(57)【要約】【課題】温度制御の精度及び即応性を向上させることのできる空調用ヒータを提供する。【解決手段】空調用ヒータ１０は、ハロゲンランプ１８を点灯することによって空気を加熱するランプヒータ１２を備え、このランプヒータ１２は、下流側に設置した温度センサ１３の検出値に基づいてフィードバック制御される。ランプヒータ１２と温度センサ１３との間には、通気性を有する遮光装置１４が配設され、ハロゲンランプ１８の光が温度センサ１３に照射されないようになっている。ランプヒータ１２、温度センサ１３、及び遮光装置１４は、短尺ダクト２４に取り付けられる。短尺ダクト２４は上流側ダクト１６Ａ、下流側ダクト１６Ｂに着脱自在に装着される。【選択図】      図１
2005090904.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダクト内に設けられ、点灯することによって前記ダクト内を流れる空気を加熱する電球と、前記ダクト内を流れる空気の温度を検出する温度センサと、前記温度センサの検出値に基づいて前記電球の点滅を制御する制御装置とを備えた空調用ヒータにおいて、
前記電球と前記温度センサとの間に、通気性を有する遮光装置が設けられたことを特徴とする空調用ヒータ。
【請求項２】
前記電球、前記温度センサ、及び前記遮光装置は、前記ダクトに着脱自在に装着されるとともに前記ダクトの一部を構成する短尺ダクトに取り付けられてユニット化されることを特徴とする請求項１に記載の空調用ヒータ。
【請求項３】
前記電球からの輻射熱によって加熱されるとともに、前記ダクト内を流れる空気に放熱する金属放熱板を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の空調用ヒータ。
【請求項４】
前記電球と前記温度センサとの間に、前記電球によって加熱された空気を混合する混合部を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載の空調用ヒータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は空調用ヒータに係り、特に、電球を点灯させたときに生じる熱によって、空調室に供給する空気の温度を制御する空調用ヒータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体製造用クリーンルームの精密環境チャンバ室は、半導体の大規模集積化に伴い、室内の温度管理が厳しく要求されている。特に、実際に検査解析作業を行なう空間では、検査解析精度を上げるために室温の変動を±１／１０００度以下に抑えることが要求されている。このため、精密環境チャンバ室用の空調設備においては、高精度な温度管理が実施されている。
【０００３】
従来の空調設備において、空調室に供給する空気をハロゲンランプヒータによって温度制御する空調用ヒータが提案されている（特許文献１参照）。この空調用ヒータによれば、ハロゲンランプヒータを通過した空気の温度を温度センサで検出し、この検出温度に基づいてハロゲンランプヒータの出力をヒータ制御部によってフィードバック制御するものである。
【特許文献１】特開２００２−１４９２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１は、ハロゲンランプヒータのすぐ下流側に温度センサを設けているため、ハロゲンランプヒータの光が温度センサに照射されて温度センサの検出温度が上昇し、測定精度が低下するという問題があった。このため、温度センサはハロゲンランプヒータから離れた位置に配置しなければならず、この場合には温度制御に対する即応性が低下するという問題があった。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、温度制御の精度及び即応性を向上させることのできる空調用ヒータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は前記目的を達成するために、ダクト内に設けられ、点灯することによって前記ダクト内を流れる空気を加熱する電球と、前記ダクト内を流れる空気の温度を検出する温度センサと、前記温度センサの検出値に基づいて前記電球の点滅を制御する制御装置とを備えた空調用ヒータにおいて、前記電球と前記温度センサとの間に、通気性を有する遮光装置が設けられたことを特徴とする空調用ヒータ。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、電球と温度センサとの間に遮光装置が設けられているので、電球の光が温度センサに照射されることを防止することができ、温度センサの測定精度を向上させることができる。
【０００８】
また、請求項１に記載の発明によれば、遮光装置を設けたことによって、電球と温度センサとの距離を短縮することができ、空調用ヒータを小型化することができる。さらに、電球と温度センサとの距離を短縮したことによって、温度制御の即応性を向上させることができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は請求項１の発明において、前記電球、前記温度センサ、及び前記遮光装置は、前記ダクトに着脱自在に装着されるとともに前記ダクトの一部を構成する短尺ダクトに取り付けられてユニット化されることを特徴としている。
【００１０】
請求項２の発明によれば、電球や遮光装置等を修理、交換する場合には短尺ダクトをダクトの本体から取り外すだけでよいので、交換作業やメンテナンス作業を容易に行うことができる。
【００１１】
また請求項２の発明によれば、ユニット化によって電球と温度センサとの関係が固定されるので、常に同一の制御特性となり、制御の最適化を図ることができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は請求項１または２の発明において、前記電球からの輻射熱によって加熱されるとともに、前記ダクト内を流れる空気に放熱する金属放熱板を備えることを特徴としている。
【００１３】
請求項３に記載の発明によれば、電球からの輻射熱によって金属放熱板が加熱されるので、ダクト内を流れる空気を金属放熱板によって加熱することができる。これにより、温度制御に対する即応性を向上させることができる。
【００１４】
請求項４に記載の発明は請求項１〜３のいずれか１の発明において、前記電球と前記温度センサとの間に、前記電球によって加熱された空気を混合する混合部を設けたことを特徴としている。
【００１５】
請求項４に記載の発明によれば、電球によって加熱された空気を混合するので、均一に分布した空気の温度を温度センサによって検出することができ、温度制御の精度を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る空調用ヒータによれば、電球と温度センサとの間に遮光装置が設けられているので、電球の光が温度センサに照射されることを防止し、温度センサの測定精度を向上させることができるとともに、電球と温度センサとの距離を短縮して、温度制御に対する即応性を向上させることができる。したがって、本発明に係る空調用ヒータを用いることによって、高精度な温度管理を実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面に従って本発明に係る空調用ヒータの好ましい実施の形態について詳説する。
【００１８】
図１、図２に示すように、実施の形態の空調用ヒータ１０は、ランプヒータ１２、温度センサ１３、遮光装置１４で構成され、ダクト１６の所定の位置に取り付けられている。
【００１９】
ランプヒータ１２は、図１の如く、複数個のハロゲンランプ（電球）１８、１８…を矩形枠状の支持フレーム２０に固定することによって構成される。ハロゲンランプ１８、１８…は一定の間隔で配置されるとともに、ダクト１６の中心に向けて取り付けられている。また、ハロゲンランプ１８は、ケーブル２２を介して図３のサイリスタ７０に接続され、このサイリスタ７０によって印加される電圧（出力）が制御されて発光量が制御される。ハロゲンランプ１８に印加する電圧と空気昇温とは線形関係にあるので、ハロゲンランプ１８に印加する電圧を制御することによって空気の温度を十分に制御することができる。なお、ランプヒータ１２の構成は上記のものに限定されず、例えばハロゲンランプ１８、１８…を縦横に整列配置してもよい。また、ハロゲンランプ１８、１８…の向きは上記のものに限定されず、ダクト１６内を流れる気流の向きに対して上流方向であったり、下流方向であってもよい。さらに、本実施の形態ではランプヒータ１２を用いたが、大きな輻射熱を発生する輻射型のヒータ、例えば、赤外線ヒータ、カーボンヒータ、ハロゲンヒータ等であれば、本発明を適用することができる。
【００２０】
温度センサ１３は、気流の向きに対してランプヒータ１２の下流側に所定量離間した位置に設けられている。また、温度センサ１３は、不図示の支持部材によってダクト１６の中央部（すなわち、ダクト壁面から離れた位置）に支持されている。この温度センサ１３は、図３のデジタル調節計６８に接続され、このデジタル調節計６８によって前記サイリスタ７０が制御される。これにより、温度センサ１３の測定値に応じてハロゲンランプ１８がフィードバック制御され、空気が所定の温度（通常、一定の温度）に制御される。
【００２１】
遮光装置１４は、図１に示すように、ランプヒータ１２と温度センサ１３との間に配置される。この遮光装置１４は、矩形枠状のフレーム１５に遮光シート（遮光ネットともいう）１７を取り付けることによって構成される。遮光シート１７は、縦糸１７ａと横糸１７ｂとが互いに編織されることによって構成される。縦糸１７ａ及び横糸１７ｂは例えばポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系の樹脂、或いはその他の樹脂から成り、数ミリの幅を成す細長い黒色帯状に形成される。そして、縦糸１７ａが縦方向に複数本配列されるとともに、横糸１７ｂが縦糸１７ａによって高密度に編織されることにより、遮光シート１７が形成される。この遮光シート１７は、図１では、縦糸１７ａ、１７ａ同士の隙間、及び横糸１７ｂ、１７ｂ同士の隙間が均一にあいている状態が図示されているが、実際には縦糸１７ａ、横糸１７ｂが細長く且つ薄い帯糸状であるので、前記隙間は不均一で且つ小さな隙間となり、十分な遮光性が得られる。遮光シート１７の遮光性は、編織の密度の大小によって調節され、例えば本実施例では、遮光シート１７の通気性を十分に保持するために、遮光性が８５〜９５％、好ましくは９０％程度のものが選択される。
【００２２】
図２に示すように、ランプヒータ１２、温度センサ１３、及び遮光装置１４は、短尺ダクト２４に取り付けられてユニット化されている。この短尺ダクト２４は、ダクト１６の一部を構成し、上流側ダクト１６Ａ及び下流側ダクト１６Ｂの端部に留め金２６によって着脱自在に取り付けられている。よって、上流側ダクト１６Ａから供給されてきた空気は空調用ヒータ１０からの熱が伝えられた後、下流側ダクト１６Ｂに流される。なお、ダクト１６Ａ、１６Ｂの内壁及び外壁には、熱の遮断・保温に用いる断熱材２８、３０が貼り付けられている。
【００２３】
上記の如く構成された空調用ヒータ１０によれば、ランプヒータ１２と温度センサ１３との間に遮光装置１４を設けたので、ハロゲンランプ１８の光が温度センサ１３に直接照射されることを防止することができる。したがって、温度センサ１３がハロゲンランプ１８の光に照射されて温度上昇することを防止できるので、温度センサ１３によって空気の温度を精度良く測定することができる。このため、温度センサ１３の測定値に基づいてランプヒータ１２を制御すると、より高精度な温度制御を行うことができる。
【００２４】
また、本実施の形態によれば、遮光装置１４を設けたことによって、ランプヒータ１２と温度センサ１３との距離を縮めることができる。したがって、短尺ダクト２４の長さを短くすることができ、空調用ヒータ１０を小型化することができる。また、ランプヒータ１２と温度センサ１３との距離を縮めたことによって、ランプヒータ１２で加熱した直後の空気の温度を温度センサ１３によって測定することになるので、温度制御の即応性を向上させることができる。
【００２５】
さらに、空調用ヒータ１０は、ランプヒータ１２、温度センサ１３、遮光装置１４を短尺ダクト２４に取り付けてユニット化したので、ハロゲンランプ１８や遮光装置１４を修理、交換する場合には、短尺ダクト２４をダクト１６から取り外すだけでよい。よって、交換作業やメンテナンス作業が容易になる。
【００２６】
また、空調用ヒータ１０は、ユニット化によってランプヒータ１２と温度センサ１３との関係が固定されるので、常に同一の制御特性となる。すなわち、制御特性は、ランプヒータ１２の種類や温度センサ１３の位置等、様々な要因によって制御特性が異なるが、ユニット化してランプヒータ１２、温度センサ１３の関係を固定することによって、制御特性が同定できる。したがって、ランプヒータ１２、温度センサ１３、遮光装置１４の種類や位置等の最適化を図ることができる。また、制御特性に応じて調整する期間（試運転調整期間）を短縮することができる。
【００２７】
次に、空調用ヒータ１０を用いた空調設備について説明する。
【００２８】
図３は、精密環境チャンバ室（空調室）用の空調設備４０の構成を示したブロック図である。同図に示す精密環境チャンバ室４２は、区画壁４４によって外部と隔離されており、この精密環境チャンバ室４２の内部に、不図示の精密機械の製造ラインや検査解析装置等が設置される。精密環境チャンバ室４２の内部は、高い精度で一定の温度に維持されることが要求される。
【００２９】
区画壁４４の右壁面には空気供給パネル４６が設けられ、左壁面には空気吸気パネル４８が設けられる。これらパネル４６、４８には例えばパンチングメタルが用いられ、空気が通過した際に整流効果が得られるようになっている。
【００３０】
空気吸気パネル４８はダクト５０を介して空調装置５８の入口側に接続される。空調装置５８の出口側はダクト１６Ａを介して本実施の形態の空調用ヒータ１０に接続されており、この空調用ヒータ１０はダクト１６Ｂを介して空気供給パネル４６に接続されている。これにより、精密環境チャンバ室４２内の空気は、空調装置５８、及び空調用ヒータ１０を介して循環される。
【００３１】
前述したように、空調用ヒータ１０は温度センサ１３がデジタル調節計６８に接続されており、このデジタル調節計６８がサイリスタ７０に接続されている。そして、デジタル調節計６８が温度センサ６６の温度情報に基づいてサイリスタ７０を制御することによって、電源部（不図示）からランプヒータ１２に所定の電圧の電力が供給される。これにより、空調用ヒータ１０を通過する空気が精度良く温度制御されて精密環境チャンバ室４２に供給される。
【００３２】
このような空調用ヒータ１０による温度制御を安定して行うため、空調用ヒータ１０の前段において空調装置５８によって大まかな温度制御を行う必要がある。
【００３３】
空調装置５８は、送風機５２、冷却器５４、及び加熱器５６によって構成される。そして、送風機５２が作動されることによって、空気吸気パネル４８から精密環境チャンバ室４２内の空気がダクト５０を介して空調装置５８に吸引される。
【００３４】
吸引された空気は、冷却器５４によって所定の温度まで冷却される。冷却器５４は、冷水パイプ７２によって形成される循環水路上に配設されており、この循環水路上には、冷水パイプ７２の他にクッションタンク７４、ポンプＰ、及び加熱器７８が配設されている。そして、ポンプＰを駆動することによって、クッションタンク７４内の冷水が加熱器７８に送液され、さらに冷却器５４を通ってクッションタンク７４に返送される。
【００３５】
クッションタンク７４は、区分けされた２槽の冷水槽７４Ａ、７４Ｂを備え、冷却器５４から返送された冷水は冷水槽７４Ａに溜められる。そして、冷水槽７４Ａの冷水がパイプ８０を介して冷水製造装置７６に送液される。冷水製造装置７６は冷水を製造し、この冷水がパイプ８２を介して冷水槽７４Ｂに送液される。この冷水は、冷水槽７４Ｂに溜められた後、ポンプＰによって加熱器７８に送液される。
【００３６】
加熱器７８は、コイル状の伝熱ワイヤを備え、この伝熱ワイヤに通電することによって、冷水が所望の温度まで加熱される。加熱器７８の下流側の冷水パイプ７２には温度センサ８４が設けられ、この温度センサ８４はデジタル調節計８６を介してサイリスタ８８に接続され、サイリスタ８８によって加熱器７８がフィードバック制御される。これにより、冷水パイプ７２内の冷水が±１／１００度以内の精度で温度制御されて冷却器５４に供給される。したがって、空調装置５８の内部に吸引された空気は冷却器５４によって所定の温度まで冷却される。
【００３７】
冷却された空気は加熱器５６によって加熱される。加熱器５６は、ハロゲンランプを備えたランプヒータであり、サイリスタ６４によって印加電圧（出力）が制御される。加熱器５６の直後のダクト１６Ａ内には温度センサ６０が設けられ、この温度センサ６０は、デジタル調節計６２に接続される。デジタル調節計６２は、温度センサ６０の温度情報に基づいてサイリスタ６４を制御し、これにより、電源部（不図示）から加熱器５６に所定の電圧の電力が供給される。なお、デジタル調節計６２における分解能の性能としては±１／１００度である。このような構成の加熱器５６によって、冷却器５４で冷却された空気が、要求される温度の近傍まで加熱される。例えば、要求温度に対して±３／１００度の範囲に加熱制御される。
【００３８】
こうして空調装置５８によって加熱制御された空気は空調用ヒータ１０によってさらに厳密に温度制御される。そして、この空調空気が精密環境チャンバ室４２内に供給される。その際、空調空気は、空気供給パネル４６から吹き出され、空気吸気パネル４８から吸引される。これにより、精密環境チャンバ室４２の内部には、空調空気の水平層流が形成され、精密環境チャンバ室４２の内部が所望する温度に精度良く制御される。
【００３９】
ところで、空調用ヒータ１０は、上述したように、ランプヒータ１２と温度センサ１３との間に遮光装置１４が設けられている。したがって、温度制御の精度及び即応性が良く、精密環境チャンバ室４２の内部を目標温度に対して非常に高い精度で制御することができる。
【００４０】
なお、上述した実施の形態では、遮光装置１４として遮光シート１７を用いたが、遮光装置１４の構成はこれに限定するものではなく、ランプヒータ１２のハロゲンランプ１８の光が温度センサ１３に照射されることを防止するものであればよい。
【００４１】
図４（Ａ）、図４（Ｂ）に示す遮光装置１４は、二枚のパンチングプレート１００、１０２によって構成される。二枚のパンチングプレート１００、１０２は、図４（Ａ）に示すように平行に配置される。また、図４（Ｂ）に示すように、パンチングプレート１００の孔１００Ａ、１００Ａ…とパンチングプレート１０２の孔１０２Ａ、１０２Ａ…は異なる位置に形成されており、パンチングプレート１００、１０２を正面から見た際に孔１００Ａと孔１０２Ａの位置が重ならないようになっている。したがって、ランプヒータ１２のハロゲンランプ１８から照射された光は、パンチングプレート１００、１０２によって遮光されるので、温度センサ１３に照射されることがない。これにより、温度センサ１３の測定精度を向上させることができ、温度制御の精度を向上させることができる。
【００４２】
また、図４（Ａ）、図４（Ｂ）に示した遮光装置１４は、パンチングプレート１００、１０２によって整流効果が得られる。したがって、ダクト１６を流れる空気を均一な温度分布にすることができ、温度センサ１３で測定する温度の測定精度を向上させることができる。
【００４３】
なお、パンチングプレート１００、１０２は、放熱効果の大きい材質で形成することが好ましい。放熱効果の大きい材質とは、熱容量が大きく、電熱面積が広く、且つ光の反射率が小さい材質であり、例えば、黒色のアルミニウム板が用いられる。これにより、ハロゲンランプ１８によってパンチングプレート１００、１０２が加熱され、このパンチングプレート１００、１０２から空気に放熱されるので、空気が温度上昇しやすくなり、温度制御に対する即応性を向上させることができる。また、パンチングプレート１００、１０２からの反射光を抑制することができるので、遮光性能を向上させることができる。
【００４４】
なお、パンチングプレート１００、１０２の数は二枚に限定されるものではなく、三枚以上のパンチングプレートを用いてもよい。
【００４５】
図５に示す遮光装置１４は、遮光板１１０、１１２、１１４、１１６によって迷路状に形成されている。すなわち、四枚の遮光板１１０〜１１６が平行に取り付けられ、且つ、遮光板１１０、１１４が短尺ダクト２４の下面に取り付けられ、遮光板１１２、１１６が短尺ダクト２４の上面に取り付けられることによって、空気が直線的に流れないようになっている。このような遮光板１１０〜１１６を設けることによって、ハロゲンランプ１８の光が温度センサ１３に照射されることを防止できる。
【００４６】
図５に示す遮光装置１４においても、遮光板１１０〜１１６を黒色の金属板によって構成することによって、反射光を防止して遮光性を向上させることができるとともに、遮光板１１０〜１１６による放熱効果を得ることができる。
【００４７】
放熱効果が得られる遮光装置１４の他の実施例としては、多数の空気通過孔を有するハニカム構造体（不図示）を用いることができる。この場合、短尺ダクト２４の軸方向に対して空気通過孔が斜めになるようにしてハニカム構造体を配置することによって遮光性を得ることができる。
【００４８】
なお、遮光装置１４と別体で放熱板を設けるようにしてもよい。図６は、遮光装置１４と別体の放熱板１２０を設けた例である。放熱板１２０は、黒色の金属板から成り、空気の流れ方向に沿って設置されるとともに、空気の流れ方向と直交する方向において一定の間隔で複数枚が配置されている。ハロゲンランプ１８は、放熱板１２０、１２０同士の間に配置され、空気の流れ方向に対して上流側を向いて取り付けられている。ハロゲンランプ１８と放熱板１２０の上流側、及び下流側には、遮光装置１４が設けられている。この遮光装置１４は、図１に示した遮光シート１７であっても、或いは図４に示したパンチングプレート１００、１０２であってもよく、必要に応じて複数枚が設置される。
【００４９】
上記の如く構成された空調用ヒータでは、放熱板１２０、１２０…が設けられているので、温度制御に対する即応性を向上させることができる。
【００５０】
なお、図６に示す例において、放熱板１２０を、短尺ダクト２４の軸方向に見て格子状に形成し、その格子空間の間にハロゲンランプ１８を設置するようにしてもよい。
【００５１】
図７は、図６に示した空調用ヒータにおいて、遮光装置１４を放熱板１２０、１２０同士の間に配置した例である。すなわち、遮光装置１４は、各ハロゲンランプ１８に対して設けられ、放熱板１２０、１２０同士の間に配置されている。遮光装置１４としては、遮光シート１７（図１参照）、パンチングプレート１００、１０２（図４参照）、或いは黒色の金属板等が用いられる。
【００５２】
このように構成された空調用ヒータによれば、各ハロゲンランプ１８に対して遮光装置１４を設けているので、遮光装置１４を小さくすることができ、遮光装置１４による圧力損失を減少させることができる。
【００５３】
また、上記の空調用ヒータは、放熱板１２０を長くすることによって、大きな放熱効果が得られるとともに、空気の整流効果を得ることができる。
【００５４】
図８に示す空調用ヒータは、図７に示した空調用ヒータにおいて、さらに遮光性能を高めた例である。図８に示す放熱板１２２は屈曲しており、放熱板１２２、１２２同士の間隔が、ハロゲンランプ１８の位置において広く、且つ、上流側の端部と下流側の端部において狭くなっている。
【００５５】
このように構成された空調用ヒータでは、ハロゲンランプ１８から照射された光は、放熱板１２２によって反射されるにつれて、短尺ダクト２４の軸方向に対する角度が徐々に大きくなる。したがって、ハロゲンランプ１８の光は何度も反射を繰り返さなければ温度センサ１３に到達することができない。このため、温度センサ１４は、反射光による影響が殆どなくなり、測定精度がさらに向上する。
【００５６】
図９〜図１２はそれぞれ、ハロゲンランプ１８で加熱した空気の混合機能を有する空調用ヒータの例である。
【００５７】
図９に示す空調用ヒータは、遮光装置１４がノズル部１３０とバッフル板１３２とから構成される。ノズル部１３０は、中央部に向けて流路が徐々に狭くなるように構成され、ノズル部１３０の先端開口１３０Ａの下流側にバッフル板１３２が設けられる。バッフル板１３２は、先端開口１３０Ａよりも大きな面積を有し、空気の流れ方向と直交するように配設されている。したがって、ハロゲンランプ１８の光は、ノズル部１３０とバッフル板１３２とによって完全に遮光されるので、温度センサ１３に光が照射されることが防止される。また、ノズル部１３０によって絞られた空気の流れがバッフル板１３２に衝突することによって拡散されるので、空気を混合する効果が得られる。したがって、ハロゲンランプ１８で加熱された空気は混合されて均一な温度分布になる。温度センサ１３はこの空気の温度を測定するので、フィードバック制御した際の精度を向上させることができる。
【００５８】
なお、ノズル部１３０、及びバッフル板１３２を黒色の金属板によって形成すると、ノズル部１３０、及びバッフル板１３２によって放熱効果を得ることができ、温度制御の即応性を向上させることができる。
【００５９】
図１０に示す空調用ヒータは、バッフル板１３２が円錐状に形成され、その頂点が下流側になるように配置されている。また、ノズル部１３０は、頂点部分が開口された円錐状に形成され、その開口がバッフル板１３２を向くようにして配置されている。
【００６０】
このように構成された空調用ヒータでは、空気の混合効果が大きくなるので、空気の温度分布をより均一化することができる。
【００６１】
図１１に示す空調用ヒータは、短尺ダクト２４に絞り部２４Ａが形成され、この絞り部２４Ａに放熱板１２０とハロゲンランプ１８が設けられる。そして、絞り部２４Ａの下流側にバッフル板１３２が設けられる。このように構成された空調用ヒータによっても混合効果が得られる。また、バッフル板１３２によって、ハロゲンランプ１８の光が遮光され、温度センサ１３に照射されることを防止できる。さらに、バッフル板１３２を黒色の金属板とすることによって大きな放熱効果が得られる。
【００６２】
図１２に示す空調用ヒータは、図１１に示す空調用ヒータに対して、絞り部２４Ａの下流側の流路が徐々に大きくなるように形成されている。したがって、圧力損失を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明に係る空調用ヒータの構成を示す斜視図
【図２】本発明に係る空調用ヒータの側面断面図
【図３】本発明に係る空調用ヒータを用いた空調設備の構成を示すブロック図
【図４】図１と異なる構成の遮光装置を備えた空調用ヒータの説明図
【図５】図１と異なる構成の遮光装置を備えた空調用ヒータの側面断面図
【図６】放熱板を備えた空調用ヒータの側面断面図
【図７】図６と異なる構造の空調用ヒータの側面断面図
【図８】図７と異なる形状の放熱板を備えた空調用ヒータの側面断面図
【図９】混合機能を備えた空調用ヒータの側面断面図
【図１０】混合機能を備えた空調用ヒータの側面断面図
【図１１】混合機能を備えた空調用ヒータの側面断面図
【図１２】混合機能を備えた空調用ヒータの側面断面図
【符号の説明】
【００６４】
１０…空調用ヒータ、１２…ランプヒータ、１３…温度センサ、１４…遮光装置、１６…ダクト、１８…ハロゲンランプ、２０…支持フレーム、２２…ケーブル、２４…短尺ダクト、２６…留め金、４０…空調設備、４２…精密環境チャンバ室、４４…区画壁、４６…空気供給パネル、４８…空気吸気パネル、５０…ダクト、５２…送風機、５４…冷却器、５６…加熱器、５８…空調装置、６０…温度センサ、６２…デジタル調節計、６４…サイリスタ、６６…温度センサ、６８…デジタル調節計、７０…サイリスタ、７２…冷水パイプ、７４…クッションタンク、７６…冷水製造装置、７８…加熱器、８０…パイプ、８２…パイプ、８４…温度センサ、８６…デジタル調節計、８８…サイリスタ、１００、１０２…パンチングプレート、１１０、１１２、１１４、１１６…遮光板、１２０…放熱板、１３０…ノズル部、１３２…バッフル板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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