(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の第１及び第２圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記基端領域からサスペンション長手方向先端側に間隙を介して離間され且つ前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、前記間隙を前記第１及び第２圧電素子にそれぞれ対応したサスペンション幅方向一方側及び他方側の第１及び第２間隙に分割するようにサスペンション幅方向中央において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する中央梁とを有し、
前記基端領域には、前記中央梁よりサスペンション幅方向一方側に設けられた第１基端側薄肉部位であって、前記ディスク面と対向する下面又は前記ディスク面とは反対側の上面の何れか一方側の第１面から他方側の第２面へ向けて延びる第１基端側垂直壁面及び前記第１基端側垂直壁面の先端から前記第１間隙へ延びる第１基端側水平壁面によって画される第１基端側薄肉部位と、前記中央梁よりサスペンション幅方向他方側に設けられた第２基端側薄肉部位であって、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第２基端側垂直壁面及び前記第２基端側垂直壁面の先端から前記第２間隙へ延びる第２基端側水平壁面によって画される第２基端側薄肉部位とが形成され、
前記先端領域には、前記中央梁よりサスペンション幅方向一方側に設けられた第１先端側薄肉部位であって、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第１先端側垂直壁面及び前記第１先端側垂直壁面の先端から前記第１間隙へ延びる第１先端側水平壁面によって画される第１先端側薄肉部位と、前記中央梁よりサスペンション幅方向他方側に設けられた第２先端側薄肉部位であって、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第２先端側垂直壁面及び前記第２先端側垂直壁面の先端から前記第２間隙へ延びる第２先端側水平壁面によって画される第２先端側薄肉部位とが形成され、
前記中央梁には、前記第１基端側水平壁面及び前記第１先端側水平壁面の間をつなげる第１内方側水平壁面を有する第１内方側薄肉部位と、前記第２基端側水平壁面及び前記第２先端側水平壁面の間をつなげる第２内方側水平壁面を有する第２内方側薄肉部位とが形成され、
前記第１圧電素子は、サスペンション幅方向外方側のエッジの少なくとも一部がフリーな状態で、前記支持部と対向する側の電極層の基端側，先端側及びサスペンション幅方向内方側が電極層用第１基端側接着剤，電極層用第１先端側接着剤及び電極層用第１内方側接着剤によって前記第１基端側水平壁面，前記第１先端側水平壁面及び前記第１内方側水平壁面にそれぞれ固着され、且つ、基端側の端面及び先端側の端面が第１基端側絶縁性接着剤及び第１先端側絶縁性接着剤によって前記第１基端側垂直壁面及び前記第１先端側垂直壁面にそれぞれ固着されており、
前記第２圧電素子は、サスペンション幅方向外方側のエッジの少なくとも一部がフリーな状態で、前記支持部と対向する側の電極層の基端側，先端側及びサスペンション幅方向内方側が電極層用第２基端側接着剤，電極層用第２先端側接着剤及び電極層用第２内方側接着剤によって前記第２基端側水平壁面，前記第２先端側水平壁面及び前記第２内方側水平壁面にそれぞれ固着され、且つ、基端側の端面及び先端側の端面が第２基端側絶縁性接着剤及び第２先端側絶縁性接着剤によって前記第２基端側垂直壁面及び前記第２先端側垂直壁面にそれぞれ固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記第１内方側薄肉部位は、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第１内方側垂直壁面及び前記第１内方側垂直壁面の先端から前記第１間隙へ延びる前記第１内方側水平壁面によって画され、
前記第２内方側薄肉部位は、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第２内方側垂直壁面及び前記第２内方側垂直壁面の先端から前記第２間隙へ延びる前記第２内方側水平壁面によって画され、
前記第１圧電素子のサスペンション幅方向内方側の端面と前記第１内方側垂直壁面との間には第１内方側絶縁性接着剤が充填され、前記第２圧電素子のサスペンション幅方向内方側の端面と前記第２内方側垂直壁面との間には第２内方側絶縁性接着剤が充填されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記一対の圧電素子の各々のサスペンション幅方向長さをＷとした場合に、前記第１及び第２内方側水平壁面の各々と対応する前記圧電素子とは０．１８×Ｗ以下の範囲で重合していることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記電極層用第１基端側接着剤，前記電極層用第１先端側接着剤及び前記電極層用第１内方側接着剤の少なくとも一つが導線性接着剤を含み、前記第１圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層が前記導電性接着剤を介して前記支持部に電気的に接続されることで接地電位とされ、
前記電極層用第２基端側接着剤，前記電極層用第２先端側接着剤及び前記電極層用第２内方側接着剤の少なくとも一つが導線性接着剤を含み、前記第２圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層が前記導電性接着剤を介して前記支持部に電気的に接続されることで接地電位とされていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記ディスク面と対向する下面が前記第１面とされ、前記ディスク面とは反対側の上面側電極層が前記支持部と対向する側の電極層とされていることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記フレクシャ部は、前記磁気ヘッドスライダが装着されるヘッド搭載領域を有し且つ前記ロードビーム部及び前記支持部に固着されるフレクシャ金属基板と、前記フレクシャ金属基板の下面に積層される配線体とを備え、
前記配線体は、前記フレクシャ金属基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される導体層と、前記導体層を囲繞するカバー層とを有し、
前記導体層は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続される信号配線と、基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線とを含み、
前記第１及び第２圧電素子の下面側電極層が前記カバー層に形成された開口を介して露出された前記電圧供給配線と電圧供給用導電性接着剤を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記第１及び第２圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側のエッジのうち前記先端領域及び前記基端領域に載置される部分を除く部分がフリーとされていることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記支持部は、前記第１圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第１基端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記先端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第１外方側／基端側薄肉部位と、記第２圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第２基端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記先端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第２外方側／基端側薄肉部位とをさらに含み、
前記第１圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第１外方側／基端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第１外方側接着剤によって固着され、
前記第２圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第２外方側／基端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第２外方側接着剤によって固着されていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
前記支持部は、前記第１圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第１先端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記基端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第１外方側／先端側薄肉部位と、前記第２圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第２先端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記基端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第２外方側／先端側薄肉部位とをさらに含み、
前記第１圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第１外方側／先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第１外方側接着剤によって固着され、
前記第２圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第２外方側／先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第２外方側接着剤によって固着されていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１０】
前記支持部は、前記第１圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第１基端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画される第１外方側／基端側薄肉部位と、前記第１圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第１先端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記第１外方側／基端側薄肉部位との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存するように配置された第１外方側／先端側薄肉部位と、前記第２圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第２基端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画される第２外方側／基端側薄肉部位と、前記第２圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第２先端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記第２外方側／基端側薄肉部位との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存するように配置された第２外方側／先端側薄肉部位とをさらに含み、
前記第１圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第１外方側／基端側薄肉部位及び前記第１外方側／先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第１外方側接着剤によって固着され、
前記第２圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第２外方側／基端側薄肉部位及び前記第２外方側／先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第２外方側接着剤によって固着されていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１１】
前記支持部は、前記基端領域及び前記先端領域のサスペンション幅方向一端側同士及び他端側同士を連結する左右一対の連結梁を有していることを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１２】
請求項６に記載の磁気ヘッドサスペンションを製造する方法であって、
前記一対の圧電素子を除く前記支持部，前記荷重曲げ部，前記ロードビーム部及び前記フレクシャ部が一体化されたプリアッセンブリを形成する工程と、
前記プリアッセンブリを前記各薄肉部位の水平壁面が上方を向くように配置させた状態で、前記第１基端側水平壁面，前記第１先端側水平壁面，前記第１内方側水平壁面にそれぞれ前記電極層用第１基端側接着剤，前記電極層用第１先端側接着剤及び前記電極層用第１内方側接着剤を塗布してから前記第１圧電素子を載置させ、且つ、前記第２基端側水平壁面，前記第２先端側水平壁面及び前記第２内方側水平壁面に前記電極層用第２基端側接着剤，前記電極層用第２先端側接着剤及び前記電極層用第２内方側接着剤を塗布してから前記第２圧電素子を載置させて、前記各接着剤の硬化を行う工程と、
前記第１圧電素子の基端側端面及び先端側端面と前記第１基端側垂直壁面及び前記第１先端側垂直壁面との間に、それぞれ、前記第１基端側絶縁性接着剤及び前記第１先端側絶縁性接着剤を充填し、且つ、前記第２圧電素子の基端側端面及び先端側端面と前記第２基端側垂直壁面及び前記第２先端側垂直壁面との間に、それぞれ、前記第２基端側絶縁性接着剤及び前記第２先端側絶縁性接着剤を充填して、前記各接着剤の硬化を行う工程と、
前記第１及び第２圧電素子の前記下面側電極層と前記カバー層に形成された開口を介して露出された前記電圧供給配線とを接続するように前記電圧供給用導電性接着剤を塗布し且つ硬化させる工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項１３】
前記電圧供給用導電性接着剤の硬化を行った後に、前記電圧供給用導電性接着剤を囲繞するように絶縁性接着剤を塗布し且つ硬化させる工程を含むことを特徴とする請求項１２に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダを目的トラックに対して迅速且つ正確に位置させることが求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する一対の圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている（例えば下記特許文献１及び２参照）。
【０００３】
詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記支持部に装着された前記一対の圧電素子とを備えている。
【０００４】
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有している。
【０００５】
前記一対の圧電素子の各々は、圧電体と前記圧電体の厚み方向両側に配設された一対の上面側電極層及び下面側電極層とを有しており、前記一対の電極層間への電圧印可に応じて前記厚み方向とは直交する長手方向に伸長又は短縮する。
【０００６】
前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子は、サスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なった状態で、先端部が前記先端領域に固着され且つ基端部が前記基端領域に固着されている。
【０００７】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子の一方を伸長させ且つ他方を短縮させることにより、前記一対の連結梁を弾性変形させつつ前記先端領域が前記基端領域に対してシーク方向へ揺動し、これにより、前記先端領域に前記荷重曲げ部，前記ロードビーム部及び前記フレクシャ部を介して支持される前記磁気ヘッドスライダがシーク方向へ微動する。
【０００８】
ところで、前記一対の圧電素子の伸縮動作を効率的に前記先端領域の揺動動作に変換させる為、及び、前記一対の圧電素子を含む前記磁気ヘッドサスペンションの厚みを可及的に低減する為に、前記特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記先端領域の基端側エッジを含む部分が上方から薄肉化されて上方側及び基端側へ開く先端側切り欠き部が形成され且つ前記基端領域の先端側エッジを含む部分が上方から薄肉化されて上方側及び先端側へ開く基端側切り欠き部が形成されている。
【０００９】
前記先端側切り欠き部は、サスペンション長手方向基端側を向く先端側垂直面と前記先端側垂直面の下端部からサスペンション長手方向基端側へ延びて前記開口領域に到達する先端側水平面とを有している。
前記基端側切り欠き部は、サスペンション長手方向先端側を向く基端側垂直面と前記基端側垂直面の下端部からサスペンション長手方向先端側へ延びて前記開口領域に到達する基端側水平面とを有している。
【００１０】
そして、前記一対の圧電素子の各々の前記下面側電極層の先端側が前記先端側水平面に絶縁性接着剤によって接着され且つ前記下面側電極層の基端側が前記基端側水平面に絶縁性接着剤によって接着された状態で、前記一対の圧電素子の各々の先端側端面が前記先端側垂直面と対向した状態で絶縁性接着剤によって固着され且つ基端側端面が前記基端側垂直面と対向した状態で絶縁性接着剤によって固着されている。
【００１１】
前記特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子の各々の前記先端側端面及び前記基端側端面が前記先端領域の先端側垂直面及び前記基端領域の基端側垂直面にそれぞれ対向状態で接着されている為、前記一対の圧電素子による前記磁気ヘッドスライダの微動特性（即ち、前記一対の圧電素子の伸縮動作による前記先端領域の前記基端領域に対するシーク方向への変位し易さ）を向上させることができる。
【００１２】
しかしながら、前記特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子の各々は、先端側及び基端側が前記先端領域及び基端領域に支持されているのみである為、磁気ヘッドサスペンションの振動モードの共振周波数の上昇及び前記一対の圧電素子の耐衝撃性の向上という観点においては、改善の余地がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００２−２５１８５４号公報
【特許文献２】特開２００９−０８０９１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、メインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダの粗動に加えて一対の圧電素子の伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダの微動を行える磁気ヘッドサスペンションであって、前記一対の圧電素子による前記磁気ヘッドスライダの微動特性の悪化を有効に防止しつつ、前記磁気ヘッドサスペンションの振動モードの共振周波数の上昇及び耐衝撃性の向上を図り得る磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の第１及び第２圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と前記基端領域からサスペンション長手方向先端側に間隙を介して離間され且つ前記荷重曲げ部が連結される先端領域と前記間隙を前記第１及び第２圧電素子にそれぞれ対応したサスペンション幅方向一方側及び他方側の第１及び第２間隙に分割するようにサスペンション幅方向中央において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する中央梁とを有し、前記基端領域には、前記中央梁よりサスペンション幅方向一方側に設けられた第１基端側薄肉部位であって、前記ディスク面と対向する下面又は前記ディスク面とは反対側の上面の何れか一方側の第１面から他方側の第２面へ向けて延びる第１基端側垂直壁面及び前記第１基端側垂直壁面の先端から前記第１間隙へ延びる第１基端側水平壁面によって画される第１基端側薄肉部位と、前記中央梁よりサスペンション幅方向他方側に設けられた第２基端側薄肉部位であって、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第２基端側垂直壁面及び前記第２基端側垂直壁面の先端から前記第２間隙へ延びる第２基端側水平壁面によって画される第２基端側薄肉部位とが形成され、前記先端領域には、前記中央梁よりサスペンション幅方向一方側に設けられた第１先端側薄肉部位であって、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第１先端側垂直壁面及び前記第１先端側垂直壁面の先端から前記第１間隙へ延びる第１先端側水平壁面によって画される第１先端側薄肉部位と、前記中央梁よりサスペンション幅方向他方側に設けられた第２先端側薄肉部位であって、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第２先端側垂直壁面及び前記第２先端側垂直壁面の先端から前記第２間隙へ延びる第２先端側水平壁面によって画される第２先端側薄肉部位とが形成され、前記中央梁には、前記第１基端側水平壁面及び前記第１先端側水平壁面の間をつなげる第１内方側水平壁面を有する第１内方側薄肉部位と、前記第２基端側水平壁面及び前記第２先端側水平壁面の間をつなげる第２内方側水平壁面を有する第２内方側薄肉部位とが形成され、前記第１圧電素子は、サスペンション幅方向外方側のエッジの少なくとも一部がフリーな状態で、前記支持部と対向する側の電極層の基端側，先端側及びサスペンション幅方向内方側が電極層用第１基端側接着剤，電極層用第１先端側接着剤及び電極層用第１内方側接着剤によって前記第１基端側水平壁面，前記第１先端側水平壁面及び前記第１内方側水平壁面にそれぞれ固着され、且つ、基端側端面及び先端側端面が第１基端側絶縁性接着剤及び第１先端側絶縁性接着剤によって前記第１基端側垂直壁面及び前記第１先端側垂直壁面にそれぞれ固着されており、前記第２圧電素子は、サスペンション幅方向外方側のエッジの少なくとも一部がフリーな状態で、前記支持部と対向する側の電極層の基端側，先端側及びサスペンション幅方向内方側が電極層用第２基端側接着剤，電極層用第２先端側接着剤及び電極層用第２内方側接着剤によって前記第２基端側水平壁面，前記第２先端側水平壁面及び前記第２内方側水平壁面にそれぞれ固着され、且つ、基端側端面及び先端側端面が第２基端側絶縁性接着剤及び第２先端側絶縁性接着剤によって前記第２基端側垂直壁面及び前記第２先端側垂直壁面にそれぞれ固着されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１６】
好ましくは、前記第１内方側薄肉部位は、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第１内方側垂直壁面及び前記第１内方側垂直壁面の先端から前記第１間隙へ延びる前記第１内方側水平壁面によって画され、前記第２内方側薄肉部位は、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第２内方側垂直壁面及び前記第２内方側垂直壁面の先端から前記第２間隙へ延びる前記第２内方側水平壁面によって画される。
斯かる構成において、前記第１圧電素子のサスペンション幅方向内方側の端面と前記第１内方側垂直壁面との間には第１内方側絶縁性接着剤が充填され、前記第２圧電素子のサスペンション幅方向内方側の端面と前記第２内方側垂直壁面との間には第２内方側絶縁性接着剤が充填される。
【００１７】
前記一対の圧電素子の各々のサスペンション幅方向長さをＷとした場合に、好ましくは、前記第１及び第２内方側水平壁面の各々と対応する前記圧電素子とは０．１８×Ｗ以下の範囲で重合するものとされる。
【００１８】
一形態においては、前記電極層用第１基端側接着剤，前記電極層用第１先端側接着剤及び前記電極層用第１内方側接着剤の少なくとも一つが導線性接着剤を含み、前記第１圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層が前記導電性接着剤を介して前記支持部に電気的に接続されることで接地電位とされ、前記電極層用第２基端側接着剤，前記電極層用第２先端側接着剤及び前記電極層用第２内方側接着剤の少なくとも一つが導線性接着剤を含み、前記第２圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層が前記導電性接着剤を介して前記支持部に電気的に接続されることで接地電位とされる。
【００１９】
前記一形態において、好ましくは、前記ディスク面と対向する下面が前記第１面とされ、前記ディスク面とは反対側の上面側電極層が前記支持部と対向する側の電極層とされる。
【００２０】
より好ましくは、前記フレクシャ部は、前記磁気ヘッドスライダが装着されるヘッド搭載領域を有し且つ前記ロードビーム部及び前記支持部に固着されるフレクシャ金属基板と、前記フレクシャ金属基板の下面に積層される配線体とを備える。
前記配線体は、前記フレクシャ金属基板の下面に積層される絶縁層と、前記絶縁層の下面に積層される導体層と、前記導体層を囲繞するカバー層とを有する。
前記導体層は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダに電気的に接続される信号配線と、基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線とを含む。
斯かる構成において、前記第１及び第２圧電素子の下面側電極層は前記カバー層に形成された開口を介して露出された前記電圧供給配線と電圧供給用導電性接着剤を介して電気的に接続される。
【００２１】
前記種々の構成において、例えば、前記第１及び第２圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外方側のエッジのうち前記先端領域及び前記基端領域に載置される部分を除く部分がフリーとされ得る。
【００２２】
これに代えて、前記支持部が、前記第１圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第１基端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記先端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第１外方側／基端側薄肉部位と、前記第２圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第２基端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記先端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第２外方側／基端側薄肉部位とをさらに含むように構成し、前記第１圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側を、前記第１外方側／基端側薄肉部位の前記水平壁面に対向させた状態で電極層用第１外方側接着剤によって固着し、且つ、前記第２圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側を、前記第２外方側／基端側薄肉部位の前記水平壁面に対向させた状態で電極層用第２外方側接着剤によって固着することができる。
【００２３】
これに代えて、前記支持部が、前記第１圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第１先端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記基端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第１外方側／先端側薄肉部位と、前記第２圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第２先端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記基端領域との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存する第２外方側／先端側薄肉部位とをさらに含むように構成し、前記第１圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側を、前記第１外方側／先端側薄肉部位の前記水平壁面に対向させた状態で電極層用第１外方側接着剤によって固着し、且つ、前記第２圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側を、前記第２外方側／先端側薄肉部位の前記水平壁面に対向させた状態で電極層用第２外方側接着剤によって固着することも可能である。
【００２４】
若しくは、前記支持部が、前記第１圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第１基端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画される第１外方側／基端側薄肉部位と、前記第１圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第１先端側水平壁面のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記第１外方側／基端側薄肉部位との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存するように配置された第１外方側／先端側薄肉部位と、前記第２圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第２基端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面によって画される第２外方側／基端側薄肉部位と、前記第２圧電素子のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第２先端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記第２外方側／基端側薄肉部位との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存するように配置された第２外方側／先端側薄肉部位とをさらに含むように構成することができる。
この場合、前記第１圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第１外方側／基端側薄肉部位及び前記第１外方側／先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第１外方側接着剤によって固着され、且つ、前記第２圧電素子における前記支持部と対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側は、前記第２外方側／基端側薄肉部位及び前記第２外方側／先端側薄肉部位の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第２外方側接着剤によって固着される。
【００２５】
前記種々の構成において、好ましくは、前記支持部は、前記基端領域及び前記先端領域のサスペンション幅方向一端側同士及び他端側同士を連結する左右一対の連結梁をさらに有し得る。
【００２６】
又、本発明は、一対の第１及び第２圧電素子の下面側電極層がフレクシャ部に一体的に設けられた電圧供給配線に電圧供給用導電性接着剤を介して電気的に接続されている前記磁気ヘッドサスペンションを製造する方法を提供する。
本発明に係る製造方法は、前記一対の圧電素子を除く前記支持部，前記荷重曲げ部，前記ロードビーム部及び前記フレクシャ部が一体化されたプリアッセンブリを形成する工程と、前記プリアッセンブリを前記支持部に設けられた前記薄肉部位の水平壁面が上方を向くように配置させた状態で、前記第１基端側水平壁面，前記第１先端側水平壁面，前記第１内方側水平壁面にそれぞれ前記電極層用第１基端側接着剤，前記電極層用第１先端側接着剤及び前記電極層用第１内方側接着剤を塗布してから前記第１圧電素子を載置させ、且つ、前記第２基端側水平壁面，前記第２先端側水平壁面及び前記第２内方側水平壁面に前記電極層用第２基端側接着剤，前記電極層用第２先端側接着剤及び前記電極層用第２内方側接着剤を塗布してから前記第２圧電素子を載置させて、前記各接着剤の硬化を行う工程と、前記第１圧電素子の基端側端面及び先端側端面と前記第１基端側垂直壁面及び前記第１先端側垂直壁面との間にそれぞれ前記第１基端側絶縁性接着剤及び前記第１先端側絶縁性接着剤を充填し、且つ、前記第２圧電素子の基端側端面及び先端側端面と前記第２基端側垂直壁面及び前記第２先端側垂直壁面との間にそれぞれ前記第２基端側絶縁性接着剤及び前記第２先端側絶縁性接着剤を充填して、前記各接着剤の硬化を行う工程と、前記第１及び第２圧電素子の前記下面側電極層と前記カバー層に形成された開口を介して露出された前記電圧供給配線とを接続するように前記電圧供給用導電性接着剤を塗布し且つ硬化させる工程とを含む。
【００２７】
好ましくは、本発明に係る前記製造方法は、前記電圧供給用導電性接着剤の硬化を行った後に、前記電圧供給用導電性接着剤を囲繞するように絶縁性接着剤を塗布し且つ硬化させる工程をさらに含み得る。
【発明の効果】
【００２８】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、一対の圧電素子の各々は、伸縮動作量の最も大きいサスペンション幅方向外方側のエッジの少なくとも一部がフリーな状態で、支持部と対向する側の電極層の基端側，先端側及びサスペンション幅方向内方側が電極層用第１基端側接着剤，電極層用第１先端側接着剤及び電極層用第１内方側接着剤によって対応する薄肉部位の水平壁面にそれぞれ固着され、且つ、基端側の端面及び先端側の端面が第１基端側絶縁性接着剤及び第１先端側絶縁性接着剤によって対応する薄肉部位の垂直壁面にそれぞれ固着されているので、前記一対の圧電素子による磁気ヘッドスライダの微動特性の悪化を有効に防止しつつ、前記一対の圧電素子の支持安定化を図ることができ、これにより、磁気ヘッドサスペンションの振動モードの共振周波数の上昇及び耐衝撃性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図２】図２は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図３】図３は、図１におけるIII-III線に沿った断面図である。
【図４】図４は、図１におけるIV-IV線に沿った断面図である。
【図５】図５は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の下面図である。
【図６】図６（ａ）は、第１解析に用いた実施例に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の下面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）におけるVI-VI線に沿った断面図である。図６（ｃ）は、前記第１解析に用いた比較例に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の図６（ｂ）に対応した断面図である。
【図７】図７は、図６（ａ）〜図６（ｃ）に示す前記支持部を備えた前記実施例及び前記比較例に対して行ったスライダ変位特性に関する解析結果を示すグラフである。
【図８】図８は、図６（ａ）〜図６（ｃ）に示す前記支持部を備えた前記実施例及び前記比較例に対して行った耐衝撃性に関する解析結果を示すグラフである。
【図９】図９は、図６（ａ）〜図６（ｃ）に示す前記支持部を備えた前記実施例及び前記比較例に対して行った曲げ一次モードの共振周波数に関する解析結果を示すグラフである。
【図１０】図１０（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、図６（ａ）〜図６（ｃ）に示す前記支持部を備えた前記実施例及び前記比較例に対して行った捩れ一次モード及び捩れ二次モードの共振周波数に関する解析結果を示すグラフである。
【図１１】図１１は、図６（ａ）〜図６（ｃ）に示す前記支持部を備えた前記実施例及び前記比較例に対して行ったＳＷＡＹモードの共振周波数に関する解析結果を示すグラフである。
【図１２】図１２（ａ）は、第２解析に用いた実施例に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の下面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）におけるXII-XII線に沿った断面図である。
【図１３】図１３は、図１２（ａ）及び（ｂ）に示す前記支持部を備えた前記実施例に対して行ったスライダ変位特性に関する解析結果を示すグラフである。
【図１４】図１４は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１５】図１５は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図１６】図１６は、図１４におけるXVI-XVI線に沿った断面図である。
【図１７】図１７は、図１４におけるXVII-XVII線に沿った断面図である。
【図１８】図１８は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の下面図である。
【図１９】図１９は、図１８に示す前記支持部の変形例の下面図である。
【図２０】図２０は、前記実施の形態２の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの断面図であって、図１４におけるXVI-XVI線に沿った断面に対応する断面図である。
【図２１】図２１は、図２０に示す前記磁気ヘッドサスペンションの断面図であって、図１４におけるXVII-XVII線に沿った断面に対応する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１及び図２に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図２における○印は溶接点を示している。
又、図３及び図４に、それぞれ、図１におけるIII-III線及びIV-IV線に沿った断面図を示す。
【００３１】
図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッドスライダ５０をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッドスライダ５０に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに前記ディスク面と平行なシーク方向へ揺動される支持部１０Ａと、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０Ａに支持されるフレクシャ部４０と、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部１０Ａに装着された左右一対の第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）とを備えている。
【００３２】
前記支持部１０は、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００３３】
本実施の形態においては、前記支持部１０Ａは、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０Ａは、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３４】
図５に、前記支持部１０Ａの下面図を示す。なお、図５においては、前記一対の圧電素子６０を二点鎖線で示し、薄肉部分にハッチングを付している。
【００３５】
図１〜図５に示すように、前記支持部１０Ａは、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域１１と、前記基端領域からサスペンション長手方向先端側に間隙１９を介して離間され且つ前記荷重曲げ部が連結される先端領域と１２と、前記間隙１９を前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）にそれぞれ対応したサスペンション幅方向一方側及び他方側の第１及び第２間隙１９（１），１９（２）に分割するようにサスペンション幅方向中央において前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間を連結する中央梁１６とを有している。
【００３６】
本実施の形態においては、前記支持部１０Ａは、図１，図２及び図５に示すように、さらに、前記基端領域１１及び前記先端領域１２のサスペンション幅方向一端側同士及び他端側同士を連結する左右一対の連結梁１４を有している。
【００３７】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３８】
詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３を有している。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００３９】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００４０】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０Ａに連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００４１】
図１及び図２に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向するように配置された左右一対の板バネ２１を有している。
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００４２】
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
【００４３】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０を一体形成するロードビーム部／荷重曲げ部形成部材を有しており、前記ロードビーム部／荷重曲げ部形成部材における前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０Ａの前記先端領域１２における前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記ロードビーム部形成部材が前記支持部１０Ａに溶接されている。
【００４４】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０Ａに接合される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図２に示すように、前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０Ａにおける前記ディスク面との対向面に溶接等によって接合される本体領域４１と、前記本体領域４１から先端側へ延びる一対の支持片４２と、前記支持片４２によって支持された前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００４５】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００４６】
前記フレクシャ部４０は、前記ヘッド搭載領域４３がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ部４０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００４７】
なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０には、前記磁気ヘッド５０に書き込み信号及び／又は読み取り信号を伝達する為の信号配線がプリント回路として一体的に備えられている。
即ち、前記フレクシャ部４０は、図２に示すように、前記本体領域４１，前記一対の支持片４２及び前記ヘッド搭載領域４３を一体的に有するフレクシャ金属基板４００と、前記フレクシャ金属基板４００に積層されたフレクシャ配線体４１０とを有している。
【００４８】
前記フレクシャ配線体４１０は、図２及び図４に示すように、前記フレクシャ金属基板４００におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層４１１と、前記絶縁層４１１におけるディスク面との対向面に積層された導体層４１２と、前記導体層４１２を囲繞するカバー層４１３とを有し得る。
前記導体層４１２は、基端部が外部に電気的に接続可能とされ且つ先端部が前記磁気ヘッドスライダ５０に電気的に接続される信号配線４１２ａを含んでいる。
【００４９】
本実施の形態においては、前記フレクシャ金属基板４００の前記本体領域４１は、図２に示すように、前記ロードビーム部３０の前記本体領域３１，前記支持部１０Ａの前記先端領域１２及び前記基端領域１１にそれぞれ溶接によって接合されている。
【００５０】
前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々は、図３及び図４に示すように、ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）からなる圧電体６１と、前記圧電体６１の前記ディスク面と対向する側の下面に配設された下面側電極層６２と、前記圧電体６１の前記ディスク面とは反対側の上面に配設された上面側電極層６３とを有している。
前記圧電体６１は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍとされ、前記電極層６２，６３は、例えば厚さ０．０５μｍ〜数μｍのＮｉやＡｕによって形成される。
【００５１】
前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）は前記支持部に設けられた下記薄肉部位に装着されている。
詳しくは、図５に示すように、前記基端領域１１には、前記中央梁１６よりサスペンション幅方向一方側及び他方側にそれぞれ第１基端側薄肉部位１１０（１）及び第２基端側薄肉部位１１０（２）が形成されている。
【００５２】
前記第１基端側薄肉部位１１０（１）は、図３及び図５に示すように、前記ディスク面と対向する下面又は前記ディスク面とは反対側の上面の何れか一方側の第１面から他方側の第２面へ向けて延びる第１基端側垂直壁面１１０ａ（１）及び前記第１基端側垂直壁面１１０ａ（１）の先端から前記第１間隙１９（１）へ延びる第１基端側水平壁面１１０ｂ（１）によって画されている。
【００５３】
前記第２基端側薄肉部位１１０（２）は、図５に示すように、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第２基端側垂直壁面１１０ａ（２）及び前記第２基端側垂直壁面１１０ａ（２）の先端から前記第２間隙１９（２）へ延びる第２基端側水平壁面１１０ｂ（２）によって画されている。
【００５４】
又、前記先端領域１２には、図５に示すように、前記中央梁１６よりサスペンション幅方向一方側及び他方側にそれぞれ第１先端側薄肉部位１２０（１）及び第２先端側薄肉部位１２０（２）が形成されている。
【００５５】
前記第１先端側薄肉部位１２０（１）は、図３及び図５に示すように、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第１先端側垂直壁面１２０ａ（１）及び前記第１先端側垂直壁面１２０ａ（１）の先端から前記第１間隙１９（１）へ延びる第１先端側水平壁面１２０ｂ（１）によって画されている。
【００５６】
同様に、前記第２先端側薄肉部位１２０（２）は、図５に示すように、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第２先端側垂直壁面１２０ａ（２）及び前記第２先端側垂直壁面１２０ａ（２）の先端から前記第２間隙１９（２）へ延びる第２先端側水平壁面１２０ｂ（２）によって画されている。
【００５７】
さらに、前記中央梁１６には、図５に示すように、前記第１基端側薄肉部位１１０（１）及び前記第１先端側薄肉部位１２０（１）の間をつなげるように前記第１間隙１９（１）に接するエッジに設けられた第１内方側薄肉部位１６０（１）と、前記第２基端側薄肉部位１１０（２）及び前記第２先端側薄肉部位１２０（２）の間をつなげるように前記第２間隙１９（２）に接するエッジに設けられた第２内方側薄肉部位１６０（２）とが形成されている。
【００５８】
前記第１内方側薄肉部位１６０（１）は、前記第１基端側水平壁面１１０ｂ（１）及び前記第１先端側水壁壁面１２０ｂ（１）の双方の間に延びる第１内方側水平壁面１６０ｂ（１）を有している。
本実施の形態においては、前記第１内方側薄肉部位１６０（１）は、図４及び図５に示すように、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第１内方側垂直壁面１６０ａ（１）及び前記第１内方側垂直壁面１６０ａ（１）の先端から前記第１間隙１９（１）へ延びる前記第１内方側水平壁面１６０ｂ（１）によって画されている。
【００５９】
前記第２内方側薄肉部位１６０（２）は、前記第２基端側水平壁面１１０ｂ（２）及び前記第２先端側水壁壁面１２０ｂ（２）の双方の間に延びる第１内方側水平壁面１６０ｂ（２）を有している。
本実施の形態においては、前記第２内方側薄肉部位１６０（２）は、図５に示すように、前記第１面から前記第２面へ向けて延びる第２内方側垂直壁面１６０ａ（２）及び前記第２内方側垂直壁面１６０ａ（２）の先端から前記第２間隙１９（２）へ延びる前記第２内方側水平壁面１６０ｂ（２）によって画されている。
【００６０】
前記第１基端側水平壁面１１０ｂ（１），前記第１内方側水平壁面１６０ｂ（１）及び前記第１先端側水平壁面１２０ｂ（１）は前記第１圧電素子６０（１）が載置される第１圧電素子用載置面を形成するように連続的に延びている。
同様に、前記第２基端側水平壁面１１０ｂ（２），前記第２内方側水平壁面１６０ｂ（２）及び前記第２先端側水平壁面１２０ｂ（２）は前記第２圧電素子６０（２）が載置される第２圧電素子用載置面を形成するように連続的に延びている。
【００６１】
なお、本実施の形態においては、前記支持部１０Ａにおける前記ディスク面に対向する前記下面が前記第１面として作用しており、前記各水平壁面が前記ディスク面と対向している。
斯かる構成によれば、前記薄肉部位及び前記ボス部１５をプレス加工によって形成する際の製造作業効率を向上させることができる。
【００６２】
即ち、前記ボス部１５は、前記支持部１０Ａの前記基端領域１１における所定部位を前記下面から前記上面へ向けてプレス加工することによって形成される。
従って、前記各水平壁面が前記ディスク面に対向するように前記各薄肉部位をプレス加工によって形成することにより、前記各薄肉部位及び前記ボス部を同一方向へのプレス加工によって形成することができ、これにより、前記支持部１０Ａを形成する為の金型の構造簡略化及び前記支持部１０Ａの製造作業効率の向上を図ることができる。
【００６３】
前記薄肉部位が形成された前記支持部１０Ａに対して、前記一対の第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）は以下ように装着されている。
【００６４】
即ち、前記第１圧電素子６０（１）は、図２〜図５に示すように、サスペンション幅方向外方側のエッジの少なくとも一部がフリーな状態で、前記支持部１０Ａと対向する側の電極層（本実施の形態においては前記上面側電極層６３）の基端側，先端側及びサスペンション幅方向内方側が電極層用第１基端側接着剤８１（１），電極層用第１先端側接着剤８２（１）及び電極層用第１内方側接着剤８３（１）によって前記第１基端側水平壁面１１０ｂ（１）、前記第１先端側水平壁面１２０ｂ（１）及び前記第１内方側水平壁面１６０ｂ（１）にそれぞれ固着され、且つ、基端側端面、先端側端面及びサスペンション幅方向内方側端面が第１基端側絶縁性接着剤８５（１），第１先端側絶縁性接着剤８６（１）及び第１内方側絶縁性接着剤８７（１）によって前記第１基端側垂直壁面，１１０ａ（１），前記第１先端側垂直壁面１２０ａ（１）及び前記第１内方側垂直壁面１６０ａ（１）にそれぞれ固着されている。
【００６５】
同様に、前記第２圧電素子６０（２）は、サスペンション幅方向外方側のエッジの少なくとも一部がフリーな状態で、前記支持部１０Ａと対向する側の電極層の基端側，先端側及びサスペンション幅方向内方側が電極層用第２基端側接着剤，電極層用第２先端側接着剤及び電極層用第２内方側接着剤によって前記第２基端側水平壁面１１０ｂ（２），前記第２先端側水平壁面１２０ｂ（２）及び前記第２内方側水平壁面１６０ｂ（２）にそれぞれ固着され、且つ、基端側端面，先端側端面及びサスペンション幅方向内方側端面が第２基端側絶縁性接着剤，第２先端側絶縁性接着剤及び第２内方側絶縁性接着剤によって前記第２基端側垂直壁面１１０ａ（２），前記第２先端側垂直壁面１２０ａ（２）及び前記第２内方側垂直壁面１６０ａ（２）にそれぞれ固着されている。
【００６６】
斯かる構成の磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては以下の効果を得ることができる。
即ち、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々は、基端側端面の少なくとも一部が対応する前記基端側垂直壁面１１０ａ（１），１１０ａ（２）に対向した状態で対応する前記基端側絶縁性接着剤８５（１）によって固着され、且つ、先端側端面の少なくとも一部が対応する前記先端側垂直壁面１２０ａ（１），１２０ａ（２）に対向した状態で対応する前記先端側絶縁性接着剤８６（１）によって固着されている。
【００６７】
従って、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作を効率的に前記先端領域１２に伝達させることができ、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）による前記磁気ヘッドスライダ５０の微動特性（即ち、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作による前記先端領域１２の前記基端領域１１に対するシーク方向への変位し易さ）を向上させることができる。
【００６８】
さらに、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作性の悪化を有効に防止しつつ、前記一対の圧電素子６０（１）ｔ６０（２）の支持安定化を図ることができる。
【００６９】
即ち、前記磁気ヘッドスライダ５０を前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）によってシーク方向に微動させる際には、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の一方（例えばサスペンション幅方向一方側に位置する第１圧電素子６０（１））が伸長され且つ他方（例えばサスペンション幅方向他方側に位置する第２圧電素子６０（２））が圧縮される。
【００７０】
この際に、前記先端領域１２は、サスペンション幅方向中央部分がサスペンション長手方向に関し実質的に固定された状態でサスペンション幅方向一方側の端部がサスペンション長手方向先端側へ最も移動し且つサスペンション幅方向他方側の端部がサスペンション長手方向基端側へ最も移動するように、揺動する。
【００７１】
従って、このような前記先端領域１２の揺動動作に際して、前記第１圧電素子６０（１）は、サスペンション幅方向外方側エッジが最も大きく伸長し且つサスペンション幅方向内方側エッジが最も小さく伸長する。
一方、前記第２圧電素子６０（２）は、サスペンション幅方向外方側エッジが最も大きく圧縮し且つサスペンション幅方向内方側エッジが最も小さく圧縮する。
【００７２】
この点に関し、本実施の形態においては、前述の通り、前記一対の第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）は何れも、サスペンション幅方向外方側エッジの少なくとも一部がフリーな状態で、先端側及び基端側が前記先端領域１２及び前記基端領域１１にそれぞれ固着されることに加えて伸縮動作量の最も小さいサスペンション幅方向内方側が前記中央梁１６に固着されている。
【００７３】
従って、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作性、特に、最も大きく伸縮動作するサスペンション幅方向外方側での伸縮動作性が悪化することを有効に防止しつつ、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の支持安定化を図ることができる。
【００７４】
前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の支持安定化は該圧電素子６０（１），６０（２）及び前記支持部１０Ａを含む磁気ヘッドサスペンション１Ａの支持領域の曲げ剛性や捩れ剛性の向上につながり、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの振動モードの共振周波数の上昇及び耐衝撃性の向上が可能となる。
【００７５】
好ましくは、前記電極層用第１基端側接着剤８１（１），前記電極層用第１先端側接着剤８２（１）及び前記電極層用第１内方側接着剤８３（１）の少なくとも一つが導線性接着剤を含み、前記第１圧電素子６０（１）における前記支持部１０Ａと対向する側の電極層（本実施の形態においては前記上面側電極層６３）が前記導電性接着剤を介して前記支持部１０Ａに電気的に接続されることで接地電位とされる。
【００７６】
同様に、前記電極層用第２基端側接着剤，前記電極層用第２先端側接着剤及び前記電極層用第２内方側接着剤の少なくとも一つが導線性接着剤を含み、前記第２圧電素子６０（２）における前記支持部１０Ａと対向する側の電極層（本実施の形態においては前記上面側電極層６３）が前記導電性接着剤を介して前記支持部１０Ａに電気的に接続される。
【００７７】
このように、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々における前記支持部１０Ａと対向する側の電極層（本実施の形態においては前記上面側電極層６３）を前記支持部１０Ａに固着する為の前記接着剤に導電性接着剤を含めることにより、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々における一方側の電極層を接地電位とする為の構造簡略化を図ることができ、製造工程の簡略化及び材料コストの低廉化によるコストダウンを図ることができる。
【００７８】
さらに、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記フレクシャ配線体４１０を利用して前記下面側電極層６２に所定電圧を供給するように構成されている。
【００７９】
詳しくは、図２及び図４に示すように、前記フレクシャ配線体４１０の前記導体層４１２は、前記信号配線４１２ａに加えて、基端部が外部に電気的に接続可能とされた電圧供給配線４１２ｂを有している。
【００８０】
一方、前記フレクシャ配線体４１０の前記カバー層４１３には、図４に示すように、サスペンション長手方向に関し前記先端領域１２及び前記基端領域１１の間において前記電圧供給配線４１２ｂを露出させる開口４１３ａが形成されている。
【００８１】
そして、図４に示すように、前記開口４１３ａを介して露出された前記電圧供給配線４１２ｂと前記下面側電極層６２とが電圧供給用導電性接着剤８０ａを介して電気的に接続されている。
斯かる構成によれば、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）への電圧供給構造の簡略化を図ることができる。
【００８２】
好ましくは、前記電圧供給用導電性接着剤８０ａは絶縁性接着剤８０ｂによって囲繞される。
斯かる構成によれば、前記電圧供給用導電性接着剤８０ａに含まれるＡｇフィラー粒子の脱落を有効に防止できる。Ａｇフィラー粒子が前記ディスク面上に脱落すると、前記磁気ヘッドスライダ５０のクラッシュの原因となる。
【００８３】
前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の前記支持部１０Ａへの実装は、例えば、下記のようにして行われる。
【００８４】
まず、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）を除く他の構成部材、即ち、前記支持部１０Ａ，前記荷重曲げ部２０，前記ロードビーム部３０及び前記フレクシャ部４０を固着してプリアッセンブリを形成する。
【００８５】
前記プリアッセンブリを前記薄肉部位の水平壁面が上方を向くように配置させた状態で、前記電極層用第１基端側接着剤８１（１），前記電極層用第１先端側接着剤８２（１）及び前記電極層用第１内方側接着剤８３（１）を、それぞれ、前記第１基端側水平壁面１１０ｂ（１），前記第１先端側水平壁面１２０ｂ（１）及び前記第１内方側水平壁面１６０ｂ（１）に塗布して、その上に前記第１圧電素子６０（１）を載置させ、且つ、前記電極層用第２基端側接着剤，前記電極層用第２先端側接着剤及び前記電極層用第２内方側接着剤を、それぞれ、前記第２基端側水平壁面，前記第２先端側水平壁面及び前記第２内方側水平壁面に塗布して、その上に前記第２圧電素子６０（２）を載置させ、前記各接着剤の硬化（キュアー）を行う。なお、硬化は、テンパー炉等による熱硬化やＵＶ（紫外線）照射によって行われる。
【００８６】
次いで、前記第１圧電素子６０（１）の基端側端面，先端側端面及びサスペンション幅方向内方側端面と前記第１基端側垂直壁面１１０ａ（１），前記第１先端側垂直壁面１２０ａ（１）及び前記第１内方側垂直壁面１６０ａ（１）との間に、それぞれ、前記第１基端側絶縁性接着剤８５（１），前記第１先端側絶縁性接着剤８６（１）及び前記第１内方側絶縁性接着剤８７（１）を充填し、且つ、前記第２圧電素子６０（２）の基端側端面，先端側端面及びサスペンション幅方向内方側端面と前記第２基端側垂直壁面１１０ａ（２），前記第２先端側垂直壁面１２０ａ（２）及び前記第２内方側垂直壁面１６０ａ（２）との間に、それぞれ、前記第２基端側絶縁性接着剤，前記第２先端側絶縁性接着剤及び前記第２内方側絶縁性接着剤を充填し、その状態で前記各接着剤の硬化（キュアー）を行う。
【００８７】
その後に、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の前記下面側電極層６２と前記カバー層４１３に形成された前記開口４１３ａを介して露出された前記電圧供給配線４１２ｂとを接続するように前記電圧供給用導電性接着剤８０ａを塗布して硬化（キュアー）を行う。
そして、前記電圧供給用導電性接着剤８０ａを囲繞するように前記絶縁性接着剤８０ｂを塗布して硬化（キュアー）を行う。
【００８８】
ここで、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに対して有限要素法を用いて行った第１解析及び第２解析について説明する。
【００８９】
前記第１解析においては、図１及び図２に示す形状を有し且つ下記寸法を有する磁気ヘッドサスペンションを用いた。
・全体構成
ボス部の中心からディンプルの中心までの距離：１１．０ｍｍ
・支持部
材質：ステンレス
薄肉部位以外の領域の板厚：０．１５ｍｍ
薄肉部位の板厚：０．０７ｍｍ
・圧電素子
圧電体の材質：ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）
長さ：１．７ｍｍ
板厚：０．０６ｍｍ
・ロードビーム部
材質：ステンレス
板厚：０．０３ｍｍ
フランジ部のサスペンション長手方向中心線に対する傾斜角：１１ｄｅｇ
フランジ部の高さ：０．２５ｍｍ
フランジ部の本体部に対する傾斜角：７０ｄｅｇ
・荷重曲げ部
材質：ステンレス
板厚：０．０３ｍｍ
幅：０．６５ｍｍ
・フレクシャ部
フレクシャ金属基板の材質：ステンレス
フレクシャ金属基板の板厚：０．０２ｍｍ
【００９０】
図６（ａ）に、前記第１解析において用いた磁気ヘッドサスペンションにおける支持部１０Ａ（１）の下面図を示す。又、図６（ｂ）に、図６（ａ）におけるVI-VI線に沿った断面図を示す。なお、図６（ａ）においては、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）を二点鎖線で示し、薄肉部分にハッチングを付している。
【００９１】
図６（ａ）に示すように、前記支持部１０Ａ（１）においては、前記中央梁１６の全体が薄肉部位とされている。
【００９２】
前記第１解析においては、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々と前記中央梁１６との重合部分のサスペンション幅方向長さが変化するように、一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々の幅が異ならされた複数の磁気ヘッドサスペンション（以下、実施例1-(1)〜1-(5)という）を用いた。
【００９３】
具体的には、実施例1-(1)〜1-(5)において、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々は、それぞれ、幅が１．３ｍｍ、１．４ｍｍ、１．５ｍｍ，１．６ｍｍ及び１．７ｍｍとされており、サスペンション幅方向外方側エッジが所定位置（前記ボス部１５の中心からのサスペンション幅方向長さが１．８ｍｍの位置）に固定された状態で前記支持部１０Ａ（１）に装着されている。
【００９４】
従って、実施例1-(1)〜1-(5)においては、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々と前記中央梁１６との重合部分のサスペンション幅方向長さ（図６（ａ）における長さａ）は、それぞれ、０．１ｍｍ，０．２ｍｍ，０．３ｍｍ，０．４ｍｍ及び０．５ｍｍとなる。
【００９５】
又、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）と前記中央梁１６とが固着されていない点を除き前記実施例と同一構成の磁気ヘッドサスペンションを比較例9-(1)〜9-(5)として用意した。
図６（ｃ）に、前記比較例に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の断面図であって、図６（ｂ）に対応した断面図を示す。
【００９６】
さらに、前記長さａを−０．１ｍｍとした磁気ヘッドサスペンションを比較例９-(0)として用意した。なお、前記長さａ＝−０．１ｍｍとは、前記圧電素子６０（１），６０（２）の幅が１．１ｍｍとされており、従って、前記中央梁１６と圧電素子６０（１），６０（２）のサスペンション幅方向内方側エッジとの間に０．１ｍｍの間隙が存することを意味する。
【００９７】
前記実施例1-(1)〜1-(5)及び前記比較例9-(0)〜9-(5)のスライダ変位特性に関する解析結果を図７に示す。
なお、スライダ変位特性とは、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）に電圧１Ｖを印可した際における前記磁気ヘッドスライダ５０の先端のシーク方向変位量を意味する。
【００９８】
前記実施例1-(1)〜1-(5)及び前記比較例9-(0)〜9-(5)に対して前記ボス部１５を拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０をディスク面に直交するｚ方向には移動しないように拘束した状態でそれらの拘束領域に前記ディスク面に向かう方向の衝撃波（正弦半波）であって、パルス幅１．０ｍｓｅｃでピーク値１０００Ｇの衝撃波(正弦半波)を加えた際に、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）に発生する応力のうち最大の応力を求めた。その結果を図８に示す。
【００９９】
さらに、前記実施例1-(1)〜1-(5)及び前記比較例9-(0)〜9-(5)の曲げ一次モード、捩れ一次モード、捩れ二次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を求めた。
【０１００】
曲げ一次モードとは、磁気ヘッドサスペンションのｚ方向（ディスク面と直交する方向）の曲げ動作に関する振動モードであり、支持体の曲げ動作とロードビーム部の曲げ動作とが同位相で振動する振動モードである。
曲げ一次モードの共振周波数に関する解析結果を図９に示す。
【０１０１】
捩れ一次モードとは、荷重曲げ部の位置及びディンプルの位置がディスク面に直交するｚ方向の変位ゼロ（即ち、節）とされた状態で、サスペンション長手方向に関し２つの節の略中央部分がｚ方向変位最大（即ち、腹）となるように主としてロードビーム部のみがサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りに捩れる振動モードである。
【０１０２】
捩れ二次モードとは、支持部のうちディスク面に直交するｚ方向に関し固定される位置（本実施の形態におけるように前記支持部１０がベースプレートの場合には、前記アクチュエータに連結された前記キャリッジアームにかしめを介して固定される前記ボス部１５の位置であり、以下、支持部固定位置という）、ディンプルの位置及び前記支持部固定位置と前記ディンプルの位置との間のサスペンション長手方向略中央に位置するロードビーム部の中途位置の３箇所が節とされた状態で、サスペンション長手方向に関し前記支持部固定位置及び前記ロードビーム部の中途位置の間の略中央部分、並びに、サスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部の中途位置及び前記ディンプルの位置の間の略中央部分の２箇所が腹となるように前記支持部の前記支持部固定位置より先端側に位置する部分，前記荷重曲げ部及び前記ロードビーム部がサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りに捩れる振動モードである。
捩れ一次モード及び捩れ二次モードの共振周波数に関する解析結果を図１０（ａ）び（ｂ）にそれぞれ示す。
【０１０３】
ＳＷＡＹモードとは、シーク方向の振動を主とした磁気ヘッドサスペンションの主共振モードである。
ＳＷＡＹモードの共振周波数に関する解析結果を図１１に示す。
【０１０４】
図７から、実施例1-(1)〜1-(5)は、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）のサスペンション幅方向内方側エッジが前記中央梁１６に固着されているにも拘わらず、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）のサスペンション幅方向内方側エッジが前記中央梁１６に固着されていない比較例9-(0)〜9-(5)と略同一のスライダ変位特性を有していることが理解される。
【０１０５】
これは下記理由によるものと考えられる。
即ち、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）に電圧を印可して前記先端領域１２を前記基端領域１１に対してシーク方向へ変位させる際において前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）はサスペンション幅方向内方側エッジの伸縮動作量が最も小さくなる。
従って、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）のサスペンション幅方向内方側エッジを前記中央梁１６に固着させたとしても、スライダ変位特性は実質的に悪化することは無い。
【０１０６】
又、図８から、実施例は比較例に比して衝撃力印可時に前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）に付加される応力を低減させ得ることが理解される。
【０１０７】
これは下記理由によるものと考えられる。
即ち、比較例においては、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）は先端側及び基端側だけが前記先端領域１２及び前記基端領域１１に支持されているのに対し、実施例においては、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）は先端側及び基端側が前記先端領域１２及び前記基端領域１１に支持されていることに加えてサスペンション幅方向内方側が前記中央梁１６に支持されている。
【０１０８】
つまり、実施例は、比較例に比して、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）をより安定的に支持することができ、これにより、衝撃力印可時に前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）に付加される力を有効に低減させることができる。
【０１０９】
さらに、図９，図１０（ａ），図１０（ｂ）及び図１１から、実施例は、比較例に比して、曲げ一次モード，捩れ二次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させ得ることが理解される。
【０１１０】
これは下記理由によるものと考えられる。
即ち、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）による前記磁気ヘッドスライダ５０の微動を可能とする為には、前記支持部１０Ａのうち前記先端領域１２と前記基端領域１１との間に位置する領域の剛性を弱める必要がある。
【０１１１】
本実施の形態においては、前記先端領域１２を前記基端領域１１から前記間隙１９を存しつつサスペンション長手方向先端側に離間させ、両者を前記中央梁１６及び任意的に付加される前記一対の連結梁１４によって連結させ、これにより、前記先端領域１２と前記基端領域１１との間に位置する領域の剛性を弱めている。
【０１１２】
ここで、前記比較例においては、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）と前記中央梁１６とは非連結とされているのに対し、前記実施例においては、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）のサスペンション幅方向内方側エッジが前記中央梁１６に固着されている。
【０１１３】
つまり、前記実施例においては、前記中央梁１６と前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）とが相互に補完しあって補強しており、これにより、前記比較例に比して、前記先端領域１２と前記基端領域１１との間に位置する領域の剛性が強められている。
斯かる理由により、前記実施例は、前記比較例に比して、曲げ一次モード，捩れ二次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させ得ると解される。
【０１１４】
次に、前記第２解析について説明する。
前記第２解析においては、図１及び図２に示す形状を有し且つ下記寸法を有する磁気ヘッドサスペンションを用いた。
・全体構成
ボス部の中心からディンプルの中心までの距離：１１．０ｍｍ
・支持部
材質：ステンレス
薄肉部位以外の領域の板厚：０．１５ｍｍ
薄肉部位の板厚：０．０７ｍｍ
・圧電素子
圧電体の材質：ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）
長さ：１．７ｍｍ
幅：１．７ｍｍ
板厚：０．０６ｍｍ
・ロードビーム部
材質：ステンレス
板厚：０．０３ｍｍ
フランジ部のサスペンション長手方向中心線に対する傾斜角：１１ｄｅｇ
フランジ部の高さ：０．２５ｍｍ
フランジ部の本体部に対する傾斜角：７０ｄｅｇ
・荷重曲げ部
材質：ステンレス
板厚：０．０３ｍｍ
幅：０．６５ｍｍ
・フレクシャ部
フレクシャ金属基板の材質：ステンレス
フレクシャ金属基板の板厚：０．０２ｍｍ
【０１１５】
図１２（ａ）に、前記第２解析において用いた磁気ヘッドサスペンションにおける支持部１０Ａ（２）の下面図を示す。又、図１２（ｂ）に、図１２（ａ）におけるXII-XII線に沿った断面図を示す。
【０１１６】
前記第２解析においては、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々と前記中央梁１６との重合部分のサスペンション幅方向長さｂが変化するように、前記中央梁１６の幅が異ならされた複数の磁気ヘッドサスペンション（以下、実施例2-(1)〜2-(9)という）を用いた。
【０１１７】
具体的には、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）は互いの間の間隔（サスペンション幅方向内方側エッジ同士の離間幅）が０．２ｍｍとなるように装着されており、前記実施例2-(1)〜2-(9)は、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々と前記中央梁１６との重合部分のサスペンション幅方向長さｂが０ｍｍ，０．１ｍｍ，０．２ｍｍ，０．３ｍｍ，０．５ｍｍ，０．７ｍｍ，１．０ｍｍ，１．３ｍｍ及び１．７ｍｍとなるように前記中央梁１６の幅がそれぞれ０．２ｍｍ，０．４ｍｍ，０．６ｍｍ，０．８ｍｍ，１．２ｍｍ，１．６ｍｍ，２．２ｍｍ，２．８ｍｍ及び３．６ｍｍとされている。
【０１１８】
図１３に、前記実施例2-(1)〜2-(9)に対して行ったスライダ変位特性に関する解析結果を示す。
なお、図１３の横軸は、前記圧電素子６０（１），６０（２）の幅Ｗに対する前記重合部分のサスペンション幅方向長さｂの割合、即ち、ｂ／Ｗ×１００（％）としている。
【０１１９】
図１３から、ｂ／Ｗが０．１８以下の範囲となるように前記重合部分のサスペンション幅方向長さが設定されている構成は、前記圧電素子６０（１），６０（２）のサスペンション幅方向内方側エッジと前記中央梁１６とが固着されていない構成と実質的に同一のスライダ変位特性を有していることが理解される。
【０１２０】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
【０１２１】
図１４及び図１５に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図及び下面図を示す。
又、図１６及び図１７に、それぞれ、図１４におけるXVI-XVI線及びXVII-XVII線に沿った断面図を示す。
さらに、図１８に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおける支持部１０Ｂの下面図を示す。なお、図１８においては、前記一対の圧電素子６０を二点鎖線で示し、薄肉部分にハッチングを付している。
又、図中、前記実施の形態１におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１２２】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記支持部１０Ａが支持部１０Ｂに変更されている点において前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【０１２３】
詳しくは、前記実施の形態１においては、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々は、実質的にサスペンション幅方向外方側エッジの全体がフリーな状態で、先端側，基端側及びサスペンション幅方向内方側が、それぞれ、前記先端領域１２，前記基端領域１１及び前記中央梁１６に固着されている。
【０１２４】
これに対し、本実施の形態においては、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の各々は、先端側，基端側及びサスペンション幅方向内方側が、それぞれ、前記先端領域１２，前記基端領域１１及び前記中央梁１６に固着されていることに加えて、サスペンション幅方向外方側エッジの一部が前記支持部１０Ｂの固着されている。
【０１２５】
具体的には、前記支持部１０Ｂは、図１８に示すように、前記基端領域１１に形成された前記第１及び第２基端側薄肉部位１１０（１），１１０（２）、前記先端領域１２に形成された前記第１及び第２先端側薄肉部位１２０（１），１２０（２）、並びに、前記中央梁１６に形成された前記第１及び第２内方側薄肉部位１６０（１），１６０（２）に加えて、第１外方側／基端側薄肉部位１７０（１）、第１外方側／先端側薄肉部位１７５（１）、第２外方側／基端側薄肉部位１７０（２）及び第２外方側／先端側薄肉部位１７５（２）を有している。
【０１２６】
前記第１外方側／基端側薄肉部位１７０（１）は、前記第１圧電素子６０（１）のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第１基端側水平壁面１１０ｂ（１）のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面を有している。
【０１２７】
前記第１外方側／先端側薄肉部位１７５（１）は、前記第１圧電素子６０（１）のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第１先端側水平壁面１２０ｂ（１）のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面を有しており、且つ、前記第１外方側／基端側薄肉部位１７０（１）との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存するように配置されている。
【０１２８】
前記第２外方側／基端側薄肉部位１７０（２）は、前記第２圧電素子６０（２）のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第２基端側水平壁面のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向先端側へ延びる水平壁面を有している。
【０１２９】
前記第２外方側／先端側薄肉部位１７５（２）は、前記第２圧電素子６０（２）のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第２先端側水平壁面１２０ｂ（２）のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面を有し、且つ、前記第２外方側／基端側薄肉部位１７０（２）との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存するように配置されている。
【０１３０】
そして、前記第１圧電素子６０（１）は、基端側、先端側及びサスペンション幅方向内方側が前記基端領域１１，前記先端領域１２及び前記中央梁１６に固着されることに加えて、前記支持部１０Ｂと対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側が前記第１外方側／基端側薄肉部位１７０（１）及び前記第１外方側／先端側薄肉部位１７５（１）の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第１外方側接着剤によって固着されている。
【０１３１】
同様に、前記第２圧電素子６０（２）は、基端側、先端側及びサスペンション幅方向内方側が前記基端領域１１，前記先端領域１２及び前記中央梁１６に固着されることに加えて、前記支持部１０Ｂと対向する側の電極層のサスペンション幅方向外方側が前記第２外方側／基端側薄肉部位１７０（２）及び前記第２外方側／先端側薄肉部位１７５（２）の前記水平壁面と対向した状態で電極層用第２外方側接着剤によって固着されている。
【０１３２】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂによれば、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が前記支持部１０Ｂに固着されている為、前記実施の形態１に比して、スライダ変位特性が若干悪化するものの、曲げ剛性及び捩り剛性を向上させることができ、これにより、各振動モードの共振周波数をさらに上昇させると共に耐衝撃性を向上させることができる。
【０１３３】
なお、本実施の形態においては、前記支持部１０Ｂは、前記実施の形態１における前記支持部１０Ａと同様に、前記一対の連結梁１４を有している。
斯かる構成においては、好ましくは、図１８に示すように、前記一対の連結梁１４の一方を全体的に薄肉化して、前記第１基端側薄肉部位１１０（１），前記第１内方側薄肉部位１６０（１），前記第１先端側薄肉部位１２０（１），第１外方側／基端側薄肉部位１７０（１）及び第１外方側／先端側薄肉部位１７５（１）と共に単一の薄肉領域を形成することができる。
【０１３４】
同様に、好ましくは、図１８に示すように、前記一対の連結梁１４の他方を全体的に薄肉化して、前記第２基端側薄肉部位１１０（２），前記第２内方側薄肉部位１６０（２），前記第２先端側薄肉部位１２０（２），第２外方側／基端側薄肉部位１７０（２）及び第２外方側／先端側薄肉部位１７５（２）と共に単一の薄肉領域を形成することができる。
この好ましい構成によれば、前記薄肉部位の形成容易化を図ることができる。
【０１３５】
又、前記第１外方側／基端側薄肉部位１７０（１）及び前記第１外方側／先端側薄肉部位１７５（１）の何れか一方と前記第２外方側／基端側薄肉部位１７０（２）及び前記第２外方側／先端側薄肉部位１７５（２）の対応する一方とのみを備えるように前記支持部１０Ｂを変形することも可能である。
【０１３６】
図１９に、前記第１外方側／先端側薄肉部位１７５（１）及び前記第２外方側／先端側薄肉部位１７５（２）のみを備えた変形例に係る支持部１０Ｂ’の下面図を示す。
【０１３７】
斯かる変形例においては、前記第１外方側／先端側薄肉部位１７５（１）は、前記第１圧電素子６０（１）のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第１先端側水平壁面１２０ｂ（１）のサスペンション幅方向一端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記基端領域１１との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存するように配置される。
【０１３８】
同様に、前記第２外方側／先端側薄肉部位１７５（２）は、前記第２圧電素子６０（２）のサスペンション幅方向外方側エッジの一部が載置され得るように前記第２先端側水平壁面１２０ｂ（２）のサスペンション幅方向他端側からサスペンション長手方向基端側へ延びる水平壁面によって画され且つ前記基端領域１１との間にサスペンション長手方向に関し間隙を存するように配置される。
【０１３９】
前記実施の形態１及び２並びに前記種々の変形を含む構成において、好ましくは、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の壁面うち外方に露出する部分を囲繞用絶縁性接着剤９０によって囲繞することができる。
【０１４０】
斯かる構成によれば、ウエハから前記圧電素子６０（１），６０（２）をダイシングによって切り出す際に前記圧電素子６０（１），６０（２）の電極層の外側面に生じ得るバリが前記磁気ヘッドサスペンションの使用中に落下すること、及び／又は、前記圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作時に圧電体の粒子が落下することを有効に防止することができる。
【０１４１】
図２０及び図２１に、それぞれ、前記囲繞用絶縁性接着剤９０が適用された前記実施の形態２の変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂ''の断面図であって、図１４におけるXVI-XVI線及びXVII-XVII線に沿った断面に対応する断面図を示す。
【０１４２】
前記囲繞用絶縁性接着剤９０によって前記圧電素子６０（１），６０（２）の露出部分を囲繞することは、例えば、前記圧電素子６０（１），６０（２）が前記支持体１０Ｂに実装された状態の磁気ヘッドサスペンションを、前記圧電素子６０（１），６０（２）の前記上面側電極層６３又は前記下面側電極層６２の一方が上方に位置するように位置させた状態で、上方に位置する電極層に上方から前記囲繞用絶縁性接着剤９０を塗布して、前記囲繞用絶縁性接着剤９０を重力によって前記圧電素子６０（１），６０（２）におけるサスペンション幅方向外方側エッジのフリーな部分（前記支持部１０Ｂに連結されていない部分）を介して下方に位置する電極層上へ移動させてから硬化させること、若しくは、前記磁気ヘッドサスペンションを前記圧電素子６０（１），６０（２）の前記上面側電極層６３又は前記下面側電極層６２の一方が上方に位置するように位置させた状態で上方に位置する電極層に上方から前記囲繞用絶縁性接着剤９０を塗布し、その後に、前記磁気ヘッドサスペンションの上下を反転させて上方に移動された他方側の電極層に上方から前記囲繞用絶縁性接着剤９０を塗布し、一方側の電極層に塗布された絶縁性接着剤９０又は他方側の電極層に塗布された絶縁性接着９０の一部を前記圧電素子６０（１），６０（２）におけるサスペンション幅方向外方側エッジの端面へ移動させてから硬化させることによって、実現し得る。
【符号の説明】
【０１４３】
１Ａ，１Ｂ，１Ｂ''              磁気ヘッドサスペンション
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｂ’        支持部
１１                            基端領域
１２                            先端領域
１４                            連結梁
１６                            中央梁
１９                            間隙
１９（１），１９（２）          第１及び第２間隙
２０                            荷重曲げ部
３０                            ロードビーム部
４０                            フレクシャ部
５０                            磁気ヘッドスライダ
６０（１），６０（２）          第１及び第２圧電素子
６２                            下面側電極層
６３                            上面側電極層
８０ａ                          電圧供給用導電性接着剤
８０ｂ                          絶縁性接着剤
８１（１）                      電極層用第１基端側接着剤
８２（１）                      電極層用第１先端側接着剤
８３（１）                      電極層用第１内方側接着剤
８５（１）                      第１基端側絶縁性接着剤
８６（１）                      第１先端側絶縁性接着剤
８７（１）                      第１内方側絶縁性接着剤
１１０（１）                    第１基端側薄肉部位
１１０ａ（１）                  第１基端側垂直壁面
１１０ｂ（１）                  第１基端側水平壁面
１１０（２）                    第２基端側薄肉部位
１１０ａ（２）                  第２基端側垂直壁面
１１０ｂ（２）                  第２基端側水平壁面
１２０（１）                    第１先端側薄肉部位
１２０ａ（１）                  第１先端側垂直壁面
１２０ｂ（１）                  第１先端側水平壁面
１２０（２）                    第２先端側薄肉部位
１２０ａ（２）                  第２先端側垂直壁面
１２０ｂ（２）                  第２先端側水平壁面
１６０（１）                    第１内方側薄肉部位
１６０ａ（１）                  第１内方側垂直壁面
１６０ｂ（１）                  第１内方側水平壁面
１６０（２）                    第２内方側薄肉部位
１６０ａ（２）                  第２内方側垂直壁面
１６０ｂ（２）                  第２内方側水平壁面
１７０（１）                    第１外方側／基端側薄肉部位
１７０（２）                    第２外方側／基端側薄肉部位
１７５（１）                    第１外方側／先端側薄肉部位
１７５（２）                    第２外方側／先端側薄肉部位
４００                          フレクシャ金属基板
４１０                          フレクシャ配線体
４１１                          絶縁層
４１２                          導体層
４１２ａ                        信号配線
４１２ｂ                        電圧供給配線
４１３                          カバー層
４１３ａ                        開口
ＣＬ                            サスペンション長手方向中心線
【図１】
0005158990.tif 000002
【図２】
0005158990.tif 000003
【図３】
0005158990.tif 000004
【図４】
0005158990.tif 000005
【図５】
0005158990.tif 000006
【図６】
0005158990.tif 000007
【図７】
0005158990.tif 000008
【図８】
0005158990.tif 000009
【図９】
0005158990.tif 000010
【図１０】
0005158990.tif 000011
【図１１】
0005158990.tif 000012
【図１２】
0005158990.tif 000013
【図１３】
0005158990.tif 000014
【図１４】
0005158990.tif 000015
【図１５】
0005158990.tif 000016
【図１６】
0005158990.tif 000017
【図１７】
0005158990.tif 000018
【図１８】
0005158990.tif 000019
【図１９】
0005158990.tif 000020
【図２０】
0005158990.tif 000021
【図２１】
0005158990.tif 000022