(57)【要約】【課題】  効率的で迅速な保守点検作業ができる露光装置に使用されるマスクフレームの搬送装置を提供する。【解決手段】  基板に露光作業を行なう露光装置に用いられるマスクフレーム搬送装置であって、マスクフレーム４を支持する支持フレー３と、この支持フレーム３に設けられ、マスクフレーム４をあらかじめ設定された移動方向に搬送する送りローラ５と、この送りローラ５の搬送高さに整合させて、支持フレーム３に隣り合うように設置されたガイドフレーム８と、このガイドフレーム８を露光装置の内側に収納するとともに、移動方向に沿って装置の外側へ向けて張り出し自在に取り付ける保護扉６（取付機構）とを備えることを特徴とする。【選択図】      図２
2005345638.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筺体内において、マスクを介して基板に整合作業および露光作業を行なう露光装置に用いられ、前記基板を載置する載置テーブルに対面して配置された前記マスクを保持するマスクフレームを搬送するマスクフレーム搬送装置であって、
前記マスクフレームを支持する支持フレームと、
この支持フレームに設けられ、前記マスクフレームをあらかじめ設定された移動方向に搬送する送りローラと、
この送りローラの搬送高さに整合させたガイドローラを有し、前記移動方向に沿って、前記支持フレームに隣り合うように設置されたガイドフレームと、
このガイドフレームを前記筺体の内側に収納するとともに、前記移動方向に沿って前記筺体の外側へ向けて張り出し自在に取り付ける取付機構と、
を備えることを特徴とするマスクフレーム搬送装置。
【請求項２】
前記マスクフレームの移動方向に平行なフレーム辺両側の所定位置と、前記ガイドフレーム上において前記マスクフレームが支持された状態で前記フレーム辺に対面する位置に、前記マスクフレームを回転させるための回転支軸と前記回転支軸を受ける軸受部とのうちのいずれか一方を前記フレーム辺の両側の所定位置に、他方を前記フレーム辺が対面する位置に設け前記回転支軸および前記軸受部による回転機構を構成し、
前記ガイドローラは、前記回転支軸より前記移動方向の下流側に設置されたことを特徴とする請求項１に記載のマスクフレーム搬送装置。
【請求項３】
前記回転機構は、前記軸受部を前記マスクフレームのフレーム辺に設けるとともに、前記ガイドフレームのフレーム辺が対面する位置に前記回転支軸を設け、かつ、回転させる前記マスクフレームの平坦面に当接して当該マスクフレームを係止する回転ストッパを前記回転支軸近傍に設けたことを特徴とする請求項２に記載のマスクフレーム搬送装置。
【請求項４】
前記ガイドフレームと前記支持フレームとの間に、前記送りローラの搬送高さに整合させて、前記マスクフレームの下面を支持する中間ローラを有する中間フレームを備え、
前記中間フレームは、前記マスクフレームの下面から退避可能に構成されたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のマスクフレーム搬送装置。
【請求項５】
前記取付機構は、前記支持フレームおよび前記載置テーブルの間の空間を前記筺体に沿った位置において遮蔽および開放する両開きの保護扉であって、前記ガイドフレームは、前記保護扉に設けられたことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のマスクフレーム搬送装置。
【請求項６】
筺体内において、マスクフレームに保持されたマスクを介して、載置テーブルに載置された基板に整合作業および露光作業を行なう露光装置であって、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のマスクフレームの搬送装置を備えることを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板等の露光装置、および露光装置に使用されるマスクフレーム搬送装置に係り、特に、マスクフレームの操作性に優れた露光装置、および露光装置に使用されるマスクフレーム搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリント配線基板等の基板は、高精度、高密度化されており、生産性を向上すべく、搬入、整合、露光、搬出を連続して行なういわゆる自動露光装置を使用してその回路パターンが形成されている。
この自動露光装置に代表される露光装置は、予め、基板にレジスト等の特殊な感光性樹脂を塗布しておき、ハンドラ等の搬入機構により、載置テーブルの所定の位置に基板を載置して、所定のパターンを形成したマスクとの対面位置の整合作業を行ない、このマスクを介して、基板に所定の波長の紫外線を含む光を照射し露光作業を行ない、基板に所定のパターンを露光形成するものである。
【０００３】
図７は、従来の露光装置の概略の構成を示す斜視図である。
図７に示すように、従来の露光装置８０は、所定波長の紫外線を含む光を照射する光源８１と、この光源８１から照射された光を所定方向に反射する反射鏡８４ａと、この反射鏡８４ａから照射された光の照度分布を調整するフライアイレンズ８３と、このフライアイレンズ８３からの光を所定方向に反射する反射鏡８４ｂと、この反射鏡からの光をマスクおよび基板Ｗ側に平行光として反射する放物面鏡８７と、基板Ｗを載置する載置テーブル８２と、基板Ｗに対面して設置されるマスクを保持するマスクフレーム８６とを備えており、装置全体が筐体８８内に設置された構成とされている。
【０００４】
マスクは、透光板に保持されて、マスクフレーム８６の下面側に取り付けられている。
マスクフレーム８６は、マスクが基板Ｗと整合して対面するように、所定の位置に設置されている。このマスクフレーム８６は、断面Ｌ字型のガイド８５等で保持されて、前記所定の位置で空圧機構等により、前記ガイド８５に固定された状態で設置されている。
【０００５】
ところで、マスクは、所定のパターンを基板Ｗに露光するものであるから、基板Ｗの種類に応じて交換する必要がある。また、マスクに塵埃等が付着していると、露光パターンに影響を及ぼすため、マスクの清掃や保守点検等が必要になる。
しかし、マスクフレーム８６は、載置テーブル８２に対面して設置されているため、マスクフレーム８６をその位置のまま保守点検等を行なおうとする場合には、作業性が悪かった。
そこで、従来は、マスクフレーム８６を保持している前記ガイド８５からマスクフレーム８６を引き出して、別の作業台に移動してマスクの交換やメンテナンスを行なっていた。
一方、露光装置は、基板が高精度、高密度化されるに伴い、迅速、かつ効率的な露光処理の必要性から、装置が複雑化し、年々大型化する傾向にある。したがって、露光装置内部は、空間的な余裕がない状態であった。
【特許文献１】特開２００３−１８６２０９号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、近年、基板の多品種少量化に伴い、マスクの交換の頻度が増大するとともに、基板の高精度化、高密度化により、厳格な品質管理が必要となり、それに伴い装置の保守点検の重要性も増大している。したがって、スペース効率に優れ、しかも、マスクの交換等の段取り作業、およびメンテナンス作業性のよい露光装置が望まれている。
実際に、マスクの交換や清掃作業のほか、露光中の高熱によりレジストが変質し、基板がマスクに張り付いて搬出できない場合、あるいは、載置テーブル上に残ってしまった余分なレジストを除去する場合等、載置テーブルおよびマスク部のメンテナンスが必要な頻度も増大しており、このメンテナンス中は装置の稼動を停止するため、効率的、かつ迅速な作業が行なわれることが要請される。
そこで、本発明は、コンパクトで簡易に、マスクフレームを載置テーブル上から、作業のしやすい位置に移動して効率よく段取り、および保守点検作業ができるマスクフレーム搬送装置、および露光装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、筺体内において、マスクを介して基板に整合作業および露光作業を行なう露光装置に用いられ、前記基板を載置する載置テーブルに対面して配置された前記マスクを保持するマスクフレームを搬送するマスクフレーム搬送装置であって、前記マスクフレームを支持する支持フレームと、この支持フレームに設けられ、前記マスクフレームをあらかじめ設定された移動方向に搬送する送りローラと、この送りローラの搬送高さに整合させたガイドローラを有し、前記移動方向に沿って、前記支持フレームに隣り合うように設置されたガイドフレームと、このガイドフレームを前記筺体の内側に収納するとともに、前記移動方向に沿って前記筺体の外側へ向けて張り出し自在に取り付ける取付機構とを備えるマスクフレーム搬送装置とした。
【０００８】
このように送りローラを備えて構成したことにより、支持フレームに設けられた送りローラに支持されたマスクフレームは、この送りローラにより所定の方向へ案内されるため、予め設定された移動方向へマスクフレームが送り出される。
また、取付機構により、ガイドローラを送りローラの搬送高さに整合させ、送りローラの移動方向に沿って、支持フレームに隣り合わせるように設置することにより、送りローラにより送り出されたマスクフレームは、ガイドローラへ案内され、受け渡される。
したがって、マスクフレームは、筐体の外に向けて張り出すように配置されたガイドフレームのガイドローラ上に搬送され、載置された状態となる。
なお、取付機構は、搬送しないときにはガイドフレームを筐体内に収納し、搬送時にはガイドフレームを筐体内に収納された状態から筐体の外側へ向けて張り出すように設置される。
【０００９】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に係るマスクフレーム搬送装置であって、前記マスクフレームの移動方向に平行なフレーム辺両側の所定位置と、前記ガイドフレーム上において前記マスクフレームが支持された状態で前記フレーム辺に対面する位置に、前記マスクフレームを回転させるための回転支軸と前記回転支軸を受ける軸受部とのうちのいずれか一方を前記フレーム辺の両側の所定位置に、他方を前記フレーム辺が対面する位置に設け前記回転支軸および前記軸受部による回転機構を構成し、前記ガイドローラは、前記回転支軸より前記移動方向の下流側に設置されたものとした。
【００１０】
このようにマスクフレームの所定の位置とガイドフレーム上の所定の位置を対面することができるように構成したことにより、マスクフレームがガイドフレームに備えられたガイドローラにより搬送され、載置された状態で、マスクフレームの所定位置と、その位置に対面するガイドフレームにそれぞれ設けた回転支軸および軸受部が互いに枢支して、回転機構を構成し、マスクフレームを回転できる状態となる。
また、この状態で、ガイドフレームは、回転機構の回転支軸より移動方向上流側にはガイドローラを備える構成としていない。すなわち、マスクフレームは、回転支軸より移動方向の下流側ではガイドローラに支持されているが、回転支軸より上流側ではガイドローラに支持されていない。
したがって、このようにガイドローラを配置することにより、移動方向に対しマスクフレームの前側が上方に向かう回転方向に対して、ガイドローラがこの回転の妨げとならない。
【００１１】
さらに、請求項３に係る発明は、請求項２に係るマスクフレーム搬送装置であって、前記回転機構は、前記軸受部を前記マスクフレームのフレーム辺に設けるとともに、前記ガイドフレームのフレーム辺が対面する位置に前記回転支軸を設け、かつ、回転させる前記マスクフレームの平坦面に当接して当該マスクフレームを係止する回転ストッパを前記回転支軸近傍に設けることとした。
【００１２】
このように、回転支軸および軸受が枢支された状態でマスクフレームが回転すると、立ち上がる方向に回転するマスクフレームの平坦面が回転ストッパに当接した状態でマスクフレームが係止される。
【００１３】
請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のマスクフレーム搬送装置であって、前記ガイドフレームと前記支持フレームとの間に、前記送りローラの搬送高さに整合させて、前記マスクフレームの下面を支持する中間ローラを有する中間フレームを備え、前記中間フレームは、前記マスクフレームの下面から退避可能に構成した。
【００１４】
このように中間ローラを前記ガイドフレームと前記支持フレームの間に、前記送りローラの搬送高さに整合させて配置したことにより、マスクフレームは、中間ローラを介して送りローラからガイドローラへ受け渡される。
また、マスクフレームおよびガイドフレームにそれぞれ設けた軸受部と回転支軸とが枢支された状態のとき、中間ローラは、マスクフレームの後ろ側を支持する位置となる。そのため、マスクフレームがガイドローラ上で載置されている状態では、中間ローラにより安定して保持されるとともに、他方、中間ローラをマスクフレーム下面から退避することで、マスクフレームを回転させることができる。
【００１５】
請求項５に係る発明は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のマスクフレーム搬送装置であって、前記取付機構は、前記支持フレームおよび前記載置テーブルの間の空間を前記筐体に沿った位置において遮蔽および開放する両開きの保護扉であって、前記ガイドフレームは、前記保護扉に設けられたものとした。
【００１６】
このように構成したことにより、保護扉は、もともと載置テーブルおよび下部構造物に異物等が入らないように、前面パネルの内側であって、載置テーブルおよび支持フレームの隙間をカバーするように配置されている。そのため、保護扉は、閉じているときはガイドフレームを筐体内に収納し、また開いているときは、ガイドフレームを筐体から張り出すように配置する。
【００１７】
請求項６に係る発明は、筐体内において、マスクフレームに保持されたマスクを介して、載置テーブルに載置された基板に整合作業および露光作業を行なう露光装置であって、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のマスクフレーム搬送装置を備えるものとした。
【００１８】
このように露光装置にマスクフレーム搬送装置を備えて構成することにより、露光装置は、マスクフレームを作業性の悪い載置テーブルに近接した位置から露光装置の外に向けて搬送する機能を備える。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１に係る発明によれば、マスクフレームを載置テーブルの上方から移動して、露光装置の外側でガイドフレーム上に載置できるため、効率的なマスクの交換、および保守点検作業が可能な露光装置に使用されるマスクフレーム搬送装置を提供することができる。
【００２０】
請求項２に係る発明によれば、マスクフレームを反転することにより、作業者がマスクフレームの表面に対して自在に正対できることから、より効率的なマスクの交換、および保守点検作業ができるマスクフレーム搬送装置を提供することができる。
【００２１】
請求項３に係る発明によれば、回転ストッパを備えたことから、マスクフレームのマスク保持面を作業者に正対する位置で固定することができ、効率的なマスクの交換、および保守点検作業ができるマスクフレーム搬送装置を提供することができる。
【００２２】
請求項４に係る発明によれば、中間ローラを有する退避可能な中間フレームを備えたことから、マスクフレームを安定して搬送できるとともに、マスクフレームの回転時には、その回転の妨げとなる中間フレームを退避することができるため、マスクフレームを反転して、効率的なマスクの交換、および保守点検作業ができるマスクフレーム搬送装置を提供することができる。
【００２３】
請求項５に係る発明によれば、露光装置に必要な保護扉を利用して前記ガイドローラを設けたガイドフレームを設置することができるため、露光装置内の空間を有効に活用でき、スペース効率が高く、露光装置全体を大型化することなく、効率的なマスクの交換、および保守点検作業が可能なマスクフレーム搬送装置を提供することができる。
【００２４】
請求項６に係る発明によれば、簡易、かつ、効率的で迅速なマスクの交換、保守点検作業ができる露光装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、最初に、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る露光装置の概略構成を示す斜視図である。図１に示すように、露光装置１は、所定波長の紫外線を含む光を照射する光源５１と、この光源５１から照射された光を所定方向に反射する反射鏡５４と、この反射鏡５４からの光の照度分布を調整するフライアイレンズ５３と、このフライアイレンズ５３からの光を所定方向に反射する反射鏡５５と、この反射鏡５５からの光をマスクおよび基板Ｗ側に平行光として反射する放物面鏡５６と、基板Ｗを載置する載置テーブル４０と、前記基板Ｗに対面して設置されるマスクを保持するマスクフレーム４と、マスクフレーム４を予め設定した移動方向に搬送するマスクフレーム搬送装置２とを筐体５８内に備えている。
ここで、本実施形態においては、平行光を発生する光源を表しているが、これに限定されるものではなく、本発明は、マスクフレームの直上に光源を設置する散乱光を光源とする露光装置にも適応できる。
また、装置全体を覆う筐体５８内には、前面パネル５９に扉が形成されており、この扉を開けると、両開きの保護扉（取付機構）６がマスクフレーム４と載置テーブル４０との間の空間を遮蔽するように設けられている。
【００２６】
次に、本発明に係るマスクフレーム搬送装置の構成について説明する。
図２は、マスクフレーム搬送装置の構成を示す部分拡大図である。
図２に示すように、マスクフレーム搬送装置２は、マスクフレーム４を支持する支持フレーム３と、この支持フレーム３に設けられた送りローラ５と、保護扉６にガイドフレーム８を介して設置されたガイドローラ９と、送りローラ５およびガイドローラ９の間に配置された中間ローラ２５を有する中間フレーム２６とを備えている。
【００２７】
マスクフレーム４は、平面視において、その中央部が大きく矩形状に貫通された額縁状の枠体と、前記貫通された部分に支持される透光板Ｇと、この透光板Ｇに備えられた吸着手段等の保持機構（図示せず）とを備えることにより、所定のパターンが形成されたマスクを着脱可能に保持するものである。
また、マスクフレーム４は、送り方向に対して平行な両端面に受けブラケット１２ａを介して軸受１２ｂを有する軸受部１２を備えている。この軸受部１２の軸受１２ｂの位置は、送り方向における中央よりやや後ろ側に配置されている。
なお、マスクは、載置テーブル４０の基板Ｗと対面するようにマスクフレーム４の下面側（基板を載置する載置テーブル側）に保持される。
【００２８】
支持フレーム３は、その中央部が大きく矩形状に貫通された額縁状の枠体と、予め設定された移動方向へマスクフレーム４を円滑に送り出すために、送り方向に対して両側に設けた送りローラ５とを備えている。
なお、ここでは、支持フレーム３は、送りローラ５として、マスクフレーム４の端面を規制して送り方向を定める端面用ローラ５ａ、および、マスクフレーム４の下面を支持して送り高さを定める下面用ローラ５ｂの２種類を有している。
端面用ローラ５ａは、マスクフレーム４の端面に沿って、支持フレーム３の上面の両側に設けられており、また、下面用ローラ５ｂは、支持フレーム３の額縁状に貫通された内周面の側面両側に設けられている。
【００２９】
支持フレーム３は、その上面および端面にクランパ１０を備えている。クランパ１０は、搬送方向の両側と搬送方向後ろ側の上面、および搬送方向前側の端面をシリンダ機構により、アームを押し突けてマスクフレーム４を支持フレーム３に固着している。このクランパ１０は、露光作業中にマスクフレーム４を正確に位置決めして固定するためのものである。
また、クランパ１０は、クランプの解除機構、および、搬送の障害とならないようにアームを逃がす回転機構を備えている。
なお、搬送方向に対しマスクフレーム４の後ろ側端面は、支持フレーム３の内周端面に突き当てて保持されている。
【００３０】
中間ローラ２５は、送りローラ５およびガイドローラ９との間に配置され、送りローラ５の搬送高さに整合させた状態となるように中間フレーム２６に備えられている。また、中間ローラ２５は、ここでは、マスクフレーム４の移動中において、マスクフレーム４の下面を支持する回転自在なボールとして構成されている。
さらに、この中間ローラ２５は、マスクフレーム４が搬送されて、ガイドローラ９上に移動された場合には、マスクフレーム４の後端（送り方向に対し上流側の端部）下面を支持するように配置されている。したがって、マスクフレーム４の前端側をガイドローラ９で保持し、後端側をこの中間ローラ２５で保持するように配置されている。
【００３１】
中間ローラ２５を備えた中間フレーム２６の後方には、シリンダ２８が配置されており、中間フレーム２６をマスクフレーム４の下面から、マスクフレーム４の移動方向に対し直交する方向へ退避できるように構成されている。
ガイドフレーム８上でマスクフレーム４を回転する際には、この中間ローラ２５がその回転の妨げとならないようにシリンダ２８で中間ローラ２５を後退させ、マスクフレーム４の下面から退避できるようにしたものである。
【００３２】
保護扉６は、載置テーブル４０および支持フレーム３の隙間を遮蔽するように配置され、開閉自在な両開きの扉であって、上縁位置にガイドフレーム８を設けている。
この保護扉６は、閉じた状態（露光装置の稼働中）では、載置テーブル４０等に異物等の混入を防止する役割を果たすように配置され、開いた状態（メンテナンス作業中）では、載置テーブル４０と支持フレーム３の間の空間で作業者が作業できる状態にする扉の役割を果たしている。
また、マスクフレーム４を搬送しないときには、ガイドフレーム８を筐体５８内に収納し、搬送する時にはガイドフレーム８を筐体５８の外側に向けて張り出させる「取付機構」（請求項１および請求項５に記載）としての役割を果たしている。
すなわち、この「取付機構」は、保護扉６を閉じた状態では、露光装置１の内側にガイドフレーム８を収納し、保護扉６を開いて９０度回転させた状態では、前記ガイドフレーム８をマスクフレーム４の移動方向に案内し、その移動方向に沿って筐体５８の外側へ向けて張り出すように構成されている。
【００３３】
ガイドフレーム８は、マスクフレーム４の下面を支持できる位置に設けられたガイドローラ９と、このガイドローラ９上でマスクフレーム４を支持したときにそのマスクフレーム４の端面を案内する端面ガイド９ａと、マスクフレーム４に設けられた軸受１２ｂと枢支する後記する回転支軸１５等の回転機構に関連する各機構を備えている。
ガイドローラ９は、マスクフレーム４の下面を支持するため、ガイドフレーム８の側面から突出して配置され、円筒状のローラで形成されている。そして、ガイドローラ９は、回転支軸１５に対し移動方向下流側（ガイドフレーム８の前端側）に２箇所配置されており、回転支軸１５に対し移動方向上流側には設けられていない。
端面ガイド９ａは、一例として、ガイドフレーム８からマスクフレーム４の方向に突出しない位置に、回転支軸１５を挟んで搬送方向上流側および下流側のいずれにも配置されており、マスクフレーム４の端面を規制する回転自在なボールを備えている。
したがって、マスクフレーム４の下面は、ここでは、マスクフレーム４がガイドフレーム８上に搬送され、載置されている状態では、マスクフレーム４の前端側に配置されたガイドローラ９と後端側の中間ローラ２５とで保持されるように構成されている。
なお、本明細書において、「ガイドローラ」とは、マスクフレーム４の下面を支持するローラをいう。
【００３４】
次に、マスクフレーム４を回転する「回転機構」の構成について説明する。
図２に示すように、回転機構は、軸受１２ｂを有する軸受部１２と回転支軸１５を有する回転切換部１３を備えている。
本実施形態においては、一例として、回転切換部１３はガイドフレーム８に設け、軸受部１２はマスクフレーム４に設けている。
軸受部１２は、一例として、マスクフレーム４に取り付ける受けブラケット１２ａと回転支軸１５が挿入される軸受１２ｂとを備えている。なお、この軸受１２ｂは、その外周面が後記する搬送ストッパ３２に当接されるとともに、回転支軸１５を挿入しやすいように内周面は導入部を図示しないテーパ状に拡径されている。
【００３５】
軸受部１２は、ここでは、マスクフレーム４の長手方向（搬送方向）に対し、中間位置より後方の上面であって、搬送方向の両側に備えられている。この軸受部１２を前記中間位置より後方としたのは、マスクフレーム４がガイドフレーム８上にある場合において、中間ローラ２５がマスクフレーム４の下面から退避したときにマスクフレーム４が回転を開始しないようにするため、および、回転ストッパ３０で支持した位置で安定して保持できるようにするためである。また、作業者が軽く回転できるように、軸受部１２は、マスクフレーム４の中間位置よりわずかに後方寄りに配置されている。
【００３６】
本実施形態においては、マスクフレーム搬送装置２は、回転ストッパ３０を備えている。回転ストッパ３０は、一例として、ガイドフレーム８上に突出するように回転支軸１５近傍に配置され、回転支軸１５に対してマスクフレーム４を係止するフレーム面を垂直方向から移動方向上流側にやや後退させて、マスクフレーム４を所定角度傾斜させて立て掛けるように配置されている。
なお、マスクフレーム４を受ける面は、一例として、緩衝材が備えられており、緩衝材の位置がマスクフレーム４のフレーム平面部分に当接するように配置されている。また、この回転ストッパ３０は、一例として、一方の支点ブラケット１９を上方に延出し、その延出した支点ブラケット１９は、マスクフレーム４の平坦面が支持する当該部分である緩衝材を有して構成されている。
【００３７】
図３を参照して、回転切換部について説明する。
図３は、回転切換部１３の構成を示すための説明図であり、（ａ−１）は、搬送可能な位置を示す斜視図であり、（ａ−２）はその断面図を示す。また、（ｂ−１）は、回転可能な位置を示す斜視図であり、（ｂ−２）はその断面図を示す。
回転切換部１３は、回転支軸１５が圧入されたレバー１４とコイルばねを内蔵したホルダ１６とレバー１４とこれらをガイドフレーム８に固定する支点ブラケット１９を主として備えている。
図（ａ−２）に示すように、レバー１４は、円柱部１４ａと握り部１４ｂとを備え、円柱部１４ａには回転支軸１５が圧入され、この回転支軸１５を介してホルダ１６に回転可能に保持されている。
【００３８】
ホルダ１６は、円筒形状に形成されており、前記レバー１４の円柱部１４ａ側の端面が断面三角形状となるように斜めにカットされ、その切り口が傾斜面１６ａを備えている。
ホルダ１６の内周面中央部には他の端面側から段部が形成され、その段部に当接してコイルばね１８が内挿されている。このコイルばね１８のもう一方の端面は、前記回転支軸１５に設けられたリング溝に嵌め込まれたスナップリング１５ａと当接している。
したがって、コイルばね１８は、回転支軸１５を常にホルダ１６の端面から突出させる方向に付勢している。すなわち、コイルばね１８は、ホルダ１６の段部とスナップリング１５ａとで挟持され、圧縮されているため、スナップリング１５ａを介して、回転支軸１５をホルダ１６から突出させる方向に付勢力を発生している。
なお、回転支軸１５が格納された位置（図３（ａ−２）の状態）は、コイルばね１８の付勢力が発生しており不安定なため、図示しないが、レバー１４がその位置でロックされるように構成することができる。
【００３９】
このように回転機構を構成していることから、レバー１４を１８０度回転することにより、ホルダ１６の傾斜面１６ａとレバー１４の握り部１４ｂの付け根側に形成された円柱部１４ａの当接面１４ｃとが当接しながら回転し、回転支軸１５をホルダ１６から抜き差しすることができる。
すなわち、レバー１４を回転することにより、レバー１４の円柱部１４ａの当接面１４ｃがホルダ１６の傾斜面１６ａの山頂部側と当接している場合には、回転支軸１５はホルダ１６に格納され、マスクフレーム４を搬送可能な状態となり（ａ−１）、前記傾斜面１６ａの谷側と当接している場合には、回転支軸１５はホルダ１６の端面から突出し、回転機構が構成されるため、枢支された位置において、マスクフレーム４が回転可能な状態となる（ａ−２）。
【００４０】
ホルダ１６は、一例として、支点ブラケット１９を介して、前記保護扉６に設置されたガイドフレーム８に固定用ナット２０で締め付けて固定されている。
なお、このホルダ１６に保持される回転支軸１５の芯の高さと前記マスクフレーム４に設けられた軸受１２ｂの芯の高さとは、一致するように配置されている。
【００４１】
この支点ブラケット１９には、搬送ストッパ３２が備えられている。この搬送ストッパ３２は、平板状であって、軸受１２ｂの外周面と当接するように構成されている。したがって、搬送ストッパ３２は、その中央部分に、軸受部１２の軸受１２ｂ外周面の形状に倣って円弧状のストッパ部を備え、回転支軸１５を支持する支点ブラケット１９に設けられている。
搬送ストッパ３２は、回転切換部１３の支点ブラケット１９に重なるように密着して固定されており、マスクフレーム４がガイドローラ９に搬送されてくると前記円弧状のストッパ部が軸受１２ｂの外周面と当接し、マスクフレーム４が停止した位置で、軸受１２ｂの芯と回転支軸１５の芯が合うように配置されている。
【００４２】
続いて、以上の構成から生じる本実施形態に係るマスクフレーム搬送装置の作用について説明する。
図４は、支持フレーム３に保持されているマスクフレーム４のクランプを解除し、保護扉６を開いた状態を示し、図５は、マスクフレーム４を搬送する状態を示し、図６は、マスクフレーム４を回転する様子を示すものであり、それぞれ（ａ）が平面図、（ｂ）が正面図を模式的に表した図である。
図４に示すように、まず、マスクフレーム４を搬送するためには、クランパ用シリンダを操作して、クランパ１０の締め付けを解除し、クランパ１０を９０度回転してクランプを外す必要がある。そして、保護扉６を９０度開いて、ガイドフレーム８をマスクフレーム４の搬送方向に配置する。
ここで、マスクフレーム４は、支持フレーム３に設けられた送りローラ５により、高さ方向および幅方向が所定の移動方向へ向かうように案内されているため、作業者は、マスクフレーム４の取手を引き出せば、マスクフレーム４を所定の移動方向にマスクフレーム４を送り出すことができる。
【００４３】
次に、図５に示すように、マスクフレーム４の搬送中は、送りローラ５で送り出しながら、中間ローラ２５でマスクフレーム４を受け取るように中間ローラ２５が機能する。さらに、この中間ローラ２５は、マスクフレーム４の下面を支持しながら保護扉６の上部に設置されたガイドローラ９にマスクフレーム４を受け渡すように機能する。
本図からわかるように、送りローラ５およびガイドローラ９等を適切に配置したことにより、（ａ）では搬送方向に対し直交する方向の位置決めがされており、（ｂ）では搬送方向の高さ方向の位置決めがされている。
【００４４】
図６は、マスクフレーム４をガイドフレーム８上に移動し、載置した状態を示す。
このようにして、マスクフレーム４をガイドローラ９上に移動してくると、中間フレームの中間ローラ２５とガイドフレーム８のガイドローラ９とにより、マスクフレーム４が支持された状態となる。
それとともに、マスクフレーム４に設けられた軸受部１２の軸受１２ｂとガイドフレーム８に設けられた搬送ストッパ３２が当接することにより、マスクフレーム４は移動が停止される。この位置で、マスクフレーム４に設けられた軸受部１２とガイドフレーム８に設けられた回転支軸１５とが対面するように搬送ストッパ３２が配置されているため（図２および図３参照）、軸受１２ｂと回転支軸１５の芯が合う状態となっている。
なお、本実施形態では、ガイドフレーム８は、端面ガイド９ａを備えており（図２参照）、ガイドローラ９上でマスクフレーム４の幅方向の移動方向を規制しているため、マスクフレーム４に設けられた軸受部１２とガイドフレーム８に設けられた回転支軸１５の位置を対面するように案内することが可能である。
【００４５】
そして、作業者は、上記軸受１２ｂと回転支軸１５の芯が合った状態を確認して、回転切換部１３のレバー１４を１８０度回転し、回転支軸１５をホルダ１６から突出させて軸受１２ｂに挿入すると、マスクフレーム４をこの回転支軸１５で保持することができる。
次に、作業者は、マスクフレーム４が安定して保持されていることを確認して、一例として、中間ローラ２５を退避させるシリンダ２８を操作して、マスクフレーム４の回転の妨げとなる中間ローラ２５をマスクフレーム４の下面から退避させる（図２参照）。
【００４６】
このように、中間ローラ２５をマスクフレーム４の下面から退避することにより、マスクフレーム４の後端側を支持するものがなくなり、マスクフレーム４の前端を上方に向かうように回転すれば、図６（ｂ）に示すように、マスクフレーム４を回転することができる。そして、作業者は、マスクフレーム４の平坦面を回転ストッパ３０で係止することができる位置まで、ゆっくり回転する。
なお、マスクフレーム４を回転ストッパ３０で係止した位置で図示しないフック等によりマスクフレーム４をロックすることができる。
【００４７】
このように、マスクフレーム４を反転して保持することにより、作業者は、マスクフレーム４の下面側に貼り付けられたマスクと正対することができるため、マスクの交換やマスクの表面を清掃する等のメンテナンス作業が容易にできる。
また、載置テーブル４０上からマスクフレーム４が移動されており、保護扉６も開放されているので、載置テーブル４０の清掃等の作業も容易にできる（図１参照）。
【００４８】
以上、本発明について最良と考えている実施の形態について説明した。しかし、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、同一の技術的思想の範囲内で適宜変更して実施することができる。
例えば、本実施形態においては、「送りローラ５」や「ガイドローラ９」は、円筒形状のローラを使用したが、これに限定されるものではなく、複数の針状またはボール式のもの等円滑な搬送ができ、位置決めできるものであれば適宜変更することができる。
【００４９】
また、本実施形態において、取付機構は、両開きの保護扉として構成したが、請求項１に係る発明においては、これに限られるものではなく、例えばガイドフレーム８をアングル等のメンバで構成し、このメンバにガイドローラ等のガイド機構を備えて、筐体内にスライド式または回転式に収納し、マスクフレームの搬送時にはこのガイド機構を引き出し、または回転して、筐体の外側へ向けて張出し自在に設けることもできる。
具体的には、スライド方式にあっては、スライド機構を設けて上流側に収納するようなもののほか、搬送時には、ノックピン等の位置決め手段によりガイドフレームを搬送方向に配置するとともに、収納時にはガイドフレームを取り外して、搬送方向上流側に保管場所を設けて収納するようなものでもよい。また、回転式にあっては、ヒンジやリンク機構により露光装置のフレームにガイドフレームを取り付け、収納時には回転して露光装置のフレームに密着するように収納するようなものがある。
【００５０】
さらに、本実施形態においては、中間ローラを備えて構成したが、請求項１に係る発明においては、中間ローラを有しないものも本発明の技術的範囲に属する。
この場合においては、回転機構に設けられた回転支軸およびガイドローラを適切な位置に配置することにより、マスクフレームをガイドフレーム上で保持することができる。また、中間ローラを設けない場合に、回転支軸より搬送方向上流側にガイドローラを設け、このガイドローラをマスクフレームの下面から退避可能に構成することもできる。
【００５１】
なお、回転機構においても、本実施形態では、作業者がレバーを操作して回転支軸１５を挿入するようにしているが、プリロードをかけて回転支軸１５を予め突出しておき、マスクフレーム４が搬送されてきた際に、回転支軸１５が自動的に挿入されるように構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本実施形態に係る露光装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係るマスクフレーム搬送装置の構成を示す部分拡大図である。
【図３】本実施形態に係るマスクフレーム搬送装置の回転切換部１３の構成を示すための説明図であり、（ａ−１）は搬送可能な位置を示す斜視図、（ａ−２）はその断面図を示し、また、（ｂ−１）は回転可能な位置を示す斜視図、（ｂ−２）はその断面図を示す。
【図４】本実施形態に係るマスクフレーム搬送装置の作用を説明するための図であり、搬送前の状態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図５】本実施形態に係るマスクフレーム搬送装置の作用を説明するための図であり、搬送中の状態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図６】本実施形態に係るマスクフレーム搬送装置の作用を説明するための図であり、マスクフレームを回転する様子を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図７】従来の露光装置の概略の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５３】
１      露光装置
２      マスクフレーム搬送装置
３      支持フレーム
４      マスクフレーム
５      送りローラ
５ａ    端面用ローラ
５ｂ    下面用ローラ
６      保護扉
８      ガイドフレーム
９      ガイドローラ
９ａ    端面ガイド
１０    クランパ
１２    軸受部
１２ａ  受けブラケット
１２ｂ  軸受
１３    回転切換部
１４    レバー
１４ａ  円柱部
１４ｂ  握り部
１４ｃ  当接面
１５    回転支軸
１５ａ  スナップリング
１６    ホルダ
１６ａ  傾斜面
１８    コイルばね
１９    支点ブラケット
２０    固定用ナット
２５    中間ローラ
２６    中間フレーム
２８    シリンダ
３０    回転ストッパ
３２    搬送ストッパ
４０    載置テーブル
５１    光源
５３    フライアイレンズ
５４    反射鏡
５５    反射鏡
５６    放物面鏡
Ｗ      ワーク（基板）
Ｇ      透光板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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