(57)【要約】【課題】  本発明は、液状の乾燥剤の乾燥工程に必要な時間を短縮して生産性の向上を図ることができ、有機ＥＬ素子をコスト安に提供することを可能とする極めて実用性に秀れた有機ＥＬ用の封止体の製造装置及びその製造方法を提供することを課題としている。【解決手段】  基板20上に陽極21，発光層22，陰極23を順次成膜して形成された発光部24を封止して有機ＥＬ素子25を形成する有機ＥＬ用の封止体１が載置される載置台６をチャンバー５内に設け、この載置台６に載置された前記封止体１の内側に塗布される液状の乾燥剤２に加熱のための電磁波を照射する電磁波発生源３を前記チャンバー５に設けて、この電磁波発生源３からの前記電磁波により前記封止体１の内側に塗布された液状の乾燥剤２を乾燥させるように構成したものである。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に陽極，発光層，陰極を順次成膜して形成された発光部を封止して有機ＥＬ素子を形成する有機ＥＬ用の封止体が載置される載置台をチャンバー内に設け、この載置台に載置された前記封止体の内側に塗布される液状の乾燥剤に加熱のための電磁波を照射する電磁波発生源を前記チャンバーに設けて、この電磁波発生源からの前記電磁波により前記封止体の内側に塗布された液状の乾燥剤を乾燥させるように構成したことを特徴とする有機ＥＬ用の封止体の製造装置。
【請求項２】
前記電磁波発生源は、その出力を可変する機能を有することを特徴とする請求項１記載の有機ＥＬ用の封止体の製造装置。
【請求項３】
前記乾燥剤の重量若しくはこの乾燥剤からの放出ガスの量、またはチャンバー内の湿度若しくは温度を測定するセンサによって得られた測定値を用いて前記電磁波発生源の出力を制御する出力制御手段を備えたことを特徴とする請求項２記載の有機ＥＬ用の封止体の製造装置。
【請求項４】
基板上に陽極，発光層，陰極を順次成膜して形成された発光部を封止して有機ＥＬ素子を形成する有機ＥＬ用の封止体の内側に液状の乾燥剤を塗布し、この液状の乾燥剤に加熱のための電磁波を照射して、この電磁波により前記液状の乾燥剤を乾燥させることを特徴とする有機ＥＬ用の封止体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ用の封止体の製造装置及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ素子25は現在液晶ディスプレイに代わる有機ＥＬディスプレイの構成素子として実用化されている。図１に一般的な有機ＥＬ素子25の構造を示す（本発明と同一構成部分には同一符号を付した）。
【０００３】
この有機ＥＬ素子25の発光部24は、ガラス基板20上にＩＴＯ等の透明導電膜の配線（陽極21）があり、その上に有機材料のホール注入層及びホール輸送層22ａ、有機発光層22ｂ、電子輸送層及び電子注入層22ｃから成る発光層22を真空蒸着により成膜し、更にアルミ等の金属を陰極23として成膜して構成されている。この陰極23と陽極21に電圧を加えることにより発光層22が発光する。尚、図１に図示した有機ＥＬ素子25は、基板20側から前記発光を導出するボトムエミッション方式のものである。
【０００４】
ところで、有機材料は、大気中の水分により劣化してしまい、大気に曝された状態では著しく寿命が短いため、この有機材料と外気とを遮断する必要があり、前記発光部24を封止キャップ等の封止体１により、この発光部24と封止体１との接着剤26による接着部分よりわずかに侵入してくる水分を吸着するための乾燥剤と共に封止して有機ＥＬ素子25を形成している。尚、図中符号27は、通気性を有する乾燥剤２の蓋である。
【０００５】
この乾燥剤２としては粉状のものや固形化してテープ状に加工したものが使用されているが、最近液体状の乾燥剤２を封止キャップに塗布して、それを加熱乾燥し、乾燥することにより活性化したもの（吸着能力を高めたもの）を使用するケースも増えて来ている。
【０００６】
この液体状の乾燥剤２を封止キャップに塗布して乾燥させる工程においては、従来ホットプレート上に乾燥剤２を塗布した封止キャップを置いて乾燥させる方法や、加熱した空気や窒素を循環して加熱するオーブンなどに入れて乾燥させる方法が用いられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、こうした乾燥工程におけるホットプレートやオーブンによる乾燥では、どうしても塗布した液体の表面から熱が加わり表面から乾燥してくるため、膜厚にむらができたり、表面に膜ができて内部から出たガスが封じ込められて泡状になったり、その泡がはじけてガサガサの状態になったりするために、加熱時間を短縮する、即ち、昇温速度を大きくすると歩留まりが悪くなり、そのため、乾燥の際には昇温速度を小さくして時間をかけて徐々に加熱する必要があり、生産効率のボトルネックとなっているのが現状である。
【０００８】
本発明は、上述のような現状に鑑み、液状の乾燥剤を内部から加熱することができる加熱のための電磁波を利用してこの液状の乾燥剤を加熱することで、この液状の乾燥剤の乾燥工程に必要な時間を短縮して生産性の向上を図ることができ、有機ＥＬ素子をコスト安に提供することを可能とする極めて実用性に秀れた有機ＥＬ用の封止体の製造装置及びその製造方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００１０】
基板20上に陽極21，発光層22，陰極23を順次成膜して形成された発光部24を封止して有機ＥＬ素子25を形成する有機ＥＬ用の封止体１が載置される載置台６をチャンバー５内に設け、この載置台６に載置された前記封止体１の内側に塗布される液状の乾燥剤２に加熱のための電磁波を照射する電磁波発生源３を前記チャンバー５に設けて、この電磁波発生源３からの前記電磁波により前記封止体１の内側に塗布された液状の乾燥剤２を乾燥させるように構成したことを特徴とする有機ＥＬ用の封止体の製造装置に係るものである。
【００１１】
また、前記電磁波発生源３は、その出力を可変する機能を有することを特徴とする請求項１記載の有機ＥＬ用の封止体の製造装置に係るものである。
【００１２】
また、前記乾燥剤２の重量若しくはこの乾燥剤２からの放出ガスの量、またはチャンバー５内の湿度若しくは温度を測定するセンサ４によって得られた測定値を用いて前記電磁波発生源３の出力を制御する出力制御手段９を備えたことを特徴とする請求項２記載の有機ＥＬ用の封止体の製造装置に係るものである。
【００１３】
また、基板20上に陽極21，発光層22，陰極23を順次成膜して形成された発光部24を封止して有機ＥＬ素子25を形成する有機ＥＬ用の封止体１の内側に液状の乾燥剤２を塗布し、この液状の乾燥剤２に加熱のための電磁波を照射して、この電磁波により前記液状の乾燥剤２を乾燥させることを特徴とする有機ＥＬ用の封止体の製造方法に係るものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は上述のようにしたから、液状の乾燥剤の乾燥工程に必要な時間を短縮して生産性の向上を図ることができ、有機ＥＬ素子をコスト安に提供することを可能とする極めて実用性に秀れた有機ＥＬ用の封止体の製造装置及びその製造方法となる。
【００１５】
また、請求項２，３に記載の発明においては、一層効率良く液状の乾燥剤を乾燥せしめることができる一層実用性に秀れたものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
好適と考える本発明の実施形態（発明をどのように実施するか）を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００１７】
封止体１に塗布した液状の乾燥剤２に電磁波発生源３から加熱のための電磁波、例えばマイクロ波を照射して乾燥させる。
【００１８】
この際、マイクロ波による分子振動により液状の乾燥剤２全体を（膜厚方向に）均一に加熱することができるから、乾燥剤２全体を短時間で加熱することが可能となる。
【００１９】
しかも、乾燥剤２を均一に加熱することで、従来のヒータ等により前記乾燥剤の表面から内部を徐々に加熱する場合には、乾燥剤表面に膜が形成されて加熱により生じるガスが内部に閉じ込められやすかったが、本発明によれば、乾燥剤２表面に膜が形成される前に、内部を十分に加熱してガスを外部に放出せしめることができ、乾燥剤２内部にガスが閉じ込められにくくなる。
【００２０】
即ち、昇温速度を大きくしても、乾燥剤２表面がガサガサになったり、むらができたり、変形したりせずに、均質な乾燥剤２を得ることができることになり、歩留まりを向上させることができる。
【００２１】
従って、上述のように液状の乾燥剤２を短時間で均一に加熱することができ、しかも、昇温速度を大きくしても従来のように内部に閉じ込められたガスにより乾燥剤２に変形等が生じないから均質な乾燥剤２を有する封止体１を極めて生産性良く製造できることになる。
【００２２】
よって、有機ＥＬ素子製造のネックとなっていた乾燥剤２の乾燥工程にかかる時間を大幅に短縮して生産性を向上させることができ、それだけコスト安に有機ＥＬ素子を提供できることになる。
【００２３】
また、例えば、前記電磁波発生源３をその出力を可変する機能を有するものとし、前記乾燥剤２の重量若しくはこの乾燥剤２からの放出ガスの量、またはチャンバー５内の湿度若しくは温度を測定するセンサ４によって得られた測定値を用いて前記電磁波発生源３の出力を制御する出力制御手段９を備えた場合には、乾燥剤２の乾燥度合いに応じてより適切な昇温制御を行うことが可能となり、一層効率良く乾燥を行うことができる。
【００２４】
従って、本発明は、液状の乾燥剤の乾燥工程に必要な時間を短縮して生産性の向上を図ることができ、有機ＥＬ素子をコスト安に提供することを可能とする極めて実用性に秀れた有機ＥＬ素子を形成する封止体の製造装置及びその製造方法となる。
【実施例】
【００２５】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００２６】
本実施例は、基板20上に陽極21，発光層22，陰極23を順次成膜して形成された発光部24を封止して有機ＥＬ素子25を形成する有機ＥＬ用の封止体１が載置される載置台６をチャンバー５内に設け、この載置台６に載置された前記封止体１の内側に塗布される液状の乾燥剤２に加熱のための電磁波を照射する電磁波発生源３を前記チャンバー５に設けて、この電磁波発生源３からの前記電磁波により前記封止体１の内側に塗布された液状の乾燥剤２を乾燥させるように構成したものである。
【００２７】
具体的には、図２に図示したように、チャンバー５に、前記加熱される乾燥剤２から放出されるガスを外部に放出するガス放出手段７と、このガス放出手段７により外部に放出される前記ガスの量を測定する（公知の）ガスセンサ４とを設け、このガスセンサ４によって得られた測定値を用いて前記電磁波発生源３の出力を制御する出力制御手段９を備えた構成としている。
【００２８】
従って、加熱される乾燥剤２から放出されるガスの量を測定することで、この乾燥剤２の乾燥度合いを逐次観測することができ、この乾燥度合いを見ながら電磁波発生源３からの電磁波の出力を変化させて逐次適切な昇温速度に設定することができ、極めて効率良く乾燥剤２を乾燥させることができる。
【００２９】
各部を具体的に説明する。
【００３０】
封止体１としては、公知の封止キャップを採用している。尚、封止ガラス等他のものを採用しても良い。また、本実施例においては、前記載置台６に、複数の封止体１が結合された封止結合体の状態でこの封止体１を載置し、前記電磁波発生源３により前記液状の乾燥剤２を乾燥させた後、この封止結合体を分割せしめて複数の封止体１を形成する。尚、載置台６に、予め複数の封止体１を載置して前記液状の乾燥剤２を乾燥させても良いのは勿論である。
【００３１】
載置台６としては、公知のターンテーブルを採用している。従って、このターンテーブルにより前記液状の乾燥剤２が塗布された封止体１を回転させることができ、前記乾燥剤２全体に満遍なく前記電磁波発生源３からの電磁波を照射することができ、それだけ均一に乾燥剤２を乾燥させることができる。
【００３２】
また、本実施例は、この載置台６をチャンバー５内の下部に設け、この載置台６と対向状態にしてチャンバー５の上部に前記電磁波発生源３を設けている。
【００３３】
電磁波発生源３としては、マイクロ波を発生するためのマグネトロン発振管を採用し、この電磁波発生源３を、前記マイクロ波が前記載置台６上（の封止体１に塗布される液状の乾燥剤２）に照射されるように配置している。尚、本実施例においては、加熱のための電磁波としてマイクロ波を採用しているが、乾燥剤２を加熱する作用を発揮する電磁波であれば赤外線等他の電磁波を採用しても良い。
【００３４】
チャンバー５には、このチャンバー５内に乾燥した不活性ガスあるいは窒素ガスで満たすための前記ガスの導入口10と導出口11とを設けている。
【００３５】
具体的には、前記封止体１の内側に塗布した液状の乾燥剤２に前記電磁波を照射する際、チャンバー５内に前記導入口10から前記ガスを定量導入して、チャンバー５内に前記ガスを満たすと共に、このチャンバー５内に導入したガスによる気流によって導出口11から前記乾燥剤２から放出されるガスを導出し得るように構成し、この導入口10と導出口11とを前記ガス放出手段７に設定している。
【００３６】
この導出口11に前記ガスセンサ４を連設し、この導出口11より外部に放出される前記乾燥剤２から放出されるガスの量を測定するように構成している。この測定値を用いて、例えば前記乾燥剤２から放出されるガスの量が急激に増加した場合には前記電磁波発生源３からの電磁波の出力の小さくする等、前記出力制御手段９（出力制御電源）を制御して電磁波発生源３からの電磁波の出力を変化させるようにしている。尚、この制御は手動で行っても良いし、コンピュータを用いて自動的に行わせる構成としても良い。
【００３７】
これは、一般にマイクロ波の出力は封止キャップのサイズや乾燥剤２の量により適宜可変して条件を見出しておけば、同じ製品を流している分には再現性もよく特別な制御をしなくても乾燥剤２を良好に乾燥させることは可能であるが、乾燥剤２が加熱して硬化する過程で発生する溶剤のガスをガスセンサ４により測定して、その測定値によりマグネトロンの出力制御電源を制御してマイクロ波の出力を調整することにより、サイズや量の違う製品をランダムに生産する場合であっても容易に対応でき、また同じ製品でもより早く確実に乾燥させることができ、より扱いやすくなるからである。
【００３８】
尚、本実施例においては、前記加熱される乾燥剤２から放出されるガスを測定した測定値を用いて前記出力制御手段９を制御する構成としているが、乾燥剤２の重量、またはチャンバー５内の湿度若しくは温度を測定した測定値を用いて制御する構成としても良い。
【００３９】
また、本実施例を用いて封止体１の内側に塗布した液状の乾燥剤２を乾燥させるのに必要な時間は、従来のホットプレートや温風オーブンによって乾燥させる場合にかかる時間の、半分程度の時間で済むことが確認されている。
【００４０】
本実施例は上述のように構成したから、封止体１に塗布した液状の乾燥剤２に電磁波発生源３からマイクロ波を照射して乾燥させる際、マイクロ波による分子振動により液状の乾燥剤２全体を均一に加熱することができるから、乾燥剤２全体を短時間で加熱することが可能となる。
【００４１】
しかも、乾燥剤２を均一に加熱することで、従来のヒータ等により前記乾燥剤の表面から内部に徐々に加熱する場合には、乾燥剤表面に膜が形成されて加熱により生じるガスが内部に閉じ込められやすかったが、本発明によれば、乾燥剤２表面に膜が形成される前に、内部を十分に加熱してガスを放出することができ、乾燥剤２内部にガスが閉じ込められにくくなる。
【００４２】
即ち、昇温速度を上げても、乾燥剤２表面がガサガサになったり、むらになったり、変形したりせずに、均質な乾燥剤２を得ることができ、歩留まりを向上させることができる。
【００４３】
従って、上述のように液状の乾燥剤２を短時間で均一に加熱することができ、しかも、昇温速度を上げても従来のように内部に閉じ込められたガスにより変形等が生じないから均質な乾燥剤２を有する封止体１を極めて生産性良く製造できることになる。
【００４４】
よって、有機ＥＬ素子製造のネックとなっていた乾燥剤２の乾燥工程にかかる時間を大幅に短縮して生産性を向上させることができ、それだけコスト安に有機ＥＬ素子を提供できることになる。
【００４５】
また、前記電磁波発生源３をその出力を可変する機能を有するものとし、前記乾燥剤２からの放出ガスの量を測定するガスセンサ４によって得られた測定値を用いて前記電磁波発生源３の出力を制御する出力制御手段９を備えたから、乾燥剤２の乾燥度合いに応じてより適切な昇温制御を行うことが可能となり、一層効率良く乾燥を行うことができる。
【００４６】
従って、本実施例は、液状の乾燥剤の乾燥工程に必要な時間を短縮して生産性の向上を図ることができ、有機ＥＬ素子をコスト安に提供することを可能とする極めて実用性に秀れた有機ＥＬ素子を形成する封止体の製造装置及びその製造方法となる。
【００４７】
本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】有機ＥＬ素子の概略説明断面図である。
【図２】本実施例の構成概略説明図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  封止体
２  乾燥剤
３  電磁波発生源
４  センサ
５  チャンバー
６  載置台
９  出力制御手段
20  基板
21  陽極
22  発光層
23  陰極
24  発光部
25  有機ＥＬ素子
【図１】
2005294164.tif 000003
【図２】
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