(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光に含まれる各波長成分の強度に応じた信号を出力する分光検出部と、
光束径を調整するスリットを通じて発光体からの光を前記分光検出部へ導く導光部と、
前記導光部から前記分光検出部までの光経路上であって、前記スリットによる光の収束位置の近傍に配置され、透過する光の減光率を複数に切換え可能な光フィルタ部と、
前記光フィルタ部における減光率を制御するための制御手段とを備え、
前記光フィルタ部は、共通のガラス基板上に透過率がステップ的に異なる複数の領域が形成されるとともに、前記分光検出部へ入射する光の光軸に対して垂直方向に沿ってスライド可能に構成された板状部材を含み、
前記分光検出部は、前記光フィルタ部を透過後の光が入射する回折格子を含み、
前記板状部材は、その板面が前記回折格子に入射する光の光軸の垂直面に対して、非零の所定角度に配置されており、
前記制御手段は、前記分光検出部から出力される信号に基づいて、前記分光検出部に入射する光量を判断し、前記分光検出部に入射する光量が所定の下限値より小さい場合には、前記光フィルタ部における減光率をより小さな値に切換え、前記分光検出部に入射する光量が所定の上限値より大きい場合には、前記光フィルタ部における減光率をより大きな値に切換える、光学特性測定装置。
【請求項２】
前記分光検出部から出力される信号に基づいて、前記発光体の明るさおよび色度座標の少なくとも一方を算出する演算手段をさらに備え、
前記演算手段は、前記光フィルタ部における複数の減光率の各々に対応付けて予め格納された複数の補正係数のうち、前記光フィルタ部で選択中の減光率に対応する補正係数を用いて前記信号を補正する、請求項１に記載の光学特性測定装置。
【請求項３】
前記光フィルタ部は、前記制御手段からの指令に応じて、前記板状部材を駆動する駆動部をさらに含む、請求項１または２に記載の光学特性測定装置。
【請求項４】
前記分光検出部は、前記回折格子によって生じた回折光を受光する受光部をさらに含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の光学特性測定装置。
【請求項５】
前記光学特性測定装置は、生産ライン上を連続的に搬送される複数の前記発光体を順次測定するように構成され、
前記制御手段は、前回の測定時に使用された前記光フィルタ部における減光率を初期値として使用する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の光学特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、発光体からの光を分光測定する光学特性測定装置に関し、特に測定可能輝度範囲を拡大させるための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の青色発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）の開発および量産化技術の確立などに伴って、青色ＬＥＤを用いて波長帯域の広い光を発生する白色ＬＥＤが実用化されている。この白色ＬＥＤは、発光効率が高く、従来の赤色ＬＥＤなどに比較して高い輝度を実現する。
【０００３】
ところで、ＬＥＤの生産ラインでは、実際に製造したＬＥＤを点灯した上で明るさや色合いを測定し、当該製品の良否を判断するような検査工程が存在する。このような検査工程では、測定対象となるＬＥＤ（発光体）から所定距離だけ離れた位置に測定装置を配置し、当該位置において測定される光に基づいてその良否が判断される。
【０００４】
たとえば、特開２００２−１９５８８２号公報（特許文献１）には、検査対象の発光を検出し、発光状態を判定するＬＥＤセンサユニットと、最終的判定を行なうテスタコントローラとからなるＬＥＤ発光体検査装置が開示されている。このＬＥＤ発光体検査装置は、発光体の異なる発光色に対応するフィルタ特性を有する複数の光フィルタを用いて、光の有効波長値に応じた複数の輝度値を検出する。
【０００５】
発光体の色合いまで含めて評価するためには、特開２００２−１９５８８２号公報（特許文献１）に開示されるような複数の光フィルタを用いる構成ではなく、光強度の分光分布を測定した上で、国際照明委員会（ＣＩＥ：Commission International de l'Eclairange）が規定するＸＹＺ表色系における三刺激値などを用いて評価することが好ましい。
【特許文献１】特開２００２−１９５８８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
高効率化や大型化などの技術開発によって、特に白色ＬＥＤの発光輝度はますます高くなってきている。一方、実際の生産ラインでは、相対的に発光輝度の低い小型のＬＥＤなども製造している場合が多い。そのため、同一の測定装置を用いて、相対的に発光輝度の高いＬＥＤと相対的に発光輝度の低いＬＥＤとをそれぞれ測定する必要性が生じている。しかしながら、分光検出部における測定可能輝度範囲（ダイナミックレンジ）に比較して、測定対象となる発光体のうち、発光輝度の高いものと発光輝度の低いものとの間の差（比）が大きくなる場合がある。そのような場合には、測定装置と検査対象の発光体（ＬＥＤ）との間を同一距離に維持した状態で、すべての発光体の光学特性を測定することはできない。すなわち、発光輝度の高い発光体を測定するために、測定装置と検査対象の発光体との間の距離を相対的に大きくすると、発光輝度の低い発光体の測定精度が低下するという問題が生じ、発光輝度の低い発光体を測定するために、測定装置と検査対象の発光体との間の距離を相対的に小さくすると、分光検出部でオーバーレンジなどの問題が生じる。
【０００７】
そこで、測定装置と検査対象の発光体との距離を発光輝度に応じて変更した上で測定を行なう、もしくは発光体に与える電流値などを低減して輝度を抑制した状態で測定を行なう、といった方法も考えられる。しかしながら、前者の方法については、測定装置の位置を変更することに伴って再校正が必要となり作業が煩雑化する。また、後者の方法については、供給電流を低減することによって発光体（ＬＥＤ）の発光特性が変化するので、本来の光学特性を正確に評価することはできない。
【０００８】
この発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、発光体からの光を分光測定する際に、そのダイナミックレンジを容易に拡大させることができる光学特性測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明のある局面に従う光学特性測定装置は、光に含まれる各波長成分の強度に応じた信号を出力する分光検出部と、発光体からの光を分光検出部へ導く導光部と、導光部から分光検出部までの光経路上に配置され、透過する光の減光率を複数に切換え可能な光フィルタ部と、光フィルタ部における減光率を制御するための制御手段とを含む。制御手段は、分光検出部から出力される信号に基づいて、分光検出部に入射する光量を判断し、分光検出部に入射する光量が所定の下限値より小さい場合には、光フィルタ部における減光率をより小さな値に切換え、分光検出部に入射する光量が所定の上限値より大きい場合には、光フィルタ部における減光率をより大きな値に切換える。
【００１０】
好ましくは、光学特性測定装置は、分光検出部から出力される信号に基づいて、発光体の明るさおよび色度座標の少なくとも一方を算出する演算手段をさらに含む。演算手段は、光フィルタ部における複数の減光率の各々に対応付けて予め格納された複数の補正係数のうち、光フィルタ部で選択中の減光率に対応する補正係数を用いて信号を補正する。
【００１１】
好ましくは、光フィルタ部は、互いに透過率が異なる複数の領域が形成された板状部材と、制御手段からの指令に応じて、板状部材を分光検出部へ入射する光の光軸に対して垂直方向に駆動する駆動部とを含む。
【００１２】
さらに好ましくは、板状部材は、共通のガラス基板上に互いに透過率が異なる複数の領域が形成されて構成される。
【００１３】
またさらに好ましくは、分光検出部は、光フィルタ部を透過後の光が入射する回折格子と、回折格子によって生じた回折光を受光する受光部とを含む。板状部材は、その板面が回折格子に入射する光の光軸の垂直面に対して、非零の所定角度に配置される。
【００１４】
好ましくは、光学特性測定装置は、生産ライン上を連続的に搬送される複数の発光体を順次測定するように構成される。制御手段は、前回の測定時に使用された光フィルタ部における減光率を初期値として使用する。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、発光体からの光を分光測定する際に、そのダイナミックレンジを容易に拡大させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
この発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中の同一または相当部分については、同一符号を付してその説明は繰返さない。
【００１７】
＜装置全体構成＞
図１は、この発明の実施の形態に従う光学特性測定装置１の外観図を示す図である。
【００１８】
図１を参照して、この発明の実施の形態に従う光学特性測定装置１は、代表的に、生産ライン１０上を連続的に搬送される複数の発光体ＯＢＪの明るさや色合いといった光学特性を測定する。ここで、明るさとは、発光体ＯＢＪの輝度や光度などを意味し、色合いとは、発光体ＯＢＪの色度座標、主波長、刺激純度、相関色温度などを意味する。本実施の形態に従う光学特性測定装置１は、発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）やフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）などの測定に適用できるが、以下の説明では、代表的にＬＥＤを測定対象の発光体ＯＢＪとする構成について例示する。
【００１９】
生産ライン１０では、測定対象の発光体ＯＢＪが所定の搬送方向に一定速度もしくは間欠的に搬送されており、光学特性測定装置１は、この生産ライン１０上の所定位置（測定位置）において発光体ＯＢＪの光学特性を測定する。なお、測定位置およびその直前の位置（点灯準備位置）には、図示しない電力供給装置が発光体ＯＢＪであるＬＥＤの底面に連結され、ＬＥＤが点灯状態にされる。そして、この点灯状態のＬＥＤに対して測定が行われる。なお、光学特性測定装置１が配置される位置は、一般的にＬＥＤの製造ラインの出荷前や製造途中の各検査工程である。
【００２０】
光学特性測定装置１は、検出器２と情報処理装置１００とを含む。検出器２は、生産ライン１０の測定位置の上方などに配置された光取出部６と光ファイバ４を介して接続されている。そして、光ファイバ４が発光体ＯＢＪからの光（以下「測定光」とも称す。）を検出器２へ導く。
【００２１】
検出器２は、後述するように、発光体ＯＢＪからの測定光を分光し、それに含まれる各波長成分の強度に応じた信号（検出出力）を含む測定データを情報処理装置１００へ出力する。特に、本実施の形態に従う検出器２は、後述するように、通過する光の減光率を複数に切換え可能な光フィルタ部を含んでおり、この光フィルタ部における減光率を適切に選択することで、測定可能輝度範囲（ダイナミックレンジ）を拡大する。すなわち、発光体ＯＢＪからの輝度が相対的に高い場合には、減光率を相対的に高く設定し、発光体ＯＢＪからの輝度が相対的に低い場合には、減光率を相対的に低く設定することで、光強度を検出するためのフォトダイオードアレイなどの受光部を適切な感度範囲で利用する。これにより、発光体ＯＢＪの輝度にかかわらず、適切な検出精度を維持することができる。
【００２２】
情報処理装置１００は、検出器２からの測定データに基づいて、発光体ＯＢＪの光学特性を算出する。情報処理装置１００は、代表的にコンピュータによって実現される。すなわち、情報処理装置１００は、ＦＤ（Flexible Disk）駆動装置１１１およびＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disk-Read Only Memory)駆動装置１１３を搭載するコンピュータ本体１０１と、モニタ１０２と、キーボード１０３と、マウス１０４とからなる。そして、コンピュータ本体１０１が予め格納されたプログラムを実行することで、情報処理装置１００に係る光学特性の算出処理を実現する。この情報処理装置１００の機能構成については後述する。
【００２３】
＜検出器の構成＞
図２は、この発明の実施の形態に従う検出器２の概略の機能ブロック図である。図３は、この発明の実施の形態に従う検出器２の要部構造を示す斜視図である。
【００２４】
図２を参照して、検出器２は、スリット２０と、光フィルタ部２２と、回折格子２４と、受光部２６と、ＡＤ（Analog to Digital）変換器２８と、コントローラ３０とを含む。
【００２５】
スリット２０と、光フィルタ部２２と、回折格子２４とは、光ファイバ４によって導かれた発光体ＯＢＪからの測定光の光軸Ａｘ上に配列される。したがって、発光体ＯＢＪから発せられた測定光は、光取出部６および光ファイバ４を伝搬して、まずスリット２０を通過する。スリット２０は、所定の検出分解能を実現するために、光束径（大きさ）を調整する。一例として、スリット２０の各スリット幅は０．２ｍｍ〜０．０５ｍｍ程度に設定される。そして、スリット２０を通過後の測定光は、光フィルタ部２２へ入射する。なお、光フィルタ部２２は、スリット２０を通過後の測定光の収束位置とほぼ一致する位置に配置される。
【００２６】
光フィルタ部２２は、透過する光の減光率を複数に切換え可能に構成される。光フィルタ部２２における減光率は、後述するコントローラ３０からの指令に従って選択される。
【００２７】
さらに、光フィルタ部２２を通過後の測定光は、光軸Ａｘ上を伝搬して回折格子２４へ入射する。回折格子２４は、入射する測定光を回折させることで分光し、各回折光を受光部２６へ導く。代表的に、回折格子２４は、ブレーズドホログラフィック型と呼ばれる反射型の回折格子であり、所定の波長間隔毎の回折光が対応する各方向に反射するように構成される。
【００２８】
受光部２６は、測定光に含まれる各波長成分の強度を検出し、その検出した強度に応じた電気信号（検出出力）をＡＤ変換器２８へ出力する。受光部２６は、代表的にフォトダイオードなどの検出素子をアレイ状に配置したフォトダイオードアレイ（ＰＤＡ：Photo Diode Array）、もしくはマトリックス状に配置されたＣＣＤ（Charged Coupled Device）などからなる。一例として、受光部２６は、３８０ｎｍ〜９８０ｎｍの範囲で５１２個の周波数成分の強度に応じた信号を出力する。
【００２９】
なお、回折格子２４および受光部２６は、本願における「分光検出部」に相当し、測定光の検出波長範囲および検出波長間隔などに応じて適宜設計される。
【００３０】
次に、図３を参照して検出器２の要部構造について説明する。上述したように、測定光の光経路である光軸Ａｘ上には、スリット２０と、光フィルタ部２２と、回折格子２４とが配列される。
【００３１】
光フィルタ部２２は、ベース部材２１２のスリット２０側に、可動部材２０４が光軸Ａｘに対して垂直方向にスライド可能に配置される。この可動部材２０４は、ベース部材２１２に設けられたスライド方向に延びるガイド部材２１０に沿ってスライド可能に構成される。この可動部材２０４は、復帰ばね２０６を介してベース部材２１２に連結されるとともに、リニアアクチュエータ２０８からの押圧を受けるように構成される。復帰ばね２０６は、可動部材２０４を紙面右方向にスライドさせるための力を与える。一方、リニアアクチュエータ２０８は、コントローラ３０（図２）からの指令に従って、可動部材２０４のスライド方向に移動する。この復帰ばね２０６とリニアアクチュエータ２０８との協働によって、可動部材２０４は、リニアアクチュエータ２０８の移動量に応じた位置にスライドする。
【００３２】
可動部材２０４は、スライドに伴って光軸Ａｘと交差する領域を含む切欠部が設けられており、この切欠部には、板状のフィルタアレイ２０２が装着される。なお、ベース部材２１２の光軸Ａｘを含む処理範囲にも切欠部（図示しない）が設けられている。したがって、光軸Ａｘ上に存在する光フィルタ部２２の構成要素としては、フィルタアレイ２０２だけとなる。
【００３３】
フィルタアレイ２０２は、共通のガラス基板上に互いに透過率が異なる複数の領域２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃが形成されている。
【００３４】
図４は、図３に示すフィルタアレイ２０２の構成図である。
図４を参照して、本実施の形態に従うフィルタアレイ２０２には、一例として、３つの領域２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃが形成されている。なお、後述するように、本発明に係る検出器では、後述するように、複数のフィルタを選択可能に構成されていればよく、そのフィルタの数は制限されない。より具体的には、フィルタアレイ２０２は、共通のガラス基板２０３上に何らの加工もしない領域２０２ａと、ステップ的に透過率を異ならせた領域２０２ｂ，２０２ｃが形成されている。したがって、領域２０２ａの透過率は、ガラス基板２０３自体の透過率に相当し、本実施の形態では相対的に透過率の高いガラス基板２０３が用いられるので、領域２０２ａの減光率は実質的にゼロに相当する。一方、領域２０２ｂおよび２０２ｂは、一例としてそれぞれ透過率５％（ＮＤ５）および透過率０．２％（ＮＤ０．２）に加工されている。したがって、領域２０２ｂおよび２０２ｂの減光率は、それぞれ１／２０および１／５００となる。
【００３５】
図３に示すように、フィルタアレイ２０２を装着した可動部材２０４が光軸Ａｘに対して垂直方向にスライドすることによって、フィルタアレイ２０２に形成された領域２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃのうち光軸Ａｘと交差する領域が切換えられる。すなわち、測定光が領域２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃのうちいずれの領域を透過するかによって、その減光率を異ならしめることができる。
【００３６】
ここで、減光率を実質的にゼロにした場合（領域２０２ａが選択された場合）であっても、測定光はガラス基板２０３を透過することになる。すなわち、領域２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃのうちいずれが選択されたとしても、測定光が少なくともガラス基板２０３を透過する。そのため、ガラス基板２０３の厚さを所定の透過率を実現するために行なう加工幅に比較して大きくすることで、減光率の切換えに伴う測定光の光学的な経路長の変動を少なくすることができる。
【００３７】
また、共通のガラス基板２０３によって形成されたフィルタアレイ２０２をスライドするだけで、減光率を切換えることができるので、切換構造を実現するための空間を小さくできる。
【００３８】
さらに、フィルタアレイ２０２を回折格子２４に入射する測定光の光軸Ａｘの垂直面に対して、非零の所定角度に配置することが好ましい。これは、回折格子２４で回折される測定光の一部が、光軸Ａｘを測定光と逆方向に伝搬してフィルタアレイ２０２へ入射し、さらにフィルタアレイ２０２で反射されて回折格子２４へ再入射する場合がある。このように、測定光の一部がフィルタアレイ２０２と回折格子２４との間を多重反射することで、測定誤差を生じ得る。このような誤差要因を排除するために、測定光が回折格子２４で反射されて生じる戻り光のフィルタアレイ２０２による反射される方向を光軸Ａｘからずらすことが有効である。
【００３９】
図５は、この発明の実施の形態に従う光フィルタ部２２におけるフィルタアレイ２０２の取り付け状態を説明するための図である。図６は、図５に示すフィルタアレイ２０２によって反射される戻り光の光学経路を説明するための図である。
【００４０】
図５を参照して、可動部材２０４は、その板面が測定光の光軸Ａｘの垂直面と実質的に一致するように配置される。そして、フィルタアレイ２０２は、可動部材２０４の板面、すなわち光軸Ａｘの垂直面に対して、非零の所定角度θに維持される。
【００４１】
図６は、水平方向から見た測定光およびその測定光によって生じる戻り光の光学経路を示す。回折格子２４に入射した測定光は、回折格子２４によって回折され、その回折光（多次光）の一部が戻り光として、光軸Ａｘを逆方向に伝搬してフィルタアレイ２０２に入射する。ここで、フィルタアレイ２０２を所定角度θに配置することで、フィルタアレイ２０２に入射した戻り光のうち、フィルタアレイ２０２で反射される成分は、光軸Ａｘから所定角度θだけ異なる方向に伝搬する。その結果、フィルタアレイ２０２で反射された戻り光が回折格子２４へ再入射することを抑制できる。
【００４２】
なお、所定角度θは、フィルタアレイ２０２と回折格子２４との間の距離や、回折格子２４の焦点距離などに基づいて、フィルタアレイ２０２で反射された戻り光が回折格子２４へ再入射しないような適切な角度に設定される。現実的には、５°〜１５°程度が好ましい。
【００４３】
図５に示すように、フィルタアレイ２０２が可動部材２０４のスライド軸を中心にして所定の傾斜角を保つように構成されるので、フィルタアレイ２０２のうちいずれのフィルタが選択された場合であっても、フィルタアレイ２０２と光軸Ａｘとの角度の関係は維持される。そのため、選択されるフィルタにかかわらず、回折格子２４に入射する測定光の条件を同一にでき、フィルタ切換えに伴う誤差発生を抑制できる。
【００４４】
また、フィルタアレイが板状であるので、フィルタアレイ２０２を可動部材２０４に装着する際に１箇所の加工（代表的に、ザグリ（凹）部の形成）を行なえばよく、加工処理を簡素化できる。
【００４５】
なお、図５および図６では、フィルタアレイ２０２をその底辺を中心にして傾斜させる構成、すなわち紙面上下方向に傾斜させる構成について例示したが、その側辺を中心にして傾斜させる構成、すなわち紙面左右方向に傾斜させる構成を採用してもよい。本質的には、フィルタアレイ２０２と回折格子２４との間の多重反射を回避できればよい。
【００４６】
再度、図２を参照して、ＡＤ変換器２８は、受光部２６からの電気信号をデジタル信号に変換し、この変換後のデジタル信号をコントローラ３０へ出力する。
【００４７】
コントローラ３０は、情報処理装置１００（図１）との間でデータ通信可能に構成されるとともに、後述するように、光フィルタ部２２における減光率の切換えを制御する。また、コントローラ３０は、受光部２６の露光時間（ゲートタイム）などの動作パラメータを設定する。そして、コントローラ３０は、光フィルタ部２２における減光率の切換えが完了すると、受光部２６で検出される検出出力を含む測定データを所定周期で情報処理装置１００へ送信する。なお、この測定データの送信周期は、数ｍｓｅｃ〜数１００ｍｓｅｃである。
【００４８】
図７は、この発明の実施の形態に従う検出器２から情報処理装置１００へ送信される測定データのデータ構造の一例を示す図である。
【００４９】
図７を参照して、測定毎に送信される測定データは、ＩＤ格納部３０１と、測定値格納部３０２と、測定情報格納部３０３とを含む。ＩＤ格納部３０１には、各測定を特定するためのＩＤ番号が格納される。このＩＤ番号は、代表的に測定に伴ってインクリメントされる数である。測定値格納部３０２には、受光部２６から出力される各波長成分の強度を示す値が波長に対応付けられたチャンネル毎に格納される。なお、図７では、５１２チャンネルの信号が受光部２６から出力される場合を示す。測定情報格納部３０３は、各測定における測定パラメータが格納され、代表的に、受光部２６のゲートタイム（露光時間）の値、測定周期に相当する格納タイムの値、光フィルタ部２２における減光率を特定するフィルタ番号などが格納される。
【００５０】
＜情報処理装置の構成＞
図８は、この発明の実施の形態に従う情報処理装置１００のハードウェア構成を示す概略構成図である。この発明の実施の形態に従う情報処理装置１００のハードウェア構成を示す概略構成図である。
【００５１】
図８を参照して、コンピュータ本体１０１は、図１に示すＦＤ駆動装置１１１およびＣＤ−ＲＯＭ駆動装置１１３に加えて、相互にバスで接続された、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１０５と、メモリ１０６と、固定ディスク１０７と、検出器インターフェイス部（Ｉ／Ｆ）１０９とを含む。
【００５２】
ＦＤ駆動装置１１１にはＦＤ１１２が装着可能であり、ＣＤ−ＲＯＭ駆動装置１１３にはＣＤ−ＲＯＭ１１４が装着可能である。上述したように、本実施の形態に従う情報処理装置１００は、ＣＰＵ１０５がメモリ１０６などのコンピュータハードウェアを用いて、プログラムを実行することで実現される。一般的に、このようなプログラムは、ＦＤ１１２やＣＤ−ＲＯＭ１１４などの記録媒体に格納されて、またはネットワークなどを介して流通する。そして、このようなプログラムは、ＦＤ駆動装置１１１やＣＤ−ＲＯＭ駆動装置１１３などにより記録媒体から読取られて、記憶装置である固定ディスク１０７に一旦格納される。さらに、固定ディスク１０７からメモリ１０６に読出されて、ＣＰＵ１０５により実行される。
【００５３】
ＣＰＵ１０５は、プログラムされた命令を順次実行することで、各種の演算を実施する演算処理部である。メモリ１０６は、ＣＰＵ１０５でのプログラム実行に応じて、各種の
情報を一時的に記憶する。
【００５４】
検出器インターフェイス部１０９は、コンピュータ本体１０１と検出器２（図１）との間のデータ通信を仲介するための装置であり、検出器２から送信された測定データを示す電気信号を受信してＣＰＵ１０５が処理可能なデータ形式に変換するとともに、ＣＰＵ１０５が出力した指令などを電気信号に変換して検出器２へ送出する。
【００５５】
コンピュータ本体１０１に接続されるモニタ１０２は、ＣＰＵ１０５によって算出される測定対象の発光体ＯＢＪの明るさや色合いなどの算出結果を表示するための表示装置であって、一例としてＬＣＤ（Liquid Crystal Display）やＣＲＴ（Cathode Ray Tube）などから構成される。
【００５６】
マウス１０４は、クリックやスライドなどの動作に応じたユーザからの指令を受付ける。キーボード１０３は、入力されるキーに応じたユーザからの指令を受付ける。
【００５７】
また、コンピュータ本体１０１には、必要に応じて、プリンタなどの他の出力装置が接続されてもよい。
【００５８】
＜検出器の制御構造＞
図９は、この発明の実施の形態に従う検出器２のコントローラ３０における制御構造を示す概略図である。
【００５９】
図９を参照して、コントローラ３０は、受信部３１１と、送信部３１２と、バッファ部３１３と、判断部３１４と、フィルタ選択部３１５と、設定部３１６とをその機能として含む。
【００６０】
バッファ部３１３は、受光部２６（図２）で測定された測定値（分光分布）を一時的に格納する。
【００６１】
判断部３１４は、光フィルタ部２２で現在選択中のフィルタが適切か否かを判断するために、バッファ部３１３に格納される測定値に基づいて、受光部２６に入射する測定光の光量を評価する。具体的には、判断部３１４は、バッファ部３１３に格納される測定値の代表値（一例として、各波長成分のうち最大の強度値）が所定の下限値から所定の上限値までの範囲に存在するか否かを判断する。そして、判断部３１４は、測定値の代表値が所定の下限値より小さい場合には、受光部２６に入射する測定光の光量が不足していると判断し、その旨をフィルタ選択部３１５へ出力する。一方、判断部３１４は、測定値の代表値が所定の上限値より大きい場合には、受光部２６に入射する測定光の光量が過剰であると判断し、その旨をフィルタ選択部３１５へ出力する。
【００６２】
また、判断部３１４は、受光部２６に入射する測定光の光量が適切と判断した場合（下限値と上限値との間にある場合）には、バッファ部３１３に格納されている測定値を送信部３１２へ出力する。
【００６３】
なお、測定値の代表値としては、各波長成分の平均値や中間値などを用いてもよい。また、上述したように上限値および下限値といったしきい値を用いて判断する方法に限られる、受光部２６に入射する測定光の光量が適切か否かを判断できればどのような方法を用いてもよい。
【００６４】
このように、判断部３１４は、測定対象の発光体ＯＢＪの輝度に依存して変動する測定光の光量の適否を判断し、適切なフィルタが選択されるように、フィルタ選択部３１５へ判断結果を出力する。
【００６５】
フィルタ選択部３１５は、判断部３１４からの判断結果に応じて、適切なフィルタ（減光率）が選択されるように、フィルタ選択指令を光フィルタ部２２へ出力する。具体的には、フィルタ選択部３１５は、判断部３１４において受光部２６に入射する測定光の光量が不足していると判断されると、より多くの測定光を受光部２６に入射させるように、より減光率の小さなフィルタに切換えるためのフィルタ選択指令を出力する。一方、フィルタ選択部３１５は、判断部３１４において受光部２６に入射する測定光の光量が過剰であると判断されると、受光部２６に入射する測定光を抑制するように、より減光率の大きなフィルタに切換えるためのフィルタ選択指令を出力する。また、フィルタ選択部３１５は、現在選択中のフィルタを特定するための情報（フィルタ番号）を送信部３１２へ出力する。
【００６６】
このように、フィルタ選択部３１５は、受光部２６に入射する測定光の光量を、受光部２６の検出感度に適した値に維持するように、光フィルタ部２２におけるフィルタを選択する。
【００６７】
さらに、フィルタ選択部３１５は、情報処理装置１００から送信される校正時フィルタ指定に応答して、指定されたフィルタに切換える。これは、校正時には、光フィルタ部２２に含まれるフィルタ別に補正係数を算出する必要があるため、上述のようなフィルタの自動切換機能を無効化するためである。
【００６８】
設定部３１６は、ユーザ入力や情報処理装置１００から送信される各種設定などに応じて、受光部２６における動作パラメータを設定または変更する。具体的には、設定部３１６は、受光部２６の露光時間（ゲートタイム）や測定周期などを設定または変更する。また、設定部３１６は、この受光部２６に対して設定した動作パラメータを含む測定情報を送信部３１２へ出力する。
【００６９】
送信部３１２は、受光部２６で測定された測定値と、設定部３１６からの受光部２６の設定値とを含む測定データを作成し、情報処理装置１００へ所定周期で送信する。
【００７０】
受信部３１１は、情報処理装置１００から校正時フィルタ指定や各種設定を受信し、その受信した設定値をフィルタ選択部３１５や設定部３１６へ出力する。
【００７１】
＜検出器における処理手順＞
図１０は、この発明の実施の形態に従う検出器２における処理手順を示すフローチャートである。なお、図１０に示す処理は、検出器２のコントローラ３０によって実行される。
【００７２】
図１０を参照して、コントローラ３０は、電源が投入されると、光フィルタ部２２に対して予め定められた初期値に対応するフィルタを選択させる（ステップＳ１００）。そして、コントローラ３０は、測定開始指令が与えられたか否かを判断する（ステップＳ１０２）。この測定開始指令は、測定位置に測定対象の発光体ＯＢＪが到着すると、情報処理装置１００や生産ラインを管理するライン制御装置（図示しない）から与えられる。測定開始指令が与えられなければ（ステップＳ１０２においてＮＯ）、コントローラ３０は、測定開始指令が与えられるまで待つ。
【００７３】
測定開始指令が与えられると（ステップＳ１０２においてＹＥＳ）、コントローラ３０は、測定対象の発光体ＯＢＪからの光の測定を実行する（ステップＳ１０４）。具体的には、受光部２６で検出される測定値（分光分布）の取り込みが開始される。
【００７４】
続いて、コントローラ３０は、検出された測定値に基づいて、受光部２６に入射する測定光の光量が適切であるか否かを判断する（ステップＳ１０６）。すなわち、受光部２６は、検出された測定値の代表値が所定の下限値から上限値までの範囲に存在するか否かを判断する。
【００７５】
受光部２６に入射する測定光の光量が不足であると判断された場合（ステップＳ１０６において「不足」）、すなわち測定値の代表値が所定の下限値より小さいと判断された場合には、コントローラ３０は、光フィルタ部２２で現在選択中のフィルタより減光率のより小さなフィルタを選択可能であるか否かを判断する（ステップＳ１０８）。
【００７６】
光フィルタ部２２で現在選択中のフィルタより減光率のより小さなフィルタを選択可能でない場合（ステップＳ１０８においてＮＯの場合）には、コントローラ３０は、測定エラーを出力し（ステップＳ１１０）、処理はステップＳ１０２に戻る。なお、測定エラー出力としては、測定値としてはあり得ない数値（たとえば、マイナス値）を情報処理装置１００へ送信してもよい。
【００７７】
これに対して、光フィルタ部２２で現在選択中のフィルタより減光率のより小さなフィルタを選択可能である場合（ステップＳ１０８においてＹＥＳの場合）には、コントローラ３０は、光フィルタ部２２で選択中のフィルタをより減光率の小さなものに切換え（ステップＳ１１２）、処理はステップＳ１０４に戻る。
【００７８】
一方、受光部２６に入射する測定光の光量が過剰であると判断された場合（ステップＳ１０６において「過剰」）、すなわち測定値の代表値が所定の上限値より大きいと判断された場合には、コントローラ３０は、光フィルタ部２２で現在選択中のフィルタより減光率のより大きなフィルタを選択可能であるか否かを判断する（ステップＳ１１４）。
【００７９】
光フィルタ部２２で現在選択中のフィルタより減光率のより大きなフィルタを選択可能でない場合（ステップＳ１１４においてＮＯの場合）には、コントローラ３０は、測定エラーを出力し（ステップＳ１１６）、処理はステップＳ１０２に戻る。
【００８０】
これに対して、光フィルタ部２２で現在選択中のフィルタより減光率のより大きなフィルタを選択可能である場合（ステップＳ１１４においてＹＥＳの場合）には、コントローラ３０は、光フィルタ部２２で選択中のフィルタをより減光率の大きなものに切換え（ステップＳ１１８）、処理はステップＳ１０４に戻る。
【００８１】
受光部２６に入射する測定光の光量が適切であると判断された場合（ステップＳ１０６においてＹＥＳ）、すなわち測定値の代表値が所定の下限値から上限値の範囲に存在すると判断された場合には、コントローラ３０は、現在選択中のフィルタ番号とともに、直前に検出された測定値を情報処理装置１００へ送信する（ステップＳ１２０）。そして、コントローラ３０は、現在選択中のフィルタ番号を新たな初期値に更新した上で（ステップＳ１２２）、処理はステップＳ１０２に戻る。すなわち、前回の測定時に使用されたフィルタが次回の測定の初期値として用いられる。これは、一般的な生産ラインでは、いわゆるロット単位で製品が製造される場合が多く、製品種別の変更タイミング（あるロットと別のロットとの境界位置）において、フィルタ切換えが行なわれた後は、同一ロットの製品が連続すると予想される。そのため、前回の測定において使用されたフィルタをそのまま後続の測定においても使用することが測定効率の観点から好ましいと考えられるからである。
【００８２】
このように、コントローラ３０は、受光部２６に入射する測定光の光量が適切となるように光フィルタ部２２における減光率を切換えてゆき、測定光の光量が適切となった場合に検出された測定値を情報処理装置１００へ送信する。そのため、情報処理装置１００では、測定対象の発光体ＯＢＪの光学特性を適切に算出することができる。
【００８３】
＜情報処理装置の制御構造＞
図１１は、この発明の実施の形態に従う情報処理装置１００における制御構造を示す概略図である。
【００８４】
図１１を参照して、情報処理装置１００は、補正部１２２および算出部１２３を含む演算部１２１と、校正制御部１２６と、補正係数ファイル１２４と、標準データファイル１２７とをその機能として含む。なお、演算部１２１および校正制御部１２６の機能は、予め固定ディスク１０７などに格納されたプログラムがメモリ１０６に展開された上でＣＰＵ１０５によって実行されることで実現される。また、補正係数ファイル１２４および標準データファイル１２７は、固定ディスク１０７またはメモリ１０６の不揮発性領域などに格納される。
【００８５】
補正係数ファイル１２４には、検出器２の光フィルタ部２２で選択可能な各フィルタに対応付けた複数の補正係数テーブルが予め格納されている。この複数の補正係数テーブルは、フィルタ番号によって特定可能になっている。この各補正係数テーブルには、測定値（分光分布）に含まれる波長成分に対応付けて、その波長成分と同数の補正係数（校正係数）が規定されている。一例として、測定値に５１２チャンネルのデータが含まれている場合には、各補正係数テーブルにも５１２個の補正係数（校正係数）が規定される。
【００８６】
演算部１２１は、検出器２の光フィルタ部２２で選択中のフィルタ（減光率）に対応する補正係数テーブルを用いて発光体ＯＢＪの明るさや色度といった光学特性を算出する。
【００８７】
より具体的には、補正部１２２は、検出器２から送信される測定データに含まれるフィルタ番号に基づいて、補正係数ファイル１２４から対応する補正係数テーブルを選択する。そして、補正部１２２は、この選択した補正係数テーブルの各補正係数を測定値の対応する成分に乗じることで、補正後の測定値を算出する。そして、この補正後の測定値は、算出部１２３へ与えられる。
【００８８】
算出部１２３は、この補正後の測定値に基づいて、発光体ＯＢＪの明るさや色度などの光学特性を算出する。算出部１２３で算出される光学特性の代表例としては、三刺激値、色度座標、主波長（Dominant）、刺激純度（Purity）、相関色温度および偏差Ｄｕｖ、演色性評価数などが挙げられる。これらの測定項目は、主としてＸＹＺ表色系に基づいて規定される。
【００８９】
ＸＹＺ表色系は、以下のような演算式に従って算出される三刺激値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を用いて規定される。
【００９０】
【数１】
0005246395.tif 000002
【００９１】
上式のように、三刺激値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の算出には測定値（分光分布）が必要であり、算出部１２３は、可視領域（３８０ｎｍ〜７８０ｎｍ）にある各波長成分の強度に対応する等色関数の値を乗じた値を積算する。この三刺激値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の算出方法は、ＪＩＳ  Ｚ  ８７２４「色の測定方法−光源色」として定められている。
【００９２】
図１２は、国際照明委員会（ＣＩＥ）によって定められている等色関数を示す図である。図１２を参照して、等色関数は、人間の目における分光感度を表現したものに相当する。
【００９３】
三刺激値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のうち、刺激値Ｙの値は発光体ＯＢＪの明るさに相当する値である。なお、上式において、定数ｋは、受光部２６などにおける検出ゲインを考慮した値であり、「Ｙ」の値が実際に測定される明るさの絶対値と一致するように予め設定される。
【００９４】
また、三刺激値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のうち、刺激値Ｘおよび刺激値Ｙの値は色度座標を算出するための用いられる。色度座標（ｘ，ｙ）は、以下のような演算式に従って算出される。
【００９５】
【数２】
0005246395.tif 000003
【００９６】
色度座標（ｘ，ｙ）は、ＸＹＺ表色系の横軸方向の値と縦軸方向の値を示す。この色度座標（ｘ，ｙ）の算出方法は、ＪＩＳ  Ｚ  ８７２４「色の測定方法−光源色」として定められている。色度座標の算出方法としては、ＣＩＥ  １９６０  ＵＣＳやＣＩＥ  １９７６  ＵＣＳによっても別の算出方法が定められており、これらの算出方法を用いてもよい。
【００９７】
このように、算出部１２３は、検出器２で検出された測定値に基づいて、三刺激値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を算出することで、測定対象の発光体ＯＢＪの明るさ（ｋＹ）および色度座標（ｘ，ｙ）の少なくとも一方を算出する。なお、算出部１２３は、上述の等色関数や定数ｋを予め格納する。
【００９８】
主波長は、ＸＹＺ表色系に規定された色度図のうち、色度座標（ｘ，ｙ）のｙ座標の値に対応する波長に相当し、発光体ＯＢＪの色の違いを意味する。刺激純度は、原点の座標と色度座標（ｘ，ｙ）との距離に相当し、発光体ＯＢＪの色の濃さを意味する。この主波長および刺激純度の算出方法は、ＪＩＳ  Ｚ  ８７０１「色の表示方法−ＸＹＺ表色系及びＸ１０Ｙ１０Ｚ１０表色系」として定められている。
【００９９】
相関色温度および偏差Ｄｕｖは、それぞれ発光体ＯＢＪの色に最も近似する黒体の温度および黒体の温度に対する偏差を意味し、ＪＩＳ  Ｚ  ８７２５「光源の分布温度及び色温度・相関色温度の測定方法」として定められている。
【０１００】
演色性評価数は、発光体ＯＢＪの演色性を評価するものであり、ＪＩＳ  Ｚ  ８７２６「光源の演色性評価方法」として定められている。
【０１０１】
＜光学特性の算出処理手順＞
図１３は、この発明の実施の形態に従う情報処理装置１００における光学特性の算出処理手順を示すフローチャートである。なお、図１３に示す処理は、代表的に、ＣＰＵ１０５が予め固定ディスク１０７などに格納されたプログラムが実行されることで実現される。
【０１０２】
図１３を参照して、ＣＰＵ１０５は、検出器２から測定データを受信したか否かを判断する（ステップＳ２００）。測定データを受信していなければ（ステップＳ２００においてＮＯ）、ＣＰＵ１０５は測定データを受信するまで待つ。
【０１０３】
一方、測定データを受信していれば（ステップＳ２００においてＹＥＳ）、ＣＰＵ１０５は、測定データからフィルタ番号を抽出し、当該フィルタ番号に対応する補正係数テーブルを読出す（ステップＳ２０２）。そして、ＣＰＵ１０５は、測定データに含まれる測定値に補正係数テーブルを乗じることで測定値を補正する（ステップＳ２０４）。さらに、ＣＰＵ１０５は、補正後の測定値に基づいて、上述したような測定対象の発光体ＯＢＪの光学特性を算出する（ステップＳ２０６）。なお、算出される光学特性の項目は、ユーザによって選択されるようにしてもよい。
【０１０４】
最終的に、ＣＰＵ１０５は、算出した測定対象の発光体ＯＢＪの光学特性をモニタ１０２や図示しないプリンタなどへ出力する（ステップＳ２０８）。
【０１０５】
＜補正係数テーブルの更新処理手順＞
再度、図１１を参照して、補正係数ファイル１２４には、検出器２の光フィルタ部２２において切換え可能な各フィルタに対応付けた補正係数テーブルが予め格納される。すなわち、これらの補正係数テーブルは、検出器２を校正することによって算出される。校正制御部１２６は、校正時にこれらの補正係数テーブルの作成または更新を行なう。具体的には、校正制御部１２６は、ユーザなどからの校正指令を受けると、検出器２の光フィルタ部２２で特定のフィルタが選択されるように、校正時フィルタ指定を出力する。そして、校正制御部１２６は、ユーザによる校正操作によって得られる測定値と、標準データファイル１２７に予め格納される標準スペクトルとを比較して、補正係数テーブルを作成または更新する。以下では、校正処理として、（１）エネルギー校正および（２）波長校正について例示する。
【０１０６】
（１）エネルギー校正
エネルギー校正は、検出器２の受光部２６における受光感度（ゲイン）の波長依存性を補正するための処理である。
【０１０７】
図１４は、エネルギー校正を行なう際の手順を説明するための図である。
図１４を参照して、標準ランプ１２を用意するとともに、光取出部６に透過拡散キャップ８を装着する。そして、標準ランプ１２と透過拡散キャップ８の先端との間の距離を所定の基準距離（たとえば、５００ｍｍ）に設定する。この透過拡散キャップ８は、標準ランプ１２から照射される光を均一化した上で、光取出部６に入射させるための部材である。標準ランプ１２から放射される照度は既知であり、当該基準距離における標準値（スペクトル）が標準データファイル１２７（図１１）に予め格納されている。
【０１０８】
図１５は、エネルギー校正時に測定されたデータの一例を示す図である。
図１５を参照して、エネルギー校正係数は、標準ランプ１２を測定して得られる測定値と、標準データファイル１２７に予め格納された標準値との比率として算出される。校正制御部１２６（図１１）は、このようなエネルギー校正係数を各波長成分について算出する。さらに、校正制御部１２６は、算出したエネルギー校正係数に基づいて、当該時点において検出器２の光フィルタ部２２で選択中のフィルタ番号に対応付けた補正係数テーブルを作成または更新する。同様にして、光フィルタ部２２で選択可能なフィルタの数だけ、エネルギー校正が行なわれる。
【０１０９】
なお、補正部１２２（図１１）は、実測値に補正係数テーブルを乗じることで補正を行なうので、補正係数テーブルは、図１５に示すエネルギー校正係数の逆数に相当する値となる。
【０１１０】
以上のようなエネルギー校正は、検出器２の光フィルタ部２２で選択可能なフィルタの数だけ行なう必要があり、経年変化などを考慮して所定周期で行なうことが好ましい。
【０１１１】
なお、本実施の形態に従う情報処理装置１００において、校正制御部１２６および標準データファイル１２７を必ずしも搭載しておく必要はなく、校正時には校正用の別の装置を検出器２に接続し、この別の装置によって算出された補正係数テーブルのデータを補正係数ファイル１２４に格納するようにしてもよい。
【０１１２】
（２）波長校正
波長校正は、受光部２６から出力される検出出力の波長領域におけるずれを補正するための処理である。
【０１１３】
波長校正を行なう場合には、参照光源として、多数の既知の輝線スペクトルを含む光を発生する水銀ランプ、ネオンランプ、水銀・ネオンランプなどを用いる。
【０１１４】
図１６は、水銀・ネオンランプから発生する光のスペクトルを示す図である。図１６に示すように、水銀・ネオンランプからは、多数の輝線スペクトルを含む光が放射され、これらの輝線スペクトルと受光部２６から出力される検出出力とを対応付けることで、波長領域におけるずれを補正できる。
【０１１５】
このような受光部２６を構成する各受光素子（チャンネル）に対応付けられる波長を規定した波長テーブルについても補正係数ファイル１２４に格納される。補正部１２２（図１１）は、この波長テーブルに基づいて、受光部２６から出力される各チャンネルの検出出力に対応する波長を決定する。さらに、波長テーブルについても光フィルタ部２２で選択可能なフィルタ毎に格納することが好ましい。この場合には、補正部１２２は、光フィルタ部２２で選択されるフィルタに従って、対応の波長テーブルを用いて波長校正を行なう。
【０１１６】
＜変形例１＞
上述の実施の形態においては、板状のフィルタアレイ２０２を光軸Ａｘに対して垂直方向にスライドさせることで、減光率を複数に切換える構成について例示したが、いわゆるフィルタホイールを用いる構成を採用してもよい。
【０１１７】
フィルタホイールの構成としては、光軸Ａｘに平行な回転軸に沿って回転可能なホイール（円板）を設け、互いに透過率が異なる複数の領域をこのホイールの周方向に形成する。そして、コントローラからの指令に応じてホイールを回転駆動することで、光軸Ａｘに交差する領域を変更することで、減光率を切換える。
【０１１８】
＜変形例２＞
上述の実施の形態においては、別体の検出器２および情報処理装置１００から構成される光学特性測定装置１について例示したが、検出器２および情報処理装置１００の機能と同一の装置として構成してもよい。
【０１１９】
＜変形例３＞
本発明に係るプログラムは、コンピュータのオペレーティングシステム（ＯＳ）の一部として提供されるプログラムモジュールのうち、必要なモジュールを所定の配列で所定のタイミングで呼出して処理を実行させるものであってもよい。その場合、プログラム自体には上記モジュールが含まれずＯＳと協働して処理が実行される。このようなモジュールを含まないプログラムも、本発明に係るプログラムに含まれ得る。
【０１２０】
さらに、本発明に係るプログラムは他のプログラムの一部に組込まれて提供されるものであってもよい。その場合にも、プログラム自体には上記他のプログラムに含まれるモジュールが含まれず、他のプログラムと協働して処理が実行される。このような他のプログラムに組込まれたプログラムも、本発明に係るプログラムに含まれ得る。
【０１２１】
さらに、本発明に係るプログラムによって実現される機能の一部または全部を専用のハードウェアによって構成してもよい。
【０１２２】
本実施の形態によれば、受光部に入射する測定光の光量が当該受光部の検出感度に適した値となるように、測定光の光学経路上に配置したフィルタを切換えた上で、測定を行なう。これにより、発光輝度の異なる複数の種類の発光体ＯＢＪが流れ得る生産ラインに適用した場合であっても、適切に各発光体ＯＢＪの光学特性を測定することができる。また、本実施の形態に従う検出器は、受光部で検出された測定値に基づいて、適切なフィルタを選択するので、ユーザ操作を必要とせず、容易にダイナミックレンジを拡大させることができる。
【０１２３】
また、本実施の形態によれば、互いに透過率が異なる複数の領域が形成された板状のフィルタアレイを測定光の光軸に対して垂直方向にスライドさせることで、減光率を切換えることができるので、切換構造を実現するための空間を小さくできるとともに、その構造を簡素化できる。
【０１２４】
さらに、本実施の形態によれば、板状のフィルタアレイが測定光の光軸の垂直面に対して、非零の所定角度に配置される。この構成によって、測定誤差の要因となるフィルタアレイと回折格子との間の多重反射を抑制することができ、測定精度を高めることができる。
【０１２５】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】この発明の実施の形態に従う光学特性測定装置の外観図を示す図である。
【図２】この発明の実施の形態に従う検出器の概略の機能ブロック図である。
【図３】この発明の実施の形態に従う検出器の要部構造を示す斜視図である。
【図４】図３に示すフィルタアレイの構成図である。
【図５】この発明の実施の形態に従う光フィルタ部におけるフィルタアレイの取り付け状態を説明するための図である。
【図６】図５に示すフィルタアレイによって反射される戻り光の光学経路を説明するための図である。
【図７】この発明の実施の形態に従う検出器から情報処理装置へ送信される測定データのデータ構造の一例を示す図である。
【図８】この発明の実施の形態に従う情報処理装置のハードウェア構成を示す概略構成図である。
【図９】この発明の実施の形態に従う検出器のコントローラにおける制御構造を示す概略図である。
【図１０】この発明の実施の形態に従う検出器における処理手順を示すフローチャートである。
【図１１】この発明の実施の形態に従う情報処理装置における制御構造を示す概略図である。
【図１２】国際照明委員会（ＣＩＥ）によって定められている等色関数を示す図である。
【図１３】この発明の実施の形態に従う情報処理装置における光学特性の算出処理手順を示すフローチャートである。
【図１４】エネルギー校正を行なう際の手順を説明するための図である。
【図１５】エネルギー校正時に測定されたデータの一例を示す図である。
【図１６】水銀・ネオンランプから発生する光のスペクトルを示す図である。
【符号の説明】
【０１２７】
１  光学特性測定装置、２  検出器、４  光ファイバ、５  透過率、６  光取出部、８  透過拡散キャップ、１０  生産ライン、１２  標準ランプ、２０  スリット、２２  光フィルタ部、２４  回折格子、２６  受光部、２８  変換器、３０  コントローラ、１００  情報処理装置、１０１  コンピュータ本体、１０２  モニタ、１０３  キーボード、１０４  マウス、１０６  メモリ、１０７  固定ディスク、１０９  検出器インターフェイス（Ｉ／Ｆ）部、１１１  ＦＤ駆動装置、１１３  ＣＤ-ＲＯＭ駆動装置、１２１  演算部、１２２  補正部、１２３  算出部、１２４  補正係数ファイル、１２６  校正制御部、１２７  標準データファイル、２０２  フィルタアレイ、２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃ  領域、２０３  ガラス基板、２０４  可動部材、２０８  リニアアクチュエータ、２１０  ガイド部材、２１２  ベース部材、３０１  格納部、３０２  測定値格納部、３０３  測定情報格納部、３１１  受信部、３１２  送信部、３１３  バッファ部、３１４  判断部、３１５  フィルタ選択部、３１６  設定部、ＯＢＪ  発光体。
【図１】
0005246395.tif 000004
【図２】
0005246395.tif 000005
【図３】
0005246395.tif 000006
【図４】
0005246395.tif 000007
【図５】
0005246395.tif 000008
【図６】
0005246395.tif 000009
【図７】
0005246395.tif 000010
【図８】
0005246395.tif 000011
【図９】
0005246395.tif 000012
【図１０】
0005246395.tif 000013
【図１１】
0005246395.tif 000014
【図１２】
0005246395.tif 000015
【図１３】
0005246395.tif 000016
【図１４】
0005246395.tif 000017
【図１５】
0005246395.tif 000018
【図１６】
0005246395.tif 000019