(57)【要約】【課題】  吸着対象物を吸着するための主機能を全て備え且つ小型で携帯性に優れ、しかも汚れの付着が少ない吸着装置及びチャックテーブルを提供する。【解決手段】  吸着装置１は、台座２と、台座２内に収納された駆動機構３とを備えている。具体的には、吸引孔２１と解放孔２２とを台座２の天壁２０に穿設し、空気供給口２５と空気排出口２６とを側壁２４に設ける。そして、セラミックポーラス４を天壁２０上に載せる。また、駆動機構３は、切換器３０と真空発生器３１とを有し、摘み３０ｅの操作で、空気供給口２５から供給された空気を利用して、ワークＷを台座２上に吸着し又は解放する。好ましくは、台座２をチタニウムで形成し、波形状のうねり２４ａを側壁２４に形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着対象物を載せるための平坦な天壁を有した台座と、この台座内に収納され、外部から供給された空気を利用して、上記吸着対象物を天壁上に吸着し又は解放するための駆動機構とを備える吸着装置であって、
上記台座は、上記天壁に穿設された吸引孔及び解放孔と、側壁に設けられた空気供給口及び空気排出口とを有し、
上記駆動機構は、上記台座の空気供給口に連結された流入口，第１の流出口，及び上記解放孔に連結された第２の流出口を有し、上記側壁外面に取り付けられた操作部を用いて、上記流入口を上記第１の流出口又は第２の流出口のいずれかに選択的に連通させることができる切換器と、この切換器の第１の流出口からの空気を上記空気排出口側に高速流出させることで、上記吸引孔内を負圧にする負圧発生器とを有する、
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の吸着装置において、
上記台座の天壁の上に、平坦な多孔質の載置板を設けた、
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項３】
請求項２に記載の吸着装置において、
上記載置板は、セラミックポーラス又は金属焼結体のいずれかである、
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の吸着装置において、
上記台座をチタニウムによって形成した、
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の吸着装置において、
上記台座の側壁外面に、指先に対応した波形状のうねりを設けた、
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項６】
吸着対象物を載せるための平坦な天壁を有した台座と、この台座内に収納され且つ上記吸着対象物を天壁上に吸着し又は解放するための真空ポンプとを備える吸着装置であって、
上記台座は、上記天壁に穿設された小孔を有し、
上記真空ポンプは、上記台座の外部に連通した第１の空気流出入口と上記小孔に連通した第２の空気流出入口とを有し、台座の側壁外面に取り付けられた操作部を用いて、上記小孔内の空気の吸引又は小孔内への空気の供給を選択的に行うことができるものである、
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項７】
請求項６に記載の吸着装置において、
上記天壁の上に、セラミックポーラス又は金属焼結体等を素材とする平坦な多孔質の載置板を設けた、
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載の吸着装置において、
上記台座をチタニウムによって形成した、
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項９】
請求項６ないし請求項８のいずれかに記載の吸着装置において、
上記台座の側壁外面に、指先に対応した波形状のうねりを設けた、
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項１０】
吸着対象物を載せるための平坦な天面と、この天面に開口した小孔に連通して上記天面以外の部位で開口する空気通路とを有し、全体がチタニウムによって形成されている、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【請求項１１】
請求項１０に記載のチャックテーブルにおいて、
上記天面の上に、セラミックポーラス又は金属焼結体等を素材とする平坦な多孔質の載置板を設けた、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【請求項１２】
請求項１０または請求項１１に記載のチャックテーブルにおいて、
チューブを上記空気通路の上記開口に連結し、このチューブを通じて上記小孔内の空気の吸引又は小孔内への空気の供給を選択的に行うことができる真空ポンプを取り付けた、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ワークなどの吸着対象物を真空吸着によって保持する吸着装置及びチャックテーブルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の吸着装置は、ワークなどの吸着対象物を載せるテーブルに一以上の孔や溝を設け、これらの孔や溝の内部を、真空ポンプにより負圧にし又は正圧にすることで、吸着対象物をテーブル上に吸着し又は吸着状態から解放する構造になっている（例えば、特許文献１参照）。そして、吸着対象物を吸着固定した状態で、ダイシングや研削などの作業を行うものである。
【０００３】
【特許文献１】特開平０８−１２５０００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した吸着装置では、次のような問題がある。
テーブルは、別体の装置本体部に取り付けて使用するようになっており、真空ポンプ，圧力切換器や制御器などはこの装置本体部に設けられている。このため、作業を行う都度、吸着対象物に対応したテーブルを装置本体部に組み込む作業が必要であり、無駄な準備作業を強いられていた。また、装置本体部はダイシングだけでなく、研削などの他作業にも使用可能な構造になっているため、大型でコストも高かった。装置本体部がかかる構造であるため、テーブル自体は孔などが設けられた単純な構造で足りるとされ、テーブルの取付及び取外や運搬などを配慮した工夫がなされていなかった。また、テーブルがアルミニウムやステンレスで形成されていたので、ダイシング作業時の切断粉などが付着し易いという問題もあった。さらに、孔や溝の内部を、負圧にして吸着対象物を吸着固定する構造であるので、吸着対象物に対する吸引力の偏りが発生し、吸着対象物を均一な吸引力で吸着固定することが困難であった。
【０００５】
この発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、１台の装置に吸着対象物を吸着するための主な機構のほとんどを備え且つ小型で携帯性に優れ、しかも汚れの付着が少ない吸着装置及びチャックテーブルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、吸着対象物を載せるための平坦な天壁を有した台座と、この台座内に収納され、外部から供給された空気を利用して、吸着対象物を天壁上に吸着し又は解放するための駆動機構とを備える吸着装置であって、台座は、天壁に穿設された吸引孔及び解放孔と、側壁に設けられた空気供給口及び空気排出口とを有し、駆動機構は、台座の空気供給口に連結された流入口，第１の流出口，及び解放孔に連結された第２の流出口を有し、側壁外面に取り付けられた操作部を用いて、流入口を第１の流出口又は第２の流出口のいずれかに選択的に連通させることができる切換器と、この切換器の第１の流出口からの空気を空気排出口側に高速流出させることで、吸引孔内を負圧にする負圧発生器とを有する構成とした。
かかる構成により、吸着対象物を台座の天壁に載せ、空気を外部から空気供給口に供給している状態で、切換器の操作部を用いて流入口を第１の流出口に連通させると、第１の流出口からの空気が、負圧発生器によって空気排出口側に流出され、吸引孔内が負圧となる。この結果、吸着対象物が吸引孔の負圧作用によって、天壁上に吸着されることとなる。また、切換器の操作部を用いて、流入口と第１の流出口との連通状態から流入口と第２の流出口に連通状態に切り換えると、第２の流出口からの空気が解放孔から流出し、天壁上の吸着対象物を吸着状態から解放する。
【０００７】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の吸着装置において、台座の天壁の上に、平坦な多孔質の載置板を設けた構成としてある。
かかる構成により、吸引孔内が負圧となると、多孔質の載置板が吸着対象物全体を均一な吸引力で吸い着ける。
特に、請求項３の発明は、請求項２に記載の吸着装置において、載置板は、セラミックポーラス又は金属焼結体のいずれかである構成とした。
【０００８】
また、請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の吸着装置において、台座をチタニウムによって形成した構成とし、請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の吸着装置において、台座の側壁外面に、指先に対応した波形状のうねりを設けた構成とした。
【０００９】
また、別の技術的思想として、請求項６の発明は、吸着対象物を載せるための平坦な天壁を有した台座と、この台座内に収納され且つ吸着対象物を天壁上に吸着し又は解放するための真空ポンプとを備える吸着装置であって、台座は、天壁に穿設された小孔を有し、真空ポンプは、台座の外部に連通した第１の空気流出入口と小孔に連通した第２の空気流出入口とを有し、台座の側壁外面に取り付けられた操作部を用いて、小孔内の空気の吸引又は小孔内への空気の供給を選択的に行うことができるものである構成とした。
【００１０】
そして、請求項７の発明は、請求項６に記載の吸着装置において、天壁の上に、セラミックポーラス又は金属焼結体等を素材とする平坦な多孔質の載置板を設けた構成としてある。また、請求項８の発明は、請求項６または請求項７に記載の吸着装置において、台座をチタニウムによって形成した構成としてある。特に、請求項９の発明は、請求項６ないし請求項８のいずれかに記載の吸着装置において、台座の側壁外面に、指先に対応した波形状のうねりを設けた構成としてある。
【００１１】
さらに、別の技術的思想として、請求項１０の発明は、吸着対象物を載せるための平坦な天面と、この天面に開口した小孔に連通して天面以外の部位で開口する空気通路とを有し、全体がチタニウムによって形成されている構成としたチャックテーブルを開示する。
【００１２】
また、請求項１１の発明は、請求項１０に記載のチャックテーブルにおいて、天面の上に、セラミックポーラス又は金属焼結体等を素材とする平坦な多孔質の載置板を設けた構成とした。特に、請求項１２の発明は、請求項１０または請求項１１に記載のチャックテーブルにおいて、チューブを空気通路の開口に連結し、このチューブを通じて小孔内の空気の吸引又は小孔内への空気の供給を選択的に行うことができる真空ポンプを取り付けた構成としてある。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、請求項１及び請求項６の発明によれば、吸着対象物を吸着及び解放する駆動機構を台座内に収納した構成としたので、１台で吸着対象物吸着機能と負圧発生機能と吸着／解放切換機能とを併せ持つ小型の吸着装置を提供することができるという優れた効果がある。
【００１４】
特に、請求項２，請求項３，請求項７及び請求項１１の発明によれば、吸着対象物全体を均一な吸引力で載置板上に吸着するので、吸着対象物を強固且つ確実に固定することができる。この結果、吸着機能の高い吸着装置やチャックテーブルを提供することができるという効果がある。
【００１５】
また、請求項４，請求項８及び請求項１０の発明によれば、台座やチャックテーブルをチタニウムによって形成したので、吸着装置やチャックテーブルの軽量化を図ることができると共に、切削粉等の汚れの付着を防止することができる。さらに、請求項５及び請求項９の発明によれば、台座の側壁外面と波形状のうねりが設けられているので、指先がうねりにフィットし、吸着装置の取扱や持ち運びを容易且つ安全に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、この発明の実施例について図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００１７】
図１は、この発明の第１の実施例に係る吸着装置の分解斜視図であり、図２は天壁を示す平面図であり、図３は台座の内部を底面側から見た底面図であり、図４は吸着装置の概略断面図である。
図１に示すように、吸着装置１は、台座２と、駆動機構３と、載置板としてのセラミックポーラス４とを備えている。
【００１８】
台座２は、吸着対象物であるワークＷ（図５参照）を載置するための筒状体であり、天壁２０と側壁２４とで構成されている。
天壁２０は、セラミックポーラス４を載せることができる平坦な円形部であり、その中心に吸引孔２１が穿設され、吸引孔２１の外側位置に解放孔２２が穿設されている。また、天壁２０の表面には、図２に示すように同心状の円形溝２３ａ〜２３ｃと、十字溝２３ｄとが刻設されており、吸引孔２１，解放孔２２はこれらの溝２３ａ〜２３ｄ上に位置する。
側壁２４は、図１及び図３に示すように、天壁２０と共に内部に駆動機構３の収納室を画成しており、その下部に、空気供給口２５と空気排出口２６とを有している。このような側壁２４の外側には、図４にも示すように、指先に対応した波形状のうねり２４ａが形成されており、吸着装置の取扱や持ち運びを容易且つ安全に行うことができるようにしている。
上記の如き台座２は、全てチタニウムによって形成されており、その外径Ｄは１７０ｍｍ、天壁２０の外径ｄは１５２ｍｍ、高さｈは５０ｍｍに設定され、装置の軽量化と小型化とが図られている。
【００１９】
駆動機構３は、図１及び図３に示すように、台座２内に収納され、外部から供給された空気を利用して、ワークＷを台座２上に吸着し又は解放するための機構である。
この駆動機構３は、切換器３０と負圧発生器としての真空発生器３１とを備えてなる。  具体的には、切換器３０は、流入口３０ａと第１の流出口３０ｂと第２の流出口３０ｃとを有している。そして、流入口３０ａがチューブ３２を介して台座２の空気供給口２５に連結され、流出口３０ｂがチューブ３３を介して真空発生器３１に連結され、流出口３０ｃがチューブ３４を介して台座２の解放孔２２に連結されている。
このような切換器３０は、側壁２４外面に取り付けられた操作部としての摘み３０ｅに回転軸３０ｄを連結させた状態で、台座２内に固定されている。この切換器３０の切換の選択は「ＶＡＣＣＵＭ」，「ＯＦＦ」，「ＢＬＯＷ」の３種類あり、摘み３０ｅを「ＶＡＣＣＵＭ」印に合わせると、流入口３０ａと流出口３０ｂとが連通し、「ＯＦＦ」印に合わせると、流入口３０ａは流出口３０ｂ，３０ｃのいずれにも連通せず、「ＢＬＯＷ」印に合わせると、流入口３０ａと流出口３０ｃとが連通するようになっている。
一方、真空発生器３１は、その空気流出口がチューブ３５を介して台座２の空気排出口２６に連結され、吸引口３１ａがチューブ３６を介して台座２の吸引孔２１に連結されている。この真空発生器３１は、公知の機器であり、チューブ３３から流入した空気をチューブ３５側に高速流出させることで、チューブ３６及び吸引孔２１内の空気を吸引し、吸引孔２１内を負圧にする機能を有する。
【００２０】
セラミックポーラス４は、ワークＷを載置するための平坦且つ多孔質の円板体であり、その外径は、天壁２０の外径と略等しく設定されている。
【００２１】
次に、この実施例の吸着装置１が示す作用及び効果について説明する。
図５は、エアポンプを吸着装置１に接続した状態を示す斜視図である。
例えば、ダイシングや研削作業を行う場合には、吸着装置１を所定の場所迄運搬し、セットする必要がある。この実施例の吸着装置１では、台座２の側壁２４に、指先に対応した波形状のうねり２４ａが形成されているので、手で容易に持ち運ぶことができる。さらに、台座２全体がチタニウムで形成されているので、吸着装置１自体が軽量である。したがって、吸着装置１のセッティングも容易且つ正確に行うことができる。
吸着装置１をセットした後、ワークＷを吸着装置１に固定する場合には、エアポンプ５のチューブ５０を吸着装置１の空気供給口２５に接続すると共に、ワークＷに図示しない接着テープを貼って、そのワークＷを吸着装置１のセラミックポーラス４上に載置する。
かかる状態で、エアポンプ５からエアを吸着装置１に送ると共に吸着装置１の摘み３０ｅを「ＶＡＣＣＵＭ」印に合わせる。
図６は、吸着装置１の吸着動作時におけるエアの流れを示す底面図であり、図７は、吸着装置１の吸着動作を示す部分拡大断面図である。
摘み３０ｅを「ＶＡＣＣＵＭ」印に合わせると、切換器３０の流入口３０ａと流出口３０ｂとが連通し、図６の矢印で示すように、エアポンプ５からチューブ５０，空気供給口２５，チューブ３２を通じて切換器３０の流入口３０ａに送り込まれたエアＡは、流出口３０ｂからチューブ３３を通じて真空発生器３１内に送出される。すると、真空発生器３１の機能により、エアＡがチューブ３５側に高速流出されて空気排出口２６から排出されると同時に、チューブ３６及び吸引孔２１内のエアＡが吸引されて、吸引孔２１内が負圧になる。すなわち、図７に示すように、セラミックポーラス４の孔，溝２３ａ〜２３ｄ，吸引孔２１，チューブ３６内のエアＡが吸引されて、これらの空間が負圧状態になる。この結果、ワークＷがセラミックポーラス４上に吸着される。このとき、セラミックポーラス４が多孔質の円板体であるため、ワークＷ全体が均一な吸引力でセラミックポーラス４上に吸着固定されることとなる。
かかる状態で、図５に示すように、吸着装置１上に固定されたワークＷに対して、ダイシングや研削作業を行うことができる。かかる作業においては、ワークＷの切断粉や切削液が飛散し、吸着装置１に付着するおそれがある。しかし、台座２を全てチタニウムによって形成してあるので、切削粉などが台座２に付着することはほとんどない。さらに、チタニウムの熱膨張率はセラミックスの熱膨張率と近いため、天壁２０やセラミックポーラス４の平面度が外気温度によって損なわれることなく、この結果、高精度の作業を行うことができる。
【００２２】
作業終了後は、ワークＷを固定状態から解放して取り外し、次のワークＷの加工を行う。
かかる場合には、吸着装置１の摘み３０ｅを「ＢＬＯＷ」印に合わせる。
図８は、吸着装置１の解放動作時におけるエアの流れを示す底面図であり、図９は、吸着装置１の解放動作を示す部分拡大断面図である。
摘み３０ｅを「ＢＬＯＷ」印に合わせると、図８の矢印で示すように、切換器３０において、流入口３０ａと流出口３０ｂとの連通状態から流入口３０ａと流出口３０ｃとの連通状態に切り換わる。すると、エアポンプ５から流入口３０ａに送り込まれたエアＡは、流出口３０ｃからチューブ３４を通じて天壁２０の解放孔２２内に送出される。
この結果、図９に示すように、エアＡが、解放孔２２，溝２３ａ〜２３ｄ，セラミックポーラス４の孔を通って、ワークＷの裏面に至り、これらの空間を正圧状態にするので、ワークＷが取外可能な解放状態になる。
【００２３】
以上のように、この実施例の吸着装置１は、１台の軽量且つ小型の装置で、ワークＷに対する吸着機能と吸引孔２１内への負圧発生機能と切換器３０による吸着／解放切換機能とを併せ持つという優れた効果を有する。
【実施例２】
【００２４】
次に、この発明の第２の実施例に係る吸着装置について説明する。
図１０は、この発明の第２の実施例に係る吸着装置の分解斜視図である。なお、この図において、図１に示した部材と同一部材については同一符号を付して説明する。
図１０に示すように、吸着装置１′は、天壁２０′を有した台座２′とセラミックポーラス４とを備えている点で上記第１の実施例と同様であるが、駆動機構３の代わりに真空ポンプ６を適用した点が上記第１の実施例と異なる。
【００２５】
台座２′は、第１の実施例とほぼ同構造であるが、セラミックポーラス４を載せる天壁２０′は、中心の小孔２１′のみを有している。すなわち、この小孔２１′を通じてワークＷの吸引だけでなくワークＷの解放をも行う構造になっている。天壁２０′表面には、円形溝２３ａ〜２３ｃと十字溝２３ｄとが刻設され、側壁２４の外側にはうねり２４ａが設けられている。そして、側壁２４には空気給排口２５′のみが設けられている。かかる台座２′は上記台座２と同様に、全てチタニウムによって形成されている。
【００２６】
真空ポンプ６は、ワークＷを天壁２０′上のセラミックポーラス４に吸着し又は解放するための公知のポンプであり、台座２′内に収納されている。
具体的には、真空ポンプ６は、第１の空気流出入口６１と第２の空気流出入口６２とを有している。そして、空気流出入口６１がチューブ６３を介して側壁２４の空気給排口２５′に連結され、空気流出入口６２がチューブ６４を介して天壁２０′の小孔２１′に連結されている。
このような真空ポンプ６は、電気スイッチ軸６ｂを操作部としての摘み６ａに連結させた状態で、台座２′内に固定されている。この真空ポンプ６は電動式であり、内蔵された図示しないモータが、外部コンセントに接続されたプラグ６５のコード６６を通じて電気を入力する。この真空ポンプ６は、摘み６ａを用いて、小孔２１′の空気の吸引又は小孔２１′内への空気の供給を選択的に行うことができる。すなわち、摘み６ａを「ＶＡＣＣＵＭ」印に合わせると、上記モータが正回転をして、小孔２１′内の空気をチューブ６４及び空気流出入口６２を通じて吸引する。そして、空気流出入口６１，チューブ６３及び空気給排口２５′を通じて、吸引空気を外部に排気することで、小孔２１′内を負圧にする。また、摘み６ａを「ＯＦＦ」印に合わせると、モータは停止し、「ＢＬＯＷ」印に合わせると、モータが逆回転をして、外部の空気を、空気給排口２５′，チューブ６３，空気流出入口６１，空気流出入口６２及びチューブ６４を通じて小孔２１′内に供給し、小孔２１′内を正圧にする。
その他の構成，作用及び効果は上記第１の実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【実施例３】
【００２７】
最後に、この発明の第３の実施例に係るチャックテーブルについて説明する。
図１１は、この発明の第３の実施例に係るチャックテーブルを示す斜視図であり、図１２は、このチャックテーブルの断面図である。なお、この図において、図１〜図１０に示した部材と同一部材については同一符号を付して説明する。
図１１及び図１２に示すように、この実施例のチャックテーブル７は、平坦な天面７０と空気通路７１とを有し、チャックテーブル７全体がチタニウムによって形成されている。
【００２８】
天面７０は、セラミックポーラス４を載せるための部分であり、上記第２の実施例の天壁２０′と同様に、天面７０の中心に開口した小孔７２のみを有し、この小孔７２を通じてワークＷの吸引及び解放をも行う。また、天面７０には、円形溝２３ａ〜２３ｃと十字溝２３ｄとが形成されている。
一方、空気通路７１は、チャックテーブル７の内部に形成された中空路であり、そのほぼ中心部において、上記小孔７２と連通している。また、この空気通路７１は、天面７０以外の部位であるチャックテーブル７の側面で開口している。
【００２９】
上記の如きチャックテーブル７には、上記真空ポンプ６と同機能の真空ポンプ６′が連結されている。
具体的には、真空ポンプ６は、チャックテーブル７の外部に置かれ、空気流出入口６８から延出されたチューブ６７が空気通路７１の開口部７１ａに連結されている。なお、この真空ポンプ６′は、摘み６９をその外側面に有している。
【００３０】
かかる構成により、真空ポンプ６′の摘み６９を「ＶＡＣＣＵＭ」印に合わせると、真空ポンプ６′がチャックテーブル７の小孔７２内の空気を空気通路７１，チューブ６７及び空気流出入口６８を通じて吸引することで、小孔７２内を負圧にする。また、摘み６９を「ＢＬＯＷ」印に合わせると、外部の空気をチューブ６７を通じて空気通路７１内に供給し、小孔７２内を正圧にする。すなわち、真空ポンプ６′によって小孔７２の空気の吸引又は小孔７２内への空気の供給を選択的に行うことができる。
その他の構成，作用及び効果は上記第１及び第２の実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【００３１】
なお、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
例えば、上記実施例では、載置板として、セラミックポーラス４を用いたが、金属焼結体のような多孔質の平板を用いても同様の作用効果を得ることができることは勿論である。
また、上記実施例では、載置板を用いた例について説明したが、載置板を用いない吸着装置やチャックテーブルを発明の範囲から除外する意味ではない。かかる場合には、同材質で吸着面が構成されるため、天壁２０，２０′，天面７０及び側壁２４の全てにおいて熱膨張率、熱伝導率が同じとなり、外気温度変化に対する平坦精度が向上するものと考えられる。また、台座２，２′をチタニウムで形成した例について説明したが、台座２，２′をアルミニウムやステンレスで形成した吸着装置を発明の範囲から除外する意味ではない。
さらに、上記実施例では、ダイシングや研削作業に使用する場合を例にして説明したが、その使用態様はこれに限るものではない。非磁性体，磁気に弱いワークや負荷をかけると変形してしまうワーク等に使用することで、その機能をいかんなく発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】この発明の第１の実施例に係る吸着装置の分解斜視図である。
【図２】天壁を示す平面図である。
【図３】台座の内部を底面側から見た底面図である。
【図４】吸着装置の概略断面図である。
【図５】エアポンプを吸着装置に接続した状態を示す斜視図である。
【図６】吸着装置の吸着動作時におけるエアの流れを示す底面図である。
【図７】吸着装置の吸着動作を示す部分拡大断面図である。
【図８】吸着装置の解放動作時におけるエアの流れを示す底面図である。
【図９】吸着装置の解放動作を示す部分拡大断面図である。
【図１０】この発明の第２の実施例に係る吸着装置の分解斜視図である。
【図１１】この発明の第３の実施例に係るチャックテーブルを示す斜視図である。
【図１２】図１１のチャックテーブルの断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１，１′…吸着装置、  ２，２′…台座、  ３…駆動機構、  ４…セラミックポーラス、  ５…エアポンプ、  ６，６′…真空ポンプ、  ６ａ，６９，３０ｅ…摘み、  ７…チャックテーブル、  ２０，２０′…天壁、  ２１…吸引孔、  ２１′，７２…小孔、  ２２…解放孔、  ２３ａ〜２３ｃ…円形溝、  ２３ｄ…十字溝、  ２４…側壁、  ２４ａ…うねり、  ２５…空気供給口、  ２５′…空気給排口、  ２６…空気排出口、  ３０…切換器、  ３０ａ…流入口、  ３０ｂ，３０ｃ…流出口、  ３１…真空発生器、  ３２〜３６，６３，６４，６７…チューブ、  ６１，６２，６８…空気流出入口、  ７０…天面、  ７１…空気通路、  ７１ａ…開口部、  Ａ…エア、  Ｗ…ワーク。
【図１】
2005059173.tif 000003
【図２】
2005059173.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005059173.tif 000006
【図５】
2005059173.tif 000007
【図６】
2005059173.tif 000008
【図７】
2005059173.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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