(57)【要約】      （修正有）【課題】基板を保持する一対の保持アームの間隔を中心位置を変えることなく調整可能とし、一対の保持アームを、基板を保持する保持位置と、保持位置から略９０度旋回した退避位置との間で旋回可能とした構造が簡単で小型化が可能な搬送装置を提供する。【解決手段】一対の保持アーム２５、２６は、ベース１０に搬送方向に移動可能に装架された一対のアーム支持体１５，１６に夫々旋回可能に支承され、各保持アーム２５、２６が搬送方向と略直角な水平方向に突出して基板を保持する保持位置と、保持位置から略９０度旋回する退避位置との間で旋回装置により旋回される。各アーム支持体１５、１６は、アーム支持体接離装置５０により搬送方向に互いに反対向きに等距離だけ連動して移動される。基板を保持した一対のアーム支持体１５、１６は、搬送移動装置により搬送方向に一体的に移動される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の下面を一対の保持アームで保持し、基板を水平状態で搬送する搬送装置において、
前記一対の保持アームが夫々旋回可能に支承されベースに搬送方向に移動可能に装架された一対のアーム支持体と、
前記一対の保持アームを、各保持アームが前記搬送方向と略直角な水平方向に突出して前記基板を保持する保持位置と、前記保持位置から略９０度旋回する退避位置との間で旋回させる旋回装置と、
各アーム支持体を前記搬送方向に互いに反対向きに等距離だけ連動して移動させるアーム支持体接離装置と、
一対のアーム支持体を前記搬送方向に一体的に移動させる搬送移動装置と、
を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記搬送方向に延在するガイドを前記ベース上に設け、
前記一対のアーム支持体を該ガイドに摺動可能に装架し、
スライドを前記一対のアーム支持体の間で前記ガイドに摺動可能に装架し、
前記アーム支持体接離装置により前記スライドと各アーム支持体とを連結し、
前記搬送移動装置は、前記スライドを搬送方向に移動させることにより前記一対のアーム支持体を前記アーム支持体接離装置を介して搬送方向に移動させることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記旋回装置は、各保持アームを各アーム支持体に水平面内で垂直軸線回りに旋回可能に支承し、
各保持アームを、各保持アームが搬送方向と略直角で水平方向に突出して基板を保持する保持位置と、各保持アームが搬送方向と平行になるまで互いに反対方向に開いた退避位置との間で、ゼネバ機構を介して旋回させる回動駆動装置を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項において、
前記各保持アームの上面に負圧装置に接続されて基板を吸着する吸着部材を複数個開口し、
各吸着部材を基板の大きさに応じて開閉する開閉弁を設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を装置間で搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ＬＣＤ用基板Ｓの下面を一対のロードアーム２６（背景技術及び発明の課題の項では、特許文献１に示され参照番号を付す。）で保持し、アーム２６上に水平状態で保持された基板Ｓをアーム２６上面に開口されて負圧装置に接続された孔３８に吸着して検査装置１０に搬入出する搬送装置１４が開示されている。搬送装置４０は、基台３２にＸテーブル３１がＸ方向に移動可能に装架され、Ｘテーブル３１上に回転体３０が回転駆動可能に装架され、回転体３０に昇降可能に装架された支持板２８上に一対のアーム２６が固定された連結部材３９がＹ方向移動可能に支持されている。検査装置１０は、互いに直角なＸ，Ｙ方向に直線移動可能で、垂直なθ軸線回りに回転可能な基板載置台４４上に載置された基板Ｓの電極パッドをプローブ針に接触させて電気的検査を行うものである。基板Ｓを収納するカセットＣがＸテーブル３１の移動方向に沿って載置されている。搬送装置４０は、基板Ｓを一対のアーム２６上に載置させて基板ＳをカセットＣと検査装置の基板載置台４４との間で搬送する。
【特許文献１】特開平８−２６４６１９号公報（第５，６頁、図３，４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１に記載された搬送装置では、ＬＣＤ用基板Ｓを一対のアーム２６に載置させて搬送するので、基板Ｓの撓み量を小さく抑えることができるが、一対のアーム２６の間隔を中心位置を変えることなく変更することができないので、大きさの異なる基板Ｓに応じてアーム２６の間隔を調整すると、一対のアーム２６間の中心位置が変わってしまい、この中心位置のズレだけ搬送装置の位置を補正しなければならなかった。
【０００４】
また、連結部材３９をＹ方向に移動させることにより一対のアーム２６を、アーム２６が検査装置１０に向かって突出する保持位置と、アーム２６が検査装置１０から後退する後退位置との間で進退移動させているので、装置が大型化する問題がある。
【０００５】
本発明はかかる従来の不具合を解消するためになされたもので、基板を保持する一対の保持アームの間隔を中心位置を変えることなく調整可能とし、一対の保持アームを基板を保持する保持位置と、保持位置から略９０度旋回した退避位置との間で旋回可能とした構造が簡単で小型化が可能な搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、請求項１に記載の発明の構成上の特徴は、基板の下面を一対の保持アームで保持し、基板を水平状態で搬送する搬送装置において、前記一対の保持アームが夫々旋回可能に支承されベースに搬送方向に移動可能に装架された一対のアーム支持体と、前記一対の保持アームを、各保持アームが前記搬送方向と略直角な水平方向に突出して前記基板を保持する保持位置と、前記保持位置から略９０度旋回する退避位置との間で旋回させる旋回装置と、各アーム支持体を前記搬送方向に互いに反対向きに等距離だけ連動して移動させるアーム支持体接離装置と、一対のアーム支持体を前記搬送方向に一体的に移動させる搬送移動装置とを備えたことである。
【０００７】
請求項２に記載の発明の構成上の特徴は、請求項１において、前記搬送方向に延在するガイドを前記ベース上に設け、前記一対のアーム支持体を該ガイドに摺動可能に装架し、スライドを前記一対のアーム支持体の間で前記ガイドに摺動可能に装架し、前記アーム支持体接離装置により前記スライドと各アーム支持体とを連結し、前記搬送移動装置は、前記スライドを搬送方向に移動させることにより前記一対のアーム支持体を前記アーム支持体接離装置を介して搬送方向に移動させることである。
【０００８】
請求項３に記載の発明の構成上の特徴は、前記旋回装置は、各保持アームを各アーム支持体に水平面内で垂直軸線回りに旋回可能に支承し、各保持アームを、各保持アームが搬送方向と略直角で水平方向に突出して基板を保持する保持位置と、各保持アームが搬送方向と平行になるまで互いに反対方向に開いた退避位置との間で、ゼネバ機構を介して旋回させる回動駆動装置を備えたことである。
【０００９】
請求項４に記載の発明の構成上の特徴は、請求項１乃至３のいずれか１項において、前記各保持アームの上面に負圧装置に接続されて基板を吸着する吸着部材を複数個開口し、各吸着部材を基板の大きさに応じて開閉する開閉弁を設けたことである。
【発明の効果】
【００１０】
上記のように構成した請求項１係る発明においては、保持アームが支承されたアーム支持体を、アーム支持体接離装置により互いに反対向きに連動して等距離だけ移動できるので、適切な間隔に調整した一対の保持アームにより基板を下面２箇所で撓み量を小さく抑制して保持することができる。また、搬送する基板が変わったとき、一対の保持アームの間隔を中心位置を変えることなく基板の大きさに応じて調整でき、基板を搬入出される装置の搬入位置、搬出位置を変更する必要がなく、段取り替えを容易に行うことができる。また、一対の保持アームを、保持アームが搬送方向と略直角で水平方向に突出して基板を保持する保持位置と、該保持位置から略９０度旋回した退避位置との間で旋回させることができる構造が簡単で小型化が可能な搬送装置を提供することができる。
【００１１】
上記のように構成した請求項２に係る発明においては、ベース上に搬送方向に延在されたガイドに一対のアーム支持体を装架し、各アーム支持体にアーム支持体接離装置により両側で連結されたスライドをガイドに装架し、スライドを搬送移動装置により移動させて一対のアーム支持体を搬送方向に移動させ、保持アームに保持された基板を搬送する。このように、一対のアーム支持体と、アーム支持体の間に配置されたスライドとを同一のガイドに摺動可能に装架したので、装置を簡素にして小型化し、コストを低減することができる。
【００１２】
上記のように構成した請求項３に係る発明においては、各保持アームを各アーム支持体に垂直軸線回りに旋回可能に支承し、各保持アームをゼネバ機構を介して旋回駆動するので、一対の保持アームを、各保持アームが搬送方向と略直角で水平方向に突出して基板を保持する保持位置と、搬送方向と平行になるまで互いに反対方向に開いた退避位置との間で、始動時及び停止時のショックを低減して高速で旋回することができる。
【００１３】
上記のように構成した請求項４に係る発明においては、基板は、負圧装置に接続されて各保持アームの上面に開口する複数の吸着部材により下面を吸着されて一対の保持アームに確実に保持される。小さい基板を搬送する場合、基板が対向しない吸着部材は開閉弁により閉止されるので、基板と対向しない吸着部材からエアが流入して負圧が低下することを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係る基板搬送装置を図面に基づいて説明する。図１において、１は液晶パネル（以下、基板という。）にチップ又はフィルムを装着して液晶表示装置を生産する生産ラインで、基板Ｐの端子をクリーニングするクリーニング装置２、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を基板Ｐに貼り付けるＡＣＦ張付け装置３、チップ又は回路を印刷したフィルム（ＦＰＣ）を搭載する搭載装置４、搭載されたチップ又はＦＰＣを押圧して基板Ｐに本圧着する圧着装置５から構成され、基板をクリーニング装置２から圧着装置５に順次搬送するために、隣接する装置に跨って基板搬送装置６が配置されている。各装置２乃至５は、基台７上にステージ８が夫々装架され、各ステージ８は互いに直角なＸ，Ｙ，Ｚ方向に直線移動されるとともに、垂直軸θ回りに回転割出しされるようになっている。基板搬送装置６からステージ８上に水平状態で搬入された基板Ｐは、ステージ８上面に開口され負圧装置に連通された吸着穴の負圧に吸引されステージ８に吸着される。各装置２乃至５のステージ８の上方には、作業部が夫々装備され、ステージ８に吸着されて所定位置に割出された基板Ｐに対し、端子のクリーニング、ＡＣＦの張付け等の各作業が行われる。
【００１５】
図１，３に示すように、装置２乃至５の前方正面側には、基板搬送装置６のベース１０が隣接する２台の装置に跨ってＸ方向に延在され、支持スタンド１１を介して床面に固定されている。ベース１０の上面には、ガイドレール１２がＸ方向に固定され、ガイドレール１２にスライド１３の下面に固定された摺動係合部１３ａが摺動可能に係合されている。スライド１３の後方端面に垂下された支持部１３ｂには、スライド１３をＸ方向に搬送移動させるリニアモータ１４の一対のリニアモータマグネットコイル１４ａがＸ軸方向に水平に固定され、ベース１０の下面には、リニアモータ１４の一対のリニアモータマグネット１４ｂが各リニアモータマグネットコイル１４ａに磁極面を夫々対向させてＸ方向に水平に固定されている。
【００１６】
図２，４に示すように、ガイドレール１２には、一対のアーム支持体１５，１６がスライド１３の両側に摺動可能に装架され、アーム支持体１５，１６にはＸ方向に延在するラック１７，１８が互いに対向して固定されている。ラック１７，１８はピニオン１９に噛合され、ピニオン１９はスライド１３に垂直軸線回りに回転可能に支承されている。アーム支持体１５，１６の間隔が基板Ｐの大きさに合わせて調整されると、スライド１３に設けられたクランプ装置２０が締結作動され、ラック１７，１８が夫々ピニオン１９に向かって締め付けられ、アーム支持体１５，１６の相対移動が規制される。アーム支持体１５，１６の間隔を示すために、スケール２１が後側のアーム支持体１５にＸ方向に延在して固定され、ポインタ２２がスケール２１に向かってスライド１３に取付けられている。
【００１７】
このように、スライド１３と各アーム支持体１５，１６との間に装着されピニオン１９、ラック１７，１８、クランプ装置２０等により、アーム支持体１５，１６を搬送方向であるＸ方向に互いに反対向きに等距離だけ連動して移動させるアーム支持体接離装置５０が構成されている。そして、リニアモータ１４、スライド１３、ピニオン１９、ラック１７，１８、クランプ装置２０等により、一対のアーム支持体１５，１６を搬送方向に一体的に移動させる搬送移動装置５１が構成され、搬送移動装置５１は、スライド１３をリニアモータ１４によって搬送方向に移動させることにより一対のアーム支持体１５，１６をアーム支持体接離装置５０を介して搬送方向に移動させる。
【００１８】
アーム支持体１５，１６には、旋回中心軸２３，２４が垂直に固定され、各旋回中心軸２３，２４には保持アーム２５，２６が、Ｘ方向と略直角で水平方向に突出して基板Ｐを保持する保持位置と、Ｘ方向と平行になるまで互いに反対方向に開いた退避位置との間で旋回するように旋回可能に支承されている。保持アーム２５，２６の旋回中心軸２３，２４に支承された基端部からは従動腕部２５ａ，２６ａが保持アーム２５，２６に対して直角に水平に突設されている。保持アーム２５，２６が保持位置に位置すると、従動腕部２５ａ，２６ａは外側に向かって互いに反対方向に突出し、従動腕部２５ａ，２６ａの下面に端面から基端部に向かって刻設された長溝２５ｂ，２６ｂがＸ方向に延在する。アーム支持体１５，１６に旋回中心軸２３，２４より前方で垂直に固定された支持軸２７，２８には、駆動アーム２９，３０が垂直軸線回りに回動可能に支承され、駆動アーム２９，３０の先端には、保持アーム２５，２６及び駆動アーム２９，３０がＸ方向と直角に後方に突出するとき、長溝２５ｂ，２６ｂの開口端部に嵌合するローラ３１，３２が自由回転可能に支承されている。駆動アーム２９，３０の前端部に形成されたセクタ歯車３３，３４は、可動体３５，３６にＸ方向に固定されたラック３７，３８に噛合され、可動体３５，３６はアーム支持体１５，１６にＸ方向に摺動可能に装架されてエアシリンダ３９，４０によりＸ方向に往復動される。
【００１９】
駆動アーム２９，３０、ローラ３１，３２、長溝２５ｂ，２６ｂ、従動腕部２５ａ，２５ｂ等によりゼネバ機構５２が構成されている。エアシリンダ３９，４０、ラック３７，３８、セクタ歯車３３，３４、支持軸２７，２８、ゼネバ機構５２等により、一対の保持アーム２５，２６を保持位置と退避位置との間でゼネバ機構５２を介して旋回させる回動駆動装置５３が構成されている。そして、一対の保持アーム２５，２６を、保持アーム２５，２６が搬送方向と略直角な水平方向に突出して基板Ｐを保持する保持位置と、保持位置から略９０度旋回する退避位置との間で旋回させる旋回装置５４は、各保持アーム２５，２６を各アーム支持体１５，１６に水平面内で垂直軸線回りに旋回可能に支承し、各保持アーム２５，２６を、各保持アームが搬送方向と略直角で水平方向に突出して基板Ｐを保持する保持位置と、各保持アームが搬送方向と平行になるまで互いに反対方向に開いた退避位置との間で、ゼネバ機構５２を介して旋回させる回動駆動装置５３を備えている。
【００２０】
なお、旋回装置５４は、保持アーム２５，２６の基端部に旋回中心軸２３，２４と同心に歯車を形成し、該歯車を支持軸２７，２８に支承した歯車と噛合させて連結するようにしてもよく、又は保持アーム２５，２６の基端部に形成した歯車をエアシリンダにより往復動されるラックで直接回動させるようにしてもよい。
【００２１】
図５に示すように、一対の保持アーム２５，２６には、複数の吸着パッド４１（吸着部材）が上面に開口して設けられ、各吸着パッド４１は保持アーム２５、２６に穿設された共通通路４２を通って負圧装置４３に接続されている。共通通路４２と各吸着パッド４１とを連通する各分岐路４４には、開閉弁４５が夫々設けられている。開閉弁４５の弁体４６は、分岐路４４と交差するように保持アーム２５，２６に回転可能に支承され、弁体４６の操作部４６ａが保持アーム２５，２６の外側面から側方に突出されている。操作部４６ａが回転され、弁体４６の分岐路４４と交差する部分に直径方向に貫通して穿設された弁穴４６ｂと分岐路４４とが連通状態になると、開閉弁４５が開かれて吸着パッド４１に負圧が供給され、不連通状態になると開閉弁４５が閉じられて吸着パッド４１が負圧装置４３から遮断される。
【００２２】
次に、本実施形態の作動を、基板Ｐをクリーニング装置２から搬出してＡＣＦ張付け装置３に搬入する場合を例にして説明する。基板搬送装置６のスライド１３及びスライド１３にラック１７，１８、ピニオン１９を介して連結されたアーム支持体１５，１６は、クリーニング装置２の搬出位置に対向する位置にリニアモータ１４により移動される。このとき保持アーム２５，２６は、Ｘ方向と平行になるまで互いに反対方向に開いた退避位置に位置されている。端子のクリーニングが終了すると、クリーニング装置２のステージ８は、ステージ８に吸着された基板Ｐが保持アーム２５、２６上面と干渉しない上昇位置までＺ方向に上昇され、次いでＸ、Ｙ方向に移動されて搬出位置に割出される。
【００２３】
ステージ８が搬出位置に停止されると、可動体３５，３６に固定されたラック３７，３８がエアシリンダ３９，４０により前進され、ラック３７，３８に噛合されたセクタ歯車３３，３４により駆動アーム２９，３０が回動され、ローラ３１，３２と長溝２５ｂ，２６ｂとの係合により保持アーム２５，２６は旋回中心軸２３，２４に支承されてＸ方向と略直角な保持位置に旋回される。駆動アーム２９，３０の回動は、ゼネバ機構５２を構成するローラ３１，３２と長溝２５ｂ，２６ｂとの係合を介して保持アーム２５，２６に伝達されるので、保持アーム２５，２６を始動時と停止時のショックを低減して高速で旋回することができる。保持アーム２５，２６が保持位置に旋回されると、ステージ８は基板Ｐ受け渡し高さ位置までＺ方向に下降し、その高さ位置に一時停止する。そして保持アーム２５，２６上面に開口する吸着パッド４１が負圧装置４３に連通され、基板Ｐが保持アーム２５，２６上に吸着される。保持アーム２５，２６上への吸着が完了すると、ステージ８上面に開口された吸着穴が大気に連通されて基板Ｐがアンクランプされる。このとき基板Ｐは、適切な間隔に調整された一対の保持アーム２５，２６により下面２箇所で保持されるので、基板Ｐの撓み量を小さく抑制することができる。また、基板Ｐと対向しない吸着パッド４１は、開閉弁４５により分岐路４４を閉鎖されて負圧装置４３との連通を事前に閉止されているので、基板Ｐと対向しない吸着パッド４１からのエア漏れにより負圧が低下することがない。基板Ｐをアンクランプすると、クリーニング装置２のステージ８は、保持アーム２５、２６下面と干渉しない下降位置までＺ方向に下降された後、クリーニング装置２の搬出位置から基板Ｐが搬出終了するまで待機する。
【００２４】
スライド１３及びスライド１３にラック１７，１８、ピニオン１９を介して連結されたアーム支持体１５，１６はＡＣＦ張付け装置３の搬入位置に対向する位置までリニアモータ１４により移動される。ＡＣＦ張付け装置３のステージ８は、下降位置までＺ方向に下降された状態でＸ，Ｙ方向に移動されて搬入位置に停止される。スライド１３及びアーム支持体１５，１６が搬入位置に停止していることを確認後、ステージ８は基板Ｐ受け渡し高さ位置までＺ方向に上昇し、その高さ位置に一時停止する。そしてステージ８上面に開口する吸着穴が負圧装置に連通されて基板Ｐがステージ８上に吸着保持され、保持アーム２５，２６上面に開口する吸着パッド４１が大気に連通されて基板Ｐが保持アーム２５，２６から解放される。搬入位置での基板Ｐの受け渡し作業が終了後、ＡＣＦ貼り付け装置３のステージ８は、保持アーム２５、２６上面に開口する吸着パッド４１と基板Ｐの下面と干渉しない位置まで基板Ｐ受け渡し高さ位置よりＺ方向に上昇する。その後ラック３７，３８がエアシリンダ３９，４０により後退され、ラック３７，３８、セクタ歯車３３，３４を介して駆動アーム２９，３０が逆転され、ローラ３１，３２と長溝２５ｂ，２６ｂとの係合により保持アーム２５，２６はＸ方向と平行になるまで互いに反対方向に開いた退避位置に旋回される。
【００２５】
保持アーム２５，２６が退避位置に旋回されると、ＡＣＦ張付け装置３のステージ８は作動位置に移動され、スライド１３及びスライド１３にラック１７，１８、ピニオン１９を介して連結されたアーム支持体１５，１６はクリーニング装置２の搬出位置に対向する位置までリニアモータ１４により移動され、クリーニング装置２の作動が終了するまで待機する。このとき、一対の保持アーム２５，２６は、Ｘ方向と平行になるまで互いに反対方向に開いた退避位置に旋回されているので、クリーニング装置２のステージ８と干渉することがない。これにより、クリーニング装置２などのステージ８のＹ方向のストロークを保持アーム２５，２６との干渉を避けるために長くする必要がなくなり、各装置２乃至５を小型化することができる。
【００２６】
搬送する基板Ｐの大きさが変わった場合、クランプ装置２０を弛めてラック１７，１８のピニオン１９に向かう締付けを解除し、アーム支持体１５，１６の一方を移動させて一対の保持アーム２５，２６の間隔を基板Ｐの長さに合わせて撓み量が小さくなるように適切に調整する。このとき、アーム支持体１５，１６はラック１７，１８のピニオン１９により連動されて搬送方向に互いに反対向きに等距離だけ移動され、一対の保持アーム２５，２６間の中心位置が変動しないので、基板Ｐの大きさが変わったとき、各装置２乃至５の搬入位置、搬出位置を変更する必要がなく、段取り替えが容易である。保持アーム２５，２６の間隔調整が終了すると、クランプ装置２０を締結してラック１７，１８をピニオン１９に向かって締め付け、アーム支持体１５，１６の相対移動を規制する。
【００２７】
上記実施形態では、アーム支持体接離装置５０において、スライド１３に支承されたピニオン１９とアーム支持体１５，１６に固定されたラック１７，１８とを噛合させてスライド１３とアーム支持体１５，１６とを連結しているが、スライド１３とアーム支持体１５，１６とをリンク機構により連結してアーム支持体１５，１６を搬送方向に互いに反対向きに等距離だけ連動して移動させるようにしてもよい。
【００２８】
また、上記実施形態では、各保持アームを各アーム支持体に垂直線回りに旋回可能に支承しているが、各保持アームをＸ方向に延在する水平軸線回りに旋回可能に各アーム支持体に支承し、一対の保持アームを、各保持アームが搬送方向と略直角で水平方向に突出する保持位置と、各保持アームがＹ方向と平行になるまで下方向に旋回した退避位置との間で、旋回させるようにしてもよい。
【００２９】
上記実施形態では、液晶パネルを搬送する場合について説明したが、エレクトロルミネッセンスパネル、プラズマディスプレイパネル等の搬送にも使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本実施形態に係る基板搬送装置を装備された液晶表示装置の生産ラインを示す図。
【図２】基板搬送装置の要部を上方から見た平面図。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿って見た図。
【図４】図３のＢ−Ｂ線に沿って見た図。
【図５】保持アームの吸着パッド部分を切断した拡大断面図。
【符号の説明】
【００３１】
１…液晶表示装置の生産ライン 、２…端子クリーニング装置、３…ＡＣＦ張付け措置、４…搭載装置、５…圧着装置、６…基板搬送装置、７…基台、８…ステージ、１０…ベース、１１…支持スタンド、１２…ガイドレール、１３…スライド、１４…リニアモータ、１５，１６…アーム支持体、１７，１８…ラック、１９…ピニオン、２０…クランプ装置、２１…スケール、２２…ポインタ、２３，２４…旋回中心軸、２５，２６…保持アーム、２５ａ，２６ａ…従動腕部、２５ｂ，２６ｂ…長溝、２７，２８…支持軸、２９，３０…駆動アーム、３１，３２…ローラ、３３，３４…セクタ歯車、３５，３６…可動体、３７，３８…ラック、３９，４０…エアシリンダ、４１…吸着パッド、４２…共通通路、４３…負圧装置、４４…分岐路、４５…開閉弁、４６…弁体、４６ａ…操作部、４６ｂ…弁穴、５０…アーム支持体接離装置、５１…搬送移動装置、５２…ゼネバ機構、５３…回動駆動装置、５４…旋回装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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