(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のスリーブと、前記スリーブ内を軸方向に摺動するプランジャーと、前記スリーブ内に収容され、前記プランジャーを前記スリーブの軸方向に付勢する付勢手段とを備え、
前記スリーブは、一部を内側に変形させたカシメ部を有し、
前記付勢手段は、前記カシメ部と干渉することによって前記スリーブからの脱落が防止されており、
前記プランジャーは、前記スリーブの内壁と接する摺動部と、前記スリーブの一端から突出する突出部とを有し、
前記プランジャーの前記摺動部には、前記カシメ部と摺動可能に接するガイド面が設けられており、
前記ガイド面は螺旋状であり、前記ガイド面と前記カシメ部とが接触しながら前記プランジャーが前記スリーブ内を軸方向にストロークすることにより、前記プランジャーは前記カシメ部の案内によって軸線回りに回転しながら摺動し、これにより前記プランジャーは前記カシメ部と干渉することなく着脱可能に構成されていることを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
一部が前記スリーブ内に設けられ、前記付勢手段によって前記スリーブの他端に付勢されるショートピンをさらに備え、
前記プランジャーは、前記摺動部からみて前記突出部とは反対側に設けられたストッパー部をさらに有し、
前記ストッパー部は、前記ショートピンとの干渉によって前記プランジャーのストロークを阻止し、これにより前記付勢手段の収縮量を一定量に制限することを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記付勢手段はコイルスプリングであり、前記ストッパー部は前記コイルスプリングの内径部に挿入されていることを特徴とする請求項２に記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記ショートピンは、前記スリーブの前記他端から突出する先端を有しており、
前記ショートピンの前記先端は、オフセットした状態でテスター側のランドと接触するよう、切り欠きが設けられていることを特徴とする請求項２又は３に記載のコンタクトプローブ。
【請求項５】
前記プランジャーの突出部の径は、前記プランジャーの前記摺動部の径よりも小さいことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項６】
請求項５に記載のコンタクトプローブと、前記プランジャーの突出部が露出するように前記コンタクトプローブを収容するプローブホルダと、前記プランジャーの突出部を貫通させる貫通孔を有するプランジャーストッパーとを備え、
前記プランジャーストッパーに設けられた前記貫通孔の径は、前記プランジャーの前記摺動部の径よりも小さいことを特徴とする電子回路試験装置。
【請求項７】
筒状のスリーブに少なくとも付勢手段を挿入した後、カシメストッパー面を有するカシメ組み立て治具をスリーブに挿入する工程と、
前記カシメストッパー面に向けて前記スリーブを一方向からカシメ加工することにより、前記スリーブからの前記付勢手段の脱落を防止するカシメ部を形成する工程と、
前記カシメ部を形成した後、前記カシメ部と接する螺旋状のガイド面が設けられたプランジャーを、前記ガイド面と前記カシメ部とを接触させながら軸方向にストロークすることにより、前記カシメ部の案内によって軸線回りに回転させながら前記スリーブ内に挿入する工程と、を備えることを特徴とするコンタクトプローブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はコンタクトプローブに関し、特に、バネ性を有する可動型のコンタクトプローブに関する。また、本発明は、このようなコンタクトプローブを用いた半導体集積回路など電子回路の試験装置に関する。さらに、本発明は、このようなコンタクトプローブの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路の製造工程は、シリコンウェハ上に各種の電子回路を形成する拡散工程（前工程）と、個々のチップをパッケージングする組み立て工程（後工程）に分類され、これら前工程及び後工程のいずれにおいても個々のチップが正しく動作するか確かめるための動作テストが行われる。このうち、後工程にて行われる動作テストには、バネ性を有する可動型のコンタクトプローブを用いた電子回路試験装置（テスター）が用いられることが多い。その他、プリント基板や各種電子回路の特性評価などにおいても、可動型のコンタクトプローブが広く用いられている。この種のコンタクトプローブとしては、通称「ポゴピン」と呼ばれるコンタクトプローブが一般に用いられる（特許文献１〜７参照）。
【０００３】
図５は、一般的なポゴピンの構造を示す略断面図である。
【０００４】
図５に示すポゴピン１０は、円筒状のスリーブ１２と、スリーブ１２の内部を軸方向に摺動するプランジャー１４と、プランジャー１４を付勢するコイルスプリング１６と、コイルスプリング１６の固定端１６ａ側に配置されたショートピン１８によって構成されている。これら部材の材料としては、いずれも金属などの導電材料が用いられる。
【０００５】
プランジャー１４は、スリーブ１２の内壁と接するとともに先端がスリーブ１２から突出する摺動部１４ａと、コイルスプリング１６の可動端１６ｂと接するバネ受け部１４ｂと、摺動部１４ａとバネ受け部１４ｂを連結する連結部１４ｃによって構成されている。摺動部１４ａの先端１４ｘは、図示しない被検体（ＤＵＴ：Device Under Test）の電極（ＤＵＴ電極）と接触する部分である。一方、ショートピン１８は、図示しないテスターの電極と接触する部分である。
【０００６】
スリーブ１２には、リング状にカシメ加工されたカシメ部１２ａが設けられており、この部分においてスリーブ１２の内径が狭くなっている。より具体的には、カシメ部１２ａが設けられた部分の内径は、プランジャー１４の摺動部１４ａ及びバネ受け部１４ｂの外径よりも狭くなっている。連結部１４ｃの外径は、カシメ部１２ａと干渉しないよう、カシメ部１２ａが設けられた部分の内径よりも細く設定されている。
【０００７】
かかる構成により、コイルスプリング１６を収縮させる方向にプランジャー１４をストロークさせると、プランジャー１４の摺動部１４ａがカシメ部１２ａと干渉し、これ以上のストロークが阻止される。これにより、コイルスプリング１６が密着長まで圧縮されることによる破損が防止される。一方、コイルスプリング１６を伸張させる方向にプランジャー１４をストロークさせると、プランジャー１４のバネ受け部１４ｂがカシメ部１２ａと干渉し、これ以上のストロークが阻止される。これにより、スリーブ１２からのコイルスプリング１６及びショートピン１８の脱落が防止される。
【０００８】
上述の通り、プランジャー１４の先端１４ｘはＤＵＴ電極と接触する部分である。ＤＵＴ電極は、しばしば薄い金属酸化膜や有機性の汚れが付着しているため、動作テストを繰り返し行うと、プランジャー１４の先端１４ｘにも汚れが付着してしまう。さらには、ＤＵＴ電極を構成する金属がプランジャー１４側に拡散し、高抵抗の合金を形成することもある。このような汚れの付着や合金の形成が生じると、コンタクトプローブとＤＵＴ電極との接触抵抗が増大したり、抵抗値にばらつきが生じたりすることから、正常な動作テストが妨げられてしまう。このため、動作テストを所定回数行う度に、コンタクトプローブのクリーニングを行う必要がある。
【０００９】
コンタクトプローブのクリーニング方法としては、薬液を用いて汚れを除去する方法、研磨紙やワイヤーブラシを用いて汚れを除去する方法、再メッキ処理する方法などが挙げられる。しかしながら、薬液を用いて汚れを除去する方法は、有機性の汚れに対しては有効であるものの、金属酸化膜や合金を除去することができない。また、研磨紙やワイヤーブラシを用いて汚れを除去する方法は、金属酸化膜や合金に対しても有効であるが、プランジャー１４を摩耗させることから、コンタクトプローブの寿命を縮めてしまう。
【００１０】
これに対し、再メッキ処理する方法は、あらゆる汚れに対して有効であり、しかも、プランジャー１４の摩耗を生じさせないことから、最も望ましいクリーニング方法であると考えられる。
【特許文献１】特開平５−５５３１５号公報
【特許文献２】特開平１０−１８９０８７号公報
【特許文献３】特開平１１−１７４０８４号公報
【特許文献４】特開平１１−１７６５４８号公報
【特許文献５】特開２００２−２２７６８号公報
【特許文献６】特開２００４−８５２６０号公報
【特許文献７】特開２００５−３５１７８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、スリーブ１２の内部にメッキ液が侵入するとコンタクトプローブ自体が使用不能となってしまうことから、再メッキ処理においてはプランジャー１４の先端１４ｘだけを正確にメッキ浴に浸す必要がある。このため、再メッキ処理には、専用のメンテナンス治具を用いた非常に慎重な作業が必要であり、多数のコンタクトプローブを簡単且つ安価にクリーニングすることは困難であった。
【００１２】
したがって、本発明は、プランジャーのメンテナンスを簡単且つ安価に行うことが可能なコンタクトプローブ及びこれを用いた電子回路試験装置を提供することを目的とする。また、本発明は、このようなコンタクトプローブの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によるコンタクトプローブは、筒状のスリーブと、スリーブ内を軸方向に摺動するプランジャーと、スリーブ内に収容され、プランジャーをスリーブの軸方向に付勢する付勢手段とを備え、スリーブは付勢手段の脱落を防止する脱落防止部を有しており、プランジャーは脱落防止部と干渉することなく着脱可能に構成されていることを特徴とする。
【００１４】
本発明によれば、プランジャーが着脱可能に構成されていることから、プランジャーをスリーブから簡単に取り外すことができる。このため、プランジャーをスリーブから取り外した後、プランジャー全体をメッキ浴に浸すだけでクリーニングを行うことが可能となる。
【００１５】
本発明においては、脱落防止部がスリーブの一部を内側に変形させたカシメ部からなり、スリーブのうちカシメ部と軸方向における位置が等しい部分は、非カシメ部を構成していることが好ましい。これによれば、カシメ部が形成された部分においてスリーブの内径が全体的に細くなるのではなく、部分的に細くなるにとどまることから、プランジャーの付勢手段に対する接触面の径を十分に確保することができる。これにより、カシメ部と干渉しない形状を持ったプランジャーによって、付勢手段を確実に押圧することが可能となる。
【００１６】
本発明においては、プランジャーがスリーブの内壁と接する摺動部とスリーブから突出する突出部とを有し、プランジャーの摺動部にはカシメ部と接するガイド面が設けられていることが好ましい。これによれば、ガイド面に沿ってプランジャーが摺動することから、ガタつきなどを生じることなくプランジャーを摺動させることが可能となる。また、ガイド面を螺旋状とすれば、プランジャーは軸線回りに回転しながら摺動することになる。このため、プランジャーの先端をＤＵＴ電極に接触させた状態でストロークさせると、ＤＵＴ電極とプランジャーの先端とがワイピング（擦り合わせ）を行うことになる。この回転動作により、ＤＵＴ電極に付着している金属酸化膜や有機性の皮膜が破壊され、良好なコンタクトを確保することが可能となる。
【００１７】
プランジャーは、摺動部からみて突出部とは反対側に設けられ、付勢手段の収縮量を制限するストッパー部をさらに有していることが好ましい。これによれば、過度の収縮による付勢手段の破損を防止することが可能となる。また、ストッパー部によってプランジャーのストローク量が制限されることから、プランジャーとカシメ部との干渉を確実に防止することが可能となる。さらには、プランジャーをスリーブに挿入する作業を行う際に、ストッパー部がガイドとなることから、挿入作業を容易に行うことが可能となる。
【００１８】
本発明においては、付勢手段がコイルスプリング（スパイラル状のバネ）であり、ストッパー部はコイルスプリングの内径部に挿入されていることが好ましい。これによれば、コイルスプリングとストッパー部との干渉を防止しつつ、プランジャーのストローク量を確実に制限することが可能となる。
【００１９】
本発明においては、プランジャーの突出部の径がプランジャーの摺動部の径よりも小さいことが好ましい。これによれば、摺動部と突出部との境界部分に段差が形成されることから、この段差を利用して実使用時におけるプランジャーの脱落を防止することが可能となる。
【００２０】
また、本発明による電子回路試験装置は、上記のコンタクトプローブと、プランジャーの突出部が露出するようにコンタクトプローブを収容するプローブホルダと、プランジャーの突出部を貫通させる貫通孔を有するプランジャーストッパーとを備え、プランジャーストッパーに設けられた貫通孔の径がプランジャーの摺動部の径よりも小さいことを特徴とする。本発明によれば、実使用時においては、プランジャーストッパーによってプランジャーの脱落を防止することが可能となる。一方、メンテナンス時においては、プランジャーストッパーを取り外すことにより、スリーブからプランジャーを簡単に取り出すことが可能となる。
【００２１】
また、本発明によるコンタクトプローブの製造方法は、筒状のスリーブに少なくとも付勢手段を挿入した後、カシメストッパー面を有するカシメ組み立て治具をスリーブに挿入する工程と、カシメストッパー面に向けてスリーブを一方向からカシメ加工することにより、スリーブからの付勢手段の脱落を防止するカシメ部を形成する工程と、カシメ部を形成した後、カシメ部と接するガイド面が設けられたプランジャーを挿入する工程と、を備えることを特徴とする。本発明によれば、スリーブにカシメ部を形成した後、プランジャーを挿入していることから、コンタクトプローブの製造を非常に効率よく行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００２２】
このように、本発明によれば、プランジャーのメンテナンスを簡単且つ安価に行うことが可能なコンタクトプローブ及びこれを用いた電子回路試験装置を提供することが可能となる。また、本発明によれば、コンタクトプローブの製造を非常に効率よく行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明する。
【００２４】
図１は、本発明の好ましい実施形態によるコンタクトプローブの構造を示す略断面図である。
【００２５】
図１に示すように、本実施形態によるコンタクトプローブ２０は、円筒状のスリーブ２２と、スリーブ２２の内部を軸方向に摺動するプランジャー２４と、スリーブ２２の内部に収容され、プランジャー２４をスリーブ２２の軸方向に付勢するスパイラル状のコイルスプリング２６と、コイルスプリング２６の固定端２６ａと接するショートピン２８によって構成されている。これら部材のうち、少なくともスリーブ２２、プランジャー２４及びショートピン２８については、いずれも金属などの導電材料が用いられる。コイルスプリング２６の材料については特に限定されないが、これについても金属などの導電材料を用いることが好ましい。
【００２６】
プランジャー２４は、スリーブ２２の内壁と接する摺動部２４ａと、スリーブ２２から突出する突出部２４ｂと、摺動部２４ａからみて突出部２４ｂとは反対側に設けられたストッパー部２４ｃによって構成されている。突出部２４ｂの先端２４ｘは、図示しない被検体の電極（ＤＵＴ電極）と接触する部分である。一方、ショートピン２８は、図示しないテスターの電極と接触する部分である。図１に示すように、突出部２４ｂ及びストッパー部２４ｃの径はいずれも摺動部２４ａの径よりも小さい。このため、摺動部２４ａと突出部２４ｂとの境界部分には段差３２が形成され、摺動部２４ａとストッパー部２４ｃとの境界部分には段差３４が形成される。ストッパー部２４ｃは、コイルスプリング２６の内径部に挿入されており、段差３４がコイルスプリング２６の可動端２６ｂと接している。
【００２７】
一方、スリーブ２２にはカシメ加工されたカシメ部２２ａが設けられており、この部分においてスリーブ２２の内径が狭くなっている。本実施形態においては、カシメ部２２ａの形状は非リング状であり、一方向のみからカシメ加工された直線的な形状を有している。すなわち、スリーブ２２のうち、カシメ部２２ａと軸方向における位置が等しい部分は、非カシメ部２２ｂを構成している。
【００２８】
カシメ部２２ａは、コイルスプリング２６及びショートピン２８の脱落を防止する脱落防止部としての機能を有する。また、図１に示すように、プランジャー２４の摺動部２４ａにはカシメ部２２ａと接するガイド面４０が設けられている。このため、プランジャー２４をストロークさせると、ガイド面４０とカシメ部２２ａとが接触しながらストロークすることになる。また、プランジャー２４の摺動部２４ａは、ガイド面４０と軸方向における位置が同じである非ガイド面４２を有しており、プランジャー２４をストロークさせると、非ガイド面４２と非カシメ部２２ｂとが接触しながらストロークすることになる。
【００２９】
図２は、プランジャー２４の構造をより詳細に説明するための図であり、（ａ）は略平面図、（ｂ）は略側面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＣ−Ｃ線に沿った略断面図、（ｄ）は（ｂ）に示すＤ−Ｄ線に沿った略断面図、（ｅ）は（ｂ）に示すＥ−Ｅ線に沿った略断面図である。
【００３０】
図２に示すように、本実施形態においてはプランジャー２４のガイド面４０が螺旋状である。このため、プランジャー２４をストロークさせると、カシメ部２２ａの案内によってプランジャー２４は軸線回りに回転する。このため、プランジャー２４の先端２４ｘがＤＵＴ電極に接触した状態でストロークさせると、ＤＵＴ電極とプランジャー２４の先端２４ｘとがワイピング（擦り合わせ）を行うことになる。この回転動作により、ＤＵＴ電極の付着している金属酸化膜や有機性の皮膜が破壊され、良好なコンタクトを確保することが可能となる。
【００３１】
本実施形態によるコンタクトプローブ２０においては、摺動部２４ａとストッパー部２４ｃとの境界部分に形成された段差３４がバネ受け部として機能する。このため、コイルスプリング２６がある程度収縮した状態から、伸張させる方向にプランジャー２４をストロークさせると、当初はコイルスプリング２６の可動端２６ｂがプランジャー２４の段差３４と接しているものの、一定量伸張させると、コイルスプリング２６の可動端２６ｂがカシメ部２２ａと干渉し、プランジャー２４から分離する。それ以上ストロークさせると、プランジャー２４はコイルスプリング２６による付勢から解放され、カシメ部２２ａと干渉することなくそのままスリーブ２２から抜き出される。
【００３２】
逆に、スリーブ２２にプランジャー２４を挿入すると、当初はコイルスプリング２６の可動端２６ｂがカシメ部２２ａと接しているももの、プランジャー２４を一定量挿入すると、コイルスプリング２６の可動端２６ｂがプランジャー２４の段差３４と接し、カシメ部２２ａから分離する。これにより、プランジャー２４にはコイルスプリング２６の付勢力が加わった状態となる。この状態でコイルスプリング２６を収縮させる方向にプランジャー２４をストロークさせると、プランジャー２４のストッパー部２４ｃがショートピン２８と干渉し、これ以上のストロークが阻止される。尚、ストッパー部２４ｃの径は、摺動部２４ａの径よりも小さいことから、抜き出したプランジャー２４をスリーブ２２に挿入する作業を容易に行うことができる。
【００３３】
このように、本実施形態によるコンタクトプローブ２０においては、図５に示した従来のコンタクトプローブ１０とは異なり、プランジャー２４の段差３４よりも先（コイルスプリング２６側）には、カシメ部２２ａが設けられた部分の内径よりも大きなバネ受け部が設けられていない。つまり、摺動部２４ａ自体がカシメ部２２ａと接しており、摺動部２４ａとストッパー部２４ｃとの境界部分に形成された段差３４がバネ受け部として機能する。その結果、カシメ部２２ａと干渉することなく、プランジャー２４をスリーブ２２から抜き出すことが可能となる。
【００３４】
また、カシメ部２２ａの形状が非リング状であり、一方向のみからカシメ加工された直線的な形状を有していることから、この部分においてスリーブ２２の内径が全体的に細くなるのではなく、部分的に細くなるに過ぎない。このため、カシメ部２２ａと干渉することなく着脱可能なプランジャー２４であっても、バネ受け部となる部分の径を十分に確保することができ、正しくコイルスプリング１６を押圧することが可能となる。
【００３５】
このように、本実施形態によるコンタクトプローブ２０においては、プランジャー２４が着脱自在であることから、プランジャー２４をスリーブ２２から取り外した後、プランジャー２４全体をメッキ浴に浸すだけでクリーニングを行うことが可能となる。また、作業者のミスや、テスターの誤動作などによってプランジャー２４が破損した場合であっても、コンタクトプローブ２０の全体を交換する必要はなく、破損したプランジャー２４だけを簡単に交換することも可能となる。
【００３６】
しかも、コイルスプリング２６を一定量収縮させると、スリーブ２２に対して位置決めされたショートピン２８とストッパー部２４ｃとが接触することから、過度の収縮によるコイルスプリング２６の破損が防止される。また、ストッパー部２４ｃによってプランジャー２４のストローク量が制限されることから、プランジャー２４とカシメ部２２ａとの干渉を確実に防止することが可能となる。
【００３７】
特に、本実施形態によるコンタクトプローブ２０においては、カシメ部２２ａが非リング状であり、一方向のみからカシメ加工された形状を有していることから、カシメ部がリング状である場合と比べてこの部分におけるスリーブ２２の強度が低い。このため、仮にストッパー部２４ｃを削除してしまうと、カシメ部２２ａがプランジャー２４に食い込むことによる破損を防止すべく、スリーブ２２及びプランジャー２４の長さを十分な長さに設定する必要が生じる。これに対し、ストッパー部２４ｃを設けておけば、カシメ部２２ａがプランジャー２４に食い込む前に、それ以上のストロークが制限されることから、スリーブ２２及びプランジャー２４の長さを短く設定することができる。その結果、コンタクトプローブ２０の高周波特性を高めることが可能となる。
【００３８】
また、本実施形態によるコンタクトプローブ２０においては、ショートピン２８の先端に切り欠き２８ａが設けられている。これにより、ストロークするプランジャー２４の中心線に対して、ショートピン２８の先端がオフセットした状態でテスター側のランドと接触することになる。このため、プランジャー２４をストロークさせると、コンタクトプローブ２０全体に回転モーメントが加わり、スリーブ２２の内壁とプランジャー２４の摺動部２４ａとが押しつけられた状態で摺動することになる。これにより、スリーブ２２とプランジャー２４との一時的な接触不良によるノイズの発生などを確実に防止することが可能となる。また、ショートピン２８とスリーブ２２との接触についても確実となる。
【００３９】
図３は、本実施形態によるコンタクトプローブ２０の製造方法を説明するための略断面図である。
【００４０】
本実施形態によるコンタクトプローブ２０の製造においては、まずスリーブ２２を用意し、その内部にショートピン２８及びコイルスプリング２６をこの順に挿入する。次に、カシメストッパー面５０ａを有するカシメ組み立て治具５０をスリーブ２２に挿入し、この状態で、カシメポンチ５２によってスリーブ２２をカシメ加工する。カシメ加工は、カシメストッパー面５０ａに向けて一方向から行う。これにより、スリーブ２２にはカシメ部２２ａが形成され、コイルスプリング２６及びショートピン２８の脱落が防止される。カシメストッパー面５０ａとスリーブ２２の内壁までの距離は、プランジャー２４のガイド面４０とスリーブ２２の内壁までの距離とほぼ一致しており、これにより、カシメ量を正確に制御することが可能となる。
【００４１】
そして、カシメ組み立て治具５０を抜き取った後、プランジャー２４をスリーブ２２に挿入すれば、本実施形態によるコンタクトプローブ２０が完成する。このように、本実施形態によるコンタクトプローブ２０は、カシメ部２２ａを形成した後にプランジャー２４を挿入することができる。これに対し、プランジャー２４を挿入した後にカシメ部２２ａを形成する場合には、プランジャー２４のガイド面４０に向けてカシメポンチ５２を押し当てる必要があり、プランジャー２４の位置制御が必須となる。本実施形態では、このような位置制御が不要であり、コンタクトプローブ２０の製造を非常に効率よく行うことが可能となる。
【００４２】
図４は、コンタクトプローブ２０を用いた電子回路試験装置の主要部の構造を示す略断面図である。
【００４３】
図４に示す電子回路試験装置１００は、コンタクトプローブ２０を保持するプローブホルダ１１０と、プランジャーストッパー１２０と、プリント配線基板１３０とを備えている。プローブホルダ１１０は、プランジャー２４の突出部２４ｂが露出するようにコンタクトプローブ２０を収容することにより支持する部材であり、一方の面１１１にプランジャーストッパー１２０が固定され、他方の面１１２にプリント配線基板１３０が固定される。
【００４４】
プランジャーストッパー１２０は貫通孔１２１を有しており、この貫通孔１２１にはプランジャー２４の突出部２４ｂが貫通している。貫通孔１２１の径はプランジャー２４の摺動部２４ａの径よりも小さく、このため、プランジャー２４の段差３２とプランジャーストッパー１２０とが干渉することにより、プランジャー２４の脱落が防止されている。また、プリント配線基板１３０には、ショートピン２８と接するプローブ接続用ランド１３１が形成されている。プローブ接続用ランド１３１は、図示しないテスト回路に接続されている。
【００４５】
尚、図４においては、コンタクトプローブ２０が１つだけ示されているが、実際の電子回路試験装置１００においては、ＤＵＴ電極の数と同数のコンタクトプローブ２０が用いられる。
【００４６】
このような構成により、実使用時においては、着脱自在なプランジャー２４の脱落を防止しながら正しく動作テストを行うことが可能となる一方、プランジャー２４をクリーニングする際には、プランジャーストッパー１２０をプローブホルダ１１０から取り外すことにより、プランジャー２４を簡単に抜き取ることが可能となる。
【００４７】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【００４８】
例えば、上記実施形態においてはスリーブ２２が円筒状であるが、本発明がこれに限定されるものではなく、筒状であればどのような形状であっても構わない。但し、上記実施形態のように、プランジャー２４を軸線回りに回転しながらストロークさせるためには、スリーブ２２が円筒状であることが望ましい。
【００４９】
また、上記実施形態においてはプランジャー２４をスリーブ２２の軸方向に付勢する手段としてコイルスプリング（スパイラル状のバネ）２６を用いているが、本発明がこれに限定されるものではない。したがって、スパイラル状ではないバネを用いても構わないし、バネ以外の付勢手段を用いても構わない。但し、上記実施形態のように、プランジャー２４にストッパー部２４ｃを設ける場合には、付勢手段としてコイルスプリング２６を用いることが望ましい。
【００５０】
また、上記実施形態においてはスリーブ２２にカシメ部２２ａを設けることによってコイルスプリング２６の脱落を防止しているが、本発明がこれに限定されるものではなく、コイルスプリングなどの付勢手段の脱落を防止可能であり、且つ、プランジャーを干渉しない手段であれば、どのような手段であっても構わない。
【００５１】
また、上記実施形態においてはプランジャー２４に設けられたガイド面４０を螺旋状とすることにより、プランジャー２４が軸線回りに回転しながら摺動可能に構成されているが、本発明がこれに限定されるものではない。したがって、プランジャーが直線的にストロークするものであっても構わない。
【００５２】
また、上記実施形態においてはプランジャー２４にストッパー部２４ｃが設けられているが、本発明においてこれを設けることは必須でない。但し、プランジャー２４にストッパー部２４ｃを設ければ、プランジャーのストローク量が制限されるため、コイルスプリングやカシメ部の損傷が防止されるとともに、抜き出したプランジャーをスリーブに挿入する作業を容易に行うことが可能となることから、プランジャーにストッパー部を設けることは特に好ましい。
【００５３】
また、上記実施形態においてはプランジャー２４の突出部２４ｂの径が摺動部２４ａの径よりも小さいが、両者の径が同じであっても構わない。両者の径が同じであると、図４に示したプランジャーストッパー１２０を用いることができなくなるが、プランジャーを常に上に向けて使用するタイプのテスターであれば、重力の作用により、実使用時におけるプランジャーの脱落を防止することが可能となる。
【００５４】
また、上記実施形態においてはコンタクトプローブ２０にショートピン２８が設けられているが、本発明においてショートピン２８を設けることは必須でなく、コイルスプリング２６の固定端２６ａがスリーブ２２自体と接する構造としても構わない。さらに、ショートピン２８を設ける場合であっても、その先端にオフセット用の切り欠き２８ａを設けることは必須でない。
【００５５】
尚、本発明によるコンタクトプローブは、後工程における半導体集積回路の動作テストに限らず、電子部品やプリント配線基板など、各種電子回路の電気的特性の評価並びに検査に使用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の好ましい実施形態によるコンタクトプローブの構造を示す略断面図である。
【図２】プランジャー２４の構造をより詳細に説明するための図であり、（ａ）は略平面図、（ｂ）は略側面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＣ−Ｃ線に沿った略断面図、（ｄ）は（ｂ）に示すＤ−Ｄ線に沿った略断面図、（ｅ）は（ｂ）に示すＥ−Ｅ線に沿った略断面図である。
【図３】本発明の好ましい実施形態によるコンタクトプローブの製造方法を説明するための略断面図である。
【図４】本発明の好ましい実施形態による電子回路試験装置の主要部の構造を示す略断面図である。
【図５】一般的なポゴピンの構造を示す略断面図である。
【符号の説明】
【００５７】
２０      コンタクトプローブ
２２      スリーブ
２２ａ    カシメ部
２４      プランジャー
２４ａ    摺動部
２４ｂ    突出部
２４ｃ    ストッパー部
２４ｘ    先端
２６      コイルスプリング
２６ａ    固定端
２６ｂ    可動端
２８      ショートピン
２８ａ    切り欠き
３２，３４    段差
４０      ガイド面
５０      カシメ組み立て治具
５０ａ    カシメストッパー面
５２      カシメポンチ
１００    電子回路試験装置
１１０    プローブホルダ
１１１    プローブホルダの一方の面
１１１    プローブホルダの他方の面
１２０    プランジャーストッパー
１２１    貫通孔
１３０    プリント配線基板
１３１    プローブ接続用ランド
【図１】
0005379981.tif 000002
【図２】
0005379981.tif 000003
【図３】
0005379981.tif 000004
【図４】
0005379981.tif 000005
【図５】
0005379981.tif 000006