(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
定数、変数、演算子、および演算の優先順位を示す括弧記号を構成要素として含みうる式であって所定の装置の状態を検査するための式である検査式の作成を支援する検査式作成支援システムであって、
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得手段と、
前記変数値取得手段によって取得された値を変数値として保持する変数値保持部と、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力手段と、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出手段と、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得手段と、
前記変数値抽出手段によって抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得手段と、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示手段と
を備えることを特徴とする、検査式作成支援システム。
【請求項２】
前記親子関係取得手段は、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係を取得することを特徴とする、請求項１に記載の検査式作成支援システム。
【請求項３】
前記ノード値表示手段は、前記各ノード毎の前記ノード値をグラフで表示することを特徴とする、請求項１または２に記載の検査式作成支援システム。
【請求項４】
前記ノード値表示手段によって表示されるグラフは、前記各ノード毎の前記ノード値が時系列でプロットされたものであることを特徴とする、請求項３に記載の検査式作成支援システム。
【請求項５】
前記ノード値表示手段は、前記各ノード毎に前記ノード値の表示／非表示を切り替えるノード値表示切替手段を有することを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項に記載の検査式作成支援システム。
【請求項６】
前記変数値取得手段は、前記検査式に含まれる変数の値をリアルタイムで取得することを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項に記載の検査式作成支援システム。
【請求項７】
前記所定の装置は、半導体製造装置であることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項に記載の検査式作成支援システム。
【請求項８】
少なくとも前記変数値取得手段、前記変数値保持部、および前記変数値抽出手段を備えるサーバと、少なくとも前記検査式入力手段および前記ノード値表示手段を備えるクライアントとによって構成されることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか１項に記載の検査式作成支援システム。
【請求項９】
定数、変数、演算子、および演算の優先順位を示す括弧記号を構成要素として含みうる式であって所定の装置の状態を検査するための式である検査式の作成を支援する検査式作成支援方法であって、
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得ステップと、
前記変数値取得ステップで取得された値を変数値として所定の変数値保持部に格納する変数値格納ステップと、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力ステップと、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出ステップと、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得ステップと、
前記変数値抽出ステップで抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得ステップと、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示ステップと
を備えることを特徴とする、検査式作成支援方法。
【請求項１０】
前記親子関係取得ステップでは、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係が取得されることを特徴とする、請求項９に記載の検査式作成支援方法。
【請求項１１】
前記ノード値表示ステップでは、前記各ノード毎の前記ノード値がグラフで表示されることを特徴とする、請求項９または１０に記載の検査式作成支援方法。
【請求項１２】
定数、変数、演算子、および演算の優先順位を示す括弧記号を構成要素として含みうる式であって所定の装置の状態を検査するための式である検査式の作成を支援する検査式作成支援プログラムであって、
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得ステップと、
前記変数値取得ステップで取得された値を変数値として所定の変数値保持部に格納する変数値格納ステップと、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力ステップと、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出ステップと、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得ステップと、
前記変数値抽出ステップで抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得ステップと、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示ステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする、検査式作成支援プログラム。
【請求項１３】
前記親子関係取得ステップでは、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係が取得されることを特徴とする、請求項１２に記載の検査式作成支援プログラム。
【請求項１４】
前記ノード値表示ステップでは、前記各ノード毎の前記ノード値がグラフで表示されることを特徴とする、請求項１２または１３に記載の検査式作成支援プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置等の各種装置の稼動状況等を検査するための検査式の作成を支援するシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、産業用機器等の稼動状況（正常に動作しているか否か）を監視するシステムが知られている。例えば半導体製造装置の分野では、半導体製造装置とそれを監視するためのサーバ（以下、「監視サーバ」という。）とがネットワークで接続され、半導体製造装置を制御するためのＩＯデバイスやアナログデバイスのデータ（パラメータ値）、装置コントローラ上のデータ（パラメータ値）等がリアルタイムで監視サーバに収集される。そして、監視サーバにおいて、その収集されたパラメータ値等に基づいて、半導体製造装置の稼動状況の検査が行われる。
【０００３】
半導体製造装置の稼動状況の検査に際しては、予め、各種パラメータ（変数）を含む四則演算、論理演算、比較演算等の演算を行うための検査用の演算式（以下、「検査式」という。）が作成される。そして、監視サーバに収集されたパラメータ値をその検査式に代入することによって、稼動状況の良否が判定される。なお、検査式の作成は、一般的には、監視サーバに接続されたクライアントと呼ばれるパソコンで行われている。
【０００４】
例えば、予め設定された「薬液温度設定値」と半導体製造装置から収集（取得）される「薬液温度」との差が５度以上であれば正常に動作していない旨の判定を行う検査式について説明する。上述の判定を行うための検査式は「薬液温度−薬液温度設定値＜５」と表される。ここで、薬液温度の値が「５２」で、薬液温度設定値の値が「５０」のときには、これらの値を検査式に代入すると「５０−５２＜５」となり、当該検査式の結果は「真」となる。これにより、半導体製造装置は正常に動作している旨の判定が行われる。一方、薬液温度の値が「５６」で、薬液温度設定値の値が「５０」のときには、これらの値を検査式に代入すると「５６−５２＜５」となり、当該検査式の結果は「偽」となる。これにより、半導体製造装置は正常に動作していない旨の判定が行われる。以上のようにして、検査式に基づき、半導体製造装置の稼動状況の検査が行われている。
【０００５】
なお、後述するように本発明の各実施形態では上記検査式をツリー構造化しているところ、特開２００３−６１７２号公報には、加工ソフトウェアの所定の演算に係る演算式をツリー構造として認識して、ツリーを分割して新たな加工ソフトウェアを作成する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−６１７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述の検査式には、多数のパラメータや多数の演算を含むものがある。このため、検査式が複雑になり、検査式の作成段階において当該検査式の妥当性を判断することが困難なことがある。仮にこのような複雑な検査式が装置の検査に適用されたとしても、当該検査式によって装置の異常が正しく検出されるか否かは、検査式に用いられているパラメータの値が実際に異常な値になるまで確認することができない。このため、検査式に多数のパラメータや多数の演算が含まれるときには、装置の異常を正しく検出することのできる検査式を作成することは極めて困難である。
【０００７】
そこで、本発明は、半導体製造装置等の各種装置の検査に用いられる検査式の作成が行われる際にユーザーが当該検査式の妥当性を容易に判断することができるよう、検査式の作成を支援するシステムを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、定数、変数、演算子、および演算の優先順位を示す括弧記号を構成要素として含みうる式であって所定の装置の状態を検査するための式である検査式の作成を支援する検査式作成支援システムであって、
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得手段と、
前記変数値取得手段によって取得された値を変数値として保持する変数値保持部と、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力手段と、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出手段と、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得手段と、
前記変数値抽出手段によって抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得手段と、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示手段と
を備えることを特徴とする。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明において、
前記親子関係取得手段は、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係を取得することを特徴とする。
【００１０】
第３の発明は、第１または第２の発明において、
前記ノード値表示手段は、前記各ノード毎の前記ノード値をグラフで表示することを特徴とする。
【００１１】
第４の発明は、第３の発明において、
前記ノード値表示手段によって表示されるグラフは、前記各ノード毎の前記ノード値が時系列でプロットされたものであることを特徴とする。
【００１２】
第５の発明は、第１から第４までのいずれかの発明において、
前記ノード値表示手段は、前記各ノード毎に前記ノード値の表示／非表示を切り替えるノード値表示切替手段を有することを特徴とする。
【００１３】
第６の発明は、第１から第５までのいずれかの発明において、
前記変数値取得手段は、前記検査式に含まれる変数の値をリアルタイムで取得することを特徴とする。
【００１４】
第７の発明は、第１から第６までのいずれかの発明において、
前記所定の装置は、半導体製造装置であることを特徴とする。
【００１５】
第８の発明は、第１から第７までのいずれかの発明において、
少なくとも前記変数値取得手段、前記変数値保持部、および前記変数値抽出手段を備えるサーバと、少なくとも前記検査式入力手段および前記ノード値表示手段を備えるクライアントとによって構成されることを特徴とする。
【００１６】
第９の発明は、定数、変数、演算子、および演算の優先順位を示す括弧記号を構成要素として含みうる式であって所定の装置の状態を検査するための式である検査式の作成を支援する検査式作成支援方法であって、
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得ステップと、
前記変数値取得ステップで取得された値を変数値として所定の変数値保持部に格納する変数値格納ステップと、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力ステップと、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出ステップと、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得ステップと、
前記変数値抽出ステップで抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得ステップと、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示ステップと
を備えることを特徴とする。
【００１７】
第１０の発明は、第９の発明において、
前記親子関係取得ステップでは、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係が取得されることを特徴とする。
【００１８】
第１１の発明は、第９または第１０の発明において、
前記ノード値表示ステップでは、前記各ノード毎の前記ノード値がグラフで表示されることを特徴とする。
【００１９】
第１２の発明は、定数、変数、演算子、および演算の優先順位を示す括弧記号を構成要素として含みうる式であって所定の装置の状態を検査するための式である検査式の作成を支援する検査式作成支援プログラムであって、
前記検査式に含まれうる変数の値を前記所定の装置から取得する変数値取得ステップと、
前記変数値取得ステップで取得された値を変数値として所定の変数値保持部に格納する変数値格納ステップと、
外部から与えられる検査式である新規検査式の入力を受け付ける検査式入力ステップと、
前記新規検査式に含まれる変数の値を前記変数値保持部から抽出する変数値抽出ステップと、
前記新規検査式に含まれる構成要素のうち前記括弧記号以外の構成要素をノードとし、前記括弧記号および前記演算子による演算の優先順位に基づいて前記ノード間の親子関係を取得する親子関係取得ステップと、
前記変数値抽出ステップで抽出された変数値を前記新規検査式に代入することによって得られる結果を、前記ノード間の親子関係に基づいて各ノード毎にノード値として取得するノード値取得ステップと、
前記各ノード毎に前記ノード値を表示するノード値表示ステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００２０】
第１３の発明は、第１２の発明において、
前記親子関係取得ステップでは、前記新規検査式に基づいて、該新規検査式に含まれる構成要素のうちの演算子を親ノードとし該演算子の左右の構成要素を子ノードとする二分木形式のツリー構造を生成することにより、前記ノード間の親子関係が取得されることを特徴とする。
【００２１】
第１４の発明は、第１２または第１３の発明において、
前記ノード値表示ステップでは、前記各ノード毎の前記ノード値がグラフで表示されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
上記第１の発明によれば、検査式に含まれうる変数の値が変数値取得手段によって取得され、その値が変数値として変数値保持部に蓄積される。また、外部から入力された検査式（新規検査式）に含まれる変数についての値が上記変数値保持部より抽出される。また、親子関係取得手段によって、新規検査式についてのノード（定数、変数、演算子）間の親子関係が取得される。そして、上記変数値保持部より抽出された変数値を新規検査式に代入することによって得られる結果が、各ノード毎にノード値として取得される。さらに、各ノード毎のノード値がノード値表示手段によって表示される。このため、ユーザーは、検査式を新たに作成したときに、過去のデータを当該検査式に適用した結果を確認することができる。これにより、ユーザーは、検査式の妥当性を容易に判断することができる。また、過去のデータを検査式に適用した結果は検査式のノード毎に表示される。このため、ユーザーは、検査式のどの部分に誤りがあるかを容易に判断することができる。
【００２３】
上記第２の発明によれば、上記第１の発明と同様、ユーザーは、新規作成した検査式の妥当性を容易に判断することができるとともに、検査式のどの部分に誤りがあるかを容易に判断することができる。
【００２４】
上記第３の発明によれば、過去のデータを検査式に適用した結果がグラフとして表示される。このため、ユーザーは、検査式の妥当性の判断を視覚的に行うことができる。これにより、ユーザーによる検査式作成作業がより効率化する。
【００２５】
上記第４の発明によれば、過去のデータを検査式に適用した結果が時系列のグラフとして表示される。このため、ユーザーは、過去に装置が異常になった時のデータを検査式に適用した結果を容易に確認することができる。
【００２６】
上記第５の発明によれば、ユーザーは、過去のデータを検査式に適用した結果の表示／非表示を必要に応じて各ノード毎に切り替えることができる。このため、結果の見やすさが向上し、ユーザーによる検査式作成作業が更に効率化する。
【００２７】
上記第６の発明によれば、検査式に含まれる変数の値が検査対象の装置からリアルタイムで取得され、当該変数の値は変数値保持部に蓄積される。このため、過去の各時点における検査対象の装置の状態に基づいて、新規作成した検査式の妥当性の判断を行うことができる。
【００２８】
上記第７の発明によれば、半導体製造装置の状態を検査するために作成される検査式の妥当性の判断が容易になる。
【００２９】
上記第８の発明によれば、検査式作成支援システムはサーバとクライアントとによって構成される。このため、サーバとクライアントとに処理を分散させることができる。また、検査式入力手段とノード値表示手段とがクライアントに設けられていることから、ユーザーは、新規作成した検査式の入力と当該検査式の妥当性の判断をクライアント（クライアントパソコン）で行うことができる。さらに、ユーザーが複数存在するときに複数のクライアントを備える構成にすれば、各ユーザーはそれぞれのクライアントで検査式の入力と当該検査式の妥当性の判断を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
【００３１】
＜１．第１の実施形態＞
＜１．１  検査式作成支援システムの全体構成およびハードウェア構成＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る検査式作成支援システム全体の概略構成図である。この検査式作成支援システムは、監視サーバ２と呼ばれるコンピュータとクライアント３と呼ばれる１または複数のコンピュータとによって構成されている。本実施形態における検査式作成支援システムは、半導体製造装置４の稼動状況（正常に稼動しているか否か）を検査するための検査式の作成を支援するものである。従って、半導体製造装置４そのものについては検査式作成支援システムの構成要素ではないが、半導体製造装置４と監視サーバ２とがイーサネット（富士ゼロックス株式会社の登録商標）や省配線等のネットワークによって接続されている。
【００３２】
監視サーバ２は、クライアント３で作成された検査式（新規検査式）を解析し、当該検査式の妥当性をグラフによってユーザーに判断させるためのデータ（以下、「グラフ作成用データ」という。）を生成する。また、監視サーバ２は、既存の検査式（新規作成後、半導体製造装置４の検査に適用されることになった検査式）を用いて、半導体製造装置４の稼動状況を検査する。クライアント３は、ユーザーによる新たな検査式（新規検査式）の入力を受け付け、当該検査式の妥当性をユーザに判断させるためのグラフを表示する。
【００３３】
図２は、本実施形態における監視サーバ２のハードウェア構成を示すブロック図である。監視サーバ２は、パソコン（パーソナルコンピュータ）を用いて実現されており、本体５０と補助記憶装置６０とＣＲＴ等の表示装置６１とキーボード６２やマウス６３等の入力装置とを備えている。パソコン本体５０には、ＣＰＵ５００とＲＡＭやＲＯＭ等のメモリ５１０とネットワークインタフェース部５２０とディスクインタフェース部５３０と表示制御部５４０と入力インタフェース部５５０とが含まれている。ディスクインタフェース部５３０には補助記憶装置６０が接続され、表示制御部５４０には表示装置６１が接続され、入力インタフェース部５５０には入力装置が接続されている。また、外部とのデータ通信を行うために、ネットワークインタフェース部５２０は、イーサネット（富士ゼロックス株式会社の登録商標）や省配線等に接続されている。なお、外部とのデータ通信に用いられるプロトコルについては特に限定されない。
【００３４】
補助記憶装置６０には、検査式の作成を支援するためのプログラム（以下、「検査式作成支援プログラム」という。）６００が格納されている。この監視サーバ２の動作が開始すると、検査式作成支援プログラム６００はディスクインタフェース部５３０を介してメモリ５１０に読み込まれる。そして、ＣＰＵ５００によって、検査式作成支援プログラムが実行される。なお、この検査式作成支援プログラム６００は、例えばＣＤ−ＲＯＭ等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体に格納されて提供される。すなわち利用者は、検査式作成支援プログラム６００の記録媒体としてのＣＤ−ＲＯＭを購入してＣＤ−ＲＯＭ駆動装置（不図示）に装着し、そのＣＤ−ＲＯＭから検査式作成支援プログラム６００を読み出して補助記憶装置６０にインストールする。また、これに代えて、ネットワークを介して送られる検査式作成支援プログラム６００を受信して、補助記憶装置６０にインストールするようにしてもよい。
【００３５】
クライアント３のハードウェア構成については、図２に示す監視サーバ２のハードウェア構成と同様の構成となっているので、説明を省略する。但し、監視サーバ２は多数のクライアント３からの処理要求に応答する必要や半導体製造装置４の稼動状況を検査する処理を行う必要があるため、クライアント３よりも監視サーバ２の方が高い処理能力が必要とされる。
【００３６】
＜１．２  検査式作成支援システムの機能構成＞
図３は、本実施形態における検査式作成支援システムの機能ブロック図である。監視サーバ２は、第１通信制御部２１とパラメータ監視部２２とパラメータ履歴管理部２３とパラメータ履歴データベース２４と第２通信制御部２５と検査式解析部２６とを備えている。クライアント３は、通信制御部３１と検査式入力部３２とパラメータグラフ表示部３３とを備えている。半導体製造装置４は、通信制御部４１を備えている。以下、監視サーバ２、クライアント３、および半導体製造装置４内の各構成要素の動作について説明する。
【００３７】
＜１．２．１  監視サーバの構成要素の動作＞
第１通信制御部２１は、この監視サーバ２と半導体製造装置４とのデータ通信のために機能する。具体的には、第１通信制御部２１は、半導体製造装置４の通信制御部４１から送られる現在パラメータ値ＰＡを受け取り、当該現在パラメータ値ＰＡをパラメータ監視部２２とパラメータ履歴管理部２３とに与える。なお、現在パラメータ値ＰＡとは、検査式に用いられているパラメータについてのリアルタイムで半導体製造装置４から収集される値のことである。また、半導体製造装置４から収集されるパラメータの値は一般的には複数あり、それら複数のパラメータの値をまとめて「現在パラメータ値ＰＡ」という。
【００３８】
パラメータ監視部２２は、第１通信制御部２１から与えられる現在パラメータ値ＰＡを用いて、既存の検査式を実行する。そして、半導体製造装置（以下、単に「装置」ともいう。）４の稼動状況が異常であれば、パラメータ監視部２２は第２通信制御部２５に異常通知（アラーム）ＡＬを与える。なお、「検査式を実行する」とは、装置４の検査を行う段階においては既存の検査式に含まれているパラメータに装置４から収集された現在パラメータ値ＰＡを代入することで、新規作成された検査式の妥当性の判断を行う段階においては当該検査式に含まれるパラメータに後述する過去パラメータ値ＰＢを代入することである。パラメータ監視部２２は、既存の検査式に現在パラメータ値ＰＡを代入した後の検査式の真偽によって装置４の稼動状況を判断する。具体的には、検査式が「真」になっていれば、「装置の稼動状況は正常である」と判断され、検査式が「偽」になっていれば、「装置の稼動状況は異常である」と判断される。また、検査式Ｋの新規作成についてはクライアント３で行われるが、その新規作成された検査式Ｋが装置４の検査に適用されることになれば、当該検査式Ｋは第２通信制御部２５を介してクライアント３からパラメータ監視部２２に送られる。
【００３９】
パラメータ履歴管理部２３は、第１通信制御部２１から与えられる現在パラメータ値ＰＡを受け取り、当該現在パラメータ値ＰＡをパラメータ履歴データベース２４に格納する。また、パラメータ履歴管理部２３は、パラメータ履歴データベース２４に格納済みのパラメータ値を過去パラメータ値ＰＢとして読み出し、当該過去パラメータ値ＰＢを検査式解析部２６に与える。パラメータ履歴データベース２４には、半導体製造装置４から収集されたパラメータ値が蓄積される。なお、検査式に複数のパラメータが含まれている場合、それら複数のパラメータについての過去の値をまとめて「過去パラメータ値ＰＢ」という。
【００４０】
第２通信制御部２５は、この監視サーバ２とクライアント３とのデータ通信のために機能する。具体的には、第２通信制御部２５は、新規作成された検査式Ｋをクライアント３の通信制御部３１から受け取り、当該検査式Ｋを検査式解析部２６に与える。また、新規作成された検査式Ｋが装置４の検査に適用されることになれば、第２通信制御部２５は、当該検査式Ｋをパラメータ監視部２２に与える。また、第２通信制御部２５は、検査式解析部２６から与えられるグラフ作成用データＧＤを受け取り、当該グラフ作成用データＧＤをクライアント３の通信制御部３１に送信する。さらに、第２通信制御部２５は、パラメータ監視部２２から与えられる異常通知ＡＬを受け取り、当該異常通知ＡＬをクライアント３の通信制御部３１に送信する。
【００４１】
検査式解析部２６は、第２通信制御部２５から与えられる検査式Ｋとパラメータ履歴管理部２３から与えられる過去パラメータ値ＰＢとを受け取り、グラフ作成用データＧＤを生成する。そして、検査式解析部２６は、グラフ作成用データＧＤを第２通信制御部２５に与える。
【００４２】
なお、本実施形態においては、第１通信制御部２１によって変数値取得手段が実現され、パラメータ履歴データベース２４によって変数値保持部が実現され、パラメータ履歴管理部２３によって変数値抽出手段が実現されている。また、検査式解析部２６によって親子関係取得手段とノード値取得手段とが実現されている。
【００４３】
＜１．２．２  クライアントの構成要素の動作＞
通信制御部３１は、この監視サーバ２とクライアント３とのデータ通信のために機能する。具体的には、通信制御部３１は、検査式入力部３２から与えられる検査式（新規検査式）Ｋを受け取り、当該検査式Ｋを監視サーバ２の第２通信制御部２５に送信する。また、通信制御部３１は、監視サーバ２の第２通信制御部２５から送られるグラフ作成用データＧＤを受け取り、当該グラフ作成用データＧＤをパラメータグラフ表示部３３に与える。さらに、通信制御部３１は、監視サーバ２の第２通信制御部２５から送られる異常通知ＡＬを受け取り、所定のディスプレイ（不図示）に装置４の稼動状況が異常である旨の表示を行わせる。
【００４４】
検査式入力部３２は、ユーザーによる新規の検査式の入力を受け付ける。そして、検査式入力部３２は、ユーザーによって入力された検査式（新規検査式）Ｋを通信制御部３１に与える。パラメータグラフ表示部３３は、通信制御部３１から与えられるグラフ作成用データＧＤを受け取り、当該グラフ作成用データＧＤに基づくグラフをディスプレイに表示する。
【００４５】
なお、本実施形態においては、検査式入力部３２によって検査式入力手段が実現され、パラメータグラフ表示部３３によってノード値表示手段が実現されている。
【００４６】
＜１．２．３  半導体製造装置の構成要素の動作＞
通信制御部４１は、この半導体製造装置４内でリアルタイムで取得される各種パラメータの値（例えば、ＩＯデバイスやアナログデバイスのデータ、装置コントローラ上のデータ）を現在パラメータ値ＰＡとして監視サーバ２の第１通信制御部２１に送信する。
【００４７】
＜１．３  装置検査処理＞
次に、監視サーバ２で行われる半導体製造装置４の稼動状況を検査する処理（以下、「装置検査処理」という。）について説明する。図４は、装置検査処理の手順を示すフローチャートである。監視サーバ２の動作開始後、ステップＳ１１０では、第１通信制御部２１によって、半導体製造装置４の通信制御部４１から送られる現在パラメータ値ＰＡの受信が行われる。ステップＳ１２０では、第１通信制御部２１からパラメータ監視部２２への現在パラメータ値ＰＡの伝達が行われる。ステップＳ１３０では、パラメータ監視部２２によって、現在パラメータ値ＰＡを用いた検査式の実行が行われる。
【００４８】
ステップＳ１４０では、検査式の実行結果の判定が行われる。判定の結果、装置４の稼動状況が異常であればステップＳ１５０に進み、異常でなければステップＳ１６０に進む。ステップＳ１５０では、第２通信制御部２５を介して、パラメータ監視部２２からクライアント３の通信制御部３１への異常通知が行われる。
【００４９】
ステップＳ１６０では、第１通信制御部２１からパラメータ履歴管理部２３への現在パラメータ値ＰＡの伝達が行われる。ステップＳ１７０では、パラメータ履歴管理部２３によって、現在パラメータ値ＰＡがパラメータ履歴データベース２４に格納される。
【００５０】
以上のステップが監視サーバ２の動作中、繰り返し行われる。なお、本実施形態においては、ステップＳ１６０以降の処理がステップＳ１４０またはステップＳ１５０の終了後に実行される構成としているが、ステップＳ１１０からステップＳ１５０までの処理とステップＳ１６０からステップＳ１７０までの処理とが並行して実行される構成であっても良い。また、本実施形態においては、ステップＳ１１０によって変数値取得ステップが実現され、ステップＳ１７０によって変数値格納ステップが実現されている。
【００５１】
＜１．４  検査式作成支援処理＞
次に、本実施形態における検査式作成支援処理の手順について説明する。図５は、検査式作成支援処理の概略手順を示すフローチャートである。ステップＳ２０では、クライアント３において検査式入力受付処理が行われる。検査式入力受付処理では、ユーザーによる新規な検査式Ｋの入力が行われ、当該検査式Ｋがクライアント３から監視サーバ２に送信される。ステップＳ３０では、監視サーバ２においてグラフ作成用データ生成処理が行われる。グラフ作成用データ生成処理では、検査式Ｋに含まれるパラメータについての過去の値（過去パラメータ値ＰＢ）が取得され、当該過去パラメータ値ＰＢを用いて検査式Ｋを実行することにより、検査式Ｋの妥当性をグラフを示してユーザーに判断させるためのグラフ作成用データＧＤの生成が行われる。ステップＳ４０では、クライアント３において結果表示処理が行われる。結果表示処理では、過去パラメータ値ＰＢを用いて検査式Ｋを実行した結果のグラフによる表示が行われる。以下、検査式入力受付処理、グラフ作成用データ生成処理、および結果表示処理の詳細な手順について説明する。
【００５２】
＜１．４．１  検査式入力受付処理＞
図６は、検査式入力受付処理の手順を示すフローチャートである。ステップＳ２１０では、ユーザーによる検査式Ｋの入力が行われる。検査式Ｋの入力は、例えば図７に示すようなダイアログ（以下、「検査式入力ダイアログ」という。）７０を用いて行われる。検査式入力ダイアログ７０には、ユーザーが検査式Ｋを入力するためのテキストボックス（以下、「検査式入力用テキストボックス」という。）７１と、検査式入力用テキストボックス７１に入力された検査式Ｋを保存するためのボタン（以下、「保存ボタン」という。）７２と、過去パラメータ値ＰＢを用いた検査式Ｋの実行を指示するためのボタン（以下、「計算ボタン」という。）７３と、検査式Ｋの実行結果（計算結果）を表示するための領域（以下、「計算結果表示領域」という。）７４とが含まれている。
【００５３】
ユーザーは、各種パラメータの名称（以下、「パラメータ名」という。）、定数、演算子（演算記号）、および演算の優先順位を定めるための括弧記号などを検査式Ｋに使用することができる。図８は、検査式Ｋで使用される演算子等の一例を示す図である。図８に示すように、検査式Ｋで使用される演算子等には、四則演算、論理演算、および比較演算を行うための演算子（演算記号）や上述の括弧記号が含まれている。
【００５４】
ステップＳ２２０では、検査式入力部３２から通信制御部３１への検査式Ｋの伝達が行われる。具体的には、ユーザーによって検査式入力ダイアログ７０の計算ボタン７３が押下されることにより、検査式入力部３２としての検査式入力ダイアログ７０に入力されている検査式Ｋが通信制御部３１に伝達される。その後、ステップＳ２３０で、通信制御部３１から監視サーバ２の第２通信制御部２５への検査式Ｋの送信が行われる。以上のステップが終了すると、監視サーバ２側の処理（図５のステップＳ３０）に進み、クライアント３では、監視サーバ２からのグラフ作成用データＧＤの送信待ち状態となる。
【００５５】
なお、本実施形態においては、ステップＳ２１０によって検査式入力ステップが実現されている。
【００５６】
＜１．４．２  グラフ作成用データ生成処理＞
図９は、グラフ作成用データ生成処理の手順を示すフローチャートである。ステップＳ３１０では、第２通信制御部２５によって、クライアント３の通信制御部３１から送られる検査式Ｋが受信される。ステップＳ３２０では、第２通信制御部２５から検査式解析部２６への検査式Ｋの伝達が行われる。
【００５７】
ステップＳ３３０では、検査式解析部２６によって、検査式Ｋのツリー構造化が行われる。このツリー構造化について以下に詳しく説明する。ここでは、検査式Ｋとして次式（１）が与えられたものとする。なお、Ａ、Ｂ、Ｃ、およびＤはパラメータ名とする。
（（Ａ＋Ｂ）＊（Ｃ＋Ｄ））／４＜２０      ・・・（１）
【００５８】
まず、検査式Ｋを構成するパラメータ名、定数、および演算子が、図１０に示すように、ノードに分解される。なお、図１０においては、円（丸印）がノードであることを示している。すなわち、パラメータ名、定数、および演算子についてはノードとなるが、優先順位を示す括弧記号についてはノードとはならない。
【００５９】
図１０に示すように検査式Ｋがノードに分解された後、演算子による演算の優先順位および括弧記号による演算の優先順位が考慮されつつ、３つのノード毎にツリー構造化が行われる。例えば、上式（１）の「Ａ＋Ｂ」の部分に着目すると、図１１（ａ）に示すように３つのノードが存在する。ツリー構造化によって、これらの３つのノードのうち演算子は親ノードとされ、左項目および右項目は子ノードとされる。その結果、図１１（ａ）に示した３つのノードは、図１１（ｂ）に示すようにツリー構造化される。このように、３つのノード毎に二分木形式のツリー構造が生成される。以上のような３つのノード毎のツリー構造化が検査式Ｋの全体に対して行われることにより、上式（１）に示した検査式Ｋは、図１２に示すようにツリー構造化される。なお、３つのノード毎にツリー構造化が行われる際、パラメータ名や定数については、親ノードになることはない。また、演算子については、親ノードにも子ノードにもなり得る。
【００６０】
検査式Ｋのツリー構造化の終了後、ステップＳ３４０では、検査式解析部２６によって、過去パラメータ値ＰＢの取得が行われる。具体的には、検査式Ｋに含まれているパラメータについての過去パラメータ値ＰＢをパラメータ履歴管理部２３がパラメータ履歴データベース２４から取得する。そして、その過去パラメータ値ＰＢがパラメータ履歴管理部２３から検査式解析部２６に伝達される。なお、いかなる期間の過去パラメータ値ＰＢが検査式解析部２６によって取得されるかについては、パラメータ履歴データベース２４に保存されている全期間の過去パラメータ値ＰＢが取得されるようにしても良いし、予め定められた期間（例えば、最近３ヶ月）の過去パラメータ値ＰＢのみが取得されるようにしても良い。
【００６１】
過去パラメータ値ＰＢの取得の終了後、ステップＳ３５０では、検査式Ｋのツリー構造化後のノードのうちの演算子のノードについての演算結果（計算結果）の算出が行われる。これについて、図１３を参照しつつ説明する。図１３において、各ノードには参照符号Ｎ１〜Ｎ１１を付し、演算結果の算出が行われるノードを実線の円（丸印）で示し、演算結果の算出が行われないノードを点線の円（丸印）で示している。パラメータ名のノードＮ１〜Ｎ４については、ステップＳ３４０で取得された過去パラメータ値ＰＢの代入がなされれば良いので、演算結果の算出は行われない。また、定数のノードＮ８およびＮ１０については、定数をそのまま数値として使用すれば良いので、演算結果の算出は行われない。演算子のノードＮ５〜Ｎ７、Ｎ９、およびＮ１１については、それぞれの子ノードの値（過去パラメータ値ＰＢ、定数）もしくは演算結果を用いて、親ノードとしての演算結果の算出が行われる。例えば、ノードＮ５については、パラメータ「Ａ」についての過去パラメータ値とパラメータ「Ｂ」についての過去パラメータ値との和が演算結果として算出される。また、例えば、ノードＮ７については、ノードＮ５の演算結果とノードＮ６の演算結果との積が演算結果として算出される。さらに、例えば、ノードＮ１１については、ノードＮ９の演算結果と定数「２０」との比較結果が演算結果として算出される。
【００６２】
以上のようにしてツリー構造化後のノードについての演算結果の算出が行われた後、ステップＳ３６０では、検査式解析部２６によって、グラフ作成用データＧＤの生成が行われる。詳しくは、検査式解析部２６は、ステップＳ３４０で取得された過去パラメータ値ＰＢとステップＳ３５０で算出された演算結果とをひとまとまりにして、それをグラフ作成用データＧＤとする。なお、後述するように、クライアント３では、このグラフ作成用データＧＤを用いて時系列のグラフが作成される。
【００６３】
ステップＳ３７０では、検査式解析部２６から第２通信制御部２５への上述のグラフ作成用データＧＤの伝達が行われる。その後、ステップＳ３８０で、第２通信制御部２５からクライアント３の通信制御部３１へのグラフ作成用データＧＤの送信が行われる。以上のステップが終了すると、クライアント３側での処理（図５のステップＳ４０）に進む。
【００６４】
なお、本実施形態においては、ステップＳ３３０によって親子関係取得ステップが実現され、ステップＳ３４０によって変数値抽出ステップが実現され、ステップＳ３５０によってノード値取得ステップが実現されている。
【００６５】
＜１．４．３  結果表示処理＞
図１４は、結果表示処理の手順を示すフローチャートである。ステップＳ４１０では、通信制御部３１によって、監視サーバ２の第２通信制御部２５から送信されるグラフ作成用データＧＤが受信される。ステップＳ４２０では、通信制御部３１からパラメータグラフ表示部３３へのグラフ作成用データＧＤの伝達が行われる。
【００６６】
ステップＳ４３０では、パラメータグラフ表示部３３によって、検査式の実行結果のグラフによる表示が行われる。具体的には、検査式入力ダイアログ７０において、パラメータグラフ表示部３３としての計算結果表示領域７４に図１５に示すようなグラフが表示される。なお、図１５は、「Ａ＋Ｂ」の演算結果についてのグラフ表示の指示がユーザーによって行われたときの状態を示している。また、いかなる期間のグラフ表示が行われるかについては、パラメータ履歴データベース２４に過去パラメータ値ＰＢが保存されている最も古い時点から現時点までの全期間のグラフ表示が行われても良いし、予め定められた期間（例えば、最近３ヶ月）のグラフ表示が行われても良い。
【００６７】
図１６は、ステップＳ４３０において計算結果表示領域７４に表示される画面について説明するための図である。ステップＳ４３０においては、まず、計算結果表示領域７４に図１６（ａ）に示すような画面が表示される。詳しくは、図１６（ａ）の参照符号７４３で示す領域に、ステップＳ３４０で値（過去パラメータ値ＰＢ）の取得が行われたパラメータの名称（パラメータ名）とステップＳ３５０で演算結果の算出が行われた演算式とがリスト形式で表示される。また、パラメータ名や演算式の左側すなわち図１６（ａ）の参照符号７４２で示す領域に、「＋」のマークが表示される。ここで、例えば参照符号７４１で示す「＋」のマークがユーザーによってクリックされると、図１６（ｂ）に示すように、クリックされた「＋」のマークに対応する演算式（「Ａ＋Ｂ」）の演算結果を示す時系列のグラフが表示される。また、図１６（ｂ）に示す状態で参照符号７４４で示す「−」のマークがユーザーによってクリックされると、計算結果表示領域７４は図１６（ａ）に示す状態に戻る。本実施形態においては、これら「＋」および「−」のマークによってノード値表示切替手段が実現されている。なお、ユーザーは、複数個の「＋」のマークをクリックすることにより、計算結果表示領域７４に複数のグラフを表示させることもできる。
【００６８】
以上のステップが終了すると、結果表示処理は終了する。この結果表示処理が終了することにより、検査式作成支援処理の全体（図５）が終了する。なお、以上の検査式作成支援処理をユーザーは何度でも繰り返し実行することができる。
【００６９】
なお、本実施形態においては、ステップＳ４３０によってノード値表示ステップが実現されている。
【００７０】
＜１．５  効果＞
以上のように、本実施形態によると、クライアント３の検査式入力部３２に入力された検査式Ｋは監視サーバ２に送られる。そして、監視サーバ２では、過去の各時点におけるパラメータ値ＰＢを用いて検査式Ｋが実行され、その実行結果をグラフ表示するためのグラフ作成用データＧＤが生成される。そのグラフ作成用データＧＤは監視サーバ２からクライアント３に送られ、クライアント３のパラメータグラフ表示部３３によって、検査式の実行結果のグラフによる表示が行われる。このため、ユーザーは、新規作成した検査式Ｋを過去の各時点における装置４の検査に擬似的に適用したときの結果を、グラフによって確認することができる。例えば、過去に装置４が異常になった時のパラメータ値を新規作成した検査式Ｋに代入した結果がグラフで表示されるので、ユーザーは、新規作成した検査式Ｋによって当該異常が正しく検出されるかを確認することができる。これにより、ユーザーは、新規作成した検査式Ｋの妥当性を容易に判断することができる。
【００７１】
ここで、具体的な例を挙げて説明する。例えば、次式（２）に示す検査式Ｋをユーザーが作成しようとしているときに、誤って次式（３）に示すような記述が行われたものと仮定する。なお、Ａ、Ｂ、Ｃ、およびＤはパラメータ名とする。
（（Ａ−Ｂ）＞＝１００）＆＆（（Ｃ＊Ｄ）＜＝２０）      ・・・（２）
（（Ａ−Ｂ）＞＝１００）＆＆（（Ｃ−Ｄ）＜＝２０）      ・・・（３）
このような誤りについては、式そのものに構文上の誤りがあるわけではないので、ユーザーが誤りに気づかないことが多い。ここで、或る時点における各パラメータの値が「Ａ＝２００，Ｂ＝５０，Ｃ＝１２０，Ｄ＝１１０」となっていれば、上式（２）の実行結果は「偽」となる。一方、上式（３）の実行結果は「真」となる。すなわち、装置４の稼動状況が異常であるにもかかわらず正常に動作している旨の判断がなされることになる。ところが、本実施形態によれば、過去に異常が生じた時の各パラメータの値を検査式Ｋに代入した結果がグラフとして表示される。このため、ユーザーは、新規作成した検査式Ｋでは上記或る時点における装置４の異常が検出されないことを認識することができる。
【００７２】
また、グラフによる結果は、検査式Ｋをツリー構造化したときのノード毎に表示される。このため、ユーザーは、検査式Ｋのいずれの部分に誤りがあるかを比較的容易に判断することができる。上述の例では、「＆＆」の右辺の演算結果が「偽」となるべきにもかかわらず「真」となるので、ユーザーは、この部分に誤りがあることを認識することができる。
【００７３】
以上より、ユーザーは新規作成した検査式Ｋの妥当性を過去のデータに基づいて判断することができるので、ユーザーにとって、従来よりも検査式Ｋの作成が容易になる。このため、検査式Ｋの作成に掛かるユーザーの負担が軽減され、作業の効率化を図ることができる。また、半導体製造装置４の監視について、誤りのある検査式Ｋを用いて運用が行われることが抑制される。このため、装置４の稼動状況の判断に関する誤りが軽減される。
【００７４】
＜２．第２の実施形態＞
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、本実施形態における検査式作成支援システム全体の概略構成およびハードウェア構成については上記第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００７５】
＜２．１  検査式作成支援システムの機能構成＞
図１７は、本実施形態における検査式作成支援システムの機能ブロック図である。監視サーバ２は、第１通信制御部２１とパラメータ監視部２２とパラメータ履歴管理部２３とパラメータ履歴データベース２４と第２通信制御部２５とを備えている。クライアント３は、通信制御部３１と検査式入力部３２とパラメータグラフ表示部３３と検査式解析部３４とを備えている。半導体製造装置４は、通信制御部４１を備えている。以上のように、本実施形態においては、上記第１の実施形態で監視サーバ２に設けられていた検査式解析部がクライアント３に設けられている。以下、監視サーバ２、クライアント３、および半導体製造装置４内の各構成要素の動作について説明する。
【００７６】
＜２．１．１  監視サーバの構成要素の動作＞
第１通信制御部２１とパラメータ監視部２２とパラメータ履歴データベース２４については、上記第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。パラメータ履歴管理部２３は、第１通信制御部２１から与えられる現在パラメータ値ＰＡを受け取り、当該現在パラメータ値ＰＡをパラメータ履歴データベース２４に格納する。また、パラメータ履歴管理部２３は、パラメータ履歴データベース２４に格納済みのパラメータ値を過去パラメータ値ＰＢとして読み出し、当該過去パラメータ値ＰＢを第２通信制御部２５に与える。
【００７７】
第２通信制御部２５は、この監視サーバ２とクライアント３とのデータ通信のために機能する。具体的には、第２通信制御部２５は、新規作成された検査式Ｋと過去パラメータ値ＰＢの送信要求信号Ｓとをクライアント３の通信制御部３１から受け取る。また、第２通信制御部２５は、新規作成されて装置４の検査に適用されることになった検査式Ｋをクライアント３の通信制御部３１から受け取り、当該検査式Ｋをパラメータ監視部２２に与える。さらに、第２通信制御部２５は、パラメータ履歴管理部２３から与えられる過去パラメータ値ＰＢを受け取り、当該過去パラメータ値ＰＢをクライアント３の通信制御部３１に送信する。さらにまた、第２通信制御部２５は、パラメータ監視部２２から与えられる異常通知ＡＬを受け取り、当該異常通知ＡＬをクライアント３の通信制御部３１に送信する。
【００７８】
なお、本実施形態においては、第１通信制御部２１によって変数値取得手段が実現され、パラメータ履歴データベース２４によって変数値保持部が実現され、パラメータ履歴管理部２３によって変数値抽出手段が実現されている。
【００７９】
＜２．１．２  クライアントの構成要素の動作＞
通信制御部３１は、この監視サーバ２とクライアント３とのデータ通信のために機能する。具体的には、通信制御部３１は、過去パラメータ値ＰＢの送信要求信号Ｓと検査式解析部３４から与えられる検査式Ｋとを監視サーバ２の第２通信制御部２５に送信する。また、通信制御部３１は、監視サーバ２の第２通信制御部２５から送られる過去パラメータ値ＰＢを受け取り、当該過去パラメータ値ＰＢを検査式解析部３４に与える。さらに、通信制御部３１は、監視サーバ２の第２通信制御部２５から送られる異常通知ＡＬを受け取り、所定のディスプレイ（不図示）に装置４の稼動状況が異常である旨の表示を行わせる。
【００８０】
検査式入力部３２は、ユーザーによる新規の検査式Ｋの入力を受け付ける。そして、検査式入力部３２は、ユーザーによって入力された検査式Ｋを検査式解析部３４に与える。パラメータグラフ表示部３３は、検査式解析部３４から与えられるグラフ作成用データＧＤを受け取り、当該グラフ作成用データＧＤに基づくグラフをディスプレイに表示する。
【００８１】
検査式解析部３４は、検査式入力部３２から与えられる検査式Ｋと通信制御部３１から与えられる過去パラメータ値ＰＢとを受け取り、グラフ作成用データＧＤを生成する。そして、検査式解析部２６は、グラフ作成用データＧＤをパラメータグラフ表示部３３に与える。
【００８２】
なお、本実施形態においては、検査式入力部３２によって検査式入力手段が実現され、パラメータグラフ表示部３３によってノード値表示手段が実現されている。また、検査式解析部３４によって親子関係取得手段とノード値取得手段とが実現されている。
【００８３】
＜２．１．３  半導体製造装置の構成要素の動作＞
通信制御部４１は、この半導体製造装置４内でリアルタイムで取得される各種パラメータの値（例えば、ＩＯデバイスやアナログデバイスのデータ、装置コントローラ上のデータ）を現在パラメータ値ＰＡとして監視サーバ２の第１通信制御部２１に送信する。
【００８４】
＜２．２  検査式作成支援処理＞
次に、本実施形態における検査式作成支援処理の手順について説明する。なお、装置検査処理の手順については、上記第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００８５】
図１８は、本実施形態における検査式作成支援処理の概略手順を示すフローチャートである。ステップＳ５０では、クライアント３において検査式入力受付処理が行われる。検査式入力受付処理では、ユーザーによる新規な検査式Ｋの入力が行われ、当該検査式Ｋに基づく過去パラメータ値ＰＢの送信要求が監視サーバ２に対して行われる。ステップＳ６０では、監視サーバ２において過去パラメータ値取得処理が行われる。過去パラメータ値取得処理では、検査式Ｋに含まれるパラメータについての過去の値（過去パラメータ値ＰＢ）が取得され、当該過去パラメータ値ＰＢが監視サーバ２からクライアント３に送信される。ステップＳ７０では、クライアント３においてグラフ作成・結果表示処理が行われる。グラフ作成・結果表示処理では、過去パラメータ値ＰＢを用いて検査式Ｋを実行することによりグラフ作成用データＧＤの生成が行われ、当該グラフ作成用データＧＤに基づくグラフ表示が行われる。以下、検査式入力受付処理、過去パラメータ値取得処理、およびグラフ作成・結果表示処理の詳細な手順について説明する。
【００８６】
＜２．２．１  検査式入力受付処理＞
図１９は、検査式入力受付処理の手順を示すフローチャートである。ステップＳ５１０では、上記第１の実施形態と同様に、ユーザーによる検査式Ｋの入力が行われる。ステップＳ５２０では、検査式入力部３２から検査式解析部３４への検査式Ｋの伝達が行われる。ステップＳ５３０では、検査式解析部３４によって、検査式Ｋのツリー構造化が行われる。なお、ツリー構造化の具体的な手法については、上記第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。ステップＳ５４０では、監視サーバ２への過去パラメータ値ＰＢの送信要求が行われる。具体的には、通信制御部３１が検査式解析部３４より検査式Ｋを受け取る。そして、通信制御部３１は、当該検査式Ｋと過去パラメータ値ＰＢの送信要求信号Ｓとを監視サーバ２の第２通信制御部２５に送信する。以上のステップが終了すると、監視サーバ２側の処理（図１８のステップＳ６０）に進み、クライアント３では、監視サーバ２からの過去パラメータ値ＰＢの送信待ち状態となる。なお、本実施形態においては、ステップＳ５１０によって検査式入力ステップが実現され、ステップＳ５３０によって親子関係取得ステップが実現されている。
【００８７】
＜２．２．２  過去パラメータ値取得処理＞
図２０は、過去パラメータ値取得処理の手順を示すフローチャートである。ステップＳ６１０では、第２通信制御部２５によって、クライアント３の通信制御部３１から送られる検査式Ｋと過去パラメータ値ＰＢの送信要求信号Ｓとが受信される。ステップＳ６２０では、第２通信制御部２５によって過去パラメータ値ＰＢが取得される。具体的には、第２通信制御部２５は、クライアント３の通信制御部３１から送られた検査式Ｋに基づいて、パラメータ履歴管理部２３を介してパラメータ履歴データベース２４より過去パラメータ値ＰＢを取得する。ステップＳ６３０では、第２通信制御部２５からクライアント３の通信制御部３１への過去パラメータ値ＰＢの送信が行われる。以上のステップが終了すると、クライアント３側での処理（図１８のステップＳ７０）に進む。なお、本実施形態においては、ステップＳ６２０によって変数値抽出ステップが実現されている。
【００８８】
＜２．２．３  グラフ作成・結果表示処理＞
図２１は、グラフ作成・結果表示処理の手順を示すフローチャートである。ステップＳ７１０では、通信制御部３１によって、監視サーバ２の第２通信制御部２５から送信される過去パラメータ値ＰＢが受信される。ステップＳ７２０では、通信制御部３１から検査式解析部３４への過去パラメータ値ＰＢの伝達が行われる。ステップＳ７３０では、検査式Ｋのツリー構造化後のノードのうちの演算子のノードについての演算結果（計算結果）の算出が行われる。なお、演算結果の算出の具体的な手法については、上記第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００８９】
ステップＳ７４０では、検査式解析部３４によって、グラフ作成用データＧＤの生成が行われる。ステップＳ７５０では、検査式解析部３４からパラメータグラフ表示部３３へのグラフ作成用データＧＤの伝達が行われる。ステップＳ７６０では、パラメータグラフ表示部３３によって、検査式Ｋの実行結果のグラフによる表示が行われる。なお、グラフ表示の具体的な手法については、上記第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００９０】
以上のステップが終了すると、グラフ作成・結果表示処理は終了する。このグラフ作成・結果表示処理が終了することにより、検査式作成支援処理の全体（図１８）が終了する。なお、本実施形態においては、ステップＳ７３０によってノード値取得ステップが実現され、ステップＳ７６０によってノード値表示ステップが実現されている。
【００９１】
＜２．３  効果＞
本実施形態においても、上記第１の実施形態と同様、ユーザーは、新規作成した検査式Ｋの妥当性を過去のデータに基づいて判断することができる。このため、ユーザーにとって、従来よりも検査式Ｋの作成が容易になる。その結果、検査式Ｋの作成に掛かるユーザーの負担が軽減され、作業の効率化を図ることができる。また、誤りのある検査式Ｋを用いて半導体製造装置４の監視が行われることが抑制され、装置４の稼動状況の判断に関する誤りが軽減される。
【００９２】
また、本実施形態においては、検査式解析部をクライアント３側に備えることにより、監視サーバ２の負担を軽減させることができる。さらに、本実施形態においては、監視サーバ２からクライアント３へはグラフ作成用データＧＤではなく過去パラメータ値ＰＢが送信されるので、上記第１の実施形態と比べてデータ転送量が少なくなり、ネットワークの負荷を軽減させることができる。
【００９３】
＜３．その他＞
上記各実施形態においては、監視サーバ２とクライアント３とで処理が分散して行われているが、本発明はこれに限定されない。例えば、図３において、検査式入力部３２およびパラメータグラフ表示部３３を監視サーバ２に備える構成とし、監視サーバ２単独で検査式作成支援システムが実現されるようにしても良い。
【００９４】
また、上記各実施形態においては、検査式Ｋの実行結果がグラフとして表示されているが、本発明はこれに限定されない。例えば、検査式Ｋの実行結果が単なる数値として表示されるようにしても良い。
【００９５】
さらに、上記各実施形態においては、半導体製造装置４の検査用の検査式の作成に検査式作成支援システムを適用している例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。この検査式作成支援システムは、半導体製造装置以外の装置の検査用の検査式の作成にも適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る検査式作成支援システム全体の概略構成図である。
【図２】上記実施形態において、監視サーバのハードウェア構成を示すブロック図である。
【図３】上記実施形態における検査式作成支援システムの機能ブロック図である。
【図４】上記実施形態において、装置検査処理の手順を示すフローチャートである。
【図５】上記実施形態において、検査式作成支援処理の概略手順を示すフローチャートである。
【図６】上記実施形態において、検査式入力受付処理の手順を示すフローチャートである。
【図７】上記実施形態において、検査式入力ダイアログを示す図である。
【図８】上記実施形態において、検査式で使用される演算子等の一例を示す図である。
【図９】上記実施形態において、グラフ作成用データ生成処理の手順を示すフローチャートである。
【図１０】上記実施形態において、検査式のツリー構造化について説明するための図である。
【図１１】上記実施形態において、検査式のツリー構造化について説明するための図である。
【図１２】上記実施形態において、検査式のツリー構造化について説明するための図である。
【図１３】上記実施形態において、検査式のツリー構造化後のノードのうちの演算子のノードについての演算結果の算出について説明するための図である。
【図１４】上記実施形態において、結果表示処理の手順を示すフローチャートである。
【図１５】上記実施形態において、検査式の実行後における検査式入力ダイアログの一例を示す図である。
【図１６】上記実施形態において、検査式の実行後に計算結果表示領域に表示される画面について説明するための図である。
【図１７】本発明の第２の実施形態における検査式作成支援システムの機能ブロック図である。
【図１８】上記実施形態において、検査式作成支援処理の概略手順を示すフローチャートである。
【図１９】上記実施形態において、検査式入力受付処理の手順を示すフローチャートである。
【図２０】上記実施形態において、過去パラメータ値取得処理の手順を示すフローチャートである。
【図２１】上記実施形態において、グラフ作成・結果表示処理の手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００９７】
２…監視サーバ
３…クライアント
４…半導体製造装置
２１…第１通信制御部
２２…パラメータ監視部
２３…パラメータ履歴管理部
２４…パラメータ履歴データベース
２５…第２通信制御部
２６，３４…検査式解析部
３１…（クライアントの）通信制御部
３２…検査式入力部
３３…パラメータグラフ表示部
７０…検査式入力ダイアログ
７１…検査式入力用テキストボックス
７４…計算結果表示領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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