(57)【要約】【課題】小型化されている上に、フラックスの飛散による装置内外の汚染が良好に抑えられたワーク両面用のフラックス塗布装置を提供することを目的とする。【解決手段】装置本体１８内に、互いに独立した二個のチャンバー１１、１２がワーク搬送路１７に沿って設けられており、チャンバーの一方１１には、ワーク搬送路１７に沿って搬送されるワーク１６の一面側にフラックスを噴射するノズル１３と、チャンバー１１内の空気及び霧状のフラックスを吸引する吸引ダクト２３とが、ワーク搬送路１７を挟んで設けられ、他方のチャンバー１２内には、ワーク搬送路１７に沿って搬送されるワーク１６の他面側にフラックスを噴射するノズル１４と、チャンバー１２内の空気及び霧状のフラックスを吸引する吸引ダクト２３とが、ワーク搬送路１７を挟んで設けられていることを特徴とする。【選択図】図１
2005340646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク搬送路に沿って搬送される板状のワークの両面に対し、前記ワーク搬送路を挟んで設けられたノズルの各々からフラックスを噴霧し、前記ワークの両面にフラックスを塗布するフラックス塗布装置において、
装置本体内に、互いに独立した二個のチャンバーが、前記ワーク搬送路が内部を貫通するように並列して設けられており、
前記チャンバーの一方には、前記ワーク搬送路に沿って搬送されるワークの一面側にフラックスを噴射するノズルと、前記チャンバー内の空気及び霧状のフラックスを吸引する吸引ダクトとが、前記ワーク搬送路を挟んで設けられ、
他方の前記チャンバー内には、前記ワーク搬送路に沿って搬送されるワークの他面側にフラックスを噴射するノズルと、前記チャンバー内の空気及び霧状のフラックスを吸引する吸引ダクトとが、前記ワーク搬送路を挟んで設けられていることを特徴とするフラックス塗布装置。
【請求項２】
前記ワーク搬送路は水平方向に設けられ、
前記一方のチャンバー内では、ノズルがワーク搬送路の下方に、吸引ダクトがワーク搬送路の上方に設けられ、
前記他方のチャンバー内では、ノズルがワーク搬送路の上方に、吸引ダクトがワーク搬送路の下方に設けられていることを特徴とする請求項１記載のフラックス塗布装置。
【請求項３】
前記一方のチャンバーの下方にドレンパンが設けられ、該ドレンパンで受けたフラックスと、前記吸引ダクトによって吸引したフラックスとを回収するドレンタンクが設けられていることを特徴とする請求項２記載のフラックス塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラックスをノズルから噴霧してワークに塗布するフラックス塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図４に、基板にフラックスを塗布する、一般的なフラックス塗布装置の構造を示す。このフラックス塗布装置５０では、水平方向に延びる基板搬送路５２の下方に１つのノズル５３が配置されており、基板搬送路５２に沿って搬送される基板の裏面に、フラックスが噴霧塗布される（例えば、特許文献１参照）。
ところで最近は、高集積化の実現のため、基板の両面にフラックスを塗布する場合があるが、上記構成のフラックス塗布装置では、基板の一面側にしかフラックスを塗布することができない。
【０００３】
そこで、図３に示されるように、上記構成から成るフラックス塗布装置５０ａ、５０ｂを２台並べ、その間に基板の反転装置５１を配置して両面用フラックス塗布装置としているものがある。これによれば、まず基板は、フラックス塗布装置５０ａにおいて、基板搬送路５２ａに沿って矢印Ａ方向に搬送されながら、一面側にノズル５３ａによってフラックスが塗布される。その後、基板は反転装置５１によって反転され、その姿勢でフラックス塗布装置５０ｂ内に導入されるので、ノズル５３ｂから噴霧されるフラックスが基板の他面側に塗布される。こうして、フラックスを基板の両面に塗布できるが、この装置は装置全体が大型化していて設置面積が大きく、設置場所が限定されて使い勝手の悪いものとなっていた。
【０００４】
これに対し小型化を実現したものとして、図２に示すような両面用塗布装置６０が開発されている（例えば、特許文献２参照）。この両面用塗布装置６０では、基板搬送路６１の、上方及び下方のそれぞれに１つずつノズル６２、６３が設けられている。そして、装置６０内に搬送された基板は、基板搬送路に沿って矢印Ｂ方向に搬送される間に、２個のノズル６２、６３からフラックスが噴霧されて、両面に塗布される。
【０００５】
この塗布装置６０では、ノズル６２、６３から噴霧されたフラックスのうち、基板に塗布されずに周囲に飛散するものがあり、これを積極的に吸引して回収すべく、ノズル６２、６３の各々に対応して吸引ダクト６４、６５を設けている。
【特許文献１】特許第３４０７９６３号公報
【特許文献２】特開平７−１３１１４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図２に示す塗布装置６０では、ノズル６２、６３から噴霧されたフラックスのうち、基板に塗布されなかったフラックスの一部は、吸引ダクト６４、６５から吸引される。
しかしながら、吸引ダクト６４、６５から吸引されなかったフラックスは、依然として、装置内は勿論のこと、装置周辺にまで飛散して、周囲を汚染し、装置内外の部品の腐食等故障の原因となる。
このため、半導体装置を製造するクリーンルーム内にフラックス塗布装置を設置する場合には、特別な配慮が必要であった。
そこで、本発明の解決しようとする課題は、小型化されていると共に、フラックスの飛散による装置内外の汚染を防止できるワーク両面用のフラックス塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、図２に示す両面用塗布装置６０でのフラックスの飛散現象について調査したところ、両面用塗布装置６０は、基板を挟むノズル６２、６３から基板に向かって同時にフラックスが噴霧される構成で、互いの噴霧作用が影響し合って気流が一定方向に定まらずに乱れるため、吸引ダクト６４、６５によるフラックスの吸引効率が低くなっていることを知った。
そこで、本発明者は、２個のノズル６２、６３によるフラックスの噴霧が、互いに影響を及ぼし合うことを防ぎ、気流を安定した状態とすることで、吸引ダクトによりフラックスを効率良く吸引でき、フラックスが装置内外に飛散する現象を防止できるものと考え、検討した結果、本発明に到達した。
本発明は、上記課題を解決するため次の構成を備える。
すなわち本発明は、ワーク搬送路に沿って搬送される板状のワークの両面に対し、前記ワーク搬送路を挟んで設けられたノズルの各々からフラックスを噴霧し、前記ワークの両面にフラックスを塗布するフラックス塗布装置において、装置本体内に、互いに独立した二個のチャンバーが、前記ワーク搬送路が内部を貫通するように並列して設けられており、前記チャンバーの一方には、前記ワーク搬送路に沿って搬送されるワークの一面側にフラックスを噴射するノズルと、前記チャンバー内の空気及び霧状のフラックスを吸引する吸引ダクトとが、前記ワーク搬送路を挟んで設けられ、他方の前記チャンバー内には、前記ワーク搬送路に沿って搬送されるワークの他面側にフラックスを噴射するノズルと、前記チャンバー内の空気及び霧状のフラックスを吸引する吸引ダクトとが、前記ワーク搬送路を挟んで設けられていることを特徴とする。
【０００８】
また、前記ワーク搬送路は水平方向に設けられ、前記一方のチャンバー内では、ノズルがワーク搬送路の下方に、吸引ダクトがワーク搬送路の上方に設けられ、前記他方のチャンバー内では、ノズルがワーク搬送路の上方に、吸引ダクトがワーク搬送路の下方に設けられていることを特徴とする。
これにより、ワークの両面に満遍なくフラックスを塗布できると共に、効率良くフラックスの吸引ができる。
また、前記一方のチャンバーの下方にドレンパンが設けられ、該ドレンパンで受けたフラックスと、前記吸引ダクトによって吸引したフラックスとを回収するドレンタンクが設けられていることを特徴とする。
これにより、チャンバー内外に飛散したフラックスがドレンタンクに回収されて、後処理が簡単になる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るフラックス塗布装置によれば、ワークの両面の各々にフラックスを噴霧するノズルが同一装置内に設けられているため、装置を小型化できる。
しかも、ノズルの各々は、互いに独立したチャンバー内に、各ノズルに対応する吸引ダクトと共に設けられているため、ノズルの各々からフラックスを噴霧するチャンバー内の気流は、隣接するチャンバーの気流の影響を受けず安定している。このため、チャンバー内の気流が不安定な場合に比較して、ワークの面から逸れて飛散するフラックスの量を減少でき、かつ、チャンバー内に飛散するフラックスを効率良く回収できる。その結果、ノズルの各々から噴霧されたフラックスの飛散に因る装置内外の汚染を防止できる。
この様に、本発明に係るフラックス塗布装置によれば、ノズルの各々から噴霧されたフラックスの飛散に因る装置内外の汚染を防止できるため、クリーンルーム等に特別な配慮を要することなく設置可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明によるフラックス塗布装置について、図を用いて詳細に説明する。
図１は、本発明によるフラックス塗布装置１０の構成を示す概略図である。このフラックス塗布装置１０の塗布対象である、板状のワークとしては、例えば一面側に半導体チップが搭載されると共に、他面側が実装用回路基板に接続されるフリップチップ実装用の回路基板が、複数枚作りこまれている短冊状基板を用いることができる。この基板は、接着剤によってはんだ粉末を基板両面の所定領域（例えば半導体チップやはんだボールを接合する配線パターン部分など）に付着させた後、その領域にフラックスを塗布する。この技術としては、例えば特許第２５９２７５７号公報に記載のものがある。
図１に示す、基板１６を搬送する搬送手段１５は、並行に配置された一対の無端状チェーンによって形成され、基板１６は、水平方向に延びる一対の無端状チェーン上に両側端部が載置されて、装置本体１８のワーク供給口２８からワーク排出口２９へと略水平に搬送される。この搬送手段１５は、一対の無端状チェーンに上方へ突出するピンを設け、このピンに基板が係止される構成にしてもよい。かかる搬送手段１５の一対の無端状チェーンに沿って、ワーク搬送路１７が形成される。
また、箱型の装置本体１８内には、２個の互いに独立したチャンバー１１、１２が、ワーク搬送路１７のワーク搬送方向（矢印Ｃ方向）に並んで配置されている。２個のチャンバー１１、１２内は、それぞれ箱型の壁によって周囲と隔絶された空間が形成されている。そして、前記搬送手段１５は、２個のチャンバー１１、１２に各々設けられた２つの開口部を通ることにより、２個のチャンバー１１、１２内を通過するように設けられている。
【００１１】
チャンバー１１は、チャンバー１２よりワーク搬送方向（矢印Ｃ方向）の上流側に設けられ、内部には空気と共にフラックスを霧状に吹き付ける下面用ノズル１３が配置されている。下面用ノズル１３は、ワーク搬送路１７よりも下方に設けられ、搬送手段１５によって搬送される基板１６の下面に、フラックスを噴霧する。また、チャンバー１１内の搬送手段１５には、複数個のワーク押さえローラ２７が配設されている。複数個のワーク押さえローラ２７は、搬送される基板１６の両側端縁を上方から押さえながら、基板１６の移動に伴って転動可能に設けられている。図１ではワーク押さえローラ２７は、基板の片側端縁分として３個設けられ、両側で計６個配設されているが、個数は限定されるものではない。
一方、チャンバー１２内には、ワーク搬送路１７よりも上方の位置に、上面用ノズル１４が配置され、搬送手段１５によって搬送される基板１６の上面に、フラックスを噴霧する。この場合、無端状チェーンにより、フラックス噴霧による基板１６のたわみが防止されるので、チャンバー１２内にはワーク押さえローラ２７は必要ない。
【００１２】
装置本体１８内に設けられた吸引ダクト２３は、その中途に設けられた分岐部２３ａで２つに分岐して、装置本体１８に開口された排気口３０と、２個のチャンバー１１、１２とにそれぞれ接続されている。
さらに、分岐部２３ａよりも排気口３０側の吸引ダクト２３の中途には、ファンとフラックス捕集用のフィルタを備える吸引部２２が設けられており、フィルタは、ファンより吸引ダクトの上流側で、吸引ダクトを遮断するように配置されている。
チャンバー１１の、下面用ノズル１３に対向する上部には吸引口１１ａが設けられており、この吸引口１１ａに吸引ダクト２３が接続されている。チャンバー１２には、上面用ノズル１４に対向する下部に吸引口１２ａが設けられ、この吸引口１２ａに吸引ダクト２３が接続されている。
こうして、２個のチャンバー１１、１２ではそれぞれ、ワーク搬送路１７を挟んでノズル１３、１４と対向する位置に設けられた吸引口１１ａ、１２ａから、吸引部２２のファンによって、チャンバー１１、１２内の空気と共にチャンバー１１、１２内に霧状に飛散するフラックスを吸引可能となっている。
また、吸引部２２に設けられたフラックス捕集用のフィルタによって捕集されたフラックスを、装置本体１８内に配置されるドレンタンク２６に排出すべく、吸引部２２とドレンタンク２６とは配管３１によって接続されている。
【００１３】
装置本体１８内に設けられたドレンパン２４、２５のうち、ドレンパン２４は、ワーク搬送路１７の下方に位置し、チャンバー１２の近傍からワーク排出口２９近傍にわたって設けられている。一方、ドレンパン２５は、チャンバー１１の下方に設けられている。そして、２個のドレンパン２４、２５にはそれぞれドレン排出口が設けられており、２個のドレン排出口は、それぞれ配管３２、３３を介して前記ドレンタンク２６に接続されている。
【００１４】
次に、上記構成から成るフラックス塗布装置１０の動作について説明する。
装置本体１８のワーク供給口２８から導入された基板１６は、搬送手段１５によって搬送され、チャンバー１１、１２内を順に通過し、ワーク排出口２９へと移動する。その間、チャンバー１１内では、下面用ノズル１３からフラックスが基板１６に向けて噴霧され、基板１６の下面に塗布される。このとき、吸引部２２のファンが作動しているので、基板１６に塗布されずに下面用チャンバー内で飛散するフラックスは、空気と共に吸引ダクトに吸引される。そして、チャンバー１１内で基板１６は、下面用ノズル１３のフラックス噴霧作用と吸引ダクトによる噴霧方向と同一方向（図面の下側から上側に向って）の空気の流れによって、上方へ浮き上がる方向に力が加えられるが、複数のワーク押さえローラ２７が転動しながら基板１６を下方の搬送手段１５に押さえ付けて保持するので、基板１６の下面に良好にフラックスを塗布できる。
【００１５】
また、チャンバー１２内では、上面用ノズル１４からフラックスが基板１６に向けて噴霧され、基板１６の上面に塗布される。この際も、チャンバー１２内で飛散するフラックスは、吸引ダクトによって空気と共に吸引される。この場合、基板１６は、ノズルの噴霧作用と吸引ダクトによる噴霧方向と同一方向の空気の流れによって下方へと押されるが、搬送手段１５に押し付けられる形となって姿勢が保持されるので、良好にフラックスを塗布できる。
吸引ダクトによって２個のチャンバー１１、１２から吸引された空気とフラックスのうち、フラックスは吸引部２２を通過する際にフィルタによって捕集されるので、空気のみが排気口３０から装置本体１８の外方へと排出される。そして、フィルタによって捕集されたフラックスは、配管３１を介してドレンタンク２６へと流れて回収される。
【００１６】
図１に示すフラックス塗布装置は、ワーク搬送路１７を挟んだ上方と下方にそれぞれ設けられた上面用、下面用の２個のノズル１３、１４を、独立した２個のチャンバー１１、１２内にそれぞれ配置する構成なので、フラックスの飛散をチャンバー内に抑えることができる。さらに、基板１６両面のフラックス塗布が、２個のチャンバー内で片面ずつ独立してできるので、互いの噴霧作用による気流で悪影響を及ぼし合うことがなく、良好に塗布を行うことができる。これにより、ノズルから噴出するフラックスのうち、基板から逸れて飛散する分を減らして周囲への汚染を減らすと共に、フラックスを有効に使用できる。
また、２個のチャンバーではそれぞれ、ノズルと吸引口を、ワーク搬送路を挟んで対向する位置に設けて、ノズルによるフラックスの噴霧方向と、吸引ダクトによる空気の吸引方向を略同一としたので、チャンバー内での気流が乱れることがない。これにより、基板に塗布されずにチャンバー内に飛散するフラックスを効率良く吸引ダクトによって回収することができる。
このように、図１に示すフラックス塗布装置によれば、フラックスの飛散による装置内外の汚染を良好に抑えることができる。
【００１７】
さらに、チャンバーを設けることで、気流の乱れを生じさせること無く２個のノズル間の距離を縮めることができ、装置本体の小型化を図ることができる。
また、吸引ダクトによって、飛散したフラックスを良好に回収できるので、チャンバーの外方にフラックスが飛散することは殆どないが、万が一チャンバーからフラックスが漏洩することがあっても２個のドレンパン２４、２５によって受けて、配管３２、３３を介してドレンタンク２６へと流し、回収することができる。こうして、チャンバー内外に飛散したフラックスを１個のドレンタンクに回収でき、後処理が簡単になる。
【００１８】
本発明は、上記実施の形態に限定されず、様々に設計変更可能である。
例えば、上面用ノズルが設けられたチャンバー１２を、下面用ノズルが設けられたチャンバー１１よりもワーク搬送方向の上流側に配設してもよい。しかしながら、上記装置のようにチャンバー１１においてワーク押さえローラ２７を使用する場合は、先に基板の上面にフラックスを塗布すると、ワーク押さえローラにそのフラックスが付着するおそれがあるので、チャンバー１１を上流側に配置する方がより好適である。
また、ドレンパンが配設される位置は、上記実施の形態に限定されず、装置本体内であって、２個のチャンバーの外方の、特にフラックスが飛散し易い場所であるとよい。
さらに、上記実施形態では、基板を、その面（フラックスの噴霧される面）が上下方向に向いた姿勢で搬送手段により搬送していたが、面が側方に向いた姿勢で搬送するように搬送手段を設けてもよい。この場合２個のノズルは、ワーク搬送路の側方にそれぞれ設けられる。
また、フラックスが塗布されるワークとして基板を例に挙げて説明したが、基板に限らず、板状のワークであれば本発明によるフラックス塗布装置が適用できる。  
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明によるフラックス塗布装置の構成を示す断面図である。
【図２】従来の両面用フラックス塗布装置の構成を示す概略図である。
【図３】従来の両面用フラックス塗布装置の他の構成を示す概略図である。
【図４】従来のフラックス塗布装置の概略図である。
【符号の説明】
【００２０】
１０  フラックス塗布装置    
１１、１２  チャンバー
１３  下面用ノズル
１４  上面用ノズル
１５  搬送手段
１６  ワーク
１７  ワーク搬送路
１８  装置本体
２３  吸引ダクト
【図１】
2005340646.tif 000003
【図２】
2005340646.tif 000004
【図３】
2005340646.tif 000005
【図４】
2005340646.tif 000006