(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部が円弧状であって前記先端部から基端側にかけて直線状に延びる直線部を備える切欠きを、金属板の板面から前記金属板をウェットエッチングすることにより形成させるために、前記金属板の板面に前記切欠きがウェットエッチングにより侵食されないように前記切欠きを覆うレジストを形成する際に、前記先端部の曲率半径に基づいて、前記先端部を形成する前記レジストの縁部の頂点と前記先端部の頂点との距離が、前記直線部における前記レジストの縁部と前記直線部とのレジストオフセット量よりも小さくなるように、前記先端部を形成する前記レジストの縁部を曲線状に前記金属板の板面に形成するレジスト形成工程と、
前記レジスト形成工程で前記レジストが形成された前記金属板にエッチング液を作用させて前記金属板をエッチングするエッチング工程と、
を備える金属板の製造方法。
【請求項２】
円弧状の突起と、前記突起に対して内側に同様量離れて構成されると共に円弧状の先端部及び前記先端部から基端側にかけて直線状に延びる直線部から構成される切欠きとを、金属板の板面から前記金属板をウェットエッチングすることにより形成させるために、前記金属板の板面に前記突起及び前記切欠きがウェットエッチングにより侵食されないように前記切欠き及び前記突起を覆うレジストを形成させる際に、前記先端部の曲率半径及び前記突起を形成する円弧状の円弧部の曲率半径に基づいて、前記先端部を形成する前記レジストの縁部の頂点と前記先端部の頂点との距離が、前記直線部における前記レジストの縁部と前記直線部とのレジストオフセット量よりも小さく、かつ、前記円弧部の前記レジストの縁部の頂点と前記円弧部の頂点との距離が、前記直線部における前記レジストの縁部と前記直線部とのレジストオフセット量よりも大きくなるように、前記先端部を形成する前記レジストの縁部を曲線状に、かつ、前記円弧部を形成する前記レジストの縁部を曲線状に前記金属板の板面に形成するレジスト形成工程と、
前記レジスト形成工程で前記レジストが形成された前記金属板にエッチング液を作用させて前記金属板をエッチングするエッチング工程と、
を備える金属板の製造方法。
【請求項３】
円弧状の突起と、前記突起に対して内側に同様量離れて構成される円弧状の切欠きとを、金属板の板面から前記金属板をウェットエッチングすることにより形成させるために、前記金属板の板面に前記突起及び前記切欠きがウェットエッチングにより侵食されないように前記切欠き及び前記突起を覆うレジストを形成させる際に、前記切欠きの曲率半径及び前記突起の曲率半径に基づいて、前記切欠きにおける前記レジストの縁部の頂点と前記切欠きの頂点との距離が、前記突起における前記レジストの縁部の頂点と前記突起の頂点との距離よりも小さくなるように、前記レジストの縁部を曲線状に前記金属板の板面に形成するレジスト形成工程と、
前記レジスト形成工程で前記レジストが形成された前記金属板にエッチング液を作用させて前記金属板をエッチングするエッチング工程と、
を備える金属板の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載の金属板の製造方法を用いて製造された円弧形状を有する金属発熱体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属板の製造方法、及び金属発熱体に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、金属材料の表面にレジストパターンを形成した後、このレジストパターンをマスクとして金属材料をエッチングしてエッチング製品を製造するエッチング処理方法において、レジストパターンの近傍の所定位置に制御レジストを配置してエッチングする技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０９−１２８４３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、ウェットエッチングで円弧状の形状を備えた金属板を成形する場合に、設計値と同等の製品形状を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の請求項１に係る金属板の製造方法は、先端部が円弧状であって前記先端部から基端側にかけて直線状に延びる直線部を備える切欠きを、金属板の板面から前記金属板をウェットエッチングすることにより形成させるために、前記金属板の板面に前記切欠きがウェットエッチングにより侵食されないように前記切欠きを覆うレジストを形成する際に、前記先端部の曲率半径に基づいて、前記先端部を形成する前記レジストの縁部の頂点と前記先端部の頂点との距離が、前記直線部における前記レジストの縁部と前記直線部とのレジストオフセット量よりも小さくなるように、前記先端部を形成する前記レジストの縁部を曲線状に前記金属板の板面に形成するレジスト形成工程と、前記レジスト形成工程で前記レジストが形成された前記金属板にエッチング液を作用させて前記金属板をエッチングするエッチング工程と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
本発明の請求項２に係る金属板の製造方法は、円弧状の突起と、前記突起に対して内側に同様量離れて構成される円弧状の切欠きとを、金属板の板面から前記金属板をウェットエッチングすることにより形成させるために、前記金属板の板面に前記突起及び前記切欠きがウェットエッチングにより侵食されないように前記切欠き及び前記突起を覆うレジストを形成させる際に、前記切欠きの曲率半径及び前記突起の曲率半径に基づいて、前記切欠きにおける前記レジストの縁部の頂点と前記切欠きの頂点との距離が、前記突起における前記レジストの縁部の頂点と前記突起の頂点との距離よりも小さくなるように、前記レジストの縁部を曲線状に前記金属板の板面に形成するレジスト形成工程と、前記レジスト形成工程で前記レジストが形成された前記金属板にエッチング液を作用させて前記金属板をエッチングするエッチング工程と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の請求項３に係る金属板の製造方法は、円弧状の突起と、前記突起に対して内側に同様量離れて構成される円弧状の切欠きとを、金属板の板面から前記金属板をウェットエッチングすることにより形成させるために、前記金属板の板面に前記突起及び前記切欠きがウェットエッチングにより侵食されないように前記切欠き及び前記突起を覆うレジストを形成させる際に、前記切欠きの曲率半径及び前記突起の曲率半径に基づいて、前記切欠きにおける前記レジストの縁部の頂点と前記切欠きの頂点との距離が、前記突起における前記レジストの縁部の頂点と前記突起の頂点との距離よりも小さくなるように、前記レジストの縁部を曲線状に前記金属板の板面に形成するレジスト形成工程と、前記レジスト形成工程で前記レジストが形成された前記金属板にエッチング液を作用させて前記金属板をエッチングするエッチング工程と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項４に係る金属発熱体は、請求項１〜３の何れか１項に記載の金属板の製造方法を用いて製造された円弧形状を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の請求項１の金属板の製造方法によれば、円弧状の先端部のレジストオフセット量と、直線部のレジストオフセット量とが同じ場合と比して、ウェットエッチングで円弧状の形状を備えた金属板を成形する場合に、設計値と同等の製品形状を得ることができる。
【００１０】
本発明の請求項２の金属板の製造方法によれば、円弧状の先端部のレジストオフセット量と、直線部のレジストオフセット量と、円弧状の突起部のレジストオフセット量とが同じ場合と比して、ウェットエッチングで円弧状の形状を備えた金属板を成形する場合に、設計値と同等の製品形状を得ることができる。
【００１１】
本発明の請求項３の金属板の製造方法によれば、円弧状の先端部のレジストオフセット量と、円弧状の突起部のレジストオフセット量とが同じ場合と比して、ウェットエッチングで円弧状の形状を備えた金属板を成形する場合に、設計値と同等の製品形状を得ることができる。
【００１２】
本発明の請求項４の金属発熱体によれば、請求項１〜３の何れか１項に記載の金属板の製造方法以外の製造方法で製造された金属発熱体と比して、発熱均一性を良くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（Ａ）（Ｂ）本発明の実施形態に係る金属発熱体の製造方法に用いられる蛇行パターンと、製品形状を示した説明図である。
【図２】（Ａ）（Ｂ）本発明の実施形態の比較形態に係る金属発熱体の製造方法に用いられる蛇行パターンと、製品形状を示した説明図である。
【図３】本発明の実施形態に係る金属発熱体を示した斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る金属発熱体を示した平面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る金属発熱体の製造方法においてレジストオフセット量を決める際に用いたシミュレーションの結果をグラフで示した図面である。
【図６】本発明の実施形態に係る金属発熱体の製造方法においてレジストオフセット量を決める際に用いたシミュレーションの結果をグラフで示した図面である。
【図７】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）（Ｅ）（Ｆ）本発明の実施形態に係る金属発熱体の製造方法の各工程を示した説明図である。
【図８】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）本発明の実施形態に係る金属発熱体の製造方法においてレジストオフセット量を決めるための説明に用いた模式図である。
【図９】本発明の実施形態に係る金属発熱体を用いた定着装置を示した側面図である。
【図１０】（Ａ）（Ｂ）本発明の実施形態に係る金属発熱体を用いた定着装置の定着ベルトを示した斜視図及び正面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る金属発熱体を用いた画像形成装置である。
【図１２】（Ａ）（Ｂ）本発明の実施形態に係る金属発熱体の変形例を示した平面図及び拡大平面図である。
【図１３】（Ａ）（Ｂ）本発明の実施形態に係る金属発熱体の変形例を示した平面図及び拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施形態に係る金属板の製造方法、及び金属発熱体の一例について図１〜図１３に従って説明する。先ず、本実施形態に係る金属板の製造方法によって製造された金属発熱体を備える画像形成装置について説明する。なお、図中に示す矢印ＵＰは、鉛直方向の上方を示す。
【００１５】
（画像形成装置）
〔画像形成部〕
図１１に示されるように、画像形成装置１０は、像保持体１２と、像保持体１２の表面を帯電する帯電部材１４と、画像データに基づいて帯電した像保持体１２の表面にレーザー光を照射して静電潜像を形成する露光装置１６と、この静電潜像をトナー画像として可視化する現像装置１８と、搬送経路２０に沿って供給される記録媒体としてのシート部材Ｐに像保持体１２の表面のトナー画像を転写する転写ロール２２と、転写されたトナー画像を加熱・加圧してシート部材Ｐに定着する定着装置２４と、トナー画像が転写された後の像保持体１２に残留するトナーを清掃するクリーニング装置２６と、を備えている。
【００１６】
また、画像形成装置１０は、本体側面カバー１０Ｂ及び天板１０Ａで覆われている。そして、本体側面カバー１０Ｂの上端角部分には、天板１０Ａを回転可能に本体側面カバー１０Ｂに連結する軸１０Ｃが備えられている。これにより、天板１０Ａを、軸１０Ｃを中心として矢印Ａ方向に回転させることで、画像形成装置１０の内部が開放されるようになっている。なお、定着装置については詳細を後述する。
【００１７】
〔手差給紙部〕
また、この画像形成装置１０の側方には、像保持体１２と転写ロール２２とで形成される画像転写部３１に、シート部材Ｐを手差しで供給することができる手差給紙台３２が備えている。この手差給紙台３２には、半月形状の送出ロール３４が設けられている。さらに、送出ロール３４に対してシート部材Ｐを挟んで反対側には、手差給紙台３２から送り出されるシート部材Ｐを一枚ずつ分離する分離ロール３６が設けられている。
【００１８】
この分離ロール３６は、両端部に設けられた図示せぬ支持部材に軸支され、支持部材の内部に設けられたコイルスプリングの付勢力で、送出ロール３４に向って付勢されている。この構成により、送出ロール３４が回転すると手差給紙台３２に載せられたシート部材Ｐが送出ロール３４と分離ロール３６とによって一枚ずつ、画像転写部３１に送られるようになっている。
【００１９】
〔給紙部〕
画像形成装置１０内の下側には、シート部材Ｐを一枚ずつ画像転写部３１に向けて給紙する給紙装置４０が設けられている。給紙装置４０は、シート部材Ｐが複数枚載せられた給紙部材４１を備えており、給紙部材４１に積載されたシート部材Ｐは、取出ロール４２によって順次取り出されるようになっている。さらに、回転駆動する給紙ロール４４と給紙部材４１に設けられた分離ロール４６によって、シート部材Ｐが一枚ずつ搬送されるようになっている。
【００２０】
〔その他〕
さらに、シート部材Ｐの搬送経路２０に沿ってシート部材Ｐを搬送する複数個の搬送ロール４８が配置されており、搬送経路２０に沿ってシート部材Ｐの搬送方向の下流側（以下単に「搬送方向下流側」と記載する）へシート部材Ｐが搬送されるようになっている。
【００２１】
また、画像転写部３１の搬送方向下流側には、定着装置２４によってトナー画像が定着したシート部材Ｐを天板１０Ａの上面に排出する排出ロール３８が備えられている。
【００２２】
（画像形成装置の作用）
上記構成による画像形成装置１０では、次のようにして画像が形成される。
【００２３】
まず、電圧が印加された帯電部材１４は、像保持体１２の表面を一様に帯電する。続いて、図示しないスキャナによって読み取られた画像データ又は外部から入力された画像データに基づいて露光装置１６が帯電された像保持体１２の表面を露光し、像保持体１２の表面に静電潜像を形成する。この静電潜像は、現像装置１８から供給されるトナーによってトナー画像として可視化される。
【００２４】
そこで、給紙部材４１から取出ロール４２によって取り出されたシート部材Ｐ又は手差給紙台３２から手差しで供給されたシート部材Ｐが、搬送経路２０に送り出される。搬送経路２０に送り出されたシート部材Ｐは像保持体１２と転写ロール２２との間に形成された画像転写部３１を通り、トナー画像がシート部材Ｐに転写される。この転写されたトナー画像は、定着装置２４を通過することでシート部材Ｐに定着され，シート部材Ｐは、排出ロール３８によって天板１０Ａの上面に排出される。
【００２５】
（定着装置）
次に、定着装置２４について説明する。
【００２６】
図９に示されるように、定着装置２４は、磁界が印加された際に発生する渦電流により発熱する発熱層（図示省略）を備えた筒状の定着ベルト５０と、定着ベルト５０との間でシート部材Ｐを搬送すると共にシート部材Ｐを定着ベルト５０に押し付ける押付ロール５２と、定着ベルト５０の内周面から押付ロール５２に向けて定着ベルト５０を押圧する加圧パッド５４と、交番電流を流すことにより定着ベルト５０の発熱層に磁界を印加する電磁誘導方式の発熱装置５６と、を備えている。
【００２７】
定着ベルト５０の一端部には、図１０（Ａ）（Ｂ）に示されるように、定着ベルト５０を定着ベルト５０の周方向に回転させる駆動ギア５８が取り付けられている。
【００２８】
そして、駆動ギア５８の定着ベルト５０側には、定着ベルト５０の内周面と面接触するようにフランジ部材５９が一体的に形成されている。このフランジ部材５９の外周面と定着ベルト５０の内周面とが接着剤等で固定されている。そして、図示せぬモータから回転力を受けて回転する駆動ギア５８は、このフランジ部材５９を介して定着ベルト５０に回転力を伝達するようになっている。
【００２９】
また、定着ベルト５０を挟んで押付ロール５２の反対側には、図９に示されるように、定着ベルト５０の一部と対向する前述した発熱装置５６が配置されている。発熱装置５６は電磁誘導コイル（励磁コイル）５６Ａを備え、電磁誘導コイル５６Ａに交流電流を印加することにより発生する磁場を励磁回路で変化させ、定着ベルト５０の発熱層に渦電流を発生させるようになっている。この渦電流が発熱層の電気抵抗によって熱（ジュール熱）に変換され、定着ベルト５０における発熱装置５６と対向する部分が発熱するようになっている。つまり、この方式では、周方向で電磁誘導コイル５６Ａに対向している定着ベルト５０の一部が発熱するようになっている。そして、定着ベルト５０の全体がトナー画像をシート部材Ｐに定着させるための定着温度に達するように、定着装置２４でシート部材Ｐを搬送する前に、定着ベルト５０を予め回転させるようになっている。
【００３０】
さらに、発熱装置５６によって発熱する部分の定着ベルト５０の内周面と対向するように、定着ベルト５０を加熱する円弧状の発熱部材６０（補助ヒータ）が配置されている。
【００３１】
この発熱部材６０を発熱させて定着ベルト５０を加熱することで、発熱部材６０を備えていない場合と比して、短い時間で定着ベルト５０が定着温度に達するようになっている。
【００３２】
（要部方法）
次に、発熱部材６０について説明する。
【００３３】
発熱部材６０は、図３、図４に示されるように、一方向（図中矢印Ｂ方向）に延び、ポリイミド樹脂により成形された一対の絶縁フイルム６２と、この一対の絶縁フイルム６２に挟まれた金属発熱体６４と、を備えている。そして、夫々の絶縁フイルム６２の板厚は、５０〔μｍ〕とされている。
【００３４】
なお、各図には、発熱部材６０の構成が容易に理解できるように、円弧状に成形される前の平板状の発熱部材６０が記載されている。以後の説明においても発熱部材６０を平板状として説明する。
【００３５】
また、発熱部材６０が定着装置２４に配置される際には、前述した一方向が装置奥行き方向（図９の紙面奥行き方向）となるように、発熱部材６０が定着装置２４に配置されるようになっている。
【００３６】
〔金属発熱体〕
次に、金属発熱体６４について説明する。
【００３７】
金属発熱体６４は、厚さ５０μｍのＳＵＳ３０４（ステンレス鋼板）を用いて形成されている。そして、この金属発熱体６４は、図３に示すように、一方向に対して蛇行する蛇行部位６６と、蛇行部位６６の両端側に形成され、一方向に延びると共に絶縁フイルム６２（例えば、ポリイミド製フィルム）の外部に露出する電圧印加部位６８と、を備えている。この電圧印加部位６８に図示せぬ電圧印加部材によって電圧を印加することで、金属発熱体６４が発熱するようになっている。
【００３８】
蛇行部位６６は、図１（Ｂ）に示されるように、凸状の突起７０と、突起７０に対して内側に同様量（オフセット量が同様量：本実施例では７０〔μｍ〕）離れて構成される切欠き７２と、を備えている。そして、この切欠き７２によって囲まれるように切欠きエリア７３が形成されている。
【００３９】
さらに、切欠き７２は、円弧状の先端部７２Ａと、この先端部７２Ａから基端側（図中下側）にかけて直線状に延びる一対の直線部７２Ｂと、を備えている。
【００４０】
そして、この先端部７２Ａの内径（図に示すＲ１）は８０〔μｍ〕とされ、一対の直線部７２Ｂは、前述した一方向（図中矢印Ｂ方向）に対して直交する直交方向（図中矢印Ｃ方向）に延びている。
【００４１】
〔金属発熱体の製造方法〕
次に、金属板の製造方法の一例として金属発熱体の製造方法について説明する。
【００４２】
図７（Ａ）（Ｂ）に示されるように、先ず、レジスト塗布工程では、厚さ５０〔μｍ〕のＳＵＳ３０４の板材１５０（金属板の一例）の両面に、ポジ型のフォトレジスト１５２を厚み１〔μｍ〕で塗布する。
【００４３】
次に、図７（Ｃ）に示されるように、露光工程では、エッチングパターンが形成されたフイルム原版１５４をフォトレジスト１５２が塗布された板材１５０に密接しさせて固定する。そして、フイルム原版１５４に向けて露光を行い、蛇行パターン１６０（図１（Ａ）参照）をフォトレジスト１５２に焼き付ける。なお、蛇行パターン１６０については詳細を後述する。
【００４４】
次に、図７（Ｄ）に示されるように、現像工程では、蛇行パターン１６０がフォトレジスト１５２に露光転写された板材１５０に対して現像液を用いて現像処理を行う。これにより、露光されたエリアのフォトレジスト１５２は現像液に溶解し、フォトレジスト１５２が、蛇行して形成される。
【００４５】
次に、図７（Ｅ）に示されるように、エッチング工程では、板材１５０をエッチング液（本実施形態では一例として塩化第２鉄溶液）に浸漬、又は板材１５０にエッチング液を吹き掛ける（シャワー）ことにより、現像により露出した板材１５０の露出部分をエッチングする。
【００４６】
次に、図７（Ｆ）に示されるように、レジスト剥離工程では、水酸化ナトリウム溶液を用いて、板材１５０に塗布されているフォトレジスト１５２を除去する。これにより、金属発熱体６４が製造される。
【００４７】
〔蛇行パターン〕
次に、フォトレジスト１５２に焼き付けられる蛇行パターン１６０について説明する。
【００４８】
図１には、蛇行パターン１６０の屈曲部位が示されている。図１（Ａ）の二点鎖線で示す突起７０及び切欠き７２をウェットエッチングで形成するための蛇行パターン１６０（エッチングパターン）は、切欠き７２の縁部より内側へ、突起７０の縁部より外側へオフセットさせる必要がある。このように、蛇行パターン１６０は、切欠き７２の縁部より内側へオフセットした内側蛇行パターン１６０Ａと、突起７０の縁部より外側へオフセットした外側蛇行パターン１６０Ｂと、を備えている（図中実線）。
【００４９】
エッチング工程においてエッチング液は、蛇行パターン１６０の裏面に侵入して板材１５０をエッチングする（所謂サイドエッチング）。このため、切欠き７２が内側蛇行パターン１６０Ａに対して大きく成形され、また、突起７０が外側蛇行パターン１６０Ｂに対して小さく成形される。なお、設計上の製品の縁部（図１（Ａ）に示す二点鎖線）に対してフォトレジストをオフセットさせた量をレジストオフセット量と言う。
【００５０】
そして、本実施形態では、切欠き７２における先端部７２Ａのレジストオフセット量（図中Ｅ寸法）は、直線部７２Ｂのレジストオフセット量（図中Ｆ寸法）と異なり、先端部７２Ａの曲率半径に基づいて、直線部７２Ｂのレジストオフセット量より小さくされている。これは、先端部７２Ａでは、サイドエッチングが周囲に広がりながら侵攻する（進む）ため、サイドエッチングの侵攻量が直線部７２Ｂに比して少ないからである。
【００５１】
つまり、図２（Ａ）に示されるように、レジストオフセット量を先端部７２Ａと直線部７２Ｂとで同じ量（距離）にすると、図２（Ｂ）に示されるように、エッチング工程後に得られる先端部の切欠き量（実線）が、設計上の先端部の切欠き量（破線）に対して小さくなってしまう。
【００５２】
一方、図１（Ａ）に示されるように、突起７０における円弧状の円弧部７０Ａのレジストオフセット量（図中Ｇ寸法）は、突起７０における直線状の直線部７０Ｂのレジストオフセット量（図中Ｈ寸法）と異なり、円弧部７０Ａの曲率半径に基づいて、直線部７０Ｂのレジストオフセット量より大きくされている。
【００５３】
これは、円弧部７０Ａでは、周囲からサイドエッチングが侵攻するため、サイドエッチングの侵攻量が直線部７０Ｂに比して多いからである。
【００５４】
つまり、図２（Ａ）に示されるように、レジストオフセット量を円弧部７０Ａと直線部７０Ｂとで同じ量（距離）にすると、図２（Ｂ）に示されるように、エッチング工程後に得られる円弧部の突出量（実線）が、設計上の先端部の突出量（破線）に対して小さくなってしまう。
【００５５】
なお、図１（Ａ）に示されるように、突起７０の直線部７０Ｂのレジストオフセット量（図中Ｈ寸法）と、前述した切欠き７２の直線部７２Ｂのレジストオフセット量（図中Ｆ寸法）とは、サイドエッチングの侵攻については同条件であるため、同様の量とされている。
【００５６】
ここで、サイドエッチングの侵攻量が異なる理由について具体的に説明する。
【００５７】
図８は、製品形状が実線で、フォトレジストが二点鎖線で示されている。フォトレジストの縁部の線長を全てＬとして、直線部（図８（Ａ）参照）を成形する場合と、凹Ｒ部（図８（Ｂ）参照）を成形する場合と、凸Ｒ部（図８（Ｃ）参照）を成形する場合とでは、サイドエッチングの侵攻量に差が生じる。これは、エッチングにより母材が侵食される量（各図に示す斜線面積Ｓ）が同様になるためである。
【００５８】
このように、母材の侵食量（各図に示す斜線面積Ｓ）が同様になるため、凹Ｒ部におけるサイドエッチングの侵攻量（図８（Ｂ）の寸法Ｑ）は、直線部におけるサイドエッチングの侵攻量（図８（Ａ）の寸法Ｐ）に対して小さくなる。
【００５９】
一方、凸Ｒ部におけるサイドエッチングの侵攻量（図８（Ｃ）の寸法Ｒ）は、直線部におけるサイドエッチングの侵攻量（図８（Ａ）の寸法Ｐ）に対して大きくなる。
【００６０】
次に、切欠き７２の先端部７２Ａのレジストオフセット量、及び突起７０の円弧部７０Ａのレジストオフセット量を決める手順について説明する。  
【００６１】
先ず、図６に示されるグラフについて説明する。図６は、切欠き７２の先端部７２Ａの曲率半径と、先端位置（最も切り欠かれた位置）での未達量との関係をシミュレーションして、この結果をグラフで示したものである。
【００６２】
図６に示すグラフの横軸は、切欠き７２における先端部７２Ａの曲率半径〔μｍ〕とされ、縦軸は、板厚５０〔μｍ〕のＳＵＳ３０４の板材の場合に、サイドエッチングが製品端部に達しなかった未達量〔μｍ〕とされている。
【００６３】
具体的には、レジストオフセット量を３５〔μｍ〕とした場合に、この３５〔μｍ〕に対して、先端部７２Ａでの未達量〔μｍ〕を示している。つまり、未達量１０〔μｍ〕の場合のサイドエッチングの侵攻量は、レジストオフセット量３５〔μｍ〕から未達量１０〔μｍ〕を減じて２５〔μｍ〕となる。このグラフより、先端部７２Ａの曲率半径〔μｍ〕が小さい程、未達量が大きくなることが分かる。
【００６４】
本実施例では、直線部７２Ｂのレジストオフセット量を、３５〔μｍ〕とした。先端部７２Ａについては、曲率半径が８０〔μｍ〕とされていることから、図６より、未達量は、１２．１〔μｍ〕となる。これより、先端部７２Ａのレジストオフセット量については、先端位置（図１（Ａ）に示す位置Ｙ）で、２２．９〔μｍ〕（３５−１２．１）とした。
【００６５】
次に、図５に示されるグラフについて説明する。図５は、突起７０の円弧部７０Ａの曲率半径と、先端位置（最も突出した位置）での後退量との関係をシミュレーションして、この結果をグラフで示したものである。
【００６６】
図５に示すグラフの横軸は、突起７０における円弧部７０Ａの曲率半径〔μｍ〕とされ、縦軸は、板厚５０〔μｍ〕のＳＵＳ３０４の板材の場合に、製品端部がサイドエッチングにより後退した後退量〔μｍ〕とされている。
【００６７】
具体的には、レジストオフセット量を３５〔μｍ〕とした場合に、この３５〔μｍ〕に対して、円弧部７０Ａでの後退量〔μｍ〕を示している。つまり、後退量１０〔μｍ〕の場合のサイドエッチングの侵攻量は、レジストオフセット量３５〔μｍ〕を後退量１０〔μｍ〕に加えて４５〔μｍ〕となる。このグラフより、円弧部７０Ａの曲率半径〔μｍ〕が小さい程、後退量が大きくなることが分かる。
【００６８】
本実施例では、直線部７０Ｂのレジストオフセット量を、直線部７２Ｂと同様に、３５〔μｍ〕とした。円弧部７０Ａについては、曲率半径が１５０〔μｍ〕とされていることから、図５より、後退量は、６．４〔μｍ〕となる。これより、円弧部７０Ａのレジストオフセット量については、先端位置（図１（Ａ）に示す位置Ｚ）で、４１．４〔μｍ〕（３５＋６．４）とした。
【００６９】
（要部方法の作用）
以上説明したように、本実施形態に係る金属発熱体の製造方法によれば、突起７０における円弧部７０Ａのレジストオフセット量は、円弧部７０Ａの曲率半径に基づき、直線部７０Ｂのレジストオフセット量より大きくされている。これにより、ウェットエッチングによって形成される突起７０の製品形状が設計値に近づく。また、切欠き７２における先端部７２Ａのレジストオフセット量は、先端部７２Ａの曲率半径に基づき、直線部７２Ｂのレジストオフセット量より小さくされている。これにより、ウェットエッチングによって形成される切欠き７２の製品形状が設計値に近づく。
【００７０】
以上より、金属発熱体６４の製品形状が設計値に近づくため、形状相違による不良率が低下する。
【００７１】
また、金属発熱体６４の製品形状が設計値に近づくため、均一性が良く規定値（設計狙い値）に近い金属発熱体６４の発熱量を得ることが可能となる。
【００７２】
なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能であることは当業者にとって明らかである。例えば、上記実施形態では、突起７０及び切欠き７２を備えた金属発熱体の製造方法について説明したが、図１２（Ａ）（Ｂ）に示されるように、金属発熱体８８の突起９０には本実施形態のような円弧部が形成されておらず、切欠き９２には本実施形態のように円弧状の先端部９２Ａと直線部９２Ｂとが形成される場合がある。この場合には、切欠き９２にのみ、本実施形態の思想を用いることができる。
【００７３】
具体的には、切欠き９２における先端部９２Ａのレジストオフセット量（図中Ｊ寸法）は、直線部９２Ｂのレジストオフセット量（図中Ｋ寸法）と異なり、先端部９２Ａの曲率半径に基づいて、直線部９２Ｂのレジストオフセット量より小さくされる。
【００７４】
また、上記実施形態では、突起７０及び直線部７２Ｂが形成された切欠き７２を備えた金属発熱体の製造方法について説明したが、図１３（Ａ）（Ｂ）に示されるように、金属発熱体９８の切欠き１０２には本実施形態のような直線部が形成されておらず、切欠き１０２には本実施形態のような円弧状の先端部１０２Ａのみが形成され、突起１００には円弧部１００Ａのみが形成される場合がある。この場合には、切欠き１０２の先端部１０２Ａと突起１００の円弧部１００Ａに、本実施形態の思想を用いることができる。
【００７５】
具体的には、切欠き１０２における先端部１０２Ａのレジストオフセット量（図中Ｌ寸法）は、円弧部１００Ａのレジストオフセット量（図中Ｍ寸法）と異なり、先端部１０２Ａの曲率半径又は円弧部１００Ａの曲率半径に基づいて、円弧部１００Ａのレジストオフセット量より小さくされる。
【００７６】
また、上記実施形態では、円弧形状を備える金属発熱体の製造方法を例にとって説明したが、円弧形状を備える他の金属板の製造方法に本実施形態に係る金属板の製造方法を用いてもよい。
【００７７】
また、上記実施形態では、厚さ３０μｍのＳＵＳ３０４の板材を用いて説明したが、他の厚さ及び材質の金属板を用いてもよい。
【符号の説明】
【００７８】
６４            金属発熱体
７０            突起
７０Ａ          円弧部
７０Ｂ          直線部
７２            切欠き
７２Ａ          先端部
７２Ｂ          直線部
８８            金属発熱体
９０            突起
９２            切欠き
９２Ａ          先端部
９２Ｂ          直線部
９８            金属発熱体
１００          突起
１００Ａ        円弧部
１０２          切欠き
１０２Ａ        先端部
１５０          板材（金属板の一例）
１５２          フォトレジスト（レジスト）
【要約】
【課題】ウェットエッチングで突起を備えた金属板を成形する場合に、突起の製品形状を設計値に近づけることができる金属板の製造方法、金属発熱体を得る。
【解決手段】切欠き７２における先端部７２Ａのレジストオフセット量は、先端部７２Ａの曲率半径に基づき、直線部７２Ｂのレジストオフセット量より小さくされている。これにより、ウェットエッチングによって形成される切欠き７２の製品形状が設計値に近づけることができる。
【選択図】図１【図１】
0005158279.tif 000002
【図２】
0005158279.tif 000003
【図３】
0005158279.tif 000004
【図４】
0005158279.tif 000005
【図５】
0005158279.tif 000006
【図６】
0005158279.tif 000007
【図７】
0005158279.tif 000008
【図８】
0005158279.tif 000009
【図９】
0005158279.tif 000010
【図１０】
0005158279.tif 000011
【図１１】
0005158279.tif 000012
【図１２】
0005158279.tif 000013
【図１３】
0005158279.tif 000014