(57)【要約】【課題】ディスペンサのＸＹ軸の動きに対するテーブルの平行度の調整が容易なテーブル平行度調整装置を提供する必要がある。【解決手段】そこで、本発明のテーブル平行度調整装置は、少なくとも３台の微動ジャッキ（Ｚ軸ステージ）上に、球体の支持部材を介してテーブルを載置すると共に、先端を球面とした複数の押しねじを用いて各Ｚ軸ステージに対するテーブルのＸＹ方向の位置を規制するように構成し、各Ｚ軸ステージのストロークを調整することによって、ＸＹ軸の動きに対するテーブルの平行度を精密に調整できる構成とした。【選択図】  図１
2005028202.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｚ軸ステージに設けた微動ジャッキと、前記微動ジャッキの上面にテーブル下面との接触部が球面状の支持部材を設け、前記Ｚ軸ステージにブラケットを介してテーブルの側面に接触する接触部を球面状とした押しねじをＸ，Ｙ方向に配置し、該押ねじで前記テーブルのＸ、Ｙ方向の位置を規制するように構成したことを特徴するとするテーブル平行度調整装置。
【請求項２】
架台上に設けられた基板を載置するテーブルと、該テーブルの上方に配置されＹ方向に移動可能なＸ軸フレームと、該Ｘ軸フレームに設けられ、Ｘ方向に移動可能なＺ軸フレームと、該Ｚ軸フレームに設けられＺ軸方向に移動可能なノズル台と、該ノズル台に取付けられたペーストを吐出するノズルを備えたシリンジからなるディスペンサにおいて、
前記テーブルの角部の少なくとも３箇所に該テーブルの平行度を調整するためのテーブル平行度調整装置を設け、
前記テーブル平行度調整装置は、該テーブル下面と球面上の接触面を備えた支持部材を介して微動ジャッキを備えたＺ軸ステージに前記テーブルを支持すると共に、前記Ｚ軸ステージに設けられたブラケットに、前記テーブルの側面に当接し、該テーブルのＸ，Ｙ方向の移動を規制する押ねじと、該押ねじの該テーブル側面と当接する面を球面状にした構成とし、
前記ノズル台に設けた計測手段により前記テーブル面の高さを計測し、その結果に基づいて前記微動ジャッキを駆動してテーブル面を水平に調整することを特徴とするディスペンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はペースト状の電子材料等を基板等に塗布／描画するために用いられるディスペンサのＸＹ軸の動きに対するテーブルの平行度を調整するに好適なテーブル平行度調整装置とそれを用いたディスペンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ディスペンサはノズルによって接着剤やクリームはんだ等の電子材料ペーストを基板上に塗布／描画するための装置であり、その構成は例えば特開平７−２７５７７１号公報等に開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平７−２７５７７１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ディスペンサを用いて基板全面に渡ってペーストを均一に塗布するためには、ノズルと基板面との間の隙間を均一に保つことが重要なポイントとなる。上記従来技術ではテーブル面はかなりの精度で、平行度が出されている状態で、うねりのある基板を載置した場合の対応を記載したものである。ところで、従来装置では、ディスペンサのＸＹ軸の動きによって形作られる平面に対して、テーブル上面が平行になるように予め所定の精度内に調整されている。従来、この調整には、テーブルの下にシムを挟んでその厚みを変えることによって、ＸＹ軸の動きに対するテーブルの平行を調整していた。しかしながら、シムを挟んだ後でテーブルを基台にねじで固定する時に、ねじの締め方によって平行度が微妙に狂う。このため、従来の調整方法は極めて熟練を必要とし、調整に長時間を要するという問題があった。
【０００５】
上記の問題点に鑑み、本発明は、ディスペンサのＸＹ軸の動きに対するテーブルの平行度の調整が容易なテーブル平行度調整装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のテーブル平行度調整装置は、少なくとも３台の微動ジャッキ（Ｚ軸ステージ）上に、球体の支持部材を介してテーブルを載置するとともに、先端を球面とした複数の押しねじを用いて各Ｚ軸ステージに対するテーブルのＸＹ方向の位置を規制するように構成し、各Ｚ軸ステージのストロークを調整することによって、ＸＹ軸の動きに対するテーブルの平行度を精密に調整することを可能とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図３を用いて本発明のテーブル平行度調整装置の実施例について詳細に説明する。
【０００８】
図１は、本発明のテーブル平行度調整装置を適用したディスペンサの概略構成を示す図である。
【０００９】
図１において、ディスペンサの架台１上には、ペーストが塗布される基板３を載置するテーブル２と、Ｘ軸フレーム４とが設けられ、Ｘ軸フレーム４にはＺ軸フレーム５が設けてある。Ｘ軸フレーム４は、架台１に対してＹ軸方向（紙面と直角方向）に移動可能に構成されている。Ｘ軸フレーム４は、リニアガイド６上をＹ軸方向の案内される。Ｘ軸フレーム４の移動は、ボールねじ７をＹ軸モータ（図示せず）で駆動することで行なわれる。
【００１０】
Ｚ軸フレーム５はＸ軸フレーム４に対してＸ軸方向（紙上左右方向）に移動可能に構成されている。すなわち、Ｚ軸フレーム５は、Ｘ軸モータ１０の出力軸に連結されたボールネジ９によって駆動され、Ｘ軸フレーム４に設けられたリニアガイド８によってＸ軸方向に案内される。
【００１１】
Ｚ軸フレーム５にはノズル台１１がＺ軸方向（図の上下方向）に移動可能に取付けてある。すなわち、Ｚ軸モータ１４及びボールねじ１５によってＺ軸方向に駆動され、図示していないリニアガイドによってＺ軸方向に案内される。ノズル台１１には、ペーストを内蔵したシリンジ１２が搭載されており、シリンジ１２内のペーストはノズル１３から吐出される。上記の構成とすることによって、ノズル１３はＸＹＺ３方向の任意の位置に移動して、基板３上にペーストを塗布／描画することが可能となっている。
【００１２】
テーブル２の下部には、複数のＺ軸ステージ１６が設置されている。このＺ軸ステージ１６は内部に微動ジャッキを備えており、外側に設けられたハンドル１７を回転することによって、テーブル２の上面の高さを精密に変えることが可能である。なお、Ｚ軸ステージそれ自体を微動ジャッキで構成しても良い。
【００１３】
図２は本発明のテーブル平行度調整装置を設けたテーブルの上面図（図１のＡ−Ａ矢視図）である。
【００１４】
テーブル２の高さを調整するためには３台のテーブル平行度調整装置を設ければ十分であるが、本実施例では調整を容易とするために４台のテーブル平行度調整装置でテーブル２の４つの角部を支持する構成としている。テーブル平行度調整装置は、テーブル２を上下させる微動ジャッキの他に、各Ｚ軸ステージ１６に対するテーブル２の水平方向の位置を規制するための押しねじ１８及び押しねじ１９を設けてある。各押ねじ１８、１９は、Ｚ軸ステージ１６に対してテーブル２の姿勢が変化（上下に移動）しても、確実にテーブル２の水平方向の位置を規制できるように、それらの先端は球面としてある。
【００１５】
図３は図２のＢ−Ｂ矢視図である。Ｚ軸ステージ１６はボルト２０によってディスペンサの架台１に固定されている。テーブル２の下面にはテーブル支持部材２１が取付けてある。テーブル支持部材２１の先端（Ｚ軸ステージ１６の上面と接触する部分）は球面形状としてある。テーブル支持部材２１先端を球面形状にすることにより、テーブル２の下面の角度とＺ軸ステージ１６の上面の角度が異なっていても確実にテーブル２を支持することを可能としている。なお、本実施例ではテーブル支持部材２１をテーブル側に設ける構成としたが、これをＺ軸ステージ側に設けるようにしても良い。また、テーブル支持部材の先端を球面形状とする代わりに、球体を回転できるように支持した構成としても良い。
【００１６】
押ねじ１９は、Ｚ軸ステージ１６に対してテーブル２のＸ軸方向の位置を規制するために設けたもので、前述したようにその先端は球面形状としている。押ねじ１９はブラッケット２２に取り付けられ、該ブラケット２２は、ボルト２３によってＺ軸ステージ１６に固定されている。押しねじ１９は、ロックナット２４で緩みを防止されている。
【００１７】
次に本発明のテーブル平行度調整装置を用いたテーブル水平度調整手順について、図４を用いて説明する。図４において、２５はテーブル２の上面の高さを測定するためのダイヤルゲージであり、ノズル台１１に取り付けられている。まず、Ｚ軸ステージ１６に対するテーブル２のＸＹ方向の位置を規制する押しねじ１８及び１９をわずかに緩める。その後、このダイヤルゲージ２５をディスペンサのＸ軸及びＹ軸を動作させることによってテーブル２の任意の位置に移動させ、それぞれの位置におけるテーブル２の上面の高さを測定する。各測定結果に基づいて、動作させるＺ−ｂｕｒｕ微動ジャッキを動かして、それぞれの位置におけるテーブル２の高さが等しくなるように、ハンドル１７を動かすことによって調整する。
【００１８】
調整が終了したら、ハンドル１７の位置をロックすると共に、押しねじ１８及び１９によってテーブル２のＸＹ方向の位置を規制すると共に、ロックナット２４によって押しねじ１８及び１９に緩み止めを施す。この方法によればねじを用いてテーブル２を架台１に対して締め付ける必要が無いため、ねじの締め付け加減によるテーブル水平度の狂いを防止することができ、特別な熟練技術を持たない作業者でも容易にテーブル平行度の調整が可能となる。
【００１９】
上記の実施例でテーブル面の高さの計測にダイヤルゲージを用いて行うことで説明したが、非接触の光センサを用いて測定し、その結果を用いてハンドル１７に代えてモータを駆動して微動ジャッキを動作させて、自動的にテーブルの平行度を調整することが可能であることは言うまでもない。
【００２０】
【発明の効果】
本発明のテーブル調整装置を用いれば、特別な熟練技術を持たない作業者でもディスペンサのＸＹ軸の動きに対するテーブルの平行度の調整を容易に実行することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】テーブル平行度調整装置を適用したディスペンサの概略構成を示す図である。
【図２】本発明のテーブル平行度調整装置の配置を説明するための平面図（図１のＡ−Ａ矢視図）である。
【図３】図２のＢ−Ｂ矢視図である。
【図４】テーブル平行度調整方法を説明するための概略図である。
【符号の説明】
１…架台、２…テーブル、４…Ｘ軸フレーム、５…Ｚ軸フレーム、１１…ノズル台、１３…ノズル、１６…Ｚ軸ステージ、１７…ハンドル、１８、１９…押しねじ、２１…テーブル支持部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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