(57)【要約】【課題】厚み方向の収縮が抑制されたセラミックグリーンシートおよび段差の抑制されたセラミック積層体の製造方法を提供する。【解決手段】セラミック粉末、アニオン性エマルションからなるバインダ、および水を主成分とするセラミックスラリーをキャリア上に塗布してシート状に成形する工程と、シート状に成形したセラミックスラリーをカチオン性凝固浴中に浸漬してゲル化したセラミックグリーンシートを作製する工程と、凝固浴から取り出し乾燥させることにより乾燥後のセラミックグリーンシートを作製する工程と、このセラミックグリーンシート上に電極パターンを形成する工程と、セラミックグリーンシートおよび電極パターン上にさらにセラミックスラリーを塗布してセラミックグリーンシートを作製する工程、を繰返すことによりセラミック積層体を作製する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック粉末、帯電したエマルションからなるバインダおよび、水を主成分とするセラミックスラリーを作製する工程と、
前記セラミックスラリーをシート状に成形する工程と、
前記シート状に成形したセラミックスラリーを前記エマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴中に浸漬してセラミックグリーンシートを作製する工程と、
前記セラミックグリーンシートを乾燥させる工程と、
を備えることを特徴とする、セラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項２】
前記セラミックスラリーをシート状に成形する工程が、
キャリア上に前記セラミックスラリーを塗布してシート状に成形する工程であることを特徴とする請求項１に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項３】
前記セラミックスラリーをシート状に成形する工程が、
前記セラミックスラリーを前記凝固浴中にシート状に押し出してセラミックグリーンシートを作製する工程であることを特徴とする請求項１に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項４】
前記帯電したエマルションがアニオン性エマルションであり、
前記エマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴がカチオン性凝固浴であることを特徴とする請求項１ないし請求項３に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項５】
第１のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
前記第１のセラミックグリーンシート上に電極パターンを形成する工程と、
セラミック粉末、帯電したエマルションからなるバインダ、および水を主成分とするセラミックスラリーを準備する工程と、
前記第１のセラミックグリーンシートおよび前記電極パターン上に前記セラミックスラリーを塗布してシート状に成形する工程と、
前記シート状に成形したセラミックスラリーを前記エマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴中に浸漬して第２のセラミックグリーンシートを作製する工程と、
前記第２のセラミックグリーンシートを乾燥させる工程と、
を備えることを特徴とするセラミック積層体の製造方法。
【請求項６】
セラミック粉末、帯電したエマルションからなるバインダ、および水を主成分とするセラミックスラリーを作製する工程と、
前記セラミックスラリーを前記エマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴中にシート状に押し出してセラミックグリーンシートを作製する工程と、
前記セラミックグリーンシートを乾燥させる工程と、
前記セラミックグリーンシート上に電極パターンを形成する工程と、
前記セラミックグリーンシートを積層、圧着してセラミック積層体を作製する工程と、
を備えることを特徴とするセラミック積層体の製造方法。
【請求項７】
前記帯電したエマルションがアニオン性エマルションであり、
前記エマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴がカチオン性凝固浴であることを特徴とする請求項５または請求項６に記載のセラミック積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層セラミックコンデンサなどの作製に用いられるセラミックグリーンシートおよびセラミック積層体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、移動体通信機器をはじめとする電子機器は、小型化かつ軽量化が進み、積層型セラミック電子部品に対しても、小型化および軽量化が強く要求されるようになっている。例えば、積層セラミックコンデンサの場合には、小型化かつ大容量化の要求が高まってきている。そのためには、平坦なセラミック層を用いて、セラミック層の薄層化を図ることが必要となる。
【０００３】
従来、例えば、積層セラミックコンデンサのような積層型セラミック電子部品となるセラミック積層体を作製する場合、セラミックスラリーを塗布する工程と、配線パターンを形成する工程とを繰返すことにより作製されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
図１０（１ａ）に示すように、キャリア１６上にセラミックスラリーを塗布して乾燥させ、未焼成の第１のセラミック層１７を作製する。次に、図１０（１ｂ）に示すように、未焼成の第１のセラミック層１７上に電極ペーストを印刷して配線パターン１８を形成する。さらに図１０（１ｃ）に示すように未焼成の第１のセラミック層１７および配線パターン１８上にセラミックスラリーを塗布して乾燥させ、未焼成の第２のセラミック層１９とする。次に、図１０（１ｄ）に示すように、未焼成の第２のセラミック層１９上に電極ペーストを印刷して配線パターン２０を形成する。この工程を繰り返し、所定の厚みまでセラミック層および配線パターンを積層してセラミック積層体を作製する。
【０００５】
【特許文献１】特開平６−１２４８４８（第３頁、第６図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記の方法によると、セラミックスラリーを乾燥させる際に厚み方向に収縮が起こり、セラミック積層体に段差が生じるという問題があった。
【０００７】
また、上記の方法によると、セラミック積層体はキャリア上に形成されるため、キャリアを剥離する工程が必要となり、最終的にキャリアは廃棄物となるという問題もあった。さらに、バインダが偏析するという問題もあった。
【０００８】
本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされたもので、厚み方向の収縮が抑制されたセラミックグリーンシートおよび段差の抑制されたセラミック積層体の製造方法を提供する。
【０００９】
さらに、キャリアを用いることなく、均質なセラミックグリーンシートを作製することができるセラミックグリーンシートの製造方法を提供する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１にかかるセラミックグリーンシートの製造方法は、セラミック粉末、帯電したエマルションからなるバインダおよび、水を主成分とするセラミックスラリーを作製する工程と、前記セラミックスラリーをシート状に成形する工程と、前記シート状に成形したセラミックスラリーを前記エマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴中に浸漬してセラミックグリーンシートを作製する工程と、前記セラミックグリーンシートを乾燥させる工程と、を備えることを特徴としている。
【００１１】
請求項２にかかるセラミックグリーンシートの製造方法は、請求項１に記載のセラミックグリーンシートの製造方法において、前記セラミックスラリーをシート状に成形する工程が、キャリア上に前記セラミックスラリーを塗布してシート状に成形する工程であることを特徴としている。
【００１２】
請求項３にかかるセラミックグリーンシートの製造方法は、請求項１に記載のセラミックグリーンシートの製造方法において、前記セラミックスラリーをシート状に成形する工程が、前記セラミックスラリーを前記凝固浴中にシート状に押し出してセラミックグリーンシートを作製する工程であることを特徴としている。
【００１３】
請求項４に記載のセラミックグリーンシートの製造方法は、請求項１ないし請求項３に記載のセラミックグリーンシートの製造方法において、前記帯電したエマルションがアニオン性エマルションであり、前記エマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴がカチオン性凝固浴であることを特徴としている。
【００１４】
請求項５にかかるセラミック積層体の製造方法は、第１のセラミックグリーンシートを準備する工程と、前記第１のセラミックグリーンシート上に電極パターンを形成する工程と、セラミック粉末、帯電したエマルションからなるバインダ、および水を主成分とするセラミックスラリーを準備する工程と、前記第１のセラミックグリーンシートおよび前記電極パターン上に前記セラミックスラリーを塗布してシート状に成形する工程と、前記シート状に成形したセラミックスラリーを前記エマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴中に浸漬して第２のセラミックグリーンシートを作製する工程と、前記第２のセラミックグリーンシートを乾燥させる工程と、を備えることを特徴としている。
【００１５】
請求項６にかかるセラミック積層体の製造方法は、セラミック粉末、帯電したエマルションからなるバインダ、および水を主成分とするセラミックスラリーを作製する工程と、前記セラミックスラリーを前記エマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴中にシート状に押し出してセラミックグリーンシートを作製する工程と、前記セラミックグリーンシートを乾燥させる工程と、前記セラミックグリーンシート上に電極パターンを形成する工程と、前記セラミックグリーンシートを積層、圧着してセラミック積層体を作製する工程と、を備えることを特徴としている。
【００１６】
請求項７にかかるセラミック積層体の製造方法は、請求項５または請求項６に記載のセラミック積層体の製造方法において、前記帯電したエマルションがアニオン性エマルションであり、前記エマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴がカチオン性凝固浴であることを特徴としている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
（実施形態１）
以下、本実施形態におけるセラミックグリーンシートの製造方法を説明する。
まず、セラミック粉末、セラミック粉末、アニオン性エマルションからなるバインダ、および水を主成分とするセラミックスラリーを作製する。
【００１８】
セラミック粉末としては、チタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸ジルコン酸鉛などを用いることができる。アニオン性エマルションからなるバインダとしては、アニオン性ポリウレタン樹脂エマルション、アニオン性アクリル樹脂エマルション、アニオン性ポリエステル樹脂エマルションなどを用いることができる。アニオン性エマルションからなるバインダの添加量は、セラミック粉末１００重量部に対して、３重量部以上１５重量部以下であることが好ましい。３重量部より少ないと、セラミックスラリーがゲル化しない。また、１５重量部を超えると脱バインダ時にセラミックグリーンシート中へ残存しやすくなり、焼成後のポア等の欠陥を発生させやすくなる。その他、必要に応じて分散剤、消泡剤、濡れ剤等を添加してもよい。
【００１９】
まず、セラミック粉末、分散剤および水を混合する。そこに、アニオン性ポリウレタン樹脂エマルション、消泡剤、塗れ剤とを加え、さらに混合してセラミックスラリーを作製する。
【００２０】
次に、図１（ａ）に示すように、グラビアコータ法、バーコータ法、ドクターブレード法などにより、セラミックスラリーをキャリア１上に塗布してシート状に成形して、シート状に成形したセラミックスラリー２とする。
【００２１】
次に、図１（ｂ）に示すように、シート状に成形したセラミックスラリー２をカチオン性凝固浴３に１〜１８０秒間浸漬し、ゲル化したセラミックグリーンシート２ａを作製する。カチオン性凝固浴３としては、酸性水溶液を用いることができるが、塩酸や硫酸などは塩素根あるいは硫酸根などが残存する可能性があるので、硝酸水溶液、酢酸水溶液、クエン酸水溶液などを用いるのが好ましい。硝酸水溶液は濃度が０．０１ｍｏｌ／Ｌ以上１．０ｍｏｌ／Ｌ以下のものが好ましい。濃度が０．０１ｍｏｌ／Ｌより低いとゲル化が起こらず、１．０ｍｏｌ／Ｌより高いとゲル化したセラミックグリーンシートのひび割れなどの欠陥が増加する。また、シート状に成形したセラミックスラリー２はその厚みによるが、短時間でゲル化するものであり、１８０秒を超えてカチオン性凝固浴３に浸漬すると、カチオン性凝固浴中へセラミック粉末が溶解する。
【００２２】
エマルションは、電気的な反発により液体中に液体が分散し、分散安定性が保たれている。この反発力がなくなるとエマルションは網目構造を形成し、ゲル化する。アニオン性エマルションはマイナスの電荷の反発により分散安定性が保たれているものである。本実施例においては、アニオン性ポリウレタン樹脂エマルションのマイナス電荷（カルボン酸イオン−ＣＯＯ−）を、硝酸水溶液中のプラス電荷（水素イオンＨ＋）が中和することにより、反発力がなくなりゲル化が起こる。なお、同様の原理により、プラスの電荷の反発により分散安定性が保たれているカチオン性エマルションを、マイナス電荷を有する水溶液に浸漬すると、反発力がなくなり、ゲル化が起こる。
【００２３】
次に、図１（ｃ）に示すように、ゲル化したセラミックグリーンシート２ａを乾燥させて、乾燥後のセラミックグリーンシート２ｂを作製する。
【００２４】
本実施形態によると、アニオン性エマルションを含むセラミックスラリーとカチオンを含む水溶液とが反応して網目構造を形成し、乾燥工程においても網目構造が保持されるため、セラミックスラリーの乾燥収縮が抑制され、厚み方向の収縮が抑制されたセラミックグリーンシートを作製することができる。
（実施形態２）
以下、本実施形態におけるセラミック積層体の製造方法を説明する。
実施例１と同様の方法により、アニオン性エマルションを含むセラミックスラリーを作製する。
【００２５】
次に、図２に示すように、セラミックスラリー４をヘッド５に納め、開口部６から空気圧をかけながらヘッド５を矢印Ａ方向に移動させる。スリット７から、カチオン性凝固浴３中へ、セラミックスラリー４をシート状に押し出し、実施形態１と同様の原理により、ゲル化したセラミックグリーンシート８ａを作製する。
【００２６】
１〜１８０秒後に、ゲル化したセラミックグリーンシート８ａをカチオン性凝固浴３中から取り出し、乾燥させてセラミックグリーンシートを作製する。
【００２７】
本実施形態によると、キャリアを用いることなくセラミックグリーンシートを作製することができるので、廃棄物を減少させ、製造コストを削減させることができる。
【００２８】
また、シート状に押し出されたセラミックスラリーは、凝固浴中において両主面からゲル化が起こるので、バインダ偏析が起こらず、均質なセラミックグリーンシートを作製することができる。
（実施形態３）
以下、本実施形態におけるセラミック積層体の製造方法を説明する。
実施形態１と同様の方法により、アニオン性エマルションを含むセラミックスラリーを作製する。次に、電極パターンを形成するための電極ペーストを作製する。電極ペーストとしては、金属粉末、分散剤、結合剤などを混合して作製される。金属粉末としては、Ａｇ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｃｕなどを用いることができる。
【００２９】
次に、図３（ａ）に示すように、スクリーン印刷法などによりセラミックグリーンシート９上に電極パターン１０を形成する。セラミックグリーンシート９は、実施形態１と同様の方法により作製されたセラミックスラリーを用いて、実施形態１と同様の方法により作製されてもよいし、異なるセラミックスラリーを用いて異なる方法により作製されてもよい。また、本実施形態においては、セラミックグリーンシート９はキャリア１を備えているが、キャリア１が剥離された状態のセラミックグリーンシート９に電極パターン１０を形成してもよい。
【００３０】
次に、図３（ｂ）に示すように、グラビアコータ法、バーコータ法、ドクターブレード法などにより、セラミックグリーンシート９および電極パターン１０上にセラミックスラリーを塗布してシート状に成形して、シート状に成形したセラミックスラリー１１とする。
【００３１】
次に、図３（ｃ）に示すように、シート状に成形したセラミックスラリー１１をカチオン性凝固浴３に１〜１８０秒間浸漬する。実施形態１と同様の原理により、ゲル化したセラミックグリーンシート１１ａを作製する。
【００３２】
次に、図３（ｄ）に示すように、ゲル化したセラミックグリーンシート１１ａを乾燥させてセラミックグリーンシート１１ｂを作製する。乾燥工程において、カチオン性凝固浴３に浸漬したことにより形成された網目構造が保持されるため、セラミックグリーンシート１１ｂの収縮を抑制することができる。したがって、本実施形態のように、セラミックグリーンシート９上に電極パターン１０が形成されている場合であっても、乾燥時の収縮により電極パターン１０に起因するセラミックグリーンシート１１ｂに生じる段差を抑制することができる。
【００３３】
次に、セラミックグリーンシート１１ｂに、電極パターン１０を形成し、さらに、セラミックグリーンシート１１ｂおよび電極パターン１０上にセラミックスラリーを塗布してセラミックグリーンシートを作製する。この工程を所定の厚みまで繰り返すことにより、図４に示すようにセラミック積層体１２を作製する。
【００３４】
本実施形態によると、アニオン性エマルションを含むセラミックスラリーとカチオンを含む水溶液とが反応して網目構造を形成することにより、セラミックスラリーの乾燥収縮が抑制されるため、セラミックスラリーと電極ペーストとを交互に塗り重ねてセラミック積層体を作製する方法において、電極段差の抑制されたセラミック積層体を作製することができる。
（実施形態４）
以下、本実施形態におけるセラミック積層体の製造方法を説明する。
実施形態２のセラミックグリーンシートの製造方法により作製されたセラミックグリーンシートを準備する。
【００３５】
次に、電極パターンを形成するための電極ペーストを作製する。電極ペーストとしては、金属粉末、分散剤、結合剤などを混合して作製される。金属粉末としては、Ａｇ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｃｕなどを用いることができる。
【００３６】
次に、図５（ａ）に示すように、スクリーン印刷法などによりセラミックグリーンシート１３上に電極パターン１４を形成する。次に、電極パターン１４の形成されたセラミックグリーンシート１３を所定枚数積層し、圧着して、図５（ｂ）に示すセラミック積層体１５を作製する。
【００３７】
本実施形態においては、セラミックグリーンシートを積層する際にキャリアを剥離する工程を経ることなくセラミック積層体を作製することができるため、セラミック積層体の製造工程を簡略化することができる。
【００３８】
【実施例】
（実施例１）
チタン酸バリウムを主成分とする誘電体原料１００ｇ、水溶性スチレン−マレイン酸共重合体（有効成分５０％）２．４ｇおよび水２１．４ｇを２時間混合した。そこに、アニオン性ポリウレタン樹脂エマルション（有効成分３５％）２２．９ｇ、アセチレングリコール（有効成分８０％）１．２ｇおよびウレア樹脂含有シリコーン（有効成分５％）０．４ｇを加え、さらに１６時間混合してセラミックスラリーを作製した。
【００３９】
次に、グラビアコート法により、キャリア上にセラミックスラリーを厚み１０．０μｍとなるように塗布してシート状に成形した。次に、シート状に成形したセラミックスラリーを０．０５Ｎ硝酸水溶液に６０秒間浸漬してゲル化させ、ゲル化したセラミックグリーンシートを作製した。
【００４０】
次に、ゲル化したセラミックグリーンシートを１００℃で１分間乾燥させ、乾燥後のセラミックグリーンシートを作製した。乾燥後のセラミックグリーンシートの寸法は厚み７．０μｍであり、厚み方向の収縮率は３０％であった。
（比較例１）
実施例１と同様のセラミックスラリーを作製し、キャリア上に厚み１０．０μｍとなるように塗布してシート状に成形した。
【００４１】
次に、シート状に成形したセラミックスラリーを１００℃で１分間乾燥させ、セラミックグリーンシートを作製した。乾燥後のセラミックグリーンシートの寸法は４．５μｍであり、厚み方向の収縮率は５５％であった。
【００４２】
以上のように、本実施例によるとセラミックスラリーの乾燥収縮が抑制され、厚み方向の収縮が抑制されたセラミックグリーンシートを作製することができた。
（実施例２）
実施例１と同様のセラミックスラリーを作製した。
【００４３】
次に、幅１ｍｍのスリットを持つダイヘッドから、０．５Ｎ硝酸水溶液中へ、１．２ｃｍ３／ｓの吐出速度で、厚み９３０μｍのシート状に押し出して、ゲル化したセラミックグリーンシートを作製した。
【００４４】
次に、ゲル化したセラミックグリーンシートを８０℃で１分間乾燥させ、乾燥後のセラミックグリーンシートを作製した。乾燥後のセラミックグリーンシートの寸法は厚み６５０μｍであった。厚み方向の収縮率は約３０％であった。
【００４５】
次に、乾燥後のセラミックグリーンシートの両主面の状態を観察した。図６（ａ）は乾燥後のセラミックグリーンシートの一方主面、図６（ｂ）は乾燥後のセラミックグリーンシートの他方主面を観察したものである。図６（ａ）および（ｂ）に示すように、このセラミックグリーンシートの両主面においてセラミック粉末とバインダの存在状態はほぼ同じであった。
（比較例２）
実施例１と同様のセラミックスラリーを作製し、キャリア上に厚み１４４０μｍとなるように塗布してセラミックグリーンシートを作製した。
【００４６】
次に、セラミックグリーンシートを８０℃で８分間乾燥させ、乾燥後のセラミックグリーンシートを作製した。乾燥後のセラミックグリーンシートの寸法は厚み６５０μｍであった。厚み方向の収縮率は約５５％であった。
【００４７】
次に、乾燥後のセラミックグリーンシートの両主面をＳＥＭにより観察した。図７（ａ）はキャリアと接していない主面、図７（ｂ）はキャリアと接している主面を観察したものである。図７（ａ）および（ｂ）に示すように、このセラミックグリーンシートは、キャリアに接している主面側にバインダが偏析していた。
【００４８】
以上のように、本実施例によると、キャリアを用いることなくセラミックグリーンシートを作製することができた。
【００４９】
また、バインダが偏析せず均質であり、かつ厚み方向の収縮が抑制されたセラミックグリーンシートを作製することができた。
（実施例３）
実施例１と同様のセラミックスラリーを作製した。
【００５０】
次に、グラビアコート法により、キャリア上にセラミックスラリーを厚み６．０μｍとなるように塗布してシート状に成形した。次に、シート状に成形したセラミックスラリーを０．０５Ｎ硝酸水溶液に６０秒間浸漬してゲル化させ、ゲル化したセラミックグリーンシートを作製した。
【００５１】
次に、ゲル化したセラミックグリーンシートを１００℃で１分間乾燥させ、乾燥後のセラミックグリーンシートを作製した。
【００５２】
次に、このセラミックグリーンシート上に、スクリーン印刷により、Ｎｉを主成分とする電極ペーストで厚みが１．２μｍの電極パターンを形成した。
【００５３】
次に、セラミックグリーンシートおよび電極パターン上に、ドクターブレード法により、電極パターン上の厚みが６．０μｍとなるようにセラミックスラリーを塗布してシート状に成形した。
【００５４】
次に、シート状に成形したセラミックスラリーを、０．０５Ｎ硝酸水溶液に６０間浸漬してゲル化させ、ゲル化したセラミックグリーンシートを作製した。。
【００５５】
次に、セラミックグリーンシートを１００℃で１分間乾燥させ、乾燥後のセラミックグリーンシートを作製した。
【００５６】
同様に、電極パターンとセラミックグリーンシートとを交互に形成し、各セラミックグリーンシートにおける電極段差を測定した結果を図８に示す。電極段差は図９に示すｈを測定したものである。なお、セラミックグリーンシート上に電極を形成した状態を積層数０とし、そのときの電極厚み（１．８μｍ）を積層数０のときの段差とし、セラミックグリーンシートが１層形成された状態を積層数１とし、そのときの図９のｈの厚みを、積層数１のときの段差とする。
（比較例３）
実施例１と同様のセラミックスラリーを作製した。
【００５７】
次に、グラビアコート法により、キャリア上にセラミックスラリーを厚み６．０μｍとなるように塗布してシート状に成形した。次に、シート状に成形したセラミックスラリーを１００℃で１分間乾燥させ、乾燥後のセラミックグリーンシートを作製した。
【００５８】
次に、このセラミックグリーンシート上に、スクリーン印刷により、Ｎｉを主成分とする電極ペーストで厚みが１．２μｍの電極パターンを形成した。
【００５９】
次に、セラミックグリーンシートおよび電極パターン上に、ドクターブレード法により、電極パターン上の厚みが６μｍとなるようにセラミックスラリーを塗布してシート状に成形した。
【００６０】
次に、シート状に成形したセラミックスラリーを１００℃で１分間乾燥させ、乾燥後のセラミックグリーンシートを形成した。
【００６１】
同様に、電極パターンとセラミックグリーンシートとを交互に形成し、各セラミックグリーンシートにおける電極差を測定した結果を図８に示す。電極段差は図９に示すｈを測定したものである。測定方法は、実施例３と同様である。
【００６２】
以上のように、本実施例によると、電極段差の抑制されたセラミック積層体を作製することができた。
（実施例４）
実施例２と同様の方法によりセラミックグリーンシートを作製した。
【００６３】
次に、セラミックグリーンシート上に、スクリーン印刷により、Ｎｉを主成分とする電極ペーストで厚みが１．２μｍの電極パターンを形成した。
【００６４】
次に、電極パターンの形成されたセラミックグリーンシートを１０枚積層し、圧着してセラミック積層体を作製した。
【００６５】
本実施例によると、キャリアを剥離する工程を経ることなく、セラミック積層体を作製することができるので、セラミック積層体の製造工程を簡略化することができた。
【００６６】
【発明の効果】
請求項１に記載のセラミックグリーンシートの製造方法によると、電荷を有するエマルションを含むセラミックスラリーと、そのエマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴とが反応して網目構造を形成し、乾燥工程においても網目構造が保持されるため、セラミックスラリーの乾燥収縮が抑制され、厚み方向の収縮が抑制されたセラミックグリーンシートを作製することができる。
【００６７】
請求項２に記載のセラミックグリーンシートの製造方法によると、キャリア上においてセラミックグリーンシートを作製するセラミックグリーンシートの製造方法において、セラミックスラリーの乾燥収縮が抑制され、厚み方向の収縮が抑制されたセラミックグリーンシートを作製することができる。
【００６８】
請求項３に記載のセラミックグリーンシートの製造方法によると、キャリアを用いることなくセラミックグリーンシートを作製することができるので、廃棄物を減少させ、製造コストを削減させることができる。
【００６９】
また、シート状に押し出されたセラミックスラリーは、凝固浴中において両主面からゲル化が起こるので、バインダ偏析が起こらず、均質なセラミックグリーンシートを作製することができる。
【００７０】
請求項４に記載のセラミックグリーンシートの製造方法によると、アニオン性エマルションを含むセラミックスラリーとカチオンを含む水溶液とが反応して網目構造を形成し、乾燥工程においても網目構造が保持されるため、セラミックスラリーの乾燥収縮が抑制され、厚み方向の収縮が抑制されたセラミックグリーンシートを作製することができる。
【００７１】
請求項５に記載のセラミック積層体の製造方法によると、電荷を有するエマルションを含むセラミックスラリーと、そのエマルションとは反対の電荷に帯電する電解質が溶解した凝固浴とが反応して網目構造を形成することにより、セラミックスラリーの乾燥収縮が抑制されたセラミックグリーンシートを作製することができるため、セラミックスラリーと電極ペーストとを交互に塗り重ねてセラミック積層体を作製する方法において、電極段差の抑制されたセラミック積層体を作製することができる。
【００７２】
請求項６に記載のセラミック積層体の製造方法においては、セラミックグリーンシートを積層する際にキャリアを剥離する工程を経ることなくセラミック積層体を作製することができるため、セラミック積層体の製造工程を簡略化することができる。
【００７３】
請求項７に記載のセラミック積層体の製造方法においては、アニオン性エマルションを含むセラミックスラリーとカチオンを含む水溶液とが反応して網目構造を形成することにより、段差の抑制させれたセラミック積層体を作製することができる。また、バインダ偏析が起こらず、均質なセラミックグリーンシートを用いて、簡略化された製造工程において、セラミック積層体を作製することができる。。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態１のセラミックグリーンシートの製造方法を示す概略工程図である。
【図２】実施形態２のセラミックグリーンシートの製造方法を示す概略工程図である。
【図３】実施形態３のセラミック積層体の製造方法を示す概略工程図である。
【図４】実施形態３のセラミック積層体の製造方法により作製されたセラミック積層体を示す概略断面図である。
【図５】実施形態４のセラミック積層体の製造方法を示す概略工程図である。
【図６】実施例２のセラミックグリーンシートの両主面の状態を示す顕微鏡写真である。
【図７】比較例２のセラミックグリーンシートの両主面の状態を示す顕微鏡写真である。
【図８】実施例３および比較例３のセラミック積層体の電極段差を示すグラフである。
【図９】実施例３および比較例３のセラミック積層体の電極段差を示す概略説明図である。
【図１０】従来のセラミック積層体の製造方法を示す概略工程図である。
【符号の説明】
１                          キャリア
２、４、１１                セラミックスラリー
３                          カチオン性凝固浴
８、９、１３                  セラミックグリーンシート
１０、１４                  電極パターン
１２                        セラミッ積層体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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