(57)【要約】【課題】測定対象体の電気的特性についての測定精度を十分に向上させる。【解決手段】接続された測定対象体としてのコイル２１と共にコルピッツ発振回路を構成する発振回路構成部１１と、このコルピッツ発振回路の発振周波数を測定すると共にこの測定した発振周波数および発振回路構成部１１におけるコンデンサ３２，３３のそれぞれの静電容量値Ｃ１，Ｃ２に基づいてコイル２１のインダクタンス値Ｌ１を演算する測定演算回路１２とを備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接続された測定対象体と共に発振回路を構成する発振回路構成部品と、前記発振回路の発振周波数を測定する周波数測定回路と、当該測定された発振周波数および前記発振回路構成部品の電気的定数に基づいて前記測定対象体の電気的定数を演算する演算回路とを備えている電気的定数測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の電気的定数測定装置と、前記発振回路構成部品に接続された一対のプローブと、回路基板に形成された導体パターンおよび当該回路基板に実装された電子部品の一方を前記測定対象体として前記一対のプローブを移動させて接触させることによって前記発振回路を構成させる移動機構と、前記電気的定数測定装置によって測定された前記測定対象体の電気的定数を基準値と比較することによって当該回路基板の良否を検査する検査部とを備えている回路基板検査装置。
【請求項３】
測定対象体を発振回路構成部品に接続して構成した発振回路の発振周波数を測定し、前記発振回路構成部品の電気的定数および前記発振周波数に基づいて当該測定対象体の電気的定数を測定する電気的定数測定方法。
【請求項４】
回路基板に形成された導体パターンおよび当該回路基板に実装された電子部品を測定対象体として、発振回路構成部品に接続された一対のプローブを接触させることによって構成した発振回路の発振周波数を測定し、前記発振回路構成部品の電気的定数および前記発振周波数に基づいて前記測定対象体の電気的定数を算出し、当該測定対象体の電気的定数を基準値と比較することにより当該回路基板の良否を検査する回路基板検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象体の電気的定数を測定する電気的定数測定装置および電気的定数測定方法、その測定した電気的定数に基づいて回路基板を検査する回路基板検査装置および回路基板検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気的定数測定装置として、電子部品等の抵抗値、インダクタンス値および静電容量値等の電気的定数を四端子法によって測定する測定装置が知られている。例えば、出願人は、四端子法によって導体パターンの抵抗値を測定する電気的定数測定装置を適用した回路基板検査装置を特開２０００−２１４１８１号公報に開示している。この回路基板検査装置では、各Ｘ−Ｙ移動機構を駆動することによって検査電流供給用の一対のコンタクトプローブおよび電圧測定用の一対のコンタクトプローブを検査対象体としての導体パターンの各端部にそれぞれ接触させ、検査電流に起因して導体パターンの両端部に発生する電圧を測定すると共に測定した電圧と検査用電流とに基づいて導体パターンの抵抗値を測定している。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２１４１８１号公報（第２−５頁、図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、四端子法を利用した上記の電気的定数測定装置には、以下の改善すべき課題がある。すなわち、この電気的定数測定装置では、電流プローブ（検査用電流を供給するためのコンタクトプローブ）および電圧プローブ（電圧を測定するためのコンタクトプローブ）を導体パターンの各端部にそれぞれ１組ずつ接触させるため、導体パターンの同じ端部側に位置する電流プローブのケーブルおよび電圧プローブのケーブルもまた近接して配線されている。したがって、この電気的定数測定装置では、電流プローブのケーブルを流れる検査用電流（通常は、交流電流）によって発生する磁界に起因して電圧プローブのケーブルに誘導電圧が発生するため、測定した導体パターンの両端部間の電圧にこの誘導電圧による誤差が含まれている結果、この導体パターンの両端部間の電圧と検査用電流とに基づいて算出される導体パターンの電気的特性にも測定誤差が含まれる。このため、この電気的定数測定装置には、導体パターンの電気的特性に対する測定精度のさらなる向上が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、測定対象体の電気的特性についての測定精度を十分に向上させ得る電気的定数測定装置および電気的定数測定方法を提供することを主目的とする。また、回路基板の検査精度を十分に向上させ得る回路基板検査装置および回路基板検査方法を提供することを他の主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の電気的定数測定装置は、接続された測定対象体と共に発振回路を構成する発振回路構成部品と、前記発振回路の発振周波数を測定する周波数測定回路と、当該測定された発振周波数および前記発振回路構成部品の電気的定数に基づいて前記測定対象体の電気的定数を演算する演算回路とを備えている。
【０００７】
また、請求項２記載の回路基板検査装置は、請求項１記載の電気的定数測定装置と、前記発振回路構成部品に接続された一対のプローブと、回路基板に形成された導体パターンおよび当該回路基板に実装された電子部品の一方を前記測定対象体として前記一対のプローブを移動させて接触させることによって前記発振回路を構成させる移動機構と、前記電気的定数測定装置によって測定された前記測定対象体の電気的定数を基準値と比較することによって当該回路基板の良否を検査する検査部とを備えている。
【０００８】
また、請求項３記載の電気的定数測定方法は、測定対象体を発振回路構成部品に接続して構成した発振回路の発振周波数を測定し、前記発振回路構成部品の電気的定数および前記発振周波数に基づいて当該測定対象体の電気的定数を測定する。
【０００９】
また、請求項４記載の回路基板検査方法は、回路基板に形成された導体パターンおよび当該回路基板に実装された電子部品を測定対象体として、発振回路構成部品に接続された一対のプローブを接触させることによって構成した発振回路の発振周波数を測定し、前記発振回路構成部品の電気的定数および前記発振周波数に基づいて前記測定対象体の電気的定数を算出し、当該測定対象体の電気的定数を基準値と比較することにより当該回路基板の良否を検査する。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の電気的定数測定装置および請求項３記載の電気的定数測定方法によれば、測定対象体を発振回路構成部品に接続して構成した発振回路の発振周波数を測定し、発振回路構成部品の既知の電気的定数および発振周波数に基づいて測定対象体の電気的定数を測定することにより、測定対象体を流れる電流や測定対象体に発生する電圧を測定する必要がないため、四端子法による測定と比較して、電圧測定に起因する測定誤差を含ませることなく電気的定数を測定できる結果、測定対象体の電気的特性についての測定精度を十分に向上させることができる。
【００１１】
また、請求項２記載の回路基板検査装置および請求項４記載の回路基板検査方法によれば、一対のプローブを測定対象体に接触させることによって構成した発振回路の発振周波数を測定し、発振回路構成部品の既知の電気的定数および発振周波数に基づいて測定対象体の電気的定数を算出し、測定対象体の電気的定数を基準値と比較して回路基板の良否を検査することにより、四端子法による測定と比較して、測定精度が十分に向上された電気的定数を用いて検査するため、回路基板の検査精度を十分に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明に係る電気的定数測定装置、回路基板検査装置、電気的定数測定方法および回路基板検査方法の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１３】
最初に、回路基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１４】
回路基板検査装置１は、図１に示すように、プローブ２，３、移動機構４ａ，４ｂ、測定部５、制御部６、ＲＡＭ７およびＲＯＭ８を備えて構成されている。プローブ２，３は、接触型プローブであって、プローブ固定具２ａ，３ａを介して移動機構４ａ，４ｂにそれぞれ取り付けられると共に測定部５の発振回路構成部１１に接続されている。移動機構４ａ，４ｂは、制御部６の制御下でプローブ２，３を上下左右に移動させることにより、回路基板５１の表面の任意の位置にプローブ２，３の先端部を移動可能に構成されている。具体的には、移動機構４ａ，４ｂは、例えば、回路基板５１の表面に形成された測定ポイントにプローブ２，３の先端部を接触させて後述するように発振回路を構成させる。
【００１５】
測定部５は、図１，２に示すように、発振回路構成部１１および測定演算回路１２を備え、一例として導体パターンによって回路基板５１の表面に形成されたコイル２１（本発明における測定対象体の一例）のインダクタンス値（本発明における測定対象体の電気的定数の一例）を測定可能に構成されている。この場合、発振回路構成部１１は、プローブ２，３を介してコイル２１が接続されたときに、コイル２１と共に本発明における発振回路を構成して、発振した信号を測定演算回路１２に出力する。具体的には、発振回路構成部１１は、一例として、図２に示すように、本発明における発振回路構成部品をそれぞれ構成するトランジスタ３１、および静電容量値（本発明における発振回路構成部品の電気的定数の一例。以下、容量値ともいう）が既知のコンデンサ３２，３３等を備えて、コイル２１が接続された際にコルピッツ発振回路が形成されて発振可能に構成されている。なお、同図では、発明の理解を容易にするために、コルピッツ発振回路における反転増幅回路（トランジスタ３１）および周波数を規定するための構成部品（コンデンサ３２，３３）のみを表した発振回路構成部１１の等価回路を示し、電源回路、トランジスタ３１のバイアス回路、および測定演算回路１２に対する信号出力回路等の図示を省略している。また、発振回路構成部１１におけるコンデンサ３２，３３の容量値は、良品のコイル２１が接続されたときにコルピッツ発振回路の発振条件を満足するように規定されている。測定演算回路１２は、本発明における周波数測定回路および演算回路に相当し、発振回路構成部１１から出力される信号の周波数を測定し、測定した周波数に基づいてコイル２１のインダクタンス値を演算して制御部６に出力する。なお、測定部５および後述する測定部５Ａ，５Ｂが、本発明に係る電気的定数測定装置を構成する。
【００１６】
制御部６は、移動機構４ａ，４ｂの動作を制御することによってプローブ２，３を回路基板５１の測定ポイントに接触させると共に、測定部５の動作を制御することによってコイル２１のインダクタンス値を測定させ、かつその測定値をＲＡＭ７に記憶させる。また、制御部６は、本発明における検査部に相当し、ＲＡＭ７に記憶させたインダクタンス値に基づいて回路基板５１に対する検査処理を実行する。ＲＡＭ７は、測定部５から出力されるインダクタンス値、プローブ２，３を接触させるべき測定ポイントの位置を特定可能な位置データ、および良品の基板から吸収した各測定ポイントの検査用基準データ（本発明における基準値）などを記憶する。ＲＯＭ８は、制御部６の動作プログラムを記憶する。
【００１７】
一方、図１に示すように、検査対象の回路基板５１には各種の導体パターンが形成されており、これらの導体パターンによって、一例として、コイル２１、コンデンサ２２および抵抗２３が形成される。この場合、コイル２１、コンデンサ２２および抵抗２３を構成する導体パターンの各端部には、プローブ２，３が接触させられる測定ポイントがそれぞれ形成されている。
【００１８】
次に、回路基板検査装置１による回路基板５１の検査方法について、各図を参照して説明する。
【００１９】
まず、回路基板５１を回路基板検査装置１にセットする。次いで、制御部６が、移動機構４ａ，４ｂを制御して、図１に示すように、検査用のプローブ２，３を測定ポイントに接触させることにより、発振回路構成部１１とコイル２１とを接続させる。この際に、発振回路構成部１１およびコイル２１を含んで構成される発振回路が、発振を開始して（以下、単に、「発振回路構成部１１が発振する」ともいう）、発振した信号を測定演算回路１２に出力する。この場合、発振回路構成部１１は、コンデンサ３２の容量値をＣ１、コンデンサ３３の容量値をＣ２、およびコイル２１のインダクタンス値をＬ１としたときに、下記の（１）式で表される周波数ｆ１で発振する。
ｆ１＝１／（２・π・√（Ｌ１・Ｃ１・Ｃ２／（Ｃ１＋Ｃ２）））・・・（１）式
続いて、測定演算回路１２が、発振回路構成部１１から出力された信号の周波数を測定する。次いで、測定演算回路１２が、測定した周波数ｆ１に基づいてコイル２１のインダクタンス値Ｌ１を演算する。具体的には、測定演算回路１２は、容量値Ｃ１，Ｃ２が既知であることから、上記した（１）式を変形した下記の（２）式からインダクタンス値Ｌ１を演算する。
Ｌ１＝（Ｃ１＋Ｃ２）／（Ｃ１・Ｃ２・（２・π・ｆ１）２）・・・・・（２）式
【００２０】
続いて、制御部６が、測定されたコイル２１のインダクタンス値Ｌ１とＲＡＭ７から読み出した検査用基準データとを比較することにより、回路基板５１の良否を検査する（検査処理の実行）。具体的には、制御部６は、測定されたインダクタンス値Ｌ１がコイル２１に予め対応させられている検査用基準データとしての基準範囲（一例として、良品の回路基板５１から予め吸収したインダクタンス値の７０％〜１３０％の値）を外れるときには、コイル２１が正常に形成されていない（つまり導体パターンに不良箇所がある）と判別し、測定されたインダクタンス値Ｌ１が基準範囲内のときには、コイル２１が正常に形成されている（つまり導体パターンが正常に形成されている）と判別する。また、制御部６は、発振回路構成部１１が発振しないときにも、コイル２１が正常に形成されていないと判別する。以上の検査処理をすべてのコイル２１に対して実行して基板検査を終了する。
【００２１】
このように、この回路基板検査装置１、および回路基板検査装置１（電気的定数測定装置）による電気的定数測定方法によれば、コイル２１を発振回路構成部１１に接続して構成した発振回路の発振周波数ｆ１を測定し、発振回路構成部１１のコンデンサ３２，３３における既知の容量値Ｃ１，Ｃ２および発振周波数ｆ１に基づいてコイル２１のインダクタンス値Ｌ１を測定することにより、コイル２１を流れる電流やコイル２１の両端に発生する電圧を測定する必要がないため、四端子法による測定と比較して、電圧測定に起因する測定誤差を含ませることなくコイル２１のインダクタンス値Ｌ１を測定することができる結果、コイル２１のインダクタンス値Ｌ１についての測定精度を十分に向上させることができる。
【００２２】
また、この回路基板検査装置１、および回路基板検査装置１による回路基板検査方法による検査方法によれば、一対のプローブ２，３をコイル２１に接触させることによって構成した発振回路構成部１１（発振回路）の発振周波数ｆ１を測定し、発振回路構成部１１のコンデンサ３２，３３における既知の容量値Ｃ１，Ｃ２および発振周波数ｆ１に基づいてコイル２１のインダクタンス値Ｌ１を算出し、コイル２１のインダクタンス値Ｌ１を検査用基準データと比較して回路基板５１の良否を検査することにより、四端子法による測定と比較して、測定精度が十分に向上されたコイル２１のインダクタンス値Ｌ１を用いて検査するため、回路基板５１の検査精度を十分に向上させることができる。
【００２３】
次に、図３を参照して、回路基板検査装置１の測定部５に代えて測定部５Ａを採用した回路基板検査装置１Ａについて説明する。なお、回路基板検査装置１Ａおよび後述する回路基板検査装置１Ｂには、基本的に本発明が適用されている。したがって、回路基板検査装置１と共通する構成要素については同一の符号を用いて重複した説明を省略する。測定部５Ａは、同図に示すように、発振回路構成部１１Ａおよび測定演算回路１２Ａを備え、一例として導体パターンによって回路基板５１の表面に形成されたコンデンサ２２（本発明における測定対象体の一例）の容量値（本発明における測定対象体の電気的定数の一例）を測定可能に構成されている。この場合、発振回路構成部１１Ａは、プローブ２，３を介してコンデンサ２２が接続されたときに、コンデンサ２２と共に本発明における発振回路を構成して、発振した信号を測定演算回路１２Ａに出力する。具体的には、発振回路構成部１１Ａは、一例として、同図に示すように、本発明における発振回路構成部品をそれぞれ構成するトランジスタ３４、およびインダクタンス値（本発明における発振回路構成部品の電気的定数の一例）が既知のコイル３５，３６等を備えて、コンデンサ２２が接続された際にハートレー発振回路が形成されて発振可能に構成されている。なお、同図では、発明の理解を容易にするために、ハートレー発振回路における反転増幅回路（トランジスタ３４）および周波数を規定するための構成部品（コイル３５，３６）のみを表した発振回路構成部１１Ａの等価回路を示し、電源回路、トランジスタ３４のバイアス回路、および測定演算回路１２Ａに対する信号出力回路等の図示を省略している。また、発振回路構成部１１Ａにおけるコイル３５，３６のインダクタンス値は、良品のコンデンサ２２が接続されたときにハートレー発振回路の発振条件を満足するように規定されている。測定演算回路１２Ａは、本発明における周波数測定回路および演算回路に相当し、発振回路構成部１１Ａから出力される信号の周波数を測定し、測定した周波数に基づいてコンデンサ２２の容量値を演算して制御部６に出力する。
【００２４】
次に、回路基板検査装置１Ａによる回路基板５１の検査方法について、各図を参照して説明する。
【００２５】
まず、回路基板５１を回路基板検査装置１Ａにセットする。次いで、制御部６が、移動機構４ａ，４ｂを制御して、検査用のプローブ２，３を測定ポイントに接触させることにより、図３に示すように、発振回路構成部１１Ａとコンデンサ２２とを接続させる。この際に、発振回路構成部１１Ａおよびコンデンサ２２を含んで構成される発振回路が、発振を開始して（以下、単に、「発振回路構成部１１Ａが発振する」ともいう）、発振した信号を測定演算回路１２Ａに出力する。この場合、発振回路構成部１１Ａは、コイル３５のインダクタンス値をＬ２、コイル３６のインダクタンス値をＬ３およびコンデンサ２２の容量値をＣ３としたときに、下記の（３）式で表される周波数ｆ２で発振する。
ｆ２＝１／（２・π・√（Ｃ３・（Ｌ２＋Ｌ３）））・・・（３）式
続いて、測定演算回路１２Ａが、発振回路構成部１１Ａから出力された信号の周波数を測定する。次いで、測定演算回路１２Ａが、測定した周波数ｆ２に基づいてコンデンサ２２の容量値Ｃ３を演算する。具体的には、測定演算回路１２Ａは、インダクタンス値Ｌ２，Ｌ３が既知であることから、上記した（３）式を変形した下記の（４）式から容量値Ｃ３を演算する。
Ｃ３＝１／（（Ｌ２＋Ｌ３）・（２・π・ｆ２）２）・・・（４）式
【００２６】
続いて、制御部６が、測定されたコンデンサ２２の容量値Ｃ３とＲＡＭ７から読み出した検査用基準データとを比較することにより、回路基板５１についての良否を検査する（検査処理の実行）。具体的には、制御部６は、測定された容量値Ｃ３がコンデンサ２２に予め対応させられている検査用基準データとしての基準範囲（一例として、良品の回路基板５１から予め吸収した容量値の７０％〜１３０％の値）を外れるときには、コンデンサ２２が正常に形成されていない（つまり導体パターンに不良箇所がある）と判別し、測定された容量値Ｃ３が基準範囲内のときには、コンデンサ２２が正常に形成されている（つまり導体パターンが正常に形成されている）と判別する。また、制御部６は、発振回路構成部１１Ａが発振しないときにも、コンデンサ２２が正常に形成されていないと判別する。以上の検査処理をすべてのコンデンサ２２に対して実行して基板検査を終了する。
【００２７】
このように、この回路基板検査装置１Ａ、および回路基板検査装置１Ａ（電気的定数測定装置）による電気的定数測定方法によれば、上記の回路基板検査装置１および電気的定数測定方法と同様にして、発振回路の発振周波数ｆ２を測定し、既知の容量値Ｌ２，Ｌ３および発振周波数ｆ２に基づいてコンデンサ２２の容量値Ｃ３を測定することにより、電圧測定に起因する測定誤差を含ませることなくコンデンサ２２の容量値Ｃ３を測定することができる結果、コンデンサ２２の容量値Ｃ３についての測定精度を十分に向上させることができる。
【００２８】
また、この回路基板検査装置１Ａ、および回路基板検査装置１Ａによる回路基板検査方法による検査方法によれば、上記の回路基板検査装置１および回路基板検査方法と同様にして、発振回路の発振周波数ｆ２を測定し、既知の容量値Ｌ２，Ｌ３および発振周波数ｆ２に基づいてコンデンサ２２の容量値Ｃ３を算出し、容量値Ｃ３を検査用基準データと比較して回路基板５１の良否を検査することにより、四端子法による測定と比較して、測定精度が十分に向上されたコンデンサ２２の容量値Ｃ３を用いて検査するため、回路基板５１の検査精度を十分に向上させることができる。
【００２９】
次に、図４を参照して、回路基板検査装置１の測定部５に代えて測定部５Ｂを採用した回路基板検査装置１Ｂについて説明する。測定部５Ｂは、同図に示すように、発振回路構成部１１Ｂおよび測定演算回路１２Ｂを備え、一例として導体パターンによって回路基板５１の表面に形成された抵抗２３（本発明における測定対象体の一例）の抵抗値（本発明における測定対象体の電気的定数の一例）を測定可能に構成されている。この場合、発振回路構成部１１Ｂは、プローブ２，３を介して抵抗２３が接続されたときに、抵抗２３と共に本発明における発振回路を構成して、発振した信号を測定演算回路１２Ｂに出力する。具体的には、発振回路構成部１１Ｂは、一例として、同図に示すように、本発明における発振回路構成部品をそれぞれ構成する演算増幅器（オペアンプ）３７、抵抗値（本発明における発振回路構成部品の電気的定数の一例）が既知の抵抗３８〜４０、および容量値（本発明における発振回路構成部品の電気的定数の一例）が既知のコンデンサ４１，４２等を備えて、抵抗２３が接続された際にウィーンブリッジ発振回路が形成されて発振可能に構成されている。なお、同図では、発明の理解を容易にするために、ウィーンブリッジ発振回路における増幅器（演算増幅器３７）、周波数を規定するための構成部品（抵抗４０およびコンデンサ４１，４２）、および発振条件（振幅条件）を規定する構成部品（抵抗３８，３９）のみを表した発振回路構成部１１Ｂの等価回路を示し、電源回路、および測定演算回路１２Ｂに対する信号出力回路等の図示を省略している。また、発振回路構成部１１Ｂにおける抵抗３８〜４０の抵抗値およびコンデンサ４１，４２の容量値は、良品の抵抗２３が接続されたときにウィーンブリッジ発振回路の発振条件を満足するように規定されている。測定演算回路１２Ｂは、本発明における周波数測定回路および演算回路に相当し、発振回路構成部１１Ｂから出力される信号の周波数を測定し、測定した周波数に基づいて抵抗２３の抵抗値を演算して制御部６に出力する。
【００３０】
次に、回路基板検査装置１Ｂによる回路基板５１の検査方法について、各図を参照して説明する。
【００３１】
まず、回路基板５１を回路基板検査装置１Ｂにセットする。次いで、制御部６が、移動機構４ａ，４ｂを制御して、検査用のプローブ２，３を測定ポイントに接触させることにより、図４に示すように、発振回路構成部１１Ｂと抵抗２３とを接続させる。この際に、発振回路構成部１１Ｂおよび抵抗２３を含んで構成される発振回路が、発振を開始して（以下、単に、「発振回路構成部１１Ｂが発振する」ともいう）、発振した信号を測定演算回路１２Ｂに出力する。この場合、発振回路構成部１１Ｂは、抵抗２３，４０のそれぞれの抵抗値をＲ１，Ｒ２、およびコンデンサ４１，４２の容量値をそれぞれＣ４，Ｃ５としたときに、下記の（５）式で表される周波数ｆ３で発振する。
ｆ３＝１／（２・π・√（Ｃ４・Ｃ５・Ｒ１・Ｒ２））・・・・（５）式
続いて、測定演算回路１２Ｂが、発振回路構成部１１Ｂから出力された信号の周波数を測定する。次いで、測定演算回路１２Ｂが、測定した周波数ｆ３に基づいて抵抗２３の抵抗値Ｒ１を演算する。具体的には、測定演算回路１２Ｂは、容量値Ｃ４，Ｃ５および抵抗値Ｒ２が既知であることから、上記した（５）式を変形した下記の（６）式から抵抗値Ｒ１を演算する。
Ｒ１＝１／（Ｃ４・Ｃ５・Ｒ２・（２・π・ｆ３）２）・・・・（６）式
【００３２】
続いて、制御部６が、測定された抵抗２３の抵抗値Ｒ１とＲＡＭ７から読み出した検査用基準データとを比較することにより、回路基板５１の良否を検査する（検査処理の実行）。具体的には、制御部６は、測定された抵抗値Ｒ１が抵抗２３に予め対応させられている検査用基準データとしての基準範囲（一例として、良品の回路基板５１から予め吸収した抵抗値の７０％〜１３０％の値）を外れるときには、抵抗２３が正常に形成されていない（つまり導体パターンに不良箇所がある）と判別し、測定された抵抗値Ｒ１が基準範囲内のときには、抵抗２３が正常に形成されている（つまり導体パターンが正常に形成されている）と判別する。なお、制御部６は、発振回路構成部１１Ｂが発振しないときにも、抵抗２３が正常に形成されていないと判別する。以上の検査処理をすべての抵抗２３に対して実行して基板検査を終了する。
【００３３】
このように、この回路基板検査装置１Ｂ、および回路基板検査装置１Ｂ（電気的定数測定装置）による電気的定数測定方法によれば、上記の回路基板検査装置１および電気的定数測定方法と同様にして、発振回路の発振周波数ｆ３を測定し、既知の抵抗値Ｒ２、既知の容量値Ｃ４，Ｃ５および発振周波数ｆ３に基づいて抵抗２３の容量値Ｒ１を測定することにより、電圧測定に起因する測定誤差を含ませることなく抵抗２３の抵抗値Ｒ１を測定することができる結果、抵抗２３の抵抗値Ｒ１についての測定精度を十分に向上させることができる。
【００３４】
また、この回路基板検査装置１Ｂ、および回路基板検査装置１Ｂによる回路基板検査方法による検査方法によれば、上記の回路基板検査装置１および回路基板検査方法と同様にして、発振周波数ｆ３を測定し、既知の抵抗値Ｒ２、既知の容量値Ｃ４，Ｃ５および発振周波数ｆ３に基づいて抵抗２３の抵抗値Ｒ１を算出し、抵抗値Ｒ１を検査用基準データと比較して回路基板５１の良否を検査することにより、四端子法による測定と比較して、測定精度が十分に向上された抵抗２３の抵抗値Ｒ１を用いて検査するため、回路基板５１の検査精度を十分に向上させることができる。
【００３５】
なお、本発明は、上記した回路基板検査装置１，１Ａ，１Ｂの構成、測定方法および検査方法に限定されない。例えば、インダクタンス値、容量値および抵抗値のいずれか１つを測定する回路基板検査装置１，１Ａ，１Ｂについて説明したが、測定部５，５Ａ，５Ｂを１つの回路基板検査装置に搭載することによってインダクタンス値、容量値および抵抗値のすべてを測定する構成を採用することができる。この場合、測定演算回路１２，１２Ａ，１２Ｂを１つの測定演算回路で構成することもできる。具体的には、１つの測定演算回路に発振回路構成部１１，１１Ａ，１１Ｂのすべてを接続して、その測定演算回路が測定項目（インダクタンス値、容量値および抵抗値）に応じて上記の各式に従ってインダクタンス値Ｌ１、容量値Ｃ３および抵抗値Ｒ１のいずれか１つを測定する。また、この際に、制御部６が、測定された測定値とＲＡＭ７から読み出した検査用基準データとを比較することにより、回路基板５１の良否を検査する。この構成によれば、回路基板検査装置を十分に小形化することができる。また、発振回路構成部１１，１１Ａ，１１Ｂとして、それぞれコルピッツ発振回路、ハートレー発振回路、ウィーンブリッジ発振回路を採用して構成したが、任意の各種発振回路を採用することができる。また、導体パターンによって回路基板５１に形成したコイル２１、コンデンサ２２および抵抗２３に対して測定や検査を行う回路基板検査装置１，１Ａ，１Ｂについて説明したが、回路基板５１に実装されているコイル、コンデンサおよび抵抗などの電子部品に対して測定や検査を行わせることもできる。さらに、回路基板５１の片面側でプローブ２，３をプロービンングする例について説明したが、回路基板５１の表裏両面側にプローブを配設して、表裏両面に形成されている測定ポイントにプロービングすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】回路基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】回路基板検査装置１における測定部５の等価回路である。
【図３】回路基板検査装置１Ａにおける測定部５Ａの等価回路である。
【図４】回路基板検査装置１Ｂにおける測定部５Ｂの等価回路である。
【符号の説明】
【００３７】
１，１Ａ，１Ｂ  回路基板検査装置
２，３  プローブ
４ａ，４ｂ  移動機構
５，５Ａ，５Ｂ  測定部
６  制御部
１１，１１Ａ，１１Ｂ  発振回路構成部
１２，１２Ａ，１２Ｂ  測定演算回路
２１，３５，３６  コイル
２２，３２，３３，４１，４２  コンデンサ
２３，４０  抵抗
５１  回路基板
Ｃ１〜Ｃ５  静電容量値
Ｌ１〜Ｌ３  インダクタンス値
Ｒ１，Ｒ２  抵抗値
【図１】
2005345268.tif 000003
【図２】
2005345268.tif 000004
【図３】
2005345268.tif 000005
【図４】
2005345268.tif 000006