(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド支持部材と、
前記ヘッド支持部材に支持され、前記ヘッド支持部材に沿って所定の方向に直線移動可能なヘッド部と、
前記ヘッド部に接続される複数の線部材が束ねられることにより前記複数の線部材の延びる方向に直交する方向に沿って扁平形状の垂直断面を有するように形成された扁平ケーブルと、
前記ヘッド支持部材側に設けられ、前記扁平ケーブルが取り付けられる支持部材側ケーブル取付部と、
前記ヘッド部側に設けられ、前記扁平ケーブルが取り付けられるヘッド部側ケーブル取付部とを備え、
前記扁平ケーブルは、前記ヘッド部側ケーブル取付部が前記ヘッド部の移動に追従して前記所定の方向に移動可能なように、前記支持部材側ケーブル取付部および前記ヘッド部側ケーブル取付部の間の部分で前記扁平ケーブルの延びる方向に沿って略Ｕ字形状に湾曲されているとともに、前記支持部材側ケーブル取付部および前記ヘッド部側ケーブル取付部の間の部分において前記扁平ケーブルの垂直断面の長手方向が水平面および鉛直面に対して傾斜するように配置されている、ヘッド駆動装置。
【請求項２】
前記支持部材側ケーブル取付部は、前記扁平ケーブルが固定的に取り付けられる第１取付部分を含み、
前記ヘッド部側ケーブル取付部は、前記扁平ケーブルが固定的に取り付けられる第２取付部分を含み、
前記支持部材側ケーブル取付部の第１取付部分および前記ヘッド部側ケーブル取付部の第２取付部分は、前記所定の方向から見て、水平面に対して互いに略同じ角度傾斜して対向するように配置されている、請求項１に記載のヘッド駆動装置。
【請求項３】
前記扁平ケーブルの前記支持部材側ケーブル取付部および前記ヘッド部側ケーブル取付部の間の部分は、前記所定の方向から見て、前記ヘッド支持部材に対して前記ヘッド部が配置される側とは反対側で前記ヘッド部と高さ位置が重なるように水平面および鉛直面に対して傾斜して配置されている、請求項１または２に記載のヘッド駆動装置。
【請求項４】
前記ヘッド支持部材および前記支持部材側ケーブル取付部が天板部により上方から支持されることによって吊り下げられ、
前記ヘッド部側ケーブル取付部は、前記天板部により上方から支持された前記ヘッド支持部材の下方において、平面的に見て前記ヘッド支持部材に重なるように配置されている、請求項３に記載のヘッド駆動装置。
【請求項５】
前記扁平ケーブルの前記支持部材側ケーブル取付部および前記ヘッド部側ケーブル取付部の間の部分は、前記ヘッド支持部材の上方において、平面的に見て前記ヘッド支持部材に重なるように水平面および鉛直面に対して傾斜して配置されている、請求項１または２に記載のヘッド駆動装置。
【請求項６】
前記支持部材側ケーブル取付部および前記ヘッド部側ケーブル取付部のうちのより上方に配置される一方の近傍で前記扁平ケーブルが下方に垂れ下がるのを規制する垂れ規制部をさらに備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載のヘッド駆動装置。
【請求項７】
基板を搬送する搬送装置と、
ヘッド駆動装置とを備え、
前記ヘッド駆動装置は、ヘッド支持部材と、前記搬送装置により搬送される基板に部品を実装するとともに、前記ヘッド支持部材に支持され、前記ヘッド支持部材に沿って所定の方向に直線移動可能なヘッド部と、前記ヘッド部に接続される複数の線部材が束ねられることにより前記複数の線部材の延びる方向に直交する方向に沿って扁平形状の垂直断面を有するように形成された扁平ケーブルと、前記ヘッド支持部材側に設けられ、前記扁平ケーブルが取り付けられる支持部材側ケーブル取付部と、前記ヘッド部側に設けられ、前記扁平ケーブルが取り付けられるヘッド部側ケーブル取付部とを含み、
前記扁平ケーブルは、前記ヘッド部側ケーブル取付部が前記ヘッド部の移動に追従して前記所定の方向に移動可能なように、前記支持部材側ケーブル取付部および前記ヘッド部側ケーブル取付部の間の部分で前記扁平ケーブルの延びる方向に沿って略Ｕ字形状に湾曲されているとともに、前記支持部材側ケーブル取付部および前記ヘッド部側ケーブル取付部の間の部分において前記扁平ケーブルの垂直断面の長手方向が水平面および鉛直面に対して傾斜するように配置されている、部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッド駆動装置および部品実装装置に関し、特に、複数の線部材からなる扁平形状の垂直断面を有する扁平ケーブルを備えたヘッド駆動装置、および、そのようなヘッド駆動装置を備えた部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電力供給用や信号送信用のケーブル、あるいはエアチューブ等の線部材のいずれか複数の線部材からなる扁平形状の垂直断面を有する扁平ケーブルを備えたヘッド駆動装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、所定の方向に延びるビームと、ビームに支持され、ビームに沿って所定の方向に直線移動可能なヘッド取付体と、扁平形状の垂直断面を有するフラットケーブル（扁平ケーブル）と、フラットケーブルのビーム側固定部材と、フラットケーブルのヘッド側固定部材とを備えたヘッド駆動装置が開示されている。このフラットケーブルは、ビーム側固定部材およびヘッド側固定部材の間の部分において、フラットケーブルの延びる方向に沿ってＵ字形状に湾曲されているとともにフラットケーブルの垂直断面の長手方向が水平になるように配置されている。
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１のヘッド駆動装置では、フラットケーブルの垂直断面の長手方向が水平になるようにフラットケーブルが配置されているので、フラットケーブルの自重に対する剛性が低く、フラットケーブルが下方に垂れ下がりやすいと考えられる。このため、上記特許文献１のヘッド駆動装置では、湾曲されたフラットケーブルの下方側の部分の略全域をケーブル支持部材により支持してフラットケーブルが垂れ下がるのを規制している。
【０００５】
また、従来、複数の線部材からなる扁平形状の垂直断面を有する扁平ケーブルを備えた構成において、扁平ケーブルの垂れ下がりを抑制することが可能なロボット駆動装置が知られている（たとえば、特許文献２参照）。
【０００６】
上記特許文献２には、所定の方向に延びる走行レールと、走行レールに支持され、走行レールに沿って所定の方向に移動可能なロボット本体と、ロボット本体に接続され、扁平形状の垂直断面を有するフラットケーブル（扁平ケーブル）とを備えたロボット駆動装置が開示されている。このフラットケーブルは、フラットケーブルの延びる方向に沿ってＵ字形状に湾曲されているとともに、フラットケーブルの垂直断面の長手方向が鉛直になるように配置されている。これにより、フラットケーブルの垂直断面の長手方向が水平に配置される場合に比べて、フラットケーブルの自重に対する剛性が高くなるので、フラットケーブルの垂れ下がりを抑制することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１８５１９１号公報
【特許文献２】特開２００９−１１９５６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献２のロボット駆動装置では、フラットケーブルの自重に対する剛性を高めてフラットケーブルの垂れ下がりを抑制することが可能である一方、フラットケーブルの垂直断面の長手方向が鉛直に配置されるので、フラットケーブルのＵ字形状の湾曲部分を挟んで走行レール側の部分およびロボット本体側の部分が互いに水平方向に対向するように配置される。このため、フラットケーブルの湾曲部分の曲げ半径が大きい場合には、フラットケーブルの水平方向の配置スペースが大きくなるので、ロボット駆動装置の水平方向の配置スペースが大きくなるという問題点がある。
【０００９】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、扁平ケーブルの自重に対する剛性を高めて扁平ケーブルの垂れ下がりを抑制しながら、水平方向の配置スペースが大きくなるのを抑制可能なヘッド駆動装置、および、そのようなヘッド駆動装置を備えた部品実装装置を提供することである。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【００１０】
上記目的を達成するために、この発明の第１の局面におけるヘッド駆動装置は、ヘッド支持部材と、ヘッド支持部材に支持され、ヘッド支持部材に沿って所定の方向に直線移動可能なヘッド部と、ヘッド部に接続される複数の線部材が束ねられることにより複数の線部材の延びる方向に直交する方向に沿って扁平形状の垂直断面を有するように形成された扁平ケーブルと、ヘッド支持部材側に設けられ、扁平ケーブルが取り付けられる支持部材側ケーブル取付部と、ヘッド部側に設けられ、扁平ケーブルが取り付けられるヘッド部側ケーブル取付部とを備え、扁平ケーブルは、ヘッド部側ケーブル取付部がヘッド部の移動に追従して所定の方向に移動可能なように、支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部の間の部分で扁平ケーブルの延びる方向に沿って略Ｕ字形状に湾曲されているとともに、支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部の間の部分において扁平ケーブルの垂直断面の長手方向が水平面および鉛直面に対して傾斜するように配置されている。なお、本発明の扁平ケーブルは、表面が平坦な扁平形状を有するもののみならず、表面に凹凸があるが全体として扁平形状を有しているものも含む広い概念である。たとえば、円形断面形状を有する複数の線部材が束ねられたケーブルで表面に凹凸がある場合でも、全体として扁平形状を有していれば本発明の扁平ケーブルに該当する。
【００１１】
この発明の第１の局面によるヘッド駆動装置では、上記のように、支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部の間の部分において扁平ケーブルの垂直断面の長手方向が水平面および鉛直面に対して傾斜するように扁平ケーブルを配置することによって、垂直断面の長手方向が水平に配置される場合に比べて、扁平ケーブルの自重に対する剛性が高くなるので、扁平ケーブルの垂れ下がりを抑制することができる。また、支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部の間の部分において扁平ケーブルの垂直断面の長手方向が水平面および鉛直面に対して傾斜するように扁平ケーブルを配置することによって、扁平ケーブルの湾曲部分を挟んでヘッド支持部材側の部分およびヘッド部側の部分が互いに水平方向に対して傾斜した位置に配置されるので、扁平ケーブルの湾曲部分の曲げ半径が大きい場合でも、ヘッド支持部材側の部分およびヘッド部側の部分が互いに水平方向に配置される場合に比べて、扁平ケーブルの水平方向における配置スペースが大きくなるのを抑制することができる。したがって、このヘッド駆動装置では、扁平ケーブルの自重に対する剛性を高めて扁平ケーブルの垂れ下がりを抑制しながら、水平方向の配置スペースが大きくなるのを抑制することができる。
【００１２】
上記第１の局面によるヘッド駆動装置において、好ましくは、支持部材側ケーブル取付部は、扁平ケーブルが固定的に取り付けられる第１取付部分を含み、ヘッド部側ケーブル取付部は、扁平ケーブルが固定的に取り付けられる第２取付部分を含み、支持部材側ケーブル取付部の第１取付部分およびヘッド部側ケーブル取付部の第２取付部分は、所定の方向から見て、水平面に対して互いに略同じ角度傾斜して対向するように配置されている。このように構成すれば、扁平ケーブルのヘッド支持部材側およびヘッド部側をそれぞれ支持部材側ケーブル取付部の第１取付部分およびヘッド部側ケーブル取付部の第２取付部分に取り付けるだけで、容易に、支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部の間の部分において扁平ケーブルの垂直断面の長手方向が水平面に対して傾斜するように扁平ケーブルを配置することができる。また、第１取付部分および第２取付部分を対向するように配置することによって、扁平ケーブルがねじれるのを抑制することができる。
【００１３】
上記第１の局面によるヘッド駆動装置において、好ましくは、扁平ケーブルの支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部の間の部分は、所定の方向から見て、ヘッド支持部材に対してヘッド部が配置される側とは反対側でヘッド部と高さ位置が重なるように水平面および鉛直面に対して傾斜して配置されている。このように構成すれば、扁平ケーブルの水平方向における配置スペースが大きくなるのを抑制しながら、ヘッド部および扁平ケーブルの高さ方向の配置スペースを小さくすることができる。その結果、水平方向および高さ方向の両方において、ヘッド駆動装置の小型化を図ることができる。
【００１４】
この場合、好ましくは、ヘッド支持部材および支持部材側ケーブル取付部が天板部により上方から支持されることによって吊り下げられ、ヘッド部側ケーブル取付部は、天板部により上方から支持されたヘッド支持部材の下方において、平面的に見てヘッド支持部材に重なるように配置されている。このように構成すれば、天板部により高さ方向の配置スペースに制限がある吊り下げ型のヘッド駆動装置において、扁平ケーブルの水平方向における配置スペースが大きくなるのを抑制しながら、ヘッド部および扁平ケーブルの高さ方向の配置スペースを小さくすることができる。したがって、水平方向および高さ方向の両方において小型化を図ることができ、さらに、平面的に見て、ヘッド部側ケーブル取付部およびヘッド支持部材が互いに異なる位置に配置される場合に比べて、ヘッド部側ケーブル取付部およびヘッド支持部材の水平方向の配置スペースを小さくすることができるので、水平方向においてより小型化を図ることが可能な吊り下げ型のヘッド駆動装置を提供することができる。
【００１５】
上記第１の局面によるヘッド駆動装置において、好ましくは、扁平ケーブルの支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部の間の部分は、ヘッド支持部材の上方において、平面的に見てヘッド支持部材に重なるように水平面および鉛直面に対して傾斜して配置されている。このように構成すれば、平面的に見て、扁平ケーブルおよびヘッド支持部材が互いに異なる位置に配置される場合に比べて、扁平ケーブルおよびヘッド支持部材の水平方向の配置スペースを小さくすることができる。これによっても、水平方向においてヘッド駆動装置を小型化することができる。
【００１６】
上記第１の局面によるヘッド駆動装置において、好ましくは、支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部のうちのより上方に配置される一方の近傍で扁平ケーブルが下方に垂れ下がるのを規制する垂れ規制部をさらに備える。このように構成すれば、経年劣化により扁平ケーブルの自重に対する剛性が低下した場合でも、垂れ規制部により、扁平ケーブルの垂れ下がりを確実に抑制することができる。
【００１７】
この発明の第２の局面における部品実装装置は、基板を搬送する搬送装置と、ヘッド駆動装置とを備え、ヘッド駆動装置は、ヘッド支持部材と、搬送装置により搬送される基板に部品を実装するとともに、ヘッド支持部材に支持され、ヘッド支持部材に沿って所定の方向に直線移動可能なヘッド部と、ヘッド部に接続される複数の線部材が束ねられることにより複数の線部材の延びる方向に直交する方向に沿って扁平形状の垂直断面を有するように形成された扁平ケーブルと、ヘッド支持部材側に設けられ、扁平ケーブルが取り付けられる支持部材側ケーブル取付部と、ヘッド部側に設けられ、扁平ケーブルが取り付けられるヘッド部側ケーブル取付部とを含み、扁平ケーブルは、ヘッド部側ケーブル取付部がヘッド部の移動に追従して所定の方向に移動可能なように、支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部の間の部分で扁平ケーブルの延びる方向に沿って略Ｕ字形状に湾曲されているとともに、支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部の間の部分において扁平ケーブルの垂直断面の長手方向が水平面および鉛直面に対して傾斜するように配置されている。なお、本発明の扁平ケーブルは、表面が平坦な扁平形状を有するもののみならず、表面に凹凸があるが全体として扁平形状を有しているものも含む広い概念である。たとえば、円形断面形状を有する複数の線部材が束ねられたケーブルで表面に凹凸がある場合でも、全体として扁平形状を有していれば本発明の扁平ケーブルに該当する。
【００１８】
この発明の第２の局面による部品実装装置では、上記のように、支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部の間の部分において扁平ケーブルの垂直断面の長手方向が水平面および鉛直面に対して傾斜するように扁平ケーブルを配置することによって、垂直断面の長手方向が水平に配置される場合に比べて、扁平ケーブルの自重に対する剛性が高くなるので、扁平ケーブルの垂れ下がりを抑制することができる。また、支持部材側ケーブル取付部およびヘッド部側ケーブル取付部の間の部分において扁平ケーブルの垂直断面の長手方向が水平面および鉛直面に対して傾斜するように扁平ケーブルを配置することによって、扁平ケーブルの湾曲部分を挟んでヘッド支持部材側の部分およびヘッド部側の部分が互いに水平方向に対して傾斜した位置に配置されるので、扁平ケーブルの湾曲部分の曲げ半径が大きい場合でも、ヘッド支持部材側の部分およびヘッド部側の部分が互いに水平方向に配置される場合に比べて、扁平ケーブルの水平方向における配置スペースが大きくなるのを抑制することができる。したがって、この部品実装装置では、扁平ケーブルの自重に対する剛性を高めて扁平ケーブルの垂れ下がりを抑制しながら、ヘッド駆動装置の水平方向の配置スペースが大きくなるのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態によるヘッド駆動装置を適用した部品実装装置の全体構成を示す概略平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるヘッド駆動装置を適用した部品実装装置の全体構成を示す正面図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるヘッド駆動装置を適用した部品実装装置の天板部を示す底面図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるヘッド駆動装置を示す側面図である。
【図５】図４の矢印Ａ方向から見たヘッド駆動装置を示す図である。
【図６】図４の矢印Ｙ２方向から見たヘッド駆動装置を示す図である。
【図７】本発明の第２実施形態によるヘッド駆動装置を示す側面図である。
【図８】本発明の第３実施形態によるヘッド駆動装置を示す正面図である。
【図９】本発明の第３実施形態によるヘッド駆動装置を示す側面図である。
【図１０】本発明の第４実施形態によるヘッド駆動装置を示す側面図である。
【図１１】本発明の第５実施形態によるヘッド駆動装置を示す側面図である。
【図１２】本発明の第６実施形態によるヘッド駆動装置を示す側面図である。
【図１３】本発明の第１〜第６実施形態のヘッド駆動装置の変形例を説明するための斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
（第１実施形態）
図１〜図６を参照して、本発明の第１実施形態によるヘッド駆動装置６０を部品実装装置１００に適用した例について説明する。
【００２２】
第１実施形態の部品実装装置１００は、ダイシングされたウエハ１０１からベアチップ（図示せず）を取り出して基板１０２上に実装（装着）するとともに、第１部品供給部４により供給されるパッケージ部品を基板１０２上に実装することが可能な部品実装装置１００である。
【００２３】
この部品実装装置１００は、図１に示すように、基台１と、所定の実装作業位置に基板１０２を搬送し保持する搬送装置２と、第１部品供給部４および第２部品供給部５と、基板１０２上に部品を実装するための２つのヘッド部６と、ダイシングされたウエハ１０１が収納されるウエハ収納部７と、このウエハ収納部７からウエハ１０１を引き出して支持するウエハ支持装置８とを備えている。
【００２４】
搬送装置２は、一対のコンベアを含み、基板１０２をＸ方向に搬送するように構成されている。また、搬送装置２は、図示しない位置決め機構により基板１０２を所定の実装作業位置に位置決めして固定する機能を有している。
【００２５】
第１部品供給部４は、搬送装置２よりも前側（Ｙ２方向側）に２つ配置されている。また、第１部品供給部４は、Ｘ方向に並列して配置されたテープフィーダ４ａを含み、テープフィーダ４ａにより部品を先端の部品供給位置に供給するように構成されている。そして、部品供給位置の部品は、ヘッド部６により取得される。
【００２６】
第２部品供給部５は、搬送装置２よりも後ろ側（Ｙ１方向側）に配置されている。また、第２部品供給部５は、ベアチップを供給するものである。具体的には、第２部品供給部５は、ダイシングされたウエハ１０１がウエハ支持装置８に支持され、取出し対象部品に対応して位置付けられた状態で、後述するチップ取出用ヘッドユニット９によりウエハ１０１からベアチップを取り出してヘッド部６に供給するように構成されている。
【００２７】
ヘッド部６は、搬送装置２の上方においてＸ方向およびＹ方向に移動可能に構成されている。また、ヘッド部６は、各部品供給部４、５において供給されるベアチップおよび部品を基板１０２上に実装するように構成されている。具体的には、ヘッド部６は、テープフィーダ４ａにより供給される部品を吸着ノズル６ａにより吸着して基板１０２上に実装するように構成されている。さらに、ヘッド部６は、チップ取出用ヘッドユニット９によりウエハ１０１から取り出されるベアチップを吸着ノズル６ａにより吸着して基板１０２上に実装するように構成されている。また、ヘッド部６は、負圧を用いて部品を吸着するように構成されている。なお、ヘッド部６の詳細な構成については後述する。
【００２８】
ウエハ収納部７は、ダイシングされた複数毎のウエハ１０１を収容するように構成されている。
【００２９】
ウエハ支持装置８は、ウエハ収納部７に収納されているウエハ１０１を第２部品供給部５に引き出してチップ取出用ヘッドユニット９によるベアチップの取り出しが可能となるように支持するように構成されている。また、ウエハ支持装置８は、ウエハステージ８１上でウエハ１０１を支持するように構成されている。また、ウエハ支持装置８のウエハステージ８１は、搬送装置２に支持される基板１０２の下方位置を通って、第２部品供給部５の所定の部品取出作業位置とウエハ収納部７近傍のウエハ受取位置（図１に二点鎖線で示した位置）との間を移動可能なように構成されている。また、ウエハステージ８１には、ウエハステージ８１がウエハ受取位置に配置された状態で、ウエハ１０１をウエハ収納部７から引き出してウエハステージ８１上に移動する機構が設けられている。
【００３０】
チップ取出用ヘッドユニット９は、ウエハ支持装置８の上方においてＸ方向およびＹ方向に移動可能に構成されている。すなわち、Ｙ方向に移動可能なフレーム部材９ａにチップ取出用ヘッドユニット９がＸ方向に移動可能に取り付けられている。また、平面的に見て、チップ取出用ヘッドユニット９の可動領域とヘッド部６の可動領域とは一部重複している。また、チップ取出用ヘッドユニット９は、図２に示すように、ヘッド部６よりも下方に位置している。これにより、チップ取出用ヘッドユニット９は、ヘッド部６に対してベアチップの受け渡しが可能となっている。
【００３１】
次に、図１〜図６を参照して、２つのヘッド部６の詳細な構成について説明する。なお、２つのヘッド部６は、互いに同様の構成を有している。
【００３２】
２つのヘッド部６は、図１〜図４に示すように、それぞれ、Ｘ方向に延びる２つのヘッド支持部材６１により支持されている。また、各ヘッド部６は、対応するヘッド支持部材６１の前側（Ｙ２方向側）の側面に沿ってＸ方向に移動可能に構成されている。具体的には、図２および図４に示すように、各ヘッド支持部材６１の前側の側面には、Ｘ方向に延びる一対のレール６１１が設けられている。また、各ヘッド部６には、対応するヘッド支持部材６１の一対のレール６１１にＸ方向に移動可能に係合する一対のスライダ６１２（図４参照）が設けられている。また、図４に示すように、ヘッド部６とヘッド支持部材６１との間には、ヘッド部６をヘッド支持部材６１に対してＸ方向に移動するための駆動源としてのリニアモータ６１３が設けられている。これにより、ヘッド部６は、ヘッド支持部材６１にＸ方向に移動可能に支持されている。また、図４に示すように、Ｘ方向から見て、ヘッド支持部材６１の後ろ側（Ｙ１方向側）の表面６１ａは、後方の斜め下方（Ｙ１およびＺ２の間の方向）を向くように水平面に対して傾斜している。
【００３３】
また、２つのヘッド部６は、互いに独立してＹ方向に移動可能に構成されている。具体的には、図２〜図４に示すように、各ヘッド支持部材６１は、上方に配置された支持プレート６２に固定的に取り付けられている。また、図２および図３に示すように、天板部１０の下面（Ｚ２方向側の表面）には、２組のＹ方向に延びる一対のレール６２２が取り付けられている。そして、各支持プレート６２は、一対のレール６２２にＹ方向に移動可能に係合する一対のスライダ６２１によって天板部１０に吊り下げられている。また、図３に示すように、天板部１０の下面の一対のレール６２２の間には、Ｙ方向に延びるリニアモータの固定子６２３が取り付けられている。また、支持プレート６２の上面（Ｚ１方向側の表面）には、固定子６２３に対向する位置に図示しない可動子が取り付けられている。これにより、各支持プレート６２は、互いに独立してＹ方向に移動可能である。また、各ヘッド部６は、対応する支持プレート６２がＹ方向に移動することによってヘッド支持部材６１とともにＹ方向に移動されるように構成されている。
【００３４】
なお、基台１の上面Ｘ方向両端にそれぞれ中空の立設壁１００Ａが設けられ、Ｘ方向両側の立設壁１００Ａの上端面に板状の天板部１０が取り付けられている。この天板部１０の上側にＸＹ両方向に広がる屋根状部材１００Ｂが設けられており、これらの天板部１０、屋根状部材１００Ｂおよび立設壁１００Ａにより各ヘッド支持部材６１および各ヘッド部６が強固に吊持（吊り下げ支持）されている。また、各立設壁１００ＡのＹ方向中間下部には開口が設けられ、搬送装置２が開口を通ってＸ方向に貫通するように配置される。
【００３５】
また、ヘッド部６には、動力線、信号線および負圧供給用、正圧供給用の空気チューブなどの複数の線部材が接続されている。具体的には、これらの複数の線部材の少なくとも動力線および信号線は、それぞれ絶縁部材により覆われており、空気チューブを含め互いに融着されることによって複数の線部材が延びる方向に直交する方向に沿って扁平形状の垂直断面（扁平断面形状）を有するフラットケーブル６３を構成している。フラットケーブル６３は、図４〜図６に示すように、支持部材側ケーブル取付部６４およびヘッド部側ケーブル取付部６５に取り付けられている。また、支持部材側ケーブル取付部６４は、図４に示すように、ヘッド部側ケーブル取付部６５よりも上方（Ｚ１方向）に配置されている。なお、フラットケーブル６３は、本発明の「扁平ケーブル」の一例である。
【００３６】
詳細には、支持部材側ケーブル取付部６４は、図４に示すように、ヘッド支持部材６１の後ろ側（Ｙ１方向側）で支持プレート６２の下面に取り付けられている。また、支持部材側ケーブル取付部６４は、ヘッド支持部材６１と高さ位置（Ｚ方向の位置）が重なるように配置されている。また、支持部材側ケーブル取付部６４は、フラットケーブル６３を固定的に取り付けるケーブル取付面６４１を有している。ケーブル取付面６４１は、フラットケーブル６３の全幅を面状に支持する平坦面形状を有している。また、ケーブル取付面６４１は、Ｘ方向から見て、前方の斜め下方（Ｙ２およびＺ２の間の方向）を向くように水平面および鉛直面に対して傾斜している。また、フラットケーブル６３は、図４および図５に示すように、扁平形状の垂直断面の長手部分がケーブル取付面６４１に当接するように配置されて支持部材側ケーブル取付部６４に固定的に取り付けられている。具体的には、フラットケーブル６３は、図３〜図５に示すように、扁平形状の垂直断面の長手方向に延びる２本の押さえ軸６４２によりケーブル取付面６４１から離間するのを規制されている。なお、ケーブル取付面６４１は、本発明の「第１取付部」の一例である。
【００３７】
また、支持部材側ケーブル取付部６４の近傍には、経年劣化によりフラットケーブル６３の自重に対する剛性が低下した場合に、フラットケーブル６３が下方に垂れ下がるのを規制する金属製の垂れ規制部６４３が設けられている。垂れ規制部６４３は、図５に示すように、フラットケーブル６３の経年劣化があまり進行していない場合には、フラットケーブル６３に当接していない。また、垂れ規制部６４３は、フラットケーブル６３の延びる方向に沿って湾曲している。
【００３８】
また、ヘッド部側ケーブル取付部６５は、図４に示すように、ヘッド支持部材６１の下方において、平面的に見てヘッド支持部材６１に重なるように配置されている。また、ヘッド部側ケーブル取付部６５は、ヘッド部６に固定的に取り付けられている。これにより、ヘッド部側ケーブル取付部６５は、ヘッド部６に追従して移動するように構成されている。また、ヘッド部側ケーブル取付部６５は、ヘッド部６と高さ位置（Ｚ方向の位置）が重なるように配置されている。また、ヘッド部側ケーブル取付部６５は、フラットケーブル６３を固定的に取り付けるケーブル取付面６５１を有している。ケーブル取付面６５１は、フラットケーブル６３の全幅を面状に支持する平坦面形状を有している。また、ケーブル取付面６５１は、図４に示すように、Ｘ方向から見て、後方の斜め上方（Ｙ１およびＺ１の間の方向）を向くように水平面および鉛直面に対して傾斜している。また、ケーブル取付面６５１は、Ｘ方向から見て、ケーブル取付面６４１と略同じ角度だけ水平面に対して傾斜しており、ケーブル取付面６４１に対向する位置に配置されている。なお、ケーブル取付面６５１は、本発明の「第２取付部」の一例である。
【００３９】
また、フラットケーブル６３は、図４〜図６に示すように、扁平形状の垂直断面（扁平断面形状）の長手部分がケーブル取付面６５１に当接するように配置されてヘッド部側ケーブル取付部６５に固定的に取り付けられている。具体的には、フラットケーブル６３は、扁平形状の垂直断面の長手方向に延びる３本の押さえ軸６５２によりケーブル取付面６５１から離間するのを規制されている。なお、ヘッド部側ケーブル取付部６５には、空きスペースを利用して電子部品を配置するための取付ブラケット６５３が固定されている。
【００４０】
また、フラットケーブル６３は、支持部材側ケーブル取付部６４およびヘッド部側ケーブル取付部６５の間の部分でケーブルが延びる方向に沿って略Ｕ字形状に湾曲している。これにより、ヘッド部側ケーブル取付部６５は、ヘッド部６の移動に追従して容易にＸ方向に移動することが可能となる。また、図４に示すように、フラットケーブル６３の支持部材側ケーブル取付部６４およびヘッド部側ケーブル取付部６５の間の部分は、上記のように、水平面および鉛直面に対して傾斜するケーブル取付面６４１および６５１に取り付けられることによって、扁平形状の垂直断面（扁平断面形状）の長手方向がケーブル取付面６４１および６５１の傾斜角度と略同じ傾斜角度で水平面および鉛直面に対して傾斜して配置される。また、フラットケーブル６３の支持部材側ケーブル取付部６４およびヘッド部側ケーブル取付部６５の間の部分は、ヘッド支持部材６１に対してヘッド部６の反対側（Ｙ１方向側）でヘッド部６と高さ位置（Ｚ方向の位置）が重なるように配置されている。
【００４１】
また、本発明の第１実施形態によるヘッド駆動装置６０は、ヘッド部６、ヘッド支持部材６１、リニアモータ６１３、フラットケーブル６３、支持部材側ケーブル取付部６４およびヘッド部側ケーブル取付部６５により主として構成されている。また、上記のように、ヘッド駆動装置６０は、天板部１０により上方から吊り下げられている。また、ヘッド部６によりチップ取出用ヘッドユニット９からベアチップを吸着する際には、チップ取出用ヘッドユニット９が図１に示す搬送装置２の直近にまでＹ２方向に移動する一方、図４に示すように、ヘッド駆動装置６０がＹ１方向に移動し、平面的に見てヘッド部６とチップ取出用ヘッドユニット９とが上下に重なるように配置される。この際、Ｘ方向から見て、フラットケーブル６３が水平面に対して傾斜することにより生じるスペース（フラットケーブル６３の後方の略三角形状のスペース）に、チップ取出用ヘッドユニット９をＸ方向に移動可能に支持するフレーム部材９ａのＸ２方向の端部部材９ａ１（図１参照）に接続され、Ｙ１方向に延びるケーブル９１が、ヘッド駆動装置６０と干渉を起こすことなく位置することになる。このように、フラットケーブル６３が水平面に対して傾斜することにより生じるスペースを有効に活用することが可能である。
【００４２】
第１実施形態では、上記のように、支持部材側ケーブル取付部６４およびヘッド部側ケーブル取付部６５の間の部分において扁平形状の垂直断面の長手方向が水平面および鉛直面に対して傾斜するようにフラットケーブル６３を配置することによって、フラットケーブル６３の垂直断面の長手方向が水平に配置される場合に比べて、フラットケーブル６３の自重に対する剛性が高くなるので、フラットケーブル６３の垂れ下がりを抑制することができる。また、支持部材側ケーブル取付部６４およびヘッド部側ケーブル取付部６５の間の部分において扁平形状の垂直断面の長手方向が水平面および鉛直面に対して傾斜するようにフラットケーブル６３を配置することによって、フラットケーブル６３の湾曲部分を挟んでヘッド支持部材６１側の部分およびヘッド部６側の部分が互いに水平方向に対して傾斜した位置に配置されるので、フラットケーブル６３の湾曲部分の曲げ半径が大きい場合でも、ヘッド支持部材６１側の部分およびヘッド部６側の部分が互いに水平方向に配置される場合に比べて、フラットケーブル６３の水平方向における配置スペースが大きくなるのを抑制することができる。したがって、このヘッド駆動装置６０では、フラットケーブル６３の自重に対する剛性を高めてフラットケーブル６３の垂れ下がりを抑制しながら、水平方向の配置スペースが大きくなるのを抑制することができる。
【００４３】
また、第１実施形態では、支持部材側ケーブル取付部６４に、フラットケーブル６３が固定的に取り付けられるケーブル取付面６４１を設け、ヘッド部側ケーブル取付部６５に、フラットケーブル６３が固定的に取り付けられるケーブル取付面６５１を設けるとともに、支持部材側ケーブル取付部６４のケーブル取付面６４１およびヘッド部側ケーブル取付部６５のケーブル取付面６５１を、所定の方向（Ｘ方向）から見て、水平面に対して互いに略同じ角度傾斜して対向するように配置する。これによって、フラットケーブル６３のヘッド支持部材６１側およびヘッド部６側をそれぞれ支持部材側ケーブル取付部６４のケーブル取付面６４１およびヘッド部側ケーブル取付部６５のケーブル取付面６５１に取り付けるだけで、容易に、支持部材側ケーブル取付部６４およびヘッド部側ケーブル取付部６５の間の部分においてフラットケーブル６３の扁平形状の垂直断面の長手方向が水平面に対して傾斜するようにフラットケーブル６３を配置することができる。また、ケーブル取付面６４１およびケーブル取付面６５１を対向するように配置することによって、フラットケーブル６３がねじれるのを抑制することができる。なお、Ｘ方向はヘッド部６がヘッド支持部材６１に沿って移動するヘッド移動方向であり、本発明の「所定の方向」の一例である。
【００４４】
また、第１実施形態では、フラットケーブル６３の支持部材側ケーブル取付部６４およびヘッド部側ケーブル取付部６５の間の部分を、所定の方向（Ｘ方向）から見て、ヘッド支持部材６１に対してヘッド部６が配置される側とは反対側（Ｙ１方向側）でヘッド部６と高さ位置が重なるように水平面および鉛直面に対して傾斜して配置する。これによって、フラットケーブル６３の水平方向における配置スペースが大きくなるのを抑制しながら、ヘッド部６およびフラットケーブル６３の高さ方向の配置スペースを小さくすることができる。その結果、水平方向および高さ方向の両方において、ヘッド駆動装置６０の小型化を図ることができる。
【００４５】
また、第１実施形態では、ヘッド支持部材６１および支持部材側ケーブル取付部６４を天板部１０により上方から支持するとともに、ヘッド部側ケーブル取付部６５を、天板部１０により上方から支持されたヘッド支持部材６１の下方において、平面的に見てヘッド支持部材６１に重なるように配置する。これによって、天板部１０により高さ方向の配置スペースに制限がある吊り下げ型のヘッド駆動装置６０において、フラットケーブル６３の水平方向における配置スペースが大きくなるのを抑制しながら、ヘッド部６およびフラットケーブル６３の高さ方向の配置スペースを小さくすることができる。したがって、水平方向および高さ方向の両方において小型化を図ることができ、さらに、平面的に見て、ヘッド部側ケーブル取付部６５およびヘッド支持部材６１が互いに異なる位置に配置される場合に比べて、ヘッド部側ケーブル取付部６５およびヘッド支持部材６１の水平方向の配置スペースを小さくすることができるので、水平方向においてより小型化を図ることが可能な吊り下げ型のヘッド駆動装置６０を提供することができる。
【００４６】
また、第１実施形態では、ヘッド部側ケーブル取付部６５よりも上方に配置された支持部材側ケーブル取付部６４の近傍でフラットケーブル６３が下方に垂れ下がるのを規制する垂れ規制部６４３を設けることによって、経年劣化によりフラットケーブル６３の自重に対する剛性が低下した場合でも、垂れ規制部６４３により、フラットケーブル６３の垂れ下がりを確実に抑制することができる。
【００４７】
（第２実施形態）
次に、図７を参照して、第２実施形態について説明する。この第２実施形態では、上記第１実施形態と異なり、ヘッド支持部材２６１の下面に一対のレール６１１ａが取り付けられた構成のヘッド駆動装置２６０について説明する。
【００４８】
第２実施形態によるヘッド駆動装置２６０は、図７に示すように、ヘッド支持部材２６１の下面（Ｚ２方向の表面）には、Ｘ方向に延びる一対のレール６１１ａが取り付けられている。また、ヘッド部側ケーブル取付部２６５の上面（Ｚ１方向の表面）には、一対のレール６１１ａにＸ方向に移動可能に係合する一対のスライダ６１２ａが設けられている。また、ヘッド支持部材２６１とヘッド部側ケーブル取付部２６５との間には、ヘッド部側ケーブル取付部２６５をヘッド支持部材２６１に対してＸ方向に移動するための駆動源としてのリニアモータ６１３ａが設けられている。これにより、ヘッド部側ケーブル取付部２６５は、ヘッド支持部材２６１にＸ方向に移動可能に支持されている。
【００４９】
また、ヘッド部２０６は、ヘッド支持部材２６１の前側（Ｙ２方向側）に配置されている。また、ヘッド部２０６の後ろ側の表面には、ヘッド部側ケーブル取付部２６５が固定的に取り付けられている。これにより、ヘッド部２０６は、ヘッド部側ケーブル取付部２６５が移動することによって、ヘッド支持部材２６１に沿ってＸ方向に移動される。また、ヘッド部２０６は、ヘッド部側ケーブル取付部２６５を介してヘッド支持部材２６１に支持されている。
【００５０】
なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００５１】
なお、第２実施形態の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００５２】
（第３実施形態）
次に、図８および図９を参照して、第３実施形態について説明する。この第３実施形態では、上記第１実施形態と異なり、支持台３６２により下方から支持された構成のヘッド駆動装置３６０について説明する。
【００５３】
第３実施形態によるヘッド駆動装置３６０は、図８に示すように、基台１上に設けられた一対の支持台３６２により下方から支持されている。具体的には、一対の支持台３６２の上面上にＹ方向に延びる一対のレール６２２ａが設けられている。また、ヘッド支持部材３６１は、一対のレール６２２ａにＹ方向に移動可能に係合する一対のスライダ６２１ａを介して支持台３６２に下方から支持されている。また、ヘッド支持部材３６１には、モータ３６１ａにより回転されるＹ方向に延びる図示しないボールネジ軸に螺合するナット（図示せず）が取り付けられている。これにより、ヘッド支持部材３６１は、モータ３６１ａによりボールネジ軸が回転されることによってレール６２２ａに沿ってＹ方向に移動するように構成されている。
【００５４】
また、図８および図９に示すように、ヘッド支持部材３６１の前側の表面（Ｙ２方向側の表面）には、Ｘ方向に延びる一対のレール６１１ｂが取り付けられている。また、ヘッド部３０６の後ろ側の表面（Ｙ１方向側の表面）には、取付プレート３０６ａを介してヘッド支持部材３６１の一対のレール６１１ｂにＸ方向に移動可能に係合する一対のスライダ６１２ｂ（図９参照）が取り付けられている。また、一対のレール６１１ｂの間には、モータ３６１ｂにより回転されるボールネジ軸３６１ｃが設けられている。また、取付プレート３０６ａの中央部には突出部３０６ａ１が形成されており、ボールネジ軸３６１ｃに螺合する図示しないナットが突出部３０６ａ１に固定的に取り付けられている。これにより、ヘッド部３０６は、モータ３６１ｂによりボールネジ軸３６１ｃが回転されることによって、ヘッド支持部材３６１に沿ってＸ方向に移動可能である。
【００５５】
また、第３実施形態によるヘッド駆動装置３６０では、図９に示すように、フラットケーブル３６３は、ヘッド支持部材３６１の上方で平面的に見てヘッド支持部材３６１に重なるように水平面および鉛直面に対して傾斜して配置されている。なお、フラットケーブル３６３は、本発明の「扁平ケーブル」の一例である。また、支持部材側ケーブル取付部３６４は、ヘッド支持部材３６１に一体的に設けられており、後方の斜め上方（Ｙ１およびＺ１の間の方向）に向かって延びるように形成されている。また、支持部材側ケーブル取付部３６４のケーブル取付面６４１ａは、前方の斜め上方（Ｙ２およびＺ１の間の方向）を向くように水平面および鉛直面に対して傾斜している。また、ケーブル取付面６４１ａは、フラットケーブル３６３の全幅を面状に支持する平坦面形状を有している。なお、ケーブル取付面６４１ａは、本発明の「第１取付部」の一例である。
【００５６】
また、ヘッド部側ケーブル取付部３６５は、取付プレート３０６ａを介してヘッド部３０６に固定的に取り付けられており、後方の斜め上方（Ｙ１およびＺ１の間の方向）に向かって延びるように形成されている。また、ヘッド部側ケーブル取付部３６５は、ヘッド支持部材３６１の上方で平面的に見てヘッド支持部材３６１に重なるように配置されている。また、ヘッド部側ケーブル取付部３６５のケーブル取付面６５１ａは、後方の斜め下方（Ｙ１およびＺ２の間の方向）を向くように水平面および鉛直面に対して傾斜している。また、ケーブル取付面６５１ａは、フラットケーブル３６３の全幅を面状に支持する平坦面形状を有している。また、ケーブル取付面６４１ａおよびケーブル取付面６５１ａは、Ｘ方向から見て、水平面に対して互いに略同じ角度傾斜して配置されている。また、ケーブル取付面６４１ａおよびケーブル取付面６５１ａは、互いに対向するように配置されている。なお、ケーブル取付面６５１ａは、本発明の「第２取付部」の一例である。
【００５７】
また、フラットケーブル３６３の支持部材側ケーブル取付部３６４およびヘッド部側ケーブル取付部３６５の間の部分は、上記のように、水平面および鉛直面に対して傾斜するケーブル取付面６４１ａおよび６５１ａに取り付けられることによって、扁平形状の垂直断面（扁平断面形状）の長手方向がケーブル取付面６４１ａおよび６５１ａの傾斜角度と略同じ傾斜角度で水平面および鉛直面に対して傾斜して配置される。
【００５８】
なお、第３実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００５９】
第３実施形態では、上記のように、フラットケーブル３６３の支持部材側ケーブル取付部３６４およびヘッド部側ケーブル取付部３６５の間の部分は、ヘッド支持部材３６１の上方において、平面的に見てヘッド支持部材３６１に重なるように水平面および鉛直面に対して傾斜して配置する。これによって、平面的に見て、フラットケーブル３６３およびヘッド支持部材３６１が互いに異なる位置に配置される場合に比べて、フラットケーブル３６３およびヘッド支持部材３６１の水平方向の配置スペースを小さくすることができるので、水平方向においてヘッド駆動装置３６０を小型化することができる。
【００６０】
なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００６１】
（第４実施形態）
次に、図１０を参照して、第４実施形態について説明する。この第４実施形態では、上記第３実施形態と異なり、ヘッド部側ケーブル取付部４６５がヘッド部３０６の上方で平面的に見てヘッド部３０６に重なるように配置された構成のヘッド駆動装置４６０について説明する。
【００６２】
第４実施形態によるヘッド駆動装置４６０では、図１０に示すように、支持部材側ケーブル取付部４６４は、ヘッド支持部材３６１に一体的に設けられており、前方の斜め上方（Ｙ２およびＺ１の間の方向）に向かって延びるように形成されている。また、支持部材側ケーブル取付部４６４のケーブル取付面６４１ｂは、前方の斜め下方（Ｙ２およびＺ２の間の方向）を向くように水平面および鉛直面に対して傾斜している。また、ケーブル取付面６４１ｂは、フラットケーブル４６３の全幅を面状に支持する平坦面形状を有している。なお、ケーブル取付面６４１ｂは、本発明の「第１取付部」の一例である。
【００６３】
また、ヘッド部側ケーブル取付部４６５は、取付プレート３０６ａを介してヘッド部３０６に固定的に取り付けられている。また、ヘッド部側ケーブル取付部４６５は、ヘッド部３０６の上方で平面的に見てヘッド部３０６に重なるように配置されている。また、ヘッド部側ケーブル取付部４６５のケーブル取付面６５１ｂは、後方の斜め上方（Ｙ１およびＺ１の間の方向）を向くように水平面および鉛直面に対して傾斜している。また、ケーブル取付面６５１ｂは、フラットケーブル４６３の全幅を面状に支持する平坦面形状を有している。また、ケーブル取付面６４１ｂおよびケーブル取付面６５１ｂは、Ｘ方向から見て、水平面に対して互いに略同じ角度傾斜して配置されている。また、ケーブル取付面６４１ｂおよびケーブル取付面６５１ｂは、互いに対向するように配置されている。なお、ケーブル取付面６５１ｂは、本発明の「第２取付部」の一例である。
【００６４】
また、フラットケーブル４６３の支持部材側ケーブル取付部４６４およびヘッド部側ケーブル取付部４６５の間の部分は、上記のように、水平面および鉛直面に対して傾斜するケーブル取付面６４１ｂおよび６５１ｂに取り付けられることによって、扁平形状の垂直断面（扁平断面形状）の長手方向がケーブル取付面６４１ｂおよび６５１ｂの傾斜角度と略同じ傾斜角度で水平面および鉛直面に対して傾斜して配置される。なお、フラットケーブル４６３は、本発明の「扁平ケーブル」の一例である。
【００６５】
なお、第４実施形態のその他の構成は、上記第３実施形態と同様である。
【００６６】
なお、第４実施形態の効果は、上記第３実施形態と同様である。
【００６７】
（第５実施形態）
次に、図１１を参照して、第５実施形態について説明する。この第５実施形態では、上記第３実施形態と異なり、ヘッド部側ケーブル取付部５６５がヘッド部３０６の上方で平面的に見てヘッド部３０６に重なるように配置された構成のヘッド駆動装置５６０について説明する。
【００６８】
第５実施形態によるヘッド駆動装置５６０では、図１１に示すように、支持部材側ケーブル取付部５６４は、ヘッド支持部材３６１に一体的に設けられている。また、支持部材側ケーブル取付部５６４は、Ｘ方向から見て、略三角形状に形成されている。また、支持部材側ケーブル取付部５６４のケーブル取付面６４１ｃは、前方の斜め上方（Ｙ２およびＺ１の間の方向）を向くように水平面および鉛直面に対して傾斜している。また、ケーブル取付面６４１ｃは、フラットケーブル５６３の全幅を面状に支持する平坦面形状を有している。なお、ケーブル取付面６４１ｃは、本発明の「第１取付部」の一例である。
【００６９】
また、ヘッド部側ケーブル取付部５６５は、取付プレート３０６ａを介してヘッド部３０６に固定的に取り付けられている。また、ヘッド部側ケーブル取付部５６５は、ヘッド部３０６の上方で平面的に見てヘッド部３０６に重なるように配置されている。また、ヘッド部側ケーブル取付部５６５のケーブル取付面６５１ｃは、後方の斜め下方（Ｙ１およびＺ２の間の方向）を向くように水平面および鉛直面に対して傾斜している。また、ケーブル取付面６５１ｃは、フラットケーブル５６３の全幅を面状に支持する平坦面形状を有している。また、ケーブル取付面６４１ｃおよびケーブル取付面６５１ｃは、Ｘ方向から見て、水平面に対して互いに略同じ角度傾斜して配置されている。また、ケーブル取付面６４１ｃおよびケーブル取付面６５１ｃは、互いに対向するように配置されている。なお、ケーブル取付面６５１ｃは、本発明の「第２取付部」の一例である。
【００７０】
また、フラットケーブル５６３の支持部材側ケーブル取付部５６４およびヘッド部側ケーブル取付部５６５の間の部分は、上記のように、水平面および鉛直面に対して傾斜するケーブル取付面６４１ｃおよび６５１ｃに取り付けられることによって、扁平形状の垂直断面（扁平断面形状）の長手方向がケーブル取付面６４１ｃおよび６５１ｃの傾斜角度と略同じ傾斜角度で水平面および鉛直面に対して傾斜して配置される。なお、フラットケーブル５６３は、本発明の「扁平ケーブル」の一例である。
【００７１】
なお、第５実施形態のその他の構成は、上記第３実施形態と同様である。
【００７２】
なお、第５実施形態の効果は、上記第３実施形態と同様である。
【００７３】
（第６実施形態）
次に、図１２を参照して、第６実施形態について説明する。この第６実施形態では、上記第３実施形態と異なり、ヘッド支持部材６６１の上面（Ｚ１方向の表面）にＸ方向に延びる一対のレール６１１ｃが設けられた構成のヘッド駆動装置６６０について説明する。
【００７４】
第６実施形態によるヘッド駆動装置６６０では、図１２に示すように、ヘッド支持部材６６１の上面（Ｚ１方向の表面）にＸ方向に延びる一対のレール６１１ｃが設けられている。また、ヘッド部３０６の後ろ側の表面（Ｙ１方向側の表面）には、Ｘ方向から見て、後ろ方向（Ｙ１方向）に延びる取付プレート３０６ｂが固定的に取り付けられている。また、取付プレート３０６ｂの下面（Ｚ２方向の表面）には、ヘッド支持部材６６１の一対のレール６１１ｃにＸ方向に移動可能に係合する一対のスライダ６１２ｃが取り付けられている。また、取付プレート３０６ｂの上面上（Ｚ１方向の表面上）には、ヘッド部側ケーブル取付部６６５が設けられている。ヘッド部側ケーブル取付部６６５は、取付プレート３０６ｂを介してヘッド部３０６に固定的に取り付けられている。また、一対のレール６１１ｃの間には、ボールネジ軸３６１ｃを回転させるモータ３６１ｂが設けられている。また、取付プレート３０６ｂの中央部には突出部３０６ｂ１が形成されており、ボールネジ軸３６１ｃに螺合する図示しないナットが突出部３０６ｂ１に固定的に取り付けられている。これにより、ヘッド部側ケーブル取付部６６５は、モータ３６１ｂによりボールネジ軸３６１ｃが回転されることによって、ヘッド支持部材６６１に対してＸ方向に移動される。この際、ヘッド部３０６は、ヘッド部側ケーブル取付部６６５の移動に追従してヘッド支持部材６６１に沿ってＸ方向に移動される。また、ヘッド部側ケーブル取付部６６５は、平面的に見て、ヘッド支持部材６６１に重なるように配置されている。
【００７５】
支持部材側ケーブル取付部６６４は、ヘッド支持部材６６１に一体的に設けられている。また、支持部材側ケーブル取付部６６４は、後方の斜め上方（Ｙ１およびＺ１の間の方向）に延びるように形成されている。また、支持部材側ケーブル取付部６６４のケーブル取付面６４１ｄは、前方の斜め上方（Ｙ２およびＺ１の間の方向）を向くように水平面および鉛直面に対して傾斜している。また、ケーブル取付面６４１ｄは、フラットケーブル６６３の全幅を面状に支持する平坦面形状を有している。なお、ケーブル取付面６４１ｄは、本発明の「第１取付部」の一例である。
【００７６】
また、ヘッド部側ケーブル取付部６６５のケーブル取付面６５１ｄは、後方の斜め下方（Ｙ１およびＺ２の間の方向）を向くように水平面および鉛直面に対して傾斜している。また、ケーブル取付面６５１ｄは、フラットケーブル６６３の全幅を面状に支持する平坦面形状を有している。また、ケーブル取付面６４１ｄおよびケーブル取付面６５１ｄは、Ｘ方向から見て、水平面に対して互いに略同じ角度傾斜して配置されている。また、ケーブル取付面６４１ｄおよびケーブル取付面６５１ｄは、互いに対向するように配置されている。なお、ケーブル取付面６５１ｄは、本発明の「第２取付部」の一例である。
【００７７】
また、フラットケーブル６６３の支持部材側ケーブル取付部６６４およびヘッド部側ケーブル取付部６６５の間の部分は、ヘッド支持部材６６１に対してヘッド部３０６が配置される側とは反対側（Ｙ１方向側）でヘッド部３０６と高さ位置が重なるように配置されている。また、フラットケーブル６６３の支持部材側ケーブル取付部６６４およびヘッド部側ケーブル取付部６６５の間の部分は、上記のように、水平面および鉛直面に対して傾斜するケーブル取付面６４１ｄおよび６５１ｄに取り付けられることによって、扁平形状の垂直断面（扁平断面形状）の長手方向がケーブル取付面６４１ｄおよび６５１ｄの傾斜角度と略同じ傾斜角度で水平面および鉛直面に対して傾斜して配置される。なお、フラットケーブル６６３は、本発明の「扁平ケーブル」の一例である。
【００７８】
なお、第６実施形態のその他の構成は、上記第３実施形態と同様である。
【００７９】
第６実施形態では、上記のように、フラットケーブル６６３の支持部材側ケーブル取付部６６４およびヘッド部側ケーブル取付部６６５の間の部分を、所定の方向（Ｘ方向）から見て、ヘッド支持部材６６１に対してヘッド部３０６が配置される側とは反対側（Ｙ１方向側）でヘッド部３０６と高さ位置が重なるように水平面および鉛直面に対して傾斜して配置する。これによって、フラットケーブル６６３の水平方向における配置スペースが大きくなるのを抑制しながら、ヘッド部３０６およびフラットケーブル６６３の高さ方向の配置スペースを小さくすることができる。その結果、水平方向および高さ方向の両方において、ヘッド駆動装置６６０の小型化を図ることができる。
【００８０】
なお、第６実施形態のその他の効果は、上記第３実施形態と同様である。
【００８１】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００８２】
たとえば、上記第１〜第６実施形態では、本発明のヘッド駆動装置を、部品実装装置に適用する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明のヘッド駆動装置を、たとえば、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能とされるヘッド部に半田ペーストが充填されたシリンジが上下駆動可能に取り付けられ、シリンジの下端部のノズルにより半田ペーストを塗布するディスペンサや、Ｘ方向、あるいはＸ方向およびＹ方向に移動可能とされるヘッド部に基板撮像用カメラを搭載した基板検査装置など、部品実装装置以外の装置に適用してもよい。
【００８３】
また、上記第１〜第６実施形態では、複数の線部材としての動力線および信号線などを互いに融着してフラットケーブル（扁平ケーブル）を構成する例を示したが、本発明はこれに限られない。図１３に示すように、結束バンドを用いて複数の線部材を束ねることにより扁平形状の垂直断面を有する扁平ケーブルを構成してもよい。
【００８４】
また、上記第１〜第６実施形態では、扁平ケーブルを取り付けるための第１取付部分および第２取付部分の一例として、フラットケーブル（扁平ケーブル）の全幅を面状に支持する平坦面形状のケーブル取付面を示したが、本発明はこれに限られない。細長く突出しフラットケーブル（扁平ケーブル）の全幅を支持するボスを、第１取付部分および第２取付部分に、フラットケーブル（扁平ケーブル）が延びる方向に複数設けるものであってもよい。
【符号の説明】
【００８５】
２  搬送装置
６、２０６、３０６  ヘッド部
１０  天板部
６０、２６０、３６０、４６０、５６０、６６０  ヘッド駆動装置
６１、２６１、３６１、６６１  ヘッド支持部材
６３、３６３、４６３、５６３、６６３  フラットケーブル（扁平ケーブル）
６４、３６４、４６４、５６４、６６４  支持部材側ケーブル取付部
６５、２６５、３６５、４６５、５６５、６６５  ヘッド部側ケーブル取付部
１００  部品実装装置
１０２  基板
６４１、６４１ａ、６４１ｂ、６４１ｃ、６４１ｄ  ケーブル取付面（第１取付部）
６４３  垂れ規制部
６５１、６５１ａ、６５１ｂ、６５１ｃ、６５１ｄ  ケーブル取付面（第２取付部）
【図１】
0005149942.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005149942.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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