(57)【要約】【課題】  レンズを駆動するアクチュエータの小型化、駆動の効率化、動きのスムーズ化を実現すること。【解決手段】  圧電性を有する可動台板２３と、前記可動台板に対して直交する２方向に弾性表面波を励起するように設けた駆動電極２４ａ〜２４ｄと、前記可動台板２３に対して摩擦結合された圧接子２５ｃ〜２５ｄとを備え、前記駆動電極に高周波を印加して、前記可動台板２３に弾性表面波を生じさせると、前記可動台板２３は、圧接子２５ｃ〜２５ｄによって２方向に平面移動する。【選択図】  図１
2005151742.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電性を有する可動台板と、前記可動台板に対して直交する２方向に弾性表面波を励起するように設けた少なくとも一つの駆動電極と、前記可動台板に対して摩擦結合された圧接子とを備え、
前記駆動電極に高周波を印加して、前記可動台板に生じた弾性表面波により、前記可動台板に２方向の駆動力を発生させることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
電極および圧電薄膜により形成される発振子を表面に備えた非圧電基板と、前記非圧電基板上の非圧電部分に対して摩擦結合された圧接子とを備え、前記電極に高周波を印加して、前記圧電薄膜に生じた弾性表面波が前記非圧電基板に伝播することにより、前記非圧電基板に駆動力を発生させることを特徴とする弾性表面波アクチュエータ。
【請求項３】
前記可動台板を非圧電性とする替りに、前記駆動電極を覆うようにして圧電薄膜を形成した請求項１記載の駆動装置。
【請求項４】
前記可動台板に光学レンズが設けられる請求項１もしくは３記載の駆動装置
【請求項５】
請求項４記載の駆動装置を用いて、前記レンズを手ぶれ補正のために光軸直角方向に駆動することを特徴とする手ぶれ補正装置。
【請求項６】
前記可動台板は、磁石の吸引力を用いて固定板に対して可動に支持される請求項１記載の駆動装置。
【請求項７】
前記可動台板は、直交する２方向のスライド軸受により固定板に対して可動に支持される請求項１記載の駆動装置。
【請求項８】
前記駆動電極は、ほほ正方形の４隅に位置する４つの端子部(３１ａ〜３１ｄ)と、各端子部から延在する複数条の電極が交互に配置されているすだれ状電極(３２ａ〜３２ｄ)とからなる請求項１記載の駆動装置。
【請求項９】
４個のすだれ状電極を個別に駆動できるよう、対角位置にある２個の端子部をそれぞれ２分割した請求項８記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置に関し、特に光学レンズを駆動するレンズ駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、映像撮影時に発生する手ぶれの影響を補償する装置として、撮影レンズ内に設けられたレンズを光軸と垂直の方向に駆動することにより、手ぶれの影響を受けない撮像を実現する光学装置が広く知られている。この防振光学系においては、補正レンズを光軸とは垂直の方向に、高速かつ高精度に駆動する必要があるため、従来は、直流モータと減速機からなる駆動装置や、ボイスコイルタイプの駆動装置により駆動がなされていた。
【０００３】
図１２にボイスコイルタイプの駆動装置を採用した従来の防振光学系の構成を示す（特開２０００−２２７６１４）。手ぶれ補正のために、レンズ１を、光軸と直交する２次元方向で駆動するが、そのためのアクチュエータとして、マグネット２ａ、２ｂとコイル３ａ、３ｂの相互作用により発生する力を利用するものが使用されている。この構成により、駆動回路から指令を受けたアクチュエータは、コイル３ａ、３ｂに電流を流すことにより力を発生させ、レンズ１の位置を制御することにより、手ぶれの影響を低減する。
【０００４】
また、弾性表面波を利用したアクチュエータとして、特開平９−２３３８６５公報に記載の弾性表面波モータにおいては、駆動電極を有する弾性表面波素子と、この弾性表面波素子上にセットされる圧接子と、この圧接子に予め圧力を加える与圧付与手段とを設けたものが考案されている。
【０００５】
図１３に従来例の弾性表面波モータの構成を示す。ニオブ酸リチウムなどの圧電性を有する弾性表面波基板１１には、その表面に駆動電極（ＩＤＴ）１２が形成されており、さらに圧接子１３がその表面に予め所定の与圧でもって押さえつけられ、摩擦結合されている。前記圧接子１３の下面には図１４に示すように、複数の突起１４が形成されている。この突起１４は、その頂点が弾性表面波基板１１の表面と接触する。
【０００６】
この構成により、駆動電極１２に高周波（数〜数十ＭＨｚ）を加えることにより、表面近傍にのみ伝播する弾性表面波を発生させ、その高周波により得られる数ｎｍの微小振動を用いて、与圧が与えられた複数の突起１４を有する圧接子１３で移動駆動させることができる。
【特許文献１】特開２０００−２２７６１４公報
【特許文献２】特開平９−２３３８６５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、そのような電磁モータを使用した手ぶれ補正装置の場合、必要となる駆動力、速度を実現するためには、体積に大きなものが必要であり、手ぶれ補正装置の小型化を実現する上での大きな障害となっていた。
【０００８】
図１２に示したボイスコイルタイプのものにおいては、像ぶれ補正レンズを、光軸に対して垂直方向に、かつ、お互いに直角方向に配置されたシフト用のボイスコイルタイプのアクチュエータ２個が、其々連係して駆動することにより、手ぶれ補正を実現する。このボイスコイルタイプのアクチュエータは、磁石とコイルから構成され、磁石により得られた磁界中にあるコイルに電流を流すことにより、コイルが力を受け駆動されるといった原理により動作する。但し、このようなボイスコイルタイプのアクチュエータにおいても、直流モータを使用したアクチュエータにおいても、磁石とコイルが必要であり、そのため、アクチュエータの体積を小さくすることは困難である。また、アクチュエータの体積を小さくした場合、発生力が急激に減少するため、手ぶれ補正のために必要となるトルク、速度を実現することができなかった。
【０００９】
また、従来の弾性表面波を利用した図１３のアクチュエータにおいては、弾性表面波素子上に駆動電極を形成した構成であり、弾性表面波素子基板上を圧接子が移動するため、弾性表面波素子、圧電性を有するニオブ酸リチウムなどの基板が必要であり、コストが高くなっていた。また、駆動電極を互いに垂直方向に２個セットで備ることにより２次元方向のアクチュエートを可能とした２次元アクチュエータの場合、圧電特性の指向性の違いから、方向により駆動力に差が発生し、滑らかに駆動することが困難であった。
【００１０】
本発明は上記の課題を解決するもので、手ぶれ補正などに使用する駆動装置において、その駆動を、弾性表面波により移動体を駆動する駆動装置により行うことにより、極めて小型で、かつ駆動性の良い手ぶれ補正装置を提供することを目的とする。また、弾性表面波を利用したアクチュエータにおいて、低コストで信頼性も高く、また２次元の場合でも駆動力バランスが良く、保持力を有し駆動効率の高いアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明は、圧電性を有する可動台板と、前記可動台板に対して直交する２方向に弾性表面波を励起するように設けた少なくとも一つの駆動電極と、前記可動台板に対して摩擦結合された圧接子とを備え、前記駆動電極に高周波を印加して、前記可動台板に生じた弾性表面波により、前記可動台板に２方向の駆動力を発生させることを特徴とする。これにより、小型で保持力を有してレンズなどの駆動を実現することができる。
【００１２】
また、電極および圧電薄膜により形成される発振子を表面に備えた非圧電基板と、前記非圧電基板上の非圧電部分に対して摩擦結合された圧接子とを備え、前記電極に高周波を印加して、前記圧電薄膜に生じた弾性表面波が前記非圧電基板に伝播することにより、前記非圧電基板に駆動力を発生させる弾性表面波アクチュエータを提供する。これにより、小型で信頼性が高く、低コストで、保持力を有した駆動を実現することができる。
【００１３】
前記可動台板を非圧電性とする替りに、前記駆動電極を覆うようにして圧電薄膜を形成した駆動装置を提供することができ、これにより、小型で信頼性も高く、低コストで保持力を有してレンズなどの駆動を、２次元方向にも安定して実現することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の駆動装置によれば、その指向性が互いに直交方向に成す２対のすだれ状電極を有する駆動電極を１組もしくは複数組有した可動台板と、可動台板上の各電極に交流電圧を印加することにより基板上に弾性表面波を励起し、可動台板上に摩擦結合された固定部材からの駆動力を得て移動させる構成により、小型の二次元駆動を実現するものである。
【００１５】
また、アクチュエータが、表面にすだれ状電極と圧電薄膜により形成される発振子を備えた圧電特性の低い非圧電基板と、非圧電基板上の非圧電部分を接触しながら移動する圧接子とから構成されることにより、小型で経年変化に強く信頼性が高く、駆動力に指向性を持たずに安定駆動ができるアクチュエータを低コストで実現するものである。
【００１６】
また、光学レンズを備えた可動台板を弾性表面波を利用したアクチュエータにより二次元方向に駆動することにより、手ぶれ補正を小型装置構成で実現するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明において、駆動装置は、その指向性が互いに直交方向を成す２対の電極を有する駆動電極を１組もしくは複数組有した可動台板を備える。本実施の形態においては、２対の電極を２組、もしくは４組使用しているが、その他の組数でもよいことは言うまでもない。以下、本発明の実施形態について説明する。
【００１８】
（実施の形態１）
以下、本発明の駆動装置による手ぶれ補正装置の実施の形態１について図面を参照しながら説明する。図１は本実施の形態１の構成を示す正面図(左図)とその側面図(右図)を示し、その正面図から可動台板２３を除いたものを図２に示す。
【００１９】
固定板２１の一方の面に凹部Ｑ１が形成され、その凹部Ｑ１の底面に、圧電性を有した材料により構成された固定板表面部２７が結合され、その固定板表面部２７の４隅に駆動電極２２ａ〜２２ｄが形成されている。
【００２０】
図３に駆動電極２２ａ〜２２ｄの詳細図を示した正面図と、それのＡ−Ａ方向での断面図を示す。各駆動電極２２ａ〜２２ｄは、正方形の頂点に位置する４つの端子部３１ａ〜３１ｄと、その端子部間に形成されたすだれ状電極３２ａ〜３２ｄから構成される。すだれ状電極３２ａ〜３２ｄは、固定板表面部２７上に形成された所定のピッチで配列された電極からなる。
【００２１】
更にくわしく見ると、すだれ状電極３２ａは、駆動電極３１ａから左方向に向かう複数条の電極と、駆動電極３１ｂから右方向に向かう複数条の電極とが交互に配列したものであり、そのピッチが出力したい信号の波長に対応する。そして、端子部３１ａは、すだれ状電極３２ａと３２ｄとを個別に駆動できるように、斜めに入れたスリットにより、二つに分割されている。対角位置にある端子部３１ｃでも同様の構造を持つ。
【００２２】
図１、図２に戻り、固定板表面部２７の上方には、可動台板２３が位置し、その可動台板２３の下面には、圧接子２５ａ〜２５ｄが接合されている。これらの圧接子２５ａ〜２５ｄの反対の面には、図１４で示したような複数の突起が形成されており、これらの突起が、駆動電極２２ａ〜２２ｄのそれぞれの中央部の領域２７ａに当接しており、かつ、可動台板２３の上面に取り付けた磁石２４ａ〜２４ｄによる与圧で圧接している。
【００２３】
この可動台板２３の中央開口部に、手ぶれ補正用のレンズ２６が設けられており、そのレンズ２６の下部(図１の側面図ではレンズの右側)には貫通穴Ｑ２が形成されている。
【００２４】
駆動回路から端子部３１ａ〜３１ｄを通じて、すだれ状電極３２ａ〜３２ｄに高周波（数〜数十ＭＨｚ）を印加することにより、すだれ状電極下部の固定板表面部２７に高周波振動が生じ、近傍の表面に弾性表面波が伝播する。すだれ状電極３２ａと３２ｃは対になっており、すだれ状電極３２ａに高周波を印加することにより、すだれ状電極３２ａから３２ｃの方向に進行する弾性表面波を固定板表面部２７中の前記領域２７ａに発生させることができる。また、すだれ状電極３２ｃに高周波を印加することにより、すだれ状電極３２ｃから３２ａの方向(先とは逆の方向)に進行する弾性表面波を前記領域２７ａに発生させることができる。
【００２５】
また、すだれ状電極３２ｂと３２ｄも対になっており、すだれ状電極３２ｂに高周波を印加することにより、すだれ状電極３２ｂから３２ｄの方向に進行する弾性表面波を前記領域２７ａに発生させることができる。また、すだれ状電極３２ｄに高周波を印加することにより、すだれ状電極３２ｄから３２ｂの方向(先とは逆の方向)に進行する弾性表面波を前記領域２７ａに発生させることができる。このようにして、４つの駆動電極２２ａ〜２２ｄの中央部の領域２７ａに対して、それぞれ直交する２方向に弾性表面波を発生させることができる。
【００２６】
この結果、前記領域２７ａに生じた弾性表面波により得られる数ｎｍの微小振動により、可動台板２３は、与圧が与えられた圧接子２５ａ〜２５ｄに対して平面駆動される。このように可動台板２３が平面上で移動することにより、レンズ２６もその位置を、光軸と直交する方向に変更する。この構成において、固定板２１は、磁石２４ａ〜２４ｄにより与圧を加えられるように、鉄などの着磁性のある物質で構成される。
【００２７】
図２に示した固定板表面部２７上に形成された駆動電極２２ａ〜２２ｄは、それぞれに図３に示した電極の構成となっているため、駆動電極２２ａ〜２２ｄにおける各すだれ状電極に選択的に高周波を印加することにより、固定板２１上の各駆動電極２２ａ〜２２ｄにおける各領域２７ａに選択的に弾性表面波を発生させることができる。それにより、図１３に示した弾性表面波モータの原理に従って、可動台板２３は、圧接子２５ａ〜２５ｄが受ける力により、それぞれ直交する２方向に自由に移動することができる。
【００２８】
図４に本発明による駆動装置による手ぶれ補正装置の駆動電極の駆動を行う駆動回路の機能を表すブロック図を示す。すだれ状電極１０１ａ〜１０１ｄを有した駆動電極１０２を使用した手ぶれ補正装置において、手ぶれ量は、手ぶれ検出センサ１０３により光学的手法により検出される。そして、検出された手ぶれ量に対して、撮像される画像から手ぶれの効果を相殺するためのレンズの位置をレンズ位置決定手段１０４により決定する。例えば、手ぶれ方向が右方向の場合、レンズを左方向に所定量だけ移動させるといった方式により、レンズ位置を決定する。
【００２９】
一方、現在のレンズの位置を検出するレンズ位置検出センサ１０５により取得されたレンズ位置の情報とレンズ位置決定手段１０４により求められたレンズの位置情報を比較し、その差情報から駆動するべきレンズの２軸の駆動力情報（ここでは、Ｘ方向、Ｙ方向とする）を演算する。つまり、Ｘ方向駆動力演算手段１０６とＹ方向駆動力演算手段１０７により、駆動するべきレンズの方向と位置の差に基づいて、Ｘ方向、Ｙ方向の駆動力を演算する。
【００３０】
さらに、求められたＸ方向、Ｙ方向の駆動力と、高周波発生手段１０８から、すだれ状電極Ｘ１（１０１ｂ）、Ｘ２（１０１ｄ）と、すだれ状電極Ｙ１（１０１ａ）、Ｙ２（１０１ｃ）に加えるべき信号をすだれ状電極Ｘ１駆動手段１０９、すだれ状電極Ｘ２駆動手段１１０、すだれ状電極Ｙ１駆動手段１１１、すだれ状電極Ｙ２駆動手段１１２、により決定し、各電極に出力する。このような制御により、手ぶれによる影響を補償するような光学系を実現することができる。尚、台板２３を可動としてレンズを設けたが、その台板を固定的に設け、圧接子側にレンズを設けるようにしてもよい。
【００３１】
（実施の形態２）
次に本発明による圧電薄膜を使用した弾性表面波アクチュエータの構成を説明する。図５に本発明による弾性表面波モータの構成を示す。ガラスなどの圧電性の低い非圧電基板７１には、発振子として、表面に形成した駆動電極（ＩＤＴ）７２および、前記駆動電極７２上に形成した圧電薄膜７４が形成されている。そして圧接子７３が前記基板７１の表面に予め所定の与圧でもって押さえつけられ、摩擦結合されている。駆動電極７２に高周波（数〜数十ＭＨｚ）を印加することにより、圧電薄膜７４に高周波振動が生じ、下部および近傍の非圧電基板７１の表面に弾性表面波として伝播する。その高周波振動による数ｎｍの微小振動により、非圧電基板７１は、圧接子７３に対して平面駆動される。
【００３２】
図１３に示した構成の場合、圧接子１３は弾性表面波基板１１上を移動するため、弾性表面波基板１１の表面の磨耗が発生し、経年変化により性能が劣化する。それに対し、本発明による弾性表面波アクチュエータの場合、圧接子７３は非圧電基板７１上を移動するため、非圧電基板７１自体に比較的磨耗に強い材料を選択することにより、表面の磨耗を無視できる程度に低減することができ、非常に信頼性の高い駆動装置を実現することができる。
【００３３】
また、弾性表面波基板として圧電素子を使用する場合、基板全体に対応する必要があるため、高価な圧電素子を多く使うこととなる。そのため、図１３の構成になる弾性表面波アクチュエータにおいては、コスト的に高くなる問題があった。それに対し、本発明による図５の弾性表面波アクチュエータの場合、薄膜部分のみ圧電材料を使用すればよいため、非常に低コストの駆動装置を実現することができる。
【００３４】
（実施の形態３）
次に、本発明の駆動装置の実施の形態３について図面を参照しながら説明する。図６は実施の形態３の構成を示す側面図(右図)および、その側面図中のＢ−Ｂ面から見た正面図(左図)を示す。また、前記側面図中のＡ−Ａ面から見た正面図を図７に示す。
【００３５】
固定板４１は、圧電特性の低い材料により構成されている。固定板４１上には、スライド軸受４２ａ〜４２ｄが設置され、これらの二つの軸受にそれぞれ結合された軸４３ａ、４３ｂを介して非圧電性のスライドＡ板４４が設置されている。従って、スライドＡ板４４は、固定板４１に対して軸４３ａ、４３ｂ方向(Ｘ方向)にスライド可能となっている。
【００３６】
そして、スライドＡ板４４上には、図６に示されるようにスライド軸受４５ａ〜４５ｄが設置され、これらの二つの軸受にそれぞれ結合された軸４６ａ、４６ｂを介して非圧電性のスライドＢ板４７が設置されている。従って、スライドＢ板４７は、スライドＡ板４４に対して軸４６ａ、４６ｂ方向(Ｙ方向)にスライド可能となっている。スライドＢ板４７の斜視図を図９に示す。
【００３７】
この構成により、スライドＢ板４７に対してＹ方向に力を加えると、スライド板Ｂ４７のみがＹ方向に移動し、スライドＢ板４７に対してＸ方向に力を加えると、スライド板Ｂ４７は、スライド板Ａ４４と一体となってＸ方向に移動する。従って、スライド板Ｂ４７は、加えられた力の方向に自由に平面移動する。
【００３８】
スライドＢ板４７の中央開口部には、手ぶれ補正を実現するためのレンズ４８が備えられ、スライドＡ板４４およびスライドＢ板４７の移動により、このレンズ４８はＸＹ方向に可動となっている。スライドＢ板４７上には、２対の端子部およびすだれ状電極からなる駆動電極４９ａ〜４９ｄが設けられている。
【００３９】
図８に駆動電極４９ａ〜４９ｄの詳細図を示す。駆動電極４９ａ〜４９ｄは、スライド板Ｂ４７に形成した端子部６１ａ〜６１ｄと、その端子間に形成されたすだれ状電極６２ａ〜６２ｄから構成されている。すだれ状電極６２ａ〜６２ｄは、所定のピッチを持った電極であり、そのピッチは、出力したい信号の波長に対応する。スライド板Ｂ４７上には、すだれ状電極６２ａ〜６２ｄを個別に覆うようにして、圧電薄膜６３ａ〜６３ｄが形成されている。尚、スライド板Ｂ４７上に、すだれ状電極、圧電薄膜を形成したが、その形成順序が逆になってもよい。
【００４０】
駆動回路から端子部６１ａ〜６１ｄを通じてすだれ状電極６２ａ〜６２ｄに高周波を印加すると、圧電特性を有する薄膜に高周波振動が生じ、下部および近傍の非圧電基板６４に弾性表面波として伝播する。
【００４１】
そして図９で示されるように、固定板４１の所定部に４個のＬ字型の部材Ｚが取り付けられており、それらの部材Ｚの端部下面に、与圧手段５０ａ〜５０ｄを介して圧接子５１ａ〜５１ｄが取り付けられており、これらの圧接子５１ａ〜５１ｄの反対側の端面には図１４で示したような突起が形成されており、これらの突起が、与圧手段５０ａ〜５０ｄによって、駆動電極４９ａ〜４９ｄのそれぞれの中央部の領域４７ａに圧接する。
【００４２】
駆動電極４９ａ〜４９ｄに高周波（数Ｍ〜数十ＭＨｚ）を加えることにより、すだれ状電極４６ａ〜４６ｄを覆っている圧電薄膜６２ａ〜６２ｄに振動が発生し、その振動が弾性表面波としてスライドＢ板４７中の前記領域４７ａに伝播される。これにより、スライドＢ板４７は、圧接子５１ａ〜５１ｄから駆動力を受け、レンズ４８と共に直交する２方向に自由に移動する。この結果、手ぶれによる影響を補償するような光学系を実現することができる。
【００４３】
図３の駆動電極においては、圧電基板３３上に電極を形成する構造であったため、圧電基板３３の指向性によりＸ、Ｙ方向の弾性表面波の強度に差が発生し、移動速度が制約されるなどの難点が存在する。しかし図８に示した構成の駆動電極の場合、圧電薄膜の形成に際し、その指向性を自由に設定することができるため、Ｘ、Ｙ方向の弾性表面波の強度に差を生じない。そのため、駆動力も最大限利用することができる。
【００４４】
また、図３の駆動電極においては、圧電基板３３全体が圧電素子で構成されているため、高コストとなっていたが、図８の構成の場合、電極の部分のみ圧電素子を薄膜化して使用するので、高価な圧電素子が少量でよいため、低コストで、駆動電極を構成することができる。また、図３の駆動電極においては、圧電基板３３上を圧接子が移動していたため、磨耗により性能が劣化する等の問題があったが、全体が圧電素子で構成されているため、高コストとなっていたが、図８の構成の場合、電極の部分のみ圧電素子を薄膜化して使用するので、高価な圧電素子が少量でよいため、低コストで、駆動電極を構成することができる。
【００４５】
（実施の形態４）
次に、本発明の駆動装置の実施の形態４について図面を参照しながら説明する。図１０は実施の形態４の構成を示す側面図(右図)および、その側面図中のＡ−Ａ面から見た正面図(左図)を示す。また、前記側面図中のＢ−Ｂ面から見た正面図を図１１に示す。
【００４６】
固定板８１は、圧電特性の低い材料により構成されている。固定板８１上には、スライド軸受８２ａ〜８２ｄが設置され、この軸受に結合された軸８３ａ、８３ｂを介してスライドＡ板８４が設置されている。従って、スライドＡ板８４は、固定板８１に対して軸８３ａ、８３ｂ方向にスライド可能となっている。
【００４７】
スライドＡ板８４上には、対を成すすだれ状電極から構成される駆動電極８９ａ〜８９ｄが構成されている。また、スライドＡ板８４上には、スライド軸受８５ａ〜８５ｄが設置され、この軸受に結合された軸８６ａ、８６ｂを介してスライドＢ板８７が設置されている。従って、スライドＢ板８７は、スライドＡ板８４に対して軸８６ａ、８６ｂ方向にスライド可能となっている。
【００４８】
スライドＢ板８７の中央開口部には、手ぶれ補正を実現するためのレンズ８８が備えられ、スライドＡ板８４およびスライドＢ板８７の移動により、ＸＹ方向に可動となっている。スライドＢ板８７上には、１対の端子部と両端子部間に形成された一つのすだれ状電極からなる駆動電極９１ａ〜９１ｄが共に、軸８３ａ、８３ｂの軸方向にして構成されている。
【００４９】
つまり、図７では、２方向に表面波を発生する駆動電極４９ａ〜４９ｄをスライド板Ｂ47の上面に取り付けていたが、図１０、１１で示したものでは、１方向に表面波を発生する駆動電極９１ａ〜９１ｄと、それと直交する方向に表面波を発生する駆動電極８９ａ〜８９ｄとを、スライド板Ｂ８７の上下の面に個別に取り付けている。
【００５０】
そして、スライドＡ板８４上には、１対の端子部と両端子部間に形成された一つのすだれ状電極からなる駆動電極８９ａ〜８９ｄが共に、軸８６ａ、８６ｂの軸方向にして構成されている。そして、これらの駆動電極８９ａ〜８９ｄ、９１ａ〜９１ｄの表面には、圧電薄膜が形成されている。
【００５１】
駆動電極８９ａ〜８９ｄ、９１ａ〜９１ｄに高周波（数Ｍ〜数十ＭＨｚ）を加えることにより、圧電薄膜により表面波が発生し、電極に囲まれた領域に弾性表面波が伝播される。駆動電極８９ａ〜８９ｂ、８９ｃ〜８９ｄの電極に囲まれた領域には、スライドＢ板８７から与圧を与えられて、圧接子９０ａ、９０ｂが摩擦接合されている。また、駆動電極９１ａ〜９１ｃ、９１ｂ〜９１ｄの電極に囲まれた領域には、固定板８１に設けた“Ｌ”字型の部材Ｚから与圧手段９３ａ、９３ｂを介して、圧接子９２ａ、９２ｂが摩擦接合されている。
【００５２】
圧接子９２ａ、９２ｂ、９０ａ、９０ｂの下面には複数の突起が形成されており、この突起は、その頂点がスライドＢ板８７、およびスライドＡ板８４の表面と接触する。駆動電極９１ａ〜９１ｃ、９１ｂ〜９１ｄに囲まれた領域に発生した微小振動により、スライドＢ板８７は軸８６ａ、８６ｂの可動方向に駆動力を受け、スライドＡ板８４に対して移動する。スライドＡ板８４は軸８３ａ、８３ｂの可動方向に駆動力を受け、固定板８１に対して移動する。この高周波を適切に制御することにより、手ぶれによる影響を補償するような光学系を実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明に係る駆動装置は、小型の二次元駆動を実現するものであり、光学レンズを駆動するレンズ駆動装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の駆動装置による手ぶれ補正装置の第一の実施の形態における構成を示す側面図と正面図
【図２】本発明の駆動装置による手ぶれ補正装置の第一の実施の形態における構成を示す可動台板を除いた正面図
【図３】本発明の駆動装置による手ぶれ補正装置の第一の実施の形態における駆動電極の構成を示す詳細図
【図４】本発明の駆動装置による手ぶれ補正装置の一実施例における駆動電極の駆動を行う駆動回路の機能を表すブロック図
【図５】本発明の駆動装置の第二の実施の形態における弾性表面波アクチュエータの構成を示す図
【図６】本発明の駆動装置の第三の実施の形態における構成を示す側面図と正面図
【図７】本発明の駆動装置の第三の実施の形態における別の正面図
【図８】本発明の駆動装置の第三の実施の形態における駆動電極の詳細図
【図９】本発明の駆動装置の第三の実施の形態におけるスライドＢ板の斜視図
【図１０】本発明の駆動装置の第四の実施の形態における構成を示す側面図と正面図
【図１１】本発明の駆動装置の第四の実施の形態における別の正面図
【図１２】従来例の防振光学系の構成を示す図
【図１３】従来例の弾性表面波モータの構成を示す図
【図１４】圧接子の詳細形状を示す図
【符号の説明】
【００５５】
２１  固定板
２２ａ〜２２ｄ  駆動電極
２３  可動台板
２４ａ〜２４ｄ  磁石
２５ａ〜２５ｄ  圧接子
２６  レンズ
２７  固定板表面部
３１ａ〜３１ｄ  端子部
３２ａ〜３２ｄ  すだれ状電極
３３  弾性表面波基板
４１  固定板
４２ａ〜４２ｄ  スライド軸受
４３ａ、４３ｂ  軸
４４  スライドＡ板
４５ａ〜４５ｄ  スライド軸受
４６ａ、４６ｂ  軸
４７  スライドＢ板
４８  レンズ
４９ａ〜４９ｄ  駆動電極
５０ａ〜５０ｄ  与圧手段
５１ａ〜５１ｄ  圧接子
６１ａ〜６１ｄ  端子部
６２ａ〜６２ｄ  すだれ状電極
６３ａ〜６３ｄ  圧電薄膜
６４  非圧電基板
７１  非圧電基板
７２  駆動電極（ＩＤＴ）
７３  圧接子
７４  圧電薄膜
８１  固定板
８２ａ〜８２ｄ  スライド軸受
８３ａ、８３ｂ  軸
８４  スライドＡ板
８５ａ〜８５ｄ  スライド軸受
８６ａ、８６ｂ  軸
８７  スライドＢ板
８９ａ〜８９ｄ  駆動電極
９０ａ、９０ｂ  圧接子
９１ａ〜９１ｄ  駆動電極
９２ａ、９２ｂ  圧接子
９３ａ、９３ｂ  与圧手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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