(57)【要約】【課題】慣性モーメントの更なる低減化が図れ、高速動作の向上が図れる。【解決手段】ボンディングアーム１の下方に該ボンディングアーム１の回転中心１３を有するボンディングアーム揺動型ボンディング装置である。ボンディングアーム１の回転中心１３を中心として回転する円弧状の回転モータ１０の回転軸部１１をボンディングアーム１に固定し、回転中心１３を中心として回転する円弧状のエア軸受２０の回転軸部２１を回転モータ１０の回転軸部１１と一体的に回転可能に設けられている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンディングアームの下方に該ボンディングアームの回転中心を有するボンディングアーム揺動型ボンディング装置において、前記ボンディングアームの回転中心を中心として回転する円弧状の回転モータの回転軸部を前記ボンディングアームに固定し、前記回転中心を中心として回転する円弧状の軸受の回転軸部を前記回転モータの回転軸部と一体的に回転可能に設けられていることを特徴とするボンディングアーム揺動型ボンディング装置。
【請求項２】
前記軸受は、エア軸受、転がり軸受又は摺動軸受よりなることを特徴とする請求項１記載のボンディングアーム揺動型ボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボンディング時におけるボンディングアームの揺動中心がボンディング面上に固定可能であるボンディングアーム揺動型ボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ボンディングアーム揺動型ボンディング装置において、ボンディングヘッドをワーク平面よりも高い位置に維持できるようにして、ボンディングエリアが広い場合にもボンディングアームを長くしなくて済むようにし、以てボンディングアームのイナーシャの増大を抑制して高速化動作を可能としたものとして、例えば特許文献１が挙げられる。この構造は、先端部にキャピラリが取付けられたボンディングアームと、このボンディングアームを駆動させるために該ボンディングアームの後端部に設けられた駆動モータと、前記ボンディングアームの両側に設けられた支持部を支持する円弧状の窓構造を形成したボンディングヘッドとを備えている。前記窓の円弧の中心は、ボンディング面の平面上に設けられており、ボンディングアームの支持部は、ボンディングヘッドの円弧状の窓に円弧形状に沿って移動する。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３４７３４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来技術は、ボンディングアームの長さを短くできるので、慣性モーメントを小さくできる特徴を有する。しかし、ボンディングアームの回転中心から離れた該ボンディングアームの後端部に駆動モータが設けられているので、慣性モーメントの低減化には限度があった。
【０００５】
本発明の課題は、慣性モーメントの更なる低減化が図れ、高速動作の向上が図れるボンディングアーム揺動型ボンディング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、ボンディングアームの下方に該ボンディングアームの回転中心を有するボンディングアーム揺動型ボンディング装置において、前記ボンディングアームの回転中心を中心として回転する円弧状の回転モータの回転軸部を前記ボンディングアームに固定し、前記回転中心を中心として回転する円弧状の軸受の回転軸部を前記回転モータの回転軸部と一体的に回転可能に設けられていることを特徴とする。
【０００７】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、上記請求項１において、前記軸受は、エア軸受、転がり軸受又は摺動軸受よりなることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
ボンディングアームの回転中心に回転モータ及びエア軸受、転がり軸受又は摺動軸受の回転中心が設けられているので、慣性モーメントの更なる低減化が図れ、高速動作の向上が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の一実施の形態を図１及び図２により説明する。ボンディングアーム１の先端部にはキャピラリ２が固定されており、キャピラリ２には図示しないワイヤスプールに巻回されたワイヤ３が挿通されている。ボンディングアーム１の上方には、ワイヤ３をクランプするワイヤクランパ４を有するクランプアーム５が配設されており、クランプアーム５はボンディングアーム１に固定されている。なお、６はセンサスケールを示す。
【００１０】
ボンディングアーム１の両端部には、円弧状の回転モータ１０が配設されており、回転モータ１０の回転軸部１１はボンディングアーム１の側面に固定されている。回転モータ１０は、回転軸部１１が半円より小さい円弧状よりなっており、その回転中心１３は、ボンディング時にはボンディング面１４内に位置するようになっている。回転モータ１０の回転軸部１１は回転モータ１０の有する磁力によって回転モータ１０の固定部１２に吸着保持されている。
【００１１】
回転モータ１０の両側部には、円弧状のエア軸受２０が配設されている。エア軸受２０の回転軸部２１は、回転モータ１０の回転軸部１１に一体的に固定され、エア軸受２０の固定部２２は回転モータ１０の固定部１２に一体的に固定されている。またエア軸受２０の回転軸部２１の回転中心は、回転モータ１０の回転軸部１１の回転中心１３となっている。なお、図示しないが、回転モータ１０の固定部１２は、ボンディングヘッドに固定され、ボンディングヘッドの上面は、ＸＹ軸方向に駆動されるＸＹテーブルに固定されており、ＸＹテーブルはボンディング装置の架台の天上部に固定されている。
【００１２】
ボンディング装置の停止中（オフ時）には、回転モータ１０の回転軸部１１は固定部１２の磁石によって保持されているので、回転モータ１０の回転軸部１１と一体のボンディングアーム１及びエア軸受２０の回転軸部２１も回転モータ１０の固定部１２に保持された状態にある。
【００１３】
ボンディング装置の動作中（オン時）で、かつキャピラリ２を上下動させる時は、エア軸受２０には回転モータ１０の磁力による吸着力に打ち勝つエアが供給され、エア軸受２０の回転軸部２１及び回転モータ１０の回転軸部１１は浮遊した状態にある。そこで、回転モータ１０に操作電流が供給されると、回転モータ１０の回転軸部１１、エア軸受２０の回転軸部２１及びボンディングアーム１は、回転中心１３を中心として揺動する。ボンディングアーム１の揺動によってキャピラリ２に挿通されたワイヤ３がワークにボンディングされる。
【００１４】
このように、ボンディングアーム１の下方に該ボンディングアーム１の回転中心１３を有するボンディングアーム揺動型ボンディング装置において、ボンディングアーム１の回転中心１３を中心として回転する円弧状の回転モータ１０の回転軸部１１をボンディングアーム１に固定し、回転中心１３を中心として回転する円弧状のエア軸受２０の回転軸部２１を回転モータ１０の回転軸部１１と一体的に回転可能に設けられている。即ち、ボンディングアーム１の回転中心１３に回転モータ１０及びエア軸受２０の回転中心が設けられているので、慣性モーメントの更なる低減化が図れ、高速動作の向上が図れる。
【００１５】
なお、上記実施の形態においては、軸受としてエア軸受を用いた場合について説明したが、転がり軸受又は摺動軸受でもよいことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のボンディングアーム揺動型ボンディング装置の一実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図１の側面図である。
【符号の説明】
【００１７】
１    ボンディングアーム１
２    キャピラリ
３    ワイヤ
１０    回転モータ
１１    回転軸部
１２    固定部
１３    回転中心
１４    ボンディング面
２０    エア軸受
２１    回転軸部
２２    固定部
【図１】
2005236104.tif 000003
【図２】
2005236104.tif 000004