(57)【要約】【課題】液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドのノズルを密封するキャップパッキンの形状をノズル面になじみやすい形状とすることで、空気のリークを抑制することができる、ヘッドキャップ及びこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題とする。【解決手段】ヘッドキャップ５２のキャップパッキン３４１を、液滴吐出ヘッド２３１のノズル面２３３に密着させて、ノズル面２３３に形成したノズル２３４を封止するヘッドキャップ５２であって、キャップパッキン３４１とノズル面に密着する環状凸部３４２とを、一体に形成し、環状凸部３４２の断面が環の外側に開いた略横Ｖ字形状に形成されているものである。【選択図】  図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させて、前記ノズル面に形成した多数のノズルからなるノズル列を封止するヘッドキャップにおいて、
キャップ凹部を形成したキャップ本体と、前記キャップ凹部の開口周縁部に設けられ、前記ノズル列を封止するキャップパッキンとを、備え、
前記キャップパッキンは、前記開口周縁部に取付けられる環状基部と、前記環状基部から密着方向に延び、前記ノズル面に密着する環状凸部とを、有し、
当該環状凸部は、先端側が外側に向かって拡開形成されていることを特徴とするヘッドキャップ。
【請求項２】
液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させて、前記ノズル面に形成した多数のノズルからなるノズル列を封止するヘッドキャップにおいて、
キャップ凹部を形成したキャップ本体と、前記キャップ凹部の開口周縁部に設けられ、前記ノズル列を封止するキャップパッキンとを、備え、
前記キャップパッキンは、前記開口周縁部に取付けられる環状基部と、前記環状基部から密着方向に延び、前記ノズル面に密着する環状凸部とを、有し、
当該環状凸部は、断面が環の外側に開いた略横Ｖ字形状に形成されていることを特徴とするヘッドキャップ。
【請求項３】
液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させて、前記ノズル面に形成した多数のノズルからなるノズル列を封止するヘッドキャップにおいて、
キャップ凹部を形成したキャップ本体と、前記キャップ凹部の開口周縁部に設けられ、前記ノズル列を封止するキャップパッキンとを、備え、
前記キャップパッキンは、前記開口周縁部に取付けられる環状基部と、前記環状基部から密着方向に延び、前記ノズル面に密着する環状凸部とを、有し、
当該環状凸部は、その先端面が、内向きに傾斜する斜面で形成されていることを特徴とするヘッドキャップ。
【請求項４】
液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させて、前記ノズル面に形成した多数のノズルからなるノズル列を封止するヘッドキャップにおいて、
キャップ凹部を形成したキャップ本体と、前記キャップ凹部の開口周縁部に設けられ、前記ノズル列を封止するキャップパッキンとを、備え、
前記キャップパッキンは、前記開口周縁部に取付けられる環状基部と、前記環状基部から延び、前記ノズル面に密着する環状凸部とを、有し、
当該環状凸部は、前記環状基部から密着方向に傾くように内側に張出す凸基部と、前記凸基部の先端部に突設された密着部で形成されていることを特徴とするヘッドキャップ。
【請求項５】
前記キャップパッキンの前記環状凸部は、平面視略トラック形状に形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドキャップ。
【請求項６】
前記キャップパッキンは、フッ素系ゴムで形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のヘッドキャップ。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のヘッドキャップと、
前記液滴吐出ヘッドを搭載するとともに、前記液滴吐出ヘッドをワークに対向させ、当該ワークに対し、前記液滴吐出ヘッドを相対移動させながら機能液滴を選択的に吐出する描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドから前記ワーク上に液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドから前記ワーク上に液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項８に記載の電気光学装置または請求項９に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される液滴吐出ヘッドのノズル面を封止するヘッドキャップ及びこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液滴吐出ヘッドのノズルからワークに向けて機能液滴を吐出して描画するような液滴吐出装置においては、機能液を液滴吐出ヘッドに充填して吐出可能状態にする初期充填や、液滴吐出ヘッドの各ノズルのクリーニング（ヘッドクリーニング）をするために、液滴吐出ヘッドのノズルから機能液を吸引する吸引装置が設けられている。
また、液滴吐出装置は、非稼動状態のときに、液滴吐出ヘッドのノズルを封止して保護するとともに、機能液の乾燥を防止するヘッド保護装置も備えている。
これら吸引装置やヘッド保護装置に共通するキャップ機構は、液滴吐出ヘッドのノズル面に密接させて、液滴吐出ヘッドのノズルを封止するヘッドキャップを含むキャップユニットと、キャップユニットを支持するキャップ支持機構と、キャップユニットをキャップ支持機構を介して、液滴吐出ヘッドに対して離接させる離接機構と、を備えている。
【０００３】
この場合、ヘッドキャップは、内側に吸収材を敷設した、カップ形状のキャップ本体と、弾性体材料で形成され、キャップ本体の開口部周縁に取付けられた断面略台形形状のシール部材とで、構成されている。ヘッドキャップをヘッドのノズル面に圧接すると、断面台形形状のシール部材が圧縮変形して、ヘッドキャップとノズル面とがなじむように密着する（例えば、特許文献１および２参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−７９６９７号公報
【特許文献２】
特開平１１−１７９９２７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、液滴吐出ヘッドのノズルからワークに向けて機能液滴を吐出して描画するような液滴吐出装置を用い、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等を製造することが考えられている。かかる場合、ヘッドキャップを形成する材料は、機能液に対する耐蝕性を考慮する必要があり、例えば、有機ＥＬ装置の製造に用いる機能液に対して耐蝕性に優れるフッ素系ゴム等を用いる必要がある。しかし、フッ素系ゴムは、弾性率が低く、単純な圧縮変形ではノズル面への密着が不充分となり、ヘッドキャップとノズル面との間で空気のリークが生じ易い。このため、十分な吸引を実施するためには、空気のリークを考慮して、吸引時間を長く設定しなければならず、吸引作業に時間がかかるとともに、機能液の無駄な消費が多くなるという課題があった。また、空気のリークにより、ノズルの乾燥防止の効果も損なわれるという課題もあった。
【０００６】
本発明は、キャップパッキンの形状をノズル面になじみやすい形状とすることで、空気のリークを抑制することができるヘッドキャップ及びこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のヘッドキャップは、液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させて、ノズル面に形成した多数のノズルからなるノズル列を封止するヘッドキャップにおいて、キャップ凹部を形成したキャップ本体と、キャップ凹部の開口周縁部に設けられ、ノズル列を封止するキャップパッキンとを、備え、キャップパッキンは、開口周縁部に取付けられる環状基部と、環状基部から密着方向に延び、前記ノズル面に密着する環状凸部とを、有し、環状凸部は、先端側が外側に向かって拡開形成されていることを特徴とする。
【０００８】
これらの構成によれば、キャップパッキンの環状凸部が環の外側に傾いているため、キャップパッキンがノズル面に押付けられると、環状凸部の壁には、押付け方向の圧縮力と、傾いた方向に曲げる曲げ力（分力）とが加わる。環状凸部の壁は圧縮されるとともに、先端部が広げられるように変形するため、同じ圧接力でより大きな変形量を生ずることになる。従って、ヘッドキャップのノズル面への押付け量（変形ストローク）を大きくすることができ、環状凸部における周方向の各部を、対応するノズル面の各部に倣って変形させることができる。また、封止状態で内部を負圧にして吸引作業などを実施するが、環状凸部の傾いた壁にかかる外気圧は、壁の傾きを起こすように、すなわち壁の先端をノズル面に押付けるように作用するため、より好適なノズルの密封状態が維持される。
【０００９】
本発明のヘッドキャップは、液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させて、ノズル面に形成した多数のノズルからなるノズル列を封止するヘッドキャップにおいて、キャップ凹部を形成したキャップ本体と、キャップ凹部の開口周縁部に設けられ、ノズル列を封止するキャップパッキンとを、備え、キャップパッキンは、開口周縁部に取付けられる環状基部と、環状基部から密着方向に延び、前記ノズル面に密着する環状凸部とを、有し、環状凸部は、断面が環の外側に開いた略横Ｖ字形状に形成されていることを特徴とする。
【００１０】
これらの構成によれば、キャップパッキンの環状凸部は、断面が環の外側に開いた略横Ｖ字形状に構成されているため、キャップパッキンがノズル面に押付けられると、キャップパッキンの環状凸部の壁は曲げられて、Ｖ字の開口が閉じるように変形する。パッキンの壁が曲げられ、Ｖ字の開口が閉じるように変形するとともに、先端部が周方向に広げられるように変形するため、同じ圧接力で、より大きな離接方向の変形を生ずることになる。従って、ヘッドキャップのノズル面への押付け量（変形ストローク）を大きくすることができ、環状凸部における周方向の各部を、対応するノズル面の各部に倣って変形させることができる。また、封止状態で内部を負圧にして吸引作業などを実施するが、キャップパッキンの環状凸部の傾いた壁にかかる外気圧は、略横Ｖ字形状を押し広げ、壁の先端をノズル面に押付けるように作用するため、より好適なノズルの密封状態が維持される。
【００１１】
本発明のヘッドキャップは、液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させて、ノズル面に形成した多数のノズルからなるノズル列を封止するヘッドキャップにおいて、キャップ凹部を形成したキャップ本体と、キャップ凹部の開口周縁部に設けられ、ノズル列を封止するキャップパッキンとを、備え、キャップパッキンは、開口周縁部に取付けられる環状基部と、環状基部から密着方向に延び、前記ノズル面に密着する環状凸部とを、有し、環状凸部は、その先端面が、内向きに傾斜する斜面で形成されていることを特徴とする。
【００１２】
これらの構成によれば、キャップパッキンの環状凸部の頂部が内側に傾いた斜面であるため、キャップパッキンがノズル面に押付けられると、環状凸部の頂部には、押付け方向の圧縮力と、押付け方向と直角な外側向きの力とが加わる。環状凸部は圧縮されるとともに、先端部が周方向に広げられるように変形するため、同じ圧接力でより大きな変形量を生ずることになる。従って、ヘッドキャップのノズル面への押付け量（変形ストローク）を大きくすることができ、環状凸部における周方向の各部を、対応するノズル面の各部に倣って変形させることができる。また、封止状態で内部を負圧にして吸引作業などを実施するが、環状凸部の傾いた壁にかかる外気圧は、パッキンの壁の先端をノズル面に押付けるように作用するため、より好適なノズルの密封状態が維持される。
【００１３】
本発明のヘッドキャップは、液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させて、ノズル面に形成した多数のノズルからなるノズル列を封止するヘッドキャップにおいて、キャップ凹部を形成したキャップ本体と、キャップ凹部の開口周縁部に設けられ、ノズル列を封止するキャップパッキンとを、備え、キャップパッキンは、開口周縁部に取付けられる環状基部と、環状基部から密着方向に延び、前記ノズル面に密着する環状凸部とを、有し、環状凸部は、環状基部から密着方向に傾くように内側に張出す凸基部と、凸基部の先端部に突設された密着部で形成されていることを特徴とする。
【００１４】
これらの構成によれば、キャップパッキンがノズル面に押付けられると、環状基部から密着方向に傾くように内側側に張出す凸基部には、先端側を反密着方向に曲げる曲げ応力が働き、大きな変形量が得られる。その大きな変形量が得られる凸基部の先端に支えられた凸先部は、押付け方向の柔軟性に富み、ノズル面になじみ易い。さらに、ノズル面と接触する凸先部の頂部の幅をとって、キャップパッキンとノズル面との接触面積を大きくすることが容易であり、キャップパッキンとノズル面の密着状態を維持することができる。
【００１５】
この場合、キャップパッキンの環状凸部は、平面視略トラック形状に形成されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、環状凸部の平面視コーナー部分のアールを最も大きくできる。上記したように、キャッピング時にキャップパッキンの環状凸部は大きく変形するが、コーナー部分が大きなアールとなるため、環状凸部の内側と外側の伸び量の内外差を小さくすることができる。従って、キャップパッキンの周方向において、比較的均一に変形させることができる。
【００１７】
この場合、キャップパッキンは、フッ素系ゴムで形成されていることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、耐蝕性に優れ、機能液などの溶媒に侵される可能性が小さくなり、各種の機能液に対し、汎用的に使用できる。
【００１９】
本発明による液滴吐出装置は、上記したヘッドキャップと、液滴吐出ヘッドを搭載するとともに、液滴吐出ヘッドをワークに対向させ、ワークに対し、液滴吐出ヘッドを相対移動させながら機能液滴を選択的に吐出する描画手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、キャッピング時の空気のリークを極力少なくすることができるため、適切なキャッピング（封止）を実現することができ、好適な初期充填やヘッドクリーニングを実施でき、液滴吐出ヘッドの状態を好適に保って、良好な液滴吐出ができる液滴吐出装置が実現できる。
【００２１】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２２】
同様に、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする。
【００２３】
これらの構成によれば、適切なキャッピングを実現することができ、好適な初期充填やヘッドクリーニングを実施でき、液滴吐出ヘッドの状態を好適に保って、良好な液滴吐出が実現できる液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。
なお、電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）やＳＥＤ（Ｓｕｒｆａｃｅ−ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｏｒｏｎ−Ｅｍｉｔｔｅｒ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、各種表示装置に用いるカラーフィルタは元より、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。
【００２４】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置または上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、適切なキャッピングを実現することができ、好適な初期充填やヘッドクリーニングを実施でき、液滴吐出ヘッドの状態を好適に保って、良好な液滴吐出が実現できる液滴吐出装置を用いて製造される信頼性の高い電気光学装置を搭載したため、信頼性の高い電子機器を実現できる。
電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明のヘッドキャップ５２を適用して構成した液滴吐出装置１について説明する。本実施形態の液滴吐出装置１は、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置の製造ラインに組み込まれるものであり、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成するものである。
【００２７】
液滴吐出装置１は、搭載した液滴吐出ヘッド２３１により、基板（ワーク）Ｗ上に、発光材料（機能液）を吐出して有機ＥＬ装置のＥＬ発光層および正孔注入層を形成する。この液滴吐出ヘッド２３１の吐出動作を含む一連の製造工程は、チャンバ装置（図示省略）で構成するドライエアーの雰囲気中で行うようにしている。図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド２３１を搭載した描画装置２と、液滴吐出ヘッド２３１の保守等に用いる各種の装置から成るメンテナンス装置３とを備えている。
【００２８】
描画装置２は、床上に設置した架台２１と、架台２１上に設置した石定盤２２と、石定盤２２上に設置したＸ軸テーブル２５およびこれに直交するＹ軸テーブル２６と、Ｙ軸テーブル２６に吊設するように設けたメインキャリッジ２６１と、メインキャリッジ２６１に搭載したヘッドユニット２３とを備えている。描画装置２には、この他にも、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド２３１）２３の位置認識を行うヘッド認識カメラ２８や、ワークＷの位置認識を行うためのワーク認識カメラ２９、ワーク（基板）Ｗに吐出した機能液滴の描画結果を観察するための描画観察カメラ３０、後述する真空ポンプ３３を駆動させるための吸引用スイッチユニット９等の各種の装置が備えられている。
【００２９】
また、描画装置２は、描画装置２に機能液を供給する機能液供給装置３１、および後述する吸着テーブル２５１に連なるワークＷ吸着用の真空ポンプ３３を備えている。そして、液滴吐出装置１には、制御装置が接続されており（図示省略）、制御装置により、描画装置２およびメンテナンス装置３の統括制御が行われている。
【００３０】
機能液供給装置３１は、３個の液滴吐出ヘッド２３１に、それぞれＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液を供給するものであり、ケース３１１内に、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液タンクを有している（図示省略）。また、ケース３１１の下側には、これらを支持する装置架台３１２が設けられており、装置架台３１２には、圧縮エアー供給装置３２が組み込まれている。なお、３個の機能液タンクから延びる機能液チューブや、圧縮エアー供給装置３２から延びるエアーチューブは、一箇所に纏められ、チャンバルーム（図示省略）の後部から描画装置２に取り込まれる（図示省略）。
【００３１】
Ｘ軸テーブル２５は、石定盤２２上に直接設置されており、ワークＷをセットするための吸着テーブル２５１と、吸着テーブル２５１を支持するθテーブル２５２と、θテーブル２５２をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ（図示省略）と、θテーブル２５２および吸着テーブル２５１を介して、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダに併設したＸ軸リニアスケール（図示省略）と、を備えている。Ｘ軸テーブル２５では、Ｘ軸リニアモータの駆動により、θテーブル２５２とワークＷを吸着セットした吸着テーブル２５１とが、Ｘ軸エアースライダを案内にしてＸ軸方向に移動する。
【００３２】
なお、Ｘ軸リニアモータ、Ｘ軸エアースライダ、およびＸ軸リニアスケールは、Ｘ軸に対して平行に配設されており、Ｘ軸ボックス２５３内に収容されている。また、θテーブル２５２には、上記したヘッド認識カメラ２８が固定されており、吸着テーブル２５１に対して、ヘッドユニット２３の位置を補正可能となっている。
【００３３】
Ｙ軸テーブル２６は、石定盤２２に立設されたスタンド付のＹ軸フレーム（図示省略）に載置されており、Ｘ軸テーブル２５を跨ぎ、Ｘ軸テーブル２５に直交する方向に延在している。Ｙ軸テーブル２６は、ヘッドユニット２３を搭載したメインキャリッジ２６１と、Ｙ軸フレームにスライド自在に支持され、メインキャリッジ２６１を支持するＹ軸エアースライダ（図示省略）と、Ｙ軸エアースライダを介して、ヘッドユニット２３をＹ軸方向に移動させるＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸エアースライダに併設したＹ軸リニアスケール（図示省略）と、を有している。
【００３４】
また、Ｙ軸フレームには、Ｙ軸エアースライダの他に、エアースライダ（図示省略）がスライド自在に支持されており、エアースライダには、上記したワーク認識カメラ２９が固定されている。そして、Ｙ軸リニアモータの駆動により、ワーク認識カメラ２９もＹ軸方向へ移動するようになっている。なお、描画観察カメラ３０は、吐出処理されたワークＷに、機能液が適切に塗布（着弾）されているか否かの観察にも用いられる。
【００３５】
そして、ヘッドユニット２３は、ヘッドユニット２３を支持し、ヘッドユニット２３の高さを調整可能なヘッド昇降機構２４を介してメインキャリッジ２６１に搭載されている。ヘッドユニット２３には、サブキャリッジ（図示省略）を介して、複数（３個）の液滴吐出ヘッド２３１が搭載されている。特に詳細は図示しないが、液滴吐出ヘッド２３１は、液滴を吐出するノズル２３４を形成したノズルプレート２３２を備え、ノズル２３４が開口しているノズル面２３３が吸着テーブル２５１に臨むように、サブキャリッジに配設されている。また、サブキャリッジには、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液に対応して３個の液滴吐出ヘッド２３１が搭載されており、これら液滴吐出ヘッド２３１は、主走査方向に対し所定の角度傾けて相互に平行に配設されている。
【００３６】
本実施形態の液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド２３１の駆動（機能液滴の選択的吐出）に同期してワークＷが移動する構成であり、液滴吐出ヘッド２３１のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル２５のＸ軸方向への往復動作により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル２６により液滴吐出ヘッド２３１のＹ軸方向への往動動作により行われる。
【００３７】
次に、メンテナンス装置３について説明する。メンテナンス装置３は、液滴吐出ヘッド２３１の保守を行うと共に、液滴吐出ヘッド２３１から適切に機能液が吐出されているか否かの検査を行い、液滴吐出ヘッド２３１による機能液の吐出を安定させるためのものである。
【００３８】
メンテナンス装置３は、図１の右側から順に、液滴吐出ヘッド２３１から吐出された機能液の重量を測定する重量測定ユニット７と、液滴吐出ヘッド２３１から予備吐出された機能液を受けるためのフラッシングユニット４と、液滴吐出ヘッド２３１の吸引を行う吸引ユニット５と、液滴吐出ヘッド２３１のノズル面２３３に付着する汚れを払拭するためのワイピングユニット６と、液滴吐出ヘッド２３１から吐出される機能液の吐出状態を検査するための吐出検査ユニット８とを、備えており、これら各ユニットは、吸着テーブル２５１の周囲に集約的に配設されている。なお、上記フラッシングユニット４は、試験用に用いるものであり、実稼動時には、吸引ユニット５のキャップユニット５１が、フラッシングユニット４の機能液受を兼ねている。また、フラッシングを効率良く行うために、吸着テーブル２５１の前後には、描画時のフラッシングを受ける一対の描画時フラッシングボックス２５５が配設されている（図１参照）。
【００３９】
吸引ユニット５は、液滴吐出ヘッド２３１を吸引することにより、液滴吐出ヘッド２３１のノズル２３４から機能液を強制的に排出させるものである。例えば、交換した液滴吐出ヘッド２３１に新たに機能液の充填（初期充填）を行う場合や、液滴吐出ヘッド２３１内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に、吸引ユニット５は用いられる。また、吸引ユニット５は、吐出検査ユニット８における、吐出された機能液の受けとしても用いられる。このため、吐出検査ユニット８は、吸引ユニット５に併設するようにして設けられている（図３参照）。
【００４０】
図３および図４に示すように、吸引ユニット５は、ヘッドユニット２３に搭載された液滴吐出ヘッド２３１に密着させる３個のヘッドキャップ５２と、３個のヘッドキャップ５２を支持するトレイ状のキャップベース５３とからなるキャップユニット５１を備えるとともに、各ヘッドキャップ５２を介して液滴吐出ヘッド２３１の吸引を行う吸引ポンプ（図示省略）と、キャップユニット５１を支持するキャップスタンド５５と、を備えている。また、図２に示すように、キャップユニット５１は、Ｙ軸方向を移動するヘッドユニット２３に下側から臨むように、ヘッドユニット２３の移動軌跡上に配設されている。そして、ヘッドユニット２３をキャップユニット５１に臨ませた後、上記したヘッド昇降機構２４を駆動してヘッドユニット２３を下降させて、液滴吐出ヘッド２３１をヘッドキャップ５２に密着させるようになっている。
【００４１】
キャップベース５３には、３個の液滴吐出ヘッド２３１に対応した３個のヘッドキャップ５２を取付けるための３つの取付け開口（図示省略）が、相互に平行に形成されている。ヘッドキャップ５２は、下部を取付け開口に挿入し、キャップベース５３にねじ止めすることにより、キャップベース５３に固定されている。また、３つの取付け開口の周囲は、浅溝となっており、キャップベース５３は、フラッシングで飛散した機能液滴を受けるべく、全体としてトレイ状に形成されている。キャップスタンド５５は、共通支持フレーム５８に立説したスタンド部５９に支持されている。さらに、キャップスタンド５５には、キャップベース５３から漏れ出した機能液を受ける廃液パン３９３が、キャップベース５３の直下に臨んで配設されている。
【００４２】
次に、ヘッドキャップ５２の詳細な構成について、説明する。図５は、ヘッドキャップ５２の外観斜視図であり、図６は、ヘッドキャップ５２の断面図である。各ヘッドキャップ５２は、液滴吐出ヘッド２３１のノズル面２３３に密着させるキャップ部３２１と、２本のキャップばね３９１を介して、キャップ部３２１を離接方向に摺動自在に保持するキャップホルダ部３７１と、で構成されている。
【００４３】
キャップホルダ部３７１は、平面視略長方形のキャップホルダベース５７２と、キャップホルダベース３７２の上面に立設した一対のスプリングガイドピン３７４と、キャップホルダベース３７２の長辺方向両端部の上面に取り付けた一対のキャップ押え３７７とで、構成されている。各スプリングガイドピン３７４には、上記のキャップばね３９１が装着されている。
【００４４】
キャップホルダベース３７２は、長辺方向両端が高くなった側面視凹字形状をしており、低い部分の中間位置には、後述するＬ字継手３３７が遊嵌する逃がし穴３７３が形成され、また、逃がし穴３７３の両側には上記のスプリングガイドピン３７４が立設されている。各キャップ押え３７７は、キャップホルダベース３７２に直交するように延在しており、平面視長方形の押え本体３７８と、押え本体３７８の外側の側面から張り出した固定用突起部３７９と、内側の側面に形成され、後述するキャップ本体３３１の係合突起部３３５と係合する係合部３８０と、で断面クランク形状に形成されている。係合部３８０の内部側面には、後述する係合突起部３３５の係合凹部３３６と係合する係合凸部３８１が、一体に形成されている。すなわち、係合部３８０は、その係合凸部３８１により、キャップ部３２１の離接方向の摺動をガイドし、かつその天面により、キャップ部３２１の突出端位置を位置規制している。
【００４５】
キャップ部３２１は、上面に液滴吐出ヘッド２３１のノズル面２３３を包含するキャップ凹部３３３を一体に形成したキャップ本体３３１と、キャップ凹部３３３の周縁部に取り付けられ、上記したノズル列２３５を包含するようにノズル面２３３に密着するように形成されたキャップパッキン３４１と、キャップパッキン５４１をキャップ本体３３１に固定しているキャップパッキン押え３５１と、キャップ凹部３３３の底部に形成された吸引孔３３４に接続され、吸引用の接続チューブ（図示省略）を介して吸引ポンプ（図示省略）に接続されるＬ字継手３３７とで、構成されている。また、キャップ凹部３３３には、吸収材３６６が２枚敷設されており、吸収材３６６は吸収材押え枠３６７によって押え付けられている。
【００４６】
キャップ本体３３１の上面には、環状略方形の突起である凹部縁突起３３２がキャップ本体３３１と一体に形成されており、凹部縁突起３３２で囲まれる凹部が、キャップ凹部３３３に相当する。キャップ本体３３１の下面には、上記スプリングガイドピン３７４に臨んで、キャップばね３９１が当接する一対の窪み部３３８が、形成されている。また、キャップ本体３３１の長辺方向両端下部からは、一対の係合突起部３３５が張り出すように一体に形成されている。係合突起部３３５の上面は、上記したキャップ押え３７７の係合部３８０の天面に下側から当接し、キャップばね３９１に抗してその突出端位置が規制されるようになっている。また、各係合突起部３３５の外側端面には上下方向に延在する凹部である係合凹部３３６が形成され、係合凹部３３６は、上記したキャップ押え３７７に一体に形成されている係合凸部３８１と上下方向摺動自在に係合し、キャップ部３２１の摺動を案内している。なお、キャップ部３２１の平面長辺方向の位置は、キャップ本体３３１が一対のキャップ押え３７７の間に挟まれて、規定されている。
【００４７】
キャップパッキン押え３５１は、方形形状で、中央に形成した方形のパッキン開口３５３と、パッキン開口３５３の周囲に薄肉に形成したパッキン押え片３５４と、上面のパッキン開口３５３と外周の間を凹ませて形成した機能液受け部３５２とで、一体に形成されている。後述するキャップパッキン３４１の基部本体３４７を、パッキン押え片３５４の下面で押えて、キャップパッキン３４１をキャップ本体３３１に押圧固定している。機能液受け部３５２は、上記したフラッシング時などに、機能液がキャップパッキン３４１から溢れたり、機能液滴が飛散したりした場合に、機能液を受けて、液垂れなどを防止するのに用いられる。
【００４８】
図７と図８は、それぞれキャップパッキン３４１の外観図と、断面図である。キャップパッキン３４１は、機能液に対する耐蝕性を考慮し、シリコンゴムやフッ素系ゴムで構成されており、ノズル面２３３に密着する環状凸部３４２と、環状凸部３４２を支える環状基部３４６とで、一体に形成されている。環状基部３４６は、鍔状に形成した基部本体３４７と、基部本体３４７の上端内周側から立ち上がった突出部３４８とで、断面Ｌ字状に形成されている。環状凸部３４２は、突出部３４８の上端から内向きに延在する内向き片部３４３と、内向き片部３４３の先端から立ち上がった先端接触片部３４４とから成り、この先端接触片部３４４が外側向かって拡開形成されている。
【００４９】
この場合、環状凸部３４２の平面視形状は、凹部縁突起３３２の形状に合わせて、略長方形に形成されている。一方、環状凸部３４２（先端接触片部３４４）の平面視形状は、一対の直線部位と、両直線部位を結ぶ一対の円弧部位とでトラック形状（略長円形）に形成されている。より詳細には、先端接触片部３４４で構成される各円弧部位は、大きな曲率半径の２つのコーナーアールを短い直線部で連結した形状となっている。
【００５０】
キャップパッキン３４１は、突出部３４８と内向き片部３４３とで、キャップ本体３３１の凹部縁突起３３２を覆うように取付けられ、基部本体３４７をキャップパッキン押え３５１のパッキン押え片３５４で押えて、キャップ本体３３１に固定されている。
【００５１】
キャッピング状態のキャップパッキン３４１は、内向き片部３４３が撓んで、その先端部が、吸収材押え枠３６７に当接し基端側が幾分盛り上がるように変形する。それとともに、拡開形成されている先端接触片部３４４が、さらに外側に広がるように深く撓む（図９参照）。このように変形することで、キャップパッキン３４１とノズル面２３３とが周方向に亘って隙間なく密着する。これにより、キャップパッキン３４１とノズル面２３３とキャップ凹部３３３とで、ノズル２３４を密閉する空間が形成される。
【００５２】
先端接触片部５４４の端部が広げられるように変形するため、圧接力でより大きな変形量を生ずる。また、内向き片部３４３も、圧接力を受けて変形する。従って、ヘッドキャップ５２のノズル面２３３への押付け量（変形ストローク）を大きくすることができ、押付け量が変動しても、キャップパッキン３４１とノズル面２３３との密着状態を維持することができる。
【００５３】
さらに、上記したように、本実施形態においては、環状凸部３４２の平面視形状が、トラック形状をしており、環状形状を形成する円弧の曲率半径を大きくして、周方向の伸びの内外周差を小さくし、上記変形量の周方向の均一化を図っている。
【００５４】
キャッピング状態で、吸引ポンプを駆動すると、上記の密封空間を介して、ノズル２３４から機能液を吸引することができる。初期充填やヘッドクリーニングなどの目的に応じて、適宜吸引量を定めて吸引ポンプの駆動を制御することにより、初期充填やヘッドクリーニングを適切に実施することができる。また、ノズル２３４が臨む密封空間は小容積であり、キャッピング状態のノズル２３４からの機能液溶剤の蒸発が抑制できる。
【００５５】
環状凸部３４２の断面形状は、上記した形状の他に、図１０に示したような形状のものでもよい。図１０（ａ）に示した環状凸部４４２は、先端接触片部４４４が突出部３４８の先端から立ち上がり、この先端接触片部４４４が外側向かって拡開形成されている。キャップパッキン３４１がノズル面２３３に押付けられると先端接触片部４４４の端部が広げられるように変形するため、同じ圧接力でより大きな変形量を生ずることができる（図１０（ａ）二点鎖線形状参照）。従って、ヘッドキャップ５２のノズル面２３３への押付け量（変形ストローク）を大きくすることができ、押付け量が変動しても、キャップパッキン３４１とノズル面２３３との密着状態を維持することができる。また、封止状態で内部を負圧にして吸引作業などを実施すると、キャップパッキン３４１の先端接触片部４４４の傾いた壁にかかる外気圧は、先端接触片部４４４の頂部をノズル面２３３に押付けるように作用するため、より好適なノズル２３４の密封状態が維持される。
【００５６】
環状凸部３４２の断面形状は、上記した形状の他に、図１０（ｂ）に示したような形状のものでもよい。図１０（ｂ）に示した環状凸部４５２は、先端接触片部４５４が突出部３４８の先端から立ち上がり、この先端接触片部４５４の頂部が、内向きに傾斜する斜面４５５で形成されている。キャップパッキン３４１がノズル面２３３に押付けられると、先端接触片部４５４の頂部には、押付け方向の圧縮力と、押付け方向と直角な外側向きの分力とが加わる。先端接触片部４５４は圧縮されるとともに、先端部が広げられるように変形するため、同じ圧接力でより大きな変形量を生ずることができる（図１０（ｂ）二点鎖線形状参照）。従って、ヘッドキャップ５２のノズル面２３３への押付け量（変形ストローク）を大きくすることができ、押付け量が変動しても、キャップパッキン３４１とノズル面２３３との密着状態を維持することができる。また、封止状態で内部を負圧にして吸引作業などを実施するが、先端接触片部４５４の傾いた壁にかかる外気圧は、先端接触片部４５４の頂部をノズル面２３３に押付けるように作用するため、より好適なノズル２３４の密封状態が維持される。
【００５７】
環状凸部３４２の断面形状は、上記した形状の他に、図１０（ｃ）に示したような形状のものでもよい。図１０（ｃ）に示した環状凸部４６２は、突出部３４８の上端から内向きに且つ密着方向に傾くように延在する傾斜内向き片部４４３と、傾斜内向き片部４４３の先端の密着方向に突設された断面半円状の密着突起４４５とで形成されている。キャップパッキン３４１がノズル面２３３に押付けられると、傾斜内向き片部４４３には、先端側を反密着方向に曲げる曲げ応力が働き、大きな変形量が得られる（図１０（ｃ）二点鎖線形状参照）。従って、ヘッドキャップ５２のノズル面２３３への押付け量（変形ストローク）を大きくすることができ、押付け量が変動しても、キャップパッキン３４１とノズル面２３３との密着状態を維持することができる。また、大きな変形量が得られる傾斜内向き片部４４３の先端に形成された密着突起４４５は、押付け方向の高さが小さいため、押付け方向の柔軟性に富み、ノズル面２３３になじみ易い。さらに、ノズル面２３３と接触する密着突起４４５の先端は断面半円状であり、傾斜内向き片部４４３の傾き如何によらず、密着突起４４５とノズル面２３３との接触状態は一定であり，キャップパッキン３４１とノズル面２３３の密着状態を維持することができる。
【００５８】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。
【００５９】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１）では、図１２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００６０】
続いて、バンク形成工程（Ｓ２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１２（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド２３１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００６１】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００６２】
次に、着色層形成工程（Ｓ３）では、図１２（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド２３１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、液滴吐出ヘッド２３１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００６３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ４）に移り、図１２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、基板５０１を個々の有効画素領域毎に切断することによって、カラーフィルタ５００が得られる。
【００６４】
図１３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００６５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００６６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）などの透明導電材料により形成されている。
【００６７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００６９】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、液滴吐出ヘッド２３１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を液滴吐出ヘッド２３１で行うことも可能である。
【００７０】
図１４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００７１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００７２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７３】
図１５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００７４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００７５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００７６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００７７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００７８】
次に、図１６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００７９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００８０】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００８１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００８２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００８３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００８４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００８５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００８６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いる。
【００８７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。
また、第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層１２０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００８８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００８９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００９０】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１７〜図２５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００９１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図１８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００９２】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、液滴吐出ヘッド２３１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００９３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のＸ軸テーブル２５に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【００９４】
図２０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、液滴吐出ヘッド２３１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２１に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００９５】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００９６】
そして次に、図２２に示すように、各色のうちの何れか（図２２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００９７】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００９８】
同様に、液滴吐出ヘッド２３１を用い、図２４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１００】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２５に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１０１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１０２】
次に、図２６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１０３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１０４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１０５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のＸ軸テーブル２５に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、液滴吐出ヘッド２３１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１０７】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１０８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド２３１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１０９】
次に、図２７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面斜視図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１１０】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した素子膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび素子膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。素子膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、素子膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１１１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、所定のパターンで配置されている。
【０１１２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、素子膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１１４】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【０１１５】
【発明の効果】
上記したように、本発明のヘッドキャップは、そのキャップパッキンが、形状に基づいて大きく変形するため、ノズル面に倣って、これに確実に密着する。このため、キャップパッキンからの空気のリークが抑制され、好適な圧接状態すなわちノズルの好適な密封状態を、容易に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の液滴吐出装置の平面図である。
【図２】本実施形態の液滴吐出装置の正面図である。
【図３】本実施形態の吸引ユニット及び吐出検査ユニットの側面図である。
【図４】本実施形態のキャップユニットの外観斜視図である。
【図５】本実施形態のヘッドキャップの外観斜視図である。
【図６】本実施形態のヘッドキャップの断面図である。
【図７】本実施形態のキャップパッキンの外観斜視図ある。
【図８】本実施形態のキャップパッキン断面図である。
【図９】本実施形態のキャップパッキンのパッキング状態の断面図である。
【図１０】本発明のキャップパッキンの他の実施形態の断面図である。
【図１１】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１７】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１８】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２３】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２６】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２７】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【符号の説明】
１  液滴吐出装置                    ３  メンテナンス装置
５  吸引ユニット                    ８  吐出検査ユニット
２３  ヘッドユニット                ５１  キャップユニット
５２  ヘッドキャップ                ５３  キャップベース
２３１  液滴吐出ヘッド              ２３２  ノズルプレート
２３３  ノズル面                    ２３４  ノズル
３２１  キャップ部                  ３３１  キャップ本体
３４１  キャップパッキン            ３５１  キャップパッキン押え
３７１  キャップホルダ部            ３７２  キャップホルダベース
３７７  キャップ押え
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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