(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも３個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、１つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも１列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を設け、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項２】
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも３個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、１つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも１列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を移動可能に設け、前記指標を移動させながら、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチェータの製造方法。
【請求項３】
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも３個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、１つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも１列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応し、かつ、前記圧電素子部材の両端に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を移動可能に設け、前記指標を移動させながら、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチェータの製造方法。
【請求項４】
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも３個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、１つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも１列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材に第１の指標を設け、この圧電素子部材とは別の部材に、複数の圧電素子部材を並べたときに隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削される位置になるように規定する第２の指標を設けて、前記第１の指標と第２の指標を合わせながら、前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の圧電アクチュエータの製造方法において、前記第２の指標が前記ベース部材に設けられていることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項６】
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも３個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、１つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも１列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材に第１の指標を設け、複数の圧電素子部材を並べたときに隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削される位置になるように移動される第２の指標を有し、前記第１の指標と第２の指標を合わせた後前記第２の指標を移動して、前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項７】
請求項４ないし６のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法において、前記圧電素子部材の第１の指標を除去する工程を有することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項８】
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも３個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、１つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも１列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記スリットの幅以下の幅を示す指標を設け、
前記指標に対し、前記圧電素子部材が並べて配置されるベース部材を移動させて、
隣り合う２つの前記圧電素子部材の間の隙間が、前記指標で規定される範囲内に入るように、
前記圧電素子部材を順次配置することで、前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項９】
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも３個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、１つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも１列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記スリットの幅以下の幅を示す第１の指標並びに前記圧電素子部材の並び方向と直交する方向の配置位置に対応する第２の指標に対し、
前記圧電素子部材が並べて配置されるベース部材を移動させて、
前記圧電素子部材の並び方向と直交する方向の位置が前記第２の指標で規定される範囲内に入り、
隣り合う２つの前記圧電素子部材の間の間隔が前記第１の指標で規定される範囲内に入るように、
前記圧電素子部材を順次配置することで、圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１０】
請求項５ないし９のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法で製造されたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項１１】
液体を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の少なくとも１つの壁面を形成する振動板と、この振動板を変形させる圧電アクチュエータとを有する液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータが請求項１０に記載の圧電アクチュエータであることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
液体吐出ヘッドから液滴を吐出する液体吐出装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項１１に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１３】
液体吐出ヘッドから液滴を吐出させて画像を形成する画像形成装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項１１に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリンタ／ファックス／コピア或いはこれらの機能を複合した画像形成装置としては、例えば、記録液（液体）の液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを含む液体吐出装置を用いて、媒体（以下「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。）を搬送しながら、液体としての記録液（以下、インクともいう。）を用紙に付着させて画像形成（記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる。）を行なうものがある。
【０００３】
なお、画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することをも意味する。また、液体とは記録液、インクに限るものではなく、画像形成を行うことができる液体であれば特に限定されるものではない。
【０００４】
液体吐出ヘッドとしては、液室内の液体であるインクを加圧する圧力を発生するための圧力発生手段（アクチュエータ手段）として圧電素子、特に圧電層と内部電極を交互に積層した積層型圧電素子を用いて、積層型圧電素子のｄ３３又はｄ３１方向の変位で液室の壁面を形成する弾性変形可能な振動板を変形させ、液室内容積／圧力を変化させて液滴を吐出させるいわゆる圧電アクチュエータを用いた圧電型ヘッドが知られている。
【０００５】
このような積層型圧電素子を用いた液体吐出ヘッドとしては、例えば、特許文献１に記載されているように、圧電層と内部電極とを交互に積層し、両端面に個別側外部電極及び共通側外部電極を形成した積層型圧電素子（駆動素子ブロック）に、一部を残して溝加工を施すことによって複数の駆動部（駆動チャンネル）と両端の非駆動部とを形成し、積層型圧電素子のｄ３１方向の変位を用いて液室内液体を加圧する圧力を与えるとともに、この積層型圧電素子の共通電極を駆動部の並び方向両端の非駆動部から取出すようにしたものがある。
【特許文献１】特開平８−１４２３２５号公報
【０００６】
また、積層型圧電素子のｄ３３方向の変位を用いているものとしては、特許文献２に記載されているように、ベース上に接合した圧電素子に溝加工することによってノズルが連通する各液室に対応する圧電素子を形成したものがある。
【特許文献２】特開２００３−２５０２８１号公報
【０００７】
さらに、ライン型インクジェットヘッドとして、特許文献３に記載されているように、１枚の連続したノズルプレート上に複数個のノズル開口部を配列し、圧電素子は複数のバルク状圧電体を加工してノズル開口部に対応するように配置されており、隣接するバルク状圧電体の境目は加工領域であるヘッドが知られている。
【特許文献３】特許第３１５６４１１号公報
【０００８】
また、特許文献４に記載されているように、複数の液体吐出ヘッドをつなぎ合わせたものもある。
【特許文献４】特開２０００−３５１２１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
近年、画像形成装置としての例えばインクジェット記録装置には高速印字が求められている。そのため、滴吐出周波数を高くする、ノズル数を多くするといった手段があるが、滴吐出周波数を高くすると、それに伴いキャリッジを高速で動かさなければならず、強力なモータを精度よく制御する、高周波で安定して滴吐出をおこなうといった性能に対して、コストが増大する課題がある。
【００１０】
そこで、ヘッドを長くしてノズル数を増やす長尺ヘッド化が検討される。しかしながら、特許文献１や特許文献２に記載の圧電アクチュエータを用いたヘッド構成において、ヘッド全体を長くするには、各部品を長くする必要がある。特に、ＰＺＴに代表される圧電素子は非常に細長い部品であるので、さらに長くすることは、圧電素子の製造工程上あるいはハンドリングの面で非常に困難なものとなるという課題がある。
【００１１】
また、特許文献３に記載のヘッドはライン化を図ったものであるが、バルク状圧電体を分割して圧電素子を形成するために、圧電素子の倒れ、チッピング（欠け）などが生じやすく、歩留まりが悪くなってコストが高くなるという課題がある。
【００１２】
また、特許文献４に記載のヘッドのように、液体吐出ヘッドを複数つなぐと、ライン型ヘッドのサイズが大型化してしまうことになり、更にそれに伴って装置自体のサイズの大型化は避けられないという課題がある。
【００１３】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、低コストで長尺化が可能な圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータの製造方法、この圧電アクチュエータを備える液体吐出ヘッド、この液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置、画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る圧電アクチュエータは、
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも３個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、１つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも１列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を設け、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
構成とした。
【００１６】
本発明に係る圧電アクチュエータは、
複数の圧電素子がスリットで分けられて形成された少なくとも３個以上の圧電素子部材が、１つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも１列に並べて接合配置され、
前記３個以上の圧電素子部材のうち、両側の圧電素子部材を除く圧電素子部材のうちの少なくとも１つの圧電素子部材の両端部が削られ、
前記削られた部分は前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達していない
構成とした。
【００１７】
本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法は、
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも３個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、１つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも１列に並べて接合配置した後、前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しないスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する構成とした。
【００２６】
本発明に係る圧電アクチュエータは、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法によって製造されたものである。
【００２７】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、本発明に係る圧電アクチュエータを備えているものである。
【００２８】
本発明に係る液体吐出装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。
【００２９】
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。
【発明の効果】
【００３２】
本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法によれば、低コストで長尺の圧電アクチュエータを得ることができる。
【００３３】
本発明に係る圧電アクチュエータによれば、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法によって製造されたものであるので、低コストで長尺化を図れる。
【００３４】
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、本発明に係る圧電アクチュエータを備えているので、長尺化した液体吐出ヘッドを低コストで得られる。
【００３５】
本発明に係る液体吐出装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、低コスト化を図れる。
【００３６】
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、低コストで高速記録化を図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明に係る圧電アクチュエータを備えた液体吐出ヘッドの第１実施形態について図１ないし図４を参照して説明する。なお、図１は同液体吐出ヘッドの側面説明図、図２は同じく平面説明図、図３は図２のＡ−Ａ線に沿う液室長手方向の断面説明図、図４は同じく液室短手方向の要部断面説明図である。
【００３８】
この液体吐出ヘッドＨは、ＳＵＳ基板で形成した流路基板（液室基板）１と、この流路基板１の下面に接合した振動板２と、流路基板１の上面に接合したノズル板３とを有し、これらによってインク滴を吐出するノズル５が連通する液室（圧力室、加圧室、加圧液室などとも称する。）６、加圧液室６に液体であるインク（記録液）を供給する供給路を兼ねた流体抵抗部７、後述する共通液室の圧力変動を抑制するためのバッファ室８を形成している。
【００３９】
ここで、流路基板１は、リストリクタプレート１Ａとチャンバーブレート１Ｂとを接着して構成している。この流路基板１は、ＳＵＳ基板を酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜きなどの機械加工することで、各加圧液室６、流体抵抗部７、バッファ室８などの開口をそれぞれ形成している。なお、流体抵抗部７は、リストリクタプレート１Ａの部分を開口し、チャンバーブレート１Ｂの部分を開口しないことで形成している。
【００４０】
振動板２は、流路基板１を構成するチャンバーブレート１Ｂに接着接合している。この振動板２は、例えば、ポリイミドなどの樹脂部材１１ＡにＳＵＳ基板から形成した凸部１１Ｂを接合して形成している。この他、例えば、ニッケルの金属プレートから形成したものなどを用いることもできる。
【００４１】
ノズル板３は、各加圧液室６に対応して直径１０〜３０μｍのノズル５を形成し、流路基板１のリストリクタプレート１Ａに接着剤接合している。このノズル板３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
【００４２】
そして、振動板２の面外側（加圧液室６と反対面側）に各加圧液室６に対応して圧力発生手段を構成する積層型圧電素子１２ａをそれぞれ接合し、これらの積層型圧電素子１２ａを形成する圧電素子部材１２をベース部材１３に接合している。これらの圧電素子部材１２とベース部材１３とによって可動部分である振動板２を変形させる本発明に係る圧電アクチュエータ２０を構成している。
【００４３】
このヘッドでは、これら複数の圧電素子１２ａ（１つを個別圧電素子１２ａともいう。）を溝加工（スリット加工）によって分断することなく形成した複数の圧電素子部材１２を、３個以上、圧電素子１２ａの並び方向（圧電素子部材１２の長手方向）に沿って隙間３１を置いてベース部材１３上に固定配置している。
【００４４】
この場合、後述するように、複数の圧電素子部材１２を振動板２との接合面との反対側の面をベース部材（基台）１３上に接着剤で接合して固定した後、溝加工によって溝３０を形成することで複数の圧電素子１２ａを形成する。また、圧電素子部材１２の一端面には各圧電素子１２ａに駆動波形を与えるためのＦＰＣケーブル１４を接続している。
【００４５】
なお、圧電素子１２ａの圧電方向としてｄ３３方向の変位を用いて加圧液室６内インクを加圧する構成とすることも、圧電素子１２ａの圧電方向としてｄ３１方向の変位を用いて加圧液室６内インクを加圧する構成とすることもできる。本実施形態ではｄ３３方向の変位を用いた構成をとっている。
【００４６】
ベース部材１３は金属材料で形成することが好ましい。ベース部材１３の材質（材料）が金属であれば、圧電素子１２ａ（圧電素子部材１２）の自己発熱による蓄熱を防止することができる。圧電素子部材１２とベース部材１３は接着剤により接着接合しているが、チャンネル数が増えると、圧電素子１２ａの自己発熱により１００℃近くまで温度が上昇し、接合強度が著しく低下することになる。また、自己発熱によりヘッド内部の温度上昇が発生し、インク温度が上昇するが、インクの温度が上昇すると、インク粘度が低下し、噴射特性に大きな影響を与える。したがって、ベース部材１３を金属材料で形成して圧電素子１２ａの自己発熱による蓄熱を防止することで、これらの接合強度の低下、インク粘度の低下による噴射特性の劣化を防止することができる
【００４７】
さらに、ベース部材１３の線膨張係数が大きいと、高温または低温でベース部材１３と圧電素子部材１２の接合界面で接着剤の剥離が発生することがある。すなわち、従前は圧電素子の全長が長くなかったため、環境変動による温度差で圧電素子とベース部材１３が剥離するという問題はほとんどなかったが、３００ｄｐｉで約４００ノズル程度を有する全体で３０〜４０ｍｍ以上の長さの圧電素子を用いることでこの問題が顕在化するようになった。
【００４８】
したがって、ベース部材１３の材料としては線膨張係数が１０Ｅ−６／℃以下の材質を用いることが好ましく、この線膨張係数の範囲にすることにより、環境変動による温度差で、圧電素子部材との接合界面が剥離することを防止できる。特に、圧電素子部材１２に接着接合される部品の線膨張係数を全て１０Ｅ−６／℃以下にすると、接合界面の剥離に対し、非常に効果的であることが確認された。
【００４９】
また、ＦＰＣケーブル１４には各チャンネル（各加圧液室６に対応する）を駆動する駆動波形（電気信号）を印加するための図示しないドライバＩＣを複数搭載している。このように、ＦＰＣケーブル１４に複数のドライバＩＣを搭載することにより、各ドライバＩＣ毎に電気信号を設定することができ、圧電素子１２ａの各駆動チャンネルの変位特性のばらつきを容易に補正することができるようになる。
【００５０】
さらに、振動板２の周囲にはフレーム部材１７を接着剤で接合している。そして、このフレーム部材１７には、ドライバＩＣと少なくともベース部材１３を挟んで反対側に配置されるように、加圧液室６に外部からインクを供給するための共通液室１８を形成している。この共通液室１８は、振動板２の貫通穴９を介して流体抵抗部７及び加圧液室６に連通している。
【００５１】
この液体吐出ヘッドにおける圧電アクチュエータ２０は、前述したように複数の圧電素子１２ａがスリット（溝）３０で分けられて形成された３個以上の圧電素子部材１２が少なくとも１列（このヘッドでは２列）に並べて配置され、これら３個以上の圧電素子部材１２のうち、両側の圧電素子部材１２を除き、隣り合う圧電素子部材１２の両端部にはスリット３０の少なくとも一部が形成されている。つまり、図４に示すように、両端の圧電素子部材１２以外の圧電素子部材１２の両端部分にはスリット加工によって切り込み部３２が形成されている。
【００５２】
このように、３個以上の圧電素子部材を並べて、両端の圧電素子部材以外の圧電素子部材の両端部分はスリットの少なくとも一部を形成するように、並べて配置し、スリット加工によって複数の個別圧電素子を形成することにより、圧電素子間の位置ずれを小さくでき、また、溝加工した壊れやすい積層型圧電素子を単体でハンドリングすることもなく、低コストで容易に長尺の圧電アクチュエータを得ることができる。
【００５３】
また、このように、複数の圧電素子がスリットで分けられて形成された少なくとも３個以上の圧電素子部材が少なくとも１列に並べて配置され、これら３個以上の圧電素子部材のうち、両側の圧電素子部材を除く圧電素子部材のうちの少なくとも１つの圧電素子部材の両端部が削られている構成とすることで、低コストで長尺化を図ることができる。
【００５４】
この場合、すべての圧電素子部材１２は隣り合う圧電素子部材１２との間に隙間３２を空けて並べて配置することにより、圧電素子部材の熱膨張を吸収することができる。
【００５５】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、圧電素子１２ａに対して選択的に２０〜５０Ｖの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された圧電素子１２ａが積層方向に伸びて振動板２をノズル５方向に変形させ、加圧液室６の容積／体積変化によって加圧液室６内の記録液が加圧され、ノズル５から液滴が吐出（噴射）される。
【００５６】
そして、液滴の吐出に伴って加圧液室６内の液圧力が低下し、このときの液体の流れの慣性によって加圧液室６内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電素子１２ａへの電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板２が元の位置に戻って加圧液室６が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、共通液室１８、流体抵抗部（インク供給路）７を経て加圧液室６内にインクが充填される。そこで、ノズル５のインクメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の滴吐出のために圧電素子１２ａにパルス電圧を印加し、液滴を吐出させる。
【００５７】
なお、ここでは、押し打ちで液滴を吐出させる方式で説明しているが、引き打ち（圧電素子に中間電位を印加した状態から電位を立ち下げた後、電位を中間電位に立ち上げる。）や、引き−押し打ち（圧電素子に中間電位を印加した状態から電位を立ち下げた後、電位を中間電位よりも高い電位まで立ち上げる。）で液滴を吐出させる方式とすることもでき、これらは駆動波形によって設定することができる。
【００５８】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第１実施形態について図５を参照して説明する。なお、図５は同実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。
長尺のベース部材１３上に３個以上の圧電素子部材１２を並べて配置して圧電アクチェータを構成する。圧電素子部材１２を並べた後に溝（スリット）加工を施してスリットを形成することにより、複数の圧電素子１２ａを形成するが、複数の圧電素子１２ａを等間隔で形成するためには、個々の圧電素子部材１２のつなぎ目が問題になる。つまり、スリットの幅内につなぎ目が位置しなければならない。このつなぎ目を正確に位置決めすることによって、長尺圧電アクチェータの製造が可能になる。
【００５９】
そこで、本発明においては、まず、予め高精度に長さを設定した圧電素子部材１２を使用する。圧電素子部材１２の長さはつなぎ合わせたときに、つなぎ目部分にスリット（溝）が位置するようにしている。
【００６０】
具体的には、例えば、１個の圧電素子部材１２に溝（スリット）３０をｎ個（凸部である圧電素子１２ａはｎ＋１個）切る場合、圧電素子部材１２に対する溝加工の幅（スリットの幅）をＢ、凸部の幅（圧電素子１２ａの幅）をＣとすると、圧電素子部材１２の長さＰＷは、（Ｂ＋Ｃ）・（ｎ＋１）≧ＰＷ＞Ｂ×Ｎ＋Ｃ（ｎ＋１）とし、長さの精度は±５μｍ以下としている。
【００６１】
また、ベース部材１３に圧電素子部材１２を配列するときに、圧電素子部材１２が隣り合う位置に対応してスリット３０の幅を示す指標５０を設け、隣り合う圧電素子部材１２の端を指標５０の幅内に位置させて圧電素子部材１２を並べるようにしている。この指標５０は、ベース部材１３自体に設けても良いし、或いは、ベース部材１３の近傍に別部材で設けても良い。また、指標５０は、ダイシングなどによる溝、塗布マーク、フォトリソを用いたレジストなどで形成することができる。
【００６２】
ここでの指標５０は、コの字の開口が上（圧電素子部材１２側）を向いたもので、指標５０の幅（コの字の開口幅）Ｍは、スリット３０の幅（溝加工幅）Ｂ以下（Ｍ≦Ｂ）としている。そして、各指標５０の圧電素子部材１２の配列方向の中心同士のピッチ（コの字の開口幅Ｍの中心同士のピッチ）が、（Ｂ＋Ｃ）・（ｎ＋１）になるように設定している。
【００６３】
これにより、圧電素子部材１２の両端が指標５０内（コの字の線内）に位置するように並べるだけで、各圧電素子部材１２の端部が、スリット加工を施すときにスリットが形成される位置に配置される。
【００６４】
なお、ベース部材１３と圧電素子部材１２との接合は、例えばベース部材１３の接合面に嫌気性接着剤を塗布しておき、圧電素子部材１２を加圧することによって接着するようになっている。接着剤の種類は、ＵＶ硬化接着効果剤を混ぜても良いし、種々の種類を選択することができる。また、指標５０の形成は、精密機械加工技術、精密度フォト印刷技術、エッチング技術等の応用で可能である。また、指標５０の形状は図示した形状に限定されるものでもない。
【００６５】
次に、溝加工（スリット加工）の方法について図６ないし図９を参照して説明する。
先ず、１番目のスリットを形成するまでの工程について図６及び図７を参照して説明する。なお、図６は同工程の説明に供する上面説明図、図７は同じく側面説明図である。
ここでは加工機としてダイシング加工機を用いた例で説明する。このダイシング加工機は、回転刃７０を回転軸７１で回転させながらワークを研削する。
【００６６】
図６（ａ）に示すように、ベース部材１３上に上述したようにして４個の圧電素子部材１２を２列分配列接着した部材（これを、ワークＷという。）を、図示しないテーブルに、回転軸７１と平行になるように所定位置で固定する。そして、回転刃７０を圧電素子部材１２のつなぎ目で溝ができるピッチの第一番目の溝位置に設定する。
【００６７】
この状態から、図６（ｂ）に示すように、テープル若しくは回転軸７１を相対的に移動させることで、回転刃７０がワークＷを通過するように矢印Ｅの方向に移動させる。なお、相対的に移動するとは、テーブルを移動させても良いし、回転軸を移動させても良い、両方を移動させても良いということである。
【００６８】
これによって、図６（ｃ）及び図７に示すように、ワークＷの圧電素子部材１２には１番目（一つ目）の溝３０が形成される。このとき、溝３０の深さは、ワークＷに対する回転軸７１と回転刃７０を正確に位置決めすることで、所定の深さで研削できる。回転刃７０の厚さをＡとしたとき、溝３０の幅Ｂ＝Ａ±αとなる。αは研削条件により異なり、予め条件出しをしておく必要がある。
【００６９】
次に、２番目のスリットを形成するまでの工程について図８及び図９を参照して説明する。なお、図８は同工程の説明に供する上面説明図、図９は同じく側面説明図である。また、図８は図６と対比できるように右から左への順で図示している。
図８（ａ）に示すように、図６（ｃ）に示すように回転刃７０が通過した状態から、テープル若しくは回転刃７０を相対的に矢印Ｆ方向に距離Ｌだけ移動させる。この距離Ｌは、溝３０の幅Ｂと凸部（圧電素子１２ａ）の幅Ｃの和、すなわち、Ｌ＝Ｂ＋Ｃである。
【００７０】
この状態から、図８（ｂ）に示すように、テーブル若しくは回転軸７１を相対的にワークＷを通過するように矢印Ｇの方向（図６（ｂ）の矢印Ｅと逆方向）に移動させる。これにより、図８（ｃ）及び図９に示すように、圧電素子部材１２には２番目の溝３０が形成される。
【００７１】
このステップを繰り返して、相対的に回転刃７０をワークＷの長手方向（圧電素子部材１２の配列方向）と直角をなす方向に対し往復運動させながら、相対的に回転刃７０をワークＷの長手方向に移動させて、図１０に示すように、すべての圧電素子部材１２に対してすべての溝３０を形成する。このとき、圧電素子部材１２の端部は溝加工が施される位置に合わせて配列されているので、圧電素子部材１２のつなぎ目部分では、必ず、溝３０が形成される。
【００７２】
このように、ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも３個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工（溝加工）で切削されるように、少なくとも１列に並べて固定配置した後、各圧電素子部材にスリット加工を施して複数の圧電素子を形成することによって、圧電素子部材のつなぎ目部分に必ずスリットを形成することができ、複数の圧電素子部材を並べた長尺の圧電アクチュエータを容易に得ることができる。
【００７３】
この場合、圧電素子部材が隣り合う位置に対応してスリットの幅を示す指標を設け、隣り合う圧電素子部材の端を指標の幅内に位置させて圧電素子部材を並べることによって、容易、かつ、確実に、隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工（溝加工）で切削されるように並べることができる。
【００７４】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第２実施形態について図１１を参照して説明する。なお、図１１は長尺圧電アクチェータの側面説明図である。
ここでは、ベース部材１３に圧電素子部材１２を配列するときに移動させる、圧電素子部材１２が隣り合う位置に対応してスリット３０の幅を示す２つの指標５０、５０を設けた移動体６０を備えている。
【００７５】
これら２つの指標５０、５０の間隔は、コの字の開口幅の中心同士のピッチ（指標５０の圧電素子部材に配列方向の幅の中心同士のピッチ）が、前述した、（Ｂ＋Ｃ）・（ｎ＋１）になるように設定している。また、移動体６０は、ベース部材１３近傍で圧電素子部材１２の配列方向に移動可能としている。この移動体６０は、正確には、（Ｂ＋Ｃ）・（ｎ＋１）の移動量で移動する。この移動体６０としては、例えば、移動量を最低１μｍで測定できる市販のステージを利用しても良い。
【００７６】
そこで、移動体６０を（Ｂ＋Ｃ）・（ｎ＋１）の移動量で移動させる毎に、圧電素子部材１２を指標５０、５０に合わせて配置する。図１１の例では、左側から１番目、２番目の２つの圧電素子部材１２（１２（Ａ１）、１２（Ａ２）と表記）を順次並べた後、移動体６０を３番目の圧電素子部材１２を並べる位置に移動させた状態であり、３番目の圧電素子部材１２（１２（Ａ３）と表記）を並べた後、移動体６０を移動させて４番目、５番目の圧電素子部材１２（１２（Ａ４）、１２（Ａ５）と表記）を並べる。
【００７７】
このように、圧電素子部材が隣り合う位置に対応してスリットの幅を示す指標を移動可能に設け、指標を移動させながら、隣り合う圧電素子部材の端を指標の幅内に位置させて圧電素子部材を並べることにより、容易、かつ、確実に、隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工（溝加工）で切削されるように並べることができる。
【００７８】
また、圧電素子部材が隣り合う位置に対応し、かつ、圧電素子部材の両端に対応してスリットの幅を示す指標を移動可能に設け、指標を移動させながら、隣り合う圧電素子部材の端を指標の幅内に位置させて圧電素子部材を並べることで、容易、かつ、確実に、隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工（溝加工）で切削されるように並べることができる。
【００７９】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第３実施形態について図１２を参照して説明する。なお、図１２は長尺圧電アクチェータの側面説明図である。
ここでは、ベース部材１３に圧電素子部材１２を配列するときに移動させる、スリット３０の幅を示す１つの指標５１を設けた移動体６１を備えている。
【００８０】
この場合、移動体６１を、正確に、（Ｂ＋Ｃ）・（ｎ＋１）移動させて、圧電素子部材１２のつなぎ目の位置合わせを行いながら、圧電素子部材１２（Ａ１ないしＡ５）を順次配置する。
【００８１】
このとき、一度に圧電素子部材１２の両端で位置合わせを行うわけではないため、移動体６０の移動量制御は前記第２実施形態の場合よりも、より正確な位置合わせが必要になる。そのため、指標５１の幅（コの字の幅）は、溝３０の幅Ｂに対して狭く設定する。コの字の幅は、溝３０の幅Ｂに対して概略１／２であれば良い。
【００８２】
この実施形態によれば、一箇所での位置合わせで良いため、自動化にした場合、制御が簡単になる。
【００８３】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第４実施形態について図１３を参照して説明する。なお、図１３は長尺圧電アクチェータの側面説明図である。
ここでは、圧電素子部材１２の中央部（真中という意味ではない）に第１の指標５５を設け、この圧電素子部材１２の第１の指標５５とベース部材１３若しくはベース部材１３の近傍に設けた第２の指標５６とを合わせながら、圧電素子部材１２を配列する。
【００８４】
つまり、圧電素子部材１２の所定の位置には線状の第１の指標５５を設けている。この第１の指標５５は、精密機械加工技術、精密度フォト印刷技術等の応用で形成することができる。ベース部材１３に設けた第２の指標５６は、長い線５６ａの両側に許容範囲の短い線５６ｂ、５６ｂで構成されている。なお、第２の指標５６の長い線５６ａ同士のピッチは、前述した指標５０と同様に、（Ｂ＋Ｃ）・（ｎ＋１）とする。また、第２の指標５６は、ベース部材１３に直接設ける必要はなく、他の部材に設けて、圧電素子部材１２を配置するときにベース部材１３の近傍に配置するようにすることもできる。
【００８５】
そして、圧電素子部材１２の第１の指標５５をなるべく第２の指標５６の長い線５６ａと合わせ、かつ、短い線５６ｂの間になるよう圧電素子部材１２をベース部材１３上に配置する。
【００８６】
このように、圧電素子部材に第１の指標を設け、この圧電素子部材とは別の部材に、複数の圧電素子部材を並べたときに隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工で切削される位置になるように規定する第２の指標を設けて、第１の指標と第２の指標を合わせながら、圧電素子部材を並べることで、容易、かつ、確実に、隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工（溝加工）で切削されるように並べることができる。
【００８７】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第５実施形態について図１４を参照して説明する。なお、図１４は長尺圧電アクチェータの側面説明図である。
ここでは、上記第４実施形態の第２の指標５６をベース部材１３に沿って移動可能な移動体６６に設けている。この移動体６６を、正確に、（Ｂ＋Ｃ）・（ｎ＋１）移動させて、圧電素子部材１２（Ａ１ないしＡ５）を順次配置することによって、圧電素子部材１２のつなぎ目がスリット溝が形成される位置に位置合わせすることができる。
【００８８】
次に、上記第４、第５実施形態のように圧電素子部材の中央部（真中という意味ではない）に第１の指標を設けると共に圧電素子部材の長さを所定の長さに加工する方法について図１５を参照して説明する。
ここでは、前述した回転軸７１で回転される回転刃７０を備えるダイシング加工機を用いる場合で説明する。
【００８９】
図１５（ａ）に示すように、圧電素子部材１２を図示しないテーブルに回転軸７１と平行になるように所定位置で固定する。このとき、回転刃７０の先端の高さ（紙面方向の刃の下面位置）は圧電素子部材１２の厚さ（紙面方向）より下に設定している。
【００９０】
そして、テーブルと回転軸７１とを相対的に移動させて、図１５（ｂ）に示すように、回転刃７０が圧電素子部材１２を通過するように矢示Ｅ方向に移動させ、図１５（ｃ）に示すように、圧電素子部材１２の一端部を切り落とす。
【００９１】
次いで、図１５（ｄ）に示すように、テーブル又は回転刃７０を相対的に矢印Ｆ方向に所定量だけ移動させ、さらに、回転刃７０の高さを圧電素子部材１２の上面方向に移動させる。この高さ方向の移動は、回転刃７０が僅かに圧電素子部材１２の上面に食い込む程度の高さに設定する。
【００９２】
この状態から、テーブルと回転軸７１とを相対的に移動させて、図１５（ｅ）に示すように、回転刃７０が圧電素子部材１２を通過するように矢示Ｆ方向に移動させ、図１５（ｆ）に示すように、圧電素子部材１２の所定位置に溝からなる第１の指標５５を形成する。
【００９３】
さらに、図１５（ｇ）に示すように、テーブル又は回転刃７０を相対的に矢印Ｆ方向に所定量だけ移動させる（図１５（ａ）の位置から距離（Ｂ＋Ｃ）・（ｎ＋１）移動する移動量）。そして、回転刃７０の高さを図１５（ａ）と同じ高さに戻す。
【００９４】
この状態から、テーブルと回転軸７１とを相対的に移動させて、図１５（ｈ）に示すように、回転刃７０が圧電素子部材１２を通過するように矢示Ｅ方向に移動させ、図１５（ｉ）に示すように、圧電素子部材１２の他端部を切り落とす。
【００９５】
このようにして、同一加工で高精度に圧電素子部材１２の長さを規定することができるとともに、第１の指標５５を形成できる。なお、圧電素子部材１２の第１の指標５５が必要ない場合は、指標５５を形成するステップを省略すれば良い。
【００９６】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第６実施形態について図１６及び図１７を参照して説明する。なお、各図は長尺圧電アクチェータの側面説明図である。
ここでは、圧電素子部材１２の所定の位置には線状の第１の指標５５を設けている。一方、ベース部材１３の近傍には、第２の指標５６を設けたスケール６４を配置している。第２の指標５６は、長い線５６ａの両側に許容範囲の短い線５６ｂ、５６ｂで構成されている。なお、第２の指標５６の長い線５６ａ同士のピッチは、前述した指標５０と同様に、（Ｂ＋Ｃ）・（ｎ＋１）とする。
【００９７】
そして、ここでも、圧電素子部材１２の第１の指標５５をなるべく第２の指標５６の長い線５６ａと合わせ、かつ、短い線５６ｂの間になるよう圧電素子部材１２をベース部材１３上に配置する。
【００９８】
このようにしてベース部材１３上に複数の圧電素子部材１２を接合配置した後、図１７に線Ｊ−Ｊで示すように、第１の指標５５よりも下側のカットラインまで、圧電素子部材１２の上面部分を研削する。これによって、第１の指標５５は取り除かれる。
【００９９】
つまり、圧電素子部材１２をベース部材１３上に接着固定した場合、圧電素子部材１２のベース部材１３との接着面と対向する面は、各面同士が、接着剤の厚さの影響や圧電素子部材１２自体の厚さの精度により、必ずしも平面度が出ているとは言いがたい。この圧電アクチュエータの圧電素子１２ａの変位を利用する場合、各圧電素子１２ａの平面度が必要になるため、圧電素子部材１２の上面を平面研削する。この平面研削時に第１の指標５５の高さ分だけ平面研削を行うことによって、圧電素子部材１２の第１の指標５５も取り除くことができる。特に、圧電素子部材１２の上面に対して溝を形成することで側面に現れる第１の指標５５を設けた場合は、特別な除去ステップを必要としないで第１の指標を除去することができる。
【０１００】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第７実施形態について図１８を参照して説明する。なお、図１８は同実施形態の説明に供する説明図である。
ここでは、圧電素子部材１２を載置固定するベース部材１３は、載置物をＸ−Ｙ方向に高精度に移動可能なステージ７２に載置される。一方、ベース部材１３上に圧電素子部材１２を並べるときに隣り合う圧電素子部材１２の間隔に対応する指標７０がステージ７２上のベース部材１３などを撮像するカメラなどの撮像手段の撮像面７１に設けられる。
【０１０１】
そして、ベース部材１３上に１つの圧電素子部材１２を載置した後、ステージ７２を矢示方向に移動させてベース部材１３に移動させ、当該圧電素子部材１２の端部を撮像手段で撮像しながら撮像面７１の指標７０内に位置させた状態で、隣り合う次の圧電素子部材１２をベース部材１３上に固定し、更にステージ７２を矢示方向に移動させてベース部材１３に移動させ、次の圧電素子部材１２の端部を撮像手段で撮像しながら撮像面７１の指標７０内に位置させた状態で、更に次の圧電素子部材１２をベース部材１３に固定することを繰り返して、ベース部材１３上に圧電素子部材１２を並べて固定配置する。
【０１０２】
これにより、圧電素子部材１２の両端が指標７０内に位置するように並べるだけで、各圧電素子部材１２の端部が、スリット加工を施すときにスリットが形成される位置に配置される。
【０１０３】
このように、隣り合う圧電素子部材の間隔に対応する指標に対し、圧電素子部材を並べて配置するベース部材を移動させて、圧電素子部材を指標で規定される範囲内に順次配置することで圧電素子部材を並べる構成とすることで、簡単な構成で圧電素子部材を端部がスリット加工を施すときにスリットが形成される位置に配置されるようにベース部材上に並べることができる。
【０１０４】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第８実施形態について図１９を参照して説明する。なお、図１９は同実施形態の説明に供する平面説明図である。
ここでは、上記第７実施形態における撮像面７１に、隣り合う圧電素子部材１２の間隔に対応し、かつ、圧電素子部材１２の並び方向の配置位置に対応するする指標８０ａと、圧電素子部材１２の並び方向と直交する方向の配置位置に対応する指標８０ｂとで構成される指標８０を、圧電素子部材１２の配置位置に対応して２箇所に設けている。
【０１０５】
そして、図１９に示すように、圧電素子部材１２を並び方向の両端部が２つの指標８０、８０の指標８０ａ、８０ａ内に入り、かつ、並び方向と直交する方向の両端部が指標８０ｂ、８０ｂ内に入るようにベース部材１３上に固定し、この状態からベース部材１３を高精度に移動させて、固定済みの圧電素子部材１２の端部が一方の指標８０の指標８０ａ、８０ｂ内に入る状態にした後、次の圧電素子部材１２を並び方向の両端部が２つの指標８０、８０の指標８０ａ、８０ａ内に入り、かつ、並び方向と直交する方向の両端部が指標８０ｂ、８０ｂ内に入るようにベース部材１３上に固定することを繰り返して、ベース部材１３上の複数の圧電素子部材１２を並べて固定配置する。
【０１０６】
このとき、隣り合う圧電素子部材１２、１２間は指標８０ａによってスリット加工を施すときにスリットが形成される位置に配置されるとともに、圧電素子部材１２の並び方向と直交する方向は指標８０ｂによって規定される位置に配置されて、圧電素子部材１２の並び方向と直交する方向も高精度に位置決めしながら、ベース部材１３上に固定配置することができる。
【０１０７】
このように、隣り合う圧電素子部材の間隔に対応する指標並びに圧電素子部材の並び方向及び並び方向と直交する方向の配置位置に対応する指標に対し、圧電素子部材を並べて配置するベース部材を移動させて、圧電素子部材を指標で規定される範囲内に順次配置することで圧電素子部材を並べることで、複数の圧電素子部材を端部がスリット内に位置する状態で並び方向と直交する方向を含めて高精度にベース部材上の固定配置することができる。
【０１０８】
なお、上記実施形態で説明した指標の形状は上記形状に限定されるものではなく、位置合わせできる形状であれば良い。また、カメラなどの撮像手段でベース部材及び圧電素子部材を画像で取り込み、画像内に指標を設けることも、ディスプレイで指標を表示することもでき、必ずしも、ベース部材や別部材に指標を設ける場合に限定されるものではない。さらに、カメラ等で画像を取り込んで、圧電素子部材の両端エッジ部を検出し、指標を直接表示せずに、数値で判定する場合も「指標を有する」ことに含まれる。
【０１０９】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る液体吐出装置を含む画像形成装置の一例について図２０を参照して説明する。なお、図２０は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図である。
この画像形成装置は、媒体の印字領域幅以上の長さのノズル列（ノズル５を並べたもの）を有するフルライン型ヘッドからなる記録ヘッドを搭載したライン型画像形成装置である。
【０１１０】
この画像形成装置は、例えばブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の各色の液滴を吐出する、フルライン型の４個の本発明に係る液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッド１０１ｋ、１０１ｃ、１０１ｍ、１０１ｙ（色を区別しないときには「記録ヘッド１０１）という。）を備え、各記録ヘッド１０１はノズル５を形成した面を下方に向けて図示しないヘッドホルダに装着している。また、各記録ヘッド１０１に対応してヘッドの性能を維持回復するための維持回復機構１０２を備え、パージ処理、ワイピング処理などのヘッドの性能維持動作時には、記録ヘッド１０１と維持回復機構１０２とを相対的に移動させて、記録ヘッド１０１のノズル面に維持回復機構１０２を構成するキャッピング部材などを対向させる。
【０１１１】
なお、ここでは、記録ヘッド１０１は、用紙搬送方向上流側から、ブラック、シアン、マゼンダ、イエローの順に各色の液滴を吐出する配置としているが、配置及び色数はこれに限るものではない。また、ライン型ヘッドとしては、各色の液滴を吐出する複数のノズル列を所定間隔で設けた１又は複数のヘッドを用いることもできるし、ヘッドとこのヘッドに記録液を供給する記録液カートリッジを一体とすることも別体とすることもできる。
【０１１２】
給紙トレイ１０３は、用紙１０４を載置する底板１０５と、用紙１０４を給送するための給紙コロ（半月コロ）１０６を備えている。底板１０５はベース１０８に取り付けられた回転軸１０９を中心に回転可能であって、加圧ばね１１０によって給紙コロ１０６側に付勢されている。なお、給紙コロ１０６に対向して、用紙１０４の重送を防止するため、人工皮、コルク材等の摩擦係数の大きい材質からなる図示しない分離パッドが設けられている。また、底板１０５と給紙コロ１０６の当接を解除する図示しないリリースカムが設けられている。
【０１１３】
そして、この給紙トレイ１０３から給紙された用紙１０４を搬送ローラ１１２とピンチローラ１１３との間に送り込むために用紙１０４を案内するガイド部材１１０、１１１を設けている。
【０１１４】
搬送ローラ１１２は、図示しない駆動源によって回転されて、送り込まれる用紙１０４を記録ヘッド１０１に対向して配置したプラテン１１５に向けて搬送する。プラテン１１５は、記録ヘッド１０１と用紙１０４とのギャップを維持することができるものであれば、剛体構造体でもよいし、搬送ベルトなどを用いることもできる。
【０１１５】
プラテン１１５の下流側には、画像が形成された用紙１０４を排紙するための排紙ローラ１１６及びこれに対向する拍車１１７を配置し、排紙ローラ１１６によって画像が形成された用紙１０４を排紙トレイ１１８に排紙する。
【０１１６】
また、排紙トレイ１１８と反対側には、用紙１０４を手差し給紙するための手差しトレイ１２１と、手差しトレイ１２１に載置された用紙１０４を給紙する給紙コロ１２２を配置している。この手差しトレイ１２１から給紙される用紙１０４はガイド部材１１１に案内されて搬送ローラ１１２とピンチローラ１１３との間に送り込まれる。
【０１１７】
この画像形成装置においては、待機状態では、リリースカムが給紙トレイ１０３底板１０５を所定位置まで押し下げ、底板１０５と給紙コロ１０６との当接を解除している。そして、この状態で、搬送ローラ１１２が回転されることによって、この回転駆動力が図示しないギア等により給紙コロ１０６及び図示しないリリースカムに伝達されて、リリースカムが底板１０５から離れて底板１０５が上昇し、給紙コロ１０６と用紙１０４が当接し、給紙コロ１０６の回転に伴って用紙１０４がピックアップされて給紙が開始され、図示しない分離爪によって一枚ずつ分離される。
【０１１８】
そして、給送コロ１０６の回転によって用紙１０４がガイド部材１１０、１１１に案内されて搬送ローラ１１２とピンチローラ１１３との間に送り込まれ、搬送ローラ１１２によって用紙１０４がプラテン１１５上に送り出される。その後、用紙１０４の後端は給紙コロ１０６のＤカット部に対向して当接が解除され、搬送ローラ１１２によってプラテン１１５上に搬送される。なお。給紙コロ１０６と搬送ローラ１１２との間に、補助的に、搬送回転対を設けることもできる。
【０１１９】
このようにしてプラテン１１５上を搬送される用紙１０４に対して、記録ヘッド１から液滴を吐出して画像を形成し、画像が形成された用紙１０４は排紙ローラ１１６によって排紙トレイ１１８に排紙される。なお、画像形成時における紙搬送の速度と液滴吐出のタイミングは図示しない制御部によって制御される。
【０１２０】
また、プラテン１１５は、記録ヘッド１０１と用紙１０４とのギャップを維持することができるものであれば、剛体構造体でもよいし、搬送ベルトなどを用いることもできる。
【０１２１】
このように、本発明に係るライン型の液体吐出ヘッドを備えることによって、高速で高画質画像を形成することができる。
【０１２２】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る液体吐出装置を含む画像形成装置の他の例について図２１及び図２２を参照して説明する。なお、図２１は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図、図２２は同機構部の要部平面説明図である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して図２０で矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。
【０１２３】
このキャリッジ３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４ａ、２３４ｂ（区別しないときは「記録ヘッド２３４」という。）を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【０１２４】
記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有し、記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。
【０１２５】
また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのヘッドタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「ヘッドタンク２３５」という。）を搭載している。このヘッドタンク２３５には、カートリッジ装填部２０４に着脱自在に装着される各色の記録液カートリッジ２１０ｙ、２１０ｍ、２１０ｃ、２１０ｋから、供給ポンプユニット２０５によって各色の供給チューブ２３６を介して、各色の記録液が補充供給される。
【０１２６】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。
【０１２７】
そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。
【０１２８】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【０１２９】
さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。
【０１３０】
また、装置本体２０１の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
【０１３１】
さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む維持回復機構２８１を配置している。
【０１３２】
この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。
【０１３３】
また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器であるインク回収ユニット（空吐出受け）２８８を配置し、このインク回収ユニット２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。
【０１３４】
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【０１３５】
このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【０１３６】
そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【０１３７】
このようなシリアル型画像形成装置であっても、本発明に係る長尺の液体吐出ヘッドを備えることによって、１スキャン（キャリッジの１走査）で印字できる範囲が多くなるので、ライン型ヘッドには及ばなくとも、相対的に、高速で高画質画像を記録できるようになる。
【０１３８】
なお、上記実施形態では本発明に係る液体吐出装置をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ／ファックス／コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、インク以外の液体である記録液や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３９】
【図１】本発明に係る圧電アクチュエータを備えた本発明に係る液体吐出ヘッドの側面説明図である。
【図２】同じく平面説明図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿う液室長手方向の断面説明図である。
【図４】同じく液室短手方向の要部断面説明図である。
【図５】本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第１実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。
【図６】１番目のスリットを形成するまでの工程の説明に供する上面説明図である。
【図７】同じく１番目のスリットを形成した状態の側面説明図である。
【図８】２番目のスリットを形成するまでの工程の説明に供する上面説明図である。
【図９】同じく２番目までのスリットを形成した状態の側面説明図である。
【図１０】スリット加工を終了した状態の側面説明図である。
【図１１】本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第２実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。
【図１２】本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第３実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。
【図１３】本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第４実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。
【図１４】本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第５実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。
【図１５】圧電素子部材に対する長さの規定及び指標形成の工程の説明に供する上面説明図である。
【図１６】本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第６実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。
【図１７】同じく圧電素子部材の上面研削の説明に供する側面説明図である。
【図１８】本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第７実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。
【図１９】本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第８実施形態の説明に供する平面説明図である。
【図２０】本発明に係る液体吐出装置を備えた本発明に係る画像形成装置の一例を示す概略構成図である。
【図２１】本発明に係る液体吐出装置を含む画像形成装置の他の例を示す概略構成図である。
【図２２】同じく要部平面説明図である。
【符号の説明】
【０１４０】
１…流路基板
２…振動板
３…ノズル板
５…ノズル
６…加圧液室
１２…圧電素子部材
１２ａ…圧電素子
１３…ベース部材
３０…スリット（溝）
３１…隙間
３２…切り込み部
５０…指標
５５…第１の指標
５６…第２の指標
６０、６１、６４…移動体
７０、８０…指標
７１…撮像面
１０１…記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
１３４…記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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