(57)【要約】【課題】光造形を利用した造形物の内部空間を適切に洗浄する手法を提供する。【解決手段】液状の光硬化性樹脂に光を照射して基板９上に形成された造形物８の内部には、らせん状の微小孔８１が形成される。造形物８の面８０１には上側開口８２が、面８０２には下側開口８３がそれぞれ設けられ、上側開口８２および下側開口８３は微小孔８１へと連絡する。造形物８が形成された基板９は洗浄装置にロードされ、洗浄装置のノズル４１１が上側開口８２に挿入されて押圧される。ノズル４１１から吐出される洗浄液は上側開口８２から注入され、微小孔８１内を移動して下側開口８３から排出される。これにより、光造形後に微小孔８１内に残留した未硬化の光硬化性樹脂を適切に除去することができ、内部空間の形状精度が高い造形物８を製造することができる。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流動性を有する光硬化性樹脂に光を照射して形成された造形物の洗浄方法であって、
ａ）注入口から排出口へと連絡する内部空間が形成された造形物を準備する工程と、
ｂ）前記注入口から洗浄液を注入するとともに前記排出口から前記洗浄液を連続的に排出する工程と、
を有することを特徴とする造形物の洗浄方法。
【請求項２】
請求項１に記載の造形物の洗浄方法であって、
前記ｂ）工程の後に、前記内部空間に残留する洗浄液を排出する工程をさらに有することを特徴とする造形物の洗浄方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の造形物の洗浄方法であって、
前記ｂ）工程に並行して、前記排出口を吸引する工程をさらに有することを特徴とする造形物の洗浄方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の造形物の洗浄方法であって、
前記ｂ）工程の前に、前記注入口に前記洗浄液を吐出するノズルを押圧する工程をさらに有することを特徴とする造形物の洗浄方法。
【請求項５】
光造形を利用した造形物の製造方法であって、
ａ）流動性を有する光硬化性樹脂に光を照射することにより、注入口から排出口へと連絡する内部空間が形成された造形物を形成する工程と、
ｂ）前記注入口から洗浄液を注入するとともに前記排出口から前記洗浄液を連続的に排出する工程と、
を有することを特徴とする造形物の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の造形物の製造方法であって、
前記ａ）工程において、前記注入口および前記排出口の少なくともいずれか一方が、前記内部空間に連絡する微小開口とは別の専用の開口として形成されることを特徴とする造形物の製造方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載の造形物の製造方法であって、
前記内部空間の内壁がチューブ状であり、前記注入口の開口面積が前記内部空間の断面積より大きいことを特徴とする造形物の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の造形物の製造方法であって、
前記注入口が、前記造形物の内部から表面に向かって径が漸次増大する略円錐状の開口であることを特徴とする造形物の製造方法。
【請求項９】
請求項５ないし８のいずれかに記載の造形物の製造方法であって、
前記ａ）工程において、前記注入口に連絡する複数の排出口が形成されることを特徴とする造形物の製造方法。
【請求項１０】
請求項５ないし９のいずれかに記載の造形物の製造方法であって、
前記内部空間の内壁が、微小形状作製用の型であることを特徴とする造形物の製造方法。
【請求項１１】
流動性を有する光硬化性樹脂に光を照射して形成された造形物を洗浄する洗浄装置であって、
注入口から排出口へと連絡する内部空間が形成された造形物を保持する保持部と、
洗浄液を吐出するノズルと、
前記注入口に前記ノズルを押圧する押圧機構と、
を備えることを特徴とする洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流動性を有する光硬化性樹脂に光を照射して造形物を製造する技術に関し、特に、形成された造形物を洗浄する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、液状の光硬化性樹脂に光を照射して造形物を形成する光造形が実施されている。光造形では、造形物の３次元形状データをスライスして複数の断面データ（すなわち、２次元形状データ）を作成し、光硬化性樹脂を積層しながら各層に対応する断面データに基づいて光を照射することにより、所望の３次元造形物が形成される。このような手法により形成された造形物は、通常、表面に付着した未硬化の光硬化性樹脂が洗浄液（例えば、エタノールやケトン等の有機溶剤）で洗い流されたり、洗浄液に浸漬されて除去される。また、特殊な洗浄方法として、回転するステージ上に造形物を載置して洗浄液を表面に噴射したり（いわゆる、シャワー法）、洗浄液を貯溜した容器内に浸漬して超音波を付与する（いわゆる、超音波洗浄）ことにより、未硬化の樹脂を除去する手法も知られている。
【０００３】
なお、特許文献１では造形物に形成された内部空間に空気を導入することにより、内部に残留した未硬化の光硬化性樹脂を空気に置換して除去する手法が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平６−２３８５４号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、微小な、あるいは、複雑な形状の内部空間を有する造形物を洗浄する際には、従来のシャワー法や超音波洗浄を施した場合であっても、未硬化の光硬化性樹脂が内部空間に残留してしまい、所望の内部形状の造形物を製造できないという問題がある。また、特許文献１の手法では、造形物の内部空間が簡素な形状である場合には残留する光硬化性樹脂を容易に除去することができるが、複雑な形状の場合には表面張力等の影響により不必要な光硬化性樹脂が残ってしまう。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、光造形を利用した造形物の内部空間を適切に洗浄する手法を提供するとともに、これにより、形状精度の高い内部空間を有する造形物を製造することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、流動性を有する光硬化性樹脂に光を照射して形成された造形物の洗浄方法であって、ａ）注入口から排出口へと連絡する内部空間が形成された造形物を準備する工程と、ｂ）前記注入口から洗浄液を注入するとともに前記排出口から前記洗浄液を連続的に排出する工程とを有する。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の造形物の洗浄方法であって、前記ｂ）工程の後に、前記内部空間に残留する洗浄液を排出する工程をさらに有する。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の造形物の洗浄方法であって、前記ｂ）工程に並行して、前記排出口を吸引する工程をさらに有する。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の造形物の洗浄方法であって、前記ｂ）工程の前に、前記注入口に前記洗浄液を吐出するノズルを押圧する工程をさらに有する。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、光造形を利用した造形物の製造方法であって、ａ）流動性を有する光硬化性樹脂に光を照射することにより、注入口から排出口へと連絡する内部空間が形成された造形物を形成する工程と、ｂ）前記注入口から洗浄液を注入するとともに前記排出口から前記洗浄液を連続的に排出する工程とを有する。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の造形物の製造方法であって、前記ａ）工程において、前記注入口および前記排出口の少なくともいずれか一方が、前記内部空間に連絡する微小開口とは別の専用の開口として形成される。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、請求項５または６に記載の造形物の製造方法であって、前記内部空間の内壁がチューブ状であり、前記注入口の開口面積が前記内部空間の断面積より大きい。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の造形物の製造方法であって、前記注入口が、前記造形物の内部から表面に向かって径が漸次増大する略円錐状の開口である。
【００１５】
請求項９に記載の発明は、請求項５ないし８のいずれかに記載の造形物の製造方法であって、前記ａ）工程において、前記注入口に連絡する複数の排出口が形成される。
【００１６】
請求項１０に記載の発明は、請求項５ないし９のいずれかに記載の造形物の製造方法であって、前記内部空間の内壁が、微小形状作製用の型である。
【００１７】
請求項１１に記載の発明は、流動性を有する光硬化性樹脂に光を照射して形成された造形物を洗浄する洗浄装置であって、注入口から排出口へと連絡する内部空間が形成された造形物を保持する保持部と、洗浄液を吐出するノズルと、前記注入口に前記ノズルを押圧する押圧機構とを備える。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の第１の実施の形態に係る洗浄装置１の構成を示す図である。洗浄装置１は、流動性を有する光硬化性樹脂に光を照射して形成された造形物を洗浄する装置であり、洗浄装置１により造形物の内部空間に残留する光硬化性樹脂が除去される。なお、造形物は微小形状を作製するための型として使用される。
【００１９】
洗浄装置１は、基台１１上にステージ移動機構２が設けられ、ステージユニット３がステージ移動機構２により図１中に示すＸ，Ｙ方向に移動可能とされる。ステージユニット３には造形物８が形成された基板９が保持されており、ステージユニット３を跨ぐようにしてフレーム１２が基台１１に固定される。フレーム１２には押圧機構５１が取り付けられ、押圧機構５１により洗浄液を吐出するヘッドユニット４が支持されてステージユニット３に対向する位置に配置される。
【００２０】
ステージ移動機構２はステージユニット３を図１中のＸ方向に移動するＸ方向移動機構２１、および、Ｙ方向に移動するＹ方向移動機構２２を有する。Ｘ方向移動機構２１はモータ２１１にボールねじ（図示省略）が接続され、モータ２１１が回転することにより、Ｙ方向移動機構２２がガイドレール２１２に沿って図１中のＸ方向に移動する。Ｙ方向移動機構２２もＸ方向移動機構２１と同様の構成となっており、モータ２２１が回転するとボールねじ（図示省略）によりステージユニット３がガイドレール２２２に沿ってＹ方向に移動する。
【００２１】
ステージユニット３は、ヘッドユニット４側に開口する部材である保持本体３１を有し、保持本体３１には内部に流入する洗浄液を回収する洗浄液回収部３２が接続される。保持本体３１の上部（開口側）には、メカニカルチャックを有する保持プレート３３が取り付けられ、基板９はメカニカルチャックにより保持プレート３３上に保持される。
【００２２】
押圧機構５１はフレーム１２に固定された支持板１３の下面に取り付けられ、押圧機構５１によりヘッドユニット４がステージユニット３上の基板９に対して進退する。ヘッドユニット４は、基板９に対向して配列される複数のアクセス部４１を有し、各アクセス部４１には微細な吐出口を有するノズル４１１が設けられる。ヘッドユニット４には供給管６１１が接続されており、分岐された供給管６１１の一方が制御弁６１２を介してシリンジ等の加圧機構を有する洗浄液供給部６２に接続され、他方が制御弁６１３を介してエア供給部６３に接続される。また、支持板１３にはステージユニット３上の画像を取得する撮像部５２が設けられる。
【００２３】
洗浄装置１は、ステージ移動機構２、押圧機構５１、制御弁６１２，６１３および撮像部５２に接続された制御部７をさらに有し、制御部７がこれらの構成を制御することにより洗浄装置１が基板９上の造形物８を洗浄する。
【００２４】
次に、光造形を利用して造形物を製造する動作について説明を行う。図２は、造形物を製造する工程を示す図である。まず、別途設けられた光造形装置に基板がセットされて、基板上に造形物が形成される（ステップＳ１１）。例えば、液状の光硬化性樹脂を貯溜する樹脂漕が設けられた光造形装置において、基板がステージに支持されて樹脂漕内に所定の深さまで浸漬され、樹脂が基板上を覆うようにスキージにより液面が一様にされる。これにより、基板上に光硬化性樹脂の液層が一定の厚さ（例えば、２０μｍ以下の厚さであり、以下、「スライス厚さ」という。）にて形成される。そして、予め準備されている断面データに従って光造形装置が有する光照射部から光が基板に照射され、基板上に造形物の最初の層が形成される。
【００２５】
続いて、ステージがスライス厚さだけ下降し、上記と同様に、スキージによりならされた後に造形用の光が照射され、造形物の次の層が形成される。これらの動作が繰り返されることにより、図３に示すように、らせん状に形成された微小孔８１（実際には、配列された複数の微小孔８１）を有する造形物８が基板９上に微小な厚さ（例えば、２ｍｍ以下の厚さ）にて形成される。
【００２６】
図３に示す造形物８において、微小孔８１の内壁は直径が数十μｍのチューブ状とされ、この段階では微小孔８１内に未硬化の光硬化性樹脂が残留している。造形物８の基板９側の面８０２には微小孔８１から連続する微小開口８３（以下、「下側開口８３」という。）が形成され、基板９に予め設けられた貫通孔９１に連絡する。また、造形物８の基板９とは反対側の面８０１にも同様に、微小孔８１から連続する微小開口８２（以下、「上側開口８２」という。）が設けられる。上側開口８２は造形物８の内部から表面（すなわち、面８０１）に向かって径が漸次増大する略円錐状の開口であり、面８０１の位置における開口の直径は数百μｍである。
【００２７】
基板９上に造形物８が形成されて準備されると、基板９が洗浄装置１にロードされる（ステップＳ１２）。すなわち、造形物８を上側にして基板９が保持プレート３３上に載置されて保持される（図１参照）。なお、保持プレート３３において基板９の貫通孔９１近傍には開口部が設けられている。
【００２８】
洗浄装置１では、制御部７の制御によりステージ移動機構２が駆動し、基板９上の所定位置（例えば、位置決め用のマークが形成された位置）が撮像部５２による撮像位置に移動する。撮像部５２により基板９上の画像が取得されると、制御部７は入力された画像に応じて基板９をヘッドユニット４の下方へと移動し、造形物８の複数の上側開口８２がそれぞれ対応するノズル４１１の下方に位置するように基板９がヘッドユニット４に対して位置決めされる（ステップＳ１３）。
【００２９】
続いて、押圧機構５１が駆動され、ヘッドユニット４が基板９に向かって下降する。そして、図３に示すようにノズル４１１の先端が注入口である上側開口８２に挿入され、傾斜面に当接して所定の圧力にて押圧される（ステップＳ１４）。ノズル４１１が上側開口８２に接続されると、洗浄液の注入が開始される（ステップＳ１５）。具体的には、制御弁６１２が開放されて洗浄液供給部６２からヘッドユニット４に洗浄液が供給され、ノズル４１１の先端から吐出される洗浄液が上側開口８２から連続的に注入される。このとき、ノズル４１１は押圧機構５１により上側開口８２に押圧されるため、ノズル４１１と上側開口８２との間から洗浄液が漏れ出すことが抑制される。
【００３０】
前述のように、上側開口８２は微小孔８１を介して下側開口８３に連絡しており、注入される洗浄液は微小孔８１に沿って下側開口８３に向かって流れる。このとき、微小孔８１に残留する未硬化の光硬化性樹脂は洗浄液中に溶解され（または、押し流され）、洗浄液とともに下側開口８３から排出される。排出された光硬化性樹脂や洗浄液は基板９の貫通孔９１および保持プレート３３を介して保持本体３１内へと導かれ、洗浄液回収部３２により回収される。
【００３１】
洗浄液が所定の時間注入されると、制御弁６１２が閉じられて洗浄液の注入が停止される（ステップＳ１６）。そして、制御弁６１３が一時的に開放され、エア供給部６３からのエアがノズル４１１を介して上側開口８２から微小孔８１へと供給される（ステップＳ１７）。これにより、微小孔８１内に残留する洗浄液が排出され、内部空間の不要物が取り除かれた造形物８が完成する。このようにして製造された造形物８は、微小形状作製用の型として利用され、無電解メッキ等により微小孔８１の形状に対応する微小な形状の成型物が作製される。
【００３２】
以上のように、図２に示す造形物の製造では、流動性を有する光硬化性樹脂に光を照射することにより、注入口（すなわち、上側開口８２）から排出口（すなわち、下側開口８３）へと連絡する内部空間である微小孔８１を有する造形物８が形成され、洗浄装置１において注入口から注入される洗浄液が、未硬化の光硬化性樹脂が残留する微小孔８１内を移動し、排出口から排出される。これにより、造形物８の微小孔８１に残留する光硬化性樹脂を適切に除去することができ、形状精度の高い内部空間（特に微小な内部空間）を有する造形物８を製造することができる。
【００３３】
次に、造形物の他の例について説明する。図４は、他の例に係る製造途上の造形物８ａを示す図である。図４に示す造形物８ａでは、図１の造形物８と比較して基板９側の面８０２に補助開口８５ａ，８５ｂがさらに形成され、それぞれ補助孔８４ａ，８４ｂを介して微小孔８１の互いに異なる位置へと連絡する。
【００３４】
図４の造形物８ａが洗浄される際には、上側開口８２から注入される洗浄液の一部は補助孔８４ａを介して補助開口８５ａから排出され、残りの一部の洗浄液は、微小孔８１内をさらに移動して補助孔８４ｂを介して補助開口８５ｂから排出される。そして、補助孔８４ａ，８４ｂに導かれなかった洗浄液は下側開口８３まで流れて排出される。微小孔８１に接続する位置における補助孔８４ａ，８４ｂの直径は、洗浄液が微小孔８１の全体に行き渡るようにノズル４１１からの洗浄液の注入条件（例えば、単位時間当たりの注入量や圧力等）に応じて決定される。
【００３５】
以上のように、図４に示す造形物８ａでは光造形工程（図２のステップＳ１１）において、注入口に連絡する複数の排出口（すなわち、下側開口８３、補助開口８５ａ，８５ｂ）が形成される。その結果、注入された洗浄液を円滑かつ容易に排出することができ、造形物８ａの内部空間を適切に洗浄することができる。なお、造形物８ａにおいて補助孔８４ａ，８４ｂは微小形状作製用の型としては利用されない。
【００３６】
ところで、洗浄装置１では、洗浄液回収部３２が吸引ポンプとしての機能を有していてもよい。この場合、造形物８の下側開口８３（または、造形物８ａにおける下側開口８３および補助開口８５ａ，８５ｂ）の近傍が基板９の貫通孔９１を介して減圧されるため、注入された洗浄液を吸引作用により下側開口８３から容易に排出し、微小孔８１を適切に洗浄することができる。
【００３７】
さらに、洗浄液回収部３２が吸引ポンプとしての機能を有するとともに、保持プレート３３を多孔質材料で形成することにより、保持プレート３３にメカニカルチャックを設けることなく洗浄液回収部３２の吸引により基板９を吸着保持しつつ、微小孔８１に注入された洗浄液を容易に排出し、造形物８の内部空間を洗浄することも可能となる。
【００３８】
図５は本発明の第２の実施の形態に係る洗浄装置１ａの構成、および、製造途上の造形物８ｂを示す図である。図５の洗浄装置１ａには２つのノズル４１１，４１１ａを有する複数のアクセス部４１ａが設けられる（但し、図５では１つのアクセス部４１ａのみを図示している。）。一方のノズル４１１は、図１の洗浄装置１と同様に、分岐する供給管６１１を介して洗浄液供給部６２およびエア供給部６３に接続され、他方のノズル４１１ａには供給管６１１ａから制御弁６１４を介してポンプ６４が接続される。また、図５の洗浄装置１ａでは図１の洗浄装置１から洗浄液回収部３２が省略され、保持本体３１および保持プレート３３がメカニカルチャックを有する板状のステージ（図示省略）と置き換えられる。他の構成は、図１の洗浄装置１と同様であり、同符号を付している。
【００３９】
図５の造形物８ｂでは、図２のステップＳ１１における光造形工程において、微小孔８１の下側開口８３の近傍に接続する補助孔８４ｃ、および、上側開口８２ａの近傍に接続する補助孔８４ｄが形成される。補助孔８４ｃ，８４ｄは、それぞれ造形物８の基板９とは反対側の面８０１にて開口する補助開口８５ｃ，８５ｄへと連絡しており、補助開口８５ｃ，８５ｄは面８０１側に向かって径が漸次増大する略円錐状の開口とされる。ここで、補助孔８４ｃは基板９側の面８０２に近接した位置にて微小孔８１に接続しており、補助孔８４ｃと面８０２との間には厚さの薄い（例えば、１つのスライス厚さの）硬化した光硬化性樹脂の層が介在する。
【００４０】
次に、図５に示す洗浄装置１ａにおいて、造形物８ｂを洗浄する動作について説明する。図６は、図５の洗浄装置１ａを利用して造形物８ｂを製造する動作の流れを示す図であり、図２のステップＳ１５以降に行われる動作（ステップＳ２１はステップＳ１５と並行して行われる。）を示している。
【００４１】
基板９上に造形物８ｂが形成されると、基板９が洗浄装置１ａのステージ上に載置され、ヘッドユニット４に対して位置決めされる（図２のステップＳ１２，Ｓ１３）。そして、押圧機構５１が駆動することにより、ノズル４１１，４１１ａがそれぞれ注入口である補助開口８５ｃ、および、排出口である補助開口８５ｄに当接して押圧される（ステップＳ１４）。
【００４２】
続いて、制御部７により制御弁６１２，６１４が開放されることにより、洗浄液の注入が開始されるとともに（ステップＳ１５）、ポンプ６４の排出動作により補助開口８５ｄからの吸引が開始される（ステップＳ２１）。これにより、注入された洗浄液が補助孔８４ｃ、微小孔８１および補助孔８４ｄを介して補助開口８５ｄへと連続的に移動し、ノズル４１１ａへと強制的に排出される。このとき、前述のように補助孔８４ｃが面８０２付近において微小孔８１に接続されるため、下側開口８３近傍にも洗浄液が流入し、残留する光硬化性樹脂が除去される。なお、微小孔８１の上側開口８２ａ近傍は洗浄液が通過しないが、この部分については外部から洗浄することが可能である。
【００４３】
制御弁６１２が閉じられて洗浄液の注入が停止されると（ステップＳ２２）、制御弁６１３が開放されることによりエア供給部６３からのエアが補助開口８５ｃより供給され、微小孔８１、補助孔８４ｃ，８４ｄ内に残留する洗浄液が除去される（ステップＳ２３）。エアが所定の時間注入されると、制御弁６１３，６１４が閉じられてエアの供給、および、補助開口８５ｄの吸引が停止する（ステップＳ２４）。このようにして製造された造形物８ｂにおいて微小孔８１は、微小形状作製用の型として利用される。
【００４４】
以上のように、図５の造形物８ｂでは、微小孔８１にそれぞれ接続する注入口および排出口（すなわち、補助開口８５ｃ，８５ｄ）が、微小孔８１の微小開口（すなわち、上側開口８２および下側開口８３）とは別の専用の開口として形成される。そして、図５の洗浄装置１ａにおいて、洗浄液が補助開口８５ｃから注入され、これに並行して補助開口８５ｄが吸引されて開口近傍の圧力が大気圧に対して減圧される。これにより、図５の洗浄装置１ａでは洗浄液を容易に注入して排出し、微小孔８１に残留する未硬化の光硬化性樹脂を適切に除去することができ、その結果、形状精度の高い内部空間を有する造形物を製造することができる。
【００４５】
なお、図５の洗浄装置１ａにおいて補助開口８５ｃには、必ずしも強制的にエアが供給される必要はなく、例えば、ポンプ６４の排出動作に伴って微小孔８１内に周囲のエア（予めフィルタを介して浄化されているものとする。）が自然に注入されてもよい。また、必要に応じてアクセス部４１に上側開口８２ａを閉塞する部材が設けられ、補助開口８５ｄが効率よく減圧されてもよい。
【００４６】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【００４７】
図１の洗浄装置１において、造形物８の表面全体に洗浄液が付与されて下側開口８３からの吸引により洗浄液が微小孔８１内へと流入し排出されてもよい。すなわち、洗浄装置の設計によっては、洗浄液を強制的に注入するノズルを設けなくとも、注入口に付与される洗浄液に作用する圧力と排出口近傍に作用する圧力との間に差を生じさせることにより、洗浄液を注入口から注入することができる。
【００４８】
上記第１の実施の形態では、貫通孔９１が形成された基板９が利用されるが、例えば、多孔質材料により形成された基板上に造形物が形成され、排出口からの洗浄液が基板を介して排出されてもよい。なお、造形物は必ずしも板状の基板上に形成される必要はない。
【００４９】
注入口である上側開口８２（または、補助開口８５ｃ）はテーパ状とされることが好ましいが、一般的には上側開口８２の開口面積を造形物８の内部空間である微小孔８１の断面積よりも大きくすることによりノズルを開口に挿入して洗浄液の漏れを抑制することができる。
【００５０】
注入口に押圧されるノズルは、例えば、図７に示すようにゴム等の弾性体により形成される環状部材４１２が先端に設けられたものであってもよい。このようなノズル４１１ｂでは注入口がテーパ状にされない場合であっても、洗浄液が適切に注入される。もちろん、排出口に対してもノズル４１１ｂと同構造のノズルが接続されてもよい。
【００５１】
また、ヘッドユニット４には必ずしも複数のアクセス部が設けられる必要はなく、１つのアクセス部が基板９に対して相対的に移動して複数の微小孔８１が順次洗浄されてもよい。
【００５２】
図４の造形物８ａでは排出口の役割を果たす補助開口８５ａ，８５ｂが、また、図５の造形物８ｂではそれぞれ注入口および排出口の役割を果たす補助開口８５ｃ，８５ｄが、微小孔８１の微小開口（すなわち、上側開口８２，８２ａおよび下側開口８３）とは別の専用の開口として形成されるが、このような洗浄用の開口が注入口のみに設けられてもよい。
【００５３】
造形物の内部空間は、必ずしもチューブ状の内壁を有する微小孔８１とされる必要はなく、より複雑な形状であってもよい。なお、造形物は樹脂漕を有する光造形装置により形成される必要はなく、流動性を有する光硬化性樹脂に光を照射して形成されるのであればいかなる手法により形成されてもよい。
【００５４】
また、製造された造形物は微小形状作製用の型以外の用途に利用されてもよい。
【００５５】
【発明の効果】
本発明によれば、光造形後の造形物の内部空間に残留する光硬化性樹脂を適切に除去することができ、これにより、形状精度の高い内部空間を有する造形物を製造することができる。
【００５６】
また、請求項２の発明では、造形物の内部空間に残留する洗浄液を除去することができる。
【００５７】
また、請求項３および９の発明では、洗浄液を容易に排出することができる。
【００５８】
また、請求項４、７および８の発明では、注入口からの洗浄液の漏れを抑制することができる。
【００５９】
また、請求項６の発明では、洗浄液を容易に注入または排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】洗浄装置の構成を示す図である。
【図２】造形物を製造する動作の流れを示す図である。
【図３】造形物を洗浄する様子を説明するための図である。
【図４】造形物の他の例を示す図である。
【図５】第２の実施の形態に係る洗浄装置の構成、および、造形物を示す図である。
【図６】造形物を製造する動作の流れを示す図である。
【図７】ノズルの他の例を示す図である。
【符号の説明】
１，１ａ  洗浄装置
３  ステージユニット
８，８ａ，８ｂ  造形物
５１  押圧機構
６２  洗浄液供給部
６３  エア供給部
６４  ポンプ
８１  微小孔
８２，８２ａ  上側開口
８３  下側開口
８５ａ〜８５ｄ  補助開口
４１１，４１１ａ，４１１ｂ  ノズル
Ｓ１１，Ｓ１４〜Ｓ１７，Ｓ２１〜Ｓ２４  ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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