(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明樹脂と、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーと、光昇華性のある光重合開始剤とを含む感光性組成物であり、この感光性組成物中の３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの配合割合が、透明樹脂、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマー、光重合開始剤の合計重量を基準として３０〜５０重量％であり、かつ感光性組成物中の光重合開始剤の配合割合が、透明樹脂、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマー、光重合開始剤の合計重量を基準として１３〜３０重量％であり、さらに感光性組成物中の透明樹脂のＦｅｄｏｒｓの方法により、下記式で計算される溶解度パラメータが３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーのＦｅｄｏｒｓの方法により、下記式で計算される溶解度パラメータよりも大きく、その差が０．４〜０．９の範囲であることを特徴とする感光性組成物。
式
多官能モノマー、ホモポリマーのＳＰ値：δ=［Σ（原子、原子団の凝集エネルギ−×モル分率）／Σ（原子、原子団の分子容積率×モル分率）］1/2
コポリマーのＳＰ値：δcopolymer＝（δA2×ＸA＋δB2×ＸB＋δC2×ＸC・・・）1/2
（ただし、コポリマーを構成するモノマーＡ、Ｂ、Ｃ・・・のホモポリマーのＳＰ値をδA、δB、δC・・・，モル分率をＸA、ＸB、ＸC・・・とする。）
【請求項２】
光昇華性のある光重合開始剤が、アセトフェノン系光重合開始剤、アシルフォスフィンオキサイド系開始剤、もしくは下記一般式（１）で表されるスルホニウム有機ホウ素錯体またはオキソスルホニウム有機ホウ素錯体であることを特徴とする請求項１記載の感光性組成物。
【化１】
0005246994.tif 000010
［式（１）において、Ｒ1は、ベンジル基、置換されたベンジル基、フェナシル基、置換されたフェナシル基、アリールオキシ基、置換されたアリールオキシ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基から選ばれる基を表し、Ｒ2およびＲ3は、それぞれ独立に、Ｒ1 を構成できる基と同じ基か、またはアルキル基、置換されたアルキル基、アリール基、置換されたアリール基、アラルキル基、置換されたアラルキル基、アルキニル基、置換されたアルキニル基、脂環基、置換された脂環基、アルコキシ基、置換されたアルコキシ基、アルキルチオ基、置換されたアルキルチオ基、アミノ基、置換されたアミノ基、またはＲ2とＲ3が相互に結合した環状構造を表し、Ｒ4は酸素原子または孤立電子対を表し、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8は、それぞれ独立に、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基、置換されたアリール基、アラルキル基、置換されたアラルキル基、アルキニル基、置換されたアルキニル基を表す（但し、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の全てが、アリール基または置換されたアリール基となることはない。）］
【請求項３】
３  つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーが、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、およびプロピレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレートの群から選択されるいずれかであることを特徴とする請求項１または２記載の感光性組成物。
【請求項４】
透明樹脂が、重合成分として下記一般式（２）で示されるエチレン性不飽和単量体を含むことを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項に記載の感光性組成物。
【化２】
0005246994.tif 000011
［式（２）において、Ｒ9は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ10は、アルキレン基を表し、Ｒ11は、水素原子またはベンゼン環を含んでも良い炭素数１〜２０のアルキル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。］
【請求項５】
さらに、着色材を含む請求項１ないし４いずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項６】
請求項５記載の感光性組成物から形成されるフィルタセグメントを具備することを特徴とするカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性組成物に関するものであり、特にカラー液晶表示装置、カラー撮像素子等に用いられるカラーフィルタの製造の際に使用されるカラーフィルタ用着色組成物やオーバーコート材として好適に用いられる感光性組成物に関する。また、本発明は、カラー液晶表示装置、カラー撮像素子等に用いられるカラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置等は薄型化、大型化が進んでおり、用いられるカラーフィルタにも無欠陥薄型化が求められ、さらに耐熱性、耐光性等の諸耐性に加え、高透過率、高コントラストなどの要求特性があがってきている。また、同時にカラーフィルタの低コスト化が強く求められており、製造工程における歩留り向上や工程短縮が必要となっている。
【０００３】
現在、カラーフィルタは、液晶表示装置の製造工程でカラーフィルタ上に透明電極や配向膜を形成する工程を経るため、一般に２００℃以上、好ましくは２３０℃以上の高温に耐えられる性能が必要である。そこで、耐熱性に優れた顔料を含むレジスト材を用いて、フォトリソグラフィー法によりカラーフィルタを形成することが主流となっている。しかし、顔料は紫外線照射時に紫外線を吸収し、感度を低下させるために、液晶表示装置等の大型化に伴う露光時間短縮、生産性向上のためには、レジスト材中に多量の光重合開始剤を配合し、レジスト材を高感度化する必要がある。
【０００４】
従来、レジスト材の高感度化ということでは、光重合開始剤の配合比の最適化と共に、モノマーや樹脂の設計（多官能化など）と、その配合比の最適化により対応可能な部分もあった。
一方、カラーフィルタの耐熱性を補い、その他に耐湿性、耐薬品性、バリア性等の向上を図るという目的からカラーフィルタ上にオーバーコート層を設ける場合もある。このオーバーコート層形成用の感光性組成物もカラーフィルタと同様に生産性向上のためには高感度化が必要である。
【特許文献１】特開平０８−０１５５２１号公報
【特許文献２】特開平０７−１９９４６５号公報
【特許文献３】特開平０９−３２５４９４号公報
【特許文献４】特開２００２−０１４４６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
レジスト材の高感度化を図る場合、光重合開始剤の配合比率は増加する傾向にあり、用いる光重合開始剤の着色によりカラーフィルタの透過率低下を招く場合がある。そこで、レジスト材に配合する光重合開始剤として、熱によって昇華するものを選択することにより、カラーフィルタ製造時のポストベイク工程（パターン形成後の加熱工程）で光重合開始剤を昇華させ、塗膜中に残存する光重合開始剤を最小限に抑えると共に、カラーフィルタの透過率低下を抑えることができる。しかし、光重合開始剤が熱によって昇華するだけでなく、光昇華性を有するものである場合には、カラーフィルタ製造時のパターン露光工程で光重合開始剤が昇華し、昇華物がマスクに付着し、パターンを覆ってしまうことで、目的のパターン形状を露光することができなくなる場合がある。一度マスクが汚れてしまうと、カラーフィルタ製造ラインを止めて、マスク洗浄を行う必要があり、製造効率の低下につながる。
【０００６】
そこで、本発明は、高感度でありながら、カラーフィルタのパターン露光工程で発生するマスク汚れを低減させた、高透過率のカラーフィルタを形成できる感光性組成物、およびこれを用いた高透過率のカラーフィルタを提供することを目的とする。
また、本発明は、高感度で、高透過率の維持が可能なオーバーコート層を形成できる感光性組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の感光性組成物は、透明樹脂と、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーと、光昇華性のある光重合開始剤とを含む感光性組成物であり、この感光性組成物中の３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの配合割合が、透明樹脂、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマー、光重合開始剤の合計重量を基準として３０〜５０重量％であり、かつ感光性組成物中の光重合開始剤の配合割合が、透明樹脂、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマー、光重合開始剤の合計重量を基準として１３〜３０重量％であり、さらに感光性組成物中の透明樹脂のＦｅｄｏｒｓの方法により、下記式で計算される溶解度パラメータが３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーのＦｅｄｏｒｓの方法により、下記式で計算される溶解度パラメータよりも大きく、その差が０．４〜０．９の範囲であることを特徴とする。
式
多官能モノマー、ホモポリマーのＳＰ値：δ=［Σ（原子、原子団の凝集エネルギ−×モ
ル分率）／Σ（原子、原子団の分子容積率×モル分率）］1/2
コポリマーのＳＰ値：δcopolymer＝（δA2×ＸA＋δB2×ＸB＋δC2×ＸC・・・）1/2
（ただし、コポリマーを構成するモノマーＡ、Ｂ、Ｃ・・・のホモポリマーのＳＰ値をδ
A、δB、δC・・・，モル分率をＸA、ＸB、ＸC・・・とする。）
また、本発明のカラーフィルタは、着色材を配合した前記感光性組成物から形成されるフィルタセグメントを具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の感光性組成物は、光重合開始剤の配合割合が高いため感度が高いが、感光性組成物中の３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの配合割合を３０〜５０重量％と高くすること、および配合する透明樹脂と前記多官能モノマーのＳＰ値が適正な範囲になるよう透明樹脂と前記多官能モノマーの組合せを選択することにより、カラーフィルタのパターン露光工程で光重合開始剤が昇華することにより発生するマスク汚れを低減させることを可能とした。これにより、長期にわたって安定なパターン形状が得られ、カラーフィルタの生産性の向上が図れる。また、感光性組成物の高感度化のために配合された多量の光重合開始剤は、最終的にカラーフィルタの製造時のポストベイク工程で昇華するため、カラーフィルタの高透過率を維持することができる。よって、本発明の感光性組成物を用いてフィルタセグメントを形成することにより、安定して高品質の透過型・反射型のカラー液晶表示装置ならびに固体撮像素子の色分解用カラーフィルタを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
まず、本発明の感光性組成物について説明する。
本発明の感光性組成物は、透明樹脂と、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーと、光昇華性のある光重合開始剤とを含有する。
透明樹脂は、可視光領域の４００〜７００ｎｍの全波長領域において、透過率が好ましくは８０％以上、より好ましくは９５％以上の樹脂である。透明樹脂には、感光性樹脂と非感光性樹脂があるが、高感度の感光性組成物を得るには、感光性樹脂を配合することが好ましい。
【００１０】
感光性樹脂としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等の反応性の置換基を有する高分子に、イソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基、カルボキシル基等の反応性置換基を有する（メタ）アクリル化合物やケイヒ酸を反応させて、（メタ）アクリロイル基、スチリル基等の光架橋性基を該高分子に導入した樹脂が用いられる。具体的には、例えば水酸基を有するエチレン性不飽和単量体、その他のエチレン性不飽和単量体などを数種類共重合した共重合体に、水酸基と反応可能な官能基及びエチレン性不飽和二重結合を有する化合物を反応させることにより得られるものがある。水酸基と反応可能な官能基としては、イソシアネート基、カルボキシル基等が挙げられるが、特に反応性の点でイソシアネート基が好ましい。イソシアネート基及びエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として具体的には、２−アクリロイルエチルイソシアネート、２−メタクリロイルエチルイソシアネート等が挙げられる。また、スチレン−無水マレイン酸共重合体やα−オレフィン−無水マレイン酸共重合体等の酸無水物を含む高分子をヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート等の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物によりハーフエステル化したものも用いられる。
【００１１】
また、非感光性樹脂としては、本発明の感光性組成物を用いてアルカリ現像によりフィルタセグメントを形成する場合には、アルカリ可溶型非感光性樹脂を用いることが好ましい。アルカリ可溶型非感光性樹脂とは、アルカリ水溶液に溶解しラジカルにより架橋しない樹脂であり、例えば、カルボキシル基、スルホン基などの酸性官能基を有する樹脂が挙げられる。アルカリ可溶型非感光性樹脂として具体的には、酸性官能基を有するアクリル樹脂、α−オレフィン／（無水）マレイン酸共重合体、スチレン／（無水）マレイン酸共重合体、スチレン／スチレンスルホン酸共重合体、エチレン／（メタ）アクリル酸共重合体、イソブチレン／（無水）マレイン酸共重合体などが挙げられる。なかでも、酸性官能基を有するアクリル樹脂、α−オレフィン／（無水）マレイン酸共重合体、スチレン／（無水）マレイン酸共重合体およびスチレン／スチレンスルホン酸共重合体から選ばれる少なくとも１種の樹脂、特に酸性官能基を有するアクリル樹脂は、耐熱性、透明性が高いため、好適に用いられる。
【００１２】
アルカリ可溶型でない非感光性樹脂には、熱可塑性樹脂と熱硬化性樹脂があり、熱可塑性樹脂としては、例えば、ブチラール樹脂、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、スチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリブタジエン、ポリイミド樹脂等が挙げられる。また、熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂等が挙げられる。
【００１３】
また、透明樹脂としては、下記一般式（２）で示されるエチレン性不飽和単量体（ａ）を重合成分として含むものを用いることが好ましく、特に下記一般式（２）で示されるエチレン性不飽和単量体（ａ）と他のエチレン性不飽和単量体（ｂ）の共重合体を用いることが、着色材の分散安定性向上という面から好ましい。
【化１】
0005246994.tif 000002
［式（２）において、Ｒ9は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ10は、アルキレン基を表し、Ｒ11は、水素原子またはベンゼン環を含んでも良い炭素数１〜２０のアルキル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。］
【００１４】
一般式（２）において、アルキレン基Ｒ10は、２〜３個の炭素原子を有することが好ましい。また、Ｒ11のアルキル基の炭素数は１〜２０であるが、より好ましくは１〜１０であり、Ｒ11はベンゼン環等の置換基を含んでもよい。Ｒ11のアルキル基の炭素数が１〜１０のときはアルキル基が障害となり樹脂同士の接近を抑制し、顔料への吸着／配向を促進するが、炭素数が１０を超えると、アルキル基の立体障害効果が高くなり、ベンゼン環の顔料への吸着／配向までをも妨げる傾向を示す。この傾向は、Ｒ11のアルキル基の炭素鎖長が長くなるに従い顕著となり、炭素数が２０を超えると、ベンゼン環の吸着／配向が極端に低下する。Ｒ11で表されるベンゼン環を含むアルキル基としては、ベンジル基、２−フェニル（イソ）プロピル基等を挙げることができる。
【００１５】
エチレン性不飽和単量体（ａ）としては、フェノールのエチレンオキサイド（ＥＯ）変性（メタ）アクリレート、パラクミルフェノールのＥＯまたはプロピレンオキサイド（ＰＯ）変性（メタ）アクリレート、ノニルフェノールのＥＯ変性（メタ）アクリレート、ノニルフェノールのＰＯ変性（メタ）アクリレート等が挙げられる。これら化合物のうち、パラクミルフェノールのＥＯまたはＰＯ変性（メタ）アクリレートは、上記ベンゼン環のπ電子の効果ばかりでなく、その立体的な効果も加わり、顔料などの着色材に対してより良好な吸着／配向面を形成することができるので、より分散効果が高い。
【００１６】
他のエチレン性不飽和単量体（ｂ）としては、（メタ）アクリル酸、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、（イソ）プロピル（メタ）アクリレート、（イソ）ブチル（メタ）アクリレート、（イソ）ペンチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、イソボニル（メタ）アクリレート、アシッドホスホオキシエチル（メタ）アクリレート、アシッドホスホオキシプロピル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−アシッドホスホオキシエチル（メタ）アクリレート、アシッドホスホオキシポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００１７】
上記一般式（２）で示されるエチレン性不飽和単量体（ａ）と他のエチレン性不飽和単量体（ｂ）とを共重合してなる透明樹脂中のエチレン性不飽和単量体（ａ）の割合は、エチレン性不飽和単量体（ａ）と他のエチレン性不飽和単量体（ｂ）の合計重量を基準（１００重量％）として、０．１〜５０重量％であることが好ましく、より好ましくは１０〜３５重量％である。エチレン性不飽和単量体（ａ）の割合が０．１重量％より少ないと顔料の分散効果が低下する。また、５０重量％より多いと疎水性が大きくなり、感光性組成物の現像性が低下したり、残渣の原因になったりすることがある。
【００１８】
３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーとしては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート等の各種アクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル等が代表例に挙げられ、これらを単独でまたは２種類以上混合して用いることができる。3つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの官能基数は、好ましくは３〜１２であり、より好ましくは３〜１０である。官能基数が３未満では、感光性組成物の十分な感度が得られず、官能基数が１２を超えると、カラーフィルタのパターニング性が不良となる場合があり好ましくない。
【００１９】
感光性組成物中の透明樹脂の溶解度パラメータと、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの溶解度パラメータは、透明樹脂の溶解度パラメータが３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの溶解度パラメータよりも大きく、その差が０．４〜０．９の範囲である。溶解度パラメータの差が０．４よりも小さい場合には、感光性組成物を塗工した時の３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの塗膜表面への偏析が十分でなく、塗膜表面付近での硬化性、架橋密度が低下し、パターン露光工程で光重合開始剤の昇華をおさえることができない。一方、溶解度パラメータの差が０．９よりも大きい場合には、感光性組成物の塗膜内での相分離挙動が助長され、感光性組成物を用いてフィルタセグメントを形成する場合に、諸耐性が十分でなくなったり、パターニング性が不良となったりする。
【００２０】
感光性組成物中の透明樹脂と、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの溶解度パラメータ（ＳＰ値）は、Ｆｅｄｏｒｓの方法（文献：「Ｒ.Ｆ.Ｆｅｄｏｒｓ，Ｐｏｌｙｍｅｒ.Ｅｎｇ.，１４，（２）１４７（１９７４）」）により、下記式で計算される値を用いた。
多官能モノマー、ホモポリマーのＳＰ値：δ=［Σ（原子、原子団の凝集エネルギ−×モル分率）／Σ（原子、原子団の分子容積率×モル分率）］1/2
コポリマーのＳＰ値：δcopolymer＝（δA2×ＸA＋δB2×ＸB＋δC2×ＸC・・・）1/2
ただし、コポリマーを構成するモノマーＡ、Ｂ、Ｃ・・・のホモポリマーのＳＰ値をδA、δB、δC・・・，モル分率をＸA、ＸB、ＸC・・・とする。
【００２１】
感光性組成物中の３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの配合割合は、透明樹脂、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマー、光重合開始剤の合計重量を基準（１００重量％）として、好ましくは３０〜５０重量％であり、より好ましくは３５〜５０重量％であり、さらにより好ましくは４０〜５０重量％である。３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの配合割合が３０重量％より少ない場合は、感光性組成物中の３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの偏析量が十分でなく、光重合開始剤の昇華を押さえられなくなる。一方、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの配合割合が５０重量％より多い場合には、感光性組成物の粘度安定性、現像性が低下してしまう。
【００２２】
光昇華性のある光重合開始剤としては、ヨードニウム塩、アンモニウム塩、ジアゾニウム塩を始めとする各種オニウム塩（特許第２８３０５２７号公報参照）、トリハロメチルトリアジン系光重合開始剤（特開平０８−３４８０７号公報、特開平０８−２１７８１２号公報参照）、オルト−キノンジアジド系光重合開始剤（特開２００１−２２６４２０号公報、特開２００１−２３３９１１号公報参照）、過酸化物系光重合開始剤（特開平０５−２７４２２号公報、特開平０６−１２２８５６号公報参照）、オキシムエステル系光重合開始剤（特開２００４−３００３６７号公報参照）、ベンジル系光重合開始剤、N−フェニルグリシン系光重合開始剤（特開平０８−７６３６９号公報参照）、チタノセン系光重合開始剤（特開平０８−２８６３７９号公報、特開２００４−３０１９４１号公報参照）、アセトフェノン系光重合開始剤、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、スルホニウム有機ホウ素錯体またはオキソスルホニウム有機ホウ素錯体等が挙げられる。上記の中でも、感光性組成物調整後の感度や色度特性への影響を考慮すると、アセトフェノン系重合開始剤、アシルフォスフィンオキサイド系重合開始剤、スルホニウム有機ホウ素錯体またはオキソスルホニウム有機ホウ素錯体が好ましい。
【００２３】
アセトフェノン系光重合開始剤の具体例としては、ジエトキシアセトフェノン、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン等が挙げられる。アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤の具体例としては、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド等が挙げられる。スルホニウム有機ホウ素錯体またはオキソスルホニウム有機ホウ素錯体等は、下記一般式（１）で表されるものである。
【化２】
0005246994.tif 000003
［式（１）において、Ｒ1は、ベンジル基、置換されたベンジル基、フェナシル基、置換されたフェナシル基、アリールオキシ基、置換されたアリールオキシ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基から選ばれる基を表し、Ｒ2およびＲ3は、それぞれ独立に、Ｒ1 を構成できる基と同じ基か、またはアルキル基、置換されたアルキル基、アリール基、置換されたアリール基、アラルキル基、置換されたアラルキル基、アルキニル基、置換されたアルキニル基、脂環基、置換された脂環基、アルコキシ基、置換されたアルコキシ基、アルキルチオ基、置換されたアルキルチオ基、アミノ基、置換されたアミノ基、またはＲ2とＲ3が相互に結合した環状構造を表し、Ｒ4は酸素原子または孤立電子対を表し、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8は、それぞれ独立に、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基、置換されたアリール基、アラルキル基、置換されたアラルキル基、アルキニル基、置換されたアルキニル基を表す（但し、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の全てが、アリール基または置換されたアリール基となることはない。）］
【００２４】
感光性組成物中の光重合開始剤の配合割合は、透明樹脂、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマー、光重合開始剤の合計重量を基準（１００重量％）として、好ましくは１３〜３０重量％であり、より好ましくは１５〜３０重量％である。光重合開始剤の配合割合が１３重量％よりも少ない場合には、感光性組成物の感度が低下してしまう。一方、光重合開始剤の配合割合が３０重量％よりも多い場合には、感光性組成物中の透明樹脂、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーとの配合バランスが崩れてしまい、塗工膜の表面近くの光重合開始剤濃度が上昇するため、光重合開始剤の昇華を押さえられなくなる。
【００２５】
光重合開始剤は、単独であるいは２種以上混合して用いるが、増感剤として、α−アシロキシエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル−９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、４，４’−ジエチルイソフタロフェノン、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン等の化合物を併用することもできる。
【００２６】
本発明の感光性組成物には着色材を配合することができ、着色材を配合した感光性着色組成物は、カラーフィルタを構成するフィルタセグメントの形成に用いることができる。着色材としては、有機または無機の顔料を、単独でまたは２種類以上混合して用いることができる。顔料は、発色性が高く、且つ耐熱性の高い顔料、特に耐熱分解性の高い顔料が好ましく、通常は有機顔料が用いられる。
以下に、本発明の感光性着色組成物に使用可能な有機顔料の具体例を、カラーインデックス番号で示す。
【００２７】
赤色組成物には、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ７、１４、４１、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、８１：１、８１：２、８１：３、８１：４、１４６、１６８、１７７、１７８、１８４、１８５、１８７、２００、２０２、２０８、２１０、２４６、２５４、２５５、２６４、２７０、２７２、２７９等の赤色顔料を用いることができる。赤色組成物には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ４３、７１、７３等の橙色顔料を併用することができる。
【００２８】
緑色組成物には、例えば、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７、１０、３６、３７等の緑色顔料を用いることができる。緑色組成物には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １、２、３、４、５、６、１０、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１３９、１４７、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９３、１９４、１９８、１９９、２１３、２１４等の黄色顔料を併用することができる。
【００２９】
青色組成物には、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４等の青色顔料を用いることができる。青色組成物には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １、１９、２３、２７、２９、３０、３２、３７、４０、４２、５０等の紫色顔料を併用することができる。
マゼンタ色組成物には、例えば、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １、１９、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １４４、１４６、１７７、１６９、８１等の紫色顔料および赤色顔料を用いることができる。
【００３０】
イエロー色組成物には、例えば、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １、２、３、４、５、６、１０、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１３９、１４７、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９３、１９４、１９８、１９９、２１３、２１４等の黄色顔料を用いることができる。
【００３１】
シアン色組成物には、例えば Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、８１等の青色顔料を用いることができる。
また、無機顔料としては、群青、紺青等が挙げられる。無機顔料は、彩度と明度のバランスを取りつつ良好な塗布性、感度、現像性等を確保するために、有機顔料と組み合わせて用いられる。
本発明の感光性着色組成物には、調色のため、耐熱性を低下させない範囲内で染料を含有させることができる。
【００３２】
顔料は、感光性着色組成物中に、透明樹脂、多官能モノマー、光重合開始剤、分散助剤、溶剤の全量を基準（１００重量％）として、０．５〜１０重量％の割合で含有されることが好ましい。また、顔料は、最終フィルタセグメント中に好ましくは１０〜６０重量％、より好ましくは２０〜５０重量％の割合で含有され、その残部は透明樹脂、モノマー等により提供される樹脂質バインダーから実質的になる。
本発明の感光性着色組成物は、遠心分離、焼結フィルタ、メンブレンフィルタ等の手段にて、５μｍ以上の粗大粒子、好ましくは１μｍ以上の粗大粒子、さらに好ましくは０．５μｍ以上の粗大粒子および混入した塵の除去を行うことが好ましい。
【００３３】
着色材を含む感光性着色組成物は、透明樹脂を含む組成物中に、着色材を三本ロールミル、二本ロールミル、サンドミル、ニーダー、アトライター、ペイントコンディショナー等の各種分散手段を用いて微細に分散して顔料分散体を製造し、これに３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーと光昇華性のある光重合開始剤等を配合することで製造することができる。
【００３４】
着色材として顔料を感光性組成物中に分散する際には、適宜、樹脂型顔料分散剤、色素誘導体、界面活性剤等の分散助剤を用いることができる。分散助剤は、顔料の分散に優れ、分散後の顔料の再凝集を防止する効果が大きいので、分散助剤を用いて顔料を感光性組成物中に分散してなる感光性着色組成物を用いた場合には、透明性に優れたカラーフィルタが得られる。分散助剤は、顔料１００重量部に対して、０．１〜４０重量部の量で用いることができる。
【００３５】
樹脂型顔料分散剤は、顔料に吸着する性質を有する顔料親和性部位と、顔料担体と相溶性のある部位とを有し、顔料に吸着して顔料の感光性組成物への分散を安定化する働きをするものである。樹脂型顔料分散剤として具体的には、ポリウレタン、ポリアクリレートなどのポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸（部分）アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物、ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩などが用いられる。また、（メタ）アクリル酸−スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン−マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドンなどの水溶性樹脂や水溶性高分子化合物、ポリエステル系、変性ポリアクリレート、エチレンオキサイド／プロピレンオキサイド付加物等が用いられる。これらは、単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
【００３６】
具体的には、ビックケミー社製のＤｉｓｐｅｒｂｙｋまたはＤｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０１、１０３、１０７、１０８、１１０、１１１、１１６、１３０、１４０、１５４、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０、１７１、１７４、１８０、１８１、１８２、１８３、１８４、１８５、１９０、２０００、２００１またはＡｎｔｉ−Ｔｅｒｒａ−Ｕ、２０３、２０４またはＢＹＫ−Ｐ１０４、Ｐ１０４Ｓ、２２０ＳまたはＬａｃｔｉｍｏｎ、Ｌａｃｔｉｍｏｎ−ＷＳまたはＢｙｋｕｍｅｎ等、アビシア社製のＳＯＬＳＰＥＲＳＥ−３０００、９０００、１３２４０、１３６５０、１３９４０、１７０００、１８０００、２００００、２１０００、２４０００、２６０００、２７０００、２８０００、３１８４５、３２０００、３２５００、３２６００、３４７５０、３６６００、３８５００、４１０００、４１０９０、５３０９５等、エフカケミカルズ社製のＥＦＫＡ−４６、４７、４８、４５２、ＬＰ４００８、４００９、ＬＰ４０１０、ＬＰ４０５０、ＬＰ４０５５、４００、４０１、４０２、４０３、４５０、４５１、４５３、４５４０、４５５０、ＬＰ４５６０、１２０、１５０、１５０１、１５０２、１５０３等が挙げられる。
【００３７】
色素誘導体は、有機色素に置換基を導入した化合物である。有機色素には、一般に色素と呼ばれていないナフタレン系、アントラキノン系等の淡黄色の芳香族多環化合物も含まれる。色素誘導体としては、特開昭６３−３０５１７３号公報、特公昭５７−１５６２０号公報、特公昭５９−４０１７２号公報、特公昭６３−１７１０２号公報、特公平５−９４６９号公報等に記載されているものを使用でき、これらは単独で、または２種類以上を混合して用いることができる。
【００３８】
界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のモノエタノールアミンなどのアニオン性界面活性剤；ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレートなどのノニオン性界面活性剤；アルキル４級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物などのカオチン性界面活性剤；アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤が挙げられ、これらは単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
【００３９】
また、感光性着色組成物には、着色材の経時粘度を安定化させるために貯蔵安定剤を含有させることができる。貯蔵安定剤としては、例えばベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの４級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、ｔ−ブチルピロカテコール、テトラエチルホスフィン、テトラフェニルフォスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。貯蔵安定剤は、着色材１００重量部に対して、０．１〜１０重量部の量で用いることができる。
【００４０】
また、感光性着色組成物には、着色材を十分に感光性組成物中に分散させ、ガラス基板等の透明基板上に乾燥膜厚が０．２〜５μｍとなるように塗布してフィルタセグメントを形成することを容易にするために溶剤を含有させることができる。溶剤としては、例えばシクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、トルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等が挙げられ、これらを単独でもしくは混合して用いる。溶剤は、着色材１００重量部に対して、８００〜４０００重量部の量で用いることができる。
【００４１】
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。
本発明のカラーフィルタは、着色材を含む本発明の感光性組成物を用いて形成されたフィルタセグメントを具備するカラーフィルタである。カラーフィルタには、少なくとも１つの赤色フィルタセグメント、少なくとも１つの緑色フィルタセグメント、および少なくとも１つの青色フィルタセグメントを具備する加法混色型、および少なくとも１つのマゼンタ色フィルタセグメント、少なくとも１つのシアン色フィルタセグメント、および少なくとも１つのイエロー色フィルタセグメントを具備する減法混色型のものがある。
各色のフィルタセグメントは、各色顔料、前記透明樹脂、前記３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマー、前記光重合開始剤を含有する各色感光性組成物を用いて形成することができる。
【００４２】
本発明のカラーフィルタは、フォトリソグラフィー法により、着色材を含む本発明の感光性組成物を用いて、基板上に各色のフィルタセグメントを形成することにより製造することができる。
基板としては、ガラス板や、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンテレフタレートなどの透明樹脂板が用いられる。
フォトリソグラフィー法による各色フィルタセグメントの形成は、下記の方法で行う。すなわち、溶剤現像型あるいはアルカリ現像型着色組成物として調製した感光性組成物を、基板上に、スプレーコートやスピンコート、スリットコート、ロールコート等の塗布方法により、乾燥膜厚が０．２〜５μｍとなるように塗布する。必要により乾燥された膜には、この膜と接触あるいは非接触状態で設けられた所定のパターンを有するマスクを通して紫外線露光を行う。その後、溶剤またはアルカリ現像液に浸漬するか、もしくはスプレーなどにより現像液を噴霧して未硬化部を除去し所望のパターンを形成したのち、同様の操作を他色について繰り返してカラーフィルタを製造することができる。さらに、感光性組成物の重合を促進するため、必要に応じて加熱を施すこともできる。フォトリソグラフィー法によれば、印刷法より精度の高いカラーフィルタが製造できる。
【００４３】
現像に際しては、アルカリ現像液として炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム等の水溶液が使用され、ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等の有機アルカリを用いることもできる。また、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。
なお、紫外線露光感度を上げるために、上記感光性組成物を塗布乾燥後、水溶性あるいはアルカリ可溶性樹脂、例えばポリビニルアルコールや水溶性アクリル樹脂等を塗布乾燥し酸素による重合阻害を防止する膜を形成した後、紫外線露光を行うこともできる。
また、本発明の感光性組成物をカラーフィルタのオーバーコート層の形成に用いる場合、一般的には感光性組成物に溶剤を含有させ、溶液濃度を１０〜４０重量％程度に調整して使用する。溶剤を含有する感光性組成物を、カラーフィルタ層が形成された透明基板上に、ロールコータ、スピンコータ等により任意の厚さに塗布し、露光後、１５０℃〜２５０℃の温度で、０．５〜２時間程度硬化させるとオーバーコート層が形成される。
【実施例】
【００４４】
以下に、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれによって限定されるものではない。なお、実施例および比較例中、「部」とは「重量部」を意味する。透明樹脂の分子量は、GPC（ゲルパーミエーションクロマトグラフィ）により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量であり、透明樹脂、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの溶解度パラメータは、Ｆｅｄｏｒｓの方法により算出した値である。
（透明樹脂合成例１）
反応容器にシクロヘキサノン３７０部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら８０℃に加熱して、同温度でメタクリル酸３２．０部、メチルメタクリレート１０．０部、ｎ−ブチルメタクリレート４４．０部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１４．０部、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４．０部の混合物を１時間かけて滴下して重合反応を行った。滴下終了後、さらに８０℃で３時間反応させた後、アゾビスイソブチロニトリル１．０部をシクロヘキサノン５０部に溶解させたものを添加し、さらに８０℃で１時間反応を続けて、非感光性透明樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、非感光性透明樹脂の溶液約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した非感光性透明樹脂の溶液に不揮発分が２０重量％になるようにシクロヘキサノンを添加して非感光性透明樹脂溶液を調製した。
【００４５】
（透明樹脂合成例２）
反応容器にシクロヘキサノン４００部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら８０℃に加熱して、同温度でｎ−ブチルメタクリレート２３．２部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１４．３部、メタクリル酸２６．５部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（東亜合成株式会社製「アロニックスＭ１１０」）３６．０部、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４．０部の混合物を２時間かけて滴下して重合反応を行った。滴下終了後、さらに８０℃で３時間反応させた後、アゾビスイソブチロニトリル１．０部をシクロヘキサノン５０部に溶解させたものを添加し、さらに８０℃で１時間反応を続けて、非感光性透明樹脂の溶液を得た。
室温まで冷却した後、非感光性透明樹脂の溶液約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した非感光性透明樹脂の溶液に不揮発分が２０重量％になるようにシクロヘキサノンを添加して非感光性透明樹脂溶液を調製した。
【００４６】
（透明樹脂合成例３）
反応容器にシクロヘキサノン５６０部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら８０℃に加熱して、同温度でメタクリル酸５．０部、ｎ−ブチルメタクリレート、２３．０部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（東亜合成株式会社製「アロニックスＭ１１０」）１５．０部、グリセロールモノメタクリレート５７．０部、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４．０部の混合物を１時間かけて滴下して重合反応を行った。滴下終了後、さらに８０℃で３時間反応させた後、アゾビスイソブチロニトリル１．０部をシクロヘキサノン５５部に溶解させたものを添加し、さらに８０℃で１時間反応を続けて、非感光性透明樹脂の溶液を得た。
次に、得られた非感光性透明樹脂の溶液３６０部に対して、２−メタクロイルエチルイソシアネート３０．０部、ラウリン酸ジブチル錫０．４部、シクロヘキサノン１２０．０部の混合物を７０℃で３時間かけて滴下し、感光性透明樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、感光性透明樹脂の溶液約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した感光性透明樹脂の溶液に不揮発分が２０重量％になるようにシクロヘキサノンを添加して感光性透明樹脂溶液を調製した。
【００４７】
［実施例１］
（顔料分散体の製造方法）
下記の組成の混合物を均一に撹拌混合した後、直径１ｍｍのジルコニアビーズを用いて、アイガーミル（アイガージャパン社製「ミニモデルＭ−２５０ ＭＫII」）で２時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過し、顔料分散体を作製した。
ε型銅フタロシアニン顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ１５：６）
（ＢＡＳＦ製「ヘリオゲンブルーＬ−６７００Ｆ」）                １１．０部
フタロシアニン系顔料誘導体                                        １．０部
【化３】
0005246994.tif 000004
合成例１の非感光性透明樹脂溶液                                  ４０．０部
シクロヘキサノン                                                ４８．０部
【００４８】
（感光性着色組成物の製造方法）
ついで、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、１μｍのフィルタで濾過して、青色の感光性着色組成物を得た。
顔料分散体                                                      ４５．０部
合成例１の非感光性透明樹脂溶液                                    ５．０部
３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマー          ６．６部
（トリメチロールプロパントリアクリレート）
光重合開始剤                                                      ２．９部
（２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン）
増感剤（保土ヶ谷化学社製「ＥＡＢ−Ｆ」）                          ０．３部
シクロヘキサノン                                                ４０．２部
【００４９】
［実施例２〜１３および比較例１〜６］
感光性透明樹脂溶液、非感光性透明樹脂溶液、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーを、感光性組成物中における各成分の割合が表４に示す割合（固形分の重量比）となるように配合し、実施例1と同様にして青色の感光性着色組成物を得た。透明樹脂の重量平均分子量およびＳＰ値を表１に、使用した３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーの一覧を表２に、使用した光重合開始剤の一覧を表３示す。
【００５０】
【表１】
0005246994.tif 000005
【００５１】
【表２】
0005246994.tif 000006
【００５２】
【表３】
0005246994.tif 000007
【００５３】
【表４】
0005246994.tif 000008
【００５４】
（粘度安定性評価）
感光性着色組成物を配合した翌日の初期粘度と４０℃で１週間、経時促進させた経時粘度をＥ型粘度計（東機産業社製「ＥＬＤ型粘度計」）を用いて、回転数２０ｒｐｍという条件で測定した。この初期粘度から経時粘度への変化率を算出した。
［経時粘度変化率］＝｜（［初期粘度］−［経時粘度］）／［初期粘度］×１００｜
【００５５】
（感度評価）
感光性着色組成物を１００ｍｍ×１００ｍｍ、１．１ｍｍ厚のガラス基板上に、スピンコータを用いて塗布し、厚さ２.０μｍの塗膜を形成した。次に、７０℃で２０分間のプリベイクを行った後、５０μｍの細線パターンを露光するようなマスクを介して紫外線露光を行った。１０ｍＪ／ｃｍ2〜２００ｍＪ／ｃｍ2間の８水準の露光量で露光を行った。露光後、アルカリ現像液にて９０秒間現像して、ストライプ形状のフィルタセグメントを形成した。なお、アルカリ現像液としては、炭酸ナトリウム１．５重量％ 炭酸水素ナトリウム０．５重量％ 陰イオン系界面活性剤（花王社製「ペリレックスＮＢＬ」）８．０重量％および水９０重量％からなるものを用いた。得られたフィルタセグメントの膜厚を未露光・未現像部分を１００とした時の各露光量水準での露光・現像後の残膜率を算出した。得られた残膜率曲線から、残膜率が飽和に達する露光量を飽和露光量と定めた。得られた飽和露光量と残膜率とを表５に示す。高感度用途での使用を目的としているため、飽和露光量が５０ｍＪ／ｃｍ2以下のものが良好である。
【００５６】
（光重合開始剤の昇華性評価）
カラーフィルタの製造工程で、パターン露光を行う際に感光性着色組成物から発生する光重合開始剤の昇華物がマスクに付着し、パターンを覆ってしまうことで、目的のパターン形状を露光できなくなる現象を定量的に捉えることは難しい。そのため、感光性着色組成物の塗工膜の露光前後での膜厚変化の測定を、感光性着色組成物からの光重合開始剤の昇華性の代用評価として行った。感光性着色組成物を１００ｍｍ×１００ｍｍ、１．１ｍｍ厚のガラス基板上に、スピンコータを用いて塗布し、厚さ約４.０μｍの塗膜を形成した。塗膜の乾燥を減圧乾燥により行い、この時点の膜厚を測定しておく。その後、紫外線露光を１０分間行い、再度膜厚測定を行う。減圧乾燥後と紫外線露光後の塗膜の膜厚測定結果から膜厚変化率を算出した。膜厚変化率は５％以下であるものを良好である。
［膜厚変化率］＝｜（［減圧乾燥後膜厚］−［紫外線露光後膜厚］）／［減圧乾燥後膜厚］×１００｜
【００５７】
（パターニング性評価）
感度評価において、紫外線の露光量を飽和露光量＋５０ｍＪ／ｃｍ2、アルカリ現像液での現像時間をそれそれのレジスト塗膜の未露光部を洗い流すのに適正な時間とした以外は、同様の方法で基板を作成後、２３０℃で６０分間加熱処理をし、その細線パターンの形状を、パタ−ンの断面形状により評価した。パターンの断面形状は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて評価を行った。評価のランクは、○：順テーパー形状、△：ノンテーパー形状、×：逆テーパー形状。
【００５８】
【表５】
0005246994.tif 000009
【００５９】
表５に示すように、感光性組成物中の各成分の配合比を最適化し、透明樹脂と３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーのＳＰ値が適正であるものを選択した実施例においては、感光性着色組成物塗工膜の減圧乾燥後と紫外線露光後の膜厚変化率は小さくなっており、これはすなわち光重合開始剤の昇華による膜厚変化がおさえられていることを意味する。一方、比較例においては、感光性着色組成物塗工膜の減圧乾燥後と紫外線露光後の膜厚変化率は小さくなっているものもあるが、透明樹脂と３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマーのＳＰ値の差が大きかったり（比較例３）、３つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能モノマー、光昇華性の開剤の配合量が適正でないために（比較例５、７）、モノマーの偏析が過度となりパターニング性が不良となる。