(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理チャンバと搬送チャンバを備えたチャンバシステムにおいて、当該チャンバシステム内で搬送チャンバから処理チャンバへ動くロボットの経路の最適解を求めることでロボットを較正する方法であって、
ａ）前記処理チャンバにある、ロボットが動くことができる自由空間を、幾何学的形状の組み合わせとして定義することにより、求め、
ｂ）ターゲット位置にエミッタを位置決めし、
ｃ）前記ロボットのエンドエフェクタ上にある位置にレシーバを位置決めし、
ｄ）前記エミッタ及び前記レシーバからの信号を用いて前記ロボットのエンドエフェクタ上の位置と前記ターゲット位置との間の距離を求め、
ｅ）前記定義された自由空間内の前記ロボットの前記エンドエフェクタ上の位置から前記ターゲット位置への距離関数を最小にする通路計画アルゴリズムを使用して、前記ロボットの前記エンドエフェクタ上の位置から前記ターゲット位置への通路を決定し、
前記ステップ（ｅ）は、
ロボット全体が自由空間内に留まるように、エンドエフェクタ上の位置がターゲット位置に向かって自由空間内を直線的に動く最短距離を求め、
エンドエフェクタ上の位置が自由空間の境界に到達した場合は、エンドエフェクタ上の位置からターゲット位置への自由空間内の直線的な最短距離が求められるまで、エンドエフェクタ上の位置からターゲット位置への距離を短くするようにエンドエフェクタ上の位置が自由空間の境界上を動くように、通路を決定することで行われる、
ロボットを較正するための方法。
【請求項２】
前記通路は、前記ロボットのエンドエフェクタから前記ターゲット位置への距離関数を最小にするように計算される前記ロボットのエンドエフェクタの増分変位を用いて決定される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
処理システムと搬送チャンバを備えたチャンバシステムにおいて、当該チャンバシステム内で搬送チャンバから処理チャンバへ動くロボットの経路の最適解を求めることでロボットを較正するための装置であって、
ａ）教示すべき位置に配置されるエミッタと、
ｂ）ロボットのエンドエフェクタに配置されるレシーバと、
ｃ）幾何学的形状の組み合わせとして定義された、処理システムにおけるロボットが動くことができる自由空間を決定するように構成されていて、かつ、前記エミッタから前記レシーバへの距離関数を求めるため前記エミッタ及び前記レシーバからの信号を受けるように接続されていて、前記定義された自由空間内の前記エミッタから前記レシーバへの距離関数を最小にする増分運動を用いて前記エミッタから前記レシーバへの通路を発生するマイクロプロセッサであって、
ロボット全体が自由空間内に留まるように、エンドエフェクタ上の位置がターゲット位置に向かって自由空間内を直線的に動く最短距離を求め、
エンドエフェクタ上の位置が自由空間の境界に到達した場合は、エンドエフェクタ上の位置からターゲット位置への自由空間内の直線的な最短距離が求められるまで、エンドエフェクタ上の位置からターゲット位置への距離を短くするようにエンドエフェクタ上の位置が自由空間の境界上を動くように、前記通路を発生するマイクロプロセッサと、を備えるロボットを較正するための装置。
【請求項４】
前記エミッタは教示すべき前記位置にあるターゲット較正孔に配置され、前記レシーバはロボットエンドエフェクタ較正孔に配置される、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記幾何学的形状は、円、楕円、長方形、多角形のうちの少なくとも一つを含む、請求項３に記載の装置。
【請求項６】
前記幾何学的形状は、円、楕円、長方形、多角形のうちの少なくとも一つを含む、請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、総括的にはロボットの較正に関し、特に、処理システムにおけるロボットの自動較正に関するものである。
【０００２】
【関連技術の背景】
実行すべき作業が高精度であり、繰返しであり、単調であり、緊張が多く、或いは人間にとって危険である場合には、いつでも且つどこでも、ロボットを使用することが好都合である。自動車製造，集積回路の製造及び組立，材料管理並びにその他様々の産業では、効率を改善すると共に生産性を高めるために産業用ロボットが使用されてきた。
【０００３】
ロボットの多くは、基台を含み、この基台に１本以上の可動アームを取り付けるという同じ基本設計を共有している。この可動アームは多数の剛な胴部もしくはセグメントを一般的に含んでおり、該セグメントは、通常、最終セグメントに装着されるツールもしくはエンドエフェクタを備えて、関節もしくは継手により結合されている。基台は固定であるが、継手は、「多関節」又は「プリズム」方式で自由に運動する。多関節継手はヒンジ結合されていて弧に沿った運動を可能にするが、プリズム継手は入れ子式もしくは伸縮式であり線形運動を可能にする。エンドエフェクタは、目的物を取り扱うのに有用な装着グリッパもしくはその他の装置を備えるのが一般的である。例えば、平らで滑らかな表面を有する半導体ウェーハもしくはその他の目的物を取り扱うためのエンドエフェクタは、搬送すべき半導体ウェーハもしくは目的物を保持して支持するため、ロボットブレード，真空チャックもしくはその他の手段を備えている。ロボットは、エンドエフェクタで目的物を固定した後、目的物を移動させる、即ち目的物の位置を変更させることができる。ロボットが自動化されているかコンピュータプログラム化されているときには、ロボットはこれらのタスクを繰り返し実行することができる。これ自体は利点であるが、幾つかの準備工程を必要とする。特に、ロボットに行うべきことを「指示」もしくは「教示」しなければならない。ロボットに指示もしくは教示する工程は、一般に較正と呼ばれている。
【０００４】
集積回路を製造する場合、半導体基板は、処理のための自動装置を用いて、種々の反応その他のチャンバに装填される。この自動装置は、シリコンウェーハのような半導体基板をカセットから中心搬送チャンバを経て、該搬送チャンバに接続された１つ以上の処理チャンバ中へと搬送できるロボットを含むように設計されている。ロボットは、搬送チャンバ内に配置されていて、この搬送チャンバに結合された処理チャンバにアクセスすることを可能にする。処理すべき基板の正確な所望表面領域に対する処理効果を最大にするためには、基板を処理チャンバ内の最適位置に位置決めすることが望ましい。
【０００５】
単純な教示方法の１つによると、ロボットは、エンドエフェクタが目的物もしくは加工物を掴む位置からそれを放す位置への作動路に案内される。この作動路におけるある位置で、ロボットは停止され、関節値(joint values)が記録される。従来の大抵のロボットは、関節値を自動的に報告する内部システムをもっている。これらの関節値は、後から参照するためロボットのメモリに供給することができる。ロボットがその仕事を行う時がくると、ロボットは、所望位置に対応する関節値を思い出し、しかるべくその仕事を実行する。
【０００６】
現在、基板処理システムにおいて使用されているロボットは、一般的に、手動較正方法を用いて較正されている。該ロボットは、人間オペレータからのロボット運動制御システムへの入力に従って運動するよう指示される。人間オペレータは、処理システム内のロボットの位置を目視により観察し、処理システムにおける障害を回避するようなロボットの通路を計画もしくは立案する。次いで人間オペレータは、初期位置から目的位置へ運動するようロボットに指令する信号を入力する。ロボットがその目的位置に達したことを確認するために、位置合せピンをエンドエフェクタ側にある較正孔から目的位置にある対応の較正孔へと挿入する。位置合せピンが対応する較正孔を一直線に整列させているときには、目的位置に達している。初期位置から目的位置へのロボットの運動は、同じ動作が必要なときに繰り返すことができるように保存される。
【０００７】
しかし、手動較正方法には幾つかの欠点がある。先ず、手動較正は、適正に諸要素を整列させるには人間オペレータの能力に依存しており、人為的エラーの可能性が入ってくる。また、手動較正方法は、教え込むべき位置が多いときには相当な時間を必要とする。更に、手動較正方法の速度及び精度は、較正を行う人間オペレータの能力に主として依存している。従って、手動較正方法は、高精度のロボットトレーニングにとって、特に基板処理システム用に使われるロボットにとっては満足すべきものではなかった。
【０００８】
従って、ロボット、特に、基板処理システムにおいて使用されるロボットのための自動較正方法及び装置に対する必要性が存在する。自動較正方法及び装置にとっては、人間オペレータの能力に対する依存度を減らしながら迅速で精確な較正を実現することが望ましい。更に、自動較正方法及び装置にとっては、信頼性の高い較正を可能にすると共に、多種のロボットに使用するのに適応できることが望ましい。
【０００９】
【発明の概要】
本発明は、総括的に述べると、ロボット、特に、基板処理システムにおいて使用されるロボットのための自動較正方法及び装置を提供している。本発明による自動較正方法及び装置は、人間オペレータの能力に対する依存度を減少もしくは排除しながら迅速で精確な信頼性の高い較正を可能にする。また、この自動較正方法及び装置は多種のロボットに使用するのにも適応している。
【００１０】
本発明によると、処理チャンバと搬送チャンバを備えたチャンバシステムにおいて、当該チャンバシステム内で搬送チャンバから処理チャンバへ動くロボットの経路の最適解を求めることでロボットを較正する方法は、ａ）処理チャンバにある、ロボットが動くことができる自由空間を、幾何学的形状の組み合わせとして定義することにより、求め、ｂ）ターゲット位置にエミッタを位置決めし、ｃ）ロボットのエンドエフェクタ上にある位置にレシーバを位置決めし、ｄ）エミッタ及びレシーバからの信号を用いてロボットのエンドエフェクタ上の位置とターゲット位置との間の距離を求め、ｅ）定義された自由空間内のロボットのエンドエフェクタ上の位置からターゲット位置への距離関数を最小にする通路計画アルゴリズムを使用して、ロボットのエンドエフェクタ上の位置からターゲット位置への通路を決定する。ここで、ステップ（ｅ）は、ロボット全体が自由空間内に留まるように、エンドエフェクタ上の位置がターゲット位置に向かって自由空間内を直線的に動く最短距離を求め、エンドエフェクタ上の位置が自由空間の境界に到達した場合は、エンドエフェクタ上の位置からターゲット位置への自由空間内の直線的な最短距離が求められるまで、エンドエフェクタ上の位置からターゲット位置への距離を短くするようにエンドエフェクタ上の位置が自由空間の境界上を動くように、通路を決定することで行われる。
【００１１】
本発明によると、処理システムと搬送チャンバを備えたチャンバシステムにおいて、当該チャンバシステム内で搬送チャンバから処理チャンバへ動くロボットの経路の最適解を求めることでロボットを較正するための装置は、ａ）教示すべき位置に配置されるエミッタと、ｂ）ロボットのエンドエフェクタに配置されるレシーバと、ｃ）幾何学的形状の組み合わせとして定義された、処理システムにおけるロボットが動くことができる自由空間を決定するように構成されていて、かつ、エミッタからレシーバへの距離関数を求めるためエミッタ及びレシーバからの信号を受けるように接続されていて、定義された自由空間内のエミッタからレシーバへの距離関数を最小にする増分運動を用いてエミッタからレシーバへの通路を発生するマイクロプロセッサを備える。ここで、マイクロプロセッサは、ロボット全体が自由空間内に留まるように、エンドエフェクタ上の位置がターゲット位置に向かって自由空間内を直線的に動く最短距離を求め、エンドエフェクタ上の位置が自由空間の境界に到達した場合は、エンドエフェクタ上の位置からターゲット位置への自由空間内の直線的な最短距離が求められるまで、エンドエフェクタ上の位置からターゲット位置への距離を短くするようにエンドエフェクタ上の位置が自由空間の境界上を動くように、通路を発生する。
【００１２】
本発明の上述した諸特徴，利点及び目的を達成する方法が詳細に理解されうるように、上に概略的に述べた本発明のより具体的な説明については、添付図面に例示した実施例を参照するとよい。
【００１３】
しかし、添付図面は本発明の代表的な実施例を示すに過ぎず、従って、本発明にはその他の同様に有効な実施例の余地があるので、添付図面が本発明の範囲を限定するものと解釈すべきではない。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明は、概括的には、処理システムにおいて有用なロボットの自動較正のための方法及び装置に関するものである。図１は、複数の基板処理チャンバを有する段階的真空処理システムの概要図である。段階的真空処理システムの例にはカリフォルニア洲サンタクララ所在のアプライドマテリアルズ・インコーポレイテッド(Applied Materials, Inc.)から入手しうるCentura, Endura, Producer及びP5000(いずれも登録商標）システムがある。本発明は、段階的真空処理システムの搬送チャンバにおけるロボットに関して説明されているが、種々の処理システムにおけるその他のロボット適用例にも有効であることは言うまでもない。
【００１５】
段階的真空処理システム１００は、第１段搬送チャンバ１１５に取り付けられた真空ロードロックチャンバ１０５及び１１０を含んでいる。ロードロックチャンバ１０５及び１１０は、基板を真空処理システム１００に出入させながら第１段搬送チャンバ１１５内に真空状態を保持する。第１ロボット１２０は、基板をロードロックチャンバ１０５及び１１０間に並びに第１段搬送チャンバ１１５に取り付けられた１つ以上の基板処理チャンバ１２５及び１３０間に搬送する。処理チャンバ１２５及び１３０は、化学気相堆積（ＣＶＤ），物理気相堆積（ＰＶＤ），エッチング，プリクリーニング，脱ガス，オリエンテーション及びその他の基板処理のような多数の基板処理作業を行うために装備されることができる。また、第１ロボット１２０は、第１段搬送チャンバ１１５と第２段搬送チャンバ１４０との間に配置された１つ以上の搬送チャンバ１３５へと基板を搬送したり、該搬送チャンバ１３５から基板を移したりする。
【００１６】
搬送チャンバ１３５は、第１段搬送チャンバ１１５及び第２段搬送チャンバ１１４０間に基板が搬送されるのを許容しながら第２段搬送チャンバ１４０内に超高真空状態を保持するのに使用される。第２ロボット１４５は、搬送チャンバ１３５と複数の基板処理チャンバ１５０，１５５，１６０及び１６５との間に基板を搬送する。処理チャンバ１２５及び１３０と同様に、これらの処理チャンバ１５０〜１６５は、種々の基板処理作業を行うために装備されることができる。例えば、処理チャンバ１５０はＣＶＤチャンバであり、処理チャンバ１５５はエッチングチャンバであり、処理チャンバ１６０及び１６５はＰＶＤチャンバである。上掲した順序の処理チャンバ配列は半導体基板上に集積回路を形成するのに有用である。集積回路もしくはチップの製造を完了させるのに必要な全工程を遂行するために複数の真空システムが使用されうる。
【００１７】
作業中、基板は、一般的にカセットに納められて、コンベヤベルトもしくはロボットシステム（図示せず）により真空ロードロックチャンバ１０５及び１１０内に装荷される。このコンベヤベルトもしくはロボットシステムは、マイクロプロセッサもしくはコンピュータ（図示せず）により実行されるコンピュータプログラムの制御下に作動する。該コンピュータは、クラスターツールである処理システム１００の諸処理チャンバ間の基板搬送のような作業を含め、ロボット１２０及び１４５の作動を制御するのが好ましい。本発明は、基板処理全体を通して必要な仕事を行うためにロボットを較正する方法を提供する。
【００１８】
図２は、本発明による自動較正装置の概要図である。一般に、自動較正装置２００は、エミッタ２０２，レシーバ２０４及びプロセッサ２０６を含んでいる。エミッタ２０２及びレシーバ２０４は、プロセッサ２０６に接続されていて、同プロセッサ２０６に信号を供給する。好ましくは、エミッタ２０２は、教示すべきターゲット位置にある較正孔に装着され、レシーバ２０４は、ロボットのエンドエフェクタ２１２にある較正孔に装着される。エミッタ２０２及びレシーバ２０４は、一緒になってアナログ近接スイッチとして機能して、エミッタ及びレシーバの実際位置を提供すると共に、エミッタ２０２及びレシーバ２０４間の距離及び方向の測定値を表わす出力を出す。エミッタ２０２及びレシーバ２０４の位置は、ホーミング(homing)プログラムが目的位置に配置された装置に向かい進むために対応的に変更される限り、置き換えることができる。アナログ近接スイッチの一例はカリフォルニア洲サンタローザのプレシジョン・ナビゲーション社（Precision Navigation, Inc.）から入手しうる誘導性近接スイッチである。別の手段として、レーザをベースとする近接スイッチを用いてターゲット位置とロボット位置との間の距離を測定することができる。更に別の手段として、ターゲット位置に向かうロボットからの方向を与えるためにコンパスが使用され、ターゲット位置に進むために距離近似センサが使用される。この変形例において、本発明に従って較正通路を決定するのに必要な情報を提供するために２組のセンサ、即ち方向センサ及び距離近似センサが要求される。
【００１９】
プロセッサ２０６は、エミッタ２０２及びレシーバ２０４からの信号を処理して、エミッタ２０２及びレシーバ２０４間の距離と、エミッタ２０２へのレシーバ２０４からの方向とを測定する。また、プロセッサ２０６は、ロボット通路計画アルゴリズムを処理したり、ロボットの実際の運動を制御するロボットコントローラへの信号を発生させたりするような、その他の処理及び制御機能を遂行する。このプロセッサ２０６は、コンピュータ通信ケーブルのような通信ラインを介してロボットコントローラ２０８に接続されるのが一般的である。ロボットコントローラ２０８は、ロボットの運動を制御するモータ制御信号を供給するためロボットモータ２１０に電気的に接続されるのが好ましい。
【００２０】
半導体基板処理システムにおいて使用されるロボットは、代表的には、ＳＣＡＲＡロボットもしくは複数の自由度を有するかえる足型（frog-leg type)ロボットである。一般的に、ロボットの運動は、次式により表されるロボット運動方程式により定義される。
【００２１】
ｘ＝ｆ（θ）                              式（１）
ここで、ｘは、ロボット基台の中心からエンドエフェクタの先端、もしくはエンドエフェクタについての対象部位（即ち、レシーバの位置）へのベクトルを表わし、θは、ロボットの関節ベクトル(joint vector)を表わしている。ロボットの運動は２次元（即ち、ｘ−ｙ平面）又は３次元(即ち、ｘ−ｙ−ｚ平面)とすることができ、その場合、ベクトルは、対応の２次元又は３次元運動を表わす。
【００２２】
エンドエフェクタについての先端もしくは対象部位の微小変位（即ち、δｘ）は、次式により定義されるロボット関節の微小変位（即ち、δθ）に関連している。
【００２３】
δｘ＝Ｒ（θ）δθ                        式（２）
ここで、Ｒ（θ）はロボットについてのヤコビの行列を表わしている。
【００２４】
図１に示したような処理システムに配置されるロボットは、同処理システムの種々のチャンバにより制約されるロボット運動を有するのが一般的である。ロボットが処理システムにおいて目的物をある位置から別の位置へ搬送するときに、ロボット自体と該ロボットにより取り扱われている目的物とは、同目的物や、ロボットや、処理システムのその他の構成要素に対する損傷を避けるために、この処理システムのその他の構成要素に物理的に接触してはならない。一般的に、ロボットの運動に対する制約は、処理システムの幾何学的配置及び運動力学から導かれる。例えば、ロボット運動は、搬送チャンバの壁や、搬送チャンバと装着された処理チャンバ又はロードロックチャンバとの間にあるスリットバルブにより制約される。ロボットの運動が制約されていない位置集合は自由空間（Ｇ）と一般的に呼ばれている。処理システムの正確な自由空間（Ｇ）は、当該技術で既知の種々の方法を用いて算出することができる。
【００２５】
本発明によると、ロボットは、アナログ近接スイッチからの出力を利用する自動較正アルゴリズムを用いて較正される。具体的には、この自動較正アルゴリズムは、エミッタ２０２及びレシーバ２０４のアナログ出力を用いて、ロボットのエンドエフェクタ上にある位置とターゲット位置との間の実際距離及び方向を測定し、エミッタ及びレシーバ間の距離関数を最小にする自由空間（Ｇ）内の通路を計画もしくは立案する。
【００２６】
自動較正アルゴリズムは、ロボットが運動しているときに演算される下記の最適化問題に対する解を与え、
ｍｉｎ││ｘtarget−ｘrobot││2         式（３）
これは下記の制約条件を受ける。
【００２７】
ｘ∈Ｇ                                    式（４）
ここで、Ｇは処理システムの自由空間を表わす。或いは、自動較正アルゴリズムは、上述した式（３）の代わりに、以下の最適化問題の解を演算する。
【００２８】
ｍｉｎ││ｘtarget−ｘrobot││         式（５）
この場合、自動較正アルゴリズムは、ターゲット位置がロボット位置に等しい（即ち、ｘtarget−ｘrobot＝０)ときに式（５）が微分可能ではないことに対応するよう修正される。ロボット位置がターゲット位置に接近するときに、近似値もしくは推定値を演算して、ターゲット位置に達したかどうかを決定する。
【００２９】
最適化問題は、当該技術で既知の条件付き傾斜探索法を用いて解くのが好ましい。該傾斜探索法は、コスト、即ち関数││ｘtarget−ｘrobot││2の値を減じるべく増分変位δｘを演算するため、一般的に、コスト関数の傾斜情報を用いる。
【００３０】
増分変位δｘに対応するロボットモータの増分変位δθは、式（２）を用いて演算される。この増分変位（δθ）は、ロボットが較正されるときに、プロセッサのメモリに保存される。コスト関数がターゲット位置で単一最小値を有するので、アルゴリズムは、失敗することなくターゲット位置ｘtargetに収束する。
【００３１】
自動較正は、処理システムにおいてロボットにより行なわれるべきタスク毎に実施され、そして各較正の結果は、プロセッサのメモリに保存もしくは記録される。ロボットが処理システムのために要求される諸タスクについて較正された後、ロボットは、必要に応じて、メモリから記録ステップを呼び戻し該記録ステップを実行することによって、較正されたタスクの各々を遂行することができる。
【００３２】
本発明の代替実施例は、演算した実際の自由空間（Ｇ）の代わりに、処理システム内に定義付け自由空間（Ｇ＊）を提供している。この実施例によると、処理システムの自由空間は、処理システムの実際の自由空間内に適合する単純な幾何学的形状を用いて定義付けされている（即ち、定義付け自由空間Ｇ＊は全自由空間Ｇのサブセットである）。この単純な幾何学的形状には、円，楕円，矩形，多角形，及び方程式で定義されるその他の幾何学的形状が含まれる。例えば、搬送チャンバ及びロードロックチャンバの定義付け自由空間Ｇ＊は、円と矩形を結合したものであり、この場合、円は搬送チャンバの単純自由空間を表わし、矩形は搬送チャンバから延びてロードロックチャンバに入る単純自由空間を表わしている。処理システムの自由空間Ｇ＊を演算した完全自由空間ではなく単純な幾何学的形状の組合せとして定義することにより、処理システムの実際自由空間を演算するステップがもはや不要となるので、自動較正アルゴリズムの最適化プロセスが単純化される。定義付け自由空間Ｇ＊が単純な幾何学的形態（即ち、円，楕円，矩形，多角形，及び方程式で定義されるその他の幾何学的形状）の組合せとして定義されるので、最適化プログラムは、定義付け自由空間Ｇ＊におけるコスト（即ち、距離）関数の負の傾斜についての射影を見付けることにより最も大きくコスト(即ち、距離)が減少する方向を演算する傾斜射影法（projected gradientmethods)を利用する場合に、より単純な計算をする。最適化プログラムは次に、処理システムの定義付け自由空間Ｇ＊内のロボットの増分変位に対応する通路を発生する。自動較正は、処理システムにおいてロボットにより実行されるべきタスク毎に行なわれ、各較正の結果はプロセッサのメモリに保存される。ロボットが処理システムに必要な諸タスクについて較正された後、ロボットは、メモリから保存ステップを呼び出して実行することにより、必要に応じて各較正タスクを行うことができる。
【００３３】
実施例
図３は、複数の処理チャンバが取り付けられた中心搬送チャンバの概略図である。この実施例は、搬送チャンバにおける初期静止位置から処理チャンバ１６０内のターゲット位置へのロボットの較正を説明している。ロボットの自動較正は、エミッタ２０２及びレシーバ２０４間の距離とそれらの各位置の測定により開始される。プロセッサ２０６がエミッタ２０２及びレシーバ２０４から信号を受け取り、自動較正アルゴリズムを用いて情報を処理する。自動較正アルゴリズムの最適化プロセスを単純化するため、処理システムの自由空間は、演算した完全自由空間の代わりに単純な幾何学的形状の組合せとしてオペレータにより定義される。図３に示すように、搬送チャンバ及びロードロックチャンバのユーザー定義自由空間Ｇ＊は、円３０２と矩形３０４を合同したものと定義される。自由空間Ｇ＊を単純な幾何学的形態（即ち、円，楕円，矩形，多角形，及び方程式で定義されるその他の幾何学的形状）で定義することにより、最適化プログラムは、より単純な計算をすると共に、自由空間Ｇ＊内の距離関数の負の傾斜についての射影を見付けることにより最も大きく距離が減少する方向を演算する傾斜射影法を利用することができる。プロセッサは、エミッタ及びレシーバ間の距離関数を最小にするロボット増分運動集合を発生する。矢印Ａは、自動較正中に最適化プログラムにより発生された通路を指示しており、処理システムの定義付け自由空間Ｇ＊内のロボットの増分変位に対応している。自動較正方法により発生された諸ステップは、プロセッサのメモリに保存され、ロボットの特定タスクの必要に応じてメモリから呼び戻される。
【００３４】
利点
本発明の提供する自動較正方法は、ロボット運動を定義する運動方程式を与えられるどのロボットにも一般に適用可能である。本発明はハードウエア内で実行できるので、各特定ロボットが多数の自動較正シーケンスを実行するために大量のコード（ソフトウエア）を設計もしくはプログラムする必要がない。更に、本発明は、広範に検査した、現在利用可能な最適化コードを利用しており、そして今後の最適化アルゴリズムと同様に現在のものと使用するのにも適応可能である。本発明による自動較正方法は、実行可能な全初期位置についてのコスト（距離）関数に対する固有の最小解を与えると共に、初期位置が実行可能かどうかを指示する。本発明は、ターゲット位置への収束を保証する最適化プログラムを用いる自動較正のための確固とした（ロバスト）かつ信頼性のある方法を提供する。
【００３５】
以上の説明は本発明の好適な実施例に向けられているが、本発明のその他の実施例及び更なる実施例は、本発明の基本的な範囲から逸脱することなく案出することができ、また、本発明の範囲は冒頭の特許請求の範囲により決定される。
【図面の簡単な説明】
【図１】複数の基板処理チャンバを有する段階的真空処理システムの概略図である。
【図２】本発明による自動較正装置の概略図である。
【図３】複数の処理チャンバが取り付けられた中心搬送チャンバの概略図である。
【符号の説明】
１００…真空処理システム、１０５…ロードロックチャンバ、１１０…ロードロックチャンバ、１１５…搬送チャンバ、１２０…ロボット、１２５…基板処理チャンバ、１３０…基板処理チャンバ、１４０…搬送チャンバ、１４５…ロボット、１５０…基板処理チャンバ、１５５…基板処理チャンバ、１６０…基板処理チャンバ、１６５…基板処理チャンバ、２００…自動較正装置、２０２…エミッタ、２０４…レシーバ、２０６…プロセッサ、２１２…エンドエフェクタ。
【図１】
0005129910.tif 000002
【図２】
0005129910.tif 000003
【図３】
0005129910.tif 000004