(57)【要約】 【課題】  誤検出を防止可能な多光軸光電センサを提供する。【解決手段】  受光側ＣＰＵ３５は、干渉光が、他の多光軸光電センサＡから投光された光であるか否かを１投光スキャン動作中に干渉光の入光した回数によって判定し、干渉光が他の多光軸光電センサＡから投光された光であると判定したときには、次の投光スキャン動作の開始タイミングを変更する一方、干渉光が他の多光軸光電センサＡから投光された光でないと判定したときには、次の投光スキャン動作の開始タイミングの変更を行わない。【選択図】  図３
2005345141.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一列状に配列された複数の投光素子と、
前記各投光素子と対向して一列状に配列された複数の受光素子と、
前記複数の投光素子を所定の投光タイミングで順次投光させる投光スキャン動作を所定の周期で繰り返させる投光制御手段と、
前記各投光素子から投光された光のうち、前記投光素子と対応する受光素子に受光された受光信号を当該投光素子の投光タイミングに一致させて有効化する有効化手段と、
前記有効化手段で有効化された受光信号のレベルに基づいて検出を行う検出手段と、
前記複数の投光素子の非投光期間のうちから複数のタイミングを干渉光検出タイミングとし、この干渉光検出タイミングで有効化した受光信号に基づいて干渉光の検出を行う干渉光検出手段と、
前記干渉光検出手段において干渉光が検出されたときには、所定の干渉回避動作を行う干渉回避手段とを備える多光軸光電センサにおいて、
前記干渉光検出手段で検出された干渉光が、他の多光軸光電センサから投光された光であるか否かを判定する干渉光判定手段を備え、
前記干渉回避手段は、
前記干渉光判定手段により、前記干渉光が他の多光軸光電センサから投光された光であると判定されたときには、前記所定の干渉回避動作を行なう一方、前記干渉光が他の多光軸光電センサから投光された光でないと判定されたときには、前記所定の干渉回避動作を行わないことを特徴とする多光軸光電センサ。
【請求項２】
前記干渉光検出手段は、
各投光スキャン動作ごとに、前記複数の投光素子のうち最初に投光する投光素子の投光タイミングの所定時間前の時点から、最後に投光する投光素子の投光タイミングの所定時間後の時点までのうち、前記複数の投光素子の投光時を除く全ての期間が干渉光検出タイミングとして設定されていることを特徴とする請求項１記載の多光軸光電センサ。
【請求項３】
前記干渉光判定手段は、
前記干渉光検出手段において所定時間内に検出される干渉光の回数があらかじめ定められた所定回数以上であるときに、前記検出された干渉光が他の多光軸光電センサから投光された光であると判定することを特徴とする請求項１または請求項２記載の多光軸光電センサ。
【請求項４】
前記干渉回避手段の前記所定の干渉回避動作は、前記投光スキャン動作の開始タイミングを異ならせるものであることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の多光軸光電センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多光軸光電センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より多光軸光電センサとして、複数の投光素子が備えられた投光器と各投光素子に対応して複数の受光素子が備えられた受光器とが対向して配置されているものがある。
【０００３】
そして、投光器に備えられた投光素子が所定の投光タイミングにて順次投光される投光スキャン動作を所定周期で繰り返し行うとともに、各投光素子と対応する受光素子からの受光信号に基づいて、検出エリア内への物体侵入が検出されるようになっている。
【０００４】
ところで、図６に示すように、より広い領域で物体の侵入を検出すべく複数台の多光軸光電センサ４１,４２を設置することがあり、多光軸光電センサ４１,４２同士が近接した状態に配されることがある。
【０００５】
この場合、例えば上方に設置されている多光軸光電センサ４１のいずれかの光軸で投受光動作が行われているときに、下方に設置されている多光軸光電センサ４２から投光された光が、上方の多光軸光電センサ４１の当該受光動作を行っている受光素子に干渉光として入射することがある。すると、上方の多光軸光電センサ４１の光軸が遮光されているのに、光軸の遮光状態を検出できないという誤検出が生じてしまうことになる。
【０００６】
そこで、かかる誤検出を防止すべく受光素子における遮光検出のタイミングの直前にその受光素子にて干渉光の検出を行い、このとき干渉光が検出された場合には、一旦後の投光スキャン動作の周期を変えて、その後再び所定の周期で投光スキャン動作を行うことで、他の多光軸光電センサ４２からの干渉光による誤検出を防止する構成が考えられた。
【特許文献１】特開２００３−１３３９３３号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、受光素子に入射する干渉光としては、上記したような他の多光軸光電センサ４２からの干渉光の他にも、他の光源（例えば、単光軸の光電センサ、ランプ等）からの干渉光がある。
【０００８】
一方、上記構成では、これら異なる要因の干渉光について判別するものではなく、特定の受光素子について干渉光を検出した場合には、後の投光スキャン動作の周期を変えることにより誤検出を防止する構成であった。
【０００９】
ここで、受光素子に入射する干渉光が他の多光軸光電センサ４２からの干渉光でない場合には、多光軸光電センサ４１の複数の受光素子に順番に同じ間隔（各受光素子間の受光間隔）で干渉光が入射してくるということは極めて稀である。このように干渉光が異なる間隔で入射しているにもかかわらず多光軸光電センサ４１の投光タイミングを変更した場合には、この変更により多光軸光電センサ４１の投光タイミングが他の多光軸光電センサ４２の投光タイミングと等しくなってしまう可能性があり、かかる場合には、新たに誤検出が生じるおそれがある。
【００１０】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、誤検出を防止可能な多光軸光電センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明に係る多光軸光電センサは、一列状に配列された複数の投光素子と、前記各投光素子と対向して一列状に配列された複数の受光素子と、前記複数の投光素子を所定の投光タイミングで順次投光させる投光スキャン動作を所定の周期で繰り返させる投光制御手段と、前記各投光素子から投光された光のうち、前記投光素子と対応する受光素子に受光された受光信号を当該投光素子の投光タイミングに一致させて有効化する有効化手段と、前記有効化手段で有効化された受光信号のレベルに基づいて検出を行う検出手段と、前記複数の投光素子の非投光期間のうちから複数のタイミングを干渉光検出タイミングとし、この干渉光検出タイミングで有効化した受光信号に基づいて干渉光の検出を行う干渉光検出手段と、前記干渉光検出手段において干渉光が検出されたときには、所定の干渉回避動作を行う干渉回避手段とを備える多光軸光電センサにおいて、前記干渉光検出手段で検出された干渉光が、他の多光軸光電センサから投光された光であるか否かを判定する干渉光判定手段を備え、前記干渉回避手段は、前記干渉光判定手段により、前記干渉光が他の多光軸光電センサから投光された光であると判定されたときには、前記所定の干渉回避動作を行なう一方、前記干渉光が他の多光軸光電センサから投光された光でないと判定されたときには、前記所定の干渉回避動作を行わない構成としたところに特徴を有する。
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記干渉光検出手段は、各投光スキャン動作ごとに、前記複数の投光素子のうち最初に投光する投光素子の投光タイミングの所定時間前の時点から、最後に投光する投光素子の投光タイミングの所定時間後の時点までのうち、前記複数の投光素子の投光時を除く全ての期間が干渉光検出タイミングとして設定されているところに特徴を有する。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載のものにおいて、前記干渉光判定手段は、前記干渉光検出手段において所定時間内に検出される干渉光の回数があらかじめ定められた所定回数以上であるときに、前記検出された干渉光が他の多光軸光電センサから投光された光であると判定するところに特徴を有する。
【００１４】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のものにおいて、前記干渉回避手段の前記所定の干渉回避動作は、前記投光スキャン動作の開始タイミングを異ならせるものであるところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００１５】
＜請求項１の発明＞
本構成によれば、干渉回避手段は、干渉光が他の多光軸光電センサから投光された光であると判定されたときには、所定の干渉回避動作を行なう一方、干渉光が他の多光軸光電センサから投光された光でないと判定されたときには、所定の干渉回避動作を行わない。したがって、他の多光軸光電センサ以外の光源（例えば、単光軸の光電センサやランプ）からの光を受けたときには干渉回避動作を行わないから、この干渉回避動作により他の多光軸光電センサから投光された光が投光タイミングに受光素子に受光されて生じる誤検出を防止できる。
【００１６】
＜請求項２の発明＞
本構成によれば、他の多光軸光電センサからの干渉光であるかどうかの判定を精度よく行うことができる。
【００１７】
＜請求項３の発明＞
本構成によれば、所定時間内に検出される干渉光の回数があらかじめ定められた所定回数以上であるときに、検出された干渉光が他の多光軸光電センサから投光された光であると判定するから、干渉光が他の多光軸光電センサによるものか否かをより安定して判別することができる。
【００１８】
＜請求項４の発明＞
本構成によれば、後の投光スキャン動作の全ての周期を変えることなく、他の多光軸光電センサとの干渉を回避することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１ないし図５を参照しつつ説明する。
本実施形態の多光軸光電センサ１０は、図１に示すように、投光器２０と受光器３０とを対向させた状態で構成され、例えば、４チャンネルの光軸Ｌ１〜Ｌ４を有する。投光器２０のうち受光器３０と対向する面には、各チャンネル毎に１個（計４個）の投光素子２１ａ〜２１ｄ（例えば、ＬＥＤ）が上下方向に一列に配列され、受光器３０のうち投光器２０と対向する面には投光素子２１ａ〜２１ｄと対をなす受光素子３１ａ〜３１ｄ（例えば、フォトダイオード）が同じく上下方向に配列されている。なお、多光軸光電センサ１０の下方には他の多光軸光電センサＡが近接して配置されている。
【００２０】
本実施形態の多光軸光電センサ１０の電気的構成を図２に示す。
投光器２０には投光素子２１ａ〜２１ｄを点灯させるための駆動回路２２ａ〜２２ｄが備えられ、各駆動回路２２ａ〜２２ｄはＡＮＤ回路２３ａ〜２３ｄからの信号を受けると投光素子２１ａ〜２１ｄに駆動電流を供給する。ＡＮＤ回路２３ａ〜２３ｄにはシフトレジスタ２４及び投光側ＣＰＵ２５からの出力信号が入力され、双方からの信号が入力されると駆動回路２２ａ〜２２ｄに信号を送出するようになっている。投光側ＣＰＵ２５は後述する受光器３０に備えられた受光側ＣＰＵ３５から投光タイミング信号Ｓｔを受けとり、この投光タイミング信号Ｓｔをシフトレジスタ２４及びＡＮＤ回路２３ａ〜２３ｄに出力する。
【００２１】
この投光タイミング信号Ｓｔは所定周期のパルス信号であって（図３参照）、投光素子２１ａ〜２１ｄの点灯タイミングを決定するために受光側ＣＰＵ３５によって生成される。投光タイミング信号Ｓｔのスキャン周期（Ｔ１時間）内には４個のパルスが時間ｔａを空けて等間隔に発生し、４番目のパルスの後、休止期間ｔｂが設けられている。これにより、４個の投光素子２１ａ〜２１ｄが上から下へと順次点灯される投光スキャン動作が周期Ｔ１毎に繰り返し行なわれる。従って、ＡＮＤ回路２３ａ〜２３ｄ、シフトレジスタ２４、投光側ＣＰＵ２５及び受光側ＣＰＵ３５が投光素子２１ａ〜２１ｄを所定のタイミングで順次点灯させる投光制御手段を構成する。
【００２２】
一方、受光器３０には、受光素子３１ａ〜３１ｄからの受光信号を所定の増幅率で増幅する受光アンプ３２ａ〜３２ｄが各受光素子３１ａ〜３１ｄにそれぞれ備えられている。受光アンプ３２ａ〜３２ｄから出力される受光信号はアナログスイッチ３３ａ〜３３ｄを介し、共通の信号線にまとめられてコンパレータ３４に取り込まれる。この受光信号がコンパレータ３４に設定されている基準値以上であればハイレベル、基準値以下であるとロウレベルとなる入遮光検出信号Ｓｄ（干渉光検出信号Ｓｙ）が受光側ＣＰＵ３５に出力される。そして、受光側ＣＰＵ３５に入力された入遮光検出信号Ｓｄ（干渉光検出信号Ｓｙ）がハイレベルであればその受光素子３１ａ（〜３１ｄ）に光（投受光動作で受光した光又は干渉光）が入射したことが検出される一方、受光側ＣＰＵ３５に入力された信号がロウレベルであればその受光素子３１ａ〜３１ｄに光が入射しない（遮光されている）ことが検出される。したがって、受光側ＣＰＵ３５は本発明の検出手段、干渉光検出手段を構成する。
【００２３】
受光側ＣＰＵ３５は各アナログスイッチ３３ａ〜３３ｄに接続されており、前述の投光タイミング信号Ｓｔのパルスと周期及び位相が一致した（同期した）パルスが所定時時間（間隔ta）ごとに各アナログスイッチ３３ａ〜３３ｄに順次送出される受光タイミング信号Ｓｒを送信する。
【００２４】
また、受光側ＣＰＵ３５は、各投光素子２１ａ〜２１ｄの投光時を除き、各投光素子２１ａ〜２１ｄごとに、各投光時の前後の所定時間（例えば、前後共にta/2時間）にパルスの送出される干渉光検出タイミング信号Ｓｉを各アナログスイッチ３３ａ〜３３ｄに順次送信する。
これにより受光側ＣＰＵ３５は、投光素子２１ａ〜２１ｄのうち最初に投光する投光素子２１ａの投光タイミングの所定時間（例えば、ta/2）前の時点から、最後に投光する投光素子２１ｄの投光タイミングの所定時間（例えば、ta/2）後の時点までのうち、投光素子２１ａ〜２１ｄの投光時を除く全ての期間にパルスを送出するようになっている。
【００２５】
そして、送信された干渉光検出タイミング信号Ｓｉのパルスにより各アナログスイッチ３３ａ〜３３ｄがオンされると、各受光素子３１ａ〜３１ｄからの受光信号がコンパレータ３４に入力される。
【００２６】
これにより、受光側ＣＰＵ３５が受光タイミング信号Ｓｒ（及び投光タイミング信号Ｓｔ）のパルスを送出したときには、各投光素子２１ａ〜２１ｄが点灯状態にあるから、コンパレータ３４から出力される入遮光検出信号Ｓｄによって、受光側ＣＰＵ３５は遮光検出を行うとともに、受光側ＣＰＵ３５が干渉光検出タイミング信号Ｓｉのパルスを送出したときには、投光素子２１ａ〜２１ｄが非点灯状態であるから、コンパレータ３４から出力される干渉光検出信号Ｓｙによって受光側ＣＰＵ３５は干渉光の検出を行う。
【００２７】
次に、受光側ＣＰＵ３５の処理について図２〜図５を参照しつつ説明する。
多光軸光電センサ１０の電源をオンすると、図２に示すように、受光側ＣＰＵ３５は、投光側ＣＰＵ２５に投光タイミング信号Ｓｔを送信することにより投光スキャン動作を周期Ｔ１で繰り返し行なわせる。また、受光側ＣＰＵ３５は、受光タイミング信号Ｓｒ及び干渉光検出タイミング信号Ｓｉをアナログスイッチ３３ａ〜３３ｄに送信することにより受光信号を有効化して遮光検出及び干渉検出を行なう。
【００２８】
＜遮光検出＞
受光側ＣＰＵ３５は、図３に示すように、所定のタイミングでパルスを送出する投光タイミング信号Ｓｔと、この投光タイミング信号Ｓｔと同期してパルスを送出する受光タイミング信号Ｓｒを出力することにより、投光スキャン動作（周期Ｔ１）が開始される。すると、まず投光素子２１ａ（P1）が投光されるとともに、受光素子３１ａにて受光された光の受光信号が有効化され、コンパレータ３４でハイレベル若しくはロウレベルの入遮光検出信号Ｓｄとされて、この入遮光検出信号Ｓｄが受光側ＣＰＵ３５に入力される。
【００２９】
受光側ＣＰＵ３５は、図４に示すように、入遮光検出信号Ｓｄを受けると、この入遮光検出信号Ｓｄがハイレベル（光が入射）であるときは（Ｓ１１で「Ｎ」）、光軸Ｌ１の遮光回数のカウントＮ１を初期化し（Ｓ１５）、光軸Ｌ２の遮光検出を行う。
【００３０】
一方、入遮光検出信号Ｓｄがロウレベル（遮光）であるときは、光軸Ｌ１が前回の投光スキャン動作時に遮光状態（遮光カウントＮ１＝１）であったかどうかが判定され（Ｓ１２）、光軸Ｌ１が前回の投光スキャン動作時に遮光状態であった場合には（Ｓ１２で「Ｙ」）、出力回路３６に遮光判定の出力を行った後（Ｓ１４）、光軸Ｌ２の遮光検出を行う。
【００３１】
光軸Ｌ１が前回の投光スキャン動作時に遮光状態でなかった場合には（Ｎ１＝０,Ｓ１２で「Ｎ」）、光軸Ｌ１の遮光回数のカウントＮ１を１とした後（Ｓ１３）、光軸Ｌ２の遮光検出を行う。
【００３２】
次に、パルスの送出してから所定時間（間隔ta）後に投光タイミング信号Ｓｔと、受光タイミング信号Ｓｒの２回目のパルスを送出すると、投光素子２１ｂ（P2）が投光されるとともに、受光素子３１ｂにて受光された光の受光信号が有効化され、コンパレータ３４でハイレベル若しくはロウレベルの入遮光検出信号Ｓｄとされて、この入遮光検出信号Ｓｄが受光側ＣＰＵ３５に入力される。
【００３３】
受光側ＣＰＵ３５は、入遮光検出信号Ｓｄを受けると、この入遮光検出信号Ｓｄがハイレベル（光が入射）であるときは（Ｓ１６で「Ｎ」）、光軸Ｌ２の遮光回数のカウントＮ２を初期化し（Ｓ２０）、光軸Ｌ３の遮光検出を行う。
【００３４】
一方、入遮光検出信号Ｓｄがロウレベル（遮光）であるときは、光軸Ｌ２が前回の投光スキャン動作時に遮光状態（遮光カウントＮ２＝１）であったかどうかが判定され（Ｓ１７）、光軸Ｌ２が前回の投光スキャン動作時に遮光状態であった場合には（Ｓ１７で「Ｙ」）、出力回路３６に遮光判定の出力を行った後（Ｓ１９）、光軸Ｌ３の遮光検出を行う。
【００３５】
光軸Ｌ２が前回の投光スキャン動作時に遮光状態でなかった場合には（Ｎ２＝０,Ｓ１７で「Ｎ」）、光軸Ｌ２の遮光回数のカウントＮ２を１とした後（Ｓ１８）、光軸Ｌ３の遮光検出を行う。
【００３６】
そして、受光側ＣＰＵ３５は、光軸Ｌ３（Ｓ２１〜Ｓ２５）,光軸Ｌ４（Ｓ２６〜Ｓ３０）についても上記と同様の処理を行うことにより、各光軸Ｌ１〜Ｌ４が物体の進入により遮光されたかどうかを検出する。
【００３７】
＜干渉光検出＞
受光側ＣＰＵ３５は、図３,５に示すように、干渉光検出タイミング信号Ｓｉのパルスを投光スキャン動作の開始タイミング（光軸Ｌ１の投受光タイミングP1）の所定時間前（例えば、投受光タイミングP1のta/2時間前（投光間隔taの半分前））に、アナログスイッチ３３ａに出力する。するとアナログスイッチ３３ａがオンされることにより、受光素子３１ａに干渉光が入光していた場合には、その受光信号が有効化されてコンパレータ３４に入力され、このコンパレータ３４から出力されるハイレベル若しくはロウレベルの干渉光検出信号Ｓｙにより、受光側ＣＰＵ３５は、入力した干渉光検出信号Ｓｙがハイレベルである場合には、干渉光の入光を検出する（Ｓ４１）。
【００３８】
次に、受光側ＣＰＵ３５は、投光スキャン動作の開始タイミング（投光素子２１ａの投光タイミングP1）となると、干渉光検出タイミング信号Ｓｉのパルス送出を停止し、アナログスイッチ３３ａをオフするとともに、投光タイミング信号Ｓｔと受光タイミング信号Ｓｒのパルスを出力し、上述した遮光検出時の処理を行う（Ｓ４２）。
【００３９】
そして、所定の投光時間が経過すると、投光タイミング信号Ｓｔと受光タイミング信号Ｓｒのパルスの出力を停止するとともに、４光軸Ｌ１〜Ｌ４の全てについて投受光動作が終了したかどうかが判断され（Ｓ４３）、光軸Ｌ１しか投受光動作が終了していないから（Ｓ４３で「Ｎ」）、再びアナログスイッチ３３ａに干渉光検出タイミング信号Ｓｉのパルス送出を行い、受光素子３１ａの干渉光の検出をta/2時間経過するまで行うとともに、ta/2時間経過後はアナログスイッチ３３ｂに干渉光検出タイミング信号Ｓｉのパルス送出を行い、受光素子３１ｂの干渉光の検出をta/2時間経過するまで行う（Ｓ４１）。
【００４０】
次に、受光側ＣＰＵ３５は、投光素子２１ｂの投光タイミングP2になると、アナログスイッチ３３ｂをオフするとともに、投光タイミング信号Ｓｔと受光タイミング信号Ｓｒのパルスを出力し、上述した遮光検出時の処理を行う（Ｓ４２）。
【００４１】
次に、所定の投光時間が経過すると、投光タイミング信号Ｓｔと受光タイミング信号Ｓｒのパルスの出力を停止するとともに、４光軸の全てについて投受光動作が終了したかどうかが判断され（Ｓ４３）、光軸Ｌ２までしか投受光動作が終了していないから（Ｓ４３で「Ｎ」）、再びアナログスイッチ３３ｂに干渉光検出タイミング信号Ｓｉのパルス送出を行うとともに、上記した処理を４光軸の全てについて終了するまで繰り返す（Ｓ４１〜Ｓ４３）。
【００４２】
そして、光軸Ｌ４について遮光検出を行うことにより、４光軸の全てについて終了（Ｓ４３で「Ｙ」）した後に、再びアナログスイッチ３３ｄに干渉光検出タイミング信号Ｓｉのパルス送出を行い、受光素子３１ｄの干渉光の検出をta/2時間経過するまで行う（Ｓ４４）。
【００４３】
次に、受光側ＣＰＵ３５は、上記した処理により検出された干渉光の回数（請求項３の「所定時間内に検出される干渉光の回数」に相当）をカウントし、この回数が予め規定されている回数（例えば、２回）以上であるかどうかを判定する（Ｓ４５,本発明の「干渉光判定手段」に相当）。
この回数が予め規定されている回数（２回）以上である場合には、次の投光スキャン動作を行うまでの休止期間tbをt’時間減らして休止期間tb-t’に変更（スキャン周期Ｔ１をＴ２に変更）する（Ｓ４６,本発明の「干渉回避手段」に相当）。一方、干渉光の回数が予め規定されている回数以下（例えば、１回）である場合には、次の投光スキャン動作を行うまでの時間を変更しない（通常通りの休止期間tb（スキャン周期Ｔ１）,Ｓ４７,本発明の「干渉回避手段」に相当）。
【００４４】
そして、休止期間tbが変更された場合には、休止期間tb-t’の経過後に次の投光スキャン動作が行われるが、その（次の）投光スキャン動作で干渉光が所定回数以上検出されなければ、再び通常の休止期間tbとなる。
【００４５】
上記構成によれば、干渉光が他の多光軸光電センサＡからの干渉光である場合には、図３（ａ）に示すように、所定の間隔（周期）で干渉光が検出されることになり、その干渉光の回数も所定（規定）回数以上（例えば４回）になるから、後の投光スキャン動作の開始タイミング（休止期間tb）を変えることにより、遮光検出時の干渉光の入射が回避できる。
【００４６】
一方、干渉光が他の多光軸光電センサＡからの干渉光でない場合（例えば、単光軸の光電センサやランプ等）には、図３（ｂ）に示すように、干渉光は一般に不規則なタイミングで受光素子３１ａ〜３１ｄに入射される。そのため、周期的に入射することは極めて稀であり、１投光スキャン動作のうちに干渉光が複数回検出されることは少ない。したがって、１投光スキャン動作中に所定の回数（例えば、２回）以上の干渉光が検出されないときには、次の投光スキャン動作の休止期間tbの変更を行わないことにより、休止期間tbの変更により多光軸光電センサ１０の投光タイミングが他の多光軸光電センサＡから投光された光の投光タイミング（多光軸光電センサＡからの干渉光が入射するタイミング）に等しくなってしまうことにより生じる誤検出を防止できる。
【００４７】
また、受光側ＣＰＵ３５は、各投光スキャン動作ごとに、投光素子２１ａ〜２１ｄのうち最初に投光する投光素子２１ａの投光タイミングの所定時間（ta/2）前の時点から、最後に投光する投光素子２１ｄの投光タイミングの所定時間（ta/2）後の時点までのうち、投光素子２１ａ〜２１ｄの投光時を除く全ての期間が干渉光検出タイミングとして設定されている。したがって、例えば、投光時の直前や直後のみに干渉光の検出を行う構成と比較して、より広い期間に干渉光の検出を行うことで、より正確に干渉光が他の多光軸光電センサＡによるものか否かを判定することができる。また、最後に投光する投光素子２１ｄの投光タイミングの所定時間（ta/2）後から、次の投光スキャン動作の開始までは、休止期間tbとして干渉光の検出を行わないから、受光側ＣＰＵ３５の処理を少なくすることができる。
【００４８】
さらに、検出される干渉光の回数があらかじめ定められた所定回数（２回）以上であるときに、干渉光が他の多光軸光電センサＡから投光された光であると判定するから、他の多光軸光電センサＡから干渉光であるか否かをより安定して判別することができる。
【００４９】
また、所定の干渉回避動作は、投光スキャン動作の開始タイミング（休止期間tb）を異ならせるものであるから、後の投光スキャン動作の全てについて投光スキャン動作の周期Ｔ１を変えることなく、他の多光軸光電センサＡとの干渉を回避することができる。
【００５０】
＜実施形態２＞
次に、本発明の実施形態２を説明する。以下、同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
実施形態１では、受光側ＣＰＵ３５は、干渉光が所定回数以上入射したことを検出したときに、他の多光軸光電センサＡからの干渉光であると判定することとした。
【００５１】
一方、実施形態２では、複数の干渉光が検出された場合に、２回連続して検出される干渉光の間隔（周期）が所定時間（例えば、予め記憶されている多光軸光電センサの投光間隔ta（周期））であった場合には、他の多光軸光電センサＡからの干渉光であることを検出するものである。
例えば、他の光源（単光軸の光電センサ、ランプ等）からの干渉光は周期が一定ではないから、所定時間（周期）と比較することにより干渉光が他の多光軸光電センサＡからのものであるかどうかを容易に判定できる。
【００５２】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００５３】
（１）上記実施形態では、干渉光が２回検出されたことを条件に休止期間tbを変更していたが、これに限らず、例えば、干渉光が３回以上検出されたことを条件に休止期間tbを変更するようにしてもよい。
【００５４】
（２）上記実施形態では、休止期間ｔｂを短く変更したが、休止期間ｔｂを短く変更することに限らず、長く変更することも可能であり、また、投光タイミング信号のパルス間の間隔ｔａを変更するようにしてもよい。
【００５５】
（３）上記実施形態では、干渉光の入射回数をカウントする所定時間（請求項３の「所定時間」）は、１投光スキャン動作における最初の投光タイミングの所定時間ta/2前の時点から、最後の投光タイミングの所定時間ta/2後の時点までのうち、投光時を除く期間としたが、これに限られない。例えば、１投光スキャン動作中の複数のタイミングに複数の光軸（受光素子）についての干渉光の回数をカウントしてもよく、また、複数回の投光スキャン動作に亘って干渉光の回数をカウントしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】多光軸光電センサの構成斜視図
【図２】多光軸光電センサの電気的構成を示す回路図
【図３】（ａ）多光軸光電センサの動作と他の多光軸光電センサからの干渉光のタイミングを示すタイムチャート  （ｂ）多光軸光電センサの動作と他の光源からの干渉光のタイミングを示すタイムチャート
【図４】遮光検出時の処理を示すフローチャート
【図５】干渉光検出の処理を示すフローチャート
【図６】従来の多光軸光電センサの構成斜視図
【符号の説明】
【００５７】
１０…多光軸光電センサ
２１ａ〜２１ｄ…投光素子
２２ａ〜２２ｄ…駆動回路
２４…シフトレジスタ
３１ａ〜３１ｄ…受光素子
３３ａ〜３３ｄ…アナログスイッチ
３４…コンパレータ
Ａ…他の多光軸光電センサ
ＣＰＵ２５…投光側
ＣＰＵ３５…受光側
Ｌ１〜Ｌ４…光軸
Ｓｔ…投光タイミング信号
Ｓｒ…受光タイミング信号
Ｓｉ…干渉光検出タイミング信号
Ｓｄ…入遮光検出信号
Ｓｙ…干渉光検出信号
Ｔ１…スキャン周期
ｔｂ…休止期間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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