(57)【要約】【課題】  シール性を向上させると共に、気泡の滞留することのない薬液弁を提供すること。【解決手段】  流体が流れる流路上に設けられ、ダイアフラム弁体１５を作動させて弁座１４に当接又は離間させることにより流体の供給を制御するものであって、ダイアフラム弁体１５とサックバック用ダイアフラム弁体１６とを一体的に作動させるようにした薬液弁であって、一端がサックバック用ダイアフラム弁体１６と連結され、他端１１ａが球面状であってダイアフラム弁体１５と当接する連結棒１１を有している。【選択図】    図１
2005090639.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる流路上に設けられ、ダイアフラム弁体を作動させて弁座に当接又は離間させることにより流体の供給を制御するものであって、前記ダイアフラム弁体とサックバック用ダイアフラム弁体とを一体的に作動させるようにした薬液弁において、
一端が前記サックバック用ダイアフラム弁体と連結され、他端が球面状であって前記ダイアフラム弁体と当接する連結棒を有することを特徴とする薬液弁。
【請求項２】
請求項１に記載する薬液弁において、
前記サックバック用ダイアフラム弁体は、前記ダイアフラム弁体と略同一形状をなし、前記ダイアフラム弁体とは逆向きに取り付けられることを特徴とする薬液弁。
【請求項３】
流体が流れる流路上に設けられ、ダイアフラム弁体を作動させて弁座に当接又は離間させることにより流体の供給を制御するものであって、前記ダイアフラム弁体とサックバック用ダイアフラム弁体とを一体的に作動させるようにした薬液弁において、
前記ダイアフラム弁体がその一部を形成するダイアフラム弁室に設けられた気泡用開口と、
前記気泡用開口と連通して、前記ダイアフラム作動室に停滞した気泡を自動的に排除する気泡抜き弁とを有することを特徴とする薬液弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を供給又は遮断する薬液弁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置では、半導体ウエハに所定量の薬液を塗布して、薄膜を形成している。近年、半導体製造工程では微細加工が進み、薄膜の膜厚を均一にするため、薬液の塗布量を厳しく管理する必要がある。そのため、半導体製造装置では、サックバック機構を使用している。サックバック機構では、薬液弁と塗布ノズルとの間にサックバックバルブを配設することにより、薬液弁が薬液を遮断したときに、サックバックバルブが、塗布ノズルの先端から所定の位置まで薬液を引き込むようにサックバックして、薬液が液垂れしないようにしている。これは、半導体ウエハに余分な薬液を塗布することを防ぐとともに、その次の半導体ウエハに対する薬液の塗布量が少なくなることを防いで、薬液の塗布量を均一化することにより、歩留まり率を向上させるためである。
【０００３】
しかしながら、従来のサックバック機構には、以下の問題があった。
すなわち、従来のサックバック機構は、薬液弁とサックバックバルブとが経時的変化により作動タイミングにズレを発生し、薬液の吸い戻し量にバラツキを生じていた。薬液弁とサックバックバルブは、一定のタイミングで出力される電気信号に従って作動するが、薬液弁のダイアフラム弁体と、サックバックバルブのダイアフラム弁体とを機械的に作動させるため、電気信号が出力される電気信号出力時間と作動を完了する作動完了時間との間にタイムラグが生じ、さらに、薬液弁の作動完了時間とサックバックバルブの作動完了時間との間にタイムラグが生じていた。
ここで、薬液弁とサックバックバルブは、各々のダイアフラム弁体を独立して作動させるため、ダイアフラム弁体の劣化の程度に差が生じ、タイムラグが経時的変化によってズレを生じていた。このタイムラグのズレにより、サックバックバルブが薬液を吸い戻すタイミングや液量などにバラツキが生じ、ひいては、薬液を塗布ノズルの先端から所定の位置まで引き込むことが困難な場合があった。
【０００４】
その問題を解決するために、本出願人は、特願２００２−７７５２２号として、特許出願を行った。また、特開２００３−１８５０５３号公報（特許文献１）として公開されているものがある。
その弁の構造は、ダイアフラム弁体１５と、それと略同一形状で逆向きに取り付けられたサックバック用ダイアフラム弁体とを連結棒２３で連結させ、同期させて動かすことを基本的な技術的思想としている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１８５０５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の薬液弁には、次のような問題点があった。
（１）特許文献１には明確に記載されていないが、本出願人の特願２００２−７７５２２号には、図５に示す薬液弁が開示されている。ただし、図５は、図中「上」「下」と記載されたように取り付けられるが、これは、特願２００２−７７５２２号の図１を９０度回転させた状態を示している。
貫通孔１０に嵌挿された連結棒１１の左端部は円筒形状であり、弁座１４に当接又は離間するダイアフラム弁体１５に形成された円筒孔が、連結棒１１の左端部に嵌合され連結されている。また、連結棒１１の右端部は円筒形状であり、ダイアフラム弁体１５と同一形状をなすサックバック用ダイアフラム弁体１６に形成された円筒孔が、連結棒１１の右端部に嵌合され連結されている。これにより、ダイアフラム弁体１５とダイアフラム弁体１６とは逆向きに連結され、ダイアフラム弁体１５とサックバック用ダイアフラム弁体１６とは、貫通孔１０に対して、対向する様にそれぞれ取り付けられている。
【０００７】
ここで、ダイアフラム弁体１５が弁座１４に当接することにより、流体が遮断されシールさせている。しかしながら、ダイアフラム弁体１５が連結棒１１の左端部に嵌合して連結され、連結棒１１の右端部がサックバック用ダイアフラム１６に嵌合して連結されているので、ダイアフラム弁体１５が弁座１４に当接する角度がサックバック用弁体１６の動きの影響を受けるため、ダイアフラム弁体１５が弁座１４に対して垂直に当接できず片当たりして、シールが不完全となり流体が漏れる可能性があった。
【０００８】
（２）特願２００２−７７５２２号の図１に記載された薬液弁は、本願の図５に記載されたものと９０度回転した状態でいる。従来、特願２００２−７７５２２号の図１に記載された方向で使用するのが一般的であるが、気泡がダイアフラム弁体１５の付近に滞留していて抜けないため、薬液を供給するときに、気泡が混入するという不都合があった。そのため、現場においては、本願の図２に示すような上下方向で使用していた。
しかしながら、図２のように使用しても、ダイアフラム作動室１７の上部に気泡が滞留する問題があった。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、シール性を向上させると共に、気泡の滞留することのない薬液弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る薬液弁は、次のような構成を有している。
（１）流体が流れる流路上に設けられ、ダイアフラム弁体を作動させて弁座に当接又は離間させることにより流体の供給を制御するものであって、ダイアフラム弁体とサックバック用ダイアフラム弁体とを一体的に作動させるようにした薬液弁であって、一端がサックバック用ダイアフラム弁体と連結され、他端が球面状であってダイアフラム弁体と当接する連結棒を有する。
（２）（１）に記載する薬液弁において、前記サックバック用ダイアフラム弁体は、前記ダイアフラム弁体と略同一形状をなし、前記ダイアフラム弁体とは逆向きに取り付けられることを特徴とする。
【００１１】
（３）流体が流れる流路上に設けられ、ダイアフラム弁体を作動させて弁座に当接又は離間させることにより流体の供給を制御するものであり、ダイアフラム弁体とサックバック用ダイアフラム弁体とを一体的に作動させるようにした薬液弁であって、ダイアフラム弁体がその一部を形成するダイアフラム弁室に設けられた気泡用開口と、気泡用開口と連通して、ダイアフラム作動室に停滞した気泡を自動的に排除する気泡抜き弁とを有する。
【発明の効果】
【００１２】
次に、上記構成を有する薬液弁の作用・効果を説明する。
上記（１）に記載する薬液弁によれば、ダイアフラム弁体側の連結棒の端部が球面状であって、ダイアフラム弁体と当接しているので、ダイアフラム弁体が連結棒に対して回動可能な状態にある。それにより、ダイアフラム弁体が弁座に当接したときに、ダイアフラム弁体がサックバック用ダイアフラムの影響を受けることが無いため、ダイアフラム弁体が弁座に均一に当接でき、シール性が向上する。ここで、ダイアフラム弁体と連結棒とは当接しているのみで連結されていないが、上下に設けられた圧縮バネによりダイアフラム弁体と連結棒とは常に当接する方向に付勢されているので、上下方向には連結された状態で作動している。
【００１３】
上記（２）に記載する薬液弁によれば、サックバック用ダイアフラム弁体はダイアフラム弁体と対応して作動し、ダイアフラム弁体の作動に伴う容積変化量とサックバック用ダイアフラム弁体の作動に伴う容積変化量とが同じになるため、ダイアフラム弁体が弁座に当接しているときでも、また、離間しているときでも、ダイアフラム弁体で仕切られる空間とサックバック用ダイアフラム弁体で仕切られる空間との総容積が変化せず、薬液の押し出しを効果的に防止することができる。
【００１４】
上記（３）に記載する薬液弁によれば、最も気泡が滞留しやすい箇所に気泡用開口を設けると共に、気泡用開口と連通する気泡抜き弁を自動的に作動させることにより、気泡の滞留を防止することができる。気泡抜き弁は、本体であるダイアフラム弁体が作動していないとき等、ダイアフラム弁の作用に影響を与えないときに作動させる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明に係る薬液弁の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は、薬液弁の断面図である。薬液弁は、大きく薬液弁本体１と、気泡抜き弁３０とより構成されている。図中、「上」と記載した方向が実際に上向きに、「下」と記載した方向が実際に下向きに取り付けられる。
制御部は、円筒形状のシリンダ２にカバー３を取り付けてピストン室４が形成され、そのピストン室４にピストンロッド５が摺動可能に嵌挿されて、上側ピストン室４ａと下側ピストン室４ｂに分割されている。ピストンロッド５には、上側ピストン室４ａに装備された付勢バネ６によって常に図中下向きの力が作用している。その一方で、上側ピストン室４ａにはカバー３に形成された吸排気ポート７が連通するとともに、下側ピストン室４ｂにはシリンダ２に形成された操作ポート８が連通している。そのため、ピストンロッド５には、操作ポート８から下側ピストン室４ｂに圧縮空気を流入させることによって図中左向きの力を作用させることができ、さらに、操作ポート８から圧縮空気を流出させることによって、図中右向きの力を解除させることができるようになっている。
【００１６】
一方、弁部は、制御部に固定されるボディ９に内設されている。ボディ９には、ピストン室４及びピストンロッド５と同軸上に貫通孔１０が形成され、そこに連結棒１１が嵌挿されている。貫通孔１０の両端には、貫通孔１０より大径の開口部が形成され、制御部側（図中上側）開口部には入力ポート１２が、また、反制御部側（図中下側）開口部には出力ポート１３がそれぞれ連通し、さらに、制御部側（図中左側）開口部と貫通孔１０との間の段差を利用して弁座１４が設けられている。
貫通孔１０に嵌挿された連結棒１１の左端部１１ａは半球面状である。そして、弁座１４に当接又は離間するダイアフラム弁体１５の右端面には、左端部１１ａと略同じ形状の半球面孔が形成されている。その半球面孔に連結棒１１の左端部１１ａが当接されており、連結棒１１は、ダイアフラム弁体１５に対して回動自在とされている。
連結棒１１の右端部には、ダイアフラム弁体１５と同一形状をなすサックバック用ダイアフラム弁体１６がダイアフラム弁体１５とは逆向きに固定され、そのダイアフラム弁体１５とサックバック用ダイアフラム弁体１６は制御部側（図中左側）開口部と反制御部側（図中右側）開口部に対向する様にそれぞれ取り付けられている。
【００１７】
ダイアフラム弁体１５は、ボディ９とシリンダ２で狭持される周縁部１５ａと、中心部に設けられて弁座１４に当接又は離間する弁体部１５ｃが肉厚に形成され、その周縁部１５ａと弁体部１５ｃとの間に薄膜部１５ｂが一体的に形成されている。弁体部１５ｃは、連結棒１１と連結するために連結棒１１側に突出し、その突出方向と反対方向に薄膜部１５ｂが湾曲している。こうしたダイアフラム弁体１５は、弁体部１５ｃが制御部のピストンロッド５の右端部に螺合接続され、薄膜部１５ｂでボディ９の制御部側（図中左側）開口部を仕切って作動室１７を形成している。
【００１８】
一方、サックバック用ダイアフラム弁体１６は、ボディ９とダイアフラム保持部材１９で狭持される周縁部１６ａと、中心部に設けられた弁体部１６ｃが肉厚に形成され、その周縁部１６ａと弁体部１６ｃとの間に薄膜部１６ｂが一体的に形成されている。弁体部１６ｃは、連結棒１１と連結するために連結棒１１側に突出し、その突出方向と反対方向に薄膜部１６ｂが湾曲している。こうしたサックバック用ダイアフラム弁体１６は、弁体部１５ｃがダイアフラム保持部材１９に摺動可能に嵌挿されたバネ受け２１に固定され、薄膜部１６ｂでボディ９の反制御部側（図中右側）開口部を仕切ってサックバック室２０を形成している。
従って、入力ポート１２と出力ポート１３は、ダイアフラム作動室１７、弁座１４、貫通孔１０、サックバック室２０を介して連通し、薬液の流路を形成している。
【００１９】
そして、ダイアフラム弁体１５の弁体部１５ｃには、制御部のピストンロッド５を介して付勢バネ６の図中右向きの力を常に作用させている。その一方で、サックバック用ダイアフラム弁体１６の弁体部１６ｃには、バネ受け２１を介してダイアフラム保持部材１９と取付板２２との間に装備されたスプリング２３の図中左向きの力を常に作用させている。つまり、ダイアフラム弁体１５には、常に弁体部１５ｃを弁座１４に当接する力を作用させ、薬液弁４０をノーマルクローズタイプの弁にしている。同時に、スプリング６及びスプリング２３の付勢力により、連結棒１１が常にダイアフラム弁体１５に押圧されており、連結棒１１とダイアフラム弁１５とは、左右方向に関しては常に一体的に移動する。
【００２０】
次に、気泡抜き弁３０の構成を説明する。
ダイアフラム作動室１７の断面積は、ダイアフラムの薄膜部１５ｂ側が小さく弁座１４側が大きく形成されている。すなわち、ダイアフラム作動室１７の外壁部は弁座側に向かって広がるように傾斜が形成されている。その傾斜の頂点付近の一箇所、図中ダイアフラム作動室１７の最上端部に気泡用開口１８が形成されている。
気泡用開口１８は、連通路４０を介して気泡抜き弁室４４と連通している。気泡抜き弁室４４には、弁座３９が形成されている。弁座３９には、ダイアフラム弁体３８が当接及び離間可能なように取り付けられている。ダイアフラム弁体３８は、パイロット弁のピストンロッド３２の右端部に連結されている。ピストンロッド３２のピストン部は、シリンダ室４５ａ，４５ｂとを隔離している。シリンダ室４５ａには、パイロット空気供給口３３が連通され、気泡抜き弁２を作動させるための作動空気が供給される。ピストンロッド３２は、バネ３４により常に弁座３９に当接する方向に付勢されている。
一方、ピストンロッド３２の左端には、調整ロッド３５が当接しており、調整ロッド３５の位置により、気泡抜きの量を調整可能としている。調整ロッド３５は、調整つまみ３６により調整され、ロックナット３７により固定される。
【００２１】
次に、上記構成を有する薬液弁の作用を説明する。始めに、薬液弁本体１の動作について説明する。
図１の状態で操作ポート８から下側ピストン室４ｂに圧縮空気を供給すると、ピストンロッド５が付勢バネ６の力に反して図中上向きに移動し、ダイアフラム弁体１５の弁体部１５ｃを図１の状態から図２の状態まで引き上げる。そのため、ダイアフラム弁体１５の弁体部１５ｃは、弁座１４から離間する一方、連結棒１１を介してサックバック用ダイアフラム弁体１６の弁体部１６ｃをスプリング２３の図中下方向の力に反して図１の状態から図２の状態まで引き上げる。これにより、入力ポート１２と出力ポート１３が弁座１４を介して連通し、薬液が図示しない塗布ノズルから半導体ウエハ上に塗布される。
【００２２】
そして、半導体ウエハに薬液を所定量塗布すると、操作ポート８から圧縮空気を流出させる。ピストンロッド５は、図中左向きの力を解除されて、付勢バネ６の力で図中右向きに移動し、ダイアフラム弁体１５の弁体部１５ｃを押し下げる。そのため、ダイアフラム弁体１５の弁体部１５ｃは、弁座１４に当接する一方、連結棒１１を介してサックバック用ダイアフラム弁体１６の弁体部１６ｃを押し下げる。このとき、サックバック用ダイアフラム弁体１６は、スプリング２３の図中右向きの力を連結棒１１を介してダイアフラム弁体１５に伝達し、ダイアフラム弁体１５には、付勢バネ６とスプリング２３の図中右向きの力が作用して、弁体部１５ｃが弁座１４に密着する。これにより、入力ポート１２と出力ポート１３がダイアフラム弁体１５で遮断され、薬液が塗布ノズル６０から半導体ウエハ上に塗布されなくなる。
ここで、連結棒１１の左端部１１ａが半球形状であり、一方ダイアフラム弁体１５の右端面に略同じ半球形状孔が形成されていて、半球形状孔に左端部１１ａが当接しているので、連結棒１１は、ダイアフラム弁体１５と左右方向に一体的に移動しながら、回動できるため、ダイアフラム弁体１５は、弁座１４に対して均一な力で当接できる。これにより、シール性が向上し、流体が漏れるおそれがない。
【００２３】
次に、ダイアフラム弁体１５とサックバック用ダイアフラム弁体１６の作動関係について説明する。図２は、ダイアフラム弁体１５及びサックバック用ダイアフラム弁体１６の作動に関するタイムチャートである。図３は、ダイアフラム弁体１５の薄膜部１５ｂの作用説明図であって、閉弁状態を実線で示し、開弁状態を点線で示している。図４は、サックバック用ダイアフラム弁体１６の薄膜部１６ｂの作用説明図であって、サックバック状態を実線で示し、非サックバック状態を点線で示している。
【００２４】
図２に示すように、薬液弁１は、薬液弁１に開動作信号を入力すると、作動し始め、図３に示すように、ダイアフラム弁体１５の弁体部１５ｃを所定量Ｍだけ上向きに移動させる。この機械的動作のため、開動作信号出力時間Ａと現実にダイアフラム弁体１５が開動作を完了する開動作完了時間Ｂとの間にはタイムラグが生じる。その一方で、サックバック用ダイアフラム弁体１６は、ダイアフラム弁体１５と連結棒１１を介して連結するため、図２及び図４に示すように、ダイアフラム弁体１５の開動作開始時間Ａ及び開動作完了時間Ｂと同じタイミングで、すなわち、ダイアフラム弁体１５と同期して所定量Ｍだけ引き上げられる。
【００２５】
このとき、ダイアフラム弁体１５では、図３に示すように、薄膜部１５ｂの弁体部１５ｃ側端部を所定量Ｍだけ引き上げ、薄膜部１５ｂによって仕切られる容積をＳだけ大きくするため、ダイアフラム作動室１７の容積が大きくなる。それに対して、サックバック用ダイアフラム弁体１６では、図４に示すように、薄膜部１６ｂの弁体部１６ｃ側端部を所定量Ｍだけ引き上げられ、薄膜部１６ｂによって仕切られる容積がＴだけ小さくなるため、サックバック室２０の容積が小さくなる。ここで、ダイアフラム弁体１５とサックバック用ダイアフラム弁体１６とは同一形状をなし、しかも、薄膜部１５ｂ，１６ｂの変位量が同じであるため、ダイアフラム作動室１７の容積増加量Ｓとサックバック室２０の容積減少量Ｔとが同じになり、ダイアフラム作動室１７とサックバック室２０の総容積は、ダイアフラム弁体１５の開動作によって変化しない。
【００２６】
そして、図２に示すように、薬液弁１は、開動作信号を入力しなくなると、作動を停止し、ダイアフラム弁体１５の弁体部１５ｃを図３に示すように所定量Ｍだけ下向きに移動させる。この機械的動作のため、開動作開始信号出力時間Ｃと現実にダイアフラム弁体１５が閉動作を完了する閉動作完了時間Ｄとの間にはタイムラグが生じる。その一方で、サックバック用ダイアフラム弁体１６は、ダイアフラム弁体１５と連結棒１１を介して連結するため、図２及び図４に示すように、ダイアフラム弁体１５の閉動作開始時間Ｃと閉動作完了時間Ｄと同じタイミングで、すなわち、ダイアフラム弁体１５と同期して所定量Ｍだけ押し下げられる。
【００２７】
このとき、ダイアフラム弁体１５では、図３に示すように、薄膜部１５ｂの弁体部１５ｃ側端部を所定量Ｍだけ押し下げ、薄膜部１５ｂによって仕切られる容積をＳだけ小さくするため、ダイアフラム作動室１７の容積が小さくなる。それに対して、サックバック用ダイアフラム弁体１６では、図４に示すように、薄膜部１６ｂの弁体部１６ｃ側端部を所定量Ｍだけ押し下げられ、薄膜部１６ｂによって仕切られる容積がＴだけ大きくなるため、サックバック室２０の容積が大きくなる。ここで、ダイアフラム弁体１５とサックバック用ダイアフラム弁体１６とは同一形状をなし、しかも、薄膜部１５ｂ，１６ｂの変位量が同じであるため、ダイアフラム作動室１７の容積減少量Ｓとサックバック室２０の容積増加量Ｔとが同じになり、ダイアフラム作動室１７とサックバック室２０の総容積は、ダイアフラム弁体１５の閉動作によって変化しない。
【００２８】
従って、本実施の形態の薬液弁によれば、ダイアフラム弁体１５とサックバック用ダイアフラム弁体１６とが同期して作動するため（図２参照）、ダイアフラム弁体１５とサックバック用ダイアフラム弁体１６の経時的変化を同程度とすることができ、両者の作動タイミングにズレが発生しないので、薬液を常に一定量ずつ吸い戻し、液垂れを防止することができる。そのため、薬液を塗布ノズルの先端から所定の位置まで常に吸い込み、薬液の塗布量が安定する。
【００２９】
そして、薬液弁は、従来のサックバックバルブと同様の機能を果たすサックバック用ダイアフラム弁体１６を内蔵しているので、サックバックバルブを薬液弁１と別個独立に設ける必要がなく、部品点数を減らして流路を効率的に短くすることができる。
【００３０】
また、本実施の形態の薬液弁によれば、ダイアフラム弁体１５とサックバック用ダイアフラム弁体１６とが連結棒１１を介して上下方向に一体的に作動するので（図１参照）、簡単な構造でサックバック用ダイアフラム弁体１６をダイアフラム弁体１５と同期して作動させることができる。
【００３１】
更に、本実施の形態の薬液弁によれば、サックバック用ダイアフラム弁体１６がダイアフラム弁体１５と対応して同じ量Ｍだけ作動し、サックバック用ダイアフラム弁体１６の薄膜部１６ｂがダイアフラム弁体１５の薄膜部１５ｂと対応して同じ量だけ変位するので（図３、図４参照）、ダイアフラム弁体１５の薄膜部１５ｂの変位に伴う容積変化量Ｓとサックバック用ダイアフラム弁体１６の薄膜部１６ｂの変位に伴う容積変化量Ｔとが同じになる。そのため、ダイアフラム弁体１５が弁座１４に当接しているときでも、また、離間しているときでも、ダイアフラム作動室１７とサックバック室２０の総容積が変化せず、薬液の押し出しを効果的に防止することができる。
【００３２】
次に、気泡抜き弁３０の作用を説明する。気泡抜きは、薬液弁に対して影響を与えないようにするため、薬液を供給していないとき、具体的には、薬液を供給する所定時間前等に行う。薬液供給の直後に行うと、まだ、気泡が出きっていない場合があるからである。
パイロット空気供給口３３に空気を供給することにより、ピストンロッド３２が調整ロッド３５に当接する位置まで左側に移動する。これにより、弁が開いて気泡抜き開口３１と気泡抜き口４４とが連通し、気泡は気泡抜き口４４へと移動する。
このとき、ダイアフラム作動室１７に傾斜が設けられており、気泡抜き開口３１がダイアフラム作動室の最上部に形成されているので、ダイアフラム作動室１７内にある全ての気泡を効率よく抜くことができる。
これにより、薬液を供給するときに薬液に気泡が混入することがなくなり、安定して薬液を供給することができる。
【００３３】
以上詳細に説明したように、本実施の形態の薬液弁によれば、流体が流れる流路上に設けられ、ダイアフラム弁体１５を作動させて弁座１４に当接又は離間させることにより流体の供給を制御するものであって、ダイアフラム弁体１５とサックバック用ダイアフラム弁体１６とを一体的に作動させるようにした薬液弁であって、一端がサックバック用ダイアフラム弁体１６と連結され、他端１１ａが球面状であってダイアフラム弁体１５と当接する連結棒１１を有しているので、ダイアフラム弁体１５が弁座１４に当接したときに、ダイアフラム弁体１５がサックバック用ダイアフラム１６の影響を受けることが無いため、ダイアフラム弁体１５が弁座１４に均一に当接でき、シール性が向上する。
【００３４】
また、サックバック用ダイアフラム弁体１６は、ダイアフラム弁体１５と略同一形状をなし、ダイアフラム弁体１５とは逆向きに取り付けられているので、サックバック用ダイアフラム弁体１６はダイアフラム弁体１５と対応して作動し、ダイアフラム弁体１５の作動に伴う容積変化量とサックバック用ダイアフラム弁体１６の作動に伴う容積変化量とが同じになるため、ダイアフラム弁体１５が弁座１４に当接しているときでも、また、離間しているときでも、ダイアフラム弁体１５で仕切られる空間とサックバック用ダイアフラム弁体１６で仕切られる空間との総容積が変化せず、薬液の押し出しを効果的に防止することができる。
【００３５】
また、流体が流れる流路上に設けられ、ダイアフラム弁体を作動させて弁座に当接又は離間させることにより流体の供給を制御するものであり、ダイアフラム弁体とサックバック用ダイアフラム弁体とを一体的に作動させるようにした薬液弁であって、ダイアフラム弁体がその一部を形成するダイアフラム弁室に設けられた気泡用開口と、気泡用開口と連通して、ダイアフラム作動室に停滞した気泡を自動的に排除する気泡抜き弁とを有するので、ダイアフラム作動室１７内にある全ての気泡を効率よく抜くことができ、薬液を供給するときに薬液に気泡が混入することがなくなり、安定して薬液を供給することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、上記実施形態の連結棒の左端部１１ａは、半球形状としたが、半球状でなくても円弧状であってダイアフラム弁体１５がある程度回動できるものであれば良い。
また、気泡抜き弁として空気圧によるパイロット弁を説明したが、電磁弁等を用いても良いのは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態である薬液弁の構成を示す断面図である。
【図２】ダイアフラム弁体及びサックバック用ダイアフラム弁体の作動に関するタイムチャートである。
【図３】ダイアフラム弁体の薄膜部の作用説明図であって、閉弁状態を実線で示し、開弁状態を点線で示している。
【図４】サックバック用ダイアフラム弁体の薄膜部の作用説明図であって、サックバック状態を実線で示し、非サックバック状態を点線で示している。
【図５】本出願人が特願２００２−７７５２２号で提案した薬液弁の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１    薬液弁本体
１１  連結棒
１４  弁座
１５  ダイアフラム弁体
１６  サックバック用ダイアフラム弁体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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