(57)【要約】【課題】本発明は、貴金属による酸化能を有し、且つ排気中の粒子状物質を捕集する排気浄化手段を備える内燃機関の排気浄化システムにおいて、捕集された粒子状物質を酸化除去するために排気浄化手段へ供給される燃料が大気へ放出されるのを可及的に抑制する。【解決手段】内燃機関からの排気中に含まれる粒子状物質を捕集し且つ貴金属による酸化能を有する排気浄化手段を備える内燃機関の排気浄化システムにおいて、排気浄化手段に燃料を供給する燃料供給手段と、排気浄化手段の温度が所定の温度以上であるときに、燃料供給手段による該排気浄化手段への燃料供給を許容し該排気浄化手段の温度を上昇させる昇温制御手段と、排気浄化手段に流入する排気の流量に基づいて、燃料供給手段による該排気浄化手段への燃料供給が許容される所定の温度を補正する燃料供給温度補正手段（Ｓ１０３、Ｓ１０４、Ｓ１０５）と、を備える。【選択図】  図２
2005090434.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内燃機関の排気通路に設けられ、該内燃機関からの排気中に含まれる粒子状物質を捕集し且つ貴金属による酸化能を有する排気浄化手段と、
前記排気浄化手段に燃料を供給する燃料供給手段と、
前記排気浄化手段の温度が所定の温度以上であるときに、前記燃料供給手段による該排気浄化手段への燃料供給を許容し該排気浄化手段の温度を上昇させる昇温制御手段と、
前記排気浄化手段に流入する排気の流量に基づいて、前記燃料供給手段による該排気浄化手段への燃料供給が許容される前記所定の温度を補正する燃料供給温度補正手段と、を備えることを特徴とする内燃機関の排気浄化システム。
【請求項２】
前記燃料供給温度補正手段は、前記排気浄化手段に流入する排気の流量が大きくなるほど、前記所定の温度を高くする補正を行うことを特徴とする請求項１に記載の内燃機関の排気浄化システム。
【請求項３】
前記排気浄化手段に流入する排気の流量を制御する排気流量制御手段を更に備え、
前記排気浄化手段の温度が前記所定の温度より低いときに、前記排気流量制御手段により該排気浄化手段に流入する排気の流量を低減することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の内燃機関の排気浄化システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内燃機関のから排出される排気に含まれる粒子状物質を浄化する内燃機関の排気浄化システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
内燃機関から排出される粒子状物質が大気中に放出されるのを回避するために、内燃機関の排気通路にフィルタを設け、該フィルタによって排気中の粒子状物質を捕集する。しかし、粒子状物質がフィルタに捕集され続けると、フィルタによる粒子状物質の捕集能力が低下するとともに、排気通路内の圧力が上昇し、内燃機関における良好な燃料の燃焼が阻害され、内燃機関の出力が低下する。
【０００３】
そこで、貴金属を担持し酸化能を有するフィルタを内燃機関の排気通路に設けることで、排気中の粒子状物質を捕集する内燃機関の排気浄化システムにおいて、フィルタが低温で酸化能が発揮されないときは、フィルタに流入する排気の温度を上昇させて酸化能が発揮し得る状態にした後に、フィルタに燃料を供給することで、供給された燃料を酸化して発生する酸化熱によって、フィルタに捕集されている粒子状物質を酸化除去する技術が公開されている（例えば、特許文献１を参照。）。
【特許文献１】特開２００１−３０３９８０号公報
【特許文献２】特開２００２−３８９３９号公報
【特許文献３】特開２００２−２８５８９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
内燃機関の排気通路に、貴金属による酸化能を有し、内燃機関から排出される粒子状物質を捕集する排気浄化手段を設けた内燃機関において、捕集された粒子状物質を酸化除去するために排気浄化手段に燃料を供給する場合、排気浄化手段の温度が、該酸化能が発揮される温度でなければ、供給された燃料が酸化されずに大気中に放出される虞がある。
【０００５】
更に、排気浄化手段に流入する排気の流量が多くなると、排気中に含まれる燃料が排気浄化手段の酸化能によって酸化され得る時間が短くなるため、燃料が十分に酸化されずに、やはり大気中へ放出される虞がある。
【０００６】
本発明では、上記した問題に鑑み、貴金属による酸化能を有し、且つ排気中の粒子状物質を捕集する排気浄化手段を備える内燃機関の排気浄化システムにおいて、捕集された粒子状物質を酸化除去するために排気浄化手段へ供給される燃料が大気へ放出されるのを可及的に抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記した課題を解決するために、捕集された粒子状物質を除去するために排気浄化手段に燃料を供給する際の、排気浄化手段の温度と排気浄化手段に流入する排気の流量とに着目した。排気浄化手段の酸化能は、排気浄化手段における貴金属の温度の上昇に従い上昇し、且つ排気浄化手段に流入する排気の流量の増加に従い低下するからである。
【０００８】
そこで、本発明は、内燃機関の排気浄化システムにおいて、内燃機関の排気通路に設けられ、該内燃機関からの排気中に含まれる粒子状物質を捕集し、且つ貴金属による酸化能を有する排気浄化手段と、前記排気浄化手段に燃料を供給する燃料供給手段と、前記排気浄化手段の温度が所定の温度以上であるときに、前記燃料供給手段による該排気浄化手段への燃料供給を許容し該排気浄化手段の温度を上昇させる昇温制御手段と、前記排気浄化手段に流入する排気の流量に基づいて、前記燃料供給手段による該排気浄化手段への燃料供給が許容される前記所定の温度を補正する燃料供給温度補正手段と、を備える。
【０００９】
排気浄化手段は、排気中の粒子状物質を捕集するとともに、燃料供給手段によって供給された燃料を排気浄化手段の有する酸化能によって酸化させて、そこで発生する酸化熱によって捕集された粒子状物質を酸化除去するものである。尚、排気浄化手段としては、粒子状物質を捕集するフィルタ上に酸化能を発揮する貴金属を担持する態様や、または酸化能を発揮する貴金属から構成される触媒を粒子状物質を捕集するフィルタの上流側に配置する態様等が考え得る。
【００１０】
ここで、燃料供給手段による排気浄化手段への燃料供給は、排気浄化手段に流入する排気に燃料を添加すること、または内燃機関における燃料噴射条件である燃料噴射時期や燃料噴射回数を制御すること等で行われる。
【００１１】
このような排気浄化手段に捕集された粒子状物質を酸化除去するためには、排気浄化手段に含まれる貴金属が酸化能を発揮すべく排気浄化手段の温度が所定の温度以上である必要がある。また、排気浄化手段に流入する排気の流量が増大するに従い、排気中に含まれる燃料が排気浄化手段中に存在することで、排気浄化手段に含まれる貴金属によって酸化され得る時間が短くなる。従って、排気中の燃料が大気へ放出されるのをより確実に抑制するためには、該排気の流量が増大するに従って、排気浄化手段に含まれる貴金属の酸化能がより強く発揮される必要がある。そこで、排気浄化手段への燃料供給を行う該排気浄化手段の温度を排気流量に基づいて補正する必要がある。
【００１２】
更には、燃料供給温度補正手段によって、排気浄化手段への燃料供給を行う排気浄化手段の温度を、排気の流量に基づいて補正する。例えば、前記燃料供給温度補正手段は、前記排気浄化手段に流入する排気の流量が大きくなるほど、前記所定の温度を高くする補正を行う。
【００１３】
このような補正を行うことで、排気浄化手段に流入する排気の流量が増大するに従い、排気浄化手段への燃料の供給が行われる排気浄化手段の温度が上昇される。その結果、排気浄化手段に含まれる貴金属の発揮する酸化能が、より強くなるため、該排気流量の増大に伴って貴金属の酸化能により酸化され得る時間が短くなっても、排気浄化手段において排気中の燃料が酸化され、大気へ放出されるのが可及的に抑制され得る。
【００１４】
また、上記の内燃機関の排気浄化システムにおいて、前記排気浄化手段に流入する排気の流量を制御する排気流量制御手段を更に備え、前記排気浄化手段の温度が前記所定の温度より低いときに、前記排気流量制御手段により該排気浄化手段に流入する排気の流量を低減するようにしてもよい。
【００１５】
排気浄化手段に流入する排気の流量を低減することで、排気中に含まれる燃料が排気浄化手段の貴金属の酸化能により酸化され得る時間が長くなる。その結果、排気浄化手段の酸化能が比較的低い場合であっても、排気中の燃料が十分に酸化されるため大気中へ放出される虞が少ない。従って、早期に排気浄化手段に捕集された粒子状物質を除去することが可能となる。尚、排気浄化手段へ流入する排気の流量は、内燃機関の吸気通路に設けられた吸気絞り弁や排気再循環装置（以下、「ＥＧＲ装置」）におけるＥＧＲ弁の開度を制
御することで行われる。
【発明の効果】
【００１６】
貴金属による酸化能を有し、且つ排気中の粒子状物質を捕集する排気浄化手段を備える内燃機関の排気浄化システムにおいて、捕集された粒子状物質を酸化除去するために排気浄化手段へ供給される燃料が大気へ放出されるのが可及的に抑制される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
ここで、本発明に係る内燃機関の排気浄化システムの実施の形態について図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１は、本発明が適用される排気浄化システム、該排気浄化システムを含む圧縮着火式の内燃機関１およびその制御系統の概略構成を表すブロック図である。
【００１９】
内燃機関１は、４つの気筒２を有する内燃機関である。また、気筒２の燃焼室に直接燃料を噴射する燃料噴射弁３を備えている。燃料噴射弁３は、燃料を所定圧に蓄圧する蓄圧室４と接続されている。蓄圧室４は燃料供給管５を介して燃料ポンプ６と連通している。
【００２０】
次に、内燃機関１には吸気枝管７が接続されており、吸気枝管７の各枝管は、気筒２の燃焼室と吸気ポートを介して連通している。ここで、気筒２の燃焼室と吸気ポートとの連通は、吸気弁の開閉によって行われる。また、吸気枝管７は吸気管８に接続されている。吸気管８には、該吸気管８内を流通する吸気の質量に対応した電気信号を出力するエアフローメータ９が取り付けられている。前記吸気管８における吸気枝管７の直上流に位置する部位には、該吸気管８内を流通する吸気の流量を調節する吸気絞り弁１０が設けられている。この吸気絞り弁１０には、ステップモータ等で構成されて該吸気絞り弁１０を開閉駆動する吸気絞り用アクチュエータ１１が取り付けられている。
【００２１】
ここで、エアフローメータ９と吸気絞り弁１０との間に位置する吸気管８には、排気のエネルギーを駆動源として作動する遠心過給機（ターボチャージャ）１６のコンプレッサハウジング１６ａが設けられ、コンプレッサハウジング１６ａより下流の吸気管８には、前記コンプレッサハウジング１６ａ内で圧縮されて高温となった吸気を冷却するためのインタークーラ１５設けられている。
【００２２】
一方、内燃機関１には排気枝管１２が接続され、排気枝管１２の各枝管が排気ポートを介して気筒２の燃焼室と連通している。ここで、気筒２の燃焼室と排気ポートとの連通は、排気弁の開閉によって行われる。更に、内燃機関１には、ＥＧＲ装置２１が設けられている。ＥＧＲ装置２１は排気枝管１２の排気の一部を吸気枝管７へ再循環させる。ＥＧＲ装置２１は、排気枝管１２（上流側）から吸気枝管７（下流側）へ延出しているＥＧＲ通路２２と、ＥＧＲ通路２２上に上流側から順に設けられたＥＧＲクーラ２３、ＥＧＲ弁２４と、から構成される。
【００２３】
ＥＧＲクーラ２３はＥＧＲ通路２２を流れる排気を冷却し、ＥＧＲ弁２４はＥＧＲ通路２２を流れる排気の流量を調整する。ＥＧＲ弁２４が開弁することで、排気枝管１２にある排気の一部がＥＧＲ通路２２に流入し、ＥＧＲクーラ２４、ＥＧＲ弁２５を経て、吸気枝管７に再循環される。
【００２４】
また、前記排気枝管１２は、前記遠心過給機１６のタービンハウジング１６ｂと接続されている。前記タービンハウジング１６ｂは、排気管１３と接続され、この排気管１３は、下流にてマフラーに接続されている。そして、排気管１３の途中には、内燃機関１から
の排気中の物質を酸化する機能を有する貴金属が担持されるとともに、排気中の粒子状物質を捕集する機能を有するフィルタ１４が設けられている。更に、フィルタ１４の上流側の排気管１３には、排気管１３を流れる排気に対して燃料を添加する燃料添加弁３０が設けられている。
【００２５】
ここで、燃料噴射弁３および燃料添加弁３０は、電子制御ユニット（以下、「ＥＣＵ」という）２０からの制御信号によって開閉動作を行う。即ち、ＥＣＵ２０からの指令によって、燃料噴射弁３および燃料添加弁３０における燃料の噴射時期および噴射量が弁毎に制御される。また、ＥＧＲ弁２４も、ＥＣＵ２０からの指令に従い、開弁制御される。
【００２６】
更に、アクセル開度センサ３４がＥＣＵ２０と電気的に接続されており、ＥＣＵ２０はアクセル開度に応じた信号を受け取り、それより内燃機関１に要求される機関トルク等を算出する。また、クランクポジションセンサ３２がＥＣＵ２０と電気的に接続されており、ＥＣＵ２０は内燃機関１の出力軸の回転角に応じた信号を受け取り、内燃機関１の機関回転速度等を算出する。
【００２７】
また、フィルタ１４の下流の排気管１３には、フィルタ１４から流出する排気の温度を検出する排気温度センサ３１が設けられ、ＥＣＵ２０と電気的に接続されている。更に、フィルタ１４の上流側の排気管１３には排気を導入する上流側導入管３３ａの一端が接続され、フィルタ１４の下流の排気管１３には排気を導入する下流側導入管３３ｂの一端が接続される。上流側導入管３３ａ及び下流側導入管３３ｂの他端は差圧センサ３３に接続されている。差圧センサ３３が、上流側導入管３３ａ及び下流側導入管３３ｂから導入された排気の差圧に対応した電圧をＥＣＵ２０に伝えることで、フィルタ１４の上流側と下流側の間の差圧が検出される。
【００２８】
これらのセンサとフィルタ１４、燃料噴射弁３、燃料添加弁３０等で構成される排気浄化システムによって、内燃機関１から排出される排気の浄化が行われる。そこで、フィルタ１４には、排気中に含まれる粒子状物質が捕集されるが、その捕集量が増加すると内燃機関１の運転状態に悪影響を与えるため、捕集された粒子状物質を除去する必要がある。そこで、図２に基づいて、フィルタ１４に捕集された粒子状物質を除去するための制御について、説明する。ここで、図２は粒子状物質を除去するための制御のフローを示す図である。
【００２９】
Ｓ１０１では、内燃機関１のフィルタ１４において、捕集された粒子状物質を除去する必要があるか否か、差圧センサ３３からの信号に基づいて、判断する。具体的には、フィルタ１４に粒子状物質が捕集されるに従い、差圧センサ３３によって検出される差圧が大きくなるため、該差圧が所定の圧力以上となるときにフィルタ１４に捕集された粒子状物質の除去を行う必要があると判断される。捕集された粒子状物質を酸化除去する必要があると判断されるとＳ１０２へ進み、必要がないと判断されると本制御を終了する。
【００３０】
Ｓ１０２では、燃料噴射弁３からの燃料噴射時期を遅角側に移行することで、内燃機関１から排出される排気の温度を上昇させる。これにより、フィルタ１４に担持されている貴金属を活性状態へと導く。Ｓ１０２の処理が終了すると、Ｓ１０３へ進む。
【００３１】
Ｓ１０３では、排気管１３を流れフィルタ１４に流入する排気の流量ＱＥを推定する。具体的には、エアフローメータ９からの信号や、内燃機関１の機関回転速度等に基づいて、推定する。Ｓ１０３の処理が終了すると、Ｓ１０４へ進む。
【００３２】
Ｓ１０４では、Ｓ１０３で推定された排気流量ＱＥに基づいて、フィルタ１４に燃料を供給するフィルタ１４の温度Ｔｓ（以下、「燃料供給開始温度Ｔｓ」という）を補正する
。燃料供給開始温度Ｔｓの補正について、図３に基づいて説明する。図３は、排気流量ＱＥに対する燃料供給開始温度Ｔｓの関係を表すグラフである。グラフの横軸は排気流量ＱＥを、縦軸は燃料供給開始温度Ｔｓを示す。ここで、フィルタ１４に流入する排気の流量ＱＥが増大するに従い、排気中の燃料がフィルタ１４に担持されている貴金属によって酸化され得る時間が短くなることを考慮すると、フィルタ１４に流入する排気の流量ＱＥが増大するのに伴い、該貴金属の酸化能がより強く発揮される必要がある。そこで、図３に示すように、排気流量ＱＥが増大するに従い、燃料供給開始温度Ｔｓを高くする補正を行う。Ｓ１０４の処理が終了すると、Ｓ１０５へ進む。
【００３３】
Ｓ１０５では、フィルタ１４の温度がＳ１０４において補正された燃料供給開始温度Ｔｓ以上であるか否かが判断される。フィルタ１４の温度は、排気温度センサ３１によって検出されるフィルタ１４から排出される排気の温度に基づいて推定される。フィルタ１４の温度が燃料供給開始温度Ｔｓ以上であることは、現時点の排気流量ＱＥにおいて、フィルタ１４に担持されている貴金属が排気に含まれる燃料を十分に酸化し得る酸化能を発揮できることを意味し、Ｓ１０６へ進む。一方で、フィルタ１４の温度が燃料供給開始温度Ｔｓより低いことは、現時点の排気流量ＱＥにおいて、フィルタ１４に担持されている貴金属が排気に含まれる燃料を十分に酸化し得る酸化能を発揮できないことを意味するので、フィルタ１４の温度が燃料供給開始温度Ｔｓに上昇するまで、Ｓ１０３以降の処理が再び行われる。
【００３４】
Ｓ１０６では、フィルタ１４へ燃料の供給が開始される。フィルタ１４に燃料が供給されることで、燃料がフィルタ１４に担持された貴金属によって酸化され、その酸化熱によってフィルタ１４に捕集された粒子状物質の酸化除去が行われる。ここで、フィルタ１４への燃料供給は、燃料添加弁３０によってフィルタ１４に流入する排気に燃料を添加することで行う。また、燃料噴射弁３からの燃料噴射を圧縮上死点近傍で行う主噴射後であって、噴射される燃料が内燃機関の機関出力に寄与しない時期、例えば圧縮上死点後９０°に燃料噴射を行う副噴射によって、フィルタ１４へ燃料を供給してもよい。尚、粒子状物質の酸化除去に伴って発生する酸化熱により、フィルタ１４の温度が過度に上昇しフィルタ１４が溶損するのを回避するために、排気温度センサ３１によって検出される排気温度に基づいて、フィルタ１４へ供給される燃料の量が制御される。Ｓ１０６の処理が終了すると、Ｓ１０７、Ｓ１０８の処理が順次行われる。
【００３５】
Ｓ１０７およびＳ１０８では、それぞれＳ１０３、Ｓ１０４と同一の処理が行われ、その後Ｓ１０９へ進む。
【００３６】
Ｓ１０９では、Ｓ１０５と同様に、フィルタ１４の温度がＳ１０８において補正された燃料供給開始温度Ｔｓ以上であるか否かが判断される。即ち、Ｓ１０９では、フィルタ１４に捕集された粒子状物質の酸化除去が行われている期間において、排気流量ＱＥの増加によって、フィルタ１４に担持された貴金属の酸化能が排気中の燃料を酸化するに十分でない状態となっているか否かが判断されることになる。そこで、フィルタ１４の温度がＳ１０８において補正された燃料供給開始温度Ｔｓ以上であると判断されるとＳ１１０へ進む。Ｓ１１０では、フィルタ１４への燃料の供給を継続し、またはＳ１１１において燃料の供給が中断されている場合には、燃料の供給を再開する。一方で、フィルタ１４の温度がＳ１０８において補正された燃料供給開始温度Ｔｓより低いと判断されるとＳ１１１でフィルタ１４への燃料の供給が中断される。Ｓ１１０またはＳ１１１の処理が終了すると、Ｓ１１２へ進む。
【００３７】
Ｓ１１２では、フィルタ１４に捕集された粒子状物質の酸化除去が完了したか否かが、差圧センサ３３からの信号に基づいて、判断される。フィルタ１４に捕集された粒子状物質の酸化除去が完了したと判断されるとＳ１１３へ進み、フィルタ１４への燃料供給を終
了させて、本制御を終える。一方で、フィルタ１４に捕集された粒子状物質の酸化除去が完了していないと判断されると、再びＳ１０７以降の処理が行われる。
【００３８】
本制御によると、フィルタ１４に燃料を供給することで、フィルタ１４に捕集された粒子状物質を酸化除去する際に、フィルタ１４の温度およびフィルタ１４に流入する排気の流量に基づいて、フィルタ１４への燃料の供給を行うか否かが決定される。これにより、排気流量の増量に伴う排気中の燃料の大気への放出を可及的に抑制することが可能となる。また、フィルタ１４への燃料供給を行っているときであっても、排気流量が増量することで燃料が大気へ放出される虞がある場合には、該燃料供給が中断され、燃料の大気への放出が回避され得る。
【００３９】
尚、本制御においてはフィルタ１４への燃料の供給の可否を、フィルタ１４の温度とフィルタ１４へ流入する排気の流量に基づいて、判断したが、更にフィルタ１４に担持された貴金属の劣化に応じても判断してよい。即ち、該貴金属の酸化能が経年劣化することを踏まえて、貴金属の使用期間が長くなるに従いフィルタ１４へ燃料を供給するための基準となる燃料供給開始温度Ｔｓをより高い値に補正することで、捕集された粒子状物質の酸化除去時における大気への燃料の放出を、より確実に回避することが可能となる。
【実施例２】
【００４０】
フィルタ１４に捕集された粒子状物質を除去するための制御の別の実施の形態について、図４に基づいて説明する。尚、図４は粒子状物質を除去するための制御のフローを示す図であり、図４に示す制御の処理と図２に示す制御の処理と同一の処理については、同一の参照番号を付して、その説明を省略する。
【００４１】
本制御においては、Ｓ１０９で、フィルタ１４の温度がＳ１０８において補正された燃料供給開始温度Ｔｓ以上であると判断されるとＳ２０１へ進み、フィルタ１４への燃料の供給を継続する。一方で、フィルタ１４の温度がＳ１０８において補正された燃料供給開始温度Ｔｓより低いと判断されるとＳ２０２へ進む。
【００４２】
Ｓ２０２では、吸気絞り弁１０またはＥＧＲ弁２４の開度を調整して、フィルタ１４に流入する排気の流量を低減する。これにより、排気に含まれる燃料がフィルタ１４に担持された貴金属によって酸化され得る時間が長くなり、燃料が未酸化の状態で大気へ放出されるのが抑制される。そして、更にフィルタ１４への燃料の供給を中断しないため、フィルタ１４に捕集された粒子状物質の酸化除去を早期に行うことが可能となる。Ｓ２０１またはＳ２０２の処理が終了すると、Ｓ１１２以降の処理が順次行われる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の形態に係る排気浄化システムおよび該排気浄化システムを含む内燃機関およびその制御系統の概略構成を表すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る内燃機関の排気浄化システムにおいて、フィルタに捕集された粒子状物質を除去する制御を示すフロー図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る内燃機関の排気浄化システムにおいて、フィルタに流入する排気の流量に対する、フィルタに燃料の供給を開始するフィルタ温度の関係を表すグラフである。
【図４】本発明の実施の形態に係る内燃機関の排気浄化システムにおいて、フィルタに捕集された粒子状物質を除去する制御を示す第二のフロー図である。
【符号の説明】
【００４４】
１・・・・内燃機関
３・・・・燃料噴射弁
７・・・・吸気枝管
８・・・・吸気管
９・・・・エアフローメータ
１０・・・・吸気絞り弁
１２・・・・排気枝管
１３・・・・排気管
１４・・・・フィルタ
２０・・・・ＥＣＵ
２１・・・・ＥＧＲ装置
２４・・・・ＥＧＲ弁
３０・・・・燃料添加弁
３１・・・・排気温度センサ
３２・・・・クランクポジションセンサ
３３・・・・差圧センサ
【図１】
2005090434.tif 000003
【図２】
2005090434.tif 000004
【図３】
2005090434.tif 000005
【図４】
2005090434.tif 000006