(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に装着した所要複数個の電子部品を樹脂材料にて一括して封止成形した成形済基板を用意する工程と、
前記成形済基板を切断して複数個の電子部品のパッケージを形成する電子部品パッケージの形成工程と、
前記した複数個の電子部品のパッケージを検査する電子部品のパッケージの検査工程とを含む基板の切断方法であって、
前記切断された複数個の電子部品のパッケージを第一検査プレートに載置する工程と、
前記第一検査プレートに載置した複数個の電子部品のパッケージを反転させて前記複数個の電子部品のパッケージの第一の面を検査面とする工程と、
前記反転した第一検査プレートに載置した複数個の電子部品のパッケージの第一の面を第一カメラにて検査する工程と、
前記第一カメラにて検査した複数個の電子部品のパッケージを第二検査プレートに載置して前記複数個の電子部品のパッケージの第二の面を検査面とする工程と、
前記第二検査プレートに載置した複数個の電子部品のパッケージの第二の面を第二カメラにて検査する工程とを含むことを特徴とする基板の切断方法。
【請求項２】
複数個の電子部品のパッケージの検査工程において、前記複数個の電子部品のパッケージにおける第一の面となるボール面と第二の面となるモールド面とを順次に或いは逆次に検査することを特徴とする請求項１に記載の基板の切断方法。
【請求項３】
基板に装着した所要複数個の電子部品を樹脂材料にて一括して封止成形した成形済基板を切断して形成された複数個の電子部品のパッケージを検査する電子部品のパッケージの検査ユニットを含む基板の切断装置であって、前記複数個の電子部品のパッケージの検査ユニットに、前記複数個の電子部品のパッケージを載置して反転する第一検査プレートと、前記した第一検査プレートに載置された複数個の電子部品のパッケージの第一の面を検査する第一カメラと、前記した第一検査プレートに載置された複数個の電子部品のパッケージを移載する第二検査プレートと、前記した第二検査プレートに載置された複数個の電子部品のパッケージの第二の面を検査する第二カメラとを備えたことを特徴とする基板の切断装置。
【請求項４】
複数個の電子部品のパッケージにおける第一の面と第二の面とについて、前記複数個の電子部品のパッケージにおけるボール面とモールド面とから任意に選択することを特徴とする請求項３に記載の基板の切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所要複数個のＩＣ等の電子部品を樹脂材料にて一括して封止成形した成形済基板を個々のパッケージ（個片）に切断する基板の切断方法及びその装置の改良に係り、
特に、個々のパッケージを検査するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板の切断装置を用いて、成形済基板を個々のパッケージに切断することが行われているが、次のようにして行われている。
【０００３】
即ち、まず、所要複数個の電子部品を樹脂材料にて一括して封止成形した成形済基板を
そのボール面を上面にした状態で吸着固定すると共に、成形済基板の上面となるボール面（基板面）に形成されたアライメントマークをアライメントして切断線を設定し、この切断線をブレードにて切断して個々のパッケージに分離形成し、次に、個々のパッケージを洗浄して乾燥すると共に、個々のパッケージのボール面を外観検査していた。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１６８６９７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
即ち、前述したように、個々のパッケージの検査においては、個々のパッケージのボール面をのみ検査するため、その反対側の面となるモールド面を検査していなかった。
しかしながら、モールド面側の樹脂部（樹脂成形体）にブレード切断による欠け等の欠損部が発生することがあり、このために、パッケージ（製品）の品質性・信頼性が低下していた。
即ち、成形済基板を切断して個々のパッケージ（製品）を形成する場合に、高品質性・高信頼性の製品を得ることができないと云う問題がある。
また、モールド面側の樹脂部に欠損部が発生するために、パッケージ（製品）の生産性が低下していた。
即ち、成形済基板を切断して個々のパッケージ（製品）を形成する場合に、パッケージ（製品）の生産性を効率良く向上させることができないと云う問題がある。
従って、高品質性・高信頼性の製品を得るために、また、製品の生産性を効率良く向上させるために、即ち、前述した基板切断上の諸問題を解決するために、パッケージのボール面とモールド面との両面を検査することができる基板の切断方法及びその装置が求められている。
【０００６】
即ち、本発明は、成形済基板を切断して製品（パッケージ）を形成する場合に、高品質性・高信頼性の製品を得ることを目的とする。
また、本発明は、成形済基板を切断して製品（パッケージ）を形成する場合に、製品の生産性を効率良く向上させることを目的とする。
また、本発明は、高品質性・高信頼性の製品を得るために、また、製品の生産性を効率良く向上させるために、製品（パッケージ）のボール面とモールド面との表裏両面（第一の面と第二の面と）を検査することができる基板の切断方法及びその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記した技術的課題を解決するための基板の切断方法は、基板に装着した所要複数個の電子部品を樹脂材料にて一括して封止成形した成形済基板を用意する工程と、前記成形済基板を切断して複数個の電子部品のパッケージを形成する電子部品パッケージの形成工程と、前記した複数個の電子部品のパッケージを検査する電子部品のパッケージの検査工程とを含む基板の切断方法であって、前記切断された複数個の電子部品のパッケージを第一検査プレートに載置する工程と、前記第一検査プレートに載置した複数個の電子部品のパッケージを反転させて前記複数個の電子部品のパッケージの第一の面を検査面とする工程と、前記反転した第一検査プレートに載置した複数個の電子部品のパッケージの第一の面を第一カメラにて検査する工程と、前記第一カメラにて検査した複数個の電子部品のパッケージを第二検査プレートに載置して前記複数個の電子部品のパッケージの第二の面を検査面とする工程と、前記第二検査プレートに載置した複数個の電子部品のパッケージの第二の面を第二カメラにて検査する工程とを含むことを特徴とする。
【０００８】
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断方法は、前記複数個の電子部品のパッケージの検査工程において、前記複数個の電子部品のパッケージにおける第一の面となるボール面と第二の面となるモールド面とを順次に或いは逆次に検査することを特徴とする。
【０００９】
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、基板に装着した所要複数個の電子部品を樹脂材料にて一括して封止成形した成形済基板を切断して形成された複数個の電子部品のパッケージを検査する電子部品のパッケージの検査ユニットを含む基板の切断装置であって、前記複数個の電子部品のパッケージの検査ユニットに、前記複数個の電子部品のパッケージを載置して反転する第一検査プレートと、前記した第一検査プレートに載置された複数個の電子部品のパッケージの第一の面を検査する第一カメラと、前記した第一検査プレートに載置された複数個の電子部品のパッケージを移載する第二検査プレートと、前記した第二検査プレートに載置された複数個の電子部品のパッケージの第二の面を検査する第二カメラとを備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、前記複数個の電子部品のパッケージにおける第一の面と第二の面とについて、前記複数個の電子部品のパッケージにおけるボール面とモールド面とから任意に選択することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
即ち、本発明によれば、成形済基板を切断して製品（パッケージ）を形成する場合に、高品質性・高信頼性の製品を得ることができると云う優れた効果を奏する。
また、本発明によれば、成形済基板を切断して製品（パッケージ）を形成する場合に、製品の生産性を効率良く向上させることができると云う優れた効果を奏する。
また、本発明によれば、高品質性・高信頼性の製品を得るために、また、製品の生産性を効率良く向上させるために、製品（パッケージ）のボール面とモールド面との表裏両面（第一の面と第二の面と）を検査することができる基板の切断方法及びその装置を提供することができると云う優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、実施例図に基づいて本発明を詳述する。
図１、図２、図３は、本発明に係る基板の切断装置である。
図４（１）〜図４（３）、図５（１）〜図５（３）、図６（１）〜図６（２）、図７（１）〜図７（３）は、本発明に係る基板の切断装置を用いて、成形済基板を切断して形成された個々のパッケージにおけるボール面とモールド面とを順次に且つ連続して検査する工程を説明する図である。
図８（１）は本発明に用いられる成形済基板を示し、図８（２）は本発明に係る基板の切断装置にて切断されたパッケージを示している。
【００１３】
（成形済基板とパッケージとについて）
また、図８（１）に示すように、成形済基板１には、ボール面（基板面）１ａとその反対側の面となるモールド面１ｂとが設けられて構成されている。
また、成形済基板１には、基板２と、成形済基板１（基板２）のモールド面１ａ側に設けられた樹脂成形体３とが設けられて構成されると共に、成形済基板１（基板２）のボール面（基板面）１ａ側には切断線４が設定されるように構成されている。
また、図８（２）に示すように、成形済基板１の切断線４を切断して分離形成されたパッケージ５（電子部品のパッケージ）には、成形済基板１と同様に、ボール面（基板面）５ａとその反対側の面となるモールド面５ｂとが設けられて構成されている。
また、パッケージ５には、基板部６と、パッケージ５（基板部６）のモールド面５ａ側に設けられた樹脂部７とが設けられて構成されている。
また、基板部６（基板２）のボール面５ａ（１ａ）側にはボール電極８が形成されていることがある。
また、図８（１）に示すように、成形済基板１から切断分離された個々のパッケージ５の集合体（外観は成形済基板１と同様の大きさ）を５（１ｃ）で示すものであり、複数個のパッケージ５（１ｃ）である。
なお、本発明は、複数個のパッケージ５（１ｃ）となる個々のパッケージの集合体５（１ｃ）におけるボール面（基板面）５ａとモールド面５ｂとを各別に且つ連続して検査するものである。
【００１４】
（基板の切断装置の構成について）
即ち、図１に示すように、本発明に係る基板の切断装置９は、成形済基板１を装填する基板の装填ユニットＡと、基板の装填ユニットＡから移送された成形済基板１を個々のパッケージ５に切断（分離）する基板の切断ユニットＢと、基板の切断ユニットＢで切断された個々のパッケージ５を外観検査して良品と不良品とに選別するパッケージの検査ユニットＣと、パッケージの検査ユニットＣで検査選別されたパッケージを良品と不良品とに各別にトレイに収容するパッケージの収容ユニットＤとから構成されている。
従って、まず、基板の装填ユニットＡに装填された成形済基板１を基板の切断ユニットＢに移送して個々のパッケージ５に切断し、次に、切断された個々のパッケージ５をパッケージの検査ユニットＣで検査して選別すると共に、パッケージの収容ユニットＤでパッケージを良品と不良品とに各別に収容することができるように構成されている。
また、本発明に係る基板の切断装置９においては、前述した各ユニットＡ・Ｂ・Ｃ・Ｄがこの順で互いに着脱自在に連結して装設することができるように構成されている。
また、本発明に係る基板の切断装置９においては、例えば、連結具１０にて各ユニットＡ・Ｂ・Ｃ・Ｄを着脱自在に連結することができるように構成されている。
また、図１に示す基板の切断装置９において、９ａは装置前面であり、９ｂは装置後面である。
なお、本発明は、図１に示す基板の切断装置９におけるパッケージの検査ユニットＣに関するものである。
【００１５】
（基板の装填ユニットの構成について）
また、基板の装填ユニットＡには、例えば、成形済基板１を装填する基板の装填部３８と、基板の装填部３８の成形済基板１を押し出すプッシャ等の押出部材（図示なし）とが設けられて構成されている。
従って、基板の装填ユニットＡにおいて、押出部材で基板の装填部３８から基板の切断ユニットＣ側に成形済基板１を押し出して移送することができる。
【００１６】
（基板の切断ユニットの構成について）
また、基板の切断ユニットＢには、例えば、基板の装填ユニットＡから移送された成形済基板１を所要の方向に整列する基板の整列機構３２と、基板の整列機構３２で整列された成形済基板１を載置する切断用のテーブル（切断テーブル）３３と、切断テーブル３３を基板載置位置３４ａと基板切断位置３４ｂとの間を移動させる切断テーブルの移動機構３４と、切断テーブル３３に載置された成形済基板１の切断線４をアライメントするアライメント機構３５と、切断テーブル３３に載置された成形済基板１の切断線４を切断する基板の切断機構（ブレード）３６と、基板の切断機構３６で切断された個々のパッケージ５を洗浄するパッケージの洗浄機構３７と、切断テーブル３３上の個々のパッケージ５をパッケージの検査ユニットＣ側に移送する第一パッケージ係着機構（第一トランスファ）１１などが設けられて構成されている。
従って、まず、基板の装填ユニットＡ側からの成形済基板１を基板の整列機構３２で所要の方向に整列してこの成形済基板１を切断テーブル３３にその成形済基板１の樹脂成形体３側を下方向に向けた状態で移送セットすると共に、切断テーブルの移動機構３４で基板載置位置３４ａから基板切断位置３４ｂに移動させ、次に、切断テーブル３３に成形済基板１を吸着固定した状態で、アライメント機構３５でアライメントされた成形済基板１の切断線４を基板の切断機構（ブレード）３６で切断して個々のパッケージ５（１ｃ）を形成する。
更に、この状態で、個々のパッケージ５をパッケージの洗浄機構３７で洗浄して基板載置位置３４ａに切断テーブル３３を戻すことができる。
従って、基板載置位置３４ａにおける切断テーブル３３上の個々のパッケージ５（１ｃ）を第一パッケージ係着機構１１でパッケージの検査ユニットＣ側に移送することができる。
なお、本発明においては、基板の切断機構３６におけるブレード（回転切断刃）と切断テーブル３３、及びパッケージの洗浄機構３７などは、任意数、それぞれ設けて構成することができる。
【００１７】
（パッケージの収容ユニットの構成について）
また、パッケージの収容ユニットＤには、検査されたパッケージ５を収容するトレイ３１が設けられて構成されている。
即ち、パッケージの収容ユニットＤには、例えば、良品を収容する良品トレイ３１（３１ａ）を装填した良品トレイの装填部と、不良品を収容する不良品トレイ３１（３１ｂ）を装填した不良品トレイの装填部とが設けられて構成されている。
従って、パッケージの検査ユニットＣで検査選別された個々のパッケージ５について、良品を良品トレイ３１ａに収容し、且つ、不良品を不良品トレイ３１ｂに収容することができる。
【００１８】
（パッケージの検査ユニットの構成について）
本発明に係るパッケージの検査ユニットＣには、例えば、基板の切断ユニットＣにおける第一パッケージ係着機構１１で係着された個々のパッケージ５（１ｃ）をパッケージ載置面（上面）１２ａに移載（吸着係止）して反転する反転係止プレート（第一検査プレート）１２と、反転した反転係止プレート１２のパッケージ載置面（下面）１２ａに吸着係止した個々のパッケージ５（１ｃ）をその下方位置から外観検査する第一検査機構（下カメラ）１３とが設けられて構成されている。
また、反転係止プレート１２はそのパッケージ載置面が上面側となるように停止セットされたパッケージ載置面１２ａに個々のパッケージ５（１ｃ）を移送セットして吸着係止すると共に、この状態で反転させてパッケージ載置面１２ａ側を下面側となるように停止セットすることができるように構成されている。
従って、まず、反転係止プレート（第一検査プレート）１２のパッケージ載置面１２ａに個々のパッケージ５（１ｃ）を吸着係止し、次に、パッケージ載置面（上面）１２ａに個々のパッケージ５（１ｃ）を吸着係止した状態で反転してパッケージ載置面（上面）１２ａを下面とし、更に、反転係止プレート（第一検査プレート）１２のパッケージ載置面（下面）１２ａに吸着係止された個々のパッケージ５（１ｃ）を第一検査機構（下カメラ）１３で外観検査することができるように構成されている。
なお、反転係止プレート１２は後述する反転係止プレートの往復動手段にて装置前面９ａに沿って水平方向に往復動自在に設けられて構成されると共に、反転係止プレート１２は上下動自在に設けられて構成されている。
【００１９】
また、本発明に係る検査ユニットＣには、例えば、反転係止プレート１２におけるパッケージ載置面（下面）１２ａに吸着係止された個々の第一検査済パッケージ５（１ｃ）を受け継いで移載される載置プレート（第二検査プレート）１４と、載置プレート１４の上面側に設けたパッケージ載置面１４ａ側に移載した個々の第一検査済パッケージ５（１ｃ）をその上方位置から外観検査する第二検査機構（上カメラ）１５と、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａにおける個々の第二検査済パッケージ５（１ｃ）を係着する第二パッケージ係着機構（第二トランスファ）１６とが設けられて構成されている。
従って、まず、載置プレート（第二検査プレート）１４を上動させて反転係止プレート１２におけるパッケージ載置面（下面）１２ａに係止された第一検査済パッケージ５（１ｃ）に載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａに当接することにより、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａに第一検査済パッケージ５（１ｃ）を受け継いで移載し、次に、第二検査機構（上カメラ）１５でパッケージ載置面１４ａに載置された第一検査済パッケージ５（１ｃ）を外観検査し、この第二検査済パッケージ５（１ｃ）を第二パッケージ係着機構（第二トランスファ）１６で係着して後述する載置テーブル１７（パッケージ載置面１７ａ）に移載することができるように構成されている。
【００２０】
また、更に、本発明に係る検査ユニットＣには、例えば、第二パッケージ係着機構１６に係着された第二検査済パッケージ５（１ｃ）を移送セットする載置テーブル（インデックステーブル）１７と、載置テーブル１７をパッケージ載置位置１８ａからパッケージ選別位置１８ｂに（装置前面９ａ側から装置背面９ｂ側）移動させる載置テーブルの移動手段１８と、パッケージ選別位置１８ｂにおける載置テーブル１７から良品と不良品とを各別に選別してトレイ３１に収容するパッケージの移載機構１９とが設けられて構成されている。
また、載置テーブル１７はその本体（パッケージ載置面１７ａ）を上下動自在に設けられて構成されている。
従って、まず、パッケージ載置位置１８ａにある載置テーブル１７のパッケージ載置面１７ａにパッケージ５を第二パッケージ係着機構１６で移載すると共に、載置テーブルの移動手段１８で載置テーブル１７をパッケージ選別位置１８ｂに移動させ、次に、第一検査機構１３と第二検査機構１５とによる検査結果に基づいて、パッケージ選別位置１８ｂに移動した載置テーブル１７のパッケージ載置面１７ａからパッケージの移載機構１９にてトレイ３１（３１ａ・３１ｂ）にパッケージ５を良品と不良品とに選別移載することができるように構成されている。
【００２１】
なお、パッケージの検査ユニットＣにおいては、例えば、装置前面９ａ側を、基板の切断ユニットＢ側からパッケージの収容ユニットＤ側に向けて、反転係止プレート１２と第一検査機構（第一カメラ）１３とを有する第一検査位置（第一検査部）２０、載置テーブル１７のパッケージ載置位置１８ａ、載置プレート１４と第二検査機構（第二カメラ）とを有する第二検査位置（第二検査部）２１の順に配置されて構成されている。
また、パッケージの検査ユニットＣにおいては、反転係止プレート１２を第一検査位置（第一検査部）２０と第二検査位置（第二検査部）２１との間を往復移動させる反転係止プレートの往復動手段２２が設けられて構成されると共に、反転係止プレート１２の下面側となるパッケージ載置面１２ａに個々のパッケージ５（１ｃ）を吸着係止した状態で〔パッケージ載置面１２ａに個々のパッケージ５（１ｃ）を載置した状態で〕、第一検査位置（第一検査部）２０から第二検査位置（第二検査部）２１に移動することができるように構成されている。
また、パッケージの検査ユニットＣにおける工程（パッケージ５の位置）は、パッケージ５の第一の面（例えば、ボール面５ａ）を検査する第一検査位置２０、パッケージ５の第二の面（例えば、モールド面５ｂ）を検査する第二検査位置２１、パッケージ載置位置１８ａ、パッケージ選別位置１８ｂの順で行われることになる。
【００２２】
（第一検査部について）
即ち、前述したように、第一検査部２０には、反転係止プレート１２と第一検査機構（下カメラ）１３とが設けられて構成されている。
また、反転係止プレート１２には、例えば、水平面上であって反転係止プレート１２の移動方向とは直角となる方向に回転軸１２ｂの軸芯方向が設けられて構成されている。
従って、この回転軸１２ｂを軸芯として、例えば、１８０度の角度でもって回転することにより、反転係止プレート１２を反転（して停止）させることができるように構成されている。
また、図示はしていないが、反転係止プレート１２には、個々のパッケージ５を各別に吸着して固定する（係止する）適宜な吸着固定手段（係止手段）が設けられて構成されている。
従って、図４（１）に示すように、反転係止プレート１２における上面側となるように停止セットされたパッケージ載置面１２ａにパッケージ５（１ｃ）を吸着係止し、この状態で、反転係止プレート１２を、回転軸１２ｃを中心にして反転させてそのパッケージ載置面１２ａを下面側となるように停止セットすることができるように構成されている。
この場合、反転係止プレート１２の下面側となるパッケージ載置面１２ａにパッケージ５が吸着係止されているので、パッケージ載置面１２ａ（下面）からパッケージ５が落下することを効率良く防止することができるように構成されている。
【００２３】
また、図４（２）に示すように、第一検査部２０において、反転係止プレート１２の下面側となるパッケージ載置面１２ａに載置された個々のパッケージ５（１ｃ）をその下方位置から第一検査機構（下カメラ）１３で検査することができるように構成されている。
このとき、図４（３）に示すように、第一検査機構（下カメラ）１３を装置背面９ｂ側から装置前面９ａ側に走査して第一検査することができるように構成されている。
即ち、第一パッケージ係着機構１１にてパッケージ５のボール面５ａ側を係着することになるので、反転係止プレート１２の上面側にセットされたパッケージ載置面１２ａ上では、パッケージ５はボール面５ａ側が上面側となる。
更に、反転係止プレート１２が反転した場合には、パッケージ５はボール面５ａ側が下面側となり、この下面側となるパッケージ５のボール面５ａ側を第一検査面としてその下方位置から第一検査機構（下カメラ）１３で第一検査することになる。
【００２４】
（第二検査部について）
また、前述したように、第二検査部２１には、載置プレート１４と第二検査機構（上カメラ）１５とが設けられて構成されている。
また、載置プレート１４は上下往復動することができるように構成されている。
即ち、図５（１）に示すように、反転係止プレート１２が載置プレート１４の上方位置に移動した場合、図５（２）に示すように、載置プレート１４を上動して載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａを反転係止プレート１２の下面側（パッケージ載置面１２ａ）に係止された個々の第一検査済パッケージ５（１ｃ）に当接することにより、反転係止プレート１２の個々の第一検査済パッケージ５（１ｃ）を載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａに受け継いて移載することができる。
このとき、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａに個々の第一検査済パッケージ５（１ｃ）を（吸着）固定することができるように構成されている。
従って、図５（３）に示すように、反転係止プレート１２からの個々のパッケージ５（１ｃ）を載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａに載置した状態で下動することができるように構成されている。
このとき、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａに載置した第一検査済パッケージ５（１ｃ）の上面側はモールド面５ｂとなるものである。
また、このとき、例えば、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａ（上面）と、反転係止プレート１２のパッケージ載置面１２ａ（下面）とを、所要の間隔Ｌで保持するように構成しても良い。
従って、この所要の間隔Ｌ内において、第二検査機構（上カメラ）１５が、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａ（上面）に載置された個々のパッケージ５（１ｃ）のモールド面５ｂを第二検査面として、その上方位置から検査することができるように構成されている。
【００２５】
また、図６（１）に示すように、下動した載置プレート１４の上方位置から反転係止プレート１２を第二検査部２１側に移動させることができる。
このとき、前述したように、第二検査機構（上カメラ）にて載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａ（上面）をその上方位置から検査することができる。
また、このとき、図６（２）に示すように、第二検査機構（上カメラ）を装置背面９ｂ側から装置前面９ａ側に走査することにより、第一検査済パッケージ５のモールド面５ｂ側を検査することができるように構成されている。
即ち、第二検査部２１において、まず、反転系プレート１２のパッケージ載置面（下面）１２から第一検査済パッケージ５（１ｃ）を載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａに受け継いで移載すると共に、この状態で、載置プレート１４を下動させ、次に、第二検査機構（上カメラ）１５で載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａ（上面）に載置した第一検査済パッケージ５（１ｃ）のモールド面５ｂ側を検査することができる。
従って、このとき、個々の検査前パッケージ５（１ｃ）のボール面５ａとモールド面５ｂとを連続して検査して第二検査済パッケージ５（１ｃ）を得ることができる。
また、次に、パッケージ載置面１４ａ（上面）の第二検査済パッケージ５（１ｃ）を第二パッケージ係着機構１６にて載置テーブル１７（インデックステーブル）側に移送セットすることができる。
なお、第二検査機構と第二パッケージ係着機構（第二トランスファ）とは一体にて構成しても良い。
【００２６】
（載置テーブルについて）
また、個々のパッケージ５を第二検査機構１５にて第二検査した後、個々の第二検査済パッケージ５のうち、所要数個を第二パッケージ係着機構１６にて載置テーブル（インデックステーブル）１７のパッケージ載置面１７ａに移送セットして吸着固定することができるように構成されている。
また、載置テーブル（インデックステーブル）１７のパッケージ載置面１７ａに、パッケージ５を市松模様状に載置する構成を採用することができる。
この場合、例えば、第二検査済パッケージ５を５個、係着して載置テーブル１７に移送セットするとき、３個、２個の順でパッケージ１個の幅Ｍの間隔を空けて第二検査済パッケージ５を置くことができる。
また、第一検査と第二検査との両方の検査に合格した第二検査済パッケージ（第一第二検査済パッケージ）５が良品となるものである。
なお、載置テーブル１７はパッケージ載置位置１８ａで上動することによって、そのパッケージ載置面１７ａに、反転係止プレート１２のパッケージ載置面１２ａに係止されたパッケージ５（１ｃ）を受け継いで移載することができるように構成されている。
【００２７】
（パッケージの検査ユニットにおける検査方法について）
即ち、まず、パッケージの検査ユニットＣにおける第一検査部２０において、第一パッケージ係着機構（第一トランスファ）１１で係着された個々のパッケージ５（１ｃ）を反転係止プレート１２の上面側となるパッケージ載置面１２ａに移送セットして吸着係止する。
このとき、反転係止プレート１２に係止されたパッケージ５の上面側はボール面５ａである。
次に、図４（１）に示すように、反転係止プレート１２を、回転軸１２ｂを中心にして反転させてパッケージ載置面１２ａを下面側とすると共に、図４（２）に示すように、第一検査機構（下カメラ）１３にて下方位置から走査して（第一）検査する。
次に、反転係止プレート１２を反転させた状態で、反転係止プレートの往復動手段２２にて第二検査部２１側に移動させると共に、載置プレート１４を上動して第一検査済パッケージ５（１ｃ）を載置プレート１４の上面側となるパッケージ載置面１４ａに受け継いで移載すると共に、この状態で、所要位置に載置プレート１４を下動させる。
このとき、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａでパッケージ５（１ｃ）を吸着係止しても良い。
次に、第二検査機構（上カメラ）１５で載置プレート１４のパッケージ載置面（上面）１４ａに載置された第一検査済パッケージ５（１ｃ）を上方位置から走査して（第二）検査する。
そして、次に、パッケージ載置位置１８ａにおける載置テーブル（インデックステーブル）１７に第二パッケージ係着機構（第二トランスファ）１６にて第二検査済パッケージ５（１ｃ）を移送セットする。
従って、次に、第二検査済パッケージ５（１ｃ）を載置した載置テーブル１７をパッケージ選別位置１８ｂに移動させると共に、第二検査済パッケージ５（１ｃ）をパッケージの移載機構１９にて良品は良品トレイ３１ａに不良品は不良品トレイ３１ｂに各別に移載して選別することができる。
【００２８】
（パッケージの検査面について）
即ち、第一検査部２０において、第一パッケージ係着機構１１にて個々のパッケージ５（１ｃ）のボール面５ａ側を係着して反転係止プレート（第一検査プレート）１２に載置することにより、反転係止プレート１２に個々のパッケージ５のボール面５ａ側を上面とすることができる。
この状態で、反転係止プレート１２を反転することにより、個々のパッケージ５のボール面５ａ側を下面とし、この下面側のボール面５ａを第一検査面とすることができる。
このとき、反転係止プレート１２のパッケージ載置面１２側に個々のパッケージ５の上面側となるモールド面５ｂが接触することになる。
従って、反転係止プレート１２に載置された個々のパッケージ５の下面となるボール面５ａをその下方位置から第一検査機構（下カメラ）１３で検査することができる。
また、第二検査部２１において、第一検査部２０から反転係止プレートの往復動手段２２にて第二検査部（第二検査位置）２１に移動した反転係止プレート１２に対して、載置プレート（第二検査プレート）１４を上動することにより、反転係止プレート１２の下面側（パッケージ載置面１２ａ側）に係止した個々の第一検査済パッケージ５のボール面５ａに対して、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａを当接し、反転係止プレート１２に載置（係止）された個々のパッケージ５（１ｃ）を載置プレート１４に受け継いで移載することができる。
このとき、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａに移載した個々のパッケージ５のモールド面５ｂが上面となって第二検査面となるものである。
従って、次に、載置プレート１４に載置された個々のパッケージ５の上面となるモールド面５ａ（第二検査面）をその上方位置から第二検査機構（上カメラ）１５で検査することができる。
【００２９】
（パッケージの検査ユニットにおける検査方法の作用効果について）
即ち、本発明によれば、成形済基板１を切断してパッケージ（製品）５を形成する場合に、パッケージ（製品）５のボール面５ａとモールド面５ｂとの両面を連続して検査することができるので、高品質性・高信頼性の製品５を得ることができる。
また、本発明によれば、成形済基板１を切断してパッケージ（製品）５を形成する場合に、パッケージ（製品）５のボール面５ａとモールド面５ｂとの両面を連続して検査することができるので、製品５の生産性を効率良く向上させることができる。
従って、成形済基板を切断してパッケージ（製品）５を形成する場合に、高品質性・高信頼性の製品５を得るために、また、製品５の生産性を効率良く向上させるために、製品５のボール面５ａとモールド面５ｂとの表裏両面（第一の面と第二の面と）を検査することができる基板の切断方法及びその装置を提供することができる。
【００３０】
（他のパッケージの検査ユニットにおける検査方法について）
即ち、他の検査方法に用いられる検査ユニットの構成は、第二検査部（位置）２１と載置テーブル１７のパッケージ載置位置１８ａとが（平面的に）同じ位置にある構成であって、第一検査部２０の構成は前述した実施例と同様である。
また、他の検査方法に用いられる検査ユニットの構成においては、例えば、載置プレート（第二検査プレート）１４と、載置テーブル１７とを（概ね）同じ高さ位置にて構成することができると共に、通常、パッケージ載置位置１８ａにて載置プレート１４と載置テーブル１７とが衝突しないように構成されている。
【００３１】
また、他の検査方法に用いられる検査ユニットの構成においては、例えば、パッケージ載置位置１８ａ（第二検査位置２１）において、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａから第二パッケージ係着機構１６にて所要数個のパッケージ５（例えば、前述したように５個のパッケージ５）を係着する工程と、パッケージ載置位置１８ａ（第二検査位置２１）において、載置テーブル１７のパッケージ載置面１７ａに第二パッケージ係着機構１６にて係着されたパッケージ５を（３個、２個と順次に）移載する工程と、パッケージ選別位置１８ｂにおいて、パッケージ移載機構１９にてトレイ３１（３１ａ・３１ｂ）にパッケージ５が良品と不良品とに選別移載する工程とを連続して行うことができる。
この場合、載置テーブル１７は、パッケージ載置位置１８ａと、載置プレート１４と衝突しないパッケージ選別位置１８ｂと往復移動し、且つ、パッケージ載置位置１８ａではパッケージ載置面１７ａに所要数個のパッケージ５が移載されると共に、パッケージ選別位置１８ｂではパッケージ移載機構１９にてトレイ３１（３１ａ・３１ｂ）にパッケージ５が良品と不良品とに選別移載することになる。
また、この場合、載置プレート１４は、例えば、載置テーブル１７の高さ位置と載置テーブル１７の下方位置となる載置テーブル１７と衝突しない位置とを上下往復動することになる。
或いは、載置プレート１４は、例えば、載置テーブル１７の下方位置となる載置テーブル１７と衝突しない位置に停止した状態でも良い。
【００３２】
即ち、第一検査について、まず、パッケージの検査ユニットＣにおける第一検査部２０において、第一パッケージ係着機構（第一トランスファ）１１で係着された個々のパッケージ５（１ｃ）を反転係止プレート１２の上面側となるパッケージ載置面１２ａに移送セットして吸着係止する。
次に、反転係止プレート１２を、回転軸１２ｂを中心にして反転させてパッケージ載置面１２ａを下面側とすると共に、第一検査機構（下カメラ）１３にて下方位置から走査してパッケージ５のボール面５ａを（第一）検査する。
次に、第二検査について、反転係止プレート１２を反転させた状態で、反転係止プレートの往復動手段２２にてパッケージ載置位置１８ａ側に移動させると共に、載置プレート１４を上動して第一検査済パッケージ５（１ｃ）を載置プレート１４の上面側となるパッケージ載置面１４ａに受け継いで移載し、この状態で、所要位置に載置プレート１４を下動させ、パッケージ載置面１４ａに載置したパッケージ５のモールド面５ａを第二検査機構１５にて走査して（第二）検査することができる。
このとき、即ち、第二検査のとき、載置テーブル１７（１７ａ）をパッケージ選別位置に位置させることができるので、載置テーブル１７と、パッケージ載置位置１８ａに存在する載置プレート１４（及び第二検査機構１５）とが互いに衝突しないように構成されている。
なお、第二検査のとき、載置テーブル１７がパッケージ載置位置１８ａに位置した場合に、載置プレート１４と第二検査機構１５とを、載置テーブル１７に衝突しない載置テーブル１７の下方位置に位置させることができるように構成されている。
【００３３】
次に、載置プレート１４（１４ａ）から載置テーブル１７（１７ａ）にパッケージ５を第二パッケージ係着機構１６で移載することができる。
この場合、パッケージ５を所要数個ずつ載置プレート１４（１４ａ）から載置テーブル１７（１７ａ）に移載することができる。
また、この場合、前述したように、パッケージ載置位置１８ａにおける載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａと、パッケージ選別位置１８ｂにおける載置テーブル１７のパッケージ載置面１７ａとを同じ高さ位置にて構成しても良い。
なお、この場合、前述したように、載置プレート１４を載置テーブル１７と衝突しない載置テーブル１７の下方位置に位置させても良い。
【００３４】
即ち、まず、パッケージ選別位置１８ｂに載置テーブル１７を移動させてトレイ３１（３１ａ・３１ｂ）にパッケージ５をパッケージの移載機構１９で選別・移載する。
このとき、パッケージ載置位置１８ａにおいて、載置プレート１４を載置テーブル１７の高さに上動して載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａに載置したパッケージ５の所要数個を第二パッケージ係着機構１６で係着すると共に、載置プレート１４を所要位置に下動する。
次に、パッケージ選別位置１８ｂからパッケージ載置位置１８ａに載置テーブル１７を移動させることにより、第二パッケージ係着機構１６に係着したパッケージ５の所要数個を載置テーブル１７のパッケージ載置面１７ａの所要位置に移載する。
次に、パッケージ選別位置１８ｂに載置テーブル１７を移動させて、載置テーブル１７（１７ａ）の検査済パッケージ５の所要数個をパッケージの移載機構１９でトレイ３１（３１ａ・３１ｂ）に選別・移載する。
即ち、前述したパッケージ５を載置プレート１４から載置テーブル１７に移載することを繰り返して行うことができる。
従って、本実施例において、前記した実施例と同様の作用効果を得ることができる。
即ち、本発明によれば、成形済基板１を切断して製品（パッケージ５）を形成する場合に、高品質性・高信頼性の製品を得ることができる。
また、本発明によれば、成形済基板を切断して製品（パッケージ５）を形成する場合に、製品の生産性を効率良く向上させることができる。
また、本発明は、高品質性・高信頼性の製品を得るために、また、製品５の生産性を効率良く向上させるために、製品（パッケージ５）のボール面５ａとモールド面５ｂとの表裏両面（第一の面と第二の面と）を検査することができる基板の切断方法及びその装置を提供することができる。
なお、前述したように、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａからパッケージ５を第二パッケージ係着機構１６で係着する場合において、載置プレート１４を載置テーブル１７の下方位置に位置（停止）させた状態で、パッケージ載置面１４ａからパッケージ５を第二パッケージ係着機構１６で係着させても良い。
【００３５】
本発明は、前述した実施例のものに限定されるものでなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意且つ適宜に変更・選択して採用できるものである。
【００３６】
（第一検査位置と第二検査位置とが同じ位置にある場合について）
前記した実施例では、前述した第一検査部（位置）２０と第二検査部（位置）２１との夫々において、個々のパッケージ５（５ａ・５ｂ）を検査する構成を例示したが、第一検査位置２０と第二検査位置２１とが、パッケージの検査ユニットＣにおいて、（平面的に）同じ位置にあっても良い。
【００３７】
この第一検査位置２０と第二検査位置２１とを同じ位置に設けて構成する実施例は、例えば、反転係止プレート（第一検査プレート）１２の下方位置に載置プレート（第二検査プレート）１４を上下動自在に設けると共に、反転係止プレート１２と載置プレート１４との間に、第一検査機構（下カメラ）と第二検査機構（上カメラ）とを各別に走査することができるように構成することができる。
即ち、まず、反転した反転係止プレート（第一検査プレート）１２のパッケージ載置面１２ａに係止した個々のパッケージ５（１ｃ）のボール面５ａを第一検査機構（下カメラ）で走査して検査する。
次に、反転係止プレート１２の下方位置に設けた載置プレート（第二検査プレート）１４を上動してパッケージ載置面１４ａに個々のパッケージ５（１ｃ）を受け継いで移載すると共に、載置プレート１４を下動して所要位置に戻すことにより、パッケージ載置面１４ａに載置した個々のパッケージ５（１ｃ）のモールド面５ａを第二検査機構（上カメラ）で走査して検査することができる。
また、次に、第二パッケージ係着機構１６にて第二検査済パッケージ５を載置テーブル１７のパッケージ載置面１７ａに移載することができる。
従って、第一検査と第二検査とを同じ位置で実施することによって、前記した実施例と同様の作用効果を得ることができる。
なお、この場合、第一検査機構（下カメラ）と第二検査機構（上カメラ）とを一体にして構成しても良い。
【００３８】
（パッケージにおける検査面の順序について）
前記した各実施例において、パッケージにおける第一の面となるボール面と第二の面となるモールド面とを順次に或いは逆次に検査することができる。
即ち、前記した各実施例では、まず、パッケージ５のボール面５ａを第一の面として検査し、次に、パッケージ５のモールド面５ｂを第二の面として検査する構成を例示したが、パッケージ５のモールド面５ｂを第一の面として検査し、次に、パッケージ５のボール面５ａを第二の面として検査する構成を採用することができる。
この場合、例えば、成形済基板１をその樹脂成形体３側を上面として切断テーブルに移送セットすると共に、樹脂成形体５の周囲の基板面（縁部）に形成されたアセイメントマークをアライメントして切断線４を切断し、次に、前述したように、パッケージ５のモールド面５ｂとボール面５ａとを順次に且つ連続して検査することができる。
【００３９】
（パッケージにおけるいずれか一方の面のみの検査について）
また、パッケージの検査ユニットＣにおいて、パッケージ５のいずれか片面のみ（いずれか一方の面のみ）を検査する場合は、第二検査部２１による検査を省略することができる。
【００４０】
即ち、パッケージ５のいずれか一方の面（５ａ或いは５ｂ）のみを検査する構成の実施例は、例えば、まず、反転した反転係止プレート１２におけるパッケージ載置面１２ａにパッケージ５（１ｃ）の第一の面（ボール面５ａ或いはモールド面５ｂ）を第一検査機構（下カメラ）１５で検査し、次に、パッケージ載置面１２ａにパッケージ５（１ｃ）を係止載置した状態で、載置テーブル１７のパッケージ載置面１７ａにパッケージ５（１ｃ）を受け継いで移載することができるように構成されている。
この場合、例えば、載置テーブル１７を上動させても良いし、また、反転係止プレート１２を下動させても良い。
即ち、前述したように構成したため、反転係止プレート１２（１２ａ）から載置テーブル１７（１７ａ）にパッケージ５（１ｃ）を一括して移載することができるので、製品（パッケージ）の生産性を効率良く向上させることができる。
従って、パッケージ５のいずれか一方の面のみを効率良く検査し得て、製品（パッケージ）の生産性を効率良く向上させることができる。
【００４１】
また、パッケージ５のいずれか一方の面のみを検査する構成の実施例においては、第二パッケージ係着機構１６を用いることができる。
例えば、第一検査機構１３による第一検査後、まず、反転係止テーブル１２を更に反転させてパッケージ載置面１２ａを上面とし、次に、パッケージ載置面１２ａに載置したパッケージ５を第二パッケージ係着機構１６で載置テーブル１７のパッケージ載置面１７ａに移載することができる。
この場合、例えば、載置テーブル１７を上動させることにより、また、反転係止プレート１２を下動させることができる。
また、この場合、載置テーブル１７のパッケージ載置面１７ａと反転係止プレート１２のパッケージ載置面１２ａとを同じ高さ（水平面上に）に設定することができる。
従って、パッケージ５のいずれか一方の面のみを効率良く検査し得て、製品（パッケージ）の生産性を効率良く向上させることができる。
【００４２】
また、パッケージ５のいずれか一方の面のみを検査する構成の実施例においては、第二パッケージ係着機構１６と載置プレート（第二検査プレート）１４とを用いても良い。
例えば、まず、反転した反転係止プレート１２におけるパッケージ載置面１２ａにパッケージ５（１ｃ）の第一の面（ボール面５ａ或いはモールド面５ｂ）を第一検査機構（下カメラ）１５で検査し、次に、パッケージ載置面１２ａにパッケージ５（１ｃ）を係止載置した状態で、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａにパッケージ５（１ｃ）を受け継いで移載し、次に、載置プレート１４のパッケージ載置面１４ａのパッケージ５（１ｃ）を第二パッケージ係着機構１６で載置テーブル１７のパッケージ載置面１７ａに移載することができる。
従って、パッケージ５のいずれか一方の面のみを効率良く検査し得て、製品（パッケージ）の生産性を効率良く向上させることができる。
【００４３】
（他の基板の切断ユニットの構成について）
また、本発明に係る基板の切断装置９における基板の切断ユニットＣは、基板の切断手段として、後述するブレード（回転切断刃）を用いるものであるが、本発明に係る基板の切断装置９において、切断手段として、レーザー光、ワイヤソー、バンドソー、高圧切断水などを有する基板の切断ユニットを用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】図１は、本発明に係る基板の切断装置を概略的に示す概略平面図である。
【図２】図１に示す基板の切断装置における要部（パッケージの検査ユニット）を拡大して概略的に示す拡大概略平面図である。
【図３】図２に示す基板の切断装置における要部（パッケージの検査ユニット）を拡大して概略的に示す拡大概略正面図である。
【図４】図４（１）、図４（２）、図３に示すパッケージの検査ユニットの要部を拡大して概略的に示す拡大概略正面図であり、図４（３）は、図４（２）に示すパッケージの検査ユニット要部を拡大して概略的に示す拡大概略側面図である。
【図５】図５（１）、図５（２）は、図３に示すパッケージの検査ユニットの要部を拡大して概略的に示す拡大概略正面図であり、図５（３）は、図５（２）に示すパッケージの検査ユニット要部を拡大して概略的に示す拡大概略側面図である。
【図６】図５（１）、図５（２）、図５（３）は、図３に示すパッケージの検査ユニットの要部を拡大して概略的に示す拡大概略正面図である。
【図７】図７（１）は、図３に示すパッケージの検査ユニットの要部を拡大して概略的に示す拡大概略正面図であり、図７（２）は、図７（２）に示すパッケージの検査ユニット要部を拡大して概略的に示す拡大概略側面図である。
【図８】図８（１）は、本発明に用いられる成形済基板を概略的に示す概略斜視図であり、図８（２）は、図８（１）に示す成形済基板を切断して形成したパッケージを概略的に示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００４５】
１    成形済基板
１ａ  ボール面（基板面）
１ｂ  モールド面
２    基板
３    樹脂成形体
４    切断線
５    パッケージ
５ａ  ボール面
５ｂ  モールド面
５（１ｃ）  パッケージ集合体
６    基板部
７    樹脂部
８    ボール電極
９    基板の切断装置
９ａ  装置前面
９ｂ  装置背面
１０    連結具
１１    第一パッケージ係着機構（第一トランスファ）
１２    反転係止プレート（第一検査プレート）
１２ａ  パッケージ載置面（反転係止プレート）
１２ｂ  回転軸（反転係止プレート）
１３    第一検査機構（下カメラ）
１４    載置プレート（第二検査プレート）
１４ａ  パッケージ載置面（載置プレート）
１５    第二検査機構（上カメラ）
１６    第二パッケージ係着機構（第二トランスファ）
１７    載置テーブル
１７ａ  パッケージ載置面（載置テーブル）
１８    載置テーブルの移動手段
１８ａ  パッケージ載置位置
１８ｂ  パッケージ選別位置
１９    パッケージの移載機構
２０    第一検査部（第一検査位置）
２１    第二検査部（第二検査位置）
２２    反転係止プレートの往復動手段
３１    トレイ
３１ａ  良品トレイ
３１ｂ  不良品トレイ
３２    基板の整列機構
３３    切断用のテーブル（切断テーブル）
３４    切断テーブルの移動機構
３４ａ  基板載置位置
３４ｂ  基板切断位置
３５    アライメント機構
３６    基板の切断機構
３７    パッケージの洗浄機構
３８    基板の装填部
Ａ    基板の装填ユニット
Ｂ    基板の切断ユニット
Ｃ    パッケージの検査ユニット
Ｄ    パッケージの収容ユニット
【図１】
0005192790.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0005192790.tif 000006
【図６】
0005192790.tif 000007
【図７】
0005192790.tif 000008
【図８】
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