(57)【要約】【課題】  任意の値を設定しうる電流波形および電圧波形間の切り替えを行なう場合の切り替え時間を短縮化させる。【解決手段】  第１，第２ディジタル電気信号を生成する電気信号生成部１ａ，１ｂと、上記第１ディジタル電気信号からアナログ電圧信号を発生させる電圧信号発生部２と、上記第２ディジタル電気信号からアナログ電流信号を発生させる電流信号発生部３と、制御信号に基づいて、電圧信号発生部２からのアナログ電圧信号か又は電流信号発生部３からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力する選択出力部４と、電気信号波形生成部１ａ，１ｂで生成される第１，第２ディジタル信号に関連して、選択出力部４からの上記出力電気信号の切り替えを制御するための上記制御信号を出力する制御信号出力部１ｃと、をそなえるように構成する。【選択図】        図１
2005345291.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の波形を有する第１ディジタル電気信号を生成するとともに、所定の波形を有する第２ディジタル電気信号を生成する電気信号生成部と、
上記第１ディジタル電気信号から、アナログ電圧信号を発生させる電圧信号発生部と、
上記第２ディジタル電気信号から、アナログ電流信号を発生させる電流信号発生部と、
制御信号に基づいて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号か又は電流信号発生部からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力する選択出力部と、
該電気信号波形生成部で生成される第１，第２ディジタル信号に関連して、該選択出力部からの上記出力電気信号の切り替えを制御するための上記制御信号を出力する制御信号出力部と、
をそなえて構成されたことを特徴とする、電流電圧発生器。
【請求項２】
所定の波形を有する第１ディジタル電気信号を生成するとともに、所定の波形を有する第２ディジタル電気信号を生成する電気信号波形生成部と、
上記第１ディジタル電気信号から、アナログ電圧信号を発生させる電圧信号発生部と、
上記第２ディジタル電気信号から、アナログ電流信号を発生させる電流信号発生部と、
該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号および該電流信号発生部からのアナログ電流信号の発生について検出する検出部と、
該検出部での検出結果に基づいて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号か又は電流信号発生部からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力する選択出力部と、
をそなえて構成されたことを特徴とする、電流電圧発生器。
【請求項３】
該検出部が、
該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号の発生について検出する電圧信号検出部をそなえるとともに、該電流信号発生部からのアナログ電流信号の発生について検出する電流信号検出部をそなえ、
かつ、該選択出力部が、
該電圧信号検出部で上記アナログ電圧信号が発生されたことを検出すると、該電流信号発生部からのアナログ電流信号についての出力を遮断する電流遮断部をそなえるとともに、該電流信号検出部で上記アナログ電流信号が発生されたことを検出すると、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号についての出力を遮断する電圧遮断部をそなえて構成されたことを特徴とする、請求項２記載の電流電圧発生器。
【請求項４】
該電圧信号検出部が、発光状態により上記のアナログ電圧信号についての発生状態を検出する第１発光素子をそなえるとともに、該電流信号検出部が、発光状態により上記のアナログ電流信号についての発生状態を検出する第２発光素子をそなえ、
該電流遮断部が、該第１発光素子の発光状態を検出する第１受光素子をそなえ、該第１受光素子での受光状態に基づいて、該電流信号発生部からのアナログ電流信号についての出力を遮断すべく構成され、
かつ、該電圧遮断部が、該第２発光素子の発光状態を検出する第２受光素子をそなえ、該第２受光素子での受光状態に基づいて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号についての出力を遮断すべく構成されたことを特徴とする、請求項３記載の電流電圧発生器。
【請求項５】
該検出部が、該電流信号発生部からのアナログ電流信号について電圧信号に変換する電流／電圧変換部をそなえるとともに、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号と該電流／電圧変換部で電圧信号に変換されたアナログ電流信号とを比較する比較部をそなえ、
該選択出力部が、該比較部による比較結果に応じて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号か又は電流信号発生部からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力することを特徴とする、請求項２記載の電流電圧発生器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電流電圧発生器に関し、特に電流及び電圧を選択的に切り替えて負荷に供給する電流電圧発生器に関し、更には、光通信用デバイス、有機ＥＬ（electroluminescence）素子デバイス、電流駆動・電圧駆動の必要な各種デバイスを駆動または評価する際に用いて好適の、電流電圧発生器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年の光通信用デバイス、有機ＥＬ素子デバイスその他電流駆動・電圧駆動の必要な各種デバイスの高性能化に伴い、これらの各種デバイスを評価する評価試験装置も多様な機能が求められるようになってきている。その機能の一つとして、図１０に示すようにｔ１〜ｔ２間に電圧を、ｔ２〜ｔ３間に電流を、負荷となる各種デバイス負荷に印加させたい場合がある。即ち、連続的に負荷に対して電気信号を供給しながら、その電気的特性を切り替えるようにして、デバイスを駆動したり、評価試験等を行なったりする機能が求められているである。
【０００３】
このような機能を達成するための従来技術としては、例えば図１１に示すように、任意波形を発生しうる発振器１０１Ａ，１０１Ｂに接続された電圧発生器１０２Ａと電流発生器１０２Ｂを負荷デバイス１０４に接続し、電圧発生器１０２Ａおよび電流発生器１０２Ｂに接続されたパソコン１０３からの制御信号で電圧と電流の切り替えを行うという手法がある。
【０００４】
電圧を負荷デバイス１０４に印加する場合には、パソコン１０３においては、電流発生器１０２Ｂからの出力をオフにしなければならず、同様に、電流を負荷デバイス１０４に印加する場合には、電圧発生器１０２Ａからの出力をオフにしなければならない。これらの電圧発生器１０２Ａおよび電流発生器１０２Ｂからの出力の切り替えは、パソコン１０３からの電圧発生器１０２Ａおよび電流発生器１０２Ｂに対する制御信号によって実現するようになっている。
【０００５】
なお、本願発明に関連する公知技術として、以下に示す特許文献１および特許文献２に記載されたものがある。
特許文献１に記載には、測定対象に供給する電圧・電流の設定変更時に出力に現れるスパイクおよびオーバシューティングを抑え、なおかつ高速な設定変更が可能な電圧電流特性測定装置について記載されている。
【０００６】
また、特許文献２には、多重反射防止回路により、被試験素子からの応答出力波形の多重反射を防止した状態で、その応答出力波形のタイミングを正確に測定するための技術について記載されている。
【特許文献１】特開平８−２６２０６９号公報
【特許文献２】特開平１１−２３７４４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述の図１０に示す技術においては、電流と電圧の切り替えにおよそミリ秒オーダー以上の時間を要するため、切り替え速度が遅くなるという課題がある。
すなわち、電圧発生器１０２Ａおよび電流発生器１０２Ｂとパソコン１０３との間は、一般的には通信速度９６００ｂｐｓ程度のＲＳ２３２CやＧＰＩＢインターフェイスで接続されており、更に切り替えに要する情報量としては、計器の認識のために少なくとも１０ｂｉｔ程度は必要となるため、上述の切り替えには、少なくともおよそ１ｍｓ程度必要となるからである。
【０００８】
たとえば、図１２に示すように、パソコン１０３において、負荷デバイス１０４に供給する電気信号を電圧発生器１０２Ａからの電圧信号から電流発生器１０２Ｂからの電流信号に切り替えるための制御信号を出力した場合においては（時点ｔ１）、９６００ｂｐｓの速度では、この時点ｔ１から、１０ビットのデータが電圧発生器１０２Ａおよび電流発生器１０２Ｂに転送されて電流発生器１０２Ｂからの電流信号が負荷デバイス１０３に供給されるまで（時点ｔ２）は、少なくとも１ｍｓ程度以上の時間を要することとなる。
【０００９】
したがって、上述の図１０に示す技術においては、デバイス駆動のために電流と電圧の切り替え時間として数μｓ程度の速度が要求されるものに対しては、対応に支障をきたすこととなる。又、上述の図１０に示す技術では、電圧及び電流変化時の波形過渡応答時間が計測器等の出力回路部の特性により制限されている場合には、上述のごとき切り替え時間の高速化に対して更なる支障となる。
【００１０】
なお、上述の特許文献１および特許文献２に記載された技術においても、デバイス駆動や評価試験等のために、任意の値を設定しうる電流波形および電圧波形について切り替えを行なう場合に、切り替え時間として数μｓ程度の速度を実現するための技術について開示するものではない。
本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、任意の値を設定しうる電流波形および電圧波形間の切り替えを行なう場合に、切り替え時間を上記従来技術よりも短縮化させることができるようにした、電流電圧発生器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このため、本発明の電流電圧発生器は、所定の波形を有する第１ディジタル電気信号を生成するとともに、所定の波形を有する第２ディジタル電気信号を生成する電気信号生成部と、上記第１ディジタル電気信号から、アナログ電圧信号を発生させる電圧信号発生部と、上記第２ディジタル電気信号から、アナログ電流信号を発生させる電流信号発生部と、制御信号に基づいて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号か又は電流信号発生部からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力する選択出力部と、該電気信号波形生成部で生成される第１，第２ディジタル信号に関連して、該選択出力部からの上記出力電気信号の切り替えを制御するための上記制御信号を出力する制御信号出力部と、をそなえて構成されたことを特徴としている。
【００１２】
また、本発明の電流電圧発生器は、所定の波形を有する第１ディジタル電気信号を生成するとともに、所定の波形を有する第２ディジタル電気信号を生成する電気信号波形生成部と、上記第１ディジタル電気信号から、アナログ電圧信号を発生させる電圧信号発生部と、上記第２ディジタル電気信号から、アナログ電流信号を発生させる電流信号発生部と、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号および該電流信号発生部からのアナログ電流信号の発生について検出する検出部と、該検出部での検出結果に基づいて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号か又は電流信号発生部からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力する選択出力部と、をそなえて構成されたことを特徴としている。
【００１３】
この場合においては、好ましくは、該検出部が、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号の発生について検出する電圧信号検出部をそなえるとともに、該電流信号発生部からのアナログ電流信号の発生について検出する電流信号検出部をそなえ、かつ、該選択出力部が、該電圧信号検出部で上記アナログ電圧信号が発生されたことを検出すると、該電流信号発生部からのアナログ電流信号についての出力を遮断する電流遮断部をそなえるとともに、該電流信号検出部で上記アナログ電流信号が発生されたことを検出すると、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号についての出力を遮断する電圧遮断部をそなえて構成することとしてもよい。
【００１４】
さらには、該電圧信号検出部が、発光状態により上記のアナログ電圧信号についての発生状態を検出する第１発光素子をそなえるとともに、該電流信号検出部が、発光状態により上記のアナログ電流信号についての発生状態を検出する第２発光素子をそなえ、該電流遮断部が、該第１発光素子の発光状態を検出する第１受光素子をそなえ、該第１受光素子での受光状態に基づいて、該電流信号発生部からのアナログ電流信号についての出力を遮断すべく構成され、かつ、該電圧遮断部が、該第２発光素子の発光状態を検出する第２受光素子をそなえ、該第２受光素子での受光状態に基づいて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号についての出力を遮断すべく構成することができる。
【００１５】
また、好ましくは、該検出部が、該電流信号発生部からのアナログ電流信号について電圧信号に変換する電流／電圧変換部をそなえるとともに、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号と該電流／電圧変換部で電圧信号に変換されたアナログ電流信号とを比較する比較部をそなえ、該選択出力部が、該比較部による比較結果に応じて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号か又は電流信号発生部からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力することとしてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
このように、本発明によれば、制御信号出力部と選択出力部により、出力すべき電気信号特性を、電圧信号および電流信号との間で切り替える場合に、切り替えに要する時間を従来技術よりも大幅に短縮化させることができる利点があるほか、計測器等の特性には関係の無い過渡波形応答を実現でき、高速な波形応答が必要な場合にも対応が可能となる利点がある。
【００１７】
また、本発明によれば、電圧発生検出部，電流発生検出部，電圧信号出力部および電流信号出力部により、出力すべき電気信号特性を切り替える場合に、切り替えに要する時間を従来技術よりも大幅に短縮化させることができる利点があるほか、計測器等の特性には関係の無い過渡波形応答を実現でき、高速な波形応答が必要な場合にも対応が可能となる利点がある。
【００１８】
特に、負荷デバイスに供給すべき電気信号特性を、電圧信号および電流信号との間で切り替える場合には、切り替えに要する時間を従来技術よりも大幅に短縮化させることができる利点があるほか、計測器等の特性には関係の無い過渡波形応答を実現でき、高速な波形応答が必要な場合にも対応が可能となるため、負荷デバイスに対する駆動電気信号又は評価試験の適用範囲を広げることができる利点もある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照することにより、本発明の実施の形態について説明する。
〔Ａ〕第１実施形態の説明
図１は、本発明の第１実施形態にかかる電流電圧発生器１０を示すブロック図であり、この図１に示す電流電圧発生器１０は、負荷デバイス５に対する駆動電気信号又は評価試験用の電気信号を供給しうるものであって、電流電圧制御部１，電圧源２，電流源３および切り替えスイッチ部４をそなえて構成されている。
【００２０】
電流電圧制御部１は、負荷デバイス５に電圧信号又は電流信号として供給すべき所定波形の電気信号波形を生成しディジタル電気信号として出力する電気信号生成部としての電圧波形生成部１ａおよび電流波形生成部１ｂをそなえるとともに、制御信号出力部１ｃをそなえて構成されている。
さらに、この電流電圧制御部１、即ち、電圧波形生成部１ａ，電流波形生成部１ｂおよび制御信号出力部１ｃは、プログラムが内蔵された一体の集積回路により構成されている。具体的には、電圧波形生成部１ａ，電流波形生成部１ｂおよび制御信号出力部１ｃをなす電流電圧制御部１は、例えばＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）により構成されている。
【００２１】
ここで、電圧波形生成部１ａは、電圧信号用の電気信号波形を生成し第１ディジタル電気信号として出力するもので、電流波形生成部１ｂは、電流信号用の電気信号波形を生成し第２ディジタル電気信号として出力するものである。又、制御信号出力部１ｃは、負荷デバイス５に供給すべき電気信号の特性として、電流信号および電圧信号を切り替えるための制御信号を出力するものである。
【００２２】
また、電圧波形生成部１ａおよび電流波形生成部１ｂとしては、それぞれプログラムにより設定された波形データと出力のタイミングないし時間等とに従って、ディジタル電気信号を出力できるようになっている。更には、制御信号出力部１ｃにおいては、上述の電圧波形生成部１ａおよび電流波形生成部１ｂでディジタル電気信号を出力する設定に従って、負荷デバイス５に対して供給すべき電気信号を切り替えるための制御信号を出力することができる。
【００２３】
換言すれば、上述の制御信号出力部１ｃは、電流電圧制御部１をなす電圧波形生成部１ａおよび電流波形生成部１ｂで生成される第１，第２ディジタル電気信号に関連して、後述の切り替えスイッチ部４による出力電気信号の切り替えを制御するための制御信号を出力するようになっている。
また、電圧源（電圧信号発生部）２は、電圧波形生成部１ａで生成された電圧信号用の第１ディジタル電気信号を入力され、この第１ディジタル電気信号についてディジタル／アナログ変換処理等を行なうことにより、アナログ電圧信号を発生させるものである。更に、電流源（電流信号発生部）３は、電流波形生成部１ｂで生成された電流信号用の第２ディジタル電気信号を入力され、この第２ディジタル電気信号についてディジタル／アナログ変換処理等を行なうことにより、アナログ電流信号を発生させるものである。
【００２４】
ここで、図２に示すように、電圧信号生成部としての電圧源２は、第１ディジタル電気信号についてディジタル／アナログ変換処理を行なってアナログ電圧信号を出力する第１ディジタル／アナログ変換部２Ａと、第１ディジタル／アナログ変換部２Ａからのアナログ電圧信号について増幅する電圧増幅部２Ｂと、をそなえて構成することができるが、電圧増幅部２Ｂについては適宜省略することができる。
【００２５】
同様に、電流信号生成部としての電流源３は、第２ディジタル電気信号についてディジタル／アナログ変換処理を行なってアナログ電流信号を出力する第２ディジタル／アナログ変換部３Ａと、第２ディジタル／アナログ変換部３Ａからのアナログ電流信号について増幅する電流増幅部３Ｂと、をそなえて構成することができるが、電流増幅部３Ｂについては適宜省略することができる。
【００２６】
さらに、切り替えスイッチ部（選択出力部）４は、上述の制御信号出力部１ｃからの制御信号に基づいて、電圧源２からのアナログ電圧信号か又は電流源３からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力するものであって、トランジスタ（この場合は電界効果トランジスタ）４ａ，４ｂおよびダイオード４ｃ，４ｄをそなえたトランジスタ回路により構成されている。
【００２７】
トランジスタ４ａは、負荷デバイス５に供給すべき電気信号を電圧信号とする旨の制御信号を制御信号出力部１ｃから受けた場合に、電圧源２からのアナログ電圧信号をダイオード４ｃを通じて負荷デバイス５に供給する。又、トランジスタ４ｂは、負荷デバイス５に供給すべき電気信号を電流信号とする旨の制御信号を制御信号出力部１ｃから受けた場合に、電流源３からのアナログ電流信号をダイオード４ｄを通じて負荷デバイス５に供給する。
【００２８】
なお、ダイオード４ｃは、電流源３からのアナログ電流信号がトランジスタ４ａ側に流れないようにするためのもので、ダイオード４ｄは、負荷デバイス５に供給されるべきアナログ電圧信号が、トランジスタ４ｂや電流源３の影響を受けないようにするためのものである。
上述の構成により、本発明の第１実施形態にかかる電流電圧発生器１０では、切り替えスイッチ部４において、電流電圧制御部１の制御信号出力部１ｃからの制御信号に基づいて、電圧源２からのアナログ電圧信号か、または電流源３からのアナログ電流信号のいずれか一方を選択的に出力している。
【００２９】
すなわち、制御信号出力部１ｃからの制御信号により、負荷デバイス５に電流を与えたい場合には、切り替えスイッチ部４をなす（電流源３側の）トランジスタ４ｂをオンさせ、（電圧源２側の）トランジスタ４ａをオフさせる。同様に、負荷デバイス５に電圧を与えたい場合は、（電圧源２側の）トランジスタ４ａをオンさせ、（電流源３側の）トランジスタ４ｂをオフさせる。
【００３０】
このとき、負荷デバイス５に供給すべき電気信号特性について、電流信号と電圧信号との間で切り替える場合においては、制御信号出力部１ｃにおいて（切り替え動作自体は比較的高速な）トランジスタ４ａ，４ｂのオンオフ制御を行なう動作のみで足りるため、切り替えに要する情報量を従来技術に比して大幅に減少させ、切り替えに要する時間を大幅に（例えば数μ秒オーダーに）短縮させることができる。即ち、制御信号を出力してから負荷デバイス５に切り替えられた電気信号が与えられるまでの応答時間について短縮化させることができる。
【００３１】
なお、ＦＰＧＡとしての電流電圧制御部１により、負荷デバイス５に供給する電圧信号および電流信号についての設定を、互いに同時に供給しないように設定しておくことで、切り替えスイッチ４をそなえなくとも、電流信号／電圧信号の切り替えを高速に行なうことができるものと考えられるが、この切り替えスイッチ４をそなえることにより、従来よりも高速な切り替え機能だけでなく、電圧源２からのアナログ電圧信号と電流源３からのアナログ電流信号とが同時に負荷デバイス５に出力されることを防止するという、回路保護機能をも持たせることができる。
【００３２】
このように、本発明の第１実施形態にかかる電流電圧発生器１０によれば、制御信号出力部１ｃと切り替えスイッチ部４により、出力すべき電気信号特性を、電圧信号および電流信号との間で切り替える（電流信号から電圧信号へ、又は、電圧信号から電流信号へ）場合に、切り替えに要する時間を従来技術よりも大幅に短縮化させることができる利点があるほか、計測器等の特性には関係の無い過渡波形応答を実現でき、高速な波形応答が必要な場合にも対応が可能となる利点がある。
【００３３】
特に、負荷デバイス５に供給すべき電気信号特性を、電圧信号および電流信号との間で切り替える場合には、切り替えに要する時間を従来技術よりも大幅に短縮化させることができる利点があるほか、計測器等の特性には関係の無い過渡波形応答を実現でき、高速な波形応答が必要な場合にも対応が可能となるため、負荷デバイス５に対する駆動電気信号又は評価試験の適用範囲を広げることができる利点もある。
【００３４】
また、構成部品となるトランジスタ等の各回路素子を比較的高電圧、大電流での駆動が可能なものを用いることとすれば、比較的低インピーダンスの負荷デバイス５に対しても適用することができる。更に、電圧源２と電流源３とを切り替えスイッチ部４により切り分けているので、両者間の漏話をも防ぐこともできる。
〔Ｂ１〕第２実施形態の説明
図３は、本発明の第２実施形態にかかる電流電圧発生器２０を示すブロック図であり、この図３に示す電流電圧発生器２０は、負荷デバイス１５に対する駆動電気信号又は評価試験用の電気信号を、切り替えスイッチ部１４で切り替えて供給しうるものである点は前述の第１実施形態の場合と同様であるが、電気信号特性として、電圧信号および電流信号とともに、それぞれの極性についても選択的に切り替えることができるようになっている点が異なっている。
【００３５】
このため、第２実施形態にかかる電流電圧発生器２０は、前述の第１実施形態の場合と異なる電流電圧制御部１１，電圧源１２，電流源１３，切り替えスイッチ部１４をそなえて構成されている。
電流電圧制御部１１は、それぞれ前述の第１実施形態におけるもの（符号１ａ〜１ｃ参照）に対応する電圧波形生成部１１ａ，電流波形生成部１１ｂおよび制御信号出力部１１ｃをそなえており、例えばＦＰＧＡにより構成される。
【００３６】
ここで、電圧波形生成部１１ａは、正又は負の極性を持つアナログ電圧信号を電圧源１２で発生させるための電気信号波形を生成し第１ディジタル電気信号として出力するもので、電流波形生成部１１ｂは、正又は負の極性を持つアナログ電流信号を電流源１３で発生させるための電気信号波形を生成し第２ディジタル電気信号として出力するものである。又、制御信号出力部１１ｃは、負荷デバイス１５に供給すべき電気信号の特性として、電流信号および電圧信号を切り替えるとともに、その極性についても切り替えるための制御信号を出力するものである。
【００３７】
また、電圧源（電圧信号発生部）１２は、電圧波形生成部１１ａで生成された電圧信号用の第１ディジタル電気信号を入力され、この第１ディジタル電気信号から、正又は負の極性を持つアナログ電圧信号を発生させるものであって、第１ディジタル／アナログ変換部１２Ａおよび電圧増幅部（第１増幅回路）１２Ｂをそなえて構成されている。
ここで、第１ディジタル／アナログ変換部１２Ａは、電圧波形生成部１１ａで生成された電圧信号用の第１ディジタル電気信号についてディジタル／アナログ変換処理を行なって、アナログ電圧信号として出力するものである。又、電圧増幅部１２Ｂは、例えば電源１２ａ，１２ｂ，トランジスタ１２ｃ〜１２ｅおよび抵抗１２ｆ，１２ｇからなり、第１ディジタル／アナログ変換部１２Ａからのアナログ電圧信号を増幅して、切り替えスイッチ部１４へ出力するようになっている。
【００３８】
また、電流源（電流信号発生部）１３は、電流波形生成部１１ｂで生成された電流信号用のディジタル電気信号を入力され、このディジタル電気信号から、正又は負の極性を持つアナログ電流信号を発生させるものであり、第２ディジタル／アナログ変換部１３Ａおよび電流増幅部（第２増幅回路）１３Ｂをそなえて構成されている。
ここで、第２ディジタル／アナログ変換部１３Ａは、電流波形生成部１１ｂで生成された電流信号用の第２ディジタル電気信号についてディジタル／アナログ変換処理を行なって、アナログ電流信号として出力するものである。さらに、電流増幅部１３Ｂは、例えばトランジスタ１３ａ〜１３ｅからなる電流増幅回路であって、第２ディジタル／アナログ変換部１３Ａからのアナログ電流信号を増幅して、切り替えスイッチ部１４へ出力するようになっている。
【００３９】
さらに、切り替えスイッチ部（選択出力部）１４は、上述の制御信号出力部１１ｃからの制御信号に基づいて、電圧源１２からのアナログ電圧信号か又は電流源１３からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力するものであって、選択された電気信号の極性に応じてルートが切り替えられるようになっている。具体的には、切り替えスイッチ部１４は、スイッチ１４ａ〜１４ｄおよびアンプ１４ｍ〜１４ｐからなるアナログスイッチ部１４Ａをそなえるとともに、トランジスタ１４ｅ〜１４ｈおよびダイオード１４ｉ〜１４ｌからなるトランジスタ回路１４Ｂをそなえて構成されている。
【００４０】
ここで、スイッチ１４ａ〜１４ｄはそれぞれ、制御信号出力部１１ｃからの制御信号をもとに、トランジスタ１４ｅ〜１４ｈに供給すべき制御電圧としての電圧信号のオンオフ設定の切り替えを行なうものである（図１中においては、例として、スイッチ１４ａがオン設定されることにより、トランジスタ１４ｅに対してオン制御電圧〔予め設定された定電圧値〕が供給され、他のスイッチ１４ｂ〜１４ｄがオフ設定されることにより、トランジスタ１４ｆ〜１４ｈに対してオフ制御電圧が供給されるようになっている）。
【００４１】
スイッチ１４ａは、負荷デバイス１５に供給すべき電気信号として負の極性を持つ電圧信号を用いる旨の制御信号を制御信号出力部１１ｃから受けた場合に、電圧増幅部１２Ｂからの負の極性を持つアナログ電圧信号を、トランジスタ１４ｅおよびダイオード１４ｉを通じて負荷デバイス１５に供給させる。同様に、スイッチ１４ｂは、負荷デバイス１５に供給すべき電気信号として正の極性を持つ電圧信号を用いる旨の制御信号を制御信号出力部１１ｃから受けた場合に、電圧増幅部１２Ｂからの正の極性を有するアナログ電圧信号を、トランジスタ１４ｆおよびダイオード１４ｊを通じて負荷デバイス１５に供給させる。
【００４２】
また、スイッチ１４ｃは、負荷デバイス１５に供給すべき電気信号として負の極性を持つ電流信号を用いる旨の制御信号を制御信号出力部１１ｃから受けた場合に、電流増幅部１３Ｂからの負の極性を持つアナログ電流信号を、トランジスタ１４ｇおよびダイオード１４ｋを通じて負荷デバイス１５に供給させる。同様に、スイッチ１４ｄは、負荷デバイス１５に供給すべき電気信号として正の極性を持つ電流信号を用いる旨の制御信号を制御信号出力部１１ｃから受けた場合に、電流増幅部１３Ｂからの正の極性を持つアナログ電流信号を、トランジスタ１４ｈおよびダイオード１４ｌを通じて負荷デバイス１５に供給させる。
【００４３】
すなわち、スイッチ１４ａからの制御電圧をオン制御することによりトランジスタ１４ｅでは電圧増幅部１２Ｂからの負電圧信号を導通させることができ、スイッチ１４ｂからの制御電圧をオン制御することによりトランジスタ１４ｆでは電圧増幅部１２Ｂからの正電圧信号を導通させることができ、スイッチ１４ｃからの制御電圧をオン制御することによりトランジスタ１４ｇでは電流増幅部１３Ｂからの負電流信号を導通させることができ、スイッチ１４ｄからの制御電圧をオン制御することによりトランジスタ１４ｈでは電流増幅部１３Ｂからの正電流信号を導通させることができる。
【００４４】
なお、ダイオード１４ｉ，１４ｋはそれぞれ、トランジスタ１４ｂ，１４ｄがオン制御されているときのアナログ電圧信号，アナログ電流信号が、もれこみによるロスが生ずることなく負荷デバイス１５に供給されるようにするためのものである。同様に、ダイオード１４ｊ，１４ｌは、トランジスタ１４ａ，１４ｃがオン制御されているときのアナログ電圧信号，アナログ電流信号が、もれこみによるロスが生ずることなく負荷デバイス１５に供給されるようにするためのものである。
【００４５】
これにより、電流電圧発生器２０においては、アナログ電気信号か又はアナログ電流信号のいずれかを、正負の極性とともに切り替えスイッチ部１４で選択して、出力電気信号として出力することができるようになっている。
上述の構成により、本発明の第２実施形態にかかる電流電圧発生器２０では、切り替えスイッチ部１４において、電流電圧制御部１１の制御信号出力部１１ｃからの制御信号に基づいて、電圧源１２からの正または負の極性を持つアナログ電圧信号、電流源１３からの正又は負の極性を持つアナログ電流信号のいずれか一つを選択的に出力している。
【００４６】
すなわち、負荷デバイス１５に正の極性を持つ電流を与えたい場合には、制御信号出力部１１ｃからの制御信号によりスイッチ１４ｄの設定が切り替わって、トランジスタ１４ｈへの制御電圧がオン設定されることで、電流増幅部１３Ｂからの正の極性を持つアナログ電流信号をダイオード１４ｌを通じて負荷デバイス１５に出力する。尚、このとき、他のトランジスタ１４ｅ〜１４ｇへの制御電圧はオフ設定されている。
【００４７】
以下、同様に、負荷デバイス１５に負の極性を持つ電圧信号を与えたい場合はトランジスタ１４ｅへの制御電圧をオン設定とし、負荷デバイス１５に正の極性を持つ電圧信号を与えたい場合はトランジスタ１４ｆへの制御電圧をオン設定とし、負荷デバイス１５に負の極性を持つ電流信号を与えたい場合はトランジスタ１４ｇへの制御電圧をオン設定とし、制御電圧をオン設定とする以外のトランジスタについては、制御電圧をオフ設定とする。
【００４８】
このとき、負荷デバイス１５に供給すべき電気信号特性について、電流信号と電圧信号との間およびその極性を切り替える場合においては、制御信号出力部１１ｃから（切り替え動作自体は比較的高速な）スイッチ１４ａ〜１４ｄに供給する制御信号を切り替える（オンオフ制御する）のみで足りるため、切り替えに要する情報量を従来技術に比して大幅に減少させ、切り替えに要する時間を例えば数μ秒オーダーとすることができ、大幅に短縮させることができる。即ち、制御信号を出力してから負荷デバイス１５に切り替えられた電気信号が与えられるまでの応答時間について短縮化させることができる。
【００４９】
なお、切り替えスイッチ１４をそなえることにより、前述の第１実施形態の場合と同様、従来よりも高速な切り替え機能だけでなく、電圧増幅部１２Ｂからのアナログ電圧信号と電流増幅部１３Ｂからのアナログ電流信号とが同時に負荷デバイス１５に出力されることを防止するという、回路保護機能をも持たせることができる。
また、負荷デバイス１５への経路を単一とするとともに、ダイオード１４ｉ〜１４ｌをそなえたことにより、負荷デバイス１５に対して、他の経路への漏れこみによるロスを生じさせることなく、アナログ電圧信号，アナログ電流信号を供給することができる。
【００５０】
このように、本発明の第２実施形態にかかる電流電圧発生器２０によれば、前述の第１実施形態の場合と同様、制御信号出力部１１ｃと切り替えスイッチ部１４により、負荷デバイス１５に供給すべき電気信号特性を切り替える場合に、切り替えに要する時間を従来技術よりも大幅に短縮化させることができる利点があるほか、電流信号および電圧信号についての極性についても切り替えることができるので、負荷デバイス１５に対する駆動電気信号又は評価試験用の電気信号として、前述の第１実施形態の場合よりも、より利用態様を広げることができる。
【００５１】
また、計測器等の特性には関係の無い過渡波形応答を実現でき、高速な波形応答が必要な場合にも対応が可能となるため、負荷デバイス１５に対する駆動電気信号又は評価試験の適用範囲を広げることができる利点もある。
また、構成部品となるトランジスタ等の各回路素子を比較的高電圧、大電流での駆動が可能なものを用いることとすれば、比較的低インピーダンスの負荷デバイス１５に対しても適用することができる。更に、電圧源１２と電流源１３とを切り替えスイッチ部１４により切り分けているので、両者間の漏話をも防ぐこともできる。
【００５２】
〔Ｂ２〕第２実施形態の変形例の説明
図４は、本発明の第２実施形態の変形例にかかる電流電圧発生器２０´を示すブロック図であり、この図４に示す電流電圧発生器２０´は、前述の第２実施形態と同様に、負荷デバイス１５に対する駆動電気信号又は評価試験用の電気信号を、正又は負の極性を有する、アナログ電圧信号又はアナログ電気信号として供給している点は同様であるが、切り替えスイッチ部１４´の構成が前述の第２実施形態の場合と異なっている。尚、図４中、図２，３と同一の符号は、ほぼ同様の部分を示している。
【００５３】
ここで、切り替えスイッチ部１４´は、制御信号出力部１１ｃからの制御信号に基づき、負の極性を持つアナログ電圧信号を負荷デバイス１５へ供給するためのフォトカプラ１４Ｃ−１，正の極性を持つアナログ電圧信号を負荷デバイス１５へ供給するためのフォトカプラ１４Ｃ−２，負の極性を持つアナログ電流信号を負荷デバイス１５へ供給するためのフォトカプラ１４Ｃ−３および正の極性を持つアナログ電流信号を負荷デバイス１５へ供給するためのフォトカプラ１４Ｃ−４をそなえて構成されている。各フォトカプラ１４Ｃ−１，１４Ｃ−４は、それぞれ、発光ダイオード１４ｑ−１〜１４ｑ−４をそなえるとともに、フォトトランジスタ１４ｒ−１〜１４ｒ−４をそなえて構成される。
【００５４】
すなわち、負荷デバイス１５に負の極性を持つアナログ電圧信号を供給しようとする場合は、制御信号出力部１１ｃからフォトカプラ１４Ｃ−１をなす発光ダイオード１４ｑ−１に対する制御信号を、アナログ電気信号を導通させるための制御信号（オン制御信号）として、発光ダイオード１４ｑ−１を発光させる。そして、発光ダイオード１４ｑ−１での発光を受光したフォトトランジスタ１４ｒ−１において、電圧増幅部１２Ｂからの（負の極性を持つ）アナログ電圧信号を負荷デバイス１５に対して出力する。尚、このとき、他のフォトカプラ１４Ｃ−２〜１４Ｃ−４の発光ダイオード１４ｑ−２〜１４ｑ−４は、制御信号出力部１１ｃからの制御信号により消光状態とされているので、フォトトランジスタ１４ｒ−２〜１４ｒ−４からはアナログ電気信号が出力されることはない。
【００５５】
換言すれば、制御信号出力部１１ｃにおいては、フォトカプラ１４Ｃ−１に対して出力する制御信号をオン制御信号とすることにより、電圧増幅部１２Ｂからのアナログ電圧信号を負荷デバイス１５に出力する一方、フォトカプラ１４Ｃ−２〜１４Ｃ−４に対して出力する制御信号をオフ制御信号とすることにより、これらのフォトカプラ１４Ｃ−２〜１４Ｃ−４を通じてはアナログ電気信号が負荷デバイス１５に出力されることはない。
【００５６】
以下、同様に、制御信号出力部１１ｃからの制御信号に基づいて、負荷デバイス１５に正の極性を持つ電圧信号を与えたい場合は発光ダイオード１４ｑ−２を発光させるべく制御電圧をオン設定とし、負荷デバイス１５に負の極性を持つ電流信号を与えたい場合は発光ダイオード１４ｑ−３を発光させるべく制御電圧をオン設定とし、負荷デバイス１５に正の極性を持つ電流信号を与えたい場合は発光ダイオード１４ｑ−４を発光させるべく制御電圧をオン設定とし、制御電圧をオン設定とする以外の発光ダイオードについては、消光状態とすべく制御電圧をオフ設定とする。
【００５７】
これにより、制御信号出力部１１ｃからの制御信号がオン制御信号をされたフォトカプラ１４Ｃ−１〜１４Ｃ−４は、アナログ電圧信号を負荷デバイス１５に供給できるようになる。
そして、このようにしても、負荷デバイス１５に供給すべき電気信号特性について、電流信号と電圧信号との間およびその極性を切り替える場合においては、制御信号出力部１１ｃから（切り替え動作自体は比較的高速な）フォトカプラ１４Ｃ−１〜１４Ｃ−４に供給する制御信号を切り替える（オンオフ制御する）のみで足りるため、前述の第２実施形態の場合と同様、切り替えに要する情報量を従来技術に比して大幅に減少させ、切り替えに要する時間を大幅に短縮させることができる。即ち、制御信号を出力してから負荷デバイス１５に切り替えられた電気信号が与えられるまでの応答時間について短縮化させることができる。
【００５８】
〔Ｃ１〕第３実施形態の説明
図５は本発明の第３実施形態にかかる電流電圧発生器３０を示すブロック図である。この図５に示す電流電圧発生器３０は、前述の第１，第２実施系形態におけるもの（符号１０，２０参照）とは異なり、負荷デバイス２８に供給するアナログ電気信号を、電流電圧制御部２１からの制御信号に基づいて切り替えるのではなく、電流電圧制御部２１から出力されるアナログ電気信号およびアナログ電圧信号のうちで、後述の検出部２４，２５で検出した側の信号を優先的に供給するようになっている。
【００５９】
このため、第３実施形態にかかる電流電圧発生器３０は、電流電圧制御部２１，電圧源２２，電流源２３，電圧発生検出部２４，電流発生検出部２５，電圧信号出力部２６および電流信号出力部２７をそなえて構成されている。
図６は、電流電圧発生器３０の回路構成について示す図である。この図６において、電流電圧制御部２１は、後段の電圧源２２でアナログ電圧信号を発生させるための、所定の波形を有する第１ディジタル電気信号を生成する電圧波形生成部２１ａをそなえるとともに、後段の電流源２３でアナログ電流信号を発生させるための、所定の波形を有する第２ディジタル電気信号を生成する電流波形生成部２１ｂをそなえている。
【００６０】
したがって、この電流電圧制御部２１においては、所定の波形を有する第１ディジタル電気信号を生成するとともに、所定の波形を有する第２ディジタル電気信号を生成する電気信号波形生成部として機能し、前述の図３の場合の制御信号出力部１１ｃに相当する構成については省略することができる。
なお、上述の電流電圧制御部２１についても、プログラムが内蔵された集積回路（例えばＦＰＧＡ）により構成することができ、電圧波形生成部２１ａおよび電流波形生成部２１ｂで生成するディジタル電気信号についても、プログラムにより定められた波形の信号を、定められた時間出力することができようになっている。
【００６１】
また、電圧源２２は、電流電圧制御部２１からの第１ディジタル電気信号から、アナログ電圧信号を発生させる電圧信号発生部として構成されるもので、前述の第２実施形態の場合（符号１２Ａ，１２Ｂ）と同様の第１ディジタル／アナログ変換部２２Ａおよび電圧増幅部２２Ｂをそなえている。
また、この電圧源２２において、ディジタル／アナログ変換部２２Ａから出力されるアナログ電圧信号については、電圧増幅部２２Ｂのトランジスタ１２ｃにおけるゲート端子に出力するとともに、後述の電圧発生検出部２４をなすオペアンプ２４ａに対しても出力するようになっている。そして、接点Ａを通じたアナログ電圧信号を電圧信号出力部２６へも出力する。尚、電圧増幅部２２Ｂを構成する各回路素子に対しては、前述の図３における電圧増幅部１２Ｂにおけるものと同様の符号を付している。
【００６２】
さらに、電流源２３は、電流電圧制御部２１からの第２ディジタル電気信号から、アナログ電流信号を発生させる電流信号発生部として構成されるもので、前述の第２実施形態の場合（図３の符号１３Ａ，１３Ｂ）と同様の第２ディジタル／アナログ変換部２３Ａおよび電流増幅部２３Ｂをそなえて構成されている。この電流源２３の電流増幅部２３Ｂは、図３に示す電流増幅部１３Ｂと異なり、３つのトランジスタ１３ａ〜１３ｃからなるカレントミラー回路として構成される。そして、接点Ｂを流れるアナログ電流信号が電流発生検出部２５に出力され、接点Ｃを流れるアナログ電流信号が電圧信号出力部２７に出力されるようになる。
【００６３】
また、電圧発生検出部２４は、オペアンプ２４ａおよび抵抗２４ｂ，２４ｃからなるアナログコンパレータとして構成されて、ディジタル／アナログ変換部２２Ａからアナログ電圧信号（つまり、負荷デバイス２８に対して電圧印加するための電気信号波形を有するアナログ電圧信号）が入力されたか否かを示す検出信号を電流信号出力部２７に出力するものである。換言すれば、上述の電圧発生検出部２４は、電圧源２２からのアナログ電圧信号の発生について検出する電圧信号検出部として構成される。
【００６４】
さらに、電流発生検出部２５は、抵抗２５ａおよびトランジスタ２５ｂ〜２５ｄからなる回路構成を有し、電流増幅部２３Ｂの接点Ａからのアナログ電流信号を、トランジスタ２５ｂのベース端子で入力されて、負荷デバイス２８に対して電流供給するための電気信号波形を有するアナログ電流信号が入力されたか否かを示す検出信号を、接点ＤおよびＥを通じて電圧信号出力部２６に出力するものである。換言すれば、電流発生検出部２５は、電流源２３からのアナログ電流信号の発生について検出する電流信号検出部として構成される。
【００６５】
したがって、上述の電圧発生検出部２４および電流発生検出部２５により、電圧源２２からのアナログ電圧信号および電流源２３からのアナログ電流信号の発生について検出する検出部を構成する。
また、電圧信号出力部２６は、電圧源２２からの（即ち、電圧増幅部２２Ｂにおける接点Ａからの）アナログ電圧信号を接点Ｆを通じて受けるとともに、電流発生検出部２５からの検出信号を入力されて、この検出信号をもとに、接点Ｆを通じて入力されるアナログ電圧信号の負荷デバイス２８への供給および遮断を切り替えるものである。
【００６６】
すなわち、電圧信号出力部２６では、負荷デバイス２８に対して電流供給するためのアナログ電流信号が発生していることが電流発生検出部２５において検出された場合に、上述のアナログ電圧信号の負荷デバイス２８への供給を遮断するとともに、上述のアナログ電流信号が発生していることが検出されない場合には、上述のアナログ電圧信号を負荷デバイス２８へ供給するようになっている。
【００６７】
この場合においては、電流発生検出部２５において、電流源２３から負荷デバイス２８に供給するためのアナログ電流信号を検出すると、接点Ｄ，Ｅを通じた検出信号により、電圧信号出力部２６のトランジスタ２６ｂ，２６ａをそれぞれオンとすることで、トランジスタ２６ｄ，２６ｃをオフとして、電流源２３側から見た電圧源２２をハイインピーダンスにする。これにより、アナログ電圧信号を遮断する。換言すれば、電圧信号出力部２６は、電流発生検出部２５でアナログ電流信号が発生されたことを検出すると、電圧源２２からのアナログ電圧信号についての出力を遮断する電圧遮断部として構成される。
【００６８】
さらに、電流信号出力部２７は、２つのトランジスタ２７ａ，２７ｂからなる回路構成を有し、電圧発生検出部２４からの検出信号をもとに、電流増幅部２３Ｂ内の接点Ｃを通じて入力されるアナログ電流信号の負荷デバイス２８への供給および遮断を切り替えるようになっている。
すなわち、電流信号出力部２７では、負荷デバイス２８に対して電圧供給するためのアナログ電圧信号が発生していることが電圧発生検出部２４において検出された場合に、電流源２３からのアナログ電流信号について負荷デバイス２８への供給を遮断するとともに、上述のアナログ電圧信号が発生していることが検出されない場合には、電流源２３からのアナログ電流信号を負荷デバイス２８へ供給するようになっている。
【００６９】
この場合においては、電圧発生検出部２４において、電圧源２２から負荷デバイス２８に印加するための電圧信号を検出すると、接点Ｃを通じた検出信号により電流信号出力部２７のトランジスタ２７ａをオンとすることで、トランジスタ２７ｂをオフとし、電流源２３をハイインピーダンス状態にする。これにより、アナログ電流信号を遮断する。換言すれば、上述の電流信号出力部２７は、電圧発生検出部２４でアナログ電圧信号が発生されたことを検出すると、電流源２３からのアナログ電流信号についての出力を遮断する電流遮断部として構成される。
【００７０】
したがって、上述の電圧信号出力部２６および電流信号出力部２７により、電圧発生検出部２４および電流発生検出部２５での検出結果に基づいて、電圧源２２からのアナログ電圧信号か又は電流源２３からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力する選択出力部を構成する。
なお、ＦＰＧＡとしての電流電圧制御部２１により、負荷デバイス２８に供給する電圧信号および電流信号についての設定を、互いに同時に供給しないように設定しておくことで、電流信号／電圧信号の切り替えを高速に行なうことができるものと考えられるが、この電圧発生検出部２４，電流発生検出部２５，電圧信号出力部２６および電流信号出力部２７をそなえることにより、従来よりも高速な切り替え機能だけでなく、電圧源２２からのアナログ電圧信号と電流源２３からのアナログ電流信号とが同時に負荷デバイス２８に出力されることを防止するという、回路保護機能をも持たせることができる。
【００７１】
上述の構成により、本発明の第３実施形態にかかる電流電圧発生器３０では、切り替えが生じていない通常時においては、電圧源２２，電流源２３では、電流電圧制御部２１からの第１又は第２ディジタル電気信号をもとに、負荷デバイス２８に与えるためのアナログ電圧信号又はアナログ電流信号のいずれか一方を発生させる。そして、電圧発生検出部２４，電流発生検出部２５において、上述の電流信号および電圧信号のうちの発生していない側の電気信号を遮断するとともに、発生している側の電気信号を負荷デバイス２８に供給する。
【００７２】
一方、電流電圧制御部２１から出力される第１，第２ディジタル電気信号が切り替わった場合、例えば、出力される信号が、第１ディジタル電気信号から第２ディジタル電気信号に切り替わった場合には、負荷デバイス２８に供給するアナログ電気信号についても、電圧信号から電流信号へ切り替わることになる。
このとき、電流発生検出部２５において、電流源２３から負荷デバイス２８に供給するためのアナログ電流信号を検出して、電圧信号出力部２６へその旨を通知する。そして、電圧信号出力部２６では、電圧源２２からのアナログ電圧信号を遮断することにより、信号切り替わり時においてアナログ電圧信号とアナログ電流信号とが同時に負荷デバイス２８に出力されることを防止するとともに、切り替えを早めることができるようになる。
【００７３】
出力される信号が、第２ディジタル電気信号から第１ディジタル電気信号に切り替わった場合においても、上述の場合と同様に、負荷デバイス２８に供給されるアナログ電気信号が、アナログ電流信号からアナログ電圧信号に高速に切り替わる。
このように、本発明の第３実施形態にかかる電流電圧発生器３０によれば、電圧発生検出部２４，電流発生検出部２５，電圧信号出力部２６および電流信号出力部２７により、負荷デバイス２８に供給すべき電気信号特性を切り替える場合に、切り替えに要する時間を従来技術よりも大幅に短縮化させることができる利点があるほか、計測器等の特性には関係の無い過渡波形応答を実現でき、高速な波形応答が必要な場合にも対応が可能となるため、負荷デバイス２８に対する駆動電気信号又は評価試験の適用範囲を広げることができる利点もある。
【００７４】
また、構成部品となるトランジスタ等の各回路素子を比較的高電圧、大電流での駆動が可能なものを用いることで、比較的低インピーダンスの負荷デバイス２８に対しても適用することができる。更に、電圧源２２又は電流源２３から負荷デバイス２８への電気信号の供給を、電圧信号出力部２６又は電流信号出力部２７で遮断させることができるので、両者間の漏話をも防ぐこともできる。
【００７５】
〔Ｃ２〕第３実施形態の変形例の説明
図７は、本発明の第３実施形態にかかる電流電圧発生器３０´の構成を示すブロック図であり、この図７に示す電流電圧発生器３０´は、前述の第３実施形態と異なる態様で、負荷デバイス２８に対してアナログ電圧信号又はアナログ電流信号の一方を供給するとともに、この負荷デバイス２８に対する電気信号の供給を検出すると、アナログ電圧信号又はアナログ電流信号の他方については遮断するようになっている。
【００７６】
このため、図７に示す電流電圧発生器３０´は、図６に示す電流電圧発生器３０と同様の構成を持つ電流電圧制御部２１，第１ディジタル／アナログ変換部２２Ａおよび電流源２３をそなえているが、電流電圧発生器３０とは異なる構成の電圧増幅部２２Ｂ´，電圧発生検出部２４´，電流発生検出部２５´，電圧信号出力部２６´および電流信号出力部２７´をそなえて構成されている。尚、図７中、図６と同一の符号は、ほぼ同様の部分を示している。
【００７７】
ここで、電圧源２２´の電圧増幅部２２Ｂ´は、オペアンプ２２ａおよび抵抗２２ｂ，２２ｃからなる線形増幅回路の回路構成を有し、第１ディジタル／アナログ変換部２２Ａからのアナログ電圧信号について増幅し、増幅結果について電圧信号出力部２６´に出力する。
また、電圧発生検出部（電圧信号検出部）２４´は、前述の図６におけるものと同様のオペアンプ２４ａおよび抵抗２４ｂ，２４ｃをそなえるとともに、オペアンプ２４ａから入力される電流に応じたレベルの光を発光するレーザダイオード２４ｄをそなえて構成され、負荷デバイス２８に印加するためのアナログ電圧信号が電圧源２２´で発生したか否かの検出信号を、レーザダイオード２４ｄからの光信号として出力するようになっている。換言すれば、上述のレーザダイオード２４ｄは、発光状態により、電圧源２２´からのアナログ電圧信号についての発生状態を検出する第１発光素子として構成される。
【００７８】
さらに、電流発生検出部２５´は、トランジスタ２５ｂおよび抵抗２５ｅをそなえるとともに、トランジスタ２５ｂからの電流に応じたレベルの光を発光するレーザダイオード２５ｆからなる回路構成を有し、電流増幅部２３Ｂにおける接点Ｂからのアナログ電流信号をトランジスタ２５ｂのベース端子で入力され、負荷デバイス２８に印加するためのアナログ電流信号が電流源２３で発生したか否かの検出信号を、レーザダイオード２５ｆからの光信号として出力するようになっている。換言すれば、このレーザダイオード２５ｆは、発光状態により電流源２３からのアナログ電流信号についての発生状態を検出する第２発光素子として構成される。
【００７９】
また、電圧信号出力部２６´は、トランジスタ２６ｅ，２６ｆ，オペアンプ２６ｇおよび抵抗２６ｈ〜２６ｊをそなえるとともに、電流発生検出部２５´をなすレーザダイオード２５ｆからの光を受光し、その受光レベルに応じた電気信号を出力するフォトダイオード２６ｋからなる回路構成を有している。即ち、フォトダイオード２６ｋで受光する受光レベルから、負荷デバイス２８に印加するためのアナログ電流信号が電流源２３で発生したか否かを判定することができ、これにより、電圧増幅部２２Ｂ´からのアナログ電圧信号を負荷デバイス２８に印加するか否かを切り替えることができるようになっている。
【００８０】
したがって、上述の電圧信号出力部２６´は、レーザダイオード２５ｆの発光状態を検出する第２受光素子としてのフォトダイオード２６ｋをそなえ、フォトダイオード２６ｋでの受光状態に基づいて、電圧源２２´からのアナログ電圧信号についての出力を遮断する電圧遮断部として構成される。
さらに、電流信号出力部２７´は、トランジスタ２７ｃ，オペアンプ２７ｄおよび抵抗２７ｅ〜２７ｇをそなえるとともに、電圧発生検出部２４´をなすレーザダイオード２４ｄからの光を受光し、その受光レベルに応じた電気信号を出力するフォトダイオード２７ｈからなる回路構成を有している。即ち、フォトダイオード２７ｈで受光する受光レベルから、負荷デバイス２８に印加するためのアナログ電圧信号が電圧源２２´で発生したか否かを判定することができ、これにより、電流増幅部２３Ｂからのアナログ電流信号を負荷デバイス２８に印加するか否かを切り替えることができるようになっている。
【００８１】
したがって、上述の電流信号出力部２７´は、レーザダイオード２４ｄの発光状態を検出する第１受光素子としてのフォトダイオード２７ｈをそなえ、フォトダイオード２７ｈでの受光状態に基づいて、電流源２３からのアナログ電流信号についての出力を遮断する電流遮断部として構成される。
なお、上述の一対のレーザダイオード２５ｆおよびフォトダイオード２６ｋ、ならびに、レーザダイオード２４ｄおよびフォトダイオード２７ｈは、それぞれ一体として、モニタＰＤ内蔵型レーザダイオードにより構成することができる。
【００８２】
上述の構成により、図７に示す電流電圧発生器３０´においては、例えば電圧源２２´からのアナログ電圧信号を負荷デバイス２８に供給する電気信号として使用する場合においては、第１ディジタル／アナログ変換部２２Ａから出力されたアナログ電圧信号を電圧発生検出部２４´で検出するが、その時には電流源２３からは電流を流さない為、電流発生検出部２５´の電圧は０ｖとなる。よって、接点Ｇの電圧が接点Ｈの電圧よりも高くなるので、レーザダイオード２４ｄに電流が流れて発光する事で、電流信号出力部２７´をなすフォトダイオード２７ｈに電流が流れ、トランジスタ２７ｃをオフさせ電圧源２２´側から見た電流源２３をハイインピーダンスにさせる。このようにして、電流増幅部２３Ｂから出力されるアナログ電流信号について遮断させる。
【００８３】
また、例えば電流源２３からのアナログ電流信号を負荷デバイス２８に供給する電気信号として使用する場合においては、電流源２３から出力された電流を電流発生検出部２５´により検出するが、その時には電圧源２２´で出力される電圧信号の値は０ｖの為、電圧発生検出部２４´の電圧は０ｖとなる。よって、接点Ｈの電圧が接点Ｇの電圧よりも高くなるので、レーザダイオード２５ｆに電流が流れて発光する事で、電圧信号出力部２６´をなすフォトダイオード２６ｋに電流が流れ、トランジスタ２６ｅをオフさせて、電流源２３側から見た電圧源２２´をハイインピーダンスにさせる。このようにして、電圧増幅部２２Ｂ´から出力されるアナログ電圧信号について遮断させる。
【００８４】
このように、図７に示す電流電圧発生器３０´においても、電圧発生検出部２４´，電流発生検出部２５´，電圧信号出力部２６´および電流信号出力部２７´により、前述の第３実施形態の場合と同様の利点を得ることができる。
〔Ｄ〕第４実施形態の説明
図８は本発明の第４実施形態にかかる電流電圧発生器４０を示すブロック図で、図９はこの電流電圧発生器４０の回路構成について示す図である。この図８に示す電流電圧発生器４０は、前述の第３実施形態における電流電圧発生器３０（図６の場合に比して、電流電圧制御部２１の構成は同様であるが、電圧源３２，電流源３３，電圧信号出力部３６および電流信号出力部３７の構成が異なるとともに、電流電圧発生器３０をなす電圧発生検出部２４および電流発生検出部２５としての機能を併せ持つ検出回路３４をそなえて構成されている。尚、図８および図９中、図５および図６におけるものと同一の符号は、それぞれ同様の部分を示している。
【００８５】
電圧源（電圧信号発生部）３２は、前述の第３実施形態における電圧源２２に相当するものであるが、図９に示すように、電圧波形生成部２１ａからのディジタル電気信号についてディジタル／アナログ変換を行ない変換結果をアナログ電流信号として出力する電流ディジタル／アナログ変換部（ＩＤＡＣ：I-Digital Analog Converter）３２Ａ，アナログ電流信号についてアナログ電圧信号に変換するＩ／Ｖ変換部３２Ｂおよび電圧増幅部３２Ｃをそなえて構成されている。電圧増幅部３２Ｃは、オペアンプ３２ａおよび抵抗３２ｂ，３２ｃをそなえた線形増幅器として構成されている。
【００８６】
したがって、上述の電流ディジタル／変換部３２ＡおよびＩ／Ｖ変換部３２Ｂにより、電圧波形生成部２１からの第１ディジタル電気信号についてディジタル／アナログ変換処理を行なって、アナログ電圧信号を出力する第１ディジタル／アナログ変換部として構成される。
また、電流源（電流信号発生部）３３は、前述の第３実施形態における電流源２３に相当するものであるが、電流波形生成部２１ｂからの第２ディジタル電気信号についてディジタル／アナログ変換を行ない変換結果をアナログ電流信号として出力する第２ディジタル／アナログ変換部としての電流ディジタル／アナログ変換部３２Ｂをそなえるとともに、電流増幅部３３Ｂをそなえて構成されている。電流増幅部３３Ｂは、トランジスタ３３ａ，３３ｂおよび抵抗３３ｃ、３３ｄからなるカレントミラー回路として構成されている。
【００８７】
検出回路３４は、電圧源３２からのアナログ電圧信号および電流源３３からのアナログ電流信号の発生について検出する検出部を構成するものであるが、この図９に示すように、電流ディジタル／アナログ変換部３３Ａからのアナログ電流信号について電圧信号に変換する電流／電圧変換部としてのＩ／Ｖ変換部３４Ａをそなえるとともに、比較回路部３４Ｂをそなえて構成されている。
【００８８】
また、比較回路部３４Ｂは、電圧源３２をなすＩ／Ｖ変換部３２Ｂからのアナログ電圧信号と、Ｉ／Ｖ変換部３４Ａからの電圧信号（即ち、電流源３３由来の電圧信号）と、のレベルの大小を比較する比較部として構成されたものであって、オペアンプ３４ａ，抵抗３４ｂ〜３４ｉ，トランジスタ３４ｊおよびコンデンサ３４ｋをそなえて構成されている。
【００８９】
たとえば、この比較回路３４Ｂにおいては、Ｉ／Ｖ変換部３２Ｂからのアナログ電圧信号が電流源３３由来の電圧信号よりも大きい場合には、電圧信号出力部としてのスイッチ部３６をオンとするための信号を出力するとともに、電流信号出力部としてのスイッチ部３７をオフとするための信号を出力するようになっている。更には、電流源３３由来の電圧信号がＩ／Ｖ変換部３２Ｂからのアナログ電圧信号よりも大きい場合には、電流信号出力部としてのスイッチ部３７をオンとするための信号を出力するとともに、電圧信号出力部としてのスイッチ部３６をオフとするための信号を出力するようになっている。
【００９０】
スイッチ部３６は、例えばスイッチ３６ａおよび抵抗３６ｂにより構成され、上述の比較回路３４Ｂにおける比較結果を接点Ｉを通じて入力されて、この比較結果が、Ｉ／Ｖ変換部３２部からのアナログ電圧信号が電流源３３由来の電圧信号よりも大きい場合には、スイッチ３６ａをオンとして、電圧源３２からの出力、即ち電圧増幅部３２Ｃから出力されたアナログ電圧信号を負荷デバイス３８に供給するようになっている。又、比較結果が、電流源３３由来の電圧信号がＩ／Ｖ変換部３２部からのアナログ電圧信号よりも大きい場合には、スイッチ３６ａをオフとして、電圧源３２からの出力を遮断するようになっている。
【００９１】
また、スイッチ部３７は、例えばスイッチ３７ａおよび抵抗３７ｂにより構成され、上述の比較回路３４Ｂにおける比較結果を接点Ｉを通じて入力されて、この比較結果が、電流源３３由来の電圧信号がＩ／Ｖ変換部３２部からのアナログ電圧信号よりも大きい場合には、スイッチ３７ａをオンとして、電流源３３からの出力、即ち電流増幅部３３Ｂから出力されたアナログ電圧信号を負荷デバイス３８に供給するようになっている。又、比較結果が、Ｉ／Ｖ変換部３２部からのアナログ電圧信号が電流源３３由来の電圧信号よりも大きい場合には、スイッチ３７ａをオフとして、電流源３３からの出力を遮断するようになっている。
【００９２】
なお、図９中においては、スイッチ３６ａをオンとし、スイッチ３７ａをオフとして、電圧源３２からのアナログ電圧信号を負荷デバイス３８に供給するようになっており、電流源３３からのアナログ電流信号については遮断されるようになっている。
したがって、上述のスイッチ部３６，３７により、検出回路としての比較回路３４の検出結果、即ち比較回路３４による比較結果に基づいて、電圧源３２からのアナログ電圧信号か又は電流源３３からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力する選択出力部として構成される。即ち、スイッチ部３６，３７が協働することにより、電圧源３２からのアナログ電圧信号か又は電流源３３からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力するようになっている。
【００９３】
上述の構成により、本発明の第４実施形態にかかる電流電圧発生器４０では、出力に電圧を発生させる（負荷デバイス３８に対して電圧信号を印加する）場合には、電圧波形生成部２１ａで生成されたディジタル電気信号をもとに、電圧源３２でアナログ電圧信号を生成し、これを負荷デバイス３８に供給する。このとき、比較回路３４がスイッチ部３６，３７を制御することにより、スイッチ部３７を通じた電流源３３からのアナログ電流信号の負荷デバイス３８への供給を遮断させるとともに、スイッチ部３６を通じて電圧源３２からのアナログ電圧信号を負荷デバイス３８に供給させることができ、比較的高電圧のアナログ電圧信号を負荷デバイス３８へ供給することができる。
【００９４】
また、出力に電流を発生させる（負荷デバイス３８に対して電流信号を印加する）場合には、電流波形生成部２１ｂで生成されたディジタル電気信号をもとに、電流源３３でアナログ電流信号を生成し、これを負荷デバイス３８に供給する。このとき、比較回路３４がスイッチ部３６，３７を制御することにより、スイッチ部３６を通じた電圧源３２からのアナログ電圧信号の負荷デバイス３８への供給を遮断させるとともに、スイッチ部３７を通じて電流源３３からのアナログ電流信号を負荷デバイス３８に供給させることができ、比較的大電流のアナログ電流信号を負荷デバイス３８へ供給することができる。
【００９５】
このように、本発明の第４実施形態にかかる電流電圧発生器４０によれば、検出回路３４およびスイッチ部３６，３７により、負荷デバイス３８に供給すべき電気信号特性を切り替える場合に、切り替えに要する時間を従来技術よりも大幅に短縮化させながら、比較的大電流または高電圧のアナログ電気信号を供給することができる利点があるほか、計測器等の特性には関係の無い過渡波形応答を実現でき、高速な波形応答が必要な場合にも対応が可能となるため、負荷デバイス３８に対する駆動電気信号又は評価試験の適用範囲を広げることができる利点もある。
【００９６】
〔Ｅ〕その他
上述した各実施形態にかかわらず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することが可能である。
たとえば、上述の各実施形態において、トランジスタとして電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）を適用しているものにおいても、他のトランジスタ、具体的には高電圧対応のパイポーラトランジスタ等を用いることとしてもよい。
【００９７】
また、上述した各実施形態により、本発明の装置を製造することは可能である。
〔Ｆ〕付記
（付記１）  所定の波形を有する第１ディジタル電気信号を生成するとともに、所定の波形を有する第２ディジタル電気信号を生成する電気信号生成部と、
上記第１ディジタル電気信号から、アナログ電圧信号を発生させる電圧信号発生部と、
上記第２ディジタル電気信号から、アナログ電流信号を発生させる電流信号発生部と、
制御信号に基づいて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号か又は電流信号発生部からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力する選択出力部と、
該電気信号波形生成部で生成される第１，第２ディジタル信号に関連して、該選択出力部からの上記出力電気信号の切り替えを制御するための上記制御信号を出力する制御信号出力部と、
をそなえて構成されたことを特徴とする、電流電圧発生器。
【００９８】
（付記２）  上記の電気信号生成部および制御信号出力部が、プログラムが内蔵された一体の集積回路により構成されたことを特徴とする、付記1記載の電流電圧発生器。
（付記３）  上記アナログ電気信号か又は上記アナログ電流信号のいずれかを、正負の極性とともに該選択出力部で選択して、上記出力電気信号として出力するように構成されたことを特徴とする、付記１又は２記載の電流電圧発生器。
【００９９】
（付記４）  該選択出力部が、フォトカプラ回路により構成されたことを特徴とする、付記１又は２記載の電流電圧発生器。
（付記５）  所定の波形を有する第１ディジタル電気信号を生成するとともに、所定の波形を有する第２ディジタル電気信号を生成する電気信号波形生成部と、
上記第１ディジタル電気信号から、アナログ電圧信号を発生させる電圧信号発生部と、
上記第２ディジタル電気信号から、アナログ電流信号を発生させる電流信号発生部と、
該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号および該電流信号発生部からのアナログ電流信号の発生について検出する検出部と、
該検出部での検出結果に基づいて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号か又は電流信号発生部からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力する選択出力部と、
をそなえて構成されたことを特徴とする、電流電圧発生器。
【０１００】
（付記６）  該検出部が、
該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号の発生について検出する電圧信号検出部をそなえるとともに、該電流信号発生部からのアナログ電流信号の発生について検出する電流信号検出部をそなえ、
かつ、該選択出力部が、
該電圧信号検出部で上記アナログ電圧信号が発生されたことを検出すると、該電流信号発生部からのアナログ電流信号についての出力を遮断する電流遮断部をそなえるとともに、該電流信号検出部で上記アナログ電流信号が発生されたことを検出すると、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号についての出力を遮断する電圧遮断部をそなえて構成されたことを特徴とする、付記５記載の電流電圧発生器。
【０１０１】
（付記７）  該電圧信号検出部が、発光状態により上記のアナログ電圧信号についての発生状態を検出する第１発光素子をそなえるとともに、該電流信号検出部が、発光状態により上記のアナログ電流信号についての発生状態を検出する第２発光素子をそなえ、
該電流遮断部が、該第１発光素子の発光状態を検出する第１受光素子をそなえ、該第１受光素子での受光状態に基づいて、該電流信号発生部からのアナログ電流信号についての出力を遮断すべく構成され、
かつ、該電圧遮断部が、該第２発光素子の発光状態を検出する第２受光素子をそなえ、該第２受光素子での受光状態に基づいて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号についての出力を遮断すべく構成されたことを特徴とする、付記６記載の電流電圧発生器。
【０１０２】
（付記８）  該検出部が、該電流信号発生部からのアナログ電流信号について電圧信号に変換する電流／電圧変換部をそなえるとともに、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号と該電流／電圧変換部で電圧信号に変換されたアナログ電流信号とを比較する比較部をそなえ、
該選択出力部が、該比較部による比較結果に応じて、該電圧信号発生部からのアナログ電圧信号か又は電流信号発生部からのアナログ電流信号のいずれか一方を出力電気信号として選択的に出力することを特徴とする、付記５記載の電流電圧発生器。
【０１０３】
（付記９）  該電圧信号発生部が、上記第１ディジタル電気信号についてディジタル／アナログ変換処理を行なって、アナログ電圧信号を出力する第１ディジタル／アナログ変換部と、該第１ディジタル／アナログ変換部からのアナログ電圧信号について増幅する第１増幅回路と、をそなえるとともに、
該電流信号発生部が、上記第２ディジタル電気信号についてディジタル／アナログ変換処理を行なって、アナログ電流信号を出力する第２ディジタル／アナログ変換部と、該第２ディジタル／アナログ変換部からのアナログ電流信号について増幅する第２増幅回路と、をそなえて構成されたことを特徴とする、付記１〜８のいずれか１項記載の電流電流発生器。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる電流電圧発生器を示すブロック図である。
【図２】第１実施形態にかかる電流電圧発生器の要部を示すブロック図である。
【図３】本発明の第２実施形態にかかる電流電圧発生器を示すブロック図である。
【図４】本発明の第２実施形態の変形例にかかる電流電圧発生器を示すブロック図である。
【図５】本発明の第３実施形態にかかる電流電圧発生器を示すブロック図である。
【図６】電流電圧発生器の回路構成について示す図である。
【図７】本発明の第３実施形態にかかる電流電圧発生器の構成を示すブロック図である。
【図８】本発明の第４実施形態にかかる電流電圧発生器を示すブロック図である。
【図９】第４実施形態にかかる電流電圧発生器の回路構成を示す図である。
【図１０】従来技術を説明するための図である。
【図１１】従来技術を示すブロック図である。
【図１２】従来技術の課題について説明するための図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１，１１，２１    電流電圧制御部
１ａ，１１ａ，２１ａ    電圧波形生成部（電気信号生成部）
１ｂ，１１ｂ，２１ｂ    電流波形生成部（電気信号生成部）
１ｃ，１１ｃ    制御信号出力部
２，１２，２２，２２´，３２    電圧源（電圧信号発生部）
２Ａ，１２Ａ，２２Ａ    第１ディジタル／アナログ変換部
２Ｂ，１２Ｂ，２２Ｂ，２２Ｂ´，３２Ｃ    電圧増幅部（第１増幅回路）
３，１３，２３，３３    電流源（電流信号発生部）
３Ａ，１３Ａ，２３Ａ    第２ディジタル／アナログ変換部
３Ｂ，１３Ｂ，２３Ｂ，３３Ｂ    電流増幅部（第２増幅回路）
４，１４    切り替えスイッチ部（選択出力部）
４ａ，４ｂ，１２ｃ〜１２ｅ，１３ａ〜１３ｅ，２５ｂ〜２５ｄ，２６ａ〜２６ｆ，２７ａ〜２７ｃ，３３ａ，３３ｂ，３４ｋ    トランジスタ
４ｃ，４ｄ，１４ｉ〜１４ｌ    ダイオード
５，１５，２８，３８，１０４    負荷デバイス
１０，２０，２０´，３０，３０´，４０    電流電圧発生器
１２ａ，１２ｂ    電源
１２ｆ，１２ｇ，２２ｂ，２２ｃ，２４ｂ，２４ｃ，２５ａ，２５ｅ，２６ｈ〜２６ｊ，２７ｅ〜２７ｇ，３２ｂ，３２ｃ，３３ｃ，３３ｄ，３４ｂ〜３４ｉ，３６ｂ，３７ｂ    抵抗
１４Ａ    アナログスイッチ部
１４Ｂ    トランジスタ回路
１４Ｃ−１〜１４Ｃ−４    フォトカプラ
１４ａ〜１４ｄ，３６ａ，３７ａ    スイッチ
１４ｍ〜１４ｐ    アンプ
１４ｑ−１〜１４ｑ−４，２４ｄ，２５ｆ    レーザダイオード
１４ｒ−１〜１４ｒ−４    フォトトランジスタ
２４，２４´    電圧発生検出部（電圧信号検出部）
２２ａ，２４ａ，２６ｇ，２７ｄ，３２ａ，３４ａ    オペアンプ
２５，２５´    電流発生検出部（電流信号検出部）
２６，２６´    電圧信号出力部（選択出力部，電圧遮断部）
２６ｋ，２７ｈ    フォトダイオード（ＭＰＤ）
２７，２７´    電流信号出力部（選択出力部，電流遮断部）
３２Ａ    電流ディジタル／アナログ変換部（第１ディジタル／アナログ変換部）
３２Ｂ    Ｉ／Ｖ変換部（第１ディジタル／アナログ変換部）
３３Ａ    電流ディジタル／アナログ変換部（第２ディジタル／アナログ変換部）
３４    検出回路（検出部）
３４Ａ    Ｉ／Ｖ変換部
３４Ｂ    比較回路部（比較部）
３４ｋ    コンデンサ
３６    スイッチ部（電圧信号出力部，選択出力部）
３７    スイッチ部（電流信号出力部，選択出力部）
１０１Ａ，１０１Ｂ    任意波形発生器
１０２Ａ    電圧発生器
１０２Ｂ    電流発生器
１０３    パソコン
【図１】
2005345291.tif 000003
【図２】
2005345291.tif 000004
【図３】
2005345291.tif 000005
【図４】
2005345291.tif 000006
【図５】
2005345291.tif 000007
【図６】
2005345291.tif 000008
【図７】
2005345291.tif 000009
【図８】
2005345291.tif 000010
【図９】
2005345291.tif 000011
【図１０】
2005345291.tif 000012
【図１１】
2005345291.tif 000013
【図１２】
2005345291.tif 000014