(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンジンで駆動され、且つ、外部からポンプ吐出量の調整可能な可変容量ポンプに、複数のクローズドセンター型方向制御弁を介して、それぞれアクチュエータを接続した油圧回路において、前記クローズドセンター型方向制御弁が、センターバイパス型の方向制御弁の代わりとなるように、電気的演算により求められた吐出圧により、前記可変容量ポンプを制御する方法であって、前記可変容量ポンプの実ポンプ吐出量と、前記各方向制御弁の操作量とを検出し、前記実ポンプ吐出量を前記アクチュエータ流量とし、前記操作量に基づいてブリードオフ流量を算出し、前記可変容量ポンプの仮想ポンプ吐出量から、前記アクチュエータ流量及び前記ブリードオフ流量を減算した流量値を算出し、前記流量値に基づいて、前記可変容量ポンプの圧力制御指令量を決定することを特徴とする可変容量ポンプの制御方法。
【請求項２】
前記可変容量ポンプは、斜板式可変容量ポンプであり、前記実ポンプ吐出量の検出を、傾転センサにより行うことを特徴とする請求項１に記載の可変容量ポンプの制御方法。
【請求項３】
前記可変容量ポンプへの制御指令量を、規範モデルとなる仮想配管系に基づいて算出された仮想ポンプ吐出圧指令とすることを特徴とする請求項１又は２に記載の可変容量ポンプの制御方法。
【請求項４】
前記ブリードオフ流量を、前記仮想吐出圧指令の平方根に、前記センターバイパス型の方向切換弁が示すブリードオフ特性に対応するようにして前記操作量に基づいて求められたセンターバイパスの開口面積とオリフィスの流量係数を乗算することにより得ることを特徴とする請求項３に記載の可変容量ポンプの制御方法。
【請求項５】
前記仮想吐出量は、前記エンジンの馬力を前記仮想吐出圧指令により除した値を上限として制限されることを特徴とする請求項３又は４に記載の可変容量ポンプの制御方法。
【請求項６】
前記センターバイパス開口面積は、前記各方向制御弁の操作量に基づく操作量信号（Sk）に対する個別のブリードオフ特性に基づき、前記各方向制御弁の開口面積（Abk）として算出し、合計ブリードオフ面積値（Ab）を下記式に基づき算出し、前記流量値は、前記合計ブリードオフ面積値（Ab）に基づいて、前記クローズドセンター型方向制御弁の仮想ブリードオフ流量を決定し、前記仮想ポンプ吐出量から前記仮想ブリードオフ流量を減算した値であることを特徴とする請求項４又は５に記載の可変容量ポンプの制御方法。
【数１】
0005336558.tif 000004
【請求項７】
前記可変容量ポンプの吐出圧の制御を、電磁比例弁を介して行い、前記電磁比例弁への信号が得られない非常時に、前記可変容量ポンプの吐出圧を所定値とすることにより前記アクチュエータを動作できるようにしたことを特徴とする請求項１又は６に記載の可変容量ポンプの制御方法。
【請求項８】
前記非常時において、前記可変容量ポンプの傾転駆動系をネガティブ型としたことを特徴とする請求項７に記載の可変容量ポンプの制御方法。
【請求項９】
前記可変容量ポンプの傾転駆動系をネガティブ型とするために、前記電磁比例弁をネガティブ型としたことを特徴とする請求項８に記載の可変容量ポンプの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ブリードオフ油圧システムを利用している建設機械等の機械に適用される可変容量ポンプの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、油圧ショベルなどの建設機械の油圧システムにおいて、クローズドセンターの制御バルブを介して複数のアクチュエータに接続する場合の制御方法を特許文献１及び特許文献２において提案している。
しかしながら、実際にクローズドセンターの制御バルブを介して複数のアクチュエータを接続した場合に、下記の点において問題が生じていた。
【０００３】
まず、可変容量ポンプの吐出圧の制御は、コントローラと圧力センサーにより、電気的に閉ループを組んで制御するようにしている。具体的に特許文献２に示される制御を、図７のブロック図及び同図を機能別に整理した図８のブロック図を参照して説明すると、図８において点線内で囲まれたコントローラの演算により閉ループ圧力制御演算を行った場合には、可変リミッタの後のポンプ吐出量指令Qpcが電気的にポンプに対して出力されるので、電気系統に問題が生じる等指令がポンプに対して与えられない状況下では、一般的に吐出量がゼロのままとなり、システムを可動できなくなるという問題があった。
【０００４】
また、図７に示されるように、仮想吐出圧Pideaは、仮想吐出量Qideaから制限付き仮想吐出量Q’ideaを引いて求められたブリードオフ流量Xaと、操作量に基づいて得られたアクチュエータの仮想ブリードオフ特性値Xbとを使用しており、操作量が大きくなると、仮想ブリードオフ特性値Xbとして求められる仮想のブリードオフ通路の開口面積Abは、通常０へと収束し、最終的には０となる。また、仮想吐出量Qideaに対して、制限付き仮想吐出量Q’ideaも増加してゆき、その差（即ち、仮想のブリードオフ流量Xa）も最終的には０になる。
しかしながら、吐出圧の算出には、下記式を使用するために、（Xa／Xb）２という演算を行う必要があり、結果が最高圧となるところ等、然るべき条件で打ち切るとしても限度があり、０に近い数値を０に近い数値で割ることがあり、演算誤差が大きくなるという問題があった。
Pidea＝｛（Qmax-Qa）/(Kq×Ab)｝2
尚、式中、Qmaxはポンプの最大吐出量であり、Kqは流量係数であり、Abはブリードオフ通路の開口面積である。
【０００５】
また、複数のアクチュエータの操作量は合計され、所定のブリードオフ特性に相当するブリードオフ通路の開口面積を算出するようにしているが、アクチュエータ毎に異なるブリードオフ流量が必要とされる場合には、有効ではなかった。
【０００６】
【特許文献１】特許第３７４５０３８号公報
【特許文献２】特許第３４７１６３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、可変容量ポンプとクローズドセンター型方向弁を使用して実用性と経済性に優れた油圧回路を構成することができ、更に、ブリードオフ制御方法が持つ良好な操作性を損なわずに、非常時であっても可動させることができ、操作量の全領域において制御することができ、更には、各アクチュエータ毎のブリードオフ特性に応じて制御することができる可変容量ポンプの制御方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決すべく、下記の通り解決手段を見いだした。
即ち、本発明の可変容量ポンプの制御方法は、請求項１に記載の通り、エンジンで駆動され、且つ、外部からポンプ吐出量の調整可能な可変容量ポンプに、複数のクローズドセンター型方向制御弁を介して、それぞれアクチュエータを接続した油圧回路において、前記クローズドセンター型方向制御弁が、センターバイパス型の方向制御弁の代わりとなるように、電気的演算により求められた吐出圧により、前記可変容量ポンプを制御する方法であって、前記可変容量ポンプの実ポンプ吐出量と、前記各方向制御弁の操作量とを検出し、前記実ポンプ吐出量を前記アクチュエータ流量とし、前記操作量に基づいてブリードオフ流量を算出し、前記可変容量ポンプの仮想ポンプ吐出量から、前記アクチュエータ流量及び前記ブリードオフ流量を減算した流量値を算出し、前記流量値に基づいて、前記可変容量ポンプの圧力制御指令量を決定することを特徴とする。
また、請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載の可変容量ポンプの制御方法において、前記可変容量ポンプは、斜板式可変容量ポンプであり、前記実ポンプ吐出量の検出を、傾転センサにより行うことを特徴とする。
また、請求項３に記載の本発明は、請求項１又は２に記載の可変容量ポンプの制御方法において、前記可変容量ポンプの制御指令量を、規範モデルとなる仮想配管系に基づいて算出された仮想ポンプ吐出圧指令とすることを特徴とする。
また、請求項４に記載の本発明は、請求項３に記載の可変容量ポンプの制御方法において、前記ブリードオフ流量を、前記仮想吐出圧指令の平方根に、前記センターバイパス型の方向切換弁が示すブリードオフ特性に対応するようにして前記操作量に基づいて求められたセンターバイパスの開口面積とオリフィスの流量係数を乗算することにより得ることを特徴とする。
また、請求項５に記載の本発明は、請求項３又は４に記載の可変容量ポンプの制御方法において、前記仮想吐出量は、前記エンジンの馬力を前記仮想吐出圧指令により除した値を上限として制限されることを特徴とする。
また、請求項６に記載の本発明は、請求項４又は５に記載の発明において、前記センターバイパス開口面積は、前記各方向制御弁の操作量に基づく操作量信号（Sk）に対する個別のブリードオフ特性に基づき、前記各方向制御弁の開口面積（Abk）として算出し、合計ブリードオフ面積値（Ab）を下記式に基づき算出し、前記流量値は、前記合計ブリードオフ面積値（Ab）に基づいて、前記クローズドセンター型方向制御弁の仮想ブリードオフ流量を決定し、前記仮想ポンプ吐出量から前記仮想ブリードオフ流量を減算した値であることを特徴とする。
【数２】
0005336558.tif 000002
また、請求項７に記載の本発明は、請求項１又は６に記載の発明において、前記可変容量ポンプの吐出圧の制御を、電磁比例弁を介して行い、前記電磁比例弁への信号が得られない非常時に、前記可変容量ポンプの吐出圧を所定値とすることにより前記アクチュエータを動作できるようにしたことを特徴とする。
また、請求項８に記載の本発明は、請求項７に記載の可変容量ポンプの制御方法において、前記非常時において、前記可変容量ポンプの傾転駆動系をネガティブ型としたことを特徴とする。
また、請求項９に記載の本発明は、請求項８に記載の可変容量ポンプの制御方法において、前記可変容量ポンプの傾転駆動系をネガティブ型とするために、前記電磁比例弁をネガティブ型としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように本発明によるときは、電気系が不調となり、例えば、可変容量ポンプへ制御信号が入力されなくなった場合でも、ポンプは最大圧等の所定の圧力で可動することになるので、アクチュエータ側で要求される吐出流量を確保することが可能となる。また、負荷側に設置されている制御バルブによって要求流量を調節すれば、原動機のエンストも回避することができる。
また、可変容量ポンプの制御量を決定するための演算過程において、０に近い数値を０に近い数値で割り算することがなくなる。従って、たとえ、操作量が増大して、仮想吐出量に対して制限付きポンプ吐出量も増加してゆき、その差（即ち、仮想ブリードオフ流量）も最終的には０になっても、負荷圧に見合った吐出圧を出力できるので計算を途中で打ち切る等の追加演算の必要性がなくなる。即ち、実際に近い状態で油圧制御系を演算によりシミュレートするため、ブリードオフ制御状態から操作量が増大してブリードオフ制御状態が終了した後までをシームレスに演算し、ポンプの制御をすることができる。
更に、個別のアクチュエータの要求特性に合わせた操作性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の一実施の形態を図１及び図２に基づき説明する。
図１は、複数の油圧アクチュエータ１、１の作動を制御する油圧ショベル等に適用される油圧回路を示し、これらのアクチュエータ１はエンジンＰＭにより駆動される可変容量ポンプ２の吐出回路３にクローズドセンターの制御バルブ４、４を介して接続されている。
尚、可変容量ポンプ２は斜板等のポンプ容量制御機構を備えたアキシャルピストンポンプ等の公知のものである。
【００１１】
ポンプ圧力制御装置６の入力側には、指令入力としてのソレノイド駆動アンプ５の出力とフィードバック入力としてのポンプ２の吐出側圧力が接続され、ポンプ圧力制御装置６の出力側には、コントロールピストン７が接続される。
ポンプ圧力制御装置６は、コントロールバルブ６ｂと、ネガティブ型電磁比例弁６ｃとを備え、コントロールバルブ６ｂのスプールの両端にはポンプ２の実ポンプ吐出圧Prealと、バネ６ｄの弾性力と、ネガティブ型電磁比例弁６ｃにより制御される圧力信号P’cがかかるが、スプールの両端には適当なる面積差が与えられており、コントロールバルブ６ｂは然るべく、それらのバランスにより制御されている。
ネガティブ型電磁比例弁６ｃは、バネとこれに対向する入力側の圧力信号P’c、及びコントローラ１２において、信号P'idea基いて入力される制御電流に比例して可変される比例ソレノイド６ａが発生する力とのバランスで制御される。
尚、本実施の形態では、図２にブロック図を示すようにブリードオフ特性演算から得られた仮想ポンプ吐出圧指令Pideaは、ネガティブ型の制御をするために、ポンプの最大吐出圧から減算して反転させた信号P'ideaとしてネガティブ型電磁比例弁の比例ソレノイド６ｃに伝達するようにしている。
上記構成により、仮想ポンプ吐出圧指令Pideaは、ネガティブ型に反転された後、ソレノイド駆動アンプ５介してポンプ圧力制御装置６の比例ソレノイド６ａを励磁し、ネガティブ型電磁比例弁を介してその励磁の大きさに反比例して（従って、仮想ポンプ吐出圧指令Pideaに比例的に）コントロールバルブ６ｂを操作し、その結果、コントロールピストン７がポンプ容量制御機構を動かし、ポンプ容量、即ち、ポンプ吐出量を大小に制御する。
そして、電気系が不調となり、例えば、可変容量ポンプ２への指令が入力されなくなった場合でも、ネガティブ型の圧力の閉ループ制御ができるため、ポンプ２は最大圧等の所定の圧力で可動することになるので、アクチュエータ１、１側で要求される吐出流量を確保することが可能となる。また、負荷側に設置されている制御バルブ４、４によって要求流量を調節すれば、エンジンＰＭのエンストも回避することができる。
尚、本明細書において、「ネガティブ型」とは、入力値に対して出力値が漸次減少するものをいう。
【００１２】
尚、説明した例では、ネガティブ型の電磁比例弁６ｃとして、比例リリーフ弁を使用したが、図３（ａ）に示す減圧弁１６ｃ又は同図（ｂ）に示す流量制御弁１６ｄ及び可変絞り弁１６ｅによっても同様の目的を達成することができる。また、図３（ｃ）に示すようなネガティブ型傾転駆動系によっても同様の達成することができる。尚、本発明において、ネガティブ型傾転駆動系とは、信号が得られない時に最大圧等の所定でポンプを可動することができ、信号が入力されると出力値が漸次減少するものをいう。
【００１３】
前記制御バルブ４は、スプールを移動させる比例ソレノイド８を備えたもので、電気ジョイスティック９により、コントローラ１２を介してソレノイド駆動アンプ１３を作動させると、電気ジョイスティック９の傾角に応じて比例ソレノイド８が励磁され、所望の位置に制御バルブ４のスプールが移動し、アクチュエータポート１０、１０をその移動距離に応じた開口面積Ab1、Ab2に制御する。
【００１４】
各制御バルブ４を操作するための操作レバーの傾角などの指令量又は各制御バルブ４のスプールの移動量は、センサーで電気的に検出され、その指令量又は移動量を各制御バルブ４の操作量に基づく操作量信号Sとし、図１の例では、電気ジョイスティック９から、コントローラ１２を介して、ソレノイド駆動アンプ１３への指令電気信号を操作量信号として使用するようにした。
【００１５】
アクチュエータ流量Qaは、制御バルブ４が実際にはブリードオフ通路のないオールポートクローズドのバルブであるから、回路上のわずかな漏れを無視すれば、可変容量ポンプ２の実吐出量Qrealをアクチュエータ流量Qaと代替することができる。
このアクチュエータ流量Qaを、本実施の形態では、可変容量ポンプ２に、吐出量検出センサ１１を設け、吐出量検出センサ１１で検出した傾転量にポンプ２の回転数を乗ずることにより、前記アクチュエータ流量Qaを算出するようにしている。
尚、前記吐出量検出センサとしては、例えば、可変容量ポンプ２が斜板式可変容量ポンプやラジアルポンプである場合には、ポテンショメータ等を使用することができる。
【００１６】
これら電気信号は、Ａ／Ｄ変換器１２ａ、演算器１２ｂ、Ｄ／Ａ変換器１２ｃで構成されたコントローラ１２に於いて演算され、演算器１２ｂは、図２のブロック線図に示す演算を自動制御的に実行する。
【００１７】
コントローラ１２に於いては、仮想ポンプ吐出圧指令Ｐideaを、特許文献１において説明されている下記式、
Pidea＝｛（Qmax-Qa）/(Kq×Ab)｝2
により算出する。
尚、式中、Qmaxはポンプの最大吐出量であり、Kqは流量係数であり、Abはブリードオフ通路の開口面積である。
【００１８】
演算器（CPU）１２ｂは、図２の点線内をシミュレートするものであり、図４を参照して以下に説明する。
まず、図４（ａ）に示すように、複数の制御バルブ４の操作量Skの入力を受け付け、それらの総和S1+S2+・・・Snをとり、その合計の操作量信号Sとする。この際、個々の入力に重み付けを行ったり、適当な計算処理も行っても良い。次いで操作量信号Sより予定のブリードオフ特性に相当する制御バルブのブリードオフ通路の開口面積Abを求めると共にこれにKq（流量係数）を乗じてブリードオフ特性値Xbを求める。勿論、実際の制御バルブ４はブリードオフ通路のないクローズドセンターのものであり、この開口面積Abは演算上の値である。ブリードオフ特性は、開口面積Abと操作量Sとの関係を予め決定しておくことにより定められる。
【００１９】
また、可変容量ポンプ２の仮想吐出量Qideaは、所定値に定められる。
この際、可変容量ポンプ２の最大吐出量は既知数であるので、この値を使用することもできる。
より好ましくは、図４（ｂ）に示すように、馬力演算を行い、エンジンの馬力Heを仮想ポンプ吐出圧指令Pideaでもって除した値を使用するようにすれば、可変容量ポンプ２の吸収馬力がエンジンの馬力を超えてもエンストを回避することができる。
【００２０】
アクチュエータ流量は、前記のように、例えば、実ポンプ吐出量Qrealから流量信号として入力されるから、仮想ポンプ吐出量Qideaから実ポンプ吐出量Qrealを減算して求めた流量値Xaはブリードオフ流量に相当する。このXaをXbで除し、その値を２乗する演算を行い、仮想ポンプ吐出圧指令Pideaを算出する。そして、この仮想ポンプ吐出圧指令Pideaに基づき、吐出圧をクローズドループ制御する。即ち、ソレノイド駆動アンプ５は仮想ポンプ吐出圧指令Pideaに基づく制御信号を受けて電磁比例弁６ａの励磁を強弱し、仮想ポンプ吐出圧Pideaと実ポンプ吐出圧Prealとのつき合わせ減算をネガティブ型電磁比例弁６ｃとコントロールバルブ６ｂとで行って、コントロールピストン７がポンプ吐出量をコントロールバルブ６ｂの指令に従って制御する。
【００２１】
電気ジョイスティック９が操作されていないときは、制御バルブ４は中立位置にあり、コントローラ１２には操作量信号Sとしてゼロが入力される。この場合、コントローラ１２で計算されるブリードオフ通路の開口面積は最大になるから、仮想ポンプ吐出圧Pideaは小さな値になる。仮想ポンプ吐出圧Pideaに基づきポンプ２は吐出を行なうが、ポンプ配管系の吐出回路の実ポンプ吐出圧Prealを仮想ポンプ吐出圧Pideaにまで圧縮し、昇圧させたのちは、実際のポンプ吐出量は回路のわずかな漏れ分しか必要とせず、アクチュエータ速度、即ち、アクチュエータ流量は殆どゼロと入力され、このときXa＝Qmaxで仮想ポンプ吐出圧Pidea＝(Qmax/(Kq×Ab))2となっている。
【００２２】
電気ジョイスティック９が操作されて制御バルブ４が切換位置方向に操作されると、コントローラ１２で計算されるブリードオフ通路の開口面積は小さくなり、仮想ポンプ吐出圧Pideaは、一旦、ポンプ吐出量の全量が面積の狭い絞られたブリードオフ通路からタンクへ戻るときの値に設定される。ポンプ吐出圧は、クローズドループ制御されているから実ポンプ吐出圧Prealは仮想ポンプ吐出圧Pideaの値に略等しくなる。もし、実ポンプ吐出圧Prealが負荷圧よりも高ければ、アクチュエータ１を加速し、油が流れ始めるので、実ポンプ吐出圧Prealを仮想ポンプ吐出圧Pideaに保持すべくポンプ吐出量が増大し、アクチュエータ速度が増すため、ブリードオフ流量は小さくなり、そのため、仮想ポンプ吐出圧Pideaひいては実ポンプ吐出圧Prealが下がってアクチュエータの加速度が低下し、徐々に操作量に見合ったアクチュエータ速度を維持するポンプ吐出量、吐出圧に収束し、平衡する。この間、ブリードオフ動作は、コントローラ内で計算のみでなされ、実ポンプ吐出量Qrealは、回路上の漏れを無視すれば、アクチュエータ１に供給された分に限られる。従って、ブリードオフ流量が流れないからエネルギーの無駄がなく、制御バルブにブリードオフ通路が不要であるからその構成も簡単で安価になり、操作性も良くなる。
【００２３】
次に、図５のブロック線図を使用して、本発明の他の実施の形態について説明する。
本実施の形態では、図１と同じ油圧回路の構成で、コントローラ１２における演算を、図５の点線で囲まれた範囲内に示すブロック図にしたがって行うものである。
【００２４】
図示されるものでは、ブリードオフ流量Qbを、仮想ポンプ吐出圧指令Pideaの平方根に、アクチュエータの操作量Sから求められたブリードオフ面積値Abを乗算し、更に、流量係数Kqを乗算することにより得る。また、仮想ポンプ吐出量Qideaから、アクチュエータ流量Qa及びブリードオフ流量Qbを減算した流量値ΔQ（ΔQ＝Qidea-Qa-Qb）を求め、ΔQをディジタルフィルタ等を使用して積分して、仮想ポンプ配管系の配管圧縮係数C’pにより除算することにより、仮想ポンプ吐出圧指令Pideaを算出する。
尚、仮想ポンプ吐出圧指令Pideaは、上記例に制限されるものではなく、規範として実現すべき配管系をモデルとした制御演算関数を使用し、前記流量値ΔQをその関数に入力して、出力として得られるものであればよく、制御演算関数のモデルとしては、例えば、実際のポンプ配管系にフィードバック要素として働くコントロールバルブ、アクチュエータ、及び負荷系を考慮した高次のモデルや、安定化補償器を挿入したモデル等を適用することがあげられる。
【００２５】
上記構成により可変容量ポンプの制御を行えば、ブリードオフ制御状態から操作量が増大してブリードオフ制御状態が終了した後までをシームレスに演算し、ポンプの制御をすることができる。
また、上記例では、説明の便宜上、配管系に漏れがないことを前提に演算するようにしているが、漏れがあっても当然使用することは可能である。
【００２６】
次に、図６のブロック線図を使用して、本発明の他の実施の形態について説明する。
本実施の形態では、図１と同じ油圧回路の構成で、コントローラ１２における演算を、図６に示すブロック図にしたがって行うものである。
図示されるものでは、複数のクローズドセンター型方向制御弁４の操作量S1,S2,・・・,Sk,・・・,Snの入力を受け付ける。それらについて、予定のブリードオフ特性に相当する制御バルブのブリードオフ通路の開口面積Abを下記式により求める。尚、式中Abkは、Skに対応する。
【数３】
0005336558.tif 000003
【００２７】
この点以外は、上記図５で示した演算と同じことを行う。
上記構成により可変容量ポンプの制御を行えば、個別のアクチュエータの要求特性に合わせた操作性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施の形態の可変容量ポンプの制御方法を説明するための油圧回路図
【図２】図１の制御を説明するためのブロック図
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、図１の変形例を示す図
【図４】（ａ）及び（ｂ）ともに図２のコントローラにおける演算例を示す図。
【図５】本発明の他の実施の形態を説明するためのブロック図
【図６】本発明の他の実施の形態を説明するためのブロック図
【図７】従来の可変容量ポンプの制御方法を説明するためのブロック図
【図８】図７を機能別に整理したブロック図
【符号の説明】
【００２９】
１  アクチュエータ
２  可変容量ポンプ
３  吐出回路
４  制御バルブ
７  コントロールバルブ
１１  圧力センサー
１２  コントローラ
【図１】
0005336558.tif 000005
【図２】
0005336558.tif 000006
【図３】
0005336558.tif 000007
【図４】
0005336558.tif 000008
【図５】
0005336558.tif 000009
【図６】
0005336558.tif 000010
【図７】
0005336558.tif 000011
【図８】
0005336558.tif 000012