(57)【要約】【課題】  簡単な光学系でしかも測定精度も高く、小型化も容易な光干渉型センサを提供する。【解決手段】  ガラス板等の基板１２と、中空部２２を有しその中心に重り２４等の可動部が設けられた本体部２０を有する。レーザダイオード等のレーザ光源４４と、本体部２０に対して直接または間接に固定されレーザ光源４４からの光を分岐するビームスプリッタ１４，１５，１６と、ビームスプリッタ１４，１５，１６から分岐した一方のレーザ光ｂを反射させる固定反射部３２と、本体部２０の重り２４の動きにより動くとともにビームスプリッタ１４，１５，１６により分岐した他方のレーザ光ｂを反射させる可動反射部３０とを備える。固定反射部３２により反射したレーザ光ｂと、可動反射部３０により反射したレーザ光ｂとを、ビームスプリッタ１４，１５，１６により各々同軸上に導いて互いに干渉させ、その干渉光を受光する受光素子４６を備える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空部を有しその中心に力または加速度を受ける可動部が設けられた本体部と、レーザ光源と、上記本体部に対して直接または間接に固定され上記レーザ光源からの光を分岐するビームスプリッタと、このビームスプリッタから分岐した一方のレーザ光を反射させる固定反射部と、上記本体部の可動部の動きにより動くとともに上記ビームスプリッタにより分岐した他方のレーザ光を反射させる可動反射部と、上記固定反射部により反射したレーザ光と上記可動反射部により反射したレーザ光とを各々同軸上に導いて互いに干渉させる干渉光形成手段と、この干渉光形成手段による干渉光を受光する受光素子とを備え、上記可動反射部の変位を光学的に検知して力または加速度を検知することを特徴とする光干渉型センサ。
【請求項２】
上記干渉光形成手段は上記ビームスプリッタであり、上記固定反射部は上記ビームスプリッタの一側面に設けられていることを特徴とする請求項１記載の光干渉型センサ。
【請求項３】
上記可動反射部は、上記可動部である重りの下面と上記重りから互いに対称に延びた片持ち梁状可動板の下面に設けられていることを特徴とする請求項１記載の光干渉型センサ。
【請求項４】
上記片持ち梁状の可動板は、互いに対称に四方に延びており、そのうちの互いに直角方向に位置した一対の可動板と上記重りの各可動反射部に、上記ビームスプリッタが各々対面していることを特徴とする請求項３記載の光干渉型センサ。
【請求項５】
中空部を有しその中心に力または加速度を受ける可動部が設けられた本体部と、互いに僅かに波長の異なる一対のレーザ光源と、上記各レーザ光源からのレーザ光を分岐するとともに上記各レーザ光源からのレーザ光を同軸上に合わせて干渉させる第一のビームスプリッタと、この第一のビームスプリッタからの干渉光を受光する第一の受光素子と、上記各レーザ光源からのレーザ光を分岐する第二のビームスプリッタと、この第二のビームスプリッタにより一方に分岐された上記レーザ光を反射する固定反射部と、上記本体部の可動部の動きにより動くとともに上記第二のビームスプリッタにより他方に分岐されたレーザ光を反射させる可動反射部と、上記一方のレーザ光源のレーザ光を上記固定反射部からの反射光とし、上記他方のレーザ光源からのレーザ光を可動反射部からの反射光として、各々同軸上で干渉させて上記第二の受光素子に導く干渉光形成手段と、この干渉光形成手段からの干渉光を受光する第二の受光素子とを備え、上記可動反射部の変位を光学的に検知して力または加速度を検知することを特徴とする光干渉型センサ。
【請求項６】
上記干渉光形成手段は、偏光ビームスプリッタから成る上記第二のビームスプリッタと検光子から成ることを特徴とする請求項５記載の光干渉型センサ。
【請求項７】
上記可動反射部は、上記可動部である重りの下面と上記重りから互いに対称に延びた片持ち梁状可動板の下面に設けられていることを特徴とする請求項５記載の光干渉型センサ。
【請求項８】
上記片持ち梁状の可動板は、互いに対称に四方に延びており、そのうちの互いに直角方向に位置した一対の可動板と上記重りに設けられた可動反射部とに、各々上記１／４波長板が対面していることを特徴とする請求項５記載の光干渉型センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、圧力や加速度を光学的に検知する光干渉型センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば加速度を検知するセンサとしては、静電容量型の半導体加速度センサがあった。この加速度センサは、特許文献２に開示されているように、ガラス板等の四角形の絶縁基板と、中空部を有しその中心に加速度により動く重りが設けられ上記絶縁基板とほぼ同形状のシリコン半導体の本体部とから成る。この本体部には、上記重りにより揺動する電極が設けられ、上記絶縁基板に上記本体部を接合した状態で、上記絶縁基板上の電極と上記重りに設けられた電極とが対向する。
【０００３】
また、半導体レーザを用いた加速度センサとしては、特許文献１に開示されているものがある。この加速度センサは、一対の半導体レーザの光出射面を所定間隔空けて対向させて配置し、その中間位置に片持ち梁の反射部材を設けて、レーザ光を半導体レーザに帰還させて、反対側の光出射面からのレーザ光強度の差により片持ち梁の変位を測定し、加速度を求めるものがある。
【特許文献１】特開平５−１８９８８号公報
【特許文献２】特開２００３−１５２１６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の静電容量型の加速度センサは、互いに対向する電極間の静電容量により加速度を検知するが、静電容量は外部の電界や磁界、回路の配線パターン等による影響を受けやすく、検知精度を上げることが難しいものである。さらに、配線による浮遊容量を抑えるために、センサ本体と駆動回路系を互いに近くに配置しなければならず、一体化したモジュールの場合、大きさに制限のある検知箇所では使えない場合もある。また、電極端子を絶縁基板及び本体から取り出す必要があり、この引出配線の配置や引出配線を挟んで本体と絶縁基板を接合する工程等が難しいものであり、不良の発生も多いものである。その他、互いに対向する電極間の間隔が狭いものであり、製造途中等で電極同士が接触したりする問題もあった。
【０００５】
一方、特許文献１に開示された光学的加速度センサは、レーザ光の光源への帰還を利用した受光強度の差で間隔を検知し、加速度を求めようとしているものであり、装置の製造プロセスが難しく、３軸方向の加速度を検知しようとするとレーザ光源及び光検出器がセンサ内部に必要なため構造が複雑で装置も大がかりなものになってしまうものである。
【０００６】
この発明は、上記従来の技術の問題点に鑑みて成されたもので、簡単な光学系でしかも測定精度も高く、小型化も容易な光干渉型センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は、ガラス板等の基板と、中空部を有しその中心に重りやダイヤフラム等の可動部が設けられたシリコン半導体等の本体部と、レーザダイオード等のレーザ光源と、上記本体部に対して直接または間接に固定され上記レーザ光源からの光を分岐するビームスプリッタと、このビームスプリッタから分岐した一方のレーザ光を反射させる固定反射部と、上記本体部の可動部の動きにより動くとともに上記ビームスプリッタにより分岐した他方のレーザ光を反射させる可動反射部と、上記固定反射部により反射したレーザ光と上記可動反射部により反射したレーザ光とを各々同軸上に導いて互いに干渉させる干渉光形成手段と、この干渉光形成手段による干渉光を受光する受光素子とを備え、上記可動反射部の変位を光学的に検知して、力または加速度を検知する光干渉型センサである。
【０００８】
上記干渉光形成手段は上記ビームスプリッタであり、上記固定反射部は上記ビームスプリッタの一側面に設けられている。上記可動反射部は、上記可動部である重りの下面と上記重りから互いに対称に延びた片持ち梁状可動板の下面に設けられている。そして、上記片持ち梁状の可動板は、互いに対称に四方に延びており、そのうちの互いに直角方向に位置した一対の可動板と上記重りの各可動反射部に、各々上記ビームスプリッタが各々対面している。
【０００９】
またこの発明は、ガラス板等の基板と、中空部を有しその中心に加速度により動く重りやダイヤフラム等の可動部が設けられたシリコン半導体等の本体部と、互いに僅かに波長の異なる一対のレーザダイオード等のレーザ光源と、上記各レーザ光源からのレーザ光を分岐するとともに上記各レーザ光源からのレーザ光を同軸上に合わせて干渉させる第一のビームスプリッタと、この第一のビームスプリッタからの干渉光を受光する第一の受光素子と、上記各レーザ光源からのレーザ光を分岐する第二のビームスプリッタと、この第二のビームスプリッタにより一方に分岐された上記レーザ光を反射する固定反射部と、上記本体部の可動部の動きにより動くとともに上記第二のビームスプリッタにより他方に分岐されたレーザ光を反射させる可動反射部と、上記一方のレーザ光源のレーザ光を上記固定反射部からの反射光とし、上記他方のレーザ光源からのレーザ光を可動反射部からの反射光として、各々同軸上で干渉させて上記第二の受光素子に導く干渉光形成手段と、この干渉光形成手段からの干渉光を受光する第二の受光素子とを備え、上記可動反射部の変位を光学的に検知して力または加速度を検知する光干渉型センサである。
【００１０】
上記干渉光形成手段は、偏光ビームスプリッタから成る上記第二のビームスプリッタと検光子から成る。また、上記可動反射部は、上記可動部である重りの下面と上記重りから互いに対称に延びた片持ち梁状可動板の下面に設けられているものである。上記片持ち梁状の可動板は、互いに対称に四方に延びており、そのうちの互いに直角方向に位置した一対の可動板と上記重りの可動反射部とに、各々上記１／４波長板が対面している。
【００１１】
上記重りは、本体部の中空部に梁を介して保持されている。上記重り、可動板及び梁は、上記本体部の形成時にエッチング等の半導体プロセスにより一体に形成されたものである。
【発明の効果】
【００１２】
この発明の光干渉型センサは、加速度や力を受けて可動反射部が変位するものであれば良く、加速度センサや圧力センサ等として用いることができ、外部の電界や磁界等の影響を受けず、これらの雑音の多い箇所でも正確な測定が可能である。また、配線による浮遊容量等の影響がなく、センサと駆動回路とを離して配置することが可能である。また、センサ本体に電極が不要となり、製造が容易であり、電極によるトラブルもなくなり歩留まり良く、効率的な製造が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、この発明の実施形態について図面に基づいて説明する。図１、図２は、この発明の光干渉型センサの一実施形態を示すもので、この実施形態の光干渉型センサは、加速度センサについてのものである。この実施形態の加速度センサ１０は、ガラス板等の透明な基板１２と、この基板１２の裏面の所定位置に配置された３個のビームスプリッタ１４，１５，１６と、このビームスプリッタ１４，１５，１６を保持した保持板１８から成る。
【００１４】
基板１２の表面には、シリコンによる本体部２０が接合されている。本体部２０は、図１、図２に示すように、四角形に形成され中央部には中空部２２が設けられ、中空部２２の中心に可動部である重り２４が設けられている。重り２４は、本体部２０の角部から延びた細い梁２６により四方が支持され、各梁２６の間には、扇状の片持ち梁の薄い可動板２８が重り２４と一体に形成されている。この本体部２０と重り２４、梁２６、及び可動板２８は、シリコンにより一体に形成されている。重り２４と可動板２８の裏面は、面一に形成されている。
【００１５】
重り２４と可動板２８の各裏面は、金属蒸着膜等により鏡面に形成されて可動反射部３０を構成している。また、ビームスプリッタ１４，１５，１６の一側面も、同様に鏡面に形成され、固定反射部３２を構成している。
【００１６】
本体部２０の上面開口部は、ガラス板やシリコン板等の覆い蓋３４により封止されている。基板１２と本体部２０及び覆い蓋３４の各接着は、低融点ガラス等により気密状態で密着して固定され、本体部２０の中空部２２内を真空状態で密封している。また、基板１２と保持板１８は、枠部材３６を介して本体部２０と固定されている。そして、ビームスプリッタ１４，１５，１６は、保持板１８の裏面側に一側面が位置して固定され、保持板１８の裏面側には各々光コネクタ３８が突設されている。各光コネクタ３８には、光ファイバ４０が各々接続されている。
【００１７】
各光ファイバ４０は、本体部２０とは別体に設けられた駆動検知回路部４２の光コネクタ４３に接続されている。駆動検知回路部４２には、レーザダイオード等のレーザ光源４４と、反射してきたレーザ光ｂを検知するフォトダイオード等の受光素子４６を備える。光コネクタ４３とレーザ光源４４及び受光素子４６の間には、レーザ光源４４からのレーザ光ｂを３個の光コネクタ４３に分岐し、さらに各光コネクタ４３を経て入射されるレーザ光ｂを受光素子４６に向かわせる図示しないビームスプリッタ等からなる光分岐部４８を備えている。そして、受光素子４６により受光した信号は、信号変換部５０を経て、後述する処理方法により可動反射部３０の変位として検知され、加速度を算出する。
【００１８】
この実施形態の加速度センサ１０の動作は、先ず、レーザ光源４４から出射したレーザ光ｂは、光分岐部４８を経て３個の光コネクタ４３に送られ、各光ファイバ４０を経て３個のビームスプリッタ１４，１５，１６に入射する。ビームスプリッタ１４，１５，１６では、各ビームスプリッタ１４，１５，１６に入射したレーザ光ｂが、ハーフミラー部で２分され、一方はビームスプリッタ１４，１５，１６の一側面に各々形成された固定反射部３２に向かう。また、他方のレーザ光ｂは、重り２４の裏面の可動反射部３０、及び一対の可動板２８の各可動反射部３０に各々出射される。
【００１９】
可動反射部３０と固定反射部３２とからの反射光は、ビームスプリッタ１４，１５，１６内で同軸に合わせられ、各々光コネクタ３８から光ファイバ４０を経て、光コネクタ４３に戻り、光分岐部４８から受光素子４６に向かう。そして、可動反射部３０と固定反射部３２とからの反射光は、互いに干渉して干渉光となる。ここで、この実施形態では、マイケルソン干渉を利用して、変位を検知するもので、可動反射部３０と固定反射部３２とからの各反射光の光路差をＬ、レーザ光源４４からのレーザ光ｂの波長をλ、受光素子４６により検知される１波長分の光路差の変動による干渉光の明暗回数をＮ、明暗の１未満の端数をεとすると、光路差Ｌは以下の式（１）で表される。
【００２０】
Ｌ＝１／２・λ（Ｎ＋ε）      ・・・（１）
この式（１）により、受光素子４６で捉えられる干渉光の明暗回数Ｎとその端数εを求めることにより光路差Ｌを求めることができる。そして、光路差Ｌは、梁２６のたわみまたは可動板２８のたわみであり、そのたわみ量から力Ｆが求められ、求められた力Ｆは、重り２４にかかる加速度αにより定まる値である。従って、受光素子４６で捉えられる干渉光の明暗回数Ｎとその端数εを求めることにより、加速度αが得られる。これは、図１におけるＸＹＺ３軸方向について独立に算出されるもので、重り２４の裏面の可動反射部３０がＺ軸方向の加速度により梁２６のたわみにより変位し、Ｘ，Ｙ軸方向の加速度によりビームスプリッタ１４，１５に対面する各可動板２８が変位し、ＸＹＺ３軸方向の加速度をこの加速度センサ１０により検知することができる。
【００２１】
この実施形態の加速度センサ１０によれば、加速度を受けて可動反射部３０が変位することにより、レーザ光ｂの光路差を光の波長以下の高精度で検知し、その光路差による梁２６や可動板２８のたわみから力を求め加速度を算出しているので、極めて敏感に高精度の加速度検知を行うことができる。しかも、電気的な部分は駆動検知回路部４２に設けられており、加速度センサ１０の本体部２０は外部の磁界や電界による影響を受けることがなく、この点からも精度の高い検知が可能となる。しかも、ビームスプリッタ１４，１５，１６は１辺が０．５ｍｍ以下のものも可能であり、加速度センサ１０の大きさも極めて小さなものにすることができる。また、本体部２０や、保持板１８、覆い蓋３４の素材は適宜選択することができ、材料を選ばず、基板１２もレーザ光ｂを透過可能なものであればよいので、製造が容易であり、コストも安価に製造することができる。
【００２２】
なお、この加速度センサ１０の可動板２８の形状は、図３に示すように、略三角形状に形成されたものや、図４に示すように、略五角形状に形成されたものでも良く、重り２４に対して、Ｘ軸及びＹ軸を中心に対称に形成されたものであれば良い。
【００２３】
また、図５に示すように、重り２４を保持した梁２６が重り２４のＺ軸方向の中央部に接続するように本体部２０を形成し、重り２４の下面にＸＹ軸方向に対称に延びた可動反射部３０を接続しても良い。この可動反射部３０は、例えば、鏡面を有した金属薄板やガラス薄板である。また、保持板１８を省略して、基板１２から光コネクタ３８を介してレーザ光ｂの授受を行っても良い。
【００２４】
さらに、図６に示すように、ビームスプリッタ１４，１５，１６に接続する光路を本体２０の側方に位置させ、ビームスプリッタ１４，１５，１６の側面及び枠部材３６の側方に光コネクタ３８を設けたものでも良い。
【００２５】
次に、この発明の第二実施形態について、図７〜図９を基にして説明する。ここで、上記実施形態と同様の部材は同一の符号を付して説明を省略する。この実施形態も加速度センサについてのもので、この実施形態の加速度センサ６０は、本体部２０に固定される基板１２に、上記実施形態のビームスプリッタ１４，１５，１６の代わりに、各々１／４波長板６２を設けたもので、本体部２０には上記実施形態と同様に、重り２４の下面、重りと一体の可動板２８の下面に可動反射部３０が設けられたものである。１／４波長板６２は、重り２４の下面、及び互いに直交して延出した一対の可動板２８の下面に対面して、３個設けられている。１／４波長板６２は、直線偏光したレーザ光が入射すると、円偏光させて出射し、円偏光したレーザ光が入射すると、直線偏光にして出射する。
【００２６】
この実施形態の加速度センサ６０の駆動検知回路部６４は、図９に示すように、互いに僅かに波長の異なる一対のレーザダイオード等のレーザ光源６６，６７と、各レーザ光源６６，６７からのレーザ光ｂ１，ｂ２を分岐するものであって、レーザ光源６６，６７からのレーザ光ｂ１，ｂ２を一部透過し一部を反射する第一のビームスプリッタ６８を有する。この第一のビームスプリッタ６８からの干渉光の光路上には、検光子７２と、第一のビームスプリッタ６８からの干渉光を受光するフォトダイオード等の第一の受光素子７０を有する。
【００２７】
さらに、第一のビームスプリッタ６８に隣接して、第一のビームスプリッタ６８より入射する各レーザ光源６６，６７からのレーザ光ｂ１，ｂ２のうち、レーザ光の偏光面の向きにより、一方のレーザ光源６６からのレーザ光ｂ１を透過させ、他方のレーザ光源６７からのレーザ光ｂ２を反射し、後述する固定反射部７４に向かわせる偏光ビームスプリッタである第二のビームスプリッタ７６を備えている。この実施形態では、レーザ光源６６のレーザ光ｂ１の偏光面は図面上において垂直方向であるとすると、レーザ光源６７のレーザ光ｂ２の偏光面は図面上において水平方向に設定されている。これにより、第二のビームスプリッタ７６により、レーザ光源６６，６７からのレーザ光ｂ１，ｂ２を選択的に透過または反射させている。
【００２８】
第二のビームスプリッタ７６で反射したレーザ光源６７のレーザ光ｂ２の光路上には、１／４波長板８０と固定反射部７４が設けられ、固定反射部７４で反射したレーザ光ｂ２は、第二のビームスプリッタ６７に戻り、透過する。また、第二のビームスプリッタ７６を透過したレーザ光源６６のレーザ光ｂ１は、駆動検知回路部６４内の集光ボールレンズ８４を経て、光コネクタ４３から出射される。
【００２９】
また、駆動検知回路部６４には、可動反射部３０で反射して戻ってきたレーザ光源６６のレーザ光ｂ１が第二のビームスプリッタ７６で反射し、レーザ光源６６，６７のレーザ光ｂ１，ｂ２の光路が一致する。そして、その光路上には、検光子７８と、その干渉光を受光するフォトダイオード等の第二の受光素子８２が設けられている。
【００３０】
駆動検知回路部６４には、受光素子７０，８２により受光した信号を処理する信号変換部５０が接続されている。信号変換部５０では、後述する処理方法により、可動反射部３０の変位を検知して、加速度を算出する。
【００３１】
この実施形態の加速度センサ６０の検知方法は、互いに僅かに波長の異なる一対のレーザ光源６６，６７からのレーザ光ｂ１，ｂ２の干渉を利用している。即ち、光のヘテロダイン干渉を利用しているもので、一対のレーザダイオード等のレーザ光源６６，６７の、本体部２０の可動反射部３０からの反射光であるレーザ光ｂ１と固定反射部７４からの反射光であるレーザ光ｂ２とによる干渉光と、固定された光路による同様の干渉光とから、可動反射部３０の変位を求めるものである。
【００３２】
この実施形態では、互いに僅かに波長の異なる一対のレーザダイオード等のレーザ光源６６，６７からの各レーザ光ｂ１，ｂ２は、固定された光路上の第一のビームスプリッタ６８により、検光子７２を経て第一の受光素子７０に各々入射し、干渉により所定の周期で強度が変化する。この強度Ｉの変化は以下の式（２）で表される。同様に、一対のレーザダイオード等のレーザ光源６６，６７からのレーザ光ｂ１，ｂ２は、第二のビームスプリッタ７６により、固定反射部７４と可動反射部３０へ向かうレーザ光ｂ１，ｂ２に分けられ、それらの各反射光が第二のビームスプリッタ７６に戻り、光路が一致されて検光子７８を経て干渉光となり、第二の受光素子８２に入射する。この強度Ｉの変化も、以下の式（２）で表される。
【００３３】
Ｉ＝Ａ１２＋Ａ２２＋２Ａ１Ａ２ｃｏｓ［（ω２−ω１）ｔ＋（ψ２−ψ１）］  ・・・（２）
Ａ１、ω１、ψ１は、レーザ光源６６のレーザ光ｂ１の振幅、角速度、位相、Ａ２、ω２、ψ２は、レーザ光源６７のレーザ光ｂ２の振幅、角速度、位相である。
【００３４】
これにより、第一の受光素子７０での基準となる干渉光の強度Ｉの変化に対して、第二の受光素子８２での干渉光の強度Ｉの変化の遅れ等を検知することにより、レーザ光源６６，６７のレーザ光ｂ１，ｂ２の、可動反射部３０の移動による光路差を測定することができる。
【００３５】
そこで、この実施形態におけるレーザ光源６６，６７の各レーザ光ｂ１，ｂ２の動きを詳述する。先ずこの実施形態では、レーザ光源６６のレーザ光ｂ１の偏光面は図面上において垂直方向であり、レーザ光源６７のレーザ光ｂ２の偏光面は図面上において水平方向に設定されているので、第一のビームスプリッタ６８を透過したレーザ光源６６のレーザ光ｂ１と、第一のビームスプリッタ６８で反射したレーザ光源６７のレーザ光ｂ２とは、偏光面が互いに直角で検光子７２に入射する。検光子７２は、偏光面が図面上で斜め４５°に設定されており、各レーザ光ｂ１，ｂ２のうちの検光子７２の偏光面に沿った各レーザ光成分を透過し、これにより干渉光が形成され、第一の受光素子７０に入射する。入射した干渉光は、式（２）に従って強度Ｉが変化する。
【００３６】
また、第二の受光素子８２に入射するレーザ光ｂ１，ｂ２のうち、レーザ光源６７からのレーザ光ｂ２は、ビームスプリッタ６８を透過し、第二のビームスプリッタ７６で反射し、さらに固定反射部７４で反射されて戻る。このレーザ光ｂ２は、固定反射部７４と対面した１／４波長板８０を往復するので、固定反射部７４で反射されたレーザ光ｂの偏光面が９０°回転し、第二のビームスプリッタ７６を透過する。
【００３７】
一方、第二のビームスプリッタ７６を透過したレーザ光源６６からのレーザ光ｂ１は、ボールレンズ８４で集光され、光ファイバ４０を経て、光コネクタ３８に向かう。さらにレーザ光ｂ１は、光コネクタ３８から１／４波長板６２を経て、可動反射部３０で反射して再びに１／４波長板６２を経て、光ファイバ４０に戻る。この戻ってきたレーザ光ｂ１は、駆動検知回路部６４で、光コネクタ４３を経て第二のビームスプリッタ７６に入射する。可動反射部３０から戻ってきたレーザ光ｂ１は、本体部２０の１／４波長板６２を往復するので偏光面が９０°回転しており、第二のビームスプリッタ７６で反射する。
【００３８】
これにより、レーザ光源６６，６７からのレーザ光ｂ１，ｂ２のうち、固定反射部７４で反射したレーザ光ｂ２と可動反射部３０で反射したレーザ光ｂ１の光路が第二のビームスプリッタ７６で一致し、検光子７８に入射する。第二のビームスプリッタ７６を透過したレーザ光源６６のレーザ光ｂ１と、第二のビームスプリッタ７６で反射したレーザ光源６７のレーザ光ｂ２とは、偏光面が互いに直角であるが、検光子７８は、偏光面が図面上で斜め４５°に設定されており、検光子７８の偏光面に沿った各レーザ光成分が透過し、これにより干渉光が形成される。そして、第二の受光素子８２に入射した干渉光は、式（２）に従って強度Ｉが変化する。
【００３９】
第一の受光素子７０に入射する干渉光は、光路が固定された各レーザ光ｂ１，ｂ２による干渉光であり、一定のタイミングで干渉光の強度Ｉが変化し、第一の受光素子７０による基準値となる。また、第二の受光素子８２に入射する干渉光は、可動反射部３０からの反射光を含み、その光路長は加速度により可動反射部３０が移動することにより変化する。その光路長の違いは、第二の受光素子８２の受光強度変化の上記基準値に対するずれとして表れ、第二の受光素子８２の受光強度変化の上記基準値との差を求めることにより加速度を算出することができる。
【００４０】
この実施形態の加速度センサ６０によっても上記第一の実施形態と同様の効果を得ることができ、より高精度に加速度の検知を行うことができる。
【００４１】
この実施形態の加速度センサ６０は、図１０に示すように、重り２４を保持した梁２６が重り２４の中央部に接続するように本体部２０を形成し、重り２４の下面にＸＹ軸方向に対称に延びた可動反射部３０を接続しても良い。この可動反射部３０は、例えば、鏡面を有した金属薄板やガラス薄板である。また、この実施形態においても、保持板１８を省略して、基板１２から光コネクタ３８を介してレーザ光ｂ１の授受を行っても良い。
【００４２】
さらに、図１１に示すように、各１／４波長板６２に接続する光路を本体２０の側方に位置させ、枠部材３６の側方に光コネクタ３８を設けたものでも良い。
【００４３】
なお、この発明の光干渉型センサは、上記実施形態に限定されるものではなく、重りや梁、可動板を薄いダイヤフラムに置き換えて、圧力センサとして利用することも可能である。この場合も、ダイヤフラムの位置変化を光学的に検知するものであり、静電容量型の圧力センサと比較して、上記実施形態と同様の効果を有する。その他、物理的な歪みを検知するセンサに適宜利用可能なものである。
【００４４】
その他、レーザ光の波長やレーザ素子、受光素子、その他光学素子等は適宜選択可能なものであり、光学系の配置も適宜設定可能なものである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】この発明の第一実施形態の光干渉型センサの概略を示す縦断面図である。
【図２】この発明の第一実施形態の光干渉型センサの覆い蓋を外した状態の平面図である。
【図３】この発明の第一実施形態の他の例の光干渉型センサの覆い蓋を外した状態の平面図である。
【図４】この発明の第一実施形態の他の例の光干渉型センサの覆い蓋を外した状態の平面図である。
【図５】この発明の第一実施形態の他の例の光干渉型センサの概略を示す縦断面図である。
【図６】この発明の第一実施形態の他の例の光干渉型センサの概略を示す縦断面図である。
【図７】この発明の第二実施形態の光干渉型センサの概略を示す縦断面図である。
【図８】この発明の第二実施形態の光干渉型センサの覆い蓋を外した状態の平面図である。
【図９】この発明の第二実施形態の光干渉型センサの駆動検知回路部を示す概略ブロック線図である。
【図１０】この発明の第二実施形態の他の例の光干渉型センサの概略を示す縦断面図である。
【図１１】この発明の第二実施形態の他の例の光干渉型センサの概略を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０  加速度センサ
１２  基板
１４，１５，１６  ビームスプリッタ
２０  本体部
２４  重り
２６  梁
２８  可動板
３０  可動反射部
３２  固定反射部
４４  レーザ光源
４６  受光素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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