(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板に対する所定のプロセスを、レシピを用いて行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、
各種の指示を含む入力を受け付ける受付部と、
前記複数の製造装置で測定された測定値についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子とレシピを識別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、
測定情報が有する測定値の異常または正常の範囲を示す閾値を格納しており、当該閾値と、測定情報が有する測定値とを比較して、測定値ごとに異常または正常を判断し、前記複数の測定情報に対して異常を検知する異常検知部と、
測定値の異常が検知された測定情報から構成された異常情報を、1以上格納し得る異常情報格納部と、
前記異常情報格納部が格納している1以上の異常情報を出力する異常情報出力部と、
前記受付部が、前記異常情報出力部が出力した1以上の異常情報のうちの1以上の異常情報に対する指示である異常情報指示を受け付けた場合に、前記異常情報指示に対応する1以上の異常情報と、当該異常情報と対になる複数の測定情報から１以上のチャートを構成するチャート構成部と、
前記チャート構成部が構成した１以上のチャートを出力する出力部を具備するサーバ装置であり、
前記異常情報と対になる複数の測定情報は、
前記異常情報に含まれる製造装置識別子およびレシピ識別子と同一の製造装置識別子および同一のレシピ識別子を有する複数の測定情報であり、前記異常情報が有する時刻情報が示す時刻と前記複数の測定情報が有する時刻情報が示す時刻が連続した複数の測定情報であり、一連のプロセスにおいて測定された測定値を有する複数の測定情報であるサーバ装置。
【請求項２】
チャートを識別する情報であるチャート識別情報を２以上有し、レシピ識別子に対応付けられたグループチャート情報を１以上格納し得るグループチャート情報格納部と、
前記１以上のチャートが出力された後、前記受付部が、当該出力された１以上のチャートに関連する関連チャートを出力する指示である関連チャート出力指示を受け付けた場合に、前記複数の測定情報が有するレシピ識別子に対応付けられたグループチャート情報が有するチャート識別情報のうちの、当該出力された１以上のチャートを識別する１以上のチャート識別情報を除く１以上のチャート識別情報を、前記グループチャート情報格納部から取得する関連チャート識別情報取得部と、
前記関連チャート識別情報取得部が取得した１以上のチャート識別情報を用いて、チャート識別情報ごとに、前記測定情報格納部から複数の測定情報を取得し、１以上のチャートを構成する関連チャート構成部をさらに具備し、
前記出力部は、前記関連チャート構成部が構成した１以上のチャートをも出力する請求項１記載のサーバ装置。
【請求項３】
前記チャート構成部は、
前記異常情報指示に対する異常情報と対になる複数の測定情報が、他の測定情報と視覚的に異なる態様を有するチャートを構成する請求項１から請求項２いずれか記載のサーバ装置。
【請求項４】
前記チャート構成部、または／および関連チャート構成部は、
前記複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成する請求項１から請求項３いずれか記載のサーバ装置。
【請求項５】
前記複数の測定情報が二種類の測定値を有する測定情報であり、
前記チャート構成部、または／および関連チャート構成部は、
当該二種類の測定値の相関を示すチャートである相関チャートを構成する請求項１から請求項３いずれか記載のサーバ装置。
【請求項６】
被処理基板に対する所定のプロセスを、レシピを用いて行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置において実行させるプログラムであって、
記録媒体に、複数の製造装置で測定された測定値についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子とレシピを識別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、
かつ、測定情報が有する測定値の異常または正常の範囲を示す閾値と、測定情報が有する測定値とを比較して、測定値ごとに異常または正常を判断し、前記複数の測定情報に対して異常を検知する異常検知ステップを実行することにより、前記記録媒体に、測定値の異常が検知された測定情報から構成された異常情報を、1以上格納しており、
前記サーバ装置において、
各種の指示を含む入力を受け付ける受付ステップを実行させ、
前記受付ステップにおいて、１以上の異常情報を出力する指示を受け付けた場合に、前記格納している1以上の異常情報を出力する異常情報出力ステップを実行させ、
前記受付ステップにおいて、前記異常情報出力ステップで出力した1以上の異常情報のうちの1以上の異常情報に対する指示である異常情報指示を受け付けた場合に、前記異常情報指示に対応する1以上の異常情報と対になる複数の測定情報から１以上のチャートを構成するチャート構成ステップと、
前記チャート構成ステップで構成した１以上のチャートを出力する出力ステップを実行させるためのプログラムであり、
前記異常情報と対になる複数の測定情報は、
前記異常情報に含まれる製造装置識別子およびレシピ識別子と同一の製造装置識別子および同一のレシピ識別子を有する複数の測定情報であり、前記異常情報が有する時刻情報が示す時刻と前記複数の測定情報が有する時刻情報が示す時刻が連続した複数の測定情報であり、一連のプロセスにおいて測定された測定値を有する複数の測定情報であるプログラム。
【請求項７】
前記記録媒体に、さらに、チャートを識別する情報であるチャート識別情報を２以上有し、レシピ識別子に対応付けられたグループチャート情報を１以上格納しており、
前記サーバ装置において、
前記１以上のチャートが出力された後、前記受付ステップで、当該出力された１以上のチャートに関連する関連チャートを出力する指示である関連チャート出力指示を受け付けた場合に、前記複数の測定情報が有するレシピ識別子に対応付けられたグループチャート情報が有するチャート識別情報のうちの、当該出力された１以上のチャートを識別する１以上のチャート識別情報を除く１以上のチャート識別情報を取得する関連チャート識別情報取得ステップと、
前記関連チャート識別情報取得ステップで取得した１以上のチャート識別情報を用いて、チャート識別情報ごとに、複数の測定情報を取得し、１以上のチャートを構成する関連チャート構成ステップと、
前記関連チャート構成ステップで構成した１以上のチャートを、前記チャート構成ステップで構成した前記１以上のチャートに合成して出力するステップをさらに実行させる請求項６記載のプログラム。
【請求項８】
前記チャート構成ステップにおいて、
前記異常情報指示に対する異常情報と対になる複数の測定情報が、他の測定情報と視覚的に異なる態様を有するチャートを構成する請求項６から請求項７いずれか記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備する群管理システム、サーバ装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の群管理システムにおいて、測定器から送られてくるデータを自動的に、かつ正確に加工できる半導体製造装置の群管理システムにおける測定データ加工方法を実現する（例えば、特許文献１参照）。本測定データ加工方法において、群管理システムの群管理部の測定器通信部に測定器が送信してくる種々の測定データを受信する。本測定データ加工方法は、前記測定データを加工する計算式を予め登録しておき、前記測定データを受信したとき、前記測定データを測定データ受信バッファに格納するとともに、前記測定データが有するレシピ名称に基づいて、前記登録された計算式の中から前記測定データを加工するのに適する少なくとも一つの同じレシピ名称をもつ計算式を選択して計算式格納バッファに格納し、格納された前記測定データを前記選択された計算式に適用して計算し、計算結果を加工済みデータ格納バッファに記憶するものである。
【０００３】
また、従来の半導体製造装置の群管理システムでは、半導体製造装置で測定された時系列の情報（以下チャートと記載）を表示する機能を有していた。このチャートには、群管理システムが管理する複数の半導体製造装置の情報が表示されていた。そして、従来の群管理システムでは、チャートを用いて、異常検知を行い、その後異常分類を行うＦＤＣ（fault detection and classification）という機能を有していた。
【特許文献１】特開平１１−３５４３９５号公報（第１頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の半導体製造装置の群管理システムにおいては、異常を検知した後、異常の分析を行う際に、ユーザが当該異常データを覚えておき、別途チャートを出力させるアプリケーションを起動し、チャートを出力させ、ユーザが自分で異常データをチャート上で探す必要があった。
【０００５】
また、ある測定情報に異常が認められた場合、他の測定情報が関連している場合も多いが、かかる関連は、ユーザの経験や勘に頼って、他の測定情報を含むチャートを探す必要があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本第一の発明のサーバ装置は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、各種の指示を含む入力を受け付ける受付部と、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、異常を示す情報である異常情報と1以上の測定情報の対応を、1以上格納し得る異常情報格納部と、前記異常情報格納部が格納している1以上の異常情報を出力する異常情報出力部と、前記受付部が、前記異常情報出力部が出力した1以上の異常情報のうちの1以上の異常情報に対する指示である異常情報指示を受け付けた場合に、前記異常情報指示に対応する1以上の異常情報と対になる1以上の測定情報から１以上のチャートを構成するチャート構成部と、前記チャート構成部が構成した１以上のチャートを出力する出力部を具備するサーバ装置である。
【０００７】
かかる構成により、異常を検知した後、異常分析のためのチャート出力が連携でき、迅速に異常分析できる。
【０００８】
また、本第二の発明のサーバ装置は、第一の発明に対して、チャートを識別する情報であるチャート識別情報を２以上有するグループチャート情報を１以上格納し得るグループチャート情報格納部と、前記１以上のチャートが出力された後、前記受付部が、当該出力された１以上のチャートに関連する関連チャートを出力する指示である関連チャート出力指示を受け付けた場合に、当該出力された１以上のチャートを識別する１以上のチャート識別情報のうちのすべてのチャート識別情報、または一つのチャート識別情報を有するグループチャート情報のうちの、当該出力された１以上のチャートを識別する１以上のチャート識別情報を除く１以上のチャート識別情報を、前記グループチャート情報格納部から取得する関連チャート識別情報取得部と、前記関連チャート識別情報取得部が取得した１以上のチャート識別情報を用いて、チャート識別情報ごとに、前記測定情報格納部から１以上の測定情報を取得し、１以上のチャートを構成する関連チャート構成部をさらに具備し、前記出力部は、前記関連チャート構成部が構成した１以上のチャートをも出力するサーバ装置である。
【０００９】
かかる構成により、異常が発生した測定情報、およびチャートに関連するチャートを簡単に出力することができる。その結果、製造現場のノウハウを有効に再利用できる。
【００１０】
また、本第三の発明のサーバ装置は、第一、第二いずれかの発明に対して、前記チャート構成部は、前記異常情報指示に対する異常情報と対になる１以上の測定情報を、他の測定情報と視覚的に異なる態様を有するチャートを構成するサーバ装置である。
【００１１】
かかる構成により、分析しやすい出力を実現できる。
【００１２】
また、本第四の発明のサーバ装置は、第一から第三いずれかの発明に対して、前記チャート構成部、または／および関連チャート構成部は、前記１以上の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成するサーバ装置である。
【００１３】
かかる構成により、製造装置の経時変化やバラツキの分析を容易に行え、異常分析に非常に有効である。
【００１４】
また、本第五の発明のサーバ装置は、第一から第三いずれかの発明に対して、前記１以上の測定情報が二種類の測定値を有する測定情報であり、前記チャート構成部、または／および関連チャート構成部は、当該二種類の測定値の相関を示すチャートである相関チャートを構成するサーバ装置である。
【００１５】
かかる構成により、異常を検知した後、二変量の相関関係を分析でき、効果的に異常分析ができる。
【００１６】
また、本第六の発明のサーバ装置は、第一から第三いずれかの発明に対して、前記１以上の測定情報が三種類以上の測定値を有する測定情報であり、前記チャート構成部、または／および関連チャート構成部は、当該三種類以上の測定値の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成するサーバ装置である。
【００１７】
かかる構成により、異常を検知した後、多変量の相関関係を分析でき、さらに効果的に異常分析ができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によるサーバ装置によれば、容易、かつ効果的に異常分析ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、サーバ装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
（実施の形態）
【００２０】
図１は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシステムである。また、群管理システムは、１以上の製造装置１１（製造装置１１（１）から製造装置１１（ｎ））、サーバ装置１２、およびクライアント装置１３を有する。
【００２１】
製造装置１１は、ウェーハを製造する装置である。製造装置１１は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。製造装置１１は、例えば、複合プロセス型の半導体ウェーハ製造装置である。本半導体ウェーハ製造装置の例を図２に示す。図２に示すように、本半導体ウェーハ製造装置は、半導体ウェーハに対して各種の処理、例えば、成膜処理やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数（例えば、３つ）のプロセスチャンバ１、２、３と、多数枚（例えば、５０枚）のウェーハＷを収納できるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ４、５と、プロセスチャンバ１、２、３とカセットチャンバ４、５との間でウェーハＷの受け渡しを行う搬送チャンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間は、ゲートバルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャンバ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム７によりチャンバ間でのウェーハＷの搬送が行われる。カセットＣ１、Ｃ２は、カセットチャンバ４、５内に取り込まれる際に９０度反転されると共に、そのカセットＣ１、Ｃ２のウェーハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くように回転され、搬送アーム７によるウェーハＷの出し入れが可能な姿勢に設置される。
【００２２】
また、製造装置１１は、例えば、ウェーハに対する所定のプロセスに関する情報であるレシピ（通常、プロセス条件値の集合）を格納しており、当該レシピを用いて制御する。
【００２３】
また、サーバ装置１２は、いわゆる群管理システムを構成するサーバ装置であり、複数の製造装置１１における各種の測定情報を格納しており、当該測定情報に対して、異常を検知する機能を有するともに、後述する異常を分析する機能を有する。
【００２４】
また、クライアント装置１３は、サーバ装置１２に対して各種の要求を出し、サーバ装置１２における処理結果を受け付ける。
【００２５】
図３は、本実施の形態における群管理システムのブロック図である。群管理システムは、1以上の製造装置１１、サーバ装置１２、クライアント装置１３を具備する。
【００２６】
製造装置１１は、入力受付部１１０１、レシピ格納部１１０２、製造装置識別子格納部１１０３、製品ウェーハ枚数格納部１１０４、処理部１１０５、測定部１１０６、元情報蓄積部１１０７、元情報送信部１１０８を具備する。
【００２７】
サーバ装置１２は、受付部１２０１、測定情報格納部１２０２、異常情報格納部１２０３、グループチャート情報格納部１２０４、元情報受信部１２０５、測定情報取得部１２０６、異常検知部１２０７、測定情報蓄積部１２０８、異常情報出力部１２０９、チャート構成部１２１０、関連チャート識別情報取得部１２１１、関連チャート構成部１２１２、出力部１２１３を具備する。
【００２８】
クライアント装置１３は、指示入力部１３０１、指示送付部１３０２、出力情報受付部１３０３、端末出力部１３０４を具備する。
【００２９】
入力受付部１１０１は、製造装置１１のユーザから各種の入力を受け付ける。各種の入力とは、例えば、レシピや、レシピを識別するレシピ識別子や、製造装置を識別する製造装置識別子や、製品ウェーハ枚数や、ダミーのウェーハ枚数を含む総ウェーハ枚数や、ウェーハの製造の指示（処理の実行指示）などである。製品ウェーハ枚数とは、ダミーのウェーハの枚数を含まないウェーハの枚数であり、製品として製造するウェーハの枚数である。なお、製造装置１１に収納できるウェーハの枚数は、例えば、５０枚や３０枚等であり、そのうち、ダミーのウェーハが１０枚や５枚等である。また、収納できるウェーハのうち、ダミーのウェーハの数、製造するウェーハの数は問わない。ユーザから各種の入力の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。入力受付部１１０１は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００３０】
レシピ格納部１１０２は、製造装置１１を制御するために使用されるレシピを格納している。レシピとは、被処理基板に対する所定のプロセスに関する情報であり、通常、プロセスパラメータの情報の集合を含む。プロセスパラメータの情報は、例えば、カテゴリー名、アイテム名、パラメータ名、値を含む。カテゴリー名とは、プロセスパラメータの種類を示す名称であり、例えば、「温度」「ガス流量」「ボートエレベーターのスピード」などである。アイテム名は、プロセスパラメータの属性を示す名称であり、例えば、「上下速度」「回転速度」などである。パラメータ名は、プロセスパラメータの名称であり、例えば、「Ｃ」「Ａ」などである。値は、プロセスパラメータという変数に与える値である。通常、レシピは、レシピを識別するレシピ識別子（例えば、レシピ名）と対に格納されている。レシピ格納部１１０２は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００３１】
製造装置識別子格納部１１０３は、製造装置１１を識別する製造装置識別子を格納している。この製造装置識別子は、入力受付部１１０１が受け付けた情報でも良いし、製造装置出荷時に予め格納した情報でも良い。製造装置識別子格納部１１０３は、ハードディスクやＲＯＭ等の不揮発性の記録媒体でも、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体でも良い。
【００３２】
製品ウェーハ枚数格納部１１０４は、製品ウェーハ枚数を示す情報を格納している。ここで、製品ウェーハ枚数を示す情報とは、通常、数値（例えば、４０）であるが、数値に対応する記号などでも良い。つまり、製品ウェーハ枚数を示す情報と製品ウェーハ枚数とは、同意義である。製品ウェーハ枚数格納部１１０４の製品ウェーハ枚数は、例えば、入力受付部１１０１が受け付けた数値である。また、製品ウェーハ枚数格納部１１０４の製品ウェーハ枚数は、例えば、図示しない手段により、自動的に取得した情報でも良い。製品ウェーハ枚数を取得する図示しない手段とは、例えば、製品ウェーハとダミーウェーハの表面の色の違いを画像処理により検知し、製品ウェーハの枚数を算出する手段である。通常、製品ウェーハとダミーウェーハの表面の色は異なる。また、製品ウェーハ枚数を取得する図示しない手段とは、例えば、製品ウェーハに記載されたＩＤを画像処理により読み取り、製品ウェーハの枚数を算出する手段である。その他、自動的に製品ウェーハ枚数を取得する手段は問わない。製品ウェーハ枚数格納部１１０４は、ハードディスクやＲＯＭ等の不揮発性の記録媒体でも、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体でも良い。
【００３３】
処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出し、当該レシピにしたがって、ウェーハに対する所定のプロセスを行う。処理部１１０５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。処理部１１０５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００３４】
測定部１１０６は、製造装置１１内の温度や、ガス流量や、圧力などを測定し、チャート化される測定情報の元になる情報である元情報を取得する。元情報は、測定した温度などの情報である。元情報は、通常、測定した時刻を示す時刻情報を有する。元情報は、測定部１１０６が温度等の値を測定していた際に処理していたレシピを識別するレシピ識別子と、測定した値と、測定した時刻を示す時刻情報を有することはさらに好適である。測定部１１０６は、複数の箇所の複数の温度や、温度とガス流量などの複数の値を測定しても良いことは言うまでもない。つまり、元情報は、二種類以上の測定された値を有しても良い。測定部１１０６は、1以上の温度センサや1以上の流量センサなどのセンサ等で実現され得る。
【００３５】
元情報蓄積部１１０７は、測定部１１０６が取得した元情報を、図示しない記録媒体に蓄積する。元情報蓄積部１１０７は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。元情報蓄積部１１０７の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。また、上記の図示しない記録媒体は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００３６】
元情報送信部１１０８は、元情報蓄積部１１０７が蓄積した元情報を、サーバ装置１２に送信する。元情報の送信のトリガーは問わない。また、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、測定された一種以上（例えば、温度とガス流量）の値、時刻情報等を有する。また、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、さらに加えて、製造装置１１を識別する製造装置識別子や、レシピを識別するレシピ識別子を有することが好適である。また、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、製品ウェーハ枚数や、総ウェーハ枚数などを有しても良い。つまり、元情報蓄積部１１０７が蓄積した元情報と、元情報送信部１１０８が送信する元情報は、その構造や構成が異なっていても良い。また、元情報は、複数の測定された値に対して、一つの製造装置識別子または／および一つのレシピ識別子を有する構成でも良い。元情報送信部１１０８は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。なお、元情報送信部１１０８は、元情報をサーバ装置１２に送信する前に、製品ウェーハ枚数格納部１１０４からウェーハ枚数を読み出し、元情報に付加しても良い。また、元情報送信部１１０８は、元情報をサーバ装置１２に送信する前に、レシピ格納部１１０２や製造装置識別子格納部１１０３から、それぞれレシピ識別子や製造装置識別子を読み出し、元情報に付加しても良い。また、送信する元情報を構成する処理は、元情報送信部１１０８ではなく、元情報蓄積部１１０７が行っても良い。測定された一種以上（例えば、温度とガス流量）の値と時刻情報の組の情報、および製品ウェーハ枚数や製造装置識別子やレシピ識別子の送信するタイミングなどは問わない。
【００３７】
受付部１２０１は、各種の指示を含む入力を受け付ける。各種の指示とは、1以上の異常情報（通常、異常の一覧表である）を出力する異常一覧出力指示や、1以上の異常情報のうちの1以上の異常情報に対する指示である異常情報指示（異常情報に対応するチャートを出力する指示）や、１以上のチャートが出力された後、当該出力された１以上のチャートに関連する関連チャートを出力する指示である関連チャート出力指示や、サーバ装置１２の起動指示などである。なお、異常情報指示や関連チャート出力指示などのチャートを出力する指示は、チャートの種類（ＳＰＣチャート、相関チャート、またはＭＤチャートなど）の情報を含んでも良い。また、出力指示は、チャート出力する対象のデータのタイプ（温度や、ガス流量や、圧力などの測定情報）を含んでも良い。また、出力指示は、チャートを構成する点または／および線の属性情報を含んでも良い。属性情報とは、点の色、点の種類（形状）、線の色、線種などである。また、かかる指示を含む入力は、通常、クライアント装置１３から受信するが、サーバ装置１２に接続されているキーボードやマウス等から受け付けても良い。受付部１２０１は、例えば、無線または有線の受信手段からなる。指示等の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。受付部１２０１は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現されても良い。
【００３８】
測定情報格納部１２０２は、複数の製造装置１１で測定された一種以上の情報（例えば、温度や圧力）についての時系列の情報であり、製造装置１１を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る。測定情報は、レシピ識別子や、属性情報（製品ウェーハ枚数や、総ウェーハ枚数など）を有することは好適である。測定情報は、元情報受信部１２０５が受信した複数の元情報に対して、測定情報取得部１２０６が所定の演算を行い、取得された情報でも良いし、元情報と同じ情報でも良い。測定情報格納部１２０２の測定情報は、異常検知後の異常分析のために使用される測定情報である。測定情報格納部１２０２は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。なお、測定情報格納部１２０２の測定情報は、測定情報蓄積部１２０８が蓄積した情報でも良いし、製造装置１１から直接に受信した情報でも良いし、図示しない記録媒体から読み出した情報でも良い。
【００３９】
異常情報格納部１２０３は、異常を示す情報である異常情報と1以上の測定情報の対応を、1以上格納し得る。異常情報は、例えば、測定した日時を示す日時情報、製造装置識別子、レシピ識別子、異常な測定情報が有する測定値を含む。また、異常情報は、例えば、測定した日時を示す日時情報、製造装置識別子、異常な測定情報が有する測定値を含む複数の測定情報から構成されるチャートを識別するチャート識別情報、チャートの種類（ＳＰＣチャート、相関チャート、ＭＤチャートなど）を示すチャートタイプ、異常が発生したステップを識別するステップ識別子、アラームの有無などの情報を有する。その他、異常情報は、異常を示す情報、異常に関連する情報のどのような情報を含んでも良い。異常情報格納部１２０３は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００４０】
グループチャート情報格納部１２０４は、チャートを識別する情報であるチャート識別情報を２以上有するグループチャート情報を１以上格納し得る。チャート識別情報は、例えば、チャート名（フォルダ名を含むチャートのファイル名など）である。チャート識別情報は、例えば、チャート名とチャートタイプである。グループチャート情報は、異常分析に寄与する複数のチャート識別情報を有する。この複数のチャート識別情報は、お互いに関連するチャートの識別情報である。グループチャート情報は、例えば、製造装置１１の炉内の上部の温度のチャートを識別する情報であるチャート識別情報、同一の炉内の中央部の温度のチャートを識別するチャート識別情報、同一の炉内の下部の温度のチャート識別するチャート識別情報を有する。グループチャート情報は、例えば、製造装置１１の炉内の温度のチャート識別するチャート識別情報、同一の炉内のガス流量のチャート識別するチャート識別情報を有する。グループチャート情報が有する複数のチャート識別情報に対応するチャートは、すべてＳＰＣチャートが好適である。ただし、グループチャート情報が有する複数のチャート識別情報に対応するチャートは、ＳＰＣチャートと相関チャート、ＳＰＣチャートとＭＤチャートでも良い。また、グループチャート情報が有する複数のチャート識別情報に対応するチャートは、相関チャートとＭＤチャート、すべて相関チャート、すべてＭＤチャート等でも良い。つまり、グループチャート情報が有する複数のチャート識別情報に対応するチャートの種類は問わない。グループチャート情報が有する複数のチャート識別情報に対応するチャートは、異常を分析するために寄与するチャートの組み合わせであれば良い。グループチャート情報格納部１２０４は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００４１】
元情報受信部１２０５は、複数の測定情報の元になる情報である元情報を複数の製造装置１１から受信する。元情報受信部１２０５は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００４２】
測定情報取得部１２０６は、元情報受信部１２０５が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する。所定の演算とは、例えば、所定の時間間隔ごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を取得したり、最小値を取得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演算である。また、所定の演算とは、例えば、レシピ内の所定のステップごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を取得したり、最小値を取得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演算でも良い。測定情報取得部１２０６は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。測定情報取得部１２０６の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４３】
異常検知部１２０７は、測定情報取得部１２０６が取得した測定情報に対して異常を検知する。異常検知部１２０７は、測定情報が有する測定値（温度やガス流量や圧力など）の異常または正常の範囲を示す閾値（通常、正常の上限値、下限値）を格納しており、当該閾値と、測定情報が有する測定値を比較して、測定値ごとに異常／正常を判断する。異常検知部１２０７が異常を検知する単位となる測定情報は、同一の製造装置識別子、同一のレシピ識別子を有する測定情報であり、一連の時刻情報が示す時刻が連続した複数の測定情報であり、一連のプロセスにおいて測定された測定値を有する複数の測定情報である。異常検知部１２０７は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。異常検知部１２０７の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４４】
測定情報蓄積部１２０８は、異常検知部１２０７が異常を検知した測定情報を有する一連の測定情報を測定情報格納部１２０２に蓄積する。測定情報蓄積部１２０８は、測定情報取得部１２０６が取得したすべての測定情報を測定情報格納部１２０２に蓄積しても良い。測定情報蓄積部１２０８は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。測定情報蓄積部１２０８の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４５】
異常情報出力部１２０９は、異常情報格納部１２０３が格納している1以上の異常情報を出力する。異常情報出力部１２０９は、通常、1以上の異常情報を異常一覧として出力する。異常情報出力部１２０９は、1以上の異常情報を表形式や、メニュー形式等で出力する。ただし、出力の態様は問わない。ここで、出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積等を含む概念である。異常情報出力部１２０９は、ディスプレイやスピーカー等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。異常情報出力部１２０９は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。
【００４６】
チャート構成部１２１０は、異常情報指示に対応する1以上の異常情報と対になる1以上の測定情報から１以上のチャートを構成する。異常情報指示は、受付部１２０１が受け付ける指示であり、異常情報出力部１２０９が出力した1以上の異常情報（通常、異常一覧という）のうちの1以上の異常情報（1以上の異常の項目）に対する指示である。なお、異常情報指示は、通常、異常一覧のうちの一の異常の項目に対する指示である。チャート構成部１２１０は、好ましくは、受付部１２０１が異常情報指示を受け付けた場合に、異常情報指示に対する異常情報と対になる1以上の測定情報を、他の測定情報と視覚的に異なる態様を有するチャートを構成する。例えば、チャート構成部１２１０は、異常情報と対になる1以上の測定情報が有する測定値のチャート上のドットの色を、他の測定情報が有する測定値のドットの色と異なる色にする。例えば、異常な測定値のドットを赤、正常な測定値のドットを黒にして、チャートを構成する。なお、異常な測定値のドットの形状を三角、正常な測定値のドットの形状を丸としても良い。その他、チャート構成部１２１０は、異常な測定値のドットと正常な測定値のドットを視覚的に異なる態様で、チャートを構成すれば良い。1以上の測定値が与えられた場合、ＳＰＣチャート、相関チャート、ＭＤチャートを構成する技術は公知技術であるので、チャートを構成する方法についての詳細な説明は省略する。チャート構成部１２１０は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。チャート構成部１２１０の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４７】
関連チャート識別情報取得部１２１１は、１以上のチャートが出力された後、受付部１２０１が、関連チャート出力指示を受け付けた場合に、当該出力された１以上のチャートを識別する１以上のチャート識別情報のうちのすべてのチャート識別情報、またはいずれか一つのチャート識別情報を有するグループチャート情報のうちの、当該出力された１以上のチャートを識別する１以上のチャート識別情報を除く１以上のチャート識別情報を取得する。関連チャート識別情報取得部１２１１は、出力されているチャートと関連するチャートのチャート識別情報を取得する。出力されているチャートは、異常の測定値を含むチャートであり、関連するチャートは、異常分析に役立つチャートである。関連チャート出力指示とは、出力された１以上のチャートに関連する関連チャートを出力する指示である。関連チャート識別情報取得部１２１１は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。関連チャート識別情報取得部１２１１の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４８】
関連チャート構成部１２１２は、関連チャート識別情報取得部１２１１が取得した１以上のチャート識別情報を用いて、チャート識別情報ごとに、測定情報格納部１２０２から１以上の測定情報を取得し、１以上のチャートを構成する。関連チャート構成部１２１２が構成するチャートは、ＳＰＣチャートが好適であるが、相関チャート、ＭＤチャート等のチャートでも良い。通常、関連チャート構成部１２１２がチャートを構成するアルゴリズムは、チャート構成部１２１０がチャートを構成するアルゴリズムと同一である。関連チャート構成部１２１２は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。関連チャート構成部１２１２の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４９】
出力部１２１３は、チャート構成部１２１０が構成した１以上のチャートを出力する。また、出力部１２１３は、関連チャート構成部出力部１２１３が構成した１以上のチャートをも出力する。出力部１２１３は、関連チャート構成部出力部１２１３が構成した１以上のチャートを出力する際に、既にチャート構成部１２１０がチャートを構成し、出力部１２１３が出力している場合に、当該出力されているチャートと共に、関連チャート構成部出力部１２１３が構成した１以上のチャートを出力することは好適である。ここで、出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積等を含む概念である。出力部１２１３は、ディスプレイ等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。出力部１２１３は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。
【００５０】
指示入力部１３０１は、各種の指示を入力する。各種の指示とは、起動の指示や、異常一覧出力指示や、異常情報指示や、関連チャート出力指示などである。指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示入力部１３０１は、テンキーやキーボード等の入力手段と、そのデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００５１】
指示送付部１３０２は、指示入力部１３０１から入力された指示をサーバ装置１２に送付する。ここでの送付とは、通常、通信手段を用いた送信である。指示送付部１３０２は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００５２】
出力情報受付部１３０３は、サーバ装置１２から情報を受け付ける。受け付ける情報は、サーバ装置１２での処理結果であり、例えば、異常一覧や、チャートなどである。ここでの受け付けとは、通常、通信手段を用いた受信である。出力情報受付部１３０３は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００５３】
端末出力部１３０４は、出力情報受付部１３０３が受け付けた異常一覧や、チャートなどをディスプレイに表示する。端末出力部１３０４は、ディスプレイを含むと考えても含まないと考えても良い。端末出力部１３０４は、ディスプレイのドライバーソフトまたは、ディスプレイのドライバーソフトとディスプレイ等で実現され得る。
【００５４】
次に、群管理システムの動作について説明する。まず、製造装置１１の動作について図４のフローチャートを用いて説明する。
【００５５】
（ステップＳ４０１）処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出す。
【００５６】
（ステップＳ４０２）処理部１１０５は、カウンタｉに１を代入する。
【００５７】
（ステップＳ４０３）処理部１１０５は、ステップＳ４０１で読み込んだレシピ中に、ｉ番目の処理ステップが存在するか否かを判断する。ｉ番目の処理ステップが存在すればステップＳ４０４に行き、ｉ番目の処理ステップが存在しなければステップＳ４０９に行く。
【００５８】
（ステップＳ４０４）処理部１１０５は、ｉ番目のステップの処理を実行する。
【００５９】
（ステップＳ４０５）測定部１１０６は、予め決められた１種以上の測定（例えば、温度と圧力）を行い、元情報（ここでの元情報は、通常、１種以上の値のみ有する）を取得する。
【００６０】
（ステップＳ４０６）測定部１１０６は、図示しない時計から時刻情報を取得し、測定した情報に時刻情報を付与して、元情報を構成する。
【００６１】
（ステップＳ４０７）元情報蓄積部１１０７は、ステップＳ４０６で構成した元情報を、図示しないメモリに一時蓄積する。
【００６２】
（ステップＳ４０８）元情報送信部１１０８は、ステップＳ４０７で一時蓄積した元情報（ここでは、１種以上の値と時刻情報の組）をサーバ装置１２に送信する。なお、元情報送信部１１０８は、サーバ装置１２と通信するための情報（例えば、サーバ装置１２のＩＰアドレス等）を保持している、とする。
【００６３】
（ステップＳ４０９）処理部１１０５は、カウンタｉを１、インクリメントし、ステップＳ４０３に戻る。
【００６４】
（ステップＳ４１０）元情報送信部１１０８は、製品ウェーハ枚数格納部１１０４から、製品ウェーハ枚数を読み出す。また、元情報送信部１１０８は、その他の属性情報を取得しても良い。
【００６５】
（ステップＳ４１１）元情報送信部１１０８は、レシピ格納部１１０２から、レシピ識別子を読み出す。このレシピ識別子は、ステップＳ４０１で読み込んだレシピのレシピ識別子である。
【００６６】
（ステップＳ４１２）元情報送信部１１０８は、製造装置識別子格納部１１０３から、製造装置識別子を読み出す。
【００６７】
（ステップＳ４１３）元情報送信部１１０８は、ステップＳ４１０からステップＳ４１２で読み出した製品ウェーハ枚数、レシピ識別子、および製造装置識別子などをサーバ装置１２に送信する。なお、元情報送信部１１０８は、サーバ装置１２と通信するための情報（例えば、サーバ装置１２のＩＰアドレス等）を保持している、とする。
【００６８】
なお、図４のフローチャートにおいて、送信する元情報が有する１種以上の値と時刻情報の複数の組と、製品ウェーハ枚数、レシピ識別子、および製造装置識別子などを一緒にサーバ装置１２に送信しても良い。
【００６９】
次に、サーバ装置１２の動作について図５、図６のフローチャートを用いて説明する。
【００７０】
（ステップＳ５０１）受付部１２０１は、指示を受け付けたか否かを判断する。指示を受け付ければステップＳ５０２に行き、指示を受け付けなければステップＳ５２１に行く。
【００７１】
（ステップＳ５０２）異常情報出力部１２０９は、ステップＳ５０１で受け付けた指示が異常一覧出力指示であるか否かを判断する。異常一覧出力指示であればステップＳ５０３に行き、異常一覧出力指示でなければステップＳ５０６に行く。なお、異常一覧出力指示を受け付ける場合は、後述する異常検知処理は完了している、とする。
【００７２】
（ステップＳ５０３）異常情報出力部１２０９は、異常情報格納部１２０３に格納されている1以上の異常情報を読み出す。なお、異常情報出力部１２０９は、1以上の異常情報の他、異常一覧を出力する際に出力すると予め決められている情報を読み出しても良い。
【００７３】
（ステップＳ５０４）異常情報出力部１２０９は、ステップＳ５０３で読み出した1以上の異常情報等から異常一覧を構成する。
【００７４】
（ステップＳ５０５）異常情報出力部１２０９は、ステップＳ５０４で構成した異常一覧を出力する。ここでは、クライアント装置１３に異常一覧を送信する。ステップＳ５０１に戻る。
【００７５】
（ステップＳ５０６）チャート構成部１２１０は、ステップＳ５０１で受け付けた指示が異常情報指示であるか否かを判断する。異常情報指示であればステップＳ５０７に行き、異常情報指示でなければステップＳ５１１に行く。なお、異常情報指示を受け付ける場合は、ここでは、異常一覧出力処理は完了している、とする。
【００７６】
（ステップＳ５０７）チャート構成部１２１０は、異常情報指示に対応する1以上の異常情報（異常一覧のうちで指示された項目に対応する異常情報）を取得する。1以上の異常情報は、既に出力されている異常一覧の中の異常情報である。
【００７７】
（ステップＳ５０８）チャート構成部１２１０は、ステップＳ５０７で取得した1以上の異常情報と対になる1以上の測定情報を取得する。さらに具体的には、チャート構成部１２１０は、異常情報格納部１２０３から、ステップＳ５０７で取得した1以上の異常情報と1以上の測定情報の対応の情報（例えば、測定情報格納部１２０２の測定情報へのポインタや、チャート識別情報など）を得て、当該対応の情報を用いて、1以上の測定情報を、測定情報格納部１２０２から取得する。
【００７８】
（ステップＳ５０９）チャート構成部１２１０は、ステップＳ５０８で取得した1以上の測定情報からチャートを構成する。構成するチャートの種類は、ＳＰＣチャート、相関チャート、ＭＤチャート等、問わない。
【００７９】
（ステップＳ５１０）出力部１２１３は、ステップＳ５０９で構成した１以上のチャートを出力する。ステップＳ５０１に戻る。
【００８０】
（ステップＳ５１１）関連チャート識別情報取得部１２１１は、ステップＳ５０１で受け付けた指示が関連チャート出力指示であるか否かを判断する。関連チャート出力指示であればステップＳ５１２に行き、関連チャート出力指示でなければステップＳ５０１に戻る。なお、関連チャート出力指示を受け付ける場合は、ここでは、異常情報指示の処理（チャートの出力）は完了している、とする。
【００８１】
（ステップＳ５１２）関連チャート識別情報取得部１２１１は、カウンタｉに１を代入する。
【００８２】
（ステップＳ５１３）関連チャート識別情報取得部１２１１は、出力されているチャートのうち、ｉ番目のチャートが存在するか否かを判断する。ｉ番目のチャートが存在すればステップＳ５１４に行き、ｉ番目のチャートが存在しなければステップＳ５０１に戻る。
【００８３】
（ステップＳ５１４）関連チャート識別情報取得部１２１１は、出力されているｉ番目のチャートのチャート識別情報を取得する。なお、出力されているチャートのチャート識別情報は、メモリ上に格納されている、とする。
【００８４】
（ステップＳ５１５）関連チャート識別情報取得部１２１１は、ステップＳ５１４で取得したチャート識別情報を有するグループチャート情報を、グループチャート情報格納部１２０４から検索する。
【００８５】
（ステップＳ５１６）関連チャート識別情報取得部１２１１は、ステップＳ５１５で検索したグループチャート情報は、ステップＳ５１３からステップＳ５２０のループ処理において、既に検索済みか否かを判断する。既に検索済みでなければステップＳ５１７に行き、既に検索済みであればステップＳ５２０に行く。
【００８６】
（ステップＳ５１７）関連チャート識別情報取得部１２１１は、直前にステップＳ５１５で検索したグループチャート情報が有する２以上のチャート識別情報の中から、既に出力されているチャートのチャート識別情を除いて、1以上のチャート識別情報を取得する。
【００８７】
（ステップＳ５１８）関連チャート構成部１２１２は、ステップＳ５１７で関連チャート識別情報取得部１２１１が取得した１以上のチャート識別情報を用いて、チャート識別情報ごとに、測定情報格納部１２０２から１以上の測定情報を取得し、１以上のチャートを構成する。
【００８８】
（ステップＳ５１９）出力部１２１３は、ステップＳ５１８で構成した１以上のチャートを合成出力する。ここで合成出力とは、既に出力されているチャートに重ねて、１以上のチャートを出力することをいう。かかる複数の関連するチャートの出力により、効果的で、迅速な異常分析ができる。
【００８９】
（ステップＳ５２０）関連チャート識別情報取得部１２１１は、カウンタｉを１、インクリメントする。ステップＳ５１３に戻る。
【００９０】
（ステップＳ５２１）異常検知部１２０７は、異常検知処理を行う。異常検知処理の詳細について、図６のフローチャートを用いて説明する。ステップＳ５０１に戻る。
【００９１】
なお、図５のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００９２】
また、図５のフローチャートにおいて、関連チャート構成部１２１２は、関連チャート出力指示に対応して、関連する1以上のチャートを構成したが、予め関連する1以上のチャートを構成しておき、当該関連する1以上のチャートを蓄積し、関連チャート出力指示を受け付けた場合に、当該蓄積した1以上のチャートを読み出し、出力しても良い。
【００９３】
次に、サーバ装置１２のステップＳ５２１の異常検知処理について図６のフローチャートを用いて説明する。
【００９４】
（ステップＳ６０１）元情報受信部１２０５は、一種以上の測定値と時刻情報の組である元情報を受信したか否かを判断する。元情報を受信すればステップＳ６０２に行き、元情報を受信しなければステップＳ６０３に行く。
【００９５】
（ステップＳ６０２）元情報受信部１２０５は、バッファに、ステップＳ６０１で受信した元情報を追記する。図５のフローチャートのステップＳ５０１に戻る。
【００９６】
（ステップＳ６０３）元情報受信部１２０５は、製品ウェーハ枚数や、製造装置識別子などの属性情報を受信したか否かを判断する。製品ウェーハ枚数等を受信すればステップＳ６０４に行き、製品ウェーハ枚数等を受信しなければ図５のフローチャートのステップＳ５０１に戻る。
【００９７】
（ステップＳ６０４）元情報受信部１２０５は、既に受信している1以上の測定値と時刻情報の組に対して、製品ウェーハ枚数等の属性情報を付加する。ここで、測定情報の元になる元情報が構成される。
【００９８】
（ステップＳ６０５）測定情報取得部１２０６は、ステップＳ６０４で構成された元情報が有する1以上の測定値（温度や圧力など）に対して、測定情報取得部１２０６が所定の演算を行い、1以上の測定情報を取得する。
【００９９】
（ステップＳ６０６）異常検知部１２０７は、ステップＳ６０５で取得した1以上の測定情報に対して、異常検知を行い、異常情報を取得する。ここでは、例えば、異常情報は、測定した日時を示す日時情報、製造装置識別子、異常な測定情報が有する測定値を含む複数の測定情報から構成されるチャートを識別するチャート識別情報、チャートの種類（ＳＰＣチャート、相関チャート、ＭＤチャートなど）を示すチャートタイプ、異常が発生したステップを識別するステップ識別子、アラームの有無などの情報を有する。異常情報がチャートを有する場合、異常検知部１２０７が異常を検知した後、チャート構成部１２１０などは、異常を検知した測定値を含む一連の測定情報に対して、チャートを構成する処理を行い、当該チャートを蓄積する。
【０１００】
（ステップＳ６０７）異常検知部１２０７は、ステップＳ６０６で取得した異常情報を、異常情報格納部１２０３に蓄積する。
【０１０１】
（ステップＳ６０８）測定情報蓄積部１２０８は、異常検知部１２０７が異常を検知した測定情報を有する一連の測定情報を測定情報格納部１２０２に蓄積する。図５のフローチャートのステップＳ５０１に戻る。
【０１０２】
なお、図６のフローチャートにおいて、元情報と測定情報は同じ情報でも良い。かかる場合、ステップＳ６０５において、元情報を読み出す処理を行う。
【０１０３】
また、図６のフローチャートにおいて、元情報を受信し終われば直ちに異常検知を行ったが、異常検知を行うタイミングは問わない。異常検知は、ユーザ（クライアント装置１３）からの指示により開始しても良いことは言うまでもない。また、かかる場合、ユーザが異常発生しているかもしれない製造装置１１やレシピにあたりを付け、ユーザが製造装置識別子や、レシピ識別子などを入力しても良い。そして、かかる場合、異常検知の指示は、当該入力された製造装置識別子や、レシピ識別子などを含むこととなる。そして、異常検知の指示に含まれる製造装置識別子や、レシピ識別子などに対応する測定情報に対して、異常検知することは好適である。
【０１０４】
また、図５、図６のフローチャートにおいて、チャートを構成するタイミングは問わない。チャートを出力する指示があった場合にチャートを構成しても良いし、予め出力される可能性のあるチャートを構成し、蓄積しておいても良い。
【０１０５】
次に、クライアント装置１３の動作について説明する。クライアント装置１３の指示入力部１３０１がユーザから各種の指示を受け付けた場合、指示送付部１３０２は、当該各種の指示をサーバ装置１２に送付し、サーバ装置１２での処理結果を出力情報受付部１３０３が受け付け、端末出力部１３０４が受け付けた情報を表示する。
【０１０６】
以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１である。
【０１０７】
本具体例において、複数の製造装置１１の入力受付部１１０１が、ユーザからのウェーハ等の製造の開始指示を受け付けると、処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出し、読み出したレシピを実行し、製造処理を進める。そして、測定部１１０６は、製造処理中、例えば、第一の温度センサを用いて、1秒ごとに、予め決められた炉内の上部の温度を測定し、取得した温度と、図示しない時計から取得した時刻情報を対にして、元情報送信部１１０８は、例えば、1秒ごとにサーバ装置１２に送信する。この送信する元情報の例は、図７である。元情報は、ここでは、温度、時刻情報を有する。なお、時刻情報は、時刻を示す情報であり、時・分・秒までを特定する情報でも良いし、日時、および時だけの情報でも良い。また、同様に、測定部１１０６は、製造処理中、第二の温度センサを用いて、1秒ごとに、予め決められた炉内の中央部の温度を測定し、取得した温度と、図示しない時計から取得した時刻情報を対にして、元情報送信部１１０８は、例えば、1秒ごとにサーバ装置１２に送信する。さらに、同様に、測定部１１０６は、製造処理中、第三の温度センサを用いて、1秒ごとに、予め決められた炉内の下部の温度を測定し、取得した温度と、図示しない時計から取得した時刻情報を対にして、元情報送信部１１０８は、例えば、1秒ごとにサーバ装置１２に送信する。
【０１０８】
また、レシピのすべてのステップの実行が完了した段階で、製造装置１１の元情報送信部１１０８は、製造装置識別子格納部１１０３の製造装置識別子、レシピ格納部１１０２のレシピ識別子（ウェーハを製造する際に実行したレシピの識別子）、および製品ウェーハ枚数格納部１１０４の製品ウェーハ枚数を読み出し、また、他の属性情報（総ウェーハ枚数など）を取得し、サーバ装置１２に送信する、とする。
【０１０９】
次に、サーバ装置１２の元情報受信部１２０５は、1秒ごとに、順次、炉内の上部の温度と時刻情報の組の情報、炉内の中央部の温度と時刻情報の組の情報、炉内の下部の温度と時刻情報の組の情報、炉内のガス流量と時刻情報の組の情報、炉内の圧力と時刻情報の組の情報などを受信し、一時蓄積する。そして、製造装置識別子、レシピ識別子、および製品ウェーハ枚数などを受信する。そして、元情報受信部１２０５は、炉内の上部の温度と時刻情報の複数の組、レシピ識別子、および製造装置識別子などを有する元情報を一時的にメモリに記録する。かかる元情報の例を図８に示す。図８は、元情報管理表である。元情報管理表は、「製造装置識別子」「レシピ識別子」「測定値」「時刻情報」を有する。「測定値」は、炉内の上部、中央部、下部の各温度、炉内の圧力、ガス流量などである。図８において、一の製造装置識別子、レシピ識別子に対して、複数の値（ここでは、１種類）と時刻情報が対応するデータ構造である。また、図８において、複数の製造装置１１（Ｅ１、Ｅ２など）、および複数のレシピ（Ｒ５、Ｒ３など）の実行に対する元情報が管理されている。
【０１１０】
次に、測定情報取得部１２０６は、同一の製造装置識別子、レシピ識別子、および同一種（例えば、炉内の上部の温度）の一連の測定値ごとに、複数の元情報を取得し、当該複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する。ここでは、所定の演算は、平均値の算出であり、測定情報取得部１２０６は、1時間おきに平均値を算出する、とする。そして、測定情報取得部１２０６は、図８の元情報管理表から、図９に示す測定情報管理表を得た、とする。
【０１１１】
次に、異常検知部１２０７は、図９に示す測定情報管理表の1以上の測定情報に対して、異常検知を行い、異常情報を取得する。ここで、異常検知部１２０７は、炉内の上部、中央部、下部のいずれにも適用され得る正常／異常を判断するための閾値による条件「３００＜＝温度＜＝４００」を格納している、とする。つまり、正常であるためには、炉内の温度はいずれも、３００度と４００度の間である必要がある、とする。
【０１１２】
かかる場合、異常検知部１２０７は、格納している閾値による条件「３００＜＝温度＜＝４００」を読み出す。次に、異常検知部１２０７は、図９の測定値の平均値を読み出し、温度の測定値の平均値のうち、「３００＜＝温度＜＝４００」を満たしていない情報（レコード）を取得する。そして、異常検知部１２０７は、製造装置識別子「Ｅ１」、レシピ識別子「Ｒ５」で識別されるプロセスにおいて、炉内の上部の温度が、上記の条件で示される正常範囲を逸脱していることを検知する。
【０１１３】
そして、異常検知部１２０７は、図９の測定値の平均値から、他の異常値も、次々に、検知する。そして、異常検知部１２０７は、検知したすべての測定値を含む測定情報を、測定情報格納部１２０２に蓄積する。なお、この測定情報格納部１２０２に蓄積された測定情報は、異常な測定値を含む測定情報と、当該測定情報と一連の測定情報である。かかる測定情報を図１０に示す。
【０１１４】
次に、チャート構成部１２１０は、異常検知部１２０７が検知し、蓄積した異常な測定情報から、チャートを構成する。チャートは、通常、一の変量を用いるＳＰＣチャートである。そして、ここでは、チャート構成部１２１０は、構成したチャートに付与するファイル名を自動的に生成（例えば、変数「？」の値を１から順にインクリメントし、「ＳＰＣ？」というファイル名を生成）し、予め決まられたフォルダ（例えば、「￥ＥＲＲ」）のファイル（例えば、「ＳＰＣ１」）に、構成したチャートを書き込む。かかるチャートを書き込む前にファイルを生成し、オープンしていることは言うまでもない。
【０１１５】
次に、異常検知部１２０７は、検知した異常な測定値（測定情報格納部１２０２に蓄積された測定情報を用いも良い）から、異常情報を構成し、当該異常情報を異常情報格納部１２０３に蓄積する。異常検知部１２０７は、すべての異常な測定値を検知し、当該異常な測定値に対応する異常情報を構成し、異常情報格納部１２０３に蓄積する。図１１は、かかる異常情報を管理する異常情報管理表である。異常情報管理表は、「時刻情報」「装置識別子」「レシピ識別子」「チャート名」「チャートタイプ」を有する。「時刻情報」は、異常値が測定された時刻を示す情報、「装置識別子」は異常値が測定された装置の識別子、「レシピ識別子」異常値が測定された際に実行されていたレシピの識別子、「チャート名」は、ここでは「￥ＥＲＲ￥ＳＰＣ？」、「チャートタイプ」はここではＳＰＣチャートを示す「ＳＰＣ」である、とする。図１０において、「￥ＥＲＲ￥ＳＰＣ１」「￥ＥＲＲ￥ＳＰＣ２」は、フォルダ「￥ＥＲＲ」に、「ＳＰＣ１」「ＳＰＣ２」というファイル名のチャートが構成され、蓄積されている、ことを示す。
【０１１６】
かかる状況において、ユーザは、クライアント装置１３から、「異常一覧出力指示」を入力する、とする。そして、指示入力部１３０１は、「異常一覧出力指示」を受け付け、指示送付部１３０２は当該指示をサーバ装置１２に送信する。
【０１１７】
次に、サーバ装置１２の受付部１２０１は、「異常一覧出力指示」を受信する。そして、異常情報出力部１２０９は、図１１の異常情報を異常情報格納部１２０３から読み込む。
【０１１８】
次に、異常情報出力部１２０９は、異常情報から異常一覧を構成する。そして、異常情報出力部１２０９は、異常一覧をクライアント装置１３に送信し、クライアント装置１３の出力情報受付部１３０３は、異常一覧を受信する。そして、端末出力部１３０４は、図１２に示すように、異常一覧を出力する。
【０１１９】
また、本具体例において、グループチャート情報格納部１２０４は、図１３に示すグループチャート情報管理表を格納している、とする。グループチャート情報管理表の各ＩＤに対応するレコードは、２以上の関連するチャートのチャート識別情報を有する。図１３に示すグループチャート情報管理表において、「ＩＤ」「グループチャート情報」を有するレコードを1以上保持している。ここで、「ＩＤ」は、レコードを識別する情報であり、表におけるレコード管理のために存在する。「グループチャート情報」は、ここでは、「レシピ識別子」「測定値」「チャートタイプ」からなる。「レシピ識別子」は、レシピを識別する情報である。「測定値」は、測定されたデータのデータタイプおよび測定箇所を特定する情報である。「チャートタイプ」は、出力するチャートの種類を示す情報である。このグループチャート情報は、製造現場における異常分析のノウハウが結集した情報である。
【０１２０】
かかる状況において、ユーザは、図１２の画面から、２つめの異常情報の項目がフォーカスされている場合に、「チャート出力」ボタンを押下する、とする。すると、クライアント装置１３の指示入力部１３０１は、２つめの異常情報の項目に対応する異常情報指示を受け付ける。この異常情報指示は、時刻情報「２００５／１２／０２  １６：００：００」、製造装置識別子「Ｅ１」、レシピ識別子「Ｒ５」、チャート名「￥ＥＲＲ￥ＳＰＣ１」を有する。そして、指示送付部１３０２は、異常情報指示をサーバ装置１２に送信する。
【０１２１】
次に、受付部１２０１は、この異常情報指示を受信する。そして、チャート構成部１２１０は、チャート名「￥ＥＲＲ￥ＳＰＣ１」に対応するチャートを読み込み、時刻情報「２００５／１２／０２  １６：００：００」を用いて、当該時刻に対応する点をフォーカスしたチャートを構成する。
【０１２２】
そして、出力部１２１３は、チャートを出力する。そして、クライアント装置１３の出力情報受付部１３０３は、チャートを受信し、端末出力部１３０４は、図１４に示すようにチャートを表示する。なお、ここでは、チャート名「￥ＥＲＲ￥ＳＰＣ１」に対応するチャートは、チャート構成部１２１０が既に構成し、蓄積しているものとする。図１３において、３００度から４００度の範囲が正常範囲であるので、出力されているチャート上の測定値は、異常値である。そして、異常値のドットは、「×」で表示される、とする。
【０１２３】
次に、ユーザは、クライアント装置１３の図１４の画面から、ボタン「関連チャート出力」を押下する、とする。
【０１２４】
次に、クライアント装置１３の指示入力部１３０１は、関連チャート出力指示を受け付け、指示送付部１３０２は、関連チャート出力指示をサーバ装置１２に送信する。
【０１２５】
次に、サーバ装置１２の受付部１２０１は、関連チャート出力指示を受信する。そして、関連チャート識別情報取得部１２１１は、出力されているチャートのチャート識別情報を取得する。ここでの出力されているチャートのチャート識別情報は、製造装置識別子「Ｅ１」、レシピ識別子「Ｒ５」、チャート名「￥ＥＲＲ￥ＳＰＣ１」、測定値「炉内の上部の温度」を有する、とする。
【０１２６】
次に、関連チャート識別情報取得部１２１１は、取得したチャート識別情報をキーとして、グループチャート情報格納部１２０４のグループチャート情報管理表を検索する。ここで、グループチャート情報管理表の「ＩＤ＝１」のレコードがマッチするので、関連チャート識別情報取得部１２１１は、レシピ識別子「Ｒ５」、測定値「炉内の中央部の温度」、チャートタイプ「ＳＰＣ」、およびレシピ識別子「Ｒ５」、測定値「炉内の下部の温度」、チャートタイプ「ＳＰＣ」の２つのチャート識別情報を取得する。
【０１２７】
次に、関連チャート構成部１２１２は、レシピ識別子「Ｒ５」、測定値「炉内の中央部の温度」、チャートタイプ「ＳＰＣ」というチャート識別情報に対応する測定情報を、図９の測定情報管理表から取得する。そして、関連チャート構成部１２１２は、取得した複数の測定情報からＳＰＣチャートを構成する。そして、出力部１２１３は、構成したチャートを重ねて出力する。
【０１２８】
また、関連チャート構成部１２１２は、次のチャートを構成する測定情報である、レシピ識別子「Ｒ５」、測定値「炉内の下部の温度」、チャートタイプ「ＳＰＣ」というチャート識別情報に対応する測定情報を、図９の測定情報管理表から取得する。そして、関連チャート構成部１２１２は、取得した複数の測定情報からＳＰＣチャートを構成する。そして、出力部１２１３は、構成したチャートを重ねて出力する。
【０１２９】
次に、クライアント装置１３の出力情報受付部１３０３は、出力部１２１３が出力したチャートを受信する。そして、端末出力部１３０４は、図１５に示す３つのＳＰＣチャートを得る。３つのＳＰＣチャートは、炉内の上部の温度のＳＰＣチャート、炉内の中央部の温度のＳＰＣチャート、炉内の下部の温度のＳＰＣチャート、である。図１５の炉内の上部の温度のＳＰＣチャートにおいて、異常である旨検出されており、また、炉内の中央部、下部の温度も、正常範囲であるが、かなり低いことが分かる。そして、温度の上昇を図る必要があると、確信を持って判断できる。
【０１３０】
以上、本実施の形態によれば、容易、かつ効果的に異常分析ができる。具体的には、異常が検知され、異常一覧から、異常項目を選択するだけで、直ちにチャートが出力できる。したがって、異常検知後に容易、かつ効果的に異常分析ができる。
【０１３１】
また、本実施の形態によれば、異常を含む測定値のチャートを出力している状態で、他の関連するチャートも非常に簡単に見ることができ、極めて容易、かつ効果的に異常分析ができる。また、関連するチャートを登録しておき、利用することにより、異常分析のノウハウが広く利用できる。
【０１３２】
なお、本実施の形態の具体例において、チャートは、主としてＳＰＣチャート（例えば、図１５や図１６参照）で説明したが、異常の分析対象によって、相関チャート（図１７参照）や、ＭＤチャート（図１８参照）を用いることは好適である。また、図１３のグループチャート情報管理表の「ＩＤ＝２、４」のレコードは、ＳＰＣチャートに関連するチャートとして、ＳＰＣチャートだけではなく、相関チャートやＭＤチャートがあり得ることを示している。また、図１３のグループチャート情報管理表の「ＩＤ＝３」のレコードは、相関チャートに関連するチャートとして、相関チャートやＭＤチャートがあり得ることを示している。
【０１３３】
また、本実施の形態において、図１２の異常一覧の画面において、「関連チャート出力」ボタンを押下した場合に、サーバ装置１２は、図１５の３つのチャートを出力しても良い。かかる処理は、フォーカスされている異常の項目に対応するチャートと、当該チャートに関連する２つのチャートを構成し、出力することで可能である。かかる処理は、上記の説明におけるユーザインタラクションを省略すれば実現可能である。かかる場合、本サーバ装置は、以下の構成となる。つまり、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、各種の指示を含む入力を受け付ける受付部と、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、異常を示す情報である異常情報と1以上の測定情報の対応を、1以上格納し得る異常情報格納部と、前記異常情報格納部が格納している1以上の異常情報を出力する異常情報出力部と、チャートを識別する情報であるチャート識別情報を２以上有するグループチャート情報を１以上格納し得るグループチャート情報格納部と、前記受付部が、前記異常情報出力部が出力した1以上の異常情報のうちの1以上の異常情報に対する指示である異常情報指示を受け付けた場合に、前記異常情報指示に対応する1以上の異常情報と対になる1以上の測定情報に対応するチャートを識別する１以上のチャート識別情報のうちのいずれかを含む関連チャート識別情報を取得する関連チャート識別情報取得部と、前記関連チャート識別情報取得部が取得した関連チャート識別情報を用いて、当該関連チャート識別情報が有する1以上のチャート識別情報ごとに、前記測定情報格納部から１以上の測定情報を取得し、１以上のチャートを構成する関連チャート構成部と、前記関連チャート構成部が構成した１以上のチャートを出力する出力部を具備するサーバ装置、である。
【０１３４】
さらに、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、このソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェアをＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、本実施の形態における情報処理装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置において実行させるプログラムであって、複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、かつ、異常を示す情報である異常情報と1以上の測定情報の対応を、1以上格納しており、コンピュータに、各種の指示を含む入力を受け付ける受付ステップと、前記格納している1以上の異常情報を出力する異常情報出力ステップと、前記受付ステップにおいて、前記異常情報出力ステップで出力した1以上の異常情報のうちの1以上の異常情報に対する指示である異常情報指示を受け付けた場合に、前記異常情報指示に対応する1以上の異常情報と対になる1以上の測定情報から１以上のチャートを構成するチャート構成ステップと、前記チャート構成ステップで構成した１以上のチャートを出力する出力ステップを実行させるためのプログラム、である。
【０１３５】
また、上記プログラムにおいて、コンピュータに、前記１以上のチャートが出力された後、前記受付ステップで、当該出力された１以上のチャートに関連する関連チャートを出力する指示である関連チャート出力指示を受け付けた場合に、当該出力された１以上のチャートを識別する１以上のチャート識別情報のうちのすべてのチャート識別情報、または一つのチャート識別情報を有するグループチャート情報のうちの、当該出力された１以上のチャートを識別する１以上のチャート識別情報を除く１以上のチャート識別情報を取得する関連チャート識別情報取得ステップと、前記関連チャート識別情報取得ステップで取得した１以上のチャート識別情報を用いて、チャート識別情報ごとに、１以上の測定情報を取得し、１以上のチャートを構成する関連チャート構成ステップをさらに実行させ、前記出力ステップにおいて、前記関連チャート構成ステップで構成した１以上のチャートをも出力する、ことは好適である。
【０１３６】
また、上記プログラムにおいて、前記チャート構成ステップにおいて、前記異常情報指示に対する異常情報と対になる1以上の測定情報を、他の測定情報と視覚的に異なる態様を有するチャートを構成する、ことは好適である。
【０１３７】
また、上記プログラムにおいて、前記チャート構成ステップ、または／および関連チャート構成ステップにおいて、前記１以上の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成する、ことは好適である。
【０１３８】
また、上記プログラムにおいて、前記１以上の測定情報が二種類の測定値を有する測定情報であり、前記チャート構成ステップ、または／および関連チャート構成ステップにおいて、当該二種類の測定値の相関を示すチャートである相関チャートを構成する、ことは好適である。
【０１３９】
また、上記プログラムにおいて、前記１以上の測定情報が三種類以上の測定値を有する測定情報であり、前記チャート構成ステップ、または／および関連チャート構成ステップにおいて、当該三種類以上の測定値の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成する、ことは好適である。
【０１４０】
また、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０１４１】
なお、上記プログラムにおいて、情報を送信するステップや、情報を受信するステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信するステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理（ハードウェアでしか行われない処理）は含まれない。
【０１４２】
また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
【０１４３】
また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段（元情報受信部など）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。
【０１４４】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１４５】
以上のように、本発明にかかる群管理システムは、容易、かつ効果的に異常分析ができる、という効果を有し、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システム等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１４６】
【図１】実施の形態における群管理システムの概念図を示す図
【図２】同半導体ウェーハ製造装置の例を示す図
【図３】同群管理システムのブロック図
【図４】同製造装置の動作について説明するフローチャート
【図５】同サーバ装置の動作について説明するフローチャート
【図６】同サーバ装置の異常検知処理の詳細について説明するフローチャート
【図７】同元情報の例を示す図
【図８】同元情報管理表を示す図
【図９】同測定情報管理表を示す図
【図１０】同異常な測定値を含む測定情報の例を示す図
【図１１】同異常情報管理表を示す図
【図１２】同異常一覧を示す図
【図１３】同グループチャート情報管理表を示す図
【図１４】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１５】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１６】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１７】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１８】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【符号の説明】
【０１４７】
１１  製造装置
１２  サーバ装置
１３  クライアント装置
１１０１  入力受付部
１１０２  レシピ格納部
１１０３  製造装置識別子格納部
１１０４  製品ウェーハ枚数格納部
１１０５  処理部
１１０６  測定部
１１０７  元情報蓄積部
１１０８  元情報送信部
１２０１  受付部
１２０２  測定情報格納部
１２０３  異常情報格納部
１２０４  グループチャート情報格納部
１２０５  元情報受信部
１２０６  測定情報取得部
１２０７  異常検知部
１２０８  測定情報蓄積部
１２０９  異常情報出力部
１２１０  チャート構成部
１２１１  関連チャート識別情報取得部
１２１２  関連チャート構成部
１２１３  出力部
１３０１  指示入力部
１３０２  指示送付部
１３０３  出力情報受付部
１３０４  端末出力部
【図１】
0005147097.tif 000002
【図２】
0005147097.tif 000003
【図３】
0005147097.tif 000004
【図４】
0005147097.tif 000005
【図５】
0005147097.tif 000006
【図６】
0005147097.tif 000007
【図７】
0005147097.tif 000008
【図８】
0005147097.tif 000009
【図９】
0005147097.tif 000010
【図１０】
0005147097.tif 000011
【図１１】
0005147097.tif 000012
【図１２】
0005147097.tif 000013
【図１３】
0005147097.tif 000014
【図１４】
0005147097.tif 000015
【図１５】
0005147097.tif 000016
【図１６】
0005147097.tif 000017
【図１７】
0005147097.tif 000018
【図１８】
0005147097.tif 000019