(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体と、
前記圧電体の上に形成されており、互いに間挿し合う第１及び第２のくし歯電極を有するＩＤＴと、
前記圧電体の上に形成されており、前記第１のくし歯電極に電気的に接続された第１の配線と、
前記圧電体の上に形成されており、前記第２のくし歯電極に電気的に接続された第２の配線と、
前記圧電体の上に形成されており、前記第１の配線に電気的に接続された第１のプローブパッドと、
前記圧電体の上に形成されており、前記第２の配線に電気的に接続された第２のプローブパッドとを備え、
前記第１のプローブパッドと前記第２のプローブパッドとの両方が前記ＩＤＴに対して第１の方向の一方側に配置されており、
前記第１の配線が前記第１のプローブパッドから前記第１の方向に垂直な第２の方向の一方側に引き出されている一方、前記第２の配線が前記第２のプローブパッドから前記第２の方向の他方側に引き出されており、前記圧電体の上に形成されており、前記第２のくし歯電極に電気的に接続された第３の配線と、前記圧電体の上に形成されており、前記第３の配線に電気的に接続され、前記ＩＤＴに対して前記第１の方向の一方側に配置された第３のプローブパッドとをさらに備え、前記第３の配線は前記第３のプローブパッドから前記第２の方向の他方側に引き出されている、弾性波装置。
【請求項２】
前記第１の配線の前記第１のプローブパッドからの引き出し方向と、前記第２の配線の前記第２のプローブパッドからの引き出し方向とが相互に平行である、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記第１のプローブパッドと前記第２のプローブパッドとが上記第２の方向に延びる仮想直線上に配置されている、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記第１のプローブパッドがシグナル側のプローブパッドであり、前記第２及び第３のプローブパッドがグランド側のプローブパッドである、請求項１〜３のいずれか一項に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記第１の方向が弾性波の伝搬方向と平行な方向または垂直な方向である、請求項１〜４のいずれか一項に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記圧電体の上に前記ＩＤＴを覆うように形成された誘電体をさらに備える、請求項１〜５のいずれか一項に記載の弾性波装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の弾性波装置を直列腕弾性波共振子及び並列腕弾性波共振子の少なくとも一方として備える、ラダー型弾性波フィルタ。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の弾性波装置の製造方法であって、
前記圧電基板上に前記ＩＤＴ、前記第１及び第２の配線並びに前記第１及び第２のプローブパッドを形成する工程と、
前記第１のプローブパッド及び前記第２のプローブパッドのうちの一方に周波数特性測定装置のシグナル端子を接続すると共に、前記第１のプローブパッド及び前記第２のプローブパッドのうちの他方をグランド端子に接続して周波数特性を測定する測定工程とを備える、弾性波装置の製造方法。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の弾性波装置の製造方法であって、
圧電材料により形成された圧電ウエハ上に前記ＩＤＴ、前記第１及び第２の配線並びに前記第１及び第２のプローブパッドを複数組形成する工程と、
前記第１のプローブパッド及び前記第２のプローブパッドのうちの一方に周波数特性測定装置のシグナル端子を接続すると共に、前記第１のプローブパッド及び前記第２のプローブパッドのうちの他方をグランド端子に接続して、前記複数組の前記ＩＤＴ、前記第１及び第２の配線並びに前記第１及び第２のプローブパッドのうちの少なくとも一組について周波数特性を測定する測定工程と、
前記圧電ウエハを複数の前記圧電基板に切断する工程とを備える、弾性波装置の製造方法。
【請求項１０】
前記測定工程において測定された周波数特性が予め定められた周波数特性の範囲内にあるか否かを判定する工程をさらに備える、請求項８または９に記載の弾性波装置の製造方法。
【請求項１１】
前記測定工程において測定された周波数特性に応じた前記弾性波装置の周波数特性と、予め定められた前記弾性波装置の目標とする周波数特性との差を小さくする厚さとなるように、前記ＩＤＴの厚さを減少させる工程をさらに備える、請求項８〜１０のいずれか一項に記載の弾性波装置の製造方法。
【請求項１２】
前記測定工程に先立って行われ、前記ＩＤＴを覆うように誘電体を形成する誘電体形成工程と、
前記測定工程において測定された周波数特性に応じた前記弾性波装置の周波数特性と、予め定められた前記弾性波装置の目標とする周波数特性との差を小さくする厚さとなるように、前記誘電体の厚さを調整する工程をさらに備える、請求項８〜１０のいずれか一項に記載の弾性波装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波装置及びその製造方法に関し、特に、検査用のシグナル側のプローブパッドとグランド側のプローブパッドとを備える弾性波装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１などにおいて、検査用のプローブパッドが周辺部に設けられたバンドパスフィルタが開示されている。図１８は、特許文献１に開示されたバンドパスフィルタ１００の略図的平面図である。図１８に示すように、バンドパスフィルタ１００は、ラダー型のバンドパスフィルタであり、複数の共振子１０１がラダー型に接続されている。各共振子１０１には、検査用プローブパッド２０−１〜２０−８が電気的に接続されている。例えば、並列腕の共振子１０１ａに対しては、プローブパッド２０-３とプローブパッド２０−６とが電気的に接続されている。バンドパスフィルタ１００では、プローブパッド２０-３とプローブパッド２０-６とは、共振子１０１ａの両側に分けて配置されている。具体的には、プローブパッド２０−３が共振子１０１ａの弾性波の伝搬方向の一方側に配置されているのに対して、プローブパッド２０−６は、共振子１０１ａの弾性波の伝搬方向の他方側に配置されている。
【特許文献１】特開平６-１７７６９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述のように、特許文献１に開示されたバンドパスフィルタ１００では、一対のプローブパッドが共振子の両側に分けて配置されている。このため、一対のプローブパッド相互間の間隔が長くなる傾向にあった。従って、共振子の周波数特性を高い測定精度で測定することが困難であるという問題があった。
【０００４】
本発明の目的は、高精度な周波数特性の測定が可能な弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る弾性波装置は、圧電体と、ＩＤＴと、第１の配線と、第２の配線と、第１のプローブパッドと、第２のプローブパッドとを備えている。ＩＤＴと、第１の配線と、第２の配線と、第１のプローブパッドと、第２のプローブパッドとのそれぞれは、圧電体の上に形成されている。ＩＤＴは、互いに間挿し合う第１及び第２のくし歯電極を有する。第１の配線は、第１のくし歯電極に電気的に接続されている。第２の配線は、第２のくし歯電極に電気的に接続されている。第１のプローブパッドは、第１の配線に電気的に接続されている。第２のプローブパッドは、第２の配線に電気的に接続されている。第１のプローブパッドと第２のプローブパッドとの両方がＩＤＴに対して第１の方向の一方側に配置されている。第１の配線が第１のプローブパッドから第１の方向に垂直な第２の方向の一方側に引き出されている一方、第２の配線が第２のプローブパッドから第２の方向の他方側に引き出されている。
【０００６】
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、第１の配線の第１のプローブパッドからの引き出し方向と、第２の配線の第２のプローブパッドからの引き出し方向とが相互に平行である。
【０００７】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、第１のプローブパッドと第２のプローブパッドとが上記第２の方向に延びる仮想直線上に配置されている。
【０００８】
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、圧電体の上に形成されており、第２のくし歯電極に電気的に接続された第３の配線と、圧電体の上に形成されており、第３の配線に電気的に接続され、ＩＤＴに対して第１の方向の一方側に配置された第３のプローブパッドとをさらに備え、第３の配線は第３のプローブパッドから第２の方向の他方側に引き出されている。
【０００９】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、第１のプローブパッドがシグナル側のプローブパッドであり、第２及び第３のプローブパッドがグランド側のプローブパッドである。
【００１０】
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、第１の方向が弾性波の伝搬方向と平行な方向または垂直な方向である。
【００１１】
本発明に係る弾性波装置は、圧電体の上にＩＤＴを覆うように形成された誘電体をさらに備えるものであってもよい。
【００１２】
本発明に係るラダー型弾性波フィルタは、上記本発明に係る弾性波装置を直列腕弾性波共振子及び並列腕弾性波共振子の少なくとも一方として備えている。
【００１３】
本発明に係る第１の弾性波装置の製造方法は、上記本発明に係る弾性波装置を製造するための方法に関し、圧電基板上にＩＤＴ、第１及び第２の配線並びに第１及び第２のプローブパッドを形成する工程と、第１のプローブパッド及び第２のプローブパッドのうちの一方に周波数特性測定装置のシグナル端子を接続すると共に、第１のプローブパッド及び第２のプローブパッドのうちの他方をグランド端子に接続して周波数特性を測定する測定工程とを備えている。
【００１４】
本発明に係る第２の弾性波装置の製造方法は、圧電材料により形成された圧電ウエハ上にＩＤＴ、第１及び第２の配線並びに第１及び第２のプローブパッドを複数組形成する工程と、第１のプローブパッド及び第２のプローブパッドのうちの一方に周波数特性測定装置のシグナル端子を接続すると共に、第１のプローブパッド及び第２のプローブパッドのうちの他方をグランド端子に接続して、複数組のＩＤＴ、第１及び第２の配線並びに第１及び第２のプローブパッドのうちの少なくとも一組について周波数特性を測定する測定工程と、圧電ウエハを複数の圧電基板に切断する工程とを備えている。
【００１５】
本発明に係る第１及び第２の弾性波装置の製造方法は、測定工程において測定された周波数特性が予め定められた周波数特性の範囲内にあるか否かを判定する工程をさらに備えるものであってもよい。
【００１６】
本発明に係る第１及び第２の弾性波装置の製造方法は、測定工程において測定された周波数特性に応じた弾性波装置の周波数特性と、予め定められた弾性波装置の目標とする周波数特性との差を小さくする厚さとなるように、ＩＤＴの厚さを減少させる工程をさらに備えるものであってもよい。
【００１７】
本発明に係る第１及び第２の弾性波装置の製造方法は、測定工程に先立って行われ、ＩＤＴを覆うように誘電体を形成する誘電体形成工程と、測定工程において測定された周波数特性に応じた弾性波装置の周波数特性と、予め定められた弾性波装置の目標とする周波数特性との差を小さくする厚さとなるように、誘電体の厚さを調整する工程をさらに備えるものであってもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る弾性波装置では、第１のプローブパッドと第２のプローブパッドとの両方がＩＤＴに対して第１の方向の一方側に配置されているため、第１のプローブパッドと第２のプローブパッドとの間の間隔を短くできるため、高精度な周波数特性の測定が可能である。また、第１の配線が第１のプローブパッドから第１の方向に垂直な第２の方向の一方側に引き出されている一方、第２の配線が第２のプローブパッドから第２の方向の他方側に引き出されているため、第１及び第２のプローブパッドに対するシグナル端子及びグランド端子の接触位置のばらつきに起因する周波数特性の測定のばらつきを低減できるため、より高精度な周波数特性の測定が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２０】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る弾性境界波共振子１の概略平面図である。図２及び図３は、弾性境界波共振子１の断面図である。但し、図１では、誘電体２０は図示を省略している。
【００２１】
図２及び図３に示すように、弾性境界波共振子１は、圧電体１０を備えている。圧電体１０の主面１０ａには、図１に示すＩＤＴ１１と、グレーティング反射器１２ａ、１２ｂと、第１〜第３の配線１３〜１５と、第１〜第３のプローブパッド１６〜１８とが形成されている。また、図２及び図３に示すように、圧電体１０の主面１０ａの上には、誘電体２０が形成されている。誘電体２０は、主面１０ａの実質的に全面を覆うように形成されており、ＩＤＴ１１とグレーティング反射器１２ａ、１２ｂとは、誘電体２０によって被覆されている。図２に示すように、誘電体２０の第１〜第３のプローブパッド１６〜１８の位置に対応する部分には、開口２０ａ〜２０ｃが形成されている。これら開口２０ａ〜２０ｃにより第１〜第３のプローブパッド１６〜１８が誘電体２０から露出している。
【００２２】
圧電体１０と誘電体２０とのそれぞれの材質は、圧電体１０と誘電体２０との間の境界において弾性境界波が発生する組み合わせである限りにおいて特に限定されない。例えば、誘電体２０は、ＳｉＯ２、ＳｉＯＮ、ＳｉＮ等で形成されていてもよい。圧電体１０は、例えば、ＬｉＮｂＯ３、ＬｉＴａＯ３、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５等で形成されていてもよい。
【００２３】
また、圧電体１０と誘電体２０とのそれぞれの厚みは、特に限定されず、弾性境界波共振子１の特性に応じて適宜設定される。
【００２４】
図１に示すように、ＩＤＴ１１は、第１のくし歯電極２１と第２のくし歯電極２２とを備えている。第１のくし歯電極２１と第２のくし歯電極２２とは、互いに間挿し合っている。具体的には、第１のくし歯電極２１と第２のくし歯電極２２とのそれぞれは、バスバー２１ａ、２２ａと、バスバー２１ａ、２２ａに接続された１または複数の電極指２１ｂ、２２ｂとを有し、第１のくし歯電極２１の電極指２１ｂと、第２のくし歯電極２２の電極指２２ｂとが弾性波の伝搬方向Ｙにおいて交互に配置されている。
【００２５】
第１のグレーティング反射器１２ａは、ＩＤＴ１１の弾性波の伝搬方向ＹにおけるＹ１側に配置されている。一方、第２のグレーティング反射器１２ｂは、ＩＤＴ１１の弾性波の伝搬方向ＹにおけるＹ２側に配置されている。
【００２６】
ＩＤＴ１１、第１〜第３の配線１３〜１５及び第１〜第３のプローブパッド１６〜１８の材質は、導電性材料である限りにおいて特に限定されない。ＩＤＴ１１、第１〜第３の配線１３〜１５及び第１〜第３のプローブパッド１６〜１８のそれぞれは、例えば、Ｐｔ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｗのいずれか、またはＰｔ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｗに他の元素を添加した合金により形成される。ＩＤＴ１１、第１〜第３の配線１３〜１５及び第１〜第３のプローブパッド１６〜１８は、相互に異なる材質により形成されていてもよい。但し、製造容易性の観点から、ＩＤＴ１１、第１〜第３の配線１３〜１５及び第１〜第３のプローブパッド１６〜１８は、同じ材質により形成されていることが好ましい。
【００２７】
第１のくし歯電極２１は、第１の配線１３を介して第１のプローブパッド１６に電気的に接続されている。一方、第２のくし歯電極２２は、第２の配線１４を介して第２のプローブパッド１７に電気的に接続されていると共に、第３の配線１５を介して第３のプローブパッド１８にも電気的に接続されている。
【００２８】
なお、本実施形態では、第１のプローブパッド１６がシグナル側のプローブパッドで、第２及び第３のプローブパッド１７，１８がグランド側のプローブパッドである例について説明する。但し、第１のプローブパッド１６をグランド側のプローブパッドとし、第２及び第３のプローブパッド１７，１８をシグナル側のプローブパッドとしてもよい。
【００２９】
本実施形態では、第１〜第３のプローブパッド１６〜１８の全てがＩＤＴ１１の弾性波の伝搬方向Ｙに垂直な垂直方向ＸのＸ１側に配置されている。より具体的には、第１〜第３のプローブパッド１６〜１８が、ＩＤＴ１１よりもＸ１側に位置し、弾性波の伝搬方向Ｙに延びる仮想直線Ｌ上に配置されている。
【００３０】
ここで、「第１〜第３のプローブパッド１６〜１８が仮想直線上に配置されている」とは、第１のプローブパッド１６、第２のプローブパッド１７及び第３のプローブパッド１８の全てを通過する仮想直線Ｌが存在することを意味し、第１のプローブパッド１６、第２のプローブパッド１７及び第３のプローブパッド１８の各中心を通過する仮想直線が存在する必要は必ずしもない。
【００３１】
第１の配線１３は、第１のくし歯電極２１のバスバー２１ａから弾性波の伝搬方向ＹのＹ２側に引き回されている。第１の配線１３は、第１のプローブパッド１６のＹ２側を経由して第１のプローブパッド１６に接続されている。第１の配線１３の第１のプローブパッド１６との接続部１３ａは、第１のプローブパッド１６から弾性波の伝搬方向ＹのＹ２側に延びている。言い換えれば、第１の配線１３は、第１のプローブパッド１６から弾性波の伝搬方向ＹのＹ２側に引き出されている。
【００３２】
第２の配線１４は、第２のくし歯電極２２のバスバー２２ａから弾性波の伝搬方向ＹのＹ２側に引き回されている。第２の配線１４は、第２のグレーティング反射器１２ｂのＹ２側及び第２のプローブパッド１７のＹ１側を経由して第２のプローブパッド１７に接続されている。第２の配線１４の第２のプローブパッド１７との接続部１４ａは、第２のプローブパッド１７から弾性波の伝搬方向ＹのＹ１側に延びている。言い換えれば、第２の配線１４は、第２のプローブパッド１７から弾性波の伝搬方向ＹのＹ１側に引き出されている。
【００３３】
第３の配線１５は、第２のくし歯電極２２のバスバー２２ａから弾性波の伝搬方向ＹのＹ１側に引き回されている。第３の配線１５は、第１のグレーティング反射器１２ａのＹ１側及び第３のプローブパッド１８のＹ１側を経由して第３のプローブパッド１８に接続されている。第３の配線１５の第３のプローブパッド１８との接続部１５ａは、第３のプローブパッド１８から弾性波の伝搬方向ＹのＹ１側に延びている。言い換えれば、第３の配線１５は、第２のプローブパッド１７から弾性波の伝搬方向ＹのＹ１側に引き出されている。
【００３４】
また、本実施形態では、第１の配線１３の接続部１３ａと、第２の配線１４の接続部１４ａと、第３の配線１５の接続部１５ａとは、相互に平行に形成されている。
【００３５】
以上説明したように、本実施形態では、図１に示すように、第１〜第３のプローブパッド１６〜１８の全てがＩＤＴ１１よりもＸ１側に配置されている。このため、例えば、シグナル側のプローブパッドである第１のプローブパッド１６と、グランド側プローブパッドである第２及び第３のプローブパッド１７，１８とをＩＤＴ１１の両側に分けて配置する場合と比較して、第１のプローブパッド１６と、第２及び第３のプローブパッド１７，１８との間の電極距離を短くすることができる。従って、周波数特性を高精度に測定することが可能となる。
【００３６】
特に、本実施形態では、第１〜第３のプローブパッド１６〜１８が、弾性波の伝搬方向Ｙに延びる仮想直線Ｌ上に配置されている。このため、第１のプローブパッド１６と、第２及び第３のプローブパッド１７，１８との間の電極距離をより短くすることができる。従って、周波数特性をより高精度に測定することが可能となる。
【００３７】
ところで、例えば、図４に示すように、第１〜第３の配線１１３〜１１５の第１〜第３のプローブパッド１１６〜１１８に対する接続部１１３ａ〜１１５ａを第１〜第３のプローブパッド１１６〜１１８から垂直方向Ｙに引き出すことも考えられる。しかしながら、接続部１１３ａ〜１１５ａを第１〜第３のプローブパッド１１６〜１１８から垂直方向Ｙに引き出した場合、以下に説明するように、第１〜第３のプローブパッド１１６〜１１８に対するシグナル端子及びグランド端子の接触位置がばらつくことによって、測定される周波数特性にばらつきが生じる傾向にある。
【００３８】
図４では、弾性波伝搬方向がＸとされている。接続部１１３ａ〜１１５ａがプローブパッド１１６〜１１８から引き出される方向をＹとしている。
【００３９】
例えば、図示しない周波数測定装置のシグナル端子を、図４に示す第１のプローブパッド１１６の位置Ｐ１−１に接触させると共に、グランド端子を第２のプローブパッド１１７の位置Ｐ２−１及び第３のプローブパッド１１８の位置Ｐ３−１に接触させた場合と、シグナル端子を、位置Ｐ１−１から距離ｌだけＹ２側にずれたＰ１−２に接触させると共に、グランド端子を位置Ｐ２−１及び位置Ｐ３−１からそれぞれ距離ｌだけＹ２側にずれたＰ２−２及びＰ３−２に接触させた場合とを比べると、シグナル端子とＩＤＴ１１１との間の電極距離は実質的に変化しないのに対して、グランド端子とＩＤＴ１１１との間の電極距離は変化する。具体的には、第２のプローブパッド１１７に接触しているグランド端子とＩＤＴ１１１との間の電極距離は、約ｌだけ短くなるのに対して、第３のプローブパッド１１８に接触しているグランド端子とＩＤＴ１１１との間の電極距離は、約ｌだけ長くなる。このため、第２のプローブパッド１１７に接触しているグランド端子とＩＤＴ１１１との間の寄生インダクタンスが増大する一方、第３のプローブパッド１１８に接触しているグランド端子とＩＤＴ１１１との間の寄生インダクタンスは減少する。このように、シグナル端子とグランド端子との接触位置によってシグナル端子とグランド端子との間の寄生インダクタンスが異なるため、測定される周波数特性にばらつきが生じる傾向にある。
【００４０】
それに対して、本実施形態では、第１の配線１３が第１のプローブパッド１６からＹ２側に引き出されている一方、第２及び第３の配線１４，１５のそれぞれが第２及び第３のプローブパッド１７，１８からＹ１側に引き出されている。このため、シグナル端子とグランド端子との接触位置が図１に示すＰ１−１、Ｐ２−１、Ｐ３−１からＰ１−２、Ｐ２−２、Ｐ３−２へと変化した場合、シグナル端子とＩＤＴ１１との間の電極距離は、距離ｌだけ短くなる一方、グランド端子とＩＤＴ１１との間の電極距離は、距離ｌだけ長くなる。よって、シグナル端子とＩＤＴ１１との間の寄生インダクタンスが距離ｌに応じた大きさだけ小さくなる分、グランド端子とＩＤＴ１１との間の寄生インダクタンスが距離ｌに応じた大きさだけ大きくなるため、シグナル端子とグランド端子との間の寄生インダクタンスは、全体として実質的に変化しない。従って、シグナル端子とグランド端子との接触位置がＰ１−１、Ｐ２−１、Ｐ３−１からＰ１−２、Ｐ２−２、Ｐ３−２へと変化した場合であっても、測定される周波数特性にばらつきが生じにくい。
【００４１】
特に、本実施形態では、接続部１３ａ、接続部１４ａ及び接続部１５ａが相互に平行であるため、シグナル端子とグランド端子との間の電極距離がさらに抑制されており、周波数特性の測定ばらつきの発生がより効果的に抑制されている。
【００４２】
なお、シグナル側プローブパッドとグランド側プローブパッドとは、それぞれひとつずつ設けられていればよいが、シグナル側プローブパッドとグランド側プローブパッドとの少なくともいずれか一方を複数設けてもよい。本実施形態では、グランド側プローブパッドが複数設けられているため、周波数特性の測定におけるグランドがより強化されている。
【００４３】
本実施形態の弾性境界波共振子１は、単独で用いられてもよいし、複数組み合わせて用いられてもよい。例えば、図５に示すように、図１に示す弾性境界波共振子１を直列腕弾性境界波共振子及び並列腕弾性境界波共振子として用いてラダー型弾性波フィルタ２を構成してもよい。図５のように１つの直列腕弾性境界波共振子のみにプローブパッドを設けて、共振周波数を測定してもよい。直列腕弾性境界波共振子及び並列腕弾性境界波共振子として弾性境界波共振子１を備えるラダー型弾性波フィルタ２においても、上述のように周波数特性を高精度に行うことができる。
【００４４】
なお、本発明を実施した弾性波装置の例として弾性境界波共振子１を挙げたが、本発明の弾性波装置は、弾性境界波装置に限定されず、弾性表面波装置であってもよい。具体的には、例えば、誘電体２０を設けなくてもよい。
【００４５】
また、本発明の弾性波装置は、どのような種類の弾性境界波、弾性表面波を利用するものであってもよい。
【００４６】
（弾性境界波共振子１の製造方法）
弾性境界波共振子１の製造方法は特に限定されないが、例えば、以下の手順で製造することができる。
【００４７】
例えば、図６に示すように、まず、ステップＳ１において、圧電体１０の上に、ＩＤＴ１１、第１〜第３の配線１３〜１５及び第１〜第３のプローブパッド１６〜１８を形成する。
【００４８】
次に、ステップＳ２において、圧電体１０の上に誘電体２０を形成する。
【００４９】
次に、ステップＳ３において、周波数特性の測定を行う。具体的には、周波数測定装置のシグナル端子を第１のプローブパッド１６に接触させると共に、周波数測定装置のグランド端子を第２及び第３のプローブパッド１７，１８のそれぞれに接触させた状態で、弾性境界波共振子１の周波数特性を測定する。
【００５０】
なお、本実施形態において、「周波数特性」とは、周波数に関連する特性の全般をいう。周波数特性には、例えば、本実施形態のように、弾性波装置が共振子である場合は、共振周波数や反共振周波数が含まれ、弾性波装置がフィルタである場合は、中心周波数などが含まれる。
【００５１】
そして、ステップＳ４において、作製された弾性境界波共振子１の良否判定が行われる。具体的には、ステップＳ３における周波数特性の測定結果と、弾性境界波共振子１の目標周波数特性として予め定められた周波数特性の範囲内にあるか否かが判断される。そして、周波数特性の測定結果が予め定められた周波数特性の範囲内にある場合は、良品と判断される。周波数特性の測定結果が予め定められた周波数特性の範囲内にない場合は、不良品と判断される。
【００５２】
上述のように、弾性境界波共振子１では、シグナル端子及びグランド端子の接触位置によらず、高い精度で周波数特性を測定できるため、上記製造方法によれば、弾性境界波共振子１の良否を確実に判定することができる。
【００５３】
（第２の実施形態）
上記第１の実施形態では、弾性境界波共振子１をひとつずつ作製する場合の製造方法について説明した。但し、例えば、図７に示すように、圧電ウエハを用いて、複数の弾性境界波共振子１を同時に作製してもよい。
【００５４】
図７に示す例では、まず、ステップＳ１０において、圧電材料により形成された圧電ウエハ３０（図８参照）を用意する。
【００５５】
次に、ステップＳ１１において、図８に示すように、圧電ウエハ３０上に、ＩＤＴ１１、第１〜第３の配線１３〜１５及び第１〜第３のプローブパッド１６〜１８を複数組、マトリクス状に形成する。
【００５６】
次に、ステップＳ１２において、圧電ウエハ３０の上に誘電体を形成する。これにより、複数の弾性境界波共振子１が一体に形成される。
【００５７】
次に、ステップＳ１３において、少なくともひとつの弾性境界波共振子１について、周波数特性の測定を行う。具体的には、周波数測定装置のシグナル端子を第１のプローブパッド１６に接触させると共に、周波数測定装置のグランド端子を第２及び第３のプローブパッド１７，１８のそれぞれに接触させた状態で、少なくともひとつの弾性境界波共振子１の周波数特性を測定する。
【００５８】
次に、ステップＳ１４において、弾性境界波共振子１の良否判定を行う。具体的には、ステップＳ１３における周波数特性の測定結果と、弾性境界波共振子１の目標周波数特性として予め定められた周波数特性の範囲内にあるか否かが判断される。そして、周波数特性の測定結果が予め定められた周波数特性の範囲内にある場合は、良品と判断される。周波数特性の測定結果が予め定められた周波数特性の範囲内にない場合は、不良品と判断される。
【００５９】
ステップＳ１４において良品と判断された場合は、ステップＳ１５に進む。ステップＳ１５では、圧電ウエハ３０をカットラインＣにおいて切断することにより、図１に示す圧電体１０を形成する。
【００６０】
一方、ステップＳ１４において不良品と判断された場合は、ステップＳ１６にすすみ、廃棄または回収される。
【００６１】
本実施形態のように、圧電ウエハ３０が切断される前に周波数特性の測定を行うことにより、弾性境界波共振子１毎に周波数特性の測定を行う必要は必ずしもなく、圧電ウエハ３０に形成された複数の弾性境界波共振子１のうちのひとつの弾性境界波共振子１についてのみ周波数特性の測定を行うことにより、全弾性境界波共振子１の良否判定を行うことができる。従って、周波数特性の測定工程を簡略化することができ、弾性境界波共振子１をより容易に製造することができる。
【００６２】
（第３の実施形態）
上記第１及び第２の実施形態では、測定した周波数特性を用いて弾性境界波共振子１の良否判定を行う例について説明した。但し、周波数特性の測定結果を用いて良否判定以外の工程を行ってもよい。例えば、図９に示すように、測定した周波数特性を用いて周波数特性の調整を行うようにしてもよい。
【００６３】
図９に示す例では、上記第２の実施形態と同様に、ステップＳ１０及びステップＳ１１を行った後に、ステップＳ１２を行う前に、ステップＳ２０において、誘電体２０が形成されていない状態における周波数特性を測定する。すなわち、弾性表面波装置の状態で周波数特性を測定する。
【００６４】
次に、ステップＳ２１において、ＩＤＴ１１の厚さ調整を行う。具体的には、ステップＳ２０において測定された周波数特性に応じた弾性境界波共振子１の周波数特性と、予め定められた弾性境界波共振子１の目標とする周波数特性との差を小さくする厚さとなるように、ＩＤＴ１１を構成する第１及び第２のくし歯電極２１，２２の厚さを減少させる。ＩＤＴ１１の厚さを減少させる方法は、特に限定されない。例えば、エッチングや研磨によりＩＤＴ１１の厚さを減少させることができる。
【００６５】
なお、本明細書において、「測定された周波数特性に応じた弾性波装置の周波数特性」とは、周波数特性の測定結果から推測される弾性波装置の周波数特性をいう。このため、ステップＳ２０において測定された周波数特性に応じた弾性境界波共振子１の周波数特性とは、ステップＳ２０において測定された周波数特性から推測される弾性境界波共振子１の周波数特性をいう。
【００６６】
続いて、ステップＳ１２において、誘電体２０が形成され、次にステップＳ２２において、圧電ウエハ３０が切断され、複数の弾性境界波共振子１が完成する。
【００６７】
本実施形態のように、周波数特性の測定結果に応じてＩＤＴ１１の厚さを調整することにより、弾性境界波共振子１の良品率を高くすることができる。その結果、弾性境界波共振子１のコストを低減することができる。
【００６８】
（第４の実施形態）
上記第３の実施形態では、ＩＤＴ１１の厚さを調節することにより周波数特性の調整を行う例について説明した。但し、本発明において、周波数特性の調整方法は特に限定されない。例えば、図１０に示すように、誘電体２０の厚さを調整することにより、周波数特性の調整を行ってもよい。
【００６９】
具体的には、図１０に示すように、第２の実施形態と同様に、ステップＳ１０〜Ｓ１３を行った後に、ステップＳ３１において、誘電体２０の厚さの調整を行う。具体的には、ステップＳ１３において測定された周波数特性に応じた弾性境界波共振子１の周波数特性と予め定められた弾性境界波共振子１の目標とする周波数特性との差を小さくする厚さとなるように、誘電体２０の厚さを調整する。誘電体２０の厚さの調整方法は特に限定されない。誘電体２０の厚さを減少させる場合は、エッチングや研磨により行うことができる。誘電体２０の厚さを増大させる場合は、誘電体２０の上にさらに誘電体を成膜することにより行うことができる。
【００７０】
次に、ステップＳ２２において、圧電ウエハ３０が切断され、複数の弾性境界波共振子１が完成する。
【００７１】
本実施形態のように誘電体２０の形成後、弾性境界波共振子として周波数特性を測定することにより、より正確に作製される弾性境界波共振子１の周波数特性が予測される。従って、弾性境界波共振子１の良品率をより高くすることができる。その結果、弾性境界波共振子１のコストをより低減することができる。
【００７２】
（第１の変形例）
上記実施形態では、第１及び第２のプローブパッド１６，１７がＩＤＴ１１に対して垂直方向ＸのＸ１側に配置されている例について説明したが、例えば、図１１に示すように、第１及び第２のプローブパッド１６，１７をＩＤＴ１１に対して弾性波の伝搬方向Ｙの一方側に配置されていてもよい。
【００７３】
（第２の変形例）
上記実施形態では、第１〜第３の配線１３〜１５とグレーティング反射器１２ａ、１２ｂとが電気的に接続されていない例について説明したが、第１〜第３の配線１３〜１５の少なくともひとつがグレーティング反射器１２ａ、１２ｂに電気的に接続されていてもよい。例えば、図１２に示すように、第２の配線１４がグレーティング反射器１２ｂを経由して形成されていてもよい。
【００７４】
（第３の変形例）
上記実施形態では、接続部１３ａ、１４ａ、１５ａが相互に平行に形成されている例について説明した。但し、図１３に示すように、接続部１３ａと接続部１４ａとを相互に平行ではないように形成してもよい。
【００７５】
（実施例）
図１に示すように、ＬｉＮｂＯ３からなる圧電体１０の上に、ＡｕからなるＩＤＴ１１、第１〜第３の配線１３〜１５及び第１〜第３のプローブパッド１６〜１８を形成し、さらにＳｉＯ２からなる誘電体２０を形成し、実施例に係る弾性境界波共振子１を完成させた。
【００７６】
実施例に係る弾性境界波共振子１において、第１〜第３のプローブパッド１６〜１８の各中心にシグナル端子、グランド端子を接触させてインピーダンス及び位相の測定を行った。インピーダンスの測定結果を図１４に符号４０を附した実線で示す。位相の測定結果を図１４に符号４１を附した実線で示す。
【００７７】
実施例に係る弾性境界波共振子１において、中心からＹ方向のＹ１側に５０μｍだけずらした位置にシグナル端子、グランド端子を接触させてインピーダンス及び位相の測定を行った。インピーダンスの測定結果を図１４に符号４２を附した一点破線で示す。位相の測定結果を図１４に符号４３を附した一点破線で示す。
【００７８】
実施例に係る弾性境界波共振子１において、中心からＹ方向のＹ２側に５０μｍだけずらした位置にシグナル端子、グランド端子を接触させてインピーダンス及び位相の測定を行った。インピーダンスの測定結果を図１４に符号４４を附した点線で示す。位相の測定結果を図１４に符号４５を附した点線で示す。
【００７９】
また、実施例に係る弾性境界波共振子１において、中心からＸ方向のＸ１側に５０μｍだけずらした位置にシグナル端子、グランド端子を接触させてインピーダンス及び位相の測定を行った。さらに、実施例に係る弾性境界波共振子１において、中心からＸ方向のＸ２側に５０μｍだけずらした位置にシグナル端子、グランド端子を接触させてインピーダンス及び位相の測定を行った。結果を、第１〜第３のプローブパッド１６〜１８の中心にシグナル端子、グランド端子を接触させた場合の結果と共に図１５に示す。なお、図１５では、３つのグラフが重なって一本のグラフとして表示されている。
【００８０】
比較例として、第１〜第３の配線が図４に示す形状を有することを除いて、上記実施例と同じ構造を有する弾性境界波共振子を作製した。
【００８１】
比較例に係る弾性境界波共振子において、第１〜第３のプローブパッドの中心にシグナル端子、グランド端子を接触させてインピーダンス及び位相の測定を行った。インピーダンスの測定結果を図１６に符号５０を附した実線で示す。位相の測定結果を図１６に符号５１を附した実線で示す。
【００８２】
比較例に係る弾性境界波共振子において、中心からＹ方向のＹ１側に５０μｍだけずらした位置にシグナル端子、グランド端子を接触させてインピーダンス及び位相の測定を行った。インピーダンスの測定結果を図１６に符号５２を附した一点破線で示す。位相の測定結果を図１６に符号５３を附した一点破線で示す。
【００８３】
比較例に係る弾性境界波共振子において、中心からＹ方向のＹ２側に５０μｍだけずらした位置にシグナル端子、グランド端子を接触させてインピーダンス及び位相の測定を行った。インピーダンスの測定結果を図１６に符号５４を附した点線で示す。位相の測定結果を図１６に符号５５を附した点線で示す。
【００８４】
また、比較例に係る弾性境界波共振子において、中心からＸ方向のＸ１側に５０μｍだけずらした位置にシグナル端子、グランド端子を接触させてインピーダンス及び位相の測定を行った。さらに、比較例に係る弾性境界波共振子において、中心からＸ方向のＸ２側に５０μｍだけずらした位置にシグナル端子、グランド端子を接触させてインピーダンス及び位相の測定を行った。結果を、第１〜第３のプローブパッドの中心にシグナル端子、グランド端子を接触させた場合の結果と共に図１７に示す。なお、図１７では、３つのグラフが重なって一本のグラフとして表示されている。
【００８５】
図１６に示すように、比較例に係る弾性境界波共振子では、プローブパッドの接触位置がＹ方向にずれると測定結果が大きく変化するのに対して、図１４に示すように、実施例に係る弾性境界波共振子では、プローブパッドの接触位置がＹ方向にずれても測定結果が大きくは変化しないことがわかる。この結果から、第１の配線１３の第１のプローブパッド１６からの引き出し方向と、第２及び第３の配線１４，１５の第２及び第３のプローブパッド１７，１８からの引き出し方向とを逆にすることにより、プローブパッドの接触位置のＹ方向におけるばらつきによる測定ばらつきを低減できることがわかる。
【００８６】
なお、図１５及び図１７に示すように、プローブパッドの接触位置をＸ方向にずらした場合は、実施例及び比較例の両方において、測定結果に実質的な変化はみられなかった。この結果から、第１の配線１３の第１のプローブパッド１６からの引き出し方向と、第２及び第３の配線１４，１５の第２及び第３のプローブパッド１７，１８からの引き出し方向とを逆にした場合は、プローブパッドの接触位置のＸ方向におけるばらつきによる測定ばらつきは実質的に生じないことが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】第１の実施形態に係る弾性境界波共振子の概略平面図である。但し、誘電体の図示は省略している。
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ矢視図である。
【図３】図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。
【図４】第１〜第３の配線が第１〜第３のプローブパッドからＸ２側に引き出された弾性境界波共振子の概略平面図である。但し、誘電体の図示は省略している。
【図５】第１の実施形態の弾性境界波共振子を直列腕共振子及び並列腕共振子として備えるラダー型弾性波フィルタの略図的回路図である。
【図６】第１の実施形態における弾性境界波共振子の製造工程を表すフローチャートである。
【図７】第２の実施形態における弾性境界波共振子の製造工程を表すフローチャートである。
【図８】ＩＤＴ、第１〜第３の配線及び第１〜第３のプローブパッドが形成された圧電ウエハの一部を表す概略平面図である。
【図９】第３の実施形態における弾性境界波共振子の製造工程を表すフローチャートである。
【図１０】第４の実施形態における弾性境界波共振子の製造工程を表すフローチャートである。
【図１１】第１の変形例に係る弾性境界波共振子の概略平面図である。但し、誘電体の図示は省略している。
【図１２】第２の変形例に係る弾性境界波共振子の概略平面図である。但し、誘電体の図示は省略している。
【図１３】第３の変形例に係る弾性境界波共振子の概略平面図である。但し、誘電体の図示は省略している。
【図１４】実施例に係る弾性境界波共振子におけるインピーダンスと位相との測定結果を表すグラフである。
【図１５】実施例に係る弾性境界波共振子におけるインピーダンスと位相との測定結果を表すグラフである。
【図１６】比較例に係る弾性境界波共振子におけるインピーダンスと位相との測定結果を表すグラフである。
【図１７】比較例に係る弾性境界波共振子におけるインピーダンスと位相との測定結果を表すグラフである。
【図１８】特許文献１に開示されたバンドパスフィルタの略図的平面図である。
【符号の説明】
【００８８】
１…弾性境界波共振子
２…ラダー型弾性波フィルタ
１０…圧電体
１０ａ…主面
１１…ＩＤＴ
１２ａ…第１のグレーティング反射器
１２ｂ…第２のグレーティング反射器
１３…第１の配線
１３ａ…接続部
１４…第２の配線
１４ａ…接続部
１５…第３の配線
１５ａ…接続部
１６…第１のプローブパッド
１７…第２のプローブパッド
１８…第３のプローブパッド
２０…誘電体
２０ａ〜２０ｃ  開口
２１…くし歯電極
２１ａ…バスバー
２１ｂ…電極指
２２…くし歯電極
２２ａ…バスバー
２２ｂ…電極指
３０…圧電ウエハ
【図１】
0005206128.tif 000002
【図２】
0005206128.tif 000003
【図３】
0005206128.tif 000004
【図４】
0005206128.tif 000005
【図５】
0005206128.tif 000006
【図６】
0005206128.tif 000007
【図７】
0005206128.tif 000008
【図８】
0005206128.tif 000009
【図９】
0005206128.tif 000010
【図１０】
0005206128.tif 000011
【図１１】
0005206128.tif 000012
【図１２】
0005206128.tif 000013
【図１３】
0005206128.tif 000014
【図１４】
0005206128.tif 000015
【図１５】
0005206128.tif 000016
【図１６】
0005206128.tif 000017
【図１７】
0005206128.tif 000018
【図１８】
0005206128.tif 000019