(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
剥離状態のライニング層に起因して発生する、ライニングタンク内表面または外表面への熱伝達速度の不均等によるライニングタンク外表面の表面温度分布を、赤外線反射防止用マスキングテープをライニングタンク外表面に貼付し、ライニングタンク外表面から外方へ所定距離離間して設置した赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とするライニングタンクの非破壊検査方法。
【請求項２】
前記ライニングタンク外表面を、加熱または冷却し、剥離状態のライニング層に起因して発生する、該タンク内表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とする請求項１に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【請求項３】
加熱または冷却前の前記ライニングタンクのライニング層が剥離していない健全部における該タンク外表面の温度と、加熱または冷却後の該健全部における該タンク外表面の温度との差の絶対値が、１．５℃以上となるように、前記ライニングタンク外表面を加熱または冷却することを特徴とする請求項２に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【請求項４】
前記ライニングタンク外表面の温度よりも高温の加熱用媒体または低温の冷却用媒体を、該タンク外表面に接触させることによって、該タンク外表面を加熱または冷却することを特徴とする請求項２または３に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【請求項５】
前記加熱用媒体または前記冷却用媒体が、シート状物であることを特徴とする請求項４に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【請求項６】
前記ライニングタンクを開放することなく、収容物を該タンク内部へ供給することによって、該タンク内部から該タンク外表面を加熱または冷却することを特徴とする請求項１に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【請求項７】
前記収容物の温度と、収容物が供給される前の前記ライニングタンクのライニング層が剥離していない健全部における該タンク外表面の温度との差の絶対値が、１℃以上であることを特徴とする請求項６に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【請求項８】
前記ライニングタンクが、薬液供給システムに使用される薬液タンクであることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ライニングタンクで発生するライニング層の浮き部（剥離部）を検出するライニングタンクの非破壊検査方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、前記浮き部を、赤外線サーモグラフィを用いて検出するライニングタンクの非破壊検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造における薬液供給システムなどに使用される薬液タンクは、通常は金属製の缶体とその内表面に接着剤層を介して設けられた樹脂ライニング層とから構成され、耐薬品性と純粋性とに優れることから、フッ素樹脂ライニングタンクが好適に使用されている。ここで純粋性とは、薬液タンク内表面の樹脂ライニング層中に、不純物および塗膜形成用モノマーなどの成分が実質上含有されず、薬液タンク内部の薬液中に該成分が溶出することが無く、薬液タンク内部の薬液が汚染されないことをいう。
【０００３】
しかしながら、薬液が長年にわたって少しずつ樹脂ライニング層を透過し、薬液タンクの缶体と樹脂ライニング層とを接着している接着剤が劣化することがある。前記接着剤が劣化すると樹脂ライニング層が缶体内表面から浮き上がり、浮き部が発生する。さらに、樹脂ライニング層を透過した薬液が缶体の金属部を腐食し、缶体内表面と樹脂ライニング層との間に腐食時に生じる水素ガスなどの反応ガスが溜まり、樹脂ライニング層の浮き部の発生が助長される。
【０００４】
樹脂ライニング層の浮き部の発生により、該ライニング層が破壊され、該ライニング層を透過した薬液が金属製の缶体と反応して反応物が発生することがある。そして、前記反応物が、樹脂ライニング層を透過して薬液内部に溶出すると、薬液の金属汚染につながる可能性がある。
【０００５】
この場合、半導体工場のラインがストップする事態になり大問題に発展する。このような事態を未然に、かつ完全に防止するため、ライニング層の缶体内表面からの浮き部がどの位置で、どの程度の範囲にまで進行しているかを検出することが求められている。
【０００６】
ライニング層の浮き部を検出する方法としては、ライニングタンクの蓋体を取り外し、必要に応じて該タンク内部の薬液を抜き取って、目視により該タンク内表面の状態を検査する「開放検査」が知られている。
【０００７】
しかしながら、上記手法はライニングタンクの開放が必要であり、該タンク内部への不純物の混入防止、薬液が揮発することによる環境汚染防止という観点から、該タンクの使用状況にかかわらず、該タンクを開放することは好ましくない。
【０００８】
さらに、使用中のライニングタンクの開放検査となると、該タンクの使用停止、薬液の抜き出し、該タンクの内部洗浄といった作業が必要となり、半導体工場のラインを長時間にわたりストップさせることになる。
【０００９】
また、ライニング層の浮き部を検出する別の手法として、ライニング層表面を叩き、その反響音によってライニング層内部の状況を判断する打診テスト法が知られている（例えば、特許文献１参照）。前記打診テスト法は、予めライニング層の劣化寿命を記憶した記憶手段の記録データと打診結果との比較により、ライニング層の寿命を予測することができるというものである。
【００１０】
しかしながら、上記打診テスト法によりライニング層の浮き部の位置および範囲を定量的に測定することは難しく、さらにライニングタンクの多くの箇所で打診する必要があり、測定に時間がかかるという問題がある。また、予めライニング層の劣化寿命を記憶した記憶手段の記録データと打診結果との比較によりライニング層の寿命を予測するため、比較データが無い場合は、ライニング層の浮き部の正確な検出は困難である。
【００１１】
一方、サーモグラフィを用いて内外部熱伝達の不均等による温度差を検知することにより、内部腐食状態を診断することを特徴とする腐食診断法が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【００１２】
しかしながら、上記腐食診断法は、母材の腐食に起因する熱伝導伝達の不均等を診断するものであり、樹脂ライニングされていない単一部材（母材のみ）からなる配管やタンクを対象としており、ライニングタンクについては何ら検討されていない。そこで、母材に樹脂ライニングされた薬液タンクのライニング層の浮き部を検出する方法としては、精度のさらなる改善の余地がある。
【００１３】
また、タンク側板にウレタンフォームを固着した液体貯蔵用ウレタン保温タンクにおいて、該タンク側板の腐食部をサーモカメラにより検出する方法が公開されている（例えば、特許文献３参照）。
【００１４】
しかしながら、上記特許文献３に記載の方法は、ウレタンフォーム層が含水した部位を検出するものであり、ライニング層の空間的な浮き上がりを検出する方法としては精度に劣るものである。また、劣化部の検出を容易にするため、測定対象物を加熱または冷却する方法についてはこれまでのところ具体的に検討されておらず、ライニング層の浮き部を検出する方法としては、さらなる改善の余地がある。
【特許文献１】特開２００１−１４１６２７号公報
【特許文献２】特開昭６３−２５０５５４号公報
【特許文献３】特公昭５７−０４７４２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明の課題は、上述のような薬液タンクにおいて、ライニング層の浮き部の検出方法における問題点を解決しようとするものである。すなわち、ライニングタンク内部に薬液が収容されているか否かにかかわらず、また、該タンクが使用中であるか否かにかかわらず、該タンクを開放したり、該タンク内部の薬液を抜き取ったりすることなく、ライニング層の浮き部を該タンク外部から精度良く、簡単に検出する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明者らは上記課題を解決するため鋭意検討を行った。その結果、ライニングタンクを該タンク内側または外側から、加熱または冷却することにより、ライニング層の浮き部により発生する、ライニングタンク外表面または内表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１７】
すなわち、本発明は以下の［１］〜［８］に関する。
［１］剥離状態のライニング層に起因して発生する、ライニングタンク内表面または外表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とするライニングタンクの非破壊検査方法。
【００１８】
［２］前記ライニングタンク外表面を、加熱または冷却し、剥離状態のライニング層に起因して発生する、該タンク内表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とする前記［１］に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【００１９】
［３］加熱または冷却前の前記ライニングタンクのライニング層が剥離していない健全部における該タンク外表面の温度と、加熱または冷却後の該健全部における該タンク外表面の温度との差の絶対値が、１．５℃以上となるように、前記ライニングタンク外表面を加熱または冷却することを特徴とする前記［２］に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【００２０】
［４］前記ライニングタンク外表面の温度よりも高温の加熱用媒体または低温の冷却用媒体を、該タンク外表面に接触させることによって、該タンク外表面を加熱または冷却することを特徴とする前記［２］または［３］に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【００２１】
［５］前記加熱用媒体または前記冷却用媒体が、シート状物であることを特徴とする前記［４］に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
［６］前記ライニングタンクを開放することなく、収容物を該タンク内部へ供給することによって、該タンク内部から該タンク外表面を加熱または冷却することを特徴とする前記［１］に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【００２２】
［７］前記収容物の温度と、収容物が供給される前の前記ライニングタンクのライニング層が剥離していない健全部における該タンク外表面の温度との差の絶対値が、１℃以上であることを特徴とする前記［６］に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【００２３】
［８］前記ライニングタンクが、薬液供給システムに使用される薬液タンクであることを特徴とする前記［１］〜［７］の何れかに記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ライニングタンク内部に薬液が収容されているか否かにかかわらず、また、該タンクが使用中であるか否かにかかわらず、該タンクを開放したり、該タンク内部の薬液を抜き取ったりすることなく、ライニング層の浮き部を該タンク外部から精度良く、簡単に検出する方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明に係るライニングタンクの非破壊検査方法について、詳細に説明する。
本発明に係るライニングタンクの非破壊検査方法は、剥離状態のライニング層に起因して発生する、（Ａ）ライニングタンク外表面からライニングタンク内表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、または（Ｂ）ライニングタンク内表面からライニングタンク外表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とする。
【００２６】
以下、本発明の測定原理、測定対象であるライニングタンク、測定装置である赤外線サーモグラフィ、および好適に用いられる赤外線反射防止用マスキングテープについて説明した後、本発明に係るライニングタンクの非破壊検査方法の上記態様（Ａ）および（Ｂ）について、詳細に説明する。
【００２７】
＜測定原理：図１〜図４参照＞
図１〜図４は、ライニングタンクにおけるライニング層の浮き部を非破壊的に検出する
、本発明に係るライニングタンクの非破壊検査方法を説明する模式縦断面図（図１、図２）および模式横断面図（図３、図４）である。
【００２８】
図１〜図４に示すように、ライニングタンク１０の缶体３０の内表面３０Ｂに接着剤層７０を介して接着されているライニング層２０が、接着剤層７０から剥離することによってライニング層２０の一部が浮き上がる。このため、缶体３０とライニング層２０との間に、空気、薬液により缶体３０が腐食したときに生じる水素ガスなどの反応ガス、薬液などの液体などが溜まった、空気・滲出液層４０が形成される。
【００２９】
なお、以下の説明では、ライニングタンク１０において、缶体３０とライニング層２０とが接着剤層７０を介して堅固に接着している部分を健全部５０ともいい、空気・滲出液層４０が形成されている部分を浮き部６０ともいう。
【００３０】
赤外線サーモグラフィ９０は、ライニングタンク外表面１０Ａから放射されている赤外線を受動的に検出するため、ライニングタンク１０を破壊するなどの影響を与えることはない。ところが、赤外線サーモグラフィ９０は、ライニングタンク内表面１０Ｂのライニング層２０の状態を直接的には測定することができない。
【００３１】
しかしながら、ライニング層２０の剥離に起因して発生した空気・滲出液層４０が存在する場合、健全部５０の熱伝導率と浮き部６０の熱伝導率とでは、空気・滲出液層４０の有無による違いがある。
【００３２】
すなわち、健全部５０でのライニングタンク１０の内外面を貫く方向Ｙ（（Ａ）ライニングタンク外表面１０Ａ→缶体３０→接着剤層７０→ライニング層２０→ライニングタンク内表面１０Ｂ（図１）、または（Ｂ）ライニングタンク内表面１０Ｂ→ライニング層２０→接着剤層７０→缶体３０→ライニングタンク外表面１０Ａ（図２））と、
浮き部６０でのライニングタンク１０の内外面を貫く方向Ｘ（（Ａ）ライニングタンク外表面１０Ａ→缶体３０→接着剤層７０→空気・滲出液層４０→ライニング層２０→ライニングタンク内表面１０Ｂ（図１）、または（Ｂ）ライニングタンク内表面１０Ｂ→ライニング層２０→空気・滲出液層４０→接着剤層７０→缶体３０→ライニングタンク外表面１０Ａ（図２））とでは、
ライニングタンク１０の（Ａ）外表面１０Ａから内表面１０Ｂ、または（Ｂ）内表面１０Ｂから外表面１０Ａへの熱伝達速度の不均等が生じ、健全部５０と浮き部６０とで熱伝導率が異なってくる。
【００３３】
その結果、（Ａ）ライニングタンク外表面１０Ａを加熱または冷却すると、ライニングタンク外表面１０Ａに温度分布ができ、間接的にライニング層２０の剥離状態を測定することができる。従って、前記温度分布を測定することによって、浮き部６０の位置および範囲をより精度よく検出することができる。
【００３４】
例示として、ライニングタンク外表面１０Ａの温度よりも高温の図示せぬ加熱用媒体を、ライニングタンク外表面１０Ａに接触させると、ライニングタンク外表面１０Ａの温度が上昇する。
【００３５】
一般に、浮き部６０の熱伝導率は、健全部５０の熱伝導率よりも小さい。このため、健全部５０ではライニングタンク１０の外表面１０Ａから内表面１０Ｂへの熱の伝わりが速く、浮き部６０ではその熱の伝わりが遅くなる。結果として、健全部５０におけるライニングタンク外表面１０Ａの温度と比べ、浮き部６０におけるライニングタンク外表面１０Ａの温度は一時的に高くなる。
【００３６】
また、（Ｂ）ライニングタンク内部１５０に、ライニングタンク外表面１０Ａの温度と温度差を有する収容物を供給すると、ライニングタンク内表面１０Ｂにライニング層２０の浮き部６０が存在する場合には、ライニングタンク外表面１０Ａに温度分布ができ、間接的にライニング層２０の剥離状態を測定することができる。従って、前記温度分布を測定することによって、浮き部６０の位置および範囲をより精度よく検出することができる。
【００３７】
例示として、図２に示すように、ライニングタンク内部１５０にライニング外表面１０Ａの温度よりも低温の図示せぬ収容物を供給すると、該タンク外表面１０Ａの表面温度が変化する。
【００３８】
上記のように、一般に、浮き部６０の熱伝導率は、健全部５０の熱伝導率よりも小さい。このため、健全部５０ではライニングタンク１０の内表面１０Ｂから外表面１０Ａへの熱の伝わりが速く、浮き部６０ではその熱の伝わりが遅くなる。結果として、健全部５０におけるライニングタンク外表面１０Ａの温度と比べ、浮き部６０におけるライニングタンク外表面１０Ａの温度は高くなる。
【００３９】
従って、ライニングタンク外表面１０Ａから外方へ所定距離離間して設置した赤外線サーモグラフィ９０を用いて、ライニングタンク外表面１０Ａの温度分布を測定することによって、ライニング層２０における浮き部６０の位置および範囲を精度良く検出することができる。
【００４０】
＜ライニングタンク：図１〜図４参照＞
本発明の測定対象であるライニングタンク１０は、樹脂ライニング法により缶体３０の内表面３０Ｂおよび外表面３０Ａの何れか一方または双方に、接着剤層７０を介して、ライニング層２０が形成されたライニングタンクであれば特に制限されない。ライニング層２０は、耐酸、耐アルカリ性などの耐薬品性に優れた樹脂からなる。なお、図１〜図４には、缶体３０の内表面３０Ｂにのみ、ライニング層２０が形成されたライニングタンク１０が図示されている。
【００４１】
接着剤層７０を形成する接着剤としては、例えば、ゴム系、エポキシ系の接着剤が挙げられる。また、接着剤層７０の肉厚は、ライニングタンク１０の使用態様の如何によらず、ライニング層２０を低コストで所定位置に張設・保持できる限り特に限定されないが、通常は０．１〜１ｍｍ、好ましくは０．３〜０．６ｍｍの範囲にある。
【００４２】
缶体３０の材質としては、耐腐食性、耐熱性および機械的強度が良好な材質であれば特に制限されず、例えば、ステンレス、炭素鋼、鉄が挙げられる。また、缶体３０の肉厚は、通常は１〜１０ｍｍ、好ましくは３〜６ｍｍの範囲にある。缶体３０の肉厚が前記範囲にあると、本発明の方法を好適に適用することができる。
【００４３】
ライニング層２０を形成する、耐薬品性に優れた樹脂としては、例えば、フッ素樹脂が挙げられる。前記フッ素樹脂としては、例えば、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）が挙げられる。
【００４４】
また、ライニング層２０の肉厚は、好ましくは２〜６ｍｍの範囲にある。ライニング層２０の肉厚が前記範囲にあると、本発明の方法を好適に適用することができる。
ライニング層２０の肉厚が２ｍｍより小さい場合、ライニングタンク外表面１０Ａに温度むらが出やすく、精度良く非破壊検査を実施しようとすると、（Ａ）ライニングタンク外表面１０Ａの加熱もしくは冷却に必要となるエネルギー量が多くなる、または（Ｂ）ライニングタンク内部１５０に収容物を供給する際に、加熱もしくは冷却に必要となるエネルギー量が多くなることがある。
【００４５】
また、ライニング層の肉厚が６ｍｍより大きい場合、（Ａ）ライニングタンク外表面１０Ａから内表面１０Ｂに、または（Ｂ）ライニングタンク内表面１０Ｂから外表面１０Ａに熱が伝わりにくく、非破壊検査時に、ライニングタンク外表面１０Ａにおける温度分布が小さくなることがある。
【００４６】
＜赤外線サーモグラフィ＞
本発明で用いられる赤外線サーモグラフィ９０は特に限定されず、例えば、「ＴＶＳ−２００ＥＸ」（日本アビオニクス（株）製）、「ＦＳＶ−７０００Ｓ」（（株）アピステ製）などの市販品が挙げられる。
【００４７】
このような赤外線サーモグラフィ９０は、ライニングタンク１０の測定位置（検査部位）に合わせて必要により自由に移動させることができ、１００Ｖ電源またはバッテリーがあればどこでも使用できる。このため、すでに使用中のライニングタンク１０に対して、その使用を中止することなく、また、薬液を抜き取ることなく、浮き部６０の検出を簡便に行うことができる。
【００４８】
赤外線サーモグラフィ９０は、観察対象であるライニングタンク１０の外表面１０Ａからの距離が、通常は０．１〜１００ｍ、好ましくは０．３〜３ｍの範囲に設置される。赤外線サーモグラフィ９０の設置場所が前記範囲にあると、浮き部６０の位置および範囲を精度よく検出することができる。
【００４９】
＜赤外線反射防止用マスキングテープ：図４、図５参照＞
一般に、ライニングタンク１０の缶体３０の放射率が０．５以下（例えば、ステンレスは文献値０．４５）の低い物質を観察対象とする場合であって、かつ、該タンク１０の外部（遠方）にヒト（観測者）などの赤外線発生源が存在する場合には、その赤外線発生源から該タンク外表面１０Ａに向かって放射される赤外線を、該タンク外表面１０Ａが反射することがある。
【００５０】
このため、反射した赤外線を赤外線サーモグラフィ９０が感知してしまい、ライニングタンク外表面１０Ａの温度分布を正確に測定することが困難になる傾向にある。
そこで、（ａ）ライニングタンク外表面１０Ａの放射率が一定値以上になるように、例えば、該タンク外表面１０Ａに、図４および図５に示す赤外線反射防止用マスキングテープ８０を貼付する、放射率の高いペンキなどを塗装する、または（ｂ）測定装置である赤外線サーモグラフィ９０と、測定対象のライニングタンク１０とを含めた周囲全体を暗幕で囲うなどの方法を取ることができる。
【００５１】
これらの中では、赤外線反射防止用マスキングテープ８０は、薄くかつ熱伝導率がよいため、ライングタンク外表面１０Ａにおける温度分布の測定精度に優れる。このため、ライニングタンク外表面１０Ａに赤外線反射防止用マスキングテープ８０を貼付することが、測定精度および簡便性の観点から好ましい。
【００５２】
赤外線反射防止用マスキングテープ８０は、耐熱性を有し、赤外線を反射しない傾向にあり、ライニングタンク外表面１０Ａから伝わる熱がより速く該マスキングテープ８０表面に現れ、しかも、該タンク外表面１０Ａからの剥離性が良好で剥離後に糊残りの生じな
いものであれば特に限定されない。赤外線反射防止用マスキングテープ８０としては、例えば、商品名「“スコッチ”印、表面保護用テープＮｏ．３４１Ｊ」（住友スリーエム（株）製）などの市販品が挙げられる。
【００５３】
赤外線反射防止用マスキングテープ８０の放射率は、好ましくは０．７以上、より好ましくは０．９以上の範囲にある。
赤外線反射防止用マスキングテープ８０をライニングタンク外表面１０Ａに貼付することにより、ライニング層２０の健全部５０と浮き部６０との境界が良好に判別でき、ライニング層２０の浮き部６０の位置および範囲をさらに精度良く検出することができる。
【００５４】
〔非破壊検査方法（Ａ）〕
本発明に係るライニングタンクの非破壊検査方法（Ａ）は、剥離状態のライニング層に起因して発生する、ライニングタンク外表面からライニングタンク内表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とする（以下、単に「本発明（Ａ）」とも記す）。
【００５５】
特に、ライニングタンク外表面を、加熱または冷却し、剥離状態のライニング層に起因して発生する、該タンク内表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することが好ましい。
【００５６】
＜ライニングタンクの収容物：図１参照＞
ライニングタンク１０に収容される収容物としては、例えば、塩酸、硝酸、フッ酸、過酸化水素水などの薬液、水などの液体；空気、窒素などの気体が挙げられる。
【００５７】
上記収容物自体の温度は特に限定されず、例えば、非破壊検査直前において０〜５０℃程度であることが多い。本発明（Ａ）では、これら収容物の性状に悪影響を与えないような温度範囲でライニングタンク１０の非破壊検査が実施される。
【００５８】
本発明（Ａ）においては、ライニングタンク内部１５０全体が収容物（例えば、液体または気体）で満たされている場合は、測定対象のライニングタンク１０の外表面１０Ａを部位に依らず均一に加熱または冷却することにより、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘと、浮き部６０におけるライニングタンク外表面６０Ｘとの温度差を短時間に広げることができる。すなわち、ライニングタンク外表面１０Ａ全体を均一に加熱または冷却することが、該タンク１０の表面温度分布を正確に測定する上で好ましい。
【００５９】
また、上述したように、半導体製造における薬液供給システムなどに使用されるライニングタンク１０は、収容されている薬液の純粋性を保持することが必要となる。また、薬液の種類や状態などによっては、該薬液が缶体３０に対して腐食性を有し、かつ人体などに対して毒性を有するため、環境汚染防止の観点からライニングタンク１０を設置場所で開放することが困難になる場合がある。
【００６０】
このため、薬液供給システムが稼働中のライニングタンク１０においては、該タンク１０を開放せずに、ライニング層２０の浮き部６０を検出することが好ましい。
例えば、上記薬液の中では、特に塩酸、硝酸、フッ酸は、ライニング層２０を透過しやすいため、ライニング層２０に浮き部６０が発生しやすい。さらに、前記薬液は金属製の缶体３０に対して腐食性を有し、かつ人体に対して毒性を有するため、環境汚染防止の観点からライニングタンク１０を設置場所で開放せずに（すなわち、該タンク１０の図示せぬ蓋体を取り外さず、密閉状態で）、ライニング層２０の浮き部６０を検査することが好
ましい。
【００６１】
また、通常は、ライニングタンク１０を製造する際に、接着不良によるライニング層２０の浮き部６０の有無を検査することが該タンク１０の出荷前に行われる。このような場合には、ライニングタンク内部１５０の汚染を回避するという観点から、該タンク１０を開放せずに、ライニング層２０の浮き部６０の有無を検査することが好ましい。
【００６２】
＜ライニングタンクの使用状況＞
ライニングタンク１０の使用状況としては、例えば、
（１）収容物が空気であって、ライニングタンク内部１５０全体が空気で満たされ、ライニングタンク内表面１０Ｂに接する相が気相の場合、
（２）収容物が空気以外の気体であって、ライニングタンク内部１５０全体が該収容物で満たされ、ライニングタンク内表面１０Ｂに接する相が気相の場合、
（３）収容物が薬液、水その他の液体を含み、（３−１）ライニングタンク内部１５０の下部に液体１１０が収容されており、ライニングタンク内部１５０の上部が気体１００で満たされている場合（図６）、（３−２）ライニングタンク内部１５０全体が液体１１０で満たされている場合（図示せず）がある。
【００６３】
本発明（Ａ）においては、ライニングタンク内部１５０の収容物の状況が上記何れの場合であっても、本発明（Ａ）の方法を適用することができ、ライニング層２０の浮き部６０の位置および範囲を精度良く検出することができる。
【００６４】
例えば、上記（３−１）の場合について、図６に図示するように、ライニングタンク内部１５０に所定の高さまで薬液が収容されている場合には、ライニングタンク内表面１０Ｂに接する収容物が気体１００である部位に対応するライニングタンク外表面１２０Ａでも、ライニングタンク内表面１０Ｂに接する収容物が液体１１０である部位に対応するライニングタンク外表面１２５Ａでも、各外表面１２０Ａまたは１２５Ａを、それぞれ加熱または冷却することにより、ライニング層２０の浮き部６０の位置および範囲を精度良く検出することができる。
【００６５】
＜加熱方法＞
本発明（Ａ）において、ライニングタンク１０の非破壊検査に際し、ライニングタンク外表面１０Ａを加熱する方法としては、例えば、（ａ）該タンク外表面１０Ａの温度よりも高温の加熱用媒体を該タンク外表面１０Ａに接触させる方法、（ｂ）ハロゲンヒーターなどで該タンク外表面１０Ａを輻射加熱する方法、（ｃ）ドライヤーなどで該タンク外表面１０Ａを対流加熱する方法が挙げられる。
【００６６】
上記加熱用媒体としては、ライニングタンク外表面１０Ａ全体を均一に加熱することができれば特に制限されず、例えば、ライニングタンク１０の曲面に沿って貼り付けられる程度の柔軟性を有するシート状物が挙げられる。前記シート状物としては、一定の温度に保持でき、柔軟性を有する樹脂材料からなるシート状物が取り扱い性に優れるため好ましく、具体的にはシリコンゴムシートやウレタンゴムシートが挙げられる。
【００６７】
上記加熱用媒体は、例えば、これを低温乾燥機内に設置したり、恒温槽などに浸漬させたりすることによって目的とする温度に設定することができる。また、上記加熱用媒体としては、該媒体内部に熱源を有するものを用いてもよく、例えば、ラバーヒーター（坂口電熱株式会社製サミコン２３０など）が挙げられる。
【００６８】
＜冷却方法＞
本発明（Ａ）において、ライニングタンク１０の非破壊検査に際し、ライニングタンク
外表面１０Ａを冷却する方法としては、例えば、（ａ）該タンク外表面１０Ａの温度よりも低温の冷却用媒体を該タンク外表面１０Ａに接触させる方法、（ｂ）スポットクーラーなどで該タンク外表面１０Ａを対流冷却する方法、（ｃ）アルコールなどの揮発性有機溶剤を塗布し、気化熱で冷却する方法が挙げられる。
【００６９】
上記冷却用媒体としては、ライニングタンク外表面１０Ａ全体を均一に冷却することができれば特に制限されず、ライニングタンク１０の曲面に沿って貼り付けられる程度の柔軟性を有するシート状物が挙げられる。前記シート状物としては、一定の温度に保持でき、柔軟性を有する樹脂材料からなるシート状物が取り扱い性に優れるため好ましく、具体的にはシリコンゴムシートやウレタンゴムシートが挙げられる。
【００７０】
上記冷却用媒体は、例えば、これを恒温槽などに浸漬させることによって目的とする温度に設定することができる。
これらの加熱方法および冷却方法においては、何れも、温度が均一に設定された、（ａ）ライニングタンク外表面１０Ａの温度よりも高温の加熱用媒体または低温の冷却用媒体を、該タンク外表面１０Ａに接触させる方法が、該タンク外表面１０Ａ全体を温度むら無く、均一に加熱または冷却することができる。このため、ライニング層２０の浮き部６０の位置および範囲を精度良く検出できる。
【００７１】
≪加熱・冷却条件≫
（１）本発明（Ａ）において、測定前（すなわち、加熱または冷却前）の健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの温度（α0）と、測定時（すなわち、加熱または
冷却後）の健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの温度（α1）との差の絶
対値（｜α0−α1｜）は、測定精度の向上、収容物およびライニング層２０への悪影響の低減、ならびにエネルギー効率の向上などの観点から、好ましくは１．５℃以上、より好ましくは２〜３０℃、さらに好ましくは５〜１０℃の範囲にある。
【００７２】
（２）本発明（Ａ）において、加熱または冷却後の健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの温度（α1）と、加熱または冷却後の浮き部６０におけるライニングタ
ンク外表面６０Ｘの温度（β1）との差の絶対値（｜α1−β1｜）は、浮き部６０の赤外
線サーモグラフィによる検出が正確かつ容易となり、計測の迅速化となるため、好ましくは０．３℃以上、より好ましくは１〜１０℃、さらに好ましくは２〜５℃の範囲にある。
【００７３】
なお、上記温度差（｜α1−β1｜）は、缶体３０の肉厚や材質などにより異なるが、経時的に縮まる（ゼロに近づく）。このため、ライニングタンク外表面１０Ａを加熱または冷却した後、赤外線サーモグラフィ９０を用いて精度良く、効率的にライニング層２０の浮き部６０を検出することができる時間帯、すなわち、上記温度差（｜α1−β1｜）が最大となる時間帯において非破壊検査を行うことが望ましい。
【００７４】
具体的には、ライニングタンク外表面１０Ａを加熱または冷却した後、好ましくは直後〜１０分以内、より好ましくは直後〜５分以内に、赤外線サーモグラフィ９０を用いてライニングタンク外表面１０Ａの温度分布を測定することが望ましい。
【００７５】
（３）本発明（Ａ）において、測定前（すなわち、加熱または冷却前）の健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの温度（α0）と、上記加熱または冷却用媒体の温
度（γ0）との差の絶対値（｜α0−γ0｜）は、浮き部６０の赤外線サーモグラフィ９０
による検出が正確かつ容易となり、計測の迅速化となるため、好ましくは５℃以上、より好ましくは１０〜５０℃の範囲にある。
【００７６】
（４）上記加熱方法および冷却方法において、ライニングタンク外表面１０Ａの温度が
高くなり過ぎると、作業性および作業者の安全性の悪化、薬液およびライニング層２０への悪影響の発生、ならびにエネルギー効率の悪化などのおそれがある。また、ライニングタンク外表面１０Ａの温度が低くなり過ぎると、ライニングタンク外表面１０Ａに結露が発生し、正確に表面温度分布を測定することができなくなるおそれがある。
【００７７】
このため、ライニングタンク１０の設置場所や環境にもよるが、測定時のライニングタンク外表面１０Ａ温度が０〜８０℃であれば、好適に非破壊検査を実施できる。
〔非破壊検査方法（Ｂ）〕
本発明に係るライニングタンクの非破壊検査方法（Ｂ）は、剥離状態のライニング層に起因して発生する、ライニングタンク内表面からライニングタンク外表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とする（以下、単に「本発明（Ｂ）」とも記す）。
【００７８】
特に、ライニングタンクを開放することなく、収容物を該タンク内部へ供給することによって、該タンク内部から該タンク外表面を加熱または冷却することが好ましい。
なお、本発明（Ｂ）において、「収容物」とは、ライニングタンク外表面１０Ａを該タンク内部１５０から加熱または冷却するために用いられる、該タンク内部１５０に供給される検査用の収容物である。このような検査用の収容物は、通常はライニングタンク内部１５０の汚染のおそれがなく、非破壊検査後に該タンク内部１５０の洗浄を実質上必要としない収容物が用いられる。
【００７９】
＜ライニングタンクの収容物：図２、図４参照＞
本発明（Ｂ）においては、好ましくはライニングタンク１０を開放することなく、該タンク外表面１０Ａの温度と温度差を有する収容物を測定対象の該タンク内部１５０へ供給することによって、より好ましくは該タンク１０の図示せぬ蓋体を取り外すことなく、図示せぬ薬液供給ライン１６０を介して該収容物を該タンク内部１５０へ供給することによって、収容物が供給された部分の該タンク１０の内表面１０Ｂ全体を均一に加熱または冷却することができる。
【００８０】
このため、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘと浮き部６０におけるライニングタンク外表面６０Ｘとの温度差を短時間に広げることができる。
特に、半導体製造における薬液供給システムなどに使用されるライニングタンク１０は、収容されている薬液の純粋性を保持することが必要となる。また、薬液の種類や状態などによっては薬液が缶体３０に対して腐食性を有し、かつ人体に対して毒性を有するため、環境汚染防止の観点からライニングタンク１０を設置場所で開放することが困難になる場合がある。
【００８１】
このため、薬液供給システムが稼働中のライニングタンク１０においては、収容されている薬液と同一の薬液を検査用（該タンク１０の加熱または冷却用の）収容物として薬液供給ライン１６０を介して該タンク内部１５０に供給することにより、該タンク１０を開放せずに、ライニング層２０の浮き部６０を検出することが好ましい。
【００８２】
ライニングタンク１０に供給される収容物としては、例えば、塩酸、硝酸、フッ酸、過酸化水素水などの薬液、水などの液体；空気、窒素などの気体が挙げられる。これらの中では、ライニングタンク１０の缶体３０への熱の伝わり易さの観点から、前記収容物は液体であることが好ましい。
【００８３】
上記水としては、水道水でも純水でもよいが、純水を用いることがライニングタンク内部１５０の純粋性（非汚染性）を良好に保持できる点で好ましい。
上記薬液の中では、特に塩酸、硝酸、フッ酸は、ライニング層２０を透過しやすいためライニング層２０の浮き部６０が発生しやすい。さらに、前記薬液は金属製の缶体３０に対して腐食性を有し、かつ人体に対して毒性を有するため、環境汚染防止の観点からライニングタンク１０を設置場所で開放せずに（すなわち、該タンクの図示せぬ蓋体を取り外さず、密閉状態で）、ライニング層２０の浮き部６０を検査することが好ましい。
【００８４】
また、通常は、ライニングタンク１０を製造する際に、ライニング層２０の接着不良による浮き部６０の有無を検査することが該タンク１０の出荷前に行われる。このような場合には、ライニングタンク１０の取り扱い上の安全性、簡便性、該タンク内部１５０の低汚染性の観点から、上記収容物としては純水を用いることが好ましい。
【００８５】
さらに、ライニングタンク１０を出荷する際には、純水を用いて該タンク内部１５０を洗浄することが行われる。このような場合には、ライニングタンク内部１５０の汚染を回避するという観点から、該タンク１０を開放せずに、純水を用いて該タンク内部１５０を洗浄する際に、合わせてライニング層２０の浮き部６０を検査することが好ましい。
【００８６】
＜加熱・冷却条件＞
（１）本発明（Ｂ）において、収容物が供給される前の健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの温度（α0）と、供給前の収容物の温度（γ0）との差の絶対値（｜α0−γ0｜）は、ライニングタンク１０の缶体３０の肉厚、ライニング層２０の肉厚などにもよるが、測定精度の向上、検査時のエネルギー効率などの観点から、好ましくは１℃以上、より好ましくは３〜５０℃、さらに好ましくは１０〜２０℃の範囲にある。
【００８７】
このとき、供給前の収容物の温度（γ0）は、収容物を安全に扱える温度であれば特に
限定されず、例えば、水の場合は５〜８０℃であることが好ましい。また、塩酸、硝酸、フッ酸などの薬液を収容物とする半導体製造における薬液供給システムなどに使用される薬液タンクでは、薬液やライニング層２０への悪影響を低減するため、供給前の収容物の温度（γ0）は、５〜４０℃であることが好ましい。
【００８８】
（２）本発明（Ｂ）において、収容物が供給された後の健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの温度（α1）と、収容物が供給された後の浮き部６０におけるライ
ニングタンク外表面６０Ｘの温度（β1）との差は、缶体３０の肉厚、ライニング層２０
の肉厚などにより異なるが、経時的に縮まる（ゼロに近づく）。
【００８９】
このため、ライニングタンク内部１５０に収容物を供給した後、赤外線サーモグラフィ９０を用いて精度良く、効率的にライニング層２０の浮き部６０を検出することができる時間帯、すなわち、上記温度差（｜α1−β1｜）が最大となる時間帯において非破壊検査を行うことが望ましい。
【００９０】
具体的には、ライニングタンク内部１５０に収容物を供給した後、好ましくは収容物供給直後〜１０分以内に、より好ましくは収容物供給直後〜３分以内に、赤外線サーモグラフィ９０を用いて該タンク外表面１０Ａの温度分布を測定することが望ましい。
【００９１】
特に、収容物が液体の場合は、液体がライニングタンク内部１５０に供給されて該タンク内部１５０の液面が浮き部６０に達した後、好ましくは液面が浮き部６０に達した直後〜１０分以内に、より好ましくは液面が浮き部６０に達した直後〜５分以内に、さらに好ましくは液面が浮き部６０に達してから２分後〜３分以内に、赤外線サーモグラフィ９０を用いて該タンク外表面１０Ａの温度分布を測定することが望ましい。
【００９２】
（３）本発明（Ｂ）において、収容物が供給される前の健全部５０におけるライニング
タンク外表面５０Ｘの温度（α0）と、収容物が供給された後の健全部５０における該タ
ンク外表面５０Ｘの温度（α1）との差が大きいほど、該タンク外表面１０Ａの温度分布
が明確となり、ライニング層２０の浮き部６０の位置および範囲を精度良く検出することができる。
【実施例】
【００９３】
以下、実施例に基づいて本発明に係るライニングタンクの非破壊検査方法についてより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
［Ａ１−１］
＜ライニングタンク＞
ライニングタンク１０として、缶体３０（容量３００Ｌ、内径６００ｍｍ、高さ１１００ｍｍ、厚み４ｍｍ、材質ＳＵＳ３０４製、熱伝導率１６．３Ｗ／ｍ・℃（２０℃））の内表面３０Ｂに、ライニング層２０〔ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）からなる層（厚み２ｍｍ）〕が、ゴム系接着剤を介して形成されたフッ素樹脂ライニングタンクを用いた。
【００９４】
＜浮き部：図７参照＞
ライニングタンク外表面１３０Ａに対応する位置にあるライニング層２０を、完全に接着剤層７０から剥離し、浮き部６０を形成した。浮き部６０は、横ｗ:１５０ｍｍ×縦ｈ
：１００ｍｍ×ライニングタンク内方向の浮き上がりの高さｔ：５ｍｍの大きさを有する。
【００９５】
＜赤外線反射防止用マスキングテープ：図７参照＞
浮き部６０に対応する位置にあるライニングタンク外表面１３０Ａを被覆するように、赤外線反射防止用マスキングテープ８０として、放射率が０．９５である「“スコッチ”印  表面保護用テープＮｏ．３４１Ｊ」（住友スリーエム（株）製）を、ライニングタンク外表面１０Ａの附番８１に示す位置に貼り付けた。
【００９６】
＜赤外線サーモグラフィ＞
赤外線サーモグラフィ９０として、「ＴＶＳ−２００ＥＸ」（日本アビオニクス（株）製）を用い、分解能０．２℃に設定した。また、赤外線サーモグラフィ９０は、ライニングタンク外表面１０Ａから１ｍ離間した位置に設置した。
【００９７】
＜加熱（冷却）用媒体＞
加熱（冷却）用媒体としては、横５００ｍｍ×縦２００ｍｍ×厚み５ｍｍのウレタンゴムシート（株式会社ミツミ製）を用いた。前記ウレタンゴムシートを予め所定の温度に設定された恒温槽に２０分間浸漬して、表１中「ウレタンゴムシートの温度（γ0）」に記
載の温度に設定した。
【００９８】
＜測定＞
ライニングタンク内部１５０全体を空気で満たした。この状態での、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの表面温度（α0）を表１に示す。
【００９９】
次いで、上記ウレタンゴムシートを、浮き部６０に対応するライニングタンク外表面１３０Ａを被覆するように、該タンク外表面１０Ａの附番１４０で示す位置に１００秒間接触させ、該タンク外表面１０Ａを加熱した（図７参照）。
【０１００】
次いで、上記ウレタンゴムシートを取り除き、赤外線サーモグラフィ９０を用いて、ライニングタンク外表面１０Ａの温度分布の測定を開始した（図８は、測定開始直後の熱画像である）。ここで、上記ウレタンゴムシートを取り除いた直後の健全部５０におけるラ
イニングタンク外表面５０Ｘの表面温度（α1）、および浮き部６０における該タンク外
表面６０Ｘ（１３０Ａ）の表面温度（β1）を表１に示す。
【０１０１】
＜評価＞
浮き部６０の位置および範囲を明確に特定できた場合を「Ａ」、浮き部６０の位置のみを特定できた場合を「Ｂ」、浮き部６０の位置および範囲ともに特定できなかった場合を「Ｃ」とした。
【０１０２】
評価結果を表１に示す。
［Ａ１−２〜Ａ１−９］
上記［Ａ１−１］において、ウレタンゴムシートの温度（γ0）および加熱（冷却）前
の健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの表面温度（α0）を表１に示す温
度に設定したこと以外は上記［Ａ１−１］と同様にして、ライニング層２０の浮き部６０の測定および評価を行った。
【０１０３】
測定結果および評価結果を表１に示す。
［Ａ２−１〜Ａ２−９］
上記［Ａ１−１］において、ライニングタンク内部１５０全体を水で満たしたこと、ウレタンゴムシートの温度（γ0）および加熱（冷却）前の健全部５０におけるライニング
タンク外表面５０Ｘの表面温度（α0）を表２に示す温度に設定したこと以外は上記［Ａ
１−１］と同様にして、ライニング層２０の浮き部６０の測定および評価を行った。
【０１０４】
測定結果および評価結果を表２に示す。
［Ａ３−１〜Ａ３−９］
上記［Ａ１−１］において、ライニングタンク１０として、缶体３０（容量２５００Ｌ、内径１３００ｍｍ、高さ２６１２ｍｍ、厚み４ｍｍ、材質ＳＵＳ３０４製）の内表面３０Ｂに、ライニング層２０〔ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）からなる層（厚み３ｍｍ）〕が、エポキシ系接着剤を介して形成されたフッ素樹脂ライニングタンクを用いたこと、ウレタンゴムシートの温度（γ0）および加熱（冷却）前の健全部５０における
ライニングタンク外表面５０Ｘの表面温度（α0）を表３に示す温度に設定したこと以外
は上記［Ａ１−１］と同様にして、ライニング層２０の浮き部６０の測定および評価を行った。
【０１０５】
なお、上記フッ素樹脂ライニングタンクには、内径１２０ｍｍ×ライニングタンク内方向の浮き上がりの高さ２ｍｍの大きさを有する浮き部６０が形成されている。
測定結果および評価結果を表３に示す。
【０１０６】
［Ａ４−１〜Ａ４−９］
上記［Ａ３−１］において、ライニングタンク内部１５０全体を水で満たしたこと、ウレタンゴムシートの温度（γ0）および加熱（冷却）前の健全部５０におけるライニング
タンク外表面５０Ｘの表面温度（α0）を表４に示す温度に設定したこと以外は上記［Ａ
３−１］と同様にして、ライニング層２０の浮き部６０の測定および評価を行った。
【０１０７】
測定結果および評価結果を表４に示す。
【０１０８】
【表１】
0005199833.tif 000002
【０１０９】
【表２】
0005199833.tif 000003
【０１１０】
【表３】
0005199833.tif 000004
【０１１１】
【表４】
0005199833.tif 000005
【０１１２】
［Ｂ１−１］
図５は、ライニングタンク１０の浮き部６０の一部（半分）６０Ａを被覆するように、
ライニングタンク外表面１０Ａに、赤外線反射防止用マスキングテープ８０を附番８１に示す位置に貼付した状態を示す説明図である。図４は、ライニングタンク１０の模式横断面図である。図９は、満水直後のライニングタンク１０の赤外線サーモグラフィ９０による熱画像である。図１０は、満水５分後のライニングタンク１０の赤外線サーモグラフィ９０による熱画像である。
【０１１３】
＜ライニングタンク＞
ライニングタンク１０として、缶体（容量２００Ｌ、内径６００ｍｍ、高さ１２２０ｍｍ、厚み４ｍｍ、材質ＳＵＳ３０４製）の内表面３０Ｂに、ライニング層２０〔ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）からなる層（厚み２ｍｍ）〕が、ゴム系接着剤を介して形成されたフッ素樹脂ライニングタンクを用いた。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの初期温度（α0）は
、１６℃であった。
【０１１４】
＜浮き部＞
図５の附番６０に示す位置に、バールを用いて故意にライニング層２０の一部を接着剤層７０から剥離して、空気・滲出液層４０を作ることにより浮き部６０を形成した。浮き部６０の横断面図を図４に示す。空気・滲出液層４０（ライニング層２０の浮き部６０）を形成した後、前記バールを引抜き、ライニング層２０の一部を完全に接着剤層７０から剥離した。浮き部６０は、横ｗ：１５０ｍｍ×縦ｈ：３７０ｍｍ×ライニングタンク内方向の浮き上がりの高さｔ：２０ｍｍの大きさを有する。
【０１１５】
＜赤外線反射防止用マスキングテープ８０＞
図５に示すように、上記のように形成した浮き部６０の幅ｗの半分（附番６０Ａで示す位置）を被覆するように、赤外線反射防止用マスキングテープ８０として、放射率が０．９５である「“スコッチ”印  表面保護用テープＮｏ．３４１Ｊ」（住友スリーエム（株）製）を、ライニングタンク外表面１０Ａの附番８１に示す位置に貼り付けた。
【０１１６】
＜収容物＞
ライニングタンク１０に供給する収容物としては、水道水（水温（γ0）１０℃、供給
速度３０Ｌ／ｍｉｎ）を用いた。
【０１１７】
＜赤外線サーモグラフィ＞
赤外線サーモグラフィ９０としては、「ＴＶＳ−２００ＥＸ」（日本アビオニクス（株）製）を用い、分解能０．２℃に設定した。また、赤外線サーモグラフィ９０は、ライニングタンク外表面１０Ａから２．７ｍ離間した位置に設置した。
【０１１８】
＜測定＞
上記の条件で、上記水道水をライニングタンク内部１５０に供給し、ライニングタンク外表面１０Ａの赤外線サーモグラフィ９０による熱画像を観察した。
【０１１９】
図９は、満水直後のライニングタンク１０の赤外線サーモグラフィ９０による熱画像である。赤外線反射防止用マスキングテープ８０の貼付部８１においては、健全部５０と浮き部６０Ａとの境界が明瞭に現れているが、該マスキングテープ８０の非貼付部８２においては、健全部５０と浮き部６０Ｂとの境界がやや不明瞭であった。
【０１２０】
図１０は、満水５分後のライニングタンク１０の赤外線サーモグラフィ９０による熱画像である。赤外線反射防止用マスキングテープ８０の貼付部８１においては、浮き部６０Ａが完全に観察可能な結果となり、さらに浮き部６０Ａの先端が特定でき、浮き部６０Ａの位置および範囲を精度よく検出することができた。しかしながら、赤外線反射防止用マ
スキングテープ８０の非貼付部８２においては、浮き部６０Ｂの境界がやや不明瞭であり、浮き部６０Ｂを検出することは可能であるが、浮き部６０Ｂの位置および範囲を精度よく検出するという観点からは、やや劣る結果となった。
【０１２１】
［Ｂ２−１］
図１１は、ライニングタンク１０を開放することなく、すなわち、該タンク１０の蓋体を取り外すことなく、薬液供給ライン１６０により上記水道水を該タンク内部１５０に供給し、該タンク内部１５０の水面１７０が浮き部６０に達した１分後の該タンク外表面１０Ａの赤外線サーモグラフィ９０による熱画像である。
【０１２２】
＜ライニングタンク＞
ライニングタンク１０として、缶体（容量３００Ｌ、外径６００ｍｍ、高さ１１００ｍｍ、厚み４ｍｍ、材質ＳＵＳ３０４製）の内表面３０Ｂに、ライニング層２０〔ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）からなる層（厚み２ｍｍ）〕が形成されたフッ素樹脂ライニングタンクを用いた。
【０１２３】
上記フッ素樹脂ライニングタンクには、缶体３０の底面から高さ４５５ｍｍの位置に、横ｗ：３００ｍｍ×縦ｈ：７０ｍｍの大きさを有する楕円の浮き部６０が形成されている。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの初期温度（α0）は、
２４．６℃であった。
【０１２４】
＜赤外線反射防止用マスキングテープ＞
浮き部６０全面を被覆するように、赤外線反射防止用マスキングテープ８０として、放射率が０．９５である「“スコッチ”印  表面保護用テープＮｏ．３４１Ｊ」（住友スリーエム（株）製）を、ライニングタンク外表面１０Ａに貼り付けた。
【０１２５】
＜収容物＞
ライニングタンク１０に供給される収容物としては、水道水（水温（γ0）７６．４℃
、供給速度３０Ｌ／ｍｉｎ）を用いた。
【０１２６】
＜赤外線サーモグラフィ＞
赤外線サーモグラフィ９０としては、「ＴＶＳ−２００ＥＸ」（日本アビオニクス（株）製、分解能０．１℃）を用いた。また、赤外線サーモグラフィ９０は、ライニングタンク外表面１０Ａから２．７ｍ離間した位置に設置した。
【０１２７】
＜測定＞
上記の条件で、ライニングタンク１０を開放することなく（すなわち、ライニングタンク１０の蓋体を取り外すことなく）、薬液供給ライン１６０により上記水道水を該タンク内部１５０に供給し、該タンク外表面１０Ａの赤外線サーモグラフィによる熱画像を観察した。
【０１２８】
その結果、水面１７０が浮き部６０に達した後１分後は、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。また、水面１７０が浮き部６０に達した後３分後も、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。さらに、水面１７０が浮き部６０に達した後５分後においても、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。
【０１２９】
結果を表５に示す。
［Ｂ２−２］
上記［Ｂ２−１］と同様のライニングタンク１０において、上記［Ｂ２−１］と同様に
該タンク外表面１０Ａの熱画像を観察した。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの初期温度（α0）は２５．８℃、該タンク１０に供給される水道水の
水温（γ0）は４１．２℃とした。
【０１３０】
水面１７０が浮き部６０に達した後１分後、３分後、５分後の何れにおいても、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。
結果を表５に示す。
【０１３１】
［Ｂ２−３］
上記［Ｂ２−１］と同様のライニングタンク１０において、上記［Ｂ２−１］と同様に該タンク外表面の熱画像を観察した。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの初期温度（α0）は２３．２℃、該タンク１０に供給される水道水の水温（
γ0）は水温２５．９℃とした。
【０１３２】
水面１７０が浮き部６０に達した後１分後において、浮き部６０の位置を検出することができたが、浮き部６０の形状を明確に特定することはできなかった。しかしながら、水面１７０が浮き部６０に達した後３分後において、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。さらに、水面１７０が浮き部６０に達した後５分後においても、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。
【０１３３】
結果を表５に示す。
［Ｂ２−４］
上記［Ｂ２−１］と同様のライニングタンク１０において、上記［Ｂ２−１］と同様に該タンク外表面１０Ａの熱画像を観察した。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの初期温度（α0）は２０．７℃、該タンク１０に供給される水道水の
水温（γ0）は水温１９．７℃とした。
【０１３４】
水面１７０が浮き部６０に達した後１分後において、浮き部６０を検出することができなかった。しかしながら、水面１７０が浮き部６０に達した後３分後において、浮き部６０の位置を検出することができた。また、水面１７０が浮き部６０に達した後５分後において、浮き部６０を検出することはできなかった。
【０１３５】
結果を表５に示す。
［Ｂ２−５］
上記［Ｂ２−１］と同様のライニングタンク１０において、上記［Ｂ２−１］と同様に該タンク外表面１０Ａの熱画像を観察した。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの初期温度（α0）は２０．８℃、該タンク１０に供給される水道水の
水温（γ0）は水温１７．９℃とした。
【０１３６】
水面１７０が浮き部６０に達した後１分後、３分後、５分後の何れにおいても、明確に熱画像により浮き部６０の位置および形状を特定することができた。
結果を表５に示す。
【０１３７】
［Ｂ２−６］
上記［Ｂ２−１］と同様のライニングタンク１０において、上記［Ｂ２−１］と同様に該タンク外表面１０Ａの熱画像を観察した。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの初期温度（α0）は２２．４℃、該タンク１０に供給される水道水の
水温（γ0）は水温１２．９℃とした。
【０１３８】
水面１７０が浮き部６０に達した後１分後、３分後、５分後の何れにおいても、明確に
熱画像により浮き部６０の位置および形状を特定することができた。
結果を表５に示す。
【０１３９】
【表５】
0005199833.tif 000006
【０１４０】
［Ｂ３−１］
下記のライニングタンク１０において、上記［Ｂ２−１］と同様に赤外線反射防止用マスキングテープ８０を浮き部６０全面が被覆されるように貼り付け、該タンク外表面１０Ａを赤外線サーモグラフィ９０により熱画像を観察した。
【０１４１】
＜ライニングタンク＞
ライニングタンク１０として、缶体（容量２５００Ｌ、内径１３００ｍｍ、高さ２６１２ｍｍ、材質ＳＵＳ３０４製、４ｍｍ厚）の内表面３０Ｂに、ライニング層２０〔ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン重合体）からなる層（厚み３ｍｍ）〕が、エポキシ系接着剤を介して形成されたフッ素樹脂ライニングタンクを用いた。
【０１４２】
上記フッ素樹脂ライニングタンクには、缶体３０の底面から高さ２３０ｍｍの位置に、内径１２０ｍｍの大きさを有する浮き部６０が形成されている。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの初期温度（α0）は、２７．１℃であった。
【０１４３】
＜収容物＞
ライニングタンク１０に供給される収容物としては、水道水（水温（γ0）６１．２℃
、供給速度８０Ｌ／ｍｉｎ）を用いた。
【０１４４】
＜赤外線サーモグラフィ＞
赤外線サーモグラフィ９０としては、「ＴＶＳ−２００ＥＸ」（日本アビオニクス（株）製）を用い、分解能０．２℃に設定した。また、赤外線サーモグラフィ９０は、ライニングタンク外表面１０Ａから２ｍ離間した位置に設置した。
【０１４５】
＜測定＞
上記の条件で、ライニングタンク１０を開放することなく（すなわち、ライニングタンク１０の蓋体を取り外すことなく）、薬液供給ライン１６０により上記水道水を該タンク内部１５０に供給し、該タンク外表面１０Ａの赤外線サーモグラフィ９０による熱画像を観察した。
【０１４６】
その結果、水面１７０が浮き部６０に達した後１分後は、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。また、水面１７０が浮き部６０に達した後３分後も、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。さらに、水面１７０が浮き部６０に達した後５分後においても、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。
【０１４７】
結果を表６に示す。
［Ｂ３−２］
上記［Ｂ３−１］と同様のライニングタンク１０において、上記［Ｂ３−１］と同様に該タンク外表面１０Ａの熱画像を観察した。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの初期温度（α0）は２７．１℃、該タンク１０に供給される水道水の
水温（γ0）は水温４０．０℃とした。
【０１４８】
水面１７０が浮き部６０に達した後１分後、３分後、５分後の何れにおいても、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。
結果を表６に示す。
【０１４９】
［Ｂ３−３］
上記［Ｂ３−１］と同様のライニングタンク１０において、上記［Ｂ３−１］と同様に該タンク外表面１０Ａの熱画像を観察した。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの初期温度（α0）は２５．２℃、該タンク１０に供給される水道水の
水温（γ0）は水温２３．９℃とした。
【０１５０】
その結果、水面１７０が浮き部６０に達した後１分後は、浮き部６０を検出することができなかった。しかしながら、水面１７０が浮き部６０に達した後３分後は、浮き部６０の位置を検出することができた。さらに、水面１７０が浮き部６０に達した後５分後においては、浮き部６０を検出することはできなかった。
【０１５１】
結果を表６に示す。
［Ｂ３−４］
上記［Ｂ３−１］と同様のライニングタンク１０において、上記［Ｂ３−１］と同様に該タンク外表面１０Ａの熱画像を観察した。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面５０Ｘの初期温度（α0）は２５．５℃、該タンク１０に供給される水道水の
水温（γ0）は水温２２．８℃とした。
【０１５２】
その結果、水面１７０が浮き部６０に達した後１分後は、浮き部６０の位置を検出することができた。そして、水面１７０が浮き部６０に達した後３分後は、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。しかしながら、水面１７０が浮き部６０に達した後５分後は、浮き部６０の位置を検出することができたが、浮き部６０の形状を明確に特定することはできなかった。
【０１５３】
結果を表６に示す。
［Ｂ３−５］
上記［Ｂ３−１］と同様のライニングタンクにおいて、上記［Ｂ３−１］と同様に該タンク外表面１０Ａの熱画像を観察した。このとき、健全部５０におけるライニングタンク
外表面５０Ｘの初期温度（α0）は２５．３℃、該タンク１０に供給される水道水の水温
（γ0）は水２０．１℃とした。
【０１５４】
その結果、水面１７０が浮き部６０に達した後１分後、３分後の何れにおいても、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。しかしながら、水面１７０が浮き部６０に達した後５分後は、浮き部６０の位置を検出することができたが、浮き部６０の形状を明確に特定することはできなかった。
【０１５５】
結果を表６に示す。
［Ｂ３−６］
上記［Ｂ３−１］と同様のライニングタンク１０において、上記［Ｂ３−１］と同様に該タンク外表面１０Ａの熱画像を観察した。このとき、健全部５０におけるライニングタンク外表面１０Ａの初期温度（α0）は２５．３℃、該タンク１０に供給される水道水の
水温（γ0）は水温１４．９℃とした。
【０１５６】
その結果、水面１７０が浮き部６０に達した後１分後、３分後、５分後の何れにおいても、浮き部６０の位置および形状を熱画像により明確に特定することができた。
結果を表６に示す。
【０１５７】
【表６】
0005199833.tif 000007
【図面の簡単な説明】
【０１５８】
【図１】図１は、本発明の検査方法（Ａ）の構成を示す模式縦断面図である。
【図２】図２は、本発明の検査方法（Ｂ）の構成を示す模式縦断面図である。
【図３】図３は、本発明の検査方法（Ａ）の構成を示す模式横断面図である。
【図４】図４は、本発明の検査方法（Ｂ）の構成を示す模式横断面図である。
【図５】図５は、ライニングタンクの浮き部の一部（半分）を被覆するように、ライニングタンク外表面にマスキングテープを貼付した状態を示す説明図である。
【図６】図６は、本発明で用いられるライニングタンクの模式縦断面図であって、該タンク内部に所定の深さまで収容物が収容されている状態を示す説明図である。
【図７】図７は、［Ａ１−１］で用いられるライニングタンクにおいて、マスキングテープおよびウレタンゴムシートの貼付状態を示す説明図である。
【図８】図８は、［Ａ１−１］での測定開始直後の熱画像である。
【図９】図９は、［Ｂ１−１］における、満水直後のライニングタンク外表面に係る赤外線サーモグラフィの熱画像である。
【図１０】図１０は、［Ｂ１−１］における、満水５分後のライニングタンク外表面に係る赤外線サーモグラフィの熱画像である。
【図１１】図１１は、［Ｂ２−１］における、ライニングタンク内部の水面が浮き部に達した１分後の該タンク外表面に係る赤外線サーモグラフィの熱画像である。
【符号の説明】
【０１５９】
１０・・・・ライニングタンク
１０Ａ・・・ライニングタンク外表面
１０Ｂ・・・ライニングタンク内表面
２０・・・・ライニング層
３０・・・・缶体
３０Ａ・・・缶体外表面
３０Ｂ・・・缶体内表面
４０・・・・空気・滲出液層
５０・・・・健全部
５０Ｘ・・・健全部におけるライニングタンク外表面
６０・・・・浮き部
６０Ａ・・・浮き部の赤外線反射防止用マスキングテープ貼付部
６０Ｂ・・・浮き部の赤外線反射防止用マスキングテープ非貼付部
６０Ｘ・・・浮き部におけるライニングタンク外表面
７０・・・・接着剤層
８０・・・・赤外線反射防止用マスキングテープ
８１・・・・赤外線反射防止用マスキングテープ貼付部
８２・・・・赤外線反射防止用マスキングテープ非貼付部
９０・・・・赤外線サーモグラフィ
１００・・・ライニングタンク内部の空気などの気相部
１１０・・・ライニングタンク内部の薬液などの液相部
１２０Ａ・・ライニングタンク内表面に接する相が気相部であるライニングタンク外表面１２５Ａ・・ライニングタンク内表面に接する相が液相部であるライニングタンク外表面１３０Ａ・・［Ａ１−１］で形成された浮き部に対応するライニングタンク外表面
１４０・・・［Ａ１−１］で使用されたウレタンゴムシート
１５０・・・ライニングタンク内部（薬液などの収容部）
１６０・・・薬液供給ライン
１７０・・・ライニングタンク内部における水面
ｔ・・・・・ライニングタンク内方向の空気・滲出液層（浮き部）の高さ
ｈ・・・・・ライニングタンク縦方向の空気・滲出液層（浮き部）の長さ
ｗ・・・・・ライニングタンク横方向の空気・滲出液層（浮き部）の幅
Ｘ・・・・・浮き部でのライニングタンクの内外面を貫く方向
Ｙ・・・・・健全部でのライニングタンクの内外面を貫く方向
【図１】
0005199833.tif 000008
【図２】
0005199833.tif 000009
【図３】
0005199833.tif 000010
【図４】
0005199833.tif 000011
【図５】
0005199833.tif 000012
【図６】
0005199833.tif 000013
【図７】
0005199833.tif 000014
【図８】
0005199833.tif 000015
【図９】
0005199833.tif 000016
【図１０】
0005199833.tif 000017
【図１１】
0005199833.tif 000018