(57)【要約】【課題】  処理室を開けずに搬送ズレを確認することができ、補正ないし再教示が可能であり、不要なダウンタイムを減らすことができる搬送ロボットの搬送ズレ確認方法及び処理装置を提供する。【解決手段】  被処理体ｗの偏芯量と外周の切欠目印の位置を検出して補正可能な方向位置決め装置１１と、被処理体ｗを載置部１４上に載置して所定の処理を施す処理室２と、被処理体ｗを搬送する搬送ロボット１０，１２と、制御部１３とを備えた処理装置１において、処理室２内に搬送された時に処理室２内でセンタリング手段によりセンタリングされる擬似被処理体１７を形成し、擬似被処理体１７を搬送ロボット１０，１２により方向位置決め装置１１を経由して処理室２内に搬送し、擬似被処理体１７をセンタリングした後、方向位置決め装置１１に搬送して擬似被処理体１７の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボット１２の搬送ズレを確認する。【選択図】          図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体の偏芯量と被処理体の外周に形成された切欠目印の位置を検出して補正可能な方向位置決め装置と、被処理体を載置部上に載置して所定の処理を施す処理室と、被処理体を搬送する搬送ロボットと、該搬送ロボットを制御する制御部とを備えた処理装置における搬送ロボットの搬送ズレを確認する方法であって、前記処理室内に搬送された時に処理室内でセンタリング手段によりセンタリングされる擬似被処理体を形成し、該擬似被処理体を前記搬送ロボットにより前記方向位置決め装置を経由して前記処理室内に搬送し、擬似被処理体をセンタリングした後、そのセンタリングされた擬似被処理体を前記方向位置決め装置に搬送して擬似被処理体の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボットの搬送ズレを確認することを特徴とする搬送ロボットの搬送ズレ確認方法。
【請求項２】
前記センタリング手段は、前記処理室内の載置台上に設けられ、被処理体よりも径の大きい擬似被処理体が嵌まり込む開口と、該開口の上縁部に形成された傾斜面とを有するガイドリング部であることを特徴とする請求項１記載の搬送ロボットの搬送ズレ検出方法。
【請求項３】
前記センタリング手段は、前記載置台側及び擬似被処理体側のいずれか一方に設けられた傾斜面を有する突部と、他方に設けられ前記突部と係合する傾斜面を有する凹部とを備え、突部と凹部を係合させて前記擬似被処理体をセンタリングするように構成されていることを特徴とする請求項１記載の搬送ロボットの搬送ズレ確認方法。
【請求項４】
前記擬似被処理体は、前記被処理体と同じ材質又は石英であることを特徴とする請求項１記載の搬送ロボットの搬送ズレ確認方法。
【請求項５】
前記制御部は、前記方向位置決め装置を介して擬似被処理体の偏芯量を検出した時に該偏心量に基いて搬送ロボットの搬送ズレを補正することを特徴とする請求項１記載の搬送ロボットの搬送ズレ確認方法。
【請求項６】
被処理体の偏芯量と被処理体の外周に形成された切欠目印の位置を検出して補正可能な方向位置決め装置と、被処理体を載置部上に載置して所定の処理を施す処理室と、被処理体を搬送する搬送ロボットと、該搬送ロボットを制御する制御部とを備えた処理装置であって、前記処理室内に擬似被処理体を載置台上にセンタリングするセンタリング手段を設け、前記制御部は、擬似被処理体を搬送ロボットにより方向位置決め装置を経由して処理室内に搬送し、擬似被処理体をセンタリングした後、そのセンタリングされた擬似被処理体を前記方向位置決め装置に搬送して擬似被処理体の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボットの搬送ズレを確認するように構成されていることを特徴とする処理装置。
【請求項７】
前記センタリング手段は、前記処理室内の載置台上に設けられ、被処理体よりも径の大きい擬似被処理体が嵌まり込む開口と、該開口の上縁部に形成された傾斜面とを有するガイドリング部であることを特徴とする請求項６記載の処理装置。
【請求項８】
前記センタリング手段は、前記載置台側及び擬似被処理体側のいずれか一方に設けられた傾斜面を有する突部と、他方に設けられ前記突部と係合する傾斜面を有する凹部とを備え、突部と凹部を係合させて前記擬似被処理体をセンタリングするように構成されていることを特徴とする請求項６記載の処理装置。
【請求項９】
前記擬似被処理体は、前記被処理体と同じ材質又は石英であることを特徴とする請求項６記載の処理装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記方向位置決め装置を介して擬似被処理体の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボットの搬送ズレを補正するように構成されていることを特徴とする請求項６記載の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置における搬送ロボットの搬送ズレ確認方法及び処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体装置の製造においては、被処理体例えば半導体ウエハｗに酸化、拡散、成膜、エッチング等の各種の処理を施す処理装置が用いられている。この処理装置の一つとして、ウエハを一枚ずつ処理する枚葉式の処理装置があり、更に、一連の処理を一台の装置で連続的に行うために複数の処理室を備えたマルチチャンバ型の処理装置がある。これらの処理装置は、複数枚のウエハを多段に収納した収納容器（例えばＦＯＵＰと呼ばれる蓋付きの収納容器）から、一枚のウエハを取出して処理室に搬入したり、処理済みのウエハを処理室から取出して再び収納容器に搬送したりする手段として、多関節アーム型の搬送ロボットを備えている。この搬送ロボットの運用においては、ウエハの受け渡しを行う場所などの重要な位置を、搬送ロボットを制御するコンピュータ等の制御部に位置座標として覚えこませる教示（ティーチング）という操作が行われている。
【０００３】
搬送ロボットによる処理室へのウエハの搬送においては、処理の均一性等の理由により高い精度が求められる。そのため、搬送ロボットの繰り返し精度や、ウエハのズレ補正機能に非常に高い精度が求められることは勿論のこと、高精度の教示が必要となる。また、目視による教示は、限界に達しており、センサを用いた自動教示システムが実用化されている。なお、関連する技術としては、例えば特開２０００−１２７０６９号公報に記載されている搬送システムの搬送位置合わせ方法がある。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１２７０６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般的に、処理装置においては、稼動時に処理室の内部を確認しにくいため、何らかのトラブルが発生した時に搬送ズレによるものか否かの判断が難しい。トラブルの発生は、例えば処理室内の載置部に設けられたウエハ固定用の静電チャックからの異常信号により検出することができる。しかしながら、図５に示すように処理室２内の載置部１４に搬送ロボットによりウエハｗを搬送して搬送ズレ（センターズレ）ｄが発生している場合、この搬送ズレを検出することは困難であった。このため、処理装置に何らかのトラブルが発生した時に処理室を開けて目視による確認を行い、その時に初めて搬送ズレであるか否かを確認することができた。また、処理室が真空処理室である場合には、確認の度に処理室を大気開放し、トラブルの原因を調査し、修復後、処理室を再び真空にしなければならず、処理装置の長時間の停止を余儀なくされるため、ダウンタイムが大きな問題となっている。
【０００６】
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、処理室を開けずに搬送ズレを検出することができ、補正ないし再教示が可能であり、不要なダウンタイムを減らすことができる搬送ロボットの搬送ズレ確認方法及び処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のうち、請求項１の発明は、被処理体の偏芯量と被処理体の外周に形成された切欠目印の位置を検出して補正可能な方向位置決め装置と、被処理体を載置部上に載置して所定の処理を施す処理室と、被処理体を搬送する搬送ロボットと、該搬送ロボットを制御する制御部とを備えた処理装置における搬送ロボットの搬送ズレを確認する方法であって、前記処理室内に搬送された時に処理室内でセンタリング手段によりセンタリングされる擬似被処理体を形成し、該擬似被処理体を前記搬送ロボットにより前記方向位置決め装置を経由して前記処理室内に搬送し、擬似被処理体をセンタリングした後、そのセンタリングされた擬似被処理体を前記方向位置決め装置に搬送して擬似被処理体の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボットの搬送ズレを確認することを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１記載の搬送ロボットの搬送ズレ確認方法において、前記センタリング手段が、前記処理室内の載置台上に設けられ、被処理体よりも径の大きい擬似被処理体が嵌まり込む開口と、該開口の上縁部に形成された傾斜面とを有するガイドリング部であることを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１記載の搬送ロボットの搬送ズレ確認方法において、前記センタリング手段が前記載置台側及び擬似被処理体側のいずれか一方に設けられた傾斜面を有する突部と、他方に設けられ前記突部と係合する傾斜面を有する凹部とを備え、突部と凹部を係合させて前記擬似被処理体をセンタリングするように構成されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１記載の搬送ロボットの搬送ズレ確認方法において、前記擬似被処理体が、被処理体と同じ材質又は石英であることを特徴とする。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項１記載の搬送ロボットの搬送ズレ確認方法において、前記制御部が、方向位置決め装置を介して擬似被処理体の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボットの搬送ズレを補正することを特徴とする。
【００１２】
請求項６の発明は、被処理体の偏芯量と被処理体の外周に形成された切欠目印の位置を検出して補正可能な方向位置決め装置と、被処理体を載置部上に載置して所定の処理を施す処理室と、被処理体を搬送する搬送ロボットと、該搬送ロボットを制御する制御部とを備えた処理装置であって、前記処理室内に擬似被処理体を載置台上にセンタリングするセンタリング手段を設け、前記制御部は、擬似被処理体を搬送ロボットにより方向位置決め装置を経由して処理室内に搬送し、擬似被処理体をセンタリングした後、そのセンタリングされた擬似被処理体を前記方向位置決め装置に搬送して擬似被処理体の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボットの搬送ズレを確認するように構成されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項６記載の処理装置において、前記センタリング手段が、前記処理室内の載置台上に設けられ、被処理体よりも径の大きい擬似被処理体が嵌まり込む開口と、該開口の上縁部に形成された傾斜面とを有するガイドリング部であることを特徴とする。
【００１４】
請求項８の発明は、請求項６記載の処理装置において、前記センタリング手段が、前記載置台側及び擬似被処理体側のいずれか一方に設けられた傾斜面を有する突部と、他方に設けられ前記突部と係合する傾斜面を有する凹部とを備え、突部と凹部を係合させて前記擬似被処理体をセンタリングするように構成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項９の発明は、請求項６記載の処理装置において、前記擬似被処理体は、前記被処理体と同じ材質又は石英であることを特徴とする。
【００１６】
請求項１０の発明は、請求項６記載の処理装置において、前記制御部は、前記方向位置決め装置を介して擬似被処理体の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボットの搬送ズレを補正するように構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００１８】
請求項１又は６の発明によれば、処理室内に搬送された時に処理室内でセンタリング手段によりセンタリングされる擬似被処理体を形成し、該擬似被処理体を搬送ロボットにより方向位置決め装置を経由して処理室内に搬送し、擬似被処理体をセンタリングした後、そのセンタリングされた擬似被処理体を前記方向位置決め装置に搬送して擬似被処理体の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボットの搬送ズレを検出するため、処理室を開けずに搬送ズレを確認することができ、補正ないし再教示が可能であり、不要なダウンタイムを減らすことができる。
【００１９】
請求項２又は７の発明によれば、前記センタリング手段が前記処理室内の載置台上に設けられ、被処理体よりも径の大きい擬似被処理体が嵌まり込む開口と、該開口の上縁部に形成された傾斜面とを有するガイドリング部であるため、擬似被処理体を容易にセンタリングすることが可能となる。
【００２０】
請求項３又は８の発明によれば、前記センタリング手段が前記載置台側及び擬似被処理体側のいずれか一方に設けられた傾斜面を有する突部と、他方に設けられ前記突部と係合する傾斜面を有する凹部とを備え、突部と凹部を係合させて前記擬似被処理体をセンタリングするように構成されているため、擬似被処理体を容易にセンタリングすることが可能となる。
【００２１】
請求項４又は９の発明によれば、前記擬似被処理体が被処理体と同じ材質又は石英であるため、不要な汚染を防ぐことが可能であり、また、保管も容易である。
【００２２】
請求項５又は１０の発明によれば、前記方向位置決め装置を介して擬似被処理体の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボットの搬送ズレを補正するため、搬送ズレを自動的に補正することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を基に詳述する。図１は、本発明が適用される処理装置の一例を概略的に示す平面図、図２は処理室内のセンタリング手段の一例を示す断面図である。
【００２４】
図１において、１は処理装置で、図示例の処理装置１は、被処理体例えば半導体ウエハｗを一枚ずつ処理する処理室２を、一連の処理が可能なように搬送室の周囲に複数接続配置したクラスタツール型（マルチチャンバ型ともいう）として構成されていると共に、真空処理装置として構成されている。この処理装置（真空処理装置）１は、複数枚のウエハｗを収納した収納容器（例えばＦＯＵＰと呼ばれる蓋付きの収納容器）３を載置するための複数のロードポート４と、これらロードポート４に載置された収納容器３からウエハｗを取出して大気圧下で搬送する常圧搬送系５と、この常圧搬送系５の搬送室（常圧搬送室ともいう）６にロードロック室７を介して接続され、ウエハｗを所定の減圧下で搬送する真空搬送系８とを備えている。そして、この真空搬送系８の搬送室（真空搬送室ともいう）９の周囲には、ウエハｗを一枚ずつ収容して所定のガス雰囲気下で所定の処理例えばＣＶＤ処理等を施す複数の処理室２が接続されている。
【００２５】
常圧搬送系５はウエハｗの搬送を行う多関節アーム型の搬送ロボット１０を常圧搬送室６内に備えている。常圧搬送室６は長尺に形成され、常圧搬送室６内にはその長手方向に搬送ロボット１０が移動可能に設けられている。常圧搬送室６の一側部に複数のロードポート４が設けられ、常圧搬送室６の一端には回転基準台上に載置されたウエハｗの偏心方向を含む偏芯量と、ウエハの外周に形成された切欠目印（例えばノッチ）の位置（回転位置）とを光学的センサにより検出可能及びその検出値に基いて補正可能に構成された方向位置決め装置（オリエンタ、アライナともいう）１１が設けられている。常圧搬送室６の
側部にはゲートバルブＧを介してロードロック室７の一端が接続されている。
【００２６】
真空搬送室９は長尺に形成され、真空搬送室９内にはその長手方向に多関節アーム型の搬送ロボット１２が移動可能に設けられている。この真空搬送室９の一端には前記ロードロック室７の他端がゲートバルブＧを介して接続されている。ロードロック室７、真空搬送室９及び処理室２には内部を所定の圧力に制御可能な真空排気系が接続されている。ロードロック室７は図示例の場合２つ並設されているが、１つであってもよい。常圧搬送系５の搬送ロボット１０は、ロードポート４の収納容器３と、方向位置決め装置１１と、ロードロック室７との間でウエハｗの搬送（移載）を行い、真空搬送系８の搬送ロボット１２は、前記ロードロック室７と、各処理室２との間でウエハｗの搬送（移載）を行う。前記処理装置１は搬送ロボット１０，１２を制御する制御部１３を備えている。
【００２７】
前記各処理室２内にはウエハｗを載置する載置部１４が設けられている。また、載置部１４の下部には、搬送ロボット１２との間でウエハｗの受け取り受け渡しを行う複数例えば３本のリフタピン１５を有する図示しないリフト機構が設けられている。リフタピン１５は載置部１４上のウエハｗを突き上げたり降ろしたりするために載置部１４を貫通して昇降可能に設けられている。
【００２８】
次に、前記処理装置１における搬送ロボット１０，１２の搬送ズレを確認する方法について説明する。ここで、常圧搬送系の搬送ロボット１０においては、搬送ズレの影響が真空搬送系の搬送ロボット１２よりも極めて少なく、搬送ズレを無視することができる。
【００２９】
例えば常圧搬送系の搬送ロボット１０が搬送アームを伸ばす姿勢で仮に１ｍｍ左にズレが発生するケースで説明すると、先ず搬送ロボット１０が収納容器３にウエハｗを取りに行くときには搬送アームのハンド中心がウエハ中心に対して１ｍｍ左にズレて伸び、そのズレ位置でウエハを受け取ると、ウエハはハンド中心に対して１ｍｍ右にズレた位置に乗る。搬送ロボットはスライド動作、旋回動作を終えた後に伸縮動作で方向位置決め装置１１のステージを目標に搬送アームを伸ばし、このとき、搬送アームのハンド中心が方向位置決め装置１１のステージの中心に対して１ｍｍ左にズレて伸び、結果的に、ハンド中心に対して１ｍｍ右に乗っているウエハは方向位置決め装置１１のステージの中心に置かれることになる。つまり、搬送ロボットのズレが無かったかのようにウエハが収納容器３から方向位置決め装置１１に移載される。同様に、方向位置決め装置１１からロードロック室７へ搬送ロボット１０のズレが無かったかのようにウエハが搬送される。
【００３０】
従って、常圧搬送系の搬送ロボット１０においては、搬送ズレをゼロとして取り扱うことができる。これに対して、真空搬送系の搬送ロボット１２においては、加熱機構を備えた処理室の熱影響による変位、処理室の分解洗浄を伴う定期的メンテナンスによる影響、真空圧による処理室の変形などにより、搬送ロボット１２のウエハを置く位置が同じでも搬送ズレが起こる要因が多々ある。そこで、処理装置１における搬送ロボット１２の搬送ズレを確認する方法について説明する。
【００３１】
先ず、図２に示すように前記処理室２内に搬送された時に処理室２内でセンタリング手段であるガイドリング１６によりセンタリングされる擬似被処理体である擬似ウエハ１７を形成（作成）する。すなわち、ガイドリング１６は、処理室２内の載置部１４上に設けられ、ウエハｗよりも大きい径の擬似ウエハ１７が嵌まり込む開口１８と、該開口１８の上縁部に形成された傾斜面（テーパー）１９とを有している。このガイドリング１６を位置決め用のターゲットとし、このターゲットに擬似ウエハ１７が嵌り込む位置を真の教示位置とする。
【００３２】
ガイドリング１６としては、例えば既存のフォーカスリングを用いることができる。ガイドリング１６の円形の開口１８の軸心は、円形の載置部１４の軸心と一致されている。傾斜面１９は、上方に向って漸次拡径されており、これにより、搬送ロボット１０，１２に搬送ズレが生じていたとしても、搬送ロボット１２からリフタピン１５に受け渡された擬似ウエハ１７が降下される過程で載置部１４上の正しい位置にセンタリングされるようになっている。
【００３３】
ウエハｗの直径が３００ｍｍである場合、擬似ウエハ１７の直径はウエハｗの直径よりも大きい例えば３０２ｍｍとされ、ガイドリング１６の開口１８は擬似ウエハ１７が丁度嵌る大きさ例えば３０２．２ｍｍの直径で形成されている。擬似ウエハ１７の材質としては、ウエハｗと同じ材質又は石英であることが好ましい。
【００３４】
次に、搬送ロボット１２の搬送ズレを確認する場合、例えば収納容器３に収納されている擬似ウエハ１７を搬送ロボット１０により取出し、方向位置決め装置１１を経由して処理室２内に搬送し、擬似ウエハ１７をセンタリング手段であるガイドリング１６によりセンタリングした後、そのセンタリングされた擬似ウエハ１７を再び前記方向位置決め装置１１に搬送して擬似ウエハ１７の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボット１２の搬送ズレを確認する。前記制御部１３は、方向位置決め装置１１を介して擬似ウエハ１７の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボット１２の搬送ズレを補正ないし再教示するように構成されていることが好ましい。
【００３５】
実施例の場合、常圧搬送系５の搬送ロボット１０により擬似ウエハ１７が方向位置決め装置１１に搬送され、この方向位置決め装置１１による擬似ウエハ１７の位置補正後、搬送ロボット１０により擬似ウエハ１７が方向位置決め装置１１からロードロック室７に搬送される。次いで、真空搬送系８の搬送ロボット１２によりロードロック室７から擬似ウエハ１７が処理室２に搬送され、擬似ウエハ１７がガイドリング１６によりセンタリングされて処理室２内の載置部１４上に載置される。ここで、ターゲットであるガイドリング１６の開口１８に擬似ウエハ１７が嵌り込むことで、真の教示位置に擬似ウエハ１７が置かれることになる。
【００３６】
この真の教示位置に置かれた擬似ウエハ１７を搬送ロボット１２，１０により回収し、再び方向位置決め装置１１に搬送し、この方向位置決め装置１１により擬似ウエハ１７の偏心量及び偏心方向を読み取り、この偏心量及び偏心方向の有無により搬送ズレの有無を確認（判断）することができる。偏心量が０の場合、搬送ズレは生じていない。また、偏心量及び偏心方向の検出値に基いて搬送のズレ量及びズレ方向を確認することができ、これにより搬送ロボット１２の搬送ズレを補正し、或いは搬送ロボット１２を再教示することが可能となる。このように、処理室２を開けずに搬送ロボット１２の搬送ズレを確認でき、補正（教示データの補正）ないし再教示が可能となるため、不要なダウンタイムを減らすことができ、処理装置が真空処理装置の場合特に有効である。
【００３７】
例えば方向位置決め装置１１で読み取られた偏心量及び偏心方向が１ｍｍ、６０°であったとした場合、その値はそのままウエハを搬送したときのズレ量及び方向であるので、真空搬送系の搬送ロボット１２が処理室にアクセスする位置を、それまでの教示位置から１ｍｍ、６０°の変更をかければよい。なお、実施例のように方向位置決め装置１１が大気側（常圧側）にある場合、真空側ロボット１２から大気側ロボット１０にウエハを受け渡す際に位置が反転するので、補正方向はそれを考慮した方向となる。
【００３８】
また、前記擬似ウエハ１７のセンタリング手段がウエハｗよりも大きい径の擬似ウエハ１７が嵌まり込む開口１８と、該開口１８の上縁部に形成された傾斜面１９とを有するガイドリング部１６からなるため、簡単な構造で擬似ウエハ１７を容易にセンタリングすることができる。更に、擬似ウエハ１７がウエハｗと同じ材質又は石英であるため、不要な汚染を防ぐことが可能であり、また、ウエハと同じ収納容器に保管することができ、保管も容易である。また、前記制御部１３が前記方向位置決め装置１１を介して擬似ウエハ１７の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボット１２の搬送ズレを補正するように構成されていることにより、搬送ズレを自動的に補正することが可能となる。
【００３９】
図３は処理装置内のセンタリング手段の他の例を示す断面図である。図３の実施例において、図２の実施例と同一部分は同一符号を付して説明を省略する。図３の実施例では、センタリング手段が載置台側及び擬似ウエハ側のいずれか一方（図示例では擬似ウエハ１７）に設けられた傾斜面２０ａを有する突部２０と、他方（図示例では載置部１４）に設けられ前記突部２０と係合する傾斜面２１ａを有する凹部２１とを備え、突部２０と凹部２１を係合させて前記擬似ウエハ１７をセンタリングするように構成されている。すなわち、擬似ウエハ１７の下面（裏面）の中央部には円錐状又は裁頭円錐状の突部２０が突設され、載置部１６の上面（表面）の中央部には前記突部２０が係合する円錐状又は裁頭円錐状の凹部２１が形成されている。これにより、簡単な構造で擬似ウエハ１７を容易にセンタリングすることが可能となる。
【００４０】
図４は処理室内のセンタリング手段の更に他の例を示す断面図である。図４の実施例において、図２の実施例と同一部分は同一符号を付して説明を省略する。図４の実施例では、センタリング手段が載置台側及び擬似ウエハ側のいずれか一方（図示例では載置台側のリフタピン１５の先端部）に設けられた傾斜面２２ａを有する突部２２と、他方（図示例では擬似ウエハ１７）に設けられ前記突部２２と係合する傾斜面２３ａを有する凹部２３とを備え、突部２２と凹部２３を係合させて前記擬似ウエハ１７をセンタリングするように構成されている。すなわち、複数例えば３本のリフタピン１５の先端部（上端部）には円錐状又は裁頭円錐状の突部２２が形成され、擬似ウエハ１７の下面（裏面）の中央部には前記突部２２の傾斜面２２ａに係合する傾斜面２３ａを有する裁頭円錐状の凹部２３が形成されている。これにより、簡単な構造で擬似ウエハ１７を容易にセンタリングすることが可能となる。
【００４１】
なお、処理装置としては、制御部１３が、擬似ウエハ１７を搬送ロボット１０，１２により方向位置決め装置１１を経由して処理室２内に搬送し、擬似ウエハ１７をセンタリングした後、そのセンタリングされた擬似ウエハ１７を前記方向位置決め装置１１に搬送して擬似ウエハ１７の偏芯量及び偏心方向を検出し、その検出値に基いて搬送ロボット１０，１２の搬送ズレを確認するように構成されていてもよく、これにより、処理室２を開けずに搬送ズレを確認することができ、補正ないし再教示が可能であり、不要なダウンタイムを減らすことができる。
【００４２】
以上、本発明の実施の形態ないし実施例を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態ないし実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、本発明は、常圧搬送室の周囲に、加熱機構を備えた処理室を接続配置した常圧の処理装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明が適用される処理装置の一例を概略的に示す平面図である。
【図２】処理室内のセンタリング手段の一例を示す断面図である。
【図３】処理室内のセンタリング手段の他の例を示す断面図である。
【図４】処理室内のセンタリング手段の更に他の例を示す断面図である。
【図５】従来の処理装置の処理室内における搬送ずれを説明する断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
ｗ  半導体ウエハ（被処理体）
１  処理装置
２  処理室
１０  搬送ロボット
１１  方向位置決め装置
１２  搬送ロボット
１３  制御部
１４  載置部
１５  リフタピン
１６  ガイドリング（センタリング手段）
１７  擬似ウエハ（擬似被処理体）
１８  開口
１９  傾斜面
２０ａ  傾斜面
２０  突部
２１ａ  傾斜面
２１  凹部
２２ａ  傾斜面
２２  突部
２３ａ  傾斜面
２３  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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