(57)【要約】【課題】  電極としての性能および製造安定性に優れた貫通電極を有する半導体装置を提供する。【解決手段】  半導体装置１００に導電性の小径プラグ１１９と導電性の大径プラグ１３１とからなる貫通電極１３５を設ける。小径プラグ１１９の断面積を、それぞれ接続プラグ１２３の断面積および径よりも大きく大径プラグ１３１の断面積および径よりも小さくする。また、シリコン基板１０１から小径プラグ１１９が突出した突出部１４１を大径プラグ１３１の上面に貫入させる。また、小径プラグ１１９の上面を第一配線１２１と接続させる。【選択図】  図１
2005294582.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の素子形成面の側に第一の孔を形成する工程と、
前記第一の孔の内壁に、絶縁材料からなるバリア膜を形成する工程と、
前記第一の孔の内部を埋め込むように第一の金属膜を埋設する工程と、
前記第一の孔の外部に形成された前記第一の金属膜を除去し、前記第一の孔の内部に第一のプラグを形成する工程と、
裏面の側から前記半導体基板を選択的に除去して第二の孔を形成し、前記第二の孔の内部に前記第一のプラグの一部を露出させる工程と、
前記第二の孔の内面の前記第一のプラグを除く領域に選択的に絶縁材料を付着させる工程と、
絶縁材料を付着させる前記工程の後、露出した前記バリア膜の少なくとも一部を除去し、前記第一の金属膜を露出させる工程と、
前記第二の孔の内部を埋めるように選択的に第二の金属膜を成長させて、前記第一のプラグの一部を内包する第二のプラグを形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、第二のプラグを形成する前記工程は、露出した前記第一の金属膜を起点として前記第二の孔の内部を埋めるように前記第二の金属膜を成長させる工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の半導体装置の製造方法において、前記絶縁材料は電着材料であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の半導体装置の製造方法において、前記電着材料は電着ポリイミドであることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかに記載の半導体装置の製造方法において、前記第二の孔は前記第一の孔よりも断面積が大きいことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５いずれかに記載の半導体装置の製造方法において、第二のプラグを形成する前記工程の前に、前記第二の孔の前記内面に金属のシード層を形成する工程を含み、
第二のプラグを形成する前記工程は、前記シード層を起点として前記第二の金属膜を成長させる工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６いずれかに記載の半導体装置の製造方法において、第二の孔を形成する前記工程の後、絶縁材料を付着させる前記工程の前に、前記第二の孔の前記内面の前記第一のプラグを除く前記領域に選択的に金属のシード層を形成する工程を含み、
絶縁材料を付着させる前記工程は、前記シード層に前記絶縁材料を付着させる工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至７いずれかに記載の半導体装置の製造方法において、第一の孔を形成する前記工程は、前記半導体基板の前記素子形成面の側に絶縁膜を形成した後、前記第一の孔を形成する領域の前記絶縁膜を選択的に除去する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の半導体装置の製造方法において、
第一のプラグを形成する前記工程の後に、前記半導体基板の前記絶縁膜上に配線層を形成する工程を含み、
配線層を形成する前記工程は、前記第一のプラグに接続する配線を形成する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体装置の軽薄短小化と高性能化が要求されており、マルチチップパッケージなどの半導体装置において、配線の高密度化、論理素子の微細化およびメモリの大容量化が進められている。
【０００３】
こうした要請に対応する一つの手段として、半導体基板に貫通電極を設け、配線の高密度化等を図ることが試みられている。従来の貫通電極としては、たとえば特許文献１に記載されたものがある。同文献には、半導体素子基板を貫通する貫通孔内に中間絶縁層が周設され、その内側に導電層が充填された構成の貫通電極を有する半導体装置が開示されている。この構成を用いると、複数の半導体素子基板を高密度で三次元的に積層することができるとされている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３１１９８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記特許文献１に記載の貫通電極は、半導体素子基板を太い貫通電極が貫通しているため、貫通電極を形成した領域には、配線等を設けることができない構成となっていた。このため、配線等の集積度が低下してしまい、配線の高密度化の点でさらに改善の余地があった。また、貫通電極が素子形成後に作製されるため、貫通電極の形成時に素子の信頼性を低下させる懸念があった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、その目的は、電極としての性能および製造安定性に優れた貫通電極を有する半導体装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、半導体基板の素子形成面の側に第一の孔を形成する工程と、前記第一の孔の内壁に、絶縁材料からなるバリア膜を形成する工程と、前記第一の孔の内部を埋め込むように第一の金属膜を埋設する工程と、前記第一の孔の外部に形成された前記第一の金属膜を除去し、前記第一の孔の内部に第一のプラグを形成する工程と、裏面の側から前記半導体基板を選択的に除去して第二の孔を形成し、前記第二の孔の内部に前記第一のプラグの一部を露出させる工程と、前記第二の孔の内面の前記第一のプラグを除く領域に選択的に絶縁材料を付着させる工程と、絶縁材料を付着させる前記工程の後、露出した前記バリア膜の少なくとも一部を除去し、前記第一の金属膜を露出させる工程と、前記第二の孔の内部を埋めるように選択的に第二の金属膜を成長させて、前記第一のプラグの一部を内包する第二のプラグを形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【０００８】
本明細書において、素子形成面は、半導体素子が形成される半導体基板の面のことである。
【０００９】
この方法によれば、第一のプラグと第二のプラグとの密着性にすぐれた貫通電極を有する半導体装置を簡便なプロセスで安定的に製造することができる。また、簡便なプロセスで第二のプラグの表面の絶縁性にすぐれた半導体装置を製造することができる。
【００１０】
なお、本発明において、第一のプラグは、第一の金属膜とバリア膜を含む。また、本発明において、第一の金属膜がバリアメタル膜を含んでもよい。
【００１１】
本発明の半導体装置の製造方法において、第二のプラグを形成する前記工程は、露出した前記第一の金属膜を起点として前記第二の孔の内部を埋めるように前記第二の金属膜を成長させる工程を含んでもよい。こうすることにより、第二の孔中にさらに確実に金属膜を成長させることができる。
【００１２】
本発明の半導体装置の製造方法において、前記絶縁材料は電着材料であってもよい。こうすることにより、絶縁材料をさらに高い選択性で前記第二の孔の内面の前記第一のプラグを除く領域に付着させることができる。
【００１３】
本発明の半導体装置の製造方法において、前記電着材料は電着ポリイミドであってもよい。こうすることにより、以降のプロセスにおける処理に対する絶縁材料の耐性を向上させることができる。よって、半導体装置のさらに高い歩留まりで安定的に製造することができる。
【００１４】
本発明の半導体装置の製造方法において、前記第二の孔は前記第一の孔よりも断面積が大きい孔とすることができる。こうすることにより、第一のプラグの断面積を第二のプラグの断面積よりも小さくすることができる。よって、第二のプラグ中に第一のプラグの一部を確実に内包させることができる。また、配線の集積度の高い半導体装置を安定的に製造することができる。
【００１５】
本発明の半導体装置の製造方法において、第二のプラグを形成する前記工程の前に、前記第二の孔の前記内面に金属のシード層を形成する工程を含み、第二のプラグを形成する前記工程は、前記シード層を起点として前記第二の金属膜を成長させる工程を含んでもよい。シード層を起点として第二の金属膜を成長させることにより、第二の孔中にさらに確実に金属膜を埋設することができる。
【００１６】
本発明の半導体装置の製造方法において、第二の孔を形成する前記工程の後、絶縁材料を付着させる前記工程の前に、前記第二の孔の前記内面の前記第一のプラグを除く前記領域に選択的に金属のシード層を形成する工程を含み、絶縁材料を付着させる前記工程は、前記シード層に前記絶縁材料を付着させる工程を含んでもよい。こうすることにより、第二の孔の内面の第一のプラグを除く領域にさらに安定的に絶縁材料を付着させることができる。
【００１７】
本発明の半導体装置の製造方法において、第一の孔を形成する前記工程は、前記半導体基板の前記素子形成面の側に絶縁膜を形成した後、前記第一の孔を形成する領域の前記絶縁膜を選択的に除去する工程を含むことができる。こうすることにより、第一のプラグが絶縁膜の上部の配線に接続する構成の半導体装置を安定的に得ることができる。
【００１８】
本発明の半導体装置の製造方法において、第一のプラグを形成する前記工程の後に、前記半導体基板の前記絶縁膜上に配線層を形成する工程を含み、配線層を形成する前記工程は、前記第一のプラグに接する配線を形成する工程を含んでもよい。こうすることにより、第一のプラグに接続する配線と同層の配線の集積度を高めることができる。このため、配線の集積度の高い半導体装置を安定的に製造することができる。また、本発明の半導体装置の製造方法において、前記配線層の上部に、前記配線に接続する上部配線を形成する工程を含んでもよい。こうすることにより、配線層よりも上層に存在する上部配線の集積度の高い多層の半導体装置を安定的に製造することができる。
【００１９】
なお、これらの各構成の任意の組み合わせや、本発明の表現を方法、装置などの間で変換したものもまた本発明の態様として有効である。
【００２０】
たとえば、本発明によれば、半導体基板と、前記半導体基板の素子形成面に設けられた絶縁層と、前記半導体基板を貫通し、前記絶縁層の内部に設けられた導電部材と接続する貫通電極と、を有し、前記貫通電極は、前記導電部材と接続する第一の導電プラグと、前記半導体基板中に設けられ、前記第一の導電プラグの断面積よりも大きい断面積を有し、前記第一の導電プラグの一部を内包する第二の導電プラグと、を有することを特徴とする半導体装置が提供される。
【００２１】
本発明の半導体装置では、第一の導電プラグの一部が第二の導電プラグに内包されている。このため、アンカー効果が好適に得られ、これらのプラグの密着性にすぐれている。また、これらのプラグ間のコンタクト抵抗が低減される構成となっている。また、素子形成面側に断面積の小さい第一のプラグが配設されているため、貫通電極近傍の配線の集積度を向上させることができる。このため、小型化に適した構成となっている。
【００２２】
また、本発明によれば、半導体基板と前記半導体基板の素子形成面に設けられたトランジスタ形成層と、前記トランジスタ形成層の上部に設けられた配線層と、前記配線層の上部に設けられた上部配線層と、前記トランジスタ形成層および前記半導体基板を貫通する貫通電極と、を有し、前記貫通電極は、前記トランジスタ形成層に設けられ、前記配線層中に形成された配線に接続する第一のプラグと、前記半導体基板中に形成され、前記第一の導電プラグの断面積よりも大きい断面積を有し、前記第一のプラグと接続する第二のプラグと、を有することを特徴とする半導体装置が提供される。
【００２３】
本発明の半導体装置では、上部配線層に被覆された配線層に第一の導電プラグが接続されている。また、第一の導電プラグの断面積が第二の導電プラグの断面積よりも小さい構成となっている。このため、配線層またはその上層における配線や素子の集積度を向上させることができる。このため、本発明の半導体装置は、小型化に適した構成となっている。
【００２４】
本発明の半導体装置において、前記第二の導電プラグと前記半導体基板とが絶縁膜を介して接している構成とすることができる。こうすることにより、製造安定性にすぐれた構成とすることができる。また、寄生容量を低下させることができる。たとえば、本発明において、前記絶縁膜を電着絶縁膜とすることができる。
【００２５】
また、本発明において、第一の金属膜を埋設する前記工程は、前記第一の孔の内壁に、バリアメタル膜を形成する工程を含んでもよい。また、本発明において、第一の金属膜は、バリアメタル膜を含む積層膜とすることができる。こうすることにより、第一のプラグを構成する導電材料の半導体基板への拡散をより一層確実に抑制することができる。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように本発明によれば、電極としての性能および製造安定性に優れた貫通電極を有する半導体装置が提供される。また、半導体装置の配線を高密度化することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同一の符号を付し、以下の説明において詳細な説明を適宜省略する。また、以下の実施形態において、半導体基板の素子形成面側を半導体装置の上（表）側とし、半導体基板の裏面側を半導体装置の下（裏）側とする。
【００２８】
（第一の実施形態）
図１は、本実施形態に係る半導体装置の構成を模式的に示す断面図である。図１の半導体装置１００は、シリコン基板１０１、エッチングストッパ膜１０９、最下層絶縁膜１１１、第一配線層絶縁膜１１３の積層構造を有し、シリコン基板１０１、エッチングストッパ膜１０９、および最下層絶縁膜１１１を貫通する貫通電極１３５が設けられている。
【００２９】
シリコン基板１０１の素子形成面に、拡散層１０５、ゲート電極１０７等からなるＭＯＳトランジスタおよび素子分離膜１０３が形成されている。ＭＯＳトランジスタおよび素子分離膜１０３を埋め込むように最下層絶縁膜１１１が形成されている。最下層絶縁膜１１１中には、シリコン基板１０１およびゲート電極１０７の上面に接してエッチングストッパ膜１０９が設けられている。また、最下層絶縁膜１１１には、拡散層１０５に接続する接続プラグ１２３も設けられている。
【００３０】
第一配線層絶縁膜１１３には第一配線１２１および第一配線１２１に電気的に接続する接続プラグ１２２が設けられている。また、接続プラグ１２２の上部には、これと電気的に接続するパッド１２５およびパッド１２５と電気的に接続するバンプ１２７がこの順に形成されている。
【００３１】
貫通電極１３５は、導電性の小径プラグ１１９と導電性の大径プラグ１３１とを有する。小径プラグ１１９の断面積および径は、それぞれ接続プラグ１２３の断面積および径よりも大きく大径プラグ１３１の断面積および径よりも小さい。また、シリコン基板１０１から小径プラグ１１９が突出した突出部１４１が大径プラグ１３１の上面に貫入している。
【００３２】
小径プラグ１１９の径は、たとえば、１〜５μｍ程度とすることができる。また、小径プラグ１１９はシリコン基板１０１中に２０〜５０μｍ程度貫入している構成とすることができる。さらに、大径プラグ１３１中に貫入している突出部１４１の長さを、たとえば１〜５０μｍ程度とする。また、大径プラグ１３１の径は、たとえば１０〜１０００μｍ程度とする。
【００３３】
小径プラグ１１９は、最下層絶縁膜１１１の上面からエッチングストッパ膜１０９、シリコン基板１０１をこの順に貫通し、その先端がシリコン基板１０１の外部に露出した突出部１４１となっている。小径プラグ１１９の上面は、第一配線層絶縁膜１１３の底面と同一平面内に底面を有する第一配線１２１と接触し、電気的な接続が確保されている。小径プラグ１１９の側面は、突出部１４１を除きＳｉＮ膜１３７に被覆されている。
【００３４】
また、大径プラグ１３１は、シリコン基板１０１の裏面から素子形成面に向かって形成されている。大径プラグ１３１の上面は、シリコン基板１０１の上面よりも下方に位置する。大径プラグ１３１の底面および側面、ならびにシリコン基板１０１の裏面に電着絶縁膜１２９が設けられている。また、大径プラグ１３１の表面はめっき膜１３３に被覆されている。
【００３５】
小径プラグ１１９の材料に特に制限はないが、たとえば、Ｗを用いることができる。こうすることにより、シリコン基板１０１への拡散が好適に抑制される。また、大径プラグ１３１およびめっき膜１３３の材料に特に制限はないが、それぞれ、たとえばＮｉおよびＡｕとすることができる。
【００３６】
次に、半導体装置１００の製造方法を説明する。図２（ａ）〜図２（ｄ）は、図１に示した半導体装置１００の製造工程を模式的に示す断面図である。
【００３７】
まず、シリコン基板１０１上にゲート電極１０７、拡散層１０５、素子分離膜１０３を形成する。素子分離膜１０３は、たとえばＳＴＩ（シャロートレンチアイソレーション）とする。その後、シリコン基板１０１の上面全面にエッチングストッパ膜１０９および最下層絶縁膜１１１をこの順に積層する。
【００３８】
このとき、エッチングストッパ膜１０９として、たとえばＳｉＮ膜をプラズマＣＶＤ法により５０ｎｍ成膜する。また、最下層絶縁膜１１１として、たとえばＳｉＯ2膜をプラズマＣＶＤ法により４００ｎｍ成膜する。または、最下層絶縁膜１１１として、低誘電率層間絶縁膜であるＬ−Ｏｘ（商標）膜を塗布法により３００ｎｍ成膜し、Ｌ−Ｏｘ（商標）膜の上面にＳｉＯ2膜を１００ｎｍ成膜して、積層膜を形成してもよい。
【００３９】
次に、最下層絶縁膜１１１上に反射防止膜とフォトレジストをこの順に塗布し、フォトリソグラフィー技術を用いて小径プラグ１１９の形状に対応する開口部を有するレジストパターン（不図示）を形成する。フォトレジスト膜をマスクとして最下層絶縁膜１１１をドライエッチングして、小径プラグ１１９を設ける位置を開口させる。そして、ドライエッチングによりエッチングストッパ膜１０９のエッチバックを行う。
【００４０】
その後、さらにエッチングガスを変えて、シリコン基板１０１を途中までエッチングする。たとえば、シリコン基板１０１の上面から１０μｍ以上５０μｍ以下の深さまでエッチングする。深さを１０μｍ以上とすることにより、突出部１４１の周囲を大径プラグ１３１に確実に接続することができる。５０μｍ以下とすることにより、シリコン基板１０１の素子形成面からの小径プラグ１１９のシリコン基板１０１内部への突出量を減少させることができる。このため、開口部を安定的に形成することができる。開口部の径は、小径プラグ１１９の径がたとえば１〜５μｍ程度となるように選択される。そして、フォトレジスト膜および反射防止膜あるいはエッチングによるそれらの残渣を除去する。
【００４１】
次に、小径プラグ１１９の形状に対応した開口部が設けられたシリコン基板１０１の上面全面にＳｉＮ膜１３７を２０ｎｍ成膜する。
【００４２】
そして、最下層絶縁膜１１１上に、新たに反射防止膜とフォトレジストをこの順に塗布し、フォトリソグラフィー技術を用いて接続プラグ１２３の形状に対応して開口するレジストパターン（不図示）を形成する。このフォトレジスト膜をマスクとして、最下層絶縁膜１１１をドライエッチングし、拡散層１０５の上部の接続プラグ１２３を設ける位置を開口させる。そして、ドライエッチングによりエッチングストッパ膜１０９のエッチバックを行い、拡散層１０５の上面を露出させる。こうして、小径プラグ１１９および接続プラグ１２３を形成するための孔を得る。
【００４３】
次に、シリコン基板１０１の上面全面に、金属膜としてＷ膜をＣＶＤ法により成膜する。Ｗ膜の膜厚は、接続プラグ１２３および小径プラグ１１９の径に合わせて、その両方が埋め込められるような膜厚に設定される。たとえば、Ｗの膜厚を１μｍ程度とする。そして、最下層絶縁膜１１１上のＷ膜およびＳｉＮ膜１３７をＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）により除去する。こうして、小径プラグ１１９および接続プラグ１２３が同時に形成される（図２（ａ））。
【００４４】
次に、シリコン基板１０１の上面全面に第一配線層絶縁膜１１３を設ける。第一配線層絶縁膜１１３は、図２（ｂ）に示したように、配線用絶縁膜１１２およびプラグ用絶縁膜１１４が積層された構成である。
【００４５】
まず、シリコン基板１０１の上面全面を被覆し、第一配線層絶縁膜１１３の下層をなす配線用絶縁膜１１２を３００ｎｍ成膜する。配線用絶縁膜１１２は、たとえば、Ｌ−Ｏｘ（商標）膜等の低誘電率膜とすることができる。このとき、最下層絶縁膜１１１上にＣｕ拡散防止膜のＳｉＣＮ膜を設けてもよい。また、低誘電率膜上にＳｉＯ2膜を１００ｎｍ成膜してもよい。次に、シリコン基板１０１の上面全面に反射防止膜およびフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィー技術を用いて、フォトレジストに溝配線用レジストパターンを形成する。そして、フォトレジストをマスクにして、配線用絶縁膜１１２をエッチングし、第一配線１２１作製用の開口部を形成する。次に、アッシングによりフォトレジストと反射防止膜を除去する。
【００４６】
その後、スパッタリング法により、バリアメタル膜としてＴａＮ膜を３０ｎｍ成膜し、ＴａＮ膜の上にシード用のＣｕ膜を１００ｎｍ成膜する。次に、電解メッキ法によりＣｕ膜を７００ｎｍ成膜し、次いでＣＭＰ法により、第一配線１２１となる金属膜を形成する。その後、小径プラグ１１９および接続プラグ１２３の形成時と同様にして、配線用絶縁膜１１２上のＣｕ膜およびバリアメタル膜を除去し、第一配線１２１が形成される。
【００４７】
その後、通常の配線作製工程により、配線用絶縁膜１１２上に、第一配線層絶縁膜１１３の上層をなすプラグ用絶縁膜１１４を形成する。プラグ用絶縁膜１１４中に、第一配線１２１と接続する接続プラグ１２２を形成する。そして、接続プラグ１２２に接続するパッド１２５、およびバンプ１２７をこの順に形成する。パッドの材料は、たとえばＡｌ、Ｃｕ、Ｎｉ、ＴｉＮ等とすることができる。また、バンプ１２７の材料は、たとえばＡｕ、ハンダ等とすることができる。
【００４８】
なお、第一配線層絶縁膜１１３の上部にさらに所定の数の配線層等の上層を形成してもよい。
【００４９】
次に、シリコン基板１０１の上面に粘着剤層１１５を形成し、支持体１１７を貼付する（図２（ｂ））。粘着剤層１１５として、たとえば粘着テープを用いる。粘着テープは基材とその両面に形成された粘着層から構成されている。粘着テープを構成する基材としては、たとえば、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂などが用いられる。また、粘着テープを構成する粘着剤としては、たとえば、アクリル系エマルジョン型粘着剤、アクリル系溶剤型粘着剤、ウレタン系粘着剤などが用いられる。
【００５０】
また、支持体１１７の材料は、後述する裏面研削によるシリコン基板１０１の薄化加工等のプロセスにおける、熱、薬剤、外力などに対する耐性を備えている材料であればよく、たとえば、石英やパイレックス（登録商標）等のガラスとすることができる。また、ガラス以外の材料としてもよい。たとえば、アクリル樹脂などのプラスチックス等の材料を用いてもよい。
【００５１】
次に、シリコン基板１０１の裏面研削を行う。裏面研削は、機械的研磨により行う。研削後のシリコン基板１０１の厚さは、小径プラグ１１９の底部が露出しない範囲で適宜選択することができるが、たとえば、５０〜２００μｍ程度とすることができる。そして、シリコン基板１０１の裏面に反射防止膜およびフォトレジストをこの順に成膜し、フォトリソグラフィー技術を用いて大径プラグ１３１を形成する領域が開口するレジストパターン（不図示）を形成する。フォトレジスト膜をマスクとしてシリコン基板１０１をドライエッチングして、後に大径プラグ１３１を設ける位置に、開口部１３９を設ける。
【００５２】
開口部１３９は、シリコン基板１０１の裏面から素子形成面に向かい、上面がシリコン基板１０１の素子形成面の近傍よりも下方に位置する形状とする。また、開口部１３９は突出部１４１の底部に設けられ、その上面が小径プラグ１１９の底面よりも上方に位置する。小径プラグ１１９の表面にＳｉＮ膜１３７が設けられており、前述のシリコン基板１０１をドライエッチングする際のエッチング条件は、シリコン膜とＳｉＮ膜１３７との選択比が高い条件に設定されているため、開口部１３９の形成時に小径プラグ１１９は除去されず、小径プラグ１１９の側面外周のシリコン基板１０１が選択的に除去される。これにより、小径プラグ１１９の底面を含む姿態で開口部１３９が形成される。また、小径プラグ１１９の一部がシリコン基板１０１の外部に露出し、突出部１４１が形成される。
【００５３】
次に、シリコン基板１０１の裏面に電着絶縁膜１２９を設ける（図２（ｃ））。このとき、電着絶縁膜１２９は、シリコン基板１０１の裏面ならびに開口部１３９の底面および側面に選択的に成膜される。突出部１４１の表面は絶縁性のＳｉＮ膜１３７に被覆されているため、小径プラグ１１９の外側には電着絶縁膜１２９が形成されない。電着絶縁膜１２９の膜厚は、たとえば０．５〜５μｍ程度とする。
【００５４】
電着絶縁膜１２９は、たとえば電着ポリイミド膜とする。電着ポリイミド膜の材料として、カチオン型ポリイミド電着塗料またはアニオン型ポリイミド電着塗料を用いることができる。具体的には、たとえば、シミズ社製エレコートＰＩ等を用いることができる。なお、電着絶縁膜１２９の材料はポリイミドには限定されず、エポキシ系の電着塗料、アクリル系の電着塗料、フッ素系の電着塗料等、他の電着高分子塗料を用いてもよい。電着絶縁膜１２９の材料としてポリイミドを用いることにより、電着絶縁膜１２９の耐熱性を向上させることができる。このため、その後の製造プロセスにおける劣化が好適に抑制され、高い歩留まりで安定的に製造可能な構成とすることができる。
【００５５】
電着絶縁膜１２９の形成は、たとえば以下のようにして行う。シリコン基板１０１を一方の電極とし、他方の対極とともに電着塗料の液体中に浸漬させる。そして、シリコン基板１０１および対極に高分子の電荷に応じて所定の電位を印加する。こうすると、シリコン基板１０１の表面に高分子が付着する。所定の膜厚が得られたら塗料からシリコン基板１０１を取り出し、水洗する。その後、シリコン基板１０１を焼成することにより、その裏面に電着絶縁膜１２９が形成される。
【００５６】
次に、ＳｉＮ膜１３７のエッチバックを行う。これにより、突出部１４１の先端部においてＳｉＮ膜１３７が除去されて小径プラグ１１９の表面を露出させる。このとき、シリコン基板１０１の裏面には電着絶縁膜１２９が形成されているため、シリコン基板１０１は除去されず、ＳｉＮ膜１３７が選択的に除去される。なお、図１および図２（ｄ）においては、突出部１４１におけるＳｉＮ膜１３７がすべて除去されている構成を例示したが、小径プラグ１１９のプラグ底部を含む少なくとも一部が露出していればよい。
【００５７】
次いで、無電解めっきにより小径プラグ１１９の露出部を起点としてＮｉ膜を成長させて、開口部１３９を埋め込むとともに、開口部１３９の外部にバンプを一体に形成する。そして、バンプの表面にＡｕのめっき膜１３３を設けることにより、大径プラグ１３１が形成される（図２（ｄ））。
【００５８】
このとき、大径プラグ１３１の形成を、裏面の開口部１３９の埋め込み工程と、裏面のバンプ形成工程に分けて行ってもよい。
【００５９】
その後、粘着剤層１１５をシリコン基板１０１の素子形成面から剥離することにより、支持体１１７が除去され、図１に示した半導体装置１００が得られる。
【００６０】
次に、図１に示した半導体装置１００の効果を説明する。
まず、半導体装置１００においては、貫通電極１３５が小径プラグ１１９および大径プラグ１３１の二つのプラグからなる。小径プラグ１１９の端部の突出部１４１は、大径プラグ１３１に内包されている。
【００６１】
図３（ａ）および図３（ｂ）は、太さの異なる２本のプラグからなる貫通電極の構成を模式的に示す図である。各分図において、上の図が断面図であり、下の図が平面図である。図３（ａ）は、本実施形態に係る貫通電極１３５の構成を示す図である。また、図３（ｂ）は、小径プラグ２１９と大径プラグ２３１とが平坦面において接続した形状の貫通電極２３５を示す図である。
【００６２】
図３（ａ）の構成では、アンカー効果による両プラグの密着性の向上が図られる。このため、図３（ｂ）の構成のように、これらの端部同士が単に接触している場合に比べて密着した構成とすることができる。また、シリコン基板１０１の裏面側から選択成長で大径プラグ１３１を形成可能な構成とすることができる。このため、製造プロセスの簡素化が可能な構成となっている。また、この構成により、両プラグ間のコンタクト抵抗の低減が図られる。また、配線近傍ではプラグの径を低くして配線密度を充分に確保しつつ、配線近傍以外ではプラグの径を太くして電気抵抗を低減することができる。このため、半導体装置１００の電気的特性を向上させることができる。
【００６３】
また、図３（ｃ）に示したように、本実施形態に係る貫通電極１３５が大径プラグ１３１に内包される二つの小径プラグ１１９および大径プラグ１３１の三つのプラグからなる構造では、アンカー効果によるプラグの密着性はさらに向上し、コンタクト抵抗のさらなる低減が図られる。
【００６４】
なお、小径プラグ１１９は、大径プラグ１３１の裏面側まで貫通する必要はない。突出部１４１の深さを浅くすることができるため、埋め込みによる小径プラグ１１９の製造が安定的に行える構成である。
【００６５】
また、貫通電極１３５においては、小径プラグ１１９の径が大径プラグ１３１の径よりも小さい構成となっている。このため、小径プラグ１１９に電気的に接続する第一配線１２１の大きさを小さくすることができる。また、最下層絶縁膜１１１中の素子の集積度を向上させることが可能な構成となっている。よって、装置全体の小型化に好適な構成となっている。
【００６６】
また、小径プラグ１１９が接続プラグ１２３と同時に成形可能であるため、製造プロセスの簡素化およびそれに伴う製造コストの低減が可能な構成となっている。また、小径プラグ１１９の成形がトランジスタの成形工程に与える影響が小さく、貫通電極１３５の形成によるトランジスタへのダメージが少ない構成となっている。
【００６７】
また、貫通電極１３５の上部において、小径プラグ１１９が最下層配線である第一配線層絶縁膜１１３内の第一配線１２１に接続しており、貫通電極１３５が第一配線層絶縁膜１１３に突出しない構成となっている。このため、第一配線層絶縁膜１１３内の配線密度を向上させることが可能な構成となっている。よって、貫通電極１３５の設置が回路の構成に与える影響が小さく、半導体装置１００は素子や配線の配置の選択の自由度が高く、また、第一配線層絶縁膜１１３のデッドスペースの減少および第一配線１２１の集積度を高くすることが可能な構成とすることができる。
【００６８】
また、半導体装置１００においては、開口部１３９の内面の突出部１４１の表面を除く領域に電着絶縁膜１２９が選択的に設けられている。このため、大径プラグ１３１を形成する以降の工程において、電着絶縁膜１２９を保護膜として用いることができるため、大径プラグ１３１形成用のレジストパターンをシリコン基板１０１の裏面に形成する必要がない。このため、簡便なプロセスで大径プラグ１３１を安定的に製造可能な構成となっている。
【００６９】
次に、小径プラグ１１９と大径プラグ１３１からなる貫通電極１３５の構成を従来の貫通電極の構成と対比してさらに説明する。図４（ａ）および図４（ｂ）は、貫通電極の構成を模式的に示す断面図である。図４（ａ）は本実施形態に係る貫通電極１３５の構成を模式的に示した図である。また、図４（ｂ）は、従来の貫通電極２３５の構成を模式的に示した図である。
【００７０】
図４（ｂ）に示したように、従来の貫通電極２３５は、太い一本のプラグからなり、その上面で配線２５３に接触している。このため、貫通電極２３５の上部の配線２５３の面積が比較的大きくなる傾向にあった。また、貫通電極２３５に接触する配線２５３の層においては、貫通電極２３５の近傍に、貫通電極２３５に接触する配線２５３以外の配線２５４を設けることができなかった。このため、図中に矢印で示したように、貫通電極２３５の上面およびその近傍から離れた領域にのみ、貫通電極２３５に接触する配線２５３以外の配線２５４を形成することが可能であった。よって、貫通電極２３５に接触する配線２５３以外の配線２５４の集積度の向上の点で改善の余地があった。
【００７１】
これに対し、図４（ａ）に示したように、本実施形態に係る貫通電極１３５では、小径プラグ１１９の上面で配線１５３に接触している。このため、小径プラグ１１９の上部の配線１５３の断面積を小さくすることができる。また、配線１５３に接続するプラグが小径プラグ１１９である。このため、図中に矢印で示したように、小径プラグ１１９に接触する配線１５３以外の配線１５４を形成可能な領域が広い。このため、小径プラグ１１９に接触する配線１５３以外の配線１５４の集積度を向上させることができる。また、配線層近傍ではプラグの径を低くして配線密度を充分に確保しつつ、配線層の近傍以外ではプラグの径を太くして電気抵抗を低減することができる。
【００７２】
また、図４（ａ）の貫通電極１３５は、図３（ａ）および図３（ｂ）を用いて前述したように、小径プラグ１１９の一部が大径プラグ１３１に貫入した構成である。このため、図４（ｂ）の構成とは異なり２本のプラグを用いた場合にも、図３（ｂ）の構成と比較した場合に、これらのプラグの間の接触抵抗が充分に小さく、貫通電極としての特性に優れた構成となっている。
【００７３】
なお、図１には示していないが、半導体装置１００において、第一配線層絶縁膜１１３の上層の構成は、装置設計に応じて適宜選択することができる。第一配線層絶縁膜１１３の上部にさらに配線層等が積層されていてもよい。
【００７４】
たとえば、図５は、配線層が積層された半導体装置の構成を模式的に示す断面図である。図５の半導体装置の構成は基本的には図１に示した半導体装置１００と同様であるが、シリコン基板１０１上に、最下層絶縁膜１１１、第一配線層絶縁膜１１３に加え、さらに絶縁層１６１および絶縁層１６３が積層されている。絶縁層１６１には、配線１６５および接続プラグ１６７が形成されている。絶縁層１６３には、配線１６９および接続プラグ１７１が形成されている。
【００７５】
図５に示したように、本実施形態に係る貫通電極１３５は、素子形成面側に断面積の小さい小径プラグ１１９が設けられ、これが積層体中の下層に設けられた第一配線１２１と接続している。このため、上層の配線の集積度を向上させることができる。
【００７６】
また、図６は、配線層が積層された半導体装置の別の構成を模式的に示す断面図である。図６に示したように、小径プラグ１１９が第一配線１２１と接続しているため、第一配線１２１よりも上層の設計の自由度にすぐれている。たとえば、貫通電極１３５がバンプ１２７に接続していない構成や、貫通電極１３５の直上にバンプ１２７を形成せずに、不図示の配線を介して貫通電極１３５とバンプ１２７とを接続した構造等とすることができる。
【００７７】
また、本実施形態および以下の実施形態に係る半導体装置において、貫通電極１３５を構成する小径プラグ１１９の一部が大径プラグ１３１に内包する態様として、たとえば、小径プラグ１１９の断面の一部が内包される態様および断面すべてが内包される態様が挙げられる。図７（ａ）および図７（ｂ）は、こうした貫通電極１３５の構成を模式的に示す断面図である。図７（ａ）は、小径プラグ１１９の断面のすべてが大径プラグ１３１に内包されている構成を示す図である。また、図７（ｂ）は、小径プラグ１１９の断面の一部が大径プラグ１３１に内包されている構成を示す図である。小径プラグ１１９の内包のされ方により、大径プラグ１３１に形成される凹部の形状が異なっている。
【００７８】
図７（ａ）および図７（ｂ）のように、小径プラグ１１９の断面の少なくとも一部が大径プラグ１３１に内包される構成とすることにより、小径プラグ１１９が大径プラグ１３１に複数の面で接触する構成とすることができる。このため、図３（ｂ）を用いて前述した構成に比べ、小径プラグ１１９と大径プラグ１３１との密着性を向上させることができる。また、図７（ａ）に示したように、小径プラグ１１９の断面すべてが大径プラグ１３１に貫入し、内包される構成とすることにより、これらの密着性をさらに向上させることができる。
【００７９】
（第二の実施形態）
第一の実施形態に記載の半導体装置１００を以下のようにして作製することもできる。以下、図２（ａ）〜図２（ｄ）を参照しつつ、第一の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００８０】
まず、第一の実施形態と同様にして、シリコン基板１０１の裏面に電着絶縁膜１２９を設ける手順までを行う（図２（ｃ））。次に、第一の実施形態と同様にして、突出部１４１におけるＳｉＮ膜１３７のエッチバックを行う。
【００８１】
そして、電着絶縁膜１２９が設けられたシリコン基板１０１の裏面全面に、金属のシード層を形成する。シード層を構成する金属は、たとえばＮｉ、Ｎｉ／Ｃｕ、またはＴｉＮ／Ｔｉ／Ｃｕ等とすることができる。なお、シード層に複数の金属を用いる場合には、シリコン基板１０１から近い層から順に「下層／上層」または「下層／中層／上層」のように表示している。また、シード層は、たとえばスパッタリング法により形成することができる。
【００８２】
次に、シリコン基板１０１の裏面に、開口部１３９を被覆し、開口部１３９以外の領域が開口したレジストパターンを形成する。そして、エッチングを行うことにより、シード層を除去する。そして、シリコン基板１０１の裏面に設けられているレジストパターンを除去する。これにより、開口部１３９の内面を被覆するシード層が形成される。
【００８３】
そして、Ｎｉの電解めっきを行い、表面にＡｕのめっき膜１３３を設け、大径プラグ１３１を得る。こうして、本実施形態に係る半導体装置が得られる。
【００８４】
本実施形態に係る半導体装置においては、開口部１３９の内壁全面にシード層が形成されている。このため、大径プラグ１３１を開口部１３９内に隙間なく安定的に作製可能な構成となっている。また、シード層が設けられているため、小径プラグ１１９と大径プラグ１３１との間の接触抵抗を好適に低減させることができる。貫通電極１３５の導電性により一層すぐれた構成となっている。このため、より一層貫通電極１３５の信頼性にすぐれた構成となっている。また、製造安定性にすぐれた構成となっている。
【００８５】
（第三の実施形態）
第一の実施形態に記載の半導体装置１００を以下のようにして作製することもできる。以下、以下、図２（ａ）〜図２（ｄ）を参照しつつ、第一または第二の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００８６】
まず、第一および第二の実施形態と同様にして、図２（ａ）および図２（ｂ）を用いて前述した手順を行う。シリコン基板１０１の上面に粘着剤層１１５を形成し、支持体１１７に貼付した後（図２（ｂ））、シリコン基板１０１の裏面研削、開口部１３９の形成までの手順までを行う。
【００８７】
次に、シリコン基板１０１の裏面に電着絶縁膜１２９を設ける手順（図２（ｃ））の前に、シリコン基板１０１の裏面にシード層を設ける。シード層の材料は、Ｓｉよりも低抵抗の材料とする。たとえば、Ｎｉ等の金属とする。シード層の膜厚は、たとえば、０．１〜２μｍ程度とすることができる。
【００８８】
シード層は、たとえば無電解めっきにより形成することができる。無電解めっきを用いることにより、シリコン基板１０１の裏面にＳｉＮ膜１３７に対して選択的にシード層を形成することができる。
【００８９】
シード層を形成した後、このシード層をシードとして、第一の実施形態と同様にしてシリコン基板１０１の裏面に電着絶縁膜１２９を設ける（図２（ｃ）、ただしシード層は不図示。）。以降の工程は、第一または第二の実施形態と同様にして行うことができる。こうして、本実施形態に係る半導体装置が得られる。
【００９０】
本実施形態に係る半導体装置においては、開口部１３９の内壁を含むシリコン基板１０１の裏面全面にシード層が形成されている。下地にＳｉよりも低抵抗の金属のシード層を設けることにより、電着絶縁膜１２９を一様に安定的に形成することができる。よって、大径プラグ１３１形成用のレジストパターンをシリコン基板１０１の裏面に形成することなく、大径プラグ１３１をより一層安定的に製造可能な構成となっている。また、大径プラグ１３１とシリコン基板１０１との間を確実に絶縁することができる。
【００９１】
以上、発明の好適な実施形態を説明した。しかし、本発明は上述の実施形態に限定されず、当業者が本発明の範囲内で上述の実施形態を変形可能なことはもちろんである。
【００９２】
たとえば、以上の実施形態においては、半導体基板としてシリコン基板を用いたが、ＧａＡｓ基板等の化合物半導体基板としてもよい。
【００９３】
また、以上の実施形態においては、小径プラグ１１９の材料としてＷを用いたが、導電率の高い他の金属を用いてもよい。たとえば、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉなどの金属を用いてもよい。
【００９４】
また、以上の実施形態においては、貫通電極１３５を構成する小径プラグ１１９が第一配線層絶縁膜１１３に接続される構成について説明したが、第二配線層以上の第一配線層絶縁膜１１３より上部の下層配線層に接続される構成としてもよい。
【００９５】
また、以上の実施形態においては、一つの大径プラグ１３１の上面に一つの小径プラグ１１９が貫入した構成を例に説明したが、図３（ｃ）に示したように、一つの大径プラグ１３１に二つ以上の小径プラグ１１９が貫入した構成とすることもできる。こうすることにより、小径プラグ１１９と大径プラグ１３１との電気的接触をさらに確実なものとすることができる。
【００９６】
また、貫通電極１３５を構成する小径プラグ１１９および大径プラグ１３１がともに円柱である場合を例に説明したが、小径プラグ１１９が大径プラグ１３１に貫入した柱状体であれば、これらの形状は円柱形には限定されない。たとえば、小径プラグ１１９または大径プラグ１３１の形状は、楕円柱、または角柱等の上面および底面の面積が略等しい形状であってもよい。また、上面に先端部を有しない円錐台、楕円錐台、または角錐台の形状であってもよい。また、柱状体は、一方向に延在するトレンチ形状であってもよい。
【００９７】
また、以上の実施形態においては、大径プラグ１３１の上面がシリコン基板１０１の素子形成面の下方に位置している構成を例に説明したが、大径プラグ１３１がシリコン基板１０１の裏面から素子形成面近傍にわたって設けられている構成とすることができる。また、大径プラグ１３１の上面が多少シリコン基板１０１の素子形成面から突出していても、大径プラグ１３１が上面で絶縁された構成であればよい。
【００９８】
また、以上の実施形態においては、粘着剤層１１５および支持体１１７をシリコン基板１０１の素子形成面から剥離したが、必要に応じて剥離させずにそのまま半導体装置の一部としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】本実施形態に係る半導体装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図２】図１の半導体装置の製造工程を説明する断面図である。
【図３】貫通電極の構成を模式的に示す図である。
【図４】貫通電極の構成を模式的に示す断面図である。
【図５】本実施形態に係る半導体装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図６】本実施形態に係る半導体装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図７】本実施形態に係る貫通電極の構成を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
【０１００】
１００  半導体装置
１０１  シリコン基板
１０２  半導体装置
１０３  素子分離膜
１０４  半導体装置
１０５  拡散層
１０７  ゲート電極
１０９  エッチングストッパ膜
１１２  配線用絶縁膜
１１３  第一配線層絶縁膜
１１４  プラグ用絶縁膜
１１５  粘着剤層
１１７  支持体
１１９  小径プラグ
１２１  第一配線
１２２  接続プラグ
１２３  接続プラグ
１２５  パッド
１２７  バンプ
１２９  電着絶縁膜
１３１  大径プラグ
１３３  めっき膜
１３５  貫通電極
１３７  ＳｉＮ膜
１３９  開口部
１４１  突出部
１５３  配線
１５４  配線
１６１  絶縁層
１６３  絶縁層
１６５  配線
１６７  接続プラグ
１６９  配線
１７１  接続プラグ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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