(57)【要約】【課題】  ワークを払拭洗浄する払拭部材の交換時期が不適切な場合があり、ワークに対する信頼性の高い洗浄を効率良く行えない。【解決手段】  ワーク１０の表面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、洗浄液が供給されたワーク１０の表面に付着している異物を払拭する払拭ローラ１６と、この払拭ローラ１６をワーク１０の表面に押し当てる払拭ローラ押圧装置１８と、ワーク１０の表面に押し当てられた払拭ローラ１６をワーク１０の表面に沿って相対移動させる払拭ローラ駆動装置１７とを有する本発明の払拭洗浄装置は、清浄化された表面を有し、この表面に払拭ローラ押圧装置１８を用いて払拭ローラ１６が押し当てられる検査基準板１２と、この検査基準板１２の表面に転写された異物の量を検出する異物検出手段と、検出された異物の量に基づいて払拭ローラ１６の汚れ具合を推定する汚れ具合推定手段とを具える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの表面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
この洗浄液供給手段によって洗浄液が供給されたワークの表面に付着している異物を払拭するための払拭部材と、
この払拭部材をワークの表面に押し当てる押し当て手段と、
前記払拭部材およびワークの少なくとも一方を駆動して前記払拭部材をワークの表面に沿って相対移動させる払拭操作手段とを有する払拭洗浄装置であって、
清浄化された表面を有し、この表面に前記押し当て手段を用いて前記払拭部材が押し当てられる検査基準板と、
前記払拭部材を押し当てることによって前記検査基準板の表面に転写された異物の量を検出する異物検出手段と、
この異物検出手段によって検出された異物の量に基づいて前記払拭部材の汚れ具合を推定する汚れ具合推定手段と
を具えたことを特徴とする払拭洗浄装置。
【請求項２】
洗浄液が供給されるワークの表面に押し当てられ、このワークの表面に対し相対移動してワークの表面に付着している異物を払拭するための払拭部材の汚れ具合を検査する装置であって、
表面が清浄化された検査基準板と、
この検査基準板の表面に前記払拭部材を押し当てる押し当て手段と、
この押し当て手段により前記検査基準板の表面に転写された異物の量を検出する異物検出手段と、
この異物検出手段によって検出された異物の量に基づいて前記払拭部材の汚れ具合を推定する汚れ具合推定手段と
を具えたことを特徴とする汚れ検査装置。
【請求項３】
洗浄液が供給されるワークの表面に押し当てられ、このワークの表面に対し相対移動してワークの表面に付着している異物を払拭するための払拭部材の汚れ具合を検査する方法であって、
検査基準板の清浄化された表面に払拭部材を押し当てるステップと、
払拭部材を押し当てることにより前記検査基準板の表面に転写された異物の量を検出するステップと、
検出された異物の量に基づいて前記払拭部材の汚れ具合を推定するステップと
を具えたことを特徴とする汚れ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄液が供給されるワークの表面を払拭することによって、このワークの表面に付着している異物を洗浄するための装置ならびにこの払拭洗浄装置に用いられる払拭部材の汚れ具合を検査するための装置および汚れ検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハや、磁気ディスク用金属またはガラス製基板などの製造過程においては、板状をなすワークの表面を高精度に研磨する必要があるため、多段階の研磨作業が行われる。この場合、１つの研磨作業が終了する毎にワークの表面、つまり研磨加工面を洗浄し、研磨作業によって発生した研磨屑や研磨作業で用いた研磨砥粒などの異物をワークの表面から確実に除去しておかなければならない。
【０００３】
このようなワークの表面の洗浄を行う場合、ワークの表面に洗浄液を供給しながらワークの表面を払拭部材にて払拭する、いわゆるスクラブ洗浄が知られている。これらのスクラブ洗浄で用いられる払拭部材は、弾性変形可能な多孔質体、例えば発泡樹脂などで形成されており、洗浄液が供給されているワークの表面に払拭部材を押し付けた状態にてこれらを相対移動させ、ワークの表面に付着している研磨屑や研磨砥粒を払拭部材によって拭い取るようにしている。換言すれば、ワークに対する洗浄作業に伴って研磨屑や研磨砥粒が払拭部材に付着堆積し、その払拭効果が低下してしまうことから、必要に応じて払拭部材を洗浄する必要が生ずる。
【０００４】
スクラブ洗浄などで用いられる払拭部材の汚れを洗浄する場合、特許文献１に記載されているように洗浄液中に払拭部材を浸漬させたり、特許文献２や特許文献３に記載されているように超音波振動を与えた洗浄液中に払拭部材を浸漬して回転させたり、あるいは特許文献４に記載されているように払拭部材に圧縮変形を与えることによって払拭部材が吸収保持している洗浄液と共にこの払拭部材に付着している研磨屑や研磨砥粒を流し出すことが提案されている。しかしながら、何れの方法においても、払拭部材の経時的な汚れの増大を回避することは困難であり、適当な段階で新しいものと交換することが望まれる。
【０００５】
この場合、払拭部材の使用頻度に応じた定期的な交換が一般的であるが、払拭部材自体の洗浄後にこの払拭部材の汚れ具合を検査し、その汚れ具合に応じて新たな払拭部材と交換するようにした技術が特許文献５にて提案されている。この特許文献５では、検査光を払拭部材である洗浄ブラシの先端部を横切るように通過させ、透過光量の変化に基づいて洗浄ブラシの先端部の変形状態や異物の付着量の変化を推定している。
【０００６】
この他、特許文献６には洗浄後のワークの表面に検査光を照射し、その反射光量を測定することによりワークの洗浄状態を把握し、ワークに対する洗浄条件をフィードバック制御する技術が開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特許第３１１４１５６号公報
【特許文献２】特許第２６１７５３５号公報
【特許文献３】特許第２７０２４７３号公報
【特許文献４】特許第３４４７８６９号公報
【特許文献５】特開平５−３２６４７４号公報
【特許文献６】特開２００１−１９５７３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１〜４に開示された方法で払拭部材を洗浄したとしても、払拭部材の汚れを完全に除去することができないので、その汚れ具合に応じて新たな払拭部材と交換する必要が生ずる。
【０００９】
この場合、ワークに対して洗浄処理を行った払拭部材の使用回数に基づいて払拭部材の交換を行ったとしても、払拭部材の汚れ具合は必ずしもワークに対する払拭部材の洗浄使用回数のみで判断できるものではない。例えば、予め設定された使用回数に達する前に払拭部材の払拭能力が低下してしまうことがあり、逆に予め設定された使用回数を越えてもなお払拭部材が充分な払拭能力を保持している場合もある。このため、予め設定された使用回数に達する前に払拭部材の払拭能力が低下してしまった場合、洗浄後におけるワークの洗浄不良が増大して歩留まりの低下をもたらす。逆に、予め設定された使用回数に達しているにも拘らず、払拭部材の払拭能力がまだ充分に保持されている場合、払拭部材の無駄な交換となり、稼働率の低下を来す。
【００１０】
特許文献５に開示された検査方法では、洗浄ブラシの目が細かい場合、検査光が洗浄ブラシの先端部を通過する際に吸収や散乱が大きく発生するため、通過光量の変化に基づいて洗浄ブラシの表面や内部の汚れ具合を適切に判断することが難しい。逆に、洗浄ブラシの目が荒い場合には洗浄ブラシ自体の払拭効率が低下するという問題がある。
【００１１】
特許文献６に開示された検査方法では、洗浄後におけるワークの清浄度を検査しているため、ワークの清浄度に関わる因子を特定しない限り、払拭部材の汚れ具合を推定することが根本的に不可能である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の形態は、ワークの表面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、この洗浄液供給手段によって洗浄液が供給されたワークの表面に付着している異物を払拭するための払拭部材と、この払拭部材をワークの表面に押し当てる押し当て手段と、前記払拭部材およびワークの少なくとも一方を駆動して前記払拭部材をワークの表面に沿って相対移動させる払拭操作手段とを有する払拭洗浄装置であって、清浄化された表面を有し、この表面に前記押し当て手段を用いて前記払拭部材が押し当てられる検査基準板と、前記払拭部材を押し当てることによって前記検査基準板の表面に転写された異物の量を検出する異物検出手段と、この異物検出手段によって検出された異物の量に基づいて前記払拭部材の汚れ具合を推定する汚れ具合推定手段とを具えたことを特徴とする払拭洗浄装置にある。
【００１３】
本発明においては、洗浄液供給手段によって洗浄液が供給されるワークの表面に対し、押し当て手段によって払拭部材を押し当て、この状態にて払拭操作手段により払拭部材およびワークの少なくとも一方を駆動し、払拭部材をワークの表面に沿って相対移動させてワークの表面に付着した異物を払拭部材により払拭する。このような払拭作業に伴って汚れた払拭部材を押し当て手段により検査基準板の表面に押し当て、これによって払拭部材に付着していた異物の一部を検査基準板の清浄化された表面に転写させる。このようにして転写された検査基準板の表面の異物の量を異物検出手段により検出し、この異物の量に基づいて汚れ具合推定手段が払拭部材の汚れ具合を推定し、払拭部材の汚れ具合がワークの表面の払拭洗浄作業に支障を来す程度に達した時点で払拭部材の交換を行う。
【００１４】
本発明の第１の形態における払拭洗浄装置において、ワークが円板状をなし、払拭操作手段が払拭部材を駆動回転させ、これによりワークを連れ回りさせるものであってよい。
【００１５】
本発明の第２の形態は、洗浄液が供給されるワークの表面に押し当てられ、このワークの表面に対し相対移動してワークの表面に付着している異物を払拭するための払拭部材の汚れ具合を検査する装置であって、表面が清浄化された検査基準板と、この検査基準板の表面に前記払拭部材を押し当てる押し当て手段と、この押し当て手段により前記検査基準板の表面に転写された異物の量を検出する異物検出手段と、この異物検出手段によって検出された異物の量に基づいて前記払拭部材の汚れ具合を推定する汚れ具合推定手段とを具えたことを特徴とするものである。
【００１６】
本発明においては、払拭作業によって汚れた払拭部材を押し当て手段により検査基準板の表面に押し当て、これによって払拭部材に付着していた異物の一部を検査基準板の清浄化された表面に転写させる。このようにして転写された検査基準板の表面の異物の量を異物検出手段により検出し、この異物の量に基づいて汚れ具合推定手段が払拭部材の汚れ具合を推定する。
【００１７】
本発明の第１または第２の形態において、異物検出手段が、検査基準板の表面に参照光を照射する手段と、検査基準板の表面にて参照光の反射光を受光する手段とを有し、汚れ具合推定手段は、反射光を受光する手段によって検出される反射光量に関連付けて異物の量を推定するものであってよい。
【００１８】
本発明の第３の形態は、洗浄液が供給されるワークの表面に押し当てられ、このワークの表面に対し相対移動してワークの表面に付着している異物を払拭するための払拭部材の汚れ具合を検査する方法であって、検査基準板の清浄化された表面に払拭部材を押し当てるステップと、払拭部材を押し当てることにより前記検査基準板の表面に転写された異物の量を検出するステップと、検出された異物の量に基づいて前記払拭部材の汚れ具合を推定するステップとを具えたことを特徴とするものである。
【００１９】
本発明においては、払拭作業によって汚れた払拭部材を検査基準板の表面に押し当てることにより、払拭部材に付着していた異物の一部を検査基準板の清浄化された表面に転写させ、このようにして転写された検査基準板の表面の異物の量を検出することにより、払拭部材の汚れ具合を推定する。
【００２０】
本発明の第３の形態による汚れ検査方法において、異物の量を検査基準板の表面における光の反射率に関連付けることができる。
【００２１】
本発明の第１〜第３の形態において、検査基準板は、ワークと対応した表面形状を有していることが好ましい。払拭部材は、ワークの表面に押し当たることによって弾性変形し得る多孔質体、例えば発泡樹脂製のローラまたはディスク、あるいはブラシであってよい。
【００２２】
清浄化された検査基準板の表面に払拭部材に付着していた異物の一部を転写させる場合、検査基準板の表面に払拭部材を単に押し当てるだけではなく、押し当てた状態でこれらを相対移動させ、例えば払拭部材を検査基準板の表面の同じ位置で回転し、払拭部材の払拭面全域を検査基準板の表面にこすりつけるようにすることも有効である。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の払拭洗浄装置によると、清浄化された表面に押し当て手段を用いて払拭部材が押し当てられる検査基準板と、払拭部材を押し当てることによって検査基準板の表面に転写された異物の量を検出する異物検出手段と、この異物検出手段によって検出された異物の量に基づいて払拭部材の汚れ具合を推定する汚れ具合推定手段とを具えているので、払拭部材の汚れ具合を検査基準板に転写された異物の量に基づいて推定することにより、払拭部材の適切な交換時期を正確に把握することができる。この結果、払拭部材の払拭能力低下による洗浄不良や、払拭部材の不必要な交換を行う無駄がなくなり、ワークに対して信頼性の高い洗浄を効率良く行うことができる。
【００２４】
本発明の汚れ検査装置によると、表面が清浄化された検査基準板と、この検査基準板の表面に払拭部材を押し当てる押し当て手段と、この押し当て手段により検査基準板の表面に転写された異物の量を検出する異物検出手段と、この異物検出手段によって検出された異物の量に基づいて払拭部材の汚れ具合を推定する汚れ具合推定手段とを具えているので、払拭部材の汚れ具合を検査基準板に転写された異物の量に基づいて推定することにより、払拭部材の適切な交換時期を正確に把握することができる。この結果、払拭部材の払拭能力低下による洗浄不良や、払拭部材の不必要な交換を行う無駄がなくなり、ワークに対して信頼性の高い洗浄を効率良く行うことができる。
【００２５】
本発明の汚れ検査方法によると、清浄化された検査基準板の表面に払拭部材を押し当て、これによって検査基準板の表面に転写された異物の量を検出し、この異物の量に基づいて払拭部材の汚れ具合を推定するようにしたので、払拭部材の適切な交換時期を正確に把握することができる。このため、払拭部材の払拭能力低下による洗浄不良や、払拭部材の不必要な交換を行う無駄がなくなり、ワークに対して信頼性の高い洗浄を効率良く行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明を環状をなす磁気ディスク用基板のスクラブ洗浄に応用した実施形態について、図１〜図３を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこのような実施形態のみに限らず、特許請求の範囲に記載された本発明の概念に包含されるあらゆる変更や修正が可能であり、従って本発明の精神に帰属する他の任意の技術にも当然応用することができる。
【００２７】
本実施形態による払拭洗浄装置の概念を図１に示し、その制御ブロックを図２に示す。すなわち、本実施形態における払拭洗浄装置は、スクラブ洗浄すべき磁気ディスク用基板、つまり環状をなすワーク１０を整列状態で収容するストッカ１１が配されたワーク供給ステージＳ１と、これらワーク１０と対応した形状を有し、予め表面が所定の清浄度にまで清浄化された検査基準板１２を整列状態で収容するストッカ１３が配された検査基準板収容ステージＳ２と、ワーク供給ステージＳ１に収容された洗浄すべきワーク１０が１枚ずつ搬入されてこれを洗浄する洗浄ステージＳ３と、この洗浄ステージＳ３にて洗浄し終えた洗浄済みのワーク１０を整列状態で収容するストッカ１４が配されたワーク回収ステージＳ４と、検査基準板１２の表面の汚れ具合を検査するための検査ステージＳ５とを具え、さらに洗浄ステージＳ３とワーク回収ステージＳ４との間に、洗浄ステージＳ３にて洗浄し終えた洗浄済みのワーク１０をワーク回収ステージＳ４に搬入する前に、ワークに付着している洗浄液を乾燥させる図示しないワーク乾燥ステージも具えている。
【００２８】
洗浄ステージＳ３には、ワーク供給ステージＳ１から搬入されるワーク１０の外周面を把持するためのワーク把持装置１５と、このワーク把持装置１５によって把持されたワーク１０の表裏両面を同時に払拭するための一対の払拭ローラ１６と、これら一対の払拭ローラ１６をそれらの軸線回りに駆動回転させる払拭ローラ駆動装置１７と、払拭ローラ駆動装置１７に支持された一対の払拭ローラ１６の外周面をワーク１０の表裏両面に同時に押し当て、これによってワーク１０を一対の払拭ローラ１６にて挟持させる払拭ローラ押圧装置１８と、ワーク１０の表裏両面と払拭ローラ１６との接触部分に洗剤を供給するための洗剤供給ノズル１９を有する洗剤供給装置２０と、ワーク１０の表裏両面全域に純水を散布するための純水供給ノズル２１を有する純水供給装置２２とが組み込まれている。
【００２９】
本実施形態におけるワーク把持装置１５は回転軸線が相互に平行な３個一組のチャッキングローラ２３を有し、これらの回転軸線がワーク１０の外周面に当接してこれを把持する把持位置と、ワーク１０の搬出入に際してワーク１０から退避する退避位置との間で移動可能である。払拭ローラ１６の駆動回転による摩擦力でワーク１０が連れ回りするように、個々のチャッキングローラ２３は回転自在となっており、ワーク１０の軸線がこれらチャッキングローラ２３の回転軸線と平行となるように、ワーク１０がチャッキングローラ２３に把持される。
【００３０】
払拭ローラ１６はその外周面が弾性変形可能な多孔質樹脂にて形成され、その回転軸線に沿った長さ寸法は、ワーク１０の表裏両面、つまり払拭面の半径方向長さ以上に設定されている。また、払拭ローラ１６の回転軸線は、ワーク把持装置１５によって把持されたワーク１０の半径方向に延在するように、ワーク１０の表裏両面と平行に設定される。本実施形態のような払拭ローラ１６に代えて駆動回転するブラシを採用することも当然可能であり、その回転軸線をワーク１０の軸線と平行に設定してワーク１０の表裏両面を払拭することも可能である。
【００３１】
本実施形態では、洗浄液として洗剤と純水とを洗剤供給ノズル１９および純水供給ノズル２１から別々に供給するようにしているが、これらを一緒に混合してワーク１０の表裏両面に供給するようにしてもよい。
【００３２】
検査ステージＳ５には、例えば特許文献６に記載されたような汚れ具合検査装置２４が設けられており、本実施形態では検査基準板収容ステージＳ２から洗浄ステージＳ３を介して搬入さる検査基準板１２を回転自在に把持する検査板把持装置２５と、この検査板把持装置２５によって把持された検査基準板１２の表裏両面にそれぞれ検査のための光、つまり参照光Ｌを照射する参照光照射装置２６と、本発明における異物検出手段として機能し、検査基準板１２の表裏両面からの参照光Ｌの反射光Ｒを受光する受光センサ２７と、この受光センサ２７からの出力信号に基づき、検査基準板１２の表裏両面の汚れ具合を推定する汚れ具合推定手段２８とを具えている。
【００３３】
本実施形態における検査板把持装置２５は、３個一組のチャッキングローラ２９を有し、上述したワーク把持装置１５と同様、これらの回転軸線が検査基準板１２の外周面に当接してこれを把持する把持位置と、検査基準板１２の搬出入に際して検査基準板１２から退避する退避位置との間で移動可能である。この検査板把持装置２５における個々のチャッキングローラ２９も回転自在となっており、検査基準板１２の軸線がこれらチャッキングローラ２９の回転軸線と平行となるように、検査基準板１２がチャッキングローラ２９に把持される。さらに、１つのチャッキングローラ２９が図示しない駆動モータに連結され、検査基準板１２を駆動回転させることができるようになっている。
【００３４】
参照光照射装置２６は、検査基準板１２の半径方向全域に亙って膜状の参照光Ｌを照射するようになっており、受光センサ２７もこれに対応して受光面が検査基準板１２の半径方向に沿って延在する、いわゆるラインセンサを採用している。本実施形態では、検査基準板１２の表裏両面の汚れ具合を同時に検査することができるように、これらを２組設けているが、検査基準板１２の表裏何れかの面のみを検査するようにした場合、検査基準板１２の一方の面を検査した後、検査基準板１２を反転して他方の面を検査すればよい。この場合には、参照光照射装置２６および受光センサ２７などが１組だけでよいので、そのためのコストを半減させることができる。
【００３５】
ワーク１０や検査基準板１２は、これらの中心部に形成された穴３０に対して嵌合するチャック機構を持ったハンドリング装置３１によって上述した各ステージ間で１枚ずつ受け渡されるようになっている。このハンドリング装置３１の作動の制御や、上述したワーク把持装置１５，払拭ローラ駆動装置１７，払拭ローラ押圧装置１８，洗剤供給装置２０，純水供給装置２２，汚れ具合検査装置２４などの作動は、すべて制御装置３２によって相互に関連付けられて制御されるようになっている。
【００３６】
ワーク１０の洗浄を行う場合、まずハンドリング装置３１を用いてワーク供給ステージＳ１からワーク１０を洗浄ステージＳ３内に搬入してワーク把持装置１５により把持させる。この状態にて払拭ローラ駆動装置１７を作動し、一対の払拭ローラ１６を回転させながら払拭ローラ押圧装置１８を作動して一対の払拭ローラ１６をワーク１０の表裏両面に押し付ける。同時に、洗剤供給装置２０および純水供給装置２２を作動して洗剤を払拭ローラ１６とワーク１０との接触部分に供給すると共に純水をワーク１０の表裏両面全域に散布する。これにより、ワーク１０が連れ回りしながらその表面を払拭ローラ１６によって払拭洗浄することができる。所定時間経過後、洗剤供給装置２０の作動を停止して洗剤の供給を止め、さらに払拭ローラ押圧装置１８を逆に作動して払拭ローラ１６をワーク１０から退避させると共に払拭ローラ駆動装置１７の作動を停止し、最終的に純水供給装置２２を作動を停止して純水の散布を止め、洗浄作業を終える。洗浄作業を終えたワーク１０は、ハンドリング装置３１を用いて洗浄ステージＳ３からワーク洗浄ステージに搬入され、ここで例えばワークを高速で回転することにより遠心力を利用してワークに付着している純水を吹き飛ばして乾燥させた後、ワーク回収ステージＳ４へと搬出され、次に行うべき作業のためにここで待機する。
【００３７】
ワーク１０に対する洗浄を繰り返すことによって払拭ローラ１６の表面が次第に汚れて来るため、払拭ローラ１６の汚れ具合を定期的に検査し、必要に応じて新しい払拭ローラ１６と交換しなければならない。払拭ローラ１６の汚れ具合を検査する場合、検査基準板収容ステージＳ２から検査基準板１２を洗浄ステージＳ３内に搬入してワーク把持装置１５により把持させる。この状態にて、払拭ローラ押圧装置１８を作動して一対の払拭ローラ１６を検査基準板１２の表裏両面に押し付ける。これにより、払拭ローラ１６の表面が汚れている場合、払拭ローラ１６の表面に付着している異物の一部が検査基準板１２の表裏両面に付着することとなる。
【００３８】
なお、当然のことであるが、この検査基準板１２を用いて払拭ローラ１６の汚れ具合を検査する場合には、洗浄ステージＳ３内に搬入された検査基準板１２の洗浄操作は行われない。
【００３９】
このようにして払拭ローラ１６が押し付けられた検査基準板１２をハンドリング装置３１を用いて検査ステージＳ５に移送し、ここで検査基準板１２の汚れ具合、つまり検査基準板１２の表裏両面に付着した異物の有無を検査する。異物が検査基準板１２の表裏両面に付着している場合と付着していない場合とで、参照光Ｌに対する反射率が変化するため、膜状の参照光Ｌを検査基準板１２の表裏両面に照射しながら検査基準板１２を回転して受光センサ２７に入射する反射光Ｒの変化を検出することにより、汚れ具合推定手段２８はその変化量が所定値を超えている場合、払拭ローラ１６の汚れ具合が進行していると判断することができる。このような場合には、必要に応じて図示しない表示装置にて払拭ローラ１６の汚れ具合の検査結果を表示させたり、あるいは警告音や警告灯にて払拭ローラ１６の交換をオペレータに促すことができる。
【００４０】
上述した実施形態では、洗浄ステージＳ３を１つだけ設定したが、２つ以上の洗浄ステージＳ３を直列的に設け、複数枚のワーク１０の段階的な洗浄や検査基準板１２の汚れ具合の検査を並列的に行ったりすることも可能である。また、乾燥後のワーク１０の表面の清浄度を検査ステージＳ５にて検査することも可能であり、洗浄乾燥後のワーク１０を検査ステージＳ５に搬入し、その払拭された表面が所定の清浄度に達しているか否かを判定して所定の清浄度に達していないと判断した場合、このワーク１０を洗浄ステージＳ３に戻して洗浄処理を再度行うようにすることも当然可能である。
【００４１】
さらに、ハンドリング装置３１として、ワークの形状などに応じて従来から使用されてている周知のものを適宜採用することが可能であり、同様にワーク把持装置１５や検査板把持装置２５を上述した実施形態のようなチャッキングローラ２３，２９によってワーク１０や検査基準板１２の外周を挟持するのではなく、これらの穴３０に嵌合するチャック機構を持った構成のものを採用することも当然可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明を磁気ディスク用基板のスクラブ洗浄に応用した一実施形態の概念図である。
【図２】図１に示した実施形態における全体の制御ブロック図である。
【図３】図１に示した実施形態における汚れ具合検査装置のブロック図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  ワーク
１１  ストッカ
１２  検査基準板
１３  ストッカ
１４  ストッカ
１５  ワーク把持装置
１６  払拭ローラ
１７  払拭ローラ駆動装置
１８  払拭ローラ押圧装置
１９  洗剤供給ノズル
２０  洗剤供給装置
２１  純水供給ノズル
２２  純水供給装置
２３  チャッキングローラ
２４  汚れ具合検査装置
２５  検査板把持装置
２６  参照光照射装置
２７  受光センサ
２８  汚れ具合推定手段
２９  チャッキングローラ
３０  穴
３１  ハンドリング装置
３２  制御装置
Ｓ１  ワーク供給ステージ
Ｓ２  検査基準板収容ステージ
Ｓ３  洗浄ステージ
Ｓ４  ワーク回収ステージ
Ｓ５  検査ステージ
Ｌ  参照光
Ｒ  反射光
【図１】
2005223149.tif 000003
【図２】
2005223149.tif 000004
【図３】
2005223149.tif 000005