(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出ヘッドに設けられた圧力発生素子に駆動波形を供給して前記吐出ヘッド内の機能液を液滴にして吐出し、前記液滴の吐出重量を測定する重量測定工程と、
前記吐出重量の測定結果に基づいて、液滴の吐出重量が目標重量になるように、前記駆動波形を調整する駆動波形調整工程と、
前記圧力発生素子に前記調整した駆動波形を供給して対象物へ液滴を吐出する吐出工程と
を備えた液滴吐出方法であって、
前記重量測定工程の前に、前記圧力発生素子に前記駆動波形を前記吐出工程における描画データ基づいて供給して、前記吐出ヘッドの飽和温度を求める飽和温度測定工程を備え、
前記重量測定工程は、前記圧力発生素子に微振動波形を供給して、前記吐出ヘッドを前記飽和温度測定工程で求めた前記飽和温度まで昇温させた後に液滴の吐出重量を計測することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出方法において、
前記吐出工程は、前記圧力発生素子に前記微振動波形を供給して前記吐出ヘッドを前記飽和温度まで昇温させた後に前記対象物に液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出方法において、
前記吐出ヘッドのヘッド本体側面には、該ヘッド本体からの放熱を抑制する断熱部材が設けられていることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の液滴吐出方法において、
前記吐出ヘッドが搭載されるキャリッジには、該キャリッジからの放熱を抑制する断熱部材が設けられていることを特徴とする液滴吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の製造工程におけるマザーガラスの大型化に伴い、機能液を使って基板上に所望のパターンを形成する装置として、機能液を液滴にして吐出するインクジェット装置、すなわち液滴吐出装置が用いられるようになった。液滴吐出装置は、ステージに載置される基板と機能液を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッドとを２次元的に相対移動させながら、液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の液滴を基板上の任意の箇所に配置することによりパターンを形成するため、材料使用量を最小限にできる上、エネルギー効率が良いため環境に優しい生産技術であると言われている。
【０００３】
近年では、複数の液滴吐出ヘッドを１つのキャリッジに搭載し、さらに、このキャリッジを複数搭載した多キャリッジタイプの産業用インクジェット装置が知られている。産業用インクジェット装置は、大画面カラーフィルタの製造などに用いられ、複数のキャリッジから同時に液滴を吐出することで、そのカラーフィルタの生産性を向上させている。
【０００４】
ところで、液滴吐出ヘッドは、別設のタンクなどから機能液が供給されるとともに、供給された機能液をその内部に設けたインク室（キャビティ）に一時的に貯留する。そして、ステージと相対向するように設けたノズルプレートに多数形成されたノズルからインク室に貯留した機能液を液滴にして吐出する。
【０００５】
詳述すると、液滴吐出ヘッドには、各ノズル毎に駆動素子（ピエゾ素子）及び同駆動素子を駆動させる駆動回路が設けられている。駆動素子は、駆動回路から駆動電圧が供給されると収縮及び伸張して、連結した振動板を振動させる。この振動板の振動がキャビティの容積を拡大及び縮小することによって、機能液をノズルから液滴にして吐出している。
【０００６】
ところで、例えば、カラーフィルタを製造する際に、カラーフィルタの基板に吐出される機能液の吐出重量にばらつきがあると、そのばらつきがカラーフィルタの膜厚ムラの原因となることが知られている。従って、基板に吐出される機能液の吐出重量は、均一であることが望まれる。そして、機能液の吐出重量を均一にするために、特許文献１の方法では、重量測定部を設けて、該重量測定部に多数の液滴を吐出させて重量測定を行い、その重量測定の結果に基づいて、液滴吐出ヘッドの吐出重量を調整するようにしている。
【特許文献１】特開２００４−２０９４２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の方法では、重量測定時と実際の描画時とでは、液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出重量が異なっている虞があった。詳述すると、液滴吐出装置は、停止状態から再び描画するときなどに重量測定を行っている。また、基板に描画しているとき、液滴吐出ヘッドの駆動素子などが発熱し、その熱影響を受けてキャビティ内の機能液の温度が徐々に高くなっていく。すなわち、描画中の機能液の温度と異なった温度状態で吐出重量測定を行っている。この機能液の温度の違いが、重量測定時と描画時とにおける液滴の吐出重量の違いを生じさせていた。
【０００８】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、実描画時の吐出重量を高精度に調整することによって、高精細な描画を可能にする液滴吐出方法を提供す
ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液滴吐出方法は、吐出ヘッドに設けられた圧力発生素子に駆動波形を供給して前記吐出ヘッド内の機能液を液滴にして吐出し、前記液滴の吐出重量を測定する重量測定工程と、前記吐出重量の測定結果に基づいて、液滴の吐出重量が目標重量になるように、前記駆動波形を調整する駆動波形調整工程と、前記圧力発生素子に前記調整した駆動波形を供給して対象物へ液滴を吐出する吐出工程とを備えた液滴吐出方法であって、前記重量測定工程の前に、前記圧力発生素子に前記駆動波形を前記吐出工程における描画データに基づいて供給して、前記吐出ヘッドの飽和温度を求める飽和温度測定工程を備え、前記重量測定工程は、前記圧力発生素子に微振動波形を供給して、前記吐出ヘッドを前記飽和温度測定工程で求めた前記飽和温度まで昇温させた後に液滴の吐出重量を計測する。
【００１０】
本発明の液滴吐出方法によれば、圧力発生素子に駆動波形を供給して吐出ヘッドの飽和温度を求めるとともに、その求めた飽和温度の状態で液滴の吐出重量測定を行うことができる。従って、例えば、対象物に液滴を吐出するための描画データに基づいて吐出ヘッドの飽和温度を求めることで、吐出工程時の吐出ヘッドと同じ温度状態で吐出重量測定を行うことができる。その結果、液滴の吐出重量を高精度に調整することができる。しかも、液滴吐出ヘッドの圧力発生素子に微振動波形を供給して、該液滴吐出ヘッドを飽和温度まで昇温させることから、機能液の消費を抑制することができる。また、吐出工程時の吐出ヘッドの飽和温度を求めることができる。従って、吐出工程時の吐出ヘッドと同じ温度状態で吐出重量測定を行うことができる。
【００１２】
この液滴吐出方法は、前記吐出工程は、前記圧力発生素子に前記微振動波形を供給して前記吐出ヘッドを前記飽和温度まで昇温させた後に前記対象物に液滴を吐出することが好ましい。
【００１３】
この液滴吐出方法によれば、吐出ヘッドを吐出工程時における飽和温度にした状態から対象物に液滴を吐出することができる。すなわち、吐出工程時の液滴吐出ヘッドの温度を、終始、飽和温度とすることができる。その結果、対象物に対して吐出重量の均一な液滴が吐出されることで高精細な描画を行うことができる。
【００１４】
この液滴吐出方法は、前記吐出ヘッドのヘッド本体側面には、該ヘッド本体からの放熱を抑制する断熱部材が設けられていることが好ましい。
この液滴吐出方法によれば、吐出ヘッドの周辺温度による該吐出ヘッドの温度変化を抑制することができる。従って、例えば吐出ヘッドの周辺温度が異なる場合であっても、その影響を受けることなく吐出ヘッドの飽和温度を測定することができる。
【００１５】
しかも、液滴吐出ヘッドの温度低下を抑制することで、該液滴吐出ヘッドを飽和温度まで昇温させるための微振動波形を与える回数を少なくすることができる。すなわち、液滴吐出ヘッドを飽和温度まで昇温させる際の消費電力を抑制することができる。
【００１６】
この液滴吐出方法は、前記吐出ヘッドが搭載されるキャリッジには、該キャリッジからの放熱を抑制する断熱部材が設けられていることが好ましい。
この液滴吐出方法によれば、例えば、キャリッジの内側の温度変化を抑制することができる。従って、吐出ヘッドに供給される機能液の温度変化を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を実施した液滴吐出方法の実施形態を図面に従って説明する。
図１は、ブラックマトリクスが形成されたガラス基板に赤、緑、青のカラーフィルタを形成するための液滴吐出装置１の概略構成を示している。液滴吐出装置１は、図１に示すように、床面に主走査方向（Ｘ軸方向）に延在した基台２が設置され、その上面に２ａに一対のＸ軸ガイドレール１１が主走査方向（Ｘ軸方向）に敷設され、その一対のＸ軸ガイドレール１１にはＸ軸移動プレート１２が載置されている。Ｘ軸移動プレート１２は、Ｘ軸ガイドレール１１に沿って主走査方向に移動可能に搭載されている。一対のＸ軸ガイドレール１１には、Ｘ軸リニアモータＭ１が備えられ、Ｘ軸リニアモータＭ１は、一対のＸ軸ガイドレール１１に載置されたＸ軸移動プレート１２を、エアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に往復移動させる。
【００１８】
尚、図１において、主走査方向をＸ軸方向、主走査方向（Ｘ軸方向）に直交する副走査方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向（上下方向）をＺ軸方向、Ｚ軸方向回りの回動方向をθ方向と表記する。
【００１９】
Ｘ軸移動プレート１２の上面には、搬送テーブルとしての基板ステージ１４が設けられている。基板ステージ１４は、真空吸着テーブルであって、その上面にガラス基板よりなるカラーフィルタ基板（ＣＦ基板という）Ｗを吸着固定し、同ＣＦ基板Ｗを搬送する。基板ステージ１４は、Ｘ軸移動プレート１２と基板ステージ１４との間に設けた破線で示すステージ回動機構１６によって、Ｘ軸移動プレート１２に対してθ方向に回動可能に支持固定されている。
【００２０】
従って、基板ステージ１４（ＣＦ基板Ｗ）は、Ｘ軸移動プレート１２とともにＸ軸方向（主走査方向）に移動する。また、基板ステージ１４（ＣＦ基板Ｗ）は、Ｘ軸移動プレート１２の平面（ＸＹ平面（水平面））に対して平行にθ方向に回動する。
【００２１】
前記Ｘ軸ガイドレール１１の上方向をＹ軸方向に跨ぐように、一対のＹ軸ガイドレール１８が配設されている。一対のＹ軸ガイドレール１８の一端の支柱１９ａは、基台２の上面２ａ一側に立設され、他端の支柱１９ｂは基台２から離間した床に立設されている。一対のＹ軸ガイドレール１８は、Ｘ軸方向に予め定めた間隔をおいて平行に配設されている。尚、本実施形態では、Ｙ軸方向に平行に延びた一対のＹ軸ガイドレール１８において、基台２の上方位置を作業領域、基台２から離間した位置を待機領域としている。
【００２２】
一対のＹ軸ガイドレール１８の間に、複数（本実施形態では、６個）のキャリッジプレート２１が差し渡されるように配置されている。そして、各キャリッジプレート２１は、Ｙ軸ガイドレール１８に沿って副走査方向（Ｙ軸方向）に移動可能に載置されている。一対のＹ軸ガイドレール１８には、Ｙ軸リニアモータＭ２を備え、Ｙ軸リニアモータＭ２は、一対のＹ軸ガイドレール１８に載置された各キャリッジプレート２１を、それぞれエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に往復移動させる。つまり、各キャリッジプレート２１は、Ｙ軸ガイドレール１８上の作業領域、待機領域を往復移動するようになっている。
【００２３】
各キャリッジプレート２１の上面には、機能液供給ユニット２２とヘッド用電装ユニット２３とが載置されている。機能液供給ユニット２２は、所定温度の機能液Ｆ（図５参照）を所定量貯蔵して、各液滴吐出ヘッド４０（図４及び図５参照）に機能液Ｆを供給するための供給回路装置である。ヘッド用電装ユニット２３は、各液滴吐出ヘッド４０を駆動するための電気信号を供給するための電気回路装置である。
【００２４】
また、ここでいう機能液Ｆとは、ＣＦ基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの枠内に配置される赤、緑、青のフィルタ用インクである。機能液Ｆは、ＣＦ基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの枠内に配置された後に乾燥されると、赤、緑、青のフィルタとなる。
【００２５】
図２に示すように、各キャリッジプレート２１の下面の中央位置には、吊下機構２５が設けられ、その吊下機構２５の下端部にキャリッジ３０が取着されている。
吊下機構２５は、吊下基板２６と、吊下回動枠２７と、吊下支持枠２８とを有している。吊下基板２６は、キャリッジプレート２１の下面中央位置に連結固定され、その下端部に吊下回動枠２７を連結している。吊下回動枠２７は、その下端部に吊下支持枠２８をθ方向に回動可能に連結支持している。吊下回動枠２７には、θ軸回動モータ（図示省略）を有し、θ軸回動モータは吊下支持枠２８を吊下基板２６（キャリッジプレート２１）に対してθ方向に回動させるようになっている。吊下支持枠２８には、キャリッジ３０が支持固定され、吊下機構２５に垂設されたキャリッジ３０をθ方向に回動させる。
【００２６】
図２に示すように、キャリッジ３０は、略直方体形状のキャリッジ枠３１を有している。キャリッジ枠３１の下端部には、ユニットプレート３４がネジ等（図示せず）により固設されている。また、キャリッジ枠３１には、該キャリッジ枠３１の側面と上部を覆うように、キャリッジ３０からの放熱を抑制する断熱部材３２が設けられている。ユニットプレート３４には、図３に示すように、該ユニットプレート３４に接着剤などを用いて固定されるヘッド保持部材３８を介して、液滴吐出ヘッド４０が着脱可能に、かつ、精度よく位置決め固定されて取り付けられている。本実施形態では、Ｘ軸方向に沿って並設された３個の液滴吐出ヘッド４０が、Ｙ軸方向と平行に２列、すなわち合計６個の液滴吐出ヘッド４０が取り付けられている。尚、図２において、キャリッジ枠３１の内側には各液滴吐出ヘッド４０に接続される配管や配線などが配設されているが、表示すると煩雑になるため図示を省略している。
（液滴吐出ヘッド４０）
次に、ヘッド保持部材３８を介してユニットプレート３４に取着した液滴吐出ヘッド４０について図４及び図５を参照して説明する。図４は、液滴吐出ヘッド４０を基板ステージ１４側から見た外観斜視図である。この液滴吐出ヘッド４０は、２つの接続針４２を有する液体導入部４１と、液体導入部４１の側方に連なるヘッド基板４３と、液体導入部４１に連なるポンプ部４４と、ポンプ部４４に連なるノズルプレート４５とを備えている。
【００２７】
液体導入部４１の接続針４２には、機能液供給ユニット２２に接続した図示しない配管接続部材が接続されている。ヘッド基板４３には、一対のヘッドコネクタ４３Ａが実装されており、当該ヘッドコネクタ４３Ａを介して、ヘッド用電装ユニット２３に接続された図示しないフレキシブルフラットケーブルが接続される。
【００２８】
一方、ポンプ部４４とノズルプレート４５とにより、方形のヘッド本体４０Ａが構成されている。
ノズルプレート４５のノズル形成面４５ａには、液滴Ｆｂを吐出する吐出ノズル４６からなる２本のノズル列４７が形成されている。２本のノズル列４７は相互に平行に列設されており、各ノズル列４７は、等ピッチで並設された１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル４６で構成されている。すなわち、ヘッド本体４０Ａのノズル形成面４５ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列４７が対称に配設されている。
【００２９】
図５は、ユニットプレート３４にヘッド保持部材３８を介して固定された液滴吐出ヘッド４０の要部断面を示している。液滴吐出ヘッド４０のポンプ部４４は、各吐出ノズル４６の上側にそれぞれキャビティ５２、振動板５３及び圧力発生素子としての圧電素子ＰＺを有している。各キャビティ５２は、それぞれ図示しない配管接続部材を介して機能液供
給ユニット２２に接続され、同機能液供給ユニット２２からの機能液Ｆ（フィルタ用インク）を収容し、そのフィルタ用インクを吐出ノズル４６に供給する。振動板５３は、各キャビティ５２に対向する領域をＺ方向に振動することによって、該キャビティ５２の容積を拡大及び縮小させて、これに伴って吐出ノズル４６のメニスカスを振動させる。各圧電素子ＰＺは、それぞれ駆動波形を受けるとき、Ｚ方向に収縮して伸張することによって、振動板５３の各領域をＺ方向に振動させる。各圧電素子ＰＺは、それぞれ振動板５３をＺ方向に振動させることで、該圧電素子ＰＺが受けた所定の駆動波形に応じて、キャビティ５２内の機能液Ｆ（フィルタ用インク）の一部を所定重量の液滴Ｆｂにして吐出ノズル４６から吐出させる（吐出動作）。また、各圧電素子ＰＺは、液滴を吐出させない程度の駆動波形（以下、微振動波形という）を受けたとき、吐出ノズル４６に形成されたメニスカスを振動させる（微振動動作）。そして、キャビティ５２内の機能液Ｆは、吐出動作および微振動動作によって発熱した圧電素子ＰＺによって加熱されるようになっている。
【００３０】
ポンプ部４４のＸ方向の両側面には、ステンレスなどの金属で形成された補強板４４Ｃがそれぞれ設けられている。補強板４４Ｃは、ポンプ部４４の強度を増大させ、圧電素子ＰＺの振動などによるポンプ部４４への影響を低減する。また、補強板４４Ｃには温度センサＳＥが取着され、キャビティ５２内の機能液Ｆの温度を検出するようになっている。
【００３１】
ポンプ部４４の基部側、すなわちヘッド本体４０Ａの基部側は、液体導入部４１を受けるべく方形フランジ状にフランジ部４８が形成されている。このフランジ部４８は、抜け止めの役目を果たすとともに、ヘッド止めネジ（図示せず）などを用いて、ヘッド保持部材３８と連結固定される連結部の役目を果たす。フランジ部４８には、液滴吐出ヘッド４０をヘッド保持部材３８に固定する小ネジ用のネジ孔（雌ネジ）４９が一対形成されている。そして、液滴吐出ヘッド４０は、ユニットプレート３４の所定位置に形成された貫通部とヘッド保持部材３８の貫通部とにヘッド本体４０Ａを貫挿させて、ヘッド保持部材３８を貫通してネジ孔４９と螺合するヘッド止めネジ（図示せず）によってヘッド保持部材３８に固定される。
【００３２】
ヘッド保持部材３８には、フランジ部４８の各隅部において該フランジ部４８と当接する位置規制ピン３９がそれぞれ設けられている。位置規制ピン３９は、液滴吐出ヘッド４０のフランジ部４８と当接することで、液滴吐出ヘッド４０のヘッド保持部材３８からの突出寸法を規制している。
【００３３】
また、図５に示すように、ポンプ部４４の側面であってヘッド保持部材３８から突出した部分には、シリコン樹脂などの断熱部材６１が接着固定されている。さらに、液滴吐出ヘッド４０とヘッド保持部材３８との隙間には、シリコン樹脂などを充填して形成された断熱部材６２が設けられている。断熱部材６１及び断熱部材６２は、液滴吐出ヘッド４０のヘッド本体４０Ａからの放熱を抑制する。すなわち、液滴吐出ヘッド４０の周辺温度によって該液滴吐出ヘッド４０の温度が変化することを抑制する。
【００３４】
尚、図２、図３、図４、及び図５に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と同一である。すなわち、ユニットプレート３４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、液滴吐出ヘッド４０に形成されたノズル列４７（図４参照）は、Ｙ軸方向に延在する構成になっている。
【００３５】
ここで、液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から連続して液滴Ｆｂを吐出しているとき、各吐出ノズル４６に対応するキャビティ５２内の機能液Ｆが圧電素子ＰＺによって加熱される。一方、各吐出ノズル４６から液滴Ｆｂを吐出すると、対応する吐出ノズル４６のキャビティ５２には機能液供給ユニット２２からキャビティ５２内の機能液Ｆの温度よりも低い温度の機能液Ｆが供給される。ＣＦ基板Ｗにパターンを形成するために液滴吐
出ヘッド４０から連続して液滴Ｆｂを吐出すると、図６に示すように、キャビティ５２内の機能液Ｆの温度が飽和する。そして、本実施形態では、この飽和した時の温度を飽和温度という。
【００３６】
尚、本実施形態では、各液滴吐出ヘッド４０は、それぞれの圧電素子ＰＺが同じ駆動波形を受けると同じ吐出重量の液滴Ｆｂが吐出されるとともに、それぞれの飽和温度が等しくなるようになっている。
（検査ユニット７０）
次に、液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂを事前に検査する検査ユニット７０について説明する。
【００３７】
図１に示すように、前記基台２に敷設された一対のＸ軸ガイドレール１１には、検査ユニット７０がＸ軸ガイドレール１１に沿って主走査方向に移動可能に配置されている。
詳述すると、検査ユニット７０は、移動ブロック７１を有し、移動ブロック７１は、Ｘ軸ガイドレール１１に沿って主走査方向に移動可能に搭載されている。そして、移動ブロック７１は、一対のＸ軸ガイドレール１１に備えられたＸ軸リニアモータＭ１にてエアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に往復移動する。
【００３８】
移動ブロック７１の上面の基板ステージ１４側には、検査台７２が設置固定されている。検査台７２は、Ｙ軸方向に沿って長く延び、その上面には、表面にフィルムコーティングが施された被検出紙Ｐが配置されている。検査台７２に配置した被検出紙Ｐは、検査台７２が液滴吐出ヘッド４０の直下に案内された時に、各キャリッジ３０の液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から吐出された液滴Ｆｂが着弾されるようになっている。
【００３９】
移動ブロック７１の上面であって検査台７２に隣接した位置には、液滴回収台７３が前記キャリッジ３０の数（６個）だけ設けられ、その各液滴回収台７３がＹ軸方向に沿って並設されている。
【００４０】
各液滴回収台７３の受け口７３ａは、各液滴回収台７３が対応するキャリッジ３０の直下に案内された時に、各キャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から液滴が吐出され、その液滴Ｆｂを受け止めて収容するようになっている。つまり、例えば、液滴吐出ヘッド４０の飽和温度を測定するために吐出された液滴Ｆｂを液滴回収台７３で回収するようになっている。
【００４１】
移動ブロック７１の上面であって並設された液滴回収台７３に隣接した位置には、重量測定ユニット７４が前記キャリッジ３０の数（６個）だけ設けられ、その各重量測定ユニット７４がＹ軸方向に沿って並設されている。
【００４２】
各重量測定ユニット７４は、その上面の中央付近に重量測定天秤（図示せず）の受液容器７８がそれぞれ設けられている。受液容器７８は、各キャリッジ３０（キャリッジプレート２１）及び重量測定ユニット７４（移動ブロック７１）を適宜移動させることによって、対応するキャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０の直下に配置される。重量測定ユニット７４は、対応するキャリッジ３０の直下に案内された時に、各キャリッジ３０の任意の１つの液滴吐出ヘッド４０の各吐出ノズル４６から吐出された液滴Ｆｂが受液容器７８に着弾し、その重量を計測するようになっている。
【００４３】
また、重量測定ユニット７４には、液滴回収エリア７９が設けられている。液滴回収エリア７９は、各キャリッジ３０の任意の１つの液滴吐出ヘッド４０が受液容器７８に臨んだとき、他の全ての液滴吐出ヘッド４０（本実施形態では、５個）が、液滴回収エリア７９に向かって液滴Ｆｂを吐出することができるように形成され、その吐出動作による液滴
を回収するようになっている。
【００４４】
次に、液滴吐出装置１の電気的構成を図７に従って説明する。図７は、液滴吐出装置１の電気的構成を示すブロック図である。
図７において、制御装置１００は、ＣＰＵ１０１、ＲＯＭ１０２、ＲＡＭ１０３等を有している。制御装置１００は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、Ｘ軸移動プレート１２の搬送処理、各キャリッジプレート２１の搬送処理、及び、液滴吐出ヘッド４０を駆動してＣＦ基板Ｗにパターンを形成する描画処理などを実行する。
【００４５】
また、制御装置１００は、各キャリッジ３０に設けた各液滴吐出ヘッド４０が吐出する液滴Ｆｂの吐出重量を測定する重量測定処理を実行するとともに、重量測定に基づく各液滴吐出ヘッド４０の液滴Ｆｂの吐出重量調整処理などを実行する。制御装置１００は、各液滴吐出ヘッド４０の飽和温度を求める飽和温度測定処理、及び、各該液滴吐出ヘッド４０の温度を調整する温度調整処理などを実行する。
【００４６】
制御装置１００には、各種操作スイッチとディスプレイを有した入出力装置１０４が接続されている。入出力装置１０４は、液滴吐出装置１が実行する各種処理の処理状況を表示する。入出力装置１０４は、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでカラーフィルタのパターンを形成するための描画データ（ビットマップデータＢＤ）を生成し、そのビットマップデータＢＤを制御装置１００に入力する。また、制御装置１００は、入力されたビットマップデータＢＤをＲＡＭ１０３に記憶する。
【００４７】
ビットマップデータＢＤは、各ビットの値（０あるいは１）に応じて各圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定したデータである。ビットマップデータＢＤは、液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下をＣＦ基板Ｗが通過する際、ＣＦ基板Ｗの予め特定された各位置に、液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定したデータである。
【００４８】
すなわち、ビットマップデータＢＤは、ＣＦ基板Ｗに液滴Ｆｂでカラーフィルタのパターンを描画するために、液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下を、何度もＣＦ基板Ｗを往復動させ、その往動及び復動する毎に、カラーフィルタのパターンを描画するために用意された、配置位置に液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定したデータである。
【００４９】
詳述すると、液滴吐出ヘッド４０（各吐出ノズル４６）の直下を、往動及び復動する毎に用意された、対応するビットマップデータＢＤをつかって、液滴Ｆｂを吐出させれば、ＣＦ基板Ｗにカラーフィルタのパターンが描画されることになる。
【００５０】
そして、本実施形態では、このＣＦ基板Ｗに描画するカラーフィルタのパターンは、予め設計等で求め、その求めたパターンからビットマップデータＢＤが作成される。
また、ＲＯＭ１０２には、圧電素子ＰＺを微振動させるための微振動波形データ、実描画時において圧電素子ＰＺを駆動させるための駆動電圧値Ｖｈの駆動電圧値基準データ、吐出重量検査用の重量測定吐出データ、飽和温度測定用の温度測定吐出データ、が予め記憶されている。
【００５１】
微振動波形データは、圧電素子ＰＺを微振動させるときに、該圧電素子ＰＺを微振動させるための微振動波形を規定したデータである。
駆動電圧値基準データは、液滴吐出ヘッド４０の基準となる液滴吐出ヘッド４０が予め定めた所定温度であるときに予め定めた所定吐出重量の液滴Ｆｂを吐出させるための基準駆動電圧値を規定したデータである。
【００５２】
重量測定吐出データは、前記各キャリッジ３０に設けた液滴吐出ヘッド４０を、前記重
量測定ユニット７４の受液容器７８の直上位置で駆動させて（重量測定吐出動作）、前記受液容器７８に液滴吐出ヘッド４０から液滴Ｆｂを吐出させるためのデータである。温度測定吐出データは、前記各キャリッジ３０に設けた液滴吐出ヘッド４０を、前記液滴回収台７３の直上位置で駆動させて（温度測定吐出動作）、前記液滴回収台７３に液滴吐出ヘッド４０から液滴Ｆｂを吐出させるためのデータである。
【００５３】
測定液滴吐出データ及び温度測定吐出データは、本実施形態では、前記ビットマップデータＢＤとしている。また、このときに各圧電素子ＰＺに供給される駆動波形は、実描画時に圧電素子ＰＺを駆動させるための駆動電圧値Ｖｈに基づいた駆動波形としている。すなわち、測定液滴吐出動作及び温度測定吐出動作は、実際にＣＦ基板Ｗにパターンを形成する吐出動作と同じ吐出動作を各液滴吐出ヘッド４０に行わせる。
【００５４】
制御装置１００には、Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５が接続されている。制御装置１００は、駆動制御信号をＸ軸リニアモータ駆動回路１０５に出力する。Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、Ｘ軸移動プレート１２（ＣＦ基板Ｗ）を移動させるためのＸ軸リニアモータＭ１を駆動させる。また、Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、検査ユニット７０の移動ブロック７１を移動させるためのＸ軸リニアモータＭ１を駆動させる。
【００５５】
制御装置１００には、Ｙ軸リニアモータ駆動回路１０６が接続されている。制御装置１００は、駆動制御信号をＹ軸リニアモータ駆動回路１０６に出力する。Ｙ軸リニアモータ駆動回路１０６は、制御装置１００からの駆動制御信号に応答して、キャリッジプレート２１を移動させるためのＹ軸リニアモータＭ２を駆動させる。
【００５６】
制御装置１００には、各キャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０毎に設けられた、温度センサＳＥが電気的に接続されている。温度センサＳＥは、液滴吐出ヘッド４０内の機能液Ｆの温度を検出し、その検出信号を制御装置１００に出力する。
【００５７】
制御装置１００は、温度センサＳＥの検出信号に基づいて、各液滴吐出ヘッド４０の飽和温度Ｔを求める。詳述すると、制御装置１００は、温度測定吐出動作を行った直後の液滴吐出ヘッド４０の温度を飽和温度Ｔとして検出する。制御装置１００は、その検出した飽和温度Ｔを該液滴吐出ヘッド４０と関連付けてＲＡＭ１０３に記憶して飽和温度データを生成する。すなわち、飽和温度データは、各液滴吐出ヘッド４０の飽和温度Ｔを規定したデータである。
【００５８】
尚、本実施形態では、各液滴吐出ヘッド４０の飽和温度Ｔが等しくなるため、制御装置１００は、１つの液滴吐出ヘッド４０を選択し、その選択された液滴吐出ヘッド４０の飽和温度Ｔを求めて、その求めた飽和温度Ｔを各液滴吐出ヘッド４０の飽和温度に設定する。
【００５９】
制御装置１００は、各液滴吐出ヘッド４０がそれぞれの飽和温度Ｔとなるように各圧電素子ＰＺを駆動させる。制御装置１００は、ＲＡＭ１０３に記憶した飽和温度データと温度センサＳＥの検出信号とに基づいて、液滴吐出ヘッド４０の各圧電素子ＰＺに対して、ＲＯＭ１０２に予め記憶した微振動波形を供給し、キャビティ５２内の機能液Ｆを加熱して、各液滴吐出ヘッド４０をそれぞれの飽和温度Ｔまで昇温させる。
【００６０】
制御装置１００は、重量測定ユニット７４と電気的に接続されている。制御装置１００は、重量測定ユニット７４から、その時々で各受液容器７８に測定液滴吐出動作に基づいて行われたキャリッジ３０の各液滴吐出ヘッド４０から吐出された液滴Ｆｂの総吐出重量を求め、各液滴吐出ヘッド４０が吐出ノズル４６から吐出した液滴Ｆｂの吐出重量（平均
吐出重量Ｗａｖ）を各液滴吐出ヘッド４０毎に求める。
【００６１】
制御装置１００は、各液滴吐出ヘッド４０の平均吐出重量Ｗａｖが求まると、平均吐出重量Ｗａｖと予め定めた目標重量としての基準吐出重量Ｗｋと等しいか否かを判断する。そして、制御装置１００は、その判断した結果に基づいて、平均吐出重量Ｗａｖが基準吐出重量Ｗｋとなるように、実描画時に各圧電素子ＰＺを駆動させるための駆動電圧値Ｖｈを液滴吐出ヘッド４０毎に調整する。
【００６２】
尚、制御装置１００は、平均吐出重量Ｗａｖが基準吐出重量Ｗｋと同じになるように駆動電圧値Ｖｈを調整するとき、予めＲＯＭ１０２に記憶した、平均吐出重量Ｗａｖと基準吐出重量Ｗｋとを関連付けた補正データに基づいて行うようになっている。また、本実施形態では、各液滴吐出ヘッド４０の駆動電圧値Ｖｈが等しくなるため、制御装置１００は、前記選択された液滴吐出ヘッド４０の駆動電圧値Ｖｈを求めて、その求めた駆動電圧値Ｖｈを各液滴吐出ヘッド４０の駆動電圧値に設定する。
【００６３】
制御装置１００には、駆動波形生成部１０７が設けられている。制御装置１００は、駆動波形生成部１０７を用いて、駆動電圧値Ｖｈに基づき実描画時に圧電素子ＰＺに対して供給する駆動波形ＣＯＭを液滴吐出ヘッド４０毎に生成する。図８は、駆動波形ＣＯＭの一例を示し、駆動波形ＣＯＭの第１立ち上がり勾配部６６及び第２立ち上がり勾配部６８では、圧電素子ＰＺが収縮しキャビティ５２の容積を拡大させて、図示しない配管接続部材を介して該キャビティ５２に機能液Ｆを機能液供給ユニット２２から導入する。一方、立ち下がり勾配部６７では、圧電素子ＰＺが伸張してキャビティ５２の容積を縮小させて、吐出ノズル４６からキャビティ５２内の機能液Ｆが液滴Ｆｂとして吐出される。制御装置１００は、圧電素子ＰＺに供給する駆動波形ＣＯＭの駆動電圧値Ｖｈを調整することにより、すなわちキャビティ５２に導入される機能液Ｆを調整することにより、各吐出ノズル４６から吐出される液滴Ｆｂの吐出重量を調整する。制御装置１００は、液滴吐出ヘッド４０毎に生成した駆動波形ＣＯＭと該液滴吐出ヘッド４０とを関連付けてＲＡＭ１０３に記憶して描画駆動波形データを生成する。すなわち、描画駆動波形データは、各液滴吐出ヘッド４０の駆動波形ＣＯＭを規定したデータである。
【００６４】
制御装置１００には、液滴吐出ヘッド４０毎に設けられたヘッド駆動回路１０８が接続されている。制御装置１００は、所定の吐出周波数に同期させた吐出タイミング信号ＬＴをヘッド駆動回路１０８に出力する。制御装置１００は、駆動波形生成部１０７にて生成された各液滴吐出ヘッド４０の駆動波形ＣＯＭを所定の吐出周波数に同期させて、それぞれ対応するヘッド駆動回路１０８に出力する。
【００６５】
詳述すると、制御装置１００は、ビットマップデータＢＤを利用して所定の周波数に同期したパターン形成用制御信号ＳＩを生成し、パターン形成用制御信号ＳＩをヘッド駆動回路１０８にシリアル転送する。ヘッド駆動回路１０８は、制御装置１００からのパターン形成用制御信号ＳＩを各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換する。ヘッド駆動回路１０８は、制御装置１００からの吐出タイミング信号ＬＴを受けるたびに、シリアル／パラレル変換したパターン形成用制御信号ＳＩをラッチし、パターン形成用制御信号ＳＩによって選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動波形ＣＯＭを供給する。
【００６６】
次に、このように構成した液滴吐出装置１の液滴吐出方法について図９を用いて説明する。
これから液滴吐出装置１は、停止状態から再び描画を行う。このとき、各キャリッジ３０は、待機領域に配置されている。
【００６７】
制御装置１００は、Ｙ軸リニアモータ駆動回路１０６を介してＹ軸リニアモータＭ２を
駆動させ、待機領域に位置している各キャリッジ３０を作業領域へと移動配置する。
続いて、制御装置１００は、Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５を介して、検査ユニット７０の移動ブロック７１を移動させ、各液滴回収台７３を対応するキャリッジ３０の直下に配置する。
【００６８】
制御装置１００は、ＲＯＭ１０２に記憶した駆動電圧値基準データから基準駆動電圧値を読み出し、該基準駆動電圧値を実描画時に圧電素子ＰＺを駆動するための駆動電圧値Ｖｈとして設定する（ステップＳ１１）。
【００６９】
制御装置１００は、駆動電圧値Ｖｈに基づいて、駆動波形生成部１０７にて実描画時の駆動波形である駆動波形ＣＯＭを生成する（ステップＳ１２）。
制御装置１００は、１つの液滴吐出ヘッド４０を選択し、選択した液滴吐出ヘッド４０に対して駆動波形ＣＯＭを用いて温度測定吐出動作を行い、温度センサＳＥの検出信号に基づいて、駆動波形ＣＯＭにおける液滴吐出ヘッド４０の飽和温度Ｔを求める（飽和温度測定工程：ステップＳ１３）。制御装置１００は、その求めた飽和温度Ｔを各液滴吐出ヘッド４０の飽和温度としてＲＡＭ１０３に記憶し、飽和温度データを生成する。
【００７０】
制御装置１００は、Ｘ軸リニアモータ駆動回路１０５を介して移動ブロック７１を移動させて、対応する重量測定ユニット７４の受液容器７８を液滴吐出ヘッド４０の直下に配置する。
【００７１】
制御装置１００は、重量測定ユニット７４を所定の位置に配置すると、ＲＯＭ１０２に記憶した微振動波形データから微振動波形を読み出して、前記選択された液滴吐出ヘッド４０の圧電素子ＰＺに該微振動波形を供給する。このとき、液滴Ｆｂは液滴吐出ヘッド４０から吐出されない。制御装置１００は、温度センサＳＥの検出信号に基づいて、該液滴吐出ヘッド４０が飽和温度Ｔになるまで各圧電素子ＰＺに微振動波形を供給する（ステップＳ１４）。
【００７２】
制御装置１００は、各液滴吐出ヘッド４０を飽和温度Ｔまで昇温させると、圧電素子ＰＺの微振動を停止するとともに、測定液滴吐出動作を行って該液滴吐出ヘッド４０から吐出される液滴Ｆｂの平均吐出重量Ｗａｖを算出する（重量測定工程：ステップＳ１５）。
【００７３】
制御装置１００は、求めた平均吐出重量Ｗａｖと基準吐出重量Ｗｋとが等しいか否かを判断する。（ステップＳ１６）。
制御装置１００は、平均吐出重量Ｗａｖと基準吐出重量Ｗｋとが異なるとき（ステップＳ１６においてＮＯ）、ＲＯＭ１０２に予め記憶した補正データに基づいて、平均吐出重量Ｗａｖが基準吐出重量Ｗｋになるように駆動電圧値Ｖｈを調整する（ステップＳ１７）。そして、制御装置１００は、ステップＳ１２に戻り、調整した駆動電圧値Ｖｈに基づいて、再度、駆動波形ＣＯＭを求める。制御装置１００は、平均吐出重量Ｗａｖと基準吐出重量Ｗｋとが等しくなるまでステップＳ１２からステップＳ１７を繰り返し実行する（駆動波形調整工程）。
【００７４】
一方、平均吐出重量Ｗａｖと基準吐出重量Ｗｋとが等しいとき（ステップＳ１６においてＹＥＳ）、制御装置１００は、ステップＳ１２で生成した駆動波形ＣＯＭを液滴吐出ヘッド４０の駆動波形として設定する（ステップＳ１８）とともに、駆動波形ＣＯＭと液滴吐出ヘッド４０とを関連付けてＲＡＭ１０３に記憶して描画駆動波形データを生成する。
【００７５】
制御装置１００は、描画駆動波形データを生成すると、検査ユニット７０を移動させる。そして、制御装置１００は、各液滴吐出ヘッド４０の全圧電素子ＰＺに微振動波形を供給し、温度センサＳＥの検出信号とＲＡＭ１０３に記憶した飽和温度データとに基づいて
、各液滴吐出ヘッド４０を飽和温度Ｔになるまで圧電素子ＰＺを微振動させる（ステップＳ１９）。
【００７６】
制御装置１００は、各液滴吐出ヘッド４０が飽和温度Ｔになると、ＲＡＭ１０３に記憶した描画駆動波形データから各液滴吐出ヘッド４０の駆動波形ＣＯＭを読み出して、ＣＦ基板ＷにビットマップデータＢＤに基づいて液滴Ｆｂを吐出して描画を行う（吐出工程：ステップＳ２０）。
【００７７】
従って、重量測定時の液滴吐出ヘッド４０の温度を実描画時の飽和温度Ｔとすることができることから、液滴Ｆｂの吐出重量を基準吐出重量Ｗｋに対して高精度に調整することができる。また、描画開始時の液滴吐出ヘッド４０の温度を飽和温度Ｔとすることから、描画中の液滴吐出ヘッド４０の温度を、終始、飽和温度Ｔとすることができる。つまり、ＣＦ基板Ｗに吐出重量が均一な液滴Ｆｂを吐出することができることから、高精細なパターンを形成することができる。
【００７８】
上記実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態によれば、液滴吐出ヘッド４０に実描画時におけるビットマップデータＢＤ及び駆動波形ＣＯＭに基づいて、液滴吐出ヘッド４０の飽和温度Ｔを求めた。そして、液滴吐出ヘッド４０をその求めた飽和温度Ｔに昇温させた後に液滴Ｆｂの吐出重量測定を行い、液滴Ｆｂの吐出重量が基準吐出重量Ｗｋになるように駆動電圧値Ｖｈを調整した。
【００７９】
また、液滴吐出ヘッド４０の圧電素子ＰＺに微振動波形を供給して、該液滴吐出ヘッド４０を飽和温度Ｔに調整した。
従って、実描画時における液滴吐出ヘッド４０の飽和温度Ｔを求めるとともに、その求めた飽和温度Ｔに液滴吐出ヘッド４０を昇温させた後に吐出重量測定を行うことから、実描画時と同じ温度状態で液滴Ｆｂの吐出重量測定を行うことができる。その結果、実描画中における液滴Ｆｂの吐出重量を基準吐出重量Ｗｋに対して高精度に調整することができる。しかも、液滴吐出ヘッド４０は、圧電素子ＰＺに微振動波形を供給され飽和温度Ｔに昇温されることから、機能液Ｆの消費を抑制することができる。
【００８０】
（２）上記実施形態によれば、圧電素子ＰＺに微振動波形を供給して液滴吐出ヘッド４０の温度をそれぞれの飽和温度Ｔにした後にＣＦ基板Ｗに描画を行った。
従って、描画開始時における液滴吐出ヘッド４０の温度を飽和温度Ｔとすることができる。つまり、実描画中の液滴吐出ヘッド４０の温度を、終始、飽和温度Ｔとすることができる。その結果、実描画中に吐出される液滴Ｆｂの吐出重量が、終始、基準吐出重量Ｗｋとなることから、ＣＦ基板Ｗに高精細な描画を行うことができる。
【００８１】
（３）上記実施形態によれば、液滴吐出ヘッド４０のヘッド本体４０Ａの側面に断熱部材６１を設けた。また、ヘッド保持部材３８と液滴吐出ヘッド４０との間に断熱部材６２を設けた。
【００８２】
従って、液滴吐出ヘッド４０の周辺温度による該液滴吐出ヘッド４０の温度変化を抑制することができる。その結果、例えば各液滴吐出ヘッド４０の周辺温度が異なる場合であっても、液滴吐出ヘッド４０の飽和温度Ｔを正確に求めることができる。
【００８３】
しかも、液滴吐出ヘッド４０の温度低下を抑制することで、該液滴吐出ヘッド４０を飽和温度Ｔまで昇温させるための微振動波形を与える回数を少なくすることができる。すなわち、液滴吐出ヘッド４０を飽和温度Ｔまで昇温させる際の消費電力を抑制することができる。
【００８４】
（４）上記実施形態によれば、キャリッジ枠３１の側面及び上部を覆うように、キャリッジ３０からの放熱を抑制する断熱部材３２を取着した。
従って、キャリッジ枠３１の内側の温度変化を抑制し、液滴吐出ヘッド４０に供給される機能液Ｆの温度変化を抑制することができる。
【００８５】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態によれば、各液滴吐出ヘッド４０の飽和温度Ｔ及び駆動電圧値Ｖｈが等しい液滴吐出装置１に具体化した。これに限らず、各液滴吐出ヘッド４０の飽和温度Ｔ及び駆動電圧値Ｖｈが異なる液滴吐出装置１に具体化してもよい。このとき、ステップＳ１１からステップ１８までを各液滴吐出ヘッド４０に対して行い、各液滴吐出ヘッド４０の飽和温度Ｔ及び駆動電圧値Ｖｈを求めるたび毎に、飽和温度データ及び描画駆動波形データを更新していくとよい。
【００８６】
・上記実施形態によれば、液滴Ｆｂの吐出重量測定を液滴吐出装置１が休止状態から再び描画するときに行った。これに限らず、例えば、予め定めた時間毎などに定期的に行ってもよい。このとき、ステップＳ１１において、基準駆動電圧値に代えて、吐出重量測定直前の吐出工程時に用いていた駆動電圧値を使用してもよい。
【００８７】
・上記実施形態によれば、キャリッジ３０のキャリッジ枠３１の側面及び上部を覆うように断熱部材３２を設けた。これ限らず、キャリッジ枠３１の内側に設けてもよいし、キャリッジ枠３１に断熱部材を設けなくてもよい。
【００８８】
・上記実施形態によれば、液滴吐出ヘッド４０のヘッド本体４０Ａの側面に断熱部材６１及び断熱部材６２を設けた。これに限らず、断熱部材６１及び断熱部材６２を省いてもよい。
【００８９】
・上記実施形態では、温度センサＳＥの検出信号に基づいて、微振動波形の供給を停止した。これに限らず、例えば、液滴吐出ヘッド４０に微振動波形を供給する前の温度を測定し、その測定した温度に基づいて、圧電素子ＰＺの微振動の回数などを予め決定するようにしてもよい。
【００９０】
・上記実施形態では、吐出工程の前に圧電素子ＰＺを微振動させて各液滴吐出ヘッド４０を飽和温度Ｔまで昇温させた。これに限らず、液滴吐出ヘッド４０が飽和温度Ｔまで昇温させるための微振動を省略してもよい。これによれば、例えば、吐出重量測定の直後に描画を行うときなど、描画開始時において液滴吐出ヘッド４０が飽和温度Ｔに近い温度状態であるときに、省略することで液滴吐出装置１の稼働率の低下を回避することができる。
【００９２】
・上記実施形態では、キャビティ５２内の機能液Ｆの温度を検出する温度センサＳＥを液滴吐出ヘッド４０の側面に設けた補強板４４Ｃに取着した。これに限らず、例えば、キャビティ５２内に配設してもよい。
【００９３】
・上記実施形態では、駆動波形ＣＯＭの駆動電圧値Ｖｈを変更することによって、液滴Ｆｂの吐出重量を調整した。これに限らず、例えば、駆動波形ＣＯＭの立ち下がり勾配部６７の傾きを調整することによって液滴Ｆｂの吐出重量を調整してもよい。
【００９４】
・上記実施形態では、圧電素子駆動方式の液滴吐出ヘッド４０に具体化した。これに限らず、抵抗加熱方式や静電駆動方式の液滴吐出ヘッドに具体化してもよい。
・上記実施形態では、液滴吐出ヘッド４０を６つ搭載したキャリッジ、及び、該キャリッジを６つ搭載した液滴吐出装置１に具体化した。これに限らず、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドの配置や数、及び、液滴吐出装置に搭載されるキャリッジの数は、適宜変更してもよい。
【００９５】
・上記実施形態では、カラーフィルタ用インクを液滴にして吐出させてＣＦ基板Ｗにカラーフィルタを形成する液滴吐出装置１に具体化した。これに限らず、金属配線を形成する液滴吐出装置、絶縁層を形成する液滴吐出装置、液晶層や配向膜を形成する液滴吐出装置、有機ＥＬ表示装置の発光層や輸送層等を形成する液滴吐出装置等に応用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。
【図２】キャリッジプレートとキャリッジの関係を表す平面図。
【図３】液滴吐出ヘッドを搭載したユニットプレートをノズルプレート側から見た斜視図。
【図４】液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た斜視図。
【図５】ユニットプレートに対して固定された液滴吐出ヘッドの要部断面図。
【図６】液滴吐出ヘッドの温度変化を表すグラフ。
【図７】液滴吐出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。
【図８】駆動波形の一例を示すグラフ。
【図９】本発明の液滴吐出方法を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００９７】
ＢＤ…ビットマップデータ、ＣＯＭ…駆動波形、Ｆ…機能液、Ｆｂ…液滴、ＬＴ…吐出タイミング信号、Ｍ１…Ｘ軸リニアモータ、Ｍ２…Ｙ軸リニアモータ、ＰＺ…圧電素子、ＳＩ…パターン形成用制御信号、Ｔ…飽和温度、Ｖｈ…駆動電圧値、Ｗ…ＣＦ基板、Ｗｋ…基準吐出重量、Ｗａｖ…平均吐出重量、１…液滴吐出装置、２…基台、２ａ…上面、１１…Ｘ軸ガイドレール、１２…Ｘ軸移動プレート、１４…基板ステージ、１６…ステージ回動機構、１８…Ｙ軸ガイドレール、１９ａ…支柱、１９ｂ…支柱、２１…キャリッジプレート、２２…機能液供給ユニット、２３…ヘッド用電装ユニット、２５…吊下機構、２６…吊下基板、２７…吊下回動枠、２８…吊下支持枠、３０…キャリッジ、３１…キャリッジ枠、３２…断熱部材、３４…ユニットプレート、３８…ヘッド保持部材、４０…液滴吐出ヘッド、４０Ａ…ヘッド本体、４１…液体導入部、４２…接続針、４３…ヘッド基板、４３Ａ…ヘッドコネクタ、４４…ポンプ部、４４Ｃ…補強板、４５…ノズルプレート、４５ａ…ノズル形成面、４６…吐出ノズル、４７…ノズル列、４８…フランジ部、４９…ネジ孔、５２…キャビティ、５３…振動板、６１，６２…断熱部材、７０…検査ユニット、７３…液滴回収台、７３ａ…受け口、７４…重量測定ユニット、７８…受液容器、７９…液滴回収エリア、１００…制御装置、１０１…ＣＰＵ、１０２…ＲＯＭ、１０３…ＲＡＭ、１０４…入出力装置、１０５…Ｘ軸リニアモータ駆動回路、１０６…Ｙ軸リニアモータ駆動回路、１０７…駆動波形生成部、１０８…ヘッド駆動回路。
【図１】
0005272427.tif 000002
【図２】
0005272427.tif 000003
【図３】
0005272427.tif 000004
【図４】
0005272427.tif 000005
【図５】
0005272427.tif 000006
【図６】
0005272427.tif 000007
【図７】
0005272427.tif 000008
【図８】
0005272427.tif 000009
【図９】
0005272427.tif 000010