(57)【要約】【課題】  廃棄物による環境問題や、感光性フィルムのコスト削減等の要求から、機能面で割愛可能な保護フィルムや高価な離型処理済み支持フィルムを使用しないで済む感光性フィルム及びその製造方法を提供すること。【解決手段】  少なくとも二層以上の樹脂層を有し、ｎ層積層してなる支持フィルム及び保護フィルムを使用しない支持・保護フィルムレス型感光性フィルムであることを特徴とする感光性フィルム（但し、ｎ＝２〜５の整数とする）及びその製造法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも二層以上の樹脂層を有し、ｎ層積層してなる支持・保護フィルムレス型感光性フィルムであることを特徴とする感光性フィルム。（但し、ｎ＝２〜５の整数とする）
【請求項２】
請求項１記載の樹脂層で、少なくとも１層は感光性樹脂であることを特徴とする感光性フィルム。
【請求項３】
請求項１〜２記載の樹脂層は、溶解溶媒が０〜５０％である樹脂を用いていることを特徴とする感光性フィルム。
【請求項４】
請求項１〜３記載の樹脂層は、液状もしくは固形体、ペレット状の樹脂を溶解溶媒での溶解または、熱による溶融できるものであることを特徴とする感光性フィルム。
【請求項５】
請求項１〜４記載の樹脂層の膜厚が、それぞれ１〜５０μｍである感光性フィルム。
【請求項６】
請求項１〜５記載の樹脂層において、第一層下面と第ｎ層（最上層）上面に接着性を持たないことを特徴とする感光性フィルム。
【請求項７】
第一層から第ｎ層（ｎ＝２〜５の整数とする）の樹脂層を、同時に多層塗工又は、多層押出し成形を用い製造することを特徴とする請求項１〜６記載の感光性フィルム。
【請求項８】
請求項１〜７記載の感光性フィルムを巻芯にロール状に巻き取ったフィルムロール、又はシート状で保管出来ることを特徴とする感光性フィルム。
【請求項９】
請求項１〜８記載の感光性フィルムの断面が、第一樹脂層、第ｎ樹脂層（但しｎ＝２〜５の整数とする。）のｎの値が小さい順で繰返される構造であるロール状又はシート状の感光性フィルム。
【請求項１０】
請求項１〜９記載の感光性フィルムを用い、基板にラミネートし、パターンマスクを介し、ＵＶ露光する。その後、現像工程において、少なくとも、第ｎ樹脂層（最上層又は表面層、ｎ＝２〜５の整数とする）が基板にパターンとして残ることを特徴とする感光性フィルムの製造法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持フィルム及び保護フィルムを使用しない支持・保護フィルムレス感光性フィルム及びその製造法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来プリント配線板の製造分野において、エッチング、めっき等に用いられるレジスト材料としては、感光性樹脂組成物およびそれに支持体（支持フィルム）と保護フィルムを用いて得られる感光性フィルムが広く用いられている。
プリント配線板は、感光性フィルムを銅基板上にラミネートして、パターン露光した後、硬化部分を現像液で除去し、エッチング又はめっき処理を施して、パターンを形成させた後、硬化部分を基板上から剥離除去する方法によって製造されている。
【０００３】
従来、感光性フィルムは支持フィルム、感光層、保護フィルムの三層構造又は、支持フィルムにシリコン系又は非シリコン系の離型処理を施したものを使用して、二層構造で製造されている（特許文献１〜３参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平０９−２３０５８０号公報
【特許文献２】特開２００３−１９５４９１号公報
【特許文献３】特開２００３−１９５４９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、近年、廃棄物による環境問題や、感光性フィルムのコスト削減等の要求から、機能面で割愛可能な保護フィルムや高価な離型処理済み支持フィルムを使用しないで済む感光性フィルムが強く望まれている。
本発明の目的は、このような保護フィルムや離型処理済み支持フィルム使用しないで済む支持・保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は以下の発明に関する。
<１>  少なくとも二層以上の樹脂層を有し、ｎ層積層してなる支持フィルム・保護フィルムレス型感光性フィルムであることを特徴とする感光性フィルム。（但し、ｎ＝２〜５の整数とする）
<２>  上記<１>の樹脂層で、少なくとも１層は感光性樹脂であることを特徴とする感光性フィルム。
<３>  上記<１>〜<２>の樹脂層は、溶解溶媒が０〜５０％である樹脂を用いていることを特徴とする感光性フィルム。
<４>  上記<１>〜<３>の樹脂層は、液状もしくは固形体、ペレット状の樹脂を溶解溶媒での溶解または、熱による溶融できるものであることを特徴とする感光性フィルム。
<５>  上記<１>〜<４>の樹脂層の膜厚が、それぞれ１〜５０μｍである感光性フィルム。
<６>  上記<１>〜<５>の樹脂層において、第一層下面と第ｎ層（最上層）上面に接着性を持たないことを特徴とする感光性フィルム。
<７>  第一層から第ｎ層（ｎ＝２〜５の整数とする）の樹脂層を、同時に多層塗工又は、多層押出し成形を用い製造することを特徴とする上記<１>〜<６>の感光性フィルム。
<８>  上記<１>〜<７>の感光性フィルムを巻芯にロール状に巻き取ったフィルムロール、又はシート状で保管出来ることを特徴とする感光性フィルム。
<９>  上記<１>〜<８>の感光性フィルムの断面が、第一樹脂層、第ｎ樹脂層（但しｎ＝２〜５の整数とする。）のｎの値が小さい順で繰返される構造であるロール状又はシート状の感光性フィルム。
<１０>  上記<１>〜<９>の感光性フィルムを用い、基板にラミネートし、パターンマスクを介し、ＵＶ露光する。その後、現像工程において、少なくとも、第ｎ樹脂層（最上層又は表面層、ｎ＝２〜５の整数とする）が基板にパターンとして残ることを特徴とする感光性フィルムの製造法。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の感光性フィルムは、従来の感光性フィルムでは成し得なかった特性を有し、且つ支持・保護フィルムレス型感光性フィルムを形成できた。支持・保護フィルムレスにすることにより、基板へのラミネート時のラミネートボイド発生、ゴミの排出及び、ロール品において巻き径を変えずに、同重量で長く製品を巻く事ができることを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の感光性フィルムは、少なくとも二層以上の樹脂層を有し、ｎ層積層（但し、ｎは２〜５の整数）からなる支持・保護フィルムレス型感光性フィルムを提供できる。
【０００９】
本発明の感光性フィルムは、その樹脂層中、少なくとも１層が感光性樹脂層であればよい。その樹脂は、溶解溶媒が０〜５０％である含まれており、好ましくは、０〜３０％の溶解溶媒含有が適している。また、その樹脂は、液状または、固形体、ペレット状で存在しており、溶解溶媒で溶解するか、熱に寄る溶融により液状にして成形工程に進める。樹脂層の膜厚は、それぞれ１〜５０μｍ、好ましくは２〜３０μｍ、更には２〜２５μｍであることが好ましい。
【００１０】
本発明の感光性フィルムは、第一層下面と第ｎ層（最上層）上面に接着性を持たない（離型性を与えてもよい）ことで、支持フィルムが無くても、巻芯にロール状に巻き取ったフィルムロール。又は、シート状で保管出来ることができる。
【００１１】
本発明の感光性フィルムの製造方法として、第一層から第ｎ層（ｎ＝２〜５の整数とする）の樹脂層を、同時に多層塗工又は、多層押出し成形を用いることができる。
【００１２】
本発明の感光性フィルムの断面は、第一樹脂層、第ｎ樹脂層（但しｎ＝２〜５の整数とする。）のｎの値が小さい順で繰返される構造になる。
【実施例】
【００１３】
次に本発明の好適な実施例について更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に制限されるものではない。
【００１４】
表１に示す材料を配合し第一樹脂層の溶液を得た。
【００１５】
【表１】
2005345698.tif 000002
【００１６】
表２に示す材料を配合し第二樹脂層の溶液を得た。
【００１７】
【表２】
2005345698.tif 000003
【００１８】
表３に示す材料を配合し第三樹脂層の溶液を得た。
【００１９】
【表３】
2005345698.tif 000004
【００２０】
次いで、得られた第一樹脂層の溶液、第二樹脂層の溶液と第三樹脂層の溶液を同時に、１６μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）に均一に塗布し、９０℃の熱風に１０分間乾燥し、図１に示すような感光性フィルムを得た。また、ロール品の積層状態も合わせて示す。この時の樹脂層の厚みは３０μmであった。
【００２１】
この感光性フィルムの第一樹脂層と第三樹脂層は同組成であり、ポリエチレンテレフタレートフィルムと第一・第三樹脂層相互間の接着力を測定した結果を表４に示す。
【００２２】
【表４】
2005345698.tif 000005
【００２３】
これら接着力の測定方法は、図２に示す治具に試験片を取付け、昇降テーブルを一定速度で降し、接着しているＰＥＴフィルム又は、保護フィルムの接着力をレオメータ（（株）レオテック製 ＲＴ−３０１０Ｄ−ＣＷ）で測定する。その際の試験片は、図３に示す通りとする。銅箔（厚み３５μm）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工業（株）製、商品名MCL-E-61）に両面テープ（ニチバン（株）製、商品名 ナイスタック）５ｍｍ幅を2本又は10ｍｍ幅1本貼り、その上に図３に示す２０ｍｍ×１００ｍｍの感光性フィルムを樹脂層側から貼付け、ＰＥＴフィルム又は保護フィルムを剥がすような状態にする。
【００２４】
実施例及び比較例の感光性フィルムを用い、銅箔（厚み３５μm）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工業（株）製、商品名MCL-E-61）の銅表面を、＃６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓(株)製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層板を８０℃に加温し、その銅表面上に前記感光性フィルムを１１０℃のヒートロールを用い３ｍ/分での速度でラミネートした。
【００２５】
この時のラミネートボイド発生性を実施例と、比較例での保護フィルム別に比較した結果を表５に示す。
【００２６】
【表５】
2005345698.tif 000006
＊表中の比較例は、保護フィルムのみ変更。
【００２７】
次に、高圧水銀灯ランプを有する露光機（オーク製作所（株）製）ＨＭＷ−２０１Ｂを用いて、６０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。これを所定の現像液で現像し、水洗・乾燥し、続いてプリント配線板の回路形成プロセスを実施し、完成した、配線板が実施例と比較例で同じレベルの物が形成される事を確認した。
【００２８】
追加特性として、上記材質の基板に貫通した穴をあけたものを用いて、感光性フィルムラミネート以降の工程を前述の現像工程まで実施する際に、現像時間を延ばして穴部の破れ性を評価した。その結果を表６に示す。
【００２９】
【表６】
2005345698.tif 000007
１：三連穴(大)… φ６ｍｍの連続穴（図４参照）
２：三連穴(小)… φ３ｍｍの連続穴（図５参照）
【００３０】
ここで、表６に示す現像時間は、感光性フィルムを基板に貼り、未露光のまま現像する際の最小時間（最小現像時間）の２倍とする。また、比較例（２５μｍ）と比較例（３５μｍ）は同組成である。評価に用いた基板は、１基板中に各穴３０個ずつ開けており、感光性フィルムラミネート基板５枚の平均とする。
【００３１】
次に、１０００ｍ２あたりのゴミの排出量を表７に示す。
【００３２】
【表７】
2005345698.tif 000008
【００３３】
また、この実施例の感光性フィルムは、表７に示す通り、ゴミの排出量を従来品の約８分の１にすることが出来た。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】左図は積層状態も合わせて示した本発明のロール状感光性フィルムの断面図            であり、右図は積層部分の拡大図である。
【図２】試験フィルムの接着力を測定する装置及び測定方法を示す概略図（縦断面図            ）である。
【図３】接着力測定用試験片の調製手順を示す模式図（平面図）である。
【図４】三連穴(大)：φ６ｍｍの連続穴である。
【図５】三連穴(小)：φ３ｍｍの連続穴である。
【符号の説明】
【００３５】
１：第一樹脂層
２：第二樹脂層
３：第三樹脂層
４：銅張り積層版
５：昇降テーブル
６：荷重
７：留め金
８：ゴムシール
９：基板抑え
１０：両面テープ
【図１】
2005345698.tif 000009
【図２】
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【図３】
2005345698.tif 000011
【図４】
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【図５】
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