(57)【要約】【課題】  液滴吐出装置において、機能液収容部の外に飛散した機能液を適切に受けることができるヘッドキャップ、ヘッドキャップパン、吸引ユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】  液滴吐出ヘッド９１のノズル１０９を包含した状態でノズル面１０８に密着する環状のシール部材１２４と、シール部材１２４を固定するキャップベース１１２と、キャップベース１１２の表面に機能液を受ける機能液収容部１２１ａと、を備え、キャップベース１１２の周縁部には、機能液収容部１２１ａの外側に飛散した機能液を受けるフランジ状の機能液受容部１２５ｂが設けられていることを特徴とする。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドを保守するために、前記液滴吐出ヘッドに対し離接自在に構成されたヘッドキャップにおいて、
前記液滴吐出ヘッドのノズルを包含した状態でノズル面に密着する環状のシール部材と、
前記シール部材を前記液滴吐出ヘッドのノズル面に対峙するように固定するキャップベースと、
前記シール部材の内側に位置して前記キャップベースの表面に前記液滴吐出ヘッドから排出される機能液を受ける機能液収容部と、を備え、
前記キャップベースの周縁部には、前記機能液収容部の外側に飛散した機能液を受けるフランジ状の機能液受容部が設けられていることを特徴とするヘッドキャップ。
【請求項２】
前記機能液受容部の表面には、前記シール部材を囲うように溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドキャップ。
【請求項３】
前記キャップベースは、前記機能液収容部を形成すると共に、前記シール部材を受けるベース本体と、
前記シール部材の周縁部を前記ベース本体に押圧固定するシール固定部材とから成り、
前記機能液受容部は、前記シール固定部材に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドキャップ。
【請求項４】
前記機能液受容部と前記シール固定部材とは、一体に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のヘッドキャップ
【請求項５】
前記シール固定部材は、前記ベース本体に対して、取り外し可能に構成されていることを特徴とする請求項３または４に記載のヘッドキャップ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のヘッドキャップの下側に配設され、前記ヘッドキャップの外側に飛散した機能液を受けるヘッドキャップパンにおいて、
前記ヘッドキャップを内在させると共に、受け皿状に形成されていることを特徴とするヘッドキャップパン。
【請求項７】
周縁部には、前記ヘッドキャップの上端より低い位置となる立ち上げ部が形成されていることを特徴とする請求項６に記載のヘッドキャップパン。
【請求項８】
前記ヘッドキャップの複数個を一括して内在させることを特徴とする請求項６または７に記載のヘッドキャップパン。
【請求項９】
請求項１ないし５のいずれかに記載のヘッドキャップと、
前記ヘッドキャップを介して前記液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引手段と、
前記ヘッドキャップを前記液滴吐出ヘッドのノズル面に対し相対的に離接させる手段と、
を備えたことを特徴とする吸引ユニット。
【請求項１０】
請求項６ないし８のいずれかに記載のヘッドキャップパンを、さらに備えたことを特徴とする請求項９に記載の吸引ユニット。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載の吸引ユニットと、液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、前記液滴吐出ヘッドをワークに対向させて、当該ワークに対し前記液滴吐出ヘッドを相対的に走査させながら機能液を選択的に吐出させる描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドを前記ワークに対し相対的に走査し、前記機能液滴を選択的に吐出して成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドを前記ワークに対し相対的に走査し、前記機能液滴を選択的に吐出して成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１４】
情報を入出力すると共に、情報を表示するディスプレーを有する電子機器であって、
請求項１２に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または、請求項１３に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドに密着して増粘した機能液を吸引するクリーニングや液滴吐出ヘッドからの機能液の捨て吐出であるところのフラッシングを行なうヘッドキャップ、ヘッドキャップパン、吸引ユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットプリンタ等の液滴吐出装置では、運転停止時に、空気に晒されて増粘した機能液により吐出ノズルに目詰まりが生じるため、液滴吐出ヘッドのノズル面を封止し、且つ吐出ノズルから増粘した機能液を吸引により取り除くキャップユニットが併設されている。
このキャップユニットは、液滴吐出ヘッドのノズル面に密着してこれを封止し、ノズル面との間で内部空間を形成するキャップ部材と、キャップ部材の内底部に配置された機能液吸収材と、キャップ部材を保持するキャップホルダと、キャップ部材を液滴吐出ヘッドに離接させる昇降機構と、キャップ部材を介して吐出ノズルから機能液を吸引する吸引ポンプを備えている。
例えば、長時間の運転停止時には、機能液の乾燥を防止すべくキャップ部材を液滴吐出ヘッドに押付けて、いわゆるキャッピング（封止）を行い、且つ運転開始時には、この状態で吸引ポンプを駆動して機能液を吸引する、いわゆるクリーニングが行われる。
また、液滴吐出ヘッドの交換等のメンテナンス（保守作業）では、装置によって、キャップユニットを液滴吐出ヘッドからわずかに離間させておいて、液滴吐出ヘッドの全吐出ヘッドから機能液を吐出する、いわゆるフラッシング（捨て吐出）が行われる。（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２０００−６２２０２号公報  （第７頁［００７１］から［００７５］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、このようなキャップユニットにおいて、前述のフラッシング（捨て吐出）を行なう場合、吐出された機能液が吐出ヘッドとキャップ部材とのわずかの隙間から外部に飛散することがあった。また、空気に晒されて増粘した機能液を吸引するクリーニング（以下、「吸引クリーニング」という）においては、吐出ヘッドとキャップ部材が密着して吸引する際に、機能液の表面張力により吐出ヘッドのノズル面に付着した機能液が、吸引後キャップ部材が吐出ヘッドから離れた瞬間に飛散することもあった。
インクジェットプリンタ等の液滴吐出装置は、有機ＥＬ表示装置を構成する有機ＥＬ発光層の製造などの液滴吐出装置として利用することが知られている。このような装置においては、機能液が飛散して、それが装置を構成する部材に付着した場合は、使用する機能液の種類によって、装置を構成する部材を侵すような腐食性を有するものがあり、装置本来の機能に支障を起こすだけでなく、放置しておけば高額な投資をして造られた装置が故障するという問題がある。また、このような問題を防止するためには、定期的なメンテナンス（保守）が必要であり、作業全体の効率を低下させるという問題も含んでいる。
【０００４】
本発明は、上記の問題に鑑み、機能液収容部の外に飛散した機能液を適切に受けることができるヘッドキャップ、ヘッドキャップパン、吸引ユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のヘッドキャップでは、液滴吐出ヘッドのノズルを包含した状態でノズル面に密着する環状のシール部材と、シール部材を液滴吐出ヘッドのノズル面に対峙するように固定するキャップベースと、シール部材の内側に位置してキャップベースの表面に液滴吐出ヘッドから排出される機能液を受ける機能液収容部と、を備え、キャップベースの周縁部には、機能液収容部の外側に飛散した機能液を受けるフランジ状の機能液受容部が設けられていることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、キャップベースの周縁部には、機能液収容部の外側に飛散した機能液を受けるフランジ状の機能液受容部が設けられているため、フラッシング時に液滴吐出ヘッドとシール部材とのわずかな隙間から機能液収容部の外側に飛散した機能液は、フランジ状の機能液受容部で受けることができる。また、吸引クリーニングにおいては機能液が、吸引後ヘッドキャップが液滴吐出ヘッドから離れる瞬間に飛散した場合も、このフランジ状の機能液受容部で受けることができる。
【０００７】
この場合、機能液受容部の表面には、シール部材を囲うように溝が形成されていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドから排出された機能液は、機能液受容部の表面に形成されたシール部材を囲う溝で受けられ、これに溜まる。ゆえに溝で受けた機能液が機能液受容部の外に流れ出すことを防止することができる。
【０００９】
また、この場合、キャップベースは、機能液収容部を形成すると共に、シール部材を受けるベース本体と、シール部材の周縁部をベース本体に押圧固定するシール固定部材とから成り、機能液受容部は、シール固定部材に設けられていることが好ましい。
【００１０】
さらにこの場合、機能液受容部とシール固定部材とは、一体に形成されていることが好ましい。
【００１１】
これらの構成によれば、シール固定部材と機能液受容部とを兼用することができ、部品点数を削減することができる。また、機能液受容部と共に一体に形成されたシール固定部材を清掃することにより、機能液受容部の清掃を簡単に行なうことができる。
【００１２】
さらにこの場合、シール固定部材は、ベース本体に対して、取り外し可能に構成されていることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、ベース本体からシール固定部材を取り外すことができるので、機能液受容部の清掃をより簡単に行なうことができる。
【００１４】
また、本発明のヘッドキャップパンは、上記したヘッドキャップの下側に配設され、前記ヘッドキャップを内在させると共に、受け皿状に形成されていることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、前述のフラッシング時に液滴吐出ヘッドとそれに対応したヘッドキャップとのわずかの隙間からヘッドキャップの外に飛散した機能液を受け皿状のヘッドキャップパンで受けることができる。また、例えば機能液吸引時に吸引ポンプの小停止や故障停止が発生しても、液滴吐出ヘッドに対応したヘッドキャップから漏たり、また溢れた機能液を受け皿状に形成されたヘッドキャップパンで受けることができる。ゆえにヘッドキャップを離接する昇降機構などの周辺装置に機能液が付着するのを防止することができる。これらの機能により、使用する機能液が腐食性を有する場合は、機能液が装置へ付着し腐食することで起こり得る装置の機能不良の発生や故障を防止することができる。
【００１６】
さらに、この場合、ヘッドキャップパンの周縁部には、ヘッドキャップの上端より低い位置となる立ち上げ部が形成されていることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、ヘッドキャップが液滴吐出ヘッドに密着して機能液を吸引クリーニングする際に、ヘッドキャップパンの周縁部に形成された立ち上げ部に機能液が付着していた場合であっても、この立ち上げ部がヘッドキャップの上端より低い位置に形成されているため、付着していた機能液が液滴吐出ヘッドのノズル面に転着することを防止することができる。また、ヘッドキャップより溢れた機能液が、ヘッドキャップパンより流れ出ることを堰き止めることができる。
【００１８】
また、この場合、ヘッドキャップパンは、ヘッドキャップが複数個存在する場合であっても、その複数個を一括して内在することが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、複数個のヘッドキャップを一括して内在するため、複数個のヘッドキャップから機能液が飛散した場合や、溢れた場合にもそれらを受け止めて、ヘッドキャップパンから外に流出することを防止することができる。
【００２０】
本発明の吸引ユニットは、前述したヘッドキャップと、ヘッドキャップを介して液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引手段と、ヘッドキャップを液滴吐出ヘッドのノズル面に対し相対的に離接させる手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドの吸引クリーニングやフラッシング時に飛散する機能液を適切に受けることができる。また、吸引機能と受液機能とを兼ね備えているため、液滴吐出ヘッドを移動させずに同じ位置で液滴吐出ヘッドの保守が効率よくできる。なお、離接手段としては、液滴吐出ヘッドを上下させるもの、ヘッドキャップを昇降させるもの、いずれであってもよい。
【００２２】
この場合、吸引ユニットは、前述のヘッドキャップパンをさらに備えることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、内在するヘッドキャップの外側に機能液が飛散したり、溢れた場合に、このヘッドキャップパンによって、機能液が吸引ユニットの外に流出することを防止することができる。
【００２４】
本発明の液滴吐出装置は、上記の吸引ユニットと、液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、液滴吐出ヘッドをワークに対向させて、当該ワークに対し液滴吐出ヘッドを相対的に走査させながら機能液を選択的に吐出させる描画手段と、を備えたことを特徴とする
【００２５】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドの吸引クリーニングやフラッシング時に飛散する機能液を適切に受けることができるため、機能液の付着によって起こる機能不良や故障が少ない液滴吐出装置を実現できる。また、装置の清掃は、ヘッドキャップの構成部品を取り外して簡単に清掃できることや、吸引ユニットは、吸引機能と受液機能とを兼ね備えているため、液滴吐出ヘッドを移動させずに同じ位置で保守できるので、保守し易い液滴吐出装置が実現できる。
【００２６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドをワークに対し相対的に走査し、機能液滴を選択的に吐出して成膜部を形成することを特徴とする。
【００２７】
同様に、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドをワークに対し相対的に走査し、機能液滴を選択的に吐出して成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２８】
これらの構成によれば、液滴吐出ヘッドの吸引クリーニングやフラッシング時に飛散する機能液を適切に受けることができ、機能不良や故障が少なく、効率のよい保守ができる液滴吐出装置を用いて電気光学装置の製造ができるため、生産性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。
なお、電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma
Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-Conduction
Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、各種表示装置に用いるカラーフィルタは元より、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。
【００２９】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３０】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドの吸引クリーニングやフラッシング時に飛散する機能液を適切に受けることができ、機能不良や故障が少なく、効率のよい保守ができる液滴吐出装置を用いて製造される生産性の高い電気光学装置を搭載したため、生産性の高い電子機器を実現できる。
電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレーを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明の効果】
【００３１】
本発明のヘッドキャップ及びヘッドキャップパン並びに吸引ユニットによれば、液滴吐出ヘッドの吸引クリーニングやフラッシング時に飛散する機能液を適切に受けとめるため、機能不良や故障が少なく、保守しやすい液滴吐出装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明の一実施形態であるヘッドキャップ、ヘッドキャップパンおよび吸引ユニットを用いた液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置１は、いわゆるフラットパネルディスプレーの一種である有機ＥＬ装置の製造工程で用いられる装置であり、正孔注入層材料や発光材料等を機能液として、吐出ヘッドからワークに対して相対的に走査しながら吐出することによりＥＬ発光層を形成するものである（詳細は後述する）。
【００３３】
図１ないし図３に示すとおり、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド９１を搭載するヘッドユニット８１を用いて、ワーク（基板）Ｗに対して相対的に吐出走査し上記ＥＬ発光層を形成する描画装置２と、液滴吐出ヘッド９１の保守等に用いる各種装置からなるメンテナンス装置３と、描画装置２およびメンテナンス装置３の駆動等に用いる各種装置からなる周辺装置４と、これらの各装置を支持または収容する装置構造体５と、さらに、これらの装置を制御するホストコンピュータ４５と、を備えている。
【００３４】
装置構造体５は、２つのキャビネット形式の大型機台５１および小型機台５２と、大型機台５１に支持されると共に描画装置２とメンテナンス装置３とを載置する石定盤６１と、大型機台５１と石定盤６１の間に介設された支持板６２を底板として、石定盤６１上の前記各装置を囲う箱型のチャンバ６３と、から構成されている。また、石定盤６１は、上面に高低２つの平坦な面が形成されており、高い側の平坦部には、描画装置２が配設され、低い側の平坦部には、メンテナンス装置３の主要部が配設されている。そして、上記チャンバ６３に外部からドライエアーを常に供給することで、描画装置２は、安定した雰囲気内で描画作業が行なわれる。
【００３５】
周辺装置４は、描画装置２およびメンテナンス装置３にその駆動を制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給装置４１と、ワークＷを吸着テーブル３１１（後述する）に搬入出させる搬送装置４４と、吸着テーブル３１１上のワークＷを真空ポンプで吸引するエアー吸引装置４２と、吸引用スイッチ装置４３と、で構成されている。
【００３６】
描画装置２は、液滴吐出ヘッド９１を備えた液滴吐出部２１と、液滴吐出部２１とセットされたワークＷとを、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させる移動走査部２２と、ヘッド認識カメラ３０３とワーク認識カメラ３０４および描画観察カメラ３０５を備えた検出部２３と、機能液を供給および回収する機能液供給回収部２４と、で構成されている。移動走査部２２は、セットされたワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル３０１と、液滴吐出ヘッド９１をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル３０２と、で構成されている。
【００３７】
Ｘ軸テーブル３０１は、石定盤６１上に直接設置されており、ワークＷをセットするための吸着テーブル３１１と、吸着テーブル３１１を支持するθテーブル３１２と、θテーブル３１２をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ（図示省略）と、θテーブル３１２および吸着テーブル３１１を介して、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダに併設したＸ軸リニアスケール（図示省略）と、を備えている。Ｘ軸テーブル３０１では、Ｘ軸リニアモータの駆動により、θテーブル３１２とワークＷを吸着セットした吸着テーブル３１１とが、Ｘ軸エアースライダを案内にしてＸ軸方向に移動する。
【００３８】
なお、Ｘ軸リニアモータ、Ｘ軸エアースライダ、およびＸ軸リニアスケールは、Ｘ軸に対して平行に配設されており、Ｘ軸ボックス３１６内に収容されている。また、θテーブル３１２には、上記検出部２３のヘッド認識カメラ３０３が固定されており、吸着テーブル３１１に対して、ヘッドユニット８１の位置を補正可能となっている。
【００３９】
Ｙ軸テーブル３０２は、石定盤６１上に立設されたスタンド付のＹ軸フレーム３２１に載置されており、Ｘ軸テーブル３０１を跨ぎ、Ｘ軸テーブル３０１に直交する方向に延在している。Ｙ軸テーブル３０２は、ヘッドユニット８１を搭載したメインキャリッジ２０３と、Ｙ軸フレーム３２１にスライド自在に支持され、メインキャリッジ２０３を支持するＹ軸エアースライダ（図示省略）と、Ｙ軸エアースライダを介して、ヘッドユニット８１をＹ軸方向に移動させるＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸エアースライダに併設したＹ軸リニアスケール（図示省略）と、を有している。
【００４０】
また、Ｙ軸フレーム３２１には、Ｙ軸エアースライダの他に、エアースライダ（図示省略）がスライド自在に支持されており、エアースライダには、上記検出部２３のワーク認識カメラ３０４と描画観察カメラ３０５が固定されている。そして、Ｙ軸リニアモータの駆動により、ワーク認識カメラ３０４と描画観察カメラ３０５もＹ軸方向へ移動するようになっている。なお、描画観察カメラ３０５は、吐出処理されたワークＷに、機能液が適切に塗布（着弾）されているか否かの観察に用いられる。
【００４１】
液滴吐出部２１は、液滴吐出ヘッド９１を備えたヘッドユニット８１と、ヘッドユニット８１を回転自在に吊設したヘッド回転機構２０１と、ヘッド回転機構２０１と共にヘッドユニット８１を上下させるヘッド昇降機構２０２と、ヘッド昇降機構２０２を支持すると共に取付けブロック３２２を介してＹ軸エアースライダに固定されるメインキャリッジ２０３と、で構成されている。本実施形態のヘッドユニット８１には、ヘッドプレート９２を介して、Ｒ・Ｇ・Ｂの発光材料に対応する３個の液滴吐出ヘッド９１が搭載されている（図４および図５参照）。
【００４２】
機能液供給回収部２４は、上記３個の液滴吐出ヘッド９１それぞれにＲ・Ｇ・Ｂの発光材料を供給する機能液供給装置３５１と、不要になった機能液をメンテナンス装置３から回収する機能液回収装置３５２と、で構成されている。機能液供給装置３５１は、小型機台５２の上部に配置された収容ボックス７３内に配設され、各Ｒ・Ｇ・Ｂの発光材料ごとの機能液タンク（図示省略）を備え、この機能液タンクと液滴吐出ヘッド９１との間の水頭差を所定の値に維持し、液滴吐出ヘッド９１の駆動を利用して機能液を送り込んでいる。機能液回収部３５２は、小型機台５２のキャビネット内に配置され、各Ｒ・Ｇ・Ｂの発光材料ごとの回収タンク３５３を備え、大型機台５１上に配置した吸引ポンプ３４２（図示省略）から送液された機能液（廃液）を回収する。なお、小型機台５２のキャビネット内と収容ボックス７３とは連通しており、収容ボックス７３の上部に設けられた排気筒７４を介して、小型機台５２のキャビネット内と収容ボックス７３内部の気化した溶媒を含む空気を排気するようになっている。
【００４３】
液滴吐出ヘッド９１は、図５に示すとおり、機能液を送り込むチューブ（図示省略）に接続する接続針１０２が設けられた液導入部１０１と、ヘッド基板１０３を介して接続されたヘッド本体１０５によって構成されている。ヘッド本体１０５には、液滴を吐出するポンプの役目を果たすピエゾ（圧電素子）１０６とノズル１０９を形成したノズルプレート１０７を備えている。本実施形態のノズルプレート１０７には、各列１８０個で２列に並んだノズル１０９が開口しており、いわゆる２連の液滴吐出ヘッドとなっている。そして、描画時におけるこの３個の液滴吐出ヘッド９１は、ノズル面１０８が吸着テーブル３１１に臨むように、ヘッドプレート９２に配設されている。
【００４４】
ここで、液滴吐出装置１の描画動作について説明する。本実施形態の液滴吐出ヘッド９１の駆動（機能液滴の選択的吐出）に同期してワークＷが移動する構成であり、液滴吐出ヘッド９１のいわゆる主走査は、Ｘ軸エアースライダで支持された吸着テーブル３１１に吸着されたワークＷが、Ｘ軸方向へ往復動作することにより行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル３０２により液滴吐出ヘッド９１のＹ軸方向への往動動作により行われる。なお、液滴吐出ヘッド９１は、前述のとおり多数のノズルからなるノズル列を有している。ゆえに各ノズル間ピッチがワークＷの画素ピッチと同一となるように、液滴吐出ヘッド９１に角度づけが必要となる場合には、ヘッド回転機構２０１によりヘッドユニット８１を所定の角度に回転させることで、液滴吐出ヘッド９１に角度を与えながら上記の主走査を行なうようにする。
【００４５】
メンテナンス装置３は、液滴吐出ヘッド９１からワークＷに対して描画を行なう直前に予備吐出（捨て吐出）された機能液を受ける一対のフラッシングユニット３１，３１と、液滴吐出ヘッド９１のメンテナンスを行なう吸引ユニット３２と、液滴吐出ヘッド９１のノズル面に付着した機能液を拭き取るワイピングユニット３３と、液滴吐出ヘッド９１から吐出される液滴の吐出状態を確認する吐出検査ユニット３４と、液滴吐出ヘッド９１から吐出された機能液の重量を測定する重量測定ユニット３５と、で構成されている（図１および図２参照）。なお、図中の符号３６は、試験等に用いる予備のフラッシングユニットである。
【００４６】
一対のフラッシングユニット３１，３１は、ワークＷが固定される吸着テーブル３１１のＸ軸方向両側に配置されている。フラッシングユニット３１を除く他のユニットは、液滴吐出ヘッド９１が臨み得るように、Ｙ軸エアースライダによって移動するヘッドユニット８１のＹ軸方向の移動軌跡上に配設されている。この配置によれば、液滴吐出ヘッド９１の吸引クリーニングを行なう場合は、ヘッドユニット８１がＹ軸エアースライダによって吸引ユニット３２の真上まで移動し、ヘッドユニット８１を吊設しているヘッド回転機構２０１によってヘッドユニット８１を所定の向きに回転させ、さらにヘッド昇降機構２０２によって下降させることにより、吸引ユニット３２に備えられたヘッドキャップ１１１（後述する）に密着し、機能液の吸引を行なうことができるようになっている。
【００４７】
また、本実施形態の液滴吐出装置１の吸引ユニット３２は、ワークＷの交換時等の描画待機時に捨て吐出を受ける機能を有すると共に、液滴の吐出状態を確認する際の捨て吐出を受ける機能も有している。ゆえに、吐出検査ユニット３４を構成する透光板４１２とＣＣＤ４１１との間に配置され、且つ共通支持フレーム４２１上に吐出検査ユニット３４と共に配設されている（図６参照）。
【００４８】
次に本発明のヘッドキャップ、ヘッドキャップパンおよび吸引ユニットについて説明する。吸引ユニット３２の主たる機能は、液滴吐出ヘッド９１を吸引することにより、液滴吐出ヘッド９１の吐出ノズル１０９（図５参照）から機能液を強制的に排出させるものである。例えば、新たにヘッドユニット８１に液滴吐出ヘッド９１を投入した場合のように機能液の充填を行う場合や、液滴吐出ヘッド９１内で増粘した機能液を除去するための吸引クリーニングを行う場合に用いられる。
【００４９】
図７および図８に示すように、吸引ユニット３２は、ヘッドユニット８１の３個の液滴吐出ヘッド９１に対応させて設けた３個のヘッドキャップ１１１と、３個のヘッドキャップ１１１の下側に配設した受け皿状のヘッドキャップパン３４１と、ヘッドキャップ１１１を介して液滴吐出ヘッド９１の吸引を行う吸引ポンプ３４２と、ヘッドキャップパン３４１を支持するキャップスタンド３４３と、で構成されている。
【００５０】
図９および１０に示すように、ヘッドキャップ１１１は、液滴吐出ヘッド９１の全ノズルを包含した状態でノズル面１０８に密着する環状のシール部材１２４と、シール部材１２４を液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８に対峙するように固定するキャップベース１１２と、キャップベース１１２を支持するキャップホルダ１１３と、で構成されている。キャップベース１１２は、機能液を収容する吸収材収容部１２１ａを設けたベース本体１２１と、シール部材１２４をその周縁部で押し圧して固定するシール固定部材１２５と、で構成されている。また、ベース本体１２１の吸収材収容部１２１ａの底部には、これを貫通する小孔１２９が設けられており、吸収材収容部１２１ａは、小孔１２９に連通するＬ字継手１３１を介して吸引ポンプ３４２に接続されている。
【００５１】
キャップホルダ１１３は、キャップベース１１２を位置決めするガイド部材１２６と、ヘッドキャップ１１１をヘッドキャップパン３４１に固定するキャッププレート１２７と、で構成されている。このキャッププレート１２７は、略長方形で、キャップベース１１２を取付けた際に、キャップベース１１２の上面が傾斜するように形成されている。したがって、キャップベース１１２に固定されたシール部材１２４も同様に傾斜することになる。そして、ベース本体１２１は、一対のばね１２８，１２８により上方に付勢された状態でキャッププレート１２７に支持されており、ヘッドキャップ１１１が液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８に密着した時に、ベース本体１２１がキャッププレート１２７に僅かに沈み込むように形成されている。なお、一対のばね１２８，１２８は、図面上コイルばねとなっているが、板ばねやゴム等の弾性体であってもよい。
【００５２】
このように形成されたヘッドキャップ１１１は、吸引クリーニングの際に密着した液滴吐出ヘッド９１から離れる場合、キャップベース１１２に固定されたシール部材１２４の端部から剥がれるように液滴吐出ヘッド９１から離れてゆくため、ヘッドキャップ１１１が液滴吐出ヘッド９１から離れる際の機能液の飛散を防止することができる。
【００５３】
ベース本体１２１は、ステンレス等の耐食性材料で構成されており、上面の中央部に吸収材収容部１２１ａが設けられ、また下部の長手方向の両端部にガイド部材１２６に係合する一対の脚片部１２１ｄが形成されている。吸収材収容部１２１ａには、凹溝１２１ｂが形成されており、凹溝１２１ｂに機能液吸収材１２２を収容すると共にそのわずかに突出した周縁部１２１ｃで機能液吸収材１２２を押える吸収材押さえ１２３を支持している。
【００５４】
機能液吸収材１２２は、材質の異なる２種類の機能液吸収材１２２ａ、１２２ｂを積層して構成されている。なお、機能液吸収材１２２は、２層構造に限らず単層構成または多層構成にしてもよい。また、機能液吸収材１２２は、例えばカラーフィルタの製造装置に用いる場合にはＰＶＡ（ポリビニルアルコール）フォームを、有機ＥＬの製造装置に用いる場合にはＰＥ（ポリエチレン）樹脂製の材料を用いることが好ましい。
【００５５】
吸収材押さえ１２３は、ステンレスの薄板を加工したものであり、方形の枠状部１２３ａと、枠状部１２３ａを横断するように設けた複数（３つ）の桟状部１２３ｂとで、一体に形成されている。
【００５６】
シール部材１２４は、ゴム（シリコンゴムやフッソ系ゴム）や樹脂で構成されており、全吐出ノズル１０９を包含してノズル面１０８に密着する環状突出部１２４ａと、吸収材押さえ１２３を押える環状押圧部１２４ｂと、ベース本体１２１に固定される環状固定部１２４ｃとで、断面クランク状に一体に環状に形成されている。
【００５７】
シール固定部材１２５は、ステンレス等で構成され、キャップホルダ１１３の上面の輪郭に合わせて方形に形成され、中央部にシール部材１２４が突出する開口部が形成されている。また、シール固定部材１２５は、シール部材１２４を囲うように位置してフランジ状の機能液受容部１２５ｂが設けられている。さらに、この機能液受容部１２５ｂの表面には、平面視方形状の浅溝１２５ｃが形成されている。シール部材１２４の開口を構成するシール固定部材１２５の内周縁は、シール部材１２４の環状固定部１２４ｃを押さえており、この状態でシール固定部材１２５は、ベース本体１２１にねじ止めされている。すなわち、シール固定部材１２５は、内周側半部をシール部材１２４に押圧する固定部１２５ａと、外周側半部の機能液受容部１２５ｂとで一体に形成されている。
【００５８】
この機能液受容部１２５ｂは、周辺が額縁状となっていることが好ましく、この機能液受容部１２５ｂで、フラッシング時に飛散する機能液を受けることができる。また、この機能液受容部１２５ｂの表面に浅溝１２５ｃを形成することにより、受けた機能液の流出を防ぐことができる。したがって、複数のヘッドキャップ１１１を設けた場合は、隣接するヘッドキャップ１１１に形成された機能液受容部１２５ｂ間の隙間を相互に干渉しない程度に小さくしておくほうがよい。なお、シール固定部材１２５と機能液受容部１２５ｂとを別体で構成してもよい。
【００５９】
ここで、図１０を参照して、ヘッドキャップ１１１の組立て手順について簡単に説明する。先ず、ベース本体１２１の吸収材収容部１２１ａに機能液吸収材１２２を敷設した後、機能液吸収材１２２を押えるようにして吸収材押さえ１２３を、吸収材収容部１２１ａの環状周縁部１２１ｃに着座させる。次に、シール部材１２４を、その環状押圧部１２４ｂで吸収材押さえ１２３の周縁部を押えるように取付け、次に、このシール部材１２４の環状固定部１２４ｃを、シール固定部材１２５によりベース本体１２１に押付け、この状態でシール固定部材１２５をベース本体１２１にねじ止めする。最後に、ベース本体１２１は、キャッププレート１２７に対しガイド部材１２６で位置決めされる。
【００６０】
このようにヘッドキャップ１１１は、ベース本体１２１を受けとして、機能液吸収材１２２、吸収材押さえ１２３、シール部材１２４およびシール固定部材１２５の順で、押圧固定する構造であるため、シール固定部材１２５の固定ねじを取り外すだけでヘッドキャップ１１１を個々の構成部材に容易に分解し、再度組み込むことが可能となる。このため、シール固定部材１２５および他の構成部材を取り外して清掃することができる。また同様にシール固定部材１２５および他の構成部材に劣化や破損が生じた場合に、交換の対象となる構成部材のみを個々に交換することができる。
【００６１】
３個のヘッドキャップ１１１の下側に配設されたヘッドキャップパン３４１には、ヘッドユニット８１の３個の液滴吐出ヘッド９１の配置に対応させて、ヘッドキャップ１１１がヘッドキャップパン３４１の底部にキャッププレート１２７をねじ止めすることにより固定されている。ヘッドキャップパン３４１の底部には、前述のＬ字継手１３１を逃げる３個の開口が設けられている。さらに、ヘッドキャップパン３４１は、その下部両側に張り出した固定部をキャップスタンド３４３にねじ止めして支持されている。また、ヘッドキャップパン３４１は、その周縁部に立ち上げ部が形成された受け皿状になっており、ヘッドキャップ１１１の機能液受容部１２５ｂ（シール固定部材１２５と一体）からはみ出した機能液を受けるようになっている。なお、ヘッドキャップ３４１の内底部は、キャッププレート１２７をねじ止めする際に、位置を出し易いよう座ぐっておいてもよい。また、各ヘッドキャップ１１１は、シーラ等の板状のシール部材を介してヘッドキャップパン３４１の底部に固定されていることは、言うまでもない。
【００６２】
上記の立ち上げ部は、ヘッドキャップ１１１の機能液受容部１２５ｂの高さよりも僅かに低い位置に形成されている。したがって、液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８がヘッドキャップ１１１と密着した際に、立ち上げ部に付着した機能液が液滴吐出ヘッド９１の周辺部に転着することを防ぐことができる。また、液滴吐出ヘッド９１がヘッドキャップ１１１と密着した状態を側面から観察ができるようになっている。
【００６３】
図６に示すとおり、キャップスタンド３４３は、共通支持フレーム４２１のスタンド部４２２に立設されている。なお、キャップスタンド３４３には、液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８の高さ位置を検出するノズル面検出センサ（図示省略）が固定されている。さらに、緊急的な事態に備えて、キャップスタンド３４３には、ヘッドキャップパン３４１からはみ出した機能液を受ける廃液パン３４４が、ヘッドキャップパン３４１に臨んで配設されている。
【００６４】
上記のとおり、吸引ユニット３２は、液滴吐出ヘッド９１の吸引クリーニングや、フラッシング時の機能液受けとして用いられている。この場合、前述したように、ヘッドユニット８１は、ヘッド昇降機構２０２により、所定の位置まで下降して、吸引クリーニングやフラッシングを行なう。これらのメンテナンス作業では、ヘッドキャップ１１１に設けられた機能液受容部１２５ｂや、ヘッドキャップ１１１を内在した受け皿状のヘッドキャップパン３４１によって、漏れたり、飛散する機能液を適切に受けることができる。
【００６５】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレー）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレー（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。
【００６６】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１）では、図１２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００６７】
続いて、バンク形成工程（Ｓ２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１２（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド９１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００６８】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００６９】
次に、着色層形成工程（Ｓ３）では、図１２（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド９１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、液滴吐出ヘッド９１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７０】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ４）に移り、図１２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７１】
図１３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７２】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７３】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７４】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７５】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７６】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、液滴吐出ヘッド９１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を液滴吐出ヘッド９１で行うことも可能である。
【００７７】
図１４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００７８】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００７９】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８０】
図１５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８１】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８２】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８３】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８４】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８５】
次に、図１６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８６】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００８７】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００８８】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００８９】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９０】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９１】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９２】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９３】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知のものを用いる。
【００９４】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶なものが好ましく、公知の不溶な非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９５】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９６】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００９７】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１７〜図２５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００９８】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図１８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００９９】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、液滴吐出ヘッド９１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１００】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１の吸着テーブル３１１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【０１０１】
図２０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、液滴吐出ヘッド９１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２１に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。
【０１０２】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０３】
そして次に、図２２に示すように、各色のうちの何れか（図２２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０４】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０５】
同様に、液滴吐出ヘッド９１を用い、図２４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０６】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１０７】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２５に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１０８】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１０９】
次に、図２６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１０】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１１】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１２】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１３】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板１２６を液滴吐出装置１の吸着テーブル３１１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、液滴吐出ヘッド９１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１４】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１５】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド９１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１６】
次に、図２７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１１７】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１１８】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１１９】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２０】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２１】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２２】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２３】
【図１】本発明の実施形態の液滴吐出装置１の平面図である。
【図２】本発明の実施形態の液滴吐出装置１の正面図である。
【図３】本発明の実施形態の液滴吐出装置１の右側面図である。
【図４】本発明の実施形態の液滴吐出部の外観斜視図である。
【図５】（ａ）本発明の実施形態の液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。（ｂ）本発明の実施形態の液滴吐出ヘッドの断面図である。
【図６】本発明の実施形態の吸引ユニット取付け部の正面図である。
【図７】本発明の実施形態の吸引ユニットの外観斜視図である。
【図８】（ａ）本発明の実施形態の吸引ユニットの平面図である。（ｂ）本発明の実施形態の吸引ユニットの側面図である。
【図９】本発明の実施形態のヘッドキャップの断面図である。
【図１０】本発明の実施形態のヘッドキャップの分解斜視図である。
【図１１】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１７】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１８】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２３】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２６】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２７】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２８】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１２４】
１  液滴吐出装置                ２  描画装置
３  メンテナンス装置          ３２  吸引ユニット
８１  ヘッドユニット            ９１  液滴吐出ヘッド
１０８  ノズル面                １０９  ノズル
１１１  ヘッドキャップ          １１２  キャップベース
１１３  キャップホルダ          １２１  ベース本体
１２１ａ  機能液収容部            １２４  シール部材
１２５  シール固定部材        １２５ｂ  機能液受容部
３４１  ヘッドキャップパン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
2005059385.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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