(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置台に設置された所定物について、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向の位置決めを基台に対して行うユニットベース、Ｚ／チルトベース、Ｘベース、Ｙベース及び回転ベースを備えたステージ装置において、
前記ユニットベースは、
前記載置台に取り付けられた支柱を通す貫通穴を備え、前記基台に固定設置され、
前記Ｚ／チルトベースは、
前記ユニットベースに当接してＺ方向の距離及びチルトを調整する複数本のＺ／チルト調整部材、Ｘガイド部材が収容され当該Ｘガイド部材をＸ方向へ案内するＸガイド穴、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記ユニットベースの平面に対向し前記調整によって所定距離離して設けられ、
前記Ｘベースは、
前記Ｘガイド部材と一体的に構成され前記Ｘガイド部材との間で当該Ｘベースを把持するＸガイド把持部材、前記Ｘガイド把持部材を収容する溝、Ｙガイド部材が収容され当該Ｙガイド部材をＹ方向へ案内するＹガイド穴、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記Ｚ／チルトベースの平面に対向して設けられ、
前記Ｙベースは、
前記Ｙガイド部材と一体的に構成され前記Ｙガイド部材との間で当該Ｙベースを把持するＹガイド把持部材、前記Ｙガイド把持部材を収容する溝、前記回転ベースを回転させる基点となる凸部、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記Ｘベースの平面に対向して設けられ、
前記回転ベースは、
前記Ｙベースの凸部に嵌合して当該回転ベースを回転させる凹部、及び、前記支柱を取り付ける取り付け部材を備え、前記Ｙベースの平面に対向して設けられたことを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のステージ装置において、
前記Ｚ／チルトベースは、
前記ユニットベースの平面に対向した状態で前記所定距離離して固定する固定部材を備え、
前記Ｘベースは、
前記Ｚ／チルトベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、及び、前記Ｘガイド把持部材と一体的に構成されたＸガイド部材を、当該Ｘガイド部材が収容されている前記Ｘガイド穴に沿って移動させることにより、当該Ｘベース、Ｙベース及び回転ベースをＸ方向へ移動させるＸ軸調整器具を備え、
前記Ｙベースは、
前記Ｘベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、前記Ｙガイド把持部材と一体的に構成されたＹガイド部材を、当該Ｙガイド部材が収容されている前記Ｙガイド穴に沿って移動させることにより、当該Ｙベース及び回転ベースをＹ方向へ移動させるＹ軸調整器具、及び、当該Ｙベースに固定設置されたスタンドピンを備え、
前記回転ベースは、
前記Ｙベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、及び、前記スタンドピンにおける第１の側面を押圧し、または前記第１の側面に対して反対側の側面を押圧し、前記凸部を基点にして前記凹部を回転させることにより、当該回転ベースを回転方向へ移動させる回転用調整器具を備えたことを特徴とするステージ装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のステージ装置において、
前記所定物はカメラであり、前記回転ベース、Ｙベース、Ｘベース、Ｚ／チルトベース及びユニットベースは貫通穴を備え、当該貫通穴に前記カメラを収容するか、または当該貫通穴に前記カメラの光軸を通すことを特徴とするステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向の位置決めが可能なステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、Ｘ方向、Ｙ方向等の位置決めを行うステージ装置が知られている。例えば、特許文献１には、ガイドローラにて所定軸方向に案内される複数のステージ（ベース）により構成され、超音波モータによってＸ方向及びＹ方向の位置決めを行うステージ装置が記載されている。このステージ装置には、各ステージを案内するための仕組みとして、ガイドローラのＶ溝が鉛直方向に配置されている。これにより、オペレータは、ステージを鉛直上方へ持ち上げて分解し、メンテナンス作業が終了した後にその逆に組み立てればよいから、メンテナンス作業を簡単に行うことができる。
【０００３】
また、特許文献２には、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向の位置決めを行うステージ装置において、超音波モータによって位置決めを行い、ベースプレートの凹部に他のプレートを収容し、チルトプレートの凹部にＸ軸プレートを収容し、Ｘ軸プレートの凹部にＹ軸プレートを収容した構成が記載されている。このステージ装置のプレートの収容構造及び積層構造により、ステージ全体の小型化及び薄型化を実現することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−５８６２９号公報
【特許文献２】特開２００７−９５９４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述した特許文献１のステージ装置にはガイドローラが設けられているから、コストがかかってしまい、さらに、厚み方向及び平面方向のサイズが大きくなるから、ステージ装置全体として大型になってしまうという問題があった。また、特許文献２のステージ装置にはガイドローラが設けられておらず、小型化を実現しているが、収容構造をなしているから、ステージ全体として構成が複雑になりコストがかかってしまうという問題があった。
【０００６】
また、特許文献１，２のステージ装置は、いずれも超音波モータを用いることにより、電気的に精度高く位置決め調整を行うものであり、例えば、半導体製造工程における露光または電子ビーム描画のために、半導体ウェハを位置決め調整するために使用される。
【０００７】
これに対し、オペレータの手作業により調整つまみを操作して位置決めを行う簡易型のステージ装置においては、ステージ装置全体の小型化、低コスト化、及び位置決め調整作業の容易化を図ることにより、一層の簡易化を追求した装置であることが所望される。
【０００８】
そこで、本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向の位置決めが可能なステージ装置において、簡易な構成かつ小型化を実現し、オペレータの手作業による位置決め調整が容易なステージ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明によるステージ装置は、載置台に設置された所定物について、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向の位置決めを基台に対して行うユニットベース、Ｚ／チルトベース、Ｘベース、Ｙベース及び回転ベースを備えたステージ装置において、前記ユニットベースが、前記載置台に取り付けられた支柱を通す貫通穴を備え、前記基台に固定設置され、前記Ｚ／チルトベースが、前記ユニットベースに当接してＺ方向の距離及びチルトを調整する複数本のＺ／チルト調整部材、Ｘガイド部材が収容され当該Ｘガイド部材をＸ方向へ案内するＸガイド穴、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記ユニットベースの平面に対向し前記調整によって所定距離離して設けられ、前記Ｘベースが、前記Ｘガイド部材と一体的に構成され前記Ｘガイド部材との間で当該Ｘベースを把持するＸガイド把持部材、前記Ｘガイド把持部材を収容する溝、Ｙガイド部材が収容され当該Ｙガイド部材をＹ方向へ案内するＹガイド穴、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記Ｚ／チルトベースの平面に対向して設けられ、前記Ｙベースが、前記Ｙガイド部材と一体的に構成され前記Ｙガイド部材との間で当該Ｙベースを把持するＹガイド把持部材、前記Ｙガイド把持部材を収容する溝、前記回転ベースを回転させる基点となる凸部、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記Ｘベースの平面に対向して設けられ、前記回転ベースが、前記Ｙベースの凸部に嵌合して当該回転ベースを回転させる凹部、及び、前記支柱を取り付ける取り付け部材を備え、前記Ｙベースの平面に対向して設けられたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明によるステージ装置は、前記Ｚ／チルトベースが、前記ユニットベースの平面に対向した状態で前記所定距離離して固定する固定部材を備え、前記Ｘベースが、前記Ｚ／チルトベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、及び、前記Ｘガイド把持部材と一体的に構成されたＸガイド部材を、当該Ｘガイド部材が収容されている前記Ｘガイド穴に沿って移動させることにより、当該Ｘベース、Ｙベース及び回転ベースをＸ方向へ移動させるＸ軸調整器具を備え、前記Ｙベースが、前記Ｘベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、前記Ｙガイド把持部材と一体的に構成されたＹガイド部材を、当該Ｙガイド部材が収容されている前記Ｙガイド穴に沿って移動させることにより、当該Ｙベース及び回転ベースをＹ方向へ移動させるＹ軸調整器具、及び、当該Ｙベースに固定設置されたスタンドピンを備え、前記回転ベースが、前記Ｙベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、及び、前記スタンドピンにおける第１の側面を押圧し、または前記第１の側面に対して反対側の側面を押圧し、前記凸部を基点にして前記凹部を回転させることにより、当該回転ベースを回転方向へ移動させる回転用調整器具を備えたことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明によるステージ装置は、前記所定物がカメラであり、前記回転ベース、Ｙベース、Ｘベース、Ｚ／チルトベース及びユニットベースが貫通穴を備え、当該貫通穴に前記カメラを収容するか、または当該貫通穴に前記カメラの光軸を通すことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように、本発明のステージ装置は、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向の位置決めを行う複数のベースが積層して構成されているから、高さ寸法が小さくなり、全体として小型化を実現することができる。また、本発明のステージ装置には、位置決めのための案内移動可能な部材が設けられ、この部材により位置決め調整するための調整器具が設けられている。また、オペレータにより作業可能な箇所に、ベース間を固定するための固定部材が設けられている。これにより、ステージ装置は、位置決めのためにガイドローラ等の機械要素を備える必要がないから、簡易な構成にて位置決めを行うことができる。また、オペレータは、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向の位置決め調整時に、手作業にて、対象となる固定部材の締付けを緩め、調整器具を操作して位置決めを行い、操作の終了後に固定ネジの締付けを行えばよい。これにより、オペレータの手作業による位置決め調整が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態によるステージ装置の断面構造を示す概略図である。
【図２】ステージ装置を上方向（α方向）から見た上面構造を示す図である。
【図３】（１）は、回転ベースの構成を示す図である。（２）は、Ｙベースの構成を示す図である。（３）は、Ｘベースの構成を示す図である。（４）は、Ｚ／チルトベースの構成を示す図である。（５）はユニットベースの構成を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。本発明の実施形態によるステージ装置は、回転方向の位置決めを行う回転ベース、Ｙ方向の位置決めを行うＹベース、Ｘ方向の位置決めを行うＸベース、Ｚ方向及びチルトの位置決めを行うＺ／チルトベース、当該ステージ装置を基台に固定設置するユニットベース、カメラを固定設置する載置台、及び、回転ベースに載置台を取り付ける支柱を備えて構成される。各ベースは積層して構成され、隣のベースの平面に対向して設けられている。このステージ装置は、載置台に固定設置されたカメラを、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向に、オペレータの手作業によって移動案内することにより、カメラの光軸の位置決めを行うものである。
【００１５】
図１は、本発明の実施形態によるステージ装置の断面構造を示す概略図である。このステージ装置１は、回転ベース１０、Ｙベース２０、Ｘベース３０、Ｚ／チルトベース４０、ユニットベース５０、支柱７１及び載置台７０を備えて構成される。最上層（第１層）の回転ベース１０、第２層のＹベース２０、第３層のＸベース３０、第４層のＺ／チルトベース４０及び最下層（第５層）のユニットベース５０は積層構造になっており、回転ベース１０、Ｙベース２０、Ｘベース３０及びＺ／チルトベース４０は、隣のベースの平面に対向して隙間なく設けられている。また、Ｚ／チルトベース４０は、ユニットベース５０の平面に対向しており、ユニットベース５０との間で、Ｚ方向及びチルトの位置決めがされた所定距離離れて設けられている。尚、オペレータは、位置決め調整のために、回転用調整器具１００、Ｙ軸調整器具２００及びＸ軸調整器具３００を用いるが、これらの調整器具等は、説明の都合上省略してある。回転ベース１０、Ｙベース２０、Ｘベース３０、Ｚ／チルトベース４０及びユニットベース５０の厚みは約１０ｍｍである。
【００１６】
回転ベース１０に設けられた支柱固定ネジ１３は、支柱７１を回転ベース１０に取り付けている。支柱７１は、Ｙベース２０に設けられた支柱用穴２６、Ｘベース３０に設けられた支柱用穴３８、Ｚ／チルトベース４０に設けられた支柱用穴４６、及びユニットベース５０に設けられた支柱用／カメラ用窓穴５３を介して、載置台７０に取り付けられる。また、載置台７０には、ネジ止め等により、支柱７１が取り付けられ、カメラ８０が所定箇所に固定設置されている。尚、後述する図２に示すように、回転ベース１０には４本の支柱固定ネジ１３が設けられており、支柱７１の数は４本である。
【００１７】
図１に戻って、回転ベース１０に設けられた回転固定ネジ１１は、回転方向の位置決めがされた回転ベース１０をＹベース２０に固定している。Ｘベース３０に設けられたＸ固定ネジ３６は、Ｘ方向の位置決めがされたＸベース３０をＺ／チルトベース４０に固定している。ここで、Ｘ固定ネジ３６の頭部３６ａは、Ｙベース２０に設けられた支柱用／カメラ用窓穴２８（後述する図３（２）を参照）に収容される。これにより、Ｙベース２０とＸベース３０との間に隙間が生じることなく、Ｙベース２０とＸベース３０とを積層することができる。
【００１８】
Ｚ／チルトベース４０に設けられたＺ／チルト固定ネジ４４は、Ｚ方向及びチルトの位置決めがされたＺ／チルトベース４０をユニットベース５０に所定距離離して固定している。尚、図１には示してないが、Ｙベース２０に設けられたＹ固定ネジ２１は、Ｙ方向の位置決めがされたＹベース２０をＸベース３０に固定している。また、ユニットベース５０に設けられた基台固定ネジ５２は、ユニットベース５０を基台６０に固定設置している。これにより、ステージ装置１は、基台６０に固定設置される。そして、載置台７０に固定設置されたカメラ８０は、以下に説明する手順及び仕組みにより、基台６０を基準にして、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向に移動案内され、位置決めされる。
【００１９】
（回転方向の位置決め）
回転ベース１０に設けられた回転固定ネジ１１がオペレータによって緩められ、回転ベース１０がＹベース２０から開放された状態で、オペレータによる回転方向の調整操作が行われると、スタンドピン用穴１０２−１，１０２−２（後述する図２、図３（１）を参照）に挿入され突出した、Ｙベース２０に設けられたスタンドピン２９−１，２９−２（後述する図２、図３（１）（２））を基点にして、回転ベース１０が回転方向へ移動する。この場合、Ｙベース２０、Ｘベース３０、Ｚ／チルトベース４０及びユニットベース５０が基台６０に固定されているから、回転ベース１０、支柱７１、載置台７０及びカメラ８０は、回転方向へ移動する。これにより、カメラ８０は、回転方向に位置決め調整される。
【００２０】
（Ｘ方向の位置決め）
Ｘベース３０に設けられたＸカムフォロア（ナット）（Ｘガイド部材）３４は、Ｘカムフォロアのスタッドに挿入されて溝３５の底面にてＸベース３０に当接している。また、Ｘカムフォロア（ナット）３４は、Ｘカムフォロア（Ｘガイド把持部材）４２と一体になり、Ｘベース３０を把持している。Ｘ固定ネジ３６がオペレータによって緩められ、Ｘベース３０がＺ／チルトベース４０から開放された状態で、オペレータによるＸ方向の調整操作が行われると、Ｘカムフォロア（ナット）３４と一体になっているＸカムフォロア４２は、Ｚ／チルトベース４０に設けられたＸガイド穴４３に沿ってＸ方向へ移動する。この場合、Ｚ／チルトベース４０及びユニットベース５０が基台６０に固定されているから、Ｘベース３０、Ｙベース２０、回転ベース１０、支柱７１、載置台７０及びカメラ８０は、Ｘ方向へ移動する。これにより、カメラ８０は、Ｘ方向に位置決め調整される。
【００２１】
また、Ｘカムフォロア（ナット）３４は、Ｘベース３０に設けられた溝３５に収容され、Ｘカムフォロア（ナット）３４の高さサイズが溝３５の深さよりも短いから、Ｙベース２０とＸベース３０との間に隙間が生じることなく、Ｙベース２０とＸベース３０とを重ねて固定することができる。
【００２２】
（Ｚ方向及びチルトの位置決め）
Ｚ／チルトベース４０に設けられたＺ／チルト固定ネジ４４がオペレータによって緩められ、Ｚ／チルトベース４０がユニットベース５０から開放された状態で、オペレータはＺ方向及びチルトの調整操作を行う。すなわち、オペレータは工具等を用いてＺ／チルト調整ネジ４５を回して操作する。そうすると、Ｚ／チルト調整ネジ４５の先端面４５ａがユニットベース５０の上面に接したまま、Ｚ／チルトベース４０は上方向または下方向（Ｚ方向）へ移動する。この場合、ユニットベース５０が基台６０に固定されているから、Ｚ／チルトベース４０、Ｘベース３０、Ｙベース２０、回転ベース１０、支柱７１、載置台７０及びカメラ８０は、Ｚ方向へ移動する。これにより、カメラ８０は、Ｚ方向に位置決め調整される。また、後述する図２に示すように、Ｚ／チルト調整ネジ４５は、Ｚ／チルトベース４０上の四隅（Ｚ／チルトベース４０は略四角形に形成されており、略四角形の頂点に近い箇所）に設けられている。これら４本のＺ／チルト調整ネジ４５を回す度合いを変えることにより、カメラ８０のチルト（傾き）が調整される。
【００２３】
（Ｙ方向の位置決め）
尚、図１には示してないが、後述する図２及び図３（２）（３）を参照して、Ｙベース２０に設けられたＹカムフォロア（ナット）（Ｙガイド部材）２３は、Ｙカムフォロアのスタッドに挿入されて溝２４の底面にてＹベース２０に当接している。また、Ｙカムフォロア（ナット）２３は、Ｙカムフォロア（Ｙガイド把持部材）３２と一体になり、Ｙベース２０を把持している。Ｙ固定ネジ２１がオペレータによって緩められ、Ｙベース２０がＸベース３０から開放された状態で、オペレータによるＹ方向の調整操作が行われると、Ｙカムフォロア（ナット）２３と一体になっているＹカムフォロア３２は、Ｘベース３０に設けられたＹガイド穴３３に沿ってＹ方向へ移動する。この場合、Ｘベース３０、Ｚ／チルトベース４０及びユニットベース５０が基台６０に固定されているから、Ｙベース２０、回転ベース１０、支柱７１、載置台７０及びカメラ８０は、Ｙ方向へ移動する。これにより、カメラ８０は、Ｙ方向に位置決め調整される。
【００２４】
また、Ｙカムフォロア（ナット）２３は、Ｙベース２０に設けられた溝２４に収容され、Ｙカムフォロア（ナット）２３の高さサイズが溝２４の深さよりも短いから、回転ベース１０とＹベース２０との間に隙間が生じることなく、回転ベース１０とＹベース２０とを重ねて固定することができる。
【００２５】
したがって、カメラ８０は、ステージ装置１が基台６０に固定設置された状態で、オペレータの手作業により、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向に移動案内され、位置決めが行われる。これにより、カメラ８０の光軸が決定される。
【００２６】
このように、ステージ装置１によれば、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向の位置決めを行う複数のベース１０，２０，３０，４０，５０が積層して構成されているから、簡易な構成を実現できると共に、高さサイズが小さくなる。したがって、ステージ装置１全体として小型化を実現することができる。
【００２７】
図２は、ステージ装置１を上方向（α方向）から見た上面構造を示す図である。図２に示すように、ステージ装置１は、最上層から最下層へ向けて、回転ベース１０、Ｙベース２０、Ｘベース３０、Ｚ／チルトベース４０及びユニットベース５０を備え、これらが積層構造になっている。
【００２８】
最上層（第１層）の回転ベース１０は、ネジ穴１２に貫通して当該回転ベース１０をＹベース２０に固定するための２本の回転固定ネジ１１、支柱７１を取り付けるための４本の支柱固定ネジ１３、及び２セットの回転用調整器具１００を備えている。これにより、オペレータは、回転方向の位置決め調整のために、回転固定ネジ１１に対しステージ装置１の上方向からアクセスすることができ、回転用調整器具１００を操作することができる。また、回転ベース１０には、Ｘ固定ネジ用窓穴１４が設けられている。回転用調整器具１００については後述する。
【００２９】
第２層のＹベース２０は、ネジ穴２２に挿入されて当該Ｙベース２０をＸベース３０に固定するための４本のＹ固定ネジ２１、及び１セットのＹ軸調整器具２００等を備えている。その他、Ｙカムフォロア（ナット）２３等も備えているが、ここでは省略する。このＹ軸調整器具２００の連結バー２０２と、後述するＸベース３０に備えたＹ軸固定器具３１０の連結バー３１１とは接合されており、Ｙ方向の位置決め調整時の調整つまみ２０１の操作に伴い、固定されたＸベース３０に対し、Ｙベース２０及び回転ベース１０がＹ方向へ移動するようになっている。また、Ｙ固定ネジ２１及びネジ穴２２は、最上層の回転ベース１０と第２層のＹベース２０との間の積層部から外れた箇所に設けられている。また、Ｙベース２０には、支柱用／カメラ用窓穴２８が設けられている（図示せず）。これにより、オペレータは、Ｙ方向の位置決め調整のために、Ｙ固定ネジ２１に対しステージ装置１の上方向からアクセスすることができ、Ｙ軸調整器具２００を操作することができる。Ｙ軸調整器具２００については後述する。
【００３０】
第３層のＸベース３０は、ネジ穴３７に挿入されて当該Ｘベース３０をＺ／チルトベース４０に固定するための４本のＸ固定ネジ３６、１セットのＸ軸調整器具３００、Ｙ軸調整器具２００に対応した１セットのＹ軸固定器具３１０等を備えている。その他、Ｘカムフォロア（ナット）３４等も備えているが、ここでは省略する。このＸ軸調整器具３００の連結バー３０２と、後述するＺ／チルトベース４０に備えた連結バー４０１とは接合されており、Ｘ方向の位置決め調整時の調整つまみ３０１の操作に伴い、固定されたＺ／チルトベース４０に対し、Ｘベース３０、Ｙベース２０及び回転ベース１０がＸ方向へ移動するようになっている。また、Ｘ固定ネジ３６及びネジ穴３７は、最上層の回転ベース１０に設けられたカメラ用窓穴１５、及び第２層のＹベース２０に設けられた支柱用／カメラ用窓穴２８（図示せず）によって、回転ベース１０とＹベース２０とＸベース３０との間の積層部から外れた箇所に設けられている。これにより、オペレータは、Ｘ方向の位置決め調整のために、Ｘ固定ネジ３６に対し、カメラ用窓穴１５及び支柱用／カメラ用窓穴２８を介してステージ装置１の上方向からアクセスすることができ、Ｘ軸調整器具３００を操作することができる。Ｘ軸調整器具３００については後述する。
【００３１】
第４層のＺ／チルトベース４０は、４本のＺ／チルト固定ネジ４４、４本のＺ／チルト調整ネジ４５、及び１セットのＸ軸固定器具４００等を備えている。その他、Ｘガイド穴４３等が設けられているが、ここでは省略する。このＺ／チルト固定ネジ４４及びＺ／チルト調整ネジ４５は、回転ベース１０とＹベース２０とＸベース３０とＺ／チルトベース４０との間の積層部から外れた箇所に設けられている。これにより、オペレータは、Ｚ方向及びチルトの位置決め調整のために、Ｚ／チルト固定ネジ４４及びＺ／チルト調整ネジ４５に対しステージ装置１の上方向からアクセスすることができる。
【００３２】
最下層（第５層）のユニットベース５０は、４本の基台固定ネジ５２等を備えている。その他、Ｚ／チルト固定ネジ溝５１等が設けられているが、ここでは省略する。この基台固定ネジ５２は、回転ベース１０とＹベース２０とＸベース３０とＺ／チルトベース４０とユニットベース５０との間の積層部から外れた箇所に設けられている。これにより、オペレータは、ステージ装置１を基台６０に設置するために、基台固定ネジ５２に対しステージ装置１の上方向からアクセスすることができる。
【００３３】
このように、ステージ装置１によれば、オペレータの手作業による位置決め調整のために必要な回転固定ネジ１１、Ｙ固定ネジ２１、Ｘ固定ネジ３６、Ｚ／チルト固定ネジ４４及びＺ／チルト調整ネジ４５を、ステージ装置１内部に設けることなく、ステージ装置１の上方向（α方向）からアクセス可能な箇所に設けるようにした。具体的には、回転ベース１０を最上層に設けるようにしたから、オペレータは回転固定ネジ１１にアクセスすることができる。また、回転ベース１０及びＹベース２０の積層部から外れた箇所にＹ固定ネジ２１を設けるようにしたから、オペレータはＹ固定ネジ２１にアクセスすることができる。また、回転ベース１０にＸ固定ネジ用窓穴１４を設け、Ｙベース２０に支柱用／カメラ用窓穴２８（後述する図３（２）を参照）を設けるようにしたから、オペレータはＸ固定ネジ３６に、Ｘ固定ネジ用窓穴１４及び支柱用／カメラ用窓穴２８を介してアクセスすることができる。また、回転ベース１０、Ｙベース２０、Ｘベース３０及びＺ／チルトベース４０の積層部から外れた箇所にＺ／チルト固定ネジ４４及びＺ／チルト調整ネジ４５を設けるようにしたから、オペレータはＺ／チルト固定ネジ４４及びＺ／チルト調整ネジ４５にアクセスすることができる。これにより、位置決め調整の時には、オペレータは、ステージ装置１の上方向（α方向）からアクセスして、対象となる固定ネジの締付けを緩め、対象となる回転用調整器具１００、Ｙ軸調整器具２００またはＸ軸調整器具３００を操作し、若しくはＺ／チルト調整ネジ４５にアクセスし、そして、固定ネジの締付けを行えばよい。したがって、オペレータは、手作業による位置決め調整を、容易に行うことができる。また、Ｘ固定ネジ用窓穴１４等を設けるようにしたから、ステージ装置１の小型化を実現することができる。
【００３４】
さらに、ステージ装置１によれば、支柱７１をステージ装置１内部に収容するために、Ｙベース２０に支柱用穴２６を設け、Ｘベース３０に支柱用穴３８を設け、Ｚ／チルトベース４０に支柱用穴４６を設け、ユニットベース５０に支柱用／カメラ用窓穴５３を設けるようにした。これにより、ステージ装置１の更なる小型化を実現することができる。
【００３５】
図３は、各ベースの構成を示す図である。以下、図１及び図２に示した各ベースの構成について、詳細に説明する。（１）は、回転ベース１０の上面図であり、（１．１）は、（１）におけるｄ１−ｄ２の断面図である。回転ベース１０は、全体として板状に形成されており、上方向から見ると略正方形である。サイズは約１９０×１９０ｍｍである。回転ベース１０には２箇所のネジ穴１２が設けられており、ネジ穴１２に挿入された回転固定ネジ１１が、Ｙベース２０に設けられた回転固定ネジ溝２５に挿入されることにより、回転ベース１０はＹベース２０に積層にて固定される。回転ベース１０には、４本の支柱固定ネジ１３により４本の支柱７１が取り付けられている。また、回転ベース１０には４個のＸ固定ネジ用窓穴１４及び１個のカメラ用窓穴１５が設けられている。
【００３６】
回転ベース１０は、２セットの回転用調整器具１００を備えている。回転用調整器具１００は、回転方向の位置決め調整を行うための調整つまみ１０１−１〜１０１−４を備えており、それぞれ４箇所のネジ止めによってブラケット１０３にて回転ベース１０に固定されている。回転用調整器具１００のブラケット１０３に設けられた固定ネジ１３は溝１６に収容されている。また、回転用調整器具１００には、Ｙベース２０に固定設置されたスタンドピン２９−１，２９−２が挿入されるスタンドピン用穴１０２−１，１０２−２が設けられており、回転方向に移動する際には、スタンドピン用穴１０２−１，１０２−２から突出したスタンドピン２９−１，２９−２を基点にして、回転ベース１０がスタンドピン用穴１０２−１，１０２−２に沿って回転方向に移動する。つまり、スタンドピン用穴１０２−１，１０２−２は、スタンドピン２９−１，２９−２を収容すると共に、回転方向の調整に際しては、スタンドピン２９−１，２９−２に接触しないように回転ベース１０が移動するサイズになっている。
【００３７】
（１．１）を参照して、回転ベース１０のｄ１−ｄ２断面図において、回転ベース１０の中央部にはカメラ用窓穴１５に加え、凹部１７が設けられている。凹部１７には、Ｙベース２０に備えた凸部２７が挿入される。回転方向の位置決め調整の際には、Ｙベース２０に備えた凸部２７の周面に沿って、凹部１７の周面が回転する。これにより、回転ベース１０が回転する。また、回転ベース１０には、支柱固定ネジ１３が貫通するネジ穴１３ａ及びネジ穴１２が設けられている。
【００３８】
次に、回転方向の位置決め調整について説明する。まず、オペレータは、工具等を用いて回転固定ネジ１１を緩めることにより、回転ベース１０をＹベース２０から開放した状態にする。そして、例えば、時計の反対方向へ回転移動させる場合には、回転用調整器具１００の調整つまみ１０１−２，１０１−４を操作して緩める。これにより、スタンドピン用穴１０２−１，１０２−２から突出したスタンドピン２９−１，２９−２と、スタンドピン２９−１，２９−２に圧接していた調整つまみ１０１−２，１０１−４の先端面との間に、緩めた長さ分のスペースが生成される。そして、調整つまみ１０１−１，１０１−３を締める方向に操作することにより、スタンドピン２９−１，２９−２に圧接している調整つまみ１０１−１，１０１−３の先端面がスタンドピン２９−１，２９−２を押圧する。スタンドピン２９−１，２９−２はＹベース２０に固定設置されており、Ｙベース２０が、Ｘベース３０、Ｚ／チルトベース４０及びユニットベース５０を介して基台６０に固定設置されているから、スタンドピン２９−１，２９−２の位置は変わらない。一方、回転ベース１０はＹベース２０から開放されている。このため、調整つまみ１０１−１，１０１−３を締める方向へ操作することによって生じる、調整つまみ１０１−１，１０１−３の先端面からスタンドピン２９−１，２９−２への押圧によって、回転ベース１０は、スタンドピン２９−１，２９−２と調整つまみ１０１−２，１０１−４の先端面との間のスペース内で、時計の反対方向へ回転移動する。すなわち、調整つまみ１０１−１，１０１−３を締める方向へ操作して先端面を移動させた距離が、回転ベース１０において時計の反対方向へ回転した距離に相当する。
【００３９】
オペレータは、調整つまみ１０１−１，１０１−３を締める方向への操作を行い、回転ベース１０を、時計の反対方向の所定位置へ回転移動させた後、工具等を用いて回転固定ネジ１１を締め付けることにより、回転ベース１０をＹベース２０に固定する。そして、緩んだ状態の調整つまみ１０１−２，１０１−４を締める方向に操作して、調整つまみ１０１−２，１０２−４の先端面をスタンドピン２９−１，２９−２に圧接する。これにより、回転ベース１０とＹベース２０とは、回転固定ネジ１１により固定され、スタンドピン２９−１は、調整つまみ１０１−１の先端面と調整つまみ１０１−２の先端面とにより両側から挟み込まれた状態になる。同様に、スタンドピン２９−２は、調整つまみ１０１−３の先端面と調整つまみ１０１−４の先端面とにより両側から挟み込まれた状態になる。したがって、回転ベース１０は回転移動することなく、固定状態となる。このようにして、時計の回転とは反対方向の位置決め調整が行われる。
【００４０】
これに対し、時計方向へ回転移動させる場合には、工具等を用いて回転固定ネジ１１を緩め、回転用調整器具１００の調整つまみ１０１−１，１０１−３を操作して緩めた後、調整つまみ１０１−２，１０１−４を締める方向に操作する。これにより、回転ベース１０は、時計方向へ回転移動する。この場合、調整つまみ１０１−２，１０１−４を締める方向へ操作して移動させた距離が、回転ベース１０において時計方向へ回転した距離に相当する。そして、調整つまみ１０１−２，１０１−４を締める方向への操作を行い、回転ベース１０を、時計方向の所定位置へ回転移動させた後、工具等を用いて回転固定ネジ１１を締め付け、緩んだ状態の調整つまみ１０１−２，１０１−４を締める方向に操作する。このようにして、時計の回転方向の位置決め調整が行われる。
【００４１】
（２）は、Ｙベース２０の上面図であり、（２．１）は、Ｙベース２０の側面図であり、（２．２）は、（２）におけるｃ１−ｃ２の断面図である。Ｙベース２０は、全体として板状に形成されており、上方向から見ると略正方形である。サイズは約２４０×２４０ｍｍである。Ｙベース２０には２箇所の回転固定ネジ溝２５が設けられており、回転ベース１０とＹベース２０とを固定するために回転固定ネジ１１が挿入される。また、Ｙベース２０は、回転ベース１０を回転方向へ移動させるための基点となるスタンドピン２９−１，２９−２を備えている。このスタンドピン２９−１，２９−２は、回転ベース１０の回転用調整器具１００に設けられたスタンドピン用穴１０２−１，１０２−２から貫通して突出する。突出したスタンドピン２９−１は、両面から調整つまみ１０１−１，１０１−２により圧接される。同様に、突出した２９−２は、両面から調整つまみ１０１−３，１０１−４により圧接される。
【００４２】
Ｙベース２０には４箇所のネジ穴２２が設けられており、ネジ穴２２に挿入されたＹ固定ネジ２１が、Ｘベース３０に設けられたＹ固定ネジ溝３１に挿入されることにより、Ｙベース２０は、Ｘベース３０に積層して固定される。また、Ｙベース２０には４箇所の溝２４が設けられており、溝２４に収容されたＹカムフォロア（ナット）２３、及びＸベース３０に設けられたＹカムフォロア３２が、Ｙベース２０を挟み込んでいる。このＹカムフォロア３２が、Ｘベース３０に設けられたＹガイド穴３３を移動することにより、Ｘベース３０に対してＹベース２０が移動し、Ｙ方向の位置決め調整が行われる。また、Ｙベース２０には４個の凸部２７が設けられている。この凸部２７が回転ベース１０の凹部１７に挿入され、回転ベース１０とＹベース２０とが積層して固定される。
【００４３】
Ｙベース２０には４個の支柱用穴２６及び１個の支柱用／カメラ用窓穴２８が設けられている。支柱用穴２６には支柱７１が貫通される。
【００４４】
Ｙベース２０は、１セットのＹ軸調整器具２００を備えている。Ｙ軸調整器具２００は、Ｙ方向の位置決め調整を行うための調整つまみ２０１、及び、Ｘベース３０に備えたＹ軸固定器具３１０の連結バー３１１に接合した連結バー２０２を備えており、固定器具２０３にてＹベース２０の本体に固定されている。固定器具２０３には、調整つまみ２０１の操作に連動する可動部が取り付けられており、この可動部は、Ｘベース３０に固定された連結バー２０２を基点にして、固定器具２０３を介してＹベース２０本体をＹ方向へ移動させるように可動する。
【００４５】
（２．１）を参照して、Ｙベース２０の側面図において、Ｙベース２０の中央部には凸部２７−２が設けられており、その両側には、凸部２７−１，２７−３が設けられている。前述したとおり、凸部２７−１〜２７−４は、回転ベース１０の凹部１７に挿入される。
【００４６】
（２．２）を参照して、Ｙベース２０のｃ１−ｃ２断面図において、Ｙベース２０の中央部には支柱用／カメラ用窓穴２８が設けられ、その両側には、凸部２７−１，２７−３、支柱用穴２６及び回転固定ネジ溝２５が設けられている。
【００４７】
次に、Ｙ方向の位置決め調整について説明する。まず、オペレータは、工具等を用いてＹ固定ネジ２１を緩めることにより、Ｙベース２０をＸベース３０から開放した状態にする。そして、Ｙ軸調整器具２００の調整つまみ２０１を締める方向または緩める方向に操作することにより、固定された連結バー２０２を基点にして、Ｙベース２０をＹ方向へ移動させる。連結バー２０２は、Ｘベース３０の連結バー３１１に接合されており、Ｘベース３０が、Ｚ／チルトベース４０及びユニットベース５０を介して基台６０に固定設置されているから、連結バー２０２の位置は変わらない。一方、Ｙベース２０はＸベース３０から開放されている。このため、調整つまみ２０１を締める方向または緩める方向へ操作することにより、調整つまみ２０１の先端にある可動部が、固定された連結バー２０２に対して移動し、固定器具２０３を介してＹベース２０はＹ方向へ移動する。すなわち、調整つまみ２０１を操作してその先端の可動部を移動させた距離が、回転ベース１０のＹ方向へ移動した距離に相当する。
【００４８】
オペレータは、調整つまみ２０１を締める方向または緩める方向への操作を行い、Ｙベース２０を所定位置へ移動させた後、工具等を用いてＹ固定ネジ２１を締め付けることにより、Ｙベース２０をＸベース３０に固定する。これにより、Ｙベース２０とＸベース３０とは、Ｙ固定ネジ２１により固定される。このようにして、Ｙ方向の位置決め調整が行われる。
【００４９】
（３）は、Ｘベース３０の上面図である。Ｘベース３０は、全体として板状に形成されており、上方向から見ると略正方形である。サイズは約２２０×２２０ｍｍである。Ｘベース３０には４箇所のＹ固定ネジ溝３１が設けられており、Ｙベース２０とＸベース３０とを固定するためにＹ固定ネジ２１が挿入される。また、Ｘベース３０には４箇所のＹガイド穴３３が設けられており、Ｙガイド穴３３にはＹベース２０をＹ方向に案内するためのＹカムフォロア３２が挿入されている。前述のとおり、Ｙカムフォロア３２とＹカムフォロア（ナット）２３とは一体になっており、Ｙベース２０を挟み込んでいる。
【００５０】
Ｘベース３０には４箇所のネジ穴３７が設けられており、ネジ穴３７に挿入されたＸ固定ネジ３６が、Ｚ／チルトベース４０に設けられたＸ固定ネジ溝４１に挿入されることにより、Ｘベース３０は、Ｚ／チルトベース４０に積層して固定される。また、Ｘベース３０には４箇所の溝３５が設けられており、溝３５に収容されたＸカムフォロア（ナット）３４、及びＺ／チルトベース４０に設けられたＸカムフォロア４２が、Ｘベース３０を挟み込んでいる。このＸカムフォロア４２が、Ｚ／チルトベース４０に設けられたＸガイド穴４３を移動することにより、Ｚ／チルトベース４０に対してＸベース３０が移動し、Ｘ方向の位置決め調整が行われる。
【００５１】
Ｘベース３０には４個の支柱用穴３８及び１個のカメラ用窓穴３９が設けられている。支柱用穴３８には支柱７１が貫通される。
【００５２】
Ｘベース３０は、１セットのＸ軸調整器具３００及び１セットのＹ軸固定器具３１０を備えている。Ｙ軸固定器具３１０は、連結バー３１１及び取付バー３１２を備えており、取付バー３１２によりＸベース３０の本体にネジ止めされている。連結バー３１１は、Ｙベース２０に備えた連結バー２０２に接合されている。また、Ｘ軸調整器具３００は、Ｘ方向の位置決め調整を行うための調整つまみ３０１、及び、Ｚ／チルトベース４０に備えたＸ軸固定器具４００の連結バー４０１に接合した連結バー３０２を備えており、固定器具３０３にてＸベース３０の本体に固定されている。固定器具３０３には、調整つまみ３０１の操作に連動する可動部が取り付けられており、この可動部は、Ｚ／チルトベース４０に固定された連結バー３０２を基点にして、固定器具３０３を介してＸベース３０本体をＸ方向へ移動させるように可動する。
【００５３】
次に、Ｘ方向の位置決め調整について説明する。まず、オペレータは、工具等を用いてＸ固定ネジ３６を緩めることにより、Ｘベース３０をＺ／チルトベース４０から開放した状態にする。そして、Ｘ軸調整器具３００の調整つまみ３０１を締める方向または緩める方向に操作することにより、固定された連結バー３０２を基点にして、Ｘベース３０をＸ方向へ移動させる。連結バー３０２は、Ｚ／チルトベース４０の連結バー４０１に接合されており、Ｚ／チルトベース４０がユニットベース５０を介して基台６０に固定設置されているから、連結バー３０２の位置は変わらない。一方、Ｘベース３０はＺ／チルトベース４０から開放されている。このため、調整つまみ３０１を締める方向または緩める方向へ操作することにより、調整つまみ３０１の先端にある可動部が、固定された連結バー３０２に対して移動し、固定器具３０３を介してＸベース３０はＸ方向へ移動する。すなわち、調整つまみ３０１を操作してその先端の可動部を移動させた距離が、Ｘベース３０のＸ方向へ移動した距離に相当する。
【００５４】
オペレータは、調整つまみ３０１を締める方向または緩める方向への操作を行い、Ｘベース３０を所定位置へ移動させた後、工具等を用いてＸ固定ネジ３６を締め付けることにより、Ｘベース３０をＺ／チルトベース４０に固定する。これにより、Ｘベース３０とＺ／チルトベース４０とは、Ｘ固定ネジ３６により固定される。このようにして、Ｘ方向の位置決め調整が行われる。
【００５５】
（４）は、Ｚ／チルトベース４０の上面図である。Ｚ／チルトベース４０は、全体として板状に形成されており、上方向から見ると略正方形である。サイズは約２８５×２８５ｍｍである。Ｚ／チルトベース４０には４箇所のＸ固定ネジ溝４１が設けられており、Ｘベース３０とＺ／チルトベース４０とを固定するためにＸ固定ネジ３６が挿入される。また、Ｚ／チルトベース４０には４箇所のＸガイド穴４３が設けられており、Ｘガイド穴４３にはＸベース３０をＸ方向に案内するためのＸカムフォロア４２が挿入されている。前述のとおり、Ｘカムフォロア４２とＸカムフォロア（ナット）３４とは一体になっており、Ｘベース３０を挟み込んでいる。
【００５６】
Ｚ／チルトベース４０には４箇所のネジ穴（図示せず）が設けられており、ネジ穴に挿入されたＺ／チルト固定ネジ４４が、ユニットベース５０に設けられたＺ／チルト固定ネジ溝５１に挿入される。これにより、Ｚ／チルト固定ネジ４４の雄ネジとネジ穴の雌ネジとが接合し、Ｚ／チルト固定ネジ４４の雄ネジとＺ／チルト固定ネジ溝５１の雌ネジとが接合し、Ｚ／チルトベース４０は、ユニットベース５０との間で所定間隔離れて固定される。また、Ｚ／チルトベース４０には４箇所のネジ穴（図示せず）が設けられており、ネジ穴に挿入されたＺ／チルト調整ネジ４５は、当該Ｚ／チルト調整ネジ４５の雄ネジとネジ穴の雌ネジとが接合した状態で、ユニットベース５０の上面に当接している。オペレータは、Ｚ／チルト調整ネジ４５を締める方向または緩める方向に操作することにより、ユニットベース５０に対してＺ／チルトベース４０がＺ方向に移動し、Ｚ方向及びチルトの位置決め調整が行われる。
【００５７】
Ｚ／チルトベース４０には４個の支柱用穴４６及び１個のカメラ用窓穴４７が設けられている。支柱用穴４６には支柱７１が貫通される。
【００５８】
Ｚ／チルトベース４０は、１セットのＸ軸固定器具４００を備えている。Ｘ軸固定器具４００は、連結バー４０１及び取付バー４０２を備えており、取付バー４０２によりＺ／チルトベース４０の本体にネジ止めされている。連結バー４０１は、Ｘベース３０に備えた連結バー３０２に接合されている。
【００５９】
次に、Ｚ方向及びチルトの位置決め調整について説明する。まず、オペレータは、工具等を用いてＺ／チルト固定ネジ４４を緩めることにより、Ｚ／チルトベース４０をユニットベース５０から開放した状態にする。そして、工具等を用いてＺ／チルト調整ネジ４５を締める方向または緩める方向に操作することにより、Ｚ／チルト調整ネジ４５の先端面がユニットベース５０の上面に当接した状態で、Ｚ／チルトベース４０の下面から突出するＺ／チルト調整ネジ４５の長さ（Ｚ／チルトベース４０とユニットベース５０との間の距離）が変わり、ユニットベース５０に対してＺ／チルトベース４０をＺ方向に移動させる。Ｚ／チルト調整ネジ４５の先端面は、Ｚ／チルトベース４０等の自重によりユニットベース５０の上面に当接し、ユニットベース５０が基台６０に固定設置されており、Ｚ／チルトベース４０はユニットベース５０から開放されている。このため、Ｚ／チルト調整ネジ４５を締める方向または緩める方向へ操作することにより、Ｚ／チルト調整ネジ４５の先端面がユニットベース５０の上面に当接した状態で、ネジ穴の雌ネジが接合されるＺ／チルト調整ネジ４５の雄ネジの位置が変わって、Ｚ／チルトベース４０の下面から突出するＺ／チルト調整ネジ４５の長さが変わり、Ｚ／チルトベース４０がユニットベース５０に対して上下方向であるＺ方向へ移動する。
【００６０】
オペレータは、Ｚ／チルト調整ネジ４５を締める方向または緩める方向への操作を行い、Ｚ／チルトベース４０を所定位置へ移動させた後、工具等を用いてＺ／チルト固定ネジ４４を締め付ける。これにより、Ｚ／チルトベース４０は、ユニットベース５０との間でＺ方向に所定間隔離れて固定される。また、オペレータは、４本のＺ／チルト調整ネジ４５を操作することにより、チルトの位置決め調整を行う。このようにして、Ｚ方向及びチルトの位置決め調整が行われる。
【００６１】
（５）は、ユニットベース５０の上面図である。ユニットベース５０は、全体として板状に形成されており、上方向から見ると略長方形である。サイズは約２８５×２５０ｍｍである。ユニットベース５０には４箇所のＺ／チルト固定ネジ溝５１が設けられており、Ｚ／チルトベース４０とユニットベース５０とを所定間隔離して固定するために、Ｚ／チルト固定ネジ４４が挿入される。また、ユニットベース５０には４箇所のネジ穴（図示せず）が設けられており、ネジ穴に挿入された基台固定ネジ５２が基台６０に設けられた溝に挿入されることにより、ユニットベース５０は基台６０に固定される。また、ユニットベース５０には１個の支柱用／カメラ用窓穴５３が設けられている。支柱用／カメラ用窓穴５３には支柱７１が貫通される。
【００６２】
以上のように、本発明の実施形態によるステージ装置１によれば、平板形状の回転ベース１０、Ｙベース２０、Ｘベース３０、Ｚ／チルトベース４０及びユニットベース５０を積層して構成し、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向の位置決めを行うようにした。これにより、各ベースを積層した高さ寸法が小さくなり、全体として小型化を実現することができる。また、ステージ装置１には、位置決め調整のためのスタンドピン２９、スタンドピン用穴１０２、Ｙカムフォロア（ナット）２３、Ｙカムフォロア３２、Ｘカムフォロア（ナット）３４、Ｘカムフォロア４２及びＺ／チルト調整ネジ４５等が設けられ、オペレータにより操作可能な調整器具である調整つまみ１０１，２０１，３０１及びＺ／チルト調整ネジ４５が設けられている。また、オペレータは、調整作業に先立って回転固定ネジ１１、Ｙ固定ネジ２１、Ｘ固定ネジ３６及びＺ／チルト固定ネジ４４を緩める必要があるが、これらの固定ネジは、オペレータにより作業可能な箇所に設けられている。これにより、ステージ装置１は、軸受け及びガイド機能をベースに備えるようにしたから、軸受け器具、ガイドローラ等の機械要素を別途備える必要がなく、部品点数を減らすことができ、簡易な構成にて位置決めを行うことができる。また、オペレータは、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、チルト及び回転方向の位置決め調整時に、手作業にて、対象となる固定ネジの締付けを緩め、調整器具を操作して位置決めを行い、操作の終了後に固定ネジの締付けを行えばよい。これにより、オペレータの手作業による位置決め調整が容易になる。
【００６３】
以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その技術思想を逸脱しない範囲で種々変形可能である。例えば、前記実施形態では、回転ベース１０の凹部１７とＹベース２０の凸部２７とを嵌合させることにより、回転ベース１０を回転移動させるようにしたが、回転ベース１０の凸部とＹベース２０の凹部とを嵌合させるようにしてもよい。
【００６４】
また、位置決め調整に伴い回転ベース１０、Ｙベース２０、Ｘベース３０及びＺ／チルトベース４０が移動する摺動箇所に、耐磨耗性乾式潤滑皮膜を施すようにしてもよい。これにより、別途の機械要素を用いることなく、回転ベース１０等を容易に移動させることができる。また、耐磨耗性乾式潤滑皮膜は低発塵性であるから、クリーンルームにてステージ装置１を使用することができる。
【符号の説明】
【００６５】
１  ステージ装置
１０  回転ベース
１１  回転固定ネジ
１２  ネジ穴
１３  支柱固定ネジ
１４  Ｘ固定ネジ用窓穴
１５  カメラ用窓穴
１６  溝
１７  凹部
２０  Ｙベース
２１  Ｙ固定ネジ
２２  ネジ穴
２３  Ｙカムフォロア（ナット）
２４  溝
２５  回転固定ネジ溝
２６  支柱用穴
２７  凸部
２８  支柱用／カメラ用窓穴
２９  スタンドピン
３０  Ｘベース
３１  Ｙ固定ネジ溝
３２  Ｙカムフォロア
３３  Ｙガイド穴
３４  Ｘカムフォロア（ナット）
３５  溝
３６  Ｘ固定ネジ
３７  ネジ穴
３８  支柱用穴
３９  カメラ用窓穴
４０  Ｚ／チルトベース
４１  Ｘ固定ネジ溝
４２  Ｘカムフォロア
４３  Ｘガイド穴
４４  Ｚ／チルト固定ネジ
４５  Ｚ／チルト調整ネジ
４６  支柱用穴
４７  カメラ用窓穴
５０  ユニットベース
５１  Ｚ／チルト固定ネジ溝
５２  基台固定ネジ
５３  支柱用／カメラ用窓穴
６０  基台
７０  載置台
７１  支柱
８０  カメラ
１００  回転用調整器具
１０１  調整つまみ
１０２  スタンドピン用穴
１０３  ブラケット
２００  Ｙ軸調整器具
２０１  調整つまみ
２０２  連結バー
２０３  固定器具
３００  Ｘ軸調整器具
３０１  調整つまみ
３０２  連結バー
３０３  固定器具
３１０  Ｙ軸固定器具
３１１  連結バー
３１２  取付バー
４００  Ｘ軸固定器具
４０１  連結バー
４０２  取付バー
【図１】
0005352550.tif 000002
【図２】
0005352550.tif 000003
【図３】
0005352550.tif 000004