(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電動機の可動子の温度を検出する温度検出装置であって、
前記電動機の固定子と可動子のうちのいずれか一方に設けられた巻線の電流値を検出する電流検出部と、
前記電流値を用いて前記可動子の鉄損を推定する鉄損推定部と、
前記巻線の温度を推定する巻線温度推定部と、
前記鉄損及び前記巻線の温度を用いて前記可動子の温度を推定する可動子温度推定部と、
を有する温度検出装置。
【請求項２】
電動機の可動子の温度を検出する温度検出装置であって、
三相交流電流のうちのＵ相、Ｖ相及びＷ相の交流電流がそれぞれ供給される三つの巻線が、前記電動機の固定子に設けられ、
前記温度検出装置は、
各交流電流の電流値を検出する電流検出部と、
式
【数１】
0005149431.tif 000010
に基づいて前記可動子の鉄損を推定する鉄損推定部と、
前記鉄損を用いて前記可動子の温度を推定する可動子温度推定部と、
を有する温度検出装置。
【請求項３】
前記巻線が前記固定子に設けられ、前記巻線温度推定部は、前記巻線の周辺に配置された温度検出素子である請求項１に記載の温度検出装置。
【請求項４】
前記巻線温度推定部は、前記電流値から前記巻線の銅損を推定し、前記銅損から前記巻線の温度の上昇分を算出する請求項１に記載の温度検出装置。
【請求項５】
三相交流電流のうちのＵ相、Ｖ相及びＷ相の交流電流がそれぞれ供給される三つの巻線が、前記固定子に設けられ、前記鉄損推定部は、式
【数２】
0005149431.tif 000011
に基づいて前記可動子の鉄損を推定し、前記可動子温度推定部は、前記鉄損、前記巻線の温度及び前記可動子の温度を用いて前記可動子の温度の上昇分を推定する請求項１，３，４のうちのいずれか１項に記載の温度検出装置。
【請求項６】
前記可動子温度推定部によって推定された温度が所定の温度を超えた場合にアラームを生成するアラーム生成部を更に有する請求項１から５のうちのいずれか１項に記載の温度検出装置。
【請求項７】
前記電動機が同期電動機である請求項１から６のうちのいずれか１項に記載の温度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電動機の可動子を過熱から保護するために電動機の可動子の温度を検出する温度検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、固定子及び可動子を有する電動機を過熱から保護するための温度検出装置において、固定子の巻線付近に取り付けられたサーミスタやサーモスタットのような温度検出素子によって巻線の温度を検出し、検出した温度が所定の値を超えている場合にはアラーム信号を生成している。
【０００３】
また、電動機を過熱から保護するために巻線の温度を検出する際に、温度検出器によって検出された温度の他にモータロスを考慮する温度検出装置も提案されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２６１０７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の温度検出装置は、巻線を過熱保護するためのものであり、可動子を過熱保護するものではない。例えば、同期型電動機の可動子（ロータ）が高速回転するときには、可動子の発熱量が大きくなり、固定子が強制冷却されるので、可動子の温度が固定子の温度より著しく高くなる場合がある。このように可動子の温度が固定子の温度より著しく高くなることによって、電動機に取り付けられたワークや工具のような被駆動体に熱が伝導するという不都合や、可動子が永久磁石を有する場合には永久磁石の減磁又は消磁が生じるという不都合がある。
【０００６】
これらの不都合を回避するために、巻線だけでなく可動子も過熱保護する必要がある。しかしながら、サーミスタやサーモスタットのような温度検出器は有線通信を行うので、可動子の温度を検出するために温度検出器を可動子に組み込むのは困難である。
【０００７】
本発明の目的は、電動機の可動子を過熱保護するために電動機の可動子の温度を検出することができる温度検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による温度検出装置は、電動機の可動子の温度を検出する温度検出装置であって、前記電動機の固定子と可動子のうちのいずれか一方に設けられた巻線の電流値を検出する電流検出部と、前記電流値を用いて前記可動子の鉄損を推定する鉄損推定部と、前記鉄損を用いて前記可動子の温度を推定する可動子温度推定部と、を有する。
【０００９】
好適には、前記巻線の温度を推定する巻線温度推定部を更に有し、前記可動子温度推定部は、前記鉄損及び前記巻線の温度を用いて前記可動子の温度を推定する。
【００１０】
好適には、前記巻線が前記固定子に設けられ、前記巻線温度推定部は、前記巻線の周辺に配置された温度検出素子である。
【００１１】
好適には、前記巻線温度推定部は、前記電流値から前記巻線の銅損を推定し、前記銅損から前記巻線の温度の上昇分を推定する。
【００１２】
好適には、三相交流電流のうちのＵ相、Ｖ相及びＷ相の交流電流がそれぞれ供給される三つの巻線が、前記固定子に設けられ、前記鉄損推定部は、式
【数１】
0005149431.tif 000002
に基づいて前記可動子の鉄損を推定する。
【００１３】
好適には、三相交流電流のうちのＵ相、Ｖ相及びＷ相の交流電流がそれぞれ供給される三つの巻線が、前記固定子に設けられ、前記鉄損推定部は、式
【数２】
0005149431.tif 000003
に基づいて前記可動子の鉄損を推定し、前記可動子温度推定部は、前記鉄損、前記巻線の温度及び前記可動子の温度を用いて前記可動子の温度の上昇分を推定する。
【００１４】
好適には、前記可動子温度推定部によって推定された温度が所定の温度を超えた場合にアラームを生成するアラーム生成部を更に有する。
【００１５】
好適には、前記電動機が同期電動機である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、巻線の電流値を検出し、電流値を用いて可動子の鉄損を推定し、鉄損を用いて可動子の温度を推定することによって、電動機の可動子を過熱保護するために電動機の可動子の温度を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施の形態の温度検出装置を有するシステムのブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態の温度検出装置の動作のフローチャートである。
【図３】本発明の第２の実施の形態の温度検出装置を有するシステムのブロック図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態の温度検出装置の動作のフローチャートである。
【図５】本発明の第３の実施の形態の温度検出装置を有するシステムのブロック図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態の温度検出装置を有するシステムのブロック図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態の温度検出装置の動作のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明による温度検出装置の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。なお、図面中、同一構成要素には同一符号を付す。
図１は、本発明の第１の実施の形態の温度検出装置を有するシステムのブロック図である。図１に示すシステムは、三相交流電源１と、コンバータ２と、平滑用コンデンサ３と、インバータ４と、永久磁石同期電動機５と、被駆動体６と、エンコーダ７と、温度検出装置１０と、ディスプレイ２１と、を有する。
【００１９】
コンバータ２は、例えば、複数（３相交流の場合は６個）の整流ダイオード及びこれらの整流ダイオードのそれぞれに逆並列に接続されたトランジスタによって構成され、三相交流電源１から供給される交流電力を直流電力に変換する。平滑用コンデンサ３は、コンバータ２の整流ダイオードによって整流された電圧を平滑化するためにコンバータ２に並列に接続される。インバータ４は、平滑用コンデンサ３に並列に接続され、例えば、複数（３相交流の場合は６個）の整流ダイオード及びこれらの整流ダイオードのそれぞれに逆並列に接続されたトランジスタによって構成され、コンバータ２によって変換された直流電力を交流電力に変換する。
【００２０】
永久磁石同期電動機５は、テーブル、アーム、それらに着脱されるワーク等の被駆動体６が接続され、例えば、工作機械においてワークを保持するテーブルの位置や姿勢を変えるためのもの、ロボットのアームを回転操作させるもの等であってもよい。本実施の形態では、永久磁石同期電動機５を、エンコーダ７が取り付けられた回転軸５１を有する可動子としてのロータ５２と、ロータ５２を取り囲むように配置された固定子としてのステータ５３とを有する回転型サーボモータとする。
【００２１】
ロータ５２は、９０°間隔で配置された４個の永久磁石５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄを有する。永久磁石５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄは、ステータ５３側の端部がロータ５２の回転方向に対して互いに９０°ずつ離れるとともに、永久磁石５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄの外側の端部が交互にＮ極、Ｓ極、Ｎ極及びＳ極となるように配置される。
【００２２】
ステータ５３は、１２０°間隔で配置され、Ｕ相、Ｖ相及びＷ相の交流電流がそれぞれ供給される３個の巻線５５ｕ，５５ｖ，５５ｗを有する。したがって、永久磁石同期電動機３は、三相同期電動機として機能する。
【００２３】
温度検出装置１０は、後に詳しく説明するように、可動子５２の温度Ｔrを検出する。このために、温度検出装置１０は、電流検出部１１と、鉄損推定部１２と、可動子温度推定部１３と、を有する。
【００２４】
電流検出部１１は、巻線５５ｕに流れるＵ相交流電流値Ｉu、巻線５５ｖに流れるＶ相交流電流値Ｉv及び巻線５５ｗに流れるＷ相交流電流値Ｉwを検出する。そして、電流検出部１１は、検出したＵ相交流電流値Ｉu、Ｖ相交流電流値Ｉv及びＷ相交流電流値Ｉwに基づいて、Ｕ相交流電流、Ｖ相交流電流及びＷ相交流電流の周波数ω、Ｄ相交流電流の振幅値（Ｄ相直流電流値）｜Ｉd｜並びにＱ相交流電流の振幅値（Ｑ相直流電流値）｜Ｉq｜を求め、これらを鉄損推定部１２に供給する。このために、電流検出部１１は、例えば、Ｕ相交流電流値Ｉu、Ｖ相交流電流値Ｉv及びＷ相交流電流値ＩwをそれぞれＵ相直流電流値｜Ｉu｜、Ｖ相直流電流値｜Ｉv｜及びＷ相直流電流値｜Ｉw｜に変換するＡ／Ｄコンバータ、エンコーダ７で検出されたロータ５２の位置の位相から励磁位相を取得する励磁位相取得部、三相二相変換行列を用いてＵ相直流電流値｜Ｉu｜、Ｖ相直流電流値｜Ｉv｜及びＷ相直流電流値｜Ｉw｜をＤ相直流電流値｜Ｉd｜及びＱ相直流電流値｜Ｉq｜に変換する三相二相変換器等によって構成される。
【００２５】
鉄損推定部１２は、式
【数３】
0005149431.tif 000004
に基づいて可動子５２の鉄損ｐを推定し、鉄損ｐを可動子温度推定部１３に供給する。
【００２６】
式（１）において、第１項は、渦電流による損失に相当し、第２項は、ヒステリシスによる損失に対応する。定数ａ，ｂ，ｃ，ｅ，ｆ，α，βを決定する際に、鉄損ｐの計測やシミュレーション（例えば、磁気解析）においてＤ相交流電流値Ｉd及びＱ相交流電流値Ｉqを変えながら鉄損ｐを求め、求めた鉄損ｐと式（１）との残差が最小となるような定数ａ，ｂ，ｃ，ｅ，ｆ，α，βを選択する。なお、指数α及びβが決定されていないために定数ａ，ｂ，ｃ，ｅ，ｆの算出が困難である場合、既知の指数α及びβの値（例えば、α＝２，β＝１．６）を予め選択し、定数ａ，ｂ，ｃ，ｅ，ｆのみを算出してもよい。なお、Ｉd＝Ｉq＝０であるときの鉄損ｐに相当するｂｃαω2＋ｆｃβωは、可動子５２の移動により生じる磁束変動に起因する鉄損である。また、ヒステリシスによる損失が非常に小さい場合、第２項を無視することもできる。
【００２７】
可動子温度推定部１３は、式
【数４】
0005149431.tif 000005
に基づいて可動子５２の温度Ｔrを推定し、温度Ｔrに関する映像信号Ｓtをディスプレイ２１に出力する。なお、ここでは、Ｔr（０）＝Ｔsとしている。また、式（２）によれば、可動子５２の温度Ｔrの上昇分を推定することもできる。
【００２８】
可動子５２の温度Ｔrを推定するためには可動子５２の温度の初期値Ｔr（０）を決定する必要がある。式（２）において、可動子５２の温度の初期値Ｔr（０）を、永久磁石同期電動機５の周囲の温度Ｔsとしているが、可動子５２の温度の初期値Ｔr（０）を、巻線５５ｕ，５５ｖ，５５ｗの温度の初期値又は直接測定した可動子５２の温度としてもよい。
【００２９】
ディスプレイ２１は、液晶表示装置（ＬＣＤ）等によって構成され、映像信号Ｓtを表示し、可動子５２の温度Ｔrについての注意をユーザに対して喚起する。このように注意を喚起することによって、可動子５２を過熱保護するよう永久磁石同期電動機５の動作を、ユーザによる永久磁石同期電動機５の操作によって制御することができる。
【００３０】
図２は、本発明の第１の実施の形態の温度検出装置の動作のフローチャートである。先ず、ステップＳ１において、電流検出部１１は、Ｕ相交流電流値Ｉu、Ｖ相交流電流値Ｉv及びＷ相交流電流値Ｉwを検出し、検出したＵ相交流電流値Ｉu、Ｖ相交流電流値Ｉv及びＷ相交流電流値Ｉwに基づいて、Ｕ相交流電流、Ｖ相交流電流及びＷ相交流電流の周波数ω、Ｄ相交流電流の振幅値（Ｄ相直流電流値）｜Ｉd｜並びにＱ相交流電流の振幅値（Ｑ相直流電流値）｜Ｉq｜を求め、これらを鉄損推定部１２に供給する。
【００３１】
次に、ステップＳ２において、鉄損推定部１２は、式（１）に基づいて鉄損ｐを推定し、鉄損ｐを可動子温度推定部１３に供給する。次に、ステップＳ３において、可動子温度推定部１３は、式（２）に基づいて可動子５２の温度Ｔrを推定し、温度Ｔrについての映像信号Ｓtをディスプレイ２１に出力する。次に、ステップＳ４において、ディスプレイ２１は、映像信号Ｓtを表示し、処理を終了する。
【００３２】
本実施の形態によれば、Ｕ相交流電流値Ｉu、Ｖ相交流電流値Ｉv及びＷ相交流電流値Ｉwを検出し、これらＵ相交流電流値Ｉu、Ｖ相交流電流値Ｉv及びＷ相交流電流値Ｉwを用いて可動子５２の鉄損ｐを推定し、鉄損ｐを用いて可動子５２の温度Ｔrを推定することによって、可動子５２を過熱から保護するために可動子５２の温度Ｔrを検出することができる。
【００３３】
図３は、本発明の第２の実施の形態の温度検出装置を有するシステムのブロック図である。図３に示すシステムは、三相交流電源１と、コンバータ２と、平滑用コンデンサ３と、インバータ４と、永久磁石同期電動機５と、被駆動体６と、温度検出装置１０’と、ディスプレイ２１と、を有する。温度検出装置１０’は、電流検出部１１と、鉄損推定部１２と、可動子温度推定部１３’と、巻線温度推定部１４と、を有する。
【００３４】
巻線温度推定部１４は、巻線５５ｕ，５５ｖ，５５ｗの周辺に配置されたサーミスタやサーモスタットのような温度検出素子である。したがって、巻線温度推定部１４は、巻線５５ｕ，５５ｖ，５５ｗの温度Ｔcを直接測定する。
【００３５】
可動子温度推定部１３’は、式
【数５】
0005149431.tif 000006
に基づいて可動子５２の温度Ｔrを推定し、温度Ｔrについての映像信号Ｓtをディスプレイ２１に出力する。なお、式（３）は、可動子５２の発熱量が鉄損と固定子５３からの伝熱との和から大気等への放熱を引いたものに相当することを示している。
【００３６】
固定子５３の温度が可動子５２の温度より高い場合には固定子５３から可動子５２への伝熱が生じる。式（３）によれば、固定子５３の温度に相当する巻線の温度Ｔcを用いることによって固定子５３から可動子５２への伝熱を考慮しているので、可動子５２の温度Ｔrを、式（２）の場合よりも高い精度で推定することができる。また、式（３）によれば、可動子５２の温度Ｔrの上昇分を推定することもできる。
【００３７】
図４は、本発明の第２の実施の形態の温度検出装置の動作のフローチャートである。図４のフローチャートでは、ステップＳ２の後のステップＳ５において、巻線温度推定部１４は、巻線５５ｕ，５５ｖ，５５ｗの温度Ｔcを直接測定する。次に、ステップＳ３’において、可動子温度推定部１３’は、式（３）に基づいて可動子５２の温度Ｔrを推定し、ステップＳ４に進む。
【００３８】
図５は、本発明の第３の実施の形態の温度検出装置を有するシステムのブロック図である。図５に示すシステムは、三相交流電源１と、コンバータ２と、平滑用コンデンサ３と、インバータ４と、永久磁石同期電動機５と、被駆動体６と、温度検出装置１０”と、ディスプレイ２１と、を有する。温度検出装置１０”は、電流検出部１１と、鉄損推定部１２と、可動子温度推定部１３”と、巻線温度推定部１４’と、を有する。
【００３９】
巻線温度推定部１４’は、式
【数６】
0005149431.tif 000007
に基づいて巻線５５ｕ，５５ｖ，５５ｗの温度Ｔcを推定し、温度Ｔcを可動温度推定部１３”に供給する。なお、銅損Ｑ（ｔ）は、Ｄ相交流電流の振幅値（Ｄ相直流電流値）｜Ｉd｜、Ｑ相交流電流の振幅値（Ｑ相直流電流値）｜Ｉq｜、巻線５５ｕ，５５ｖ，５５ｗの抵抗値及び永久磁石同期電動機５に交流電流が印加される時間に基づいて決定される。また、式（４）によれば、巻線５５ｕ，５５ｖ，５５ｗの温度Ｔcの上昇分を推定することもできる。
【００４０】
なお、巻線温度推定部１４’が巻線５５ｕ，５５ｖ，５５ｗの温度Ｔcを可動子５２の温度Ｔrを用いて推定するために、巻線温度推定部１４’には、可動子温度推定部１３”から可動子５２の温度Ｔrが供給される。また、温度検出装置１０”は、図４に示すフローチャートの処理と同様な処理を行うことによって可動子５２の温度Ｔrを推定し、映像信号Ｓtをディスプレイ２１に表示する。
【００４１】
図６は、本発明の第４の実施の形態の温度検出装置を有するシステムのブロック図である。図６に示すシステムは、三相交流電源１と、コンバータ２と、平滑用コンデンサ３と、インバータ４と、永久磁石同期電動機５と、被駆動体６と、温度検出装置１００と、メモリ２２と、上位制御装置２３と、を有する。温度検出装置１００は、電流検出部１１と、鉄損推定部１２と、可動子温度推定部１３と、巻線温度推定部１４と、アラーム生成部１５と、を有する。
【００４２】
メモリ２２には、可動子５２が過熱状態であるか否かを判断するための基準値Ｔtが格納されている。アラーム生成部１５には、可動子温度推定部１３から可動子５２の温度Ｔrが供給される。そして、アラーム生成部１５は、メモリ２２から基準値Ｔtを読み出し、可動子５２の温度Ｔrが基準値Ｔtより高い場合には、可動子５２が過熱状態であることを報告するアラーム信号Ｓaを生成し、アラーム信号Ｓaを上位制御装置２３に供給する。上位制御装置２３は、ＣＮＣ（数値制御装置）等によって構成され、アラーム信号Ｓaがアラーム生成部１５から供給されると、永久磁石同期電動機５の動作を停止させる。
【００４３】
図７は、本発明の第４の実施の形態の温度検出装置の動作のフローチャートである。図７のフローチャートでは、ステップＳ４の後のステップＳ６において、アラーム生成部１５は、可動子５２の温度Ｔrが値Ｔtより高いか否か判断する。可動子５２の温度Ｔrが値Ｔtより高い場合、ステップＳ７において、アラーム生成部１５は、アラーム信号Ｓaを生成し、アラーム信号Ｓaを上位制御装置２３に供給し、処理を終了する。それに対し、可動子５２の温度Ｔrが値Ｔtより高くない場合、そのまま処理を終了する。
【００４４】
本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、幾多の変更及び変形が可能である。例えば、上記実施の形態において、交流電源として三相交流電源を用いる場合について説明したが、交流電源は三相交流電源に限定されるものではない。
【００４５】
また、上記実施の形態において、電動機として回転型サーボモータを用いる場合について説明したが、ステータ及びスライダを有するリニアサーボモータ、ステータ及びバイブレータを有する振動型サーボモータ等の永久磁石同期電動機を用いる場合にも本発明を適用することができ、同期電動機の代わりに誘導電動機を用いる場合にも本発明を適用することができる。
【００４６】
上記実施の形態において、巻線を流れる交流電流の周波数、Ｄ相交流電流値及びＱ相交流電流値を用いて鉄損を推定する場合について説明したが、巻線を流れる交流電流の振幅及び周波数と、可動子の位相とを用いて鉄損を推定することもでき、磁気解析を用いて鉄損を推定することもできる。
【００４７】
また、電動機に入力される電力が電動機の銅損、電動機の鉄損、電動機の機械損及び電動機の出力の和になるというエネルギー保存則を用いて鉄損を推定することもできる。電動機に入力される電力は、電動機に供給される電流と電動機に印加される電圧の積になる。電動機に印加される電圧を直接測定することができるが、電動機に印加される電圧を、電動機の逆起電力、電動機の抵抗値、電動機のインダクタンス値及び電動機に流れる電流（例えば、Ｄ相交流電流及びＱ相交流電流）を用いて推定することもできる。なお、機械損として、機械損の理論値、機械損の実験値又は既知の機械損を用いる。この場合に推定される鉄損は、固定子の鉄損と可動子の鉄損との和になるが、推定される鉄損に対する可動子に生じる鉄損の割合が一定であると考えられるので、推定される鉄損にこの割合を乗算することによって、可動子の鉄損を推定することができる。なお、この割合は、理論的又は実験的に求めることができるが、既知の割合を用いることもできる。
【００４８】
また、可動子の鉄損を推定するに際し、式（１）の代わりに、式（１）から容易に想到できる近似式を用いることもできる。例えば、可動子の鉄損を、式
【数７】
0005149431.tif 000008
に基づいて推定することができる。
【００４９】
上記第３の実施の形態において、可動子の温度を用いて巻線の温度を推定する場合について説明したが、可動子の温度を用いることなく巻線の温度を推定することもできる。この場合、巻線の温度を、式
【数８】
0005149431.tif 000009
に基づいて推定する。
【００５０】
さらに、上記第１〜３の実施の形態において、上記第４の実施の形態のようにアラームを生成することもできる。
【符号の説明】
【００５１】
１    三相交流電源
２    コンバータ
３    平滑用コンデンサ
４    インバータ
５    永久磁石同期電動機
６    被駆動体
７    エンコーダ
１０，１０’，１０”，１００    温度検出器
１１    電流検出部
１２    鉄損推定部
１３，１３’，１３”    可動子温度推定部
１４，１４’    巻線温度推定部
１５    アラーム生成部
２１    ディスプレイ
２２    メモリ
２３    上位制御装置
５１    回転軸
５２    ロータ
５３    ステータ
５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄ    永久磁石
５５ｕ，５５ｖ，５５ｗ    巻線
Ｉu    Ｕ相交流電流値
Ｉv    Ｖ相交流電流値
Ｉw    Ｗ相交流電流値
ω    Ｕ相交流電流、Ｖ相交流電流及びＷ相交流電流の周波数
｜Ｉd｜    Ｄ相交流電流の振幅値（Ｄ相直流電流値）
｜Ｉq｜    Ｑ相交流電流の振幅値（Ｑ相直流電流値）
ｐ    鉄損
Ｓa    アラーム信号
Ｓt    映像信号
Ｔc    巻線の温度
Ｔr    可動子の温度
Ｔt    基準値
【図１】
0005149431.tif 000012
【図２】
0005149431.tif 000013
【図３】
0005149431.tif 000014
【図４】
0005149431.tif 000015
【図５】
0005149431.tif 000016
【図６】
0005149431.tif 000017
【図７】
0005149431.tif 000018