(57)【要約】【課題】エアシャワー処理を速やかに行うととともに、払い落とした塵埃が人体に再付着してクリーンルームへ持ち込まれるのを防止する。【解決手段】塵埃の払い落とし運転が終了してから退室開始までは、排気用ファン５を、設定された出力モードで運転を継続する層流噴出用ファン３と、低出力モードで運転するエアシャワー噴射用ファン４手段とによる送給量と排気量とが拮抗するように低出力モードで運転して、天井１１からの層流により払い落とした塵埃を抑え込むとともに、エアシャワー室２内を流下する層流を、排気用ファン５により床面の略全面から吸引して屋外に排気する。エアシャワー室２内を負圧にして、退室の際エアシャワー室２外への塵埃の流出を防止する。さらに、エアシャワー室２の側壁１５に排気ダクト２０及び排気チャンバー２３に連通する排気孔１９を設けてエアシャワー室２内に浮遊する塵埃の室外への排気を迅速に行う。【選択図】        図１
2005090763.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアシャワー室の側壁からエアシャワーを噴射するエアシャワー噴射手段と、
前記エアシャワー室の天井の略全面から略真下に層流のエアを噴出する層流噴出手段と、
前記エアシャワー室の床面の略全面からエアシャワー室内のエアを吸引して屋外に排気する排気手段を
備えたエアシャワー装置であって、
前記エアシャワー室に入室してドアを閉じた後の塵埃の払い落とし運転では、前記エアシャワー噴射手段、層流噴出手段及び排気手段をそれぞれ設定された出力モードで運転し、
前記塵埃の払い落とし運転終了から退室のためドアを開く退室開始までは、
前記エアシャワー噴射手段を、前記設定された出力モードよりも低出力モードで運転するとともに、前記設定された出力モードで運転を継続する層流噴出手段と、前記低出力モードで運転するエアシャワー噴射手段とによる送給量と、前記排気手段の排気量とが拮抗するように、該排気手段を前記設定された出力モードよりも低出力モードで運転するようにしたことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項２】
前記退室開始からドアを閉じる退室完了までは、前記層流噴出手段若しくはエアシャワー噴射手段の何れか一方を停止するとともに、前記排気手段を運転が継続される前記層流噴出手段若しくはエアシャワー噴射手段の何れか一方の出力よりも高い出力で運転し、前記エアシャワー室内が負圧となるようにしたことを特徴とする請求項１に記載のエアシャワー装置。
【請求項３】
前記エアシャワー室の側壁に前記排気手段に連通する排気孔を設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のエアシャワー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームの入口に設置されるエアシャワー装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームの入口に設置されるエアシャワー装置は、頭上及び側面の噴出ノズルから、毎秒１８ｍ程度の風速でエアシャワーを噴出して、人体や衣服に付着した塵埃を払い落とす。そして、室内気を床面から排気して払い落とした塵埃をフィルターで捕集する。しかしながら、エアシャワーにより払い落とされて舞い上がった塵埃が下降して人体に再付着する。さらに、床面からの排気のため、浮遊する塵埃を完全に捕集するには時間が掛かる。また、特開平５−２４８６７８号公報及び特開平７−２９３９５６号公報に開示されるように、室内気を循環させる方式であるため、塵埃を完全に捕集するには時間が掛かる。また、循環ファンの停止により給排気が同時に停止して、塵埃が室内に残りクリーンルームに流入してしまうという問題点がある。
【特許文献１】特開平５−２４８６７８号公報
【特許文献２】特開平７−２９３９５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
発明が解決しようとする課題は、エアシャワー処理を速やかに行うととともに、払い落とした塵埃が人体に再付着してクリーンルームへ持ち込まれるのを防止することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するための本発明の請求項１に記載のエアシャワー装置は、エアシャワー室の側壁からエアシャワーを噴射するエアシャワー噴射手段と、前記エアシャワー室の天井の略全面から略真下に層流のエアを噴出する層流噴出手段と、前記エアシャワー室の床面の略全面からエアシャワー室内のエアを吸引して屋外に排気する排気手段を備えたエアシャワー装置であって、前記エアシャワー室に入室してドアを閉じた後の塵埃の払い落とし運転では、前記エアシャワー噴射手段、層流噴出手段及び排気手段をそれぞれ設定された出力モードで運転し、  前記塵埃の払い落とし運転終了から退室のためドアを開く退室開始までは、前記エアシャワー噴射手段を、前記設定された出力モードよりも低出力モードで運転するとともに、前記設定された出力モードで運転を継続する層流噴出手段と、前記低出力モードで運転するエアシャワー噴射手段とによる送給量と、前記排気手段の排気量とが拮抗するように、該排気手段を前記設定された出力モードよりも低出力モードで運転するようにしたことを特徴とする。
【０００５】
請求項２に記載のエアシャワー装置は、請求項１に記載の構成において、前記退室開始からドアを閉じる退室完了までは、前記層流噴出手段若しくはエアシャワー噴射手段の何れか一方を停止するとともに、前記排気手段を運転が継続される前記層流噴出手段若しくはエアシャワー噴射手段の何れか一方の出力よりも高い出力で運転し、前記エアシャワー室内が負圧となるようにしたことを特徴とする。
【０００６】
また、請求項３に記載のエアシャワー装置は、請求項１又は請求項２に記載の構成において、前記エアシャワー室の側壁に前記排気手段に連通する排気孔を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１に記載のエアシャワー装置によれば、エアシャワー噴射手段、層流噴出手段及び排気手段を、それぞれ設定された出力モードで運転する塵埃の払い落とし運転の終了から退室開始までは、エアシャワー噴射手段を、設定された出力モードよりも低出力モードで運転するとともに、排気手段の排気量が設定された出力モードで運転を継続する層流噴出手段と、低出力モードで運転するエアシャワー噴射手段とによる送給量と拮抗するように、排気手段を設定された出力モードよりも低出力モードで運転する。従って、天井から噴出する層流により払い落とした塵埃を抑え込んで舞い上がりを防止するとともに、エアシャワー室内を流下する層流が、そのまま排気手段により床面の略全面から吸引されて屋外に排気されるから、払い落とした塵埃が人体に再付着してクリーンルームへ持ち込まれることがない。
【０００８】
請求項２に記載のエアシャワー装置によれば、退室開始からドアを閉じる退室完了までは、層流噴出手段若しくはエアシャワー噴射手段の何れか一方を停止するとともに、排気手段を運転が継続される層流噴出手段若しくはエアシャワー噴射手段の何れか一方の出力よりも高い出力で運転して、エアシャワー室内を負圧にするから、退室の際エアシャワー室外への塵埃の流出を防止できる。
【０００９】
請求項３に記載のエアシャワー装置によれば、エアシャワー室の側壁に排気手段に連通する排気孔を設けたから、払い落とされてエアシャワー室内に浮遊する塵埃の室外への排気を迅速に行うことができ、エアシャワー処理時間を短縮できる。そして、塵埃の払い落とし運転の終了から退室開始までの間は、エアシャワー噴射手段を、設定された出力モードよりも低出力モードで運転を継続することにより、水平方向の層流が生じて側壁の排気孔からの排気をし易くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
エアシャワー処理を速やかに行うとともに、払い落とした塵埃が人体に再付着してクリーンルームへ持ち込まれるのを防止するという目的を、塵埃の払い落とし運転の終了から退室開始までは、エアシャワー噴射手段を、設定された出力モードよりも低出力モードで運転するとともに、排気手段を設定された出力モードで運転を継続する層流噴出手段と、低出力モードで運転するエアシャワー噴射手段とによる送給量と排気量が拮抗する出力モードで運転し、退室開始から退室完了までは、エアシャワー室内を負圧にし、さらにエアシャワー室の側壁に排気手段に連通する排気孔を設けることで実現した。
【実施例】
【００１１】
本発明の実施例について添付図面を参照して説明する。図１は、本発明に係るエアシャワー装置１を模式的に示した構成図である。エアシャワー装置１は、エアシャワー室２、層流噴出用ファン３、エアシャワー噴射用ファン４及び排気用ファン５等から構成されている。
【００１２】
エアシャワー室２は、図示しない扉を閉じると気密に保持されるようになっている。天井１１の内側には、フィルタ１２で塞いだ天井チャンバー１３が形成されている。天井チャンバー１３には、層流噴出用ファン３を介装したエア送給配管１４が接続されている。エアシャワー室２の側壁１５には、略水平にエアシャワーを噴射するノズル１６が多数配設されている。各ノズル１６には、エアシャワー噴射用ファン４を介装したエア送給配管１７が接続されている。エア送給配管１４及びエア送給配管１７の一端は、共にフィルターボックス１８に接続されている。また、エアシャワー室２の側壁１５には、多数の排気孔１９が形成されている。各排気孔１９は、側壁１５の周囲に形成した排気ダクト２０に連通している。
【００１３】
エアシャワー室２の床２１の床面には、略全面に排気孔２２が形成されている。床２１の下面には、排気チャンバー２３が形成されている。排気チャンバー２３には排気ダクト２０が連接されるとともに、排気用ファン５を介装した屋外排気用配管２４が接続されている。そして、層流噴出用ファン３、エアシャワー噴射用ファン４及び排気用ファン５は、図示しない制御装置により所定のエアシャワー処理プログラムに従って制御される。
【００１４】
図２は、上記構成のエアシャワー装置１によるエアシャワー処理を示したタイミングチャートである。エアシャワー室２への入室後ドア（図示しない）が閉じられたのが検出されると、塵埃の払い落とし運転が開始される。塵埃の払い落とし運転では、層流噴出用ファン３、エアシャワー噴射用ファン４及び排気用ファン５がオンされて、それぞれ設定された出力モードで運転される。
【００１５】
層流噴出用ファン３のオンによりエア送給配管１４から天井チャンバー１３に送給されたエアは、該天井チャンバー１３を塞ぐフィルタ１２を通過して層流となり、毎秒２ｍ程度の風速で略真下に噴出する。エアシャワー噴射用ファン４のオンによりエア送給配管１７から送給されるエアは、各ノズル１６から毎秒３５ｍ程度の風速で略水平に噴射される。噴射されたエアは、人体に当たり人体や衣服に付着する塵埃を払い落とすとともに、乱流となって塵埃をエアシャワー室２内に舞い上がらせる。舞い上がった塵埃は、天井チャンバー１３のフィルタ１２を通過して略真下に噴出する層流により抑え付けられ、天井１１付近まで飛散することがない。
【００１６】
また、排気用ファン５のオンにより、エアシャワー室２内のエアは、床２１の全面に形成した排気孔２２から排気チャンバー２３内に吸引され、屋外排気用配管２４により排気される。そして、排気チャンバー２３は、エアシャワー室２の側壁１５の周囲に形成した排気ダクト２０に連通し、排気ダクト２０は側壁１５に形成した排気孔１９に連通しているから、この排気孔１９からもエアシャワー室２内のエアが吸引されて排気される。
【００１７】
所定時間継続した塵埃の払い落とし運転の終了からドアを開く退出開始までの間は、層流噴出用ファン３は、前記設定された出力モードで運転が継続される。エアシャワー噴射用ファン４は、設定された出力モードよりも低出力モードで運転される。そして、排気用ファン５は、層流噴出用ファン３によるエアの送給量と、低出力モードで運転されるエアシャワー噴射用ファン４によるエアの送給量とに拮抗する排気量となるように、前記設定された出力モードよりも低出力モードで運転される。これにより、エアシャワー室２内に浮遊する塵埃は、天井１１から噴出する層流により抑え込まれ、排気孔１９及び２２から吸引されるいわゆるプッシュプル作用により屋外へ排気される。
【００１８】
そして、退室開始からドアが閉じられる退室完了までの間は、層流噴出用ファン３が停止されるとともに、排気用ファン５は上記低出力モードよりもさらに低出力で、かつ上記低出力モードで運転を継続するエアシャワー噴射用ファン４の出力よりも高い出力で運転される。これにより、エアシャワー室２内が負圧に保持される。
【００１９】
上記構成のエアシャワー装置１は、層流噴出用ファン３、エアシャワー噴射用ファン４及び排気用ファン５を、それぞれ設定された出力モードで運転する塵埃の払い落とし運転が終了してから退室開始までは、エアシャワー噴射用ファン４を、設定された出力モードよりも低出力モードで運転するとともに、排気用ファン５を、設定された出力モードで運転を継続する層流噴出用ファン３と、低出力モードで運転するエアシャワー噴射用ファン４とによる送給量と排気量とが拮抗するように、設定された出力モードよりも低出力モードで運転するようにしたから、天井１１から噴出する層流により、払い落とした塵埃を抑え込んで舞い上がりを防止するとともに、エアシャワー室２内を流下する層流が、排気用ファン５により床面の略全面から吸引されて屋外に排気されるプッシュプル作用により、払い落とした塵埃が人体に再付着してクリーンルームへ持ち込まれるのを防止できる。
【００２０】
また、退室開始から退室完了までは、層流噴出用ファン３を停止するとともに排気用ファン５を、低出力モードで運転を継続するエアシャワー噴射用ファン４の出力よりも高い出力で運転して、エアシャワー室２内を負圧にするから、退室の際エアシャワー室２外への塵埃の流出を防止できる。
【００２１】
尚、上記退室開始からドアが閉じられる退室完了までの間は、層流噴出用ファン３若しくはエアシャワー噴射用ファン４の何れか一方を停止するとともに、排気用ファン５を運転が継続される上記層流噴出用ファン３若しくはエアシャワー噴射用ファン４の何れか一方の出力よりも高い出力で運転して、エアシャワー室２内を負圧にすることもできる。
【００２２】
さらに、エアシャワー室２の側壁１５に排気ダクト２０及び排気チャンバー２３に連通する排気孔１９を設けたから、払い落とされてエアシャワー室２内に浮遊する塵埃の室外への排気を迅速に行うことができ、エアシャワー処理時間を短縮できる等の利点を有する。そして、塵埃の払い落とし運転の終了から退室開始までの間は、エアシャワー噴射用ファン４を、設定された出力モードよりも低出力モードで運転を継続することにより、水平方向の層流が生じて側壁１５の排気孔１９からの排気をし易くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】エアシャワー装置を模式的に示した構成図である。
【図２】エアシャワー装置によるエアシャワー処理を示したタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００２４】
１...エアシャワー装置
２...エアシャワー室
３...層流噴出用ファン
４...エアシャワー噴射用ファン
５...排気用ファン
１１...天井
１５...側壁
１６...ノズル
１９，２２...排気孔
２０...排気ダクト
２１...床
２３...排気チャンバー
【図１】
2005090763.tif 000003
【図２】
2005090763.tif 000004