(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
バリスタ素体と、前記バリスタ素体の一方の主面上に一対の外部電極と、前記主面上に抵抗体とを備え、前記抵抗体は前記一対の外部電極を連結するように設けられているバリスタであって、
前記バリスタ素体は、主成分と副成分とを有し、前記主成分として酸化亜鉛を含み、前記副成分としてプラセオジム及びその酸化物の少なくとも一方とカルシウム酸化物とケイ素酸化物とを含んでおり、
前記主成分１００モルに対して前記カルシウム酸化物をカルシウム原子に換算した比率をＸ、及び前記主成分１００モルに対して前記ケイ素酸化物をケイ素原子に換算した比率をＹとしたときに、前記Ｘ及び前記Ｙがそれぞれ下記式（１）、（２）及び（３）を満たし、
０．０１原子％≦Ｘ＜２原子％    （１）
０．０１原子％≦Ｙ＜１原子％    （２）
３≦Ｘ／Ｙ≦２０                （３）
前記抵抗体は酸化物を含み、
前記外部電極は、酸化ビスマスとは異なる酸化物を含み、
前記バリスタ素体の前記主面と前記一対の外部電極及び前記抵抗体との間に下地ガラス層が設けられているバリスタ。
【請求項２】
前記抵抗体に含まれる前記酸化物は、酸化ビスマスとは異なる酸化物である請求項１記載のバリスタ。
【請求項３】
前記抵抗体は、前記外部電極の前記バリスタ素体側とは逆の面の少なくとも一部を覆うように設けられている請求項１又は２に記載のバリスタ。
【請求項４】
前記抵抗体及び前記一対の外部電極を覆うようにガラス層を備える請求項１〜３のいずれか一項に記載のバリスタ。
【請求項５】
前記下地ガラス層における酸化ビスマスの含有量が、前記下地ガラス層全体に対して１質量％以下である請求項１〜４のいずれか一項に記載のバリスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、抵抗体とバリスタ素体とが一体化されたバリスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
バリスタは、例えば、各種制御機器、通信機器、及びこれらの部品を例えば静電気などの外来サージ（異常電圧）やノイズから保護するために使用されている。
【０００３】
このようなバリスタを構成するバリスタ素体の構成成分としては、電圧非直線性などのバリスタ特性や放電耐量の向上を図るために、主成分として酸化亜鉛を、副成分として希土類元素、酸化カルシウム、酸化シリコンを用いることが提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
ところで、バリスタに抵抗体を直列接続する場合、プリント基板に２つの素子を別々に実装することになるため、実装スペースが拡大し、高密度実装に対応できない。かかる問題点に対応するため、バリスタ素体と抵抗体とを一体化したバリスタが提案されている（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特許第３４９３３８４号公報
【特許文献２】特許第３０９７３３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、本発明者らの検討によれば、特許文献１のような成分を含有するバリスタ素体を用いて、特許文献２に記載されているようなバリスタ素体と抵抗体とが一体化されたバリスタを作製した場合、バリスタ特性が低下したり、抵抗のバラつきが生じたりすることが分かった。さらに詳細に検討したところ、このようなバリスタ特性の低下は、バリスタ素体、当該バリスタ素体上に設けられる導体、及び抵抗体の含有成分の反応によって生じる反応生成物に起因していることを見出した。
【０００６】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、高密度実装が可能であり、優れたバリスタ特性を有するとともに抵抗値のバラつきが十分に低減されたバリスタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明では、バリスタ素体と、バリスタ素体の一方の主面上に一対の外部電極と、前記主面上に抵抗体とを備え、抵抗体は前記一対の外部電極を連結するように設けられているバリスタであって、バリスタ素体は、主成分と副成分とを有し、主成分として酸化亜鉛を含み、副成分としてプラセオジム及びその酸化物の少なくとも一方とカルシウム酸化物とケイ素酸化物とを含んでおり、前記主成分１００モルに対してカルシウム酸化物をカルシウム原子に換算した比率をＸ、及び前記主成分１００モルに対してケイ素酸化物をケイ素原子に換算した比率をＹとしたときに、前記Ｘ及び前記Ｙがそれぞれ下記式（１）、（２）及び（３）を満たし、抵抗体は酸化物を含み、外部電極は酸化ビスマスとは異なる酸化物を含むバリスタを提供する。
０．０１原子％≦Ｘ＜２原子％    （１）
０．０１原子％≦Ｙ＜１原子％    （２）
３≦Ｘ／Ｙ≦２０                    （３）
【０００８】
本発明のバリスタは、優れたバリスタ特性を有するとともに、抵抗のバラつきを十分に低減することができる。かかる効果が得られる理由を本発明者らは以下の通り推察する。すなわち、本発明のバリスタは、酸化ビスマスとは異なる酸化物を含有する外部電極を備えているため、バリスタの製造時及び使用中において、外部電極とバリスタ素体及び外部電極と抵抗体との反応を十分に抑制することができる。これによって、バリスタ素体、抵抗体及び外部電極中に反応生成物が生成することを抑制することができる。したがって、このようなバリスタは、バリスタ素体本来の優れたバリスタ特性を何ら損なうことなく維持することができ、また、抵抗値のバラつきを十分に低減することができると推察している。
【０００９】
また、本発明のバリスタの抵抗体に含まれる酸化物は、酸化ビスマスと異なる酸化物であることが好ましい。
【００１０】
このような抵抗体を備えるバリスタであれば、バリスタの製造時及び使用中において、抵抗体とバリスタ素体及び抵抗体と外部電極との反応を十分に抑制することができる。これによって、バリスタ素体、抵抗体及び外部電極中に反応生成物が生成することを一層抑制することができる。したがって、バリスタ特性に一層優れるとともに、抵抗値のバラつきをより十分に低減することができる。
【００１１】
また、本発明では、バリスタ素体の主面と一対の外部電極及び抵抗体の少なくとも一方との間に下地ガラス層を備えることが好ましい。
【００１２】
このように、バリスタ素体と一対の外部電極及び抵抗体の少なくとも一方との間に下地ガラス層を備えるバリスタは、外部電極とバリスタ素体との反応、及び抵抗体とバリスタ素体との反応の少なくとも一方の反応をより十分に抑制することができる。
【００１３】
また、本発明のバリスタにおいて、抵抗体は、外部電極のバリスタ素体側とは逆の面の少なくとも一部を覆うように設けられていることが好ましい。
【００１４】
このような態様の抵抗体を用いることにより、抵抗体と外部電極との結合力を一層向上させることができる。このため、バリスタの抵抗値のバラつきを一層抑制できるとともに、耐久性、信頼性を向上させることができる。
【００１５】
また、本発明のバリスタは抵抗体及び一対の外部電極を覆うようにガラス層を備えることが好ましい。このようなガラス層を備えることによって、バリスタを保護することができる。したがって、バリスタの耐久性、信頼性を一層向上させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、高密度実装が可能であり、優れたバリスタ特性を有するとともに抵抗値のバラつきが十分に低減されたバリスタを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、場合により図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。
【００１８】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るバリスタの模式断面図である。バリスタ１において、バリスタ素体１０の一方の主面１０ａに接するように下地ガラス層１２が積層されている。そして、この下地ガラス層１２のバリスタ素体１０側とは逆側の主面に接するように、一対の外部電極３０ａ，３０ｂが設けられている。また、当該主面に接するように抵抗体６０が設けられている。すなわち、一対の外部電極３０ａ，３０ｂと抵抗体６０とは下地ガラス層１２の同一主面上に設けられている。この抵抗体６０は、該一対の外部電極３０ａ，３０ｂを連結するように設けられている。そして、抵抗体６０の少なくとも一部は、該一対の外部電極３０ａ，３０ｂの間に挟まれるように設けられている。また、抵抗体６０は、一対の外部電極３０ａ，３０ｂの下地ガラス層１２側とは反対側の面の一部（抵抗体６０側）を覆うように形成されている。バリスタ１は、最外層に保護層（オーバーグレーズ）１４を有する。保護層１４は、バリスタ素体１０、外部電極３０ａ，３０ｂ、抵抗体６０を覆うように設けられている。
【００１９】
外部電極３０ａ，３０ｂのそれぞれの厚みは、図１のように、抵抗体６０で覆われる部分の厚みが、他の部分の厚みよりも大きくなっていることが好ましい。これによって、外部電極３０ａ、３０ｂと抵抗体６０との接合強度を向上させることができる。
【００２０】
バリスタ素体１０は、酸化亜鉛（ＺｎＯ）を主成分として含むと共に、副成分としてプラセオジム単体及びプラセオジム酸化物の少なくとも一方、カルシウム酸化物、ケイ素酸化物を含有する。バリスタ素体１０全体に対するＺｎＯの含有量は、優れたバリスタ特性を得る観点から、８０〜９９原子％であることが好ましく、８５〜９９原子％であることがより好ましい。酸化亜鉛の含有量が８０原子％未満の場合、高温高湿度環境下においてバリスタ素体１０の劣化が進行する傾向がある。一方、酸化亜鉛の含有量が９９原子％を超えると他の成分の十分な添加量を確保できず、優れたバリスタ特性が損なわれる傾向がある。
【００２１】
バリスタ素体１０に副成分として含まれるプラセオジム酸化物としては、例えばＰｒ６Ｏ１１が挙げられる。バリスタ素体１０全体に対するプラセオジム及びプラセオジム酸化物の含有量は、プラセオジムに換算して０．０５〜５．０原子％であることが好ましい。当該含有量が０．０５原子％未満の場合、優れた電圧非直線抵抗特性が損なわれる傾向があり、５．０原子％を超える場合、優れたサージ耐量が損なわれる傾向がある。
【００２２】
バリスタ素体１０におけるカルシウム酸化物の含有量は、酸化亜鉛に対し、カルシウム原子に換算して０．０１原子％以上且つ２原子％未満である。またバリスタ素体１０におけるケイ素酸化物の含有量は、酸化亜鉛に対し、ケイ素原子に換算して０．０１原子％以上且つ１原子％未満である。また、ケイ素酸化物に対するカルシウム酸化物のモル比率は、それぞれケイ素原子及びカルシウム原子に換算して（すなわち、Ｃａ／Ｓｉ）、３〜２０である。当該モル比率が３〜２０の範囲であれば、高温、高湿度中での安定性を向上し、Ｉ−Ｖ特性の非対称性の劣化を防止することができる。
【００２３】
カルシウム酸化物としては、ＣａＯや、カルシウムとケイ素と酸素とを含むＣａＳｉＯ３，Ｃａ２ＳｉＯ４等の複合酸化物等が挙げられる。バリスタ素体１０において、酸化亜鉛に対するカルシウム酸化物の含有量が、カルシウム原子に換算して０．０１原子％未満の場合、優れたバリスタ特性（電圧非直線抵抗特性）を得ることができない。一方、バリスタ素体１０において、酸化亜鉛に対するカルシウム酸化物の含有量が、カルシウム原子に換算して２原子％以上の場合、エネルギー耐量が低下する。すなわち、酸化亜鉛に対するカルシウム酸化物のカルシウム換算の比率が０．０１原子％以上で且つ２原子％未満であるバリスタ素体は、優れたバリスタ特性とエネルギー耐量を両立することができる。
【００２４】
ケイ素酸化物としては、ＳｉＯ２や、カルシウムとケイ素と酸素とを含むＣａＳｉＯ３，Ｃａ２ＳｉＯ４等の複合酸化物等が挙げられる。酸化亜鉛に対するケイ素酸化物の含有量が、ケイ素原子に換算して０．０１原子％未満の場合、十分なリーク電流特性が得られない。一方、酸化亜鉛に対するケイ素酸化物の含有量が、ケイ素原子に換算して１原子％以上の場合、バリスタ素体の焼結の進行を阻害してしまう。
【００２５】
バリスタ素体１０は、上述の成分の他に、希土類元素、Ｃｏ、ＩＩＩｂ族元素（Ｂ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ）、Ｃｒ、Ｍｏ、アルカリ金属元素（Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓ）及びアルカリ土類金属元素（Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ）等の金属単体やこれらの酸化物を含有することができる。なお、バリスタ素体１０も、酸化ビスマスとは異なる酸化物を含有することが好ましい。
【００２６】
外部電極３０ａ，３０ｂは、導体であり、酸化ビスマスとは異なる酸化物を含有する。酸化物としては、例えばＳｉＯ２，ＮｉＯ，ＭｎＯ，Ａｌ２Ｏ３などを含有することができる。外部電極３０ａ，３０ｂは、上述の酸化物の他に、金属単体を含有することが好ましい。金属単体としては、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔなどを好適に含有することができる。
【００２７】
外部電極３０ａ，３０ｂにおける酸化物の総含有量は、外部電極全体に対して０．０１〜２０質量％であることが好ましい。酸化物の総含有量が０．０１質量％未満の場合、基材に対する接着強度が低い傾向があり、２０質量％を超える場合、電気導電性が損なわれる傾向がある。外部電極３０ａ，３０ｂの厚みは、例えば１〜３０μｍとすることができる。
【００２８】
抵抗体６０は、ＲｕＯ２、ＳｎＯ２、ＬａＢ６などの導電性を有する化合物、Ａｌ２Ｏ３、Ｂ２Ｏ３、ＳｉＯ２などのガラス成分とＰｄ，Ａｇ，Ｐｔなどの金属単体を含有することができる。
【００２９】
抵抗体６０における酸化ビスマスの含有量は、抵抗体６０全体に対して１質量％以下であることが好ましく、０．５質量％以下であることがより好ましい。また、抵抗体６０が酸化ビスマスとは異なる酸化物を含有することがさらに好ましい。抵抗体６０における酸化ビスマスの含有量を低減することによって、抵抗体６０とバリスタ素体１０との反応、及び抵抗体６０と外部電極３０ａ，３０ｂとの反応を十分に抑制することができる。したがって、バリスタ素体１０、外部電極３０ａ，３０ｂ、抵抗体６０中における反応生成物の生成を十分に抑制することができる。抵抗体６０における酸化物の含有量は５０〜９９質量％であることが好ましい。これによって、抵抗値のバラつきを一層抑制することができる。なお、抵抗体６０の厚みは、例えば１〜３０μｍとすることができる。
【００３０】
下地ガラス層１２は、ＣａＯ、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＺｎＯ、ＢａＯ，Ｂ２Ｏ３などのガラスに一般的に含まれる酸化物を含有することができる。下地ガラス層１２における酸化ビスマスの含有量は、下地ガラス層１２全体に対して１質量％以下であることが好ましく、０．５質量％以下であることがより好ましい。また、下地ガラス層１２が酸化ビスマスとは異なる酸化物を含有することがさらに好ましい。下地ガラス層１２における酸化ビスマスの含有量を低減することによって、バリスタ素体１０、外部電極３０ａ，３０ｂ、及び抵抗体６０相互間の反応を一層十分に抑制することができる。これによって、バリスタ素体１０、外部電極３０ａ，３０ｂ、抵抗体６０中における反応生成物の生成を一層十分に抑制することができる。なお、下地ガラス層１２の厚みは、例えば１〜３０μｍとすることができる。
【００３１】
保護層６０は、バリスタ素体１０、外部電極３０ａ，３０ｂ、及び抵抗体６０を保護するために設けられる。この保護層６０は、主成分としてガラスやセラミックを含有する。保護層の厚みは、例えば１〜３０μｍとすることができる。
【００３２】
本実施形態のバリスタ１の外部電極３０ａ，３０ｂは、上述の通り、酸化ビスマス以外の酸化物を含有している。このため、バリスタ１と外部電極３０ａ，３０ｂ、及び外部電極３０ａ，３０ｂと抵抗体６０との反応を抑制することができる。外部電極が酸化ビスマスを含有する場合、この酸化ビスマスはバリスタ素体１０の成分と反応して反応生成物を形成する。ここで、ビスマスは３価の陽イオンとなりうるため、反応生成物として半導体を形成することが考えられる。これによって、バリスタ特性が低下するものと思われる。
【００３３】
図２は、第１実施形態に係るバリスタ１の断面のＸ線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）分析による元素分布を示す図である。図２（ａ）は上方から外部電極、下地ガラス層、バリスタ素体の順に積層された積層構造におけるビスマス（Ｂｉ）の分布を示し、図２（ｂ）は上から外部電極、下地ガラス層、バリスタ素体の順に積層された積層構造におけるケイ素（Ｓｉ）の分布を示す。
【００３４】
図２（ａ）によれば、本実施形態のバリスタ１は、外部電極に酸化ビスマスを含有していないために、バリスタ素体中にビスマスが検出されない（図２（ａ）下部）。また、図２（ｂ）によれば、外部電極は、ＳｉＯ２を含有しているためにケイ素が検出されているが、バリスタ素体中にはケイ素は検出されていない。すなわち、このバリスタ素体には、ビスマス成分やケイ素成分が拡散しておらず、ビスマス化合物やケイ素化合物などの反応生成物が殆ど存在しない。したがって、このようなバリスタ素体を備える本実施形態のバリスタ１は、優れたバリスタ特性を有する。また、抵抗体や外部電極も反応生成物を含有しないため、抵抗値のバラつきを十分に低減することができる。
【００３５】
図３は、従来のバリスタの断面のＸ線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）分析による元素分布を示す図である。図３（ａ）は上から外部電極、下地ガラス層、バリスタ素体の順に積層された積層構造におけるビスマス（Ｂｉ）の分布を示し、図３（ｂ）は上から外部電極、下地ガラス層、バリスタ素体の順に積層された積層構造におけるケイ素（Ｓｉ）の分布を示す。
【００３６】
酸化ビスマスを含有している外部電極を用いている図３（ａ）のバリスタでは、外部電極中にビスマスが検出されている（図３（ａ）中段部）。また、このバリスタに備えられるバリスタ素体は、図２のバリスタ素体と同一の原料を用いて形成されたものであり、ビスマス成分を含有しないはずである。しかしながら、バリスタの製造時における、外部電極とバリスタ素体との反応による反応生成物（ビスマス含有化合物）を含有している。（図３（ａ）下部）。
【００３７】
また、図３（ｂ）によれば、原料としてケイ素成分を使用していないバリスタ素体中にもケイ素が検出されている。すなわち、このバリスタ素体には、バリスタの製造過程において、バリスタ素体中にビスマスやケイ素を含有する反応生成物が形成されていると考えられる。このようなバリスタ素体を備えるバリスタは、バリスタ特性が十分ではない。また、抵抗体や外部電極も反応生成物を含有するため、抵抗値のバラつきも大きい。
【００３８】
（第２実施形態）
次に、図４〜図８を参照して、本発明の第２実施形態に係るバリスタについて以下に説明する。本実施形態のバリスタは、積層型チップバリスタである。
【００３９】
図４は、第２実施形態に係る積層型チップバリスタを示す概略上面図である。図５は、第２実施形態に係る積層型チップバリスタを示す概略下面図である。図６は、図５におけるＶＩ−ＶＩ線に沿った断面構成を説明するための図である。図７は、図５におけるＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面構成を説明するための図である。図８は、図５におけるＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面構成を説明するための図である。
【００４０】
積層型チップバリスタ２１は、図４〜図８に示されるように、略矩形板状とされたバリスタ素体２３と、該バリスタ素体２３の一方の主面（下面）２３ａにそれぞれ形成される複数（本実施形態においては、２５個）の外部電極２５〜２９と、該バリスタ素体２３の他方の主面（上面）２３ｂにそれぞれ形成される複数（本実施形態においては、２０個）の外部電極３０ａ〜３０ｄと、を備えている。バリスタ素体２３は、例えば、縦が３ｍｍ程度に設定され、横が３ｍｍ程度に設定され、厚みが０．５ｍｍ程度とすることができる。外部電極２５，２６，２８，２９は、積層型チップバリスタ２１の入出力端子電極として機能し、外部電極２７は、積層型チップバリスタ２１のグランド端子電極として機能する。外部電極３０ａ〜３０ｄは、後述する抵抗体６１，６３に電気的に接続される外部電極（パッド電極）として機能する。
【００４１】
バリスタ素体２３は、複数のバリスタ層と、それぞれ複数の第１〜第３の内部電極層３１（図６），４１（図７），５１（図８）とが積層された積層体として構成されている。各一層の第１〜第３の内部電極層３１，４１，５１を一つの内部電極群として、該内部電極群がバリスタ素体２３内においてバリスタ層の積層方向（以下、単に「積層方向」と称する。）に沿って複数（本実施形態においては、５つ）配置されている。各内部電極群において、第１〜第３の内部電極層３１，４１，５１は、互いの間に少なくとも一層のバリスタ層が介在するように第１の内部電極層３１、第２の内部電極層４１、第３の内部電極層５１の順に配置されている。各内部電極群も、互いの間に少なくとも一層のバリスタ層が介在するように配置されている。実際の積層型チップバリスタ２１では、複数のバリスタ層は、互いの間の境界が視認できない程度に一体化されている。各バリスタ層は、上述の第１実施形態のバリスタ素体と同様の成分を含有している。
【００４２】
各第１の内部電極層３１は、図６に示されるように、第１の内部電極３３と、第２の内部電極３５とをそれぞれ含んでいる。各第１及び第２の内部電極３３，３５は、略矩形状を呈している。第１及び第２の内部電極３３，３５は、バリスタ素体２３における積層方向に平行な側面から所定の間隔を有した位置に、互いに電気的に絶縁されるように所定の間隔を有してそれぞれ形成される。
【００４３】
各第１の内部電極３３は、引き出し導体３７ａを介して外部電極２５に電気的に接続されると共に、引き出し導体３７ｂを介して外部電極３０ａに電気的に接続されている。引き出し導体３７ａ，３７ｂは、第１の内部電極３３と一体に形成されている。各第２の内部電極３５は、引き出し導体３９ａを介して外部電極２９に電気的に接続されると共に、引き出し導体３９ｂを介して外部電極３０ｂに電気的に接続されている。引き出し導体３９ａ，３９ｂは、第２の内部電極３５と一体に形成されている。
【００４４】
各第２の内部電極層４１は、図７にも示されるように、第３の内部電極４３をそれぞれ含んでいる。各第３の内部電極４３は、略矩形状を呈している。第３の内部電極４３は、バリスタ素体２３における積層方向に平行な側面から所定の間隔を有した位置に、積層方向から見て第１及び第２の内部電極３３，３５と重なるように形成される。各第３の内部電極４３は、引き出し導体４７を介して外部電極２７に電気的に接続されている。引き出し導体４７は、第３の内部電極４３と一体に形成されている。
【００４５】
各第３の内部電極層５１は、図８にも示されるように、第４の内部電極５３と、第５の内部電極５５とをそれぞれ含んでいる。各第４及び第５の内部電極５３，５５は、略矩形状を呈している。第４及び第５の内部電極５３，５５は、バリスタ素体２３における積層方向に平行な側面から所定の間隔を有した位置に、積層方向から見て第３の内部電極４３と重なり且つ互いに電気的に絶縁されるように所定の間隔を有してそれぞれ形成される。
【００４６】
各第４の内部電極５３は、引き出し導体５７ａを介して外部電極２６に電気的に接続されると共に、引き出し導体５７ｂを介して外部電極３０ｃに電気的に接続されている。引き出し導体５７ａ，５７ｂは、第４の内部電極５３と一体に形成されている。各第５の内部電極５５は、引き出し導体５９ａを介して外部電極２８に電気的に接続されると共に、引き出し導体５９ｂを介して外部電極３０ｄに電気的に接続されている。引き出し導体５９ａ，５９ｂは、第５の内部電極５５と一体に形成されている。
【００４７】
第１〜第５の内部電極３３，３５，４３，５３，５５は、上述の第１実施形態の外部電極と同様の成分を含有する。なお、内部電極は、上記第１実施形態の外部電極と同様の成分を含有する。また、引き出し導体３７ａ，３７ｂ，３９ａ，３９ｂ，４７，５７ａ，５７ｂ，５９ａ，５９ｂも、上述の第１実施形態の外部電極と同様の成分を含有する。なお、内部電極も引き出し導体も酸化ビスマスとは異なる酸化物を含有することが好ましい。
【００４８】
外部電極３０ａと外部電極３０ｂとは、バリスタ素体の主面２３ｂ上において、バリスタ層の積層方向に垂直且つ主面２３ｂに平行な方向に所定の間隔を有して配されている（図４）。外部電極３０ｃと外部電極３０ｄとは、主面２３ｂ上において、バリスタ層の積層方向に垂直且つ主面２３ｂに平行な方向に所定の間隔を有して配されている。外部電極３０ａと外部電極３０ｂとの上記所定の間隔、及び、外部電極３０ｃと外部電極３０ｄとの上記所定の間隔は、同じに設定されている。外部電極３０ａ〜３０ｄは、矩形状（本実施形態では、長方形状）を呈している。外部電極３０ａ，３０ｂは、例えば、長辺の長さが１０００μｍ程度に設定され、短辺の長さが１５０μｍ程度に設定され、厚みが２μｍ程度に設定されている。外部電極３０ｃ，３０ｄは、例えば、長辺の長さが５００μｍ程度に設定され、短辺の長さが１５０μｍ程度に設定され、厚みが２μｍ程度に設定されている。
【００４９】
外部電極３０ａ〜３０ｄは、上述の第１実施形態の外部電極と同様の成分を含有する。すなわち、酸化ビスマスとは異なる酸化物を含有する。外部電極３０ａ〜３０ｄは、上述の成分を含有する導電性ペーストを焼き付けて形成することができる。この導電性ペーストには、上述の金属や酸化物粉末に、一般に市販されているガラスフリット、有機バインダ及び有機溶剤を混合したものが用いられる。有機バインダは特に限定されず、例えば、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等、各種バインダから適宜選択すればよい。有機溶剤としてはテルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等、各種有機溶剤から適宜選択すればよい。なお、導電性ペーストの配合比に特に制限はなく、例えば金属及び酸化物粉末の総量１００質量部に対して、上記有機バインダを１〜２０質量部、上記有機溶剤を１〜４０質量部配合することができる。これらの配合比は、導電性ペーストの流動性を調整するために適宜変更することができる。
【００５０】
バリスタ素体の主面２３ｂ上には、外部電極３０ａと外部電極３０ｂとの間に掛け渡されるように抵抗体６１が形成され、外部電極３０ｃと外部電極３０ｄとの間に掛け渡されるように抵抗体６３が形成されている。抵抗体６１，６３は、上述の第１実施形態の抵抗体６０と同様の成分を含有する。また、抵抗体６１，６３は、酸化ビスマスとは異なる酸化物を含有することが好ましい。抵抗体６１，６３は、上述の金属及び金属酸化物に、Ａｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２等のガラスを混合した抵抗ペーストを焼き付けて形成することができる。
【００５１】
抵抗体６１の一端は、外部電極３０ａ及び引き出し導体３７ｂを通して第１の内部電極３３に電気的に接続されている。抵抗体６１の他端は、外部電極３０ｂ及び引き出し導体３９ｂを通して第２の内部電極３５に電気的に接続されている。抵抗体６３の一端は、外部電極３０ｃ及び引き出し導体５７ｂを通して第４の内部電極５３に電気的に接続されている。抵抗体６３の他端は、外部電極３０ｄ及び引き出し導体５９ｂを通して第５の内部電極５５に電気的に接続されている。
【００５２】
外部電極２５〜２９（図５）は、一方の主面２３ａ上に、Ｍ行Ｎ列（パラメータＭ及びＮそれぞれを２以上の整数とする）に２次元配列されている。本実施形態では、外部電極２５〜２９は５行５列に２次元配列されている。外部電極２５〜２９は、矩形状（本実施形態では、正方形状）を呈している。外部電極２５〜２９は、例えば、各一辺の長さが３００μｍ程度に設定され、厚みが２μｍ程度に設定されている。
【００５３】
外部電極２５〜２９は、バリスタ素体２３の外表面に形成されており、第１実施形態の外部電極と同様の組成を有する。外部電極２５〜２９は、上述の外部電極３０ａ〜３０ｄと同様に、導電性ペーストが焼き付けられることにより形成することができる。
【００５４】
第３の内部電極４３は、上述したように、積層方向から見て第１及び第２の内部電極３３，３５と重なるように形成されている。したがって、バリスタ層における第１の内部電極３３と第３の内部電極４３とに重なる領域がバリスタ特性を発現する領域として機能し、バリスタ層における第２の内部電極３５と第３の内部電極４３とに重なる領域がバリスタ特性を発現する領域として機能する。
【００５５】
更に、第３の内部電極４３は、上述したように、積層方向から見て第４及び第５の内部電極５３，５５と重なるように形成されている。したがって、また、バリスタ層における第４の内部電極５３と第３の内部電極４３とに重なる領域がバリスタ特性を発現する領域として機能し、バリスタ層における第５の内部電極５５と第３の内部電極４３とに重なる領域がバリスタ特性を発現する領域として機能する。
【００５６】
上述した構成を有する積層型チップバリスタ２１においては、図９に示されるように、抵抗ＲとバリスタＢ１とバリスタＢ２とが、π型に接続されることとなる。抵抗Ｒは、抵抗体６１または抵抗体６３により構成される。バリスタＢ１は、第１の内部電極３３と第３の内部電極４３とバリスタ層における第１及び第３の内部電極３３，４３に重なる領域とにより、または、第４の内部電極５３と第３の内部電極４３とバリスタ層における第４及び第３の内部電極５３，４３に重なる領域とにより構成される。バリスタＢ２は、第２の内部電極３５と第３の内部電極４３とバリスタ層における第２及び第３の内部電極３５，４３に重なる領域とにより、または、第５の内部電極５５と第３の内部電極４３とバリスタ層における第５及び第３の内部電極５５，４３に重なる領域とにより構成される。
【００５７】
続いて、図１０を参照して、上述した本発明の第２実施形態に係る積層型チップバリスタ２１の製造過程について説明する。図１０は、第２実施形態に係る積層型チップバリスタの製造過程を説明するための図である。
【００５８】
まず、バリスタ層の成分として酸化亜鉛と、Ｐｒ及び／又はその酸化物と、カルシウム酸化物と、ケイ素酸化物と、その他の成分とを各々秤量した後、各成分を混合してバリスタ原料を調製する。バリスタ層形成用の塗料は、このバリスタ原料と有機ビヒクルとを混練した有機系の塗料であってもよく、水溶系の塗料であってもよい。なお、有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いられるバインダは、特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよい。また、このとき用いられる有機溶剤も特に限定されず、印刷法やシート法など、バリスタ層を形成する方法に応じてテルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等から適宜選択すればよい。塗料中の有機ビヒクルやバリスタ原料の含有量は、特に限定されない。例えば、塗料全体に対して、バインダが１〜５質量％程度、有機溶剤が１０〜５０質量％程度となるように有機ビヒクルを配合することができる。また、塗料中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添加物が含まれていてもよい。なお、水溶系の塗料としては、水に水溶性バインダ、分散剤等を溶解させたものが挙げられる。水溶系バインダは、特に限定されず、ポリビニルアルコール、セルロース、水溶性アクリル樹脂、エマルジョン等から適宜選択すればよい。
【００５９】
上述のバリスタ層形成用の塗料（スラリー）は、上述のバリスタ原料と、バインダ、溶媒（有機溶剤や水）、各種添加物等の材料を、ボールミル等を用いて２０時間程度混合・粉砕を行って得ることができる。スラリーを作製する際の原材料の配合比は、スラリーの流動性を調整するために適宜変更することができる。
【００６０】
このスラリーを、ドクターブレード法等の公知の方法により、例えばポリエチレンテレフタレートからなるフィルム上に塗布した後、乾燥して厚さ３０μｍ程度の膜を形成する。こうして得られた膜をフィルムから剥離してグリーンシートを得る。
【００６１】
次に、グリーンシートに、第１及び第２の内部電極３３，３５に対応する電極部分を複数（後述する分割チップ数に対応する数）形成する。同様にして、異なるグリーンシートに、第３の内部電極４３に対応する電極部分を複数（後述する分割チップ数に対応する数）形成する。更に、異なるグリーンシートに、第４及び第５の内部電極５３，５５に対応する電極部分を複数（後述する分割チップ数に対応する数）形成する。
【００６２】
第１〜第５の内部電極３３，３５，４３，５３，５５に対応する電極部分は、酸化ビスマスとは異なる酸化物、Ａｇ粒子、Ｐｄ粒子等の金属粉末、ガラスフリット、有機バインダ及び有機溶剤を混合した導電性ペーストをスクリーン印刷等の印刷法にて印刷し、乾燥させることにより形成することができる。有機バインダとしては特に限定されず、例えば、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等、各種バインダから適宜選択すればよい。有機溶剤としてはテルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等、各種有機溶剤から適宜選択すればよい。なお、導電性ペーストの配合比に特に制限はなく、例えば金属及び酸化物粉末の総量１００質量部に対して、上記有機バインダを１〜２０質量部、上記有機溶剤を１〜４０質量部配合することができる。これらの配合比は、導電性ペーストの流動性を調整するために適宜変更することができる。
【００６３】
次に、電極部分が形成された各グリーンシートと、電極部分が形成されていないグリーンシートとを所定の順序で重ねてシート積層体を形成する。こうして得られたシート積層体を、例えば、チップ単位に切断して、分割された複数のグリーン体ＬＳ２（図１０参照）を得る。得られたグリーン体ＬＳ２では、第１及び第２の内部電極３３，３５及び引き出し導体３７ａ，３７ｂ，３９ａ，３９ｂに対応する電極部分ＥＬ２が形成されたグリーンシートＧＳ１１と、第３の内部電極４３及び引き出し導体４７に対応する電極部分ＥＬ３が形成されたグリーンシートＧＳ１２と、第４及び第５の内部電極５３，５５及び引き出し導体５７ａ，５７ｂ，５９ａ，５９ｂに対応する電極部分ＥＬ４が形成されたグリーンシートＧＳ１３と、電極部分ＥＬ２〜ＥＬ４が形成されていないグリーンシートＧＳ１４とが順次積層されている。なお、電極部分ＥＬ２〜ＥＬ４が形成されていないグリーンシートＧＳ１４は、必要に応じて、それぞれの箇所において複数枚ずつ積層してもよい。
【００６４】
次に、グリーン体ＬＳ２に、１８０〜４００℃、０．５〜２４時間程度の加熱処理を実施して脱バインダを行った後、さらに、８５０〜１４００℃、０．５〜８時間程度の焼成を行い、バリスタ素体２３を得る。この焼成によって、グリーン体ＬＳ２におけるグリーンシートＧＳ１１〜ＧＳ１４はバリスタ層となる。電極部分ＥＬ２は、第１及び第２の内部電極３３，３５及び引き出し導体３７ａ，３７ｂ，３９ａ，３９ｂとなる。電極部分ＥＬ３は、第３の内部電極４３及び引き出し導体４７となる。電極部分ＥＬ４は、第４及び第５の内部電極５３，５５及び引き出し導体５７ａ，５７ｂ，５９ａ，５９ｂとなる。
【００６５】
次に、バリスタ素体２３の外表面に、外部電極２５〜２９及び外部電極３０ａ〜３０ｄを形成する。ここでは、バリスタ素体２３の一方の主面２３ａ上に、対応する電極部分ＥＬ２〜ＥＬ４に接するように導電性ペーストをスクリーン印刷工法にて印刷した後、乾燥させることによって、外部電極２５〜２９に対応する電極部分を形成する。また、バリスタ素体２３の他方の主面２３ｂ上に、対応する電極部分ＥＬ２，ＥＬ４に接するように導電性ペーストをスクリーン印刷工法にて印刷した後、乾燥させることによって、外部電極３０ａ〜３０ｄに対応する電極部分を形成する。そして、上記電極部分を５００〜８５０℃で焼き付けて、外部電極２５〜２９及び外部電極３０ａ〜３０ｄが形成されたバリスタ素体２３を得る。外部電極２５〜２９及び外部電極３０ａ〜３０ｄ用の導電性ペーストには、上述のとおり、酸化ビスマスとは異なる酸化物、Ａｇ粒子、Ｐｄ粒子などの金属粉末、ガラスフリット、有機バインダ及び有機溶剤を混合したものを用いることができる。
【００６６】
次に、抵抗体６１，６３を以下のようにして形成する。まず、バリスタ素体２３の主面２３ｂ上に、各一対の外部電極３０ａと外部電極３０ｂとに、及び、各一対の外部電極３０ｃと外部電極３０ｄとにそれぞれ掛け渡すように、抵抗体６１，６３に対応する抵抗領域を形成する。抵抗体６１，６３に対応する各抵抗領域は、抵抗ペーストをスクリーン印刷工法にて印刷し、乾燥させることにより形成する。そして、抵抗ペーストを例えば８００〜９００℃にて焼き付け、抵抗体６１，６３を得る。これによって、積層型チップバリスタ２１が得られる。なお、外部電極２５〜２９及び外部電極３０ａ〜３０ｄと抵抗体６１，６３とを同時に形成してもよい。
【００６７】
抵抗ペーストとしては、ＲｕＯ２にＡｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２等のガラスを混合したものを用いることができる。Ｓｎ系の抵抗ペーストとしては、ＳｎＯ２にＡｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２等のガラスを混合したものを用いることができる。Ｌａ系の抵抗ペーストとしては、ＬａＢ６にＡｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２等のガラスを混合したものを用いることができる。抵抗ペーストは、上述のガラス粉末に、一般に市販されている有機バインダ及び有機溶剤を混合したものが用いられる。なお、抵抗ペーストは酸化ビスマス含まないことが好ましい。抵抗ペーストの作製に用いられる有機バインダは特に限定されず、例えば、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等、各種バインダから適宜選択すればよい。有機溶剤としてはテルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等、各種有機溶剤から適宜選択すればよい。なお、導電性ペーストの配合比に特に制限はなく、例えば金属及び酸化物粉末の総量１００質量部に対して、上記有機バインダを１〜２０質量部、上記有機溶剤を１〜４０質量部配合することができる。これらの配合比は、抵抗ペーストの流動性を調整するために適宜変更することができる。
【００６８】
なお、焼成後に、バリスタ素体２３の表面からアルカリ金属（例えば、Ｌｉ、Ｎａ等）を拡散させてもよい。また、積層型チップバリスタ２１の外表面に、外部電極２５〜２９が形成された領域を除いて、保護層（オーバーグレーズ層）を形成してもよい。保護層は、グレーズガラス（例えば、ＳｉＯ２、ＺｎＯ、Ｂ、Ａｌ２Ｏ３等からなるガラス等）を印刷し、５００〜６００℃にて焼き付けることにより形成することができる。
【００６９】
以上のように、本第２実施形態のバリスタは、酸化亜鉛と、Ｐｒ及びその酸化物の少なくとも一方と、カルシウム酸化物と、ケイ素酸化物とを含むバリスタ素体２３の主面２３ｂ上に、酸化ビスマスと異なる酸化物を含む一対の外部電極（３０ａ及び３０ｂ又は３０ｃ及び３０ｄ）と該一対の外部電極に挟まれるように抵抗体６１又は６３とを備える。これによって、外部電極と抵抗体との反応、及び外部電極とバリスタ素体との反応が十分に抑制されている。したがって、このような積層型チップバリスタは、バリスタ特性に優れ、抵抗値のバラつきを十分に低減することができる。
【００７０】
なお、第１実施形態と同様に、バリスタ素体２３の主面２３ｂと外部電極３０ａ〜３０ｄ及び抵抗体６１，６３との間に下地ガラス層を設けてもよい。この下地ガラス層は、酸化ビスマス以外のガラスに一般的に含まれる酸化物、例えばＳｉＯ２−ＺｎＯ−ＢａＯ−ＺｒＯ２−Ａｌ２Ｏ３等を含有するペーストを、バリスタ素体２３の主面２３ｂ上にスクリーン印刷工法にて印刷した後、乾燥させ、例えば８００〜９００℃にて焼き付けて形成することができる。その後、上述の通り、外部電極３０ａ〜３０ｄ及び抵抗体６１，６３を下地ガラス層上に形成することができる。
【００７１】
下地ガラス層の形成に用いられる下地ガラス層用ペーストは、上記酸化物に、一般に市販されている有機バインダや有機溶剤を配合することによって調製される。有機バインダは特に限定されず、例えば、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等、各種バインダから適宜選択すればよい。有機溶剤としては、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等、各種有機溶剤から適宜選択すればよい。なお、導電性ペーストの配合比に特に制限はなく、例えば金属及び酸化物粉末の総量１００質量部に対して、上記有機バインダを１〜２０質量部、上記有機溶剤を１〜４０質量部配合することができる。これらの配合比は、下地ガラス層用ペーストの流動性を調整するために適宜変更することができる。
【００７２】
ところで、本第２実施形態の積層型チップバリスタ２１では、入出力端子電極として機能する外部電極２５，２６，２８，２９とグランド端子電極として機能する外部電極２７とが共に、バリスタ素体２３の一方の主面２３ａに配されている。すなわち、積層型チップバリスタ２１は、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）パッケージとされた積層型チップバリスタである。この積層型チップバリスタ２１は、はんだボールを用いて各外部電極２５〜２９と該各外部電極２５〜２９に対応する外部基板のランドとを電気的及び機械的に接続することにより、外部基板に実装される。積層型チップバリスタ２１が外部基板に実装された状態では、各内部電極３３，３５，４３，５３，５５は外部基板に直交する方向に延びることとなる。
【００７３】
以上、本発明の好適な実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしもこれらの実施形態に限定されるものではない。
【実施例】
【００７４】
以下、実施例及び比較例に基づき本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。
【００７５】
（実施例１）
＜バリスタ素体用スラリーの調製＞
まず、酸化亜鉛を主成分とし、副成分として表１に示す成分を含有する粉末原料を準備した。表１の含有量は酸化亜鉛に対する比率を示す。この粉末原料と、有機バインダと、有機溶剤と、添加剤とを、ボールミルを用いて２０時間混合・粉砕を行いバリスタ素体用のスラリーを得た。
【００７６】
【表１】
0005163096.tif 000002
【００７７】
＜外部電極形成用の導電性ペーストの作製＞
表２記載の電極Ａに示す成分を含有する導電性ペーストを作製した。具体的には、表２の電極Ａの各成分を、表２に示す割合で混合して混合原料を調製した。
【００７８】
この混合原料、有機バインダ、及び有機溶剤をボールミルを用いて２０時間混合し、外部電極形成用の導電性ペーストを得た。
【００７９】
＜抵抗ペーストの作製＞
表２記載の抵抗体ａに示す成分を含有するペーストを作製した。具体的には、表２の抵抗体ａの各成分を、表２に示す割合で混合して混合原料を調製した。
【００８０】
調製した混合原料、有機バインダ、及び有機溶剤をボールミルを用いて２０時間混合し、抵抗体形成用の抵抗ペーストを得た。
【００８１】
＜下地ガラス用ペーストの作製＞
表２記載の下地ガラス１に示す成分を含有するペーストを作製した。具体的には、表２記載の下地ガラス１の各成分を、表２に示す割合で混合して混合原料を調製した。
【００８２】
調製した混合原料、有機バインダ、及び有機溶剤をボールミルを用いて２０時間混合し、下地ガラス形成用のペーストを得た。
【００８３】
＜積層型チップバリスタの作製＞
上述の通り調製したスラリー及び各ペーストを用いて、上述の第２実施形態に相当する積層型チップバリスタを作製した。以下、図４〜８及び図１０を参照しつつ積層型チップバリスタの製造手順について説明する。
【００８４】
まず、上記の通り調製したバリスタ素体用のスラリーを、ドクターブレード法により、ポリエチレンテレフタレートからなるフィルム上に塗布した後、乾燥して厚さ３０μｍの膜を形成した。こうして得られた膜をフィルムから剥離してグリーンシートを得た。
【００８５】
次に、グリーンシートに、第１及び第２の内部電極３３，３５（図５）に対応する電極部分を形成した。同様にして、異なるグリーンシートに、第３の内部電極４３（図５）に対応する電極部分を形成した。更に、異なるグリーンシートに、第４及び第５の内部電極５３，５５（図５）に対応する電極部分を形成した。
【００８６】
第１〜第５の内部電極３３，３５，４３，５３，５５に対応する電極部分は、通常の導電性ペーストをスクリーン印刷工法にて印刷し、乾燥させることにより形成した。
【００８７】
次に、電極部分が形成された各グリーンシートと、電極部分が形成されていないグリーンシートとを所定の順序で重ねてシート積層体を形成した。こうして得られたシート積層体を、チップ単位に切断して、分割された複数のグリーン体ＬＳ２（図１０参照）を得た。
【００８８】
次に、グリーン体ＬＳ２に、加熱処理を実施して脱バインダを行った後、さらに、焼成を行い、バリスタ素体２３を得た。
【００８９】
次に、バリスタ素体２３の一方の主面２３ａ上に、市販のＡｇ−Ｐｔ系ペーストをスクリーン印刷工法にて印刷した後、乾燥させ、９００〜１１００℃で焼き付けて外部電極２５〜２９に対応する電極部分（Ａｇ−Ｐｔ導体）を形成した。
【００９０】
次に、バリスタ素体２３の主面２３ｂ上に、上述の通り調製した下地ガラス形成用のペーストをスクリーン印刷工法にて印刷した後、乾燥させ、８５０℃で焼き付けて、下地ガラス層を形成した。
【００９１】
形成した下地ガラス層の上に、上述の通り調製した外部電極形成用の導電性ペーストをスクリーン印刷工法にて印刷した後、乾燥させることによって、外部電極３０ａ〜３０ｄに対応する電極部分を形成した。そして、この電極部分を８５０℃で焼き付けて、下地ガラス層（図示しない）上に外部電極３０ａ〜３０ｄが形成されたバリスタ素体を得た。
【００９２】
次に、各一対の外部電極３０ａと外部電極３０ｂとに、及び、各一対の外部電極３０ｃと外部電極３０ｄとにそれぞれ掛け渡すように、上述の通り調製した抵抗ペーストをスクリーン印刷工法にて印刷した。この抵抗ペーストを乾燥させ、８５０℃にて焼き付けて、抵抗体６１，６３を形成した。これによって、外部電極３０ａと外部電極３０ｂとを抵抗体６１によって連結し、外部電極３０ｃと外部電極３０ｄとを抵抗体６３によって連結した。以上の工程によって、図４及び図５に示すような積層型チップバリスタ２１を得た。
【００９３】
＜反応性の評価＞
作製した積層型チップバリスタの断面のＸ線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）分析を行い、バリスタ素体中における反応生成物の有無について調べた。ＥＰＭＡ分析により、バリスタ特性に影響を与える反応生成物が認められない場合（原材料に含まれていない元素が検出されなかった場合）を反応性Ａ、反応生成物が認められる場合（原材料に含まれていない元素が検出された場合）を反応性Ｂと判定した。結果を表２に示す。
【００９４】
＜抵抗値の評価＞
作製した積層型チップバリスタの抵抗値を測定した。具体的には、図９に示す等価回路において、外部端子電極２５（２６）と外部端子電極２９（２８）の間の抵抗値を測定した。測定は、異なる外部端子電極間の１０箇所で行い、平均値と標準偏差（σ）とを導出した。これらの値から３σ／平均値の値を算出し、抵抗値のバラつきを評価した。結果を表２に示す。
【００９５】
（実施例２）
外部電極形成用の導電性ペーストに含まれる材料のうち、表２に示す電極Ａの成分を電極Ｂの成分に変えたこと以外は、実施例１と同様にして積層型チップバリスタを作製し、評価を行った。評価結果を表２に示す。なお、下地ガラスと抵抗体の形成に用いたペーストの組成は実施例１と同一である。
【００９６】
（実施例３）
外部電極形成用の導電性ペーストに含まれる材料のうち、表２に示す電極Ａの成分を電極Ｃの成分に変えたこと以外は、実施例１と同様にして積層型チップバリスタを作製し、評価を行った。評価結果を表２に示す。なお、下地ガラスと抵抗体の形成に用いたペーストの組成は実施例１と同一である。
【００９７】
（比較例１）
外部電極形成用の導電性ペーストに含まれる材料のうち、表２に示す電極Ａの成分を電極Ｄの成分に変えたこと以外は、実施例１と同様にして積層型チップバリスタを作製し、評価を行った。評価結果を表２に示す。なお、下地ガラスと抵抗体の形成に用いたペーストの組成は実施例１と同一である。
【００９８】
（比較例２）
外部電極形成用の導電性ペーストに含まれる材料のうち、表２に示す電極Ａの成分を電極Ｅの成分に変えたこと以外は、実施例１と同様にして積層型チップバリスタを作製し、評価を行った。評価結果を表２に示す。なお、下地ガラスと抵抗体の形成に用いたペーストの組成は実施例１と同一である。
【００９９】
（実施例４）
抵抗体形成用の抵抗ペーストに含まれる材料のうち、表２に示す抵抗体ａの成分を抵抗体ｂの成分に変えたこと以外は、実施例１と同様にして積層型チップバリスタを作製し、評価を行った。評価結果を表２に示す。なお、下地ガラスと電極の形成に用いたペーストの組成は実施例１と同一である。
【０１００】
（実施例５）
外部電極形成用の導電性ペーストに含まれる材料のうち、表２に示す電極Ａの成分を表３に示す電極Ｃの成分に変えたこと以外は、実施例４と同様にして積層型チップバリスタを作製し、評価を行った。評価結果を表３に示す。なお、下地ガラスと抵抗体の形成に用いたペーストの組成は実施例４と同一である。
【０１０１】
（実施例６）
抵抗体形成用の抵抗ペーストに含まれる材料のうち、表３に示す抵抗体ｂの成分を抵抗体ｃの成分に変えたこと以外は、実施例５と同様にして積層型チップバリスタを作製し、評価を行った。評価結果を表３に示す。なお、下地ガラスと電極の形成に用いたペーストの組成は実施例５と同一である。
【０１０２】
（実施例７）
抵抗体形成用の抵抗ペーストに含まれる材料のうち、表３に示す抵抗体ｂの成分を抵抗体ｄの成分に変えたこと以外は、実施例５と同様にして積層型チップバリスタを作製し、評価を行った。評価結果を表３に示す。なお、下地ガラスと電極の形成に用いたペーストの組成は実施例５と同一である。
【０１０３】
（実施例８）
積層型チップバリスタに下地ガラス層を形成しなかったこと以外は、実施例１と同様にして積層型チップバリスタを作製し、評価を行った。評価結果を表３に示す。
【０１０４】
（実施例９）
抵抗体形成用の抵抗ペーストに含まれる材料のうち、表３に示す抵抗体ａの成分を抵抗体ｂの成分に変えたこと以外は、実施例８と同様にして積層型チップバリスタを作製し、評価を行った。評価結果を表４に示す。なお、電極の形成に用いた導電性ペーストの組成は実施例８と同一である。
【０１０５】
【表２】
0005163096.tif 000003
【０１０６】
【表３】
0005163096.tif 000004
【０１０７】
酸化ビスマスと異なる酸化物を含有する電極Ａ〜Ｃを備える実施例１〜９の積層型チップバリスタのバリスタ素体には、反応生成物が検出されず、抵抗値のバラつきも小さかった。電極、下地ガラス層、抵抗体のいずれにも酸化ビスマスを含有しない実施例６及び７は、抵抗値のバラつきが最も小さかった。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】本発明の第１実施形態に係るバリスタの模式断面図である。
【図２】第１実施形態に係るバリスタ１の断面のＸ線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）分析による元素分布を示す図である。
【図３】従来のバリスタの断面のＸ線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）分析による元素分布を示す図である。
【図４】第２実施形態に係る積層型チップバリスタを示す概略上面図である。
【図５】第２実施形態に係る積層型チップバリスタを示す概略下面図である。
【図６】図５におけるＶＩ−ＶＩ線に沿った断面構成を説明するための図である。
【図７】図５におけるＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面構成を説明するための図である。
【図８】図５におけるＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面構成を説明するための図である。
【図９】第２実施形態に係る積層型チップバリスタの等価回路を説明するための図である。
【図１０】第２実施形態に係る積層型チップバリスタの製造過程を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１０９】
１…バリスタ、１０，２３…バリスタ素体、１０ａ…主面、１４…保護層、１２…下地ガラス層、２１…積層型チップバリスタ、２５〜２９…外部電極、３０ａ〜３０ｄ…外部電極、３１…第１の内部電極層、４１…第２の内部電極層、５１…第３の内部電極層、６０，６１，６３…抵抗体、ＬＳ２…グリーン体。
【図１】
0005163096.tif 000005
【図４】
0005163096.tif 000006
【図５】
0005163096.tif 000007
【図６】
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【図７】
0005163096.tif 000009
【図８】
0005163096.tif 000010
【図９】
0005163096.tif 000011
【図１０】
0005163096.tif 000012
【図２】
0005163096.tif 000013
【図３】
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