(57)【要約】【課題】  逆浸透膜の快速かつ有効な洗浄方法を提供することにより、洗浄効果を大幅に改善して膜の使用寿命を延長させると共に、その他の濾過手段の増設による煩瑣なプロセスとコストの無駄を省く。【解決手段】  薬剤を逆浸透膜１２０に通液する工程、前記薬剤を含んだ前記逆浸透膜１２０を静置する工程、前記逆浸透膜１２０を低圧でフラッシングしてから高圧でフラッシングする工程、および、高圧状態を維持して前記逆浸透膜１２０に微振動現象を生じさせる工程、からなる逆浸透膜の洗浄方法。濾過装置１００から流出してきたプロセス廃水１０を、前記逆浸透膜の洗浄方法により処理された逆浸透膜１２０に導入する工程、ならびに、プロセス廃水１０を前記濾過装置１００および前記逆浸透膜１２０で濾過することにより得られた回収水を生産水塔に導入する工程、からなる廃水回収方法。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬剤を逆浸透膜に通液する工程、
前記薬剤を含んだ前記逆浸透膜を静置する工程、
前記逆浸透膜を低圧でフラッシングしてから高圧でフラッシングする工程、
および、高圧状態を維持して、前記逆浸透膜に微振動現象を生じさせる工程、からなる逆浸透膜の洗浄方法。
【請求項２】
前記薬剤が強アルカリである請求項１記載の逆浸透膜の洗浄方法。
【請求項３】
前記逆浸透膜がポリアミド（ＰＡ）からなる請求項１記載の逆浸透膜の洗浄方法。
【請求項４】
前記逆浸透膜を静置する時間は、約２０〜４０分間である請求項１記載の逆浸透膜の洗浄方法。
【請求項５】
前記洗浄にかかる時間は、ほぼ１日を超えない時間である請求項１記載の逆浸透膜の洗浄方法。
【請求項６】
前記洗浄にかかる時間は、約４０分間〜２時間である請求項１記載の逆浸透膜の洗浄方法。
【請求項７】
微振動現象を生じさせると同時に、排出される水の導電率を測定する工程をさらに含む請求項１記載の逆浸透膜の洗浄方法。
【請求項８】
２５０μＳ／ｃｍ未満の導電率が測定された場合に、前記洗浄を停止する工程をさらに含む請求項７記載の逆浸透膜の洗浄方法。
【請求項９】
廃水を濾過装置に導入する工程、
前記濾過装置から流出してきた廃水を、純水システムにて使用済みとなり交換が必要になったものであって請求項１に記載の洗浄方法により処理された逆浸透膜に導入する工程、ならびに
廃水を前記濾過装置および前記逆浸透膜で濾過することにより得られた回収水を生産水塔に導入して、廃水回収を終了する工程、
からなる廃水回収方法。
【請求項１０】
前記廃水の組成には、酸性物質、アルカリ性物質、有機物、強酸化剤、金属イオンまたは懸濁固体物が含まれる請求項９記載の廃水回収方法。
【請求項１１】
前記濾過装置は、第１濾過塔と第２濾過塔を含む請求項９記載の廃水回収方法。
【請求項１２】
前記第１濾過塔の濾過膜のポアサイズが１００μｍ以下である請求項１１記載の廃水回収方法。
【請求項１３】
前記第２濾過塔の濾過膜のポアサイズが１０μｍ以下である請求項１１記載の廃水回収方法。
【請求項１４】
前記逆浸透膜がポリアミド（ＰＡ）からなる請求項９記載の廃水回収方法。
【請求項１５】
前記薬剤が強アルカリである請求項９記載の廃水回収方法。
【請求項１６】
前記逆浸透膜を静置する時間は、約２０〜４０分間である請求項９記載の廃水回収方法。
【請求項１７】
前記洗浄にかかる時間は、ほぼ１日を超えない時間である請求項９記載の廃水回収方法。
【請求項１８】
前記洗浄にかかる時間は、約４０分間〜２時間である請求項９記載の廃水回収方法。
【請求項１９】
微振動現象を生じさせると同時に、排出される水の導電率を測定する工程をさらに含む請求項９記載の廃水回収方法。
【請求項２０】
２５０μＳ／ｃｍ未満の導電率が測定された場合に、前記洗浄を停止する工程をさらに含む請求項１９記載の廃水回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセスの廃水の処理に関し、特に、廃水回収システム中の逆浸透膜を快速に洗浄する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスにおいて生じる廃水は、ＩＣ製造プロセスにおいて生じる廃水と、ＩＣパッケージングプロセスにおいて生じる廃水とに分けられる。ＩＣ製造プロセスでは、製造する製品の種類が複雑多岐にわたり、製造工程の組み合わせも多種多様であるため、排出される廃水に含まれる化学物質の種類も非常に雑多である。ＩＣ製造プロセスの廃水は、その大部分が純水を用いたチップ洗浄、レジスト剥離、エッチングおよび燃料ガスの燃焼により排出されるものであって、大きく、酸・アルカリ廃水とフッ素含有廃水とに分類することができる。その主要成分としては、有機物、金属イオン、懸濁固体、強酸化剤およびフッ素イオンがある。一方、ＩＣパッケージングプロセスにおいて生じる汚染廃水は、切削、電気めっき、はんだディップ、洗浄などにより生じるものであって、種類分けすると、研磨廃水、脱脂廃水、酸・アルカリ廃水、シアン化物廃水および重金属廃水などがある。そして、これら廃水中の主要成分は、懸濁固体、油脂、有機物および重金属（Ｃｕ，Ｎｉ）である。
上述のような各製造プロセスで生じる廃水を、有効な廃水回収システムにより処理しその水質を回復させて、水質基準に適合した回収水を製造することができれば、工場に戻してプロセス水、間接冷却用水、製品および半製品または原料の洗浄用水、設備内および製造装置の洗浄用水、輸送用水、原料用水、ボイラー用水、直接冷却用水、空調機または温湿度調整用水などとして再利用することができ、これによってＩＣ製造コストの大幅な引き下げが図られると共に、環境に与え得る多大なダメージを回避することができる。
【０００３】
さて、半導体製造工場では、一般的に、廃水回収システムを用い、次のような工程により廃水回収を実行している。先ず、プロセス廃水を第１濾過塔に導入する。この第１濾過塔の濾過膜のポアサイズは約２０〜１００μｍである。引き続き、第１濾過塔から流出してきた濾液をもう１つの濾過塔、つまり第２濾過塔へ導入する。この第２濾過塔の濾過膜のポアサイズは約２〜１０μｍである。
第１濾過塔および第２濾過塔による濾過後は、原廃水中に存在していた比較的粒子の大きい不純物はほぼ取り除かれている。次に、第２濾過塔から流出してきた濾液を、逆浸透膜濾過システムへ導入する。かかる逆浸透膜は、そのポアサイズが例えば１〜１０Åとより一層微細であるので、製造プロセスでの再利用が可能な水質基準を満たした回収水が得られることとなる。この工程で廃水回収工程が終了となる。
【０００４】
しかし、このような廃水回収システム中の逆浸透膜は、その高頻度の使用によって、膜表面にスケールが形成されて目詰まりが生じてしまう。こうした場合に、逆浸透膜を効果的に洗浄できる技術がなければ、非常に速い速度で膜の寿命が尽きてしまい、廃水回収システム全体のオペレーションに大きく影響することとなる。これについて、従来の逆浸透膜の洗浄方法は、先ず、所定の濃度の、例えば強アルカリである薬剤を約２０分間かけて逆浸透膜に通液してから、逆浸透膜を静置し、これには通常約１日の時間が要されるが、続いて、低圧のフラッシング後に高圧のフラッシングを行って、洗浄工程を完了するというものである。
このような洗浄工程は、前後の処理なども合わせて全体でほぼ２日間もの時間がかかってしまう。しかも、洗浄完了後にも目詰まりは完全に解消されないことが多い。よって、こうした洗浄方法は、実に不経済かつ非効率な方法であるといえる。半導体製造プロセスが日に日に繁雑さを増している今日において、大量の用水の確保が急務となっており、この用水増加を負担するために、廃水回収システム中で濾過膜が長期間にわたり濾過し水質を向上し続けられる性能を持つこと求められるが、濾過膜にかかる性能を持たせるためには、有効かつ適切な膜洗浄工程の実行は必須である。
【０００５】
ところが、現在のところ、逆浸透膜の寿命延長化を図るべく多くの半導体メーカーがとっている手段は、不純物による膜への負担を低減させる、すなわち、前処理段階、例えば第１濾過塔および第２濾過塔による濾過の前後に、活性炭塔、イオン交換樹脂塔、精密濾過膜、限外濾過膜または紫外線ランプなどを用いて処理を行い、この段階における濾液の水質を向上させるという手段である。しかし、こうした手段には、設備の増設および稼動にかかる余分なコストが必要となり、また、活性炭、イオン交換樹脂、精密濾過膜、限外濾過膜などの消耗材を大量に使用しなければならないため、産業上強く求められる低コストの要求が満たされていない。
【０００６】
なお、出願人は、上述した技術分野に関連する先行技術文献を見つけていない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記に鑑みて、本発明の目的は、逆浸透膜の快速かつ有効な洗浄方法を提供することにより、洗浄効果を大幅に改善して膜の使用寿命を延長させると共に、その他の濾過手段の増設による煩瑣なプロセスとコストの無駄を省くことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、本発明は、薬剤を逆浸透膜に通液する工程、前記薬剤を含んだ前記逆浸透膜を静置する工程、前記逆浸透膜を低圧でフラッシングしてから高圧でフラッシングする工程、および、高圧状態を維持して前記逆浸透膜に微振動現象を生じさせる工程、からなる逆浸透膜の洗浄方法である。
前記薬剤が強アルカリであることが好ましい。
前記逆浸透膜がポリアミド（ＰＡ）からなることが好ましい。
前記逆浸透膜を静置する時間は、約２０〜４０分間であることが好ましい。
前記洗浄にかかる時間は、ほぼ１日を超えない時間であることが好ましい。
前記洗浄にかかる時間は、約４０分間〜２時間であることが好ましい。
微振動現象を生じさせると同時に、排出される水の導電率を測定する工程をさらに含むことが好ましい。
２５０μＳ／ｃｍ未満の導電率が測定された場合に、前記洗浄を停止する工程をさらに含むことが好ましい。
【０００９】
また、本発明は、廃水を濾過装置に導入する工程、前記濾過装置から流出してきた廃水を、純水システムにて使用済みとなり交換が必要になったものであって前記の逆浸透膜の洗浄方法により処理された逆浸透膜に導入する工程、ならびに、廃水を前記濾過装置および前記逆浸透膜で濾過することにより得られた回収水を生産水塔に導入して、廃水回収を終了する工程、からなる廃水回収方法である。
前記廃水の組成には、酸性物質、アルカリ性物質、有機物、強酸化物、金属イオンまたは懸濁固体物が含まれることが好ましい。
前記廃水の導電率が１００μＳ／ｃｍ以上であることが好ましい。
前記廃水の全有機炭素含量が１ｍｇ／ｌ以上であることが好ましい。
前記酸性物は、リン酸、硝酸、硫酸または塩酸を含んでいることが好ましい。
前記廃水の強酸化物含量が１ｍｇ／ｌ以上であることが好ましい。
前記アルカリ性物質は、アンモニア溶液またはメチルアミンを含んでいることが好ましい。
前記金属イオンは、各種アルカリ金属イオン、重金属およびその他の金属イオンを含んでいることが好ましい。
前記有機物は、レジスト液、現像液、洗浄液、メタノールまたはイソプロパノールを含んでいることが好ましい。
前記強酸化物は、過酸化水素またはオゾンを含んでいることが好ましい。
前記懸濁固体物は、二酸化ケイ素、酸化ゲルマニウム、酸化タングステン、フッ化ケイ素、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化リン、シリコンウェハの破片または洗浄液を含んでいることが好ましい。
前記濾過装置は、第１濾過塔と第２濾過塔を含むことが好ましい。
前記第１濾過塔の濾過膜のポアサイズが１００μｍ以下であることが好ましい。
前記第２濾過塔の濾過膜のポアサイズが１０μｍ以下であることが好ましい。
前記純水システムは、水道水を濾過して純水にするシステムであることが好ましい。
前記逆浸透膜がポリアミド（ＰＡ）からなることが好ましい。
前記薬剤が強アルカリであることが好ましい。
前記逆浸透膜を静置する時間は、約２０〜４０分間であることが好ましい。
前記洗浄にかかる時間は、ほぼ１日を超えない時間であることが好ましい。
前記洗浄にかかる時間は、約４０分〜２時間であることが好ましい。
微振動現象を生じさせると同時に、排出された水の導電率を測定する工程をさらに含むことが好ましい。
２５０μＳ／ｃｍ未満の導電率が測定された場合に、前記洗浄を停止する工程をさらに含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の逆浸透膜洗浄方法は、その洗浄工程にかかる時間がほぼ２時間とたいへん短いため、ややもすると１、２日間かかっていた従来の洗浄方法に比べると、大幅な時間の短縮および効率向上が図られ、かつ、その洗浄効果も従来よりも一段と優れている。
さらに、本発明においては、前処理用の濾過システムが第１濾過塔と第２濾過塔のみと極めて簡略化されているため、例えば、活性炭塔、イオン交換樹脂塔、精密濾過膜、限外濾過膜または紫外線ランプなどの余分な濾過設備が一切必要なくなって、ランニングコストの大幅な引下げが可能となる。
また、本発明で使用する逆浸透膜は、純水システムにおける使用済みの逆浸透膜であるので、新しい逆浸透膜モジュールの購入が不要になるのみならず、純水システムの濾過膜は一般の廃水システムで用いられる濾過膜に比べてより微細なポアサイズを有していることより、最終的に濾過される回収水の水質がより高く確保される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明は、特殊な洗浄技術により、逆浸透膜本来の濾過機能を快速に回復させる逆浸透膜の洗浄方法を提供するものである。
本発明にかかわる逆浸透膜洗浄方法は、逆浸透膜に薬剤を通液し、該薬剤を含んだ逆浸透膜を静置してから、逆浸透膜に対し低圧のフラッシングに次いで高圧のフラッシングを行い、その後、高圧状態を維持したままで逆浸透膜に微振動現象を生じさせると同時に、排出された水の導電率を測定することで行われる。
また、本発明が提供する廃水回収方法は、廃水を濾過装置に導入し、該濾過装置から流出された廃水を、本発明にかかわる快速な洗浄方法により洗浄され再び使用可能となった純水システムにおける使用済みの逆浸透膜に導入した後、濾過装置および逆浸透膜による濾過で得られた回収水を生産水塔に導入して終了とするものである。
【００１２】
以下、本発明の上述およびその他の目的、特徴および長所がより明確に理解されるように、好ましい実施形態を挙げ、図面と対応させながら、詳細に説明していく。
図２を用いて本発明の実施形態による逆浸透膜の洗浄方法を説明する。この方法では、逆浸透膜１２０（１２０−１、１２０−２）を洗浄するに先立って、洗浄剤を準備する。
先ず、高圧ポンプ２００を起動すると共に、バルブＶ１を開いて、濾液２５０を圧力計Ｐ１経由で逆浸透膜１２０−１へ送る。このとき、逆浸透膜１２０−１から排出された濾液の水質がプロセス水の基準に達していれば、濾液はバルブＶ１１、流量計Ｆ４経由で直接生産水塔１３０へ送られて貯水され、製造プロセスでの用に供されるか、または、分岐配管（バルブＶ８から流量計Ｆ３およびバルブＶ１０を経由）から一時貯水塔１４０へ送り込まれるが、この期間中に、バルブＶ９を開けて液を中和廃水処理システム１５０に導入してもよい。一方、逆浸透膜１２０−１を通過できなかった液は、もう１つの逆浸透膜１２０−２に導入されて再度濾過処理される。このとき、逆浸透膜１２０−２から排出された濾液は、逆浸透膜１２０−１から排出された濾液と合流し、逆浸透膜１２０−２を通過できなかった液は、バルブＶ３、流量計Ｆ１およびバルブＶ４を経由して中和廃水処理システム１５０へ送られる。もう１つの分岐配管は、バルブＶ５、流量計Ｆ２およびバルブＶ６経由で洗浄塔２３０へ液を供給するものであり、ここに供給される液は逆浸透膜１２０の洗浄時に用いられる。洗浄剤２４０の準備作業に先立って行うべきは、洗浄塔２３０の洗浄であり、これは、バルブＶ５を開いて、液をバルブＶ５、流量計Ｆ２およびバルブＶ６経由で洗浄塔２３０へ送ると同時に、バルブＶ１６を開くことで行う。この期間中は、バルブＶ５を調整して流量計Ｆ２の指示値を３〜５ｔ／ｈ、好ましくは４ｔ／ｈに保っておく。
洗浄塔２３０の内壁にスケール付着がなく、かつ塔内に流入する濾液に気泡がない場合は、次の工程へ進む。なお、上述の洗浄塔２３０洗浄時間は約０．５〜３時間であり、１時間以内に制御することが好ましい。
【００１３】
続いて、以下のような手順で、所定の濃度に調製した洗浄剤２４０を洗浄塔２３０内へ投入する。すなわち、先ずバルブＶ１６を閉めて、洗浄塔２３０内に流入する濾液の体積が約１０００〜１４００ｌになったら、さらにバルブＶ５も閉め、引き続きバルブＶ１５を開いて約６０〜１００ｌ、好ましくは８０ｌの洗浄剤２４０を洗浄塔２３０中に加える。洗浄剤２４０の体積量は薬注装置を設置することで制御でき、例えば、注入速度４ｌ／ｍｉｎで２０分間の注入を続けた後、薬注装置を停止し、バルブＶ１５を閉める。
ここで使用する洗浄剤２４０は、例えば、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）または水酸化カリウム（ＫＯＨ）などの強アルカリを希釈調製して、酸・アルカリ度（ｐＨ）約１２〜１４、重量パーセント濃度約２〜５％、好ましくは２．８％とした洗浄剤２４０である。
【００１４】
次に、バルブＶ１２を閉め、バルブＶ１３およびバルブＶ１４を開けると共に洗浄ポンプ２２０を起動し、内部循環を行う。つまり、洗浄塔２３０中の洗浄剤２４０を約５〜１０分間かけて十分に混ぜ合わせたら、洗浄ポンプ２２０を切る。これで、洗浄剤２４０の準備作業は完了である。
そして、逆浸透膜１２０の洗浄工程を開始する。先ず、薬剤通液を行う。すなわち、バルブＶ１、バルブＶ３、バルブＶ８、バルブＶ１１およびバルブＶ１３を閉める一方、バルブＶ２、バルブＶ５およびバルブＶ１２を開けて、全てのバルブの開閉が正しく行われたことを確認してから、洗浄ポンプ２２０を起動して洗浄剤２４０を逆浸透膜１２０へ供給する。この際、洗浄剤２４０が生産水塔１３０に流れ込んでその中の水質が劣化するのを防ぐべく、バルブＶ３を閉めバルブＶ５を開けることで洗浄剤２４０を洗浄塔２３０へ戻し、この循環回路中で洗浄作業が徹底されるようにする。この薬剤通液は、約２０〜４０分間、洗浄ポンプ２２０の吐出量約７〜１０ｔ／ｈで行う。その後、洗浄ポンプ２２０を停止して、洗浄剤２４０を含んだ逆浸透膜１２０を約２０〜４０分間静置した後、バルブＶ１６を開いて排水する。
【００１５】
続いて、バルブＶ１を調整することにより、圧力計Ｐ１が指す入水圧力が次第に高まるようにする。すなわち、先ずバルブＶ２を閉め、高圧ポンプ２００を起動すると共にバルブＶ１を開く。バルブＶ１の調整は、（１）圧力：３〜７Ｋｇ／ｃｍ2、時間：２〜５分、（２）圧力：７〜１０Ｋｇ／ｃｍ2、時間：２〜５分、（３）圧力：９〜１３Ｋｇ／ｃｍ2、時間２〜５分の順で行う。このとき同時に流量計Ｆ２内の流体の色を見て、淡い色から濃い色へ、濃い色からさらに淡い色へと変化したことが観察できたら、この段階の圧力調整は終了となる。そして、バルブＶ５を閉め、バルブＶ３を開いて排水することにより、洗浄剤２４０および逆浸透膜１２０上の不純物をフラッシングして共に排出する。
【００１６】
次に、バルブＶ１１を僅かに開くと共に、バルブＶ１を調整し、約０．５〜１．５時間の間、圧力計Ｐ１が約１０〜１３Ｋｇ／ｃｍ2を指し続けるよう保つ。このとき、バルブＶ１１の開放により、逆浸透膜１２０に微振動現象が生じて、その上に付着していたスケール成分も共に流し落とされることとなる。以上の洗浄工程にかかる時間は、ほぼ１日を超えない時間であり、４０分〜２時間に制御するとより好ましい。
【００１７】
次いで、一定期間をおいた後、バルブＶ５を約５秒間開いて、流量計Ｆ２に流れるスケール成分物質を沈殿させてから、流量計Ｆ２内のスケール成分物質が次第に少なくなっているか否かを観察すると共に、水質の導電率を見る。導電率の計測値が約２５０〜３００μＳ／ｃｍ、好ましくは２５０μＳ／ｃｍ以下となれば、この逆浸透膜１２０の洗浄は完了である。
【００１８】
逆浸透膜１２０の洗浄工程が終了したら、次は廃水回収工程を実行する。図１には本発明にかかわる廃水回収方法が示してある。本発明にかかわる廃水回収方法は、次のように実行する。先ず、プロセス廃水１０を濾過装置１００に導入する。この濾過装置１００は、廃水回収工程の前処理段階に用いられるものである。濾過装置１００は、第１濾過塔１０５および第２濾過塔１１０からなり、第２濾過塔１１０は第１濾過塔１０５の後に接続されている。第１濾過塔１０５の濾過膜のポアサイズは約２０〜１００μｍ、第２濾過塔１１０の濾過膜のポアサイズは約２〜１０μｍである。
プロセス廃水１０は、例えば、金属イオン、酸性物質、アルカリ性物質、有機物、強酸化剤または懸濁固体などの物質から組成されており、その導電率は１００μＳ／ｃｍ以上、全有機炭素（ＴＯＣ）の含量は１ｍｇ／ｌ以上、酸・アルカリ度（ｐＨ）は約２〜４、例えば過酸化水素である強酸化剤の含量は１ｍｇ／ｌ以上である。
このうち、酸性物質はリン酸、硝酸、硫酸または塩酸を含み、金属イオンは各種アルカリ金属イオン、重金属およびその他の金属イオンを含み、アルカリ性物質はアンモニア溶液またはメチルアミンを含み、有機物はレジスト液、現像液、洗浄液、メタノールまたはイソプロパノールを含み、強酸化剤は過酸化水素またはオゾンを含み、懸濁固体は二酸化ケイ素、酸化ゲルマニウム、酸化タングステン、フッ化ケイ素、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化リン、シリコンウェハの破片または洗浄液を含むものであり得る。
【００１９】
第１濾過塔１０５および第２濾過塔１１０による濾過後、この前処理によって、原プロセス廃水１０中の比較的粒子が大きい不純物は大方取り除かれる。本発明では、濾過装置１００に、例えば活性炭塔、イオン交換樹脂塔、精密濾過膜、限外濾過膜または紫外線ランプなどの余分な設備を増設しないため、前処理段階が簡略化されて、コストおよび設備稼動時間を縮小することができる。
【００２０】
続いて、第２濾過塔１１０から排出された濾液を逆浸透膜１２０に導入して、次の段階の濾過を実行する。本発明で使用する逆浸透膜１２０は、純水システムにおいて交換されるに至った使用済みの濾過膜であり、ここで純水システムとは、水道水を濾過して純水にする濾過システムのことを指す。逆浸透膜１２０の材質は、例えばポリアミド（ＰＡ）である。純水システムの濾過膜のポアサイズは、廃水システムの濾過膜のポアサイズよりも小さいことが通常であるので、純水システムの濾過膜でプロセス廃水１０を濾過すれば、当然に水質のより良い濾液が得られ、かつ、本発明ではすでに交換時期に至った使用済みの逆浸透膜１２０を用いるので、新たな濾過膜を購入する必要がなく、資材の選択・購入にかかるコストの大幅な削減が実現される。
【００２１】
なお、逆浸透膜１２０の使用時間が長くなれば、経時的に不純物が膜に付着し再び孔が閉塞されることとなる。よってこのとき、上述したような、快速かつ有効な逆浸透膜洗浄方法を用いれば、逆浸透膜の濾過能力を元の状態に迅速に回復させることが可能となる。この本発明にかかわる洗浄方法によれば、その全体の実施におよそ２時間しかかからず、１、２日間がかりであった従来の洗浄方法に比べると、大幅な時間の短縮および効率の向上が図られる。また、洗浄効果においても従来の方法に比して格段に優れている。
【００２２】
最後に、プロセス廃水１０を濾過装置１００および逆浸透膜１２０に通して得られた回収水を生産水塔１３０へ導入すれば、廃水回収工程は終了である。
以上、好適な実施例を用いて本発明を説明したが、本発明はこれら実施例に限定されることはなく、本発明の要旨と範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者は各種変更及び修飾を加えることができる。すなわち、本発明の保護範囲は、特許請求の範囲に記載された範囲が基準となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態による廃水回収システムの説明図である。
【図２】本発明の一実施形態による逆浸透膜の洗浄方法を説明する構造図である。
【符号の説明】
【００２４】
１００      濾過装置
１０５      第１濾過塔
１１０      第２濾過塔
１２０      逆浸透膜
１３０      生産水塔
１４０      一時貯水塔
１５０      中和廃水処理システム
２００      高圧ポンプ
２２０      洗浄ポンプ
２３０      洗浄塔
２４０      洗浄剤
２５０      濾液
Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４      流量計
Ｐ１        圧力計
Ｖ１〜Ｖ１６      バルブ
【図１】
2005131630.tif 000003
【図２】
2005131630.tif 000004