(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴とするヘッド検査装置。
【請求項２】
前記状態情報生成手段は、前記吐出状態情報として、前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきに係るばらつき情報を生成し、
前記状態判定手段は、前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記ばらつき情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴とする請求項１に記載のヘッド検査装置。
【請求項３】
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段と、
前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記吐出状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴とするヘッド検査装置。
【請求項４】
前記状態情報生成手段は、前記吐出状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきに係るばらつき情報を生成し、
前記基準記憶手段は、前記基準状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきの許容範囲に係るばらつき基準情報を記憶し、
前記状態判定手段は、前記基準記憶手段に記憶されている前記ばらつき基準情報と、前記状態情報生成手段により生成された前記ばらつき情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴とする請求項３に記載のヘッド検査装置。
【請求項５】
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段を備えるヘッド検査装置を用いて、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する処理と、
撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する処理と、
生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する処理と、
を行うことを特徴とするヘッド検査方法。
【請求項６】
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段とを備えるヘッド検査装置を用いて、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する処理と、
撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する処理と、
生成された前記吐出状態情報と前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する処理と、
を行うことを特徴とするヘッド検査方法。
【請求項７】
ノズルから液滴を吐出するヘッドを有し、前記ノズルから吐出された液滴を基材に着弾させて、表示装置を構成する表示装置構成部材を作成する作成手段と、
前記ヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
ノズルから液滴を吐出するヘッドを有し、前記ノズルから吐出された液滴を基材に着弾させて、表示装置を構成する表示装置構成部材を作成する作成手段と、
前記ヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段と、
前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記吐出状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドのノズルからの液滴吐出を検査するヘッド検査装置、ヘッド検査方法及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットプリンタなどに搭載され、インクジェット方式でノズルから液滴を吐出するヘッドを検査する方法が知られている。具体的には、検査装置のヘッド取付部に対して取り付けられたヘッドのノズルからの液滴を吐出して、その吐出速度、吐出量、吐出角度等を検査する（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−１５１９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、ヘッドの検査を行う時に、ヘッド取付部に対するヘッドの取り付け方が悪いと、ヘッドの移動時に振動して同一ノズルから吐出される液滴の吐出角度にバラツキが発生し、結果的に正確な検査をできないという問題があった。
特に、ノズル数が多い長尺のヘッドの場合、検査に時間がかかるため、検査時間の短縮を図る上でヘッドの移動速度を速くすると、振動が発生し易くなって検査結果への取付けの影響が大きくなるという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ヘッドの振動の影響、特に、ヘッドの移動により生じる振動の影響を考慮してヘッド検査を適正に行うことができるヘッド検査装置、ヘッド検査方法及び液滴吐出装置の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以上の課題を解決するために、請求項１に記載の発明のヘッド検査装置は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴としている。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のヘッド検査装置において、
前記状態情報生成手段は、前記吐出状態情報として、前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきに係るばらつき情報を生成し、
前記状態判定手段は、前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記ばらつき情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴としている。
【０００７】
請求項３に記載の発明のヘッド検査装置は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段と、
前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記吐出状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴としている。
【０００８】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のヘッド検査装置において、
前記状態情報生成手段は、前記吐出状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきに係るばらつき情報を生成し、
前記基準記憶手段は、前記基準状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきの許容範囲に係るばらつき基準情報を記憶し、
前記状態判定手段は、前記基準記憶手段に記憶されている前記ばらつき基準情報と、前記状態情報生成手段により生成された前記ばらつき情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴としている。
【０００９】
請求項５に記載の発明のヘッド検査方法は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段を備えるヘッド検査装置を用いて、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する処理と、
撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する処理と、
生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する処理と、
を行うことを特徴としている。
【００１０】
請求項６に記載の発明のヘッド検査方法は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段とを備えるヘッド検査装置を用いて、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する処理と、
撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する処理と、
生成された前記吐出状態情報と前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する処理と、
を行うことを特徴としている。
【００１１】
請求項７に記載の発明の液滴吐出装置は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドを有し、前記ノズルから吐出された液滴を基材に着弾させて、表示装置を構成する表示装置構成部材を作成する作成手段と、
前記ヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴としている。
【００１２】
請求項８に記載の発明の液滴吐出装置は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドを有し、前記ノズルから吐出された液滴を基材に着弾させて、表示装置を構成する表示装置構成部材を作成する作成手段と、
前記ヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段と、
前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記吐出状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ヘッド移動手段に取り付けられたヘッドの振動の影響、特に、ヘッドの移動により生じる振動の影響を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図１〜図１１を参照して説明する。
【００１６】
［実施形態１］
図１は、本発明を適用した実施形態１のヘッド検査装置１００の概略構成を示すブロック図であり、図２（ａ）及び図２（ｂ）は、ヘッド検査装置１００に備わる撮像部３と発光部４の配置を模式的に示す図である。また、図３は、ヘッド検査装置１００の制御部７の構成を示す図である。
また、以下の説明では、インクジェットヘッドＳのノズル（図示略）の並び方向を左右方向とし、左右方向に直交する一方向を前後方向とし、前後方向及び左右方向の双方に直交する方向を上下方向とする。
【００１７】
実施形態１のヘッド検査装置１００は、検査対象となるインクジェットヘッドＳが取り付けられる搬送ステージ１と、インクジェットヘッドＳを駆動するヘッド駆動部２と、インクジェットヘッドＳのノズルから吐出されたインク滴（液滴）を撮像する撮像部３と、撮像部３によるインク滴の撮像の際に発光する発光部４と、撮像部３により撮像されたインク滴の画像を処理する画像処理部５と、検査結果を表示するモニタ６と、各部を制御する制御部７とを備えている。
【００１８】
インクジェットヘッドＳは、特に限定されるものではなく、例えば、図示は省略するが、チャネルに対して圧電素子の収縮により圧力を付与して、チャネルの出口に連通するノズルからインク滴（液滴）を吐出させるヘッドチップを具備している。
ヘッドチップには、ノズルが所定方向に並んで複数形成されている。
【００１９】
搬送ステージ１は、インクジェットヘッドＳをそのノズル列方向が左右方向となるように取り付けるものである。また、搬送ステージ１は、ヘッド移動手段として、制御部７の制御下にて、インクジェットヘッドＳを案内部材（図示略）により左右方向に移動させる。
即ち、搬送ステージ１は、ヘッド検査の際に、複数のノズルのうち、検査対象となるノズルから吐出されたインク滴が撮像部３の画角内に入るようにインクジェットヘッドＳを左右方向に移動させる。これにより、複数のノズル全ての検査を行うことができる。
【００２０】
ヘッド駆動部（駆動手段）２は、ヘッド検査の際に、制御部７の制御下にて、所定の駆動条件に基づいてインクジェットヘッドＳを駆動させてノズルからインク滴を吐出させる。
即ち、ヘッド駆動部２は、ヘッドチップのチャネルに並設された駆動壁を駆動させるための駆動電極に所定の駆動信号を出力して、当該駆動信号に従って駆動壁を膨張・収縮させることにより、ノズルからインク滴を吐出させる。
【００２１】
撮像部３及び発光部４は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、搬送ステージ１に取り付けられたインクジェットヘッドＳの下側にて、前後方向に沿って対向するように配置されている。
【００２２】
発光部４は、撮像部３によるインク滴の撮像の際に光を照射する。
発光部４としては、撮像時にインク滴に光を照射することができるものであれば如何なるものであっても良く、例えば、ストロボ、ＬＥＤ等を適用することができる。
【００２３】
撮像部（撮像手段）３は、制御部７の制御下にて、画角内を連続的に撮像して画像データを生成する。具体的には、撮像部３は、図示は省略するが、撮像レンズと、撮像レンズを通過した被写体像を二次元の画像信号に変換するＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal-oxide Semiconductor）等の電子撮像部と、電子撮像部に所定の露出時間で被写体を撮像させ、当該電子撮像部の撮像領域から画像信号（画像フレーム）を所定のフレームレートで読み出す処理の実行を制御する撮影制御部等を備えている。
【００２４】
また、撮像部３は、ノズルから吐出させたインク滴を発光部４が発光する第１のタイミングで撮像した後（撮像１；図４参照）、所定時間経過後に発光部４が再度発光する第２のタイミングで撮像して（撮像２；図４参照）、それぞれの画像データを生成する。即ち、撮像部３は、ノズルから吐出させたインク滴を所定時間を空けて複数回撮像する。
【００２５】
画像処理部５は、制御部７の制御下にて、撮像部３による撮像により生成された画像データに基づいて、液滴の重心位置を算出したり、液滴の吐出角度のばらつきを算出したり、ばらつきが許容値よりも小さいか否かの判定を行う（詳細後述）。
【００２６】
制御部７は、ヘッド検査装置１００の各部を制御するものであり、例えば、図３に示すように、ＣＰＵ７１と、ＲＡＭ７２と、記憶部７３等を備えている。
【００２７】
ＣＰＵ７１は、当該ヘッド検査装置１００の各部を統括的に制御するものであり、記憶部７３に記憶された各種処理プログラムに従って各種の制御動作を行う。その際に、ＣＰＵ７１は、ＲＡＭ７２内の格納領域内に各種処理結果を格納させ、必要に応じてその処理結果をモニタ６に表示させるようになっている。
【００２８】
ＲＡＭ７２は、例えば、ＣＰＵ７１により実行される処理プログラム等を展開するためのプログラム格納領域や、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果等を格納するデータ格納領域などを備える。
【００２９】
記憶部７３は、例えば、ハードディスクドライブ等により構成され、ヘッド検査装置１００で実行可能なシステムプログラム、当該システムプログラムで実行可能な各種処理プログラム、これら各種処理プログラムを実行する際に使用されるデータ等を記憶する。
具体的には、記憶部７３は、撮像制御プログラム７３ａ、重心算出制御プログラム７３ｂ、第１状態情報生成制御プログラム７３ｃ、第１状態判定制御プログラム７３ｄ等を記憶している。
【００３０】
撮像制御プログラム７３ａは、インクジェットヘッドＳのノズルから吐出されたインク滴を撮像部３に所定時間を空けて複数回撮像させる処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が撮像制御プログラム７３ａを実行することで、撮像部３にノズルから吐出したインク滴を発光部４が発光する第１のタイミングで撮像させた後（撮像１；図４参照）、所定時間経過後に発光部４が再度発光する第２のタイミングで撮像させる（撮像２；図４参照）。
【００３１】
重心算出制御プログラム７３ｂは、撮像部３に撮像され生成されたインク滴の重心位置を画像処理部５に算出させる重心算出処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が重心算出制御プログラム７３ｂを実行することで、画像処理部５は、第１のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa1，Ya1）及び第２のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa2，Ya2）を算出する（図４参照）。
なお、インク滴の重心位置の算出手法は、特に限定されるものではなく、例えば、撮像したインク滴の画像イメージを、所定のサンプル形状と重心位置が対応付けられた参照テーブルを参照して、類似の形状を選択して重心を決定する方法が挙げられる。
また、インク滴の重心は、撮像画像内の所定位置（例えば、中央）を基準（原点）として算出される。
【００３２】
第１状態情報生成制御プログラム７３ｃは、撮像部３によるインク滴の撮像結果に基づいて、インクジェットヘッドＳの移動前後各々のインク滴の吐出状態に係る吐出状態情報を画像処理部（状態情報生成手段）５に生成させる状態情報生成処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第１状態情報生成制御プログラム７３ｃを実行することで、画像処理部５は、重心算出処理の算出結果に係るインク滴の重心に基づいて算出された、インクジェットヘッドＳの移動前後各々における所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度（θ）のばらつきに基づいて、吐出状態情報（ばらつき情報）として標準偏差σを生成する。
ここで、インクジェットヘッドＳの移動前における所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差をσ(1)とし、インクジェットヘッドＳの移動後における所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差をσ(2)とする。
なお、インク滴の吐出角度（θ）は、ノズルから略直下に延在する線分に対してインク滴が左右方向にずれた角度であり、θ＝tan-1｛（Xa2-Xa1）/（Ya2-Ya1）｝の式に従って算出される。
【００３３】
第１状態判定制御プログラム７３ｄは、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動前後各々の吐出状態情報に基づいて、インク滴の吐出状態を画像処理部（状態判定手段）５に判定させる状態判定処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第１状態判定制御プログラム７３ｄを実行することで、画像処理部５は、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(1)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が予め設定されている比較用の許容値α1よりも小さいか否かに応じてインク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定する。
【００３４】
例えば、許容値α1を０．０２と設定した場合に、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)が０．０３５であり（図５（ａ）参照）、インクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(1)が０．０３２であったとすると（図５（ｂ）参照）、σ(1)−σ(2)が−０．００３となり、その絶対値が許容値α1（＝０．０２）よりも小さくなって、画像処理部５は、インク滴の吐出状態は正常であると判定する。
これに対して、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)が０．０７８であり（図６（ａ）参照）、インクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(1)が０．０３５であったとすると（図６（ｂ）参照）、σ(1)−σ(2)が０．０４３となり、その絶対値が許容値α1（＝０．０２）以上となって、画像処理部５は、インク滴の吐出状態は異常であると判定する。
【００３５】
次に、ヘッド検査処理について、図７〜図９を参照して説明する。
図７は、ヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
なお、以下のヘッド検査処理にあっては、状態判定処理における比較用の許容値α1がユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて入力されて設定されているものとする。
【００３６】
図７に示すように、先ず、搬送ステージ１の所定の取付部にインクジェットヘッドＳを取り付けた後（ステップＳ１）、ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理を行う（ステップＳ２）。
【００３７】
以下に、ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理について図８を参照して説明する。
図８は、ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
【００３８】
図８に示すように、先ず、ユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて、制御部７は、各ノズルからのインク滴の吐出角度の測定回数を設定するとともに、インク滴の吐出から発光部４の発光タイミングに係るストロボディレイ時間を設定する（ステップＳ２１）。
ストロボディレイ時間とは、インクジェットヘッドＳのノズルからインク滴を吐出するタイミングから発光部４を発光させて撮像部３により撮像するまでの遅延時間である。このストロボディレイ時間として、具体的には、インク滴を第１のタイミングで撮像するためのストロボディレイ時間１と、インク滴を第２のタイミングで撮像するために、ストロボディレイ時間１から設定された遅延時間経過後に撮像を行うストロボディレイ時間２を設定する。
【００３９】
次に、ヘッド駆動部２は、制御部７の制御下にて、インクジェットヘッドＳを駆動させてノズルからインク滴を吐出させる（ステップＳ２２）。
続けて、制御部７のＣＰＵ７１は、記憶部７３の撮像制御プログラム７３ａを実行して、設定されたストロボディレイ時間に従って第１のタイミングで発光部４を発光させて、ノズルから吐出したインク滴を撮像部３に撮像させた後、第２のタイミングで発光部４を再度発光させて、同じインク滴を撮像部３に再度撮像させる（ステップＳ２３）。
【００４０】
次に、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の重心算出制御プログラム７３ｂを実行して、画像処理部５は、第１のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa1，Ya1）及び第２のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa2，Ya2）を算出する（ステップＳ２４：重心算出処理）。続けて、制御部７のＣＰＵ７１は、重心算出処理にて算出されたインク滴の重心に基づいて、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから吐出されたインク滴の吐出角度（θ）を画像処理部５に算出させる（ステップＳ２５）。
【００４１】
そして、画像処理部５は、制御部７の制御下にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達したか否かを判定する（ステップＳ２６）。
ここで、測定回数に達していないと判定されると（ステップＳ２６；ＮＯ）、ステップＳ２２に移行して、それ以降の処理を、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達するまで（ステップＳ２６；ＹＥＳ）繰り返す。
【００４２】
ステップＳ２６にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達したと判定されると（ステップＳ２６；ＹＥＳ）、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の第１状態情報生成制御プログラム７３ｃを実行して、画像処理部５は、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度（θ）に基づいて当該インク滴の吐出角度（θ）のばらつきを算出して、当該吐出角度のばらつきに基づいて標準偏差σ(1)を算出する（ステップＳ２７：状態情報生成処理）。
これにより、ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理を終了する。
【００４３】
その後、図７に示すように、制御部７は搬送ステージ１によりインクジェットヘッドＳを左右方向に沿って移動させた後（ステップＳ３）、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理を行う（ステップＳ４）。
【００４４】
以下に、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理について図９を参照して説明する。
図９は、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
【００４５】
以下に説明するヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理は、インクジェットヘッドＳの移動後に行って標準偏差σ(2)を算出する以外の点ではヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理（図８参照）と略同様である。
即ち、図９に示すように、先ず、インク滴の吐出角度の測定回数及びストロボディレイ時間を設定する（ステップＳ４１）。
次に、ヘッド駆動部２は、制御部７の制御下にて、インクジェットヘッドＳを駆動させてノズルからインク滴を吐出させた後（ステップＳ４２）、撮像部３は、制御部７の制御下にて、第１のタイミングでノズルから吐出したインク滴を撮像した後、第２のタイミングで同じインク滴を再度撮像する（ステップＳ４３）。
【００４６】
次に、画像処理部５は、制御部７の制御下にて、第１のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa1，Ya1）及び第２のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa2，Ya2）を算出した後（ステップＳ４４：重心算出処理）、算出されたインク滴の重心に基づいて、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから吐出されたインク滴の吐出角度（θ）を算出する（ステップＳ４５）。
【００４７】
そして、画像処理部５は、制御部７の制御下にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達していないと判定すると（ステップＳ４６；ＮＯ）、ステップＳ４２に移行して、それ以降の処理を、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達するまで（ステップＳ４６；ＹＥＳ）繰り返す。
【００４８】
ステップＳ４６にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達したと判定されると（ステップＳ４６；ＹＥＳ）、画像処理部５は、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度（θ）に基づいて当該インク滴の吐出角度（θ）のばらつきを算出して、当該吐出角度のばらつきに基づいて、標準偏差σ(2)を算出する（ステップＳ４７：状態情報生成処理）。
これにより、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理を終了する。
【００４９】
その後、図７に示すように、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の第１状態判定制御プログラム７３ｄを実行して、画像処理部５は、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(1)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が予め設定されている比較用の許容値α1よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ５：状態判定処理）。
ここで、|σ(1)−σ(2)|が許容値α1よりも小さいと判定されると（ステップＳ５；ＹＥＳ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が正常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に正常である旨を表示させる（ステップＳ６）。
一方、|σ(1)−σ(2)|が許容値α1以上であると判定されると（ステップＳ５；ＮＯ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が異常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に異常である旨を表示させる（ステップＳ７）。
【００５０】
そして、上記の検査を全てのノズルについて行った後、搬送ステージ１からインクジェットヘッドＳを取り外して、当該ヘッド検査処理を終了する（ステップＳ８）。
【００５１】
以上のように、実施形態１のヘッド検査装置１００によれば、インクジェットヘッドＳの移動前後各々のインク滴の吐出状態に係る吐出状態情報に基づいて、インク滴の吐出状態を判定することができる。
具体的には、インクジェットヘッドＳの移動前後各々にて、所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度のばらつきに係るばらつき情報（標準偏差σ）を生成し、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(1)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が許容値α1よりも小さいか否かに応じて、インク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定することができる。
従って、インクジェットヘッドＳの振動の影響、特に、インクジェットヘッドＳの移動により生じる振動の影響を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。
【００５２】
［実施形態２］
以下に、実施形態２のヘッド検査装置について、図１０及び図１１を参照して説明する。
図１０は、本発明を適用した実施形態２のヘッド検査装置の制御部７の構成を示す図である。
【００５３】
実施形態２のヘッド検査装置は、図１０及び図１１に示すように、状態判定処理にて、所定の基準値σ(0)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値と許容値α2を比較して、インク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定する。
なお、実施形態２のヘッド検査装置は、制御部７の構成以外の点で上記実施形態１のヘッド検査装置１００と略同様の構成をなし、その説明は省略する。
【００５４】
制御部７の記憶部７３には、撮像制御プログラム７３ａ、重心算出制御プログラム７３ｂに加えて、第２状態情報生成制御プログラム７３ｅ、第２状態判定制御プログラム７３ｆ、基準データｄを記憶している。
【００５５】
基準データｄは、インク滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報として、ユーザによる設定入力部の所定操作に基づいて入力された基準値σ(0)である。基準値σ(0)は、ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきの許容範囲を規定するための情報（ばらつき基準情報）である。
ここで、記憶部７３は、基準状態情報を記憶する基準記憶手段を構成している。
【００５６】
第２状態情報生成制御プログラム７３ｅは、撮像部３によるインク滴の撮像結果に基づいて、インクジェットヘッドＳの移動後のインク滴の吐出状態に係る吐出状態情報を画像処理部（状態情報生成手段）５に生成させる状態情報生成処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第２状態情報生成制御プログラム７３ｅを実行することで、画像処理部５は、重心算出処理にて算出されたインク滴の重心に基づいて、インクジェットヘッドＳの移動後における所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度θのばらつきを算出して、算出された吐出角度のばらつきに基づいて、吐出状態情報（ばらつき情報）として標準偏差σ(2)を生成する。
【００５７】
第２状態判定制御プログラム７３ｆは、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動後の吐出状態情報と記憶部７３に記憶されている基準データｄに基づいて、インク滴の吐出状態を画像処理部（状態判定手段）５に判定させる状態判定処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第２状態判定制御プログラム７３ｆを実行することで、画像処理部５は、記憶部７３に記憶されている基準値σ(0)から状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が予め設定されている比較用の許容値α2よりも小さいか否かに応じてインク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定する。
【００５８】
次に、ヘッド検査処理について、図１１を参照して説明する。
図１１は、ヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
なお、以下のヘッド検査処理にあっては、状態判定処理における比較用の許容値α2がユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて入力されて設定されているものとする。
【００５９】
図１１に示すように、先ず、搬送ステージ１の所定の取付部にインクジェットヘッドＳを取り付けた後（ステップＳ１）、制御部７は、ユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて入力された基準値σ(0)を設定する（ステップＳ１０２）。なお、設定された基準値σ(0)は、記憶部７３の所定の記憶領域に記憶される。
【００６０】
次に、制御部７は、搬送ステージ１によりインクジェットヘッドＳを左右方向に沿って移動させた後（ステップＳ３）、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理を行う（ステップＳ４）。
ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理は、実施形態１のヘッド検査装置１００における処理と略同様であり、その説明は省略する。
【００６１】
その後、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の第２状態判定制御プログラム７３ｆを実行して、画像処理部５は、記憶部７３に記憶されている基準値σ(0)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が予め設定されている比較用の許容値α2よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ１０５：状態判定処理）。
ここで、|σ(0)−σ(2)|が許容値α2よりも小さいと判定されると（ステップＳ１０５；ＹＥＳ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が正常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に正常である旨を表示させる（ステップＳ６）。
一方、|σ(0)−σ(2)|が許容値α2以上であると判定されると（ステップＳ１０５；ＮＯ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が異常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に異常である旨を表示させる（ステップＳ７）。
【００６２】
そして、上記の検査を全てのノズルについて行った後、搬送ステージ１からインクジェットヘッドＳを取り外して、当該ヘッド検査処理を終了する（ステップＳ８）。
【００６３】
以上のように、実施形態２のヘッド検査装置によれば、インク滴の吐出状態の判定に係る基準データｄとインク滴の吐出状態に係る吐出状態情報とに基づいて、インク滴の吐出状態を判定することができる。
具体的には、記憶部７３に記憶されている基準値σ(0)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が許容値α2よりも小さいか否かに応じて、インク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定することができる。
従って、インクジェットヘッドＳの振動の影響、特に、インクジェットヘッドＳの移動により生じる振動の影響を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。
【００６４】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行っても良い。
例えば、吐出状態情報として、液滴の吐出角度のばらつきにかかるばらつき情報（標準偏差）を例示したが、これに限られるものではなく、液滴の吐出状態に係るものであって、インクジェットヘッドＳの振動に影響されて変動する情報であれば如何なるものであっても良い。
【００６５】
さらに、上記実施形態１、２にあっては、ヘッド検査対象として、インク滴をノズルから吐出するインクジェットヘッドＳを例示したが、これに限られるものではなく、液滴を吐出するヘッドであれば如何なるものであっても良い。
【００６６】
また、上記実施形態１、２にあっては、インクジェットヘッドＳ等のヘッドを検査する専用のヘッド検査装置１００を用いるようにしたが、これに限られるものではなく、例えば、有機ＥＬディスプレイや液晶ディスプレイ等の表示装置を構成する表示装置構成部材を製造する製造装置（液滴吐出装置）を用いても良い。
即ち、有機ＥＬディスプレイのＥＬ材料の塗布や、液晶ディスプレイのカラーフィルタ材料の塗布等を行う製造装置には、撮像部３や搬送ステージ１を具備するものがあり、これらを利用してノズルからの液滴の吐出角度を測定して、ヘッドの吐出状態を検査するようにしても良い。
【００６７】
さらに、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
【００６８】
加えて、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明を適用した実施形態１のヘッド検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】図１のヘッド検査装置の撮像部と発光部の配置を模式的に示す図である。
【図３】図１のヘッド検査装置の制御部の構成を示す図である。
【図４】図１のヘッド検査装置のインクジェットヘッドから吐出された液滴の撮像タイミングを説明するための図である。
【図５】ヘッド移動前後の吐出角度ばらつき測定処理の結果の一例を示す図である。
【図６】ヘッド移動前後の吐出角度ばらつき測定処理の結果の一例を示す図である。
【図７】図１のヘッド検査装置によるヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
【図８】図７のヘッド検査処理におけるヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
【図９】図７のヘッド検査処理におけるヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
【図１０】本発明を適用した実施形態２のヘッド検査装置の制御部の構成を示す図である。
【図１１】図１０のヘッド検査装置によるヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００７０】
１００  ヘッド検査装置
１      搬送ステージ（ヘッド移動手段）
３      撮像部（撮像手段）
４      発光部
５      画像処理部（状態情報生成手段、状態判定手段）
７      制御部
７３    記憶部（基準記憶手段）
Ｓ      インクジェットヘッド
【図１】
0005169511.tif 000002
【図２】
0005169511.tif 000003
【図３】
0005169511.tif 000004
【図４】
0005169511.tif 000005
【図５】
0005169511.tif 000006
【図６】
0005169511.tif 000007
【図７】
0005169511.tif 000008
【図８】
0005169511.tif 000009
【図９】
0005169511.tif 000010
【図１０】
0005169511.tif 000011
【図１１】
0005169511.tif 000012