(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックスグリーンシートを焼成して得られ、該セラミックスグリーンシートのプレス加工により形成された、断面が２０°〜４０°の角度を成すＶ字形の溝よりなるブレークラインを有するセラミックス基板において、上記ブレークラインを形成する溝の深さが基板の厚みに対して３〜２５％であり、該溝の開口部断面の幅（Ｗ１）が２０〜１００μｍであり、該溝の底部断面形状を５μｍ以上の幅で非鋭角形状と成し、且つ、上記溝の開口部断面の幅（Ｗ１）に対する非鋭角状と成した上記溝の底部断面の幅（Ｗ２）の比（Ｗ２／Ｗ１）が０．２５〜０．５であることを特徴としたセラミックス基板。
【請求項２】
該非鋭角形状が、鈍角状、湾曲状、又は、直線状である請求項１記載のセラミックス基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板等に使用される新規なセラミックス基板に関する。詳しくは、ブレークラインを有し、分割前の取扱い時において該ブレークラインに起因するクラックの発生が抑制され、且つ、分割時には該ブレークラインによる分割が容易なセラミックス基板を提供するものである。
【背景技術】
【０００２】
アルミナや窒化アルミニウムに代表されるセラミックス基板は、自動車やパワーモジュール用の電子回路部材やヒートシンク用サブマウントなど様々な分野で使用されている。
【０００３】
このようなセラミックス基板の多くは、グリーンシートの段階で打ち抜き加工されて所定の形状に加工された後、脱脂、焼成されて得られる。かかる製造方法において、１枚のセラミックス基板から多数個のチップを得る、いわゆる多数個取りを行う場合には、グリーンシートにブレークラインと呼ばれるＶ字形状の溝を入れ、焼成後にブレークラインに沿って分割するという方法が一般に採用されている。
【０００４】
上記ブレークラインを有するセラミックス基板を製作する方法としては、セラミックスグリーン体シートにレーザーを照射して溝加工する方法（特許文献１）やセラミックス成形体の焼成後にダイヤモンドカッターによって溝加工する方法（特許文献２）、押出成形用ダイのリップに先端の尖った刃を設置してグリーンシートを成形しながら溝加工する方法（特許文献３）、ブレーク刃を取り付けた金型により、グリーンシートの打抜きと同時に溝を形成するプレス加工（特許文献４）等が知られている。
【０００５】
これらの方法のうち、セラミックス基板を製造する際のコストや効率面から、ブレーク刃を取り付けた金型を用いたプレス加工が一般的に採用されている。即ち、セラミックスは一般に硬くて変形し難いという特性を持ち、焼結体を得てからの切削加工はコストが高くなる傾向がある。そのため、グリーン体の状態でできるだけ切削加工を必要としない形状まで成形しておくことが望ましく、ブレークラインについても、プレス加工により、グリーン体上に形成しておくことが工業的に実施されている。
【０００６】
そして、上記プレス加工においては、プレスにより溝を形成し易いように先端が鋭角のブレーク刃が常用されている。
【０００７】
しかしながら、該プレス加工によって得られる、ブレークラインを有するセラミックス基板は、後工程でのハンドリングや搬送の衝撃などにより、分割前にブレークラインの箇所でセラミックス基板に割れが発生し易く、その歩留りを低下させるという問題があった。
【０００８】
【特許文献１】特開平９−１５３０号公報
【特許文献２】特開平９−２３２１０１号公報
【特許文献３】特開平７−２９０４２８号公報
【特許文献４】特開平７−３２３４１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従って、本発明の目的は、グリーンシートの段階で、プレス加工によってブレークラインを形成されたセラミックス基板の、分割前の取扱い時における該ブレークラインに起因する割れの発生が抑制され、且つ、分割時には該ブレークラインによる分割が容易なセラミックス基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、上記目的を達成すべく検討を重ねた。その結果、従来のプレス加工において、常用されている先端が鋭角のブレーク刃を使用した場合、該ブレーク刃により形成される溝の底部断面形状が鋭角状となり、焼成後に該ブレークラインの底部を起点としてシートの厚み方向にクラックが生じ、実質的にブレークラインの深さが目的とする深さよりも深くなってしまうことにより、該部分が極めて割れ易くなることによるという知見を得た。
【００１１】
そして、上記知見に基づき、ブレーク刃により形成される溝の底部断面形状を特定の幅で非鋭角形状とすると共に、該溝の深さを特定の深さとすることによって、かかる溝の底部に発生するクラックを効果的に防止でき、且つ、セラミックス基板の分割時における分割性を良好に維持し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１２】
即ち、本発明は、セラミックスグリーンシートを焼成して得られ、該セラミックスグリーンシートのプレス加工により形成された、断面が２０°〜４０°の角度を成すＶ字形の溝よりなるブレークラインを有するセラミックス基板において、上記ブレークラインを形成する溝の深さが基板の厚みに対して３〜２５％であり、該溝の開口部断面の幅（Ｗ１）が２０〜１００μｍであり、該溝の底部断面形状を５μｍ以上の幅で非鋭角形状と成し、且つ、上記溝の開口部断面の幅（Ｗ１）に対する非鋭角状と成した上記溝の底部断面の幅（Ｗ２）の比（Ｗ２／Ｗ１）が０．２５〜０．５であることを特徴としたセラミックス基板である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、セラミックスグリーンシートのプレス加工によって形成されたブレークラインを有するセラミックス基板の分割性を損なうことなく、ブレークラインを形成する溝の底部に応力が集中するのを防止でき、かかる部分からのクラックの発生を効果的に防止できる。その結果、該セラミックス基板の工業的な生産における歩留まりを飛躍的に向上することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明のセラミックス基板を構成するセラミックスは、公知のものが特に制限なく使用される。例えば、金属又は半金属の酸化物或いは窒化物、炭化物等公知のセラミックスが挙げられ、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素等が一般的である。
【００１５】
また、本発明のセラミックス基板は、プレス加工によって、ブレークラインが形成されたセラミックス基板を対象とする。
【００１６】
尚、プレス加工とは、前記特許文献４に代表され、また、後述するように、ブレーク刃を取り付けた金型により、グリーンシートに溝を形成する方法をいう。
【００１７】
上記プレス加工は、後述するように、金型に取り付けたブレーク刃がグリーンシート内部に押し込まれることによって該ブレーク刃の形状によるＶ字形の溝がグリーンシートに形成される。ここで、上記ブレーク刃によって形成されるＶ字形の溝の断面の角度（θ）は、得られるセラミックス基板において、２０°〜４０°の角度を成すＶ字形状とする必要があり、特に、２５°〜３５°であることが好ましい。上記角度が２０°より小さい場合には、後述する底部の形状を非鋭角とした場合でも、ブレークラインの底部にクラックが生じ易く、十分な効果を得ることができない。また、角度が４０°より大きい場合には、ブレークラインを目標とする深さまで形成すると、ブレークラインの幅が広がって外観を損ねるばかりでなく、セラミックス基板の分割性が低下する傾向にある。
【００１８】
本発明のセラミックス基板の特徴は、該Ｖ字形の溝よりなるブレークラインを有するセラミックス基板において、上記ブレークラインを形成する溝の深さが基板の厚みに対して３〜２５％、好ましくは、８〜１５％であり、且つ、該溝の底部断面の幅（Ｗ２）を５μｍ以上、好ましくは、１０〜２０μｍの幅で非鋭角形状と成したことにある。
【００１９】
上記ブレークラインを形成する溝の深さ、即ち、セラミックス基板の表面からの該ブレークライン底部までの垂直深さが基板の厚みに対して３％より浅い場合、セラミックス基板の分割時の作業性が低下し、また、ブレークラインに沿って割れないロットも発生し、本発明の目的を達成することができない。また、該溝の深さが、基板の厚みに対して２５％より深い場合、分割前の取扱い時の割れによる歩留まりが低下する。
【００２０】
また、溝の底部断面形状を非鋭角とする幅が、５μｍより狭い場合、かかる箇所にクラックが発生し易くなり、分割前の取扱い時の割れによる歩留まりが低下するため、本発明の目的を達成することができない。
【００２１】
本発明において、ブレークラインを構成する溝の底部断面形状を非鋭角とする幅（Ｗ２）を５μｍ以上とすることにより、該クラックの発生を抑制する効果を発揮する機構は明らかではないが、グリーンシートの焼成において、セラミックス基板のブレークライン底部にかかる応力を分散することができ、クラックが発生し難い状態とすることができたことによるものと推定される。
【００２２】
本発明のセラミックス基板の厚みは、特に制限されるものではないが、０．３〜２ｍｍ、特に、０．５〜１．２ｍｍが一般的である。
【００２３】
本発明のセラミックス基板の構造を、添付図面を参照して更に具体的に説明する。図１は、ブレークライン２を有するセラミックス基板１の一態様を示す概略図である。図１は、ブレークライン２をセラミックス基板表面の一方向にのみ形成した態様を示したが、本発明において、ブレークラインは、直交するに方向に形成してもよい。また、本発明において、ブレークラインを形成する本数、間隔も、目的とするセラミックス基板の大きさに応じて適宜決定することができる。
【００２４】
また、図２〜４は、本発明のセラミックス基板に形成されるブレークラインを構成する溝の代表的な断面形状を示す断面図である。即ち、図２は、該非鋭角形状を鈍角状とした態様であり、図３は、該非鋭角形状を湾曲状とした態様、また、図４は、該非鋭角形状を直線状とした態様をそれぞれ示す。いずれの態様においても、前記したように、ブレークラインを形成する溝の深さ（Ｄ）が基板の厚みに対して３〜２５％であることが必要である。
【００２５】
また、該ブレークラインを構成する溝の開口部断面の幅（Ｗ１）が２０〜１００μｍ、好ましくは、３０〜７０μｍであり、且つ、該溝の開口部断面の幅（Ｗ１）に対する非鋭角状と成した溝の底部断面の幅（Ｗ２）の比（Ｗ２／Ｗ１）が０．２５〜０．５、好ましくは、０．３〜０．４であることが、ブレークラインを構成する溝の底部におけるクラックの発生を抑える効果を一層発揮させるために好ましい。
【００２６】
本発明のセラミックス基板を製造する方法は、特に制限されるものではないが、代表的な製造方法を例示すれば、図５に示す工程よりなる方法が挙げられる。即ち、図５において、（Ａ）セラミックス粉末を含有するスラリー状の組成物をドクターブレード法によってシート状に成形して、グリーンシート６を得る工程、（Ｂ）上記グリーンシート６に、焼成による収縮等を勘案して、該ブレークラインを構成する溝部を、焼成後に本発明の条件を満足するよう、金型３を使用したプレス加工により形成する工程、（Ｃ）上記ブレークラインを形成したグリーンシート６を脱脂用冶具７に収容して脱脂する工程、（Ｄ）上記工程で得られる脱脂体を焼成用冶具に収容して焼成してセラミックス基板を得る工程よりなる。
【００２７】
上記方法において、セラミックスグリーンシートの組成は、それぞれのセラミックスにおいて公知の組成が特に制限なく採用される。そのうち、窒化アルミニウムのセラミックス基板を製造する場合、プレス加工を適用するために好ましい組成として、以下の組成が挙げられる。例えば、窒化アルミニウム粉末１００重量部に対して、焼結助剤としてイットリアを２〜６重量部、結合剤を４〜３０重量部、有機溶媒を２０〜２００重量部、その他成分として界面活性剤を０．０１〜１０重量部、可塑剤を０．１〜２０重量部を含む組成が挙げられる。
【００２８】
また、プレス加工によってブレークラインを構成する溝を形成する方法は、例えば、図６に示すように、グリーンシート１を金型３の下型に載置し、ブレーク刃４と打抜き刃５を有する金型３の上型を押し下げて、ブレーク刃によりシートにブレークラインを形成すると共に、打抜き刃５によりシートの切断を行なう。
【００２９】
上記プレス加工は、公知の装置を使用して行なうことができる。例えば、野口プレス株式会社製のメカニカルプレス機ＨＡＰＪ−１２（商品名）や日本オートマチックマシン株式会社製のサーボプレス機ＳＳＰ−１０００（商品名）が挙げられる。
【００３０】
また、上記プレス加工によって、該溝の底部断面の幅（Ｗ２）を５μｍ以上の幅で非鋭角形状とする方法は、使用するブレーク刃の先端の形状が、該形状を成すものを使用するのが一般的である。
【００３１】
該方法において、ブレークラインを形成したセラミックスグリーンシートの脱脂、焼成は、公知の条件により行なうことができる。
【００３２】
例えば、窒化アルミニウムのセラミックス基板を製造する場合、脱脂は酸素や空気などの酸化性ガス、水素などの還元性ガス、窒素やアルゴンなどの不活性ガス、二酸化炭素、又はこれらの混合ガス雰囲気下、或いはこれらのガスと水蒸気を混合した加湿ガス雰囲気下で、３００〜１２００℃、好ましくは４００〜６００℃の温度で、０．５〜１０時間、好ましくは２〜８時間かけて一般に行われる。上記脱脂の温度や時間は結合剤や脱脂雰囲気によって適宜選択可能であるが、得られる窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率を良好とする観点から、これらの条件を適宜調節して脱脂体酸素濃度を３．０重量％以下の範囲に制御することが好ましく、０．９〜２．５重量％の範囲とすることがより好ましい。
【００３３】
一方、上記脱脂体の焼成は、前記図５に示すように、焼成用冶具に脱脂体を収容した後、トンネル炉等の焼成炉中で、非酸化性ガス雰囲気下、真空下、または減圧下で行われる。なお、非酸化性ガスとしては例えば、水素などの還元性ガス、アルゴン、ヘリウム、窒素などの不活性ガス、またはこれらの混合ガスが使用される。焼成温度は、通常、１６５０℃  〜１９００℃  、好ましくは１７５０℃  〜１８００℃  、より好ましくは、１７６０℃  〜１７９０℃の範囲である。
【実施例】
【００３４】
以下に実施例を挙げて、本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００３５】
実施例１
内容積が１０Ｌの、アルミナ製ボールを充填したナイロン製ポットに、窒化アルミニウム粉末、酸化イットリウム、有機溶媒及びバインダー樹脂を添加して混合し、次いで、脱溶媒して粘度を２００００ｃＰに調整した窒化アルミニウムスラリーを得た。その後、ドクターブレード法によりシート成形を行い、幅２００ｍｍ、厚さ０．７５ｍｍの窒化アルミニウムグリーンシートを得た。
【００３６】
上記グリーンシートを図7に示すように、成形体寸法で９０×１０４ｍｍから４２×４８ｍｍの個片を４つに分割できるよう金型の上型に、図２に示す形状で刃の根元（１段目）の部分が３０°の角を成し、かつ、刃の先端（２段目）が成す角が９０°であり、刃の先端部分の幅（Ｗ２相当）が６μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型をプレス加工機（野口プレス株式会社製  ＨＡＰＪ−１２；商品名）に取り付け、窒化アルミニウムグリーンシートを打ち抜き成形した。
【００３７】
このようにして打ち抜き成形された窒化アルミニウムグリーンシートを、乾燥空気中で５８０℃の温度で４時間脱脂処理し、酸素濃度が２．２重量％の窒化アルミニウム脱脂体を得た。さらにこの脱脂体を、窒化ホウ素（ＢＮ）製焼成容器に充填し、１７４０℃で５時間焼成して窒化アルミニウム焼結体よりなる窒化アルミニウム基板を得た。
【００３８】
得られた窒化アルミニウム基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、２０μｍと５μｍであった。また、溝の深さは、９０μｍであった。なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の０．２％以下であった。
【００３９】
さらに、得られた窒化アルミニウム焼結体のブレークライン１０箇所（図７に示す１〜１０の箇所）に油性マジックを塗り、ブレークラインに沿って分割した。ブレーク刃によって形成された溝の底部を起点として、インクの染込んだ深さ（クラック深さ）をメジャーマイクロスコープで計測した。
【００４０】
また、窒化アルミニウム基板５枚を同様に分割し、部位別のクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。さらに分割された個片の外周部を実体顕微鏡（オリンパス株式会社製  ＳＺ−４０）にて外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。
【００４１】
表１に示した通り、クラックは全く確認されず、また表２に示した通り、バリやカケも確認されなかった。
【００４２】
実施例２
実施例１において、図３に示す形状で、刃の先端部分の曲率半径が８μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。窒化アルミニウム基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、５０μｍと１４μｍであった。また、溝の深さは、８６μｍであった。なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の０．３％以下であった。
【００４３】
さらに、実施例１と同じ方法でブレーク溝の底部からのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。
【００４４】
表１に示した通り、クラックは全く確認されず、また表２に示した通り、バリやカケも確認されなかった。
【００４５】
実施例３
実施例１において、図４に示す形状で、刃の先端部分の幅（Ｗ２相当）が１０μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。窒化アルミニウム基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、３６μｍと９μｍであった。また、溝の深さは、７８μｍであった。なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の０．１％以下であった。
【００４６】
さらに、実施例１と同じ方法でブレーク溝の底部からのクラックのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。
【００４７】
表１に示した通り、クラックは全く確認されず、また表２に示した通り、バリやカケも確認されなかった。
【００４８】
実施例４
実施例１において、図２に示す形状で刃の根元（１段目）の部分が３０°の角を成し、かつ、刃の先端（２段目）が成す角が１２０°であり、刃の先端部分の幅（Ｗ２相当）が１９μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、４７μｍと１７μｍであった。また、溝の深さは、７５μｍであった。なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の０．１％以下であった。
【００４９】
さらに、実施例１と同じ方法でブレーク溝の底部からのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。
【００５０】
表１に示した通り、クラックは全く確認されず、また表２に示した通り、バリやカケも確認されなかった。
【００５１】
実施例５
実施例１において、図３に示す形状で、刃の先端部分の曲率半径が１５μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。窒化アルミニウム基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、５６μｍと２７μｍであった。また、溝の深さは、７８μｍであった。なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の０．２％以下であった。さらに実施例１と同じ方法でブレーク溝の底部からのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。
【００５２】
表１に示した通り、クラックは全く確認されず、また表２に示した通り、バリやカケも確認されなかった。
【００５３】
実施例６
実施例１において、図４に示す形状で、刃の先端部分の幅（Ｗ２相当）が２０μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。窒化アルミニウム基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、５１μｍと１８μｍであった。また、溝の深さは、５６μｍであった。
【００５４】
なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の０．３％以下であった。さらに実施例１と同じ方法でブレーク溝の底部からのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。
【００５５】
表１に示した通り、クラックは全く確認されず、また表２に示した通り、バリやカケも確認されなかった。
【００５６】
比較例１
実施例１において、図２に示す形状で刃の根元（１段目）の部分が３０°の角を成し、かつ、刃の先端（２段目）が成す角が９０°であり、刃の先端部分の幅（Ｗ２相当）が３μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。窒化アルミニウム基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、５０μｍと２．５μｍであった。また、溝の深さは、９２μｍであった。
【００５７】
なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の１８％であった。さらに実施例１と同じ方法でブレーク溝の底部からのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。表１に示した通り、ほとんどの箇所でクラックが発生した。また表２に示した通り、バリやカケは確認されなかった。
【００５８】
比較例２
実施例１において、図３に示す形状で、刃の先端部分の曲率半径が２μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。窒化アルミニウム基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、３８μｍと３μｍであった。また、溝の深さは、８５μｍであった。
【００５９】
なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の１３％であった。さらに実施例１と同じ方法でブレーク溝の底部からのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。
【００６０】
表１に示した通り、ほとんどの箇所でクラックが発生した。また表２に示した通り、バリやカケは確認されなかった。
【００６１】
比較例３
実施例１において、図４に示す形状で、刃の先端部分の幅（Ｗ２相当）が５μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。窒化アルミニウム基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、４８μｍと４μｍであった。また、溝の深さは、８３μｍであった。
【００６２】
なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の１６％であった。さらに実施例１と同じ方法でブレーク溝の底部からのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。
【００６３】
表１に示した通り、半数以上の箇所でクラックが発生した。また表２に示した通り、一部でバリ又はカケが確認された。
【００６４】
比較例４
実施例１において、図２に示す形状で刃の根元（１段目）の部分が３０°の角を成し、かつ、刃の先端（２段目）が成す角が５０°であり、刃の先端部分の幅が６μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。窒化アルミニウム基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、４１μｍと５μｍであった。また、溝の深さは、８９μｍであった。
【００６５】
なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の２１％であった。さらに実施例１と同じ方法でブレーク溝の底部からのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。
【００６６】
表１に示した通り、全ての箇所でクラックが発生した。また表２に示した通り、バリやカケは確認されなかった。
【００６７】
比較例５
実施例１において、図３に示す形状で、刃の先端部分の曲率半径が１．５μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。窒化アルミニウム基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、５０μｍと２μｍであった。また、溝の深さは、９５μｍであった。
【００６８】
なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の１５％であった。さらに実施例１と同じ方法でブレーク溝の底部からのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。
【００６９】
表１に示した通り、ほとんどの箇所でクラックが発生した。また表２に示した通り、バリやカケは確認されなかった。
【００７０】
比較例６
実施例１において、図４に示す形状で、刃の先端部分の幅（Ｗ２相当）が２５μｍであり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、４５μｍと２３μｍであった。また、溝の深さは、３７μｍであった。
【００７１】
なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の０．１％であった。さらに実施例１と同じ方法でブレークラインに沿って基板を分割しようとしたが、ブレークライン以外の部分で破壊した。分割できた部分のブレーク溝の底部からのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。
【００７２】
表１に示した通り、クラックは全く確認されなかったが、ブレークラインに沿って割れない箇所が半数近くあった。これらの割れない箇所は表１中に「×」で示した。また表２に示した通り、一部でバリ又はカケが確認された。
【００７３】
比較例７
実施例１において、先端の曲率半径が１.１μｍのＶ字形状で、刃の先端部分の成す角が３０°であり、刃の高さが１５０μｍであるブレーク刃が６本取り付けられた金型を用いた以外は実施例１と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。窒化アルミニウム基板に形成されたブレークラインの開口部の幅Ｗ１及び溝の底部の幅Ｗ２をＳＥＭで確認したところ、それぞれ、５０μｍと２μｍであった。また、溝の深さは、９３μｍであった。
【００７４】
なお、製造工程中にブレークラインから割れた基板は全体の２５％であった。さらに実施例１と同じ方法でブレーク溝の底部からのクラック深さの平均値を求め、結果を表１に示した。また、実施例１と同じ方法で分割された個片の外周部の外観検査を行い、バリの有無や０．５ｍｍ以上のカケの個数を求め、結果を表２に示した。表１に示した通り、ほとんどの箇所でクラックが発生した。また表２に示した通り、バリやカケは確認されなかった。
【００７５】
【表１】
0005147620.tif 000002
【００７６】
【表２】
0005147620.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】ブレークラインを有するセラミックス基板の概略図
【図２】本発明のセラミックス基板に形成されるブレークラインを構成する溝の代表的な断面形状を示す断面図
【図３】本発明のセラミックス基板に形成されるブレークラインを構成する溝の他の代表的な断面形状を示す断面図
【図４】本発明のセラミックス基板に形成されるブレークラインを構成する溝の他の代表的な断面形状を示す断面図
【図５】セラミックス基板の製造工程の一例を示した図
【図６】本発明のセラミックス基板に形成されるブレークラインの形成方法を示す模式図
【図７】実施例における窒化アルミニウム焼結体のブレークラインのクラック深さの測定位置を示す概略図
【符号の説明】
【００７８】
１  セラミックス基板
２  ブレークライン
３  プレス成形用の金型
４  ブレーク刃
５  打抜き刃
６  グリーンシート
７  脱脂用冶具
８  焼成用冶具
【図１】
0005147620.tif 000004
【図２】
0005147620.tif 000005
【図３】
0005147620.tif 000006
【図４】
0005147620.tif 000007
【図５】
0005147620.tif 000008
【図６】
0005147620.tif 000009
【図７】
0005147620.tif 000010