(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板（１４）と、基板電気的相互接続体（２０）がパターン形成された基板絶縁層（１８）を各々が含む状態で前記基板全体を覆って配置された複数の相互接続回路層（１６）と、前記基板の上面から前記基板電気的相互接続体（２０）の少なくとも１つまで延びるビア接続部（２２、２４）とを含むベース（１２）と、電力半導体デバイス（２８）を備える電力半導体モジュール（２６）と、
を含み、
前記電力半導体デバイスの各々が該それぞれの電力半導体デバイスの上面上のデバイスパッド（３０）と該それぞれの電力半導体デバイスの下面上の裏面接点（３１）とを含み、
前記電力半導体デバイスが、膜構造体（３２）に結合され、
前記膜構造体が、膜絶縁層（３４）と、前記膜絶縁層全体を覆って配置されかつ選択的に前記デバイスパッドまで延びる膜電気的相互接続体（３６）とを含み、
前記裏面接点（３１）が、選択した基板電気的相互接続体又はビア接続部に結合され、
前記選択した電気的相互接続体又はビア接続部に結合された表面実装構成要素（３８）をさらに含み、
前記電力半導体モジュール及び表面実装構成要素を結合するための少なくとも２つのタイプのハンダをさらに含み、前記電力半導体モジュールを結合するための１つのタイプのハンダ（５２）が、少なくとも１つの前記表面実装構成要素を結合するための別のタイプのハンダ（５４）よりも高いリフロー温度を有する
ことを特徴とする、電力回路パッケージ（１０）。
【請求項２】
前記表面実装構成要素が、受動表面構成要素及び能動表面構成要素から成る群から選ばれた少なくとも１つの構成要素を含む、請求項１記載の電力回路パッケージ。
【請求項３】
前記ビア接続部（２２）の少なくとも幾つかが、熱的及び電気的結合するように構成される、請求項１記載の電力回路パッケージ。
【請求項４】
前記電力半導体モジュールを少なくとも部分的に囲む埋込み材料（５８）をさらに含む、請求項１記載の電力回路パッケージ。
【請求項５】
前記選択した電気的相互接続体又はビア接続部に結合されかつ外部結合のためにアクセスできるように前記埋込み材料によって部分的に囲まれた出力コネクタ（４４）をさらに含む、請求項４記載の電力回路パッケージ。
【請求項６】
熱交換器（６２）と、前記熱交換器と前記膜構造体の上面とを結合する熱的接合材料（６０）とをさらに含む、請求項１記載の電力回路パッケージ。
【請求項７】
前記基板が金属絶縁基板を含み、前記基板が、その中に埋込まれた冷却チャネル（７０）をさらに含む、請求項１記載の電力回路パッケージ。
【請求項８】
電力回路パッケージ（１０）を製作する方法において、
基板（１４）と、基板電気的相互接続体（２０）がパターン形成された基板絶縁層（１８）を各々が含む状態で前記基板全体を覆って配置された複数の相互接続回路層（１６）と、前記基板の上面から前記電気的相互接続体の少なくとも１つまで延びるビア接続部（２２、２４）とを含むベース（１２）を準備する段階と、
上面上のデバイスパッド（３０）と下面上の裏面接点（３１）とを各々が含みかつ膜構造体（３２）に結合された電力半導体デバイス（２８）を備える電力半導体モジュール（２６）であって、前記膜構造体が、膜絶縁層（３４）と前記膜絶縁層全体を覆って配置されかつ選択的に前記デバイスパッドまで延びる膜電気的相互接続体（３６）とを含む電力半導体モジュール（２６）を準備する段階と、
表面実装構成要素（３８）を準備する段階と、
前記電力半導体モジュール及び表面実装構成要素を前記ベースの選択した電気的相互接続体又はビア接続部に取付ける段階と、
を含み、
前記電力半導体モジュール及び表面実装構成要素を取付ける段階が、前記電力半導体モジュールを第１のタイプのハンダ（５２）でハンダ付けする段階と、次に前記表面実装構成要素を前記第１のハンダ（５２）よりも低いリフロー温度を有する第２のタイプのハンダ（５４）でハンダ付けする段階とを含む
ことを特徴とする、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、総括的には電力回路パッケージ及びその製作方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
大電力半導体モジュールは通常、セラミック基板に対してろう付け又は直接接合した銅でパッケージされる。そのようなパッケージ法は、高価であり、従って一般的に高性能用途に限られる。基板材料の量を減少させることによって、幾らかの費用が軽減され、また本出願と同一出願人によるＯｚｍａｔ他の米国特許第６，３７７，４６１号に記載されているような電力オーバレイ組立体を使用してワイヤボンドと置き換えると、信頼性が幾らか増大した。追加的なコスト削減及び信頼性の向上が望まれているといえる。
【特許文献１】米国特許第５，６８３，９２８号公報
【特許文献２】米国特許第５，８４９，６２３号公報
【特許文献３】米国特許第５，８７２，０４０号公報
【特許文献４】米国特許第６，０４０，２２６号公報
【特許文献５】米国特許第６，３７７，４６１号公報
【特許文献６】米国特許第４，８１０，５６３号公報
【特許文献７】米国特許第６，２３２，１５１号公報
【特許文献８】米国特許第６，３０６，６８０号公報
【特許文献９】米国特許第６，３９６，１５３号公報
【特許文献１０】米国特許第６，９４２，３６０号公報
【非特許文献１】COMMONLY-OWNED U.S. PATENT APPLICATION, SER. NO. 10/998,707 FILED 11/24/04 BY L.D. STEVANOVIC, ET AL, ENTITED "HEAT SINK WITH MICROCHANNEL COOLING FOR POWER DEVICES".
【非特許文献２】COMMONLY-OWNED U.S. PATENT APPLICATION, SER. NO. 10/998,798 FILED 1/24/04 BY L.D. STEVANOVIC, ET AL, ENTITED "POWER MODULE, PHASE LEG , ANDTHREE-PHASE INVERTER".
【非特許文献３】The Bergquist Co., "Thermal Clad Selection guide", Jan 2002, pp. 4-7
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
要約すると、本発明の１つの実施形態によると、電力回路パッケージは、ベースと電力半導体モジュールとを含む。ベースは、基板と、基板全体を覆って配置された複数の相互接続回路層とを含む。各相互接続回路層は、基板電気的相互接続体がパターン形成された基板絶縁層を含む。ベースはさらに、基板の上面から基板電気的相互接続体の少なくとも１つまで延びるビア接続部を含む。電力半導体モジュールは、電力半導体デバイスを含み、電力半導体デバイスの各々は、該それぞれの電力半導体デバイスの上面上のデバイスパッドと該それぞれの電力半導体デバイスの下面上の裏面接点とを含み、電力半導体デバイスは、膜構造体に結合される。膜構造体は、膜絶縁層と、該膜絶縁層全体を覆って配置されかつ選択的にデバイスパッドまで延びる膜電気的相互接続体とを含む。裏面接点は、選択した基板電気的相互接続体又はビア接続部に結合される。
【０００４】
本発明の別の実施形態によると、電力回路パッケージを製作する方法は、基板と、基板電気的相互接続体がパターン形成された基板絶縁層を各々が含む状態で基板全体を覆って配置された複数の相互接続回路層と、基板の上面から電気的相互接続体の少なくとも１つまで延びるビア接続部とを含むベースを準備する段階と、上面上のデバイスパッドと下面上の裏面接点とを各々が含みかつ膜構造体に結合された電力半導体デバイスを含み、膜構造体が、膜絶縁層と該膜絶縁層全体を覆って配置されかつ選択的にデバイスパッドまで延びる膜電気的相互接続体とを含む電力半導体モジュールを準備する段階と、電力半導体モジュールをベースの選択した電気的相互接続体又はビア接続部に取付ける段階とを含む。
【０００５】
本発明のこれら及びその他の特徴、態様及び利点は、図面全体を通して同じ符号が同様な部品を表している添付図面を参照して以下の詳細な説明を読む時、一層よく理解されるようになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
図１は、本発明の様々な実施形態による電力回路パッケージのための構成要素１１の拡大断面図である。図２は、本発明の１つの実施形態によるハンダ付け段階の側面断面図であり、図３は、本発明の別の実施形態によるハンダ付け段階の側面断面図であり、また図４は、図１に示す構成要素を使用した本発明の１つの実施形態による電力回路パッケージ１０の側面断面図である。
【０００７】
本発明の例示的な実施形態では、電力回路パッケージ１０は、ベース１２と電力半導体モジュール２６とを含む。ベース１２は、基板１４と、基板電気的相互接続体２０がパターン形成された基板絶縁層１８を各々が含む状態で基板１４全体を覆って配置された複数の相互接続回路層１６とを含む。ベース１２はさらに、基板１４の上面から基板電気的相互接続体２０の少なくとも１つまで延びるビア接続部２２、２４を含む。電力半導体モジュール２６は、電力半導体デバイス２８を含み、電力半導体デバイス２８の各々は、該それぞれの電力半導体デバイスの上面上のデバイスパッド３０と、該それぞれの電力半導体デバイスの下面上の裏面接点３１とを含む。電力半導体デバイス２８は、膜構造体３２に結合され、膜構造体３２は、膜絶縁層３４と該膜絶縁層３４全体を覆って配置されかつ選択的にデバイスパッド３０まで延びる膜電気的相互接続体３６とを含む。裏面接点３１は、選択した基板電気的相互接続体２０又はビア接続部２２、２４に結合される。
【０００８】
本明細書では、「上」、「下」及び「真上」のような用語は、説明のために使用しており、製作又は作動時における構造体の物理的配向を限定することを意図するものではない。本明細書に記載したあらゆる寸法及び構成要素値は、単に説明を目的とした例示的なものであって、本明細書に記載した発明の技術的範囲を限定することを意図するものではない。同様に、特定の材料は、単に説明を目的とした例示的なものである。
【０００９】
基板１４は、あらゆる構造的に適切な材料を含むことができ、一般的には導電性でない材料又は電気絶縁材料によって被覆された導電性材料を含む。熱が電力半導体デバイス２８から通るのを可能にする低い熱インピーダンスを有する基板を選択することも有益である。１つの実施例では、基板１４は、当業界では絶縁金属基板（ＩＭＳ）として知られている構造体を含む。より具体的な実施例では、ＩＭＳの導電性部分は、銅又はアルミニウム炭化ケイ素金属マトリックス複合材を含む。
【００１０】
基板絶縁層１８は一般的に、セラミック充填エポキシベースのラミネート、ポリイミド又はセラミックのような非導電性材料を含む。１つの実施形態では、基板絶縁層１８の厚さは、約０．００８インチ（０．２ｍｍ）である。導電性基板に隣接した基板絶縁層は、導電性基板のための絶縁体として作用することができる。相互接続回路層１６との関連で使用する場合、基板絶縁「層」１８は、「少なくとも１つの層」（つまり、層１８は、単層又は幾つかの重なり層を含むことができる。）を意味する。
【００１１】
基板電気的相互接続体２０は、パターン化されて所望の電気経路を形成し、また一般的に銅のような材料を含む。基板電気的相互接続体２０は、均質材料、或いは被着性又は仕上げを改善することを所望する場合には材料の幾つかの層を含むことができる。１つの実施例では、基板電気的相互接続体は、約０．００５８インチ（０．１５ｍｍ）の厚さを有する。
【００１２】
取付けようとする構成要素の性質に応じて、ビア接続部２２又は２４を使用して、電気経路、熱経路又は電気及び熱経路を形成する。一般的なビア接続部２２、２４用の材料には、銅のような材料が含まれる。構成要素当たりのビア接続部の直径寸法及び数もまた、構成要素に応じて変化し、ビア接続部の直径寸法及び数は、熱的又は電気的な必要性が増加するにつれて増大することになる。所望の場合には、付加的な埋込みビア接続部を使用して、図１のビア接続部２３によって示すように中間基板電気的相互接続体を相互接続することができる。
【００１３】
直線ビア接続部は、単に実施例の目的のために示しているだけである。一般的に、ビア接続部は、複数の基板絶縁層に跨る場合には、基板絶縁層の所望の部分を除去し、絶縁層毎の基準で導電性材料を加えることによって形成される。例えば、図１を参照すると、そのそれぞれの基板絶縁層をパターン形成した後に、ビア接続部部分１７が、ビア接続部部分１５の真上に形成されかつ該ビア接続部部分１５に結合され、その後そのそれぞれの基板絶縁層をパターン形成した後に、ビア接続部部分１９が、ビア接続部部分１７の上方に配向された状態で形成されかつ該ビア接続部部分１７に結合される。ビア接続部内の全空間を導電性材料で充填することが可能でない場合には、ビア接続部の内部部分に充填材料（図示せず）を加えて空隙を防止することができる。熱経路を形成するビア接続部の場合には、あらゆるそのような充填材料は一般的に、熱伝導性材料を含む。
【００１４】
必ずしも必要ではないが、得られた電力回路パッケージをその中で電力回路パッケージが機械的に締着されかつ冷却される組立体内に後で結合するためのベース通路を設けることが有用である。
【００１５】
電力半導体モジュール２６の電力半導体デバイス２８には、ダイオード、トランジスタ、統合ゲートバイポーラトランジスタ、或いは制御又は感知のための多機能を有するあらゆるタイプの電力半導体又はその他の半導体のようなデバイスが含まれる。電力シムを使用して、電力半導体デバイス２８の上面から下方にベース１２まで接続部を結合することができる。１つのそのような電力シム２９を、実施例の目的で示している。
【００１６】
電力半導体モジュールの例示的な実施形態が、前述の米国特許第６，３７７、４６１号に記載されている。膜構造体３２は、単層構造（図示したような）又は多層構造（膜構造体としては図示していないが、ベース１２の相互接続回路層１６に関連して図示したタイプの）のいずれかを含むことができる。
【００１７】
膜絶縁層３４は一般的に、ポリマー、又はさらにより具体的な実施形態ではポリイミドのような有機誘電体材料を含む。その他の実施例としての材料には、ＵＬＴＥＭ（登録商標）ポリエーテルイミド類（Ｇｅｎｅｒａｌ  Ｅｌｅｃｔｒｉｃ）又はＵＰＩＭＯＬ（登録商標）樹脂類（ＵＢＥ  Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ）のようなポリエーテルイミドが含まれる。所望の場合には、前述の米国特許第６，３７７、４６１号に記載されているように、セラミック充填材料を含むことができる。
【００１８】
膜電気的相互接続体３６は一般的に、銅のような金属を含む。図１の実施形態は、開始層３９、主要層４１及び仕上げ層４３を含むより具体的な積層電気的相互接続体の実施形態を示している。さらにより具体的な実施形態では、開始層３９は、チタニウムを含み、主要層４１は、約０．００５インチ（０．１３ｍｍ）の厚さを有する銅を含み、また仕上げ層４３は、ニッケル−金を含む。膜電気的相互接続体は、電気経路を分離するためにそれらの間に空間３７を有する。
【００１９】
１つの実施形態では、電力半導体デバイス２８は、グルー又は部分的に硬化したポリマー樹脂のような接着剤３５を用いて膜構造体３２に取付けられる。所望の場合には、膜構造体はさらに、本出願と同一出願人によるＷｏｊｎａｒｏｗｓｋｉ他の米国特許第５，６８３，９２８号、米国特許第５，８４９，６２３号、米国特許第５，８７２，０４０号及び米国特許第６，０４０，２２６号に記載されているタイプの一体形受動素子（図示せず）を含むことができる。
【００２０】
裏面接点３１は、選択した基板電気的相互接続体２０又はビア接続部２２、２４に結合される。本明細書で使用する場合、「又は」は、一方又は両方のいずれかを意味する。一般的に、結合は、あらゆる適当なハンダ５２を使用することによって達成される。１つの実施形態では、ハンダは、スクリーン印刷ハンダペーストを含む。
【００２１】
その上に既に基板電気的相互接続体２０を有するベース１２に対して電力半導体モジュール２６を取付けることは、例えば電力及び信号目的に使用することができる相互接続体を有する低い熱インピーダンスのベースを電力半導体モジュールと組み合せて統合することによって信頼性及び機能性を向上させるための簡単な方法が可能になることを含む多くの利点をもたらす。
【００２２】
表面実装構成要素３８、４０及び４２を結合することによって、付加的な利点を達成することができる。図２〜図５に示すようなより具体的な実施形態では、表面実装構成要素３８及び４０は、選択した基板電気的相互接続体２０又はビア接続部２２、２４に結合される。この実施形態では、表面実装構成要素３８及び４０が電力半導体モジュール２６と共通の平面上に配置されるので、ベース１２の相互接続回路層１６を有することにより一層多くの利点が得られる。
【００２３】
更なる１つの実施形態では、表面実装構成要素３８及び４０は、図２において共通ハンダ５２の使用によって表すように、電力半導体モジュール２６と共に同時にハンダ付けされる。別の実施形態では、多段階ハンダ付けプロセスが使用される。多段階の実施形態は、例えば最初に構成要素の特定層を取付け、次により低温のハンダを使用して、構造体の別の層に対して付加的な構成要素を付け加える場合に有用である。別の実施例を挙げると、図４に示すような１つの実施形態では、電力半導体モジュールと表面実装構成要素とを結合するために、少なくとも２つのタイプのハンダが使用される。この実施形態では、電力半導体モジュールを結合するのに、少なくとも１つの表面実装構成要素を結合するのに使用される別のタイプのハンダ５４よりも高いリフロー温度を有する１つのタイプのハンダ５２が使用される。
【００２４】
表面実装構成要素３９及び４０には一般的に、受動表面構成要素及び能動表面構成要素から成る群から選ばれた少なくとも１つの構成要素が含まれる。受動表面構成要素の実施例には、レジスタ、キャパシタ及びインダクタが含まれる。能動表面構成要素の実施例には、ゲートドライブ回路、電流センサ、電圧センサ、熱センサ、処理電子装置（例えば、有線又は無線とすることができ、レベルシフタ、コンバータ、フィルタ及び前置増幅器のような構成要素を含むことができる）、オプトエレクトロニクス及び調整用電子装置が含まれる。
【００２５】
１つの実施形態では、図４に示すように、埋込み材料５８が、電力半導体モジュール２６を少なくとも部分的に囲む。適当な埋込み材料の実施例には、エポキシ類及びシリコーン類が含まれる。埋込み材料５８を加える１つの有用な方法は、フレーム５０を使用することである。１つの実施形態では、フレーム５０は、基板の上面に結合されて、ベース１２とフレーム５０とによって形成された空洞内に埋込み材料が注入又は射出された時に埋込み材料を支持するようにする。一般的に、１つの実施例は毛管作用充填法であるあらゆる適当な方法によって埋込み材料５８を加えるのに先立って、電力半導体モジュール２６の下方の電力半導体デバイス２８間の空間内にアンダフィル材料（図示せず）が供給される。
【００２６】
フレーム５０は、製作の容易さ又は構造的支持のために所定の位置に残すことができる。それに代えて、フレーム５０は、埋込み材料を形成した後に除去することができる。フレーム５０を所定の位置に残す場合には、あらゆるベース通路１３に対して整列するフレーム通路５０をフレーム５０に設けることが有用である。
【００２７】
選択した基板電気的相互接続体２０又はビア接続部２２、２４に対して、出力コネクタ４４を付加的に結合することができる。一般的に、出力コネクタ４４は、
外部結合のために出力コネクタ４４がアクセス可能なまま維持された状態で埋込み材料が出力コネクタを部分的に囲むように、埋込み材料５８を加える前に形成される。１つの実施例では、出力コネクタ４４は、外部プラグ（図示せず）を受けるための出力コネクタ通路４６を含む。
【００２８】
表面実装構成要素４２はさらに、電力半導体モジュール２６の上面に取付けられた（一般的には、ハンダ５６を用いて）構成要素を含むことができる。或いは、別の実施形態では、下面上の熱的及び電気的ビア接続部２２によってまた上面上の冷却機構によって、電力半導体モジュールの両面に冷却が行われる。図５に示すような１つの上面冷却の実施例では、熱交換器６２が、熱的接合材料６０によって膜構造体の上面に結合される。
【００２９】
熱的接合材料６０は、電気絶縁性であるか、或いは導電性である場合には、熱交換器６２に隣接して配置するためのその上面として電気絶縁層（図示せず）を含むかのいずれかの熱伝導性材料を含む。１つの実施形態では、熱的接合材料６０は、Ｆｕｊｉｐｏｌｙ  Ａｍｅｒｉｃａ  Ｃｏｒｐ．から入手可能なＳＡＲＣＯＮ  ＸＲ−Ｍ（商標）のようなセラミック充填ポリマーパッドを含む。熱的接合材料６０のためのその他の材料の実施例には、セラミック充填シリコーン、カーボンファイバ充填パッド類及び従来型の熱グリース類が含まれる。熱交換器６２は、例えば空冷式又は液冷式熱交換器を含むことができる。
【００３０】
別の実施形態では、基板１４は、金属又は金属複合材材料を含み、またその中に埋込まれたチャネル７０を含み、熱交換器の組込みを可能にしかつパッケージのためのあらゆるその他の冷却構造の必要性を回避する。基板内のチャネルは、流体、気体又は相変化物質を使用した冷却用のチャネルを形成するように設計することができる。一体形冷却チャネルの例示的な実施形態は、２００４年１１月２４日に出願した、本出願と同一出願人によるＳｔｅｖａｎｏｖｉｃ他の米国特許出願第１０／９９８７０７号に記載されている。
【００３１】
そのような埋設チャネルのない実施形態では、熱交換器（図示せず）に対して基板１４を取付けて電力半導体デバイスの冷却を可能にすることが有用である。
【００３２】
本明細書では本発明の特定の特徴のみを図示しかつ説明してきたが、当業者には多くの改良及び変更が考えられるであろう。従って、特許請求の範囲は、全てのそのような改良及び変更を本発明の技術思想の範囲内に属するものとして保護しようとするものであることを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の１つの実施形態による電力回路パッケージのための構成要素の拡大断面図。
【図２】本発明の１つの実施形態によるハンダ付け段階の側面断面図。
【図３】本発明の別の実施形態によるハンダ付け段階の側面断面図。
【図４】本発明の１つの実施形態による電力回路パッケージの側面断面図。
【図５】本発明の別の実施形態による電力回路パッケージの側面断面図。
【符号の説明】
【００３４】
１０  電力回路パッケージ
１１  電力回路パッケージ構成要素
１２  ベース
１３  ベース通路
１４  基板
１５  ビア接続部部分
１６  回路層
１７  ビア接続部部分
１８  基板絶縁層
１９  ビア接続部部分
２０  基板電気的相互接続体
２２  ビア接続部
２３  ビア接続部
２４  ビア接続部
２６  電力半導体モジュール
２８  電力半導体デバイス
２９  シム
３０  デバイスパッド
３１  裏面接点
３２  膜構造体
３４  膜絶縁層
３５  接着剤
３６  膜電気的相互接続体
３７  膜ビア
３８  表面実装構成要素
３９  開始層
４０  表面実装構成要素
４１  主要層
４２  表面実装構成要素
４３  仕上げ層
４４  出力コネクタ
４６  出力コネクタ通路
４８  フレーム
５０  フレーム通路
５２  ハンダ
５４  ハンダ
５６  ハンダ
５８  埋込み材料
６０  熱的接合材料
６２  熱交換器
７０  基板チャネル
【図１】
0005129472.tif 000002
【図２】
0005129472.tif 000003
【図３】
0005129472.tif 000004
【図４】
0005129472.tif 000005
【図５】
0005129472.tif 000006