(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向熱流定常比較法に用いられる熱伝導測定装置であって、
加熱源に熱的に接続されると共に測定対象物の一方の面に接触する端面を有する加熱側挟持部材と、
冷却源に熱的に接続されると共に前記測定対象物の他方の面に接触する端面を有し、前記加熱側挟持部材と共に測定対象物を挟み込む冷却側挟持部材と、
前記加熱側挟持部材におけるその端面に平行な面方向の温度のばらつき及び前記冷却側挟持部材におけるその端面に平行な面方向の温度のばらつきを測定する温度測定部と、
前記温度測定部において測定した温度のばらつきに基づいて、前記測定対象物の設置異常を検知する異常検知部と、を備える熱伝導測定装置。
【請求項２】
前記温度測定部は、温度測定端を有し、前記温度測定端が前記加熱側挟持部材及び前記冷却側挟持部材の少なくとも一方におけるその端面と平行な面方向の複数箇所にそれぞれ配置される、請求項１に記載の熱伝導測定装置。
【請求項３】
前記測定対象物を挟み込んだ状態の前記加熱側挟持部材と前記冷却側挟持部材との間隔を測定する間隔測定部をさらに備える請求項１又は２に記載の熱伝導測定装置。
【請求項４】
前記異常検知部は、前記加熱側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる温度の最大値と最小値との差、及び前記冷却側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる温度の最大値と最小値との差の少なくとも一方が、予め定められた規定値よりも大きい場合に、前記測定対象物の設置異常と判定する請求項２又は３に記載の熱伝導測定装置。
【請求項５】
前記異常検知部は、前記加熱側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる各温度と、前記冷却側挟持部材において、前記加熱側挟持部材の温度測定端に対応する位置に配置された温度測定端から得られる各温度との温度差の最大値が予め定められた規定値よりも大きい場合に、前記測定対象物の設置異常と判定する請求項２又は３に記載の熱伝導測定装置。
【請求項６】
前記異常検知部は、前記加熱側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる温度の最大値と、前記冷却側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる温度の最小値との差が、予め定められた規定値よりも大きい場合に、前記測定対象物の設置異常と判定する請求項２又は３に記載の熱伝導測定装置。
【請求項７】
前記異常検知部は、前記加熱側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる各温度と、前記冷却側挟持部材において、前記加熱側挟持部材の温度測定端に対応する位置に配置された温度測定端から得られる各温度との相対比に基づいて、前記測定対象物の設置異常の有無を判定する請求項２又は３に記載の熱伝導測定装置。
【請求項８】
測定対象物の熱伝導に関する物性値を測定する方法であって、
加熱源に熱的に接続されると共に測定対象物の一方の面に接触する端面を有する加熱側挟持部材と冷却源に熱的に接続されると共に前記測定対象物の他方の面に接触する端面を有する冷却側挟持部材とによって測定対象物を挟み込む挟持工程と、
前記測定対象物を挟み込んだ状態で前記加熱源により前記加熱側挟持部材を加熱すると共に前記冷却源により前記冷却側挟持部材を冷却することによって前記加熱側挟持部材から前記冷却側挟持部材に熱を流す熱流工程と、
前記熱流工程で熱を流した状態で、前記加熱側挟持部におけるその端面と平行な面方向の温度のばらつき及び前記冷却側挟持部材におけるその端面に平行な面方向の温度のばらつきを測定する温度測定工程と、
前記測定した温度のばらつきに基づいて、前記測定対象物の設置異常を検知する検知工程と、を備える熱伝導測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱伝導測定装置及び熱伝導測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、定常法により樹脂材等の測定対象物の熱物性値を測定する装置として種々の装置が知られている（特許文献１及び２参照）。例えば、特許文献１に記載の装置は、図７に示されるように、測定対象物１００を一対の部材（挟持部材）１０１，１０２で挟んで層状の構成とし、この層状構造体１０３を上部ロッド１０４と下部ロッド１０５との間に挟み込む構成となっている。
【０００３】
上部ロッド１０４は、熱源（図示省略）に接続されると共に、長手方向の複数箇所で温度を測定することができるように構成され、また、下部ロッド１０５は、冷却装置（図示省略）に接続されると共に、長手方向の複数箇所で温度を測定することができるように構成されている。そして、上部ロッド１０４及び下部ロッド１０５によって層状構造体１０３に荷重を加えた状態で上部ロッド１０４から下部ロッド１０５に熱を流し、上部ロッド１０４及び下部ロッド１０５の複数箇所で温度を測定することにより層状構造体１０３の熱抵抗を測定し、これに基づいて測定対象物１００の熱物性値を求める。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３８５８６６０号公報
【特許文献２】特開２００８−３０９７２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の装置では、測定対象物１００の熱物性値の測定の際に、測定対象物１００を一対の挟持部材１０１，１０２と共に挟み込んだ状態で上部ロッド１０４から下部ロッド１０５に熱を流すが、測定精度を確保するためには熱の流れが偏らないように上部ロッド１０４から下部ロッド１０５に熱を流す必要がある。前記の装置では、上下のロッド１０４，１０５間に測定対象物１００を正常な状態で設置、即ち、上部ロッド１０４と測定対象物１００と下部ロッド１０５とが熱の流れる方向に沿って真っ直ぐ並ぶように設置（図３（ａ）参照）することによって、熱の流れが偏ることなく上部ロッド１０４から下部ロッド１０５へ熱が流れる。
【０００６】
そのため、測定対象物１００を設置したときに、例えば、上部ロッド１０４又は／及び下部ロッド１０５が傾いた状態（図３（ｂ）及び図３（ｅ）参照）や、測定対象物１００の厚さ寸法が均一でない状態（図３（ｃ）参照）や、測定対象物１００が所定の設置位置から横方向にずれた状態（図３（ｄ）参照）等の設置異常が生じると、上部ロッド１０４から下部ロッド１０５への熱の流れに偏りが生じ、測定対象物１００の熱物性値を正確に測定することができない。
【０００７】
また、前記の装置では、この設置異常を検知することができないため、例えば、測定対象物１００の厚さ寸法が不均一な場合にも、熱物性値を正確に測定することができない。
【０００８】
一方、特許文献２には、複数のセンサを用いて測定対象物１００の厚さ寸法を複数箇所で測定してその平均値を求め、この平均値を測定対象物１００の厚さ寸法と擬制して熱物性値の算出を行う装置が開示されている（特許文献２参照）。
【０００９】
しかし、この装置でも、測定対象物１００の横方向の位置ずれのような設置異常には対処できない。また、求められた熱物性値には、前記平均値を測定対象物の厚さ寸法と擬制することによる誤差が含まれる場合がある。従って、特許文献２の装置でも、熱物性値を正確に測定できない場合がある。
【００１０】
そこで、測定対象物の設置異常を検知することができる熱伝導測定装置、及び熱伝導測定方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
そこで、上記課題を解消すべく、本発明は、一方向熱流定常比較法に用いられる熱伝導測定装置であって、加熱源に熱的に接続されると共に測定対象物の一方の面に接触する端面を有する加熱側挟持部材と、冷却源に熱的に接続されると共に前記測定対象物の他方の面に接触する端面を有し、前記加熱側挟持部材と共に測定対象物を挟み込む冷却側挟持部材と、前記加熱側挟持部材におけるその端面に平行な面方向の温度のばらつき及び前記冷却側挟持部材におけるその端面に平行な面方向の温度のばらつきを測定する温度測定部と、前記温度測定部において測定した温度のばらつきに基づいて、前記測定対象物の設置異常を検知する異常検知部とを備える。
【００１２】
本発明では、測定対象物の設置異常に基づく加熱側挟持部材から冷却側挟持部材への熱の流れの偏りを各挟持部材におけるその端面と平行な面方向の温度のばらつきとして検出することにより、測定対象物の設置異常を検知することができる。これにより、測定対象物を設置し直す等によって設置異常を排除することができ、測定対象物の熱物性値を精度よく求めることが可能となる。尚、本発明において、測定対象物の設置異常とは、加熱側挟持部材、測定対象物、及び冷却側挟持部材の各中心軸が共通の直線上に位置しない状態、例えば、いずれかの挟持部材の中心軸が他の挟持部材の中心軸に対して傾いていたり（図３（ｂ）参照）、いずれかの挟持部材の中心軸が他の挟持部材の中心軸に対してずれていたり（図３（ｄ）参照）する場合や、測定対象物の厚み寸法（挟持方向の寸法）が不均一な状態（図３（ｃ）参照）等をいう。
【００１３】
本発明に係る熱伝導測定装置においては、前記温度測定部は、温度測定端を有し、前記温度測定端が前記加熱側挟持部材及び前記冷却側挟持部材の少なくとも一方におけるその端面と平行な面方向の複数箇所にそれぞれ配置されること、が好ましい。
【００１４】
この態様では、各挟持部材におけるその端面と平行な面方向全域の温度のばらつきを測定する構成に比べ、温度測定部の構成をより簡素化することができる。
【００１５】
また、熱伝導測定装置は、前記測定対象物を挟み込んだ状態の前記加熱側挟持部材と前記冷却側挟持部材との間隔を測定する間隔測定部をさらに備えてもよい。
【００１６】
この態様では、測定された挟持部材の間隔に基づいて測定対象物の厚み寸法を求めることができる。このとき、当該熱伝導測定装置では、測定対象物の設置異常を検知することができるので、設置異常が検知された場合にこの設置異常を排除することができる。そのため、加熱側挟持部材と冷却側挟持部材との端面間の間隔を１点のみ測定することによって測定対象物の厚み寸法を精度よく求めることができる。
前記異常検知部は、前記加熱側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる温度の最大値と最小値との差、及び前記冷却側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる温度の最大値と最小値との差の少なくとも一方が、予め定められた規定値よりも大きい場合に、前記測定対象物の設置異常と判定してもよい。
前記異常検知部は、前記加熱側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる各温度と、前記冷却側挟持部材において、前記加熱側挟持部材の温度測定端に対応する位置に配置された温度測定端から得られる各温度との温度差の最大値が予め定められた規定値よりも大きい場合に、前記測定対象物の設置異常と判定してもよい。
前記異常検知部は、前記加熱側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる温度の最大値と、前記冷却側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる温度の最小値との差が、予め定められた規定値よりも大きい場合に、前記測定対象物の設置異常と判定してもよい。
前記異常検知部は、前記加熱側挟持部材の複数箇所に配置された温度測定端から得られる各温度と、前記冷却側挟持部材において、前記加熱側挟持部材の温度測定端に対応する位置に配置された温度測定端から得られる各温度との相対比に基づいて、前記測定対象物の設置異常の有無を判定してもよい。
【００１７】
また、上記課題を解消すべく、本発明は、測定対象物の熱伝導に関する物性値を測定する方法であって、測定対象物を加熱源に熱的に接続されると共に測定対象物の一方の面に接触する端面を有する加熱側挟持部材と冷却源に熱的に接続されると共に前記測定対象物の他方の面に接触する端面を有する冷却側挟持部材とによって測定対象物を挟み込む挟持
工程と、前記測定対象物を挟み込んだ状態で前記加熱源により前記加熱側挟持部材を加熱すると共に前記冷却源により前記冷却側挟持部材を冷却することによって前記加熱側挟持部材から前記冷却側挟持部材に熱を流す熱流工程と、前記熱流工程で熱を流した状態で、前記加熱側挟持部におけるその端面と平行な面方向の温度のばらつき及び前記冷却側挟持部材におけるその端面に平行な面方向の温度のばらつきを測定する温度測定工程と、前記測定した温度のばらつきに基づいて、前記測定対象物の設置異常を検知する検知工程と、を備える。
【００１８】
本発明では、測定対象物の設置異常に基づく加熱側挟持部材から冷却側挟持部材への熱の流れの偏りを各挟持部材におけるその端面と平行な面方向の温度のばらつきとして検出することにより、測定対象物の設置異常を検知することができる。これにより、測定対象物を設置し直す等によって設置異常を排除することができ、測定対象物の熱物性値を精度よく求めることが可能となる。
【発明の効果】
【００１９】
以上より、本発明によれば、測定対象物の設置異常を検知することができる熱伝導測定装置、及び熱伝導測定方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本実施形態に係る熱伝導測定装置の全体構成を概略的に示す図である。
【図２】（ａ）（ｂ）試料ブロックを互いに対向する側面を正面として見たときの正面図である。
【図３】測定対象物の設置状態を説明するための図であり、図３（ａ）は正常な設置状態を示し、図３（ｂ）〜図３（ｅ）は設置異常を示す。
【図４】温度分布の偏りを検出する手順及び熱伝導率を求める手順を説明するための図である。
【図５】熱伝導率を求める手順を説明するための図である。
【図６】試料の厚さ寸法を測定する装置を説明するための図であり、図６（ａ）は接触式の変位センサを用いた場合を示し、図６（ｂ）はレーザ変位計を用いた場合を示し、図６（ｃ）及び図６（ｄ）は光学式位置センサを用いた場合を示す。
【図７】従来の熱物性値測定装置における測定部の構成を概略的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
【００２２】
図１に示すように、本実施形態に係る熱伝導測定装置１０は、主として、測定装置本体１２と測定制御装置１４と記録装置１６と設置異常検知装置１７とを備えている。
【００２３】
測定装置本体１２は、加熱源である加熱ブロック２１と、上部継ぎ手ブロック２２と、加熱側部材である上部ロッド２３と、カートリッジ２４と、冷却側部材である下部ロッド２５と、下部継ぎ手ブロック２６と、冷却源である冷却ブロック２７と、加圧力調整部３０とを主として備えている。測定装置本体１２の測定部は、下から順に、冷却ブロック２７、下部継ぎ手ブロック２６、下部ロッド２５、カートリッジ２４、上部ロッド２３、上部継ぎ手ブロック２２及び加熱ブロック２１が配設された構成となっている。尚、本実施形態では、上部ロッド２３と、カートリッジ２４の上側試料ブロック２４ａとを合わせて加熱側挟持部材と称し、下部ロッド２５と、カートリッジ２４の下側試料ブロック２４ｂとを合わせて冷却側挟持部材と称する場合もある。
【００２４】
上部ロッド２３及び下部ロッド２５は、同様の構成のものである。上部ロッド２３及び下部ロッド２５は、円柱状又は四角柱状に形成されている。なお、上部ロッド２３及び下部ロッド２５の形状はこれに限られるものではない。
【００２５】
ロッド２３，２５の材質としては、銅（ＪＩＳ  Ｃ１１００）、アルミニウム（ＪＩＳ
Ａ１１００）、アルミニウム合金（ＪＩＳ  Ａ５０５２）、ニッケル（ＪＩＳ  ＮＷ２２００）、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４、３０６）等が好ましい。
【００２６】
上部ロッド２３は、その上端部において上部継ぎ手ブロック２２によって加熱ブロック２１と接続されている。上部継ぎ手ブロック２２は、上部ロッド２３を加熱ブロック２１に対して位置決めした状態で加熱ブロック２１と上部ロッド２３とを互いに接続する。下部ロッド２５は、その下端部において下部継ぎ手ブロック２６によって冷却ブロック２７と接続されている。下部継ぎ手ブロック２６は、下部ロッド２５を冷却ブロック２７に対して位置決めした状態で冷却ブロック２７と下部ロッド２５とを互いに接続する。これら継ぎ手ブロック２２，２６は、例えば銅等の熱伝導性の高い材質の継ぎ手である。すなわち、上部ロッド２３は加熱ブロック２１と熱的に結合され、また下部ロッド２５は冷却ブロック２７と熱的に結合されている。
【００２７】
上部継ぎ手ブロック２２と上部ロッド２３との間には、熱抵抗抑制材である介在層としての電気絶縁性があるシリコングリース（例えば、信越シリコン社製、Ｇ−７４７等）３２が塗布されており、また下部継ぎ手ブロック２６と下部ロッド２５との間にも電気絶縁性のシリコングリース３３が塗布されている。グリース３２（３３）を介して上部継ぎ手ブロック２２（下部継ぎ手ブロック２６）と上部ロッド２３（下部ロッド２５）とを接続することにより、継ぎ手ブロック２２（２６）とロッド２３（２５）との密着を確保でき、これにより界面での熱伝導の低下を防止することができる。
【００２８】
加熱ブロック２１及び冷却ブロック２７は、加熱ブロック２１から冷却ブロック２７に向かって一方向に伝わる熱を付与するためのものであり、それぞれペルチエ素子（図示省略）を備えている。加熱ブロック２１は、ペルチエ素子の発熱部の発熱によって発熱し、冷却ブロック２７は、ペルチエ素子の吸熱部の吸熱により冷却される。
【００２９】
測定装置本体１２には、加熱ブロック２１及び冷却ブロック２７内のペルチエ素子からの熱を吸収するための放熱器３５が設けられている。この放熱器３５は、加熱ブロック２１のペルチエ素子の吸熱側による後述のロードセル３０ｄへの熱的影響を、後述の断熱材３７と併用することで防止している。
【００３０】
測定装置本体１２には、カートリッジ２４と上下ロッド２３，２５との間の押圧力、試料Ｗに加えられる押圧力を調整するための加圧力調整部３０が設けられている。加圧力調整部３０は、支持台３０ａと、この支持台３０ａに対して上下方向に移動可能な押圧部材３０ｂと、押圧部材３０ｂを押圧するための圧力調整用ねじ３０ｃと、加圧力検出部としてのロードセル３０ｄと、コイルばねからなる膨張許容ばね３０ｆとを有する。押圧部材３０ｂは、ロードセル３０ｄを押圧可能に配設されていて、圧力調整用ねじ３０ｃのねじ込み量に応じて下方に変位し、ロードセル３０ｄを押圧する。これにより、カートリッジ２４と上下ロッド２３，２５との間の押圧力、及び試料Ｗに加えられる押圧力が調整される。膨張許容ばね３０ｆは、圧力調整用ねじ３０ｃと押圧部材３０ｂとの間に配設されており、収縮することによって測定時の試料Ｗの膨張を許容する。
【００３１】
ロードセル３０ｄは、断熱材３７を介して加熱ブロック２１の上に配設されている。ロードセル３０ｄには、圧力調整用ねじ３０ｃのねじ込み量に応じた荷重が負荷され、ロードセル３０ｄは、この荷重に応じた信号を出力する。ロードセル３０ｄから出力された信号は、測定制御装置１４に入力される。測定制御装置１４の荷重表示部５３は、ロードセル３０ｄの検出値を表示する。
【００３２】
カートリッジ２４は、測定対象物である試料Ｗを保持する挟持部であり、上部ロッド２３及び下部ロッド２５とは別個に形成されている。そして、カートリッジ２４は、測定時に上部ロッド２３及び下部ロッド２５間に挟み込む一方、測定後にはそこから取り外すことができる。すなわち、カートリッジ２４は、上部ロッド２３及び下部ロッド２５に対して着脱可能となっている。
【００３３】
カートリッジ２４は、上下一対の試料ブロック２４ａ，２４ｂを備えており、加熱側挟持部材である上側試料ブロック２４ａと、冷却側挟持部材である下側試料ブロック２４ｂとによって試料Ｗを挟み込んだ構成である。カートリッジ２４全体の厚み（上下方向の厚み）は、５０ｍｍ以下、より具体的には、２〜２０ｍｍ程度であり、試料Ｗの厚みは、０．１ｍｍ〜１０ｍｍであるのが好ましい。試料Ｗの厚みがこの範囲内であれば試料ブロック２４ａ，２４ｂの熱のほぼ全てを伝えることができるので、測定装置本体１２の周囲を断熱する等の手段を用いることなく、熱伝導に関する物性値を測定することができる。
【００３４】
各試料ブロック２４ａ，２４ｂは、円柱状又は四角柱状に形成されている。試料Ｗとの接触面は、０．０１ｍｍ以下の平面度、表面粗さ、平行度に調整されている。
【００３５】
上側試料ブロック２４ａと下側試料ブロック２４ｂとは、試料Ｗ自体の粘着力又は接着力によって固定されていてもよく、あるいは粘着テープ等の補助的手段によって固定されていてもよい。
【００３６】
試料ブロック２４ａ，２４ｂの材質は、銅（ＪＩＳ  Ｃ１１００）、アルミニウム（ＪＩＳ  Ａ１１００）、アルミニウム合金（ＪＩＳ  Ａ５０５２）、ニッケル（ＪＩＳ  ＮＷ２２００）等であるのが好ましい。さらに、試料ブロック２４ａ，２４ｂの表面には、電解めっき又は無電解めっきにより、実使用に近い表面処理を施してもよい。なお、この測定装置１０が、電気特性を測定する構成の場合には、試料ブロック２４ａ，２４ｂの材質は銅であるのが好ましい。
【００３７】
カートリッジ２４は、介在層３９，４０を介して上部ロッド２３及び下部ロッド２５と接続されている。すなわち、上部ロッド２３と上側試料ブロック２４ａとの間に介在層３９が存在し、下側試料ブロック２４ｂと下部ロッド２５との間に介在層４０が存在している。この介在層３９，４０は、接触熱抵抗低減材料であり、電気的絶縁性を有するシリコングリースからなる。
【００３８】
試料Ｗは、ディスペンサ又はスクリーン印刷により、規定の厚みに調整されて試料ブロック２４ａ，２４ｂに塗布される。すなわち、一方の試料ブロック２４ａ（２４ｂ）において、試料Ｗとの接触面となる内側面に試料Ｗが塗布される。そして、この一方の試料ブロック２４ａ（２４ｂ）にもう一方の試料ブロック２４ｂ（２４ａ）を重ね合わせることにより、カートリッジ２４が作成される。
【００３９】
試料Ｗが例えば硬化性樹脂材料の場合には、規定の厚みに調整された状態で加熱処理を行うことにより固められる。この場合、スクリーン印刷等によって試料Ｗ厚みを調整してもよいが、スペーサを用いて試料ブロック２４ａ，２４ｂ間の間隙幅を調整することも可能である。なお、スペーサは、厚みが既知であり試料ブロック２４ａ，２４ｂとの接触面が極小のものであれば、どのようなものでもよい。
【００４０】
試料Ｗの厚みは、試料Ｗカートリッジ２４の全体の厚みから、各試料ブロック２４ａ，２４ｂの厚みを差し引くことにより求める。厚みの測定には、最小読み精度０．００１ｍｍのマイクロメータやこれと同等以上の測定精度を有する計測器を用いる。なお、試料Ｗは、不定形のものに限られず、定形のものでもよい。一定の形状を保持する定形の試料Ｗの場合には、予め厚みを測定した上で試料ブロック２４ａ，２４ｂ上に載置してもよい。
【００４１】
上部ロッド２３、下部ロッド２５及び各試料ブロック２４ａ，２４ｂには、それぞれ温度測定用の穴２３ａ，２５ａ，２４ｃ，２４ｄが設けられている。上部ロッド２３及び下部ロッド２５では、複数（図例では、４つ）の穴２３ａ，２５ａがロッドの長手方向に等間隔に並ぶように設けられている。ここでいう長手方向とは、上部ロッド２３及び下部ロッド２５において熱の伝わる方向であり、加熱ブロック２１と冷却ブロック２７とが並ぶ方向（上下方向）である。
【００４２】
各穴２３ａ，２５ａは、例えば熱電対等の温度センサ４４，４７を挿入可能となっている。つまり、上部ロッド２３の穴２３ａは、加熱側部材温度測定部である温度センサ４４の温度測定端としての検知部を取り付け可能であり、また下部ロッド２５の穴２５ａは、冷却側部材温度測定部である温度センサ４７の温度測定端としての検知部を取り付け可能となっている。このように長手方向の複数個所で温度を検出できるので、この複数個所の温度差に基づいて、上部ロッド２３及び下部ロッド２５での温度勾配をそれぞれ導出することができる。なお、穴２３ａ，２５ａには、穴２３ａ，２５ａの周面と温度センサ４４，４７の密着を確保すべく、図略のグリースが充填されている。
【００４３】
図２（ａ）にも示すように、各試料ブロック２４ａ，２４ｂの穴２４ｃ，２４ｄも複数（図例では３つ）設けられている。穴２４ｃ，２４ｄは、試料ブロック２４ａ，２４ｂの１つの側面に、ブロック２４ａ，２４ｂの幅方向に等間隔に並ぶように配設されている。すなわち、複数の穴２４ｃ，２４ｄは、試料ブロック２４ａ，２４ｂにおける試料Ｗとの接触面（即ち、加熱側挟持部材の端面及び冷却側挟持部材の端面）に平行な方向に並ぶように等間隔に配設されている。これら穴２４ｃ，２４ｄには、例えば熱電対等の温度センサ４５，４６を挿入可能となっている。つまり、試料ブロック２４ａ，２４ｂの穴２４ｃ，２４ｄは、挟持部温度測定部である温度センサ４５，４６（設置異常検知装置１７の温度測定部も兼ねる）の温度測定端としての検知部をそれぞれ取り付け可能となっている。そして、穴２４ｃ（穴２４ｄ）は３つ設けられており、この穴２４ｃ（２４ｄ）のそれぞれに温度センサ４５（４６）の検知部が配設されている。したがって、温度センサ４５，４６の検知部は、試料ブロック２４ａ，２４ｂの幅方向の複数個所に配置されている。なお、穴２４ｃ，２４ｄには、穴２４ｃ，２４ｄの周面と温度センサ４５，４６の密着を確保すべく、図略のグリースが充填されている。
【００４４】
温度センサ４４〜４７は、例えば熱電対によって構成される。なお、これと同等の性能を有する温度センサでも可能である。温度センサ４４〜４７の検出信号は、記録装置１６の演算部に入力される。また、温度センサ４５，４６の検出信号は、設置異常検知装置１７の設置異常検知部７３にも入力される。
【００４５】
図２（ｂ）に示すように、試料の電気的特性の測定を同時に行う場合は、各試料ブロック２４ａ，２４ｂには、電気抵抗測定用の穴２４ｅ，２４ｆが設けられている。この電気抵抗測定用の穴２４ｅ，２４ｆは、温度測定用の穴２４ｃ，２４ｄとは反対側の側面に配設されている。電気抵抗測定用の穴２４ｅ，２４ｆは、２つ設けられており、何れもねじ穴からなる。一方の穴２４ｅ，２４ｆは、定電流印加用であり、もう一方の穴２４ｅ，２４ｆは、電圧測定用である。試料ブロック２４ａ（２４ｂ）と上部ロッド２３（下部ロッド２５）との間のシリコングリース３９（４０）が絶縁性であり、しかも試料ブロック２４ａ（２４ｂ）が導電材料からなるので、上下の試料ブロック２４ａ，２４ｂに電気抵抗測定用の端子（図示省略）を接続することにより試料Ｗの電気抵抗を測定することができる。
【００４６】
図１に示すように、測定制御装置１４は、測定条件や各種警報の設定を行うための条件設定部５１と、加熱ブロック２１の加熱量及び冷却ブロック２７の冷却量を制御する温度制御部５２と、荷重表示部５３とを有する。
【００４７】
条件設定部５１は、タッチパネル等の図略の入力部を有しており、この入力部により、測定のための条件を入力できるようになっている。条件設定部５１において設定される測定条件としては、例えば試料温度、試料温度幅、試料温度上限値等を挙げることができる。試料温度上限値は、警報判定を行うための基準として用いられる。
【００４８】
温度制御部５２は、条件設定部５１において設定された条件に応じて加熱ブロック２１の加熱量及び冷却ブロック２７の吸熱量を制御する。すなわち、温度制御部５２には、温度センサ４４〜４７から出力された信号が入力され、温度制御部５２は、この受信した信号に基づいて、試料Ｗの温度が条件設定部５１によって設定された試料温度になるように、加熱ブロック２１のペルチエ素子及び冷却ブロック２７のペルチエ素子を制御する。
【００４９】
また温度制御部５２は、加熱ブロック２１、試料ブロック２４ａ，２４ｂ、冷却ブロック２７の温度が設定温度で安定するように、加熱ブロック２１及び冷却ブロック２７のペルチエ素子を制御する。温度変動幅は、例えば±０．５Ｋ以下に制御される。
【００５０】
荷重表示部５３は、ロードセル３０ｄから出力された信号が入力され、ロードセル３０ｄの検出圧力を表示する。
【００５１】
記録装置１６には、入力部６１と演算部６２と記録部６３と表示部６４とが含まれている。入力部６１は、カートリッジ２４の全体厚み、温度測定位置（穴２４ｃ，２４ｄの位置）等、温度勾配を演算するための諸元に関するデータを入力するためのものである。ここで入力されるデータは、実測されたデータである。
【００５２】
演算部６２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備え、ＲＯＭに格納されたプログラムを実行させることにより、所定の機能を発揮するものである。この機能には、温度演算部６６と物性値導出部６７と電気特性測定部６８とが含まれている。
【００５３】
温度演算部６６には、上部ロッド２３の温度測定用穴２３ａに取り付けられた温度センサ４４からの信号と、上側試料ブロック２４ａの温度測定用穴２４ｃに取り付けられた温度センサ４５からの信号と、下側試料ブロック２４ｂの温度測定用穴２４ｄに取り付けられた温度センサ４６からの信号と、下部ロッド２５の温度測定用穴２５ａに取り付けられた温度センサ４７からの信号とが入力されている。
【００５４】
温度演算部６６は、試料ブロック２４ａ，２４ｂ間の温度差を導出する。すなわち、温度演算部６６は、上側試料ブロック２４ａと下側試料ブロック２４ｂとの平均温度差をブロック２４ａ，２４ｂ間の温度差として導出する。具体的には、温度演算部６６は、試料ブロック２４ａ，２４ｂ毎に複数個所の温度データを平均して、その平均値同士の差を試料ブロック２４ａ，２４ｂ間の温度差として導出する。なお、温度演算部６６は、上側試料ブロック２４ａと下側試料ブロック２４ｂで上下一対となっている各検出端（穴２４ｃ，２４ｄ）を１セットとして、そのセット毎の温度差を出し、この温度差の平均値を試料ブロック２４ａ，２４ｂ間の温度差として導出してもよい。
【００５５】
温度演算部６６は、上部ロッド２３における温度測定位置に関するデータと温度センサ４４の検出値とに基づいて、上部ロッド２３での温度勾配を導出する。また、温度演算部６６は、下部ロッド２５における温度測定位置に関するデータと温度センサ４７の検出値とに基づいて、下部ロッド２５での温度勾配を導出する。
【００５６】
物性値導出部６７は、温度演算部６６の測定結果に基づいて、試料Ｗの熱伝導に関する物性値を導出する。ここでは、熱伝導率を導出するものとする。物性値導出部６７は、入力されたカートリッジ２４の全体厚みに関するデータを用いて、予め記憶されている試料ブロック２４ａ，２４ｂの温度測定位置と試料Ｗとの間の距離を導出するとともに試料Ｗの厚みを導出し、温度センサ４５及び温度センサ４６の検出値に基づいて、試料Ｗの上下面の温度を算出し、この算出された温度データと試料Ｗの厚みとに基づいて、試料Ｗの温度勾配を導出する。そして、この温度勾配から試料Ｗの熱伝導率を導出する。
【００５７】
電気特性測定部６８は、両試料ブロック２４ａ，２４ｂに装着された端子の端子間電圧及び電流値に基づいて、試料Ｗの電気抵抗を導出する。
【００５８】
記録部６３は、各温度センサ４４〜４７によって測定された温度、導出された熱伝導率、測定された試料Ｗの導通抵抗値等を記録する。表示部６４は、各温度センサ４４〜４７によって測定された温度、導出された熱伝導率、導通抵抗値等を表示する。
【００５９】
設置異常検知装置１７は、測定装置本体１２の測定部における試料Ｗの設置異常を検知するための装置であり、演算部７１と表示部７２とが含まれている。演算部７１は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備え、ＲＯＭに格納されたプログラムを実行させることにより、所定の機能を発揮するものである。この機能には、設置異常検知部７３が含まれている。
【００６０】
設置異常検知部７３は、試料Ｗの設置異常（挟み込み状態の異常）の検知を行う。設置異常検知部７３には、上側試料ブロック２４ａの温度測定用穴２４ｃに取り付けられた温度センサ４５からの信号と、下側試料ブロック２４ｂの温度測定用穴２４ｄに取り付けられた温度センサ４６からの信号とが入力されている。
【００６１】
ここで、本実施形態において、試料Ｗの正常な設置状態とは、図３（ａ）に示すように、加熱側挟持部材（上部ロッド２３及び上側試料ブロック２４ａ）、試料Ｗ、及び冷却側挟持部材（下側試料ブロック２４ｂ及び下部ロッド２５）の各中心軸が共通の直線上に位置した状態である。一方、試料Ｗの設置異常とは、加熱側挟持部材２３，２４ａ、試料Ｗ、及び冷却側挟持部材２５，２４ｂの各中心軸が共通の直線上に位置しない状態、例えば、いずれかの部材の中心軸がもう一方の部材の中心軸に対して傾いていたり（図３（ｂ）及び図３（ｅ）参照）、いずれかの部材の中心軸がもう一方の部材の中心軸に対して側方にずれていたり（図３（ｄ）参照）する場合や、測定対象物の厚み寸法（挟持方向の寸法）が不均一な状態（図３（ｃ）参照）等をいう。
【００６２】
設置異常検知部７３は、上側試料ブロック２４ａ及び下側試料ブロック２４ｂにおける幅方向の温度のばらつきに基づいて設置異常を検知する。即ち、設置異常検知部７３は、試料Ｗの設置異常に基づく上部ロッド２３から下部ロッド２５への熱の流れの偏りを各試料ブロック２４ａ，２４ｂにおけるその試料Ｗとの接触面と平行な面方向の温度のばらつきとして検出することにより、試料Ｗの設置異常を検知する。具体的に、設置異常検知部７３は、幅方向の温度のばらつきが所定の範囲よりも大きい場合に設置異常であると判定し、所定の範囲以下のばらつきの場合に設置異常なしと判定する。詳しくは、設置異常検知部７３は、上側試料ブロック２４ａの幅方向における複数箇所（本実施形態では３箇所）の温度データのうちの最大値と最小値との差を求め、この差の値と予め設定され記憶している規定値とを比較する。また、設置異常検知部７３は、下側試料ブロック２４ｂの幅方向における複数箇所（本実施形態では３箇所）の温度データのうちの最大値と最小値との差を求め、この差の値と前記所定の規定値とを比較する。そして、設置異常検知部７３は、上側試料ブロック２４ａ又は下側試料ブロック２４ｂの少なくとも一方において、前記差の値が規定値よりも大きかった場合には設置異常が生じていると判定し、前記差の値が規定値以下であった場合には設置異常が生じていないと判定する。
【００６３】
表示部７２は、各温度センサ４５,４６によって測定された温度、前記差の値、設置異常が生じているか否か等を表示する。
【００６４】
次に、この測定装置１０を用いて熱伝導率を測定する手順について説明する。
【００６５】
まずカートリッジ２４を作成する。このカートリッジ２４の作成工程では、一方の試料ブロック２４ａ（２４ｂ）に、規定の厚みに調整されるように試料Ｗを塗布する。そして、必要に応じてスペーサを設置し、試料Ｗの塗布面が挟み込まれるように他方の試料ブロック２４ｂ（２４ａ）を重合させる。これにより、カートリッジ２４が出来上がる。そして、カートリッジ２４全体の厚みをマイクロメータで測定する。この測定値は、入力部６１によって記録装置１６に入力する。なお、試料Ｗの厚みを規制するためには、スペーサを用いるのが望ましい。
【００６６】
次に、カートリッジ２４を上部ロッド２３及び下部ロッド２５間にセットし、各試料ブロック２４ａ，２４ｂに温度センサ４５，４６を取り付けるとともに電気特性測定用の端子を取り付ける。このとき上部ロッド２３及び下部ロッド２５には温度センサ４４，４７が既に取り付けられている。このとき、上部ロッド２３とカートリッジ２４との接触面及びカートリッジ２４と下部ロッド２５との接触面にシリコングリース３９，４０を塗布する。これにより接触熱抵抗を低減することができる。
【００６７】
次に、加圧力調整部３０の圧力調整用ねじ３０ｃをねじ込み、カートリッジ２４と上下ロッド２３，２５との間の押圧力、及び試料Ｗに加えられる押圧力を調整する。測定制御装置１４の荷重表示部５３にはロードセル３０ｄの検出荷重が表示されるため、この表示を参照しながら押圧力を調整すればよい。
【００６８】
押圧力が調整されたら、試料Ｗの設置異常が生じているか否かのチェックを開始する。即ち、加熱ブロック２１を加熱するとともに冷却ブロック２７を冷却する。この加熱及び冷却による加熱ブロック２１と冷却ブロック２７との温度差は、試料Ｗの設置異常を検知するためのものであるため、上部ロッド２３から下部ロッド２５へ向けた熱の流れが生じればよく、試料Ｗの熱伝導に関する物性値を測定するときより小さくてもよい。
【００６９】
この加熱及び冷却に伴い、加熱ブロック２１から上部ロッド２３、カートリッジ２４、下部ロッド２５へと熱が伝わり、各温度センサ４５，４６の測定データが所定時間ごとに出力され、設置異常検知装置１７の設置異常検知部７３に送信される。
【００７０】
設置異常検知装置１７の設置異常検知部７３では、温度センサ４５，４６から送られてくる温度データのうちの最大値と最小値との差の絶対値を試料ブロック２４ａ，２４ｂ毎に導出する。具体的には、設置異常検知部７３は、判定１として、上側試料ブロック２４ａの温度センサ４５から送られてきた温度データ（Ｔ１ａ，Ｔ１ｂ，Ｔ１ｃ）に基づき（図４参照）、
（Ｔ１ａ，Ｔ１ｂ，Ｔ１ｃの最大値）−（Ｔ１ａ，Ｔ１ｂ，Ｔ１ｃの最小値）
の演算を行う。そして、設置異常検知部７３は、この演算結果の値と予め設定され記憶している規定値（本実施形態では、例えば、０．５Ｋ）との大小を比較する。
【００７１】
この判定１と共に、設置異常検知部７３は、判定２として、下側試料ブロック２４ｂの温度センサ４６から送られてきた温度データ（Ｔ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃ）に基づき（図４参照）、
（Ｔ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃの最大値）−（Ｔ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃの最小値）
の演算を行う。そして、設置異常検知部７３は、この演算結果の値と規定値（本実施形態では、例えば、０．５Ｋ）との大小を比較する。
【００７２】
そして、設置異常検知部７３は、
（Ｔ１ａ，Ｔ１ｂ，Ｔ１ｃの最大値）−（Ｔ１ａ，Ｔ１ｂ，Ｔ１ｃの最小値）≦規定値
（Ｔ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃの最大値）−（Ｔ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃの最小値）≦規定値
の場合には、設置異常が生じていないと判定し、
（Ｔ１ａ，Ｔ１ｂ，Ｔ１ｃの最大値）−（Ｔ１ａ，Ｔ１ｂ，Ｔ１ｃの最小値）＞規定値
（Ｔ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃの最大値）−（Ｔ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃの最小値）≦規定値
または、
（Ｔ１ａ，Ｔ１ｂ，Ｔ１ｃの最大値）−（Ｔ１ａ，Ｔ１ｂ，Ｔ１ｃの最小値）≦規定値
（Ｔ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃの最大値）−（Ｔ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃの最小値）＞規定値
または、
（Ｔ１ａ，Ｔ１ｂ，Ｔ１ｃの最大値）−（Ｔ１ａ，Ｔ１ｂ，Ｔ１ｃの最小値）＞規定値
（Ｔ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃの最大値）−（Ｔ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃの最小値）＞規定値
の場合には、設置異常が生じていると判断する。
【００７３】
設置異常が検知されると、設置異常検知装置１７の表示部７２がその旨の表示を行う。この表示がなされると、当該装置１０の操作者等は、加圧力調整部３０の圧力調整用ねじ３０ｃを緩める。そして、カートリッジ２４を上部ロッド２３及び下部ロッド２５の間から取り外し、このカートリッジ２４を再度設置し直す、若しくは、別のカートリッジ２４を新たに設置する。
【００７４】
カートリッジ２４を設置し直し、若しくは新たなカートリッジ２４を前記同様に設置し、これが完了すると、再度、設置異常のチェックを行う。このチェックにおいて、設置異常が検出されなければ、試料Ｗの熱伝導に関する物性値の測定を開始し、設置異常が検出されれば、再度、カートリッジ２４の設置をやり直す。
【００７５】
一方、最初の設置異常のチェックの際に設置異常が検知されなければ、そのまま、試料Ｗの熱伝導に関する物性値の測定を開始する。
【００７６】
続いて、試料Ｗの熱伝導に関する物性値の測定のために、加熱ブロック２１を加熱するとともに冷却ブロック２７を冷却する。これに伴い、加熱ブロック２１から上部ロッド２３、カートリッジ２４、下部ロッド２５へと熱が伝わり、各温度センサ４４〜４７の測定データが所定時間ごとに出力される。各温度は、記録装置１６の表示部６４に表示されるとともに記録部６３に記録される一方、温度センサ４５，４６により測定された温度は、設置異常検知装置１７にも送信される。
【００７７】
設置異常検知装置１７は、当該装置１０における試料Ｗの熱伝導に関する物性値の測定動作の際に、測定装置本体１２の測定部が定常状態となるまでの間の上部ロッド２３から下部ロッド２５への熱の流れを利用して、測定中に生じた設置異常の検知も行う。
【００７８】
具体的には、設置異常検知装置１７の設置異常検知部７３では、温度センサ４５，４６から送られてくる温度データのうちの最大値と最小値との差の絶対値を試料ブロック２４ａ，２４ｂ毎に導出する。そして、設置異常検知部７３は、前記同様に、試料ブロック２４ａ，２４ｂ毎に求めた温度差の値と規定値との比較をそれぞれ行い、設置異常が生じているか否かを判定する。
【００７９】
設置異常が検知されなければ、そのまま測定を続け、設置異常が検知されれば、試料Ｗの熱伝導に関する物性値の測定を中止し、カートリッジ２４を設置し直した後、測定をやり直す。
【００８０】
試料温度の変化量が１分間あたり０．２Ｋ以下になるまで制御を行い、温度変化量が０．２Ｋ以下になった後に定常状態とみなし、この定常状態における温度の記録を行う。
【００８１】
記録装置１６の演算部６２では、各温度センサ４４〜４７による測定値と、温度測定位置に関するデータとに基づいて、上部ロッド２３での温度勾配、下部ロッド２５での温度勾配、カートリッジ２４での温度勾配を導出する。上部ロッド２３及び下部ロッド２５については、温度の測定位置が予め記憶されている。このため、この記憶された測定位置と、測定された温度とに基づいて、上部ロッド２３及び下部ロッド２５での温度勾配が導出される。一方、カートリッジ２４については、カートリッジ２４ごとに厚みが異なるため、入力部６１によって入力されたカートリッジ２４の厚みに関するデータを用いて、予め記憶されている試料ブロック２４ａ，２４ｂの温度測定位置と試料Ｗとの間の距離を導出するとともに試料Ｗの厚みを導出する。そして、演算部６２では、温度センサ４５及び温度センサ４６の検出値に基づいて、試料Ｗの上下面の温度を算出し、この算出された温度のデータと試料Ｗの厚みとに基づいて、温度勾配を導出する。
【００８２】
続いて、演算部６２は、試料Ｗの熱伝導率を導出する。熱伝導率の算出は以下の通り行う。すなわち、図４及び図５に示すように、試料Ｗの熱伝導率をｋｓ［Ｗ／（ｍ・Ｋ）］、上部ロッド２３及び下部ロッド２５の熱伝導率ｋｒ［Ｗ／（ｍ・Ｋ）］、試料ブロック２４ａ，２４ｂの熱伝導率ｋＢ［Ｗ／（ｍ・Ｋ）］、試料Ｗの厚みｔｓ［ｍ］、試料ブロック２４ａ，２４ｂのセンサ位置と試料Ｗとの間の距離ｔＳＢ［ｍ］、上下試料ブロック２４ａ，２４ｂセンサ間の温度差ΔＴＢ［Ｋ］、試料Ｗの上下面間の温度差ΔＴｓ［Ｋ］、試料ブロック２４ａ，２４ｂのセンサと試料Ｗ表面との温度差ΔＴＳＢ［Ｋ］、上部ロッド２３を通過する熱流速ｑ１［Ｗ／ｍ２］、下部ロッド２５を通過する熱流速ｑ２［Ｗ／ｍ２］、試料Ｗを通過する熱流速ｑ［Ｗ／ｍ２］、上部ロッド２３での温度勾配（ｄＴ／ｄｘ）１［Ｋ／ｍ］、下部ロッド２５での温度勾配（ｄＴ／ｄｘ）２［Ｋ／ｍ］、試料Ｗの温度勾配（ｄＴ／ｄｘ）ｓ［Ｋ／ｍ］とすると、以下の関係式が成立する。
【００８３】
【数１】
0005379760.tif 000002
【００８４】
前記の関係式（３）において、試料Ｗの熱伝導率ｋｓを導出するには、関係式（４）から試料Ｗの上下表面間の温度差ΔＴｓを求める一方、試料Ｗ厚みｔｓは、入力部６１によって入力されたカートリッジ２４の全体厚みから予め記憶されている上側試料ブロック２４ａ及び下側試料ブロック２４ｂの厚みを差し引いて求める。そして、関係式（６）により、試料Ｗの温度勾配（ｄＴ／ｄｘ）ｓを求める。この温度勾配と関係式（１）（２）から得られる熱流速ｑとにより、試料Ｗの熱伝導率ｋｓを求めることができる。
【００８５】
以上説明したように、本実施形態によれば、試料Ｗの設置異常に基づく上部ロッド２３から、上側試料ブロック２４ａ、試料Ｗ、下側試料ブロック２４ｂ、下部ロッド２５への熱の流れの偏りを各試料ブロック２４ａ，２４ｂにおける試料Ｗとの接触面と平行な面方向の温度のばらつきとして検出することにより、試料Ｗの設置異常を検知することができる。これにより、試料Ｗを設置し直す等によって設置異常を排除することができ、試料Ｗの熱物性値（熱物伝導に関する物性値）を精度よく求めることができる。
【００８６】
また、本実施形態では、各試料ブロック２４ａ，２４ｂにおいて３つの温度センサ４５，４６によって試料Ｗとの接触面と平行な面方向の温度分布を測定しているため、各試料ブロック２４ａ，２４ｂにおける前記平行な面方向全域の温度のばらつきを測定する構成に比べ、温度測定部４５，４６の構成を簡素化することができる。
【００８７】
また、本実施形態では、設置異常の検知のために用いられた温度センサ４５，４６を熱物性値の導出の際にも利用することで、当該装置１０における温度測定端４５，４６の数を抑えることができる。
【００８８】
また、本実施形態では、上部ロッド２３から上側試料ブロック２４ａが着脱可能であると共に下部ロッド２５から下側試料ブロック２４ｂが着脱可能であるため、試料Ｗ（カートリッジ２４）の交換作業の容易化を図ることができる。
【００８９】
また、本実施形態では、熱伝導測定装置１０において熱物性値の測定動作に入る前の設置異常の検知に加え、当該熱伝導測定装置１０における熱物性値の測定動作中の上部ロッド２３から下部ロッド２５へ流す熱の流れを利用して各試料ブロック２４ａ，２４ｂにおける試料Ｗとの接触面と平行方向における温度のばらつきを測定することにより、前記熱物性値の測定動作中に生じた試料Ｗの設置異常を検知することも可能となる。
【００９０】
なお、本発明は、前記実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。
【００９１】
上記実施形態では、試料Ｗの設置異常の検知を熱伝導測定装置１０における試料Ｗの熱物性値の測定動作に入る前と測定動作中とに行っているが、これに限定されず、測定動作に入る前か測定動作中のいずれか一方だけで行ってもよい。
【００９２】
また、上記実施形態では、試料Ｗの設置異常が検知された場合、操作者等が設置状態を修正しているが、試料Ｗの設置状態を修正するための機構を熱伝導測定装置１０に設け、当該装置により前記設置状態を自動修正してもよい。
【００９３】
また、上記実施形態では、記録装置１６と設置異常検知装置１７とが別々の装置として構成されているが、これらが一つの装置として構成されてもよい。
【００９４】
また、上記実施形態では、上部ロッド２３と上側試料ブロック２４ａとが互いに別体に形成され、下部ロッド２５と下側試料ブロック２４ｂとが互いに別体に形成されている、即ち、上部ロッド２３と下部ロッド２５とによりカートリッジ２４を挟み込むように構成されているが、これに限定されない。例えば、図６（ａ）に示されるように、加熱側挟持部材１２３と冷却側挟持部材１２５とがそれぞれ単一の部材で構成され、これら加熱側挟持部材１２３と冷却側挟持部材１２５とが試料Ｗを挟み込むように構成されてもよい。即ち、上部ロッド２３と上側試料ブロック２４ａとを一体にして加熱側挟持部材１２３を構成し、下部ロッド２５と下側試料ブロック２４ｂとを一体にして冷却側挟持部材１２５を構成してもよい。この場合でも、各挟持部材１２３，１２５におけるその試料Ｗとの接触面（端面）と平行な面方向の温度のばらつきを測定することにより、試料Ｗの設置異常を検出することができる。
【００９５】
一方向熱流定常比較法では、熱伝導に関する物性値を算出するときに試料Ｗの厚さ寸法が必要となるため、上記実施形態では、操作者等がその値を熱伝導測定装置１０に打ち込んでいるが、例えば図６（ａ）乃至図６（ｄ）に示すような試料Ｗの厚さ寸法を測定する装置を熱伝導測定装置１０に設けてもよい。
【００９６】
この態様では、測定された挟持部材１２３，１２５（又は両試料ブロック２４ａ，２４ｂ）の間隔に基づいて試料Ｗの厚み寸法を求めることができる。このとき、当該熱伝導測定装置では、試料Ｗの設置異常を検知することができるので、これを排除することができる。そのため、加熱側挟持部材１２３（又は上側試料ブロック２４ａ）と冷却側挟持部材１２５（又は下側試料ブロック２４ｂ）との試料Ｗとの接触面間の間隔を１点のみ測定することによって試料Ｗの厚み寸法を精度よく求めることができる。
【００９７】
尚、試料Ｗの厚さ寸法を測定する装置としては、例えば、挟持部材１２３の接触面に直接触れてこの接触面の上下方向の位置に基づいて測定する接触式の変位センサ（図６（ａ）参照）や、両挟持部材１２３，１２５に取付けたピン等の間隔をレーザにより非接触で測定するレーザ変位計（図６（ｂ）参照）、両挟持部材１２３，１２５に設けたスリットやピンの間隔を照射部から照射した光を受光部で受光することにより測定する光学式位置センサ（図６（ｃ）及び図６（ｄ）参照）等の接触式や非接触式の種々のセンサが用いられる。
【００９８】
上記実施形態では、両試料ブロック２４ａ，２４ｂにおける試料Ｗとの接触面に平行な面方向の温度のばらつきをそれぞれ測定しているが、いずれか一方の試料ブロック２４ａ（又は２４ｂ）における試料Ｗとの接触面に平行な面方向の温度のばらつきのみを測定してもよい。また、下部ロッド２５における下側試料ブロック２４ｂ側の端面と平行な面方向の温度のばらつきを測定可能に構成すれば、図３（ｅ）に示すような、上部ロッド２３とカートリッジ２４とが一体的に傾くような設置異常も検出することが可能となる。
【００９９】
また、上記実施形態では、両試料ブロック２４ａ，２４ｂにおいて試料Ｗとの接触面に平行な面方向に複数箇所（即ち、間欠的に）の温度を測っているが、接触面に平行な面方向の全領域の温度を連続的に測定してもよい。これにより、設置異常のより高精度な検知が可能となる。
【０１００】
また、所定の範囲以上の温度のばらつきを検出する具体的方法は、限定されない。上記実施形態では、共通の面方向における温度の最大値と最小値との差の値を用いて所定の範囲以上の温度のばらつきを検出しているが、例えば、試料Ｗを挟んで対向する位置の温度差や、各位置における温度の相対比等に基づいて検出してもよく、また、前記対向する位置の温度差が閾値を越えるか否かにより検出してもよい。
【０１０１】
具体的には、例えば、図４におけるＴ１ａとＴ２ａとの温度差をΔＴａとし、Ｔ１ｂとＴ２ｂとの温度差をΔＴｂとし、Ｔ１ｃとＴ２ｃとの温度差をΔＴｃとし、試料Ｗの厚みを所定の値以下とした場合に、
各温度差ΔＴａ、ΔＴｂ、ΔＴｃのうちの最大値≦規定値
の場合には、設置異常が生じていないと判定し、
各温度差ΔＴａ、ΔＴｂ、ΔＴｃのうちの最大値＞規定値
の場合には、設置異常が生じていると判定してもよい。
【０１０２】
また、Ｔ１ａ、Ｔ１ｂ、Ｔ１ｃのうちの最大値と、Ｔ２ａ、Ｔ２ｂ、Ｔ２ｃのうちの最小値と、の差が規定値内か否かで設置異常の有無を判定してもよい。
【符号の説明】
【０１０３】
１０   熱伝導測定装置
１７   設置異常検知装置
２１   加熱ブロック（加熱源の一例）
２３   上部ロッド（加熱側部材の一例）
２４   カートリッジ（挟持部の一例）
２４ａ 上側試料ブロック（加熱側挟持部の一例）
２４ｂ 下側試料ブロック（冷却側挟持部の一例）
２４ｃ，２４ｄ       温度測定用穴
２５   下部ロッド（冷却側部材の一例）
２７   冷却ブロック（冷却源の一例）
４５，４６    温度センサ（温度測定部の一例）
７１   演算部
７２   表示部
７３   設置異常検知部
Ｗ     試料
【図１】
0005379760.tif 000003
【図２】
0005379760.tif 000004
【図３】
0005379760.tif 000005
【図４】
0005379760.tif 000006
【図５】
0005379760.tif 000007
【図６】
0005379760.tif 000008
【図７】
0005379760.tif 000009