(57)【要約】【課題】  感光性樹脂層から揮発する揮発物質が、凹面鏡に付着することを防止して、凹面鏡の反射率の低下を防止できる露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】  光源１０と平面鏡２１，２３とフライアイレンズ２２と凹面鏡２４とマスクフレーム３１と載置テーブル３０とを筐体５内に備える露光装置１において、この筐体５内に設けられ凹面鏡２４の凹面に沿ってエアーを送風する送風口４０と、この送風の経路に設けた空気浄化フィルタ４２と、載置テーブル３０を設置する床面に設けられた凹面鏡２４の凹面に沿って送風したエアーを筐体５の外に排出する排気穴６０とを備えることを特徴とする。  また、露光装置１は、凹面鏡２４を介して送風口４０と対向する筐体５内の壁面に、凹面鏡２４の凹面に沿って送風したエアーを排気穴６０に導く導風板５０を備えることを特徴とする。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定波長の紫外線を含む光を照射する光源と、この光源からの光をあらかじめ設定された光路に沿って反射する平面鏡および凹面鏡と、前記光路中に配置されるフライアイレンズと、前記凹面鏡の下方に設置されたマスクを支持するマスクフレームと、このマスクフレームのマスクに対面するように配置される基板を載置する載置テーブルとを筐体内に備える露光装置において、
前記筐体内に設けられ前記凹面鏡の凹面に沿ってエアーを送風する送風口と、
前記送風の経路に設けた空気浄化フィルタと、
前記載置テーブルを設置する床面に設けられ前記凹面鏡の凹面に沿って送風したエアーを前記筐体の外に排出する排気穴とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記送風口は、前記筐体の外部に配置される空調装置と接続されることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記凹面鏡を介して前記送風口と対向する前記筐体内の壁面に、前記凹面鏡の凹面に沿って送風したエアーを前記排気穴に導く導風板を備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクを介して基板を露光する露光装置に係り、特に、光学系の性能が低下することを防ぐ機能を備えた露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、プリント配線基板などの電子回路が形成された基板は、その基板を使用する電子機器の多機能化や高速化に伴って、多層化や高密度化が要求されている。そのために、電子回路は、精密化および細線化する傾向にある。そこで、このような要求を満たすために、基板表面に設けた感光性樹脂層を露光する露光装置は、散乱光を利用した露光装置から、平行光を利用した露光装置へと改良されている。前記平行光を利用した露光装置は、ランプから照射された光を反射するコールドミラー（平面鏡）と、このコールドミラーで反射した光の光路に配置されるフライアイレンズと、このフライアイレンズを通過した光をワークに平行光として照射するコリメーションミラー（凹面鏡）とを備える光学系を有している（例えば、特許文献１参照）。そして、これら光学系の表面は、その性能を高めるために反射膜などで被膜されている。
【特許文献１】特開２００１−２９６６６６号公報（段落００１１〜００１２、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前記光学系の表面を被膜する反射膜は、耐熱性が劣るために、高温高湿度下で使用すると、劣化して露光装置内を漂う浮遊物が付着しやすくなる。そして、浮遊物が付着した反射膜は、反射率が低下してしまう。
【０００４】
また、基板表面に設けた感光性樹脂層は、露光されると化学変化を生じて二酸化ケイ素やシロキサンなどを揮発物質として揮発する。これらの揮発物質は、前記光学系に付着して、光学系の反射率を低下させることが知られている。なお、この光学系の反射率の低下は、基板を載置する載置テーブルの直上に配置されるコリメーションミラー（凹面鏡）で顕著である。
【０００５】
そこで、本発明は、凹面鏡に感光性樹脂層から揮発する揮発物質が付着して反射率が低下する問題と、凹面鏡の表面を被膜する反射膜が、高温高湿度下で使用されることによって劣化する問題とを解決し、精密化および細線化した電子回路を形成できる露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、請求項１に係る露光装置は、所定波長の紫外線を含む光を照射する光源と、この光源からの光をあらかじめ設定された光路に沿って反射する平面鏡および凹面鏡と、光路中に配置されるフライアイレンズと、凹面鏡の下方に設置されたマスクを支持するマスクフレームと、このマスクフレームのマスクに対面するように配置される基板を載置する載置テーブルとを筐体内に備える露光装置において、筐体内に設けられ凹面鏡の凹面に沿ってエアーを送風する送風口と、この送風の経路に設けた空気浄化フィルタと、載置テーブルを設置する床面に設けられ凹面鏡の凹面に沿って送風したエアーを筐体の外に排出する排気穴とを備える構成とした。
【０００７】
このように構成した露光装置では、送風口から空気浄化フィルタを通過した清浄なエアーが凹面鏡の凹面に沿って流れる。このエアーは、感光性樹脂層から揮発する二酸化ケイ素やシロキサンなどの揮発物質および露光装置内を漂う埃や塵などの浮遊物を、載置テーブルを設置する床面に設けた排気穴から排出する。
【０００８】
請求項２に係る露光装置は、前記送風口が筐体の外部に配置される空調装置と接続される構成とした。
【０００９】
このように構成した露光装置では、送風口から温度と湿度を制御したエアーが凹面鏡の凹面に沿って流れる。この温度と湿度を制御したエアーは、凹面鏡の近傍の温度と湿度を一定に保ち、凹面鏡の表面を被膜する反射膜が、感光性樹脂層から揮発する二酸化ケイ素やシロキサンなどの揮発物質および露光装置内を漂う埃や塵などの浮遊物を付着しやすくなることを防止できる。
【００１０】
請求項３に係る露光装置は、前記凹面鏡を介して送風口と対向する筐体内の壁面に、凹面鏡の凹面に沿って送風したエアーを排気穴に導く導風板を備える構成とした。
【００１１】
このように構成した露光装置では、導風板を備えることで、送風口から凹面鏡の凹面に沿って送られてくるエアーを円滑に排気穴に導くことができる。
【発明の効果】
【００１２】
このような本発明に係る露光装置によれば、簡単な構造で凹面鏡の反射率の低下と、凹面鏡の表面を被膜する反射膜の劣化を防止できる。そのため、凹面鏡の性能を維持することができ、精密化および細線化した電子回路を基板に形成することが可能になる。また、凹面鏡に対するメンテナンスが軽減できるために、露光装置の連続作業時間を延ばすことも可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の露光装置を破断した状態の斜視図であり、図２は本発明のエアーの流れを示した断面図である。
【００１４】
図１に示すように、露光装置１は、光源１０と、光学系２０と、載置テーブル３０と、送風口４０と、排気穴６０とを筐体５内に備え、この筐体５は光源室３と露光室４とに仕切られている。さらに、この露光装置１は、送風口４０にエアーを供給する空調装置２を、筐体５の外部に備えている。なお、この露光装置１は、筐体５内に導風板５０を備えてもよい。
【００１５】
光源１０は、例えば、水銀ショートアークランプ１１と、集光ミラー１２とで構成されている。水銀ショートアークランプ１１は、所定波長の紫外線を含む光を照射するものであり、露光作業中は常に点灯するものである。集光ミラー１２は、前記水銀ショートアークランプ１１から照射された光を反射して、後記する第１平面鏡２１側に向かって集光させるものである。
【００１６】
光学系２０は、ここでは、第１平面鏡２１と、フライアイレンズ２２と、第２平面鏡２３と、凹面鏡２４とで構成され、あらかじめ設定された光路にそれぞれ設置されている。第１平面鏡２１は、板状の鏡であり、例えば、コールドミラーである。この第１平面鏡２１は、光源１０からの光を所定方向に反射するように、光源１０の直上に配置されている。
【００１７】
フライアイレンズ２２は、複数の凸レンズを縦横に配列したものであり、第１平面鏡２１が反射した光を第２平面鏡２３に一様な照度分布で照射するように、第１平面鏡２１と第２平面鏡２３との間の光路中に配置されている。フライアイレンズ２２の第１平面鏡２１側には、第１平面鏡２１が反射した光を遮断して、ワーク(基板)Ｗへの照射を制御するシャッタ２５が配置されている。
【００１８】
凹面鏡２４は、その表面形状が放物曲面の鏡で、第２平面鏡２３からの反射光を平行光としてマスクＭに反射するものであり、例えば、コリメーションミラーである。この凹面鏡２４は、第２平面鏡２３で反射した光を後記するマスクＭに平行光として照射するように、マスクＭと対向した状態で、後記する載置テーブル３０の直上に配置されている。前記した光学系２０のうち、第１平面鏡２１とフライアイレンズ２２は、光源室３に設置されている。また、第２平面鏡２３と凹面鏡２４は、露光室４に設置されている。
【００１９】
載置テーブル３０は、ワークＷを整合移動させる機能を備えており、載置面において平行方向に移動でき、垂直軸回りに回動できるとともに、ワークＷをマスクＭに当接させるために垂直方向に移動できるように構成されている。載置テーブル３０の直上には、所望の回路パターンが形成されたマスクＭを支持するマスクフレーム３１が配置されている。
【００２０】
空調装置２は、後記する送風口４０に温度と湿度を制御したエアーを供給するように、空調装置２と送風口４０とがダクト４１で接続されている。
【００２１】
送風口４０は、空調装置２で温度と湿度を制御したエアーを、凹面鏡２４の凹面に沿って送風するように、凹面鏡２４の近傍に配置されている。この送風の経路には、凹面鏡２４の凹面に沿って清浄なエアーを供給するために、空気浄化フィルタ４２を備えている。この空気浄化フィルタ４２は、好ましくは、埃や塵などの浮遊物を吸着して除去するペーパフィルタであり、望ましくは、微粒子または二酸化ケイ素やシロキサンなどの揮発物質を吸着して除去するＨＥＰＡフィルタ、または中性能フィルタである。この空気浄化フィルタ４２は、ここでは、送風口４０の開口面に設けられている。また、送風口４０は、第２平面鏡２３から凹面鏡２４に向けて反射する光の光路に重なることなく、凹面鏡２４の近くに設置できるように、所定角度を備えている。
【００２２】
導風板５０は、曲面状の板であり、送風口４０から送風されて凹面鏡２４の凹面を通過したエアーが、後記する排気穴６０から露光室４の外に排気されるように、凹面鏡２４の下方であって、凹面鏡２４を介して送風口４０と対向する、いわゆる風下に位置する露光室４の壁面に設けられている。なお、図１のように導風板５０を露光室４の壁面に装着する他にも、露光室４の壁面を空気の流れが円滑になるように曲面状に形成してもよい（図３の（ａ），図３の（ｂ）参照）。
【００２３】
排気穴６０は、導風板５０で載置テーブル３０が設置された床面に導かれたエアーを露光室４の外に排出するように、載置テーブル３０が設置された床面に複数設けられている。なお、本実施形態のように載置テーブル３０が設置された床面に複数の排気穴６０を設ける他に、載置テーブル３０が設置される床面を網状にしてもよい。
【００２４】
前記した各構成要素は、光源室３と露光室４とに仕切られた筐体５内に設置されている。光源室３は、密閉された箱状の空間である。露光室４は、床面に排気穴６０が設けられ、かつ、側面にワークＷの搬入および搬出を行う図示しないワークＷ搬出入口を有する箱状の空間である。なお、排気穴６０の開口面積は、ワークＷ搬出入口面積に比べて広く設定されている。そのため、送風口４０から露光室４内に供給されたエアーは、図２に示す矢印で表される方向に流れる。
【００２５】
以上のように構成した露光装置１において、空調装置２で温度と湿度を制御したエアーは、空調装置２からダクト４１を通り、送風口４０から空気浄化フィルタ４２を通過して、露光室４内に送風される（図２参照）。このエアーは、凹面鏡２４の凹面に沿って流れ、風下に位置する導風板５０で排気穴６０が設けられた床面に誘導されて、排気穴６０から露光室４の外に排出される。なお、送風口４０から送風されるエアーの送風速度は、露光室４内に乱流を発生させない程度が望ましく、ここでは、一例として、送風口４０で１．５ｍ／ｓｅｃであり、導風板５０通過時には１．２ｍ／ｓｅｃである。また、風速などの制御は、図示しない制御弁で行われている。なお、露光室４内への送風は、露光装置の作業中には常時行われるものである。
【００２６】
図２のようにエアーが流れるため、感光性樹脂層から揮発した二酸化ケイ素やシロキサンなどの揮発物質および露光室４内を漂う埃や塵などの浮遊物は、エアーに押されて凹面鏡２４の凹面から導風板５０に沿って流れ、載置テーブル３０を設置する床面に設けられた排気穴６０から露光室４の外に排出される。そのため、感光性樹脂層から揮発する二酸化ケイ素やシロキサンなどの揮発物質および露光室４内を漂う埃や塵などの浮遊物が、凹面鏡２４の凹面に付着することを防止できる。
【００２７】
また、送風の経路に空気浄化フィルタ４２を備えるため、送風口４０は、空気浄化フィルタ４２を通過した清浄なエアーを、凹面鏡２４の凹面に沿って送風できるので、凹面鏡２４の凹面に埃や塵などの浮遊物が付着することをより効果的に防止できる。さらに、空調装置２で温度と湿度を制御したエアーを露光室４内に供給することで、露光室４内、特に、凹面鏡２４の周囲の温度と湿度を一定に保ち、凹面鏡２４の表面を被膜する反射膜の劣化を防止することができる。ここでは、空調装置２は、温度を２２〜２３℃に、湿度を５５〜６０％に制御したエアーを供給している。
【００２８】
さらに、導風板５０を設けたことで、凹面鏡２４の凹面を通過したエアーが、露光室４の壁面に衝突して露光室４内に乱流が発生することを防止できる。また、露光室４内に吹きだまりが発生することも防止できる。このように、エアーの流れを円滑にすることで、揮発物質などを露光室４内から効率的に排出できるとともに、露光室４内の温度と湿度を効率的に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の露光装置を破断した状態の斜視図である。
【図２】本発明のエアーの流れを示した断面図である。
【図３】（ａ）は導風板を露光室の壁面に設けた実施形態の斜視図であり、（ｂ）はその断面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１      露光装置
２      空調装置
３      光源室
４      露光室
５      筐体
１０    光源
１１    水銀ショートアークランプ
１２    集光ミラー
２０    光学系
２１    第１平面鏡
２２    フライアイレンズ
２３    第２平面鏡
２４    凹面鏡
２５    シャッタ
３０    載置テーブル
３１    マスクフレーム
４０    送風口
４１    ダクト
４２    空気浄化フィルタ
５０    導風板
６０    排気穴
Ｍ      マスク
Ｗ      ワーク
【図１】
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【図２】
2005345645.tif 000004
【図３】
2005345645.tif 000005