(57)【要約】【課題】  外周面が凹凸のある粗い状態のインゴットを適正通り回転駆動することができるインゴット回転駆動装置を提供する。【解決手段】  インゴットＡの軸心方向視にて、左右両側に回転自在配置されて、それらの間にインゴットＡを載置支持する左右の回転ローラＲと、左右の回転ローラＲの夫々を回転駆動する回転駆動手段Ｋとが設けられて、インゴットＡをインゴット軸心周りに回転駆動するインゴット回転駆動装置。【選択図】        図１
2005262276.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インゴットをインゴット軸心周りに回転駆動するインゴット回転駆動装置であって、
前記インゴットの軸心方向視にて、左右両側に回転自在配置されて、それらの間に前記インゴットを載置支持する左右の回転ローラが設けられ、
前記左右の回転ローラの夫々を回転駆動する回転駆動手段が設けられているインゴット回転駆動装置。
【請求項２】
前記左右の回転ローラが可搬可能なインゴット搬送用枠体に備えられ、
前記回転駆動手段が、前記インゴット搬送用枠体が搬出入される検査用支持部を備えた検査箇所に設けられている請求項１記載のインゴット回転駆動装置。
【請求項３】
前記回転駆動手段が、前記インゴット搬送用枠体が前記検査用支持部に支持された状態において、前記左右の回転ローラの下面側に接触して駆動する駆動回転体を昇降操作自在に備えて、前記駆動回転体を前記左右の回転ローラの下面側に接触させる状態と接触を解除する状態とに切換え自在に構成されている請求項２記載のインゴット回転駆動装置。
【請求項４】
前記左右の回転ローラの夫々が、その回転軸心方向において、複数に分割され且つ回転軸心方向に処理加工用間隔を隔てて配置される複数のローラ部分にて構成されている請求項２又は３に記載のインゴット回転駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インゴットをインゴット軸心周りに回転駆動するインゴット回転駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記インゴット回転装置は、シリコン等の材料のインゴットをスライス処理する前に目視等により検査するために用いられるものである。つまり、インゴットにおいてはスライス処理する前にその全周について不良の存否を検査する必要がある。そして、近年においては、インゴットの大型化が進んでおり、横倒れ姿勢で保持したインゴットをその全周を検査できるように回転駆動することが望まれるものとなる。
【０００３】
このような目的のためのインゴット回転装置として、インゴットの軸心方向視にて、左右両側に回転自在配置されて、それらの間にインゴットを載置支持する左右の回転ローラを設けて、それら左右の回転ローラの一方を回転駆動手段にて回転駆動する構成のものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１７０２４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のインゴット回転駆動装置は、左右の回転ローラの一方のみを回転駆動する構成であるため、インゴットを適正通り回転駆動できない虞があった。
説明を加えると、製造されたインゴットの外周面は一般に螺旋状等の凹凸がある粗い状態となっており、このようなインゴットを左右の回転ローラの間に載置した状態において、左右のローラの一方のみを回転駆動させても、凹凸がある粗い状態の外周面と駆動回転ローラとがインゴットに回転力を与えるように適正通り接触しないことがあるため、スリップを起こす等により、インゴットを適正通り回転駆動できない虞があった。
【０００６】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、インゴットの外周面が凹凸のある粗い状態であってもインゴットを適正通り回転駆動することができるインゴット回転駆動装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のインゴット回転駆動装置は、インゴットをインゴット軸心周りに回転駆動するものであって、その第１特徴構成は、
前記インゴットの軸心方向視にて、左右両側に回転自在配置されて、それらの間に前記インゴットを載置支持する左右の回転ローラが設けられ、
前記左右の回転ローラの夫々を回転駆動する回転駆動手段が設けられている点にある。
【０００８】
第１特徴構成によれば、左右の回転ローラの間に載置支持したインゴットを、回転駆動手段にて回転駆動される左右の回転ローラにて駆動することができるものとなり、インゴットの外周面に存在する凹凸のために左右の回転ローラの一方がインゴットに適正通り接触せずに、インゴットに所望通りの回転駆動力を付与することができないような場合においても、左右の回転ローラの他方側の回転ローラにてインゴットに所望通りの回転駆動力を付与することが可能となる。
したがって、インゴットの外周面が凹凸のある粗い状態であってもインゴットを適正通り回転駆動することが可能となるインゴット回転駆動装置を提供するに至った。
【０００９】
本発明の第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、
前記左右の回転ローラが可搬可能なインゴット搬送用枠体に備えられ、
前記回転駆動手段が、前記インゴット搬送用枠体が搬出入される検査用支持部を備えた検査箇所に設けられている点にある。
【００１０】
第２特徴構成によれば、インゴットを載置支持する左右の回転ローラが、可搬可能な搬送用枠体に備えられているから、製造したインゴットをインゴット搬送用枠体の左右回転ローラに載置支持した状態で、製造箇所から検査箇所に搬送して、インゴット搬送用枠体を検査用支持部に搬入することができる。そして、インゴット搬送用枠体を検査用支持部に支持した状態で、回転駆動手段にて左右の回転ローラを回転駆動することにより、インゴットを所望通り回転駆動して検査することができるものとなる。検査が終了した後は、インゴットを載置するインゴット搬送用枠体をインゴット処理箇所に搬送して、インゴットの処理、例えば切断処理等を行うことができる。
つまり、製造したインゴットを製造段階でインゴット搬送用枠体に載置し、その後インゴット搬送用枠体の搬送により、検査箇所においてインゴットを回転駆動しながらの検査を行え、検査の終了後には、インゴット搬送用枠体の搬送によりインゴットを処理加工箇所に搬送できるものとなるのであり、そして、インゴット搬送用枠体は、コンベヤ等の搬送機器にて扱い易いパレット状等に構成する等、搬送上扱い易い構成にすることができるから、円柱状で扱い難いインゴットを搬送上扱い易いインゴット搬送用枠体に載置支持した状態で、製造箇所から検査箇所へ、そして、検査箇所から処理加工箇所へ搬送することが可能となる。
したがって、インゴットを搬送面において有利な形態で載置支持した状態で、検査のために回転駆動することができるようになった。
【００１１】
本発明の第３特徴構成は、上記第２特徴構成に加えて、
前記回転駆動手段が、前記インゴット搬送用枠体が前記検査用支持部に支持された状態において、前記左右の回転ローラの下面側に接触して駆動する駆動回転体を昇降操作自在に備えて、前記駆動回転体を前記左右の回転ローラの下面側に接触させる状態と接触を解除する状態とに切換え自在に構成されている点にある。
【００１２】
第３特徴構成によれば、インゴット搬送用枠体を検査箇所の検査用支持部に搬入するときや搬出するときは、駆動回転体を左右の回転ローラとの接触を解除する状態に切換えておき、そして、インゴット搬送用枠体が検査箇所の検査用支持部に搬入されて、インゴットを検査するときには、駆動回転体を左右の回転ローラの下面側に接触させる状態に切換えることにより、インゴットを回転駆動することができるものとなる。
つまり、インゴット搬送用枠体を検査箇所の検査用支持部に搬入するときや搬出するときは、駆動回転体と左右の回転ローラとが衝突などにより損傷することを回避すべく、駆動回転体を左右の回転ローラとの接触を解除する状態に切換えておくことができるものであり、勿論、検査をおこなうときには、駆動回転体を左右の回転ローラの下面側に接触させる状態に切換えることにより、インゴットを回転駆動することができるものとなるのである。
そして、駆動回転体は左右の回転ローラの下面側に接触して回転駆動するものであるから、駆動回転体を左右の回転ローラの下面側に接触させる状態に切換えて、インゴットを回転駆動することを良好に行い易いものとなる。説明を加えると、例えば左右の回転ローラに接触する駆動回転体に代えて、回転駆動スプロケットを設けて、その回転駆動スプロケットを、左右の回転ローラと一体回転する受動スプロケットに対して噛合う状態と離脱状態とに切換えるように構成することが考えられるが、この場合においては、駆動スプロケットを受動スプロケットに噛合う状態に切換えるときに、両者の位相が噛合いに適する位相からずれているため、良好に噛合わせることができなくなる等のトラブルを発生する虞があるが、左右の回転ローラに接触する駆動回転体の採用により、インゴットを回転駆動することをトラブル発生少なく行えるものとなる。
【００１３】
本発明の第４特徴構成は、第２特徴構成又は第３特徴構成に加えて、
前記左右の回転ローラの夫々が、その回転軸心方向において、複数に分割され且つ回転軸心方向に処理加工用間隔を隔てて配置される複数のローラ部分にて構成されている点にある。
【００１４】
第４特徴構成によれば、左右の回転ローラが、処理加工用間隔を隔てて配置される複数のローラ部分にて構成されているから、インゴット搬送用枠体にインゴットを載置したままで、インゴットを切断処理する等の処理加工を行うことができるものとなり、インゴットの処理を行うのに好都合となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、円柱状のインゴットＡをインゴット軸心周りに回転駆動するインゴット回転駆動装置は、可搬可能なインゴット搬送用枠体Ｂにて横倒れ姿勢で回転可能に支持されているインゴットＡを、前記インゴット搬送用枠体Ｂが搬出入される検査用支持部Ｄを備えた検査箇所において、回転駆動手段Ｋにて回転駆動するように構成されている。
【００１６】
図４にも示すように、前記インゴット搬送用枠体Ｂは、インゴットＡの回転軸心方向視にて、左右両側に配置されて、それらの間にインゴットＡを載置支持する左右の回転ローラＲを備えている。説明を加えると、左右一対の長尺状の枠体１ａ、それらを接続するために長手方向の複数箇所に配置される接続枠体１ｂを備え、そして、左右一対の長尺状枠体１ａにて支持される形態で左右の回転ローラＲが設けられている。
【００１７】
左右の回転ローラＲの夫々は、両端側に位置する軸心方向の長さが長い長尺状のローラ部分２ａと、それら間に位置する軸心方向の長さが短い３個の短尺状のローラ部分２ｂとからなる５個のローラ部分に、その回転軸心方向において分割され、且つ、各ローラ部分２ａ、２ｂが、回転軸心方向に処理加工用間隔Ｌを隔てて配置されるようになっている。
各ローラ部分２ａ、２ｂは、回転軸心方向視にて山形状の前後一対の支持体３にて回転自在に支持されるものであり、前後一対の支持体３は、その両端部が前記左右一対の長尺状枠体１ａに接続されている。ちなみに、前後一対の支持体３の夫々における左右のローラ部分２ａ、２ｂの間に相当する箇所には、それらを接続する回転軸心方向に沿う補強体３ａが架設されている。
【００１８】
前記検査用支持部Ｄは、四隅に位置する支柱４にて床面に設置されるものであって、インゴット搬送用枠体Ｂを載置支持する前後一対の横倒れ姿勢の載置枠５、その載置枠５の両端部に突設された外れ止め用の受け体６、及び、支柱４を接続する補強枠７を備えており、インゴット搬送用枠体Ｂをその下方を露出させる状態で載置支持するように構成されている。
【００１９】
図３にも示すように、前記回転駆動手段Ｋは、インゴット搬送用枠体Ｂが検査用支持部Ｄに支持された状態において、左右の回転ローラＲの下面側に接触して駆動する駆動回転体Ｈを昇降自在に備えて、駆動回転体Ｈを左右の回転ローラＲの下面側に接触させる状態と接触を解除する状態とに切換自在に構成されている。
説明を加えると、駆動回転体Ｈは、左右のローラＲを構成する５個のローラ部分２ａ、２ｂに対応して位置する５個の駆動用ローラ８にて構成されている。それら駆動用ローラ８は、電動モータＭにて駆動自在な共通の駆動軸９に一体回転するように取り付けられている。駆動軸９の両端部の夫々が、前後一対の支持枠１０に回転自在に支持され、前後一対の支持枠１０における左側端部同士及び右側端部同士が、長尺状の連結枠１１にて連結され、電動モータＭが、前後一対の支持枠１０の一方に支持されている。そして、左右に並ぶ長尺状の連結枠１１が互いに反対側方向に延出され、その一対の連結枠１１における延出部の夫々が、リニアガイド１２によって昇降自在に支持され、さらに、その一対の連結枠１１における延出部の夫々を昇降操作する流体圧シリンダ１３が設けられており、もって、流体圧シリンダ１３の伸縮作動により、駆動回転体Ｈを昇降操作できるように構成されている。
【００２０】
前記リニアガイド１２は、平面視形状が矩形状に形成されて、床面に立設されたガイド支持枠Ｕに支持されるものであって、このガイド支持枠Ｕは、四隅の支柱１４、それら支柱１４を接続する左右や前後の接続枠１５、１６を主要部として構成され、そして、このガイド支持枠Ｕに、前記一対の流体圧シリンダ１３も支持されるようになっている。
【００２１】
上記のように構成されたインゴット回転駆動装置の使用手順について説明すると、製造したインゴットＡをインゴット搬送用枠体Ｂの左右回転ローラＲに載置支持した状態で、製造箇所から検査箇所に搬送して、インゴット搬送用枠体Ｂを検査用支持部Ｂに搬入することになる。ちなみに、この搬入のときには、回転駆動体Ｈを下降させて、左右の回転ローラＲとの接触を解除する状態に切換えておく。
そして、インゴット搬送用枠体Ｂを検査用支持部Ｄに支持した状態おいて、図５にも示すように、駆動回転体Ｈを上昇させて左右の回転ローラＲの下面側に接触させる状態に切換え、その後、電動モータＭを作動させて回転駆動手段Ｋを回転駆動することにより、回転駆動手段Ｋにて左右の回転ローラＲを回転駆動して、インゴットＡを軸心周りに回転駆動しながら、外周部に対する検査を目視等により行うことになる。
【００２２】
検査が終了した後は、回転駆動手段Ｋの回転駆動を停止し、回転駆動手段Ｋを下降させて左右の回転ローラＲとの接触を解除する状態に切換え、その後、インゴットＡを載置するインゴット搬送用枠体Ｂをインゴット処理箇所に搬送して、インゴットの処理、例えば切断処理等を行うことになる。
【００２３】
つまり、本実施形態のインゴット回転駆動装置を用いれば、製造したインゴットＡを製造段階でインゴット搬送用枠体Ｂに載置するようにすれば、その後インゴット搬送用枠体Ｂの搬送により、検査箇所においてインゴットＢを回転駆動しながらの検査を行え、検査の終了後には、インゴット搬送用枠体Ｂの搬送によりインゴットを処理加工箇所に搬送できるものとなるのであり、要するに、円柱状で扱い難いインゴットＡを搬送上扱い易いインゴット搬送用枠体Ｂに載置支持した状態で、製造箇所から検査箇所へ、そして、検査箇所から処理加工箇所へ搬送することが可能となる。
【００２４】
また、インゴット搬送用枠体Ｂを検査箇所の検査用支持部Ｄに搬入するときや搬出するときは、駆動回転体Ｈを左右の回転ローラＲとの接触を解除する状態に切換えておくことにより、駆動回転体Ｈと左右の回転ローラＲとが衝突などにより損傷することを回避すべできるものとなる。
そして、検査をおこなうときには、駆動回転体Ｈを左右の回転ローラＲの下面側に接触させる状態に切換えることにより、インゴットＡを回転駆動することにより、インゴットＡの外周面が凹凸のある粗い状態であっても、インゴットＡを良好に回転駆動できるものとなる。ちなみに、インゴットＡとしては、種々の外径のものが適用できる。
【００２５】
＜別実施形態＞
以下、別実施形態について列挙する。
（１）上記実施形態においては、インゴット搬送用枠体に左右の回転ローラを備えさせる形態を例示したが、左右の回転ローラを検査箇所に設置して、その左右の回転ローラに対して、インゴットを搬出入させる形態で実施してもよい。
（２）上記実施形態では、左右の回転ローラを回転駆動する回転駆動手段として、駆動回転体を左右の回転ローラの下面側に接触させて回転駆動する形態のものを例示したが、例えば左右の回転ローラに接触する駆動回転体に代えて、回転駆動スプロケットを設けて、その回転駆動スプロケットを、左右の回転ローラと一体回転する受動スプロケットに対して噛合う状態と離脱状態とに切換えるように構成してもよく、また、上述の如く左右の回転ローラを検査箇所に設置する場合には、それら回転ローラと回転駆動手段とをチェーン式の伝動手段にて連係させることになる。
（３）本発明を実施するに、上記実施形態においては、回転駆動手段における駆動回転体を左右の回転ローラの間に位置させて、左右の回転ローラの下面側に接触させるようにしたが、つまり、駆動回転体を左右の回転ローラの駆動に兼用させる形態を例示したが、左右の回転ローラに夫々に対応する駆動回転体を各別に備えさせる形態で実施してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】インゴット回転駆動装置の一部切欠き正面図
【図２】インゴット回転駆動装置の一部切欠き側面図
【図３】回転駆動手段の平面図
【図４】インゴット搬送用枠体の平面図
【図５】インゴット回転駆動状態を示す正面図
【符号の説明】
【００２７】
２ａ，２ｂ  ローラ部分
Ａ    インゴット
Ｂ    インゴット搬送用枠体
Ｄ    検査用支持部
Ｈ    駆動回転体
Ｋ    回転駆動手段
Ｌ    処理加工用間隔
Ｒ    回転ローラ
【図１】
2005262276.tif 000003
【図２】
2005262276.tif 000004
【図３】
2005262276.tif 000005
【図４】
2005262276.tif 000006
【図５】
2005262276.tif 000007