(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端に封止部が形成された発光管を具備し、該発光管の内部に陽極と陰極とが対向配置されてなる放電ランプと、該発光管の少なくとも一方の封止部に装着された口金と、を備えた口金付き放電ランプにおいて、
前記口金から給電線が導出されると共に、
該口金には、前記給電線の給電側先端部の給電端子を着脱可能に固定する固着機構が設けられている
ことを特徴とする口金付き放電ランプ。
【請求項２】
前記給電線の給電側先端部には圧着端子が設けられ、前記固着機構は、該圧着端子が係合する保持具であることを特徴とする請求項１に記載の口金付き放電ランプ。
【請求項３】
前記給電線の給電側先端部には給電プラグが設けられ、前記固着機構は、該給電プラグが嵌合されるピン部材であることを特徴とする請求項１に記載の口金付き放電ランプ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の口金付き放電ランプと、
該放電ランプを取り囲み、上方に光放射開口を有する凹面反射鏡とを備え、
該凹面反射鏡に前記口金付き放電ランプを垂直配置し、該放電ランプの前記固着機構を有する口金が前記凹面反射鏡の光放射開口側に位置するようにしたことを特徴とする光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、特に、半導体素子、液晶表示素子、プリント配線基板等を製造するための露光用光源として使用される口金付き放電ランプおよび該給放電ランプを備えた光源装置に関するものであり、特に、口金から給電線が導出されて、その給電側先端部が給電装置に接続される口金付き放電ランプおよび光源装置に係わるものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、水銀を封入したショートアーク型の放電ランプは、発光管内に対向配置された一対の電極の先端間距離が短く、点光源に近いことから、光学系と組み合わせることにより集光効率の高い露光装置の光源として利用されている。
このような分野で使用される光源装置は、光源となるショートアーク型放電ランプと、該放電ランプを取り囲む凹面反射鏡とを備えてなり、放電ランプから放射された光を前記凹面反射鏡により所定の光学系に向かって集光して反射する。
【０００３】
特開２００８−１３０４１８号公報（特許文献１）にかかる従来のショートアーク型放電ランプを有する光源装置が示されている。
図１０にその構造が示されていて、光源装置１は、ショートアーク型放電ランプ２と、これを取り囲む凹面反射鏡３とよりなり、該凹面反射鏡３はその光放射開口３ａが上方を向くように据え付けられていて、その基端側端部３ｂに前記放電ランプ２が取り付けられることにより、該放電ランプ２は垂直配置され、該放電ランプ２からの放射光は、凹面反射鏡３によって上方に向けて反射される。
前記放電ランプ２の上方側端部の封止部２ａには口金４が取り付けられており、該口金４から給電線５が導出されている。この給電線５の給電側先端部には給電端子６が設けられていて、電力供給用端子台７の給電部８に着脱自在に接続される。
【０００４】
ところで、近時においては、露光処理における露光面積の増大やスループットの増大といった要求から、上記光源装置には、一層の紫外線量の増大が求められており、そのため光源であるショートアーク型放電ランプは大出力化が図られ、定格消費電力が増大し、電流流量も大きくなってきている。
このように、ランプに大電流を流すと、電極の損耗もまた著しくなり、これを補うため、電極本体部分を大型化する必要がある。
そして、大きな電極を支える軸部分、封止部部分の構造もまた大型化が必要になり、結果として、ランプ全体が大きく、重くなり、例えば１本の重量が２ｋｇを超えるようなランプが使用されるようになってきている。
【０００５】
一方、上述のようにランプの大出力化が進むと、ランプを取り囲む反射鏡においては熱の影響が顕著になり、例えば、反射鏡の反射面を構成する誘電体膜などのコーティング膜が剥がれ、破損する事態が生じる。このような反射膜の熱による影響を抑制するためには、反射鏡の開口径を大きくする必要がある。
そして、このように反射鏡の光放射開口が大きく構成されることに伴い、反射鏡の中心から電力供給用の端子台までの距離が長くなり、放電ランプに電力を供給するための給電線が長くなってきている。
【０００６】
こうした事情により、光源装置においてはランプの交換作業が一層困難になってきている。
具体的には、ランプの交換作業時、ランプが大きく、またその重量も大きいため、作業者は両手でランプの両端部を持って作業しなければならないが、給電線が長いために、給電端子台の給電部から外された給電線が作業中に振れ、これが反射鏡に接触して擦れ合うために該反射鏡の反射面を傷つけることがあり、特に、その先端部の給電端子が反射鏡やランプの発光管に接触することによる影響が大きく、これらに擦過傷を発生させてしまって性能悪化を招き、更にはそれが原因で破損に至るという問題があった。
そして、このようなことに鑑み、給電線の端部を一方の手で保持してもう一方の手でランプを保持しようとしても、大型化したランプの重量を支えることができず、落下させてしまってランプや反射鏡を破損させてしまうという問題もある。
このような状況のもと、上記のような事故を防ぐためにはランプの交換を作業者２人かがりで行わなければならないという作業効率の悪化も招いている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−１３０４１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて、両端に封止部が形成された発光管を具備し、該発光管の内部に陽極と陰極とが対向配置されてなる放電ランプと、該発光管の少なくとも一方の封止部に装着された口金と、を備えた口金付き放電ランプ、および該放電ランプを備えた光源装置において、放電ランプの交換時に給電線がみだりに振れることを防止して、ランプや反射鏡の破損事故を回避して、その交換作業が容易に行えて、作業の効率化を図った構造を提供せんとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、この発明では、放電ランプの封止部の口金から給電線が導出され、該口金には前記給電線の給電側先端部を着脱自在に固定する固着機構が設けられていることを特徴とする。
また、前記放電ランプを取り囲み、上方に光放射用開口を有する凹面反射鏡と、該凹面反射鏡に前記口金付き放電ランプを垂直配置し、該放電ランプにおける給電線の固着機構を有する口金が前記凹面反射鏡の光放射開口側に位置するようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、口金付き放電ランプの口金に給電線の給電側先端部を着脱自在に固定する固着機構を設けたので、ランプの交換作業に当たって、給電端子台から外された給電線の先端部を口金に固定することができるので、交換作業時に給電線がみだりに振れて反射鏡やランプに接触することがなく、特にその先端の給電端子が反射鏡やランプに当接してこれを破損するといったことが防止される。
また、作業者が給電線にとらわれることなく、ランプ自体を両手で作業できるので、安全で能率的に作業できる。
特に、放電ランプを垂直配置した光源装置においては、上部の口金に給電線の先端部を固定してランプの交換作業ができるので、給電線の自由先端部が重力により落下することもなく、それによる反射鏡やランプの破損事故がなくなる。
これにより、交換作業が容易になり、作業効率が大幅に改善されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る光源装置の全体図。
【図２】本発明の口金付き放電ランプの部分拡大図。
【図３】固着機構の他の実施例の斜視図。
【図４】図３の要部の拡大図。
【図５】図３の給電端子の他の実施例。
【図６】固着機構の他の実施例。
【図７】固着機構の更に他の実施例。
【図８】固着機構の更に他の実施例。
【図９】給電端子および固着機構の他の実施例。
【図１０】従来の光源装置。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１にこの発明の口金付き放電ランプとこれを用いた光源装置が示されている。
口金付き放電ランプ２は、上方に開口する凹面反射鏡３に垂直配置されるように取り付けられている。その上方側の封止部２ａに口金４が取り付けられていて、該口金４から給電線５が導出されている。
そして、口金４には前記給電線５の給電側先端部を着脱自在に固定するための固着機構１０が設けられていて、ランプの交換作業時には、図示したように、給電端子台（不図示）から取り外された給電線５の給電先端部を該固着機構１０に一時的に固定するものである。
なお、その他の構造は図１０と同様である。
【００１３】
図２に固着機構１０の一例が示されており、給電線５の給電側先端には圧着端子１１が取り付けられていて、該圧着端子１１を螺子１２と、口金４に螺設した螺子穴１３によって口金４に固定するものである。
図３、図４に他の実施例が示されており、給電線４先端部の圧着端子１１は、図４に示すように、口金４に植設されたピン１４に嵌合され、その上から押え片１５を回動して固定するものである。
これらの実施例では圧着端子１１は丸型のものを示したが、図５に示すように、Ｙ型の圧着端子１６であってもよい。
図６に固着機構１０の他の実施例が示されていて、コ字状の固定片１７が口金４に設けられ、その内部にバネ部材１８が配置されていて、圧着端子１１は横方向から固定片１７中に挿入されて、バネ部材１８によって固定される。
【００１４】
図７に固着機構１０の更に他の実施例が示されていて、固着機構１０は、レバー１９を回動すると、回転軸２０が回転し、それにより下方のプランジャー２１が下方に突き出されるものであって、いわゆるインデックスプランジャーとして知られている。この固着機構１０では更に口金４の側部に形成された開口２２を有し、圧着端子１１はこの開口２２内に挿入される。
そしてレバー１９の回動により下降するプランジャー２１がこの圧着端子１１に係合して固定するものである。
【００１５】
図８に固着機構１０の更に他の実施例が示されている。この固着機構１０は、口金４に植設されたピン２３とその上端にヒンジ（不図示）を介して回動自在に設けられたレバー２４とからなる。これにより、該レバー２４は、垂直方向と水平方向に回動するものであり、圧着端子１１の固着時には、レバー２４を垂直にしてピン２３と同軸にした状態（同図で点線図示）で丸型圧着端子１１に設けられた穴にピン２３を挿入し、レバー２４を水平方向に倒す（同図で実線図示）ことで、圧着端子１１に係合して固定するものである。
【００１６】
なお、圧着端子１１を口金４に一時的に固定する保持具には上記以外に種々の変形が可能であって、例えば、図２に示される螺子機構を利用する場合、螺子を口金４に植設し、これに圧着端子１１を嵌合させて、その上からナットを締めつけて固着してもよい。
また、図６に示されるバネ部材を利用する場合には、同図におけるコ字状の固定片１７自体がバネ性を有するものであってもよい。
更には、口金４に磁石を取り付けて保持具として、該磁石に圧着端子１１を吸着させるようにしてもよい。
【００１７】
図９には、給電端子の別の実施例が示されていて、この実施例では、給電線４の給電端子がプラグ２５で構成されている。そして、口金４にはこの給電プラグ２５の口径に合った固定ピン２６が突設されている。
給電プラグ２５は給電端子台２７の給電ピン２８に嵌合されて電気的に接続されてランプへの給電がなされる。ランプ交換時には、該給電プラグ２５が給電ピン２８から外されて、口金４の固定ピン２６に嵌合されて固定される。
【００１８】
以上のように、本発明によれば、上方に向けて開口する凹面反射鏡に、放電ランプが垂直配置された光源装置において、該放電ランプの上部封止部に設けられた口金に、該口金から導出する給電線の給電側先端部を着脱可能に固定する固着機構を設けたので、ランプ交換作業時に給電端子台から外される給電線の給電先端部を一時的に固定することにより、交換作業時に給電線の先端部がみだりに振れるようなことがなく、これが反射鏡やランプに接触してこれらを損傷するといった事故を防止できるというという効果を奏する。
そして、作業者は給電線にとらわれることなく両手での交換作業ができるので、効率的で安全な作業をすることができる。
【符号の説明】
【００１９】
１          光源装置
２          ショートアーク型放電ランプ
２ａ        封止部
３          凹面反射鏡
４          口金
５          給電線
１０        固着機構
１１        圧着端子（丸型）
１２        螺子
１３        螺子穴
１４        ピン
１５        押え片
１６        圧着端子（Ｙ型）
１７        コ字状固定片
１８        バネ部材
１９        レバー
２０        回転軸
２１        プランジャー
２２        開口
２３        ピン
２４        レバー
２５        給電プラグ
２６        固定ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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