(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の中空の切頭錐体同士が接合された蛇腹形状をなし陽イオン物質が含浸されたイオン導電性高分子体と、該イオン導電性高分子体の内面、外面それぞれに設けられる電極膜とを備えるアクチュエータであって、
前記電極膜間に電圧が印加されることにより当該アクチュエータの全長が伸長または収縮する
アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータと、該アクチュエータの開口端に設けられた光学レンズとを備え、
前記アクチュエータの伸長または収縮に伴って光学レンズの配置位置が調整される
レンズ位置調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高分子アクチュエータからなるアクチュエータに関し、さらに該アクチュエータを用いたブレーキ装置、流体制御装置、レンズ位置調整装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
医療機器や産業用ロボット、マイクロマシン等の分野において、小型、軽量で柔軟性に富むアクチュエータが求められており、それに対応すべくそのアクチュエータの作動原理として静電引力型、圧電型、超音波型、形状記憶合金式、高分子伸縮式等が提案されている。
【０００３】
このうち、高分子伸縮式としてイオン導電性高分子を用いた高分子アクチュエータは軽量で発生力が大きいこと等から、新しいアクチュエータとして検討されてきている。この高分子アクチュエータは、イオン導電性高分子膜（イオン交換樹脂膜）とその表面に相互に絶縁状態で接合した金属電極とからなり、該イオン導電性高分子膜を含水状態として金属電極間に電圧を印加することによりイオン導電性高分子膜に湾曲または変形を生じさせることを特徴とするものである。
【０００４】
しかし、その動作は基本的に湾曲であり、そのままでは用途が限られていた。そこで、特許文献１では、アクチュエータ素子の組み合わせにより湾曲の動作を伸縮動作に変換したものが提案されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３１４２１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、アクチュエータとしての強度、発生力が小さく、用途も限定されるという問題があった。
【０００７】
本発明は、以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであり、簡便な構造でその他の用途に使用できるアクチュエータを提供し、該アクチュエータを使用したブレーキ装置、流体制御装置、レンズ位置調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために提供する本発明は、複数の中空の切頭錐体同士が接合された蛇腹形状をなし陽イオン物質が含浸されたイオン導電性高分子体と、該イオン導電性高分子体の内面、外面それぞれに設けられる電極膜とを備えるアクチュエータであって、前記電極膜間に電圧が印加されることにより当該アクチュエータの全長が伸長または収縮することを特徴とするアクチュエータである（請求項１）。
【０００９】
ここで、前記高分子アクチュエータ素子全体が伸縮性のあるフィルムで包まれてなることが好ましい。
【００１０】
前記課題を解決するために提供する本発明は、請求項１に記載のアクチュエータと、該アクチュエータの開口端に設けられた光学レンズとを備え、前記アクチュエータの伸長または収縮に伴って光学レンズの配置位置が調整されることを特徴するレンズ位置調整装置である（請求項２）。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の効果として、請求項１の発明によれば、高分子アクチュエータ素子一つ一つの変形量は小さいものの、それらをつなげることで発生力が大きく更に変形量も大きいアクチュエータとすることができる。
また、請求項２の発明によれば、請求項１のアクチュエータ自体がある程度の強度を持つので、光学レンズをアクチュエータ単体で押し上げたり、引っ張ったりして位置調整することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明に係るアクチュエータの第１の実施の形態について説明する。
図１は、本発明に係るアクチュエータの構成を示す概略図である。
図１に示すように、アクチュエータ１００は、短冊の長手方向がゼンマイ状に巻かれた形状の高分子アクチュエータ素子１０の表裏面にリード線４が接続された構成となっている。ここで、高分子アクチュエータ素子１０は、後述するように陽イオン物質が含浸されたイオン導電性高分子膜１の両主面それぞれに電極膜２が形成された構成となっていることから、一対の電極膜２のうち一方は前記ゼンマイ形状として外側に向いた面（外周側の面）に配置され、他方は内側に向いた面（内周側の面）に配置されている。
【００１６】
なお、ここでいう高分子アクチュエータ素子１０は、特許第２９６１１２５号公報、特開平１１−２０６１６２号公報などで開示されている従来公知のものでもよいが、それ以外に例えばつぎのような構成のものを使うとよい。
図２は、本発明で使用する高分子アクチュエータ素子の基本的構成を示す断面図である。
高分子アクチュエータ素子１０は、陽イオン物質が含浸されたイオン導電性高分子膜（イオン導電性高分子フィルム）１と、該イオン導電性高分子膜１の両面それぞれに設けられる電極膜２と、該電極膜２それぞれに電気的に接続されたリード線４とを備え、１対のリード線４より電極膜２間に電圧が印加されることによりイオン導電性高分子膜１が湾曲または変形するものである。
【００１７】
イオン導電性高分子膜１は、フッ素樹脂、炭化水素系などを骨格としたイオン交換樹脂からなり、表裏２つの主面をもつ形状を呈している。例えば、短冊形状、円盤形状、円柱形状、円筒形状などが挙げられる。また、イオン交換樹脂としては、陰イオン交換樹脂、陽イオン交換樹脂、両イオン交換樹脂いずれでもよいが、このうち陽イオン交換樹脂が好適である。
【００１８】
陽イオン交換樹脂としては、ポリエチレン、ポリスチレン、フッ素樹脂などにスルホン酸基、カルボキシル基などの官能基が導入されたものが挙げられ、とくにフッ素樹脂にスルホン酸基、カルボキシル基などの官能基が導入された陽イオン交換樹脂が好ましい。
【００１９】
電極膜２は、カーボン粉末とイオン導電性樹脂とからなり、前記カーボン粉末同士がイオン導電性樹脂を介して結合していることを特徴とする。カーボン粉末は、導電性をもつカーボンブラックの微細粉末であり、比表面積が大きなものほど電極膜２としてイオン導電性高分子膜１と接する表面積が大きくなりより大きな変形量を得ることができる。例えばケッチェンブラックが好ましい。また、イオン導電性樹脂は、イオン導電性高分子膜１を構成する材料と同じものでよい。
【００２０】
また、電極膜２は、イオン導電性樹脂成分とカーボン粉末を含む塗料がイオン導電性高分子膜１に塗布されてなるものである。あるいは、電極膜２は、カーボン粉末とイオン導電性樹脂とからなる導電膜がイオン導電性高分子膜１に圧着されてなるものである。
いずれの方法によっても、簡便に短時間で電極膜２を形成することができる。
【００２１】
なお、少なくともイオン導電性高分子膜１に陽イオン物質が含浸されているが、該陽イオン物質とは、水及び金属イオン、水及び有機イオン、イオン液体のいずれかであることが好ましい。ここで、金属イオンとは例えば、ナトリウムイオン、カリウムイオン、リチウムイオン、マグネシウムイオン等が挙げられる。また、有機イオンとは例えば、アルキルアンモニウムイオン等が挙げられる。これらのイオンはイオン導電性高分子膜１中において水和物として存在している。イオン導電性高分子膜１が水及び金属イオン、または水及び有機イオンを含み、含水状態となっている場合には、高分子アクチュエータ素子１０は中からこの水が揮発しないように封止されていることが好ましい。
【００２２】
また、イオン液体とは、常温溶融塩とも言われる不燃性、不揮発性のイオンのみからなる溶媒であり、例えばイミダゾリウム環系化合物、ピリジニウム環系化合物、脂肪族系化合物のものを使用することができる。イオン導電性高分子膜１にイオン液体を含浸させている場合には、揮発する心配なく高温あるいは真空中でも高分子アクチュエータ素子１０を使用することができようになる。
【００２３】
また、図３に、前記高分子アクチュエータ素子の変形例を示す。
図３は、本発明で使用する別の高分子アクチュエータの基本的構成を示す断面図である。
高分子アクチュエータ素子２０は、上述した高分子アクチュエータ素子１０の１対の電極膜２それぞれの上に金または白金からなる金属導電膜３を備え、該金属導電膜３にリード線４を電気的に接続した構成となっている。ここで、イオン導電性高分子膜１、電極膜２、イオン導電性高分子膜１に含浸させる陽イオン物質は、図２で示したものと同じである。
【００２４】
ここで、金属導電膜３は、１対の電極膜２それぞれの上に湿式めっき法、蒸着法、スパッタ法などの従来公知の成膜手法により、金または白金の薄膜が形成されてなるものである。この金属導電膜３の厚さにはとくに制限はないが、リード線４からの電位が電極膜２に均等に印加されるように連続した膜となる程度の厚さであることが好ましい。
【００２５】
図４に、これらの高分子アクチュエータ素子１０，２０の動作原理を示す。ここでは、イオン導電性高分子膜１中にナトリウムイオンが含浸されているものとして説明する。
図４（ａ）では、電源Ｅよりリード線４を通じて、図中左側の高分子アクチュエータ１０の電極膜２にプラスの電位、図中右側の電極膜２にマイナスの電位を印加している。この電位差により、高分子アクチュエータ素子１０（２０）のイオン導電性高分子膜１中では、マイナスの電位が印加された側（図中右側）の電極膜２にナトリウムイオン水和物が引き寄せられて移動し、当該電極膜２の近傍に集中しこの領域は体積膨張するようになる。一方、プラスの電位が印加された側（図中左側）の電極膜２近傍におけるナトリウム水和物濃度は減少し、この領域は体積収縮するようになる。その結果、イオン導電性高分子膜１の２つの電極膜２近傍領域の間に体積差が生じることとなり、イオン導電性高分子膜１は図中左側に湾曲するようになる。
【００２６】
図４（ｂ）では、電源Ｅからの電圧印加はなく、２つの電極膜２に電位差がないことから、イオン導電性高分子膜１の２つの電極膜２近傍領域の間に体積差はなく、イオン導電性高分子膜１は湾曲することなく真っ直ぐな状態となる。
【００２７】
図２（ｃ）では、電源Ｅよりリード線４を通じて、図中左側の高分子アクチュエータ素子１０（２０）の電極膜２にマイナスの電位、図中右側の電極膜２にプラスの電位を印加しており、電圧印加方法が図４（ａ）の場合とは逆である。この電位差により、高分子アクチュエータ素子１０（２０）のイオン導電性高分子膜１中では、マイナスの電位が印加された側（図中左側）の電極膜２の近傍領域は体積膨張するようになり、プラスの電位が印加された側（図中右側）の電極膜２近傍領域は体積収縮するようになる。その結果、イオン導電性高分子膜１は図中右側に湾曲するようになる。
【００２８】
この高分子アクチュエータ素子１０（２０）の動作原理に基づいて、本発明のアクチュエータ１００はつぎのように動作することになる。
図５に、本発明のアクチュエータ１００の動作を示す。ここでは、使用する高分子アクチュエータ素子１０（２０）のイオン導電性高分子膜１中にナトリウムイオンが含浸されているものとして説明する。
【００２９】
図５（ａ）では、電源Ｅよりリード線４を通じて、アクチュエータ１００のゼンマイ形状の内周側の面の電極膜２にプラスの電位、外周側の面の電極膜２にマイナスの電位を印加している。この電位差（０．５〜２．０Ｖ程度）により、イオン導電性高分子膜１中では、マイナスの電位が印加された側（外周側）の電極膜２にナトリウムイオン水和物が引き寄せられて移動し、当該電極膜２の近傍に集中しこの領域は体積膨張するようになる。一方、プラスの電位が印加された側（内周側）の電極膜２近傍におけるナトリウム水和物濃度は減少し、この領域は体積収縮するようになる。その結果、イオン導電性高分子膜１の２つの電極膜２近傍領域の間に体積差が生じることとなり、イオン導電性高分子膜１はゼンマイのねじが巻かれたように変形し、当該アクチュエータ１００の外周が縮小する。
【００３０】
図５（ｂ）では、電源Ｅからの電圧印加はなく、２つの電極膜２に電位差がないことから、イオン導電性高分子膜１の２つの電極膜２近傍領域の間に体積差はなく、イオン導電性高分子膜１は湾曲することなく当初成形時の状態となる。
【００３１】
図５（ｃ）では、電源Ｅよりリード線４を通じて、アクチュエータ１００のゼンマイ形状の内周側の面の電極膜２にマイナスの電位、外周側の面の電極膜２にプラスの電位を印加しており、電圧印加方法が図５（ａ）の場合とは逆である。この電位差により、イオン導電性高分子膜１中では、マイナスの電位が印加された側（内周側）の電極膜２の近傍領域は体積膨張するようになり、プラスの電位が印加された側（外周側）の電極膜２近傍領域は体積収縮するようになる。その結果、イオン導電性高分子膜１はゼンマイのねじがゆるむように変形し、当該アクチュエータ１００の外周が拡大する。
【００３２】
図６に、本発明のアクチュエータの第１の実施の形態の変形例を示す。
アクチュエータ２００は、図１に示した高分子アクチュエータ素子１０全体が伸縮性のあるフィルム１１で包まれ、リード線４が該フィルム１１の外側に引き出された構成となっている。ここで、高分子アクチュエータ素子１０、リード線４は、図１で示したものと同じである。
【００３３】
フィルム１１は、例えばポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、シリコンゴムなどの伸縮性のある軟らかい材料からなる袋状のものでよく、これを用いて高分子アクチュエータ素子１０を密閉するように包めばよい。
【００３４】
アクチュエータ２００では、図５に示したような電圧印加方法により、イオン導電性高分子膜１の変形に伴ってフィルム１１は伸縮するため、外見上は厚みのある円盤の外周が拡大したり縮小したりするようになる。
【００３５】
以上のアクチュエータ１００は次の手順で作製することができる。
（Ｓ１１）イオン導電性高分子膜１を用意する。
（Ｓ１２）有機溶媒にイオン導電性樹脂を溶解したものに、所定の比表面積のカーボン粉末を目標のカーボン粉末とイオン導電性樹脂との固形分重量比となるように混ぜ合わせ、分散させて塗料を得る。
（Ｓ１３）ステップＳ１２の塗料中にイオン導電性高分子膜１をディッピング塗布し、その塗膜を大気中で乾燥させる。当該処理（ディッピング塗布−乾燥）を繰り返し、所望の厚さの電極膜２を形成する。
（Ｓ１４）イオン導電性高分子膜１に陽イオン物質を含浸させる処理を行う。具体的には、イオン導電性高分子膜１に電極膜２を形成したものを金属イオン、有機イオンいずれかを含む塩化物溶液または水酸化物溶液、あるいはイオン液体に浸漬することにより、これらの金属イオン、有機イオン、イオン液体がイオン導電性高分子膜１及び電極膜２中に含浸させるようになる。
（Ｓ１５）ステップＳ１４後、積層フィルムの端部を切り落とし、短冊形状に切り出す。ついで、短冊の長手方向がゼンマイ形状となるように巻き、この状態でイオン導電性高分子膜１のガラス転移点以上に加熱した後に冷却する。これにより、イオン導電性高分子膜１はゼンマイ形状として保持されるようになる。
（Ｓ１６）１対の電極膜２それぞれにリード線４を接続して、アクチュエータ１００を完成する。また、必要に応じて、高分子アクチュエータ素子１０全体をフィルム１１で包んで密閉し、アクチュエータ２００とする。
【００３６】
なお、ここではイオン導電性高分子膜１に電極膜２を形成した後にゼンマイ形状に成形する方法を示したが、これ以外にイオン導電性高分子膜１をゼンマイ形状に成形した後にめっき等により電極膜２を形成するようにしてもよい。
【００３７】
図７に、本発明のアクチュエータ１００をブレーキ装置に適用した例を示す。
本発明のブレーキ装置は、回転する回転軸１０２と機械的に接続され該回転軸１０２とともに回転・停止する中空円筒形状の回転体１０１と、短冊長手方向の一方の端部が固定軸１０３に固定され回転体１０１の円筒内に設けられたアクチュエータ１００とを備えている。なお、アクチュエータ１００に代えてアクチュエータ２００を用いてもよい。
【００３８】
ここで、本装置では、運転時にはアクチュエータ１００にはリード線４から電圧は印加されておらず図５（ｂ）の状態、すなわちアクチュエータ１００は成形時のままの状態であり、その外周面は回転体１０１の内周面には接触していない。
【００３９】
これが、ブレーキをかけるときには、アクチュエータ１００にはリード線４から電圧が印加され図５（ｃ）の状態、すなわちアクチュエータ１００の外周が拡大するように変形し、該アクチュエータ１００の外周面が回転体１０１の内周面に接触して両者の摩擦により該回転体１０１の回転を制動することができる。
【００４０】
図８に、本発明のアクチュエータ２００を流体制御装置に適用した例を示す。
本発明の流体制御装置は、流体２０２が流れる流体通路２０１内にアクチュエータ２００がその流体通路２０１の内壁に一部が固定されて設けられた構成となっている。
【００４１】
ここで、アクチュエータ２００の円盤外周が拡大または縮小することにより流体通路２０１内の流体２０２の流量を調整することが可能である。
すなわち、アクチュエータ２００にリード線４から電圧が印加され図５（ａ）の状態、すなわちアクチュエータ２００の外周が縮小するように変形した場合（図８（ａ））、流体通路２０１内の空間は広くなり、流体２０２をより多く流すことができるようになる。
【００４２】
一方、アクチュエータ２００にリード線４から電圧が印加され図５（ｃ）の状態、すなわちアクチュエータ２００の外周が縮小するように変形した場合（図８（ｂ））、流体通路２０１内の空間は狭くなり、流体２０２の流量を絞ることができる。
【００４３】
つぎに、本発明に係るアクチュエータの第２の実施の形態について説明する。
図９に本発明のアクチュエータの全体図、図１０に本発明のアクチュエータの一部を拡大した概略図を示す。
本発明のアクチュエータ３００は、複数の中空の切頭錐体同士が接合された蛇腹形状をなし陽イオン物質が含浸されたイオン導電性高分子体３１と、イオン導電性高分子体３１の内面、外面それぞれに設けられる電極膜３２とを備える構成となっている。図１０は中空の切頭錐体１つ分のイオン導電性高分子体３１と、電極膜３２とを示しており、ここでは仮に高分子アクチュエータ素子３０と称する。
【００４４】
ここで、イオン導電性高分子体３１は形状が異なるだけで図２に示したイオン導電性高分子膜１と同じである。また、電極膜３２、陽イオン物質も、図２に示した電極膜２、イオン導電性高分子膜１に含まれる陽イオン物質と同じである。
【００４５】
図１１に、高分子アクチュエータ素子３０の動作原理を示す。ここでは、高分子アクチュエータ素子３０のイオン導電性高分子体３１中にナトリウムイオンが含浸されているものとして説明する。
【００４６】
図１１（ａ）では、電源Ｅよりリード線４を通じて、高分子アクチュエータ素子３０の内周面の電極膜３２にプラスの電位、外周面の電極膜３２にマイナスの電位を印加している。この電位差（０．５〜２．０Ｖ程度）により、イオン導電性高分子体３１中では、マイナスの電位が印加された側（外周面）の電極膜３２にナトリウムイオン水和物が引き寄せられて移動し、当該電極膜３２の近傍に集中しこの領域は体積膨張するようになる。一方、プラスの電位が印加された側（内周面）の電極膜３２近傍におけるナトリウム水和物濃度は減少し、この領域は体積収縮するようになる。その結果、イオン導電性高分子体３１の２つの電極膜３２近傍領域の間に体積差が生じることとなり、イオン導電性高分子体３１は切頭錐体の開口部の口径が小さくなるように変形しその切頭錐体の高さが高くなる。
【００４７】
図１１（ｂ）では、電源Ｅからの電圧印加はなく、２つの電極膜３２に電位差がないことから、イオン導電性高分子体３１の２つの電極膜３２近傍領域の間に体積差はなく、イオン導電性高分子体３１は変形することなく当初成形時の状態となる。
【００４８】
図１１（ｃ）では、電源Ｅよりリード線４を通じて、高分子アクチュエータ素子３０の内周面の電極膜３２にマイナスの電位、外周面の電極膜３２にプラスの電位を印加しており、電圧印加方法が図１１（ａ）の場合とは逆である。この電位差により、イオン導電性高分子体３１中では、マイナスの電位が印加された側（内周面）の電極膜３２の近傍領域は体積膨張するようになり、プラスの電位が印加された側（外周面）の電極膜３２近傍領域は体積収縮するようになる。その結果、イオン導電性高分子体３１は切頭錐体の開口部の口径が大きくなるように変形しその切頭錐体の高さが低くなる。
【００４９】
この高分子アクチュエータ素子３０の動作原理に基づいて、本発明のアクチュエータ３００はつぎのように動作することになる。
図１２に、本発明のアクチュエータ３００の動作を示す。ここでは、イオン導電性高分子体３１中にナトリウムイオンが含浸されているものとして説明する。
【００５０】
図１２（ａ）では、電源Ｅよりリード線４を通じて、アクチュエータ３００の内周面の電極膜３２にプラスの電位、外周面の電極膜３２にマイナスの電位を印加している。この場合、図１１（ａ）に示した場合と同様の現象が起こるが、イオン導電性高分子体３１を構成する切頭錐体それぞれが変形することから、アクチュエータ３００全体としてはその全長が大きく伸長することとなる。
【００５１】
図１２（ｂ）では、電源Ｅからの電圧印加はなく、２つの電極膜２に電位差がない。この場合、図１１（ｂ）に示した場合と同様に、イオン導電性高分子体１は変形することなく当初成形時の状態となる。
【００５２】
図１２（ｃ）では、電源Ｅよりリード線４を通じて、アクチュエータ３００の内周面の電極膜３２にマイナスの電位、外周面の電極膜３２にプラスの電位を印加している。この場合、図１１（ｃ）に示した場合と同様の現象が起こるが、イオン導電性高分子体３１を構成する切頭錐体それぞれが変形することから、アクチュエータ３００全体としてはその全長が大きく縮小することとなる。
【００５３】
ここで、本アクチュエータ３００を用いて、アクチュエータ３００の伸長または収縮に伴って光学レンズの配置位置を調整することのできるレンズ位置調整装置を提供することができる。
【００５４】
すなわち、図１２に示すように、アクチュエータ３００の開口端に光学レンズ３０１を固定して設け、アクチュエータ３００を図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）それぞれの状態とすることで光学レンズ３０１の位置（図では高さ）を調整することが可能である。
【００５５】
以上のアクチュエータ３００は次の手順で作製することができる。
（Ｓ２１）中心を円形にくり貫いた円盤形状のイオン導電性高分子膜を複数用意する。
（Ｓ２２）それぞれのイオン導電性高分子膜を図１０に示すような中空の切頭錐体形状に変形させ、この状態でイオン導電性高分子膜のガラス転移点以上に加熱した後に冷却する。これにより、イオン導電性高分子膜は中空の切頭錐体形状として保持されるようになる。
（Ｓ２３）複数のステップＳ２２で得られたものをその切頭錐体の同じ口径となる開口部同士を向き合わせてその開口部端面を接着剤で接合する。これにより、複数の中空の切頭錐体同士が接合された蛇腹形状をなすイオン導電性高分子体３１となる。
（Ｓ２４）有機溶媒にイオン導電性樹脂を溶解したものに、所定の比表面積のカーボン粉末を目標のカーボン粉末とイオン導電性樹脂との固形分重量比となるように混ぜ合わせ、分散させて塗料を得る。
（Ｓ２５）ステップＳ２４の塗料中にイオン導電性高分子体３１をディッピング塗布し、その塗膜を大気中で乾燥させる。当該処理（ディッピング塗布−乾燥）を繰り返し、所望の厚さの電極膜３２を内周面、外周面それぞれに形成する。これ以外にめっき法により導電性金属からなる電極膜３２を形成してもよい。
（Ｓ２６）イオン導電性高分子体３１に陽イオン物質を含浸させる処理を行う。具体的には、イオン導電性高分子体３１に電極膜３２を形成したものを金属イオン、有機イオンいずれかを含む塩化物溶液または水酸化物溶液、あるいはイオン液体に浸漬することにより、これらの金属イオン、有機イオン、イオン液体がイオン導電性高分子体３１及び電極膜３２中に含浸させる。
（Ｓ２７）１対の電極膜３２それぞれにリード線３４を接続して、アクチュエータ３００を完成する。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明に係るアクチュエータの第１の実施の形態における構成を示す概略図である。
【図２】本発明で使用する高分子アクチュエータ素子の構成（１）を示す断面図である。
【図３】本発明で使用する高分子アクチュエータ素子の構成（２）を示す断面図である。
【図４】高分子アクチュエータ素子（１）の動作原理を説明する図である。
【図５】本発明のアクチュエータ（１）の動作原理を説明する図である。
【図６】本発明に係るアクチュエータの第１の実施の形態における変形例を示す概略図である。
【図７】本発明に係るブレーキ装置の構成を示す概略図である。
【図８】本発明に係る流体制御装置の構成を示す概略図である。
【図９】本発明に係るアクチュエータの第２の実施の形態における構成を示す概略図である。
【図１０】本発明に係るアクチュエータの第２の実施の形態における構成を示す拡大図である。
【図１１】高分子アクチュエータ素子（２）の動作原理を説明する図である。
【図１２】本発明のアクチュエータ（２）の動作原理を説明する図である。
【符号の説明】
【００５７】
１…イオン導電性高分子膜、２，３２…電極膜、３…金属導電膜、４，３４…リード線、１０，２０，３０…高分子アクチュエータ素子、１１…フィルム、３１…イオン導電性高分子体、１００，２００，３００…アクチュエータ、１０１…回転体、１０２…回転軸、１０３…固定軸、２０１…流体通路、２０２…流体、３０１…光学レンズ
【図１】
0005233068.tif 000002
【図２】
0005233068.tif 000003
【図３】
0005233068.tif 000004
【図４】
0005233068.tif 000005
【図５】
0005233068.tif 000006
【図６】
0005233068.tif 000007
【図７】
0005233068.tif 000008
【図８】
0005233068.tif 000009
【図９】
0005233068.tif 000010
【図１０】
0005233068.tif 000011
【図１１】
0005233068.tif 000012
【図１２】
0005233068.tif 000013