(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
ウエハ部品を保持可能なウエハ保持テーブルと、
前記ウエハ保持テーブルに保持されたウエハ部品を下方から突き上げる機構を有する突上げ装置と、
前記突上げ装置により突き上げられたウエハ部品を吸着するとともに、上下反転可能な複数の取出ヘッドと、
前記取出ヘッドから前記ウエハ部品を受け取るとともに、前記ウエハ部品を基板に実装する複数の実装ヘッドを有するヘッドユニットとを備え、
複数の前記取出ヘッドにそれぞれ吸着された前記ウエハ部品を前記複数の実装ヘッドが同時に受け取ることが可能に構成されており、
少なくとも前記取出ヘッドから前記ヘッドユニットへの前記ウエハ部品の受け渡し時に、前記複数の取出ヘッド同士の間隔は、前記ヘッドユニットの複数の実装ヘッド同士の間隔と同一であり、
前記複数の取出ヘッドを有する取出装置をさらに備え、
前記取出装置に設けられた前記複数の取出ヘッド同士の間隔は、前記ヘッドユニットの前記複数の実装ヘッド同士の間隔と同一となるように構成されており、
前記取出装置は、２つの前記取出ヘッドと、前記取出ヘッドの上下反転のための回転駆動をするために設けられる駆動装置とを有しており、
前記２つの取出ヘッドは、互いに隣接して配置されるとともに、前記駆動装置は、前記２つの取出ヘッドの外側に配置されており、
前記取出装置は、前記取出ヘッドを少なくとも１つ有するとともに、水平面内で移動可能な第１取出装置と、前記取出ヘッドを少なくとも１つ有するとともに、前記第１取出装置から独立して水平面内で移動可能な第２取出装置とを含み、
前記第１取出装置の取出ヘッドおよび前記第２取出装置の取出ヘッドから前記ヘッドユニットへの前記ウエハ部品の受け渡し時に、前記第１取出装置の取出ヘッドと前記第２取出装置の取出ヘッドとの間隔が前記ヘッドユニットの複数の実装ヘッド同士の間隔と同一となるように、前記第１取出装置および前記第２取出装置の少なくとも一方が移動するように構成されている、実装機。
【請求項２】
前記ウエハ保持テーブルは、前記基台に対して前記基板が搬送されるＸ方向と水平面内で直交するＹ方向に移動可能に構成されており、
前記突上げ装置は、前記基台に対して前記Ｘ方向に少なくとも移動可能に構成されており、
前記取出装置は、前記基台に対して少なくとも前記Ｘ方向に移動可能に構成されている、請求項１に記載の実装機。
【請求項３】
前記ウエハ保持テーブルは、前記基台に対して前記基板が搬送されるＸ方向と、前記Ｘ方向と水平面内で直交するＹ方向とに移動可能に構成されている、請求項１に記載の実装機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、実装機に関し、特に、突上げ装置により突き上げられたウエハ部品を吸着するとともに、上下反転可能な取出ヘッドを備えた実装機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、突上げ装置により突き上げられたウエハ部品を吸着するとともに、上下反転可能な取出ヘッドを備えた実装機が知られている（たとえば、特許文献１および２参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、フリップチップ（ウエハ部品）を保持し、ＸＹ方向に移動可能な保持テーブル（ウエハ保持テーブル）と、保持テーブルの下方に配置されるシート剥離機構（突上げ装置）と、フリップチップを吸着する取出ヘッドと、取出ヘッドからフリップチップを受け取って基板に実装する実装ヘッドとを備えた実装機が開示されている。上記特許文献１では、取出ヘッドは１つ設けられている。このため、上記特許文献１では、１つのフリップチップを保持テーブルから取り出してから実装ヘッドにその部品を受け渡し、その後に次のフリップチップの保持テーブルからの取出しおよび実装ヘッドへの受け渡しを行っていると考えられる。
【０００４】
また、上記特許文献２には、ウエハ部品を保持し、ＸＹ方向に移動可能な部品供給テーブル（ウエハ保持テーブル）と、ウエハ部品を吸着する取出ノズルを有する部品取り込み部（取出装置）と、部品取り込み部からウエハ部品を受け取って基板に実装する搭載ノズルを有する実装部（ヘッドユニット）とを備えた実装機が開示されている。上記特許文献２でも上記特許文献１と同様に取出ノズルは１つ設けられており、１つのウエハ部品を部品供給テーブルから取り出してから搭載ノズルにその部品を受け渡し、その後に次のウエハ部品の部品供給テーブルからの取出しおよび搭載ノズルへの受け渡しを行っていると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４０１６９８２号公報
【特許文献２】特開２００４−１０３９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１では、フリップチップの保持テーブルからの取出し動作および実装ヘッドへのフリップチップの受け渡し動作を１つのフリップチップ毎に行っているので、複数のフリップチップ（ウエハ部品）の受け渡し動作に要する合計時間が増加してしまうという問題点がある。
【０００７】
また、上記特許文献２においても、ウエハ部品の部品供給テーブルからの取出し動作および搭載ノズルへのそのウエハ部品の受け渡し動作を１つのウエハ部品毎に行っているので、複数のウエハ部品の受け渡し動作に要する合計時間が増加してしまうという問題点がある。
【０００８】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、複数のウエハ部品の受け渡し動作に要する合計時間が増加してしまうことを抑制することが可能な実装機を提供することである。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００９】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面による実装機は、基台と、ウエハ部品を保持可能なウエハ保持テーブルと、ウエハ保持テーブルに保持されたウエハ部品を下方から突き上げる機構を有する突上げ装置と、突上げ装置により突き上げられたウエハ部品を吸着するとともに、上下反転可能な複数の取出ヘッドと、取出ヘッドからウエハ部品を受け取るとともに、ウエハ部品を基板に実装する複数の実装ヘッドを有するヘッドユニットとを備え、複数の取出ヘッドにそれぞれ吸着されたウエハ部品を複数の実装ヘッドが同時に受け取ることが可能に構成されている。また、少なくとも取出ヘッドからヘッドユニットへのウエハ部品の受け渡し時に、複数の取出ヘッド同士の間隔は、ヘッドユニットの複数の実装ヘッド同士の間隔と同一である。また、複数の取出ヘッドを有する取出装置をさらに備え、取出装置に設けられた複数の取出ヘッド同士の間隔は、ヘッドユニットの複数の実装ヘッド同士の間隔と同一となるように構成されている。また、取出装置は、２つの取出ヘッドと、取出ヘッドの上下反転のための回転駆動をするために設けられる駆動装置とを有しており、２つの取出ヘッドは、互いに隣接して配置されるとともに、駆動装置は、２つの取出ヘッドの外側に配置されている。また、取出装置は、取出ヘッドを少なくとも１つ有するとともに、水平面内で移動可能な第１取出装置と、取出ヘッドを少なくとも１つ有するとともに、第１取出装置から独立して水平面内で移動可能な第２取出装置とを含み、第１取出装置の取出ヘッドおよび第２取出装置の取出ヘッドからヘッドユニットへのウエハ部品の受け渡し時に、第１取出装置の取出ヘッドと第２取出装置の取出ヘッドとの間隔がヘッドユニットの複数の実装ヘッド同士の間隔と同一となるように、第１取出装置および第２取出装置の少なくとも一方が移動するように構成されている。
【００１０】
この一の局面による実装機では、上記のように、複数の取出ヘッドにそれぞれ吸着されたウエハ部品を複数の実装ヘッドが同時に受け取ることが可能であるように構成することによって、複数のウエハ部品の受け渡しを一度に行うことができる。これにより、実装ヘッドへのウエハ部品の受け渡し動作を１つのウエハ部品毎に行う場合と比較して、複数のウエハ部品の受け渡し動作に要する合計時間が増加してしまうことを抑制することができる。また、少なくとも取出ヘッドからヘッドユニットへのウエハ部品の受け渡し時に、複数の取出ヘッド同士の間隔は、ヘッドユニットの複数の実装ヘッド同士の間隔と同一である。このように構成すれば、複数の取出ヘッドから複数の実装ヘッドに容易に同時にウエハ部品を受け渡すことができる。また、複数の取出ヘッドを有する取出装置をさらに備え、取出装置に設けられた複数の取出ヘッド同士の間隔は、ヘッドユニットの複数の実装ヘッド同士の間隔と同一となるように構成されている。このように構成すれば、取出装置の複数の取出ヘッドから複数の実装ヘッドに容易に同時にウエハ部品を受け渡すことができる。また、取出装置は、２つの取出ヘッドと、取出ヘッドの上下反転のための回転駆動をするために設けられる駆動装置とを有しており、２つの取出ヘッドは、互いに隣接して配置されるとともに、駆動装置は、２つの取出ヘッドの外側に配置されている。このように構成すれば、２つの取出ヘッドの間に駆動装置がない分、２つの取出ヘッド同士の間隔を小さくすることができるので、取出装置の２つの取出ヘッド同士の間隔とヘッドユニットの実装ヘッド同士の間隔とを容易に等しくすることができる。また、取出装置は、取出ヘッドを少なくとも１つ有するとともに、水平面内で移動可能な第１取出装置と、取出ヘッドを少なくとも１つ有するとともに、第１取出装置から独立して水平面内で移動可能な第２取出装置とを含み、第１取出装置の取出ヘッドおよび第２取出装置の取出ヘッドからヘッドユニットへのウエハ部品の受け渡し時に、第１取出装置の取出ヘッドと第２取出装置の取出ヘッドとの間隔がヘッドユニットの複数の実装ヘッド同士の間隔と同一となるように、第１取出装置および第２取出装置の少なくとも一方が移動するように構成されている。このように構成すれば、互いに独立して移動可能な第１取出装置の取出ヘッドと第２取出装置の取出ヘッドとを用いて、それぞれの取出ヘッドのウエハ部品をヘッドユニットの複数の実装ヘッドに同時に受け渡すことができる。
【００１５】
上記一の局面による実装機において、好ましくは、ウエハ保持テーブルは、基台に対して基板が搬送されるＸ方向と水平面内で直交するＹ方向に移動可能に構成されており、突上げ装置は、基台に対してＸ方向に少なくとも移動可能に構成されており、取出装置は、基台に対して少なくともＸ方向に移動可能に構成されている。このように構成すれば、ウエハ保持テーブルをＸ方向に移動させなくても、突上げ装置および取出装置をＸ方向に移動させることによって、取出対象の部品と突上げ装置および取出装置との位置合わせを行うことができる。これにより、比較的平面積の大きいウエハ保持テーブルをＸ方向に移動させる必要がないので、装置が水平面内のＸ方向に大きくなってしまうことを抑制することができる。
【００１６】
上記一の局面による実装機において、好ましくは、ウエハ保持テーブルは、基台に対して基板が搬送されるＸ方向と、Ｘ方向と水平面内で直交するＹ方向とに移動可能に構成されている。このように構成すれば、ウエハ保持テーブルをＸ方向およびＹ方向に移動させることにより、取出対象のウエハ部品を取出装置の取出ヘッドと突上げ装置とにより挟まれる取出し位置に移動させて取出動作を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態による実装機の全体構成（ウエハ保持テーブルが部品取出作業位置）を示す平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態による実装機の全体構成（ウエハ保持テーブルがウエハ受取位置）を示す平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態による実装機の全体構成を示す正面図である。
【図４】本発明の第１実施形態による実装機の主な構成要素を示す斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態による実装機のウエハ部品の受け渡し状態を示す側面図である。
【図６】本発明の第１実施形態による実装機のウエハ部品の受け渡し状態を示す正面図である。
【図７】本発明の第１実施形態による実装機の制御系を示すブロック図である。
【図８】本発明の第１実施形態による実装機の実装動作を説明するためのフローチャートである。
【図９】本発明の第１実施形態の変形例による実装機の全体構成を示す平面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態による実装機の全体構成を示す平面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態による実装機のウエハ部品の受け渡し状態を示す側面図である。
【図１２】本発明の第３実施形態による実装機の全体構成を示す平面図である。
【図１３】本発明の第３実施形態による実装機のウエハ部品の受け渡し状態を示す側面図である。
【図１４】本発明の第３実施形態による実装機のウエハ部品の他の受け渡し状態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
（第１実施形態）
以下、図１〜図７を参照して、本発明の第１実施形態による実装機１００の構造について説明する。なお、方向関係を明確にするために図中には適宜ＸＹＺ直角座標軸を示している。Ｘ軸方向は水平面と平行な方向であり、Ｙ軸方向は水平面上でＸ軸方向と直交する方向であり、Ｚ軸方向はＸ軸、Ｙ軸にそれぞれ直交する方向である。
【００２０】
実装機１００は、ダイシングされたウエハＷからベアチップを取り出してプリント基板Ｐ上に実装（装着）するとともに、部品供給装置１６０により供給されるパッケージ部品等をプリント基板Ｐ上に実装することが可能ないわゆる複合型の実装機である。
【００２１】
この実装機１００は、図１および図２に示すように、基台１と、所定の実装作業位置にプリント基板Ｐを搬入および搬出するためのコンベア２と、チップ部品を供給するためのチップ部品供給部３とを備えている。また、図２および図４に示すように、実装機１００は、プリント基板Ｐ上に部品（ベアチップまたはチップ部品）を実装するための実装部４と、ウエハ収納部１７０から引き出されたウエハＷを支持するウエハ保持テーブル５と、ウエハ保持テーブル５に支持されたウエハＷからベアチップを取り出して実装部４に受け渡す取出装置６と、取出装置６によるベアチップの取出時にそのベアチップを下方から突き上げる突上げ装置７と、取出装置６によるベアチップの取出動作の前にそのベアチップを撮像する部品位置認識用の移動可能なカメラ８とを含む。なお、ベアチップは、本発明の「ウエハ部品」の一例である。
【００２２】
コンベア２は、プリント基板Ｐを搬送するＸ方向に延びるコンベア本体と、このコンベア本体上でプリント基板Ｐを持ち上げて位置決めする図示しない位置決め機構とを含む。コンベアは、図１の右側から左側に向かってプリント基板Ｐをほぼ水平姿勢でＸ軸方向に搬送し、所定の実装作業位置にプリント基板Ｐを位置決め固定する。第１実施形態では、コンベア２による搬送経路上であってＸ軸方向に所定間隔だけ離間する位置（図中のプリント基板Ｐの位置）がそれぞれ実装作業位置とされる。なお、以下の説明では、実装作業位置のうちプリント基板Ｐの搬送方向上流側の位置を第１作業位置Ｓ１と呼び、下流側の位置を第２作業位置Ｓ２と呼ぶ。
【００２３】
チップ部品供給部３は、実装機１００の手前側の両端に設けられている。チップ部品供給部３は、トランジスタ、抵抗、コンデンサ等のチップ部品を供給するために設けられている。チップ部品供給部３には、例えばテープフィーダ１６１等の部品供給装置１６０がコンベア２に沿って並んで配置されている。各テープフィーダ１６１は、トランジスタ等のチップ部品を所定間隔で保持したテープが巻回されるリールと、リールを保持する保持部材と、リールからテープを引出しながらテープフィーダ先端の部品供給位置にチップ部品を送り出す部品送り機構等とを含む。テープフィーダ１６１はチップ部品供給部３に取り付けられた状態で、実装機１００と連動してチップ部品の送り出し動作を行うように構成されている。すなわち、実装機１００の実装部４により部品供給位置においてチップ部品をピックアップさせるとともに、このピックアップに伴い次のチップ部品を部品供給位置に繰り出すように構成されている。なお、チップ部品供給部３は、テープフィーダ１６１の代わりに、半導体パッケージ等の大型のパッケージ部品を載置したトレイ（図示せず）を設置することも可能である。この場合には、実装部４により当該トレイ上から直接パッケージ部品がピックアップされる。
【００２４】
実装部４は、ベアチップまたはチップ部品をプリント基板Ｐ上に実装するものであり、コンベア２の上方位置においてそれぞれ水平方向（ＸＹ方向）に移動することが可能な２つのヘッドユニット（第１ヘッドユニット４１、第２ヘッドユニット４２という）と、これらを個別に駆動する駆動手段とを含む。
【００２５】
第１ヘッドユニット４１は、基台１上のうち主に第１作業位置Ｓ１を含む上流側の領域を可動領域としてこの領域内でのみ移動可能とされ、他方、第２ヘッドユニット４２は、基台１上のうち主に第２作業位置Ｓ２を含む下流側の領域を可動領域としてこの領域内でのみ移動可能となっている。第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）は、Ｘ軸方向に並ぶ２つの部品実装用ヘッド４１ａおよび１つのカメラ４１ｂ（２つの部品実装用ヘッド４２ａおよび１つのカメラ４２ｂ）を備えている。なお、部品実装用ヘッド４１ａおよび４２ａは、本発明の「実装ヘッド」の一例である。
【００２６】
第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）は、テープフィーダ１６１によって供給されるチップ部品をこれら部品実装用ヘッド４１ａ（４２ａ）により吸着してプリント基板Ｐ上に実装するとともに、取出装置６によりウエハＷから取り出されるベアチップを部品実装用ヘッド４１ａ（４２ａ）により吸着してプリント基板Ｐ上に実装する。これにより、トランジスタ、コンデンサ等のチップ部品とベアチップ（ベアチップ）との双方がプリント基板Ｐ上に実装される。また、第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）は、プリント基板Ｐへの部品の実装に先立ってカメラ４１ｂ（４２ｂ）によりプリント基板Ｐに付されたフィデューシャルマーク（図示せず）を認識することにより、プリント基板Ｐの位置ずれが認識され、実装時に位置ずれ補正がされる。
【００２７】
図３に示すように、第１ヘッドユニット４１および４２の駆動手段は、第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２をそれぞれＸ軸方向に移動可能に支持する支持部材４３および４４と、実装機１００の天井１００ａに設けられ、支持部材４３および４４を別個にＹ軸方向に移動可能に支持する固定レール４５および４６と、支持部材４３および４４に対して第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２をＸ軸方向に移動させるためのリニアモータからなる移動機構（図示せず）と、支持部材４３および４４をそれぞれ固定レール４５および４６に沿って別個にＹ軸方向に移動させるためのリニアモータからなる移動機構（図示せず）とを含む。
【００２８】
また、基台１上であって第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２のそれぞれの可動領域内には、部品認識用の固定カメラ９および１０が設置されている。固定カメラ９および１０は、例えばＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を備えるカメラである。固定カメラ９および１０は、第１ヘッドユニット４１の部品実装用ヘッド４１ａおよび第２ヘッドユニット４２の部品実装用ヘッド４２ａにより吸着されている部品を下側から撮像して、その画像信号を後述する制御装置１１に出力するものである。
【００２９】
また、図１に示すように、実装機１００の手前側の中央部には、ウエハＷが収納されるウエハ収納部１７０を着脱可能に固定することが可能である。ここで、ウエハ収納部１７０は、図４に示すように、ダイシングされた複数枚のウエハＷを収容するものである。このウエハ収納部１７０は、ウエハＷが保持された略円環状のホルダＷｈを上下複数段に収容するラックと、このラックを昇降駆動する駆動手段とを含む。ウエハ収納部１７０は、ラックの昇降によって、所望のウエハＷをウエハ保持テーブル５に対して出し入れ可能な所定の出し入れ高さ位置に配置する。また、ウエハ保持テーブル５は、ウエハＷの出し入れ機構（図示せず）を備えている。この出し入れ機構は、ウエハ保持テーブル５に対して前後（Ｙ方向）に移動可能に構成され、先端にホルダ把持機構を備えたアームである。出し入れ機構は、ウエハ保持テーブル５がウエハ受取位置（図２参照）に配置された状態で、出し入れ高さ位置に配置されたラック内のウエハＷ（ホルダＷｈ）をウエハ収納部１７０からウエハ保持テーブル５上に引き出すとともに、ウエハ保持テーブル５上のウエハＷをラック内に収容する（戻す）ことが可能に構成されている。
【００３０】
ウエハ収納部１７０に収容されている各ウエハＷは、それぞれベアチップがフェイスアップ状態（回路形成面（プリント基板Ｐに対する実装面）が上向きの状態）となるようにフィルム状のウエハシート上に貼り着けられており、このウエハシートを介してホルダＷｈにより保持されている。
【００３１】
ウエハ保持テーブル５は、中央部に円形状の開口部を有しており、ウエハＷを保持するホルダＷｈの開口部とウエハ保持テーブル５の開口部とが重なるようにホルダＷｈを保持可能である。これにより、ウエハ保持テーブル５にウエハＷ（ホルダＷｈ）が保持された状態で、ウエハ保持テーブル５の下方から後述する突上げ装置７によりベアチップを突き上げることが可能である。
【００３２】
ウエハ保持テーブル５は、部品取出作業位置（図１参照）とウエハ受取位置（図２参照）との間で、基台１上をＹ方向に移動可能に構成されている。具体的には、ウエハ保持テーブル５は、基台１上にＹ軸方向に延びるように設けられた一対の固定レール５１に移動可能に支持されており、所定の駆動手段によって固定レール５１に沿って移動される。駆動手段は、固定レール５１と平行に延びかつウエハ保持テーブル５のナット部分に螺合挿入されるボールねじ軸５２と、ボールねじ軸５２を回転駆動するための駆動モータ５３とを含む。図３に示すように、ウエハ保持テーブル５は、コンベア２の下方位置を通って、所定の部品取出作業位置（図１参照）とウエハ収納部１７０近傍のウエハ受取位置（図２参照）との間を移動する。
【００３３】
突上げ装置７は、部品取出作業位置に配置されたウエハ保持テーブル５上のウエハＷのうち、取出し対象となるベアチップをその下側から突き上げることにより、当該ベアチップをウエハシートから剥離させながら持ち上げるものである。
【００３４】
この突上げ装置７は、それぞれ突上げピン（図示せず）を内蔵する一対の小径の突上げロッド（第１突上げロッド７１ａ、第２突上げロッド７１ｂという）備えた突上げヘッド７１と、これを基台１上においてＸ軸方向に移動可能に支持する固定レール７２と、突上げヘッド７１を固定レール７２に沿って移動させるための駆動手段とを含む。この駆動手段は、固定レール７２と平行に延びかつ突上げヘッド７１に螺合挿入される図外のボールねじ軸とこれを回転駆動するための突上げヘッド駆動モータ（図示せず）とを含む。突上げ装置７をＸ方向に移動可能に構成することにより、Ｙ方向にのみ移動可能なウエハ保持テーブル５上に支持されているウエハＷに対し、突上げヘッド７１が任意のベアチップを突き上げることが可能となっている。
【００３５】
突上げヘッド７１の第１突上げロッド７１ａおよび第２突上げロッド７１ｂは、上下方向に延び、それぞれ図示しないアクチュエータ（エアシリンダ等）により個別に昇降駆動される。つまり、ウエハ保持テーブル５の開口部の内側にこれら第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂが配置された状態で、第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂがウエハシートの下側のほぼ接触する位置まで上昇駆動され、その後所望のベアチップのＸＹ方向位置に位置付けられた後、第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂから突上げピンが駆動モータ（図示せず）により上昇駆動されることによりベアチップを突き上げる。なお、第１突上げロッド７１ａおよび第２突上げロッド７１ｂは、突上げ対象の部品の大きさなどに応じて突上げピンの太さなどを変更することが可能である。たとえば、異なる突上げピンを第１突上げロッド７１ａおよび第２突上げロッド７１ｂに装着させておくことにより、部品の大きさなどにより第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂを使いわけて使用することが可能である。
【００３６】
第１突上げロッド７１ａおよび第２突上げロッド７１ｂは、２段階の高さ位置に昇降駆動可能である。すなわち、ウエハ保持テーブル５を部品取出作業位置（図１参照）とウエハ収納部１７０近傍のウエハ受取位置（図２参照）との間で移動させる際に、ウエハ保持テーブル５との干渉を避けるための最下位置と、ウエハ保持テーブル５が部品取出作業位置（図１参照）に位置する状態で、ホルダＷｈの開口部内側においてウエハＷの下面近傍に位置する突上げ待機位置との間で昇降駆動可能であり、突上げピンは、待機位置にある第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂに内蔵される位置とウエハ保持テーブル５の上面よりも上方に位置する部品突上げ位置との間で昇降駆動可能である。
【００３７】
取出装置６は、突上げ装置７により突き上げられたベアチップを吸着して第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２に受け渡すものである。
【００３８】
この取出装置６は、所定の駆動手段により部品取出作業位置の上方位置において水平方向（ＸＹ方向）に移動される。この駆動手段は、以下のような構成を有する。
【００３９】
すなわち、部品取出作業位置には、Ｘ軸方向に所定間隔を隔てて配置されかつＹ軸方向に互いに平行に延びる一対の高架の固定レール６１と、両端をそれぞれ固定レール６１上に移動可能に支持されたＸ軸方向に延びるフレーム部材６２と、固定レール６１に近接する位置に配置されてＹ軸方向に延び、かつフレーム部材６２両端のナット部材（図示省略）にそれぞれ螺合挿入される一対のボールねじ軸６３と、ボールねじ軸６３を回転駆動する一対のフレーム駆動モータ６４とが設けられている。
【００４０】
フレーム部材６２には、その手前側に固定されてＸ軸方向に延びる第１レール（図示省略）と、後側に固定されてＸ軸方向に延びる第２レール（図示省略）とが設けられている。第１レールに取出装置６が移動可能に支持されており、第２レールにカメラ８がそれぞれ移動可能に支持されている。そして、フレーム部材６２に、Ｘ軸方向に延びて取出装置６のナット部材（図示省略）に螺合挿入されるボールねじ軸（図示省略）と、このボールねじ軸を回転駆動する駆動モータ６５と、Ｘ軸方向に延びてカメラ８のナット部材（図示省略）に螺合挿入されるボールねじ軸（図示省略）と、このボールねじ軸を回転駆動する駆動モータ６６とが備えられている。すなわち、各フレーム駆動モータ６４の作動によりフレーム部材６２を固定レール６１に沿って移動させ、このフレーム部材６２の移動に伴い取出装置６およびカメラ８を一体的にＹ軸方向に移動させる。
【００４１】
また、駆動モータ６５の作動によりフレーム部材６２のＹ方向手前側の位置で取出装置６をＸ軸方向に移動させるとともに、駆動モータ６６の作動によりフレーム部材６２のＹ方向の後側の位置でカメラ８をＸ軸方向に移動させる。これにより取出装置６およびカメラ８が部品取出作業位置の上方位置において水平方向（ＸＹ方向）にそれぞれ独立に移動可能となっている。
【００４２】
取出装置６のＸＹ方向における可動領域と第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２のＸＹ方向における可動領域とは一部重複している。これにより、後述するように取出装置６から第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２へのベアチップの受渡しが可能となっている。なお、図３に示すように、取出装置６、カメラ８および上記したこれらの駆動手段は、第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２およびこれらの駆動手段よりも下方に位置している。従って、取出装置６等の可動領域と第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２の各可動領域とは上記のように一部重複するが、取出装置６と第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２とが互いに干渉することは無い。
【００４３】
取出装置６は、一対のウエハヘッド（第１ウエハヘッド６ａ、第２ウエハヘッド６ｂと呼ぶ）を備えている。なお、第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂは、本発明の「取出ヘッド」の一例である。
【００４４】
第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂは、ドラム型のヘッドである。すなわち、第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂは、Ｘ軸方向と平行な軸線回りに回転が可能で、かつ上下方向への移動（昇降）が可能となるように、取出装置６のフレーム部材６ｃにそれぞれ昇降可能に支持されるブラケット部材６ｄと、ブラケット部材６ｄにＸ軸回りに回転可能に支持されるとともに、両ブラケット部材６ｄの内側に設けられる部品吸着用の一対のノズル６ｅとを有する。
【００４５】
第１ウエハヘッド６ａの一対のノズル６ｅは、上下真逆の位置に設けられており、一方側のノズル６ｅが真下に向くときに他方側のノズル６ｅが真上を向くように設けられている。両ブラケット部材６ｄの外側にそれぞれ設けられた駆動モータ６ｆが回転駆動されることにより、一対のノズル６ｅの位置が交互に入れ替わる。なお、取出装置６において、第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂは互いに隣接して配置されているとともに、駆動モータ６ｆは一対のウエハヘッドを挟んで外側に配置されている。なお駆動モータ６ｆは、本発明の「駆動装置」の一例である。
【００４６】
また、図示しない駆動モータの駆動により、ブラケット部材６ｄがフレーム部材６ｃに対し昇降し、ノズル６ｅを含む第１ウエハヘッド６ａ全体が昇降する。第２ウエハヘッド６ｂも同様の構成である。なお、図６に示すように、第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂのノズル６ｅ同士の間隔Ｄ１（Ｘ軸方向の間隔）は、第１ヘッドユニット４１に搭載される部品実装用ヘッド４１ａの間隔Ｄ２および第２ヘッドユニット４２に搭載される部品実装用ヘッド４２ａの間隔Ｄ２と同間隔とされている。これにより、２つのウエハヘッド（第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂ）から第１ヘッドユニット４１の２つの部品実装用ヘッド４１ａまたは第２ヘッドユニット４２の２つの部品実装用ヘッド４２ａに対して、同時に２つのベアチップの受渡しが可能となっている。
【００４７】
カメラ８は、例えばＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を備えるカメラである。カメラ８は、ウエハＷからのベアチップの取り出しに先立ち、取り出し対象となるベアチップを撮像し、その画像信号を制御装置１１に出力するものである。なお、取出装置６がヘッドユニットに部品を受け渡す時には、取出装置６はコンベア２に最も近接した位置（部品受け渡し位置Ｙ１）に移動される。この時、図５に示すように、カメラ８のＹ方向の位置Ｙ２と突上げ装置７のＹ方向の位置とが重なるように突上げ装置７のＹ方向の位置は決められている。これにより、部品の受け渡し動作と並行して次の部品の撮像を行った後、その次の部品の取出動作を行う際に、部品のヘッドユニットへの受け渡しから次の部品の取出しまでの取出装置６の移動量を最小限（位置Ｙ１から位置Ｙ２まで）にすることができる。
【００４８】
図７は、この実装機１００の制御系をブロック図で示している。図７に示すように、この実装機１００は、ＣＰＵや各種メモリ、ＨＤＤ等からなる制御装置１１を備えている。この制御装置１１には、上記した各駆動モータ等（駆動モータ５３、フレーム駆動モータ６４、駆動モータ６５、駆動モータ６６、駆動モータ６ｆ、その他の駆動モータ、さらに第１突上げロッド７１ａ昇降用エアシリンダおよび第２突上げロッド７１ａ昇降用エアシリンダへの空気回路における制御弁駆動ソレノイドを含む）、カメラ８、固定カメラ９および１０等がそれぞれ電気的に接続されており、これにより各部の動作が制御装置１１によって統括的に制御される。また、この制御装置１１には、図外の入力装置が電気的に接続されており、オペレータによる各種情報がこの入力装置の操作に基づき入力されるとともに、各駆動モータに内蔵される図外のエンコーダ等の位置検出手段からの出力信号も入力される。
【００４９】
この制御装置１１は、その機能要素として、上記各駆動モータの駆動や各制御弁の駆動ソレノイドを制御する軸制御部１１ａと、各カメラ（固定カメラ９および１０、カメラ４１ｂ、４２ｂなど）からの画像信号に所定の処理を施す画像処理部１１ｂと、図外のセンサからの信号の入力および各種制御信号の出力等を制御するＩ／Ｏ処理部１１ｃと、外部装置との通信を制御する通信制御部１１ｄと、実装プログラム等の各種プログラムや各種データを記憶する記憶部１１ｅと、これらを統括的に制御するとともに、各種の演算処理を実行する主演算部１１ｆとを含んでいる。
【００５０】
そして、この制御装置１１は、各駆動モータ等を予め定められたプログラムに基づいて制御することにより、コンベア２、ウエハ保持テーブル５、取出装置６、突上げ装置７、第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２等を制御する。これにより、ウエハ収納部１７０に対するウエハＷの出し入れ、ウエハＷからのベアチップの取り出しおよび第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２による部品の実装等の一連の動作（部品実装動作）を実行させる。
【００５１】
次に、図８を参照して、この制御装置１１による部品実装動作の制御について説明する。
【００５２】
まず、ステップＳ１において、制御装置１１は、コンベア２を制御することにより、プリント基板Ｐを実装機１００内に搬入する。そして、ステップＳ２において、制御装置１１は、コンベア２を制御することにより、プリント基板Ｐを第１作業位置Ｓ１および第２作業位置Ｓ２に配置した状態で固定する。
【００５３】
この後、ステップＳ３において、制御装置１１は、ウエハ保持テーブル５を制御することによりウエハ収納部１７０からウエハＷを引き出す。具体的には、駆動モータ５３を駆動することによりウエハ保持テーブル５をウエハ受取位置（図２参照）に移動させる。そして、図示しない出し入れ機構によりウエハＷ（ホルダＷｈ）をウエハ収納部１７０からウエハ保持テーブル５上に引き出す。そして、ステップＳ４において、引き出したウエハＷをウエハ保持テーブル５に固定する。この後、ウエハ保持テーブル５を制御することにより、部品取出作業位置（図１参照）に配置する。
【００５４】
この際、制御装置１１は、ウエハＷ内のベアチップのうち取り出し対象となるベアチップのＹ方向位置が、Ｘ方向に移動可能な突上げヘッド７１の第１突上げロッド７１ａの中心の突上げピン、および第２突上げロッド７１ｂの中心の突上げピンのＹ方向位置に一致するようにウエハ保持テーブル５を移動させる。
【００５５】
ウエハＷが部品取出作業位置に配置されると、ステップＳ５において、制御装置１１は、カメラ８を制御することにより、取出し対象のベアチップの撮像を行う。具体的には、フレーム駆動モータ６４を駆動することによりフレーム部材６２をＹ軸方向に移動させるとともに、駆動モータ６６を駆動することによりカメラ８をＸ軸方向に移動させる。これにより取り出し対象（吸着対象）となるベアチップの上方位置にカメラ８を配置する。そして、カメラ８にそのベアチップを撮像させる。制御装置１１は、この画像データに基づいてベアチップの位置（位置ずれ）を求める。この場合、制御装置１１は、必要に応じて複数のベアチップを一度に、又は連続してカメラ８に撮像させる。
【００５６】
次に、制御装置１１は、カメラ８による撮像結果に基づき、突上げ装置７、取出装置６およびウエハ保持テーブル５を制御し、突上げヘッド７１の突上げピンと、取出装置６のノズル６ｅと、取り出し対象となるベアチップとをＸＹ平面上の同一位置に移動させる。具体的には、突上げヘッド７１をＸ軸方向に移動させるとともに、駆動モータ５３を駆動することによりウエハ保持テーブル５をＹ軸方向に移動させる。これにより突上げヘッド７１の第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂを、中心の突上げピンが取り出し対象となるベアチップの下方位置となるように移動させる。また、フレーム駆動モータ６４を駆動することによりフレーム部材６２をＹ軸方向に移動させるとともに、駆動モータ６５を駆動することにより取出装置６をＸ軸方向にそれぞれ移動させる。これにより第１ウエハヘッド６ａまたは第２ウエハヘッド６ｂをベアチップの上方位置に移動させる。
【００５７】
そして、制御装置１１は、部品の大きさなどに応じて第１突上げロッド７１ａまたは第２突上げロッド７１ｂから突上げピンを上昇させる（駆動する）ことにより当該ベアチップをその下側から突き上げる。この際、突上げロッド７１ａまたは７１ｂの先端面に負圧を発生させてベアチップが貼り付けられているウエハシートを吸着保持しがら、突上げロッド７１ａまたは７１ｂの先端面中央部から突上げピンを突き上げる。その一方で、第１ウエハヘッド６ａあるいは第２ウエハヘッド６ｂを下降させて、突上げられることによりウエハシートから剥がされたベアチップをノズル６ｅの先端部の負圧により吸着させる。これによりウエハＷからのベアチップの取り出しを行う。以上のウエハＷからのベアチップの取り出しは、第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂそれぞれについて順次実施され、各ノズル６ｅにそれぞれベアチップが吸着保持される。
【００５８】
次に、ステップＳ７において、制御装置１１は、取出装置６からヘッドユニットへのベアチップの受け渡しを行う。具体的には、制御装置１１は、取出装置６を制御することにより所定の部品受渡し位置（コンベア２に最も近接した位置）に取出装置６を移動させるとともに、実装部４を制御することにより第１ヘッドユニット４１（又は第２ヘッドユニット４２）を部品受渡し位置に移動させる。これにより部品受渡し位置において取出装置６と第１ヘッドユニット４１（又は第２ヘッドユニット４２）とを上下に配置する。
【００５９】
取出装置６および第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）が部品受渡し位置に配置されるまでの移動中に、制御装置１１は、両駆動モータ６ｆを制御することにより第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂを回転させる。これにより各ノズル６ｅに吸着されているベアチップを反転（フェイスダウンの状態に反転）させた後、当該ベアチップを第１ヘッドユニット４１の下降させた２つの部品実装用ヘッド４１ａまたは第２ヘッドユニット４２の下降させた２つの部品実装用ヘッド４２ａにより吸着させる。これにより取出装置６から第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）へのベアチップの受渡しを２つのベアチップ分まとめて同時に行う。
【００６０】
次に、ステップＳ８において、制御装置１１は、第１ヘッドユニット４１を固定カメラ９（第２ヘッドユニット４２の場合は固定カメラ１０）上方に移動させ、各部品実装用ヘッドに吸着されたベアチップを固定カメラに撮像させるとともに、その画像データに基づき各部品実装用ヘッドに対するベアチップの吸着ずれを演算する。
【００６１】
次に、ステップＳ９において、制御装置１１は、第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）のカメラ４１ｂ（４２ｂ）により、コンベア２に固定されているプリント基板Ｐに付されているフィデューシャルマーク（図示せず）を認識する。これにより、制御装置１１はプリント基板Ｐのコンベア２に対する位置ずれを認識する。
【００６２】
そして、ステップＳ１０において、制御装置１１は、ベアチップの吸着ずれおよびプリント基板Ｐの位置ずれに基づいて第１ヘッドユニット４１（第２ヘッドユニット４２）をプリント基板Ｐ上方の補正した位置に移動させる。そして、所定の実装位置で部品実装用ヘッドを下降させることによりベアチップをプリント基板Ｐ上に実装する。
【００６３】
この後、ステップＳ１１において、制御装置１１は、全てのベアチップの実装が完了したか否かを判断する。実装対象のベアチップがまだ残っている場合には、ステップＳ５に戻り、実装動作を継続する。
【００６４】
また、全てのベアチップの実装が完了した場合には、ステップＳ１２において、制御装置１１は、コンベア２を制御することにより、プリント基板Ｐの固定を解除する。そして、ステップＳ１３において、制御装置１１は、コンベア２を制御することにより、プリント基板Ｐを実装機１００外に搬出する。
【００６５】
以上、制御装置１１による部品実装動作の制御について説明したが、このフローチャートに示す制御は、ベアチップのみを実装する場合の最も基本的な部品実装動作の制御例である。つまり、実際のプリント基板Ｐの生産時には、より効率的にプリント基板Ｐを生産すべく、制御装置１１は、ウエハ保持テーブル５によるウエハＷの出し入れ動作、取出装置６および突上げ装置７によるベアチップの取出動作、およびヘッドユニットの実装動作等の複数の動作の一部を並行して実行する。特に、第１実施形態では、取出装置６からヘッドユニットへのベアチップの受け渡しの際またはヘッドユニットによるベアチップのプリント基板Ｐへの実装の際に、次の実装部品のカメラ８による撮像を並行して行っている。さらに、複数のプリント基板Ｐに順次ベアチップを実装する場合には、ステップＳ１３からステップＳ１に戻って次のプリント基板Ｐが搬入されてステップＳ２が実施されるが、ウエハ保持テーブル５上のウエハＷにベアチップが残っている場合は、ステップＳ３およびＳ４はスキップされる。
【００６６】
第１実施形態では、上記のように、第１ウエハヘッド６ａおよび第２ウエハヘッド６ｂにそれぞれ吸着されたウエハ部品を第１ヘッドユニット４１の２つの部品実装用ヘッド４１ａまたは第２ヘッドユニット４２の２つの部品実装用ヘッド４２ａが同時に受け取ることが可能であるように構成することによって、２つのウエハ部品の受け渡しを一度に行うことができる。これにより、部品実装用ヘッド４１ａまたは４２ａへのウエハ部品の受け渡し動作を１つのウエハ部品毎に行う場合と比較して、複数のウエハ部品の受け渡し動作に要する合計時間が増加してしまうことを抑制することができる。
【００６７】
また、第１実施形態では、上記のように、第１ウエハヘッド６ａと第２ウエハヘッド６ｂとの各中心の間隔Ｄ１（以下単に間隔Ｄ１と言う）を、第１ヘッドユニット４１の２つの部品実装用ヘッド４１ａ同士の各中心の間隔Ｄ２（以下単に間隔Ｄ２と言う）または第２ヘッドユニット４２の２つの部品実装用ヘッド４２ａ同士の各中心の間隔Ｄ２（以下単に間隔Ｄ２と言う）と同一にしている。このように構成することにより、２つのウエハヘッド６ａおよび６ｂから２つの部品実装用ヘッド４１ａまたは部品実装用ヘッド４２ａに容易に同時にウエハ部品を受け渡すことができる。
【００６８】
また、第１実施形態では、取出装置６を、２つのウエハヘッド６ａおよびウエハヘッド６ｂを互いに隣接して配置するとともに、２つの駆動モータ６ｆを２つのウエハヘッド６ａおよびウエハヘッド６ｂを挟んで外側に配置するように構成している。これにより、２つのウエハヘッド６ａおよびウエハヘッド６ｂの間に駆動モータがない分、２つのウエハヘッド６ａおよびウエハヘッド６ｂ同士の間隔を小さくすることができるので、２つのウエハヘッド６ａおよびウエハヘッド６ｂ同士の間隔とヘッドユニットの実装ヘッド同士の間隔とを容易に等しくすることができる。
【００６９】
また、第１実施形態では、上記のように、基台１に対してＹ方向に移動可能なウエハ保持テーブル５と、基台１に対してＸ方向に移動可能な突上げ装置７と、基台１に対してＸ方向に移動可能な取出装置６とを設けることによって、ウエハ保持テーブル５をＸ方向に移動させなくても、突上げ装置７および取出装置６をＸ方向に移動させることによって、取出対象のベアチップと突上げ装置７および取出装置６との位置合わせを行うことができる。これにより、突上げ装置７および取出装置６に対して比較的平面積の大きいウエハ保持テーブル５をＸ方向に移動させる必要がないので、装置がＸ方向に大きくなってしまうことを抑制することができる。
【００７０】
また、第１実施形態では、上記のように、突上げ装置７に対して取出装置６を相対的にＹ方向に移動可能に構成することによって、突上げ装置７と取出装置６とが固定されている場合と異なり、突上げ装置７と取出装置６との位置を微調整することができる。これにより、部品取出時における突上げ装置７と取出装置６との位置ずれを抑制することができるので、部品の吸着不良が生じるのを抑制することができる。
【００７１】
また、第１実施形態では、ウエハ保持テーブル５をＹ方向に移動可能に構成し、かつ、カメラ８もＹ方向に移動可能に構成している。これにより、取出し対象のベアチップの撮像を行うためにカメラ８と取出し対象のベアチップとの位置合わせを行う際に、ウエハ保持テーブル５とカメラ８との両方を互いに近づき合うように移動させて位置合わせを行うことができる。これにより、ウエハ撮像カメラがＹ方向に固定されている場合のようにウエハ保持テーブル５のみを移動させてカメラ８と取出し対象のベアチップとの位置合わせを行う場合と比較して、短時間で位置合わせを行うことができる。
【００７２】
また、第１実施形態では、上記のように、取出装置６をＹ方向に移動可能に構成しているとともに、突上げ装置７をＹ方向に固定している。このように構成することによって、取出装置６をＹ方向に移動させることによって、取出動作を行うための突上げ装置７と取出装置６との位置合わせを行うことができる。
【００７３】
また、第１実施形態では、上記のように、ベアチップの取出装置６からヘッドユニットへの受け渡しと並行して、または、ヘッドユニットによるプリント基板Ｐへのベアチップの実装と並行して、ウエハ保持テーブル５に保持された次に実装するベアチップのカメラ８による撮像を行うことによって、次のウエハ部品の撮像と、前の部品の実装またはウエハ部品の受け渡しとにかかる合計時間を短縮することができる。
【００７４】
（第１実施形態の変形例）
上記第１実施形態では、第１作業位置Ｓ１および第２作業位置Ｓ２にそれぞれ対応する第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２を１つずつ設けた例について説明したが、図９に示す第１実施形態の変形例の実装機２００のように、Ｘ方向に延びるフレーム部材２０１に移動可能に支持される１つのヘッドユニット２０２により、第１作業位置Ｓ１および第２作業位置Ｓ２を対応させてもよい。
【００７５】
また、上記第１実施形態では、取出装置６をＹ方向に移動可能に構成しているとともに、突上げ装置７をＹ方向に固定したが、取出装置６をＹ方向に固定し、突上げ装置７をＹ方向に移動可能に構成しても良い。これにより突上げ装置７をＹ方向に移動させることによって、取出動作を行うための突上げ装置７と取出装置６との位置合わせを行うことができ、取出装置６をＹ方向に固定することで、装置を安価にすることができる。さらに、取出装置６と突上げ装置７の両方をＹ方向に移動可能に構成しても良い。ウエハ保持テーブル５のＹ方向移動との多様な移動の仕方により効率を向上することができる。
【００７６】
（第２実施形態）
次に、図１０および図１１を参照して、本発明の第２実施形態による実装機３００について説明する。この第２実施形態では、上記第１実施形態と異なり、２つの取出装置を設けた例について説明する。
【００７７】
第２実施形態では、図１０に示すように、取出装置が２つ（第１取出装置３０１および第２取出装置３０２）設けられている。第１取出装置３０１および第２取出装置３０２のそれぞれの構成は、上記第１実施形態の取出装置６と同様である。第１取出装置３０１および第２取出装置３０２は、共に、フレーム部材６２の手前側に固定されてＸ軸方向に延びる固定レールに移動可能に支持されている。
【００７８】
そして、フレーム部材６２に、Ｘ軸方向に延びるボールねじ軸（図示省略）と、このボールねじ軸に螺合するとともに第１取出装置３０１に回転可能且つ軸方向に固定して取り付けられる第１のナット部材（図示省略）と、ボールねじ軸が貫通するとともに第１のナット部材を回転駆動し、且つ第１取出装置３０１に取り付けられる第１の中空モータ（図示省略）と、ボールねじ軸に螺合するとともに第２取出装置３０２に回転可能且つ軸方向に固定して取り付けられる第２のナット部材（図示省略）と、ボールねじ軸が貫通するとともに第２のナット部材を回転駆動し、且つ第２取出装置３０１に取り付けられる第２の中空モータ（図示省略）とが備えられている。すなわち、第１の中空モータの作動によりフレーム部材６２の手前側の位置で第１取出装置３０１をＸ軸方向に移動させるとともに、第２の中空モータの作動によりフレーム部材６２の手前側の位置で第２取出装置３０２をＸ軸方向に移動させる。これにより、第１取出装置３０１および第２取出装置３０２は、部品取出作業位置の上方位置において水平方向（ＸＹ方向）に移動可能となっている。
【００７９】
また、第２実施形態では、Ｘ方向に延びるフレーム部材３０３に、Ｘ方向に移動可能に１つのヘッドユニット３０４が支持されている。フレーム部材３０３は、Ｙ方向に移動可能に構成されている。１つのヘッドユニット３０４により、第１作業位置Ｓ１および第２作業位置Ｓ２の実装が行われる。
【００８０】
図１１に示すように、ヘッドユニット３０４は、４つの部品実装用ヘッド３０４ａと、カメラ３０４ｂとを有している。ヘッドユニット３０４の互いに隣接する部品実装用ヘッド３０４ａ同士の各中心の間隔Ｄ３（以下単に間隔Ｄ３と言う）は、第１取出装置３０１のウエハヘッド同士の間隔Ｄ１および第２取出装置３０２のウエハヘッド同士の間隔Ｄ１と等しい。なお、部品実装用ヘッド３０４ａは、本発明の「実装ヘッド」の一例である。
【００８１】
第２実施形態のウエハ部品の受け渡し動作としては、たとえば、第１取出装置３０１によりヘッドユニット３０４の２つの部品実装用ヘッド３０４ａへの２つのウエハ部品の受け渡しを同時に行った後、第２取出装置３０２によりヘッドユニット３０４の残りの２つの部品実装用ヘッド３０４ａへの２つのウエハ部品の受け渡しを同時に行う。第２実施形態の実装機３００のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００８２】
なお、第２実施形態の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００８３】
（第２実施形態の変形例）
第２実施形態では、ヘッドユニット３０４が１つ設けられており、第１取出装置３０１および第２取出装置３０２が１つのヘッドユニット３０４に対して順番にウエハ部品の受け渡し動作を行う例を説明した。ここで、上記第１実施形態のようにヘッドユニットが２つ（第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２）設けられている場合には、第１取出装置３０１および第２取出装置３０２から第１ヘッドユニット４１および第２ヘッドユニット４２のそれぞれに対して受け渡し動作を行うことにより、一度に４つのウエハ部品を同時に受け渡すことも可能である。
【００８４】
（第３実施形態）
次に、図１２、図１３および図１４を参照して、本発明の第３実施形態による実装機４００について説明する。この第３実施形態では、２つのウエハヘッドを有する取出装置６を１つ設けた上記第１実施形態と異なり、１つのウエハヘッドを有する取出装置を２つ設けた例を説明する。
【００８５】
第３実施形態では、図１２および図１３に示すように、取出装置が２つ（第１取出装置４０１および第２取出装置４０２）設けられている。第１取出装置４０１および第２取出装置４０２は、共に、フレーム部材６２の手前側においてＸ軸方向に延びる固定レールに移動可能に支持されている。第１取出装置４０１および第２取出装置４０２は、上記第２実施形態と同様の中空モータを使った機構により、互いに独立してフレーム部材６２の固定レール上をＸ軸方向に移動可能である。
【００８６】
また、第１取出装置４０１および第２取出装置４０２は、それぞれ１つのウエハヘッド４０１ａおよび４０２ａを有している。第１取出装置４０１のウエハヘッド４０１ａは、Ｘ軸方向と平行な軸線回りに回転が可能で、かつ上下方向への移動（昇降）が可能となるように、第１取出装置４０１のフレーム部材４０１ｂに昇降可能に支持されるブラケット部材４０１ｃと、ブラケット部材４０１ｃにＸ軸回りに回転可能に支持されるとともに、ブラケット部材４０１ｃに対して第２取出装置４０２側に設けられる部品吸着用の一対のノズル４０１ｄとを有する。ブラケット部材４０１ｃに対して第２取出装置４０２と反対側に設けられた駆動モータ４０１ｅが回転駆動されることにより、一対のノズル４０１ｄの位置が交互に入れ替わる。
【００８７】
また、第２取出装置４０２のウエハヘッド４０２ａも第１取出装置４０１と同様の構成を有している。第２取出装置４０２は、フレーム部材４０２ｂ、ブラケット部材４０２ｃ、ノズル４０２ｄおよび駆動モータ４０２ｅを含んでいる。なお、ウエハヘッド４０１ａおよびウエハヘッド４０２ａは、本発明の「取出ヘッド」の一例である。
【００８８】
なお、第２取出装置４０２のウエハヘッド４０２ａは、第１取出装置４０１のウエハヘッド４０１ａと互いに向かい合うように配置されている。第１取出装置４０１の駆動モータ４０１ｅおよび第２取出装置４０２の駆動モータ４０２ｅは、ウエハヘッド４０２ａおよび４０１ａを挟んで外側に配置されている。第３実施形態の実装機４００のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００８９】
第３実施形態の取出し動作および受け渡し動作としては、まず、第１取出装置４０１のウエハヘッド４０１ａと第２取出装置４０２のウエハヘッド４０２ａとが個々にウエハ部品（ベアチップ）を取り出す。その後、第１取出装置４０１または第２取出装置４０２の少なくとも一方が移動することにより、第１取出装置４０１および第２取出装置４０２が所定の受け渡し位置に移動する。ここで、第３実施形態では、図１３に示すように、制御装置（図示せず）は、受け渡し位置において第１取出装置４０１のウエハヘッド４０１ａと第２取出装置４０２のウエハヘッド４０２ａとの各中心の間隔（ノズル４０１ｄとノズル４０２ｄとの各中心の間隔Ｄ４、以下単に間隔Ｄ４と言う）が第１ヘッドユニット４２０の部品実装用ヘッド４２０ａの各中心の間隔または第２ヘッドユニット４２１の部品実装用ヘッド４２１ａの各中心の間隔Ｄ５（以下単に間隔Ｄ５と言う）と等しくなるように、第１取出装置４０１および第２取出装置４０２を配置させる。
【００９０】
この後、上記第１実施形態と同様に、第１取出装置４０１のウエハヘッド４０１ａおよび第２取出装置４０２のウエハヘッド４０２ａから第１ヘッドユニット４２０の２つの部品実装用ヘッド４２０ａまたは第２ヘッドユニット４２１の２つの部品実装用ヘッド４２１ａに同時にウエハ部品が受け渡される。
【００９１】
第３実施形態では、上記のように、第１取出装置４０１および第２取出装置４０２から第１ヘッドユニット４２０または第２ヘッドユニット４２１へのウエハ部品の受け渡し時に、第１取出装置４０１のウエハヘッド４０１ａと第２取出装置４０２のウエハヘッド４０２ａとの間隔が第１ヘッドユニット４２０の２つの部品実装用ヘッド４２０ａ同士の間隔または第２ヘッドユニット４２１の２つの部品実装用ヘッド４２１ａ同士の間隔と同一となるように、第１取出装置４０１および第２取出装置４０２の少なくとも一方を移動させる。このように構成することによって、互いに独立して移動可能な第１取出装置４０１のウエハヘッド４０１ａと第２取出装置４０２のウエハヘッド４０２ａとを用いて、それぞれのウエハヘッドのウエハ部品をヘッドユニットの４つの部品実装用ヘッドの内いずれかの隣接する２つの部品実装用ヘッドに同時に受け渡すことができる。
【００９２】
なお、図１４に示すように、第３実施形態では、第１取出装置４０１および第２取出装置４０２から第１ヘッドユニット４２０または第２ヘッドユニット４２１へのウエハ部品の受け渡し時に、第１取出装置４０１のウエハヘッド４０１ａと第２取出装置４０２のウエハヘッド４０２ａとの間隔Ｄ４が第１ヘッドユニット４２０の２つの部品実装用ヘッド４２０ａ同士の間隔または第２ヘッドユニット４２１の２つの部品実装用ヘッド４２１ａ同士の間隔Ｄ５の２倍（整数倍）と同一となるように、第１取出装置４０１および第２取出装置４０２の少なくとも一方を移動させる。これにより、互いに独立して移動可能な第１取出装置４０１のウエハヘッド４０１ａと第２取出装置４０２のウエハヘッド４０２ａとを用いて、それぞれのウエハヘッドのウエハ部品をヘッドユニットの４つの部品実装用ヘッドの内いずれかの、間隔がＤ５の２倍（整数倍）の２つの部品実装用ヘッドに同時に受け渡すことができる。
【００９３】
なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００９４】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００９５】
たとえば、上記第１〜第３実施形態では、ヘッドユニットの部品実装用ヘッドを２つまたは４つ設けた例を示したが、本発明はこれに限らず、３つまたは５つ以上設けてもよい。また、取出装置の取出ヘッドを３つ以上設けてもよい。
【００９６】
この場合、上記第１あるいは第２実施形態において、取出装置６（３０１、３０２）の第１ウエハヘッド６ａと第２ウエハヘッド６ｂとの間隔Ｄ１が、ヘッドユニット４１（４２、２０２、３０４）の同じ間隔Ｄ２（Ｄ３）で並ぶ３つ以上の部品実装用ヘッド４１ａ（４２ａ、３０４ａ）に対し、間隔Ｄ２（Ｄ３）の整数倍と同一となるようにする。これにより、隣接する２つの部品実装用ヘッド、あるいは間に他の部品実装用ヘッドが１つあるいは複数介在する２つの部品実装用ヘッドに、それぞれのウエハヘッドのウエハ部品を同時に受け渡すことができる。
【００９７】
また、上記第１〜第３実施形態では、取出装置を介してベアチップをヘッドユニットに吸着させた例を示したが、本発明はこれに加え、ヘッドユニットのノズルをウエハ保持テーブル上のウエハＷまでアクセス可能に構成することにより、ヘッドユニットが取出装置を介さずに直接ベアチップを吸着可能に構成してもよい。すなわち、ベアチップの種類に対応して取出装置を介してベアチップをフェイスダウン状態でヘッドユニットに吸着させて実装したり、取出装置を介さずに直接ベアチップをフェイスアップ状態で吸着させて実装したりを、実装機１００〜４００のいずれかの１台あるいは複数台の実装機で実施するようにしても良い。
【００９８】
この場合、上記第１〜第３実施形態のようにヘッドユニットのＹ方向の可動範囲をコンベア２の近傍までにする場合には、突上げ装置をコンベア２の近傍に設置するか、または突上げ装置をコンベア２の近傍に移動可能なようにＹ方向に移動可能に構成する必要がある。また、第１実施形態などのように突上げ装置が部品取出作業位置でＹ方向に固定されている場合にも、ヘッドユニットのＹ方向の可動範囲を部品取出作業位置まで広げることにより、ヘッドユニットが取出装置を介さずに直接ベアチップを吸着することが可能となる。
【００９９】
また、上記第１実施形態では、図５に示したように、取出装置６がヘッドユニットに部品を受け渡す時に、カメラ８のＹ方向の位置Ｙ２と突上げ装置７のＹ方向の位置とが重なるように突上げ装置７を配置（Ｙ方向に固定）したが、本発明はこれに限られない。すなわち、部品の受け渡し時の取出装置のＹ方向の位置Ｙ１と、その時の移動カメラのＹ方向の位置Ｙ２との間に突上げ装置７を配置（Ｙ方向に固定）してもよい。この場合、部品の受け渡し動作と並行して次の部品の撮像を行った後、その次の部品の取出動作を行う際に、取出装置とウエハ保持テーブル（取出し対象部品）とを互いに近づき合うようにＹ方向に移動させて突上げ装置の上方に位置合わせすることができる。これにより、部品のヘッドユニットへの受け渡しから次の部品の取出しまでの時間をさらに短縮することができる。なお、取出装置のＹ方向の移動速度とウエハ保持テーブルの移動速度とが等しいときは、突上げ装置を位置Ｙ１と位置Ｙ２との中間に配置（Ｙ方向に固定）する。取出装置のＹ方向の移動速度がウエハ保持テーブルの移動速度よりも小さいときは、その速度差に応じて、突上げ装置を位置Ｙ１と位置Ｙ２との中間よりも位置Ｙ１寄りとする。
【０１００】
また、上記第１〜第３実施形態では、ウエハ保持テーブル、取出装置、突上げ装置、部品位置認識用のカメラなどをボールねじを用いて駆動した例を示したが、本発明はこれに限らず、リニアモータなど他の駆動機構を用いてもよい。また、ヘッドユニットについてはリニアモータを用いて駆動した例を示したが、本発明はこれに限らず、ボールねじを用いて駆動しても良い。
【０１０１】
また、上記第１および第２実施形態では、１つの取出装置に２つのウエハヘッドと２つのウエハヘッドにそれぞれ対応する２つの駆動モータとを設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。すなわち、２つ（複数）のウエハヘッドを１つの駆動モータにより上下反転駆動させてもよい。この場合にも、駆動モータを２つのウエハヘッドの外側に配置することが好ましい。
【０１０２】
また、上記第１〜第３実施形態では、ウエハ保持テーブル５がＹ方向にのみ移動可能で、かつ、取出装置および突上げ装置７をＸ方向に移動可能に構成した例について説明したが、本発明はこれに限らず、ウエハ保持テーブルをＸＹ方向に移動可能にしてもよい。この場合、たとえば突上げ装置がＸＹ方向に固定されている場合（取出し位置が固定されている場合）にも、ウエハ保持テーブルをＸ方向およびＹ方向に移動させることにより、取出対象のウエハ部品を取出装置の取出ヘッドと突上げ装置とにより挟まれる取出し位置に移動させて取出動作を行うことができる。
【０１０３】
また、上記第３実施形態では、第１取出装置および第２取出装置にそれぞれ１つのウエハヘッドを設けた例を示したが、本発明はこれに限らず、第１取出装置および第２取出装置にそれぞれ複数のウエハヘッドを設けてもよい。
【符号の説明】
【０１０４】
１  基台
２  コンベア
４  実装部
５  ウエハ保持テーブル
６  取出装置
６ａ  第１ウエハヘッド（取出ヘッド）
６ｂ  第２ウエハヘッド（取出ヘッド）
６ｆ  駆動モータ（駆動装置）
７  突上げ装置
４１  第１ヘッドユニット（ヘッドユニット）
４１ａ  部品実装用ヘッド（実装ヘッド）
４２  第２ヘッドユニット（ヘッドユニット）
４２ａ  部品実装用ヘッド（実装ヘッド）
２０２  ヘッドユニット
３０１、４０１  第１取出装置（取出装置）
３０２、４０２  第２取出装置（取出装置）
３０４  ヘッドユニット
３０４ａ  部品実装用ヘッド
４０１ａ  ウエハヘッド（取出ヘッド）
４０２ａ  ウエハヘッド（取出ヘッド）
１００、２００、３００、４００  実装機
Ｐ  プリント基板（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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