(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体処理装置において被処理物が挿脱される開口部が設けられる取付け面に取付けられて、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の外部側に配置された密閉容器たるポッドの蓋を開閉することにより、前記開口部を介しての前記ポッド内に対する前記被処理物の挿脱の実施を可能とするロードポート装置であって、
前記半導体処理装置における前記取付け面に対して所定の角度を保持して突出するように配置される板状体からなるメインベースと、
前記取付け面に固定可能であって、前記メインベースと締結されることにより前記メインベースと前記取付け面とを連結して前記所定の角度を維持させる接続プレートと、
前記メインベースに支持されて前記ポッドが載置可能な載置テーブルと、
前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記メインベースに支持されると共に前記ドアを支持し、前記ドアに対して前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、を有し、
前記ドア駆動機構は前記メインベースの主面に固定され、前記主面は前記ドア駆動機構が前記ドアにより前記開口部を開閉させる際の前記ドアの２つの移動方向で定義される平面に対して平行な面内に延在することを特徴とするロードポート装置。
【請求項２】
半導体処理装置において被処理物が挿脱される開口部が設けられる取付け面に取付けられて、前記前記取付け面に対して前記半導体処理装置の外部側に配置された密閉容器たるポッドの蓋を開閉することにより、前記開口部を介しての前記ポッド内に対する前記被処理物の挿脱の実施を可能とするロードポート装置であって、
前記半導体処理装置における前記取付け面に対して所定の角度を保持して突出するように配置される板状体からなるメインベースと、
前記取付け面に固定可能であって、前記メインベースと締結されることにより前記メインベースと前記取付け面とを連結して前記所定の角度を保持させる接続プレートと、
前記メインベースに支持されて前記ポッドが載置可能な載置テーブルと、
前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記メインベースに支持されると共に前記ドアを支持し、前記ドアに対して前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、を有し、
前記ドア駆動機構は前記ドアを前記開口部に正対する位置から離れる方向に駆動する際に用いられ、前記ドアの昇降方向を画定する一対のドア昇降用ガイドレールを有し、前記ドア昇降用ガイドレール各々は前記取付け面に平行に延在し、且つ並置された前記ドア昇降用ガイドレール各々が含まれる平面が該取付け面と交差するように前記メインベースに固定され、
前記メインベースの長辺方向は前記昇降方向に配置され且つ短辺方向は前記ドアが前記開口部から離れる方向に配置される、ことを特徴とするロードポート装置。
【請求項３】
前記接続プレートは、前記取付け面と平行に配置され且つ延在する断面Ｉ字形の平板状の部材から成り、前記メインベースとの締結部分において前記取付け面に垂直な方向の厚さが厚く設定されることを特徴とする請求項１或いは２の何れかに記載のロードポート装置。
【請求項４】
前記メインベースは複数存在し、複数の前記メインベースを一体的に連結する連結シャフトを更に有することを特徴とする請求項１或いは２の何れかに記載のロードポート装置。
【請求項５】
前記メインベースは複数存在し、前記接続プレートは前記メインベースに応じて配置され、前記ドア駆動機構は前記複数のメインベースの間に配置されることを特徴とする請求項１或いは２の何れかに記載のロードポート装置。
【請求項６】
前記ドア及び前記載置テーブルは樹脂からなることを特徴とする請求項１或いは２の何れかに記載のロードポート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる密閉型の搬送容器の内部に保持されたウエハを半導体処理装置間にて移載する際に用いられる、所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システム、即ちロードポート装置に関する。より詳細には、構成全体の軽量化が可能な、ロードポート装置の本体構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスは、近年では各種処理装置の内部、ウエハを収容して各処理装置間でのウエハ搬送を可能とするポッド、及び該ポッドより各処理装置への基板の受け渡しを行う微小空間、の３空間のみを高清浄状態に保つことで、プロセスを通じての清浄度の管理を行う手法が一般的となっている。このようなポッドは、ウエハを内部に収容し且つ一側面にウエハ挿脱用の開口を有する本体部と、該開口を閉鎖してポッド内部を密閉空間とする蓋と、から構成される。また、該微小空間は、前述したポッドの開口と対向可能な開口部と、該開口部と向かい合い半導体処理装置側に配置される第二の開口部と、を有する。
【０００３】
ロードポート装置は、この開口部が形成された隔壁となる部材即ちサイドベースと称呼される壁と、該開口部を閉鎖するドアと、該ドアの動作を司るドア駆動機構と、ポッドが載置される載置テーブルと、から構成される。ポッドが実際に載置される載置テーブル上の載置台は、ポッドの開口と開口部とを向かい合わせるようにポッドを支持可能であり、且つポッドと共に蓋をドアと近接或いは離間させる。ドアは、ポッドの蓋を保持可能であり、ドア駆動機構によって蓋を保持した状態で開口部と第二の開口部との間の空間より下方に退避させられる。微小空間内にはロボットが配置され、該ロボットは開口部−ポッド開口を介してポッド内部に対する侵入及び退避が可能であって、第二の開口部も介して該ポッド内部と該半導体処理装置との間でウエハの移載を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３４７３８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
半導体製造工程においては、生産性の向上等を目的として、用いるウエハの大口径化が進められている。これに伴って、前述したポッド、微小空間、及び処理装置内部の空間各々も大型化されている。特許文献１に示されるように、ロードポート装置は、鉛直壁たるサイドベースを処理装置における搬送室の一側面に固定することによって機能可能の状態とされる。該一側面は、一般的には取付け面と称呼される。ここで、ウエハの大口径化によって、ロードポート装置における開口部の拡大とそれに伴うドアの大型化も要請される。この様なドアの大型化によって、ドアの重量は増加し、更にドア駆動機構もドア重量に対応可能な起動力が必要となる。
【０００６】
ここで、特許文献１に示されるように、サイドベースは平坦な一枚の板状の部材を基に構成されている。このサイドベースは、ドア及びドア駆動機構を支持し、同時にこれらの動作時において発生する動的負荷、所謂モーメントに対して十分な剛性を有する必要がある。しかしながら、昨今のドア等の大型化に伴って、従来の構成では十分な剛性の確保が徐々に困難となってきている。また、十分な剛性を確保しようとしてサイドベースの板厚の増加を図った場合、サイドベースの重量が増加して、ロードポート装置の処理装置に対する適切な設置が困難となる恐れもある。
【０００７】
本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、大型化したドアの開閉に伴って発生するモーメントを十分に支持可能であって、開口部を精度の高いドアの動作によって開閉可能とするロードポート装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置は、半導体処理装置において被処理物が挿脱される開口部が設けられる取付け面に取付けられて、開口部の外部側に配置された密閉容器たるポッドの蓋を開閉することにより、開口部を介してのポッド内に対する被処理物の挿脱の実施を可能とするロードポート装置であって、半導体処理装置における取付け面に対して所定の角度を保持して突出するように配置される板状体からなるメインベースと、取付け面に固定可能であって、メインベースと締結されることによりメインベースと取付け面とを連結して所定の角度を維持させる接続プレートと、メインベースに支持されてポッドが載置可能な載置テーブルと、ポッドの蓋を保持可能であって、開口部の内部側に配置されて開口部の開閉を行うドアと、メインベースに支持されると共にドアを支持し、ドアに対して開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、を有し、メインベースは、ドア駆動機構により駆動されるドアの動作方向を含む軌跡平面に平行な面の面内方向に作用する力に対する剛性が、軌跡平面に垂直であって且つ取付け面に垂直な面の面内方向に作用する力に対する剛性よりも大きくなる、形状を有することを特徴とする。
【０００９】
また、上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置は、半導体処理装置において被処理物が挿脱される開口部が設けられる取付け面に取付けられて、開口部の外部側に配置された密閉容器たるポッドの蓋を開閉することにより、開口部を介してのポッド内に対する被処理物の挿脱の実施を可能とするロードポート装置であって、半導体処理装置における取付け面に対して所定の角度を保持して突出するように配置される板状体からなるメインベースと、取付け面に固定可能であって、メインベースと締結されることによりメインベースと取付け面とを連結して所定の角度を保持させる接続プレートと、メインベースに支持されてポッドが載置可能な載置テーブルと、ポッドの蓋を保持可能であって、開口部の内部側に配置されて開口部の開閉を行うドアと、メインベースに支持されると共にドアを支持し、ドアに対して開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、を有し、ドア駆動機構はドアを開口部に正対する位置から離れる方向に駆動する際に用いられる一対のドア昇降用ガイドレールを有し、ドア昇降用ガイドレール各々は取付け面に平行に延在し、且つ並置されたドア昇降用ガイドレール各々が含まれる平面が該取付け面と交差するようにメインベースに固定される、ことを特徴とする。
【００１０】
なお、上述したロードポート装置において、接続プレートは、取付け面と平行に配置され且つ延在する平板状の部材から成り、メインベースとの締結部分において取付け面に垂直な方向の厚さが厚く設定されることが好ましい。或いは、メインベースは複数存在し、複数のメインベースを一体的に連結する連結シャフトを更に有することが好ましい。或いは、メインベースは複数存在し、接続プレートはメインベースに応じて配置され、ドア駆動機構は複数のメインベースの間に配置されることがより好ましい。更に、ドア及び載置テーブルは樹脂からなることがより好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、従来は必須の構成であった平坦な一枚の板状体からなるサイドベースより大きな剛性を有する構造体によってドア及びドア駆動機構を支持することが可能となり、より大型化したドアに対しても精度の高い開口部の開閉動作を行わせることが可能となる。また、サイドベースを従来の構成に対して大幅に軽量化することが可能となり、ロードポート装置を半導体処理装置に取付ける際の作業の容易化、及び作業の高精度化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置し、これらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示すロードポート装置を、ポッド及びドアを取り除いた状態について、これらを取付け面側から見た概略構成を示す斜視図である。
【図３】図２に示すサイドベース及び接続プレートを面Ａ−Ａで切断し、これを矢印Ｖ方向から見た状態を示す図である。
【図４】図３に示す領域Ｂを拡大して示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態におけるロードポート装置に関し、ポッド２を載置テーブル上に載置した状態を側面から見た場合の概略構成を示している。また、図２は、該ロードポート装置に関して、説明容易化のためにドアを除いた状態を上述した取付け面側から見た場合の概略構成を示す斜視図である。図３は図２における断面Ａ−Ａを図中Ｖ方向から見た接続プレート、開口部カバー部材、及びメインベースの断面を示し、図４は図３における領域Ｂの拡大図を示している。本形態におけるロードポート装置１は、接続プレート１１、開口部カバー部材５０、メインベース１３、載置テーブル１５、ドア１７、及びドア駆動機構１９を有する。なお、実際の構成では、ドア駆動機構１９、及び載置テーブル１５に付随するポッド駆動機構２５を覆って、これらからの発塵の飛散を防止する不図示のカバーが載置テーブル１５の下部に配置される。当該カバーはこれら構成を収容する密閉空間を形成する。また、前述した開口部が設けられる取付け面を有する半導体処理装置については、本実施形態と直接的な関係を有さないことからここでの図を用いた説明は省略する。なお、以下で述べる図１中で一点鎖線にて示す取付け面Ｗは、上述した半導体処理装置に繋がる開口部が形成される壁の一面であって、該半導体処理装置側の微小空間となる開口部の内部側に対して、該開口部の外部側に位置する面である。
【００１４】
次に個々の構成について説明する。本形態では、メインベース１３は長辺及び短辺を有し且つ所定の厚さを有した板状体からなる。従って、メインベース１３の延在方向は長辺方向と一致する。接続プレート１１は、取り付け面Ｗと平行に配置され且つ平行に延在する平板状の部材からなる。メインベース１３は一対用いられ、個々のメインベース１３に対応する接続プレート１１は、向かい合って配置されるメインベース１３の外側に配置される。各々の接続プレート１１は、取付け面Ｗに固定されると共に、メインベース１３を支持する。一対のメインベース１３は、各々の間に配置されて両端部が各々に接触する棒状の連結シャフト２３によって一体化される。この連結シャフト２３を複数配置することによって、一対のメインベース１３及び連結シャフト２３を一つの剛体として作用させることが可能となり、従来の一枚の板によって構成されたベースプレートよりも格段に軽量化した構成によってベースプレートよりも更に剛性のある構造体を得ることが可能となる。また、ドア駆動機構１９等がこれら向かい合ったメインベース１３の間に配置されることから、これら構造体が、後述するドア駆動機構１９における昇降用ガイドを介してドア１７より受けるモーメントに対して、より効果的に抗することを可能とする。
【００１５】
メインベース１３は、更に載置テーブル１５及びドア駆動機構１９も支持する。載置テーブル１５は、メインベース１３に固定されるテーブル固定部２７、該テーブル固定部２７に支持されるポッド駆動機構２５、及び該ポッド駆動機構に支持されるポッド支持テーブル２９を有する。ポッド２はポッド支持テーブル２９上に載置、固定される。ポッド駆動機構２５は、ポッド支持テーブル２９を不図示の開口部に対して垂直な方向Ｄに沿って移動させ、これによりポッド２を開口部に対して接近或いは離間させる。ドア駆動機構１９は、ドアアーム３１を介して、所定の駆動条件下においてドア１７が開口部を閉鎖可能となる位置に支持する。ドア駆動機構１９は複数の駆動アクチュエータを含み、これら駆動アクチュエータを協働させることによって、該ドア１７を開口部から内部側に離間し、且つ特定の方向に移動させることで開口部を開放させる。このドア１７の開口部からの離間及び特定方向への移動からなる動作方向、或いは駆動軌跡は、例えばドア１７の中心点に関して述べるとすると、特定の平面、即ち軌跡平面内に存在する。
【００１６】
ドア駆動機構１９は、ドア１７の開口部に対する前述した内部側に向かう第一の方向に接近、離間の駆動を行う第一のドア駆動ユニット３３、及び該第一の方向に対して異なる方向に沿ってドア１７を駆動する第二のドア駆動ユニット３５を有する。なお、第二の方向は第一の方向に対して直交する方向であって、本形態では第二の方向は鉛直方向に設定される。換言すれば、第二の方向は、ドア１７を開口部前から開口部下方に至る方向となる。第一のドア駆動ユニット３３は第一の方向に延在する第一のガイドレール３７及び第一の駆動源３８を有し、第二のドア駆動ユニット３５は第二の方向に延在する第二のガイドレール３９及び第二の駆動源４０を有する。それぞれのドア駆動ユニットは、駆動源がガイドレール上を移動することによって各々対応する方向に移動を可能とする。第一のドア駆動ユニット３３はドアアーム３１を介してドア１７を直接的に支持し、第二のドア駆動ユニット３５は第一のドア駆動ユニットを支持する。なお、上述した第一の方向はドア２の開口部正面での移動方向を含む方向として認識可能な方向が対応し、第二の方向はドア２の開口部正面から退避する際の移動方向として認識可能な方向が対応する。即ち、第二の方向は、ドア２が開口部に正対する位置から離れる方向に移動する方向として認識されることが好ましい。
【００１７】
なお、本発明はドアの大型化及びこれに伴ったドア重量の増加に対応するものであって、各々のガイドレールは、対応するドア１７の移動方向に対して垂直な方向に一対設けられている。具体的には、第一のガイドレール３７に関しては、ドアが第一の方向に移動することから第一の方向に延在し、且つ該第一の方向に垂直な第二の方向に各々並んで配置される。また、第二のガイドレールに関しては、第二の方向に延在し、且つ該第二の方向に垂直な第一の方向に各々並んで一対３９ａ、３９ｂが配置される。第一のガイドレール３７は本発明における開口部開閉用ガイドレールにあたり、第二のガイドレール３９は本発明におけるドア昇降用のガイドレールにあたる。
【００１８】
次に、図３及び４を参照して、接続プレート１１及びメインベース１３の取付け面Ｗに対する位置関係等について詳述する。メインベース１３は、取付け面Ｗに対して所定の角度、本実施形態では９０°を保持して該取付け面Ｗから突き出すように配置される。従って、メインベース１３の取付け面Ｗに対する突き出し方向は、取付け面Ｗに対して垂直な方向となる。なお、メインベース１３は所定の厚さを有する板状体であって、短辺側が取付け面Ｗから突き出し、長辺側端面が取付け面Ｗと平行となるように配置される。接続プレート１１は、取付け面Ｗに対して少なくとも部分的（図４における密着領域１１ａ）に密着して該取付け面Ｗとの相対的な位置関係を固定可能な板状の形状を有する。より具体的には図４等に示されるように取付け面Ｗに平行に延在する断面Ｉ形の板状形状を有する。該接続プレート１１は、一面が取付け面Ｗと密接するようにネジ等の第１の締結部材４３によって、取付け面Ｗに対して固定される。また、接続プレート１１は、板状形状の長辺側端面がメインベース１３の板状形状一面に突き当てられる様式でネジ等の第３の締結部材４７によって固定される。このような様式にて、接続プレート１１を介することによって、メインベース１３は取付け面Ｗに対する所定の角度を保持した状態で固定される。
【００１９】
また、本実施の形態では、接続プレート１１と取付け面Ｗとの間には、開口部カバー部材５０が配置されている。当該開口部カバー部材５０は、第２の締結部材４５によって接続プレート１１に固定され、取付け面Ｗに設けられた開口部を覆って必要最小限の開口面積を規定する。具体的には、該開口部カバー部材５０は、前述したドア駆動機構１９における微小空間側に配置される構成と微小空間の外部に配置される構成との間に配置されて、該微小空間と外部側空間との連通領域となる部分をウエハの搬送に必要な最小の開口面積としている。このように開口部カバー部材５０を接続プレート１１と予め一体化させることにより、開口部カバー部材５０とドア駆動機構１９等との位置関係を確定した状態でのロードポート装置の半導体処理装置への取付けが可能となる。従って、ロードポート装置を半導体処理装置に取付ける際の位置決め等の操作を、より簡略且つ容易なものとすることが可能となる。
【００２０】
なお、接続プレート１１においては、メインベース１３と突き当たる締結面である締結部分において、取付け面Ｗに対する垂直な方向の厚さｔ１が他の部分の厚さｔ２より厚く設定される領域Ｔが配置されることが好ましい。本形態のような締結部材を用いた場合等において、十分な強度或いは締結力を確保し得るために、当該領域Ｔにおいて少なくとも締結部材を収容し得るだけの厚さｔ１及び長さＬとすることが好ましい。この様な領域Ｔを接続プレートに加えることにより、接続プレートによるメインベース１３の支持をより強固に行うことが可能となる。以上述べたように、メインベース１３は、上述する特定の形状、本実施形態では断面Ｉ形の形状を有する接続プレート１１と、第１及び第３の締結部材４３、４７によって支持されることが好ましい。当該様式とすることにより、メインベース１３の突き出し方向の正確な確保と、十分な結合強度との両立が、薄い板材によっても可能となる。しかし、突き当て方向、及び締結部材の種類はこれに限定されず種々の様式が採用可能であり、更にはこれら部材を溶接等によって一体化しても良い。また、接続プレート１１は、強度、メインベース１３との取付け様式等に準じて、断面Ｉ形以外の形状とすることも可能である。
【００２１】
以上に述べた本発明の実施形態では、一対のドア昇降用ガイドレール３９ａ、３９ｂを、取付け面Ｗに対するメインベース１３の長辺方向に沿って延在し、且つメインベース１３が取付け面Ｗから突き出す方向において平行に並立するように配置している。ドア１７は駆動時において、ドアアーム３１とドア駆動機構１９との結合部を中心として、昇降用ガイドレールの延在方向からドア１７が離れる方向に力のモーメントが発生する。一対のドア昇降用ガイドレール３９ａ、３９ｂをこのように配置することによって、このモーメントに対して最も効果的に抗することが可能となる。また、一対の開口部開閉用ガイドレールに関しては、メインベース１３の短辺方向に沿って延在し、長辺方向において平行に並立するように配置している。ドア１７は駆動時において、ドアアーム３１とドア駆動機構１９との結合部を中心として、昇降用ガイドレールの延在方向からドア１７が離れる方向に力のモーメントが発生する。一対の開口部開閉用ガイドレールをこのように配置することによって、この力のモーメントに対して最も効果的に抗することが可能となる。
【００２２】
なお、ドア昇降用ガイドレール及び開口部開閉用ガイドレール共にここで記載した形態とすることが最も好ましいが、一方のみをここで述べた様式としても良い。この場合、ドア１７の駆動量が大きいドア昇降用ガイドレール３９を本形態とすることがより好ましい。即ち、一対のドア昇降用レール３９ａ、３９ｂは、各々メインベース１３の延在方向に延在し、且つメインベース１３が取付け面Ｗから突き出す方向に平行となるように、メインベース１３に固定されることが好ましい。また、この場合において、一対のドア昇降用レール３９ａ、３９ｂは、各々、取付け面Ｗに平行に延在し且つ並置されるこれらが含まれる平面が、該取付け面Ｗと交差するようにメインベース１３に固定されると定義される。
【００２３】
或いは、本発明においては、メインベース１３の取付け面Ｗからの突き出し方向を特に規定せず、ドア駆動機構１９を支持する面を主面として有することとし、該主面はドア駆動機構１９がドア１７によって開口部を開閉する際のドア１７の移動方向（進退、昇降、或いは回動等）を含む平面に対して平行に延在する面内に延在するように配置されると定義される。ここで、該主面は板状のメインベース１３の一面に対応することとして良いが、前述した規定に沿った平面を板状の形状に対して更に付加して得られる面によって構成しても良い。なお、この場合、ドア１７の移動方向とは、例えばドア１７の開口部開閉に関連する範囲における該ドア１７の重心の移動時各タイミングでの方向を含む。また、該主面は、該重心の移動軌跡を含む面に平行として規定することも可能である。
【００２４】
当該様式とすることによって、ドア１７の動作に伴って生じ得る力のモーメントに対して、従来の板状体のサイドベースではなく構造体として抗することが可能となり、且つガイドレール各々もこの力のモーメントの作用方向に対して最も剛性の高い配置に位置させることとなる。従って、この様な力のモーメントによるガイドレールの変位を効果的に抑制することが可能となる。その結果、第一のドア駆動ユニット３３及び第二のドア駆動ユニット３５各々の動作端を、従来のサイドベースではなく、ガイドレール側に設けて、動作端の再現精度を向上させることが可能となる。また、上述したドア駆動機構１９等を内包するカバーについて従来は取付け面Ｗに固定されていた。しかし、本発明によれば、上述したように接続プレート１１或いはメインベース１３に対して固定する構造とすることが可能となる。これによりロードポート装置自体へのカバーの固定が可能となり、ドア駆動機構１９等の発塵の可能性の高い構成物を密閉性高く該カバー内に収容することが可能となる。また、カバーの取付け取り外しが容易となり、該収容空間内のメンテナンス性も高めることが可能となる。
【００２５】
また、本実施形態では、メインベース１３は一対としたが、用いる数は単一或いは更に増加させても良い。また、これに対応する接続プレート１１についても、該メインベース１３一個に対して一個が対応することとしているが、これを一対多としても良い。また、取付け面Ｗに対してメインベース１３が９０°の角度を維持して突き出すこととしているが、突き出し角度はこれに限定されない。また、延在方向も鉛直方向に限定されない。本発明の課題としてロードポート機構が抗せねばならないドアの駆動に伴って発生する力のモーメントは、ドア駆動機構１９により駆動されドア１７の動作方向を含むドア中心の軌跡からなる軌跡平面に平行な面の面内方向に作用する力となる。従って、メインベース１３の取付け面Ｗに対する突き出し角度、延在方向、及び個数は、当該軌跡平面に平行な面内方向に作用する力に対する剛性が、該軌跡平面に垂直であって且つ取り付け面Ｗに垂直な面の面内方向に作用する力に対する剛性よりも大きくなるように設定されれば良い。なお、本形態ではドアの動作は直線的な二軸のものとしているが、例えば開口部への接近離間に関しては例えば特定の軸を中心とした回転動作であっても良い。この場合も、回転動作及び昇降動作におけるドアの所定部分の軌跡が特定の平面内に存在すれば上記条件を満たすことで本発明の効果が得られる。
【００２６】
また、本発明では、基本的なロードポート装置の剛性を接続プレート１１及びメインベース１３、更には連結シャフト２３にて担うことが可能となる。従って、ドア１７及び載置テーブル１５の強度を従来のものと同等以上に維持する必要性が小さくなる。従って、これら部材をたとえば樹脂材料から構成することも可能である。これにより、これら構成を軽量化して、ロードポート装置自体の軽量化を図ることが可能となり、半導体処理装置に対する取付け等の作業が容易になる。また、透明な樹脂材料を用いることによって、半導体処理装置側に配置されるロボット等の動作を直接的に目視して確認することも可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
以上述べたように、本発明は半導体処理装置に対して好適に用いるロードポート装置に関している。しかしながら、本発明の利用可能性は当該処理装置に限定されず、例えば液晶ディスプレイのパネルを扱う処理装置等、半導体に準じた各種処理が行われる種々の処理装置に用いられる所謂ロードポート装置に対しても適用可能である。
【符号の説明】
【００２８】
１：ロードポート装置、  ２：ポッド、  １１：Ｉ形プレート、  １３：メインベース、  １５：載置テーブル、  １７：ドア、  １９：ドア駆動機構、  ２３：連結シャフト、  ２５：ポッド駆動機構、  ２７：テーブル固定部、  ２９：ポッド支持テーブル、  ３１：ドアアーム、  ３３：第一のドア駆動ユニット、  ３５：第二のドア駆動ユニット、  ３７：第一のガイドレール、  ３８：第一の駆動源、  ３９：第二のガイドレール、  ４０：第二の駆動源、  ４３：第１の締結部材、  ４５：第２の締結部材、  ４７：第３の締結部材、  ５０：開口部カバー部材
【図１】
0005168329.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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