(57)【要約】【課題】プローブ針の生産性を向上させるために、機械加工のみによって、高精度にプローブ針を研削加工により形成するようにした、プローブ針の加工用研削装置を提供する。【解決手段】加工すべきプローブ針１５をその中心軸の周りに回転可能に保持するチャッキング機構２０を備えた保持部１２と、保持部１２により支持されたプローブ針１５を中心軸の周りに回転駆動する第一の駆動部１２ａと、保持部１２により支持されたプローブ針１５に対してプローブ針１５を挟持するように配置された一対の回転砥石１３と、回転砥石１３を高速回転駆動する第二の駆動部１３ｃと、を含んでおり、第二の駆動部１３ｃが、各回転砥石１３をそれぞれ任意の方向に回転駆動するように、プローブ針の加工用研削装置１０を構成する。【選択図】        図１
2005001027.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工すべきプローブ針をその中心軸の周りに回転可能に保持するチャッキング機構を備えた保持部と、
上記保持部により支持されたプローブ針を中心軸の周りに回転駆動する第一の駆動部と、
上記保持部により支持されたプローブ針に対して、プローブ針を挟持するように配置された一対の回転砥石と、
上記回転砥石を高速回転駆動する第二の駆動部と、
を含んでおり、
上記第二の駆動部が、上記各回転砥石をそれぞれ任意の方向に回転駆動することを特徴とする、プローブ針の加工用研削装置。
【請求項２】
前記第二の駆動部が、前記第一の駆動部により回転駆動される前記プローブ針と同じ方向に、前記各回転砥石を回転駆動することを特徴とする、請求項１に記載のプローブ針の加工用研削装置。
【請求項３】
前記第二の駆動部が、前記各回転砥石をそれぞれ互いに逆方向に回転駆動することを特徴とする、請求項１に記載のプローブ針の加工用研削装置。
【請求項４】
前記第二の駆動部が、前記第一の駆動部により回転駆動される前記プローブ針と逆方向に、そして、前記各回転砥石を互いに同じ方向に回転駆動することを特徴とする、請求項１に記載のプローブ針の加工用研削装置。
【請求項５】
前記第二の駆動部が、前記プローブ針の加工形状に基づいて、前記各回転砥石の回転方向及び回転速度を選定して、回転駆動の制御を行なうことを特徴とする、請求項１から４の何れかに記載のプローブ針の加工用研削装置。
【請求項６】
前記保持部により支持された前記プローブ針が、その先端の加工すべき部分を除いて、撓み防止用の中空円筒状の治具を被嵌されていることを特徴とする、請求項１から５の何れかに記載のプローブ針の加工用研削装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばＬＳＩ等の半導体チップの検査を行なうためのプローブカード等に使用されるプローブ針を研削加工により形成するためのプローブ針の加工用研削装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、このようなプローブ針４０は、例えば図８に示すように、先端４０ａが尖って形成されており、このプローブ針を作製する場合、電解エッチング工程により形成するようにしている。
【０００３】
しかしながら、このような電解エッチング工程によるプローブ針の作製においては、エッチング液を撹拌していることから、エッチング液の波が発生したり、時間と共にエッチング液の劣化が生ずることから、アバタや形状ムラ等の加工不良が発生することになり、加工精度をあまり高くすることができず、歩留まりが低下してしまう。従って、実際の工程では、熟練者による手作業が発生することになり、コストが高くなってしまう。
また、エッチング工程にて発生する廃液に関して、環境に悪影響を与えないようにするためには、処理コストが高くなってしまう。
さらに、エッチング工程によるプローブ針の作製では、形成可能なプローブ針の形状が限定されてしまうことになる。
【０００４】
これに対して、エッチング工程によらずに、機械加工により、プローブ針を形成する方法も知られている。このような機械加工によるプローブ針の作製においては、所謂鉛筆削りのようにして、プローブ針の一端を尖らせるのであるが、加工後にバリがあるため、表面性状精度が良くない。このため、後加工として、化学薬品を使用したエッチングによりバリ取りを行なうようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような機械加工によるプローブ針の作製においても、同様にエッチングの問題が発生すると共に、生産性が低く、また納期短縮，精度向上が要求されるようになってきているが、手作業であることからこれらの要求に対応することができない。さらに、装置全体が大型化してしまい、占有床面積が比較的大きく、また消費電力も大きいことから、ランニングコストが高くなってしまう。
【０００６】
本発明は、上記の点に鑑み、このようなプローブ針の生産性を向上させるために、機械加工のみによって高精度にプローブ針を研削加工により形成するようにした、プローブ針の加工用研削装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、本発明によれば、加工すべきプローブ針をその中心軸の周りに回転可能に保持するチャッキング機構を備えた保持部と、保持部により支持されたプローブ針を中心軸の周りに回転駆動する第一の駆動部と、保持部により支持されたプローブ針に対してプローブ針を挟持するように配置された一対の回転砥石と、回転砥石を高速回転駆動する第二の駆動部と、を含んでおり、第二の駆動部が、各回転砥石をそれぞれ任意の方向に回転駆動することを特徴とするプローブ針の加工用研削装置により、達成される。
【０００８】
本発明によるプローブ針の加工用研削装置は、好ましくは、第二の駆動部が、第一の駆動部により回転駆動されるプローブ針と同じ方向に各回転砥石を回転駆動する。
【０００９】
本発明によるプローブ針の加工用研削装置は、好ましくは、第二の駆動部が、各回転砥石をそれぞれ互いに逆方向に回転駆動する。
【００１０】
本発明によるプローブ針の加工用研削装置は、好ましくは、第二の駆動部が、第一の駆動部により回転駆動されるプローブ針と逆方向に、そして、各回転砥石を互いに同じ方向に回転駆動する。
【００１１】
本発明によるプローブ針の加工用研削装置は、好ましくは、第二の駆動部が、プローブ針の加工形状に基づいて、各回転砥石の回転方向及び回転速度を選定して、回転駆動の制御を行なう。
【００１２】
本発明によるプローブ針の加工用研削装置は、好ましくは、保持部により支持されたプローブ針が、その先端の加工すべき部分を除いて、撓み防止用の中空円筒状の治具を被嵌されている。
【００１３】
上記構成によれば、保持部に保持され、第一の駆動部により回転駆動される加工すべきプローブ針に対して、第二の駆動部により高速回転駆動される一対の回転砥石を当接させて、研削加工を行なう。これによりプローブ針は、一対の回転砥石により挟持された状態で、回転砥石により研削加工されることになるので、回転砥石の当接力により一側に撓んでしまうようなことがない。
従って、プローブ針の加工精度が向上すると共に、電解エッチングによる加工の場合と比較して、アバタや形状ムラ等の加工不良が発生するようなことがなく、またバリの発生もないことから、エッチング等の後処理が不要となる。
このようにして、装置全体が小型に構成され得ると共に、設置面積が少なくて済み、さらに消費電力も小さいことからランニングコストが低減される。
【００１４】
第二の駆動部が、第一の駆動部により回転駆動されるプローブ針と同じ方向に、従って、各回転砥石も互いに同じ方向に回転駆動する場合には、プローブ針も各回転砥石もすべて同じ方向に回転することになるので、研削の仕上がりが比較的荒削りで、針先の芯長が長くなるが、加工スピードが速い。
【００１５】
第二の駆動部が、各回転砥石をそれぞれ互いに逆方向に回転駆動する場合には、加工スピードはやや遅くなるものの、研削の仕上がりが良好となる。
【００１６】
第二の駆動部が、第一の駆動部により回転駆動されるプローブ針と逆方向に、そして、各回転砥石を互いに同じ方向に回転駆動する場合には、加工スピードはより一層遅くなるものの、研削の仕上がりが最も良好となり、より高い加工精度が得られる。
【００１７】
第二の駆動部が、プローブ針の加工形状に基づいて、各回転砥石の回転方向及び回転速度を選定して、回転駆動の制御を行なう場合には、回転駆動されるプローブ針に対して、各回転砥石を互いにまたプローブ針に対して同じ方向または逆方向に回転駆動することにより、プローブ針の加工形状の各部分に適した研削加工を行なうことができ、全体として加工スピードが速く、しかも高精度の仕上がりを得ることが可能である。
【００１８】
保持部により支持されたプローブ針が、その先端の加工すべき部分を除いて、撓み防止用の中空円筒状の治具を被嵌されている場合には、第一の駆動部により回転駆動されるプローブ針の先端の加工すべき部分に対して、第二の駆動部により回転駆動される回転砥石が当接されるとき、プローブ針のほぼ全体が上記治具により撓み防止のために補強されていることから、プローブ針が回転砥石の当接によって撓んで中心軸からずれてしまうようなことがなく、より高精度の研削加工を行なうことができる。
【００１９】
このようにして、本発明によるプローブ針の加工用研削装置によれば、電解エッチング工程を使用することなく、また後工程としてのエッチング工程を使用することなく、機械加工のみによって高精度のプローブ針を研削加工し、所望の加工形状に加工することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示した実施形態に基づいて、本発明を詳細に説明する。
図１は、本発明によるプローブ針の加工用研削装置の一実施形態の構成を示している。図１において、プローブ針の加工用研削装置１０は、フレーム１１上に取り付けられた保持部１２と、一対の回転砥石１３と、制御部１４と、フレーム１１内に設けられた第一及び第二の駆動部（後述）と、を含んでいる。
【００２１】
上記保持部１２は、チャッキング装置２０を備えており、このチャッキング装置２０により加工すべきプローブ針１５を回転可能に保持できるようになっている。図示の場合、チャッキング装置２０は、プローブ針支持部材２１と、チャック開閉弁２２と、第一の電磁石２３と、第二の電磁石２４と、を含んでいる。
【００２２】
上記プローブ針支持部材２１は細長い円筒状に形成されており、中心にプローブ針１５が挿入される貫通孔（図示せず）を備えている。
そして、上記プローブ針支持部材２１は、その一端（図示の場合、右端）がチャック部２１ａとして構成されている。
【００２３】
このチャック部２１ａは、プローブ針支持部材２１の一端付近の領域にて、中心軸の周りに等角度間隔に設けられた長手方向に延びるギャップ（図示せず）により分割されると共に、この領域における外周面が右方に向かって半径方向外側に拡がるように円錐台状に傾斜して形成されている。
【００２４】
上記チャック開閉弁２２は磁性材料から成り、中空円筒部２２ａと、この中空円筒部２２ａの左端に備えられた半径方向外側に張り出すフランジ部２２ｂと、から構成されている。そして、上記チャック開閉弁２２は、その中空円筒部２２ａが上述したプローブ針支持部材２１のチャック部２１ａ付近の領域にて、プローブ針支持部材２１を包囲するように、そして長手方向に摺動可能に設けられている。
【００２５】
これにより、チャック開閉弁２２が右方へ移動することで、その中空円筒部２２ａの内面が、プローブ針支持部材２１のチャック部２１ａにて、その右方に向かって徐々に拡大する外周面に当接し、ギャップの幅を狭めながら外周面を半径方向内側に向かって押動することにより、チャック部２１ａの領域における貫通孔を狭めて、プローブ針１５を挟持するようになっている。
【００２６】
第一の電磁石２３は、前記プローブ針支持部材２１の右方にてフレーム１１に対して受け台１１ａを介して固定配置されたコア２３ａと、コア２３ａに巻回されたコイル２３ｂとから構成されている。このコア２３ａは、プローブ針支持部材２１の貫通孔に整列した貫通孔（図示せず）を備えていると共に、コイル２３ｂは、この貫通孔の周りに巻回されている。これにより、第一の電磁石２３は、コイル２３ｂに給電されたとき、コイル２３ｂを流れる電流が中心軸、即ち貫通孔に沿った方向の磁束を発生させて、上記チャック開閉弁２２を右方に磁気吸着する。
【００２７】
第二の電磁石２４は、プローブ針支持部材２１の左方領域の周りに設けられた中空円筒状のコア２４ａと、コア２４ａに巻回されたコイル２４ｂとから構成されている。このコア２４ａは、プローブ針支持部材２１の左方領域に対して固定保持されていると共に、コイル２４ｂは、プローブ針支持部材２１を包囲するように巻回されている。これにより第二の電磁石２４は、コイル２４ｂに給電されたとき、コイル２４ｂを流れる電流が中心軸、即ち貫通孔に沿った方向の磁束を発生させて、上記チャック開閉弁２２を左方に磁気吸着する。
【００２８】
ここで、上記第一及び第二の電磁石２３，２４は、図示しない切換えスイッチを介して選択的に給電が行なわれるようになっており、これによりプローブ針支持部材２１のチャック部２１ａが、プローブ針１５を着脱可能に保持することができる。
なお、図示の場合、プローブ針１５は、例えば図２に示すように、その加工すべき先端部を残して、中空円筒状の治具１６が被嵌されており、この治具１６により加工時のプローブ針１５の撓みが防止されるようになっている。
【００２９】
さらに、保持部１２は、チャッキング装置２０により保持したプローブ針１５を、その中心軸の周りに回転駆動する第一の駆動部１２ａをフレーム１１内に備えており、この第一の駆動部によりプローブ針１５を、例えば２５００ｒｐｍ程度の比較的低い回転数で回転駆動する。
【００３０】
上記回転砥石１３は、円板状の一対の回転砥石１３ａ，１３ｂから構成されており、各回転砥石１３ａ，１３ｂは、例えば加工の際のプローブ針１５に対する接触負荷を軽減するために、非常に薄いブレード型に形成されており、高速回転されることにより、遠心力を利用して加工時の剛性を高めるようになっている。なお、各回転砥石１３ａ，１３ｂは、例えば焼入れ鋼や合金鋼，工具鋼等の研削加工に使用されるものであって、具体的には例えば粒度１２０番の炭色アルミナ研削剤を結合剤ビトリファイドボンド等によりベース上に固定することにより、構成されている。
【００３１】
さらに、回転砥石１３の各回転砥石１３ａ，１３ｂは、フレーム１１内に備えられた第二の駆動部１３ｃにより、それぞれ別個に回転駆動制御されるようになっており、例えば１８０００ｒｐｍ程度の比較的高い回転数で回転駆動される。
【００３２】
上記制御部１４は、図示の場合、フレーム１１内に備えられており、上述した第一の駆動部１２ａ及び第二の駆動部１３ｃを駆動制御すると共に、保持部１２のチャッキング装置２０を駆動制御する。ここで、制御部１４は、図示の場合、外部のパーソナルコンピュータ３０により制御されるＣＡＤ／ＣＡＭ装置３１から加工データが入力される。そして、この加工データに基づいて、第二の駆動部１３ｃを駆動制御する。これにより、第二の駆動部１３ｃは、各回転砥石１３ａ，１３ｂの回転方向及び回転速度を制御して、プローブ針１５の先端部を所望の加工形状に研削加工する。
【００３３】
本発明によるプローブ針の加工用研削装置１０は、以上のように構成されており、その動作について以下に説明する。
まず、チャッキング装置２０の第二の電磁石２４に通電することにより、チャック部２１ａを開放して、治具１６を被嵌したプローブ針１５を挿入する。そして、チャック部２１ａの右端からフローブ針１５の先端が適宜の寸法だけ突出した状態で、チャッキング装置２０の第一の電磁石２３に通電することにより、チャック部２１ａを閉じると、チャック部２１ａによりプローブ針１５が挟持され固定保持される。このようにして、保持部１２によるプローブ針１５の固定保持が行なわれる。
【００３４】
次に、第一の駆動部１２ａによりチャッキング装置２０のチャック部２１ａそしてプローブ針１５を回転駆動させると共に、第二の駆動部１３ｃにより、回転砥石１３の各回転砥石１３ａ，１３ｂを回転駆動させながら、プローブ針１５の先端の加工すべき部分に対して各回転砥石１３ａ，１３ｂを当接させる。このとき、各回転砥石１３ａ，１３ｂは、プローブ針１５に対して互いに中心軸に関して直径方向反対側から当接することになるので、双方の回転砥石１３ａ，１３ｂによりプローブ針１５を挟持することになる。
従って、各回転砥石１３ａ，１３ｂは、プローブ針１５が中心軸から撓んでずれてしまうことがなく、プローブ針１５に対して安定した状態で当接することになり、プローブ針１５の研削加工が確実に行なわれる。
【００３５】
ここで、回転砥石１３の各回転砥石１３ａ，１３ｂは、その回転方向によって、以下の三つの方式で研削加工される。
図２は、図１のプローブ針の加工用研削装置による第一の研削加工方式を示すもので、（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は加工されたプローブ針の先端を示す斜視図である。
第一の研削加工方式は、図２（Ａ）に示すように、プローブ針１５の回転方向ａに対して、各回転砥石１３ａ，１３ｂが同じ方向ａで回転駆動される。
この場合、各回転砥石１３ａ，１３ｂとプローブ針１５の当接部分における相対速度が比較的高いことから、加工スピードが速く、短時間で研削加工が行なわれることになる。ただし、相対速度が高い分、研削加工が比較的荒削りの仕上がりとなると共に、図２（Ｂ）に示すように、プローブ針１５の針先１５ａの芯長が長くなる。
【００３６】
図３は図１のプローブ針の加工用研削装置の第二の研削加工方式を示し、（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は加工されたプローブ針の先端を示す斜視図である。第二の研削加工方式は、図３（Ａ）に示すように、プローブ針１５の回転方向ａに対して、回転砥石１３ａは同じ方向ａで回転駆動され、また回転砥石１３ｂは逆方向ｂで回転駆動される。
この場合、回転砥石１３ａとプローブ針１５の当接部分における相対速度が比較的高いが、回転砥石１３ｂとプローブ針１５の当接部分における相対速度が比較的低くなることから、加工スピードがやや遅くなるが、プローブ針１５の針先１５ｂは相対速度が低くなる分、研削加工が良好な仕上がりとなる（図３（Ｂ）参照）。
【００３７】
図４は図１のプローブ針の加工用研削装置による第三の研削加工方式を示すもので、（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は加工されたプローブ針の先端を示す斜視図である。第三の研削加工方式は、図４（Ａ）に示すように、プローブ針１５の回転方向ａに対して、各回転砥石１３ａ及び１３ｂが逆方向ｂで回転駆動される。
この場合、回転砥石１３ａ及び１３ｂとプローブ針１５の当接部分における相対速度が比較的低くなることから、加工スピードがより遅くなるものの、プローブ針１５の針先１５ｃは、研削加工が最も良好な仕上がりとなり、高精度の研削加工が行なわれ得る（図４（Ｂ）参照）。
【００３８】
実際の研削加工においては、制御部１４は、外部からの加工データに基づいて、プローブ針１５の先端を所望の加工形状に加工する際に、できるだけ高速で、即ち短い加工時間で、できるだけ高精度の研削加工を行なうことができるように、上述した三つの研削加工方式を適宜に組み合わせて、回転砥石１３ａ，１３ｂの回転方向及び回転速度を制御する。
【００３９】
このようにして、プローブ針１５の加工が終わった後、チャッキング装置２０の第二の電磁石２４に通電することにより、チャック部２１ａを開放して、加工済みのプローブ針１５を取り外すと共に、新たな未加工のプローブ針１５を挿入して、再び上記動作を繰り返す。これにより、順次にプローブ針１５の先端部の研削加工を行なうことができる。
【００４０】
次に、上記プローブ針の加工用研削装置１０により実際に研削加工した実験結果を示す。
図５乃至図７は、それぞれ第一乃至第三の研削加工方式で研削加工したプローブ針の先端部の拡大電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真を示している。何れの場合も、上記プローブ針の加工用研削装置１０により、プローブ針１５の回転速度２５００ｒｐｍ，回転砥石１３ａ，１３ｂの回転速度１８０００ｒｐｍの同一研削条件にて研削加工した。
【００４１】
図５は、図２の第一の研削加工方式による実験結果を示すそれぞれ（Ａ）２５倍，（Ｂ）６００倍の拡大ＳＥＭ写真である。第一の研削加工方式では、プローブ針の加工表面の表面粗さＲａ＝０．４９６μｍ，最大表面粗さＲｍａｘ＝１．３０１μｍであり、比較的荒い仕上がりであることが分かる。
【００４２】
これに対して、図６は、図３の第二の研削加工方式による実験結果を示すそれぞれ（Ａ）２５倍，（Ｂ）６００倍の拡大ＳＥＭ写真である。第二の研削加工方式では、プローブ針の加工表面の表面粗さＲａ＝０．２５９μｍ，最大表面粗さＲｍａｘ＝１．１９４μｍであり、表面粗さが低減され、良好な仕上がりが得られることが分かる。
【００４３】
さらに、図７は図４の第三の研削加工方式による実験結果を示すそれぞれ（Ａ）２５倍，（Ｂ）６００倍の拡大ＳＥＭ写真である。第三の研削加工方式では、プローブ針の加工表面の表面粗さＲａ＝０．１１６μｍ，最大表面粗さＲｍａｘ＝０．８３６μｍであり、さらに表面粗さが低減され、最も良好な仕上がりが得られることが分かる。
このようにして、前述した三つの研削加工方式の特徴がはっきり確認できる。
【００４４】
上述した実施形態においては、制御部１４に入力される加工データは、外部からパーソナルコンピュータ３０及びＣＡＤ／ＣＡＭ装置３１を介して入力されるようになっているが、これに限らず、制御部１４内で加工データが生成され、あるいは適宜の記憶媒体が制御部１４に直接に装着されることにより、加工データが入力されるようにしてもよいことは明らかである。また、上述した実施形態においては、加工すべきプローブ針１５は、治具１６により撓みが防止されるようになっているが、これに限らず、回転砥石１３の当接によりプローブ針１５の撓みが発生しなければ、治具１６は省略されてもよい。
さらに、保持部１２はチャッキング装置２０によりプローブ針１５を回転可能に固定保持するようになっているが、これに限らず、プローブ針１５を容易に着脱可能に高精度で保持できれば、他の構成のチャッキング装置を備えていてもよい。
【００４５】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、プローブ針は、一対の回転砥石により挟持された状態で研削加工されるので、回転砥石の当接力により一側に撓んでしまうようなことがない。従って、プローブ針の加工精度が向上すると共に、電解エッチングによる加工の場合と比較して、アバタや形状ムラ等の加工不良が発生するようなことがなく、またバリの発生もないことから、エッチング等の後処理が不要となる。従って、装置全体が小型に構成され、設置面積が少なくて済み、さらに消費電力も小さいことから、ランニングコストが低減される。
このようにして、本発明によれば、このようなプローブ針の生産性を向上させるために、機械加工のみによって、高精度にプローブ針を研削加工により形成するようにした、プローブ針の加工用研削装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるプローブ針の加工用研削装置の一実施形態の構成を示す概略図である。
【図２】図１のプローブ針の加工用研削装置による第一の研削加工方式を示し、（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は加工されたプローブ針の先端を示す斜視図である。
【図３】図１のプローブ針の加工用研削装置による第二の研削加工方式を示し、（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は加工されたプローブ針の先端を示す斜視図である。
【図４】図１のプローブ針の加工用研削装置による第三の研削加工方式を示し、（Ａ）は要部斜視図、（Ｂ）は加工されたプローブ針の先端を示す斜視図である。
【図５】図２の第一の研削加工方式による実験結果を示すそれぞれ（Ａ）２５倍，（Ｂ）６００倍の拡大写真である。
【図６】図３の第二の研削加工方式による実験結果を示すそれぞれ（Ａ）２５倍，（Ｂ）６００倍の拡大写真である。
【図７】図４の第三の研削加工方式による実験結果を示すそれぞれ（Ａ）２５倍，（Ｂ）６００倍の拡大写真である。
【図８】従来のプローブカード等に使用されるプローブ針の一例を示す拡大図である。
【符号の説明】
１０    プローブ針の加工用研削装置
１１    フレーム
１２    保持部
１２ａ  第一の駆動部
１３，１３ａ，１３ｂ    回転砥石
１３ｃ  第二の駆動部
１４    制御部
１５    プローブ針
１５ａ，１５ｂ，１５ｃ  プローブ針の針先
２０    チャッキング装置
２１    プローブ針支持部材
２１ａ  チャック部
２２    チャック開閉弁
２３，２４  電磁石
２３ａ，２４ａ  コア
２３ｂ，２４ｂ  コイル
３０    パーソナルコンピュータ
３１    ＣＡＤ／ＣＡＭ装置
【図１】
2005001027.tif 000003
【図２】
2005001027.tif 000004
【図３】
2005001027.tif 000005
【図４】
2005001027.tif 000006
【図５】
2005001027.tif 000007
【図６】
2005001027.tif 000008
【図７】
2005001027.tif 000009
【図８】
2005001027.tif 000010