(57)【要約】【課題】漏れ電流を低減することが可能な固体電解コンデンサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】この固体電解コンデンサ１００は、有底筒状のケース１の内部に、コンデンサ素子２を収容しており、封止材３により、ケース１の開口部は封口されている。コンデンサ素子２は、陽極箔２１と陰極箔２２との間に、紙などからなる箔状のセパレータ２３をはさんで重ね合わせ、これをロール状に巻回した構成を有している。陽極箔２１は、アルミニウム箔などからなる基体２１ａの両面上に形成される、炭化チタンからなる陽極層２１ｂ、２１ｂと、酸化チタンからなる誘電体層２１ｃ、２１ｃと、ポリピロールなどからなる電解質層２１ｄ、２１ｄとから構成されている。陰極２２では、アルミニウムなどからなる箔状の基体２２ａの両面に、ポリピロールなどからなる電解質層２２ｄ、２２ｄが形成されている。【選択図】図３
2005294400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも表面が炭化チタンからなる陽極と、
前記陽極上に形成され、酸化チタンからなる誘電体層とを備える、固体電解コンデンサ。
【請求項２】
前記陽極中の炭素とチタンの原子数比（Ｃ／Ｔｉ）は、０．０５〜１の範囲である、請求項１に記載の固体電解コンデンサ。
【請求項３】
前記誘電体層の厚さは、４ｎｍ〜２０ｎｍの範囲である、請求項１または２に記載の固体電解コンデンサ。
【請求項４】
前記陽極は、金属箔からなる基体上に炭化チタンからなる陽極層が形成されている、請求項１〜３に記載の固体電解コンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、固体電解コンデンサおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、酸化アルミニウムに比べて誘電率が約５倍大きい酸化チタンからなる誘電体層を用いる固体電解コンデンサが知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。ここで、酸化チタンからなる誘電体層は、チタン金属板またはチタン粉末の焼結体からなる陽極を陽極酸化することによって形成される。
【特許文献１】特開平５−１２１２７５号公報
【特許文献２】特開平１１−３１２６２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のように陽極酸化によって酸化チタンからなる誘電体層を形成した従来の固体電解コンデンサにおいては、陽極酸化の過程で酸化チタンが結晶化し易く、これにより、誘電体層の絶縁性が低下し、陽極と陰極層との間の漏れ電流が大きくなるという問題点があった。
【０００４】
また、チタンはアルミニウムと比べると機械的な強度が大きいので、変形させにくく、アルミニウム箔を陽極として用いる従来の固体電解コンデンサのように、陽極を小さい曲率半径でスパイラル状に巻き取ることができないという不具合があった。これにより、固体電解コンデンサの容積当たりの陽極面積を十分大きくすることができないので、固体電解コンデンサの容量を大きくすることができないという問題点があった。
【０００５】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、
この発明の１つの目的は、陽極と陰極との間の漏れ電流を低減することが可能な固体電解コンデンサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面による固体電解コンデンサは、少なくとも表面が炭化チタンからなる陽極と、陽極上に形成され、酸化チタンからなる誘電体層とを備える。
【０００７】
この一の局面による固体電解コンデンサでは、上記のように、陽極の表面の炭化チタン中では酸素は拡散しにくいので、酸化チタンからなる誘電体層中の酸素がこの陽極の方に拡散することを抑制することができる。これにより、誘電体層中の酸素が減少しにくいので、誘電体層の厚さの減少を抑制することができる。その結果、誘電体層の絶縁性の低下を抑制することができるので、陽極と陰極との間の漏れ電流を低減することができる。なお、陽極全体が炭化チタンから構成されている必要はなく、炭化チタン以外の材料からなる基体の表面に炭化チタンからなる薄層が形成されていてもよい。
【０００８】
上記一の局面による固体電解コンデンサにおいて、好ましくは、陽極中の炭素（Ｃ）とチタン（Ｔｉ）の原子数比（Ｃ／Ｔｉ）は、０．０５〜１の範囲である。また、より好ましくは、導電体層中の炭素（Ｃ）とチタン（Ｔｉ）の原子数比（Ｃ／Ｔｉ）は、０．１〜０．７５の範囲である。このように構成すれば、誘電体層から陽極への酸素の拡散を十分抑制することができるので、誘電体層の絶縁性の低下を抑制することができ、容易に陽極と陰極との間の漏れ電流を低減することができる。
【０００９】
上記一の局面による固体電解コンデンサにおいて、好ましくは、誘電体層の厚さは、４ｎｍ〜２０ｎｍの範囲である。また、より好ましくは、誘電体層の厚さは、６ｎｍ〜１５ｎｍの範囲である。誘電体層の厚さが小さい場合、十分な絶縁性を確保することができず、また、誘電体層の厚さが大きい場合には、誘電体層形成のための陽極酸化時間が長くなり、陽極酸化を行うプロセス中に酸化チタンの結晶化が進行しやすいので、誘電体層の絶縁性が低下する。したがって、誘電体層の厚さを上記範囲とすることにより、誘電体層の絶縁性を十分大きくすることができる。
【００１０】
上記一の局面による固体電解コンデンサにおいて、好ましくは、陽極は、金属箔からなる基体上に炭化チタンからなる陽極層が形成されている。このように構成すれば、基体上の炭化チタンからなる陽極層を陽極酸化することにより、酸化チタンからなる誘電体層を容易に形成することができる。さらに、この陽極は、基体が金属箔から構成されているので、容易に変形させることができる。したがって、たとえば、同様に金属箔からなる陰極とこの陽極とをセパレータを間にはさんで重ね合わせ、これをロール状に巻き取ることができる。これにより、固体電解コンデンサにおける容積当たりの陽極面積を大きくすることができるので、容量を大きくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を実施の形態に基づいてさらに詳細に説明するが、本発明は下記実施の形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能なものである。
【００１２】
図１は、本発明の一実施形態による固体電解コンデンサの一部破断側面図である。また、図２は、本発明の一実施形態による固体電解コンデンサの内部のコンデンサ素子の一部展開斜視図である。図３は、本発明の一実施形態による固体電解コンデンサの陽極の断面図である。図４は、本発明の一実施形態による固体電解コンデンサの陰極の断面図である。図１〜図４を参照して、以下に、本発明の一実施形態による固体電解コンデンサの構造について説明する。
【００１３】
まず、本発明の一実施形態による固体電解コンデンサ１００では、図１に示すように、アルミニウムなどからなる有底筒状のケース１の内部に、コンデンサ素子２を収容している。ケース１の開口部には、ゴムやエポキシ樹脂などからなる封止材３が充填されており、これにより、ケース１の開口部は封口されている。また、コンデンサ素子２からは、封止材３を貫通して、リード線４、５がのびている。
【００１４】
図２を参照して、コンデンサ素子２は、陽極箔２１と陰極箔２２との間に、紙などからなる箔状のセパレータ２３をはさんで重ね合わせ、これをロール状に巻回した構成を有している。また、リード線４、５は、それぞれ、陽極箔２１および陰極箔２２に接続されている。
【００１５】
図３を参照して、陽極箔２１は、数１０μｍ〜数１００μｍの厚さを有するアルミニウム箔やアルミニウム合金箔などからなる基体２１ａの両面上に形成される炭化チタンからなる陽極層２１ｂ、２１ｂと、陽極層２１ｂ、２１ｂ上に形成される酸化チタンからなる誘電体層２１ｃ、２１ｃと、誘電体層２１ｃ、２１ｃ上に形成されるポリピロール、ポリチオフェンなどの導電性高分子、ＴＣＮＱ（テトラシアノキノジメタン）錯体などの有機半導体または二酸化マンガンなどからなる電解質層２１ｄ、２１ｄとから構成される。ここで、アルミニウム箔やアルミニウム合金箔は、本発明の「金属箔」の一例である。
【００１６】
また、図４を参照して、陰極箔２２では、数１０μｍ〜数１００μｍの厚さを有するアルミニウム箔やアルミニウム合金箔などからなる基体２２ａの両面上にポリピロール、ポリチオフェンなどの導電性高分子、ＴＣＮＱ（テトラシアノキノジメタン）錯体などの有機半導体および二酸化マンガンなどからなる電解質層２２ｄ、２２ｄが形成されている。
【００１７】
次に、本発明の一実施形態による固体電解コンデンサの製造方法について説明する。
【００１８】
まず、図３を参照して、真空中で、蒸着法、スパッタ法およびイオンプレーティング法などの方法により、アルミニウム箔などからなる基体２１ａの両面上に炭化チタンからなる陽極層２１ｂ、２１ｂを形成する。
【００１９】
次に、この陽極箔２１を水溶液中で陽極酸化することにより、陽極層２１ｂ、２１ｂ上に酸化チタンからなる誘電体層２１ｃ、２１ｃを形成する。
【００２０】
次に、各種重合法や熱分解などの方法により、誘電体層２１ｃ、２１ｃの表面上に、ポリピロールなどからなる電解質層２１ｄ、２１ｄを形成する。これにより、基体２１ａの両面上に陽極層２１ｂ、２１ｂと、誘電体層２１ｃ、２１ｃと、電解質層２１ｄ、２１ｄとがこの順に積層された陽極箔２１を形成する。
【００２１】
また、図４を参照して、各種重合法や熱分解などの方法により、アルミニウム箔などからなる基体２２ａの両面上に、ポリピロールなどからなる電解質層２２ｄ、２２ｄを形成する。これにより、基体２２ａの両面上に電解質層２２ｄ、２２ｄが形成された陰極箔２２が形成される。
【００２２】
次に、図２を参照して、陽極箔２１および陰極箔２２にリード線４および５を取り付けた後で、陰極箔２２の両面を紙などからなる箔状のセパレータ２３ではさみこみ、さらに、その上に陽極箔２１を重ね合わせ、これらをロール状に巻回する。これにより、コンデンサ素子２が形成される。
【００２３】
最後に、図１を参照して、このコンデンサ素子２をアルミニウムなどからなる有底筒状のケース１の内部に収容し、ケース１の開口部にゴムやエポキシ樹脂などからなる封止材３を充填することにより、ケース１の開口部を封口する。以上の方法により、本発明の一実施形態による固体電解コンデンサ１００が作製される。
【００２４】
本発明の一実施形態では、上記のように、基体２１ａの表面には炭化チタンからなる陽極層２１ｂ、２１ｂが形成されているので、酸化チタンからなる誘電体層２１ｃ、２１ｃ中の酸素が陽極層２１ｂ、２１ｂの方に拡散することを抑制することができる。これにより、誘電体層２１ｃ、２１ｃ中の酸素が減少しにくいので、誘電体層２１ｃ、２１ｃの厚さの減少を抑制することができる。その結果、誘電体層２１ｃ、２１ｃの絶縁性の低下を抑制することができるので、陽極箔２１と陰極箔２２との間の漏れ電流を低減することができる。
【００２５】
また、本発明の一実施形態では、上記のように、陽極箔２１では、金属箔からなる基体２１ａを用いているので、陽極箔２１は、容易に変形させることができる。たとえば、本実施形態のように、陽極箔２１と陰極箔２２との間にセパレータ２３をはさんで重ね合わせ、これをロール状に巻き取ることができるで、固体電解コンデンサにおける容積当たりの陽極面積を大きくすることができる。その結果、固体電解コンデンサの容量を大きくすることができる。
【００２６】
また、本発明の一実施形態では、上記のように、陽極箔２１と陰極箔２２とを構成する基体２１ａ、２２ａはアルミニウム箔やアルミニウム合金箔などの導電性材料から構成されているので、陽極箔２１および陰極箔２２を集電体として用いることができる。
【００２７】
また、本発明の一実施形態では、基体２１ａとして、金属箔からなる基体を用いているが、本発明はこれに限らず、板状の基体であってもよく、また多孔質焼結体からなる基体であってもよい。これらの基体は、一般に、変形させにくく、小さい曲率半径でスパイラル状に巻き取ることは困難であるので、これらの形状の基体を用いる場合には、コンデンサ素子としては、陽極と陰極とをセパレータを間にはさんで重ね合わせたり、陽極の表面の誘電体層上に、カーボンペーストや銀ペーストなどを塗布することにより形成した陰極層を直接形成したりすることができる。
【００２８】
また、本発明の一実施形態では、陽極箔２１において、誘電体層２１ｃ、２１ｃ上には電解質層２１ｄ、２１ｄが形成されているが、本発明はこれに限らず、電解質層２１ｄ、２１ｄを用いなくてもよい。
【００２９】
また、本発明の一実施形態では、陰極箔２２において、箔状の基体２２ａの両面上に電解質層２２ｄ、２２ｄが形成されているが、本発明はこれに限らず、電解質層２２ｄ、２２ｄを用いなくてもよい。
【実施例】
【００３０】
以下の実施例では、試験用電解コンデンサを作製し、上記実施形態に用いる陽極箔の評価を行った。
【００３１】
（実施例１）
図５は、本発明の実施例１による試験用電解コンデンサＡの構造図である。図５を参照して、以下に、本発明の実施例１の試験用電解コンデンサおよびその作製方法について説明する。
【００３２】
まず、約１００μｍの厚さを有するアルミニウム箔からなる基体３１ａの略表面全体に、スパッタ法により、約３０ｎｍの厚さを有する炭化チタン（ＴｉＣ０．５）からなる陽極層３１ｂを形成した。    することにより、陽極３１を形成した。ここで、アルミニウム箔は、本発明の「金属箔」の一例である。
【００３３】
次に、約６０℃に保持した約１重量％のアジピン酸アンモニウム水溶液中において、この基体３１ａを約５Ｖの定電圧で約２０分間陽極酸化を行い、炭化チタン（ＴｉＣ０．５）からなる陽極層３１ｂ上に、約１０ｎｍの厚さを有し、酸化チタンからなる誘電体層３１ｃを形成した。このようにして、アルミニウム箔からなる基体３１ａの表面上に炭化チタンからなる陽極層３１ｂと酸化チタンからなる誘電体層３１ｃとがこの順に積層された陽極箔３１を形成した。
【００３４】
次に、この陽極箔３１を空気中で、約３００℃、約３０分間熱処理を行った。
【００３５】
そして、この陽極箔３１をステンレス製のビーカー３２内の約６０℃に保持した約１重量％のアジピン酸水溶液３３中に浸漬させるとともに、陽極箔３１とビーカー３２とを接触しないように保持した。そして、このビーカー３２を陰極として用いることにより、実施例１の試験用電解コンデンサＡを作製した。
【００３６】
（比較例１）
比較例１では、実施例１の炭化チタン（ＴｉＣ０．５）からなる陽極層３１ｂに代えて、チタンからなる陽極層を形成する以外は、実施例１と同様に試験用電解コンデンサＸを作製した。すなわち、試験用電解コンデンサＸでは、アルミニウム箔からなる基体の略表面全体に、チタンからなる陽極層と陽極酸化により形成した酸化チタンからなる誘電体層とがこの順に形成されている。
【００３７】
（評価）
図６は、本発明の実施例１による試験用電解コンデンサＡで用いた陽極箔３１についてのＥＳＣＡ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ  ｆｏｒ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ａｎａｌｙｓｉｓ）による測定結果を示す図である。図６において、縦軸は陽極箔３１中の元素の含有量を示し、横軸はＥＳＣＡの測定におけるスパッタ時間を示す。スパッタ時間は、コンデンサの厚み方向の位置に対応し、スパッタ時間１分あたりのスパッタ深さは約１ｎｍとなっている。
【００３８】
図６に示すように、実施例１の試験用電解コンデンサＡの陽極箔３１では、酸素（Ｏ）の分布より、約１０ｎｍの厚さを有し、酸化チタンからなる誘電体層３１ｃが陽極箔３１の表面に形成されていることがわかった。また、図６において、誘電体層３１ｃの図中右側に位置する酸素（Ｏ）がほとんど存在せず、炭素（Ｃ）が存在している領域は、炭化チタンからなる陽極層３１ｂである。図６より、この炭化チタンからなる陽極層３１ｂ中の炭素（Ｃ）とチタン（Ｔｉ）との原子数比（Ｃ／Ｔｉ）は約０．５であることがわかった。
【００３９】
また、誘電体層３１ｃには炭素（Ｃ）も含まれており、誘電体層３１ｃ中の炭素（Ｃ）とチタン（Ｔｉ）との原子数比（Ｃ／Ｔｉ）は、約０．５であることがわかった。この誘電体層３１ｃ中の炭素（Ｃ）は、炭化チタンからなる陽極層３１ｂから炭素（Ｃ）が拡散してきたものと考えられる。また、誘電体層３１ｃから陽極層３１ｂに向かって、酸素（Ｏ）の濃度が減少していることがわかった。
【００４０】
同様に、比較例１の試験用電解コンデンサＸの陽極および誘電体層についてもＥＳＣＡによる測定を行った。その結果、比較例１の試験用電解コンデンサＸでは、陽極および誘電体層中には、チタンおよび酸素は含まれているが、炭素はほとんど認められないことが判明した。これより、比較例１の試験用電解コンデンサＸの陽極上のチタンからなる陽極層は炭素を含んでおらず、また、誘電体層中にも炭素は含まれていないことがわかった。
【００４１】
次に、実施例１および比較例１の各試験用電解コンデンサについて、図５に示すように、陽極箔３１およびビーカー３２に陽極酸化時の印加電圧の約１／２の電圧、すなわち、約２．５Ｖの定電圧を印加し、約２０秒後の漏れ電流を測定することで、実施例１の試験用電解コンデンサＡの陽極箔３１と陰極（ビーカー３２）との間の漏れ電流を測定した。これらの結果を表１に示す。なお、表１においては、実施例１および比較例１の各試験用電解コンデンサの陽極と陰極との間の漏れ電流の測定結果を実施例１の測定結果を１００として規格化し、規格化した漏れ電流の値を示している。
【００４２】
【表１】
2005294400.tif 000003
表１に示すように、比較例１の試験用電解コンデンサＸは、実施例１の試験用電解コンデンサＡの５倍以上の漏れ電流を生じていることがわかった。これにより、実施例１の試験用電解コンデンサＡでは、陽極箔３１中の炭化チタンからなる陽極層３１ｂにより、漏れ電流が低減されていることが判明した。
【００４３】
（実施例２）
実施例２においては、本発明の炭化チタンからなる陽極層の組成と、陽極箔と陰極との間の漏れ電流との相関について検証を行った。
【００４４】
ここで、実施例２においては、上記の実施例１の試験用電解コンデンサＡの作製において、陽極層形成時のスパッタ条件を変えることによって、陽極層中の炭素（Ｃ）とチタン（Ｔｉ）との原子数比（Ｃ／Ｔｉ）が約０．０３、約０．０５、約０．１、約０．２５、約０．５、約０．７５、約０．９、約１、約１．１である炭化チタン（ＴｉＣＸ）からなる陽極層を作製し、それ以外は、上記の実施例１の試験用電解コンデンサＡと同様に各試験用電解コンデンサＢ１〜Ｂ８をそれぞれ作製した。
【００４５】
（評価）
実施例２の試験用電解コンデンサＢ１〜Ｂ８について、実施例１と同様に、陽極箔のＥＳＣＡによる測定を行った。その結果、実施例２の試験用電解コンデンサＢ１〜Ｂ８では、実施例１の試験用電解コンデンサＡと同様に、陽極箔の表面には、酸化チタンからなる誘電体層が形成されていることがわかった。また、基体と誘電体層との界面には、炭化チタン（ＴｉＣＸ）からなる陽極層が形成されていることがわかった。また、この炭化チタンからなる陽極層中の炭素（Ｃ）とチタン（Ｔｉ）との原子数比（Ｃ／Ｔｉ）は、それぞれ、約０．０３、約０．０５、約０．１、約０．２５、約０．５、約０．７５、約０．９、約１、約１．１）であった。また、実施例１の試験用電解コンデンサＡと同様に、誘電体層中には、炭素が含まれているとともに、誘電体層から陽極層に向かって、酸素の濃度が減少していることがわかった。
【００４６】
次に、実施例１と同様に、実施例２の試験用電解コンデンサＢ１〜Ｂ８についても、陽極箔と陰極との間の漏れ電流を測定した。これらの結果を表２に示す。なお、表２においても、表１と同様に、実施例２の各試験用電解コンデンサの漏れ電流の測定結果を実施例１の試験用電解コンデンサＡの漏れ電流の測定結果を１００として規格化し、規格化した漏れ電流の値を示している。
【００４７】
【表２】
2005294400.tif 000004
表２に示すように、実施例３の試験用電解コンデンサＢ１〜Ｂ８では、何れも、比較例１よりも漏れ電流が小さいことがわかる。また、試験用電解コンデンサＢ１およびＢ８では漏れ電流が比較的大きいことがわかる。これより、陽極箔と陰極との間の漏れ電流の低減に対しては、炭化チタン（ＴｉＣＸ）からなる陽極層中の炭素（Ｃ）とチタン（Ｔｉ）との原子数比（Ｃ／Ｔｉ）としては、０．０５〜１の範囲が好ましく、さらに好ましくは、０．１〜０．７５の範囲であることが判明した。
【００４８】
（実施例３）
実施例３においては、本発明の誘電体層の厚みと陽極箔と陰極との間の漏れ電流との相関について検証を行った。
【００４９】
ここで、実施例３においては、上記の実施例１の試験用電解コンデンサＡの作製において、陽極酸化時の電圧を約１Ｖ、約２Ｖ、約３Ｖ、約７．５Ｖ、約１０Ｖ、約１２．５Ｖとそれぞれ変え、それ以外は、上記の実施例１の試験用電解コンデンサＡと同様に各試験用電解コンデンサＣ１〜Ｃ６をそれぞれ作製した。
【００５０】
（評価）
実施例３の試験用電解コンデンサＣ１〜Ｃ６について、実施例１と同様に、陽極箔のＥＳＣＡによる測定を行った。その結果、実施例３の試験用電解コンデンサＣ１〜Ｃ６では、実施例１の試験用電解コンデンサＡと同様に、陽極箔の表面には、酸化チタンからなる誘電体層が形成されていることがわかった。また、誘電体層の厚さは、それぞれ、約２ｎｍ、約４ｎｍ、約６ｎｍ、約１５ｎｍ、約２０ｎｍ、約２５ｎｍであった。また、基体と誘電体層との界面には、炭化チタン（ＴｉＣＸ）からなる陽極層が形成されており、この陽極層中の炭素（Ｃ）とチタン（Ｔｉ）の原子数比（Ｃ／Ｔｉ）は約０．５であった。また、実施例１の試験用電解コンデンサＡと同様に、誘電体層中には、炭素が含まれているとともに、誘電体層から陽極層に向かって、酸素の濃度が減少していることがわかった。
【００５１】
次に、実施例１と同様に、実施例３の試験用電解コンデンサＣ１〜Ｃ６についても、陽極箔と陰極との間に陽極酸化時の印加電圧の約１／２の電圧、すなわち、約０．５Ｖ、約１Ｖ、約３．８Ｖ、約５Ｖ、約６．３Ｖの定電圧をそれぞれ印加し、約２０秒後の漏れ電流を測定した。これらの結果を表３に示す。なお、表３においても、表１と同様に、実施例３の各試験用電解コンデンサの漏れ電流の測定結果を実施例１の試験用電解コンデンサＡの漏れ電流の測定結果を１００として規格化し、規格化した漏れ電流の値を示している。
【００５２】
【表３】
2005294400.tif 000005
表３に示すように、実施例３の試験用電解コンデンサＣ１〜Ｃ６では、何れも、比較例１よりも漏れ電流が小さいことがわかる。また、試験用電解コンデンサＣ１およびＣ６では漏れ電流が比較的大きいことがわかる。これより、誘電体層の厚みとしては、４ｎｍ〜２０ｎｍの範囲が好ましく、さらに好ましくは、６ｎｍ〜１５ｎｍの範囲であることが判明した。
【００５３】
以上の結果より、上記実施例１〜３で作製した陽極箔は、いずれも良好な特性を有しており、上記実施形態の固体電解コンデンサに用いることができることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の一実施形態による固体電解コンデンサの一部破断側面図である。
【図２】本発明の一実施形態による固体電解コンデンサの内部のコンデンサ素子の一部展開斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態による固体電解コンデンサの陽極の断面図である。
【図４】本発明の一実施形態による固体電解コンデンサの陰極の断面図である。
【図５】本発明の実施例１による試験用電解コンデンサの構造図である。
【図６】本発明の実施例１による固体電解コンデンサで用いた陽極および誘電体層についてのＥＳＣＡによる測定結果を示す図である。
【符号の説明】
【００５５】
１      ケース
２      コンデンサ素子
３      封止材
４、５  リード線
２１    陽極箔
２１ａ  基体
２１ｂ  陽極層
２１ｃ  誘電体層
２１ｄ  電解質層
２２    陰極箔
２２ａ  基体
２２ｄ  電解質層
２３    セパレータ
１００  固体電解コンデンサ
【図１】
2005294400.tif 000006
【図２】
2005294400.tif 000007
【図３】
2005294400.tif 000008
【図４】
2005294400.tif 000009
【図５】
2005294400.tif 000010
【図６】
2005294400.tif 000011