(57)【要約】【課題】  製造過程及び印刷時における印刷用スクリーンメッシュの変形を抑制して、印刷精度を向上させることが可能なスクリーン版の製造方法を提供すること。【解決手段】  まず、メッシュ母材Ｍ１を紗張りする。次に、紗張りされたメッシュ母材Ｍ１を、版枠１０に接着して固定する。次に、版枠１０に固定されたメッシュ母材Ｍ１に、所定の張力を付与してエージングした印刷用スクリーンメッシュ３０を接着して固定する。次に、メッシュ母材Ｍ１を印刷用スクリーンメッシュ３０に接着された接着領域２４の内側にて切断し、当該接着領域２４の内側の領域を除去する。続いて、版枠１０の外側において、当該版枠１０に沿ってメッシュ母材Ｍ１を切断する。これらにより、版枠１０と、支持用スクリーンメッシュ２０と、印刷用スクリーンメッシュ３０とを備えたスクリーン版１が得られる。【選択図】  図１１
2005262837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
版枠と、当該版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、当該支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えるスクリーン版の製造方法であって、
前記支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、
紗張りされた前記メッシュ母材を前記版枠に接着して固定する工程と、
前記版枠に固定された前記メッシュ母材に、所定の張力を付与してエージングした前記印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、
前記印刷用スクリーンメッシュが固定された前記メッシュ母材を、前記印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、当該接着領域の内側の領域を除去する工程と、を備えることを特徴とするスクリーン版の製造方法。
【請求項２】
版枠と、当該版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、当該支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えるスクリーン版の製造方法であって、
前記支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、
紗張りされた前記メッシュ母材に、所定の張力を付与してエージングした前記印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、
前記印刷用スクリーンメッシュが固定された前記メッシュ母材を前記版枠に接着して固定する工程と、
前記版枠に固定された前記メッシュ母材を、前記印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、当該接着領域の内側の領域を除去する工程と、を備えることを特徴とするスクリーン版の製造方法。
【請求項３】
版枠と、当該版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、当該支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えるスクリーン版の製造方法であって、
前記支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、
紗張りされた前記メッシュ母材に、所定の張力を付与してエージングした前記印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、
前記印刷用スクリーンメッシュが固定された前記メッシュ母材を、前記印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、当該接着領域の内側の領域を除去する工程と、
前記接着領域の内側の前記領域が除去された前記メッシュ母材を前記版枠に接着して固定する工程と、を備えることを特徴とするスクリーン版の製造方法。
【請求項４】
版枠と、当該版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、当該支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えるスクリーン版の製造方法であって、
前記支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材に、前記印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、
前記印刷用スクリーンメッシュが固定された前記メッシュ母材を前記印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、当該接着領域の内側の領域を除去する工程と、
前記印刷用スクリーンメッシュに接着された前記接着領域の内側の前記領域が除去された前記メッシュ母材に、所定の張力を付与してエージングする工程と、
前記エージングされた前記メッシュ母材を前記印刷用スクリーンメッシュが固定された状態で紗張りする工程と、
紗張りされた前記メッシュ母材を前記版枠に接着して固定する工程と、を備えることを特徴とするスクリーン版の製造方法。
【請求項５】
前記所定の張力を、少なくとも５分間にわたり付与することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のスクリーン版の製造方法。
【請求項６】
前記所定の張力を、前記版枠に固定された状態で前記メッシュ母材に付与される張力よりも大きく設定することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のスクリーン版の製造方法。
【請求項７】
前記所定の張力を、一定に保つように調整することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のスクリーン版の製造方法。
【請求項８】
前記所定の張力を付与した後に、当該所定の張力を弱めることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のスクリーン版の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン版の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷に用いられるスクリーン版として、支持用スクリーンメッシュと、印刷用スクリーンメッシュとを組み合わせたコンビネーション張りスクリーン版が知られている（例えば、特許文献１参照）。この種のスクリーン版では、支持用スクリーンメッシュは、張力が付与された状態で、周辺部が版枠に固定されている。支持用スクリーンメッシュには、開口が形成されている。印刷用スクリーンメッシュは、支持用スクリーンメッシュの一面側において支持用スクリーンメッシュの上記開口を覆うように開口の周縁に接着されている。印刷用スクリーンメッシュには、支持用スクリーンメッシュを介して張力が付与されている。
【０００３】
特許文献１には、スクリーン版の製造方法として、支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、紗張りされたメッシュ母材に印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、印刷用スクリーンメッシュが固定されたメッシュ母材を版枠に接着して固定する工程と、メッシュ母材を印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、当該接着領域の内側の領域を除去する工程と、を備えるものが開示されている。
【特許文献１】特開２０００−１７７２６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
印刷用スクリーンメッシュは、スクリーン版の製造過程において、メッシュ母材（支持用スクリーンメッシュ）を介して張力が付与されることから、伸び等の変形を起こす。また、印刷用スクリーンメッシュは、スクリーン版を用いた印刷時において、メッシュ母材（支持用スクリーンメッシュ）を介して張力が付与される以外にも、スキージにて押圧されて力が付与されることから、伸び等の変形を起こす。印刷用スクリーンメッシュが変形すると、印刷用スクリーンメッシュに形成される印刷パターン、及び印刷により形成された画像が変形することとなり、印刷精度が低下してしまう。
【０００５】
特に、メッシュ母材が線材を織り込んで形成した織布である場合、その完成時においては、互いに交差する線材同士の密着性が低く、伸びが生じやすい。
【０００６】
本発明の目的は、製造過程及び印刷時における印刷用スクリーンメッシュの変形を抑制して、印刷精度を向上させることが可能なスクリーン版を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るスクリーン版の製造方法は、版枠と、当該版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、当該支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えるスクリーン版の製造方法であって、支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、紗張りされたメッシュ母材を版枠に接着して固定する工程と、版枠に固定されたメッシュ母材に、所定の張力を付与してエージングした印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、印刷用スクリーンメッシュが固定されたメッシュ母材を、印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、当該接着領域の内側の領域を除去する工程と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係るスクリーン版の製造方法は、版枠と、当該版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、当該支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えるスクリーン版の製造方法であって、支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、紗張りされたメッシュ母材に、所定の張力を付与してエージングした印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、印刷用スクリーンメッシュが固定されたメッシュ母材を版枠に接着して固定する工程と、版枠に固定されたメッシュ母材を、印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、当該接着領域の内側の領域を除去する工程と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係るスクリーン版の製造方法は、版枠と、当該版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、当該支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えるスクリーン版の製造方法であって、支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、紗張りされたメッシュ母材に、所定の張力を付与してエージングした印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、印刷用スクリーンメッシュが固定されたメッシュ母材を、印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、当該接着領域の内側の領域を除去する工程と、接着領域の内側の領域が除去されたメッシュ母材を版枠に接着して固定する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
これら、本発明に係るスクリーン版の製造方法それぞれによれば、印刷用スクリーンメッシュが予め所定の張力が付与されてエージングされているので、その後の製造過程及び印刷時において伸び等の変形が抑制されることとなる。この結果、印刷用スクリーンメッシュに形成される印刷パターン及び印刷により形成された画像の変形が抑えられ、印刷精度が向上される。
【００１１】
なお、メッシュ母材における上記接着領域の内側の領域を除去する工程を、メッシュ母材を版枠に固定する工程の前に実施する場合には、メッシュ母材の版枠への固定を適切に行うことができる。
【００１２】
本発明に係るスクリーン版の製造方法は、版枠と、当該版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、当該支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えたスクリーン版の製造方法であって、支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材に、印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、印刷用スクリーンメッシュが固定されたメッシュ母材を印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、当該接着領域の内側の領域を除去する工程と、印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側の領域が除去されたメッシュ母材に、所定の張力を付与してエージングする工程と、エージングされたメッシュ母材を印刷用スクリーンメッシュが固定された状態で紗張りする工程と、紗張りされたメッシュ母材を版枠に接着して固定する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明に係るスクリーン版の製造方法では、印刷用スクリーンメッシュがメッシュ母材と共にエージングされるため、その後の製造過程及び印刷時において伸び等の変形が抑制されることとなる。この結果、印刷用スクリーンメッシュに形成される印刷パターン及び印刷により形成された画像の変形が抑えられ、印刷精度が向上される。
【００１４】
エージングのために所定の張力を付与する際には、メッシュ母材は印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側の領域が除去されているので、印刷用スクリーンメッシュにもメッシュ母材を介して上記所定の張力がほぼ付与されることとなる。これにより、メッシュ母材に固定された印刷用スクリーンメッシュを適切にエージングすることができる。
【００１５】
また、上記所定の張力を、少なくとも５分間にわたり付与することが好ましい。また、上記所定の張力を、版枠に固定された状態でメッシュ母材に付与される張力よりも大きく設定することが好ましい。また、上記所定の張力を、一定に保つように調整することが好ましい。また、上記所定の張力を付与した後に、当該所定の張力を弱めることが好ましい。これらのいずれの場合でも、エージングが効果的に行われることとなり、印刷用スクリーンメッシュにおける伸び等の変形を確実に抑制することができる。
【００１６】
なお、上述した特許文献１に記載されたスクリーン版の製造方法では、メッシュ母材を切断する前に、印刷用スクリーンメッシュをメッシュ母材に固定した状態で当該メッシュ部材に所定の張力を付与することで、印刷用スクリーンメッシュにも張力が付与される。しかしながら、メッシュ母材が切断されていないことから、印刷用スクリーンメッシュには十分な張力が作用せず、印刷用スクリーンメッシュはエージングされるまでには至らない。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、製造過程及び印刷時における印刷用スクリーンメッシュの変形を抑制して、印刷精度を向上させることが可能なスクリーン版の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るスクリーン版の製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１９】
（第１実施形態）
まず、図１及び図２に基づいて、第１実施形態に係るスクリーン版の構成を説明する。図１は、第１実施形態に係るスクリーン版を示す概略平面図である。図２は、図１におけるII−II方向の断面構成を示す模式図である。
【００２０】
スクリーン版１は、版枠１０と、支持用スクリーンメッシュ２０と、印刷用スクリーンメッシュ３０とを備える。スクリーン版１は、例えば、積層型チップコンデンサの製造工程においてグリーンシートに電極パターンを印刷するために用いられる。
【００２１】
版枠１０は、Ｘ軸方向でみて互いに対向する２辺、及びＹ軸方向でみて互いに対向する２辺を備えた枠体である。版枠１０は、例えば、アルミニウムまたは軽合金等の軽量金属材料により構成することができる。
【００２２】
支持用スクリーンメッシュ２０はシート状であり、その形状が矩形となっている。支持用スクリーンメッシュ２０のほぼ中央には、矩形形状を呈した開口２２が形成されている。支持用スクリーンメッシュ２０は、所定の張力が付与された状態で、その外縁が全周にわたって版枠１０に固定されている。支持用スクリーンメッシュ２０の版枠１０への固定は、例えば、エポキシ樹脂等の接着剤４０を用いて、支持用スクリーンメッシュ２０と版枠１０とを接着することにより実現できる。支持用スクリーンメッシュ２０は、その内縁に、印刷用スクリーンメッシュ３０に接着される接着領域２４を含んでいる。
【００２３】
支持用スクリーンメッシュ２０は合成樹脂材料により構成することができる。例えば、支持用スクリーンメッシュ２０は、ポリエステル等の合成樹脂繊維を縦糸及び横糸として織られたメッシュ（網）であり、例えば２５０メッシュ（＃２５０）程度のものである。
【００２４】
印刷用スクリーンメッシュ３０はシート状であり、その形状が矩形となっている。印刷用スクリーンメッシュ３０は、その外縁に、支持用スクリーンメッシュ２０に接着される接着領域３２を含んでいる。印刷用スクリーンメッシュ３０は、支持用スクリーンメッシュ２０の開口２２を覆うように、その外縁（支持用スクリーンメッシュ２０に接着される接着領域３２）が全周にわたって支持用スクリーンメッシュ２０に固定されている。印刷用スクリーンメッシュ３０の支持用スクリーンメッシュ２０への固定は、例えば、エポキシ樹脂等の接着剤５０を用いて、印刷用スクリーンメッシュ３０と支持用スクリーンメッシュ２０とを接着することにより実現できる。
【００２５】
印刷用スクリーンメッシュ３０は、金属材料により構成されている。例えば、印刷用スクリーンメッシュ３０は、ステンレス鋼等の金属でなる細線を縦糸及び横糸として織られたメッシュであり、例えば４００〜５００メッシュ（＃４００〜＃５００）程度のものである。
【００２６】
印刷用スクリーンメッシュ３０は、支持用スクリーンメッシュ２０に接着される接着領域３２の内側に、パターン形成領域３４を含んでいる。このパターン形成領域３４には、メッシュの開口が乳剤等の目止め剤で塞がれた部分と塞がれていない部分とによって、所定の印刷パターンが形成されている。
【００２７】
印刷用スクリーンメッシュ３０には、支持用スクリーンメッシュ２０に接着される接着領域３２を除く領域全体にめっき層が形成されている。すなわち、印刷用スクリーンメッシュ３０は、めっき層が形成されていない領域で支持用スクリーンメッシュ２０に接着している。もちろん、パターン形成領域３４にも、めっき層が形成されている。このめっき層の材料としては、ニッケル（Ｎｉ）が好ましい。めっき層の厚みは、例えば２μｍ程度に設定することができる。
【００２８】
次に、図３〜図１１を参照して、第１実施形態に係るスクリーン版１の製造過程について説明する。図３〜図１１は、第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【００２９】
スクリーン版１の製造に先立って、支持用スクリーンメッシュ２０を構成するためのメッシュ母材Ｍ１と、予めエージングした印刷用スクリーンメッシュ３０とを用意する。メッシュ母材Ｍ１は、上述した合成樹脂材料（例えば、ポリエステル等）からなる。
【００３０】
エージングした印刷用スクリーンメッシュ３０は、以下のようにして得ることができる。
【００３１】
印刷用スクリーンメッシュ３０を構成するためのメッシュ母材Ｍ２を用意し、メッシュ母材Ｍ２に第１の張力Ｆ１を付与する（図３及び４参照）。張力付与手段としては紗張り機を用い、紗張り機のクランプＣ１〜Ｃ４によりメッシュ母材Ｍ２を引っ張ればよい。具体的には、１組のクランプＣ１，Ｃ２によりメッシュ母材Ｍ２のＸ軸方向の両端部をクランプし、もう１組のクランプＣ３，Ｃ４によりメッシュ母材Ｍ２のＹ軸方向の両端部をクランプする。そして、これらのクランプＣ１〜Ｃ４に対し、メッシュ母材Ｍ２を伸張させる向きに、第１の引っ張り力ＴＳ１を加える。１組のクランプＣ１，Ｃ２に加えられる第１の引っ張り力ＴＳ１は、Ｘ軸上でメッシュ母材Ｍ２を伸張させる向きであり、もう１組のクランプＣ３，Ｃ４に加えられる第１の引っ張り力ＴＳ１は、Ｙ軸上でメッシュ母材Ｍ２を伸張させる向きである。これにより、メッシュ母材Ｍ２に第１の張力Ｆ１を付与することができる。
【００３２】
続いて、メッシュ母材Ｍ２をクランプＣ１〜Ｃ４から外して、所定時間（例えば、１０分間程度）放置した後に、所定の形状に切断する。これにより、第１の張力Ｆ１を付与してエージングした印刷用スクリーンメッシュ３０が得られることとなる。
【００３３】
ここで、クランプＣ１〜Ｃ４から外した後、メッシュ母材Ｍ２を所定時間放置するのは、メッシュ母材Ｍ２の形状がほぼ安定するまで待つためである。なお、必ずしもメッシュ母材Ｍ２をクランプＣ１〜Ｃ４から外す必要はなく、第１の張力Ｆ１よりも小さい張力を上記所定時間にわたり付与するなど、メッシュ母材Ｍ２に作用する張力を第１の張力Ｆ１よりも弱めておけばよい。
【００３４】
また、メッシュ母材Ｍ２に第１の張力Ｆ１を付与する際に、第１の張力Ｆ１を少なくとも５分間にわたり付与することが好ましい。これは、第１の張力Ｆ１の付与時間を５分未満としたのでは、メッシュ母材Ｍ２を十分に伸ばすことができず、効果的にエージングを行えないとの理由による。
【００３５】
また、第１の張力Ｆ１を、版枠１０に固定された状態でメッシュ母材Ｍ１に付与される張力よりも大きく設定することが好ましい。これは、第１の張力Ｆ１を、版枠１０に固定された状態でメッシュ母材Ｍ１に付与される張力以下としたのでは、メッシュ母材Ｍ２を十分に伸ばすことができず、効果的にエージングを行えないとの理由による。
【００３６】
また、第１の引っ張り力ＴＳ１を一定に維持してもよいが、第１の張力Ｆ１が一定に保たれるように第１の引っ張り力ＴＳ１（第１の張力Ｆ１）を調整することが好ましい。これは、第１の引っ張り力ＴＳ１を一定としたのでは、メッシュ母材Ｍ２が伸びていくのに従って第１の張力Ｆ１が小さくなり、効果的にエージングを行えないとの理由による。
【００３７】
なお、メッシュ母材Ｍ２を所定の形状に切断して得た印刷用スクリーンメッシュ３０を上述したようにエージングしてもよいが、印刷用スクリーンメッシュ３０の形状（寸法）管理上、エージングしたメッシュ母材Ｍ２を所定の形状に切断して印刷用スクリーンメッシュ３０を得る方が好ましい。
【００３８】
工程（１）
まず、用意したメッシュ母材Ｍ１を紗張りする（図５及び６参照）。メッシュ母材Ｍ１の紗張りは、紗張り機を用い、クランプＣ１〜Ｃ４によりメッシュ母材Ｍ１を引っ張ることにより行われる。具体的には、１組のクランプＣ１，Ｃ２によりメッシュ母材Ｍ１のＸ軸方向の両端部をクランプし、もう１組のクランプＣ３，Ｃ４によりメッシュ母材Ｍ１のＹ軸方向の両端部をクランプする。そして、これらのクランプＣ１〜Ｃ４に対し、メッシュ母材Ｍ１を伸張させる向きに、第２の引っ張り力ＴＳ２を加える。１組のクランプＣ１，Ｃ２に加えられる第２の引っ張り力は、Ｘ軸上でメッシュ母材Ｍ１を伸張させる向きであり、もう１組のクランプＣ３，Ｃ４に加えられる第２の引っ張り力ＴＳ２は、Ｙ軸上でメッシュ母材Ｍ１を伸張させる向きである。これにより、メッシュ母材Ｍ１に第２の張力Ｆ２が付与されることとなる。
【００３９】
工程（２）
次に、紗張りされたメッシュ母材Ｍ１を版枠１０に固定する（図７参照）。これにより、メッシュ母材Ｍ１に付与された第２の張力Ｆ２がほぼ保持される。メッシュ母材Ｍ１を版枠１０に固定するには、接着剤４０を用いて、メッシュ母材Ｍ１を版枠１０に接着すればよい。版枠１０は、台板（図示せず）に載置されている。
【００４０】
工程（３）
次に、版枠１０に固定されたメッシュ母材Ｍ１に、エージングした上記印刷用スクリーンメッシュ３０を固定する（図８及び図９参照）。この工程では、まず、メッシュ母材Ｍ１の面内の領域Ｐ１に印刷用スクリーンメッシュ３０を重ね合わせる。領域Ｐ１は、矩形状であり、メッシュ母材Ｍ１のほぼ中央に設定されている。領域Ｐ１は、印刷用スクリーンメッシュ３０よりもやや小さい。メッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１に印刷用スクリーンメッシュ３０を重ね合わせるには、台板ＢＰ上に印刷用スクリーンメッシュ３０を載置した後に、この台板ＢＰをメッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１に向かって上昇させ、台板ＢＰ上の印刷用スクリーンメッシュ３０をメッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１に当接させればよい。
【００４１】
続いて、メッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１の周縁に印刷用スクリーンメッシュ３０を接着する。詳しくは、印刷用スクリーンメッシュ３０は、メッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１を覆うように、その周縁の全周がメッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１の周縁に接着される。接着に当っては、例えば、メッシュ母材Ｍ１上から領域Ｐ１の周縁に接着剤５０を塗布する。そして、この接着剤５０を、重ね合わされたメッシュ母材Ｍ１及び印刷用スクリーンメッシュ３０の間に浸透させ、接着剤５０を硬化させればよい。接着の後、台板ＢＰを下降させ、印刷用スクリーンメッシュ３０から台板ＢＰを離す。
【００４２】
工程（４）
次に、メッシュ母材Ｍ１のうち、上述の領域Ｐ１の部分（図中、一点鎖線にて表した部分）を除去する（図１０参照）。この工程では、メッシュ母材Ｍ１を印刷用スクリーンメッシュ３０に接着された接着領域２４の内側にて切断し、当該接着領域２４の内側の領域、すなわち領域Ｐ１を除去する。本実施形態では、接着領域２４の内側において、当該接着領域２４に沿ってメッシュ母材Ｍ１を切断する。これにより、上述した開口２２が形成されると共に、印刷用スクリーンメッシュ３０にはメッシュ母材Ｍ１を介して第２の張力Ｆ２に対応する張力が付与されることとなる。印刷用スクリーンメッシュ３０に付与される張力は、（株）プロテック社製のテンションゲージ「ＳＴＧ−８０」（測定力：２．３５Ｎ（２４０ｇｆ））を用いて測定したときの印刷用スクリーンメッシュ３０の沈み量が０．３５ｍｍ以下となる張力であることが好ましい。なお、沈み量が小さいほど張力が高く、沈み量が大きいほど張力が低いことを表している。
【００４３】
続いて、版枠１０の外側において、当該版枠１０に沿ってメッシュ母材Ｍ１を切断する（図１１参照）。これにより、その外縁が版枠１０に固定された支持用スクリーンメッシュ２０が形成されることとなる。
【００４４】
これらの工程（１）〜（４）により、上述した構成のスクリーン版１が得られることとなる。
【００４５】
以上のように、第１実施形態によれば、印刷用スクリーンメッシュ３０が予め所定の張力（第１の張力Ｆ１）が付与されてエージングされているので、その後の製造過程及び印刷時において伸び等の変形が抑制されることとなる。この結果、印刷用スクリーンメッシュ３０に形成される印刷パターン及び印刷により形成された画像の変形が抑えられ、印刷精度が向上される。
【００４６】
また、第１実施形態においては、メッシュ母材Ｍ１における印刷用スクリーンメッシュ３０に接着された接着領域２４の内側の領域Ｐ１を除去する工程を、メッシュ母材Ｍ１を版枠１０に固定する工程の前に実施している。これにより、メッシュ母材Ｍ１を版枠１０に対して適切に固定することができる。
【００４７】
（第２実施形態）
次に、図１２及び図１３を参照して、第２実施形態に係るスクリーン版１の製造過程の変形例について説明する。図１２及び図１３は、第２実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【００４８】
まず、工程（１）については、上述の第１実施形態における工程（１）と同じであり、説明を省略する。
【００４９】
工程（２）
次に、紗張りされたメッシュ母材Ｍ１にエージングした印刷用スクリーンメッシュ３０を固定する（図１２参照）。メッシュ母材Ｍ１と印刷用スクリーンメッシュ３０とを固定する方法は、第１実施形態の工程（３）において説明した固定方法と同じである。
【００５０】
工程（３）
次に、印刷用スクリーンメッシュ３０が固定されたメッシュ母材Ｍ１を版枠１０に固定する（図１３参照）。メッシュ母材Ｍ１と版枠１０とを固定する方法は、第１実施形態の工程（２）において説明した固定方法と同じである。
【００５１】
工程（４）の工程は、第１実施形態における工程（４）と同じであり、ここでの説明を省略する。これらの工程（１）〜（４）により、図１及び図２に示された構成のスクリーン版１が得られることとなる。
【００５２】
以上のように、第２実施形態においても、印刷用スクリーンメッシュ３０が予め所定の張力（第１の張力Ｆ１）が付与されてエージングされているので、その後の製造過程及び印刷時において伸び等の変形が抑制されることとなる。この結果、印刷用スクリーンメッシュ３０に形成される印刷パターン及び印刷により形成された画像の変形が抑えられ、印刷精度が向上される。
【００５３】
また、第２実施形態においても、第１実施形態と同じく、接着領域２４の内側の領域Ｐ１を除去する工程を、メッシュ母材Ｍ１を版枠１０に固定する工程の前に実施しているので、メッシュ母材Ｍ１を版枠１０に対して適切に固定することができる。
【００５４】
（第３実施形態）
次に、図１４〜図１５参照して、第３実施形態に係るスクリーン版１の製造過程の変形例について説明する。図１４〜図１５は、第３実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【００５５】
まず、工程（１）及び（２）については、上述の第２実施形態における工程（１）及び（２）と同じであり、説明を省略する。
【００５６】
工程（３）
次に、メッシュ母材Ｍ１を印刷用スクリーンメッシュ３０に接着された接着領域２４の内側にて切断し、当該接着領域２４の内側の領域、すなわち領域Ｐ１（図中、一点鎖線にて表した部分）を除去する（図１４参照）。これにより、開口２２が形成されると共に、印刷用スクリーンメッシュ３０にはメッシュ母材Ｍ１を介して第２の張力Ｆ２に対応する張力が付与される。
【００５７】
工程（４）
次に、接着領域２４の内側の領域（領域Ｐ１）が除去されたメッシュ母材Ｍ１を版枠１０に固定する（図１５参照）。メッシュ母材Ｍ１と版枠１０とを固定する方法は、第１実施形態の工程（２）等において説明した固定方法と同じである。
【００５８】
続いて、版枠１０の外側において、当該版枠１０に沿ってメッシュ母材Ｍ１を切断する。
【００５９】
これらの工程（１）〜（４）により、図１及び図２に示された構成のスクリーン版１が得られることとなる。
【００６０】
以上のように、第３実施形態においても、印刷用スクリーンメッシュ３０が予め所定の張力（第１の張力Ｆ１）が付与されてエージングされているので、その後の製造過程及び印刷時において伸び等の変形が抑制されることとなる。この結果、印刷用スクリーンメッシュ３０に形成される印刷パターン及び印刷により形成された画像の変形が抑えられ、印刷精度が向上される。
【００６１】
（第４実施形態）
次に、図１２、図１４〜図１７を参照して、第４実施形態に係るスクリーン版１の製造過程の変形例について説明する。図１６及び図１７は、第４実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【００６２】
まず、工程（１）については、上述の第２実施形態における工程（１）と同じであり、説明を省略する。
【００６３】
工程（２）
まず、エージングしていない印刷用スクリーンメッシュ３０を用意する。そして、図１２に示される工程と同様にして、紗張りされたメッシュ母材Ｍ１に、エージングしていない印刷用スクリーンメッシュ３０を固定する。メッシュ母材Ｍ１と印刷用スクリーンメッシュ３０とを固定する方法は、第１実施形態の工程（３）等において説明した固定方法と同じである。
【００６４】
工程（３）
次に、図１４に示される工程と同様にして、メッシュ母材Ｍ１を印刷用スクリーンメッシュ３０に接着された接着領域２４の内側にて切断し、当該接着領域２４の内側の領域（領域Ｐ１）を除去する。
【００６５】
工程（４）
次に、接着領域２４の内側の領域（領域Ｐ１）が除去されたメッシュ母材Ｍ１に固定された状態にある印刷用スクリーンメッシュ３０を、所定の張力（第１の張力Ｆ１）を付与してエージングする（図１６及び図１７参照）。メッシュ母材Ｍ１及び印刷用スクリーンメッシュ３０をエージング方法は、第１実施形態にて説明した印刷用スクリーンメッシュ３０をエージングする方法と同じである。
【００６６】
工程（５）
次に、エージングされたメッシュ母材Ｍ１（印刷用スクリーンメッシュ３０）を紗張りする。エージングしたメッシュ母材Ｍ１を紗張りする方法は、第１実施形態の工程（１）において説明した紗張り方法と同じである。
【００６７】
工程（６）
次に、図１５に示される工程と同様にして、紗張りされたメッシュ母材Ｍ１を版枠１０に固定する。メッシュ母材Ｍ１と版枠１０とを固定する方法は、第１実施形態の工程（２）等において説明した固定方法と同じである。
【００６８】
続いて、版枠１０の外側において、当該版枠１０に沿ってメッシュ母材Ｍ１を切断する。
【００６９】
これらの工程（１）〜（６）により、図１及び図２に示された構成のスクリーン版１が得られることとなる。
【００７０】
以上のように、第４実施形態においては、印刷用スクリーンメッシュ３０がメッシュ母材Ｍ１と共にエージングされるため、その後の製造過程及び印刷時において伸び等の変形が抑制されることとなる。この結果、印刷用スクリーンメッシュ３０に形成される印刷パターン及び印刷により形成された画像の変形が抑えられ、印刷精度が向上される。
【００７１】
エージングのために所定の張力（第１の張力Ｆ１）を付与する際には、メッシュ母材Ｍ１は印刷用スクリーンメッシュ３０に接着された接着領域２４の内側の領域（領域Ｐ１）が除去されているので、印刷用スクリーンメッシュ３０にもメッシュ母材Ｍ１を介して上記所定の張力（第１の張力Ｆ１）がほぼ付与されることとなる。これにより、メッシュ母材Ｍ１に固定された印刷用スクリーンメッシュ３０を適切にエージングすることができる。
【００７２】
本発明のスクリーン版の製造方法において、印刷用スクリーンメッシュをエージングすることによって得られる印刷精度を向上させる効果を確認する試験を行った。試験では、印刷用スクリーンメッシュに形成された複数の位置合わせマーク（ターゲットマーク）の間隔の印刷後における変化を求めた。図１８に示されるように、各位置合わせマークＡは、印刷用スクリーンメッシュＰＭにおけるパターン形成領域ＰＡの外側に形成されており、一辺が１５４ｍｍである正方形Ｓの四隅に配置されている。版枠の大きさは、４５０×４５０ｍｍとした。
【００７３】
（実施例１）
本実施例１では、上述した第１実施形態に係る製造方法により得られたスクリーン版１を用いた。印刷用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材に付与する第１の張力を付与する時間（以下、エージング時間と称する）は、５分とした。この第１の張力は、（株）プロテック社製のテンションゲージ「ＳＴＧ−８０」」（測定力：２．３５Ｎ（２４０ｇｆ））を用いて測定したときの沈み量がエージング時間にわたって０．１８ｍｍに維持されるように調整した。
【００７４】
印刷後、位置合わせマークＡの間隔を測定したところ、それぞれ１５３．９９０ｍｍ、１５３．９９２ｍｍ、１５３．９９１ｍｍ、１５３．９９２ｍｍであった。印刷前における位置合わせマークＡの間隔（＝１５４ｍｍ）と印刷後における位置合わせマークＡの間隔との差の絶対値（以下、位置合わせマークＡの間隔のばらつきと称する）の最大値は、図１９に示されるように、１０．０μｍである。
【００７５】
（実施例２）
本実施例２では、エージング時間を除いて、実施例１と同じ条件とした。エージング時間は、１０分とした。
【００７６】
印刷後、位置合わせマークＡの間隔を測定したところ、それぞれ１５３．９９２ｍｍ、１５３．９９６ｍｍ、１５３．９９７ｍｍ、１５３．９９６ｍｍであった。印刷前における位置合わせマークＡの間隔（＝１５４ｍｍ）と印刷後における位置合わせマークＡの間隔との差の絶対値（以下、位置合わせマークＡの間隔のばらつきと称する）の最大値は、図１９に示されるように、８．０μｍである。
【００７７】
（実施例３）
本実施例３では、エージング時間を除いて、実施例１と同じ条件とした。エージング時間は、１５分とした。
【００７８】
印刷後、位置合わせマークＡの間隔を測定したところ、それぞれ１５３．９９１ｍｍ、１５３．９９２ｍｍ、１５３．９９２ｍｍ、１５３．９９１ｍｍであった。印刷前における位置合わせマークＡの間隔（＝１５４ｍｍ）と印刷後における位置合わせマークＡの間隔との差の絶対値（以下、位置合わせマークＡの間隔のばらつきと称する）の最大値は、図１９に示されるように、９．０μｍである。
【００７９】
（実施例４）
本実施例４では、エージング時間を除いて、実施例１と同じ条件とした。エージング時間は、２０分とした。
【００８０】
印刷後、位置合わせマークＡの間隔を測定したところ、それぞれ１５３．９９２ｍｍ、１５３．９９６ｍｍ、１５３．９９７ｍｍ、１５３．９９２ｍｍであった。印刷前における位置合わせマークＡの間隔（＝１５４ｍｍ）と印刷後における位置合わせマークＡの間隔との差の絶対値（以下、位置合わせマークＡの間隔のばらつきと称する）の最大値は、図１９に示されるように、８．０μｍである。
【００８１】
（実施例５）
本実施例５では、エージング時間を除いて、実施例１と同じ条件とした。エージング時間は、２５分とした。
【００８２】
印刷後、位置合わせマークＡの間隔を測定したところ、それぞれ１５３．９９１ｍｍ、１５３．９９１ｍｍ、１５３．９９２ｍｍ、１５３．９９２ｍｍであった。印刷前における位置合わせマークＡの間隔（＝１５４ｍｍ）と印刷後における位置合わせマークＡの間隔との差の絶対値（以下、位置合わせマークＡの間隔のばらつきと称する）の最大値は、図１９に示されるように、９．０μｍである。
【００８３】
（実施例６）
本実施例６では、エージング時間を除いて、実施例１と同じ条件とした。エージング時間は、３０分とした。
【００８４】
印刷後、位置合わせマークＡの間隔を測定したところ、それぞれ１５３．９９３ｍｍ、１５３．９９３ｍｍ、１５３．９９４ｍｍ、１５３．９９５ｍｍであった。印刷前における位置合わせマークＡの間隔（＝１５４ｍｍ）と印刷後における位置合わせマークＡの間隔との差の絶対値（以下、位置合わせマークＡの間隔のばらつきと称する）の最大値は、図１９に示されるように、７．０μｍである。
【００８５】
（比較例１）
本比較例１では、エージングを行っていない印刷用スクリーンメッシュを用いる点を除いて、実施例１と同じ条件とした。
【００８６】
印刷後、位置合わせマークＡの間隔を測定したところ、それぞれ１５３．９８０ｍｍ、１５３．９７５ｍｍ、１５３．９８１ｍｍ、１５３．９７８ｍｍであった。印刷前における位置合わせマークＡの間隔（＝１５４ｍｍ）と印刷後における位置合わせマークＡの間隔との差の絶対値（以下、位置合わせマークＡの間隔のばらつきと称する）の最大値は、図１９に示されるように、２５．０μｍである。
【００８７】
このように、印刷用スクリーンメッシュをエージングした実施例１〜６の方が、比較例１と比べて、位置合わせマークＡの間隔のばらつきが１０μｍ以下に低く抑えられている。これは、印刷用スクリーンメッシュをエージングすることにより、その後の製造過程及び印刷時において伸び等の変形が抑制されるためであり、本発明の有効性が確認された。
【００８８】
以上、本発明者らによってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、版枠１０、支持用スクリーンメッシュ２０、印刷用スクリーンメッシュ３０、開口２２等の形状も上述した実施形態に限られるものではない。
【００８９】
また、本実施形態では、スクリーン版１は、積層型チップコンデンサの製造工程においてグリーンシートに電極パターンを印刷するためのものであったが、本発明に係るスクリーン版は、他の電子部品の電極印刷を始めとして、様々なスクリーン版に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】第１実施形態に係るスクリーン版を示す概略平面図である。
【図２】図１におけるII−II方向の断面構成を示す模式図である。
【図３】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図４】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図５】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図６】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図７】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図８】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図９】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１０】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１１】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１２】第２実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１３】第２実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１４】第３実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１５】第３実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１６】第４実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１７】第４実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１８】実施例１〜６及び比較例１にて用いた印刷用スクリーンメッシュの構成を説明するための模式図である。
【図１９】実施例１〜６及び比較例１における、エージング時間と、位置合わせマークの間隔のばらつきの最大値との関係を示す線図である。
【符号の説明】
【００９１】
１…スクリーン版、１０…版枠、２０…支持用スクリーンメッシュ、２４…接着領域、３０…印刷用スクリーンメッシュ、３２…接着領域、４０…接着剤、５０…接着剤、Ｍ１…支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材、Ｍ２…印刷用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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