(57)【要約】【課題】  内外輪の温度差が大きい場合や、高速回転の場合にも、予圧量を精度良く検出することのできる軸受の予圧測定方法および予圧測定装置を提供する。【解決手段】  軌道輪である内輪４と外輪５間に複数の転動体６を配した転がり軸受３により、ハウジング１に対して軸２を回転自在に支持したスピンドル装置において、上記転がり軸受３の予圧量を測定する方法である。ハウジング１および軸２のうちの固定側の部材１に非接触変位測定機８Ａ，８Ｂを取付ける。これら非接触変位測定機８Ａ，８Ｂにより、回転側軌道輪である例えば内輪４の端面の軸方向変位量、および外径面の径方向変位量を測定する。これら軸方向変位量および径方向変位量の測定結果を用いて、転がり軸受３の予圧量を求める。【選択図】        図１
2005133891.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道輪である内輪と外輪間に複数の転動体を配した転がり軸受によりハウジングに対して軸を回転自在に支持したスピンドル装置において、上記転がり軸受の予圧量を測定する方法であって、上記ハウジングおよび軸のうちの固定側の部材に取付けられた非接触変位測定機により、上記転がり軸受の回転側軌道輪の端面の軸方向変位量、および回転側軌道輪の軸受内側となる周面の径方向変位量を測定し、これら軸方向変位量および径方向変位量の測定結果を用いて、上記転がり軸受の予圧量を求めることを特徴とする軸受の予圧測定方法。
【請求項２】
軌道輪である内輪と外輪間に複数の転動体を配した転がり軸受によりハウジングに対して軸を回転自在に支持したスピンドル装置において、上記転がり軸受の予圧量を測定する装置であって、上記ハウジングおよび軸のうちの固定側の部材にそれぞれ取付けられて、上記転がり軸受の回転側軌道輪の端面の軸方向変位量、および回転側軌道輪の軸受内側となる周面の径方向変位量をそれぞれ測定する軸方向および径方向の非接触変位測定機を備えることを特徴とする軸受の予圧測定装置。
【請求項３】
請求項２において、前記軸の前部を支持する転がり軸受の前側の端面の軸方向変位量を測定する非接触変位測定機と、軸の後部を支持する転がり軸受の後ろ側の端面の軸方向変位量を測定する非接触変位測定機とを設けた軸受の予圧測定装置。
【請求項４】
内輪と外輪の間に複数の転動体を配した転がり軸受によりハウジングに対して軸を回転自在に支持したスピンドル装置において、上記転がり軸受の予圧量を調整する装置であって、上記ハウジングに設置され転がり軸受に指令値に対応した予圧を付与可能な予圧付与装置と、上記ハウジングにそれぞれ取付けられ、上記転がり軸受の内輪の端面の軸方向変位量および内輪の外径面の径方向変位量をそれぞれ測定する軸方向および径方向の非接触変位測定機と、これら非接触変位測定機の出力である内輪端面の軸方向変位量および内輪外径面の径方向変位量から、関係設定データに従って上記予圧付与装置に、予圧量が設定範囲内に維持されるように動作指令を与える予圧量制御装置とを備えた軸受の予圧調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、工作機械等のスピンドル装置における主軸等を支持する軸受の予圧を測定する軸受の予圧測定方法および予圧測定装置、並びに予圧調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械のスピンドル装置では、加工精度の向上、加工効率の向上のために、高剛性、高回転が要求され、軸受の予圧管理が重要となる。スピンドル装置の予圧量測定に関しては、内外輪の相対的軸方向変位量（相対位置）を測定し、予め定めた変位量（または相対位置）と異なったときに、油圧の予圧付与機構で予圧を加減し、予め定めた変位量に維持するという方法が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２）。
【特許文献１】特開平１０−８９３５５号公報
【特許文献２】特開２０００−２３７９０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の測定方法は、軸受予圧量として内外輪の軸方向の相対位置だけを測定し、その測定結果で制御しようとしている。しかし、実際にはスピンドルが回転すると、(1) 軸受内外輪の温度差や、(2) 遠心力による内輪の拡径が原因となって、軸受内輪は径方向に膨張する。そのため、外輪との相対位置が小さくなり、軸受の予圧量は大きくなる。このように、軸方向の変位量を測定するだけでは、正確に予圧量を測定することができず、したがって予圧量の適切な調整が難しい。特に高速回転時は、上記内外輪の温度差や遠心力による影響が大きくなり、これに伴って予圧量測定の誤差が大きくなる。
【０００４】
この発明の目的は、内外輪の温度差が大きい場合や、高速回転の場合にも、予圧量を精度良く検出することのできる軸受の予圧測定方法および予圧測定装置を提供することである。
この発明の他の目的は、スピンドル装置の運転状況に応じた予圧量の調整がリアルタイムで適切に行える軸受の予圧調整装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明の軸受の予圧測定方法は、軌道輪である内輪と外輪間に複数の転動体を配した転がり軸受によりハウジングに対して軸を回転自在に支持したスピンドル装置において、上記転がり軸受の予圧量を測定する方法である。この予圧測定方法は、上記ハウジングおよび軸のうちの固定側の部材に取付けられた非接触変位測定機により、上記転がり軸受の回転側軌道輪の端面の軸方向変位量、および回転側軌道輪の軸受内側となる周面の径方向変位量を測定し、これら軸方向変位量および径方向変位量の測定結果を用いて、転がり軸受の予圧量を求めることを特徴とする。上記軸方向変位量および径方向変位量は、例えば軸受組込時に予圧を零とした状態に対する変位量である。非接触変位測定機は、軸方向変位量の測定用のものと、径方向変位量の測定用のものとを設けても良く、また一つで軸方向と径方向の両方の変位量を測定できるものを用いても良い。
この方法によると、回転側軌道輪の軸方向変位量だけでなく、径方向変位量を測定し、両変位量の測定結果から予圧量を求めるため、内外輪間の温度差が大きい場合や、高速回転の場合にも、その温度差による熱膨張量の差、および遠心力による回転側軌道輪の径の変化による予圧量の変化を測定できて、予圧量を精度良く測定することができる。なお、軸方向変位量の測定と径方向変位量の測定とは、別々の時機に行っても良い。例えば、軸方向の変位量の測定を軸受組込み時に行い、径方向の変位量の測定は軸受運転時に行い、両変位量から予圧量を計算するようにしても良い。
【０００６】
この予圧測定方法は、より詳しくは次のように測定する。一般に、スピンドル装置に組み込んだ例えば２個の転がり軸受に予圧を与える場合、軸受の内輪または外輪を軸方向に押し、軸受隙間が無くなった状態を予圧量零とし、これからさらに軸方向に押し込み、この押し込み量を基に計算から軸受組込み時の予圧量を得ることができる。また、スピンドル装置を運転すると、遠心力による回転側の軌道輪（例えば内輪）の膨張や、回転に対する抵抗から発熱し熱膨張を生じるため、径方向に寸方変化が生じて予圧量が変化する。
【０００７】
この予圧測定方法は、上記のようにスピンドル装置の固定側、つまり内輪回転であればハウジング、外輪回転であれば軸に、軸方向および径方向の非接触変位測定機を取付けておく。このように各非接触変位測定機を取付けておき、上記の軸受組込み時の軸受の隙間が無くなった状態からの各変位量を測定する。例えば、軸受隙間が零からさらに軸方向に押し込んだときの軸方向の押し込み量を測定する。また、運転時の回転側軌道輪の軸受内側となる周面の径方向変位量を測定する。軸受内側となる周面は、回転側軌道輪が内輪であれば外径面、外輪であれば内径面である。これらの軸方向変位量および径方向変位量の測定値を、測定値利用時よりも前に予め設定しておいた所定の関係式等の関係設定データに従い、計算プログラム等を用いて予圧量へ変換し、両者を加えた値を、運転時の予圧量として算出することができる。予め設定する関係設定データは、計算または実験等で求めておくことができる。なお、運転時においても非接触変位測定機により軸方向の変位量を測定し、予圧測定データとして用いるようにしても良い。
【０００８】
この発明の軸受の予圧測定装置は、軌道輪である内輪と外輪間に複数の転動体を配した転がり軸受によりハウジングに対して軸を回転自在に支持したスピンドル装置において、上記転がり軸受の予圧量を測定する装置であって、上記ハウジングおよび軸のうちの固定側の部材にそれぞれ取付けられて、上記転がり軸受の回転側軌道輪の端面の軸方向変位量、および回転側軌道輪の軸受内側となる周面の径方向変位量をそれぞれ測定する軸方向および径方向の非接触変位測定機を備えることを特徴とする。
この構成の予圧測定装置によると、この発明の予圧測定方法を実施することができ、それにより、内外輪の温度差が大きい場合や、高速回転の場合にも、予圧量を精度良く検出することができる。
【０００９】
この発明の予圧測定装置において、主軸の前部を支持する転がり軸受の前側の端面の軸方向変位量を測定する非接触変位測定機と、主軸の後部を支持する転がり軸受の後ろ側の端面の軸方向変位量を測定する非接触変位測定機とを設けても良い。前後両側の軸受の軸方向変位量を測定することで、より一層精度の良い予圧量測定が行える。
径方向変位量を測定する非接触変位測定機についても、上記前後の転がり軸受に対して設けることが好ましい。これにより、さらに精度の良い予圧量測定が行える。
【００１０】
この発明の軸受の予圧調整装置は、内輪と外輪の間に複数の転動体を配した転がり軸受によりハウジングに対して軸を回転自在に支持したスピンドル装置において、上記転がり軸受の予圧量を調整する装置であって、この発明の予圧測定方法または装置を適用したものである。この予圧調整装置は、上記ハウジングに設置され転がり軸受に指令値に対応した予圧を付与可能な予圧付与装置と、上記ハウジングにそれぞれ取付けられ、上記転がり軸受の内輪の端面の軸方向変位量および内輪の外径面の径方向変位量をそれぞれ測定する軸方向および径方向の非接触変位測定機と、これら非接触変位測定機の出力である内輪端面の軸方向変位量および内輪外径面の径方向変位量から、関係設定データに従って上記予圧付与装置に、予圧量が設定範囲内に維持されるように動作指令を与える予圧量制御装置とを備える。上記予圧付与装置は、例えば、別の手段で与えられた予圧を減じることで、指令値に対応した予圧を付与するものとされる。
【００１１】
この構成の予圧調整装置によると、非接触変位測定機で測定し、その測定値に応じて予圧付与装置で予圧の加減を行うため、スピンドル装置の運転状況に応じた予圧量の調整がリアルタイムで行える。この場合に、軸方向変位量および径方向変位量を用いて予圧量を測定するため、内外輪の温度差が大きい場合や、高速回転の場合にも、精度良く予圧調整することができる。
なお、予圧量制御装置において、軸方向変位量および径方向変位量から関係設定データに従って上記動作指令を生成することについては、軸方向変位量および径方向変位量を予圧値に換算してから上記動作指令の指令量を生成するようにしても、また予圧値に換算することなく、直接に動作指令の指令量を生成するようにしても良い。
【発明の効果】
【００１２】
この発明の軸受の予圧測定方法および予圧測定装置は、ハウジングおよび軸のうちの固定側の部材に、軸方向および径方向の非接触変位測定機を取付け、これら非接触変位測定機により、転がり軸受の回転側軌道輪の端面の軸方向変位量、および回転側軌道輪の軸受内側となる周面の径方向変位量を測定し、これら軸方向変位量および径方向変位量の測定結果を用いて、上記転がり軸受の予圧量を求めるため、内外輪の温度差が大きい場合や、高速回転の場合にも、予圧量を精度良く検出することのできる。
この発明の軸受の予圧調整装置は、軸方向および径方向の非接触変位測定機と、その軸方向変位量および径方向変位量から、関係設定データに従って予圧付与装置に予圧量が設定範囲内に維持されるように動作指令を与える予圧量制御装置とを備えたものであるため、内外輪の温度差が大きい場合や、高速回転の場合にも、スピンドル装置の運転状況に応じた予圧量の適切な調整がリアルタイムで行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
この発明の第１の実施形態を図１と共に説明する。図１は、この軸受の予圧測定装置を装備したスピンドル装置の断面図である。このスピンドル装置は、マシニングセンタや、フライス盤、研削盤等の工作機械に用いられるものであり、ハウジング１に軸２が前後の軸受３により回転自在に支持されている。軸２は、前端に工具（図示せず）を差し込んで取り付ける工具取付部１５を有している。前後の軸受３は、それぞれ軌道輪である内輪４と外輪５の間に複数の転動体６を介在させた転がり軸受であり、保持器７で保持されている。軸受３は軸方向の予圧が可能な軸受であり、アンギュラ玉軸受、深溝玉軸受、またはテーパころ軸受等が用いられる。図示の例では、アンギュラ玉軸受が用いられている。
【００１４】
各軸受３の外輪５は、ハウジング１の内径面に嵌合し、前後の軸受３の外輪５の間に外輪間座９が介在している。前側の軸受３の外輪５の前側端面、および後ろ側の軸受３の後ろ側端面は、それぞれハウジング１に設けられた段面１ｂ，１ｃに係合している。
各軸受３の内輪４は、軸２の外径面に嵌合し、前後の軸受３の内輪４の間に内輪間座１０が介在している。前側の軸受３の内輪４の前側の端面は、軸２の前端に設けられた大径部２ａに隣接する段面２ｂに係合している。後ろ側の軸受３の内輪４の後ろ側の端面は、軸２の後端に設けられた雄ねじ部２ｄに螺合したナット１１により、内輪押付け用間座１２を介して押し付けられている。
【００１５】
軸受３の外輪５に対する内輪４の軸方向および径方向の位置を測定するために、非接触変位測定機８を、スピンドル装置の熱の影響および遠心力の影響を受けない非回転側であるハウジング１に固定する。非接触変位測定機８としては、内輪４の端面の軸方向の変位量を測定する非接触変位測定機８Ａと、内輪４の外径面の径方向の変位量を測定する非接触変位測定機８Ｂとを設けている。これら非接触変位測定機８Ａ，８Ｂは、前側の軸受３に対して設けているが、後ろ側の軸受３に対して設けても良い。
【００１６】
軸方向の非接触変位測定機８Ａは、ハウジング１の前端の内径面に設けられた切欠状部内に固定されている。径方向の非接触変位測定機８Ｂは、ハウジング１の上記段面１ｂに設けられた切欠状部内に固定されている。図１の例では、径方向の非接触変位測定機８Ｂの取付側の軸受３は、内輪４の幅を外輪５よりも広げることにより、径方向の非接触変位測定機８Ｂを、内輪４の外径面に対して垂直方向に配置可能としている。非接触変位測定機８Ｂのリード線は、ハウジング１に設けられた導出孔から外部に引き出されている。内輪幅を広げる代わりに、例えば図９に示すように、外輪５に非接触変位測定機８Ｂの一部または全体が入る切欠状部１３を設けても良い。このように、内輪幅を広げるか、または外輪５に切欠状部１３を設けることで、径方向の非接触変位測定機８Ｂを内輪外径面に対して垂直方向に対向させることができるため、前後の軸受３を背面合わせおよび正面合わせのいずれの向きに配置しても、測定値を同様に取り扱うことができる。なお、図１において、径方向の非接触変位測定機８Ｂを内輪４の外径面に対して斜めに向けることで、内外輪４，５の幅を同一幅としても良い。
【００１７】
軸方向の非接触変位測定機８Ａと径方向の非接触変位測定機８Ｂとは、同じ種類，規格のものを用いても良く、また種類や規格を異ならせても良い。
これら非接触変位測定機８Ａ，８Ｂとしては、対向する表面位置の変位が非接触で検出できるものであれば良く、例えば渦電流式変位センサや、レーザ測長機、または静電容量式変位センサ等を用いることができる。渦電流式変位センサを用いた場合、非接触変位測定機８Ａ，８Ｂと検出対象面との間にグリース等の介在物があっても、影響されずに精度良く測定することができる。
【００１８】
このスピンドル装置における予圧測定方法を説明する。ナット１１を軽く締めて各部品の隙間を無くした状態、すなわち前後の軸受３の予圧が零の状態で、軸方向の非接触変位測定機８Ａにより内輪４の対向する端面の軸方向位置を測定し、この予圧が零の軸方向位置を原点とする。その後、ナット１１を締めて、軸受３に予圧を与えた時の内輪４の軸方向位置変化量を測定する。ナット１１の締め付け前後の内輪軸方向位置の差が、内外輪４，５の転走面および転動体６の弾性変位量であり、この変位量から軸受３の予圧量を算出することができる。
【００１９】
次に、スピンドル装置を運転すると、軸受３の内輪輪４，５の温度差および遠心力による内輪４の膨張のために、内輪４が拡径する。その変位量を径方向の非接触変位測定機８Ｂで測定し、この値から、予圧の変化量を求めることができる。
径方向の非接触変位測定機８Ｂにより得られた軸受予圧変化量に、軸方向の非接触変位測定機８Ａで得られた運転前の予圧量を加えることにより、運転時の予圧量を算出することができる。
【００２０】
図２は、転がり軸受における上記軸方向変位量と予圧量の関係を示すグラフであり、図３は遠心力と熱膨張による径方向変位量と予圧量の関係を示すグラフである。いずれも一般的な傾向を示す概念図である。このように予め判っている各変位量と予圧量の変化の関係を用いることで、軸方向変位量および径方向変位量の測定値から予圧量の変化を測定することができる。
【００２１】
図４は、この発明の他の実施形態を示す。この実施形態は、図１に示す第１の実施形態において、前側の軸受３に対する非接触変位測定機８Ａ，８Ｂに加えて、後ろ側の軸受３における内輪４の端面の軸方向変位量を測定する非接触変位測定機８Ｃを加えたものである。
【００２２】
スピンドル装置を運転すると、軸受３の内外輪４，５の温度差のため、ハウジング１と軸２にも温度差を生じる。その結果、軸２が伸びて内外輪４，５の軸方向位置が変化し、予圧量が変化する。
軸方向に加わる荷重が零の場合は、前後の軸受３が均等に内外輪４，５の軸方向位置の変化を生じるが、実際のスピンドル装置には、切削荷重等により軸２に軸方向荷重が加わる。その場合、内外輪４，５の軸方向位置を測定する非接触変位測定機８Ａが１個では、前後２個の軸受３の予圧量を正確に測定・算出することが困難である。
しかし、この実施形態のように、前後の軸受３，４のそれぞれに１個ずつ非接触変位測定機８Ａ，８Ｃを設けることで、より正確に予圧量を算出することができる。
【００２３】
図５は、スピンドル装置に軸受の予圧調整装置２０を設けた実施形態を示す。この実施形態は、図４に示す実施形態において、予圧付与装置２１と、予圧量制御装置２２とを設けたものである。これら予圧付与装置２１および予圧量制御装置２２と、上記非接触変位測定機８Ａ〜８Ｃとで予圧調整装置２０が構成される。
【００２４】
予圧付与装置２１は、指令値に対応した予圧を軸受３に付与可能な装置であり、ハウジング１に設置されている。予圧付与装置２１は、例えば、円周方向複数箇所に設けられた油圧シリンダからなり、そのシリンダ本体がハウジング１に設置されてピストンロッドで軸受３の外輪５の端面を押すものとされる。予圧付与装置２１は、例えばハウジング１に組み込まれて全周に連続したリング状の油圧室およびピストンを有するものであっても良い。この実施形態における予圧付与装置２１は、ナット１１の締め付けにより与えた予圧を、外輪４の端面の押し付けによって弱めることで、予圧量を指令値に対応した値に対応するものとされる。予圧は、スピンドル装置の運転によって上がるため、予圧付与装置２１は、上記のように別に与えられている予圧を下げるものとすることで、大荷重の付与が不要で、簡易な構成のもので済む。なお、図４において、予圧付与装置２１と非接触変位測定機８Ｃを同じ断面上に示してあるが、予圧付与装置２１が円周方向複数箇所の油圧シリンダである場合、その油圧シリンダと非接触変位測定機８Ｃとは互いに円周方向にずれた位置に配置する。
【００２５】
予圧量制御装置２２は、各非接触変位測定機８Ａ〜８Ｃの出力である内輪端面の軸方向変位量および内輪外径面の径方向変位量から、関係設定データに従って、予圧付与装置２１に予圧量が設定範囲内に維持されるように動作指令を与える装置である。予圧量制御装置２２は、上記設定関係データである予圧量と軸方向変位量の関係、および予圧量と径方向変位量の関係を記憶したデータベース２２ａと、上記各測定値をデータベース２２ａに記憶された設定関係データと比較して予圧量調整のための動作量を演算する動作量演算手段２２ｂとを備える。予圧付与装置２１が油圧シリンダである場合、予圧量制御装置２２には、動作量演算手段２２ｂで演算された出力に従って油圧を制御する油圧制御機器２２ｃが設けられる。
【００２６】
この構成の場合、予圧量制御装置２２のデータベース２２ａを使って、各非接触変位測定機８Ａ〜８Ｃから得られた変位量から予圧量を算出することができる。予圧量制御装置２２は、運転中の予圧量が設定された予圧量を外れた場合に、動作指令を出力し、その動作指令により、油圧シリンダからなる予圧付与装置２１によって軸受外輪５を軸方向に押し、軸受３間の外輪４間の距離を調整することによって、適正な予圧範囲内に戻す。そのため、リアルタイムで予圧量を検出して、常時適正な予圧量で運転できるスピンドル装置を構成することができる。
【００２７】
図６は、この発明のさらに他の実施形態を示す。この実施形態は、図１に示す第１の実施形態において、前側の軸受３に対する非接触変位測定機８Ａ，８Ｂに加えて、後ろ側の軸受３に対して、内輪４の端面の軸方向変位量を測定する非接触変位測定機８Ｃ、および内輪４の外径面の径方向変位量を測定する非接触変位測定機８Ｄを設けたものである。
このように、前後の軸受３に、共に軸方向の非接触変位測定機８Ａ，８Ｃ、および径方向の非接触変位測定機８Ｂ，８Ｄを設けた場合、前後の軸受３の温度や他の環境の違いに応じて、より精度良く予圧量の測定が行える。
【００２８】
図７は、この発明のさらに他の実施形態を示す。この実施形態は、図６に示す実施形態において、予圧調整装置２０Ａを設けたものである。予圧調整装置２０Ａは、予圧付与装置２１および予圧量制御装置２２と、各非接触変位測定機８Ａ〜８Ｄとでなる。予圧付与装置２１および予圧量制御装置２２は、４つの非接触変位測定機８Ａ〜８Ｄの測定値を用いること、およびデータベース２２ｂが４つの非接触変位測定機８Ａ〜８Ｄに対応するデータを有していること等、非接触変位測定機８Ａ〜８Ｄの個数，配置に対応する違いを除いて、図５に示す実施形態と同様である。だだし、この例では、外輪間座９が軸方向に対して弾性を持たせた弾性機能付き間座とされている。外輪間座９は、図示の例では、２つの分割外輪間座９ａに分割し、その間にＵ字状に湾曲した板ばね等からなるばね部材１４を介在させることで、弾性機能を有するものとされている。外輪間座９は、分割型とする代わりに、全体を高剛性ばね材等で構成しても良い。
【００２９】
この構成の場合、前後の軸受３に対してそれぞれ軸方向および径方向の非接触変位測定機８Ａ〜８Ｄを設け、その測定値に対応した制御を行うため、前後の軸受３に作用する環境等に大きな違いがあっても、精度良く予圧量の調整が行える。
【００３０】
なお、上記各実施形態では、前後に配置する軸受をそれぞれ１個ずつとしたが、例えば図８に示すように複数個ずつ配置しても良く、また前後のいずれかにつき、軸受３を複数配置しても良い。その場合、例えば図８に示されるように前側の各軸受３については前端の軸受３に対して、後ろ側の軸受３に対しては後端の軸受３に対して非接触変位測定機８Ａ〜８Ｄを配置する。
【００３１】
また、上記各実施形態は、いすれもハウジング１が固定側で、軸２が回転側である場合につき説明したが、ハウジング１が回転側で軸２が固定側である場合にも、この発明を適用することができる。その場合、非接触変位測定機は、固定側となる軸に取付け、回転側である外輪の端面および内径面の変位量を測定可能なように設置する。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】この発明の第１の実施形態にかかる軸受の予圧測定装置を備えたスピンドル装置の断面図である。
【図２】軸方向変位量と予圧量の関係を示すグラフである。
【図３】径方向変位量と予圧量の関係を示すグラフである。
【図４】この発明の他の実施形態にかかる予圧測定装置を備えたスピンドル装置の断面図である。
【図５】この発明のさらに他の実施形態にかかる予圧調整装置を備えたスピンドル装置の断面図である。
【図６】この発明のさらに他の実施形態にかかる予圧測定装置を備えたスピンドル装置の断面図である。
【図７】この発明のさらに他の実施形態にかかる予圧調整装置を備えたスピンドル装置の断面図である。
【図８】この発明のさらに他の実施形態にかかる予圧測定装置を備えたスピンドル装置の断面図である。
【図９】非接触変位測定機取付用の切欠状部を設けた軸受の部分斜視図である。
【符号の説明】
【００３３】
１…ハウジング
２…軸
３…軸受
４…内輪
５…外輪
６…転動体
８…非接触変位測定機
８Ａ〜８Ｄ…非接触変位測定機
２０…予圧調整装置
２１…予圧付与装置                                                              ２２…予圧量制御装置
【図１】
2005133891.tif 000003
【図２】
2005133891.tif 000004
【図３】
2005133891.tif 000005
【図４】
2005133891.tif 000006
【図５】
2005133891.tif 000007
【図６】
2005133891.tif 000008
【図７】
2005133891.tif 000009
【図８】
2005133891.tif 000010
【図９】
2005133891.tif 000011