(57)【要約】【課題】  吸着具に供給される負圧空気の圧力変化に影響されることなく安定的な吸着判定を行ない得る真空吸着ユニットを提供する。【解決手段】  着脱流路１４にはワークＷを真空吸着する吸着具１３が接続されている。真空供給源１１の負圧空気は真空供給制御弁１５を介して着脱流路１４に供給される。真空供給制御弁１５は着脱流路１４に負圧空気を供給する吸着位置とその供給を停止する休止位置とに切り換わる。着脱流路１４には着脱流路１４内部の空気の流れを検出する流量センサ２９が接続される。流量センサ２９の検出値が所定の判定値以下である場合にはワークＷが吸着されたものと判定される。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを真空吸着する吸着具が接続される吸着ポートを備え着脱流路が形成されるユニットブロックと、
前記ユニットブロックに装着され、前記着脱流路に負圧空気を供給する状態と供給を停止する状態とに作動する真空供給制御弁と、
前記ユニットブロックに装着され、前記着脱流路に正圧空気を供給する状態と供給を停止する状態とに作動する真空破壊制御弁と、
前記ユニットブロックに装着され、前記着脱流路を流れる空気の流量を検出する流量センサとを有し、
前記着脱流路内の空気の流量により前記吸着具に対するワークの吸着を判定することを特徴とする真空吸着ユニット。
【請求項２】
請求項１記載の真空吸着ユニットにおいて、前記真空供給制御弁により真空供給源に接続される真空入力ポートを前記着脱流路に連通する状態と連通を遮断する状態とに切り換えることを特徴とする真空吸着ユニット。
【請求項３】
請求項１記載の真空吸着ユニットにおいて、正圧供給源に接続される給気ポートと前記着脱流路に連通する吸引ポートとを有するエジェクタを前記ユニットブロックに設け、前記真空供給制御弁により前記給気ポートに圧縮空気を供給して前記吸引ポートを介して前記着脱流路に負圧空気を供給する状態と前記給気ポートへの圧縮空気の供給を停止して前記着脱流路に対する負圧空気の供給を停止させる状態とに切り換えることを特徴とする真空吸着ユニット。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空吸着ユニットにおいて、前記着脱流路を流れる異物を除去するフィルタを前記ユニットブロックに設けることを特徴とする真空吸着ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はワークを吸着する吸着具を備える真空吸着ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣやＬＳＩなどのワークを検査ボードに搭載したり検査後のワークを実装基板に搭載したりする際には、トレイなどに配置されるワークを搬送するために搬送装置が使用される。
【０００３】
このような搬送装置としては、Ｘ−Ｙ方向に移動自在の搬送ヘッドにＺ方向に移動自在の吸着具を取り付け、ワークを吸着具に吸着させて、所定の位置へと搬送させる形式のものがある。このような吸着具としては、その内部に負圧を供給して外気圧との差圧によりワークを吸着する形式のものがあり、吸着具内部に形成される空気流路の開口部がワークを吸着させる吸引口となっている。吸引口に対して負圧空気つまり真空を供給するための負圧源としては、真空ポンプを使用する場合と、圧縮空気を噴出して負圧を発生させるエジェクタを使用する場合とがある。負圧源として真空ポンプが使用される場合には、吸引口と負圧源との間の空気流路には流路を開閉する弁が設けられる。一方、負圧源としてエジェクタが使用される場合には、正圧空気をエジェクタに供給するとエジェクタから吸引口に空気流路を介して負圧が供給され、エジェクタに対する正圧空気の供給を停止すると負圧の供給が停止される。吸着具に吸着されたワークを吸着具から離脱させる際のワークの離脱性を高めるため、吸着具に対する負圧の供給を停止するのみならず、吸着具には空気流路から正圧空気を供給する。
【０００４】
搬送装置においては、ワークが吸着具に吸着された状態となっているか、あるいは離脱した状態となっているかの吸着判定を行ってから吸着具を移動する必要がある。従来では、特許文献１に記載されるように、吸着具内部の空気圧の変化を検出して吸着判定を行なうようにしている。この判定方式は、吸着具の吸引口にワークが吸着されると吸引口から外気が取り込まれなくなって吸着具内部の負圧が上昇する現象を利用したものであり、圧力センサを用いて検出される負圧が所定の判定値以上増加した場合にワークの吸着が判定されるようになっている。
【特許文献１】特開平１１−２１４８９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、吸着具に供給される負圧空気の圧力は、真空供給源として真空ポンプが使用される場合には真空ポンプの脈動、真空レギュレータでの変動、負圧空気を他回路に配分することによる負圧の減少などにより変化してしまう。よって、吸着判定を吸着具内部の圧力変化に基づいて行なう従来の判定方式では、供給される負圧空気の圧力に応じて前記判定値を変更する必要があり煩雑である。近年、電子部品は微小化しており、画像認識装置により吸着判定を行なうのは高価となっている。
【０００６】
本発明の目的は、吸着具に供給される負圧空気の圧力変化に影響されることなく安定的に吸着判定を行ない得る真空吸着ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の真空吸着ユニットは、ワークを真空吸着する吸着具が接続される吸着ポートを備え着脱流路が形成されるユニットブロックと、前記ユニットブロックに装着され、前記着脱流路に負圧空気を供給する状態と供給を停止する状態とに作動する真空供給制御弁と、前記ユニットブロックに装着され、前記着脱流路に正圧空気を供給する状態と供給を停止する状態とに作動する真空破壊制御弁と、前記ユニットブロックに装着され、前記着脱流路を流れる空気の流量を検出する流量センサとを有し、前記着脱流路内の空気の流量により前記吸着具に対するワークの吸着を判定することを特徴とする。
【０００８】
本発明の真空吸着ユニットは、前記真空供給制御弁により真空供給源に接続される真空入力ポートを前記着脱流路に連通する状態と連通を遮断する状態とに切り換えることを特徴とする。
【０００９】
本発明の真空吸着ユニットは、正圧供給源に接続される給気ポートと前記着脱流路に連通する吸引ポートとを有するエジェクタを前記ユニットブロックに設け、前記真空供給制御弁により前記給気ポートに圧縮空気を供給して前記吸引ポートを介して前記着脱流路に負圧空気を供給する状態と前記給気ポートへの圧縮空気の供給を停止して前記着脱流路に対する負圧空気の供給を停止させる状態とに切り換えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の真空吸着ユニットは、前記着脱流路を流れる異物を除去するフィルタを前記ユニットブロックに設けることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ワークを吸着すると吸着具が接続される着脱路内の空気の流量が減少するという現象を利用して吸着判定が行なわれるので、吸着具に供給される負圧空気の圧力変化に影響されることなく確実に吸着判定を行なうことができる。加えて、吸着具に供給される負圧空気の圧力変化に影響されることなく判定値を設定することができるので、安定した吸着判定を行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１３】
図１は本発明の一実施の形態である真空吸着ユニットの空気圧回路を示す回路図であり、（Ａ）は真空供給時の切換位置を、（Ｂ）は真空破壊時の切換位置を示している。真空吸着ユニット１０は、真空発生源としての真空ポンプを有する真空供給源１１と、正圧発生源としての圧縮ポンプを有する正圧供給源１２とに接続されるようになっており、バキュームパッドなどの吸着具１３に接続される着脱流路１４を有している。この着脱流路１４に真空供給源１１の負圧空気を供給することでワークＷを吸着具１３に真空吸着させる。一方、吸着具１３からワークＷを離脱させる際には真空供給源１１からの着脱流路１４に対する負圧空気の供給を停止するとともに、正圧供給源１２からの正圧空気を供給することでワークＷが吸着具１３から強制離脱される。
【００１４】
真空吸着ユニット１０は、着脱流路１４に対して真空供給源１１からの負圧空気を吸着具１３に供給する状態と供給を停止する状態とに作動する真空供給制御弁１５を有している。真空供給制御弁１５は、真空供給源１１に接続される真空入力ポート１６、真空流路１７を介して着脱流路１４に連通する真空出力ポート１８、及び外部に連通する大気開放ポート１９を有する３ポート２位置切換弁であり、真空入力ポート１６を真空出力ポート１８に連通させると着脱流路１４には負圧空気が供給され、真空入力ポート１６と着脱流路１４との連通を遮断させると着脱流路１４には負圧空気の供給が停止される。
【００１５】
真空供給制御弁１５に対する２位置の切換制御は、真空供給制御弁１５に設けられたソレノイド２０に対する通電制御により行なわれ、真空供給制御弁１５は、たとえば、ソレノイド２０に通電すると着脱流路１４に対する負圧供給を停止する離脱位置になり、通電を遮断すると着脱流路１４に対して負圧を供給する吸着位置に切り換わるようになっている。図示する場合には、真空供給制御弁１５には手動ボタン２１が設けられており、手動ボタン２１を押圧することにより吸着位置から離脱位置に切り換えることもできる。
【００１６】
真空吸着ユニット１０は、着脱流路１４に正圧供給源１２からの圧縮空気つまり正圧空気を供給する状態と供給を停止する状態とに作動する真空破壊制御弁２２を有している。真空破壊制御弁２２は、正圧供給源１２に連通する正圧入力ポート２３及び真空破壊流路２４を介して着脱流路１４に連通する正圧出力ポート２５を有する２ポート２位置切換弁であり、正圧入力ポート２３と正圧出力ポート２５とを連通させると着脱流路１４には正圧空気が供給され、正圧入力ポート２３と正圧出力ポート２５との連通を遮断すると着脱流路１４に対する正圧空気の供給が遮断される。
【００１７】
真空破壊制御弁２２に対する２位置の切換制御は、真空破壊制御弁２２に設けられたソレノイド２６に対する通電制御により行なわれ、真空破壊制御弁２２は、ソレノイド２６に通電すると着脱流路１４に正圧空気を供給する真空破壊位置に切り換わり、通電を遮断すると着脱流路１４に対する正圧空気の供給を停止する休止位置に切り換わるようになっている。また、真空破壊制御弁２２には手動ボタン２７が設けられており、手動ボタン２７を押圧することにより強制離脱位置に切り換わるようになっている。
【００１８】
なお、真空供給制御弁１５としては図示する３ポート弁に代えて、真空破壊制御弁２２と同様に２ポート弁を用いることができ、その場合には真空入力ポート１６と真空出力ポート１８のポートを連通させる状態と連通を遮断する状態との２位置に作動することになる。
【００１９】
真空吸着ユニット１０は、真空破壊流路２４の流路面積を調整するための絞り弁２８を有している。この絞り弁２８により、正圧供給源１２から供給される正圧空気の流量を調節することができるようになっている。
【００２０】
着脱流路１４に空気が流れている状態であるか、あるいはほぼ空気が流れていない状態であるかを検出するために、真空吸着ユニット１０は流量センサ２９を有している。この流量センサ２９により、着脱流路１４内部を流動する単位時間当たりの空気の流量が検出される。検出された空気の流量は電圧値に変換されて制御部３０に検出信号として伝達される。制御部３０には検出信号を演算するマイクロプロセッサ、制御プログラムやマップデータなどを格納するＲＯＭ、及び一時的にデータを格納するＲＡＭなどが設けられており、吸着判定を行なうための判定値もこの制御部３０内に記憶されている。制御部３０では、真空供給制御弁１５及び真空破壊制御弁２２のソレノイド２０，２６に対する通電制御も行なう。
【００２１】
着脱流路１４の流量センサ２９と吸着具１３との間にはフィルタ３１が配置されている。このフィルタ３１により、着脱流路１４を流れるゴミやドレンなどの異物が除去され、制御弁１５，２２の保護や流路１４，１７，２４内部の目詰まりが防止される。
【００２２】
図２は本発明の一実施の形態である真空吸着ユニットを示す一部断面図であり、図３は図２のＡ−Ａ線に沿う方向の断面図である。真空吸着ユニット１０はベースブロック３２ａと接続ブロック３２ｂと連通ブロック３２ｃとを備えるユニットブロック３２を有している。それぞれのブロック３２ａ〜３２ｃは断面形状が四辺形となっておりほぼ直方体形状をなしており、接続ブロック３２ｂと連通ブロック３２ｃは、図３に示すベースブロック３２ａの厚み寸法Ｄに対応した厚みとなっている。ベースブロック３２ａの一方の側面３３ａには真空供給制御弁１５及び真空破壊制御弁２２が組み付けられ、反対の側面３３ｂには相互に離して接続ブロック３２ｂと連通ブロック３２ｃとが組み付けられている。このようにして、ユニットブロック３２に対して複数の部材が組み付けられることにより真空吸着ユニット１０はユニット化されている。
【００２３】
接続ブロック３２ｂと連通ブロック３２ｃとの間に挟み込まれるように流量センサ２９がユニットブロック３２に組み付けられ、接続ブロック３２ｂにはフィルタ３１が組み付けられるようになっており、フィルタ３１はフィルタケース３１ａとこの内部に装着されるフィルタエレメント３１ｂとを有し、フィルタケース３１ａは接続ブロック３２ｂに固定されたねじ部材３４ａにナット３４ｂをねじ結合することにより接続ブロック３２ｂに組み付けられる。
【００２４】
ベースブロック３２ａには、真空供給制御弁１５の真空入力ポート１６に連通する真空供給孔３５と、大気開放ポート１９に連通する大気連通孔３６とが形成され、真空供給孔３５は流路により真空供給源１１に接続されるようになっている。ベースブロック３２ａには、真空破壊制御弁２２の正圧入力ポート２３に連通する正圧供給孔３７が形成され、この正圧供給孔３７は流路により正圧供給源１２に接続されるようになっている。
【００２５】
接続ブロック３２ｂには吸着ポート３８が設けられており、この吸着ポート３８には吸着具１３が直接あるいは吸着チューブや吸着ホースを介して取り付けられるようになっている。ユニットブロック３２には着脱流路１４と真空流路１７と真空破壊流路２４とが形成されており、着脱流路１４はベースブロック３２ａに形成された流路１４ａと連通ブロック３２ｃに形成された流路１４ｂと接続ブロック３２ｂに形成された流路１４ｃ，１４ｄとにより形成されている。真空破壊流路２４の流路面積を調整するための絞り弁２８は、ベースブロック３２ａに形成されたネジ孔３９に装着されている。この絞り弁２８は操作部２８ａを回転させることにより真空破壊流路２４内部に往復動自在に挿入されるニードル２８ｂが設けられた可変絞りであり、真空破壊流路２４の流路面積を変化させることによって真空破壊流路２４内部を流れる正圧空気の流量を調節できるようになっている。
【００２６】
図２に示すように、流量センサ２９はユニットブロック３２に取り付けられるセンサケース２９ａを有し、この内部には流路１４ｂ，１４ｃを連通させて着脱流路１４の一部を構成する流路が形成され、その流路内の空気の流れを検出する検出体２９ｂがセンサケース２９ａに設けられている。
【００２７】
このような真空吸着ユニット１０を用いて吸着具１３にワークＷを吸着させるためには、図１（Ａ）に示されるように、真空供給制御弁１５を吸着位置に切り換えるとともに真空破壊制御弁２２を休止位置に切り換える。そうすると、吸着具１３に接続される着脱流路１４は真空流路１７を介して真空供給源１１と連通し、吸着具１３内部を負圧状態にすることによってワークＷを吸着することができる。ここで、ワークＷが吸着具１３に吸着されていない状態では、吸着具１３が外部の空気を吸い込むため着脱流路１４内部に空気の流れが生じ、この空気の流れは流量センサ２９の検出体２９ｂにより検出され制御部３０に検出信号が送られる。
【００２８】
一方、吸着具１３の吸引口１３ａにワークＷが吸着されると吸引口１３ａから外気が取り込まれなくなって着脱流路１４内部の空気の流量がほぼゼロになり、流量センサ２９の検出体２９ｂからの検出信号により吸着具１３がワークＷが吸着したことが判定される。本発明にあっては、着脱流路１４内の空気の流れの状態によって流量センサ２９により検出される空気の流量の値が所定の判定値以下であることが判断された場合に吸着具１３にワークＷが吸着されたものと判定する。判定値は吸着判定の前に予め定められる値であり、計測誤差や吸着部分の漏れを考慮に入れてゼロに近い値を設定することができる。
【００２９】
上述の通り、吸着具１３に供給される負圧空気の圧力は、真空供給源１１として真空ポンプが使用される場合の真空ポンプの脈動、真空レギュレータでの変動、負圧空気を他の回路に配分することによる負圧の減少などにより変化してしまうことから、吸引力や流量センサ２９により検出される空気の流量の値は一定とはならない。しかしながら、吸着具１３にワークＷが吸着すると着脱流路１４内部の空気の流量がほぼゼロになる現象は常に生じることから、かかる現象を利用すれば、確実な吸着判定を行なうことが可能となる。加えて、吸着具１３に供給される負圧空気の圧力変化に影響されることなく安定した判定値を設定することができるので、安定的な吸着判定を行なうことができる。
【００３０】
ワークＷの搬送はワークＷの吸着判定を待って行なわれ、ワークＷが所定の位置に到達したら真空供給制御弁１５を作動させて吸着具１３に対する負圧空気の供給を停止するとともに、ワークＷが軽量であり自重のみでは離脱しない場合には、図１（Ｂ）に示されるように、真空破壊制御弁２２を真空破壊位置に切り換えて所定の位置にワークＷを搭載することができる。
【００３１】
図１〜図３に示される真空吸着ユニット１０はユニットブロック３２に複数の部材を組み付けることにより組立体となってユニット化され、しかも全体的に厚み寸法Ｄとなって形成されるので、単体として使用することができるだけでなく、複数の真空吸着ユニット１０を積層して必要な連数をタイロッドや組み付けネジ、連結金具などでつなぎ合わせることでマニホールド化することもできる。
【００３２】
図４は本発明の他の実施の形態である真空吸着ユニットの回路図であり、（Ａ）は真空供給時の切換位置を、（Ｂ）は真空破壊時の切換位置を示している。この真空吸着ユニット４１は、前述した真空吸着ユニット１０が真空供給源１１から供給される負圧を吸着具１３に供給するようにしているのに対して、真空発生源であるエジェクタ４２を有しており、エジェクタ４２で発生した負圧空気を吸着具１３に接続される着脱流路４３内部に案内することでワークＷを吸着具１３に真空吸着させ、正圧供給源４４からの正圧空気を真空破壊流路４５に案内することでワークＷを吸着具１３から強制離脱させる。
【００３３】
エジェクタ４２はエジェクタ本体を構成するディフューザ４６ａとこれに圧縮空気を吹き付けるノズル４６ｂとを有し、ディフューザ４６ａを通過した空気はマフラ４７により消音された外部に排気される。ノズル４６ｂには圧縮空気流路５０により正圧供給源４４に接続されており、圧縮空気流路５０にはエジェクタ４２を作動させて着脱流路４３に負圧空気を供給する状態と供給を停止する状態とに作動する真空供給制御弁４８が設けられている。この真空供給制御弁４８は、正圧供給源４４に連通する正圧入力ポート４９及び圧縮空気流路５０に連通する正圧出力ポート５１を有する２ポート２位置切換弁であり、ノズル４６ｂに圧縮空気を供給してディフューザ４６ａで真空を発生させて着脱流路４３に負圧空気を供給する吸着位置と、ノズル４６ｂへの圧縮空気の供給を停止して着脱流路４３に対する負圧空気の供給を停止する休止位置とに作動する。
【００３４】
吸着位置と停止位置との切換制御は真空供給制御弁４８に設けられるソレノイド５２に対する通電制御により行なわれ、通電すると吸着位置に切り換わり通電を遮断すると休止位置に切り換わるようになっている。図示する場合には、真空供給制御弁４８には手動ボタン５３も設けられており、手動ボタン５３を押圧することにより休止位置から吸着位置に切り換えることもできる。
【００３５】
真空破壊流路４５には真空破壊制御弁５４が配置されており、真空破壊流路４５は真空破壊制御弁５４及び絞り弁５５を介して着脱流路４３に接続されている。真空破壊制御弁５４は、正圧供給源４４に連通する正圧入力ポート５６及び真空破壊流路４５に連通する正圧出力ポート５７を有する２ポート２位置切換弁であり、正圧入力ポート５６と正圧出力ポート５７とを連通させる真空破壊位置と、正圧入力ポート５６と正圧出力ポート５７との連通を遮断させる休止位置とを有している。
【００３６】
真空破壊位置と休止位置との切換制御は真空破壊制御弁５４に設けられるソレノイド５８に対する通電制御により行なわれ、通電すると強制離脱位置に切り換わり通電を遮断すると休止位置に切り換わるようになっている。図示する場合には、真空破壊制御弁５４には手動ボタン５９も設けられており、手動ボタン５９を押圧することにより休止位置から真空破壊位置に切り換えることもできる。
【００３７】
真空破壊流路４５には絞り弁５５が配置されており、正圧供給源４４から供給される正圧空気の流量を調節することができるようになっている。加えて、着脱流路４３には図１及び図２に示されたものと同様の流量センサ２９及びフィルタ３１がそれぞれ配置されている。
【００３８】
図５は本発明の他の実施の形態である真空吸着ユニットを示す一部断面図である。図２に示される真空吸着ユニット１０と同様に、真空吸着ユニット４１もベースブロック３２ａと接続ブロック３２ｂと連通ブロック３２ｃとを備えたユニットブロック３２を有しており、ユニットブロック３２に対して、真空供給制御弁４８、真空破壊制御弁５４、流量センサ２９及びフィルタ３１が組み付けられるようになっている。
【００３９】
このような真空吸着ユニット４１を用いて吸着具１３にワークＷを吸着させるためには、図４（Ａ）に示されるように、真空供給制御弁４８を吸着位置に切り換えるとともに真空破壊制御弁５４を休止位置に切り換える。これにより、着脱流路４３にはエジェクタ４２で発生した真空が供給され、吸着具１３の内部を負圧状態にすることによってワークＷを吸引することができる。
【００４０】
ワークＷの吸着判定は上述の真空吸着ユニット４１と同一の手段により行なわれる。すなわち、流量センサ２９により着脱流路４３内部の空気の流量が検出され、制御部３０に検出信号が送られて所定の判定値と比較することによりワークＷの吸着判定がなされる。吸着具１３に供給される負圧空気の圧力は、真空供給源としてエジェクタ４２に供給される圧縮空気の圧力により変化することもあるが、ワークＷ吸着時に着脱流路４３内部の空気の流れを判定することにより、確実な吸着判定を安定的に行なうことが可能となる。制御部３０からの制御信号によって、真空供給制御弁４８及び真空破壊制御弁５４の作動が制御される。
【００４１】
ワークＷの搬送はワークＷの吸着判定を待って行なわれ、ワークＷが所定の位置に到達したら真空供給制御弁４８を離脱位置に切り換える。ワークＷが軽量であり自重のみでは離脱しない場合でも、図４（Ｂ）に示されるように、真空破壊制御弁５４を真空破壊位置に切り換えて所定の位置にワークＷを搭載することができる。
【００４２】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、図示する真空供給制御弁１５，４８、及び真空破壊制御弁２２，５４の切換方式は一実施の形態に過ぎず、直動形のものやダブルソレノイド方式のものなど種々変更して使用することが可能である。接続される吸着具１３は１つに限られず、フィルタ３１の先に複数の吸着具を接続するようにしても良い。吸着具１３に正圧空気を供給しなくともワークＷを離脱させることができる場合には正圧供給源１２，４４、真空破壊制御弁２２，５４、及び絞り弁２８，５５の配置を省略しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施の形態である真空吸着ユニットの空気圧回路を示す回路図であり、（Ａ）は真空供給時の切換位置を、（Ｂ）は真空破壊時の切換位置を示している。
【図２】本発明の一実施の形態である真空吸着ユニットを示す一部断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿う方向の断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態である真空吸着ユニットの回路図であり、（Ａ）は真空供給時の切換位置を、（Ｂ）は真空破壊時の切換位置を示している。
【図５】本発明の他の実施の形態である真空吸着ユニットを示す一部断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０  真空吸着ユニット
１１  真空供給源
１２  正圧供給源
１３  吸着具
１３ａ  吸引口
１４  着脱流路
１５  真空供給制御弁
１６  真空入力ポート
１７  真空流路
１８  真空出力ポート
１９  大気開放ポート
２０  ソレノイド
２１  手動ボタン
２２  真空破壊制御弁
２３  正圧入力ポート
２４  真空破壊流路
２５  正圧出力ポート
２６  ソレノイド
２７  手動ボタン
２８  絞り弁
２９  流量センサ
３０  制御部
３１  フィルタ
３２  ユニットブロック
３４ａ  ねじ部材
３４ｂ  ナット
３５  真空供給孔
３６  大気連通孔
３７  正圧供給孔
３８  吸着ポート
４１  真空吸着ユニット
４２  エジェクタ
４３  着脱流路
４４  正圧供給源
４５  真空破壊流路
４６ａ  ディフューザ
４６ｂ  ノズル
４７  マフラ
４８  真空供給制御弁
４９  正圧入力ポート
５０  圧縮空気流路
５１  正圧出力ポート
５２  ソレノイド
５３  手動ボタン
５４  真空破壊制御弁
５５  絞り弁
５６  正圧入力ポート
５７  正圧出力ポート
５８  ソレノイド
５９  手動ボタン
Ｗ  ワーク
【図１】
2005262351.tif 000003
【図２】
2005262351.tif 000004
【図３】
2005262351.tif 000005
【図４】
2005262351.tif 000006
【図５】
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