(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送領域をクリーン環境に維持しつつ、薄板を搬送方向へ搬送するクリーン搬送システムにおいて、
前記搬送方向の上流側に開閉可能な搬入口を有し、前記搬送方向の下流側に開閉可能な搬出口を有した密閉ハウジングと、
前記密閉ハウジング内に設けられた支持フレームと、
前記支持フレームに設けられ、薄板を前記搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、
前記支持フレームに設けられ、上面に気体を噴出するノズルが形成され、気体の圧力を利用して薄板を浮上させる浮上ユニットと、
前記支持フレームにおける前記浮上ユニットの下方位置に設けられ、前記密閉ハウジング内の気体を清浄化するフィルタと、
清浄化した清浄気体を前記浮上ユニットの下方位置から前記浮上ユニット側へ向かって送風するファンと、を備え、
前記浮上ユニットは、下方向から内部に気体が流入できるように構成され、前記ノズルは、前記浮上ユニットの内部に連通してあって、
前記支持フレームだけでなく、前記搬送ユニット、前記浮上ユニット、前記フィルタ、及び前記ファンが前記密閉ハウジング内に位置するようになってあって、
前記密閉ハウジングが床面から前記支持フレーム、前記搬送ユニット、前記浮上ユニット、前記フィルタ、及び前記ファンを覆った状態で密閉するように構成されていることを特徴とするクリーン搬送システム。
【請求項２】
前記フィルタと前記ファンは、前記支持フレームに設けられ、前記密閉ハウジング内の気体を清浄化しつつ、清浄化した気体を前記浮上ユニットの下方位置から前記浮上ユニット側へ向かって送風するファン・フィルタユニットであることを特徴とする請求項１に記載のクリーン搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送領域をクリーン環境に維持しつつ、ガラス基板等の薄板を搬送方向へ搬送するクリーン搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送システムについては種々の開発がなされており、クリーン搬送システムの先行技術として特許文献１に示すものがある。そして、先行技術に係るクリーン搬送システムの構成等は、次のようになる。
【０００３】
即ち、クリーン搬送システムは、支持フレームを備えており、この支持フレームには、薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットが設けられている。また、支持フレームには、薄板を空気の圧力を利用して浮上させる複数の浮上ユニットが設けられており、各浮上ユニットの上面には、空気を噴出するノズルがそれぞれ形成されている。
【０００４】
搬送ユニットの上方には、筐体が支柱を介して設けられており、この筐体の内部には、空気を収容するチャンバーが形成されている。また、筐体の天井面には、ファン・フィルタユニットが設けられており、このファン・フィルタユニットは、チャンバー内の空気を清浄化しつつ、清浄化した空気（清浄空気）を下側へ向かって送風するものである。
【０００５】
従って、ファン・フィルタユニットによってチャンバー内の空気を清浄化しつつ、清浄空気を下側へ向かって送風する。これにより、クリーン搬送システムの搬送領域をクリーン環境にすることができる。
【０００６】
また、ファン・フィルタユニットによって清浄空気を下側へ向かって送風させた上で、各浮上ユニットのノズルから空気を噴出させつつ、搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、搬送領域をクリーン環境に維持しつつ、薄板を搬送方向へ搬送することができる。
【特許文献１】特開２００６−２４８４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、先行技術に係るクリーン搬送システムの稼働中に、ファン・フィルタユニットによって清浄空気が下側へ向かって送風されるものの、搬送領域のクリーン環境の維持に用いられた空気がクリーン搬送システムの外へ流出してしまう。また、搬送領域のクリーン環境の維持に用いられた空気は、クリーン度が十分に保証されていない。そのため、工場内において、搬送領域のクリーン環境の維持に用いられた空気の回収等を行う設備が必要になり、工場全体として設備コストが高くなるという問題がある。
【０００８】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成のクリーン搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の特徴は、搬送領域をクリーン環境に維持しつつ、薄板を搬送方向へ搬送するクリーン搬送システムにおいて、前記搬送方向の上流側に開閉可能な搬入口を有し、前記搬送方向の下流側に開閉可能な搬出口を有した密閉ハウジングと、前記密閉ハウジング内に設けられた支持フレームと、前記支持フレームに設けられ、薄板を前記搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記支持フレームに設けられ、上面に気体を噴出するノズルが形成され、気体の圧力を利用して薄板を浮上させる浮上ユニットと、前記支持フレームにおける前記浮上ユニットの下方位置に設けられ、前記密閉ハウジング内の気体を清浄化するフィルタと、清浄化した清浄気体を前記浮上ユニットの下方位置から前記浮上ユニット側へ向かって送風するファンと、を備え、前記浮上ユニットは、下方向から内部に気体が流入できるように構成され、前記ノズルは、前記浮上ユニットの内部に連通してあって、前記支持フレームだけでなく、前記搬送ユニット、前記浮上ユニット、前記フィルタ、及び前記ファンが前記密閉ハウジング内に位置するようになってあって、前記密閉ハウジングが床面から前記支持フレーム、前記搬送ユニット、前記浮上ユニット、前記フィルタ、及び前記ファンを覆った状態で密閉するように構成されていることを要旨とする。
【００１５】
なお、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、「気体」とは、空気、窒素等を含む意であって、「形成され」とは、区画形成されたことを含む意である。また、前記浮上ユニットの下方位置は、前記搬送領域の下方位置でもある。
【００１６】
本発明の特徴によると、前記フィルタによって前記密閉ハウジング内の気体を清浄化しつつ、前記ファンによって清浄気体を前記浮上ユニットの下方位置から前記浮上ユニット側へ向かって送風する。これにより、前記浮上ユニットの前記ノズルから清浄気体を噴出させると共に、前記密閉ハウジング内において清浄化気体を循環させて、前記搬送領域をクリーン環境にすることができる。
【００１７】
また、前記ファンによって清浄気体を前記浮上ユニット側へ向かって送風させた上で、前記搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、前記搬送領域をクリーン環境に維持しつつ、前記搬入口から前記密閉ハウジング内に搬入した薄板を浮上させた状態で前記搬送方向へ搬送して、前記搬出口から前記密閉ハウジングの外へ搬出することができる。
【００１８】
要するに、前記密閉ハウジング内において清浄気体を循環させているため、前記搬送領域のクリーン環境の維持に用いられた気体を前記クリーン搬送システムの外へ積極的に流出させることなく、前記クリーン搬送システムを稼働させることができる。また、前記ファンによって送風される清浄気体を、薄板の浮上と前記搬送領域のクリーン環境の維持に用いることができるため、前記クリーン搬送システムに稼働に必要な気体の流量を大幅に減らすことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、前記搬送領域のクリーン環境の維持に用いられた気体を前記クリーン搬送システムの外へ積極的に流出させることなく、前記クリーン搬送システムを稼働させることができるため、前記搬送領域のクリーン環境の維持に用いられた気体の回収等を行う設備が不要になり、工場全体としての設備コストを低減することができる。
【００２０】
また、前記クリーン搬送システムに稼働に必要な気体の流量を大幅に減らすことができるため、前記クリーン搬送システムのランニングコストをより十分に低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の実施形態について図１から図４を参照して説明する。
【００２２】
ここで、図１は、図３におけるI-I線に沿った断面図、図２は、図３におけるII-II線に沿った断面図、図３は、本発明の実施形態に係るクリーン搬送システムの側断面図、図４は、本発明の実施形態の変形例に係るクリーン搬送システムを示す断面図である。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００２３】
図１から図３に示すように、本発明の実施形態に係るクリーン搬送システム１は、搬送領域Ａをクリーン環境に維持しつつ、薄板Ｗを搬送方向（本発明の実施形態にあっては、前方向）へ搬送するシステムであって、密閉ハウジング３を備えている。また、密閉ハウジング３は、フロントパネル５、このフロントパネル５に前後に離隔したリアパネル７、フロントパネル５の左端部とリアパネル７の左端部を繋ぐレフトパネル９、フロントパネル５の右端部とリアパネル７の右端部を繋ぐライトパネル１１、４つのパネル５，７，９，１１の上端部を繋ぐ天井パネル１３等からなっている。なお、天井パネル１３は、取外し可能になっている。
【００２４】
リアパネル７には、開閉可能な搬入口１５が形成されており、換言すれば、密閉ハウジング３は、搬送方向の上流側（後側）に、搬入口１５を有している。また、リアパネル７には、搬入口１５を開閉するリアシャッター１７が上下方向へ移動可能に設けられており、このリアシャッター１７は、一対のリアシリンダ１９の駆動によって上下方向へ移動するものである。
【００２５】
フロントパネル５には、開閉可能な搬出口２１が形成されており、換言すれば、密閉ハウジング３は、搬送方向の下流側（前側）に、搬出口２１を有している。また、フロントパネル５には、搬出口２１を開閉するフロントシャッター２３が上下方向へ移動可能に設けられており、このフロントシャッター２３は、一対のフロントシリンダ２５の駆動によって上下方向へ移動するものである。
【００２６】
密閉ハウジング３内には、支持フレーム２７が設けられており、この支持フレーム２７は、前後方向へ延びている。そして、支持フレーム２７には、薄板Ｗを搬送方向へ搬送する搬送ユニット２９が設けられており、この搬送ユニット２９の具体的な構成は、次のようになる。
【００２７】
即ち、支持フレーム２７の左端部付近及び右端部付近には、薄板Ｗの端部を支持する回転可能な複数の搬送ローラ（複数の左寄りの搬送ローラ３１と複数の右寄りの搬送ローラ３１）がブラケット３３を介して前後方向に間隔を置いてそれぞれ設けられており、各搬送ローラ３１の回転軸には、ウォームホイール３５がそれぞれ一体的に設けられている。また、支持フレーム２７の左端部及び右端部には、前後方向へ延びた駆動軸３７が軸受等を介して回転可能にそれぞれ設けられており、各駆動軸３７は、外周部に、対応するウォームホイール３５に噛合した複数のウォーム３９をそれぞれ有している。そして、支持フレーム２７の前側左部及び前側右部には、対応する駆動軸３７を回転させる搬送モータ４１がそれぞれ設けられており、各搬送モータ４１の出力軸は、対応する駆動軸３７の前端部にカップリング等を介して一体的に連結されている。
【００２８】
なお、２本の駆動軸３７を２つ搬送モータ４１で回転させる代わりに、１つの搬送モータで回転させるようにしても構わない。また、複数の搬送ローラ３１及び搬送モータ４１等を備えた搬送ユニット２９の代わりに、薄板Ｗの端部を把持しかつ搬送方向へ移動可能なクランパを備えた別の搬送ユニット等を用いても構わない。
【００２９】
支持フレーム２７における複数の左寄りの搬送ローラ３１と複数の右寄りの搬送ローラ３１の間には、取付プレート４３が設けられており、この取付プレート４３には、複数の貫通穴４５が前後方向及び左右方向に間隔を置いて形成されている。そして、取付プレート４３における各貫通穴４５の周縁部には、薄板Ｗを空気の圧力を利用して浮上させる浮上ユニット４７がそれぞれ設けられており、換言すれば、支持フレーム２７における複数の左寄りの搬送ローラ３１と複数の右寄りの搬送ローラ３１の間には、複数の浮上ユニット４７が取付プレート４３を介して設けられている。また、各浮上ユニット４７は、下方向から内部（浮上ユニット４７の内部）に対応する貫通穴４５を介して空気が流入できるように構成されており、各浮上ユニット４７の上面には、空気を噴出するノズル４９がそれぞれ形成されてあって、各ノズル４９は、浮上ユニット４７の内部にそれぞれ連通してある。
【００３０】
支持フレーム２７における浮上ユニット４７の下方位置には、複数のファン・フィルタユニット５１がブラケット５３を介して前後方向に間隔を置いて設けられており、複数のファン・フィルタユニット５１は、密閉ハウジング３内の空気を清浄化しつつ、清浄空気（清浄化した空気）を浮上ユニット４７の下方位置（搬送領域Ａの下方位置）から浮上ユニット４７側（天井パネル１３側）へ向かって送風するものである。なお、支持フレーム２７における浮上ユニット４７の下方位置にファン・フィルタユニット５１が設けられる代わりに、図４に示すように、支持フレーム２７における浮上ユニット４７の下方位置に密閉ハウジング３内の空気を清浄化するフィルタ５５がブラケット５７を介して設けられ、フィルタ５５の下側に清浄空気を浮上ユニット４７の下方位置から浮上ユニット４７側へ向かって送風するファン５９が設けられるようにしても構わない。
【００３１】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３２】
複数のファン・フィルタユニット５１によって密閉ハウジング３内の空気を清浄化しつつ、清浄空気を浮上ユニット４７の下方位置から浮上ユニット４７側へ向かって送風する。これにより、複数の浮上ユニット４７のノズル４９から清浄空気を噴出させると共に、密閉ハウジング３内において清浄空気を循環させて、搬送領域Ａをクリーン環境にすることができる。
【００３３】
また、複数のファン・フィルタユニット５１によって清浄空気を浮上ユニット４７側へ向かって送風させた上で、２つの搬送モータ４１の駆動により２本の駆動軸３７を同期して回転させることにより、ウォームホイール３５とウォーム３９の噛合作用によって複数の左寄りの搬送ローラ３１及び複数の右寄りの搬送ローラ３１を一方向へ回転させる。これにより、搬送領域Ａをクリーン環境に維持しつつ、搬入口１５から密閉ハウジング３内に搬入した薄板Ｗを浮上させた状態で搬送方向へ搬送して、搬出口２１から密閉ハウジング３の外へ搬出することができる。
【００３４】
なお、薄板Ｗを密閉ハウジング３内に搬入する際には、一対のリアシリンダ１９の駆動によってリアシャッター１７を上下方向へ移動させて、可及的に短時間で搬入口１５を開閉する（開いて閉じる）と共に、薄板Ｗを密閉ハウジング３の外へ搬出する際には、一対のフロントシリンダ２５の駆動によってフロントシャッター２３を上下方向へ移動させて、可及的に短い時間で搬出口２１を開閉する。
【００３５】
要するに、密閉ハウジング３内において清浄空気を循環させているため、搬送領域Ａのクリーン環境の維持に用いられた空気をクリーン搬送システム１の外へ積極的に流出させることなく、クリーン搬送システム１を稼働させることができる。また、ファン・フィルタユニット５１によって送風される清浄空気を、薄板Ｗの浮上と搬送領域Ａのクリーン環境の維持に用いることができるため、クリーン搬送システム１に稼働に必要な空気の流量を大幅に減らすことができる。
【００３６】
よって、本発明の実施形態によれば、搬送領域Ａのクリーン環境の維持に用いられた空気をクリーン搬送システム１の外へ積極的に流出させることなく、クリーン搬送システム１を稼働させることができるため、搬送領域Ａのクリーン環境の維持に用いられた空気の回収等を行う設備が不要になり、工場全体としての設備コストを低減することができる。
【００３７】
また、クリーン搬送システム１に稼働に必要な空気の流量を大幅に減らすことができるため、クリーン搬送システム１のランニングコストをより十分に低減することができる。
【００３８】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、例えば、支持フレーム２７における複数の左寄りの搬送ローラ３１と複数の右寄りの搬送ローラ３１の間に複数の浮上ユニット４７が設けられる代わりに、薄板Ｗを支持する複数の中間搬送ローラが設けられるようにする等、その他、種々の態様で実施可能である。
【００３９】
また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】図１におけるI-I線に沿った断面図である。
【図２】図１におけるII-II線に沿った断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るクリーン搬送システムの側断面図である。
【図４】本発明の実施形態の変形例に係るクリーン搬送システムを示す断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
Ａ          搬送領域
Ｗ          薄板
１          クリーン搬送システム
３          密閉ハウジング
１５          搬入口
２１          搬出口
２７          支持フレーム
２９          搬送ユニット
４３          取付プレート
４５          貫通穴
４７          浮上ユニット
４９          ノズル
５１          ファン・フィルタユニット
５５          フィルタ
５９          ファン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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