(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に電極膜を含む圧電／電歪セラミックス積層体と前記圧電／電歪セラミックス積層体の表面に設けられ対象物を摺動運動させる摺動体とを備える超音波モータの製造方法であって、
(a) 突起が形成された積層治具の突起物に対して広がり方向の移動が規制された複数のグリーンシートを前記積層治具の突起形成面に向かって押圧する工程と、
(b) 前記工程(a)により得られた前記複数のグリーンシートの圧着体を焼成し前記圧電／電歪セラミックス積層体を得る工程と、
(c) 前記突起形成面への押圧により前記圧電／電歪セラミックス積層体の表面に形成された溝に前記摺動体を嵌合する工程と、
を備える超音波モータの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の超音波モータの製造方法において、
前記工程(a)は、
(a-1) 前記複数のグリーンシートのうちの前記工程(b)により前記電極膜となる導電材料膜が形成されたグリーンシートを含まない第１群を前記突起形成面に向かって押圧する工程と、
(a-2) 前記工程(a-1)の後に前記複数のグリーンシートのうちの導電材料膜が形成されたグリーンシートを含む第２群を前記第１群の上に重ねて前記積層治具の突起形成面に向かって押圧する工程と、
を備える超音波モータの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の超音波モータの製造方法において、
前記工程(a-1)は、
前記第１群の前記突起形成面に押圧される面とは反対側の面に樹脂フィルムを貼り付けた状態で前記第１群を前記突起形成面に向かって押圧する、
超音波モータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部に電極膜を含む圧電／電歪セラミックス積層体と当該圧電／電歪セラミックス積層体の表面に設けられ対象物を摺動運動させる摺動体とを備える超音波モータの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に示すように、縦１次モード及び屈曲２次モードが縮退する矩形形状を有し内部に電極膜を含む圧電／電歪セラミックス積層体に対象物を摺動回転させる摺動片を貼り付けた超音波モータが知られている。当該超音波モータは、圧電／電歪セラミックス積層体に縦１次モード及び屈曲２次モードの振動を同時に励振することにより、摺動片を楕円運動させる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２５９７００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の超音波モータでは、圧電／電歪セラミックス積層体に摺動片を貼り付ける位置のずれ、特に、外部から視認することができない内部の電極膜に対する位置のずれが起こりやすい。このような位置のずれは、縦１次モード及び屈曲２次モード以外の不要な固有振動モードの発生の原因となり摺動片の楕円運動を乱す原因となるので、好ましくない。
【０００５】
本発明は、この問題を解決するためになされたもので、対象物を摺動運動させる摺動体の位置のずれを抑制することができる超音波モータの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、内部に電極膜を含む圧電／電歪セラミックス積層体と前記圧電／電歪セラミックス積層体の表面に設けられ対象物を摺動運動させる摺動体とを備える超音波モータの製造方法であって、(a) 突起が形成された積層治具の突起物に対して広がり方向の移動が規制された複数のグリーンシートを前記積層治具の突起形成面に向かって押圧する工程と、(b) 前記工程(a)により得られた前記複数のグリーンシートの圧着体を焼成し前記圧電／電歪セラミックス積層体を得る工程と、(c) 前記突起形成面への押圧により前記圧電／電歪セラミックス積層体の表面に形成された溝に前記摺動体を嵌合する工程と、を備える。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１に記載の超音波モータの製造方法において、前記工程(a)は、(a-1) 前記複数のグリーンシートのうちの前記工程(b)により前記電極膜となる導電材料膜が形成されたグリーンシートを含まない第１群を前記突起形成面に向かって押圧する工程と、(a-2) 前記工程(a-1)の後に前記複数のグリーンシートのうちの導電材料膜が形成されたグリーンシートを含む第２群を前記第１群の上に重ねて前記積層治具の突起形成面に向かって押圧する工程と、を備える。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項２に記載の超音波モータの製造方法において、前記工程(a-1)は、前記第１群の前記突起形成面に押圧される面とは反対側の面に樹脂フィルムを貼り付けた状態で前記第１群を前記突起形成面に向かって押圧する。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１の発明によれば、グリーンシートの積層治具に対する広がり方向の移動が規制された状態でグリーンシートを突起形成面に向かって押圧することにより溝が形成されるので、溝が形成される位置のずれを抑制することができ、対象物を摺動運動させる摺動体の位置のずれを抑制することができる。
【００１０】
請求項２の発明によれば、第１群の突起が圧入される面とは反対側の面に第２群が圧着されるので、第２群の変形を抑制することができ、圧電／電歪セラミックス積層体の厚さ方向に隣接する電極膜の間隔の乱れを抑制することができる。
【００１１】
請求項３の発明によれば、第１群の突起が圧入される面とは反対側の面の平坦性を向上することができるので、第２群の変形をさらに抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
＜１  超音波モータ１０２の構成＞
図１〜図２は、本発明の望ましい実施形態に係る超音波モータ（圧電／電歪モータ）１０２の概略構成を示す模式図である。図１は、超音波モータ１０２の斜視図、図２は、図１のA-Aに沿う超音波モータ１０２の断面図となっている。
【００１３】
図１〜図２に示すように、超音波モータ１０２は、圧電／電歪セラミックス積層体１０４と摺動体１０６，１０８とを備える。超音波モータ１０２では、圧電／電歪セラミックス積層体１０４に縦１次モード及び屈曲２次モードの振動を同時に励振することにより摺動体１０６，１０８を楕円運動させる。なお、下述する超音波モータ１０２の製造方法は、他の固有振動モードを利用する超音波モータの製造においても採用することができる。
【００１４】
｛圧電／電歪セラミックス積層体１０４｝
圧電／電歪セラミックス積層体１０４は、内部に電極膜１１０，１１２，１１４，１１６，１１８，１２０を含む圧電／電歪セラミックスの焼成体である。
【００１５】
圧電／電歪セラミックス積層体１０４を構成する圧電／電歪セラミックス材料は、ＰｂをＰｂＯ換算で６５質量％以上７０質量％以下含み、ＴｉをＴｉＯ2換算で７．０質量％以上１６．０質量％以下含み、ＺｒをＺｒＯ2換算で１０．５質量％以上２４．５質量％以下含み、ＳｂをＳｂ2Ｏ3換算で０．６５質量％以上１．０５質量％以下含み、ＮｂをＮｂ2Ｏ5換算で０．５質量％以上０．８質量％以下含み、ＣｕをＣｕＯ換算で０．３質量％以上０．７質量％以下含み、ＷをＷＯ3換算で０．６質量％以上１．５質量％以下含み、ＭｎをＭｎＯ2換算で０．３質量％以上０．７質量％以下含み、ＣｕとＷのモル比が１．５：１以上２．５：１以下である圧電／電歪セラミック組成物である。
【００１６】
電極膜１１０，１１２，１１４，１１６，１１８，１２０を構成する導電材料は、特に制限されないが、電気抵抗の低さ及び耐熱性の高さの観点から、白金、パラジウム、ロジウム、金、銀等の金属又はこれらを主成分とする合金であることが望ましい。
【００１７】
圧電／電歪セラミックス積層体１０４は、摺動体１０６，１０８が嵌合される溝１２４，１２６を矩形板の下面に形成した形状を有している。溝１２４，１２６の各々は、屈曲２次モードの振動の腹となる位置Ｐ１０２，Ｐ１０４に形成され、圧電／電歪セラミックス積層体１０４の短手方向に伸びている。
【００１８】
圧電／電歪セラミックス積層体１０４は、長手方向に伸縮する振動に関する固有振動モードである縦１次モードの固有振動数Ｆ１と、厚さ方向に屈曲する振動に関する固有振動モードである屈曲２次モードの固有振動数Ｆ２とが縮退するように決定する。ここでいう「縮退」とは、固有振動数Ｆ１と固有振動数Ｆ２との差｜Ｆ１−Ｆ２｜の固有振動数Ｆ１に対する比｜Ｆ１−Ｆ２｜／Ｆ１が０〜８％程度であることが望ましいことを意味している。
【００１９】
電極膜１１０，１１２，１１４，１１６，１１８，１２０は、圧電／電歪セラミックス積層体１０４の上面及び下面と平行に形成されている。電極膜１１０，１１２，１１４は、屈曲２次モードの振動の節となる位置Ｐ１０６で圧電／電歪セラミックス積層体１０４を長手方向に分割して得られる２個の領域のうちの一方の領域Ａ１０２の相対的に上面寄りに形成され、電極膜１１６，１１８，１２０は、当該２個の領域のうちの他方の領域Ａ１０４の相対的に下面寄りに形成されている。電極膜１１０，１１２，１１４，１１６，１１８，１２０のうちの圧電／電歪セラミックス積層体１０４の厚さ方向に隣接する２個、例えば、電極膜１１２と電極膜１１４とは、圧電／電歪体を挟んで対向し、圧電／電歪体に電界を印加する。なお、圧電／電歪セラミックス積層体１０４が含む電極膜の層数を増減してもよい。位置Ｐ１０２，１０４は、屈曲２次モードの腹の位置（共振時に変位量が大きくなる位置）に来るようにする。つまり、素子を３等分した時の１／３、２／３の位置にする。この発明によって、内部電極と摺動部品との位置ズレを小さくすることが出来、素子に分割する時は、素子端面と内部電極との距離が積層方向に対して垂直な４面で一定になるように切断するので、結果的に素子外形に対しても位置ズレを小さくすることができる。
【００２０】
｛摺動体１０６，１０８｝
摺動体１０６，１０８は、対象物たるステージに接した状態で楕円運動し、ステージを摺動運動させる。
【００２１】
摺動体１０６，１０８を構成する材料は、特に制限されないが、磨耗の少なさや発塵の少なさの観点から、ジルコニアセラミックスや超硬合金であることが望ましい。
【００２２】
摺動体１０６，１０８の立体形状も、特に制限されないが、鋭端部が少なく欠けが起こりにくい丸棒形状であることが望ましい。
【００２３】
＜２  圧着治具１３２の構成＞
図３は、超音波モータ１０２の製造に使用する圧着治具１３２の模式図である。図３は、圧着治具１３２を構成する突起付きピン台１３４、底板１３６及び上板１３８を上下に分離して示すとともに圧着対象の複数の圧電／電歪セラミックスグリーンシート（以下では、「グリーンシート」という）１９２を示す斜視図となっている。圧着治具１３２を用いて複数のグリーンシート（以下では、「グリーンシート群」という）１９２を圧着する場合、突起付きピン台１３４、底板１３６、グリーンシート群１９２及び上板１３８を記載した順序で重ね合わせ、上板１３８の上面からグリーンシート群１９２を突起付きピン台１３４に向かって押圧することにより、グリーンシート群１９２を圧着し、グリーンシート群１９２の圧着体の下面に突起１５０の立体的形状を転写する。
【００２４】
｛突起付きピン台１３４｝
突起付きピン台１３４は、底板１３６、グリーンシート群１９２及び上板１３８の広がり方向の移動を規制するとともに、グリーンシート群１９２の圧着体の下面に溝を形成する。突起付きピン台１３４は、支持板１４２の上面に４個の位置決めピン１４４及び４個の突起台１４６を固設した構造を有している。
【００２５】
支持板１４２は、位置決めピン１４４及び突起台１４６を支持する。支持板１４２は、下述する取っ手１５２を把握しやすくするための２個の切り欠き１４８を長方形板の対辺の各々の中央に形成した形状を有している。
【００２６】
位置決めピン１４４は、底板１３６、グリーンシート群１９２及び上板１３８の広がり方向の移動を規制する。位置決めピン１４４は、丸棒形状を有しており、支持板１４２の四隅の近傍に支持板１４２の上面に垂直となるように立設されている。もちろん、位置決めピン１４４の数を増減してもよいし、位置決めピン１４４を立設する位置を変更してもよい。
【００２７】
突起台１４６は、グリーンシート群１９２の圧着体の下面に溝を形成する。突起台１４６は、上方に突出する突起１５０を長方形板の上面に形成したものである。突起１５０の高さは、グリーンシート群１９２の圧着体に形成すべき溝の深さよりも１０％程度高くしておくことが望ましい。これは、グリーンシートは弾性を有しているので、グリーンシート群１９２を突起台１４６の上面に向かって押圧した後にグリーンシートを突起台１４６から分離すると、スプリングバックにより溝の深さが突起１５０の高さよりも浅くなるからである。一方、突起１５０の間隔はグリーンシート群１９２の圧着体に形成すべき溝の間隔と同程度で問題はない。突起台１４６は、支持板１４２の上面に碁盤の目状に配列されている。もちろん、突起台１４６の数を増減してもよいし、突起台１４６の配列方法を変更してもよい。
【００２８】
｛底板１３６｝
底板１３６は、グリーンシート群１９２を支持する。底板１３６は、長方形板の対辺の中央に２個の取っ手１５２を形成するとともに位置決め孔１５４及び窓孔１５６を形成した構造を有している。
【００２９】
位置決め孔１５４は、位置決めピン１４４と同様の平面配置をもって底板１３６の四隅の近傍に形成されている。また、位置決め孔１５４の平面形状は、位置決めピン１４４の平面形状と略同一であるが、遊びの分だけ位置決めピン１４４の平面形状よりも大きくなっている。
【００３０】
窓孔１５６は、突起台１４６と同様の平面配置をもって形成されている。窓孔１５６の平面形状は、突起台１４６の平面形状と略同一であるが、遊びの分だけ突起台１４６の平面形状よりも大きくなっている。
【００３１】
したがって、支持板１４２と底板１３６とが平行になっていれば、位置決めピン１４４を位置決め孔１５４に挿入し、突起付きピン台１３４と底板１３６とを接近及び離遠させることができる。
【００３２】
底板１３６の板厚は、突起台１４６の板厚と同じになっている。したがって、位置決めピン１４４を位置決め孔１５４に挿入した状態で底板１３６の下面と支持板１４２の上面とを接触させると、底板１３６の上面と窓孔１５６に挿入された突起台１４６の上面とは同一平面を構成する。これにより、グリーンシート群１９２を突起付きピン台１３４に向かって押圧したときに、突起台１４６の端部の近傍においてグリーンシート群１９２が湾曲することを抑制することができる。
【００３３】
｛上板１３８｝
上板１３８は、グリーンシート群１９２を均一に突起付きピン台１３４に向かって押圧する。上板１３８は、長方形板に位置決め孔１６０を形成した形状を有している。位置決め孔１６０は、位置決めピン１４４と同様の平面配置をもって上板１３８の四隅の近傍に形成されている。また、位置決め孔１６０の平面形状は、位置決めピン１４４の平面形状と略同一であるが、遊びの分だけ位置決めピン１４４の平面形状よりも大きくなっている。したがって、支持板１４２と上板１３８とが平行になっていれば、位置決めピン１４４を位置決め孔１６０に挿入し、突起付きピン台１３４と上板１３８とを接近及び離遠させることができる。
【００３４】
｛グリーンシート群１９２｝
圧着治具１３２を用いてグリーンシート群１９２を圧着する場合、グリーンシート群１９２の四隅の近傍には、位置決めピン１４４と同様の平面配置をもって位置決め孔１５８が形成される。したがって、支持板１４２と底板１３６とが平行になっており、底板１３６の上面にグリーンシート群１９２が載置されていれば、位置決めピン１４４を位置決め孔１５４，１５８に挿入し、突起付きピン台１３４と上面にグリーンシート群１９２が載置された底板１３６とを接近及び離遠させることができる。もちろん、位置決めピン１４４を位置決め孔１５８に挿入したときの位置決めピン１４４の外面と位置決め孔１５８の内面との間の遊びの大きさは、溝１２４，１２６を形成する位置の交差よりも小さくなっている必要がある。
【００３５】
＜３  超音波モータ１０２の製造方法＞
図４は、超音波モータ１０２の製造方法を説明するフローチャートである。また、図５〜図６は、超音波モータ１０２の製造方法を説明する模式図である。図５〜図６は、製造の途上の超音波モータ１０２の断面図となっている。
【００３６】
｛グリーンシートの作製｝
図４に示すように、超音波モータ１０２の製造にあたっては、まず、グリーンシートを作製する（ステップＳ１０１）。グリーンシートは、圧電／電歪セラミックスの粉末等を分散媒に分散させたスラリーを引き上げ法・ドクターブレード法等によりＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）フィルム（より一般的には、樹脂フィルム）の表面に塗布した後に、得られたシート状の成形体を圧着治具１３２に装着することができる形状に加工することにより作製する。シート状の成形体の加工は、パンチ加工・レーザ加工等により行う。
【００３７】
｛導電材料膜の形成｝
続いて、超音波モータ１０２の製造に必要な複数のグリーンシートのうちの一部の表面に焼成により電極膜１１０，１１２，１１４，１１６，１１８，１２０となる導電材料膜を形成する（ステップＳ１０２）。導電材料膜は、導電材料の粉末等を分散媒に分散させたペーストをグリーンシートの表面にスクリーン印刷することにより行う。なお、スクリーン印刷以外の方法により導電材料膜を形成してもよい。
【００３８】
｛第１群の圧着治具１３２への装着｝
超音波モータ１０２の製造に必要な複数のグリーンシートの準備が完了した後に、図５に示すように、当該複数のグリーンシートのうちの導電材料膜が形成されたグリーンシートを含まない第１群１６２を圧着治具１３２へ装着する（ステップＳ１０３）。すなわち、第１群１６２が底板１３６と上板１３８との間に挟まれた状態となるように位置決め孔１５４，１５８，１６０に位置決めピン１４４を挿入する。これにより、突起台１４６に対する第１群１６２の広がり方向の移動が規制される。このとき、第１群１６２の最上部のグリーンシート１６２１の上面に、成形のときに使用したＰＥＴフィルム１６６を貼り付けたままにしておくことが望ましい。
【００３９】
｛第１群１６６の圧着｝
続いて、図５に示すように、上板１３８の上面から圧力を印加し、第１群１６２を突起台１４６の上面（突起形成面）に向かって押圧する（ステップＳ１０４）。これにより、第１群１６２は圧着されるとともに、第１群１６２の圧着体の下面に突起１５０の形状を転写した溝１６４が形成される。ここで、図５に示すように、第１群１６２の突起が圧入される下面とは反対側の上面にＰＥＴフィルム１６６を貼り付けたままの状態で第１群１６２の圧着を行えば、ＰＥＴフィルム１６６が緩衝材となって第１群１６２の圧着体の上面の平坦性を向上することができる、すなわち、突起１５０が圧入される位置における第１群１６２の圧着体の上面の盛り上がりを抑制することができるので、後述する第２群１６８の変形を抑制することができる。 ただし、このことは、ＰＥＴフィルム１６６を貼り付けたままの状態で第１群１６２の圧着を行うことが必須であることを意味しない。
【００４０】
｛第２群１６８の圧着治具１３２への装着｝
第１群１６２の圧着が終了した後に、超音波モータ１０２の製造に必要な複数のグリーンシートのうちの導電材料膜１７０が形成されたグリーンシートを含む第２群１６８を圧着治具１３２へ装着する（ステップＳ１０５）。すなわち、第１群１６２の圧着体の上に第２群１６８を重ね合わせたものが底板１３６と上板１３８との間に挟まれた状態となるように位置決め孔１５４，１５８，１６０に位置決めピン１４４を挿入する。これにより、突起台１４６に対する第２群１６８の広がり方向の移動が規制される。もちろん、ＰＥＴフィルム１６６を貼り付けたままの状態で第１群１６２の圧着を行った場合、第１群１６２の圧着体と第２群１６８とを重ね合わせる前にＰＥＴフィルム１６６を取り除いておく。なお、第２群１６８は、導電材料膜１７０が形成されたグリーンシートだけでなく、導電材料膜１７０が形成されていないグリーンシートを含んでいてもよい。
【００４１】
｛第２群１６８の圧着｝
続いて、図６に示すように、上板１３８の上面から圧力を印加し、第１群１６２の圧着体の上面に重ねられた第２群１６８を突起台１４６の上面に向かって押圧する（ステップＳ１０６）。これにより、超音波モータ１０２の製造に必要な複数のグリーンシートの圧着体が得られる。このように超音波モータ１０２の製造に必要な複数のグリーンシートを第１群１６２と第２群１６８とに分けて圧着すれば、第１群１６２の突起１５０が圧入される下面とは反対側の平坦な上面に第２群１６８が圧着されるので、第２群１６８の変形を抑制することができ、圧電／電歪セラミックス積層体１０４の厚さ方向に隣接する電極膜１１０，１１２，１１４，１１６，１１８，１２０の間隔の乱れを抑制することができる。
【００４２】
｛圧着体の焼成｝
第２群１６８の圧着が終了した後に、得られた複数のグリーンシートの圧着体を焼成する（ステップＳ１０７）。焼成は、圧着体をマグネシア製の鞘等に収容した状態で行うことが望ましい。
【００４３】
｛焼成体の切断｝
次に、焼成体をダイシングソー等で個々の圧電／電歪セラミックス積層体１０４に切断する（ステップＳ１０８）。
【００４４】
｛摺動体１０６，１０８の嵌合｝
最後に、複数のグリーンシートの突起形成面への押圧により形成された溝１２４，１２６に摺動体１０６，１０８を嵌合して（ステップＳ１０９）、図１〜図２に示す超音波モータ１０２が完成する。
【００４５】
このような溝１２４，１２６と同様の溝は、溝のない圧電／電歪セラミックス積層体の焼成体を作製した後に当該圧電／電歪セラミックス積層体を機械加工、例えば、切削加工・研削加工等することによっても製造することができる。ただし、機械加工の場合は、溝を形成する位置のずれが起こりやすく、特に、外部から視認することができない内部の電極膜に対する位置のずれが起こりやすい。加えて、機械加工の場合は、溝の深さのばらつきも起こりやすい。これに対して、突起台１４６に対する広がり方向の移動が規制されたグリーンシートを突起台１４６の上面に向かって押圧し、グリーンシートに突起１５０を圧入することを経て溝１２４，１２６を形成すると、溝１２４，１２６が形成される位置のずれを抑制することができるので、ステージを摺動運動させる摺動体１０６，１０８の位置のずれを抑制することができる。これにより、不要な固有振動モードの発生を抑制することができ、摺動体１０６，１０８の楕円運動の乱れを防ぐことができる。また、このような溝１２４，１２６の形成方法には、溝１２４，１２６の深さのばらつきを抑制することができるという利点もある。
【００４６】
実際に実験を行ったところ、ダイシングソーによる切削加工で溝を形成した場合には、溝の平面位置のばらつきが３σ＝３０μｍ、溝の深さのばらつきが３σ＝１５μｍであったのに対して、上述の方法で溝を形成した場合には、溝の平面位置のばらつきが３σ＝１５μｍ、溝の深さのばらつきが３σ＝３μｍと著しく改善された。ここで、「σ」は、標準偏差をあらわしている。
【００４７】
さらに加えて、上述の溝の形成方法には、砥石の磨耗等によるランニングコストが発生しないという利点もある。
【００４８】
なお、上述の説明では、第１群１６２の圧着及び第２群１６８の圧着を各々１回で行ったが、第１群１６２の圧着及び第２群１６８の圧着を各々２回以上に分けて行ってもよい。
【００４９】
この発明は詳細に説明されたが、上述した説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】望ましい実施形態に係る超音波モータの概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１のA-Aに沿う超音波モータの断面図である。
【図３】圧着治具の斜視図である。
【図４】超音波モータの製造方法を説明するフローチャートである。
【図５】超音波モータの製造方法を説明する断面図である。
【図６】超音波モータの製造方法を説明する断面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０２  超音波モータ
１０４  圧電／電歪セラミックス積層体
１１０，１１２，１１４，１１６，１１８，１２０  電極膜
１２４，１２６  溝
１０６，１０８  摺動体
１３２  圧着治具
１３４  突起付きピン台
１３６  底板
１３８  上板
１５０  突起
１６２  第１群
１６８  第２群
１９２  グリーンシート群
【図１】
0005249620.tif 000002
【図２】
0005249620.tif 000003
【図３】
0005249620.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0005249620.tif 000007