(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタの製造に用いられる感光性転写材料であって、
厚み８５μｍ以上２００μｍ以下の仮支持体と、前記仮支持体上に設けられた感光性樹脂層と、ヘイズ度の最大値が３．０％以下であり、前記感光性樹脂層を覆うカバーフィルムと、を少なくとも有する感光性転写材料。
【請求項２】
前記仮支持体と前記カバーフィルムとを除いた転写層の総厚みが２μｍ以上２５μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の感光性転写材料。
【請求項３】
前記転写層の総厚みと、前記仮支持体の厚みと、の比〔転写層の総厚み／仮支持体の厚み〕が、０．１０以上０．２２以下であることを特徴とする請求項２に記載の感光性転写材料。
【請求項４】
前記仮支持体上に、熱可塑性樹脂層、中間層、前記感光性樹脂層、及び前記カバーフィルムがこの順に設けられている請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の感光性転写材料。
【請求項５】
前記感光性樹脂層を面積０．６ｍ２以上の基板上に転写する工程を含むカラーフィルタの製造に用いられる請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の感光性転写材料。
【請求項６】
カラーフィルタの製造に用いられる感光性転写材料を製造する製造方法であって、
厚み８５μｍ以上２００μｍ以下の仮支持体上に、感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて感光性樹脂層を形成する工程と、形成された前記感光性樹脂層をヘイズ度の最大値が３．０％以下であるカバーフィルムで覆う工程と、を有する感光性転写材料の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の感光性転写材料、又は請求項６に記載の感光性転写材料の製造方法により製造された感光性転写材料を少なくとも１種類用いて作製されたことを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項８】
前記感光性樹脂層を面積０．６ｍ２以上の基板上に転写する工程を経て作製された請求項７に記載のカラーフィルタ。
【請求項９】
請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の感光性転写材料、又は請求項６に記載の感光性転写材料の製造方法により製造された感光性転写材料から前記カバーフィルムを除去するカバーフィルム除去工程と、
前記カバーフィルムが除去された前記感光性転写材料の前記感光性樹脂層を基板上に転写する転写工程と、
基板上に転写された前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、
露光された前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、を有するカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
前記基板の面積が０．６ｍ２以上である請求項９に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
請求項７若しくは請求項８に記載のカラーフィルタ、又は請求項９若しくは請求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法によって製造されたカラーフィルタを有する表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性転写材料及びその製造方法、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、液晶ディスプレイ（以下、「液晶表示装置」ともいう。）に不可欠な構成部品である。このカラーフィルタを簡便に作製する方法として、仮支持体上に感光性樹脂組成物を用いて設けられた感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用い、該感光性樹脂層をラミネーターにより基板に貼り付け、露光・現像によりパターン画像を形成する方法がある。上記方法に使用される感光性樹脂転写材料は、一般的に仮支持体と感光性樹脂層とカバーフィルムとを有しており、カバーフィルムを剥がしながら転写される。
【０００３】
ラミネート性等を向上する目的で所定のカバーフィルムを用いる感光性エレメントに関する発明が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２０００−３３０２９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、感光性転写材料を使用して製造されたカラーフィルタにはピンホール故障が起きることがある。特に、顔料が多量に入った黒画像や色の濃いＲＧＢ画像の形成に用いられる樹脂転写材料でこの傾向が顕著になってきた。現像前には基板側から見てとくに気泡などが樹脂層に見当たらないが、現像後ピンホール故障（以下、「白抜け」ともいう）が発生することがある。
【０００５】
本発明は上記に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。
即ち、本発明は、転写された感光性樹脂層を現像した際、白抜けの発生を抑制できる感光性転写材料及びその製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、白抜けの発生が抑制されたカラーフィルタ及びその製造方法、表示の見栄えが良好な表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は鋭意研究を行った結果、感光性転写材料を用いて転写形成された感光性樹脂層を現像した際の白抜けの程度と、該感光性転写材料のカバーフィルムのヘイズ度の最大値と、の間に密接な関係があることを見出し、さらに、白抜けの発生を抑制できる前記最大値の範囲を見出し、本発明を完成した。
即ち、前記課題を解決するための具体的手段は以下のとおりである。
【０００７】
＜１＞  カラーフィルタの製造に用いられる感光性転写材料であって、厚み８５μｍ以上２００μｍ以下の仮支持体と、前記仮支持体上に設けられた感光性樹脂層と、ヘイズ度の最大値が３．０％以下であり、前記感光性樹脂層を覆うカバーフィルムと、を少なくとも有する感光性転写材料である。
【０００８】
＜２＞  前記感光性樹脂層の総厚みが２μｍ以上２５μｍ以下であることを特徴とする＜１＞に記載の感光性転写材料である。
＜３＞  前記感光性樹脂層の総厚みと、前記仮支持体の厚みと、の比〔感光性樹脂層の総厚み／仮支持体の厚み〕が、０．１０以上０．２２以下であることを特徴とする＜２＞に記載の感光性転写材料である。
＜４＞  前記仮支持体上に、熱可塑性樹脂層、中間層、前記感光性樹脂層、及び前記カバーフィルムがこの順に設けられている＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料である。
＜５＞  前記感光性樹脂層を面積０．６ｍ２以上の基板上に転写する工程を含むカラーフィルタの製造に用いられる＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料である。
【０００９】
＜６＞  カラーフィルタの製造に用いられる感光性転写材料を製造する製造方法であって、厚み８５μｍ以上２００μｍ以下の仮支持体上に感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて感光性樹脂層を形成する工程と、形成された感光性樹脂層をヘイズ度の最大値が３．０％以下であるカバーフィルムで覆う工程と、を有する感光性転写材料の製造方法である。
【００１０】
＜７＞  ＜１＞〜＜５＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料、又は＜６＞に記載の感光性転写材料の製造方法により製造された感光性転写材料を少なくとも１種類用いて作製されたことを特徴とするカラーフィルタである。
＜８＞  前記感光性樹脂層を面積０．６ｍ２以上の基板上に転写する工程を経て作製された＜７＞に記載のカラーフィルタである。
【００１１】
＜９＞  ＜１＞〜＜５＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料、又は＜６＞に記載の感光性転写材料の製造方法により製造された感光性転写材料から前記カバーフィルムを除去するカバーフィルム除去工程と、前記カバーフィルムが除去された前記感光性転写材料の前記感光性樹脂層を基板上に転写する転写工程と、基板上に転写された前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂層を現像する現像工程と、を有するカラーフィルタの製造方法である。
＜１０＞  前記基板の面積が０．６ｍ２以上である＜９＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【００１２】
＜１１＞  ＜７＞若しくは＜８＞に記載のカラーフィルタ、又は＜９＞若しくは＜１０＞に記載のカラーフィルタの製造方法によって製造されたカラーフィルタを有する表示装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、転写された感光性樹脂層を現像した際、白抜けの発生を抑制できる感光性転写材料及びその製造方法を提供できる。
また、本発明によれば、白抜けの発生が抑制されたカラーフィルタ及びその製造方法、表示の見栄えが良好な表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の感光性転写材料及びその製造方法、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置について詳細に説明する。
＜感光性転写材料＞
本発明の感光性転写材料は、仮支持体と、前記仮支持体上に設けられた感光性樹脂層と、ヘイズ度の最大値が３．０％以下のカバーフィルムであって前記感光性樹脂層を覆うカバーフィルムと、を少なくとも有して構成される。
【００１５】
本発明の感光性転写材料は、上記構成とすることにより、転写された感光性樹脂層を現像した際、白抜けの発生を抑制できる。
ヘイズ度の最大値が３．０％を超えるカバーフィルムを有する感光性転写材料の感光性樹脂層を基板上に転写し、現像すると、白抜けが急激に増加する。
この原因は定かではないが、ヘイズ度の最大値が３．０％を超えるカバーフィルムは表面の凹凸が大きく、該カバーフィルムで覆われた感光性樹脂層の表面凹凸が大きくなることが原因の一つとして考えられる。そして、前記感光性樹脂層を基板にラミネートすると、基板と該感光性樹脂層との間にボイド等が発生し、該感光性樹脂層を現像した際、白抜けが発生するものと推定される。
【００１６】
本発明において「ヘイズ度」は、カバーフィルムの濁度（曇度）を表す量であり、全光線透過光に対する拡散透過光の割合（％）で表される量を指す。
本発明における「ヘイズ度」は、ＪＩＳ  Ｋ７１３６：２０００に準拠し、光学式ヘイズメーター（「ＨＧＭ−２ＤＰ」，スガ試験機（株）製）を用いて測定された値を指す。
本発明において「ヘイズ度の最大値」とは、長手方向を２等分する直線と幅方向を１１等分する直線との交点に位置する１０点の測定点について測定されたヘイズ度の最大値を指す。
【００１７】
以下、本発明の感光性転写材料を構成する各要素について詳細に説明する。
【００１８】
（仮支持体）
本発明の感光性転写材料は仮支持体を有する。
前記仮支持体としては、可撓性を有し、加圧、若しくは加圧及び加熱下においても著しい変形、収縮若しくは伸びを生じないことが好ましい。そのような仮支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等を挙げることができ、中でも２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
仮支持体の厚みには特に限定はないが、５〜３００μｍが好ましく、２０〜２００μｍがより好ましい。
【００１９】
（熱可塑性樹脂層）
本発明の感光性転写材料は、熱可塑性樹脂層を少なくとも１層有していてもよい。該熱可塑性樹脂層は、仮支持体と感光性樹脂層との間に設けられることが好ましい。
前記熱可塑性樹脂層に用いる成分としては、特開平５−７２７２４号公報に記載されている有機高分子物質が好ましく、ヴイカーＶｉｃａｔ法（具体的にはアメリカ材料試験法エーエステーエムデーＡＳＴＭＤ１２３５によるポリマー軟化点測定法）による軟化点が約８０℃以下の有機高分子物質より選ばれることが特に好ましい。
【００２０】
具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニル或いはそのケン化物の様なエチレン共重合体、エチレンとアクリル酸エステル或いはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニル及びそのケン化物の様な塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なスチレン共重合体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なビニルトルエン共重合体、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メタ）アクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン、共重合ナイロン、Ｎ−アルコキシメチル化ナイロン、Ｎ−ジメチルアミノ化ナイロンの様なポリアミド樹脂等の有機高分子が挙げられる。
【００２１】
熱可塑性樹脂層の厚みは６〜１００μｍが好ましく、６〜５０μｍがより好ましい。熱可塑性樹脂層の厚みが６〜１００μｍの範囲では、基板上に凹凸がある場合であっても該凹凸を完全に吸収することができる。
【００２２】
（中間層）
本発明の感光性転写材料は、複数の塗布層の塗布時、及び塗布後の保存時における成分の混合を防止する目的から、中間層を少なくとも１層有していてもよい。該中間層は、仮支持体と感光性樹脂層との間（前記熱可塑性樹脂層を有する場合には、該熱可塑性樹脂層と感光性樹脂層との間）に設けられることが好ましい。
該中間層としては、特開平５−７２７２４号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜を用いることが好ましく、この場合、露光時感度がアップし、露光機の時間負荷が減り、生産性が向上する。
該酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらの内、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。
【００２３】
中間層の厚みは、０．１〜５．０μｍが好ましく、０．５〜２．０μｍがより好ましい。０．１〜５．０μｍの範囲では酸素遮断能が低下することもなく、現像時または中間層除去時に時間がかかりすぎることもない。
【００２４】
（感光性樹脂層）
本発明の感光性転写材料は感光性樹脂層を少なくとも１層有する。
前記感光性樹脂層がブラックマトリクスなどの遮光部の形成に供される場合は、特開２００５−３８６１号公報の感光性黒色樹脂層や、特開２００４−２４００３９号公報の着色組成物からなる層と同様にして、感光性樹脂層を形成することができる。ＲＧＢなどの着色画素の形成に供される場合は、特開２００６−２３６９６号公報や、特開２００６−２７６８１８号公報の着色感光性樹脂組成物からなる層と同様にして、感光性樹脂層を形成することができ、スペーサなどの構造物を形成する場合は、特開２００６−２７６４９６号公報や、特開２００６−６４９２１号公報の感光性樹脂組成物からなる層と同様にして、感光性樹脂層を形成することができる。
【００２５】
前記感光性樹脂層の厚みは、０．４〜１５μｍが好ましく、０．７〜８μｍがより好ましい。０．４〜１５μｍの範囲であれば、十分な着色性能とパターニング性能を持たすことができる。
【００２６】
（カバーフィルム）
本発明の感光性転写材料には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために感光性樹脂層を覆うようにして、カバーフィルムが設けられる。カバーフィルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂層から容易に分離されねばならない。カバーフィルム材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。
【００２７】
前述の通り、本発明におけるカバーフィルムのヘイズ度の最大値は３．０％以下であるが、現像後の白抜け発生をより効果的に抑制する観点からは、２．５％以下が好ましく、２．０％以下がより好ましく、１．０％以下が特に好ましい。
【００２８】
ヘイズ度の良好なフィルムは、材料の選定、混練方法の適正化、材料溶融後の瀘過等を行うことにより製造可能である。
カバーフィルムのヘイズ度の最大値を３．０以下に調整する具体的な方法としては、下記（１）及び／又は（２）に示す方法が挙げられる。
（１）ポリマーを溶融した状態からフィルム化する際の条件を、急冷、低延伸とすることによりヘイズ度を調整する。
（２）ポリマーを溶融した状態からフィルム化した後、所定の厚みに延伸する際、加熱温度、延伸度をコントロールすることによりヘイズ度を調整する。
【００２９】
本発明において、カバーフィルムの厚みは１〜１００μｍであることが好ましく、５〜５０μｍであることがより好ましく、１０〜３０μｍであることが特に好ましい。この厚みが１μｍ以上であればカバーフィルムの強度が十分なため、感光性樹脂層にカバーフィルムを張り合わせる際に、カバーフィルムが破断しにくい。１００μｍ以下であるとカバーフィルムの価格が高くならず、また、カバーフィルムをラミネートする際にシワが発生しにくい。
【００３０】
このようなカバーフィルムは市販のものとして、例えば、王子製紙(株)製アルファンＭＡ−４１０、Ｅ−２００Ｃ、Ｅ−５０１、信越フィルム(株)製等のポリプロピレンフィルム、帝人(株)製ＰＳ−２５等のＰＳシリーズなどのポリエチレンテレフタレートフィルム等が挙げられるがこれに限られたものではない。また、市販のフィルムをサンドブラスト加工することにより、簡単に製造することが可能である。
【００３１】
本発明においては、カバーフィルムとしてポリエチレンフィルムなどのポリオレフィンフィルムを用いることができる。また通常カバーフィルムとして用いられるポリオレフィンフィルムは、原材料を熱溶融し、混練、押し出し、２軸延伸、キャスティングまたはインフレーション法によって製造される。
前記感光性転写材料は、例えば特開２００５−３８６１号公報の段落［００６４］〜［００６６］に記載の工程によって製造することができる。
【００３２】
＜感光性転写材料の製造方法＞
以上で説明した本発明の感光性転写材料を製造する方法としては、特に限定はないが、例えば特開２００５−３８６１号公報の段落［００６４］〜［００６６］に記載の工程によって製造することができる。
本発明の感光性転写材料の製造方法の一例としては、仮支持体上に感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて感光性樹脂層を形成する工程と、形成された前記感光性樹脂層をヘイズ度の最大値が３．０％以下であるカバーフィルムで覆う工程と、を有して構成される方法が挙げられる。
【００３３】
ここで、感光性樹脂層は２層以上形成してもよい。また、感光性樹脂層の形成前に、熱可塑性樹脂層及び／又は中間層（酸素遮断層）を塗布形成してもよい。
仮支持体上に、前記感光性樹脂層組成物、前記熱可塑性樹脂層形成用の塗布液、前記中間層形成用の塗布液を塗布する方法としては公知の塗布方法を用いることができる。例えば、スピナー、ホワイラー、ローラーコーター、カーテンコーター、ナイフコーター、ワイヤーバーコーター、エクストルーダー等の塗布機を用いて、それらの塗液を塗布し、乾燥させることにより形成できる。
【００３４】
前記カバーフィルムで前記感光性樹脂層を覆う方法としては特に限定はないが、仮支持体上の感光性樹脂層に前記カバーフィルムを重ね、圧着する方法を用いることができる。  圧着には、ラミネーター、真空ラミネーター、および、より生産性を高めることができるオートカットラミネーター等の公知のラミネーターを使用することができる。
前記圧着の条件としては、雰囲気温度２０〜４５℃、線圧１０００〜１００００Ｎ／ｍが好ましい。
前記カバーフィルムとしては、前述のヘイズの測定方法により選別された、ヘイズ度の最大値が３．０以下であるカバーフィルムを用いてもよいし、前述のヘイズ度の調製方法により作製された、最大値が３．０以下であるカバーフィルムを用いてもよい。
【００３５】
以上、本発明の感光性転写材料及びその製造方法について説明したが、感光性樹脂層を転写する基板のサイズが大きい場合（例えば、面積０．６ｍ２以上、より好ましくは面積１．０ｍ２以上の場合）に、転写時のテンションバランスをより好適に保ち、現像後の白抜けをさらに低減する観点からは、以下の形態が好ましい。
仮支持体の厚みは８５μｍ以上２００μｍ以下が好ましく、９０μｍ以上１５０μｍ以下がより好ましい。
転写層の総厚みとしては、２μｍ以上２５μｍ以下が好ましく、５μｍ以上２２μｍ以下がより好ましい。
ここで転写層とは、感光性転写材料から仮支持体とカバーフィルムを除いた層をいい、少なくとも１層の感光性樹脂層を含む。例えば、仮支持体上に、熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層、及びカバーフィルムがこの順に設けられている構成の場合には、前記熱可塑性樹脂層の厚みと、前記中間層の厚みと、前記感光性樹脂層の厚みとの総和が、転写層の総厚みとなる。
前記転写層の総厚みと、前記仮支持体の厚みと、の比〔転写層の総厚み／仮支持体の厚み〕としては、０．１０以上０．２５以下であることが好ましく、０．１０以上０．２２以下であることがより好ましく、０．１２以上０．２２以下が特に好ましい。
【００３６】
本発明の感光性転写材料は、カラーフィルタの製造に好適に用いられる。カラーフィルタの製造方法については後述する。
【００３７】
＜カラーフィルタ及びその製造方法＞
本発明のカラーフィルタは、上記本発明の感光性転写材料を少なくとも１種類用いて作製されたものである。具体的には、前記感光性転写材料を用いて基板上に構造物（パターン画像）を設けた形態が挙げられる。
前記カラーフィルタは、現像後の白抜けの発生が少ない感光性転写材料を用いて作製されるため、白抜けの発生が抑制される。
前記構造物としては、ブラックマトリクスなどの遮光部（以下、Ｋ画像ともいう）、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）等の着色画像（画素）、オーバーコート層、樹脂スペーサー、液晶配向用リブ材等が挙げられる。
本発明のカラーフィルタは、前記構造物の少なくとも１つが、本発明の感光性転写材料により形成される。
【００３８】
（基板）
本発明のカラーフィルタにおいて、前記構造物が設けられる基板としては、例えば、透明基板が用いられ、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いは、プラスチックフィルム等を挙げることができる。
また、上記基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、感光性樹脂層との密着を良好にすることができる。該カップリング処理としては、特開２０００−３９０３３号公報記載の方法が好適に用いられる。尚、特に限定されるわけではないが、基板の膜厚としては、５００〜１２００μｍが一般的に好ましく、７００〜１１００μｍが特に好ましい。
【００３９】
本発明の感光性転写材料を用いたカラーフィルタの製造方法の一例としては、本発明の感光性転写材料から前記カバーフィルムを除去するカバーフィルム除去工程と、前記カバーフィルムが除去された前記感光性転写材料の前記感光性樹脂層を基板上に転写する転写工程と、基板上に転写された前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された感光性樹脂層を現像してパターン画像を得る現像工程と、を有する製造方法が挙げられる。
【００４０】
（転写工程）
前記転写工程は、前記カバーフィルムが除去された前記感光性転写材料の前記感光性樹脂層を基板上に転写する工程である。
この際、前記感光性転写材料の感光性樹脂層を基板にラミネート後、仮支持体を除去することによって行う方法が好ましい。
感光性樹脂層の基板表面への転写（貼り合わせ）は、感光性樹脂層を基板表面に重ね、加圧、加熱することに行われる。貼り合わせには、ラミネーター、真空ラミネーター、および、より生産性を高めることができるオートカットラミネーター等の公知のラミネーターを使用することができる。
【００４１】
（露光工程、現像工程、及びその他の工程）
前記露光工程、現像工程、及びその他の工程の例としては、特開２００６−２３６９６号公報の段落番号[００３５]〜[００５１]に記載の方法を本発明においても好適に用いることができる。
【００４２】
前記露光工程は、基板上に転写された前記感光性樹脂層を露光する工程である。
具体的には、上記基板上に形成された感光性樹脂層の上方に所定のマスクを配置し、その後該マスク、熱可塑性樹脂層、及び中間層を介してマスク上方から露光する方法が挙げられる。
ここで、前記露光の光源としては、感光性樹脂層を硬化しうる波長域の光（例えば、３６５ｎｍ、４０５ｎｍなど）を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、通常５〜２００ｍＪ／ｃｍ2程度であり、好ましくは１０〜１００ｍＪ／ｃｍ2程度である。
【００４３】
前記現像工程は、露光された感光性樹脂層を現像する工程である。
前記現像は、現像液を用いて行うことができる。
前記現像液としては、特に制約はなく、特開平５−７２７２４号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。尚、現像液は感光性樹脂層が溶解型の現像挙動をするものが好ましく、例えば、ｐＫａ＝７〜１３の化合物を０．０５〜５ｍｏｌ／Ｌの濃度で含むものが好ましいが、更に水と混和性を有する有機溶剤を少量添加してもよい。
水と混和性を有する有機溶剤としては、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等を挙げることができる。該有機溶剤の濃度は０．１質量％〜３０質量％が好ましい。
また、上記現像液には、更に公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は０．０１質量％〜１０質量％が好ましい。
【００４４】
前記現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー＆スピン現像、ディプ現像等のいずれでもよい。
ここで、上記シャワー現像について説明すると、露光後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。
尚、熱可塑性樹脂層や中間層を設けた場合には、現像の前に感光性樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
現像液の液温度は２０℃〜４０℃が好ましく、また、現像液のｐＨは８〜１３が好ましい。
【００４５】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、ポスト露光工程、ポストベーク工程等、その他の工程を有していてもよい。
【００４６】
＜表示装置＞
本発明の表示装置は、前記カラーフィルタを有して構成される。
本発明の表示装置は、構成要素である構造物の欠陥が少ない前記カラーフィルタを有するため、表示の見栄えに優れる。
前記表示装置としては特に限定はなく、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、ＥＬ表示装置、ＣＲＴ表示装置などの表示装置などが挙げられる。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。
【００４７】
本発明の表示装置のうち、液晶表示装置は特に好ましい。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ（共立出版（株）１９９６年発行）」に記載されている。さらに本発明はもちろんＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−（東レリサーチセンター調査研究部門  ２００１年発行）」の４３ページに記載されている。
【００４８】
液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなどさまざまな部材から構成される。これらの部材については例えば「’９４液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場（島  健太郎  （株）シーエムシー  １９９４年発行  ）」、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）（表  良吉  （株）富士キメラ総研  ２００３年発行）」に記載されている。
【００４９】
本発明の表示装置は、ＥＣＢ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）、ＦＬＣ（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ）、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｏｒｙ  Ｂｅｎｄ）、ＳＴＮ（Ｓｕｐｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌｌｙ  Ａｌｉｇｎｅｄ）、ＨＡＮ（Ｈｙｂｒｉｄ  Ａｌｉｇｎｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＧＨ（Ｇｕｅｓｔ  Ｈｏｓｔ）のような様々な表示モードが採用できる。前述したようなカラーフィルタを用いることを特徴とし、これにより、テレビ、モニターに搭載したときに表示ムラが無く、広い色再現域と高コントラスト比を有することができ、ノートパソコン用ディスプレイやテレビモニター等の大画面の表示装置等にも好適に用いることができる。
【実施例】
【００５０】
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、以下において「部」、「％」及び「分子量」は、「質量部」、「質量％」及び「重量平均分子量」を表す。
【００５１】
＜カバーフィルムの選定＞
複数のカバーフィルム（王子製紙(株)製アルファンＥ−５０１）のそれぞれについて、長手方向を２等分する直線と幅方向を１１等分する直線との交点に位置する１０点の測定点についてヘイズ度を測定した。
ここで、各測定点におけるヘイズ度は、ＪＩＳ  Ｋ７１３６：２０００に準拠し、光学式ヘイズメーター（「ＨＧＭ−２ＤＰ」，スガ試験機（株）製）を用いて測定した。
次に、ヘイズ度を測定した上記複数のカバーフィルムの中から、下記カバーフィルムＡ〜Ｄを選定した。
【００５２】
−カバーフィルムＡ−
ヘイズ度の最大値が０．５％のカバーフィルムである。
−カバーフィルムＢ−
ヘイズ度の最大値が１．５％のカバーフィルムである。
−カバーフィルムＣ−
ヘイズ度の最大値が２．９％のカバーフィルムである。
−カバーフィルムＤ−
ヘイズ度の最大値が３．２％のカバーフィルムである。
【００５３】
〔参考例１〕
＜感光性樹脂転写材料の作製＞
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記表１に示す処方Ｈ１からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方Ｐ１から成る中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、下記着色感光性樹脂組成物Ｋ１を塗布、乾燥させ、該仮支持体の上に乾燥膜厚が１４．６μｍの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が１．５μｍの中間層と、乾燥膜厚が２．３μｍの感光性樹脂層と、を設け、該感光性樹脂層上にカバーフィルムＡを圧着した。
前記カバーフィルムＡの圧着は、ラミネーションロールを用い、２５℃の雰囲気下で５０００Ｎ/ｍの条件にて行った。
【００５４】
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層（酸素遮断膜）とブラック（Ｋ）の感光性樹脂層とカバーフィルムとが一体となった感光性樹脂転写材料を作製し、サンプル名を感光性樹脂転写材料Ｋ１とした。
【００５５】
（熱可塑性樹脂層用塗布液の処方Ｈ１）
【００５６】
【表１】
0005147362.tif 000002
【００５７】
表１中、可塑剤１としては、新中村化学工業（株）製、商品名：２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン）を用いた。その他の各成分の組成は以下の通りである。
【００５８】
〜ポリマー１の組成〜
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）  ＝５５／１１．７／４．５／２８．８、分子量＝９万、Ｔｇ≒７０℃）                            ・・・  ２１部
・メチルエチルケトン                                          ・・・  ２６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテル                      ・・・  １３部
・メタノール                                                  ・・・  ４０部
【００５９】
〜ポリマー２の組成〜
・スチレン／アクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）＝６３／３７、分子量＝１万、Ｔｇ≒１００℃）                                            ・・・  ４２部
・メチルエチルケトン                                      ・・・  ４９．５部
・プロピレングリコールモノメチルエーテル                      ・・・８．５部
【００６０】
〜界面活性剤１の組成〜
・下記構造物１                                                ・・・  ３０部
・メチルエチルケトン                                          ・・・  ７０部
【００６１】
【化１】
0005147362.tif 000003
【００６２】
（中間層用塗布液の処方Ｐ１）
・ＰＶＡ２０５（ポリビニルアルコール、（株）クラレ製、鹸化度＝８８％、重合度５５０）                                                      ・・・    ３２．２部
・ポリビニルピロリドン（アイエスピー・ジャパン（株）製、Ｋ−３０）
・・・    １４．９部
・蒸留水                                                  ・・・      ５２４部
・メタノール                                              ・・・      ４２９部
【００６３】
（着色感光性樹脂組成物Ｋ１の調製）
着色感光性樹脂組成物Ｋ１は、まず表２に記載の量のＫ顔料分散物１、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合し、１５０ｒｐｍで１０分間攪拌し、次いで、表２に記載の量のメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、バインダー１、ＤＰＨＡ液、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、及びフェノチアジンをはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ｒｐｍで３０分間攪拌し、更に、表２に記載の量の前記界面活性剤１をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で添加して３０ｒｐｍで５分間攪拌し、ナイロンメッシュ＃２００で濾過することによって得た。
【００６４】
【表２】
0005147362.tif 000004
【００６５】
尚、表２に記載の感光性樹脂組成物Ｋ１の内、Ｋ顔料分散物１は、東京インキ（株）製の商品名「ＦＤＫ−００１」を用いた。該Ｋ顔料分散物１の組成は下記のとおりである。
【００６６】
〜Ｋ顔料分散物１の組成〜
・カーボンブラック（商品名：Ｎｉｐｅｘ３５、デグサ  ジャパン（株）製）
・・・  １３．１部
・分散剤（下記化合物１）                                    ・・・  ０．６５部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合物、分子量３．７万）                                      ・・・  ６．７２部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ・・・  ７９．５３部
【００６７】
【化２】
0005147362.tif 000005
【００６８】
前記表２中のその他の成分の組成は下記の通りである。
〜バインダー１の組成〜
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／メチルメタクリレート＝３６／２２／４２モル比のランダム共重合物、分子量３．８万）              ・・・  ２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート              ・・・  ７３部
【００６９】
〜ＤＰＨＡ液の組成〜
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（重合禁止剤ＭＥＨＱ  ５００ｐｐｍ含有、日本化薬（株）製、商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ）          ・・・  ７６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート              ・・・  ２４部
【００７０】
＜ブラックマトリクス付き基板の作製＞
３００ｍｍ×４００ｍｍ（０．１２ｍ２）の無アルカリガラス基板に、２５℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより２０秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン０．３質量％水溶液、商品名：ＫＢＭ６０３、信越化学工業（株）製）をシャワーにより２０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で、１００℃２分間加熱して次のラミネーターに送った。
前記感光性樹脂転写材料Ｋ１のカバーフィルムを剥離後、ラミネーター（（株）日立インダストリイズ製（ＬａｍｉｃＩＩ型））を用い、１２０℃に加熱した前記基板に、上ゴムローラー温度９５℃、下ゴムローラー温度１２０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度２．５ｍ／分でラミネートした。
仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング（株）製）で、基板とマスクとの距離を１００μｍに設定し、露光量９５ｍＪ／ｃｍ２でパターン露光した。
【００７１】
次に、トリエタノールアミン系現像液（商品名：Ｔ−ＰＤ２、富士フイルム（株）製を、純水で１２倍（Ｔ−ＰＤ２を１質量部と純水を１１質量部の割合で混合）に希釈した液）を３０℃８０秒、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と中間層を除去した。引き続き、この基板上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより１０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。
引き続き炭酸Ｎａ系現像液（０．３８モル／リットルの炭酸水素ナトリウム、０．４７モル／リットルの炭酸ナトリウム、５質量％のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名：Ｔ−ＣＤ１、富士フイルム（株）製を純水で５倍に希釈した液）を用い、３２℃６０秒（コーン型ノズル圧力０．１５ＭＰａ）でシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング画像を得た。
【００７２】
引き続き洗浄剤（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名：Ｔ−ＳＤ３  富士フイルム（株）製）を純水で１０倍に希釈して用い、３５℃５０秒、コーン型ノズル圧力０．０２ＭＰａでシャワーで吹きかけ、更に、ナイロン毛を有す回転ブラシを用い、形成された画像を擦って残渣除去を行った。
引き続き、旭サナック（株）製高圧ジェット水洗装置で１０．０ＭＰａで水洗し、ブラックマトリクス（ＢＭ）パターンを得た。
その後、該基板に対して両面から超高圧水銀灯で２０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量でポスト露光後、２４０℃、１００分間熱処理した。
これによりブラックマトリクス付き基板を得た。
【００７３】
＜評価＞
上記ブラックマトリクス付き基板について、下記評価を行った。評価結果を表３に示す。
〜白抜けの評価〜
ブラックマトリクスを光学顕微鏡（倍率２００倍）で観察し、単位面積あたりの現像後白抜けの個数を測定した。８．０個／ｃｍ２以下であれば実用上許容範囲内である。
【００７４】
〜ラミネート時の気泡の評価〜
感光性樹脂転写材料を基板にラミネートした後であって仮支持体の剥離前に、１５０００ｃｄ／ｃｍ２の照度を持つ面状光源で透過面検を実施した。
基板を３０ｍｍ×４０ｍｍ×１００マスの仮想領域に分け、気泡の入り方を次のようにランク分けして判断した。
〜判断基準〜
Ａ・・・気泡面積  ５／１００以下
Ｂ・・・気泡面積  ６／１００〜２０／１００
Ｃ・・・気泡面積  ２１／１００〜４０／１００
Ｄ・・・気泡面積  ４１／１００〜６０／１００
Ｅ・・・気泡面積  ６１/１００以上
【００７５】
〔参考例２〜３、比較例１〕
参考例１において、カバーフィルムＡを、カバーフィルムＢ、カバーフィルムＣ、又はカバーフィルムＤに変更した以外は、参考例１と同様にして感光性樹脂転写材料を作製し、参考例１と同様にしてブラックマトリクス（ＢＭ）パターンを形成し、ブラックマトリクス付き基板を得た。得られたブラックマトリクスについて参考例１と同様の評価を行った。評価結果を表３に示す。
【００７６】
〔参考例４〕
参考例１において、熱可塑性樹脂層を設けなかった以外は参考例１と同様にして感光性樹脂転写材料を作製し、参考例１と同様にしてブラックマトリクス（ＢＭ）パターンを形成し、ブラックマトリクス付き基板を得た。得られたブラックマトリクスについて参考例１と同様の評価を行った。評価結果を表３に示す。
【００７７】
【表３】
0005147362.tif 000006
【００７８】
表３に示すように、ヘイズ度が３．０％以下のカバーフィルムを用いた参考例１〜３では、白抜けの個数が大幅に低減した。また、これら参考例１〜３では、ラミネート時の気泡も低減した。また、熱可塑性樹脂層を設けなかった参考例４においても良好な結果が得られた。
【００７９】
〔参考例５〕
＜カラーフィルタの作製（感光性樹脂転写材料のラミネートによる作製）＞
（感光性樹脂転写材料Ｒ１、Ｇ１、Ｂ１、Ｓ１の作製）
参考例１の感光性樹脂転写材料Ｋ１の作製において、熱可塑性樹脂層用塗布液の処方Ｈ１を下記表４に記載の処方Ｈ２に変更し、着色感光性樹脂組成物Ｋ１を、下記表５に記載の組成よりなる着色感光性樹脂組成物Ｒ１、Ｇ１、Ｂ１、Ｓ１に変更した以外は参考例１と同様の方法によって、感光性樹脂転写材料Ｒ１、Ｇ１、Ｂ１、Ｓ１を作製した。
【００８０】
【表４】
0005147362.tif 000007
【００８１】
【表５】
0005147362.tif 000008
【００８２】
表５中、Ｇ顔料分散物１は、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製の「商品名：ＧＴ−２」を用いた。Ｙ顔料分散物１は、御国色素（株）製の「商品名：ＣＦエローＥＸ３３９３」を用いた。Ｂ顔料分散物１は、御国色素（株）製の「商品名：ＣＦブルーＥＸ３３５７」を用いた。Ｂ顔料分散物２は、御国色素（株）製の「商品名：ＣＦブルーＥＸ３３８７」を用いた。添加剤１は、燐酸エステル系特殊活性剤（楠本化成（株）製、商品名：ＨＩＰＬＡＡＤ  ＥＤ１５２）を用いた。ソルスパース２００００は、日本ルーブリゾール社製の分散剤である。
その他の各成分の詳細な組成は下記の通りである。
【００８３】
〜Ｒ顔料分散物１の組成〜
・Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４（商品名：Ｉｒｇａｐｈｏｒ  Ｒｅｄ  Ｂ−ＣＦ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）                              ・・・    ８部
・分散剤（前記化合物１）                                    ・・・  ０．８部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合物、分子量３万）                                            ・・・    ８部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ・・・  ８３部
【００８４】
〜Ｒ顔料分散物２の組成〜
・Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７（商品名：Ｃｒｏｍｏｐｈｔａｌ  Ｒｅｄ  Ａ２Ｂ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）                            ・・・  １８部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合物、分子量３万）                                            ・・・  １２部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ・・・  ７０部
【００８５】
〜バインダー２の組成〜
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／メチルメタクリレート＝３８／２５／３７モル比のランダム共重合物、分子量４万）                ・・・  ２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ・・・  ７３部
【００８６】
〜バインダー３の組成〜
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／＝７８／２２モル比のランダム共重合物、分子量３．８万）                                      ・・・  ２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ・・・  ７３部
【００８７】
〜バインダー４の組成〜
・ポリマー（メタクリル酸／アリルメタクリレート＝２０／８０モル比のランダム共重合物、分子量３．６万）                                        ・・・  １００部
【００８８】
コロイダルシリカ分散物は、日産化学工業（株）製の商品名「ＭＩＢＫｓｔ」を用いた。組成は下記の通りである。
〜コロイダルシリカ分散物の組成〜
・コロイダルシリカ                                            ・・・  ３０部
・メチルイソブチルケトン                                      ・・・  ７０部
【００８９】
（レッド（Ｒ）画素の形成）
参考例１で得られたブラックマトリクス付き基板をブラシで洗浄し、更に純水シャワー洗浄し、その後、シランカップリング剤は使用せずに基板予備加熱装置に送った。更に、該基板予備加熱装置で１００℃２分間加熱し、前述のラミネーターに送った。
ブラシによる洗浄の条件及び純水シャワー洗浄の条件は、参考例１における無アルカリガラス基板に対する条件と同様である。
次に、前記感光性樹脂転写材料Ｒ１を用い、前記参考例１における感光性樹脂転写材料Ｋ１と同様の工程で、前記加熱後のブラックマトリクス付き基板のブラックマトリクス形成面側に、熱処理済みのレッド（Ｒ）画素を形成し、「ブラックマトリクス及びＲ画素付き基板」を得た。但し、露光量は４０ｍＪ／ｃｍ２、炭酸Ｎａ系現像液による現像は３５℃３５秒とした。
次に、得られた「ブラックマトリクス及びＲ画素付き基板」を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送った。更に、該基板予備加熱装置で１００℃２分間加熱し、ラミネーターに送った。
【００９０】
（グリーン（Ｇ）画素の形成）
次に、前記加熱後の「ブラックマトリクス及びＲ画素付き基板」上に、前記感光性樹脂転写材料Ｇ１を用い、前記感光性樹脂転写材料Ｒ１と同様の工程で、前記基板のＲ画素形成面側に、熱処理済みのグリーン（Ｇ）の画素を形成し、「ブラックマトリクス、Ｒ画素、及びＧ画素付き基板」を得た。但し、露光量は４０ｍＪ／ｃｍ２、炭酸Ｎａ系現像液による現像は３４℃４５秒とした。
次に、得られた「ブラックマトリクス、Ｒ画素、及びＧ画素付き基板」を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送った。更に、該基板予備加熱装置で１００℃２分間加熱し、ラミネーターに送った。
【００９１】
（ブルー（Ｂ）画素の形成）
次に、前記加熱後の「ブラックマトリクス、Ｒ画素、及びＧ画素付き基板」上に、前記感光性樹脂転写材料Ｂ１を用い、前記感光性樹脂転写材料Ｒ１と同様の工程で、前記基板のＧ画素形成面側に、熱処理済みのブルー（Ｂ）の画素を形成し、「ブラックマトリクス、Ｒ画素、Ｇ画素、及びＢ画素付き基板」得た。但し露光量は３０ｍＪ／ｃｍ２、炭酸Ｎａ系現像液による現像は３６℃４０秒とした。
【００９２】
得られた「ブラックマトリクス、Ｒ画素、Ｇ画素、及びＢ画素付き基板」を２４０℃で５０分ベークして、目的のカラーフィルタを得た。
【００９３】
上記より得たカラーフィルタ基板のＲ画素、Ｇ画素、及びＢ画素並びにＫ画像（ブラックマトリクス）の上に更に、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）の透明電極をスパッタリングにより形成した。次いで、前記感光性樹脂転写材料Ｓ１を用い、前記感光性樹脂転写材料Ｂ１と同様の工程で、前記で形成したＩＴＯ膜上の隔壁（ブラックマトリックス）上部に相当する部分に熱処理済みのスペーサーを形成し、スペーサー付きカラーフィルタ基板を得た。
【００９４】
＜液晶表示装置の作製＞
別途、対向基板としてガラス基板を用意し、スペーサー付きカラーフィルタ基板の透明電極上及び対向基板上にそれぞれＰＶＡモード用にパターニングを施し、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
その後、カラーフィルタの画素群を取り囲むように周囲に設けられたブラックマトリクス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、ＰＶＡモード用液晶を滴下し、対向基板と貼り合わせた後、貼り合わされた基板をＵＶ照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして得た液晶セルの両面に、（株）サンリッツ製の偏光板ＨＬＣ２−２５１８を貼り付けた。次いで、赤色（Ｒ）ＬＥＤとしてＦＲ１１１２Ｈ（スタンレー電気（株）製のチップ型ＬＥＤ）、緑色（Ｇ）ＬＥＤとしてＤＧ１１１２Ｈ（スタンレー電気（株）製のチップ型ＬＥＤ）、青色（Ｂ）ＬＥＤとしてＤＢ１１１２Ｈ（スタンレー電気（株）製のチップ型ＬＥＤ）を用いてサイドライト方式のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置を作製した。
【００９５】
＜評価＞
（表示の見栄え）
前記で得られた液晶表示装置の各々について、表示の見栄えの評価として、ブラックのテスト信号を入力させたときのブラック表示を目視にて観察し、輝点欠陥の個数を下記評価基準にしたがって評価した。Ａ、Ｂ、又はＣであれば実用上許容範囲内である。
〜評価基準〜
Ａ：輝点欠陥は２個／ｍ２未満であった。
Ｂ：輝点欠陥は２個／ｍ２以上４個／ｍ２未満であった。
Ｃ：輝点欠陥は４個／ｍ２以上６個／ｍ２未満であった。
Ｄ：輝点欠陥は６個／ｍ２以上８個／ｍ２未満であった。
Ｅ：輝点欠陥は８個／ｍ２以上であった。
【００９６】
〔参考例６〜７、比較例２〕
参考例５において、参考例１で得られたブラックマトリクス付き基板を、参考例２〜３、比較例１で得られたブラックマトリクス付き基板に変更した以外は参考例５と同様にしてカラーフィルタ及び液晶表示装置を作製し、参考例５と同様にして評価を行った。評価結果を表６に示す。
【００９７】
【表６】
0005147362.tif 000009
【００９８】
表６に示すように、ヘイズ度の最大値が３．０％以下であるカバーフィルムを有する感光性転写材料を用いて作製された参考例５〜７の液晶表示装置では、表示の見栄えは、良好又は実用上許容範囲内であった。
【００９９】
〔実施例８〕
＜大型基板を用いた画像付き基板の作製＞
参考例１のブラックマトリクス付き基板の作製において、無アルカリガラス基板のサイズを３００ｍｍ×４００ｍｍ（０．１２ｍ２）から１１００ｍｍ×１３００ｍｍ（１．４３ｍ２）に変更し、感光性樹脂転写材料Ｋ１の仮支持体の厚みを１００μｍに変更した以外は参考例１と同様にしてブラックマトリクス付き基板（画像付き基板）を作製した。
【０１００】
＜評価＞
（白抜けの評価）
参考例１における白抜けの評価と同様の評価を行った。
形成された画像（ブラックマトリクス）を光学顕微鏡（倍率２００倍）で観察し、単位面積あたりの白抜けの個数を測定し、下記判断基準に従って評価した。Ａ、Ｂ、及びＣであれば実用上許容範囲内である。
〜判断基準〜
Ａ：現像後の白抜けが２個／ｃｍ２未満であった。
Ｂ：現像後の白抜けが２個／ｃｍ２以上５個／ｃｍ２未満であった。
Ｃ：現像後の白抜けが５個／ｃｍ２以上８個／ｃｍ２未満であった。
Ｄ：現像後の白抜けが８個／ｃｍ２以上１１個／ｃｍ２未満であった。
Ｅ：現像後の白抜けが１１個／ｃｍ２以上であった。
【０１０１】
（ロール汚れ）
前記ラミネーターにおいて８００枚処理した後の転写ロールの汚れを目視にて評価した。汚れが全く無い場合を「Ａ」、汚れがあるが実用上許容範囲内である場合を「Ｂ」、汚れがひどく実用上許容範囲を超える場合を「Ｃ」とした。
【０１０２】
（生産性）
白抜け及びロール汚れの観点より、生産性が特に優れる条件を「Ａ」、生産性が「Ａ」よりは劣るが実用上許容範囲内である場合を「Ｂ」、生産性が悪く実用上の許容範囲を超える場合を「Ｃ」と判断した。
〜判断基準〜
Ａ：白抜け及びロール汚れのうち、一方がＡランクで他方がＢランク以上のもの
Ｂ：白抜け及びロール汚れのうち、一方がＢランク以上で他方がＣランク以上であって、生産性が上記Ａランクではないもの
Ｃ：上記以外
なお、上記において、「Ｃランク以上」とはＡ、Ｂ、又はＣを表し、「Ｂランク以上」とはＡ又はＢを表す。
【０１０３】
〔実施例９〜１４、参考例１５〜１７〕
実施例８において、仮支持体の厚み、及び転写層（熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層）の厚みを下記表７のように変更した以外は実施例８と同様にして画像付き基板を作製し、実施例８と同様の評価を行った。
【０１０４】
〔比較例２〕
実施例８において、カバーフィルムＡをカバーフィルムＤに変更した以外は実施例８と同様にして画像付き基板を作製し、実施例８と同様の評価を行った。
以上、実施例８〜１４、参考例１５〜１７、比較例２の評価結果を表７に示す。
【０１０５】
【表７】
0005147362.tif 000010
【０１０６】
表７に示すように、ヘイズ度の最大値が３．０％以下であるカバーフィルムを有する感光性転写材料を用いて作製された実施例８〜１４及び参考例１５〜１７の画像付き基板では、転写白抜けはいずれも良好又は実用上許容範囲内であった。中でも、仮支持体の厚みが８５μｍ以上２００μｍ以下である感光性転写材料を用いた実施例８〜１４では、白抜けは特に少なく、特に良好な結果が得られた。