(57)【要約】【課題】  高温環境で用いることが可能な強固に結着された粉体結着体の結着方法、結着装置、及び粉体結着体、並びに光拡散板及び光触媒体の製造方法及びそれらの製造装置及び光拡散体及び光触媒体を提供する。【解決手段】  塗布手段１に結着剤としてのアルコキシシランなどのアルコキシド２を供給し、石英などの粉体３を添加して粉体とアルコキシドの混合体４を形成し、該混合体を基板５上に塗布形成し、加熱ランプなどによる加熱処理あるいは真空紫外線の照射処理によりアルコキシドの化学反応を促進させ、粉体間及び粉体と基板間を結着させ、粉体結着体を作成する。【選択図】        図  １
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
結着材としてアルコキシドを用いて粉体を結着することを特徴とする粉体の結着方法。
【請求項２】
前記粉体とアルコキシドの混合体を加熱し粉体の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とする請求項１に係る粉体の結着方法。
【請求項３】
前記粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、粉体の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とする請求項１又は２に係る粉体の結着方法。
【請求項４】
前記粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、粉体の結着を促進させる工程を窒素ガス又は希ガスの雰囲気で行うことを特徴とする請求項３に係る粉体の結着方法。
【請求項５】
前記粉体は、複数種類の粉体からなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に係る粉体の結着方法。
【請求項６】
前記請求項１〜５のいずれか１項に係る粉体の結着方法により結着された粉体結着体。
【請求項７】
光拡散体用粉体とアルコキシドとの混合体を基板上に形成し、前記粉体間及び前記粉体と基板間とを前記アルコキシドにより結着することを特徴とする光拡散板の製造方法。
【請求項８】
前記基板上に形成した前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を加熱し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とする請求項７に係る光拡散板の製造方法。
【請求項９】
前記基板上に形成した前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とする請求項７又は８に係る光拡散板の製造方法。
【請求項１０】
前記基板上に形成した前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を窒素ガス又は希ガスの雰囲気で行うことを特徴とする請求項９に係る光拡散板の製造方法。
【請求項１１】
前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を前記基板に結着して形成した光拡散板の表面を研磨する工程を備えていることを特徴とする請求項７〜10のいずれか１項に係る光拡散板の製造方法。
【請求項１２】
前記請求項７〜11のいずれか１項に係る光拡散板の製造方法により製造された光拡散板。
【請求項１３】
光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を基板上に形成し、前記粉体間及び前記粉体と基板間とを前記アルコキシドにより結着することを特徴とする光触媒体の製造方法。
【請求項１４】
前記基板上に形成した前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を加熱し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とする請求項13に係る光触媒体の製造方法。
【請求項１５】
前記基板上に形成した前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とする請求項13又は14に係る光触媒体の製造方法。
【請求項１６】
前記基板上に形成した前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を窒素ガス又は希ガスの雰囲気で行うことを特徴とする請求項15に係る光触媒体の製造方法。
【請求項１７】
前記光触媒用粉体に光拡散性の粉体を加えたことを特徴とする請求項13〜16のいずれか１項に係る光触媒体の製造方法。
【請求項１８】
前記光触媒用粉体に多孔質の粉体を加えたことを特徴とする請求項13〜16のいずれか１項に係る光触媒体の製造方法。
【請求項１９】
前記請求項13〜18のいずれか１項に係る光触媒体の製造方法により製造された光触媒体。
【請求項２０】
粉体と該粉体の結着材としてのアルコキシドの混合体を加熱する加熱部を備えていることを特徴とする粉体の結着装置。
【請求項２１】
粉体と該粉体の結着材としてのアルコキシドの混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源を備えていることを特徴とする粉体の結着装置。
【請求項２２】
粉体と該粉体の結着材としてのアルコキシドの混合体を加熱する加熱部と、前記混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源を備えていることを特徴とする粉体の結着装置。
【請求項２３】
前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、粉体と該粉体の結着材としてのアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とする請求項21又は22に係る粉体の結着装置。
【請求項２４】
前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、粉体と該粉体の結着材としてのアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部と前記照射室の両方に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とする請求項21又は22に係る粉体の結着装置。
【請求項２５】
前記真空紫外線光源部と前記照射室との間に真空紫外線に対して透明な物質からなる仕切り窓を設けたことを特徴とする請求項23又は24に係る粉体の結着装置。
【請求項２６】
前記真空紫外線光源としてエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることを特徴とする請求項21〜25のいずれか１項に係る粉体の結着装置。
【請求項２７】
光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を加熱する加熱部を備えていることを特徴とする光拡散板の製造装置。
【請求項２８】
光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源を備えていることを特徴とする光拡散板の製造装置。
【請求項２９】
光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を加熱する加熱部と、前記基板上に形成された前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源を備えていることを特徴とする光拡散板の製造装置。
【請求項３０】
前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、前記基板上に形成された前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とする請求項28又は29に係る光拡散板の製造装置。
【請求項３１】
前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、前記基板上に形成された前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部と前記照射室の両方に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とする請求項28又は29に係る光拡散板の製造装置。
【請求項３２】
前記真空紫外線光源部と前記照射室との間に真空紫外線に対して透明な物質からなる仕切り窓を設けたことを特徴とする請求項30又は31に係る光拡散板の製造装置。
【請求項３３】
前記真空紫外線光源としてエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることを特徴とする請求項28〜32のいずれか１項に係る光拡散板の製造装置。
【請求項３４】
光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を加熱する加熱部を備えていることを特徴とする光触媒体の製造装置。
【請求項３５】
光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源を備えていることを特徴とする光触媒体の製造装置。
【請求項３６】
光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を加熱する加熱部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源を備えていることを特徴とする光触媒体の製造装置。
【請求項３７】
前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とする請求項35又は36に係る光触媒体の製造装置。
【請求項３８】
前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部と前記照射室の両方に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とする請求項35又は36に係る光触媒体の製造装置。
【請求項３９】
前記真空紫外線光源部と前記照射室との間に真空紫外線に対して透明な物質からなる仕切り窓を設けたことを特徴とする請求項37又は38に係る光触媒体の製造装置。
【請求項４０】
前記真空紫外線光源としてエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることを特徴とする請求項35〜39のいずれか１項に係る光触媒体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば光拡散板や光触媒体などの製造に用いられる粉体の結着方法及びその結着装置、並びにその応用としての光拡散板や光触媒体の製造方法及びその製造装置並びに上記粉体の結着方法により得られる粉体結着体、上記光拡散板や光触媒体の製造方法により得られる光拡散板及び光触媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、粉体を結着材で結着する場合、結着材としては有機物質が用いられている。例えば、光拡散板を形成する場合、硫酸バリウム（ＢａＳＯ4 ）粉体を、水溶性の有機高分子材料であるポリビニールアルコールを結着材として用いて、基板上に塗布形成し、光拡散板を形成している。
【０００３】
また、光触媒体を形成する場合は、ＴｉＯ2 等の光触媒粉体を水等の溶媒に分散させて、スプレーやデップ法で基板に塗布し、焼き付け乾燥させるなどの手法が用いられている。
【特許文献１】特許第２９０１９６３号公報
【特許文献２】特許第３４２９７５２号公報
【特許文献３】特開平２００３−２１２６１３号公報
【非特許文献１】Applied Physics Letter, Vol.69, No.4 (1996), P.482
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記光拡散板の形成にみられるように、従来の粉体の結着に用いられる結着材としては有機物質が用いられているため、粉体の結着体において 200℃以上の高温雰囲気での使用に耐え得るものは殆ど得られない。また、このような有機物質を結着材として用いて光拡散板を構成した場合、紫外線を吸収しない粉体を用いても、使用する有機物質からなる結着材は紫外線を吸収するため、 350nmより短い短波長領域では、光拡散板としての機能をもたせることができない。また、粉体の結着には、有機物質などの結着材を用いずに、圧着で固める手法もあるが、圧着のみでの結着では、構造的に極めて脆弱である。
【０００５】
また、光触媒体の形成に関して、光触媒粉体を水等の溶媒に分散させ塗布焼成して形成する手法においても、結着強度に欠けるという問題点がある。
【０００６】
一方、近年、アルコキシドを利用した種々の手法が提案されている。例えば、光励起によるアルコキシドの薄膜ガラス化技術に関して、「Applied Physics Letter, Vol.69, No.4 (1996), P.482」に開示がなされており、アルコキシドをシリコンウェハーに塗布して紫外線を照射すると、その表面に石英ガラス（シリカガラス）の薄膜層が形成される旨の記載がなされている。
【０００７】
また、特許第２９０１９６３号公報には、このようなアルコキシドを原料として光励起による薄膜形成方法の応用例として、テレビのブラウン管表面の反射防止膜の形成や機能性有機物のドーピング、光触媒の製造、微細パターン膜の形成、光感光性材料等の薄膜化などに採用できる旨の記載がなされている。
【０００８】
また、特許第３４２９７５２号公報には、アルコキシドを接着材料とし、紫外光でアルコキシド部分を照射することにより、石英ガラス等の紫外光に対して透明な物質を接合する方法について、開示がなされている。
【０００９】
更にまた、特開平２００３−２１２６１３号公報には、ガラスの接合部にアルコキシドに微粉末を分散させた液体を塗布し、ガラス同士を接触させて波長 172nm以下の紫外線を照射し、微粉末による紫外線の散乱効果によりアルコキシドの光化学反応を満遍なく行き渡らせて、必ずしも平面同士とは限らない凹凸を有するガラスでも良好に接合できるようにしたガラス又は結晶の接合方法について、開示がなされている。
【００１０】
しかしながら、上記文献に開示されているアルコキシドを利用した手法は、アルコキシドによる薄膜の形成方法、あるいはアルコキシドによる石英ガラス板の接着、更には微粉末を分散させてアルコキシドの光化学反応を促進させてガラス板を接着させる方法などであり、粉体自体の結着に関しては、何も考慮がなされていない。
【００１１】
本発明は、従来技術の上記のような現状に鑑みてなされたもので、従来より高温環境において用いることが可能で、且つ強固に結着された粉体結着体が得られるようにした粉体の結着方法、その結着方法で得られた粉体結着体、その結着方法を適用した粉体結着装置、並びにその粉体結着技術を応用した光拡散板及び光触媒体、それらの製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、結着材としてアルコキシドを用いて粉体を結着するようにして粉体の結着方法を構成するものである。
【００１３】
一般に、有機物質を粉体の結着材として用いると、前述のように、高温雰囲気中で用いることができないばかりでなく、粉体が結着材中に埋め込まれた形態で結着される。したがって、このような結着手法を光拡散板の作成に用いると、光拡散板の表面が平滑になり、正反射成分が増加して特性の良好な光拡散板が得られにくい。また、粉体に対して透明な紫外線を用いても紫外線が結着材として用いた有機物質に吸収されるため、紫外線領域では使用できないという問題がある。
【００１４】
しかし、上記請求項１に係る発明のように、粉体をアルコキシドを結着材として用いて結着させると、アルコキシドの化学反応により生成されるＳｉＯ2 により粉体間の結着が行われると共に、アルコール成分が逸散して空隙部ができる。つまり結着材としてのアルコキシドが粉体にまとわりつき、粉体間のアルコキシドのアルコール成分が抜けて粉体間に空隙部が形成されたような態様で、粉体を生成されたＳｉＯ2 で結着させ、強固な粉体結着体を形成させることができる。この際、粉体がアルコキシド結着材に十分に埋め込まれて結着されてしまう態様にならないように、粉体とアルコキシド結着材を適切に配合することにより、効率的に上記形態の粉体結着体を形成することができる。
【００１５】
このように、アルコキシドを結着材として用いることにより、粉体間に隙間ができる形態で粉体を結着できるため、後述のように、光拡散板や光触媒体などの作成に好適な粉体結着方法を実現できる。また、アルコキシドの化学反応で形成されるＳｉＯ2 は、 350nm以下の紫外線を透過できるため、高温環境でしかも紫外線の使用領域で用いることが可能な粉体結着体が得られる。
【００１６】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る粉体の結着方法において、前記粉体とアルコキシドの混合体を加熱し粉体の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とするものである。
【００１７】
このように、粉体とアルコキシドの混合体を加熱する工程を設けることにより、アルコキシドの化学反応（架橋反応）が促進され、短時間で効率的に上記粉体間に隙間が存在する構成の粉体結着体を作成することができる。
【００１８】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に係る粉体の結着方法において、前記粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、粉体の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とするものである。
【００１９】
このように、粉体とアルコキシドの混合体に、真空紫外線を照射する工程を設けることにより、アルコキシドの化学反応が加熱する場合と同様に促進され、効率的に上記構成の粉体結着体を作成することができる。また、加熱と真空紫外線の照射を併用することにより、一層化学反応を促進させ、より効率的に上記構成の粉体結着体を作成することができる。
【００２０】
請求項４に係る発明は、請求項３に係る粉体の結着方法において、前記粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、粉体の結着を促進させる工程を窒素ガス又は希ガスの雰囲気で行うことを特徴とするものである。
【００２１】
このように真空紫外線の照射を窒素ガス又は希ガス雰囲気で行うことにより、真空紫外線の減衰を低減して効率的に粉体の結着を促進させることができる。
【００２２】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４のいずれか１項に係る粉体の結着方法において、前記粉体は、複数種類の粉体からなることを特徴とするものである。
【００２３】
このように、複数種類の粉体をアルコキシドを用いて結着することにより、種々の特性をもつ耐熱性を有する強固な粉体結着体を作成することができる。
【００２４】
請求項６に係る発明は、前記請求項１〜５のいずれか１項に係る粉体の結着方法により結着された粉体結着体を要旨とするものである。
【００２５】
このようにして得られた粉体結着体は、粉体間に隙間が存在し、光拡散板や光触媒体等への利用に好適な、高温雰囲気で使用可能で強固に結着された粉体結着体を容易に実現することができる。
【００２６】
請求項７に係る発明は、光拡散体用粉体とアルコキシドとの混合体を基板上に形成し、前記粉体間及び前記粉体と基板間とを前記アルコキシドにより結着するようにして光拡散板の製造方法を構成するものである。
【００２７】
このように、アルコキシドにより光拡散体用粉体を結着することにより、光拡散体用粉体間に隙間ができる形態で該粉体を結着できるため、表面に多数の光拡散体用粉体による微細な凹凸を形成させることができ、拡散特性の良好な光拡散板を容易に製造することができる。また、アルコキシドの化学反応で形成される結着に寄与しているＳｉＯ2 は、耐熱性と紫外線に対する透過性を有するので、耐熱性と紫外線に対して透過性を有する光拡散体用粉体を用いることにより、耐熱性と光拡散性と紫外線透過性及び反射性に優れた光拡散板を作成することができる。
【００２８】
請求項８に係る発明は、請求項７に係る光拡散板の製造方法において、前記基板上に形成した前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を加熱し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とするものである。
【００２９】
このように、基板上に形成した光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を加熱する工程を設けることにより、アルコキシドの化学反応が促進され、上記構成の光拡散板を短時間で効率的に製造することができる。
【００３０】
請求項９に係る発明は、請求項７又は８に係る光拡散板の製造方法において、前記基板上に形成した前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とするものである。
【００３１】
このように、基板上に形成した光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に、真空紫外線を照射する工程を設けることにより、アルコキシドの化学反応が加熱する場合と同様に促進され、上記構成の光拡散板を効率的に製造することができる。また、加熱と真空紫外線の照射を併用することにより、一層化学反応を促進させ、より効率的に上記構成の光拡散板を製造することができる。
【００３２】
請求項10に係る発明は、前記請求項９に係る光拡散板の製造方法において、前記基板上に形成した前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を窒素ガス又は希ガスの雰囲気で行うことを特徴とするものである。
【００３３】
このように、真空紫外線の照射を窒素ガス又は希ガス雰囲気で行うことにより、真空紫外線の減衰を低減して効率的に光拡散体用粉体間及び粉体と基板間の結着を促進させることができる。
【００３４】
請求項11に係る発明は、前記請求項７〜10のいずれか１項に係る光拡散板の製造方法において、前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を前記基板に結着して形成した光拡散板の表面を研磨する工程を備えていることを特徴とするものである。
【００３５】
このように、光拡散体用粉体をアルコキシドで基板上に結着した光拡散板の表面を研磨する工程を設けることにより、光拡散板を粉体を基板上に結着した光拡散板の表面の大きな凹凸成分をなくし、微小な凹凸をもつ表面とすることができるので、一層配光特性の良好な光拡散板を製造することができる。
【００３６】
請求項12に係る発明は、前記請求項７〜11のいずれか１項に係る光拡散板の製造方法により製造された光拡散板を要旨とするものである。
【００３７】
このようにして得られた光拡散板においては、耐熱性と光拡散特性並びに紫外線透過性及び反射性の優れた光拡散板を容易に実現することができる。
【００３８】
請求項13に係る発明は、光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を基板上に形成し、前記粉体間及び前記粉体と基板間とを前記アルコキシドにより結着するようにして、光触媒体の製造方法を構成するものである。
【００３９】
このように、アルコキシドにより光触媒用粉体を結着することにより、光触媒用粉体間は紫外線にも透過性を有するＳｉＯ2 で結着され、且つ光触媒用粉体間に隙間ができる形態で該粉体を結着できるため、光が結着体の内部まで侵入しやすくなり、実効的な表面積を増大させることが可能な強固で耐熱性のある光触媒体を容易に製造することがてきる。
【００４０】
請求項14に係る発明は、請求項13に係る光触媒体の製造方法において、前記基板上に形成した前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を加熱し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とするものである。
【００４１】
このように、基板上に形成した光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を加熱する工程を設けることにより、アルコキシドの化学反応が促進され、上記構成の光拡散板を短時間で効率的に製造することができる。
【００４２】
請求項15に係る発明は、請求項13又は14に係る光触媒体の製造方法において、前記基板上に形成した前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を備えていることを特徴とするものである。
【００４３】
このように、基板上に形成した光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に、真空紫外線を照射する工程を設けることにより、アルコキシドの化学反応が加熱する場合と同様に促進され、上記構成の光触媒体を効率的に製造することができる。また、加熱と真空紫外線の照射を併用することにより、一層化学反応を促進させ、より効率的に上記構成の光触媒体を製造することができる。
【００４４】
請求項16に係る発明は、請求項15に係る光触媒体の製造方法において、前記基板上に形成した前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射し、前記粉体間及び前記粉体と基板間の結着を促進させる工程を窒素ガス又は希ガスの雰囲気で行うことを特徴とするものである。
【００４５】
このように、真空紫外線の照射を窒素ガス又は希ガス雰囲気で行うことにより、真空紫外線の減衰を低減して効率的にアルコキシドの化学反応を促進させることができる。
【００４６】
請求項17に係る発明は、請求項13〜16のいずれか１項に係る光触媒体の製造方法において、前記光触媒用粉体に光拡散性の粉体を加えたことを特徴とするものである。
【００４７】
このように光触媒用粉体に光拡散性の粉体を加えることにより、触媒活性化のための光が光触媒用粉体に効率よく行き渡るという特徴を備えた光触媒体が得られる。
【００４８】
請求項18に係る発明は、請求項13〜16のいずれか１項に係る光触媒体の製造方法において、前記光触媒用粉体に多孔質の粉体を加えたことを特徴とするものである。
【００４９】
このように、光触媒用粉体に多孔質の粉体を加えることにより、光触媒分解と同時に吸着反応を付与させることができるという特徴を備えた光触媒体が得られる。
【００５０】
請求項19に係る発明は、前記請求項13〜18のいずれか１項に係る光触媒体の製造方法により製造された光触媒体を要旨とするものである。
【００５１】
このようにして得られた光触媒においては、耐熱性、光触媒効率並びに紫外線透過性の優れた光触媒体を容易に実現することができる。
【００５２】
請求項20に係る発明は、粉体と該粉体の結着材としてのアルコキシドの混合体を加熱する加熱部を備えて粉体の結着装置を構成するものである。
【００５３】
このように、粉体とアルコキシドの混合体を加熱する加熱部を備えることにより、アルコキシドの化学反応を促進し、短時間で効率的に隙間の存在する粉体結着体を作成できる粉体の結着装置を実現することができる。
【００５４】
請求項21に係る発明は、粉体と該粉体の結着材としてのアルコキシドの混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源を備えて粉体の結着装置を構成するものである。
【００５５】
このように、粉体とアルコキシドの混合体に、真空紫外線を照射する真空紫外線光源を設けることにより、加熱部を設けた場合と同様にアルコキシドの化学反応を促進し、短時間で効率的に上記構成の粉体結着体を作成できる粉体の結着装置を実現することができる。
【００５６】
請求項22に係る発明は、粉体と該粉体の結着剤としてのアルコキシドの混合体を加熱する加熱部と、前記混合体に少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源を備えて粉体の結着装置を構成するものである。
【００５７】
このように、加熱部と真空紫外線光源とを合わせて備えることにより、一層化学反応を促進させ、より効率的に上記構成の粉体結着体を作成できる粉体の結着装置を実現することができる。
【００５８】
請求項23に係る発明は、請求項21又は22に係る粉体の結着装置において、前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、粉体と該粉体の結着材としてのアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とするものである。
【００５９】
このように、真空紫外線光源部に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は流通させるように構成することにより、真空紫外線光源部から照射される真空紫外線の減衰を低減し、より一層効率的にアルコキシドの化学反応を促進させることができる。
【００６０】
請求項24に係る発明は、請求項21又は22に係る粉体の結着装置において、前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、粉体と該粉体の結着材としてのアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部と前記照射室の両方に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とするものである。
【００６１】
このように、真空紫外線光源部及び照射室の両方に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は流通させるように構成することにより、真空紫外線光源部から照射される真空紫外線の減衰を一層低減し、より一層効率的にアルコキシドの化学反応を促進させることができる。
【００６２】
請求項25に係る発明は、請求項23又は24に係る粉体の結着装置において、前記真空紫外線光源部と前記照射室との間に真空紫外線に対して透明な物質からなる仕切り窓を設けたことを特徴とするものである。
【００６３】
このように、真空紫外線光源部及び照射室との間に真空紫外線に対して透明な仕切り窓を設けることにより、真空紫外線を減衰させることなく照射室に照射させることができると共に、被照射物を照射室に設置あるいは照射室から撤去する際に、ガス置換量並びに作業時間が少なくて済むという効果が得られる。
【００６４】
請求項26に係る発明は、請求項21〜25のいずれか１項に係る粉体の結着装置において、前記真空紫外線光源としてエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることを特徴とするものである。
【００６５】
このように真空紫外線光源としてエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることにより、効率的に真空紫外線を発生させることができる。
【００６６】
請求項27に係る発明は、光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を加熱する加熱部を備えて光拡散板の製造装置を構成するものである。
【００６７】
このように、光拡散体用粉体とアルコキシドとの混合体を表面に形成した基板を加熱する加熱部を設けることにより、アルコキシドの化学反応を促進し、短時間で効率的に粉体間に隙間の存在する光拡散板を製造できる製造装置を実現することができる。
【００６８】
請求項28に係る発明は、光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源を備えて光拡散板の製造装置を構成するものである。
【００６９】
このように、基板上に形成された光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に、真空紫外線を照射する紫外線光源を設けることにより、加熱部を設けた場合と同様にアルコキシドの化学反応を促進し、短時間で効率的に上記構成の光拡散板を製造できる製造装置を実現することができる。
【００７０】
請求項29に係る発明は、光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を加熱する加熱部と、前記基板上に形成された前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源とを備えて光拡散板の製造装置を構成するものである。
【００７１】
このように、加熱部と真空紫外線光源とを合わせて備えることにより、一層化学反応を促進させ、より効率的に上記構成の光拡散板を製造できる製造装置を実現することができる。
【００７２】
請求項30に係る発明は、請求項28又は29に係る光拡散板の製造装置において、前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、前記基板上に形成された前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とするものである。
【００７３】
このように真空紫外線光源部に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は流通させるように構成することにより、真空紫外線光源部から照射される真空紫外線の減衰を低減し、より一層効率的にアルコキシドの化学反応を促進させることができる。
【００７４】
請求項31に係る発明は、請求項28又は29に係る光拡散板の製造装置において、前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、前記基板上に形成された前記光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部と前記照射室の両方に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とするものである。
【００７５】
このように真空紫外線光源部及び照射室の両方に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は流通させるように構成することにより、真空紫外線光源部から照射される真空紫外線の減衰を一層低減し、より一層効率的にアルコキシドの化学反応を促進させることができる。
【００７６】
請求項32に係る発明は、請求項30又は31に係る光拡散板の製造装置において、前記真空紫外線光源部と前記照射室との間に真空紫外線に対して透明な物質からなる仕切り窓を設けたことを特徴とするものである。
【００７７】
このように、真空紫外線光源部及び照射室との間に真空紫外線に対して透明な仕切り窓を設けることにより、真空紫外線を減衰させることなく照射室に照射させることができると共に、被照射物を照射室に設置あるいは照射室から撤去する際に、ガス置換量並びに作業時間が少なくて済むという効果が得られる。
【００７８】
請求項33に係る発明は、請求項28〜32のいずれか１項に係る光拡散板の製造装置において、前記真空紫外線光源としてエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることを特徴とするものである。
【００７９】
このように真空紫外線光源としてエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることにより、効率的に真空紫外線を発生させることができる。
【００８０】
請求項34に係る発明は、光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を加熱する加熱部を備えて光触媒体の製造装置を構成するものである。
【００８１】
このように、光触媒用粉体とアルコキシドとの混合体を表面に形成した基板を加熱する加熱部を設けることにより、アルコキシドの化学反応を促進し、短時間で効率的に粉体間に隙間の存在する光触媒体を製造できる製造装置を実現することができる。
【００８２】
請求項35に係る発明は、光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源を備えて光触媒体の製造装置を構成するものである。
【００８３】
このように、基板上に形成された光触媒用粉体とアルコキシドとの混合体に、真空紫外線を照射する真空紫外線光源を設けることにより、加熱部を設けた場合と同様にアルコキシドの化学反応を促進し、短時間で効率的に上記構成の光触媒体を製造できる製造装置を実現することができる。
【００８４】
請求項36に係る発明は、光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を表面に形成した基板を支持する支持部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を加熱する加熱部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に、少なくとも一方向から波長が 200nmより短い真空紫外線を照射する真空紫外線光源とを備えて光触媒体の製造装置を構成するものである。
【００８５】
このように、加熱部と真空紫外線光源とを合わせて備えることにより、一層化学反応を促進させ、より効率的に上記構成の光触媒体を製造できる製造装置を実現することができる。
【００８６】
請求項37に係る発明は、請求項35又は36に係る光触媒体の製造装置において、前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とするものである。
【００８７】
このように真空紫外線光源部に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は流通させるように構成することにより、真空紫外線光源部から照射される真空紫外線の減衰を低減し、より一層効率的にアルコキシドの化学反応を促進させることができる。
【００８８】
請求項38に係る発明は、請求項35又は36に係る光触媒体の製造装置において、前記真空紫外線光源を有する真空紫外線光源部と、前記基板上に形成された前記光触媒用粉体とアルコキシドの混合体に真空紫外線を照射する照射室とを備え、前記真空紫外線光源部と前記照射室の両方に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は当該ガスを流通させることを特徴とするものである。
【００８９】
このように真空紫外線光源部及び照射室の両方に窒素ガス又は希ガスを充填するか又は流通させるように構成することにより、真空紫外線光源部から照射される真空紫外線の減衰を一層低減し、より一層効率的にアルコキシドの化学反応を促進させることができる。
【００９０】
請求項39に係る発明は、請求項37又は38に係る光触媒体の製造装置において、前記真空紫外線光源部と前記照射室との間に真空紫外線に対して透明な物質からなる仕切り窓を設けたことを特徴とするものである。
【００９１】
このように、真空紫外線光源部及び照射室との間に真空紫外線に対して透明な仕切り窓を設けることにより、真空紫外線を減衰させることなく照射室に照射させることができると共に、被照射物を照射室に設置あるいは照射室から撤去する際に、ガス置換量並びに作業時間が少なくて済むという効果が得られる。
【００９２】
請求項40に係る発明は、請求項35〜39のいずれか１項に係る光触媒体の製造装置において、前記真空紫外線光源としてエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることを特徴とするものである。
【００９３】
このように真空紫外線光源としてエキシマランプ又は低圧水銀ランプを用いることにより、効率的に真空紫外線を発生させることができる。
【発明の効果】
【００９４】
本発明によれば、粉体の結着材としてアルコキシドを用いているので、高温環境で且つ紫外線使用領域で用いることができ、粉体間に隙間が形成されて強固に結着された粉体結着体、及び粉体結着方法、並びに粉体結着装置を実現することができる。また、本発明によれば、光拡散体用粉体の結着材としてアルコキシドを用いているので、耐熱性と光拡散特性並びに紫外線透過性に優れた光拡散板及び光拡散板の製造方法並びにその製造装置を実現することができる。また、本発明によれば、光触媒用粉体の結着材としてアルコキシドを用いているので、耐熱性を有し光触媒性能を増大させた光触媒体及び光触媒体の製造方法並びにその製造装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００９５】
次に、発明を実施するための最良の形態について説明する。
【実施例】
【００９６】
まず、粉体を基板上において結着させる態様で、本発明に係る粉体の結着方法の実施例について説明する。図１の（Ａ）〜（Ｄ）は、基板上において粉体を結着させる工程を示す説明図である。図１の（Ａ）に示すように、まず、ディスペンサ等の塗布手段１に、テトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ）やテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）等に代表されるアルコキシシランなどのアルコキシド２を供給する。そして、紫外線領域で使用する粉体結着体を作成する場合は、使用する紫外線に対して十分な透過率を有する粉体、例えば平均粒径が約１μｍの高純度の石英（ＳｉＯ2 ）や高純度アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）の粉体３を添加して攪拌し、粉体とアルコキシドの混合体４を形成する。
【００９７】
次いで、図１の（Ｂ）に示すように、例えば、石英ガラスからなる基板５上に上記混合体４を滴下し、図１の（Ｃ）に示すように、基板５上に、粉体２とアルコキシド３の混合体４を 100μｍ程度に塗布形成する。次いで、上記混合体４を塗布形成した基板５に対して、約 600℃程度で加熱処理を行い、アルコキシドの化学反応（架橋反応）を促進させ、アルコキシドから最終的に生成される、紫外線に対して透明なＳｉＯ2 の結着作用で、粉体３間及び粉体３と基板５とを結着させ、粉体結着体６を得る。このアルコキシドの化学反応の際、最終的に結着機能をもつＳｉＯ2 が生成されると共に、副生成物のアルコール成分が逸散し、結着する粉体の粒径などに対応して、結着材としてのアルコキシドの添加量を適宜調整することにより、粉体間の結着部以外の部分に空隙を有する粉体結着体６が形成される。なお、基板５の形状は、板状、網目状、球状などでもよく、特に制限されない。
【００９８】
以上のように、結着材としてアルコキシドを用いて粉体を結着することにより、紫外線に透明なＳｉＯ2 により強固に結着され、且つ粉体間に空隙をもつ、高温で使用可能な粉体結着体が得られる。
【００９９】
上記実施例では、結着材として用いるアルコキシドとして、アルコキシシランを用いたものを示したが、予め縮重合させたポリメトキシシロキサン〔Ｓｉ4 Ｏ3 （ＯＣＨ3 ）10等〕を用いることができる。この場合は、結着材の揮発が無視できるという利点が得られる。
【０１００】
また、結着材としてはアルコキシドとしてシランカップリング剤を添加したものも用いることができる。このシランカップリング剤は、同一分子内に異なる２種の官能基を有し、有機物と無機物との仲立ちの役目を果たす機能をもつものであり、例えばビニルトリメトキシシランなどがある。このように、シランカップリング剤を添加したアルコキシドを結着材として用いることにより、有機粉体を結着することができ、また有機基板を用いた場合でも、無機粉体との間の結着が改善される。なお、この際、シランカップリング剤の代わりに、シランカップリング機能をもつアルコキシドを用いてもよい。
【０１０１】
また、上記実施例では、アルコキシドの化学反応を促進させるため加熱する手法を示したが、真空紫外線を照射することによっても、アルコキシドの化学反応を促進させることができる。更に加熱と真空紫外線の照射とを併用することにより、一層アルコキシドの化学反応を促進させ、短時間で耐熱性を有する強固な粉体結着体を形成することができる。なお、アルコキシドの化学反応による結着は、室温でも実施することができる。
【０１０２】
また、上記実施例では、結着する粉体として紫外線に対して透明な石英粉体やアルミナ粉体を示したが、これに限らず、無機あるいは有機の粉体の結着を行うことができ、また複数種類の粉体の集合体の結着にも適用できる。また、基板としては石英ガラスを用いたものを示したが、これに限らず、無機あるいは有機の種々の素材からなる基板を用いることができる。なお、アルコキシドと結着しない材質の基板を用いることにより、基板上に粉体結着体を形成させたのち、基板上より剥離することにより、粉体のみの結着体を得ることができる。
【０１０３】
また、上記実施例では、粉体とアルコキシドの混合体を基板上に塗布形成し、アルコキシドの化学反応により、粉体の結着体を形成するものを示したが、基板上に粉体を散布した後にアルコキシドを滴下して粉体間に侵入させ、アルコキシドの化学反応により粉体間の結着を行わせるようにしてもよい。
【０１０４】
次に、粉体結着装置の実施例について説明する。図２は、本発明に係る粉体結着装置の実施例を示す概略構成図である。図２において、11は電気オーブンで、該電気オーブン11内の載置台12上に、表面に粉体とアルコキシドの混合体13を形成した基板14を載置し、加熱処理を行って基板14上の混合体13のアルコキシドの化学反応を促進させ、粉体結着体を容易に作成することができるように構成する。
【０１０５】
図３は、粉体結着装置の他の実施例を示す概略図である。この実施例は、表面に粉体とアルコキシドの混合体13を形成した基板14を載置台12上に載置し、ハロゲンランプや赤外線ランプ等の加熱ランプ16により加熱処理できるように構成するものである。この際、加熱ランプ16に反射鏡を設けると、一層効率的な加熱処理を行うことができる。
【０１０６】
図４は、加熱処理による粉体結着装置の更に他の実施例を示す概略図である。この実施例は、支持台17上に電熱ヒータ等からなる加熱装置18を配置し、該加熱装置18上に、表面に粉体とアルコキシドの混合体13を形成した基板14を載置して、加熱処理できるように構成するものである。
【０１０７】
図５は、更に他の実施例を示す概略図である。この実施例は、表面に粉体とアルコキシドの混合体13を形成した基板14を真空紫外線の照射処理により、アルコキシドの化学反応を促進させて粉体結着体を作成するようにしたものである。図５において、21は紫外線ランプで、真空紫外線ランプとしては、 185nmの紫外線を放射する低圧水銀ランプ、 172nmの紫外線を放射するＸｅ2 * エキシマランプ等が使用できる。 200nm以下の真空紫外線は空気中においては著しく減衰するため、窒素ガスや希ガス雰囲気、もしくは真空中で上記混合体を形成した基板14の照射処理を実行することが望ましい。そのため、本実施例に係る粉体結着装置においては、真空紫外線ランプ21の他に、窒素ガスや希ガスのガス導入部22が設けられていて、窒素ガスや希ガス雰囲気中で紫外線照射処理を行うように構成されている。なお、窒素ガスや希ガスは、装置内に充填したまま、あるいは流通させるようにしてもよい。
【０１０８】
なお、粉体結着装置としは、上記実施例の他に、加熱処理と紫外線照射処理とを併用して行えるようにするため、加熱ランプ等の加熱源と真空紫外線ランプ等の真空紫外線光源を合わせて配置し、双方の処理で粉体結着体を作成するように構成してもよい。次に、その構成例を図６に基づいて説明する。図６において、31は真空紫外線光源部、32は真空紫外線を照射する照射室であり、真空紫外線光源部31と照射室32との間には、石英ガラスなどの真空紫外線に透明な物質からなる仕切り窓33が設けられている。そして、真空紫外線光源部31には、反射鏡34を備えたエキシマランプあるいは低圧水銀ランプなどの真空紫外線光源35が配置されており、また窒素ガスや希ガスを導入するためのガス導入口36とガス排出口37が設けられている。また照射室32には、支持台38上に配置された電熱ヒータなどの加熱装置39が設けられており、該加熱装置39上に、表面に粉体とアルコキシドの混合体13を形成した基板14を載置して、加熱しながら真空紫外線照射処理を行えるように構成されている。更に照射室32にも窒素ガスあるいは希ガスを導入するためのガス導入口40とガス排出口41が設けられていて、真空紫外線光源部31と共に窒素ガスや希ガスを充填あるいは流通させることができるように構成されている。
【０１０９】
次に、本発明に係る粉体の結着方法を応用した光拡散板の製造方法について説明する。光拡散板を作成する場合は、光拡散体用粉体としてアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）粉体を用い、上記粉体の結着方法で述べたと同様の手法で、アルミナ粉体とアルコキシドの混合体を基板上に塗布形成し、同様に加熱処理又は／及び真空紫外線照射処理により、アルコキシドの化学反応を促進させ、最終的に形成されるＳｉＯ2 の結着機能により、アルミナ粉体間及び該粉体と基板間を結着する。これにより、耐熱性を有し、アルミナ粉体間に隙間が形成され光拡散特性を向上させた、強固な光拡散板が得られる。
【０１１０】
ここで、光拡散板として使用する波長に対して透明な光拡散体用粉体を用いることにより、結着材として用いたアルコキシドから最終的に生成されるＳｉＯ2 は紫外線に対して透過性をもつので、 350nmより短波長領域で使用できる光拡散板が得られる。
【０１１１】
また、アルコキシドを結着材として用いた場合、上記のように光拡散体用粉体間に隙間が生じるようにして粉体間が結着されるので、光拡散板の表面には、粉体の粒径に対応した微細な凹凸が形成され、拡散特性の優れた拡散板が得られる。また、上記のようにして得られた光拡散板の表面を研磨することにより、光拡散板表面の大きな凹凸成分をなくすことができ、更に配光特性が向上した完全拡散に近似した特性をもつ光拡散板を作成することができる。
【０１１２】
なお、光拡散体用粉体としては、上記アルミナの他に、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ2 ）粉体や石英ガラス粉体なども用いることができ、また、基板には使用する波長に対して透明な素材の他、金属なども用いることができる。
【０１１３】
次に、本発明に係る粉体の結着方法を応用した光触媒体の製造方法について説明する。光触媒体を作成する場合は、光触媒用粉体として酸化チタン（ＴｉＯ2 ）粉体を用い、上記粉体の結着方法で述べたと同様の手法で、酸化チタン粉体とアルコキシドの混合体を基板上に塗布形成し、同様に加熱処理又は／及び真空紫外線照射処理により、アルコキシドの化学反応を促進させ、最終的に形成されるＳｉＯ2 の結着機能により、酸化チタン粉体間及び該粉体と基板間を結着する。これにより、耐熱性を有し、酸化チタン粉体間に隙間が形成された、強固な光触媒体を作成することができる。
【０１１４】
そして、上記のように構成された光触媒体においては、酸化チタン粉体間は光透過性を有するSiＯ2 で結着され、且つ粉体間には隙間が形成されているので、入射する光線は内部まで容易に侵入し、したがって実効的に光触媒作用面積が拡大される光触媒体が得られる。
【０１１５】
なお、光触媒用粉体としては酸化チタンの他にニオブ酸化物なども用いることができ、また複数種類の光触媒用粉体の集合体を用いることができる。また、光触媒用粉体には、例えばＭｇＦ2 や石英などからなる光拡散体の粉末を加えることができ、これにより内部まで光が拡散浸透して分解効率のよい光触媒体が得られる。更に、光触媒用粉体には、例えば活性炭などからなる多孔質の粉末を加えることができ、これにより光触媒反応の他に吸着反応が期待できる光触媒体が得られる。
【０１１６】
上記光拡散板及び光触媒体の製造装置としては、図２〜図６に示した粉体結着装置を、そのまま用いることがてき、光拡散体用粉体とアルコキシドの混合体を形成した基板、あるいは光触媒用粉体とアルコキシドの混合体を形成した基板に対して、加熱処理あるいは真空紫外線処理、更には両方の処理を行うことにより、上記構成の光拡散板あるいは光触媒体を容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】本発明に係る粉体の結着方法をの実施例を説明するための結着工程を示す概略図である。
【図２】本発明に係る粉体の結着装置の実施例を示す概略構成図である。
【図３】本発明に係る粉体の結着装置の他の実施例を示す概略構成図である。
【図４】本発明に係る粉体の結着装置の更に他の実施例を示す概略構成図である。
【図５】本発明に係る粉体の結着装置の更に他の実施例を示す概略構成図である。
【図６】本発明に係る粉体の結着装置の更に他の実施例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【０１１８】
１  塗布手段
２  アルコキシド
３  粉体
４  粉体とアルコキシドの混合体
５  基板
６  粉体結着体
11  電気オーブン
12  載置台
13  粉体とアルコキシドの混合体
14  基板
16  加熱ランプ
17  支持台
18  加熱装置
21  真空紫外線ランプ
22  不活性ガス導入部
31  真空紫外線光源部
32  照射室
33  反射鏡
34  仕切り窓
35  真空紫外線光源
36  ガス導入口
37  ガス排出口
38  支持台
39  加熱装置
40  ガス導入口
41  ガス排出口
【図１】
2005281368.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005281368.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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