(57)【要約】【課題】  構造体のサイズ制限があっても、可動電極の可動範囲を大きくすることができる電極構造体及び光デバイスを提供する。【解決手段】  電極構造体２は基板３を有し、この基板３上には、固定電極４と可動電極５とが設けられている。固定電極４は、基板３の上面に固定された電極基部６と、基板３に対して電極基部６の上面６ａに固定され、可動電極５側に延在するように櫛歯状に形成された補助電極部７とを有している。可動電極５は、固定電極４の電極基部６と対向するように基板３の上面に固定された電極基部８と、基板３に対して電極基部８の上面８ａに固定され、固定電極４側に延在するように櫛歯状に形成された補助電極部９とを有している。補助電極部９を形成する各歯は、固定電極４の補助電極部７に対して位置が異なるように配列されている。【選択図】  図１
2005258081.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定電極と可動電極とを有する電極構造体であって、
前記固定電極は、第１電極基部と、前記第１電極基部における前記可動電極と対向する側の面とは異なる面に固定され、前記可動電極側に延在する部分をもった第１補助電極部とを有し、
前記可動電極は、前記第１電極基部と対向するように配置された第２電極基部と、前記第２電極基部における前記固定電極と対向する側の面とは異なる面に固定され、前記固定電極側に延在する部分をもった第２補助電極部とを有することを特徴とする電極構造体。
【請求項２】
前記固定電極を少なくとも２つ有し、前記２つの固定電極は、前記可動電極を挟んで対向配置されていることを特徴とする請求項１記載の電極構造体。
【請求項３】
前記可動電極を少なくとも２つ有し、前記２つの可動電極は、前記固定電極を挟んで対向配置されていることを特徴とする請求項１記載の電極構造体。
【請求項４】
前記２つの可動電極のいずれか一方の前記第２補助電極部は、前記２つの可動電極の他方の前記第２補助電極部に対して配列位置が異なっていることを特徴とする請求項３記載の電極構造体。
【請求項５】
前記第１補助電極部及び前記第２補助電極部は、いずれも櫛歯状に形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載の電極構造体。
【請求項６】
前記第１補助電極部は櫛歯状に形成され、前記第２補助電極部はジグザグ状に形成されていることを特徴とする請求項２記載の電極構造体。
【請求項７】
前記第１補助電極部はジグザグ状に形成され、前記第２補助電極部は櫛歯状に形成されていることを特徴とする請求項３記載の電極構造体。
【請求項８】
前記第１電極基部及び前記第２電極基部は、基板上に設けられており、
前記第１補助電極部は前記第１電極基部の上面に固定され、前記第２補助電極部は前記第２電極基部の上面に固定されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項記載の電極構造体。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項記載の電極構造体と、
前記第２電極基部に結合された光部品とを備えることを特徴とする光デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定電極と可動電極とを備えた電極構造体及び光デバイスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
固定電極と可動電極とを有する電極構造体を備えた光デバイスとしては、例えば特許文献１に記載されているものが知られている。この電極構造体は、可動板に固定された可動櫛歯電極と、可動櫛歯電極と対向配置された固定櫛歯電極とを備え、可動櫛歯電極と固定櫛歯電極との間に電圧を印加して静電力を発生させることにより、可動櫛歯電極を固定櫛歯電極側に動かして、可動板を変位させるものである。
【特許文献１】特開２００３−２４１１２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来技術においては、可動櫛歯電極の櫛歯が固定櫛歯電極の基部に当たる位置までしか可動櫛歯電極を駆動できない。このため、例えばデバイスの関係上、電極構造体の配列ピッチを狭くする必要があり、電極構造体のサイズが制限されているような場合には、可動櫛歯電極の可動範囲が狭くなってしまう。
【０００４】
本発明の目的は、構造体のサイズ制限があっても、可動電極の可動範囲を大きくすることができる電極構造体及び光デバイスを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、固定電極と可動電極とを有する電極構造体であって、固定電極は、第１電極基部と、第１電極基部における可動電極と対向する側の面とは異なる面に固定され、可動電極側に延在する部分をもった第１補助電極部とを有し、可動電極は、第１電極基部と対向するように配置された第２電極基部と、第２電極基部における固定電極と対向する側の面とは異なる面に固定され、固定電極側に延在する部分をもった第２補助電極部とを有することを特徴とするものである。
【０００６】
このように構成することにより、固定電極と可動電極との間に電圧を印加して、両者間に生じる静電気力により可動電極を固定電極側に駆動させたときに、可動電極の第２電極補助部が固定電極の第１電極基部を越える位置まで移動可能となる。これにより、電極構造体の幅方向（固定電極と可動電極との並設方向）のサイズが制限されている場合であっても、可動電極の可動範囲を大きくすることができる。また、そのことから、固定電極と可動電極との間に電圧を印加しない初期状態において、固定電極の第１電極補助部と可動電極の第２電極補助部とのオーバーラップ量を大きくとることができる。この場合には、所定の印加電圧に対する可動電極の駆動力が大きくなるので、初期印加電圧を低く抑えることができる。
【０００７】
好ましくは、固定電極を少なくとも２つ有し、２つの固定電極は、可動電極を挟んで対向配置されている。この場合には、可動電極にミラー等の光部品を結合させたときに、可動電極を２つの固定電極に対してそれぞれ動かすことで、光部品を両側に移動させることができる。
【０００８】
また、可動電極を少なくとも２つ有し、２つの可動電極は、固定電極を挟んで対向配置されている構成であっても良い。この場合には、例えば１枚のミラー等の光部品を２つの可動電極に結合させたときに、２つの可動電極を固定電極に対して動かすことで、光部品を変形させることができる。
【０００９】
この場合、２つの可動電極のいずれか一方の第２補助電極部は、２つの可動電極の他方の第２補助電極部に対して配列位置が異なっていることが好ましい。これにより、２つの可動電極の第２電極補助部同士が接触することが確実に防止されるため、各可動電極同士が電気的につながることは無い。
【００１０】
また、好ましくは、第１補助電極部及び第２補助電極部は、いずれも櫛歯状に形成されている。これにより、固定電極と可動電極との間に電圧を印加したときに、両者間に生じる静電気力が大きくなるため、可動電極の駆動力を上げることができる。
【００１１】
固定電極は少なくとも２つ有し、２つの固定電極は、可動電極を挟んで対向配置されている構成では、第１補助電極部は櫛歯状に形成され、第２補助電極部はジグザグ状に形成されていても良い。この場合には、固定電極と可動電極との間に電圧を印加したときに、両者間に生じる静電気力が大きくなるため、可動電極の駆動力を上げることができる。
【００１２】
可動電極は少なくとも２つ有し、２つの可動電極は、固定電極を挟んで対向配置されている構成では、第１補助電極部はジグザグ状に形成され、第２補助電極部は櫛歯状に形成されていても良い。この場合には、固定電極の第１補助電極部はジグザグ状に形成されているので、２つの可動電極の第２電極補助部同士が接触することが確実に防止される。また、固定電極と可動電極との間に電圧を印加したときに、両者間に生じる静電気力が大きくなるため、可動電極の駆動力を上げることができる。
【００１３】
さらに、好ましくは、第１電極基部及び第２電極基部は、基板上に設けられており、第１補助電極部は第１電極基部の上面に固定され、第２補助電極部は第２電極基部の上面に固定されている。この場合には、電極構造体の製作が容易に行える。
【００１４】
本発明の光デバイスは、上記の電極構造体と、第２電極基部に結合された光部品とを備えることを特徴とするものである。
【００１５】
このように上記の電極構造体を設けることにより、上述したように、電極構造体の幅方向のサイズが制限されている場合であっても、可動電極の可動範囲を大きくすることができる。また、電極構造体の初期状態において、固定電極の第１補助電極部と可動電極の第２補助電極部とのオーバーラップ量を大きくとれるので、初期印加電圧を低く抑えることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、電極構造体のサイズ制限に拘らず、可動電極の可動範囲を増大させることができる。また、電極構造体の初期状態において、固定電極の第１補助電極部と可動電極の第２補助電極部とのオーバーラップ量が大きくとれるので、固定電極と可動電極との間に印加する電圧を低くして、省電力化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明に係わる電極構造体及び光デバイスの好適な実施形態について図面を参照して説明する。
【００１８】
図１は、本発明に係わる電極構造体の第１の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。同図において、静電アクチュエータ１は、微小電子機械システム（ＭＥＭＳ）技術を用いて製作されたものであり、電極構造体２を備えている。電極構造体２は基板３を有し、この基板３上には、固定電極４と可動電極５とが設けられている。
【００１９】
固定電極４は、基板３の上面に固定された直方体状の電極基部６と、基板３に対して電極基部６の上面６ａに固定され、可動電極５側に延在するように櫛歯状に形成された補助電極部７とを有している。補助電極部７を形成する各歯は、矩形状を有し、電極基部６の延在方向に等ピッチで配列されている。
【００２０】
可動電極５は、固定電極４の電極基部６と対向するように基板３の上面に固定された直方体状の電極基部８と、基板３に対して電極基部８の上面８ａに固定され、固定電極４側に延在するように櫛歯状に形成された補助電極部９とを有している。補助電極部９を形成する各歯は、矩形状を有し、固定電極４の補助電極部７に対して位置が異なるように等ピッチで配列されている。これにより、可動電極５が動いたときに、補助電極部９が補助電極部７に接触することを防止できる。電極基部８の一端には、光を反射させる光部品であるミラー１０が結合されている。
【００２１】
ここで、固定電極４は、電極基部６の下面の大部分がＳｉＯ２層（図示せず）を介して基板３の上面に固定されている。これにより、固定電極４が基板３に対して動くことはない。一方、可動電極５は、電極基部８の一端部（ミラー１０と反対側の端部）の下面がＳｉＯ２層（図示せず）を介して基板３の上面に固定されている。これにより、固定電極４と可動電極５との間に電圧をかけると、可動電極５は、電極基部８の一端部を支点として動くようになる。
【００２２】
このような固定電極４及び可動電極５において、櫛歯状の補助電極部７，９を設けることにより、強い静電駆動力を得ることができる。また、電極基部６，８の高さをＨｍ、補助電極部７，９の高さをＨｔとしたときに、
Ｈｍ≧Ｈｔ／２
が成り立つのが望ましい。これにより、電極構造体２として十分な剛性を保つことができる。
【００２３】
固定電極４の電極基部６と可動電極５の電極基部８との間には、電圧源１１が接続されている。この電圧源１１により電圧を印加しない初期状態では、固定電極４の補助電極部７を形成する各歯の先端部と可動電極５の補助電極部９を形成する各歯の先端部とがオーバーラップしている。電圧源１１により固定電極４に電圧を印加すると、固定電極４と可動電極５との間に静電気力が発生し、この静電気力によって可動電極５が固定電極４に引き寄せられて撓み、これに伴ってミラー１０が固定電極４側に移動する（図中の破線参照）。
【００２４】
なお、ここでは、電極構造体２の幅方向（固定電極４と可動電極５の並設方向）をｘ方向、電極基部６，８の延在方向をｙ方向、電極構造体２の高さ方向をｚ方向とする。
【００２５】
図２は、比較例として従来一般の静電アクチュエータの一つを示したものである。同図において、静電アクチュエータ１００の電極構造体１０１は、固定電極１０２と可動電極１０３とを有している。
【００２６】
固定電極１０２は、基板３の上面に固定された電極基部１０４と、この電極基部１０４における可動電極１０３と対向する側面１０４ａに固定された櫛歯状の補助電極部１０５とを有している。可動電極１０３は、電極基部１０４と対向するように基板３の上面に固定された電極基部１０６と、この電極基部１０６における固定電極１０３と対向する側面１０６ａに固定された櫛歯状の補助電極部１０７とを有している。
【００２７】
このような電極構造体１０１において、電圧源１１により固定電極１０２に電圧を印加すると、固定電極１０２と可動電極１０３との間には、図３に示すような静電容量Ｃ１，Ｃ２が発生する。静電容量Ｃ１は、補助電極部１０５と電極基部１０６との間、補助電極部１０７と電極基部１０４との間にそれぞれ発生する。静電容量Ｃ２は、補助電極部１０５，１０７間に発生する。
【００２８】
ここで、補助電極部１０７がｘ方向に動く量をｘ（変数）とし、補助電極部１０５と電極基部１０６との初期ギャップ、補助電極部１０７と電極基部１０４との初期ギャップをｓとし、補助電極部１０５，１０７を形成する歯の厚さをｗとし、補助電極部１０５，１０７を形成する歯の長さをｌとし、補助電極部１０５，１０７の高さをｈとし、補助電極部１０５，１０７間のギャップをｇとしたときに、静電容量Ｃ１，Ｃ２は下記式で表される。
【数１】
2005258081.tif 000003
【数２】
2005258081.tif 000004
【００２９】
上記式から、補助電極部１０５，１０７同士のオーバーラップ量（式２の分子に相当）が、固定電極１０２と可動電極１０３との間に生じる静電容量に影響するのが分かる。
【００３０】
ところで、電極構造体１０１では、固定電極１０２の補助電極部１０５が電極基部１０４の側面１０４ａに固定され、可動電極１０３の補助電極部１０７が電極基部１０６の側面１０６ａに固定されているので、可動電極１０３をｘ方向に駆動するときには、補助電極部１０７が電極基部１０４の側面１０４ａに当たる位置までしか可動電極１０３を動かすことができない。このため、静電アクチュエータの狭ピッチ化等の観点から、静電アクチュエータ１００の幅方向（ｘ方向）の寸法が限られているような場合には、可動電極１０２の可動範囲が小さいものとなってしまう。
【００３１】
また、上記式２から分かるように、補助電極部１０５，１０７同士のオーバーラップ面積が可動電極１０２の駆動力と大きく関係するが、上記のように可動電極１０３の可動範囲の制約があることから、電圧を印加しない初期状態において補助電極部１０５，１０７同士のオーバーラップ面積を大きくとれない。このため、可動電極１０３の初期駆動力を十分に得るためには、初期の印加電圧を高くする必要があり、結果的に消費電力が増大してしまう。
【００３２】
これに対し、本実施形態の電極構造体２では、固定電極４の補助電極部７を電極基部６の上面６ａに固定し、可動電極５の補助電極部９を電極基部８の上面８ａに固定する構成としたので、補助電極部９の先端部が電極基部６を通り過ぎる位置まで可動電極５を動かすことが可能となる。これにより、静電アクチュエータ１の幅方向の寸法が限られている場合であっても、可動電極５の可動範囲を大きくすることができる。
【００３３】
また、そのような可動電極５の可動範囲の制約が無くなるため、電極構造体２の初期状態において補助電極部７，９同士のオーバーラップ量を大きくとることができる。この場合には、所定の印加電圧に対する可動電極５の駆動力（固定電極４と可動電極５との間に生じる静電力）が大きくなるので、固定電極４に印加する初期電圧を低くしても、可動電極５を所望量だけ動かすことができる。これにより、消費電力の増大を抑えることが可能となる。
【００３４】
さらに、補助電極部７は電極基部６の上面６ａに固定され、補助電極部９は電極基部８の上面８ａに固定されているので、固定電極４に電圧を印加したときには、固定電極４と可動電極５との間には、上記式１の静電容量Ｃ１は発生せずに上記式２の静電容量Ｃ２のみが発生する。従って、印加電圧と可動電極５の駆動力との関係がリニアになるため、可動電極５が安定して動作するようになる。
【００３５】
図４は、上記の静電アクチュエータ１を備えた光デバイスの一例を示す構成図である。同図において、光デバイス２０は、例えば１×２型の光スイッチである。
【００３６】
光スイッチ２０は、平面型光導波路２１と、この平面型光導波路２１上に配置された上記の静電アクチュエータ１とを備えている。平面型光導波路２１は、溝部２２と、この溝部２２とつながるように形成された光導波路コア２３Ａ〜２３Ｄとを有している。静電アクチュエータ１は、溝部２２内にミラー１０が入り込むように、図１に示す状態からひっくり返して平面型光導波路２１の上面に固定されている。なお、図４では、電極構造体２の基板３は省略している。
【００３７】
このような光スイッチ２０において、静電アクチュエータ１の初期状態では、可動電極５の電極基部８がまっすぐ延びている。この状態では、光導波路コア２３Ａから出射された光は、ミラー１０で反射して光導波路コア２３Ｂに入射される。一方、電圧源１１により固定電極４に所定の電圧を印加すると、固定電極４と可動電極５との間に生じる静電気力によって可動電極５が固定電極４側に撓み、ミラー１０が固定電極４側に移動する。この状態では、光導波路コア２３Ａから出射された光は、溝部２２内を通って、反対側の光導波路コア２３Ｃに入射される。
【００３８】
なお、本実施形態の静電アクチュエータ１は、上記のような光スイッチの他に、光可変減衰器等にも適用することができる。
【００３９】
図５は、本発明に係わる電極構造体の第２の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００４０】
同図において、静電アクチュエータ３０は電極構造体３１を備え、この電極構造体３１は、基板３上に固定された固定電極３２Ａ，３２Ｂ及び可動電極３３を有している。固定電極３２Ａ，３２Ｂ同士は、可動電極３３を挟んで対向配置されている。
【００４１】
固定電極３２Ａ，３２Ｂは、基板３の上面に固定された電極基部３４と、この電極基部３４の上面３４ａに固定され、可動電極３３側に延在するように櫛歯状に形成された補助電極部３５とを有している。
【００４２】
可動電極３３は、固定電極３２Ａ，３２Ｂの電極基部３４と対向するように基板３の上面に固定された電極基部３６と、この電極基部３６の上面３６ａに固定され、固定電極３２Ａ，３２Ｂ側に延在するように櫛歯状に形成された補助電極部３７とを有している。電極基部３６の一端には、ミラー１０が結合されている。補助電極部３７を形成する各歯は、補助電極部３５を形成する各歯に対して位置が異なるように等ピッチで配列されている。
【００４３】
固定電極３２Ａ，３２Ｂの電極基部３４と可動電極３３の電極基部３６との間には、電圧源３８Ａ，３８Ｂがそれぞれ接続されている。この電圧源３８Ａ，３８Ｂにより電圧を印加しない初期状態では、固定電極３２Ａ，３２Ｂの補助電極部３５を形成する各歯の先端部と可動電極３３の補助電極部３７を形成する各歯の両端部とがオーバーラップしている。
【００４４】
このような静電アクチュエータ３０において、電圧源３８Ａにより固定電極３２Ａに電圧を印加すると、固定電極３２Ａと可動電極３３との間に生じた静電気力によって可動電極３３が固定電極３２Ａに引き寄せられて撓み、これに伴ってミラー１０が固定電極３２Ａ側に移動する。一方、電圧源３８Ｂにより固定電極３２Ｂに電圧を印加すると、固定電極３２Ｂと可動電極３３との間に生じた静電気力によって可動電極３３が固定電極３２Ｂに引き寄せられて撓み、これに伴ってミラー１０が固定電極３２Ｂ側に移動する。このようにミラー１０を両側に移動させることができる。
【００４５】
図６は、本発明に係わる電極構造体の第３の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。図中、第１及び第２の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００４６】
同図において、静電アクチュエータ４０は電極構造体４１を備え、この電極構造体４１は、基板３上に固定された固定電極４２及び可動電極４３Ａ，４３Ｂを有している。可動電極４３Ａ，４３Ｂ同士は、固定電極４２を挟んで対向配置されている。
【００４７】
固定電極４２は、基板３の上面に固定された電極基部４４と、この電極基部４４の上面４４ａに固定され、可動電極４３Ａ，４３Ｂ側に延在するように櫛歯状に形成された補助電極部４５とを有している。
【００４８】
可動電極４３Ａ，４３Ｂは、固定電極４２の電極基部４４と対向するように基板３の上面に固定された電極基部４６と、この電極基部４６の上面４６ａに固定され、固定電極４２側に延在するように櫛歯状に形成された補助電極部４７とを有している。可動電極４３Ａ，４３Ｂの各電極基部４６には、ミラー４８の両端部が結合されている。補助電極部４７を形成する各歯は、補助電極部４５を形成する各歯に対して位置が異なるように等ピッチで配列されている。
【００４９】
このような静電アクチュエータ４０において、電圧源３８Ａ，３８Ｂにより固定電極４４に電圧を印加すると、固定電極４２と可動電極４３Ａ，４３Ｂとの間に生じた静電気力によって可動電極４３Ａ，４３Ｂが固定電極４２に引き寄せられて撓む。その結果、ミラー４８が平らな状態から湾曲状に変形するようになる。従って、静電アクチュエータ４０を、例えば分散補償器等に適用することができる。
【００５０】
図７は、本発明に係わる電極構造体の第４の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。図中、第３の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００５１】
同図において、静電アクチュエータ５０は電極構造体５１を備え、この電極構造体５１は、第３の実施形態における可動電極４３Ａ，４３Ｂに代えて、可動電極５２Ａ，５２Ｂを有している。
【００５２】
可動電極５２Ａは、電極基部４６の上面４６ａに固定された櫛歯状の補助電極部５３Ａを有し、可動電極５２Ｂは、電極基部４６の上面４６ａに固定された櫛歯状の補助電極部５３Ｂを有している。補助電極部５３Ａを形成する各歯は、補助電極部５３Ｂを形成する各歯に対して配列位置が異なっている。つまり、補助電極部５３Ａ，５３Ｂを形成する各歯は、固定電極４２の補助電極部４５を形成する各歯に対して互い違いに配列されている。このとき、補助電極部５３Ａ，５３Ｂを形成する各歯の配列ピッチは、補助電極部４５を形成する各歯の配列ピッチの２倍以上となっている。
【００５３】
このように構成することにより、可動電極５２Ａ，５２Ｂを固定電極４２側に動かしたときに、補助電極部５３Ａ，５３Ｂ同士が接触することは無い。従って、固定電極４２の電極基部４４と可動電極５２Ａ，５２Ｂの電極基部４６との距離を長くしなくても、可動電極５２Ａ，５２Ｂ同士が電気的に接続されることを防止できる。
【００５４】
図８は、本発明に係わる電極構造体の第５の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。図中、第４の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００５５】
同図において、静電アクチュエータ６０は電極構造体６１を備え、この電極構造体６１は、第４の実施形態における固定電極４２に代えて、固定電極６２を有している。固定電極６２は、電極基部４４の上面４４ａに固定され、可動電極５２Ａ，５２Ｂ側に延在する部分をもつようにジグザグ状に形成された補助電極部６３を有している。補助電極部５３Ａ，５３Ｂを形成する各歯は、補助電極部６３に互い違いに挟まれるように構成されている。
【００５６】
このように固定電極６２の補助電極部６３をジグザグ状とすることにより、電圧源３８Ａ，３８Ｂにより固定電極６２に電圧を印加したときは、固定電極６２と可動電極５２Ａ，５２Ｂとの間には、ｙ方向の静電容量Ｃ２（図３参照）だけでなく、ｘ方向の静電容量Ｃ１（図３参照）も発生することになる。従って、可動電極５２Ａ，５２Ｂの駆動力を増大させることができる。
【００５７】
図９は、本発明に係わる電極構造体の第６の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。図中、第２の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００５８】
同図において、静電アクチュエータ７０は電極構造体７１を備え、この電極構造体７１は、基板３上に固定された固定電極７２Ａ，７２Ｂ及び可動電極７３を有している。固定電極７２Ａ，７２Ｂ同士は、可動電極７３を挟んで対向配置されている。
【００５９】
固定電極７２Ａ，７２Ｂは、各電極基部３４の上面３４ａに固定された櫛歯状の補助電極部７４Ａ，７４Ｂをそれぞれ有している。補助電極部７４Ａを形成する各歯と補助電極部７４Ｂを形成する各歯とは、第４の実施形態における補助電極部５３Ａ，５３Ｂと同様に、配列位置が異なっている。
【００６０】
可動電極７３は、電極基部３６の上面３６ａに固定され、固定電極７２Ａ，７２Ｂ側に延在する部分をもつようにジグザグ状に形成された補助電極部７５を有している。補助電極部７４Ａ，７４Ｂを形成する各歯は、補助電極部７５に互い違いに挟まれるように構成されている。これにより、可動電極７３の駆動力を増大させつつ、ミラー１０を両側に移動させることができる。
【００６１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、固定電極及び可動電極の補助電極部を電極基部の上面に固定する構成としたが、固定電極の補助電極部を電極基部における可動電極と対向する側の面とは異なる面に固定し、可動電極の補助電極部を電極基部における固定電極と対向する側の面とは異なる面に固定する構成であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明に係わる電極構造体の第１の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。
【図２】比較例として従来一般の静電アクチュエータの一つを示す斜視図である。
【図３】図２に示す固定電極と可動電極との間に発生する静電容量を示す概念図である。
【図４】図１に示す静電アクチュエータを備えた光デバイスの一例を示す構成図である。
【図５】本発明に係わる電極構造体の第２の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。
【図６】本発明に係わる電極構造体の第３の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。
【図７】本発明に係わる電極構造体の第４の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。
【図８】本発明に係わる電極構造体の第５の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。
【図９】本発明に係わる電極構造体の第６の実施形態を備えた静電アクチュエータを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６３】
２…電極構造体、３…基板、４…固定電極、５…可動電極、６…電極基部（第１電極基部）、６ａ…上面、７…補助電極部（第１補助電極部）、８…電極基部（第２電極基部）、８ａ…上面、９…補助電極部（第２補助電極部）、１０…ミラー（光部品）、２０…光スイッチ（光デバイス）、３１…電極構造体、３２Ａ，３２Ｂ…固定電極、３３…可動電極、３４…電極基部（第１電極基部）、３４ａ…上面、３５…補助電極部（第１補助電極部）、３６…電極基部（第２電極基部）、３６ａ…上面、３７…補助電極部（第２補助電極部）、４１…電極構造体、４２…固定電極、４３Ａ，４３Ｂ…可動電極、４４…電極基部（第１電極基部）、４４ａ…上面、４５…補助電極部（第１補助電極部）、４６…電極基部（第２電極基部）、４６ａ…上面、４７…補助電極部（第２補助電極部）、４８…ミラー（光部品）、５１…電極構造体、５２Ａ，５２Ｂ…可動電極、５３Ａ，５３Ｂ…補助電極部（第２補助電極部）、６１…電極構造体、６２…固定電極、６３…補助電極部（第１補助電極部）、７１…電極構造体、７２Ａ，７２Ｂ…固定電極、７３…可動電極、７４Ａ，７４Ｂ…補助電極部（第１補助電極部）、７５…補助電極部（第２補助電極部）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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