(57)【要約】【課題】  組み立て及び光学調整が容易な光パワーモニタ装置を提供する。【解決手段】  この光パワーモニタ装置１では、入力ポートに入力した光は、光ファイバ３１により導波されて、その光ファイバ３１の先端に取り付けられたコリメートレンズ３１Ａによりコリメートされて出射され、受光部１１へ入射する。受光部１１へ入射した光は、受光部１１を透過し、この受光部１１の面上に形成された光学薄膜２１で反射され、再び受光部１１を透過して出射する。受光部１１から出射した光は、光ファイバ３２の先端に取り付けられたコリメートレンズ３２Ａに入射し、光ファイバ３２により導波され、出力ポートから出力される。【選択図】  図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる受光部と、
該受光部の少なくとも一方の面に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が３％以上である光学薄膜と、
を備えることを特徴とする受光デバイス。
【請求項２】
前記受光部の前記吸収層側の面に前記光学薄膜が形成されていることを特徴とする請求項１記載の受光デバイス。
【請求項３】
前記受光部の前記吸収層側の面と反対側の面に凸レンズが形成されていることを特徴とする請求項１記載の受光デバイス。
【請求項４】
入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第１受光部と、
該第１受光部の一方の面側に設けられ、入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第２受光部と、
前記第１受光部と前記第２受光部との間に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が３％以上である光学薄膜と、
を備えることを特徴とする受光デバイス。
【請求項５】
前記第１受光部および前記第２受光部それぞれの受光感度の波長依存性が相違し、
前記光学薄膜での反射率が波長依存性を有する、
ことを特徴とする請求項４記載の受光デバイス。
【請求項６】
入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる受光部と、
該受光部の第１面に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が９７％以上である光学薄膜と、
を備え、
入力ポートに入力した光を前記受光部の第２面に入射し、その光のうち前記光学薄膜で反射され前記第２面から出射した光を出力ポートから出力するとともに、前記受光部に入射した光が前記光学薄膜で反射され前記受光部から出射する間の光路に前記吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力する、
ことを特徴とする光パワーモニタ装置。
【請求項７】
前記第２面から前記第１面へ至る光路および前記第１面から前記第２面へ至る光路の何れか一方に前記吸収層が設けられていることを特徴とする請求項６記載の光パワーモニタ装置。
【請求項８】
１つの前記受光部に対して前記入力ポートおよび前記出力ポートが複数組あることを特徴とする請求項６記載の光パワーモニタ装置。
【請求項９】
前記複数組の前記入力ポートおよび前記出力ポートそれぞれと前記受光部との間の光導波構造が平面光導波路であることを特徴とする請求項６記載の光パワーモニタ装置。
【請求項１０】
入力した光の一部を第１吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第１受光部と、
該第１受光部の一方の面側に設けられ、入力した光の一部を第２吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第２受光部と、
前記第１受光部と前記第２受光部との間に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が９７％以上である光学薄膜と、
を備え、
第１入力ポートに入力した光を前記第１受光部側から入射し、その光のうち前記光学薄膜で反射され前記第１受光部側から出射した光を第１出力ポートから出力するとともに、前記第１受光部に入射した光が前記光学薄膜で反射され前記第１受光部から出射する間の光路に前記第１吸収層が設けられ、この第１吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力し、
第２入力ポートに入力した光を前記第２受光部側から入射し、その光のうち前記光学薄膜で反射され前記第２受光部側から出射した光を第２出力ポートから出力するとともに、前記第２受光部に入射した光が前記光学薄膜で反射され前記第２受光部から出射する間の光路に前記第２吸収層が設けられ、この第２吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力する、
ことを特徴とする光パワーモニタ装置。
【請求項１１】
入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる受光部と、
該受光部の一方の面に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が４７％〜５３％である光学薄膜と、
を備え、
入力ポートに入力した光を前記受光部の第１面に入射し、その光のうち前記光学薄膜で反射した光を第１出力ポートから出力し、前記受光部および前記光学薄膜を透過して第２面から出射した光を第２出力ポートから出力するとともに、前記受光部の前記第１面に入射した光が前記受光部の前記第２面から出射する間の光路に前記吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力する、
ことを特徴とする光パワーモニタ装置。
【請求項１２】
入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる受光部と、
該受光部の一方の面に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が波長依存性を有する光学薄膜と、
を備え、
入力ポートに入力した光を前記受光部の第１面に入射し、その光のうち前記光学薄膜で反射した光を第１出力ポートから出力し、前記受光部および前記光学薄膜を透過して第２面から出射した光を第２出力ポートから出力するとともに、前記受光部の前記第１面に入射した光が前記受光部の前記第２面から出射する間の光路に前記吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力する、
ことを特徴とする光パワーモニタ装置。
【請求項１３】
前記受光部の前記第２面に前記光学薄膜が形成されていることを特徴とする請求項１１または１２に記載の光パワーモニタ装置。
【請求項１４】
入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる受光部と、
該受光部の第１面に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が４７％〜５３％である第１光学薄膜と、
該受光部の第２面に形成され、前記波長帯域において反射率が９７％以上である第２光学薄膜と、
を備え、
入力ポートに入力した光を前記受光部の前記第１面に入射し、その光のうち前記第１光学薄膜で反射した光を第１出力ポートから出力し、前記第１光学薄膜を透過し前記第２光学薄膜で反射して前記第１面から出射した光を第２出力ポートから出力するとともに、前記受光部の前記第１面に入射した光が前記第２光学薄膜で反射して前記第１面から出射する間の光路に前記吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力する、
ことを特徴とする光パワーモニタ装置。
【請求項１５】
入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる受光部と、
該受光部の第１面に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が波長依存性を有する第１光学薄膜と、
該受光部の第２面に形成され、前記波長帯域において反射率が９７％以上である第２光学薄膜と、
を備え、
入力ポートに入力した光を前記受光部の前記第１面に入射し、その光のうち前記第１光学薄膜で反射した光を第１出力ポートから出力し、前記第１光学薄膜を透過し前記第２光学薄膜で反射して前記第１面から出射した光を第２出力ポートから出力するとともに、前記受光部の前記第１面に入射した光が前記第２光学薄膜で反射して前記第１面から出射する間の光路に前記吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力する、
ことを特徴とする光パワーモニタ装置。
【請求項１６】
前記受光部の前記第１面から前記第１出力ポートへ至る光路のみに前記第１光学薄膜が設けられていることを特徴とする請求項１４または１５に記載の光パワーモニタ装置。
【請求項１７】
入力した光の一部を第１吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第１受光部と、
該第１受光部の一方の面側に設けられ、入力した光の一部を第２吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第２受光部と、
前記第１受光部と前記第２受光部との間に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が４７％〜５３％である光学薄膜と、
を備え、
入力ポートに入力した光を前記第１受光部側から入射し、その光のうち前記光学薄膜で反射した光を第１出力ポートから出力し、前記光学薄膜を透過し前記第２受光部側から出射した光を第２出力ポートから出力するとともに、
前記第１受光部内で前記光学薄膜で反射する光の光路に前記第１吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力し、
前記第２受光部内で前記光学薄膜を透過する光の光路に前記第２吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力する、
ことを特徴とする光パワーモニタ装置。
【請求項１８】
入力した光の一部を第１吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第１受光部と、
該第１受光部の一方の面側に設けられ、入力した光の一部を第２吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第２受光部と、
前記第１受光部と前記第２受光部との間に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が波長依存性を有する光学薄膜と、
を備え、
入力ポートに入力した光を前記第１受光部側から入射し、その光のうち前記光学薄膜で反射した光を第１出力ポートから出力し、前記光学薄膜を透過し前記第２受光部側から出射した光を第２出力ポートから出力するとともに、
前記第１受光部内で前記光学薄膜で反射する光の光路に前記第１吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力し、
前記第２受光部内で前記光学薄膜を透過する光の光路に前記第２吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力する、
ことを特徴とする光パワーモニタ装置。
【請求項１９】
前記第１受光部および前記第２受光部それぞれの受光感度の波長依存性が相違することを特徴とする請求項１７または１８に記載の光パワーモニタ装置。
【請求項２０】
前記受光部と光結合される光導波路はコアが拡大されたものであることを特徴とする請求項５〜１９の何れか１項に光パワーモニタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、受光デバイスおよび光パワーモニタ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光伝送システム等において、伝送される信号光等のパワーをモニタする装置が用いられる。非特許文献１に記載された光パワーモニタ装置は、第１光導波路、第２光導波路、光フィルタおよび受光部を備えている。第１光導波路および第２光導波路それぞれの端面は光フィルタに対向しており、第１光導波路および第２光導波路と受光部とは光フィルタを挟んで配置されている。
【０００３】
この光パワーモニタ装置では、第１光導波路を導波してきて端面から外部に出射された光は、一部が光フィルタを透過し、残部が光フィルタにより反射される。光フィルタにより反射された光は、第２光導波路の端面に入射し、該第２光導波路を導波していく。一方、光フィルタを透過した光は、受光部により受光される。そして、受光部が受光した光のパワーに応じた値の電気信号が該受光部から出力され、この電気信号に基づいて、第１光導波路から第２光導波路へ導波していく光のパワーがモニタされる。
【非特許文献１】サンテック社カタログ、"Integrated Tapped Photo Detector (Single Channel) ＩＰＤ-１"、[online]、［平成１６年３月１５日検索］、インターネット＜ＵＲＬ: http://www.santec-net.co.jp/pdf/IPD-1.pdf＞
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
非特許文献１に記載された上記構成の光パワーモニタ装置は多チャンネル化が困難であるという問題点を有している。すなわち、上記構成の光パワーモニタ装置は、合分波または分岐の毎に独立した光フィルタが必要となり、例えば、合分波または分岐が２箇所である場合には３個の光フィルタが必要となる。このことから、多チャンネル化しようとすると、光学部品の点数が多くなって、組み立ての際の光学調整が困難となり、また、入力ポートから出力ポートへ至るまでの光路長が長くなって、入出力ポートにおけるコリメート光学系の高性能化が要求される。
【０００５】
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、組み立て及び光学調整が容易な光パワーモニタ装置、および、このような光パワーモニタ装置において好適に用いられ得る受光デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る受光デバイスは、(1) 入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる受光部と、(2) 該受光部の少なくとも一方の面に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が３％以上である光学薄膜と、を備えることを特徴とする。ここで、受光部の吸収層側の面に光学薄膜が形成されているのが好適であり、また、受光部の吸収層側の面と反対側の面に凸レンズが形成されているのも好適である。
【０００７】
また、本発明に係る受光デバイスは、(1) 入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第１受光部と、(2) 該第１受光部の一方の面側に設けられ、入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第２受光部と、(3) 第１受光部と第２受光部との間に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が３％以上である光学薄膜と、を備えることを特徴とする。ここで、第１受光部および第２受光部それぞれの受光感度の波長依存性が相違し、光学薄膜での反射率が波長依存性を有するのが好適である。
【０００８】
この受光デバイスにおいては、入射した光の一部のみを吸収する受光部の面上に光学薄膜が形成されている。この光学薄膜における反射率は、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において３％以上であり、好適には５％以上である。また、光学薄膜における反射は、全反射（反射率９７％以上）であってもよいし、部分反射（反射率４７％〜５３％）であってもよいし、また、波長依存性を有していてもよい。
【０００９】
本発明に係る光パワーモニタ装置は、上記の本発明に係る受光デバイスを備えるものである。
【００１０】
本発明に係る光パワーモニタ装置は、(1) 入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる受光部と、(2) 該受光部の第１面に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が９７％以上である光学薄膜と、を備えることを特徴とする。さらに、入力ポートに入力した光を受光部の第２面に入射し、その光のうち光学薄膜で反射され第２面から出射した光を出力ポートから出力するとともに、受光部に入射した光が光学薄膜で反射され受光部から出射する間の光路に吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力することを特徴とする。ここで、第２面から第１面へ至る光路および第１面から第２面へ至る光路の何れか一方に吸収層が設けられているのが好適である。１つの受光部に対して入力ポートおよび出力ポートが複数組あるのが好適である。また、複数組の入力ポートおよび出力ポートそれぞれと受光部との間の光導波構造が平面光導波路であるのが好適である。
【００１１】
また、本発明に係る光パワーモニタ装置は、(1) 入力した光の一部を第１吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第１受光部と、(2) 該第１受光部の一方の面側に設けられ、入力した光の一部を第２吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第２受光部と、(3) 第１受光部と第２受光部との間に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が９７％以上である光学薄膜と、を備えることを特徴とする。さらに、(1) 第１入力ポートに入力した光を第１受光部側から入射し、その光のうち光学薄膜で反射され第１受光部側から出射した光を第１出力ポートから出力するとともに、第１受光部に入射した光が光学薄膜で反射され第１受光部から出射する間の光路に第１吸収層が設けられ、この第１吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力し、(2) 第２入力ポートに入力した光を第２受光部側から入射し、その光のうち光学薄膜で反射され第２受光部側から出射した光を第２出力ポートから出力するとともに、第２受光部に入射した光が光学薄膜で反射され第２受光部から出射する間の光路に第２吸収層が設けられ、この第２吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力する、ことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係る光パワーモニタ装置は、(1) 入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる受光部と、(2) 該受光部の一方の面に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が４７％〜５３％である光学薄膜と、を備えることを特徴とする。さらに、入力ポートに入力した光を受光部の第１面に入射し、その光のうち光学薄膜で反射した光を第１出力ポートから出力し、受光部および光学薄膜を透過して第２面から出射した光を第２出力ポートから出力するとともに、受光部の第１面に入射した光が受光部の第２面から出射する間の光路に吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力することを特徴とする。或いは、本発明に係る光パワーモニタ装置は、上記構成において、反射率が４７％〜５３％である光学薄膜に替えて、反射率が波長依存性を有する光学薄膜を備えることを特徴とする。ここで、受光部の第２面に光学薄膜が形成されているのが好適である。
【００１３】
また、本発明に係る光パワーモニタ装置は、(1) 入力した光の一部を吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる受光部と、(2) 該受光部の第１面に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が４７％〜５３％である第１光学薄膜と、(3) 該受光部の第２面に形成され、該波長帯域において反射率が９７％以上である第２光学薄膜と、を備えることを特徴とする。さらに、入力ポートに入力した光を受光部の第１面に入射し、その光のうち第１光学薄膜で反射した光を第１出力ポートから出力し、第１光学薄膜を透過し第２光学薄膜で反射して第１面から出射した光を第２出力ポートから出力するとともに、受光部の第１面に入射した光が第２光学薄膜で反射して第１面から出射する間の光路に吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力することを特徴とする。或いは、本発明に係る光パワーモニタ装置は、上記構成において、反射率が４７％〜５３％である第１光学薄膜に替えて、反射率が波長依存性を有する第１光学薄膜を備えることを特徴とする。ここで、受光部の第１面から第１出力ポートへ至る光路のみに第１光学薄膜が設けられているのが好適である。
【００１４】
また、本発明に係る光パワーモニタ装置は、(1) 入力した光の一部を第１吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第１受光部と、(2) 該第１受光部の一方の面側に設けられ、入力した光の一部を第２吸収層により吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる第２受光部と、(3) 第１受光部と第２受光部との間に形成され、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において反射率が４７％〜５３％である光学薄膜と、を備えることを特徴とする。さらに、(1) 入力ポートに入力した光を第１受光部側から入射し、その光のうち光学薄膜で反射した光を第１出力ポートから出力し、光学薄膜を透過し第２受光部側から出射した光を第２出力ポートから出力するとともに、(2) 第１受光部内で光学薄膜で反射する光の光路に第１吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力し、(3) 第２受光部内で光学薄膜を透過する光の光路に第２吸収層が設けられ、この吸収層において吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力することを特徴とする。或いは、本発明に係る光パワーモニタ装置は、上記構成において、反射率が４７％〜５３％である光学薄膜に替えて、反射率が波長依存性を有する光学薄膜を備えることを特徴とする。ここで、第１受光部および第２受光部それぞれの受光感度の波長依存性が相違するのが好適である。
【００１５】
以上の光パワーモニタ装置において、受光部と光結合される光導波路はコアが拡大されたものであるのが好適である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る光パワーモニタ装置は、組み立て及び光学調整が容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一または同様の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１８】
先ず、本発明に係る受光デバイスの実施形態について、図１〜図８を用いて説明する。
【００１９】
図１は、本実施形態に係る受光デバイス１００の断面図である。この図に示される受光デバイス１００は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、この受光部１１の下面（吸収層１１Ａ側の面と反対側の面）に形成された光学薄膜２１とを備える。受光部１１は、入力した光の一部を吸収層１１Ａにより吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる。なお、受光部１１の上面（光学薄膜２１が形成された面とは反対側の面）には、反射低減膜が形成されているのが好適である。
【００２０】
受光部１１の下面に形成されている光学薄膜２１における反射率は、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において３％以上であり、好適には、５％以上である。また、光学薄膜２１における反射は、全反射（反射率９７％以上）であってもよいし、部分反射（反射率４７％〜５３％）であってもよいし、また、波長依存性を有していてもよい。
【００２１】
図２は、他の実施形態に係る受光デバイス２００の断面図である。この図に示される受光デバイス２００は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、この受光部１１の上面（吸収層１１Ａ側の面）に形成された光学薄膜２２とを備える。なお、受光部１１の上面（光学薄膜２２が形成された面とは反対側の面）には、反射低減膜が形成されているのが好適である。
【００２２】
受光部１１の上面に形成されている光学薄膜２２における反射率は、Ｏバンド，Ｓバンド，Ｃバンド，ＬバンドおよびＵバンドの少なくとも一つからなる波長帯域において３％以上であり、好適には、５％以上である。また、光学薄膜２２における反射は、全反射（反射率９７％以上）であってもよいし、部分反射（反射率４７％〜５３％）であってもよいし、また、波長依存性を有していてもよい。
【００２３】
図３は、他の実施形態に係る受光デバイス３００の断面図である。この図に示される受光デバイス３００は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、受光部１１の下面（吸収層１１Ａ側の面と反対側の面）に形成された光学薄膜２１と、受光部１１の上面（吸収層１１Ａ側の面）に形成された光学薄膜２２とを備える。
【００２４】
光学薄膜２１および光学薄膜２２それぞれにおける反射率は、前述のとおりであり、両者の反射特性が同じであってもよいが、両者の反射特性が相違しているのが好適である。例えば、一方の光学薄膜における反射が全反射であって、他方の光学薄膜における反射が部分反射であり或いは波長依存性を有するのが好適である。
【００２５】
図４は、他の実施形態に係る受光デバイス４００の断面図である。この図に示される受光デバイス４００は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、この受光部１１の上面（吸収層１１Ａ側の面）に形成された光学薄膜２２とを備え、受光部１１の下面側に凸レンズ１１Ｂが形成されている。このように凸レンズ１１Ｂが形成されていることにより、受光部１１に対し入出射する光をコリメートまたは集光することができる。
【００２６】
図５は、他の実施形態に係る受光デバイス５００の断面図である。この図に示される受光デバイス５００は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、吸収層１２Ａを含む受光部１２と、これら受光部１１と受光部１２との間に形成された光学薄膜２２とを備える。
【００２７】
受光部１１と同様に、受光部１２は、入力した光の一部を吸収層１２Ａにより吸収して、その吸収した光のパワーに応じた値の電気信号を出力するとともに、入力した光の残部を透過させる。図６に示されるように受光部１１および受光部１２それぞれの受光感度（受光パワーから出力電気への変換効率）の波長依存性が相違するのが好適であり、また、光学薄膜２２での反射率が波長依存性を有するのが好適である。吸収層の厚みやキャリア濃度などを変えることで、受光部の受光感度の波長依存性を変えることができる。
【００２８】
図７は、受光部１１の断面構造の一例を示す図である。この図に示される受光部は、ｎ型ＩｎＰ基板８０１上に、ｎ−型ＩｎＰバッファ層８０２およびｎ−型ＩｎＧａＡｓＰ層８０３が順に形成され、ｎ−型ＩｎＧａＡｓＰ層８０３内に、ｐ＋型ＩｎＰ領域８０４およびｎ−型ＩｎＰ領域８０５が形成され、更に、その上に、パシベーション膜８０６、アノード電極８０７および薄膜８０８が形成されている。一方、ｎ型ＩｎＰ基板８０１の裏面には、カソード電極８０９および薄膜８１０が形成されている。この図に示される構造では、光が入出射する薄膜８０８と薄膜８１０との間の全体において、吸収層としてのｎ−型ＩｎＧａＡｓＰ層８０３が存在する。薄膜８０８および薄膜８１０のうち少なくとも一方は、上述した反射率３％以上の光学薄膜である。
【００２９】
このような構造の受光部（すなわち、フォトダイオード）において、アノード電極８０７とカソード電極８０９との間に逆バイアス電圧が印加され、薄膜８０８または薄膜８１０に光が入射すると、ｐｎ接合部８１１において電荷が発生し、その電荷はアノード電極８０７およびカソード電極８０９から出力される。この出力される電荷の量が、入射した光のパワーを表す。
【００３０】
図８は、受光部１１の断面構造の他の例を示す図である。この図に示される受光部は、ｎ型ＩｎＰ基板９０１上に、ｎ−型ＩｎＰバッファ層９０２およびｎ−型ＩｎＧａＡｓＰ層９０３が順に形成され、ｎ−型ＩｎＧａＡｓＰ層９０３内に、ｐ＋型ＩｎＰ領域９０４およびｎ−型ＩｎＰ領域９０５が形成され、更に、その上に、パシベーション膜９０６、アノード電極９０７および薄膜９０８が形成されている。一方、ｎ型ＩｎＰ基板９０１の裏面には、カソード電極９０９および薄膜９１０が形成されている。この図に示される構造では、光が入出射する薄膜９０８と薄膜９１０との間の一部において、吸収層としてのｎ−型ＩｎＧａＡｓＰ層９０３は存在しない。薄膜９０８および薄膜９１０のうち少なくとも一方は、上述した反射率３％以上の光学薄膜である。
【００３１】
このような構造の受光部（すなわち、フォトダイオード）において、アノード電極９０７とカソード電極９０９との間に逆バイアス電圧が印加され、薄膜９０８または薄膜９１０に光が入射すると、ｎ−型ＩｎＧａＡｓＰ層９０３付近のｐｎ接合部９１１において電荷が発生し、その電荷はアノード電極９０７およびカソード電極９０９から出力される。この出力される電荷の量が、入射した光のパワーを表す。なお、この構造では、ｎ−型ＩｎＧａＡｓＰ層９０３が無い部分に入射した光は透過して出射される。
【００３２】
以下では、以上に説明したような受光デバイスを用いた光パワーモニタ装置の実施形態について、図９〜図１５を用いて説明する。
【００３３】
図９は、第１実施形態に係る光パワーモニタ装置１の構成図である。この図に示される光パワーモニタ装置１は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、この受光部１１の下面（吸収層１１Ａ側の面と反対側の面）に形成された光学薄膜２１と、光ファイバ３１，３２とを備える。本実施形態では、光学薄膜２１における反射は、全反射であって反射率が９７％以上である。光ファイバ３１，３２それぞれは、受光部１１の一方の面の側に設けられている。
【００３４】
この光パワーモニタ装置１では、入力ポートに入力した光は、光ファイバ３１により導波されて、その光ファイバ３１の先端に取り付けられたコリメートレンズ３１Ａによりコリメートされて出射され、受光部１１へ入射する。受光部１１へ入射した光は、受光部１１を透過し、光学薄膜２１で反射され、再び受光部１１を透過して出射する。そして、受光部１１から出射した光は、光ファイバ３２の先端に取り付けられたコリメートレンズ３２Ａに入射し、光ファイバ３２により導波され、出力ポートから出力される。
【００３５】
受光部１１に入射した光が光学薄膜２１で反射され受光部１１から出射する間の光路に吸収層１１Ａが設けられている。また、好適には、受光部１１に入射してから光学薄膜２１へ至る光路、および、光学薄膜２１で反射されてから受光部１１から出射するまでの光路、の何れか一方に吸収層１１Ａが設けられている。この吸収層１１Ａを光が通過することにより、その光のうちの一部が吸収層１１Ａにおいて吸収され、この吸収された光のパワーに応じた値の電気信号が出力される。
【００３６】
すなわち、この光パワーモニタ装置１では、入力ポートに入力した光の大部分は出力ポートから出力されるとともに、その光の一部が吸収されて電気信号が出力される。この電気信号の値は、入力ポートに入力して出力ポートから出力される光のパワーを表す。このように、光パワーモニタ装置１では、入力ポートおよび出力ポートの間に、光導波構造である光ファイバの他には、受光部１１および光学薄膜２１が一体化されたものが設けられるだけである。したがって、光パワーモニタ装置１は、組み立て及び光学調整が容易であって、多チャンネル化も容易である。
【００３７】
なお、光ファイバ３１，３２の先端にコリメートレンズが取り付けられていてもよいが、光ファイバ３１，３２の先端を含む長手方向の一定範囲においてコア径が拡大されていてもよい。このようにすることにより、光ファイバ３１，３２の先端のＮＡが小さくなり、光ファイバ３１から光ファイバ３２への光結合の際の損失が低減される。
【００３８】
図１０は、第２実施形態に係る光パワーモニタ装置２の構成図である。この図に示される光パワーモニタ装置２は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、この受光部１１の下面（吸収層１１Ａ側の面と反対側の面）に形成された光学薄膜２１と、光ファイバ３１〜３４とを備える。本実施形態では、光学薄膜２１における反射は、全反射であって反射率が９７％以上である。光ファイバ３１〜３４それぞれは、受光部１１の一方の面の側に設けられている。
【００３９】
この光パワーモニタ装置２では、第１入力ポートに入力した光は、光ファイバ３１により導波されて、その光ファイバ３１の先端に取り付けられたコリメートレンズ３１Ａによりコリメートされて出射され、受光部１１へ入射する。受光部１１へ入射した光は、受光部１１を透過し、光学薄膜２１で反射され、再び受光部１１を透過して出射する。そして、受光部１１から出射した光は、光ファイバ３２の先端に取り付けられたコリメートレンズ３２Ａに入射し、光ファイバ３２により導波され、第１出力ポートから出力される。
【００４０】
また、同様に、第２入力ポートに入力した光は、光ファイバ３３により導波されて、その光ファイバ３３の先端に取り付けられたコリメートレンズ３３Ａによりコリメートされて出射され、受光部１１へ入射する。受光部１１へ入射した光は、受光部１１を透過し、光学薄膜２１で反射され、再び受光部１１を透過して出射する。そして、受光部１１から出射した光は、光ファイバ３４の先端に取り付けられたコリメートレンズ３４Ａに入射し、光ファイバ３４により導波され、第２出力ポートから出力される。
【００４１】
受光部１１に入射した光が光学薄膜２１で反射され受光部１１から出射する間の光路に吸収層１１Ａが設けられている。また、受光部１１に入射してから光学薄膜２１へ至る光路、および、光学薄膜２１で反射されてから受光部１１から出射するまでの光路、の何れか一方に吸収層１１Ａが設けられているのも好適である。この吸収層１１Ａを光が通過することにより、その光のうちの一部が吸収層１１Ａにおいて吸収され、この吸収された光のパワーに応じた値の電気信号が出力される。すなわち、この光パワーモニタ装置２は、前述の第１実施形態に係る光パワーモニタ装置１と同様に動作し同様の効果を奏し、加えて、多チャンネル化されたものである。
【００４２】
図１１は、第３実施形態に係る光パワーモニタ装置３の構成図である。この図に示される光パワーモニタ装置３は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、この受光部１１の下面（吸収層１１Ａ側の面と反対側の面）に形成された光学薄膜２１と、平面光導波路４１〜４４とを備える。本実施形態では、光学薄膜２１における反射は、全反射であって反射率が９７％以上である。平面光導波路４１〜４４それぞれは、平板状の基板４０上に形成された光導波路である。平面光導波路４１〜４４それぞれは、受光部１１の一方の面の側に設けられている。
【００４３】
この光パワーモニタ装置３では、第１入力ポートに入力した光は、平面光導波路４１により導波され、その平面光導波路４１の先端から出射され、受光部１１へ入射する。受光部１１へ入射した光は、受光部１１を透過し、光学薄膜２１で反射され、再び受光部１１を透過して出射する。そして、受光部１１から出射した光は、平面光導波路４２の先端に入射し、平面光導波路４２により導波され、第１出力ポートから出力される。
【００４４】
また、同様に、第２入力ポートに入力した光は、平面光導波路４３により導波され、その平面光導波路４３の先端から出射され、受光部１１へ入射する。受光部１１へ入射した光は、受光部１１を透過し、光学薄膜２１で反射され、再び受光部１１を透過して出射する。そして、受光部１１から出射した光は、平面光導波路４４の先端に入射し、平面光導波路４４により導波され、第２出力ポートから出力される。
【００４５】
受光部１１に入射した光が光学薄膜２１で反射され受光部１１から出射する間の光路に吸収層１１Ａが設けられている。また、受光部１１に入射してから光学薄膜２１へ至る光路、および、光学薄膜２１で反射されてから受光部１１から出射するまでの光路、の何れか一方に吸収層１１Ａが設けられているのも好適である。この吸収層１１Ａを光が通過することにより、その光のうちの一部が吸収層１１Ａにおいて吸収され、この吸収された光のパワーに応じた値の電気信号が出力される。すなわち、この光パワーモニタ装置３は、前述の第２実施形態に係る光パワーモニタ装置１と同様に動作し同様の効果を奏する。加えて、この光パワーモニタ装置３では、２組の入力ポートおよび出力ポートそれぞれと受光部１１との間の光導波構造が平面光導波路４１〜４４であって一体化されているので、組み立て及び光学調整が更に容易である。
【００４６】
図１２は、第４実施形態に係る光パワーモニタ装置４の構成図である。この図に示される光パワーモニタ装置４は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、吸収層１２Ａを含む受光部１２と、これら受光部１１と受光部１２との間に形成された光学薄膜２１と、を備える。本実施形態では、光学薄膜２１における反射は、全反射であって反射率が９７％以上である。光ファイバ３１，３２それぞれは一方の受光部１１の側に設けられており、光ファイバ３３，３４それぞれは他方の受光部１２の側に設けられている。
【００４７】
この光パワーモニタ装置４では、第１入力ポートに入力した光は、光ファイバ３１により導波されて、その光ファイバ３１の先端に取り付けられたコリメートレンズ３１Ａによりコリメートされて出射され、一方の受光部１１へ入射する。受光部１１へ入射した光は、受光部１１を透過し、光学薄膜２１で反射され、再び受光部１１を透過して出射する。そして、受光部１１から出射した光は、光ファイバ３２の先端に取り付けられたコリメートレンズ３２Ａに入射し、光ファイバ３２により導波され、第１出力ポートから出力される。
【００４８】
また、第２入力ポートに入力した光は、光ファイバ３３により導波されて、その光ファイバ３３の先端に取り付けられたコリメートレンズ３３Ａによりコリメートされて出射され、他方の受光部１２へ入射する。受光部１２へ入射した光は、受光部１２を透過し、光学薄膜２１で反射され、再び受光部１２を透過して出射する。そして、受光部１２から出射した光は、光ファイバ３４の先端に取り付けられたコリメートレンズ３４Ａに入射し、光ファイバ３４により導波され、第２出力ポートから出力される。
【００４９】
受光部１１に入射した光が光学薄膜２１で反射され受光部１１から出射する間の光路に吸収層１１Ａが設けられている。また、受光部１１に入射してから光学薄膜２１へ至る光路、および、光学薄膜２１で反射されてから受光部１１から出射するまでの光路、の何れか一方に吸収層１１Ａが設けられているのも好適である。この吸収層１１Ａを光が通過することにより、その光のうちの一部が吸収層１１Ａにおいて吸収され、この吸収された光のパワーに応じた値の電気信号が出力される。
【００５０】
また、受光部１２に入射した光が光学薄膜２１で反射され受光部１２から出射する間の光路に吸収層１２Ａが設けられている。また、受光部１２に入射してから光学薄膜２１へ至る光路、および、光学薄膜２１で反射されてから受光部１２から出射するまでの光路、の何れか一方に吸収層１２Ａが設けられているのも好適である。この吸収層１２Ａを光が通過することにより、その光のうちの一部が吸収層１２Ａにおいて吸収され、この吸収された光のパワーに応じた値の電気信号が出力される。
【００５１】
すなわち、この光パワーモニタ装置４は、前述の第２実施形態に係る光パワーモニタ装置２と同様に動作し同様の効果を奏する。
【００５２】
図１３は、第５実施形態に係る光パワーモニタ装置５の構成図である。この図に示される光パワーモニタ装置５は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、この受光部１１の下面（吸収層１１Ａ側の面と反対側の面）に形成された光学薄膜２１と、光ファイバ３１〜３３とを備える。本実施形態では、光学薄膜２１における反射は、部分反射であって反射率が４７％〜５３％であり、或いは、波長依存性を有する。光ファイバ３１，３２それぞれは受光部１１の一方の面の側に設けられており、光ファイバ３３は受光部１１の他方の面の側に設けられている。
【００５３】
この光パワーモニタ装置５では、入力ポートに入力した光は、光ファイバ３１により導波されて、その光ファイバ３１の先端に取り付けられたコリメートレンズ３１Ａによりコリメートされて出射され、受光部１１へ入射する。受光部１１へ入射した光は、受光部１１を透過し、光学薄膜２１で一部が反射され残部が透過する。光学薄膜２１で反射された光は、再び受光部１１を透過して出射し、光ファイバ３２の先端に取り付けられたコリメートレンズ３２Ａに入射し、光ファイバ３２により導波され、第１出力ポートから出力される。一方、光学薄膜２１を透過した光は、光ファイバ３３の先端に取り付けられたコリメートレンズ３３Ａに入射し、光ファイバ３３により導波され、第２出力ポートから出力される。
【００５４】
受光部１１に入射した光が光学薄膜２１に到達する間の光路に吸収層１１Ａが設けられている。この吸収層１１Ａを光が通過することにより、その光のうちの一部が吸収層１１Ａにおいて吸収され、この吸収された光のパワーに応じた値の電気信号が出力される。また、光学薄膜２１における反射率が部分反射である場合には、この光学薄膜２１において光は２分岐される。一方、光学薄膜２１における反射率が波長依存性を有する場合には、この光学薄膜２１において光は分波される。
【００５５】
すなわち、この光パワーモニタ装置５では、入力ポートに入力した光は光学薄膜２１において分岐または分波されて第１出力ポートまたは第２出力ポートから出力されるとともに、その光の一部が吸収されて電気信号が出力される。この電気信号の値は、入力ポートに入力して出力ポートから出力される光のパワーを表す。
【００５６】
このように、光パワーモニタ装置５では、入力ポートおよび出力ポートの間に、光導波構造である光ファイバの他には、受光部１１および光学薄膜２１が一体化されたものが設けられるだけである。したがって、光パワーモニタ装置５は、組み立て及び光学調整が容易であって、多チャンネル化も容易であり、更には、分岐または分波も可能である。
【００５７】
図１４は、第６実施形態に係る光パワーモニタ装置６の構成図である。この図に示される光パワーモニタ装置６は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、受光部１１の下面（吸収層１１Ａ側の面と反対側の面）に形成された光学薄膜２１と、受光部１１の上面（吸収層１１Ａ側の面）に形成された光学薄膜２２と、光ファイバ３１〜３３とを備える。本実施形態では、光学薄膜２１における反射は、部分反射であって反射率が４７％〜５３％であり、或いは、波長依存性を有する。光学薄膜２２における反射は、全反射であって反射率が９７％以上である。光ファイバ３１〜３３それぞれは、光学薄膜２１の側に設けられている。
【００５８】
この光パワーモニタ装置６では、入力ポートに入力した光は、光ファイバ３１により導波されて、その光ファイバ３１の先端に取り付けられたコリメートレンズ３１Ａによりコリメートされて出射され、光学薄膜２１へ入射して、この光学薄膜２１で一部が反射され残部が透過する。光学薄膜２１で反射された光は、光ファイバ３２の先端に取り付けられたコリメートレンズ３２Ａに入射し、光ファイバ３２により導波され、第１出力ポートから出力される。一方、光学薄膜２１を透過した光は、受光部１１を透過し、光学薄膜２２で反射され、再び受光部１１を透過して出射し、光学薄膜２１を経ることなく、光ファイバ３３の先端に取り付けられたコリメートレンズ３３Ａに入射し、光ファイバ３３により導波され、第２出力ポートから出力される。
【００５９】
受光部１１に入射した光が光学薄膜２２に到達する間の光路に吸収層１１Ａが設けられている。この吸収層１１Ａを光が通過することにより、その光のうちの一部が吸収層１１Ａにおいて吸収され、この吸収された光のパワーに応じた値の電気信号が出力される。また、光学薄膜２１における反射率が部分反射である場合には、この光学薄膜２１において光は２分岐される。一方、光学薄膜２１における反射率が波長依存性を有する場合には、この光学薄膜２１において光は分波される。
【００６０】
すなわち、この光パワーモニタ装置６では、入力ポートに入力した光は光学薄膜２１において分岐または分波されて第１出力ポートまたは第２出力ポートから出力されるとともに、その光の一部が吸収されて電気信号が出力される。この電気信号の値は、入力ポートに入力して出力ポートから出力される光のパワーを表す。
【００６１】
このように、光パワーモニタ装置６では、入力ポートおよび出力ポートの間に、光導波構造である光ファイバの他には、受光部１１および光学薄膜２１が一体化されたものが設けられるだけである。したがって、光パワーモニタ装置６は、組み立て及び光学調整が容易であって、多チャンネル化も容易であり、更には、分岐または分波も可能である。
【００６２】
図１５は、第７実施形態に係る光パワーモニタ装置７の構成図である。この図に示される光パワーモニタ装置７は、吸収層１１Ａを含む受光部１１と、吸収層１２Ａを含む受光部１２と、これら受光部１１と受光部１２との間に形成された光学薄膜２２と、を備える。本実施形態では、光学薄膜２２における反射は、部分反射であって反射率が４７％〜５３％であり、或いは、波長依存性を有する。光ファイバ３１，３２それぞれは受光部１２の側に設けられており、光ファイバ３３は受光部１１の側に設けられている。
【００６３】
この光パワーモニタ装置７では、入力ポートに入力した光は、光ファイバ３１により導波されて、その光ファイバ３１の先端に取り付けられたコリメートレンズ３１Ａによりコリメートされて出射され、受光部１２へ入射する。受光部１２へ入射した光は、受光部１２を透過し、光学薄膜２２で一部が反射され残部が透過する。光学薄膜２２で反射された光は、再び受光部１２を透過して出射し、光ファイバ３２の先端に取り付けられたコリメートレンズ３２Ａに入射し、光ファイバ３２により導波され、第１出力ポートから出力される。一方、光学薄膜２２を透過した光は、受光部１１を透過して出射し、光ファイバ３３の先端に取り付けられたコリメートレンズ３３Ａに入射し、光ファイバ３３により導波され、第２出力ポートから出力される。
【００６４】
受光部１２内で光学薄膜２２で反射する光の光路に吸収層１２Ａが設けられ、この吸収層１２Ａにおいて吸収した光のパワーに応じた値の電気信号が出力される。また、受光部１１内で光学薄膜２２を透過する光の光路に吸収層１１Ａが設けられ、この吸収層１１Ａにおいて吸収した光のパワーに応じた値の電気信号が出力される。また、光学薄膜２２における反射率が部分反射である場合には、この光学薄膜２２において光は２分岐される。一方、光学薄膜２２における反射率が波長依存性を有する場合には、この光学薄膜２２において光は分波される。
【００６５】
また、光学薄膜での反射が波長依存性を有する場合には、受光部１１および２受光部１２それぞれの受光感度の波長依存性が相違するのが好適である。すなわち、光学薄膜２２での反射率が高い波長で受光部１２の受光感度が高いのが好適である。一方、光学薄膜２２での透過率が高い波長で受光部１１の受光感度が高いのが好適である。
【００６６】
すなわち、この光パワーモニタ装置７では、入力ポートに入力した光は光学薄膜２２において分岐または分波されて第１出力ポートまたは第２出力ポートから出力されるとともに、分岐または分波された後の各々の光の一部が吸収されて電気信号が出力される。この電気信号の値は、入力ポートに入力して各出力ポートから出力される光のパワーを表す。
【００６７】
このように、光パワーモニタ装置７では、入力ポートおよび出力ポートの間に、光導波構造である光ファイバの他には、受光部１１，受光部１２および光学薄膜２２が一体化されたものが設けられるだけである。したがって、光パワーモニタ装置７は、組み立て及び光学調整が容易であって、多チャンネル化も容易であり、更には、分岐または分波も可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本実施形態に係る受光デバイス１００の構成図である。
【図２】本実施形態に係る受光デバイス２００の構成図である。
【図３】本実施形態に係る受光デバイス３００の構成図である。
【図４】本実施形態に係る受光デバイス４００の構成図である。
【図５】本実施形態に係る受光デバイス５００の構成図である。
【図６】受光部１１，１２それぞれの受光感度の波長依存性を示す図である。
【図７】受光部１１の断面構造の一例を示す図である。
【図８】受光部１１の断面構造の他の例を示す図である。
【図９】第１実施形態に係る光パワーモニタ装置１の構成図である。
【図１０】第２実施形態に係る光パワーモニタ装置２の構成図である。
【図１１】第３実施形態に係る光パワーモニタ装置３の構成図である。
【図１２】第４実施形態に係る光パワーモニタ装置４の構成図である。
【図１３】第５実施形態に係る光パワーモニタ装置５の構成図である。
【図１４】第６実施形態に係る光パワーモニタ装置６の構成図である。
【図１５】第７実施形態に係る光パワーモニタ装置７の構成図である。
【符号の説明】
【００６９】
１〜７・・・光パワーモニタ装置、１１…受光部、１１Ａ…吸収層、１１Ｂ…凸レンズ、１２…受光部、１２Ａ…吸収層、２１，２２…光学薄膜、３１〜３４…光ファイバ、３１Ａ〜３４Ａ…コリメートレンズ、４０…基板、４１〜４４…平面光導波路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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