(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の移動軸を有する移動機構を制御する制御装置であって、
前記移動機構を移動させるための位置指令値を出力する位置指令部と、
前記位置指令値と、前記移動機構の位置との誤差を補正する誤差補正部とを備え、
前記誤差補正部は、
前記位置指令値に基づいて前記移動機構をフィードフォワード制御するフィードフォワード制御部と、
前記フィードフォワード制御部における補償要素を前記位置指令値に基づいて算出する補償要素算出部と、を備え、
前記位置指令部は、前記移動機構を円運動させるための前記位置指令値を出力し、
前記誤差補正部は、前記円運動の半径、及び周波数に基づいて前記誤差を補正する
ことを特徴とする制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の制御装置において、
前記誤差補正部は、
前記位置指令値に基づいて前記各移動軸間の位相差を補正するための位相差補正量を算出する位相差補正量算出部と、
前記位相差補正量に基づいて前記各移動軸間の位相差を補正する位相差補正部とを備えることを特徴とする制御装置。
【請求項３】
請求項２に記載の制御装置において、
前記位相差補正部は、前記位相差補正量に基づいて前記位置指令値を座標変換することで前記各移動軸間の位相差を補正することを特徴とする制御装置。
【請求項４】
請求項２に記載の制御装置において、
前記位相差補正部は、前記位相差補正量に基づいて前記位置指令値を遅らせることで前記各移動軸間の位相差を補正することを特徴とする制御装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の制御装置において、
前記誤差に基づく速度指令値を前記移動機構に出力する位置制御器を有し、前記移動機構をフィードバック制御するフィードバック制御部を備え、
前記フィードフォワード制御部は、
前記位置指令値を一階微分した後、前記補償要素を乗じて前記速度指令値に加算することで前記移動機構をフィードフォワード制御することを特徴とする制御装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の制御装置において、
前記誤差補正部は、前記移動機構の位置に基づいて前記誤差を補正することを特徴とする制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、測定用のプローブや、工具等を移動させる複数の移動軸を有する移動機構を備えた三次元測定機や、工作機械等が知られている。このような三次元測定機や、工作機械等では、位置指令値に基づいて移動機構を制御する制御装置が用いられている。
ここで、制御装置にて移動機構を制御すると、各移動軸の応答特性の差に起因して、位置指令値と、移動機構の位置との間に誤差（以下、経路誤差とする）が生じる場合がある。
そして、このような経路誤差を低減させるための一般的な制御系として、所定の補償要素を有するフィードフォワード制御によるものが知られている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
【非特許文献１】藤野義一，久良修郭著、「モーション・コントロール−実践メカトロニクス」、産業図書、１９９６、ｐｐ１３５−１４０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、移動機構の移動速度が速くなると、各移動軸の応答特性は移動速度に応じて変化する。
しかしながら、非特許文献１に記載の制御系では、補償要素の値が固定であるので、高速移動時における各移動軸の応答特性の変化に追従することができず、経路誤差を十分に低減させることができないという問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、高速移動時においても経路誤差を十分に低減させることができる制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の制御装置は、複数の移動軸を有する移動機構を制御する制御装置であって、前記移動機構を移動させるための位置指令値を出力する位置指令部と、前記位置指令値と、前記移動機構の位置との誤差を補正する誤差補正部とを備え、前記誤差補正部は、前記位置指令値に基づいて前記移動機構をフィードフォワード制御するフィードフォワード制御部と、前記フィードフォワード制御部における補償要素を前記位置指令値に基づいて算出する補償要素算出部と、を備え、前記位置指令部は、前記移動機構を円運動させるための前記位置指令値を出力し、前記誤差補正部は、前記円運動の半径、及び周波数に基づいて前記誤差を補正することを特徴とする。
【０００７】
このような構成によれば、補償要素算出部は、位置指令値に基づいて補償要素を算出するので、移動機構の移動速度に応じた補償要素を算出することができる。そして、フィードフォワード制御部は、補償要素算出部にて算出された補償要素を用いてフィードフォワード制御をするので、高速移動時においても経路誤差を十分に低減させることができる。
具体的に、例えば、移動機構を角速度一定で円運動させるための位置指令値を出力した場合には、各移動軸の応答特性におけるゲインに差があることによって、移動機構の位置の描く軌跡が楕円形となるような経路誤差が生じる。なお、この場合には、移動機構の位置の描く軌跡は、長軸、及び短軸が各移動軸方向と略一致するような楕円形となる。
本発明によれば、補償要素算出部は、位置指令値に基づく円運動の半径、角加速度、周波数等の状態に応じた補償要素を算出することができるので、このような経路誤差を補正することができ、高速移動時においても経路誤差を十分に低減させることができる。
【０００８】
本発明では、前記誤差補正部は、前記位置指令値に基づいて前記各移動軸間の位相差を補正するための位相差補正量を算出する位相差補正量算出部と、前記位相差補正量に基づいて前記各移動軸間の位相差を補正する位相差補正部とを備えることが好ましい。
【０００９】
このような構成によれば、位相差補正量算出部は、位置指令値に基づいて位相差補正量を算出するので、移動機構の移動速度に応じた位相差補正量を算出することができる。そして、位相差補正部は、位相差補正量算出部にて算出された位相差補正量に基づいて各移動軸間の位相差を補正するので、高速移動時においても経路誤差を十分に低減させることができる。
【００１０】
具体的に、例えば、移動機構を角速度一定で円運動させるための位置指令値を出力した場合には、各移動軸の応答特性における位相に差があることによって、移動機構の位置の描く軌跡が楕円形となるような経路誤差が生じる。なお、この場合には、移動機構の描く軌跡は、長軸、及び短軸が各移動軸方向と異なるような楕円形となる。
本発明によれば、位相差補正量算出部は、位置指令値に基づく円運動の半径、角加速度、周波数等の状態に応じた補償要素を算出することができるので、このような経路誤差を補正することができ、高速移動時においても経路誤差を十分に低減させることができる。
【００１１】
本発明では、前記位相差補正部は、前記位相差補正量に基づいて前記位置指令値を座標変換することで前記各移動軸間の位相差を補正することが好ましい。
このような構成によれば、前述した制御装置と同様の作用効果を奏することができる。
【００１２】
本発明では、前記位相差補正部は、前記位相差補正量に基づいて前記位置指令値を遅らせることで前記各移動軸間の位相差を補正することが好ましい。
このような構成によれば、前述した制御装置と同様の作用効果を奏することができる。
【００１３】
本発明では、前記誤差に基づく速度指令値を前記移動機構に出力する位置制御器を有し、前記移動機構をフィードバック制御するフィードバック制御部を備え、前記フィードフォワード制御部は、前記位置指令値を一階微分した後、前記補償要素を乗じて前記速度指令値に加算することで前記移動機構をフィードフォワード制御することが好ましい。
このような構成によれば、前述した制御装置と同様の作用効果を奏することができる。
【００１４】
本発明では、前記位置指令部は、前記移動機構を円運動させるための前記位置指令値を出力し、前記誤差補正部は、前記円運動の半径、及び周波数に基づいて前記誤差を補正することを特徴とする。
【００１５】
ここで、移動機構を円運動させるための位置指令値を出力した場合における経路誤差は、円運動の半径、及び周波数に依存して生じている。
したがって、本発明によれば、誤差補正部は、円運動の半径、及び周波数の少なくともいずれかに基づいて誤差を補正するので、高速移動時においても経路誤差を更に十分に低減させることができる。
【００１６】
本発明では、前記誤差補正部は、前記移動機構の位置に基づいて前記誤差を補正することが好ましい。
ここで、複数の移動軸を有する移動機構においては、経路誤差は、構造上、移動機構の位置に応じて変化する。
したがって、本発明によれば、誤差補正部は、移動機構の位置に基づいて誤差を補正するので、高速移動時においても経路誤差を更に十分に低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る制御装置１、及び移動機構２を示すブロック図である。
制御装置１は、移動機構２を制御するものであり、図１に示すように、位置指令部３と、フィードバック制御部４と、誤差補正部５とを備える。
移動機構２は、制御装置１にて制御される制御対象であり、互いに直交する３つの移動軸（以下、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸とする）を有している。また、移動機構２は、速度制御ループや、電流制御ループ等を有する一般的な多重ループ制御系で構成されている。なお、図１では、移動機構２の伝達関数をＧ０（ｓ）として表している。
【００１８】
位置指令部３は、移動機構２を移動させるための位置指令値を出力する。なお、本実施形態では、位置指令部３は、移動機構２を円運動させるための位置指令値を出力するものとする。
フィードバック制御部４は、移動機構２の位置をフィードバック制御するものであり、移動機構２における各移動軸の速度を積分して位置を出力する積分器４１と、位置指令部３にて出力され、誤差補正部５を介した位置指令値と、積分器４１にて出力される移動機構２の位置との誤差に基づく速度指令値を移動機構２に出力する位置制御器４２とを備える。なお、実際には、位置センサなどで移動機構２の位置を検出している。
【００１９】
誤差補正部５は、位置指令値と、移動機構２の位置との誤差を補正するものであり、フィードフォワード制御部５１と、補償要素算出部５２と、位相差補正量算出部５３と、位相差補正部５４とを備える。
フィードフォワード制御部５１は、位置指令部３にて出力され、位相差補正部５４を介した位置指令値に基づいて移動機構２をフィードフォワード制御するものであり、位置指令値を微分して速度指令値を出力する微分器５１１と、微分器５１１にて出力される速度指令値に乗じる補償要素５１２とを備える。
そして、補償要素５１２が乗じられた速度指令値、及び位置制御器４２にて出力される速度指令値は加算されて移動機構２に出力される。
【００２０】
補償要素算出部５２は、補償要素５１２に設定される値（以下、フィードフォワードゲインＫＦＦとする）を位置指令部３にて出力される位置指令値に基づいて算出する。具体的に、補償要素算出部５２は、以下の式（１）に示すように、位置指令値に基づく移動機構２の円運動の半径ＲＸＹＺ、及び周波数ｆＸＹＺを入力とする関数Ｆ１によってフィードフォワードゲインＫＦＦを算出する。また、移動機構２の構造上、移動機構２の位置に応じて経路誤差が変化する場合には、補償要素算出部５２は、以下の式（２）に示すように、半径ＲＸＹＺ、周波数ｆＸＹＺ、及び移動機構２の位置（ＸＰ，ＹＰ，ＺＰ）を入力とする関数Ｆ２によってフィードフォワードゲインＫＦＦを算出する。なお、移動機構２の位置は、移動機構２に設けられた位置センサ等によって検出される。
【００２１】
【数１】
0005319167.tif 000002
【００２２】
ここで、移動機構２の円運動の半径ＲＸＹＺ、及び周波数ｆＸＹＺは、以下の式（３），（４）に示すように、位置指令値（ＸＲ，ＹＲ，ＺＲ）と、円運動の中心位置（Ｘ０，Ｙ０，Ｚ０）とに基づいて算出される。なお、式（４）におけるｓはラプラス演算子を表している。
【００２３】
【数２】
0005319167.tif 000003
【００２４】
次に、前述した式（１），（２）における関数Ｆ１，Ｆ２の算出方法について説明する。
関数Ｆ１は、移動機構２を角速度一定で円運動させた場合における経路誤差の平均値（以下、誤差平均ＡＥとする）に基づいて求める。この誤差平均ＡＥは、位置指令部３にて出力される位置指令値の時系列データと、移動機構２の位置の各時系列データとの差を平均して算出する。
なお、本実施形態では、ＸＹ平面、ＸＺ平面、及びＹＺ平面のうち、いずれか２つの平面内において移動機構２を円運動させた場合における各時系列データに基づいて誤差平均ＡＥを算出する。これは、２つの平面内において移動機構２を円運動させた場合における各時系列データを用いることで、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の各移動軸の応答特性を考慮することができるからである。
【００２５】
また、フィードフォワードゲインＫＦＦ、円運動の周波数ｆＸＹＺ、及び半径ＲＸＹＺの各条件を変更して各条件下における誤差平均ＡＥを算出する。そして、以下の式（５）に示すように、各条件下で算出された誤差平均ＡＥをフィードフォワードゲインＫＦＦ、円運動の周波数ｆＸＹＺ、及び半径ＲＸＹＺの関数Ｆ３で近似する。
【００２６】
【数３】
0005319167.tif 000004
【００２７】
さらに、式（５）について、誤差平均ＡＥを０としてフィードフォワードゲインＫＦＦについて解くことによって、以下の式（６），（７）に示すように、関数Ｆ１を算出することができる。
【００２８】
【数４】
0005319167.tif 000005
【００２９】
関数Ｆ２は、関数Ｆ１を求めた場合と同様に、誤差平均ＡＥに基づいて求める。また、フィードフォワードゲインＫＦＦ、円運動の周波数ｆＸＹＺ、及び半径ＲＸＹＺの各条件に加え、円運動の中心位置を変更して各条件下における誤差平均ＡＥを算出する。そして、以下の式（８）に示すように、各条件下で算出された誤差平均ＡＥをフィードフォワードゲインＫＦＦ、円運動の周波数ｆＸＹＺ、半径ＲＸＹＺ、及び移動機構２の位置の関数Ｆ４で近似する。
【００３０】
【数５】
0005319167.tif 000006
【００３１】
さらに、式（８）について、誤差平均ＡＥを０としてフィードフォワードゲインＫＦＦについて解くことによって、以下の式（９），（１０）に示すように、関数Ｆ２を算出することができる。
【００３２】
【数６】
0005319167.tif 000007
【００３３】
位相差補正量算出部５３は、位置指令部３にて出力される位置指令値に基づいてＸ，Ｙ，Ｚ軸の各移動軸間の位相差を補正するための位相差補正量Ｃφを算出する。具体的に、位相差補正量算出部５３は、以下の式（１１）に示すように、位置指令値に基づく移動機構２の円運動の半径ＲＸＹ，ＲＸＺ，ＲＹＺ、及び周波数ｆＸＹ，ｆＸＺ，ｆＹＺを入力とする関数Ｆ５〜Ｆ７によってＸ，Ｙ軸間の位相差補正量ＣφＸＹと、Ｘ，Ｚ軸間の位相差補正量ＣφＸＺと、Ｙ，Ｚ軸間の位相差補正量ＣφＹＺとを算出する。なお、半径Ｒ、及び周波数ｆの添え字は、ＸＹ平面、ＸＺ平面、及びＹＺ平面の各平面内における円運動の半径、及び周波数であることを示している。また、移動機構２の構造上、移動機構２の位置に応じて経路誤差が変化する場合には、位相差補正量算出部５３は、以下の式（１２）に示すように、半径ＲＸＹ，ＲＸＺ，ＲＹＺ、周波数ｆＸＹ，ｆＸＺ，ｆＹＺ、及び移動機構２の位置を入力とする関数Ｆ８〜Ｆ１０によって位相差補正量ＣφＸＹ，ＣφＸＺ，ＣφＹＺを算出する。
【００３４】
【数７】
0005319167.tif 000008
【００３５】
ここで、移動機構２の円運動の半径ＲＸＹ，ＲＸＺ，ＲＹＺ、及び周波数ｆＸＹ，ｆＸＺ，ｆＹＺは、以下の式（１３），（１４）に示すように、位置指令値と、円運動の中心位置とに基づいて算出される。なお、式（１４）におけるｓはラプラス演算子を表している。
【００３６】
【数８】
0005319167.tif 000009
【００３７】
なお、位相差補正量算出部５３は、位相差補正量ＣφＸＹ，ＣφＸＺ，ＣφＹＺのうち、いずれか２つを算出する。これは、例えば、位相差補正量ＣφＸＹ，ＣφＸＺに基づいてＸ，Ｙ軸間の位相差と、Ｘ，Ｚ軸間の位相差とを補正することによって、Ｙ，Ｚ軸間の位相差をも補正することができるからである。
【００３８】
位相差補正部５４は、位相差補正量算出部５３にて算出される位相差補正量Ｃφに基づいて、位置指令部３にて出力される位置指令値を座標変換することで各移動軸間の位相差を補正する。具体的に、位相差補正部５４は、以下の式（１５−１）〜（１５−３）に示すように、各移動軸間の位相差を補正する。すなわち、位相差補正量算出部５３にて位相差補正量ＣφＸＹ，ＣφＸＺを算出した場合には、式（１５−１）にて各移動軸間の位相差を補正し、位相差補正量ＣφＸＹ，ＣφＹＺを算出した場合には、式（１５−２）にて各移動軸間の位相差を補正し、位相差補正量ＣφＸＺ，ＣφＹＺを算出した場合には、式（１５−３）にて各移動軸間の位相差を補正する。そして、補正された位置指令値（ＣＸＲ，ＣＹＲ，ＣＺＲ）は、位置制御器４２、及び微分器５１１に出力される。
【００３９】
【数９】
0005319167.tif 000010
【００４０】
次に、前述した式（１１），（１２）における関数Ｆ５〜Ｆ１０の算出方法について説明する。
関数Ｆ５〜Ｆ７は、移動機構２を角速度一定で円運動させた場合において、移動機構２の位置に基づいて算出される位相差に基づいて求める。
なお、本実施形態では、ＸＹ平面、ＸＺ平面、及びＹＺ平面のうち、位相差補正量算出部５３にて算出する位相差補正量Ｃφに応じた２つの平面内において移動機構２を円運動させた場合における位相差を算出する。
また、円運動の周波数ｆＸＹ，ｆＸＺ，ｆＹＺ、及び半径ＲＸＹ，ＲＸＺ，ＲＹＺの各条件を変更して位相差を算出する。そして、各条件下で算出された位相差を円運動の周波数ｆＸＹ，ｆＸＺ，ｆＹＺ、及び半径ＲＸＹ，ＲＸＺ，ＲＹＺの関数として近似することによって関数Ｆ５〜Ｆ７を求める。
【００４１】
関数Ｆ８〜Ｆ１０は、関数Ｆ５〜Ｆ７を求めた場合と同様に、移動機構２を角速度一定で円運動させた場合において、移動機構２の位置に基づいて算出される位相差に基づいて求める。また、円運動の周波数ｆＸＹ，ｆＸＺ，ｆＹＺ、及び半径ＲＸＹ，ＲＸＺ，ＲＹＺの各条件に加え、円運動の中心位置を変更して各条件下における位相差を算出する。そして、各条件下で算出された位相差を円運動の周波数ｆＸＹ，ｆＸＺ，ｆＹＺ、半径ＲＸＹ，ＲＸＺ，ＲＹＺ、及び移動機構２の位置の関数として近似することによって関数Ｆ８〜Ｆ１０を求める。
【００４２】
図２は、移動機構２を角速度一定で高速円運動させた場合における経路誤差を示す図である。なお、図２（Ａ）は、所定の補償要素を有するフィードフォワード制御による一般的な制御系にて移動機構２を制御した場合の経路誤差を示し、図２（Ｂ）は、本発明の制御装置１にて移動機構２を制御した場合の経路誤差を示す図である。
また、図２において、外側から２番目の実線で示される円は、位置指令部３にて出力される位置指令値に基づく円を示している。
【００４３】
所定の補償要素を有するフィードフォワード制御による一般的な制御系にて移動機構２を制御した場合には、図２（Ａ）に示すように、高速移動時における各移動軸の応答特性の変化に追従することができず、経路誤差を十分に低減させることができない。また、各移動軸の応答特性におけるゲインや、位相に差があることによって、移動機構２の描く軌跡が楕円形となるような経路誤差が生じている。
これに対して、本発明の制御装置１にて移動機構２を制御した場合には、図２（Ｂ）に示すように、高速移動時における各移動軸の応答特性の変化に追従することができ、経路誤差を十分に低減させることができている。また、移動機構２の描く軌跡が楕円形となるような経路誤差も生じていない。
【００４４】
このような本実施形態によれば以下の効果がある。
（１）補償要素算出部５２は、位置指令値に基づいてフィードフォワードゲインＫＦＦを算出するので、移動機構２の移動速度に応じたフィードフォワードゲインＫＦＦを算出することができる。そして、フィードフォワード制御部５１は、補償要素算出部５２にて算出されたフィードフォワードゲインＫＦＦを用いてフィードフォワード制御をするので、高速移動時においても経路誤差を十分に低減させることができる
【００４５】
（２）位相差補正量算出部５３は、位置指令値に基づいて位相差補正量Ｃφを算出するので、移動機構２の移動速度に応じた位相差補正量Ｃφを算出することができる。そして、位相差補正部５４は、位相差補正量算出部５３にて算出された位相差補正量Ｃφに基づいて各移動軸間の位相差を補正するので、高速移動時においても経路誤差を十分に低減させることができる。
（３）誤差補正部５は、円運動の半径Ｒ、及び周波数ｆに基づいて誤差を補正するので、高速移動時においても経路誤差を更に十分に低減させることができる。
（４）誤差補正部５は、移動機構２の位置に基づいて誤差を補正するので、高速移動時においても経路誤差を更に十分に低減させることができる。
【００４６】
〔第２実施形態〕
以下、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図３は、本発明の第２実施形態に係る制御装置１Ａ、及び移動機構２を示すブロック図である。
前記第１実施形態では、制御装置１は、位相差補正部５４を備え、位相差補正部５４は、位相差補正量算出部５３にて算出される位相差補正量Ｃφに基づいて、位置指令部３にて出力される位置指令値を座標変換することで各移動軸間の位相差を補正していた。
これに対して、本実施形態では、制御装置１Ａは、位相差補正部５４Ａを備え、位相差補正部５４Ａは、位相差補正量算出部５３にて算出される位相差補正量Ｃφに基づいて、位置指令部３にて出力される位置指令値を遅らせることで各移動軸間の位相差を補正している点で異なる。
【００４７】
まず、位相差補正部５４Ａは、以下の式（１６）に示すように、位相差補正量算出部５３にて算出される位相差補正量Ｃφに基づいて、時間遅れ補正量ΔＴを算出する。
【００４８】
【数１０】
0005319167.tif 000011
【００４９】
次に、位相差補正部５４Ａは、前述した式（１６）にて算出された時間遅れ補正量ΔＴに基づいて、位置指令部３にて出力される位置指令値を遅らせる。そして、補正された位置指令値は、位置制御器４２、及び微分器５１１に出力される。具体的に、例えば、Ｘ，Ｙ軸間の時間遅れ補正量ΔＴＸＹを算出し、Ｘ軸に係る位置指令値を遅らせる場合には、位相差補正部５４Ａは、以下の式（１７）に示すように、線形補間することで現在の位置指令値ＸＲよりも時間遅れ補正量ΔＴＸＹだけ遅らせた新たな位置指令値ＮＸＲを求め、求めた位置指令値ＮＸＲを補正された位置指令値として出力する。
【００５０】
【数１１】
0005319167.tif 000012
【００５１】
ここで、ＡΔＴは、ΔＴＸＹ／ＴＳの商であり、ＢΔＴは、ΔＴＸＹ／ＴＳの剰余である。なお、ＴＳは、位置指令値のサンプリング間隔である。
【００５２】
このような本実施形態においても、前記第１実施形態における作用、効果と同様の作用、効果を奏することができる。
【００５３】
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記各実施形態では、移動機構２は、互いに直交する３つの移動軸を有していたが、２つ、または４つ以上の移動軸を有していてもよい。また、各移動軸は、直交していなくてもよい。要するに、移動機構は、複数の移動軸を有していればよい。
前記各実施形態では、位置指令部３は、移動機構２を角速度一定で円運動させるための位置指令値を出力していたが、角速度は一定でなくてもよい。また、例えば、位置指令部は、曲線運動をさせるための位置指令値を出力してもよい。なお、この場合には、円運動の半径Ｒに代えて曲線運動の曲率半径を用い、この曲率半径、及び移動機構の移動速度に基づいて周波数を求めればよい。要するに、位置指令部は、移動機構２を移動させるための位置指令値を出力すればよい。
【００５４】
前記各実施形態では、制御装置１，１Ａは、位相差補正量算出部５３、及び位相差補正部５４，５４Ａを備えていたが、位相差補正量算出部、及び位相差補正部を備えていなくてもよい。
前記各実施形態では、フィードフォワード制御部５１は、位置指令部３にて出力される位置指令値を一階微分した後、フィードフォワードゲインＫＦＦを乗じて速度指令値に加算していた。これに対して、フィードフォワード制御部は、位置指令値に補償要素を乗じた後、一階微分するようにしてもよい。
前記各実施形態では、誤差補正部５は、円運動の半径Ｒ、及び周波数ｆに基づいて誤差を補正していたが、例えば、円運動の半径のみに基づいて誤差を補正してもよい。要するに、円運動の半径、及び周波数の少なくともいずれかに基づいて誤差を補正すればよい
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る制御装置、及び移動機構を示すブロック図。
【図２】前記実施形態における移動機構を角速度一定で高速円運動させた場合における経路誤差を示す図。
【図３】本発明の第２実施形態に係る制御装置、及び移動機構を示すブロック図。
【符号の説明】
【００５６】
１，１Ａ…制御装置
２…移動機構
３…位置指令部
４…フィードバック制御部
５…誤差補正部
４２…位置制御器
５１…フィードフォワード制御部
５２…補償要素算出部
５３…位相差補正量算出部
５４，５４Ａ…位相差補正部
５１２…補償要素。
【図１】
0005319167.tif 000013
【図２】
0005319167.tif 000014
【図３】
0005319167.tif 000015