Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【課題】位置情報検出の即応性を高めるとき、ＡＤＣのクロックを早くしなければならないが、クロックをただ単に早くするだけでは、入力開始や入力終了の検出ミスの発生が増えやすく、またデータの取りこぼしや変換によるエラー（無効データ）の発生率が上がる。しかも、消費電流もクロックが早い分増えてしまうという課題がある。【解決手段】本発明は、クロック逓倍回路、レジスタを設けているので、データ検出が従来構成のものより早く、レジスタにデータを格納する事により無効データの発生を抑える事が出来る。更に、全ステータス（一連のルーチン期間）から見た消費電流は、時間積分によりほとんど上昇しない。【選択図】図１
2005167753.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置検出デバイスからのアナログ出力電圧を、デジタルに変換して出力するＡＤＣと、ＡＤＣのデジタル出力を格納し、外部に出力するレジスタと、ＡＤＣに入るクロックを逓倍する逓倍回路からなる、ＡＤＣを中心とした位置情報入力システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、携帯電話やゲーム機等、ヒューマンインターフェースとして位置情報検出装置（ポインティング・デバイス）を用いるモバイル機器の分野において、低消費電流と、位置情報入力の即応性を実現する、位置情報入力システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の位置情報入力システムは、図３に示すように入力開始検出、データ検出、入力終了検出、データ送信等からなる一連のステータスをルーチンとして持ち、制御ロジックにより前記ルーチンを繰り返しながら、入力デバイスからのアナログ電圧を、単にアナログ・デジタル・コンバータ（以下ＡＤＣと称す）でデジタル値に変換し、そのまま外部へ位置情報（座標）信号として出力している（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平５−２６０５５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来技術でも、位置情報検出としては十分に機能する。
【０００４】
しかしながら、更なる位置情報検出の即応性を求めるとき、ＡＤＣのクロックを早くしなければならない。ところが、クロックをただ単に早くするだけでは、入力開始や入力終了の検出ミスの発生が増えやすく、また従来構成ではデータ変換からすぐにデータ送信を行うので、データの取りこぼしや変換によるエラー（無効データ）の発生率が上がる。しかも、消費電流もクロックが早い分増えてしまうという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この課題を解決するため本発明は、クロック逓倍回路を設けて、ＡＤＣに入るクロック周波数だけを早くする事を可能にし、また前記ＡＤＣの出力をレジスタで受けて検出データを格納出来るようにした。また、前記従来構成の一連のルーチンから、データ送信を外し、送信回路を双方向のシリアルデータ通信で行うといったシステム構成をとった。
【発明の効果】
【０００６】
以上の構成により、データ検出ステータス中だけクロックを早くする事が可能であり、また、ルーチンから送信ステータスが除かれているので、データ検出が従来構成のものより早く、またレジスタにデータを格納する事により、Ａ／Ｄ変換から直ちにデータ送信といったフローによる無効データの発生の原因を解消する事が出来る。また、全ステータス（一連のルーチン期間）から見た消費電流は、時間積分によりほとんど上昇しない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【０００８】
図１は本発明の実施形態における位置情報入力システムの構成例を示すものである。図１において、１は位置情報入力装置、ＡＤＣはＡ／Ｄコンバータ、ＣＬＫはクロック信号、ＯＵＴは座標データ出力である。
【０００９】
以上のように構成された位置情報入力システムについて、以下その動作を説明する。
【００１０】
まず、全ての動作は制御ロジックによりコントロールされており、入力開始検出、データ検出、入力終了検出からなる一連のステータスをルーチンとして持つ（図２参照）。前記入力開始検出ステータスで入力開始信号が検出されると、データ検出ステータスに入り、前記位置情報入力装置から位置情報がアナログ値で前記ＡＤＣに入力される。この時、逓倍回路によりＡＤＣのクロックは、仮に前記制御ロジックのクロックの２倍とすると、前記制御ロジックで設定された検出ステータスの半分の時間で検出が終了する。次に入力終了検出ステータスに入り、ここで入力終了が検出されなければ、前記データ検出ステータスに再び戻り、検出を繰り返し行う。
【００１１】
以上より、仮に逓倍回路でクロックを２倍にすると消費電流は倍増するが、データ検出ステータスの半分の時間なので、一連のルーチンの期間で見た消費電流としては、時間積分によりほとんど変わらない。
【産業上の利用可能性】
【００１２】
本発明にかかる位置情報入力システムは、即応性、省消費電流性を有し、モバイル機器等として有用である。また、ヒューマンインターフェースシステムとして、あらゆる分野において応用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態における位置情報入力システムの構成図
【図２】本発明の実施形態における位置情報入力システムの動作図
【図３】従来例における位置情報入力システムの構成図
【符号の説明】
【００１４】
１  位置情報入力装置
ADC  アナログ・デジタル・コンバータ
CLK  クロック信号
OUT  座標信号出力
【図１】
2005167753.tif 000003
【図２】
2005167753.tif 000004
【図３】
2005167753.tif 000005
(57)【要約】      （修正有）【課題】放熱特性が良く信頼性の高い電子回路装置を提供する。【解決手段】放熱フィン付きの平形の金属ケース１に回路基板２を挿入し、放熱フィンとは反対方向に金属板で蓋を取りつけ、金属ケース１の横に設けられた樹脂注入穴７より、樹脂を注入する。樹脂注入穴７と反対方向には、電子回路装置端子５が突出しており、樹脂が樹脂注入穴７と反対側まで流れ出してきた段階で電子回路装置端子５のカプラ８をはめる。また、樹脂注入穴７には逆流戻り弁６を設けた。【選択図】図１
2005167152.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属ケース１に回路基板２を挿入し、前記金属ケース１内部を樹脂で封止した電子回路装置において、前記金属ケースに回路基板２を挿入し、金属板で蓋を取りつけ、前記金属ケースの横に設けられた樹脂注入穴より、樹脂を注入したことを特徴とした電子回路装置の製造方法。
【請求項２】
前記樹脂注入穴と反対方向に、電子回路装置端子が突出しており、樹脂が樹脂注入穴と反対側まで流れ出してきた段階で前記電子回路装置端子のカプラをはめたことを特徴とした請求項１の電子回路装置の製造方法。
【請求項３】
前記樹脂注入穴には逆流戻り弁がついていることを特徴とした請求項１〜２の電子回路装置の製造方法。
【請求項４】
放熱フィン付の平形の金属ケースに回路基板が寝せた状態で挿入され、前記ケース内部を樹脂で封止した電子回路装置において、前記放熱フィン付の平形の金属ケースは放熱フィンと反対方向は金属板で蓋がされ、かつ放熱フィン付の平形の金属ケース横には樹脂挿入用の樹脂注入穴が設けられ、前記樹脂挿入用の樹脂注入穴と反対方向に電子回路装置端子及びカプラが設けられていることを特徴とした電子回路装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は車やバイクなどの耐湿性が厳しい環境で利用される電子回路装置の構造及び製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
今までの車やバイクなどの電圧調整器、点火装置などの電子回路装置は回路基板２を樹脂で封止して、振動で部品がはずれるのを防止し、防水やサビ対策もかねていた。
【０００３】
従来の電子回路装置の製造方法は、図3のように下側に放熱フィンのついた弁当箱型の金属ケース１に、回路基板２を入れ、カプラー8をはめ込み、ケース開口部上方から液状の樹脂を流し込み、樹脂を加熱硬化して製品を完成していた。しかしこのような電子回路装置は、ケースの底の放熱フィン側からの放熱はよかったがケースの上側の樹脂側からの放熱が悪いという欠点があった。そこで薄型の金属ケースに基板を内蔵し、基板の底は放熱フィン側にちかいので熱を多く放出し、樹脂の上側にも金属板等をはめるようにして、基板の上側からも下側からも熱を逃がすような電子回路装置が登場するようになった。しかし、こうした電子回路装置に樹脂を充填する場合、基板挿入後、金属板で蓋をした後電子回路装置をたてて、上から樹脂を少しずつ流し込むようにしていたが、樹脂が充填されるのに非常に時間がかかっていた。また、このような入れ方では内部に空気が残ることがあった。ケース内部に空気が残るとそれが、製品の使用時高温になると膨張し、ケース及び電子回路が破壊される恐れがあった。
【特許文献１】特開平２００２−２６１９７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、放熱特性が良く信頼性の高い電子回路装置を容易に製造するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は金属ケース１に回路基板２を挿入し、前記金属ケース１内部を樹脂で封止した電子回路装置において、前記金属ケースに回路基板２を挿入し、金属板で蓋を取りつけ、前記金属ケースの横に設けられた樹脂注入穴より、樹脂を注入したことを特徴とする。請求項２の発明は前記樹脂注入穴と反対方向に、電子回路装置端子が突出しており、樹脂が樹脂注入穴と反対側まで流れ出してきた段階で前記電子回路装置端子のカプラをはめたことを特徴とする。請求項３は前記樹脂注入穴には逆流戻り弁がつけたことを特徴とする。請求項４は請求項１〜３の構造特許である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、両側から放熱をする特性の良い電子機器において、圧入により樹脂を充填することにより、残留空気が無くまた短時間で樹脂注入可能な生産性の高い電子機器を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図１は本発明一実施例図である。本発明電子回路装置を製造するには、放熱フィンがついている放熱性の良い金属ケース１に、  回路基板２を挿入する。本実施例ではこの回路基板は金属基板を用いて金属基板の裏側を露出させるようにしている。しかし、基板は金属基板に限らず、両面基板を用いた場合でも、金属板などで蓋をして基板と密着させる構造にすることは可能である。
【０００８】
６は逆流戻り弁で、弾力性のあるゴムを用いた。この弁は樹脂注入ノズル４をぐっと押すとへこみ、樹脂注入ノズル４を引くともとにもどるようになっている。樹脂注入ノズル４を逆流戻り弁に挿したら、樹脂を注入する。樹脂は圧力により、金属ケース内部に充満していき、中の空気を押し出しながらカプラー方向へと進んでいく。樹脂がケース内部に充填されつくすと、樹脂注入ノズルを抜く。そうすると逆流戻り弁６が働いて中の樹脂がはみ出さずに樹脂充填を終えることができる。中のエアは端子側に設けた空気抜き穴より、抜けるが、空気抜き穴は非常に小さく、空気は通るが樹脂はとおらない構造になっている。樹脂注入が終了したら、樹脂がまだ硬化する前にカプラー８を挿しこみ製品を完成させる。
【０００９】
このようにして製造した電子回路装置は、ボイドが少なく良好な品質のものになる。逆流戻り弁はゴムを使ったものを記載したが、機械的なバネを使った弁でもできることはいうまでもない。本発明ではコストを安く押さえるため硬めのゴムの逆流戻り弁を使用した。本発明の電子回路装置はバイクや車等の防水性にすぐれた部品などによく用いるが、回路基板側を燃料タンクやフレーム等に取りつければ更に放熱が良くなる。
【産業上の利用可能性】
【００１０】
本願はこのように、簡単に実施でき品質、コストをあげることができ産業上利用可能性大なるものである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明一実施例側面図（樹脂注入前）
【図２】本発明一実施例側面図（完成図）
【図３】従来例
【符号の説明】
【００１２】
１  金属ケース
２  回路基板
３  樹脂
４  樹脂注入ノズル
５  電子回路装置端子
６  逆流戻り弁
７  樹脂注入穴
８  カプラー
【図１】
2005167152.tif 000003
【図２】
2005167152.tif 000004
【図３】
2005167152.tif 000005
(57)【要約】【課題】  傾斜状態を維持でき、部品点数を増やさず、壁掛け用ホルダー４０にもすっきり収まるようにする。【解決手段】  遠隔制御器１０ケース側の電池収納部１３に電池蓋２０を開閉自在になるよう蝶番にして、下部を開いた状態で固定したり、閉じた状態で固定したり出来るようにした。【選択図】    図１
2005167953.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明器具等の制御対象機器を遠隔場所から制御するための制御器であり、ケースを備え、前記ケースの正面側に配置する操作ボタンを備え、前記ケース内に収納する電池を備えた遠隔制御器において、
前記ケースの背面を該ケース全体の机上面に載置可能な平坦状に形成し、前記ケースの背面板に前記電池を着脱する際に開放する電池蓋を開閉自在に蝶着し、前記電池蓋を開放したときの前記ケース並びに該電池蓋の形態を前記電池蓋の開放端が机上面に接しかつ前記ケースの前記背面が該机上面に対して傾斜する姿勢を保持するように定めたことを特徴とする遠隔制御器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、例えば照明器具の遠隔制御器の傾斜状態維持構造に関する。
【背景技術】
【０００２】  照明器具の遠隔制御器の機能アップに伴ない付加機能を多く、遠隔制御器を照明器具の方向に向けて置く必要があった。この為遠隔制御器に照明器具の方向へ向けて置く為の厚みあるいは支えを設け傾斜状態を維持する必要があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  上記従来技術は遠隔制御器に傾斜状態を維持する為の厚み部分が突出している為、遠隔制御器を壁付け用ホルダーに収めようとすると壁付け用ホルダーにも厚みが出てしまい壁に取り付けた場合壁から大きく突出てしまう問題があった。また、遠隔制御器を別パーツにより傾斜状態を維持しようとするとパーツ点数が増えコスト高になってしまう。
本発明は傾斜状態を維持でき、部品点数を増やさず、壁掛け用ホルダーにもすっきり収まるように改善した。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  上記目的を達成する為に、遠隔制御器ケース側の電池収納部分に電池蓋を開閉自在になるよう蝶番にして下部を開いた状態で固定したり閉じた状態で固定したり出来るように改善したものである。
【発明の効果】
【０００５】  本発明によれば電池蓋を傾斜用のパーツとして利用することで部品点数の削減の効果があり、前記電池蓋がしまっている状態ならば壁付け用ホルダーにスリムに納まり、開いた状態であれば遠隔制御器を傾けて置くことが出来るので遠隔制御器の性能を損なうことがないので機能維持の効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】  本発明の一実施形態を図を用いて説明する。図１の遠隔制御器１０はケース１１の前面に操作ボタン１２を備え、上部に照明器具を遠隔操作する為の制御信号を出す制御信号送信部１５を備えている。【０００７】  図２のように遠隔制御器１０の背面には電池３０を収納する電池収納部１３が設けてあり、前記電池収納部１３の上部には電池蓋２０の取付爪２１がケース１１の溝１４に蝶番する。また前記電池収納部１３の下部には電池蓋２０を開閉状態で固定する為の内スリット１６と外スリット１７が設けてある。【０００８】  図３のように遠隔制御器１０の内スリット１６に電池蓋２０の引掛け部２２を合せておけば前記電池蓋２０は閉じた状態を維持し壁掛け用ホルダー４０にすっきり収まることが出来る。【０００９】  図４のように遠隔制御器１０の外スリット１７に電池蓋２０の引掛け部２２を合せておけば前記電池蓋２０は開いた状態を維持し机上面に置いた場合傾斜して置く事が出来、照明器具に制御信号送信部１５を向けて置く事が出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明装置の表面の斜視図である。
【図２】同装置の裏面分解状態での斜視図である
【図３】同装置の壁取り付け状態の断面図である。
【図４】同装置の机上面での状態の断面図である。
【符号の説明】
【００１１】１０  遠隔制御器
１１  ケース
１２  操作ボタン
１３  電池収納部
１４  溝
１５  制御信号送信部
１６  内スリット
１７  外スリット
２０  電池蓋
２１  取付爪
２２  引掛け部
３０  電池
４０  壁掛け用ホルダー
【図１】
2005167953.tif 000003
【図２】
2005167953.tif 000004
【図３】
2005167953.tif 000005
【図４】
2005167953.tif 000006
(57)【要約】      （修正有）【課題】識別・表示・分類目的ワンタッチコード束ねバンドは、コード類が何の電気製品の付属品であるか識別し、表示、分類、明示することを可能にする。更にマジックテープ（雄、雌）を裏面に取り付けることで、ワンタッチでコード類を束ねる動作ができる束ねバンドを提供する。【解決手段】識別・表示・分類目的ワンタッチコード束ねバンドはナイロン又は布製等バンド１に表示文字・表示枠・表示欄３を記載し、更にテープ（雄、雌）２を裏面に取り付けることで、ワンタッチでコード類を束ねる動作ができる束ねバンドである。また、スナップボタン４を取り付けることで束ねる力の強度を増大する。【選択図】図１
2005045192.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バンドの表の部分に識別するための必要分類事項を直接印刷又は印刷シール貼り又は手書きして記載することで、コード類を電気製品の付属品として識別・表示・分類し、更に裏面にマジックテープ（雄・雌）を張り施すことによってコード類を容易に束ねることを特徴とする識別・表示・分類目的ワンタッチコード束ねバンド。
【請求項２】
本発明のバンドの裏面のマジックテープ（雄・雌）の束ね止め位置にスナップボタンが取り付けられてなる上記請求項１に記載の識別・表示・分類目的ワンタッチコード束ねバンド。コード類を容易に束ね、その束ねる強度を増大する性質を有する
【請求項３】
本発明の識別・表示・分類目的ワンタッチコード束ねバンドとコード類を留め具で締結することでワンタッチ束ねバンドがコード類から散逸することを防止する締結具である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】この発明は、電気製品等の付属品であるＵＳＢコード、ＡＣアダプター、ケーブル、コード類等を分類すると共に束ね、かつ電気製品の付属品としての散逸防止を目的としたワンタッチコード束ねバンドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】従来からコード類を束ねるものの形状は図５に示すようにワイヤー入りビニールひも、又は結束バンド様のもの等である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】しかしながら、従来の技術によれば、実際使用してみるとワイヤー入りビニールひも、結束バンド様のものは容易に束ねる利便性には欠けるし、ただコード類を束ねるだけのものである。どの電気製品の付属コード、付属ケーブルであるかは、識別、表示、分類するものではない。そこで本発明のうち請求項１に記載した発明はコード類が何の電気製品の付属品であるか識別、表示、分類することを提供し、またコード等を束ねる動作を容易にする事を課題とする。請求項２は請求項１の目的に付加を付ける事を課題とする。請求項３は請求項１、請求項２の目的に付加を付ける事を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】本発明のうち請求項１記載の発明はベルトの表面にイラスト、写真、電気製品の名前、製造番号、メーカー名、購入年月日、販売店名、購入金額等分類する必要事項を直接印刷、又は印刷シール貼り、又は手書きする表示枠・欄を設け、ベルトの裏面に束ねることを目的にマジックテープ（雄、雌）を張り施したことを特徴とする識別・表示・分類目的ワンタッチコード束ねバンドである。【０００５】また、請求項２は請求項１の発明の構成に加え、裏面の束ね止め位置にスナップボタン取り付けたことを特徴とする。【０００６】また、請求項３は請求項１、請求項２の発明の構成に加え、コード類と識別・表示・分類目的ワンタッチコード束ねバンドに締結具を用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】上述のように、請求項１の発明は、バンドの表面に必要分類事項や用件を直接印刷、又は印刷シール貼り、又は手書きしたバンドを用いることにより、オフィス内、家庭内等に存在する電気製品等の付属コード・付属ＡＣアダプター・付属ＵＳＢコード、ケーブル等が何の電気製品の付属品であるかを識別し、分類、表示、整理整頓、保管管理するとともにバンドの裏面にマジックテープ（雄・雌）を張り施すことによってコードを束ねることを容易にする。また、請求項２の発明は束ねる力を増大する。請求項３は締結具を用いることによってワンタッチ束ねバンドがコード類から散逸することを防止する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】この発明の一実施形態を図１に示す。素材はナイロン・布製等１で表の部分には識別するための必要分類項目・製品名・メーカー名・製品のイラスト・写真・製品ナンバー・購入年月日・購入店・購入価格・用件等を直接印刷、又は印刷シール貼り、又は手書き記入できる表示枠・表示欄３が設けられている。【０００９】図２はバンドの裏面にコード類を束ねることを容易にするマジックテープ（雌、雄）２を貼ってある。【００１０】図３はベルト裏面の束ね位置にスナップボタン４を取り付けた実施形態図である。【００１１】図４は電気製品のコード類と鎖又はゴム紐又は金属リング等の締結具５を用いた形態図である。「実施形態の効果」【００１２】  この実施形態によれば、ワンタッチ束ねバンドの表面に必要分類事項や用件を直接印刷、又は印刷シール貼り、又は手書したバンドを用いることにより、コード類が何の電気製品の付属品であるかを識別し、分類、表示、整理整頓、保管管理する。又ワンタッチ束ねバンドの裏面にマジックテープ（雄・雌）を張り施すことによってコードを束ねることを容易にする。図３の実施形態のスナップボタンは長い、あるいは太いコード類を束ねるとき束ね力を増大する。又締結具ワンタッチ束ねバンドをコード類に締結することによって、散逸、紛失防止をする。  本発明の識別・表示・分類目的ワンタッチコード束ねバンドをコード類に使用することによって、故障時等に保証書を探すことなく仕様の手がかりも提供する。「他の実施形態」【００１３】  図２の実施形態ではマジックテープを裏面全面に貼っているが止める部分だけ貼ったものでも良い。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の請求項１の一実施形態である。
【図２】本発明の請求項１の断面図である。
【図３】本発明の請求項２の一実施形態図である。
【図４】本発明の請求項３の一実施例である。
【図５】「背景技術」「０００２」の一実施例である。
【符号の説明】
【００１５】１  ナイロン又は布製等バンド２  マジックテープ（雄、雌）３  表示文字・表示枠・表示欄４  スナップボタン５  鎖又はゴム紐又は金属リング等の締結具６  ワイヤー入りビニールテープ
【図１】
2005045192.tif 000003
【図２】
2005045192.tif 000004
【図３】
2005045192.tif 000005
【図４】
2005045192.tif 000006
【図５】
2005045192.tif 000007
(57)【要約】【課題】表面にレジストを介し除去すべき蒸着金属膜が形成された半導体基板のリフトオフ方法とこれを実現するリフトオフ装置に関するもので、安定したバリのないパターン形成を行うためのリフトオフ方法と装置を提供する。【解決手段】剥離液超音波吐出ノズル２と剥離液シャワー吐出ノズル３と溶剤吐出ノズルを備え、表面に超音波を重畳した剥離液で蒸着金属を物理的に剥離し、温度を上げた剥離液をシャワー状に吐出させ金属残渣物及びレジストを除去、その後、温度を上げた溶剤を吐出しレジスト残渣物を除去し残存する有機被膜の発生を防止する。【選択図】図１
2005045156.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にレジストを介し除去すべき蒸着金属膜が形成された半導体装置基板を回転させながら、表面に超音波を重畳した剥離液を吐出する工程と所望の温度に上げた剥離液を吐出する工程、これに引き続き所望の温度に上げた溶剤を吐出する工程と振り切り乾燥を行なう工程を備えることを特徴とするリフトオフ方法。
【請求項２】
前記吐出される剥離液に重畳される超音波が０．８〜１．５MHｚであることを特徴とする請求項１記載のリフトオフ方法。
【請求項３】
前記所望の剥離液温度が４０〜６０℃であり、シャワー状に吐出する事を特徴とする請求項１記載のリフトオフ方法。
【請求項４】
前記リンス用溶剤の温度が４０〜６０℃である事を特徴とする請求項１記載のリフトオフ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面にレジストを介し除去すべき蒸着金属膜が形成された半導体基板のリフトオフ方法とこれを実現するリフトオフ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、リフトオフ方法及びリフトオフ装置としては、例えば、特許文献１に記載されているようなものがあった。図２は前記特許文献１に記載された従来の方法と装置構成模式図を示している。
【０００３】
図２において、９，１０，１１は超音波を具備したバッチ浸漬溶剤槽であり、表面にレジストを介し除去すべき蒸着金属膜が形成された半導体基板を収納したカセット８をカセット支持台７にセットした後、衆知の搬送機構にてバッチ浸漬溶剤槽９に所定の時間浸漬しレジストを膨潤させる。この時、所望によりバッチ浸漬溶剤槽９に具備した超音波発信器１２より、超音波振動を与える事が可能な機構となっている。
【０００４】
溶剤槽９のみでは、基板表面と蒸着金属間のレジストの膨潤性能が悪いため、バッチ浸漬溶剤槽９と同等の機能を有するバッチ浸漬溶剤槽１０，１１に順次搬送し所定の時間処理する事により、膨潤性能を向上させている。その後、衆知の搬送機構にて半導体基板１を蒸着金属剥離用溶剤ジェット吐出ノズル１３と、リンス用溶剤吐出ノズル１４を備えたスピンチャンバーのチャック部４に１枚ずつ搬送し半導体基板１を保持する。しかる後、半導体基板１を回転させ溶剤ジェット吐出ノズル１３より所望の圧力を与えられた溶剤を所定時間吐出し半導体基板表面に付着している蒸着金属膜を剥離する。その後、リンス用溶剤吐出ノズル１４より溶剤を所定時間吐出し半導体基板表面を清浄化した後スピン乾燥を行っている。
【特許文献１】特開平１−１７５２３６号公報（第１−８頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の構成では、半導体基板１の表面と蒸着金属の間に介在するレジスト厚みと蒸着金属膜との膜厚比率ならびに、各膜厚のばらつきによりレジストの膨潤が十分なされず、蒸着金属膜が均等に剥離されず一部バリとして残る場合があった。
【０００６】
上記の通り、レジスト厚みと蒸着金属膜厚の比率は半導体基板面内でばらつき易いため、レジストの膨潤を十分にさせる必要があった。また、レジストの膨潤が不十分であると、蒸着金属剥離後のリンス処理時に半導体基板表面に残存するレジスト残渣物が十分に除去されず、有機被膜が発生し後工程の成膜後に膜剥れ等を誘発する場合があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、安定してバリのないパターン形成を行うためのリフトオフ方法と装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記従来の課題を解決するため、本発明の自動リフトオフ方法は、表面に超音波を重畳した剥離液を吐出する工程と所望の温度に上げた剥離液を吐出する工程を備える、また装置は剥離液の温度を調整する手段と超音波を具備した剥離液吐出ノズル及び温度を上げた剥離液をシャワー状に吐出するノズルを備える。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように、本発明の自動リフトオフ装置及び方法によれば、リフトオフ後、蒸着金属のバリの発生を抑止する事ができる。さらに、リンス／乾燥後に半導体基板表面に残存する有機被膜の発生防止を図る事ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１における自動リフトオフ装置の構成図であり、衆知の搬送機構で表面にレジストを介し除去すべき蒸着金属膜が形成された半導体基板１をスピンチャック部４にセットする。その後、６００〜８００ｒｐｍで回転させている半導体基板１に０．８〜１．５ＭＨｚの超音波振動エネルギーを伝播した剥離液を吐出ノズル２より所定時間吐出する。
【００１１】
この時、吐出ノズル２は半導体基板１の表面を所定の距離で所定時間往復運動している。その後、剥離液吐出シャワーノズル３より、温度が４０〜６０℃の剥離液を４０〜６０ｋｇｆ／ｃｍの圧力で所定時間吐出しレジスト残渣物を除去する。
【００１２】
しかる後、衆知の搬送機構によりリンス／乾燥用チャンバーに搬送しチャック部４に半導体基板１を保持する。次に、１０００〜１５００ｒｐｍで回転させている半導体基板１に溶剤吐出ノズル６より、温度が４０〜６０℃のリンス用溶剤を吐出し、半導体基板１に残存するレジスト残渣物及び剥離液を完全に除去する。
【００１３】
その後、回転数を２５００ｒｐｍで所望の時間振り切り乾燥する。この時、溶剤の温度が上がっているため比較的短時間で処理できるとともに溶剤の被膜が発生する事を防止できる。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
本発明のリフトオフの方法は、リフトオフ後に蒸着金属のバリの発生を抑制するのに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態１における自動リフトオフ装置の構成模式図
【図２】従来の自動リフトオフ装置の構成模式図
【符号の説明】
【００１６】
１  半導体基板
２  剥離液超音波吐出ノズル
３  剥離液シャワー吐出ノズル
４  スピンチャック部
５  カップリング
６  溶剤吐出ノズル
７  カセット支持台
８  カセット
９  バッチ浸漬溶剤槽
１０  バッチ浸漬溶剤槽
１１  バッチ浸漬溶剤槽
１２  超音波発信器
１３  溶剤ジェット吐出ノズル
１４  溶剤吐出ノズル
【図１】
2005045156.tif 000003
【図２】
2005045156.tif 000004
(57)【要約】【課題】半導体装置基板上に形成された微細なＵＬＳＩパターンに対し、超音波を用いてもダメージを与えることなく異物を効率よく除去する洗浄方法、及び洗浄水の製造方法を提供する。【解決手段】超音波振動を伝播させる洗浄水として、過飽和濃度かつ多量の気泡を含んだ溶存ガス水を用いて洗浄を行うことにより、多量の気泡が超音波出力を緩和しパターンダメージを防止し、洗浄能力においてはマイクロバブル効果ならびにリフトオフ効果が促進され高い異物除去効果を有する超音波洗浄を行うことができる。【選択図】図１
2005045159.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１種類のガスを飽和濃度以上に溶存せしめた洗浄水に超音波振動を付与して基板を洗浄することを特徴とする洗浄方法。
【請求項２】
前記溶存させるガスは、オゾン、酸素、水素、窒素、アルゴン、ドライエアのうち少なくとも１つを含み、溶存せしめられるガス濃度は該ガスの飽和濃度の少なくとも４倍以上であることを特徴とする請求項１記載の洗浄方法。
【請求項３】
純水を脱気処理する工程、前記脱気処理した純水に過飽和濃度のガスを加圧状態で保持する工程を備えることを特徴とする洗浄水の製造方法。
【請求項４】
過飽和濃度のガスのガス圧は、１０ｋＰａ〜１００ｋＰａの範囲内で加圧して溶解することを特徴とする請求項３記載の洗浄水の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置基板上に形成された微細なＵＬＳＩパターンに超音波を利用して洗浄する工程に関わる。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体ウエハの洗浄にはブラシや超音波などの物理力を利用して異物を除去するものがあり、特にウエハに対し非接触で洗浄することのできる超音波を用いた洗浄が多く用いられるようになった。超音波洗浄とは純水などの媒体に数十ｋＨｚ〜数ＭＨｚの超音波振動を与え、その振動でウエハ上の異物を弾き飛ばす方法であり、高い異物除去能力を有している。さらに近年では、洗浄水中に溶存ガスを含み、超音波を照射することにより発生するマイクロバブル効果により、異物の除去性を高める洗浄方法がとられるようになってきた。
【０００３】
しかし微細化の進展と共にパターン寸法が微細化し、これら微細パターンを洗浄する際に超音波を用いるとパターンにダメージが発生し、パターン崩れあるいは断線などの欠陥となる。そこで超音波エネルギーがＵＬＳＩパターンにダメージを与えることのないように、ノズルから吐出される洗浄水の照射角度を調整して異物除去する方法（例えば、特許文献１参照）、また、その照射する超音波出力を下げることによってダメージを低減させる方法がとられていた。
【特許文献１】特開平１０−７４７２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記従来の洗浄方法では超音波の照射角度を限定してしまうために、また、超音波出力を低下させてしまうために、必要十分な異物の除去能力が得られないと言う課題を有していた。この結果、残留した異物が、半導体装置の加工不良や動作不良の原因となる。さらには、半導体装置に残留した異物により半導体装置の信頼性不良の原因にもなる。
【０００５】
本発明の目的は、微細なＵＬＳＩパターンの形成された半導体装置基板を、異物除去能力を低下させることなく、かつダメージを与えることのない洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するために、本発明においては、少なくとも１種類のガスを飽和濃度以上に溶存せしめた洗浄水に超音波振動を付与して基板を洗浄する。
【０００７】
さらには、本発明においては、前記溶存させるガスは、オゾン、酸素、水素、窒素、アルゴン、ドライエアのうち少なくとも１つを含み、溶存せしめられるガス濃度は該ガスの飽和濃度の少なくとも４倍以上である。
【０００８】
また、本発明においては、超音波振動を伝播させる洗浄水に溶存させるガスを、脱気処理した純水に対し１０ｋｐａ〜１００ｋｐａの範囲内に加圧状態で供給することにより、過飽和濃度に溶存させ気泡を含んだ溶存ガス水を用いる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明により、微細なＵＬＳＩパターンの形成されたウエハの洗浄において、過飽和濃度かつ多量の気泡を含んだ溶存ガス水を使用して洗浄を行うことにより、異物除去能力を低下させることなく、パターンダメージを与えることのない超音波洗浄を行うことができる。
【００１０】
気泡を多量に含む過飽和溶存ガス水は、微細デバイスのパターンダメージレスな異物除去洗浄に対して非常に有効である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
（実施の形態１）
半導体装置基板上に微細なＵＬＳＩパターンをドライエッチングにより形成し、残渣除去処理したウエハを、一例として枚様式の洗浄装置内下記の条件で洗浄を行った。洗浄水は、真空脱気した純水中にオゾンガスを溶存させた溶存オゾンガス水を用い、供給ガス圧を変えて洗浄処理を行い、発生したダメージと異物除去能力を比較した。
ガス供給圧力：０ｋＰａ、１０ｋＰａ、３０ｋＰａ、８０ｋＰａ
溶存ガス水流量：１．０Ｌ／ｍｉｎ
溶存ガス水洗浄時間：６０ｓｅｃ
溶存ガス水処理時回転数：５００ｒｐｍ
印加超音波出力：１０Ｗ
周波数：１．６ｋＨｚ
乾燥時間：３０ｓｅｃ
乾燥処理回転数：１５００ｒｐｍ
図１に評価結果を示す。同じ超音波出力、溶存ガス濃度であっても、洗浄水中に含まれるガスの濃度が過飽和で、気泡が多いほどダメージが低減されることがわかった。従って、微細なパターンにダメージを与える要因は、洗浄水中に含まれる溶存ガスの濃度に依存していると言える。飽和濃度以上のガスが純水中に溶け込むことで、気泡を多量に含んだ溶存ガス水を製造する。この多量の気泡が超音波出力を緩和することによりパターンダメージを防止し、洗浄能力においては、溶存ガス水中に含まれる気泡に超音波が照射されることで、気泡が伸縮膨張を繰り返し、マイクロバブル効果ならびにリフトオフ効果が促進され高い異物除去効果が得られる。またこのガス濃度は本来の飽和濃度の約４倍程度からその効果が顕著となり、異物除去能力を低下させることなく、かつダメージを発生させない洗浄方法となる。
【００１２】
（実施の形態２）
以下本発明の洗浄水の製造方法について述べる。
【００１３】
本発明の溶存ガス水を用いた洗浄方法では、−０．０８〜−０．１ＭＰａまで真空脱気した純水と理論飽和濃度以のガス量、例えば飽和濃度の４〜５倍程度のガス量を１０ｋＰａ〜１００ｋＰａに加圧してガス溶解膜に供給する。
【００１４】
また、ガスの供給圧力においては、圧力が１０ｋＰａ以下時では、溶存ガス水中に気泡が発生せず、ダメージの発生確率が高くなる。１００ｋＰａ以上の加圧は、溶存ガス水に多量の気泡を含ませられるのでダメージ低減に有効であるが、ガス溶解膜自体を破壊する可能性があるため、１０ｋＰａ〜１００ｋＰａが適正範囲と言える。
【産業上の利用可能性】
【００１５】
本発明の洗浄方法および洗浄水の製造方法は、半導体基板上に形成された微細なＵＬＳＩパターンに超音波を用いて洗浄する際に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施の形態を用いた洗浄能力を示す図
【図１】
2005045159.tif 000003
(57)【要約】  【課題】比抵抗を上昇させることなく耐電圧の向上を図ることができる電解コンデンサの駆動用電解液を提供する。  【解決手段】エチレングリコールを主溶媒とし、アゼライン酸、セバシン酸、安息香酸、１，６−デカンジカルボン酸、５，６−デカンジカルボン酸、７−ビニルヘキサデセン−１，１６−ジカルボン酸等の有機カルボン酸またはその塩の１種以上と、ホウ酸またはそのアンモニウム塩と、以下の化学式で示されるパラオキシ安息香酸イソプロピル０．５〜２．０ｗｔ％とを溶解したことを特徴としている。    【化１】2005045177.tif 000005  【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
エチレングリコールを主溶媒とし、有機カルボン酸またはその塩の１種以上と、ホウ酸またはそのアンモニウム塩と、以下の化学式で示されるパラオキシ安息香酸イソプロピルとを溶解したことを特徴とする電解コンデンサの駆動用電解液。
【化１】
2005045177.tif 000004
【請求項２】
請求項１記載のパラオキシ安息香酸イソプロピルの溶解量が、０．５〜２．０ｗｔ％であることを特徴とする電解コンデンサの駆動用電解液。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電解コンデンサの駆動用電解液（以下、電解液と称す）の改良に関するものであり、特に耐電圧を改善した電解液に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、中高圧用電解コンデンサの電解液には、エチレングリコールを主溶媒とし、有機カルボン酸またはそのアンモニウム塩と、ホウ酸またはそのアンモニウム塩とを溶解し、電解液の耐電圧を上昇させるためマンニトール、ソルビトール等の多価アルコールを添加した電解液が用いられてきた（例えば特許文献１、２参照）。
【特許文献１】特公平７−４８４６０号公報（第２頁、表）
【特許文献２】特公平７−６３０４７号公報（第２頁、表１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、マンニトール、ソルビトール等の多価アルコールは添加量に対する耐電圧の上昇が緩慢であり、また、有機カルボン酸やホウ酸とのエステル化反応により耐電圧が上昇するが、比抵抗も著しく上昇するという問題があった。したがって、比抵抗を上昇させることなく、耐電圧を向上できる電解液が求められていた。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は上記課題を解決するため、種々検討した結果見出したものであり、パラオキシ安息香酸イソプロピルが多価アルコールよりも電極箔への吸着性が高いことに着目し、その特性を電解液に適用しようとするものである。
すなわち、エチレングリコールを主溶媒とし、有機カルボン酸またはその塩の１種以上と、ホウ酸またはそのアンモニウム塩と、以下の化学式で示されるパラオキシ安息香酸イソプロピルとを溶解したことを特徴とする電解コンデンサの駆動用電解液である。
【０００５】
【化１】
2005045177.tif 000002
【０００６】
そして、上記パラオキシ安息香酸イソプロピルの溶解量が、０．５〜２．０ｗｔ％であることを特徴とする電解コンデンサの駆動用電解液である。
【０００７】
有機カルボン酸としては、アゼライン酸、セバシン酸、安息香酸、１，６−デカンジカルボン酸、５，６−デカンジカルボン酸、７−ビニルヘキサデセン−１，１６−ジカルボン酸等を例示することができる。
【０００８】
また、有機カルボン酸の塩としては、アンモニウム塩の他、メチルアミン、エチルアミン、ｔ−ブチルアミン等の一級アミン塩、ジメチルアミン、エチルメチルアミン、ジエチルアミン等の二級アミン塩、トリメチルアミン、ジエチルメチルアミン、エチルジメチルアミン、トリエチルアミン等の三級アミン塩、テトラメチルアンモニウム、トリエチルメチルアンモニウム、テトラエチルアンモニウム等の四級アンモニウム塩等を例示することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明で使用するパラオキシ安息香酸イソプロピルは、電極箔に対する高い吸着性を有するため、電極箔上にて有機カルボン酸、ホウ酸とのエステル化反応が起こると考えられ、少量の添加で耐電圧の向上を図ることができる。
上記のことから、本発明によるパラオキシ安息香酸イソプロピルを溶解した電解液は、比抵抗の上昇を抑制しながら、電解液の耐電圧の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
エチレングリコールを主溶媒とし、有機カルボン酸またはその塩と、ホウ酸またはそのアンモニウム塩と、パラオキシ安息香酸イソプロピル０．５〜２．０ｗｔ％とを溶解させて電解液を作成する。
【実施例】
【００１１】
以下、本発明の実施例を具体的に説明する。表１の組成で電解液を調合し、３０℃における比抵抗および８５℃における火花発生電圧（電解液の耐電圧）を測定した。
【００１２】
【表１】
2005045177.tif 000003
【００１３】
まず、有機カルボン酸塩を１，６−デカンジカルボン酸アンモニウムとした場合の実施例１〜８とした場合について説明する。
表１において、マンニトール、パラオキシ安息香酸イソプロピルが同量のもの、すなわち、１．０ｗｔ％の実施例３と従来例２、２．０ｗｔ％の実施例６と従来例３で比較すると、実施例の方が比抵抗が小さく、火花発生電圧（耐電圧）が上昇していることが分かる。ただし、溶解量が０．５ｗｔ％未満では耐電圧の上昇効果は十分でなく（実施例１）、また、溶解量が２．０ｗｔ％を超えると比抵抗上昇が著しく（実施例７）、低比抵抗用途に不向きとなることが分かる。よって、パラオキシ安息香酸イソプロピルの添加量は、０．５〜２．０ｗｔ％の範囲が好ましい。
【００１４】
また、有機カルボン酸をアゼライン酸アンモニウムとした場合（実施例９〜１２）、およびセバシン酸アンモニウムとした場合（実施例１３〜１５）も、上記と同様、パラオキシ安息香酸イソプロピルによる火花発生電圧（耐電圧）の上昇効果が見られた。
【００１５】
なお、パラオキシ安息香酸イソプロピルを溶解させた効果は、上記実施例に限定されるものではなく、先に記載した有機カルボン酸やその塩を単独または複数溶解した電解液に用いても同等の効果があった。
(57)【要約】【課題】本発明は、簡単な構造で電気機器を載置したパネルの取り付け作業が容易である分電盤を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る分電盤の構造は、第一のレール３にはスライド移動可能である第二のレール９をかぶせて取り付け、第二のレール９にパネル５を固定すると共に、パネル５の移動に対向して配線覆い７の取り付け位置を変更可能であることを最も主要な特徴とし、これによって、パネルの取り付け作業が容易に行うことができる。【選択図】図１
2005045933.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱体に第一のレールを敷設し、該第一のレールに機器を載置したパネルを取り付け、前記機器は配線覆いにより被覆されて構成される分電盤において、前記第一のレールにはスライド移動可能である第二のレールをかぶせて取り付け、該第二のレールに前記パネルを固定すると共に、該パネルの移動に対向して前記配線覆いの取り付け位置を変更可能であることを特徴とする分電盤。
【請求項２】
前記分電盤において、前記配線覆いの上部と下部とのいずれかに容易に脱着可能であるカバーを取り付け、配線覆いの取り付け位置を変更可能としたことを特徴とする請求項１に記載の分電盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、箱体に第一のレールを敷設し、第一のレールに機器を載置したパネルを取り付け、機器は配線覆いにより被覆されて構成される分電盤に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図５に示すように、従来分電盤は、箱体３１にレール３２を敷設し、レール３２に、機器３３を載置したパネル３４を固定していた。箱体３１の前面開口３５は配線覆い３６で被覆していた。
【特許文献１】特開平１１−３０８７１５号公報
【０００３】
しかしながら、上記分電盤においては、パネル３４の取り付け位置は固定されてしまうので、施工現場で箱体３１の背面に入出線孔３７を設ける場合、パネル３４が邪魔をして十分な開口ができないことがあるため、現場にてパネル３４を切断し開口を十分活かすようにしていたが、パネル３４の切断面で電線の被覆を傷つける虞があり、パネル３４の取り付け位置を箱体３１の背面入出線孔に合わせて移動させていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする問題点は、パネルの取り付け位置が固定されると、箱体の背面に開口を施す場合に、パネルが邪魔して十分開口できないという点と、開口するために現場でパネルを切断した場合、パネルの切断面で電線被覆を傷つける虞があるという点と、パネルの取り付け位置を変更するには固定のためのねじを全て外すなど煩雑な手間が発生するという点である。また、パネルの取り付け位置を変更すると、パネルに載置された機器に合わせて開口されている配線覆いも作り直さなくてはいけないという点である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、簡単な構造で電気機器を載置したパネルの取り付け作業が容易である分電盤を提供することを目的とし、その構造は、第一のレールにはスライド移動可能である第二のレールをかぶせて取り付け、第二のレールにパネルを固定すると共に、パネルの移動に対向して配線覆いの取り付け位置を変更可能であることを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の分電盤は、現場でのパネルの切断作業が必要なくなり、余分な品質低下の虞がなくなり、分電盤の改造の際の省力化、配線覆いの作り直しの不要による製造費削減という利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
簡単な構造で電気機器を載置したパネルの取り付け作業が容易である分電盤を提供するという目的を、簡単な構造で実現した。
【実施例１】
【０００８】
本発明に係る分電盤を図１〜図３の添付図面に基づいて説明する。
【０００９】
分電盤１は箱体２に第一のレール３を敷設し、第一のレール３に機器４を載置したパネル５を取り付け、箱体２の開口６は配線覆い７で施蓋して構成される。配線覆い７は分電盤１に収納された機器４の操作部４ａが突出可能であるように突出孔８を設けている。
【００１０】
本発明では、箱体２に敷設された第一のレール３に、スライド移動可能である第二のレール９をかぶせて取り付けている。機器４を載置したパネル５は、第二のレール９に固定する。
【００１１】
分電盤１への入出線等のために箱体２の背面に入出線孔１０を設けても、パネル５によって閉ざされしまうような場合、パネル５を取り付けている第二のレール９を移動させ、十分に開口を活かせるようにする。パネル５の取り付け位置が決定したら、ねじ止め等で第二のレール９を固定する。
【００１２】
パネル５を移動させた場合、パネル５に載置された機器４に合わせて開口８されている配線覆い７が使用できなくなってしまうことも考慮に入れ、配線覆い７の取り付け位置も変更可能とし、配線覆い７の届かない部分はカバー１１で施蓋する。カバー１１を箱体２の上部に取り付けるか、下部に取り付けるかで配線覆い７の取り付け位置が変更できる。
【００１３】
カバー１１はカバー部１１ａと係止部１１ｂとを形成し、箱体２の突出孔８端部に溝１２を設け、溝１２に係止部１１ｂを挿通し回転させて係止部１１ｂの向きを変え、外れないようにするというように、簡単な作業でカバー１１を箱体に係止させることができる。カバー１１は容易に取り外すことができ配線工事等の際には脱着も楽である。
【実施例２】
【００１４】
本発明に係る分電盤は、上記形状に限定されるものではなく、例えば、第一のレールへの第二のレールの固定方法は、ねじ止めでなく、他に係止機構を設けたり、カバーは箱体に固定ではなく、配線覆いに固定するものでも良く、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【産業上の利用可能性】
【００１５】
箱体に敷設された第一のレールに第二のレールを取り付けたことにより、第二のレールをスライド移動可能で、第二のレールに取り付けたパネルの取り付け位置を容易に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】分電盤の配線覆いを外した状態を示す正面図である。（実施例１）
【図２】分電盤の配線覆いを取り付けた状態を示す正面図である。（実施例２）
【図３】分電盤に取り付けるカバーを示す説明図である。（実施例２）
【図４】図３におけるカバーの取り付け方法を示す説明図である。（実施例２）
【符号の説明】
【００１７】
１      分電盤
２      箱体
３      第一のレール
４      機器
４ａ    操作部
５      パネル
６      開口
７      配線覆い
８      突出孔
９      第二のレール
１０    入出線孔
１１    カバー
１１ａ  カバー部
１１ｂ  係止部
１２    溝
【図１】
2005045933.tif 000003
【図２】
2005045933.tif 000004
【図３】
2005045933.tif 000005
【図４】
2005045933.tif 000006
(57)【要約】【課題】  この発明は、テレビ、映画等の音響装置において、立体的な音響効果を得られることを可能にする装置に関するものである。【解決手段】  上左３、上右４、下左５、下右６の４箇所のマイクにより収録された４方向の音を上左１３、上右１４、下左１５、下右１６の４箇所のスピーカーで音を出すことにより、立体的な音響効果を得ることが可能である。【選択図】  図１
2005045750.tif 000002
【特許請求の範囲】
映画、録画再生機１０、テレビ受像機１２、テレビゲーム機１７、パソコン１８の音響装置において、上下、左右４方向から音が出るようにした音響システム。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、映画、テレビ、テレビゲーム、パソコンの音響システムにおいて、上下、左右４方向から音を出すことにより、立体的な音響効果を得ることを可能にしたものである。
【背景技術】
【０００２】  映画やテレビの音響装置は、左右２方向のマイクで音源を入力し、左右２方向のスピーカーで出力している。
例えば、飛行機が、向かって右から左方向に空中旋回している場合、飛行機の爆音は右から左に移動し、次に左から右に、さらに右から左に移動して聞こえる。
これでは、飛行機は、右から左方向に宙返りをしているにも関わらず、音響効果的には、左右を行ったり来たりしているように聞こえる。
さらに、小鳥が高い木の上で鳴いている場面でも、鳴き声は木の上でなく人の背丈程の高さで鳴いているように聞こえる。
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  従って、左右２方向の音響装置では、高さ方向の音響効果を表現出来なかった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  本発明は、テレビカメラ２に、上左３、上右４、下左５、下右６の４箇所にマイクを取り付けて、立体的な音響効果を得られるようにしたものである。
これらの４種類の音は、放送設備７で調整され、アンテナ８により送信され、各家庭のアンテナ９により、受信される。
各家庭では、録画、再生デッキ１０により、上下、左右の音を録音して再生したり、直接テレビ１２に取り付けた上左１３、上右１４、下左１５、下右１６の各スピーカーにより、４方向の音を出力することが可能である。
映画の場合も、スクリーン脇の上下左右に配置したスピーカーにより、同様の立体的な音響効果を得ることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】  図１にあるように、上下、左右４箇所のマイクにより入力された４種類の音を４種類の電波によって送信し、それらを上下、左右４箇所のスピーカーを持つテレビで受信し、出力すれば、上下、左右の立体的な音響効果を得ることが可能である。
また、録画再生デッキで、それぞれ４種類の音を録音して再生すれば、同様の効果を得ることが可能である。
さらに、ゲーム機やパソコンにおいても、上下、左右４種類の音に対応したソフトを使用することにより、同様な効果を得ることが可能である。
【発明の効果】
【０００６】  本発明は、上下、左右４箇所のマイクに入力された、４種類の音を、上下、左右４箇所のスピーカーで出力することにより、より実際に近い立体音響効果を得られることを可能にしたものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例
【符号の説明】
１  は飛行機
２  はテレビカメラ
３  は左上マイク
４  は右上マイク
５  は左下マイク
６  は右下マイク
７  は放送設備
８  は送信アンテナ
９  は受信アンテナ
１０  は録画再生機
１１  はテレビに映った飛行機
１２  はテレビ受像機
１３  は左上スピーカー
１４  は右上スピーカー
１５  は左下スピーカー
１６  は右下スピーカー
１７  はテレビゲーム機
１８  はパソコン
【図１】
2005045750.tif 000003