(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）下部層は、Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの１層または２層以上からなり、かつ、１〜２０μｍの合計平均層厚を有するＴｉ化合物層、
（ｂ）上部層は、１〜２５μｍの平均層厚を有する酸化アルミニウム層、
上記（ａ）、（ｂ）からなる硬質被覆層を化学蒸着した表面被覆切削工具において、
上記（ｂ）の上部層を構成する酸化アルミニウム層は、柱状組織と微粒組織の混合組織からなり、しかも、柱状組織と微粒組織が、層厚方向に周期的に交互に現出し、酸化アルミニウムの平均粒径が層厚方向に沿って０．５μｍ〜５μｍの周期で周期的に変化する結晶粒組織構造を有することを特徴とする表面被覆切削工具。
【請求項２】
上記（ｂ）の上部層を、工具基体表面と平行に０．０２μｍの厚み幅領域に区分し、該厚み幅領域に存在する粒界の数を測定し、１μｍ当たりの粒界の数の逆数を平均粒径Ｄとして、層厚方向に沿う各厚み幅領域の平均粒径Ｄの変化を求めた場合に、
平均粒径Ｄが０．５〜１．５μｍである厚み幅領域と、平均粒径Ｄが０．０５〜０．３μｍである厚み幅領域とが、上部層の層厚方向に沿って、交互に少なくとも複数領域形成されていることによって、上部層を構成する酸化アルミニウムの平均粒径Ｄが層厚方向に沿って０．５μｍ〜５μｍの周期で周期的に変化する結晶粒組織構造を有することを特徴とする請求項１に記載の表面被覆切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、高熱発生を伴うとともに、切れ刃に高負荷が作用する各種の鋼や鋳鉄の高速重切削加工において、硬質被覆層がすぐれた靭性と耐チッピング性を備えることにより、長期の使用にわたってすぐれた切削性能を発揮する表面被覆切削工具（以下、被覆工具という）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、一般に、炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットで構成された基体（以下、これらを総称して工具基体という）の表面に、
（ａ）下部層が、いずれも化学蒸着形成された、Ｔｉの炭化物（以下、ＴｉＣで示す）層、窒化物（以下、同じくＴｉＮで示す）層、炭窒化物（以下、ＴｉＣＮで示す）層、炭酸化物（以下、ＴｉＣＯで示す）層および炭窒酸化物（以下、ＴｉＣＮＯで示す）層のうちの２層以上からなるＴｉ化合物層、
（ｂ）上部層が、化学蒸着形成された酸化アルミニウム（以下、Ａｌ２Ｏ３で示す）層、
以上（ａ）および（ｂ）で構成された硬質被覆層を形成してなる被覆工具が知られており、この被覆工具は、各種の鋼や鋳鉄などの切削加工に用いられていることが知られている。
ただ、上記の被覆工具の切削性能は、特に、上部層を構成するＡｌ２Ｏ３粒の組織構造によって大きな影響を受けることから、上部層の結晶粒組織構造について、従来からいくつかの提案がなされている。
【０００３】
例えば、引用文献１には、上部層を構成するＡｌ２Ｏ３層の成膜にあたり、その成膜過程で、炉内にＨＣｌガスを導入してエッチングを行い、新たなＡｌ２Ｏ３粒子の核生成を行なわせ、これを繰り返すことにより、Ａｌ２Ｏ３粒の非柱状晶組織を形成して上部層の靭性を高めることが提案されている。
また、引用文献２には、上部層を構成するＡｌ２Ｏ３層の成膜にあたり、その成膜過程で、Ａｌ２Ｏ３の成膜を一時停止し、炉内にＴｉＣｌ４ガスを導入して新たなＡｌ２Ｏ３粒子の核生成を行わせ、粗粒のＡｌ２Ｏ３と微細粒のＡｌ２Ｏ３との混合組織からなる上部層を形成することが提案されている。
さらに、引用文献３には、上部層を構成するＡｌ２Ｏ３層の成膜にあたり、その成膜過程で、炉内にＳｉＣｌ４ガスを周期的に導入して超微細粒層を成長させることにより、等軸で微細粒のκ−Ａｌ２Ｏ３組織からなる上部層を形成し耐摩耗性を改善することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１−８３６６７号公報
【特許文献１】特開２００２−２０５２０５号公報
【特許文献２】特開２００３−３９２１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年の切削加工における省力化および省エネ化の要求は強く、これに伴い、被覆工具は一段と過酷な条件下で使用されるようになってきているが、例えば、前記特許文献１〜３に示される被覆工具においても、高熱発生を伴うとともに、切れ刃に高負荷が作用する高速重切削加工に用いられた場合には、上部層の靭性が十分ではないために、切削加工時の高負荷によって切れ刃にチッピングが発生しやすく、その結果、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、高熱発生を伴い、かつ、切れ刃に高負荷が作用する高速重切削加工に用いられた場合でも、硬質被覆層がすぐれた靭性、耐チッピング性を備え、しかも、長期の使用にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆工具について鋭意研究を行った結果、以下の知見を得たのである。
【０００７】
即ち、本発明者等は、被覆工具の硬質被覆層、特に、Ａｌ２Ｏ３層からなる上部層の結晶粒組織構造を、柱状組織と微粒組織の混合組織として構成し、しかも、該柱状組織と微粒組織が、層厚方向に周期的に交互に現出するような結晶粒組織構造として構成することにより、Ａｌ２Ｏ３層からなる上部層の高温硬さと耐熱性を何ら損なうことなく、上部層の靭性及び耐チッピング性を向上させ得ることを見出したのである。
【０００８】
そして、上記結晶粒組織構造を有するＡｌ２Ｏ３層は、例えば、以下の化学蒸着法によって成膜することができる。
（ａ）工具基体表面に、通常のＴｉ化合物層からなる目標厚さの下部層を蒸着形成し、
（ｂ）下部層の上に、ＡｌＣｌ３−ＨＣｌ−Ｈ２Ｓ−ＣＯ２系反応ガスを用いてＡｌ２Ｏ３層を蒸着形成し、
（ｃ）上記（ｂ）の成膜過程で、上記反応ガスの導入を停止すると同時に、ＳＦ６系ガスを導入してＳＦ６エッチングを行い、
（ｄ）次いで、上記（ｂ）の工程と上記（ｃ）の工程を繰り返し行ない、目標厚さのＡｌ２Ｏ３層を形成する。
上記（ａ）〜（ｄ）によって、工具基体表面には、目標層厚の下部層と上部層が形成されるが、上記上部層について透過型電子顕微鏡で組織観察を行うと、柱状組織と微粒組織の混合組織からなり、しかも、該柱状組織と微粒組織が、層厚方向に周期的に交互に現出するような結晶粒組織構造が形成されていることが確認される。
【０００９】
そして、硬質被覆層の上部層として、上記の結晶粒組織構造を有するＡｌ２Ｏ３層を蒸着形成したこの発明の被覆工具は、高熱発生を伴い、かつ、切れ刃に高負荷が作用する鋼や鋳鉄の高速重切削加工に用いた場合でも、硬質被覆層がすぐれた靭性、耐チッピング性を備え、しかも、長期の使用にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮することを見出したのである。
【００１０】
この発明は、上記知見に基づいてなされたものであって、
「（１）  炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）下部層は、Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの１層または２層以上からなり、かつ、１〜２０μｍの合計平均層厚を有するＴｉ化合物層、
（ｂ）上部層は、１〜２５μｍの平均層厚を有する酸化アルミニウム層、
上記（ａ）、（ｂ）からなる硬質被覆層を化学蒸着した表面被覆切削工具において、
上記（ｂ）の上部層を構成する酸化アルミニウム層は、柱状組織と微粒組織の混合組織からなり、しかも、柱状組織と微粒組織が、層厚方向に周期的に交互に現出し、酸化アルミニウムの平均粒径が層厚方向に沿って０．５μｍ〜５μｍの周期で周期的に変化する結晶粒組織構造を有することを特徴とする表面被覆切削工具。
（２）  上記（ｂ）の上部層を、工具基体表面と平行に０．０２μｍの厚み幅領域に区分し、該厚み幅領域に存在する粒界の数を測定し、１μｍ当たりの粒界の数の逆数を平均粒径Ｄとして、層厚方向に沿う各厚み幅領域の平均粒径Ｄの変化を求めた場合に、
平均粒径Ｄが０．５〜１．５μｍである厚み幅領域と、平均粒径Ｄが０．０５〜０．３μｍである厚み幅領域とが、上部層の層厚方向に沿って、交互に少なくとも複数領域形成されていることによって、上部層を構成する酸化アルミニウムの平均粒径Ｄが層厚方向に沿って０．５μｍ〜５μｍの周期で周期的に変化する結晶粒組織構造を有することを特徴とする請求項１に記載の表面被覆切削工具。」
に特徴を有するものである。
【００１１】
本発明について、以下に詳細に説明する。  
【００１２】
下部層のＴｉ化合物層：
Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの１層または２層以上のＴｉ化合物層からなる下部層は、通常の化学蒸着条件で形成することができ、それ自体が高温強度を有し、これの存在によって硬質被覆層が高温強度を具備するようになるほか、工具基体とＡｌ２Ｏ３からなる上部層のいずれにも強固に密着し、よって硬質被覆層の工具基体に対する密着性向上に寄与する作用をもつが、その合計平均層厚が１μｍ未満では、前記作用を十分に発揮させることができず、一方その合計平均層厚が２０μｍを越えると、チッピングを発生しやすくなることから、その合計平均層厚を１〜２０μｍと定めた。
【００１３】
上部層のＡｌ２Ｏ３層：
上部層を構成するＡｌ２Ｏ３層が、高温硬さと耐熱性を備えることは既に良く知られているが、この発明のＡｌ２Ｏ３層で構成された上部層、即ち、Ａｌ２Ｏ３層の平均粒径が層厚方向に沿って周期的に変化する結晶粒組織構造を有するＡｌ２Ｏ３層からなる上部層は、切れ刃に高負荷が作用する高速重切削加工においても、すぐれた靭性とすぐれた耐チッピング性を発揮する。
なお、この発明のＡｌ２Ｏ３層からなる上部層は、その平均層厚が１μｍ未満では、長期の使用に亘っての耐摩耗性を確保することができず、一方、その平均層厚が２５μｍを越えるとＡｌ２Ｏ３結晶粒が粗大化し易くなり、その結果、高温硬さ、高温強度の低下に加え、高速重切削加工時の耐チッピング性が低下するようになることから、その平均層厚を１〜２５μｍと定めた。
【００１４】
上部層（Ａｌ２Ｏ３層）の成膜：
この発明の上部層は、通常の化学蒸着条件で成膜した下部層の表面に、例えば、以下の化学蒸着条件によって成膜することができる。
まず、通常の化学蒸着装置を用い、
（ａ）反応ガス組成（容量％）：
ＡｌＣl３：２〜３  ％，
ＣＯ２：５〜６  ％，
ＨＣｌ：２〜３  ％，
Ｈ２Ｓ：０．１〜０．５  ％，
Ｈ２：残
反応雰囲気温度：９６０〜１０００℃、
反応雰囲気圧力：４０〜６０Ｔｏｒｒ、
の条件で３０〜６０分間蒸着し、所定層厚のＡｌ２Ｏ３層を蒸着形成する。
（ｂ）ついで、上記反応ガスの導入を停止し、その代わりに、０．１〜２容量％のガス組成となるようにＳＦ６ガスを添加したＨ２ガスを導入し、このＳＦ６ガスにより以下の条件、即ち、
反応ガス組成（容量％）：
ＳＦ６：０．１〜２  ％，
Ｈ２：残
反応雰囲気温度：８００〜１２００  ℃、
反応雰囲気圧力：５０〜２００  Ｔｏｒｒ、
の条件で５〜６０分間ＳＦ６エッチングを行う。
（ｃ）ついで、上記ＳＦ６系ガスの導入を停止し、装置内に、上記（ａ）の反応ガスを導入し、上記（ａ）と同じ条件で３０〜６０分間蒸着し、再度Ａｌ２Ｏ３層を蒸着形成する。
以下、上記（ｂ）と（ｃ）を繰り返し行ない、最終的に目標層厚のＡｌ２Ｏ３層を蒸着形成する。
【００１５】
上部層（Ａｌ２Ｏ３層）の結晶粒組織構造：
図１に、上記の化学蒸着条件で形成されたこの発明の上部層（Ａｌ２Ｏ３層）の結晶粒組織構造の概略摸式図を示す。
図１に示されるように、この発明の上部層（Ａｌ２Ｏ３層）では、柱状組織のＡｌ２Ｏ３粒が層厚方向に複数段に形成され、しかも、各段の上下の柱状組織Ａｌ２Ｏ３粒の境界には、微粒組織のＡｌ２Ｏ３粒が集積形成された組織構造を備えている。
図２には、上記の化学蒸着条件で形成されたこの発明の結晶粒組織構造を有する上部層（Ａｌ２Ｏ３層）における、平均粒径の分布図を示す。
この平均粒径の分布図は、以下の方法で求めることができる。
まず、上部層を、工具基体表面と平行に０．０２μｍの厚み幅領域に夫々区分し（図３において、工具基体表面に平行に引かれた複数の平行線で仕切られた区画が、０．０２μｍの厚み幅領域に相当する。）、区分された各厚み幅領域に存在する粒界の数ｎを透過型電子顕微鏡（倍率５００００倍）にて合計１０μｍにわたって測定し、このｎを１μｍ当たりの粒界の数Ｎ（＝ｎ／１０）に換算し、その換算値の逆数を平均粒径Ｄ（＝１／Ｎ）として求め、各厚み幅領域で求められた平均粒径Ｄを層厚方向に沿ってグラフ化することにより、図２として示される層厚方向平均粒径分布図を作成する。
【００１６】
そして、この発明の上部層（Ａｌ２Ｏ３層）の結晶粒組織構造によれば、該層厚方向平均粒径分布図において、平均粒径Ｄの値が極大値（０．５〜１．５μｍの範囲内）となる厚み幅領域と、平均粒径Ｄの値が極小値（０．０５〜０．３μｍの範囲内）となる厚み幅領域とが、上部層の層厚方向に沿って、周期的かつ交互に少なくとも複数領域形成される。
例えば、図２においては、平均粒径Ｄの値が極大値Ｄｍａｘ（０．５〜１．５μｍの範囲内）を示す厚み幅領域が、層厚方向に３箇所形成され、また、平均粒径Ｄの値が極小値Ｄｍｉｎ（０．０５〜０．３μｍの範囲内）を示す厚み幅領域が、層厚方向に３箇所形成されている。
そしてこの層厚方向平均粒径分布図から、この発明の上部層（Ａｌ２Ｏ３層）では、層厚方向に沿ってＡｌ２Ｏ３結晶粒の平均粒径が周期的に変化する結晶粒組織構造が形成されていることがわかる。
この発明で、Ａｌ２Ｏ３の平均粒径の変化の周期を０．５μｍ〜５μｍとしたのは、上記周期が０．５μｍ未満になると周期が短すぎるために周期構造の有するすぐれた靭性とすぐれた耐チッピング性の特徴を十分に発揮できなくなるためであり、一方、上記周期が５μｍ以上になると周期が長くなり過ぎてしまい周期構造の有する上記特徴を十分に発揮できなくなるため、という理由による。
また、この発明で、平均粒径Ｄの値の極大値Ｄｍａｘを０．５〜１．５μｍの範囲内と定めたのは、０．５μｍ未満になると極小領域との差が小さくなりすぎて周期構造の有する特徴を十分に発揮しえなくなり、一方、１．５μｍ以上になると粗粒になり高い靭性を維持できなくなるからである。
また、平均粒径Ｄの値の極小値Ｄｍｉｎを０．０５〜０．３μｍの範囲内と定めたのは、０．０５μｍ未満になると極小領域内でのＡｌ２Ｏ３の粒子間歪みが増大しＡｌ２Ｏ３層中の粒子の密着性が低下することによりＡｌ２Ｏ３の高い靭性を維持できなくなり、一方、０．３μｍ以上になると粗粒になることにより高い靭性を維持できなくなるという理由による。
この発明では、硬質被覆層の上部層（Ａｌ２Ｏ３層）として、平均粒径Ｄが上記の極大値と極小値を示す厚み幅領域が周期的に交互に現出する結晶粒組織構造を備えていることから、高熱発生を伴い、かつ、切れ刃に高負荷が作用する高速重切削加工においても、Ａｌ２Ｏ３層が有する本来の高温硬さと耐熱性とを損なうことなく、すぐれた靭性、耐チッピング性を発揮するようになる。
【発明の効果】
【００１７】
この発明の被覆工具は、硬質被覆層として、Ｔｉ化合物層からなる下部層とＡｌ２Ｏ３層からなる上部層を被覆形成し、かつ、上部層のＡｌ２Ｏ３層の平均粒径が層厚方向に沿って周期的に変化する結晶粒組織構造を有していることにより、鋼や鋳鉄等の高熱発生を伴い、しかも、切れ刃に高負荷が作用する高速重切削加工に用いた場合でも、靭性、耐チッピング性にすぐれ、その結果、長期の使用にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮し、被覆工具の長寿命化が達成されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】この発明の上部層（Ａｌ２Ｏ３層）の結晶粒組織構造の概略摸式図を示す。
【図２】この発明の結晶粒組織構造を有する上部層（Ａｌ２Ｏ３層）についての層厚方向の平均粒径分布図を示す。
【図３】この発明の上部層（Ａｌ２Ｏ３層）を、工具基体表面に平行に引かれた複数の（仮想）平行線で、０．０２μｍの厚み幅領域に仕切り、区画した状態の摸式図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
つぎに、この発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
【実施例】
【００２０】
原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ3Ｃ2粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で２４時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、９８ＭＰａの圧力で所定形状の圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を５Ｐａの真空中、１３７０〜１４７０℃の範囲内の所定の温度に１時間保持の条件で真空焼結し、焼結後、切刃部にＲ：０．０７ｍｍのホーニング加工を施すことによりＩＳＯ・ＣＮＭＧ１２０４０８に規定するインサート形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体Ａ〜Ｅをそれぞれ製造した。
【００２１】
また、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（質量比でＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ2Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合し、乾燥した後、９８ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を１．３ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：１５４０℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０７ｍｍのホーニング加工を施すことによりＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のインサート形状をもったＴｉＣＮ基サーメット製の工具基体ａ〜ｅを形成した。
【００２２】
つぎに、これらの工具基体Ａ〜Ｅおよび工具基体ａ〜ｅの表面に、通常の化学蒸着装置を用い、
（ａ）硬質被覆層の下部層として、表３に示される条件かつ表５に示される目標層厚でＴｉ化合物層を蒸着形成する。
（ｂ）次いで、硬質被覆層の中間層として、表３に示される条件で所定の層厚のＡｌ２Ｏ３層を蒸着形成する。
（ｃ）次いで、表４に示される条件で、Ａｌ２Ｏ３層を所定時間ＳＦ６エッチングを行う。
（ｄ）上記（ｂ）、（ｃ）を所定の上部層層厚が得られるまで繰り返し行なう。
上記（ａ）〜（ｄ）によって、表６に示される下部層、および、Ａｌ２Ｏ３層の平均粒径が層厚方向に沿って周期的に変化する結晶粒組織構造を有する同じく表５に示される上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより本発明被覆工具１〜１５を製造した。
【００２３】
上記本発明被覆工具１〜１５のＡｌ２Ｏ３層からなる上部層について、透過型電子顕微鏡（倍率５００００倍）を用いて複数視野に渡って観察し、図１の概略摸式図に示される結晶粒組織構造が観察された。
また、同じく透過型電子顕微鏡（倍率５００００倍）を用いて、上記本発明被覆工具１〜１５のＡｌ２Ｏ３層からなる上部層について、図３に示されるように層厚方向に０．０２μｍの厚み幅領域に区分し、該厚み幅領域に存在する粒界の数を測定し、１μｍ当たりの粒界の数の逆数を平均粒径Ｄとして、層厚方向に沿う各厚み幅領域の平均粒径Ｄの変化を求め、横軸を平均粒径Ｄ、縦軸を層厚方向深さとして、図２に示される平均粒径分布図を作成した。
上記図２において、平均粒径Ｄが０．５〜１．５μｍの間に存在する場合の平均粒径Ｄの最大の値を平均粒径の極大値Ｄｍａｘとし、一方、平均粒径Ｄが０．０５〜０．３μｍの間に存在する場合の平均粒径Ｄの最小の値を平均粒径の極小値Ｄｍｉｎとし、図２として作成した平均粒径分布図から、ＤｍａｘとＤｍｉｎを求め、さらに、Ｄｍａｘを示す層厚方向の深さ位置とＤｍｉｎを示す層厚方向の深さ位置とから、層厚方向にわたって、Ａｌ２Ｏ３の平均粒径が変化する周期Ｃを求めた。
表６に、上記極大値Ｄｍａｘ、極小値Ｄｍｉｎ及び周期Ｃの値を示す。
【００２４】
また、比較の目的で、工具基体Ａ〜Ｅおよび工具基体ａ〜ｅの表面に、表３に示される条件かつ表５に示される目標層厚で本発明被覆工具１〜１５と同様に、硬質被覆層の下部層としてのＴｉ化合物層を蒸着形成した。
次いで、硬質被覆層の上部層として、いくつかのものについては、表３に示される条件かつ表７に示される目標層厚でＡｌ２Ｏ３層からなる上部層を蒸着形成することにより、表７の比較被覆工具１〜１０を作製した。
また、残りのものについては、表３に示される条件によるＡｌ２Ｏ３層の蒸着形成と、表４に示される条件でＳＦ６エッチングとを繰り返し行なうことにより、Ａｌ２Ｏ３の平均粒径が変化するＡｌ２Ｏ３層からなる上部層を蒸着形成することにより、表７の比較被覆工具１１〜１５を作製した。
【００２５】
比較被覆工具１〜１０及び１１〜１５のＡｌ２Ｏ３層からなる上部層について、透過型電子顕微鏡（倍率５００００倍）を用いて、Ａｌ２Ｏ３の平均粒径を測定した。
比較被覆工具１〜１０については、Ａｌ２Ｏ３の平均粒径は層厚方向に有意な差は認められず、ほぼ均一平均粒径であった。
表７には、比較被覆工具１〜１０についての層厚方向全体にわたり均一な平均粒径の値を示す。
比較被覆工具１１〜１５については、本発明被覆工具１〜１５の場合と同様に層厚方向にわたる平均粒径の変化を測定した。
表７に、比較被覆工具１１〜１５について求めた極大値Ｄｍａｘ、極小値Ｄｍｉｎ及び周期Ｃの値を示す。
【００２６】
また、本発明被覆工具１〜１５及び比較被覆工具１〜１５の各構成層の層厚を、走査型電子顕微鏡を用いて測定したところ、いずれも表５〜表７に示される目標層厚と実質的に同じ平均層厚を示した。
【００２７】
【表１】
0005246518.tif 000002
【００２８】
【表２】
0005246518.tif 000003
【００２９】
【表３】
0005246518.tif 000004
【００３０】
【表４】
0005246518.tif 000005
【００３１】
【表５】
0005246518.tif 000006
【００３２】
【表６】
0005246518.tif 000007
【００３３】
【表７】
0005246518.tif 000008
【００３４】
つぎに、上記本発明被覆工具１〜１５及び比較被覆工具１〜１５について、表８に示す条件で切削加工試験を実施し、いずれの切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
表９に、この測定結果を示した。
【００３５】
【表８】
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【００３６】
【表９】
0005246518.tif 000010
【００３７】
表５〜９に示される結果から、この発明の被覆工具は、硬質被覆層の上部層として、Ａｌ２Ｏ３層の平均粒径が層厚方向に沿って０．５μｍ〜５μｍの周期で周期的に変化する結晶粒組織構造を有していることにより、鋼や鋳鉄等の高熱発生を伴い、しかも、切れ刃に高負荷が作用する高速重切削加工に用いた場合でも、靭性、耐チッピング性にすぐれ、その結果、長期の使用にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮することが明らかである。
【００３８】
これに対して、上部層のＡｌ２Ｏ３がほぼ均一平均粒径である比較被覆工具１〜１０、また、本発明範囲外の結晶粒組織構造を有する比較被覆工具１１〜１５については、高熱発生を伴い、しかも、切れ刃に高負荷が作用する高速重切削加工に用いた場合、チッピング、欠損等の発生により短時間で寿命にいたることが明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
上述のように、この発明の被覆工具は、例えば鋼や鋳鉄等の高熱発生を伴い、かつ、切れ刃に高負荷が作用する高速重切削加工において、すぐれた靭性、耐チッピング性を発揮し、使用寿命の延命化を可能とするものであるが、高速重切削加工条件ばかりでなく、高速切削加工条件、高速断続切削加工条件等で使用することも勿論可能である。
【図１】
0005246518.tif 000011
【図２】
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【図３】
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