(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光対象である基板を載置し、所定の方向に連続搬送するステージと、  前記基板の上方に近接して配置され、所定の露光用パターンと前記基板を検出するための検出用窓を有する露光用マスクと、該露光用マスクの露光用パターンを通じて、露光対象基板に露光光を照射するフラッシュランプと、を有する連続露光装置において、前記検出用窓を通じて、前記露光対象基板の基準となるエッジを検出するための光学センサーであって、
複数の受光素子をライン上に一列に配置し、該受光素子の電荷をライン毎に読み出す第１の撮像手段と、該第１の撮像手段の受光素子の配列方向と、間隔を隔てた平行な軸上に少なくとも１つ以上の独立した受光素子を配置した第２の撮像手段と、が一体的に設けられて、前記間隔が前記検出用窓の被露光体の搬送方向の巾より小さく、
前記第１の撮像手段の画像取り込みの周期と、前記第２の撮像手段の画像取り込みの周期が異なることを特徴とする光学センサー。
【請求項２】
前記第２の撮像手段の画像取り込みが自己のクロック信号によって行われ、前記第１の撮像手段の画像取り込みのが、前記第２の撮像手段の自己のクロック信号の周期より長い周期で発生する外部信号によって行われることを特徴とする請求項１記載の光学センサー
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は露光装置の露光用ランプ点滅タイミングを検出する光学センサーに関するものであって、詳しくは、平行に配設され、読取り速度の異なる、少なくとも２以上のセンサーからなる、フラッシュランプの点滅のタイミングを検出する光学センサーに係るものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板のカラーフィルター等の露光装置には、レジストが塗布されたガラス基板面に、露光用の光を直接照射し、ガラス基板面上を走査するものと、露光用パターンを有する露光用マスクを介して照射し、露光用パターンを前記ガラス基板面に転写するものがある。
後者には、前記カラーフィルターと露光用マスクを相対的にステップ移動させながら、露光を行う露光装置（以下、「ステップ近接露光装置」という。）と、前記カラーフィルターと露光用マスクを相対的に連続移動させながら、露光を行う露光装置（以下、「連続近接露光装置」という）がある。
この連続近接露光装置においては、露光用の光に、連続光を用いるものと、フラッシュ光を用いるものがあり、連続光を用いるものは、ストライプ式のカラーフィルターの露光装置に向いており、フラッシュ光を用いるものは、千鳥配列のカラーフィルターの露光装置に向いている。
上記フラッシュ光を用いた、千鳥配列のカラーフィルターの露光装置（以下、「フラッシュ露光装置」という）では、所定の被露光位置（カラーフィルターの所定のピクセルの位置）に合せてフラッシュランプを点滅させる必要があり、前記カラーフィルター搬送方向に直交する方向に並んだピクセルの一辺をラインセンサーやフォトセンサーで検出し、その検出信号をトリガーにしてフラッシュランプを点灯または消灯させる方法が採用されている（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００６−０１７８９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、ラインセンサーは、１ラインごとに信号電荷が読み出されるため、ラインセンサーと被測定物とが相対移動する場合には、センサーの位置検出の分解能は、この信号電荷の読取り速度に影響される。
そのため、ラインセンサーで検出した露光開始位置または露光停止位置（カラーフィルター搬送方向のピクセルの一辺）の検出精度が低下し、ラインセンサーの長さ（受光素子が直列に配置されている長さ）が長くなればなるほど、１ラインの読み出し速度が遅くなり、フラッシュランプの点灯・消灯のタイミングが正確に取れないという問題があった。
【０００４】
一方、１つ以上の独立したフォトセンサーによる露光開始または停止位置の検知では、上記ラインセンサーのようなデータの取り込み時間の問題は生じないが、カラーフィルター表面上の異物やキズを検知することにより、露光開始または停止位置を正確に検出できない場合がある。
【０００５】
本発明は上記事情を鑑みてなされたものであって、露光用のフラッシュランプを用いた連続近接露光装置において、このフラッシュランプの点滅のタイミングを正確に取ることができる光学的センサーを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
即ち、請求項１に係る光学センサーは、  露光対象である基板を載置し、所定の方向に連続搬送するステージと、  前記基板の上方に近接して配置され、所定の露光用パターンと前記基板を検出するための検出用窓を有する露光用マスクと、該露光用マスクの露光用パターンを通じて、露光対象基板に露光光を照射するフラッシュランプと、を有する連続露光装置において、前記検出用窓を通じて、前記露光対象基板の基準となるエッジを検出するための光学センサーであって、複数の受光素子をライン上に一列に配置し、該受光素子の電荷をライン毎に読み出す第１の撮像手段と、該第１の撮像手段の受光素子の配列方向と、間隔を隔てた平行な軸上に少なくとも１つ以上の独立した受光素子を配置した第２の撮像手段と、が一体的に設けられて、前記間隔が前記検出用窓の前記基板の搬送方向の巾より小さく、前記第１の撮像手段の画像取り込みの周期と、前記第２の撮像手段の画像取り込みの周期が異なることを特徴としている。
【０００７】
また、請求項２に係る光学センサーは、  複数の受光素子をライン上に一列に配置し、該受光素子の電荷をライン毎に読み出す第１の撮像手段と、該第１の撮像手段の受光素子の配列方向と平行な軸上に少なくとも１つ以上の独立した受光素子を配置した第２の撮像手段を有する光学センサーであって、前記第２の撮像手段の画像取り込みが自己のクロック信号によって行われ、前記第１の撮像手段の画像取り込みのが、前記第２の撮像手段の自己のクロック信号の周期より長い周期で発生する外部信号によって行われることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は以下の優れた効果を奏する。
即ち、本発明においては、前記カラーフィルターが、本発明に係る撮像手段の下方をラインセンサーに直交する方向に相対移送することによって、まず、前記第２の受光素子が、ピクセルの一辺を、カラーフィルター搬送方向に対し精度よく検出し（図７（ｂ）の１１０、１１１、１１２）、その後、このピクセルの一辺を含む所定の長さ（カラーフィルターの搬送方向に直交する軸に平行な方向の長さ）を前記ラインセンサーの第１の受光素子列（図７（ｃ）の１０１、１０２、１０３）で検知するため、第２の受光素子がゴミ等をピクセルの一辺として誤って検知しても、ラインセンサーの第１の受光素子列が、ピクセルの一辺の長さとして検出せず、前記露光開始または停止の位置を、誤りなく検知できる。
【０００９】
さらに、第２の撮像手段の受光素子と、前記第１の撮像手段の受光素子列との間隙が、予め定められているため、後述のごとく、第２の撮像手段の受光素子が前記ピクセルのカラーフィルター搬送方向の１辺を検知した際の、前記カラーフィルター搬送方向の位置データと、第１の撮像手段の受光素子列が所定の分解能で検出した前記ピクセルの１辺を含む前記カラーフィルター搬送方向の位置データを比較することにより、フラッシュランプの点灯タイミングの誤りを防止できる。
また、第２の撮像手段の受光素子で検知した前記カラーフィルター搬送方向の位置データによって、前記ラインセンサーの第１の撮像手段の受光素子列が所定の分解能で検出した前記ピクセルの１辺を含む前記カラーフィルター搬送方向の位置データを補正することによって、補正された第１の撮像手段の受光素子列の出力信号に基づき、フラッシュランプの点灯タイミングを正しくとることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態に係る光学センサーについて、添付図面を参照して説明する。
まず、図１は、本発明の実施の形態に係る光学センサー１を示す概念図であり、図２はこの光学センサー１を備えた露光装置２示す概念図である。
【００１１】
光学センサー１は、カラーフィルターＷに対向し、ピクセルＷａをラインで検出する第１の撮像手段の受光素子列（以下、「ラインセンサー」という）１０と、ピクセルＷａをスポットで検出する第２の撮像手段の受光素子（以下、「フォトセンサー」という）１１とを有し、ラインセンサー１０は、光電変換を行う転送電荷結合素子（以下、「ＣＣＤ」という）１００を一列に配置されたものであり、フォトセンサー１１はＣＣＤ１００の配列軸（イ）と平行な軸（ロ）上に少なくとも１つ以上の、等間隔に相互に独立して配設された、フォトダイオードから構成されている。
【００１２】
そして、ラインセンサー１０は、ラインセンサー１０からの信号をＡ／Ｄ変換するラインセンサーＡ／Ｄ変換器１０ａと、ラインセンサーＡ／Ｄ変換器１０ａからの出力信号を、送信用に変換するカメラリンク出力制御部１０ｂを備えており、カメラリンク出力制御部１０ｂは、後述のカメラリンク入力制御部７４、画像処理部７５を経て、制御部７０に接続されている。
カメラリンク入力制御部７４は、カメラリンク出力制御部１０ｂからの信号を元の信号形式に戻して、画像処理部７５に送信するためのものである。
画像処理部７５は、予め設定された所定の閾値α２で、カメラリンク入力制御部７４からの信号を二値化処理して、演算処理部７０に送信するものである。
【００１３】
さらに、カメラリンク出力制御部１０ｂは、後述のステージカウンター７１からの信号を演算処理部７０で演算処理した信号（ステージ６の搬送とラインセンサー１１のデータ取込を同期させる信号）を受けて、ラインセンサー１０で取込まれた、ＣＣＤ１００の１ライン分の画像データをラインセンサーＡ／Ｄ変換器１０ａに送信させる機能を有している。
即ち、電荷結合素子１００の１ライン分の画像データの取り込みは、搬送ステージ６のステージカウンター７１に同期して行われるようになっている。
【００１４】
フォトセンサー１１は、フォトセンサー１１からのアナログ出力をデジタル出力に変換するフォトセンサーＡ／Ｄ変換器１１ａを備えており、フォトセンサーＡ／Ｄ変換器１１ａは、後述の画像処理部７２を経て演算処理部７０に接続されている。
そして、フォトセンサー１１の上記出力は、搬送ステージ６の動作とは無関係に、常時監視され、フォトセンサー１１の内部クロック（図示せず）の信号によってフォトセンサーＡ／Ｄ変換器１１ａを経て画像処理部７２に送られるようになっている。
画像処理部７２は、予め設定された所定の閾値α1で、フォトセンサーＡ／Ｄ変換器１１ａからの信号を二値化処理して、演算処理部７０に送信するものである。
なお、前記二値化処理は、後述のフラッシュランプ３の点灯タイミングとなるカラーフィルターＷのピクセルＷａのエッジ（以下、「ターゲットエッジ」という。）を取得するための処理である。
【００１５】
ラインセンサー１０は、フォトセンサー１１が図５のカラーフィルターＷのピクセルＷａのエッジの立ち上がり（以下、「アップエッジ」という）Ａ１またはエッジの立ち下がり（以下、「ダウンエッジ」という）Ａ２を検出した後、所定の時間Ｔ１（フォトセンサー１１とラインセンサー１０との予め測定されているＸ軸方向の間隔Ｌ１を搬送ステージ６のＸ軸方向移動速度で除して得られた時間）後にピクセルＷａのアップエッジａ１またはダウンエッジａ２を検出するが、ラインセンサー１０は、１ライン分の電荷を読み出した後に、次の画像の取り込みが行われるため、カラーフィルターＷが連続移動する装置では、ピクセルＷａのアップエッジａ１またはダウンエッジａ２の位置は、図５のＣ1、Ｃ２で示されるような領域内に存在することになる。
また、所定の時間Ｔ１の起算時点は、前記フォトセンサー１１の出力を、画像処理部７２において、予め設定した閾値α１で二値化処理して、前記アップエッジＡ１またはダウンエッジＡ２を検出した時点である。
なお、前記立ち上がりエッジとは、ブラックマトリックスＢＬの領域からピクセルＷａ部分に移行する際に受光素子の信号レベルが立ち上がるエッジを意味し、立ち下がりエッジとは、ピクセルＷａ部分からブラックマトリックスＢＬの領域に移行する際に受光素子の信号レベルが立ち下がるエッジを意味している（以下、同じ）。
【００１６】
露光装置２は、露光対象であるカラーフィルターＷを載置し、Ｘ方向に搬送する搬送用ステージ６と、搬送用ステージ６のＸ方向位置を検出するステージ位置センサー６ａと、露光対象Ｗの上方に配設された露光用マスク４と、露光用マスク４の上方に配設された光学センサー１と、搬送ステージ６の下方に配設され、カラーフィルターＷの裏面から照明光を照射する照明装置５と、カラーフィルターＷの搬送方向（ハ）下流側で、且つ、露光用マスク４の上方に配設された露光用フラッシュランプ３と、これら搬送用ステージ６と、ステージ位置センサー６ａと、光学センサー１と、露光用フラッシュランプ３と、を制御する制御装置７を有している。
【００１７】
搬送用ステージ６は、図示しないステージ駆動手段（例えば、ガイドレール、ボールネジ及びナット、サーボモータ等から構成される）を有し、このステージ駆動手段によって、カラーフィルターＷを図２のＸ軸方向の矢印ハの方向に所定の速度で、連続的に搬送するようになっている。
そして、本実施の形態では、カラーフィルターＷの図２のＸ軸方向位置は分解能約１μｍのステージ位置センサー６ａによって、連続的に検知されるようになっている。
このステージ位置センサー６ａからのカラーフィルターＷの前記Ｘ軸方向位置データの信号が、制御装置７のステージカウンター７１に送られるようになっている。
【００１８】
カラーフィルターＷは図３に示すように、複数のピクセルＷａが、マトリックス状に設けられており、赤（以下、「Ｒ」という）、または緑（以下、「Ｇ」という）、または青（以下、「Ｂ」という）のレジストが、前記ピクセルＷａに適宜塗布された状態で、前記搬送ステージ６に、載置される。
そして、前記レジスト塗布部分が、後述の露光用マスク４を介して照射される後述の露光用フラッシュランプ３からの露光光で露光される。
【００１９】
露光用マスク４は、図４に示されるように、透明基板４ａ上に塗布された遮光膜４ｂに設けられた、露光用パターン部４ｃ及び検出用窓部４ｄと、を有している。
検出用窓部４ｄは、前記遮光膜４ｂが除去された光透過部であり、この検出用窓部４ｄを通じて、光学センサー１によって、カラーフィルターＷの搬送方向（Ｘ軸方向）に直角な方向（Ｙ軸方向）の前記ピクセルＷａのアップエッジＡ１（ａ１）またはダウンエッジＡ２（ａ２）を検出するためのものである。
露光用パターン部４ｃは、所定の露光パターンで前記遮光膜４ｂを除去した光透過部であり、露光用パターン部４ｃを通じて、フラッシュランプ３からの露光光を、前記レジスト部分に照射して、所定部分を露光するためのものである。
尚、露光用パターン部４ｃのカラーフィルターＷの搬送方向の長さは、各ピクセルＷａの露光範囲のＬ０に等しい。
【００２０】
そして、露光用マスク４は図示しないマスク駆動装置によって、Ｘ軸及びＹ軸方向に移動可能になっており、またθ軸方向に回転可能になっている。
また、前記マスク駆動装置によって、カラーフィルターＷのＸ軸方向に連続して並ぶピクセルＷａの列の任意の列のピクセルＷａのサイドエッジＡ３（図６）をラインセンサー１０の所定のＣＣＤ素子１００によって検出し、前記サイドエッジＡ３を基準として、前記マスク駆動装置によって、連続的に露光用マスク４のＹ軸方向の位置決めを行うようになっている。
これによって、ラインセンサー１０の夫々のＣＣＤ素子１００とカラーフィルターＷのＹ軸方向に配列された夫々のピクセルＷａのとの相対位置関係が一定に保持されるようになっている。
【００２１】
露光用フラッシュランプ３は、後述の制御装置７により制御されて、間欠的に紫外領域の光を発光することができるものであって、光学センサー１とＸ軸方向に所定の間隔を隔てて、カラーフィルターＷの搬送方向（ハ）の下流側に配設され、カラーフィルターＷが露光用フラッシュランプ３の下方の所定位置に到達したときに、後述の演算処理部７０からの信号によって、発光するようになっている。
なお、露光用フラッシュランプ３には、紫外光の放電ランプの他、紫外領域のレーザ光を発振するレーザ発振器を用いてもよい。
そして、露光用フラッシュランプ３のＸＹ平面の中心が露光用マスク４の露光用パターン部４ｃのＸＹ平面の中心と一致するように配設されている。
【００２２】
前述のカラーフィルターＷが露光用フラッシュランプ３の直下の位置に到達した時とは、前記ピクセルＷａの中心（アップエッジＡ１とダウンエッジＡ２の中間位置）が露光用マスク４の露光パターン部４ｃのＸ軸方向中心位置に達した時を意味している。
即ち、後述の演算処理部７０において、ラインセンサー１０が所定のピクセルのアップエッジＡ１を検知した際のステージステージ位置（Ｘ１）と、前記所定のピクセルＷａのアップエッジＡ１を検知してから、所定時間経過後のステージ位置（Ｘ２）と、の差（ΔＸ１）を演算し、このΔＸ１と、あらかじめ外部入力手段９を用いて、演算処理部７０に入力してある、露光用フラッシュランプ３のＸ軸方向中心とフォトセンサー１１のＸ軸方向の中心（ロ）のＸ軸方向の距離およびピクセルＷａのＬ０の１/２を加算した値（Ｌ１＋Ｌ２＋Ｌ０／２）との差（ΔＸ２）を演算して、ΔＸ２が略零である場合に、カラーフィルターＷが露光用フラッシュランプ３の下方の所定位置に到達したと判断し、演算処理部７０から、後述のフラッシュランプ出力制御部７６に露光用フラッシュランプ３に点灯のための信号を、送信するようになっている。
なお、上記ステージ位置Ｘ１、Ｘ２はステージ６がＸ軸方向に連続移動中にステージ位置センサー６ａによって検出する。
【００２３】
制御装置７は、演算処理部７０と、ステージカウンター７１、画像処理部７２、７５、同期信号出力部７３、フラッシュランプ出力制御部７６、照明コントローラ５ａ、画面表示器８、外部入力手段９を備えている。
ステージカウンター７１、画像処理部７２、７５、同期信号出力部７３、フラッシュランプ出力制御部７６、照明コントローラ５ａ、画面表示器８、外部入力手段９は、それぞれ演算処理部７０に接続している
ステージカウンター７１はステージ位置センサー６ａに接続し、画像処理部７２、７５は、それぞれフォトセンサーＡ／Ｄ変換器１１ａ、ラインセンサーＡ／Ｄ変換器１０ａに接続している。
同期信号出力部７３は、カメラリンク出力制御器１０ｂに接続し、ステージカウンター７１からの信号を演算処理部７０で演算処理した信号（ステージ６の搬送とラインセンサー１１のデータ取込を同期させる信号）をカメラリンク出力制御器１０ｂに送信するためのものである。
【００２４】
フラッシュランプ出力制御部７６はフラッシュランプ３に接続し、演算処理部７０からの信号を受けて、フラッシュランプ３の点灯のタイミングを制御するためのものである。
照明コントローラ５ａは、照明装置５に接続し、カラーフィルターＷのピクセルＷａに下方から照射される照明光の点滅及び照明光の強度を調整するためのものである。
画像表示器８は、光センサー１のラインセンサー１０、フォトセンサー１１の出力画像を表示するためのものであり、外部入力手段９は、前述のフォトセンサー１１とラインセンサー１０との予め測定されているＸ軸方向の間隔Ｌ１、露光用フラッシュランプ３のＸ軸方向中心とラインセンサー１０のＸ軸方向の中心のＸ軸方向の距離Ｌ２、閾値α１及びα２の他、露光装置２の運転条件等を演算処理部７０に外部から入力するためのものである。
【００２５】
次に、このように構成された露光装置２の動作を、図１〜７及び図８を参照して説明する。
まず、露光装置２に電源を投入すると、図２に示す光学センサー１、照明装置５、制御装置７が起動して待機状態になる。次にカラーフィルターＷをステージ６に載置してから、図示しない起動スイッチを操作すると、ステージ６は、カラーフィルターＷを一定の速度で、矢印ハの方向（Ｘ軸に平行な方向）に搬送する。
カラーフィルターＷが撮像手段１の撮像位置に達すると、以下のステップに従って露光が行われる。
【００２６】
まず、ステップＳ１において、フォトセンサー１１のフォトダイオードによって、ピクセルＷａがフォトセンサー１１の内部クロック信号に同期して連続的に撮像される。この画像（輝度情報）１はフォトセンサーＡ／Ｄ変換器１１ａを経て、画像処理部７２へ送信され、画像処理部７２において、前記画（像輝度情報）１は、図５のように閾値α１で二値化処理されて、画像処理部７２から演算処理部７０に送信される。
なお、前記閾値α１で二値化処理されたデータから、アップエッジＡ１とダウンエッジＡ２が１セットとしてステージカウンター７１で、カウントされカウント数（Ｎ）が随時、演算処理部７０に送られる。
また、アップエッジＡ１が検出されたときのステージ位置センサー６ａの出力が演算処理部７０に送られる。
【００２７】
次に、ステップＳ２において、ラインセンサー１０によって、ピクセルＷａが搬送ステージ６のステージカウンター７１の出力に同期して連続的に撮像される。この画像（輝度情報）２はラインセンサーＡ／Ｄ変換器１１ａ、カメラリンク入力制御部７４を経て、画像処理部７５へ送信され、画像処理部７５において、前記画像（輝度情報）２は、図５のように閾値α２で二値化処理されて、画像処理部７５から、演算処理部７０に送信される。
【００２８】
次に、ステップＳ３において、演算処理部７０によって、前記アップエッジＡ１、ダウンエッジＡ２を検出した際の搬送ステージ６のステージ位置センサー６ａの値に前記ラインセンサー１０とフォトセンサー１１との間隔Ｌ1の分に相当する位置データが付加された値（ＬＸ）と、アップエッジａ１、ダウンエッジａ２をラインセンサー１０が検出した際の搬送ステージ６のステージ位置センサー６ａの値を比較し、所定の範囲内（Ｃ１，Ｃ２）にあるか否かの判断を行う。
尚、Ｃ１、Ｃ２の範囲はＣＣＤ素子１００の配列長さによって異なるものであるが、本実施例ではＣＣＤ素子１００の配列長さは、Ｃ１、Ｃ２の範囲が数μｍの範囲内になるものを使用している。
【００２９】
次に、ステップＳ４において、前記判断の結果、所定の範囲内にある場合は、演算処理部７０によって、前記カウント取得回数（Ｎ）から、露光対象のピクセルＷａであるか否かの判断が行われ、露光対象のピクセルＷａにみに対して、前記アップエッジＡ１をフラッシュランプ３の点灯タイミングとして、搬送ステージ６が、前記アップエッジＡ１をフォトセンサー１１が検出した位置から距離（Ｌ１+Ｌ２）を移動したときに、演算処理部７０からフラッシュランプ出力制御部７６に信号を送り、フラッシュランプ３の点灯をさせ、その他の露光対象外ピクセルＷａに対しては、フラッシュランプ３を点灯させずに通過させる。
なお、前記判断の結果、所定の範囲内（Ｃ１、Ｃ２）にない場合は、前記アップエッジＡ１をフラッシュランプ３の点灯タイミングに採用しない。
そして、露光対象のピクセルＷａの列が全て露光されたところで、所定の色のピクセルＷａの露光作業を終了する。
【００３０】
本発明は、ターゲットエッジの検出速度が早いフォトセンサー１１と、エッジ部分をラインで検出し、検出速度が遅い、ラインセンサー１０の組合せることによって、フォトセンサー１１による誤ったターゲットエッジの検出を防止するとともに、ラインセンサー１０による、アップエッジａ１、ダウンエッジａ２の検出精度を補うものである。
従って、フォトセンサー１１には、ターゲットエッジの検出速度が問題とならない範囲において、受光及び転送用の電荷結合素子１０ａを一列に配置されたものであって、ラインセンサー１０より、短く、受光及び転送用の電荷結合素子１０ａの個数が少ないものを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係る光学センサーの実施の形態を示す概念図である。
【図２】上記光学センサーを用いた近接露光装置の実施の形態を示す説明図である。
【図３】カラーフィルターの説明用の概念図である。
【図４】露光用マスクの説明用の概念図である
【図５】フォトセンサー、ラインセンサーによるピクセルエッジの検出出力についての説明図である。
【図６】ラインセンサーによるカラーフィルターのピクセルのサイドエッジの検出についての説明図である。
【図７】フォトセンサー、ラインセンサーによるピクセルのアップエッジ検出作用の説明図であって、（ａ）はカラーフィルターのピクセルと光学センサーとの関係を示す概念図であり、（ｂ）はフォトセンサーがピクセルのアップエッジを検出するイメージを示す概念図であり、（ｃ）はラインセンサーがピクセルのアップエッジを検出するイメージを示す概念図である。
【図８】本発明に係る近接露光装置の動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００３２】
１  光学センサー
２  近接露光装置
３  フラッシュランプ
４  露光用マスク
５  照明装置
６  搬送ステージ
７  制御装置
８  表示装置
９  外部入力手段
１０  ラインセンサー
１１  フォトセンサー
７０  演算処理部
Ａ１，ａ１  ピクセルのアップエッジ
Ａ２，ａ２  ピクセルのダウンエッジ
Ｒ、Ｇ、Ｂ  ピクセルの色（Ｒは赤、Ｇは緑、Ｂは青）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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