(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
切断しようとするガラス基板を水平状態に保持する切断テーブルと、
前記切断テーブルの左側及び右側に互いに平行に取り付けられた一対のガントリーステージと、
前記一対のガントリーステージの上部に位置して、前記一対のガントリーステージに沿って前進及び後進可能となるように取り付けられたガントリー構造物とを備え、
前記ガラス基板を固定した状態でレーザビームを移動しながら照射して前記ガラス基板を切断するガラス基板のレーザ切断装置において、
前記ガントリー構造物の上部両端に固定して設けられ、前記レーザビームをそれぞれ発振する２つのレーザ発振部と、
前記ガントリー構造物の両端に、前記ガントリー構造物に沿って左右に移動可能となるように取り付けられ、前記各レーザ発振部から発振された前記レーザビームを前記ガラス基板にそれぞれ照射する２つのレーザ照射ヘッドと、
前記切断テーブルの左側及び右側の前記各ガントリーステージの内側の空間内にそれぞれ取り付けられ、前記レーザビームが照射された前記ガラス基板を上部から下部方向へ押圧して切断する２つの切断装置と、を含み、
前記各切断装置は、
前記ガントリーステージに沿った方向を回転軸として回転する切断装置上部を有し、前記切断装置上部が回転して、前記ガラス基板の切断部を上部から下部方向へ押圧して切断する構成になっていることを特徴とするガラス基板のレーザ切断装置。
【請求項２】
前記各ガントリーステージは、上部において前記ガントリー構造物が平行に前進及び後進移動可能となるようにするリニアガイドを有することを特徴とする請求項１に記載のガラス基板のレーザ切断装置。
【請求項３】
前記ガントリー構造物は、前記切断テーブルに搬送された前記ガラス基板の端部の整列状態及び前記ガントリー構造物の位置アラインメントのために、前記ガントリー構造物の前面部に取り付けられたカメラを有することを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板のレーザ切断装置。
【請求項４】
前記各レーザ発振部は、前記ガントリー構造物の両端の上部に固定して設けられるレーザ発振源及びパワーサプライを有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のガラス基板のレーザ切断装置。
【請求項５】
前記各レーザ照射ヘッドは、前記ガントリー構造物の前面部に設けられたリニアガイドに沿って、前記ガントリー構造物の両端で左右に移動可能となるように取り付けられたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のガラス基板のレーザ切断装置。
【請求項６】
前記各レーザ照射ヘッドは、前記レーザ発振部から発振された前記レーザビームを誘導する反射手段を有するビームデリバリーシステムと、
ガラス面に初期クラックを形成するイニシャルクラッカーと、
前記ビームデリバリーシステムから伝達された前記レーザビームを集光させるビーム整形レンズと、
前記ビーム整形レンズにより集光された前記レーザビームに沿って冷却ミストを噴射するクェンチングノズルと、
を備えることを特徴とする請求項５に記載のガラス基板のレーザ切断装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載のガラス基板のレーザ切断装置を順次に配置し、その間にガラス基板回転装置をさらに備えることで構成されたガラス基板のレーザ切断装置であって、
前記ガラス基板のレーザ切断装置を用いて１次的にカッティングされた前記ガラス基板を前記ガラス基板回転装置を介して回転させた後、２次的に、前記ガラス基板のレーザ切断装置を用いて切断することを特徴とするガラス基板のレーザ切断装置。
【請求項８】
前記ガラス基板回転装置は、１次的にカッティングされた前記ガラス基板を搬送し、かつ前記ガラス基板回転装置によって９０°回転した前記ガラス基板を排出するコンベヤーと、
前記コンベヤーによって搬送された前記ガラス基板を下部で支持する平板格子と、
前記平板格子を９０°回転させるターンテーブルと、
を備えることを特徴とする請求項７に記載のガラス基板のレーザ切断装置。
【請求項９】
前記コンベヤーは、上下に移動可能に設けられた多数の駆動ローラーと、
前記駆動ローラーを連結するコンベヤーベルトと、
を備えることを特徴とする請求項８に記載のガラス基板のレーザ切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板のレーザ切断装置（APPARATUS  FOR  CUTTING  GLASS  USING  LASER）に関し、より詳細には、ガントリー構造物は、切断テーブルの左側及び右側に平行に取り付けられた一対のガントリーステージを用いて相対位置を一定に保持しながら、位置を移動するガラス基板のレーザ切断装置に関する。さらに、レーザ切断ヘッドの構成要素のうち、重量の大きいレーザ発振源及びパワーサプライなどを備えて構成されたレーザ発振部は、ガントリーの両端に固定させ、相対的に荷重の小さいその他のユニットであるビームデリバリーシステム(Beam  Delivery  System)と、ビーム整形(shaping)レンズと、クェンチングノズル(Quenching  Nozzle)と、イニシャルクラッカー(Initial  Cracker)などを備えて構成されたレーザ照射ヘッドのみをガントリー構造物に沿って左右に移動可能となるように取り付ける、ガラス基板のレーザ切断装置に関する。上述したように、レーザ切断ヘッドをレーザ発振部とレーザ照射ヘッドとして２つのパーツに分離して、荷重の位置移動にもかかわらず、ガントリー構造物が垂れることなく、ガントリー構造物の垂れによるレーザビーム経路の位置ずれのために切断精度及び安全性が低下する問題を最小化したことを特徴とする、ガラス基板のレーザ切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板を切断する従来方法の１つとして、スクライブホイール方式がある。スクライブホイール方式は、所定の直径を有する円板の円周面に微細なダイヤモンドを設置し、それを高速で回転させながら、切断しようとする切断予定線に接触させて、ガラス基板の表面に所定の深さのスクライブラインを形成する方式である。スクライブラインが形成されたガラス基板に物理的な衝撃を与えることにより、スクライブラインに沿って基板にクラックを伝播させて切断する方法が、スクライブホイール方式である。しかしながら、スクライブホイール方式は、一定の面積以上の切断マージンを必要とし、切断の際にパーティクルが発生して、これを除去するための別途の洗浄工程及び乾燥工程が必要となり、切断面が滑らかではなく、さらに消耗品の費用が増加する短所があった。
【０００３】
このような短所を克服しようとして、レーザを用いたガラス基板の切断装置が取り入れられた。従来、レーザを用いたガラス基板の切断装置は、例えば、下記の特許文献１に記載されているように、レーザ切断ヘッドを固定状態に維持しながら、ガラス基板が位置した加工テーブルを切断方向に移動する方法を使用した。これは、レーザ発振部の重量が重いことから、レーザ切断ヘッドを動かす場合、レーザ切断ヘッドの荷重のために切断ヘッドを精密に制御することが難しいからである。レーザ発振部は、２５０ｋｇないし３００ｋｇ程度の荷重を有するようになるが、このような荷重を動かす場合、レーザ切断ヘッドを支持する構造物の垂れが発生し、レーザビームの経路の位置がずれて、切断精度及び安全性が低下する問題が生じる。
【０００４】
従来、レーザを用いたガラス基板の切断装置は、レーザ切断ヘッドを切断工程中に動かさないため、切断安全性を極大化することはできるものの、加工テーブルを移動しなければならないので、加工テーブルを設置するためのレイアウトが占める面積が増大するようになり、加工テーブルが元の位置に戻るのに時間がかかり、サイクルタイムが増加するので、これによる生産性の低下の問題があった。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２９３５６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記したような多様な問題点を解決するために案出されたものであって、本発明の目的は、従来のスクライブホイール方式による場合、切断パーティクルが発生して、これを除去するための別途の洗浄工程及び乾燥工程が必要となること、切断面が滑らかではないこと、さらに消耗品の費用が増加することなどの短所を解決することができる、ガラス基板のレーザ切断装置を提供することである。
【０００７】
本発明の他の目的は、従来のテーブル移送方式の代わりに、レーザ切断ヘッドそれ自体を移動させてガラスを切断する装置を提供することであって、テーブル移送方式に比べ、レイアウトが占める空間を減らすことができ、加工テーブルを元の位置に戻すのにかかる時間を省略することによってサイクルタイムを減少することができる、ガラス基板のレーザ切断装置を提供することである。
【０００８】
本発明のさらに他の目的は、レーザ切断ヘッドをレーザ発振部とレーザ照射ヘッドで構成される２つのパーツに分離して、重量の大きいレーザパワーサプライ及びレーザ発振源を有するレーザ発振部は、２軸のガントリーステージに沿って移動するガントリー構造物の両端に固定させ、レーザ切断ヘッドの構成要素のうちのレーザパワーサプライ及びレーザ発振源を除いたその他のユニットのみをレーザ照射ヘッドとして、ガントリー構造物に沿って左右に移動可能となるようにするガラス基板のレーザ切断装置を提供することである。したがって、レーザ切断ヘッドを一体として移動する場合、その重量によりガントリー構造物の垂れが発生するようになり、レーザビーム経路の位置がずれることによって切断精度及び安全性と精密性が低下する問題を解決することができる、ガラス基板のレーザ切断装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した目的を達成するために、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置は、切断しようとするガラス基板を水平状態に保持する切断テーブル（１２０）と、前記切断テーブル（１２０）の左側及び右側に互いに平行に取り付けられた一対のガントリーステージ（５０）と、前記一対のガントリーステージ（５０）の上部に位置して、前記一対のガントリーステージ（５０）に沿って前進及び後進可能となるように取り付けられたガントリー構造物（６０）とを備え、前記ガラス基板を固定した状態でレーザビームを移動しながら照射して前記ガラス基板を切断するガラス基板のレーザ切断装置において、前記ガントリー構造物（６０）の上部両端に固定して設けられ、前記レーザビームをそれぞれ発振する２つのレーザ発振部（１００）と、前記ガントリー構造物（６０）の両端に、前記ガントリー構造物（６０）に沿って左右に移動可能となるように取り付けられ、前記各レーザ発振部（１００）から発振された前記レーザビームを前記ガラス基板にそれぞれ照射する２つのレーザ照射ヘッド（１１０）と、前記切断テーブル（１２０）の左側及び右側の前記各ガントリーステージ（５０）の内側の空間内にそれぞれ取り付けられ、前記レーザビームが照射された前記ガラス基板を上部から下部方向へ押圧して切断する２つの切断装置（２５０）と、を含み、前記各切断装置（２５０）は、前記ガントリーステージ（５０）に沿った方向を回転軸として回転する切断装置上部を有し、前記切断装置上部が回転して、前記ガラス基板の切断部を上部から下部方向へ押圧して切断する構成になっていることを特徴とするものである。
本発明にかかる他のガラス基板のレーザ切断装置は、前記ガラス基板のレーザ切断装置（３００，４００）を順次に配置し、その間にガラス基板回転装置をさらに備えることで構成されたガラス基板のレーザ切断装置であって、前記ガラス基板のレーザ切断装置（３００）を用いて１次的にカッティングされた前記ガラス基板を前記ガラス基板回転装置を介して回転させた後、２次的に、前記ガラス基板のレーザ切断装置（４００）を用いて切断することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
従来のテーブル移送方法を用いたレーザ切断装置の場合は、約１５ｍのレイアウト空間を必要としていたが、本発明にかかるレーザ照射ヘッド移動方式によるガラス基板のレーザ切断装置を用いる場合、レイアウトの大きさを約２／３の大きさに縮小することが可能となった。従来のテーブル移送方法を用いるレーザ切断装置の場合、加工テーブルを元の位置に戻す過程が必須的であった。ところが、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置の場合、切断テーブルを元の位置に戻すことに必要となる時間を省略することができるため、単位時間当たりの作業量を増加させて、サイクルタイムを減少することができるという顕著な効果がある。
【００１１】
また、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置は、レーザ切断ヘッドを、荷重の大きいレーザ発振源及びパワーサプライを有して構成されたレーザ発振部と、レーザ発振部に比して相対的に重量の小さいレーザ照射ヘッドとに分離することを特徴とする。これにより、レーザ発振部はガントリー構造物の両端に固定して設けられ、レーザ照射ヘッドはガントリー構造物に沿って左右に移動可能となるように構成されて、レーザ切断ヘッドを２つのパーツに分離する方式を適用した。
【００１２】
レーザ切断ヘッドを、ガントリー構造物の両端に固定されるレーザ発振部と、ガントリー構造物に沿って移動することができるレーザ照射ヘッドとの２つのパーツに分離する方式を適用することで、レーザ発振部の重量によるガントリー構造物の垂れが発生することを防止し、レーザビーム経路の位置がずれることを最小化することが可能となるため、切断精度及び安全性が低下することを防止できる顕著な効果を持つ。
特に、本発明では、２つの切断装置を備えている。各切断装置は、切断テーブルの左側及び右側の各ガントリーステージの内側の空間内にそれぞれ取り付けられ、レーザビームが照射されたガラス基板を上部から下部方向へ押圧して切断するものである。このような切断装置を利用することで、ガラス基板を固定した状態でレーザビームを移動させながら照射する場合にも、ガントリー構造物の移動を妨害せず、スクライビングラインの形成後、切断動作時にガラス基板の上部から下部方向に力を印加することで、ガラス基板を切断できるという効果があり、さらに切断装置が占める空間を減らすことができるという効果がある。
【００１３】
さらに、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置は、上記のガラス基板のレーザ切断装置を順次に配置して、その間にガラス基板の回転装置をさらに備えることにより、１次的にガラス基板の左右面をカッティングし、これを回転させて、２次的にガラス基板の上下面を連続した工程でカッティングすることができる効果がある。
【００１４】
１次にガラス基板の左右面をカッティングした後、２次の上下面のカッティングのために回転装置を用いてガラス基板を９０°回転させる場合、従来は、ガラス基板の上部から真空でガラス基板を吸着して、ガラス基板を回転する方法を取っていた。しかし、従来の吸着回転方式では、ガラス基板の吸着面に異物が発生し得るおそれがあり、ガラス基板に損傷が生じる問題があった。本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置の回転装置は、上下に移動可能に設けられた多数の駆動ローラーをコンベヤーベルトで連結するコンベヤーと、ガラス基板を９０°回転させる平板格子及びターンテーブルとで構成される。上部にガラス基板が載置された平板格子をターンテーブルを用いて回転することにより、吸着面の異物やガラス基板の損傷が発生する問題を解決する顕著な効果がある。
【００１５】
本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置は、１次的に左右面がカッティングされたガラス基板を回転装置によって９０°回転し、２次的に、ガラス基板の上下面をカッティングする。上記の工程において、１次にカッティングされたガラス基板の切断面の映像を、ガントリー構造物の前面に取り付けたカメラを用いて獲得するようになる。ガントリー構造物の前面に取り付けられたカメラだけではなく、さらに、レーザ照射ヘッド内にカメラを取り付けて、多数個のカメラを通じて誤差を最小化することができ、より正確に１次カッティング面に垂直な面を基準にして２次のカッティングを行うことができるため、切断する面の直角度を高めることが可能となる。
【００１６】
本発明は、高度の精度が求められるディスプレイ用ガラスを切断することに優れた効果を持つ。ディスプレイ用ガラスとは、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のようなディスプレイ装置に用いられるガラスを意味する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明を実施するための最良の形態は、以下の好ましい実施例の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、明らかになるであろう。但し、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の範囲を限定するものではない。
【実施例１】
【００１８】
図１は、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置の構成を全体的に示した斜視図であり、図２（ａ）及び２（ｂ）はそれぞれ、ガントリーステージに沿ってガントリー構造物が移動する過程を示したガラス基板のレーザ切断装置の側面図及びガントリー構造物に沿ってレーザ照射ヘッドが移動する模様を示したガラス基板のレーザ切断装置の正面図である。
【００１９】
図１及び図２を参照すると、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置は、切断しようとするガラス基板を水平状態に保持する切断テーブル(１２０)と、切断テーブル(１２０)の左側及び右側に平行に取り付けられ、ガントリー構造物(６０)を移動させるための一対のガントリーステージ(５０)と、ガントリーステージ(５０)の上部においてガントリーステージ(５０)と垂直に設けられ、ガントリーステージ(５０)に沿って移動可能となるように取り付けられたガントリー構造物(６０)と、前記ガントリー構造物(６０)の両端に固定して設けられたレーザ発振部(１００)と、ガントリー構造物(６０)に沿って両端で左右に移動可能に取り付けられ、前記レーザ発振部(１００)から発振されたレーザをガラス基板に照射するレーザ照射ヘッド(１１０)とを有する。
【００２０】
切断テーブル(１２０)は、ガラス基板を搬送するか排出するためのコンベヤー(７０)を有して構成されている。コンベヤー(７０)により切断テーブル(１２０)に搬送されたガラス基板は、切断テーブル(１２０)によって水平状態に維持されて、固定される。
【００２１】
ガントリー構造物(６０)は、ガントリーステージ(５０)に沿ってＸ軸方向に移動する。ガントリーステージ(５０)は、切断テーブル(１２０)の左側及び右側に互いに平行に取り付けられており、ガントリー構造物(６０)をＸ軸方向に自由に移送するためのリニアガイド等から構成される。すなわち、直交Ｘ−Ｙ座標系において、Ｘ軸をガントリーステージ(５０)と水平な軸と、Ｙ軸をガントリー構造物(６０)と平行した軸とするとき、ガントリーステージ(５０)は、ガントリー構造物(６０)をＸ軸方向に前進及び後進移動させるＸ軸リニアガイドで構成することができる。
【００２２】
本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置のガントリーステージ(５０)の上部には、ガントリーステージ(５０)と垂直に取り付けられ、ガントリーステージ(５０)に沿って移動するガントリー構造物(６０)が位置する。ガントリー構造物(６０)は、前面部に、レーザ照射ヘッド(１１０)を左右に移動させるためのＹ軸リニアガイドを備えることを特徴とする。
【００２３】
ガントリー構造物(６０)の両端の上部には、レーザ発振部(１００)が固定して設けられる。レーザ発振部(１００)は、レーザ発振源及びパワーサプライを有し、レーザ切断ヘッドの構成要素のうち、荷重の大きいユニットからなる。したがって、レーザ発振部(１００)は、ガントリー構造物(６０)の両端の上部に固定して設けられ、ガントリー構造物(６０)がガントリーステージ(５０)に沿ってＸ軸方向に移動する際に、ガントリー構造物(６０)とともにＸ軸方向に前進または後進するようになる。
【００２４】
本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置のガントリー構造物(６０)の両端には、レーザ照射ヘッド(１１０)が取り付けられる。レーザ照射ヘッド(１１０)は、ガントリー構造物(６０)の前面部に設けられたＹ軸リニアガイドに沿って、ガントリー構造物(６０)の両端において左右に移動するように構成されている。レーザ照射ヘッド(１１０)は、レーザ発振源及びパワーサプライを有して構成されたレーザ発振部(１００)に比して荷重の小さいユニットで構成されており、前記レーザ発振部(１００)によって発振されたレーザビームの伝送のための反射手段を有するビームデリバリーシステム、レーザビームを集光させるビーム整形(shaping)レンズ、レーザビームにより加熱された切断線に沿って冷却ミストを噴射するクェンチングノズル、及びガラス面に初期クラックを形成するイニシャルクラッカー等を備える。
【００２５】
本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置による切断工程は、先ず、切断テーブル(１２０)に設けられたコンベヤー(７０)により、ガラス基板が切断テーブル(１２０)に搬送されるようになる。搬送されたガラス基板は、切断テーブル(１２０)内で水平状態に保持されて、固定される。ガラス基板が切断テーブル(１２０)内で水平状態に固定された後、ガントリー構造物(６０)の両端に取り付けられたレーザ照射ヘッド(１１０)は、ガントリー構造物(６０)の前面に設けられたＹ軸リニアガイドに沿って左右に動き、ガラス基板の切断幅の調節を行う。例えば、５０インチ用のＬＣＤガラスを切断する場合と４０インチ用のＬＣＤガラスを切断する場合とでは切断の幅が異なるので、これを調節するためである。ガントリー構造物(６０)の両端に取り付けられた一対のレーザ照射ヘッド(１１０)をガントリー構造物(６０)の両端の上部においてＹ軸方向に移動させることにより、切断しようとするガラス基板の切断幅を調節することができる。
【００２６】
本発明のレーザ発振部(１００)は、ガントリー構造物(６０)の両端の上部に固定して設けられる。レーザ発振部(１００)は、レーザ発振源及びパワーサプライを有して構成され、荷重が非常に大きい。その結果、ガラス基板の切断幅を調節するためにレーザ切断ヘッドを一体として移動させる場合、つまり、レーザ発振部(１００)とレーザ照射ヘッド(１１０)を同時にガントリー構造物(６０)の左右方向に移動させる場合に、その重量によってガントリー構造物(６０)の垂れが発生するようになる。ガントリー構造物(６０)の垂れが発生すると、レーザビームの切断経路の位置がずれて、切断の正確さ及び安全性が低下するようになる。
【００２７】
したがって、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置は、レーザ切断ヘッドをガントリー構造物(６０)の両端の上部に固定して設けられる、比較的に荷重の大きいレーザ発振部(１００)と、ガラス基板の切断幅を調節するために、Ｙ軸方向に左右に移動可能となるように構成されたレーザ照射ヘッド(１１０)として２つのパートに分離して、レーザビームの経路位置がずれることを最小化することができるようにした。
【００２８】
本発明のレーザ照射ヘッド(１１０)を左右に移動してガラス基板の切断幅を調節した後、ガントリー構造物(６０)をＸ軸方向に移動させながら、ガラス基板にレーザビームを照射してガラス基板の切断を行う。レーザ発振部(１００)によって発振されたレーザビームは、レーザ照射ヘッド(１１０)に誘導されて、ガラス基板にレーザビームが照射される。レーザビームは、レーザ照射ヘッド(１１０)内のビームデリバリーシステムを通じて、ミラーにより誘導されるように構成されている。波長が固定されているレーザビームの特性上、ミラーによる反射を介したレーザビームの誘導によるレーザビームの損失は、ほとんどなくなる。
【００２９】
レーザ発振部(１００)によって発振されたレーザビームは、ビームデリバリーシステムを通じてレーザ照射ヘッド(１１０)に誘導された後、ガラス面にレーザビームが照射される。レーザビームを照射するとともに、ガントリーステージ(５０)の両端の上部に位置したガントリー構造物(６０)がガントリーステージ(５０)に沿ってＸ軸方向に移動し、ガラス基板の左右の面を同時に急速加熱する。そして、レーザビームによって急速加熱されたガラス基板の左右面に沿って、レーザ照射ヘッド(１１０)内のクェンチングノズルを通じてガラス基板の加熱温度よりもきわめて低い温度を持つ冷却ミストを噴射する。そうすると、上記ガラス基板が急速に冷却されながら、その表面に所定の深さのクラックができ、スクライブラインが形成されるようになる。
【００３０】
図３（ａ）及び（ｂ）は、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置の切断テーブルの左側面に取り付けられた切断装置と切断装置の断面を示す斜視図及び断面図である。
【００３１】
図３を参照すると、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置は、切断テーブル(１２０)の両側部に、レーザビームによってスクライブラインが形成されたガラス基板を押圧して切断する切断装置(２５０)を設けて構成される。
【００３２】
ガラス基板の切断のためには、上記したガラス基板のスクライブラインを形成する工程の後に、別途の切断工程が必要となる。従来の切断テーブル移送方式では、加工テーブルの移動によりスクライビング工程を行い、スクライブラインが形成されたガラス基板を別途の位置で押圧して、切断する方法を用いるため、レイアウトの占める面積が増大する問題があった。
【００３３】
本発明にかかる切断装置（２５０）は、図面にはその位置が図示されていないが、切断テーブル（１２０）の両側部に取り付けられたガントリーステージ（５０）の内側において、ガントリーステージ（５０）と平行に左側及び右側面に設けられている。
【００３４】
コンベヤー(７０)により切断テーブル(１２０)内へガラス基板が搬送されると、切断テーブル(１２０)の両側に設けられた切断装置(２５０)は、切断のために搬送されたガラス基板を両側面から固定する。ガラス基板にレーザビームが照射された後、切断テーブル(１２０)の左右側に設けられた切断装置(２５０)は、Ｘ軸を回転軸として回転して、切断装置の上部がガラス基板の切断部を上部から押圧し、切断するようになる。
【００３５】
本発明は、切断テーブル(１２０)の左側及び右側面に切断装置(２５０)を設けて、従来のテーブル移送方式において発生する、別途のレイアウトが占める面積を無くし、レーザビームによってスクライブラインが形成されたガラス基板を切断テーブル(１２０)内で押圧し切断するようになる。
【００３６】
図４は、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置を順次に配置して、その間にガラス基板の回転装置を備えるガラス基板のレーザ切断装置を示した斜視図である。
【００３７】
図４を参照すると、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置は、切断テーブル(１２０)の左辺及び右辺に平行に取り付けられた一対のガントリーステージ(５０)に沿ってガントリー構造物(６０)が移動することにより１次的にガラス基板の左右面をカッティングする第１次のガラス基板のレーザ切断装置(３００)と、１次にカッティングされたガラス基板を９０°回転させるための回転装置と、１次にカッティングされたガラス基板の左右面に垂直な上下面をカッティングするための第２次のガラス基板のレーザ切断装置(４００)とで構成されている。
【００３８】
第１次のガラス基板のレーザ切断装置(３００)により１次的にガラス基板の左右面が同時にカッティングされて、回転装置を用いて１次にカッティングされたガラス基板を９０°回転させることで、第２次のガラス基板のレーザ切断装置(４００)により１次のカッティング面を基準にして垂直に整列した後、２次のカッティングを行うようになる。
【００３９】
本発明にかかる回転装置は、上下に移動可能に設けられた駆動ローラー(２００)と、前記駆動ローラー(２００)を連結するコンベヤーベルト(図示省略)とを備えて構成されたコンベヤー(図示省略)、及びコンベヤーにより搬送されたガラス基板を９０°回転させるための平板格子(２２０)とターンテーブル(２１０)を有する。
【００４０】
従来には、ガラス基板を回転させるために、上部から真空でガラス基板を吸着した後、ガラス基板を持ち上げて９０°回転させる方法を使用した。上記した従来のガラス基板回転方法は、ガラス基板の上部の吸着面に異物が生じるおそれがあり、ガラス基板の表面に損傷を被ることがある。この問題点を解決するために、本発明による回転装置は、ガラス基板を下部から支持する平板格子(２２０)とこれを回転させるターンテーブル(２１０)とを用いることで、吸着時に発生することのあるガラス基板の表面の損傷を防止することができるようになる。
【００４１】
本発明にかかる第１次のガラス基板のレーザ切断装置(３００)によって１次的に左右面がカッティングされたガラス基板は、コンベヤー(７０)を介して回転装置に移送される。回転装置に移送されたガラス基板は、回転装置内に位置したコンベヤーにより平板格子(２２０)の上部に位置するようになる。コンベヤーは、上下に移動可能な駆動ローラー(２００)と、前記駆動ローラー(２００)を連結するコンベヤーベルトとで構成される。コンベヤーによりガラス基板は平板格子(２２０)の上部に位置するようになった後、駆動ローラー(２００)とコンベヤーが下降して、ガラス基板が平板格子(２２０)に安着するようになり、ターンテーブル(２１０)の９０°回転によってガラス基板を回転させた後、前記駆動ローラー(２００)及びコンベヤーがさらに上昇して、回転したガラス基板を第２次のガラス基板のレーザ切断装置(４００)に排出するようになる。
【００４２】
図１及び図４を参照すると、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置は、ガントリー構造物（６０）の前面部に、１次にカッティングされたガラス基板の切断面の映像を獲得するためのカメラ（８０）を取り付けて構成されている。
【００４３】
第１次のガラス基板のレーザ切断装置（３００）によってガラス基板の左右面が切断され、回転装置によって９０°回転されたガラス基板は、コンベヤー（７０）によって第２次のレーザ切断装置（４００）に移動する。回転装置によって９０°回転されたガラス基板の１次カッティング面は、第２次のガラス基板のレーザ切断装置（４００）のガントリー構造物（６０）のＹ軸と平行に位置される。この時、ガントリー構造物（６０）の前面部に取り付けられたたカメラ（８０）を通じて１次にカッティングされたガラス基板の断面の映像を獲得して、ガラス基板の端部の整列状態を確認し、これを基準にガラス基板の位置アラインメントを行うようになる。また、ガントリー構造物（６０）の前面に位置するカメラ（８０）だけではなく、レーザ照射ヘッド（１１０）内にさらにカメラを設けてもよく、この場合、多数のカメラ（８０）を通じて誤差を最小化することができ、より正確に、１次のカッティング面を基準にして垂直な面として２次のカッティングをすることができるようになる。
【００４４】
以上で本発明の特定の実施例が説明及び図示されたが、本発明の技術的な思想から逸脱しない範囲内で、当業者により多様に変形されて実施されるのが可能であることは明らかである。このように変形された実施例は、本発明の思想及び範囲から個別的に理解されてはならず、本発明に添付された請求の範囲の中に属するものと見なすべきである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置の構成を全体的に示した斜視図である。
【図２】（ａ）は、ガントリーステージに沿ってガントリー構造物が移動する過程を示したガラス基板のレーザ切断装置の側面図であり、（ｂ）は、ガントリー構造物に沿ってレーザ照射ヘッドが移動する状態を示したレーザ切断装置の正面図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置の切断テーブルの左側面に設けられた切断装置と切断装置の断面を示す斜視図及び断面図である。
【図４】本発明にかかるガラス基板のレーザ切断装置を順次に配置して、その間にガラス基板の回転装置を備えたガラス基板のレーザ切断装置を示した斜視図である。
【符号の説明】
【００４６】
５０…ガントリーステージ
６０…ガントリー構造物
７０…コンベヤー
８０…カメラ
１００…レーザ発振部
１１０…レーザ照射ヘッド
１２０…切断テーブル
２００…駆動ローラー
２１０…ターンテーブル
２２０…平板格子
２５０…切断装置
３００…第１次のガラス基板のレーザ切断装置
４００…第２次のガラス基板のレーザ切断装置
【図１】
0005155034.tif 000002
【図２】
0005155034.tif 000003
【図３】
0005155034.tif 000004
【図４】
0005155034.tif 000005