(57)【要約】【課題】  高抵抗であり、かつ、高水準磁石性能をも兼備する高抵抗磁石用の硬磁性固形材料とその製造方法を提供する。【解決手段】  絶縁被膜をもつ硬磁性粉末に衝撃波を加えることにより圧縮固形化された硬磁性固形材料であって、前記硬磁性粉末の体積分率が８５％以上であり、体積抵抗率が３００μΩ・ｃｍ以上である硬磁性固形材料であり、これは、絶縁被膜をもつ硬磁性粉末に液体を介して衝撃波を加えることにより、前記硬磁性粉末を圧縮固形化して製造される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁被膜をもつ硬磁性粉末に衝撃波を加えることにより圧縮固形化された硬磁性固形材料であって、前記硬磁性粉末の体積分率が８５％以上であり、体積抵抗率が３００μΩ・ｃｍ以上であることを特徴とする硬磁性固形材料。
【請求項２】
前記硬磁性粉末が、Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎ系磁性粉末、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁性粉末、またはそれらの混合物のいずれかである請求項１の硬磁性固形材料。
【請求項３】
前記Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎ系磁性粉末が、ＴｂＣｕ7型の結晶構造を持つ磁石粉末、またはＴｈ2Ｚｎ17型の結晶構造を持つ磁石粉末である請求項１または２の硬磁性固形材料。
【請求項４】
前記Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁性粉末が、メルトスピン法で得られた等方性型磁石粉末、または前記等方性磁石粉末を熱間塑性加工法で結晶異方化した後、粉末化して得られた異方性磁石粉末である請求項１または２の硬磁性固形材料。
【請求項５】
前記絶縁被膜が、有機材料、絶縁性セラミックス、絶縁性ガラス、またはそれらの混合物のいずれかである請求項１〜４のいずれかの硬磁性固形材料。
【請求項６】
絶縁被膜をもつ硬磁性粉末に液体を介して衝撃波を加えることにより前記硬磁性粉末を圧縮固形化することを特徴とする硬磁性固形材料の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばハードディスクの回転駆動時などで、コアロスが問題となるモーター等に使用される高抵抗磁石用の硬磁性固形材料及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高抵抗磁石としては、フェライト磁石及びボンド磁石が知られている。特に、ボンド磁石は、磁石粉末に樹脂等を混合して固化するため、１００００μΩ・ｃｍ以上の高い体積抵抗率が得られている。それ故、コアロス等が問題になるような磁石用途に関しては、これらの高抵抗磁石が用いられていた。
例えばハードディスクの回転駆動時に、コアロスが問題となるモーター等に使用される磁石に関しては、その磁石の体積抵抗率を高める事が１つの解決方法である。但し、近年、モーターの高速回転化及びモーターの軽量化等が進む状況下で、このコアロスが低く、磁石性能がよい磁石が求められ始めている。
【０００３】
しかしながら、ボンド磁石は、磁石粉末の体積分率が８５％未満であり、この磁石粉末の体積分率を上げて磁石性能を上げるためには、非常に大きな成形圧が必要であり、そのため製造上の限界があった。またフェライト磁石は、ボンド磁石よりも磁石性能が低く、その利用に限界があった。
そこで、軟磁性材料に用いられるダストコアの技術を応用し、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系の硬磁性粉末を絶縁被膜等で被覆し、磁場中で成形し、その後加熱し、焼結する試みがなされている（特許文献１を参照）。しかしながら、磁石粉末の体積分率をボンド磁石の場合以上には上げることは出来ず、また希土類元素を含む磁石粉末はその化学的反応性が高いため絶縁被膜と反応し、その結果として体積抵抗率が上がらず、その値は１００μΩ・cm以下の水準にあり、更には磁石性能まで低下してしまう。
【０００４】
磁石粉末の体積分率を上げるため、絶縁被膜の体積分率を下げ、ホットプレスを適用して成形すると、磁石粉末の体積分率を上げることは来るようにはなるものの、前述したように、希土類元素を含む磁石粉末はその化学的反応性が高いため絶縁被膜と反応し、やはりその結果として体積抵抗率が上がらず、更には磁石性能まで低下してしまう。
また、焼結磁石を小さく切断したのち、それらを相互に接着することにより、コアロスを低下させることも試みられているが、その切断数が少ないとコアロス低減はほとんど得られないので、切断数を多くすることが必要になる。しかしながら、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系の焼結磁石等は小さく切断すると、その磁石性能が低下する。また、一度固形化したものを切断して細分し、再度接着剤で接合することは、製造方法としても大きな負荷となっていた。
【特許文献１】特開２００３−８６４１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記したように、希土類元素を含む硬磁性粉末を用いて高抵抗磁石を製造しようとすると、磁石粉末の体積分率が小さくなって磁石性能の低下が引き起こされる。また、磁石性能を高めようとすると、体積抵抗率の低下が引き起こされる。
本発明は、このような問題を解決し、磁石性能と体積抵抗率が高位水準で両立している高抵抗磁石の素材として有用な硬磁性固形材料とその製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、従来磁石の場合、硬磁性粉末の体積分率が８５％未満であるということと、体積抵抗率は最大でも１００μΩ・cm程度であるということを考慮して、体積分率は８５％以上で、かつ体積抵抗率は３００μΩ・cm以上にすることを開発目標に設定した。
そして、前記問題を解決するために鋭意検討を行った結果、絶縁被膜をもつ硬磁性粉末に衝撃波を加えて圧縮固形化することによって、磁石粉末の体積分率が高く、高い体積抵抗率を有する硬磁性固形材料を得ることができることを見出し、本発明をなすに至った。
【０００７】
すなわち、本発明においては、絶縁被膜をもつ硬磁性粉末に衝撃波を加えることにより圧縮固形化された硬磁性固形材料であって、前記硬磁性粉末の体積分率が８５％以上であり、体積抵抗率が３００μΩ・ｃｍ以上であることを特徴とする硬磁性固形材料が提供される。
また、本発明においては、絶縁被膜をもつ硬磁性粉末に液体を介して衝撃波を加えることにより前記硬磁性粉末を圧縮固形化することを特徴とする硬磁性固形材料の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
この固形材料は硬磁性粉末の体積分率が８５％以上なので優れた磁石性能を有する。また衝撃波を用いて圧縮固形化されているので、硬磁性粉末の絶縁被膜も破壊されず、体積抵抗率が３００μΩ・cm以上と高抵抗になる。すなわち、優れた磁石性能と高抵抗が両立する固形材料になっている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の硬磁性固形材料は、絶縁被膜をもつ後述する硬磁性粉末に衝撃波を加えて製造される。最初に、硬磁性粉末について説明する。
ここで用いられる硬磁性粉末としては、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系硬磁性粉末、Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎ系硬磁性粉末がある。Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系硬磁性粉末としては、メルトスピン法で得られた等方性型磁石粉末、またはその粉末を例えば熱間アップセット法のような熱間塑性加工法で異方化して粉末化したＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石粉末がある。しかし、ＨＤＤＲ法により異方化されたＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石粉末は、機械的な特性が弱く、本発明において、粉末の圧縮固形化時に採用する衝撃波により破壊される確率が高く、磁石特性が低下するので使用することはできない。
【００１０】
Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎ系硬磁性粉末としてはＴｂＣｕ7型の結晶構造を持つ磁石粉末、またはＴｈ2Ｚｎ17型の結晶構造を持つ粉末がある。必要に応じ、それらの硬磁性粉末を混合することも可能である。また、微粉砕しても磁石性能が低下せず、ボンド磁石用粉末として利用できる希土類系磁石粉末も利用することが可能である。
硬磁性粉末の形状としては、製造方法により粒状または薄片状がある。粒状の場合、平均粒径としては１ｍｍ以下、好ましくは５００μｍ以下、さらに好ましくは３００μｍ以下が良い。これらの場合は、篩を通しただけで得られる粉末であり、磁石の酸化による性能劣化を抑制するために、微粉を除去することも可能である。
【００１１】
硬磁性粉末の充填率の観点からすると、粒径ピークが２つある双峰分布（bimodal distribution）の粉末混合系が好ましい。その場合の全体の平均粒子径は上記範囲の中で、その径として、大径の粉末に対し小径の粉末が１／５以下の比率差になっていることが好ましい。組成により、タッピング密度を確認し、高タッピング密度の粒径比を選択する。
メルトスピン法で粉末が作られた場合は、薄片状になる。厚みは、１０〜３０μｍ程度である。その粉末は破砕され、目開き５００μｍ以下の篩で一般的には、篩分されている。但し、この粉末の場合は、厚みと幅の比率が大きいため、充填しにくい場合があり、その充填時の乱れがあると、衝撃波で圧搾されたときに、欠陥部となることがある。その場合は、２０〜１００μｍ程度に破砕して用いる。また、粉末はアトマイズ法を用いて製造する方法もある。
【００１２】
硬磁性粉末は絶縁被膜でコーティングされる。
コーティング用の材料としては、樹脂、カップリング剤、絶縁性セラミックス、絶縁性ガラス、またはそれらを適宜混合した混合物等を用いることができる。
その場合の添加比率は、用いたコーティング材料の密度によって考慮され、硬磁性粉末の体積分率が８５％以上になる量を選択することが可能である。例えば、密度約１程度の樹脂を用いた場合は、樹脂と硬磁性粉末の全体質量に対し、０．１〜１質量％が好ましい。更に好ましくは、０．３〜０．７質量％が良い。
【００１３】
樹脂としては、例えばポリアミド、ポリイミド、ポリオレフィン、シリコン樹脂、エポキシ、ポリエステル、アクリル樹脂等がある。樹脂の種類によってコーティング方法が選択される。例えば、湿式でのマイクロカプセル法、乾式でのマイクロカプセル法等が利用できる。
樹脂を用いる場合は、硬磁性粉末との接合を強化するために、予めカップリング剤で硬磁性粉末の表面を処理することができる。カップリング材としては、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤等が利用できる。また、絶縁被膜としてはカップリング剤単体のみであっても良い。
【００１４】
絶縁性セラミックスとしては、例えばＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2等から成り、大きさがサブミクロンの粒子が好ましい。
絶縁性ガラスとしては、例えば水ガラス等を用いることが可能である。水ガラスまたは有機溶剤に絶縁セラミックス等を併用して利用することも可能である。
湿式法で絶縁被膜を形成する場合は、溶剤に有機材料を溶解させ、これと硬磁性粉末を混合し、溶剤を除去することにより、被膜処理をする。硬磁性粉末に被膜処理した後、粉末の表面で反応をさせ、被膜を高分子化させることも可能である。これらの方法は、有機材料を被膜処理する場合であるが、無機材料を湿式法で被膜する場合は、金属塩化物または金属水酸化物等を含む溶液または懸濁液に、硬磁性粉末を混ぜ、超音波によって分解させ、硬磁性粉末の表面に析出させるソノケミカル（Sonochemical）法も利用できる。
【００１５】
乾式法で絶縁被膜を形成する場合は、母材となる硬磁性粉末に平均粒径１μｍ以下の微細なセラミックス粉末または樹脂粉末を機械的処理法で表面に付着させ、表面改質することができる。このときに使用するセラミックスとして、劈開性のある六方晶窒化ホウ素等のセラミックスを用いると被覆性が良くなるので好適である。劈開性のある場合は、そのセラミックス粉末の上記平均粒径より大きくてもよい。また、劈開性のある場合は、その絶縁被膜をもつ硬磁性粉末の衝撃圧縮時における流動性も良くなるようであり、硬磁性粉末間の抵抗破壊が起こり難くなる。この方法の一例としては、（株）奈良機械製作所のハイブリタリゼーションシステム（ＮＨＳ）を適用することができる。
【００１６】
更には、有機・無機ハイブリッドのカップリング剤で表面処理し、その後、酸化して硬磁性粉末の表面にセラミックスをコーティングする方法も利用できる。
更には、硬磁性粉末に金属コーティングをし、その後、そのコーティング材料を酸化してセラミックス化する事も可能である。例えば、アルミニウムでコーティング処理し、その後酸化する方法等である。
【００１７】
更には、硬磁性粉末それ自体の表面を酸化させ、絶縁被膜を形成することもできる。詳細組成及び形状によっては酸化の量は磁石性能に影響を与えるため、適正範囲は粉末ごとに求めるほうが良い。但し、目安として、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系組成の硬磁性粉末では、酸素含有量としては、１０００から１００００ｐｐｍ程度がよい。好ましくは、２０００から７０００ｐｐｍがよい。ＴｂＣｕ7型Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎ系組成の硬磁性粉末では、５００ｐｐｍ〜２０００ｐｐｍ程度が良い。Ｔｈ2Ｚｎ17型Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎ系組成の硬磁性粉末では、５０００〜１５０００ｐｐｍ程度が良い。好ましくは、８０００〜１２０００ｐｐｍ程度が良い。
【００１８】
また、無機系の被膜材で処理した後、有機系の被膜材で処理する２層処理の方法も採用できる。
本発明の硬磁性固形材料は、上記した硬磁性粉末を衝撃波で圧縮固形化して製造される。
衝撃波を用いて圧縮固形化する方法としては、一般に利用される円筒収束法、一軸圧縮法等が利用できる。円筒状または板状を得たい場合、その方法を選択する。特に空芯円筒状の圧縮体を得るには、中心にコア材をいれた円筒収束法を用いることができる。
【００１９】
衝撃波の発生源は爆薬であるが、そのときに用いる爆薬としては、低爆速粉状爆薬（例えば、旭化成（株）製の爆発圧着用爆薬（商品名ＰＡＶＥＸ））、硝安油剤爆薬（ＡＮＦＯ爆薬）、含水爆薬、エマルジョン爆薬、高性能爆薬等一般的に利用される爆薬を選択することができる。爆速としては、２,０００〜９,５００ｍ／ｓの範囲を利用でき、その爆速は、硬磁性粉末の特性により適宜選択される。
【００２０】
硬磁性粉末の表面をコーティングする絶縁被膜の破壊を抑制して圧縮固形化するには、低爆速の方が好ましい。２,０００〜５,０００ｍ／ｓが好ましく、更に好ましくは２,０００〜４,０００ｍ／ｓである。但し、絶縁被膜がセラミックスで形成されている場合は、好ましい爆速範囲の中でも高めの方がよい。高爆速の爆薬を用いる場合は、硬磁性粉末と爆薬間の介在物の厚みを低爆速の場合より大きくすることにより、衝撃波を制御することができる。
【００２１】
衝撃波を用いて圧縮固形化する場合に、爆薬量は、絶縁被膜をもつ硬磁性粉末のバルク体である被圧縮体に対して、質量比で、０．５〜１５の範囲を好ましく選択することができる。絶縁被膜の種類によっては、硬磁性粉末材料が同じであってもこの質量比は変わる場合もあり、また硬磁性粉末材料の種類によってもその質量比は変わる。それ故、採用した組み合わせに対して、その質量比を振らせ適正化する必要がある。一般的には、上記した質量比は１〜１２、さらに好ましくは１〜８であるが、これらにより、制限されるものではない。
【００２２】
衝撃波を用いて圧縮固形化する場合、好ましくは液体を媒体とした衝撃波で圧縮固形化することができる。更に好ましくは液体として水を用いる。
水を媒体とする衝撃波（以下、水中衝撃波という）を用いた場合、衝撃波の圧力それ自体が持続する時間は、空気を媒体とする場合と比較して長いため、絶縁被膜の破壊を抑制して硬磁性粉末を圧縮固形化することができる。衝撃圧縮による内部発熱は樹脂等の特性に影響を及ぼすことがあるが、水中衝撃波を用いた場合は、空気を媒体とする場合よりも、温度を低く保つことが極めて容易である。
すなわち、
【００２３】
（ａ）水中衝撃波の圧力は、爆薬と水のユゴニオ関数（Hugoniot function)によって決まり、圧力Ｐは概略次式で示される。  
Ｐ＝２８８（ＭＰａ）｛（ρ／ρ0）7.25−１｝
上式より、水中衝撃波を用いた場合には、水の密度ρの基準時密度ρ0に対する変化に関して圧力Ｐの増加量が非常に大きいため、爆薬量の調節により容易に超高圧が得られる。その際の軟磁性粉末の材料、絶縁被膜の材料の温度は従来の衝撃波を用いた場合に比べて容易に低温度に保持される。
（ｂ）衝撃圧力それ自体の持続時間が従来の衝撃波を用いた場合よりも長い。
（ｃ）体積圧縮と衝撃波の非線型現象に基づくエントロピーの増加による硬磁性粉末の材料の温度上昇は極めて短時間に消失する。
（ｄ）硬磁性粉末の材料の温度は、その後高く保持されることが少なく、また、長く保持されることが少ない。
（ｅ）衝撃圧力が被圧縮体に対して均一に負荷される。
水中衝撃波の持つこれらの優れた特徴により、軟磁性粉末、絶縁被膜の特性への影響を与えず、高密度に容易に圧縮固形化することができる。
【００２４】
衝撃波を用いて硬磁性粉末を圧縮固形化する方法の例について、図を用いて説明する。本発明は、これらの具体例によって何ら技術的範囲が限定されるものではない。
図１は、衝撃波を水を介して円筒収束法で硬磁性粉末に作用させる装置の例を示す概略図である。
図１において、硬磁性粉末８は粉末充填用金属製パイプ１の中にセットされる。水充填用金属製パイプ３の中には水７を入れておく。爆薬５は紙筒４の中にセットされる。これらは金属製プラグ２により封じておく。起爆部６により爆薬５を起爆すると、硬磁性粉末８は、爆薬５の発する衝撃波によって水７を介して半径方向に圧縮される。
【００２５】
この方法によって、空芯円筒状に圧縮成形された硬磁性固形材料を得ることができる。すなわち、硬磁性粉末をコア部材とともに衝撃波により圧縮し、コア部材の少なくとも一部を除去して空芯円筒状とすることが可能である。例えば、粉末充填用金属製パイプ１の軸に合わせてコア部材を配置し、そのコア部材の周囲に硬磁性粉末をセットし、粉末充填用金属製パイプ１の外部より衝撃波を加え、硬磁性粉末を衝撃波により圧縮固形化し、前記コア部材の少なくとも一部を除去して空芯円筒状の硬磁性固形材料を得ることができる。
【００２６】
コア部材としては、金属、セラミックス、樹脂などの材質が使用でき、棒状固形材料を用いることができる。また、粉末充填用金属製パイプ１に対してコア部材として同心円状に中空円筒容器を配置し、その中に粉状、粒状、液体状の材料を充填したものを用いてもよい。特に、コア部材として純アルミニウム等の易切削性金属を用いることは、後加工の点で取り扱いやすい。
【００２７】
図２は、衝撃波を水を介して一軸圧縮法で硬磁性粉末に作用させる装置の例を示す概略図である。
図２において、硬磁性粉末１５は硬磁性粉末容器１６の中にセットされる。水収納部１３の中には水１２を入れて上部シール１１及び下部シール１４で封じておく。爆薬１０を上部シール１１の上に配置する。爆薬用の容器を用いても良い。起爆部９により爆薬１０を起爆すると、硬磁性粉末１５は、爆薬１０の発する衝撃波によって水１２を介して下部方向に圧縮される。
【００２８】
図１及び図２には、水を用いた場合の図を記載したが、水の入る層を取り除いた構造でも本発明の目的は達成できる。
硬磁性粉末をセットするには、硬磁性粉末を容器内に自然充填する。必要に応じ、予備圧縮をすることもできる。予備圧縮として相対密度４０〜８０％までに充填しておき、次に衝撃波で圧縮する。これによって圧縮体の相対密度を８５％以上にすることができる。衝撃波を大きくすることによって相対密度９０〜９９％とすることもできる。異方性磁石用の固形材料を得る場合は、磁場中で予備圧縮することが必要である。
【実施例１】
【００２９】
熱間塑性加工法で製造した異方性磁石を破砕・粉末化して得られ、大きさが目開き３００μｍの篩をパスするＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系の粉末を、トルエンに絶縁用シリコーン樹脂を０．５質量％溶解した樹脂液と混合して被膜処理をした。被膜処理した硬磁性粉末を、磁場中で密度７５％まで予備圧縮した。
図２に示す装置を用い、予備圧縮した予備成形体を容器内に配置し、爆薬としてＰＡＶＥＸを用い爆薬／硬磁性粉末の質量比を５．１２として起爆し圧縮固形化した。
【００３０】
衝撃波を加えて圧縮固形化した結果、相対密度９２％の硬磁性固形材料が得られた。この固形材料の体積抵抗率は、２１３０μΩ・ｃｍであった。比較のために、熱間塑性加工に使用するメルトスピン法で製造した等方性のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ粉末をホットプレス法で成形した硬磁性固形材料の体積抵抗率は１５４μΩ・ｃｍであった。
【実施例２】
【００３１】
絶縁被膜が水ガラスであったことを除いては、実施例１と同様にして固形材料を製造し、それを評価した。衝撃波を加えて圧縮固形化した結果、相対密度９４．５％の硬磁性固形材料が得られた。この固形材料の体積抵抗率は、９３０μΩ・ｃｍであった。
【実施例３】
【００３２】
メルトスピン法で製造され、大きさが目開き３００μｍの篩をパスするＴｂＣｕ7型Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎの磁石粉末を、０．３質量％のチタンカップリング剤を用いて表面処理をした。
図１に示す装置を用い、この粉末を流し込み、振動を加えて充填した。爆薬としてＰＡＶＥＸを用い爆薬／硬磁性粉末の質量比を３．３とし、起爆して圧縮固形化した。その結果、磁石粉末の体積分率９４．５体積％で、体積抵抗率７９０μΩ・ｃｍの固形材料が得られた。この場合は、磁石粉末が分解性磁石であるため焼結磁石が得られないため、薄帯の体積抵抗率を計測したところ、１５５μΩ・ｃｍであった。
【実施例４】
【００３３】
熱間塑性加工法で製造した異方性磁石を破砕し粉末化して、大きさが目開き３００μｍの篩をパスするＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系の粉末を製造し、その表面を酸化して２７００ｐｐｍの酸素含有量を持つ粉末とした。
その粉末を用い、図２に示す装置を用い、予備圧縮した予備成形体を容器内に配置し、爆薬としてＰＡＶＥＸを用い爆薬／硬磁性粉末の質量比を５．０８として起爆し圧搾した。  衝撃波を加えて圧縮固形化した結果、相対密度９２％の硬磁性固形材料が得られた。この固形材料の体積抵抗率は、３９２μΩ・ｃｍであった。ちなみに粉末化し、酸化する前の熱間塑性加工で成形された異方性Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ磁石の体積抵抗率は１５４μΩ・ｃｍであった。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
この固形材料は、硬磁性粉末の体積分率が８５％以上で、かつ体積抵抗率が３００μΩ・ｃｍ以上であるので、コアロスの少ないモータ用材料として有用であり、例えば電気自動車およびハイブリッド自動車のモータ、ハードディスクのスピンドルモータ、電気工具用モータ、エアコン等コンプレッサー用モータなどに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】衝撃波を水を介して円筒収束法で硬磁性粉末に作用させる装置の例を示す概略図である。
【図２】衝撃波を水を介して一軸圧縮法で硬磁性粉末に作用させる装置の例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  粉末充填用金属製パイプ
２  金属製プラグ
３  水充填用金属製パイプ
４  紙筒
５  爆薬
６  起爆部
７  水
８  硬磁性粉末
９  起爆部
１０  爆薬
１１  上部シール
１２  水
１３  水容器
１４  下部シール
１５  硬磁性粉末
１６  硬磁性粉末用容器
【図１】
2005340290.tif 000003
【図２】
2005340290.tif 000004