(57)【要約】【課題】  従来の投射型表示装置の光学エンジンの検査装置よりも狭いスペースで検査が可能である投射像検査装置を実現すること。【解決手段】  複数の色光用にそれぞれ配置されたライトバルブから射出される各色光を投射レンズに入射してスクリーン上に投射像を投射する投射型表示装置において使用される前記ライトバルブから投射レンズまでの各光学部材を含む光学エンジンを前記投射像に基づいて検査する投射像検査装置であって、前記投射レンズの結像面よりも手前に配置され、該投射レンズから射出した光束の一部を結像させる少なくとも1つの結像光学系と、前記結像光学系で結像された像を観察する少なくとも1つの像観察手段とを含む構成とした。【選択図】      図１
2005223492.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の色光用にそれぞれ配置されたライトバルブから射出される各色光を投射レンズに入射してスクリーン上に投射像を投射する投射型表示装置において使用される前記ライトバルブから投射レンズまでの各光学部材を含む光学エンジンを前記投射像に基づいて検査する投射像検査装置であって、
前記投射レンズの結像面よりも手前に配置され、該投射レンズから射出した光束の一部を結像させる少なくとも1つの結像光学系と、
前記少なくとも1つの結像光学系毎に結像された像を観察する少なくとも1つの像観察手段とを含むこと
を特徴とする投射像検査装置。
【請求項２】
前記結像光学系は凹面鏡であって、
該投射レンズと前記凹面鏡とを結ぶ光路の中に配置され、入射した光束の一部を前記光路から外れた位置に導く光路分割手段を更に含み、
前記像観察手段は、該凹面鏡を反射した光のうち、前記光路分割手段に再入射して前記光路から外れた位置に導かれた光束の結像位置に配置されること
を特徴とする請求項１記載の投射像検査装置。
【請求項３】
前記凹面鏡は、前記凹面鏡の球心と、前記投射レンズの射出瞳位置とが略一致するように配置されていることを特徴とする請求項２記載の投射像検査装置。
【請求項４】
前記光路分割手段から導かれ前記像観察手段に入射する中心光束の主光線が前記像観察手段の像形成面に入射する入射角は、前記投射レンズの光軸と、前記射出瞳の中心と前記凹面鏡面の中心とを結ぶ直線とがなす角度と略等しいこと
を特徴とする請求項３記載の投射像検査装置。
【請求項５】
前記光路分割手段から導かれ前記像観察手段に入射する中心光束の主光線が、前記像観察手段の像形成面に入射する入射角は、前記投射レンズの光軸と、前記射出瞳の中心と前記凹面鏡の球心とを結ぶ直線とがなす角度と、前記射出瞳の中心と前記凹面鏡面の中心とを結ぶ直線と前記凹面鏡の球心と前記凹面鏡面の中心とを結ぶ直線とがなす角度とを足し合わせた角度と略等しいこと
を特徴とする請求項２記載の投射像検査装置。
【請求項６】
前記結像光学系は、少なくとも１枚のレンズからなり、正の屈折力を有するレンズ群であること
を特徴とする請求項１記載の投射像検査装置
【請求項７】
前記レンズ群の入射瞳位置と、前記投射レンズの射出瞳位置とが略一致していること
を特徴とする請求項６記載の投射像検査装置。
【請求項８】
前記像観察手段は、撮像素子であることを特徴とする請求項１乃至７いずれか１項記載の投射像検査装置。
【請求項９】
前記像観察手段は、透過型スクリーンと、
該透過型スクリーン上の像を取り込む画像撮像装置であること
を特徴とする請求項１乃至７いずれか１項記載の投射像検査装置。
【請求項１０】
複数の色光用にそれぞれ配置されたライトバルブから射出される各色光を投射レンズに入射してスクリーン上に投射像を投射する投射型表示装置において使用される前記ライトバルブから投射レンズまでの各光学部材を含む光学エンジンであって、
請求項１乃至請求項９いずれか１項に記載の投射像検査装置を用いて、前記投射像における各色光の像の、スクリーン平面に対して平行方向のずれと、前記投射像における各色光の像の、スクリーン平面に対して垂直方向のずれとの少なくとも一方を、前記ライトバルブの位置を変化させて調整し、良好な位置にて前記ライトバルブを固定したことを特徴とする光学エンジン。
【請求項１１】
前記ライトバルブは、反射型ライトバルブであって、該ライトバルブから射出した光束を、各々１／４波長位相板と検光光学系と合成光学系とを経て、投射レンズによって投射する構成の光学エンジンにおいて、
請求項１乃至請求項９いずれか１項に記載の投射像検査装置を用いて、前記１／４波長位相板をその光軸を中心として回転させて調整し、良好な位置にて前記１／４波長位相板を固定したことを特徴とする光学エンジン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ライトバルブを射出した光を投射レンズにてスクリーン上に拡大投射する投射型表示装置に使用する光学エンジンをその投射像に基づいて調整するための投射像検査装置および、光学エンジンの調整に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来においては、投射型表示装置に使用する光学エンジンの有する光学特性の検査は前記光学エンジンの有する投射レンズにて当該投射レンズの投射する距離に配置したスクリーンに検査の投射像を投射し、そのスクリーン上の像を検査員が直接観察して検査して、その光学系を検査していた。
【０００３】
更に、上記検査結果に基づいて調整を行う場合には、検査員が光学エンジンの箇所まで戻って前記光学特性を良好にするように光学エンジンの有する光学部材の配置を調整し、再度スクリーンまで行って当該スクリーン上の投射像を再度観察検査し、所望の投射性能が得られたならば再度光学エンジンまで戻って、前記の光学エンジンの光学部材を固定する作業を行う。もし、まだ所望の投射性能に到達してなければ、再度、光学エンジンまで戻ってエンジンの構成光学部材の配置を調整し、スクリーン上の像を再検査するという工程を繰り返しておこない、合格像の投射ができるまでこの工程を繰り返す必要がある。このような検査調整工程は、一つの光学エンジンの良品を得るために、多大な労力と長時間が必要とされ、人件費の点から検査のコストが大である。
【０００４】
また、光学部品の配置個所とスクリーンの配置する箇所までの距離は大であるので、検査を行うのに広いスペースを必要とするという問題を有していた。
【特許文献１】特開平９−１４９３４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が、解決しようとする課題は従来の投射型表示装置の光学エンジンの検査装置よりも狭いスペースで検査が可能である投射像検査装置を実現することである。
また、更に、該検査に基づいて、従来よりも少ない労力で短時間に調整を行うことのできる投射像検査装置、およびこの投射像検査装置で調整されたコストを抑えた光学エンジンを実現することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本願の請求項1の投射像検査装置は、複数の色光用にそれぞれ配置されたライトバルブから射出される各色光を投射レンズに入射してスクリーン上に投射像を投射する投射型表示装置において使用される前記ライトバルブから投射レンズまでの各光学部材を含む光学エンジンを前記投射像に基づいて検査する投射像検査装置であって、前記投射レンズの結像面よりも手前に配置され、該投射レンズから射出した光束の一部を結像させる少なくとも1つの結像光学系と、前記結像光学系で結像された像を観察する少なくとも1つの像観察手段とを含む構成とした。
【０００７】
請求項１に記載の投射像検査装置は、前記結像光学系は凹面鏡であって、該投射レンズと前記凹面鏡とを結ぶ光路の中に配置され、入射した光束の一部を前記光路から外れた位置に導く光路分割手段を更に含み、前記像観察手段は、該凹面鏡を反射した光のうち、前記光路分割手段に再入射して前記光路から外れた位置に導かれた光束の結像位置に配置されることが好ましい。
【０００８】
また、前記凹面鏡は、前記凹面鏡の球心と、前記投射レンズの射出瞳位置とが略一致するように配置されていることが好ましい。この場合には、更に、前記光路分割手段から導かれ前記像観察手段に入射する中心光束の主光線が前記像観察手段の像形成面に入射する入射角は、前記投射レンズの光軸と、前記射出瞳の中心と前記凹面鏡面の中心とを結ぶ直線とがなす角度と略等しいことが好ましい。
【０００９】
また、前記光路分割手段から導かれ前記像観察手段に入射する中心光束の主光線が、前記像観察手段の像形成面に入射する入射角は、前記投射レンズの光軸と、前記射出瞳の中心と前記凹面鏡の球心とを結ぶ直線とがなす角度と、前記射出瞳の中心と前記凹面鏡面の中心とを結ぶ直線と前記凹面鏡の球心と前記凹面鏡面の中心とを結ぶ直線とがなす角度とを足し合わせた角度と略等しいことが好ましい。
【００１０】
また、請求項1に記載の投射像検査装置は、前記結像光学系が少なくとも１枚のレンズからなり、正の屈折力を有するレンズ群であることが好ましい。また、この場合には、前記レンズ群の入射瞳位置と、前記投射レンズの射出瞳位置とが略一致していることが好ましい。
【００１１】
前記像観察手段は、撮像素子であることが好ましい
前記像観察手段は、透過型スクリーンと、該透過型スクリーン上の像を取り込む画像撮像装置であることが好ましい。
【００１２】
更に、本願の別の発明の形態では、複数の色光用にそれぞれ配置されたライトバルブから射出される各色光を投射レンズに入射してスクリーン上に投射像を投射する投射型表示装置において使用される前記ライトバルブから投射レンズまでの各光学部材を含む光学エンジンであって、請求項１乃至請求項８いずれか１項に記載の投射像検査装置を用いて、前記投射像における各色光の像の、スクリーン平面に対して平行方向のずれと、前記投射像における各色光の像の、スクリーン平面に対して垂直方向のずれとの少なくとも一方を、前記ライトバルブの位置を変化させて調整し、良好な位置にて前記ライトバルブを固定した。
【００１３】
また、前記ライトバルブは、反射型ライトバルブであって、該ライトバルブから射出した光束を、各々１／４波長位相板と検光光学系と合成光学系とを経て、投射レンズによって投射する構成の光学エンジンにおいて、
請求項１乃至請求項８いずれか１項に記載の投射像検査装置を用いて、前記１／４波長位相板をその光軸を中心として回転させて調整し、良好な位置にて前記１／４波長位相板を固定した。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、従来の投射像検査調整装置よりも狭いスペースで検査が可能である投射像検査装置、また、更に、該検査に基づいて、従来よりも少ない労力で短時間で調整を行うことのできる投射像検査装置、およびこの投射像検査装置で調整された、コストを抑えた光学エンジンを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１には本実施例における投射型表示装置にて使用する光学エンジンの光学特性の検査調整をおこなう検査調整装置の基本構成平面図を、図２には前記装置の一部光学部品の構成図を、図３にはミラーの変形配置例を示す。また、図４から図６にはそれぞれ前記装置にて検査調整する光学エンジンの基本平面構成図、斜視構成図、側面構成図を示す。
【実施例１】
【００１６】
まず、この図１の投射像検査装置の基本構成から説明する。
投射型表示に使用する複数のライトバルブを有し、その構造を後述の光学エンジン１０を有する投射装置を所定の位置に配置する。この投射装置の投射レンズ２２から射出する投射光のうちの所定部の光束を光路分割手段を経由して球面形状の凹面鏡に入射させる。そして、該凹面鏡を反射して前記光路分割手段に再入射し、該光路分割手段を反射して該凹面鏡の集光力に応じて定まる結像位置に配置されたＣＣＤ等の固体撮像素子により撮像する。この撮像結果に基づいて前記所定部の光束の光学性能の検査を行う。
図１（Ａ）は、前記投射レンズ２２による投射像の光軸Ｏに平行な断面構成図である。また、図１（Ｂ）は、投射レンズ２２から所定の広がり角度を有して射出される投射光線の、前記光軸に垂直で前記凹面鏡４１Ｃ、４１Ａ、４１Ｃとを結ぶ線を含む面での断面形状である。該断面形状では、図１の（Ｂ）の最外周の点線が示す前記ライトバルブの画像形成面の比例拡大形状となっている。また、図１（Ａ）には前記断面図に平行な平面上の４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃの３個が記載されているが、実際には、図１（Ｂ）の断面図に示すとおり、紙面より上側に４１Ｈ，４１Ｇ４１Ｉの凹面鏡が、紙面下側に４１Ｅ，４１Ｄ４１Ｆの凹面鏡が其々投射光束内に所定の間隔で配置されている。
投射像検査装置において検査する投影光学系の性能の一つは、例えば、前述の各色光用の投射像の画素位置のずれが所定値以下に収まっているか否かの検査、すなわちレジストレーション（合成される像の画素同士の重ね合せ）の検査である。本実施形態では、光学特性を検査する位置を、図１の（Ｂ）の前記外周の点線の長方形の領域を投射する像のスクリーン上における投射像に寄与する光束の領域とし、該長方形の４隅と、中央部１箇所及び、該長方形の各辺の中央部４箇所の計９箇所に該当する部分における後述の光学特性を検査することによって、長方形の全面にわたるレジストレーションのずれの傾向を検査することができる構成とした。
前述のように９箇所配置された凹面鏡は、その球心が投射レンズ２２の射出瞳位置に一致するように配置される。このように配置することによって、投射レンズからの光束を歪曲収差や非点収差を非常に抑えた良好な像を得ることができる。
本実施例においては各々の凹面鏡の配置される位置が、投射レンズ２２の射出瞳から例えば３０センチメートルの距離である。この距離は、実際の投射像の投射されるスクリーンまでの距離より大幅に小さい。９個の凹面鏡は、各々前記射出瞳を球心として配置される。すなわち、各々の凹面鏡はその曲率半径が３０ｃｍである。本実施形態では、各々の凹面鏡に球面鏡を用いたが、もちろん曲面鏡の代わりに非球面形状の凹面鏡を用いてよい。凹面鏡に非球面形状のものを用いる場合には、凹面鏡の頂点近傍の曲率半径を該凹面鏡の曲率半径とみなし、投影レンズの射出瞳に対する該凹面鏡の配置位置を決定する。
本実施形態では該９個の凹面鏡は全て同じ形状を有している。従って、各々の凹面鏡の球心を投影レンズの射出瞳位置に一致するように配置すると各々の凹面鏡の反射面は、該射出瞳位置を球心とする半径３０ｃｍの球面の一部となっている。尚、通常投影レンズの射出瞳位置には、開口絞りが配置されている。従って球心を開口絞り位置に一致させるように凹面鏡を配置することになる。
【００１７】
図１の実施形態では全て同じ曲率半径を有し、形状も同等凹面鏡を使用したが、各凹面鏡が異なる形状や大きさを有していても、各々の凹面鏡の球心の位置を前記投射レンズ２２の開口絞りと略一致する位置に配置すれば検査を行うことができる。
ただし、同一面形状とすることにより、結像倍率が同じとなり各像の倍率のモニタ上の大きさが同じとなることと、使用する凹面鏡を同一部品にて構成できるので、光学部品および当該凹面鏡を配置する鏡筒部品としてコスト削減が可能になる。
図２は図１の別の形態を示した。図２は同一形状の各凹面鏡４１Ａ〜４１Ｉの球心位置が前記投射レンズ２２の射出瞳と一致しない構成に配置した構成である。図示のとおり、凹面鏡４１Ａの球心位置Ｃ４１Ａと前記投射レンズ２２の射出瞳の位置とがずれている。本実施形態では他の凹面鏡４１Ｂ〜４１Ｉもその球心位置が射出瞳の位置から射出瞳面内で距離ΔＲだけ、射出瞳の中心と凹面鏡面の中心とを結ぶ軸が、凹面鏡面の中心とその球心を結ぶ軸に対してΔωだけずれている。
このように凹面鏡４１Ａ〜４１Ｉの球心と投射レンズ２２との射出瞳位置とがずれていても、このずれ方向が該射出瞳の面内であれば、図１の場合と同様に歪曲収差や非点収差を非常に小さい値に抑えることができる。
図２の構成においてはこの距離ΔＲを各凹面鏡と投射レンズの射出瞳の距離の２０パーセント以下とするように、配置する。更に、この距離を１０パーセント以下とするように配置することが好ましい。
図２の実施形態では全て同じ曲率半径を有し、形状も同等凹面鏡を使用したが、図１の実施例と同様に異なる曲率半径であってもよく、また非球面等、異なる形状であってもよい。ただし、同一面形状とすることにより、結像倍率が同じとなり各像の倍率のモニター上の大きさが同じとなることと、使用するミラーを同一部品にて構成できるので、光学部品および当該ミラーを配置する鏡筒部品としてコスト削減が可能になることは図１の実施形態と同様である。
また、各々の凹面鏡中心と射出瞳中心とを結ぶ軸が、各々の凹面鏡の球心と凹面鏡を結ぶ軸に対して全てΔωだけずれている構成としたが、凹面鏡の中心と射出瞳の中心とを結ぶ軸と、凹面鏡の中心とその球心を結ぶ軸との角度は各々の凹面鏡とで異なっていてもよい。
次に、本実施形態の投射像検査装置の固体撮像素子の配置について説明する。まず、図１の場合を説明する。凹面鏡に入射する各光束はそれに入射前に各光束の中心線である光軸が４５度の入射角を有するように配置したハーフミラー４１Ａ〜４１Ｉ（図示は４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃのみ）に入射し、これを透過して進行する光を前記各凹面鏡に入射させる。該凹面鏡で反射した光を再度ハーフミラー４１Ａ〜４１Ｉにそれぞれ入射し、当該ミラーを反射する光を各々の凹面鏡に対して配置された固体撮像素子に入射する。
【００１８】
各個体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉは、各々の固体撮像素子への光束の入射角θが、各々の凹面鏡に入射する光束の主光線と投射レンズ２２の光軸Ｏとのなす角度と同じになるように配置される。このように配置することによって、固体撮像素子の像形成面の全面にわたって実際のスクリーンに投影した像と略同等の光学特性を有する像を得ることができる。
【００１９】
例えば、凹面鏡４１Ａに入射する光束の主光線と投射レンズ２２の光軸とが一致、すなわちθ＝０であるので、凹面鏡４１Ａに対応する固体撮像素子４３Ａは、凹面鏡４１Ａを反射し、ハーフミラー４２Ａを反射した光束が入射角０°で入射するように配置される。また、凹面鏡４１Ｂ及び凹面鏡４１Ｃに入射する光束の主光線と投射レンズ２２の光軸との角度はωであるので、凹面鏡４１Ｂ、４１Ｃに各々対応する固体撮像素子４３Ｂ、４３Ｃは各々の凹面鏡を反射し、ハーフミラー４２Ｂ、４２Ｃを各々反射した光束が入射角ωで入射するように配置されている。図１（Ａ）に図示のない凹面鏡についても同様に配置する。従って、固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉは、各々の固体撮像素子に入射する光束が、各々の対応する凹面鏡に入射する光束の主光線と投射レンズ２２の光軸との角度と同じ入射角を有するように配置される。
【００２０】
前記各々の固体撮像素子から得られた情報はこの検査測定装置を使用する検査員が観測するモニターを各画像撮像に配置し、それぞれの入射像をモニターに写して像を検査調整できる構成となっている。
【００２１】
次に図２の場合を説明する。図２では、上述のように、同一形状の各凹面鏡４１Ａ〜４１Ｉの球心位置が前記投射レンズ２２の射出瞳と一致しない構成に配置した構成である。図示のとおり、凹面鏡４１Ａの球心位置Ｃ４１Ａと前記投射レンズ２２の射出瞳の位置とがずれており、他の凹面鏡４１Ｂ〜４１Ｉもその球心位置が射出瞳の位置から瞳面内で距離ΔＲだけ、射出瞳の中心と凹面鏡面の中心とを結ぶ軸が、凹面鏡面の中心とその球心を結ぶ軸に対してΔωだけずれている。
図１の場合には、各個体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉは、各々の固体撮像素子への光束の入射角θが、各々の凹面鏡に入射する光束の主光線と投射レンズ２２の光軸Ｏとのなす角度θと同じになるように配置した。これに対して、図２では、更に、各々の凹面鏡に入射する光束の主光線と投射レンズ２２の光軸Ｏとのなす角度に、射出瞳の中心と凹面鏡面の中心とを結ぶ軸と凹面鏡面の中心とその球心を結ぶ軸との角度Δωを足し合わせた角度で入射する構成とする。このように各個体撮像素子を配置することによって、固体撮像素子の撮像面の全面にわたって、実際のスクリーンに投影される像と光学特性が略同等の像を得ることができる。
例えば、凹面鏡４１Ａに入射する光束の主光線と投射レンズ２２の光軸とが一致、すなわちθ＝０であるので、凹面鏡４１Ａに対応する固体撮像素子４３Ａは、凹面鏡４１Ａを反射し、ハーフミラー４２Ａを反射した光束が入射角０°で入射するように配置される。また、凹面鏡４１Ｂ及び凹面鏡４１Ｃに入射する光束の主光線と投射レンズ２２の光軸との角度はωであるので、凹面鏡４１Ｂ、４１Ｃに各々対応する固体撮像素子４３Ｂ、４３Ｃは各々の凹面鏡を反射し、ハーフミラー４２Ｂ、４２Ｃを各々反射した光束が入射角ωで入射するように配置されている。
図１の場合においても、図２の場合においても、本実施例における、前記凹面鏡による各結像の倍率は、投射像検査装置の空間的な大きさと、その結像性能を考慮すると、０．５より小さい結像倍率の大きさを有することが好ましい。但し、結像倍率を０．０１より小さくすると、像の大きさが小さくなりすぎ、分解能が不足して十分な検査が行えなくなる。
【００２２】
次に、投射像検査装置で検査する光学特性について具体的に説明する。本投射像検査装置で検査を行うのは、像の焦点とレジストレーション（合成する複数の像の重ね合せ）である。投射型検査装置の製造工程では、像の焦点の検査結果に基づき、例えば、像の焦点が合うように前記ライトバルブの位置を光軸の方向に前後に移動させて調整を行う。
【００２３】
またレジストレーションの検査結果に基づき、複数の例えばＲ（赤）光、Ｇ（緑）光、Ｂ（青）光用にそれぞれ配置したライトバルブを、光軸に垂直な面内での位置の調整を行い、また、光軸に対して回転させることにより光軸周りの位置の調整を行う。
【００２４】
さらに、ライトバルブ以外の光学部材の調整によるコントラストの検査がある。この検査に基づいて、例えばライトバルブの前の光路中に配置された１／４波長位相板の光学軸の方位角を調整する。
【００２５】
図４から図６の構成図を用いて本発明の検査調整装置にて検査調整される前記光学エンジンの一例である反射型ライトバルブを用いる光学エンジンの構成を説明する。
図４において前記光学エンジン１０の全体基本構成を説明する。ランプと凹面鏡とから構成される光源１１から射出する光源光は偏光変換照明装置１２に入射し、紙面に垂直な方向に振動を有する直線偏光に変換される。前記偏光変換照明装置１２は通常複数のレンズをマトリクス形状に配置した第１レンズ板と、前記第１レンズ板のレンズの焦点位置に複数のレンズを同様にマトリクス形状に配置した第２レンズ板と、前記第２レンズ板の射出面近傍に配置する偏光分離部と、当該部によって透過する偏光と、反射する偏光の内の反射する偏光を反射して前記透過偏光と同様の方向に進行させる反射層とからなる組合せを複数組アレイ形状に配置したプリズムアレイ部材である。当該アレイ部材の特定の射出面には１／２波長板が配置され、さらに、前記第１レンズ板の複数のレンズによって分割され、前記アレイ部材と１／２波長位相板によって単一の偏光に変換された複数の光束を後述のライトバルブ上に重畳照明するためのコンデンサレンズとから構成されている。
【００２６】
前記偏光変換照明装置１２を射出した光は、Ｂ（青）光反射、Ｒ（赤）光とＧ（緑）光を透過する特性のダイクロイックミラー１３Ｂと、Ｒ光とＧ光を反射、Ｂ光を透過する特性のダイクロイックミラー１３ＲＧを互いに直交して配置したクロスダイクロイックミラー１３に入射する。ここで、入射光軸と直交し、互いに反対方向に進行する光軸を有するＢ光と、Ｒ光とＧ光の混合光とに色分解する。
【００２７】
前記色分解されたＢ光は、偏向ミラー１４に入射、反射して進行方向を変えて進行し、Ｂ光用偏光ビームスプリッタ１７Ｂに入射し、偏光分離部にて反射して、１／４波長位相板１８Ｂを経てＢ光用反射型ライトバルブ１９Ｂに入射する。
【００２８】
前記色分解されたＲ光とＧ光の混合光は偏向ミラー１５に入射、反射して進行方向を変えて進行し、Ｇ光反射、Ｒ光透過特性のダイクロイックミラー１６に入射する。ここで、反射するＧ光と、透過するＲ光とに色分解し、各色光毎に配置した偏光ビームスプリッタ１７Ｇ、１７Ｒに入射、偏光分離部を反射して射出し、１／４波長位相板１８Ｇ、１８Ｒを経て反射型ライトバルブ１９Ｇ、１９Ｒにそれぞれ入射する。
【００２９】
各色光用のライトバルブ１９Ｂ、１９Ｇ、１９Ｒに入射した各色光は色信号によって変調作用を受け、ライトバルブから反射され、１／４波長位相板１８Ｂ、１８Ｇ、１８Ｒと偏光ビームスプリッタ１７Ｂ、１７Ｇ、１７Ｒに再入射する。ここで、変調光のみが偏光分離部を透過する光として検光され、色合成光学系を構成するクロスダイクロイックプリズム２１に入射する。クロスダイクロイックプリズム２１に入射する３色光のうち、Ｒ光はＲ光反射ダイクロイック膜２１Ｒにて反射、Ｂ光はＢ光反射ダイクロイック膜２１Ｂにて反射、Ｇ光は前記両ダイクロイック膜を透過して、色合成が行われる。該クロスダイクロイックプリズム２１で合成された光は投射レンズ２２に入射し、図示しないスクリーン上に拡大投射する。
【００３０】
前記構成の投射型表示装置の光学エンジンにおいて、各色光用に配置した反射型ライトバルブ１９Ｂ、１９Ｇ、１９Ｒ、１／４波長位相板１８Ｂ、１８Ｇ、１８Ｒ、及び、偏光ビームスプリッタ１７Ｂ、１７Ｇ、１７Ｒはそれぞれの色光毎に一体化部材２３Ｂ、２３Ｇ、２３Ｒを用いて一体化された構造を有している。図においてはその一体化の概念のみの記載を示した。
【００３１】
さらに、前記の一体化された各色光用に配置した反射型ライトバルブ１９Ｂ、１９Ｇ、１９Ｒ、１／４波長位相板１８Ｂ、１８Ｇ、１８Ｒ、偏光ビームスプリッタ１７Ｂ、１７Ｇ、１７Ｒはそれぞれの色光用の偏光ビームスプリッタ１７Ｂ、１７Ｇ、１７Ｒと、色合成光学系のクロスダイクロイックプリズム２１とは、一体化部材である光路長調整光学部材２０Ｂ、２０Ｇ、２０Ｒによって一体化された構成を有している。さらに、投射レンズ２２は図示しない床部材に取り付けたマウント部材２４に配置され、前記一体化した光学部材はそのうちのクロスダイクロイックプリズムの下面を前記マウント部材２４に取り付けられた一体化部材２５上に配置されることによって当該光学部材と一体化する構成である。
【００３２】
図５には、図４に記載の光学系におけるおいてはＧ光用のライトバルブと、偏光ビームスプリッタと１／４波長位相板の一体化を示す分解斜視構成図を示す。
Ｒ光とＢ光用の一体化構造は同じであり、その図示は省略する。
【００３３】
偏光ビームスプリッタ１７Ｇには第１一体化部材３３を取り付け、当該一体化部材３３に１／４波長位相板１８Ｇを取り付けた１／４波長板一体化部材３２を取り付け、さらに、反射型ライトバルブ１９Ｇを取り付けたライトバルブ一体化部材３１を取り付けることにより光学部材の一体化を達成する構成となっている。その詳細を本図を用いて説明する。
【００３４】
前記第１一体化部材３３は中央部に光の通過を担保する長方形状の開口部を有しており、当該開口部の外周部の上下部からそれぞれ前記開口部に対して直角に曲げて形成した取り付け部３３３Ｕ、３３３Ｌを偏光ビームスプリッタ１７Ｇの上下面部を挟み込んで接着して取り付け一体化する。さらに、当該部材３３の前記開口部の外周部の前記取り付け部３３３Ｕ、３３３Ｌ部の上下部には後述の１／４波長位相板を取り付けた１／４波長位相板一体化部材３２の当該部との一体化のために挿入して取り付ける貫通穴部３３２Ｕ、３３２Ｌを有している。さらに、その上下部にはそれぞれ後述のライトバルブ１９Ｇを取り付けたライトバルブ一体化部材３１の本部材と半田付けして一体化取り付けするための取り付け部分３３１Ｕ、３３１Ｌ部をそれぞれ延設している。さらに、開口部の外周部の側面部の一方側には、後述の１／４波長位相板一体化部材に取り付けた１／４波長位相板の光軸の位置を決定するために、当該一体化部材を光軸の周りに回転するために形成された円弧形状穴３２２Ｕ、３２２Ｌ部に挿入する突起ボス部３３４Ｕ、３３４Ｌ部が図に示す偏光ビームスプリッタ１７Ｇと反対側のライトバルブ１９Ｇ側に突起するように形成配置されている。
【００３５】
１／４波長位相板一体化部材３２にも中央部には光の通過を担保する開口部を有し、その開口部の側面の一方には前述の円弧形状穴３２２Ｕ、３２２Ｌが形成され、さらに、前記開口部の外周部の上下部はそれぞれ延設された前記第１一体化部材３３の開口部３３２Ｕ、３３２Ｌ部に挿入する取り付け部３２１Ｕ、３２１Ｌ部を外周部に沿って延設、直角に偏光ビームスプリッタ１７Ｇ側に曲げ、さらに、上下方向にそれぞれ曲げて形成する。また、さらに、本部材３２の前記開口部の外周部の４箇所と前記取り付け部３２１Ｕ、３２１Ｌ部の最先端部の平面のそれぞれ一箇所部には、先端部が平面部に対して略点接触と見なすことができるその先端部が球形状の突起部３２４Ａ、３２４Ｂ、３２４Ｃ、３２４Ｄ、３２３Ａ、３２３Ｂを形成する。突起部３２４Ａ、３２４Ｂ、３２４Ｃ、３２４Ｄ、は偏光ビームスクリッタ１７Ｇ側に突起するように、３２３Ａ、３２３Ｂはライトバルブ１９Ｇ側に突起するように形成する。そして上記取り付け部３２１Ｕ、３２１Ｌを第１取り付け部３３の貫通穴部３３２Ｕ、３３２Ｌ部にそれぞれ挿入、両部材を仮配置する。前記穴部に挿入して仮配置した１／４波長位相板一体化部材の前記取り付け部３２１Ｕ、３２１Ｌ部は偏光ビームスプリッタ１７Ｇ側にはみ出しており、不図示の位置制御工具によってこの３２１Ｕ、及び３２１Ｌを第１一体化部材３３に対して相対移動することにより、１／４波長位相板一体化部材を光軸の周りに回転させて、投射像のコントラストの最も良好な位置に調整し固定できる構成となっている。
【００３６】
ライトバルブ一体化部材３１は同様に中央部に開口部を有し、その外周部の上下部から偏光ビームスプリッタ１７Ｇの斜め方向に部材を延設し、その先端部を上下方向に曲げて延設し、その先端部を前記第１一体化部材３３の上下部に形成した取り付け部３３１Ｕ、３３１Ｌ部と半田付けする取り付け部３１１Ｕ、３１１Ｌ部が形成されており、前記開口部を覆う構成にて反射型ライトバルブ１９Ｇを当該部材の開口部の側面部に貼り付け一体化形成し、この一体化部材を不図示の位置制御工具によって掴み、前記一体化部３１１Ｕ、３１１Ｌ部を前記偏光ビームスプリッタ１７Ｇに取り付けられた第１一体化部材３３の取り付け部３３１Ｕ、３３１Ｌ部にそれぞれ近接して仮配置する。
【００３７】
図６には前記仮配置した一体化部材の側面構成図を示す。この側面構成図にて理解できるように、１／４波長位相板一体化部材３２の前記取り付け部の先端平面部３２１Ｕ、３２１Ｌ部に形成された前記突起部３２３Ａ、３２３Ｂと開口部の外周部に形成された突起部３２４Ａ、３２４Ｂ、３２４Ｃ、３２４Ｄによって第１一体化部材３３を挟み込んで仮配置した構成となっており、この仮配置状態で、前述の位置制御装置にて、１／４波長位相板一体化部材３２を図２の円弧形状穴部３２２Ｕ、３２２Ｌに沿って光軸の周りに回転し、前記コントラストの最も良好な最適位置にて固定する。
【００３８】
ライトバルブはライトバルブ一体化部材３１に取り付けられ、更に、不図示のライトバルブ一体化部材をライトバルブから出射する光束の進行方向の位置が調整可能で、光軸周りに回転可能な保持部材によって、第１一体化部材に対して所定の位置に保持されている。この状態で、前記保持部材を用いてライトバルブ一体化部材３１を光軸方向に動かし、各色光について焦点位置を調整する。また、更に、前記保持部材を用いて、ライトバルブ一体化部材３１を光軸に対して垂直な面に倣って動かし、各色光用のライトバルブ１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂの画素の位置が一致するようにレジストレーションを達成する。このように焦点の位置が決定し、レジストレーションが達成した位置にて、各色光用の取り付け部３１１Ｕと３３１Ｕ、３１１Ｌと３３１Ｌ部とをそれぞれ半田付けして一体化固定し、焦点位置調整と画像重ね合わせ調整を達成する。
【００３９】
光学エンジン１０の光学特性を検査調整する人は前記モニタを見ながら前述の仮配置した状態の光学エンジン１０の前述の１／４波長位相板一体化部材とライトバルブ一体化部材の配置を調整する。まず、１／４波長位相板の配置の固定について説明する。１／４波長板は投射像のコントラストを向上させるために配置されている。
【００４０】
まず前記の固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉに単色光を入射させる。例えばＧ色光についてコントラストを調整するために、他色光用のライトバルブ１９Ｒ、１９Ｂには光は入射しないように個々の光路を遮断し、Ｇ光のみを投射レンズで投射する。このとき、Ｇ光用のライトバルブはオフ状態、すなわち変調作用を有さない状態にしておく。
【００４１】
この状態で、固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉに形成されたＧ光の像をモニタで観察する。前述の１／４波長位相板一体化部材３２を光軸の周りに回転させて方位角調整性をおこない、固体撮像素子に形成された像がモニタにおいて最も暗くなる位置で、１／４波長位相板一体化部材を固定する作業をおこなう。
【００４２】
この作業をＲ光、Ｂ光についても行い各々の１／４波長位相板の位置を調整して各々固定する。以上により、１／４波長位相板１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂの位置の調整ができ、コントラストの良好なＲ、Ｇ、Ｂ光を投射できる。
【００４３】
次に、ライトバルブ１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂの配置の調整を行う。
１／４波長位相板の調整と同様に、Ｇ光、Ｒ光、Ｂ光を各々単独で投射レンズ２２で投射する。合焦位置の調整の場合には、ライトバルブが変調作用を有するようにし、合焦状態を確認できるよう、所定の像を投影する。そして、各色光ごとに固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉに形成された像をモニタで観察しながら、前述の保持部材を用いて、ライトバルブを一体化した一体化部材３１を光軸方向に動かし、その像が合焦する位置で固定する。
【００４４】
次に、固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉにおいてレジストレーション調整をおこなう。レジストレーションの調整の際は、各ライトバルブ１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂにはレジストレーションを確認できる形状の像の信号を与え、投射レンズ２２で全ての色光を同時に投射する。この合成像を固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉに結像し、例えば、Ｇ光用の像を基準とし、その像に対してＲ光用の像とＢ光用の像のレジストレーションが一致するように、前記保持部材を用いて、ライトバルブ一体化部材３１を光軸に対して垂直方向に位置調整すると共に、光軸の周りに回転させて観測調節し、レジストレーションの達成した位置を決定する。この位置において、各色光用のライトバルブ一体化部材３１の３１１Ｕ部、３１１Ｌ部と、偏光ビームスプリッタ１７Ｒ、１７Ｇ、１７Ｂが固定された各色光用の第１一体化部材３３の３３１Ｕ部、３３１Ｌ部とをそれぞれ半田付けして固定する。以上により、最適な投射像を投射できる光学エンジン１０の調整が完了する。
【００４５】
本実施例における図１、図２に示した投射像検査調整装置においては、固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉに結像させる短縮光学系は、ハーフミラーを除いて全て反射を利用した光学系を使用しているので色収差を抑え、光学エンジン１０を採用する投射型表示装置のスクリーン上の投射像と一致する光学特性の検査が可能とすることができる。
【００４６】
さらに、図１の構成においては、各々の凹面鏡面４１Ａ〜４１Ｉをその球心が投射レンズ２２の射出瞳位置に一致するように配置する構成とすることにより、固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉに入射する像の歪曲収差や非点収差を実質的にゼロとすることが可能となり、スクリーン上の投射像と倍率はことなるものの略同等な光学像を検査することが可能である。
【００４７】
また、図２の構成においては、各々の凹面鏡４１Ａ〜４１Ｉをその球心が投射レンズ２２の射出瞳位置とその位置がずれているものの、そのずれ方向が該射出瞳面内であるため、図１の構成と同様に、固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉに入射する像の歪曲収差や非点収差を実質的にゼロとすることが可能となり、スクリーン上の投射像と解像・コントラストなどの光学性能が略同等のまま、比例縮小した像を得ることができるので、スクリーン上の投影像と略同等な光学像を検査することが可能である。
【００４８】
図３には、図１、図２の検査調整装置にて使用するハーフミラー、凹面鏡を保持する保持部材を含めた全体構成を示した。前記部品は凹面鏡としては４１Ａ〜４１Ｇの９個配置してあるが、図３にはそのうちの４１Ｃを配置した部品５１Ｃを示す。他の部品５１Ａ〜５１Ｇ、固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉも同様の構成を有している。凹面鏡４１Ｃを床部に配置した円筒系形状の凹面鏡保持部材５１Ｃと、ハーフミラー４２Ｃを筒形状の中途に所定の角度をなして固定配置しており、その筒部のハーフミラー４２Ｃのミラー層４２Ｃ−Ｍ部と隣接する部分には、反射光の当該部品からの射出を担保する開口部５３Ｃが形成されている。さらに、当該保持部材５２Ｃは保持部材５１Ｃの内部に抜き差し可変構造となっており、所定の位置で両部品の相対位置を固定できる構造となっている。
【００４９】
前述のライトバルブ１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂの位置を調整して、各々のライトバルブから射出した像の合焦位置を揃えるためには、前もって基準の合焦位置になるように、本部品５０Ｃの両部品５１Ｃ、５２Ｃの前記抜き差し構造を利用して、ハーフミラーの位置と固体撮像素子の位置とを調整して配置するようにしておく。
【００５０】
本実施例の図１、図２の検査調整装置を使用すれば、実施例にて前述の様に、例えば、光源２２と凹面鏡４１Ａの距離を３０ｃｍ程度の距離とすることが可能であるので、検査装置自体を含む空間を非常に狭い空間とすることができ、前述のように、固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉからの像を観測する複数のモニタを全て一覧状態にて配置でき、全ての固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉの像を観測しながら、前述の１／４波長位相板一体化部材、ライトバルブ一体化部材の配置を決定し、その一体化配置をすることが可能となるので、光学エンジンの製造コストを大幅に下げることが可能となる。
【００５１】
さらに、上記説明のように、本実施例に示すように、投射型表示装置にて使用する投射レンズを有する光学エンジンの有する光学特性を検査する投射像検査装置として、投射レンズを射出した光を、本来の目的のスクリーンまでの光路長よりも短い短縮光路にて像が結像するように、投射レンズの射出瞳位置にその球心を一致させるか、または該射出瞳面を含む平面内に該凹面鏡の球心が一致するように配置することによって、スクリーン上の像とは倍率が異なるものの、スクリーン上に投影したのと略同じ光学特性を有する像を固体撮像素子上に結像させることができる。
【００５２】
また、この像に基づいて、光学エンジンの調整を行うことによって、スクリーン上に投射した像に基づく検査と同等な調整がなされた光学エンジンを得ることができる。
【実施例２】
【００５３】
図７に第２実施例の光学エンジンの光学特性検査調整装置の構成平面図を示す。本実施例の検査調整装置は前実施例の検査装置の図1の構成と基本的な光学系の構造は同じである。（同じ符号の部材は前実施例の部材と同じものを示す。）
前実施例において配置されたハーフミラーにて反射された光が結像するのは、ＣＣＤ等の固体撮像素子であったが、本実施例においては固体撮像素子の像形成面と同じ位置に小形の透過型スクリーン４４Ａ〜４４Ｉを配置し、当該スクリーンに形成された像をその背後に配置されたデジタルカメラ等の画像撮像装置によって撮像し、この像をモニタにて観察する構成となっている。
【００５４】
本実施例の光学エンジンの光学特性検査調整装置によって前実施例と同じ効果を奏する検査装置とすることができる。
【実施例３】
【００５５】
図８、図９、図１０には第３の実施例の光学エンジン１０からの投射像の光学特性を検査調整する検査調整装置の構成平面図を示す。まず、図７の構成図から説明する。光学エンジン１０は第１実施例にて記載した光学エンジン１０と同じ構造を有する光学エンジンである。
【００５６】
第１、第２実施例における検査調整装置においては、投射光を複数個に分割した各光の一部をそれぞれ凹面全反射ミラーにて反射して、撮像素子に入射し、その像を検査したが、本実施例においては、第１、第２実施例の凹面鏡４１Ａ〜４１Ｉの代わりに正の屈折力を有するレンズ群４６Ａ〜４６Ｉを配置し、当該レンズによって、像の結像位置を本来のスクリーン配置位置よりも大幅に光学エンジン１０側に近づけて結像させ、その位置にそれぞれＣＣＤ等の固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉを配置する構成とするものである。
【００５７】
各図においては、第１、第２実施例の図１の（Ａ）、図７の（Ａ）と同様に４６Ａ〜４６Ｉのうちの、紙面に平行な光軸を含む面上の４６Ａ、４６Ｂ、４６Ｃの図示のみである。レンズ群４６Ａ〜４６Ｉの配置位置は、投射レンズ２２の射出瞳を中心とする球面上に配置する。そして、レンズ群４６Ａ〜４６Ｉに入射した各光の結像位置には前述のようにＣＣＤ等の固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉを配置し、光学特性を検査する。第１実施例と同様に、固体撮像素子４３Ａ〜４３Ｉの配置は、それぞれに入射する光に対する配置は、投射レンズ２２を射出する投射像の光軸Ｏとの各光の中心の光軸とのなす角度と同じ入射角度にて入射するようにする。こうすることにより、実際のスクリーン上に投射する像を略比例縮小した像、すなわち、倍率の大きさで規格化した場合に解像・コントラストなどの光学性能が略同等となる像を得ることができる。
【００５８】
また、更に、投射レンズ２２と、レンズ群４６Ａ〜４６Ｉとを近接配置し、投射レンズ２２の射出瞳位置とレンズ群４６Ａ〜４６Ｉの入射瞳位置とを一致させることによって、光学系によってケラレの発生しない、長方形のスクリーン像の中心の部位と周辺の部位とで光量の低下が発生しないので、各部位ともに、明るさの均一な像を得ることができる。
【００５９】
検査内容とそれに伴って調整する光学エンジン１０中の光学部品に関しては第１実施例と同様である。
図９に記載は、図８における固体撮像素子の代わりに小形の透過型スクリーンを前記固体受光素子と同様の入射角度を有して配置し、当該スクリーンの背後に第２実施例と同様にデジタルカメラ等の撮像装置を配置し、前記スクリーン上の像を観察、検査調整する場合を図示したものである。
【００６０】
図１０における検査調整装置は図９における正屈折力成分４６Ａ〜４６Ｉの配置位置は同じ位置であるが、その配置方向を光軸Ｏに対して全てのレンズ群４６Ａ〜４６の光軸が平行となるように配置した。レンズ群による結像は、光軸Ｏに垂直に配置した透過型平面形状のスクリーン４７の所定位置に形成される。本実施例は一枚のスクリーン４７を使用する構成としたが、図８に示したように各結像部位置に小型のスクリーンを光軸に垂直に、平面形状をなすように配置してもよいことはいうまでもない。
【００６１】
図７、図８、図９における検査調整装置は、本来の投射レンズ２２の投射するスクリーン位置よりも短い位置に前記撮像素子、小形スクリーンを配置するので、第１、第２実施例と比較すると、反射部材で光束を折り曲げていない分、その距離は長くなるが、同様に検査空間を小さくすることができるので、同様に光学エンジン１０の特性の検査と光学部材の一体化固定にかかるコストを下げることが可能となる。また、ハーフミラーを用いていない分、光量を落さずに、結像させることが可能になるので、第１、第２実施例と比較して、明るい像を得ることができる。
【００６２】
以上説明の実施例においては、本発明の光学エンジンの検査調整装置においては本来の効果を奏するために投射レンズ２２の射出光を、第１、第２実施例においては凹面鏡を用いて、第３実施例においては正屈折力を有するレンズ群を用いて結像させることとしたが、これらの光学装置として他の非球面光学素子、又は、回折光学素子、又は、屈折分布型レンズ等を用いても同様の効果を奏する投射像検査装置を構成することが可能である。
【００６３】
また、第１，第２実施例において、全反射ミラーを反射した光を屈折光学系を経由して画像素子に入射する構成としてもよいし、第３実施例において屈折光学系の後の光を反射ミラーにて反射して画像素子に入射する構成としても同様の効果を奏する検査調整装置とすることが可能である。
また、本発明の実施形態ではスクリーンの投影像に対して９個の結像光学系を配置したが、もちろん、検査の都合上、一部のレジストレーションのずれのみを調整すればよい場合には、凹面鏡の配置を所定の１箇所あるいは任意の箇所としてよく、検査箇所は実施例にとらわれない。また、配置も実施形態にとらわれるものではない。
更に、また、実施例では固体撮像素子やデジタルカメラ等の撮像素子により得られた像を観察することによって、検査を行っているが、固体撮像素子やデジタルカメラ等の撮像素子により得られた画像情報を光電変換した電気信号を用いて、コントラスト検出・ピント検出などを行えば、レジストレーションの調整、合焦点の調整などの作業工程において、作業再の個人差によるばらつきを減じて、品質の安定化を図ることが可能である。
【００６４】
以上説明の光学エンジンの光学特性検査調整装置において検査する光学エンジンの構成は図１において説明は反射型ライトバルブを使用した光学エンジンであるが、本発明に係る光学エンジンの光学特性検査調整装置において検査調整するエンジンにおいては、その構造は図１に示した構造に限定はされず、例えば、透過型ライトバルブを使用する投射型表示装置の光学エンジンの光学特性を検査する際に使用できることはいうまでもない。その際には、図４における１／４波長位相板は使用しないが、ライトバルブを一体化して固定したライトバルブ一体化部材は同様に使用するので、ライトバルブの位置を決定するのに光学特性を検査する際に同様に使用すれよい。
【００６５】
反射型ライトバルブを使用した投射型表示装置であって図４の構成と異なる光学エンジンにおいても同様にライトバルブの配置位置を決定するのに本発明の検査装置を使用できることはいうまでもなく同様の効果を奏することができる。例えば色分解を時系列に同じ光軸に複数の色光に色分解する方法を採用し、各色光を時系列にて単数のライトバルブに入射し、各色光の色信号によって変調して時系列にて射出し、検光光学系で時系列にて検光して投射する構成の光学エンジンの前記ライトバルブの合焦状態を検査調節することも可能であり、同様の効果を奏することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、投射型表示装置に使用する光学エンジンの光学部材の位置を決定し、固着一体化するために使用する検査装置に係るものであるので、産業上の利用性は大いにある。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明第１実施例による光学エンジンの光学特性検査調整装置の構成図。
【図２】第１実施例の検査調整装置の全反射ミラーの配置の変形の説明の構成図。
【図３】本発明の光学特性検査測定装置に使用する凹面全反射ミラーとハーフミラーの保持部品断面構成図
【図４】投射型表示装置に使用する光学エンジンの構成図
【図５】光学エンジン中の光学部材の一体化構造を示す斜視分解構成図
【図６】光学エンジンの一体化の側面図
【図７】本発明第２実施例による光学エンジンの光学特性検査測定装置の構成図。
【図８】本発明第３実施例による光学エンジンの光学特性検査測定装置の１実施の構成図。
【図９】本発明第３実施例による光学エンジンの光学特性検査測定装置の２実施の構成図。
【図１０】本発明第３実施例による光学エンジンの光学特性検査測定装置の３実施の構成図。
【符号の説明】
【００６８】
１１  光源
１２  偏光変換照明装置
１３  クロスダイクロイックミラー
１３ＲＧ、１３Ｂ、１６  ダイクロイックミラー
１４、１５  偏向ミラー
１７Ｒ、１７Ｇ、１７Ｂ  偏光ビームスプリッタ
１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ  １／４波長位相板
１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂ  反射型ライトバルブ
２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂ  光路長補正光学部材
２１  クロスダイクロイックミラー
２１Ｒ、２１Ｂ  ダイクロイック膜
２２  投射レンズ
３１  ライトバルブ一体化部材
３２  １／４波長位相板一体化部材
３３  第１一体化部材
４１Ａ〜４１Ｉ  球形状の凹面全反射ミラー
４２Ａ〜４２Ｉ  ハーフミラー
４３Ａ〜４３Ｉ  固体撮像素子
４４Ａ〜４４Ｉ  小形スクリーン
４５Ａ〜４５Ｉ  撮像装置
４６Ａ〜４６Ｉ  正屈折力成分
４７  スクリーン
５１Ａ〜５１Ｉ  凹面鏡保持部品
５２Ａ〜５２Ｉ  ハーフミラー保持部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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