(57)【要約】【課題】  基板搬送カセットに関し、サイズ、即ち、長さ及び幅を異にする基板をそれぞれの中心が単一の基板搬送カセットの中心と略一致するようにバランス良く収容可能であるようにする。【解決手段】  挿入側支柱及び終端側支柱に設けられてサイズを異にする基板の隅角部を支持する支持平面３１Ａと３１Ｂ及びその支持平面３１Ａと３１Ｂから直立して該隅角部端面と衝合可能な段差壁３０Ａと３０Ｂが形成された挿入側支持爪２５Ａ及び終端側支持爪と、中間支柱に設けられてサイズを異にする基板の縁辺を支持する支持平面及び支持平面から直立して該縁辺端面と衝合する段差壁が形成された中間支持爪を備えることが基本になっている。【選択図】        図２
2005223032.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下フレーム間に設けられた基板の挿入側支柱及び中間支柱及び終端側支柱と、
該挿入側支柱及び該終端側支柱に設けられてサイズを異にする基板の隅角部を支持する支持平面及びその支持平面から直立して該隅角部端面と衝合可能な段差壁が形成された挿入側支持爪及び終端側支持爪と、
該中間支柱に設けられてサイズを異にする基板の縁辺を支持する支持平面及びその支持平面から直立して該縁辺端面と衝合する段差壁が形成された中間支持爪と
を備えてなることを特徴とする基板搬送カセット。
【請求項２】
挿入側支持爪及び終端側支持爪に於ける段差壁に於いて、
サイズが最大の基板に対応する段差壁は基板を挿入或いは脱離する方向に対向して直線状に形成され且つサイズが最大の基板に比較して小さいサイズの基板に対応する段差壁はＬ字状に形成されてなること
を特徴とする請求項１記載の基板搬送カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板、例えばＬＣＤ（ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｄｉｓｐｌａｙ）を製造する為のガラス基板を収納するのに好適な基板搬送カセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ＬＣＤを含む電子デバイスの分野では、国内メーカーは勿論、韓国や台湾をはじめとする外国のメーカーも加わって、製品の性能向上やコストダウンについて多くの努力がなされている。
【０００３】
そこで、例えばＬＣＤに用いる基板では、
（１）  基板サイズの多様化
（２）  諸部材や人員などのコストミニマム化
が図られていて、各メーカーとも、その対応に追われている。
【０００４】
一般に、ＬＣＤの製造に用いる基板は、基板搬送カセットに収容されて搬送されるものであり、その基板搬送カセットとしては、種々な構造のものが開発及び提案されている。
【０００５】
図７は従来の基板搬送カセットを表す要部斜面図であり、また、図８は図７に見られるカセットに於ける基板支持爪をもつ支柱を表す要部斜面図である。
【０００６】
図に於いて、１は下側フレーム、２Ａ，２Ｂは挿入側支柱、３Ａ，３Ｂは中間支柱、４Ａ，４Ｂは終端側支柱、５は支持爪、６Ａ，６Ｂは位置決め支柱、７は上側フレーム、８は天板、９Ａ，９Ｂは飛び出し防止板、１０は飛び出し防止板に於ける櫛歯状部をそれぞれ示している。尚、位置決め支柱６Ｂは中間支柱３Ｂに遮られているので図示されていない。
【０００７】
この基板搬送カセットに於いて、基板挿入側から見た面を正面とすると、飛び出し防止板９Ａ及び９Ｂの正面形状は、挿入側支柱２Ａ或いは２Ｂの正面形状と同形状の板状部分に支持爪５の形状と同じ形状及び位置間隔を保った櫛歯状部１０が一体的に形成された形状を成し、そして、飛び出し防止板９Ａ及び９Ｂは、挿入側支柱２Ａ及び２Ｂに対し、櫛歯状部１０の上縁が支持爪５の上縁から僅かに（例えば１ｍｍ〜２ｍｍ程度）突出するようにずらせて一体化してある。
【０００８】
図９及び図１０は図７及び図８について説明した基板搬送カセットに於ける基板の支持について説明する為の要部正面図及び要部切断側面図であり、図７及び図８に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものとする。
【０００９】
図に於いて、５Ａは支持爪５の上縁、１０Ａは櫛歯状部１０の上縁、１１は基板、ｈは上縁５Ａと上縁１０Ａとの間隔をそれぞれ示し、その間隔ｈは１ｍｍ〜２ｍｍ程度に選ばれる。
【００１０】
図から明らかなように、基板搬送カセットに挿入された基板１１は、左右に対向配列されている支持爪５間に支持されることとなり、支持された後に於いては、櫛歯状部１０の上縁１０Ａに係止される為、カセット外に飛び出すことはない。
【００１１】
前記説明した基板搬送カセットに於いては、通常、ハンドリングロボットなどを用い、２０枚〜２５枚程度の基板を収納したり、或いは、取り出したりしているが、この構造では、取り扱うことができる基板サイズは１種類に限定されてしまう。
【００１２】
そこで、近年、幅を共通とし、且つ、長さを異にした基板を収納できるようにしたカセットが提案されている。
【００１３】
図１１は長さを異にする基板を収納できる基板搬送カセットを表す要部切断平面図であって、図７乃至図１０に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものとし、また、１１Ｌは長い基板、１１Ｓは短い基板をそれぞれ示している。
【００１４】
この基板搬送カセットでは、長い基板１１Ｌを収納する場合には、位置決め支柱６Ａ及び６Ｂを長い基板１１Ｌの長さに合わせた位置、この場合、最後部にセットし、また、短い基板１１Ｓを収納する場合には、位置決め支柱６Ａ及び６Ｂを破線で示した位置にセットして基板１１Ｓは前詰めで収納するようになっている。
【００１５】
然しながら、この改良された基板搬送カセットであっても、長さが同一である１種類の基板を収納できるだけであって、長さを異にする基板を同一のカセットに収納することは不可能であり、勿論、幅が異なる基板を収容することもできない。
【００１６】
更に、この基板搬送カセットに於いて、基板の長さに合わせて位置決め支柱６Ａ及び６Ｂを人手に依って移動し、且つ、セットする作業が存外面倒であるばかりでなく、収納すべき基板と整合しないセットを行ったり、セット後の基板搬送カセットに合致しない長さの基板を収納しようとして破損してしまう事故も発生する。
【００１７】
前記説明したような長さを異にする基板を収納可能にした基板搬送カセットの他、幅を異にする基板を収納できるようにしたものも提案されているが、収納した各基板の幅が異なると収納角度が相違したり、各基板の中心が基板搬送カセットの中心とずれるなどの問題があって、実用上で問題となる点が少なくない（例えば、特許文献１を参照。）。
【００１８】
図１２は幅を異にする基板を収納可能にした特許文献１に見られる基板搬送カセットを表す要部切断正面図であり、また、図１３は図１２で表した基板搬送カセットの一部拡大図であり、図７乃至図１１に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものとする。
【００１９】
この基板搬送カセットで特徴的であるのは、支柱２Ａ等には支持爪１２Ａを先端が斜め上方を向くように取り付けられ、また、支柱２Ｂ等には支持爪１２Ｂを先端が斜め下方を向くように取り付けられ、且つ、支持爪１２Ｂの表面には、階段状に段差が形成されていて、幅を異にする基板１１の縁辺を支持できるようにした点であって、支持爪１２Ａ及び１２Ｂに支持される基板１１は、最小幅のものが水平となり、従って、幅が広くなるにつれて傾斜して支持されることになる。
【００２０】
特許文献１に見られる基板搬送カセットに於いては、支持爪１２Ａ及び１２Ｂ間に支持される基板１１は、最小幅のもの以外は、中心が全て基板搬送カセットの中心から向かって右方にずれることになり、しかも、最小幅のもの以外は、角度を異にして傾斜しているのであるから、これ等の基板１１をロボット等を用いて取り扱うには、基板のサイズ毎にロボットの配置箇所を変更する等、ロボットを駆動するのに複雑なソフトを使用しなければならず、特に、基板のサイズ如何に依って収納角度が相違している場合のロボットに依る取り扱いは極めて困難なことである。
【００２１】
それに加えて、長さ方向の相違に対しては何らの対策も施していないから、例えば、図７等について説明したように位置決め支柱６Ａ及び６Ｂのようなストッパを用いるのであれば、例えば、基板の長さ相違に対処する為には、それぞれ独立の基板搬送カセットを用意するなど、図７等について説明した従来の基板搬送カセットと全く同じ問題を生ずることになる。
【特許文献１】特開平１０−１２００７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
本発明では、サイズ、即ち、長さ及び幅を異にする基板をそれぞれの中心が単一の基板搬送カセットの中心と略一致するようにバランス良く収容可能であるようにする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明に依る基板搬送カセットに於いては、上下フレーム（例えば下側フレーム２１と上側フレーム２８）間に設けられた基板（例えば基板３２Ｌ或いは基板３２Ｓ）の挿入側支柱（例えば挿入側支柱２２Ａ及び２２Ｂ）及び中間支柱（例えば中間支柱２３Ａ及び２３Ｂ）及び終端側支柱（例えば終端側支柱２４Ａ及び２４Ｂ）と、該挿入側支柱及び該終端側支柱に設けられてサイズを異にする基板の隅角部（例えば隅角部３２Ｌ′或いは隅角部３２Ｓ′）を支持する支持平面（例えば支持平面３１Ａ或いは３１Ｂ）及びその支持平面から直立して該隅角部端面と衝合可能な段差壁（例えば段差壁３０Ａ或いは３０Ｂ）が形成された挿入側支持爪（例えば挿入側支持爪２５Ａ及び２５Ｂ）及び終端側支持爪（例えば終端側支持爪２７Ａ及び２７Ｂ）と、該中間支柱に設けられてサイズを異にする基板の縁辺を支持する支持平面（例えば支持平面３１Ｄ）及びその支持平面から直立して該縁辺端面と衝合する段差壁（例えば段差壁３０Ｃ）が形成された中間支持爪（例えば中間支持爪２３Ａ及び２３Ｂ）とを備えることが基本になっている。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に依る基板搬送カセットに於いては、前記構成を採ることに依り、サイズを異にする基板を単一のカセットに混在して収納することが可能であり、しかも、各サイズの基板ともカセット内での位置を簡単な構造で安定に維持することが可能である。
【００２５】
また、カセットからの基板の飛び出し防止機構やサイズを異にする基板に合わせて移動設定する位置決め支柱なども不要であり、カセット重量の低減、部品点数の削減などに依って製造コストを低下させることができる。
【００２６】
更にまた、単一のカセットにサイズを異にする基板を任意に収納することができ、従って、サイズを異にする基板に合わせて位置決め支柱を移動設定するカセットに於けるような基板の破損事故などは発生する余地がない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１は本発明に依る基板搬送カセットを表す要部斜面図であり、図に於いて、２１は下側フレーム、２２Ａ，２２Ｂは挿入側支柱、２３Ａ，２３Ｂは中間支柱、２４Ａ，２４Ｂは終端側支柱、２５Ａ，２５Ｂは挿入側支持爪、２６Ａ，２６Ｂは中間支持爪、２７Ａ，２７Ｂは終端側支持爪、２８は上側フレーム、２９は天板をそれぞれ示している。
【００２８】
図示の基板搬送カセットは、例えば樹脂材料からなり、且つ、格子形状を成す下側フレーム２１、コストを低減する為に下側フレーム２１と同構造にした上側フレーム２８を備え、下側フレーム２１と上側フレーム２８との間は挿入側支柱２２Ａ及び２２Ｂ、中間支柱２３Ａ及び２３Ｂ、終端側支柱２４Ａ及び２４Ｂで結ばれ、また、上側フレーム２８上にはパーティクルの付着を防ぐ為の天板２９が取り付けられている。
【００２９】
図１から認識できるが、例えば図７について説明した従来の基板搬送カセットと比較した場合、本発明に依る基板搬送カセットには、図７に見られる位置決め支柱６Ａ，６Ｂのような構造物は存在せず、しかも、サイズを異にする基板をバランス良く収納することができる。
【００３０】
その理由は、支持爪２５Ａ，２５Ｂ，２６Ａ，２６Ｂ，２７Ａ，２７Ｂの構造にあり、その詳細を次に図示して説明する。
【００３１】
図２は挿入側支柱２２Ａ及び挿入側支持爪２５Ａを表す要部切断斜面図、図３は挿入側支柱２２Ｂ及び挿入側支持爪２５Ｂを表す要部切断斜面図であり、図１に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものとする。
【００３２】
図２或いは図３から明らかなように、本発明の基板搬送カセットを構成する支持爪２５Ａ或いは２５Ｂは、基板の隅角部端面と衝合する段差壁３０Ａ，３０Ｂ及び段差壁３０Ａに連なって基板の隅角部を支持する支持平面３１Ａ、段差壁３０Ｂに連なって基板の隅角部を支持する支持平面３１Ｂを備えている。尚、支持爪２５Ａ等の長さとしては、取り扱う基板のうちの最小サイズのものを支持できるように選定することは勿論である。
【００３３】
本実施の形態では、最大サイズの基板に於ける隅角部端面と衝合する段差壁３０Ａの側面部分は支柱２２Ａの側面一部を利用しているが、小サイズの基板に於ける隅角部端面と衝合する段差壁３０Ｂは隅角部端面の正面部分と側面部分の二方向に対応するようにＬ字状を成している。尚、段差壁３０Ａも段差壁３０Ｂと同じＬ字形に形成しても良いが、カセットの平面的占有面積は大きくなる。
【００３４】
支持爪２５Ａ等に形成する段差壁３０Ａ或いは３０Ｂの段差は、取り扱う基板の厚さに合わせて設定することは云うまでもなく、その段差の数は、取り扱う基板のサイズに応じて増減することも勿論であり、図示例では大小二種類のサイズの基板に対応するように二段分を形成してあるが、基板のサイズが大中小三種類であれば三段分を形成しなければならない。然しながら、取り扱い可能なサイズを異にする基板の種類に限度があることは当然である。
【００３５】
図から理解できようが、終端側支持爪２７Ａ及び２７Ｂは別段に作製する必要はなく、挿入側支持爪２５Ａ及び２５Ｂを逆向きに、そして、支持爪２５Ａを２７Ｂに、また、支持爪２５Ｂを２７Ａに対応させれば良い。
【００３６】
図４は中間支柱及び中間支持爪を表す要部切断斜面図、図５は中間支持爪に基板が支持された状態を表す要部切断正面図であり、図１に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものとし、そして、記号３２Ｓはサイズが小さい基板を指示している。
【００３７】
図４及び図５から明らかなように、中間支持爪２６Ａは基板の縁辺を支持するのみであるから、サイズが大きいものの縁辺を支持する支持平面３１Ｃ、サイズが小さい基板３２Ｓの挿入方向と並行する段差壁３０Ｃとそれに連なって縁辺を支持する支持平面３１Ｄを備えた構成になっている。尚、中間支持爪２６Ａと中間支持爪２６Ｂとは同じ構造であることは勿論である。尚、各支持爪２５Ａ等は各支柱の１本に対して２０個乃至２５個が取り付けられている。
【００３８】
図６は本発明に依る基板搬送カセットに基板を収容した状態を説明する為の要部上面図であり、図１乃至図５に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものとし、そして、記号３２Ｌはサイズが大きい基板を指示している。
【００３９】
図示のように、サイズが大きい基板３２Ｌの隅角部３２Ｌ′、サイズが小さい基板３２Ｓの隅角部３２Ｓ′とも、それぞれ支持爪２５Ａ及び２５Ｂ、支持爪２７Ａ及び２７Ｂに支持され、また、基板３２Ｌ及び３２Ｓの長さ方向の中間位置に於ける縁辺近傍は支持爪２６Ａ及び２６Ｂで支持されていて、しかも、基板３２Ｌも基板３２Ｓも、その中心がカセットの中心と略一致するようにバランス良く収納されていることが看取できよう。
【００４０】
更にまた、基板３２Ｌは段差壁３０Ａに抑止され、また、基板３２Ｓは段差壁３０Ｂに抑止されているから、カセットの挿入側からも終端側からも飛び出ることは皆無であり、そして、幅方向の力に対しては支柱２２Ａ・・・・の側面、Ｌ字状をなす段差壁３０Ｂ、段差壁３０Ｃに依って抑止されていることは云うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に依る基板搬送カセットを表す要部斜面図である。
【図２】挿入側支柱及び挿入側支持爪を表す要部切断斜面図である。
【図３】挿入側支柱及び挿入側支持爪を表す要部切断斜面図である。
【図４】中間支柱及び中間支持爪を表す要部切断斜面図である。
【図５】中間支持爪に基板が支持された状態を表す要部切断正面図である。
【図６】本発明に依る基板搬送カセットに基板を収容した状態を説明する為の要部上面図である。
【図７】従来の基板搬送カセットを表す要部斜面図である。
【図８】図７に見られるカセットに於ける基板支持爪をもつ支柱を表す要部斜面図である。
【図９】図７及び図８について説明した基板搬送カセットに於ける基板の支持について説明する為の要部正面図である。
【図１０】図７及び図８について説明した基板搬送カセットに於ける基板の支持について説明する為の要部切断側面図である。
【図１１】長さを異にする基板を収納できる基板搬送カセットを表す要部切断平面図である。
【図１２】幅を異にする基板を収納可能にした特許文献１に見られる基板搬送カセットを表す要部切断正面図である。
【図１３】図１２で表した基板搬送カセットの一部拡大図である。
【符号の説明】
【００４２】
２１  下側フレーム
２２Ａ，２２Ｂ  挿入側支柱
２３Ａ，２３Ｂ  中間支柱
２４Ａ，２４Ｂ  終端側支柱
２５Ａ，２５Ｂ  挿入側支持爪
２６Ａ，２６Ｂ  中間支持爪
２７Ａ，２７Ｂ  終端側支持爪
２８  上側フレーム
２９  天板
３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ  段差壁
３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄ  支持平面
３２Ｌ  サイズが大きい基板
３２Ｓ  サイズが小さい基板
３２Ｌ′  サイズが大きい基板の隅角部
３２Ｓ′  サイズが小さい基板の隅角部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2005223032.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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