造上、乾燥及び冷却装置は１つのラインで1つとは限らず、連続的に数個の装置を直列に配置し、連続的に塗工、乾燥、固化を行う逐次法を行うことも良い。本発明において、固化とは乾燥により水溶性樹脂組成物の融点以上に上昇した水溶性樹脂組成物の温度を、融点以下、好ましくは室温程度に冷却もしくは放置して低下させることを言う。
【０００９】
本発明のドリル孔明け用エントリーシートの水溶性樹脂組成物の複数回重ねて形成された多層水溶性樹脂組成物層の合計厚みは、50μm以上が好ましく、50μｍ以上〜250μmの範囲がより好ましく、さらに50μｍ以上〜100μmの範囲がより好ましい。複数回重ねて形成された多層水溶性樹脂組成物層の合計厚みが50μm未満では、製造工程を加味した際、1度での水溶性樹脂組成物層の形成が望ましい。重ねて形成された多層水溶性樹脂組成物層の厚みが250μmを超えると複数回塗工による製造上のコストメリットが小さくなり他の製造方法が優位となる。本発明のドリル孔明け用エントリーシートの一度に塗布、乾燥、固化させて形成される水溶性樹脂組成物の層の厚みは10〜50μmの範囲が好ましい。厚みの精度を得るためには、本発明にある逐次的な製造法が有効であり、下塗り水溶液樹脂組成物層を完全に固化させておくことが好ましい。
【００１０】
本発明のドリル孔明け用エントリーシートの多層水溶性樹脂組成物層に使用される水溶性樹脂組成物とは、常温、常圧において、水100ｇに対し、1ｇ以上溶解する高分子化合物であれば、特に限定されるものではない。より好適なものとしては、ポリエチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイド、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸ソーダ、ポリアクリルアミド、ポリビニルピロリドン、カルボキシメチルセルロース、ポリテトラメチレングリコール、ポリエーテルエステル、ポリビニルアルコール等が例示され、１種あるいは２種以上を適宜混合して使用することも可能である。また、ドリル孔明け加工時に潤滑効果を高めるために、これらの水溶性樹脂組成物に後述の水溶性滑剤を併用することが好ましい。
【００１１】
本発明のドリル孔明け用エントリーシートの多層水溶性樹脂組成物層に使用される水溶性樹脂組成物に好適に併用される水溶性滑剤としては、具体的には、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール；ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテルなどで例示されるポリオキシエチレンのモノエーテル類；ポリオキシエチレンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート；ヘキサグリセリンモノステアレート、デカヘキサグリセリンモノステアレートなどで例示されるポリグリセリンモノステアレート類；ポリオキシエチレンプロピレン共重合体などが挙げられ、１種もしくは２種以上を適宜配合して使用することも可能である。水溶性滑剤の配合量は、水溶性樹脂組成物と水溶性滑剤の配合量の合計100重量部に対して、10〜90重量部、より好ましくは20〜80重量部である。水溶性滑剤が10重量部未満ではドリル孔明け時の潤滑効果に問題が生じ易く、90重量部を超えると水溶性樹脂組成物層が脆くなる。また、水溶性樹脂組成物中には各種添加剤も使用可能であり、例えば、有機または無機の充填剤、染料、着色顔料等が目的に合わせて用いられる。
【００１２】
本発明のドリル孔明け用エントリーシートに使用される金属箔としては、厚み50〜300μmのアルミニウム箔が好ましい。アルミニウム箔の厚みが50μm未満ではドリル孔明け加工時に、銅張積層板のバリが発生し易く、300μmを超えると、ドリル孔明け加工時に発生する切り粉の排出が困難になる。アルミニウム箔の材質としては、純度95％以上のアルミニウムが好ましく、具体的にはJIS-H4160に規定される、8021、5052、3004、3003、1N30、1050、1070、1085などが例示される。金属箔に高純度のアルミニウム箔を使うことでドリルビットの衝撃の緩和や食いつき性が向上し、水溶性樹脂組成物層によるドリルビットの潤滑効果と相俟って、加工孔の孔位置精度が向上する。また、これらアルミニウム箔に、予め厚さ0.1〜10μmの接着用皮膜が形成されているアルミニウム箔の使用が水溶性樹脂組成物との密着性の点から好ましい。接着用皮膜に使用される接着剤としては、ウレタン系、酢酸ビニル系、塩化ビニル系、ポリエステル系及び、それらの共重合体や、エポキシ系、シアネート系などの接着剤が例示される。
【００１３】
本発明のドリル孔明け用エントリーシートは、プリント配線材料、例えば銅張積層板または多層板をドリル孔明け加工する際に、銅張積層板または多層板を１枚または複数枚を重ねたものの少なくとも最上面に、プリント配線材料に接するように配置し、ドリル孔明け用エントリーシートの水溶性樹脂組成物層側から、ドリル孔明け加工を行うものである。ドリル孔明け加工時に、ドリル孔明け用エントリーシートの水溶性樹脂組成物層内に気泡が多いと、気泡の無い部分では加工性が良好であるのに対し、気泡のある部分でドリル加工性が悪化して全体の孔位置精度が悪化する。気泡の大きさおよび個数とドリル加工性への影響の関係は、使用するドリル径にもよるが、直径３０μｍ以上の気泡の数を１００ｍｍ×１００ｍｍの範囲内に２０個以下とすると、良好な穴位置精度が得られる。以下に実施例、比較例を示し、本発明を具体的に説明する。
【実施例】
【００１４】
(実施例１)
ポリエチレングリコール・ジメチルテレフタレート重縮合物(パオゲンPP-15、第一工業製薬株式会社製) 50重量部と数平均分子量 20,000のポリエチレングリコール(PEG20000、三洋化成工業株式会社製) 50重量部を、1t攪拌釜で温水に溶解させ、固形分濃度50％の水溶性樹脂組成物溶液を調製し、ダイコーター（康井精機株式会社製）にて、厚み100μmのアルミニウム箔(三菱アルミニウム株式会社製、材質3004)の片面に80μmの厚みで塗布し、平均温度120℃の乾燥機でライン速度9m/minにて乾燥、固化して厚み40μmの水溶性樹脂組成物層が形成されたシートA（樹脂組成物/アルミ箔＝40μm/100μm）を得た。再度、同じ水溶性樹脂組成物溶液を、前記で得られたシートAの水溶性樹脂組成物層の上面に同様のダイコーターにて、乾燥、固化後の該水溶性樹脂組成物層厚みを40μmにするため、該水溶性樹脂組成物溶液を厚み80μmになるよう塗布し、平均温度120℃の乾燥機にてライン速度7m/minで乾燥させ、ドリル孔明け用エントリーシートB（樹脂組成物/アルミ箔＝80μm/100μm）を得た。この得られたドリル孔明け用エントリーシートBの多層水溶性樹脂組成物層表面を金属顕微鏡（倍率：100倍）にて観察し、孔位置精度に悪影響を及ぼす30μm以上の気泡の数を数えた。観察範囲はドリル孔明け用エントリーシートBの多層水溶性樹脂組成物層表面の100mmｘ100mmの範囲である。結果を表１に示した。またこのドリル孔明け用エントリーシートBを、厚さ0.2mmの銅張積層板(CCL-HL832HS、銅箔両面 12μm、三菱ガス化学製)を 4枚重ねた上に、該水溶性樹脂組成物層を上にして配置し、重ねた銅張積層板の下側には当て板(ベーク板)を配置してドリルビット:0.15mmφ、回転数:150,000rpm、チップロード:12μm/rev.の条件でドリルビット1本につき3,000hitで、20本のドリル孔明け加工を行い、孔位置精度の評価を行った結果を表１に示した。
【００１５】
(実施例２)
ポリエチレングリコール・ジメチルテレフタレート重縮合物(パオゲンPP-15、第一工業製薬株式会社製) 50重量部と数平均分子量 20,000のポリエチレングリコール(PEG20000、三洋化成工業株式会社製) 50重量部を、1t攪拌釜で温水に溶解させ、固形分濃度50％の該水溶性樹脂組成物溶液を調製し、ダイコーター（康井精機株式会社製）にて、厚み100μmのアルミニウム箔(三菱アルミニウム株式会社製、材質3004)の片面に100μmの厚みで塗布し、平均温度120℃の乾燥機でライン速度9m/minにて乾燥、固化して厚み50μmの水溶性樹脂組成物層が形成されたシートC（樹脂組成物/アルミ箔＝50μm/100μm）を得た。再度、同じ水溶性樹脂組成物溶液を、前記で得られたシートCの水溶性樹脂組成物層の上面に同様のダイコーターにて、100μmの厚みで塗布し、平均温度120℃の乾燥機でライン速度5m/minにて乾燥、固化して厚み50μmの水溶性樹脂組成物層が形成されたドリル孔明け用エントリーシートD（樹脂組成物/アルミ箔＝100μm/100μm）を得た。この得られたドリル孔明け用エントリーシートDの多層水溶性樹脂組成物層表面を金属顕微鏡（倍率：100倍）にて観察し、孔位置精度に悪影響を及ぼす30μm以上の気泡の数を数えた。観察範囲はドリル孔明け用エントリーシートDの多層水溶性樹脂組成物層表面の100mmｘ100mmの範囲である。結果を表１に示した。またこのドリル孔明け用エントリーシートDを、厚さ0.2mmの銅張積層板(CCL-HL832HS、銅箔両面 12μm、三菱ガス化学製)を 4枚重ねた上に、該多層水溶性樹脂組成物層を上にして配置し、重ねた銅張積層板の下側には当て板(ベーク板)を配置してドリルビット:0.15mmφ、回転数:150,000rpm、チップロード:12μm/rev.の条件でドリルビット1本につき3,000hitで、20本のドリル孔明け加工を行い、孔位置精度の評価を行った結果を表１に示した。
【００１６】
（実施例３）
ポリエチレングリコール・ジメチルテレフタレート重縮合物(パオゲンPP-15、第一工業製薬株式会社製) 50重量部と数平均分子量 20,000のポリエチレングリコール(PEG20000、三洋化成工業株式会社製) 50重量部を、1t攪拌釜で温水に溶解させ、固形分濃度50％の該水溶性樹脂組成物溶液を調製し、ダイコーター（康井精機株式会社製）にて、厚み 100μmのアルミニウム箔(三菱アルミニウム株式会社製、材質3004)の片面に100μmの厚みで塗布し、平均温度120℃の乾燥機でライン速度9m/minにて乾燥、固化して厚み50μmの水溶性樹脂組成物層が形成されたシートE（樹脂組成物/アルミ箔＝50μm/100μm）を得た。再度、同じ水溶性樹脂組成物溶液を、前記で得られたシートEの水溶性樹脂組成物層の上面に同様のダイコーターにて、100μmの厚みで塗布し、平均温度120℃の乾燥機でライン速度5m/minにて乾燥、固化して厚み50μmの水溶性樹脂組成物層が形成されたシートF（樹脂組成物/アルミ箔＝100μm/100μm）を得た。再度、同じ水溶性樹脂組成物溶液を、前記で得られたシートFの水溶性樹脂組成物層の上面に同様のダイコーターにて、100μmの厚みで塗布し、平均温度120℃の乾燥機でライン速度5m/minにて乾燥、固化して厚み50μmの水溶性樹脂組成物層が形成されたドリル孔明け用エントリーシートG（樹脂組成物/アルミ箔＝150μm/100μm）を得た。この得られたドリル孔明け用エントリーシートGの多層水溶性樹脂組成物層表面を金属顕微鏡（倍率：100倍）にて観察し、孔位置精度に悪影響を及ぼす30μm以上の気泡の数を数えた。観察範囲はドリル孔明け用エントリーシートGの多層水溶性樹脂組成物層表面の100mmｘ100mmの範囲である。結果を表１に示した。またこのドリル孔明け用エントリーシートGを、厚さ0.8mmの銅張積層板(CCL-HL830、銅箔両面 12μm、三菱ガス化学製)を 3枚重ねた上に、該水溶性樹脂組成物層を上にして配置し、重ねた銅張積層板の下側には当て板(ベーク板)を配置してドリルビット:0.25mmφ、回転数:120,000rpm、チップロード:20μm/rev.の条件でドリルビット1本につき3,000hitで、5本のドリル孔明け加工を行い、内壁状態の評価を行った結果を表１に示した。
【００１７】
(比較例１)
ポリエチレングリコール・ジメチルテレフタレート重縮合物(パオゲンPP-15、第一工業製薬株式会社製) 50重量部と数平均分子量 20,000のポリエチレングリコール(PEG20000、三洋化成工業株式会社製) 50重量部を、1t攪拌釜で温水に溶解させ、固形分濃度50％の該水溶性樹脂組成物溶液を調製し、ダイコーター（康井精機株式会社製）にて、厚み 100μmのアルミニウム箔(三菱アルミニウム株式会社製、材質3004)の片面に160μmの厚みで塗布し、平均温度120℃の乾燥機でライン速度5m/minにて乾燥、固化して厚み80μmの水溶性樹脂組成物層が形成されたドリル孔明け用エントリーシートH（樹脂組成物/アルミ箔＝80μm/100μm）を得た。この得られたドリル孔明け用エントリーシートHの水溶性樹脂組成物層表面を金属顕微鏡（倍率：100倍）にて観察し、孔位置精度に悪影響を及ぼす30μm以上の気泡の数を数えた。観察範囲はドリル孔明け用エントリーシートH水溶性樹脂組成物層表面の100mmｘ100mmの範囲である。結果を表１に示した。またこのドリル孔明け用エントリーシートHを、厚さ0.2mmの銅張積層板(CCL-HL832HS、銅箔両面 12μm、三菱ガス化学製)を 4枚重ねた上に、該水溶性樹脂組成物層を上にして配置し、重ねた銅張積層板の下側には当て板(ベーク板)を配置してドリルビット:0.15mmφ、回転数:150,000rpm、チップロード:12μm/rev.の条件でドリルビット1本につき3,000hitで、20本のドリル孔明け加工を行い、孔位置精度の評価を行った結果を表１に示した。
【００１８】
（比較例２）
ポリエチレングリコール・ジメチルテレフタレート重縮合物(パオゲンPP-15、第一工業製薬株式会社製) 50重量部と数平均分子量 20,000のポリエチレングリコール(PEG20000、三洋化成工業株式会社製) 50重量部を、1t攪拌釜で温水に溶解させ、固形分濃度50％の該水溶性樹脂組成物溶液を調製し、ダイコーター（康井精機株式会社製）にて、厚み 100μmのアルミニウム箔(三菱アルミニウム株式会社製、材質3004)の片面に200μmの厚みで塗布し、平均温度120℃の乾燥機でライン速度5m/minにて乾燥、固化して厚み100μmの水溶性樹脂組成物層が形成されたドリル孔明け用エントリーシートI（樹脂組成物/アルミ箔＝100μm/100μm）を得た。この得られたドリル孔明け用エントリーシートIの水溶性樹脂組成物層表面を金属顕微鏡（倍率：100倍）にて観察し、孔位置精度に悪影響を及ぼす30μm以上の気泡の数を数えた。観察範囲はドリル孔明け用エントリーシートI水溶性樹脂組成物層表面の100mmｘ100mmの範囲である。結果を表１に示した。またこのドリル孔明け用エントリーシートIを、厚さ0.2mmの銅張積層板(CCL-HL832HS、銅箔両面 12μm、三菱ガス化学製)を 4枚重ねた上に、該水溶性樹脂組成物層を上にして配置し、重ねた銅張積層板の下側には当て板(ベーク板)を配置してドリルビット:0.15mmφ、回転数:150,000rpm、チップロード:12μm/rev.の条件でドリルビット1本につき3,000hitで、20本のドリル孔明け加工を行い、孔位置精度の評価を行った結果を表１に示した。またこのドリル孔明け用エントリーシートＩを、厚さ0.8mmの銅張積層板(CCL-HL830、銅箔両面 12μm、三菱ガス化学製)を 3枚重ねた上に、該水溶性樹脂組成物層を上にして配置し、重ねた銅張積層板の下側には当て板(ベーク板)を配置してドリルビット:0.25mmφ、回転数:120,000rpm、チップロード:20μm/rev.の条件でドリルビット1本につき3,000hitで、5本のドリル孔明け加工を行い、内壁状態の評価を行った結果を表１に示した。
【００１９】
（比較例３）
ポリエチレングリコール・ジメチルテレフタレート重縮合物(パオゲンPP-15、第一工業製薬株式会社製) 50重量部と数平均分子量 20,000のポリエチレングリコール(PEG20000、三洋化成工業株式会社製) 50重量部を、1t攪拌釜で温水に溶解させ、固形分濃度50％の該水溶性樹脂組成物溶液を調製した。ダイコーター（康井精機株式会社製）にて、厚み100μmのアルミニウム箔(三菱アルミニウム株式会社製、材質3004)の片面に300μmの厚みで塗布したが、均一な300μmの厚みを得ることができなかった。そのため、一度で水溶性樹脂組成物層厚み150μmを形成するドリル孔明け用エントリーシートは製造できなかった。
【００２０】
【表１】
0005195404.tif 000002
【００２１】
＜評価方法＞
１）気泡の数：ドリル孔明け用エントリーシートの水溶性樹脂組成物層表面を金属顕微鏡（株式会社NIKON製）で、倍率100倍で100mmｘ100mmの範囲内に存在する直径30μm以上の気泡の個数を数えた。
２）孔位置精度：ドリルビット1本あたりの、重ねた銅張積層板の最下板の裏面における3,000hitの孔位置と指定座標とのズレの距離をホールアナライザー(日立ビアメカニクス株式会社製)にて測定して平均値および標準偏差（σ）を求め、平均＋３σと最大値を算出し、ドリル孔明け加工20回分の平均値を表記。
３）内壁粗さ：ドリル孔明け加工後の重ねの1番上の銅張積層版を加工孔の中心を通る断面で切断して研磨し、孔壁の1側面での最大凸部から最深凹部までの距離を測定した。測定箇所は、ドリル1本ごとに2996孔から3000孔目の加工孔側面10箇所であり、ドリル5本の計50箇所の平均値を内壁粗さの平均値とした。また最大値の平均値とは、ドリル1本ごとの最大値のドリル5本分での平均である。