(57)【要約】【課題】  半導体レーザ装置の品種の切替え時に大幅な調整時間が発生することなく、単一の検査装置で複数品種の検査を容易に行えるようにする。【解決手段】  半導体レーザ素子と受光素子が搭載されるとともにホログラム素子２を一体化した半導体レーザ装置１に対して配置する検査測定要素部品により、半導体レーザ素子から出射された出射光が受光素子にて受光されることで半導体レーザ装置１の検査を行う半導体装置の検査方法であって、検査測定要素部品を予め設定した距離７に配置したカートリッジ８を用いる。これにより、品種切替に伴なう検査測定要素部品である各測定用構成部品の位置調整は不要となり、品種切替時間の大幅な短縮が可能となる。そのため、単一の検査装置で複数品種の検査を容易に行える。【選択図】  図１
2005167071.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体レーザ素子と受光素子が搭載されるとともにホログラム素子を一体化した半導体レーザ装置に対して配置する検査測定要素部品により、前記半導体レーザ素子から出射された出射光が前記受光素子にて受光されることで前記半導体レーザ装置の検査を行う半導体装置の検査方法であって、前記検査測定要素部品を予め設定した距離に配置したカートリッジを用いることを特徴とする半導体装置の検査方法。
【請求項２】
前記カートリッジは、取付け位置に設置された固定部材に位置決めして取付ける請求項１記載の半導体装置の検査方法。
【請求項３】
半導体レーザ装置の各品種別に検査を行う際、各々の品種に対応した検査測定要素部品を内蔵したカートリッジを用いる請求項２記載の半導体装置の検査方法。
【請求項４】
半導体レーザ素子と受光素子が搭載されるとともにホログラム素子を一体化した半導体レーザ装置の検査を行う半導体装置の検査装置であって、前記半導体レーザ装置の検査を行うための検査測定要素部品として、前記半導体レーザ装置の各品種毎に少なくともコリメータレンズ、アクチュエータ、光ディスクを予めそれぞれの設定値である距離に配置した一体型のカートリッジを備えている半導体装置の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体レーザと受光素子とホログラム素子を一体化した半導体レーザ装置の検査工程において、複数品種の測定を同一装置にて容易に行なうための測定ユニットの構成及び品種切替方法についての半導体装置の検査方法および検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体レーザ装置の検査方法について図面を参照しながら説明する。図２は半導体レーザ装置を検査する測定部の構成図を示す。半導体レーザ装置１の内部には半導体レーザ素子と受光素子が搭載されており、半導体レーザ装置１の上部にはホログラム素子２が搭載されている。半導体レーザ装置１から出射された出射光はコリメータレンズ３、アクチュエータ４を通過し、光ディスク面５にて反射して戻り、半導体レーザ装置内部の受光素子にて受光される。この受光部で検出される光信号出力を組み合わせてＲＦ出力信号、フォーカスエラー信号、トラッキングエラー信号が構成され数値化することで、半導体レーザ装置の良否判定を行なう。ここで用いられるコリメータレンズ３、アクチュエータ４は半導体レーザ装置１に対して例えば特許文献１に記載されているような方法を用いて光軸や平行度、距離７を高精度に調整されている必要がある。
【０００３】
また、半導体レーザ装置の測定用光学系は特許文献２にも記載されているようにレーザ素子の波長や出力・用途によってコリメータレンズ３の開口数（Ｎ／Ａ）や距離が異なったりスプリッタ６を追加する等、図３のように各品種別に光学系部材の構成・位置関係を設定する必要がある。
【特許文献１】特開２００２−２５１０５号公報（Ｐ２００２−２５１０５Ａ）
【特許文献２】特開平１０−２３３０３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の半導体レーザ装置の検査装置では複数の品種の半導体レーザ装置を測定する際、コリメータレンズ３、アクチュエータ４等の測定用構成部品を個別に交換し、特許文献１のように光軸・平行度・距離７等を高精度に調整したうえで公正データとの相関確認を行うため他品種への切替調整時間を大幅に費やしていた。このため単一の検査装置にて複数品種の半導体レーザ装置の検査測定は困難かつ生産性の低いものであった。
【０００５】
したがって、この発明の目的は、半導体レーザ装置の検査を行うに際して測定用光学系の精密な調整が必要なく、かつ半導体レーザ装置の品種によって使用光学機器が異なったり寸法関係が異なることで、品種の切替え時に大幅な調整時間が発生することなく、単一の検査装置で複数品種の検査を容易に行える半導体装置の検査方法および検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためにこの発明の請求項１記載の半導体装置の検査方法は、半導体レーザ素子と受光素子が搭載されるとともにホログラム素子を一体化した半導体レーザ装置に対して配置する検査測定要素部品により、前記半導体レーザ素子から出射された出射光が前記受光素子にて受光されることで前記半導体レーザ装置の検査を行う半導体装置の検査方法であって、前記検査測定要素部品を予め設定した距離に配置したカートリッジを用いる。
【０００７】
請求項２記載の半導体装置の検査方法は、請求項１記載の半導体装置の検査方法において、前記カートリッジは、取付け位置に設置された固定部材に位置決めして取付ける。
【０００８】
請求項３記載の半導体装置の検査方法は、請求項２記載の半導体装置の検査方法において、半導体レーザ装置の各品種別に検査を行う際、各々の品種に対応した検査測定要素部品を内蔵したカートリッジを用いる。
【０００９】
請求項４記載の半導体装置の検査装置は、半導体レーザ素子と受光素子が搭載されるとともにホログラム素子を一体化した半導体レーザ装置の検査を行う半導体装置の検査装置であって、前記半導体レーザ装置の検査を行うための検査測定要素部品として、前記半導体レーザ装置の各品種毎に少なくともコリメータレンズ、アクチュエータ、光ディスクを予めそれぞれの設定値である距離に配置した一体型のカートリッジを備えている。
【発明の効果】
【００１０】
この発明の請求項１記載の半導体装置の検査方法によれば、検査測定要素部品を予め設定した距離に配置したカートリッジを用いるので、品種切替に伴なう検査測定要素部品であるコリメータレンズ等の各測定用構成部品の位置調整は不要となり、品種切替時間の大幅な短縮が可能となる。そのため、単一の検査装置で複数品種の検査を容易に行える。
【００１１】
請求項２では、カートリッジは、取付け位置に設置された固定部材に位置決めして取付けるので、基準ブロックや固定ピン等の固定部材によりカートリッジを位置決めすることで、取付け作業に特別な調整作業は不要となり、容易に取付け再現性が得られる。
【００１２】
請求項３では、半導体レーザ装置の各品種別に検査を行う際、各々の品種に対応した検査測定要素部品を内蔵したカートリッジを用いるので、単一の検査装置において複数品種の検査測定が容易に行えることで生産の変動に柔軟に対応することが出来、ひいては検査装置の品種の固定の必要が無くなるため、設備投資の抑制につながりコストダウンが図れる。
【００１３】
この発明の請求項４記載の半導体装置の検査装置によれば、半導体レーザ装置の検査を行うための検査測定要素部品として、半導体レーザ装置の各品種毎に少なくともコリメータレンズ、アクチュエータ、光ディスクを予めそれぞれの設定値である距離に配置した一体型のカートリッジを備えているので、カートリッジを交換することによって容易な品種切替作業を達成できる。すなわち、品種切替に伴なう各測定用構成部品の位置調整は不要となり、品種切替時間の大幅な短縮が可能となる。そのため、単一の検査装置において複数品種の検査測定が容易に行えることで生産の変動に柔軟に対応することが出来、ひいては検査装置の品種の固定の必要が無くなるため、設備投資の抑制につながりコストダウンが図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
この発明の実施の形態を図１に基づいて説明する。図１は本発明の実施形態に用いる検査測定用カートリッジの構成図を示している。
【００１５】
図１において、半導体レーザ装置１は、従来例と同様に半導体レーザ素子と受光素子が搭載されるとともにホログラム素子２を一体化したものである。この半導体レーザ装置１に対して配置する検査測定要素部品により、半導体レーザ素子から出射された出射光が受光素子にて受光されることで半導体レーザ装置の検査を行う。また、半導体レーザ装置１の検査を行うための検査測定要素部品として、半導体レーザ装置１の各品種毎に少なくともコリメータレンズ３、アクチュエータ４、光ディスク５等の測定用構成部品を予めそれぞれの設定値である距離７に配置した測定ユニット一式として一体型のカートリッジ８を備えている。
【００１６】
この場合、各品種別に測定用構成部品であるコリメータレンズ３、アクチュエータ４、スプリッタ６、光ディスク５を予め品種ごとに異なる距離７にて配置し光軸・平行度等を高精度に調整し、各品種別にカートリッジ８として構成しておく。例えば、図１に示すカートリッジ８は、（ａ）が半導体レーザ装置１の品種Ａ用、（ｂ）が半導体レーザ装置１の品種Ｂ用、（ｃ）が半導体レーザ装置１の品種Ｃ用である。
【００１７】
次に半導体レーザ装置の検査装置の品種変更方法について説明する。半導体レーザ装置１の各品種別に検査を行う際、各々の品種に対応した検査測定要素部品を内蔵したカートリッジを用いる。例として半導体レーザ装置１の品種Ａから品種Ｂへの切替の場合、品種Ａ用のカートリッジ８を検査装置より取外し、品種Ｂに対応したカートリッジ８を検査装置に取付ける。この際、カートリッジ８は予め検査装置の取付け位置に設置された基準ブロックや固定ピン等の固定部材に位置決めして取付ける。このため、取付け作業に特別な調整作業は不要となっており、容易に取付け再現性が得られる。また、品種Ｃへの切替も同様である。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明にかかる半導体装置の検査方法および検査装置は、カートリッジを交換することによって容易な品種切替作業を達成でき、品種切替に伴なう各測定用構成部品の位置調整は不要となり、品種切替時間の大幅な短縮が可能となる等の効果を有し、半導体レーザと受光素子とホログラム素子を一体化した半導体レーザ装置の検査工程において、複数品種の測定を同一装置にて容易に行なうための測定ユニット等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に用いる検査測定用カートリッジの構成図である。
【図２】従来例の半導体レーザ装置の検査測定ユニットの構成図である。
【図３】従来例において他品種の半導体レーザ装置の検査測定ユニットの構成図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  半導体レーザ装置
２  ホログラム素子
３  コリメータレンズ
４  アクチュエータ
５  光ディスク
６  スプリッタ
７  各構成部品の距離
８  カートリッジ
【図１】
2005167071.tif 000003
【図２】
2005167071.tif 000004
【図３】
2005167071.tif 000005