(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の吐出のためのエネルギーを生じさせる複数のエネルギー発生素子が第１の方向に配列されてなるエネルギー発生素子列が設けられた記録素子基板と、前記記録素子基板に積層され、各々の前記エネルギー発生素子と対応する複数の吐出口と該吐出口に連通する複数の流路が設けられた流路形成部材とを有する液体噴射記録ヘッドにおいて、
前記流路形成部材は、前記複数の流路の外方側に、前記複数の吐出口からなる吐出口列に沿って配列されている、複数の孔部からなる孔部列を有し、かつ、前記流路形成部材の前記記録素子基板の側に、隣り合う前記孔部の間を連通する連通路を有しており、複数の前記孔部の底部にはＴａが配されていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
【請求項２】
前記流路形成部材の、隣り合う前記孔部の間の部分によって前記孔部列の内側と外側の領域が連結していることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項３】
前記連通路が、前記流路形成部材の、隣り合う前記孔部の間の部分と前記記録素子基板との間に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項４】
前記流路形成部材の厚み方向に関して、前記連通路と前記流路の寸法が等しいことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項５】
前記流路形成部材の、隣り合う前記孔部の間の部分は、配列ピッチが前記吐出口のピッチと同じであり、かつ、前記吐出口の列と直交する方向に関して対応する位置にあることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項６】
前記孔部列が、前記記録素子基板の四隅に対応する箇所を除いて設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の液体噴射記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射し飛翔液滴を形成して記録を行う液体噴射記録ヘッドである。また本発明の液体噴射記録ヘッドは、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に記録を行うプリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置である。また、各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置などに用いられる液体噴射記録ヘッドに適用する。
【０００２】
なお、本発明における「記録」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を付与することも意味する。
【背景技術】
【０００３】
液体噴射記録ヘッドは、複数のインク吐出口とこれに連通するインク流路となる溝を有する流路形成部材（以下、オリフィスプレート）が、記録素子基板上に接合された構成となっている。また、記録素子基板にはインク供給口が開口され、記録素子基板の、オリフィスプレートと接合される面には、インク吐出口と対応する位置に複数のエネルギー発生素子（発熱抵抗体）が配設されている。そして、記録素子基板とオリフィスプレートとの接合によって、インク流路が、インク供給口から発熱抵抗体の上方のインク吐出口までを連通するように形成されている。したがって、インクは、インク供給口からインク流路に供給され、発熱抵抗体の作用により発生する気泡の圧力によりインク吐出口から吐出される。
【０００４】
このような液体噴射記録ヘッドは、インク吐出用のエネルギー発生素子（発熱抵抗体）を形成した記録素子基板上に、溶解可能な樹脂層を形成し、次いで、オリフィスプレートとなる被覆樹脂層をスピンコートなどにより塗布することで製造される。そして、被覆樹脂層にインク吐出口を形成する。その後、溶解可能な樹脂層を溶解させるとともに、記録素子基板にインク供給口を形成する。これにより、樹脂層が溶解された部分が、インク吐出口及びインク供給口と連通するインク流路となり、このインク流路に対応して発熱抵抗体が存在する。
【０００５】
しかしこの方法では、被覆樹脂層が、溶解可能な樹脂層の角部（段差）に沿って形成されてしまい、オリフィスプレートに膜厚の厚い部分と薄い部分とのばらつきが生じる場合がある。このようにオリフィスプレートの膜厚が不均一な構造の液体噴射記録ヘッドを使用した場合には、オリフィスプレートの膜厚の薄い部分が、応力集中を受けて剥離や破損する可能性がある。また、インクの吐出量は、インク吐出エネルギー発生のための発熱抵抗体とオリフィスプレートの前面との間の間隔によって決定される。これより、オリフィスプレートの膜厚が一定でなく発熱抵抗体との間隔が不均一であると、高精細記録を実現するための有力な方策の一つである小液滴記録を安定的に行うことは、非常に困難である。
【０００６】
このような問題を解決する方法は、例えば、特許文献１や特許文献２に開示されている。これらの公報に記載された製造方法では、オリフィスプレートを平坦に形成する目的で、溶解可能な樹脂層を、インク流路となるパターンのみならず、その外周部にも形成し、この溶解可能な樹脂層を土台として被覆樹脂層を形成する。このインク流路の外周部に溝を形成する方法によると、被覆樹脂層が平坦に形成でき、オリフィスプレートの膜厚が均一になる。よって、この液体噴射記録ヘッドは、オリフィスプレートの前面と発熱抵抗体との間隔が均一になり、高精細記録を実現するための小液滴記録が安定的に行える。
【０００７】
また、インク吐出口の近傍のみならずその外側もオリフィスプレートで覆っているため、基板の表面が大面積に亘って剥き出しとなってしまうことがない。これにより、液体噴射記録ヘッドを実装する際やプリンタに装着して使用しているときに記録素子基板表面に傷が付き不良が発生することが防げる。
【０００８】
このような液体噴射記録ヘッドにも、インク流路周囲に形成された溝の縁部、すなわちオリフィスプレートの縁部が、ヘッドの長尺化に伴い、オリフィスプレートの硬化や温度変化により生じる応力により、剥離する可能性があった。特に、インク吐出口やインク流路が設けられているためにオリフィスプレートの体積が小さくなっている内側と比べて、溝の外側のオリフィスプレートは、より体積が大きくそのため応力がより大きくなるため、剥離の発生する頻度も程度がより高くなる。また、この剥離は、液体噴射記録ヘッドのオリフィスプレートの厚さが厚いものほど、応力が大きく、より発生しやすい。
【０００９】
ここで、特許文献３にある記載では、記録素子基板とオリフィスプレートとの接合によって流路が形成されている。そしてオリフィスプレートは、色ごとの流路群の外側を取り囲むように形成されている多数の孔部１２からなる孔部列（図１２参照）、あるいは鋸歯状の溝を有している。これにより、オリフィスプレートにおける孔部あるいは溝の縁部付近には、様々な方向の応力が混在し、一部が打ち消しあうなどして、この範囲内のオリフィスプレートに作用する応力が従来よりも小さくなる。したがって、剥離しやすさが低く抑えられる。
【特許文献１】特開平１０−１５７１５０号公報
【特許文献２】特開平１１−１３８８１７号公報
【特許文献３】特開２００３−０８０７１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、これら従来の液体噴射記録ヘッドには、以下に述べるような問題点があった。
【００１１】
すなわち、図１２に示すような、オリフィスプレートに流路の外側を取り囲むように形成されている多数の孔部からなる孔部列を有する形状である場合、液体噴射記録ヘッドの生産時において以下の課題が発生することがあった。液体噴射記録ヘッドの生産時には、液体噴射記録ヘッドの印刷性能を検査するために、実際に印刷を実施している。印刷性能の検査後、ヘッド表面に付着したミスト状のインク滴を洗浄処理し、その後乾燥処理を行っている。この乾燥処理は、通常エアブローを用いている。しかしながら、図１２に示すような孔部列を有する形状である場合、孔部１２が一面のみ開放した連通路であるため、エアによるブロー効果が充分得られず、水滴や乾燥処理し切れなかったインク滴が孔部の中に残ることがあった。図１３は、図１２のＣ部の拡大図である。図１３に示すように、水滴や乾燥処理し切れなかったインク滴１６は、孔部１２の側面部に残りやすい。尚、図１１では記録素子基板上のオリフィスプレートを透明な部材として図示してある。
【００１２】
この状態で液体噴射記録ヘッドを梱包し、さらに、ユーザの手元に渡るまでの輸送中の温度変化に曝された場合、孔部に残った水滴や乾燥処理し切れなかったインク滴が蒸発し、増粘物や固着物が残ってしまう。その後、ユーザが印刷する際、このインクの増粘物や固着物がプリンタでの吐出機能回復のためのヘッド表面の清掃ワイピング操作等によりヘッド表面に引き出されることがある。そして、それらがインク吐出口付近に差し掛かることにより、スジ、ムラ等の画像品位の低下を招くことがあった。
【００１３】
また別の課題として、インク流路を囲むように溝を形成する形状である場合、ヘッドの長尺化が進むと、基板の四隅への応力や、ノズル壁先端への応力、インク流路周囲に形成された溝の縁部の流路形成部材と基板との間への応力が増加してしまう虞があった。こうした応力増加により流路形成部材が記録素子基板から剥離する現象が発生するために、長尺化するのが困難であった。
【００１４】
その上、上記の剥離が生じているときに、インクに含まれる溶剤が流路形成部材と記録素子基板との界面に進入した場合、流路形成部材と記録素子基板との密着性が低下し、応力による流路形成部材の剥離がより顕著になってしまう。したがって、インクに使用できる材料の選択性を狭めていた。
【００１５】
本発明の目的は、上記のような従来の液体噴射記録ヘッドの課題を解決することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の液体噴射記録ヘッドは、記録素子基板と流路形成部材を有するものに係る。記録素子基板には、液体の吐出のためのエネルギーを生じさせる複数のエネルギー発生素子が第１の方向に配列されてなるエネルギー発生素子列が設けられている。流路形成部材は記録素子基板に積層され、各エネルギー発生素子と対応する複数の吐出口と該各吐出口に連通する複数の流路が設けられた部材である。そして上記課題を解決するために、本発明の一態様として、流路形成部材が、複数の流路の外方側に、複数の吐出口からなる吐出口列に沿って配列されている、複数の孔部からなる孔部列を有している。その上、流路形成部材の記録素子基板の側に、隣り合う孔部の間を連通する連通路を有しており、複数の孔部の底部にはＴａが配されている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、記録素子基板と流路形成部材との密着信頼性を向上し、画像品位を維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
なお、以下の各実施形態で示される数値は一例であり、本発明はこれらに限定されるものではない。また、本発明は、各実施形態に限らず、これらをさらに組み合わせるものであってもよく、この明細書の特許請求の範囲に記載された本発明の概念に包含されるべき他の技術にも応用することができる。
【００２０】
（第１の実施形態）
図４は、本発明が好適に実施または適用される液体噴射記録ヘッドの例を一部破断して示す斜視図である。
【００２１】
本例の液体噴射記録ヘッド１は、いずれも電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生成する発熱抵抗体を用いたバブルジェット（登録商標）方式の記録ヘッドである。また、発熱抵抗体とインク吐出口とが対向するように配置された、いわゆるサイドシュータ型の記録ヘッドである。
【００２２】
液体噴射記録ヘッド１は、記録素子基板１０に流路形成部材であるオリフィスプレート１１を積層してなる。Ｓｉ基板を使用した記録素子基板１０には、シアン、マゼンタ、イエロー用の３個のインク供給口２が並列して形成されている。それぞれのインク供給口２を挟んでその両側に発熱抵抗体３とインク吐出口７とが一列ずつに並んで形成され、各色用の吐出口列８が形成されている。Ｓｉ基板上には、電気配線、ヒューズもしくは抵抗等、電極部４などが形成されている。また、その上に樹脂材料でフォトリソグラフィ技術によってインク流路壁６やインク吐出口７が形成されており、電気配線に電力を供給するための電極部４にはＡｕ等のバンプ５が形成されている。
【００２３】
図１は本例における液体噴射記録ヘッドのオリフィスプレート側から見た図である。
【００２４】
液体噴射記録ヘッド１の作製は、インク吐出用の発熱抵抗体（不図示）を形成した記録素子基板１０上に、溶解可能な樹脂（ポリメチルイソプロペニルケトン（東京応化工業株式会社ＯＤＵＲ−１０１０））層を溶解させ、記録素子基板にインク供給口を形成した。これにより、樹脂層が溶解された部分が、インク吐出口７及びインク供給口２と連通するインク流路となり、このインク流路に対応して発熱抵抗体３が存在する（図４参照）。また、オリフィスプレート１１には、各吐出口列に対応する流路の外側を取り囲むように配列されている多数の孔部１２からなる孔部列を有する。また、その隣り合う孔部１２の間には、オリフィスプレート１１の下部（記録素子基板１０と接する側）にて孔部１２同士を連通する連通路１３を有する。
【００２５】
図２はオリフィスプレート１１に形成された流路の外側を取り囲むように形成されている多数の孔部１２と、隣り合う孔部１２同士をオリフィスプレートの下部にて連通する連通路１３とを有することを詳細に説明するための図であり、図１のＡ部の拡大図である。尚、図２はオリフィスプレート１１が透明な部材として図示してある。図２において、孔部１２のインク吐出口列方向の幅Ｌは０．０２ｍｍ程度であり、孔部１２のインク吐出口列に垂直方向の幅Ｍは０．０４５ｍｍ程度である。
【００２６】
図３は図２におけるＢ−Ｂにおける断面を示す図である。この図によると、オリフィスプレート１１の下部にて連通する連通路１３の高さＮは０．０１４ｍｍ程度であり、オリフィスプレート１１に形成された流路の外側を取り囲むように形成されている多数の孔部１２の高さＯは０．０２５ｍｍ程度である。
【００２７】
液体噴射記録ヘッド１の生産時における乾燥処理でのエアブローは、オリフィスプレート１１に形成された流路の外側を取り囲むように形成されている多数の孔部１２に溜まったインク滴を洗浄処理した後に実施している。実施にあたっては、孔部１２に残った水滴や乾燥処理し切れなかったインク滴を除去するために、表側（図２における紙面上方に相当。）からエアをオリフィスプレート１１に向けて吹き付けている。本実施例のように、オリフィスプレートの記録素子基板側の部位にて連通路１３を有する形態である場合、エアによるブロー効果が充分得られ、水滴や乾燥し切れなかったインク滴の除去が充分可能となる。すなわち、ユーザの手元に渡るまでの輸送中の温度変化に曝された場合、孔部１２に残った水滴や乾燥処理し切れなかったインク滴が蒸発し、増粘物や固着物が残ってしまうことを防止することが可能となる。よって、ユーザが印刷する際、このインクの増粘物や固着物がプリンタのワイピング操作等によりヘッド表面に引き出され、インク吐出口７付近に差し掛かることによる、スジ、ムラ等の画像品位の低下を招く虞がなくなる。
【００２８】
このように本実施形態によれば、液体噴射記録ヘッドの生産時における乾燥処理におけるインク滴の残りに起因する問題を解決できる。
【００２９】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について詳述するが、第１の実施形態と同じ構成要素には同一符号を付して説明することにする。
【００３０】
図５は本実施形態の記録ヘッドの一部をオリフィスプレート上方から見た拡大平面図である。図６は図５のオリフィスプレートにおける孔部の列の形状を説明するための図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）のａ−ａ'断面図、図６（ｃ）は図６（ａ）のｂ−ｂ'断面図である。
【００３１】
図５において、インク吐出口７はインク供給口２の片側に３００ｄｐｉで、インク供給口（不図示）を挟んで配置されているが、インク吐出口７の配列としては真直ぐな配列ではなく、図中のＸ方向に少しずつズレながらＹ方向に配置されている。そして、第１の実施形態と同様、吐出口列に対応する流路の周囲には複数の孔部（溝）１２が配列されている。また、記録素子基板からオリフィスプレートの表面までの距離（ＯＨ）が７０μｍである。オリフィスプレート１１の、記録素子基板と接する面側に形成された流路の高さ（流路形成部材の厚み方向の寸法）は２０μｍである。インク吐出口７に対向する発熱抵抗体（不図示）の中心から孔部１２までの距離は場所によって異なるが約２００μｍである。
【００３２】
孔部１２の形状としては、Ｘ方向の幅寸法が約６３μｍ、Ｙ方向の幅寸法が８０μｍ、深さがＯＨと同じ値であり７０μｍである。さらに、孔部１２の中にはインクが入るために、記録素子基板の電気配線を防水する膜としてＴａが、孔部３に対応する記録素子基板上に形成されている。
【００３３】
孔部１２の形状の詳細は、図５に示すように、剥離しやすいノズル壁先端の位置の延長線Ｐにある孔部１２はオリフィスプレート１１を貫通するように形成されている。さらに、インク吐出口７の中心の延長線Ｑに、図５のような環状配列となる孔部１２の列の内側と外側を同一平面で橋渡しする部分（以下、橋渡し部１４）が設けられている。橋渡し部１４は隣り合う孔部１２間を仕切る仕切り部でもある。橋渡し部１４は、幅（Ｙ方向の寸法）が２０μｍであり、インク吐出口７と同じ配列ピッチ、即ち３００ｄｐｉの約８３μｍピッチで形成されている。つまり、橋渡し部１４はインク吐出口７の列と直交するＸ方向に関して、各インク吐出口７と対応する位置にある。
【００３４】
また、図６に示すように、橋渡し部１４の下部には連通路（空洞部）１３が設けられ、これにより、隣り合う孔部３間を連通させている。空洞部１３は、オリフィスプレート１１における、記録素子基板１０と接する側の面から厚み方向の高さ寸法が２０μｍとなっており、流路の高さと同じである。
【００３５】
このように、橋渡し部１４が記録素子基板１０に密着しないため、橋渡し部１４の剛性のみによって、環状配列の孔部１２の列の内側と外側の領域が繋がった状態になる。その結果、橋渡し部１４が記録素子基板１０から独立した構造体となって、応力の影響が、環状配列の孔部１２の列の内側と外側の部位に分断され易くなる。よって、背景技術の課題として前述した、ヘッド長尺化による基板四隅への応力集中やノズル壁先端への応力集中を抑制することができる。
【００３６】
本実施形態の形状（図５，６の橋渡し形状）と、特許文献３に開示されている従来例（鋸歯状の溝で形成された従来例１と、溝を形成していない従来例２）を比較した。表１に、これら３種類の形状での、ノズル壁先端への応力と、孔部列あるいは溝の縁部の剥離、基板四隅でのオリフィスプレートの剥離の結果を示す。インクは、樹脂分散の顔料インクである。
【００３７】
【表１】
0005312009.tif 000002
【００３８】
また、本実施形態では、図６に示すように橋渡し部１４の下部が連通路１３となっており、かつ、橋渡し部１４と記録素子基板１０との隙間が２０μｍである。この連通路１３にインクが入った場合には、図７に示すように、表面張力により連通路１３にインク１５を保持し、かつ孔部１２に入ってきたミストも連通路１３でのメニスカス力で連通路１３に入り込みやすく、ミスト保持性能が高い。結果として、孔部１２でのインクを保持する容量が増加し、フェイス濡れインクがインク吐出口７まで到達することを防止する効果も付与される。このように連通路１３でのインクの保持が可能となるが、第１の実施例で述べたように、エアブロー等の外力を与えることで、容易にインクを移動させることは可能である。
【００３９】
さらに、図８及び、図８中のＢ部の拡大図である図９に示すように、基板四隅でのオリフィスプレート１１の剥離を防止するために、基板四隅に対応する箇所にて孔部１２を無くした。この構成においても、基板四隅での剥離が無くなり、かつノズル壁先端での剥離がなくなる効果が得られた。
【００４０】
以上のような形態に至った過程を説明する。
【００４１】
表１から分かるように、インク流路周囲に形成された溝の縁部の剥離を防止するために、溝を無くした構成では基板の四隅に応力が集中して剥離が発生することが、本発明者の検討により分かった。一方、溝を形成した構造では、基板の四隅への剥離は発生しないが、溝の縁部、特に四隅に剥離が発生してしまった。また、鋸歯状の場合は、溝の縁部の剥離が発生した。そこで、基板の四隅への剥離を防止するために、インク流路周囲の溝を形成しつつ、溝の縁部の剥離を同時に防止するために、溝の形状を鋸歯状ではなく橋渡し形状にした。すなわち、溝に橋渡し部を設けることにより、溝の外側と内側のオリフィスプレート材が連結されているので、溝の縁部の剥離が発生しようとすると橋渡し部の強度により、応力による反りを抑制し、剥離を防止する。
【００４２】
その上、本発明では基板の四隅の剥離に対して、より防止効果を上げるために橋渡し部の下を中空構造とした。このことにより、橋渡し部が基板と密着していないために、応力の影響が溝の外側と内側にて分断され易くなる。さらには、溝でのインクを保持する容量が増加しフェイス濡れインクが吐出口まで到達することを防止する効果も付与される。特に、橋渡し部分と基板との間の空洞部ではメニスカスでミストを保持し、かつ溝に入ってきたミストも前記空洞部分のメニスカス力で空洞に入り込みやすく、ミスト保持性能が高い。
【００４３】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態について詳述するが、第１及び第２の実施形態と同じ構成要素には同一符号を付して説明することにする。
【００４４】
図１０は第３の実施形態のオリフィスプレート１１に形成された、流路の外側を取り囲むように形成されている多数の孔部１２と、隣り合う孔部２２同士をオリフィスプレートの下部にて連通する連通路１３とを有することを詳細に説明するための図である。尚、図１０はオリフィスプレート１１が透明な部材として図示してある。
【００４５】
図１０に示す本実施形態において、孔部１２のインク吐出口の配列方向の幅Ｌは０．０２ｍｍであり、孔部１２のインク吐出口の配列方向に垂直方向の幅Ｍは０．０４５ｍｍである。図１０のように、オリフィスプレートの下部にて連通する連通路１３の形状は連通路の側面の一部１３ａが三角状に張り出す形状（以下、鋸歯形状と呼ぶ。）とした。また、同様に孔部１２の形状も、孔の側面の一部１２ａを鋸歯形状とした。鋸歯形状の溝縁間隔は、最も狭い部分で２０μmとした。
【００４６】
図１１は図１０におけるＤ−Ｄにおける断面を示す図である。この図に示すとおり、オリフィスプレート１１の下部にて連通する連通路１３の高さＮは０．０１４ｍｍであり、オリフィスプレート１１に形成された流路の外側を取り囲むように形成されている多数の孔部１２の高さＯは０．０２５ｍｍである。
【００４７】
本実施例の構成では、第１の実施形態の効果に加えて、オリフィスプレート１１に形成された流路の外側を取り囲むように形成されている多数の孔部１２と、隣り合う孔部１２同士をオリフィスプレート１１の下部にて連通する連通路１３等が、ヘッドの長尺化に伴うオリフィスプレート２１の硬化や温度変化により生じる応力の増加に対して、剥離をより好適に抑えることができる。すなわち、オリフィスプレート１１における孔部１２あるいは連通路１３付近には、連通路１３の側面形状、孔部１２の側面形状を鋸歯形状とすることで、様々な方向の応力が混在し、一部が打ち消しあうなどして、この範囲内のオリフィスプレート１１に作用する応力が従来よりも小さくなる。したがって、剥離しやすさが低く抑えられるのである。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す平面図である。
【図２】図１におけるＡ部の拡大図である。
【図３】図２におけるＢ-Ｂ断面を示す図である。
【図４】本発明を好適に実施する液体噴射記録ヘッドの一例を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施形態を説明するための平面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態における孔部列を示す断面図である。
【図７】本発明の第２の実施形態における孔部列の空間でのインク保持状況を示す断面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態における孔部列の変形例を示す平面図である。
【図９】図８のＢ部の拡大図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態を説明するための平面図である。
【図１１】図１０におけるＤ−Ｄ断面を示す図である。
【図１２】従来の液体噴射記録ヘッドを示す平面図である。
【図１３】図１１のＣ部の拡大図である。
【符号の説明】
【００４９】
７    インク吐出口
１０    記録素子基板
１１    オリフィスプレート
１２    孔部
１３    連通路（空洞部）
１４    橋渡し部
１５    インク
【図１】
0005312009.tif 000003
【図２】
0005312009.tif 000004
【図３】
0005312009.tif 000005
【図４】
0005312009.tif 000006
【図５】
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【図６】
0005312009.tif 000008
【図７】
0005312009.tif 000009
【図８】
0005312009.tif 000010
【図９】
0005312009.tif 000011
【図１０】
0005312009.tif 000012
【図１１】
0005312009.tif 000013
【図１２】
0005312009.tif 000014
【図１３】
0005312009.tif 000015