(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理ユニットのそれぞれに対して、視覚的に認識可能なパターンで該処理ユニットの実行状況を描画した画面データを生成する生成手段と、
前記処理ユニットごとに生成された複数の前記画面データから選択された画面データを表示する表示手段と、
前記複数の処理ユニットにおいて発生したイベントを検知し、前記検知されたイベントの発生元の処理ユニットを識別する検知手段と、
前記発生元の処理ユニットの画面データが前記表示手段に表示されているか否かを判定する判定手段と
を備え、
イベントが発生したことを前記検知手段が検知したことに応答して、
前記生成手段は、前記発生元の処理ユニットの画面データが表示されていない場合に、前記発生元の処理ユニットの画面データの表示サイズを縮小した縮小画面データを生成し、
前記表示手段は、表示中の前記画面データと併せて前記縮小画面データを表示し、
前記表示手段は、
前記複数の処理ユニットのそれぞれに対して、該処理ユニットの画面データを前記表示手段に表示することを選択するために用いられる画面領域をさらに表示し、
前記発生元の処理ユニットの画面データを表示することを選択するために用いられる前記画面領域に前記縮小画面データを合成して表示することを特徴とする画面データ処理装置。
【請求項２】
前記発生したイベントの状況に関する情報を保存する保存手段をさらに備え、
イベントが発生したことを前記検知手段が検知したことに応答して、
前記生成手段は、前記発生元の処理ユニットの画面データの表示サイズを縮小した縮小画面データを生成し、
前記保存手段は、前記縮小画面データを前記イベントの状況に関する情報と関連付けて保存する
ことを特徴とする請求項１に記載の画面データ処理装置。
【請求項３】
前記保存手段が保存したイベントの状況に関する情報の一覧を表示する表示手段をさらに備え、
前記表示手段は、ユーザにより前記一覧からいずれかのイベントの状況に関する情報が選択された場合に、選択された情報と関連付けて前記保存手段が保存する前記縮小画面データを、前記選択されたイベントの状況に関する情報と併せて表示することを特徴とする請求項２に記載の画面データ処理装置。
【請求項４】
前記保存手段は前記縮小画面データを画像データ形式で保存することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の画面データ処理装置。
【請求項５】
前記画面データは、イベントの状況を示す領域を含み、
前記縮小画面データは、前記発生元の処理ユニットの画面データのうち前記イベントの状況を示す領域を縮小した画面データであることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の画面データ処理装置。
【請求項６】
前記画面データ処理装置は半導体露光装置であることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の画面データ処理装置。
【請求項７】
複数の処理ユニットのそれぞれに対して、視覚的に認識可能なパターンで該処理ユニットの実行状況を描画した画面データを生成する生成手段と、
前記処理ユニットごとに生成された複数の前記画面データから選択された画面データを表示する表示手段と、
前記複数の処理ユニットにおいて発生したイベントを検知し、前記検知されたイベントの発生元の処理ユニットを識別する検知手段と、
前記発生元の処理ユニットの画面データが前記表示手段に表示されているか否かを判定する判定手段と
を備える画面データ処理装置における画面データ処理方法であって、
イベントが発生したことを前記検知手段が検知したことに応答して、前記生成手段が、前記発生元の処理ユニットの画面データが表示されていない場合に、前記発生元の処理ユニットの画面データの表示サイズを縮小した縮小画面データを生成する生成工程と、
前記表示手段が、表示中の前記画面データと併せて前記縮小画面データを表示する表示工程と、
前記表示手段が、前記複数の処理ユニットのそれぞれに対して、該処理ユニットの画面データを前記表示手段に表示することを選択するために用いられる画面領域をさらに表示する工程と、
前記表示手段が、前記発生元の処理ユニットの画面データを表示することを選択するために用いられる前記画面領域に前記縮小画面データを合成して表示する工程と
を有することを特徴とする画面データ処理方法。
【請求項８】
コンピュータを請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の画面データ処理装置の各手段として機能させるためのコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は複数の処理を実行する装置における画面データの表示に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造装置などの複数の制御が同時に進行する装置において、予期せぬトラブルが発生した場合に、当該装置の制御進行状態を適確かつ迅速に認識することは、重要な課題として認識されている。適確かつ迅速に認識することにより、仕掛材料の廃棄率を低減し、装置の稼動効率を向上させることが可能となるからである。
【０００３】
特許文献１は、制御進行状態を適確に認識するための技術を提案する。ここで半導体露光装置は、露光中のウエハの状態を視覚的に認識可能とするパターンを描画し、画面情報として出力する画面出力部を備える。そして、コンソールにリアルタイムで送信された露光状況に基づいて前述のパターンを実際の露光状況と同期して描画する。
【０００４】
また、特許文献２は、以下の方法を開示する。すなわち、制御進行状態を描画するのではなく、制御装置における検知動作が行われる毎に、検知動作が行われた時点における所定個所を撮像した静止画像を記録する。それとともに、特定の概略データが指示されるまでは、所定個所の現状を示す動画像を表示する。
【特許文献１】特開平１１−１２１３６０号公報
【特許文献２】特許第３０３１８８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
半導体製造装置は、ほとんどの場合、複数のユニットが協働することによって所定の全体処理が行われる。例えば、一般的な半導体露光装置では、照明系、搬送系、レチクルステージ駆動系並びにウエハステージ駆動系、及びアライメント検出系等の複数のユニットから構成される。ここで、照明系は露光光として用いるレーザ光を射出する。搬送系はレチクル又はウエハを搬送する。レチクルステージ駆動系並びにウエハステージ駆動系はレチクル又はウエハを移動可能なように保持する。アライメント検出系はレチクルとウエハとの相対的な位置合わせを行う。これらの各々のユニットを半導体露光装置のＣＰＵが適切に制御することで一連の露光処理が行われる。
【０００６】
このような半導体露光装置を適切に稼動させるためには、ＣＰＵの入出力装置であるコンソールユニットを用いて、適宜各々のユニットにおける制御進行状態を表示し、適切な制御指示を与える必要がある。コンソールユニットのディスプレイに一度に表示できる情報量には限りがあるため、ディスプレイには全てのユニットの制御進行状態を同時に表示することは適当でない。そこで、機能毎に適切に構成された画面データである機能表示画面の一つを表示し、別の機能を表示したい場合は、ナビゲーションボタンなどによって当該機能によって表示される画面データである機能表示画面を切り替える必要がある。
【０００７】
ここで、たとえばウエハの露光中に、ウエハステージ駆動系のユニットに動作不良などのトラブルが発生した場合を考える。トラブルの発生元であるウエハステージ駆動系の状態をコンソールに表示中であった場合、アラームメッセージと共に、動作不良が検出されたウエハステージのユニット内の位置関係が模式図として描画される。これによってオペレータはアラーム要因が発生したことと、アラーム要因の発生状況とを視覚的に確認することが出来るため、トラブルの原因を迅速かつ適確に把握することが可能である。
【０００８】
しかしながら、ウエハステージ駆動系でのトラブル発生時にウエハステージ駆動系以外の機能表示画面を表示していた場合は、動作不良が検出されたウエハステージのユニット内の位置関係を模式図で描画することは出来ない。このため、ディスプレイ内のステータス表示欄にアラームメッセージを表示し、アラーム要因の発生をオペレータに知らせていた。この場合、オペレータはまず現在選択中の機能での作業を中断し、アラームメッセージから、どのユニットがアラーム要因発生源であるのかを識別する。その後、ナビゲーションボタンを適切に操作することでアラーム要因が発生しているユニットを表示する機能の機能表示画面に切り替える必要があった。この様に、アラーム要因が発生しても、すぐには視覚的にアラーム要因発生状況を把握出来ないという課題があった。
【０００９】
また、特許文献２に記載の方法では、確かに検知動作が行われた時点における所定箇所を撮影した静止画像を記録することができる。しかし、所定箇所の装置の状態をそのまま撮影しただけでは、アラーム要因発生状況を適確かつ迅速に把握するのは困難である。実画像だけでなく、その他の必要な情報も同時に記録されることが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る画面データ処理装置は、複数の処理ユニットのそれぞれに対して、視覚的に認識可能なパターンで該処理ユニットの実行状況を描画した画面データを生成する生成手段と、前記処理ユニットごとに生成された複数の前記画面データから選択された画面データを表示する表示手段と、前記複数の処理ユニットにおいて発生したイベントを検知し、前記検知されたイベントの発生元の処理ユニットを識別する検知手段と、前記発生元の処理ユニットの画面データが前記表示手段に表示されているか否かを判定する判定手段とを備え、イベントが発生したことを前記検知手段が検知したことに応答して、前記生成手段は、前記発生元の処理ユニットの画面データが表示されていない場合に、前記発生元の処理ユニットの画面データの表示サイズを縮小した縮小画面データを生成し、前記表示手段は、表示中の前記画面データと併せて前記縮小画面データを表示し、前記表示手段は、前記複数の処理ユニットのそれぞれに対して、該処理ユニットの画面データを前記表示手段に表示することを選択するために用いられる画面領域をさらに表示し、前記発生元の処理ユニットの画面データを表示することを選択するために用いられる前記画面領域に前記縮小画面データを合成して表示することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、特定の制御進行状態が識別された際に、識別された特定の制御進行状態の発生状況を視覚的に把握することが容易となり、特定の制御進行状態に迅速に対応することができる。また、特定の制御進行状態が発生当時の状況を後から視覚的に把握することも容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明は、複数の処理を実行し、それぞれの処理の実行状況をディスプレイなどの表示部に表示する画面データ処理装置に適用される。以下の実施形態では特に、このような画面データ処理装置の一例である半導体露光装置について本発明を適用した場合について図面を参照しつつ説明する。
【００１３】
＜第１の実施形態＞
本実施形態に係る半導体露光装置において、協働する機能に係るユニットには、以下のものがあげられる。ウエハステージ装置。アライメント検出装置。レチクルステージ駆動装置。光源装置。シャッタ駆動装置。フォーカス検出装置。Ｚ軸駆動装置。レチクル搬送装置。ウエハ搬送装置。
【００１４】
これらのユニットは、レシピパラメータと呼ばれる各種制御データに基づいて制御される。また、製造効率の向上のため、これらのユニットはそれぞれが同時並行的に動作し、複数の製造工程を同時に実行するものである。これらのユニットの制御動作進行状況は、各種センサによってリアルタイムにモニタされる。オペレータによって選択されたユニットの制御動作進行状況は、コンソールユニット上のディスプレイに模式図や表等を用いた視覚的に認識できるパターンで描画される。オペレータによって選択されていない機能に係るユニットの制御動作進行状況については、予め定められたイベントが検出される場合もある。この場合は、オペレータによって選択されていた場合に表示されるであろう表示画面の表示サイズを縮小した縮小画面データ（以下、単に縮小画面という）が生成され、ディスプレイ上に表示される。
【００１５】
縮小画面は予め設けられたメッセージ表示欄（後述する図３の３１０）の一部に表示する。あるいは、縮小画面は、オペレータがどの機能を選択するかを指示するボタンに重ねて表示してもよい。
【００１６】
図１は本実施形態における半導体露光装置１２０の電気回路構成の一例を示すブロック図である。半導体露光装置１２０は本体の制御を行うＣＰＵを有する本体１２１、及び装置における所定の情報を表示するコンソールユニット１２２を備える。
【００１７】
本体１２１は以下の構成要素を備える。本体ＣＰＵ１０１は本体１２１に内蔵され、半導体露光装置１２０全体の制御を司る。本体ＣＰＵ１０１はマイクロコンピュータまたはミニコンピュータ等の中央演算処理装置を備える。本体１２１はさらに、ウエハステージ駆動装置１０２、レチクルステージ駆動装置１０４、シャッタ駆動装置１０６、及びＺ駆動装置１０８を備える。本体１２１はまた、オフアクシス顕微鏡などのアライメント検出系１０３、フォーカス検出系１０７、及びウエハ搬送装置などの搬送系１０９を備える。これらの装置及び系の動作は発明の本質に関係しないため、詳細な説明は行わない。本体１２１におけるこれらの各装置及び系は本体ＣＰＵ１０１により並行して同時に制御される。
【００１８】
コンソールユニット１２２は本体ＣＰＵ１０１にこの露光装置の動作に関する各種のコマンドやパラメータを与える。コンソールユニット１２２はコンソールＣＰＵ１１０、ディスプレイ１１１、キーボード（入力部または入力デバイス）１１２、及びグラフィックボード１１３を備える。コンソールＣＰＵ１１０はコンソールユニット１２２の制御を司り、処理部、演算部、またはプロセッサと呼ばれることもある。コンソールＣＰＵ１１０による描画命令がグラフィックボード１１３に与えられ、グラフィックボード１１３によってディスプレイ１１１に制御状態を表現するグラフィックが描画される。ディスプレイ１１１は、グラフィック表示が可能なタッチセンサー１１５を有し、ディスプレイ１１１に描画されたオブジェクトを指示することをコンソールＣＰＵ１１０に伝えるものである。ディスプレイ１１１は表示部または表示デバイスと呼ばれることもある。ハードディスク等の外部メモリ１１４には内部にデータベースが構築され、各種レシピパラメータおよびその管理データ、ならびにオペレータのグループ等を記憶する。レシピパラメータには、使用するレチクル、マスキングブレードの開口、露光量、レイアウトデータ等が含まれる。また、外部メモリ１１４は後述するイベントログ格納テーブルや画面の圧縮画像データファイル等も保持する。タッチセンサー１１５の代わりに又は同時にポインティングデバイスなどの指示部を備えてもよい。
【００１９】
図２は、本半導体露光装置の制御装置における制御進行状態表示部の構成の一例を説明するための図である。この制御進行状態表示部は、コンソールユニット１２２において構成される。同図において、操作パネル２０１は前述のディスプレイ１１１とタッチセンサー１１５とによって構成される。
【００２０】
表示制御部２０２はコントローラ２０３から各種情報、データを受け取り、操作パネル２０１への表示を制御する。コントローラ２０３は、操作パネル２０１からの入力情報により、操作パネル２０１に描画すべき情報を識別し、制御進行状態の描画を表示制御部２０２に指示する。各種イベント制御部２０５は各ユニットの状態をモニタして、イベントを検知する。ここで、イベントとは特定の制御進行状態のことである。イベントには例えば処理の実行状況に応じて発生するエラーの発生やジョブの開始などがある。
【００２１】
コントローラ２０３はまた、各種イベント制御部２０５から、イベントの発生の通知とイベント状況とを取得する。ここで、イベント状況とは発生したイベントを特定する情報であり、イベントコード、イベントメッセージ、イベント発生時刻、ユニット固有情報等を含む。そして操作パネル２０１に情報が表示されているユニットが、イベント発生元のユニットであるかどうかを判定し、後述する方法により適切な制御状態表示画面を表示バッファ２０４に生成する。その後、操作パネル２０１に表示させるイベントを表示制御部２０２へ通知する。
【００２２】
また、表示制御部２０２は、後述する仮想画面を仮想画面バッファ２０８に生成する。表示バッファ２０４と仮想画面バッファ２０８とは表示制御部２０２が生成した画面を蓄える。
【００２３】
各種イベント制御部２０５は、各ユニット２０７で発生したイベントを検知し、そのイベントに対応したイベントコードを、イベントＤＢ（データベース）２０６から検索する。そして、得られたイベント情報を含むイベント状況をコントローラ２０３へ通知する。イベントＤＢ２０６は、イベント種別、イベントコード、イベントメッセージ、対処方法、及びイベントレベル等のイベント情報を格納しているデータベースである。
【００２４】
ユニット２０７は半導体製造装置を制御する各ユニットである。イベントログ２０９は発生したイベントの履歴を保存するためのイベントログファイルまたはＤＢである。イベントログ２０９には、イベントの種別、日付、時刻、ユニット固有情報、コードおよび内容を含むイベント状況データが、履歴情報として保存される。レシピＤＢ２１０はレシピを管理するためのＤＢである。コントローラ２０３はレシピＤＢ２１０から取得したレシピに基づいて各種イベント制御部２０５を制御する。
【００２５】
図３には、操作パネル２０１上に表示される制御進行状態画面３０１の構成の一例を示す。制御進行状態画面３０１を参照することにより、ユーザは半導体露光装置の状態を把握できる。
【００２６】
タイトルパネル３０２は、制御進行状態画面３０１のタイトルを表示するパネルであり、発生したイベントのメッセージを表示するメッセージ表示欄３１０を含む。
【００２７】
インフォメーションエリア３０３は各機能に関する情報を提示する一つまたは複数の情報またはグラフィック画面を表示する。好適な例では制御進行状態画面３０１においてインフォメーションエリア３０３が最も広い範囲を占める。ナビゲーションパネル３０４には、各機能の種類を表す文字ラベルまたはアイコンのついたナビゲーションボタン３０５〜３０９を配置している。ボタンを押下することで対応する機能に関する情報がインフォメーションエリア３０３に表示される。なお、本例ではナビゲーションパネル３０４内に５個のナビゲーションボタンを配したが、この数は表示すべき機能の数に応じて増減させても良い。一つのナビゲーションボタンは、一つの機能に対応する。なお、図中の各点線はそれぞれの領域の関係を模式的に表すものであり、実際の画面には必ずしも表示はされない。
【００２８】
図４ａ及び図４ｂは、ウエハ搬送系表示画面の一例を示す図である。本実施形態では、ウエハ搬送系の状態を表示する機能をウエハ搬送系表示機能という。また、ウエハ搬送系表示機能を選択して、ウエハ搬送系表示機能に関する情報をインフォメーションエリア３０３に表示した場合の制御進行状態画面３０１をウエハ搬送系表示画面という。
【００２９】
図４ａに示すウエハ搬送系表示画面４０１は、ナビゲーションボタン４０３の押下によりウエハ搬送系表示機能を選択した場合の表示例を示している。ナビゲーションボタン４０３はハイライト表示状態にあって他のボタンと区別され、これによってウエハ搬送系表示機能を選択中であることを示す。
【００３０】
インフォメーションエリア３０３には、ウエハ搬送系表示機能に関する情報の構成要素であるウエハ搬送経路模式図４０４、搬送ジョブ一覧４０５、及び搬送ジョブステータス詳細欄４０６が表示される。ウエハ搬送系表示機能では、事前に作成されたウエハ搬送経路模式図４０４をウエハ搬送系の状況に応じてリアルタイムに更新する。また、ジョブの進行状況に応じて搬送ジョブ一覧４０５を更新する。さらに、搬送ジョブ一覧４０５に表示されるジョブのステータスの詳細を搬送ジョブステータス詳細欄４０６に表示する。
【００３１】
ウエハ搬送経路模式図４０４には被制御中のウエハ位置がウエハステージ模式図４０７によって示されている。
【００３２】
次に、図６を参照して、発明の実施形態に対応するイベント発生時の制御進行状態画面の生成手順を説明する。図６は、イベント発生時の制御進行状態画面の生成手順を示すフローチャートの一例である。本フローチャートにおける処理は、コンソールＣＰＵ１１０が外部メモリ１１４から読み出したコンピュータプログラムを実行することで処理される。
【００３３】
ここで図４ａ、図４ｂ及び図６を用いて、制御進行状態画面３０１に表示中の機能に係るユニットにイベントが発生した場合の画面描画について説明する。
【００３４】
まずステップＳ６０１で、ウエハ搬送系表示画面４０１の表示中に、ウエハ搬送系のユニット２０７で、エラーイベントが発生したとする。
【００３５】
各種イベント制御部２０５は、ステップＳ６０２で、イベントの発生を検出する。その後、ステップＳ６０３で、検出されたイベントのイベント状況を取得し、コントローラ２０３に通知する。
【００３６】
ステップＳ６０４で、コントローラ２０３は、イベント状況をイベントログ２０９に保存し、ウエハ搬送系表示画面にイベント状況を表示すべきであることを認識する。
【００３７】
ステップＳ６０５で、コントローラ２０３は、表示中のユニットはイベント発生元のユニットと一致するか否かを判定する。今回の例で制御進行状態画面３０１に表示されているのは、まさにイベント発生元のユニットであるウエハ搬送系を表示するウエハ搬送系表示画面４０１である（ステップＳ６０５において「ＹＥＳ」）。
【００３８】
そこでステップＳ６０６で、コントローラ２０３は表示制御部２０２を用いて、イベント状況を描画した画面を表示バッファ２０４に生成する。図４ｂを用いてイベント検出時のウエハ搬送系表示画面４０２を説明する。まず、ウエハ搬送経路模式図４０４には、ウエハステージ模式図４０７にイベントの検出を知らせる色を着色することで、ウエハ搬送経路内のイベント検出個所を示すウエハステージ４１０を描画する。また、搬送ジョブ一覧４１１、搬送ジョブステータス詳細欄４１２の表示もそれぞれイベントの検出ならびにイベント内容を知らせる記述に書き換える。
【００３９】
図６に戻りステップＳ６１０で、表示バッファ２０４のメッセージ表示欄３１０に、イベントの検出ならびに検出されたイベントの内容をオペレータに知らせるイベントメッセージ４０８を記述する。同時に、アラームボタン４１３の周囲にハイライト領域４１４を描画する。ハイライト領域４１４はイベントの重要度に応じて別々の色を用いてもよい。
【００４０】
最後にステップＳ６１１で、表示バッファ２０４に蓄えられたウエハ搬送系表示画面４０２を操作パネル２０１に表示する。これによって、検出済のイベントが存在することをオペレータに知らせることが出来る。
【００４１】
ここで、アラームボタン４１３が押下されると、図７で示すように、今まで選択中だったウエハ搬送系表示機能に代わり、イベントログ一覧機能が選択される。その結果、イベントログ２０９に保存された履歴情報に基づきイベント状況を表示するイベントログ一覧機能画面７０１が表示される。イベントログ一覧機能画面７０１のインフォメーションエリア３０３には、イベントログ一覧７０２と選択されたイベント状況の詳細を示す詳細欄７０３とが表示される。同時に、アラームボタン７０４がハイライト表示され、選択中の機能がイベントログ一覧機能であることが示される。
【００４２】
つぎに、図５及び図６を用いて、制御進行状態画面３０１に表示中のユニットとは異なるユニットにイベントが発生した場合の画面描画について説明する。
【００４３】
図５は制御進行状態画面３０１に表示中のユニットとは異なるユニットにイベントが発生した場合の表示画面の一例を示す模式図である。
【００４４】
露光状態表示画面５０１は、制御進行状態画面３０１に、ナビゲーションボタン５０３の押下により露光状態表示機能を選択した場合の例である。ここで、露光状態表示機能とは、露光の状態に関する情報を表示する機能である。ナビゲーションボタン５０３はハイライト表示状態にあって他のボタンと区別され、これによって露光状態表示機能が選択中であることを示す。インフォメーションエリア３０３には、露光状態表示機能に関する情報の構成要素である露光中ウエハ模式図５０４と露光ジョブ一覧５０５とが表示されている。
【００４５】
露光中ウエハ模式図５０４において、露光済のチップ表示５０６、未露光のチップ部分の表示５０７が表示されている。また、露光中の部分であり現在のレチクルの位置５０８も表示される。
【００４６】
図６のステップＳ６０１で、露光状態表示画面５０１を表示中にウエハ搬送系のユニット２０７でエラーイベントが発生したとする。
【００４７】
先ほどの図４を用いた例の説明と同様の処理が行われ、コントローラ２０３は、ウエハ搬送系表示画面にイベント状況を表示すべきであることを認識する。しかしながら、制御進行状態画面３０１に表示されているのは、イベント発生元のユニットとは異なるユニットを表示する露光状態表示画面５０１である。そのため、ステップＳ６０５で、ウエハ搬送系表示画面４０２を制御進行状態画面３０１に表示することは出来ないと判定する（ステップＳ６０５において「ＮＯ」）。
【００４８】
このため、ステップ６０７で、コントローラ２０３は表示制御部２０２を用いてウエハ搬送系仮想画面５０２を仮想画面バッファ２０８に生成する。ウエハ搬送系仮想画面５０２とは、ウエハ搬送系表示機能が選択されていたならば制御進行状態画面３０１に表示されていたであろう画面のことであり、例えばウエハ搬送系表示画面４０２のような画面である。即ち、当該仮想画面の生成方法は、通常の制御状態表示画面の生成方法と同様である。ウエハ搬送系仮想画面５０２には、ステップＳ６０３で取得したイベント状況が反映され、本来ウエハ搬送系表示画面４０２として表示すべき表示内容が含まれる。この表示内容には、イベント状況を表すウエハ搬送経路４０９や、イベントメッセージ４０８、アラームボタンの周囲のハイライト領域４１４などがある。
【００４９】
ステップＳ６０８で、表示制御部２０２は、ウエハ搬送系仮想画面５０２を縮小した縮小画面５０９を生成する。縮小画面の生成方法は、公知の解像度変換技術を用いればよい。ステップＳ６０９で、表示制御部２０２は、縮小画面５０９を、表示バッファ２０４のメッセージ表示欄３１０に合成する。
【００５０】
ステップＳ６１０で、図４で説明した例と同様、表示バッファ２０４に蓄えられている画面のメッセージ表示欄３１０に、イベントの検出及び検出されたイベントの内容をオペレータに知らせるイベントメッセージ５１０を記述する。また、アラームボタン５１１の周囲にハイライト領域５１２を描画する。
【００５１】
最後にステップＳ６１１で、表示バッファに蓄えられた露光状態表示画面５０１を操作パネル２０１に表示する。これによって、検出済のイベントが存在することをオペレータに知らせることが出来る。
【００５２】
なお、ここでアラームボタン５１１が押下されると、現在表示中の機能の情報に代わり、図７に示したイベントログ一覧機能画面７０１が表示される。
【００５３】
以上説明した手順により、制御進行状態画面３０１に表示中のユニットとは異なるユニットにイベントが発生した場合であっても、イベント発生元のユニットについて表示する制御進行状態画面の縮小画面を、制御進行状態画面３０１内に表示することができる。このため、画面表示をイベント発生元のユニットの状態を表示する機能に切り替えることなくイベント発生状況を視覚的に把握することができ、発生したイベントに迅速に対応することが可能となる。
【００５４】
また、各機能に係る制御進行状態画面が、イベントの発生に気づいたオペレータが確認した時点でのユニットの状態を表示するものであったとする。この場合、該機能表示画面に表示を切り替えたとしても、既に状況が変化していてイベント発生時点での描画画面を得ることが出来ない場合がある。これに対して本実施形態で得られる縮小画面は、イベント発生時点での機能表示画面のスナップショットとなっているため、イベント発生時点の状況を容易に把握できるという効果が得られる。
【００５５】
なお、上記実施形態では、図５において、ウエハ搬送系仮想画面５０２を縮小した縮小画面５０９をメッセージ表示欄３１０に表示した。この代わりに、イベント発生元であるウエハ搬送系の状況を表示する機能への切り替えを指示するナビゲーションボタン５１３の位置に、縮小画面５０９を表示することも出来る。
【００５６】
図８は、この状態を示す図である。ナビゲーションボタン５１３の表示領域は限られた面積しかもたないため、露光状態表示画面８０１では、ウエハ搬送系仮想画面５０２のアスペクト比を変えて縮小した縮小画面８０３を表示している。また、イベント発生元がウエハ搬送系であることを強調するために、ナビゲーションボタン５１３の周囲にハイライト領域８０２を描画した上に縮小画面８０３を重ねて表示している。
【００５７】
またナビゲーションパネル例８０４に示すように、ウエハ搬送系仮想画面５０２の全体を縮小するのではなく、インフォメーションエリア３０３に相当する部分を縮小した画面である部分縮小画面８０５を、ナビゲーションボタンの位置に表示することも出来る。この場合、部分縮小画面８０５には、タイトルパネル３０２ならびにナビゲーションパネル３０４に相当する部分の情報は含まれないが、これらの情報は露光状態表示画面８０１自身の該当部分によって補うことが出来る。
【００５８】
さらに、機能の選択はキーボードなどの入力部からショートカット・キーなどにより直接指定することによっても可能である。この場合は、ナビゲーションパネル３０４とナビゲーションボタン３０５〜３０９とは制御進行状態画面３０１に表示されないこともある。
【００５９】
このように、縮小画面データ８０３又は部分縮小画面データ８０５をナビゲーションボタンの位置に表示しているので、オペレータはより迅速にイベント発生元のユニットの状況を認識できる。これにより、対応する機能への画面切り替え操作を迅速に行うことが可能になる。
【００６０】
＜第２の実施形態＞
第１の実施形態では、イベント発生時のオペレータへの注意喚起及び迅速な対応を促す方法について説明した。
【００６１】
ところで、実際の半導体露光装置においては、一つのジョブ単位を実施するには数万以上のステップに及ぶ生産工程制御動作が行われており、数多くのイベントが非同期的に発生しうる。このため、第１の実施形態に示したような手段を用いてイベント発生状況を適確に判断し、オペレータによる介入を致命的なエラーイベントが発生した場合に限ることは、生産効率向上のために有効な手段である。一方で、オペレータによる介入を行わなかった場合、各生産工程において発生したイベントについての詳細な検討は生産工程と非同期に行う必要がある。このような検討を行う際に有効な、発生したイベントの内容の視覚的な把握を容易にする本発明の他の実施形態について以下に説明する。
【００６２】
図９は、イベント発生時の動作を示すフローチャートの一例である。ここで再び図５を例とし、図９を用いて、制御進行状態画面３０１に表示中のユニットとは異なるユニットにイベントが発生した場合の画面描画について説明する。本フローチャートにおける処理は、コンソールＣＰＵ１１０が外部メモリ１１４から読み出したコンピュータプログラムを実行することで処理される。
【００６３】
ステップＳ９０１で、露光状態表示画面５０１を表示中に、ウエハ搬送系のユニット２０７で、エラーイベントが発生したとする。
【００６４】
各種イベント制御部２０５は、ステップＳ９０２で、イベントの発生を検出する。続いてステップＳ９０３で、イベント状況を取得する。
【００６５】
ステップＳ９０４で、コントローラ２０３は、表示制御部２０２を用いて、Ｓ９０３で取得したイベント状況を反映させたウエハ搬送系仮想画面５０２を、仮想画面バッファ２０８に生成する。続いてステップＳ９０５で、ウエハ搬送系仮想画面５０２を圧縮画像データに変換した画面圧縮データを生成する。さらにステップＳ９０６で、イベント状況と画面圧縮データとを後述するように関連付けてイベントログ２０９に保存する。
【００６６】
ステップＳ９０７で、コントローラ２０３は、制御進行状態画面３０１に表示されているユニットが、イベント発生元のユニットと一致するか否かを判定する。もし、一致する場合（ステップＳ９０７において「ＹＥＳ」）は、ステップＳ９０８で、生成した仮想画面を仮想画面バッファ２０８から表示バッファ２０４にコピーする。
【００６７】
しかしながら、本例では、制御進行状態画面３０１に表示されているのは、イベント発生元のユニットとは異なるユニットを表示する露光状態表示画面５０１である（ステップＳ９０７において「ＮＯ」）。従って、ステップＳ９０９で、生成されたウエハ搬送系仮想画面５０２を縮小した縮小画面５０９を生成する。続いてステップＳ９１０で、縮小画面５０９を表示バッファ２０４のメッセージ表示欄３１０に合成する。
【００６８】
つづいて、第１の実施形態で説明した例と同様に、ステップＳ９１１で、表示バッファ２０４のメッセージ表示欄３１０には、イベントの検出及び検出されたイベントの内容をオペレータに知らせるイベントメッセージ５１０を記述する。また、アラームボタン５１１の周囲にハイライト領域５１２を描画する。
【００６９】
最後にステップＳ９１２で、表示バッファに描かれた露光状態表示画面５０１を操作パネル２０１に表示する。
【００７０】
なお、ステップＳ９０８では、仮想画面を仮想画面バッファ２０８からコピーする代わりに、第１の実施形態で説明したステップＳ６０５、Ｓ６０９と同様、直接表示バッファ２０４にイベント状況を表す描画を行っても良い。
【００７１】
イベントログ２０９は、イベントログ格納テーブル１０００ならびに図不掲示の画面圧縮データファイルから構成される。図１０は、イベントログ２０９を構成するイベントログ格納テーブル１０００の一例を示す模式図である。イベントログ格納テーブル１０００には、イベントの種別、日付、時刻、ユニット固有情報へのリンク１００１、イベントコードおよびメッセージ、画面圧縮ファイルへのリンク１００２を含むイベント状況データが、履歴情報として保存される。
【００７２】
ユニット固有情報へのリンク１００１は、各機能単位に固有の制御進行情報へのリンクである。図不掲示のユニット固有情報テーブルは、各機能単位に固有の制御進行情報が保持され、イベントログ格納テーブル１０００からリンクされる。一方、画面圧縮ファイルへのリンク１００２は、当該イベント発生時の縮小画面へのリンクである。画面圧縮データは、ＰＮＧ等の圧縮形式の画像データファイルとして、イベントＩＤをベース名とするファイル名で保存される。尚、画面圧縮データの圧縮形式は、例示したＰＮＧ形式に限られるものではなく、ＪＰＥＧ等の他の画像圧縮形式を用いることも出来る。
【００７３】
また、ステップＳ９０５において、まず仮想画面の縮小画面を生成した後、この縮小画面を圧縮して画面圧縮データを生成しても良い。その他の項目は本発明の本質に影響しないため、説明を省略する。
【００７４】
次に、図１１に示したイベントログ一覧機能画面例を用いて、本実施形態におけるイベントログ一覧機能について説明する。イベントログ一覧機能画面１１０１では、図７のイベントログ一覧機能画面７０１と同様に、イベントログ一覧１１０３がインフォメーションエリア３０３に表示され、また、選択されたイベント状況の詳細が、詳細欄１１０４に表示される。詳細欄１１０４には、ユニット固有情報を含むイベントログ格納テーブル１０００に格納されたイベント状況データが表示される。それに伴い、イベントログ格納テーブルからリンクされる画面圧縮ファイルに保存された画面データを縮小した縮小画面１１０５も表示される。
【００７５】
以上説明したとおり、本実施形態では、検出済のイベントが存在することをオペレータに知らせることが出来ると同時に、イベントログにイベント状況とあわせて縮小画面が画像として保存される。この縮小画面の画像は、イベント発生時点でのイベント状況が描画された機能領域表示画面のスナップショットとなっているため、イベントログを解析する際に、イベント発生時点の状況を視覚的に把握しやすいという効果が得られる。
【００７６】
また、上記実施形態では、エラーイベントが検出された例を示したが、イベントはエラーに限られるものではない。たとえば、ログイベントは、レシピＤＢに格納されたレシピパラメータの一部として与えられ、任意のタイミングにおける制御進行状況を記録するために用いられる。これにより、より詳しく半導体露光装置全体の制御進行状況を視覚的に把握しやすくなる効果が得られる。
【００７７】
また、上記実施形態では、ポインティングデバイスとして、図１に示したタッチセンサー１１５を用いたが、マウス等を用いることも、もちろん可能である。ポインティングデバイスとしてマウスを用いた場合、例えば、イベントログ一覧機能画面１１０２に示したように、マウスポインタ１１０６を用いて画面上の指示位置を示すことが出来る。マウスポインタ１１０６で、イベントログ一覧１１０７から、一つのイベント項目を指示した場合、指示されたイベントからリンクされる画面圧縮ファイルを縮小した縮小画面１１０８を、イベントログ一覧機能画面１１０２にオーバラップして表示しても良い。これによって、詳細欄を表示する前に、イベントの概要を視覚的に把握することが可能となり、詳しい検討が必要なイベントをより素早く探し出すことが出来る効果が得られる。
【００７８】
＜第３の実施形態＞
本発明の目的は前述した実施例の機能を実現するコンピュータプログラムを記録した記録媒体を、システムあるいは装置に供給する。そして、そのシステムあるいは装置のコンピュータ（またはＣＰＵまたはＭＰＵ）が記録媒体に格納されたコンピュータプログラムを読み出し実行することによっても、達成されることは言うまでもない。この場合、記憶媒体から読み出されたコンピュータプログラム自体が前述した実施形態の機能を実現することとなり、そのコンピュータプログラムを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
【００７９】
コンピュータプログラムを供給するための記憶媒体としては、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ、ＤＶＤなどを用いることができる。
【００８０】
また、コンピュータが読み出したコンピュータプログラムを実行することにより、前述した実施例の機能が実現されるだけではない。さらに、そのコンピュータプログラムの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているオペレーティングシステム（ＯＳ）などが実際の処理の一部または全部を行う。その処理によって前述した実施例の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。
【００８１】
さらに、記憶媒体から読み出されたコンピュータプログラムが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書きこまれる。その後、そのコンピュータプログラムの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵなどが実際の処理の一部または全部を行う。その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。
【００８２】
＜第４の実施形態＞
次に、図１２および図１３を参照して、上述の半導体製造装置の実施形態を説明する。図１２は、デバイス（ＩＣやＬＳＩなどの半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
【００８３】
ステップＳ１２０１では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップＳ１２０２では設計した回路パターンに基づいてマスク（原版またはレチクルともいう）を製作する。ステップＳ１２０３ではシリコン等の材料を用いてウエハ（基板ともいう）を製造する。ステップＳ１２０４は前工程と呼ばれ、マスクとウエハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。ステップＳ１２０５は、後工程と呼ばれ、ステップＳ１２０４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の組み立て工程を含む。ステップＳ１２０６では、ステップＳ１２０５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それがステップＳ１２０７で出荷される。
【００８４】
図１３は、ステップＳ１２０４のウエハプロセスの詳細なフローチャートである。ステップＳ１３１１では、ウエハの表面を酸化させる。ステップＳ１３１２では、ウエハの表面に絶縁膜を形成する。ステップＳ１３１３では、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップＳ１３１４では、ウエハにイオンを打ち込む。ステップＳ１３１５では、ウエハに感光剤を塗布する。ステップＳ１３１６では、上述した露光装置を用い、マスクのパターンを介してウエハを露光する。ステップＳ１３１７では、露光したウエハを現像する。ステップＳ１３１８では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップＳ１３１９では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによってウエハ上に多重に回路パターンが形成される。これらのウエハプロセスは、レシピと呼ばれる手順書に記述されたパラメータに基づいて制御される。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の実施形態に係る半導体露光装置の構成の一例を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係る制御進行状態表示部の構成の一例を示す模式図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る操作パネル２０１上に表示される制御進行状態画面の基本構成の一例を示す模式図である。
【図４ａ】本発明の第１の実施形態に係る制御進行状態画面３０１における表示の一例を示す模式図である。
【図４ｂ】本発明の第１の実施形態に係る制御進行状態画面３０１に表示中の機能領域に係るイベントが発生した場合の表示画面の他の一例を示す模式図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る制御進行状態画面３０１に表示中の機能領域とは異なる機能領域に係るイベントが発生した場合の表示画面の一例を示す模式図である。
【図６】本発明の第１の実施形態に係るイベント発生時の制御進行状態画面の生成手順を示すフローチャートの一例である。
【図７】本発明の第１の実施形態に係るイベントログ一覧機能画面の一例を示す模式図である。
【図８】本発明の第１の実施形態に係る制御進行状態画面の一例を示す模式図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係るイベント発生時の制御進行状態画面の生成手順を示すフローチャートの一例である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係るイベントログ格納テーブルの一例を示す模式図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態に係るイベントログ一覧機能画面の一例を示す模式図である。
【図１２】露光装置を使用したデバイスの製造を説明するためのフローチャートの一例である。
【図１３】図１２に示すフローチャートにおけるステップＳ１２０４のウエハプロセスの詳細なフローチャートの一例である。
【符号の説明】
【００８６】
１０１  本体ＣＰＵ
１０２  ウエハステージ駆動装置
１０３  アライメント検出系
１０４  レクチルステージ駆動装置
１０５  照明系
１０６  シャッタ駆動装置
１０７  フォーカス検出系
１０８  Ｚ駆動装置
１０９  搬送系
１１０  コンソールＣＰＵ
１１１  ディスプレイ
１１２  キーボード
１１３  グラフィックボード
１１４  外部メモリ
１１５  タッチセンサー
１２０  半導体露光装置
１２１  本体
１２２  コンソールユニット
【図１】
0005123690.tif 000002
【図２】
0005123690.tif 000003
【図３】
0005123690.tif 000004
【図４ａ】
0005123690.tif 000005
【図４ｂ】
0005123690.tif 000006
【図５】
0005123690.tif 000007
【図６】
0005123690.tif 000008
【図７】
0005123690.tif 000009
【図８】
0005123690.tif 000010
【図９】
0005123690.tif 000011
【図１０】
0005123690.tif 000012
【図１１】
0005123690.tif 000013
【図１２】
0005123690.tif 000014
【図１３】
0005123690.tif 000015