(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドの複数のノズル孔から吐出されて飛行する液滴を、効率よく、かつ正確に観測することができる液滴観測方法および液滴観測装置を提供すること。【解決手段】液滴吐出ヘッド１００が備える複数のノズル孔１０１から吐出されて飛行する液滴２００を観測する液滴観測装置１である。この液滴観測装置１は、向きを可変に設置したミラーによって２本のレーザー光２３３、２３４を反射させることによりその反射光２４１、２４２が複数のノズル孔１０１に対応した複数の液滴２００の弾道のうちのいずれの弾道とも交差し得るようにミラーを配置し、観測対象とするノズル孔１０１に対応した液滴２００の弾道に反射光２４１、２４２が交差する状態となるようにミラーの向きを合わせた状態で、反射光２４１、２４２を受光して光電変換する受光手段４の出力信号を検出し、該出力信号に基づいて、当該液滴２００に関する情報を得る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドが備える複数のノズル孔から吐出されて飛行する液滴を観測する液滴観測方法であって、
向きを可変に設置したミラーによって少なくとも１本のレーザー光を反射させることによりその反射光が前記複数のノズル孔に対応した複数の液滴の弾道のうちのいずれの弾道とも交差し得るように前記ミラーを配置し、
観測対象とするノズル孔に対応した液滴の弾道に前記反射光が交差する状態となるように前記ミラーの向きを合わせた状態で、前記反射光を受光して光電変換する受光手段の出力信号を検出し、該出力信号に基づいて、当該液滴に関する情報を得ることを特徴とする液滴観測方法。
【請求項２】
液滴吐出ヘッドが備える複数のノズル孔から吐出されて飛行する液滴を観測する液滴観測装置であって、
少なくとも１本のレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
その向きが可変に設置され、その向きに応じて、反射させたレーザー光を前記複数のノズル孔に対応した複数の液滴の弾道のうちのいずれの弾道とも交差させ得るように配置されたミラーと、
前記ミラーの向きを変化させるミラー駆動手段と、
観測対象とするノズル孔に対応した液滴の弾道に前記ミラーでの反射光が交差する状態となるように、前記ミラー駆動手段を介して前記ミラーの向きを制御する制御手段と、
前記反射光を受光し、光電変換する受光手段と、
前記受光手段の出力信号に基づいて、観測対象とするノズル孔から吐出された液滴に関する情報を得る液滴観測手段とを備え、
前記制御手段の制御に基づいて前記ミラーの向きを変化させることにより、前記複数のノズル孔のそれぞれについて、吐出された液滴を観測可能であることを特徴とする液滴観測装置。
【請求項３】
前記レーザー光照射手段は、複数本のレーザー光を照射するものであり、
前記複数本のレーザー光が前記ミラーで反射した複数本の反射光は、観測対象とするノズル孔に対応した液滴の弾道とそれぞれ交差する請求項２に記載の液滴観測装置。
【請求項４】
前記液滴観測手段は、前記複数本の反射光についての前記受光手段の出力信号変化の時間差に基づいて、前記液滴の飛行速度に関する情報を得る請求項３に記載の液滴観測装置。
【請求項５】
前記複数本の反射光は、互いに交差する請求項３または４に記載の液滴観測装置。
【請求項６】
前記複数本の反射光が互いに交差する位置と、前記複数本の反射光が液滴の弾道とそれぞれ交差する位置とが異なる請求項５に記載の液滴観測装置。
【請求項７】
前記ミラーは、ポリゴンミラーで構成されており、前記ミラー駆動手段は、該ポリゴンミラーを回転駆動するものである請求項２ないし６のいずれかに記載の液滴観測装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記液滴吐出ヘッドが液滴を吐出する吐出周期に同期して前記ミラーの向きが間欠的に変化するように制御する請求項２ないし７のいずれかに記載の液滴観測装置。
【請求項９】
前記受光手段は、前記複数のノズル孔のそれぞれに対して別個に設けられた複数の受光素子で構成されている請求項２ないし８のいずれかに記載の液滴観測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を観測することができる液滴観測方法および液滴観測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出装置を用いて、液晶表示装置、配向膜装置、オーバーコート装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置、電気泳動表示装置、レジスト装置、マイクロレンズアレイ、金属配線、バイオ分野における生成物等を製造することが提案されている。
このような液滴吐出装置では、各液滴をワーク上の正確な位置に着弾させる必要があるので、液滴吐出装置の制御を行う場合、あるいは液滴吐出装置の開発・設計を行う場合などには、液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴の飛行状態（例えば、飛行速度、飛行方向、着弾位置等）を観測する必要がある。
【０００３】
従来、飛行する液滴の飛行状態を計測するに当たっては、照明ランプおよびＣＣＤカメラを有する撮像光学装置により、液滴の画像を撮像し、飛行状態を計測している（例えば、特許文献１参照）。
ところで、液滴の画像を撮像するには、照明ランプおよびＣＣＤ素子に、撮像する液滴が吐出するノズル孔の位置を合わせる必要がある。しかし、液滴吐出ヘッドには、ノズル孔が多数（例えば、１８０個）形成されており、異なるノズル孔から吐出される液滴の画像を撮像する際、その都度、この位置合わせを異なるノズル孔ごとに行う必要があるという問題がある。
【０００４】
また、この位置合わせは、手作業により行われるため、手間が掛かり、位置精度にバラツキが生じるという問題がある。
また、ＣＣＤ素子に画像を撮像するには、露光時間が１０μｓ以上必要であり、この時間、照明ランプにより液滴を照明させる。このように撮像された画像には、液滴の移動によるブレが生じ、液滴の飛行状態を正確に把握することが困難であるという問題がある。
【特許文献１】特開平１１−１３８８２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、液滴吐出ヘッドの複数のノズル孔から吐出されて飛行する液滴を、効率よく、かつ正確に観測することができる液滴観測方法および液滴観測装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴観測方法は、液滴吐出ヘッドが備える複数のノズル孔から吐出されて飛行する液滴を観測する液滴観測方法であって、
向きを可変に設置したミラーによって少なくとも１本のレーザー光を反射させることによりその反射光が前記複数のノズル孔に対応した複数の液滴の弾道のうちのいずれの弾道とも交差し得るように前記ミラーを配置し、
観測対象とするノズル孔に対応した液滴の弾道に前記反射光が交差する状態となるように前記ミラーの向きを合わせた状態で、前記反射光を受光して光電変換する受光手段の出力信号を検出し、該出力信号に基づいて、当該液滴に関する情報を得ることを特徴とする。
これにより、液滴吐出ヘッドの複数のノズル孔から吐出されて飛行する液滴を、効率よく、かつ正確に観測することができる。
【０００７】
本発明の液滴観測装置は、液滴吐出ヘッドが備える複数のノズル孔から吐出されて飛行する液滴を観測する液滴観測装置であって、
少なくとも１本のレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
その向きが可変に設置され、その向きに応じて、反射させたレーザー光を前記複数のノズル孔に対応した複数の液滴の弾道のうちのいずれの弾道とも交差させ得るように配置されたミラーと、
前記ミラーの向きを変化させるミラー駆動手段と、
観測対象とするノズル孔に対応した液滴の弾道に前記ミラーでの反射光が交差する状態となるように、前記ミラー駆動手段を介して前記ミラーの向きを制御する制御手段と、
前記反射光を受光し、光電変換する受光手段と、
前記受光手段の出力信号に基づいて、観測対象とするノズル孔から吐出された液滴に関する情報を得る液滴観測手段とを備え、
前記制御手段の制御に基づいて前記ミラーの向きを変化させることにより、前記複数のノズル孔のそれぞれについて、吐出された液滴を観測可能であることを特徴とする。
これにより、液滴吐出ヘッドの複数のノズル孔から吐出されて飛行する液滴を、効率よく、かつ正確に観測することができる。
【０００８】
本発明の液滴観測装置では、前記レーザー光照射手段は、複数本のレーザー光を照射するものであり、
前記複数本のレーザー光が前記ミラーで反射した複数本の反射光は、観測対象とするノズル孔に対応した液滴の弾道とそれぞれ交差することが好ましい。
これにより、同一の液滴が複数箇所で反射光を遮光し、この遮光により、受光手段が受光する反射光の受光量に時間的な変化が生じる。この時間的な変化により、受光手段が出力する出力信号の時間差を測定することができる。
【０００９】
本発明の液滴観測装置では、前記液滴観測手段は、前記複数本の反射光についての前記受光手段の出力信号変化の時間差に基づいて、前記液滴の飛行速度に関する情報を得ることが好ましい。
これにより、液滴の飛行速度をより正確に観測することができる。
本発明の液滴観測装置では、前記複数本の反射光は、互いに交差することが好ましい。
これにより、液滴に関する情報をより正確に得ることができる。
【００１０】
本発明の液滴観測装置では、前記複数本の反射光が互いに交差する位置と、前記複数本の反射光が液滴の弾道とそれぞれ交差する位置とが異なることが好ましい。
これにより、液滴に関する情報をより正確に得ることができる。
本発明の液滴観測装置では、前記ミラーは、ポリゴンミラーで構成されており、前記ミラー駆動手段は、該ポリゴンミラーを回転駆動するものであることが好ましい。
これにより、複数のノズル孔から吐出されて飛行する液滴の弾道に効率よく反射光を交差させることができる。
【００１１】
本発明の液滴観測装置では、前記制御手段は、前記液滴吐出ヘッドが液滴を吐出する吐出周期に同期して前記ミラーの向きが間欠的に変化するように制御することが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドを移動させることなく、複数のノズル孔のそれぞれが反射光に合ようにすることができる。
本発明の液滴観測装置では、前記受光手段は、前記複数のノズル孔のそれぞれに対して別個に設けられた複数の受光素子で構成されていることが好ましい。
これにより、受光素子が１つのみの場合のように、反射光に合わせて、受光素子を移動させる必要がなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の液滴観測方法および液滴観測装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の液滴観測装置の実施形態を示す平面図、図２は、本発明の液滴観測装置の実施形態を示す側面図、図３は、本発明の液滴観測装置の実施形態を示す側面図、図４は、図３中のＡ−Ａ線断面図、Ｂ−Ｂ線断面図およびＣ−Ｃ線断面図、図５は、本発明の液滴観測装置の主要部を概略的に示すブロック図である。なお、以下では、説明の都合上、特に述べない限り、図２、図３および図４中の上方を「上」、下方を「下」として説明する。また、図３中のレーザー光は、便宜上、誇張して描いている。
【００１３】
図１および図２に示すように、液滴観測装置１は、液滴吐出ヘッド１００が備える複数（図１中では、６つ）のノズル孔１０１から吐出されて飛行する液滴２００を観測する装置である。この液滴観測装置１は、２本のレーザー光２３３、２３４を照射するレーザー光照射手段２と、このレーザー光２３３、２３４を反射させるポリゴンミラー７１および７２と、ポリゴンミラー７１および７２の向きを変化させるミラー駆動手段３と、ミラー駆動手段３を介してポリゴンミラー７１および７２の向きを制御する制御手段６と、２本の反射光２４１、２４２を受光し、光電変換する受光手段４と、受光手段４の出力信号に基づいて、観測対象とするノズル孔１０１から吐出された液滴２００に関する情報を得る液滴観測手段６３とを備えている。
【００１４】
図２に示すように、液滴吐出ヘッド１００のノズル面（ノズルプレート）１０２には、ノズル孔１０１が形成されている。ノズル孔１０１には、これに連通する圧力室とこの圧力室内に充填された液体の圧力を変化させるアクチュエータ（いずれも図示せず）が設けられている。液滴吐出ヘッド１００は、このアクチュエータを駆動することにより、圧力室内の液体をノズル孔１０１から液滴２００として吐出する。液滴吐出ヘッド１００が備えるアクチュエータは、特に限定されず、圧電アクチュエータで構成されていても、液体を加熱して気泡を生じさせる発熱体で構成されていてもよい。
この液滴吐出ヘッド１００は、ヘッド駆動部（ヘッドドライバ）３００により駆動される。ヘッド駆動部３００は、所定のタイミング（駆動周波数）で吐出信号を生成する。液滴吐出ヘッド１００は、ヘッド駆動部３００から入力された吐出信号によりアクチュエータが作動し、液滴２００を吐出する。
【００１５】
液滴吐出ヘッド１００が吐出する液体（分散液を含む）としては、特に限定されるものではなく、例えば、インク、カラーフィルタのフィルタ材料、有機ＥＬ装置におけるＥＬ発光層を形成するための蛍光材料、ＰＤＰ装置における蛍光体を形成するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板の表面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための液状電極材料、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料、金属配線を形成するための液状金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料等が挙げられる。
【００１６】
図５に示すように、制御手段６は、レーザー光照射手段２、ミラー駆動手段３、受光手段４およびヘッド駆動部３００をそれぞれ制御する。この制御手段６は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）６１と、記憶部（記憶手段）６２と、液滴観測手段６３とを有している。記憶部６２は、ＣＰＵ６１に読み取り可能な記憶媒体（記録媒体）を有しており、この記憶媒体は、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリ等で構成されている。
この制御手段６は、観測対象とするノズル孔１０１に対応した液滴２００の弾道にポリゴンミラー７１、７２での反射光２４１、２４２が交差する状態となるように、ミラー駆動手段３を介してポリゴンミラー７１、７２の向きを制御している。
【００１７】
図１および図３に示すように、レーザー光照射手段２は、１本のレーザー光２３を照射するレーザー光照射部２１と、レーザー光２３をレーザー光２３１とレーザー光２３２とに分岐させるビームスプリッター（プリズム）２５と、レーザー光２３１および２３２のそれぞれの一部を遮光するレーザーブレード２６と、レンズ２７とを有している。
レーザー光照射手段２の作動により照射されたレーザー光２３は、その断面が下記に示すように変化しつつ、ポリゴンミラー７１、７２で反射する（図３および図４参照）。なお、図３は、図１中の液滴観測装置１の一部（レーザー光照射手段２の付近）を抜粋した側面図である。
【００１８】
まず、図４に示すように、レーザー光照射部２１から照射されたレーザー光２３は、その断面がほぼ円形である（図４（Ａ）参照）。
次に、このレーザー光２３がビームスプリッター２５を通過すると、レーザー光２３１とレーザー光２３２とに上下に分岐する。レーザー光２３１および２３２の断面は、それぞれほぼ半円形となる（図４（Ｂ）参照）。
【００１９】
次に、レーザー光２３１およびレーザー光２３２がレーザーブレード２６を通過すると、レーザー光２３１は、その上部が遮光され、レーザー光２３２は、その下部が遮光される。このとき、レーザー光２３１および２３２は、それぞれ帯状の光束のレーザー光２３３および２３４となり、その断面が長尺状となる（図４（Ｃ）参照）。
次に、レーザー光２３３および２３４は、レンズ２７によって集光され、それぞれ、ポリゴンミラー７１および７２で反射する（図１参照）。
【００２０】
図１および図２に示すように、ポリゴンミラー（多面鏡）７１は、側面に４枚の鏡面７１１を有している。同様に、ポリゴンミラー（多面鏡）７２も側面に４枚の鏡面７２１を有している。
ポリゴンミラー７１およびポリゴンミラー７２は、後述する回転軸３３上に上下に所定間隔を保って、かつ鏡面７１１と鏡面７２１とが同じ向きに向くように設置されている。
このようなポリゴンミラー７１および７２は、その向きが回転軸３３を中心として可変に設置されている。そして、その向きに応じて、反射させたレーザー光２３３および２３４を６つのノズル孔１０１に対応した６つの液滴２００の弾道のうちのいずれの弾道とも交差させ得るように配置されている。
【００２１】
図２に示すように、ミラー駆動手段３は、上下方向に延在するように形成された、ポリゴンミラー７１および７２を回転（図１中反時計回り）駆動させる回転軸３３と、この回転軸３３に回転力を与えるサーボモータ３４とを有している。
これにより、６つのノズル孔１０１から吐出されて飛行する液滴２００の弾道に効率よく反射光２４１および２４２を交差させることができる。
【００２２】
このような構成により、レーザー光２３３がポリゴンミラー７１で反射した反射光２４１と、レーザー光２３４がポリゴンミラー７２で反射した反射光２４２とは、観測対象とするノズル孔１０１に対応した液滴２００の弾道とそれぞれ交差する（図１参照）。
すなわち、図１および図２に示すように、まず、ポリゴンミラー７１に入射するレーザー光２３３に対し、ポリゴンミラー７１の鏡面７１１が所定の角度（向き）に傾くときには、反射光２４１ａが液滴２００ａの弾道と交差する。これとともに、ポリゴンミラー７２に入射するレーザー光２３４に対し、ポリゴンミラー７２の鏡面７２１が所定の角度（鏡面７１１の角度と同じ）に傾くときには、反射光２４２ａが液滴２００ａの弾道と交差する。
【００２３】
次に、ミラー駆動手段３の作動によりポリゴンミラー７１および７２の向きが微小角度、回転すると、反射光２４１ｂおよび２４２ｂが液滴２００ｂの弾道に同様に作用する。以後反射光２４１ｃおよび２４２ｃと、反射光２４１ｄおよび２４２ｄと、反射光２４１ｅおよび２４２ｅと、反射光２４１ｆおよび２４２ｆとについても同様である。
このように、液滴２００の弾道と交差した反射光２４１および２４２は、受光手段４で受光される。
【００２４】
これにより、同一の液滴２００が反射光２４１および２４２のそれぞれを遮光し、この遮光により、受光手段４が受光する反射光２４１および２４２のそれぞれの受光量に時間的な変化が生じる。この時間的な変化により、受光手段４が出力する出力信号の時間差を測定することができる。
図１および図２に示すように、受光手段４は、６つのノズル孔１０１のそれぞれに対して別個に、かつ一定距離Ｈ（図２中のＨで示す距離）で上下に設けられた受光素子４１１および４１２と、受光素子４２１および４２２と、受光素子４３１および４３２と、受光素子４４１および４４２と、受光素子４５１および４５２と、受光素子４６１および４６２とで構成されている。
【００２５】
従来のように、受光素子が１組（１つ）の場合、この受光素子を反射光に合わせて移動させる必要がある。一方、本実施形態のように、複数のノズル孔１０１のそれぞれに対して受光素子が複数組ある場合、この移動の必要がなくなる。
なお、以下の説明では、受光素子としては、受光素子４１１および４１２を代表として説明する。
【００２６】
液滴観測手段６３は、前述したような、反射光２４１および２４２を受光する受光手段４の出力信号変化の時間差に基づいて、液滴２００の飛行速度に関する情報を得るように構成されている。
これにより、予め測定してある、液滴２００が反射光２４１と反射光２４２との間を移動（飛行）する距離ｈ（図２中のｈで示す距離）を、液滴観測手段６３により計測された
受光素子４１１および４１２の出力信号変化の時間差で除算することにより、液滴２００の飛行速度を算出することができる。このように算出された飛行速度は、誤差が少なく、より正確な数値となる。
【００２７】
このような液滴２００の飛行速度の算出には、液滴２００を受光素子４１１と受光素子４１２とで検出する必要があるため、反射光２４１と反射光２４２とが互いに交差する位置（図２中のＦで示す点）と、反射光２４１および２４２が液滴２００の弾道とそれぞれ交差する位置とが異なっている。
これにより、前記時間差を計測することができるので、液滴２００の飛行速度を算出することが可能となる。
【００２８】
また、制御手段６は、液滴吐出ヘッド１００が液滴２００を吐出する吐出周期に同期してポリゴンミラー７１、７２の向きが間欠的に変化するように制御している。すなわち、制御手段６は、下記に示すような制御を行う（図１参照）。
まず、制御手段６の制御（以下、「同制御」と言う）により、液滴吐出ヘッド１００が液滴２００（２００ａ）を１回吐出する。
【００２９】
次に、この吐出に同期して、同制御により、レーザー光２３を１回発振する。これとともに、ポリゴンミラー７１に入射するレーザー光２３３に対し、ポリゴンミラー７１の鏡面７１１が所定の角度に傾いた状態で停止し、反射光２４１ａが液滴２００ａの弾道と交差する。同様に、ポリゴンミラー７２に入射するレーザー光２３４に対し、ポリゴンミラー７２の鏡面７２１が所定の角度（前述した鏡面７１１と同じ角度）に傾いた状態で停止し、反射光２４２ａが液滴２００ａの弾道と交差する。
【００３０】
次に、同制御により、再び、液滴吐出ヘッド１００が液滴２００（２００ｂ）を１回吐出する。
次に、この吐出に同期して、同制御により、再び、レーザー光２３を１回発振する。これとともに、鏡面７１１がさらに傾いた状態で停止し、反射光２４１ｂが液滴２００ｂの弾道と交差する。同様に、鏡面７２１もさらに傾いた状態で停止し、反射光２４２ｂが液滴２００ｂの弾道と交差する。
【００３１】
以後、反射光２４１ｃおよび２４２ｃと、反射光２４１ｄおよび２４２ｄと、反射光２４１ｅおよび２４２ｅと、反射光２４１ｆおよび２４２ｆとについて順次これを繰り返す。
これにより、従来のように液滴吐出ヘッド１００を移動させることなく、複数のノズル孔１０１のそれぞれが反射光２４１および反射光２４２に合ようにすることができる。
【００３２】
このような構成により、液滴観測装置１は、制御手段６の制御に基づいてポリゴンミラー７１、７２の向きを変化させることにより、複数のノズル孔１０１のそれぞれについて、吐出された液滴２００を観測することができる。
これにより、液滴吐出ヘッド１００の複数のノズル孔１０１から吐出されて飛行する液滴２００を、効率よく、かつ正確に観測することができる。
【００３３】
なお、このような液滴２００を観測する際、観測する液滴２００は、反射光２４１と反射光２４２とが交差する点Ｆの近傍であることが好ましい。このとき、距離ｈが非常に小さくなる。一方、受光素子４１１および４１２自体に一定の大きさがあるため、距離Ｈを距離ｈのように小さく設定することが困難である。しかし、本実施形態のように、反射光２４１と反射光２４２とが互いに交差していることにより、距離Ｈを大きく設定することができる。
【００３４】
また、複数のノズル孔１０１とは、液滴吐出ヘッド１００が備える全てのノズル孔１０１であるのに限定されず、例えば、観測するべき液滴２００が吐出するノズル孔１０１であればよい。
また、液滴吐出ヘッド１００に形成されるノズル孔１０１の個数は、本実施形態のように、６つであるのに限定されず、２〜５つまたは７つ以上であってもよい。
【００３５】
また、観測することができる液滴２００の飛行状態としては、本実施形態のように、飛行速度に限定されず、例えば、吐出抜け、飛行曲がり、飛行方向等が挙げられる。
また、ポリゴンミラー７１（ポリゴンミラー７２）は、本実施形態のように、４面の鏡面７１１（鏡面７２１）を有しているのに限定されず、任意の面数（例えば、６面、８面、１０面、１２面）の鏡面を有するポリゴンミラーであってもよい。
また、ポリゴンミラー７１（ポリゴンミラー７２）の回転方向は、本実施形態のように、反時計回りであるのに限定されず、時計回りであってもよいし、両者を適宜切替えてもよい。
【００３６】
また、液滴２００の弾道と交差する反射光２４１、２４２（レーザー光）は、本実施形態のように、２本であることに限定されず、１本または３本以上のレーザー光であってもよい。
また、受光手段４は、本実施形態のように、複数（１２個）の受光素子４１１、４１２、４２１、４２２、４３１、４３２、４４１、４４２、４５１、４５２、４６１および４６２で構成されていることに限定されず、例えば、ＣＣＤカメラを用いた構成であってもよい。
また、受光素子としては、特に限定されないが、例えば、フォトダイオード、光電子増倍管等が挙げられる。
【００３７】
以上、本発明の液滴観測方法および液滴観測装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴観測装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
なお、本発明では、レーザー光を反射するミラーとしては、多数の鏡面を有するポリゴンミラーに限定されず、例えば、ガルバノミラー（ガルバノメーターミラー）のような１面または２面の鏡面を有するミラーを用い、その方向を変えるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の液滴観測装置の実施形態を示す平面図である。
【図２】本発明の液滴観測装置の実施形態を示す側面図である。
【図３】本発明の液滴観測装置の実施形態を示す側面図である。
【図４】図３中のＡ−Ａ線断面図、Ｂ−Ｂ線断面図およびＣ−Ｃ線断面図である。
【図５】本発明の液滴観測装置の主要部を概略的に示すブロック図である。
【符号の説明】
【００３９】
１……液滴観測装置  ２……レーザー光照射手段  ２１……レーザー光照射部  ２３、２３１、２３２、２３３、２３４……レーザー光  ２４１、２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄ、２４１ｅ、２４１ｆ、２４２、２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、２４２ｄ、２４２ｅ、２４２ｆ……反射光  ２５……ビームスプリッター  ２６……レーザブレード  ２７……レンズ  ３……ミラー駆動手段  ３３……回転軸  ３４……サーボモータ  ４……受光手段  ４１１、４１２、４２１、４２２、４３１、４３２、４４１、４４２、４５１、４５２、４６１、４６２……受光素子  ６……制御手段  ６１……ＣＰＵ  ６２……記憶部  ６３……液滴観測手段  ７１、７２……ポリゴンミラー  ７１１、７２１……鏡面  １００……液滴吐出ヘッド  １０１……ノズル孔  １０２……ノズル面  ２００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃ、２００ｄ、２００ｅ、２００ｆ……液滴  ３００……ヘッド駆動部
【図１】
2005059386.tif 000003
【図２】
2005059386.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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