(57)【要約】【課題】  空気圧配管継手ユニットの組立作業を容易に行い得るようにする。【解決手段】  この空気圧配管継手ユニットは、それぞれ連通孔１１，１２が形成される２つの継手ブロック４，５を有し、一方の継手ブロック５には連通孔１２の開口部を囲むように環状のシール部材１８が装着されている。２つの継手ブロック４，５を締結ねじ部材６により締結すると、シール部材１８は接合面２，３の間で圧縮されて、それぞれの接合面２，３の相互間はシール部材１８により密閉されて連通孔１１，１２が連通状態となる。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１の連通孔が形成され、それぞれの前記第１の連通孔が開口する接合面を備える第１の継手ブロックと、
前記第１の連通孔にそれぞれ連通する複数の第２の連通孔が形成され、それぞれ前記第２の連通孔が開口する接合面を備える第２の継手ブロックと、
前記第１と第２の継手ブロックの一方に前記連通孔の開口部を囲むように装着される環状のシール部材と、
前記シール部材を圧縮させ前記第１と第２の継手ブロックを締結し、それぞれの接合面相互間を前記シール部材により密閉して前記第１の連通孔と前記第２の連通孔とを連通させる締結部材とを有することを特徴とする空気圧配管継手ユニット。
【請求項２】
請求項１記載の空気圧配管継手ユニットにおいて、それぞれ前記連通孔に連通し、空気圧配管が接続される継手をそれぞれの前記継手ブロックに装着することを特徴とする空気圧配管継手ユニット。
【請求項３】
請求項１または２記載の空気圧配管継手ユニットにおいて、一方の前記継手ブロックに前記接合面に開口させて複数の取付孔を形成し、他方の前記継手ブロックに前記接合面に開口させるとともに前記取付孔に対応させて複数の嵌合孔を形成し、前記取付孔の少なくともいずれか１つに突起部を設け、前記嵌合孔のうち前記突起部が嵌合しない嵌合孔に閉塞部材を設け、前記突起部と前記閉塞部材との位置に応じて相互に対をなす複数組の継手ブロックを形成し、相互に対をなす継手ブロック以外の連結を防止することを特徴とする空気圧配管継手ユニット。
【請求項４】
請求項３記載の空気圧配管継手ユニットにおいて、それぞれの前記取付孔をストレートな孔としそれぞれの前記嵌合孔をねじ孔とし、前記突起部を前記接合面から突出させて前記取付孔に着脱自在に嵌合されるピンとし、前記閉塞部材を前記接合面よりも引っ込んだ状態で前記ねじ孔に着脱自在にねじ結合されるねじ部材とすることを特徴とする空気圧配管継手ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は空気圧源からの圧縮空気を空気圧作動機器に供給するための空気圧配管同士を接続する空気圧配管継手ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的な組立装置や製造装置においては、操作容易性や簡便性からアクチュエータとして空気圧シリンダが使用され、空気圧シリンダに対する圧縮空気の供給を制御するために方向制御弁、圧力制御弁および流量制御弁などを有する空気圧システムが利用されることが多い。このような空気圧システムは空気圧源から空気圧シリンダや方向制御弁などの空気圧作動機器に圧縮空気を供給するためにホースやチューブなどからなる多数本の空気圧配管を有しており、組立製品の種類変更などによって空気圧システムの組み替えが行われることがあると、空気圧配管を接続し直すことになる。このような組み替えを容易に行い得るように、空気圧配管を配管継手ユニットを介して空気圧源に接続するようにしている。
【０００３】
空気圧配管継手ユニットを空気圧源と空気圧作動機器との間に配置し、配管継手ユニットを中継して空気圧作動機器と空気圧源とを接続するようにすると、空気圧作動機器の増加や変更に際しては、空気圧配管継手ユニットに空気圧配管を介して空気圧作動機器を接続することにより、空気圧システムの組み替えを容易に行うことができる。このような配管継手ユニットとしては、それぞれ複数の連通孔が形成されるとともにそれぞれの連通孔に連通するクイック継手などの継手が設けられた２つの継手ブロックを有するものが使用されており、空気圧システムには複数の空気圧配管継手ユニットが使用されることになる。
【０００４】
従来の空気圧配管継手ユニットは一方の継手ブロックに挿入筒を突出させて設け、他方の継手には挿入筒が挿入される挿入孔を設け、挿入筒を挿入孔に差し込むことにより両方の継手ブロックの連通孔を相互に連通させるようにした差し込みプラグ型のものが一般的である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
差し込みプラグ型の空気圧配管継手ユニットにおいては、挿入孔と挿入筒との間にシール用のＯリングを装着し、２つの継手ブロックを連結したときには、挿入筒の外周面と挿入孔の内周面との間でＯリングを密着させて連通孔をシールするようにしている。このように内周面と外周面との間でＯリングによりシールする場合には、空気圧配管継手ユニットの組立時に挿入筒を挿入孔内に軸方向に挿入させながらゴム製のＯリングを径方向に弾性変形させることになるので、Ｏリングを損傷させずに摺接面にＯリングを滑らせることができるように、Ｏリングと摺接面との間にはグリスなどの油を塗布するようにしている。しかしながら、Ｏリングに油を塗布すると、余分に塗布された油が連通孔内を流れる圧縮空気に混入することがあり、配管継手ユニットの組立時には油が連通孔に入り込まないように慎重に作業する必要がある。
【０００６】
上述した組立装置や製造装置のうち、ＩＣやＬＳＩなどの半導体デバイスを製造する装置は、クリーンルーム内に設置されるのが通常であり、空気圧シリンダや各種制御弁に供給される圧縮空気内への油などの混入を避ける必要がある。
【０００７】
一方、組立装置や製造装置には多数の空気圧配管継手ユニットが使用されており、組立装置のレイアウト変更などによって空気圧システムの組み替えが行われるときには、配管継手ユニットを分解したり、交換する作業も行われることになる。このような分解交換作業時には、空気圧システムに多数の空気圧配管継手ユニットが用いられていることから、作業者が誤って異種の空気圧配管継手ユニットを組み立てることがあり、その作業は時間をかけて慎重に行う必要がある。
【０００８】
本発明の目的は、空気圧配管継手ユニットの組立作業を容易に行い得るようにすることにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、空気圧配管継手ユニットから空気流路内に油の混入を防止し得るようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の空気圧配管継手ユニットは、複数の第１の連通孔が形成され、それぞれの前記第１の連通孔が開口する接合面を備える第１の継手ブロックと、前記第１の連通孔にそれぞれ連通する複数の第２の連通孔が形成され、それぞれ前記第２の連通孔が開口する接合面を備える第２の継手ブロックと、前記第１と第２の継手ブロックの一方に前記連通孔の開口部を囲むように装着される環状のシール部材と、前記シール部材を圧縮させ前記第１と第２の継手ブロックを締結し、それぞれの接合面相互間を前記シール部材により密閉して前記第１の連通孔と前記第２の連通孔とを連通させる締結部材とを有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の空気圧配管継手ユニットは、それぞれ前記連通孔に連通し、空気圧配管が接続される継手をそれぞれの前記継手ブロックに装着することを特徴とする。
【００１２】
本発明の空気圧配管継手ユニットは、一方の前記継手ブロックに前記接合面に開口させて複数の取付孔を形成し、他方の前記継手ブロックに前記接合面に開口させるとともに前記取付孔に対応させて複数の嵌合孔を形成し、前記取付孔の少なくともいずれか１つに突起部を設け、前記嵌合孔のうち前記突起部が嵌合しない嵌合孔に閉塞部材を設け、前記突起部と前記閉塞部材との位置に応じて相互に対をなす複数組の継手ブロックを形成し、相互に対をなす継手ブロック以外の連結を防止することを特徴とする。
【００１３】
本発明の空気圧配管継手ユニットは、それぞれの前記取付孔をストレートな孔としそれぞれの前記嵌合孔をねじ孔とし、前記突起部を前記接合面から突出させて前記取付孔に着脱自在に嵌合されるピンとし、前記閉塞部材を前記接合面よりも引っ込んだ状態で前記ねじ孔に着脱自在にねじ結合されるねじ部材とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、それぞれ連通孔が形成された２つの継手ブロックの一方に連通孔の開口部を囲むように環状のシール部材を装着し、２つの継手ブロックを結合させることによりシール部材を圧縮させると、それぞれの接合面相互間がシール部材により密閉されることになるので、２つの継手ブロックを連結する際にシール部材は摺動することがなく、摺動面にグリースなどの油を塗布することが不要となる。これにより、空気圧配管継手ユニットの組立を容易に行い得るとともに圧縮空気の中への油の混入が防止され、クリームルーム内に配置される空気圧システムに好適な空気圧配管継手ユニットが得られる。
【００１５】
本発明によれば、一方の継手ブロックの取付孔に設けられて他方の継手ブロックの嵌合孔に嵌合される突起部と、突起部が嵌合しない嵌合孔に設けられる閉塞部材との位置を変更することによって、空気圧配管継手ユニットを構成する２つの継手ブロックの構造を変更することなく、複数種類の空気圧配管継手ユニットを設定することができる。これにより、相互に対をなす２つの継手ブロックを誤って組み立てることが防止され、空気圧配管継手ユニットの組立を容易に行うことができる。それぞれの取付孔をストレートな孔としそれぞれの嵌合孔をねじ孔とし、突起部をピンとし閉塞部材をねじ部材とするにより、相互に対となる継手ブロックの種類設定を容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の空気圧配管継手ユニットを一実施の形態を示す図面に基づいて詳細に説明する。図１（Ａ）は本発明の実施の形態である空気圧配管継手ユニットを示す正面図であり、図１（Ｂ）は同図（Ａ）の右側面図である。図２（Ａ）は図１におけるＸ−Ｘ線に沿う断面図であり、図２（Ｂ）は同図（Ａ）におけるＳ部の拡大断面図である。図３（Ａ）は図１に示された空気圧配管継手ユニットの一方の継手ブロックの接合面を示す側面図であり、図３（Ｂ）は同図（Ａ）における３Ｂ−３Ｂ線に沿う断面図である。図４（Ａ）は他方の継手ブロックを示し、同図（Ｂ）における４Ａ−４Ａ線に沿う断面図であり、図４（Ｂ）は同図（Ａ）の側面図であり、図４（Ｃ）は同図（Ａ）におけるＴ部の拡大断面図である。
【００１７】
図１に示すように、この空気圧配管継手ユニット１は接合面２を備える第１の継手ブロック４と、接合面３を備える第２の継手ブロック５とを有しており、２つの継手ブロック４，５は４本の締結ねじ部材６により締結されるようになっている。それぞれの継手ブロック４，５には６本までの空気圧配管の先端が取り付けられるようになっており、図示する配管継手ユニット１を介して最大６本のホースやチューブを空気圧配管として連結することができる。それぞれの継手ブロック４，５はアルミニウム合金を材質としたほぼ直方体形状のブロックに形成されており、相互に対向する接合面２，３はほぼ同一サイズの長方形となっている。なお、それぞれの継手ブロック４，５の材質としては、アルミニウム合金以外に鉄、ステンレスなどの金属でも良く、樹脂製としても良い。
【００１８】
一方の継手ブロック４の接合面２の中央にはほぼ長方形の凸部２ａが設けられ、他方の継手ブロック５の接合面３には凸部２ａに対応して凹部３ａが形成されている。このようにして、継手ブロック４はオス側になり、継手ブロック５はメス側となっており、両方の継手ブロック４，５はインロー構造となっている。したがって、２つの継手ブロック４，５をそれぞれの接合面２，３を対向させて連結すると、凸部２ａが凹部３ａ内に嵌合されて２つの継手ブロック４，５のずれ移動が防止される。
【００１９】
図２に示すように、継手ブロック４には締結ねじ部材６が取り付けられるねじ貫通孔７が継手ブロック４の四隅に形成されており、それぞれのねじ貫通孔７は雌ねじ部７ｂとこの雌ねじ部７ｂのねじ底内径よりも大径のストレート部７ａとを有している。それぞれの締結ねじ部材６は、先端に雄ねじ部６ｂが形成された軸部とこれと一体となった頭部６ａとを有している。したがって、先端の雄ねじ部６ｂが雌ねじ部７ｂを通過してストレート部７ａの位置となると、締結ねじ部材６はねじ貫通孔７内で所定のストローク軸方向に移動することができるとともに、継手ブロック４から外れることが防止される。図３（Ｂ）においては、締結ねじ部材６が所定のストローク軸方向に移動した状態として示されており、これ以上軸方向に移動させても雄ねじ部６ｂが雌ねじ部７ｂに当たって締結ねじ部材６の外れが防止される。継手ブロック５にはねじ貫通孔７に対応させてねじ孔８が形成されており、両方の継手ブロック４，５を突き合わせた状態のもとで、締結ねじ部材６の雄ねじ部６ｂをねじ孔８にねじ結合すると、２つの継手ブロック４，５は締結される。なお、符号９は締結ねじ部材６に設けられたワッシャを示す。
【００２０】
図２に示すように、一方の継手ブロック４にはその凸部２ａに位置させるとともにその表面の接合面２に開口させて６つの連通孔１１が形成されており、他方の継手ブロック５にはそれぞれの連通孔１１に対応させて６つの連通孔１２が形成されており、２つの継手ブロック４，５を締結すると、両方の連通孔１１，１２は相互に連通状態となる。継手ブロック４には連通孔１１に連通するクイック継手１３が取り付けられ、継手ブロック５には連通孔１２に連通するクイック継手１４が取り付けられている。
【００２１】
それぞれのクイック継手１３，１４は空圧配管の端部が取り外し自在に装着される継手であり、それぞれには空気圧配管としてのチューブが貫通する筒体が軸方向に移動自在に組み込まれており、チューブの端部をクイック継手１３，１４内に押し込むと、チューブは連通孔１１，１２に連通状態となって容易にクイック継手１３，１４に固定される。一方、チューブが固定された状態のもとで、筒体と一体となったノブ１３ａ，１４ａを押し込むと、クイック継手１３，１４からチューブを容易に引き抜くことができる。
【００２２】
図３（Ａ）に示すように凸部２ａの表面に開口してブリード孔１６が形成されており、このブリード孔１６は図１に示すように外部に連通している。したがって、２つの継手ブロック４，５を結合および分離させる際に凸部２ａと凹部３ａとにより形成される空間を外部に連通させることにより、継手ブロック４，５の結合と分離を容易に行うことができる。
【００２３】
図２に示すように、継手ブロック５にはそれぞれの連通孔１２に対応させて６つの平面シール組立体１７が組み付けられている。それぞれの平面シール組立体１７は、円筒形状のゴムなどの弾性のある封止材からなるシール部材１８とこれを継手ブロック５に固定する円筒形状のホルダー１９とを有している。シール部材１８は一端部が大径部となっており、大径部の先端にはシール面１８ａが形成されている。一方、ホルダー１９はシール部材１８の内面に嵌合する円筒部１９ａと、シール部材１８の他端面に接触するフランジ部１９ｂとを有している。このような構成の平面シール組立体１７が凹部３ａにそれぞれ連通孔１１に対応させて継手ブロック５に装着されており、２つの継手ブロック４，５を締結しない状態のもとでは、図４（Ｃ）に示すように、シール部材１８のシール面１８ａは断面が三角形となって、凹部３ａの接合面３から連通孔１１の開口部を囲むように突出する。なお、継手ブロック５が継手ブロック４から分離された状態のもとで、シール面１８ａが接合面３から所定の長さ突出するのであれば、シール面１８ａの断面形状は三角形に限られるものではなく、例えば半円形状のシール面としても良い。
【００２４】
２つの継手ブロック４，５を結合させると、図２（Ｂ）に示すように、両方の連通孔１１，１２は連通状態となり、この状態においては、シール部材１８は両方の継手ブロック４，５により圧縮されて接合面２に密着する。これにより、両方の接合面２，３相互間が密閉された状態となって連通孔１１，１２が相互に連通されることになる。したがって、２つの継手ブロック４，５を締結しそれぞれの接合面２，３を接近させると、シール部材１８が締結方向に収縮変形して接合面２，３相互間がシールされるので、２つの継手ブロック４，５を締結する際に、前述した差し込みプラグ型の場合のようにシール部材１８に摺動性を高めるための油を塗布することが不要となる。これにより、空気圧配管内に油が漏出することが防止される。２つの継手ブロック４，５が連結された状態となった配管継手ユニット１を所定の使用個所に据え付けるために、一方の継手ブロック５には図示しないボルトを取り付けるための据え付け孔２０が形成されている。
【００２５】
一方の継手ブロック５には、図４に示すように４つの取付孔２１ａ〜２１ｄがストレートな孔により形成されている。それぞれの取付孔２１ａ〜２１ｄはこれらの中心を結ぶ四辺形の角部に対応する位置に形成され、４つの取付孔２１ａ〜２１ｄは行方向と列方向に形成されてマトリックス配置となっている。他方の継手ブロック５には、図３に示すように取付孔２１ａ〜２１ｄに対応させて４つのねじ孔２２ａ〜２２ｄが嵌合孔として形成されている。
【００２６】
それぞれの取付孔２１ａ〜２１ｄには、図４に示すように突起部としてのスプリングピン２３が着脱自在、つまり取り外し可能に取り付けられており、図示する継手ブロック５には図４に示すように２つの取付孔２１ａ，２１ｄにスプリングピン２３が取り付けられ、それぞれのスプリングピン２３は継手ブロック４の接合面２から突出した状態となっている。スプリングピン２３は中空のピンであり径方向に弾性変形するので、取付孔２１ａ〜２１ｄに対する着脱が容易であるが、中実のピンを突起部として使用するようにしても良く、取付孔２１ａ〜２１ｄをねじ孔とすれば、ねじ部材を突起部として使用することもできる。
【００２７】
２つの継手ブロック４，５を図１に示すように締結ねじ部材６により締結すると、継手ブロック５の取付孔２１ａ，２１ｄに取り付けられたスプリングピン２３は、図３に示すように取付孔２１ａ，２１ｄに対応して継手ブロック４に形成された対応する嵌合孔としてのねじ孔２２ａ，２２ｄに挿入される。したがって、スプリングピン２３の外径は、ねじ孔の内径よりもやや小径となっている。
【００２８】
４つのねじ孔２２ａ〜２２ｄのうちスプリングピン２３が挿入されないねじ孔２２ｂ，２２ｃには閉塞部材ないし挿入止め部材としての埋め込みねじ２４がねじ結合されている。この埋め込みねじ２４としては、頭部を有しておらず、一端にマイナスの溝が形成されたねじ部材が使用されており、ねじ孔から突出しない形状のねじ部材であれば、埋め込みねじとしてはどうようなものを使用しても良い。
【００２９】
このようにして、取付孔２１ａ，２１ｄにスプリングピン２３が取り付けられた継手ブロック５と、スプリングピン２３が取り付けられていない取付孔２１ｂ，２１ｃに対応するねじ孔２２ｂ，２２ｃに閉塞部材としての埋め込みねじ２４が取り付けられた継手ブロック４は、対をなして１組の空気圧配管継手ユニット１を形成している。したがって、埋め込みねじ２４が取り付けられた継手ブロック４に対して、埋め込まれた嵌合孔に対応する位置の取付孔にスプリングピンが取り付けられた継手ブロック５を接合することは、スプリングピン２３が埋め込みねじ２４に干渉してしまうので不可能である。
【００３０】
このようにして、スプリングピン２３が取り付けられていない取付孔に対応する嵌合孔を埋め込みねじ２４により埋め込むと、埋め込まれた嵌合孔に対応する位置にスプリングピン２３が設けられた継手ブロック５と他の継手ブロック４とを連結することができなくなり、スプリングピン２３および埋め込みねじ２４の位置を変化させることにより、空気圧配管継手ユニット１を複数種類に設定することができ、異なった種類の２つの継手ブロック４，５を連結することはできなくなる。したがって、クイック継手に接続されるチューブの本数やチューブを介して連結される空気圧作動機器の種類などに対応させて、スプリングピン２３と埋め込みねじ２４の位置を変化させることにより、同一構造の継手ブロック４．５を複数の種類に設定し、異種の継手ブロック４，５を誤って連結することを防止することができる。
【００３１】
図３および図４に示すように、取付孔２１ａ〜２１ｄとねじ孔２２ａ〜２２ｄとを相互に対向させて４つずつ設けた場合であって、４つの取付孔２１ａ〜２１ｄのうちの２つにスプリングピン２３を取り付けて、４つのねじ孔２２ａ〜２２ｄのうちスプリングピン２３が嵌合しない他の２つの嵌合孔に埋め込みねじ２４を取り付けるようにした場合には、同一構造の継手ブロック４，５からなる空気圧配管継手ユニット１を６種類に設定することができる。これに対して、１つの取付孔にスプリングピン２３を取り付けてこれに対応しない他の３つの嵌合孔に埋め込みねじ２４を取り付けるようにすると、合計４種類の空気圧配管継手ユニット１に設定することができる。
【００３２】
同一構造であってスプリングピン２３と埋め込みねじ２４の位置に応じて設定することができる空気圧配管継手ユニット１の種類Ｐは、取付孔および嵌合孔の数ｎと、スプリングピン２３の数ｋとにより、以下のパターン数式により設定することができる。
【００３３】
Ｐ＝（ｎ！）／｛ｋ！（ｎ−ｋ）！｝
したがって、上述のように、４つの取付孔のうちの２つにスプリングピン２３を取り付けるようにした場合には、パターン数式により（４！）／｛２！（４−２）！｝＝（２４）／（２×２）＝６になり、６種類の空気圧配管継手ユニット１を設定することができ、４つの取付孔のうちの１つにスプリングピン２３を取り付けるようにした場合には、上記式により４種類の空気圧配管継手ユニット１を設定することができる。
【００３４】
図５（Ａ）〜図５（Ｆ）は、図３および図４に示すように、４つの取付孔２１ａ〜２１ｄのうち２つにスプリングピン２３を取り付けて、ピン位置に対応しない嵌合孔つまりねじ孔２２ａ〜２２ｄの２つに埋め込みねじ２４を取り付けるようにした場合の６種類のピン配置パターンを示す概略図であり、ピン配置および埋め込みねじ配置により６種類の空気圧配管継手ユニット１を設定することができる。したがって、２つの継手ブロック４，５を接合ないし連結して１組の空気圧配管継手ユニット１を組み立てる場合には、スプリングピン２３と埋め込みねじ２４との対応によって異種の継手ブロックを連結するという誤った組合せの発生を防止できる。
【００３５】
図６は本発明の他の実施の形態である空気圧配管継手ユニット１を構成する一方の継手ブロック５を示す側面図であり、この場合には継手ブロック５にその接合面に開口させて６つの取付孔２１ａ〜２１ｆが形成されており、これらの取付孔のうち３つにスプリングピン２３を取り付けるようにしている。この継手ブロック５に連結されて対をなす他の継手ブロック４には６つの嵌合孔が形成され、スプリングピン２３が取り付けられていない取付孔に対応する３つの嵌合孔には埋め込みねじ２４が埋め込まれることになる。したがって、この場合には、上記数式から２０通りの組合せになり、２０種類の空気圧配管継手ユニット１を設定することができる。
【００３６】
取付孔および嵌合孔は、図示するようにマトリックス状となって継手ブロック４，５の端部に配置されているので、スプリングピン２３と埋め込みねじ２４とを取り付けて対となる空気圧配管継手ユニット１の種類を設定する際には、その操作を容易に行うことができるが、必ずしもマトリックス状に配置する必要はなく、一直線上に配置したり、ジグザグ状に配置したり、分散して配置するようにしても良い。
【００３７】
継手ブロック４の嵌合孔に埋め込みねじ２４を取り付けるようにすると、これを容易に取り外すことができるので、埋め込みねじ２４の取付位置を容易に変更することができる。これに対して、一度設定した閉塞部材の位置を後に変更することがなければ、閉塞部材としては埋め込みねじ２４に代えてスプリングピンなどを使用することも可能である。
【００３８】
図７は本発明の他の実施の形態である空気圧配管継手ユニット１を示す正面図であり、この場合には２つの継手ブロック４，５を締結するために、締結ねじ部材６に加えてクランプ具２７が継手ブロック４，５の対向面に設けられている。それぞれのクランプ具２７は、一方の継手ブロック５にブラケット２８を介して回動自在に装着された操作アーム２９と、この操作アーム２９に支持ピン３１により回動自在に装着されたクランプアーム３２とを有しており、他方の継手ブロック４にはクランプアーム３２に係合する係合爪３４が取り付けられている。したがって、操作アーム２９を図７に二点鎖線で示す位置まで回動させると、クランプアーム３２と係合爪３４との係合が解除され、クランプアーム３２と係合爪３４とが係合した状態のもとで操作アーム２９を実線で示す位置まで回動させると、クランプ具２７により２つの継手ブロック４，５は締結された状態となる。なお、クランプ具２７を使用する場合には、締結ねじ部材６を使用しないようにしても良く、図示するように両方を併用するようにしても良い。
【００３９】
上述のように、本発明の空気圧配管継手ユニット１によれば、同一構造の継手ブロック４，５をピンと埋め込みねじの配置によって複数の対の種類に設定することができるので、異種の継手ブロック同士を連結することが防止される。また、シール材にグリスなどの油を塗布することが不要となるので、空気圧作動機器に供給する圧縮空気の中に油が混入することを防止できる。なお、図６および図７においては図１〜図５に示された部材と共通する部材には同一の符号が付されている。
【００４０】
図８は、従来の差し込みプラグ型の空気圧配管継手ユニットの一部を示す断面図であり、一方の継手ブロック４にはこれの接合面３から突出させて挿入筒３５が設けられ、他方の継手ブロック５内には円筒形状のシールプラグ３６が埋め込まれている。両方の継手ブロック４，５を連結するときには、シールプラグ３６の挿入孔内に挿入筒３５が隙間を介して挿入される。シールプラグ３６の内面にはＯリング３７が装着されており、このようにＯリング３７をシールプラグ３６の内面に装着するようにしたり、挿入筒３５の外周に装着するようにした差し込みプラグ型にあっては、両方の継手ブロック４，５を連結するときに、Ｏリング３７は挿入筒３５の外周面を摺動しながら径方向つまり連結方向に対して直角の方向に弾性変形するので、Ｏリング３７をこれに傷が発生しないように摺動させるために、Ｏリング３７の周囲にグリスを塗布する必要があった。しかし半導体製造装置のように清浄度が高いクリーンルームの雰囲気の中に配置される装置に用いられる空気圧システムにおいては、空気圧配管内に油分が混入することを避ける必要があり、差し込みプラグ型の空気圧配管継手ユニットをクリーンルーム用の空気圧システムに使用することは困難であった。
【００４１】
これに対して、図４に示す平面シール組立体１７を使用すると、シール部材１８に油を塗布することなく組立時にシール部材１８に傷が発生することを防止できるので、クリームルーム対応の空気圧配管継手ユニットとすることができる。さらに、従来の差し込み型にあっては、１対の空気圧配管継手ユニットに接続される空気圧配管の数を増加させると、２つの継手ブロック４，５を連結したり分離する際における挿入筒３５の挿入孔３６内への挿抜力が増加するので、ある程度以上の本数のクイック継手１３，１４を設けることは実用上できなかったが、本発明の空気圧配管継手ユニット１にあっては、平面シール構造となっており挿抜力がゼロであり、従来よりも多くの空気圧配管を接続させることができる。
【００４２】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、継手ブロック４，５に集合させて接続する空圧配管の本数は、図１に示す６本、図６に示す１２本、および図７に示す８本ずつに限定されるものではなく、任意の本数とすることができる。また、凸部２ａが設けられた継手ブロック４に取付孔を形成し、凹部３ａが設けられた継手ブロック５に嵌合孔を形成するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】（Ａ）は本発明の実施の形態である空気圧配管継手ユニットを示す正面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）の右側面図である。
【図２】（Ａ）は図１におけるＸ−Ｘ線に沿う断面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）におけるＳ部の拡大断面図である。
【図３】（Ａ）は図１に示された空気圧配管継手ユニットの一方の継手ブロックの接合面を示す側面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）における３Ｂ−３Ｂ線に沿う断面である。
【図４】（Ａ）は他方の継手ブロックを示し、同図（Ｂ）における４Ａ−４Ａ線に沿う断面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）の側面図であり、（Ｃ）は同図（Ａ）におけるＴ部の拡大断面図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｆ）はピン配置パターンを示す側面図である。
【図６】本発明の他の実施の形態である空気圧配管継手ユニットを構成する一方の継手ブロックを示す側面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態である空気圧配管継手ユニットを示す正面図である。
【図８】差し込みプラグ型である従来の空気圧配管継手ユニットの一部を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１        空気圧配管継手ユニット
２，３    接合面
４        継手ブロック（第１の継手ブロック）
５        継手ブロック（第２の継手ブロック）
６        締結ねじ部材
７        ねじ貫通孔
８        ねじ孔
９        ワッシャ
１１      連通孔（第１の連通孔）
１２      連通孔（第２の連通孔）
１３，１４    クイック継手
１６      ブリード孔
１７      平面シール組立体
１８      シール部材
１９      ホルダー
２０      据え付け孔
２１ａ〜２１ｆ    取付孔
２２ａ〜２２ｄ    ねじ孔（嵌合孔）
２３      スプリングピン（突起部）
２４      埋め込みねじ（閉塞部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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