(57)【要約】【課題】  角度アライメントを行なう際に、拡大用光学系を動かさないようにすることによって、角度アライメント後における光軸の変動が実質的に発生しないようにする。【解決手段】  被検レンズ１の角度アライメントを行なう際に、拡大光学系６を迂回する光路を取らせるために、４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄからなる光路迂回用光反射ユニット１１を角度検出位置に移動させ、被検レンズ１の平面部１ｂでアライメント光を反射させて、集光レンズ７ｂを介して固体撮像素子７ａに点像を結像させ、傾き調整手段２により角度調整を行う。次いで、平面内位置アライメントを行なう際には、光路迂回用光反射ユニット１１を光路から退避させ、透過用光源手段８からのアライメント光を被検レンズ１のレンズ面１ａに入射し、その透過光は拡大光学系６を通過させる。【選択図】    図１
2005345364.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置台上に載置した被検レンズのスポット像を拡大光学系により拡大させて撮像手段で撮像することによりその測定を行なうに当って、前記被検レンズと前記拡大光学系との間のアライメントを行なうアライメント機構であって、
前記載置台は少なくとも傾き方向及びその光軸と直交する平面内の位置を調整可能なものであり、
前記載置台に載置された前記被検レンズの角度アライメント手段及び平面内位置アライメント手段を備え、
前記角度アライメント手段は少なくとも４面の反射面を有する光路迂回用光反射ユニットからなり、この光路迂回用光反射ユニットは、その両端に位置する反射面を前記拡大光学系を挟んだ前後に配置させて前記拡大光学系を迂回する光路を形成する角度検出位置と、前記拡大光学系を通る光路を形成する退避位置との間に移動可能な
構成としたことを特徴とする光学部品測定用アライメント機構。
【請求項２】
前記光路迂回用光反射ユニットは、４枚の反射ミラーを備えたものであり、この光路迂回用光反射ユニットは前記拡大光学系の光軸と直交する方向に移動可能な構成としたことを特徴とする請求項１記載の光学部品測定用アライメント機構。
【請求項３】
前記載置台は前記拡大光学系の光軸方向に移動可能な昇降手段を備える構成としたことを特徴とする請求項１記載の光学部品測定用アライメント機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＣＤやＤＶＤ等のピックアップレンズ等として用いられる光学部品の集光性能を測定する測定装置において、光学部品としての被検レンズとその測定手段との間をアライメントするための機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光学部品として、例えばＣＤ，ＤＶＤといった情報記録媒体については、近年益々記録情報の高密度化が図られるようになってきており、このために情報の読み書きを行なうためのピックアップ装置に装着されるピックアップレンズは情報記録面に対して極めて微小な光スポットとなるように集光させる必要がある。このために、このピックアップレンズにおける光スポットの強度分布を計測する装置が開発されている。その一例として、特許文献１に、光ピックアップ装置に用いられるピックアップレンズを被検レンズとして、この被検レンズにより集光されるスポット像を拡大光学系により拡大させて、ＣＣＤカメラに撮像することによって、その強度分布を測定する測定装置及び測定方法が提案されている。
【０００３】
この特許文献１においては、測定用の拡大光学系の一部を構成する低倍率及び高倍率の対物レンズとをレボルバに装着して、被検レンズが載置される支持ステージに対向するように配設して、この対物レンズの光路に結像レンズを配すると共に、光路を分岐させるハーフミラーが設けられる。そして、ハーフミラーにより分岐させた光路には、それぞれ測定用カメラとアライメント用カメラとが設けられている。被検レンズを支持ステージに載置して、この被検レンズから測定用カメラまでの光軸を一致させ、かつ被検レンズからのスポット光が測定用カメラにおける画角の中心に位置するようにアライメントを行なった上で、この被検レンズからのスポット光を測定用カメラにより拡大して撮影するようにしている。
【０００４】
ここで、アライメントは、光軸の傾きと、光軸と直交する面内での位置との調整を行なうことになる。光軸の傾きを検出するために、被検レンズにおけるレンズ面の外周に形成されている平坦な環状面（通常、この環状面は光ピックアップ装置として構成したときに、レンズホルダに装着される部位）にアライメント光を反射させて、この反射光をアライメントカメラにより撮影する。この光軸の傾きを検出する角度アライメントを正確に行なうために、アライメントカメラにはスポット像を結像させるようにしている。ただし、被検レンズの環状面に反射させることから、この被検レンズに入射されるアライメント光は平行光であり、かつその反射光も平行光とする必要がある。このように、アライメント光を被検レンズに入射及び反射させる際には、レボルバの位置を通過することになるので、レボルバには前述した２種類の対物レンズが装着されるだけでなく、透孔が形成される。そして、角度アライメントを行なう際には、その光路に透孔を配置して、平行光のままでレボルバを通過させるようにしている。
【０００５】
これに対して、光軸と直交する面内での位置調整、つまり平面内位置アライメントを行なう際には、測定用カメラを用い、被検レンズに光源からの光を透過させる。従って、被検レンズにより所定の位置に焦点を結ばせるようになし、レボルバに装着した対物レンズの焦点位置を被検レンズの焦点位置と一致させる。そして対物レンズから出射された光を結像レンズ及びリレーレンズを介して測定用カメラにスポット像として結像させる。従って、この平面内位置アライメントは対物レンズ、具体的には高倍率対物レンズを光路に臨ませることになるために、角度アライメントを行なった後にレボルバを所定角度回動させるように操作することになる。
【特許文献１】特開２００４−４５３２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前述した特許文献１のように、対物レンズをレボルバに装着して、この対物レンズを被検レンズからの光路に進退させるように構成した場合、このレボルバは、その透孔を光路に臨ませた状態から、対物レンズを光路に臨ませるように回動させるように変位させる。このときに、対物レンズの位置決め精度等の問題から、角度アライメント時から動かしたときに光軸のずれが生じる可能性がある。たとえ角度アライメント時に被検レンズの光軸を対物レンズから測定用カメラまでの光軸に対する傾きを一度正確に補正しても、レボルバを回動させることにより再び光軸が傾いたり、ずれたりする可能性がある。勿論、レボルバを高精度に組み立てることにより、角度アライメント後における光軸の変動をある程度は抑制できるが、被検レンズの測定精度をより向上させるために、被検レンズのスポット形状を極めて高い倍率で観察する場合には、レボルバの操作による光軸の変動の影響が無視し得ない程度のものとなってしまう。
【０００７】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、角度アライメントを行なう際に、拡大用光学系を動かさないようにすることによって、角度アライメント後における光軸の変動が実質的に発生しないようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述した目的を達成するために、本発明は、載置台上に載置した被検レンズのスポット像を拡大光学系により拡大させて撮像手段で撮像することによりその測定を行なうに当って、前記被検レンズと前記拡大光学系との間のアライメントを行なうアライメント機構であって、前記載置台は少なくとも傾き方向及びその光軸と直交する平面内の位置を調整可能なものであり、前記載置台に載置された前記被検レンズの角度アライメント手段及び平面内位置アライメント手段を備え、前記角度アライメント手段は少なくとも４面の反射面を有する光路迂回用光反射ユニットからなり、この光路迂回用光反射ユニットは、その両端に位置する反射面を前記拡大光学系を挟んだ前後に配置させて前記拡大光学系を迂回する光路を形成する角度検出位置と、前記拡大光学系を通る光路を形成する退避位置との間に移動可能な構成としたことをその特徴とするものである。
【０００９】
要するに、平面内位置アライメントの前段階で、角度アライメントを行なうが、アライメント時には拡大光学系から撮像手段までの各部材の位置関係を固定的に保持する。アライメント時には、平行光を必要とすることから、拡大光学系を介さないで被検レンズにアライメント光を導く際には、拡大光学系を迂回する光路を取るように設定する。このために光路迂回用光反射ユニットが用いられる。この光路迂回用光反射ユニットは、４つ以上で、偶数の反射面を有する構成とする。従って、４枚の反射ミラーで構成するのが最も望ましい。ただし、拡大光学系の構造や配置によっては、４枚以上の反射ミラーを用いることができる。そして、この光路迂回用光反射ユニットは拡大光学系の光軸と直交する方向に移動可能な構成とする。また、４つの反射面のうち、２面はプリズムで構成し、第１段反射面と最終段反射面を反射ミラーで構成することもできる。いずれにしろ、光路を迂回させるための各反射面の反射面は、光路に進退させる際に、相対角度等が変化しないように固定的に保持されていなければならない。
【００１０】
光路迂回用光反射ユニットは拡大光学系と被検レンズとの間に進退させて、角度検出位置と退避位置との間に変位させる。拡大光学系と被検レンズとの間に光路迂回用光反射ユニットが進入する際に、これら各部材が干渉しないように移動させるようにする。光路迂回用光反射ユニットを通る光は平行光であることから、被検レンズが載置される載置台を拡大光学系の光軸方向に移動可能な構成とすることにより、光路迂回用光反射ユニットの光路への進退時にこの光路迂回用光反射ユニットが被検レンズ及び拡大光学系等と干渉するおそれはない。
【発明の効果】
【００１１】
角度アライメントを行なう際に、光路迂回用光反射ユニットを拡大光学系を含む光路に臨ませることによって、アライメント時に拡大光学系等の部材を移動させる必要がなくなり、もって角度アライメント終了後に被検レンズとその測定手段との間における光軸の傾きやずれが生じることはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２に被検レンズの光スポットの強度分布を測定する装置におけるアライメント機構概略構成を示す。ここで、図１は角度アライメントを行なっている状態が示されており、また図２は平面内位置アライメントを行なっている状態が示されている。
【００１３】
図中において、１は光学部品としての被検レンズであり、被検レンズ１は曲面形状（球面若しくは非球面）となったレンズ面１ａと、このレンズ面１ａの周囲に形成した円環状の平面部１ｂとを有するものである。被検レンズ１は傾き調整手段２上に着脱可能に設置されるようになっている。この傾き調整手段２は、例えば圧電素子等からなるアクチュエータを有し、その上に設置された被検レンズ１を所望の方向に微小角度傾けることができる構成としている。この傾き調整手段２は載置台３上に設けられている。載置台３は被検レンズ１を支持するためのものであり、この被検レンズ１は、その平面部１ｂが傾き調整手段２に当接するようにして載置される。そして、このときにレンズ面１ａが位置する部位は透孔３ａとなっている。載置台３はＺ軸調整手段を構成する昇降ガイド４に沿って上下方向に向けて移動するようになっており、またこの昇降ガイド４は平面内位置調整手段５によって水平面内での直交２軸（Ｘ，Ｙ軸）方向に移動可能となっている。この平面位置内調整手段５はＸ軸テーブル５ＸとＹ軸テーブル５Ｙとから構成される。
【００１４】
６は例えば顕微鏡対物レンズ等からなる拡大光学系であって、この拡大光学系６は被検レンズ１のスポット像を、例えば２０００倍乃至それ以上の倍率となるように拡大できるようにしている。また、７は測定手段であり、この測定手段７は、固体撮像素子（ＣＣＤ）７ａと、集光レンズ７ｂとから構成され、拡大光学系６で拡大された被検レンズ１のスポット像を集光レンズ７ｂによって固体撮像素子７ａに集光させるようになっており、この固体撮像素子７ａ上に点像として結像されることになる。
【００１５】
８は透過用光源手段であって、透過用光源手段８は、光源としてのレーザダイオード８ａとコリメータレンズ８ｂ及び反射ミラー８ｃとから構成される。この透過用光源手段８は被検レンズ１の図中下方に配置されている。そして、レーザダイオード８ａからの光は、コリメータレンズ８ｂにより平行光束化されて、反射ミラー８ｃを経て載置台３に形成した透孔３ａから被検レンズ１のレンズ面１ａに向けてアライメント光として入射される。その結果、被検レンズ１のレンズ面１ａを透過した光は焦点位置Ｆにおいてスポット像として集光される。そして、この被検レンズ１の焦点位置Ｆに拡大光学系６の焦点位置となるように配置される。さらに、この拡大光学系６により拡大されたスポット像は測定手段７に導かれ、この測定手段７を構成する集光レンズ７ｂによって固体撮像素子７ａに点像として結像されることになる。ここで、透過用光源手段８からの光は平面内位置アライメントを行なう際と、測定時とに使用されるものである。
【００１６】
また、９は反射用光源手段であり、この反射用光源手段９はレーザダイオード９ａとコリメータレンズ９ｂとから構成され、光源としてのレーザダイオード９ａからの光はコリメータレンズ９ｂにより平行光束化されることによりアライメント光となる。このアライメント光は、ビームスプリッタ１０により拡大光学系６と測定手段７との間の位置でその間の光路に合流させるようにしている。従って、反射用光源手段９からの光は被検レンズ１に反射させて、この反射光の一部はビームスプリッタ１０を透過して測定手段７における集光レンズ７ｂを通過して固体撮像素子７ａに点像として結像される。
【００１７】
反射用光源手段９からのアライメント光は被検レンズ１において、平面部１ｂに照射されるものであり、この平面部１ｂからの反射光はビームスプリッタ１０を透過させる。そして、この透過光は測定手段７に取り込まれ、集光レンズ７ｂの作用により固体撮像素子７ａに点像として結像させる。この被検レンズ１の平面部１ｂからの反射光を固体撮像素子７ａに結像させるのは、被検レンズ１と測定手段７との間における角度アライメントを行なうためである。
【００１８】
被検レンズ１の光軸と測定手段７の光軸との間をアライメントするには、被検レンズ１の平面部１ｂに平行光を入射させて、その反射光の光路が入射光の光路と一致していなければならない。そして、角度アライメントを行なう際には、反射用光源手段９からの出射光及び被検レンズ１の平面部１ｂからの反射光は平行光束とする必要がある。つまり、反射用光源手段９からの出射光及び被検レンズ１の平面部１ｂからの反射光の光路に光路断面が変化する拡大光学系６を介在させてはならない。
【００１９】
以上のことから、光路迂回用光反射ユニット１１が用いられる。この光路迂回用光反射ユニット１１は、４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄから構成され、図３に示したように、概略コ字状に形成したケーシング１２内において、それぞれ所定の位置に正確に位置調整された状態で固定的に保持されている。これら４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄに光が入射されると、それぞれ光路を９０°曲折するようにして反射することになる。ケーシング１２には導光用開口１２ａ，１２ｂが上下に２箇所開設されており、反射用光源手段９におけるレーザダイオード９ａからの光はコリメータレンズ９ｂにより平行光束化されてアライメント光となる。このアライメント光はビームスプリッタ１０に反射して、導光用開口１２ａからケーシング１２内に導かれて、第１の反射ミラー１１ａに反射して、垂直方向から水平方向に光路が曲折され、また第２の反射ミラー１１ｂにより再び垂直方向の光路を取るようになり、さらに第３の反射ミラー１１ｃにより水平方向に光路が向けられた後に、第４の反射ミラー１１ｄによって光路は垂直方向に向けられて、導光用開口１２ｂから被検レンズ１に光が入射される。ここで、各反射ミラー１１ａ〜１１ｄは図示したものに限定されない。要するに、光路迂回用光反射ユニット１全体において、第１の反射ミラー１１ａへの入射光の光軸と、第４の反射ミラー１１ｄからの反射光の光軸とが一致するか、若しくは平行になるように各反射ミラー１１ａ〜１１ｄの位置が調整されておれば良い。
【００２０】
なお、この光路迂回用光反射ユニットは、少なくとも４面の反射面を有しておれば良く、例えば図４に示したように、プリズム２０を用い、このプリズム２０を構成する２つの面２０ａ，２０ｂを第２，第３の反射面として機能させ、これと第１の反射ミラー２１，第４の反射ミラー２２とにより光路迂回用光反射ユニット２３を構成することもできる。
【００２１】
以上の構成を有する光路迂回用光反射ユニット１１のケーシング１２は、リニアガイド１３により水平方向にガイドされるスライダ１４に装着されて、図３に矢印で示した水平方向に移動可能となっている。従って、この光路迂回用光反射ユニット１１は、図１に示したように、第１の反射ミラー１１ａと第４の反射ミラー１１ｄとが拡大光学系６を挟んだ上下に配置され、これら反射ミラー１１ａ，１１ｄが拡大光学系６の光軸と一致する角度検出位置と、図２に示したように、拡大光学系６から退避して、この拡大光学系６の光路に対して干渉しない退避位置との間に変位させることができるようになっている。
【００２２】
なお、これら４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄのうち、最終段を構成する第４の反射ミラー１１ｄは、そのサイズが他の反射ミラーより小さくなっている。これは、４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄを組み付けるに当って、基準となる１枚の反射ミラーを設定して、この基準となる反射ミラーに対して他の反射ミラーの位置を順次調整することによって、光路迂回用光反射ユニット１１の光路の引き回し調整を行なうようにする。従って、基準となる反射ミラーは他の反射ミラーよりサイズが小さいものを用いることができる。この場合、最もサイズの小さい反射ミラーを第４の反射ミラー１１ｄとすることによって、被検レンズ１と拡大光学系６との間に進入させる際に、被検レンズ１がそれと干渉しないように、載置台３を昇降ガイド４に沿って下降させるが、この下降ストロークを最小限に抑制できる。
【００２３】
本実施の形態は以上のように構成されるものであって、図１及び図２に示した載置台３に被検レンズ１を載置して、この被検レンズ１の集光位置での光スポットにおける強度分布を測定するためのものである。この測定を行なう際に、被検レンズ１の焦点位置Ｆにおける光スポットを拡大光学系６により拡大させて、測定用撮像手段（図示せず）により撮像して、その光の強度分布を検出する。従って、少なくとも被検レンズ１と拡大光学系６との間で正確にアライメントが取れていなければならない。このアライメントは、載置台３に載置されている被検レンズ１の位置を調整することにより行なわれる。そして、アライメントは被検レンズ１の拡大光学系６に対する角度アライメントと、光軸と直交する面内での平面内位置アライメントとからなり、先に角度アライメントを行なって、被検レンズ１と拡大光学系６との間で光軸の傾きをなくした後に平面内位置アライメントを行なうようにする。
【００２４】
ここで、拡大光学系６及び測定手段７を構成する固体撮像素子７ａ及び集光レンズ７ｂは、予め光軸が正確に一致するように組み立てられている。従って、これら拡大光学系６若しくは測定手段７を移動させない限り、相互の光軸に傾きが生じたり、ずれたりすることはない。
【００２５】
まず、角度アライメントを行なう方法について説明する。図１に示したように、リニアガイド１３によって光路迂回用光反射ユニット１１を角度検出位置に移動させる。ここで、角度検出位置では、光路迂回用光反射ユニット１１を構成する第１の反射ミラー１１ａと第４の反射ミラー１１ｄとが拡大光学系６の配設位置の前後において、この拡大光学系６の光軸と一致する位置に配置する。ここで、被検レンズ１を、その焦点位置Ｆを対物光学系６の焦点位置と一致させると、その間に光路迂回用光反射ユニット１１が進入できない場合には、昇降ガイド４に沿って載置台３を下降させて、その間に進入する光路迂回用光反射ユニット１１との干渉を防止する。
【００２６】
以上の状態で、反射用光源手段９における光源としてのレーザダイオード９ａを点灯させる。このレーザダイオード９ａからの光はコリメータレンズ９ｂにより平行光束化されてアライメント光となり、ビームスプリッタ１０に一部が反射して、光路迂回用光反射ユニット１１に光路が向けられる。このアライメント光は平行光束のままで光路迂回用光反射ユニット１１を構成する４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄに順次反射して、載置台３上に載置した被検レンズ１で反射される。ここで、角度アライメントを行なう際には、被検レンズ１のうち、レンズ面１ａからの反射ではなく、平面部１ｂからの反射光が利用される。即ち、平行光を平面部１ｂに反射させると、この平行光の入射角と反射角との角度ずれを検出することができ、かつこの角度ずれ以外の成分は実質的に含まれていない。従って、被検レンズ１の平面部１ｂからの反射光を平行光のまま４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄを通る戻り光としてビームスプリッタ１０を透過させる。このようにして透過した光は測定手段７を構成する集光レンズ７ｂにより集光されて、実質的に点像として固体撮像素子７ａに結像されることになる。
【００２７】
固体撮像素子７ａの受光面には所定の基準位置が設けられており、被検レンズ１と集光レンズ７ｂとの光軸が一致しておれば、固体撮像素子７ａには基準位置に点像が現れる。従って、点像が基準位置からずれていると、被検レンズ１の光軸が集光レンズ７ｂの光軸に対して傾いていることが検出される。そこで、載置台３における傾き調整手段２を作動させて、固体撮像素子７ａにおける点像の位置が基準位置と一致するように被検レンズ１の角度調整を行なう。これによって、被検レンズ１の光軸が集光レンズ７ｂの光軸に対する傾き調整、即ち角度アライメントが取れることになる。
【００２８】
ここで、角度アライメントを行なう際には、拡大光学系６を迂回させるために、光路迂回用光反射ユニット１１を角度検出位置に移動させるが、この光路迂回用光反射ユニット１１を移動させたときに、ケーシング１２が僅かに傾く等、位置ずれが生じるおそれがある。ただし、光路迂回用光反射ユニット１１のケーシング１２内においては４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄの相対位置関係は極めて厳格に調整されている。そして、これら４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄにより光路が入射時から繰り返しの反射により元の位置に戻るように曲折されるから、入射時の角度と出射時の角度との間で変化することはない。つまり、光路迂回用光反射ユニット１１の移動時における位置ずれは、４枚の反射ミラー１１ａ〜１１ｄでの反射の繰り返しにより吸収される。
【００２９】
以上のようにして、載置台３上に載置した被検レンズ１の光軸の角度は、測定手段７を構成する集光レンズ７ｂ及び固体撮像素子７ａに対して光軸の角度と正確に一致するようにに調整される。拡大光学系６と測定手段７との間は予め正確に位置調整された状態で組み立てられており、かつこれら拡大光学系６及び測定手段７は固定的に保持されている。従って、被検レンズ１の光軸の測定手段７に対する角度アライメントを行なうことによって、拡大光学系６との光軸に対しても一致した角度となる。
【００３０】
このようにして角度アライメントが行なわれた後に、光軸と直交する面内での位置を調整する平面内位置アライメントを行なう。この平面内位置アライメント時には、拡大光学系６が用いられる。そこで、まず図２に示したように、光路迂回用光反射ユニット１１を被検レンズ１の光路から退避させる。また、昇降ガイド４を作動させて、載置台３を上昇させて、この被検レンズ１の焦点位置Ｆが固定的に配置されている拡大光学系６の焦点位置と一致する位置に変位させる。そして、光源を反射用光源手段９側から透過用光源手段８に切り換えて、レーザダイオード８ａからの光をコリメータレンズ８ｂにより平行光束化させて、反射ミラー８ｃに反射させて、載置台３の透孔３ａを介して被検レンズ１のレンズ面１ａに入射させる。この入射された光は、レンズ面１ａの作用により焦点位置Ｆに焦点が結ばれてスポット光からなる平面内位置アライメント用のアライメント光となる。そして、このアライメント光は拡大光学系６により拡大されながらビームスプリッタ１０を透過して集光レンズ７ｂに向かうことになる。
【００３１】
このアライメント光は集光レンズ７ｂの作用により固体撮像素子７ａに点像を生じさせる。そして、固体撮像素子７ａには基準位置が形成されており、前述した点像がこの基準位置からずれていると、被検レンズ１の光軸と直交する方向の位置が拡大光学系６及び測定手段７に対して光軸と直交する面内でずれていることが検出される。即ち、前の段階で角度アライメントが行なわれていることから、固体撮像素子７ａ上での基準位置からのずれは平面内位置のずれを表している。従って、平面内位置調整手段５を構成するＸ軸テーブル５Ｘ，Ｙ軸テーブル５Ｙを適宜作動させて、点像が基準位置と一致するように調整する。これによって、平面内位置アライメントが行なわれ、被検レンズ１の光軸が拡大光学系６及び測定手段７と正確に一致することになる。
【００３２】
ここで、平面内位置アライメントをより厳格に行なうには、固体撮像素子７ａに結像される点像の直径をできるだけ小さくする必要がある。このためには、測定手段７を構成する集光レンズ７ｂを光軸方向に変位させて、点像をより小さく、かつシャープなものとする。
【００３３】
ところで、角度アライメントを行なった後、平面内位置アライメントを行なう際に、載置台３を上昇させることによって、また平面内位置アライメントの際に平面位置調整手段５を作動させることによって、被検レンズ１の光軸が僅かではあるが傾くことがある。しかしながら、被検レンズ１の焦点距離が短い場合には、その光軸が角度アライメントを行なった後に僅かに傾いたとしても、光スポットの強度分布を測定する上で、殆ど影響を与えることはない。一方、光スポットの強度分布を測定するに当って、例えばこの強度分布を三次元的に表示する場合には、その中心位置がずれると、つまり平面内位置アライメントが厳格に行なわれていないと、強度分布のプロファイルに影響を与えることになる。従って、特に被検レンズ１の光スポットを、例えば２０００倍乃至それ以上というように、拡大倍率を極端に大きくする場合に、平面内位置アライメントを正確に行なうことは極めて重要である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施の一形態を示す光学部品測定用アライメント機構の角度アライメントを行なっている状態を示す構成説明図である。
【図２】本発明の実施の一形態を示す光学部品測定用アライメント機構の平面内位置アライメントを行なっている状態を示す構成説明図である。
【図３】光路迂回用光反射ユニットの構成説明図である。
【図４】光路迂回用光反射ユニットの他の例を示す構成説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  被検レンズ      １ａ  レンズ面
１ｂ  平面部      ２  傾き調整手段
３  載置台      ３ａ  透孔
４  昇降ガイド      ５平面内位置調整手段
６  拡大光学系      ７  測定手段
７ａ  固体撮像素子      ７ｂ  集光レンズ
８  透過用光源手段      ９  反射用光源手段
１１，２３  光路迂回用光反射ユニット
１１ａ〜１１ｄ，２１，２２  反射ミラー
１２  ケーシング      １３  リニアガイド
１４  スライドブロック      ２０  プリズム
【図１】
2005345364.tif 000003
【図２】
2005345364.tif 000004
【図３】
2005345364.tif 000005
【図４】
2005345364.tif 000006