(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非線形な温度依存性を有するセンサの検出出力を受ける入力部と、前記センサがその検出出力に温度依存性を発現する温度変化と同期した形態での温度を検出して該温度の関数を発生するように設けられた関数発生回路と、前記入力部で受けた検出出力を増幅する縦続接続された複数段の増幅器と、を含む温度補正装置であって、
前記関数発生回路は、前記センサの検出出力に係る非線形の温度依存性に対応する温度の関数を発生するように自己の所定の回路定数が可変設定可能に構成され、
前記複数段の増幅器のうち所定の一の増幅器は、前記関数発生回路の出力に基づいて前記センサの検出出力に関するオフセット調整を行なうように構成され、
前記複数段の増幅器のうち所定の他の増幅器は、前記関数発生回路の出力に基づいて前記センサの検出出力に関する感度調整を行なうように構成され、
前記関数発生回路は、温度に関する２次関数を発生する２次関数発生回路であり、
前記センサの検出出力に温度依存性を発現させる温度変化と同期した形態での温度変化を検出して該検出された値に対応して温度の１次関数の出力を得る１次関数発生部と、前記１次関数発生部の出力に基づいて温度に関する２次関数を発生する２次関数発生部と、前記１次関数発生部および前記２次関数発生部の各出力を合成した２次関数を得る合成回路部と、を備えていることを特徴とする温度補正装置。
【請求項２】
前記２次関数発生回路は、前記１次関数発生部、前記２次関数発生部、および、前記合成回路部の出力を選択的に出力するための切換え回路部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の温度補正装置。
【請求項３】
前記所定の一の増幅器は、所定の基準温度における出力のオフセット値を設定するための固有オフセット設定回路から固有オフセット設定信号の供給を受けて固有オフセットに対応する出力レベルが調整されるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の温度補正装置。
【請求項４】
前記所定の他の増幅器は、所定の基準温度における出力の感度値を設定するための固有感度設定回路から固有感度設定信号の供給を受けて固有感度に対応するゲインが設定されるように構成された可変ゲインアンプであることを特徴とする請求項１に記載の温度補正装置。
【請求項５】
前記関数発生回路の出力を前記所定の他の増幅器のゲインを制御するに適合するコードに変換して前記所定の他の増幅器にゲイン制御信号として供給する感度温特補正回路が更に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の温度補正装置。
【請求項６】
前記入力部に前記センサの検出出力と所定の調整用模擬信号とを選択的に切り換えて供給する調整用入力切換え回路を更に備えていることを特徴とする請求項１に記載の温度補正装置。
【請求項７】
前記所定の一の増幅器は、前記所定の他の増幅器よりも前段に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の温度補正装置。
【請求項８】
前記所定の一の増幅器は、前記所定の他の増幅器よりも後段に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の温度補正装置。
【請求項９】
環境温度の２次関数で表される温度依存性を有するセンサの検出出力に対し、前記センサの検出出力を伝達する信号伝達系の伝達特性を制御して温度補正された補正検出出力を得るようにし、前記伝達特性の制御を、前記センサの検出出力に温度依存性を発現させる温温度変化と同期した形態での温度を検出して該温度に基づく補正用２次関数を用いて、前記センサの検出出力および前記信号伝達系の特性を含む温度依存性を補正するように実行し、
前記補正用２次関数の設定は、前記信号伝達系の伝達特性を定常に設定して前記センサによる測定対象の測定スパン内の基準値を前記センサに印加して異なる３点の温度におけるセンサのオフセット値をそれぞれ得るセンサオフセット値取得工程と、
前記信号伝達系の伝達特性を定常に設定して前記センサによる測定対象の測定スパン内の上限値を前記センサに印加して異なる３点の温度におけるセンサの感度特性値をそれぞれ得るセンサ感度特性値取得工程と、
前記信号伝達系の伝達特性を前記補正用２次関数によって伝達特性が制御される２次関数制御状態に設定し且つ前記信号伝達系に前記センサの検出出力に替えて前記基準値に対応するレベルの模擬オフセット信号を印加して異なる３点の温度における前記信号伝達系のオフセット値をそれぞれ得る信号伝達系オフセット値取得工程と、
前記信号伝達系の伝達特性を前記補正用２次関数によって伝達特性が制御される２次関数制御状態に設定し且つ前記信号伝達系に前記センサの検出出力に替えて前記上限値に対応するレベルの模擬感度特性信号を印加して異なる３点の温度における前記信号伝達系の感度特性値をそれぞれ得る信号伝達系感度特性値取得工程と、
前記センサオフセット値取得工程および前記センサ感度特性値取得工程によって取得した各値に基づいて算出される各係数による前記センサの温度依存性に関するセンサ温度依存性２次関数と、前記信号伝達系オフセット値取得工程および前記信号伝達系感度特性値取得工程において取得した各値に基づいて算出される各係数による前記信号伝達系の温度依存性に関する信号伝達系温度依存性２次関数と、が相互に相殺する温度依存特性を呈するように調整された前記補正用２次関数の各係数を算出する係数算出工程とを含むことを特徴とする温度補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、歪みや圧力その他の物象の状態の量の計測に適用される温度補正装置及び温度補正方法に係るものであり、より詳細には、非線形の温度依存性を有するセンサの検出出力に関しオフセット調整および感度調整等を含む温度補正を行なう温度補正装置および温度補正方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えばストレインゲージ或いは半導体圧力センサを含んで構成されるブリッジ回路を有する計測回路（圧力、応力、加重等を検出する計測回路）の出力は、非線形の温度依存性を有することが良く知られている。
この温度依存性によって、検出出力のオフセット及び感度が影響を受けて検出出力に誤差が生じる。
従って、このような計測回路を用いて測定を行うに際しては、個々のセンサによる検出出力の温度特性に起因して生じる誤差を何等かの方法によって補正する必要があり、従来より種々の装置や方法が提案されている。
例えば、特許文献１に開示された圧力センサ温度補正回路も、上述のような誤差を補正するための装置である。
【０００３】
特許文献１には、圧力センサおよび複数個の抵抗のブリッジ接続を有する計測回路における該圧力センサの温度依存性に起因する検出の感度およびオフセットの誤差を補正するための圧力センサ温度補正回路が開示されている。
この圧力センサ温度補正回路では、圧力センサの使用温度範囲内における、感度或いはオフセットの温度特性の勾配成分の平均値を算出し、その平均値を打ち消す勾配補正値を得て、該勾配補正値により感度およびオフセットの誤差を補正する。
【０００４】
即ち、圧力センサの環境温度に関し任意の２点の温度間の温度特性の勾配成分に基づいて勾配補正値を求め、更に、圧力センサの使用温度範囲内における温度特性と勾配成分の平均値と正負のずれが略同一となるように、感度或いはオフセットの温度特性に関しそれの近似特性を得るための切片成分について、圧力センサの任意の２点の温度における検出信号の大きさによって初期補正値を求め、勾配補正値と初期補正値とに基づいて圧力センサの検出信号を補正することができると開示されている。
【０００５】
また一方、特許文献２には、歪ゲージで構成されたブリッジ回路の一方の出力端子とグランド間の温度に応じて変化する感温電圧源と補償抵抗からなる感温電圧回路を設け、オフセット温度ドリフト補償を行うに際し、感温電圧源の出力電圧Ｖ０をＶ０＝ＫＶＳ(１＋αＴ)｛Ｋ:パラメータ、ＶＳ:入力電源の電圧、α:感温電圧源の温度依存性｝と定義し、補償対象となるオフセット温度ドリフト特性、および、歪ゲージの温度特性に応じて、感温電圧源の出力電圧値、その温度依存性及び補償抵抗値を選択することによって、補償対象となるオフセット値の温度特性をキャンセルし、補償誤差を低減するようにした半導体歪センサのオフセット温度ドリフト補償方法が提案されている。温度に関する２次の項に関する成分に及んで補償誤差を低減することが出来る趣旨の開示がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１所載の圧力センサ温度補正回路を用いると、２次温度変動成分に対しての補正方法が正負の1次変動の組み合わせであるため、２次曲線分に対する補正誤差が生じ、高精度化を図ることは原理的に困難であるといった問題がある。
また、特許文献１の技術では、任意の３点を測定することにより補正を行っているが、３つの測定点は所定の温度間隔（例えば、低温、室温、高温）を持つように設定しなくてはならないため、文字通りに任意の３点とはいえないため、測定点相互間の温度差が大きくなってしまう。このため、測定時間（調整段階で温度を設定するための時間）がかかり、このような温度設定時間の増大が、ひいてはコストアップを招来するといった問題を生じさせる。
【０００７】
また一方、特許文献２所載のオフセット温度ドリフト補償方法では、温度に関する２次の項に関する成分に及んで補償誤差を低減することが出来るのはセンサ（半導体歪センサ）自体の温度補償誤差に関する限りである。
即ち、通常のこの種のセンサにおける使用状況のように後段の増幅回路等を含む計測回路全体における温度特性を補償することについては技術課題としての視点が向けられておらず、従って、この視点での解決手段に関する開示が無い。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑み、センサ部およびその後段の増幅回路等を含む計測回路全体における温度特性を補償し、オフセット及び感度の誤差を十分に縮小できる温度補正回路および温度補正方法を提供することを目的とする。
尚、本発明に関し、オフセットとは、歪みや圧力その他の計測対象（検出対象）である物象の状態の量が０の点における検出値（検出信号のレベル）を示すものであり、感度とは、印加される上記の計測対象（検出対象）である物象の状態の量の計測範囲（スパン）における上限をセンサ部に印加としたときの検出値（検出信号のレベル傾き）であって検出信号の傾きに相応する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するべく、本願では次に列記するような技術を提案する。
本発明の請求項１の温度補正装置は：
非線形な温度依存性を有するセンサの検出出力を受ける入力部と、前記センサがその検出出力に温度依存性を発現する温度変化と同期した形態での温度を検出して該温度の関数を発生するように設けられた関数発生回路と、前記入力部で受けた検出出力を増幅する縦続接続された複数段の増幅器と、を含む温度補正装置であって、
前記関数発生回路は、前記センサの検出出力に係る非線形の温度依存性に対応する温度の関数を発生するように自己の所定の回路定数が可変設定可能に構成され、
前記複数段の増幅器のうち所定の一の増幅器は、前記関数発生回路の出力に基づいて前記センサの検出出力に関するオフセット調整を行なうように構成され、
前記複数段の増幅器のうち所定の他の増幅器は、前記関数発生回路の出力に基づいて前記センサの検出出力に関する感度調整を行なうように構成され、
前記関数発生回路は、温度に関する２次関数を発生する２次関数発生回路であり、
前記センサの検出出力に温度依存性を発現させる温度変化と同期した形態での温度変化を検出して該検出された値に対応して温度の１次関数の出力を得る１次関数発生部と、前記１次関数発生部の出力に基づいて温度に関する２次関数を発生する２次関数発生部と、前記１次関数発生部および前記２次関数発生部の各出力を合成した２次関数を得る合成回路部と、を備えていることを特徴とする。
【００１０】
上記請求項１の温度補正装置では、例えば半導体圧力センサのような非線形な温度依存性を有するセンサの検出出力を受ける入力部と、前記センサがその検出出力に温度依存性を発現する温度変化と同期した形態での温度を検出して該温度の関数を発生するように設けられた関数発生回路と、前記入力部で受けた検出出力を増幅する縦続接続された複数段の増幅器と、を含んで構成される。
【００１１】
前記関数発生回路は、自己の所定の回路定数が可変設定されることによって、前記センサの検出出力に係る非線形の温度依存性に対応する温度の関数を発生する。
また、前記縦続接続された複数段の増幅器のうち所定の一の増幅器は、上述のような関数発生回路の出力に基づいて前記センサの検出出力に関するオフセット調整を行なう。
更に、前記縦続接続された複数段の増幅器のうち所定の他の増幅器は、前記関数発生回路の出力に基づいて前記センサの検出出力に関する感度調整を行なう。
【００１２】
以上により、前記センサ自体の検出出力に係る非線形の温度依存性、および、前記関数発生回路の出力が反映される縦続接続された複数段の増幅器による回路部が持つ非線形の温度依存性の双方が相殺し会って、センサ部およびその後段の増幅回路等を含む計測回路全体における温度依存性に起因するオフセットおよび感度双方の誤差が極小となるような温度補償が可能になる。
【００１３】
また、前記関数発生回路は、温度に関する２次関数を発生する２次関数発生回路であるため、センサ部およびその後段の増幅回路等を含む計測回路全体における温度依存性に起因するオフセットおよび感度双方の誤差が温度に係る２次の項に関する成分に及んで極小となるような高精度の温度補償が可能になる。
【００１５】
さらに、前記２次関数発生回路は、その１次関数発生部が、前記センサの検出出力に温度依存性を発現させる温度変化と同期した形態での温度変化を検出して該検出された値に対応して温度の１次関数の出力を得る。
また、２次関数発生部が、上述のような１次関数発生部の出力に基づいて温度に関する２次関数を発生する。
更に、合成回路部が、上述のような１次関数発生部の出力および２次関数発生部の各出力を合成した２次関数を得る。
以上により、合成回路部の出力として、前記センサの検出出力に温度依存性を発現させる温度変化と同期した形態での温度変化に関する２次関数が得られる。
【００１６】
本発明の請求項２の温度補正装置は：
請求項１の温度補正装置において、前記２次関数発生回路は、前記１次関数発生部、前記２次関数発生部、および、前記合成回路部の出力を選択的に出力するための切換え回路部を備えていることを特徴とする。
上記請求項２の温度補正装置では、切換え回路部を所要に応じて切り換えることによって、前記１次関数発生部、前記２次関数発生部、および、前記合成回路部の出力が選択的に出力されるため、１次および２次の項を含む２次関数を所定の形に設定する過程で、１次の項、および、２次の項、を独立に扱うことが可能になり、各項の係数の値を割り出すことが可能になる。
【００１７】
本発明の請求項３の温度補正装置は：
請求項１の温度補正装置において、前記所定の一の増幅器は、所定の基準温度における出力のオフセット値を設定するための固有オフセット設定回路から固有オフセット設定信号の供給を受けて固有オフセットに対応する出力レベルが調整されるように構成されていることを特徴とする。
上記請求項３の温度補正装置では、前記所定の一の増幅器は、前記関数発生回路の出力に基づいて前記センサの検出出力に関するオフセット調整を行なう一方、所定の基準温度における出力のオフセット値を設定するための固有オフセット設定回路から固有オフセット設定信号の供給を受けて固有オフセットに対応する出力レベルを調整するため、該調整によって、本温度補正装置における計測のスパンにおけるオフセット値を適正なレベルに設定することができる。
【００１８】
本発明の請求項４の温度補正装置は：
請求項１の温度補正装置において、前記所定の他の増幅器は、所定の基準温度における出力の感度値を設定するための固有感度設定回路から固有感度設定信号の供給を受けて固有感度に対応するゲインが設定されるように構成された可変ゲインアンプであることを特徴とする。
上記請求項４の温度補正装置では、前記所定の他の増幅器は、前記関数発生回路の出力に基づいて前記センサの検出出力に関する感度調整を行なう一方、所定の基準温度における出力の感度値を設定するための固有感度設定回路から固有感度設定信号の供給を受けて固有感度に対応するゲインを設定するため、該ゲインの設定によって、本温度補正装置における計測のスパンにおけるフルスケール値を適正なレベルに設定することができる。
【００１９】
本発明の請求項５の温度補正装置は：
請求項１の温度補正装置において、前記関数発生回路の出力を前記所定の他の増幅器のゲインを制御するに適合するコードに変換して前記所定の他の増幅器にゲイン制御信号として供給する感度温特補正回路が更に設けられていることを特徴とする。
上記請求項５の温度補正装置では、前記感度温特補正回路によって、前記関数発生回路の出力が前記所定の他の増幅器のゲインを制御するに適合するコードに変換されて前記所定の他の増幅器にゲイン制御信号として供給される。
このため、前記所定の他の増幅器において、前記関数発生回路の出力に基づく前記センサの検出出力に関する感度調整が確実に行なわれる。
【００２０】
本発明の請求項６の温度補正装置は：
請求項１の温度補正装置において、前記入力部に前記センサの検出出力と所定の調整用模擬信号とを選択的に切り換えて供給する調整用入力切換え回路を更に備えていることを特徴とする。
上記請求項６の温度補正装置では、前記調整用入力切換え回路によって、前記入力部に前記センサの検出出力と所定の調整用模擬信号とが選択的に切り換えて供給される。このため、前記センサ（センサを含む例えばブリッジ回路）とその後段の増幅回路部分とを一体にしたままで、本来の計測を行なうに先立って温度補償のための調整を的確に行い、所要の関数を設定した上で、本来の計測を行なう状態に移行することができる。
【００２１】
本発明の請求項７の温度補正装置は：
請求項１の温度補正装置において、前記所定の一の増幅器は、前記所定の他の増幅器よりも前段に設けられていることを特徴とする。
上記請求項７の温度補正装置では、所定の一の増幅器によるオフセット調整が感度調整に先行して行なわれる。
本発明の請求項８の温度補正装置は：
請求項１の温度補正装置において、前記所定の一の増幅器は、前記所定の他の増幅器よりも後段に設けられていることを特徴とする。
上記請求項８の温度補正装置では、前記所定の他の増幅器による感度調整が先行して行なわれてから、所定の一の増幅器によるオフセット調整が後続して行なわれる。
【００２４】
本発明の請求項９の温度補正方法は：
環境温度の２次関数で表される温度依存性を有するセンサの検出出力に対し、前記センサの検出出力を伝達する信号伝達系の伝達特性を制御して温度補正された補正検出出力を得るようにし、前記伝達特性の制御を、前記センサの検出出力に温度依存性を発現させる温温度変化と同期した形態での温度を検出して該温度に基づく補正用２次関数を用いて、前記センサの検出出力および前記信号伝達系の特性を含む温度依存性を補正するように実行し、
前記補正用２次関数の設定は、前記信号伝達系の伝達特性を定常に設定して前記センサによる測定対象の測定スパン内の基準値を前記センサに印加して異なる３点の温度におけるセンサのオフセット値をそれぞれ得るセンサオフセット値取得工程と、
前記信号伝達系の伝達特性を定常に設定して前記センサによる測定対象の測定スパン内の上限値を前記センサに印加して異なる３点の温度におけるセンサの感度特性値をそれぞれ得るセンサ感度特性値取得工程と、
前記信号伝達系の伝達特性を前記補正用２次関数によって伝達特性が制御される２次関数制御状態に設定し且つ前記信号伝達系に前記センサの検出出力に替えて前記基準値に対応するレベルの模擬オフセット信号を印加して異なる３点の温度における前記信号伝達系のオフセット値をそれぞれ得る信号伝達系オフセット値取得工程と、
前記信号伝達系の伝達特性を前記補正用２次関数によって伝達特性が制御される２次関数制御状態に設定し且つ前記信号伝達系に前記センサの検出出力に替えて前記上限値に対応するレベルの模擬感度特性信号を印加して異なる３点の温度における前記信号伝達系の感度特性値をそれぞれ得る信号伝達系感度特性値取得工程と、
前記センサオフセット値取得工程および前記センサ感度特性値取得工程によって取得した各値に基づいて算出される各係数による前記センサの温度依存性に関するセンサ温度依存性２次関数と、前記信号伝達系オフセット値取得工程および前記信号伝達系感度特性値取得工程において取得した各値に基づいて算出される各係数による前記信号伝達系の温度依存性に関する信号伝達系温度依存性２次関数と、が相互に相殺する温度依存特性を呈するように調整された前記補正用２次関数の各係数を算出する係数算出工程とを含むことを特徴とする。
【００２５】
上記請求項９の温度補正方法では、環境温度の２次関数で表される温度依存性を有するセンサの検出出力に対し、前記センサの検出出力を伝達する信号伝達系の伝達特性を制御して温度補正された補正検出出力を得る。
この場合、前記伝達特性の制御を、前記センサの検出出力に温度依存性を発現させる温温度変化と同期した形態での温度変化に対応するように設定した補正用２次関数を用いて、前記センサの検出出力および前記信号伝達系の特性を含む温度依存性を補正するように実行する。
このため、センサ部およびその後段の増幅回路等を含む計測回路全体の特性における温度依存性が温度の２次の項に関する成分に及んで補償され、オフセット及び感度の誤差が高い精度で縮小される。
【００２７】
また、前記補正用２次関数の設定は：
前記信号伝達系の伝達特性を定常に設定して前記センサによる測定対象の測定スパン内の基準値を前記センサに印加して異なる３点の温度におけるセンサのオフセット値をそれぞれ得るセンサオフセット値取得工程と、
前記信号伝達系の伝達特性を定常に設定して前記センサによる測定対象の測定スパン内の上限値を前記センサに印加して異なる３点の温度におけるセンサの感度特性値をそれぞれ得るセンサ感度特性値取得工程と、
前記信号伝達系の伝達特性を前記補正用２次関数によって伝達特性が制御される２次関数制御状態に設定し且つ前記信号伝達系に前記センサの検出出力に替えて前記基準値に対応するレベルの模擬オフセット信号を印加して異なる３点の温度における前記信号伝達系のオフセット値をそれぞれ得る信号伝達系オフセット値取得工程と、
前記信号伝達系の伝達特性を前記補正用２次関数によって伝達特性が制御される２次関数制御状態に設定し且つ前記信号伝達系に前記センサの検出出力に替えて前記上限値に対応するレベルの模擬感度特性信号を印加して異なる３点の温度における前記信号伝達系の感度特性値をそれぞれ得る信号伝達系感度特性値取得工程と、
前記センサオフセット値取得工程および前記センサ感度特性値取得工程によって取得した各値に基づいて算出される各係数による前記センサの温度依存性に関するセンサ温度依存性２次関数と、前記信号伝達系オフセット値取得工程および前記信号伝達系感度特性値取得工程において取得した各値に基づいて算出される各係数による前記信号伝達系の温度依存性に関する信号伝達系温度依存性２次関数と、が相互に相殺する温度依存特性を呈するように調整された前記補正用２次関数の各係数を算出する係数算出工程とを含む。
【００２８】
このため、前記補正用２次関数が、前記センサ単体での検出出力に関する温度依存性と前記センサの後段の信号伝達系自体の伝達特性に関する温度依存性とが相殺されるように作用して、前記センサおよび前記信号伝達系を含む計測回路全体の検出特性に係る温度依存性が高精度で抑制される。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、センサ部およびその後段の増幅回路等を含む計測回路全体における温度特性を補償し、オフセット及び感度の誤差を十分に縮小できる温度補正回路および温度補正方法が具現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下に、図面を参照して本発明の実施の形態について詳述することにより本発明を明らかにする。
図１は、センサ部およびその後段の本発明の実施の形態としての温度補正回路を含む計測回路を表す機能ブロック図である。
この計測回路１０は、歪みや圧力その他の物象の状態の量の計測に適用されるものであり、特に、非線形の温度依存性を有するセンサの検出出力に関しオフセット調整および感度調整等を含む温度補正を行なう本発明の温度補正装置１００を適用している。
【００３１】
ストレインゲージ或いは半導体圧力センサを含んで構成されるそれ自体は周知のブリッジ回路ＳＢは、その検出出力に非線形な温度依存性を呈する。
ブリッジ回路ＳＢの出力は、温度補正装置１００の入力部１１０の両入力端子１１１および１１２に接続され、この温度補正装置１００を通して補正された検出出力を得る。
入力部１１０の後段側には両入力端子１１１および１１２に各対応するスイッチＳＷ１１およびＳＷ２１を通して３段縦続接続された可変ゲインアンプ１２０、１３０、および、１４０が設けられている。
【００３２】
スイッチＳＷ１１およびＳＷ２１の後段側には、これらのスイッチＳＷ１１およびＳＷ２１がオフされたときに、ブリッジ回路ＳＢからの入力に替えて模擬信号発生装置ＭＣから、計測回路１００で想定している、例えば計測のスパンにおける基準値（例えば、被計測量としての圧力がセンサに印加されていない状態等）に相当する信号レベルである基準電圧および上記スパンにおける上下限値に相当する信号レベルである＋５０ｍＶ，−５０ｍＶがスイッチＳＷ２１およびスイッチＳＷ２２によって切り換えられて、可変ゲインアンプ１２０に供給されるように構成されている。
【００３３】
初段の可変ゲインアンプ１２０は、バッファアンプであり、次段の可変ゲインアンプ１３０と更に次の可変ゲインアンプ１４０は、それらに対して関数発生回路１５０からの制御信号が供給されて、オフセット調整および感度調整を行なう。
図示の例では、関数発生回路１５０は２次関数発生回路であり、センサ（ブリッジ回路）ＳＢがその検出出力に温度の２次関数で表される非線形な温度依存性を発現する温度変化と同期した形態での温度を検出して該温度の関数を発生するが、この２次関数発生回路１５０については、後に図２を参照して詳述する。
【００３４】
即ち、可変ゲインアンプ１３０は、上述のような関数発生回路（２次関数発生回路）１５０の出力がスイッチＳＷ３１を介して供給され、該供給された出力に基づいてセンサ（ブリッジ回路）ＳＢの検出出力に関するオフセット調整を行なう。
また、可変ゲインアンプ１４０は、関数発生回路（２次関数発生回路）１５０の出力が、後述する感度温特補正回路１６０およびスイッチＳＷ４１を介して供給され、該供給された出力に基づいての出力に基づいてセンサ（ブリッジ回路）ＳＢの検出出力に関する感度調整を行なう。
【００３５】
尚、可変ゲインアンプ１３０は、固有オフセット調整回路１３１からの制御信号が供給されて固有オフセットの調整が行なわれる。
また、可変ゲインアンプ１４０は、固有感度調整レジスタ１４１からの制御信号が供給されて固有感度の調整が行なわれる。
更に、本温度補正装置１００には、更に、メモリ１７０が設けられ、後述する関数発生回路（２次関数発生回路）１５０の各係数（回路定数）を所要の値に設定する場合の設定値がこのメモリ１７０に保持されるようになされている。
【００３６】
図２は、図１の本温度補正装置１００における関数発生回路（２次関数発生回路）１５０の構成を表す機能ブロック図である。
図２では図１の関数発生回路（２次関数発生回路）１５０に、改めて参照符号２００を割り当てて示してある。
１次関数発生部２１０と、１次関数発生部２１０出力を増幅する１次関数ゲイン回路２１１と、１次関数発生部２１０の出力に基づいて２次関数を発生する２次関数発生部２２０と、２次関数発生部２２０の出力を増幅する２次関数ゲイン回路２２１と、１次関数ゲイン回路２１１および２次関数ゲイン回路２２１の各出力を加算する加算回路２３０を含んで構成される。
【００３７】
１次関数発生部２１０は、少なくとも、図１における計測回路１０が計測に用いられる状態および計測に用いられるに先立って関数発生回路（２次関数発生回路）１５０の関数における各係数を設定する段階においては、センサ（ブリッジ回路）ＳＢがその検出出力に温度依存性を発現する温度変化と同期した形態での温度変化に対応した温度を検出可能なように配される。
【００３８】
上述のように配された１次関数発生部２１０は、センサ（ブリッジ回路）ＳＢの環境温度と同様の温度変化を受けて、このような温度変化に関する１次関数に相応するアナログ電圧出力を発生するように構成されている。
また、２次関数発生部２２０は、上述のような１次関数に相応する１次関数発生部２１０の出力を受けて温度の2次関数に相応するアナログ電圧出力を発生するように構成されている。
【００３９】
各関数発生のための回路は、例えば、再公表特許公報W02004/025824所載の本出願人による提案の如くに構成することができる。
１次関数発生部２１０の出力はスイッチＳＷ２１０を介して加算回路２３０に供給され、一方、２次関数発生部２２０の出力はスイッチＳＷ２２０を介して加算回路２３０に供給されるように構成されている。加算回路２３０へのこれらの信号供給については後述するように、実際には、各所定のゲインが乗ぜられた信号が供給される。
【００４０】
以下、各部の信号波形図を参照しつつ、図２の２次関数発生回路２００の作用について説明する。
図３は図２の２次関数発生回路２００の各部の信号波形を表す図である。図２の１次関数発生部２１０の出力（Ａ点）は、図３（ａ）に表されているように、1次の温度特性をもつ信号であり、それぞれ２次関数発生部２２０、1次関数ゲイン回路２１１に入力される。
また、２次関数発生部２２０の出力（Ｂ点）は、数式（１）に示すような出力信号であり、図３（ｂ）に表されているような波形を呈する。即ち、図３（ｂ）における波形は、２次関数発生部２２０からの出力信号（Ｂ点）であって、温度変化に対して２次関数的にアナログ出力電圧が変化する。
【００４１】
【数１】
0005128910.tif 000002
【００４２】
このＢ点の出力が２次関数ゲイン回路２２１（ゲイン=ｇ）に入力される。このため、  ２次関数ゲイン回路２２１の出力（Ｃ点）では、数式（１）に対してゲインgが乗算された数式（２）に示す出力、即ち図３（ｃ）に表されている出力を得る。ここで数式（１）の係数ａ,b,cは任意の値でよい。
【００４３】
【数２】
0005128910.tif 000003
【００４４】
図３（ｃ）の実線は、２次関数ゲイン回路２１１からの出力信号（Ｃ点）であって、２次関数発生部２２０からの出力信号をゲインｇで増幅した信号であり、温度変化に対して２次関数的にアナログ出力電圧が変化する。ここで、ゲインｇの大きさはレジスタ等により所望の値に設定でき、正の値でも負の値でも良い。図３（ｃ）の複数の実線は、複数のゲインｇで増幅した信号を表す。
一方、１次関数ゲイン回路２１１の出力（点Ｄ）は、数式（３）に示すような出力信号であり、図３（ｄ）に表されているような波形を呈する。ここで数式（３）の係数eは任意の値でよい。
【００４５】
【数３】
0005128910.tif 000004
【００４６】
図３（ｄ）の実線は、１次関数発生部２１０からの出力信号、即ち図３（ａ）に表されているＡ点の信号をゲインｄで増幅した信号であり、温度変化に対して１次関数的にアナログレベルが変化する。ここで、ゲインｄの大きさはレジスタ等により所望の値に設定でき、正の値でも負の値でも良い。尚、図３(ｃ)の複数の実線は、複数のゲインｄで増幅した信号を表している。
次に、加算回路２３０により、２次関数発生部２２０からの出力信号（数式（２））にゲインｇを乗じた２次関数ゲイン回路２１１の出力信号（Ｃ点）、および、１次関数発生部２１０の出力（Ａ点）にゲインｄを乗じた１次関数ゲイン回路２１１の出力信号（Ｄ点：数式（３））を加算するこにより、関数発生回路２００の出力（Ｅ点）には、数式（４）に示す出力が得られる。
【００４７】
【数４】
0005128910.tif 000005
【００４８】
各部のゲインを含む回路定数を適切に選択することによって任意の２次関数を発生することができる。Ｅ点の出力は図３（ｅ）に表されているような波形を呈する。
加算回路２３０の出力信号（Ｅ点）は、２次関数ゲイン回路２２１の出力信号と１次関数ゲイン回路２１１の出力信号を加算した信号であり、温度変化に対して２次関数的にアナログ出力電圧が変化する。
【００４９】
例えば、２次関数ゲイン回路２２１の出力信号が温度変化に対して極小点をもつ（下に凸の）２次関数であり、１次関数ゲイン回路２１１の出力信号が温度変化に対して正の傾きをもつ１次関数であった場合、図の破線ｅｃ１に示すように、高温になるに従い急速に電圧が増加するような出力が得られる。
一方、２次関数ゲイン回路２２１の出力信号が極小点をもつ２次関数であり、１次関数ゲイン回路２１１の出力信号が温度変化に対して負の傾きをもつ１次関数であった場合は、図の点線ｅｃ２に示すように、低温になるに従い急速に電圧が増加するような出力が得られる。
【００５０】
他方、２次関数ゲイン回路２２１の出力信号が温度変化に対して極大点をもつ（上に凸の）２次関数であり、１次関数ゲイン回路２１１の出力信号が温度変化に対して正の傾きをもつ１次関数であった場合は、図の破線ｅｃ３に示すように、高温になるに従い急速に電圧が減少するような出力が得られる。
また、１次関数ゲイン回路２１１の出力信号が温度変化に対して傾きが０（温度依存しない）の１次関数であった場合は、図の実線ｅｃ４に示すように、２次関数ゲイン回路２２１の出力信号に対しオフセット分が加算された出力が得られる。
【００５１】
図４は、図３の１次関数ゲイン回路２１１および２次関数ゲイン回路２２１の構成例を表す回路図である。
１次関数ゲイン回路２１１および２次関数ゲイン回路２２１は何れも同様の回路構成を採ることができる。このため、図４では、このようなゲイン回路（増幅回路）に改めて代表的に参照符号４００を割り当てて示してある。
１次関数発生部２１０または２次関数発生部２２０からの出力信号を正転アンプ４１０の入力端に供給する。
正転アンプ４１０の出力端は反転アンプ４２０の入力端と抵抗４３０の一方の端子４３１とに接続され、正転アンプ４１０の出力端は抵抗４３０の他方の端子４３２に接続されている。
【００５２】
抵抗４３０は、その両端間の所望の接点を選択して出力を取り出せるように構成されており、その選択した接点より正転アンプ４１０の出力電圧と反転アンプ４２０の出力電圧との分圧出力が加算回路２３０（図２）へ供給される。
図４に例示されているゲイン回路（増幅回路）では、正および負の極性の信号を簡単に出力させることが可能であるだけでなく、素子の絶対値を考慮することなく所望のゲインを得ることができる。また、正転アンプ４１０にゲインＧを持たせることにより、図２の点Ｂの信号（２次関数発生部２２０からの出力信号）を、図３（ｂ）における破線図示の特性曲線のように拡大させることができ、調整範囲を拡大させることが可能になる。
【００５３】
以上、図２および図３を参照して説明した２次関数発生回路２００（図１：１５０）は、次に説明するような動作モードの切り換えを行なわない場合には、温度オフセット調整用、および、温度感度正の特性調整用、ならびに、温度感度負の特性調整用にそれぞれに必要となる。しかし、本発明の実施の形態では1回の計測を行なうに際し、一つの２次関数発生回路２００をその動作モードを切り換えて用いることにより、各別の調整用に２次関数発生回路２００を設ける必要がない。
【００５４】
図５は、一つの２次関数発生回路２００をその動作モードを切り換えて用いることにより、温度オフセット調整用、および、温度感度正の特性調整用、ならびに、温度感度負の特性調整用に適用する様子を説明するための図である。
図５に示すように、センサ（図１のブリッジ回路ＢＳ）によって例えば圧力等の測定対象について現実に測定を実施するに際して、先ずセンサの出力信号に関する極性の正負を判断する（図中「正負圧力判定」）。
【００５５】
この正負の判断が行われた後、２次関数発生回路２００（図１：１５０）は、センサ出力が正の場合は正の圧力用に設定された２次関数を出力し、センサ出力が負の場合は負の圧力用に設定された２次関数を出力し、その結果のアナログ出力をデジタルデータに変換して感度温特補正回路１６０（図１）に供給する。
感度温特補正回路１６０は上述のようにして供給されたデジタルデータを保持し、そのデジタルデータを感度調整用のゲイン回路である可変ゲインアンプ１４０に反映させる。
上述のような感度調整処理が完了した後、温度オフセット用としての関数発生回路に切り替わる。その後、通常の測定を行なう。
このように時間軸上で制御することにより、１つの回路で温度オフセット、温度感度の補正が可能となる。
【００５６】
図６は、本発明の温度補正装置の調整方法の手順を表すフローチャートである。
本実施の形態での調整では、環境温度を任意の３点に設定し、各温度における計測に基づいて２次関数発生回路における２次関数の各係数を算定する。
初回の計測に先立って、先ず測定回数ｎを１に設定する（ステップＳ６０１）。次いで測定回数ｎを確認する。初回であれば、ｎ＝１であることが認識される（ステップＳ６０２）。
次いで、ステップＳ６０２で認識された測定回数に応じて予定された環境温度に設定する。これは、例えば、公知の恒温槽などを用いて、本装置を収容したチャンバー内での温度を制御するようにして設定する（ステップＳ６０３）。
ｎ＝１、即ち、初回の計測においては、所定の基準温度であるに２５℃に設定し、温度が安定したら、出力電圧Voutにおいて固有オフセット及び固有感度が適正値となるように調整を行う（ステップＳ６０５）。
【００５７】
具体的には、固有オフセット調整及び固有感度調整の何れにおいても、スイッチＳＷ１１およびスイッチＳＷ１２をオン、スイッチＳＷ２１およびスイッチＳＷ２２をオフ、更に、スイッチＳＷ３１およびスイッチＳＷ４１をオフにして次のように調整する。
先ず、固有オフセット調整では、センサ（ブリッジ回路ＳＢ）には測定対象が印加されない印加０状態とし、出力電圧（出力電圧Vout）を測定しながら、次のように調整する。
【００５８】
即ち、固有オフセット調整回路１３１のアナログ出力電圧を調整し、このアナログ出力電圧を固有オフセット調整信号ＣＬ２として可変ゲインアンプ１３０に反映させるようにし、この状態で出力電圧Voutが所定の適正値となるように調整する。
次に、固有感度調整では、センサ（ブリッジ回路ＳＢ）にあるレベルを印加（圧力であれば、例えば１００ｋＰａ）し、固有感度調整レジスタ１４１に保管されている固有感度調整用のデジタル値を設定し、そのデジタル値を制御信号ＣＬ４として可変ゲインアンプ１４０に反映させ、この状態で出力電圧Voutが所定の適正値となるように制御信号ＣＬ４を調整する。
【００５９】
以上のようにして固有オフセット調整及び固有感度調整が完了すると、オフセット及び感度による回路内部の飽和を防ぐことができる。
以上の状態で、２５℃においての、センサ単体の温度オフセットVt25off_sensを測定し（ステップＳ６０５）、更にセンサ単体の温度感度Vt25sp_sensを測定する（ステップＳ６０６）。より詳細には次のとおりである。
センサ単体の温度オフセットを測定するステップＳ６０５では、スイッチＳＷ１１およびスイッチＳＷ１２をオンにし、スイッチＳＷ２１およびスイッチＳＷ２２をオフにし、且つ、可変ゲインアンプ１２０、可変ゲインアンプ１３０及び可変ゲインアンプ１４０の各ゲインは１に固定する。
【００６０】
ステップＳ６０５では、上述のような設定において、測定対象である圧力や加速度をセンサに印加しない０の状態としたときの出力電圧Voutの値Vt25off_sensを測定する。
一方、ステップＳ６０６の温度感度測定時は、スイッチの切り換えやゲインについてはステップＳ６０５と同様の設定において、測定対象である圧力や加速度を所定の基準値（予定のスパンの例えば上限値）に設定し、そのときの出力電圧Voutの変化量
Vt25sp_sensを測定する。
当初の測定（１回目）における設定された環境温度である基準温度２５℃において、先に設定した固有オフセット及び固有感度の調整値に相応した測定値が得られる。
【００６１】
次に、図２のスイッチＳＷ２１０をオフ、スイッチＳＷ２２０をオンにして、温度オフセットに関しての２次関数発生部２２０（図２）の出力が２次関数ゲイン回路２２１を介して出力される２次特性（図３（ｃ）の信号）に係る出力Vt25off2_icを測定する（ステップＳ６０７）。
次いで、図２のスイッチＳＷ２２０をオフ、スイッチＳＷ２１０をオンにして、１次関数発生部２１０が１次関数ゲイン回路２１１を介して出力する１次特性（図３（ｄ）の信号）に係る出力Vt25off1_icを測定する（ステップＳ６０８）。
【００６２】
このとき、図１におけるスイッチＳＷ２１およびスイッチＳＷ２２をオンにする一方スイッチＳＷ１１およびスイッチＳＷ１２をオフにして基準電圧側（例えば、センサにかかる圧力が０ｋＰａ状態の対応値）を選択し、スイッチＳＷ３１をオンしスイッチＳＷ４１をオフに設定する。
更に、可変ゲインアンプ１２０、可変ゲインアンプ１３０及び可変ゲインアンプ１４０のゲインはセンサ単体の温度オフセット及び温度感度の測定時と同じ１に固定する。
【００６３】
以上の設定で、ステップＳ６０８における温度オフセット測定では、測定対象である圧力や加速度をセンサに印加せず０としたときの条件に相応する（例えば、センサへの印加圧力が０ｋＰａ状態を再現した状態に相応する条件での）出力電圧Voutの値を測定する。
このときの出力電圧Voutは、可変ゲインアンプ１２０、可変ゲインアンプ１３０及び可変ゲインアンプ１４０のゲインが１なので、関数発生回路の出力V21が得られる。
【００６４】
次に、温度感度に関しても同様に測定を行う（ステップＳ６０９）。このとき、図１におけるスイッチＳＷ２１およびスイッチＳＷ２２をオンにする一方スイッチＳＷ１１およびスイッチＳＷ１２をオフにして基準電圧側（即ちフルスパン対応値である±５０mＶ）を選択し、スイッチＳＷ３１をオフしスイッチＳＷ４１をオンに設定して測定する。尚、フルスパン対応値である±５０mＶは一例であり、その他の適宜の値を設定することが可能である。この値は、ブリッジ回路ＳＢ（図１）からの入力に替えて模擬信号発生装置ＭＣから供給する電圧レベルであり、模擬信号発生装置ＭＣから可変設定可能に構成してもよい。
【００６５】
以上、ステップＳ６０２〜ステップＳ６１０の測定が１点の温度（本例では、既述の基準温度２５℃）における測定となる。
ステップＳ６１０に次いで、測定回数の値ｎをｎ＋１に設定し（ステップＳ６１１）、次のステップＳ６１２でｎが規定の測定回数３に達したか否かを判定し、ｎが規定の測定回数３に達していないときには（ステップＳ６１２：Ｎｏ）ステップＳ６０２に戻って測定を繰り返す。
この繰り返しにおいては、環境温度を、先の２５℃以外の任意の２点（例えば、２５℃±ΔＴ℃）にそれぞれ設定し、上述したところと同様に測定を行う。
以上の３点の温度による測定によって、センサの出力するオフセットは：
Vt25off_sens,  Vt25+Δtoff_sens,  Vt25-Δtoff_sensの結果が得られ、これらの測定された値を数式（５）に代入することで、αsoff、βsoff、γsoffの２次関数の係数が求められることになる。
【００６６】
【数５】
0005128910.tif 000006
【００６７】
感度についても同様の考え方で、数式（９）のαs、βs、γsの２次関数の係数が求められることとなる。
【００６８】
【数６】
0005128910.tif 000007
【００６９】
ｎが規定の測定回数３に達したときには（ステップＳ６１２：Ｙｅｓ）、次のステップＳ６１３に進んで、オフセットおよび感度に関する２次の係数および１次の係数の調整を実行する。
即ち、以上の３点の温度による測定によって、センサの出力するオフセットは、Vt25off_sens,Vt25+Δtoff_sens,Vt25-Δtoff_sensの結果が得られ、これらの測定された値を数式（５）に代入することで、αsoff、βsoff、γsoffの2次関数の係数が求められることになる。感度についても同様の考え方で、数式（９）のαs、βs、γsの2次関数の係数が求められることとなる。
以上の係数の算出の結果から、オフセット、感度それぞれについて、数式（６）、数式（７）、数式（１０）、数式（１１）となるようにgo、gp、do、dpを調整し、決定したらメモリ１７０（図１）に書き込み、さらに、数式（８）、数式（１２）となるように、固有オフセット回路、固有感度回路にて、Voff、Vpを調整し、決定したらメモリに書き込む。
【００７０】
【数７】
0005128910.tif 000008
【００７１】
【数８】
0005128910.tif 000009
【００７２】
【数９】
0005128910.tif 000010
【００７３】
【数１０】
0005128910.tif 000011
【００７４】
【数１１】
0005128910.tif 000012
【００７５】
【数１２】
0005128910.tif 000013
【００７６】
以上の操作によりオフセット及び感度の温度特性に対する補正が完了する。
補正後、メモリ１７０に書き込まれたgp、dpにより２次関数発生回路１５０のゲインを設定しその出力を感度温特補正回路１６０によりデジタルデータとして保持し、更にメモリ１７０に書き込まれたgo、doにより２次関数発生回路１５０のゲインを設定する。
以上においては、当初の測定を基準温度である２５℃に設定する場合を例示したが、任意の３点の温度での、センサのオフセット、感度、及び、回路の１次及び２次オフセット、１次及び２次感度を測定する考え方で問題はない。なぜなら、２次関数であることから３点測定することで数式（４）の各係数（go*a,gp*a,go*b+do,go*b+dp,go*c+e,gp*c+e）が求められるためである。
【００７７】
例えば、センサのオフセットの３点での結果求められる２次関数を、数式（５）とすると、前述した２次関数出力式、数式（４）の２次の係数go*a,１次の係数go*b+doに対して、数式（６）、数式（７）となるようにgo及びdoを調整すればよい。
センサのオフセットに関し、環境温度を３点に各設定したときの測定結果として求められる２次関数と、回路のオフセットに関し、環境温度を３点に各設定したときの測定結果として求められる２次関数とが逆の極性となり、センサの２次のオフセットの温特を打ち消すことができる。
【００７８】
回路の１次及び２次に関してそれぞれ測定する意味は、この係数の合致度を上げるためであり、あらゆる２次関数に対応するためである。
つまり、２次関数の２次係数は２次関数発生部２２０で調整し、２次関数の１次係数は、１次関数発生部２１０でそれぞれ調整することとなる。なぜなら、２次関数発生部２２０の出力は、数式（２）で示したように1次係数（g*b）を持ってしまうからである。そのため、２次及び１次関数発生回路の各出力をそれぞれVoutで測定し、２次及び１次関数発生回路の出力状態を知る必要がある。
【００７９】
求める２次関数の２次係数は、ゲインgで調整し、１次係数は、ゲインdでg*bの状態を考慮しつつ調整することとなる。以上の調整により２次及び１次の係数が調整されたこととなる。
数式（４）の０次の係数（go*c+e）に関しては、温度に依存しない係数であるため、一般的に知られるオフセット及び感度の調整方法(Voff、Vpを加減算)で、数式（８）となるように調整すればよい（ステップＳ６１４）。
【００８０】
また、感度についても同様の考え方であり、感度の場合は、上掲の、数式（９）、数式（１０）、数式（１１）、数式（１２）の通りである。
数式（４）の２次の係数gp*a、および、１次の係数gp*b+dpに関しては、数式（１０）、数式（１１）となるように、gp及びdpを調整すればよい（ステップＳ６１５）。
センサの感度に関し、温度３点でのそれぞれの測定の結果求められる２次関数と、回路の感度の温度３点でのそれぞれの測定結果求められる２次関数とが逆の極性となり、センサの２次の感度の温特を回路の感度の温特が丁度打ち消すように作用する。
以上の調整シーケンスによりセンサの温度補正が完了する。
【００８１】
以上、図６のフローチャートに適宜図１および図２の機能ブロック図を併せ参照して説明した如く、スイッチＳＷ１１、ＳＷ１２、ＳＷ２１、ＳＷ２２、ＳＷ３１、および、ＳＷ４１を切り換えることにより、２次関数の係数の設定に係る既述の各計測と、本来の計測を行なうに用いられる場合までが、センサから補正回路を経て計測結果の出力を得る回路部までを一連に接続した製品（図１の計測回路１０）として扱うことができる。
【００８２】
図７は、図１における従属接続された可変ゲインアンプ１２０、１３０、および、１４０およびその前段に設けられたスイッチ回路７１０の構成を表す回路図である。尚スイッチ回路７１０は、後述するように、図１のスイッチＳＷ１１とＳＷ１２とによるスイッチ回路とは若干異なる構成を採る。また、図７では、図１における可変ゲインアンプ１２０、１３０、および、１４０に対し、改めて、７２０、７３０、および、７４０の参照符号を割り当てている。
【００８３】
スイッチ回路７１０は、図示のようにセンサからの正極側入力正極側入力ＶＰおよび負極側入力ＶＮに対し、この入力の極性を維持した形で可変ゲインアンプ７２０に供給する入力ＶＰ側のスイッチＳＷ７１１および入力ＶＮ側のスイッチＳＷ７１２と、正極側入力ＶＰおよび負極側入力ＶＮに対し、この入力の極性を反転させて可変ゲインアンプ７２０に供給する入力ＶＰ側のスイッチＳＷ７１３および入力ＶＮ側のスイッチＳＷ７１４とを含んで構成されている。
【００８４】
スイッチ回路７１０において、これらスイッチＳＷ７１１、ＳＷ７１２、ＳＷ７１３、および、スイッチＳＷ７１４を、毎回の計測毎に、正極側入力ＶＰおよび負極側入力ＶＮの極性が反転されて可変ゲインアンプ７２０に供給されるような、所謂、チョッパー動作を行なうように制御されると、奇数回の計測と偶数回の計測では、可変ゲインアンプ７２０に供給される正極側入力ＶＰおよび負極側入力ＶＮ間の入力電圧の極性が反転することになる。
【００８５】
これに対して、７２０、７３０、および、７４０に関するオフセットレベルは、スイッチ回路７１０の切り換えの如何によらず定常である（温度が一定と仮定している）。
従って、奇数回の計測と偶数回の計測で符号の反転が起こる入力電圧にこのような符号の反転が起こらないオフセットレベルを加算した第１回目（奇数回目）の計測値であるVout１に対し、第２回目（偶数回目）計測値であるVout２をその極性を反転させて加算すると（即ち、Vout１からVout２を減算すると）、Voutの２倍の値が得られ、オフセットが相殺される。
【００８６】
Vout１からVout２を減算する回路はサンプルホールド回路の構成によって容易に実現できるため、結果的にスイッチ回路７１０をチョッパー動作を行なわせるように制御することによって、オフセットが除去された出力を得ることが可能になる。
可変ゲインアンプ７２０は供給された正極側入力ＶＰおよび負極側入力ＶＮ間の入力電圧をハイインピーダンスで受けるための一般的に使われる差動信号を増幅するための回路である。
この可変ゲインアンプ７２０は図示の可変抵抗ＲＥＳ１を適宜のレジスタからの制御信号ＣＬ１によって調整させることにより、容易にゲインを調整可能である。
可変ゲインアンプ７３０は、可変ゲインアンプ７２０の差動出力をある決められた電圧（ＶＢＡＳＥ）を基準としてシングル出力に変換する一般的に使われる反転増幅回路である。
【００８７】
この可変ゲインアンプ７３０で、センサの固有オフセット及び温度オフセットを補正するために、固有オフセット調整回路１３１（図１）の出力である固有オフセット調整信号ＣＬ２及び２次関数発生回路１５０で出力であるオフセット調整信号ＣＬ３を可変ゲインアンプ７２０から供給された信号に対して加減算している。
また可変ゲインアンプ７３０におけるは図示の可変抵抗ＲＥＳ２を適宜のレジスタの出力による制御信号で可変調整することにより、容易にゲインを調整することが可能である。
可変ゲインアンプ７４０は、固有感度及び温度感度を補正する回路であり、図に示すとおり一般的に知られる抵抗分割によりゲインの調整が行われる。固有感度調整部７４１は適宜のレジスタからの制御信号ＣＬ４により調整され、温度感度調整部７４２は、図１の感度温特補正回路１６０によって出力されたデータ（制御信号）ＣＬ５が供給される。
【００８８】
図８は、図１の温度補正装置における作用を説明するための図である。
図８（ａ）は温度オフセットのみの補正状態を示したものであり、実線はセンサ（ブリッジ回路ＳＢ）の温度オフセット出力、破線は２次関数発生回路１５０の出力、一点鎖線は２次のオフセットgo、doを調整した後の２次関数発生回路１５０の出力である。
図８（ａ）より容易に理解される通り、センサの温度オフセットの出力と、２次関数発生回路１５０の調整後の出力とが逆の極性となり、補正結果としてセンサの２次のオフセットの温特が打ち消されている。
【００８９】
図８（ｂ）は温度感度のみの補正状態を示したものであり、実線はセンサ（ブリッジ回路ＳＢ）の感度出力、破線は２次関数発生回路１５０の出力、一点鎖線は２次の温度gp、dpを調整した後の２次関数発生回路１５０の出力である。
図８（ｂ）より容易に理解される通り、センサの感度の出力と、２次関数発生回路１５０の調整後の出力とが逆の極性となり、補正結果としてセンサの２次の感度の温特が打ち消されている。
以上の補正方法について、３点の温度における測定結果としての２次関数に係る具体的な数値を用いて説明する。
センサの温度オフセット特性の２次関数を数式（１３）、温度感度を数式（１４）、２次関数発生回路１５０の２次関数（図２の２次関数発生部２２０の出力であるＣ点）を数式（１５）、１次関数（図２の１次関数ゲイン回路２１１の出力であるＤ点）を数式（１６）とする。
【００９０】
【数１３】
0005128910.tif 000014
【００９１】
【数１４】
0005128910.tif 000015
【００９２】
【数１５】
0005128910.tif 000016
【００９３】
【数１６】
0005128910.tif 000017
【００９４】
温度オフセットについて説明する。
センサの温度オフセット２次係数は0.0005であるので、求められた２次関数発生部２２０の２次関数出力に対して0.5倍する。計算結果は、数式（１７）のようになる。
【００９５】
【数１７】
0005128910.tif 000018
次にセンサの１次係数は-0.01であるので、数式（１７）の１次係数と求められた１次関数の係数から数式（１８）が成立し、１次関数に対して-0.4倍することとなる（数式（１９））。
【００９６】
【数１８】
0005128910.tif 000019
【００９７】
【数１９】
0005128910.tif 000020
【００９８】
以上の操作により、関数発生回路が出力する２次関数は数式（２０）のようになる。
【００９９】
【数２０】
0005128910.tif 000021
【０１００】
これで２次関数の２次係数と１次係数を一致させることができた。数式（２１）により残された0.9という数字は、温度に依存しない０次係数であるので、再び固有オフセット調整回路１３１により固有オフセットの調整を行えばよい。
【０１０１】
【数２１】
0005128910.tif 000022
【０１０２】
温度感度についても同様に考えることができ、センサの温度感度２次係数は0.00001であるので、求められた２次関数発生回路３の２次関数出力に対して0.01倍する。計算結果は、数式（２２）のようになる。
【０１０３】
【数２２】
0005128910.tif 000023
【０１０４】
次にセンサの１次係数は-0.0001であるので、数式（２２）の１次係数と求められた１次関数の係数から数式（２３）が成立し、１次関数に対して-0.009倍することになる（数式（２４））。
【０１０５】
【数２３】
0005128910.tif 000024
【０１０６】
【数２４】
0005128910.tif 000025
【０１０７】
以上の操作により、関数発生回路が出力する２次関数は数式（２５）のようになる。
【０１０８】
【数２５】
0005128910.tif 000026
【０１０９】
これで２次関数の２次係数と１次係数を一致させることができた。数式（２６）により残された0.019という数字は、温度に依存しない０次係数であるので、再び固有感度調整レジスタ１４１により固有感度の調整を行えばよい。
【０１１０】
【数２６】
0005128910.tif 000027
【０１１１】
以上より、本実施形態におけるセンサ温度補正回路は、センサ使用時に、オフセット及び感度の温度特性に対する２次の係数を求める数式（６）、数式（７）、数式（８）、数式（１０）、数式（１１）、数式（１２）に基づき、検出信号（測定値）を補正することができる。
また、２次の係数を求める方法をとることで、設定の温度範囲を任意に決められることから、調整における温度の設定を該設定のための所要時間が比較的短い値に選択することが可能であり、従って、測定時間（温度設定時間）の短縮を図ることができる。
【０１１２】
また、更には、センサがその検出出力に温度依存性を発現する温度変化と同期した形態での温度を検出して該温度の関数を発生するように関数発生回路を設けるべく、調整時にセンサ部および温度補正回路部の２次特性を同一の系で測定し、その２次関数の各係数を求める方法をとることで設定温度の誤差をも補正することが出来る。
そして、出力電圧Voutは、オフセット及び感度の温度特性が補正されているので、温度依存性が低減された高精度な検出出力となり、非線形の温度依存性を有するセンサを適用しながら測定における検出精度が向上する。
尚、本発明思想では、更に、任意の次数においてもその次数回路を用意することにより、温度依存性が低減されたより高精度な測定結果を得ることができる。
【０１１３】
ここで、以下に適宜図面を参照しつつ上述の実施の形態における構成および作用の細部について更に詳述する。
図９は、図１における感度温特補正回路１６０の構成を表すブロック図である。図９において、図１との対応部には同一の参照符号を附してある。
感度温特補正回路１６０は２次関数発生回路１５０の出力信号を受ける可変ゲインアンプ１６１と、この可変ゲインアンプ１６１の出力を所定の基準レベルと比較して比較出力を得るコンパレータ１６２と、このコンパレータ１６２の出力に応じて外部から供給されるクロックを加算計数または減算計数するアップダウンカウンタ１６３とを含んで構成され、アップダウンカウンタ１６３の出力が可変ゲインアンプ１４０に供給されるように接続されている。
【０１１４】
２次関数回路１５０から供給される信号は、V_const（例えば１Ｖ）を中心に出力される。この信号が可変ゲインアンプ１６１に入力され、出力Ｐ１を得る。
この出力Ｐ１がコンパレータ１６２で上記と同じV_constに設定された基準レベルと比較をされ、比較出力Ｐ２を得る。
今、出力Ｐ１が基準レベルV_constより高い状態のときにコンパレータ１６２の出力Ｐ２が“Ｈ"となり、低い状態のときに”Ｌ"となるものと仮定する。
アップダウンカウンタ１６３はコンパレータ１６２の出力Ｐ２が“Ｈ"か”Ｌ"かに応じてクロックＣＬＫを加算計数または減算計数する。
【０１１５】
例えば、出力Ｐ１が基準レベルV_constより高い（“Ｈ"）とコンパレータ１６２が判定した場合、アップダウンカウンタ１６３は、減算計数するように動作し、その出力Ｐ３（コード）によって可変ゲインアンプ１４０のゲインを下げるように作用する。
この場合、可変ゲインアンプ１４０は、供給されるコードＰ３が０のときに一番低いゲインとなるように設定されている。
上述のようなゲイン調整動作を１クロック毎に行い、最終的に、可変ゲインアンプ１６１の出力Ｐ１＝V_constとなるゲイン、即ち、アップダウンカウンタ１６３の出力Ｐ３（コード）が決定する。
【０１１６】
出力Ｐ１が基準レベルV_constより低い場合は、アップダウンカウンタ１６３が加算計数を行なってゲインを上げていき（コードをあげていき）、可変ゲインアンプ１６１の出力Ｐ１＝V_constとなるコードが決定する。
Ｐ１=V_constとなるコード付近では、１クロック毎にＰ１が、”Ｈ"、“Ｌ"、”Ｈ"といった出力となるので、“Ｈ"、”Ｌ"、“Ｈ"または、”Ｌ"、“Ｈ"、”Ｌ"となった場合にアップダウンカウンタ１６３における計数を止めることによってＰ３のコード値を決定するように論理を組む。
上述のようにして決定したＰ３のコード値を可変ゲインアンプ１４０に供給することによって感度温度を補正する。尚、可変ゲインアンプ１６１と可変ゲインアンプ１４０は、同様の回路構成をとることが可能である。
【０１１７】
図１０は図１のセンサ（ブリッジ回路ＳＢ）および温度補正装置１００の温度依存性（感度温特）に関する測定の詳細を説明するための特性図である。
図１０（ａ）はセンサの感度温特に関する特性図であり、図１０（ｂ）は温度補正装置の感度温特に関する特性図である。
次に、この特性図を適宜参照して図１のセンサ（ブリッジ回路ＳＢ）および温度補正装置１００の温度依存性の測定について補足的に説明する。
図１の可変ゲインアンプ１２０のゲインをＧ１、可変ゲインアンプ１３０のゲインをＧ２、可変ゲインアンプ１４０のゲインをＧ３とする。
【０１１８】
センサ（ブリッジ回路ＳＢ）の感度を測定する場合は、スイッチＳＷ１１およびスイッチＳＷ１２をオンし、他のスイッチＳＷ２１、ＳＷ２２、ＳＷ３１、ＳＷ４１はオフにする。但し、ＳＷ４１については、実際オフするのではなく、感度温特補正回路１６０から制御信号として供給するコードを変化をさせない（固定コード：ゲインセンター状態）ようにする。
上記のように設定された状態でセンサの感度温特を測定する。センサの出力（回路の入力）の感度をVsent（温度による関数）とすると、温度補正装置１００の出力Voutは、
Vout sent＝G１＊G２＊Ｇ３＊Vsent
なるセンサの感度温特を示す。
【０１１９】
次に温度補正装置の感度温特を求める。
スイッチＳＷ２１、スイッチＳＷ２２、ＳＷ３１、および、ＳＷ４１をオンし、他のスイッチＳＷ１１およびＳＷ１２はオフにする。
この設定では、感度温特補正回路１６０は動作するので、温度補正装置１００の出力Voutは：
Voutic１＝Ｇ１＊Ｇ２＊Ｇ３ic1*100mV…１次関数（Ｇ３ic1は1次関数によるゲイン）
Voutic2＝Ｇ１＊Ｇ２＊Ｇ３ic2＊100mV…２次関数（Ｇ３ic2は２次関数によるゲイン）
となる。
【０１２０】
以上のセンサの感度温特および温度補正装置の感度温特は図１０に示されたような形になる。
図１０において、センサ感度温特測定では、感度温特補正回路１６０をオフ（ゲイン固定）にしているため、出力Voutがそのまま増幅されて出力される。
一方、温度補正装置の感度温特では、入力は、温度に依存しない定電圧を入力しているため、可変ゲインアンプ１３０の出力までは温度依存性を有しない。しかし、感度温度補正回路を１６０オンしているため、出力Voutは、あたかも温度に依存したような出力が現れる。
【０１２１】
図１１は、図１の温度補正装置における補正動作の詳細を説明するための特性図である。
図１１（ａ）はセンサの感度温特に関する特性図であり、図１１（ｂ）は温度補正装置の感度温特に関する特性図である。
温度補正装置の感度温特測定については、現実には、２次、１次それぞれの出力が測定されるが、説明の便宜上１次の回路感度温特測定に関しては図示を省略している。
センサの感度温特測定から、ある温度においてVfixtsenという電圧が測定される。そこで、感度を温度依存しないようにするために、電圧Vfixsen（固有感度調整において所定の固定値とした電圧）に対して、可変ゲインアンプ１４０のゲインが定まる（例えば、G３senというゲインとする）。
本調整では、３点の温度について測定するため、Ｇ３sen1、Ｇ３sen2、Ｇ３sen3というゲインが定まる。
【０１２２】
また、温度補正装置の感度温特測定に関しては、実際には、図１１（ｂ）において電圧Vfixicが出力されるはずが、感度温特補償回路１６０（図１）によってVfixticという電圧にゲインされてしまう。
即ち、この感度温特補償回路によってどれだけ温度に対してゲインが変動しているかが確認できる。この温度補正装置の感度温特測定に関しても、３点の温度に関して測定するため、Ｇ３ic1、Ｇ３ic2、Ｇ３ic3というゲインがかかっていることになる。
感度温特補償回路では、V_constに対して補正がかかる。即ち、感度温特補償回路に入力されるべき電圧は：
センサ：Vsen=V_const/Ｇ３sen
回路：Vic=V_const/Ｇ３ic
の式からなる、３点の測定からそれぞれ
Vsen=αT2+βT+γ
Vic=aT2+bT+c
という関数を得る。
これらに対して、各係数を合わせることによって温度感度の補正が行われる。
【０１２３】
図１２は、図１の温度補正装置におけるセンサ単体での温特の詳細を説明するための特性図である。
図１２（ａ）はセンサ単体でのオフセット温特に関する特性図であり、図１２（ｂ）はセンサ単体での感度温特に関する特性図である。図１２（ａ）および図１２（ｂ）に関する測定条件としては、各段の可変ゲインアンプのゲインを１に固定している。
図１のスイッチＳＷ１１およびスイッチＳＷ１２をオンにして、その他のスイッチＳＷ２１、ＳＷ２２、ＳＷ３１、ＳＷ４１はオフにする。既述のように、ＳＷ４１については、実際オフするのではなく、感度温特補正回路１６０から制御信号として供給するコードを変化をさせない（固定コード：ゲインセンター状態）ようにする。
【０１２４】
この状態で、センサへの被測定量の印加を０の状態にして、温度補正装置の出力Voutとして、図１２（ａ）の右側の特性曲線に示されたようにセンサ単体でのオフセット温特が得られる。尚、図１２（ａ）の左側の特性曲線は、これに対応する温度補正装置への入力たるセンサ（ブリッジ回路ＳＢ）の出力である。
一方、スイッチの設定を図１２（ａ）の場合と同様にして、センサへの被測定量の印加をフルスパン対応値を印加した状態にして、温度補正装置の出力Voutとして、図１２（ｂ）の右側の特性曲線に示されたようにセンサ単体での感度温特が得られる。尚、図１２（ｂ）の左側の特性曲線は、これに対応する温度補正装置への入力たるセンサ（ブリッジ回路ＳＢ）の出力である。
【０１２５】
図１３は、温度補正装置単体での温特の詳細を説明するための特性図である。
図１３（ａ）は温度補正装置単体でのオフセット温特に関する特性図であり、図１３（ｂ）は温度補正装置単体での感度温特に関する特性図である。
図１３（ａ）および図１３（ｂ）に関する測定条件としては、各段の可変ゲインアンプのゲインを１に固定している。
図１のスイッチＳＷ２１およびスイッチＳＷ２２をオンにして、スイッチＳＷ１１およびＳＷ１２をオフにする。更に、ＳＷ３１はオン、ＳＷ４１はオフにする。
この状態で、センサへの被測定量の印加が０の状態に相応する模擬信号（例えば０ｍＶ）を供給して、温度補正装置の出力Voutとして、図１３（ａ）の右側の特性曲線に示されたようにセンサ単体でのオフセット温特が得られる。尚、図１３（ａ）の左側の特性曲線は、これに対応する温度補正装置への入力たる模擬信号発生装置ＭＣの出力である。
【０１２６】
一方、スイッチの設定を図１３（ａ）の場合と同様にして、入力にフルスパン対応値（＋５０ｍＶ，−５０ｍＶ）を印加した状態にして、温度補正装置の出力Voutとして、図１３（ｂ）の右側の特性曲線に示されたように温度補正装置単体での感度温特が得られる。尚、図１３（ｂ）の左側の特性曲線は、これに対応する温度補正装置への入力たる模擬信号発生装置ＭＣの出力である。
【０１２７】
図１２および図１３に示された特性から、既述の、数式（５）、数式（１）、数式（３）、数式（４）で表される値を得る。
ここで、α=-a、β=-(b+d)となるようにa,dを調整することによってオフセットを補正する。初めに、α=-aを調整し、その結果が仮にα＝-a*gであるとすると、回路単体のオフセット温特は、既述の、数式（２）となり、この段階でb*gの値も決定する。
次に、１次係数を調整する。この段階では、既に、２次係数の調整結果で、b*gの値は決定しているので、β=-(b*g+d)となるように、dの値を調整する。以上でオフセット温特の調整は完了する。
【０１２８】
図１４は、図１の温度補正装置における感度の調整について説明するための図である。
図１４（ａ）はセンサ単体の感度温特に関する特性図であり、図１４（ｂ）は温度補正装置の感度温特に関する特性図である。
センサ単体の測定結果から、フルスパンの電圧を有効に用いて測定ができるようにするために可変ゲインアンプ１４０のゲインが変化するように調整する。
図１４（ｂ）の温度補正装置の感度温特測定結果から、２次、１次がどれだけのゲイン変化があるのかが判読される。
センサおよび温度補正装置各単体での感度温特の特性に対して、フルスパン電圧をVとすると：
センサの戻したいゲイン：Vsv*Gsv=V ∴Gsv=V/Vsv
温度補正装置単体測定時のゲイン変動：Vicsv*Gic=V ∴Gic=V/Vic
Gsv=Gicとなることで温度感度が補正でき、
センサ単体：Vsv=αT2+βT+γ
回路単体：Vicsv2=aT2+bT+c,Vicsv1=dT+e
Vicsv=aT2+(b+d)T+(c+e)
から、オフセットと同様に係数を合わせればよいことになる。係数を合わせるということは、フルスパンに戻したいゲイン変化が一致することになる。
【０１２９】
図１５は図７の回路の変形例を表す回路図である。図１５の回路図においては、図７の回路図における７００番台の符号に替えて、これらとの対応部には５００番台の参照符号を割り当てている。
図１５の回路では、図７の回路における可変ゲインアンプ７２０、７３０、および、７４０の従属接続が、バッファアンプ（７２０）、オフセット調整用のアンプ（７３０）、および、感度調整用のアンプ（７４０）の接続順であるのに対し、バッファアンプ（５２０）、感度調整用のアンプ（５４０）、および、オフセット調整用のアンプ（５３０）、の接続順である点が異なる。
【０１３０】
図１５におけるスイッチ回路５１０は図７の回路におけるスイッチ回路７１０と同様な構成を有する。従って、図７の回路について上述したようなチョッパー動作を行なわせるように制御することによって、オフセットが除去された出力を得ることが可能になる。
また、図１５における可変ゲインアンプ５２０は、図７の可変ゲインアンプ７２０と同様な構成を有する。従って、図７の回路について上述したように、外部から供給された正極側入力ＶＰおよび負極側入力ＶＮ間の入力電圧をハイインピーダンスで受けるための一般的に使われる差動信号を増幅するための回路として機能する。
【０１３１】
可変ゲインアンプ５２０の後段に接続された可変ゲインアンプ５４０は、図７の感度調整用の可変ゲインアンプ７４０と略同様の機能を持つが、図７のゲインアンプ７４０がその前段のオフセット調整用の可変ゲインアンプ７３０によってシングル変換された信号を増幅するのに対し、可変ゲインアンプ５４０は可変ゲインアンプ５２０の正負の極性の出力を自己の入力に受けて作動する構成のものである。
但し、可変ゲインアンプ５４０も、適宜のレジスタからの制御信号ＣＬ４および感度温特補正回路１６０からの制御信号（コードデータ）ＣＬ５によってその出力が調整される点は図７のゲインアンプ７４０と同様である。
【０１３２】
また、可変ゲインアンプ５４０の後段に接続された可変ゲインアンプ５３０は、図７のオフセット調整用の可変ゲインアンプ７３０と略同様の構成および機能を持つ。
この可変ゲインアンプ５３０は、固有オフセット調整回路１３１（図１）の出力である固有オフセット調整信号ＣＬ２及び２次関数発生回路１５０で出力であるオフセット調整信号ＣＬ３を上述の可変ゲインアンプ５４０から供給された信号に対して加減算する機能においても、図７のオフセット調整用の可変ゲインアンプ７３０と略同様である。
【産業上の利用可能性】
【０１３３】
本発明の温度補正回路とその調整方法は、非線形な温度依存性を持つセンサを用いた各種の計測技術に関して有効に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】センサ部およびその後段の本発明の実施の形態としての温度補正回路を含む計測回路を表す機能ブロック図である
【図２】図１の本温度補正装置における関数発生回路（２次関数発生回路）の構成を表す機能ブロック図である
【図３】図２の２次関数発生回路の各部の信号波形を表す図である。
【図４】図３の１次関数ゲイン回路および２次関数ゲイン回路の構成例を表す回路図である。
【図５】一つの２次関数発生回路をその動作モードを切り換えて用いる様子を説明するための図である。
【図６】本発明の温度補正装置の調整方法の手順を表すフローチャートである。
【図７】図１における従属接続された可変ゲインアンプおよびその前段に設けられたスイッチ回路の構成を表す回路図である。
【図８】図１の温度補正装置における作用を説明するための図である。
【図９】図１における感度温特補正回路の構成を表すブロック図である。
【図１０】図１のセンサおよび温度補正装置の温度依存性に関する測定の詳細を説明するための特性図である。
【図１１】図１の温度補正装置における補正動作の詳細を説明するための特性図である。
【図１２】図１の温度補正装置におけるセンサ単体での温特の詳細を説明するための特性図である。
【図１３】温度補正装置単体での温特の詳細を説明するための特性図である。
【図１４】図１の温度補正装置における感度の調整について説明するための図である。
【図１５】図７の回路の変形例を表す回路図である。
【符号の説明】
【０１３５】
１０…計測回路
１００…温度補正装置
１１０…入力部
１１１…入力端子
１１２…入力端子
１２０…可変ゲインアンプ（バッファアンプ）
１３０…可変ゲインアンプ（オフセット調整用のアンプ）
１３１…固有オフセット調整回路
１４０…可変ゲインアンプ（感度調整用のアンプ）
１４１…固有感度調整レジスタ
１５０…２次関数発生回路
１６０…感度温特補正回路
１６１…可変ゲインアンプ
１６２…コンパレータ
１６３…アップダウンカウンタ
１７０…メモリ
２００…２次関数発生回路
２１０…１次関数発生部
２１１…１次関数ゲイン回路
２２０…２次関数発生部
２２１…２次関数ゲイン回路
２３０…加算回路
４００…ゲイン回路（増幅回路）
４１０…正転アンプ
４２０…反転アンプ
４３０…抵抗
４３１…端子
４３２…端子
５１０…スイッチ回路
５２０…可変ゲインアンプ（バッファアンプ）
５３０…可変ゲインアンプ（オフセット調整用のアンプ）
５４０…可変ゲインアンプ（感度調整用のアンプ）
７１０…スイッチ回路
７２０…可変ゲインアンプ（バッファアンプ）
７３０…可変ゲインアンプ（オフセット調整用のアンプ）
７４０…可変ゲインアンプ（感度調整用のアンプ）
７４１…固有感度調整部
７４２…温度感度調整部
【図１】
0005128910.tif 000028
【図２】
0005128910.tif 000029
【図３】
0005128910.tif 000030
【図４】
0005128910.tif 000031
【図５】
0005128910.tif 000032
【図６】
0005128910.tif 000033
【図７】
0005128910.tif 000034
【図８】
0005128910.tif 000035
【図９】
0005128910.tif 000036
【図１０】
0005128910.tif 000037
【図１１】
0005128910.tif 000038
【図１２】
0005128910.tif 000039
【図１３】
0005128910.tif 000040
【図１４】
0005128910.tif 000041
【図１５】
0005128910.tif 000042