(57)【要約】【課題】所定の印刷パターンを均一な厚さで形成できるスキージ部材を提供する。【解決手段】幅方向に亘った先端部をスクリーン印刷のスクリーン２１上に摺接させる弾性部材１１を具備するスキージ部材１０において、弾性部材１１がスクリーン２１の有効印刷領域Ａに対応する部分に摺接する塗布部１１ａと、この塗布部１１ａの幅方向両側に連続して設けられ且つ塗布部１１ａより硬度が大きい非塗布部１１ｂとを具備するので、印刷の際、被印刷物４０上に所定の印刷パターンを均一な厚さで形成できる。【選択図】        図１
2005001315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
幅方向に亘った先端部をスクリーン印刷のスクリーン上に摺接させる弾性部材を具備するスキージ部材において、
前記弾性部材が前記スクリーンの有効印刷領域に対応する部分に摺接する塗布部と、当該塗布部の幅方向両側に連続して設けられ且つ前記塗布部より硬度が大きい非塗布部とを具備することを特徴とするスキージ部材。
【請求項２】
請求項１において、前記塗布部と前記非塗布部とのＪＩＳ  Ａでのゴム硬度の硬度差が１０度以上の条件を満たすことを特徴とするスキージ部材。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記塗布部と前記非塗布部とは相互に接着されていることを特徴とするスキージ部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被印刷物上にスクリーンを介して印刷材料を塗布するスクリーン印刷に用いられるスキージ部材に関する。
【０００２】
【従来技術】
スクリーン印刷では、所定の製版パターンを有するスクリーンが張着されたスクリーン版と、スクリーン上に先端部を摺接させる板状の弾性部材を具備するスキージ部材とを用いて行われる。例えば、スクリーン版の弾性部材の摺接面とは反対側に印刷ステージを配置し、その印刷ステージ上に被印刷物を載せた後、スクリーン版の摺接面上に印刷材料を供給すると共にその摺接面に沿って弾性部材の先端部を移動させることで、スクリーンの製版パターンを介して印刷ステージ上の被印刷物に製版パターンと同一パターンで印刷材料を塗布することで印刷が行われる。
【０００３】
また、このようなスクリーン印刷では、印刷時以外にスクリーンと被印刷物とが接触するのを防止するため、通常、スクリーンと被印刷物との間には約１〜１０ｍｍの間隙が設けられている。そして、弾性部材の先端部をスクリーンの面上に摺接させる印刷時のみ、スクリーンと被印刷物の印刷面とを接触させて、その被印刷物の面上に印刷材料を塗布し、印刷後は、スクリーン版の張力にスクリーンが引っ張られ、スクリーンが被印刷物の印刷面から離れるようになっている。
【０００４】
ところで、このようなスクリーン印刷は、例えば、エレクトロニクス産業等の色々な技術分野に用いることができる。このエレクトロニクス産業においては、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）等の電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、近年、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望され、これら電子部品の実装方法として、最近ではＴＡＢ（ＴａｐｅＡｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）、Ｔ−ＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）テープ、ＡＳＩＣテープ、ＦＰＣ（フレキシブルプリント回路）、両面配線板等のフレキシブルプリント配線板を用いた実装方式が採用されている。特に、携帯電話、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、携帯用ノート型ＰＣ等のように、高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭小化が要望されている液晶表示素子（ＬＣＤ）を使用する電子産業において、その重要性が高まっている。
【０００５】
例えば、ＴＡＢテープ等は、絶縁層（絶縁性フィルム）の一方面に設けられた銅箔をパターニングして配線パターンを形成した後に、この配線パターン上にソルダーレジスト用塗布液を上述したスクリーン印刷により塗布し、乾燥・硬化処理を行って、ソルダーレジスト層を形成した後、ソルダーレジスト層で覆われていない配線パターン上にスズメッキを施することで製造される（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−１６４３９１号公報  （第３〜４頁）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のスクリーン印刷では、スキージ部材の弾性部材に加わるスクリーンからの応力がスクリーンの中心からスクリーン版枠に近づくにつれて次第に大きくなり、弾性部材の幅方向両端部がその応力により事実上変形してしまうという問題がある。
【０００８】
このため、印刷時には、被印刷物とスクリーンとの間に設けられた間隙がスクリーンの中心からスクリーン版枠に近づくにつれて次第に大きくなり、これが原因となって被印刷物上に形成される印刷パターンの厚さにムラが生じるという問題がある。
【０００９】
例えば、上述したフレキシブルプリント配線板においては、半導体チップ実装時の信頼性を確保するため、比較的高精度に且つ薄くソルダーレジスト層を形成する必要があるが、このような場合に、ソルダーレジスト層の厚さにムラが生じると、実装不良等の原因となるという問題がある。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑み、所定の印刷パターンを均一な厚さで形成できるスキージ部材を提供することを課題とする。
【００１１】
【発明が解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、幅方向に亘った先端部をスクリーン印刷のスクリーン上に摺接させる弾性部材を具備するスキージ部材において、前記弾性部材が前記スクリーンの有効印刷領域に対応する部分に摺接する塗布部と、当該塗布部の幅方向両側に連続して設けられ且つ前記塗布部より硬度が大きい非塗布部とを具備することを特徴とするスキージ部材にある。
【００１２】
かかる第１の態様では、弾性部材の塗布部よりその幅方向両側の非塗布部の硬度を所定量大きくすることで、印刷の際、スクリーンの少なくとも有効印刷領域内において、弾性部材の先端部によるスクリーンへの押し込み量が幅方向に亘って一定となる。これにより、少なくとも有効印刷領域内では、スクリーンと被印刷物との間隙が一定となる。したがって、被印刷物上に所定パターンの塗布層を均一な厚さで形成することができる。
【００１３】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記塗布部と前記非塗布部とのＪＩＳ  Ａでのゴム硬度の硬度差が１０度以上の条件を満たすことを特徴とするスキージ部材にある。
【００１４】
かかる第２の態様では、塗布部と非塗布部との硬度差を所定の範囲に調整することで、弾性部材の先端部によるスクリーンへの押し込み量を幅方向に亘って調整できる。
【００１５】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記塗布部と前記非塗布部とは相互に接着されていることを特徴とするスキージ部材にある。
【００１６】
かかる第３の態様では、塗布部と非塗布部とが相互に接着固定された弾性部材を具備するスキージ部材を比較的容易に製造できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００１８】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るスキージ部材及びスクリーン版を示す概略図であって、（ａ）が斜視図であり、（ｂ）が断面図であり、（ｃ）が正面図である。
【００１９】
図示するように、本実施形態のスキージ部材１０は、スクリーン版２０と共にスクリーン印刷に用いられるものであり、幅方向に亘った先端部を所定の製版パターンを有するスクリーン２１の面上に摺接させる弾性部材１１と、この弾性部材１１の先端部側とは反対側の基端部を保持するホルダ１２とからなる。
【００２０】
スクリーン版２０は、通常のスクリーン印刷に用いられるものであれば特に限定されないが、例えば、本実施形態では、所定の目開きを有する格子状のメッシュからなるスクリーン２１と、このスクリーン２１を所定の張力で引っ張った状態で固定する金属製のスクリーン版枠２２とからなる。そして、スクリーン２１の中央部には、弾性部材１１の幅よりも小さい所定の製版パターンを有する有効印刷領域Ａが設けられている。なお、このようなスクリーン２１としては、例えば、ナイロン、ステンレス等からなるメッシュが挙げられる。
【００２１】
また、このようなスクリーン版２０の上面、すなわち、弾性部材１１の先端部を摺接させるスクリーン２１の摺接面２１ａとは反対側には、所定間隔をあけて印刷ステージ３０が配設されている。
【００２２】
一方、このような印刷ステージ３０とはスクリーン版２０を介して反対側には、弾性部材１１とホルダ１２とからなるスキージ部材１０が配置されている。
【００２３】
弾性部材１１は、スクリーン２１の有効印刷領域Ａに対応し且つ有効印刷領域Ａと同じ幅かそれより広い幅を持つ塗布部１１ａと、有効印刷領域Ａを含まない部分、すなわち、塗布部１１ａの幅方向両側に連続して設けられた非塗布部１１ｂとからなる。例えば、本実施形態では、塗布部１１ａの幅は、有効印刷領域Ａより若干広い幅とした。また、これら塗布部１１ａと非塗布部１１ｂとは、例えば、本実施形態では、図示しない接着剤により相互に接着固定されている。そして、本発明では、このような弾性部材１１の塗布部１１ａと非塗布部１１ｂとの硬度が異なる、すなわち、塗布部１１ａより非塗布部１１ｂの硬度を大きくした。
【００２４】
ここで、このような塗布部１１ａと非塗布部１１ｂとのそれぞれの硬度は、スクリーン印刷の条件により適宜調整すればよいが、例えば、塗布部１１ａと非塗布部１１ｂとのゴム硬度の差がＪＩＳ  Ａで１０度以上、好ましくは、１０〜４０度、さらに好ましくは、１０〜３０度の条件を満たすようにするのが好ましい。本実施形態では、硬度差を２０度、すなわち、塗布部１１ａのゴム硬度を７０度とし、非塗布部１１ｂのゴム硬度を９０度とした。なお、本実施形態におけるゴム硬度は、ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３（旧ＪＩＳ  Ｋ  ６３０１）に準じて計測したスプリング式（デュロメータ硬さ）硬度である。また、ここでいうスクリーン印刷の条件とは、例えば、スクリーン２１の網目の細かさ（目開き）、弾性部材１１のスクリーン２１に対する押圧力、スキージ部材１０の移動速度、弾性部材１１の傾斜角度、印刷材料の種類や粘度等が挙げられる。
【００２５】
なお、このような弾性部材１１の寸法は、有効印刷領域Ａの寸法等により異なるが、例えば、本実施形態では、横幅を約２２０ｍｍ，縦幅を約５０ｍｍ，厚さを約１０ｍｍとし、また、塗布部１１ａの横幅を１３０ｍｍとし、各非塗布部１１ｂの横幅を４５ｍｍとした。また、弾性部材１１の材質としては、例えば、ウレタン、シリコーン等のゴム又はエラストマが挙げられる。ここで、弾性部材１１の塗布部１１ａと非塗布部１１ｂとは、同一材料により形成してもよいが、別々の材料により形成してもよい。本実施形態では、両者をウレタンゴムにより形成した。
【００２６】
このように、本実施形態では、弾性部材１１の非塗布部１１ｂのゴム硬度を塗布部１１ａのゴム硬度より大きくするようにしたので、後述する印刷時には、弾性部材１１の先端部によるスクリーン２１への押し込み量が幅方向に亘って一定となり、被印刷物４０の面上に所定の印刷パターンを均一な厚さで形成することができる。
【００２７】
なお、本実施形態では、弾性部材１１の塗布部１１ａと非塗布部１１ｂとは、弾性部材１１の側面と直交する垂直面同士を接合したが、勿論これに限定されず、例えば、傾斜面や凹凸面等として接着面積を大きくするようにしてもよいことは言うまでもない。また、塗布部１１ａと非塗布部１１ｂとは、先端部から基端部へ亘って同一幅とする必要はなく、例えば、塗布部の幅を先端方向に亘って漸大又は漸小するように変化させてもよい。
【００２８】
一方、このような弾性部材１１のスクリーン２１の面上に押圧される先端部とは反対の基端部は、ホルダ１２により挟持されている。また、このホルダ１２は、駆動手段５０に固定されている。すなわち、弾性部材１１は、ホルダ１２に保持された状態で、この駆動手段５０によりスクリーン版２０に対して上下方向に昇降自在であり、且つそのスクリーン版２０の面方向に移動自在となっている。
【００２９】
ここで、図１及び図２を参照して、上述した本実施形態に係るスキージ部材１０を用いたスクリーン印刷方法について説明する。なお、図２は、本発明の一実施形態に係るスクリーン印刷方法を説明する図１の概略上面図である。
【００３０】
まず、印刷ステージ３０上に被印刷物４０を載置した後、この被印刷物４０とスクリーン２１との間に所定の間隙、本実施形態では、約１〜３ｍｍの間隙を設けて、スクリーン版２０を配置する（図１（ｂ）及び図１（ｃ）参照）。このように、スクリーン２１と被印刷物４０との間に間隙を設けたのは、印刷時以外にスクリーン２１と被印刷物４０とが接触するのを防止するためである。すなわち、後述するプロセスにて、弾性部材１１の先端部をスクリーン２１の面上に摺接させる印刷時のみ、スクリーン２１と被印刷物４０の印刷面とを接触させるためである。
【００３１】
次に、スキージ部材１０をスクリーン２１の摺接面２１ａに対して移動方向に沿って所定角度θ傾斜させた状態でそのスクリーン２１の摺接面２１ａを所定の押圧力で押込む（図１（ｂ）参照）。このように、スキージ部材１０を傾斜させたのは、弾性部材１１の中央部とその幅方向両端部におけるスクリーン２１への押圧力のバランスをとるためである。
【００３２】
次いで、スクリーン２１上に印刷材料６０を供給した後、スキージ部材１０を駆動手段５０によりスクリーン２１の面方向、すなわち、摺接面２１ａに沿って移動させる（図１（ｂ）及び図２参照）。具体的には、弾性部材１１の先端部で印刷材料６０と共にスクリーン２１を所定の押圧力で押込むと共に弾性部材１１をスクリーン２１の有効印刷領域Ａを横切るように摺接させる。これにより、弾性部材１１の先端部がスクリーン２１の有効印刷領域Ａを通過する際、印刷材料６０がスクリーン２１の製版パターンを介して被印刷物４０の面上に塗布され、その被印刷物４０の面上に図示しない所定パターンの塗布層が形成される。
【００３３】
ここで、このようなスクリーン印刷の際、スクリーン２１がスクリーン版枠２２に所定の張力で固定されているため、弾性部材１１の先端部に加わるスクリーン２１からの応力は、スクリーン２１の中央よりもスクリーン版枠２２側、すなわち、弾性部材１１の先端部の中央からその幅方向両端部近傍に近づくにつれて次第に大きくなる。このため、弾性部材１１は、スクリーン２１からの応力により、弾性部材１１の先端部の外縁近傍が事実上変形し易くなる。しかし、本発明では、上述したように、弾性部材１１の塗布部１１ａよりその幅方向両側の非塗布部１１ｂの硬度を大きくしたので、その弾性部材１１の先端部がスクリーン２１の有効印刷領域Ａ内を通過する際、被印刷物４０の面上に対して面方向に平行となる。
【００３４】
すなわち、本実施形態では、スクリーン２１からの応力の大きな両端部における弾性部材１１の先端部が変形する変形量を考慮し、その部分の変形量を考慮しても弾性部材１１の塗布部１１ａと同時にその両側の非塗布部１１ｂをスクリーン２１に押し込めるように、予め弾性部材１１の非塗布部１１ｂのゴム硬度を塗布部１１ａのゴム硬度より大きくしておく。これにより、スクリーン版枠２２の寸法は従来のままで、スクリーン２１の有効印刷領域Ａ内において、弾性部材１１の先端部によるスクリーン２１への押し込み量を幅方向に亘って一定とし、スクリーン２１と被印刷物４０との間に設けられた間隙を一定とすることができる。また、本実施形態では、上述したように、弾性部材１１を所定量傾斜させた状態でスクリーン印刷を行うようにしたので、弾性部材１１の中央部とその幅方向両端部におけるスクリーン２１への押圧力のバランスが一定となり、弾性部材１１の先端部を幅方向に亘って均一にスクリーン２１に押し付けることができる。これにより、被印刷物上に所定のパターンの塗布層を略均一な厚さで確実に形成することができる。
【００３５】
（実施形態２）
図３及び図４は、本発明の実施形態２に係るフレキシブルプリント配線板の製造方法を説明する断面図である。
【００３６】
本実施形態では、上述した実施形態１で説明したスキージ部材を用いたフレキシブルプリント配線板の製造工程、すなわち、ソルダーレジスト層を形成する工程について説明する。
【００３７】
まず、図３（ａ）に示すように、絶縁層７１上に導体層７２が設けられた積層フィルム７０を用意する。
【００３８】
次に、図３（ｂ）に示すように、パンチング等によって、絶縁層７１及び銅電層７２を貫通してスプロケットホール７３をそれぞれ形成する。このスプロケットホール７３は、絶縁層７１の表面上から形成してもよく、また、絶縁層７１の裏面から形成してもよい。
【００３９】
次いで、図３（ｃ）に示すように、一般的なフォトリソグラフィー法を用いて、導体層７２の面上にフォトレジスト材料塗布溶液を塗布してフォトレジスト材料塗布層７４を形成する。さらに、スプロケットホール７３内に位置決めピンを挿入して絶縁層７１の位置決めを行った後、フォトマスク８０を介してフォトレジスト材料塗布層７４を露光し、その後、現像することで、フォトレジスト材料塗布層７４をパターニングして、図３（ｄ）に示すような配線パターン用レジストパターン７５を形成する。
【００４０】
次いで、図３（ｄ）に示すように、配線パターン用レジストパターン７５をマスクパターンとして導体層７２をエッチング液で溶解して除去し、さらに配線パターン用レジストパターン７５をアルカリ溶液等にて溶解除去することにより配線パターン７６を形成する。
【００４１】
次いで、図４（ａ）に示すように、配線パターン７６の面上に、上述したスキージ部材１０を用いて、配線パターン７６上にソルダーレジスト材料塗布液７７を塗布し、ソルダーレジスト材料塗布層７８を形成する。具体的には、上述したスキージ部材１０を用い、所定の製版パターン９１が設けられたスクリーン９０を通して配線パターン７６の中央部を囲むように所定厚さのソルダーレジスト材料塗布液７７を塗布し、ソルダーレジスト材料塗布層７８を形成する。
【００４２】
このように、本実施形態では、上述したスキージ部材１０を用いてソルダーレジスト材料塗布液を塗布するようにしたので、配線パターン７６上にソルダーレジスト材料塗布層７８を均一な厚さで形成することができる。
【００４３】
その後、加熱処理を行うことでソルダーレジスト材料塗布層７８を硬化させることにより、図４（ｂ）に示すようなソルダーレジスト層７９を形成し、その後、このソルダーレジスト層７９で覆われていない配線パターン７６上にスズメッキ（図示しない）を形成する。これにより、フレキシブルプリント配線板１００が完成する。
【００４４】
以上説明したように、本実施形態では、本発明のスキージ部材１０を用いて行うスクリーン印刷方法により、ソルダーレジスト材料塗布層７８を形成するようにしたので、ソルダーレジスト層７９を均一な厚さで形成することができる。特に、本発明によれば、ソルダーレジスト層７９を比較的高精度に且つ薄く形成することができる。これにより、配線パターン７６上の所定位置に電子部品等を確実に実装でき、半導体チップ実装時の信頼性を向上できる。
【００４５】
なお、フレキシブルプリント配線板１００の製造では、テープ状の絶縁層７１又は積層フィルム７２を搬送しながら所定の処理工程を連続的に行うのが一般的であるが、このような場合でも、本発明のスキージ部材１０を用いれば、各配線パターン上に均一な厚さのソルダーレジスト材料塗布層を確実に形成することができることはいうまでもない。
【００４６】
また、フレキシブルプリント配線板１００の製造では、配線パターン７６やスプロケットホール７３等からなるキャリアパターンを絶縁層の幅方向に１列設けるようにしたが、勿論これに限定されず、例えば、キャリアパターンを絶縁層の幅方向に複数列、例えば、３列並設するようにしてもよい。この場合でも、本発明のスキージ部材によれば、絶縁層の幅方向に亘って各キャリアパターンの配線パターン上に均一な厚さのソルダーレジスト材料塗布層を確実に形成できる。
【００４７】
なお、フレキシブルプリント配線板の種類についても特に限定されず、従来公知の例えば、ＴＡＢ、ＣＳＰ、ＢＧＡ、ＣＯＦ、μ−ＢＧＡ、ＦＣ、ＱＦＰタイプ、ＦＰＣ、両面配線タイプ等とすることができる。
【００４８】
ここで、実施例１及び比較例１に基づいて本発明を詳細に説明する。
【００４９】
（実施例１）
板状の弾性部材の塗布部をゴム硬度がＪＩＳ  Ａ  ７０度でヤング率１２ＭＰａのウレタンゴムにより形成し、この塗布部の幅方向両端側の非塗布部をゴム硬度がＪＩＳ  Ａ  ９０度でヤング率５３ＭＰａのウレタンゴムにより形成した。そして、この弾性部材をホルダに挟持したものを実施例１のスキージ部材とした。
【００５０】
（比較例１）
全体をゴム硬度がＪＩＳ  Ａ  ７０度のウレタンゴムで形成した弾性部材を用いた以外は実施例１と同様のものを比較例１のスキージ部材とした。
【００５１】
（スクリーン印刷の条件）
図５に示すように、長手方向に５行、幅方向に３列（以下、５行×３列とする。）の配線パターン７６が形成された絶縁層７１の領域を１回の印刷範囲、すなわち、スクリーン２１の有効印刷領域Ａとした。また、スクリーン印刷条件は、厚さ３０μｍのソルダーレジスト層を形成するための条件とし、ここでは、スキージ部材の傾斜角度７３°、スキージ部材のスクリーンに対する押圧力２９４ｋＰａ（３ｋｇｆ／ｃｍ２）、スキージ部材の移動速度１５０ｍｍ／ｓｅｃ、スクリーンと絶縁層との間隔１．５〜２．０ｍｍの条件とした。なお、印刷方向は、絶縁層５１の幅方向とした。
【００５２】
（試験例１）
上述した５行×３列の配線パターン７６が形成された絶縁層７１を印刷ステージ上に搬送した後、実施例１のスキージ部材により、スクリーンを介して、各配線パターン７６上のそれぞれにソルダーレジスト材料塗布層を形成した。次に、これをエンボススペーサの間に挟んでリールに巻き取り、加熱処理してソルダーレジスト材料塗布層を硬化させて、各配線パターン７６上にソルダーレジスト層をそれぞれ形成した。そして、以上の操作を、実施例１のスキージ部材について５回行った（実施例１ａ〜１ｅ）。なお、上述した操作を、比較例１のスキージ部材についても同様にして３回行った（比較例１ａ〜１ｃ）。
【００５３】
次に、上述した実施例１ａ〜１ｅ及び比較例１ａ〜１ｃの各ソルダーレジスト層の厚さ［μｍ］を測定した。具体的には、図６〜図８に示すように、ソルダーレジスト層毎に３箇所の厚さを測定した。そして、ソルダーレジスト層の各部分の測定値について、絶縁層の幅方向（列記号；Ｌ〜Ｎ）の平均値をその長手方向（行記号；Ｏ〜Ｘ）に亘ってそれぞれ算出した。その結果を図９〜図１１、及び下記表１に示す。なお、図６〜図８は、ソルダーレジスト層の各部分の厚さの測定値を示す図である。また、図９〜図１１は、ソルダーレジスト層の厚さのムラを示すグラフである。
【００５４】
【表１】
2005001315.tif 000003
【００５５】
上記表１，図６〜図８に示すように、実施例１ａ〜１ｅは、比較例１ａ〜１ｃと比べて、有効印刷領域内において、絶縁層７１の中央とその長手方向両側とのそれぞれに対応するソルダーレジスト層の厚さの差は非常に小さく、ソルダーレジスト層の厚さのバラつきが小さいことが分かった。このことは、図９〜図１１に示すグラフからも明らかである。
【００５６】
以上の結果から、実施例１のスキージ部材を用いれば、有効印刷領域内におけるソルダーレジスト材料塗布層を比較的均一な厚さで形成できることは明らかである。これにより、弾性部材の塗布部より非塗布部の硬度を大きくすることで、所定厚さのソルダーレジスト材料塗布層を均一に形成することができることが確認された。
【００５７】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態１及び２を説明したが、勿論、スキージ部材は上述したものに限定されるものではなく、被印刷物についても特に限定されるものではない。
【００５８】
例えば、上述した実施形態１では、弾性部材１１の塗布部１１ａ及び非塗布部１１ｂの硬度をＪＩＳ  Ｋ  ６２５３に準じて計測したスプリング式（デュロメータ硬さ）硬度、すなわち、ゴム硬度によって規定したが、勿論これに限定されず、例えば、弾性部材をスクリーン印刷において支障がない材料で形成し、その材料の硬さを従来公知の硬さ試験により計測して規定してもよい。何れにしても、本発明は、スクリーン印刷の際に、弾性部材の先端部によるスクリーンへの押し込み量を幅方向に亘って一定となるように、弾性部材の塗布部の変形量よりも非塗布部の変形量を小さく調製すればよく特に限定されるものではない。
【００５９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のスキージ部材では、弾性部材の塗布部より非塗布部の硬度を大きくするようにしたので、印刷の際、スクリーンの少なくとも有効印刷領域内において、弾性部材の先端部によるスクリーンへの押し込み量が幅方向に亘って一定となり、被印刷物上に所定パターンの塗布層を均一な厚さで形成できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係るスキージ部材及びスクリーン版を示す概略図であって、（ａ）が斜視図であり、（ｂ）が断面図であり、（ｃ）が正面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るスクリーン印刷方法を説明する図１の概略上面図である。
【図３】本発明の実施形態２に係るフレキシブルプリント配線板の製造方法を説明する図である。
【図４】本発明の実施形態２に係るフレキシブルプリント配線板の製造方法を説明する図である。
【図５】本発明の実施形態２に係る試験例１における有効印刷領域内の印刷パターンを示す概略平面図である。
【図６】本発明の実施形態２に係る実施例１ａ〜１ｃのソルダーレジスト層の厚さの測定値を示す概略図である。
【図７】本発明の実施形態２に係る実施例１ｅのソルダーレジスト層の厚さの測定値を示す概略図である。
【図８】本発明の実施形態２に係る比較例１ａ〜１ｃのソルダーレジスト層の厚さの測定値を示す概略図である。
【図９】本発明の実施形態２に係る実施例１ａ〜１ｄのソルダーレジスト層の厚さのムラを示すグラフである。
【図１０】本発明の実施形態２に係る実施例１ｅのソルダーレジスト層の厚さのムラを示すグラフである。
【図１１】本発明の実施形態２に係る比較例１ａ〜１ｃのソルダーレジスト層の厚さのムラを示すグラフである。
【符号の説明】
Ａ  有効印刷領域
１０  スキージ部材
１１  弾性部材
１１ａ  塗布部
１１ｂ  非塗布部
１２  ホルダ
１３  挟持部材
２０  スクリーン版
２１  スクリーン
２２  スクリーン版枠
３０  印刷ステージ
４０  被印刷物
５０  駆動手段
６０  印刷材料
７０  積層フィルム
７１  絶縁層
７２  導体層
７３  スプロケットホール
７４  フォトレジスト材料塗布層
７５  配線パターン用レジストパターン
７６  配線パターン
７７  ソルダーレジスト材料塗布液
７８  ソルダーレジスト材料塗布層
７９  ソルダーレジスト層
８０  フォトマスク
９０  スクリーン
９１  製版パターン
１００  フレキシブルプリント配線板
【図１】
2005001315.tif 000004
【図２】
2005001315.tif 000005
【図３】
2005001315.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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