(57)【要約】  【課題】電子部品実装用フィルムキャリアテープの蛇行が生じず、該テープと接触する部分のクリーニングロールの表面が磨耗してもクリーニングロールと該テープとが常に圧接している状態を保つことができ、また、クリーニングロールと該テープとの接触面を常に大きく保つことができるテープクリーニング装置を提供する。  【解決手段】自由回転のクリーニングロールと該クリーニングロールに密接する自由回転の粘着ごみ取りロールとの組み合わせからなる単位クリーニング装置を２組以上有しており、各々の単位クリーニング装置が相互に接触することなしで且つ各々の単位クリーニング装置のクリーニングロールがクリーニングすべきテープの表面及び裏面に巻き付け角度をもって密接するように配置されている、テープクリーニング装置。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
自由回転のクリーニングロールと該クリーニングロールに密接する自由回転の粘着ごみ取りロールとの組み合わせからなる単位クリーニング装置を２組以上有しており、各々の単位クリーニング装置が相互に接触することなしで且つ各々の単位クリーニング装置のクリーニングロールがクリーニングすべきテープの表面及び裏面に巻き付け角度をもって密接するように配置されていることを特徴とするテープクリーニング装置。
【請求項２】
各々の単位クリーニング装置のクリーニングロールがクリーニングすべきテープの表裏面に交互に巻き付け角度をもって密接するように配置されている請求項１記載のテープクリーニング装置。
【請求項３】
クリーニングロールがゴムロールであり、粘着ごみ取りロールが裏面剥離性の粘着シートを巻き付けることによって形成されたロールである請求項１又は２記載のテープクリーニング装置。
【請求項４】
電子部品実装用フィルムキャリアテープ用クリーニング装置である請求項１、２又は３記載のテープクリーニング装置。
【請求項５】
電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造装置に組み込まれている請求項１、２又は３記載のテープクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はテープクリーニング装置に関し、特に、半導体チップ等の電子部品が実装される電子部品実装用フィルムキャリアテープ（例えば、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ、ＣＯＦ（Chip On Film）テープ、ＣＳＰ（Chip Size Package）テープ、ＢＧＡ（Ball Grid Array）テープのような電子部品実装用フィルムキャリアテープ）用クリーニング装置に関する。なお、本発明においては、用語「電子部品実装用フィルムキャリアテープ」は電子部品を実装する前のキャリアテープだけでなく、実装後のキャリアテープも包含する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品をパーソナルコンピュータ、携帯電話、テレビのような液晶装置、あるいはプリンタ等に実装する際に各種のプリント配線基板が使用されており、近年ではこうした機器の小型化、軽量化が進み、また液晶パネルの高精細化が進んで表示画素数が増大し、これに伴って電子部品実装用フィルムキャリアテープの導体配線パターンの微細化、高密度化が進んでいる。
【０００３】
このような狭ピッチの配線パターンを有する電子部品実装用フィルムキャリアテープはキャリアテープの長尺方向に各ピース毎の配線パターンが繰り返し形成された長尺のテープであり、製造工程、品質検査工程、電子部品実装工程等においては、スプロケット孔等によりキャリアテープをリールからリールへ搬送しながら行われる。なお、配線パターンは必要に応じてインナーリード、アウターリードとなる部分を除いて一面に保護ソルダーレジストで被覆されており、また、インナーリード、アウターリードの部分には酸化防止、電子部品の外部端子との接続性の向上等の目的で錫メッキが施されており、電子部品は、電子部品実装部の位置で、例えばバンプを介してインナーリードにボンディングされる。この電子部品実装フィルムキャリアテープの所定領域を打抜装置により打抜いて半導体デバイスを得ている。
【０００４】
しかしながら、電子部品実装用フィルムキャリアテープにゴミ等の異物が付着していることがあり、打抜装置が異物を噛み込み、半導体デバイスに異物が圧着され、異物の圧着によりリード部の一部が破損し、半導体デバイスが接続不良となりやすいという問題点があった。
【０００５】
従来、ゴミ等の異物の除去方法として、図２に示すように、自由回転の２個のクリーニングロール１１を相互に圧接させ、その２個のクリーニングロール１１の間に電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を通過させて電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の表裏面に存在するゴミ等の異物をクリーニングロール１１に移動させ、クリーニングロール１１に移動したゴミ等をクリーニングロール１１に密接する自由回転の粘着ごみ取りロール１３に粘着させて回収していた。
【０００６】
しかしながら、上記のような方式によって電子部品実装用フィルムキャリアテープからゴミ等の異物を取り除く場合には、２個のクリーニングロールの間に進入する電子部品実装用フィルムキャリアテープの進入角度がほんの少しずれても電子部品実装用フィルムキャリアテープに蛇行が生じて電子部品実装用フィルムキャリアテープを破損させることがあり、それでそのような状態になった場合には直ちに装置の運転を停止する必要があった。
【０００７】
また、上記のような方式では、２個のクリーニングロールの間に電子部品実装用フィルムキャリアテープを通過させているので、時間の経過につれて電子部品実装用フィルムキャリアテープと接触する部分のクリーニングロールの表面が段々と磨耗し、磨耗が進むと、クリーニングロールの磨耗していない部分が邪魔となってクリーニングロールと電子部品実装用フィルムキャリアテープとの接触面が段々と少なくなり、遂には、クリーニングロールは電子部品実装用フィルムキャリアテープに圧接できなくなり、ゴミ等の異物の除去効率が低下してくる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記のような問題の生じない、即ち、電子部品実装用フィルムキャリアテープの蛇行が生じず、電子部品実装用フィルムキャリアテープと接触する部分のクリーニングロールの表面が磨耗してもクリーニングロールと電子部品実装用フィルムキャリアテープとが常に圧接している状態を保つことができ、また、クリーニングロールと電子部品実装用フィルムキャリアテープとの接触面を常に大きく保つことができるテープクリーニング装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者等は上記の目的を達成するために鋭意検討した結果、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面及び裏面をそれぞれ別個に回転するクリーニングロールに巻き付け角度をもって密接させることにより上記の目的が達成されることを見いだし、また、この方式は電子部品実装用フィルムキャリアテープだけでなく、全ての長尺テープのクリーニングに有効であることを見いだし、本発明を完成した。
【００１０】
即ち、本発明のテープクリーニング装置、特に電子部品実装用フィルムキャリアテープ用クリーニング装置は、自由回転のクリーニングロールと該クリーニングロールに密接する自由回転の粘着ごみ取りロールとの組み合わせからなる単位クリーニング装置を２組以上有しており、各々の単位クリーニング装置が接触することなしで且つ各々の単位クリーニング装置のクリーニングロールがクリーニングすべきテープの表及び裏に巻き付け角度をもって密接するように配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のテープクリーニング装置においては、テープの進入角度が少しずれても自動修正されるので電子部品実装用フィルムキャリアテープの蛇行が生じることはなく、電子部品実装用フィルムキャリアテープと接触する部分のクリーニングロールの表面が磨耗してもクリーニングロールと電子部品実装用フィルムキャリアテープとが常に圧接している状態を保つことができ、また、クリーニングロールと電子部品実装用フィルムキャリアテープとの接触面を常に大きく保つことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明のテープクリーニング装置は全ての長尺テープのクリーニングに有効であるが、特に電子部品実装用フィルムキャリアテープのクリーニングに有効であるので、以下に電子部品実装用フィルムキャリアテープのクリーニングについて説明する。
【００１３】
この電子部品実装用フィルムキャリアテープとして、例えばポリイミドからなる絶縁フィルムに例えば搬送用のスプロケットホール、半田ボール又は金属バンプ搭載用のラウンド穴あるいはボンディング用のデバイスホール等の打抜き穴を形成し、その後、この絶縁フィルムに接着剤を介して銅箔を積層し、次に、スプロケットホールを用いて該テープを搬送しながら該テープの表面にある銅箔をパターニングすることにより配線パターンを形成し、その後、必要に応じて配線パターン上にソルダーレジスト層を形成する工程等を経て製造されたＴＡＢテープや、ＢＧＡテープを挙げることができる。
【００１４】
上記の絶縁フィルムとしては耐熱性、耐薬品性、湿熱安定性等に優れた合成樹脂フィルムを使用することが好ましい。このような合成樹脂フィルムとしてポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、耐熱性ポリエステルフィルム、ＢＴレジンフィルム、フェノール樹脂フィルム、液晶ポリマーフィルムを使用することができるが、卓越した耐熱性、耐薬品性、湿熱安定性を示すポリイミドフィルムを使用することが特に好ましい。
【００１５】
本発明のテープクリーニング装置を図１に基づいて説明する。本発明のテープクリーニング装置は自由回転のクリーニングロール１と該クリーニングロールに密接する自由回転の粘着ごみ取りロール２との組み合わせからなる単位クリーニング装置３を２組以上、図１では４組有している。本発明のテープクリーニング装置においては、各々の単位クリーニング装置３が相互に接触することなしで且つ各々の単位クリーニング装置のクリーニングロール１がクリーニングすべきテープ４の表面及び裏面に、好ましくは図１に示すように表裏面に交互に巻き付け角度をもって密接するように配置されている。
【００１６】
本発明のテープクリーニング装置においては、単位クリーニング装置を２組用いて各々の単位クリーニング装置のクリーニングロール１がクリーニングすべきテープ４の表面、裏面の順序で又はその逆の順序で巻き付け角度をもって密接するように配置しても、あるいは単位クリーニング装置を３組用いて各々の単位クリーニング装置のクリーニングロール１がクリーニングすべきテープ４の表面、裏面、表面の順序で又はその逆の順序で巻き付け角度をもって密接するように配置しても、又は単位クリーニング装置を４組用いて各々の単位クリーニング装置のクリーニングロール１がクリーニングすべきテープ４の表面、裏面、表面、裏面の順序で又はその逆の順序で巻き付け角度をもって密接するように配置してもよく、更には単位クリーニング装置を５組以上用いることもできる。
【００１７】
本発明のテープクリーニング装置においては、クリーニングロールの材質はテープの表裏面のゴミ等の異物を吸着し得る材質であればいかなるものでもよいが、一般的にはゴムロールであり、所定の頻度でアルコール等で洗浄する必要があるのでゴムロールを用いることが好ましい。
【００１８】
また、粘着ごみ取りロールはクリーニングロールからゴミ等の異物を受け取り、クリーニングロールに戻すことがないものであればいかなるものでもよいが、ゴミ等の異物の付着により粘着力が低下するので、裏面剥離性の粘着シートを巻き付けることによって形成されたロールであることが好ましい。このような粘着ごみ取りロールはゴミ等の異物の付着により粘着力が低下した部分を剥がし取ることにより、新しい粘着面が露出するので繰り返し有効に使用できる。
【００１９】
本発明のテープクリーニング装置を用いてテープをクリーニングする場合には、好ましくは、連続して配置した複数の単位クリーニング装置３の前後にガイドロール５を設け、また、テープを移動させるために駆動ロール６を設ける。更に、クリーニングロール１がクリーニングすべきテープ４の表面又は裏面に巻き付け角度をもって確実に密接するようにするために、テープ張力調整用ロール７を設ける。このテープ張力調整用ロール７としてダンサーロールを用いても良いし、バックテンションを付与し得るロールを用いても良い。
【００２０】
本発明のテープクリーニング装置は電子部品実装用フィルムキャリアテープ用クリーニング装置として特に好適であり、製造工程、品質検査工程、電子部品実装工程等を含む電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造装置、例えばＡＯＩ等の外観検査装置や、不良ピースを多く含む領域のテープをスプライサーで切断除去し、良品ピースを含む領域のテープ同士を接続するテープ編集機等の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造装置に組み込んで用いることが好ましく、特に半導体チップをボンディングする前の最終段階に組み込んで用いることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のテープクリーニング装置の一例を示す概略説明図である。
【図２】従来のテープクリーニング装置の一例を示す概略説明図である。
【符号の説明】
【００２２】
１  クリーニングロール
２  粘着ごみ取りロール
３  単位クリーニング装置
４  テープ
５  ガイドロール
６  駆動ロール
７  テープ張力調整用ロール
【図１】
2005303192.tif 000003
【図２】
2005303192.tif 000004