(57)【要約】【目的】  従来のものより光の利用効率を向上させる。【構成】  発光素子１００Ａと、発光素子１００Ａからの光を反射する反射面３１０Ａを有する振動膜３００Ａと、振動膜３００Ａの反射面３１０Ａによって反射された光を受光する受光素子２００Ａとを備えており、発光素子１００Ａ及び受光素子２００Ａは、透光性樹脂からなる導光路１１０Ａ、２１０Ａを有しており、導光路１１０Ａ、２１０Ａの先端にはレンズ１１１Ａ、２１１Ａが形成されている。発光素子１００Ａ、受光素子２００Ａ及び振動膜３００Ａは、ハウジング４００Ａ内に収納されており、ハウジング４００Ａと導光路１０Ａ、２１０Ａとの間には、不透明樹脂５００Ａが充填されており、不透明樹脂５００Ａは、レンズ１１１Ａ、２１１Ａのみを露出させている。【選択図】      図１
2005045720.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子と、この発光素子からの光を反射する反射面を有する振動膜と、この振動膜の反射面によって反射された光を受光する受光素子とを具備しており、前記発光素子及び受光素子は、ベアチップ状のものであり、その前面には先端にレンズが形成された透光性樹脂からなる導光路が設けられていることを特徴とする光マイクロホン。
【請求項２】
前記導光路は、振動膜の中央に形成された反射面に向かって傾斜していることを特徴とする請求項１記載の光マイクロホン。
【請求項３】
前記導光路は、レンズのみが振動膜の中央に形成された反射面に向かって傾斜していることを特徴とする請求項１記載の光マイクロホン。
【請求項４】
請求項１、２又は３記載の光マイクロホンにおいて、発光素子、受光素子及び振動膜は、ハウジング内に収納されており、このハウジングと導光路との間には、不透明樹脂が充填されており、この不透明樹脂は、前記レンズのみを露出させていることを特徴とする光マイクロホン。
【請求項５】
前記ハウジングは、ケースに収納されており、前記振動膜は、周囲にスペーサが付属されており、このスペーサは前記ハウジングとケースとの間に挟み込まれていることを特徴とする請求項４記載の光マイクロホン。
【請求項６】
前記導光路のレンズは、予め所望の形状に形成されていることを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載の光マイクロホン。
【請求項７】
ハウジングに設けられたリードフレームに発光素子及び受光素子を接続する工程と、前記発光素子及び受光素子に透光性樹脂からなる導光路を形成する工程と、前記ハウジングと導光路との間に不透明樹脂を充填する工程と、前記ハウジングにケースを取り付ける工程とを具備しており、前記導光路の先端にはレンズが形成され、前記ハウジングとケースとの間に振動膜の周囲に付属されたスペーサを挟み込むことを特徴とする光マイクロホンの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光マイクロホンとその製造方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロホンには、電磁誘導方式のいわゆるダイナミック型と、静電容量方式のいわゆるエレクトレットコンデンサ型とがあるが、ダイナミック型は機械的振動部分があること、エレクトレットコンデンサ型は電気信号を取り出すための電気回路が必要であることから、その構造が複雑になりがちである。
このため、振動膜の振動を光の信号として検出するいわゆる光マイクロホンが創案されている。この光マイクロホンは、ノイズがある環境下での使用に有利である。この種の光マイクロホンの特許文献としては、以下のものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−０３０５０３号公報
【特許文献２】特開２００１−１６９３９４号公報
【特許文献３】特開２００１−０７８２９８号公報
【特許文献４】特開２００１−０４５５９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された技術は、光源と、この光源からの光を導く固体光ガイドとを連結しているが、光の入反射のための効率を向上させるため、固体光ガイドの先端を光軸に対して角度θで斜めにカットしている。このため、この技術には、光源から固体光ガイドを介して射出される光が固体光ガイドの表面で拡散し、光量ロスが生じやすいという問題点がある。
【０００５】
また、特許文献２に記載された技術は、垂直表面発光型素子を中心とし、その周囲に同心円状に受光素子を配置するという単純な構造ではあるが、発光素子の指向性に劣り、振動膜で反射された入射光が拡がると、接近した受光素子が反応するというおそれがある。
【０００６】
さらに、特許文献３に記載された技術は、発光素子と受光素子とを別々に透明樹脂で覆った後に、透明樹脂の周囲に遮光膜を形成し、その後、両素子の透明樹脂を貼り合わせて両素子が干渉しないようにするため、遮光膜というものが必要になる。また、この特許文献３には発光素子と受光素子とを一体の透明樹脂で覆い、この透明樹脂の周囲に遮光膜を形成し、その後、発光素子と受光素子との間に遮光膜を形成する技術も開示されている。かかる技術であっても、同様に遮光膜というものが必要となる。
【０００７】
また、特許文献４に記載の技術では、光源からの光は発光側光ファイバで振動膜まで導かれ、振動膜で反射した光は受光側光ファイバで受光素子まで導かれる。光ファイバは高価なものであるので、光マイクロホンのコストアップの要因となる。また、光ファイバの光源への取り付けも高い精度が要求される。さらに、かかる技術でも、両素子の間に遮光板が必要になる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る光マイクロホンは、発光素子と、この発光素子からの光を反射する反射面を有する振動膜と、この振動膜の反射面によって反射された光を受光する受光素子とを備えており、前記発光素子及び受光素子は、透光性樹脂からなる導光路を有しており、導光路の先端にはレンズが形成されている。
【０００９】
前記導光路は、振動膜の中央に形成された反射面に向かって傾斜していることが望ましい。
【００１０】
また、前記導光路は、レンズのみが振動膜の中央に形成された反射面に向かって傾斜しているものでもよい。
【００１１】
さらに、前記発光素子、受光素子及び振動膜は、ハウジング内に収納されており、このハウジングと導光路との間には、不透明樹脂が充填されており、この不透明樹脂は、前記レンズのみを露出させている。
【００１２】
前記ハウジングは、ケースに収納されており、前記振動膜は、周囲にスペーサが付属されており、このスペーサは前記ハウジングとケースとの間に挟み込まれている。
【００１３】
なお、前記導光路のレンズは、予め所望の形状に形成されている。
【００１４】
また、本発明に係る光マイクロホンの製造方法は、ハウジングに設けられたリードフレームに発光素子及び受光素子を接続する工程と、前記発光素子及び受光素子に透光性樹脂からなる導光路を形成する工程と、前記ハウジングと導光路との間に不透明樹脂を充填する工程と、前記ハウジングにケースを取り付ける工程とを備えており、前記導光路の先端にはレンズが形成され、前記ハウジングとケースとの間に振動膜の周囲に付属されたスペーサを挟み込むようになっている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る光マイクロホンは、発光素子と、この発光素子からの光を反射する反射面を有する振動膜と、この振動膜の反射面によって反射された光を受光する受光素子とを具備しており、前記発光素子及び受光素子は、ベアチップ状のものであり、その前面には先端にレンズが形成された透光性樹脂からなる導光路が設けられている。
【００１６】
従って、かかる光マイクロホンであると、従来のこの種の光マイクロホンより、光の利用効率が向上するとともに、振動膜に形成されている反射面に所望のスポット径の光を射出することが可能となる。
【００１７】
また、前記導光路が、振動膜の中央に形成された反射面に向かって傾斜していると、発光素子から反射面までの距離と、反射面から受光素子までの距離を短くすることができるので、それぞれの導光路を振動膜に対して垂直にした場合より光マイクロホンを薄く構成することが可能となる。
【００１８】
また、前記導光路が、レンズのみが振動膜の中央に形成された反射面に向かって傾斜していると、それぞれの導光路が振動膜の中央に形成された反射面に向かって傾斜している場合と同様に、それぞれの導光路を振動膜に対して垂直にした場合より光マイクロホンを薄く構成することが可能となる。
【００１９】
また、前記光マイクロホンにおいて、前記発光素子、受光素子及び振動膜は、ハウジング内に収納されており、このハウジングと導光路との間には、不透明樹脂が充填されており、この不透明樹脂は、前記レンズのみを露出させていると、発光素子からの光はレンズのみから射出され、振動膜の反射面で反射された光はレンズのみから受光素子に入射されるようになっている。
【００２０】
前記ハウジングは、ケースに収納されており、前記振動膜は、周囲にスペーサが付属されており、このスペーサは前記ハウジングとケースとの間に挟み込まれているので、ケースと振動膜との間にはスペーサの厚さに相当する間隔が形成されることになる。
【００２１】
また、本発明に係る他の光マイクロホンの製造方法は、ハウジングに設けられたリードフレームに発光素子及び受光素子を接続する工程と、前記発光素子及び受光素子に透光性樹脂からなる導光路を形成する工程と、前記ハウジングと導光路との間に不透明樹脂を充填する工程と、前記ハウジングにケースを取り付ける工程とを備えており、前記導光路の先端にはレンズが形成され、前記ハウジングとケースとの間に振動膜の周囲に付属されたスペーサを挟み込むようになっている。
【００２２】
このため、この製造方法によると、従来のものより簡単に光マイクロホンを製造することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は本発明に係る第１の光マイクロホンの概略的断面図、図２は本発明に係る第１の光マイクロホンの製造工程を示す説明図、図３は本発明に係る第２の光マイクロホンの概略的断面図である。
【００２４】
本発明に係る光マイクロホンＡは、図１に示すように、発光素子１００Ａと、この発光素子１００Ａからの光を反射する反射面３１０Ａを有する振動膜３００Ａと、この振動膜３００Ａの反射面３１０Ａによって反射された光を受光する受光素子２００Ａとを備えており、前記発光素子１００Ａ及び受光素子２００Ａは、透光性樹脂からなる導光路１１０Ａ、２１０Ａを有しており、導光路１１０Ａ、２１０Ａの先端にはレンズ１１１Ａ、２１１Ａが形成されている。
【００２５】
また、前記光マイクロホンＡは、発光素子１００Ａ、受光素子２００Ａ及び振動膜３００Ａは、ハウジング４００Ａ内に収納されており、このハウジング４００Ａと導光路１０Ａ、２１０Ａとの間には、不透明樹脂５００Ａが充填されている。
【００２６】
前記発光素子１００Ａには、例えば発光ダイオード素子が用いられる。この発光素子１００Ａは、ベアチップ状のものであり、フレキシブル基板４１０Ａに実装されている。この発光素子１００Ａの電極（図示省略）は、例えば金線からなる一対のボンディングワイヤ１２０Ａによって、後述するハウジング４００Ａに設けられたリードフレーム４２０Ａと接続されている。
【００２７】
前記発光素子１００Ａに設けられる導光路１１０Ａは、アクリル等の透光性樹脂から構成される。この導光路１１０Ａは、先端がレンズ１１１Ａとして略ドーム状に形成されている。この導光路１１０Ａのレンズ１１１Ａは、発光素子１００Ａから発せられる光の集光を所望の度合いに調整する作用を有している。
【００２８】
一方、前記受光素子２００Ａには、例えばベアチップ状のフォトダイオード素子が用いられる。この受光素子２００Ａは、フレキシブル基板４１０Ａに実装されており、電極（図示省略）は、例えば金線からなる一対のボンディングワイヤ２２０Ａによってリードフレーム４２０Ａと接続されている。
【００２９】
また、前記受光素子２００Ａに設けられる導光路２１０Ａは、アクリル等の透光性樹脂から構成される。この導光路２１０Ａは、先端がレンズ２１１Ａとして略ドーム状に形成されている。この導光路２１０Ａのレンズ２１１Ａは、反射面３１０Ａで反射された光を集光する作用を有している。
【００３０】
前記ハウジング４００Ａは、絶縁性を有する合成樹脂からなるものであり、有底の円筒形状に形成されている。かかるハウジング４００Ａの底部には、前記発光素子１００Ａ及び受光素子２００Ａが電気的に接続されるリードフレーム４２０Ａがインサートされている。
【００３１】
前記フレキシブル基板４１０Ａは、前記ハウジング４００Ａの底部に設置されるものである。かかるフレキシブル基板４１０Ａは、両端部、すなわち発光素子１００Ａと受光素子２００Ａとが実装される部分は内側に向かって若干折曲されている。このフレキシブル基板４１０Ａの一方の端部の折曲は、実装された発光素子１００Ａから発される光が振動膜３００Ａの中央にある反射面３１０Ａに照射されるように設定されている。また、フレキシブル基板４１０Ａの他方の端部の折曲は、前記反射面３１０Ａで反射された光が、実装された受光素子２００Ａに受光されるように設定されている。
【００３２】
前記振動膜３００Ａは、例えば１〜５μｍ（好ましくは２〜４μｍ）の厚さのＰＥＴ等の樹脂フィルムの内面、すなわち発光素子１００Ａと受光素子２００Ａとが設けられた側に、反射面３１０Ａとして１００〜５００Å（好ましくは３００〜４００Å）の厚さのＡｌやＴｉ等が蒸着されたものである。なお、前記反射面３１０Ａは、振動膜３００Ａの中心点を中心として、振動膜３００Ａの約１／３の半径を有する円形状に形成されている。かかる振動膜３００Ａの周囲には、１０〜５０μｍ（好ましくは２０〜３０μｍ）の厚さのスペーサ３２０Ａが付属されている。
用を有している。
【００３３】
前記発光素子１００Ａ及び受光素子２００Ａは、折曲されたフレキシブル基板４１０Ａの両端部に実装されているため、発光素子１００Ａ及び受光素子２００Ａに設けられた導光路１１０Ａ、２１０Ａは、振動膜３００Ａに対して斜めになっている。このように、各導光路１１０Ａ、２１０Ａを振動膜３００Ａに対して斜めにすることで、発光素子１００Ａから反射面３１０Ａまでの距離と、反射面３１０Ａから受光素子２００Ａまでの距離を短くすることができるので、各導光路１１０Ａ、２１０Ａを振動膜３００Ａに対して垂直にした場合より光マイクロホンＡを薄く構成することが可能となる。
【００３４】
また、前記各導光路１１０Ａ、２１０Ａ及び各レンズ１１１Ａ、２１１Ａは、一般的ないわゆる砲弾型の発光ダイオード素子のように、発光素子１００Ａ及び受光素子２００Ａに予めモールドされている。
【００３５】
なお、発光素子１００Ａに設けられる導光路１１０Ａと、受光素子２００Ａに設けられる導光路２１０Ａとは、ハウジング４００Ａを後述するケース６００Ａに嵌め込んでも、ケース４００Ａの底面との間には空間がある程度の大きさに設定されている。
【００３６】
前記不透明樹脂５００Ａは、前記導光路１１０Ａ、２１０Ａのレンズ１１１Ａ、２１１Ａを露出させたかたちでハウジング４００Ａの内部に充填されるものであって、例えば熱硬化型樹脂、時間硬化型樹脂或いは紫外線を照射することで硬化する光硬化型樹脂が用いられる。この不透明樹脂５００Ａは、図１にも示すように、内側に向かって傾斜した導光路１１０Ａ、２１０Ａのレンズ１１１Ａ、２１１Ａを露出させるため、発光素子１００Ａの導光路１１０Ａと受光素子２００Ａの導光路２１０Ａとの間の高さは、発光素子１００Ａの導光路１１０Ａ及び受光素子２００Ａの導光路２１０Ａの外側の高さより低くなっている。
【００３７】
前記不透明樹脂５００Ａは、前記導光路１１０Ａ、２１０Ａのレンズ１１１Ａ、２１１Ａのみを露出させたかたちでハウジング４００Ａに充填されているので、発光素子１００Ａからの光はレンズ１１１Ａのみから射出され、振動膜３００Ａの反射面３１０Ａで反射された光はレンズ２１１Ａのみから受光素子２００Ａに入射されるようになっている。
【００３８】
前記ハウジング４００Ａは、ケース６００Ａに収納されている。このケース６００Ａは、Ａｌ等の金属からなる有底の円筒形状のものであって、その内径は前記ハウジング４００Ａが内部に嵌まり込むことができるように、ハウジング４００Ａの外径より若干大きく設定されている。かかるケース６００Ａの底面には１又は複数個の音孔６１０Ａが開設されている。
【００３９】
前記振動膜３００Ａは、周囲のスペーサ３２０Ａをケース６００Ａの底面とハウジング４００Ａの縁部との間に挟み込まれた状態でセットされる。従って、ケース６００Ａの底面と振動膜３００Ａとの間のギャップは、前記スペーサ３２０Ａによって確保されることになる。スペーサ３２０Ａの厚さは、振動幕３００Ａの振動量に比べて、十分余裕をもった値に設定される。
【００４０】
このように構成された光マイクロホンＡの動作について説明する。
発光素子１００Ａから発せられた光は、導光路１１０Ａ及びレンズ１１１Ａを介して振動膜３００Ａの反射面３１０Ａに照射される。振動膜３００Ａは、音孔６１０Ａからの音圧によって振動している。振動膜３００Ａの反射面３１０Ａで反射された光は、この振動膜３００Ａの振動によって反射する方向が変化し、受光素子２００Ａで受光される光の強度が変化する。受光素子２００Ａでは、反射面３１０Ａで反射された光を受光するが、振動膜３００Ａの振動に起因する光の強度の変化により、振動膜３００Ａの変位を検出するのである。
【００４１】
次に、上述した光マイクロホンＡの製造方法について図２を参照しつつ説明する。
この光マイクロホンＡは、発光素子１００Ａ及び受光素子２００Ａをハウジング４００Ａに設けられたリードフレーム４２０Ａに接続する工程と、前記発光素子１００Ａ及び受光素子２００Ａに先端にレンズ１１１Ａ、２１１Ａが形成された導光路１１０Ａ、２１０Ａを形成する工程と、前記ハウジング４００Ａと導光路１１０Ａ、２１０Ａとの間に不透明樹脂５００Ａを充填する工程と、前記ハウジング４００Ａにケース６００Ａを取り付ける工程とを備えており、前記ハウジング４００Ａとケース６００Ａとの間に振動膜３００Ａの周囲に付属されたスペーサ３２０Ａを挟み込むようになっている。
【００４２】
まず、フレキシブル基板４１０Ａに発光素子１００Ａ及び受光素子２００Ａを実装する（図２（Ａ）参照）。
【００４３】
かかるフレキシブル基板４１０Ａをハウジング４００Ａの底部に設置し、金線等のボンディングワイヤ１２０Ａを用いて前記発光素子１００Ａを、ボンディングワイヤ２２０Ａを用いて受光素子２００Ａをハウジング４００Ａにインサートされているリードフレーム４２０Ａにそれぞれ接続する（図２（Ｂ）参照）。
【００４４】
さらに、前記発光素子１００Ａの前面に導光路１１０Ａを形成するとともに、前記受光素子２００Ａの前面に導光路２１０Ａを形成する。また、この導光路１１０Ａ、２１０Ａの形成の際に、各導光路１１０Ａ、２１０Ａの先端にレンズ１１１Ａ、２１１Ａを形成する（図２（Ｃ）参照）。
【００４５】
さらに、発光素子１００Ａの導光路１１０Ａ及び受光素子２００Ａの導光路２１０Ａと、ハウジング４００Ａとの間の隙間に不透明樹脂５００Ａを充填する（図２（Ｄ）参照）。この不透明樹脂５００Ａの充填に際しては、内側に向かって傾斜した各導光路１１０Ａ、２１０Ａの先端のレンズ１１１Ａ、２１１Ａが露出するように、ある一定の高さにまで充填する。すなわち、上述したように、発光素子１００Ａの導光路１１０Ａと受光素子２００Ａの導光路２１０Ａとの間の高さは、発光素子１００Ａの導光路１１０Ａ及び受光素子２００Ａの導光路２１０Ａの外側の高さより低くなっている。そして、不透明樹脂５００Ａの性質に応じた処理を行うことによって硬化させる。
【００４６】
次に、ハウジング４００Ａをケース６００Ａに嵌め込む。この際、図２（Ｅ）に示すように、ケース６００Ａの開放側を上向きにし、振動膜３００Ａのスペーサ３２０Ａがケース６００Ａの底面に接するようにして振動膜３００Ａをケース６００Ａにセットする（図２（Ｅ）の矢印参照）。そして、このケース６００Ａにハウジング４００Ａを嵌め込む。すると、振動膜３００Ａの周囲に付属されたスペーサ３２０Ａは、ケース６００Ａの底面とハウジング４００Ａの縁部との間に挟み込まれ、振動膜３００Ａの取り付けが完了する。なお、ケース６００Ａの開放側の端部をハウジング４００Ａの底面に沿って内側に折り曲げることによって、ハウジング４００Ａをケース６００Ａに確実に固定する。
【００４７】
上述した製造方法は、導光路１１０Ａ、２１０Ａを形成する際に、同時に導光路１１０Ａ、２１０Ａの先端にそれぞれレンズ１１１Ａ、２１１Ａを形成したが、導光路１１０Ａ、２１０Ａを形成した後に、レンズ１１１Ａ、２１１Ａを形成するようにしてもよい。かかる場合の製造方法は以下の通りである。
【００４８】
この場合、ベアチップ状の発光素子１００Ａ及び受光素子２００Ａをダイボンディングの方式によってフレキシブル基板４１０Ａに実装し、そのフレキシブル基板４１０Ａをハウジング４００Ａの底部に設置する。
【００４９】
次に、金線等のボンディングワイヤ１２０Ａ、２２０Ａを用いて前記発光素子１００Ａ及び受光素子２００Ａをハウジング４００Ａにインサートされているリードフレーム４２０Ａに接続する。
【００５０】
前記発光素子１００Ａの前面に導光路１１０Ａを形成するとともに、前記受光素子２００Ａの前面に導光路２１０Ａを形成する。さらに、発光素子１００Ａの導光路１１０Ａ及び受光素子２００Ａの導光路２１０Ａと、ハウジング４００Ａとの間の隙間に不透明樹脂５００Ａを充填する。その後、この導光路１１０Ａ、２１０Ａの先端に対してレーザを用いた研磨やエッチング等と微細加工技術を用いてレンズ１１１Ａ、２１１Ａとする。なお、不透明樹脂５００Ａの充填は導光路１１０Ａ、２１０Ａの先端をレンズ形状に微細加工した後で行ってもよい。
【００５１】
発光素子１００Ａの導光路１１０Ａ及び受光素子２００Ａの導光路２１０Ａと、ハウジング４００Ａとの間の隙間に不透明樹脂５００Ａを充填する点や、振動膜３００Ａのセットも含んだハウジング４００Ａのケース６００Ａへの嵌め込みは、上述した製造方法と同様である。
【００５２】
次に、本発明に係る他の光マイクロホンＢについて図３を参照しつつ説明する。
上述した光マイクロホンＡでは、各導光路１１０Ａ、２１０Ａが振動膜３００Ａに対して斜めになっていたが、この光マイクロホンＢでは、導光路１１０Ｂ、２１０Ｂ自身は、振動膜３００Ｂに対して垂直になっている。しかし、導光路１１０Ｂ、２１０Ｂの先端に設けられるレンズ１１１Ｂ、２１１Ｂのみが内側に向かって傾斜し、レンズ１１１Ｂ、２１１Ｂの光軸が振動膜３００Ｂの中央に設けられた反射面３１０Ｂに向かうようになっている。
【００５３】
かかる光マイクロホンＢの場合には、ベアチップ状の発光素子１００Ｂ及び受光素子２００Ｂが実装されるフレキシブル基板４１０Ｂは、その両端部を内向きに折曲する必要がない。従って、フレキシブル基板４１０Ｂをハウジング４００Ｂの底面にそのままの状態で設置すればよいというメリットがある。
【００５４】
この光マイクロホンＢの他の構成は、上述した光マイクロホンＡのものと同様である。
【００５５】
なお、上述した説明では、振動膜３００Ａ、３００Ｂは、樹脂フィルムの内面の中央に、反射面３１０Ａ、３１０ＢとしてＡｌ等を蒸着したものであるとしたが、反射面３１０Ａ、３１０Ｂは振動膜３００Ａ、３００Ｂの内面の全面に形成してもよい。また、振動膜３００Ａ、３００Ｂ自身をＮｉやＴｉ等の光を反射する金属薄膜とすることも可能である。
【００５６】
また、上述した説明では、発光素子１００Ａ、１００Ｂを発光ダイオードとしたが、レーザダイオードや面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）としてもよい。また、受光素子２００Ａ、２００Ｂには、フォトトランジスタも使用することが可能である。
【００５７】
さらに、上述した説明では、音をピックアップする光マイクロホンとして説明したが、振動膜の変位に伴う光信号を読み取るセンサ、例えば圧力センサとして使用することも可能である。
【００５８】
また、上述した説明では、ケース６００Ａは、Ａｌ等の金属からなる円筒形状のものであるとしたが、樹脂であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係る第１の光マイクロホンの概略的断面図である。
【図２】本発明に係る第１の光マイクロホンの製造工程を示す説明図である。
【図３】本発明に係る第２の光マイクロホンの概略的断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１００Ａ    発光素子
２００Ａ    受光素子
３００Ａ    振動膜
３１０Ａ    反射面
４００Ａ    ハウジング
５００Ａ    不透明樹脂
６００Ａ    ケース
【図１】
2005045720.tif 000003
【図２】
2005045720.tif 000004
【図３】
2005045720.tif 000005