(57)【要約】【課題】同軸線路からマイクロストリップラインといった各伝送モード間を変換でき、低損失なモード変換を簡便に実現できる線路変換装置を提供する。【解決手段】高周波信号の各伝送線路間にて伝送モードを変換するために挿入される線路変換装置であって、発泡樹脂から成る本体１を設ける。本体１の発泡樹脂の気泡率を一方の伝送モードである同軸線路２から他方の伝送モードであるマイクロストリップライン３に向かって連続的または段階的に変化させる。【選択図】図１
2005167461.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波信号の各伝送線路間にて伝送モードを変換するために挿入される線路変換装置であって、
発泡樹脂から成る本体が、前記発泡樹脂の気泡率を一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かって連続的または段階的に変化させて設けられていることを特徴とする線路変換装置。
【請求項２】
高周波信号の各伝送線路間での伝送モードを変換するための本体を有する線路変換装置の製造方法において、
本体と形状が相違する本体前躯体を発泡樹脂より成形し、
本体前躯体を最終形状となるように圧縮して、一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かって発泡樹脂の気泡率が連続的または段階的に変化している本体を得る、ことを特徴とする線路変換装置の製造方法。
【請求項３】
最終形状は、略円管状であり、
本体前躯体を、径が徐々に変化するように組み合わせられた略円柱形状、または略円錐台形状となるように発泡樹脂を成形して得、
本体前躯体に心棒を通した後、本体前躯体を上記最終形状に圧縮して本体を得る、ことを特徴とする請求項２記載の線路変換装置の製造方法。
【請求項４】
最終形状は、略直方体形状であり、
本体前躯体を、高さが徐々に変化するように組み合わせられた略直方体形状、または高さ方向にテーパ面を有する略三角柱形状となるように発泡樹脂を成形して得、
本体前躯体を上記最終形状に圧縮して本体を得る、ことを特徴とする請求項２記載の線路変換装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＶＣＯ（電圧制御発振器）やミキサ等の高周波モジュール一般、および光変調器や高速光スイッチ等の光モジュールにおける電気制御部などで好適に用いられ、高周波信号の各伝送線路間にて、伝送モードを変換するために挿入される線路変換装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高周波信号の伝送線路では、伝送モード（電気力線の分布）が変化すると、その境界部分で不所望な反射などが生じ、境界部分での変換損失が増加するという問題がある。
【０００３】
まず、各伝送モードの様子を、図１０を用いて説明する。図１０は、各伝送モードでの基板の伝送方向とは直角方向での断面図である。図１０（ａ）は、内部導体４２と、内部導体４２に対し誘電縁体４４を挟んで同軸状の外部導体４６とを有する同軸線路である。図１０（ｂ）は、誘電体からなるマイクロストリップライン基板４８を挟んで表面にマイクロストリップライン５０、裏面に接地導体５２を備えたマイクロストリップラインである。図１０（ｃ）は、誘電体基板５４の表面上に、互いに平行な各信号線路５６、５８、６０を有するコプレーナーラインである。これら図１０（ａ）ないし図１０（ｃ）において、実線の矢印は電気力線を示し、破線は磁力線を示す。
【０００４】
これら図１０（ａ）ないし図１０（ｃ）から理解されるように、伝送線路によって、電気力線が対称な伝送モードと非対称な伝送モードとがある。したがって、対称な伝送モードと、非対称な伝送モードとの接続部では電界分布が不連続となり、これに起因して変換損失を生じてしまう。
【０００５】
そこで、その変換損失を抑える従来技術としては、特許文献１に記載の同軸−マイクロストリップ変換コネクタ構造や、特許文献２に記載の線路変換器が知られている。
【０００６】
図１１は、特許文献１における代表図である。この特許文献１に記載のコネクタ構造では、同軸線路６２からマイクロストリップライン６４へ伝送モードを変換している。そして、図１０（ａ）で示すように、同軸線路６２側では電気力線の分布は内部導体から外部導体へ向けて均等であり、一方、図１０（ｂ）で示すように、マイクロストリップライン６４側では電気力線の分布はマイクロストリップライン６６から基板裏面の接地導体６８に向けてのみである。これに対応して、この特許文献１においては、図１２（ａ）、図１２（ｂ）、図１２（ｃ）、図１２（ｄ）というように、同軸線路６２の先端側になるにつれて、同軸線路６２の外部導体７０および絶縁体７２に入れる切り欠きの幅を、連続して広くしてゆくことで、電界の向きを徐々に変化させて変換損失を抑えている。
【０００７】
図１３は、特許文献２における代表図である。この従来技術も、同軸線路８２からマイクロストリップライン８６へ伝送モードを変換する。このため、図１３（ｂ）から図１３（ｃ）で示すように、さらに図１３（ｃ）から図１３（ｄ）で示すように、同軸線路８２の外部導体９０の形状を円から矩形に、そして内部にある誘電体９２の部分を徐々に減らしてゆくことで、特許文献１と同じような変換損失を抑える効果をねらっている。
【特許文献１】特開平５−２３５６１３号公報（公開日：１９９３年９月１０日）
【特許文献２】特開平９−２３１０８号公報（公開日：１９９７年１月２１日）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述のような従来の各公報に記載の各技術では、電界を連続にするために、外部導体７０、９０の形状をいずれも特殊な形状にしているため、加工が複雑になるという問題がある。
【０００９】
また、特許文献２のものでは、一体成形が難しく、組み立て工数が増えてしまうという問題もある。さらに、内部に空間があるので、内部導体９４の保持が十分でなく、機械的な強度が低下するという問題もある。
【００１０】
本発明の目的は、低損失なモード変換を簡便に実現することができる線路変換装置およびその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の線路変換装置は、上記課題を解決するために、高周波信号の各伝送線路間にて伝送モードを変換するために挿入される線路変換装置であって、発泡樹脂から成る本体が、前記発泡樹脂の気泡率を一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かって連続的または段階的に変化させて設けられていることを特徴としている。
【００１２】
上記の構成によれば、伝送モードが変化する部分の電気力線の分布における変化に対応して、分布の多い側では発泡樹脂の気泡率を低くして誘電率を高くし、分布の少ない側では発泡樹脂の気泡率を高くして誘電率を低くできる。
【００１３】
その上、上記構成においては、発泡樹脂から成る本体の気泡率を、一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かって連続的または段階的に変化させることで、両側の各伝送線路間での伝送モード（電気力線の分布）が徐々に切換わるようにできる。
【００１４】
したがって、上記構成では、伝送モードの切換わりによる不所望な反射を抑え、損失を抑えることができる。そして、同軸線路などの伝送線路に特別な加工を施すことなく、この本体を用いるだけで、低損失なモード変換を簡便に実現することができる。
【００１５】
本発明の線路変換装置の製造方法は、前記課題を解決するために、高周波信号の各伝送線路間での伝送モードを変換するための本体を有する線路変換装置の製造方法において、本体と形状が相違する本体前躯体を発泡樹脂より成形し、本体前躯体を最終形状となるように圧縮して、一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かって発泡樹脂の気泡率が連続的または段階的に変化している本体を得ることを特徴としている。
【００１６】
上記製造方法においては、最終形状は、略円管状であり、本体前躯体を、径が徐々に変化するように組み合わせられた略円柱形状、または略円錐台形状となるように発泡樹脂を成形して得、本体前躯体に心棒を通した後、上記最終形状に圧縮して本体を得てもよい。
【００１７】
上記方法によれば、圧縮によって一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かって発泡樹脂の気泡率を連続的または段階的に変化させることにより、各伝送線路として、同軸線路とマイクロストリップラインまたはコプレーナーラインとである場合に適した線路変換装置を、具体的に製造することができる。
【００１８】
上記製造方法では、最終形状は、略直方体形状であり、本体前躯体を、高さが徐々に変化するように組み合わせられた略直方体形状、または高さ方向にテーパ面を有する略三角柱形状となるように発泡樹脂を成形して得、上記最終形状に圧縮して本体を得てもよい。
【００１９】
上記方法によれば、各伝送線路がマイクロストリップラインとコプレーナーラインとである場合に適した線路変換装置を、具体的に製造することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の線路変換装置は、発泡樹脂から成る本体が、前記発泡樹脂の気泡率を一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かって連続的または段階的に変化させて設けられている構成である。
【００２１】
それゆえ、上記構成は、発泡樹脂から成る本体の気泡率を一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かって連続的または段階的に変化させているから、気泡率の変化に伴う誘電率の変化により各伝送線路間での伝送モードを低損失にて変換できる。
【００２２】
ところで、従来では、低損失な伝送モードの変換を実現するために、加工が複雑になったり、一体成形が難しく、組み立て工数が増えたり、内部に空間があるので、内部導体の保持が十分でなく、機械的な強度が悪化したりするという問題を生じている。
【００２３】
一方、上記構成は、本体を発泡樹脂の成形によって一体的に形成できるから、その形成や組み立ての加工を従来と比べて簡便化できると共に、内部に本体を存在させることができて、機械的強度の悪化も回避できるという効果を奏する。
【００２４】
本発明の線路変換装置の製造方法は、本体と形状が相違する本体前躯体を発泡樹脂より成形し、本体前躯体を最終形状となるように圧縮して本体を得る方法である。
【００２５】
上記方法によれば、発泡成形と、圧縮成形との二工程にて、一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かって発泡樹脂の気泡率つまり誘電率が連続的または段階的に変化している本体が得られるので、上記問題を回避できる本体の製造を簡便化できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
（実施の第一形態）
本発明の実施の第一形態について、図１ないし図７に基づいて説明すれば、以下のとおりである。図１は本発明の実施の第一形態に係る線路変換装置（モード変換装置）の構造を示す斜視図であり、図２はその線路変換装置の軸線方向での断面図である。
【００２７】
上記線路変換装置は、図１および図２に示すように、同軸線路２とマイクロストリップライン３との間に介在され、伝送モードを変換するための本体１を備えている。この本体１は、略円管状に形成され、内部に同軸線路２の内部導体２ａが同軸状に密に挿通される貫通孔１ｂを有している。
【００２８】
内部導体２ａの先端２ｂは、本体１の一方端面から突出しており、マイクロストリップライン３に半田付けされる。同軸線路２の外部導体２ｃはマイクロストリップ基板３ａの裏面に形成された導体３ｂに半田付けされる。略円筒状の本体１の端面がマイクロストリップ基板３ａの端面に接着される。こうして、同軸線路２の内部導体２ａは、本体１によって、密に（つまり、空間無しにて）機械的に十分な強度で保持される。
【００２９】
そして、本体１では、電気絶縁体である発泡樹脂を成形してなり、気泡率によって本体１の内部の各部分での誘電率が制御されている。具体的には、略円筒状の本体１は、同軸線路２側では全周にわたって高誘電率ε1であり（図３（ａ）参照）、マイクロストリップライン３側においてはマイクロストリップ基板３ａ側の略半周にわたって高誘電率ε1である一方、マイクロストリップライン３側では全周にわたって低誘電率ε2となるように（図３（ｅ）参照）、誘電率εが連続的に変化して形成される。
【００３０】
すなわち、気泡率φ1の時の誘電率をε1、樹脂固有の誘電率をε、空気の誘電率をε0としたとき、気泡率φ1と誘電率ε1との関係は、
ε1＝φ1ε0＋（１−φ1）ε
と表される。すなわち、気泡率φ1を高くすることで、誘電率ε1を低めに調整でき、逆に、気泡率φ1を低くすることで、誘電率ε1を高めに調整できることが分かる。
【００３１】
このとき、本体１は、同軸線路２側では低い気泡率φ1で誘電率は高誘電率のε1である。マイクロストリップライン３側に行くに従い、低い気泡率φ1に対する高い気泡率φ2が占める割合が上昇し、それに従い誘電率は低誘電率ε2に向かって順次低下し、最終的にはε2となる。
【００３２】
これは、前述の図１０（ａ）で示すように、同軸線路２側では電気力線の分布は内部導体２ａから外部導体２ｃへ向けて均等であり、図１０（ｂ）で示すように、前記マイクロストリップライン３側では前記電気力線の分布は該マイクロストリップライン３から基板３ａの裏面の導体３ｂに向けてのみであるためであり、本体１の誘電率を前述のように設定することで、同軸線路２の電気力線の分布を、マイクロストリップライン３側に向けて、図３（ａ）→図３（ｂ）→図３（ｃ）→図３（ｄ）→図３（ｅ）で示すように変化させることができる。
【００３３】
すなわち、発泡樹脂から成る本体１は、発泡樹脂の気泡率が一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かうときの電界分布の変化に対応して連続的に変化したものになる。
【００３４】
図４は、線路変換装置の製造工程を示す斜視図である。前述のように、この線路変換装置は、発泡樹脂から成る本体１を有するので、上記製造方法では、先ず熱可塑性の樹脂ペレット（樹脂の細かい粒）が、発泡剤と混合される。熱可塑性の樹脂としては、ポリプロピレン、ポリアセタール、ポリスチレンなどの誘電率が低い材料が用いられる。また、発泡剤としては、たとえば有機系の材料では、アゾジカルボンアミド（ＡＤＣＡ）系などのアゾ化合物、ニトロソ化合物などであり、無機系の材料では、重炭酸ナトリウムなどである。そして、この発泡剤の混合割合は、気泡率が５０％〜３０％となるように、また後述する射出成形時に、気泡の大きさが、１００μｍ以下、好ましくは５０μｍ以下となるように選ばれる。
【００３５】
次に、上記製造方法においては、混合された材料が、射出成形機内にて加圧された状態にて加熱されることによって、上記材料の樹脂が可塑化され、かつ上記材料の発泡剤が反応してガスが発生し、そのガスが可塑化された樹脂中に溶け込んだ状態になる。上記樹脂は、金型に射出されて成形されると同時に、加圧状態から開放されるから、溶け込んだガスがガス化して独立気泡となり、複数の独立気泡を内部にほぼ均一に分散して有するものとなる。
【００３６】
このとき、射出成形機で用いる金型は、圧縮率が高い部位程、内径が大きい円錐台形状に形成され、かつ、貫通孔１ｂのための棒状部を備えている。上記棒状部は、円錐台形状に形成された金型の小径部では、小径部と同軸に設定され、上記金型の大径部においては、大径部の中心とずれた（偏心）位置に上記金型内を通るように設定されている。
【００３７】
したがって、この金型で成形されると、樹脂は、図４（ａ）で示すように、円錐台形状で、軸方向に沿って偏心した貫通孔１ｂを備えた発泡樹脂成形体（本体前躯体）１ｃとなる。金型中で可塑化された樹脂が冷却され、固まると同時に、気泡化した部分は、発泡樹脂成形体１ｃ内では、そのままの気泡の形でほぼ均一に分散した状態で残っていることになる。
【００３８】
なお、参照符１ａは、後述するように、均一な外径の円筒状体の本体１に圧縮成形された場合に、誘電率の変化を知るための指標であり、図４（ａ）の発泡樹脂成形体１ｃ例では、高誘電率ε１側、すなわち同軸線路２側の面に、マイクロストリップ基板３ａ側の端部に設けられている。したがって、組み立て時には、この指標１ａが同軸線路２側となるように本体１の中心に形成された貫通孔１ｂに、内部導体２ａを挿通し、かつこの指標１ａがマイクロストリップ基板３ａ側となるように、すなわち図１および図４では下方側となるように取り付ければ、図１および図３で説明したような誘電率の分布となる。
【００３９】
その後、成形された発泡樹脂成形体１ｃを、誘導加熱や、次の圧縮工程の金型による加熱などによって再び軟化させ、貫通孔１ｂに対応した心棒を貫通孔１ｂ内に通した後、略円管状（略円筒状）である最終形状の圧縮成形工程の金型で圧縮成形する。最終形状は、発泡樹脂成形体１ｃの形状と相違しており、少なくとも１つの寸法が、それと対応する発泡樹脂成形体１ｃの寸法より小さく設定されたものである。
【００４０】
この圧縮成形工程によって、図４（ｂ）で示すように、均一な外径の円管状体に形成され、同軸状の貫通孔１ｂを備えた本体１が得られる。このとき、本体１内の貫通孔１ｂは、本体１と同軸状が後での本体１の取り付けを容易化できて好ましいが、貫通孔１ｂの少なくとも一方の開口の中心が、それに対応する本体１の端面の中心と相違して偏心したものでもよい。
【００４１】
このような本体１は、図４（ａ）で示す圧縮前では、内包する気泡の大きさは略均一であるのに対して、圧縮されているので、図４（ｂ）で示すように、圧縮率の高い部位程、内包する気泡の大きさは小さくなっている。よって、本体１では、気泡の大きさが小さい部位程、誘電率εが高くなり、その部位に電気力線が集中することになる一方、寸法どおりの圧縮されない部分の誘電率ε2は変化しない。
【００４２】
以上のようにして、同軸線路２からマイクロストリップライン３に伝送モードが変化する部分において、伝送モード（電気力線の分布）が徐々に切換わるようにすることができ、伝送モードの切換わりによる不所望な反射を抑え、損失を抑えることができる。その様子を、図５で示す。図５は、ε1＝２．５、ε2＝１．７５として計算した結果である。高周波側において、透過率が改善されているのが理解される。このようにして、同軸線路２などの伝送線路に特別な加工を施すことなく、簡単に低損失なモード変換を実現することができる。
【００４３】
なお、圧縮率（誘電率ε）は、連続的に変化していなくてもよく、たとえば図６の発泡樹脂成形体（本体前躯体）１１で示すように、段階的に変化させ、図４（ｂ）のように、圧縮成形して本体１を得てもよい。また、図７の発泡樹脂成形体（本体前躯体）２１で示すように、貫通孔１ｂが形成され、内部導体２ａを保持する小径の内筒部２１ａを高気泡率（誘電率ε2）に形成し、その外側に、斜めにカットされ、低気泡率（誘電率ε1）の大径の外筒部２１ｂを被せたものを用いても、同様の効果を有する本体１を得ることができる。
【００４４】
また、円筒状の本体１の直径は、同軸線路２の外径に適応して決定され、たとえば２ｍｍ〜３ｍｍである。さらに、本体１の長さは、伝送すべき高周波信号の波長に適応して決定され、たとえば１ｍｍ〜２ｍｍである。
【００４５】
ここで、発泡体の気泡の状態を傾斜化しようという工法については、従来、以下のようなことが行われていた。傾斜化の方法としては、成形条件を操作することで表面のスキン層と内部の気泡との間で傾斜状態を実現する成形体の製法について報告されている（「最新の微細発泡射出成形技術と応用展開」セミナー（プラスチック工業技術研究会主催）での「当社開発の新しい発泡射出成形、発泡押出し成形システムの特長と今後の応用展開−応用事例」（積水化学工業株式会社）５−３）。
【００４６】
また、特開平６−３０５０３９号公報では、機能性粉末を含む合成樹脂発泡体材料と、機能性粉末を含まない合成樹脂発泡体材料とを用いた機能傾斜材料についてと、粉末を混合し、融着する製法について述べられている。
【００４７】
さらに、特開平９−２７７２８５号公報においては、遠心成形を用い、セル径が表面と内部とで傾斜して成形されている成形体、およびその製法について述べられている。
【００４８】
また、特開平ｌｌ−２９１３７４号公報では、気泡形状（アスペクト比）が異なるシートを積層させて形成する成形体、およびその製法について述べられている。
【００４９】
しかしながら、それらの方法には、以下のような問題があった。まず成形条件のみを操作する方法では、条件出しが難しく、再現性も低い。次に、特開平６−３０５０３９号公報では、傾斜して粉末を分布させる簡易な方法がないことや、機能性材料が一般に誘電率が空気に比べ大きいことから、空気（誘電率＝１）に近い低誘電率品が作れないという問題がある。
【００５０】
また、特開平９−２７７２８５号公報においては、遠心成形を用いるので、形状が同軸状のものに限定されることや、特殊な装置を必要とする問題がある。さらに、特開平１１−２９１３７４号公報では、積層工程を必要として手間がかかることと、シート状のものに限られるという問題がある。
【００５１】
一方、本発明では、圧縮成形を用いることで、これらの問題なく、気泡の状態を傾斜化することができる。なお、上述の圧縮成形工程では、熱可塑性を利用した例を挙げたが、それに限定されるものではなく、塑性変形を利用して圧縮成形してもよい。
【００５２】
（実施の第二形態）
本発明の実施の第二形態について、図８および図９に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【００５３】
図８は、本発明の実施の第二形態に係る線路変換装置の構造を示す斜視図であり、図９は、その線路変換装置の軸線とは直角方向での断面図である。この線路変換装置は、マイクロストリップライン３２とコプレーナーライン３３との間に介在され、伝送モードを変換する本体３１を備えている。この本体３１は、２つの伝送ラインを連なる基板材となっており、この基板材が、前記発泡樹脂で形成されている。
【００５４】
そして、本体３１は、マイクロストリップライン３２側では高誘電率ε1に形成され、コプレーナーライン３３側においては低誘電率ε2に形成され、両者の境界部分では、誘電率εが伝送方向に沿って、つまり一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かって連続的に変化して形成される。
【００５５】
したがって、図９（ａ）で示すコプレーナーライン３３では、電気力線をコプレーナーライン３３の各パターン間にて対称にできる。しかし、図９（ｂ）で示すように、本体３１にε1の誘電率が高い部分が存在すると、電気力線はそちらにひっぱられ始める。すなわち非対称性が生じる。これが、図９（ｃ）で示す非対称なマイクロストリップライン３２に連続的につながっていくことになって、反射が低減される。
【００５６】
上述のように構成される本実施の第二形態に係る線路変換装置の製造方法は、以下の通りである。先ず、誘電率εを上げたい部分（マイクロストリップライン３２側）を厚くした板状の形に、発泡成形する。つまり、高さが徐々に変化するように組み合わせられた略直方体形状に発泡樹脂を成形して発泡樹脂成形体（本体前駆体）を得る。
【００５７】
次に、発泡樹脂成形体を軟化温度まで加熱する。続いて、外側から、略直方体形状の内部形状（最終形状）の金型で圧縮成形する。このとき、軟化しているため、圧力は均一に伝搬する。そして、圧縮率が高い部位では大きな圧力が、小さい部位では小さな圧力が加わる。この圧力によって、気泡の形状が変る（圧力が大きいと、気泡内の空気が樹脂側に溶け込み、その結果、気泡径が小さくなり、気泡率が小さくなる）。圧縮後は、加熱を停止し、冷却する。次に、軟化温度以下になったことを確認して金型を緩め、圧縮成形された本体３１を取り出す。
【００５８】
こうして、本体３１が成形されると、その本体３１上にマイクロストリップライン３２やコプレーナーライン３３の各パターンを形成する。たとえば、無電解メッキによって、樹脂表面に各パターンを形成する。あるいは、スタンプ法といって、片面には微細な凹凸部が形成された任意の形に加工された銅箔を、加熱しながら成形体に押し付け、アンカー効果によって貼り付けるようにして各パターンを形成する。
【００５９】
以上のようにして、本実施の第二形態の線路変換装置を備えたマイクロストリップライン３２およびコプレーナーライン３３を製造することができる。なお、発泡樹脂成形体を、高さ方向にテーパ面を有する略三角柱形状となるように発泡成形してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明の線路変換装置およびその製造方法は、発泡樹脂から成る本体の気泡率を一方の伝送モードから他方の伝送モードに向かって連続的または段階的に変化させて誘電率を変化させているので、各伝送モードの変換時の損失を低減できるともに、製造を簡便化できて、通信分野、特に数十ＧＨｚ以上の高周波信号を伝送する通信分野に好適に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施の第一形態における線路変換装置の構造を示す斜視図である。
【図２】図１で示す線路変換装置の軸線方向での断面図である。
【図３】（ａ）ないし（ｅ）は、図１で示す線路変換装置による電気力線の変化を説明するための軸直角断面である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、図１で示す線路変換装置の各製造工程を示す斜視図である。
【図５】図１で示す線路変換装置の透過率特性を示すグラフである。
【図６】同軸線路とマイクロストリップラインとの間の線路変換装置における他の例の製造方法の一工程を示す斜視図である。
【図７】同軸線路とマイクロストリップラインとの間の線路変換装置のさらに他の例の製造方法の一工程を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施の第二形態の線路変換装置の構造を示す斜視図である。
【図９】（ａ）ないし（ｃ）は、図８で示す線路変換装置の軸線とは直角方向での各断面図である。
【図１０】（ａ）ないし（ｃ）は、各伝送モードでの電気力線の状態をそれぞれ説明するための断面図である。
【図１１】典型的な従来技術を説明するための斜視図である。
【図１２】（ａ）ないし（ｄ）は、図１１で示す従来技術による電気力線の変化をそれぞれ説明するための軸直角断面である。
【図１３】（ａ）ないし（ｄ）は、他の従来技術を説明するための図である。
【符号の説明】
【００６２】
１、３１    本体
１ａ        指標
２          同軸線路
２ａ        内部導体
２ｃ        外部導体
３、３２    マイクロストリップライン
３ａ        マイクロストリップ基板
３ｂ        導体
１１、２１  発泡樹脂成形体（本体前躯体）
３３        コプレーナーライン
【図１】
2005167461.tif 000003
【図２】
2005167461.tif 000004
【図３】
2005167461.tif 000005
【図４】
2005167461.tif 000006
【図５】
2005167461.tif 000007
【図６】
2005167461.tif 000008
【図７】
2005167461.tif 000009
【図８】
2005167461.tif 000010
【図９】
2005167461.tif 000011
【図１０】
2005167461.tif 000012
【図１１】
2005167461.tif 000013
【図１２】
2005167461.tif 000014
【図１３】
2005167461.tif 000015