(57)【要約】【課題】浸漬液およびそれに伴う液体供給系をリソグラフィ装置に導入すると、基板における焦点精度、および、画像形成にとって非常に重要なその他のパラメータを制御する精度の低下を引き起こす問題を解決する。【解決手段】液浸リソグラフィ装置は、リソグラフィ装置の投影系と基板の間の空間に液体を含むように構成された液体供給系部材、および、液体供給系部材と基板テーブルの相互作用を補償するように構成された液体供給系部材補償装置を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射ビームを調整するように配設された照明系と、
放射ビームの断面にパターンを与えて、パターン付与された放射ビームを供給することのできるパターン付与デバイスを保持するように構成された支持構造と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターン付与された放射線ビームを前記基板の目標部分に投影するように配設された投影系と、
前記投影系と基板との間の空間に液体を含むように構成された液体供給系部材と、
前記液体供給系部材と前記基板テーブルの間の相互作用を補償するように構成された液体供給系部材補償装置とを有するリソグラフィ装置。
【請求項２】
前記相互作用が、前記液体供給系部材の重量を含む請求項１に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項３】
前記液体供給系部材補償装置が、補償データに従って基板と前記リソグラフィ装置の最善の焦点平面との相対位置を補償するように構成された焦点校正デバイスを含む請求項１に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項４】
前記液体供給系部材との相互作用によって妨害された場合に、基板テーブルの表面高さプロフィール、表面傾斜プロフィール、またはそれら両者を調べるための基板テーブル形状測定デバイスの出力から、前記補償データが導出され、前記表面高さプロフィールは、前記投影系の最終部材の光軸に実質的に平行な方向で規定され、前記表面傾斜プロフィールは、前記投影系の前記最終部材の光軸に対して実質的に直角な面の１つまたは２つの直交軸に関して規定されるようになっている請求項３に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項５】
前記基板テーブル形状測定デバイスは、前記投影系の前記最終部材の光軸に対して実質的に直角の面で、前記基板テーブルに対する前記液体供給系部材の位置の関数として、前記基板テーブルの前記表面高さプロフィール、前記表面傾斜プロフィール、または両者を求めるように構成されている請求項４に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項６】
前記補償データが、前記基板テーブルの機械数学モデルから導出され、これが、位置によって異なる印加力の関数として基板テーブルの変形を予想するように構成されている請求項３に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項７】
前記補償データが、位置の関数として焦点誤差の程度を明らかにするように構成された露光焦点試験パターンの解析から導出されるようになっている請求項３に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項８】
露光された焦点試験パターンが、前記液体供給系部材と前記基板テーブルとの相互作用に実質的に等しい力を受ける基準リソグラフィ装置に画像形成される請求項７に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項９】
前記液体供給系部材補償装置が、前記液体供給系部材と前記基板テーブルとの相互作用を少なくとも部分的に補償するために、前記液体供給系部材に力を印加することができる液体供給系部材懸架デバイスを含む請求項１に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項１０】
前記液体供給系部材懸架デバイスが、前記投影系の少なくとも一部を支持するフレームに結合するように構成され、前記フレームは、前記液体供給系部材懸架デバイスによって前記液体供給系部材に加えられた力に対する反応の少なくとも一部を、結合を介して支持することができるようになっている請求項９に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項１１】
前記液体供給系部材懸架デバイスが、前記投影系に結合するように構成され、前記投影系は、前記液体供給系部材懸架デバイスによって前記液体供給系部材に加えられた力に対する反応の少なくとも一部を、結合を介して支持することができるようになっている請求項９に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項１２】
前記液体供給系部材懸架デバイスが、前記投影系から機械的に実質的に分隔離されたフレームに結合するように構成され、前記分離されたフレームは、前記液体供給系部材懸架デバイスによって前記液体供給系部材に加えられた力に対する反応の少なくとも一部を、結合を介して支持することができるようになっている請求項９に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項１３】
前記液体供給系部材と前記基板テーブルとの相互作用の大きさを表すデータに従い、前記液体供給系部材懸架デバイスを介して、前記液体供給系部材に制御力を加えるように構成された液体供給系部材懸架デバイス制御装置を更に含む請求項９に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項１４】
前記相互作用が前記液体供給系部材の重量を含む請求項９に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項１５】
前記相互作用が外力を含む請求項９に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項１６】
前記相互作用が外部位置によって決定される力を含む請求項９に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項１７】
液体供給系部材懸架デバイス制御装置および液体供給系部材位置測定デバイスを更に含み、前記液体供給系部材懸架デバイス制御装置は、前記液体供給系部材位置測定デバイスが測定した前記液体供給系部材の位置に基づいて、前記液体供給系部材懸架デバイスを介して前記液体供給系部材に制御力を加えるように構成されている請求項９に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項１８】
前記液体供給系部材位置測定デバイスが、前記投影系、前記投影系の少なくとも一部を支持するフレーム、または前記投影系から機械的に実質的に分離されているが、前記液体供給系部材懸架デバイスが前記液体供給系部材に加える力に対する反応を支持するフレームに対して、前記投影系の光軸に実質的に平行な軸線に沿って前記液体供給系部材の位置を測定するようになっている請求項１７に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項１９】
前記液体供給系部材位置測定デバイスが、前記投影系の光軸に対してほぼ直角な方向で、前記液体供給系部材の位置を測定するようになっている請求項１７に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項２０】
前記液体供給系部材と、前記投影系の少なくとも一部を支持するフレームとの間に取り付けられた液体供給系部材誘導部材から発生した力を補償するように、制御力を加えるようになっている請求項１７に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項２１】
前記液体供給系部材と前記基板テーブルの間の相互作用の大きさを測定し、大きさを表すデータを前記液体供給系部材懸架デバイスに送信するように構成された基板テーブル力補償装置を更に含む請求項９に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項２２】
前記液体供給系部材懸架デバイスが、以下のリストから選択された少なくとも１つのメカニズムによって、つまりローレンツ原理を使用した電磁気力、磁気抵抗原理を使用した電磁気力、蛇腹、および機械ばねによって動作するようになっている請求項９に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項２３】
基板テーブルを交換するために前記液体供給系部材を、前記基板テーブルから離して持ち上げるように構成された液体供給系部材懸架デバイスを含む請求項１に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項２４】
装置の故障に応答して、前記液体供給系部材を前記基板テーブルから離して、遠位側の安全位置に配置するように構成された液体供給系部材懸架デバイスを有する請求項１に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項２５】
前記液体供給系部材懸架デバイスが、
圧力媒体を含むハウジングと、
前記液体供給系部材に最も近いハウジングの第一壁内に滑動可能に係合し、前記液体供給系部材と結合する第一ピストンと、
予張力付加されたばねによって前記第一ピストン方向に強制され、かつ前記第一壁に対向する前記ハウジングの第二壁内に滑動可能に係合する第二ピストンと、
前記ハウジング内の圧力を制御し、かつ反対方向で前記第二ピストンに力を加えるように構成された圧力調整装置とを含み、
前記圧力は、投影系の光軸に実質的に平行な方向で前記第一ピストンに力を加えるように作用し、前記液体供給系部材の方向に向かう圧力であり、
通常の動作モードでは、第一および第二ピストンが互いに触れ合うように構成され、圧力調整装置は、ハウジング内の圧力を変動させることによって液体供給系部材の垂直位置を制御するように構成され、
ハウジング内が下側閾値圧力よりも低い圧力では、ばねの予張力が、第二ピストンの動作を支配するように構成され、これは第一ピストンと液体供給系部材を、基板テーブルから離して安全位置に強制し、
ハウジング内が上側閾値圧力よりも高い圧力では、圧力媒体の力が第一ピストンを支配し、これを第二ピストンと液体供給系から離して基板テーブルから離れた安全位置に強制するように構成されて成る請求項２４に記載されたリソグラフィ装置。
【請求項２６】
液体供給系部材を用いて、リソグラフィ装置の投影系と基板テーブルの間の空間に液体を含めること、
前記液体供給系部材と前記基板テーブルの間の相互作用を補償すること、および
前記投影系を用いて、パターン付与された放射ビームを、前記液体を通して基板の目標部分に投影することを含むデバイス製造方法。
【請求項２７】
補償データに従い、基板と、前記リソグラフィ装置の最善の焦点平面との相対位置を補償することを含む請求項２６に記載されたデバイス製造方法。
【請求項２８】
前記補償データが、前記液体供給系部材との相互作用によって妨害された場合に、前記基板テーブルの表面高さプロフィール、表面傾斜プロフィール、または両者を求めることから導出され、前記表面高さプロフィールが、前記投影系の最終部材の光軸に実質的に平行な方向で規定され、前記表面傾斜プロフィールが、前記投影系の前記最終部材の光軸に対して実質的に直角な平面の１つまたは２つの直交軸に対して規定されるようになっている請求項２７に記載されたデバイス製造方法。
【請求項２９】
前記基板テーブルに対する前記液体供給系部材の水平位置の関数として、前記基板テーブルの前記表面高さプロフィール、前記表面傾斜プロフィール、または両者を求めることを含む請求項２８に記載されたデバイス製造方法。
【請求項３０】
前記補償データが、前記基板テーブルの機械数学モデルから導出され、これが、位置によって異なる印加された力の関数として基板テーブルの変形を予想するように構成されている請求項２７に記載されたデバイス製造方法。
【請求項３１】
前記補償データが、位置の関数として焦点誤差の程度を明らかにするように構成された露光焦点試験パターンの解析から導出されるようになっている請求項２７に記載されたデバイス製造方法。
【請求項３２】
前記液体供給系部材と前記基板テーブルとの間の相互作用を少なくとも部分的に補償するために、前記液体供給系部材に力を加えることを含む請求項２６に記載されたデバイス製造方法。
【請求項３３】
前記相互作用が、前記液体供給系部材の重量、外力、外部位置によって決定される力、またはその組み合わせを含む請求項３２に記載されたデバイス製造方法。
【請求項３４】
前記液体供給系部材の位置に基づいて、前記液体供給系部材に制御力を加えることを含む請求項３２に記載されたデバイス製造方法。
【請求項３５】
前記投影系の光軸に実質的に平行な方向で、前記投影系、または前記投影系の少なくとも一部を支持するフレームに対して、前記液体供給系部材の位置を測定すること、前記投影系の光軸に対して実質的に直角の方向で、前記液体供給系部材の位置を測定すること、またはその両者を含む請求項３４に記載されたデバイス製造方法。
【請求項３６】
基板テーブルを交換するために、前記液体供給系部材を前記基板テーブルから離して持ち上げることを含む請求項２６に記載されたデバイス製造方法。
【請求項３７】
装置の故障に応答して、前記液体供給系部材を前記基板テーブルから離して、遠位側の安全位置に位置づけることを含む請求項２６に記載されたデバイス製造方法。
【請求項３８】
液体供給系部材を使用して、リソグラフィ装置の投影系とリソグラフィ装置の基板テーブルとの間の空間に液体を含めること、
液体供給系部材との相互作用によって妨害された時に、前記基板テーブルの表面高さプロフィール、表面傾斜プロフィール、またはその両者を測定すること、および
基板と、リソグラフィ装置の最善の焦点平面との相対位置を補償するための補償データを決定することを含み、
前記表面高さプロフィールは、前記投影系の最終部材の光軸に対して実質的に平行な方向で規定され、前記表面傾斜プロフィールは、前記投影系の最終部材の光軸に対して実質的に直角な平面の１つまたは２つの直交軸に対して規定されるリソグラフィ装置焦点校正方法。
【請求項３９】
リソグラフィ装置の前記投影系を用いて、焦点試験パターンが付与された放射ビームを、液体を通して、基板の目標部分に投影すること、
複数位置で焦点エラーを判断するために、基板上の投影された焦点試験パターンを分析すること、および
基板と、リソグラフィ装置の最善の焦点平面との相対位置を補償するために、補償データを決定することを含むリソグラフィ装置焦点校正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリソグラフィ装置およびデバイス製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
リソグラフィ装置は、所望パターンを基板の目標部分に投与する機械である。リソグラフィ装置は、例えば、集積回路（ＩＣ）の製造で使用可能である。かかる環境で、マスクなどのパターン付与手段は、ＩＣの個々の層に対応する回路パターンを作るために用いることができ、このパターンを、放射線感光材料層（レジスト）を有する基板（シリコンウェハ）上の目標部分（例えば、１つまたはそれ以上のダイの一部を含む）に画像投与可能である。一般に、単一基板は、順次露光される隣接目標部分から成るネットワークを含む。既知のリソグラフィ装置は、目標部分に対して全マスクパターンを１回で露光することによって各目標部分が照射される、いわゆるステッパと、所定の基準方向（走査方向）でマスクパターンを投影ビームで走査し、これと同時に基板テーブルを前記方向と平行または反平行方向で走査して、各目標部分が照射される、所謂スキャナとを包含する。
【０００３】
投影系と基板の間の空間を充填するように、リソグラフィ装置内の基板を、比較的高い屈折率を有する液体（例えば、水）に浸漬することが提案されている。そのポイントは、露光放射線は、液中で短い波長を有するが故に、より小さい構成の画像形成を可能にすることである。（液体の効果は、投影系の有効ＮＡを増大させ、かつ、焦点深度を増大させるものとして認識されてもいる。）固体粒子（例えば、石英）を懸濁させた水等、その他の浸漬液が先に提案された。
【０００４】
しかし、基板、または、基板と基板テーブルを液浴中に浸漬させること（例えば、米国特許第ＵＳ４５０９８５２号参照。その全記載内容を本明細書の記載として援用する）は、露光走査中に加速しなければならない多量の液体が存在することを意味する。それには、追加のモータまたはさらに強力なモータが必要であり、液体中の乱流が、望ましくない予期できない結果をもたらすことがある。
【０００５】
提案されている解決法の一つは、液体供給系が、基板の局所領域、および、投影系の最終部材と基板の間にのみ液体を供給するための液体供給系である（基板は、通常、投影系の最終部材よりも大きな表面積を有する）。これを構成するために提案された一つの方法が、国際ＰＣＴ特許公報第ＷＯ９９／４９５０４号（その全記載内容を本明細書の記載として援用する）で開示されている。図２、図３で示されているように、液体は、少なくとも１つの入口ＩＮによって基板上に（好ましくは、最終部材に対する基板の動作方向に沿って）供給され、投影系の下を通過した後、少なくとも１つの出口ＯＵＴによって除去される。つまり、最終部材の下でＸ方向で基板を走査する際に、最終部材の＋Ｘ側に液体を供給し、−Ｘ側で取り出す。図２は、入口ＩＮを通じて液体を供給し、低圧源に接続した出口ＯＵＴによって最終部材の他方の側で取り出す構成を模式的に示す。図２では、最終部材に対する基板の動作方向に沿って液体を供給しているが、これに限る必要はない。最終部材の周囲に配置された入口および出口の各種方向および数が可能である。一例が図３に示されており、最終部材の周囲に、規則的なパターンで各側に出口のある４組の入口が設けられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
リソグラフィ装置に浸漬液およびそれに伴う液体供給系を導入すると、基板における焦点の正確さ、および、画像形成にとって非常に重要なその他のパラメータを制御する精度を低下させることがある。
【０００７】
したがって、例えば、リソグラフィ装置の性能を改善するという観点で、前記問題およびその他の問題を克服するのが有利である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の観点によれば、以下のリソグラフィ装置が提供される。
放射ビームを調整するように配設された照明系と、
放射ビームの断面にパターンを与えて、パターン付与された放射ビームを供給することのできるパターン付与デバイスを保持するように構成された支持構造と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターン付与された放射線ビームを前記基板の目標部分に投影するように配設された投影系と、
前記投影系と基板との間の空間に液体を含むように構成された液体供給系部材と、
前記液体供給系部材と前記基板テーブルの間の相互作用を補償するように構成された液体供給系部材補償装置とを有するリソグラフィ装置。
【０００９】
補償がなければ、液体供給系部材の重量、または液体供給系部材によって基板テーブルに伝達されるその他の力が、位置によって異なる力およびトルクを基板テーブルに引き起こし、基板テーブルの無視できない変形および／または傾斜を引き起こすだろう。液体供給系部材に取り付けた誘導部材から生じる寄生的剛性効果も、同様の効果を引き起こすだろう。これらの妨害（変形）によって引き起こされる基板位置の焦点ずれは、最大１０００ｎｍにもなる。位置によって異なる焦点ずれ効果に加えて、基板テーブルのこのような妨害（変形）は、機械間の上乗せ誤差（オーバレイエラー）（特に、浸漬機械と非浸漬機械の間で）をも引き起こす。基板テーブル補償装置によって液体供給系部材の追加重量を補償した場合、液体供給系部材によって引き起こされた重力シフトの効果は、基板テーブルの位置を制御するサーボシステムの混信（クロストーク）問題につながるだろう。液体供給系部材補償装置は、液体供給系部材と基板テーブルとの間での重力またはその他の力によって誘発された効果を補償することにより、前記問題の一部または全てを軽減するだろう。
【００１０】
液体供給系部材補償装置は、補償データに従って、基板とリソグラフィ装置の最善焦点平面との相対位置を補償するように構成された焦点校正デバイスを含むことができる。焦点校正デバイスによって、液体供給系部材自体と実質的に物理的相互作用がない状態で、液体供給系部材の重量またはその他の力の効果を補償できる。補償は、例えば内挿マトリックスを介して、または、解析多項関数として、基板テーブルの相対位置を制御するソフトウェアを用いて実現でき、各数学的構造は、相互作用で誘発された基板テーブルの妨害（変形）を克服するために使用できる補償を表す。この補償は、一般に、投影系の光軸に対して直角方向における位置の関数であり、デカルト座標または極座標で記録可能である。
【００１１】
補償データは、液体供給系部材との相互作用によって妨害され（乱され）た場合に、基板テーブルの表面高さプロフィール、表面傾斜プロフィール、またはそれら両者を調べるための基板テーブル形状測定デバイスの出力から導出することができ、表面高さプロフィールは、投影系の最終部材の光軸に実質的に平行な方向で規定され、表面傾斜プロフィールは、投影系の最終部材の光軸に対して実質的に直角な面の１つまたは２つの直交軸に関して規定される。この方法によって、誘発された妨害（変形）の正確な特徴づけができる。
【００１２】
補償データは、位置に応じて加えられる力の関数として基板テーブルの妨害（変形）を予想するように構成された基板テーブルの機械的数学モデルから導出することができる。この方法によって、最低限の追加的測定および／または測定装置で補償を実現することができる。
【００１３】
補償データは、位置の関数として焦点エラーの程度を明らかにするような構成の露光された焦点試験パターンの分析から導出することができる。この方法により、測定用構成部材を追加することなく、正確な特徴づけがなされる。
【００１４】
露光された焦点試験パターンは、液体供給系部材と基板テーブルとの相互作用と実質的に同等である力を受ける基準リソグラフィ装置に画像形成される。この方法により、主リソグラフィ装置の邪魔をすることなく、液体供給系部材による妨害（変形）の正確な特徴がなされる。基準装置は、焦点試験パターンの測定を専門とし、したがって主リソグラフィ装置よりも、これらの測定が単純かつ効率的である。
【００１５】
デュアルステージリソグラフィ装置では、システムの焦点は、通常、浸漬液が存在せず、液体供給系部材が存在する状態で作成した基板マップを介して校正される。液体供給系部材が所定位置にある状態で画像形成がなされた時に、焦点ずれ効果を発生させる、かかる構成では、曲げ効果が考慮されない。
【００１６】
基板テーブル形状測定デバイスは、投影系の最終部材の光軸に対して実質的に直角の面で、基板テーブルに対する液体供給系部材の位置の関数として、基板テーブルの表面高さプロフィール、表面傾斜プロフィール、または両方を求めるように構成することができる。この特徴は、液体供給系部材との相互作用による基板テーブルのあるポイントでの妨害（変形）が、概ね液体給系部材からのポイントの距離のみの関数ではないことを考慮に入れてよい。トルクは、旋回軸に対する力の位置によって決定され、応力に対する局所的反応は、基板テーブルにわたって変化する。
【００１７】
液体供給系部材補償装置は、液体供給系部材に力を加えて、液体供給系部材と基板テーブル間の相互作用を少なくとも部分的に補償することができる液体供給系部材懸架デバイスを有する。歪みおよび／または傾斜を生じさせ、その効果を補償できるようにする方法の代替方法として、この形体は、まず妨害（変形）の発生防止を可能にする。この方法は、場合によっては、機械に固有で、反復しなければならず、正確さが制限された校正測定をしなくてよいという利点を有する。
【００１８】
液体供給系部材懸架デバイスは、投影系の少なくとも一部を支持するフレームに結合するように構成され、フレームは、液体供給系部材懸架デバイスによって加えられる力に対する反応の少なくとも一部を、液体供給系部材に結合することによって支持することができる。通常は、投影系の最終部材よりも液体供給系部材から離れて配置されるが、投影系を保持するフレームで液体供給系部材の重量を直接支持することにより、投影系の部材の歪みまたは方向の変化の可能性を大幅に低下させることができる。
【００１９】
液体供給系部材懸架デバイスは、投影系に結合するように構成することができ、投影系は、液体供給系部材懸架デバイスが加える力に対する反応の少なくとも一部を、液体供給系部材に結合することによって支持することができる。この構成の利点は、投影系が液体供給系部材に非常に近接し、液体供給系部材の追加的重量またはその他の力によって大幅に歪まないのに十分なだけの質量があることである。
【００２０】
液体供給系部材懸架デバイスは、投影系からほぼ機械的に隔離されたフレームに結合するように構成され、隔離されたフレームは、液体供給系部材懸架デバイスが加える力に対する反応の少なくとも一部を、液体供給系部材に結合することによって支持することができる。この構成は、投影系の部材の歪みまたは方向変化の可能性を最低限に抑えるという利点を有する。「実質的に機械的に隔離された」とは、例えば機械的に直接接触していない、または機械的に近接していない（つまり、例えば有意な数の中間接続部、または受動的または能動的支承によってのみ機械的に連結される）という意味である。例えば、隔離されたフレームは、支承によってリソグラフィ装置の主要構成部材を支持するように構成された機械ベースフレームでよい。機械ベースフレームは、外界からの振動またはその他の妨害（変形）が液体供給系部材に伝達されないことを保証するのに十分なほど質量があり、良好に隔離される。ローレンツアクチュエータ（電磁気力を使用する）に基づく結合は、これがないと、精密な位置合わせおよび費用がかかる製造公差を実現する必要があるような、隔離されたフレームと液体供給系部材との直接的な機械的接触の必要性を回避するので、この具体例に特に適切である。
【００２１】
リソグラフィ装置は、液体供給系部材と基板テーブル間の相互作用の大きさを表すデータに従い、液体供給系部材懸架デバイスを介して液体供給系部材に制御力を加えるように構成された液体供給系部材懸架デバイスを有する。この構成は、液体供給系部材と基板テーブル間に発生する力を補償するために、融通性があって効率的な方法を提供する。これは、液体供給系部材と基板テーブルとの様々な組み合わせ、および様々な環境条件に容易に適応させることができる。
【００２２】
上記で検討した相互作用は、基板テーブルに作用する液体供給系部材の重量によって生じる。しかし、液体供給系部材以外の部材から生じる外力も、役割を果たすことがある。これらの力は、液体供給系部材の重量のように静的であるか、動的（経時変化する）である。経時変化する力の例は、漂遊磁界によって生じるような力である。また、相互作用は、液体供給系部材の位置に依存する液体供給系部材内の大きさと分布について、位置に依存するだろう。これは、例えば電磁気が介在した力に生じることがある。リソグラフィ装置のその他の構成部材に対する液体供給系部材の位置が変化するからである。
【００２３】
リソグラフィ装置は、液体供給系部材懸架デバイス制御装置および液体供給系部材位置測定デバイスを有してよく、液体供給系部材懸架デバイス制御装置は、液体供給系部材位置測定デバイスが測定した通りの液体供給系部材の位置に基づいて、液体供給系部材懸架デバイスを介して液体供給系部材に制御力を加えるように構成される。この構成は、液体供給系部材に加えられた力を液体供給系部材によって処理する直接的手段、例えば液体供給系部材の位置の既知の関数である垂直誘導部材を提供する。つまり、相互作用は、液体供給系部材の位置によって決定され、液体供給系部材内のサイズおよび分布は、液体供給系部材の位置によって決定される。これは、例えば液体装置の電気作動構成部材に対する液体供給系部材の位置が変化するにつれ、電磁気が介在した力で生じる。
【００２４】
液体供給系部材位置測定デバイスは、投影系、投影系の少なくとも一部を支持するフレーム、または投影系から機械的にほぼ隔離されているが、液体供給系部材懸架デバイスが液体供給系部材に加える力に対する反応を支持するフレームに対して、投影系の光軸にほぼ平行な軸線に沿って液体供給系部材の位置を測定する。
【００２５】
液体供給系部材位置測定デバイスは、投影系の光軸に対してほぼ直角な方向で、液体供給系部材の位置を測定する。
【００２６】
液体供給系部材と、投影系の少なくとも一部を支持するフレームとの間に取り付けられた液体供給系部材誘導部材から発生した力を補償するように、制御力を加えてよい。
【００２７】
リソグラフィ装置は、液体供給系部材と基板テーブルとの相互作用の大きさを測定し、大きさを表すデータを液体供給系部材懸架デバイスに送信するように構成された基板テーブル力補償装置を有してよい。基板テーブル力補償装置は、基板テーブルを所望の位置に維持するために、基板テーブルに加える力を発生する（基板テーブルモータを配置して、同様の方法で動作させてもよい）。制御力は、投影系または投影系の少なくとも一部を支持するフレームに対する基板テーブルの位置の関数である。制御ループを設けて、この間隔がほぼ一定であることを保証することができる。液体供給系部材を基板テーブルに追加する場合、液体供給系部材と基板テーブル間の相互作用（液体供給系部材の重量による相互作用）を補償するために、基板テーブルをフレームから所望の間隔に維持する作動力を増加しなければならない。これらの相互作用は基板テーブル力補償装置によって補償されるが、アクチュエータが基板テーブル全体に関して働くため、基板テーブル力補償装置は基板テーブルに誘発された変形を低減化しない。しかし、一具体例によれば、液体供給系部材に関連する追加的力に関する情報は、液体供給系部材懸架デバイスに転送することができ、これはこの情報を独自に使用して、液体供給系部材の重量（またはその他の力）の大きさと等しい対向する力を加えることにより、液体供給系部材から生じた力を補償することができる。基板テーブルへの変形の防止に関して上記で検討した利点を達成する可能性があることに加えて、この構成は、投影系の少なくとも一部を支持する低周波フレーム台の安定性も改善する。液体供給系部材懸架デバイスがない状態では、低周波フレーム台が、投影系と、液体供給系部材を含む場合と含まない場合のフレームとの質量を経験する。液体供給系部材を基板に向かって下降させる間、液体供給系部材の重量が突然なくなるので、低周波フレーム台が妨害（変形）されることがある。液体供給系部材の上昇時には、反対のことが生じる。上記効果によって引き起こされる妨害（変形）は、系が平衡状態に戻る沈静化時間を設けることによって対応することができる。妨害（変形）の原因、したがってこのような沈静化時間を取り除くことにより、リソグラフィ装置の処理量を向上させることができる。
【００２８】
基板テーブル力補償装置に関連する制御ループを使用すると、液体供給系部材懸架デバイスが加える補償力を事前に固定する必要がなく、世界の様々な場所である時間にわたって液体供給系部材の有効重量の変動に対応できる、または液体供給系部材誘導が、多少のオフセット力または寄生的剛性を有する場合に対応できるという意味で、能動的であるという利点を有することができる。
【００２９】
液体供給系部材懸架デバイスは、以下のリストから選択した少なくとも１つのメカニズムによって操作することができる。つまり、ローレンツ原理を使用した電磁気力、磁気抵抗原理を使用した電磁気力、蛇腹、および機械ばねである。電磁気力は、例えば受動的磁力でよい。蛇腹は、気体または液体の流体によって作動する。機械ばねは、金属などの弾性材料から構築することができる。各ケースで、所望の性能特性を達成できるように、懸架デバイスに適切な減衰構成部材を組み込んでよい。ダンパとの組み合わせで補償力を提供できるデバイスの例は、特定の容積を有し、それとともに気体が制約された蛇腹である。
【００３０】
液体供給系部材懸架デバイスは、基板テーブルを交換するために基板テーブルがない液体供給系部材を持ち上げるように構成することができる。通常、別個のデバイスを使用して、この作業を実行する。この機能を実行するように液体供給系部材補償装置を適応させることにより、リソグラフィ装置を構成する構成部材の数を削減することが可能である。
【００３１】
液体供給系部材懸架デバイスは、系の故障に応答して、基板テーブルがない液体供給系部材を遠位側の安全位置に配置するように構成することができる。基板テーブルを交換する機会は、蛇腹またはその他の任意の持ち上げ機構を用いて、液体供給系部材を上昇させる。このような蛇腹は、特定の系故障モードに応答して液体供給系部材を上昇させるように構成される。その他の故障モードでは、（加圧した気体が蛇腹を故障させる場合など）蛇腹自体が故障することがある。系（システム）故障の場合に液体供給系部材懸架デバイスを安全デバイスとして使用すると、系の構成部材数を削減させるが、いかなる系（システム）故障時にも液体供給系部材を持ち上げるように設計できるさらに包括的な安全形体を提供するという利点を有することができる。
【００３２】
リソグラフィ装置は、液体供給系部材懸架デバイスを含み、該液体供給系部材懸架デバイスは、
圧力媒体を含むハウジングと、
前記液体供給系部材に最も近いハウジングの第一壁内に滑動可能に係合し、前記液体供給系部材と結合する第一ピストンと、
予張力付加されたばねによって前記第一ピストン方向に強制され、かつ前記第一壁に対向する前記ハウジングの第二壁内に滑動可能に係合する第二ピストンと、
前記ハウジング内の圧力を制御し、かつ反対方向で前記第二ピストンに力を加えるように構成された圧力調整装置とを含み、
前記圧力は、投影系の光軸に実質的に平行な方向で前記第一ピストンに力を加えるように作用し、前記液体供給系部材の方向に向かう圧力であり、
通常の動作モードでは、第一および第二ピストンが互いに触れ合うように構成され、圧力調整装置は、ハウジング内の圧力を変動させることによって液体供給系部材の垂直位置を制御するように構成され、
ハウジング内が下側閾値圧力よりも低い圧力では、ばねの予張力が、第二ピストンの動作を支配するように構成され、これは第一ピストンと液体供給系部材を、基板テーブルから離して安全位置に強制し、
ハウジング内が上側閾値圧力よりも高い圧力では、圧力媒体の力が第一ピストンを支配し、これを第二ピストンと液体供給系から離して基板テーブルから離れた安全位置に強制するように構成される。この特徴により、圧力調整装置によって供給される圧力が、上側および下側圧力閾値によって規定される安全限界から外れた場合に、液体供給系部材が安全位置に移送されるような方法で、圧力調整装置を介して液体供給系部材の位置を調整するための、確実かつ制御可能な方法を提供できる。
【００３３】
本発明の別の観点によると、以下のデバイス製造方法が提供される。
液体供給系部材を用いて、リソグラフィ装置の投影系と基板テーブルの間の空間に液体を含めること、
前記液体供給系部材と前記基板テーブルの間の相互作用を補償すること、および
前記投影系を用いて、パターン付与された放射ビームを、前記液体を通して基板の目標部分に投影することを含むデバイス製造方法。
【００３４】
本発明の更に別の観点によれば、以下のリソグラフィ装置焦点校正方法が提供される。
液体供給系部材を使用して、リソグラフィ装置の投影系とリソグラフィ装置の基板テーブルとの間の空間に液体を含めること、
液体供給系部材との相互作用によって妨害された時に、前記基板テーブルの表面高さプロフィール、表面傾斜プロフィール、またはその両者を測定すること、および
基板と、リソグラフィ装置の最善の焦点平面との相対位置を補償するための補償データを決定することを含み、
前記表面高さプロフィールは、前記投影系の最終部材の光軸に対して実質的に平行な方向で規定され、前記表面傾斜プロフィールは、前記投影系の最終部材の光軸に対して実質的に直角な平面の１つまたは２つの直交軸に対して規定されるリソグラフィ装置焦点校正方法。
【００３５】
本発明の更に別の観点によれば、以下のリソグラフィ装置焦点校正方法が提供される。
リソグラフィ装置の前記投影系を用いて、焦点試験パターンが付与された放射ビームを、液体を通して、基板の目標部分に投影すること、
複数位置で焦点エラーを判断するために、基板上の投影された焦点試験パターンを分析すること、および
基板と、リソグラフィ装置の最善の焦点平面との相対位置を補償するために、補償データを決定することを含むリソグラフィ装置焦点校正方法。
【００３６】
本文ではＩＣの製造におけるリソグラフィ装置の使用に特に言及しているが、本明細書で説明するリソグラフィ装置がその他の多くの用途においても使用可能であることは明確に理解されるべきである。例えば、これは、集積光学装置、磁気ドメインメモリ用ガイダンスおよび検出パターン、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、薄膜磁気ヘッド等の製造に使用され得る。こうした代替的な用途においては、本文にて使用した「ウェハ」または「ダイ」といった用語は、それぞれ「基板」または「目標部分」といった、より一般的な用語に置き換えて使用可能である。本明細書で言及する基板は、露光前または露光後に、例えばトラック（通常はレジストの層を基板に塗布し、露光したレジストを現像するツール）または計測または検査ツールで処理することができる。適宜、本明細書の開示は、以上およびその他の基板処理ツールに適用することができる。さらに、基板は、例えば多層ＩＣを生成するために、複数回処理することができ、したがって本明細書で使用する基板という用語は、既に複数の処理済み層を含む基板も指す。
【００３７】
本明細書では、「放射線」および「ビーム」という用語は、紫外線（ＵＶ）放射線（例えば、３６５ｎｍ、２４８ｎｍ、１９３ｎｍ、１５７ｎｍ、あるいは１２６ｎｍの波長を有する）を含むあらゆる種類の電磁放射線を網羅するものとして使用される。
【００３８】
本明細書において使用する「パターン付与デバイス」なる用語は、入射する放射線ビームに、基板の目標部分にパターンを生成するよう、投影ビームの断面にパターンを与えるために使用し得るデバイスまたは構造を指すものとして広義に解釈されるべきである。投影ビームに与えられるパターンが、基板の目標部分における所望のパターンに正確に対応しないことがあることに留意すべきである。一般に、投影ビームに与えられるパターンは、集積回路などの目標部分に作られるデバイスの特別な機能層に相当する。
【００３９】
パターン付与デバイスは透過性または反射性でよい。パターン付与デバイスの例には、マスク、プログラム可能なミラーアレイ、およびプログラム可能なＬＣＤパネルがある。マスクはリソグラフィにおいて周知であり、これには、各種ハイブリッドマスクタイプのみならず、バイナリマスク、レベンソンマスク、減衰位相シフトマスク等のマスクタイプも含まれる。プログラム可能なミラーアレイの一例は、小ミラーから成るマトリクス配列を用いる。そのミラーの各々は、異なる方向に入射の放射線ビームを反射するよう個々に傾斜することができる。このようにして、反射されたビームはパターン形成される。パターン付与デバイスの各例では、支持構造はフレームまたはテーブルでよく、これは必要に応じて、固定式または可動式でよく、パターン付与デバイスが例えば投影系などに対して所望位置にあることを保証できる。本明細書で用いる用語「レチクル」または「マスク」は、より一般的な用語「パターン付与デバイス」と同義であると見なすしてよい。
【００４０】
本明細書で用いる用語「投影系」は、例えば使用する露光放射線、または浸漬流体の使用や真空の使用などのその他の要因に合わせて適宜、例えば屈折光学系、反射光学系、および反射屈折光学系を含む各種の投影系を網羅するものとして広義に解釈されるべきである。本明細書において「レンズ」なる用語を使用した場合、これはさらに一般的な用語「投影系」と同義であると見なしてよい。
【００４１】
照明系は、放射線の投影ビームの誘導、成形、または制御を行う屈折、反射、および反射屈折光学構成部材などの各種光学構成部材も含むことができ、こうした構成部材もまた、以下、集約的または単独的に「レンズ」と称する。
【００４２】
リソグラフィ装置は２つ（デュアルステージ）またはそれ以上の基板テーブル（および／または２つもしくはそれ以上のマスクテーブル）を有する種類のものでよい。このような「多段」機械においては、追加のテーブルが並列して使用される。もしくは、１つ以上の他のテーブルが露光に使用されている間に予備工程が１つ以上のテーブルにて実行される。
【００４３】
本発明の具体例を添付の略図を参照に、例示の方法においてのみ説明する。図面では対応する参照記号は対応する部品を示すものとする。
【実施例】
【００４４】
図１は、本発明の一例としてのリソグラフィ装置を模式的に示す。このリソグラフィ装置は、
放射線（例えばＵＶまたはＥＵＶ放射線）から成る投影ビームＰＢを供給する照明システム（照明装置）ＩＬと、
パターン付与デバイス（例えばマスク）ＭＡを支持し、かつ、品目ＰＬに対して正確にパターン付与デバイスの位置決めを行う第一位置決めデバイスに連結を行った支持構造（例えばマスクテーブル）ＭＴと、
基板（例えばレジスト塗布したウェハ）Ｗを支持し、かつ、品目ＰＬに対して正確に基板の位置決めを行う第二位置決めデバイスＰＷに連結を行った基板テーブル（例えばウェハテーブル）ＷＴと、
パターン付与デバイスＭＡによって投影ビームＰＢに与えられたパターンを基板Ｗの目標部分Ｃ（例えば、１つあるいはそれ以上のダイから成る）に描像する投影系（例えば屈折性投影レンズ）ＰＬを有する。
【００４５】
ここで示しているように、装置は透過タイプである（例えば透過マスクを使用する）。あるいは、本装置は反射タイプでもよい（例えば上記で言及したような種類のプログラム可能なミラーアレイを使用する）。
【００４６】
照明装置ＩＬは放射線源ＳＯから放射線のビームを受け取る。放射線源とリソグラフィ装置とは、例えば放射線源がプラズマ放電源である場合に、別体であってよい。このような場合、放射線源はリソグラフィ装置の一部を形成すると見なされず、放射線ビームは、例えば適切な配向ミラーおよび／またはビーム拡張器を有するビーム送出系ＢＤの助けにより、放射線源ＳＯから照明装置ＩＬへと渡される。その他の場合、例えば放射線源が水銀ランプの場合は、放射線源が装置の一体部品でもよい。放射線源ＳＯおよび照明装置ＩＬは、所望に応じてビーム送出系ＢＤと一緒に、放射線系と呼ぶことができる。
【００４７】
照明装置ＩＬは、ビームの角度強度分布を調節する調節デバイスを有してよい。一般的に、照明装置の瞳面における強度分布の外部および／あるいは内部放射範囲（一般的にそれぞれ、外側σおよび内側σと呼ばれる）を調節することができる。また、照明装置は一般的に積分器ＩＮおよびコンデンサＣＯ等のその他の各種構成部材を有する。照明装置は、投影ビームＰＢと呼ばれ、その断面に亘り所望する均一性と強度分布とを有する、調整された投影ビームを提供する。
【００４８】
投影ビームＰＢは、マスクテーブルＭＴ上に保持されているマスクＭＡに入射する。投影ビームＰＢはマスクＭＡを横断して、基板Ｗの目標部分Ｃ上にビームを集束するレンズＰＬを通過する。第二位置決めデバイスＰＷおよび位置センサＩＦ（例えば干渉計デバイス）の助けにより、基板テーブルＷＴは、例えばビームＰＢの経路における異なる目標部分Ｃに位置を合わせるために正確に運動可能である。同様に、第一位置決めデバイスＰＭおよび別の位置センサ（図１には明示せず）を使用して、例えばマスクライブラリから機械的に検索した後に、あるいは走査運動の間に、ビームＰＢの経路に対してマスクＭＡを正確に位置決めすることができる。一般に、オブジェクト（対象物）テーブルＭＴおよびＷＴの移動は、位置決めデバイスＰＭおよびＰＷの部分を形成するロングストロークモジュール（粗動位置決め）およびショートストロークモジュール（微動位置決め）で行われる。しかし、ステッパの場合（スキャナとは対照的に）、マスクテーブルＭＴはショートストロークアクチュエータに連結されるだけであるか、あるいは固定される。マスクＭＡおよび基板Ｗは、マスクアラインメントマークＭ１、Ｍ２および基板アラインメントマークＰ１、Ｐ２を使用して位置合わせすることができる。
【００４９】
ここで説明した装置は、以下の好適モード（態様）で使用可能である。
１．ステップモードでは、マスクテーブルＭＴおよび基板テーブルＷＴが事実上静止状態に維持される。そして、投影ビームに与えたパターン全体が１回の作動（すなわち１回の静止露光）で目標部分Ｃに投影される。次に基板テーブルＷＴがＸ方向および／またはＹ方向にシフトされ、異なる目標部分ＣがビームＰＢにより照射され得る。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズが、１回の静止露光で描像される目標部分Ｃのサイズを制限する。
２．走査モードでは、マスクテーブルＭＴおよび基板テーブルＷＴを同期走査する一方、投影ビームに与えられたパターンを目標部分Ｃに投影する（つまり、１回の動的露光）。マスクテーブルＭＴに対する基板テーブルＷＴの速度および方向は、投影系ＰＬの拡大（縮小）および像反転特性によって決定される。走査モードでは、露光フィールドの最大サイズが、１回の動的露光で目標部分の（非走査方向における）幅を制限し、走査動作の長さが目標部分の（走査方向における）高さを決定する。
３．別のモードでは、マスクテーブルＭＴが事実上静止状態に維持されて、プログラム可能なパターン付与デバイスを保持し、投影ビームに与えられたパターンを目標部分Ｃに投影する間、基板テーブルＷＴが動かされるか、または、走査される。このモードでは、一般にパルス状放射線源を使用して、基板テーブルＷＴを動作させるごとに、または走査中に連続する放射線パルス間に、プログラム可能なパターン付与デバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラム可能なミラーアレイなどのプログラム可能なパターン付与デバイスを使用するマスクなしリソグラフィに容易に適用することができる。
【００５０】
前記使用モードの組合せ、および／または、変形、または全く異なる使用モードも使用できる。
【００５１】
提案されている別の浸漬リソグラフィの解決法は、液体供給系に、投影系の最終部材と基板テーブル間の空間の境界の少なくとも一部に沿って延在する密封部材を設けることである。密封部材は、ＸＹ面にて投影系に対してほぼ静止しているが、Ｚ方向（光軸の方向）には多少の相対的動きがあってもよい。密封部材と基板の表面の間にシールが形成される。実現時には、シールは気体シールなどの非接触シールである。このようなシステムは、例えば米国特許出願番号第１０／７０５７８３号（その全記載内容を本明細書の記載として援用する）で開示されている。
【００５２】
図５は、本発明の一例としての焦点校正デバイス６およびデータ記憶デバイス８を有する密封部材補償装置２を示す。図示構成では、密封部材４が、投影系ＰＬの最終部材と、基板Ｗおよび／または基板テーブルＷＴとの間の領域に浸漬液１３を含む。密封部材４の重量、さらにそれが伝達するその他の力は、補償しないと、基板テーブルＷＴの変形および／または傾斜を引き起こすことがある。密封部材４からの力の分布は、投影系ＰＬの最終部材の光軸に対して直角の平面内で不均一である。図５で示し、他の図にも関連する座標系では、この面がＸＹ面に対応し、投影系ＰＬの最終部材の光軸がＺ軸に対応する。例えば、密封部材４により基板テーブルＷＴに作用する重力の不均一性は、矢印１０、１２で示され、大きい方の矢印が大きい方の力を示す。密封部材４と、投影系ＰＬの最終部材を支持するフレーム１６との間に取り付けた垂直誘導部材１５も、矢印１７で示すように係留点１１を介して力を伝達する。一般的に、基板テーブルＷＴが受ける妨害（変形）は、密封部材４によって引き起こされる力およびトルクの複雑な分布から生じ、基板テーブルＷＴに対する密封部材４の相対的位置によって決定される。補償がなければ、これらの力は、基板テーブルＷＴ上の基板Ｗを露光した時に、焦点ずれ効果につながるだろう。例えば、密封部材４と浸漬液１４が所定位置にある状態で、基板テーブルＷＴを投影系ＰＬの下に配置する前に、別体の測定システムで基板Ｗの形状マップを作成するデュアルステージリソグラフィ装置では、基板形状マップを作成中に密封部材４が所定位置になかったために、基板形状マップにエラーが生じることがある。密封部材４からの力による基板テーブルＷＴの歪みは、基板Ｗにおける焦点ずれを引き起こすばかりでなく、機械間の重なり（特に浸漬と非浸漬機械）にも影響するであろうし、基板テーブルＷＴの配置精度にも影響するであろうが、これは基板テーブルＷＴの側面反射側領域から反射した光によって動作する干渉計が作成した測定値に従って調節される。
【００５３】
一例によると、密封部材４の重量での屈曲など、基板テーブルＷＴの妨害（変形）は、その効果を校正することによって補償することができる。基板テーブル形状測定デバイス１４は、基板テーブルＷＴが密封部材４との相互作用によって変形かつ／または傾斜している場合に、その表面高さプロフィールを測定するために設けられている。表面高さプロフィールは、ＸＹ面の位置の関数としてＺ軸に沿って測定した表面の位置であり、デュアルステージリソグラフィ装置の測定位置で記録された通りの基板形状マップに対応する。基板テーブル形状測定デバイス１４が実行する表面高さプロフィールの測定は、基板テーブルＷＴに対する密封部材４の様々な位置で繰り返さねばならない。同様に、基板テーブルＷＴの表面傾斜プロフィールを測定し、表面傾斜輪郭は、ＸＹ面での位置の関数として、表面のＲｘおよび／またはＲｙ傾斜を含む。測定結果は、データ記憶デバイス８に記憶され、これは焦点校正デバイス６によってアクセス可能である。基板テーブルＷＴに対する密封部材４の現在の水平位置に基づき、焦点校正デバイス６は補償データを計算して、基板テーブルサーボシステム９へと送信し、これは歪みから生じた焦点ずれ効果を補償するために、基板テーブルＷＴの位置（例えば高さおよび／または傾斜）を調節することができる。焦点校正デバイス６は、事実上、基板Ｗ上の各ポイントを描像のポイントで最善の焦点面に持って行くことを目的とする。実際には、焦点校正デバイス６は、適切にプログラムされたコンピュータで作動するように構成されたソフトウェアに実装することができる。
【００５４】
基板テーブルＷＴの妨害（変形）は、解析的数学関数Ｚｃｏｍｐとしてモデル化することができ、これは多項関数またはべき級数の展開式を含む。例えば、以下の関数を使用することができる。つまり、Ｚ＝ａＸ＋ｂＹ＋ｃＹ＾２＋・・・＋ｕＸ＾２Ｙ＾２＋ｖＸ＾４＋ｗＹ＾４＋ｆ（Ｘ，Ｙ）であり、ここでｆ（Ｘ，Ｙ）はべき級数の残りでカバーされない残差を表す。ＸおよびＹ軸を中心とする傾斜は、べき級数を微分して計算する。ＸおよびＹ座標に関する関数の優先は、基板テーブルの関連する部材（基板テーブルの支持構造など）の幾何学的形状によって効果が円対称でない場合に生じる。幾何学的性質が三角形に傾いている場合は、係数のゼルニケ級数が好ましい。Ｚｃｏｍｐの係数および残差関数は、以下のうち１つまたは複数から決定することができる。つまり、ａ）密封部材の位置および相互作用力の関数として、基板テーブルの妨害（変形および／または傾斜）を予想する基板テーブルの機械数学モデル、ｂ）露光位置における焦点誤差を求めることができる、焦点試験パターンを露光する試験の校正結果、ｃ）補償すべき実際のリソグラフィ装置の密封部材によって加えられるのと同等の力を基板テーブルに加えた状態で、基準機械にｂ）の測定結果を使用すること、またはｄ）ａ）、ｂ）およびｃ）のうち１つまたは複数の組み合わせである。
【００５５】
基板テーブルは、基板が取り付けられた後、基板および／または基板テーブルの温度が変化しても変形することがある。これについては、上記で検討したような補償関数に基づいたフィードフォワード機構を使用するか、あるいは基板テーブル内に１つまたは複数の温度センサが配置されたフィードバック機構を使用して対処することができる。
【００５６】
基板テーブルＷＴの妨害（変形）を考察するために、投影系自体の性能を変更する方法の代替方法として、密封部材補償装置の別の例では、密封部材４を物理的に支持し、それによってソースにて基板テーブルＷＴの関連する歪みを防止することによって働く。図６は、本発明のこの側面により可能な具体例を示す。矢印２４は、密封部材４に作用する下向きの力を表し、これは重量による重力でよい。密封部材補償装置によって供給される反対方向の等しい支持力が、矢印２２で示される。このような力を供給するために、密封部材補償装置は、密封部材４からの追加の力によって不利な歪みが発生しないほど十分に固い部材に（機械的またはその他の方法で）結合しなければならない。これを達成する一つの方法は、投影系ＰＬを支持するフレーム（このフレームは、焦点センサおよび／または位置合わせセンサなど、各種計測デバイスを支持することができる）に密封部材４を結合することである。その結果生じる力を矢印１８で示し、結合自体を破線２３で示す。この例では、投影系ＰＬを支持するフレーム１６、および基板テーブルＷＴまたは投影系ＰＬに直接的または近接した機械的接続がない隔離されたフレーム２１とのいずれか、または両方に結合２３を行う。この構成は、投影系ＰＬの繊細な部材の妨害（変形）を最低限に抑えるという利点を有する。しかし、代替方法として、投影系ＰＬの最終部材と結合する何らかの形態を配置することも可能である。その結果生じる下向きの力を、矢印２０で示す。この構成は、投影系ＰＬが密封部材４に近接しているという利点を有するが、投影系ＰＬの光学的性能に影響しないように注意しなければならない。
【００５７】
図７、図８は、密封部材補償装置の一部を形成する密封部材懸架デバイス２６、２８によって、実際に密封部材４を支持する方法を、さらに詳細に示す。補償力は、例えば軟らかい機械的予荷重ばね、軟らかい空気圧蛇腹および／または受動的磁力でよい。図７は、補償力がばねなどの一般的な機械式タイプである密封部材懸架デバイス２６の具体例を示す。機械式密封部材懸架デバイス２６として蛇腹を使用する場合、蛇腹の媒質は液体または気体でよい。図８は、機械的接触なしに密封部材４に力を加えることができる電磁ローレンツまたは磁気抵抗アクチュエータ２９を介して補償力を提供する密封部材懸架デバイス２８の具体例を示す。一般的に、密封部材４の突然の変位、密封部材４の振動を回避するか、さらに一般的には所望の反応特性を達成するために、おそらくは時間に関して密封部材の変位の変化率に比例する何らかの形態の減衰力も使用することができる。図７、図８の両方で、破線２７は、密封部材４に加えた力の反応が、投影系ＰＬの一部、投影系ＰＬを支持するフレーム、または投影系ＰＬおよび基板テーブルＷＴから機械的にほぼ隔離されたフレーム、またはその組み合わせを介して支持できることを示す。
【００５８】
図９は、密封部材懸架デバイス制御装置３１および密封部材懸架デバイス制御装置メモリ３３を有する本発明の具体例を示す。密封部材懸架デバイス制御装置３１は、ここでは密封部材懸架デバイス２６を介して密封部材４に加えられた補償力の大きさを制御するように構成される（しかし、同様に密封部材懸架デバイス２８または何らかの組み合わせでよい）。補償力の有効大きさを求めるために、密封部材懸架デバイス制御装置３１は、各種ソースからの入力を使用してよい。一つの可能な方法は、単に、密封部材懸架デバイス制御装置３１がアクセス可能な密封部材懸架デバイス制御装置メモリ３３に補償値を記憶することである。記憶された補償値は、例えば密封部材４の重量、垂直誘導部材１５を介して加えられる力および／または密封部材に作用することが知られているその他の何らかの力の大きさを表すことができる。
【００５９】
密封部材懸架デバイス制御装置３１は、それぞれ矢印３７および４１で概略的に示すような密封部材４の垂直位置および水平位置をそれぞれ測定するように配置された位置センサ３５および／または３９からの入力も受信することができる。実現時には、位置センサ３５、３９を、投影系ＰＬを支持するフレーム１６に接続するが、そのいずれか、または両方をリソグラフィ装置の別の部品に接続してもよい。密封部材懸架デバイス制御装置メモリ３３に記憶されたデータを使用して、例えば密封部材４の垂直位置を使用して垂直誘導部材１５が加える力のサイズを計算することができる。代替的または追加的に、密封部材４に作用する力が、その水平位置（つまりＸ−Ｙ面における位置）によって決定される場合、センサ３９（Ｘ座標とＹ座標の両方を決定するために、２つ以上のセンサを有してよい）からの出力を、密封部材懸架デバイス制御装置３１の入力として使用する。言うまでもなく、密封部材の傾斜などの他の姿勢を測定し、使用してもよい。前記と同様に、加えるべき補償力は、密封部材懸架デバイス制御装置メモリ３３に記憶されたデータに基づいて計算することができる。このデータは、計算から、または校正測定値から導出してよい。
【００６０】
図１０で示された本発明の具体例によると、正確な補償は、基板テーブル補償装置３０のＺアクチュエータ４２によって加えられる垂直力の関数として制御される密封部材懸架デバイス２６、２８を使用して達成することができる。通常の（つまり浸漬しない）動作では、基板テーブルＷＴの重量を、基板テーブル補償装置３０の制御回路形成部分によって補償することができ、これは、例えばセンサ３６によって測定した通りのフレーム１６と基板テーブルＷＴ間の空間距離などを参照して、基板テーブルＷＴの垂直および／または傾斜（つまりＺ、Ｒｘおよび／またはＲｙ）位置を制御するように作用する。密封部材４が下降し、基板テーブルＷＴに載ると、密封部材の重量を抑制する余分な垂直の力が、制御回路の一部を形成する基板テーブル制御装置３２（例えばＰＩＤ低域制御装置）によって生成される。矢印３８は、矢印４０によって示した密封部材４の重量に対向して加えた力を表す。
【００６１】
この具体例によると、余分な垂直の力は、投影系ＰＬの最終部材を支持するフレーム１６と密封部材４とを接続する（あるいは密封部材４と投影系ＰＬの最終部材自体とを接続する）密封部材懸架デバイス２６、２８を駆動する密封部材補償装置の一部を形成する密封部材制御装置３４（例えばＰＩ低域制御装置）の入力（つまり設定ポイント）を形成する。密封部材制御装置３４は、密封部材４を持ち上げ、および／または、傾斜させる垂直力を作り出す。基板テーブルアクチュエータ４２は、もはや、密封部材４に対して補償力を作り出す必要がない。補償力は、密封部材懸架デバイス２６、２８によって与えられるからである。前記具体例と同様に、基板テーブルＷＴは、もはや、密封部材４の重量によって、または、密封部材４から生じるその他の力によって変形し、および／または、傾斜することがない。
【００６２】
１．０％の正確さは、前記具体例による補償を用いると、極めて実現可能である。焦点ずれ誤差が４００ｎｍである場合、誤差は約４ｎｍ以内まで減少し、これは大部分の目的で許容可能なはずである。予想される基板テーブルの変形および／または傾斜は、これらの環境では無視できるようになり、その結果、機械間のオーバレイが良好になる。さらなる利点は、Ｘ、ＹおよびＺ方向での基板テーブルＷＴの配置、および基板テーブルＷＴの傾斜の制御を担当する基板テーブルのショートストロークアクチュエータシステムのクロストークが、非常に小さくなることである。というのは、密封部材４の有効重量の変動、および基板テーブルＷＴに対する密封部材４の位置の変動に伴ってシフトする重力の効果が、もはや生じないからである。その結果、ステージの位置づけがさらに正確になる。
【００６３】
密封部材懸架デバイス２６、２８は、本発明の別例によると、基板テーブルＷＴの変形および／または傾斜を回避する目的で密封部材４を支持する機能を、基板テーブルＷＴまたはその構成部材を交換する目的で、密封部材４を安全で通常は上昇位置で支持する機能および／または加圧気体システムの穴の分離などの緊急事態、電源断、または基板テーブルＷＴ自体によって引き起こされた緊急事態に誠実に反応する機能と組み合わせるように校正することができる。理解できるだろうが、密封部材懸架デバイス２６、２８は、単に、基板テーブルＷＴまたはその構成部材を交換する目的で、密封部材４を安全な位置（通常は、上昇位置）に支持するか、記載されたようなシステム故障に備えて安全機構を提供するか、または、その両者を実行するように校正してもよい。
【００６４】
この構成を図１１で示す。ここでは、一例としての密封部材懸架デバイス２６がハウジング４６を有し、個々に小型ピストン４８および大型ピストン４９が密封状態で挿入される。圧力プレート５０を、大型ピストン４９の最上面に配置する。ばね部材５２を、圧力プレート５０とハウジング４６の下部内面との間に配置して、大型ピストン４９に上向きの力を加えるように構成し、これはハウジング４６の下部内面と圧力プレート５０との間隔が減少するにつれて増大する。圧力調整器４４を設けて、ハウジング４６によって限定された容積内の圧力を制御する。圧力調整器４４を介してハウジング４６内の圧力を制御すると、密封部材４の垂直位置を制御する手段が提供され、これは、前記具体例と組み合わせて使用し、密封部材４から報じる力を補償して、そこから生じる基板テーブルＷＴの歪みを防止するか、基板テーブルＷＴまたはその部材を交換する目的で、密封部材４を安全で通常は上昇した位置に支持する、あるいはその両方を実行することができる。しかし、この構成は、図１２に関して以下で述べるように、システム故障に備えて安全機構を提供する機能も満たすことができる。
【００６５】
図１２は、図１１で示したような密封部材懸架デバイス２６によって支持された場合に、密封部材４のＺ方向に沿った位置の変動を示す。Ｐ０とＰ１の間では、ばね部材５２の予張力が、最大上昇位置ＺＴからの密封部材４の変位を防止する。予張力は、ピストン５２の動作を支配し、ピストン４８（および密封部材４）を安全位置に押し込む。Ｐ１では、ハウジング４６内の圧力によって加えられた下向きの力が、ばね部材５２の予張力と等しい。Ｐ１を越えると、ばね部材５２が（密封部材４によって加えられた力、およびハウジング４６内の圧力に対向し続けるために）徐々に圧縮し、圧力プレート５０および密封部材４が徐々に低下して、小型ピストン４８は圧力プレート５０との接触を維持する。Ｐ２とＰ３の間の領域では、ばね部材５２が十分に圧縮し、小型ピストン４８が圧力プレート５０と接触して、密封部材４が最低位置になる。しかし、圧力Ｐがさらに増加すると、小型ピストン４８が、ハウジング４６内の圧力によって圧力プレート５０を離れて押され、最大上昇位置ＺＴに到達するまで、密封部材４の垂直位置が圧力とともに急速に増大する（実際には、この遷移はほぼ垂直でよい）。描像を目的とする動作領域は、圧力Ｐ２とＰ３の間である。ハウジング４６内の圧力が過度に低くなるか、過度に高くなるシステム故障の場合は、密封部材４が安全位置ＺＴへと押される。
【００６６】
局所的な液体供給系でのさらなる浸漬リソグラフィの解決法を、図４に示す。液体は、投影系ＰＬの各側にある２本の溝入口ＩＮによって供給され、入口ＩＮの半径方向外側に配置された複数の別個の出口ＯＵＴによって取り出される。入口ＩＮおよびＯＵＴは、中心に投影する投影ビームが通る穴があるプレートに配置することができる。液体は、投影系ＰＬの一方側にある１本の溝入口ＩＮによって供給され、投影系ＰＬの他方側にある複数の別個の出口ＯＵＴによって取り出され、これによって投影系ＰＬと基板Ｗの間に液体の薄膜が流れる。入口ＩＮと出口ＯＵＴのどの組み合わせを使用するかの選択は、基板Ｗの動作方向によって決定することができる（入口ＩＮと出口ＯＵＴのその他の組み合わせは非活動状態である）。
【００６７】
参照により全体が本明細書に組み込まれる欧州特許出願第０３２５７０７２．３号では、ツインまたはデュアルステージ浸漬リソグラフィ装置の概念が開示されている。このような装置には、基板を支持するために２つの基板テーブルを設ける。基板テーブルが第一位置にあり、浸漬液がない状態で、レベリングの測定を実行し、基板テーブルが第二位置にあり、浸漬液が存在する状態で、露光を実行する。または、装置は、第一位置と第二位置の間で動作する基板テーブルを１つのみ有してもよい。
【００６８】
本発明の具体例を密封部材について述べたが、本発明の具体例は、任意の浸漬リソグラフィ装置および任意の液体供給系（その関連部品を含む）、特に前記液体供給系のいずれか、および、前記液体槽に適用してもよい。
【００６９】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、説明とは異なる方法でも本発明を実践できることが理解される。前記説明は本発明を限定する意図ではない。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の一例によるリソグラフィ装置を示す。
【図２】本発明の一例により、投影系と基板との間の空間に液体を供給する液体供給系を示す。
【図３】本発明の一例による投影系の最終部材の周囲にある図２の液体供給系の入口および出口の構成を示す。
【図４】本発明の一例による液体供給系を示す。
【図５】本発明の一例により、基板テーブル形状測定デバイス、校正データ保存デバイスおよび焦点校正デバイスと相互作用する投影系を示す。
【図６】投影系または投影系を支持するフレームと機械的に接触した懸架デバイスによって密封部材が支持された本発明の具体例を示す。
【図７】機械ばねを有する密封部材懸架デバイスの一例を示す。
【図８】密封部材に加えられる持ち上げ力が受動的磁力である密封部材懸架デバイスの一例を示す。
【図９】密封部材懸架デバイス制御装置および密封部材懸架デバイス制御装置メモリを有する本発明の一例を示す。
【図１０】本発明の一例による基板テーブル補償装置に関連する制御ループと相互作用するように構成された密封部材補償装置を示す。
【図１１】システム故障に応答して、基板テーブルを交換するか、基板テーブルから離して密封部材を遠位側の安全位置に配置する、あるいはその両方を実行するために、密封部材を基板テーブルから離して持ち上げることができるように構成された密封部材懸架デバイスを示す。
【図１２】懸架デバイスに加えられた過剰圧力の関数として密封部材が作動した位置に関して、密封部材懸架デバイスの性能を示すグラフを示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【外国語明細書】
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