(57)【要約】【課題】      厚さを薄くしても破れにくいテント膜を感光性樹脂組成物から形成する。【解決手段】  バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物において、重合性化合物として、３価乃至６価の脂肪族基、芳香族基またはそれらの組み合わせからなる連結基と３個乃至６個の重合性末端基を有する化合物を用いる。重合性末端基は、二つのウレタン結合およびそれらの両側に二つのポリアルキレンオキサイド結合を有し、一方のポリアルキレンオキサイド結合に（メタ）アクリロイル基が結合し、他方のポリアルキレンオキサイド結合に３価乃至６価の連結基が結合する。【選択図】    図１
2005258092.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であって、重合性化合物が下記式（Ｉ）で表されることを特徴とする感光性樹脂組成物：
（Ｉ）
【化１】
2005258092.tif 000096
［式中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基であり；Ｌ１は、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基であるか、あるいは、それらの組み合わせの間に、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基が介在している二価の連結基であり；ｐおよびｑは、それぞれ独立に、１乃至１０の整数であり；ｌおよびｍは、それぞれ独立に、１乃至５０の整数であり；ｎは、３乃至６の整数であり；そして、Ｌ２は、ｎ価の脂肪族基またはｎ価の芳香族基であるか、あるいは、それらとアルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基との組み合わせからなるｎ価の連結基である］。
【請求項２】
式（Ｉ）において、ｌが１乃至１４の整数であり、ｍが１乃至３０の整数である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
式（Ｉ）において、ｐおよびｑが、それぞれ独立に、２または３である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
式（Ｉ）において、Ｌ１が、アルキレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
式（Ｉ）において、Ｌ２が、ｎ価の脂肪族基である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
バインダーが、カルボキシル基を有するポリマーである請求項１から５のうちのいずれかの項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
バインダーが、カルボキシル基を有する繰り返し単位と、カルボキシル基を有しない繰り返し単位とを有するコポリマーであって、コポリマー中のカルボキシル基を有する繰り返し単位の割合が５乃至５０モル％である請求項６に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
光重合開始剤が、ハロゲン置換アルキル基を有する複素環化合物、オキシム、ヘキサアリールビイミダゾールおよびケトンからなる群より選ばれる請求項１から７のうちのいずれかの項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
バインダーを１０乃至９０質量％、重合性化合物を５乃至６０質量、光重合開始剤を０．１乃至３０質量％含む請求項１から８のうちのいずれかの項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
さらに増感剤を含む請求項１から９のうちのいずれかの項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
プリント配線板製造用である請求項１から１０のうちのいずれかの項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
支持体と、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む感光性樹脂層とを有する感光性転写シートであって、重合性化合物が下記式（Ｉ）で表されることを特徴とする感光性転写シート：
（Ｉ）
【化２】
2005258092.tif 000097
［式中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基であり；Ｌ１は、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基であるか、あるいは、それらの組み合わせの間に、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基が介在している二価の連結基であり；ｐおよびｑは、それぞれ独立に、１乃至１０の整数であり；ｌおよびｍは、それぞれ独立に、１乃至５０の整数であり；ｎは、３乃至６の整数であり；そして、Ｌ２は、ｎ価の脂肪族基またはｎ価の芳香族基であるか、あるいは、それらとアルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基との組み合わせからなるｎ価の連結基である］。
【請求項１３】
感光性樹脂層の厚さが５μｍ以上、３５μｍ未満である請求項１２に記載の感光性転写シート。
【請求項１４】
感光性樹脂層の上に保護フィルム層が設けられている請求項１２もしくは１３に記載の感光性転写シート。
【請求項１５】
下記の（１）〜（６）の工程をこの順序で実施することにより、内壁表面が金属層で覆われたスルーホールまたはビアホールを有するプリント配線板を製造するプリント配線板の製造方法：
（１）スルーホールまたはビアホールを有し、表面が金属層で覆われたプリント配線板形成用基板の表面に、支持体と、バインダー、下記式（Ｉ）で表される重合性化合物および光重合開始剤を含む感光性樹脂層とを有する感光性転写シートを、その感光性樹脂層が金属層に接するようにして圧着し、プリント配線板形成用基板、感光性樹脂層、そして支持体がこの順で積層された積層体を得る積層工程：
（Ｉ）
【化３】
2005258092.tif 000098
［式中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基であり；Ｌ１は、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基であるか、あるいは、それらの組み合わせの間に、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基が介在している二価の連結基であり；ｐおよびｑは、それぞれ独立に、１乃至１０の整数であり；ｌおよびｍは、それぞれ独立に、１乃至５０の整数であり；ｎは、３乃至６の整数であり；そして、Ｌ２は、ｎ価の脂肪族基またはｎ価の芳香族基であるか、あるいは、それらとアルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基との組み合わせからなるｎ価の連結基である］；
（２）積層体の支持体側から光をパターン状に照射して、感光性樹脂層を硬化させて、配線パターン形成用の硬化性樹脂組成物領域とスルーホールまたはビアホールの金属保護用の硬化樹脂組成物領域とからなる硬化樹脂組成物パターンを形成する露光工程；
（３）積層体から支持体を剥がす支持体剥離工程；
（４）プリント配線板形成用基板上の感光性樹脂層の未硬化領域を溶解除去して、基板表面の未硬化領域の金属層を露出させる現像工程；
（５）露出した領域の金属層をエッチング液で溶解除去するエッチング工程；そして、
（６）硬化層をプリント配線板形成用基板から除去する硬化層除去工程。
【請求項１６】
（３）の工程において、光としてレーザ光を用いる請求項１５に記載のプリント配線板の製造方法。
【請求項１７】
内壁表面が金属層で覆われたスルーホールまたはビアホールを有するプリント配線板形成用基板上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む感光性樹脂層が積層されている積層体であって、重合性化合物が下記式（Ｉ）で表されることを特徴とする積層体：
（Ｉ）
【化４】
2005258092.tif 000099
［式中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基であり；Ｌ１は、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基であるか、あるいは、それらの組み合わせの間に、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基が介在している二価の連結基であり；ｐおよびｑは、それぞれ独立に、１乃至１０の整数であり；ｌおよびｍは、それぞれ独立に、１乃至５０の整数であり；ｎは、３乃至６の整数であり；そして、Ｌ２は、ｎ価の脂肪族基またはｎ価の芳香族基であるか、あるいは、それらとアルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基との組み合わせからなるｎ価の連結基である］。
【請求項１８】
感光性樹脂層の上に支持体が積層されている請求項１７に記載の積層体。
【請求項１９】
支持体上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む第一感光層、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含み第一感光層の光感度よりも相対的に高い光感度を有する第二感光層がこの順序で積層されており、第一感光層および第二感光層の少なくとも一方に含まれる重合性化合物が下記式（Ｉ）で表されることを特徴とする感光性転写シート：
（Ｉ）
【化５】
2005258092.tif 000100
［式中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基であり；Ｌ１は、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基であるか、あるいは、それらの組み合わせの間に、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基が介在している二価の連結基であり；ｐおよびｑは、それぞれ独立に、１乃至１０の整数であり；ｌおよびｍは、それぞれ独立に、１乃至５０の整数であり；ｎは、３乃至６の整数であり；そして、Ｌ２は、ｎ価の脂肪族基またはｎ価の芳香族基であるか、あるいは、それらとアルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基との組み合わせからなるｎ価の連結基である］。
【請求項２０】
スルーホール又はビアホールを有するプリント配線板の下記の工程からなる製造方法：
（１）内壁表面が金属層で覆われたスルーホール又はビアホールを有し、表面が金属層で覆われたプリント配線板形成用基板の表面に、支持体上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む第一感光層、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含み第一感光層の光感度よりも相対的に高い光感度を有する第二感光層がこの順序で積層されており、第一感光層および第二感光層の少なくとも一方に含まれる重合性化合物が下記式（Ｉ）で表される感光性転写シートを、その第二感光層側が金属層に接するようにして圧着し、プリント配線板形成用基板上に少なくとも第二感光層、第一感光層、そして支持体が積層された積層体を得る積層工程：
（Ｉ）
【化６】
2005258092.tif 000101
［式中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基であり；Ｌ１は、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基であるか、あるいは、それらの組み合わせの間に、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基が介在している二価の連結基であり；ｐおよびｑは、それぞれ独立に、１乃至１０の整数であり；ｌおよびｍは、それぞれ独立に、１乃至５０の整数であり；ｎは、３乃至６の整数であり；そして、Ｌ２は、ｎ価の脂肪族基またはｎ価の芳香族基であるか、あるいは、それらとアルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基との組み合わせからなるｎ価の連結基である］；
（２）必要に応じて支持体を剥離する工程；
（３）積層体のプリント配線板形成用基板とは反対の側からプリント配線板形成用基板の配線パターン形成領域には第二感光層を硬化させるために必要な光量の光を所定のパターン状に照射して、所定パターンの硬化層領域を形成し、スルーホール又はビアホールの開口部を含む領域には第一感光層と第二感光層とをともに硬化させるために必要な光量の光を所定のパターン状に照射して、スルーホール又はビアホールの開口部領域を被覆する硬化層領域を形成する露光工程；
（４）必要に応じて積層体から支持体を剥がす支持体剥離工程；
（５）プリント配線板形成用基板上の第一感光層及び第二感光層の未硬化領域を溶解除去して、基板表面の該未硬化領域の金属層を露出させる現像工程；
（６）露出した領域の金属層をエッチング液で溶解除去するエッチング工程；そして、
（７）硬化層をプリント配線板形成用基板から除去する硬化層除去工程。
【請求項２１】
基体上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む第二感光層、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含み第二感光層の光感度よりも相対的に低い光感度を有する第一感光層がこの順に積層されており、第一感光層および第二感光層の少なくとも一方に含まれる重合性化合物が下記式（Ｉ）で表されることを特徴とする感光性積層体：
（Ｉ）
【化７】
2005258092.tif 000102
［式中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基であり；Ｌ１は、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基であるか、あるいは、それらの組み合わせの間に、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基が介在している二価の連結基であり；ｐおよびｑは、それぞれ独立に、１乃至１０の整数であり；ｌおよびｍは、それぞれ独立に、１乃至５０の整数であり；ｎは、３乃至６の整数であり；そして、Ｌ２は、ｎ価の脂肪族基またはｎ価の芳香族基であるか、あるいは、それらとアルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基との組み合わせからなるｎ価の連結基である］。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板、リードフレーム、半導体パッケージ、ディスプレイ用部材（例えば、カラーフィルター、柱材、リブ材、スペーサー、隔壁）、３次元光造形、画像形成材料（例えば、印刷版、プルーフ）、パターン形成材料の分野で用いられる感光性樹脂組成物および感光性転写シートに関し、特にプリント配線板製造用として有用な感光性樹脂組成物および感光性転写シートに関するものである。本発明はまた、該感光性転写シートを用いてプリント配線板を製造する方法に関する。
更に詳しくは、弱アルカリ水溶液による現像性、強アルカリ水溶液による剥離性に優れ、薄層化により高解像度化が可能であり、かつ薄膜でもスルーホール上のテント強度が優れる高密度プリント配線板用の感光性樹脂組成物および感光性転写シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板の製造分野においては、配線パターンを、支持体（例えばポリエチレンテレフタレートなど）と、その支持体の上に形成された感光層とからなる感光性転写シートを用いたフォトリソ技術によって形成することが行われている。例えば、スルーホールを有するプリント配線板の場合、プリント配線板形成用基板（例えば、銅張積層板）にスルーホールを形成し、スルーホール内側壁部に金属層を形成した後、基板表面に感光性転写シートの感光層を重ね合わせて密着し、配線パターン形成領域とスルーホール開口部を含む領域に光を所定のパターン状に照射して感光層を硬化させる。次いで、感光性転写シートの支持体を剥がし取り、配線パターン形成領域上の硬化層及びスルーホール開口部領域上の硬化層（テント膜と呼ばれている）以外の未硬化感光層領域を溶解除去した後、露出した金属層部分をエッチング処理し、その後硬化層を除去して、基板表面に配線パターンを形成することが行われている。このテント膜を用いて、スルーホールの金属めっきを保護する方法は、一般にテンティング法と呼ばれている。また多層構成のプリント配線板においてはビアホールと呼ばれる層間接続用のホールが設けられる場合があり、この場合にも同様に配線パターン形成時にはテント膜によりビアホール部を保護することが必要である。
【０００３】
近年、プリント配線板への高密度化の要求が高くなってきており、より高解像度が可能なフォトレジストが求められている。フォトレジストの解像度を上げるには、その感光層の膜厚を薄くすることが有効である。しかし背景技術で述べたように該感光層はプリント配線板に形成されたスルーホール又はビアホールを保護する役割もあり、単純に感光層の膜厚を薄くしてしまうと感光性樹脂組成物の未硬化感光層領域を溶解除去する工程や露出した金属層部分をエッチング処理する工程で、このテント膜が破れてしまうという問題がある。
【０００４】
これまでにも高解像度で破れにくいテント膜を形成できる感光性樹脂組成物および感光性転写シートの研究開発が盛んに行われており、その成果が次のように開示されている。
【０００５】
特許文献１には、バインダー成分（好ましくは、スチレンーアクリル系重合体を含有するもの）、特定のウレタン結合を有するエチレン性不飽和化合物を含むモノマー成分、および光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物層を有する感光性転写シートが開示されている。
【０００６】
特許文献２には、カルボキシル基を有するバインダー成分、特定のビニルウレタン化合物と特定のアクリレート化合物とを含むモノマー成分、及び光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物層を有する感光性転写シートが開示されている。
【０００７】
特許文献３には、３〜１５個の炭素原子を有するα，β−不飽和カルボキシル基含有単量体の少なくとも一種を１５〜３５質量％、ブチルアクリレート５〜３０質量％と、炭素原子数１〜８のアルキル基を有するメタクリル酸エステル３５〜８０質量％とから構成された質量平均分子量が２００００〜２０００００の範囲であるバインダー成分、１分子中に２個以上の単量体のエチレン性不飽和基を有するモノマー成分、及び光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物層を有する感光性転写シートが開示されている。
これらの感光性転写シートは確かにテント膜の強度は改良されているが、その感光層の膜厚は約３５〜５０μｍであり、十分な解像度を得るには至っていない。
【０００８】
特許文献４あるいは特許文献５には、カルボキシル基を有するバインダー成分、特定のウレタン結合とエチレン性不飽和基とを有するイソシアヌル酸エステルを含むモノマー成分、及び光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物層を有する感光性転写シートが開示されている。
これらの感光性転写シートは確かにテント膜の強度は改良されているが、その感光層の膜厚は５０μｍであり、十分な解像度を得るには至っていない。
また、これらの特許文献で用いられているイソシアヌレート環を有するモノマー成分は、原料として多官能イソシアネートの多量体を用いている。しかし、通常、多官能イソシアネートの多量体は混合物として得られるため、イソシアヌレート環を有するモノマー成分は、種々の構造をしたモノマーの混合物となってしまう。そのため、感光性転写シートの感度が不安定であったり、解像度が不十分であったり、性能が十分に発揮できない場合がある。更に、多官能イソシアネートの多量体は高コストであるため、イソシアヌレート環を有するモノマーも高価となってしまい、工業的に有利であるとは言い難かった。
【０００９】
特許文献６には、支持体の上に、アルカリ可溶性で、加熱による流動性が小さく、活性エネルギー線に感応する第一の感光層を設け、さらにその上にアルカリ可溶性で、加熱による流動性が大きく、活性エネルギー線に感応する第二の感光層を設けてなる二層の感光層を有する感光性転写シートが開示されている。この特許文献では、感光性転写シートの第二の感光層をスルーホール内に埋め込むことによりスルーホールの金属層を保護することができると説明されている。しかしながら、プリント配線板製造の最終工程でスルーホール内に埋め込まれた硬化樹脂（第二の感光層の硬化物）を除去しなければならないため、プリント配線板の製造工程が複雑になるという問題がある。また解像度も不足であった。
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−２９０２６６号公報
【特許文献２】特開平１０−１４２７８９号公報
【特許文献３】特開平７−２７１０３２公報
【特許文献４】特開平１０−１０７２３号公報
【特許文献５】特許第３１９９６００号公報
【特許文献６】特開平８−５４７３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の課題は、弱アルカリ水溶液による現像性、強アルカリ水溶液における剥離性に優れ、薄層化により高解像度化が可能であり、高解像度であって、かつ厚さを従来のものよりも薄くしても破れにくいテント膜を形成することができる感光性樹脂組成物および感光性転写シートを提供することにある。本発明はまた該感光性転写シートを用いて、スルーホールやビアホールを有するプリント配線板を工業的に有利に製造できる方法を提供することにもある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であって、重合性化合物が下記式（Ｉ）で表されることを特徴とする感光性樹脂組成物を提供する：
（Ｉ）
【００１３】
【化１】
2005258092.tif 000003
【００１４】
［式中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基であり；Ｌ１は、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基であるか、あるいは、それらの組み合わせの間に、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基またはスルホニルが介在している二価の連結基であり；ｐおよびｑは、それぞれ独立に、１乃至１０の整数であり；ｌおよびｍは、それぞれ独立に、１乃至５０の整数であり；ｎは、３乃至６の整数であり；そして、Ｌ２は、ｎ価の脂肪族基またはｎ価の芳香族基であるか、あるいは、それらとアルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基との組み合わせからなるｎ価の連結基である］。
【００１５】
式（Ｉ）において、ｌは１乃至１４の整数であり、ｍは１乃至３０の整数であることが好ましい。
式（Ｉ）において、ｐおよびｑは、それぞれ独立に、２または３であることが好ましい。
式（Ｉ）において、Ｌ１は、アルキレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基であることが好ましい。
式（Ｉ）において、Ｌ２は、ｎ価の脂肪族基であることが好ましい。
前記バインダーは、カルボキシル基を有するポリマーであることが好ましい。バインダーは、カルボキシル基を有する繰り返し単位と、カルボキシル基を有しない繰り返し単位とを有するコポリマーであって、コポリマー中のカルボキシル基を有する繰り返し単位の割合が５乃至５０モル％であることがさらに好ましい。
前記光重合開始剤は、ハロゲン置換アルキル基を有する複素環化合物、オキシム、ヘキサアリールビイミダゾールおよびケトンからなる群より選ばれることが好ましい。
感光性樹脂組成物は、バインダーを１０乃至９０質量％、重合性化合物を５乃至６０質量、光重合開始剤を０．１乃至３０質量％含むことが好ましい。
感光性樹脂組成物は、さらに増感剤を含むことが好ましい。
感光性樹脂組成物は、プリント配線板製造用であることが好ましい。
【００１６】
また、本発明は、支持体と、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む感光性樹脂層とを有する感光性転写シートであって、重合性化合物が前記式（Ｉ）で表されることを特徴とする感光性転写シートも提供する。
感光性樹脂層の厚さは、５μｍ以上、３５μｍ未満であることが好ましい。
感光性樹脂層の上に保護フイルム層を設けることができる。
【００１７】
さらに、本発明は、下記の（１）〜（６）の工程をこの順序で実施することにより、内壁表面が金属層で覆われたスルーホールまたはビアホールを有するプリント配線板を製造するプリント配線板製造方法を提供する：
（１）スルーホールまたはビアホールを有し、表面が金属層で覆われたプリント配線板形成用基板の表面に、支持体と、バインダー、前記式（Ｉ）で表される重合性化合物および光重合開始剤を含む感光性樹脂層とを有する感光性転写シートを、その感光性樹脂層が金属層に接するようにして圧着し、プリント配線板形成用基板、感光性樹脂層、そして支持体がこの順で積層された積層体を得る積層工程；
（２）積層体の支持体側から光をパターン状に照射して、感光性樹脂層を硬化させて、配線パターン形成用の硬化性樹脂組成物領域とスルーホールまたはビアホールの金属保護用の硬化樹脂組成物領域とからなる硬化樹脂組成物パターンを形成する露光工程；
（３）積層体から支持体を剥がす支持体剥離工程；
（４）プリント配線板形成用基板上の感光性樹脂層の未硬化領域を溶解除去して、基板表面の未硬化領域の金属層を露出させる現像工程；
（５）露出した領域の金属層をエッチング液で溶解除去するエッチング工程；そして、
（６）硬化層をプリント配線板形成用基板から除去する硬化層除去工程。
上記（３）の工程において、光としてレーザ光を用いることができる。
【００１８】
さらにまた、本発明は、内壁表面が金属層で覆われたスルーホールまたはビアホールを有するプリント配線板形成用基板上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む感光性樹脂層が積層されている積層体であって、重合性化合物が前記式（Ｉ）で表されることを特徴とする積層体も提供する。
上記感光性樹脂層の上に支持体を積層することができる。
【００１９】
そして、本発明は、支持体上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む第一感光層、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含み第一感光層の光感度よりも相対的に高い光感度を有する第二感光層がこの順序で積層されており、第一感光層および第二感光層の少なくとも一方に含まれる重合性化合物が前記式（Ｉ）で表されることを特徴とする感光性転写シートも提供する。
【００２０】
そしてまた、本発明は、スルーホール又はビアホールを有するプリント配線板の下記の工程からなる製造方法を提供する：
（１）内壁表面が金属層で覆われたスルーホール又はビアホールを有し、表面が金属層で覆われたプリント配線板形成用基板の表面に、支持体上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む第一感光層、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含み第一感光層の光感度よりも相対的に高い光感度を有する第二感光層がこの順序で積層されており、第一感光層および第二感光層の少なくとも一方に含まれる重合性化合物が前記式（Ｉ）で表される感光性転写シートを、その第二感光層側が金属層に接するようにして圧着し、プリント配線板形成用基板上に少なくとも第二感光層、第一感光層、そして支持体が積層された積層体を得る積層工程；
（２）必要に応じて支持体を剥離する工程；
（３）積層体のプリント配線板形成用基板とは反対の側からプリント配線板形成用基板の配線パターン形成領域には第二感光層を硬化させるために必要な光量の光を所定のパターン状に照射して、所定パターンの硬化層領域を形成し、スルーホール又はビアホールの開口部を含む領域には第一感光層と第二感光層とをともに硬化させるために必要な光量の光を所定のパターン状に照射して、スルーホール又はビアホールの開口部領域を被覆する硬化層領域を形成する露光工程；
（４）必要に応じて積層体から支持体を剥がす支持体剥離工程；
（５）プリント配線板形成用基板上の第一感光層及び第二感光層の未硬化領域を溶解除去して、基板表面の該未硬化領域の金属層を露出させる現像工程；
（６）露出した領域の金属層をエッチング液で溶解除去するエッチング工程；そして、
（７）硬化層をプリント配線板形成用基板から除去する硬化層除去工程。
【００２１】
別に、本発明は、基体上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む第二感光層、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含み第二感光層の光感度よりも相対的に低い光感度を有する第一感光層がこの順に積層されており、第一感光層および第二感光層の少なくとも一方に含まれる重合性化合物が前記式（Ｉ）で表されることを特徴とする感光性積層体も提供する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の感光性樹脂組成物および該感光性樹脂組成物を用いた感光性転写シートは、感光性樹脂組成物層の厚さを薄くしても破れにくいテント膜を形成できることから、感光性樹脂組成物層の薄層化による高解像度化が可能である。従って、本発明の感光性樹脂組成物および該感光性樹脂組成物を用いた感光性転写シートは、高密度のプリント配線板の製造に有利に利用することができ、特に両面プリント配線板や多層プリント配線板などの金属めっきスルーホールを有するプリント配線板の製造に有利に利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
［重合性化合物］
重合性化合物は、下記式（Ｉ）で表される。
（Ｉ）
【００２４】
【化２】
2005258092.tif 000004
【００２５】
式（Ｉ）において、Ｒ１は、水素原子またはメチル基である。Ｒ１で表されるｎ（３〜６）個の基は、同一であることが好ましい。
【００２６】
式（Ｉ）において、Ｌ１は、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基であるか、あるいは、それらの組み合わせの間に、酸素原子（−Ｏ−）、硫黄原子（−Ｓ−）、カルボニル（−ＣＯ−）、イミノ（−ＮＨ−）、置換イミノ基（−ＮＲ−、Ｒは置換基）またはスルホニル（−ＳＯ２−）が介在している二価の連結基である。Ｌ１は、アルキレン基、アリーレン基、置換アリーレン基またはそれらの組み合わせからなる二価の連結基であることが特に好ましい。Ｌ１で表されるｎ（３〜６）個の基は、同一であることが好ましい。
【００２７】
アルキレン基は、環状構造または分岐構造を有していてもよい。アルキレン基の炭素原子数は、１乃至１８が好ましく、２乃至１４がさらに好ましく、４乃至１０が最も好ましい。
アルキレン基の例は、メチレン、エチレン、トリメチレン、プロピレン、テトラメチレン、１−メチルトリメチレン、ペンタメチレン、２，２−ジメチルトリメチレン、ヘキサメチレン、トリメチルヘキサメチレン、シクロへキシレン、ヘプタメチレン、オクタメチレン、２−エチルヘキサメチレン、ノナメチレン、デカメチレン、ドデカメチレン、ジシクロへキシルメチレン、オクタデカメチレンを含む。下記の環状アルキレン基も、アルキレン基の例に含まれる。
【００２８】
【化３】
2005258092.tif 000005
【００２９】
置換アルキレン基のアルキレン部分は、上記アルキレン基と同様である。置換アルキレン基の置換基の例は、ハロゲン原子（Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ）、アリール基、アルコキシ基（例、メトキシ、エトキシ、２−エトキシエトキシ）、アリールオキシ基（例、フェノキシ）、アシル基（例、アセチル、プロピオニル）、アシルオキシ基（例、アセトキシ、ブチリルオキシ）、アルコキシカルボニル基（例、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル）およびアリールオキシカルボニル基（例、フェノキシカルボニル）を含む。
置換アルキレン基の例は、ジフェニルメチレンを含む。
【００３０】
アルケニレン基およびアルキニレン基は、環状構造または分岐構造を有していてもよい。アルケニレン基およびアルキニレン基の炭素原子数は、２乃至１８が好ましく、２乃至１４がさらに好ましく、４乃至１０が最も好ましい。
置換アルケニレン基のアルケニレン部分は、上記アルケニレン基と同様である。置換アルキニレン基のアルキニレン部分は、上記アルキニレン基と同様である。置換アルキレン基および置換アルキニレン基の置換基の例は、置換アルキレン基の置換基の例と同様である。
【００３１】
アリーレン基の炭素原子数は、６乃至１８であることが好ましく、６乃至１４であることがさらに好ましい。
アリーレン基の例は、フェニレン、ビフェニルジイルおよびナフチレンを含む。
置換アリーレン基のアリーレン部分は、上記アリーレン基と同様である。置換アリーレン基の置換基の例は、置換アルキレン基の置換基の例に加えて、アルキル基を含む。
置換アリーレン基の例は、メチルフェニレンおよびジメチルフェニレンを含む。
【００３２】
アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基または置換アリーレン基の組み合わせからなる二価の連結基は、炭素原子数が７乃至２５であることが好ましく、７乃至１８であることがさらに好ましく、７乃至１５であることが最も好ましい。組み合わせからなる二価の連結基の例は、キシレン−α，α’−ジイルを含む。
【００３３】
アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基または置換アリーレン基の組み合わせに、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、イミノ基、置換イミノ基、スルホニル基あるいはこれらを組み合わせた基（−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＮＨＣＯ−等）が介在してもよい。置換イミノ基の置換基の例は、アルキル基およびアリール基を含む。アルキル基の炭素原子数は、１乃至１８であることが好ましく、１乃至１０であることがさらに好ましい。アリール基の炭素原子数は、６乃至１８であることが好ましく、６乃至１０であることがさらに好ましい。
【００３４】
式（Ｉ）において、ｐおよびｑは、それぞれ独立に、１乃至１０の整数である。ｐおよびｑは、それぞれ独立に、１乃至６の整数であることが好ましく、２、３または４であることがさらに好ましく、２または３であることが最も好ましい。
−ＣｐＨ２ｐ−は、分岐を有していてもよい炭素原子数がｐである鎖状無置換アルキレン基を意味する。
（−Ｏ−ＣｐＨ２ｐ−）ｌに含まれる複数個のオキシアルキレン（−Ｏ−ＣｐＨ２ｐ−）が異なる場合、共重合体となるポリオキシアルキレン部分は、ランダム、交互、ブロックのいずれでもよい。
−ＣｑＨ２ｑ−は、分岐を有していてもよい炭素原子数がｑである鎖状無置換アルキレン基を意味する。
（−ＣｑＨ２ｑ−Ｏ−）ｍに含まれる複数個のオキシアルキレン（−ＣｑＨ２ｑ−Ｏ−）が異なる場合、共重合体となるポリオキシアルキレン部分は、ランダム、交互、ブロックのいずれもでもよい。
【００３５】
式（Ｉ）において、ｌおよびｍは、それぞれ独立に、１乃至５０の整数である。
ｌは、１乃至１４の整数であることが好ましく、４乃至１４の整数であることがさらに好ましく、４乃至１０の整数であることが最も好ましい。
ｍは、１乃至３０の整数であることが好ましく、１乃至２０の整数であることがさらに好ましく、１乃至１０の整数であることが最も好ましい。
【００３６】
以下に、−（−Ｏ−ＣｐＨ２ｐ−）ｌ−の例を示す。ｌ１とｌ２は、ｌ１＋ｌ２＝ｌを満足する１乃至４９の整数である。−（−ＣｑＨ２ｑ−Ｏ−）ｍ−の例も（左右が反転する以外は）同様である。
Ｌ０１：−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｌ−
Ｌ０２：−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ（ＣＨ３）−）ｌ−
Ｌ０３：−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｌ−
Ｌ０４：−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｌ−
Ｌ０５：−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｌ１−
−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ（ＣＨ３）−）ｌ２−
Ｌ０６：−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｌ１−
−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｌ２−
Ｌ０７：−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ（ＣＨ３）−）ｌ１−
−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｌ２−
【００３７】
式（Ｉ）において、ｎは、それぞれ独立に、３乃至６の整数である。ｎは、３、４または６であることが好ましい。
【００３８】
式（Ｉ）において、Ｌ２は、ｎ価の脂肪族基またはｎ価の芳香族基であるか、あるいは、それらとアルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、酸素原子（−Ｏ−）、硫黄原子（−Ｓ−）、カルボニル基（−ＣＯ−）、イミノ基（−ＮＨ−）、置換イミノ基（−ＮＲ−、Ｒは置換基）またはスルホニル基（−ＳＯ２−）との組み合わせである。Ｌ２は、ｎ価の脂肪族基であることが特に好ましい。
【００３９】
ｎ価の脂肪族基は、環状構造または分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素原子数は、１乃至３０が好ましく、１乃至２０がさらに好ましく、３乃至１０が最も好ましい。脂肪族基は、置換基を有していてもよい。脂肪族基の置換基の例は、置換アルキレン基の置換基の例と同様である。
ｎ価の芳香族基の炭素原子数は、６乃至１００が好ましく、６乃至５０がさらに好ましく、６乃至３０が最も好ましい。芳香族基は、置換基を有していてもよい。
アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基、アリーレン基、置換アリーレン基、置換イミノ基は、Ｌ１について説明した通りである。
【００４０】
以下に、Ｌ２の例を示す。
【００４１】
【化４】
2005258092.tif 000006
【００４２】
【化５】
2005258092.tif 000007
【００４３】
【化６】
2005258092.tif 000008
【００４４】
【化７】
2005258092.tif 000009
【００４５】
【化８】
2005258092.tif 000010
【００４６】
【化９】
2005258092.tif 000011
【００４７】
【化１０】
2005258092.tif 000012
【００４８】
【化１１】
2005258092.tif 000013
【００４９】
【化１２】
2005258092.tif 000014
【００５０】
【化１３】
2005258092.tif 000015
【００５１】
【化１４】
2005258092.tif 000016
【００５２】
【化１５】
2005258092.tif 000017
【００５３】
【化１６】
2005258092.tif 000018
【００５４】
【化１７】
2005258092.tif 000019
【００５５】
【化１８】
2005258092.tif 000020
【００５６】
【化１９】
2005258092.tif 000021
【００５７】
【化２０】
2005258092.tif 000022
【００５８】
【化２１】
2005258092.tif 000023
【００５９】
【化２２】
2005258092.tif 000024
【００６０】
式（Ｉ）で表される重合性化合物を二種類以上併用してもよい。一般的な製造方法（後述）により式（Ｉ）で表される重合性化合物を合成すると、アルキレンオキサイド単位の重合度（ｌとｍの数値）が異なる混合物が得られる場合が多い。本発明では、得られた混合物をそのまま使用することもできる。
以下に、式（Ｉ）で表される重合性化合物およびその混合物の例を示す。混合物の場合、ｌ（ｌ１とｌ２を含む）およびｍは、平均値である。
【００６１】
【化２３】
2005258092.tif 000025
【００６２】
【化２４】
2005258092.tif 000026
【００６３】
【化２５】
2005258092.tif 000027
【００６４】
【化２６】
2005258092.tif 000028
【００６５】
【化２７】
2005258092.tif 000029
【００６６】
【化２８】
2005258092.tif 000030
【００６７】
【化２９】
2005258092.tif 000031
【００６８】
【化３０】
2005258092.tif 000032
【００６９】
【化３１】
2005258092.tif 000033
【００７０】
【化３２】
2005258092.tif 000034
【００７１】
【化３３】
2005258092.tif 000035
【００７２】
【化３４】
2005258092.tif 000036
【００７３】
【化３５】
2005258092.tif 000037
【００７４】
【化３６】
2005258092.tif 000038
【００７５】
【化３７】
2005258092.tif 000039
【００７６】
【化３８】
2005258092.tif 000040
【００７７】
【化３９】
2005258092.tif 000041
【００７８】
【化４０】
2005258092.tif 000042
【００７９】
【化４１】
2005258092.tif 000043
【００８０】
【化４２】
2005258092.tif 000044
【００８１】
【化４３】
2005258092.tif 000045
【００８２】
【化４４】
2005258092.tif 000046
【００８３】
【化４５】
2005258092.tif 000047
【００８４】
【化４６】
2005258092.tif 000048
【００８５】
【化４７】
2005258092.tif 000049
【００８６】
【化４８】
2005258092.tif 000050
【００８７】
【化４９】
2005258092.tif 000051
【００８８】
【化５０】
2005258092.tif 000052
【００８９】
【化５１】
2005258092.tif 000053
【００９０】
【化５２】
2005258092.tif 000054
【００９１】
【化５３】
2005258092.tif 000055
【００９２】
【化５４】
2005258092.tif 000056
【００９３】
【化５５】
2005258092.tif 000057
【００９４】
【化５６】
2005258092.tif 000058
【００９５】
【化５７】
2005258092.tif 000059
【００９６】
【化５８】
2005258092.tif 000060
【００９７】
【化５９】
2005258092.tif 000061
【００９８】
【化６０】
2005258092.tif 000062
【００９９】
【化６１】
2005258092.tif 000063
【０１００】
【化６２】
2005258092.tif 000064
【０１０１】
【化６３】
2005258092.tif 000065
【０１０２】
【化６４】
2005258092.tif 000066
【０１０３】
【化６５】
2005258092.tif 000067
【０１０４】
【化６６】
2005258092.tif 000068
【０１０５】
【化６７】
2005258092.tif 000069
【０１０６】
【化６８】
2005258092.tif 000070
【０１０７】
【化６９】
2005258092.tif 000071
【０１０８】
【化７０】
2005258092.tif 000072
【０１０９】
【化７１】
2005258092.tif 000073
【０１１０】
【化７２】
2005258092.tif 000074
【０１１１】
【化７３】
2005258092.tif 000075
【０１１２】
【化７４】
2005258092.tif 000076
【０１１３】
【化７５】
2005258092.tif 000077
【０１１４】
【化７６】
2005258092.tif 000078
【０１１５】
【化７７】
2005258092.tif 000079
【０１１６】
【化７８】
2005258092.tif 000080
【０１１７】
【化７９】
2005258092.tif 000081
【０１１８】
式（Ｉ）で表される重合性化合物は、例えば、［ＯＣＮ−Ｌ１−ＮＨ−ＣＯ−Ｏ−（−ＣｑＨ２ｑ−Ｏ−）ｍ−］ｎＬ２に相当するポリイソシアナートと、ＣＨ２＝Ｃ（−Ｒ１）−ＣＯ−（−Ｏ−ＣｐＨ２ｐ−）ｌ−ＯＨに相当する（メタ）アクリル酸エステルとの反応により合成できる。
上記ポリイソシアナートは、例えば、ＨＯ−（−ＣｑＨ２ｑ−Ｏ−）ｍ−］ｎＬ２に相当するアルキレンオキサイド付加物と、ＯＣＮ−Ｌ１−ＮＣＯに相当するジイソシアナートとの反応により合成できる。上記アルキレンオキサイド付加物は、例えば、（ＨＯ−）ｎＬ２に相当する多価（３〜６価）アルコールとの反応により合成できる。
【０１１９】
感光性樹脂組成物層の重合性化合物の（後述する他の重合性化合物を含めた）含有量は、感光性樹脂組成物の総量（溶媒を除く）の一般的には、５乃至９０質量％であるが、５乃至６０質量％が好ましく、１５乃至６０質量％がさらに好ましく、２０乃至５０質量％が最も好ましい。重合性化合物が少ないとテント膜の強度が低下する場合がある。重合性化合物が多いと感光性転写シートとして用いた場合に保存時のエッジフュージョン（ロール端部からのしみだし故障）が悪化する傾向がある。
全重合性化合物における式（Ｉ）で表される重合性化合物の割合は、２０質量％以上が好ましく、３０質量以上がさらに好ましく、５０質量％以上が最も好ましい。
【０１２０】
［他の重合性化合物］
式（Ｉ）で表される重合性化合物と他の重合性化合物とを併用してもよい。
このような重合性化合物としては、重合性基を２ヶ以上含有するモノマー（多官能モノマー）、あるいはオリゴマーを用いることが好ましい。また、分子内に重合性基を１ヶ含有する重合性化合物（単官能モノマー）を用いることも好ましい。
【０１２１】
重合性基としては、エチレン性不飽和結合（例えば（メタ）アクリロイル基、（メタ）アクリルアミド基、スチリル基、ビニルエステルやビニルエーテルなどのビニル基、アリルエーテルやアリルエステルなどのアリル基など）、エポキシ基、オキセタン基などが挙げられる。これらの内でエチレン性不飽和結合が好ましく、エチレン性不飽和結合の中でも、（メタ）アクリロイル基、スチリル基などのビニル基が特に好ましい。
【０１２２】
このような多官能モノマーの例としては、不飽和カルボン酸（例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など）と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と多価アミン化合物とのアミド等が挙げられる。
【０１２３】
脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、（メタ）アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ノナエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ドデカエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラデカエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ドデカプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド変性ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド変性ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（（メタ）アクリロイルオキシプロピル）エ一テル、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，２，４−ブタントリオールトリ（メタ）アクリレート、１，５−ペンタンジオール（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ソルビトールトリ（メタ）アクリレート、ソルビトールテトラ（メタ）アクリレート、ソルビトールペンタ（メタ）アクリレート、ソルビトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジメチロールジシクロペンタンジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール／ポリプロピレングリコール共重合体のジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド付加したトリメチロールプロパンのトリ（メタ）アクリル酸エステルポリブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート、キシレノールジ（メタ）アクリレート等がある。
【０１２４】
これらの（メタ）アクリル酸エステル類の中でも好ましい例としては、その入手の容易さから、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ドデカプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート、ジグリセリンジ（メタ）アクリレート、１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、１，２，４−ブタントリオールトリ（メタ）アクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，５−ベンタンジオール（メタ）アクリレート、ネオベンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド付加したトリメチロールプロパンのトリ（メタ）アクリル酸エステル等を挙げることができる。
【０１２５】
イタコン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル（イタコン酸エステル）の例としては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、１，３−ブタンジオールジイタコネート、１，４ーブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、及びソルビトールテトライタコネート等がある。
【０１２６】
クロトン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル（クロトン酸エステル）の例としては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、及びソルビトールテトラジクロトネート等がある。
イソクロトン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル（イソクロトン酸エステル）の例としては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、及びソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル（マレイン酸エステル）の例としては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、及びソルビトールテトラマレート等がある。
【０１２７】
また、多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドの例としては、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、エチレンビス（メタ）アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス（メタ）アクリルアミド、オクタメチレンビス（メタ）アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス（メタ）アクリルアミド、ジエチレントリアミンビス（メタ）アクリルアミド、及びキシリレンビス（メタ）アクリルアミド等がある。
更にビスフェノール骨格を有する２，２−ビス〔ｐ−（３−（メタ）アクリルオキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス〔４−（（メタ）アクリルオキシエトキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス〔４−（（メタ）アクリロイルオキシプロポキシ）フェニル〕プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシジプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシペンタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシペンタデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンやこれらの化合物のポリエーテル部位として同一分子中にポリエチレンオキシド骨格とポリプロピレンオキシド骨格の両者を含む化合物なども挙げられる。これらの化合物は例えばＢＰＥ−２００，ＢＰＥ−５００，ＢＰＥ−１０００（新中村化学工業（株）製）などとして入手できる。
【０１２８】
更にビスフェノールとエチレンオキシドやプロピレンオキシドなどの付加物、重付加物として得られる末端に水酸基を有する化合物に対してイソシアネート基と重合基を有する化合物（２−イソシアネートエチル（メタ）アクリレート、α、α―ジメチル−ビニルベンジルイソシアネートなど）の付加体の様にビスフェノール骨格とウレタン基を有する重合性化合物も利用できる。
またノボラック型エポキシ樹脂、ブタンジオールー１，４−ジグリシジルエーテル、シクロヘキサンジメタノールグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、ジプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル等のグリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物も利用できる。
【０１２９】
また式（Ｉ）以外で表される重合性基とウレタン基を含有する化合物も利用できる。この様な化合物の例としては特公昭４８−４１７０８、特開昭５１−３７１９３、特公平５−５０７３７、特公平７−７２０８、特開２００１−１５４３４６、特開２００１−３５６４７６号公報などに記載されており、例えば１分子に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物（例えばヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート、ジフェニルジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、３，３’−ジメチル−４，４’−ジフェニルジイソシアネートやこれらのジイソシアネートのビュレット体やイソシアヌレートなどの３量体など）と分子中に水酸基を含有するビニルモノマー（例えば２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、など）とを付加せしめることで得られる１分子中に２個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等があげられる。またトリ（（メタ）アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ジ（メタ）アクリル化イソシアヌレート、エチレンオキシド変性イソシアヌル酸のトリ（メタ）アクリレート等の様なイソシアヌレート環を有する化合物も利用できる。
【０１３０】
また特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載されているようなポリエステルアクリレートやポリエステル（メタ）アクリレートオリゴマー類、エポキシ化合物（ノボラック型エポキシ樹脂、ブタンジオールー１，４−ジグリシジルエーテル、シクロヘキサンジメタノールグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、ジプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテルなど）と（メタ）アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートをあげることができる。またフタル酸やトリメリット酸などと前記の分子中に水酸基を含有するビニルモノマーから得られるエステル化物なども挙げられる。さらに日本接着協会誌vol.２０、Ｎo.７、３００〜３０８ページ（１９８４年）に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。
【０１３１】
またアリルエステル（例えばフタル酸ジアリル、アジピン酸ジアリル、マロン酸ジアリル、フタル酸ジアリル、トリメリット酸トリアリル、ベンゼンジスルホン酸ジアリル、トリアリルイソシアヌレートなど）；及びジアリルアミドなども利用できる。
【０１３２】
また重合性化合物としてカチオン重合性のジビニルエーテル類（例えばブタンジオール−１，４−ジビニルエーテル、シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル、ジエチレングリコールジビニルエーテル、ジプロピレングリコールジビニルエーテル、ヘキサンジオールジビニルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、ビスフェノールＡジビニルエーテル、グリセリントリビニルエーテルなど）、エポキシ化合物（ノボラック型エポキシ樹脂、ブタンジオールー１，４−ジグリシジルエーテル、シクロヘキサンジメタノールグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、ジプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテルなど）、オキセタン類（例えば１，４−ビス〔（３−エチルー３−オキセタニルメトキシ）メチル〕ベンゼンなど）を用いることもできる。
またビニルエステル類の例として、ジビニルサクシネート、ジビニルアジペート、ジビニルフタレート、ジビニルテレフタレート、ジビニルベンゼン−１，３−ジスルホネート及びジビニルブタン−１，４−ジスルホネート等も利用できる。
スチレン化合物の例としては、ジビニルベンゼン、ｐ−アリルスチレン及びｐ−イソプロペンスチレン等を挙げることができる。
【０１３３】
更に上記化合物以外の化合物として、Ｎ−β−ヒドロキシエチル−β−（メタクリルアミド）エチルアクリレート、Ｎ，Ｎ−ビス（β−メタクリロキシエチル）アクリルアミド、アリルメタクリレートなどの、異なったエチレン性不飽和二重結合を２個以上有する化合物も、本発明に好適に用いられる化合物として挙げることができる。
【０１３４】
単官能モノマーの例としては、後述するバインダーの原料として例示した化合物、特開平６−２３６０３１号広報に開示されている２塩基のモノ((メタ)アクリロイルオキシアルキルエステル)モノ（ハロヒドロキシアルキルエステル）の様な単官能モノマー（例えばγ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−メタクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレートなど）などが挙げられる。
【０１３５】
これらの多官能モノマー、オリゴマー、単官能モノマーは、単独でまたは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【０１３６】
［バインダー］
感光性樹脂組成物に用いるバインダーは、アルカリ水溶液に可溶であることが好ましく、あるいは少なくとも膨潤性を有することが好ましい。このようなバインダーの例としては、酸性基（カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基など）を有するものが利用できるが、特にカルボキシル基を有するバインダーが代表的であり、例えばカルボキシル基含有ビニル共重合体、カルボキシル基含有ポリウレタン樹脂、ポリアミド酸樹脂、変性エポキシ樹脂などが挙げられるが、塗布溶媒への溶解性、アルカリ現像液への溶解性、合成適性、膜物性の調整の容易さなどからカルボキシル基含有ビニル共重合体が好ましい。
【０１３７】
カルボキシル基含有ビニル共重合体は少なくとも（１）カルボキシル基含有ビニルモノマー、及び（２）これらと共重合可能なモノマーの共重合で得られる。
カルボキシル基含有ビニルモノマーの例としては（メタ）アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、アクリル酸ダイマーなどが挙げられる。また２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートなどの水酸基を有する単量体と無水マレイン酸や無水フタル酸、シクロヘキサンジカルボン酸無水物のような環状無水物との付加反応物、ω―カルボキシーポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレートなども利用できる。またカルボキシル基の前駆体として無水マレイン酸、無水イタコン酸などの無水物含有モノマーを用いてもよい。なおこれらの内では共重合性やコスト、溶解性などの観点から、（メタ）アクリル酸、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートなどの水酸基を有する単量体と無水マレイン酸や無水フタル酸、シクロヘキサンジカルボン酸無水物のような環状無水物との付加反応物がより好ましく、（メタ）アクリル酸が特に好ましい。
【０１３８】
上記の共重合体の合成に用いることができるその他の共重合可能なモノマーとしてはカルボキシル基と反応性を有さないことが好ましい。この様なモノマーの例としては、例えば（メタ）アクリル酸エステル類、クロトン酸エステル類、ビニルエステル類、マレイン酸ジエステル類、フマル酸ジエステル類、イタコン酸ジエステル類、（メタ）アクリルアミド類、ビニルエーテル類、スチレン類、（メタ）アクリロニトリルなどが挙げられる。
この様な例としては、例えば以下の様な化合物が挙げられる。
【０１３９】
（メタ）アクリル酸エステル類の例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、アセトキシエチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−エトキシエチル（メタ）アクリレート、２−（２−メトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、３−フェノキシー２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノフェニルエーテル（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレート、β−フェノキシエトキシエチルアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、トリフロロエチル（メタ）アクリレート、オクタフロロペンチル（メタ）アクリレート、パーフロロオクチルエチル（メタ）アクリレート、トリブロモフェニル（メタ）アクリレート、トリブロモフェニルオキシエチル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【０１４０】
クロトン酸エステル類の例としては、クロトン酸ブチル、及びクロトン酸ヘキシル等が挙げられる。ビニルエステル類の例としては、ビニルアセテート、ビニルプロピオネート、ビニルブチレート、ビニルメトキシアセテート、及び安息香酸ビニルなどが挙げられる。
【０１４１】
マレイン酸ジエステル類の例としては、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチル、及びマレイン酸ジブチルなどが挙げられる。フマル酸ジエステル類の例としては、フマル酸ジメチル、フマル酸ジエチル、及びフマル酸ジブチルなどが挙げられる。イタコン酸ジエステル類の例としては、イタコン酸ジメチル、イタコン酸ジエチル、及びイタコン酸ジブチルなどが挙げられる。
【０１４２】
（メタ）アクリルアミド類としては、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−プロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−nブチルアクリル（メタ）アミド、Ｎ−ｔｅｒｔブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−シクロヘキシル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（２−メトキシエチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−フェニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ベンジル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルフォリンなどが挙げられる。
【０１４３】
スチレン類の例としては、スチレン、メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヒドロキシスチレン、メトキシスチレン、ブトキシスチレン、アセトキシスチレン、クロロスチレン、ジクロロスチレン、ブロモスチレン、クロロメチルスチレン、ビニル安息香酸メチル、及びα−メチルスチレンなどが挙げられる。ビニルエーテル類の例としては、メチルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、ヘキシルビニルエーテル、及びメトキシエチルビニルエーテルなどが挙げられる。
【０１４４】
この他に、（メタ）アクリロニトリル、ビニルピリジン、ビニルピロリドン、ビニルカルバゾール、Ｎ−ビニルホルムアミド、Ｎ−ビニルアセトアミド、Ｎ−ビニルイミダゾール、ビニルカプロラクトン等も使用できる。また２−アクリルアミドー２−メチルプロパンスルホン酸、２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート、２−ヒドロキシプロピルアクリロイルホスフェートなども利用できる。
【０１４５】
またこれら以外に例えばウレタン基、ウレア基、スルホンアミド基、フェノール基、イミド基などの官能基を有するビニルモノマーも用いることが出来る。
この様なモノマーとして、ウレタン基、又はウレア基を有するモノマーとしては例えばイソシアナート基と水酸基、又はアミノ基の付加反応を利用して、適宜合成することが可能である。具体的には、イソシアナート基含有モノマーと水酸基を１ヶ含有の化合物又は１級あるいは２級アミノ基を１ヶ含有の化合物との付加反応、又は水酸基含有モノマー又は１級あるいは２級アミノ基含有モノマーとモノイソシアネートとの付加反応等により適宜合成することができる。
【０１４６】
イソシアナート基含有モノマーの具体例としては、例えば下記のような化合物が挙げられる（Ｒ１は水素原子又はメチル基を表す）。
【０１４７】
【化８０】
2005258092.tif 000082
【０１４８】
モノイソシアネートの具体例としては、例えば、シクロヘキシルイソシアネート、ｎ−ブチルイソシアネート、トルイルイソシアネート、フェニルイソシアネート等が挙げられる。
水酸基含有モノマーの具体例としては、例えば、下記のような化合物が挙げられる（Ｒ１は水素原子又はメチル基を表し、ｎは１以上の整数を表す）。
【０１４９】
【化８１】
2005258092.tif 000083
【０１５０】
水酸基を１ヶ含有の化合物としては、アルコール類（メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、ｉ―プロパノール、ｎ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、ｔ−ブタノール、ｎ−ヘキサノール、２−エチルヘキサノール、ｎ−デカノール、ｎ−ドデカノール、ｎ−オクタデカノール、シクロペンタノール、シクロへキサノール、ベンジルアルコール、フェニルエチルアルコール等）、フェノール類（フェノール、クレゾール、ナフチルアルコール等）、更に置換基を含むものとして、フロロエタノール、トリフロロエタノール、メトキシエタノール、フェノキシエタノール、クロロフェノール、ジクロロフェノール、メトキシフェノール、アセトキシフェノール等も挙げられる。
【０１５１】
１級あるいは２級アミノ基含有モノマーの例としては例えばビニルベンジルアミンなどが挙げられる。
【０１５２】
１級あるいは２級アミノ基を１ヶ含有の化合物の具体例としては、アルキルアミン（メチルアミン、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ｉ―プロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ヘキシルアミン、２−エチルヘキシルアミン、デシルアミン、ドデシルアミン、オクタデシルアミン、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジブチルアミン）、環状アルキルアミン（シクロペンチルアミン、シクロへキシルアミン等）、アラルキルアミン（ベンジルアミン、フェネチルアミン等）、アリールアミン（アニリン、トルイルアミン、キシリルアミン、ナフチルアミン等）、更にこれらの組合せ（Ｎ−メチルーＮ−ベンジルアミン等）、更に置換基を含むアミン（トリフロロエチルアミン、ヘキサフロロイソプロピルアミン、メトキシアニリン、メトキシプロピルアミン等）等が挙げられる。
【０１５３】
これらの化合物は１種のみでも、また２種以上を併用しても良い。
【０１５４】
その他のモノマーとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、スチレン、メチルスチレン、ヒドロキシスチレン、メトキシスチレン、クロロスチレン、ブロモスチレン、（メタ）アクリロニトリル、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート、２−ヒドロキシプロピルアクリロイルホスフェートなどが好ましく、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、スチレン、メチルスチレン、ヒドロキシスチレン、クロロスチレン、ブロモスチレン、（メタ）アクリロニトリルなどがより好ましく、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、スチレン、ヒドロキシスチレン、クロロスチレン、ブロモスチレンなどが特に好ましい。
この様なビニル共重合体はそれぞれ相当するモノマーを公知の方法で常法に従って共重合させることで得られる。例えばこれらのモノマーを適当な溶媒中に溶解し、ここにラジカル重合開始剤を添加して溶液中で重合させる方法（溶液重合法）を利用して得られる。また水性媒体中に上記のモノマーを分散させた状態で、いわゆる乳化重合等で重合を行っても良い。
【０１５５】
溶液重合法で用いられる適当な溶媒の例としては、用いるモノマー、及び生成する共重合体の溶解性に応じて任意に選択できる。例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、１−メトキシ−２−プロパノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メトキシプロピルアセテート、乳酸エチル、酢酸エチル、アセトニトリル、テトラヒドロフラン、ジメチルホルムアミド、クロロホルム、トルエンが挙げられる。これらの溶媒は、二種以上を混合して使用してもよい。また、ラジカル重合開始剤としては、２，２’−アゾビス（イソブチロニトリル）（ＡＩＢＮ）、２，２’−アゾビス−（２，４’−ジメチルバレロニトリル）のようなアゾ化合物、ベンゾイルパーオキシドのような過酸化物、及び過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウムのような過硫酸塩などが利用できる。
【０１５６】
これらのモノマーから得られるビニル共重合体中のカルボキシル基を有する重合性モノマーに由来の繰り返し単位の含有率は、共重合体の全繰り返し単位中の５〜５０モル％が好ましく、更に好ましくは１０〜４０モル％であり、１５〜３５モル％が特に好ましい。該含有率が５モル％未満であるとアルカリ水への現像性が不足する場合があり、５０モル％を越えると硬化部（画像部）の現像液耐性が不足する場合がある。
【０１５７】
またカルボキシル基を有するバインダーの分子量は任意に調整が可能であるが、質量平均分子量として２０００〜３００、０００が好ましく、４０００〜１５００００が特に好ましい。質量平均分子量が２０００未満であると膜の強度が不足すること、また安定な製造が困難になる傾向にある。また分子量が３００、０００を超えると現像性が低下する傾向にある。更にカルボキシル基を有するバインダーのガラス転移温度（Ｔｇ）は、任意に調整が可能であるが、４０℃〜２００℃が好ましく、５５℃〜１６５℃がより好ましく、７０〜１５０℃が特に好ましい。Ｔｇが４０℃未満であると、感光性転写シートとして用いた場合に、ベタツキが生じたり、保存時のエッジフュージョン（ロール端部からのしみだし故障）が生じたりする傾向にある。またＴｇが２００℃を超えると、感光性樹脂組成物の粘度が高く取扱いが困難になったり、感光性転写シートとして用いた場合のラミネート性が低下する傾向にある。
これらのカルボキシル基を有するバインダーは１種でも２種以上のバインダーを併用してもよい。
【０１５８】
該カルボキシル基を有するバインダーの感光性樹脂組成物中の含有量は、感光性樹脂組成物の総量（溶媒を除く）の１０〜９０質量％であり、好ましくは２０〜８０質量％であり、特に好ましくは４０〜８０質量％である。該カルボキシル基を有するバインダー（及び必要に応じて併用される高分子結合剤）の含有量が少ないと、アルカリ現像性が低下する傾向があり、逆に多くなり過ぎると、現像時間に対する安定性や硬化膜（テント膜）の強度が低下する傾向にある。
【０１５９】
［光重合開始剤］
光重合開始剤としては、前述のモノマー成分の重合を開始する能力を有する化合物は全て使用可能であり、特に紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものであれば好適に使用できる。光重合開始剤は、約３００〜８００ｎｍ（より好ましくは３３０〜５００ｎｍ）の範囲内に少なくとも約５０の分子吸光係数を有する成分を少なくとも一種含有していることが好ましい。光重合開始剤は、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、またモノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であてもよい。
【０１６０】
光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えばトリアジン骨格を有するもの、オキサジアゾール骨格を有するもの）、ヘキサアリールビイミダゾール、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル等を挙げることができる。この内、特にトリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素、オキシム誘導体、ヘキサアリールビイミダゾール、ケトン化合物を用いることが、感光層の感度、保存性、及び感光層とプリント配線板形成用基板との密着性等の観点から好ましい。
【０１６１】
トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、次のような化合物が挙げられる。
若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924（1969）記載の化合物、例えば、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−クロルフェニル）−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−トリル）−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（２，４−ジクロルフェニル）−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２，４，６−トリス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２−ｎ−ノニル−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、及び２−（α，α，β−トリクロルエチル）−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン。
【０１６２】
英国特許１３８８４９２号明細書記載の化合物、例えば、２−スチリル−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−メチルスチリル）−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、及び２−（４−メトキシスチリル）−４−アミノ−６−トリクロルメチル−１，３，５−トリアジン。
【０１６３】
特開昭５３−１３３４２８号公報記載の化合物、例えば、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２−［４−（２−エトキシエチル）−ナフト−１−イル］−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン、及び２−（アセナフト−５−イル）−４，６−ビス（トリクロルメチル）−１，３，５−トリアジン。
【０１６４】
独国特許３３３７０２４号明細書記載の化合物、例えば、２−（４−スチリルフェニル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−（４−メトキシスチリル）フェニル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（１−ナフチルビニレンフェニル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−クロロスチリルフェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−チオフェン−２−ビニレンフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−チオフェン−３−ビニレンフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−フラン−２−ビニレンフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、及び２−（４−ベンゾフラン−２−ビニレンフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン。
【０１６５】
F.C.Schaefer等によるJ.Org.Chem.;29、1527（1964）記載の化合物、例えば、２−メチル−４，６−ビス（トリブロモメチル）−１，３，５−トリアジン、２，４，６−トリス（トリブロモメチル）−１，３，５−トリアジン、２，４，６−トリス（ジブロモメチル）−１，３，５−トリアジン、２−アミノ−４−メチル−６−トリ（ブロモメチル）−１，３，５−トリアジン、及び２−メトキシ−４−メチル−６−トリクロロメチル−１，３，５−トリアジン。
【０１６６】
特開昭６２−５８２４１号公報記載の化合物、例えば、２−（４−フェニルエチニルフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−ナフチル−１−エチニルフェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−（４−トリルエチニル）フェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−（４−メトキシフェニル）エチニルフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−（４−イソプロピルフェニルエチニル）フェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−（４−エチルフェニルエチニル）フェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン。
【０１６７】
特開平５−２８１７２８号公報記載の化合物、例えば２−（４−トリフルオロメチルフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（２，６−ジフルオロフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（２，６−ジクロロフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（２，６−ジブロモフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン。
【０１６８】
特開平５−３４９２０号公報記載の２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチルアミノ）−３−ブロモフェニル］−１，３，５−トリアジン、米国特許第４２３９８５０号明細書に記載されているトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、更に２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−クロロフェニル）−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジンなどが挙げられる。
【０１６９】
また、米国特許第４２１２９７６号明細書等に記載されているオキサジアゾール骨格を有する化合物等も挙げることができる。オキサジアゾール骨格を有する化合物としては例えば２−トリクロロメチル−５−フェニル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−クロロフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（１−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（２−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリブロモメチル−５−フェニル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリブロモメチル−５−（２−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール；２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−クロルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（１−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−ｎ−ブトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリプロメメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾールなどが挙げられる。 
【０１７０】
本発明で好適に用いられるオキシム誘導体としては、下記一般式で示される化合物を挙げることができる。
【０１７１】
【化８２】
2005258092.tif 000084
【０１７２】
【化８３】
2005258092.tif 000085
【０１７３】
【化８４】
2005258092.tif 000086
【０１７４】
【化８５】
2005258092.tif 000087
【０１７５】
本発明に使用することができるヘキサアリールビイミダゾールとしては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−フロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（３−メトキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（４−メトキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（４−メトキシフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ニトロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−メチルフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−トリフルオロメチルフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、ＷＯ００/５２５２９号公報に記載の化合物等が挙げられる。
【０１７６】
上記のビイミダゾール類は、例えば、Bull.Chem.Soc.Japan,33,565(1960)、およびJ.Org.Chem,36(16)2262（1971）に開示されている方法により容易に合成することができる。
【０１７７】
ケトン化合物としては、ベンゾフェノン、２−メチルベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、４−メトキシベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４−クロロベンゾフェノン、４−ブロモベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン、２−エトキシカルボニルベンゾルフェノン、ベンゾフェノンテトラカルボン酸又はそのテトラメチルエステル、４，４’−ビス（ジアルキルアミノ）ベンゾフェノン類（例えば４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビスジシクロヘキシルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジヒドロキシエチルアミノ）ベンゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、４−ジメチルアミノベンゾフェノン、４−ジメチルアミノアセトフェノン、ベンジル、アントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、２−メチルアントラキノン、フェナントラキノン、キサントン、チオキサントン、２−クロル−チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、フルオレノン、２−ベンジル−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−１−ブタノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−１−プロパノン、２−ヒドロキシー２−メチル−［４−（１−メチルビニル）フェニル］プロパノールオリゴマー、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類（例えばベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンジルジメチルケタール）、アクリドン、クロロアクリドン、Ｎ−メチルアクリドン、Ｎ−ブチルアクリドン、Ｎ−ブチル−クロロアクリドン等が挙げられる。
【０１７８】
またこの他、アクリジン誘導体（例えば９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９、９’−アクリジニル）ヘプタン等）、Ｎ−フェニルグリシン等、ポリハロゲン化合物（例えば、四臭化炭素、フェニルトリブロモメチルスルホン、フェニルトリクロロメチルケトン等）、クマリン類（例えば、３−（２−ベンゾフロイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３−（２−ベンゾフロイル）−７−（１−ピロリジニル）クマリン、３−ベンゾイル−７−ジエチルアミノクマリン、３−（２−メトキシベンゾイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３−（４−ジメチルアミノベンゾイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３,３’−カルボニルビス（５，７−ジ−ｎ−プロポキシクマリン）、３，３’−カルボニルビス（７−ジエチルアミノクマリン）、３−ベンゾイル−７−メトキシクマリン、３−（２−フロイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３−（４−ジエチルアミノシンナモイル）−７−ジエチルアミノクマリン、７−メトキシ−３−（３−ピリジルカルボニル）クマリン、３−ベンゾイル−５,７−ジプロポキシクマリン、７−ベンゾトリアゾール−２−イルクマリン等があげられ、他に特開平５-１９４７５号、特開平７-２７１０２８号、特開２００２-３６３２０６号、特開２００２-３６３２０７号、特開２００２-３６３２０８号、特開２００２-３６３２０９号公報などに記載のクマリン化合物があげられる）、アミン類（例えば、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸ｎ−ブチル、４−ジメチルアミノ安息香酸フェネチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−フタルイミドエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−メタクリロイルオキシエチル、ペンタメチレンビス（４−ジメチルアミノベンゾエート）、３−ジメチルアミノ安息香酸のフェネチル及びペンタメチレンエステル、４−ジメチルアミノベンズアルデヒド、２−クロル−４−ジメチルアミノベンズアルデヒド、４−ジメチルアミノベンジルアルコール、エチル（４−ジメチルアミノベンゾイル）アセテート、４−ピペリジノアセトフェノン、４−ジメチルアミノベンゾイン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−４−トルイジン、Ｎ，Ｎ−ジエチル−３−フェネチジン、トリベンジルアミン、ジベンジルフェニルアミン、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルベンジルアミン、４−ブロム−Ｎ,Ｎ−ジメチルアニリン、トリドデシルアミン、アミノフルオラン類（ＯＤＢ，ＯＤＢII等）、クリスタルバイオレットラクトン、ロイコクリスタルバイオレット等）、アシルホスフィンオキシド類（例えばビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキシド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチル−ペンチルフェニルホスフィンオキシド、ＬｕｃｉｒｉｎＴＰＯなど）、メタロセン類（例えばビス（η5−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフロロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）−フェニル）チタニウム、η５−シクロペンタジエニル−η６−クメニル−アイアン（１＋）−ヘキサフロロホスフェイト（１−）など）、特開昭５３−１３３４２８号公報、特公昭５７−１８１９号公報、同５７−６０９６号公報、及び米国特許第３６１５４５５号明細書に開示されている化合物なども挙げられる。
【０１７９】
更に米国特許第２３６７６６０号明細書に開示されているビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第２４４８８２８号明細書に記載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第２７２２５１２号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３０４６１２７号明細書及び同第２９５１７５８号明細書に記載の多核キノン化合物、特開２００２−２２９１９４号公報に記載の有機ホウ素化合物やその他例示のラジカル発生剤など、またトリアリールスルホニウム塩（ヘキサフロロアンチモンやヘキサフロロホスフェートとの塩）、（フェニルチオフェニル）ジフェニルスルホニウム塩などのようなホスホニウム塩化合物（カチオン重合開始剤として有効）、ＷＯ０１/７１４２８号公報記載のオニウム塩化合物などを用いることもできる。
【０１８０】
光重合開始剤は、二つ以上を併用することができる。光重合開始剤の組み合わせとしては、例えば米国特許第３５４９３６７号明細書に記載のヘキサアリールビイミダゾールと４−アミノケトン類との組み合わせ、特公昭５１−４８５１６号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物の組み合わせなど、またチオキサントンなどの芳香族ケトン化合物と水素供与体（例えばジアルキルアミノ含有化合物、フェノール化合物など）の組み合わせ、ヘキサアリールビイミダゾールとチタノセンとの組み合わせ、クマリン類とチタノセンとフェニルグリシン類との組み合わせも利用できる。
光重合開始剤の使用量は、感光性樹脂組成物の総量（溶媒を除く）の０．１〜３０質量％の範囲が一般的であり、好ましくは０．５〜２０質量％の範囲であり、特に好ましくは０．５〜１５質量％の範囲である。
【０１８１】
感光性樹脂組成物層を２層有する感光性転写シートとして用いる場合で、第一感光層と第二感光層との感度差を光重合開始剤の含有量で調整する場合には、第二感光層の光重合開始剤含有量は、第一感光層の光重合開始剤の含有量に対して１．５〜１００倍の量とすることが好ましく、特に２〜２０倍の量とすることが好ましい。
【０１８２】
［増感剤］
本発明の感光性樹脂組成物には、感光性樹脂組成物の露光における感度を調整する目的、あるいは光線（活性エネルギー線）として可視光線や紫外光レーザーを用いる場合などに、いわゆる増感剤を添加することができる。
増感剤としては、公知の多核芳香族類（例えば、ピレン、ペリレン、トリフェニレン）、キサンテン類（例えば、フルオレセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンＢ、ローズベンガル）、シアニン類（例えば、チアカルボシアニン、オキサカルボシアニン）、メロシアニン類（例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン）、チアジン類（例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー）、アクリジン類（例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン）、アントラキノン類（例えば、アントラキノン）、スクアリウム類（例えば、スクアリウム）、アクリドン類（例えば、アクリドン、クロロアクリドン、Ｎ−メチルアクリドン、Ｎ−ブチルアクリドン、Ｎ−ブチルクロロアクリドン等）、クマリン類（例えば、３−（２−ベンゾフロイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３−（２−ベンゾフロイル）−７−（１−ピロリジニル）クマリン、３−ベンゾイル−７−ジエチルアミノクマリン、３−（ｏ−メトキシベンゾイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３−（ｐ−ジメチルアミノベンゾイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３,３’−カルボニルビス（５，７−ジ−ｎ−プロポキシクマリン）、３，３’−カルボニルビス（７−ジエチルアミノクマリン）、３−ベンゾイル−７−メトキシクマリン、３−（２−フロイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３−（ｐ−ジエチルアミノシンナモイル）−７−ジエチルアミノクマリン、７−メトキシ−３−（３−ピリジルカルボニル）クマリン、３−ベンゾイル−５,７−ジプロポキシクマリン等）なども利用できる。
またこれらの開始剤と増感剤の組合せとしては例えば特開２００１−３０５７３４に記載の電子移動型開始系（（１）電子供与型開始剤および増感色素、（２）電子受容型開始剤および増感色素、（３）電子供与型開始剤、増感色素および電子受容型開始剤（三元開始系））などに記載の例などが挙げられる。
【０１８３】
増感剤の添加量は、感光性樹脂組成物の総量（溶媒を除く）の０．０５〜３０質量％の範囲にあり、好ましくは０．１〜２０質量％の範囲であり、特に好ましくは０．２〜１０質量％の範囲である。増感剤の添加量が多いと感光性樹脂組成物から保存時に析出し、あまりに少ないと活性エネルギー線への感度が低下し、露光プロセスに時間がかかり、生産性を低下することがある。
【０１８４】
［その他の成分］
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて熱重合禁止剤、可塑剤、変色剤、着色剤、更に感光性転写シートとして用いる場合の基体表面への密着促進剤及びその他の助剤類（例えば顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤、表面張力調整剤、連鎖移動剤など）を併用してもよく、これによって目的とする感光性樹脂組成物の安定性、写真性、焼きだし性、膜物性等の性質を調節することができる。
【０１８５】
［熱重合禁止剤］
熱重合禁止剤は、感光性樹脂組成物の重合性化合物の熱的な重合又は経時的な重合を防止するために添加する。熱重合禁止剤としては、例えば、ｐ−メトキシフェノール、ハイドロキノン、アルキルまたはアリール置換ハイドロキノン、ｔ−ブチルカテコール、ピロガロール、２−ヒドロキシベンゾフェノン、４−メトキシ−２−ヒドロキシベンゾフェノン、塩化第一銅、フェノチアジン、クロラニル、ナフチルアミン、β−ナフトール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、２，２‘−メチレンビス（４−メチルー６−ｔ−ブチルフェノール）、ピリジン、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、ピクリン酸、ｐ−トルイジン、メチレンブルー、有機銅、サリチル酸メチル、及びフェノチアジン等が挙げられる。
【０１８６】
熱重合禁止剤の添加量は、感光性樹脂組成物の重合性モノマーに対して０．００１〜５質量％の範囲にあることが好ましく、より好ましくは０．００５〜２質量％の範囲であり、特に好ましくは０．０１〜１質量％の範囲である。熱重合禁止剤の添加量が、この範囲を超えて多くなると活性エネルギー線に対する感度が低下する傾向にあり、この範囲を超えて少なくなると保存時の安定性が低下する傾向にある。
【０１８７】
［可塑剤］
可塑剤は、感光性樹脂組成物および感光性転写シートとして用いる場合の感光性樹脂組成物層の膜物性（可撓性）をコントロールするために添加する。可塑剤の例としては、ジメチルフタレート、ジブチルフタレート、ジイソブチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジオクチルフタレート、ジシクロヘキシルフタレート、ジトリデシルフタレート、ブチルベンジルフタレート、ジイソデシルフタレート、ジアリルフタレート、オクチルカプリールフタレート等のフタル酸エステル類；トリエチレングリコールジアセテート、テトラエチレングリコールジアセテート、ジメチルグリコースフタレート、エチルフタリールエチルグリコレート、メチルフタリールエチルグリコレート、ブチルフタリールブチルグリコレート、トリエチレングリコールジカブリル酸エステル等のグリコールエステル類；トリクレジルホスフェート、トリフェニルホスフェート等のリン酸エステル類；ｐ−トルエンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、Ｎ−ｎ−ブチルアセトアミド等のアミド類；ジイソブチルアジペート、ジオクチルアジペート、ジメチルセバケート、ジブチルセパケート、ジオクチルセパケート、ジオクチルアゼレート、ジブチルマレート等の脂肪族二塩基酸エステル類；クエン酸トリエチル、クエン酸トリブチル、グリセリントリアセチルエステル、ラウリン酸ブチル、４，５−ジエポキシシクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸ジオクチル等、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のグリコール類が挙げられる。
【０１８８】
可塑剤の添加量は、感光性樹脂組成物の総量（溶媒を除く）の０．１〜５０質量％の範囲にあることが好ましく、より好ましくは０．５〜４０質量％の範囲、特に好ましくは１〜３０質量％の範囲である。
【０１８９】
［変色剤］
変色剤は、感光性転写シートとして用いる場合に、露光後の感光性樹脂組成物層に可視像を与える（焼きだし機能）ために添加される。変色剤としては、例えば、トリス（ｐ−ジメチルアミノフェニル）メタン（ロイコクリスタルバイオレット）、トリス（ｐ−ジエチルアミノフェニル）メタン、トリス（ｐ−ジメチルアミノ−ｏ−メチルフェニル）メタン、トリス（ｐ−ジエチルアミノ−ｏ−メチルフェニル）メタン、ビス（ｐ−ジブチルアミノフェニル）−〔ｐ−（２−シアノエチル）メチルアミノフェニル〕メタン、ビス（ｐ−ジメチルアミノフェニル）−２−キノリルメタン、トリス（ｐ−ジプロピルアミノフェニル）メタン等のアミノトリアリールメタン類；３，６−ビス（ジメチルアミノ）−９−フェニルキサンチン、３−アミノ−６−ジメチルアミノ−２−メチル−９−（ｏ−クロロフェニル）キサンチン等のアミノキサンチン類；３，６−ビス（ジエチルアミノ）−９−（ｏ−エトキシカルボニルフェニル）チオキサンテン、３，６−ビス（ジメチルアミノ）チオキサンテン等のアミノチオキサンテン類；３，６−ビス（ジエチルアミノ）−９，１０−ジヒドロ−９−フェニルアクリジン、３，６−ビス（ベンジルアミノ）−９，１０−ジヒドロ−９−メチルアクリジン等のアミノ−９，１０−ジヒドロアクリジン類；３，７−ビス（ジエチルアミノ）フェノキサジン等のアミノフェノキサジン類；３，７−ビス（エチルアミノ）フェノチアゾン等のアミノフェノチアジン類；３，７−ビス（ジエチルアミノ）−５−ヘキシル−５，１０−ジヒドロフェナジン等のアミノジヒドロフェナジン類；ビス（ｐ−ジメチルアミノフェニル）アニリノメタン等のアミノフェニルメタン類；４−アミノ−４’−ジメチルアミノジフェニルアミン、４−アミノ−α、β−ジシアノヒドロケイ皮酸メチルエステル等のアミノヒドロケイ皮酸類；１−（２−ナフチル）−２−フェニルヒドラジン等のヒドラジン類；１，４−ビス（エチルアミノ）−２，３−ジヒドロアントラキノン類のアミノ−２，３−ジヒドロアントラキノン類；Ｎ，Ｎ−ジエチル−ｐ−フェネチルアニリン等のフェネチルアニリン類；１０−アセチル−３，７−ビス（ジメチルアミノ）フェノチアジン等の塩基性ＮＨを含むロイコ色素のアシル誘導体；トリス（４−ジエチルアミノ−ｏ−トリル）エトキシカルボニルメンタン等の酸化しうる水素をもっていないが、発色化合物に酸化しうるロイコ様化合物；ロイコインジゴイド色素；米国特許３，０４２，５１５号及び同第３，０４２，５１７号に記載されているような発色形に酸化しうるような有機アミン類（例、４，４’−エチレンジアミン、ジフェニルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、４，４’−メチレンジアミントリフェニルアミン、Ｎ−ビニルカルバゾール）を挙げることができる。特に好ましいものはロイコクリスタルバイオレットである。
【０１９０】
更にこれらのロイコ体を発色させるためなどの目的でハロゲン化合物と組み合わせることが知られている。ハロゲン化合物の例としてはハロゲン化炭化水素（例えば四臭化炭素、ヨードホルム、臭化エチレン、臭化メチレン、臭化アミル、臭化イソアミル、ヨウ化アミル、臭化イソブチレン、ヨウ化ブチル、臭化ジフェニルメチル、ヘキサクロロエタン、１，２−ジブロモエタン、１，１，２，２−テトラブロモエタン、１，２−ジブロモ−１，１，２−トリクロロエタン、１，２，３トリブロモプロパン、１−ブロモ−４−クロロブタン、１，２，３，４−テトラブロモブタン、テトラクロロシクロプロペン、ヘキサクロロシクロペンタジエン、ジブロモシキロヘキサン、１，１，１−トリクロロー２，２−ビス（ｐ−クロロフェニル）エタンなど）；ハロゲン化アルコール化合物（例えば、２，２，２−トリクロロエタノール、トリブロモエタノール、１，３−ジクロロ−２−プロパノール、１，１，１−トリクロロ−２−プロパノール、ジ（ヨードヘキサメチレン）アミノイソプロパノール、トリブロモ−ｔｅｒｔ−ブチルアルコール、２，２，３−トリクロロブタン−１，４−ジオールなど）；ハロゲン化カルボニル化合物（例えば１，１−ジクロロアセトン、１，３−ジクロロアセトン、ヘキサクロロアセトン、ヘキサブロモアセトン、１，１，３，３−テトラクロロアセトン、１，１，１−トリクロロアセトン、３，４−ジブロモ−２−ブタノン、１，４−ジクロロ−２−ブタノン−ジブロモシクロヘキサノンなど）；ハロゲン化エーテル化合物（例えば２−ブロモエチルメチルエーテル、２−ブロモエチルエチルエーテル、ジ（２−ブロモエチル）エーテル、１，２−ジクロロエチルエチルエーテルなど）；ハロゲン化エステル化合物（例えば酢酸ブロモエチル、トリクロロ酢酸エチル、トリクロロ酢酸トリクロロエチル、２，３−ジブロモプロピルアクリレートのホモポリマー及び共重合体、ジブロモプロピオン酸トリクロロエチル、α，β−ジクロロアクリル酸エチルなど）；ハロゲン化アミド化合物（例えばクロロアセトアミド、ブロモアセトアミド、ジクロロアセトアミド、トリクロロアセトアミド、トリブロモアセトアミド、トリクロロエチルトリクロロアセトアミド、２−ブロモイソプロピオンアミド、２，２，２−トリクロロプロピオンアミド、Ｎ−クロロスクシンイミド、Ｎ−ブロモスクシンイミドなど）；
【０１９１】
硫黄やリンを有する化合物（例えばトリブロモメチルフェニルスルホン、ｐ−ニトロフェニルトリブロモメチルスルホン、ｐ−クロルフェニルトリブロモメチルスルホン、トリス（２，３−ジブロモプロピル）ホスフェートなど）、２，４−ビス（トリクロロメチル）６−フェニルトリアゾールなどが挙げられる。有機ハロゲン化合物のうちでは同一炭素原子に結合した二個以上のハロゲン原子を持つハロゲン化物が好ましく、特に好ましくは一個の炭素原子に三個のハロゲン原子を持つハロゲン化物である。有機ハロゲン化合物は単独で使用してもよく、二種以上併用してもよい。これらのうち特に好ましい有機ハロゲン化合物は、トリブロモメチルフェニルスルホン、２，４−ビス（トリクロロメチル）６−フェニルトリアゾールである。
【０１９２】
変色剤の添加量は、感光性樹脂組成物の総量（溶媒を除く）の０．０１〜２０質量％の範囲が好ましく、より好ましくは、０．０５〜１０質量％の範囲であり、特に好ましくは０．１〜５質量％の範囲である。またハロゲン化合物の量は、感光性樹脂組成物の総量（溶媒を除く）の０．００１〜５質量％の範囲が一般的で、０．００５〜１質量％が好ましい。
【０１９３】
［染料］
本発明において、感光性樹脂組成物には、取り扱い性の向上のために組成物を着色させたり、保存安定性を付与する目的に染料を用いることができる。好適な染料の例としては、ブリリアントグリーン（例えばその硫酸塩）、エオシン、エチルバイオレット、エリスロシンＢ、メチルグリーン、クリスタルバイオレット、ベイシックフクシン、フェノールフタレイン、１，３−ジフェニルトリアジン、アリザリンレッドＳ、チモールフタレイン、メチルバイオレット２Ｂ、キナルジンレッド、ローズベンガル、メタニル−イエロー、チモールスルホフタレイン、キシレノールブルー、メチルオレンジ、オレンジＩＶ、ジフェニルチロカルバゾン、２，７−ジクロロフルオレセイン、パラメチルレッド、コンゴーレッド、ベンゾプルプリン４Ｂ、α−ナフチル−レッド、ナイルブルーＡ、フェナセタリン、メチルバイオレット、マラカイトグリーン（例えばそのシュウ酸塩）、パラフクシン、オイルブルー＃６０３（オリエント化学工業（株）製）、ローダミンＢ、及びロータミン６Ｇ、ビクトリアピュアブルーＢＯＨなどを挙げることができる。特に好ましい染料は、マラカイトグリーンシュウ酸塩である。
【０１９４】
染料の好ましい添加量は、感光性樹脂組成物の総量（溶媒を除く）の０．００１〜１０質量％の範囲である。より好ましくは０．０１〜５質量％の範囲、特に好ましくは０．１〜２質量％の範囲である。
【０１９５】
［密着促進剤］
本発明の感光性樹脂組成物では、感光性転写シートとして用いる場合などにプリント配線板製造用基板への密着性を向上させるため、感光性樹脂組成物に公知のいわゆる密着促進剤を添加することができる。密着促進剤としては、特開平５−１１４３９号公報、特開平５−３４１５３２号公報、及び特開平６−４３６３８号公報の各号明細書に記載の密着促進剤が好適に使用できる。具体的には、ベンズイミダゾール、ベンズオキサゾール、ベンズチアゾール、２−メルカプトベンズイミダゾール、２−メルカプトベンズオキサノール、２−メルカプトベンズチアゾール、３−モルホリノメチル−１−フェニル−トリアゾール−２−チオン、３−モルホリノメチル−５−フェニル−オキサジアゾール−２−チオン、５−アミノ−３−モルホリノメチル−チアジアゾール−２−チオン、及び２−メルカプト−５−メチルチオ−チアジアゾール、トリアゾール、テトラゾールなどを挙げることができる。
【０１９６】
密着促進剤の好ましい添加量は、感光性樹脂組成物の総量（溶媒を除く）の０．００１質量％〜２０質量％の範囲にある。より好ましくは０．０１〜１０質量％の範囲であり、特に好ましくは０．１質量％〜５質量％の範囲である。
【０１９７】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、Ｊ．コーサー著「ライトセンシテイブシステムズ」第５章に記載されているような有機硫黄化合物、過酸化物、レドックス系化合物、アゾ並びにジアゾ化合物、光環元性色素、及び有機ハロゲン化合物などを含んでいても良い。有機硫黄化合物の例としては、ジ−ｎ−ブチルジサルファイド、ジベンジルジサルファイド、２−メルカプトベンズチアゾール、２−メルカプトベンズオキサゾール、チオフェノール、エチルトリクロロメタンスルフェネート、２−メルカプトベンズイミダゾールを挙げることができる。過酸化物の例としては、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、過酸化ベンゾイル、メチルエチルケトンパーオキサイドを挙げることができる。レドックス化合物は、過酸化物と還元剤の組み合わせからなるものであり、第一鉄イオンと過硫酸イオン、第二鉄イオンと過酸化物などを挙げることができる。アゾ及びジアゾ化合物としては、α，α’−アゾビスイリブチロニトリル、２−アゾビス−２−メチルブチロニトリル、ｐ−アミノジフェニルアミンのジアゾニウム類を挙げることができる。光還元性色素としては、ローズベンガル、エリスロシン、エオシン、アクリフラビン、リポフラビン、チオニンを挙げることができる。
【０１９８】
本発明の感光性樹脂組成物では、感光性転写シートを製造する場合に発生する面状ムラ等を改善させるために、公知の界面活性剤を添加することもできる。界面活性剤の例として、アニオン系およびカチオン系界面活性剤やノニオン系界面活性剤、フッ素含有界面活性剤から密着性の観点から適宜選択する。添加量は、感光性樹脂組成物の総量（溶媒を除く）の０．００１〜１０質量％が好ましく、０．００１質量％未満では面状改良の効果が得られなく、１０質量％を超えると密着性が悪化する問題がある。フッ素系の界面活性剤として炭素鎖３〜２０でフッ素原子を４０質量％以上含み、且つ非結合末端から数えて少なくとも３個の炭素原子に結合した水素原子がフッ素置換されているフルオロ脂肪族基を有するアクリレートまたはメタクリレートを共重合成分として有する高分子界面活性剤が好ましい。
【０１９９】
本発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分を、これらを溶解する溶媒、例えば、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、及びｎ−ヘキサノール等のアルコール類；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、及びジイソブチルケトンなどのケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸−ｎ−アミル、硫酸メチル、プロピオン酸エチル、フタル酸ジメチル、安息香酸エチル、及びメトキシプロピルアセテートなどのエステル類；トルエン、キシレン、ベンゼン、エチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類；四塩化炭素、トリクロロエチレン、クロロホルム、１，１，１−トリクロロエタン、塩化メチレン、及びモノクロロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素類；テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、及び１−メトキシ−２−プロパノールなどのエーテル類；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキサイド等に溶解、混合させることにより、均一な溶液とすることができる。
【０２００】
［感光性転写シートおよび感光性積層体の基本構成］
本発明の感光性転写シートの一例として、まず感光性樹脂組成物層を１層有する場合の断面図を図１に示す。感光性転写シート１０は、支持体１１、感光性樹脂組成物層１２、及び保護フイルム１５がこの順で積層されてなる。感光性樹脂組成物層１２は、バインダー、式（Ｉ）で表される重合性化合物、及び光重合開始剤を含む組成物からなる。感光性樹脂組成物層１２の厚さは、５μｍ以上３５μｍ未満であることが好ましく、より好ましくは１０〜３０μｍの範囲であり、さらに好ましくは１０〜２５μｍの範囲である。
更に本発明の感光性転写シートは、これらの層構成に限定されるものではなく、ここに示した以外の層を有していてもよい。例えば、支持体２１と感光性樹脂組成物層１２との間に熱可塑性樹脂層（クッション層）を設けたり、感光性樹脂組成物層１２と熱可塑性樹脂層（クッション層）との間にバリアー層を設けてもよい。       
【０２０１】
また本発明の感光性転写シートの一例として感光性樹脂組成物層が２層有する場合の断面図を図２〜５に示す。
【０２０２】
図２において、感光性転写シート２０は、支持体２１、第一感光層２２、第二感光層２４がこの順で積層されている。第一感光層２２及び第二感光層２４はそれぞれ、ポリマー、重合性モノマー、及び光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物からなり、光の照射により硬化する。本発明の感光性転写シートは、第二感光層２４が第一感光層２２よりも相対的に感度が高い点および、第一感光層２２もしくは第二感光層２４のうちの少なくとも一方は、重合性モノマー成分が前記一般式（Ｉ）で表される化合物を含む感光樹脂組成物からなる点に主な特徴がある。ここで、感度が高いとは、第二感光層２４の硬化が、第一感光層２２よりも少ない光の照射量で始まることを意味する。
図３は第一感光層２２、第二感光層２４の間に更にバリアー層２３を有する感光性転写シートを表す。また図４、図５はそれぞれ図２、図３の感光性転写シートに更に保護フイルム２５を有する感光性転写シートである。
【０２０３】
更に本発明の感光性転写シートはこれらの層構成に限定されるものではなく、ここに示した層以外の層を有しても良い。例えば支持体２１と第一感光層２２の間や保護フイルム１５と第二感光層２４の間にベースや基板との剥離性や密着力を調整する層やバリアー層を設けたり、第一感光層２２、第二感光層２４の間や第一感光層２２とバリアー層２３、第二感光層２４とバリアー層２３の間に各層間の密着力を調整する層や層間の物質の移行を防止する層などを設けても良い。
【０２０４】
次に本発明の感光性転写シートが、感光性樹脂組成物層を２層有する場合における光の照射量と感光層の硬化量との関係を、図６を参照しながら説明する。図６は例えば図２に示した感光性転写シート、あるいは図４に示した感光性転写シートから保護フイルムを剥離した感光性転写シートを基板上に転写した場合の例である。本発明の感光性転写シートを基板上に積層した積層体に対して、基板とは反対の側から、即ち支持体を有している場合には支持体を通して、あるいは必要に応じて支持体を剥離して感光層に光を照射したときの、光の照射量とこの露光及び現像処理により得られる硬化層の厚さとの関係を示すグラフ（感度曲線）である。図６において、横軸は、光の照射量を表し、縦軸は、光の照射により硬化させ、現像処理を行った後の硬化した感光層の厚さを表す。縦軸のＤは第二感光層の厚さを、Ｅは第一感光層の厚さと第二感光層の厚さとを足した感光層全体の厚さを表す。
【０２０５】
バリアー層は樹脂を含有することが好ましく、水もしくは炭素原子数１〜４の低級アルコールに対して親和性を示す樹脂を主成分として含むのが好ましい。親和性とは、前記溶媒に対して乳化、分散、膨潤、一部溶解、濡れ性を有することをあらわす。またバリアー層は、水もしくは炭素原子数１〜４の低級アルコールに対して可溶性の樹脂を主成分として含むのが好ましい。
【０２０６】
上記のバリアー層の製造には、感光層と同様なバインダーを用いても良いが、これらとは異なるバインダーからなる層であることが好ましい。この様なポリマーとしては、例えば各種のアルコール可溶性、水溶性ポリマー、アルコール分散性、水分散性、乳化性あるいはアルカリ可溶性ポリマーが使用でき、例えばポリビニルアルコール（変性ポリビニルアルコール類も含む）、ポリビニルピロリドン、水溶性ポリアミド、ゼラチン、セルロース等及びこれらの誘導体などが挙げられる。これらのポリマーは単独で使用してもよいし、二種以上を併用しても良い。更に水溶性、アルカリ水可溶性を損なわない範囲でアクリル系ポリマー、アミド系ポリマー、エステル系ポリマーなどの各種ポリマーを添加してもよい。バリアー層には、特許２７９４２４２号に記載の熱可塑性樹脂や中間層に使用されている化合物も使用可能である。
【０２０７】
図６に示すように、本発明の感光性転写シートでは、支持体側から照射した光は、支持体を有する場合は支持体、第一感光層、そして第二感光層の順に進むにもかかわらず、第一感光層よりも先に少ない光量で第二感光層の硬化が始まる。
第二感光層の全体が硬化した後、光量を多くしていくと、第一感光層の硬化が始まり、さらに光量を多くすると、第一感光層の全体が硬化する。
第一感光層の硬化が始まるまでに必要な光量Ｃは、第二感光層を硬化させるために必要な光量Ａと同量であってもよいが、光量Ａよりも大きい方が好ましい。
【０２０８】
更に図３、又は図５に示した感光性転写シートの様に第一感光層と第二感光層の間に更にバリアー層を有する場合でも、図６と同様な光の照射量と硬化層の厚さの関係が得られる。但しこの場合の膜厚Ｅは第一感光層の厚さと第二感光層の厚さに更にバリアー層の厚さを足した感光層全体の厚さを表す。
【０２０９】
この様に本発明の感光性転写シートが、感光性樹脂組成物層を２層有する場合は、その露光量に応じて露光及び現像処理により得られる硬化層の厚さを変化させることが可能であり、露光量のパターンを必要に応じて変更することにより、基板に最も近い感光層のみを硬化させる部分から、順次厚みを変えて全て感光層を硬化させる部分までを作り分けることが可能である。この為に画像の内部で厚みが異なる３次元造形や、所望の部分のみの膜の強度を上げる、所望の部分のみの画像濃度を上げる等の特性を付与した画像などを１種の転写シートで形成することができる。
その為に例えばプリント配線板の製造、特にスルーホールやビアホールを有するプリント配線板の製造に用いると、配線パターン形成領域には相対的に厚さの薄い高解像の硬化層を形成し、スルーホール又はビアホールには相対的に厚さの厚く高強度の硬化層を形成することができる。その為に本発明の感光性転写シートを用いれば、テンティング法として利用できる充分なテント膜強度を有し、かつ高解像度が必要な部分では充分な解像度のパターンを得る事ができる。
【０２１０】
上記のような感度曲線を有する感光性転写シートは、各感光性樹脂組成物層の感度を支持体に近い第一感光層から、支持体から離れた第二感光層に向かうに従って順に相対的に高くすることで実現できる。この感度を相対的に高くする方法は公知の高感度化技術を全て用いることができるが、例えば高感度の開始剤を用いるほか、第二感光層に増感剤を添加する、第二感光層中の光重合開始剤及び／又は増感剤の含有量を第一感光層よりを多くする、あるいは第二感光層中の重合性モノマーの含有率を第一感光層より多くするなどの手法によっても得ることができる。
【０２１１】
また本発明の感光性転写シートが特に感光層を２層有し、支持体に近い側の感光性樹脂組成物層（第一感光層）の感度に比べて、支持体から離れた側の感光性樹脂組成物層（第二感光層）の感度が相対的に高いことを特徴とする感光性転写シートを用いて、プリント配線板を作成する場合には第二感光層の硬化が始まる光量Ｓは、０．０５〜１０ｍＪ／ｃｍ2の範囲内（特に０．１〜５ｍＪ／ｃｍ2の範囲内）にあることが好ましい。また第二感光層を硬化させるために必要な光量Ａは、２０ｍＪ／ｃｍ2以下（特に、２〜１５ｍＪ／ｃｍ2の範囲内）であることが好ましい。第二感光層を硬化させるために必要な光量Ａと第一感光層を硬化させるために必要な光量Ｂとの比Ａ／Ｂは、０．０１〜０．５（特に０．０２〜０．３）の範囲にあることが好ましい。また第二感光層を硬化させるために必要な光量Ａと第一感光層の硬化が始まるまで必要な光量Ｃとの比Ｃ／Ａが１〜１０の範囲内（特に２〜８の範囲内）であることが好ましい。またこの光量Ｃは２００ｍＪ／ｃｍ2以下（特に２〜１００ｍＪ／ｃｍ2の範囲内）であることが好ましい。
【０２１２】
［感光性転写シートの製造］
本発明の感光性転写シートは、例えば感光性樹脂組成物層が１層の場合、前記感光性樹脂組成物の溶液を調製し、これを支持体の上に公知の方法により塗布し、乾燥することにより製造することができる。感光性樹脂組成物溶液の塗布方法としては、特に限定されず、例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法、スリットコート法、エクストルージョンコート法、カーテンコート法、ダイコート法、ワイヤーバーコート法、及びナイフコート法等の各種の方法を採用することができる。乾燥の条件としては、各成分、溶媒の種類、使用割合等によっても異なるが、通常６０〜１１０℃の温度で３０秒間〜１５分間程度である。
【０２１３】
また、例えば感光性樹脂組成物層が２層の場合、例えば次のようにして製造することができる。
まず、前記の各種材料を、溶剤に溶解または分散させて、第一感光層形成用の第一感光性樹脂組成物溶液と第二感光層形成用の第二感光性樹脂組成物溶液をそれぞれ調製する。またバリアー層を有する場合にはバリアー層形成用の溶液を調整する。
バリアー層形成用のポリマー溶液の溶剤には、感光性樹脂組成物層と同様の塗布溶媒を用いても良いが、これらとは異なり水、あるいは水と有機溶剤との混合溶剤を用いることができる。有機溶剤には、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、ｎ−ヘキサノール等のアルコール類を用いることができる。
【０２１４】
次に、第一感光性樹脂組成物溶液を支持体の上に塗布し、乾燥することにより第一感光層を形成する。バリアー層を有する場合にはバリアー層形成用の塗布液を第一感光層の上に塗布、乾燥する。その上に第二感光性樹脂組成物溶液を塗布し、乾燥することにより、第二感光層を形成する。感光性樹脂組成物溶液の塗布方法としては、特に限定されず、例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法、スリットコート法、エクストルージョンコート法、カーテンコート法、ダイコート法、ワイヤーバーコート法、及びナイフコート法等の各種の方法を採用することができる。乾燥の条件としては、各成分、溶媒の種類、使用割合等によっても異なるが、通常６０〜１１０℃の温度で３０秒間〜１５分間程度である。
また感光層が２層よりも多い場合でも、同様の操作を繰り返すことによって製造することができる。
【０２１５】
［支持体及び保護フイルム］
支持体は、感光性樹脂組成物層を剥離可能であること、かつ光の透過性が良好であること、また表面の平滑性が良好であることが望ましい。支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、三酢酸セルロース、二酢酸セルロース、ポリ（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ポリ（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリスチレン、セロファン、ポリ塩化ビニリデン共重合体、ポリアミド、ポリイミド、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体、ポリテトラフロロエチレン、ポリトリフロロエチレン、セルロース系フイルム、ナイロンフイルム等の各種のプラスチックフイルムを挙げることができる。更にこれらの二種以上からなる複合材料も使用することができる。上記の中でポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。支持体の厚さは、５〜１５０μｍが一般的であり、１０〜１００μｍが好ましい。
【０２１６】
本発明の感光性転写シートでは、支持体上の感光性樹脂組成物層の上に、更に保護フイルム層を設けることができる。保護フイルムの例としては、前記支持体に使用されるプラスチックフイルム、及び紙、または紙にポリエチレンフイルム、ポリプロピレンフイルムなどのプラスチックフイルムをラミネートしたものなどを挙げることができる。特に、ポリエチレンフイルム及びポリプロピレンフイルムが好ましい。保護フイルムの厚さは、５〜１００μｍの範囲が一般的であり、１０〜５０μｍの範囲が好ましい。その際、感光性樹脂組成物層と支持体の接着力Ａと感光性樹脂組成物層と保護フイルムの接着力ＢとがＡ＞Ｂの関係になるようにすることが好ましい。支持体／保護フイルムの組み合わせの例としては、ポリエチレンテレフタレート／ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート／ポリエチレン、ポリ塩化ビニル／セロファン、ポリイミド／ポリプロビレンなどを挙げることができる。上記のように支持体と保護フイルムを相互に異種のものから選ぶ方法のほかに、支持体及び保護フイルムの少なくとも一方を表面処理することにより、前記のような接着力の関係を満たすことができる。支持体の表面処理は、感光性樹脂組成物層との接着力を高めるために施されるのが一般的であり、例えば、下塗層の塗設、コロナ放電処理、火炎処理、紫外線照射処理、高周波照射処理、グロー放電照射処理、活性プラズマ照射処理、レーザ光線照射処理などを挙げることができる。また、例えば、長尺のドライフイルムフォトレジストを製造し、これをロール状にして保存、輸送する場合には、支持体と保護フイルムとの静摩擦係数も重要である。この静摩擦係数は、０．３〜１．４の範囲にあることが好ましく、特に０．５〜１．２の範囲が好ましい。０．３未満では滑り過ぎるため、ロール状にした時巻ズレが発生することがある。また１．４を超えた場合、良好なロール状に巻くことが困難となることがある。
また上記にも記載したように感光性転写シートは例えば円筒状の巻芯に巻き取って保管される。なおこの際には支持体が一番外側になるように巻き取られることが好ましい。また保管の際の端面の保護、エッジフュージョンを防止する観点から端面にはセパレーター（特に防湿性のもの）を設置することが好ましく、また梱包も透湿性の低い素材を用いる事が好ましい。
【０２１７】
また、保護フイルムを表面処理しても良い。表面処理は、保護フイルムと感光性樹脂組成物層との接着性を調整するために行なわれる。例えば、保護フイルムの表面に、ポリオルガノシロキサン、弗素化ポリオレフィン、ポリフルオロエチレン、及びポリビニルアルコール等のポリマーからなる下塗層を設ける。下塗層の形成は、上記ポリマーの塗布液を保護フイルムの表面に塗布した後、３０〜１５０℃（特に５０〜１２０℃）で１〜３０分間乾燥することにより一般に行なわれる。
また感光性樹脂組成物層、支持体、保護フイルムの他にクッション層、剥離層、接着層、光吸収層、ガスバリヤ層、表面保護層などの層を有してもよい。また膜物性や感度が異なる２種以上の感光性樹脂層を設けてもよい。
【０２１８】
［プリント配線板の製造方法］
本発明の感光性転写シート（感光性樹脂組成物層が１層の場合）を用いたプリント配線板の製造方法の例を、金属めっきスルーホールを有するプリント配線板の製造を例にとり、添付図面の図７を参照しながら説明する。
【０２１９】
図７（Ａ）に示すようなスルーホール３２を有し、表面が金属めっき３３されたプリント配線板形成用基板３１を用意する。プリント配線板形成用基板３１には、銅張積層板やガラスエポキシなどの公知の材料が用いられる。
【０２２０】
次に、図７（Ｂ）に示すように、プリント配線板形成用基板３１の表面に本発明の感光性転写シート１０の感光性樹脂組成物層１２を、圧着ローラ４１を用いて圧着して、プリント配線板形成用基板３１、感光性樹脂組成物層１２、そして支持体１１がこの順で積層された積層体を得る（積層工程）。圧着ローラ４１には、メタルローラ及びゴムローラなどの公知のものを使用することができる。圧着の際には、プリント配線板形成用基板３１及び圧着ローラ４１をそれぞれ加熱することが好ましい。プリント配線板形成用基板３１の加熱温度は、５０〜１００℃の温度とすることが好ましい。圧着ローラ４１の加熱温度は、６０〜１２０℃の温度とすることが好ましい。圧着ロールのロール圧は２〜５ｋｇ／ｃｍ2の範囲にあることが好ましい。圧着速度は、１〜３ｍ／分の速度とすることが好ましい。またプリント配線板形成用基板３１を予備加熱しておいてもよい。
【０２２１】
次に、図７（Ｃ）に示すように、積層体の支持体が光透過性の場合には支持体１１側の面から光（活性エネルギー）をパターン状に照射して、感光性樹脂組成物層１２を硬化させて、配線パターン形成用の硬化樹脂組成物領域１６と、スルーホールの金属めっき保護用の硬化樹脂組成物領域１７とからなる硬化物パターン１７を形成する（露光工程）。光をパターン状に照射する方法としては、フォトマスクを介して紫外線光を全面に照射する方法、もしくは紫外〜可視光領域の波長のレーザ走査露光装置でパターン信号に従って照射する方法を利用して行なうことが好ましい。特に、後者のレーザ走査露光装置を用いる方法は、高価なマスクを使用せずにパターン形成が可能なので、マスクに起因する工程上の問題が無くなることから、少量多品種の製造などに適している。また必要に応じて（例えば支持体の光透過性が不十分な場合など）この支持体を剥離してから光を照射する方法も利用できる。
【０２２２】
次に、支持体を剥離していない場合には図７（Ｄ）に示すように、積層体から支持体１１を剥がす（支持体剥離工程）。
【０２２３】
次に、図７（Ｅ）に示すように、樹脂組成物層１２に適当な現像液を接触させて、プリント配線板形成用基板上の樹脂組成物層の未硬化領域を溶解除去して基板表面の金属めっき層３３を露出させる（現像工程）、パネルの配線パターンを形成する部分およびスルーホール部を被覆するように（テント状）エッチングレジストが形成される。現像液としては弱アルカリ水溶液が好ましい。この弱アルカリ水溶液の塩基成分としては、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素リチウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウムなどが挙げられる。また現像に用いる弱アルカリ水溶液のｐＨは約８〜１２、特に約９〜１１とすることが好ましい。具体的には０．１〜５質量％の炭酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液などを用いることができる。また現像液の温度は感光性樹脂層の現像性に合わせて調整できるが、一般に約２５℃〜４０℃が好ましい。また該現像液には界面活性剤、消泡剤、有機塩基（例えばエチレンジアミン、エタノールアミン等）や現像を促進させる為の少量の有機溶剤を併用してもよい。
また現像後に必要に応じて後加熱処理や後露光処理によって、硬化部の硬化反応を更に促進させる処理を行ってもよい。
【０２２４】
次に、図７（Ｆ）に示すように、露出した金属めっき層３３をエッチング液で溶解する（エッチング工程）。スルーホール３２の開口部は硬化樹脂組成物（テント膜）１７で覆われているので、エッチング液がスルーホール内に入り込んでスルーホール内の金属めっきを腐食することなく、スルーホールの金属めっきは所定の形状で残ることになる。このエッチングにより、プリント配線板の配線パターン３４が形成される。金属めっき層３３が銅で形成されている場合、エッチング液としては塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング溶液、過酸化水素系エッチング液などを用いることが出来る。これらの中でも特に塩化第二鉄溶液がエッチングファクターの点から好ましい。
【０２２５】
そして最後に、図７（Ｇ）に示すように、硬化樹脂パターンに強アルカリ水溶液を接触させて、硬化物パターンを細かく砕いて剥離片１８とし、プリント配線板形成用基板３１から除去する（硬化物除去工程）。強アルカリ水溶液の塩基成分としては水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどが挙げられる。また用いる強アルカリ水溶液のｐＨは約１２〜１４、特に約１３〜１４とすることが好ましい。具体的には１〜１０質量％の水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液などを用いることができる。
【０２２６】
またプリント配線板は多層構成のプリント配線板でもよい。また本発明の感光性転写シートは上記のエッチングプロセスのみでなく、メッキプロセスに使用しても構わない。
【０２２７】
次に、本発明の感光性転写シート（感光性樹脂組成物層が２層の場合）を用いたプリント配線板の製造方法の例を、金属めっきスルーホールを有するプリント配線板の製造を例にとり、添付図面の図８を参照しながら説明する。なお図８は図３に示した感光性転写シート、あるいは図５に示した感光性転写シートを用いる場合を示しているが、図２または図４に示した感光性転写シートを用いる場合でも、バリアー層２３を含まないこと以外は類似である。
【０２２８】
図８（Ａ）に示すように、スルーホール３２を有し、表面が金属めっき層３３で覆われたプリント配線板形成用基板３１を用意する。プリント配線板形成用基板３１としては、銅張積層基板及びガラス−エポキシなどの絶縁基材に銅めっき層を形成した基板、又はこれらの基板に層間絶縁膜を積層し、銅めっき層を形成した基板（積層基板）を用いることができる。
【０２２９】
次に、図８（Ｂ）に示すように、本発明の感光性転写シート２０を（保護フイルムを有する場合には、この保護フイルムを剥離して）その第二感光層２４がプリント配線板形成用基板３１の表面に接する様にして圧着ローラ４１を用いて圧着する（積層工程）。これによりプリント配線板形成用基板３１、第二感光層２４、バリアー層２３、第一感光層２２、そして支持体２１がこの順で積層された積層体が得られる。感光性転写シートの積層は、室温（１５〜３０℃）あるいは加熱下（３０〜１８０℃）で行うことができる。特に、６０〜１４０℃の加熱下で行うことが好ましい。圧着ロールのロール圧は２〜５ｋｇ／ｃｍ2の範囲にあることが好ましい。圧着速度は、１〜３ｍ／分の速度とすることが好ましい。またプリント配線板形成用基板３１を予備加熱しておいてもよい。
なお、感光性転写シートを用いる替わりに、感光性転写シート製造用の第二感光性樹脂組成物溶液、バリアー層溶液、第一感光性樹脂組成物溶液とをこの順にプリント配線板形成用基板の表面に直接塗布し、乾燥することによって、プリント配線板形成用基板、第二感光層、バリアー層、そして第一感光層がこの順で積層された積層体を得ることもできる。
【０２３０】
次に、図８（Ｃ）に示すように、積層体の支持体２１側の面から、光を照射して感光層を硬化させる。なおこの際、必要に応じて（例えば支持体の光透過性が不十分な場合など）支持体を剥離してから光照射を行ってもよい。プリント配線板形成用基板３１の配線パターン形成領域には、第二感光層２４を硬化させるために必要な光量の光を所定のパターン状に照射して、配線パターン形成用の硬化層２６の領域を形成する（配線部露光工程）。プリント配線板形成用基板のスルーホール３２の開口部及びその周囲には、第一感光層２２と第二感光層２４とをそれぞれ硬化させるために必要な光量の光を照射して、スルーホールの金属層保護用の硬化層２７の領域を形成する（ホール部露光工程）。配線部露光工程とホール部露光工程とは、それぞれ独立して行なってもよいが、並行して行なう方が好ましい。露光は、フォトマスクを介して光を照射することにより行なうか、レーザ露光装置を用いてレーザ光を照射することにより行なう。特に、後者のレーザ走査露光装置を用いる方法は、高価なマスクを使用せずにパターン形成が可能なので、マスクに起因する工程上の問題が無くなることから、少量多品種の製造などに適している。
【０２３１】
フォトマスクを介して光を照射する場合には、配線パターン形成用の硬化層２６の領域形成用のフォトマスクを介して第二感光層のみを硬化させる光量を照射し、スルーホールの金属層保護用の硬化層２７の領域形成用のフォトマスクを介して第二感光層と第一感光層の両層を硬化させる光量を照射する様に露光を２回行う方法も利用できる。あるいは配線パターン形成用の硬化層２６の領域部に対応する光透過率が低く、スルーホールの金属層保護用の硬化層２７の領域部に対応する光透過率が高くなるように作成されたフォトマスクを用いて一括露光を行うこともできる。一方レーザ露光装置を用いてレーザ光を照射する場合では、それぞれの必要な領域で光照射量を変更しながら走査露光を行うことが好ましい。
露光に使用される光源としては、支持体を介して光照射を行う場合には支持体２１を透過し、かつ用いられる光重合開始剤に対して活性な電磁波、波長が３１０〜７００ｎｍ（好ましくは３５０〜５００ｎｍ）の範囲の紫外から可視光線を発生させる光源が用いられる。例えば、（超）高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、ハロゲンランプ、複写用の蛍光管、半導体レーザ等の公知光源を使用することができる。この他に、電子線あるいはＸ線などを用いてもよい。また支持体を剥離してから光照射を行う場合でも同様の光源を用いることができる。
【０２３２】
次に、支持体を剥離していない場合には図８（Ｄ）に示すように、積層体から支持体２１を剥がす（支持体剥離工程）。
次に、図８（Ｅ）に示すように、プリント配線板形成用基板３１上の第一感光層２２、バリアー層２３及び第二感光層２４の未硬化領域を、適当な現像液にて溶解除去して、配線パターン形成用の硬化層２６とスルーホールの金属層保護用の硬化層２７のパターンを形成し、基板表面の金属めっき層３３を露出させる（現像工程）。現像液には、弱アルカリ水溶液が好ましい。この弱アルカリ水溶液の塩基成分としては、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素リチウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウムなどが挙げられる。また現像に用いる弱アルカリ水溶液のｐＨは約８〜１２、特に約９〜１１とすることが好ましい。具体的には０．１〜５質量％の炭酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液などを用いることができる。また現像液の温度は感光性樹脂層の現像性に合わせて調整できるが、一般に約２５℃〜４０℃が好ましい。また該現像液には界面活性剤、消泡剤、有機塩基（例えばエチレンジアミン、エタノールアミン等）や現像を促進させる為の少量の有機溶剤を併用してもよい。
【０２３３】
また現像後に必要に応じて後加熱処理や後露光処理によって、硬化部の硬化反応を更に促進させる処理を行ってもよい。
次に、図８（Ｆ）に示すように、基板表面の露出した金属めっき層３３をエッチング液で溶解除去する（エッチング工程）。スルーホール３２の開口部は硬化樹脂組成物（テント膜）２７で覆われているので、エッチング液がスルーホール内に入り込んでスルーホール内の金属めっきを腐食することなく、スルーホールの金属めっきは所定の形状で残ることになる。これよりプリント配線板形成用基板３１に配線パターン３４が形成される。金属めっき層３３が銅で形成されている場合、エッチング液としては塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング溶液、過酸化水素系エッチング液などを用いることが出来る。これらの中でも特に塩化第二鉄溶液がエッチングファクターの点から好ましい。
【０２３４】
次に、図８（Ｇ）に示すように、強アルカリ水溶液などにて、硬化層２６、２７を剥離片２８として、プリント配線板形成用基板から除去する（硬化物除去工程）。強アルカリ水溶液の塩基成分としては水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどが挙げられる。また用いる強アルカリ水溶液のｐＨは約１２〜１４、特に約１３〜１４とすることが好ましい。具体的には１〜１０質量％の水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液などを用いることができる。
またプリント配線板は多層構成のプリント配線板でもよい。また本発明の感光性転写シートは上記のエッチングプロセスのみでなく、メッキプロセスに使用しても構わない。
めっき法としては、たとえば硫酸銅めっき、ピロリン酸銅めっきなどの銅めっき、ハイスローはんだめっきなどのはんだめっき、ワット浴（硫酸ニッケル−塩化ニッケル）めっき、スルファミン酸ニッケルなどのニッケルめっき、ハード金めっき、ソフト金めっきなどの金めっきなどがある。
【実施例】
【０２３５】
［実施例１］
（感光性樹脂層の形成）
下記の組成からなる感光性樹脂組成物溶液を調製し、２０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフイルムに乾燥膜厚が２０μｍになるように塗布し、乾燥して感光性樹脂層を形成した。
【０２３６】
────────────────────────────────────────
感光性樹脂組成物溶液
────────────────────────────────────────
メタクリル酸／メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルメタクリレート／ベンジルメタクリレート共重合体（バインダー）の３５質量％溶液（共重合組成：２９／５５／１２／４モル％、重量平均分子量：１０万）                          １８．２質量部
重合性化合物（１）                                            １０．９質量部
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン                  ０．０６質量部
２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール                                                          １．４質量部
フェニルトリブロモメチルスルホン                                ０．０２質量部
ロイコクリスタルバイオレット                                    ０．０２質量部
マラカイトグリーンシュウ酸塩                                    ０．０２質量部
ｐ−トルエンスルホンアミド                                      ０．６３質量部
メチルエチルケトン                                            ３１．８質量部
１−メトキシ−２−プロパノール                                １７．１質量部
────────────────────────────────────────
【０２３７】
【化８６】
2005258092.tif 000088
【０２３８】
次いで、感光性樹脂組成物層の上に１２μｍ厚のポリプロピレンフイルムをラミネートした。この様にして得られた感光性転写シートの（１）最短現像時間、（２）感度、（３）解像度、（４）密着、（５）テント膜破れ数、及び（６）剥離時間を評価した結果を表２に示す。なお、最短現像時間、解像度、密着、テント膜破れ数、及び剥離時間は、下記の方法により測定した。結果を第１表に示す。
【０２３９】
（１）最短現像時間の測定方法
表面を整面し、乾燥した銅張積層板（スルーホールなし）の表面に、感光性転写シートのポリプロピレンフイルムを剥がしながら、感光性樹脂組成物層を、ラミネーター（ＭＯＤＥＬ８Ｂ−７２０−ＰＨ、大成ラミネーター（株）製）を用いて圧着して、銅張積層板、感光性樹脂組成物層、そしてポリエチレンテレフタレートフイルムからなる積層体を作成する。圧着条件は、積層板温度７０℃、圧着ロール温度１０５℃、圧着ロール圧力３ｋｇ／ｃｍ2、そして圧着速度１．２ｍ／分とする。積層体からポリエチレンテレフタレートフイルムを剥がし取り、銅張積層板上の感光性樹脂組成物層の全面に３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液を０．１ＭＰａの圧力にてスプレーする。炭酸ナトリウム水溶液のスプレー開始から銅張積層板上の感光性樹脂組成物層が溶解除去されるまでに要した時間を測定し、これを最短現像時間とする。
【０２４０】
（２）感度の測定方法
上記（１）の最短現像時間の評価方法と同じ条件で、銅張積層板、感光性樹脂組成物層、そしてポリエチレンテレフタレートフイルムからなる積層体を作成して、室温（２３℃、５５％ＲＨ）にて１０分間静置する。積層体のポリエチレンテレフタレートフイルムの表面にステップタブレット（富士写真フイルム製、１５段ステップタブレット）を介して、超高圧水銀灯（３ｋＷ超高圧水銀灯両面同時露光装置ＨＭＷ−６−Ｎ型、オーク（株）製）を用いて４０ｍＪ／ｃｍ２の光を照射して、感光性樹脂組成物層を露光する。室温にて１０分間静置した後、積層体からポリエチレンテレフタレートフイルムを剥がし取る。銅張積層板上の樹脂組成物層の全面に、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧０．１ＭＰａにて上記（１）で求めた最短現像時間の１．５倍の時間スプレーし、未硬化の樹脂組成物を溶解除去して、硬化樹脂パターンを現像する。その後、２０℃の水をスプレー圧０．０５ＭＰａにて８０秒間スプレーして、硬化樹脂パターンを水洗して、乾燥した。このステップタブレットの完全に膜が残っている最大段数を読み、感度試験とする。（ステップタブレットは段数が大きいほど光の透過率が低い。従って、感度の高いレジストほど上記判定段数は高くなる。）また、この感度から、上記ステップタブレットで３段目まで完全に膜が残るような露光量を算出する。この露光量を評価露光量とし、以下の試験を行った。
【０２４１】
（３）解像度の測定方法
上記（１）での最短現像時間の評価方法と同じ条件で、銅張積層板、感光性樹脂組成物層、そしてポリエチレンテレフタレートフイルムからなる積層体を作成して、室温（２３℃、５５％ＲＨ）にて１０分間静置する。積層体のポリエチレンテレフタレートフイルムの表面にフォトマスク（ライン／スペース＝１／１、ライン幅１０μｍ〜１００μｍまでの各種解像度を有する）を介して、超高圧水銀灯（３ｋＷ超高圧水銀灯両面同時露光装置ＨＭＷ−６−Ｎ型、オーク（株）製）を用いて、（２）で算出した露光量で露光し、室温にて１０分間静置した後、積層体からポリエチレンテレフタレートフイルムを剥がし取る。銅張積層板上の樹脂組成物層の全面に、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧０．１ＭＰａにて上記（１）で求めた最短現像時間の１．５倍の時間スプレーし、未硬化の樹脂組成物を溶解除去して、硬化樹脂パターンを現像する。その後、２０℃の水をスプレー圧０．０５ＭＰａにて８０秒間スプレーして、硬化樹脂パターンを水洗して、乾燥する。この様にして得られた硬化樹脂パターン付き銅張積層板の表面を光学顕微鏡で観察し、硬化樹脂パターンのラインにツマリ、ヨレ等の異常のない最小のライン幅を測定し、これを解像度とする。
【０２４２】
（４）密着の測定方法
フォトマスクにライン／スペース＝１／３、ライン幅１０μｍ〜１００μｍのものを用いる以外は、上記（３）の解像度の評価方法と同じ操作を行ない、硬化樹脂パターンのラインに剥がれ、ヨレ等の異常のない最小のライン幅を測定し、これを密着とする。
【０２４３】
（５）テント膜破れ数の測定方法
スルーホールを有しない銅張積層板の変わりに、直径３ｍｍの銅めっきスルーホールを４００個有する銅張積層板を用いる以外は、前記（１）の最短現像時間の評価方法と同じ条件で、銅張積層板、感光性樹脂組成物層、そしてポリエチレンテレフタレートフイルムからなる積層体を作成して、室温（２３℃、５５％ＲＨ）にて１０分間静置する。積層体のポリエチレンテレフタレートフイルムの表面に超高圧水銀灯を用いて上記（２）で求めた露光量で光を照射して、感光性樹脂組成物層の全面を露光する。室温にて１０分間放置した後、積層体からポリエチレンテレフタレートフイルムを剥がし取る。銅張積層板上の樹脂組成物層の全面に、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧０．２ＭＰａにて上記（１）で求めた最短現像時間の６倍の時間スプレーし、硬化樹脂部を現像し、水洗して乾燥する。この様にして得られた硬化樹脂付き銅張積層板の表面に４５℃の塩化第二銅水溶液（エッチング液）を、スプレー圧０．１ＭＰａにて６０秒間スプレーして、銅張積層板をエッチングする。ここまでの処理でテント膜の破れたホール数の数をカウントし、これをテント破れ数とする（数字が小さいものが良好である）。
【０２４４】
（６）剥離時間の測定方法
前記（１）での最短現像時間の評価方法と同じ条件で、銅張積層板、感光性樹脂組成物層、そしてポリエチレンテレフタレートフイルムからなる積層体を作成し、室温（２３℃、５５％ＲＨ）にて１０分間静置する。積層体のポリエチレンテレフタレートフイルムの表面に超高圧水銀灯を用いて（２）で求めた露光量の光を照射して、感光性樹脂組成物層の全面を露光する。室温にて１０分間静置した後、積層体からポリエチレンテレフタレートフイルムを剥がし取る。前記（３）の解像度の評価方法と同じ条件で、銅張積層板上の樹脂組成物層の全面に炭酸ナトリウム水溶液をスプレーして、硬化樹脂パターンを現像し、水洗して乾燥する。この様にして得られた硬化樹脂パターン付き銅張積層板を３質量％の水酸化ナトリウム水溶液中に立てかける様に浸漬する。銅張積層板の浸漬開始から銅張積層板上の硬化樹脂パターンが完全に除去されるまでに要した時間を測定し、これを剥離時間とする。
【０２４５】
［実施例２］
重合性化合物（１）の代わりに重合性化合物（３３）を用いる以外は実施例１と同様にしてドライフイルムフォトレジストを得た。このドライフイルムフォトレジストの最短現像時間、感度、解像度、密着、テント膜破れ数、及び剥離時間を、実施例１と同様に評価した。結果を第１表に示す。
【０２４６】
【化８７】
2005258092.tif 000089
【０２４７】
［実施例３］
重合性化合物（１）の代わりに重合性化合物（６５）を用いる以外は実施例１と同様にしてドライフイルムフォトレジストを得た。このドライフイルムフォトレジストの最短現像時間、感度、解像度、密着、テント膜破れ数、及び剥離時間を、実施例１と同様に評価した。結果を第１表に示す。
【０２４８】
【化８８】
2005258092.tif 000090
【０２４９】
［実施例４］
重合性化合物（１）１０．９質量部の代わりに、重合性化合物（１）８．７質量部および下記の重合性化合物（１０１）（ＢＰＥ−５００、新中村化学工業（株）製）２．２質量を用いる以外は実施例１と同様にして感光性転写シートを得た。この感光性転写シートの最短現像時間、感度、解像度、密着、テント膜破れ数、及び剥離時間を、実施例１と同様に評価した。結果を第１表に示す。
【０２５０】
２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン
【化８９】
2005258092.tif 000091
【０２５１】
［実施例５］
重合性化合物（１）１０．９質量部の代わりに、重合性化合物（１）８．７質量部、重合性化合物（１０２）（ビスコート＃２３３８、大阪有機化学工業株式会社製）２．２質量を用いる以外は実施例１と同様にして感光性転写シートを得た。この感光性転写シートの最短現像時間、感度、解像度、密着、テント膜破れ数、及び剥離時間を、実施例１と同様に評価した。結果を第１表に示す。
【０２５２】
γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β‘−メタクリロイルオキシ−オルトフタレート
【化９０】
2005258092.tif 000092
【０２５３】
［実施例６］
メタクリル酸／メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルメタクリレート／ベンジルメタクリレート共重合体（バインダー）の３５質量％溶液５１．９質量部の代わりに、メタクリル酸／メチルメタクリレート／スチレン共重合体（バインダー）の３５質量％溶液（共重合組成：２５／５０／２５モル％、重量平均分子量：１０万、溶媒はメチルエチルケトン／1−メトキシ−２−プロパノール＝２／１（質量比））３１．１質量部を用いる以外は実施例１と同様にして感光性転写シートを得た。この感光性転写シートの最短現像時間、感度、解像度、密着、テント膜破れ数、及び剥離時間を、実施例１と同様に評価した。結果を第１表に示す。
【０２５４】
［実施例７］
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン０．０６質量部の代わりに、Ｎ−メチルアクリドン０．０６質量部を用いる以外は実施例１と同様にして感光性転写シートを得た。この感光性転写シートの最短現像時間、感度、解像度、密着、テント膜破れ数、及び剥離時間を、実施例１と同様に評価した。結果を第１表に示す。
【０２５５】
［実施例８］
（第一感光層の形成）
実施例１の感光性樹脂組成物溶液を調製し、２０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフイルムに乾燥膜厚が２０μｍになるように塗布し、２０μｍ厚の第一感光層を形成した。
【０２５６】
（バリアー層の形成）
第一感光層の上に、下記の組成からなる水溶性ポリマー溶液を塗布し、乾燥して、１．６μｍ厚のバリアー層を形成した。
【０２５７】
────────────────────────────────────────
水溶性ポリマー溶液
────────────────────────────────────────
ポリビニルアルコール                                          １３質量部
ポリビニルピロリドン                                            ６質量部
水                                                          ２００質量部
メタノール                                                  １８０質量部
────────────────────────────────────────
【０２５８】
（第二感光層の形成）
バリアー層の上に、下記の組成からなる第二感光性樹脂組成物溶液を塗布し、乾燥して、５μｍ厚の感光層（第二感光層）を形成した。
【０２５９】
────────────────────────────────────────
第二感光性樹脂組成物溶液
────────────────────────────────────────
メタクリル酸／メチルメタクリレート／２−エチルへキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート共重合体（共重合体組成：２９／５５／１２／４モル％、質量平均分子量：１０万）                                                        １５質量部
ポリプロピレングリコールジアクリレート                          ６．５質量部
テトラエチレングリコールジメタクリレート                        １．５質量部
Ｎ−メチルアクリドン                                            ０．１６質量部
２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール                                                          １．０４質量部
ｐ−トルエンスルホンアミド                                      ０．５質量部
マラカイトグリーンシュウ酸塩                                    ０．０２質量部
１，２，４−トリアゾール                                        ０．０１質量部
ロイコクリスタルバイオレット                                    ０．２質量部
トリブロモメチルフェニルスルホン                                ０．１質量部
メチルエチルケトン                                            １０質量部
１−メトキシ−２−プロパノール                                ２０質量部
────────────────────────────────────────
【０２６０】
（感光性転写シートの作製）
第二感光層の上に、１２μｍ厚のポリプロピレンフイルムを積層して感光性転写シートを得た。
この感光性転写シートの（１）最短現像時間を実施例１と同様に評価した。（２）感度は以下のとおり測定した。
【０２６１】
（２）感度の測定方法
上記（１）の最短現像時間の評価方法と同じ条件で、銅張積層板、感光性樹脂組成物層、そしてポリエチレンテレフタレートフイルムからなる積層体を作成して、室温（２３℃、５５％ＲＨ）にて１０分間静置する。積層体のポリエチレンテレフタレートフイルムの表面にステップタブレット（富士写真フイルム製、１５段ステップタブレット）を介して、超高圧水銀灯（３ｋＷ超高圧水銀灯両面同時露光装置ＨＭＷ−６−Ｎ型、オーク（株）製）を用いて４０ｍＪ／ｃｍ2の光を照射して、感光性樹脂組成物層を露光する。室温にて１０分間静置した後、積層体からポリエチレンテレフタレートフイルムを剥がし取る。銅張積層板上の樹脂組成物層の全面に、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧０．１ＭＰａにて上記（１）で求めた最短現像時間の１．５倍の時間スプレーし、未硬化の樹脂組成物を溶解除去して、硬化樹脂パターンを現像する。その後、２０℃の水をスプレー圧０．０５ＭＰａにて８０秒間スプレーして、硬化樹脂パターンを水洗して、乾燥した。このステップタブレットの第一感光層及び第二感光層の両方が完全に膜が残っている最大段数を読み、感度試験（イ）とする。この感度から、上記ステップタブレットで第一感光層及び第二感光層の両方が3段目まで完全に膜が残るような露光量を算出し、評価露光量（イ）とし、この露光量で（５）テント膜破れ数、（６）剥離性試験を行った。さらに、第二感光層のみが完全に膜が残っている最大段数を読み、感度試験（ロ）とする。また、この感度から、上記ステップタブレットで第二感光層のみが、3段目まで完全に膜が残るような露光量を算出し、評価露光量（ロ）とし、この露光量で（３）解像度、（４）密着性試験を行った。
（３）解像度、（４）密着性、（５）テント膜破れ数、（６）剥離性試験は、露光量を（２）で算出した露光量に変更する以外は実施例１と同様に行った。結果を第１表に示す。
【０２６２】
［比較例１］
重合性化合物（１）１０．９質量部の代わりに、ドデカプロピレングリコールジアクリレート８．７質量部、テトラエチレングリコールジメタクリレート２．２質量を用いる以外は実施例１と同様にして感光性転写シートを得た。この感光性転写シートの最短現像時間、解像度、密着、テント膜破れ数、及び剥離時間を、実施例１と同様に評価した。結果を第１表に示す。
【０２６３】
［比較例２］
重合性化合物（１）の代わりに、重合性化合物（Ｃ−１）を用いる以外は実施例１と同様にして感光性転写シートを得た。この感光性転写シートの最短現像時間、解像度、密着、テント膜破れ数、及び剥離時間を、実施例１と同様に評価した。結果を第１表に示す。
【０２６４】
Ｃ−１
【化９１】
2005258092.tif 000093
【０２６５】
［比較例３］
重合性化合物（１）の代わりに、重合性化合物（Ｃ−２）を用いる以外は実施例１と同様にして感光性転写シートを得た。この感光性転写シートの最短現像時間、解像度、密着、テント膜破れ数、及び剥離時間を、実施例１と同様に評価した。結果を第１表に示す。
【０２６６】
Ｃ−２
【化９２】
2005258092.tif 000094
【０２６７】
［比較例４］
重合性化合物（１）の代わりに、重合性化合物（Ｃ−３）を用いる以外は実施例１と同様にして感光性転写シートを得た。この感光性転写シートの最短現像時間、解像度、密着、テント膜破れ数、及び剥離時間を、実施例１と同様に評価した。結果を第１表に示す。
【０２６８】
Ｃ−３
【化９３】
2005258092.tif 000095
【０２６９】
第１表
────────────────────────────────────────
感光性    最短現像          評価                          テント
転写シート    時間    感度    露光量      解像度    密着    破れ数  剥離時間
────────────────────────────────────────
実施例１  １５秒    ３    ４０ｍＪ    ３５μｍ  ３０μｍ    ２個    ２２秒  
実施例２  １５秒    ３    ４０ｍＪ    ３５μｍ  ３０μｍ    ５個    ２５秒
実施例３  １５秒    ３    ４０ｍＪ    ３０μｍ  ３０μｍ    ８個    ２６秒
実施例４  ２０秒    ３    ４０ｍＪ    ２５μｍ  ３０μｍ  １２個    ２７秒
実施例５  １５秒    ３    ４０ｍＪ    ３０μｍ  ２５μｍ  １５個    ２８秒
実施例６  １５秒    ３    ４０ｍＪ    ３０μｍ  ３０μｍ    ５個    ２６秒
実施例７  １５秒    ７    １０ｍＪ    ３０μｍ  ３０μｍ    ３個    ２４秒
実施例８  ２５秒    ３＊  ４０ｍＪ＊  ２０μｍ  ２０μｍ    ３個    ３０秒
────────────────────────────────────────
比較例１  １５秒    ３    ４０ｍＪ    ４０μｍ  ３５μｍ  ６０個    ４０秒
比較例２  １１秒    ３    ４０ｍＪ    ４０μｍ  ３０μｍ  ３０個    ２５秒
比較例３  ２５秒    ３    ４０ｍＪ    ４０μｍ  ３５μｍ  ５０個    ３５秒
比較例４  ２０秒    ３    ４０ｍＪ    ４０μｍ  ３０μｍ  ４５個    ３５秒
────────────────────────────────────────
（註）
＊：第一感光層の値（実施例８において、第二感光層の感度は９、第二感光層の評価露光量は５ｍＪである）
【０２７０】
［実施例９］
（レーザ露光による硬化樹脂パターンの形成）
表面を整面し、乾燥した銅張積層板の表面に、実施例１にて製造した感光性転写シートの感光性樹脂組成物層を、その感光性樹脂組成物層の上のポリプロピレンフイルムを剥がしながら圧着して、銅張積層板、感光性樹脂組成物層、そしてポリエチレンテレフタレートフイルムからなる積層体を作成した。この積層体のポリエチレンテレフタレートフイルムに、波長４００〜４１５ｎｍのレーザ光源を有するレーザ露光装置を用いて、（１）感度の測定方法と同様の方法で測定し、上記ステップウエッジで3段まで完全に膜が残る露光量を算出したところ、１０５ｍＪ／ｃｍ2であった。ライン／スペース＝１／１でライン幅１０μｍ〜１００μｍのパターンと、ライン／スペース＝１／３でライン幅１０μｍ〜１００μｍのパターンとで、１０５ｍＪ／ｃｍ2のレーザ光を照射し、感光性樹脂組成物層を露光した。室温にて１０分間静置した後、積層体からポリエチレンテレフタレートフイルムを剥がし取った。銅張積層板上の樹脂組成物層の全面に３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液を０．１ＭＰａの圧力で１７秒間スプレーして、未硬化の樹脂組成物を溶解除去し、硬化樹脂パターンを現像した。その後、２０℃の水を、スプレー圧０．０５ＭＰａにて８０秒間スプレーして、硬化樹脂パターンを水洗して乾燥した。この様にして得られた硬化樹脂パターン付き銅張積層板の表面を光学顕微鏡で観察したところ、ライン／スペース＝１／１で形成した硬化樹脂パターンのラインにツマリ、ヨレ等の異常のない最小のライン幅（解像度）は３０μｍ、ライン／スペース＝１／３で形成した硬化樹脂パターンのラインに剥がれ、ヨレ等の異常のない最小のライン幅（密着）は１５μｍと、超高圧水銀灯の光で露光した場合よりも解像度と密着とがそれぞれ良くなった。
【０２７１】
［実施例１０］
（レーザ露光によるテント膜の形成）
表面を整面し、乾燥した直径３ｍｍの銅めっきスルーホールを２００個有する銅張積層板の表面に、実施例１にて製造したドライフイルムフォトレジストの感光性樹脂組成物層を、その感光性樹脂組成物層の上のポリプロピレンフイルムを剥がしながら圧着して、銅張積層板、感光性樹脂組成物層、そしてポリエチレンテレフタレートフイルムからなる積層体を作成した。この積層体のポリエチレンテレフタレートフイルムの全面に、波長４００〜４１５ｎｍのレーザ光源を有するレーザ露光装置を用いて、１０５ｍＪ／ｃｍ2のレーザ光を照射して、感光性樹脂組成物層を露光した。室温にて１０分間静置した後、積層体からポリエチレンテレフタレートフイルムを剥がし取った。銅張積層板上の樹脂組成物層の全面に３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液を２ＭＰａの圧力で１７秒間スプレーして、未硬化の樹脂組成物を溶解除去し、硬化樹脂パターンを現像し、水洗して乾燥した。この様にして得られた硬化樹脂パターン付き銅張積層板の表面に４５℃の塩化第二銅水溶液（エッチング液）を、スプレー圧０．１ＭＰａにて６０秒間スプレーして、銅張積層板をエッチングした。ここまでの処理でテント膜の破れたホール数の合計数をカウントしたところ、テント膜破れ数は３個と、超高圧水銀灯の光で露光した場合とほぼ同等であった。
【図面の簡単な説明】
【０２７２】
【図１】本発明に従う感光性転写シート（感光性樹脂組成物層が１層）の一例の断面図である。
【図２】本発明に従う感光性転写シート（感光性樹脂組成物層が２層）の一例の断面図である。
【図３】本発明に従う感光性転写シート（感光性樹脂組成物層が２層）の別の例の模式断面図である。
【図４】本発明に従う感光性転写シート（感光性樹脂組成物層が２層）のまた別の例の模式断面図である。
【図５】本発明に従う感光性転写シート（感光性樹脂組成物層が２層）のさらに別の例の模式断面図である。
【図６】本発明に従う感光性転写シート（感光性樹脂組成物層が２層）に支持体側から光を照射したときの、光の照射量と硬化層の厚さとの関係を表す感度曲線を示すグラフである。
【図７】本発明に従う金属めっきスルーホールを有するプリント配線板の製造工程を概略的に示した図である。
【図８】本発明に従うスルーホールを有するプリント配線板の製造工程を示す図である。
【符号の説明】
【０２７３】
１０  感光性転写シート
１１  支持体
１２  感光性樹脂組成物層
１５  保護フイルム
１６  配線パターン形成用の硬化樹脂組成物領域
１７  スルーホールの金属めっき保護用の硬化樹脂組成物領域
１８  剥離片
２０  感光性転写シート
２１  支持体
２２  第一感光層
２３  バリアー層
２４  第二感光層
２５  保護フイルム
２６  配線パターン形成用の硬化層
２７  スルーホールの金属層保護用硬化層
２８  剥離片
３１  プリント配線板形成用基板
３２  スルーホール
３３  金属めっき層
３４  配線パターン
４１  圧着ローラ
【図１】
2005258092.tif 000103
【図２】
2005258092.tif 000104
【図３】
2005258092.tif 000105
【図４】
2005258092.tif 000106
【図５】
2005258092.tif 000107
【図６】
2005258092.tif 000108
【図７】
2005258092.tif 000109
【図８】
2005258092.tif 000110