(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一面内に、読み出し専用のＲＯＭ領域と、記録、再生、及び消去の少なくともいずれかが可能な録再領域との２種領域が混在し、かつ前記ＲＯＭ領域に関する情報が内周の所定の領域に記録されている成形用スタンパを有する光ディスク基板の成形金型であって、
前記成形用スタンパの載置される金型部品のキャビティ構成面が、離型用圧縮空気の一時的な蓄圧機能を有する蓄圧機能手段を備えていることを特徴とする光ディスク基板の成形金型。
【請求項２】
金型部品のキャビティ構成面が、スタンパ保持部材を有する請求項１に記載の光ディスク基板の成形金型。
【請求項３】
蓄圧機能手段が、連続もしくは非連続の環状凸部、又は連続もしくは非連続の環状凹部を有する請求項１から２のいずれかに記載の光ディスク基板の成形金型。
【請求項４】
同一面内に、読み出し専用のＲＯＭ領域と、記録、再生、及び消去の少なくともいずれかが可能な録再領域との２種領域が混在し、かつ前記ＲＯＭ領域に関する情報が内周の所定の領域に記録されている光ディスク基板の成形用スタンパであって、
前記成形用スタンパの情報形成面の一部に離型用圧縮空気の一時的な蓄圧機能を有する蓄圧機能手段を備えていることを特徴とする光ディスク基板の成形用スタンパ。
【請求項５】
蓄圧機能手段が、本来の情報領域と隣接する他の領域に情報列の中心と同心であり、かつ情報の記録及び再生には関与しない、少なくとも１本の連続もしくは非連続の環状凸部を有する請求項４に記載の光ディスク基板の成形用スタンパ。
【請求項６】
環状凸部の断面形状高さをｈ１とし、所定の情報を担う凸部の断面形状高さをｈ０とすると、次式、ｈ１＞ｈ０の関係を満たす請求項５に記載の光ディスク基板の成形用スタンパ。
【請求項７】
環状凸部の断面形状が、所定の情報を担う凸部の断面形状より急峻な形状である請求項５に記載の光ディスク基板の成形用スタンパ。
【請求項８】
環状凸部の断面形状が、その底部の幅より頭頂部の幅の方が相対的に広い請求項５に記載の光ディスク基板の成形用スタンパ。
【請求項９】
環状凸部が、ガラス原盤上に少なくとも感光剤を含有する層を多数積層した多層構造から形成され、該多層構造のうち、ガラス原盤と接する側である下層に含まれる感光剤の感度が、該下層よりも上側の層に含まれる感光剤の感度より高い請求項８に記載の光ディスク基板の成形用スタンパ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、同一面内に、読み出し専用の領域（以下、「ＲＯＭ領域」と称することもある）と、情報の記録、情報の再生、及び情報の消去の少なくともいずれかが可能な録再領域との２種領域が混在する光ディスク基板の作製に用いられる成形金型及び成形用スタンパ、並びにこれらを用いて作製された光ディスク基板及び光情報記録媒体（以下、「光記録媒体」、「光ディスク」と称することもある）に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、多機能の記録系光ディスクとして、予めＲＯＭ領域を有する光情報記録媒体が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２、及び特許文献３参照）。このような光記録媒体では、その内周のＲＯＭ領域に所定の情報が物理的な凹凸形状として記録されており、その外周部にユーザが記録できる録再領域を有している。このＲＯＭ領域に関する情報は、光記録媒体の最内周に存在するプログラムメモリエリア（ＰＭＡ領域）に記録されており、あたかもブランクディスクに記録された第１セッションとして扱われている。
このような光記録媒体を製造するにあたり、成形基板上には深さの異なる凹凸パターンが混在することになる。それは、ＲＯＭとして機能するピット領域と、記録を可能とするグルーブ領域である。
この両者は、記録膜が形成された後に求められる信号出力が異なるため、光ディスク基板の表面に形成された凹凸パターンは物理的にも異なる深さを有している。具体的には、グルーブ領域よりピット領域の方が深い傾向を有する。
【０００３】
図１２は、従来の成形金型の内周部の構造を示す概略図である。この図１２において、成形金型は、成形用スタンパ１、この成形用スタンパ１を載置しかつそれとの嵌合突起２ａを有する固定鏡面ブロック２、この固定鏡面ブロック２内周のスリーブ４、このスリーブ４の内周のスプルーブッシュ５、及びこのスプルーブッシュ５を支持する支持プレート６から構成されている。
図１３は、基板作製に使用する２種領域が混在するスタンパを示す概略平面図である。図１４は図１３の線Ａ−Ａに沿う概略断面図である。図１３及び図１４に示すように、深さの異なる凹凸パターン、例えば、ピット部（ＲＯＭ領域）１ａ及びグルーブ（録再領域）１ｂがそれまで許容されていた問題を顕在化させた。それは基板面内における局所的なピットの異常転写である。
通常の基板成形は、情報の凹凸パターンを形成した成形用スタンパ１が載置された成形金型の中に溶融樹脂を充填して、固化した後基板を取り出している。この基板取り出しにおいて、成形用スタンパから成形基板を剥離させるために成形用スタンパが載置された金型キャビティ面の内周部から圧縮空気を噴出させ、その圧力を利用して剥離を行っている。そこで、圧縮空気を噴出するため、成形金型の内周部に微小な環状スリットを設ける必要がある。しかし、この環状スリットには加工精度あるいは組み付け精度の関係から、環状周部内にスリット幅の変動があった。
このようなスリット幅の変動は、圧縮空気を利用した剥離方法において剥離力の変動に直結する原因であり、この剥離力の変動が異常転写の現象を顕在化させた。即ちスリット幅の広い部分では相対的に流量が多くなり、強い剥離力が発生し、成形基板は大きく変形する。
【０００４】
図１５は、スリット幅の変動状態を示す模式図である。図１６は、従来の成形金型の図１５のＡ部の剥離状態を示す模式図である。図１７は、従来の成形金型の図１５のＢ部の剥離状態を示す模式図である。
図１５乃至図１７は、環状スリット幅に変動がある場合の基板の剥離状態を表している。このスリットは、例えば、図１２のスリーブ４と固定鏡面ブロック２の嵌合突起２ａとの間の隙間である。
また、このスリットは、上述したように、加工精度又は組み付け精度の関係から偏りを生じる場合がある。スリット幅の広い部分（図１５のＡ部）では相対的に圧縮空気の流量が多くなって強い剥離力が発生し、図１６に示すように成形基板７は大きく変形する。一方、スリット幅の狭い部分（図１５のＢ部）では、相対的に弱い剥離力しか発生せず、図１７に示すように成形基板７の変形量は小さくなる。更に、この基板変形の保持状態は、圧縮空気の供給状態に影響される。
剥離用の圧縮空気が十分な圧力及び容量を持たないまま剥離が開始されると、連続して剥離が進行できず、結果として成形基板７の変形状態が長く保持されてしまう。
この剥離時の基板変形は、変形の境界において成形用スタンパ１から成形基板７が離れる際の成形用スタンパ１上の凹凸パターンと成形基板７との相対的な位置ズレを招き、成形基板７のピット転写において異常転写を生じさせる原因となる。
【０００５】
図１８は、剥離前の成形基板と成形用スタンパを示す概略断面図である。図１９は、剥離開始直後の成形基板と成形用スタンパを示す概略断面図である。図２０は、図１９のＡ部を拡大して示す断面図である。
図１８乃至図２０において、成形基板７上でグルーブを形成する成形用スタンパ１の低い側の凸部１ｂは、従来の剥離状態で十分成形基板７から離れているが、ピット部を形成する高い側の凸部１ａは十分離れてはおらず、この状態で成形用スタンパ１と成形基板７との間に相対変位が生じるとピット部の転写形状の破壊、即ち、異常転写が発生する。
また、スリット幅に変動があると基板変形量と変形の保持状態に相対的な違いが生じ、異常転写の発生領域あるいはその発生程度に偏在を生じさせる結果となる。
加えて、基本的に圧縮空気は抵抗の小さい場所から選択的に流出するため、図１５乃至図１７に示した例ではスリット幅の広い箇所で剥離が生じると、他の部分への圧縮空気の供給が滞り、成形基板全面の剥離は進行し難い結果となる。この現象も異常転写の偏在を促進する原因となった。
【０００６】
図２１は、ピット部を有する成形用スタンパを示す概略図である。図２２は、図２１の線Ａ−Ａにおける正常なピット部の転写状態を示す断面図である。図２３は、ピット部を有する成形用スタンパを示す概略図である。図２４は図２３の線Ｂ−Ｂにおけるピット部の転写状態を示す断面図である。図２５はピット部を有する成形用スタンパを示す概略図である。図２６は、図２５の線Ｃ−Ｃにおけるピット部の転写状態を示す断面図である。
図２１及び図２２は、正常なピット部の転写状態を示している。図１６の状態で剥離すると、成形基板と成形用スタンパとの相対変位が比較的大きくなり、図２３及び図２４に示すようなピット部の転写状態となる。理想的には、垂直に離型しなければならない成形用スタンパのピットが、図中右斜め上方に向かって離型していくために生じてしまう現象である。
【０００７】
一方、図１７の状態で離型すると、成形基板と成形用スタンパとの相対変位が比較的小さくなり、図２５及び図２６に示すようなピット部の転写状態となる。いずれも本来の形状である図２１及び図２２とは異なる転写状態となってしまう。
図２１乃至図２６から明らかなように、図２１及び図２２の正常なピット部の転写状態であればレーザースポットは本来のトラック中心をトレースするが、図２３及び図２４の状態ではレーザースポットは、光学的な理由から図中やや右側を中心としてトレースしてしまう。
図２５及び図２６の状態でも、変位の程度に違いはあるが、図２３及び図２４と同様に本来の中心から図中右側にやや外れた箇所をトレースしてしまう。このようなトレース状態では正確な情報の読み出しが不可能であり、ＲＯＭ部の読み取り信頼性を著しく低下させてしまう。これらの解析から、異常転写を生じない理想的な離型とは、成形基板の変形が生じる時間を極力短くし、かつ短時間で成形用スタンパから成形基板を遠ざけることにあった。
【０００８】
このような問題点の解決策として、例えば、特許文献１に記載の「情報記録用基板の成形方法及び成形型」が提案されている。この提案には、成形用スタンパの対向面中心部にノッチを設け、そのノッチのアンカー効果により成形基板を持ち上げることが開示されている。
また、特許文献２に記載の「プリフォーマット基板の成形方法」、及び特許文献３に記載の「プリフォーマット基板の成形方法」には、成形用スタンパの対向面全体に微小な凹凸を設け、そのアンカー効果により成形基板を持ち上げることが提案されている。
【０００９】
しかし、前記特許文献１は、成形基板の内周部に局所的な変形をもたらすこととなり、成形基板の平坦性に少なからず悪影響を与えてしまうという問題がある。また、前記特許文献２及び特許文献３は、光ディスク基板の光入射面に凹凸を設けるため、同面で乱反射等を誘発して、光の利用効率の低下を招く点から理想的な方法ではなかった。
【００１０】
【特許文献１】特許第３５５８５３０号公報
【特許文献２】特開平６−２９７５１４号公報
【特許文献３】特開平６−２９７５１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、従来における諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、微細パターンを転写する成形品の離型における成形金型内の圧縮空気噴出用環状スリット幅に周内変動があっても均一な剥離が可能である光ディスク基板の成形金型及び光ディスク基板の成形用スタンパ、並びにこれらを用いて作製した光ディスク基板及び光情報記録媒体を提供することを目的とする。
【００１２】
前記課題を解決するための手段としては以下の通りである。即ち、
＜１＞  同一面内に、読み出し専用のＲＯＭ領域と、記録、再生、及び消去の少なくともいずれかが可能な録再領域との２種領域が混在し、かつ前記ＲＯＭ領域に関する情報が内周の所定の領域に記録されている成形用スタンパを有する光ディスク基板の成形金型であって、
前記成形用スタンパの載置される金型部品のキャビティ構成面が、離型用圧縮空気の一時的な蓄圧機能を有する蓄圧機能手段を備えていることを特徴とする光ディスク基板の成形金型である。
該＜１＞に記載の光ディスク基板の成形金型においては、成形用スタンパの載置される金型部品のキャビティ構成面が、離型用圧縮空気の一時的な蓄圧機能を有する蓄圧機能手段を備えているので、微細パターンを転写する成形品の離型における金型内の圧縮空気噴出用環状スリット幅に周内変動があっても均一な剥離が可能となる。
＜２＞  金型部品のキャビティ構成面が、スタンパ保持部材を有する前記＜１＞に記載の光ディスク基板の成形金型である。
＜３＞  蓄圧機能手段が、連続もしくは非連続の環状凸部、又は連続もしくは非連続の環状凹部を有する前記＜１＞から＜２＞のいずれかに記載の光ディスク基板の成形金型である。
＜４＞  同一面内に、読み出し専用のＲＯＭ領域と、記録、再生、及び消去の少なくともいずれかが可能な録再領域との２種領域が混在し、かつ前記ＲＯＭ領域に関する情報が内周の所定の領域に記録されている光ディスク基板の成形用スタンパであって、
前記成形用スタンパの情報形成面の一部に離型用圧縮空気の一時的な蓄圧機能を有する蓄圧機能手段を備えていることを特徴とする光ディスク基板の成形用スタンパである。
該＜４＞に記載の光ディスク基板の成形用スタンパにおいては、前記成形用スタンパの情報形成面の一部に離型用圧縮空気の一時的な蓄圧機能を有する蓄圧機能手段を備えているので、微細パターンを転写する成形品の離型における金型内の圧縮空気噴出用環状スリット幅に周内変動があっても均一な剥離が可能となる。
＜５＞  蓄圧機能手段が、本来の情報領域と隣接する他の領域に情報列の中心と同心であり、かつ情報の記録及び再生には関与しない、少なくとも１本の連続もしくは非連続の環状凸部を有する前記＜４＞に記載の光ディスク基板の成形用スタンパである。
＜６＞  環状凸部の断面形状高さをｈ１とし、所定の情報を担う凸部の断面形状高さをｈ０とすると、次式、ｈ１＞ｈ０の関係を満たす前記＜５＞に記載の光ディスク基板の成形用スタンパである。
＜７＞  環状凸部の断面形状が、所定の情報を担う凸部の断面形状より急峻な形状である前記＜５＞に記載の光ディスク基板の成形用スタンパである。
＜８＞  環状凸部の断面形状が、その底部の幅より頭頂部の幅の方が相対的に広い前記＜５＞に記載の光ディスク基板の成形用スタンパである。
＜９＞  環状凸部が、ガラス原盤上に少なくとも感光剤を含有する層を多数積層した多層構造から形成され、該多層構造のうち、ガラス原盤と接する側である下層に含まれる感光剤の感度が、該下層よりも上側の層に含まれる感光剤の感度より高い前記＜８＞に記載の光ディスク基板の成形用スタンパである。
＜１０＞  前記＜１＞から＜３＞のいずれかに記載の光ディスク基板の成形金型を用いて成形されたことを特徴とする光ディスク基板である。
＜１１＞  前記＜１０＞に記載の光ディスク基板を用いて作製されたことを特徴とする光情報記録媒体である。
＜１２＞  前記＜４＞から＜９＞のいずれかに記載の光ディスク基板の成形用スタンパを用いて成形されたことを特徴とする光ディスク基板である。
＜１３＞  前記＜１２＞に記載の光ディスク基板を用いて作製されたことを特徴とする光情報記録媒体である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によると、従来における問題を解決することができ、成形金型の圧縮空気噴出用環状スリット幅に周内変動があっても蓄圧機能手段（蓄圧領域）での蓄圧作用により成形用スタンパからの光ディスク基板の均一な剥離が可能である光ディスク基板の成形金型及び光ディスク基板の成形用スタンパ、並びにこれらを用いて作製した光ディスク基板及び光情報記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
（光ディスク基板の成形金型及び光ディスク基板の成形用スタンパ）
本発明の光ディスク基板の成形金型は、同一面内に、読み出し専用のＲＯＭ領域と、記録、再生、及び消去の少なくともいずれかが可能な録再領域との２種領域が混在し、かつ前記ＲＯＭ領域に関する情報が内周の所定の領域に記録されている成形用スタンパを有してなり、
前記成形用スタンパの載置される金型部品のキャビティ構成面が、離型用圧縮空気の一時的な蓄圧機能を有する蓄圧機能手段を備えており、更に必要に応じてその他の手段を備えてなる。
前記金型部品のキャビティ構成面が、成形用スタンパ、スタンパ保持部材を含むことが好ましい。
前記蓄圧機能手段が、連続もしくは非連続の環状凸部、又は連続もしくは非連続の環状凹部を有することが好ましく、スタンパ保持部材の表面に連続もしくは非連続の環状凸部、又は連続もしくは非連続の環状凹部を有することが特に好ましい。
【００１５】
本発明の光ディスク基板の成形用スタンパは、同一面内に、読み出し専用のＲＯＭ領域と、記録、再生、及び消去の少なくともいずれかが可能な録再領域との２種領域が混在し、かつ前記ＲＯＭ領域に関する情報が内周の所定の領域に記録されており、
前記スタンパの情報形成面の一部に離型用圧縮空気の一時的な蓄圧機能を有する蓄圧機能手段を備えており、更に必要に応じてその他の手段を備えてなる。
この場合、前記蓄圧機能手段が、本来の情報領域と隣接する他の領域に情報列の中心と同心であり、かつ情報の記録及び再生には関与しない、少なくとも１本の連続もしくは非連続の環状凸部を有することが好ましい。
前記環状凸部の断面形状高さをｈ１とし、所定の情報を担う凸部の断面形状高さをｈ０とすると、次式、ｈ１＞ｈ０の関係を満たすことが好ましい。
また、前記環状凸部の断面形状が、所定の情報を担う凸部の断面形状より急峻な形状であることが好ましい。
また、前記環状凸部の断面形状が、その底部の幅より頭頂部の幅の方が相対的に広いことが好ましい。このような断面形状を形成するため、前記環状凸部が、ガラス原盤上に少なくとも感光剤を含有する層を多数積層した多層構造から形成され、該多層構造のうち、ガラス原盤と接する側である下層に含まれる感光剤の感度が、該下層よりも上側の層に含まれる感光剤の感度より高くすることが好ましい。
【００１６】
ここで、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明を適用した成形金型の内周部の構造を示す概略図である。図２は、図１のＡ部を拡大して示す概略図である。図３は、図２とは構成を変えて図１のＡ部を拡大して示す概略図である。
【００１７】
従来法の根本的な問題点は、剥離エアーの圧力が、剥離のために十分な圧力及び容量を持たず、かつ剥離の力点で均一に働かないことにあった。この問題点を解消すべく提案された離型方法が、本発明の離型開始点近傍に蓄圧機能手段（蓄圧領域）を設けることである。
このように蓄圧機能手段（蓄圧領域）を設けることによって、それまで周方向で不均一だった剥離力が均一に働く結果となった。その蓄圧を可能とした金型が図１に示した金型構造である（主要部の拡大図を図２及び図３に示す）。図１のＡ部側を内周部としているので、以下の各図において、図面左側が内周部又は内周側となる。
【００１８】
図１において、成形金型は、成形用スタンパ１、この成形用スタンパ１を載置する固定鏡面ブロック２、スタンパ保持部材３、このスタンパ保持部材３の内周のスリーブ４、このスリーブ４の内周に位置するスプルーブッシュ５、及び該スプルーブッシュ５を支持する支持プレート６から構成されている。
図２及び図３は、金型のキャビティ構成面の一部を構成するスタンパ保持部材３の上面に蓄圧機能を有する環状凹部３ａあるいは環状凸部３ｂを全周に亘って連続して、或いは非連続的に設けた場合を示している。成形基板剥離用の圧縮空気は、図１のスリーブ４及びスタンパ保持部材３の上面と成形基板との間にあるクリアランス（スリーブ４と固定鏡面ブロック２とのクリアランス）を経由して外径方向から内径へ向けて供給され、図中左側から流入してくる。
当然、その圧縮空気は周方向に沿って一定ではなく、変動を有するが、図２及び図３に示した環状凹部３ａあるいは環状凸部３ｂを設けた成形金型Ａを用いることで、環状凹部３ａあるいは環状凸部３ｂから成る蓄圧構造が機能し、環状凹部３ａあるいは環状凸部３ｂの手前で所定の圧力が蓄圧されるまで情報領域の剥離は発生しない（後述する図４から図５へ進行）。
【００１９】
図４は、図２のスタンパ保持部材を使用している成形金型の剥離前の状態を示す概略図である。図５は、図４の成形金型の剥離開始直後の状態を示す概略図である。このため、蓄圧領域には全周にわたって均一な圧力を発生させることができる。図４及び図５において、成形基板７が成形用スタンパ１及びスタンパ保持部材３上に載置されている。
均一な圧力で蓄圧が可能となったことで、ここで蓄圧する圧力はスタンパ１に形成された情報パターン（不図示）にとって理想的な剥離状態を実現する圧力に設定することができる。
従来は円周方向で不均一な圧力状態だったため、全周にわたってほぼ同時に剥離を開始させることができず、上記のような設定は不可能であった。なお、蓄圧領域に蓄圧される圧力は、図２及び図３の蓄圧機能手段として形成された環状凹部３ａあるいは環状凸部３ｂの形状によって調整することができる。
図中の環状凹部３ａあるいは環状凸部３ｂは誇張し、拡大して記述されているが、実寸法としては、数十μｍの深さ（又は高さ）とほぼ同等の幅を有する微小な形状である。この深さ（又は高さ）と幅を、成形用スタンパ１上に形成された情報パターン等を考慮して適宜設定することにより、同領域における蓄圧限界を設定することができる。
図６は、図２のスタンパ保持部材を使用している成形金型の剥離完了の状態を示す概略図である。図５に示した蓄圧領域より瞬時に内周側で剥離が生じ、蓄圧領域の圧力が上記の手法により設定された圧力限界を上回ると、剥離用の圧縮空気は一気に剥離面全面に拡散し、結果として成形基板７の剥離が瞬時に完了することとなる。
この剥離状態は、成形基板７に不要な変形を生じさせる間もなく成形用スタンパ１から成形基板７を遠ざけるため、従来の成形方法で生じていた異常転写は発生せず、成形基板７の平坦性の悪化も生じない。
【００２０】
図７は、本発明による光ディスク基板の成形用スタンパの第１の実施の形態の構成を示す概略部分図である。
図８は、本発明による光ディスク基板の成形用スタンパの第２の実施の形態の構成を示す概略部分図である。
図７及び図８の光ディスク基板の成形用スタンパ１には、その情報形成面の一部に蓄圧機能手段（蓄圧構造）が設けられている。成形用スタンパ１に蓄圧機能手段（蓄圧構造）を持たせる理由は、図１２の従来例において示したように、成形金型の構造部品に蓄圧機能を持たせることが困難な場合に採用される。
【００２１】
図１２の従来の成形金型においても剥離用の圧縮空気はスリーブ４と固定鏡面ブロック２とのクリアランスから供給される。このような構造においては、蓄圧機能手段（蓄圧機能を持つ構造）である環状凹部（凸部）２ａは固定鏡面ブロック２に直接形成されることになる。この場合、何らかの理由で上記環状凹部（凸部）２ａが破損した際には、鏡面ブロック２本体を交換することになり、成形金型の維持管理に多大な経費を必要とする。この場合には、成形用スタンパ１上に蓄圧機能手段（蓄圧機能を持つ構造）を持たせた方が効率的である。
このような蓄圧を可能とした成形用スタンパが図７及び図８に示される成形用スタンパである。両図から明らかなように、成形用スタンパ１の最内周には、本来の情報とは全く関係しない環状凸部１ｃ１及び１ｃ２が形成されている。これらの環状凸部１ｃ１及び１ｃ２が蓄圧効果を有する蓄圧機能手段を形成する。同箇所の基本的な機能は、前述の動作説明と同様である。
図７の蓄圧機能手段（蓄圧機能構造）においては、本来の情報パターンより高い環状凸部１ｃ１を形成している。更に、この環状凸部１ｃ１の断面形状は、情報領域の凸部１ａのそれより急峻（スタンパ上面に対してほぼ垂直）に設定されており、剥離抵抗の増大を達成している。
また、図８の蓄圧機能手段（蓄圧機能構造）においては、剥離抵抗の増大をより積極的に機能させるための断面形状を有している。これらの形状は、成形用スタンパ１の情報領域に形成された情報の凹凸パターン等によって適宜設定されるものである。
【００２２】
図９は、本発明による成形用スタンパと成形基板の剥離前の状態を示す概略図である。図１０は、図９の本発明による成形用スタンパと成形基板の剥離開始直後の状態を示す概略図である。図１１は、図９の本発明による成形用スタンパと成形基板の剥離完了後の状態を示す概略図である。
前述と同様に蓄圧領域１ｄより内周側で剥離が生じる（図１０参照）。その後、蓄圧領域１ｄの圧力が上記の手法により設定された圧力を上回ると、剥離用の圧縮空気は一気に剥離面全面に拡散し、結果として成形基板７の剥離が瞬時に完了することとなる（図１１参照）。この剥離状態による効果も、前述と同様である。
なお、最適な剥離エアーの圧力は成形用スタンパ１上に形成した本来の情報パターンにより異なる。ＲＯＭ領域及び録再領域（記録領域及び再生領域）の２種領域混在スタンパの模式図はすでに従来技術の説明において図１３及び図１４に示した。図９乃至図１１には、成形用スタンパ１、成形基板７、図７と同様な環状突起形状部分１ｃ１が示されている。
例えば、ＲＯＭ領域のピット高さが録再領域のグルーブ高さの２倍程度の場合には、０．７ＭＰａの圧力が最適であった。この圧力は両者の高さの比率に依存する値であり、比率が小さくなるにしたがって圧力も低圧化できる。両者の高さがほぼ同等の場合には０．３ＭＰａの圧力が最適であった。
【００２３】
また、本発明による成形用スタンパの最内周凸部の断面形状の急峻度は、その外周側に形成される情報パターンのそれより急峻に設定されており、蓄圧効果の信頼性を高めている。加えて、図７及び図８に示された２種類の環状凸部形状１ｃ１及び１ｃ２は、この蓄圧する圧力をより確実に設定するために機能する。図７は蓄圧圧力が０．３〜０．５ＭＰａ程度まで、図８は０．６ＭＰａ以上を必要とする場合に最適な形状を示している。
更に、蓄圧を有効に機能させるため、成形金型の開き速度の最適化も必要となる。蓄圧領域に圧縮空気を供給する噴出口は、金型構造上の制約から数十μｍのスリットである。このため、前述の圧力設定中低圧側の場合にはより確実に蓄圧できる３ｍｍ／秒の型開速度が最適であった。また、高圧側の場合には５ｍｍ／秒の速度が最適であった。これ以上の速度の場合には、蓄圧が機能せず、従来の品質と同等の成形基板になってしまった。
また、蓄圧効果に注目するあまり、型開速度を極端な低速に設定（例えば、０．１ｍｍ／秒）しても、成形時間が延長されるだけの結果となってしまう。また場合によっては、成形機の動作限界を超えてしまい、型開き動作そのものが停止してしまう危険性もある。
【００２４】
更に、図８に示す環状凸部の断面形状は、次の方法により作製できる。まず、ガラス原盤上に少なくとも感光剤を含有する層を多数積層した多層構造を形成する。この際、多層のうち、ガラス原盤と接する側である下層に含まれる感光剤の感度と、該下層よりも上側の層（上層）に含まれる感光剤の感度の設定を「下層の感光剤＞上層の感光剤」とする。この状態で露光すると、上層より下層の感光がより進行して、その結果、環状凸部の断面形状が、その底部の幅より頭頂部の幅の方が相対的に広い、図８に示す断面形状の環状凸部が形成できる。
【００２５】
これらの方法により所定の圧力が蓄圧された内周部からの剥離は瞬間的に進行し、図２０のＡ部拡大図に示した接触発生箇所において、成形用スタンパ１と成形基板７との接触が発生するより早く、成形基板７が成形用スタンパ１から離れてしまう効果を有し、この剥離状態により異常転写が発生しない結果となった。
以上の成形方法で得られたＲＯＭ領域、録再領域の２種領域が混在した光ディスク基板には従来のような異常転写領域は存在せず、成形用スタンパ１に形成された情報パターンが正確に転写できた。
得られた光ディスク基板を用いて作製された光情報記録媒体は、レーザースポットがピット列も含めた案内溝の中心を正確にトレースできるため、信号品質において信頼性の高い高性能なものである。
【００２６】
以上、本発明の成形金型及び成形用スタンパ、並びに光ディスク基板及び光情報記録媒体について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更しても差支えない。
【実施例】
【００２７】
以下、本発明の実施例について説明するが、本発明は下記実施例に何ら限定されるものではない。
【００２８】
（実施例１）
図１に示す成形金型を用いて成形した光ディスク基板を用いて作製した実施例１の光情報記録媒体について、ＲＯＭ領域と、録再領域との境界部分を再生した信号出力を、オシロスコープで観察した結果を図２７に示す。また、図２８は、実施例１のような異常転写がない光ディスク基板の再生信号を模式的に示した図である。
図２８において、再生用のレーザースポットは、図中矢印方向（左から右）に走査している。図２８中「グルーブ領域」は録再領域に相当し、図２８中「ピット領域」はＲＯＭ領域に相当する。
図２７及び図２８の結果から、実施例１のような異常転写のない光ディスク基板では、ピット領域及びグルーブ領域に形状的な異常が存在しないため、再生信号の出力状態（信号品質）において、ピット領域及びグルーブ領域が明瞭に観察できた。このような信号状態であれば、ピット領域から正しい情報が読み取れ、グルーブ領域に書き込む情報を正しく記録することができる。
【００２９】
（比較例１）
図１２に示す成形金型を用いて成形した光ディスク基板を用いて作製した比較例１の光情報記録媒体について、ＲＯＭ領域と、録再領域との境界部分を再生した信号出力を、オシロスコープで観察した結果を図２９に示す。
図２８及び図２９の結果から、比較例１のような異常転写のある光ディスク基板では、ピット領域及びグルーブ領域に形状的な異常が存在するため、ピット領域の前段（図２８中Ｘ部参照）が消失し、ピット領域の後段（図２８中Ｙ部参照）にも出力の異常が認められる。更に、グルーブ領域にも、不要なノイズが発生している。本来グルーブ領域は、実施例１の図２７及び図２８に示すように直線状であるが、図２９ではグルーブ領域の前端と後端に異常領域が認められる。なお、この信号出力は、すべてがピット領域及びグルーブ領域の形状的な異常による影響ではなく、異常な形状による再生用のレーザースポットの追従不良（トラッキング不良）による信号の乱れも含まれている。
いずれにしても、比較例１のような異常転写の存在する光ディスク基板の再生信号では、図２９に示すような信号品質の悪化が生じる。このような信号状態では、ピット領域から正しい情報が読み取れず、グルーブ領域に情報を書き込んでも正しく記録することができなかった。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明の成形金型及び成形用スタンパは、成形金型の圧縮空気噴出用環状スリット幅に周内変動があっても蓄圧機能手段（蓄圧領域）での蓄圧作用により成形用スタンパからの光ディスク基板の均一な剥離が可能となるので、光ディスク基板の成形に好適に用いられ、該光ディスク基板を用いて光情報記録媒体を作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、本発明の光ディスク基板の成形金型の内周部の構造の一例を示す概略図である。
【図２】図２は、図１のＡ部を拡大して示す概略図である。
【図３】図３は、図２とは構成を変えて図１のＡ部を拡大して示す概略図である。
【図４】図４は、図２のスタンパ保持部材を使用している成形金型の剥離前の状態を示す概略図である。
【図５】図５は、図４の成形金型の剥離開始直後の状態を示す概略図である。
【図６】図６は、図２のスタンパ保持部材を使用している成形金型の剥離完了の状態を示す概略図である。
【図７】図７は、本発明による光ディスク基板の成形用スタンパの第１の実施の形態の構成を示す概略部分図である。
【図８】図８は、本発明による光ディスク基板の成形用スタンパの第２の実施の形態の構成を示す概略部分図である。
【図９】図９は、本発明による成形用スタンパと成形基板の剥離前の状態を示す概略図である。
【図１０】図１０は、本発明による成形用スタンパと成形基板の剥離開始直後の状態を示す概略図である。
【図１１】図１１は、本発明による成形用スタンパと成形基板の剥離完了後の状態を示す概略図である。
【図１２】図１２は、従来の成形金型の内周部の構造を示す概略図である。
【図１３】図１３は、基板作製に使用する２種領域混在スタンパを示す概略平面図である。
【図１４】図１４は、図１３の線Ａ−Ａに沿う概略断面図である。
【図１５】図１５は、スリット幅変動状態を示す模式図である。
【図１６】図１６は、従来の成形金型における図１５のＡ部の剥離状態を示す模式図である。
【図１７】図１７は、従来の成形金型における図１５のＢ部の剥離状態を示す模式図である。
【図１８】図１８は、剥離前の成形基板と成形用スタンパを示す概略断面図である。
【図１９】図１９は、剥離開始直後の成形基板と成形用スタンパを示す概略断面図である。
【図２０】図２０は、図１９のＡ部を拡大して示す断面図である。
【図２１】図２１は、ピット部を有する成形用スタンパを示す概略図である。
【図２２】図２２は、図２１の線Ａ−Ａにおける正常なピット部転写状態を示す断面図である。
【図２３】図２３は、ピット部を有する成形用スタンパを示す概略図である。
【図２４】図２４は、図２３の線Ｂ−Ｂにおけるピット部転写状態を示す断面図である。
【図２５】図２５は、ピット部を有する成形用スタンパを示す概略図である。
【図２６】図２６は、図２５の線Ｃ−Ｃにおけるピット部転写状態を示す断面図である。
【図２７】図２７は、実施例１の異常転写がない場合の再生信号出力をオシロスコープで観察した図である。
【図２８】図２８は、異常転写がない場合の再生信号出力をオシロスコープで観察した場合の模式図である。
【図２９】図２９は、比較例１の異常転写がある場合の再生信号出力をオシロスコープで観察した図である。
【符号の説明】
【００３２】
１      成形用スタンパ
１ａ    ピット部（ＲＯＭ領域）
１ｂ    録再領域
１ｃ１  情報に関係ない突起形状部分の第１の実施の形態
１ｃ２  情報に関係ない突起形状部分の第２の実施の形態
１ｄ    蓄圧領域
２      金型部品（固定鏡面ブロック）
３      スタンパ保持部材
３ａ    環状凹部
３ｂ    環状凸部
４      金型部品（スリーブ）
７      成形基板（光ディスク基板）
Ａ      成形金型
【図１】
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【図６】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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