(57)【要約】【課題】ＩＣフレーム１を下金型３へセットした時、正しくフレームサイド位置決めピン１０にＩＣフレーム１がセットされたか作業者が目視で確認している為、確認忘れや確認ミスによる、樹脂未注入不良発生に対する防止対策が課題となっていた。【解決手段】反射型同軸光ファイバー４と小スポットレンズ５を組み合わせたセンサーを使用し、ＩＣフレーム１のセットされた状態でフレームサイド位置決めピン１０上を一直線に通過させることで、ＩＣフレーム１が正しくセットされているか確認することが出来る。【選択図】          図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームサイド位置決めピン１０周辺の下金型表面での鏡面除去処理を行う事により、ＩＣフレーム１と下金型３及び位置決めピン１０における光反射率の差を大きくすることで反射型ファイバーセンサー
【図２】によるＩＣフレームセット状態を確認する方法及び確認装置。
【請求項２】
反射型同軸光ファイバー４の先端に小スポット用レンズ５をセットしたセンサーでフレームサイド位置決めピン１０列上を移動させることにより、ＩＣフレーム１が下金型に正しくセットされたか確認する方法及び確認装置。
【請求項３】
短時間で確認する為、検出センサーの移動速度を高速（チェックポイントまでの移動）と低速（チェックポイントでの移動）の繰り返し動作させると同時に低速時には、セット確認タイミング信号を出す事によりチェックポイントセンサーを必要とせず、短時間でフレームセット状態を確認出来る方法及び確認装置。
【請求項４】
フレームサイド位置決めピン（熱膨張吸収用位置決め長穴１１用）の周辺１０ｍｍ程度を一直線上に移動した時の光反射率を２段判定することでＩＣフレーム１とフレームサイド位置決めピン１０との位置関係をチェックする事を特徴とするフレームセット確認方法及び確認装置。
【請求項５】
セット確認タイミング信号により、光反射率が２段階に変化する点と点の間を移動する時の移動パルス数をカウントし、基準パルス数と比較することでフレームセット状態が確認出来る事を特徴とするフレームセット確認方法及び確認装置。
【請求項６】
確認センサーを行き動作時と帰り動作時で前後に十数ｍｍシフトする事で確認用センサー
【図２】の数を半減させる事を特徴とするフレームセット確認方法及び確認装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣ製造装置の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、手動での樹脂による封止用プレスにおいては、フレーム枠上にセットされた複数のＩＣフレームを作業者がフレーム枠ごと下金型３内に移動しセットするが、この時フレームが正しく位置決めピンにセットされたか目視で確認している。又、自動で確認する場合は
【図１】の様にＩＣフレーム１を下金型にセットし、上昇させて行くと正常にセットされた場合は、上下金型が閉まる寸前にならないと圧力は上昇しないが、異常セットされた時は圧力の上昇する下金型の位置が下側である事を検出する方法である為、圧力と位置関係を大きくとれる比較的ＩＣフレーム１の厚さが大きいものでないと検出が難しかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
高温に加熱された下金型３付近において、ＩＣフレーム１が正しくセットされたか金型に顔を近づけて目視で確認している為、作業者への熱反射ストレスが問題となっている。又確認忘れや確認ミスによる全フレーム（一回にセットするフレーム数）不良発生における対策も課題となっている。又、自動で確認する場合においても、従来の確認方法の場合は全フレームではないが、異常セットされたＩＣフレーム１は不良となる点とフレーム厚の薄いフレームの場合は自動検出できなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
そこで、セット確認は自動で行うと同時にフレーム厚に影響されないで１枚の不良フレームも発生させない方法として、作業者がフレーム枠を金型内に移動しセットした時、ＩＣフレーム１の熱膨張吸収用位置決め長穴１１と下金型３のフレームサイド位置決めピン１０との位置関係を検出する為、
【図２】の様な反射型光センサーを使用してフレームサイド位置決めピン１０上と、その周辺を一直線に通過させることで、センサーのアンプ出力信号Ａ８とＢ９は
【図３】の様な２つの信号が得られる。つまり、出力信号Ａ８の信号は光反射の最も大きいフレームを検出するレベルに設定してあり、又、出力信号Ｂ９の信号は金型表面まで検出出来るレベルに設定している。ＡＢ共に検出していない状態とは最も光り反射の少ないフレームサイド位置決めピン１０を検出していることになる。以上のことから出力信号Ａ８オフより出力信号Ｂ９オフまでの移動パルス数を確認することでＩＣフレーム１とフレームサイド位置決めピン１０との位置関係を確認することが出来る為、セット状態の異常をその場で確認できる。
【０００５】
【図４】は、ＩＣフレーム１のセット状態を表した図であり、正常セット状態のＩＣフレームＡを除き他のフレームは、全て異常にセットされた状態を表している。図中においてチェックするポイントは、両側のフレームサイド位置決めピン１０の周辺のみであり、
【図３】で説明した方法により、異常セットフレームを検出することが出来る。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す発明の実施の形態に基づいて詳細に説明する。
【０００７】
【図５】は、全体の構成図であり、ＩＣフレーム１が縦に８枚と横に２枚、計１６枚を一度にセット出来る金型に当装置をセットした時の実施例であり、確認センサーとして、縦に４個配列している。その前後には、センサーを十数ｍｍＹ方向にシフトさせるソレノイド１８を配置する事で、Ｘ方向へのセンサー移動時おける行き動作時４列、帰り動作時４列により、必要チェック列の８列をカバーしている。又、図中のＸ軸移動用パルスモーター２１は、駆動用タイミングベルトを介して、確認センサーをＸ方向に往復動作させると同時に、その駆動パルスをセット確認計測用としても利用している。
【０００８】
【図６】は、コントローラのブロック図である。スタートスイッチをオンすると手前ソレノイドが動作して、４個のセンサー取り付け板を手前に引き寄せると同時にパルスモータコントローラよりモーター駆動パルス信号と回転方向信号が出力される。以上によりセンサーはＸ方向にスライド移動を開始し、低速から高速へと移行し動作するがチェックポイント付近に来る毎に減速し、タイミング信号がパルス出力回路へ出力される。
【０００９】
パルス出力回路では、各確認センサーからの出力Ａ８及びＢ９信号とタイミン
グ信号及びパルス信号により、
【０００４】で説明したタイミングのパルスを４チャンネル分同時処理して、次のカウンタ及び制御回路部へ出力される。このような出力パルスは、チェックポイント毎に行われる為、当実施例では往復合計８回行われることになる。
【００１０】
カウントタ及び制御回路部では、送られてくる４チャンネル分同時にカウントし、タイミング信号オフと同時に各チャンネル毎にカウント数と基準数を比較チェックして、判定結果を各ポイント及びチャンネル別に一時記憶しておく。当実施例では、８ポイントと４チャンネルから３２個の判定結果を記憶することになる。
【００１１】
センサーが往復動作を完了した時、判定結果をメッセージ表示器で表示するが、異常セットフレームが１枚以上ある場合は、その異常フレームの位置表示をすると同時にブザーを鳴らし作業者への位置修正指示を出す。
【００１２】
【発明の効果】
以上のように、セット確認を自動で行う為、作業者への熱ストレスが少なく作業環境の改善が出来る。フレーム厚に関係なく自動チェックが可能であると同時に、使用するセンサーや判定回路等単純な部品である為、確認装置を低価格で導入出来る。又、従来の様なフレームセット確認忘れをした場合、自動的に装置側からブザーを鳴らすと同時にメッセージ表示器より、フレームセット確認操作が行われていないことを表示する為、確認忘れを防止する事が出来ると同時に機械的に行う事により確認ミスも防止出来る。以上のことからＩＣ製造工程に於ける生産性及び歩留まり向上が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のフレームセット状態の検出方法における、（Ａ）正常時と（Ｂ）異常時として、圧力上昇開始点での上下金型間距離の違いを表した図である。
【図２】本発明に於ける異常検出用センサーの構成を表した図である。
【図３】異常検出センサーからの出力信号ＡとＢの検出位置関係を表し、異常検出方法を説明する為の図である。
【図４】下金型に於けるフレーム位置決めピンの配列を表すと同時に、正常セットフレーム状態と代表的な異常セットフレーム状態を表した図である。
【図５】本発明で実施したメカ部の構成図として、主要部品の位置関係を表した図である。
【図６】本発明に於ける異常セットフレーム検出方法を具体的に説明する為、各コントローラ間の信号の流れを表したブロック図である。
【符号の説明】
１  ＩＣフレーム
２  樹脂封止用上金型
３  樹脂封止用下金型
４  反射型同軸光ファイバー
５  小スポットレンズ
６  直径０．２ｍｍ光スポット
７  センサーアンプ
８  出力信号Ａ
９  出力信号Ｂ
１０  フレームサイド位置決めピン
１１  熱膨張吸収用位置決め長穴
１２  光スポット通過位置
１３  フレームセンター位置決めピン
１４  ＩＣフレームＡ
１５  ＩＣフレームＢ
１６  ＩＣフレームＣ
１７  ＩＣフレームＤ
１８  センサースライド用ソレノイド
１９  Ｘ軸移動用レール
２０  駆動用タイミングベルト
２１  Ｘ軸移動用パルスモータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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