(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
歪点が６４０℃以上で、Ａｓ2 Ｏ3 およびＳｂ2 Ｏ3 を実質的に含有せず、重量表示で以下の成分からなる無アルカリガラスを熔解時に清澄する方法であって、以下の成分の原料を目標成分になるように調合し、０．０１重量％以上２．０重量％以下のＦｅ2 Ｏ3 および０．０１重量％以上２．０重量％以下のＳＯ3と、２．０重量％以下のＣｌおよび２．０重量％以下のＦからなる群から選ばれる１種以上を合量で０．０１重量％以上とを添加したのち、熔解炉で１５００〜１６００℃に加熱して熔融し、該熔融ガラスを１２００〜１５００℃に保持することにより清澄することを特徴とする清澄方法。
ＳｉＯ2      ５８．４〜６５．０％、
Ａｌ2 Ｏ3    １５．３〜２２．０％、
Ｂ2 Ｏ3        ５．０〜１２．０％、
ＭｇＯ        ０〜６．０％、
ＣａＯ        ０〜７．０％、
ＳｒＯ        ４．０〜１２．０％、
ＢａＯ        ０〜２．０％、
ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ    ９．０〜１８．０％
【請求項２】
前記無アルカリガラスの歪点が６４０℃以上、６６０℃以下であることを特徴とする請求項１に記載の清澄方法。
【請求項３】
０．０１重量％以上２．０重量％以下のＣｌおよび０．０１重量％以上２．０重量％以下のＦを含有せしめて熔解、清澄することを特徴とする請求項１または２に記載の清澄方法。
【請求項４】
さらに、ＳｎＯ2を０．０１〜２．０重量％含有せしめて熔解、清澄することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の清澄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は歪点の高い無アルカリガラスの清澄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種ディスプレイ用基板ガラス、特に表面に金属ないし酸化物の薄膜等を形成させるものでは、以下に示す特性が要求されてきた。
（１）アルカリ金属酸化物を含有していると、アルカリ金属イオンが薄膜中に拡散して、膜特性を劣化させてしまうため、実質的にアルカリ金属イオンを含まないこと。
（２）薄膜形成工程で高温にさらされるため、ガラスの変形およびガラスの構造安定化に伴う収縮（熱収縮）を最小限に抑えるため、高い歪点を有すること。
【０００３】
（３）半導体形成に用いられる各種薬品に対して充分な化学耐久性を有すること。特にＳｉＯx やＳｉＮx のエッチングのためのバッファードフッ酸（フッ酸＋フッ化アンモニウム；ＢＨＦ）、およびＩＴＯのエッチングに用いられる塩酸を含有する薬液、金属電極のエッチングに用いられる各種の酸（硝酸、硫酸等）、レジスト剥離液のアルカリに対して耐久性があること。
（４）内部および表面に欠点（泡、脈理、インクルージョン、ピット、キズ等）をもたないこと。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電子用途の基板ガラスでは上記（４）の品質に対する要求は厳しい。したがって、特に泡を効率的に除く目的で、従来の基板ガラスではヒ素やアンチモンを１〜２重量％添加してガラスの熔解し、清澄を行うことが多かった。ヒ素やアンチモンは高温粘性の高いガラスの清澄剤として知られている。
【０００５】
しかし、ヒ素やアンチモン、特にヒ素は、環境に悪影響を与える元素であるため、ガラスのリサイクルに支障が生じるうえ、ガラスの製造工場や処理工場内でのガラスの取り扱いに注意が必要であり、かつエッチング廃液の無害化処理にも多大の設備が必要であった。
【０００６】
本発明の目的は、歪点の高い無アルカリガラスの熔解において、ヒ素やアンチモンを実質的に含有しなくても清澄が可能なガラスの熔解時の清澄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、歪点が６４０℃以上で、Ａｓ2 Ｏ3 およびＳｂ2 Ｏ3 を実質的に含有せず、重量表示で以下の成分からなる無アルカリガラスを熔解時に清澄する方法であって、以下の成分の原料を目標成分になるように調合し、０．０１重量％以上２．０重量％以下のＦｅ2 Ｏ3 および０．０１重量％以上２．０重量％以下のＳＯ3と、２．０重量％以下のＣｌおよび２．０重量％以下のＦからなる群から選ばれる１種以上を合量で０．０１重量％以上とを添加したのち、熔解炉で１５００〜１６００℃に加熱して熔融し、該熔融ガラスを１２００〜１５００℃に保持することにより清澄することを特徴とする清澄方法を提供する。
ＳｉＯ2      ５８．４〜６５．０％、
Ａｌ2 Ｏ3    １５．３〜２２．０％、
Ｂ2 Ｏ3        ５．０〜１２．０％、
ＭｇＯ        ０〜  ６．０％、
ＣａＯ        ０〜  ７．０％、
ＳｒＯ        ４．０〜１２．０％、
ＢａＯ        ０〜  ２．０％、
ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ    ９．０〜１８．０％
また、本発明は、前記無アルカリガラスの歪点が６４０℃以上、６６０℃以下であることを特徴とする清澄方法を提供する。
また本発明は、０．０１重量％以上２．０重量％以下のＣｌおよび０．０１重量％以上２．０重量％以下のＦを含有せしめて熔解、清澄することを特徴とする清澄方法を提供する。
また本発明は、さらに、ＳｎＯ2を０．０１〜２．０重量％含有せしめて熔解、清澄することを特徴とする清澄方法を提供する。
【０００８】
本発明は、本発明者らが特定の清澄剤の組み合わせを用いることにより、清澄効果を高め、歪点の高い無アルカリガラスの熔解において、ヒ素やアンチモンを実質的に含有しなくても清澄できることを知見したことに基づく。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によるガラスは、人体および地球環境を悪化させずに、高品質なガラス基板（ディスプレイ用基板、フォトマスク基板、ＴＦＴタイプのディスプレイ基板等）、およびその製造方法として好適である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明では、Ｆｅ2 Ｏ3およびＳＯ3、ならびにＦおよびＣｌのいずれか１つ以上が有効量添加されることが必須である。有効量は無アルカリガラスの組成にも依存するが、一般的には、それぞれ合量で０．０１重量％以上含有されれば効果がある。これらの清澄剤が併用されることにより、飛躍的に清澄効果が高まる。なお、添加量をあまり多くしても効果が飽和する一方、ガラスの特性に影響を与えるおそれがあるため、それぞれ合量で５．０重量％以下、好ましくは２．０重量％以下、とすることが実用的である。
【００１１】
Ｓｂ2 Ｏ3 は不純物の程度を超えて実質的に含有されない。
【００１２】
ＳＯ3 は原料に熱を加えていく際に多量の泡を発生し、かつ、泡を大きくする成分であり、建築用にしばしば用いられるソーダライムシリケートガラスの清澄剤として用いられることが多い。ＳＯ3 源は無アルカリであるかぎり、どのような塩の形で加えてもよいが、通常はアルカリ土類の硫酸塩として加える。０．０１重量％以上添加することにより、清澄効果が得られる。添加量が多すぎると、泡の発生が過剰となり原料へ添加する意味がないため、実用上は５．０重量％以下、好ましくは２．０重量％以下、とされる。
【００１３】
Ｆｅ2 Ｏ3 は原料に熱を加えていく際にＦｅ2 Ｏ3 →Ｆｅ2 Ｏ＋Ｏ2 となって酸素泡を発生する成分である。０．０１重量％以上添加することにより、清澄効果が得られる。添加量をあまり多くしても効果が飽和する一方、ガラスの着色が著しくなるため、２．０重量％以下、好ましくは１．０重量％以下、とする。
【００１４】
ＳｎＯ2 は原料に熱を加えていく際にＳｎＯ2 →ＳｎＯ＋１／２・Ｏ2 となって酸素泡を発生する成分である。０．０１重量％以上添加することにより、清澄効果が得られる。添加量をあまり多くしても効果が飽和する一方、ガラスの特性に影響を与えるおそれがあるため、５．０重量％以下、好ましくは２．０重量％以下、とする。
【００１５】
一方、ＦやＣｌも、原料に熱を加えていく際に多量の泡を発生し、かつ、泡を大きくする成分であるが、上記Ｆｅ2 Ｏ3およびＳＯ3と併用することにより、清澄効果が飛躍的に向上する。これらは、通常、アルカリ土類のフッ化物や塩化物として加えうる。それぞれ０．０１重量％以上添加することにより、清澄効果が得られる。添加量をあまり多くしても効果が飽和する一方、ガラスの特性（特に歪点低下）に影響を与えるおそれがあるため、５．０重量％以下、好ましくは２．０重量％以下とする。
【００１６】
本発明はアルカリ金属酸化物を実質的に含有しない無アルカリガラスで、歪点が６４０℃以上のものを対象とする。かかるガラスは、清澄可能な温度が高温域にあるため、ソーダライムシリケートガラスのように通常の芒硝による清澄ができないと考えられており、ヒ素による清澄が行われていた。
【００１７】
具体的には、重量表示で実質的に以下のような組成が例示できる。
ＳｉＯ2         ４０〜８０％、
Ａｌ2 Ｏ3         ０〜３５％、
Ｂ2 Ｏ3           ０〜２５％、
ＭｇＯ            ０〜３０％、
ＣａＯ            ０〜３０％、
ＳｒＯ            ０〜３０％、
ＢａＯ            ０〜３０％、
ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ  １〜５０％。
【００１８】
特に、以下のような２種類の組成は歪点が高いため、高温粘性が大きく、本発明が効果的に適用できる。すなわち、重量表示で実質的に、
ＳｉＯ2         ５５〜６５％、
Ａｌ2 Ｏ3       １０〜１８％、
Ｂ2 Ｏ3           ０〜  ３％、
ＭｇＯ            ０〜  ３％、
ＣａＯ            ８〜１５％、
ＳｒＯ            ８〜１５％、
ＢａＯ            ０〜  ２％、
ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ  １０〜３５％、
または、
ＳｉＯ2     ５８．４〜６５．０％、
Ａｌ2 Ｏ3   １５．３〜２２．０％、
Ｂ2 Ｏ3       ５．０〜１２．０％、
ＭｇＯ            ０〜  ６．０％、
ＣａＯ            ０〜  ７．０％、
ＳｒＯ        ４．０〜１２．０％、
ＢａＯ            ０〜  ２．０％、
ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ
９．０〜１８．０％、
となるものである。
【００１９】
本発明のガラスは、例えば次のような方法で製造できる。
通常使用される各成分の原料を目標成分になるように調合し、本発明の所定の清澄剤を添加したのち、これを熔解炉に連続的に投入し、１５００〜１６００℃に加熱して熔融する。この熔融ガラスを１２００〜１５００℃に保持することにより、泡ぬき（清澄）し、フロート法等により所定の板厚に成形し、徐冷後切断する。清澄時に減圧を併用してもよい。
【００２０】
【実施例】
【００２１】
表に本発明の実施例を示す。
ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｂ2 Ｏ3 、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯは工業用原料を用いて合計で１００重量部となるように調合し、ＳＯ3 、Ｃｌ、Ｆ、Ｆｅ2 Ｏ3 およびＳｎＯ2 （清澄剤）はこれに上乗せする形で加えた。
【００２２】
表中に示した「泡数（１）」は調合原料バッチ（５００ｇ）を白金坩堝に入れ、１６００℃で１時間熔解、徐冷後のガラス表面から１ｃｍ下から２ｃｍ下までの間にある泡の数（個／ｇ）を示す。また、「泡数（２）」には調合原料バッチ（５００ｇ）を白金坩堝にいれ１６００℃で３０分熔解後、通常のスクリュー状のスターラを用いて２０ｒｐｍで撹拌しながら２０分熔融、徐冷後のガラス表面から１ｃｍ下から２ｃｍ下までの間にある泡の数（個／ｇ）を示す。
【００２３】
表にはガラスの５０〜３５０℃での平均の熱膨張係数と歪点と耐塩酸性も示す。例４〜６、１０は実施例、例１〜３、７〜９、１３〜３１は比較例、例１１、１２は参考例である。特に例４〜６と例１７〜２０とを比較することにより、清澄剤の併用の効果がわかる。
【００２４】
実施例のガラスは泡数（１）に示すように熔融初期に泡の残りと、泡数（２））に示すように撹拌したときの泡の熔け残り、撹拌リボイル（再沸）泡がいずれも少なく、また、ガラスの均一性も良く、高品質なガラスの製造に適当であることがわかる。
また、これらの清澄剤は熱膨張係数、歪点、耐塩酸性に影響を与えず、好ましい清澄剤であるといえる。
【００２５】
また、ＳＯ3 、Ｃｌ、Ｆの量は添加量で示しているが、これらガラスを熔融する間に一部揮散してしまうため残存量はこれより少なくなる。この残存量はガラス組成に依存する。例えば、例３では、０．２％のＦ、０．２％のＣｌ、０．０５％のＳＯ3 などの残存がある。
【００２６】
【表１】
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【００２７】
【表２】
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【００２８】
【表３】
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【００２９】
【表４】
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【００３０】