(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造の際に使用される樹脂製溶接容器において、
コーナー部が夫々カットされた樹脂製底板と、この樹脂製底板に突合せ溶接される断面形状がＬ字型の複数の樹脂製側板と、前記底板及び側板に夫々突合せ溶接される樹脂製コーナー部材を具備し、
前記コーナー部材は、断面形状がＬ字型の側壁部とこの側壁部のＬ字部分に当接するように位置する底部からなり、かつ側壁部と底部は一体成形され、
前記樹脂製底板のコーナー部は内側に向いて３０Ｒ以上に曲面状にカットされ、且つこの底板のコーナー部に溶接されるコーナー部材の底部は、コーナー部の曲面に沿うように外側に向いて曲面状に形成されていることを特徴とする樹脂製溶接容器。
【請求項２】
前記樹脂は四フッ化エチレン樹脂であり、底板と側板同士、底板と角部材、及び側板と角部材同士の接合は四フッ化エチレン−フルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂により行われることを特徴とする請求項１記載の樹脂製溶接容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に半導体用ウェハ等を処理する際に使用される樹脂製溶接容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知の如く、半導体ウェハ等を処理する際には、薬液等を入れる目的で樹脂（例えば、四フッ化エチレン樹脂，ＰＴＦＥ）製の角形容器が用いられている。こうした角形容器は、一般に図３（Ａ），（Ｂ）に示すような構成となっている。
【０００３】
角形容器１は、ＰＴＦＥ製の底板２と、互いに対向するＰＴＦＥ製の側板３，３と、互いに対向するＰＴＦＥ製の側板４，４とから構成されている。ここで、底板２と側板３，４同士、及び隣り合う側板３，４同士は溶接により固定されている。なお、図中の符番５は溶接部を示す。  
従来、底板や４枚の板状部材を用いた樹脂製の角形容器としては、例えば特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開昭６２−１２２９８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、図３のような角形容器１においては、底板２と側板３，４が交差するコーナー部では、高い溶接技術が要求される。また、ＰＴＦＥ製の底板や側板を用いた場合、溶接強度が出にくいので、容器が大型化しかつ温度が高くなると、底板２や側板３，４の材質であるＰＴＦＥの延び、変形により容器の四隅から液漏れが発生し易かった。
【０００５】
本発明はこうした事情を考慮したもので、あまり高い溶接技術を必要としないとともに、液漏れを回避しえる樹脂製溶接容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の樹脂製溶接容器は、半導体製造の際に使用される樹脂製溶接容器において、コーナー部が夫々カットされた樹脂製底板と、この樹脂製底板に突合せ溶接される断面形状がＬ字型の複数の樹脂製側板と、前記底板及び側板に夫々突合せ溶接される樹脂製コーナー部材を具備し、前記コーナー部材は、断面形状がＬ字型の側壁部とこの側壁部のＬ字部分に当接するように位置する底部からなり、かつ側壁部と底部は一体成形され、前記樹脂製底板のコーナー部は内側に向いて３０Ｒ以上に曲面状にカットされ、且つこの底板のコーナー部に溶接されるコーナー部材の底部は、コーナー部の曲面に沿うように外側に向いて曲面状に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、あまり高い溶接技術を必要としないとともに、液漏れを回避しえる樹脂製溶接容器が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明について更に詳しく説明する。  
本発明において、樹脂製底板や樹脂製側板，樹脂製角部材の材料である樹脂としては、耐薬品性，耐熱性等に優れた四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）が挙げられる。  
本発明において、前記樹脂は四フッ化エチレン樹脂であり、底板と側板同士、底板と角部材、及び側板と角部材同士の接合は四フッ化エチレン−フルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂（ＰＦＡ）により行われることが好ましい。
【０００９】
また、本発明において、樹脂製底板のコーナー部は内側に向いて曲面状にカットされ、且つこの底板のコーナー部に溶接されるコーナー部材の底部は、コーナー部の曲面に沿うように外側に向いて曲面状に形成されていることが好ましい。こうした構成にすることにより、樹脂製底板のコーナー部とコーナー部材の底部同士を効率よく溶接することができる。なお、コーナー部材の底部の曲面形状は、円形、楕円形等種々の曲面形状にすることができる。
【００１０】
次に、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。  
（実施例）  
図１（Ａ），（Ｂ）及び図２（Ａ），（Ｂ）を参照する。ここで、図１（Ａ）は本実施例に係る溶接容器の平面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＸ−Ｘ線に沿う断面図、図２（Ａ）は溶接容器の一構成であるコーナー部材の斜視図、図２（Ｂ）は溶接容器の一構成である側板の斜視図を示す。
【００１１】
図中の符番１１はＰＴＦＥ製の溶接容器である。この溶接容器１１は、横長で上部が開口した箱形構造をしている。溶接容器１１は、ＰＴＦＥ製の底板１２と、図２（Ｂ）に示すようにＰＴＦＥ製の断面形状がＬ字型の側板１３ａ，１３ｂ(側板１３ａは便宜上図示せず)と、図２（Ａ）に示すようにＰＴＦＥ製の４つのコーナー部材１４から構成されている。底板１２の４つのコーナー部は、内側に例えば３０Ｒに湾曲するように曲面状にカットされている。側板１３ａは側板１３ｂより長く形成されているが、断面形状がＬ字型である点は同じであり、ともに一体成形により形成される。コーナー部材１４は、溶接容器１１のコーナー部に配置される。コーナー部材１４は、図２（Ａ）に示すように、断面形状がＬ字型の側壁部１４ａとこの側壁部１４ａのＬ字部分に位置する底部１４ｂからなり、かつ側壁部１４ａと底部１４ｂは一体成形されている。ここで、底部１４ｂは、底板１２のコーナー部の曲面に沿うように外側に向いて３０Ｒに曲面状に形成されている。
【００１２】
４つのコーナー部材１４を底板１２のコーナー部に配置した状態で、底板１２と側板１３ａ，１３ｂ同士、底板１２とコーナー部材１４、及び側板１３ａ，１３ｂとコーナー部材１４同士は、ＰＦＡ樹脂を用いた突合せ溶接により接合されている。なお、図１中の符番１５はＰＦＡによる溶接部を示す。また、符番１６は溶接ラインを示す。コーナー部材１４の底部１４ｂと底板１２と接する溶接ライン１６は、溶接ビードが１本で通るように３０Ｒに曲面状に形成されている。コーナー部材１４の側壁部１４ａと底部１４ｂとの付け根部分１７は、３Ｒ〜５Ｒ程度に曲面状に形成されている。また、コーナー部材１４の隣り合う側壁部１４ａの角部１８は１０Ｒ程度に湾曲している。ここで、側板１３ａ，１３ｂ及びコーナー部材１４は、冷間等方圧加圧法、切削加工、絞り加工等による一体成形によって一体物として形成される。
【００１３】
上記実施例の溶接容器は、ＰＴＦＥ製底板１２と、この底板１２に突合せ溶接される断面形状がＬ字型の樹脂製側板１３ａ，１３ｂと、底板１２及び側板１３ａ，１３ｂに夫々突合せ溶接される，４つのＰＴＦＥ製コーナー部材１４からなり、底板１２と側板１３ａ，１３ｂ同士、底板１２とコーナー部材１４、及び側板１３ａ，１３ｂとコーナー部材１４同士が突合せ溶接により接合された構成となっている。
【００１４】
こうした構成の溶接容器によれば、一体成形により形成された断面形状がＬ字型の側板１３ａ，１３ｂやコーナー部材１４を用いて底板１２と溶接するので、互いの構成部材同士の溶接ラインが従来の角部の場合と比べて内側寄りになり、従来のように容器のコーナー部に溶接ラインが集中することがないのでコーナー部の強度を向上することができる。従って、あまり高い溶接技術を必要とすることなく、底板１２、側板１３ａ，１３ｂ及びコーナー部材１４同士を溶接することができるとともに、液漏れがしにくい溶接容器１１が得られる。
【００１５】
なお、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組合せにより種々の発明を形成できる。例えば、コーナー部材の底部の曲面部の曲面（Ｒ）度合等は適宜な形状にすることが可能である。但し、曲面部の曲面度合は、溶接ビードが１本で通るように大きいＲ（３０Ｒ以上）をつけることが好ましい。また、コーナー部材や側板の材質と溶接ための樹脂材質も、上記実施例で述べた材質に限定されない。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。更には、樹脂製溶接容器が大きくなる場合においては、底板，各側板が夫々複数の底板片や側板片を溶接により接続して構成する場合があり得る。  
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。 
［１］半導体製造の際に使用される樹脂製溶接容器において、コーナー部が夫々カットされた樹脂製底板と、この樹脂製底板に突合せ溶接される断面形状がＬ字型の複数の樹脂製側板と、前記底板及び側板に夫々突合せ溶接される樹脂製コーナー部材を具備し、前記コーナー部材は、断面形状がＬ字型の側壁部とこの側壁部のＬ字部分に当接するように位置する底部からなり、かつ側壁部と底部は一体成形されていることを特徴とする樹脂製溶接容器。
［２］前記樹脂は四フッ化エチレン樹脂であり、底板と側板同士、底板と角部材、及び側板と角部材同士の接合は四フッ化エチレン−フルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂により行われることを特徴とする［１］記載の樹脂製溶接容器。
［３］前記樹脂製底板のコーナー部は内側に向いて曲面状にカットされ、且つこの底板のコーナー部に溶接されるコーナー部材の底部は、コーナー部の曲面に沿うように外側に向いて曲面状に形成されていることを特徴とする［１］若しくは［２］記載の樹脂製溶接容器。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の一実施例に係る樹脂製溶接容器の説明図である。
【図２】図２は、図１の樹脂製溶接容器の一構成である、樹脂製側板及び樹脂製角部材の概略的な斜視図である。
【図３】図３は、従来の樹脂製溶接容器の説明図である。
【符号の説明】
【００１７】
１１…溶接容器、１２…底板、１３ａ，１３ｂ…側板、１４…コーナー部材、１４ａ…側壁部、１４ｂ…底部、１５…溶接部、１６…溶接ライン、１７…付け根部分、１８…角部。
【図１】
0005122260.tif 000002
【図２】
0005122260.tif 000003
【図３】
0005122260.tif 000004