(57)【要約】【課題】  充分な精度を保って保持出来る形状のレンズを実現し、更に温度変化によるピント位置ずれを抑制できる光学系を実現することにより、低コストで良好な性能を持つ、デジタル複写機、レーザプリンタ、レーザファクシミリ等の光走査装置を提供する。【解決手段】  半導体レーザである光源１から射出した光束は、カップリングレンズ２により弱い発散光となり、アパーチャ３を経て、第１光学系をなすアナモルフィックレンズ４により主走査方向は平行光、副走査方向はポリゴンミラー５近傍に集束する光束となる。さらにポリゴンミラー５により偏向され、偏向器側走査レンズ６と像面側走査レンズ７により、防塵ガラス８を経て像面９に結像する。また、光源１とカップリングレンズ２は材質がアルミである同一の部材に固定されている。ここで、レンズは全て樹脂製であり、回折面はカップリングレンズ２の光源側面とアナモルフィックレンズ４の像面側面に設けられている。【選択図】  図１
2005258392.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体レーザからなる光源と、該光源からの光束をカップリングするカップリング光学系と、該カップリング光学系からの光束を主走査方向は平行光とし、副走査方向は偏向器に集束させる光束とする第１光学系と、該第１光学系からの光束を主走査方向に偏向させる偏向器と、該偏向器により偏向された光束を集光させる走査光学系と、を備えた光走査装置であって、
前記カップリング光学系を構成する全てのレンズの材質を樹脂とし、該レンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたことを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
半導体レーザからなる光源と、該光源からの光束をカップリングするカップリング光学系と、該カップリング光学系からの光束を主走査方向は平行光とし、副走査方向は偏向器に集束させる光束とする第１光学系と、該第１光学系からの光束を主走査方向に偏向させる偏向器と、該偏向器により偏向された光束を集光させる走査光学系と、を備えた光走査装置であって、
前記第１光学系を構成する全てのレンズの材質を樹脂とし、該レンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたことを特徴とする光走査装置。
【請求項３】
半導体レーザからなる光源と、該光源からの光束をカップリングするカップリング光学系と、該カップリング光学系からの光束を主走査方向は平行光とし、副走査方向は偏向器に集束させる光束とする第１光学系と、該第１光学系からの光束を主走査方向に偏向させる偏向器と、該偏向器により偏向された光束を集光させる走査光学系と、を備えた光走査装置であって、
前記カップリング光学系及び第１光学系を構成する全てのレンズの材質を樹脂とし、該レンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたことを特徴とする光走査装置。
【請求項４】
半導体レーザからなる光源と、該光源からの光束をカップリングするカップリング光学系と、該カップリング光学系からの光束を主走査方向は平行光とし、副走査方向は偏向器に集束させる光束とする第１光学系と、該第１光学系からの光束を主走査方向に偏向させる偏向器と、該偏向器により偏向された光束を集光させる走査光学系と、を備えた光走査装置であって、
前記カップリング光学系及び第１光学系を構成するレンズの少なくとも１面に回折光学面を備え、該回折光学面は前記レンズの面上に凹凸を形成して同心円または直線の格子として構成することを特徴とする光走査装置。
【請求項５】
前記回折光学面の巨視的形状は、所定の曲率半径を有する共軸球面であることを特徴とする請求項４に記載の光走査装置。
【請求項６】
前記走査光学系を構成する少なくとも１枚のレンズの材質は樹脂であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項７】
前記走査光学系を構成するレンズの合成パワーは主走査方向、副走査方向共に正のパワーを有することを特徴とする請求項６に記載の光走査装置。
【請求項８】
前記カップリング光学系及び第１光学系を構成するレンズの回折光学面の合成パワーは、主走査方向と副走査方向とで異なることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項９】
前記カップリング光学系及び第１光学系を構成するレンズの回折光学面のうち、回折パワーが最も大きい面は正の回折パワーを有することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項１０】
前記カップリング光学系及び第１光学系は各々１枚のレンズより構成され、前記カップリング光学系から射出する光束は発散光であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項１１】
半導体レーザからなる光源と、該光源からの光束をカップリングするカップリング光学系と、該カップリング光学系からの光束を主走査方向は平行光とし、副走査方向は偏向器に集束させる光束とする第１光学系と、該第１光学系からの光束を主走査方向に偏向させる偏向器と、該偏向器により偏向された光束を集光させる走査光学系と、を備えた光走査装置であって、
前記走査光学系を構成するレンズの少なくとも１枚は材質が樹脂であり、前記カップリング光学系又は第１光学系に直線の格子である回折光学面と円型の格子である回折光学面とを備えたことを特徴とする光走査装置。
【請求項１２】
前記カップリング光学系又は第１光学系において、回転対称の屈折面を持つレンズには円型の格子である回折光学面を備え、アナモルフィックな屈折面を持つレンズには直線の格子である回折光学面を備えたことを特徴とする請求項１１記載の光走査装置。
【請求項１３】
前記カップリング光学系には円型の格子である回折光学面を備え、前記第１光学系には直線の格子である回折光学面を備えたことを特徴とする請求項１１記載の光走査装置。
【請求項１４】
前記回折光学面は面上の凹凸により回折効果を得ることを特徴とする請求項１１乃至１３記載の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項１５】
前記回折光学面を有するレンズは樹脂であることを特徴とする１４記載の光走査装置。
【請求項１６】
前記カップリング光学系、第１光学系及び走査光学系の温度によるピント位置変動を補償するように前記各光学系の回折光学面を設定したことを特徴とする請求項１乃至１５の何れか一項に記載の光走査装置。
【請求項１７】
請求項１乃至１６の何れか一項に記載の光走査装置を備えたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置及び画像形成装置に関し、さらに詳しくは、光走査装置の光学系に使用されるレンズに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタル複写機やレーザプリンタ等の画像形成装置において、光走査による画像形成の高密度化が進み、それに伴って感光体上での光スポットの小径化の要求が高まっている。この光スポットの小径化の技術を左右するものの１つにレンズの特性がある。一般に使用されるガラスレンズでは加工出来る形状に限界があり、レンズを充分な精度を保って保持することが出来ないという不具合がある。そこで、構成レンズを樹脂化することにより、充分な精度を保って保持出来る形状にすることが可能となり、しかもガラスレンズより低コストで実現することができる。
しかし、樹脂製レンズは温度変化によるレンズの面曲率、厚さ、屈折率の変動がガラスレンズに比べて大きく、このような変動が生じると、ピント位置の変動が生じ、スポット径が増大して画像劣化の原因となる。また、温度が変化すると光源である半導体レーザの波長が変化するが、樹脂製レンズの分散もガラスレンズに比べて大きく、これによってもピント位置の変動が生じ、スポット径が増大して画像劣化の原因となる。
図７は、レンズが全て樹脂で回折光学面を用いない従来の走査光学系の例を示す図である。（ａ）は光学系を上から見た平面図であり、（ｂ）は各レンズを直線上に配置して各レンズ面間の距離を表した模式図である。この走査光学系１００は、半導体レーザによる光源１１、カップリングレンズ１２と、アパーチャ１３と、アナモルフィックレンズ１４と、ポリゴンミラー１５と、偏向器側走査レンズ１６と、像面側走査レンズ１７と、防塵ガラス１８と、像面１９から構成される。半導体レーザである光源１１から射出した光束は、カップリングレンズ１２により弱い発散光となり、アパーチャ１３を経て、第１光学系をなすアナモルフィックレンズ１４により主走査方向は平行光、副走査方向はポリゴンミラー１５近傍に集束する光束となる。さらにポリゴンミラー１５により偏向され、偏向器側走査レンズ１６と像面側走査レンズ１７により、防塵ガラス１８を経て像面に結像する。また、光源１１とカップリングレンズ１２は材質がアルミである同一の部材に固定されている。
【０００３】
以下に光学系データを示す。光源波長は２５℃で７８０．１ｎｍ、４５℃で７８６．５ｎｍとした。
カップリングレンズ１２の光源側面形状は、式（１）で表される共軸非球面である。
ｘ＝（ｈ＾２／Ｒ）／［１＋√｛１−（１＋Ｋ）（ｈ／Ｒ）＾２｝］＋Ａ４・ｈ＾４＋Ａ６・ｈ＾６＋Ａ８・ｈ＾８＋Ａ１０・ｈ＾１０・・（１）
ここで、光軸からの距離をｈ、近軸曲率半径をＲ、円錐定数をＫ、高次の係数をＡ４、Ａ６、Ａ８、Ａ１０、光軸方向のデプスをｘとする。
係数は以下の通りである。
Ｒ＝８６．０９１１８
Ｋ＝３６１．９８７６３４
Ａ４＝−０．８２７０２５Ｅ−０４
Ａ６＝−０．４１３３６０Ｅ−０５
Ａ８＝０．９４２６００Ｅ−０６
Ａ１０＝−０．９３６９８６Ｅ−０７
またカップリングレンズ２の像面側面形状は、式（１）で表される非球面であり、係数は以下の通りである。
Ｒ＝−８．７１０００
Ｋ＝−０．３１０２４０
Ａ４＝０．５９２２７３Ｅ−０４
Ａ６＝０．２５０４６５Ｅ−０６
Ａ８＝０．１１９８４７Ｅ−０６
Ａ１０＝−０．５６３２１７Ｅ−０８
【０００４】
アナモルフィックレンズ１４については以下の通りである。
このアナモルフィックレンズ１４の光源側面形状は、式（２）で表されるアナモルフィック面である。
ｘ＝｛（１／Ｒｍ）・ｙ＾２＋（１／Ｒｓ）・ｚ＾２｝／［１＋√｛１−（ｙ／Ｒｍ）＾２−（ｚ／Ｒｓ）＾２｝］・・（２）
ここで、光軸からの主走査方向距離をｙ、副走査方向距離をｚ、主走査方向曲率半径をＲｍ、副走査方向曲率半径をＲｓ、光軸方向のデプスをｘとする。
係数は以下の通りである。
Ｒｍ＝５００
Ｒｓ＝３５．８３
またアナモルフィックレンズ１４の像面側面形状は平面である。
偏向器側走査レンズ１６の光源側面形状は、式（１）で表される共軸非球面である。
係数は以下の通りである。
Ｒ＝−３１２．６
Ｋ＝２．６６７
Ａ４＝１．７９Ｅ−０７
Ａ６＝−１．０８Ｅ−１２
Ａ８＝−３．１８Ｅ−１４
Ａ１０＝３．７４Ｅ−１８
また偏向器側走査レンズ１６の像面側面形状は、式（１）で表される共軸非球面である。係数は以下の通りである。
Ｒ＝−８３．０
Ｋ＝０．０２
Ａ４＝２．５０Ｅ−０７
Ａ６＝９．６１Ｅ−１２
Ａ８＝４．５４Ｅ−１５
Ａ１０＝−３．０３Ｅ−１８
また、両面の頂点は、図７の主光線に対して上方へ１．１６ｍｍずれている。
【０００５】
像面側走査レンズ１７の光源側面形状は、主走査方向に関しては式（３）で表される非円弧であり、副走査方向に関しては式（４）で表されるように副走査曲率半径が連続的に変化する。
ｘ＝（ｙ＾２／Ｒｍ）／［１＋√｛１−（１＋Ｋ）（ｙ／Ｒｍ）＾２｝］＋Ａ４・ｙ＾４＋Ａ６・ｙ＾６＋Ａ８・ｙ＾８＋Ａ１０・ｙ＾１０  ・・（３）
ここで、光軸からの主走査方向距離をｙ、主走査近軸曲率半径をＲｍ、円錐定数をＫ、高次の係数をＡ４、Ａ６、Ａ８、Ａ１０、光軸方向のデプスをｘとする。
Ｒｓ（ｙ）＝Ｒｓ＋Σｂｊ・ｙ＾ｊ（ｊ＝１、２、３、…）・・（４）
ここで、光軸からの主走査方向距離をｙ、光軸からの主走査方向距離ｙでの副走査半径をＲｓ（ｙ）、光軸上での副走査半径をＲｓ、高次の係数をｂｊ（ｊ＝１、２、３、…）とする。
係数は以下の通りである。
Ｒｍ＝−５００
Ｋ＝−７１．７３
Ａ４＝４．３３Ｅ−０８
Ａ６＝−５．９７Ｅ−１３
Ａ８＝−１．２８Ｅ−１６
Ａ１０＝５．７３Ｅ−２１
Ｒｓ＝−４７．７
ｂ２＝１．６０Ｅ−０３
ｂ４＝−２．３２Ｅ−０７
ｂ６＝１．６０Ｅ−１１
ｂ８＝−５．６１Ｅ−１６
ｂ１０＝２．１８Ｅ−２０
ｂ１２＝−１．２５Ｅ−２４
【０００６】
また像面側走査レンズ１７の像面側面形状は、トロイダル面であり、副走査形状は式（５）で表される円弧であり、この円弧の頂点から光軸方向にＲｍ離れた副走査方向に平行な軸を中心に回転させた形状である。
ｘ＝（ｚ＾２／Ｒｓ）／［１＋√｛１−  （ｚ／Ｒｓ）＾２｝］  ・・（５）
ここで、光軸からの主走査方向距離をｙ、副走査近軸曲率半径をＲｓ、光軸方向のデプスをｘとする。
係数は以下の通りである。
Ｒｍ＝−１０００
Ｒｓ＝−２３．３８
また、両面の頂点は、図７の主光線に対して上方へ１．２１ｍｍずれている。
面間隔は以下の通りである（単位ｍｍ）。
ｄ１＝１２．７４１
ｄ２＝３．８
ｄ３＝１０２．８
ｄ４＝３．０
ｄ５＝６９．３
ｄ６＝５１．７
ｄ７＝３１．４
ｄ８＝７８．０
ｄ９＝３．５
ｄ１０＝１４３．６２
なお、本光学系において、厚さ１．９ｍｍ（２５℃）の防塵ガラス８を挿入し、計算している。なお、このガラスの屈折率は、光線波長７８０．１ｎｍ、温度２５℃で１．５１１１６１、光線波長７８６．５ｎｍ、温度４５℃で１．５１１１６１、線膨張係数は７．５Ｅ−０６Ｋ-1とした。
レンズは全て同一の樹脂材料から成り、屈折率は、光線波長７８０．１ｎｍかつ温度２５℃で１．５２３９４６、光線波長７８６．５ｎｍかつ温度４５℃で１．５２２１０５、線膨張係数は７．０Ｅ−０５Ｋ-1とした。
【０００７】
以上の条件より、温度による光線波長、屈折率、面形状、肉厚の変化を考慮に入れて、像面位置に対するピント位置を算出すると図８の結果が得られる。この結果より、環境温度が２５℃から４５℃に変化するとピント位置変化が、主走査方向に０．０ｍｍから１１．６ｍｍずれ、副走査方向に０．０ｍｍから３．３ｍｍと大幅に変化することが分かる。
これを解決する手段として、例えば特開２００２−２１４５５６公報には、偏向器（ポリゴンミラー）前の光学系に少なくとも３枚のレンズを組み合わせて補正する方法が開示されている。また、特開平１０−３３３０７０号公報には、走査レンズに回折光学面を設けて補正する方法が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−２１４５５６公報
【特許文献２】特開平１０−３３３０７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１に開示されている従来技術は、レンズ枚数が増大することによってコストアップとなり、この場合でもガラスレンズが１枚は必要となり更にコストが上昇するといった問題がある。
また特許文献２に開示されている従来技術に使用されている走査レンズは、光束の通過する領域が広く、回折面を加工するために時間がかかりコストアップとなるといった問題がある。
本発明は、かかる課題に鑑み、充分な精度を保って保持出来る形状のレンズを実現し、更に温度変化によるピント位置ずれを抑制できる光学系を実現することにより、低コストで良好な性能を持つデジタル複写機、レーザプリンタ、レーザファクシミリ等の光走査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明はかかる課題を解決するために、請求項１は、半導体レーザからなる光源と、該光源からの光束をカップリングするカップリング光学系と、該カップリング光学系からの光束を主走査方向は平行光とし、副走査方向は偏向器に集束させる光束とする第１光学系と、該第１光学系からの光束を主走査方向に偏向させる偏向器と、該偏向器により偏向された光束を集光させる走査光学系と、を備えた光走査装置であって、前記カップリング光学系を構成する全てのレンズの材質を樹脂とし、該レンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたことを特徴とする。
本発明の光路として、半導体レーザである光源から射出した光束は、カップリング光学系により弱い発散光となり、アパーチャを経て、第１光学系により主走査方向は平行光、副走査方向はポリゴンミラー近傍に集束する光束となる。さらにポリゴンミラーにより偏向され、偏向器側走査レンズと像面側走査レンズよりなる走査光学系から防塵ガラスを経て像面に結像する。ここで本発明では、カップリング光学系のレンズを全て樹脂製とし、そのレンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたものである。
請求項２は、半導体レーザからなる光源と、該光源からの光束をカップリングするカップリング光学系と、該カップリング光学系からの光束を主走査方向は平行光とし、副走査方向は偏向器に集束させる光束とする第１光学系と、該第１光学系からの光束を主走査方向に偏向させる偏向器と、該偏向器により偏向された光束を集光させる走査光学系と、を備えた光走査装置であって、前記第１光学系を構成する全てのレンズの材質を樹脂とし、該レンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたことを特徴とする。
本発明の光路として、半導体レーザである光源から射出した光束は、カップリング光学系により弱い発散光となり、アパーチャを経て、第１光学系により主走査方向は平行光、副走査方向はポリゴンミラー近傍に集束する光束となる。さらにポリゴンミラーにより偏向され、偏向器側走査レンズと像面側走査レンズよりなる走査光学系から防塵ガラスを経て像面に結像する。ここで本発明では、第１光学系のレンズを全て樹脂製とし、そのレンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたものである。
請求項３は、半導体レーザからなる光源と、該光源からの光束をカップリングするカップリング光学系と、該カップリング光学系からの光束を主走査方向は平行光とし、副走査方向は偏向器に集束させる光束とする第１光学系と、該第１光学系からの光束を主走査方向に偏向させる偏向器と、該偏向器により偏向された光束を集光させる走査光学系と、を備えた光走査装置であって、前記カップリング光学系及び第１光学系を構成する全てのレンズの材質を樹脂とし、該レンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたことを特徴とする。
本発明の光路として、半導体レーザである光源から射出した光束は、カップリング光学系により弱い発散光となり、アパーチャを経て、第１光学系により主走査方向は平行光、副走査方向はポリゴンミラー近傍に集束する光束となる。さらにポリゴンミラーにより偏向され、偏向器側走査レンズと像面側走査レンズよりなる走査光学系から防塵ガラスを経て像面に結像する。ここで本発明では、カップリング光学系及び第１光学系のレンズを全て樹脂製とし、そのレンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたものである。
【００１０】
請求項４は、半導体レーザからなる光源と、該光源からの光束をカップリングするカップリング光学系と、該カップリング光学系からの光束を主走査方向は平行光とし、副走査方向は偏向器に集束させる光束とする第１光学系と、該第１光学系からの光束を主走査方向に偏向させる偏向器と、該偏向器により偏向された光束を集光させる走査光学系と、を備えた光走査装置であって、前記カップリング光学系及び第１光学系を構成するレンズの少なくとも１面に回折光学面を備え、該回折光学面は前記レンズの面上に凹凸を形成して同心円または直線の格子として構成することを特徴とする。
本発明の光路として、半導体レーザである光源から射出した光束は、カップリング光学系により弱い発散光となり、アパーチャを経て、第１光学系により主走査方向は平行光、副走査方向はポリゴンミラー近傍に集束する光束となる。さらにポリゴンミラーにより偏向され、偏向器側走査レンズと像面側走査レンズよりなる走査光学系から防塵ガラスを経て像面に結像する。ここで本発明では、カップリング光学系及び第１光学系のレンズの少なくとも１面に回折光学面を備え、この回折光学面はレンズの面上に凹凸を形成して同心円または直線の格子として構成するようにしたものである。
請求項５は、前記回折光学面の巨視的形状は、所定の曲率半径を有する共軸球面であることを特徴とする。
本発明の第１光学系（アナモルフィックレンズ）の回折光学面は巨視的には平面としている。巨視的に平面とすることにより、格子のデプス（深さ方向に距離）の精度が取りやすく高精度な加工が可能となり性能を上げ易くなる。
請求項６は、前記走査光学系を構成する少なくとも１枚のレンズの材質は樹脂であることを特徴とする。
走査光学系も樹脂レンズを含む場合、このレンズの温度変化によるピント位置ずれを回折光学面でキャンセルする必要がある。その場合、走査光学系内の樹脂レンズの合成パワーは、主走査方向、副走査方向共に最もパワーの大きい回折光学面と同じ正のパワー持つことが望ましい。
【００１１】
請求項７は、前記走査光学系を構成するレンズの合成パワーは主走査方向、副走査方向共に正のパワーを有することを特徴とする。
正のパワーとは、光束が集束するようになるパワーであり、レンズの温度変化によるピント位置ずれを回折光学面でキャンセルするために、走査光学系内の樹脂レンズの合成パワーは、主走査方向、副走査方向共に最もパワーの大きい回折光学面と同じ正のパワー持つことが望ましい。
請求項８は、前記カップリング光学系及び第１光学系を構成するレンズの回折光学面の合成パワーは、主走査方向と副走査方向とで異なることを特徴とする。
偏向器近傍で主走査方向については略平行光にし副走査方向については集光させているので偏向器前光学系のパワーが主副で異なる。従って主副共に温度変化による変動を回折光学面でキャンセルするためには、回折光学面が持つパワーが主走査と副走査で異なることが望ましい。
請求項９は、前記カップリング光学系及び第１光学系を構成するレンズの回折光学面のうち、回折パワーが最も大きい面は正の回折パワーを有することを特徴とする。
カップリング光学系をなすカップリングレンズと、アパーチャと、第１光学系をなすアナモルフィックレンズからなる偏向器前の光学系では、光源からの出射光束は主副共に発散光束であり、これを偏向器近傍で主走査方向については略平行光にし副走査方向については集光させ、偏向器前の光学系全体で正のパワーを持つようにしている。しかし、回折光学面は通常の屈折面とは波長変化による屈折角の変化方向が逆となり、この特性を使って温度変化によるピント位置ずれを回折光学面でキャンセルするためには、最もパワーの大きい回折光学面が全系のパワーと同じ正のパワーを持つことが望ましい。
【００１２】
請求項１０は、前記カップリング光学系及び第１光学系は各々１枚のレンズより構成され、前記カップリング光学系から射出する光束は発散光であることを特徴とする。
カップリングレンズからの出射光は、発散光としているのでアパーチャ径に対してカップリングレンズの回折面の面積を小さく出来る。そのため、加工時間が短縮できコストダウンを可能とすることができる。
請求項１１は、半導体レーザからなる光源と、該光源からの光束をカップリングするカップリング光学系と、該カップリング光学系からの光束を主走査方向は平行光とし、副走査方向は偏向器に集束させる光束とする第１光学系と、該第１光学系からの光束を主走査方向に偏向させる偏向器と、該偏向器により偏向された光束を集光させる走査光学系と、を備えた光走査装置であって、前記走査光学系を構成するレンズの少なくとも１枚は材質が樹脂であり、前記カップリング光学系又は第1光学系に直線の格子である回折光学面と円型の格子である回折光学面とを備えたことを特徴とする。
偏向器前の光学系は主走査方向と副走査方向でパワーが異なり、ピント位置ずれを補正する回折光学面も円形格子の回折光学面では両方向を補正することが出来ず、直線格子の回折光学面も必要となる。
請求項１２は、前記カップリング光学系又は第1光学系において、回転対称の屈折面を持つレンズには円型の格子である回折光学面を備え、アナモルフィックな屈折面を持つレンズには直線の格子である回折光学面を備えたことを特徴とする。
カップリングレンズの光源側面は凹球面をベースとして円形格子の回折光学面が設けられ、像側面は回転対称な非球面となっている。この様にカップリングレンズを構成する全て面形状を回転対称として一体にすることにより、各回転対称軸がずれて波面が劣化することを防いでいる。またアナモルフィックレンズの光源側面は主走査方向及び副走査方向に面対称なアナモルフィック面となっており、像側面は平面をベースとして主走査方向及び副走査方向に面対称な直線格子の回折光学面が設けられている。この様にアナモルフィックレンズを構成する全て面形状を面対称として一体にすることにより、各対称面角度がずれて、波面が劣化することを防いでいる。
【００１３】
請求項１３は、前記カップリング光学系には円型の格子である回折光学面を備え、前記第1光学系には直線の格子である回折光学面を備えたことを特徴とする。
請求項１４は、前記回折光学面は面上の凹凸により回折効果を得ることを特徴とする。
２つの回折光学面は面上に凹凸を設けて回折効果を得ている。また、カップリングレンズの回折光学面は同心円の格子であり、アナモルフィックレンズの回折光学面は直線の格子である。同心円の格子は金型またはレンズ自体を回転させて加工出来、直線の格子の格子は金型またはレンズ自体を直線往復させて加工出来、同心楕円やその他の特殊な格子に比べて加工が容易でありコストダウンとなる。
請求項１５は、前記回折光学面を有するレンズは樹脂であることを特徴とする。
レンズが樹脂であれば、成形金型に回折光学面の凹凸の反転を刻むことにより、射出成形で高速大量生産が可能となりコストダウンとなる。
請求項１６は、前記カップリング光学系、第１光学系及び走査光学系の温度によるピント位置変動を補償するように前記各光学系の回折光学面を設定したことを特徴とする。
回折光学面は通常の屈折面とは波長変化による屈折角の変化方向が逆である。この特性を使って、温度変化によるピント位置ずれを回折光学面で補償でき、光スポットの小径化に対応できる。
請求項１７は、請求項１乃至１６の何れか一項に記載の光走査装置を備えたことを特徴とする。
本発明の光走査装置を画像形成装置のレーザ書き込み部に用いた場合、温度変化によるピントずれが抑制され、光スポットの小径化に対応できる画像形成装置を実現することが可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
以上記載のごとく請求項１の発明によれば、カップリング光学系を構成する全てのレンズの材質を樹脂とし、このレンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたことにより、カップリング光学系を低コストで製造でき、且つ倒れの起きにくい形状への加工が容易となり、さらにピント位置ずれが補償出来るため、低コストで光スポットの小径化に対応できる光走査装置を提供することができる。
また請求項２では、第１光学系を構成する全てのレンズの材質を樹脂とし、このレンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたことにより、第１光学系を低コストで製造でき、且つ倒れの起きにくい形状への加工が容易となり、さらにピント位置ずれが補償出来るため、低コストで光スポットの小径化に対応できる光走査装置を提供することができる。
また請求項３では、カップリング光学系及び第１光学系を構成する全てのレンズの材質を樹脂とし、このレンズの少なくとも１面に回折光学面を備えたことにより、カップリング光学系及び第１光学系を低コストで製造でき、且つ倒れの起きにくい形状への加工が容易となり、さらにピント位置ずれが補償出来るため、更に低コストで光スポットの小径化に対応できる光走査装置を提供することができる。
また請求項４では、カップリング光学系及び第１光学系を構成するレンズの少なくとも１面に回折光学面を備え、この回折光学面はレンズの面上に凹凸を形成して同心円または直線の格子として構成するので、カップリング光学系及び第１光学系の加工が容易となり、さらにピント位置ずれが補償出来るため、更に低コストで光スポットの小径化に対応できる光走査装置を提供することができる。
また請求項５では、回折光学面の巨視的形状は、所定の曲率半径を有する共軸球面とすることにより、高精度な加工が出来るので、性能を上げ易い光走査装置が可能となる。
また請求項６では、走査光学系を構成する少なくとも１枚のレンズの材質は樹脂であるので、光スポットの小径化に対応出来、低コストな光走査装置が可能となる。
また請求項７では、走査光学系を構成するレンズの合成パワーは主走査方向、副走査方向共に正のパワーを有するので、温度変化によるピントずれが補償出来るので、光スポットの小径化に対応できる光走査装置が可能となる。
また請求項８では、カップリング光学系及び第１光学系を構成するレンズの回折光学面の合成パワーは、主走査方向と副走査方向とで異なるので、温度変化によるピントずれが主走査副走査共に抑制され、光スポットの小径化に対応できる光走査装置が可能となる。
【００１５】
また請求項９では、カップリング光学系及び第１光学系を構成するレンズの回折光学面のうち、回折パワーが最も大きい面は正の回折パワーを有するので、温度変化によるピントずれが抑制され、光スポットの小径化に対応できる光走査装置が可能となる。
また請求項１０では、カップリング光学系及び第１光学系は各々１枚のレンズより構成され、カップリング光学系から射出する光束は発散光であるので、加工時間が短縮でき低コストな光走査装置が可能となる。
また請求項１１では、走査光学系を構成するレンズの少なくとも１枚は材質が樹脂であり、カップリング光学系又は第1光学系に直線の格子である回折光学面と円型の格子である回折光学面とを備えたことにより、走査光学系を低コストで製造でき、且つ倒れの起きにくい形状への加工が容易となり、さらにピント位置ずれが補償出来るため、低コストで光スポットの小径化に対応できる光走査装置を提供することができる。
また請求項１２では、カップリング光学系又は第1光学系において、回転対称の屈折面を持つレンズには円型の格子である回折光学面を備え、アナモルフィックな屈折面を持つレンズには直線の格子である回折光学面を備えたことにより、各対称面角度がずれて、波面が劣化することを防ぐことができる。
また請求項１３では、カップリング光学系には円型の格子である回折光学面を備え、第1光学系には直線の格子である回折光学面を備えたことにより、請求項１２と同様の効果を奏する。
また請求項１４では、回折光学面は面上を凹凸にすることにより、回折効果を得ることができる。
また請求項１５では、回折光学面を有するレンズを樹脂とすることにより、加工が容易でありコストダウンとなる。
また請求項１６では、カップリング光学系、第１光学系及び走査光学系の温度によるピント位置変動を補償するように各光学系の回折光学面を設定したので、温度変化によるピントずれが抑制され、光スポットの小径化に対応できるレーザ走査装置が可能となる。
また請求項１７では、レーザ書き込み部に請求項１乃至１１の何れか一項に記載の光走査装置を備えたので、温度変化によるピントずれが抑制され、光スポットの小径化に対応できる画像形成装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載される構成要素、種類、組み合わせ、形状、その相対配置などは特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する主旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る回折光学面を用いた走査光学系の例を示す図である。（ａ）は光学系を上から見た平面図であり、（ｂ）は各レンズを直線上に配置して各レンズ面間の距離を表した模式図である。この走査光学系５０は、半導体レーザによる光源１、カップリングレンズ２と、アパーチャ３と、アナモルフィックレンズ４と、ポリゴンミラー５と、偏向器側走査レンズ６と、像面側走査レンズ７と、防塵ガラス８と、像面９から構成される。半導体レーザである光源１から射出した光束は、カップリングレンズ２により弱い発散光となり、アパーチャ３を経て、第１光学系をなすアナモルフィックレンズ４により主走査方向は平行光、副走査方向はポリゴンミラー５近傍に集束する光束となる。さらにポリゴンミラー５により偏向され、偏向器側走査レンズ６と像面側走査レンズ７により、防塵ガラス８を経て像面９に結像する。また、光源１とカップリングレンズ２は材質がアルミである同一の部材に固定されている。ここで、レンズは全て樹脂製であり、回折面はカップリングレンズ２の光源側面とアナモルフィックレンズ４の像面側面に設けられている（請求項１、２、３）。また、カップリングレンズ２を図５（ａ）のような形状にした場合、保持部材１０に接着する場合、図中の矢印Ａの様な倒れが起きやすく、スポット径が増大する原因となる。そこで、図５（ｂ）のように倒れが起きにくい形状に加工すれば、スポット径の増大が抑制出来る。しかしながら、ガラスレンズではこの様な形への加工は困難であるが、樹脂レンズで有れば容易に加工できる。これはアナモルフィックレンズ４に関しても同様である。また偏向器側走査レンズ６と、像面側走査レンズ７も樹脂で有るため、スポット径の小径化に有利な特殊面への加工が容易である。
【００１７】
しかしながら樹脂レンズは温度変化の影響を受けやすく、温度が変化した場合にピント位置ずれを生じ、スポット径が増大する原因となる。しかし、回折光学面は通常の屈折面とは波長変化による屈折角の変化方向が逆であるので、この特性を使って、温度変化によるピント位置ずれを回折光学面で補償でき、光スポットの小径化に対応できる（請求項１１）。
またカップリング光学系をなすカップリングレンズ２と、アパーチャ３と、第１光学系をなすアナモルフィックレンズ４からなる偏向器前の光学系では、光源から出射光束は主副共に発散光束であり、これを偏向器近傍で主走査方向については略平行光にし、副走査方向については集光させており、偏向器前の光学系全体で正のパワーを持つ。回折光学面は通常の屈折面とは波長変化による屈折角の変化方向が逆である。この特性を使って、温度変化によるピント位置ずれを回折光学面でキャンセルするためには、最もパワーの大きい回折光学面が全系のパワーと同じ正のパワーを持つことが望ましい。本実施例で最もパワーの大きい回折光学面はカップリングレンズ２の回折光学面であり、正のパワーを持っている（請求項９）。
さらに、走査光学系も樹脂レンズを含み、このレンズによる温度変化によるピント位置ずれを回折光学面でキャンセルする場合、上記と同じ理由で、走査光学系内の樹脂レンズの合成パワーは主走査方向、副走査方向共に、最もパワーの大きい回折光学面と同じ正のパワー持つことが望ましい。本実施例でも、走査光学系の２つの樹脂レンズの合成パワーは主走査方向、副走査方向共に、正のパワー持っている（請求項６）。
また２つの回折光学面の面上に凹凸を設けて回折効果を得ている。これにより、成形金型に回折光学面の凹凸の反転を刻むことにより、射出成形で高速大量生産が可能となり、コストダウンを図ることができる。また、カップリングレンズ２の回折光学面は同心円の格子であり、アナモルフィックレンズ４の回折光学面は直線の格子である。同心円の格子は金型またはレンズ自体を回転させて加工が可能であり、直線の格子の格子は金型またはレンズ自体を直線往復させて加工が可能である。同心楕円やその他の特殊な格子に比べて加工が容易であり、コストダウンを図ることができる（請求項４）。
【００１８】
また図４のように、アナモルフィックレンズ４の回折光学面は巨視的には平面としている。巨視的に平面とすることにより、格子のデプスの精度が取りやすく高精度な加工ができ性能を上げ易くすることができる（請求項５）。
偏向器近傍で主走査方向については略平行光にし副走査方向については集光させており、偏向器前光学系のパワーが主副で異なる。従って主副共に温度変化による変動を回折光学面でキャンセルするためには、回折光学面が持つパワーが主走査と副走査で異なることが望ましい。本実施例では、カップリングレンズ２の回折光学面は主走査と副走査共に同じパワーであり、アナモルフィックレンズ４の回折光学面は副走査のみにパワーを持っている。従って、回折光学面が持つパワーが主走査と副走査で異なっている（請求項８）。
またカップリングレンズ２からの出射光は発散光としているのでアパーチャ径に対してカップリングレンズ２の回折面の面積を小さく出来るので、加工時間が短縮できコストダウンが可能となる（請求項１０）。
カップリング光学系をなすと、アパーチャ３と、第１光学系をなすアナモルフィックレンズ４からなる偏向器前の光学系では、光源から発散光束をカップリングレンズ２により弱い発散光束とし、アパーチャ３で光束を制限し、第１光学系をなすアナモルフィックレンズ４により偏向器近傍で主走査方向については略平行光にし副走査方向については集光させている。この様に偏向器前の光学系は主走査方向と副走査方向でパワーが異なり、ピント位置ずれを補正する回折光学面も円形格子の回折光学面では両方向を補正することが出来ず、直線格子の回折光学面も必要となる。（請求項１１）
円形格子と直線格子の回折光学面は同一のレンズの光源側面と像側面に設けても構わないが以下の構成にするのが波面劣化防止になり、望ましい。ここでは、カップリングレンズ２の光源側面は凹球面をベースとして円形格子の回折光学面が設けられ、像側面は回転対称な非球面となっている。この様にカップリングレンズ２を構成する全て面形状を回転対称として一体にすることにより、各回転対称軸がずれて、波面が劣化することを防いでいる。
【００１９】
またアナモルフィックレンズ４の光源側面は主走査方向及び副走査方向に面対称なアナモルフィック面となっており、像側面は平面をベースとして主走査方向及び副走査方向に面対称な直線格子の回折光学面が設けられている。この様にアナモルフィックレンズ４を構成する全て面形状を面対称として一体にすることにより、各対称面角度がずれて、波面が劣化することを防いでいる（請求項１２、１３）。
また２つの回折光学面は面上に凹凸を設けて、回折効果を得ている。そして樹脂であれば、成形金型に回折光学面の凹凸の反転を刻むことにより、射出成形で高速大量生産が可能となり、コストダウンとなり、望ましい。また、カップリングレンズ２の回折光学面は同心円の格子であり、アナモルフィックレンズ４の回折光学面は直線の格子である。同心円の格子は金型またはレンズ自体を回転させて加工出来、直線の格子の格子は金型またはレンズ自体を直線往復させて加工出来、同心楕円やその他の特殊な格子に比べて加工が容易であり、コストダウンとなり望ましい（請求項１４、１５）。
【００２０】
以下に本発明の第１の実施形態に係る光学系データを示す。光源波長は２５℃で７８０．１ｎｍ、４５℃で７８６．５ｎｍとした。
カップリングレンズ２の光源側面形状は、巨視的な面形状は曲率半径−５０．４９ｍｍの共軸球面であり、ここに回折光学面が付加されている（図４参照）。
また回折光学面の位相関数φ（ｈ）は、式（６）で表される。
φ（ｈ）＝Ｃ１・ｈ＾２＋Ｃ２・ｈ＾４＋Ｃ３・ｈ＾６＋Ｃ４・ｈ＾８＋Ｃ５・ｈ＾１０  ・・（６）
ここで、光軸からの距離をｈ、位相係数をＣ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５とすると、係数は以下の通りである。
Ｃ１＝−１．６６８９Ｅ−０２
Ｃ２＝−１．２９７７Ｅ−０６
Ｃ３＝−４．９７４８Ｅ−０７
Ｃ５＝−４．８９５３Ｅ−０９
またカップリングレンズ２の像面側面形状は、式（１）で表される非球面であり、係数は以下の通りである。
Ｒ＝−１０．９８４４９
Ｋ＝−０．３１０２４０
Ａ４＝０．５９２２７３Ｅ−０４
Ａ６＝０．２５０４６５Ｅ−０６
Ａ８＝０．１１９８４７Ｅ−０６
Ａ１０＝−０．５６３２１７Ｅ−０８
またアナモルフィックレンズ４の光源側面形状は、式（２）で表されるアナモルフィック面であり、係数は以下の通りである。
Ｒｍ＝４６０．９６７
Ｒｓ＝３５．８
またアナモルフィックレンズ４の像面側面形状は巨視的形状は平面であり、ここに回折光学面が付加されている。そして回折光学面の位相関数φ（ｚ）は、式（７）で表される。
φ（ｚ）＝Ｃ１・ｚ＾２・・（７）
ここで、光軸からの副走査方向距離をｚ、位相係数をＣ１とすると、係数は以下の通りである。
Ｃ１＝−３．９６４２Ｅ−０５
【００２１】
また偏向器側走査レンズ６の光源側面形状は、式（１）で表される共軸非球面であり、係数は以下の通りである。
Ｒ＝−３１２．６
Ｋ＝２．６６７
Ａ４＝１．７９Ｅ−０７
Ａ６＝−１．０８Ｅ−１２
Ａ８＝−３．１８Ｅ−１４
Ａ１０＝３．７４Ｅ−１８
また偏向器側走査レンズ６の像面側面形状は、式（１）で表される共軸非球面であり、係数は以下の通りである。
Ｒ＝−８３．０
Ｋ＝０．０２
Ａ４＝２．５０Ｅ−０７
Ａ６＝９．６１Ｅ−１２
Ａ８＝４．５４Ｅ−１５
Ａ１０＝−３．０３Ｅ−１８
また、両面の頂点は、図１の主光線に対して、上方へ１．１６ｍｍずれている。
また像面側走査レンズ７の光源側面形状は、主走査方向に関しては式（３）で表される非円弧であり、副走査方向に関しては式（４）で表されるように副走査曲率半径が連続的に変化し、係数は以下の通りである。
Ｒｍ＝−５００
Ｋ＝−７１．７３
Ａ４＝４．３３Ｅ−０８
Ａ６＝−５．９７Ｅ−１３
Ａ８＝−１．２８Ｅ−１６
Ａ１０＝５．７３Ｅ−２１
Ｒｓ＝−４７．７
ｂ２＝１．６０Ｅ−０３
ｂ４＝−２．３２Ｅ−０７
ｂ６＝１．６０Ｅ−１１
ｂ８＝−５．６１Ｅ−１６
ｂ１０＝２．１８Ｅ−２０
ｂ１２＝−１．２５Ｅ−２４
【００２２】
また像面側走査レンズ７の像面側面形状は、トロイダル面であり、副走査形状は式（５）で表される円弧であり、この円弧の頂点から光軸方向にＲｍ離れた副走査方向に平行な軸を中心に回転させた形状である。そしてその係数は以下の通りである。
Ｒｍ＝−１０００
Ｒｓ＝−２３．３８
また、両面の頂点は、図１の主光線に対して、図上方へ１．２１ｍｍずれている。そして各レンズの面間隔は以下の通りである（単位ｍｍ）。
ｄ１＝１２．７９２
ｄ２＝３．８
ｄ３＝１０２．８
ｄ４＝３．０
ｄ５＝６９．３
ｄ６＝５１．７
ｄ７＝３１．４
ｄ８＝７８．０
ｄ９＝３．５
ｄ１０＝１４３．６２
なお、本光学系において、厚さ１．９ｍｍ（２５℃）の防塵ガラス８を挿入し計算している。また、このガラスの屈折率は、光線波長７８０．１ｎｍ、温度２５℃で１．５１１１６１、光線波長７８６．５ｎｍ、温度４５℃で１．５１１１６１、線膨張係数は７．５Ｅ−０６Ｋ-1とした。レンズは全て同一の樹脂材料から成り、屈折率は、光線波長７８０．１ｎｍかつ温度２５℃で１．５２３９４６、光線波長７８６．５ｎｍかつ温度４５℃で１．５２２１０５、線膨張係数は７．０Ｅ−０５Ｋ-1とした。
以上条件より、温度による光線波長、屈折率、面形状、肉厚の変化を考慮に入れて、像面位置に対するピント位置を算出すると図２の結果が得られる。この結果より、環境温度が２５℃から４５℃に変化するとピント位置変化が、主走査方向に０．０ｍｍから−０．２ｍｍとなり大幅に減少することが分かる。
【００２３】
次に、本発明の第２の実施形態に係る回折光学面を用いた走査光学系の例について説明する。構成は図１と同様であるので説明を省略する。
この第２の実施形態と第１の実施形態との違いは、カップリングレンズ２の光源側面に設けた回折光学面の巨視的形状を平面としているところである。これによって、格子のデプスの精度が取りやすく高精度な加工ができ、さらに性能を上げ易くすることができる（請求項５）。
以下に光学系データを示す。光源波長は２５℃で７８０．１ｎｍ、４５℃で７８６．５ｎｍとした。
カップリングレンズ２の光源側面形状は、巨視的な面形状は平面であり、ここに回折光学面が付加されている。また回折光学面の位相関数φ（ｈ）は、式（６）で表され、係数は以下の通りである。
Ｃ１＝−２．１０６５Ｅ−０２
Ｃ２＝１．０５５５Ｅ−０５
Ｃ３＝−５．８２６１Ｅ−０７
Ｃ４＝−３．１８６２Ｅ−０８
Ｃ５＝−２．１４０３Ｅ−０９
カップリングレンズ２の像面側面形状は、式（１）で表される非球面であり、係数は以下の通りである。
Ｒ＝−１８．７４１２３
Ｋ＝−０．３１０２４０
Ａ４＝０．５９２２７３Ｅ−０４
Ａ６＝０．２５０４６５Ｅ−０６
Ａ８＝０．１１９８４７Ｅ−０６
Ａ１０＝−０．５６３２１７Ｅ−０８
【００２４】
アナモルフィックレンズ４の光源側面形状は、式（２）で表されるアナモルフィック面であり、係数は以下の通りである。
Ｒｍ＝１６７．４８
Ｒｓ＝１０００．０
アナモルフィックレンズ４の像面側面形状は巨視的な面形状は平面であり、ここに回折光学面が付加されている。そして回折光学面の位相関数φ（ｚ）は、式（７）で表され、係数は以下の通りである。
Ｃ１＝−８．２７０８Ｅ−０３
面間隔は以下の通りである。
ｄ１＝１２．８４３
ｄ２＝４．８８
ｄ３＝１０２．８
ｄ４＝３．０
ｄ５＝６９．３
ｄ６＝５１．７
また偏向器後の光学系データ、面間隔及び材質は第１の実施形態と同一である。
以上の条件より、温度による光線波長、屈折率、面形状、肉厚の変化を考慮に入れて、像面位置に対するピント位置を算出すると図３の結果が得られる。この結果より、環境温度が２５℃から４５℃に変化するとピント位置変化が、副走査方向に０．０ｍｍから０．６ｍｍと減少することが分かる。
以上の実施形態の光走査装置はシングルビーム方式であるが、光源として複数の半導体レーザからの光束をプリズム等で合成する方式や、半導体レーザアレイを用いることにより、光走査をマルチビーム方式で行うことも出来る。
【００２５】
図６は画像形成装置（請求項１２）の実施の１形態を示す図である。この画像形成装置６０は光プリンタであり、感光媒体として円筒状に形成された光導電性の感光体１１１を有し、その周辺に帯電手段１１２（帯電ローラによる接触式のものを示しているが、コロナチャージャや帯電ブラシを用いることもできる）、現像装置１１３、転写手段１１４（転写ローラを示しているがコロナチャージャを用いるものであってもよい）、クリーニング装置１１５を有している。また符号１１６は定着装置を示す。また、光走査装置１１７を有し、帯電手段１１２と現像装置１１３との間で光走査による画像書き込みを行うようになっている。光走査装置としては、本発明の光走査装置の実施例を用いることができる。
本実施形態による画像形成を行うには、感光体１１１が矢印方向へ等速回転され、その表面が帯電手段１１２により均一帯電され、次いで、光走査装置１１７による光走査により画像が書き込まれ、書き込まれた画像に対応する静電潜像が形成される。形成された静電潜像は所謂「ネガ潜像」で画像部が露光されている。この静電潜像は現像装置１１３により反転現像されてトナー画像として可視化される。トナー画像は、転写紙やＯＨＰシート等のシート状記録媒体Ｓ上に転写手段１１４により転写され、定着装置１１６により定着される。
トナー画像を定着されたシート状記録媒体Ｓが装置外へ排出され、トナー画像転写後の感光体１１１はクリーニング装置１１５によりクリーニングされて残留トナーや紙粉が除去される。また、複数の光走査装置と感光体を用いて複数の色の異なるトナー画像を作り、それを重ね合わせてカラー画像を作っても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る回折光学面を用いた走査光学系の例を示す図。
【図２】本発明の第１の実施形態により像面位置に対するピント位置を算出した結果を示す図。
【図３】本発明の第２の実施形態により像面位置に対するピント位置を算出した結果を示す図。
【図４】本発明のアナモルフィックレンズ４の回折光学面の巨視的形状を説明する図。
【図５】本発明のカップリングレンズ２を保持部材１０に接着する場合の図。
【図６】本発明の画像形成装置の実施の１形態を示す図。
【図７】レンズが全て樹脂で回折光学面を用いない従来の走査光学系の例を示す図。
【図８】従来の走査光学系により像面位置に対するピント位置を算出した結果を示す図。
【符号の説明】
【００２７】
１  光源、２  カップリングレンズ、３  アパーチャ、４  アナモルフィックレンズ、５  ポリゴンミラー、６  偏向器側走査レンズ、７  像面側走査レンズ、８  防塵ガラス、９  像面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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