(57)【要約】【課題】  磁気バネのバネ力の変動を防止した緩衝装置を提供すること。【解決手段】  可動軸１１が筒状のボディ１０内に挿入され、そのボディ１０と可動軸１１とに磁気バネ２０を構成する永久磁石２１，２２がそれぞれに取り付けられ、その可動軸１１を軸方向に押し当てることにより受ける反力を磁気バネ２０のバネ力によって吸収するようにしたものであって、ボディ１０には、磁気バネ２０を構成する固定側永久磁石２１を軸方向に挟んで静圧軸受１５，１６が設けられ、可動軸１１がその静圧軸受１５，１６によってフローティング状態で保持されるようにした緩衝装置１。【選択図】        図１
2005133732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動軸が筒状のボディ内に挿入され、そのボディと可動軸とに磁気バネを構成する永久磁石がそれぞれに取り付けられ、その可動軸を軸方向に押し当てることにより受ける反力を磁気バネのバネ力によって吸収するようにした緩衝装置において、
前記ボディには、磁気バネを構成する固定側永久磁石を軸方向に挟んで静圧軸受が設けられ、前記可動軸がその静圧軸受によってフローティング状態で保持されるようにしたものであることを特徴とする緩衝装置。
【請求項２】
請求項１に記載する緩衝装置において、
前記磁気バネを構成する永久磁石はいずれも円筒形状であって、異なる磁極の着磁帯が円周方向に交互に着磁されたものであることを特徴とする緩衝装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する緩衝装置において、
前記可動軸には、その先端に装着された吸着パッドの吸着面と連通する一端が開口した縦孔と、その縦孔に貫通した横孔とが形成され、
前記ボディには、軸方向の２箇所に配置された前記静圧軸受けの間に真空ポートが形成され、その真空ポートがボディ側に形成された横孔を介して前記可動軸の横孔と連通するものであることを特徴とする緩衝装置。
【請求項４】
請求項３に記載する緩衝装置において、
前記可動軸の横孔は、その可動軸に設けられた円筒形の永久磁石に穿設され、前記ボディ側に形成された横孔は、そのボディ側に設けられた円筒形の永久磁石に穿設されたものであることを特徴とする緩衝装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば微細で脆弱な電子部品などの移送対象物を吸着搬送する場合、吸着パッドが押し当てられる移送対象物に生じる衝撃を吸収するため、磁気バネのバネ力を利用した緩衝装置であって、特に、そのバネ力の変動を回避した緩衝装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細で脆弱な電子部品などの移送には、従来から、吸着パッドが取り付けられた緩衝装置を吸着保持手段として構成し、これを上下動アクチュエータ等の装置に取り付け、吸着パッドを電子部品などの移送対象物に押し当て吸着保持した後に移送させる方法が知られている。このときに用いられる緩衝装置には、例えば本出願人が提案した特開２００２−１７２５７８号公報に記載された発明、すなわち磁気バネを利用した緩衝装置を挙げることができる。図５及び図６は、当該公報に記載された緩衝装置を示した断面図であり、図５は通常の状態を示し、図６は緩衝時の状態を示している。
【０００３】
緩衝装置１００は、円筒状のボディ１１０の内周面に円筒状の永久磁石１２１が設けられ、その永久磁石１２１は、両端に配置されたスベリ軸受１２３，１２４によって位置決めされている。そして、ボディ１１０内には、スベリ軸受１２３，１２４に支えられて摺動可能な可動軸１１１が挿入されている。可動軸１１１は、その中心に吸込流路１３１となる貫通孔をもった筒形状をしたものであり、外周面側には、円筒状の永久磁石１２２がはめ込まれている。更に、可動軸１１１は、ガイドチューブ１２５が被せられ、このガイドチューブ１２５がスベリ軸受１２３，１２４を摺動して軸方向に移動するよう構成されている。
【０００４】
ボディ１１０に固定された永久磁石１２１と可動軸１１１に固定された永久磁石１２２とは、軸方向の寸法が同一で、常に異なる磁極同士が吸引し合う磁気バネ１２０を構成している。この緩衝装置１００では、図１に示すように永久磁石１２１，１２２が軸方向にずれ、可動軸１１１に取り付けたストッパ１１２がスベリ軸受１２３に当たって、常に可動軸１１１が突き出す方向（図面下方）に吸引力が作用している。
ボディ１１０には、可動軸１１１が突き出した反対側にポートブロック１１３が嵌合し、ネジ止めして固定されている。そのポートブロック１１３には真空ポート１３２が穿設され、更に、その真空ポート１３２には接続パイプ１３３が固定され、ボディ１１０内に突き出している。そして、その接続パイプ１３３は、可動軸１１１に形成された吸込流路１３１の拡張部分１３４に入り込んでいる。
【０００５】
緩衝装置１００は、通常、図１に示すように永久磁石１２１，１２２の間に働く磁力の吸引力によって可動軸１１１が下方に突き出している。そして、緩衝装置１００全体が下降して可動軸１１１先端の吸着パッド２００が移送対象物に押し当てられると、反力によって可動軸１１１が押し上げられる一方、その可動軸１１１には磁気バネ１２０によってそれを引き戻そうとするバネ力が作用している。そのため、上下動アクチュエータの作動力は、この磁気バネ１２０のバネ力によって吸収され、吸着パッド２００が押し当てられた移送対象物に対する衝撃が緩和される。特に、磁気バネ１２０は、コイルスプリングなどとは異なり可動軸１１１のストロークに関係なくほぼ一定のバネ力を得ることができるので、上下動アクチュエータによる作動に関係なく、移送対象物には吸着パッド２００が一定の力で押し当てられることになる。
【０００６】
そして、このように吸着パッド２００が移送対象物に押し当てられるとき、ポートブロック１１３の真空ポート１３２に接続された不図示の真空ポンプが作動して真空引きが行われる。真空引きが行われると、空着パッドの吸着面と移送対象物との間の空気が引かれて吸込流路１３１に入り、拡張部１３４に入った接続パイプ１３３から真空ポート１３２を通って流れる。そのため、吸着パッド２００が押し当てられた移送対象物は吸着面２０１に吸着し、緩衝装置１００の移動によって搬送される。
【特許文献１】特開２００２−１７２５７８号公報（第５−８頁、図１−２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、こうした従来の緩衝装置１００では、可動軸１１１のストロークに関係なくほぼ一定のバネ力が得られるとした、磁気バネ１２０の当該効果を有効に発揮できるものではなかった。
すなわち、緩衝装置１００は可動軸１１１がスベリ軸受１２３，１２４によって支持されているので、磁気バネ１２０のバネ力が作用する可動軸１１１の移動時には必ず摺動抵抗が働いてしまう。そのため、磁気バネ１２０による押圧力が、その摺動抵抗によって変動してしまう。
【０００８】
また、緩衝装置１００は、可動軸１１１の移動方向に沿って形成された流路１３１〜１３４を介して真空引きが行われる。このように可動軸１１１の中心を通るように形成された流路の場合、真空引きによって生じる吸引力に可動軸１１１が引っ張られてしまう。すなわち、真空圧がかかることによって可動軸１１１における拡張部分１３４の断面積分の引き込み力が発生し、緩衝時に発生する磁気バネ２０の当初のバネ力を大きく低下させてしまう結果となる。そのため、本来得られるはずの磁気バネ１２０のバネ力、すなわち吸着パッド２００を移送搬送物に押し当てる際の押圧力が得られなくなってしまう。
【０００９】
更に、従来の緩衝装置１００の構成では、バネ力の他にも回転ズレの問題も生じている。すなわち、磁気バネ１２０の永久磁石１２１，１２２は、それぞれ円周方向に分割され、Ｎ極とＳ極とが交互に着磁された着磁帯が構成されているため、向かい合う異極の着磁帯同士が吸引しあって回転防止機能を果たしている。しかし、前述したように可動軸１１１がスベリ軸受１２３，１２４に摺接しているので、一旦、回転方向にズレが生じると、その摺動抵抗によって回転方向のズレが完全に戻らなくなってしまう。このように、回転復帰精度が悪化してしまうと、移送対象物はズレたまま搬送先に配置され、例えば微少電子部品の場合には正確な組立や実装ができなくなってしまう。
【００１０】
そこで本発明は、かかる課題を解決すべく、磁気バネのバネ力変動を防止した緩衝装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の緩衝装置は、可動軸が筒状のボディ内に挿入され、そのボディと可動軸とに磁気バネを構成する永久磁石がそれぞれに取り付けられ、その可動軸を軸方向に押し当てることにより受ける反力を磁気バネのバネ力によって吸収するようにしたものであって、前記ボディには、磁気バネを構成する固定側永久磁石を軸方向に挟んで静圧軸受が設けられ、前記可動軸がその静圧軸受によってフローティング状態で保持されるようにしたものであることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の緩衝装置は、前記磁気バネを構成する永久磁石はいずれも円筒形状であって、異なる磁極の着磁帯が円周方向に交互に着磁されたものであることが望ましい。
また、本発明の緩衝装置は、前記可動軸には、その先端に装着された吸着パッドの吸着面と連通する一端が開口した縦孔と、その縦孔に貫通した横孔とが形成され、前記ボディには、軸方向の２箇所に配置された前記静圧軸受けの間に真空ポートが形成され、その真空ポートがボディ側に形成された横孔を介して前記可動軸の横孔と連通するものであることが望ましい。
更に、本発明の緩衝装置は、前記可動軸の横孔が、その可動軸に設けられた円筒形の永久磁石に穿設され、前記ボディ側に形成された横孔が、そのボディ側に設けられた円筒形の永久磁石に穿設されたものであることが望ましい。
【００１３】
そこで、本発明の緩衝装置は、例えば可動軸の先端に吸着パッドを装着し、電子部品などの移送対象物に軸方向から押し当てれば、その押し当て反力を受けた可動軸の移動を制限するように磁気バネのバネ力が作用する。従って、移送対象物に対しては、吸着パッドが押し当てられる際の衝撃が緩和される。
また、真空ポートに接続した真空ポンプによって真空引きが行われると、可動軸の縦孔を通って吸着パッドからのエアが吸引され、更に可動軸を径方向を貫いた横孔を通って真空ポートから吸い出されることにより、吸着パッドが押し当てられた対象物が吸着保持される。
更に、本発明では、移送対象物を保持した可動軸に回転方向の力が作用しても、磁気バネを構成する永久磁石同士の回転方向の吸引力により回転を防止し、また回転ズレが起きてもその吸引力によって移送対象物は元の向きに戻される。
【発明の効果】
【００１４】
よって、本発明の緩衝装置によれば、例えば吸着パッドを移送対象物に押し当てる場合、磁気バネによって生じる押圧力は、可動軸が静圧軸受によって非接触状態で支持されているため、摺動抵抗などを受けて変動してしまうことはなく、予め設定された磁気バネのバネ力になる。
また、本発明の緩衝装置によれば、磁気バネを構成する円筒形の永久磁石が異なる磁極の着磁帯を円周方向に交互に着磁されているため、可動軸の回転による移送対象物の方向ズレを防止し、特に軸受け部が静圧軸受によって構成されていて摺動抵抗がないので、可動軸に生じる回転方向のズレを正確に戻すことができる。
【００１５】
更に、本発明の緩衝装置によれば、これを真空引きによる吸着保持手段として構成する場合、吸着パッドを装着した可動軸の縦孔に横孔を貫通し、真空ポートを２つの静圧軸受け間に形成してボディ側に形成された横孔を介して可動軸の横孔と連通するようにしたので、横孔からエアを抜き取る真空引きを行うことで、真空圧が軸方向に作用することがなくなり、磁気バネのバネ力を変動させることがなくなった。そのため、予め設定された磁気バネのバネ力で移送対象物を押圧することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明に係る緩衝装置の一実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。図１は、第１実施形態の緩衝装置を示した図であり、図（ａ）は軸方向の断面図で、図（ｂ）は可動軸突出側の一端面図である。
緩衝装置１は、図１（ｂ）に示すような端面形状のボディ１０内に、一端が突き出るようにして可動軸１１が挿入されている。ボディ１０には、こうした可動軸１１を挿入することができる段付きの貫通孔が穿設され、可動軸１１の突き出し側とは反対側に、不図示の真空ポンプに接続される真空ポート１２が形成されている。
【００１７】
ボディ１０の貫通孔内には筒状のホルダ１３が嵌挿され、そこには可動軸１１の移動を支持する静圧軸受１５，１６と、磁気バネ２０を構成する永久磁石２１とが内周面側に嵌め込まれている。一方、可動軸１１は円筒形のパイプによって形成され、一部に磁気バネ２０を構成する永久磁石２２を備え、外側には外周パイプ１８が被せられている。
磁気バネ２０を構成する永久磁石２１，２２は、径が異なるが長さの等しい円筒体であって、共に図３に示すように円周方向に４分割され、Ｎ極とＳ極とが交互に着磁されたストライプ状の着磁帯が形成されている。従って、この磁気バネ２０は、永久磁石２１，２２のＮ極とＳ極との着磁帯同士がそれぞれ吸引し合い、図３（ａ）及び図４（ａ）に示すように、長さの等しい永久磁石２１，２２は軸方向に重なり、円周方向にも異極の着磁帯同士が向かい合った状態で位置決めされる。
【００１８】
そして、本実施形態の緩衝装置１では、この磁気バネ２０を挟んだ位置に静圧軸受１５，１６が配置され、可動軸１１の軸方向への移動を非接触状態で支持するように構成されている。静圧軸受１５，１６は、円筒形状の気体透過性材によって形成され、その内径は、これを貫通した可動軸１１の外径よりもほんの僅かだけ大きく設計されている。すなわち、静圧軸受１５，１６と可動軸１１とのクリアランスは数μｍ程度であり、特に本実施形態では５〜１５μｍが最良であった。また、永久磁石２１は静圧軸受１５，１６よりも大きな内径の円筒であるため、可動軸１１が接することはない。
【００１９】
静圧軸受１５，１６には、気体透過量制御黒鉛材が使用され、例えばグラファイトからなる多孔質体製のスリーブであり、その外周面と内壁面とが微細な連続気孔によって連通している。そして、この静圧軸受１５，１６が嵌装されたホルダ１３の内周面には環状溝２５，２６が形成され、ボディ１０を貫通して形成した加圧ポート２７，２８がその環状溝２５，２６に接続している。こうして、加圧ポート２７，２８から供給された圧縮エアがこの環状溝２５，２６全周にいきわたり、更に静圧軸受１５，１６の内周面側から均等に噴き出すように構成されている。
【００２０】
本実施形態では、こうした構成の緩衝装置１を、電子部品などの微細で脆弱な移送対象物を搬送するための吸着保持手段として利用する場合について説明する。そのため、緩衝装置１には、突き出た可動軸１１の先端に吸着パッド８が取り付けられ、ボディ１０が、上下動アクチュエータなどの操作ロボットに取り付けられる。更に、真空ポート１２には、前述したように真空ポンプが接続され、加圧ポート２７，２８には、エアポンプが接続される。そして、緩衝装置１は、可動軸１１の軸線が吸着保持面の直交線上に合わせられ、そのまま下降して吸着パッド８が移送対象物に押し当てられる。
【００２１】
通常、緩衝装置１は、磁気バネ２０の永久磁石２１，２２が吸引し合って図４（ａ）に示すように重り合い、可動軸１１が図１に示するようにボディ１０から突き出している。可動軸１１は、吸着パッド８が取り付けられた図面左側を下にし、前述したように下降した場合、移送対象物にその吸着パッド８が押し当てられる。このとき、真空ポート１２に接続された真空ポンプによって真空引きが行われ、吸着パッド８の吸着面と移送対象物との間の空気が吸引される。吸引された吸着面部分の空気は可動軸１１の貫通孔を通ってそのまま真空ポート１２から吸い出されるため、移送対象物に当接した吸着パッド８の吸着面部分には真空状態がつくられ、その吸着パッド８による移送対象物の吸着保持が可能になる。
【００２２】
吸着パッド８が移送対象物に押し当てられるとき、可動軸１１は移送対象物からの押し当て反力によってボディ１０に対して上昇（図面右側に移動）する。そして、このとき磁気バネ２０は、永久磁石２１，２２同士が図４（ｂ）に示すように軸方向にずれるため、そのズレを戻そうとする方向に磁力による吸引力が作用し、それが押し当て反力に対して逆方向に作用するバネ力となる。従って、吸着パッド８を移送対象物に押し当てようとする上下動アクチュエータの作動力は、移送対象物に直接伝わることなく磁気バネ２０のバネ力によって吸収され、吸着パッド８は、移送対象物に対して一定のバネ力によって押し当てられることになる。
【００２３】
緩衝装置１には、ボディ１０の加圧ポート２７，２８から圧縮エアが供給され、その圧縮エアが静圧軸受１５，１６の周りに形成された環状溝２５，２６へと送り込まれる。圧縮エアは、環状溝２５，２６内全体に行き渡り、静圧軸受１５，１６の外周面側から内部の通気孔を通り抜け、可動軸１１が貫通して通っている内周面全体から噴き出す。多孔質体の静圧軸受１５，１６内では圧縮エアが勢いよく流れることはないので、加圧ポート２７，２８から供給された圧縮エアは環状溝２５，２６全体に行き渡り、静圧軸受１５，１６の内周面側からも均等にエアが噴き出している。そのため、静圧軸受１５，１６から噴き出されたエアのエア圧によって可動軸１１は非接触状態で支持され、可動軸１１と静圧軸受１５，１６の間にはまさにエアによる軸受けがつくられる。
【００２４】
従って、本実施形態の緩衝装置１では、移送対象物への押し当て時に可動軸１１が受ける反力を磁気バネ２０がそのバネ力で吸収し、移送対象物への衝撃を緩和することができる。このとき、磁気バネ２０は、可動軸１１のストロークに関係なくほぼ一定のバネ力で移送対象物などを押圧することになる。特に、本実施形態では、可動軸１１が静圧軸受１５，１６によって非接触状態で支持されているため、従来のように磁気バネのバネ力（押圧力）が摺動抵抗を受けて変動してしまうことがなくなり、この磁気バネ２０によって設定されたほぼ一定のバネ力で移送対象物などを押圧することができる。
一方、この緩衝装置１を吸着保持手段として構成した場合、本実施形態で示したように真空ポート１２を軸方向端部に形成すると、真空引きする際の真空圧の影響を受けてバネ力に影響を及ぼすことになる。そこで、次に説明する第２実施形態で、この点を解消している。
【００２５】
また、本実施形態の緩衝装置１では、磁気バネ２０を構成する永久磁石２１，２２を円周方向に４分割し、交互に異極の着磁帯を着磁するようにしたので、可動軸１１の回転による移送対象物の方向ズレを防止することができる。特に、軸受け部を摺動抵抗が生じない静圧軸受１５，１６によって構成しているため回転復帰精度が向上し、可動軸１１に生じた回転方向のズレを正確に戻すことができ、微少電子部品の組立や実装などを確実に行うことができる。
【００２６】
次に、本発明に係る緩衝装置の第２実施形態について説明する。図２は、第２実施形態の緩衝装置を示した図であり、図（ａ）は軸方向の断面図で、図（ｂ）は一端面図である。なお、第１実施形態の緩衝装置１と同様の構成については同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
緩衝装置２は、図１（ｂ）に示すような端面形状のボディ３０内に、可動軸３１が一端を突き出すようにして挿入されている。そのボディ３０には貫通孔が穿設され、その中に筒状のホルダ３２が嵌挿され、そこには前記第１実施形態と同様に可動軸３１の移動を非接触状態で支持する静圧軸受１５，１６と、磁気バネ２０を構成する永久磁石２１とが内周面側に嵌め込まれている。
【００２７】
可動軸３１は、円筒形のパイプによって形成され、一部に磁気バネ２０を構成する永久磁石２２を備え、外側には外周パイプ３３が被せられている。そして、本実施形態の可動軸３１は、軸方向に貫通させずに後端側を気密に塞いだ縦孔３４を構成する一方、永久磁石２１部分には、その縦孔３４に貫通した横孔３５が形成されている。ただし、この横孔３５は、永久磁石２１だけでなく、磁気バネ２０を構成するもう一方の永久磁石２２の他、外周パイプ３３およびホルダ３２を径方向に貫通して形成された部分も含んでいる。そして、この一連の横孔３５は、可動軸３１の縦孔３４とボディ３０の側面に形成された真空ポート３６とを接続している。
【００２８】
本実施形態の緩衝装置２でも、気体透過性材によって形成された静圧軸受１５，１６が、磁気バネ２０を挟んだ位置に可動軸３１との間に僅かな隙間を空けるようにして配置されている。そして、この静圧軸受１５，１６が嵌装されるホルダ３２の内周面には環状溝２５，２６が形成され、ボディ３０側面を貫通した加圧ポート２７，２８がその環状溝２５，２６に接続されている。従って、加圧ポート２７，２８から供給された圧縮エアがこの環状溝２５，２６全体に行き渡り、静圧軸受１５，１６の内周側から均等に噴き出すようになっている。
【００２９】
本実施形態でも、こうした構成の緩衝装置２を、電子部品などの微細で脆弱な移送対象物を搬送するための吸着保持手段として利用する場合について説明する。そのため、緩衝装置２には、突き出た可動軸３１の先端に吸着パッド８が取り付けられ、ボディ３０が上下動アクチュエータなどの操作ロボットに取り付けられる。更に、真空ポート３６には真空ポンプが接続され、加圧ポート２７，２８にはエアポンプが接続される。そして、緩衝装置２は、可動軸３１の軸線が吸着保持面の直交線上に合わせられ、そのまま下降して吸着パッド８が移送対象物に押し当てられる。
【００３０】
通常、緩衝装置２は、磁気バネ２０の永久磁石２１，２２が吸引し合って図４（ａ）に示すように重り合い、可動軸３１が図２（ａ）に示するようにボディ３０から突き出している。可動軸３１は、吸着パッド８が取り付けられた図面左側を下にして上下動アクチュエータに取り付けられ、そのまま下降して移送対象物に吸着パッド８が押し当てられる。このとき、真空ポート３６に接続された真空ポンプによって真空引きが行われ、吸着パッド８の吸着面と移送対象物との間の空気が吸引される。すなわち、吸引された吸着面部分の空気は可動軸３１の縦孔３４から横孔３５を通り、ボディ３０の真空ポート３６から吸い出される。そのため、移送対象物の吸着面部分が真空状態になって吸着パッド８による吸着保持が行われる。
【００３１】
吸着パッド８が移送対象物に押し当てられると、可動軸３１は移送対象物からの押し当て反力によって上昇（図面右側に移動）する。そして、磁気バネ２０は、永久磁石２１，２２同士が図４（ｂ）に示すように軸方向にズレるため、そのズレを戻そうとする吸引力が作用する。従って、吸着パッド８を移送対象物に押し当てようとする上下動アクチュエータの作動力は、移送対象物に直接伝わることなく、移動する可動軸３１に設けた磁気バネ２０のバネ力によって吸収される。そして、本実施形態では、こうした磁気バネ２０が移送対象物に対する衝撃を緩和させているが、特に静圧軸受１５，１６を用いて可動軸３１を非接触状態で支持しているため、従来のように磁気バネのバネ力（押圧力）が摺動抵抗を受けて変動してしまうことがなくなり、この磁気バネ２０によって設定されたほぼ一定のバネ力で移送対象物を押圧することができる。
【００３２】
加圧ポート２７，２８から供給した圧縮エアは、静圧軸受１５，１６の内周面から噴き出し、軸バネ２０のバネ力が作用する可動軸３１を支持している。そして、こうして可動軸３１を非接触状態で支持する構成とした場合、永久磁石２１，２２に形成された横孔３５が、静圧軸受１５，１６側につながって気密な状態になっていない。しかも、横孔３５側ではエアを吸い込む一方で、静圧軸受１５，１６側ではエアを噴き出している。
しかし、静圧軸受１５，１６と可動軸３１とのクリアランスは数μｍ（例えば５〜１５μｍ）と非常に狭いので、静圧軸受１５，１６側から横孔３５側へ多くのエアが流れることはない。従って、静圧軸受１５，１６から噴き出されるエアのエア圧によって可動軸３１が支持され、それが軸受けとして機能する一方、吸着パッド８から横孔３５を介して吸引するエアの吸い込み量を低下させることもない。
【００３３】
また、本実施形態では、こうして可動軸３１を径方向に貫通して形成した横孔３５からエアを抜き取る真空引きを行っているので、真空圧が可動軸３１に移動方向、すなわち磁気バネ２０のバネ力が作用する方向に働かなくなくなった。そのため、この点でも磁気バネ２０のバネ力を変動させることがなくなり、設定されたほぼ一定のバネ力で移送対象物を押圧することができるようになった。
【００３４】
また、電子部品を基板上に設置するような場合には、設置の際、確実に離脱させるため吸着ポートを加圧させてしまうと、バネ力を引き下げていた吸引力が解放される反動で瞬間的に加重が増加して所定以上の加重が部品に加わってしまい電子部品への影響が考えられるが、真空引きによる影響のない本実施形態ではそうした問題も生じない。
更に、緩衝装置２では、磁気バネ２０を構成する永久磁石２１を挟んで静圧軸受１５，１６を設け、しかも永久磁石２１に横孔３５を構成するようにしたので、無駄なスペースを一切無くした極めてコンパクトなものとすることができた。具体的には、ボディ３０は、図２（ｂ）に示す縦横の寸法が１５ｍｍであり、図２（ａ）に示す長手方向の寸法が２０ｍｍである。
【００３５】
以上、本発明の緩衝装置についてその一実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
すなわち、前記実施形態では可動軸に吸着パッドを取り付けて真空引きする吸着保持手段を構成するものとして、本発明の緩衝装置を説明したが、この他にも例えば単なる押圧手段としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】第１実施形態の緩衝装置を示した図である。
【図２】第２実施形態の緩衝装置を示した図である。
【図３】磁気バネを構成する円筒形状の永久磁石を示した円周方向の断面図である。
【図４】磁気バネを構成する円筒形状の永久磁石を示した軸方向の断面図である。
【図５】従来の緩衝装置を示した通常状態の断面図である。
【図６】従来の緩衝装置を示した緩衝時の状態の断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１    緩衝装置
８    吸着パッド
１０  ボディ
１１  可動軸
１２  真空ポート
１３  ホルダ
１５，１６  静圧軸受
２０  磁気バネ
２１，２２  永久磁石
２７，２８  加圧ポート
【図１】
2005133732.tif 000003
【図２】
2005133732.tif 000004
【図３】
2005133732.tif 000005
【図４】
2005133732.tif 000006
【図５】
2005133732.tif 000007
【図６】
2005133732.tif 000008