(57)【要約】【課題】複数の母型を支承する支持部材の熱変形を防止し、光学素子の偏心精度を向上させる。【解決手段】対向する上下成形型と、この上下成形型を加熱する加熱手段とを有するモールドプレス成形装置において、それぞれが、少なくとも一対の前記上下成形型を備えた複数対の上下母型１０２ａ，１０２ｂ，１０４ａ，１０４ｂと、これら複数対の上下母型をそれぞれ支持する複数対の上下プレス軸１１０，１１２と、これら複数対の上下プレス軸を支承する上下支持部材１１４，１１６と、前記上下成形型が、相対的に接近及び離間するように前記上下支持部材の少なくとも一方を移動させる駆動手段と、前記上下支持部材の少なくとも一方に設けた冷却水路１１６ａ，１１６ｂによる調温手段とで構成している。【選択図】      図１
2005001917.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する上下成形型と、この上下成形型を加熱する加熱手段とを有するモールドプレス成形装置において、
それぞれが、少なくとも一対の前記上下成形型を備えた複数対の上下母型と、
これら複数対の上下母型をそれぞれ支持する複数対の上下プレス軸と、
これら複数対の上下プレス軸を支承する上下支持部材と、
前記上下成形型が、相対的に接近及び離間するように前記上下支持部材の少なくとも一方を移動させる駆動手段と、
前記上下支持部材の少なくとも一方に設けた調温手段とを、
有することを特徴としたモールドプレス成形装置。
【請求項２】
前記調温手段が、前記支持部材の内部及び／又は外部に設けてあることを特徴とした請求項１に記載のモールドプレス成形装置。
【請求項３】
前記調温手段が、冷却手段であることを特徴とした請求項１又は２記載のモールドプレス成形装置。
【請求項４】
前記上下支持部材と前記上下母型との間の、少なくとも一方の間に、熱抵抗値が１Ｋ／Ｗ以上の熱抵抗体を介設したこと特徴とした請求項１〜３のいずれかに記載のモールドプレス成形装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のモールドプレス成形装置を用い、型加熱工程、素材供給工程、及び加圧工程を含む方法で光学素子を製造するときに、前記各工程のうち、少なくとも型加熱工程において前記支持部材の調温を行うことを特徴とした光学素子の製造方法。
【請求項６】
前記調温によって、支持部材のプレス軸を支承する側の面の温度分布を５℃以下に維持すること特徴とした請求項５記載の光学素子の製造方法。
【請求項７】
加熱した複数の上下成形型間に、この上下成形型よりも高温に加熱し軟化した成形素材をそれぞれ同時に供給し、かつ、前記上下成形型によって同時に加圧することを特徴とした請求項５又は６記載の光学素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学素子等の製造工程において、成形素材（予め予備成形したプリフォームなど）を加熱軟化させ、成形型でプレス成形して光学素子などを成形するためのモールドプレス成形装置及び光学素子の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
加熱軟化した状態の成形素材、例えばガラス素材を、所定形状に精密加工され、所定温度に加熱された成形型中でプレス成形し、その成形面をガラス素材に転写すると、研削、研磨などの後処理を行わなくても面精度、形状精度の高い光学素子を得ることができる。
この場合、光学素子（例えばレンズ）を効率よく生産するため母型上に複数の成形型を配設し、一回のプレス動作で複数のレンズを成形する装置が知られている。
【０００３】
このような成形装置を用いて、一度に複数の成形素材をプレス成形するに際し、例えば成形母型を、誘導加熱コイルなどの加熱手段によって加熱すると、母型の上下面に温度差が生じ、母型に、図４に示すような反りを生じることがある。これは、母型を支持するプレス軸などから熱が逸散するために、母型全体の温度を均一にすることが困難なためである。
特に、母型上に複数の成形型を配置し、複数同時プレスを行う場合には、母型の反りによる影響が大きい。このため、母型上の成形型の位置によって、成形される光学素子の肉厚が変動したり、または上下の同軸性が損なわれて、偏心精度（ティルト）が悪化する。この問題は、母型上に配置された成形型の数が多いほど、あるいは、成形する光学素子の径が大きいほど、深刻である。
【０００４】
そこで、複数同時プレスを行うにあたり、母型の水平方向の大きさを一定以下にするため、母型を複数にし、かつ、その複数の母型を複数のプレス軸によって単一支持部材に固定し、それを一本の主軸によって駆動する成形装置を本出願人が提案している（例えば、特許文献１）。この成形装置によれば、同時にプレスできる光学素子の数を維持したまま、反りの影響を小さくすることができる。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００３−５４９６７号
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このように、特許文献１に記載の成形装置によれば、ある程度偏心精度の高いプレス成形を行なうことが可能である。しかしながら、光学素子に要求される精度は益々高くなり、例えば、光ピックアップ用の対物レンズなどにおいては、記録密度の増大とともに、偏心精度の許容範囲もより一層狭くなり、必ずしも上記の成形装置で得られる製品の偏心精度では十分でない場合がある。
【０００７】
そこで、本発明者らが、偏心精度をさらに向上させるため、偏心精度に悪影響を与えている要因を追求したところ、複数のプレス軸を支持する支持部材にも熱変形がわずかに生じており、この現象が、レンズの肉厚精度及び偏心精度に悪影響を与えていることを見出した。
すなわち、プレス成形装置は、加熱手段によって昇温する前には、図５（ａ）に示すように、上母型１０２ａ，１０２ｂと下母型１０４ａ，１０４ｂとの対向面が水平状態にあり、上下成形型の軸が一致した位置関係になっている。しかし、プレス成形に適した温度まで加熱することによって母型が高温（成形素材に依存し、６００℃以上になることもある）になると、上下支持部材１１４，１１６は熱伝導及び熱輻射によって熱変形し、図５（ｂ）に示すように、複数の母型を支持する複数のプレス軸が主軸に対してわずかに傾斜し、プレス成形したレンズの上下面の軸が傾いてしまう。これが、レンズの肉厚精度及び偏心精度を悪化させる原因となっていることが見出された。
したがって、プレス軸の傾きを抑えることにより、さらに肉厚精度及び偏心精度を向上できることが判明した。
【０００８】
本発明は、上記事情にかんがみてなされたものであり、偏心精度の公差が極めて小さい光学素子であっても、プレス成形によって安定生産でき、また、サイクルタイムの短縮された非等温プレスを用いても、同時に複数の素子が、高精度の肉厚で安定生産できるモールドプレス成形装置及び光学素子の製造方法の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のモールドプレス成形装置は、対向する上下成形型と、この上下成形型を加熱する加熱手段とを有するモールドプレス成形装置において、それぞれが、少なくとも一対の前記上下成形型を備えた複数対の上下母型と、これら複数対の上下母型をそれぞれ支持する複数対の上下プレス軸と、これら複数対の上下プレス軸を支承する上下支持部材と、前記上下成形型が、相対的に接近及び離間するように前記上下支持部材の少なくとも一方を移動させる駆動手段と、前記上下支持部材の少なくとも一方に設けた調温手段とを、有する構成としてある。
【００１０】
このような構成とすると、支持部材を調温して、支持部材の熱変形を防ぐことができ、これによって、支持部材の熱変形に起因する成形素子の偏心精度の低下を防止することができる。
【００１１】
また、本発明は、前記調温手段を、前記支持部材の内部及び／又は外部に設けた構成としてある。
このような構成とすると、支持部材の内部及び／又は外部から、調温することができるので、支持部材の熱変形を効果的に防ぐことができる。特に、支持部材の内部を調温すると、支持部材の内外の温度差を小さくすることができ、好ましい。
【００１２】
また、本発明は、前記調温手段を、冷却手段で構成してある。
このような構成とすると、支持部材の温度分布を短時間のうちに精度良く調整することができ、熱変形を効率よく防ぐことができる。
【００１３】
また、本発明は、前記上下支持部材と前記上下母型との間の、少なくとも一方の間に、熱抵抗値が１Ｋ／Ｗ以上の熱抵抗体を介設した構成としてある。
このような構成とすると、母型から支持部材への熱伝達を抑制することができるので、支持部材に対する調温と相まって、より一層、成形素子の偏心精度の向上を図ることができる。
【００１４】
上記目的を達成するため、本発明の光学素子の製造方法は、モールドプレス成形装置を用い、型加熱工程、素材供給工程、及び加圧工程を含む方法で光学素子を製造するときに、前記各工程のうち、少なくとも型加熱工程において前記支持部材の調温を行う方法としている。
このように、少なくとも、母型が高熱に加熱される型加熱工程において、支持部材の調温を行うと、支持部材の熱変形を効果的に防ぐことができ、ひいては、光学素子の偏心精度の向上及び均一化を図ることができる。
【００１５】
また、本発明は、前記調温によって、支持部材のプレス軸を支承する側の面の温度分布を５℃以下、好ましくは２℃以下に維持する方法としてある。
このように、支持部材のプレス軸を支承する側の面の温度分布を５℃以下、好ましくは２℃以下に維持すると、水平面上の中心軸付近に熱だまりが発生するのを抑制し支持部材の熱変形を確実に防止することができる。
【００１６】
また、本発明は、加熱した複数の上下成形型に、この上下成形型よりも高温に加熱し軟化した成形素材をそれぞれ同時に供給し、かつ、前記上下成形型によって同時に加圧する方法としてある。
このようにすると、高精度かつ均一な光学素子を短時間のうちに製造することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
なお、以下では、本発明をガラス光学素子の製造に適用した実施形態にそって説明するが、本発明のモールドプレス成形装置は、この実施形態に限られるものではなく、樹脂製光学素子の製造、あるいは、ガラス及び樹脂製の光学素子以外の部品製造にも適用できる。
【００１８】
図１は、本発明の一実施の形態に係るプレス成形装置の要部構造を示す一部断面側面図であり、図２は下型の概略平面図である。このプレス成形装置は、ガラス素材を予め扁平な球形状に成形した被成形体としてのプリフォームを用いてレンズを成形するものである。図１に示すように、このプレス成形装置は、上型１０２及び下型１０４よりなる成形型セットを備えている。上型１０２及び下型１０４は、いずれも左右方向に長い長尺形状を有しており、その周囲には、それぞれ誘導加熱コイル１２２，１２４が設けられている。これら誘導加熱コイル１２２，１２４は、高周波誘導加熱により、上型１０２及び下型１０４をそれぞれ加熱するものである。
【００１９】
上型１０２は、左右一対の母型である上母型１０２ａ，１０２ｂを有しており、下型１０４は、左右一対の母型である下母型１０４ａ，１０４ｂを有している。上母型１０２ａ，１０２ｂと下母型１０４ａ，１０４ｂは、鉛直方向において、互いに対向する複数（本実施形態では各３個）の上成形型１０５ａと下成形型１０５ｂをそれぞれ備えている（図２参照）。
上下母型１０２ａ，１０２ｂ，１０４ａ，１０４ｂの素材は、誘導加熱によって発熱し、耐熱性のある発熱体を用いている。この発熱体としては、熱膨張率が成形型１０５ａ，１０５ｂの素材と近いものを使用することが好ましく、例えば、タングステン合金、ニッケル合金などを用いることができる。
上母型１０２ａ，１０２ｂと下母型１０４ａ，１０４ｂの対向面には、上下成形型１０５ａ，１０５ｂを閉じるときの位置決めのために、ピンやスリーブなどの位置決め部材を設けることが好ましい。
【００２０】
また、一列に配置された上下の成形型１０５ａ，１０５ｂには、例えば、炭化ケイ素、窒化ケイ素などのセラミック、あるいは超硬合金などを用いることができる。
なお、上下の成形型１０５ａ，１０５ｂの成形面は、成形する光学素子の形状に精密加工され、かつ離型性を高めるため離型膜を設けることが好ましい。離型膜としては、貴金属（Ｐｔ、Ｉｒ，Ａｕなど）や、炭素を主成分とする膜が適用できる。
【００２１】
上母型１０２ａ，１０２ｂの上面には、支持板１０６ａ，１０６ｂがそれぞれ固定されており、支持板１０６ａ，１０６ｂの上面には上プレス軸１１０ａ，１１０ｂがそれぞれ取り付けられている。上プレス軸１１０ａ，１１０ｂは、共通の支持部材１１４を介して、固定軸１１８に取り付けられている。一方、下母型１０４ａ，１０４ｂの下面には、支持板１０８ａ，１０８ｂがそれぞれ固定されており、支持板１０８ａ，１０８ｂの下面には下プレス軸１１２ａ，１１２ｂがそれぞれ取り付けられている。下プレス軸１１２ａ，１１２ｂは、共通の支持部材１１６を介して、駆動軸１２０に取り付けられている。駆動軸１２０は、ＡＣサーボモータを備えた駆動装置により鉛直方向に直進駆動されるものであり、その軸心は、上型１０２及び下型１０４の各長手方向中心と一致している。駆動軸１２０が鉛直方向に移動すると、上型１０２と下型１０４との開閉が行われる。駆動軸１２０及び駆動装置などにより駆動手段を構成する。
固定軸１１８と駆動軸１２０の軸心は、上下母型の対向面に対する垂線と平行となっている。
なお、本実施形態では、上型を固定し、下型を上下動するようになっているが、下型を固定し、上型を上下動させるようにしてもよく、また、上下型を上下動させるようにしてもよい。
【００２２】
上記のように、上母型１０２ａ，１０２ｂと下母型１０４ａ，１０４ｂは、上下支持板１０６ａ，１０６ｂを介して上下プレス軸１１０，１１２に固定されている。したがって、上下プレス軸１１０，１１２や上下支持板１０６ａ，１０６ｂとして、熱を伝達しにくい形状及び素材を選択することによって、支持部材への熱の波及を抑止することができる。また、上下プレス軸１１０，１１２や上下支持板１０６ａ，１０６ｂに熱抵抗体を用いると、より一層熱伝達を抑止することができて好ましい。ここで、熱抵抗体とは、熱抵抗が１Ｋ／Ｗ（ケルビン／ワット）以上のものをいう。例えば、熱伝導率の小さい材料を用いたり、中空にするなどして形状に工夫を加えることによって、上記の熱抵抗体を得ることができる。たとえば、Ｓｉ３Ｎ４、ＺｒＯ２等の素材を用いた、中空のプレス軸を用いると、効果的に支持部材への熱の波及を抑止することができ、支持部材の熱変形を抑えられる。ここで、熱抵抗は
Ｒ＝ｄ／（Ａ・Ｋ）で表すことができる。
Ｒ：熱抵抗、ｄ：距離（長さ）、Ａ：面積、  Ｋ：熱伝導率
【００２３】
図２は、下型１０４（下母型１０４ａ，１０４ｂ）及びその周囲の誘導加熱コイル１２４を上方から見た平面図である。上型１０２（上母型１０２ａ，１０２ｂ）の平面形状も下型１０４と同様となっているので、図中、上型に対応する符号をかっこ内に付してある。
誘導加熱コイル１２４は、下母型１０４ａ，１０４ｂの両方を囲むよう、これら下母型１０４ａ，１０４ｂの外周に倣った形状に巻回されている。なお、上母型１０２ａ，１０２ｂの周囲に設けられた誘導加熱コイル１２２も、誘導加熱コイル１２４と同様の平面形状を有している。
【００２４】
上下支持部材１１４，１１６は、耐熱性、加工性に富み、機械的強度に優れた材質のものを用いると好適であり、線膨張係数は、１８×１０−６／℃以下が好ましい。素材としてはステンレス鋼などを用いることができる。
また、上下支持部材１１４，１１６のサイズは、複数のプレス軸を固定できる面積を有することが必要であるとともに、厚みは各プレス軸の位置する断面二次モーメントとヤング率から計算される支持部材撓み量が２μｍ以下となることが好ましい。
ここで、撓み量（δ）は、
δ＝βＷＬ３／ＥＩ
（Ｗ：荷重、Ｌ：距離（ここでは２本のプレス軸間距離）、Ｅ：ヤング率、Ｉ：断面二次モーメント、β：たわみ係数）
【００２５】
上下支持部材１１４，１１６には調温手段が設けてある。上下支持部材１１４，１１６の調温は、加熱によって高温になる上下母型１０２ａ，１０２ｂ，１０４ａ，１０４ｂの熱が、プレス軸１１０ａ，１１０ｂ，１１２ａ，１１２ｂ、支持部材１１４，１１６、及び固定軸１１８，駆動軸１２０を伝達して逃げる際に生じる支持部材上下方向の不均一な温度分布を調整し、支持部材に不均一な熱膨張を生じないようにするためのものである。具体的には、上下支持部材１１４，１１６の外周及び／又は内部に冷却媒体を循環させて調温することができる。
【００２６】
下部支持部材１１６に形成した調温手段の一例について、図１（ｂ）及び図３を参照して説明する。
この調温手段は、下部支持部材１１６に固定した駆動軸１２０に外部から冷却水を導入する導水路１２１ａ及び外部に冷却水を戻す還水路１２１ｂと、下部支持部材１１６の内部に形成された水路１１６ａと連水路１１６ｂとからなっている。下部支持部材１１６の内部に形成された水路１１６ａは、支持部材１１６の上面側において蛇行して形成してあり、その一端が導水路１２１ａと連通し、他端が還水路１２１ｂと連通している。
このようにすると、導水路１２１ａから導水された一定温度の冷媒（例えば、冷却水）は、下部支持部材１１６のほぼ中央から水路１１６ａに送り込まれ、まず、下部支持部材１１６の上面側左半分を蛇行して冷却した後、図中、左端部から連水路１１６ｂを介して右端部に送られ、続いて、下部支持部材１１６の上面側右半分を蛇行して冷却し、その後、下部支持部材１１６のほぼ中央部から、還水路１２１ｂを通って外部に戻される。
この場合、熱交換器を備えた冷却装置を用い、常に一定温度に保たれた水などの冷媒を、下部支持部材１１６に循環させることが好ましい。
【００２７】
このよう調温手段を設けると、下部母型が加熱されても、下部支持部材１１６の温度が一定以上とならないようにして、支持部材の局所的な温度差を小さくすることができるので、下部支持部材１１６が変形したりすることがない。
なお、流体による調温以外に、ペルティエ素子等の電子的冷却装置を用いることもできる。
調温手段は、支持部材における温度分布のバランスをとるためのものであるので、加熱手段を利用したもの、あるいは、冷却手段と加熱手段を併設したものであってもよい。
さらに、調温手段は、下部支持部材１１６の外周に設けることもでき、例えば、下部支持部材１１６を巻回するような冷却水路を設けたり、あるいは、冷風を下部支持部材１１６の周囲から吹き付けるようにしたものであってもよい。
さらにまた、調温手段を下部支持部材１１６の内部及び外部に併設することも可能である。
これら調温手段は、上下の支持部材に併設しても、いずれか一方の支持部材のみに設けるようにしてもよく、上部支持部材１１４に調温手段を設けるときには、下部支持部材１１６の場合と同様の調温手段を設けることができる。
【００２８】
このように、各母型をプレス軸によって支持し、複数のプレス軸を一つの支持部材で支持するモールドプレス成形装置においては、支持部材の熱変形を防ぐことによって、母型の熱変形によるレンズ肉厚の不揃い又は偏心精度の悪化を抑止する。さらに、支持部材は母型のように高温下におかれることがないため、熱変形による影響はないものとされていたが、本発明を適用すれば、さらなる偏心精度の向上が達成でき、光学性能のより高い成形素子（光学素子）を、より高い歩留りで安定生産できる。
【００２９】
［ガラス光学素子の製造方法］
以上のような構成のガラス光学素子製造装置を用いて、本発明に係るガラス光学素子を製造する方法の実施形態について説明する。
（ａ）型加熱工程
上下母型を、高周波誘導加熱コイルによって所定温度に加熱する。連続成形の場合、前回の成形サイクルが終了した状態の上下成形型は、Ｔｇ付近またはそれ以下の温度に冷却されているため、プレス成形に適した温度まで加熱する必要がある。すなわち、上母型と下母型の周囲を巻回する誘導加熱コイルに電流を流し、上下母型を発熱させ、この熱伝導によって上下の各成形型を所定温度まで加熱する。
【００３０】
上下母型の発熱体が発熱して昇温し、複数の成形型温度が上昇する。上下母型の温度設定値は、上下同一でもよく、温度差を設けたものであってもよい。例えば、成形する光学素子の形状や径によって、上母型より下母型を高温にしたり、上母型より下母型を低温にしたりする。上下母型の温度は、ガラスプリフォームの粘度で１０８〜１０１２ポアズ相当とすることができる。上下母型４１１ａ，４１１ｂに温度差をつける場合には、２〜１５℃の範囲が好ましい。
【００３１】
（ｂ）素材供給工程
加熱された上型及び下型間に、搬送されたプリフォーム（ガラス素材）が供給され、下型上に配置される。ガラス素材の供給は、予め適切な重量の所定形状に予備成形されたガラス素材を用い、成形に適した粘度まで軟化したものを供給するか、あるいは、成形に適した温度よりも低温のガラス素材を上型及び下型間に供給し、成形型においてさらに加熱してもよい。
予め、型の設定温度よりも高温に加熱し、軟化した状態のガラス素材を供給（いわゆる非等温プレス）し、直ちに上下成形型を密着させてプレス成形する場合には、加熱された状態下において、対をなす上下成形型の同軸性が精密に保たれていることが必要であるので、本発明を実施すると好適である。非等温プレスは、成形サイクルタイムを短縮でき、生産効率の上で有利である。
このときのガラス素材の温度は、粘度で１０９ポアズ相当未満の温度とし、好ましくは１０６〜１８８ポアズ相当とする。
なお、軟化したガラス素材を搬送して下型上に配置するときに、ガラス素材が搬送部材に接触して、表面に欠陥が起きると、成形される光学素子の面形状に影響するため、軟化したガラス素材を気体により浮上させた状態で搬送し、下型上にガラス素材を落下させる治具を用いることが好ましい。
また、必要に応じて、供給するガラスプリフォームが落下した下成形型上の位置を成形面中央に修正するための部材（チャックなど）を上下母型の間に挿入したり、落下時のガラス素材をガイドするファンネルのような部材を挿入したりすることもできる。
【００３２】
（ｃ）加圧工程
上型及び下型とガラス素材がそれぞれ所定の温度範囲にあり、ガラス素材が加熱軟化した状態で、下母型を上昇させて加圧し、上下成形型の成形面を転写することによって、所定面形状をもったガラス光学素子を成形する。下型の上昇は、駆動手段（例えばサーボモータ）を作動させて行う。ガラス素材が加熱軟化した状態で供給される場合には、供給後直ちに加圧が行われる。
加圧のための下型の上昇ストロークは、予め、成形する光学素子の肉厚から設定された値であり、この後の冷却工程においてガラスが熱収縮する分を見込んで定めた量とする。加圧のスケジュールは、成形する光学素子の形状や大きさに応じて任意に設定することができ、初期加圧の後、荷重を開放したのち、二次加圧を行うなどの、複数回の加圧方法を採用することもできる。
【００３３】
（ｄ）冷却・離型工程
加圧を維持したまま、あるいは加圧を減じた状態で、成形されたガラス光学素子と成形型の密着を保ち、ガラスの粘度で１０１２ポアズ相当の温度になるまで冷却したのち、下成形型を下降させることで上下成形型を離間し、離型する。冷却速度は、４０〜２００℃／ｍｉｎが好ましい。離型温度は、１０１２．５〜１０１３．５ポアズ相当、あるいはそれ以下で行うことが好ましい。
【００３４】
（ｅ）取り出し工程
吸着部材を備えた取り出しアーム等により、離間した上下型の間から成形されたガラス光学素子を自動的に取り出す。
なお、本実施形態では、上型を固定し、下型を可動としたが、上型を可動とし下型を固定としてもよく、あるいは、上型と下型の両方を可動としてもよい。
【００３５】
上記工程を繰り返すことにより、連続プレス成形を行う。
このうち、少なくとも、成形型を加熱する工程において、支持部材の調温を行う。好ましくは型加熱、素材供給、加圧のすべての工程において支持部材の調温を行う。この調温によって、支持部材の上下面の温度差を５℃以下、好ましくは２℃以下に維持する。また、支持部材の上面及び下面の面内温度差も同様の範囲内でとすることが好ましい。
なお、装置の熱サイクル中、降温、昇温のタイミングに応じて、冷媒の流量を調整してもよい。
【００３６】
本発明の方法によって製造する光学素子は、例えば、径が２〜２２ｍｍの凹メニスカスレンズ、凸メニスカスレンズ、両凸レンズなどに適用できる。また、偏心精度の公差が極めて小さい（例えばティルトが２分以下）、光ピックアップ用対物レンズなどに、有効に適用できる。
【００３７】
次に、本発明の成形装置と製造方法を用いてガラス光学素子の製造を行った実施例と、比較例の結果を示す。
［実施例１］
図１、図２に示す装置を用いて、ガラス素材をプレス成形した。ここでは、１本のプレス主軸に支持部材を設け、この支持部材上に２本のプレス軸を設けることにより２個の母型を用いてプレスを行う成形装置を作製した。各母型には３個の成形型をセットし、上下の各２個の母型に収められた上下各６個の成形型により、一度に６個のレンズを成形した。
ここで用いた上下支持部材には、本実施形態で説明した冷却水循環型の調温手段を用いた。そして、この調温手段によって、加熱、供給、加圧のすべての工程において調温を行った。
この成形機を用いて、ホウケイ酸塩ガラス（Ｔｇ５１５℃、Ｔｓ５４５℃）のガラスプリフォームを用い、径１５ｍｍの凹メニスカスレンズの成形を行った。上下成形型を５９０℃（ガラス粘度で１０８．１ポアズ相当）に加熱した後、６２５℃（１０７ポアズ相当）に加熱されたガラスプリフォームを、６個同時に落下供給し、下主軸を上方に駆動させることによって上下成形型を密着させ、加圧した。その後、冷却速度６０℃／分で、Ｔｇ以下の温度になるまで冷却し、下主軸を下方に駆動させて型を開き、成形されたレンズを取り出した。
全工程を通じて、支持部材全体は３０〜３３℃の範囲に調温された。また、同時に成形された６個のレンズの肉厚差は下表に示すように、１０μｍ以下であり、成形偏心ティルトも２分以下であり良好であった。
【表１】
2005001917.tif 000003
［比較例１］
実施例と同様の方法で、支持部材の調温を行わずに、６個のレンズを同時成形した。結果は、６個のレンズの肉厚差が最大７０μｍあり、また成形偏心ティルトは、５分以下だった。
【表２】
2005001917.tif 000004
【００３８】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、支持部材の調温を行うことによって支持部材の熱変形を防ぐことができるので、支持部材の変形に起因する肉厚精度及び偏心精度の悪化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の一実施形態にかかるモールドプレス成形装置の要部構造を示す一部断面側面図であり、（ａ）はプリフォームの供給状態を示し、（ｂ）は加圧状態を示し、（ｃ）は離型状態を示す。
【図２】図２は、図１における型の概略平面図である。
【図３】図３は、図１に示す支持部材の概略平面断面図である。
【図４】図４は、母型の熱変形（反り）を示す図である。
【図５】図５は、モールドプレス成形装置における支持部材が熱変形をしている状態の要部構造を示す側面図であり、（ａ）はプリフォームの供給状態を示し、（ｂ）は加圧状態を示し、（ｃ）は離型状態を示す。
【符号の説明】
１０２  上型
１０２ａ，１０２ｂ  上母型
１０４  下型
１０４ａ，１０４ｂ  下母型
１０５ａ  上成形型
１０５ｂ  下成形型
１０６ａ  上支持板
１０６ｂ  下支持板
１１０ａ，１１０ｂ  上プレス軸
１１２ａ，１１２ｂ  下プレス軸
１１４  上支持部材
１１６  下支持部材
１１６ａ  水路
１１６ｂ  連水路
１１８  固定軸（主軸）
１２０  駆動軸（主軸）
１２１ａ  導水路
１２１ｂ  還水路
１２２，１２４  高周波誘導コイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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