(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波スピンドル装置の主軸に固定した焼きばめチャックに焼きばめにより固定する工具を装着するための着工具ステージと、
前記工具を取り外して交換するための脱工具ステージと、
工具交換時に前記主軸を超音波振動させる制御装置と、を備え、
前記着工具ステージは、
主軸方向へ移動可能に付勢されて前記工具を保持する着工具ホルダと、
前記超音波スピンドル装置が前記工具を装着するためにセットされ、前記工具を前記主軸の焼きばめチャックに焼きばめにより固定する位置に配置された着加熱装置と、を有し、
前記脱工具ステージは、
主軸方向へ移動可能に付勢されて前記工具を保持する脱工具ホルダと、
前記超音波スピンドル装置が前記工具を取り外すためにセットされ、前記工具を前記主軸から取り外す位置に配置された脱加熱装置と、を有し、
前記超音波スピンドル装置は、先端側に工具を有する主軸が超音波振動しながら回転する構成であり、
前記制御装置は、
前記超音波スピンドル装置を、前記着工具ステージに位置させて前記主軸の焼きばめチャックに前記工具を固定するときに、
前記主軸の焼きばめチャックを前記着加熱装置により加熱し、かつ前記超音波スピンドル装置を駆動して主軸を超音波振動させながら前記着工具ホルダに保持された前記工具を、前記焼きばめチャックに焼きばめ固定し、
前記超音波スピンドル装置を、前記脱工具ステージに位置させて前記工具を取り外すときに、
前記主軸の焼きばめチャックを前記脱加熱装置により加熱し、かつ前記超音波スピンドル装置を駆動して主軸を超音波振動させながら前記工具を、前記焼きばめチャックから取り外し、前記脱工具ホルダに保持させ、
前記工具を交換可能としたことを特徴とする工具交換システム。
【請求項２】
超音波スピンドル装置の主軸に固定した焼きばめチャックに焼きばめにより固定する工具を着脱するための着脱工具ステージと、
工具交換時に超音波スピンドル装置の主軸を超音波振動させる制御装置と、を備え、
前記着脱工具ステージは、
主軸方向へ移動可能に付勢されて前記工具を保持する着脱工具ホルダと、
前記超音波スピンドル装置が前記工具を装着または取り外するためにセットされ、前記工具を前記主軸の焼きばめチャックに焼きばめにより固定又は取り外す位置に配置された着脱加熱装置と、を有し、
前記超音波スピンドル装置は、先端側に工具を有する主軸が超音波振動しながら回転する構成であり、
前記制御装置は、
前記超音波スピンドル装置を、前記着脱工具ステージに位置させて前記主軸の焼きばめチャックに前記工具を固定するときに、
前記主軸の焼きばめチャックを前記着脱加熱装置により加熱し、かつ前記超音波スピンドル装置を駆動して主軸を超音波振動させながら前記着脱工具ホルダに保持された前記工具を、前記焼きばめチャックに焼きばめ固定し、
前記超音波スピンドル装置を、前記着脱工具ステージに位置させて前記工具を取り外すときに、
前記主軸の焼きばめチャックを前記着脱加熱装置により加熱し、かつ前記超音波スピンドル装置を駆動して主軸を超音波振動させながら前記工具を、前記焼きばめチャックから取り外し、前記着脱工具ホルダに保持させ、
前記工具を交換可能としたことを特徴とする工具交換システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、先端側に工具を有する主軸が超音波振動しながら回転する超音波スピンドル装置の工具交換システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
金型加工などの分野において、例えば高速ミリング加工法が利用され、この方法は、工具を振動させながら高速回転させて加工する方法であり、１本の工具を用いて粗加工から仕上げ加工まで行なうことができる。
【０００３】
このような加工を行う各種の装置が提案されている（特許文献１，２）。特許文献１では、主軸の小径部の先端部に、工具把持部であるチャックが設けてあり、ドリル等の工具を取り付け、振動は、段付き形状の主軸により拡大されて工具に伝えられようになっている。また、特許文献２では、前側ホーンの前端部に奥部に雌ねじ穴を有するテーパコーン穴を設け、このテーパコーン穴に対応するテーパ部を有するチャックをねじ込み固定し、このチャックに工具を焼き嵌めしている。
【特許文献１】特開平１１−１０４２０号
【特許文献２】特開２００２−３４６８１７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように、工具の取り付けは種々提案されており、特許文献２の焼きばめチャックは、特許文献１のものに対して、工具の振れ回り性、振動伝達性およびチャッキング剛性が改善されているが、特に精度を要求される超高精度のものには、まだ不十分である。
【０００５】
また、工具によって加工する工作物としては、その材質は任意であり、例えば炭素鋼、プレハードン鋼、ステンレス鋼、金型用焼入れ鋼などのほか、アルミニウムなどの非鉄金属、さらにガラスやセラミックス、宝石類の非金属、ゴム、プラスチック、木材なども含まれ、これらの工作物の材質によっては工具を交換することが好ましい場合がある。
【０００６】
この発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、簡単な構造で、容易に工具の交換可能である超音波スピンドル装置の工具交換システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成した。
【００１２】
請求項１に記載の発明は、超音波スピンドル装置の主軸に固定した焼きばめチャックに焼きばめにより固定する工具を装着するための着工具ステージと、
前記工具を取り外して交換するための脱工具ステージと、
工具交換時に前記主軸を超音波振動させる制御装置と、を備え、
前記着工具ステージは、
主軸方向へ移動可能に付勢されて前記工具を保持する着工具ホルダと、
前記超音波スピンドル装置が前記工具を装着するためにセットされ、前記工具を前記主軸の焼きばめチャックに焼きばめにより固定する位置に配置された着加熱装置と、を有し、
前記脱工具ステージは、
主軸方向へ移動可能に付勢されて前記工具を保持する脱工具ホルダと、
前記超音波スピンドル装置が前記工具を取り外すためにセットされ、前記工具を前記主軸から取り外す位置に配置された脱加熱装置と、を有し、
前記超音波スピンドル装置は、先端側に工具を有する主軸が超音波振動しながら回転する構成であり、
前記制御装置は、
前記超音波スピンドル装置を、前記着工具ステージに位置させて前記主軸の焼きばめチャックに前記工具を固定するときに、
前記主軸の焼きばめチャックを前記着加熱装置により加熱し、かつ前記超音波スピンドル装置を駆動して主軸を超音波振動させながら前記着工具ホルダに保持された前記工具を、前記焼きばめチャックに焼きばめ固定し、
前記超音波スピンドル装置を、前記脱工具ステージに位置させて前記工具を取り外すときに、
前記主軸の焼きばめチャックを前記脱加熱装置により加熱し、かつ前記超音波スピンドル装置を駆動して主軸を超音波振動させながら前記工具を、前記焼きばめチャックから取り外し、前記脱工具ホルダに保持させ、
前記工具を交換可能としたことを特徴とする工具交換システムである。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、超音波スピンドル装置の主軸に固定した焼きばめチャックに焼きばめにより固定する工具を着脱するための着脱工具ステージと、
工具交換時に超音波スピンドル装置の主軸を超音波振動させる制御装置と、を備え、
前記着脱工具ステージは、
主軸方向へ移動可能に付勢されて前記工具を保持する着脱工具ホルダと、
前記超音波スピンドル装置が前記工具を装着または取り外するためにセットされ、前記工具を前記主軸の焼きばめチャックに焼きばめにより固定又は取り外す位置に配置された着脱加熱装置と、を有し、
前記超音波スピンドル装置は、先端側に工具を有する主軸が超音波振動しながら回転する構成であり、
前記制御装置は、
前記超音波スピンドル装置を、前記着脱工具ステージに位置させて前記主軸の焼きばめチャックに前記工具を固定するときに、
前記主軸の焼きばめチャックを前記着脱加熱装置により加熱し、かつ前記超音波スピンドル装置を駆動して主軸を超音波振動させながら前記着脱工具ホルダに保持された前記工具を、前記焼きばめチャックに焼きばめ固定し、
前記超音波スピンドル装置を、前記着脱工具ステージに位置させて前記工具を取り外すときに、
前記主軸の焼きばめチャックを前記着脱加熱装置により加熱し、かつ前記超音波スピンドル装置を駆動して主軸を超音波振動させながら前記工具を、前記焼きばめチャックから取り外し、前記着脱工具ホルダに保持させ、
前記工具を交換可能としたことを特徴とする工具交換システムである。
【発明の効果】
【００１４】
前記構成により、この発明は、以下のような効果を有する。
【００１７】
請求項１に記載の発明では、脱工具ステージと着工具ステージを用いて、従来の焼きばめチャックに比べて、超音波振動の効果により、焼きばめチャックと工具の摩擦係数が均一化するのでチャッキングの偏りが無く、結果的に簡単な構造で、高精度に工具の装着が可能であり、従来にない高精度加工が可能となる。また、焼きばめチャックを加熱することで、工具を焼きばめチャックから容易に取り外すことができ、簡単な構造で、工具交換を、効率的に自動交換を行うことで、生産性が大きく向上する。
【００１８】
請求項２に記載の発明では、着脱工具ステージを用いて、従来の焼きばめチャックに比べて、超音波振動の効果により、焼きばめチャックと工具の摩擦係数が均一化するのでチャッキングの偏りが無く、結果的に簡単な構造で、高精度に工具の装着が可能であり、従来にない高精度加工が可能となる。また、焼きばめチャックを加熱することで、工具を焼きばめチャックから容易に取り外すことができ、簡単な構造で、工具交換を、効率的に自動交換を行うことで、１個の着脱工具ステージを用いる低コストな装置で、工具の自動交換を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、この発明の超音波スピンドル装置の工具交換システムの実施の形態について説明する。この発明の実施の形態は、発明の最も好ましい形態を示すものであり、この発明はこれに限定されない。
（超音波スピンドル装置の構成）
この発明の超音波スピンドル装置、超音波スピンドル装置の工具連結方法、工具連結装置、工具連結方法を、図１乃至図３に基づいて説明する。図１は超音波スピンドル装置の断面図、図２は加振部の断面図、図３は焼きばめチャックの固定を説明する図である。
【００２０】
超音波スピンドル装置Ａは、先端側に工具１を有する主軸Ｃが超音波振動しながら回転する装置である。主軸Ｃは、軸本体部２、加振部５、締め付けねじ２０などを有している。
【００２１】
軸本体部２は、単一の部材で成形され、材質が例えば軸受鋼、ステンレス鋼やチタン合金である。この本体部２は、円柱状であり、外周は研磨加工され、先端側に焼きばめチャック６を固定するための固定穴２ａが形成されている。
【００２２】
工具１及び焼きばめチャック６の取付は、図３に示すように、焼きばめチャック６を軸本体部２の先端の固定穴２ａに圧入により固定するが、ねじ込み、焼きばめなど固定方法は特に限定されない。工具１は、焼きばめチャック６の固定穴６ａに焼きばめにより固定する。
【００２３】
この工具１を焼きばめチャック６に焼きばめにより固定する時に、主軸２を超音波振動させながら工具１を、焼きばめチャック６に焼きばめ固定するから、簡単な構造で、工具１が交換可能である。また、焼きばめ時は、主軸２を超音波振動させることによって、従来の焼きばめチャックに比べて、超音波振動の効果により、焼きばめチャック６と工具１の摩擦係数が均一化するのでチャッキングの偏りが無く、結果的に簡単な構造で、高精度に工具の装着が可能であり、従来にない高精度加工が可能となる。また、焼きばめチャック６を加熱することで、工具１を焼きばめチャック６から容易に取り外すことができ、簡単な構造で、工具１を交換することができる。
【００２４】
また、工具１を焼きばめチャック６に焼きばめにより固定して取付したから、工具支持剛性が高く、高精度に固定することができバランス性もよいので、超音波振動を効率よく加工物６０に伝えることができるとともに高速ミリング加工時の高速回転及び振動や負荷に耐えることができる。
【００２５】
工具１はエンドミルなどが用いられるが、材質としては、超硬、コーティング超硬、焼結および単結晶ダイヤモンド、ｃＢＮ（立方晶窒化ホウ素）、研削砥石などが好適である。
【００２６】
主軸Ｃは、軸本体部２の先端側２ｂが軸受１０を介して、駆動側２ｃが軸受１１を介してハウジング４に支持されている。軸受１０と軸受１１は同様に構成され、通常、転がり軸受が用いられ、外輪１０ａ，１１ａと、転動体１０ｂ，１１ｂと、内輪１０ｃ，１１ｃとを備え、ハウジング４とは別体のものとなっている。
【００２７】
軸受１０と軸受１１は、軸本体部２の外周にそれぞれ内輪１０ｃ，１１ｃが圧入されることにより固定される。そして、このように軸受１０と軸受１１を取り付けた主軸Ｃを、ハウジング４の筒室１２に挿入し、外輪１０ａ，１１ａを、筒室１２の内壁面に圧入することによりハウジング４に保持固定させている。
【００２８】
この例では、軸受１０と軸受１１の外輪１０ａ，１１ａとの間に間隔保持のためのスリーブ１３を配置しているが、これは必ずしも必要ではない。
【００２９】
また、軸本体部２の外周に環状溝（図示せず）を形成し、軸受１０と軸受１１の転動体１０ｂ，１１ｂを環状溝にそれぞれはめることで、内輪は省略してもよい。
【００３０】
主軸Ｃを回転する駆動装置３は、駆動軸３ａを有する。駆動軸３ａは、締め付けねじ２０を介して主軸Ｃの軸線上に接続されている。駆動軸３ａは、その先端部を締め付けねじ２０の係合穴２０ａに係合して一体回転可能になっている。駆動装置３は、高速回転用の装置であれば任意であるが、例えば高周波モータやＡＣサーボモータなどが使用され、ハウジング４の筒室１２に納められている。この実施の形形態では、駆動装置３をハウジング４に収納して蓋４０によって取り付けているが、駆動装置３は必ずしもハウジング４に収納して設ける必要はなく、主軸Ｃの後端をアーバにして別の工作機械につける方式でもよい。
【００３１】
加振部５は、主軸Ｃを超音波振動させ、この加振部５は、主軸Ｃの駆動側の軸受１１の位置より駆動装置側に配置されている。加振部５は、一対の圧電素子５０と、電極板５１を有し、圧電素子５０と電極板５１とを交互にサンドイッチ構造とした複数枚ものからなっており、中心には通孔５０ａ，５１ａが形成されている。
【００３２】
一対の圧電素子５０の間に電極板５１が配置され、締め付けねじ２０の雄ねじ部２０ｂを軸本体部２の雌ねじ穴２ｄに螺着する時に、一対の圧電素子５０の通孔５０ａ、電極板５１の通孔５１ａに貫通して軸本体部２の駆動側２ｃの先端部に共締めされる。
【００３３】
ハウジング４には給電ブラシ５２が取付けられ、この給電ブラシ５２には超音波を発振するための超音波発振器５３の給電線５４が接続されている。給電ブラシ５２から電極板５１にブラシ給電を行い、圧電素子５０を駆動させて、主軸２を超音波振動させる。圧電素子５０への給電は、給電ブラシ５２から電極板５１から行い、導電性の軸本体部２、軸受１０と軸受１１、ハウジング４を介してアースされ、給電系が簡素化されている。
【００３４】
この超音波スピンドル装置Ａは、被削材としての工作物６０の加工を行い、この工作物６０の材質は任意であり、炭素鋼、プレハードン鋼、ステンレス鋼、金型用焼入れ鋼などのほか、アルミニウムなどの非鉄金属、さらにガラスやセラミックス、宝石類の非金属、ゴム、プラスチック、木材なども含まれる。
【００３５】
駆動装置３の駆動軸３ａが締め付けねじ２０に一体回転可能であるため、駆動装置３を駆動すれば、軸受１０と軸受１１によりハウジング４に支持されている主軸Ｃは高速で回転させられ、併行して超音波発振装置５３からの給電により、電極板５１を介して圧電素子５０は軸方向、ねじれ方向もしくは曲げ方向に振動させられ、工具１により工作物６０がミーリング加工される。この超音波振動により工具１の材質がダイヤモンド、工作物の材質が鉄系材料である場合にも化学反応による化学的摩耗が回避される。
【００３６】
主軸Ｃは、軸受１０と軸受１１により、回転が許容されつつ軸方向および半径方向には動かされないようにしっかりと支持されているため、高速回転と振動とが作用しても、主軸Ｃは高速回転と横方向の負荷に耐えることができ、円滑に安定して長距離の高速ミーリング加工を行なうことができる。
【００３７】
また、主軸Ｃの軸本体部２は、単一の部材で成形し、軸本体部２の先端側２ｂを軸受１０を介して、駆動側２ｃを軸受１１を介してハウジング４に支持し、主軸Ｃを超音波振動させる加振部５を、主軸Ｃの駆動側の軸受１１の位置より駆動装置側に配置しているため、主軸Ｃを複数の軸部材を組み付けて加工する必要がなく、製作工程を削減し、低コストである。
【００３８】
また、加振部５は、圧電素子５０と、電極板５１を有し、ハウジング４に給電ブラシ５２を取付け、給電ブラシ５２から電極板５１にブラシ給電を行い、圧電素子５０を駆動させるから、主軸Ｃに給電系の経路や導線などを設ける必要がなく、給電系の簡素化が可能で、回転バランスがよく、高速化、高精度化を得ることができる。
【００３９】
（工具交換システムの構成）
［実施の形態１］
図４は工具交換システムの実施の形態１を示しており、図４は工具交換システムの概略構成図である。
【００４０】
この実施の形態１の工具交換システムＢは、図１乃至図３に示す実施の形態の超音波スピンドル装置Ａの工具１を交換するものである。この工具交換システムＢは、工具１を装着するための加熱装置７０ａを備える着工具ステージ７０と、工具１を取り外すため加熱装置７１ａを備える脱工具ステージ７１と、工具交換時に超音波スピンドル装置Ａの主軸２を超音波振動させる制御装置７３と、工具ストッカー７４と、移動装置７５と、を備えている。
【００４１】
着工具ステージ７０には、工具ホルダ７０ｂが上方へ移動可能に設けられ、工具ホルダ７０ｂはスプリング７０ｃによって保持されている。工具ホルダ７０ｂの穴部７０ｂ１は、種々の工具１を保持可能に形成されている。加熱装置７０ａは、例えば加熱コイルで構成され、超音波スピンドル装置Ａがセットされ、工具１を焼きばめチャック６に焼きばめにより固定する位置に配置されている。
【００４２】
脱工具ステージ７１には、工具ホルダ７１ｂが上方へ移動可能に設けられ、工具ホルダ７１ｂはスプリング７１ｃによって保持されている。工具ホルダ７１ｂの穴部７１ｂ１は、種々の工具１を保持可能に形成されている。加熱装置７１ａは、例えば加熱コイルで構成され、超音波スピンドル装置Ａがセットされ、工具１を焼きばめチャック６から取り外す位置に配置されている。
【００４３】
制御装置７３は、作業者が操作部７６を操作することによって、超音波スピンドル装置Ａ、工具ストッカー７４、移動装置７５、工具搬送装置７７を制御する。
【００４４】
超音波スピンドル装置Ａの焼きばめチャック６に工具１を焼きばめ固定する場合には、作業者が操作部７６を操作すると、工具搬送装置７７が作動して工具ストッカー７４から所定の工具１を選択して着工具ステージ７０の工具ホルダ７０ｂにセットする。そして、装置移動装置７５が作動して超音波スピンドル装置Ａを、その焼きばめチャック６に工具１を焼きばめ固定する位置に移動する。その後、超音波スピンドル装置Ａが、着工具ステージ７０に位置するときに、加熱装置７０ａを駆動し、かつ主軸２を超音波振動させながら工具１を、焼きばめチャック６に焼きばめ固定する。
【００４５】
この焼きばめ固定は、加熱装置７０ａが焼きばめチャック６を加熱すると、焼きばめチャック６の固定穴６ａが膨張して工具１が入り込み、工具ホルダ７０ｂがスプリング７０ｃによって上昇し、焼きばめ固定の完了を位置検知手段Ｓ１が検知すると、この検知情報に基づいて制御装置７３が移動装置７５を制御し、超音波スピンドル装置Ａを加工工程に移動する。
【００４６】
超音波スピンドル装置Ａの工具１を交換する場合には、作業者が操作部７６を操作すると、工具搬送装置７７が作動して工具ストッカー７４から所定の工具１を選択して着工具ステージ７０の工具ホルダ７０ｂにセットする。そして、装置移動装置７５が作動して超音波スピンドル装置Ａを、その焼きばめチャック６の工具１を取り外す脱工具ステージ７１の位置に移動する。
【００４７】
その後、超音波スピンドル装置Ａが、脱工具ステージ７１に位置するときに、加熱装置７１ａを駆動し、工具１を、焼きばめチャック６から取り外す。
【００４８】
この取り外は、加熱装置７１ａが焼きばめチャック６を加熱すると、焼きばめチャック６の固定穴６ａが膨張して工具１が容易に落下して取り外すことができる。取り外しの完了を位置検知手段Ｓ２が検知すると、この検知情報に基づいて制御装置７３が移動装置７５を制御し、超音波スピンドル装置Ａを、着工具ステージ７０のその焼きばめチャック６に工具１を焼きばめ固定する位置に移動する。その後、超音波スピンドル装置Ａが、着工具ステージ７０に位置するときに、加熱装置７０ａを駆動し、かつ主軸２を超音波振動させながら工具１を、焼きばめチャック６に焼きばめ固定する。
【００４９】
この実施の形態１では、工具１の交換時に超音波スピンドル装置Ａを、脱工具ステージ７１から着工具ステージ７０に移動しているが、超音波スピンドル装置Ａは移動しないで、着工具ステージ７０を脱工具ステージ７１の位置に移動するようにしてもよい。
【００５０】
このように、超音波スピンドル装置Ａが、着工具ステージ７０に位置するときに、加熱装置７０ａを駆動し、かつ主軸２を超音波振動させながら工具１を、焼きばめチャック６に焼きばめ固定し、超音波スピンドル装置Ａが、脱工具ステージ７１に位置するときに、加熱装置７１ａを駆動し、工具１を、焼きばめチャック６から取り外し、工具１を自動的に交換可能である。また、焼きばめ時は、主軸２を超音波振動させることによって、工具１の焼きばめを均一にし、工具１の振れ精度を向上させることができる。
【００５１】
この実施の形態では、脱工具ステージ７０と着工具ステージ７１を用いて、工具交換を、効率的に自動交換を行うことで、生産性が大きく向上する。
【００５２】
［実施の形態２］
図５は工具交換システムの実施の形態２を示しており、図５は工具交換システムの概略構成図である。
【００５３】
この実施の形態２の工具交換システムＢは、実施の形態１と同様に図１乃至図３に示す実施の形態の超音波スピンドル装置Ａの工具１を交換するものである。この実施の形態２の工具交換システムＢは、実施の形態１の脱工具ステージ７１と着工具ステージ７０の構成を備えた着脱工具ステージ８０を設けたものであり、着脱工具ステージ８０は、加熱装置８０ａ、工具ホルダ８０ｂ、スプリング８０ｃを有し、工具ホルダ８０ｂの穴部８０ｂ１は、種々の工具１を保持可能に形成されている。
【００５４】
制御装置７３は、超音波スピンドル装置Ａを、着脱工具ステージ８０に位置させて工具１を取り外すときには、加熱装置８０ａにより焼きばめチャック６を加熱し、工具１を焼きばめチャック６から取り外し、この取り外した工具１は工具ホルダ８０ｂにセットされる。この工具１を工具ストッカー７４に搬送し、工具ストッカー７４の他の工具１を選択して搬送して工具ホルダ８０ｂにセットする。
【００５５】
そして、超音波スピンドル装置Ａを、着脱工具ステージ８０に位置させて工具１を固定するときには、加熱装置８０ａにより焼きばめチャック６を加熱し、主軸２を超音波振動させながら工具ホルダ８０ｂにセットされた他の工具１を、焼きばめチャック６に焼きばめ固定する。
【００５６】
この実施の形態では、工具交換を、１個の着脱工具ステージ８０で行うことができ、簡単で、しかも低コストな装置で、工具１の自動交換を行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
この発明は、先端側に工具を有する主軸が超音波振動しながら回転する超音波スピンドル装置の工具交換システムに適用可能であり、簡単な構造で、高精度に工具の装着が可能で、また容易に工具の交換可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】超音波スピンドル装置の断面図である。
【図２】加振部の断面図である。
【図３】焼きばめチャックの固定を説明する図である。
【図４】工具交換システムの実施の形態１の概略構成図である。
【図５】工具交換システムの実施の形態１の概略構成図である。
【符号の説明】
【００５９】
Ａ  超音波スピンドル装置
Ｂ  工具交換システム
１  工具
２  主軸
３  駆動装置  ４  ハウジング
５  加振部
６  焼きばめチャック
１０，１１  軸受
２０  取付軸
５０  圧電素子
５１  電極板
５２  給電ブラシ
５３  超音波発振装置
６０  工作物
７０  着工具ステージ
７０ａ  加熱装置
７１  脱工具ステージ
７１ａ  加熱装置
７３  制御装置
７４  工具ストッカー
７５  移動装置
７６  操作部
７７  工具搬送装置
８０  着脱工具ステージ
８０ａ  加熱装置
【図１】
0005197102.tif 000002
【図２】
0005197102.tif 000003
【図３】
0005197102.tif 000004
【図４】
0005197102.tif 000005
【図５】
0005197102.tif 000006