(57)【要約】【課題】広い動作温度範囲にわたって正確な時間数値変換が可能であり、小型かつ低コストで集積化に適した時間数値変換装置を提供する。【解決手段】温度センサ１２は周囲温度に対応する電圧Ｖｔを生成する。メモリ２２には、複数の所定温度における温度データ信号に対して、位相差が基準値ｔの各パルス信号Ｐａ，Ｐｂを入力した時間数値変換回路１６が生成するデータ信号ＤＰを基準データ信号ＤＫとして記憶されている。時間数値変換回路１６は、外部から入力された任意の位相関係にある２つのパルス信号Ｐａ，Ｐｂの位相差を検出して数値化したデジタルデータ信号ＤＰを生成する。補正データ生成回路１８の演算回路２０は、予めメモリ２２に記憶（記録）してある基準データ信号ＤＫとＡ／Ｄコンバータ１４が生成した温度データ信号ＤＴとに基づいて、時間数値変換回路１６が生成したデータ信号ＤＰの温度補正を行って補正後データ信号ＤＨを生成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小時間を検出して数値化したデータ信号を生成する時間数値変換手段と、
周囲温度を検出する温度検出手段と、
その温度検出手段が検出した周囲温度に対応する温度データ信号を生成する温度データ生成手段と、
その温度データ生成手段が生成した温度データ信号と、前記時間数値変換手段の時間数値変換の温度変動特性を補正するための基準データ信号との対応関係を記憶する記憶手段と、
その記憶手段から読み出した前記対応関係に基づき、前記温度データ生成手段が生成した温度データ信号から、前記時間数値変換手段が生成したデータ信号の温度補正を行う補正手段と
を備えたことを特徴とする時間数値変換装置。
【請求項２】
請求項１に記載の時間数値変換装置において、
前記記憶手段は、複数の所定温度における温度データ信号に対して、微少時間の基準値を入力した前記時間数値変換手段が生成するデータ信号を基準データ信号として記憶しており、
前記補正手段は、
前記複数の所定温度における温度データ信号に対しては、前記記憶手段から読み出した基準データ信号に基づいて、前記時間数値変換手段が生成したデータ信号の温度補正を行い、
前記複数の所定温度の中間値に対応する温度データ信号に対しては、予め設定されている温度データ信号と基準データ信号との対応関係に従って、温度データ信号を基準データ信号に写像し、その写像した基準データ信号に基づいて、前記時間数値変換手段が生成したデータ信号の温度補正を行うことを特徴とする発振装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の時間数値変換装置において、
前記時間数値変換手段は、任意の位相関係にある２つのパルス信号の位相差を検出して数値化するか、または、１つのパルス信号の時間間隔を検出して数値化することを特徴とする時間数値変換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微少時間を検出して数値化する時間数値変換装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、任意の位相関係にある２つのパルス信号の位相差などの微小時間を検出して数値化する時間数値変換装置が広く使用されている。この時間数値変換装置は、例えば、レーザ光線の光往復時間を２つのパルス信号の位相差によって検出することでレーザ光線を照射した対象物までの距離を測定するレーザレーダや、ピエゾ抵抗素子の抵抗値変化や可変容量素子の容量値変化を２つのパルス信号の位相差によって検出することで加速度や磁気などの物理量を測定する各種センサなどに利用されている。
【０００３】
ちなみに、時間数値変換装置は「時間Ａ／Ｄ変換回路」とも呼ばれる。また、２つのパルス信号の位相差（時間間隔）を検出して数値化する時間数値変換装置は、「パルス位相差符号化回路」とも呼ばれる。
【０００４】
本出願人も、複数の遅延素子（ゲートディレイ）をリング状に連結し、任意のタイミングで入力される第１パルス信号を周回させるとともにその周回回数をカウントし、任意の位相差をもって入力される第２パルス信号の入力タイミングに相当する第１パルス信号の周回位置を特定し、その特定位置とカウント数により第１パルス信号と第２パルス信号の位相差を検出するパルス位相差符号化回路を提案している（特許文献１参照）。
【０００５】
特許文献１の技術では、位相差の検出精度（時間分解能）がゲートディレイ１段分の遅延時間のみで決定されるため、検出範囲が拡大されても精度低下を招くことがない。しかし、特許文献１の技術では、温度変動によってゲートディレイの遅延時間が変動して位相差の検出精度も変動するため、広い動作温度範囲にわたって正確な位相差を検出することができないという欠点があった。
【０００６】
そこで、本出願人は、温度変動によるゲートディレイの遅延時間の変動を補正するために、温度変動に影響されない安定な基準パルス信号と測定すべきパルス信号との時間の相対比較（割合比較）を行うようにした時間Ａ／Ｄ変換回路を提案した（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平３−２２０８１４号公報（第２〜３頁、図１）
【特許文献２】特開平５−３７３７８号公報（第２〜５頁、図１〜図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２には、基準パルス信号として水晶発振子からの発振パルスを用いることが開示されている。つまり、水晶発振子などの外部発振素子を時間数値変換装置（時間Ａ／Ｄ変換回路）に外付けし、その外部発振素子から時間数値変換装置へ基準パルス信号を与えるわけである。
【０００８】
しかし、外部発振素子を時間数値変換装置に外付けする技術には以下の問題がある。（１）外付けした外部発振素子の分だけ時間数値変換装置のシステム全体が大型化する。（２）外部発振素子は比較的高価であるため時間数値変換装置のシステム全体のコストが増大する。（３）時間数値変換装置を集積化して１つのＩＣにする場合、外部発振素子の接続用のピン端子を前記ＩＣに設ける必要があるため、そのピン端子の分だけ、ＩＣが大型化することに加えてＩＣのコストが増大する。
【０００９】
本発明は上記問題を解決するためになされたものであって、その目的は、広い動作温度範囲にわたって正確な時間数値変換が可能であり、小型かつ低コストで集積化に適した時間数値変換装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、微小時間を検出して数値化したデータ信号を生成する時間数値変換手段と、周囲温度を検出する温度検出手段と、その温度検出手段が検出した周囲温度に対応する温度データ信号を生成する温度データ生成手段と、その温度データ生成手段が生成した温度データ信号と、前記時間数値変換手段の時間数値変換の温度変動特性を補正するための基準データ信号との対応関係を記憶する記憶手段と、その記憶手段から読み出した前記対応関係に基づき、前記温度データ生成手段が生成した温度データ信号から、前記時間数値変換手段が生成したデータ信号の温度補正を行う補正手段とを備えた時間数値変換装置を技術的特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の時間数値変換装置において、前記記憶手段は、複数の所定温度における温度データ信号に対して、微少時間の基準値を入力した前記時間数値変換手段が生成するデータ信号を基準データ信号として記憶しており、前記補正手段は、前記複数の所定温度における温度データ信号に対しては、前記記憶手段から読み出した基準データ信号に基づいて、前記時間数値変換手段が生成したデータ信号の温度補正を行い、前記複数の所定温度の中間値に対応する温度データ信号に対しては、予め設定されている温度データ信号と基準データ信号との対応関係に従って、温度データ信号を基準データ信号に写像し、その写像した基準データ信号に基づいて、前記時間数値変換手段が生成したデータ信号の温度補正を行うことを技術期特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の時間数値変換装置において、前記時間数値変換手段は、任意の位相関係にある２つのパルス信号の位相差を検出して数値化するか、または、１つのパルス信号の時間間隔を検出して数値化することを技術的特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、時間数値変換手段が生成したデータ信号の温度補正が補正手段にて行われるため、広い動作温度範囲にわたって時間数値変換の精度を高めることが可能になり、正確な時間数値変換ができる。そして、外部発振素子を外付けする必要がないため、外部発振素子に起因する前記諸問題（１）〜（３）を回避可能であり、小型かつ低コストで集積化に適した時間数値変換装置を提供できる。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、前記複数の所定温度における温度データ信号に対しては記憶手段から読み出した基準データ信号に基づいて温度補正が行われ、前記複数の所定温度の中間値に対応する温度データ信号に対しては前記対応関係に従って温度データ信号が基準データ信号に写像されて温度補正が行われるため、請求項１に記載の時間数値変換装置を簡単に構成することができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、微少時間として、２つのパルス信号の位相差を数値化したり、１つのパルス信号の時間間隔を数値化できる。
【００１６】
（用語の説明）
尚、上述した［課題を解決するための手段］に記載した構成要素と、後述する［発明を実施するための最良の形態］に記載した構成部材との対応関係は以下のようになっている。
【００１７】
「時間数値変換手段」は、時間数値変換回路１６に該当する。「温度検出手段」は、温度センサ１２に該当する。「温度データ生成手段」は、Ａ／Ｄコンバータ１４に該当する。「記憶手段」は、メモリ２２に該当する。「補正手段」は、補正データ生成回路１８の演算回路２０に該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は、本発明を具体化した一実施形態の時間数値変換装置１０の構成を説明するためのブロック回路図である。時間数値変換装置１０は、温度センサ１２、Ａ／Ｄ（Analog to Digital）コンバータ（ＡＤＣ）１４、時間数値変換回路（ＴＡＤ：Time A/D converter）１６、補正データ生成回路１８から構成され、各パルス信号Ｐａ，Ｐｂの位相差を検出して数値化したデジタルデータ信号ＤＨを生成して出力する。尚、時間数値変換装置１０は、１つのシリコン基板（半導体チップ）上に集積化されたモノリシック集積回路によって構成されている。
【００１９】
温度センサ１２は、定電圧電源Ｖccとアース間に各抵抗Ｒａ，Ｒｂがこの順番に直列接続されることで構成され、各抵抗Ｒａ，Ｒｂ間のノードから電圧Ｖｔを生成する。
【００２０】
定電圧電源Ｖccは、例えば、バンドギャップ定電圧回路などから構成されている。抵抗Ｒａは、シリコン基板上に形成されたポリシリコン層からなるポリシリコン抵抗素子によって形成されている。ポリシリコン抵抗素子である抵抗Ｒａの抵抗温度係数および温度非直線性は共にほぼゼロである。
【００２１】
抵抗Ｒｂは、シリコン基板に形成されたベース拡散層またはエミッタ拡散層を用いた拡散抵抗素子によって形成されている。ちなみに、拡散抵抗素子の比抵抗は、エミッタ拡散層に比べてベース拡散層の方が大きいため、抵抗Ｒｂの抵抗値が大きい場合にはベース拡散層を用いることにより、基板上の占有面積を小さくして高集積化を図ることができる。拡散抵抗素子である抵抗Ｒｂは、不純物濃度を調整することにより、その抵抗温度係数および温度非直線性を適宜に設定することができる。
【００２２】
そのため、各抵抗Ｒａ，Ｒｂの温度特性（抵抗温度係数および温度非直線性）の違いにより、温度センサ１２が形成されたシリコン基板の周囲温度に対応して電圧Ｖｔが変化する。つまり、温度センサ１２が生成する電圧Ｖｔは、周囲温度に対応した電圧値になる。
【００２３】
Ａ／Ｄコンバータ１４は、温度センサ１２が生成したアナログ信号である電圧Ｖｔを、デジタル信号である温度データ信号ＤＴにＡ／Ｄ変換して出力する。
【００２４】
時間数値変換回路１６は、外部から入力された任意の位相関係にある２つのパルス信号Ｐａ，Ｐｂの位相差を検出して数値化したデジタルデータ信号（被測定時間間隔パルスデータ信号）ＤＰを生成して出力する。
【００２５】
尚、時間数値変換回路（パルス位相差符号化回路）１６の具体的な内部構成は、例えば、特許文献２の図５、特開平６−２１６７２１号公報の図３または図６、特開平６−２８３９８４号公報の図１，図３，図５，図７，図９，図１２、特開平７−３０４２９号公報の図１などに開示されているものと同様である。
【００２６】
つまり、時間数値変換回路１６は、遅延素子（ゲートディレイ、インバータゲート、反転回路）を複数個リング状に連結したリングオシレータを用いるため、時間数値変換の分解能（時間分解能）が遅延素子の遅延時間によって規定され、時間数値変換の精度（データ信号ＤＰの精度）が遅延素子の遅延時間に依存する。そして、遅延素子の遅延時間は動作温度によって大きく変動するため、時間数値変換回路１６の時間数値変換精度についても動作温度によって変動する。
【００２７】
そこで、本実施形態では、時間数値変換回路１６の温度変動特性を補正するため、時間数値変換回路１６が生成したデータ信号ＤＰを補正データ生成回路１８によって補正するようにしている。
【００２８】
補正データ生成回路１８は、演算回路２０およびメモリ２２から構成されている。演算回路２０は、予めメモリ２２に記憶（記録）してある基準データ信号ＤＫと、Ａ／Ｄコンバータ１４が生成した温度データ信号ＤＴとに基づいて、時間数値変換回路１６が生成したデータ信号ＤＰの温度補正を行ってデータ信号（補正後データ信号）ＤＨを生成して出力する。尚、メモリ２２は、どのような半導体メモリ（例えば、ＥＢＳＲＡＭ、ＤＲＡＭ、マスクＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、ヒューズＲＯＭなど）によって構成してもよい。
【００２９】
図２は、温度データ信号ＤＴと基準データ信号ＤＫとの関係の一例を模式的に示すグラフである。
【００３０】
メモリ２２には、３つの温度データ信号ＤＴ（ＤＴａ，ＤＴｂ，ＤＴｃ）にそれぞれ対応する補正後データ信号ＤＨ（ＤＦａ，ＤＨｂ，ＤＨｃ）が記憶されている。
【００３１】
各温度データ信号ＤＴａ〜ＤＴｃはそれぞれ、時間数値変換装置１０を使用環境の最低温度，中間温度，最高温度に置いた場合に、Ａ／Ｄコンバータ１４が生成する温度データ信号ＤＴを予め実験的に求めておくことによって設定される。例えば、時間数値変換装置１０を自動車の電子制御システムに用いられるＥＣＵに使用する場合には、最低温度を−４０℃、中間温度を＋２５℃、最高温度を＋１２０℃に設定する。
【００３２】
つまり、温度データ信号ＤＴａは、時間数値変換装置１０を最低温度（−４０℃）の環境に置いた場合にＡ／Ｄコンバータ１４が生成する温度データ信号ＤＴである。また、温度データ信号ＤＴｂは、時間数値変換装置１０を中間温度（＋２５℃）の環境に置いた場合にＡ／Ｄコンバータ１４が生成する温度データ信号ＤＴである。また、温度データ信号ＤＴｃは、時間数値変換装置１０を最高温度（＋１２０℃）の環境に置いた場合にＡ／Ｄコンバータ１４が生成する温度データ信号ＤＴである。
【００３３】
そして、基準データ信号ＤＫａ〜ＤＫｃはそれぞれ、時間数値変換装置１０を前記最低温度，中間温度，最高温度の環境に置いた場合に、位相差（微少時間の時間間隔）が基準値ｔ（例えば、１msec）の各パルス信号Ｐａ，Ｐｂを入力した時間数値変換回路１６が生成するデータ信号ＤＰを予め実験的に求めておくことによって設定される。
【００３４】
つまり、基準データ信号ＤＫａは、時間数値変換装置１０を最低温度（−４０℃）の環境に置いた場合に、位相差が基準値ｔの各パルス信号Ｐａ，Ｐｂを入力した時間数値変換回路１６が生成するデータ信号ＤＰである。また、基準データ信号ＤＫｂは、時間数値変換装置１０を中間温度（＋２５℃）の環境に置いた場合に、位相差が基準値ｔの各パルス信号Ｐａ，Ｐｂを入力した時間数値変換回路１６が生成するデータ信号ＤＰである。また、基準データ信号ＤＫｃは、時間数値変換装置１０を最高温度（＋１２０℃）の環境に置いた場合に、位相差が基準値ｔの各パルス信号Ｐａ，Ｐｂを入力した時間数値変換回路１６が生成するデータ信号ＤＰである。
【００３５】
そして、補正データ生成回路１８において、演算回路２０は、各温度データ信号ＤＴａ〜ＤＴｃに対しては、まず、時間数値変換回路１６が生成したデータ信号ＤＰのアナログ値αを前記位相差の基準値ｔで除算した除算値（α／ｔ）を求め、次に、メモリ２２から読み出した各基準データ信号ＤＫａ〜ＤＫｃのアナログ値βに前記除算値（α／ｔ）を乗算した乗算値（β・α／ｔ）を求め、その乗算値をＡ／Ｄ変換して補正後データ信号ＤＨを生成する。
【００３６】
また、演算回路２０は、前記最低温度，中間温度，最高温度の中間値に対応する各温度データ信号ＤＴａ〜ＤＴｃの中間値に対しては、まず、時間数値変換回路１６が生成したデータ信号ＤＰのアナログ値αを前記位相差の基準値ｔで除算した除算値（α／ｔ）を求め、次に、予め実験的に求めておいた温度データ信号ＤＴと基準データ信号ＤＫとの対応関係（関数）に従って、温度データ信号ＤＴを基準データ信号ＤＫに写像し、その写像した基準データ信号ＤＫのアナログ値βに前記除算値（α／ｔ）を乗算した乗算値（β・α／ｔ）を求め、その乗算値をＡ／Ｄ変換して補正後データ信号ＤＨを生成する。
【００３７】
つまり、図２に示すように、演算回路２０は、各温度データ信号ＤＴａ，ＤＴｂの中間値である温度データ信号ＤＴｄを、前記関数を表す直線上にある基準データ信号ＤＫに写像し、その写像した基準データ信号ＤＫのアナログ値に前記除算値を乗算した乗算値を求め、その乗算値をＡ／Ｄ変換して補正後データ信号ＤＨを生成する。
【００３８】
尚、図２に示す例では、時間数値変換回路１６の温度変動特性が非直線性を示すため前記関数が直線で表されるが、当該温度変動特性が非直線性を示す場合は前記関数が曲線で表される。
【００３９】
［実施形態の作用・効果］
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下の作用・効果を得ることができる。
【００４０】
［１］メモリ２２には、時間数値変換装置１０の使用環境の最低温度，中間温度，最高温度における温度データ信号ＤＴａ，ＤＴｂ，ＤＴｃに対して、位相差が基準値ｔの各パルス信号Ｐａ，Ｐｂを入力した時間数値変換回路１６が生成するデータ信号ＤＰを基準データ信号ＤＫとして記憶されている。そして、補正データ生成回路１８は、前記最低温度，中間温度，最高温度における温度データ信号ＤＴａ，ＤＴｂ，ＤＴｃに対しては、メモリ２２から読み出した基準データ信号ＤＫａ，ＤＫｂ，ＤＫｃに基づいて、時間数値変換回路１６が生成したデータ信号ＤＰの温度補正を行って補正後データ信号ＤＨを生成する。また、補正データ生成回路１８は、最低温度，中間温度，最高温度の中間値に対応する温度データ信号（例えば、ＤＴｄ）に対しては、予め設定されている温度データ信号ＤＴと基準データ信号ＤＫとの対応関係に従って、温度データ信号ＤＴを基準データ信号ＤＫに写像し、その写像した基準データ信号ＤＫに基づいて、時間数値変換回路１６が生成したデータ信号ＤＰの温度補正を行って補正後データ信号ＤＨを生成する。
【００４１】
従って、時間数値変換装置１０によれば、時間数値変換回路１６の温度変動特性が補正され、広い動作温度範囲にわたって時間数値変換の精度（データ信号ＤＰの精度）を高めることが可能になり、正確な時間数値変換ができる。
【００４２】
［２］本実施形態によれば、水晶発振子やセラロック（セラミック発振子）などの外部発振素子を外付けする必要がないため、外部発振素子に起因する前記諸問題（１）〜（３）を回避可能であり、小型かつ低コストで集積化に適した時間数値変換装置１０を提供できる。
【００４３】
［別の実施形態］
ところで、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように具体化してもよく、その場合でも、上記実施形態と同等もしくはそれ以上の作用・効果を得ることができる。
【００４４】
［ア］上記実施形態の温度センサ１２は、定電圧電源Ｖccとアース間に各抵抗Ｒａ，Ｒｂがこの順番に直列接続されることで構成されている。しかし、図３（Ａ）に示すように、定電圧電源Ｖccとアース間に各抵抗Ｒｂ，Ｒａをこの順番で直列接続して温度センサ１２を構成してもよい（つまり、各抵抗Ｒａ，Ｒｂを入れ替えてもよい）。
【００４５】
また、図３（Ｂ）に示すように、図１に示す温度センサ１２において、拡散抵抗素子である抵抗Ｒｂをダイオード接続されたＮＭＯＳトランジスタＴａに置き換えてもよい。また、図３（Ｃ）に示すように、図３（Ａ）に示す温度センサ１２において、拡散抵抗素子である抵抗Ｒｂをダイオード接続されたＰＭＯＳトランジスタＴｂに置き換えてもよい。図３（Ｂ）（Ｃ）に示す温度センサ１２では、ダイオード接続されたＭＯＳトランジスタＴａ，Ｔｂが拡散抵抗素子と同様に作用し、周囲温度に対応した電圧Ｖｔが生成される。さらに、図３（Ｂ）（Ｃ）に示す温度センサ１２において、ダイオード接続されたＭＯＳトランジスタＴａ，ＴｂをＰＮ接合ダイオードに置き換えてもよい。
【００４６】
［イ］温度センサ１２において、抵抗Ｒｂは、拡散抵抗素子に限らず、抵抗温度係数および温度非直線性を適宜設定可能であればどのような抵抗素子（例えば、ＰＶＤ（Physical Vapour Deposition）法を用いてシリコン基板上に形成された熱敏感性抵抗体など）によって形成してもよい。
【００４７】
［ウ］温度センサ１２において、抵抗Ｒａは、ポリシリコン抵抗素子に限らず、抵抗温度係数および温度非直線性が共にほぼゼロであればどのような抵抗素子（例えば、ＰＶＤ法を用いてシリコン基板上に形成された薄膜抵抗素子など）によって形成してもよい。
【００４８】
［エ］上記実施形態のメモリ２２には、３つの温度データ信号ＤＴａ，ＤＴｂ，ＤＴｃにそれぞれ対応する基準データ信号ＤＫａ，ＤＫｂ，ＤＫｃが記憶されている。
【００４９】
しかし、２つの温度データ信号ＤＴに対応する基準データ信号ＤＫをメモリ２２に記憶させるようにしてもよく、この場合には、メモリ２２に記憶させるデータ量が少なくなるため、データ容量が小さく小型かつ低コストなメモリ２２を使用可能になり、上記［２］の作用・効果を高めることができる。
【００５０】
また、４つ以上の温度データ信号ＤＴに対応する基準データ信号ＤＫをメモリ２２に記憶させるようにしてもよく、この場合には、メモリ２２に記憶させておく各データ信号ＤＴ，ＤＫが多くなるほど、温度データ信号ＤＴに対応する基準データ信号ＤＫをより正確に得ることが可能になるため、上記［１］の作用・効果を高めることができる。
【００５１】
［オ］上記実施形態の時間数値変換回路１６は、２つのパルス信号Ｐａ，Ｐｂの位相差を検出して数値化したデジタルデータ信号ＤＰを生成して出力する。しかし、２つのパルス信号の位相差ではなく、１つのパルス信号の時間間隔である微少時間を検出して数値化したデジタルデータ信号ＤＰを生成して出力する時間数値変換回路に置き換えてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明を具体化した一実施形態の時間数値変換装置１０の構成を説明するためのブロック回路図。
【図２】時間数値変換装置１０において、Ａ／Ｄコンバータ１４が生成した温度データ信号ＤＴと、基準データ信号ＤＫとの関係の一例を模式的に示すグラフ。
【図３】時間数値変換装置１０における温度センサ１２の別の構成例を示す回路図。
【符号の説明】
【００５３】
１０…時間数値変換装置
１２…温度センサ
１４…Ａ／Ｄコンバータ
１６…周波数制御データ生成回路
１８…補正データ生成回路
２０…演算回路
２２…メモリ
ＤＴ（ＤＴａ，ＤＴｂ，ＤＴｃ，ＤＴｄ）…温度データ信号
ＤＫ（ＤＫａ，ＤＫｂ，ＤＫｃ，ＤＫｄ）…基準データ信号
ＤＰ…データ信号
ＤＨ…補正後データ信号
【図１】
2005167919.tif 000003
【図２】
2005167919.tif 000004
【図３】
2005167919.tif 000005