(57)【要約】【課題】圧電振動片をパッケージに接合する際に、パッケージ側に塗布された導電性接着剤に対して、正しく位置決めし、十分な接合面積を確保して良好な接合強度を得ることができるとともに、極力部品の無駄を生じないようにした圧電デバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】パッケージ内に圧電振動片を接合するようにした圧電デバイスの製造方法であって、接合工程において供給される圧電振動片が用意されている数をＸ個とし、前記パッケージの供給から前記圧電振動片の保持までに要する搬送手段の送り回数をｎ回とした場合に、工程順に処理を進めながら、前記圧電振動片の保持個数をカウントし、前記圧電振動片の保持回数が（Ｘ−ｎ）となった時には、前記圧電振動片の保持を先行させてから、前記搬送手段に前記パッケージを供給する、圧電デバイスの製造方法。【選択図】図１２
2005236785.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性接着剤を用いてパッケージ内に圧電振動片を接合するようにした圧電デバイスの製造方法であって、
前記パッケージを工程順に送る搬送手段に供給し、前記パッケージ内に配置されている電極部に対して、前記導電性接着剤の塗布位置を得る準備工程と、
前記塗布位置に対応して、前記導電性接着剤の塗布を行い、塗布された後の前記パッケージ位置に対応して、前記圧電振動片を正しく保持して、前記導電性接着剤の塗布領域に接合する接合工程と、
前記接合工程の後で、前記パッケージに対する前記圧電振動片の接合状態を確認して、その良否を判別する後処理工程と
を有しており、
前記接合工程において供給される圧電振動片が用意されている数をＸ個とし、前記パッケージの供給から前記圧電振動片の保持までに要する前記搬送手段の送り回数をｎ回とした場合に、
前記工程順に処理を進めながら、前記圧電振動片の保持個数をカウントし、
前記圧電振動片の保持回数が（Ｘ−ｎ）となった時には、前記圧電振動片の保持を先行させてから、前記搬送手段に前記パッケージを供給する
ようにしたことを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
【請求項２】
パッケージ内に圧電振動片を接合するようにした圧電デバイスを製造する製造装置であって、
前記パッケージが供給されて、このパッケージを工程順に搬送する搬送手段と、
この搬送手段に隣接して配置され、前記パッケージの電極部に導電性接着剤を塗布する塗布部と、
圧電振動片を保持する保持手段を備え、塗布された前記導電性接着剤に対して、前記圧電振動片を重ねて搭載する搭載部と、
前記搬送手段、前記塗布部、前記搭載部に指令して、これらを予め決められた工程順に動作させる制御部と
を備えており、
前記制御部は、
前記接合工程において供給される圧電振動片が用意されている数をＸ個とし、前記パッケージの供給から前記圧電振動片の保持までに要する前記搬送手段の送り回数をｎ回とした場合に、
前記工程順に処理を進めながら、前記圧電振動片の保持個数をカウントし、
前記圧電振動片の保持回数が（Ｘ−ｎ）となった時には、前記圧電振動片の保持を先行させてから、前記搬送手段に前記パッケージを供給するように、運転切り替えを行う構成とした、
ことを特徴とする圧電デバイスの製造装置。
【請求項３】
前記制御部が、前記圧電振動片が用意されている数Ｘおよび／または前記搬送手段の送り回数ｎに関して可変できる構成としたことを特徴とする請求項２に記載の圧電デバイスの製造装置。
【請求項４】
前記搬送手段が円形のインデックステーブルであることを特徴とする請求項２または３のいずれかに記載の圧電デバイスの製造装置。
【請求項５】
パッケージ内に圧電振動片を接合するようにした圧電デバイスを製造する製造装置に、以下の工程を実行させる制御プログラムであって、
前記パッケージを工程順に送る搬送手段に供給し、前記パッケージ内に配置されている電極部に対して、前記導電性接着剤の塗布位置を得る準備工程と、
前記塗布位置に対応して、前記導電性接着剤の塗布を行い、塗布された後の前記パッケージ位置に対応して、前記圧電振動片を正しく保持して、前記導電性接着剤の塗布領域に接合する接合工程と、
前記接合工程の後で、前記パッケージに対する前記圧電振動片の接合状態を確認して、その良否を判別する後処理工程と
を有しており、
前記接合工程において供給される圧電振動片が用意されている数をＸ個とし、前記パッケージの供給から前記圧電振動片の保持までに要する前記搬送手段の送り回数をｎ回とした場合に、
前記工程順に処理を進めながら、前記圧電振動片の保持個数をカウントし、
前記圧電振動片の保持回数が（Ｘ−ｎ）となった時には、前記圧電振動片の保持を先行させてから、前記搬送手段に前記パッケージを供給する
ことを特徴とする製造装置の制御プログラム。
【請求項６】
パッケージ内に圧電振動片を接合するようにした圧電デバイスを製造する製造装置に、以下の工程を実行させる制御プログラムを格納したコンピュータにより読み取り可能な記録媒体であって、
前記パッケージを工程順に送る搬送手段に供給し、前記パッケージ内に配置されている電極部に対して、前記導電性接着剤の塗布位置を得る準備工程と、
前記塗布位置に対応して、前記導電性接着剤の塗布を行い、塗布された後の前記パッケージ位置に対応して、前記圧電振動片を正しく保持して、前記導電性接着剤の塗布領域に接合する接合工程と、
前記接合工程の後で、前記パッケージに対する前記圧電振動片の接合状態を確認して、その良否を判別する後処理工程と
を有しており、
前記接合工程において供給される圧電振動片が用意されている数をＸ個とし、前記パッケージの供給から前記圧電振動片の保持までに要する前記搬送手段の送り回数をｎ回とした場合に、
前記工程順に処理を進めながら、前記圧電振動片の保持個数をカウントし、
前記圧電振動片の保持回数が（Ｘ−ｎ）となった時には、前記圧電振動片の保持を先行させてから、前記搬送手段に前記パッケージを供給する
ことを特徴とする製造装置の制御プログラムを格納したコンピュータにより読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッケージ内に圧電振動片が収容されている圧電デバイスの製造方法および圧電デバイスの製造装置、製造装置の制御プログラム、製造装置の制御プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器、ジャイロセンサ等の計測機器において、圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。
従来の圧電デバイスは、パッケージ内に、例えば、圧電材料で形成した圧電振動片を収容している。
圧電振動子は、例えば、水晶のウエハを矩形や音叉型にエッチングして励振電極を設けることにより形成される圧電振動片をパッケージ内に収容することにより製造される。
【０００３】
すなわち、パッケージには、実装用の端子が設けられており、パッケージ内には、実装用の端子と接続された電極部が露出されている。このパッケージの内部に露出した電極部に導電性接着剤が塗布され、圧電振動片の励振電極の引き出し電極の部分を、パッケージ側の上記導電性接着剤の塗布部分に載せて、導電性接着剤を硬化することにより、電気的に接続するようにしている。
ここで、接続に利用される導電性接着剤は電極部に対して塗布されるが、このような導電性接着剤の塗布を行う手段を備えた製造装置としての水晶振動子組立装置が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１２４７６５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この特許文献１の組立装置では、回転テーブル上にセラミックパッケージが置かれ、所定角度毎に回転テーブルをインデックスしながら、組立工程を順次実行するようになっている。
すなわち、回転テーブルに移載される保持治具にパッケージが供給され、このパッケージに導電性接着剤が塗布されて、その後、圧電振動片がマウントされるようになっている。
この場合、パッケージは、回転テーブルのパッケージ供給位置近傍に用意されたトレー上に所定数用意される。また、搭載用の圧電振動片も所定数が、トレーなどに用意されるのが通常である。
【０００６】
ここで、供給されるパッケージと圧電振動片が同数であり、全ての工程が失敗なく遂行されれば問題がない。
しかしながら、パッケージと圧電振動片の供給数が必ずしも一致していなかったり、あるいは、パッケージへの導電性接着剤の塗布作業に失敗がなくても、圧電振動片をチャッキングする上で位置決めなどに失敗して、いずれかの部品の使用量が途中でずれる場合がある。
【０００７】
このような場合、特に圧電振動片の数が不足すると、パッケージは先行して回転テーブル上に供給されて導電性接着剤が塗布され、圧電振動片の搭載位置までおくられた所で、圧電振動片が供給されないと、圧電振動片の補充を行う間、このパッケージは導電性接着剤が塗布されたままさらされることになる。そして、導電性接着剤の硬化が進むと、圧電振動片を接合した場合に接合面積の不足などを生じて、確実な接合が行えなくなり、あるいは、そのことを見越して、ステージ上に先行して供給されたパッケージの導電性接着剤が塗布された分だけ廃棄する必要が生じる。
【０００８】
本発明は上記課題を解消し、圧電振動片をパッケージに接合する際に、パッケージ側に塗布された導電性接着剤に対して、正しく位置決めし、十分な接合面積を確保して良好な接合強度を得ることができるとともに、極力部品の無駄を生じないようにした圧電デバイスの製造方法と、このような工程を実現できる圧電デバイスの製造装置、ならびに製造装置の制御プログラム、製造装置の制御プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的は、第１の発明にあっては、導電性接着剤を用いてパッケージ内に圧電振動片を接合するようにした圧電デバイスの製造方法であって、前記パッケージを工程順に送る搬送手段に供給し、前記パッケージ内に配置されている電極部に対して、前記導電性接着剤の塗布位置を得る準備工程と、前記塗布位置に対応して、前記導電性接着剤の塗布を行い、塗布された後の前記パッケージ位置に対応して、前記圧電振動片を正しく保持して、前記導電性接着剤の塗布領域に接合する接合工程と、前記接合工程の後で、前記パッケージに対する前記圧電振動片の接合状態を確認して、その良否を判別する後処理工程とを有しており、前記接合工程において供給される圧電振動片が用意されている数をＸ個とし、前記パッケージの供給から前記圧電振動片の保持までに要する前記搬送手段の送り回数をｎ回とした場合に、前記工程順に処理を進めながら、前記圧電振動片の保持個数をカウントし、前記圧電振動片の保持回数が（Ｘ−ｎ）となった時には、前記圧電振動片の保持を先行させてから、前記搬送手段に前記パッケージを供給するようにした圧電デバイスの製造方法により、達成される。
【００１０】
第１の発明の構成によれば、前記搬送手段にパッケージを供給してから、前記塗布工程を行い、その後、接合工程や後処理工程を順次進める。ここで、製造に際して、パッケージと圧電振動片が同数用意され、同数使用されていればよいが、同じ数用意できなかったり、工程の途中でいずれかの不良などにより、これらの数が合わなくなる場合がある。
そのような状態のまま上述の工程を進めると、例えば、パッケージが先行して回転テーブル上に供給されて導電性接着剤が塗布され、圧電振動片の搭載位置までおくられた所で、圧電振動片が供給されないと、圧電振動片の補充を行う間、このパッケージは導電性接着剤が塗布されたままさらされることになる。そして、導電性接着剤の硬化が進むと、圧電振動片を接合した場合に接合面積の不足などを生じて、確実な接合が行えなくなり、あるいは、そのことを見越して、ステージ上に先行して供給されたパッケージの導電性接着剤が塗布された分だけ廃棄する必要が生じる。
そこで、前記接合工程において供給される圧電振動片が用意されている数をＸ個とし、前記パッケージの供給から前記圧電振動片の保持までに要する前記搬送手段の送り回数をｎ回とした場合に、前記工程順に処理を進めながら、前記圧電振動片の保持個数をカウントし、前記圧電振動片の保持回数が（Ｘ−ｎ）となった時には、前記圧電振動片の保持を先行させてから、前記搬送手段に前記パッケージを供給するようにする。これにより、圧電振動片を保持してから、対応するパッケージを搬送手段上に供給し、導電性接着剤を塗布することになるので、部品の無駄を生じない。
かくして、圧電振動片をパッケージに接合する際に、パッケージ側に塗布された導電性接着剤に対して、正しく位置決めし、十分な接合面積を確保して良好な接合強度を得ることができるとともに、極力部品の無駄を生じないようにした圧電デバイスの製造方法を提供することができる。
【００１１】
上述の目的は、第２の発明にあっては、パッケージ内に圧電振動片を接合するようにした圧電デバイスを製造する製造装置であって、前記パッケージが供給されて、このパッケージを工程順に搬送する搬送手段と、この搬送手段に隣接して配置され、前記パッケージの電極部に導電性接着剤を塗布する塗布部と、圧電振動片を保持する保持手段を備え、塗布された前記導電性接着剤に対して、前記圧電振動片を重ねて搭載する搭載部と、前記搬送手段、前記塗布部、前記搭載部に指令して、これらを予め決められた工程順に動作させる制御部とを備えており、前記制御部は、前記接合工程において供給される圧電振動片が用意されている数をＸ個とし、前記パッケージの供給から前記圧電振動片の保持までに要する前記搬送手段の送り回数をｎ回とした場合に、前記工程順に処理を進めながら、前記圧電振動片の保持個数をカウントし、前記圧電振動片の保持回数が（Ｘ−ｎ）となった時には、前記圧電振動片の保持を先行させてから、前記搬送手段に前記パッケージを供給するように、運転切り替えを行う構成とした、圧電デバイスの製造装置により、達成される。
【００１２】
第２の発明の構成によれば、本発明の製造装置では、第１の発明で説明したのと同様の原理により、運転の終端付近にて、部品どうしの数が合うように運転切り替えを行う構成であるから、部品の無駄が生じない。
【００１３】
第３の発明は、第２の発明の構成において、前記制御部が、前記圧電振動片が用意されている数Ｘおよび／または前記搬送手段の送り回数ｎに関して可変できる構成としたことを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、Ｘおよび／またはｎを可変できるようにしたことで、個々の部品を扱う作業において、個々に生じるロスや、予め用意しなければならない部品の数の変更などにフレキシブルに対応することができる。
【００１４】
第４の発明は、第２または３のいずれかの発明の構成において、前記搬送手段が円形のインデックステーブルであることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、前記運転切り替えに際して、圧電振動片を保持したら、円形のインデックステーブル上にパッケージを供給するようにすることで、部品の無駄の出ない運転を容易に行うことができる。
【００１５】
上述の目的は、第５の発明にあっては、パッケージ内に圧電振動片を接合するようにした圧電デバイスを製造する製造装置に、以下の工程を実行させる制御プログラムであって、前記パッケージを工程順に送る搬送手段に供給し、前記パッケージ内に配置されている電極部に対して、前記導電性接着剤の塗布位置を得る準備工程と、前記塗布位置に対応して、前記導電性接着剤の塗布を行い、塗布された後の前記パッケージ位置に対応して、前記圧電振動片を正しく保持して、前記導電性接着剤の塗布領域に接合する接合工程と、前記接合工程の後で、前記パッケージに対する前記圧電振動片の接合状態を確認して、その良否を判別する後処理工程とを有しており、前記接合工程において供給される圧電振動片が用意されている数をＸ個とし、前記パッケージの供給から前記圧電振動片の保持までに要する前記搬送手段の送り回数をｎ回とした場合に、前記工程順に処理を進めながら、前記圧電振動片の保持個数をカウントし、前記圧電振動片の保持回数が（Ｘ−ｎ）となった時には、前記圧電振動片の保持を先行させてから、前記搬送手段に前記パッケージを供給する製造装置の制御プログラムにより、達成される。
第５の発明の構成によれば、第１の発明において説明したのと同様の原理により、圧電振動片をパッケージに接合する際に、パッケージ側に塗布された導電性接着剤に対して、正しく位置決めし、十分な接合面積を確保して良好な接合強度を得ることができるとともに、極力部品の無駄を生じないようにすることができる圧電デバイスの製造装置に適した制御プログラムを提供することができる。
【００１６】
上述の目的は、第６の発明にあっては、パッケージ内に圧電振動片を接合するようにした圧電デバイスを製造する製造装置に、以下の工程を実行させる制御プログラムを格納したコンピュータにより読み取り可能な記録媒体であって、前記パッケージを工程順に送る搬送手段に供給し、前記パッケージ内に配置されている電極部に対して、前記導電性接着剤の塗布位置を得る準備工程と、前記塗布位置に対応して、前記導電性接着剤の塗布を行い、塗布された後の前記パッケージ位置に対応して、前記圧電振動片を正しく保持して、前記導電性接着剤の塗布領域に接合する接合工程と、前記接合工程の後で、前記パッケージに対する前記圧電振動片の接合状態を確認して、その良否を判別する後処理工程とを有しており、前記接合工程において供給される圧電振動片が用意されている数をＸ個とし、前記パッケージの供給から前記圧電振動片の保持までに要する前記搬送手段の送り回数をｎ回とした場合に、前記工程順に処理を進めながら、前記圧電振動片の保持個数をカウントし、前記圧電振動片の保持回数が（Ｘ−ｎ）となった時には、前記圧電振動片の保持を先行させてから、前記搬送手段に前記パッケージを供給する製造装置の制御プログラムを格納したコンピュータにより読み取り可能な記録媒体により、達成される。
第６の発明の構成によれば、本発明の記録媒体に記録されている制御プログラムによれば、第１の発明において説明したのと同様の原理により、圧電振動片を接合する際に、パッケージ側に塗布された導電性接着剤に対して、正しく位置決めし、十分な接合面積を確保して良好な接合強度を得ることができる圧電デバイスの製造装置に適した制御プログラムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図１と図２は、本実施形態に係る圧電デバイスの製造方法により製造される圧電デバイスの好ましい形状例を示している。
図１は、圧電デバイスの蓋体の一部を破断して内部を表した概略斜視図であり、図２は、図１のＡ−Ａ線における概略断面図である。
【００１８】
図１と図２に示す圧電デバイス３０は、圧電振動子を構成した例を示している。圧電デバイス３０はケースもしくはパッケージ３６内に圧電振動片３１を収容した構造である。
圧電デバイス３０は、パッケージ３６と、シール部材であるシールリング３５と、蓋体３７と、圧電振動片３１を有している。ここで、シール部材とは、後述するようにして、パッケージ３６を蓋体により気密に封止する際に封止材として用いられるものであり、この実施形態では、コバールなどの金属製のリングが用いられている。蓋体をシーム溶接で接合する場合には、シールリング３５は、特に「シームリング」とも呼ばれる。
パッケージ３６は、電気絶縁体であり、例えば複数枚のセラミック板を積層した構造で上方が開放された箱状の構造であり、この実施形態では、矩形の箱である。パッケージ３６の内部には、空間３０Ｓが形成され、この空間３０Ｓ内に圧電振動片３１が収容されるようになっている。パッケージ３６の内底面３６Ｍには、電極部３２，３２ともう１つの電極部３３が形成されている。電極部３２，３２は、図１に示すように幅方向の両端部側に離して設けられている。もう１つの電極部３３は、内底面３６Ｍにおいて電極部３２，３２とは反対側に設けられている。
パッケージ３６は、好ましい材料としては、圧電振動片３１や蓋体３７の熱膨張係数と一致するかもしくは極めて近い熱膨張係数を備えたものが選択できる。
シールリング３５は、例えばコバール等の金属で作られている。蓋体３７は、シールリング３５に対して接合されることにより、パッケージ３６の空間３０Ｓは気密に封止される。
【００１９】
次に、圧電振動片３１について説明する。
圧電振動片３１は、図２に示すように、例えば圧電材料により形成されたウエハを厚みの薄い矩形に加工した、所謂、ＡＴカット振動片により、圧電チップである振動片個片が形成されている。圧電材料として、例えば、この実施形態では水晶が使用されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。また、圧電チップの形態も、ＡＴカット振動片に限らず、コンベックスタイプや、逆メサ型の振動片を用いることができるし、さらに、水晶Ｚ板でなるウエハを、例えば、フッ酸溶液を用いてウェットエッチングしたり、あるいはドライエッチングすることで、所謂音叉型とした振動片等を使用してもよい。
【００２０】
図１と図２の圧電振動片３１は、表面側と裏面側に励振電極５１，５１を有している。表側の励振電極５１の引出し電極５１Ａは、一方の電極部３２に対して導電性接着剤８０により接合して電気的に接続されている。裏側の励振電極５１の引出し電極５１Ｂは、導電性接着剤８０を介して接合して電気的に接続されている。
一方の励振電極５１と他方の励振電極５１は、圧電振動片３１の一方の面と他方の面にそれぞれ形成されているが、一方の励振電極５１と他方の励振電極５１は、互いに逆極性になるように、裏面側の実装端子４１，４１を介して駆動電圧源側に接続されている。外部の駆動電圧源が、実装端子４１と電極部３２を介して一方の励振電極５１と他方の励振電極５１に駆動電圧を印加することで、圧電振動片３１はその内部に効率良く電界を生じさせて励振することができる。
【００２１】
導電性接着剤８０，８０は、例えば所定の合成樹脂でなるバインダ成分と揮発成分を含む溶媒に銀粒子（Ａｇ）等の導電粒子を添加したものを使用することができる。樹脂成分としては、シリコーン樹脂やエポキシ樹脂が可能である。
【００２２】
図３（Ａ）は、図１に示す圧電デバイス３０のＦ方向から見た側面図であり、図３（Ｂ）は、圧電デバイス３０の底面図である。実装端子４１は、パッケージ３６の底面３６Ｔの四隅に配置されている。
図４は、パッケージ３６の内底面３６Ｍ側の平面形状を示している。図４（Ａ）は、パッケージ３６内の２つの電極部３２ともう１つの電極部３３を示している。パッケージ側の電極部３２，３２は、パッケージ３６底面３６Ｔの四隅の実装端子のうち、対角に位置する実装端子４１，４１と電気的に接続されている。すなわち、これらは、パッケージ３６底板を貫通する導電スルーホールおよび内底面３６Ｍに設けた導電パターン３３ａを介して電気的に接続されている。これに対して、電極部３３は、パッケージ３６底面３６Ｔの四隅の実装端子とは接続されていないダミー端子である。
【００２３】
図４（Ｂ）は、２つの電極部３２，３２ともう１つの電極部３３のいずれに対しても、圧電振動片３１を接合するための導電性接着剤８０が塗布された例を示している。導電性接着剤８０は、平面的に見てほぼ円形状になるように電極部３２，３２および電極部３３上にそれぞれ形成されている。
図４（Ｃ）は、圧電振動片３１がパッケージ３６の空間３０Ｓ内に収容された例を示している。この例では、圧電振動片３１は、電極部３２，３２と電極部３３の合計３つの導電性接着剤の上に三点支持により接合して固定されている。
この場合に電極部３２，３２側の導電性接着剤８０が、圧電振動片３１の一方の面の励振電極５１と他方の面の励振電極５１に対して電気的に接続されている。電極部３２，３２の導電性接着剤８０は、圧電振動片３１の基部３１Ｋ側を二点で支持している。これに対して、もう１つの電極部３３側の導電性接着剤８０は、圧電振動片３１の他方の端部側を機械的に支持しているだけである。これによって、圧電振動片３１は、三点支持により空間３０Ｓ内で保持されている。
【００２４】
図４（Ｄ）は、図４（Ｂ）の場合と異なる固定構造を示しており、この例では、導電性接着剤８０が、２つの電極部３２，３２の上にのみに形成されている。そして、もう１つの電極部３３の上には導電性接着剤８０は形成されていない。
このことから、図４（Ｄ）の空間３０Ｓ内に圧電振動片３１を接合する場合には、圧電振動片３１は、電極部３２，３２が導電性接着剤８０により所謂二点支持により片持ち式に機械的かつ電気的に接合される。
【００２５】
図５は、図４におけるパッケージ３６の断面構造例を示し、後述する製造工程において、圧電振動片が接合される様子を説明するためのものである。図５（Ａ）は、図４（Ａ）におけるＢ−Ｂ線における断面を示し、図５（Ｂ）は、図４（Ｂ）におけるＣ−Ｃ線における断面を示し、そして図５（Ｃ）は図４（Ｃ）のＤ−Ｄ線における断面構造例を示している。
図５（Ａ）では、パッケージ３６の内底面３６Ｍの上に、２つの電極部３２，３２が形成された状態を示している。図５（Ｂ）は、２つの電極部３２，３２の上にそれぞれ導電性接着剤８０が塗布された段階を示している。図５（Ｃ）は、導電性接着剤８０，８０の上に対して、圧電振動片３１をマウントし、接合した状態を示している。ここで、一方の導電性接着剤８０は、一方の引出し電極５１Ａに電気的かつ機械的に接合されている。他方の導電性接着剤８０は、他方の引出し電極５１Ａに対して電気的かつ機械的に接合されている。
【００２６】
次に、本実施形態の圧電デバイスの製造方法を実施するための圧電デバイスの製造装置の好ましい実施形態について説明する。
図６は、本発明の圧電デバイスの製造装置の実施形態を示す平面図である。
圧電デバイスの製造装置１００は、図１に示すような圧電デバイス３０のパッケージ３６内の電極部３２に対して、図４（Ｂ）に示すように導電性接着剤８０を塗布し、しかも導電性接着剤８０を用いてパッケージ３６内に圧電振動片３１を接合するための装置である。
図６に示す圧電デバイスの製造装置１００は、ベース４００と、このベース４００に設けられた各種構成要素を有している。圧電デバイスの製造装置１００は、圧電デバイスの製造工程における準備工程Ｔ１、接合工程Ｔ２および後処理工程Ｔ３を行うものである。図６において、Ｘ方向とＹ方向とＺ方向は互いに直交している。Ｚ方向は図６の紙面において垂直方向である。θ方向はＺ方向に関する回転方向である。
【００２７】
図６のベース４００は、その略中央に搬送手段としての円形のインデックステーブル２００を有している。このインデックステーブル２００は、自転方向Ｒに回転して角度割出し位置に位置決めすることで、準備工程Ｔ１、接合工程Ｔ２および後処理工程Ｔ３にわたって、図４（Ａ）のパッケージ３６を工程順に搬送できるようにした搬送手段の一例である。この実施形態では、インデックステーブル２００は、準備工程Ｔ１、接合工程Ｔ２、後処理工程Ｔ３を構成する等角度間隔のインデックス位置に対応した工程Ｓ１、工程Ｓ２、工程Ｓ３、工程Ｓ４、工程Ｓ５、工程Ｓ６、工程Ｓ７、工程Ｓ８を４５度ずつの回転により送りながら進行させるようになっている。
【００２８】
準備工程Ｔ１は、工程Ｓ１と工程Ｓ２を有している。
図６の工程Ｓ１は、パッケージ供給部３０１を有している。工程Ｓ２は、パッケージ塗布位置計測部３５０を有している。
パッケージ供給部３０１は、供給ヘッド３０３とガイド部３０４とガイド部３０５を有している。パッケージトレー３０６は、その上に複数の図４（Ａ）に示すようなパッケージ３６を並べて収容している。つまり、所定数のパッケージがパッケージトレー３０６に収容されて用意されている。準備工程Ｔ１の段階では、パッケージトレー３０６に搭載されているパッケージ３６内には、電極部３２，３３が形成されているが、導電性接着剤８０はまだ塗布されておらず、圧電振動片３１はまだ接合されていない。
【００２９】
供給ヘッド３０３は、例えば吸着ノズルやチャッキング装置などのパッケージ保持手段を有している。供給ヘッド３０３は、パッケージトレー３０６の上のパッケージ３６を着脱可能に保持する。供給ヘッド３０３は、ガイド部３０５に沿ってＸ方向に移動して位置決め可能である。同様にして、ガイド部３０５はガイド部３０４に沿ってＹ方向に移動して位置決め可能である。ガイド部３０４，３０５はＸ・Ｙロボットである。供給ヘッド３０３の吸着ノズルはＸ方向とＹ方向およびＺ方向に移動することにより、パッケージトレー３０６の上のパッケージ３６を吸着して上昇することができる。
【００３０】
これによって、供給ヘッド３０３は、パッケージトレー３０６の上のパッケージ３６を、インデックステーブル２００のポジションＰ１における搭載部２０１に移動させることにより、移載することができる。
このインデックステーブル２００には、この搭載部２０１が、例えば角度４５度ごとに８つ設けられている。複数の搭載部２０１は、ポジションＰ１からポジションＰ８にそれぞれ順次供給することができる。
【００３１】
図６に示すパッケージ塗布位置計測部３５０は、ポジションＰ２に位置決めされた搭載部２０１に搭載されているパッケージ３６の画像を取り込むようになっている。これによって、パッケージ塗布位置計測部３５０は、パッケージ３６内における図１に示す電極部３２，３２の位置に相当する導電性接着剤の塗布位置の画像認識を行う。これにより、導電性接着剤の塗布位置を正確に予めデータとして得ることができる。
また、このパッケージ塗布位置計測部３５０は、画像を認識することにより、パッケージ３６とシールリング３５の相互位置の関係も認識することができる。
【００３２】
また、接合工程Ｔ２としては、工程Ｓ３、工程Ｓ４および工程Ｓ５を有している。図６に示す工程Ｓ３は、導電性接着剤の塗布部３６０を有している。工程Ｓ４はパッケージ位置計測と塗布状態の判定部３８０を有している。工程Ｓ５は、圧電振動片の計測及び搭載部４３０を有している。
図６に示す導電性接着剤の塗布部３６０は、塗布ヘッド３６１とガイド部３６２，３６４を有している。塗布ヘッド３６１は、シリンジ３６３を有している。
【００３３】
ガイド部３６２は、塗布ヘッド３６１を、Ｙ方向に移動して位置決め可能である。ガイド部３６４は、ガイド部３６２をＸ方向に移動して位置決め可能である。ガイド部３６２，３６４は、塗布用のＸ・Ｙロボットである。
この塗布ヘッド３６１のシリンジ３６３には、導電性接着剤が収容されている。このシリンジ３６３は、図４（Ｂ）に示すようにポジションＰ３に位置決めされた搭載部２０１の上に載っているパッケージ３６内の電極部３２，３２に対して導電性接着剤８０を塗布することができるようになっている。
【００３４】
次に、図６に示すパッケージ位置計測と塗布状態の判定部３８０は、ポジションＰ４に位置決めされた搭載部２０１の上のパッケージ３６についての位置の計測と、導電性接着剤８０の塗布状態の判定を行う部分である。
パッケージ位置計測と塗布状態の判定部３８０は、塗布された導電性接着剤の塗布径を画像により確認する。その確認には、画像を二値化して、塗布された導電性接着剤の塗布面積を測定する。もう１つは、塗布された導電性接着剤のほぼ円形状の周囲における濃淡のエッジを用いて、導電性接着剤の濃淡位置の幅を測定することにより塗布径の確認を行う。
このように塗布された導電性接着剤の二値化面積のみの判定を行うだけではなく、濃淡エッジの幅による塗布径を直接測定して確認し、二値化面積の判定または塗布径の直接測定のいずれかが基準に合格することにより、導電性接着剤の塗布状態の良否の判定を行うことができるようになっている。
図６に示す圧電振動片の計測及び搭載部４３０は、吸着ノズル４３１、スライダ４３４、ガイド部４３２，４３５を有している。ガイド部４３２，４３５はＸ・Ｙロボットである。
【００３５】
スライダ４３４は圧電振動片の保持手段としての例えば吸着ノズル４３１を有しており、スライダ４３４と吸着ノズル４３１の位置は、ガイド部４３２によりＹ方向に移動して位置決め可能である。ガイド部４３５は、ガイド部４３２をＸ方向に移動して位置決め可能である。
これによって、吸着ノズル４３１は、Ｘ，Ｙ方向に移動して位置決め可能である。吸着ノズル４３１は、図１に示す圧電振動片３１を吸着して保持して、ポジションＰ５にある搭載部２０１のパッケージ３６内にこの圧電振動片３１を装着して接合するためのものである。複数の圧電振動片３１はトレー４５０の上に並べて搭載されている。
したがって吸着ノズル４３１は、トレー４５０の上の圧電振動片３１を搭載部２０１側に移動してパッケージ３６内に装着して、導電性接着剤８０により圧電振動片３１の引出し電極を電極部３２，３２に対して電気的に接続する。
吸着ノズル４３１は、圧電振動片３１を吸着して保持し、かつパッケージ３６内に装着するために、Ｚ方向に移動して位置決めが可能である。しかもこの吸着ノズル４３１は、θ方向に回転することで圧電振動片３１の回転方向の向きを調整することができる。
【００３６】
次に、後処理工程Ｔ３は、工程Ｓ６、工程Ｓ７および工程Ｓ８を有している。
図６の工程Ｓ６は、圧電振動片の搭載後のマウント状態検査部５００を有している。工程Ｓ７は、完成製品の収納部５４０を有している。工程Ｓ８は、製品残り検出部６００を有している。
圧電振動片の搭載後のマウント状態検査部５００は、図１のようにパッケージ３６内に搭載された圧電振動片３１のマウント状態を画像認識により検査する。つまり、マウント状態検査部５００は、ポジションＰ６の搭載部２０１においてパッケージ３６に対する圧電振動片３１のマウントの姿勢をチェックするようになっている。
【００３７】
図６の完成製品の収納部５４０は、ガイド部５４１，５４２、メカチャック５４３を有している。
メカチャック５４３は、Ｚ方向に移動して位置決めすることができる。メカチャック５４３はガイド部５４２によりＹ方向に移動して位置決め可能である。ガイド部５４２は、ガイド部５４１によりＹ方向に移動して位置決め可能である。
ガイド部５４１には、完成品収納位置ＰＰ１と待機位置ＰＰ２を有している。完成品収納位置ＰＰ１と待機位置ＰＰ２の間では、製品トレー５７０がＸ方向に移動可能になっている。完成品収納位置ＰＰ１では、メカチャック５４３によりチャッキングされた完成品のパッケージ３６を製品トレー５７０と交換する位置である不良品排出部５７８は、パッケージ３６の原料不良品を外部に排出するための部分であり、不良排出レール５７９は導電性接着剤の塗布不良および圧電振動片搭載の位置不良を整列するための部分である。
このメカチャック５４３は、ポジションＰ７に位置決めされた搭載部２０１上のパッケージ３６のチャッキングを行って、搭載部２０１から製品トレー５７０まで運ぶようになっている。
図６に示す製品残り検出部６００は、ポジションＰ８に位置決めされた搭載部２０１の上に製品であるパッケージ３６が残っていないか画像処理により検出する部分である。
【００３８】
図７は、図６の圧電デバイスの製造装置１００の電気的な接続構成例を示している。
図７に示すように、制御部７００は、プログラマブルコントローラ７０１を有している。この制御部７００は、インデックステーブル駆動部７０３、パッケージ供給部の駆動部７０４、パッケージ塗布位置計測部３５０、導電性接着剤の塗布部の駆動部７０５、導電性接着剤の空気圧力供給部７０６、パッケージ位置計測と塗布状態判定部３８０、圧電振動片の計測及び搭載部４３０、圧電振動片の搭載後のマウント状態検査部５００、完成製品の収納部５４０、そして製品残り検出部６００に対して電気的に接続されている。
制御部７００は、インデックステーブル駆動部７０３、パッケージ供給部の駆動部７０４、導電性接着剤の塗布部の駆動部７０５、導電性接着剤の空気圧力供給部７０６、圧電振動片の計測及び搭載部４３０、完成品の収納部５４０の駆動指令を行う。
また制御部７００は、パッケージ塗布位置計測部３５０、パッケージ位置計測と塗布状態判定部３８０、圧電振動片の計測及び搭載部４３０、圧電振動片の搭載後のマウント状態検査部５００、製品残り検出部６００からの信号を受け取ることができる。
【００３９】
ここで、図８は制御部７００を構成するプログラマブルコントローラ（以下、「コントローラ」という）の構成を示すハードウエア構成を示す図である。コントローラ７０１は、演算装置としてのＣＰＵ（中央処理装置）を備え、メモリ７１２，入出力手段７１６を有しており、これらＣＰＵ７１１，メモリ７１２，入出力手段７１６は、バスなどの伝送線７１５により結ばれて、相互に信号のやりとりが可能とされている。
コントローラ７０１が備えるメモリ７１２は、不揮発性の記憶手段であるＲＯＭ（リードオンリーメモリ）や、所定の作業領域を提供するための揮発性の記憶手段であるＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）の他、所定のデータの蓄積を可能とするハードディスクなどの必要な記憶手段を含んでおり、後述する製造装置のプログラムを保持して、適宜読み出すようになっている。入出力手段７１６は、図７で説明した制御部７００に接続される被制御部のインターフェースであるとともに、キーボードなどの適宜の入力手段を含み、後述するように、運転に関するデータのユーザによる入力を可能とする手段を含んでいる。
【００４０】
さらに、入出力手段７１６は、運転プログラムを格納した記録媒体を用いて、プログラムの書き込みや読み出しが可能となっている。ここで、入出力手段により読み取り可能な記録媒体とは、通常、コンピュータにインストールし、コンピュータによって実行可能な状態にするために用いられる記録媒体と同じであり、例えばフロッピー（登録商標）のようなフレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＣＤ−Ｒ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ−Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）、ＣＤ−ＲＷ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ−Ｒｅｗｒｉｔｅｒｂｌｅ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）などのパッケージメディアのみならず、プログラムが一時的若しくは永続的に格納される半導体メモリ、磁気ディスクあるいは光磁気ディスクなどを用いることができる。
【００４１】
図９は、図６で説明した計測及び搭載部４３０の部分を拡大して示す図である。
図において、圧電振動片の計測及び搭載部４３０は、吸着ノズル４３１、スライダ４３４、ガイド部４３２，４３５を有している。ガイド部４３２，４３５はＸ・Ｙロボットである。
スライダ４３４は吸着ノズル４３１を有しており、スライダ４３４と吸着ノズル４３１の位置は、ガイド部４３２によりＹ方向に移動して位置決め可能である。ガイド部４３５は、ガイド部４３２をＸ方向に移動して位置決め可能である。
これによって、吸着ノズル４３１は、Ｘ，Ｙ方向に移動して位置決め可能である。吸着ノズル４３１は、図１に示す圧電振動片３１を吸着して保持し、ポジションＰ５にある搭載部２０１のパッケージ３６内にこの圧電振動片３１をマウントするためのものである。複数の圧電振動片３１はトレー４５０の上に縦横に（Ｘ，Ｙ方向に）並べて搭載されている。
【００４２】
すなわち、トレー４５０上には、例えば、トレーの種類に応じて３００個あるいは７２０個の圧電振動片３１が収容されている。この圧電振動片３１の収容個数が製造装置１００を連続運転して組立可能な数である。
吸着ノズル４３１は、トレー上の圧電振動片３１に接近する上で、第１の駆動手段４３６によりＺ方向に移動して位置決めが可能である。また、この吸着ノズル４３１は、第２駆動手段４３７によりθ方向に回転することで、圧電振動片３１の置かれた平面内で回転方向の向きを調整することができる。これにより、後述するように、吸着ノズル４３１が、供給部であるトレー上の圧電振動片３１に対する吸着位置を調整することができ、あるいは、吸着保持した圧電振動片３１をＸ，Ｙ方向に移動し、その回転方向を調整して、パッケージ内にマウントすることができる。
【００４３】
図１０は、吸着手段としての吸着ノズル４３１の支持構造を示しており、圧電振動片３１をマウントするためのマウンター２７０のヘッド部周辺の構造を示している。吸着ノズル４３１には、図示しない真空ポンプなどの真空引き手段が接続され、先端部に位置する圧電振動片３１などのワークを真空吸着するようになっている。
図９に示すように、マウンター２７０は、トレー４５０とインデックステーブル２００の中間付近に配置されている。
図１０において、マウンター２７０の画像処理のための撮像手段として、カメラ２７５を備えている。カメラ２７５には、接写リング２７６を介して、光学系であるレンズ２７７が取付けられている。レンズ２７７は、絞りやピント合わせの機能を備えている。
【００４４】
また、カメラ２７５は、画像コントローラ２７８に接続されている。画像コントローラ２７８は、後で説明する計測に必要な画像取り込み手順を備えていて、処理を行うようになっており、そのため、ひとつまたは複数のカメラの入力端子や、図７で説明したプログラマブルコントローラ７０１の接続端子、およびモニタ２７９の接続端子、その他の入出力コネクタを備えている。
照明手段としての小型同軸落射照明２７４に照明されるようにして、レンズ２７７の視野内には、吸着ノズル４３１に吸着保持された圧電振動片３１が入るようになっている。
ここで、図９で説明したスライダ４３４に保持されたヘッド部２７１は、互いに接近・離間できるように支持された第１の部分２７２と、第２の部分２７３とを有しており、この第１の部分２７２と第２の部分２７３との間には、矢印方向に付勢力を付与する付勢手段であるスプリング２７１ａが介装されている。
これにより、吸着ノズル４３１に吸着された圧電振動片３１は、その吸着状態がカメラ２７５により、撮影されて、後述するようにその撮像結果に基づいて、補正データを形成するために利用される。
また、ヘッド部２７１は、インデックステーブル上の搭載部２０１（図９参照）まで運ばれて、矢印Ｇ方向に移動されることにより、導電性接着剤の上にマウントされる。このマウントに際しては、ヘッド部２７１により加重が矢印Ｇ方向に加えられ、この加重はスプリング２７１ａにより調整されるようになっている。
【００４５】
次に図１１および図１２を参照しながら、図６に示す圧電デバイスの製造装置１００の動作例について説明する。
なお、図１１、図１２において、「１ｓｔ」、「２ｓｔ」・・等と示されているものは、それぞれ上述した「工程Ｓ１」、「工程Ｓ２」・・・と対応するものである。
制御部７００の支持により、製造装置１００は、制御プログラムに基づく動作を開始する。運転に先立って、管理者あるいは使用者は、図８の入出力手段７１６を介して、少なくとも、今回の運転で、図９で説明したトレー４５０に用意される圧電振動片３１の数Ｘとパッケージ３６の供給から圧電振動片３１の搭載までの工程数ｎを入力する。なお、Ｘおよび／またはｎはデフォルトの数を定めておき、必要により変更するようにしてもよい。この実施形態では、Ｘとして例えば「３２０」個、ｎとして「４」ステージが入力され、あるいは予め決定されているものとする。
【００４６】
図１１の工程Ｓ１（「１ｓｔ」に同じ、以下「ｎｓｔ」を用いた表記は「工程Ｓｎ」と同じ）では、図６のパッケージ供給部３０１のトレー３０６の上に、図４（Ａ）のように例えば４２０個のパッケージ３６が配列してセットされている。ここで、この実施形態では、トレー３０６内に収容されるパッケージ３６の総数は、図６および図９で説明したトレー４５０に収容されている圧電振動片３１の総数Ｘよりも多いものとする。
【００４７】
そして、供給ヘッド３０３の吸着ノズルが任意のパッケージ３６を吸着する。この場合には供給ヘッド３０３がトレー３０６側に移動してパッケージ３６を吸着する。供給ヘッド３０３は、ガイド部３０４，３０５によりＸ，Ｙ方向にセンタリングを行い、供給ヘッド３０３の吸着ヘッドはインデックステーブル２００上にパッケージ３６を供給し、ポジションＰ１の搭載部２０１の上にパッケージ３６を搭載する（ＳＴ１１）。このＳＴ１１で、吸着ノズルによりうまくパッケージ３６を吸着保持できない場合には、ＳＴ１２に進み、トレー３０６内のパッケージ３６をさらに吸着する。この吸着がさらにうまくいかない場合には、予め定められた回数ｍ回だけ、吸着を試み（ＳＴ１３）、それでもだめな場合には、製造装置１００を停止して（ＳＴ１４）、必要により図示しないブザーを鳴動させ、および／または警告ランプの点滅を行うなどして管理者のチェックをもとめる。
【００４８】
吸着ヘッドによるパッケージ３６の吸着後に工程Ｓ２に移る（ＳＴ１５）。
ここでは、図６に示すパッケージ塗布位置計測部３５０が画像認識により予め導電性接着剤の塗布位置を計測する。つまり塗布位置計測部３５０に設けたカメラで撮像し、図４（Ａ）に示す電極部３２，３３の位置などを計測する。この場合にパッケージに対する電極部３２，３３の相対的位置の不良や、パッケージ３６に対するシールリング３５の相対的な位置の不良がある場合には、パッケージはこの時点で不良と判定され、後述する工程７で図６のＮＧボックス５７８に排出される（ＳＴ１６）。
【００４９】
画像処理結果によりもとめた座標位置に基づいて、塗布位置の図６におけるＸ，Ｙ，θ図方向のデータとパッケージ良否判定が、パッケージ塗布位置計測部３５０の画像コントローラからプログラマブルコントローラ７０１に転送される。
そして、図６に示すインデックステーブル２００がさらに回転方向Ｒに沿って４５度回転する。次に、工程Ｓ３に移る（ＳＴ１７）。
ステップ１７では、導電性接着剤の塗布部３６０の塗布ヘッド３６１が、ポジションＰ３に位置決めされた図４（Ａ）に示すパッケージ３６の電極部３２，３３に対して導電性接着剤８０を図４（Ｂ）に示すように塗布する。
この場合には図６に示す塗布ヘッド３６１は、ガイド部３６４，３６２を用いてＸ，Ｙ方向に移動して位置決めされると共に、塗布ヘッド３６１により導電性接着剤８０が電極部３２，３３の上に図４（Ｂ）に示すように塗布される。ここで、導電性接着剤８０が塗布されたパッケージ３６毎に計時が開始される。
【００５０】
次に、インデックステーブル２００がさらに４５度回転方向Ｒに回転される。これにより図４（Ｂ）に示すように導電性接着剤８０が塗布されたパッケージ３６は、ポジションＰ３からポジションＰ４に移る（ＳＴ１８）。
工程Ｓ４に移ると、パッケージ位置計測と塗布状態の判定部３８０が、塗布された導電性接着剤の塗布状態と、パッケージの位置の画像認識を行う。
【００５１】
ＳＴ１８では、電極部３２，３３の上に塗布された導電性接着剤８０の塗布形状に関して、二値化処理され、もとめられた面積に基づく判定と、あらかじめ定めた濃淡エッジ幅による塗布径の直接確認による判定のいずれかが良好であればこの導電性接着剤を有するパッケージ３６は良品であると判定してＳＴ２０に進む。もしも両方とも塗布判定で良好でなければ塗布状態は不良であると判定して、パッケージ３６は不良品と判断されＳＴ１９に進んで、工程７でＮＧＢＯＸ５７８に排出される。
ＳＴ１８で得られた導電性接着剤の塗布径は、図７に示すプログラマブルコントローラ７０１側にフィードバックされる。また、詳しく説明したように、上述の手法で、パッケージ３６とシールリング３５の位置を画像認識して、シールリング３５の位置がパッケージ３６に対して大きくずれていないかを確認する。
【００５２】
続いて、インデックステーブル２００がさらに回転方向Ｒに４５度回転される。パッケージ３６は、図６のポジションＰ４からポジションＰ５に移る（ＳＴ２０）。
この工程Ｓ５では、良品とされたパッケージ３６の中に図４（Ｃ）に示すように圧電振動片３１を搭載する。
この接合工程の一部として、搭載するための圧電振動片３１の吸着および吸着判定が行われる。
圧電振動片３１は、図９のトレー４５０の上に縦横に並べて配置されている。すなわち、トレー４５０の治具に設けた開口から、並べた圧電振動片３１が露出するように配置されており、この開口から、図１０で説明した吸着ノズル４３１が、その吸引孔から真空吸着することで、ひとつひとつの圧電振動片３１を吸着する。
【００５３】
このステージでは、圧電振動片３１の吸着を行った個数のカウントを行う。ＳＴ２０で吸着に失敗した場合には、トレー４５０上の次の圧電振動片３１を吸着し（ＳＴ２１）、吸着の失敗が予め定めた設定数であるｍ個続くと（ＳＴ２２）、制御部７００は製造装置１００を停止する（ＳＴ２３）。この実施形態では、トレー４５０の圧電振動片３１を５個続けて吸着に失敗すると、製造装置１００を停止するようにしている。また、ＳＴ１７で説明した導電性接着剤の塗布からの計時が積算して、例えば６０秒を超えたかどうか判断し（ＳＴ２４）、６０秒以内であれば、トレー４５０の圧電振動片３１の残量を確認する（ＳＴ２５）。圧電振動片３１がトレー４５０に残されていなければ、ＳＴ２３に戻って、製造装置１００は停止を続け、圧電振動片３１の残量があれば、ＳＴ２１に戻り、ふたたび圧電振動片３１をトレー４５０から吸着する。また、ＳＴ２４で、導電性接着剤の塗布から所定時間、すなわち、この実施形態では６０秒が経過すると、その時間経過に係るパッケージ３６だけ工程７でＮＧＢＯＸ５７８に排出される。
【００５４】
すなわち、導電性接着剤を塗布した後で、所定時間を経過した場合には、当該導電性接着剤が塗布されたパッケージ３６について、続きの接合工程を行わないようにしている。
このため、導電性接着剤８０の硬化が進んで、接合強度が不十分な圧電デバイスを製造してしまうことが防止される。
【００５５】
かくして、この実施形態によれば、圧電振動片３１を接合する際に、パッケージ３６側に塗布された導電性接着剤８０に対して、正しく位置決めし、十分な接合面積を確保して良好な接合強度を得ることができる圧電デバイスの製造方法を提供することができる。
導電性接着剤８０は塗布されると表面から硬化が始まる。そして、塗布からほぼ６０秒経過すると、表面の硬化が進むので、接合しにくくなってしまい、接合強度が不足する。一方、６０秒以内においては、表面の硬化が進んでいないので、良好な接合強度を確保することができる。
【００５６】
一方、ＳＴ２０で肯定結果を得た場合には、ＳＴ２７に進む。このステップ２７では、トレー４５０に予め用意されている数をＸ個とし、パッケージ３６の供給から、圧電振動片３１の吸着までのステージ数をｎステージとした場合に、
これまでの圧電振動片の吸着数ＱＮ＝（Ｘ−ｎ）＋ｎ・・・式１
となったか否か判断する。
式１を満たしているときは、ＳＴ２８に進み、制御部７００は、製造装置１００のパッケージ供給部の駆動部７０４に指示を出して、パッケージ３６の供給を停止し、さらにｎ個の圧電振動片３１を吸着するまでインデックステーブル２００の駆動を続け、ｎ個の圧電振動片３１を吸着した後で、運転モードを切り替える（ＳＴ２９）。モード切り替え後の運転については、後で詳しく説明する。
ＳＴ２７で、式１を満たさない間は、ＳＴ３０に進む。
【００５７】
すなわち、ステップ３０では、保持手段としての吸着ノズル４３１が、トレー４５０上から、ひとつの圧電振動片３１を吸着した状態で、図１０で説明したように、カメラ２７５が、この圧電振動片（ブランク）３１を撮影する。そして、例えば、モニタ２７９上において、撮像結果が示される。
圧電振動片３１が吸着ノズル４３１により吸着された位置に基づいてそのＸ，Ｙ，θ方向のデータを図７のプログラマブルコントローラ７０１に転送する。これによってブランクの吸着位置およびブランクの形状の良否の判定を行う。圧電振動片３１が、規格から外れる不良品である場合には工程７でＮＧＢＯＸ５７８に排出する（ＳＴ３１）。また、ＳＴ３０では、これと同時に、吸着ノズル４３１により吸着された位置に基づいて計測されたＸ，Ｙ，θ方向のデータは、次回の吸着のための補正作業に利用される。
【００５８】
続いて、ＳＴ３２に進み、図７の制御部７００はパッケージ３６の位置とブランクの位置を演算して圧電振動片の計測及び搭載部４３０のＸ・Ｙロボットに対してデータを転送する。これによって、図４（Ｃ）に示すように、圧電振動片３１は、ポジションＰ５の搭載部２０１の上に搭載されているパッケージ３６の内部空間に配置されて、励振電極５１の電極部分が導電性接着剤８０を介して対応する電極部３２に対して接合して電気的かつ機械的に接続される。そしてもう１つの電極部３３に対しては、やはり導電性接着剤８０を用いて圧電振動片３１のパターンの部分が機械的に接続される。
このようにして圧電振動片３１がパッケージ３６に装着して搭載される。
さらにインデックステーブル２００が４５度回転することにより、図４（Ｃ）の状態のパッケージ３６が図６に示すポジションＰ５からポジションＰ６に移る。
【００５９】
ステップ３３の工程Ｓ６において、圧電振動片３１の搭載位置は、図６の圧電振動片の搭載後のマウント状態検査部５００により画像認識して、パッケージ３６に対する圧電振動片３１の位置の良否を判定する。
インデックステーブル２００が回転方向Ｒに回転して、パッケージ３６はポジションＰ６からポジションＰ７に移る。ここで図６に示す完成製品の収納部５４０のメカチャック５４３がパッケージ３６を取り出す。
導電性接着剤の判定不良および搭載不良品は、その専用のトレー５７９に整列させる。また、パッケージ３６の不良品は、ＮＧボックス５７８へ排出する（ＳＴ３４）。ここで、ＳＴ３４で不良品が予め定めた数ｍ、この実施形態では５個継続した場合には、制御部７００は、製造装置１００の運転を停止し（ＳＴ３６）、必要により図示しないブザーを鳴動させ、および／または警告ランプの点滅を行うなどして管理者のチェックをもとめる。
【００６０】
良品のパッケージ３６は、図６に示す製品トレー５７０の上に整列させる（ＳＴ３７）。さらに、インデックステーブル２００が回転方向Ｒに回転して、搭載部２０１はポジションＰ７からポジションＰ８に移る（ＳＴ３８）。ここでは、製品残り検出部６００が、ポジションＰ８における搭載部２０１の上に、パッケージ３６が残っているかどうかを検出する。ＳＴ３８で残りがあれば、再びＳＴ１１に戻り、無ければ、ＳＴ３６に進んで、制御部７００は、製造装置１００の運転を停止し、作業を終了する。
【００６１】
次に、上述したＳＴ２９において、運転モードを変更した場合の動作を図１２のフローチャートと、図１３の説明図を参照しながら説明する。図１３はインデックステーブル２００を簡略化して示す図である。
この運転モードにおいては、圧電振動片３１の保持すなわち、例えば吸着の確認を先行させて、運転を行う点が図１１の場合と異なるだけであるから、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図１２において、制御部７００は、トレー４５０の残り圧電振動片３１の数がｎ個となったことにより、運転モードの変更を行って、先ず、トレー４５０から圧電振動片３１を吸着する作業を先行させる（ＳＴ４１）。
【００６２】
ＳＴ４１で、圧電振動片３１の吸着に失敗したら、ＳＴ４２に進んで次の圧電振動片３１を吸着するようにし、さらに失敗した場合にはＳＴ６１に進む。ＳＴ６１の処理は、図１１のＳＴ２２，ＳＴ２３，ＳＴ２４，ＳＴ２５，ＳＴ２６と同じ処理であるから重複する説明は省略する。つまり、ここでも、導電性接着剤が塗布されてから、マウントに適さなくなるまで吸着を試み、それでも吸着できないときには、当該パッケージを廃棄する。
【００６３】
ＳＴ４１で圧電振動片３１の吸着ができたときには、ＳＴ４３に進み、ＳＴ１１で説明したＳＴ３０と同じ処理を行う。
そして、圧電振動片３１の吸着が確実に行われたら、ＳＴ４５に進んで、制御部７００は、パッケージ３６をインデックステーブル２００の上に供給して、以降の作業を進める。この間のＳＴ４６は、図１１のＳＴ１２と同じであり、続く、工程Ｓ２、工程Ｓ３、工程Ｓ４に対応するＳＴ４７からＳＴ５３までは、図１１のＳＴ１９までと同じである。
【００６４】
図１２の運転モードにおいて、図１１と異なるのは、ＳＴ５２の画像処理が終わったら、圧電振動片３１は既に吸着されているから、ＳＴ５４に進んで、図１１のＳＴ３２以降の作業を行う点である。そして、ＳＴ５４から、ＳＴ６０までの作業は、図１１のＳＴ３２から、ＳＴ３８までと同じである。
【００６５】
このように、図１２の運転モードでは、圧電振動片３１の吸着を先行して行う結果、圧電振動片３１を吸着した分だけ、パッケージ３６の供給が行われる。
すなわち、この種の製造装置１００では、インデックステーブル２００にパッケージ３６を供給してから、塗布工程を行い、その後、接合工程や後処理工程を順次進める。ここで、製造に際して、パッケージ３６と圧電振動片３１が同数用意され、同数使用されていればよいが、同じ数用意できなかったり、工程の途中でいずれかの不良などにより、これらの数が合わなくなる場合がある。
そのような状態のまま上述の工程を進めると、例えば、パッケージ３６が先行して回転テーブル上に供給されて導電性接着剤８０が塗布され、圧電振動片３１の搭載位置までおくられた所で、圧電振動片３１が供給されないと、圧電振動片３１の補充を行う間、このパッケージ３６は導電性接着剤８０が塗布されたままさらされることになる。
そして、導電性接着剤８０の硬化が進むと、圧電振動片３１を接合した場合に接合面積の不足などを生じて、確実な接合が行えなくなり、あるいは、そのことを見越して、インデックステーブル２００上に先行して供給されたパッケージ３６は、導電性接着剤８０が塗布された分だけ廃棄する必要が生じる。
【００６６】
そこで、供給トレー４５０に圧電振動片３１が用意されている数をＸ個とし、パッケージ３６の供給から圧電振動片３１の吸着までに要するインデックステーブル２００の送り回数をｎ回とした場合に、工程順に処理を進めながら、ＳＴ２０で圧電振動片３１の吸着個数をカウントし、このカウント個数が（Ｘ−ｎ）となった時には、図１２の運転モードに切り替えて、圧電振動片３１の吸着を先行させてから、インデックステーブル２００上にパッケージ３６を供給するようにする。これにより、圧電振動片を吸着してから、対応するパッケージ３６をインデックステーブル２００上に供給し、導電性接着剤８０を塗布することになるので、パッケージの無駄を生じない。
しかも図８で説明した入出力手段により、Ｘおよび／またはｎを可変できるようにしたことで、個々の部品を扱う作業において、個々に生じるロスや、予め用意する部品の数の変更などにフレキシブルに対応することができる。
【００６７】
ところで本発明は上記実施形態に限定されない。
本発明は、圧電振動片がパッケージに覆われるようにして収容されるものであり、導電性接着剤が圧電振動片を接合する構成であれば、圧電振動子、圧電発振器等の名称に関わらず、本発明はすべての圧電デバイスの製造に適用することができる。
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
また、上述の実施形態では、搬送手段として円形のインデックステーブルを用い、工程数が８段階の場合について説明したが、搬送手段はインデックステーブルに限られず、工程数はより少ない場合も多い場合も本発明の範囲である。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施形態に係る圧電デバイスの製造方法により得られる圧電デバイスの構造例を示す斜視図。
【図２】図１の圧電デバイスのＡ−Ａにおける断面構造例を示す図。
【図３】圧電デバイスの側面および底面を示す図。
【図４】圧電デバイスのパッケージ、電極部、導電性接着剤および圧電振動片の形状例を示す図。
【図５】図４のパッケージ等の形状例を示す断面図。
【図６】本実施形態の圧電デバイスの製造方法を実施するための圧電デバイスの製造装置の一例を示す概略平面図。
【図７】図６の圧電デバイスの製造装置の電気的な接続例を示す図。
【図８】図７の制御部のハードウエア構成例を示すブロック図。
【図９】図６の製造装置の計測及び搭載部付近の拡大図。
【図１０】図６の製造装置の圧電振動片のマウンターの構成例を示す概略図。
【図１１】図６の圧電デバイスの製造装置の動作例を示すフロー図。
【図１２】図６の圧電デバイスの製造装置の動作例を示すフロー図。
【図１３】図６の製造装置のインデックステーブルの動作を示す説明図。
【符号の説明】
【００６９】
３０・・・圧電デバイス、３６・・・パッケージ、３１・・・圧電振動片（ブランク）、３２・・・電極部、８０・・・導電性接着剤、２００・・・インデックステーブル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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