(57)【要約】【課題】  複数枚の流路モジュールを積層して構築される混合器等に一体に組み込むに好適な簡易な構造の取り扱いの容易な増設流路モジュールを提供する。【解決手段】  一面に所定長さの流路をなす溝を形成した平板部を有し、この平板部の一面に他の平板体を密着させて用いられる増設流路モジュール本体と、この増設流路モジュール本体における溝の一端に平板部を貫通して設けられた流体の流入口とを具備し、前記溝の他端を流体の流出口としたことを特徴とする。特に所定の長さの流路をなす溝を平板部における中央部からその端部近傍に掛けて所定の流路パターンを形成して設け、上記平板部における中央部に位置付けた溝の端部に流入口を設けた第１の増設流路モジュールと、上記平板部における端部近傍に位置付けた溝の端部に流入口を設けた第２の増設流路モジュールとを対にして重ねて用いる。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
順次に積層されて複数層に亘って連なる流路を形成する複数枚の流路モジュールに重ねて用いられる増設流路モジュールであって、
一面に所定長さの流路をなす溝を形成した平板部を有し、この平板部の一面に他の部材の平板部を密着させて用いられる増設流路モジュール本体と、この増設流路モジュール本体における前記溝の一端に前記平板部を貫通して設けられた流体の流入口とを具備し、前記溝の他端を流体の流出口としたことを特徴とする増設流路モジュール。
【請求項２】
前記所定の長さの流路をなす溝は、前記平板部の中央部から該平板部の端部近傍に掛けて所定の流路パターンを形成して設けられるものであって、
前記平板部の中央部に位置付けられた前記溝の端部に該溝に連通する前記流入口を設けた第１の増設流路モジュールと、前記平板部の端部近傍に位置付けられた前記溝の端部に該溝に連通する前記流入口を設けた第２の増設流路モジュールとからなり、
これらの第１および第２の増設流路モジュールを対にして重ねて用いられるものである請求項１に記載の増設流路モジュール。
【請求項３】
前記順次に積層されて複数層に亘って連なる流路を形成する複数枚の流路モジュールは、少なくとも流体混合器、流体反応器、或いは熱交換器の１つを構成するものである請求項１に記載の増設流路モジュール。
【請求項４】
２個の流入口と２個の流出口とを備えた所定数の混合分配ユニットおよび／または２個の流入口と１個の流出口とを備えた平板状の１つまたは２つの混合ユニットを、そのユニット数を１つずつ減らして形成した複数枚の流路モジュールを具備し、これらの各流路モジュールにおける各ユニットの流出口を次層の流路モジュールにおける前記ユニットの流入口にそれぞれ個別に連結して前記複数枚の流路モジュールを順に重ね合わせた流体混合器本体と、
所定長さの流路を形成した平板部を有し、上記流体混合器本体における最下流の流路モジュールにおける混合ユニットの流出口に接続されて前記流体混合器本体に重ね合わせて設けられた請求項１〜３のいずれかに記載の増設流路モジュールと
を具備したことを特徴とする流体混合器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、順次に積層されて複数層に亘って連なる流路を形成する複数枚の流路モジュールにより実現される流体混合器や流体反応器、或いは熱交換器等に一体に組み込むに好適な増設流路モジュール、およびこの増設流路モジュールを組み込んだ簡易な構造の流体混合器に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロマシンニング技術等を用いて製作されるマイクロ混合器（流体混合器）は、基本的には２種類の液（流体）Ａ,Ｂを混合して２層の層流（Ａ＋Ｂ）を形成した後、この層流（Ａ＋Ｂ）をその層方向に（Ａ＋Ｂ）／２ずつ２分割し、更にこれらの２分割された２つの層流（Ａ／２＋Ｂ／２）を混合して４層の層流（Ａ／２＋Ｂ／２＋Ａ／２＋Ｂ／２）を形成した後、これらの層流をその層方向に更に２分割すると言う処理を多段階に繰り返すことで、上記各液Ａ,Ｂがなす層（大きさ）を徐々に細分化し、これによって前記各液Ａ,Ｂの拡散（混合）を速めるように構成される。
【０００３】
しかしながら従来の一般的なマイクロ混合器にあっては、流体（液）を混合・分配する為の流路自体が微細であり、クリティカルな製作精度が要求されるので、その加工（製造）自体が複雑であることが否めず、しかも組み付けに正確なアライメント調整を必要とするので製造コストが高いと言う問題がある。
そこで本出願人は、先に２個の流入口と２個の流出口とを備えた所定数の混合分配ユニットを設けた複数枚の流路モジュールを準備し、各流路モジュールの１つの混合分配ユニットにおける２個の流出口を次層の流路モジュールにおける２つの混合分配ユニットの各１個の流入口にそれぞれ個別に連結して前記複数枚の流路モジュールを順に積層した構造のマイクロ混合器を提唱した（例えば特許文献１を参照）。このような構造のマイクロ混合器（流体混合器）によれば、基本的には複数枚の流路モジュールを順に積層するだけで実現することができるので、その構造が簡単であり、製作も容易である等の利点がある。
【特許文献１】特開２００２−３４６３５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら上述した特許文献１に示す構造のマイクロ混合器（流体混合器）にあっては、各流路モジュールの板面に沿って流路が層状に形成されるといえども、その全体的な流路長は、例えば各流路モジュールの板厚の総和の２〜４倍程度であり、十分に長いとは言い難い。これ故、前述した如く拡散（混合）させた液（流体）Ａ,Ｂの種類によっては、これらの液Ａ,Ｂを十分に反応させることができない場合がある。
【０００５】
そこで従来では、例えばマイクロ混合器の流体流出口に所定長さのチューブ等を連結してその流路長を確保するようにしている。しかしながらこのようなチューブを連結した場合、チューブを含めたマイクロ混合器の全体形状が嵩張ったものとなることのみならず、その取り扱いが面倒となることが否めない。しかもチューブの捻れや潰れ等によってその流路が遮断される虞や、チューブの破損に起因する液漏れの虞もあった。
【０００６】
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、その目的は、順次に積層されて複数層に亘って連なる流路を形成する複数枚の流路モジュールにより実現される流体混合器や流体反応器、或いは熱交換器等に一体に組み込むに好適な簡易な構造の取り扱いの容易な増設流路モジュールを提供することにある。
また本発明の別の目的は、異種の液（流体）を良好に混合しながらその混合液の反応時間を十分に確保することができ、しかもその製作が容易な安価で簡易な構造の流体混合器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した目的を達成するべく本発明に係る増設流路モジュールは、順次に積層されて複数層に亘って連なる流路を形成する複数枚の流路モジュールに重ねて用いられるものであって、
一面に所定長さの流路をなす溝を形成した平板部を有し、この平板部の一面に他の部材の平板部を密着させて用いられる増設流路モジュール本体と、この増設流路モジュール本体における前記溝の一端に前記平板部を貫通して設けられた流体の流入口とを具備し、前記溝の他端を流体の流出口としたことを特徴としている（請求項１）。
【０００８】
好ましくは前記所定の長さの流路をなす溝は、前記平板部の中央部から該平板部の端部近傍に掛けて所定の流路パターンを形成して設けられるものであって、
前記平板部の中央部に位置付けられた前記溝の端部に該溝に連通する前記流入口を設けた第１の増設流路モジュールと、前記平板部の端部近傍に位置付けられた前記溝の端部に該溝に連通する前記流入口を設けた第２の増設流路モジュールとからなり、これらの第１および第２の増設流路モジュールを対にして重ねて用いることを特徴としている（請求項２）。
【０００９】
ちなみに順次に積層されて複数層に亘って連なる流路を形成する複数枚の流路モジュールは、少なくとも流体混合器、流体反応器、或いは熱交換器の１つを構成するものである（請求項３）。
また本発明に係る流体混合器は、
２個の流入口と２個の流出口とを備えた所定数の混合分配ユニットおよび／または２個の流入口と１個の流出口とを備えた１つまたは２つの混合ユニットを、そのユニット数を１つずつ減らして形成した複数枚の流路モジュールを具備し、これらの各流路モジュールにおける各ユニットの流出口を次層の流路モジュールにおける前記ユニットの流入口にそれぞれ個別に連結して前記複数枚の流路モジュールを順に重ね合わせた混合器本体と、
所定長さの流路を形成してなり、上記混合器本体における最下流の流路モジュールにおける混合ユニットの流出口に接続されて前記混合器本体に重ね合わせて設けられた前述した構成の増設流路モジュールと
を備えたことを特徴としている（請求項４）。
【００１０】
尚、前記流路モジュールおよび／または増設流路モジュールについては、ガラス材等の透明体からなる所定厚みの平板状基板に流路をなす溝を形成すると共に、上記基板を貫通して流入口をなす透孔を形成したものとして実現するようにすれば良い。ちなみに本発明においては、複数個組み合わせて用いられて所定の流路を形成したり、或いは混合器や混合器本体等を構築する部品要素をモジュールと称している。また各モジュールにおける個々の機能単位をユニットと称している。
【発明の効果】
【００１１】
上述した構成の増設流路モジュールによれば、順次に積層されて複数層に亘って連なる流路を形成する複数枚の流路モジュールにより構成される、例えば流体混合器、流体反応器、或いは熱交換器等における最下流の流路モジュールに重ねて一体化して用いるだけで必要な流路長を確保することができるので、その取り扱いが簡単である。しかも平板状のモジュールの一面に所定長さの流路をなす溝を形成し、この溝を形成した一面に他の部材の平板部を密着させて上記流路を形成する構造なので、その流路自体を強固な構造として実現することができ、チューブに見られたような捻れや潰れ、更には破損等の不具合を招来することがない。
【００１２】
また流入口と流出口との位置を逆にした第１の増設流路モジュールと第２の増設流路モジュールとを対にして重ねて用いることで、これらの第１および第２の増設流路モジュールにより一体に構築される増設流路モジュールの流入口と流出口との位置を、その表裏面間において一致させることができるので、その取り扱いを一層簡便なものとすることができる。更には第１および第２の増設流路モジュールからなる複数対の増設流路モジュールを重ねて用いることで、その流路長を簡単に延長することも可能であり、その汎用性を高めることも可能となる。
【００１３】
尚、増設流路モジュール（第１および第２の増設流路モジュール）を、ガラス材等の透明部材にて形成するようにすれば、その流路内に外部から光を導入することができるので、光の照射によって前記流路を通流する混合流体等の反応を促進させることが可能となる等の効果も奏せられる。
また前述した構成の流体混合器によれば、複数枚の流路モジュールを順に重ね合わせた混合器本体に重ね合わせて設けられる増設流路モジュールによって簡易にその流路長を延ばすことができるので、混合液の反応時間を十分に確保することができる。しかも増設流路モジュールを混合器本体（複数の流路モジュールの積層体）に重ね合わせて設け、これらを積層一体化するだけで良いので、その構造が簡単であり、製作コストも十分に安価に抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係る増設流路モジュールとこの増設流路モジュールを備えた流体混合器について、特に０.４ｍｍ×０.４ｍｍ程度の微小な流路断面積の流路を形成した、いわゆるマイクロ混合器を例に説明する。
図１はこの実施形態に係るマイクロ混合器の全体構成を示す外観図で、このマイクロ混合器は全体的には一辺が略２５ｍｍからなる略立方体形状の装置として実現されている。このマイクロ混合器は、５ｍｍ程度の肉厚の金属（Ａl材やステンレス鋼等）からなる平板状の下部プレート体１および上部プレート体２と、これらの下部プレート体１および上部プレート体２間に積層されて保持された複数枚（ｎ枚）の平板体からなる流路モジュール３1,〜３n、および対をなす２枚の平板体からなる増設流路モジュール(第１および第２の増設流路モジュール)４ａ,４ｂとにより構成される。尚、これらの流路モジュール３1,〜３n,４ａ,４ｂは、複数枚重ねて用いられて所定の流路を形成する部品要素をなすもので、各平板体の上下面はそれぞれ鏡面仕上げされており、これらを互いに重ね合わせたとき、一体に密着するようになっている。
【００１５】
尚、図中５,６は、上述した如く積層された上記各プレート体１,２、ｎ枚の流路モジュール３1,〜３n、および増設流路モジュール４ａ,４ｂの四隅をそれぞれ貫通して設けられて、これらの積層体を一体化した４組のボルトおよびナットである。また前記上部プレート体２の上面には、２種類の液（流体）Ａ,Ｂを注入する流体注入コネクタ７ａ,７ｂが、その混合液を取り出す為の流体取り出しコネクタ８を挟んで設けられている。また前記各プレート体１,２、流路モジュール３1,〜３n、および増設流路モジュール４ａ,４ｂの各一辺部には、これらを位置合わせして積層する為の三角形状の切り込みがそれぞれ設けられている。
【００１６】
さて前記下部プレート体１の上面には、例えば図２(ａ)に平面図を示すように前述した流体注入コネクタ７ａ,７ｂに対向する位置を頂点とする二等辺三角形状の浅い凹部（流体導入チャネル）１ａ,１ｂが、後述する混合分配ユニットの並びに沿って該プレート体１の中央部に設けた隔壁１ｃを挟んで対称に穿たれている。これらの凹部１ａ,１ｂは、前述した流体注入コネクタ７ａ,７ｂからそれぞれ注入され、前記流路モジュール３1,〜３nおよび増設流路モジュール４ａ,４ｂにそれぞれ貫通して設けられた流体導入孔３ｘ,３ｙ,４ｘ,４ｙを介して導かれた液（流体）Ａ,Ｂを、最下位置に設けられる流路モジュール３1にそれぞれ導く役割を担う。
【００１７】
さて前記各流路モジュール３1,〜３nは、例えば図２(ｂ)に示すように、所定数の混合分配ユニット１１および／または１つ若しくは２つの混合ユニット１２を所定の配列ピッチで直線状に設けたものからなる。尚、ここではそれぞれが所定の機能を担う機能単位をユニットと称している。具体的には、後述するように２つの流入口から導入された２種類の流体Ａ,Ｂを混合した後、これを２つに分配してする２つの流出口からそれぞれ出力する機能を有するものを混合分配ユニット、また２つの流入口から導入された２種類の流体Ａ,Ｂを混合した後、１つの流出口から出力する機能を有するものを混合ユニットとそれぞれ称する。
【００１８】
特にｎ枚の流路モジュール３1,〜３nは、上記ユニット１１,１２の数を順に１つずつ減らして設けた構造を有している。具体的には、図３に７枚の流路モジュール３1,〜３7を積層する例を示すように最上部（最下流位置）に設けられる流路モジュール３7（３n）は、１つの混合ユニット１２だけを備え、その上流側（下側）に設けられる流路モジュール３6（３n-1）は、２つの混合ユニット１２を対称に設けた構造を有する。そしてその次の流路モジュール３5（３n-2）は、２つの混合ユニット１２の間に１つの混合分配ユニット１１を設けた構造を有し、以降、その上流側の各流路モジュール３1,〜３4は、２つの混合ユニット１２の間に設けられる混合分配ユニット１１を順次１つずつ増やした構造を有している。
【００１９】
ここで混合分配ユニット１１および混合ユニット１２について説明する。
混合分配ユニット１１は、例えば図４にその概略構成を拡大して示すように、板状の流路モジュール３を貫通して設けた２個の流入口１１ａ,１１ａと、上記流路モジュール３における下流面（上面）側を開放して設けた２個の流出口１１ｂ,１１bとを備え、その上面側に穿いた深さ０.４ｍｍの溝からなる流路（チャネル）１１ｃを介して上記各流入口１１ａ,１１aと流出口１１ｂ,１１ｂとを連結した構造を有する。尚、流出口１１ｂ,１１ｂおよび流路１１ｃは、全体的にはその上端が開放された１つの溝として形成されている。そしてその上面に別の流路モジュール３が重ね合わせられとき、開放された上端側が上記別の流路モジュール３の下面により塞さがれることで所定の流路断面積の流路１１ｃを形成し、また溝の端部が開放されて流出口１１ｂ,１１ｂとして機能する。
【００２０】
特にこの混合分配ユニット１１においては、前記流路１１ｃの中央に位置付けられて該流路１１ｃにおける流体通流方向を定める島状の仕切部１１ｄが設けられている。そして上述した２個の流入口１１ａ,１１ａ、および２個の流出口１１ｂ,１１ｂは、上記仕切部１４を挟んで互いに直交する方向にそれぞれ対称に設けた構造となっている。またこの混合分配ユニット１１における流入口１１ａ,１１ａの径、流出口１１ｂ,１１ｂの径、そして流路１１ｃの幅とその深さは、例えば０.４ｍｍとして互いに等しく設定されており、更に２個の流入口１１ａ,１１ａは０.４ｍｍの間隔を隔てて、また２個の流出口１１ｂ,１１ｂは１.２ｍｍの間隔を隔てて設けられている。
【００２１】
このような構造の混合分配ユニット１１は、２つの流入口１１ａ,１１ａからそれぞれ導入された流体Ａ,Ｂを仕切部１１ｄにより２方向に分流し、これらの分流された各流体を流路１１ｃを介して２層の層流（Ａ／２＋Ｂ／２）にそれぞれまとめて各流出口１１ｂ,１１ｂにそれぞれ導くように機能する。従って２つの流入口１１ａ,１１ａからそれぞれ導入された流体Ａ,Ｂは、２つの流出口１１ｂ,１１ｂから混合分配された流体（Ａ／２＋Ｂ／２）としてそれぞれ出力されることになる。
【００２２】
尚、混合ユニット１２は、図５に例示するように上述した構造の混合分配ユニット１１における一方の側の流出口１１ｂを省略した構造を有し、２つの流入口１１ａ,１１ａからそれぞれ導入された流体Ａ,Ｂを流路１１ｃを介して２層の層流（Ａ＋Ｂ）にまとめて流出口１１ｂに導くように機能する。従って２つの流入口１１ａ,１１ａからそれぞれ導入された流体Ａ,Ｂは、流出口１１ｂから混合された流体（Ａ＋Ｂ）として出力されることになる。
【００２３】
上述した混合分配ユニット１１および／または混合ユニット１２をそれぞれ所定個数備えた複数枚の流路モジュール３1,〜３n（３1,〜３7）は、その２つの流入口１１ａ,１１ａを、図３に示すようにその上流側（下面側）の流路モジュール３における隣接したユニット１１,１２の各１個の流出口１１ｂ,１１ｂにそれぞれ連結して順次積層される。この結果、前述した如く流体注入コネクタ７ａ,７ｂからそれぞれ注入され、凹部（流体導入チャネル）１ａ,１ｂを介して前記流路モジュール３1に導入された液（流体）Ａ,Ｂは、複数枚の流路モジュール３1,〜３nを順に介することによって、即ち、各流路モジュール３1,〜３nにそれぞれ設けられた混合分配ユニット１１および／または混合ユニット１２を順に介して混合分配されることによって拡散（混合）されることになる。そして最下流の流路モジュール３nの流出口１１ｂから１つの混合液として出力されることになる。
【００２４】
さてこのような複数枚の流路モジュール３1,〜３nに重ねて設けられる前述した増設流路モジュール４ａ,４ｂは、例えば図２(ｃ)(ｄ)にそれぞれ示すように、例えばその上面に所定の流路断面積をなす溝を渦巻き状に設けて所定長（例えば５０ｃｍ）の流路２１を形成すると共に、その両端部に流入口２２と流出口２３とを形成した構造を有する。流入口２２は、増設流路モジュール４ａ,４ｂの上下面を貫通して設けた透孔として形成されている。また流路２１をなす溝および流出口２３は、前述した混合分配ユニット１１におけるｌ流路１１ｃおよび流出口１１ｂと同様に、その上端に重ねて設けられる他の平板体である増設流路モジュール４ａ,４ｂまたは上部プレート体２の下面にて、その開放された上端側が塞さがれることで所定の流路断面積の流路２１を形成し、また溝の端部が開放されて流出口２３として機能する。
【００２５】
特に図２(ｃ)(ｄ)にそれぞれ示す第１および第２の増設流路モジュール４ａ,４ｂは、その流入口２２と流出口２３の位置を逆にしたものである。具体的には第１の増設流路モジュール４ａの流入口２２は、前述した最下流（最上位）に位置付けられる流路モジュール３nの流出口１１ｂに対応する位置に設けられており、この流入口２２を中心に渦巻き状に設けた溝（流路）２１の終端部を流出口２３としている。逆に第２の増設流路モジュール４ｂは、第１の増設流路モジュール４ａにおける流入口２２に対応する位置を流出口２３とし、同時に第１の増設流路モジュール４ａにおける流出口２３に対応する位置を流入口２２としている。
【００２６】
このような第１および第２の増設流路モジュール４ａ,４ｂは、これらを対として重ねて用いられる。即ち、第１の増設流路モジュール４ａの流路２１を介してその中央部から側部に導いた混合液を、第２の増設流路モジュール４ｂの流路２１を介して折り返して中央部に導くことで、第１および第２の増設流路モジュール４ａ,４ｂを重ねて一体に構築される増設流路モジュール４の流入口および流出口の位置が、その表裏面間において一致するようになっている。そしてこれらの流入口および流出口は、前述した流路モジュール３nの流出口１１ｂに対応する位置、および上部プレート体２の流体取り出しコネクタ８に対応する位置にそれぞれ位置付けられようになっている。
【００２７】
このような対をなす第１および第２の増設流路モジュール４ａ,４ｂを、前述した如く積層した複数枚の流路モジュール３1,〜３nに更に重ねて構成されるマイクロ混合器によれば、上記流路モジュール３1,〜３nにて拡散（混合）した液（流体）Ａ,Ｂの混合液を、上記増設流路モジュール４ａ,４ｂを介して所定の通流時間を経た後、前記流体取り出しコネクタ８から取り出すことが可能となる。
【００２８】
従って複数枚の流路モジュール３1,〜３nにおける液（流体）Ａ,Ｂの拡散（混合）時間に比較して上記液（流体）Ａ,Ｂの反応時間が短いような場合であっても、増設流路モジュール４ａ,４ｂを介する混合液（流体）の通流に要する時間によってその反応時間を十分に稼ぐことができる。従って液（流体）Ａ,Ｂを十分に反応させた混合液を簡易に得ることが可能となる。
【００２９】
また上述した構成の増設流路モジュール４ａ,４ｂによれば、複数枚の流路モジュール３1,〜３n上にそのまま重ねて上下一対のプレート体１,２間に積層して保持することができるのでその構造が簡単な上、所要性能を有するマイクロ混合器を安価に製作することができる。しかも複数枚の流路モジュール３1,〜３nに重ねる増設流路モジュール４ａ,４ｂの枚数を、上述した第１および第２の増設流路モジュール４ａ,４ｂを対として増やしていくことも容易なので、液（流体）Ａ,Ｂの種類に応じてその反応時間の調整を簡単に行うことができる等の利点もある。
【００３０】
尚、増設流路モジュール４については、上述した例においては図６(ａ)にその断面構造を示すように、１枚の基板３１の上面に渦巻き状の溝を形成して流路２１としたが、図６(ｂ)に示すようにを渦巻き状のスリット２１ａを形成した基板３２と、流入口２２をなす透孔を形成した基板３３とを接合一体化して製作することもできる。また或いは図６(ｃ)に示すように、更に流出口２３をなす透孔を形成した基板３４も重ね合わせることで、単独で使用可能な増設流路モジュールとしても良い。
【００３１】
更には増設流路モジュール４に形成する流路２１のパターン形状については、図７(ａ)に示すようにジグザグ状に交互に折り返した形状として実現することも可能であり、更には図７(ｂ)に示すように２重にジグザグ状に折り返した形状として実現することも可能である。また図７(ｃ)に示すように同一面内において渦巻きパターンを折り返した形状とすることも可能であり、図７(ｄ)に示すようにミアンダ状に蛇行した流路パターン形状としても良い。
【００３２】
尚、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。例えば流路モジュール３1,〜３nや増設流路モジュール４ａ,４ｂをガラス材等の透明部材、好ましくは紫外線を透過する石英ガラス等を用いて形成すれば、マイクロ混合器の外部からその流路内に光を照射することが可能となるので、例えば光の照射により液（流体）Ａ,Ｂの反応を促進することが可能となる。また流路モジュール３1,〜３nや増設流路モジュール４ａ,４ｂについては、基本的には混合処理対象とする液（流体）Ａ,Ｂに対する耐性を有する材料のものを用いて製作するようにすれば良いが、その流路壁面を液（流体）Ａ,Ｂに対する耐性を有する素材にてコーティングすることも有用である。
【００３３】
またここではマイクロ混合器を例に説明したが、複数枚の流路モジュールに積層して構築されるマイクロリアクタ（マイクロ反応器）やマイクロ熱交換器等にも同様に適用することができる。更に上述した実施形態においては、前述した各流路モジュール３1,〜３n,４ａ,４ｂがそれぞれ平板体として構成されるものとして説明したが、例えばその中央部にだけ平板部を有し、この平板部に前述した混合分配ユニット１１や混合ユニット１２、更には流路２１を形成したものであっても良い。この場合、各流路モジュール３1,〜３n,４ａ,４ｂにおける平板部の周囲については、これらの各流路モジュール３1,〜３n,４ａ,４ｂを互いに密着させて積層することを妨げることのない構造（形状）としておけば良い。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の一実施形態に係る増設流路モジュールを備えたマイクロ混合器（流体混合器）の全体構成を示す外観図。
【図２】図１に示すマイクロ混合器における下部プレート、流路モジュール、および増設流路モジュールの概略構成をそれぞれ示す図。
【図３】複数枚の流路モジュールにそれぞれ設けられる混合分配ユニットおよび／または混合ユニット間の連結構造を模式的に示す図。
【図４】混合分配ユニットの概略構成を拡大して示す図。
【図５】混合ユニットの概略構成を拡大して示す図。
【図６】増設流路モジュールの断面構造のその変形例をそれぞれ示す図。
【図７】増設流路モジュールに設けられる流路の複数種のパターン形状をそれぞれ示す図。
【符号の説明】
【００３５】
１  下部プレート体
２  上部プレート体
３1,〜３n  流路モジュール
４ａ,４ｂ  増設流路モジュール
７ａ,７ｂ  流体注入コネクタ
８  流体取り出しコネクタ
１１  混合分配ユニット
１２  混合ユニット
２１  流路
２２  流入口
２３  流出口
【図１】
2005131503.tif 000003
【図２】
2005131503.tif 000004
【図３】
2005131503.tif 000005
【図４】
2005131503.tif 000006
【図５】
2005131503.tif 000007
【図６】
2005131503.tif 000008
【図７】
2005131503.tif 000009