(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に間隔をおいて第２の方向へ伸びる複数の電路を備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する、前記第１の方向に間隔をおいた少なくとも２つの給電電極と、少なくとも前記第１の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第２の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含み、前記複数の受電電極は、それぞれが前記第１の方向に間隔をおいて前記給電電極に対応された少なくとも２つの受電電極グループであってそれぞれが対応する給電電極からの検査信号を受信可能の複数の受電電極を含む受電電極グループに分けられているセンサ基板を用いて前記被検査基板を検査する方法であって、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第２の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第２の方向に相対的に移動させる移動ステップと、
該移動ステップの間に前記給電電極に交流の検査信号を供給する給電ステップと、
該給電ステップの間に前記センサ回路の出力信号を基に前記電路の正否を判定する判定ステップとを含み、
前記給電ステップは前記検査信号を複数の給電電極に異なるタイミングで供給し、
前記判定ステップは、前記給電電極への給電のタイミングと同期して前記電路の正否を判定する、検査方法。
【請求項２】
第１の方向に間隔をおいて第２の方向へ伸びる複数の電路を備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する、前記第１の方向に間隔をおいた複数の給電電極と、少なくとも前記第１の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第２の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含み、前記複数の受電電極は、前記給電電極に一対一の形に対応されているセンサ基板を用いて前記被検査基板を検査する方法であって、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第２の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第２の方向に相対的に移動させる移動ステップと、
該移動ステップの間に前記給電電極に交流の検査信号を供給する給電ステップと、
該給電ステップの間に前記センサ回路の出力信号を基に前記電路の正否を判定する判定ステップとを含み、
前記給電ステップは前記検査信号を複数の給電電極に異なるタイミングで供給し、
前記判定ステップは、前記給電電極への給電のタイミングと同期して前記電路の正否を判定する、検査方法。
【請求項３】
第１の方向に間隔をおいて第２の方向へ伸びる複数の電路と前記第２の方向に間隔をおいて前記第１の方向へ伸びる複数の第２の電路とを備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、
交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する少なくとも１つの給電電極及び前記第２の電路に交流の第２の検査信号を供給する少なくとも１つの第２の給電電極と、
少なくとも前記第１の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第２の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、
該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含む基板を用いて前記被検査基板を検査する方法であって、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第２の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第２の方向に相対的に移動させる移動ステップと、
該移動ステップの間に前記給電電極に交流の検査信号を供給する給電ステップと、
該給電ステップの間に前記センサ回路の出力信号を基に前記電路の正否を判定する判定ステップとを含み、
前記給電ステップは、前記第２の検査信号を前記第２の給電電極に供給し、
前記判定ステップは、前記第２の検査信号を受信している前記電極に対向された電路をクロス不良と判定することを含む、検査方法。
【請求項４】
第１の方向に間隔をおいて第２の方向へ伸びる複数の電路及び前記第２の方向に間隔をおいて前記第１の方向へ伸びる複数の第２の電路を備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する少なくとも１つの給電電極及び前記第２の電路に交流の第２の検査信号を供給する少なくとも１つの第２の給電電極と、少なくとも前記第１の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第２の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含み、前記第２の給電電極は前記第1の方向における前記給電電極及び前記受電電極の配置領域から外れた箇所に配置されているセンサ基板を用いて前記被検査基板を検査する方法であって、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第２の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第２の方向に相対的に移動させる移動ステップと、
該移動ステップの間に前記給電電極に交流の検査信号を供給する給電ステップと、
該給電ステップの間に前記センサ回路の出力信号を基に前記電路の正否を判定する判定ステップとを含み、
前記給電ステップは、前記第２の検査信号を前記第２の給電電極に供給し、
前記判定ステップは、前記第２の検査信号を受信している前記電極に対向された電路をクロス不良と判定することを含む、検査方法。
【請求項５】
第１の方向に間隔をおいて第２の方向へ伸びる複数の電路及び前記第２の方向に間隔をおいて前記第１の方向へ伸びる複数の第２の電路を備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する少なくとも１つの給電電極及び前記第２の電路に交流の第２の検査信号を供給する少なくとも１つの第２の給電電極と、少なくとも前記第１の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第２の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含むセンサ基板と、
前記給電電極に供給する交流の検査信号を発生する検査信号発生回路と、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第２の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第２の方向に相対的に移動させる移動装置と、
前記センサ基板と被検査基板とが前記移動装置により移動されかつ前記検査信号が前記給電電極に供給される間の前記センサ回路の出力信号を基に、前記電路の正否を判定する判定回路とを含み、
前記検査信号発生回路は、さらに、前記第２の検査信号を前記第２の給電電極に供給し、
前記判定回路は、さらに、前記第２の検査信号を受信している前記電極に対向された電路をクロス不良と判定することを含む、検査装置。
【請求項６】
第１の方向に間隔をおいて第２の方向へ伸びる複数の電路及び前記第２の方向に間隔をおいて前記第１の方向へ伸びる複数の第２の電路を備える被検査基板の検査に用いられるセンサ基板であって、交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する少なくとも１つの給電電極及び前記第２の電路に交流の第２の検査信号を供給する少なくとも１つの第２の給電電極と、少なくとも前記第１の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第２の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含み、前記第２の給電電極は前記第1の方向における前記給電電極及び前記受電電極の配置領域から外れた箇所に配置されているセンサ基板と、
前記給電電極に供給する交流の検査信号を発生する検査信号発生回路と、
前記給電電極と前記受電電極とが前記第２の方向に間隔をおいた状態で、前記センサ基板と前記被検査基板とを対向させて前記第２の方向に相対的に移動させる移動装置と、
前記センサ基板と被検査基板とが前記移動装置により移動されかつ前記検査信号が前記給電電極に供給される間の前記センサ回路の出力信号を基に、前記電路の正否を判定する判定回路とを含み、
前記検査信号発生回路は、さらに、前記第２の検査信号を前記第２の給電電極に供給し、
前記判定回路は、さらに、前記第２の検査信号を受信している前記電極に対向された電路をクロス不良と判定することを含む、検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネル用のガラス基板のように多数の配線を備えた被検査基板の検査に用いるセンサ基板を用いる検査方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルに用いられるガラス基板のように縦横に伸びる多数の配線（すなわち、電路）を備えた被検査基板は、それらの配線の断線及び短絡の有無を検査される。そのような検査に用いるセンサ基板並びにこれを用いる検査方法及び装置の１つとして、特許文献1に記載された技術がある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１９１３８１号公報
【０００４】
この従来技術におけるセンサ基板は、被検査基板であるガラス基板に形成された配線の長手方向に間隔をおいた少なくとも一対の給電電極及び受電電極を備えている。
【０００５】
そのようなセンサ基板を用いる検査は、センサ基板の給電電極及び受信の電極をそれぞれ配線の被検査領域の一端部及び他端部に対向させた状態で、給電電極から配線に向けて交流信号を供給しつつ、及びその検査信号を配線を介して受電電極で受信しつつ、センサ基板を検査すべき複数の配線を横切って移動させることにより、行われる。
【０００６】
配線の異常は、給電電極及び受電電極が配線と対向しているにもかかわらず、その配線を介して検査信号が受電電極に受信されない場合に、その配線は断線している、と判定することにより行われる。
【０００７】
しかし、上記従来技術では、両電極を配線の長手方向に離間させた状態で、センサ基板を配線を横切る方向に移動させる。このため、そのような検査だけでは、断線の有無は検出できるが、配線の長手方向における断線箇所は検出できない。
【０００８】
このため、上記の従来技術では、断線箇所を特定するために、両電極を断線している配線の位置に戻し、検査信号の送受信を再度行いつつ、両電極の一方を他方に接近させて、検査信号を受電電極に受信できない箇所を検出する作業を断線している配線毎に行っている。
【０００９】
そのような従来技術では、配線の長手方向における断線箇所を特定する工程を、断線の有無の検査工程の他に行わなければならないのみならず、断線している配線毎に行わなければならない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、センサ基板と被検査基板とを相対的に一回移動させることにより、断線の有無と断線箇所とを特定可能にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
センサ基板を用いる検査方法及び装置は、第１の方向に間隔をおいて第２の方向へ伸びる複数の電路を備える、表示用パネルのガラス基板のような被検査基板の検査に用いられる。
【００１２】
センサ基板は、交流の検査信号を前記電路に非接触で供給する少なくとも１つの給電電極と、少なくとも前記第１の方向に間隔をおいた複数の受電電極であってそれぞれが前記電路に供給された検査信号を非接触で受けるように前記給電電極から前記第２の方向に間隔をおいた複数の受電電極と、該受電電極での受信信号の有無を表す電気信号を出力する複数のセンサ回路とを含む。
【００１３】
前記第１の方向に間隔をおいた少なくとも２つの前記給電電極が備えられ、また前記複数の受電電極は、それぞれが前記第１の方向に間隔をおいて前記給電電極に対応された少なくとも２つの受電電極グループであってそれぞれが対応する給電電極からの検査信号を受信可能の複数の受電電極を含む受電電極グループに分けられていてもよい。
【００１４】
前記第１の方向に間隔をおいた複数の前記給電電極が備えられ、また前記複数の受電電極は前記給電電極に一対一の形に対応されていてもよい。
【００１５】
前記複数のセンサ回路は前記受電電極に一対一の形に接続されていてもよい。
【００１６】
前記被検査基板は、さらに、前記第２の方向に間隔をおいて前記第１の方向へ伸びる複数の第２の電路を備え、また当該センサ基板は、さらに、前記第２の電路に交流の第２の検査信号を供給する少なくとも１つの第２の給電電極を含むことができる。
【００１７】
前記第２の給電電極は前記第1の方向における前記給電電極及び前記受電電極の配置領域から外れた箇所に配置されていてもよい。
【００１８】
検査方法は、前記給電電極と前記受電電極とが前記第２の方向に間隔をおいて対向する状態で、上記のようなセンサ基板と被検査基板とを前記第２の方向に相対的に移動させる移動ステップと、該移動ステップの間に前記給電電極に交流の検査信号を供給する給電ステップと、該給電ステップの間に前記センサ回路の出力信号を基に前記電路の正否を判定する判定ステップとを含む。
【００１９】
前記給電ステップは前記検査信号を複数の給電電極に異なるタイミングで供給し、また前記判定ステップは前記給電電極への給電のタイミングと同期して前記電路の正否を判定してもよい。
【００２０】
前記判定ステップは、前記電路に対向された受電電極に接続されたセンサ回路の出力信号と、前記電路に対向されない受電電極に接続されたセンサ回路の出力信号とを基に、前記電路の正否を判定してもよい。
【００２１】
前記給電ステップ又は検査信号発生回路は、前記第２の検査信号を前記第２の給電電極に供給し、前記判定ステップ又は前記判定回路は、前記第２の検査信号を受信している前記電極に対向された電路をクロス不良と判定するようにしてもよい。
【００２２】
前記判定ステップは、さらに、前記電路が不良である、と判定したときの前記第２の方向における前記センサ基板と被検査基板との相対的位置から前記電路の不良箇所を特定してもよい。
【００２３】
検査装置は、前記給電電極に供給する交流の検査信号を発生する検査信号発生回路と、前記給電電極と前記受電電極とが前記第２の方向に間隔をおいて対向する状態で及び上記のようなセンサ基板と被検査基板とを前記第２の方向に相対的に移動させる移動装置と、前記センサ基板と被検査基板とが前記移動装置により移動されかつ前記検査信号が前記給電電極に供給される間の前記センサ回路の出力信号を基に、前記電路の正否を判定する判定回路とを含む。
【００２４】
前記判定回路は、前記電路に対向された受電電極に接続されたセンサ回路の出力信号と、前記電路に対向されない受電電極に接続されたセンサ回路の出力信号を基に、前記電路の正否を判定してもよい。
【００２５】
前記検査信号発生回路は、さらに、前記第２の検査信号を前記第２の給電電極に供給し、前記判定回路は、さらに、前記第２の検査信号を受信している前記電極に対向された電路をクロス不良と判定してもよい。
【００２６】
前記判定回路は、さらに、前記電路が不良である、と判定したときの前記第２の方向における前記センサ基板と被検査基板との相対的位置から前記電路の不良箇所を特定するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２７】
本発明においては、少なくとも１つの給電電極と第１の方向に間隔をおいた複数の受電電極とを電路の長手方向に離間させた状態で、センサ基板と被検査基板とを互いに対向させて電路の長手方向に相対的に移動させ、その間交流の検査信号を給電電極から電路に向けて供給すると共に、電路に流れる検査信号を受電電極に受ける。
【００２８】
電路が断線していると、検査信号が電路に対向されている受電電極に到達しないから、その電路が断線していることを表す「信号なし」の異常信号がセンサ回路から出力される。これにより、「電路が断線している」と判定することができる。
【００２９】
電路の長手方向における断線箇所は、受電電極での受信信号が無いとき、受電電極で受信すべき検査信号が有りから無しに変化したとき、及び、受電電極での受信信号が無しから有りに変化したときを含むグループから選択される少なくとも１つのときの第２の方向におけるセンサ基板と被検査基板との相対的位置（すなわち、座標値）から特定することができる。
【００３０】
上記のように本発明によれば、センサ基板と被検査基板とを相対的に一回移動させることにより、断線の有無と断線箇所とを特定することができる。
【００３１】
センサ基板が第１の方向に間隔をおいた少なくとも２つの給電電極を備え、かつ複数の受電電極が第１の方向に間隔をおいて給電電極に対応された少なくとも２つの受電電極グループであってそれぞれが対応する給電電極からの検査信号を受信可能の複数の受電電極を含む受電電極グループに属するように分けられているか、給電電極に一対一の形に対応されている場合、検査信号を複数の給電電極に異なるタイミングで供給し、給電電極への給電のタイミングと同期して電路の正否を判定することができる。
【００３２】
同様に、センサ基板が第１の方向に間隔をおいた複数の給電電極を備え、かつ複数の受電電極が給電電極に一対一の形に対応されている場合も、検査信号を複数の給電電極に異なるタイミングで供給し、給電電極への給電のタイミングと同期して電路の正否を判定することができる。
【００３３】
上記のようにすれば、いずれも、特定の電路に検査信号が供給されていないタイミングであるにもかかわらず、その特定の電路に対向する受電電極が検査信号を受信することがある。この場合、その特定の電路は他の電路と短絡しているから、電路相互の短絡及び短絡箇所を容易に特定することができる。
【００３４】
被検査基板が上記のような電路と交差する複数の第２の電路を備え、かつセンサ基板がさらに前記第２の電路に交流の第２の検査信号を供給する少なくとも１つの第２の給電電極を含む場合、第２の検査信号を受電電極で受信することがある。この場合、第２の検査信号を受信している受電電極と対向する電路は第２の電路と短絡しているから、その電路がクロス短絡をしていること及びその箇所を容易に特定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
【実施例】
【００３６】
［被検査基板の実施例］
【００３７】
図１及び図２を参照するに、検査装置１０は、被検査基板１２の検査に用いられる。被検査基板１２は、液晶表示パネル用のガラス基板のような未完成の被検査基板であり、またそれぞれが完成後の液晶表示パネルのガラス基板として作用する複数（図示の例では、６つ）の配線領域を有する。
【００３８】
被検査基板１２は、可撓性を有する長方形のガラス板１４の各配線領域の一方の面に、並列的な複数の第１の電路１６と、並列的な複数の第２の電路１８とを有する。第１及び第２の電路１６及び１８は、それらの間に配置された透明な絶縁層（図示せず）により電気的に絶縁されている。
【００３９】
第１の電路１６は、ガラス板１４と平行な面内を第１の方向に間隔をおいて第２の方向に伸びており、第２の電路１８はガラス板１４と平行な面内を第１の方向と交差する第２の方向に間隔をおいて第１の方向に伸びている。
【００４０】
第１及び第２の電路１６及び１８は、いずれも、導電性の配線パターンの一部（すなわち、配線）であり、また第２の電路１８が第１の電路１６よりもガラス板１４の側となるように前記絶縁層を介して積層されている。
【００４１】
［センサ基板の実施例］
【００４２】
検査装置１０は、センサ基板２０を含む。
【００４３】
センサ基板２０は、図３に示すように、後に説明する複数のセンサ回路３８（図４）を備えるセンサ回路群２２と、少なくとも２つの給電電極２４及び２６と、センサ回路３８に一対一の形に対応された複数の受電電極２８と、センサ回路３８の端子に一対一の形に接続された複数の端子３０と、給電電極２４及び２６に一対一の形に接続された少なくとも２つの端子３２及び３４とを長方形のガラス板３６の一方の面に形成している。
【００４４】
給電電極２４及び２６は、ガラス板３６の長手方向（図示の例では、第１の方向）に長い帯状の形状を有しており、またガラス板３６の幅方向（図示の例では、第２の方向）における一端部に第１の方向に間隔をおいて形成されている。
【００４５】
図示の例では、給電電極２４及び２６は、それぞれ、第１の方向（図３において、左右方向）に連続する中央領域２４ａ及び２６ａと、中央領域２４ａ及び２６ａの幅方向の各側縁から第１の方向に間隔をおいて第２の方向(図３において、上下方向)に突出する凸部２４ｂ及び２６ｂとを有している。
【００４６】
受電電極２８は、隣り合う電極２８が第１の方向と第２の方向とに間隔をおくように、ガラス板３６の幅方向中央領域にジグザグ状に形成されており、また給電電極２４又は２６に対応された２つの電極グループに分けられている。
【００４７】
第１の方向における各受電電極２８の位置は、対応する給電電極２４又は２６からの検査信号を受信可能に、対応する給電電極２４又は２６の第１の方向における位置と一致されている。図示の例では、検査信号の送受信の確実性を高めるために、第１の方向における各受電電極２８の位置は、同方向における凸部２４ｂ又は２６ｂの位置とされている。
【００４８】
端子３０は、ガラス板３６の幅方向における他端部に第１の方向に間隔をおいて形成されている。端子３２及び３４は、それぞれ、第１の方向における端子３０の配置領域の一端部及び他端部の外領域に形成されている。
【００４９】
給電電極２４及び２６は、それぞれ、配線３９及び４０により端子３２及び３４に接続され、各受電電極２８は配線４１により対応するセンサ回路３８に接続されている。
【００５０】
各端子３０は図４を参照して後に説明するように配線４４によりセンサ回路３８のいずれかの端子に接続されている。端子３０，３２及び３４は、可撓性を有する複数のフラットケーブル４２のいずれかの配線に接続されている。
【００５１】
図４に示すように、センサ回路群２２の各センサ回路３８は、電界効果型の薄膜トランジスタ４６と、一端がトランジスタ４６のソース電極に接続された負荷抵抗４８と、一端がトランジスタ４６のソース電極と負荷抵抗４８との間に接続された出力ダイオード５０とを備える。
【００５２】
センサ回路３８の出力信号は、後に説明する制御装置７８に、対応する給電電極２４又は２６への検査信号の供給時に順次読み取られ、制御装置７８において電路１６の正否の判定及び不良箇所の特定に用いられる。
【００５３】
トランジスタ４６のゲート電極は配線４１により対応する受電電極２８に接続され、負荷抵抗４８の他端は配線４４により端子３０に接続され、出力ダイオード５０の他端は他の配線４４により端子３０に接続されている。これに対し、トランジスタ４６のドレイン電極は、内部配線５２により他のトランジスタ４６のドレイン電極と共通にアース電極に接続されている。
【００５４】
少なくとも１つの端子３０は、アース用の端子であり、またいずれかの配線５２により上記アース電極に接続されている。
【００５５】
センサ回路群２２は、給電電極２４，２６、受電電極２８、端子３０，３２，３４、配線３９，４０，４１，４４と共に、公知の薄膜半導体集積回路の製造技術によりガラス板３６の下面に製作することができる。
【００５６】
被検査体１２とセンサ基板２０とは、センサ回路群２２が被検査基板１２の電路１６，１８が形成された面側となりかつ給電電極２４，２６と受電電極２８とが電路１６の長手方向に離間するように対向されて、被検査基板１２に対し所定の隙間Ｇ（例えば、５０μｍ）を維持される。
【００５７】
上記の状態で、被検査基板１２とセンサ基板２０とは、電路１６の長手方向に相対的に移動される。被検査基板１２とセンサ基板２０との相対的移動は、連続的であってもよいし、間欠的であってもよい。
【００５８】
［検査方法の実施例］
【００５９】
図６から図８に示すように、第１の方向における受電電極２８の配置ピッチは、同方向における電路１６の配置ピッチの２倍以上（図示の例では、１２倍）である。このため、被検査基板１２とセンサ基板２０とが相対的に移動される間、少なくとも１つの受電電極２８が１つの電路１６に対向され、他の少なくとも１つの受電電極２８がいずれの電路１６にも対向されない。
【００６０】
被検査基板１２とセンサ基板２０とが上記のように相対的に移動される間に、交流の検査信号が給電電極２４及び２６に交互に繰り返し供給される。これにより、交流の検査信号が各電路１６に誘起されて、断線、相互短絡及びクロス短絡の有無並びにそれら不良箇所の特定のための検査が繰り返し行われる。
【００６１】
全てのセンサ回路３８の出力信号は、検査信号が給電電極２４に供給されている間に少なくとも一回、後に説明する制御装置７８に順次読み取られて電路１６の正否の判定に用いられると共に、検査信号が給電電極２６に供給されている間に少なくとも一回、制御装置７８に順次読み取られて電路１６の正否の判定に用いられる。
【００６２】
図５（Ａ）は給電電極２４に供給する検査信号の波形の一例を示し、図５（Ｂ）は給電電極２６に供給する検査信号の波形の一例を示す。
【００６３】
図５（Ｃ）から（Ｇ）は、センサ回路３８の出力信号を整流し波形整形した後の信号を示す。しかし、以下の説明では、理解を容易にするために、図５（Ｃ）から（Ｇ）に示す信号を単に「処理信号」という。
【００６４】
給電電極２４に供給する検査信号と給電電極２６に供給する検査信号とは、周波数は同じであるが、供給のタイミングすなわち給電タイミング（給電位相）が異なる。しかし、給電電極２４に供給する検査信号と給電電極２６に供給する検査信号とは、異なる周波数を有していてもよい。
【００６５】
電路１６が正常であれば、その電路１６に対向された受電電極２８は検査信号を受信し、その受電電極２８に対応するセンサ回路３８が所定のタイミングすなわち受電タイミング（受電位相）で「信号あり」を表す信号を出力する。
【００６６】
検査信号は電路１６に対向されない受電電極２８に受信されないから、それらの受電電極２８に対応するセンサ回路３８は信号を出力すべきタイミング（すなわち、受電タイミング）に「信号あり」を表す信号を出力しない。すなわち、「信号なし」を表す信号を出力する。
【００６７】
上記２つの条件により、「電路１６の現在の位置は正常である」と判定することができる。
【００６８】
図５（Ｃ）は、給電電極２４に対応された電極グループに属する受電電極２８のうち、電路１６に対向された受電電極２８の受信信号を処理するセンサ回路３８の出力信号の処理信号を示す。
【００６９】
図５（Ｄ）は給電電極２６に対応された電極グループに属する受電電極２８のうち、電路１６に対向された受電電極２８の受信信号を処理するセンサ回路３８の出力信号の処理信号を示す。
【００７０】
しかし、断線箇所を図６に符号５４で示すように、電路１６ａが断線していると、その電路１６ａに対向された受電電極２８ａに検査信号が到達しない。その結果、その受電電極２８ａに対応するセンサ回路３８が信号を出力すべきタイミング（すなわち、受電タイミング）に図５（Ｅ）に点線で示す処理信号となる「信号あり」を表す信号を出力しない（出力信号は、「信号なし」を表す信号になる）。これにより、「電路１６が断線している」と判定することができる。
【００７１】
図５（Ｅ）は、給電電極２４に対応された電極グループに属する受電電極２８のうち、断線している電路１６ａに対向された受電電極２８ａの受信信号を処理するセンサ回路３８の出力信号の処理信号を示す。
【００７２】
短絡パターンを図７に符号５６で示すように、少なくとも２つの電路１６ｂ、１６ｂが短絡パターン５６により短絡されていると、いずれの電路１６にも対向されずかつ短絡パターン５６に対向された受電電極２８ｂが検査信号を受信する。その結果、受電電極２８ｂに対応するセンサ回路３８が図５（Ｆ）に示す処理信号となる「信号あり」を表す信号を出力する。これにより、「少なくとも２つの電路１６ｂが相互短絡をしている」と判定することができる。
【００７３】
短絡箇所を図８に符号５８で示すように、電路１６ｃが少なくとも１つの電路１８ｃと短絡していると、その電路１６ｃに対向された受電電極２８ｃが信号を受信すべきでないタイミング（すなわち、非受電タイミング）に電路１８ｃを経由する検査信号を受信する。その結果、受電電極２８ｃに対応するセンサ回路３８は図５（Ｇ）に示す処理信号となる「信号あり」を表す信号を出力する。これにより、「電路１６ｃと１８ｃがクロス短絡している」と判定することができる。
【００７４】
給電電極２６に対応された電極グループに属する受電電極２８の受信信号を処理するセンサ回路３８は、「信号あり」又は「信号なし」を表す信号を出力タイミング（すなわち、受電タイミング）が、給電電極２４に対応された電極グループに属する受電電極２８の受信信号を処理するセンサ回路３８と異なるのみで、それらと同様に動作する。
【００７５】
上記のように、「電路１６が、断線、相互短絡又はクロス短絡をしている」との判定は、対応する受電電極での受信信号が無のとき、対応する受電電極での受信信号が有から無に変化したとき、対応する受電電極での受信信号が無から有に変化したとき、及びそれらの組み合わせたときを含むグループから選択される少なくとも１つのときに行うことができる。
【００７６】
断線している電路１６ａ、相互に短絡している電路１６ｂ及び１６ｂ、クロス短絡している電路１６ｃ及び１８ｃ等は、断線、相互短絡又はクロス短絡と判定したときの、第１の方向におけるセンサ基板２０と被検査基板１２との相対的位置、すなわち座標値（例えば、第１の方向における電路１６又は受電電極２８の位置、すなわち電路１６又は受電電極２８の番号）から特定することができる。
【００７７】
電路１６の不良箇所は、「電路が不良である」と判定されたときの第２の方向におけるセンサ基板２０と被検査基板１２との相対的位置（例えば、第２の方向における受電電極２８と被検査基板１２又は電路１６との座標値）から特定することができる。
【００７８】
上記のように、不良電路とその不良箇所とは、「電路が不良である」と判定したときの第２の方向におけるセンサ基板２０と被検査基板１２との相対的位置から特定することができる。
【００７９】
具体的には、電路の長手方向における断線箇所は、受電電極２８での受信信号が無いとき、受電電極２８で受信すべき検査信号が有りから無しに変化したとき、及び、受電電極２８での受信信号が無しから有りに変化したときを含むグループから選択される少なくとも１つのときの第２の方向におけるセンサ基板２０と被検査基板１２との相対的位置（すなわち、座標値）から特定することができる。
【００８０】
［センサ基板の他の実施例］
【００８１】
図９及び図１０を参照するに、センサ基板６０は、図３に示すセンサ基板２０における給電電極２４及び２６の代わりに、それぞれが受電電極２８に一対一の形で対応された複数の給電電極６２を第１の方向と第２の方向とに間隔をおくように、ガラス板１４の幅方向における一端部に備えている。
【００８２】
図示の例では、第１の方向における給電電極６２の配置ピッチは、同方向における電路１６の配置ピッチの２倍以上（図示の例では、４倍）である。したがって、給電電極６２は、４つずつの電極グループに分けられている。
【００８３】
以下、各電極グループの給電電極６２のそれぞれを表すとき、「第１の給電電極６２」、「第２の給電電極６２」、「第３の給電電極６２」又は「第４の給電電極６２」という。
【００８４】
センサ基板６０は、また、図３に示すセンサ基板２０の端子３２及び３４の代わりに、それぞれが第１，第２，第３及び第４の端子を含む２組の端子６４及び６４を含む。一方及び他方の組の端子６４及び６４は、それぞれ、第１の方向における端子３０の配置領域の一端部及び他端部の外領域に形成されている。
【００８５】
各組の第１，第２，第３及び第４の端子は、それぞれ、第１，第２，第３及び第４の給電電極に対応されて、対応する第１，第２，第３及び第４の給電電極６２に共通に接続されている。給電電極６２は、また、一方の組の端子６４に対応され大電極グループと、他方の組の端子６４に対応された大電極グループとにさらに分けられている。
【００８６】
一方の大電極グループの第１，第２，第３及び第４の給電電極６２は、それぞれ、対応する一方の組の第１，第２，第３及び第４の端子６４に一方の組の第１，第２，第３及び第４の配線６６により共通に接続されている。他方の大電極グループの第１，第２，第３及び第４の給電電極６２は、それぞれ、他方の組の端子６４に他方の組の第１，第２，第３及び第４の配線６６により共通に接続されている。
【００８７】
しかし、上記のように給電電極６２を大電極グループ分けて２組の端子６４に接続する代わりに、１組の第１，第２，第３及び第４の端子６４を設けて、第１，第２，第３及び第４の給電電極６２を、それぞれ、その１組の第１，第２，第３及び第４の端子６４に共通に接続してもよい。
【００８８】
センサ基板６０を用いる検査時、被検査基板１２とセンサ基板６０とが電路１６の長手方向に相対的に移動される間、検査信号が第１，第２，第３及び第４の給電電極６２に一定時間毎に順番に供給される。
【００８９】
検査信号を給電電極６２に供給する順番は、任意であるが、例えば、第１の方向における一端側に位置する電極から他端側に位置する電極の順とすることができる。これにより、検査信号が各給電電極６２に間欠的に繰り返し供給される。
【００９０】
電路１６の断線と、電路１６の相互短絡と、電路１６，１８のクロス短絡と、不良箇所の座標とは、センサ基板２０におけるそれらと同じ手法により判定又は特定することができる。
【００９１】
［センサ基板のさらに他の実施例］
【００９２】
図９及び図１０に示すように、センサ基板６０は、さらに、電路１８に交流の検査信号を供給する少なくとも１つの給電電極６８と、給電電極６８に接続された端子７０とを含むことができる。
【００９３】
以下、給電電極６２及び６８をそれぞれ第１及び第２の給電電極といい、第１及び第２の給電電極に供給する検査信号をそれぞれ第１及び第２の検査信号という。第２の給電電極６８に供給するための第２の検査信号は交流の連続信号である。第１及び第２の検査信号は、同じ周波数であってもよいし、異なる周波数であってもよい。
【００９４】
第２の給電電極６８を備えるセンサ基板６０の検査時、被検査基板１２とセンサ基板６０とが電路１６の長手方向に相対的に移動される間、第１の検査信号が第１の給電電極に一定時間毎に順番に繰り返し供給されると共に、第２の検査信号が第２の給電電極６８に連続して供給される。
【００９５】
電路１６の断線と、電路１６の相互短絡と、不良箇所の座標とは、センサ基板２０におけるそれらと同じ手法により判定することができる。電路１６，１８の相互の短絡は、以下のように判定することができる。
【００９６】
短絡箇所を図１０に符号７２で示すように、電路１６ｄが少なくとも１つの電路１８ｄと短絡していると、その電路１６ｄに対向された受電電極２８ｄが信号を受信すべきでないタイミング（すなわち、非受電タイミング）に第２の検査信号を受信する。
【００９７】
上記の結果、短絡箇所７２が給電電極６２と受電電極２８ｄとの間にありかつ給電電極６８と電路２８ｄとが対向している間、受電電極２８ｄに対応するセンサ回路３８は「信号あり」を表す信号を出力し続ける。これにより、「電路１６ｄと１８ｄが短絡している」と判定することができる。
【００９８】
短絡箇所７２は、センサ回路３８が「信号あり」を表す信号を出力しているときのセンサ基板６０と被検査体１２の相対的位置から特定することができる。
【００９９】
［検査装置の電気回路の実施例］
【０１００】
図１１を参照するに、検査装置１０は、図３に示すセンサ基板２０を用いる。
【０１０１】
検査装置１０は、さらに、交流の検査信号を発生する検査信号発生回路７４と、検査信号発生回路７４に接続すべき給電電極２４，２６を切り換える切換回路７６と、各種の回路及び機械装置を制御すると共に信号を処理する制御装置７８と、制御装置７８に制御されて各種のデータを目視可能に表示する表示装置８０と、後に説明する搬送装置を駆動する駆動装置８２と、各種のデータを記憶するメモリ８４と、制御装置７８に接続すべきセンサ回路３８（図３参照）を切り換える切換回路８６とを含む。
【０１０２】
検査信号は、切換回路７６及び８６における切換周期より短い周期を有する高周波信号である。そのような検査信号は、被検査体１２とセンサ基板２０とが相対的に移動される間、切換回路７６により給電電極２４，２６に交互に繰り返し供給される。
【０１０３】
切換回路７６は、検査信号が給電電極２４に供給されている間はその給電電極２４に対応されたグループに属する受電電極２８に接続されたセンサ回路３８を順次切り換えて制御装置７８に接続し、検査信号が給電電極２６に供給されている間はその給電電極２４に対応されたグループに属する受電電極２８に接続されたセンサ回路３８を順次切り換えて制御装置７８に接続する。
【０１０４】
切換回路８６の切換周波数は、切換回路７６のそれよりより高い。切換回路７６及び８６における切換は、制御装置７８から供給される矩形波状の切換信号により制御される。
【０１０５】
切換回路７６及び８６の切換周波数は、例えば、検査信号が給電電極２４に供給されている間に全てのセンサ回路３８の出力信号が少なくとも一回制御装置７８に順次読み取られると共に、検査信号が給電電極２６に供給されている間に全てのセンサ回路３８の出力信号が少なくとも一回、制御装置７８に順次読み取られるような値とすることができる。
【０１０６】
制御装置７８は、切換回路７６を制御して検査信号を給電電極２４又は２６に供給させつつ、切換回路８６を制御してセンサ回路３８の出力信号（すなわち、受信信号）を順次取り込み、取り込んだ受信信号をセンサ基板と被検査基板との相対的座標と共にメモリ８４に一時的に記憶する。
【０１０７】
メモリ８４に記憶された受信信号は、制御装置７８において電路１６の断線及び短絡の有無（すなわち、電路の正否）を判定すると共に、不良箇所を特定し、それらのデータを電路毎及び不良箇所毎にメモリ８４に記憶し、表示装置８０に表示させること等に用いられる。
【０１０８】
駆動装置８２は、後に説明する搬送装置を駆動させる。この搬送装置は、センサ回路群２２が被検査基板１２の電路１６，１８が形成された面側となりかつ給電電極２４，２６と受電電極２８とが電路１６の長手方向に離間するように、被検査体１２とセンサ基板２０とを対向させて、被検査体１２とセンサ基板２０とを被検査基板１２に対し所定の隙間Ｇに維持した状態で、被検査体１２とセンサ基板２０とを電路１６の長手方向に相対的に移動させる。
【０１０９】
図１２を参照して、上記検査回路による電路の正否の判定法について説明する。図１２は、１つのセンサ回路３８の出力信号に基づく判定法のフローチャートを示すが、他のセンサ回路３８の出力信号に基づく判定も、同様に順次行われる。
【０１１０】
検査は、電路１６の検査すべき領域の一端から他端まで、被検査体１２とセンサ基板２０とを相対的に連続して移動させつつ、検査信号を給電電極２４及び２６に交互に供給することにより行われる。
【０１１１】
被検査体１２とセンサ基板２０とを相対的に移動させるに先立って、電路１６に対向されている受信電極２８を特定して、正規の電路に対向している受電電極２８を決定する処理が行われる。
【０１１２】
上記の作業は、センサ基板２０を電路１６の検査領域の一端に位置させた状態において、検査信号を給電電極２４及び２６に交互に供給し、そのとき検査信号を受信した受電電極２８を確認することにより行われる。その受電電極２８の少なくとも第１の方向における座標値は、正規の電路の座標位置としてメモリ８４に記憶される。
【０１１３】
次いで、制御装置７８は、１つのセンサ回路３８の出力信号を取り込むと共に、そのときの第１の方向におけるセンサ基板２０及び被検査基板１２との相対的位置、すなわち座標値を確認し、取り込んだ信号を確認した相対的位置と共にメモリに記憶する（ステップ１００）。
【０１１４】
第１の方向におけるセンサ基板２０及び被検査基板１２との相対的位置は、例えば、第１の方向における電路１６若しくは受電電極２８の位置、すなわち電路又は受電電極の番号と、第２の方向における受電電極２８及び被検査基板１２の相対的位置、すなわち座標値とすることができる。
【０１１５】
次いで、制御装置７８は、給電タイミングはＡでありかつ受電タイミングはＡであるか、給電タイミングはＢでありかつ受電タイミングはＢであるか、のいずれかに該当するか否かを判定する（ステップ１０１）。
【０１１６】
タイミングＡ及びＢは、それぞれ、給電電極２４及び２６に検査信号を供給するタイミングである。これは、検査信号が給電電極２４及び２６に交互に供給されることによる。したがって、ステップ１０１により、原時点の給電と受電のタイミングの関係が判定される。
【０１１７】
ステップ１０１における判定の結果、Ｙｅｓである（給電と受電のタイミングとが一致している）と、制御装置７８は、その電路が正規の電路であるか否かを判定する（ステップ１０２）。このステップ１０２により、原時点が正規電路に対向された受電電極２８に接続されたセンサ回路３８の出力信号を判定すべきタイミングであるか否かについて判定される。
【０１１８】
ステップ１０２における判定の結果、Ｙｅｓ（正規電路に対向された受電電極２８に接続されたセンサ回路３８の出力信号の判定タイミング、すなわち、正規の電路の判定タイミング）であると、制御装置７８は、「信号あり」が入力したか否かを判定する（ステップ１０３）。このステップ１０３により、電路１の断線の有無が確認される。
【０１１９】
ステップ１０３における判定の結果、Ｙｅｓである（「信号あり」が入力している）と、制御装置７８は、正規電路の現在の箇所は正常であると判定して、次の信号の取り込み及び座標値の確認等の処理に移るためにステップ１００に戻る。
【０１２０】
ステップ１０３における判定の結果、Ｎｏ（「信号あり」の入力なし）であると、制御装置７８は、「正規電路が断線している」と判定して、断線している旨をその断線箇所の座標値と共にメモリ８４に書き込んだ後、ステップ１００に戻る（ステップ１０４）。
【０１２１】
ステップ１０２における判定の結果、Ｎｏである（正規の電路の位置ではない）と、制御装置７８は、「信号あり」が入力したか否かを判定する（ステップ１０５）。このステップ１０５により、電路１６の相互短絡が確認される。
【０１２２】
ステップ１０５における判定の結果、Ｙｅｓである（「信号あり」が入力している）と、制御装置７８は、相互短絡と判定して、その旨をその相互短絡箇所の座標値と共にメモリ８４に記憶した後、ステップ１００に戻って、次のセンサ回路３８の出力信号の取り込み、座標値の確認等の処理に移る（ステップ１０６）。
【０１２３】
ステップ１０５における判定の結果、Ｎｏである（「信号あり」が入力していない）と、制御装置７８は、「現在の箇所は正常である」と判定して、ステップ１００に戻る。
【０１２４】
ステップ１０１における判定の結果、Ｎｏである（給電タイミングと受電タイミングとが一致していない）と、制御装置７８は、「信号あり」が入力したか否かを判定する（ステップ１０７）。
【０１２５】
このステップ１０７により、給電と受電のタイミングが一致しない（正規電路の位置ではない）にも関わらず、「信号あり」が入力しているか否か、すなわち電路１６がクロス短絡していないか否かの判定が行われる。
【０１２６】
ステップ１０７における判定の結果、Ｙｅｓである（「信号あり」が入力している）と、制御装置７８は、クロス短絡をしている旨をそのクロス短絡箇所の座標値と共にメモリ８４に記憶した後、ステップ１００に戻って、次の信号の取り込み及び座標値の確認等の処理に移る（ステップ１０８）。
【０１２７】
ステップ１０７における判定の結果、Ｎｏである（「信号あり」が入力していない）と、制御装置７８は、「現在の箇所は正常である」と判定して、ステップ１００に戻る。
【０１２８】
電路１６の異常箇所は、複数箇所に及ぶことがある。したがって、被検査基板１２とセンサ基板２０と相対的に移動される間に、電路の異常箇所が見つかっても、上記のような検査は、被検査基板１２とセンサ基板２０とを電路の被検査領域の一端から他端まで移動させつつ、その間繰り返し行われる。
【０１２９】
［検査装置のメカニズムの実施例］
【０１３０】
図１３から図１８を参照するに、検査装置１０は、さらに、当該検査装置１０の各種の機械装置を支持する支持台として作用するフレーム１３０と、被検査基板１２を左右方向に搬送する搬送装置１３２と、被検査基板１２からの電気信号を検出する検出ヘッドすなわちセンサ基板２０と、被検査基板１２の受け渡しをする一対の受け渡し装置１３６と、一方の受け渡し装置１３６に受けた表示用パネル１２のセンターリングを行うセンターリング装置１３８とを含む。
【０１３１】
フレーム１３０は、センサ基板２０からの電気信号を基に、電路の断線及び短絡、不良箇所（座標値）等を確認して記憶するテスター部１４０と、検査装置１０に備えられた各種の機械装置を制御する制御部１４２とを収納している。
【０１３２】
搬送装置１３２は、上下方向（Ｚ方向）に間隔をおいて左右方向（Ｘ方向）へ平行に伸びる一対の第１の搬送部材１４４と、上下方向に間隔をおいて左右方向へ平行に伸びる一対の第２の搬送部材１４６とを含む。第１及び第２の搬送部材１４４及び１４６は、それぞれ、第１及び第２の搬送部を形成する。
【０１３３】
第１及び第２の搬送部材１４４及び１４６のそれぞれは、空気の噴射及び吸引により平板状部材を所定の高さ位置に、維持する又は維持しつつ搬送する周知の装置である。そのような搬送部材は、プレッシャー・バキューム・プレート（ＰＶプレート）のような商品名で市販されている。
【０１３４】
第１の搬送部材１４４は、空気を被検査基板１２に向けて噴射すると共に被検査基板１２の搬送空間の空気を吸引することにより被検査基板１２をセンサ基板２０から下方に離間した第１の搬送位置に維持しつつ搬送するように、搬送装置１３２による被検査基板１２の搬送方向における上流側に配置されている。
【０１３５】
第２の搬送部材１４６は、空気を被検査基板１２に向けて噴射すると共に被検査基板１２の搬送空間の空気を吸引することにより被検査基板１２をセンサ基板２０から下方にわずかに離間した第２の搬送位置に維持しつつ搬送するように、被検査基板１２の搬送方向における下流側に配置されている。
【０１３６】
第１の搬送位置は、搬送される被検査基板１２がセンサ基板２０から大きく離間されて、被検査基板１２がセンサ基板２０の下面と平行に搬送される位置である。センサ基板２０の下面と第１の搬送位置との間隔は、センサ基板２０から第２の搬送位置までの寸法に、後に説明するフラットケーブル４２の厚さ寸法に５０μｍを加えた値以上の寸法、例えば１００μｍ以上とすることができる。
【０１３７】
第２の搬送位置は、第１の搬送位置よりセンサ基板２０に近い位置であって被検査基板１２がセンサ基板２０の下面と平行に搬送される位置である。センサ基板２０の下面と第２の搬送位置との間隔は、被検査基板１２がセンサ基板２０から５０μｍ程度離間される位置とすることができる。
【０１３８】
被検査基板１２が第１の搬送位置から第２の搬送位置に搬送される搬送路は、被検査基板１２自体が湾曲される湾曲搬送路として作用する。
【０１３９】
上記のように被検査基板１２を第１又は第２の搬送位置に維持しつつ搬送するには、例えば空気の噴射量及び吸引量を上下の搬送部材で異なるようにすればよい。
【０１４０】
上側の第１の搬送部材１４４の下流端部の下面と、下側の第２の搬送部材１４６の上流端部の上面とは、対向されている。また、上側の第１及び第２の搬送部材１４４及び１４６は、センサ基板２０が両者の間に位置するように、左右方向に間隔をおいている。
【０１４１】
上記の結果、被検査基板１２は、これが第１の搬送部材１４４による基板搬送路から第２の搬送部材１４６による基板搬送路に移行するとき、図１６に示すように、第１の搬送位置から第２の搬送位置に、すなわちセンサ基板２０から大きく離れた位置からセンサ基板２０に接近した位置に湾曲される。
【０１４２】
下側の第１及び第２の搬送部材１４４及び１４６は、被検査基板１２の搬送方向へ伸びるようにフレーム１３０の上に取り付けられたベース板１４８に取り付けられている。これに対し、上側の第１及び第２の搬送部材１４４及び１４６は、フレーム１３０の上に取り付けられた門型の組み付け装置１５０に取り付けられている。
【０１４３】
組み付け装置１５０は、センサ基板２０を間にして前後方向に間隔をおいて左右方向に伸びる状態にフレーム１３０に取り付けられた一対の支持部材１５２と、両支持部材１５２を連結する複数の連結部材１５４と、それら連結部材１５４に個々に結合された複数の結合部材１５６とを備えている。
【０１４４】
図示の例では、連結部材１５４は５つ設けられており、結合部材１５６は３つ設けている。上側の第１及び第２の搬送部材１４４及び１４６のそれぞれは、結合部材１５６に取り付けられている。残りの結合部材１５６には、センサ基板２０が取り付けられている。
【０１４５】
搬送装置１３２は、また、被検査基板１２をこれの側縁部に当接して共同して把持する一対のホルダ機構と、これらホルダ機構に個々に対応されて、対応するホルダ機構を左右方向に同期して移動させる一対のホルダ移動機構と含む。
【０１４６】
ホルダ機構及びホルダ移動機構からなる２組の機構は、被検査基板１２の搬送路を間にして前後方向に間隔をおいており、またフレーム１３０の上に配置されている。これらホルダ機構及びホルダ移動機構は、第１及び第２の搬送部材１４４及び１４６による被検査基板１２の搬送を補助する搬送補助装置１５８を構成している。
【０１４７】
各ホルダ機構は、被検査基板１２の搬送路の外側を左右方向に伸びる支持部材１６０と、被検査基板１２の前後方向における側縁部に当接可能に支持部材１６０に左右方向に間隔をおいて支持された複数の基板ホルダ１６２と、基板ホルダ１６２を被検査基板１２の側縁部の移動路に対し出入りさせるように支持部材１６０を前後方向に移動させるアクチュエータ１６４とを含む。
【０１４８】
一方のホルダ機構の各基板ホルダ１６２は、他方のホルダ機構の基板ホルダ１６２の１つと前後方向に対向されて、他方のホルダ機構の基板ホルダ１６２の１つと共に前後方向に対向する基板ホルダの組又は対を形成している。
【０１４９】
各基板ホルダ１６２は、これを上下方向に移動させる上下移動機構１６６により支持部材１６０に取り付けられている。図示の例では、各上下移動機構１６６は、上下方向へ伸びる状態に支持部材１６０に取り付けられたリニアレール（すなわち、固定子）１６６ａ（図１８参照）と、リニアレール１６６ａに上下動可能に結合された可動体（すなわち、可動子）１６６ｂ（図１８参照）とを備えるリニアモータである。
【０１５０】
各基板ホルダ１６２は、リニアモータの可動体１６６ｂに取り付けられている。各基板ホルダ１６２の最下端位置は、リニアモータのリニアレール１６６ａに取り付けられたストッパ１６８（図１８参照）により制限される。各基板ホルダ１６２は、前後方向への移動にともなって被検査基板１２の側縁部を受け入れる横Ｖ字状の凹所１７０（図１８参照）を有している。
【０１５１】
アクチュエータ１６４は、図示の例では、前後方向に伸縮する空気圧又は油圧式のシリンダ機構である。アクチュエータ１６４は、そのシリンダ本体においてホルダ移動機構に支持されており、またピストンロッドにおいて支持部材１６０に結合されている。
【０１５２】
各ホルダ機構は、また、支持部材１６０から被検査基板の側縁部と反対側に伸びる複数のロッド１７２と、このロッド１７２が前後方向に移動可能に貫通するブッシュ１７４とを含む。各ホルダ機構は、ブッシュ１７４においてホルダ移動機構に支持されて、そのホルダ移動機構により左右方向に移動される。
【０１５３】
ホルダ移動機構は、被検査基板１２の搬送路を間にして前後方向に間隔をおいた一対のアクチュエータ１７６を備える。アクチュエータ１７６は、図示の例では、左右方向へ伸びる状態にフレーム１３０に取り付けられたリニアレール（すなわち、固定子）１７６ａと、リニアレール１７６ａに左右方向に移動可能に結合されたリニアガイド（すなわち、可動子）１７６ｂとを備えるリニアモータである。アクチュエータ１６４及びブッシュ１７４は、リニアガイド７６ｂに支持されている。
【０１５４】
搬送補助装置１５８は、図１４において左端部の待機位置で待機する。この待機位置において、基板ホルダ１６２は被検査基板１２の搬送路から離間されている。
【０１５５】
上記待機位置において、搬送補助装置１５８は、アクチュエータ１６４により支持部材１６０を被検査基板１２に向けて移動させる。これにより、基板ホルダ１６２は、被検査基板１２の搬送路に移動されて、受け渡し装置１３６上の被検査基板１２を把持し、その被検査基板１２を受ける。
【０１５６】
被検査基板１２を受けると、搬送補助装置は、被検査基板１２を基板ホルダ１６２で把持した状態で、アクチュエータ１７６により図１４において左方から右方へ移動され、それにより被検査基板１２を図１４において右端部に搬送する。この位置において、基板ホルダ１６２は、被検査基板１２の搬送路の外に移動されて、被検査基板１２を解放する。
【０１５７】
搬送補助装置１５８による基板の把持及びその解除は、両ホルダ機構の対向する基板ホルダ１６２の組を被検査基板１２の側縁部の移動路に対し出入りさせるように相寄り合い離れる方向へ移動させることにより、行われる。これにより、基板ホルダ１６２による被検査基板の把持及びその解除が確実に行われる。
【０１５８】
被検査基板１２の搬送終了後、補助搬送装置１５８は待機位置に戻される。
【０１５９】
被検査基板１２の搬送途中において、各基板ホルダ１６２は、これが第１の搬送部材１４４による基板搬送路から第２の搬送部材１４６による基板搬送路に移行するとき、第１の搬送位置から第２の搬送位置への被検査基板１２の湾曲に応じて、上下動機構１６６により上昇される。これにより、被検査基板１２は確実に湾曲される。
【０１６０】
図１６に示すように、各フラットケーブル４２は、その一端部においてセンサ基板２０の下面の最上流側の端部に固着されており、また他端部をセンサ基板２０とこれの上流側に位置する上側の搬送部材１４４との間を介してセンサ基板２０の上方に引き出されている。各フラットケーブル４２の他端部は、図１３に示すテスター部１４０に接続される。
【０１６１】
一方の受け渡し装置１３６とセンターリング装置１３８とは、搬送装置１３２による基板搬送路の最上流側に配置されており、他方の受け渡し装置１３６は、搬送装置１３２による基板搬送路の最下流側に配置されている。
【０１６２】
各受け渡し装置１３６は、搬送装置１３２及び搬送用ロボット（図示せず）に対する被検査基板１２の受け渡しをするように、複数の昇降ピン１８０を昇降機構（図示せず）により昇降させて、被検査基板１２を昇降させる公知の装置である。
【０１６３】
各受け渡し装置１３６は、昇降ピン１８０を下降させた状態で待機し、昇降ピン１８０を上昇させることにより、ロボット、作業者又は搬送装置１３２から被検査基板１２を受け、昇降ピン１８０を下降させることにより被検査基板１２を搬送装置１３２、ロボット又は作業者に渡す。
【０１６４】
センターリング装置１３８は、複数のセンターリングピン１８２を移動機構（図示せず）により、一方の受け渡し装置１３６に受けられた被検査基板１２の中心に向けて移動させ、それにより被検査基板１２のセンターリングをする公知の装置である。このセンターリング装置１３８により被検査基板１２はプリアライメントをされる。
【０１６５】
センターリング装置１３８は、受け渡し装置１３６が被検査基板１２の受け渡しをするとき、センターリングピン１８２を広げ（待機し）ており、被検査基板１２のセンターリングをするとき、センターリングピン１８２を中心側に移動させる。
【０１６６】
検査装置１０は、以下のように作動する。
【０１６７】
各基板ホルダ１６２は、被検査基板１２の受け渡し及びセンターリングを妨げない位置に退避されている。
【０１６８】
上記状態において、被検査基板１２が、ロボット又は人手により、図１４における左端部に配置された受け渡し装置１３６の上方に搬送される。この状態で、その受け渡し装置１３６が、昇降ピン１８０を上昇させて、被検査基板１２を昇降ピン１８０に受ける。
【０１６９】
次いで、センターリング装置１３８が、センターリングピン１８２を合い寄る方向に移動させて被検査基板１２のセンターリングをした後、センターリングピン１８２を相離れる方向に移動させた状態で待機する。
【０１７０】
次いで、搬送装置１３２が補助搬送装置１５８を被検査基板１２に向けて移動させて、その被検査基板１２を基板ホルダ１６２で把持する。このときまでに、基板ホルダ１６２は、所定の高さ位置、例えばストッパ１６８に当接する位置に移動されている。
【０１７１】
次いで、搬送装置１３２が、上記状態で被検査基板１２を搬送補助装置１５８により図1４において左方から右方へ搬送する。
【０１７２】
被検査基板１２は、補助搬送装置１５８による搬送途中から、第１の搬送部材１４４によっても搬送される。これにより、被検査基板１２は、センサ基板２０から大きく離間した第１の搬送位置に維持された状態で搬送される。
【０１７３】
次いで、被検査基板１２の搬送は、補助搬送装置１５８及び第１の搬送部材１４４による搬送から、補助搬送装置１５８並びに第１及び第２の搬送部材１４４及び４６による搬送を経て、補助搬送装置１５８及び第２の搬送部材１４６による搬送に移行される。
【０１７４】
これにより、被検査基板１２は、既に述べた湾曲搬送路において湾曲されつつ、補助搬送装置１５８及び第２の搬送部材１４６によりセンサ基板２０に接近された第２の搬送位置に維持された状態で搬送される。
【０１７５】
上記湾曲搬送路は、左右方向におけるセンサ基板２０の配置位置に対応する領域の少なくとも一部を含む箇所であって給電電極２４及び２６並びに受電電極２８の配置位置より上流側の箇所に形成されている。このため、フラットケーブル４２がセンサ回路３８の配置位置より上流側のセンサ基板２０の箇所に接続されていることと相まって、被検査基板１２は、これがフラットケーブル４２に接触することなく、湾曲搬送路及びそれ以降の搬送路を搬送される。
【０１７６】
各基板ホルダ１６２は、これが上記湾曲搬送路を移動するとき、被検査基板１２の湾曲変形に追従するように、上下動機構１６６により上昇される。これにより、被検査基板１２は、湾曲搬送路において確実に湾曲される。
【０１７７】
第２の搬送位置は、被検査基板１２をセンサ回路３８と平行に搬送する平行搬送路を形成している。この平行搬送路は、被検査基板１２の電路１６がセンサ基板２０の給電電極２４及び２６並びに受電電極２８の下方に達する位置より前の位置から形成される。
【０１７８】
平行搬送路が上記の位置に形成されるため、被検査基板１２の電路１６は、これがセンサ基板２０の給電電極２４及び２６並びに受電電極２８の下方に達する前に、給電電極２４及び２６並びに受電電極２８と平行に変位されて、その状態で給電電極２４及び２６並びに受電電極２８の下方を移動される。
【０１７９】
上記の結果、被検査基板１２の各電路１６は、これがセンサ基板２０の給電電極２４及び２６並びに受電電極２８の下方を移動するとき、センサ基板２０の給電電極２４及び２６並びに受電電極２８に正確に対向する。
【０１８０】
被検査体１２の各電路１６は、センサ基板２０の給電電極２４及び２６並びに受電電極２８の下方を移動される間、検査信号を用いる上記のような検査を繰り返し行われる。
【０１８１】
次いで、被検査基板１２が図１４において右端部に配置された受け渡し装置１３６の上方に搬送されると、搬送装置１３２による搬送が停止され、その受け渡し装置１３６が昇降ピン１８０を上昇させて搬送された被検査基板１２を受け取る。
【０１８２】
その後、搬送装置１３２は、待機位置及び待機状態に戻される。受け渡し装置１３６に受けられた被検査基板１２は、その後、ロボット又は人手により、その受け渡し装置１３６から取り去られる。
【０１８３】
搬送装置１３２により被検査基板１２を搬送する間、基板ホルダ１６２の各組は、被検査基板１２をこれの側縁部に当接して共同して把持する。これにより、少なくともセンサ基板２０の配置位置に対応する箇所において、被検査基板１２の移動位置が変化することや、被検査基板１２の側縁部が中央領域に対し変位することが防止される。
【０１８４】
第１及び第２の搬送部材１４４及び１４６は被検査基板１２を所定の高さ位置に維持した状態でその被検査基板１２を搬送し、前後方向に対向する基板ホルダ１６２は被検査基板１２を把持した状態でその被検査基板１２を搬送する。
【０１８５】
しかし、第１及び第２の搬送部材１４４，１４６は、被検査基板１２を所定の高さ位置に維持する機能を備えるのみで、その被検査基板１２に搬送力を付与する機能を備えていなくてもよい。この場合、被検査基板１２への搬送力は、基板ホルダ１６２によって付与される。
【０１８６】
したがって、第１及び第２の搬送部材１４４及び１４６と補助搬送装置１５８とを用いる搬送装置１３２の代わりに、第１、第２の搬送部材１４４，１４６及び補助搬送装置１５８のいずれか一方を用いる搬送装置のように、他の構造及び機能を有する搬送装置であってもよい。
【０１８７】
例えば、被検査基板１２を、第１及び第２の搬送部材１４４及び１４６により所定の高さ位置に維持する代わりに、複数のローラ又は１以上の無端ベルトを用いた維持手段又は搬送手段により所定の高さ位置に維持してもよい。
【０１８８】
センサ基板２０及び６０は、給電電極２４，２６、受電電極２８、端子３０，３２，３４、センサ回路３８等を１つのガラス板３６に設けたものである必要はない。例えば、図１９に示すように、給電電極２４，２６、受電電極２８、端子３０，３２，３４、センサ回路３８等を複数のガラス板３６に分割して設け、それらの適宜な部材１８４に支持させてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１８９】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１９０】
【図１】センサ基板と被検査体との関係を示す平面図である。
【図２】図１の右側面図である。
【図３】センサ基板の一実施例を示す底面図である。
【図４】センサ回路の一実施例を示す図である。
【図５】電気信号の波形を示す図である。
【図６】断線の検出方法の一例を説明するための図である。
【図７】相互短絡の検出方法の一例を説明するための図である。
【図８】クロス短絡の検出方法の一例を説明するための図である。
【図９】センサ基板の他の実施例を示す底面図である。
【図１０】図９に示すセンサ基板を用いたときのクロス短絡の一実施例を示す底面図である。
【図１１】本発明に係る検査装置の電気回路の一実施例を示す図である。
【図１２】図１１の回路による断線及び短絡の検出方法の一実施例を説明するための図である。
【図１３】本発明に係る検査装置のメカニズムの一実施例を示す正面図である。
【図１４】図１３に示す検査装置の平面図であってセンサ基板及び搬送装置の一部並びにそれらを支持する部材の一部を省略した平面図である。
【図１５】図１３に示す検査装置の右側面図である。
【図１６】搬送装置及びセンサ基板の関係を示す拡大正面図である。
【図１７】ホルダ機構及びホルダ搬送機構の一実施例を拡大して示す平面図である。
【図１８】図１７における１８−１８線に沿って得た断面図である。
【図１９】センサ基板の他の実施例を示す配置図である。
【符号の説明】
【０１９１】
１０  検査装置
１２  被検査基板
１４  ガラス板
１６，１８  電路
２０，６０  センサ基板
２２  センサ回路群
２４，２６，６２  給電電極
２８  受電電極
３０，３２，３４  端子
３６  ガラス板
３８  センサ回路
３０，４０，４１，４４  配線
４２  フラットケーブル
５４  断線箇所
５６  短絡パターン
５８  クロス断線箇所
１３０  フレーム
１３２  搬送装置
１３６  受け渡し装置
１３８  センターリング装置
１４４，１４６  第１及び第２の搬送部材
１４８  ベース板
１５０組み付け装置
１５８  搬送補助装置
１６０  支持部材
１６２  基板ホルダ
１６４，１７６  アクチュエータ
１６６  上下移動機構
１６８  ストッパ
１７０  凹所
１７２  ロッド
１７４  ブッシュ
１７８  センサ回路
【図１】
0005276774.tif 000002
【図２】
0005276774.tif 000003
【図３】
0005276774.tif 000004
【図４】
0005276774.tif 000005
【図５】
0005276774.tif 000006
【図６】
0005276774.tif 000007
【図７】
0005276774.tif 000008
【図８】
0005276774.tif 000009
【図９】
0005276774.tif 000010
【図１０】
0005276774.tif 000011
【図１１】
0005276774.tif 000012
【図１２】
0005276774.tif 000013
【図１３】
0005276774.tif 000014
【図１４】
0005276774.tif 000015
【図１５】
0005276774.tif 000016
【図１６】
0005276774.tif 000017
【図１７】
0005276774.tif 000018
【図１８】
0005276774.tif 000019
【図１９】
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