(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録・再生用の磁気ヘッドを搭載したスライダが、ヘッドサスペンションにおける可撓性を有する金属薄板のタング部に加熱により網状構造を呈する樹脂材料を主体とした接着剤を介して実装されているヘッドジンバルアセンブリから、前記スライダを剥離させた後、当該タング部に残留している前記接着剤の剥離工程を経て、ヘッドサスペンションの再生を行うヘッドサスペンションの再生方法であって、
前記接着剤の剥離工程は、
前記タング部における前記接着剤の残留部位に、当該接着剤の剥離を促進させるための溶剤を供給する溶剤供給工程と、
前記接着剤の残留部位を溶剤と共に加熱し、又は溶剤の貯留槽に接着剤の残留部位が存在する少なくとも前記タング部を浸漬させた状態下で溶剤を加熱し、当該接着剤の残留部位に加熱による物理エネルギーを与えることで当該接着剤の剥離を促進させる剥離促進工程とを備え、
前記剥離促進工程は、前記溶剤の加熱に加えて前記タング部に超音波振動を与えてタング部の超音波加振を行い直接的に機械力を作用させることなくヘッドサスペンションの傷付き・変形・荷重変化を抑止した再生を行う、
ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
【請求項２】
請求項１記載のヘッドサスペンションの再生方法であって、
前記剥離促進工程では、前記ヘッドサスペンション上に配設されている他部材を変質又は破壊から保護することを考慮した加熱温度又は加熱範囲とされる、
ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載のヘッドサスペンションの再生方法であって、
前記接着剤の剥離工程は、前記剥離促進工程の後に、少なくとも前記タング部を洗浄液を用いて洗浄する洗浄工程を備え、
前記洗浄工程は、前記洗浄液の貯留槽に少なくとも前記タング部を浸漬させた状態下で、当該洗浄液を加熱することで遂行される、
ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
【請求項４】
請求項３記載のヘッドサスペンションの再生方法であって、
前記洗浄工程は、前記洗浄液の貯留槽に少なくとも前記タング部を浸漬させた状態下で、当該タング部に超音波振動を与えることで遂行される、
ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
【請求項５】
請求項１〜４のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションの再生方法であって、
前記溶剤供給工程では、前記タング部における前記接着剤の残留部位に対して前記溶剤が、セラミック焼結体の棒状部材、或いはマイクロディスペンサを媒介して局所的に供給される、
ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録・再生用の磁気ヘッドを搭載したスライダが、接着剤を介してタング部に実装されるヘッドサスペンションに係り、特に、製品歩留まりを大幅に向上可能なヘッドサスペンションの再生方法及び製造方法、並びにワークの再生方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば磁気ディスク装置（以下、「ＨＤＤ」という。）では、磁気ディスク（不図示）に対するデータの記録・再生を行うために、ヘッドサスペンション（以下、「ＨＳ」と省略する場合がある。）が用いられている。
【０００３】
このＨＳ１０１は、例えば図６に示すように、ベースプレート１０２と、このベースプレート１０２に固着されたロードビーム１０３と、ロードビーム１０３に例えばスポット溶接により固定され、可撓性を有する金属薄板からなるフレキシャ１０５と、を備えて構成されており、このフレキシャ１０５におけるタング部１０６に、記録・再生用の磁気ヘッド（磁電変換素子）が一体形成されたスライダ１０７が、後述する接着剤１１１（図７（１）参照）を介して実装される。なお、ＨＳ１０１にスライダ１０７を実装したものを、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）と呼ぶことにする。
【０００４】
かかるＨＧＡでは、ロードビーム１０３の弾性力と、スライダ１０７及び磁気ディスク間に発生する流体力との均衡を図ることによって、スライダ１０７を、磁気ディスク表面から所定の微少距離を隔てて位置決め浮上させるようにしている。
【０００５】
フレキシャ１０５の表面には、ＨＳ１０１が取り付けられるＨＤＤの回路系と、スライダ１０７との間を電気的に接続するためのフレキシブル配線基板１０９（図７（１）参照）が設けられている。なお、図７（１）中の符号「１１２」は、スライダ１０７と、フレキシブル配線基板１０９との間を電気的に接続するための金ボールボンディング（ＧＢＢ）である。
【０００６】
この種のＨＧＡでは、製品としての出荷前に、所定の性能を満足するか否かに係る特性検査が行われ、検査をパスしたものが製品として出荷される。この特性検査の結果、スライダ１０７に不良の原因がある場合には、フレキシャ１０５から不良のスライダ１０７を剥離して、新しいスライダ１０７をフレキシャ１０５に付け替えるといった作業（リワーク）が行われることがある。ここで、スライダ１０７をフレキシャ１０５に固定する際には接着剤１１１が用いられ、その接着剤１１１としては、一般に、熱硬化性のものが用いられている。
【０００７】
ロードビーム１７に固定した状態のフレキシャ１０５におけるタング部１０６からスライダ１０７を剥離する工程では（（図７（１）参照））、フレキシャ１０５はロードビーム１０３に比して薄く脆弱であるために容易に変形しやすく、また、フレキシャ１０５の表面に装着されたフレキシブル配線基板１０９がスライダ１０７と一緒に剥がれてしまうおそれもある。そのため、従来、例えばスライダ１０７付近を加熱することで接着剤１１１の粘着強度を弱めた後に、スライダ１０７をフレキシャ１０５におけるタング部１０６から剥離することが行われている（例えば特許文献１参照）。
【０００８】
しかしながら、上記従来技術では、接着剤１１１をスライダ１０７とともにきれいに剥離したいという意図に反して、接着剤１１１の一部若しくは全部がフレキシャ１０５側に残留しがちであった（図７（２）参照）。このように接着剤１１１がフレキシャ１０５側に残留していると、新しいスライダ１０７を接着するのに支障が生じる。そのため、フレキシャ１０５側に残留している接着剤１１１を剥離する工程が別途必要となる。この接着剤剥離工程では、例えば、接着剤１１１の残留部位に溶剤を塗布した後に、図８に示すように、剥離用治具１１３を用いて手作業で、接着剤１１１を擦り落とすことになる。
【０００９】
しかしながら、かかる手作業の接着剤剥離工程では、作業者の熟練度いかんによっては、ヘッドサスペンションの傷付き・変形・荷重変化を招来する一方で、作業時間の短縮化を図ることが困難であり、製品歩留まり向上の観点から改良の余地があった。
【特許文献１】特開２００５−４４３９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
解決しようとする問題点は、従来のヘッドサスペンション製品を含むワークの再生方法では、ヘッドサスペンション等ワークの傷付き・変形・荷重変化を招来する一方で、作業時間の短縮化を図ることが困難であり、製品歩留まり向上の観点から改良の余地があった点である。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、製品歩留まり向上に寄与するヘッドサスペンションの再生方法の提供を目的として、記録・再生用の磁気ヘッドを搭載したスライダが、ヘッドサスペンションにおける可撓性を有する金属薄板のタング部に加熱により網状構造を呈する樹脂材料を主体とした接着剤を介して実装されているヘッドジンバルアセンブリから、前記スライダを剥離させた後、当該タング部に残留している前記接着剤の剥離工程を経て、ヘッドサスペンションの再生を行うヘッドサスペンションの再生方法であって、前記接着剤の剥離工程は、前記タング部における前記接着剤の残留部位に、当該接着剤の剥離を促進させるための溶剤を供給する溶剤供給工程と、前記接着剤の残留部位を溶剤と共に加熱し、又は溶剤の貯留槽に接着剤の残留部位が存在する少なくとも前記タング部を浸漬させた状態下で溶剤を加熱し、当該接着剤の残留部位に加熱による物理エネルギーを与えることで、当該接着剤の剥離を促進させる剥離促進工程とを備え、前記剥離促進工程は、前記溶剤の加熱に加えて前記タング部に超音波振動を与えてタング部の超音波加振を行い直接的に機械力を作用させることなくヘッドサスペンションの傷付き・変形・荷重変化を抑止した再生を行う、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るヘッドサスペンションの再生方法では、タング部に残留している接着剤の剥離工程は、タング部における接着剤の残留部位に、当該接着剤の剥離を促進させるための溶剤を供給する溶剤供給工程と、前記接着剤の残留部位に加熱による物理エネルギーを与えることで、当該接着剤の剥離を促進させる剥離促進工程と、を備えたので、これにより、タング部に対して直接的に機械力を作用させることなく接着剤の剥離を容易に遂行することができる。従って、ヘッドサスペンションの傷付き・変形・荷重変化を抑止するとともに、作業時間の短縮化を図ることが可能となる結果として、製品歩留まり向上に寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
製品歩留まり向上に寄与するヘッドサスペンションの再生方法を提供するといった目的を、タング部における接着剤の残留部位に、当該接着剤の剥離を促進させるための溶剤を供給する溶剤供給工程と、前記接着剤の残留部位に加熱による物理エネルギーを与えることで、当該接着剤の剥離を促進させる剥離促進工程と、を備える接着剤の剥離工程を、ヘッドサスペンションの再生に適用させることで実現した。
【実施例】
【００１４】
以下に、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法及び製造方法、並びにワークの再生方法について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１５】
初めに、本発明実施例に係る再生方法が適用される、再生対象となるヘッドサスペンションについて説明する。
【００１６】
［再生対象となるヘッドサスペンション］
図１は、再生対象となるヘッドサスペンションの一例を示す全体構成図、図２は、ヘッドサスペンションにおけるタング部周辺を拡大して示す説明図である。
【００１７】
ヘッドサスペンション１１は、図１及び図２に示すように、ベースプレート１３と、このベースプレート１３に荷重曲げ部１５を介して固着されたロードビーム１７と、ロードビーム１７に固着されたフレキシャ１９と、を備えて構成されており、このフレキシャ１９におけるタング部２１に、記録・再生用の磁気ヘッド２３が一体形成されたスライダ２５が、接着剤２７（図２の点線で示した矩形部分参照）を介して実装される。なお、以下の説明において、ヘッドサスペンション１１にスライダ２５を実装したものを、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）と呼ぶ場合がある。
【００１８】
ロードビーム１７は、精密な薄板ばねから構成されて、磁気ヘッド２３に負荷荷重を与える機能を有している。ロードビーム１７の素材としては、例えばＳＵＳ３０４あるいはＳＵＳ３０５などのオーステナイト系ステンレス鋼からなる金属板（板厚が例えば数１０μｍ程度から１００μｍ程度）が好適に用いられる。
【００１９】
フレキシャ１９は、図１及び図２に示すように、可撓性を有する金属薄板からなり、ロードビーム１７における先端部に、ロードビーム１７に対してスライダ２５を弾性的に浮遊支持した状態で例えばスポット溶接によって固着されている。フレキシャ１９における先端部には、スライダ２５に搭載された磁気ヘッド２３の記録・再生信号を外部に引き出すために、四つの端子部３３ａ，３３ｂ，３５ａ，３５ｂが配設されている。また、フレキシャ１９の表面には、磁気ヘッド２３の記録・再生信号を伝送するためのフレキシブル配線基板２９，３１が貼り付け固定されている。スライダ２５は、例えば金ボールボンディング（ＧＢＢ）３６によって、フレキシブル配線基板２９，３１の各端子部３３ａ，３３ｂ，３５ａ，３５ｂに電気的に接続されている。このフレキシブル配線基板２９，３１における導線パターンは、図２に示すように、前記端子部３３ａ，３３ｂ，３５ａ，３５ｂを起点として、スライダ２５を挟んでフレキシャ１９の両側縁部に沿って延び、フレキシャ１９の後端縁部からさらに引き出されて、中継用フレキシブル配線基板３７を介して、フレキシャ１９の基部３９に配設された四つの端子４１まで延び出している。この端子４１には、磁気ディスク装置（不図示）に対してヘッドサスペンション１１を装着した際に、当該装置のデータ処理回路（不図示）が接続される。
【００２０】
記録・再生用の磁気ヘッド２３としては、例えばＭＲ素子、ＧＭＲ素子、或いはＴｕＭＲ素子などの、電気信号と磁気信号とを相互に変換可能な磁電変換素子が採用される。この磁電変換素子によって読み取られた磁気ディスクの記録データは、磁気ヘッド２３において電気信号に変換され、中継用フレキシブル配線基板３７などを経由して、当該装置のデータ処理回路に伝送される。なお、データをディスクに記録する際には、上記とは逆に、記録すべきデータの電気信号が、上記データ処理回路から中継用フレキシブル配線基板３７などを経由して、磁気ヘッド２３（磁電変換素子）宛に伝送されることになる。
【００２１】
タング部２１にスライダ２５を取り付ける際に用いる接着剤２７は、加熱により網状構造を呈する樹脂材料を主体としたものであり、その主体となる樹脂は、例えばエポキシ系、フェノール系、ウレタン系などが好適に用いられる。かかる接着剤２７は、熱硬化とＵＶ（紫外線）硬化の両方の性質を有していてもよい。熱硬化とＵＶ硬化の両性質を有する接着剤は、光重合性を有し、かつ、加熱により網状構造を呈する性質を有するプレポリマー又はオリゴマーを主体とするものであり、例えばエポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、不飽和ポリエステルなどが好適に用いられる。
【００２２】
なお、図１及び図２に示したヘッドサスペンション１１はあくまで一例であり、本実施例以外の形状を呈するヘッドサスペンションであっても、本発明を適用可能であることは言うまでもない。
【００２３】
［本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法］
図３は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法の概要を時系列的に示す説明図、図４（１）は、タング部における接着剤残留部位に溶剤を供給する溶剤供給工程の一例を示す説明図、図４（２）は、タング部に、加熱に係る物理エネルギーを与えることで接着剤の剥離を促進させる剥離促進工程の一例を示す説明図、図５は、ヘッドサスペンションに適用される洗浄工程の一例を示す説明図である。
【００２４】
本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法は、図３に示すように、記録・再生用の磁気ヘッド２３を搭載したスライダ２５が、ヘッドサスペンション１１におけるタング部２１に接着剤２７を介して実装されているヘッドジンバルアセンブリから、スライダ２５を剥離（第１ステップ）させた後、当該タング部２１に残留している接着剤の剥離工程（第２〜第４ステップ）を経て、ヘッドサスペンション１１の再生を行うヘッドサスペンションの再生方法であって、前記接着剤の剥離工程は、タング部２１における接着剤２７の残留部位に溶剤（例えば、接着剤２７としてエポキシ系のものを採用した場合、N-メチル-2-ピロリドン (N-methylpyrrolidone、NMP) を採用することができる。）を供給する溶剤供給工程（第２ステップ）と、前記接着剤２７の残留部位に加熱による物理エネルギーを与えることで、当該接着剤２７の剥離を促進させる剥離促進工程（第３ステップ）と、を備えたことを特徴としている。
【００２５】
第１ステップにおけるスライダ２５の剥離処理としては、例えば特開２００５−４４３９９号公報に記載されているように、接着剤２７を、フレキシャ１９側から加熱すると共にスライダ２５側から冷却した後に、スライダ２５をフレキシャ１９から治具（不図示）を用いて剥がすスライダ剥離方法を採用することができる。ただし、本発明実施例では、次述する接着剤の剥離工程を要旨としており、新しいスライダ剥離方法を提案する趣旨ではない。従って、どのようなスライダ剥離方法を採用したとしても、本発明に係る技術的範囲への属否関係に影響を与えることはない。
【００２６】
第２ステップにおける溶剤供給工程としては、例えば、接着剤２７の残留部位が存在する少なくともタング部２１を、溶剤４３の貯留槽（不図示）に浸漬することで遂行することができる。
【００２７】
この場合において、溶剤４３がヘッドサスペンション１１へ悪影響を及ぼすことがないのであれば、タング部２１における接着剤２７の残留部位のみならず、必要に応じて、ヘッドサスペンション１１の全体或いは一部を、溶剤４３の貯留槽に浸漬する態様を採用してもよい。
【００２８】
一方、ヘッドサスペンション１１における振動緩衝部材の剥離を招来するなど、溶剤４３がヘッドサスペンション１１に対して何らかの悪影響を及ぼすおそれがあるのであれば、タング部２１における接着剤２７の残留部位に対して溶剤４３を、セラミック焼結体の棒状部材４５を介して局所的に滴下供給するか（図４（１）参照）、或いは、マイクロディスペンサ（不図示）を媒介して局所的に供給する態様を採用すればよい。
【００２９】
なお、タング部２１における接着剤２７の残留部位に溶剤を供給するにあたり、その供給量の目安は、接着剤２７の残留部位に係る輪郭を全面的に覆い得ることを考慮することが好ましい。溶剤の供給量が接着剤２７の残留量に比べて少ないときには、接着剤２７の剥離に係る結果を悪化させる一方、溶剤の供給量が接着剤２７の残留量に比べて多いときには、接着剤２７の剥離に係る結果は良好であるものの、接着剤残留部位の周辺領域にまで溶剤が拡散してしまうことによる悪影響を招来させるおそれがある。なお、接着剤２７の残留部位に係る輪郭を全面的に覆い、かつ、その輪郭をわずかにはみ出す範囲まで、溶剤を供給することが好ましい。このようにすれば、接着剤２７の剥離に係る良好な結果を得る一方で、接着剤残留部位の周辺領域にまで溶剤が拡散してしまうことによる悪影響を招来させるおそれもほとんどないものと考えられるからである。
【００３０】
第３ステップにおける剥離促進工程としては、例えば、溶剤４３がヘッドサスペンション１１へ悪影響を及ぼすことがないのであれば、溶剤４３の貯留槽（不図示）に、接着剤２７の残留部位が存在する少なくともタング部２１を浸漬させた状態下で、溶剤４３を加熱し、若しくは、タング部２１に超音波振動を与え、又はこれらを組み合わせる（加熱しながら超音波振動を与える）ことにより、所定の温度（例えば摂氏２００度）以下で、所定の時間だけ、所定の振動数を呈する超音波加振をもって、剥離促進処理を遂行することができる。ここで、加熱温度を摂氏２００度以下に抑えることによって、一般に、ポリイミドを素材とするフレキシブル配線基板２９，３１を、変質（炭化）等の悪影響から保護することができる。また、加熱による剥離促進処理の遂行時間としては、残留接着剤２７が容易に剥離可能な状態に変位することを考慮して、実験等により適宜決定すればよい。
【００３１】
この場合において、タング部２１における接着剤２７の残留部位のみならず、必要に応じて、ヘッドサスペンション１１の全体或いは一部を、溶剤４３の貯留槽に浸漬する態様を採用してもよい。
【００３２】
一方、ヘッドサスペンション１１における振動緩衝部材の剥離を招来するなど、溶剤４３がヘッドサスペンション１１に対して何らかの悪影響を及ぼすおそれがあるのであれば、タング部２１における接着剤２７の残留部位に対して溶剤４３を、セラミック焼結体の棒状部材４５を介して局所的に滴下供給するか（図４（１）参照）、或いは、マイクロディスペンサ（不図示）を媒介して局所的に供給した後に、タング部２１における接着剤２７の残留部位を、溶剤４３と共にヒータ（熱風の供給を含む）４７によって加熱する（図４（２）参照）態様を採用すればよい。
【００３３】
なお、剥離促進工程としては、上述した各種処理内容に加えて、若しくは単独で、タング部２１における接着剤２７の残留部位を拭う（ワイピング処理）ことで遂行する態様を採用してもよい。具体的には、例えば、加熱処理に係る剥離促進後に、ワイピング処理に係る剥離促進を行うようにする。このようにすれば、接着剤２７の剥離促進効果を高めることが可能となる点で、好ましい。
【００３４】
最後に、第４ステップにおける洗浄工程としては、図５に示すように、例えば純水ＲＯＷ（Reverse Osmosis Water）等の適宜の洗浄液の貯留槽５１に、仮留め治具５３によって仮留めされた１又は１以上のヘッドサスペンション１１を浸漬させた状態下で、純水ＲＯＷをヒータ４７を介して加熱し、若しくは、ヘッドサスペンション１１に対して超音波振動子４９を介して超音波振動を与え、又はこれらを組み合わせる（加熱しながら超音波振動を与える）ことにより、所定の温度（例えば摂氏２００度）以下で、所定の時間だけ、所定の振動数を呈する超音波加振をもって、洗浄処理を遂行することができる。
【００３５】
なお、洗浄工程としては、上述した洗浄工程に先立って、ヘッドサスペンション１１を純水等の洗浄液を用いてリンスすることで余分な溶剤成分等を洗い流す、いわゆるプレ洗浄工程を採用してもよい。
【００３６】
［本発明実施例に係るワークの再生方法］
本発明実施例に係るワークの再生方法は、電子部品（スライダ２５）を接着剤２７で固定した基材（フレキシャ１９）に他部材（フレキシブル配線基板２９，３１、振動緩衝部材）を備えたワーク（ヘッドジンバルアセンブリ）から、電子部品（スライダ２５）を剥離させた後、当該基材（フレキシャ１９）に残留している前記接着剤２７の剥離工程を経て、ワーク（ヘッドサスペンション１１）の再生を行うワークの再生方法であって、前記接着剤２７の剥離工程は、前記基材（フレキシャ１９）における前記接着剤２７の残留部位に、当該接着剤２７の剥離を促進させるための溶剤４３を供給する溶剤供給工程と、前記接着剤２７の残留部位を加熱することで、当該接着剤２７の剥離を促進させる剥離促進工程と、を備えたことを最も主要な特徴とする。
【００３７】
また、前記溶剤供給工程では、前記基材（フレキシャ１９）における前記接着剤２７の残留部位に対して前記溶剤４３が局所的に供給される、構成を採用することができる。
【００３８】
そして、前記剥離促進工程では、前記基材（フレキシャ１９）上の前記他部材（フレキシブル配線基板２９，３１）を変質又は破壊から保護することを考慮した加熱温度（例えば摂氏２００度以下）又は加熱範囲とされる、構成を採用することができる。
【００３９】
［本発明実施例に係る作用効果］
以上説明したように、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法によれば、タング部２１に残留している接着剤の剥離工程は、タング部２１における接着剤２７の残留部位に、当該接着剤２７の剥離を促進させるための溶剤４３を供給する溶剤供給工程と、接着剤２７の残留部位に、加熱或いは超音波振動又はこれらの組合せに係る物理エネルギーを与えることで、当該接着剤２７の剥離を促進させる剥離促進工程と、を備えたので、これにより、タング部２１に対して直接的に機械力を作用させることなく接着剤２７の剥離を容易に遂行することができる。従って、ヘッドサスペンション１１の傷付き・変形・荷重変化を抑止するとともに、作業時間の短縮化を図ることが可能となる結果として、製品歩留まり向上に寄与することができる。
【００４０】
また、ヘッドサスペンション１１における振動緩衝部材の剥離を招来するなど、溶剤４３がヘッドサスペンション１１に対して何らかの悪影響を及ぼすおそれがある場合には、タング部２１における接着剤２７の残留部位に対して溶剤４３を、セラミック焼結体の棒状部材４５を介して局所的に滴下供給するか、或いは、マイクロディスペンサを媒介して局所的に供給する態様を採用するしたので、従って、接着剤残留部位の周辺領域にまで溶剤が拡散してしまうことによる悪影響を招来させることなく、接着剤２７の剥離に係る良好な結果を得ることができる。
【００４１】
そして、ヘッドサスペンション１１における他部材（フレキシブル配線基板２９，３１）の変質を招来するなど、剥離促進工程がヘッドサスペンション１１に対して何らかの悪影響を及ぼすおそれがある場合には、前記剥離促進工程では、フレキシャ１９上の前記他部材（フレキシブル配線基板２９，３１）を変質又は破壊から保護することを考慮した加熱温度（例えば摂氏２００度以下）又は加熱範囲を採用したので、従って、接着剤残留部位の周辺領域にまで剥離促進工程が遂行されることによる悪影響を招来させることなく、接着剤２７の剥離に係る良好な結果を得ることができる。
【００４２】
一方、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法に従う接着剤２７の剥離工程を経て再生されたヘッドサスペンションを製造するヘッドサスペンションの製造方法によれば、良好な製品歩留まりをもってヘッドサスペンションの製造を遂行することが可能となる結果として、高品質に保たれたヘッドサスペンション製品を安価かつ大量に得ることができる。
【００４３】
さらに、本発明実施例に係るワークの再生方法によれば、基材（フレキシャ１９）に残留している接着剤２７の剥離工程は、基材（フレキシャ１９）における接着剤２７の残留部位に、当該接着剤２７の剥離を促進させるための溶剤４３を供給する溶剤供給工程と、接着剤２７の残留部位を加熱することで、当該接着剤２７の剥離を促進させる剥離促進工程と、を備えたので、これにより、基材（フレキシャ１９）に対して直接的に機械力を作用させることなく接着剤２７の剥離を容易に遂行することができる。従って、ワーク（ヘッドサスペンション１１）の傷付き・変形・荷重変化を抑止するとともに、作業時間の短縮化を図ることが可能となる結果として、製品歩留まり向上に寄与することができる。
【００４４】
また、ワーク（ヘッドサスペンション１１）における他部材（振動緩衝部材）の剥離を招来するなど、溶剤４３がワーク（ヘッドサスペンション１１）に対して何らかの悪影響を及ぼすおそれがある場合には、前記溶剤供給工程では、前記基材（フレキシャ１９）における前記接着剤２７の残留部位に対して前記溶剤４３が局所的に供給される構成を採用したので、従って、接着剤残留部位の周辺領域にまで溶剤が拡散してしまうことによる悪影響を招来させることなく、接着剤２７の剥離に係る良好な結果を得ることができる。
【００４５】
そして、ワーク（ヘッドサスペンション１１）における他部材（振動緩衝部材）の剥離、若しくは他部材（フレキシブル配線基板２９，３１）の変質を招来するなど、溶剤４３若しくは剥離促進工程がワーク（ヘッドサスペンション１１）に対して何らかの悪影響を及ぼすおそれがある場合には、前記剥離促進工程では、基材（フレキシャ１９）上の前記他部材（フレキシブル配線基板２９，３１）を変質又は破壊から保護することを考慮した加熱温度（例えば摂氏２００度以下）又は加熱範囲を採用したので、従って、接着剤残留部位の周辺領域にまで溶剤が拡散してしまうか、或いは接着剤残留部位の周辺領域にまで剥離促進工程が遂行されることによる悪影響を招来させることなく、接着剤２７の剥離に係る良好な結果を得ることができる。
【００４６】
［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンションの再生方法及び製造方法、並びにワークの再生方法もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。
【００４７】
すなわち、本発明実施例において、前記接着剤の剥離工程（第２〜第４ステップ）を、複数回にわたって繰り返し遂行する態様を採用することができる。このようにすれば、タング部２１に対して接着剤２７が強固に固着した状態で残留している場合であっても、接着剤の剥離促進を円滑に実現することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】再生対象となるヘッドサスペンションの一例を示す全体構成図である。
【図２】ヘッドサスペンションにおけるタング部周辺を拡大して示す説明図である。
【図３】本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法の概要を時系列的に示す説明図である。
【図４】図４（１）は、タング部における接着剤残留部位に溶剤を供給する溶剤供給工程の一例を示す説明図、図４（２）は、タング部に、加熱に係る物理エネルギーを与えることで接着剤の剥離を促進させる剥離促進工程の一例を示す説明図である。
【図５】ヘッドサスペンションに適用される洗浄工程の一例を示す説明図である。
【図６】従来のヘッドサスペンションの外観斜視図を示す説明図である。
【図７】従来技術に係る接着剤の残留状況を示す説明図である。
【図８】従来技術に係る接着剤剥離方法の説明図である。
【符号の説明】
【００４９】
１１  ヘッドサスペンション
１３  ベースプレート
１５  荷重曲げ部
１７  ロードビーム
１９  フレキシャ
２１  タング部
２３  磁気ヘッド
２５  スライダ
２７  接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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