(57)【要約】【課題】  ガラス基板の保管を的確に行うことができながら、ガラス基板を搬送する。【解決手段】  ガラス基板１に対する処理装置３の複数を経由する状態でガラス基板１を搬送する搬送装置２が設けられ、搬送装置２と処理装置３との間でガラス基板１を移載する移載装置４と、搬送装置２と処理装置３との間においてガラス基板１を保管可能な保管棚５とが設けられ、移載装置４が、搬送装置２と保管棚５との間および処理装置３と保管棚５との間でガラス基板１を移載可能に構成され、移載装置４と保管棚５とが、複数の処理装置３の夫々に対応して複数配設されている。【選択図】        図２
2005167083.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板に対する処理装置の複数を経由する状態で前記ガラス基板を搬送する搬送装置が設けられているガラス基板用の搬送設備であって、
前記搬送装置と前記処理装置との間で前記ガラス基板を移載する移載装置と、前記搬送装置と前記処理装置との間において前記ガラス基板を保管可能な保管棚とが設けられ、
前記移載装置が、前記搬送装置と前記保管棚との間および前記処理装置と前記保管棚との間で前記ガラス基板を移載可能に構成され、
前記移載装置と前記保管棚とが、前記複数の処理装置の夫々に対応して複数配設されているガラス基板用の搬送設備。
【請求項２】
前記移載装置が、上下移動可能な基台に前記ガラス基板を載置支持した状態で上下軸芯周りに旋回可能でかつ前記基台に対して出退移動可能な載置部を備えて構成され、
前記基台が、前記保管棚の枠体にて支持されている請求項１に記載のガラス基板用の搬送設備。
【請求項３】
前記移載装置は、前記基台を上下方向の下限位置に位置させかつ前記載置部を引退させた状態でその載置部の出退方向を前記保管棚側に向ける基本位置から、前記基台および前記載置部の移動を開始させるように構成されている請求項２に記載のガラス基板用の搬送設備。
【請求項４】
前記保管棚は、除塵フィルタを通して保管されている前記ガラス基板に向けて清浄空気を送風する清浄空気送風手段を備えて構成され、
前記清浄空気送風手段は、清浄空気の送風方向が、前記保管棚に保管される前記ガラス基板に送風させたのち、前記移載装置の前記載置部に載置支持される前記ガラス基板に送風させる送風方向となるように配設されている請求項２または３に記載のガラス基板用の搬送設備。
【請求項５】
前記移載装置の前記基台を上下移動させる上下駆動部が、前記清浄空気送風手段による清浄空気の送風方向から外れた位置に配設されている請求項４に記載のガラス基板用の搬送設備。
【請求項６】
前記移載装置は、前記載置部に載置支持される前記ガラス基板に対して前記清浄空気送風手段による清浄空気を送風する送風手段を備えて構成されている請求項４または５に記載のガラス基板用の搬送設備。
【請求項７】
前記清浄空気送風手段は、前記載置部に載置支持される前記ガラス基板に対して上方側から清浄空気を送風するように配設され、
前記移載装置は、前記基台を上昇移動させる際に、前記清浄空気送風手段による清浄空気が前記載置部に載置支持される前記ガラス基板に対して送風されるのを防止する防風体を備えて構成されている請求項４〜６のいずれか１項に記載のガラス基板用の搬送設備。
【請求項８】
前記処理装置は、前記複数枚のガラス基板に対して処理可能に構成され、
前記保管棚は、収納可能な前記ガラス基板の枚数が前記処理装置にて処理可能な枚数以上となるように構成されている請求項１〜７のいずれか１項に記載のガラス基板用の搬送設備。
【請求項９】
前記搬送装置が、上下方向に複数段並ぶ状態で配設され、
前記移載装置は、異なる段に配設される前記搬送装置どうしの間で前記ガラス基板を移載可能に構成されている請求項１〜８のいずれか１項に記載のガラス基板用の搬送設備。
【請求項１０】
前記移載装置は、前記載置部を上下方向に並ぶ状態で配設し、かつ、それら複数の載置部を同期状態で出退移動させるように構成されている請求項２〜９のいずれか１項に記載のガラス基板用の搬送設備。
【請求項１１】
前記基台は、前記複数の載置部を同期状態で上下移動させるように、前記複数の載置部を備えている請求項１０に記載のガラス基板用の搬送設備。
【請求項１２】
前記搬送装置の搬送方向の上流側端部には、前記ガラス基板を１枚ずつ前記搬送装置に移載する投入装置が設けられ、
前記搬送装置の搬送方向の下流側端部には、前記搬送装置にて搬送されてくる前記ガラス基板を、前記複数のガラス基板を収納可能な保管装置に収納する排出装置が設けられている請求項１〜１１のいずれか１項に記載のガラス基板用の搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板に対する処理装置の複数を経由する状態で前記ガラス基板を搬送する搬送装置が設けられているガラス基板用の搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のようなガラス基板用の搬送設備は、洗浄装置、成膜装置、露光装置、エッチング装置などの各処理装置に対してガラス基板を搬送することによりガラス基板に対して所望の処理を行い、その処理装置での処理が終了したガラス基板を次の処理装置に搬送するようにして、各処理装置にてガラス基板に対する処理を順次行いながら、ガラス基板を搬送するものである。
【０００３】
このようなガラス基板用の搬送設備として、従来では、各処理装置が、搬送装置の搬送方向に間隔を隔てて配設され、搬送装置が、ガラス基板を１列状態で搬送するように構成され、搬送装置は、その搬送経路上にガラス基板を保管する保管棚を配置しているものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３０８４２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のガラス基板用の搬送設備では、保管棚が搬送装置の搬送経路上に配置されているので、処理装置が故障した場合には、ガラス基板を保管棚に保管することができるものの、搬送装置が故障した場合には、搬送装置にてガラス基板を保管棚まで搬送できなくなり、保管棚へのガラス基板の保管を的確に行うことができない虞がある。
【０００６】
そして、搬送装置が故障した場合に、保管棚へのガラス基板の保管を行うことができなければ、ガラス基板が不良品となる可能性がある。
説明を加えると、各処理装置では、処理を終了したガラス基板をその処理装置から退避させなければ、ガラス基板に対して適切な処理を行うことができなくなり、ガラス基板が不良品となる虞がある。
したがって、搬送装置が故障した場合には、処理が終了したガラス基板を保管棚に保管させて、そのガラス基板を処理装置から退避させることが求められるが、この要求に応えられず、ガラス基板が不良品となる可能性があった。
【０００７】
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、ガラス基板の保管を的確に行うことができながら、ガラス基板を搬送することができるガラス基板用の搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するために、本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第１特徴構成は、ガラス基板に対する処理装置の複数を経由する状態で前記ガラス基板を搬送する搬送装置が設けられているガラス基板用の搬送設備において、
前記搬送装置と前記処理装置との間で前記ガラス基板を移載する移載装置と、前記搬送装置と前記処理装置との間において前記ガラス基板を保管可能な保管棚とが設けられ、前記移載装置が、前記搬送装置と前記保管棚との間および前記処理装置と前記保管棚との間で前記ガラス基板を移載可能に構成され、前記移載装置と前記保管棚とが、前記複数の処理装置の夫々に対応して複数配設されている点にある。
【０００９】
すなわち、移載装置が、搬送装置と処理装置との間でガラス基板を移載するので、搬送装置にて搬送されるガラス基板を移載装置にて処理装置に供給したり、処理装置にて処理が終了したガラス基板を移載装置にて搬送装置に戻すことができることになる。
また、移載装置は、搬送装置と保管棚との間および処理装置と保管棚との間についてもガラス基板を移載可能であるので、処理装置に供給するガラス基板を移載装置にて保管棚に保管させたり、処理装置にて処理が終了したガラス基板を移載装置にて保管棚に保管させることができることになる。
【００１０】
そして、移載装置と保管棚とが、複数の処理装置の夫々に対応して複数配設されているので、処理装置が故障した場合には、その処理装置に供給するガラス基板をその処理装置に対応して配設された保管棚に保管することができ、搬送装置が故障した場合にも、処理装置にて処理が終了したガラス基板をその処理装置に対応して配設された保管棚に保管することができることになる。
したがって、なんらかの装置の故障が生じた場合には、保管棚にガラス基板を保管することができ、ガラス基板が不良品となるなどの不都合の発生を防止することができることになる。
【００１１】
しかも、保管棚は、複数の処理装置の夫々に対応して配設されているので、処理装置にて処理可能な枚数よりも多くのガラス基板が供給される場合や、搬送装置に戻すガラス基板が多数ある場合など、搬送装置と各処理装置との間での一時保管のためにも、保管棚を利用することができることになる。
【００１２】
したがって、処理装置が故障した場合や搬送装置が故障した場合など、なんらかの装置の故障が生じた場合だけでなく、搬送装置と各処理装置との間での一時保管のためにも、保管棚にガラス基板を保管することができることとなって、ガラス基板の保管を的確に行うことができながら、ガラス基板を搬送することができるガラス基板用の搬送設備を提供できるに至った。
【００１３】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第２特徴構成は、前記移載装置が、上下移動可能な基台に前記ガラス基板を載置支持した状態で上下軸芯周りに旋回可能でかつ前記基台に対して出退移動可能な載置部を備えて構成され、前記基台が、前記保管棚の枠体にて支持されている点にある。
【００１４】
すなわち、移載装置が、基台を上下移動させて、載置部を旋回移動および出退移動させることにより、ガラス基板を移載することができるので、移載装置としては、基台とその基台上に載置部を備えるだけでよく、移載装置の設置スペースを小さくすることができることになる。
しかも、移載装置の基台が、保管棚の枠体にて支持されているので、保管棚の枠体にて移載装置の基台を支持する部材を兼用することができ、移載装置の設置スペースのより一層の小型化を図るとともに、コストの低減も図ることができることになる。
【００１５】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第３特徴構成は、前記移載装置は、前記基台を上下方向の下限位置に位置させかつ前記載置部を引退させた状態でその載置部の出退方向を前記保管棚側に向ける基本位置から、前記基台および前記載置部の移動を開始させるように構成されている点にある。
【００１６】
すなわち、移載装置は、基本位置から基台および載置部の移動を開始させることにより、搬送装置と処理装置との間、搬送装置と保管棚との間、および、処理装置と保管棚との間でのガラス基板の移載を行い、そのガラス基板の移載を終了すると、基台および載置部を基本位置に戻すことになる。
そして、基本位置では、基台が上下方向の下限位置にあり、かつ、載置部が引退させた状態でその出退方向を保管棚側に向けているので、基台および載置部が他の部材と干渉することなく、基台および載置部が基本位置に存在することの確認を容易に行うことができることになる。
【００１７】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第４特徴構成は、前記保管棚は、除塵フィルタを通して保管されている前記ガラス基板に向けて清浄空気を送風する清浄空気送風手段を備えて構成され、前記清浄空気送風手段は、清浄空気の送風方向が、前記保管棚に保管される前記ガラス基板に送風させたのち、前記移載装置の前記載置部に載置支持される前記ガラス基板に送風させる送風方向となるように配設されている点にある。
【００１８】
すなわち、清浄空気送風手段は、除塵フィルタを通した清浄空気を、まず、保管棚に保管されるガラス基板に送風させ、次に、移載装置の載置部に載置支持されるガラス基板に送風させることができるので、保管棚に保管されるガラス基板だけでなく、移載装置の載置部に載置支持されるガラス基板に対しても、塵埃などが付着することを防止できることとなる。
したがって、保管棚に保管している際や移載装置にて移載している際にも、ガラス基板への塵埃などの付着を防止することができ、ガラス基板用の搬送設備として有用なものとなる。
【００１９】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第５特徴構成は、前記移載装置の前記基台を上下移動させる上下駆動部が、前記清浄空気送風手段による清浄空気の送風方向から外れた位置に配設されている点にある。
【００２０】
すなわち、清浄空気送風手段による清浄空気が、上下駆動部にて妨げられることなく、保管棚に保管されるガラス基板に送風されたのち、移載装置の載置部に載置支持されるガラス基板に送風させることができることになる。
したがって、保管棚に保管されるガラス基板、および、移載装置の載置部に載置支持されるガラス基板に対して清浄空気を的確に送風させることができることとなって、ガラス基板への塵埃の付着を的確に防止することができることになる。
【００２１】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第６特徴構成は、前記移載装置は、前記載置部に載置支持される前記ガラス基板に対して前記清浄空気送風手段による清浄空気を送風する送風手段を備えて構成されている点にある。
【００２２】
すなわち、載置部に載置支持されるガラス基板は、基台や載置部の移動に伴って移動されるので、載置部に載置支持されるガラス基板に対しては、清浄空気を送風しにくいものとなるが、移載装置に送風手段を備えることにより、その送風手段にて清浄空気を載置部に載置支持されるガラス基板に送風させることができることになる。
したがって、載置部に載置支持されるガラス基板に対しても、清浄空気を的確に送風させることができ、載置部に載置支持されるガラス基板に対する塵埃の付着をより的確に防止することができることになる。
【００２３】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第７特徴構成は、前記清浄空気送風手段は、前記載置部に載置支持される前記ガラス基板に対して上方側から清浄空気を送風するように配設され、前記移載装置は、前記基台を上昇移動させる際に、前記清浄空気送風手段による清浄空気が前記載置部に載置支持される前記ガラス基板に対して送風されるのを防止する防風体を備えて構成されている点にある。
【００２４】
すなわち、清浄空気送風手段は、載置部に載置支持されるガラス基板に対して上方側から清浄空気を送風することができるので、塵埃が付着しやすいガラス基板の上面側への塵埃の付着を防止することができることになる。
そして、基台を上昇移動させる際には、載置部が載置支持されるガラス基板を送風される清浄空気に対して抗するように移動させることになるので、ガラス基板に抵抗力がかかり、とくに、ガラス基板が薄いときなどには、ガラス基板が割れてしまう虞があるが、移載装置に防風体を備えることにより、基台を上昇移動させる際に、防風体にて載置部が載置支持されるガラス基板への清浄空気の送風を防止できることになる。
【００２５】
したがって、ガラス基板に抵抗力がかかるのを防止することができ、ガラス基板への塵埃の付着を防止しながら、ガラス基板の損傷を防止することができることになる。
【００２６】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第８特徴構成は、前記処理装置は、前記複数枚のガラス基板に対して処理可能に構成され、前記保管棚は、収納可能な前記ガラス基板の枚数が前記処理装置にて処理可能な枚数以上となるように構成されている点にある。
【００２７】
すなわち、処理装置が、複数枚のガラス基板に対して処理可能であるので、処理能力を向上することができることになる。
そして、保管棚が、処理装置にて処理可能な枚数以上のガラス基板を収納可能であり、処理装置にて処理するガラス基板のすべてを保管棚に保管することができるので、処理装置での処理能力を向上しながらも、処理装置が故障した場合にガラス基板の保管を的確に行うことができることになる。
【００２８】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第９特徴構成は、前記搬送装置が、上下方向に複数段並ぶ状態で配設され、前記移載装置は、異なる段に配設される前記搬送装置どうしの間で前記ガラス基板を移載可能に構成されている点にある。
【００２９】
すなわち、移載装置が、上下方向に異なる段に配設される搬送装置どうしの間でガラス基板を移載することにより、移載装置を設けるだけで、搬送装置と処理装置との間でのガラス基板の移載に加えて、上下方向に異なる段に配設される搬送装置どうしの間でのガラス基板の移し替えも行うことができることになる。
したがって、上下方向に異なる段に配設される搬送装置どうしの間でのガラス基板の移し替えを行うために移し替え装置などを設けなくてもよく、コストの低減および構成の簡素化を図ることができることになる。
【００３０】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第１０特徴構成は、前記移載装置は、前記載置部を上下方向に並ぶ状態で配設し、かつ、それら複数の載置部を同期状態で出退移動させるように構成されている点にある。
【００３１】
すなわち、移載装置が、上下方向に並ぶ状態で配設される複数の載置部を同期状態で出退移動させるので、複数の載置部にて複数のガラス基板を同時に移載することができ、移載装置にてガラス基板を効率よく移載することができることになる。
【００３２】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第１１特徴構成は、前記基台は、前記複数の載置部を同期状態で上下移動させるように、前記複数の載置部を備えている点にある。
【００３３】
すなわち、移載装置が、上下方向に並ぶ状態で配設される複数の載置部を同期状態で上下移動させるので、複数の載置部を一体的に上下移動可能に連結して、その連結された複数の載置部を駆動させる駆動部を備えるだけで、複数の載置部を上下移動させることができることになり、構成の簡素化を図ることができることになる。
【００３４】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の第１２特徴構成は、前記搬送装置の搬送方向の上流側端部には、前記ガラス基板を１枚ずつ前記搬送装置に移載する投入装置が設けられ、前記搬送装置の搬送方向の下流側端部には、前記搬送装置にて搬送されてくる前記ガラス基板を、前記複数のガラス基板を収納可能な保管装置に収納する排出装置が設けられている点にある。
【００３５】
すなわち、投入装置は、複数のガラス基板が収納されている保管装置からガラス基板を１枚ずつ切り出して搬送装置に移載することができ、排出装置は、搬送装置にて１枚ずつ１列状態で搬送されてくるガラス基板を保管装置に順次収納していくことができることになる。
したがって、搬送装置に対するガラス基板の搬入および搬出については、複数のガラス基板が収納された保管装置にて取り扱うことができるので、搬送装置に対してガラス基板を１枚ずつ搬入および搬出するものと比べて、搬送装置に対してガラス基板を搬入および搬出する際のガラス基板の取り扱いを容易にすることができることになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
本発明にかかるガラス基板用の搬送設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
このガラス基板用の搬送設備は、図１および図２に示すように、ガラス基板１を搬送する搬送装置２、ガラス基板１に対して処理を行う処理装置３、搬送装置２および処理装置３の作動状態を制御する管理装置Ｈなどから構成されている。
ちなみに、図１は、ガラス基板用の搬送設備の斜視図を示し、図２は、ガラス基板用の搬送設備の平面図を示している。
【００３７】
前記搬送装置２は、上下方向に２段並ぶ状態で配設され、それら２段に配設される搬送装置２の夫々が、処理装置３の複数を経由する状態でガラス基板１を搬送するように構成されている。
ちなみに、搬送装置２については、図示はしないが、ガラス基板１に向けて空気を送風して非接触状態でガラス基板１を水平姿勢で支持しながら、ガラス基板１に対して搬送方向への推進力を付与することにより、ガラス基板１を搬送するように構成されている。
【００３８】
そして、搬送装置２の搬送方向の上流側端部には、ガラス基板１を１枚ずつ搬送装置２に移載する投入装置１６が設けられ、搬送装置２の搬送方向の下流側端部には、搬送装置２にて搬送されてくるガラス基板１を、複数のガラス基板１を収納可能な保管装置に収納する排出装置１７が設けられている。
説明を加えると、図示はしないが、投入装置１６は、複数のガラス基板１が収納されている保管装置としてのカセットからガラス基板１を１枚ずつ切り出して搬送装置２に移載するように構成されている。
また、排出装置１７は、搬送装置２にて１枚ずつ１列状態で搬送されてくるガラス基板１を保管装置としてのカセットに順次収納していくように構成されている。
そして、搬送装置２に対する搬入および搬出については、複数のガラス基板１が収納されているカセット単位で行うように構成されている。
【００３９】
前記処理装置３は、洗浄装置、成膜装置、露光装置、エッチング装置などの各種の装置からなり、各処理装置３が、ガラス基板１に対して行う処理の順番に対応する状態で、搬送装置２の搬送方向の上流側から順に間隔を隔てて配設されている。
【００４０】
上下２段の搬送装置２の夫々には、搬送装置２と処理装置３との間でガラス基板１を移載する移載装置４と、搬送装置２と処理装置３との間においてガラス基板１を保管可能な保管棚５とが設けられ、この移載装置４と保管棚５とが、複数の処理装置３の夫々に対応して複数配設されている。
そして、移載装置４は、搬送装置２と保管棚５との間および処理装置３と保管棚５との間でガラス基板１を移載可能に構成されている。
【００４１】
前記移載装置４は、図２に示すように、搬送装置２との移載方向と処理装置３との移載方向とが同じ方向となる状態で、搬送装置４の搬送方向に対して側脇に位置するように配設され、搬送装置２と処理装置３との間に移載装置４が位置するように配設されている。
また、物品保管棚５は、その開口部が移載装置４を向く状態で、その挿脱方向が搬送装置２の搬送方向に沿うように処理装置３に対して１つ配設されている。
【００４２】
前記移載装置４について説明を加えると、移載装置４は、図３〜図６に示すように、上下移動可能な基台６にガラス基板１を載置支持した状態で上下軸芯周りに旋回可能でかつ基台６に対して出退移動可能な載置部７を備えて構成されている。
そして、基台６および載置部７は、上下方向に並ぶ状態で２つ配設され、載置部７は、図３〜図５に示すように、ガラス基板１をその横幅方向に間隔を隔てる状態で載置支持するように複数の爪部が延びる形状に構成されている。
【００４３】
ちなみに、図３〜５は、移載装置４の平面図を示すものであり、図６は、移載装置４の縦断側面図を示すものである。
そして、図３は、基台６および載置部７が後述する基本位置にある状態を示しており、図４は、搬送装置２上のガラス基板１を掬いとった状態を示しており、図５は、保管棚５にガラス基板１を挿入した状態を示している。
【００４４】
前記基台６を上下移動させる上下駆動部８が、保管棚５を形成する枠体の両側部に支持され、基台６が保管棚５の枠体に支持されている。
前記上下駆動部８は、上下一対のスプロケット９，１０、その上下一対のスプロケットに巻き掛けられるチェーン１１、カウンターウェイト１２などを備えて構成され、上下一対のスプロケット９，１０のうち、一方側が駆動スプロケット９にかつ他方側が遊転スプロケット１０に構成されている。
上下方向に並ぶ２つの基台６は、チェーン１１に連結支持されている連結体２３に連結されており、駆動スプロケット９を図外の駆動モータなどで作動させることにより、駆動スプロケット９と遊転スプロケット１０との間でチェーン１１を巻回させて、上下方向に並ぶ２つの基台６を一体的に上下移動させるように構成されている。
そして、上下方向に並ぶ２つの基台６が一体的に上下動するように構成することにより、基台６は、２つの載置部７が同期状態で上下動させるように、２つの載置部７を備えている。
【００４５】
以下、載置部７を旋回移動および出退移動させる構成について説明を加えるが、２つの載置部７は同様の構成であるので、一方のみについて説明を加える。
前記基台６には、上下軸芯周りに旋回自在な旋回台２２上に載置部７を出退移動自在に支持するリンク機構１３が設けられ、旋回台２２およびリンク機構１３により載置部７を旋回移動可能でかつ出退移動可能に構成されている。
前記リンク機構１３は、図３〜図５に示すように、その基端部が上下軸芯周りで回動自在に旋回台２２に連結された一対の操作リンク１４と、操作リンク１４の先端部に対して上下軸芯周りで回動自在に連結されかつ載置部７に対して上下軸芯周りで回動自在に連結された揺動リンク１５とから構成されている。
そして、図外の電動モータにより一対の操作リンク１４を連動して上下軸芯周りに揺動操作することにより、載置部７を基台６に対して突出移動および引退移動させるように構成されている。
【００４６】
このようにして、載置部７は、図外の電動モータによりリンク機構１３を作動させることにより、基台６に対して突出移動および引退移動するように構成されており、移載装置４は、上下方向に並ぶ２つの載置部７のうち、上方側に配置される載置部７に対する電動モータと、下方側に配置される載置部７に対する電動モータとを同期状態で作動させることにより、上下方向に並ぶ２つの載置部７を同期状態で出退移動させるように構成されている。
【００４７】
また、移載装置４は、基台６を上下方向の下限位置に位置させかつ載置部７を引退させた状態でその載置部７の出退方向を保管棚５側に向ける基本位置から、基台６および載置部７の移動を開始させるように構成されている。
説明を加えると、図３に示す基本位置から基台６および載置部７の移動を開始させることにより、搬送装置２と処理装置３との間、搬送装置２と保管棚５との間、および、処理装置３と保管棚５との間でのガラス基板１の移載を行い、そのガラス基板１の移載を終了すると、基台６および載置部７を基本位置に戻すように構成されている。
【００４８】
前記基本位置は、図３に示すように、基台６および載置部７が他の部材と干渉することなく、基台６および載置部７が基本位置に存在することの確認を容易に行うことができるように定められている。
ちなみに、上下方向に並ぶ２つの搬送装置２のうち、上方側に配置される搬送装置２に対する移載装置４については、下方側に配置される搬送装置２まで基台６が下方移動可能であるが、上下方向の下限位置とは、上方側に配置される搬送装置２に対する上下方向での下限位置としている。
【００４９】
前記搬送装置２から保管棚５にガラス基板１を移載する場合を挙げて説明を加えると、まず、移載装置４は、図３に示す基本位置から、基台６を上昇移動させたのち、載置部７を旋回移動させたのち突出移動させることにより、図４に示すように、搬送装置２上のガラス基板１を掬い取る。
そして、搬送装置２上からガラス基板１を掬い取ると、載置部７を引退移動させたのち旋回移動させて、載置部７の出退方向を保管棚５側に向けた状態で、図５に示すように、載置部７を突出移動させることにより、保管棚５へのガラス基板１の移載を行い、保管棚５へのガラス基板１の移載が終了すると、図３に示す基本位置に戻す。
【００５０】
前記移載装置４は、図７に示すように、上下駆動部８にて上下方向に並ぶ２つの搬送装置２にわたって基台６を上下動可能に構成することにより、上下方向に並ぶ２つの搬送装置２どうしの間でガラス基板１を移載可能に構成されている。
説明を加えると、上下方向に並ぶ２つの搬送装置２のうち、上方側に配置される搬送装置２に対して設けられている移載装置４は、上下駆動部８にて下方側に配置される搬送装置２まで基台６を下降移動可能に構成されて、その下方側に配置される搬送装置２に対してもガラス基板１を移動可能に構成されている。
また、上下方向に並ぶ２つの搬送装置２のうち、下方側に配置される搬送装置２に対して設けられている移載装置４は、上下駆動部８にて上方側に配置される搬送装置２まで基台６を上昇移動可能に構成されて、上方側に配置される搬送装置２に対しても移載可能に構成されている。
【００５１】
ちなみに、上下駆動部８にて上下方向に並ぶ２つの搬送装置２にわたって基台６を上下動可能に構成するために、図１に示すように、移載装置４、処理装置３、および、保管棚５の配設箇所が、搬送装置２の搬送方向において、上下方向に並ぶ２つの搬送装置２の間で異なる位置になるように配設されている。
【００５２】
前記保管棚５について説明を加えると、保管棚５は、図３〜図６に示すように、前面部が開口された箱状に形成され、ガラス基板１を複数収納できるように、ガラス基板１を載置支持する載置支持部５ａを上下方向に間隔を隔てて複数配設されている。
そして、処理装置３は、複数枚のガラス基板１に対して処理可能に構成されており、保管棚５は、収納可能なガラス基板１の枚数が処理装置３にて処理可能な枚数以上となるように、収納可能なガラス基板１の枚数が例えば１００枚に構成されている。
また、載置支持部５ａは、ガラス基板１の横幅方向の両端部およびその横幅方向の中間部を間隔を隔てる状態で載置支持するように構成され、移載装置４にてガラス基板１を保管棚５に移載する際に、移載装置４の載置部７が保管棚５に挿脱自在となるように、保管棚５の載置支持部５ａの存在箇所と移載装置４の載置部７の存在箇所が異なるように配設されている。
【００５３】
前記保管棚５は、除塵フィルタ１８を通して保管されているガラス基板１に向けて清浄空気を送風する清浄空気送風手段としての清浄空気送風ファン１９を備えて構成されている。
そして、清浄空気送風ファン１９および除塵フィルタ１８は、清浄空気の送風方向が、保管棚５に保管されるガラス基板１に送風させたのち、移載装置４の載置部７に載置支持されるガラス基板１に送風させる送風方向となるように配設されている。
すなわち、清浄空気送風ファン１９および除塵フィルタ１８は、保管棚５の後端部に配設され、保管棚５の下方側や後方側から空気を吸引して、除塵フィルタ１８を通して前方側に清浄空気を送風するように構成されている。
【００５４】
また、清浄空気送風ファン１９および除塵フィルタ１８を保管棚５の後端部に配設することにより、移載装置４の載置部７に載置支持されるガラス基板１に対しては上方側から清浄空気を送風させるように構成されている。
このようにして、清浄空気送風ファン１９による清浄空気は、まず、保管棚５に保管されるガラス基板１に対して送風され、次に、移載装置４の載置部７に載置支持されるガラス基板１に対して上方側から下方側に向けて送風されたのち、再度清浄空気送風ファン１９にて吸引されて、清浄空気が循環するように構成されている。
【００５５】
そして、移載装置４は、載置部７に載置支持されるガラス基板１に対して清浄空気送風ファン１９による清浄空気を送風する送風手段としての送風ファン２０と、基台６を上昇移動させる際に、清浄空気送風ファン１９による清浄空気が載置部７に載置支持されるガラス基板１に対して送風されるのを防止する板状の防風体２１とを備えて構成されている。
【００５６】
説明を加えると、移載装置４に送風ファン２０を備えることにより、清浄空気送風ファン１９だけでは載置部７に載置支持されるガラス基板１に対して送風できない清浄空気をも送風して、載置部７に載置支持されるガラス基板１に対して清浄空気を的確に送風するように構成されている。
また、移載装置４に防風体２１を備えることにより、基台６を上昇移動させる際に、載置部７に載置支持されるガラス基板１に対して、上方側から送風される清浄空気が抵抗となることを防止して、ガラス基板１の損傷を防止するように構成されている。
【００５７】
前記送風ファン２０と防風体２１とは、送風ファン２０が防風体２１よりも上方側に位置する状態で、防風体２１が上下方向に並ぶ載置部７のうち、上方側に位置するものを覆うように配設されている。
また、送風ファン２０については、上下方向に並ぶ載置部７よりも下方側にも配設されている。
そして、送風ファン２０および防風体２１が、ともに基台６に支持されて、送風ファン２０および防風体２１が、基台６と一体的に上下動するように構成されている。
【００５８】
また、移載装置４の上下駆動部８は、保管棚５の枠体の外側の両側部に配設されて、清浄空気送風ファン１９による清浄空気の送風方向から外れた位置に配設されている。
そして、清浄空気送風ファン１９による清浄空気が、上下駆動部８にて妨げられることなく、保管棚５に保管されるガラス基板１に対して送風されたのち、移載装置４の載置部７に載置支持されるガラス基板１に対して上方側から下方側に向けて送風されるように構成されている。
【００５９】
前記管理装置Ｈは、図８に示すように、搬送装置２および処理装置３の作動状態を制御するとともに、移載装置３の作動状態についても制御するように構成されている。
また、管理装置Ｈは、ガラス基板１をどの処理装置３に対して供給すべきか、保管棚５におけるガラス基板１の保管状態などの情報を管理するように構成されている。
【００６０】
そして、管理装置Ｈは、搬送装置２および処理装置３が正常作動している場合には、搬送装置２にてガラス基板１を処理対象の処理装置３に対応する位置まで搬送すると、移載装置４にて搬送装置２から処理装置３にガラス基板１を移載するように、移載装置４を制御するように構成されている。
また、管理装置Ｈは、処理装置３にて処理が終了すると、そのガラス基板１を移載装置４にて搬送装置２に戻すように、移載装置４を制御するように構成されている。
【００６１】
前記管理装置Ｈは、処理装置３が故障した場合には、その処理装置３に供給するガラス基板１を、故障した処理装置３に対応して配設された保管棚５に移載するように、移載装置４を制御するように構成されている。
すなわち、管理装置Ｈは、搬送装置２にてガラス基板１を処理対象の処理装置３に対応する位置まで搬送すると、移載装置４にて搬送装置２から保管棚５にガラス基板１を移載するように、移載装置４を制御するように構成されている。
【００６２】
また、管理装置Ｈは、搬送装置２が故障した場合には、処理装置３にて処理が終了したガラス基板１をその処理装置３に対応する保管棚５に移載するように、移載装置４を制御するように構成されている。
すなわち、管理装置Ｈは、処理装置３にて処理が終了すると、そのガラス基板１を移載装置４にて保管棚５に移載するように、移載装置４を制御するように構成されている。
【００６３】
そして、管理装置Ｈは、処理装置３の故障が解消されると、保管棚５に収納されているガラス基板１を処理装置３に移載するように、移載装置４を制御し、搬送装置２の故障が解消されると、保管棚５に収納されているガラス基板１を搬送装置２に移載するように、移載装置４を制御するように構成されている。
【００６４】
前記管理装置Ｈは、処理装置３や搬送装置２が故障した場合に、ガラス基板１を保管棚５に保管するように構成されているが、処理装置３にて処理可能な枚数よりも多くのガラス基板１が供給される場合や、搬送装置２に戻すガラス基板１が多数ある場合など、搬送装置２と各処理装置３との間での一時保管する必要が生じた場合にも、移載装置４にてガラス基板１を保管棚５に保管するように構成されている。
【００６５】
また、管理装置Ｈは、上方側に配置される搬送装置２にて搬送中のガラス基板１を下方側に配置される搬送装置２に移し替える場合や、逆に、下方側に配置される搬送装置２にて搬送中のガラス基板１を上方側に配置される搬送装置２に移し替える場合には、搬送装置２にて移載装置４が存在する箇所まで搬送すると、移載装置４にて上下方向に並ぶ搬送装置２どうしの間でガラス基板１を移載させるように、移載装置４を制御するように構成されている。
【００６６】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、上下方向に２つの搬送装置２を並べる例を示したが、上下方向にいくつの搬送装置２を並べるかについては、適宜変更可能であり、１つや３つ以上などとしてもよい。
【００６７】
（２）上記実施形態では、上下方向に並ぶ２つの搬送装置２の夫々に対応して、移載装置４を設けるようにしているが、移載装置４が、上下方向に並ぶ搬送装置２どうしの間でガラス基板２を移載可能に構成されているので、１つの移載装置４にて上下方向に並ぶ２つの搬送装置２に対応する移載装置を兼用するように構成して実施することも可能である。
【００６８】
（３）上記実施形態では、移載装置４として、上下移動可能な基台６およびガラス基板１を載置支持した状態で上下軸芯周りに旋回可能でかつ基台６に対して出退移動可能な載置部７を備えたものを例示したが、その他各種の移載装置を適応することが可能である。
また、上記実施形態では、移載装置４の基台６が、保管棚５の枠体に支持されているが、基台６を支持するための部材を保管棚５とは別に設けて実施することも可能である。
【００６９】
（４）上記実施形態では、移載装置４のすべてが、上下方向に並ぶ２つの搬送装置２どうしの間でガラス基板１を移載可能に構成されているが、移載装置４のうち、一部のもののみ、上下方向に並ぶ２つの搬送装置２どうしの間でガラス基板１を移載可能に構成し、その移載装置４にて上下方向に並ぶ２つの搬送装置２どうしでのガラス基板１の移し替えを行うようにしてもよい。
また、移載装置４のすべてを、上下方向に並ぶ２つの搬送装置２どうしの間でガラス基板１を移載可能に構成しなくてもよい。
【００７０】
（５）上記実施形態では、移載装置４の上下駆動部８を、清浄空気送風ファン１９による清浄空気の送風方向から外れた位置に配設するようにしているが、移載装置４の上下駆動部８の配設箇所については適宜変更が可能である。
【００７１】
（６）上記実施形態では、移載装置４に、送風ファン２０および防風体２１を備えるようにしているが、必ずしも移載装置４に送風ファン２０および防風体２１を備える必要はなく、例えば、送風ファン２０のみまたは防風体２１のみ備えるようにしてもよい。
【００７２】
（７）上記実施形態では、移載装置４が、載置部７を上下方向に２つ並ぶ状態で配設しているが、載置部７を上下方向にいくつ並べて配設するかについては、適宜変更が可能であり、１つや３つ以上としてもよい。
また、複数の載置部７については、必ずしも同期状態で出退移動や上下移動させる必要はなく、複数の載置部７を各別に出退移動や上下移動させるように構成して実施することも可能である。
【００７３】
（８）上記実施形態では、搬送装置２にてガラス基板１を水平姿勢で搬送するように構成されているが、搬送装置２にて搬送する際のガラス基板１の姿勢については適宜変更が可能であり、例えば、縦姿勢にて搬送することも可能である。
【００７４】
（９）上記実施形態では、投入装置１６や排出装置１７を設けることにより、搬送装置２に対するガラス基板１の搬入および搬出を複数のガラス基板１を収納可能な保管装置としてのカセット単位で行うようにしているが、投入装置１６や排出装置１７を設けずに、搬送装置２に対してガラス基板１を１枚ずつ搬入したり、搬送装置２からガラス基板１を１枚ずつ搬出することも可能である。
【００７５】
（１０）上記実施形態では、上下方向に並ぶ載置部７よりも上方側および下方側の両方に送風ファン２０を配設しているが、上下方向に並ぶ載置７よりも上方側のみに送風ファン２０を配設するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】ガラス基板用の搬送設備の斜視図
【図２】ガラス基板用の搬送設備の平面図
【図３】移載装置および保管棚の平面図
【図４】移載装置および保管棚の平面図
【図５】移載装置および保管棚の平面図
【図６】移載装置および保管棚の縦断側面図
【図７】移載装置と搬送装置とを示す斜視図
【図８】ガラス基板用の搬送設備の制御ブロック図
【符号の説明】
【００７７】
１          ガラス基板
２          搬送装置
３          処理装置
４          移載装置
５          保管棚
６          基台
７          載置部
１６        投入装置
１７        排出装置
１８        除塵フィルタ
１９        清浄空気送風手段
２０        送風手段
２１        防風体
【図１】
2005167083.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005167083.tif 000008
【図７】
2005167083.tif 000009
【図８】
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