(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物を部分的に撮像可能な撮像部を備え、前記撮像部の撮像領域を前記被検物に対して相対移動させながら前記被検物の部分を複数撮像して得られた、前記複数の前記撮像領域における前記被検物の部分画像を用いて前記被検物の表面観察を行う観察装置であって、
前記複数の前記部分画像をそれぞれ、前記撮像領域を変えずにデータ圧縮する処理をしてから前記相対移動に対応する方向へ並べるように互いに連結して、前記被検物の部分を前記相対移動方向へ連続的に視認できる連結画像にする画像連結部と、
前記画像連結部により連結された前記連結画像を表示する画像表示部と、
前記画像表示部で表示される前記連結画像において所望の領域を選択する操作が行われる操作部と、
前記選択された所望の領域に対応する前記データ圧縮する処理を行う前の前記部分画像を前記画像表示部において前記連結画像と並べて拡大して表示させる選択表示制御部とを有することを特徴とする観察装置。
【請求項２】
前記画像表示部は前記連結画像を部分的に表示するように構成され、
前記画像表示部に前記連結画像の表示部分を前記相対移動方向へスクロールさせる制御を行うスクロール制御部を有することを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
【請求項３】
前記画像表示部で表示された前記連結画像に対応する前記被検物の位置情報を求め、前記位置情報を前記連結画像と関連させて前記画像表示部に表示させる位置表示制御部を有することを特徴とする請求項１もしくは請求項２に記載の観察装置。
【請求項４】
前記撮像部が一次元イメージセンサを有していることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の観察装置。
【請求項５】
前記連結画像における前記相対移動方向に対する輝度変化を示すヒストグラムを作成し、前記ヒストグラムを前記連結画像と同期させて前記画像表示部に表示させるヒストグラム作成部を有することを特徴とする請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載の観察装置。
【請求項６】
被検物を部分的に撮像可能な撮像部を備え、前記撮像部の撮像領域を前記被検物に対して相対移動させながら前記被検物の部分を複数撮像して得られた、前記複数の前記撮像領域における前記被検物の部分画像を用いて前記被検物の表面観察を行う観察装置であって、
前記複数の前記部分画像をそれぞれ、前記撮像領域を変えずにデータ圧縮する処理をしてから前記相対移動に対応する方向へ並べるように互いに連結して、前記被検物の部分を前記相対移動方向へ連続的に視認できる連結画像にする画像連結部と、
前記画像連結部により連結された前記連結画像を表示する画像表示部と、
前記画像表示部で表示される前記連結画像において所望の領域を選択する操作が行われる操作部と、
前記選択された領域に対応する前記部分画像を前記画像表示部に拡大して表示させる選択表示制御部と、
前記連結画像における前記相対移動方向に対する輝度変化を示すヒストグラムを作成し、前記ヒストグラムを前記連結画像と同期させて前記画像表示部に表示させるヒストグラム作成部と、
前記操作部を用いて、前記画像表示部で表示される前記ヒストグラムの所望の領域を選択する操作が行われると、前記ヒストグラムの前記選択された領域に対応する前記部分画像を前記画像表示部に表示させる第２の選択表示制御部を有することを特徴とする観察装置。
【請求項７】
前記画像表示部で表示される前記部分画像は、前記連結画像において前記部分画像に該当する部分よりも高い解像度を有することを特徴とする請求項１から請求項６のうちいずれか一項に記載の観察装置。
【請求項８】
前記被検物を回転可能に保持する回転保持部を有しており、
前記回転保持部は、略円盤状に形成された前記被検物の回転対称軸を回転軸として、前記撮像部の前記撮像領域に対する前記被検物の外周端部の相対回転方向が前記相対移動方向となるように前記被検物を回転駆動し、
前記撮像部は、前記回転軸と直交する方向から前記被検物の外周端部または外周端部近傍を連続的に複数撮像し、
前記画像連結部は、前記連続的に複数撮像して得られた前記被検物の外周端部または外周端部近傍に関する前記複数の前記部分画像をそれぞれ前記連結して、前記被検物の外周端部または外周端部近傍を前記相対回転方向へ連続的に視認できる連結画像にすることを特徴とする請求項１から請求項７のうちいずれか一項に記載の観察装置。
【請求項９】
被検物を部分的に撮像可能な撮像部により、前記撮像部の撮像領域を前記被検物に対して相対移動させながら前記被検物の部分を複数撮像して得られた、前記複数の前記撮像領域における前記被検物の部分画像を用いて前記被検物の表面観察を行う観察方法であって、
前記複数の前記部分画像をそれぞれ、前記撮像領域を変えずにデータ圧縮する処理をしてから前記相対移動に対応する方向へ並べるように互いに連結して、前記被検物の部分を前記相対移動方向へ連続的に視認できる連結画像にする画像連結処理と、
前記画像連結処理で連結した前記連結画像を表示する画像表示処理と、
操作部を用いて、前記画像表示処理で表示する前記連結画像において所望の領域を選択する操作が行われると、前記選択された所望の領域に対応する前記データ圧縮する処理を行う前の前記部分画像を前記連結画像と並べて拡大して表示する選択表示処理とを有することを特徴とする観察方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハや液晶ガラス基板等の被検物を観察するための観察装置および観察方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体ウェハに形成される回路素子パターンの集積度が高くなるとともに、半導体製造工程でウェハの表面処理に用いられる薄膜の種類が増加している。これに伴い、薄膜の境界部分が露出するウェハの端部付近の欠陥検査が重要となってきている。ウェハの端部付近に異物等の欠陥があると、後の工程で異物等がウェハの表面側に回り込んで悪影響を及ぼし、ウェハから作り出される回路素子の歩留まりに影響する。
【０００３】
そこで、半導体ウェハ等の円盤状に形成された被検物の端面周辺（例えば、アペックスや上下のベベル）を複数の方向から観察して、異物や膜の剥離、膜内の気泡、膜の回り込み等といった欠陥の有無を検査する検査装置が考案されている（例えば、特許文献１を参照）。このような検査装置には、レーザ光等の照射により生じる散乱光を利用して異物等を検出する構成のものや、ラインセンサにより被検物の画像を帯状に形成して異物等を検出する構成のもの等がある。
【特許文献１】特開２００４−３２５３８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
また、画像取得装置により被検物の端面周辺の画像を部分的に１枚ずつ取得して、複数の画像データから異物等を検出する構成のものもあるが、小さな欠陥を認識できる高い分解能を有する画像取得装置を使用すると、画像取得枚数（画像データ）が非常に多くなり、例えば、１０倍の対物レンズで直径３００ｍｍのウェハの端面（アペックス）の観察を行った場合、画像取得枚数は１４００枚程度になる。このような多量の画像データから被検物の欠陥を含む画像データのみを抽出するには、全ての画像を１枚ずつ確認する場合、時間がかかり困難であった。
【０００５】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、被検物の概要および欠陥を速やかに認識することが可能な観察装置および観察方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的達成のため、本発明に係る観察装置は、被検物を部分的に撮像可能な撮像部を備え、前記撮像部の撮像領域を前記被検物に対して相対移動させながら前記被検物の部分を複数撮像して得られた、前記複数の前記撮像領域における前記被検物の部分画像を用いて前記被検物の表面観察を行う観察装置であって、前記複数の前記部分画像をそれぞれ、前記撮像領域を変えずにデータ圧縮する処理をしてから前記相対移動に対応する方向へ並べるように互いに連結して、前記被検物の部分を前記相対移動方向へ連続的に視認できる連結画像にする画像連結部と、前記画像連結部により連結された前記連結画像を表示する画像表示部と、前記画像表示部で表示される画像において所望の領域を選択する操作が行われる操作部と、前記選択された所望の領域に対応する前記データ圧縮する処理を行う前の前記部分画像を前記画像表示部において前記連結画像と並べて拡大して表示させる選択表示制御部とを有している。
【０００７】
なお、上述の発明において、前記画像表示部は前記連結画像を部分的に表示するように構成され、前記画像表示部に前記連結画像の表示部分を前記相対移動方向へスクロールさせる制御を行うスクロール制御部を有することが好ましい。
【０００８】
また、上述の発明において、前記画像表示部で表示された前記連結画像に対応する前記被検物の位置情報を求め、前記位置情報を前記連結画像と関連させて前記画像表示部に表示させる位置表示制御部を有することが好ましい。
【０００９】
また、上述の発明において、前記撮像部が一次元イメージセンサを有していることが好ましい。
【００１０】
また、上述の発明において、前記連結画像における前記相対移動方向に対する輝度変化を示すヒストグラムを作成し、前記ヒストグラムを前記連結画像と同期させて前記画像表示部に表示させるヒストグラム作成部を有することが好ましい。
【００１１】
さらに、上述の発明において、前記操作部を用いて、前記画像表示部で表示される前記ヒストグラムの所望の領域を選択する操作が行われると、前記ヒストグラムの前記選択された領域に対応する前記部分画像を前記画像表示部に表示させる第２の選択表示制御部を有することが好ましい。
【００１２】
また、上述の発明において、前記画像表示部で表示される前記部分画像は、前記連結画像において前記部分画像に該当する部分よりも高い解像度を有することが好ましい。
【００１３】
さらに、上述の発明において、前記被検物を回転可能に保持する回転保持部を有しており、前記回転保持部は、略円盤状に形成された前記被検物の回転対称軸を回転軸として、前記撮像部の前記撮像領域に対する前記被検物の外周端部の相対回転方向が前記相対移動方向となるように前記被検物を回転駆動し、前記撮像部は、前記回転軸と直交する方向から前記被検物の外周端部または外周端部近傍を連続的に複数撮像し、前記画像連結部は、前記連続的に複数撮像して得られた前記被検物の外周端部または外周端部近傍に関する前記複数の前記部分画像をそれぞれ前記連結して、前記被検物の外周端部または外周端部近傍を前記相対回転方向へ連続的に視認できる連結画像にすることが好ましい。
【００１４】
また、本発明に係る観察方法は、被検物を部分的に撮像可能な撮像部により、前記撮像部の撮像領域を前記被検物に対して相対移動させながら前記被検物の部分を複数撮像して得られた、前記複数の前記撮像領域における前記被検物の部分画像を用いて前記被検物の表面観察を行う観察方法であって、前記複数の前記部分画像をそれぞれ、前記撮像領域を変えずにデータ圧縮する処理をしてから前記相対移動に対応する方向へ並べるように互いに連結して、前記被検物の部分を前記相対移動方向へ連続的に視認できる連結画像にする画像連結処理と、前記画像連結処理で連結した前記連結画像を表示する画像表示処理と、操作部を用いて、前記画像表示処理で表示する前記連結画像において所望の領域を選択する操作が行われると、前記選択された所望の領域に対応する前記データ圧縮する処理を行う前の前記部分画像を前記連結画像と並べて拡大して表示する選択表示処理とを有している。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、被検物の概要および欠陥を速やかに認識することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の好ましい実施形態について説明する。本発明に係る観察装置の一例を図１に示しており、この観察装置１は、半導体ウェハ１０（以下、ウェハ１０と称する）の端部および端部近傍における欠陥（傷、異物の付着等）の有無を、観察者の目視により検査するためのものである。
【００１７】
被検物であるウェハ１０は薄い円盤状に形成されており、その表面には、ウェハ１０から取り出される複数の半導体チップ（チップ領域）に対応した回路パターン（図示せず）を形成するために、絶縁膜、電極配線膜、半導体膜等の薄膜（図示せず）が多層にわたって形成される。図２に示すように、ウェハ１０の表面（上面）における外周端部内側には、上ベベル部１１がリング状に形成され、この上ベベル部１１の内側に回路パターンが形成されることになる。また、ウェハ１０の裏面（下面）における外周端部内側には、下ベベル部１２がウェハ１０を基準に上ベベル部１１と表裏対称に形成される。そして、上ベベル部１１と下ベベル部１２とに繋がるウェハ端面がアペックス部１３となる。
【００１８】
ところで、観察装置１は、ウェハ１０を支持して回転させるウェハ支持部２０と、ウェハ１０の外周端部および外周端部近傍を撮像する撮像部３０と、撮像部３０で撮像されたウェハ１０の画像に対して所定の画像処理を行う画像処理部４０と、ウェハ支持部２０や撮像部３０等の駆動制御を行う制御部５０とを主体に構成される。
【００１９】
ウェハ支持部２０は、基台２１と、基台２１から上方へ垂直に延びて設けられた回転軸２２と、回転軸２２の上端部に略水平に取り付けられて上面側でウェハ１０を支持するウェハホルダ２３とを有して構成される。ウェハホルダ２３の内部には真空吸着機構（図示せず）が設けられており、真空吸着機構による真空吸着を利用してウェハホルダ２３上のウェハ１０が吸着保持される。
【００２０】
基台２１の内部には、回転軸２２を回転駆動させる回転駆動機構（図示せず）が設けられており、回転駆動機構２５により回転軸２２を回転させることで、回転軸２２に取り付けられたウェハホルダ２３とともに、ウェハホルダ２３上に吸着保持されたウェハ１０がウェハ１０の中心（回転対称軸Ｏ）を回転軸として回転駆動される。なお、ウェハホルダ２３はウェハ１０より径の小さい略円盤状に形成されており、ウェハホルダ２３上にウェハ１０が吸着保持された状態で、上ベベル部１１、下ベベル部１２、およびアペックス部１３を含むウェハ１０の外周端部近傍がウェハホルダ２３からはみ出るようになっている。
【００２１】
撮像部３０は、いわゆる二次元カメラであり、図示しない対物レンズおよび落射照明を備えた鏡筒部３１と、図示しないイメージセンサが内蔵されたカメラ本体３２とを主体に構成されており、落射照明による照明光が対物レンズを介してウェハ１０を照明するとともに、ウェハ１０からの反射光が対物レンズを介してイメージセンサに導かれ、イメージセンサでウェハ１０の像が撮像される。
【００２２】
また、撮像部３０は、ウェハ１０のアペックス部１３と対向するように配置され、ウェハ１０の回転軸（回転対称軸Ｏ）と直交する方向からアペックス部１３を部分的に撮像するようになっている。これにより、ウェハ支持部２０に支持されたウェハ１０を回転させると、撮像部３０の撮像領域に対して、ウェハ１０の外周端部、すなわちアペックス部１３がウェハ１０の周方向へ相対回転するため、アペックス部１３と対向するように配置された撮像部３０は、アペックス部１３を周方向（すなわち相対回転方向）へ連続的に複数撮像することができ、ウェハ１０の全周にわたってアペックス部１３を撮像することが可能になる。なお、撮像部３０で撮像された画像データは、画像処理部４０へ出力される。
【００２３】
制御部５０は、各種制御を行う制御基板等から構成され、制御部５０からの制御信号によりウェハ支持部２０、撮像部３０、および画像処理部４０等の作動制御を行う。また、制御部５０には、画像表示部および画像上のカーソル操作等を行うための操作部を備えたインターフェース部５１と、画像データを記憶する記憶部５２等が電気的に接続されている。
【００２４】
画像処理部４０は、図示しない回路基板等から構成され、図３に示すように、入力部４１と、内部メモリ４２と、データ圧縮部４３と、画像連結部４４と、ヒストグラム作成部４５と、出力部４６とを有している。入力部４１には、撮像部３０からの画像データが入力され、さらには、インターフェース部５１で入力された各種設定パラメータ等が制御部５０を介して入力される。入力部４１に入力されたウェハ１０（アペックス部１３）の画像データは、内部メモリ４２へ送られる。
【００２５】
データ圧縮部４３は、内部メモリ４２と電気的に接続されており、内部メモリ４２に記憶された複数の画像データに対してそれぞれサムネイル化によるデータ圧縮処理を行い、データ圧縮した画像データを画像連結部４４へ出力する。また、データ圧縮部４３は、データ圧縮処理を行う前の画像データ（すなわち、撮像部３０から入力された画像データ）を出力部４６へ出力する。画像連結部４４は、データ圧縮部４３と電気的に接続されており、データ圧縮部４３からデータ圧縮された画像データが入力されると、当該画像データに基づいて後述する画像連結処理を行い、連結画像の画像データをヒストグラム作成部４５および出力部４６へ出力する。
【００２６】
ヒストグラム作成部４５は、画像連結部４４と電気的に接続されており、画像連結部４４から連結画像の画像データが入力されると、当該画像データに基づいて連結画像での輝度変化に関するヒストグラムを作成し、作成したヒストグラムのデータを出力部４６へ出力する。出力部４６は、制御部５０と電気的に接続されており、撮像部３０により撮像されたウェハ１０の画像データや、連結画像の画像データ、ヒストグラムの（画像）データ等を制御部５０へ出力する。
【００２７】
次に、以上のように構成される観察装置１を用いたウェハ１０の観察方法について、図４に示すフローチャートを参照しながら以下に説明する。まず、ステップＳ１０１において、被検物であるウェハ１０のアペックス部１３を撮像する撮像処理を行う。この撮像処理では、制御部５０からの制御信号を受けて、ウェハ支持部２０がウェハ１０を回転させるとともに、撮像部３０がウェハ１０の周方向へ相対回転するアペックス部１３を（周方向へ）連続的に複数撮像し、アペックス部１３をウェハ１０の全周にわたって撮像する。
【００２８】
撮像部３０がアペックス部１３を連続的に撮像するとき、ウェハ１０の回転により相対移動して得られる撮像部３０の撮像領域毎にアペックス部１３の複数の部分画像が取得され、当該部分画像の画像データは画像処理部４０へ出力される。撮像部３０から出力された部分画像の画像データはそれぞれ、画像処理部４０の入力部４１に入力されて内部メモリ４２へ送られる。
【００２９】
撮像部３０によりウェハ１０の全周にわたるアペックス部１３の部分画像が撮像されると、次のステップＳ１０２においてデータ圧縮処理を行う。このデータ圧縮処理において、データ圧縮部４３は、内部メモリ４２に記憶された複数の部分画像の画像データをそれぞれ、サムネイル化によって撮像領域を変えずにデータ圧縮し、データ圧縮した画像データを画像連結部４４へ出力する。またこのとき、データ圧縮部４３は、データ圧縮処理を行う前の部分画像の画像データ（すなわち、内部メモリ４２に記憶された複数の部分画像の画像データ）を出力部４６へ出力する。なお、出力部４６へ出力されたデータ圧縮処理を行う前の部分画像の画像データは、制御部５０を介して記憶部５２に送られ、記憶部５２で記憶される。
【００３０】
データ圧縮部４３から画像連結部４４にデータ圧縮された画像データが送られると、次のステップＳ１０３では、当該画像データに基づいて画像連結処理を行う。この画像連結処理において、画像連結部４４は、データ圧縮されたアペックス部１３の複数の部分画像をそれぞれ、ウェハ１０の周方向（すなわち、アペックス部１３の相対回転方向）へ並べるように互いに連結して、ウェハ１０のアペックス部１３を周方向へ連続的に視認できる連結画像にする。そして画像連結部４４は、連結画像の画像データをヒストグラム作成部４５および出力部４６へ出力する。なお、出力部４６へ出力された連結画像の画像データは、制御部５０を介して記憶部５２に送られ、記憶部５２で記憶される。
【００３１】
画像連結部４４からヒストグラム作成部４５へ連結画像の画像データが送られると、次のステップＳ１０４において、ヒストグラム作成処理を行う。このヒストグラム作成処理において、ヒストグラム作成部４５は、連結画像でのウェハ１０の周方向に対する輝度変化を示すヒストグラムを作成し、作成したヒストグラムのデータを出力部４６へ出力する。なお、出力部４６へ出力されたヒストグラムのデータは、制御部５０を介して記憶部５２に送られ、記憶部５２で記憶される。なお、本実施形態では、ステップＳ１０２、Ｓ１０３、Ｓ１０４の順で実行したが、この３つのステップはどのような順序で実行されてもよい。また、並列処理を組み合わせるようにしてもよい。
【００３２】
そしてステップＳ１０５では、制御部５０により、記憶部５２に記憶された、撮像部３０により撮像された（データ圧縮処理を行う前の）部分画像や、画像連結部４４により作成された連結画像、ヒストグラム作成部４５により作成されたヒストグラム等をインターフェース部５１の画像表示部で表示させる画像表示処理を行う。
【００３３】
図５に、インターフェース部５１の画像表示部で表示された表示画像の一例を示す。この表示画像には、下から順に並んで、ヒストグラムＡと、連結画像Ｂと、部分画像Ｃと、角度位置情報画像Ｄとが表示されている。
【００３４】
連結画像Ｂは、前述したように、データ圧縮した複数の部分画像ｂ，ｂ，…をウェハ１０の周方向（すなわち、アペックス部１３の相対回転方向）へ並べるように互いに連結したものであり、ウェハ１０のアペックス部１３を周方向へ連続的に視認できるようになっているが、図５に示すように、画像表示部において、連結画像Ｂは部分的に（例えば、図５に示すように、１０度ずつの角度範囲で）表示されるようになっている。連結画像Ｂの左右には、スクロールボタンＥが表示されており、インターフェース部５１の操作部を操作して、図示しないカーソルを左右いずれかのスクロールボタンＥに合わせて選択（クリック）すると、制御部５０の画像制御により、連結画像Ｂの表示部分が左右へ（すなわち、ウェハ１０の周方向へ）スクロールするようになっている。これにより、画像領域を有効利用することができる。
【００３５】
また、ヒストグラムＡは、前述したように、連結画像Ｂでのウェハ１０の周方向に対する輝度変化を算出したものであるが、画像表示部では、連結画像Ｂの表示部分と同期して部分的に表示されるようになっている。これにより、ウェハ１０（アペックス部１３）において欠陥のある可能性の高い位置を容易に認識することができる。なお、図５に示すヒストグラムＡは、輝度変化を連結画像Ｂにおける（ウェハ１０の周方向に並ぶ）所定の画素毎に算出して連続的に示すものであるが、輝度変化を連結画像Ｂにおける部分画像ｂ毎に（輝度の平均値毎に）算出して離散的に表示するようにしてもよい。
【００３６】
部分画像Ｃは、前述したように、データ圧縮処理を行う前の部分画像、すなわち撮像部３０により撮像されたアペックス部１３の部分画像であり、連結画像Ｂを構成するデータ圧縮した部分画像ｂよりも解像度が高くなっている。そしてこの部分画像Ｃは、インターフェース部５１の操作部を操作して、図示しないカーソルを連結画像Ｂの或る領域に合わせて選択（クリック）すると、制御部５０の画像制御により、選択された領域を構成する部分画像ｂに対応する（データ圧縮処理を行う前の）ものが拡大表示されるようになっている。これにより、必要に応じて欠陥１５を含む詳しい画像（部分画像Ｃ）を観察することが可能になる。
【００３７】
なお、インターフェース部５１の操作部を操作して、図示しないカーソルをヒストグラムＡの或る領域に合わせて選択（クリック）すると、制御部５０の画像制御により、選択された領域に対応する部分画像Ｃが拡大表示されるようにしてもよい。このようにしても、必要に応じて欠陥１５を含む詳しい画像を観察することが可能になる。
【００３８】
角度位置情報画像Ｄは、連結画像Ｂの表示部分に対応したアペックス部１３における角度位置（ノッチ部１４を０度とする極座標に対応した角度位置）を表示するものであり、制御部５０の画像制御により、連結画像Ｂの表示部分に対応する角度位置の範囲が求められ、当該角度位置の範囲がウェハ１０の形状を模した角度位置情報画像Ｄに表示される。例えば、図５において、角度位置が９０度から１００度の範囲における連結画像Ｂが表示されており、これに対応して、９０度から１００度の角度位置の範囲が角度位置情報画像Ｄに表示される。これにより、連結画像Ｂのウェハ上における位置関係を容易に認識することができる。
【００３９】
このように、インターフェース部５１の画像表示部で表示された連結画像ＢやヒストグラムＡ、必要に応じて部分画像Ｃを観察することで、ウェハ１０のアペックス部１３における欠陥（傷、異物の付着等）の有無を検査する。
【００４０】
この結果、本実施形態に係る観察装置１および観察方法によれば、データ圧縮された複数の部分画像ｂ，ｂ，…を連結した連結画像Ｂがインターフェース部５１の画像表示部に表示されるため、ウェハ１０のアペックス部１３を周方向へ連続的に視認することができ、ウェハ１０（アペックス部１３）の概要および欠陥を速やかに認識することができる。
【００４１】
また、前述したように、ウェハ支持部２０によりウェハ１０を回転駆動し、ウェハ１０の回転軸と直交する方向から、撮像部３０がウェハ１０のアペックス部１３を周方向へ連続的に撮像するようにすることで、ウェハ１０のアペックス部１３全体について効率的に撮像することが可能になる。
【００４２】
なお、上述の実施形態において、ウェハ１０の全周にわたってアペックス部１３を撮像しているが、これに限られるものではなく、制御部５０の作動制御により、アペックス部１３における所望の角度位置範囲についてのみ撮像するようにしてもよい。これにより、アペックス部１３における所望の角度位置範囲についてのみ欠陥の有無を検査することができる。
【００４３】
また、上述の実施形態において、インターフェース部５１の画像表示部で、連結画像Ｂが部分的に表示されるようになっているが、これに限られるものではなく、例えば図６に示すように、画像表示部において、連結画像Ｂ全体（もしくは一部）を複数列に分けて表示するようにしてもよい。
【００４４】
また、上述の実施形態において、撮像部３０がウェハ１０のアペックス部１３を撮像しているが、これに限られるものではなく、例えば、図２における一点鎖線で示すように、ウェハ１０の上ベベル部１１を撮像するようにしてもよく、図３における二点鎖線で示すように、ウェハ１０の下ベベル部１２を撮像するようにしてもよい。このように、ウェハ１０のアペックス部１３に限らず、上ベベル部１１や下ベベル部１２における欠陥の有無を検査することが可能である。さらには、ウェハ１０の外周端部または外周端部近傍に限らず、例えば、ガラス基板等を検査することも可能であり、特に表面の形態が略一様な被検物に対して、本実施形態を適用すると有効である。また、イメージセンサとしてＣＣＤやＣＭＯＳ等といった増幅型固体撮像素子を用いることができる。なお、イメージセンサは、二次元センサでもよく、一次元センサでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明に係る観察装置の概略構成図である。
【図２】ウェハの外周端部近傍を示す側面図である。
【図３】画像処理部を示す制御ブロック図である。
【図４】本発明に係る観察方法を示すフローチャートである。
【図５】連結画像やヒストグラムの表示例を示す模式図である。
【図６】連結画像の別の表示例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  観察装置
１０  ウェハ（被検物）
２０  ウェハ支持部（回転保持部）        ３０  撮像部
４０  画像処理部
４３  データ圧縮部                      ４４  画像連結部
４５  ヒストグラム作成部
５０  制御部                            ５１  インターフェース部（画像表示部）
Ａ  ヒストグラム                        Ｂ  連結画像
Ｃ  部分画像                            Ｄ  角度位置情報画像
【図１】
0005316924.tif 000002
【図２】
0005316924.tif 000003
【図３】
0005316924.tif 000004
【図４】
0005316924.tif 000005
【図５】
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【図６】
0005316924.tif 000007