(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発塵しうる可動部分を有し、クリーンな環境下で薄板に対して処理を行う薄板処理装置において、
前記可動部分の下方に配設され、清浄気体を取入れ可能な取入口が形成され、下側に開口部を有したダクト構成部材と、
清浄気体を前記ダクト構成部材の前記取入口側へ吸引する吸引ファンと、を備え、
クリーンルームの床に設置されると、前記クリーンルームの床の一部によって前記ダクト構成部材の前記開口部が閉じられ、前記ダクト構成部材と前記クリーンルームの床の一部によって、前記クリーンルーム内に立設されかつ上端部が前記クリーンルームの上側の天井チャンバーに連通したリターンダクトに直接連通する接続ダクトが構成されるようになっていることを特徴とする薄板処理装置。
【請求項２】
発塵しうる可動部分を有し、クリーンな環境下で薄板に対して処理を行う薄板処理装置において、
前記可動部分の下方に配設され、清浄気体を取入れ可能な取入口が形成され、クリーンルームに立設されかつ上端部が前記クリーンルームの上側の天井チャンバーに連通したリターンダクトに直接連通するように接続可能な接続ダクトと、
清浄気体を前記接続ダクトの前記取入口側へ吸引する吸引ファンと、を備えたことを特徴とする薄板処理装置。
【請求項３】
清浄気体の循環によってクリーンな環境を保ちつつ、クリーンな環境下で薄板に対して処理を行うクリーン薄板処理システムにおいて、
建屋内に構築されたクリーンルームと、
前記建屋内における前記クリーンルームの上側に配設され、気体を収容する天井チャンバーと、
前記クリーンルームの天井側に配設され、前記天井チャンバー内の気体を濾過して、清浄気体を下方向へ送風する送風ファン・フィルタユニットと、
前記クリーンルーム内に立設され、上端部が前記天井チャンバー内に連通したリターンダクトと、
前記クリーンルームの床に設置された請求項１又は請求項２に記載の薄板処理装置と、を備えたことを特徴とするクリーン薄板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンな環境下で例えばガラス基板等の薄板に対して処理を行う薄板処理装置と、清浄気体（清浄空気、清浄窒素等を含む）の循環によってクリーンな環境を保ちつつ、クリーンな環境下で薄板に対して処理を行うクリーン薄板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン薄板処理システムについては種々の開発がなされており、クリーン薄板処理システムの先行技術として特許文献１及び特許文献２に示すものがある。
【０００３】
即ち、建屋内には、作業空間であるクリーンルームが構築されており、このクリーンルームの床は、グレーチング構造になっている。また、建屋内におけるクリーンルームの上側には、空気を収容可能な天井チャンバーが配設されており、建屋内におけるクリーンルームの下側には、空気を回収する床下チャンバーが配設されてあって、この床下チャンバーは、グレーチング構造の床を介してクリーンルーム内に連通してある。更に、クリーンルームの天井側には、送風ファン・フィルタユニットが配設されており、この送風ファン・フィルタユニットは、天井チャンバー内の空気を濾過して、清浄空気を下方向へ送風するものである。
【０００４】
クリーンルーム内又は建屋内には、リターンダクトが立設されており、このリターンダクトの上端部は、天井チャンバー内に連通してあって、リターンダクトの下端部は、床下チャンバー内に連通してある。また、建屋内の適宜位置には、クリーンルーム内の清浄空気を床下チャンバー側へ吸引する吸引装置が配設されている。そして、クリーンルームの床には、クリーンな環境下で薄板に対してプロセス処理を行う薄板プロセス処理装置（薄板処理装置の一例）が設置されている。
【０００５】
従って、先行技術に係るクリーン薄板処理システムによると、送風ファン・フィルタユニットによって天井チャンバー内の空気を濾過して、清浄空気を下方向へ送風する。一方、吸引装置によって清浄空気を床下チャンバー側へ吸引することにより、グレーチング構造の床、床下チャンバー、及びリターンダクトを経由して清浄空気を天井チャンバー内へ戻す。これにより、天井チャンバー、送風ファン・フィルタユニット、グレーチング構造の床、床下チャンバー、及びリターンダクトを介して清浄空気を循環させて、クリーンルーム内をクリーンな環境に保つことができ、薄板処理装置によってクリーンな環境下で薄板に対してプロセス処理を行うことができる。
【特許文献１】特開平１１−３３７１１５号公報
【特許文献２】特開平１０−１１６７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前述のように、グレーチング構造の床、床下チャンバー等を介して清浄空気を循環させて、クリーンルーム内をクリーンな環境に保っているため、先行技術に係るクリーン薄板処理システムにあっては、クリーンルームの床をグレーチング構造にしたり、建屋内におけるクリーンルームの下側に床下チャンバーを配設したりする必要がある。そのため、クリーン薄板処理システムの製造コストが高くなると共に、クリーン薄板処理システムの高さ方向のスペースが大きくなって、建屋内のスペース（工場内のスペース）を有効利用することが困難になるという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の薄板処理装置及びクリーン薄板処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の特徴（請求項１に記載の発明の特徴）は、発塵しうる可動部分を有し、クリーンな環境下で薄板に対して処理を行う薄板処理装置において、前記可動部分の下方に配設され、清浄気体を取入れ可能な取入口が形成され、下側に開口部を有したダクト構成部材と、清浄気体を前記ダクト構成部材の前記取入口側へ吸引する吸引ファンと、を備え、クリーンルームの床に設置されると、前記クリーンルームの床の一部によって前記ダクト構成部材の前記開口部が閉じられ、前記ダクト構成部材と前記クリーンルームの床の一部によって、前記クリーンルーム内に立設されかつ上端部が前記クリーンルームの上側の天井チャンバーに連通したリターンダクトに直接連通する接続ダクトが構成されるようになっていることを要旨とする。
【０００９】
ここで、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「処理」とは、プロセス処理、保管処理、搬送処理等を含む意であって、プロセス処理には、エッチング処理、ＣＶＤ処理、ＰＶＤ処理等が含まれる。なお、前記リターンダクトの上端部は、建屋内における前記クリーンルームの上側に配設された天井チャンバー内に連通している。
【００１０】
第１の特徴により、前記薄板処理装置を前記クリーンルームの床に設置して、前記薄板処理装置をクリーン薄板処理システムの一部として用いる場合には、次のように行う。
【００１１】
即ち、前記クリーンルームの天井側に配設された送風ファン・フィルタユニットによって、前記天井チャンバー内の気体を濾過して、清浄気体を下方向へ送風する。一方、前記吸引ファンによって清浄気体を前記ダクト構成部材の前記取入口側へ吸引することにより、前記接続ダクト及び前記リターンダクトを経由して清浄気体を前記天井チャンバー内へ戻す。これにより、前記天井チャンバー、前記送風ファン・フィルタユニット、前記接続ダクト、及び前記リターンダクトを介して清浄気体を循環させて、前記クリーンルーム内をクリーンな環境に保つことができ、前記薄板処理装置によってクリーンな環境下で薄板に対して処理を行うことができる。特に、前記吸引ファンによって清浄気体を前記ダクト構成部材の前記取入口側へ吸引しているため、前記可動部分周辺において、塵埃等を含む清浄気体の巻き上がりを十分に抑制することができ、前記クリーンルーム内を高度なクリーンな環境に保つことができる。
【００１２】
また、前記薄板処理装置は、前記クリーンルームの床に設置されると、前記クリーンルームの床の一部によって前記ダクト構成部材の前記開口部が閉じられ、前記ダクト構成部材と前記クリーンルームの床の一部によって前記接続ダクトが構成されるようになっているため、前記クリーンルームの床の一部を前記接続ダクトの一部として用いることができる。
【００１３】
本発明の第２の特徴（請求項２に記載の発明の特徴）は、発塵しうる可動部分を有し、クリーンな環境下で薄板に対して処理を行う薄板処理装置において、前記可動部分の下方に配設され、清浄気体を取入れ可能な取入口が形成され、クリーンルームに立設されかつ上端部が前記クリーンルームの上側の天井チャンバーに連通したリターンダクトに直接連通するように接続可能な接続ダクトと、清浄気体を前記接続ダクトの前記取入口側へ吸引する吸引ファンと、を備えたことを要旨とする。
【００１４】
なお、前記リターンダクトの上端部は、建屋内における前記クリーンルームの上側に配設された天井チャンバー内に連通している。
【００１５】
第２の特徴により、前記薄板処理装置を前記クリーンルームの床に設置して、前記薄板処理装置をクリーン薄板処理システムの一部として用いる場合には、次のように行う。
【００１６】
即ち、前記クリーンルームの天井側に配設された送風ファン・フィルタユニットによって、前記天井チャンバー内の気体を濾過して、清浄気体を下方向へ送風する。一方、前記吸引ファンによって清浄気体を前記接続ダクトの前記取入口側へ吸引することにより、前記接続ダクト及び前記リターンダクトを経由して清浄気体を前記天井チャンバー内へ戻す。これにより、前記天井チャンバー、前記送風ファン・フィルタユニット、前記接続ダクト、及び前記リターンダクトを介して清浄気体を循環させて、前記クリーンルーム内をクリーンな環境に保つことができ、前記薄板処理装置によってクリーンな環境下で薄板に対して処理を行うことができる。特に、前記吸引ファンによって清浄気体を前記接続ダクトの前記取入口側へ吸引しているため、前記可動部分周辺において、塵埃等を含む清浄気体の巻き上がりを十分に抑制することができ、前記クリーンルーム内を高度なクリーンな環境に保つことができる。
【００１７】
本発明の第３の特徴（請求項３に記載の発明の特徴）は、清浄気体の循環によってクリーンな環境を保ちつつ、クリーンな環境下で薄板に対して処理を行うクリーン薄板処理システムにおいて、建屋内に構築されたクリーンルームと、前記建屋内における前記クリーンルームの上側に配設され、気体を収容する天井チャンバーと、前記クリーンルームの天井側に配設され、前記天井チャンバー内の気体を濾過して、清浄気体を下方向へ送風する送風ファン・フィルタユニットと、前記クリーンルーム内に立設され、上端部が前記天井チャンバー内に連通したリターンダクトと、前記クリーンルームの床に設置された第１の特徴又は第２の特徴からなる薄板処理装置と、を備えたことを要旨とする。
【００１８】
第３の特徴によると、第１の特徴又は第２の特徴による作用と同様の作用を奏する。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１から請求項３のうちのいずれかの請求項に記載の発明によれば、前記可動部分周辺において、塵埃等を含む清浄気体の巻き上がりを十分に抑制しつつ、前記天井チャンバー、前記送風ファン・フィルタユニット、前記接続ダクト、及び前記リターンダクトを介して清浄気体を循環させて、前記クリーンルーム内を高度なクリーンな環境にすることができるため、前記クリーンルームの床をグレーチング構造にしたり、前記建屋内における前記クリーンルームの下側に床下チャンバーを配設したりする必要がなくなる。そのため、前記クリーン薄板処理システムの製造コストを低減することができると共に、前記クリーン薄板処理システムの高さ方向のスペースを小さくして、前記建屋のスペースを有効利用することができる。
【００２０】
また、請求項１又は請求項３に記載の発明によれば、前記クリーンルームの床の一部を前記接続ダクトの一部として用いることができるため、前記接続ダクトの材料費を削減して、前記クリーン薄板処理システムの製造コストのより一層の低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の実施形態について図１及び図２を参照して説明する。
【００２２】
ここで、図１は、本発明の実施形態に係るクリーン薄板処理システムの断面図、図２は、図１におけるII-II線に沿った図である。なお、図面中、「Ｌ」は、左方向、「Ｒ」は、右方向を指す。
【００２３】
図１に示すように、本発明の実施形態に係るクリーン薄板保管処理システム１は、清浄空気の循環によってクリーンな環境を保ちつつ、クリーンな環境下で例えばガラス基板等の薄板Ｗに対して保管処理を行うシステムであって、このクリーン薄板保管処理システム１の具体的な構成は、以下のようになる。
【００２４】
建屋３内には、作業空間であるクリーンルーム５が構築されており、このクリーンルーム５の床５ｆは、塗り床構造になっている。また、建屋３内におけるクリーンルーム５の上側には、空気（気体の一例）を収容可能な天井チャンバー７が配設されており、クリーンルーム５の天井５ｃ側には、送風ファン・フィルタユニット９が配設されており、この送風ファン・フィルタユニット９は、天井チャンバー７内の空気を濾過して、清浄空気を下方向へ送風するものである。
【００２５】
クリーンルーム５内には、リターンダクト１１が立設されており、このリターンダクト１１の上端部は、天井チャンバー７内に連通してある。また、クリーンルーム５の床５ｆには、クリーンな環境下で薄板Ｗに対して保管処理を行う薄板保管処理装置１３が設置されており、この薄板保管処理装置１３の構成は、次のようになる。
【００２６】
即ち、図１及び図２に示すように、薄板保管処理装置１３は、装置本体１５を備えており、この装置本体１５は、クリーンルーム５の床５ｆに設置可能な支持台１７と、この支持台１７の左部及び右部に立設された一対の側フレーム１９等からなっている。
【００２７】
各側フレーム１９には、上下方向へ延びたガイドレール２１がそれぞれ設けられており、各ガイドレール２１には、多数の薄板Ｗを収納するカセット２３の端部を下方向から支持するカセット支持部材２５が上下方向へ移動可能に設けられている。そして、装置本体１５の適宜位置には、一対のカセット支持部材２５を上下方向へ移動させる電動モータ（図示省略）が配設されている。ここで、カセット２３は、薄板Ｗを収納する多数の収納部を上下に有してあって、一対のカセット支持部材２５を上下方向へ移動させることにより、カセット２３における所定の収納部を所定の高さ位置に位置決めすることができるようになっている。なお、薄板保管処理装置１３において、ガイドレール２１とカセット支持部材２５は、発塵しうる可動部分になっている。
【００２８】
支持台１７の下側（換言すれば、装置本体１５におけるガイドレール２１の下方）には、ダクト構成部材２７が配設されており、このダクト構成部材２７は、下側に、開口部２７ｐを有している。また、ダクト構成部材２７の上面には、清浄空気を取入れ可能な複数（本発明の実施形態にあっては、４つ）の取入口２７ｔが形成されている。更に、支持台１７には、複数（本発明の実施形態にあっては、４つ）の段付穴１７ｈがダクト構成部材２７の取入口２７ｔに連通するように形成されており、各段付穴１７ｈ（換言すれば、ダクト構成部材２７の各取入口２７ｔの上側近傍）には、清浄空気をダクト構成部材２７の取入口２７ｔ側へ吸引する吸引ファン２９がそれぞれ配設されている。
【００２９】
そして、薄板保管処理装置１３は、クリーンルーム５の床５ｆに設置されると、クリーンルーム５の床５ｆの一部によってダクト構成部材２７の開口部２７ｐが閉じられ、ダクト構成部材２７とクリーンルーム５の床５ｆの一部によって、クリーンルーム５内に立設されたリターンダクト１１の下端部に連通するように接続可能な接続ダクトＣＤが構成されるようになっている。
【００３０】
なお、薄板保管処理装置１３の一般的な構成は、特開２００５−１５９１４１号公報又は特開２００５−１７５４２９号公報に示す薄板保管処理装置の構成と同様であって、薄板保管処理装置１３は、薄板Ｗを搬送する搬送ユニット等を備えている。
【００３１】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３２】
送風ファン・フィルタユニット９によって天井チャンバー７内の空気を濾過して、清浄空気を下方向へ送風する。一方、複数の吸引ファン２９によって清浄空気をダクト構成部材２７の取入口２７ｔ側へ吸引することにより、接続ダクトＣＤ及びリターンダクト１１を経由して清浄空気を天井チャンバー７内へ戻す。これにより、天井チャンバー７、送風ファン・フィルタユニット９、接続ダクトＣＤ、及びリターンダクト１１を介して清浄空気を循環させて、クリーンルーム５内をクリーンな環境に保つことができ、薄板保管処理装置１３によってクリーンな環境下で薄板Ｗに対して保管処理を行うことができる。特に、複数の吸引ファン２９によって清浄空気をダクト構成部材２７の取入口２７ｔ側へ吸引しているため、ガイドレール２１及びカセット支持部材２５の周辺において、塵埃等を含む清浄空気の巻き上がりを十分に抑制することができ、クリーンルーム５内を高度なクリーンな環境に保つことができる（第１の作用）。
【００３３】
また、薄板保管処理装置１３は、クリーンルーム５の床に設置されると、クリーンルーム５の床の一部によってダクト構成部材２７の開口部２７ｐが閉じられ、ダクト構成部材２７とクリーンルーム５の床５ｆの一部によって接続ダクトＣＤが構成されるようになっているため、クリーンルーム５の床５ｆの一部を接続ダクトＣＤの一部として用いることができる（第２の作用）。
【００３４】
従って、本発明の実施形態によれば、ガイドレール２１及びカセット支持部材２５の周辺において、塵埃等を含む清浄空気の巻き上がりを十分に抑制しつつ、天井チャンバー７、送風ファン・フィルタユニット９、接続ダクトＣＤ、及びリターンダクト１１を介して清浄空気を循環させて、クリーンルーム５内を高度なクリーンな環境にすることができるため、クリーンルーム５の床５ｆをグレーチング構造にしたり、建屋３内におけるクリーンルーム５の下側に床下チャンバーを配設したりする必要がなくなる。そのため、クリーン薄板保管処理システム１の製造コストを低減することができると共に、クリーン薄板保管処理システム１の高さ方向のスペースを小さくして、建屋３のスペースを有効利用することができる（第１の効果）。
【００３５】
また、クリーンルーム５の床５ｆの一部を接続ダクトＣＤの一部として用いることができるため、接続ダクトＣＤの材料費を削減して、クリーン薄板保管処理システム１の製造コストのより一層の低減を図ることができる（第２の効果）。
【００３６】
（変形例）
本発明の実施形態の変形例について図３を参照して説明する。
【００３７】
ここで、図３は、本発明の実施形態の変形例に係るクリーン薄板処理システムの断面図である。
【００３８】
図３に示すように、変形例に係るクリーン薄板処理システム３１あっては、支持台１７の下側にダクト構成部材２７が配設される代わりに、支持台１７の下側にリターンダクト１１の下端部に連通するように接続可能な接続ダクト３３が配設され、かつ接続ダクト３３の上面に清浄空気を取入れ可能な複数の取入口３３ｔが形成されている。また、変形例に係るクリーン薄板処理システム３１における接続ダクト３３以外の構成は、クリーン薄板保管処理システム１の構成と略同じである。なお、本発明の実施形態の変形例に係るクリーン薄板処理システム３１における複数の構成要素のうち、本発明の実施形態に係るクリーン薄板保管処理システム１における構成要素と対応するものについては、図中に同一番号を付して、説明を省略する。
【００３９】
そして、本発明の実施形態の変形例においても、前述の第１の作用及び第１の効果と同様の作用及び効果を奏する。
【００４０】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態に係るクリーン薄板処理システムの断面図である。
【図２】図１におけるII-II線に沿った図である。
【図３】本発明の実施形態の変形例に係るクリーン薄板処理システムの断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１        クリーン薄板保管処理システム
３        建屋
５        クリーンルーム
５ｃ      天井
５ｆ      床
７        天井チャンバー
９        送風ファン・フィルタユニット
１１        リターンダクト
１３        薄板保管処理装置
１５        装置本体
１７        支持台
１７ｈ      段付穴
１９        側フレーム
２１        ガイドレール
２３        カセット
２５        カセット支持部材
２７        ダクト構成部材
２７ｐ      開口部
２７ｔ      取入口
２９        吸引ファン
３１        クリーン薄板処理システム
３３        接続ダクト
３３ｔ      取入口
【図１】
0005125291.tif 000002
【図２】
0005125291.tif 000003
【図３】
0005125291.tif 000004