(57)【要約】【課題】  シール材を圧縮させた状態で上下の基板を重ね合わせる際に、一方の基板を他方の基板に対して正確にアライメントする。【解決手段】  下部側及び上部側テーブル１０，１１に吸着保持されている上下の基板１，２をシール材３がある程度圧縮されたときに微細アライメントを行なうものであり、下部側テーブル１０に１箇所のＸ軸方向調整用カム機構２０Ｘと一対のＹ軸方向調整用のカム機構２０Ｙ1，２０Ｙ2 とからなり、これらカム機構２０は、カム溝２１を形成したカム部材２２を有し、このカム部材２２は下部側テーブル１０に固定して設けたリニアガイド２３に沿って直進方向に往復移動可能であって、上部側テーブル１１に連結した昇降板１４には、回転軸３０の下端部に連結したカムフォロア３１がカム溝２１に係合し、カム部材２２を移動させることにより下部側テーブル１０の位置を調整する。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下２枚の基板をそれぞれ上部側及び下部側のテーブルに真空吸着させて、これら両基板間にシール材を挟んで相互に位置合わせした状態で加圧して重ね合わせる装置において、
前記下部側テーブルを定盤に対して水平方向に位置調整可能に支持させて設けられ、
前記両テーブルは、その一方が他方に対して水平方向の位置調整手段を介して連結されており、
この位置調整手段は、上下いずれか一方のテーブルを相手方に対してＸ軸方向，Ｙ軸方向及びθ方向に位置調整なカム機構により構成した
ことを特徴とする基板重ね合わせ装置。
【請求項２】
前記カム機構は、前記下部側テーブルにＸ軸方向とＹ軸方向とのいずれか一方に２箇所、他の一方には１箇所設けたカム部材と、前記上部側テーブルに前記各カム部材に対して係脱可能に設けた３箇所のカムフォロアとから構成したことを特徴とする請求項１記載の基板重ね合わせ装置。
【請求項３】
上下２枚の基板を、その間にシール材を挟んで相互に位置合わせした状態で重ね合わせる方法であって、
前記下基板を下部側テーブルに真空吸着させ、また前記上基板を上部側テーブルに真空吸着させ、
上部側テーブルを下降させて、この上部側テーブルに保持されている上基板を前記下部側テーブルに保持されている下基板に向けて押圧することによって、その間に介装されているシール材を所定量圧縮し、
この両基板間でシール材が所定量圧縮された状態で両基板間のずれを検出し、
両基板間に位置ずれがあると、一方の基板を水平面上で位置調整することにより、他方の基板に対してアライメントするようにして精密アライメントを行ない、
両基板間を精密アライメントが行なわれた後に、前記両テーブル間で、基板に対して設定された加圧力を作用させる
ことを特徴とする基板重ね合わせ方法。
【請求項４】
前記精密アライメントは前記下部側テーブルを前記上部側テーブルに対して倣うように変位させることにより行なうことを特徴とする請求項３記載の基板重ね合わせ方法。
【請求項５】
請求項３の方法により上下の基板を重ね合わせることにより製造された液晶パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルやプラズマディスプレイ等に用いられ、上下２枚の基板をアライメントした状態で重ね合わせる基板重ね合わせ装置及び基板の重ね合わせ方法に関するものであり、またこの基板重ね合わせ方法を用いて製造される液晶パネルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネルはガラス薄板等からなる２枚の透明な基板を所定のギャップを形成した状態で接合したものから構成され、このギャップ内に液晶が封入されるが、この液晶封入空間を形成するために、両基板間の周囲に概略四角形状となるようにシール材が介装されており、また両基板の平面性を確保するために、液晶封入空間の内部には微小なビーズ等のスペーサを分散させている。これら両基板は相互に位置合わせ、つまりアライメントされた状態で接合される。この基板を接合するために、上下一対からなる吸着テーブルを設けて、下部側テーブルには下基板を吸着保持させるようになし、また上基板を上部側テーブルに吸着保持させた状態で、その一方、例えば上部側テーブルを下降させることにより両基板が重ね合わせられる。このときに、両基板間に所定の加圧力を作用させて、その間に介在しているシール材を所定量圧縮させるようにする。
【０００３】
例えば、上基板をカラーフィルタ、下基板をＴＦＴ基板としたときに、上下の基板は正確に位置合わせがなされていなければならない。特に近年における液晶パネルのファインピッチ化の傾向から、上下の基板間のアライメントは極めて厳格に行なう必要がある。そこで、両基板にアライメントマークを設けておき、画像処理手段を用いて相互のアライメントマークの位置を検出して、両アライメントマーク間に位置ずれがあると、その位置補正を行なった後に加圧力を作用させる。
【０００４】
ここで、この上下の基板のアライメントは、それらを非接触状態で行なわれるのが一般的である。例えば特許文献１にあるように、上基板及び下基板を吸着保持する上下のテーブルを、それぞれ水平方向において、３軸方向（Ｘ軸方向，Ｙ軸方向及びθ方向）に位置調整可能なテーブルに真空吸着させて保持するようになし、これら上基板及び下基板を相互に所定の間隔をもって対面させた状態で、画像認識装置を用いて両基板に設けたアライメントマークを検出するように構成している。その結果、両基板のアライメントマークがそれぞれ所定の基準位置からずれていると、両テーブルの位置を調整して、上下の基板のアライメントマークを基準位置に変位させることによって、アライメントが行なわれることになる。
【特許文献１】特開平４−２７０１５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述した従来技術のように構成すると、上下の基板をそれぞれ支持する上部側，下部側の各テーブルにはそれぞれ前述した３軸方向に位置調整を行なうための駆動手段を備える必要があり、各駆動手段による誤差が累積する可能性があることから、必ずしも厳格に位置調整できない場合がある。また、上下の基板は相互に接合されて、その間に介装されるシール材を所定量圧縮するようにして重ね合わせられることから、上下の基板がアライメント時に正確に位置調整がなされていても、それらを重ね合わせて、シール材を所定量圧縮させたときに、相互の位置ずれが生じる可能性もある。例えば、上下いずれか一方または双方の基板に反り等の変形があると、基板は変形した状態でアライメントが行なわれ、その後に加圧によってこの基板が延ばされて平面状態となり、もって反り等の変形が解消される。従って、アライメント時と加圧時とでは、基板の状態変化があるために、正確なアライメントができないことになる。また、加圧によってシール材が圧縮される過程でも上下の基板間にずれが生じることもある。
【０００６】
以上のことから、アライメント精度を向上させるためには、上下の基板を重なり合わせて、シール材を圧縮させた状態で上下いずれかの基板の位置調整を行なうのが望ましい。しかしながら、シール材を圧縮した状態で上下いずれか一方のテーブルを駆動して、それに保持されている基板を水平方向に移動させると、その位置調整機構全体及び他方の基板及びそれが保持されているテーブルに応力が作用することになる。その結果、例えばＸ軸方向にテーブルを目標とする位置まで駆動したとしても、応力の作用によりＹ軸方向及びθ方向に位置ずれしたり、他方のテーブルが追従移動したりする等によって、正確なアライメントを行なえなくなる等といった問題点が生じることになる。
【０００７】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、シール材を圧縮させた状態で上下の基板を重ね合わせる際に、一方の基板を他方の基板に対して正確にアライメントできるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述した目的を達成するために、本発明は、上下２枚の基板をそれぞれ上部側及び下部側のテーブルに真空吸着させて、これら両基板間にシール材を挟んで相互に位置合わせした状態で加圧して重ね合わせる装置であって、前記下部側テーブルを定盤に対して水平方向に位置調整可能に支持させて設けられ、前記両テーブルは、その一方が他方に対して水平方向の位置調整手段を介して連結されており、この位置調整手段は、上下いずれか一方のテーブルを相手方に対してＸ軸方向，Ｙ軸方向及びθ方向に位置調整なカム機構により構成したことをその特徴とするものである。
【０００９】
上部側テーブルと下部側テーブルとの間で、両基板間に介在しているシール材をある程度圧縮するように加圧した状態で微細なアライメントを行なうようにする。その結果、基板における反り等の変形が解消され、またシール材を圧縮する際に、基板が位置ずれしたりしたとしても、その後に相互の位置ずれが検出されて、位置調整がなされるので、アライメントを極めて高精度に行なうことができる。ただし、両基板間にあまり強い加圧力を作用させた後に位置調整を行なうと、上部側テーブル及び下部側テーブルのいずれか若しくは双方に過大な応力が作用して、その荷重によって位置ずれが生じる可能性がある。そこで、基板の反り等の変形が解消され、かつシール材の圧縮度合いがある程度進んで、最早それ以上シール材を圧縮しても、両基板が実質的に位置ずれしない程度にまで加圧力を作用させた状態で、微細なアライメントを行なうようにする。これによって、上部側及び下部側の各テーブル及び位置調整のための駆動手段としてのカム機構における剛性を必要最小限のものとして、両基板間の微細アライメントを行なうことができる。
【００１０】
位置調整手段を構成するカム機構の構成としては、例えば下部側テーブルに、Ｘ軸方向に移動可能なカム部材とＹ軸方向に移動可能なカム部材と、上部側テーブルに設けられ、これら各カム部材に形成したカム溝に係合するカムフォロアとから構成することができる。この場合、Ｘ軸方向とＹ軸方向とのいずれか一方には２箇所、他の一方には１箇所のカム部材を設ける。カム部材はガイドに沿って移動可能に設けられ、カムフォロアが係合するカム溝はこの移動方向に対して水平方向に所定の角度傾斜させる。例えば、Ｘ軸方向に１箇所と、Ｙ軸方向に２箇所のカム部材を設ける場合において、１箇所のＹ軸方向のカム部材を移動させると、下部側テーブルは水平方向に回転することになり、θ方向の調整が可能となる。また、２箇所のＹ軸方向のカム部材を同時に移動させると、下部側テーブルは水平面内でＹ軸方向に移動する。さらに、Ｙ軸方向のカム部材を固定的に保持し、Ｘ軸方向のカム部材のみを移動させると、下部側テーブルは水平面内でＸ軸方向に移動する。これによって、下部側テーブルは上部側テーブルに対してＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ方向に微細に位置調整を行なえることになる。
【００１１】
また、本発明において、上下２枚の基板を、その間にシール材を挟んで相互に位置合わせした状態で重ね合わせる方法としては、  前記下基板を下部側テーブルに真空吸着させ、また前記上基板を上部側テーブルに真空吸着させ、上部側テーブルを下降させて、この上部側テーブルに保持されている上基板を前記下部側テーブルに保持されている下基板に向けて押圧することによって、その間に介装されているシール材を所定量圧縮し、この両基板間でシール材が所定量圧縮された状態で両基板間のずれを検出し、両基板間に位置ずれがあると、一方の基板を水平面上で位置調整することにより、他方の基板に対してアライメントするようにして精密アライメントを行ない、両基板間を精密アライメントが行なわれた後に、前記両テーブル間で、基板に対して設定された加圧力を作用させることをその特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、上下の基板間に介在するシール材をある程度圧縮させた状態で、相互にアライメントを行なうことによって、上下の基板を極めて正確に位置が合った状態で重ね合わせることができる等の効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。まず、図１に液晶パネルを構成する上下２枚の透明基板を示す。図中において、１は下基板であり、この下基板１は、例えばＴＦＴ基板から構成される。また、２は上基板であり、この上基板２としては、例えばカラーフィルタから構成される。そして、これら上下２枚の基板１，２を、間に液晶封入空間となるギャップを設けた状態で重ね合わせられる。この液晶封入空間を形成するために、下基板１の外周部にはシール材３のパターンが形成されている。このシール材３の一部には欠落部３ａが形成されており、この欠落部３ａは液晶注入口となるものであり、液晶封入後には閉じられることになる。
【００１４】
図２に示したように、下基板１に設けたシール材３は自由状態では所定の厚みＴを有するものであり、また必要に応じてシール材３内に間隔調整部材４が混入されている。さらに、両基板１，２間に形成される液晶封入空間の厚みを一定化すると共に、これら両基板１，２の平面度を確保するために、シール材３を設けた部位の内側には多数のビーズ５を均一に分散させるように構成したものもある。そして、上下の基板１，２間に形成される最終的なギャップＧはビーズ５をある程度圧縮する状態となし、シール材３を熱硬化させて、両基板１，２に固着させることにより接合基板が得られる。
【００１５】
上下の基板１，２は、最終的には図２に仮想線で示した状態となるように重ね合わせた接合基板とするが、この接合基板を形成するに当っては、まず２枚の基板１，２を上下に配置して、これら２枚の基板１，２の位置を検出して、相互に位置ずれがあると、いずれか一方の位置を調整するようにアライメントを行なう。このために、下基板１及び上基板２には、図１に示したように、それぞれアライメントマーク６，７が設けられており、これら両アライメントマーク６，７が正確に一致するようにして重ね合わせるようにする。なお、図面においては、アライメントマーク６，７をそれぞれ４箇所設けたものを示したが、最低限それぞれ２箇所のアライメントマークが設けられておれば良い。
【００１６】
そして、このままで最終的な接合基板となるように、加熱下で加圧することもできるが、これら２枚の基板１，２間を紫外線硬化樹脂等によりこの重ね合わせ状態に保持する仮圧着工程となし、この仮圧着工程で相互にアライメントされた２枚の基板を、別のステージでホットプレス手段により加熱下で加圧することによって、前述したギャップＧが形成させると共に、シール材３を熱硬化させるようにすることもできる。
【００１７】
いずれにしろ、基板１，２を正確にアライメントさせた状態で重ね合わせなければならない。このために、図３乃至図７に示した基板重ね合わせ装置が用いられる。ここで、以下において説明する基板重ね合わせ装置は、上下の基板１，２を仮圧着するようにしたものとするが、１段でギャップＧの形成及びシール材３の熱硬化を行なうようにすることもできる。
【００１８】
まず、図３において、１０は下基板１が載置されて、真空吸着される下部側テーブル、１１は上基板２を真空吸着により保持される上部側テーブルをそれぞれ示す。下部側テーブル１０は、定盤１２上に載置されており、この下部側テーブル１０と定盤１２との間には、複数箇所において、ベアリング１３が介装されており、これによって下部側テーブル１０は定盤１２に対して水平方向に位置調整可能に連結されている。ここで、ベアリング１３は、例えばホルダに装着した鋼球から構成され、下部側テーブル１０は定盤１２に対して限られた範囲、例えば±１０ｍｍ以下、より好ましくは±５ｍｍ以下の範囲だけ任意の方向に動き得るものとする。
【００１９】
また、上部側テーブル１１は昇降板１４に固定して設けられており、この昇降板１４は定盤１２に立設した４本のガイドロッド１５（図５参照）に沿って上下方向、つまり下部側テーブル１０に対して近接・離間する方向に変位可能となっている。そして、昇降板１４と、この昇降板１４の上部位置に設けた取付板１６との間には、昇降板１４を昇降駆動させ、かつ下降時には上基板２に対して所定の加圧力を作用させるジャッキ１７が設けられている。
【００２０】
従って、下部側テーブル１０の上面部に下基板１を搬入させて、この下基板１を真空吸着させ、また上基板２は上部側テーブル１１の下面部に真空吸着させて、これら上下の基板１，２を相対向させた状態で昇降板１４を下降させて、所定の加圧力を作用させることによって、両基板１，２は、その間に介装したシール材３が所定量圧縮されるように重ね合わせられる。そして、図示は省略するが、予め下基板１におけるシール材３の外側位置に紫外線硬化樹脂を滴下しておき、両基板１，２が重ね合わせられたときに、この紫外線硬化樹脂が上基板２に接触するようになし、この紫外線硬化樹脂を硬化させることによって、両基板１，２がシール材３を圧縮した状態に仮固定されるようになっている。
【００２１】
上下の基板１，２は相互に正確にアライメントされた状態で重ね合わせが行なわれる。このアライメントは、粗アライメントと微細アライメントとの２段階で行なうようにしている。まず、第１段階目の粗アライメントは、上下の基板１，２を離間させた状態で画像認識手段によりアライメントマーク６，７間の位置ずれを検出して、このずれを補正する。この粗アライメントは、例えば下基板１を下部側テーブル１０に、また上基板２を上部側テーブル１１に保持させた状態で行なうことができ、この場合には、相互に位置ずれがあると、下部側テーブル１０を支持する定盤１２を変位させることにより行なわれることになる。また、下基板１は下部側テーブル１０に保持させ、上基板２はロボットハンドにより保持させた状態でも、アライメントを行なうことができる。この場合には、ロボットハンドの位置を調整する。
【００２２】
以上のようにして、粗アライメントが行なわれた状態で、それぞれ下部側及び上部側テーブル１０，１１に吸着保持されている上下の基板１，２を重ね合わせるために、ジャッキ１７を作動させて、昇降板１４を下降させる。これによって、上部側テーブル１１に吸着保持されている上基板２が下基板１に近接して、この下基板１に設けられているシール材３に当接する。ここで、この段階ではシール材３は未硬化の状態にあり、従ってジャッキ１７による加圧力を上基板２に作用させることによって、シール材３が圧縮されることになる。そして、図４に示したように、このシール材３がある程度圧縮されたときに、ジャッキ１７の作動を停止させて、上下の基板１，２間の微細アライメントを行なうようにする。既に粗アライメントが行なわれているので、この微細アライメントでは、上下の基板１，２に位置ずれがあったとしても、そのずれ量は僅かなものである。
【００２３】
この微細アライメント機構としてカム機構が用いられる。即ち、図５に示したように、下部側テーブル１０には、１箇所のＸ軸方向調整用カム機構２０Ｘと、下基板１の装着部を挟んだ両側の位置に一対からなるＹ軸方向調整用のカム機構２０Ｙ1，２０Ｙ2 とが設けられている。これらカム機構２０Ｘ，２０Ｙ1，２０Ｙ2 （以下において、カム機構を総称する場合には符号２０を用いる）は全て同じ構造のものであり、その具体的な構造を図６及び図７に示す。
【００２４】
カム機構２０は、カム溝２１を形成したカム部材２２を有し、このカム部材２２は下部側テーブル１０に固定して設けたリニアガイド２３，２３に沿って直進方向に往復移動可能となっている。そして、カム部材２２の側部には作動部材２４が延在されており、この作動部材２４はねじ軸２５が挿通されたボールナットを構成しており、ねじ軸２５をモータ２６により回転駆動すると、作動部材２４がねじ軸２５の軸線方向に変位する。その結果、作動部材２４に連結したカム部材２２はリニアガイド２３に沿って直進することになる。
【００２５】
カム溝２１は、リニアガイド２３に対して水平方向に所定角度傾斜した溝であり、このカム溝２１には上部側テーブル１１（具体的にはこの上部側テーブル１１が固定されている昇降板１４）に連結した回転軸３０の下端部に連結したカムフォロア３１が係合するようになっている。そして、図３及び図４から明らかなように、昇降板１４には回転軸３０を回転自在に支持する軸受３２が３箇所設けられており、従ってカムフォロア３１は昇降板１４に回転自在に連結されることになる。
【００２６】
そこで、図７に示したように、カムフォロア３１がカム部材２２のカム溝２１に係合させた状態で、モータ２６によりねじ軸２５を回転駆動することによって、作動部材２４を介してカム部材２２を矢印Ｐ方向に向けて、カム部材２２を図中に実線で示した位置から仮想線で示した位置に移動させたとする。カムフォロア３１は、上部側テーブル１１を取り付けた昇降板１４に支持されているので、カム部材２２の移動時にはカム溝２１内で転動するが、その位置で停止しているので、カム部材２２はその移動方向と直交する方向に向けてΔＳだけ変位する。カム部材２２は下部側テーブル１０に固定的に設けたリニアガイド２３と係合しており、かつこの下部側テーブル１０は定盤１２に対してベアリング１３を介して水平方向に移動可能となっているので、下部側テーブル１０はカムフォロア３１が連結されている上部側テーブル１１に対してΔＳだけ変位するようになる。なお、図面上では動きを強調するために、カム溝２１の傾斜角を大きくしたが、微細アライメントは下部側テーブル１０の位置を僅かに調整するものであるから、このカム溝２１の傾斜角を１０°以下というように小さくすることによって、カム部材２２の移動量に対する変位量ΔSを微小化する方が調整精度の向上を図る上で望ましい。
【００２７】
そこで、３箇所設けたカム機構２０Ｘ，２０Ｙ1，２０Ｙ2 のうち、カム機構２０Ｘを作動させれば、下部側テーブル１０は上部側テーブル１１に対してＸ軸方向（図５の左右方向）に位置調整することができる。また、カム機構２０Ｙ1，２０Ｙ2を同時に作動させることによって、下部側テーブル１０は上部側テーブル１１に対してＹ軸方向（図５の上下方向）に位置調整することができる。さらに、カム機構２０Ｙ1，２０Ｙ2の一方を固定しておき、他方を作動させると、下部側テーブル１０は固定されているカム機構２０Ｙ1または２０Ｙ2を中心として水平方向に回動することになって、θ方向の位置調整を行うことができるようになる。
【００２８】
カム機構２０を以上のように構成することによって、上部側テーブル１１を下降させて、上基板２により下基板１に設けたシール材３が圧縮された図４の状態で、ジャッキ１７の作動を停止させて、両基板１，２間の微細アライメントが行なわれる。ここで、上部側テーブル１１が上昇位置にあるときには、各カムフォロア３１は下部側テーブル１０に設けた各カム部材２２のカム溝２１に対して非係合状態に保持されており、ジャッキ１７の作動による昇降板１４の下降ストロークの途中位置でカムフォロア３１がカム部材２２のカム溝２１に係合することになる。その結果、下部側テーブル１０は回転軸３０を介して上部側テーブル１１と連結した状態となる。
【００２９】
この状態からさらに昇降板１４を下降させると、上部側テーブル１１に吸着保持されている上基板２が下基板１におけるシール材３と当接して、所定量圧縮されるが、下降ストロークの途中でジャッキ１７を一旦停止させる。この状態で、上下の基板１，２に設けたアライメントマーク６，７を画像認識することによって、両基板１，２間の相対位置ずれを検出する。そして、両基板１，２間の位置ずれ量をＸ軸方向，Ｙ軸方向及びθ方向に分解して、それぞれの補正量を割り出す。そして、この補正量に応じた出力でカム機構２０Ｘ，２０Ｙ1，２０Ｙ2を駆動する。この駆動手順としては、まずカム機構２０Ｙ1，２０Ｙ2のいずれか一方を駆動して、θ方向の位置調整を行なう。次いで、カム機構２０Ｙ1，２０Ｙ2を同時に駆動してＹ軸方向の位置調整と、カム機構２０Ｘを駆動してＸ軸方向の位置調整を行なう。なお、Ｙ軸方向とＸ軸方向との位置調整はどちらを先に行なっても良い。
【００３０】
これによって、下部側テーブル１０に吸着保持されている下基板１は、上部側テーブル１１に吸着保持されている上基板２に対して直接位置調整がなされることになり、その結果両基板１，２は極めて正確にアライメントされる。このアライメント時に、両基板１，２は直接接触しておらず、その間に未硬化のシール材３が介装されているので、シール材３が撓むことで、両基板１，２間の相対的な動きが吸収されることになり、アライメントされた状態に保持できる。このようにして微細アライメントが終了した後に、さらにジャッキ１７を作動させて、両基板１，２間に所定の加圧力を作用させて、その間のシール材３がさらに圧縮される。その後に、両基板１，２間に設けた紫外線硬化樹脂を硬化させる等によりその状態を保持させるようにする。
【００３１】
このように、微細アライメントは、上基板２と下基板１との間でシール材３が所定量圧縮された段階で行なわれる。ここで、基板１，２は自由状態では反りや曲がり等が生じている場合があるが、上下から加圧力を作用させると、それらが平面状態となるように矯正される。例えば、基板１，２は、液晶パネルを構成する場合、薄いガラス板からなるものであるから、比較的小さい加圧力を作用させることによって、平面性が確保されるように矯正されることになる。また、シール材３が圧縮していく過程で、上下の基板１，２が相互に位置ずれする可能性がある。ただし、シール材３は可塑性を有するものであるから、上部側テーブル１１の下降ストロークの終端近傍まではあまり大きな加圧力を作用させなくても容易に圧縮変形する。そこで、微細アライメントは、シール材３がある程度圧縮され、かつ基板１，２の平面性が確保された状態で行なう。これによって、アライメント精度を著しく向上させることができる。
【００３２】
ここで、シール材３を所定量圧縮するに当って、上部側テーブル１１の下降ストロークのうち、最後の僅かな間隔分では大きな加圧力を作用させる必要があるが、上基板２がシール材３と接触してから、大半のストローク分移動させる間はあまり大きな加圧力を必要としない。そして、最後に大きな加圧力を作用させるが、そのときにおける上基板２の移動量は極めて小さいものであるから、実質的にずれが生じることはない。そこで、最終的に作用させる加圧力の約1／１０〜１／５程度の加圧力を作用させた状態で微細アライメントを行なうようにする。
【００３３】
微細アライメント時において、両基板１，２間にアライメント誤差が生じる他の原因としては、位置調整を行なう際に、下部側及び上部側のテーブル１０、１１間に作用する応力で相対的なずれが生じることであるが、下部側テーブル１０を上部側テーブル１１に倣うように位置調整することから、位置ずれの可能性があるのはカムフォロア３１を連結した回転軸３０の撓みや変形だけである。従って、この回転軸３０の剛性を高くすることにより、位置調整を行なう際における、下部側テーブル１０の目標移動量に対する追従性が得られることになり、また回転軸３０が応力の作用で撓んだり、変形したりするようなことがなく、極めて正確に位置調整することができる。しかも、微細アライメントは最終加圧力より遥かに低い加圧状態で行なわれることから、回転軸３０の剛性をあまり高くしなくても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】重ね合わせされる基板として、液晶パネルの基板を示す構成説明図である。
【図２】重ね合わせた基板の断面図である。
【図３】基板重ね合わせ装置の構成説明図である。
【図４】図３とは異なる作動状態を示す基板重ね合わせ装置の構成説明図である。
【図５】図３のＸ−Ｘ断面図である。
【図６】カム部材の構成を示す斜視図である。
【図７】カム部材の作動説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  下基板      ２  上基板
３  シール材      １０  下部側テーブル
１１  上部側テーブル      １２  定盤
１３  ベアリング      １４  昇降板
１５  ガイドロッド      １７  ジャッキ
２０，２０Ｘ，２０Ｙ1，２０Ｙ2  カム機構
２１  カム溝      ２２  カム部材
２３  リニアガイド      ２４  作動部材
２５  ねじ軸      ２６  モータ
３０  回転軸      ３１  カムフォロア
３２  軸受
【図１】
2005345655.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005345655.tif 000005
【図４】
2005345655.tif 000006
【図５】
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【図６】
2005345655.tif 000008
【図７】
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