(57)【要約】【課題】小型化を図ることのできる圧電アクチュエータを備える電子機器の提供。【解決手段】圧電アクチュエータ５は、振動体１０を保持する振動体保持部材２０を備え、付勢手段としてのばね部２４２をケース６０に振動体１０と平面的に重なるように一体的に設けたことにより、従来、振動体１０の周囲に付勢手段が配置されていた構成と比較すると平面面積が減少し、圧電アクチュエータ５全体の小型化を確実に図ることができる。  さらに、ケース６０はばね部２４２を兼ね備えていることから、ばね部２４２で振動体１０を保持可能となるので、ばね部２４２による振動体１０への付勢、および振動体保持部材２０による振動体１０の保持を同時に実現できる。したがって、これら付勢および保持の実現手段を別々に設けなくて済み、製造効率を格段に向上させることができる。また、部品点数が減少するので、製造コストも削減できる。【選択図】図３
2005151756.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を有する板状の振動体と、この振動体の振動によって移動する移動体と、前記振動体を保持する振動体保持部材と、この振動体保持部材を保持するケースとを備え、
このケースは、前記振動体保持部材を前記移動体へ付勢する付勢手段を一体的に有し、この付勢手段の少なくとも一部は、前記振動体と平面的に重なることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記ケースは、前記振動体の表裏両面の少なくとも一部をそれぞれ覆う第一ケースおよび第二ケースを含んで構成され、
前記付勢手段は、前記第一ケースおよび／または前記第二ケースの端部から連続して形成されて前記振動体の板面に沿って延出するとともに、当該付勢手段の先端部が前記振動体保持部材に固定されることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記振動体は、前記振動の節近傍の位置で前記振動体保持部材に保持されることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項３に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記振動には、屈曲二次振動が含まれるとともに、
前記振動体は、前記屈曲二次振動の節近傍の二箇所で前記振動体保持部材に保持されることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記付勢手段は、前記振動体が付勢される方向と交差する方向に延出し、かつ当該方向に関する前記ケースの端部で折り返して形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記圧電素子は、略矩形に形成され、長辺を１とすると、短辺は０．２７４以上に形成され、前記振動体の短辺には、前記移動体に当接して当該移動体を駆動する突起が設けられ、前記圧電素子の長手方向に伸縮する縦一次振動と、前記圧電素子の平面中心に対して点対称に、前記縦一次振動に略直交する方向に屈曲する屈曲二次振動とにおいて、前記縦一次振動の共振周波数に対する前記屈曲二次振動の共振周波数の比が、１．００より大きく、１．０３以下となるように設定されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の圧電アクチュエータを備える電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を有する板状の振動体と、この振動体の振動によって移動する移動体とを備える圧電アクチュエータ、およびこの圧電アクチュエータを備える電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、圧電素子を用いた圧電アクチュエータが、例えば、時計、玩具等の電子機器を駆動する駆動機構として着目されている。この圧電アクチュエータは、圧電素子を有する振動体と、この振動体に当接される移動体とを備えて構成され、逆圧電効果による振動を伝えて移動体を移動させることにより、駆動力を得ている（例えば、以下特許文献１参照）。
このような圧電アクチュエータでは、振動体を移動体に付勢して必要な駆動力を得ている。この振動体の付勢手段としてコイルばねが使用されており、このコイルばねを振動体の外側から振動体長手方向の一端に押し付けることによって、振動体を移動体に向けて付勢していた。また、このコイルばねが付勢する方向と交差する方向には複数のコイルばねが配置されており、これらのコイルばねが振動体の側端部をそれぞれ支持することで、振動体の揺動が規制されていた。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１８４３８２号公報（段落[００３４]［００３６］、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような構成では、振動体の周囲に付勢手段が配置されているため、この付勢手段の寸法分、圧電アクチュエータ全体の外形寸法が大きくなってしまい、小型化の促進には限界がある。
したがって、例えば、この圧電アクチュエータを装置などに組み込んだ場合にも、圧電アクチュエータの占有面積が大きくなり、装置の小型化を図ることができないという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、上記問題に鑑みて、小型化を図ることのできる圧電アクチュエータ、およびこの圧電アクチュエータを備える電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の圧電アクチュエータは、圧電素子を有する板状の振動体と、この振動体の振動によって移動する移動体と、振動体を保持する振動体保持部材と、この振動体保持部材を保持するケースとを備え、このケースは、振動体を移動体へ付勢する付勢手段を一体的に有し、この付勢手段の少なくとも一部は、振動体と平面的に重なることを特徴とする。
ここで、付勢手段と振動体との位置関係に関して「平面的に重なる」とは、振動体のいずれかの板面をこの板面に垂直な方向から「平面的に」見た際に、付勢手段が振動体に重なることを意味する。
【０００７】
この発明によれば、振動体保持部材、およびこの振動体保持部材を保持するケースを備え、駆動力を得るために必要な付勢手段をケースに振動体と平面的に重なるように一体的に設けたことにより、次に列記する作用および効果をともに享受できる。
すなわち、従来、振動体の周囲に配置されていた付勢手段が、振動体の板面と平面的に重なるので、その分、圧電アクチュエータの平面面積が減少し、圧電アクチュエータ全体の小型化を確実に図ることができる。また、この圧電アクチュエータを装置に組み込む場合も、装置内での圧電アクチュエータの占有面積が小さくて済むので、装置の小型化にも寄与できる。
さらに、ケースが付勢手段を一体的に有することでケースは付勢手段を兼ね備えることになり、付勢手段の位置で振動体保持部材を介して振動体を保持可能となるから、付勢手段による振動体に対する付勢、およびケースによる振動体の保持が同時に実現される。したがって、これら付勢および保持の実現手段を別々に設ける必要が無くなり、製造効率を格段に向上させることができる。また、部品点数が減少するので、製造コストも削減できる。
【０００８】
本発明の圧電アクチュエータでは、ケースは、振動体の表裏両面の少なくとも一部をそれぞれ覆う第一ケースおよび第二ケースを含んで構成され、付勢手段は、第一ケースおよび／または第二ケースの端部から連続して形成されて振動体の板面に沿って延出するとともに、当該付勢手段の先端部が振動体保持部材に固定されることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、付勢手段が振動体の板面に沿って延出していることにより、この延出方向に付勢力が発生するので、当該方向に対しての付勢力の伝達効率が良好となる。したがって、振動体を板面に沿う方向で移動体に強く押し付けて、振動を確実に移動体に伝えることができる。
そのうえ、付勢手段が振動体の板面に沿って延出していることで、振動体の板面と交差する方向にケースが分厚くならず、圧電アクチュエータをより薄型化できる。
なお、この付勢手段は、第一ケースまたは第二ケースが板状部分を含んで構成されている場合には、板金材料等によってその板状部分と一体形成することで、容易に製造できる。
【００１０】
また、第一ケースおよび第二ケースによって振動体が少なくとも部分的に覆われているため、振動体に直接触れないで、第一ケースまたは第二ケースを把持すればよいから、振動体が有する圧電素子の破損を防止でき、取り扱い性を確実に向上させることが可能となるとともに、外乱から圧電アクチュエータを保護することもできる。
そして、第一ケースおよび／または第二ケースの端部から付勢手段が連続して形成され、この付勢手段の先端部が振動体保持部材に固定されることにより、上述したような、第一ケースおよび第二ケースによって振動体板面を覆うこと、および付勢手段の板面に沿った延出による付勢力の確保それぞれに必要となるスペースが振動体の板面上に効果的に配置される。つまり、付勢手段は、振動体を覆う第一ケースおよび／または第二ケースの端部から必要な付勢力が確保される形状や寸法で延出したうえで、先端部が振動体保持部材に固定され、この先端部にて振動体は保持される。これにより、振動体の板面に相当する平面スペースを有効に活用できる。
【００１１】
本発明の圧電アクチュエータでは、振動体は、振動の節近傍の位置で振動体保持部材に保持されることが好ましい。
この発明によれば、圧電素子に電圧印加した際に振動体の振幅が最も小さくなる振動の節近傍の位置で振動体が保持される。これにより、振動体保持部材の保持構造によって振動体の振動にロスが生じるのを防止でき、その分、振動体を効率よく励振できるから、圧電アクチュエータの駆動効率を向上させることができる。
【００１２】
本発明の圧電アクチュエータでは、振動には、屈曲二次振動が含まれるとともに、振動体は、屈曲二次振動の節近傍の二箇所で振動体保持部材に保持されることが好ましい。
この発明によれば、屈曲二次振動の節近傍で振動体が保持されることにより、屈曲二次振動のロスを回避して振動体を効果的に励振できる。ここで、屈曲二次振動の節の位置は、振動体の両端近傍および中央の合計三箇所となり、そのうちの二箇所で振動体を振動体保持部材に確実に取り付けることができる。
また、このように二箇所で振動体が保持されることによって、節を中心とした振動体の変位が生じず、振動体をより確実に保持できる。すなわち、屈曲二次振動は節を中心に回動する方向に励振するため、一箇所で振動体を保持した場合には振動体が節を中心に回転し易く、振動体を振動体保持部材に確実に保持させるのが困難となるが、もう一箇所、計二箇所で振動体が保持されると、振動体が回転せず、振動体は確実に保持されて移動体に十分当接するので、振動が移動体に確実に伝わり、駆動効率の向上を図ることができる。なお、屈曲二次振動の節のうち、振動体の両端近傍に位置する節近傍二箇所を振動体の保持位置として選択すれば、振動体はより確実に保持されて、移動体への振動伝達効率を一層良好にできる。
【００１３】
本発明の圧電アクチュエータでは、付勢手段は、振動体が付勢される方向と交差する方向に延出し、かつ当該方向に関するケースの端部で折り返して形成されていることが好ましい。
この発明によれば、上記のように付勢手段が折り返していることから、振動体が付勢される方向と交差する方向でのケースの寸法分のスペースを、十分に活用してばね性を確保できる。これにより、ケースから付勢手段が突出せず、平面面積が拡大しない範囲で大きな付勢力を得られるので、振動体を移動体に向けて一層確実に付勢することができる。
【００１４】
本発明の圧電アクチュエータでは、圧電素子は、略矩形に形成され、長辺を１とすると、短辺は０．２７４以上に形成され、振動体の短辺には、移動体に当接して当該移動体を駆動する突起が設けられ、圧電素子の長手方向に伸縮する縦一次振動と、圧電素子の平面中心に対して点対称に、縦一次振動に略直交する方向に屈曲する屈曲二次振動とにおいて、縦一次振動の共振周波数に対する屈曲二次振動の共振周波数の比が、１．００より大きく、１．０３以下となるように設定されていることが好ましい。
【００１５】
この発明では、縦一次振動および屈曲二次振動の共振周波数が互いに近接しているので、これらの共振周波数近傍で圧電素子を振動させると、縦一次振動および屈曲二次振動が同時に現れ、振動体の突起は楕円軌道を描いて振動する。この楕円軌道によって突起は移動体を押圧して駆動することが可能となる。この時、圧電素子は、縦一次振動および屈曲二次振動のそれぞれの共振点付近で励振されるので、それぞれの振動振幅が大きくなる。従って、突起の楕円軌道の振幅も大きくなり、移動体を高効率で駆動することが可能となる。
【００１６】
ここで、突起が設けられた振動体の短辺が０．２７４よりも小さい場合には、縦一次振動の共振周波数が屈曲二次振動の共振周波数よりも大きくなり、良好な楕円軌道を描くことができない。この時、縦一次振動の共振周波数に対する屈曲二次振動の共振周波数の比は１．００以下である。また、縦一次振動の共振周波数に対する屈曲二次振動の共振周波数の比が１．０３より大きい場合には、縦一次振動の共振点と屈曲二次振動の共振点とが離れてしまい、両振動の振幅を同時に良好にすることができない。
【００１７】
本発明の電子機器は、前述のような圧電アクチュエータを備えることを特徴とする。
ここで、この電子機器としては、時計、玩具、カメラのフィルム巻き上げ機構等、各種の電子機器製品、部品等が該当する。
この発明によれば、圧電アクチュエータが前述のような作用および効果を具備するため、同様の作用および効果を享受でき、当該電子機器の一層の小型化に寄与できる。
【発明の効果】
【００１８】
このような本発明によれば、ケースと一体化された付勢手段が振動体の板面と平面的に重なるので、その分、圧電アクチュエータの平面面積が減少し、圧電アクチュエータ全体の小型化を確実に図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
〔第一実施形態〕
以下、本発明の第一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１および図２には、本実施形態に係る電子機器としての回転型駆動装置１が示され、図１は回転型駆動装置１の平面図、図２は同側面図である。
【００２０】
回転型駆動装置１は、図１および図２にも示されるように、圧電アクチュエータ５と、この圧電アクチュエータ５によって回転駆動される歯車６と、圧電アクチュエータ５および歯車６が格納される筐体７とを備えている。この回転型駆動装置１は、例えば、時計に組み込まれ、歯車６の回転を通じて日付を表示するカレンダー表示機構などに利用される。
筐体７は、硬質プラスティック、金属等の薄板材料により形成されており、図２にも示されるように、第一筐体７１と、第二筐体７２とを含んで構成されている。
【００２１】
圧電アクチュエータ５は、振動体１０と、この振動体１０を保持する振動体保持部材２０と、振動体保持部材２０を保持するケース６０と、振動体１０の振動によって回転する移動体としての回転体３０とを備えている。
図３および図４には、圧電アクチュエータ５の振動体１０、振動体保持部材２０、およびケース６０が示され、図３は振動体１０、振動体保持部材２０、およびケース６０の平面図、図４は同側断面図である。そして、図５には振動体１０が示され、図６には、この振動体１０の振動が模式的に示されている。
ここで、振動体１０は、図５にも示されるように、略矩形の補強板１１と、この補強板１１の表裏両面に設けられた矩形平板状の圧電素子１２とを備え、補強板１１と圧電素子１２とが積層されて、全体として薄板状に形成されている。
補強板１１は、ステンレス鋼、その他の材料から構成され、一方の短辺側の端部には、略中央に略円弧凸状の突起１３が一体的に形成されている。この補強板１１には、長手方向の両端近傍に二箇所の孔１１１がそれぞれ形成されている。
【００２２】
圧電素子１２は、補強板１１両面の突起１３を除いた略矩形状部分に接着されている。圧電素子１２の材料は特に限定されず、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ（登録商標））、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の各種のものを用いることができる。
この圧電素子１２には、長手方向の両端近傍で、補強板１１の孔１１１に対応する位置に孔１２１がそれぞれ形成されている。これらの孔１２１は、補強板１１の孔１１１よりも径が一回り大きくなっている。
【００２３】
圧電素子１２の両面には、ニッケルおよび金などによる電極がめっき、スパッタ、蒸着等の方法で形成されている。これらの電極のうち、補強板１１に対向する面は、圧電素子１２の全面にわたって形成されており、これにより圧電素子１２の電極と補強板１１とが導通されている。また、補強板１１に対向しない側の電極は、溝によって互いに電気的に絶縁されて複数形成されている。具体的には、圧電素子１２の短辺をほぼ二等分するように一本の溝１５Ａが形成され、さらに圧電素子１２の長辺をほぼ二等分するように一本の溝１５Ｂが形成されている。これらの溝１５Ａ，１５Ｂにより、圧電素子１２の表面には矩形状の四つの電極１２２が形成される。ここで、図示を省略するが、圧電素子１２の対角線上両端に配置された電極１２２同士は、互いの近接位置でリード線によって導通されている。そして、このように導通された電極１２２のペアごとに、リード線を通じて図示しない電圧印加装置に導通されている。さらに、補強板１１もリード線を通じて電圧印加装置に導通されている。
なお、これらの電極１２２は、補強板１１の表裏両面に設けられた各圧電素子１２に同様に、四つずつ設けられている。
【００２４】
また、圧電素子１２の寸法や、厚さ、電極の分割形態などは、圧電素子１２に繰り返し電圧が印加された時に圧電素子１２が長手方向に伸縮する、いわゆる縦一次振動と、圧電素子１２の平面中心に対して点対称に、縦一次振動に直交する方向に屈曲する、いわゆる屈曲二次振動とが同時に現れるように適宜設定される。この時、縦一次振動の共振周波数と、屈曲二次振動の共振周波数とは互いに近接するように設定されていることが望ましく、縦一次振動の共振周波数に対する屈曲二次振動の共振周波数の比は、１．００より大きく、１．０３以下であることが望ましい。さらに、圧電素子１２の長辺と短辺との長さ比は、長辺を１とすると短辺が０．２７４以上であることが望ましい。
圧電素子１２に印加される電圧の周波数は、縦一次振動の共振周波数と屈曲二次振動の共振周波数との間、より好ましくは反共振周波数と屈曲二次振動の共振周波数との間で両方の振動が良好に現れる周波数を適宜選択する。なお、圧電素子１２に印加される電圧の波形は特に限定されず、例えばサイン波、矩形波、台形波などが採用できる。
ここで、補強板１１の孔１１１、および圧電素子１２の孔１２１は、振動体１０の屈曲二次振動の節Ｊ（図６参照）の位置を中心とする位置に形成されている。
【００２５】
振動体保持部材２０は、図１から図４にも示されるように、振動体１０を支持する矩形板状のスライダ２１と、振動体１０の両端近傍でスライダ２１に振動体１０を固定する一対の固定部材２２とを備えている。
スライダ２１は、図３および図４にも示されるように、振動体１０と略等しい寸法に形成され、かつ振動体１０が設けられた側とは反対側の面は平滑に仕上げられている。このスライダ２１は、振動体１０と互いの板面を略平行に離間対向させて、振動体１０を支持する。また、スライダ２１は、四隅部分が面取りされた形状とされている。
【００２６】
固定部材２２は、ピン形状とされ、上述したスライダ２１の板面に突設されて、振動体１０を孔１１１，１２１の位置で貫通している。
この固定部材２２は、ピン２２１と、筒状のブシュ２２２とを含んで構成されている。このうちピン２２１の基端部分はスペーサ部２２１Ａと、先端側はピン部２２１Ｂとされており、スペーサ部２２１Ａはピン部２２１Ｂより大径となっている。そして、圧電素子１２の孔１２１を介してピン２２１を補強板１１の孔１１１に挿入した際は、補強板１１がスペーサ部２２１Ａとピン部２２１Ｂとの段差部分に載置される。
また、ブシュ２２２は、ピン部２２１Ｂに圧入され、圧電素子１２の孔１２１に挿通されて、スペーサ部２２１Ａに載置された補強板１１に当接される。このブシュ２２２とスペーサ部２２１Ａとは、互いの間に補強板１１を挟持する。このブシュ２２２の長さはピン部２２１Ｂよりも短く、ピン部２２１Ｂの先端は、ブシュ２２２から露出する。
【００２７】
ケース６０は、振動体１０およびスライダ２１を覆う第一ケース２３および第二ケース２４とを備えている。
第一ケース２３は、容器状の本体２３１と、この本体２３１の長手方向に沿う両側面から突出する一対の腕部２３２とを有している。
本体２３１は、スライダ２１に応じた寸法かつ平滑面を有する矩形板状の底部２３１Ａと、この底部２３１Ａの三辺の端縁から起立する側部２３１Ｂとを有する（図４参照）。この本体２３１の短辺側の一端は、開口されて開口部２３１Ｃとされている。このような本体２３１において、底部２３１Ａにスライダ２１が接触面に沿って円滑にスライド可能に載置され、振動体１０とスライダ２１とが底部２３１Ａによって突起１３に近い方の固定部材２２近傍まで覆われており、さらに、側部２３１Ｂがスライダ２１および振動体１０側面を三方向から覆っている。
【００２８】
また、側部２３１Ｂの三辺のうち対辺となる部分は、開口部２３１Ｃに近い側が厚肉に形成されている。これにより、側部２３１Ｂの対向面の間の距離は、開口部２３１Ｃに近い方が開口部２３１Ｃに遠い方よりも小さくなっている。
この側部２３１Ｂの厚肉部分は、互いに対向する一対のガイド部２３１Ｄとされており、これらガイド部２３１Ｄの互いの対向面にはスライダ２１の端面が近接して、スライダ２１の移動を一方向に（スライダ２１の長手方向に）規制している。また、このスライダ２１の移動規制を介し、振動体１０の移動も振動体１０の長手方向に規制している。
このようなガイド部２３１Ｄおよびスライダ２１は、回転型駆動装置１の組立時、振動体１０の位置決めに使用されるほか、回転型駆動装置１の使用時、振動体１０の振動を確保しつつ振動体１０の移動を方向付けし、振動体１０が駆動力として利用されない向きに揺動するのを防止している。
【００２９】
腕部２３２は、底部２３１Ａ長辺の略中央からほぼ直角に突出しており、底部２３１Ａと一体的に形成されている。これらの腕部２３２には、孔２３２Ａがそれぞれ穿設されており、各孔２３２Ａにはねじ２３３がそれぞれ挿入される。このねじ２３３が各孔２３２Ａを介して第一筐体７１のねじ孔７１２に螺合固定されることで、第一ケース２３が第一筐体７１に固定される。
【００３０】
次に、第二ケース２４は、第一ケース２３の側部２３１Ｂ端面を底部２３１Ａとは反対の位置から塞ぐように形成されている。この第二ケース２４は、略矩形板状の蓋部２４１と、この蓋部２４１から連続している付勢手段としてのばね部２４２とを備えて構成されている。
蓋部２４１は、振動体１０の板面を当該板面と略平行に覆う蓋形状とされている。この蓋部２４１は、四隅に挿入される四つのビス２４１Ａによって第一ケース２３の側部２３１Ｂの端面に固定されている。ここで、これらのビス２４１Ａのうち二つは、ガイド部２３１Ｄで固定されている。
また、蓋部２４１には、スライダ２１の長手方向に長軸を有する長孔２４１Ｂが形成されている。この長孔２４１Ｂには一方のピン部２２１Ｂ先端が納まり、このピン部２２１Ｂ先端は蓋部２４１から突出しない。
ここで、この長孔２４１Ｂは、ピン部２２１Ｂを挟持することによって振動体１０を保持するとともに、スライダ２１を介して振動体１０を長手方向にスライドさせるガイドとして機能する。
【００３１】
ばね部２４２は、図３にも示されるように、平面的に延びる略Ｕ字状のばねとされており、板金材料を用いたプレス加工等により蓋部２４１と一体に形成されている。このばね部２４２は、一方のガイド部２３１Ｄから他方のガイド部２３１Ｄまで振動体１０の長手方向と略直交する方向に延び、さらに、そのガイド部２３１Ｄの外縁の位置で湾曲してガイド部２３１Ｄの対向間略中央まで折り返すように形成されている。つまり、ばね部２４２は、一対のガイド部２３１Ｄにおいて外側に位置する互いの端縁の間いっぱいに延びており、ガイド部２３１Ｄから外側には突出していない。また、ばね部２４２の先端部分は環状に形成されている。
ここで、振動体１０の板面をこの板面に垂直な方向から平面的に見ると、このばね部２４２は、振動体１０の長手方向において、全体が振動体１０に重なり、また、当該方向と交差する方向では、全体がケース６０に重なっている。さらに、蓋部２４１およびばね部２４２が側部２３１Ｂの端面と重なり合うとともに、ピン部２２１Ｂの先端が長孔２４１Ｂおよびリング部２４１Ｃに納まっていて、側部２３１Ｂの起立方向においてケース６０から部材が突出せず、ケース６０の外面は平滑に形成されている。
【００３２】
このような形状により、ばね部２４２は、蓋部２４１と連続する基端部２４２Ａ、中間部位である湾曲部２４２Ｂ、および先端のリング部２４２Ｃの各部位を含んで構成されている。
基端部２４２Ａは、蓋部２４１のガイド部２３１Ｄ側の角近傍で蓋部２４１と連続し、ガイド部２３１Ｄと平面的に重なり合う位置に形成されている。
湾曲部２４２Ｂは、ばね部２４２の折り返し部分とされていて、その湾曲する部分とガイド部２３１Ｄの端面とがほぼ重なり合っている。
そして、環状のリング部２４２Ｃは、突起１３に近い側のピン部２２１Ｂに応じた位置に形成されている。このリング部２４２Ｃ内部には、ピン部２２１Ｂ先端がリング部２４２Ｃから突出しないで納まる。ここで、ばね２４２が、リング部２４２Ｃにてピン２２１を介して振動体１０を保持することにより、振動体１０に対して、基端部２４２Ａからリング部２４２Ｃにかけて、すなわち、振動体１０の長手方向にばね２４２の付勢力を生じさせることが可能となる。
【００３３】
なお、ばね部２４２は、振動体１０の長手方向と略直交する方向の両端となる部位、すなわち、基端部２４２Ａおよび湾曲部２４２Ｂは、他の部位よりも幅広く形成されている。これにより、これら基端部２４２Ａおよび湾曲部２４２Ｂは、振動体１０の長手方向に略直交する方向に対する強度が大きいから、振動対１０の揺動が規制されるとともに、振動体１０をその長手方向に確実に付勢できる。
このように、ばね部２４２は、振動体１０を覆う蓋部２４１の端部から必要な付勢力が確保される形状や寸法で延出したうえで、先端側のリング部２４２Ｃにて振動体１０を保持している。これにより、振動体１０の板面に相当する平面スペースが有効活用されている。
【００３４】
回転体３０は、図１および図２にも示されるように、円盤状のロータ３１と、このロータ３１の軸になる軸部３２とを有しており、ロータ３１に伝わる振動体１０の振動を受けて、軸部３２を中心に回転する。
ロータ３１は、振動体１０の補強板１１に形成された突起１３の先端が外周に当接するように配置されている。このとき、補強板１１の長手方向は、補強板１１とロータ３１外周との接線方向にほぼ直角（ロータ３１の径方向に沿う）となっている。
また、ロータ３１は、端面が断面略円弧凹状であり、この部分は突起１３が当接される被当接部３１１とされている。これにより、突起１３を介してロータ３１に振動体１０の振動が伝わる際に、突起１３がロータ３１の厚さ中央で被当接部３１１に安定して当接し、また同時に、突起１３がロータ３１の厚さ方向に振られても、被当接部３１１に当接した状態が維持されるようになっている。
【００３５】
軸部３２は、ロータ３１および歯車６の軸となる部材である。
ここで、第一筐体７１には、軸孔７１１およびねじ孔７１２が形成されており、第二筐体７２には、第一筐体７１の軸孔７１１との対向位置に軸孔７２１が形成されている。
したがって、第一筐体７１の軸孔７１１に軸部３２の基端が挿入され、この軸部３２に歯車６が挿通され、そして、軸部３２の先端が第二筐体７２の軸孔７２１に挿入されることにより、ロータ３１および歯車６が第一筐体７１および第二筐体７２の間に同軸で回転可能に支持される。
【００３６】
以上で説明した回転型駆動装置１は、次のように組み立てられる。
まず、振動体１０をスライダ２１に支持させる（図４参照）。それには、スライダ２１から突設されたピン２２１を振動体１０の孔１１１，１２１に挿入して、突出したピン部２２１Ｂにブシュ２２２を圧入する。すると、補強板１１がスペーサ部２２１Ａとブシュ２２２との間に挟み込まれて、振動体１０がスライダ２１上に載置される。
【００３７】
次に、振動体１０およびスライダ２１を第一ケース２３に収容する。このとき、突起１３が開口部２３１Ｃから突出する向きで振動体１０およびスライダ２１を底部２３１Ａに配置する。さらに、側部２３１Ｂの端面を覆うようにして第二ケース２４を第一ケース２３に被せ、第一ケース２３と第二ケース２４とをビス２４１Ａで固定する。この際、振動体１０から突出した二つのピン部２２１Ｂを、長孔２４１Ｂおよびリング部２４２Ｃにそれぞれ納める。こうして、スライダ２１によって振動体１０が支持され、かつ、振動体１０が固定部材２２を介して長孔２４１Ｂおよびばね部２４２のリング部２４２Ｃに保持されることによって、振動体１０は振動体保持部材２０に保持されるとともに、振動体保持部材２０を介してケース６０にも保持される。
続いて、振動体１０をケース６０ごと第一筐体７１に配置し、ねじ２３３を腕部２３２の孔２３２Ａ、および第一筐体７１のねじ孔７１２に挿入して固定する。
【００３８】
そして、回転体３０の軸部３２で歯車６を軸支させる（図２参照）。それには、第一筐体７１の軸孔７１１にて軸部３２を突設させ、この軸部３２に歯車６を挿通させる。この際、スライダ２１およびガイド部２３１Ｄによって、リング部２４２Ｃで保持された振動体１０を長孔２４１Ｂに向けて振動体１０の長手方向にスライドさせることにより、ばね部２４２を圧縮し、ばね部２４２にばね性を生じさせる。そして、回転体３０の軸部３２を軸孔７１１にセットした後、振動体１０の突起１３をロータ３１の被当接部３１１に当接させる。
最後に、第二筐体７２の軸孔７２１に軸部３２の先端を納め、圧電アクチュエータ５および歯車６を第二筐体７２で覆う。以上により、回転型駆動装置１が完成する。
【００３９】
回転型駆動装置１は、次のように動作する。
図示しない電圧印加装置を作動させると、図示しないリード線を通じ、電極１２２と、圧電素子１２の補強板１１に対向する面の電極との間で交流電圧が印加され、圧電素子１２の伸縮によって振動体１０が振動する。このとき、振動体１０は次のように振動する。
図６には、振動体１０が模式的に示されている。圧電素子１２の電極１２２には、対角線上両端の電極１２２同士による一方の電極ペアと他方の電極ペアとで、逆位相となる電圧を印加する。
ここで、電極１２２に電圧が印加されることにより、これらの電極１２２に応じた圧電素子１２の部位が伸縮し、振動体１０は、まず、主として長手方向に縦一次振動を励振する。ここでは、上述のように逆位相となる電圧が印加されているので、一方の電極ペアとなる各電極１２２に応じた圧電素子１２の部位が伸びるとき、他方の電極ペアとなる各電極１２２に応じた圧電素子１２の部位は縮み、反対に、一方が縮むときには他方は伸びる。
このように、伸縮する縦一次振動の部位は圧電素子１２の対角線上にあって、振動体１０からすると非対称の位置関係となる。このため、振動体１０全体として、前述の縦一次振動と交差する方向に屈曲二次振動が誘発されるが、上記したような逆位相の電圧印加により、圧電素子１２の伸縮運動がこれと反転する伸縮運動と組み合わさるので、当該屈曲二次振動の振幅が相乗的に大きくなる。つまり、印加電圧の位相差を利用して振幅を拡大できる。このとき勿論、振動体１０の表裏同じ位置にある電極１２２への電圧位相を揃える方がよい。
【００４０】
このような屈曲二次振動の振幅が図６中の振動曲線ＦＲとして、振動体１０上に模式的に示されている。ここでは振動体１０の短辺の長さを最大振幅として、振動体１０の長手方向に沿う中心線を軸に、屈曲二次振動の振幅が表されている。ここで、振幅が０となる屈曲二次振動の節Ｊは、振動体１０の中心、および長手方向の両端近傍の計三箇所となっている。ここで、両端近傍の節Ｊは、振動体１０の長辺の長さを１とすると、振動体１０の両端から０．１１〜０．１５の距離に位置している。これら両端近傍の二つの節Ｊを中心に回動する方向に、振動体１０は屈曲二次振動を励振する。
また、この振動曲線ＦＲからもわかるように、屈曲二次振動の腹Ｌは、振動体１０中心の節Ｊと両端部にある節Ｊとのそれぞれ中間に位置しており、この腹Ｌにあたる部位で振動体１０は最大振幅で励振する。
【００４１】
以上のように、振動体１０が振動して、補強板１１に形成された突起１３がロータ３１の被当設部３１１を繰り返し押圧する。
ここで、振動体１０の突起１３はばね部２４２によって被当接部３１１に向けて付勢されているので、突起１３に押圧されるロータ３１の反発力によっても、突起１３が被当接部３１１から外れず、被当接部３１１への押圧が繰り返される。
また、振動体１０に外力が加わったときも、一対のガイド部２３１Ｄの対向間でスライダ２１の移動が振動体１０の長手方向に規制されるので、スライダ２１に固定された振動体１０が駆動力として利用されない向きに揺動せず、突起１３が被当設部３１１に安定的に押し付けられ、回転体３０が所定方向に送り出されて回転する。
ここに、圧電アクチュエータ５の駆動力が生じ、回転体３０と同軸とされている歯車６は、回転体３０の回転に伴って回転駆動される。
なお、上述したような電極ペアとなる電極１２２に対する電圧の印加を振動体１０の長手方向に対して線対称に切り替えると、振動による突起１３の軌跡が反転されてロータ３１が反対方向に回転し、歯車６も反対方向に回転駆動される。
【００４２】
このような第一実施形態によれば、次のような効果がある。
（1-1）すなわち、圧電アクチュエータ５では、回転体３０に振動体１０の突起１３を付勢して必要な駆動力を得る必要があるが、振動体１０を保持する振動体保持部材２０、および振動体保持部材２０を保持するケース６０を備え、付勢手段としてのばね部２４２を振動体１０と平面的に重なるようにケース６０に一体的に設けたことにより、従来、振動体１０の周囲に付勢手段が配置されていた構成と比較すると平面面積が減少し、圧電アクチュエータ５全体の小型化を確実に図ることができる。
さらに、ケース６０はばね部２４２を兼ね備えていることから、ばね部２４２で振動体保持部材２０を介して振動体１０を保持可能となるので、ばね部２４２による振動体１０への付勢、およびケース６０による振動体１０の保持を同時に実現できる。したがって、これら付勢および保持の実現手段を別々に設けなくても済み、製造効率を格段に向上させることができる。また、部品点数が減少するので、製造コストも削減できる。
【００４３】
（1-2）ばね部２４２が振動体１０の板面に沿って延出していることにより、この延出方向にばねの付勢力が発生するので、当該方向に対しての付勢力の伝達効率が良好となる。したがって、振動体１０を板面に沿う方向で回転体３０に強く押し付け、振動体１０の振動を確実に回転体３０に伝えることができる。
そのうえ、ばね部２４２が振動体１０の板面に沿って延出していることで、振動体１０の板面と交差する方向にケース６０が分厚くならず、圧電アクチュエータ５をより薄型化できる。
（1-3）第一ケース２３および第二ケース２４によって振動体１０の表裏両面および側面が覆われているため、振動体１０を取扱う際は、振動体１０の露出部分に触れずに第一ケース２３および第二ケース２４ごと振動体１０を把持すればよい。したがって、圧電素子１２の破損や汚損を防止でき、取り扱い性を確実に向上させることが可能となるとともに、外乱からの保護も図ることができる。
【００４４】
（1-4）圧電素子１２に電圧印加した際に振動体１０の屈曲二次振動の振幅が最も小さくなる節Ｊの位置に孔１１１、１２１が形成され、これらの孔１１１、１２１で振動体１０が振動体保持部材２０に保持されている。これにより、この振動体保持部材２０の保持構造によって振動体１０の屈曲二次振動に生じるロスを最小限に抑え、その分、振動体１０を効率よく励振できるから、圧電アクチュエータ５の駆動効率を向上させることができる。
さらに、振動体１０は、二箇所（長手方向両端近傍に位置する節Ｊの位置）で振動体保持部材２０に保持されていることにより、節Ｊを中心とした振動体１０の変位が生じず、振動体１０をより確実に保持できる。すなわち、屈曲二次振動は節Ｊを中心に回動する方向に励振するため、一箇所で振動体１０を保持した場合には振動体１０が節Ｊを中心に回転し易く、振動体１０の突起１３がロータ３１の被当接部３１１から逸れるおそれがあるが、保持位置をもう一箇所増やし、計二箇所で振動体１０が保持されると、振動体１０は確実に保持されて被当接部３１１に十分当接するので、振動を回転体３０に確実に伝達し、駆動効率の向上を図ることができる。
また、振動体１０は突起１３に近接する方の節Ｊの位置でリング部２４２Ｃにて保持されていることにより、突起１３が設けられている側で振動体１０が安定し、突起１３が被当接部３１１に確実に付勢されるので、圧電アクチュエータ５の駆動力が安定する。
【００４５】
（1-5）ばね部２４２が一対のガイド部２３１Ｄの対向位置に延出し、かつガイド部２３１Ｄの端部で折り返して形成されていることにより、振動体１０が付勢される方向と交差する方向でのケース６０の寸法分のスペースを十分に活用してばね部２４２のばね性を確保できる。これにより、ケース６０からばね部２４２が突出せず、圧電アクチュエータ５の平面面積が拡大しない範囲で大きな付勢力を得られるので、振動体１０の突起１３によって、被当接部３１１を一層確実に押圧することができる。
【００４６】
（1-6）圧電素子１２が適切な寸法に、つまり長辺の長さを１とした時短辺の長さが０．２７４以上で、かつ縦一次振動の共振周波数に対する屈曲二次振動の共振周波数の比が１．００より大きく１．０３以下になるように設定されているので、縦一次振動および屈曲二次振動を同時に得ることができ、突起１３が良好な楕円軌道を描いて回転体３０を回転駆動できる。この時、縦一次振動および屈曲二次振動の共振点が互いに近接しているので、両振動の振幅が共振点近傍の大きな振幅となり、回転体３０を高効率で駆動できる。
【００４７】
（1-7）また、回転型駆動装置１に駆動機構として圧電アクチュエータ５を組み込むことにより、回転型駆動装置１内部で圧電アクチュエータ５が占める面積が小さくて済むので、回転型駆動装置１の小型化を図ることができる。
【００４８】
〔第二実施形態〕
次に、本発明の第二実施形態について説明する。
なお、以下の説明では、既に説明した実施形態と同様の構成については、同一符号を付して、説明を省略もしくは簡略化する。
第一実施形態では、振動体保持部材２０はスライダ２１を備え、ケース６０は、第一ケース２３と、この第一ケース２３の蓋状部材に相当する第二ケース２４とを備えて構成されていた。
これに対し、第二実施形態では、振動体保持部材５０はスライダ２１を備えず、ケース８０は、第一実施形態とは異なる構成の第一ケースおよび第二ケースを備える点が相違する。以下、具体的に説明する。
【００４９】
図７および図８には、第一実施形態とほぼ同様の振動体１０と、この振動体１０を保持する振動体保持部材５０、および振動体保持部材５０を保持するケース８０とが示され、図７は振動体１０、振動体保持部材５０、およびケース８０の平面図、図８は同側断面図である。
ケース８０は、振動体１０をともに覆う第一ケース５３および第二ケース５４を備える。
第一ケース５３は、三つの板状部分の端部同士が接合された平面略コ字状に形成されている。
第二ケース５４は、第一実施形態の第二ケース２４と略同様の構成であるが、本実施形態では、振動体１０の表裏両面を覆い、かつ、第一ケース５３の両端面を塞ぐように一対の第二ケース５４が設けられている。これらの第二ケース５４は、互いの板面を対向させて対称に配置されている。つまり、互いのばね部２４２とばね部２４２とが対向するとともに、互いの蓋部２４１と蓋部２３１とが対向するように配置されている。
これら第一ケース５３と第二ケース５４とは、蓋部２４２の四隅で、四つのビス２４１Ａによって固定される。
【００５０】
振動体保持部材５０は、振動体１０をケース８０に固定する二つの固定部材５２を備える。
固定部材５２は、一つのピン５２１と、このピン５２１の両端から挿通される二つの同じ長さのブシュ５２２とを含んで構成されている。ピン５２１は、補強板１１の孔１１１、および圧電素子１２の孔１２１に挿通されるとともに、振動体１０から突出したピン５２１両端にブシュ５２２が圧入され、ブシュ５２２間に補強板１１が挟まれる。そして、ピン５２１の両端が第二ケース５４の長孔２４１Ｂ、およびリング部２４２Ｃに納まることによって、振動体１０はケース８０の厚さ寸法の略中央に保持される。
【００５１】
以上で説明した構成の回転型駆動装置１の駆動、および振動体１０の振動については、第一実施形態とほぼ同様である。ただし、二つのばね部２４２が振動体１０の表裏両面側において振動体１０を付勢することにより、振動体１０が強く付勢されて、振動体１０の振動が回転体３０に一層確実に伝わる。したがって、回転型駆動装置１の駆動開始時や、歯車６の質量が大きい場合や、外乱等によって高負荷となる場合にも、振動体１０の突起１３が回転体３０の被当接部３１１に確実に当接され、突起１３による押圧が繰り返されるので、回転型駆動装置１が安定して駆動される。
【００５２】
このような第二実施形態によれば、第一実施形態の（1-1）〜（1-7）で述べた効果に加えて、次のような効果がある。
（2-1）一対の第二ケース５４を振動体１０の表裏両面側に備え、二つのばね部２４２によって振動体１０が付勢されていることにより、一つのばね部２４２が用いられる場合よりも大きな付勢力を確保できる。したがって、突起１３を被当設部３１１に確実に押圧し、大きな駆動力を得ることができる。
【００５３】
（2-2）振動体１０は、突起１３が設けられている側では、ピン５２１で連結された一対のばね部２４２の位置だけで表裏両側から保持されている。これにより、外乱等によって振動体１０や回転体３０に振動体１０の板面と交差する方向に外力が加わった場合でも、ばね部２４２の弾性によって回転型駆動装置１および圧電アクチュエータ５の破損を防止できるとともに、突起１３がロータ３１の被当接部３１１に追随して外れないから、圧電アクチュエータ５および回転型駆動装置１を安定駆動できる。
【００５４】
本発明は、前述の各実施形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形をも含むものである。
前記各実施形態では、圧電素子１２に設けられた電極の数は四つであったが、電極の数や配置態様は特に限定されていない。例えば、次のように圧電素子に五つの電極を設けてもよい。
図９には、本発明の変形例における振動体９０の振動が模式的に示されている。振動体９０の圧電素子１２の表面には、圧電素子１２の短辺をほぼ三等分するように二本の溝１５Ａが刻設されて三つの電極が形成され、さらに、両端の電極では圧電素子１２の長辺をほぼ二等分するように溝１５Ｂが刻設されている。これによって、圧電素子１２の略中央を長手方向の一端から他端まで延びる電極９２２Ａと、この電極９２２Ａの両側で、圧電素子１２の平面中心に対して点対称に配置された四つの電極９２２Ｂとが形成されている。これらの電極９２２Ａ、９２２Ｂは、リード線を通じて電圧印加装置および振動検出装置に導通されている（図示省略）。ここで、電極９２２Ｂは、圧電素子１２の対角線上両端に配置された電極ペアごとに導通されている。
【００５５】
この圧電素子１２に電圧を印加する際には、電極９２２Ａと、一方の電極ぺアとなる電極９２２Ｂとに電圧印加装置（図示省略）から電圧を印加するとともに、他方の電極ペアとなる電極９２２Ｂからは、振動により圧電素子１２に生じた電圧を振動検出装置（図示省略）によって検出する。
これにより、電極９２２Ａ，９２２Ｂが伸縮し、振動体９０は、主として電極９２２Ａの伸縮により縦一次振動を励振するとともに、圧電素子１２の対角線上に電極９２２Ｂが配置されていることから、屈曲二次振動を励振する。こうして、縦一次振動および屈曲二次振動がともに生じると、突起１３は楕円軌道を描き、この楕円軌道において、突起１３が被当接部３１１を繰り返し押圧し、ロータ３０が楕円軌道の長軸方向に送り出されて回転する（図９（Ａ）参照）。
一方、振動検出装置（図示省略）で振動体９０の振動状態を検出しながら、印加電圧の周波数等が調整されることによって、回転型駆動装置１は安定駆動される。
【００５６】
また、上述したような電極ペアとなる電極１２２に対する電圧の印加を振動体９０の長手方向に対して線対称に切り替えると、突起１３の楕円軌道の向きが変わり、ロータ３０および歯車６は逆方向に回転する（図９（Ｂ）参照）。
図９（Ｃ）には、このような屈曲二次振動の振幅が振動曲線ＦＲ２として、振動体９０上に模式的に示されており、屈曲二次振動の腹Ｌ２に相当する部分では最も振幅が大きい。屈曲二次振動の節Ｊ２は、振動体９０の両端および略中心に位置しており、両端の節Ｊの位置に圧電素子１２の孔１２１、および補強板１１の孔１１１（図５参照）が形成されている。
【００５７】
なお、振動体や、振動体保持部材、ケース、移動体の形状、寸法、数、位置等は、前記各実施形態のものに限定されない。
例えば、前記各実施形態では、ばね部２４２は、蓋部２４１と同様、板状に平面的に形成され、ばね部２４２の全体が、振動体１０およびケース６０，８０の平面的な寸法とほぼ重なり合っていたが、これらばねと振動体およびケースとが、少なくとも一部重なっていれば良い。この場合でも、その分、平面的なスペースを節約でき、本発明の目的とする圧電アクチュエータの薄型化、小型化を図ることができる。付勢手段としてのばねの材質、形状、寸法、位置等も、前記実施形態のものに限られない。
【００５８】
また、ケースは、少なくとも振動体の一部を覆う構成であればよく、前記各実施形態のように、第一ケース２３，５３、および第二ケース２４，５４から構成されていなくても構わない。例えば、第一ケースと第二ケースとを対称形状として、これらを対向させ、対向間に振動体を覆うことも考えられる。さらに、振動体を載置する板状体等、ケースの構成を簡略化し、低コスト化、および、さらなる省スペース化を図っても勿論よい。
【００５９】
そして、前記各実施形態では、圧電素子１２の対角線上両端に位置する電極１２２のペアごとに逆位相となる電圧を印加していたが、一方の電極１２２のペアに電圧を印加し、他方の電極１２２のペアには電圧を印加しなくてもよい。この場合でも、振動体の屈曲二次振動を励振可能であり、圧電アクチュエータを駆動させることができる。なお、電圧を印加しない電極１２２を振動検出電極として利用し、これらの電極から電圧を検出すれば、印加電圧の調整等によって振動体の振動状態を制御し、回転型駆動装置の駆動を安定化できる。
さらに、振動体が振動体保持部材に固定される位置は、振動体の屈曲二次振動の節の位置に限らず、例えば、屈曲二次振動の節位置の近傍でも構わない。縦一次振動の節の位置や近傍で、振動体１０が保持されていてもよい。要するに、振動体は、振動の節近傍の位置で振動体保持部材に保持されていればよい。
【００６０】
前記各実施形態では、ケース６０，８０は腕部２３２を備えていたが、これらの腕部２３２を備えていなくてもよい。例えば、電子機器の筐体に溝を形成してこの溝にケースを係合させたり、ケースの裏面側でねじ止めしたりすることによって、圧電アクチュエータを当該筐体に固定することも考えられる。
そして、移動体は回転体でなくてもよく、例えば、棒状の移動体が直線的に移動するように本発明に係る圧電アクチュエータを構成してもよい。
ここで、本発明の圧電アクチュエータは、各種の電子機器に組み込むことができ、この電子機器は、駆動装置に限られない。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第一実施形態に係る回転型駆動装置を表す平面図。
【図２】前記実施形態に係る回転型駆動装置を表す側断面図。
【図３】前記実施形態における振動体、振動体保持部材、およびケースを表す平面図。
【図４】前記実施形態における振動体、振動体保持部材、およびケースを表す側断面図。
【図５】前記実施形態における振動体を表す斜視図。
【図６】前記実施形態における振動体の振動を模式的に説明する図。
【図７】本発明の第二実施形態における振動体、振動体保持部材、およびケースを表す平面図。
【図８】前記実施形態における振動体、振動体保持部材、およびケースを表す側断面図。
【図９】本発明の変形例における振動体の振動を模式的に説明する図。
【符号の説明】
【００６２】
１…回転型駆動装置（電子機器）、５，８…圧電アクチュエータ、１０…振動体、１２…圧電素子、１３…突起、２０，５０…振動体保持部材、２１…スライダ、２２，５２…固定部材、２３，５３…第一ケース、２４，５４…第二ケース、３０…回転体（移動体）、６０，８０…ケース、１１１…孔、１２１…孔、２４１Ｂ…長孔、２４２…ばね部（付勢手段）、２４２Ｂ…湾曲部、２４２Ｃ…リング部、Ｊ…節。
【図１】
2005151756.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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