(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業用テーブル上に載置されたパネルに対して部品実装用の作業を施す複数台の部品実装用装置が連結されて成り、隣接する２つの作業用テーブルの間にはこれら２つの作業用テーブルの間でパネルを搬送するパネル搬送装置を有し、
各パネル搬送装置は、
２つの作業用テーブルの間を移動自在に設けられて下面に複数の吸着部を有するパネル保持部材と、
各吸着部から延びた複数の吸着部管路と、
真空圧を供給する真空圧供給源から延びて前記複数の吸着部管路に繋がる真空圧供給管路と、
パネル保持部材が備える複数の吸着部がパネルに接触した状態で真空圧供給源からの真空圧を真空圧供給管路経由で前記各吸着部管路内に供給することにより、複数の吸着部を介してパネル保持部材にパネルを保持させる真空圧供給手段と、
真空圧供給手段により真空圧供給源からの真空圧が真空圧供給管路経由で前記各吸着部管路内に真空圧が供給されている状態で真空圧供給管路内の圧力の異常を検出する異常検出手段と、
異常検出手段により真空圧供給管路内の圧力の異常が検出されたとき前記全ての吸着部管路を密閉する吸着部管路密閉手段と、
吸着部管路密閉手段により前記全ての吸着部管路が密閉された状態で、パネル保持部材に保持されたパネルが隣接する２つの作業用テーブルのうちのいずれか一方の上方に位置するようにパネル保持部材を移動させるパネル保持部材移動手段とを備えたことを特徴とする部品実装システム。
【請求項２】
真空圧供給管路は、真空圧供給源から延びた主管路及び主管路から分岐して延びて前記複数の吸着部管路に分かれる複数の分岐管路を有して成り、
吸着部管路密閉手段は、前記複数の分岐管路それぞれに介装され、異常検出手段により真空圧供給管路内の圧力の異常が検出されたときに各分岐管路を閉止する複数のバルブから成ることを特徴とする請求項１に記載の部品実装システム。
【請求項３】
作業用テーブル上に載置されたパネルに対して部品実装用の作業を施す複数台の部品実装用装置が連結されて成り、隣接する２つの作業用テーブルの間にはこれら２つの作業用テーブルの間でパネルを搬送するパネル搬送装置を有し、各パネル搬送装置は、２つの作業用テーブルの間を移動自在に設けられて下面に複数の吸着部を有するパネル保持部材と、各吸着部から延びた複数の吸着部管路と、真空圧を供給する真空圧供給源から延びて前記複数の吸着部管路に繋がる真空圧供給管路と、パネル保持部材が備える複数の吸着部がパネルに接触した状態で真空圧供給源から真空圧供給管路を介して前記各吸着部管路内に真空圧を供給することにより、複数の吸着部を介してパネル保持部材にパネルを保持させる真空圧供給手段とを備えた部品実装システムにおけるパネル搬送方法であって、
真空圧供給手段により真空圧供給源からの真空圧が真空圧供給管路経由で前記各吸着部管路内に供給されている状態で真空圧供給管路内の圧力の異常を検出する工程と、
真空圧供給管路内の圧力の異常が検出されたとき前記全ての吸着部管路を密閉する工程と、
前記全ての吸着部管路を密閉した状態で、パネル保持部材に保持されたパネルが隣接する２つの作業用テーブルのうちのいずれか一方の上方に位置するようにパネル保持部材を移動させる工程とを含むことを特徴とするパネル搬送方法。
【請求項４】
真空圧供給管路が、真空圧供給源から延びた主管路及び主管路から分岐して延びて前記複数の吸着部管路に分かれる複数の分岐管路を有して成り、
真空圧供給管路内の圧力の異常が検出されたとき、各分岐管路を閉止して前記全ての吸着部管路を密閉することを特徴とする請求項３に記載のパネル搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装用の作業を行う複数台の部品実装用装置が連結されて成る部品実装システム及びパネル搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
パネル（液晶パネル）への電子部品の実装（モジュール製造）を行う部品実装システムは、作業用テーブル上に載置されたパネルに対して部品実装用の作業を施す複数台の部品実装用装置が連結されて成り、隣接する２つの作業用テーブルの間にはこれら２つの作業用テーブルの間でパネルを搬送するパネル搬送装置を備えている。各パネル搬送装置は、２つの作業用テーブルの間を移動自在に設けられて下面に複数の吸着部を有するパネル保持部材と、パネル保持部材の吸着部に繋がる吸着部管路内に真空圧供給源からの真空圧を供給してパネル保持部材にパネルを吸着保持させる真空圧供給手段（バルブ）を有しており、各作業用テーブルにはパネルの吸着を行う基板吸着部が備えられている。
【０００３】
このような構成の部品実装システムにおいて、上流側の部品実装用装置が備える作業用テーブルにおいて部品実装用の作業が終了したパネルを下流側の作業用テーブルに受け渡す（搬送する）ときには、（１）パネル保持部材を上流側の作業用テーブルの上方に移動させる、（２）パネル保持部材にパネルを接触させる、（３）真空圧供給源からの真空圧を真空圧供給手段により各吸着部管路内に真空圧を供給し、パネル保持部材にパネルを吸着保持させると同時に、上流側の部品実装用装置が備える作業用テーブルのパネル吸着部によるパネルの吸着を解除する、（４）パネルを吸着保持したパネル保持部材を下流側の部品実装用装置の作業用テーブルの上方に位置させる、（５）パネル保持部材に吸着保持されたパネルに下流側の部品実装用装置の作業用テーブルを接触させる、（６）各吸着部管路を大気に開放してパネルの吸着保持を解除すると同時に、下流側の部品実装用装置が備える作業用テーブルのパネル吸着部によりパネルを吸着保持させる、という動作がこの順で実行される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１２３２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、パネル搬送装置によるパネルの搬送中に真空圧供給管路内の圧力に異常が発生した場合には、吸着部管路内の真空圧が急激に低下することから、吸着部におけるパネルの吸着力が弱まってパネル保持部材からパネルが落下し、パネルのみならず部品実装用装置を破損させてしまうおそれがあるという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、パネル搬送装置によるパネルの搬送中に真空圧供給管路内の圧力に異常が発生した場合であってもパネル保持部材からパネルが落下しにくく、仮に落下してもパネルや部品実装用装置を破損させにくい部品実装システム及びパネル搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の部品実装システムは、作業用テーブル上に載置されたパネルに対して部品実装用の作業を施す複数台の部品実装用装置が連結されて成り、隣接する２つの作業用テーブルの間にはこれら２つの作業用テーブルの間でパネルを搬送するパネル搬送装置を有し、各パネル搬送装置は、２つの作業用テーブルの間を移動自在に設けられて下面に複数の吸着部を有するパネル保持部材と、各吸着部から延びた複数の吸着部管路と、真空圧を供給する真空圧供給源から延びて前記複数の吸着部管路に繋がる真空圧供給管路と、パネル保持部材が備える複数の吸着部がパネルに接触した状態で真空圧供給源からの真空圧を真空圧供給管路経由で前記各吸着部管路内に供給することにより、複数の吸着部を介してパネル保持部材にパネルを保持させる真空圧供給手段と、真空圧供給手段により真空圧供給源からの真空圧が真空圧供給管路経由で前記各吸着部管路内に真空圧が供給されている状態で真空圧供給管路内の圧力の異常を検出する異常検出手段と、異常検出手段により真空圧供給管路内の圧力の異常が検出されたとき前記全ての吸着部管路を密閉する吸着部管路密閉手段と、吸着部管路密閉手段により前記全ての吸着部管路が密閉された状態で、パネル保持部材に保持されたパネルが隣接する２つの作業用テーブルのうちのいずれか一方の上方に位置するようにパネル保持部材を移動させるパネル保持部材移動手段とを備えた。
【０００８】
請求項２に記載の部品実装システムは、請求項１に記載の部品実装システムであって、真空圧供給管路は、真空圧供給源から延びた主管路及び主管路から分岐して延びて前記複数の吸着部管路に分かれる複数の分岐管路を有して成り、吸着部管路密閉手段は、前記複数の分岐管路それぞれに介装され、異常検出手段により真空圧供給管路内の圧力の異常が検出されたときに各分岐管路を閉止する複数のバルブから成る。
【０００９】
請求項３に記載のパネル搬送方法は、作業用テーブル上に載置されたパネルに対して部品実装用の作業を施す複数台の部品実装用装置が連結されて成り、隣接する２つの作業用テーブルの間にはこれら２つの作業用テーブルの間でパネルを搬送するパネル搬送装置を有し、各パネル搬送装置は、２つの作業用テーブルの間を移動自在に設けられて下面に複数の吸着部を有するパネル保持部材と、各吸着部から延びた複数の吸着部管路と、真空圧を供給する真空圧供給源から延びて前記複数の吸着部管路に繋がる真空圧供給管路と、パネル保持部材が備える複数の吸着部がパネルに接触した状態で真空圧供給源から真空圧供給管路を介して前記各吸着部管路内に真空圧を供給することにより、複数の吸着部を介してパネル保持部材にパネルを保持させる真空圧供給手段とを備えた部品実装システムにおけるパネル搬送方法であって、真空圧供給手段により真空圧供給源からの真空圧が真空圧供給管路経由で前記各吸着部管路内に供給されている状態で真空圧供給管路内の圧力の異常を検出する工程と、真空圧供給管路内の圧力の異常が検出されたとき前記全ての吸着部管路を密閉する工程と、前記全ての吸着部管路を密閉した状態で、パネル保持部材に保持されたパネルが隣接する２つの作業用テーブルのうちのいずれか一方の上方に位置するようにパネル保持部材を移動させる工程とを含む。
【００１０】
請求項４に記載のパネル搬送方法は、請求項３に記載のパネル搬送方法であって、真空圧供給管路が、真空圧供給源から延びた主管路及び主管路から分岐して延びて前記複数の吸着部管路に分かれる複数の分岐管路を有して成り、真空圧供給管路内の圧力の異常が検出されたとき、各分岐管路を閉止して前記全ての吸着部管路を密閉する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、パネル搬送装置によるパネルの搬送中、すなわち、真空圧供給源からの真空圧が真空圧供給管路経由で各吸着部管路内に供給されている状態で真空圧供給管路内の圧力の異常が検出されたとき、各吸着部から延びた複数の吸着部管路の全てを密閉するようにしているので、パネルは各吸着部管路内の負圧によって吸着部に密着した状態が維持され、パネル保持部材からパネルが落下しにくい。また、全ての吸着部管路を密閉した状態で、パネルは隣接する２つの作業用テーブルのうちのいずれか一方の上方に移動されるようになっているので、仮にパネルが吸着部から離脱してパネル保持部材からパネルが落下した場合であっても、パネルは作業用テーブルに受け止められることになり、パネルや部品実装用装置が破損しにくい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施の形態における部品実装システムの概略構成図
【図２】本発明の一実施の形態における部品実装システムによるパネルへ電子部品の実装の流れを示す図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態における部品実装システムの一部の平面図（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装システムの一部の正面図
【図４】本発明の一実施の形態における部品実装用装置が備える作業用テーブル及びテーブル移動機構の斜視図
【図５】本発明の一実施の形態における部品実装用装置の制御系統を示すブロック図
【図６】（ａ）本発明の一実施の形態における部品実装用装置が備えるパネル搬送装置の斜視図（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装用装置が備えるパネル搬送装置の平面図
【図７】本発明の一実施の形態における部品実装用装置が備えるパネル搬送装置の真空圧供給系統を示す空圧回路図
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における部品実装システムが行うパネル搬送動作の手順を示す図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における部品実装システムが行うパネル搬送動作の手順を示す図
【図１０】本発明の一実施の形態における部品実装用装置が備えるパネル搬送装置の真空圧供給系統を示す空圧回路図
【図１１】本発明の一実施の形態における部品実装用装置が備えるパネル搬送装置の真空圧供給系統を示す空圧回路図
【図１２】本発明の一実施の形態における部品実装用装置が備えるパネル搬送装置の真空圧供給系統を示す空圧回路図
【図１３】本発明の一実施の形態における部品実装用装置が備えるパネル搬送装置の真空圧供給系統を示す空圧回路図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示す部品実装システム１は、長方形形状のパネル（液晶パネル）２の長辺及び短辺それぞれの端部に設けられた複数の端子２ａに駆動回路等の電子部品３（図２も参照）を装着する部品実装（モジュール製造）工程を実行するものであり、パネル２に対して部品実装用の作業を施す部品実装用装置１０が複数台（ここでは６台）連結されて成る。
【００１４】
部品実装システム１を構成する複数の部品実装用装置１０は、図１に示すように、外部から搬入したパネル２の各端子２ａの洗浄を行う端子洗浄装置１１、端子洗浄装置１１からパネル２を搬入し、パネル２の各端子２ａに図２に示すようにＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ：異方性導電膜）４を貼付するＡＣＦ貼付装置１２、ＡＣＦ貼付装置１２からパネル２を搬入し、パネル２の各端子２ａに貼付されたＡＣＦ４上に電子部品３を装着（仮圧着）する仮圧着装置１３、仮圧着装置１３からパネル２を搬入し、パネル２の長辺側の各端子２ａにＡＣＦ４を介して仮圧着された電子部品３を熱圧着（本圧着）する第１の本圧着装置１４、第１の本圧着装置１４からパネル２を搬入し、パネル２の短辺側の各端子２ａにＡＣＦ４を介して仮圧着された電子部品３を熱圧着（本圧着）する第２の本圧着装置１５及び第２の本圧着装置１５からパネル２を搬入し、パネル２の各端子２ａに本圧着された電子部品３の外観検査を行う検査装置１６から成る。
【００１５】
これら複数台の部品実装用装置１０（端子洗浄装置１１、ＡＣＦ貼付装置１２、仮圧着装置１３、第１の本圧着装置１４、第２の本圧着装置１５及び検査装置１６）はホストコンピュータ１７によって統合制御されて動作し、各部品実装用装置１０はホストコンピュータ１７からの指令信号を受けて、部品実装工程の中の各担当分の工程を実行する。
【００１６】
図３（ａ），（ｂ）において、各部品実装用装置１０はそれぞれ、基台２１上に作業用テーブル２２と、作業用テーブル２２に載置されたパネル２に対して部品実装用の作業を行う作業実行装置２３と、作業用テーブル２２及び上流側（図３では紙面右側）に隣接する他の部品実装用装置１０の作業用テーブル２２との間（すなわち隣接する２つの作業用テーブル２２の間）でパネル２を搬送するパネル搬送装置２４を備えている。以下、説明の便宜上、部品実装システム１におけるパネル２の搬送方向（図３（ａ），（ｂ）では紙面の左右方向）をＸ軸方向、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向（図３（ａ）では紙面の上下方向、図３（ｂ）では紙面に垂直な方向）をＹ軸方向とし、上下方向（図３（ａ）では紙面に垂直な方向、図３（ｂ）では紙面の上下方向）をＺ軸方向とする。また、Ｙ軸方向を各部品実装用装置１０の前後方向、Ｘ軸方向を各部品実装用装置１０の左右方向とする。更に、前後方向のうち、部品実装システム１のオペレータＯＰ（図３（ａ））が各部品実装用装置１０に対して作業を行う側を部品実装用装置１０の前方、その反対側を部品実装用装置１０の後方とする。
【００１７】
ここで、各部品実装用装置１０が備える作業実行装置２３は、図３（ａ）に示すように、その部品実装用装置１０に設置されたテーブル移動機構２５の前方に設けられており、端子洗浄装置１１については、作業用テーブル２２上に載置されたパネル２上の各端子２ａの洗浄を実行するツール（図示せず）を備えた端子線状装置から成り、ＡＣＦ貼付装置１２については、パネル２上の各端子２ａにＡＣＦ４の貼付を実行するツール（図示せず）を備えたＡＣＦ貼付装置から成る。また、仮圧着装置１３については、パネル２上の各端子２ａに貼付されたＡＣＦ４に電子部品３を仮圧着するツール（図示せず）を備えた仮圧着装置から成り、第１の本圧着装置１４及び第２の本圧着装置１５については、パネル２上の各端子２ａに電子部品３を本圧着するツール（図示せず）を備えた本圧着装置から成る。なお、各部品実装用装置１０が備える作業テーブル２２には、載置されたパネル２の吸着を行うパネル吸着部（図示せず）が設けられている。
【００１８】
図３（ａ）及び図４において、各部品実装用装置１０が備える作業用テーブル２２は、基台２１上をＸ軸方向への移動（図４中に示す矢印Ａ１）が自在なＸ軸ステージ２５ａ、Ｘ軸ステージ２５ａ上をＹ軸方向への移動（図４中に示す矢印Ａ２）が自在なＹ軸ステージ２５ｂ、Ｙ軸ステージ２５ｂ上でＺ軸回りへの回転（図４中に示す矢印Ａ３）が自在なθステージ２５ｃ、θステージ２５ｃに対するＺ軸方向への移動（上下動。図４中に示す矢印Ａ４）が自在であり、上面に作業用テーブル２２が取り付けられたＺ軸ステージ２５ｄから成るテーブル移動機構２５によって３次元的に移動される。
【００１９】
テーブル移動機構２５による作業用テーブル２２の移動動作、すなわち基台２１に対するＸ軸ステージ２５ａのＸ軸方向への移動、Ｘ軸ステージ２５ａに対するＹ軸ステージ２５ｂのＹ軸方向への移動、Ｙ軸ステージ２５ｂに対するθステージ２５ｃのＺ軸回りの回転及びθステージ２５ｃに対するＺ軸ステージ２５ｄの上下動の各動作は、部品実装用装置１０に備えられる制御装置３０（図５）が図示しないアクチュエータ等から成るテーブル移動機構駆動部３１（図５）の作動制御を行うことによってなされる。なお、各部品実装用装置１０に備えられる制御装置３０はホストコンピュータ１７と情報のやり取りが可能であり、ホストコンピュータ１７から指令信号を受けて部品実装用装置１０の各部の動作制御を行うこともできる。
【００２０】
図６（ａ），（ｂ）において、各部品実装用装置１０が備えるパネル搬送装置２４は、基台２１から上方に延びた垂直支柱４１、垂直支柱４１の上端に上下方向に延びて設けられた揺動軸４１Ｊを中心に水平面内での揺動（図６（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｂ１）が自在なパネル保持部材移動アーム４２及びパネル保持部材移動アーム４２の端部に上下方向に延びて設けられた回転軸４２Ｊを中心に水平面内での回転（図６（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）が揺動軸４１Ｊ回りのパネル保持部材移動アーム４２の揺動と連動して可能なパネル保持部材４３を備えて成る。
【００２１】
パネル保持部材移動アーム４２は、垂直支柱４１側に連結された基部アーム４２ａとパネル保持部材４３側に連結された可動アーム４２ｂが入れ子式に構成されており、可動アーム４２ｂが基部アーム４２ａに対して相対移動（スライド）することにより、パネル保持部材移動アーム４２の全体が伸縮（図６（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｂ３）する。
【００２２】
パネル保持部材４３は平板状の部材であり、本実施の形態では図６（ｂ）に示すように、平面視において「Ｈ」字の形状を有しているが、パネル保持部材４３の形状は任意であり、本実施の形態に示す形状に限定されない。
【００２３】
パネル搬送装置２４のパネル保持部材移動アーム４２を垂直支柱４１に設けられた揺動軸４１Ｊ回りに揺動させる動作、パネル保持部材移動アーム４２を伸縮させる動作及びパネル保持部材４３をパネル保持部材移動アーム４２に設けられた回転軸４２Ｊ回りに回転させる動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るパネル搬送装置駆動部４４（図５）の作動制御を行うことによってなされる。また、部品実装用装置１０が備える作業実行装置２３の作動制御も制御装置３０によってなされる（図５）。
【００２４】
パネル搬送装置２４は、図６（ｂ）に示すように、パネル保持部材移動アーム４２を垂直支柱４１の揺動軸４１Ｊ回りに揺動させつつパネル保持部材移動アーム４２を伸縮させ、かつパネル保持部材４３をパネル保持部材移動アーム４２の回転軸４２Ｊ回りに回転させることによって、パネル保持部材４３の姿勢を変えることなく、パネル保持部材４３をＸ軸方向に平行移動させることができる（図６（ｂ）中に示す矢印Ｂ４）。なお、パネル保持部材４３をＸ軸方向に移動させる構成としては、上記のようにスライド動作するパネル保持部材移動アーム４２を用いる構成に変えて、平行リンク機構を用いるようにしてもよい。
【００２５】
図６（ａ），（ｂ）において、パネル保持部材４３の下面には複数（ここでは６つ）のパッド状の吸着部４５が設けられており、パネル保持部材４３はこれら複数の吸着部４５を介してパネル２の上面に接触する。
【００２６】
図７に示すように、各吸着部４５からはパネル保持部材４３の内部を通って吸着部管路４６が延びており、これら各吸着部４５から延びた複数の吸着部管路４６は、真空圧を供給する真空圧供給源（例えば、空圧ポンプと真空エジェクタとから成る装置）４７から延びる真空圧供給管路４８（図７中、太線で示す）と繋がっている。
【００２７】
図７において、真空圧供給管路４８は、真空圧供給源４７から延びた主管路４８ａ及び主管路４８ａから分岐して延びて上記複数の吸着部管路４６に分かれる（繋がる）複数の分岐管路４８ｂから成る。主管路４８ａには制御装置３０によってスプール（図示せず）の位置切り替え制御がなされる第１バルブ５１が介装されており、２つの分岐管路４８ｂのそれぞれには、制御装置３０によってスプール（図示せず）の位置切り替え制御がなされる第２バルブ５２が介装されている。
【００２８】
第１バルブ５１は、真空圧供給源４７からの真空圧が２つの分岐管路４８ｂに供給されないようにするとともに２つの分岐管路４８ｂを大気に開放するノーマル位置５１ａと、真空圧供給源４７からの真空圧が２つの分岐管路４８ｂに供給されるようにする切り替え位置５１ｂとの間でスプールの位置切り替えが可能な２位置切り替えバルブである。第１バルブ５１のスプールは、制御装置３０よりスプールの駆動信号が出力されていない状態（オフの状態）ではノーマル位置５１ａに位置し（図７）、制御装置３０よりスプールの駆動信号が出力されている状態（オンの状態）では切り替え位置５１ｂに位置する。
【００２９】
第２バルブ５２は、主管路４８ａからの真空圧が下流側の吸着部管路４６に供給されないようにするとともに下流側の吸着部管路４６を閉止するノーマル位置５２ａと、主管路４８ａからの真空圧が下流側の吸着部管路４６に供給されるようにする切り替え位置５２ｂとの間でスプールの位置切り替えが可能な２位置切り替えバルブである。第２バルブ５２は、制御装置３０よりスプールの駆動信号が出力されていない状態（オフの状態）ではノーマル位置５２ａに位置し（図７）、制御装置３０よりスプールの駆動信号が出力されている状態（オンの状態）では切り替え位置５２ｂに位置する。
【００３０】
図７において、主管路４８ａと２つの分岐管路４８ｂのそれぞれには真空圧供給管路４８内（主管路４８ａ及び２つの分岐管路４８ｂ内）の圧力を計測する複数の圧力計５３が設けられている。各圧力計５３により計測された圧力の値は制御装置３０に入力され、制御装置３０は、各圧力計５３により計測された圧力の値を予め記憶した基準値と比較することにより、真空圧供給管路４８内の圧力が正常であるか否かの検出を行う。
【００３１】
次に、図８〜図１３を用いて、隣接する２つの部品実装用装置１０（図８及び図９に示す紙面右側の上流側の部品実装用装置１０と紙面左側の下流側の部品実装用装置１０）が２つの作業用テーブル２２の間でパネル２を受け渡す場合の上流側の部品実装用装置１０と下流側の部品実装用装置１０の動作について説明する。下流側の部品実装用装置１０の制御装置３０は、パネル２の受け渡しを行わないときには、２つの第２バルブ５２のスプールを切り替え位置５２ｂに位置させた状態で第１バルブ５１のスプールをノーマル位置５１ａに位置させており、パネル搬送装置２４の真空圧供給管路４８の２つの分岐管路４８ｂはともに大気に開放された状態となっている（図１０）。
【００３２】
上流側の部品実装用装置１０において、作業用テーブル２２に載置されたパネル２について部品実装用の作業が終了したら（この状態では、パネル２は上流側の部品実装用装置１０が備える前述のパネル吸着部により作業テーブル２２上に吸着保持されている）、上流側の部品実装用装置１０の制御装置３０はその旨の情報をホストコンピュータ１７に出力するとともに、テーブル移動機構２５を作動させて、パネル２が載置された作業用テーブル２２を下流側の部品実装用装置１０の方に移動させる（図８（ａ）中に示す矢印Ｅ１）。
【００３３】
ホストコンピュータ１７は、上流側の部品実装用装置１０から部品実装用の作業が終了した旨の情報を受け取ったら、下流側の部品実装用装置１０にパネル２の搬送指令を出力し、このパネル２の搬送指令を受け取った下流側の部品実装用装置１０の制御装置３０は、パネル搬送装置２４のパネル保持部材移動アーム４２を揺動軸４１Ｊ回りに揺動させるとともに（図８（ａ）中に示す矢印Ｅ２）、パネル保持部材移動アーム４２の伸縮を行わせることによってパネル保持部材４３を上流側の部品実装用装置１０の方に移動させて、パネル保持部材４３を作業用テーブル２２の上方（すなわちパネル２の上方）に位置させる（図８（ａ））。
【００３４】
パネル保持部材４３が作業用テーブル２２の上方に位置したら、ホストコンピュータ１７は上流側の部品実装用装置１０にテーブル上昇指令を出力し、このテーブル上昇指令を受けた上流側の部品実装用装置１０の制御装置３０はテーブル移動機構２５のＺ軸ステージ２５ｄを上動（作業用テーブル２２を上昇）させることにより（図８（ｂ）中に示す矢印Ｆ）、作業用テーブル２２上のパネル２をパネル保持部材４３に（吸着部４５に）接触させる（図８（ｂ））。
【００３５】
作業用テーブル２２上のパネル２がパネル搬送装置２４のパネル保持部材４３に接触したら、ホストコンピュータ１７は下流側の部品実装用装置１０にパネル吸着指令を出力し、このパネル吸着指令を受けた下流側の部品実装用装置１０の制御装置３０は、パネル搬送装置２４の第１バルブ５１のスプールを切り替え位置５１ｂに位置させる（図１１）。これにより、真空圧供給源４７からの真空圧は第１バルブ５１及び２つの第２バルブ５２を介して各吸着部管路４６に供給され、パネル２は６つの吸着部４５を介してパネル保持部材４３に吸着保持される。
【００３６】
このように本実施の形態における部品実装用装置１０において（したがって部品実装システム１において）、第１バルブ５１は、パネル保持部材４３が備える複数の吸着部４５がパネル２に接触した状態で、真空圧供給源４７からの真空圧を真空圧供給管路４８経由で各吸着部管路４６内に供給することにより、複数の吸着部４５を介してパネル保持部材４３にパネル２を保持させる真空圧供給手段となっている。
【００３７】
作業用テーブル２２上のパネル２がパネル保持部材４３に保持されたら、ホストコンピュータ１７は上流側の部品実装用装置にテーブル下降指令を出力し、このテーブル下降指令を受けた上流側の部品実装用装置１０の制御装置３０は作業用テーブル２２に設けられたパネル吸着部によるパネル２の吸着を解除した後、テーブル移動機構２５を作動させ、作業用テーブル２２を下降させることによって（図８（ｃ）中に示す矢印Ｇ）、作業用テーブル２２をパネル保持部材４３に吸着保持されたパネル２から離間させる（図８（ｃ））。
【００３８】
作業用テーブル２２がパネル２から離間したら、ホストコンピュータ１７は下流側の部品実装用装置１０にパネル移動指令を出力し、このパネル移動指令を受けた下流側の部品実装用装置１０の制御装置３０はテーブル移動機構２５を作動させて作業用テーブル２２を上流側の部品実装用装置１０の方に移動させる一方（図９（ａ）中に示す矢印Ｈ１）、パネル保持部材移動アーム４２を揺動軸４１Ｊ回りに揺動させるとともに（図９（ａ）中に示す矢印Ｈ２）、パネル保持部材移動アーム４２の伸縮を行わせることによってパネル保持部材４３を上流側の部品実装用装置１０の方に移動させ、パネル保持部材４３を（すなわちパネル２を）作業用テーブル２２の上方に位置させる（図９（ａ））。
【００３９】
パネル保持部材４３が下流側の部品実装用装置１０の作業用テーブル２２の上方に位置したら、ホストコンピュータ１７は下流側の部品実装用装置１０にテーブル上昇指令を出力し、このテーブル上昇指令を受けた下流側の部品実装用装置１０の制御装置３０はテーブル移動機構２５を作動させ、作業用テーブル２２を上昇させることによって（図９（ｂ）中に示す矢印Ｊ）、パネル保持部材４３に吸着保持されたパネル２に作業用テーブル２２を接触させる（図９（ｂ））。
【００４０】
パネル保持部材４３に吸着保持されたパネル２に作業用テーブル２２が接触したら、ホストコンピュータ１７は下流側の部品実装用装置１０にパネル吸着解除指令を出力し、このパネル吸着指令を受けた下流側の部品実装用装置１０の制御装置３０は作業用テーブル２２に設けられたパネル吸着部にパネル２を吸着させた後、第１バルブ５１のスプール位置をノーマル位置５１ａに切り替える（図１２）。これにより各吸着部管路４６は大気に開放され、パネル２はパネル保持部材４３の吸着部４５から離脱して、パネル２がパネル保持部材４３から作業用テーブル２２に受け渡された状態となる。
【００４１】
パネル２がパネル保持部材４３から作業用テーブル２２に受け渡された状態となったら、ホストコンピュータ１７は下流側の部品実装用装置１０にテーブル下降指令を出力し、このテーブル下降指令を受けた下流側の部品実装用装置１０の制御装置３０はテーブル移動機構２５を作動させて作業用テーブル２２を下降させ（図９（ｃ）中に示す矢印Ｋ）、作業用テーブル２２上のパネル２をパネル保持部材４３から離間させる（図９（ｃ））。
【００４２】
作業用テーブル２２上のパネル２がパネル保持部材４３から離間したら、ホストコンピュータ１７は下流側の部品実装用装置１０にテーブル移動指令を出力し、このテーブル移動指令を受けた下流側の部品実装用装置１０の制御装置３０はテーブル移動機構２５を作動させて作業用テーブル２２を移動させ、作業実行装置２３に対してパネル２を適切な位置に位置決めする。
【００４３】
このようなパネル２の搬送工程において、制御装置３０は、真空圧供給手段である第１バルブ５１により（第１バルブ５１のスプールが切り替え位置５１ｂに位置されて）、真空圧供給源４７からの真空圧を真空圧供給管路４８経由で各吸着部管路４６内に供給している状態で（図１１）、圧力計５３により計測された圧力の値に基づいて、真空圧供給管路４８内の圧力の異常を検出したときは（異常検出工程）、２つの第２バルブ５２により（２つの第２バルブ５２のスプールをともにノーマル位置５２ａに位置させて）、全ての吸着部管路４６を密閉する（吸着部管路密閉工程。図１３）。これにより各吸着部管路４６内は負圧状態が維持され、パネル保持部材４３からパネル２が直ちに落下することが防止される。
【００４４】
ここで、本実施の形態における各部品実装用装置１０では、ひとつの（図７及び図１０〜図１３では左側の）第２バルブ５２を介して真空圧が供給される３つの吸着部管路４６（図７及び図１０〜図１３において符号４６ａで示す３つの吸着部管路）から成る吸着部管路群と、もうひとつの（図７及び図１０〜図１３では右側の）第２バルブ５２を介して真空圧が供給される３つの吸着部管路４６（図７及び図１０〜図１３において符号４６ｂで示す３つの吸着部管路）から成る吸着部管路群はそれぞれ独立して密閉することができるようになっているので、一方の吸着部管路群を構成する３つの吸着部管路４６の中のいずれかに管路破損が生じており、その一方の吸着部管路群に繋がる第２バルブ５２のスプールをノーマル位置５２ａに位置させたにも拘らず、その吸着部管路群において負圧を維持することはできなくなっている場合であっても、他方の吸着具管路群においては負圧を維持することができるので、パネル２はパネル保持部材４３から落下しにくい。
【００４５】
ここで、本実施の形態における部品実装システム１では、図７及び図１０〜図１３に示すように、ひとつの第２バルブ５２を介して延びる３つの吸着部管路４６ａの吸着部４５は、もうひとつの第２バルブ５２を介して延びる３つの吸着部管路４６ｂの吸着部４５とパネル保持部材４３上で交互に並ぶようになっている。このため、上記のように一方の吸着部管路群において負圧を維持することができなくなっている場合であっても、他方の吸着具管路群を構成する３つの吸着部管路４６（４６ａ又は４６ｂ）によって、バランスよくパネル２を吸着保持した状態を保つことができる。
【００４６】
また、制御装置３０は、上記のように２つの第２バルブ５２をオフ状態にして全ての吸着部管路４６を密閉させた状態でパネル保持部材４３を移動させ、パネル保持部材４３に吸着保持されたパネル２が上流側の部品実装用装置１０が備える作業用テーブル２２或いは下流側の部品実装用装置１０が備える作業用テーブル２２（すなわち、隣接する２つの作業用テーブル２２のうちのいずれか一方）の上方に位置させるようになっている（パネル移動工程）。これにより、密閉した吸着部管路４６内の負圧の維持ができなくなってパネル保持部材４３からパネル２が落下するようなことがあっても、そのパネル２は作業テーブル２２によって受け止められることになる。
【００４７】
上記のように、本実施の形態における部品実装用装置１０（すなわち部品実装システム１）では、圧力の異常発生時には、パネル２を搬送先である下流側の部品実装用装置１０の作業用テーブル２２だけでなく、搬送元である上流側の部品実装用装置１０の作業用テーブル２２の上方に移動させてもよい。
【００４８】
以上説明したように、本実施の形態における部品実装システム１では、連結された各部品実装用装置１０のパネル搬送装置２４が、２つの作業用テーブル２２の間を移動自在に設けられて下面に複数の吸着部４５を有するパネル保持部材４３と、各吸着部４５から延びた複数の吸着部管路４６と、真空圧を供給する真空圧供給源４７から延びて複数の吸着部管路４６に繋がる真空圧供給管路４８と、パネル保持部材４３が備える複数の吸着部４５がパネル２に接触した状態で真空圧供給源４７から真空圧を真空圧供給管路４８経由で各吸着部管路４６内に供給することにより、複数の吸着部４５を介してパネル保持部材４３にパネル２を保持させる真空圧供給手段としての第１バルブ５１と、第１バルブ５１により真空圧供給源４７からの真空圧が真空圧供給管路４８経由で各吸着部管路４６内に供給されている状態で真空圧供給管路４８内の圧力の異常を検出する異常検出手段としての圧力計５３と、圧力計５３により真空圧供給管路４８内の圧力の異常が検出されたとき全ての吸着部管路４６を密閉する吸着部管路密閉手段（２つの第２バルブ５２）と、吸着部管路密閉手段により全ての吸着部管路４６が密閉された状態で、パネル保持部材４３に保持されたパネル２が隣接する２つの作業用テーブル２２のうちのいずれか一方の上方に位置するようにパネル保持部材４３を移動させるパネル保持部材移動手段としてのパネル保持部材移動アーム４２を備えたものとなっている。
【００４９】
また、本実施の形態におけるパネル搬送方法は、上記部品実装システム１におけるパネル搬送方法であって、真空圧供給手段としての第１バルブ５１により真空圧供給源４７からの真空圧が真空圧供給管路４８経由で各吸着部管路４６内に供給されている状態で真空圧供給管路４８内の圧力の異常を検出する工程（異常検出工程）と、真空圧供給管路４８内の圧力の異常が検出されたとき全ての吸着部管路４６を密閉する工程（吸着部管路密閉工程）と、全ての吸着部管路４６を密閉した状態で、パネル保持部材４３に保持されたパネル２が隣接する２つの作業用テーブル２２のうちのいずれか一方の上方に位置するようにパネル保持部材４３を移動させる工程（パネル移動工程）を含むものとなっている。
【００５０】
本実施の形態における部品実装システム１及びパネル搬送方法では、パネル搬送装置２４によるパネル２の搬送中、すなわち、真空圧供給源４７からの真空圧が真空圧供給管路４８経由で各吸着部管路４６内に供給されている状態で真空圧供給管路４８内の圧力の異常が検出されたとき、各吸着部４５から延びた複数の吸着部管路４６の全てを密閉するようにしているので、パネル２は各吸着部管路４６内の負圧によって吸着部４５に密着した状態が維持され、パネル保持部材４３からパネル２が落下しにくい。また、全ての吸着部管路４６を密閉した状態で、パネル２は隣接する２つの作業用テーブル２２のうちのいずれか一方の上方に移動されるようになっているので、仮にパネル２が吸着部４５から離脱してパネル保持部材４３からパネル２が落下した場合であっても、パネル２は作業用テーブル２２に受け止められることになり、パネル２や部品実装用装置１０が破損しにくい。
【００５１】
また、本実施の形態における部品実装システム１では、真空圧供給管路４８は、真空圧供給源４７から延びた主管路４８ａ及び主管路４８ａから分岐して延びて複数の吸着部管路４６に分かれる複数の分岐管路４８ｂを有して成り、上記吸着部管路密閉手段は、複数の分岐管路４８ｂそれぞれに介装され、圧力計５３により真空圧供給管路４８内の圧力の異常が検出されたときに各分岐管路４８ｂを閉止する複数のバルブ（２つの第２バルブ５２）から成っており、本実施の形態におけるパネル搬送方法では、真空圧供給管路４８内の圧力の異常が検出されたとき、各分岐管路４８ｂを閉止し、全ての吸着部管路４６を密閉することによって吸着部管路密閉工程を実行するようになっているので、前述のように、一部の吸着部管路４６に管路破損が生じているような場合であっても、パネル２はパネル保持部材４３から落下しにくく、より一層確実に、パネル２や部品実装用装置１０の破損を防止することができる。
【００５２】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、主管路４８ａから分岐して延びて複数の吸着部管路４６に分かれる分岐管路４８ｂが２つであったが、分岐管路４８ｂは複数であればよく、２つに限定されない。なお、分岐管路４８ｂが３つ以上である場合には、これに応じて分岐管路４８ｂ中に介装されるバルブ（第２バルブ５２）も３つ以上となる。
【００５３】
また、上述の実施の形態では、真空圧供給手段としての第１バルブ５１により真空圧供給源４７から真空圧供給管路４８内に真空圧が供給されている状態で真空圧供給管路４８内の圧力の異常を検出する異常検出手段として圧力計５３が用いられていたが、異常検出手段は必ずしも圧力計でなくてもよい。
【００５４】
また、上述の実施の形態では、部品実装用装置１０同士がホストコンピュータ１７から出力される情報に基づいてパネル２の受け渡し動作を行うようになっていたが、部品実装用装置１０同士がホストコンピュータ１７を介さずに互いに情報をやり取りしてパネル２の受け渡し動作を行うようになってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
パネル搬送装置によるパネルの搬送中に真空圧供給管路内の圧力に異常が発生した場合であってもパネル保持部材からパネルが落下しにくく、仮に落下してもパネルや部品実装用装置を破損させにくい部品実装システム及びパネル搬送方法を提供する。
【符号の説明】
【００５６】
１  部品実装システム
２  パネル
１０  部品実装用装置
２２  作業用テーブル
２４  パネル搬送装置
４２  パネル保持部材移動アーム（パネル保持部材移動手段）
４３  パネル保持部材
４５  吸着部
４６  吸着部管路
４７  真空圧供給源
４８  真空圧供給管路
４８ａ  主管路
４８ｂ  分岐管路
５１  第１バルブ（真空圧供給手段）
５２  第２バルブ（吸着部管路密閉手段、バルブ）
５３  圧力計（異常検出手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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