(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーミスタに用いられる金属酸化物焼結体であって、
一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚＺｒＯ２（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０＜ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８）で示される複合酸化物を含むことを特徴とするサーミスタ用金属酸化物焼結体。
【請求項２】
請求項１に記載のサーミスタ用金属酸化物焼結体において、
前記複合酸化物にさらに安定化ジルコニア材料が添加されていることを特徴とするサーミスタ用金属酸化物焼結体。
【請求項３】
請求項２に記載のサーミスタ用金属酸化物焼結体において、
前記複合酸化物が、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚ（（１−ｗ）ＺｒＯ２＋ｗＭ）（ただし、０．０≦ｘ≦１．０、０．０＜ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８、０．０＜ｗ≦０．２、Ｍ＝前記安定化ジルコニア材料）で示されるものであることを特徴とするサーミスタ用金属酸化物焼結体。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載のサーミスタ用金属酸化物焼結体と、
前記サーミスタ用金属酸化物焼結体に一端が接続された一対のリード線と、を有することを特徴とするサーミスタ素子。
【請求項５】
サーミスタに用いられる金属酸化物焼結体の製造方法であって、
Ｌａ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３及びＭｎＯ２の各粉末を混合し焼成して、一般式：Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０＜ｙ≦０．２）で示される複合酸化物の仮焼粉を得る工程と、
前記仮焼粉にさらにＺｒＯ２の粉末を加えて混合し、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚＺｒＯ２（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０＜ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８）で示される混合仮焼粉を得る工程と、
前記混合仮焼粉を成型して焼成し、焼結体とする工程と、を有していることを特徴とするサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載のサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法において、
前記Ｌａ２Ｏ３を予め６００〜１１００℃の温度で熱処理してから前記混合を行うことを特徴とするサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法。
【請求項７】
請求項５又は６に記載のサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法において、
前記焼結体を９００℃以上の温度で熱処理する工程を有していることを特徴とするサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法。
【請求項８】
請求項５から７のいずれか一項に記載のサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法において、
前記仮焼粉にさらに安定化ジルコニア材料を加えて混合することを特徴とするサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載のサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法において、
前記安定化ジルコニア材料を、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚ（（１−ｗ）ＺｒＯ２＋ｗＭ）（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０＜ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８、０．０＜ｗ≦０．２、Ｍ＝前記安定化ジルコニア材料）で示される前記焼結体となる割合で混合することを特徴とするサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば自動車関係等の温度計測に用いられるサーミスタ用金属酸化物焼結体及びサーミスタ素子並びにサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、自動車エンジン周りの触媒温度や排気系温度等を計測する温度センサとして、サーミスタ温度センサが採用されている。このサーミスタ温度センサに用いられるサーミスタ素子は、例えば、上記自動車関連技術、情報機器、通信機器、医療用機器、住宅設備機器等の温度センサとして利用され、大きな負の温度係数を有する酸化物半導体の焼結体の素子を用いている。
【０００３】
従来、種々の金属酸化物焼結体からなるサーミスタ素子が用いられているが、代表的な材料として、例えば、特許文献１，２及び非特許文献１に記載されているように、Ｙ（Ｃｒ，Ｍｎ）Ｏ３系ペロブスカイト酸化物が挙げられる。
【０００４】
【特許文献１】特許第３３６２６５１号公報
【特許文献２】特許第３７７６６９１号公報
【非特許文献１】倉野、「ＮＯｘ触媒制御用触媒温センサの開発」、デンソーテクニカルレビュー、Ｖｏｌ．５、Ｎｏ．２、２０００
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
自動車エンジン周りの触媒温度等を測定するには、１１００℃付近の高温まで測定可能なサーミスタ素子が求められるが、このような高温用サーミスタに重要な特性として、高温での抵抗値変化が少ないことが挙げられる。しかしながら、上記従来の材料では高温保持試験において抵抗値低下が５％程度あり、用途によっては使用できない場合があった。
【０００６】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、１１００℃付近の高温でも抵抗値変化が小さく信頼性の高いサーミスタ用金属酸化物焼結体及びサーミスタ素子並びにサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、Ｃｒ，Ｍｎ系のペロブスカイト酸化物（ＡＢＯ３）について、鋭意、研究を進めたところ、Ａサイトの元素によって抵抗値変化率が異なることが判明し、特にＡサイトにＬａを用いることで抵抗値変化を抑えられることを見出した。さらに、上記系に一定の絶縁体材料を添加した混合焼結体を合成することで、さらに抵抗値変化を大幅に抑制することができることも見出した。
したがって、本発明は、上記知見から得られたものであり、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。
【０００８】
すなわち、本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体は、サーミスタに用いられる金属酸化物焼結体であって、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚＺｒＯ２（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８）で示される複合酸化物を含むことを特徴とする。
【０００９】
このサーミスタ用金属酸化物焼結体では、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚＺｒＯ２（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８）で示される複合酸化物を含むので、Ｃｒ，Ｍｎ系ペロブスカイト酸化物としてＡサイトにＬａが配され、酸素の出入りが少なくなると共に、絶縁体材料として添加されたＺｒＯ２により、抵抗値変化率を１％以下に抑制することができる。このＺｒＯ２が添加されたサーミスタ用金属酸化物焼結体のＢ定数は、例えば、上記一般式において、ｘ＝０．４、ｙ＝０．１、ｚ＝０．７とされた０．３Ｌａ０．９（Ｃｒ０．６Ｍｎ０．４）Ｏ３＋０．７ＺｒＯ２では、１８００Ｋ程度と従来のものに比べて低く、非常に広い範囲の温度（−４０℃から１１００℃程度）を測定することが可能である。
【００１０】
また、本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体は、前記一般式のｙが、０．０＜ｙ≦０．２の範囲内に設定されていることを特徴とする。
【００１１】
ＡサイトにＬａを用いた場合、焼結体中に未反応のＬａ２Ｏ３が残ると、水分を含んだ大気中に触れた環境で焼結体を長時間さらした際に、Ｌａ２Ｏ３が水酸化物のＬａ（ＯＨ）３に変化する性質があり、不安定性の要因となる。このため、ＡサイトにＬａを用いた場合には未反応のＬａ２Ｏ３を残さないことが必要であるが、両者の分子量が異なるので、原料調合の度に材料組成変化が発生してしまうおそれがあり、原料調合の際、１００％のＬａ２Ｏ３を正確に準備することが重要である。
【００１２】
しかしながら、Ｌａ２Ｏ３を１００％正確に調合することが難しいと共にペロブスカイト酸化物はＡサイトに１００％を越えて元素を入れることが困難であるため、焼結体中にＬａ２Ｏ３が残存する可能性がある。そこで、上記本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体では、前記一般式のｙが、０．０＜ｙ≦０．２の範囲内に設定されているので、予めＬａの調合を少なくしてＡサイトのＬａを一部欠損させることで、調合したＬａは全てペロブスカイト酸化物中に取り込まれ、不安定性の原因となる未反応のＬａ２Ｏ３が焼結体中に残存することを防いで、安定した焼結体を得ることができる。なお、一度、ペロブスカイト酸化物中にＬａが取り込まれれば、その後にＬａ（ＯＨ）３が析出することはない。また、Ｌａを、２０％を越えて欠損させると、Ｌａ（Ｃｒ，Ｍｎ）Ｏ３系とは別にスピネル型Ｍｎ２ＣｒＯ４が析出するため、Ｌａの欠損は２０％以下に調合（ｙ≦０．２）する必要がある。
【００１３】
また、本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体は、前記複合酸化物にさらに安定化ジルコニア材料が添加されていることを特徴とする。
ＺｒＯ２は、単独でその材料を用いた場合、室温から９００℃の間の温度で構造相転移があるため、添加材料としてＺｒＯ２を用いた場合、その温度範囲で熱履歴をする際に電気特性が変化するおそれがある。そこで、本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体では、前記複合酸化物にさらに安定化ジルコニア材料が添加されているので、熱履歴に際してもＺｒＯ２の安定した構造が得られ、電気特性の変化を防ぐことができる。
【００１４】
さらに、本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体は、前記複合酸化物が、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚ（（１−ｗ）ＺｒＯ２＋ｗＭ）（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８、０．０≦ｗ≦０．２、Ｍ＝前記安定化ジルコニア材料）で示されるものであることを特徴とする。
安定化ジルコニア材料を、２０％を超えて添加すると、耐熱性（抵抗値変化の増大、ヒートサイクル試験（ＨＣＴ）での割れの発生）に影響を及ぼす場合がある。しかしながら、本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体では、安定化ジルコニア材料を２０％以内に設定しているので、良好な耐熱性を得ることができる。
【００１５】
本発明のサーミスタ素子は、上記本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体と、前記サーミスタ用金属酸化物焼結体に一端が接続された一対のリード線と、を有することを特徴とする。
【００１６】
本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法は、サーミスタに用いられる金属酸化物焼結体の製造方法であって、Ｌａ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３及びＭｎＯ２の各粉末を混合し焼成して、一般式：Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２）で示される複合酸化物の仮焼粉を得る工程と、前記仮焼粉にさらにＺｒＯ２の粉末を加えて混合し、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚＺｒＯ２（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８）で示される混合仮焼粉を得る工程と、前記混合仮焼粉を成型して焼成し、焼結体とする工程と、を有していることを特徴とする。
すなわち、このサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法では、Ｌａ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３及びＭｎＯ２の各粉末を混合し焼成して仮焼粉を得た後、該仮焼粉にＺｒＯ２の粉末を加えるので、先にＬａ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３及びＭｎＯ２を反応させ、Ｌａ２Ｏ３が単独で残ることを極力少なくした（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚＺｒＯ２（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８）を得ることができる。
【００１７】
また、本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法は、前記Ｌａ２Ｏ３を予め６００〜１１００℃の温度で熱処理してから前記混合を行うことを特徴とする。すなわち、このサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法では、Ｌａ２Ｏ３を予め６００〜１１００℃の温度で熱処理してから混合を行うので、Ｌａ２Ｏ３に混入しているＬａ（ＯＨ）３の混合物を加熱によってＬａ２Ｏ３に再生して、不安定性の要因となるＬａ（ＯＨ）３の混入を防ぐことができる。
【００１８】
また、本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法は、前記一般式のｙが、０．０＜ｙ≦０．２となる割合でＬａ２Ｏ３を混合することを特徴とする。すなわち、このサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法では、前記一般式のｙが、０．０＜ｙ≦０．２となる割合でＬａ２Ｏ３を混合して、ＡサイトのＬａを一部欠損させるので、調合したＬａは全てペロブスカイト酸化物中に取り込まれ、不安定性の原因となる未反応のＬａ２Ｏ３が焼結体中に残存することを防いで、安定した焼結体を得ることができる。
【００１９】
また、本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法は、前記焼結体を９００℃以上の温度で熱処理する工程を有していることを特徴とする。すなわち、このサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法では、前記焼結体を９００℃以上の温度で熱処理（アニール）する工程を有しているので、熱履歴の際に構造相転移によって生じるＺｒＯ２の電気特性の変化を抑制することができる。
【００２０】
また、本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法は、前記仮焼粉にさらに安定化ジルコニア材料を加えて混合することを特徴とする。すなわち、このサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法では、前記仮焼粉にさらに安定化ジルコニア材料を加えて混合するので、熱履歴に際してもＺｒＯ２の安定した構造が得られ、電気特性の変化を防ぐことができる。
【００２１】
さらに、本発明のサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法は、前記安定化ジルコニア材料を、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚ（（１−ｗ）ＺｒＯ２＋ｗＭ）（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８、０．０＜ｗ≦０．２、Ｍ＝前記安定化ジルコニア材料）で示される前記焼結体となる割合で混合することを特徴とする。すなわち、このサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法では、安定化ジルコニア材料を２０％以内に設定して混合しているので、良好な耐熱性を得ることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係るサーミスタ用金属酸化物焼結体及びそのサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法によれば、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚＺｒＯ２（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８）で示される複合酸化物を含むので、Ｃｒ，Ｍｎ系ペロブスカイト酸化物としてＡサイトにＬａが配され、酸素の出入りが少なくなると共に、絶縁体材料として添加されたＺｒＯ２により、抵抗値変化率を１％以下に抑制することができる。したがって、本発明のサーミスタ素子は、高温域での経時変化が小さく低温域から高温域までの広範囲で十分な測定精度が得られ、特に自動車エンジン周りの触媒温度や排気系温度を検出する高温測定用センサとして好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明に係るサーミスタ用金属酸化物焼結体及びサーミスタ素子並びにサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法の一実施形態を、図１から図３を参照しながら説明する。
【００２４】
本実施形態のサーミスタ用金属酸化物焼結体は、サーミスタに用いられる金属酸化物焼結体であって、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚＺｒＯ２（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８）で示される複合酸化物を含む焼結体で構成されている。
【００２５】
特に、このサーミスタ用金属酸化物焼結体は、上記複合酸化物にさらに安定化ジルコニア材料が添加され、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚ（（１−ｗ）ＺｒＯ２＋ｗＭ）（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８、０．０＜ｗ≦０．２、Ｍ：安定化ジルコニア材料）で示される複合酸化物で構成されていることが好ましい。
上記安定化ジルコニア材料としては、例えばＹ２Ｏ３，ＣａＯ，ＣａＣＯ３，ＳｒＯ，ＳｒＣＯ３，Ｓｃ２Ｏ３，ＭｇＯ，ＣｅＯ２，Ａｌ２Ｏ３等が採用される。
また、このサーミスタ用金属酸化物焼結体では、上記一般式のｙが、０．０＜ｙ≦０．２の範囲内に設定されている。
【００２６】
このサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法及びこれを用いたサーミスタ素子及びサーミスタ温度センサの製造方法及び構造について、図１から図３を参照して以下に説明する。
【００２７】
まず、Ｌａ２Ｏ３を予め６００〜１１００℃の温度で熱処理する。例えば、Ｌａ２Ｏ３の粉末を１０００℃、２時間にて加熱、乾燥し、残っている水酸化物を、Ｌａ２Ｏ３に再生する。また、Ｌａ２Ｏ３の原料調合は、加熱後２〜３時間以内のもの、もしくは加熱後２〜３日乾燥ボックスにて保存したものを使用する。次に、Ｌａ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３及びＭｎＯ２の各粉末を秤量後にボールミルに入れ、Ｚｒボールとエタノールとを適量入れて約２４時間混合を行う。
【００２８】
上記混合したものを取り出して乾燥させた後、１１００℃、５時間にて焼成し、例えば上記一般式においてｘ＝０．４，ｙ＝０．１とされたＬａ０．９（Ｃｒ０．６Ｍｎ０．４）Ｏ３の仮焼粉を得る。この際、上記一般式のｙが、０．０＜ｙ≦０．２となる割合でＬａ２Ｏ３を混合する。この仮焼粉と新たにＺｒＯ２の粉末とを秤量し、Ｚｒボールとエタノールとを用いてボールミルで粉砕、混合した後、乾燥させる。
【００２９】
次に、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール、１０ｗｔ％水溶液）を５ｗｔ％加えて混合し、乾燥させて混合仮焼粉とする。この乾燥したものを、開口径６０μｍの篩を通して造粒し、２穴式金型で軽く成型した後、図１に示すように、φ０．３ｍｍの白金線である一対のリード線１の一端を挿入する。その後、一軸加圧成型（１０００ｋｇ／ｃｍ２）を行い、リード線１を混合仮焼粉の粉末内に埋め込み固定させる。
【００３０】
次に、脱バインダー処理、約１６００℃の焼成を行い、その後、焼結体を９００℃以上の温度で熱処理する。例えば、１０００℃でアニールを行うことにより、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚＺｒＯ２（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８）で示される複合酸化物であるサーミスタ用金属酸化物焼結体２と２本のリード線１とを有するサーミスタ素子３が得られる。
【００３１】
なお、このＺｒＯ２の粉末には、他の絶縁体材料として安定化ジルコニア材料（Ｙ２Ｏ３，ＣａＯ，ＳｒＯ等）を２０％以内添加したものを使用しても構わない。
この安定化ジルコニア材料の仮焼粉の作製方法は、仮焼温度１３００〜１５００℃、仮焼時間５時間以上にすること以外は、Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３の仮焼粉作製方法と同様である。すなわち、Ｌａ０．９（Ｃｒ０．６Ｍｎ０．４）Ｏ３の仮焼粉にＺｒＯ２の粉末とさらに安定化ジルコニア材料とを加えて混合し、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚ（（１−ｗ）ＺｒＯ２＋ｗＭ）（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８、０．０＜ｗ≦０．２、Ｍ＝安定化ジルコニア材料）で示される混合仮焼粉を得ても良い。
【００３２】
なお、添加する絶縁体材料としてＺｒＯ２を単独で使用した場合、１６００℃で焼結後、９００℃以上の温度で、アニールする必要性がある。これは、ＺｒＯ２単独の場合、図３に示すように、熱履歴をする際に、電気特性が変化するためである。しかしながら、上記安定化ジルコニア材料を添加した場合はその必要性はない。なお、安定化ジルコニア材料を添加した場合でも、１６００℃で焼結後、アニール処理をしても構わない。
【００３３】
次に、図２に示すように、サーミスタ用金属酸化物焼結体２の周囲を包み込むように絶縁セラミックス製のチューブ４を嵌め込む。さらに、アルミナ製の２孔式絶縁管５の各孔５ａに２本のリード線１をそれぞれ挿通し、リード線１を根本まで２孔式絶縁管５で保護する。その後、この状態のサーミスタ素子３を先端部が閉塞された円筒状ステンレス製のケース６に入れ、密閉性を確保することにより、サーミスタ温度センサ７が得られる。
【００３４】
このように本実施形態では、サーミスタ素子３のサーミスタ用金属酸化物焼結体２が、一般式：（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚＺｒＯ２（ただし、０．０＜ｘ＜１．０、０．０≦ｙ≦０．２、０．０＜ｚ≦０．８）で示される複合酸化物を含むので、Ｃｒ，Ｍｎ系ペロブスカイト酸化物としてＡサイトにＬａが配され、酸素の出入りが少なくなると共に、絶縁体材料として添加されたＺｒＯ２により、抵抗値変化率を１％以下に抑制することができる。このＺｒＯ２が添加されたサーミスタ用金属酸化物焼結体のＢ定数は、例えば、上記一般式において、ｘ＝０．４、ｙ＝０．１、ｚ＝０．７とされた０．３Ｌａ０．９（Ｃｒ０．６Ｍｎ０．４）Ｏ３＋０．７ＺｒＯ２では、１８００Ｋ程度と従来のものに比べて低く、非常に広い範囲の温度（−４０℃から１１００℃程度）を測定することが可能である。
【００３５】
また、上記一般式のｙが、０．０＜ｙ≦０．２の範囲内に設定されているので、予めＬａの調合を少なくしてＡサイトのＬａを一部欠損させることで、調合したＬａは全てペロブスカイト酸化物中に取り込まれ、不安定性の原因となる未反応のＬａ２Ｏ３が焼結体中に残存することを防いで、安定した焼結体を得ることができる。
さらに、上記複合酸化物にさらに安定化ジルコニア材料を添加することにより、熱履歴に際してもＺｒＯ２の安定した構造が得られ、電気特性の変化を防ぐことができる。
特に、安定化ジルコニア材料を２０％以内に設定することで、良好な耐熱性を得ることができる。
【００３６】
また、上記サーミスタ用金属酸化物焼結体２の製造方法では、Ｌａ２Ｏ３を予め６００〜１１００℃の温度で熱処理してから混合を行うので、Ｌａ２Ｏ３に混入しているＬａ（ＯＨ）３の混合物を加熱によってＬａ２Ｏ３に再生して、不安定性の要因となるＬａ（ＯＨ）３の混入を防ぐことができる。
さらに、上記焼結体を９００℃以上の温度で熱処理（アニール）する工程を有しているので、熱履歴の際に構造相転移によって生じるＺｒＯ２の電気特性の変化を抑制することができる。
【実施例】
【００３７】
次に、本発明に係るサーミスタ用金属酸化物焼結体及びサーミスタ素子並びにサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法を、実際に作製した実施例により評価した結果を、具体的に説明する。
【００３８】
上記実施形態に従って、Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３と（１−ｚ）Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３＋ｚＢ（Ｂ＝ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３、ＣｅＯ２）とを作製し、高温における放置試験を行った。この試験は、図１に示すようなサーミスタ素子３を用いて、１１００℃で１００時間まで保持した場合の抵抗値の経時変化を測定したものである。なお、比較例として、従来のサーミスタ用金属酸化物焼結体として、Ｙ（Ｃｒ０．５Ｍｎ０．５）Ｏ３を同様に作製し、試験を行った。これらの試験結果を、表１〜５に示す。
【００３９】
この試験の結果、表１に示すように、比較例のＹ（Ｃｒ０．５Ｍｎ０．５）Ｏ３を用いた場合では、抵抗値変化率が５％程度と大きいのに対し、Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ０．６Ｍｎ０．４）Ｏ３（ｙ＝０．０〜０．２）では、抵抗値変化率が３％程度と大幅に抑制されている。さらに、本実施例の０．３Ｌａ１−ｙ（Ｃｒ０．６Ｍｎ０．４）Ｏ３＋０．７ＺｒＯ２（ｙ＝０．０，０．１，０．２）では、抵抗値変化率が１％程度とさらに抑制されている。
【００４０】
なお、Ｂ＝Ｙ２Ｏ３、ＣｅＯ２の材料を使用した比較例では、Ｂ＝ＺｒＯ２の材料を使用した本実施例に比べて、抵抗値変化率が大きいことがわかる。ただし、Ｌａを２０％超えて欠損させた比較例（ｙ＞０．２）では、抵抗値変化率は大きくなった（５％程度）。このように本発明の実施例では、１１００℃１００時間保持においても抵抗値変化率が１％程度であり、特性変動が非常に小さいことがわかる。
【００４１】
【表１】
0005158487.tif 000002
【００４２】
また、表２に示すように、ＺｒＯ２の比率（ｚ）を変えた実施例でも、抵抗値変化率を１％程度に抑えることができる。また、ＺｒＯ２を少量添加（２０％）しただけで、抵抗値変化率を１％程度に抑えることができる。つまり、ＺｒＯ２を添加することが、抵抗値変化率を抑える要因となっていることがわかる。ただし、ＺｒＯ２の比率（ｚ）が８０％を超えると、伝導を担うＬａ１−ｙ（Ｃｒ１−ｘＭｎｘ）Ｏ３が少なくなってしまうため、抵抗値が大きくなってしまい、計測ができない。
【００４３】
【表２】
0005158487.tif 000003
【００４４】
さらに、表３に示すように、ＣｒとＭｎとの比率（ｘ）を変えても、抵抗値変化率を１％程度に抑えることができる。また、Ｃｒ、Ｍｎの比率が小さい領域（１０％）でも、ＺｒＯ２を添加すれば、抵抗値変化率を１％程度に抑えることができる。つまり、Ｃｒ，Ｍｎの量には依存せず、ＬａとＺｒとの組み合わせが、抵抗値変化率を抑える要因となっていることがわかる。
【００４５】
【表３】
0005158487.tif 000004
【００４６】
さらに、本実施例として、ＺｒＯ２に安定化ジルコニア材料として他の絶縁体材料（Ｙ２Ｏ３，ＣａＯ，ＳｒＯ，Ｓｃ２Ｏ３，ＭｇＯ，ＣｅＯ２，  Ａｌ２Ｏ３）を２０％以内で添加したものを使用した場合を、表４に示す。なお、安定化ジルコニア材料として、Ｙ２Ｏ３を２０％を越えて添加したものも同様に評価した。この表からわかるように、安定化ジルコニア材料を２０％以内で添加したものでも、抵抗値変化率が抑制されていることがわかる。
【００４７】
【表４】
0005158487.tif 000005
【００４８】
なお、ＺｒＯ２単独で使用すると、上述したように、１６００℃で焼結後必ず９００℃以上の温度で、アニールする必要性があるが、安定化ジルコニア材料を添加すれば、焼結後のアニールの必要がなくなる。ただし、２０％を超えて添加すると、表５に示すように、耐熱性（抵抗値変化の増大、ヒートサイクル試験（ＨＣＴ）での割れの発生）に影響を及ぼす場合がある。なお、このヒートサイクル試験（ＨＣＴ）の条件は、室温と１０００℃とを交互にして１００サイクルとした。
【００４９】
【表５】
0005158487.tif 000006
【００５０】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係るサーミスタ用金属酸化物焼結体及びサーミスタ素子並びにサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法の一実施形態において、サーミスタ素子を示す斜視図である。
【図２】本実施形態において、サーミスタ温度センサを示す断面図である。
【図３】本実施形態において、ＺｒＯ２単独で使用した場合に、アニールの有無による温度に対する電気特性の変化を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５２】
１…リード線、２…サーミスタ用金属酸化物焼結体、３…サーミスタ素子、６…ケース、７…サーミスタ温度センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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