(57)【要約】【課題】  セラミック積層コンデンサー製造時に使用する、特に厚み（乾燥後）が２μｍ以下のグリーンシート成形用として、離型面が平坦でセラミックスラリーに対する塗工性および成形後のグリーンシートに対する剥離性が良好な離型フィルムを提供する。【解決手段】  ポリエステルフィルムの一方の面に、硬化型シリコ−ン樹脂を含有する離型層を有するフィルムであり、下記式（１）および（２）を同時に満足することを特徴とする薄膜グリーンシート成形用離型フィルム。  （ＣＡ）water≧１０５  …（１）  （ＣＡ）toluene≦２７  …（２）（上記式中、（ＣＡ）waterは離型層面の水滴接触角（度）、（ＣＡ）tolueneは離型層面のトルエン溶媒による接触角（度）を表す）【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリエステルフィルムの一方の面に、硬化型シリコ−ン樹脂を含有する離型層を有するフィルムであり、下記式（１）および（２）を同時に満足することを特徴とする薄膜グリーンシート成形用離型フィルム。
（ＣＡ）water≧１０５  …（１）
（ＣＡ）toluene≦２７  …（２）
（上記式中、（ＣＡ）waterは離型層面の水滴接触角（度）、（ＣＡ）tolueneは離型層面のトルエン溶媒による接触角（度）を表す）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は離型フィルムに関し、詳しくはセラミック積層コンデンサー製造時に使用する薄膜グリーンシート成形用として、特に厚み（乾燥後）が２μｍ以下のグリーンシート成形用として用いたときに、セラミックスラリーに対する塗工性および成形後のグリーンシートに対する剥離性が良好である離型フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ポリエステルフィルムを基材とする離型フィルムがセラミック積層コンデンサー、セラミック基板等のセラミック離型用に使用されている。近年、セラミック積層コンデンサーの小型化・大容量化が進むに伴い、グリーンシートの厚みも益々薄膜化する傾向にある。グリーンシートの更なる薄膜化に伴い、特に厚み（乾燥後）が２μｍ以下の薄膜グリーンシートを成形しようとした場合、グリーンシートの更なる薄膜化に対応するため、使用するセラミックスラリー自身の粘度をより低粘度化させ、かつ離型面上へのスラリー塗布量を増加させる手法等により、グリーンシートの膜厚調整を行う傾向にある。その結果、従来使用されている離型フィルムでは離型面のセラミックスラリーに対する濡れ性が不十分となり、セラミックスラリー塗工時にスラリーのはじきが発生しやすい場合がある。そのため、離型フィルムの離型面は、セラミックスラリーに対する濡れ性が良好であることがさらに必要とされる状況にある。
【０００３】
離型フィルムを構成する離型層の濡れ性を向上させるための具体的手法として、例えば、セルロース系樹脂、アルキッド系樹脂、アクリル系樹脂等の非シリコーン系樹脂成分を使用することが提案されているが、当該非シリコーン系樹脂成分はセラミックスラリーに対する濡れ性は向上する反面、往々にして成形後のグリーンシート剥離時に剥離困難になる場合がある。
【０００４】
特に厚み（乾燥後）が２μｍ以下の薄膜グリーンシート成形用として、セラミックスラリーに対する塗工性が良好であることおよび成形後のグリーンシートに対する剥離性が良好であるという、相反する特性を同時に満足することができる離型フィルムが必要とされている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３１８０７２号公報
【特許文献２】特開２００３−３１８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記実情に鑑みなされたものであって、その解決課題は、セラミック積層コンデンサー製造時に使用する、特に厚み（乾燥後）が２μｍ以下のグリーンシート成形用として、離型面が平坦でセラミックスラリーに対する塗工性および成形後のグリーンシートに対する剥離性が良好な離型フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは上記実状に鑑み、鋭意検討した結果、特定の構成からなる離型フィルムを用いれば、上述の課題を容易に解決できることを知見し、本発明を完成させるに至った。
【０００８】
すなわち、本発明の要旨は、ポリエステルフィルムの一方の面に、硬化型シリコ−ン樹脂を含有する離型層を有するフィルムであり、下記式（１）および（２）を同時に満足することを特徴とする薄膜グリーンシート成形用離型フィルムに存する。
（ＣＡ）water≧１０５  …（１）
（ＣＡ）toluene≦２７  …（２）
（上記式中、（ＣＡ）waterは離型層面の水滴接触角（度）、（ＣＡ）tolueneは離型層面のトルエン溶媒による接触角（度）を表す）
【０００９】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
本発明における離型フィルムを構成するポリエステルフィルムは単層構成であっても積層構成（例えば、Ａ／Ｂ、Ａ／Ｂ／Ａ、Ａ／Ｂ／Ｃ、Ａ／Ｂ／Ａ´等）であってもよく、２層、３層構成以外にも、本発明の要旨を越えない限り、４層またはそれ以上の多層であってもよく、特に限定される訳ではない。
【００１０】
さらにポリエステルフィルムに使用するポリエステルはホモポリエステルであっても共重合ポリエステルであってもよい。ホモポリエステルからなる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，４−シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート（ＰＥＮ）等が例示される。一方、共重合ポリエステルの場合は、３０モル％以下の第三成分を含有した共重合体であることが好ましい。共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸セバシン酸、オキシカルボン酸（例えば、Ｐ−オキシ安息香酸など）等の一種または二種以上が挙げられ、グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等の一種または二種以上が挙げられる。
【００１１】
何れにしても本発明でいうポリエステルとは、通常８０モル％以上、好ましくは９０モル％以上がエチレンテレフタレート単位であるポリエチレンテレフタレート、エチレン−２，６−ナフタレート単位であるポリエチレン−２，６−ナフタレート等であるポリエステルを指す。
【００１２】
本発明におけるポリエステル層中には、易滑性付与を主たる目的として粒子を配合することが好ましい。配合する粒子の種類は、易滑性付与可能な粒子であれば特に限定されるものではなく、具体例としては、例えば、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム、酸化チタン等の粒子が挙げられる。また、特公昭５９−５２１６号公報、特開昭５９−２１７７５５号公報等に記載されているような耐熱性有機粒子を用いてもよい。この他の耐熱性有機粒子の例として、熱硬化性尿素樹脂、熱硬化性フェノール樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂等が挙げられる。さらにポリエステル製造工程中、触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる。
【００１３】
一方、使用する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等の何れを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は、必要に応じて２種類以上を併用してもよい。
【００１４】
使用する粒子の平均粒径は０．１〜５μｍを満足するのが好ましく、さらに好ましくは０．５〜３μｍの範囲である。平均粒径が０．１μｍ未満の場合には、粒子が凝集しやすく、分散性が不十分となることがあり、一方、５μｍを超える場合には、フィルムの表面粗度が粗くなりすぎて、後工程において離型層を設ける場合等に不具合を生じることがある。
【００１５】
さらにポリエステル中の粒子含有量は、０．０１〜５重量％を満足するのが好ましく、さらに好ましくは０．０１〜３重量％の範囲である。粒子含有量が０．０１重量％未満の場合には、フィルムの易滑性が不十分になる場合があり、一方、５重量％を超えて添加する場合にはフィルム表面の平滑性が不十分になる場合がある。ポリエステル中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、ポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後、重縮合反応を進めてもよい。また、ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行われる。
【００１６】
本発明の離型フィルムを構成するポリエステルフィルムの厚みは特に限定されるものではないが、通常９〜３８μｍ、好ましくは９〜３０μｍ、さらに好ましくは９〜２６μｍの範囲である。
【００１７】
次に本発明におけるポリエステルフィルムの製造例について具体的に説明するが、本発明は、以下の製造例に何ら限定されるものではない。
まず、先に述べたポリエステル原料を使用し、押出し機を用いて、ダイより押し出された溶融シートを用いて冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高めることが好ましく、静電印加密着法および／または液体塗布密着法が好ましく採用される。次に得られた未延伸シートは二軸方向に延伸される。その場合、まず、前記の未延伸シートを一方向にロールまたはテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常７０〜１２０℃、好ましくは８０〜１１０℃であり、延伸倍率は通常２．５〜７倍、好ましくは３．０〜６倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する延伸温度は通常１３０〜１７０℃であり、延伸倍率は通常３．０〜７倍、好ましくは３．５〜６倍である。そして、引き続き１８０〜２７０℃の温度で緊張下または３０％以内の弛緩下で熱処理を行い、二軸配向フィルムを得る。
【００１８】
上記の延伸においては、一方向の延伸を２段階以上で行う方法を採用すること
もできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うのが好ましい。また、同時二軸延伸を行うことも可能である。同時二軸延伸法としては前記の未延伸シートを通常７０〜１２０℃、好ましくは８０〜１１０℃で温度コントロールされた状態で縦方向（あるいは機械方向）および横方向（あるいは幅方向）に同時に延伸し配向させる方法で、延伸倍率としては、面積倍率で４〜５０倍、好ましくは７〜３５倍、さらに好ましくは１０〜２５倍である。そして、引き続き、１７０〜２５０℃の温度で緊張下または３０％以内の弛緩下で熱処理を行い、延伸配向フィルムを得る。
【００１９】
上述の延伸方式を使用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式、リニアー駆動式等、従来から公知の延伸方式を採用することができる。同時二軸延伸法を採用する場合における付随的効果としてフィルム表面キズの低減効果が挙げられる。
【００２０】
また、上述のポリエステルフィルムの延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆる塗布延伸法（インラインコーティング）を施すことができる。それは以下に限定するものではないが、例えば、逐次二軸延伸においては特に１段目の延伸が終了して、２段目の延伸前にコーティング処理を施すことができる。上述の塗布延伸法にてポリエステルフィルム上に塗布層が設けられる場合には、延伸と同時に塗布が可能になると共に塗布層の厚みを延伸倍率に応じて薄くすることができ、ポリエステルフィルムとして好適なフィルムを製造できる。
【００２１】
次に本発明フィルムの離型層の形成について説明する。
本発明の離型フィルムを構成する離型層は上述の塗布延伸法（インラインコーティング）によりポリエステルフィルム上に設けられてもよいが、一旦製造したフィルム上に系外で塗布する、いわゆるオフラインコーティングを採用してもよく、むしろその方が好ましい。
【００２２】
本発明の離型フィルムを構成する離型層は、貼り合わせる相手方グリーンシートに対する離型性を良好とするために硬化型シリコーン樹脂を含有する必要がある。用いる樹脂は、硬化型シリコーン樹脂を主成分とするタイプでもよいし、本発明の要旨を損なわない範囲において、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂等の有機樹脂とのグラフト重合等による変性シリコーンタイプ等を使用してもよい。
【００２３】
硬化型シリコーン樹脂の種類としては付加型・縮合型・紫外線硬化型・電子線硬化型・無溶剤型等、何れの硬化反応タイプでも用いることができる。また、離型層の剥離性等を調整するために剥離コントロール剤を併用してもよい。
【００２４】
本発明の離型フィルムを構成する離型層に関して、離型層中に含有する硬化型シリコーン樹脂の含有量は通常７０重量％以上、好ましくは９０重量％以上、さらに好ましくは９５重量％以上である。離型層中における硬化型シリコーン樹脂の含有量が７０重量％未満の場合、成形するグリーンシートに対する離型性が不十分となる場合がある。
【００２５】
本発明における離型フィルムを構成する離型層の塗布量（Ｓｉ）（乾燥後）は０．００５〜２ｇ／ｍ２、さらには０．００５〜１ｇ／ｍ２、特に０．００５〜０．５ｇ／ｍ２の範囲が好ましい。離型層の塗布量（Ｓｉ）（乾燥後）が０．００５ｇ／ｍ２未満の場合、塗工性の面より安定性に欠ける傾向があり、均一な塗膜を得るのが困難な場合がある。一方、塗布量（Ｓｉ）が２ｇ／ｍ２を超える場合、離型層自体の塗膜密着性、硬化性等が低下する場合がある。
【００２６】
本発明において、ポリエステルフィルムに離型層を設ける方法として、リバースグラビアコート、バーコート、ダイコート等、従来公知の塗工方式を用いることができる。塗工方式に関しては「コーティング方式」槇書店 原崎勇次著 １９７９年発行に記載例がある。
【００２７】
本発明において、ポリエステルフィルム上に離型層を形成する際の硬化条件に関しては特に限定されるわけではなく、例えば、オフラインコートにより離型層を設ける場合、通常、８０〜２００℃で３〜４０秒間、好ましくは１００〜１８０℃で３〜４０秒間を目安として熱処理を行うのが良い。
【００２８】
また、必要に応じて熱処理と紫外線照射等の活性エネルギー線照射とを併用してもよい。尚、活性エネルギー線照射による硬化のためのエネルギー源としては、従来から公知の装置，エネルギー源を用いることができる。具体例として、殺菌灯、紫外線用蛍光灯、カーボンアーク、キセノンランプ、複写用高圧水銀灯、中圧または高圧水銀灯、超高圧水銀灯、無電極ランプ、メタルハライドランプ、自然光等を光源とする紫外線、または走査型、カーテン型電子線加速器による電子線等を使用する方法が挙げられる。また、活性エネルギー線照射による硬化においては反応効率化の点で窒素ガス等の不活性ガス雰囲気下で照射することも可能である。
【００２９】
本発明の離型フィルムを構成するポリエステルフィルムには予めコロナ処理、プラズマ処理等の表面処理を施してもよい。さらに本発明の離型フィルムを構成するポリエステルフィルムには予め接着層、帯電防止層等の塗布層が設けられていてもよい。
【００３０】
本発明の離型フィルムにおいては、成形後のグリーンシートに対する剥離性を良好とするために、離型面の水滴接触角（ＣＡ）waterが１０５度以上である必要があり、好ましくは１０７度以上である。当該範囲を外れる場合、所望する剥離性を得るのが困難になる。なお、セラミックスラリーに対する塗工性等を配慮して、１１０度を上限とするのが好ましい。
さらに、本発明の離型フィルムについて、離型面とトルエン溶媒との接触角（ＣＡ）tolueneが２７度以下である必要があり、好ましくは２５度以下である。当該範囲を外れる場合、離型フィルムを構成する離型層表面のトルエン溶媒に対する濡れ性が不十分となり、セラミックスラリー塗工時にスラリーがはじく等の不具合を生じるようになる。
【００３１】
本発明における離型フィルムが接触角の条件を同時に満足するための具体的手法として、例えば、離型層中において、Ｔ単位（ＳｉＯ３／２）を有する分岐状硬化型シリコーン樹脂を１０重量％〜９０重量％の範囲で含有する手法等が例示される。さらに分岐状硬化型シリコーン樹脂の具体例として、例えば、特許文献２に記載例がある。
【００３２】
本発明における離型フィルムの離型層表面の最大粗さ（Ｐ−Ｖ（Ｓｉ））は、８００ｎｍ以下、さらには４００ｎｍ以下が好ましい。Ｐ−Ｖ（Ｓｉ）の下限に関しては、離型フィルムの搬送性、作業性等を考慮して、５０ｎｍとするのが好ましい。当該範囲を外れる場合、離型フィルムの平坦性が不十分となる傾向があり、平坦なグリーンシートを成形するのが困難になる場合がある。
【００３３】
本発明の離型フィルムは、成形後のグリーンシートに対する剥離性を良好とするために、離型層表面と樹脂層との剥離力（Ｆ（Ｂ））が８０ｍＮ／ｃｍ以下、さらには４０ｍＮ／ｃｍ以下であることが好ましい。当該範囲を外れる場合、離型フィルムの剥離力が重くなる傾向があり、剥離困難になる場合がある。なお、Ｆ（Ｂ）の下限に関しては、本発明の用途上、本来剥離する必要のない場面において、グリーンシートが離型層表面から容易に剥離する等の不具合を生じないようにするため、１０ｍＮ／ｃｍを下限とするのが好ましい。
【００３４】
本発明の離型フィルムは、離型層表面とアクリル系粘着テープとの剥離力が１０〜６０ｍＮ／ｃｍ、さらには１０〜４０ｍＮ／ｃｍの範囲であることが好ましい。
【００３５】
さらに本発明における離型フィルムは成形するグリーンシートに対するシリコーン成分の移行を抑制するために残留接着率で９０％以上、さらには９８％以上が好ましい。残留接着率が９０％未満の場合、成形するグリーンシート同士を使用して積層する際にシート間接着力が低下する等の不具合を生じる場合がある。
【発明の効果】
【００３６】
本発明の離型フィルムは、セラミック積層コンデンサー製造時に使用する、特に厚み（乾燥後）が２μｍ以下の薄膜グリーンシート成形用として用いたとき、セラミックスラリ−に対する塗工性および成形後のグリーンシート剥離性が良好な離型フィルムを提供することができ、その工業的価値は高い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、本発明で用いた測定法は次のとおりである。
【００３８】
（１）ポリエステルの固有粘度の測定
ポリエステルに非相溶な他のポリマー成分および顔料を除去したポリエステル１ｇを精秤し、フェノール／テトラクロロエタン＝５０／５０（重量比）の混合溶媒１００ｍｌを加えて溶解させ、３０℃で測定した。
（２）平均粒径（ｄ５０：μｍ）の測定
遠心沈降式粒度分布測定装置（（株）島津製作所（製）ＳＡ−ＣＰ３型）を使用して測定した等価球形分布における積算（重量基準）５０％の値を平均粒径とした。
【００３９】
（３）離型フィルムにおける剥離力（Ｆ）の評価
試料フィルムの離型層に両面粘着テープ（日東電工製「Ｎｏ．５０２」）の片面を貼り付けた後、５０ｍｍ×３００ｍｍのサイズにカットし、室温にて１時間放置後の剥離力を測定する。剥離力は引張試験機（（株）インテスコ製「インテスコモデル２００１型」）を使用し、引張速度３００ｍｍ／分の条件下、１８０°剥離を行った。
【００４０】
（４）離型層の塗布量（Ｓｉ）の測定
蛍光Ｘ線測定装置（（株）島津製作所（製）型式「ＸＲＦ−１５００」）を用いてＦＰ（Fundamental Parameter Method）法により、下記測定条件下、試料フィルムの離型層が設けられた面および離型層がない面の珪素元素量を測定し、その差をもって、離型層中の珪素元素量とした。次に得られた珪素元素量を用いて、−ＳｉＯ（ＣＨ３）２のユニットとしての  塗布量（Ｓｉ）（ｇ／ｍ２）を算出した。
【００４１】
《測定条件》
分光結晶：ＰＥＴ（ペンタエリスリトール）
２θ：１０８．８８°
管電流：９５ｍＡ
管電圧：４０ｋｖ
【００４２】
（５）離型フィルムの離型面の最大粗さ（Ｐ−Ｖ）評価
直接位相検出干渉法、いわゆるマイケルソンの干渉を利用した２光束干渉法を用いた、非接触表面計測システム「マイクロマップ社製Ｍｉｃｒｏｍａｐ５１２）」により、試料フィルムの離型面の最大粗さ（Ｐ−Ｖ）を計測した。なお、測定波長は５５４ｎｍとし、対物レンズは２０倍を用いて、２０°視野計測し、その平均値を採用した。
【００４３】
（６）離型フィルムの水滴接触角（（ＣＡ）water）測定
試料フィルムの離型面に関して、（株）協和界面科学製接触角計（型式：ＣＡ−Ａ）を用いて、５回測定を行い、その平均値をもって水滴接触角（（ＣＡ）water）とした。なお、測定に際しては２０±２℃、６５±５％ＲＨの雰囲気下、試料フィルムの測定面に水滴を滴下後、１分後に水滴のなす角度を読み取った。
【００４４】
（７）離型フィルムのトルエン溶媒による接触角（（ＣＡ）toluene）測定
試料フィルムの離型面に関して、（株）協和界面科学製接触角計（型式：ＣＡ−Ａ）を用いて、５回測定を行い、その平均値をもってトルエン溶媒による接触角（（ＣＡ）toluene）とした。なお、測定に際しては２０±２℃、６５±５％ＲＨの雰囲気下、試料フィルムの測定面にトルエン溶媒を滴下後、３０秒後に液滴のなす角度を読み取った。
【００４５】
（８）離型フィルムにおける樹脂層との剥離力（Ｆ（Ｂ））評価
試料フィルムの離型面に下記樹脂組成物を塗布厚み（乾燥後）が２ｇ／ｍ２になるように塗布した。その後、２ｋｇのゴムローラーを用いて、ＰＥＴフィルム（三菱化学ポリエステルフィルム社（製）：ダイアホイルＴ１００タイプ−２５μｍ）を１往復させて樹脂層表面に貼り合わせた。次に貼り合わせた積層フィルムを２０±２℃、６５±５％ＲＨの雰囲気下、２４時間放置した後、試料フィルムの離型面から未処理のＰＥＴフィルムが積層された樹脂層を１８０度剥離させて剥離力（Ｆ（Ｂ））を測定した。剥離力は引張試験機（（株）インテスコ製「インテスコモデル２００１型」）を使用し、引張速度３００ｍｍ／分の条件下、１８０°剥離を行った。
《樹脂組成物》
ポリビニルブチラール樹脂（積水化学製：エスレックシリーズ：「ＢＭ−Ｓ」タイプ）  ２０部
可塑剤（フタール酸ジオクチル）  ５部
トルエン／エタノール（混合比率は６：４）  ２００部
《乾燥条件》
１２０℃、１分間（ただし、熱風式循環炉内を使用）
なお、サンプル作製から剥離力測定までの一連の作業は２０±２℃、６５±５％ＲＨの雰囲気下にて行う。
【００４６】
（９）離型フィルムの残留接着率評価
（ｉ）残留接着力
試料フィルムの離型面に日東電工（製）Ｎｏ．３１Ｂ粘着テープを２ｋｇゴムローラーにて１往復圧着し、１００℃で１時間加熱処理する。次いで、圧着したサンプルからＮｏ．３１Ｂ粘着テープを剥がし、ＪＩＳ−Ｃ−２１０７（ステンレス板に対する粘着力、１８０°引き剥がし法）の方法に準じて接着力を測定する。これを残留接着力とする。
【００４７】
（ii）基礎接着力
残留接着力の場合と同じテープ（Ｎｏ．３１Ｂ）を用いてＪＩＳ−Ｃ−２１０７に準じてステンレス板に粘着テープを圧着して、同様の要領にて測定を行う。この時の値を基礎接着力とする。これらの測定値を用いて、下記式に基づいて残留接着率を求める。
残留接着率（％）＝（残留接着力／基礎接着力）×１００
なお、測定は２０±２℃、６５±５％ＲＨにて行う。
【００４８】
（１０）離型フィルムを用いた加工適性評価（実用特性代用評価）
試料フィルムの離型面に下記組成からなるセラミックスラリーを塗布し、塗布量（乾燥後）が２ｇ／ｍ２のグリーンシ−トを成形した。スラリー塗工性および成形後のグリーンシート剥離性に関して、下記判定基準により判定を行った。
《セラミックスラリー組成》
・チタン酸バリウム（富士チタン製：平均粒径０．７μｍ）  １００部
・ポリビニルブチラール樹脂（積水化学製エスレックＢＭ−Ｓ）  ３０部
・可塑剤（フタール酸ジオクチル）  ５部
・トルエン／エタノール混合溶媒（混合比率は６：４）  ２００部
【００４９】
＊セラミックスラリー塗工性
《判定基準》
○…スラリーのはじき、塗工むらが発生しない（実用上、問題ないレベル）
△…微小なスラリーのはじき、塗工むらが発生する場合がある（実用上、問題になる場合があるレベル）
×…スラリーのはじき、塗工むらが発生する（実用上、問題あるレベル）
【００５０】
＊グリーンシート剥離性
《判定基準》
○…グリーンシ−トの剥離性が特に良好（実用上、問題ないレベル）
×…グリーンシ−トの剥離性不良（実用上、問題あるレベル）
【００５１】
（１１）グリーンシート表面の平坦性評価（実用特性代用評価）
（８）項で得られたグリーンシート表面（測定対象面積；１ｍ２）を走査型レーザー顕微鏡（レーザーテック社製）による表面観察を行い、下記判定基準により判定を行った。
《判定基準》
○…誘電体層表面に深さ０．５μｍ以上のクレーター（凹み）が１個／ｍ２以下（実用上、問題ないレベル）
△…誘電体層表面に深さ０．５μｍ以上のクレーター（凹み）が１個／ｍ２を超え２個／ｍ２未満（実用上、問題になる場合があるレベル）
×…誘電体層表面に深さ０．５μｍ以上のクレーター（凹み）が２個／ｍ２以上（実用上、問題あるレベル）
【００５２】
〈ポリエステルの製造〉
製造例１（ポリエチレンテレフタレートＡ）
テレフタル酸８６部、エチレングリコール７０部を反応器にとり、約２５０℃で４時間エステル交換反応を行った。三酸化アンチモンを０．０３部およびリン酸０．０１部、平均粒径１．５μｍの二酸化珪素粒子を０．１部加え、２５０℃から２８５℃まで徐々に昇温すると共に圧力を徐々に減じて０．５ｍｍＨｇとした。４時間後、重合反応を停止し、極限粘度０．６５のポリエチレンテレフタレートＡを得た。
【００５３】
製造例２（ポリエチレンテレフタレートＢ）
製造例１において、平均粒径１．５μｍの二酸化珪素粒子を０．１部添加する代わりに平均粒径０．７５μｍの炭酸カルシウム粒子を０．１部添加する以外は製造例１と同様にして製造し、極限粘度０．６５のポリエチレンテレフタレートＢを得た。
【００５４】
製造例３（ポリエチレンテレフタレートＣ）
製造例１において、平均粒径１．５μｍの二酸化珪素粒子を０．１部添加する代わりに平均粒径１．５μｍの二酸化珪素粒子を０．２部添加する以外は製造例１と同様にして製造し、極限粘度０．６５のポリエチレンテレフタレートＣを得た。
【００５５】
〈ポリエステルフィルムの製造〉
製造例４（ＰＥＴフィルムＦ１）
製造例２で製造したポリエチレンテレフタレートＢを原料とし、ベント式二軸押出機に供給し、２８５℃で溶融した後、２０℃に冷却したキャスティングドラム上に押出し冷却固化させて無配向シートを得た。次いで、９０℃にて縦方向に３．５倍の縦延伸倍率で延伸した後、テンター内で予熱工程を経て１００℃で４．０倍の横延伸倍率で延伸し、２１０℃で１０秒間の熱処理を行い、２５μｍのＰＥＴフィルムＦ１を得た。
【００５６】
製造例５（ＰＥＴフィルムＦ２）
製造例４において、フィルム厚みが異なる以外は製造例４と同様にして製造し、厚さ３０μｍのＰＥＴフィルムＦ２を得た。
【００５７】
製造例６（ＰＥＴフィルムＦ３）
製造例４において、フィルム厚みが異なる以外は製造例４と同様にして製造し、厚さ３８μｍのＰＥＴフィルムＦ３を得た。
【００５８】
製造例７（ＰＥＴフィルムＦ４）
製造例４において、ポリエチレンテレフタレートＢの代わりにポリエチレンテレフタレートＡを用いる以外は製造例４と同様にして製造し、厚さ２５μｍのＰＥＴフィルムＦ４を得た。
【００５９】
製造例８（ＰＥＴフィルムＦ５）
製造例４において、ポリエチレンテレフタレートＢの代わりにポリエチレンテレフタレートＣを用いる以外は製造例４と同様にして製造し、厚さ２５μｍのＰＥＴフィルムＦ５を得た。
【実施例１】
【００６０】
製造例４で得られたＰＥＴフィルムＦ１に下記離型剤組成からなる離型層を塗布量（乾燥後）が０．１ｇ／ｍ２になるようにグラビアコート方式にて塗布し、１２０℃、３０秒間熱処理した後、離型フィルムを得た。
《離型剤組成》
硬化型シリコーン樹脂（信越化学製：ＫＳ−７７４）  ４９重量％
硬化型シリコーン樹脂（信越化学製：Ｘ−６２−１３８７）  ４９重量％
硬化剤（信越化学製：ＰＬ−５０Ｔ）  ２重量％
トルエン／ＭＥＫ混合溶媒（混合比率は１：１）にて希釈し、固型分濃度２重量％塗布液を作製した。
【実施例２】
【００６１】
実施例１において、ＰＥＴフィルムＦ１の代わりにＰＥＴフィルムＦ２を用いる以外は実施例１と同様に製造し、離型フィルムを得た。
【実施例３】
【００６２】
実施例１において、ＰＥＴフィルムＦ１の代わりにＰＥＴフィルムＦ３を用いる以外は実施例１と同様に製造し、離型フィルムを得た。
【実施例４】
【００６３】
実施例１において、ＰＥＴフィルムＦ１の代わりにＰＥＴフィルムＦ４を用いる以外は実施例１と同様に製造し、離型フィルムを得た。
【実施例５】
【００６４】
実施例１において、ＰＥＴフィルムＦ１の代わりに三菱化学ポリエステルフィルム（株）社製「ダイアホイル（Ｔ３００の厚み３０μｍのタイプ）」を用いる以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。
【実施例６】
【００６５】
実施例１において、ＰＥＴフィルムＦ１の代わりに三菱化学ポリエステルフィルム（株）社製「ダイアホイル（Ｔ１００タイプ−３０μｍ）」を用いる以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。
【実施例７】
【００６６】
実施例１において、離型剤組成を下記組成に変更する以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。
《離型剤組成》
硬化型シリコーン樹脂（信越化学製：ＫＳ−７２３Ａ）  ７５重量％
硬化型シリコーン樹脂（信越化学製：ＫＳ−７２３Ｂ）  ２０重量％
硬化剤（信越化学製：ＰＳ−３）  ５重量％
トルエン／ＭＥＫ混合溶媒（混合比率は１：１）にて希釈し、固型分濃度２重量％塗布液を作製した。
【実施例８】
【００６７】
実施例１において、ＰＥＴフィルムＦ１の代わりにＰＥＴフィルムＦ５を用いる以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。
【実施例９】
【００６８】
実施例１において、離型剤組成を下記組成に変更する以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。
《離型剤組成》
硬化型シリコーン樹脂（信越化学製：ＫＳ−８４７Ｈ）  ９９重量％
硬化剤（信越化学製：ＰＬ−５０Ｔ）  １重量％
トルエン／ＭＥＫ混合溶媒（混合比率は１：１）にて希釈し、固型分濃度２重量％塗布液を作製した。
【００６９】
（比較例１）
実施例１において、離型剤組成を下記組成に変更する以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。
《離型剤組成》
硬化型シリコーン樹脂（信越化学製：ＫＳ−７７４）  ９９重量％
硬化剤（信越化学製：ＰＬ−３）  １重量％
トルエン／ＭＥＫ混合溶媒（混合比率は１：１）にて希釈し、固型分濃度２重量％塗布液を作製した。
【００７０】
（比較例２）
実施例１において、離型剤組成を下記組成に変更する以外は実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。
《離型剤組成》
硬化型シリコーン樹脂（信越化学製：Ｘ−６２−１３８７）  ９８重量％
硬化剤（信越化学製：ＰＬ−５０Ｔ）  ２重量％
トルエン／ＭＥＫ混合溶媒（混合比率は１：１）にて希釈し、固型分濃度２重量％塗布液を作製した。
以上、得られた結果をまとめて下記表１〜表３にまとめて示す。
【００７１】
【表１】
2005262456.tif 000002
【００７２】
【表２】
2005262456.tif 000003
【００７３】
【表３】
2005262456.tif 000004
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明のフィルムは、セラミック積層コンデンサー製造時に使用する薄膜グリーンシート成形用フィルムとして好適に使用することができる。