(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
視野角制限カバーを備える焦電型外線センサであって、
前記視野角制限カバーは、赤外線を遮蔽する遮蔽部と、赤外線を透過させる窓部とを備えており、当該視野角制限カバーが前記焦電型赤外線センサに取り付けられた状態において、前記窓部は、前記焦電型赤外線センサによる検知対象物と前記受光電極とを結ぶ直線上に位置するように設けられており、前記遮蔽部は、少なくとも前記受光電極以外の部分を覆うように設けられており、
前記窓部の形状は、前記受光電極の外形に合わせた長方形形状を有してなるものであり、
前記焦電型赤外線センサは、少なくとも前記受光電極と前記温度補償電極とを備えるセンサ素子と、前記センサ素子の周囲を囲む側面部及び開口部を備えるシールド部材と、当該シールド部材の上部が開放されるように前記開口部内にはめ込まれ且つ前記センサ素子と対向する赤外線透過フィルタとを備えており、
前記視野角制限カバーは、前記シールド部材の前記側面部の外周と接触し且つ当該外周を覆うようにして取り付けられている、
焦電型赤外線センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の焦電型赤外線センサであって、
前記窓部は、前記受光電極の主面と直交する直線上に位置しており、
前記視野角制限カバーが取り付けられた状態において、前記受光電極の前記主面は、前記主面と直交する前記直線に沿って前記窓部越しに視認可能である、
焦電型赤外線センサ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の焦電型赤外線センサであって、
前記視野角制限カバーの外側面上における前記窓部の縁の径は、前記視野角制限カバーの内側面上における前記窓部の縁の径よりも大きい、
焦電型赤外線センサ。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載の焦電型赤外線センサであって、
前記視野角制限カバーの外側面上における前記窓部の縁の径は、前記視野角制限カバーの内側面上における前記窓部の縁の径と等しい、
焦電型赤外線センサ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の焦電型赤外線センサであって、
前記焦電型赤外線センサの視野角を９０度以下に制限する、
焦電型赤外線センサ。
【請求項６】
請求項５に記載の焦電型赤外線センサであって、
前記焦電型赤外線センサの視野角を５０度以下に制限する、
焦電型赤外線センサ。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の焦電型赤外線センサであって、
赤外線を反射する反射部材を更に備えており、
前記反射部材は、前記温度補償電極に近接し且つ当該温度補償電極を覆うように設けられている、
焦電型赤外線センサ。
【請求項８】
請求項７に記載の焦電型赤外線センサであって、
前記反射部材は、前記温度補償電極と前記赤外線透過フィルタとの間に設けられている、
焦電型赤外線センサ。
【請求項９】
請求項８に記載の焦電型赤外線センサであって、
前記赤外線反射部材は、前記赤外線透過フィルタ上に形成された赤外線反射膜である、
焦電型赤外線センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焦電型赤外線センサ用の視野角制限カバー、及びそれを備える焦電型赤外線センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
分極方向が互いに異なる２つの集電素子を直列又は並列に接続したいわゆる「デュアル型」の赤外線センサが提案されている（例えば特許文献１参照）。また、周囲の温度変化を補正する温度補償電極を備えることにより、センサとしての感度を向上させる赤外線センサも提案されている（例えば特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６１−２７１４２９号公報
【特許文献２】実用新案登録第３０４３３８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献２に開示されている赤外線センサのように、受光電極と温度補償電極との両方を備えている場合、これらの電極に対して同時に赤外線が入射すると、それぞれの電極において発生する電荷が打ち消され、赤外線センサとしての感度が低下する場合がある。
【０００５】
そこで、本発明は、センサとしての感度の低下を防止できる焦電型赤外線センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
感度の低下を防ぐ方法として、赤外線を反射する部材を温度補償電極の上方に部分的に設け、温度補償電極を赤外線から遮蔽する方法がある。図１５は、シールドケース内に受光電極及び温度補償電極を有するセンサ部材を配置した赤外線センサの一例を示すものである。このような構成において、温度補償電極を赤外線から遮蔽する場合、例えばシールドケースの縁部（開口部）にはめ込まれた赤外線透過部材のうち温度補償電極と対向する部分に赤外線を反射する反射膜を形成することが考えられる。
【０００７】
しかしながら、このような構成では、温度補償電極に対して赤外線の直接的な入射を防ぐことはできるものの、浅い角度で入射される赤外線が温度補償電極と反射膜との間に進入することや（図１５）、シールドケースの壁面で反射された赤外線が温度補償電極と反射膜との間に進入することを防ぐことができない。即ち、温度補償電極の上方に単に反射膜を設けるだけでは、浅い角度で入射される赤外線に対応することができず、センサの感度が著しく低下する恐れがある。
【０００８】
本願は、かかる知見に基づいて発明されたものであり、具体的には次のような構成を有する。
【０００９】
即ち、本発明によれば、第１の視野角制限カバーとして、
少なくとも受光電極及び温度補償電極を有する焦電型赤外線センサに取付可能な視野角制限カバーであって、
赤外線を遮蔽する遮蔽部と、赤外線を透過させる窓部とを備えており、
前記視野角制限カバーが前記焦電型赤外線センサに取り付けられた状態において、前記窓部は、前記焦電型赤外線センサによる検知対象物と前記受光電極とを結ぶ直線上に位置するように設けられており、前記遮蔽部は、少なくとも前記受光電極以外の部分を覆うように設けられている、
視野角制限カバーが得られる。
【００１０】
また、本発明によれば、第２の視野角制限カバーとして、第１の視野角制限カバーであって、
前記窓部は、前記受光電極の主面と直交する直線上に位置しており、
前記視野角制限カバーが取り付けられた状態において、前記受光電極の前記主面は、前記主面と直交する前記直線に沿って前記窓部越しに視認可能である、
視野角制限カバーが得られる。
【００１１】
また、本発明によれば、第３の視野角制限カバーとして、第１又は第２の視野角制限カバーであって、
前記視野角制限カバーの外側面上における前記窓部の縁の径は、前記視野角制限カバーの内側面上における前記窓部の縁の径よりも大きい、
視野角制限カバーが得られる。
【００１２】
また、本発明によれば、第４の視野角制限カバーとして、第１又は第２の視野角制限カバーであって、
前記視野角制限カバーの外側面上における前記窓部の縁の径は、前記視野角制限カバーの内側面上における前記窓部の縁の径と等しい、
視野角制限カバーが得られる。
【００１３】
また、本発明によれば、第５の視野角制限カバーとして、第１乃至第５のいずれかの視野角制限カバーであって、
前記焦電型赤外線センサの視野角を９０度以下に制限する、
視野角制限カバーが得られる。
【００１４】
また、本発明によれば、第６の視野角制限カバーとして、第６の視野角制限カバーであって、
前記焦電型赤外線センサの視野角を５０度以下に制限する、
視野角制限カバーが得られる。
【００１５】
また、本発明によれば、第１の焦電型赤外線センサとして、第１乃至第６のいずれかの視野角制限カバーを備える焦電型外線センサであって、
少なくとも前記受光電極と前記温度補償電極とを備えるセンサ素子と、前記センサ素子の周囲を囲む側面部及び開口部を備えるシールド部材と、前記開口部内にはめ込まれ且つ前記センサ素子と対向する赤外線透過フィルタとを備えており、
前記視野角制限カバーは、前記シールド部材の前記側面部の外周を覆うようにして取り付けられている、
焦電型赤外線センサが得られる。
【００１６】
また、本発明によれば、第２の焦電型赤外線センサとして、第１の焦電型赤外線センサであって、
赤外線を反射する反射部材を更に備えており、
前記反射部材は、前記温度補償電極に近接し且つ当該温度補償電極を覆うように設けられている、
焦電型赤外線センサが得られる。
【００１７】
また、本発明によれば、第３の焦電型赤外線センサとして、第２の焦電型赤外線センサであって、
前記反射部材は、前記温度補償電極と前記赤外線透過フィルタとの間に設けられている、
焦電型赤外線センサが得られる。
【００１８】
また、本発明によれば、第４の焦電型赤外線センサとして、第３の焦電型赤外線センサであって、
前記赤外線反射部材は、前記赤外線透過フィルタ上に形成された赤外線反射膜である、
焦電型赤外線センサが得られる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、視野角制限カバーによって受光電極への赤外線の入射経路以外の部分を覆うこととしたため、センサ素子に対して浅い角度で入射する検知対象外の赤外線を遮蔽することができる。これにより、赤外線が反射膜と温度補償電極との間に直接的に入射されることを防ぐことができることに加え、シールド部材等のセンサ素子を囲う部材の壁面に反射した赤外線が反射膜と温度補償電極との間に入射されてしまうことをも防ぐことができる。
【００２０】
更に、本発明による視野角制限カバーを用いることとすれば、受光電極による赤外線の視野角を所望とする角度に調節することができる。また、本発明においては、視野角制限カバーの窓部の位置、大きさ、形状のみによって受光電極の視野角を調節することも可能であるため、製造された焦電型赤外線センサに対して後から視野角の調節を行うことができ、汎用性及び自由度が高い。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１の実施の形態による焦電型赤外線センサの分解斜視図である。
【図２】図１の焦電型赤外線センサのＩＩ−ＩＩ断面線に沿った断面図である。
【図３】図１の焦電型赤外線センサの上面図である。
【図４】図１の焦電型赤外線センサに用いられるセンサ素子の表面（ａ）及び裏面（ｂ）を表す図である。
【図５】図１の焦電型赤外線センサの回路図を模式的に表した図である。
【図６】図２に示される焦電型赤外線センサの視野角を表した図である。
【図７】本発明による視野角制限カバーを装着した焦電型赤外線センサの視野角及び出力電圧を示すグラフである。
【図８】本発明による視野角制限カバーを装着していない焦電型赤外線センサの視野角及び出力電圧を示すグラフである。
【図９】本発明の第２の実施の形態による焦電型赤外線センサの断面図である。
【図１０】図９の焦電型赤外線センサの上面図である。
【図１１】図９の焦電型赤外線センサに用いられるセンサ素子の表面（ａ）及び裏面（ｂ）を表す図である。
【図１２】図９に示される焦電型赤外線センサの視野角を表した図である。
【図１３】本発明の視野角制限カバーの窓部の変形例を表す断面図である。
【図１４】本発明の視野角制限カバーの窓部の他の変形例を表す断面図である。
【図１５】本発明の視野角制限カバーを備えていない焦電型赤外線センサにおける赤外線の入射を表す模式図である。
【図１６】本発明の視野角制限カバーを備えていない焦電型赤外線センサにおける赤外線の入射を表す他の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
（第１の実施の形態）
図１乃至図３に示されるように、本発明の第１の実施の形態による焦電型赤外線センサ１は、概略、焦電型赤外線センサ部２に対して視野角制限カバー３を取り付けたものである。
【００２３】
図２に示されるように、焦電型赤外線センサ部２は、センサ素子１０と、センサ素子１０が搭載される基板５０と、センサ素子１０の周囲を囲うようにして設けられているシールド部材６０と、シールド部材６０に取り付けられている赤外線透過フィルタ７０と、反射膜８０とを備えている。
【００２４】
図２及び図４（ａ）、（ｂ）に示されるように、センサ素子１０は、受光面１１と、非受光面１１’とを有している。センサ素子１０には、外部（検知対象物）からの赤外線を受光する受光電極２０と、温度補償電極２２とが形成されている。詳しくは、本実施の形態においては、受光面１１側に形成された表面電極２１と、非受光面１１’側に形成された裏面電極２１’と、焦電体基板１２のうち表面電極２１及び裏面電極２１’に挟まれる部位によって受光電極２０が構成されている。また、受光面１１側に形成された表面電極２３と、非受光面１１’側に形成された裏面電極２３’と、焦電体基板１２のうち表面電極２３及び裏面電極２３’に挟まれる部位によって温度補償電極２２が構成されている。図４（ａ）、（ｂ）から理解されるように、受光電極２０の表面電極２１及び温度補償電極２２の表面電極２３は互いに接続されており、受光電極２０の裏面電極２１’及び温度補償電極２２の裏面電極２３’は電気的に絶縁され夫々導電接着剤４０、４２（後述）によって基板５０の回路パターン（図示せず）へと接続される。
【００２５】
センサ素子１０は、導電接着剤４０により台座５２に接着される。台座５２は、導電接着剤４０と基板５０の回路パターン（図示せず）とを電気的に中継する。即ち、センサ素子１０は、導電接着剤４０及び台座５２を介して基板５０と電気的に接続される。なお、台座５２を省略して基板５０の回路パターンに対して直接接着することとしてもよい。
【００２６】
基板５０には、インピーダンス変換回路として、接合型電界効果トランジスタ４５が実装されている。詳しくは、図５に示すように、受光電極２０の裏面電極２１’は、接合型電界効果トランジスタ４５のゲート入力電極に接続され、温度補償電極２２の裏面電極２３’はグランドに接続される。これにより、センサ素子１０の出力信号は、インピーダンス変換されて出力される。
【００２７】
基板５０上には、シールド部材６０が設けられている。シールド部材６０は、センサ素子１０の外周を囲うように位置しており、これにより、センサ素子１０を電気的にシールドしている。シールド部材６０の上部は、開口部６２として開放されている。開口部６２には、赤外線透過フィルタ７０が固着される。換言すると、赤外線透過フィルタ７０は、受光電極２０及び温度補償電極２２と対向しこれらを覆うように設けられている。
【００２８】
赤外線透過フィルタ７０は上面７２及び下面７４を有している。本実施の形態において、下面７４のうち、温度補償電極２２と対向する位置には赤外線を反射する反射膜８０が設けられている。即ち、反射膜８０は、温度補償電極２２を覆うように設けられている。本実施形態における反射膜８０は、厚さ０．５μｍのＡｇ膜である。ここで、反射膜８０は、センサ素子１０の高さに影響を与えないようにするため、スパッタ法または真空蒸着法等により１μｍ以下の厚みで形成される。反射膜８０の熱容量はセンサ素子１０の熱容量に比較して十分小さいため、センサ素子１０の特性に与える影響はきわめて小さい。なお、反射膜８０を形成する工程は、赤外線透過フィルタ７０の製造過程における真空蒸着工程で、赤外線透過フィルタ７０の形成と同時に実施できる。また、反射膜８０は、印刷法または塗布、転写、ディップ工法により形成することもできるし、表面に反射膜８０を形成した薄板を所定の形状にカットしたものをシールド部材６０又は赤外線透過フィルタ７０に貼付してもよい。これらの方法によれば、スパッタ装置や真空蒸着装置のような大掛かりな製造設備を用いることなく反射膜８０を形成できる。
【００２９】
図１乃至図３に示されるように、視野角制限カバー３は、シールド部材６０の外周と接触し且つこれを覆うように取り付けられている。詳しくは、視野角制限カバー３は、略直方体形状を有しており、焦電型赤外線センサ部２に取り付けられる。視野角制限カバー３には、当該視野角制限カバー３が焦電型赤外線センサ部２に取り付けられた状態で、受光電極２０と対向する窓部３２と、受光電極２０以外の部分を覆うように設けられている遮蔽部３３とが形成されている。視野角制限カバー３は、赤外線を透過しない材料で構成されている。本実施の形態においてはＡＢＳ樹脂にて構成しているが、一般的に赤外線を透過しない他の材料で構成してもよい。遮蔽部３３は、窓部３２が形成される上面部３４と、側壁部３６とを有している。上面部３４は、センサ素子１０と対向し且つこれと平行である。側壁部３６は、シールド部材６０の外周部と接触し且つ当該外周部を取り巻くようにして設けられている。図３によく示されているように、本実施の形態による窓部３２は、受光電極２０と直交する直線（Ｚ方向に延びる直線）上に位置している。また、窓部３２は、受光電極２０の外形に合わせて長方形形状を有しており、焦電型赤外線センサ１を真上から見た場合に、窓部３２を通して受光電極２０の全てを視認可能である。
【００３０】
図６に示されるように、視野角制限カバー３の遮蔽部３３によって、（温度補償電極２２を含む）受光電極２０以外の部分が覆われるため、焦電型赤外線センサ１に対して浅い角度で入射する検知対象外の赤外線Ｗ１、Ｗ２が焦電型赤外線センサ部２内に進入することを防ぐことができる。これにより、検知対象物からの赤外線が反射膜８０と温度補償電極２２との間にできる隙間に直接的に入射されること（図１５参照）を防ぐことができることに加えて、シールド部材６０の壁面に反射した赤外線が反射膜８０と温度補償電極２２との間に入射されてしまうこと（図１６参照）をも防ぐことができる。更に、遮蔽部３３により、受光電極２０の視野角θを制限することができる。本実施の形態においては、視野角制限カバー３の窓部３２の寸法により視野角を適宜調整することができるため、視野角制限カバー３の変更のみで様々な視野角、指向性の要求に応えることが可能となる。また、センサ素子１０の外周を覆うこととしているため、焦電型赤外線センサ１の周囲から受ける外乱光による誤動作、風に対する影響も同時に防止することが出来る。このような焦電型赤外線センサ１を用いることとすれば、センサ素子１０の感度が向上することから、例えば、レンズ等を用いることがなくとも、数ｍの範囲であれば十分な検知能力を有することができ、小型、薄型且つフラットな焦電型赤外線センサが得られる。また、窓部３２の水平方向寸法、垂直方向寸法、壁の高さ、受光電極２０との位置関係により、様々な視野角、指向性への対応が可能となる。
【００３１】
なお、本実施の形態においては、温度補償電極２２は、視野角制限カバー３の遮蔽部３３に覆われ赤外線から遮蔽されているため（図２参照）、反射膜８０を省略することとしても良い。
【００３２】
次に、視野角が±２５°（５０°）になるように視野角制限カバーの窓部の寸法を設計し、視野角に対する出力電圧の関係を評価した。なお、検知対象物は、焦電型赤外線センサから１２０ｃｍ離れた距離に立ち、左右に±２０ｃｍ、約１Ｈｚ周期で動作させた。また、焦電型赤外線センサの取り付け位置は床から８０ｃｍに設置した。図７に示されるように、水平視野角±２５°の設計に対し、ほぼ設計値通りとなる±２５°の視野角を得ることができた。出力電圧は波形のＶｐ−ｐにより示される。なお、本評価においては、電源電圧および接続回路の関係で、約４Ｖで飽和しているが、本来は４Ｖ以上出力されている。図８に示されるように、視野角制限カバーを取り付けなかったものの場合、視野角は約６０°と非常に広い。また、出力電圧の値についても、視野角制限カバーを取り付けたものと比べて１／２弱である。これにより、本発明の視野角制限カバーを用いることとすれば出力電圧を著しく向上させることが確認された。当該結果によれば、センサ素子のうち温度補償電極に対向する位置に赤外線反射膜を設け、且つ視野角制限カバーを設けたことにより、赤外線が温度補償電極に入射されることを抑制され、受光電極と温度補償電極間での電荷の相殺が極めて少なくなったといえる。
【００３３】
（第２の実施の形態）
図９乃至図１２に示されるように、本発明の第２の実施の形態による焦電型赤外線センサ１ａは、上述した第１の実施の形態とほぼ同様の構成を有している。従って、以下の説明においては、同一の部材については同一の参照符号を付しその説明を省略する。
【００３４】
本実施の形態による焦電型赤外線センサ部２ａは、センサ素子１０ａと、センサ素子１０ａが搭載される基板５０と、センサ素子１０ａの周囲を囲うようにして設けられているシールド部材６０と、シールド部材６０に取り付けられている赤外線透過フィルタ７０と、反射膜８０とを備えている。
【００３５】
図９及び図１１（ａ）、（ｂ）に示されるように、センサ素子１０ａは、受光面１１と、非受光面１１’とを有している。センサ素子１０ａには、外部（検知対象物）からの赤外線を受光する受光電極２０ａと、２つの温度補償電極２２ａとが形成されている。詳しくは、本実施の形態においては、受光面１１側に形成された表面電極２１ａと、非受光面１１’側に形成された裏面電極２１ａ’と、焦電体基板１２のうち表面電極２１ａ及び裏面電極２１ａ’に挟まれる部位によって受光電極２０ａが構成されている。また、受光面１１側に形成された表面電極２３ａと、非受光面１１’側に形成された裏面電極２３ａ’と、焦電体基板１２のうち表面電極２３ａ及び裏面電極２３ａ’に挟まれる部位によって温度補償電極２２ａが構成されている。受光電極２０ａのＸ方向における幅は、各温度補償電極２２ａのＸ方向における幅の約２倍である。
【００３６】
図１１（ａ）、（ｂ）から理解されるように、受光電極２０ａの表面電極２１ａは、各温度補償電極２２ａの表面電極２３ａと互いに接続されている。受光電極２０ａの裏面電極２１ａ’は、各温度補償電極２２ａの裏面電極２３ａ’のいずれとも電気的に絶縁されている。受光電極２０ａの裏面電極２１ａ’は、導電接着剤４０によって基板５０の回路パターン（図示せず）へと接続され、各温度補償電極２２ａの裏面電極２３ａ’は共に導電接着剤４２に接続されて基板５０の回路パターン（図示せず）へと接続される。
【００３７】
センサ素子１０ａは、導電接着剤４０及び台座５２を介して基板５０と電気的に接続される。なお、台座５２を省略して基板５０の回路パターンに対して直接接着することとしてもよい。
【００３８】
基板５０には、インピーダンス変換回路として、接合型電界効果トランジスタ４５が実装されている。本実施の形態においては、受光電極２０ａの裏面電極２１ａ’は、接合型電界効果トランジスタ４５のゲート入力電極に接続され、温度補償電極２２ａの裏面電極２３ａ’はグランドに接続される。これにより、センサ素子１０ａの出力信号は、インピーダンス変換されて出力される。
【００３９】
基板５０上には、センサ素子１０ａの外周を囲うように位置し、センサ素子１０ａを電気的にシールドするシールド部材６０が設けられている。シールド部材６０の開口部６２には、赤外線透過フィルタ７０が固着されており、受光電極２０ａ及び温度補償電極２２ａとを覆っている。
【００４０】
本実施の形態においては、赤外線透過フィルタ７０の下面７４のうち、各温度補償電極２２ａと対向する位置に赤外線を反射する反射膜８０ａが設けられている。即ち、本実施の形態による反射膜８０ａは２箇所に形成されている。なお、本実施形態における反射膜８０ａも厚さ０．５μｍのＡｇ膜であり、上述した反射膜８０（図２）と同様に形成することができる。
【００４１】
図９及び図１０に示されるように、視野角制限カバー３ａは、シールド部材６０の外周と接触し且つこれを覆うように取り付けられている。詳しくは、視野角制限カバー３ａは、略直方体形状を有しており、焦電型赤外線センサ部２ａに取り付けられた状態で、受光電極２０ａと対向する窓部３２ａと、受光電極２０ａ以外の部分を覆うように設けられている遮蔽部３３ａとを備えている。視野角制限カバー３ａの材質は、上述した視野角制限カバー３（図２）と同様の材料にて構成することができる。遮蔽部３３ａは、窓部３２ａが形成される上面部３４ａと、側壁部３６とを有している。上面部３４ａは、センサ素子１０ａと対向し且つこれと平行である。側壁部３６は、シールド部材６０の外周部と接触し且つ当該外周部を取り巻くようにして設けられている。図１０によく示されているように、本実施の形態による窓部３２ａは、長方形形状を有しており、焦電型赤外線センサ１ａを真上から見た場合に、窓部３２ａを通して受光電極２０ａの全てを視認可能である。なお、本実施の形態における受光電極２０ａは、センサ素子１０ａの略中央付近に形成されているため、窓部３２ａも視野角制限カバー３の上面部３４ａの略中央付近に設けられている。
【００４２】
図１２に示されるように、視野角制限カバー３ａの遮蔽部３３ａにより受光電極２０ａ以外の部分が覆われるため、焦電型赤外線センサ１ａに対して浅い角度で入射する検知対象外の赤外線Ｗ１、Ｗ２を遮蔽することができる。これにより、検知対象物からの赤外線が反射膜８０ａと温度補償電極２２ａとの間にできる隙間に直接的に入射されることを防ぐことができることに加えて、シールド部材６０の壁面に反射した赤外線が反射膜８０ａと温度補償電極２２ａとの間に入射されてしまうことをも防ぐことができる。本実施の形態においても、遮蔽部３３ａにより、受光電極２０ａの視野角θを制限することができる。即ち、本実施の形態による視野角制限カバー３ａによっても、上述した視野角制限カバー３と同等の効果を得ることができる。
【００４３】
上述したように、本発明による視野角制限カバー３ａの窓部３２ａは、所望とする視野角、検知方向、感度に応じて、その形状、位置、大きさを変更することができる。具体的な変形例として、２つの例を以下に示す。
【００４４】
図１３に示されるように、視野角制限カバー３ｂの窓部３２ｂは、外に向けて径が大きくなるような断面を有している。即ち、窓部３２ｂの径であって視野角制限カバー３ｂの外側面上における径Ｌ１が、視野角制限カバー３ｂの内側面上における径Ｌ２よりも大きくなるように構成してもよい。この場合、図１３に示されるように径を徐々に大きくして窓部側面３５ｂを斜面としても良いし、階段状に径を大きくしてもよい。
【００４５】
また、図１４に示されるように、焦電型赤外線センサ１ｃに指向性を持たせることとしても良い。図１４に示される焦電型赤外線センサ１ｃにおいては、受光電極２０と直交する直線上にない検知対象物を検知することとしている。即ち、焦電型赤外線センサ１ｃにおける検知方向は受光電極２０から斜めの方向（Ｘ方向且つＺ方向）である。窓部３２ｃは、検知対象物と受光電極２０とを結んだ直線上に形成されている。換言すれば、窓部３２ｃは、受光電極２０と部分的に対向する位置に形成されている。ただし、この場合、窓部３２ｃは温度補償電極２２とも部分的に対向しているため、窓部３２ｃを通して温度補償電極２２に赤外線が入射することを防ぐためには、反射膜８０を設ける必要がある。なお、窓部３２ｃの窓部側面３５ｃは検知方向と平行な断面を有している。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上説明した本発明による焦電型赤外線センサは、ＴＶ、ＰＣ等の情報端末、コピー機等の事務機器等に用いることができる。また、エアコン、温水便座、セキュリティ機器等に用いることとしても良い。本発明による焦電型赤外線センサを用いることにより、各機器の赤外線センサの感度を向上させることができ、更に視野角を制限することに寄り誤動作を防止することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１、１ａ〜ｃ        焦電型赤外線センサ
２、２ａ        焦電型赤外線センサ部
３、３ａ〜ｃ        視野角制限カバー
１０、１０ａ        センサ素子
１１        受光面
１１’        非受光面
１２        焦電体基板
２０、２０ａ        受光電極
２１、２１ａ、２３、２３ａ        表面電極
２１’、２１ａ’、２３’、２３ａ’        裏面電極
２２、２２ａ        温度補償電極
３２、３２ａ〜ｃ        窓部
３３、３３ａ〜ｃ        遮蔽部
３４、３４ａ〜ｃ        上面部
３５、３５ａ〜ｃ        窓部側面
３６        側壁部
４０、４２        導電接着剤
４５        接合型電界効果トランジスタ
５０        基板
５２        台座
６０        シールド部材
６２        開口部
７０        赤外線透過フィルタ
７２        上面
７４        下面
８０、８０ａ        反射膜
【図１】
0005325312.tif 000002
【図２】
0005325312.tif 000003
【図３】
0005325312.tif 000004
【図４】
0005325312.tif 000005
【図５】
0005325312.tif 000006
【図６】
0005325312.tif 000007
【図７】
0005325312.tif 000008
【図８】
0005325312.tif 000009
【図９】
0005325312.tif 000010
【図１０】
0005325312.tif 000011
【図１１】
0005325312.tif 000012
【図１２】
0005325312.tif 000013
【図１３】
0005325312.tif 000014
【図１４】
0005325312.tif 000015
【図１５】
0005325312.tif 000016
【図１６】
0005325312.tif 000017