(57)【要約】【課題】  インクジェットヘッドの低電圧駆動を可能にする。【解決手段】  インクジェットヘッド１は、複数の圧力室１０が形成されたキャビティプレート２２とキャビティプレート２２の下面に積層されたアクチュエータプレート２３とを含んだ流路ユニット４と、キャビティプレート２２の上面に積層されたアクチュエータユニット２１とを有している。アクチュエータユニット２１は、第１個別電極３５と、第１共通電極３４と、圧電シート４１〜４３とで構成されている。アクチュエータプレート２３は、第２個別電極３８と、第２共通電極４０と、圧電シート４５〜４７と、第２個別電極３８を連結する連結電極３９とで構成されている。そして、第１個別電極３５及び第２個別電極３８に電圧が印加されると、アクチュエータユニット２１及びアクチュエータプレート２３が各圧力室の容積を変化させ、各圧力室１０内のインクが吐出される。【選択図】    図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、
前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、
前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えており、
前記主アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室にそれぞれ対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、
前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えており、
前記補助アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室にそれぞれ対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、
隣接する前記複数の第２個別電極を電気的に連結する連結電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、
前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記主アクチュエータブロックが、前記第１個別電極と前記第１共通電極とから電気的に絶縁され、且つ前記第１個別電極に隣接して配置された接点部を備え、
前記第２個別電極は、前記圧力室ブロックを貫通するスルーホールを介して前記接点部に電気的に接続していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記圧力室は、２つの鋭角部を有する平行四辺形または角が丸められた平行四辺形の平面形状を有し、
前記第１個別電極が、前記圧力室に対向する位置に配置された主電極領域と、前記主電極領域の一方の鋭角部から引き出され前記鋭角部に隣接して配置された補助電極領域とから構成されており、
前記補助電極領域が別の２つの前記主電極領域の間に位置するように、前記第１個別電極及び前記圧力室がマトリクス状に配置されており、
前記接点部が前記主電極領域に対して前記補助電極領域と反対側に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記主アクチュエータブロックが、前記第１個別電極と、前記第１共通電極と、前記第１圧電シートとにより構成されており、前記主アクチュエータブロックの分極方向に外部電界を印加したときに、前記分極方向と交差する方向に前記第１圧電シートが伸縮することを利用して前記圧力室の容積を変化させるとともに、前記第１個別電極に対して第１圧電シート側と反対側には、前記第１圧電シートの前記伸縮を規制するものが存在しないことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載にインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記補助アクチュエータブロックに対して前記圧力室ブロックとは反対側に固定され且つ前記ノズルが形成されたノズルブロックをさらに備えており、
前記圧力室と前記ノズルとを連結する孔が形成された前記補助アクチュエータブロックと、前記圧力室ブロックと、前記ノズルブロックとが流路ユニットを構成していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに供給される駆動信号を生成する駆動信号生成装置とを備えたインクジェット記録装置であって、
前記インクジェットヘッドが、
ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、
前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、
前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されており、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えており、
前記主アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、
前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えており、
前記補助アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、
前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えており、
前記駆動信号生成装置が、
前記第１個別電極に供給されるパルス列信号を生成するパルス生成手段と、
前記第２個別電極に供給される補助駆動信号であって、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさない振幅を有し且つ前記パルス列信号よりも周波数の高い補助駆動信号を生成する補助駆動信号生成手段と、
画像データに基づいて、インク滴を吐出すべき前記ノズルに係わる前記第１個別電極に前記パルス列信号を供給するパルス供給手段と、
少なくともインク滴を吐出すべき前記ノズルに係わる前記第２個別電極に前記補助駆動信号を供給する補助駆動信号供給手段とを備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項７】
前記補助駆動信号生成手段が生成する補助駆動信号の周波数が、前記パルス生成手段が生成するパルス列信号の周波数のｎ倍（ｎは２以上の自然数）であることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録装置。
【請求項８】
前記補助駆動信号生成手段が生成する補助駆動信号と、前記パルス生成手段が生成するパルス列信号とが、前記圧力室の容積を減少させるタイミングにおいて、一致するように同期していることを特徴とする請求項７に記載のインクジェット記録装置。
【請求項９】
前記パルス生成手段が生成するパルス列信号が、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさない振幅を有するパルスを含んでいることを特徴とする請求項８に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１０】
前記パルス生成手段が生成するパルス列信号が、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こす振幅を有するパルスを含んでいることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１１】
前記補助アクチュエータブロックの前記第２個別電極が、互いに電気的に連結していることを特徴とする請求項６〜１０のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１２】
前記補助アクチュエータブロックの前記第２個別電極が、互いに電気的に独立していることを特徴とする請求項６〜１０のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１３】
前記補助駆動信号生成手段が生成する補助駆動信号が、前記パルス生成手段が生成するパルス列信号が供給される前記第１個別電極と前記圧力室を共有する前記第２個別電極に隣接した複数の前記第２個別電極のうちの少なくとも１つに供給されることを特徴とする請求項１２に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１４】
前記圧力室の平面形状が２つの鋭角部を有する平行四辺形又は角部が丸められた平行四辺形形状であり、
前記第１個別電極が、前記圧力室に対向する位置に配置された主電極領域と、前記主電極領域につながっており且つ前記主電極領域から前記圧力室の一方の鋭角部に向かう方向に配置された補助電極領域とから構成されており、
前記補助電極領域が別の２つの前記第１個別電極の前記主電極領域間に位置するように、前記第１個別電極及び前記圧力室がマトリクス状に配置されており、
前記補助駆動信号生成手段が生成する補助駆動信号が、前記パルス生成手段が生成するパルス列信号が供給される前記第１個別電極の前記補助電極領域とは反対側の鋭角部又は角部に隣接した２つの前記第１個別電極と前記圧力室を共有する前記第２個別電極に供給されることを特徴とする請求項１３に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１５】
前記補助駆動信号生成手段が生成する補助駆動信号が、前記第２個別電極の全てに供給されることを特徴とする請求項１２又は１３に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１６】
前記補助アクチュエータブロックに対して前記圧力室ブロックとは反対側に固定され且つ前記ノズルが形成されたノズルブロックをさらに備えており、
前記圧力室と前記ノズルとを連結する孔が形成された前記補助アクチュエータブロックと、前記圧力室ブロックと、前記ノズルブロックとが流路ユニットを構成しており、
複数の前記圧力室に連通した共通インク室が前記流路ユニット内に設けられることによって、前記共通インク室の出口から前記圧力室を経て前記ノズルに至る複数の個別インク流路が前記流路ユニット内に形成されており、
パルス列信号が供給される前記第１個別電極に対向した前記圧力室に連通した前記共通インク室の出口に隣接した別の出口に連通した前記圧力室に対向した前記第２個別電極には、補助駆動信号が供給されるものが少なくとも１つ存在することを特徴とする請求項１２〜１５のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１７】
インクジェット記録装置を用いたインクジェット記録方法であって、
前記インクジェット記録装置が、
インク滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに供給される駆動信号を生成する駆動信号生成装置とを備えたインクジェット記録装置であって、
前記インクジェットヘッドが、
ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、
前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、
前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されており、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えており、
前記主アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、
前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えており、
前記補助アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、
前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えており、
前記第１個別電極に供給されるパルス列信号を前記駆動信号生成装置で生成するステップと、
前記第２個別電極に供給される補助駆動信号であって、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさない振幅を有し且つ前記パルス列信号よりも周波数の高い補助駆動信号を前記駆動信号生成装置で生成するステップとを備えていることを特徴とするインクジェット記録方法。
【請求項１８】
インクジェット記録装置を制御するプログラムであって、
前記インクジェット記録装置が、
インク滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに供給される駆動信号を生成する駆動信号生成装置とを備えており、
前記インクジェットヘッドが、
ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、
前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、
前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えており、
前記主アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、
前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えており、
前記補助アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、
前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えており、
前記主アクチュエータブロックの前記第１個別電極に供給されるパルス列信号を前記駆動信号生成装置で生成するステップと、
前記補助アクチュエータブロックの前記第２個別電極に供給される補助駆動信号であって、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさないレベルを有し且つ前記パルス生成手段が生成するパルス列信号よりも周波数の高い補助駆動信号を前記駆動信号生成装置で生成するステップとをコンピュータに実行させるプログラム。
【請求項１９】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに供給される駆動信号を生成する駆動信号生成装置とを備えたインクジェット記録装置であって、
前記インクジェットヘッドが、
ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、
前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、
前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されており、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えており、
前記主アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、
前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えており、
前記補助アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、
前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えており、
前記駆動信号生成装置が、
画像データに基づいて、各ノズルについて、インク滴を吐出するべきか否かを決定する決定手段と、
前記決定手段によってインク滴を吐出すべきと決定された前記ノズルに係わる前記第１個別電極に供給されるパルス列信号を生成するパルス生成手段と、
少なくとも前記決定手段によってインク滴を吐出すべきと決定された前記ノズルに係わる前記第２個別電極に供給される補助駆動信号であって、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさない振幅を有し且つ前記パルス列信号よりも周波数の高い補助駆動信号を生成する補助駆動信号生成手段とを備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２０】
インクジェット記録装置を用いたインクジェット記録方法であって、
前記インクジェット記録装置が、
インク滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドに供給される駆動信号を生成する駆動信号生成装置とを備えたインクジェット記録装置であって、
前記インクジェットヘッドが、
ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、
前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、
前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されており、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えており、
前記主アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、
前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えており、
前記補助アクチュエータブロックが、
複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、
複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、
前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えており、
画像データに基づいて、各ノズルについて、インク滴を吐出するべきか否かを決定するステップと、
前記決定ステップにおいてインク滴を吐出すべきと決定された前記ノズルに係わる前記第１個別電極に供給されるパルス列信号を生成するステップと、
インク滴を吐出すべきと決定された前記ノズルに係わる前記第２個別電極に供給される補助駆動信号であって、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさない振幅を有し且つ前記パルス列信号よりも周波数の高い補助駆動信号を生成するステップとを備えていることを特徴とするインクジェット記録方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを吐出して記録媒体に印刷するインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッド記録方法並びにインクジェット記録装置のプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置（インクジェットプリンタ）において、インクジェットヘッドは、インクタンクから供給されたインクを圧力室に分配し、圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与することによりノズルからインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための圧力発生手段として、セラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。
【０００３】
かかるインクジェットヘッドの一例として、特許文献１には、電圧印加によって変形して圧力室内のインクに圧力を加える第１の圧電素子が各圧力室に対向する位置に接着されており、圧力室内のインクの振動を検出する第２の圧電素子が圧力室を挟んで第１の圧電素子と反対側に配置されたものが記載されている。このインクジェットヘッドにおいて、インクをノズルから吐出する場合には、ドライバから電圧を印加して第１の圧電素子を変形させる。すると、第２の圧電素子は、圧力室内のインクの振動を検出し、振動打消制御回路に出力する。振動打消制御回路は、振動検出信号を受けると、圧力室内のインクの振動を打ち消すための振動を第１の圧電素子に発生させるようにドライバに対してパルス発生信号を出力し、第１の圧電素子にドライバから電圧が印加される。このようにして、ノズルからインクが吐出された際に生じる圧力室内のインクの振動が減衰されるので、高い周波数域まで安定したインク吐出を行うことができるインクジェットヘッドを得ることができる。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１６２３１３号公報（第３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいて、ノズルから吐出させるインク量を増大させる場合では、第１の圧電素子に高い電圧を印加させて、第１の圧電素子の大きな変形を得る必要がある。そのため、第１の圧電素子に電圧を印加するドライバを大型化させて、印加する電圧の許容量を大きくする必要が生じる。その結果、インクジェットヘッドのコストが増大する。
【０００６】
そこで、本発明は、インク吐出量を増大させても、小型でしかも低コストになるインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッド記録方法並びにインクジェット記録装置のプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００７】
本発明のインクジェットヘッドは、ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えている。そして、前記主アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室にそれぞれ対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えており、前記補助アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室にそれぞれ対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、隣接する前記複数の第２個別電極を電気的に連結する連結電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えている。
【０００８】
これにより、補助アクチュエータブロックの第２個別電極が連結電極によって電気的に連結されているために、各第２個別電極に独立した信号を供給する必要がない。そのため、配線構造が簡略化される。２つのアクチュエータブロックの変形が圧力室の容積変化に寄与するので、インク吐出量を維持しつつ各アクチュエータブロックに供給される信号のレベルを低下させることができるとともに、インク吐出量を増大させることができる。そのため、インクジェットヘッドを含む装置を、寿命が長く、小型で、しかも低コストなものとすることができる。
【０００９】
また、本発明において、前記主アクチュエータブロックが、前記第１個別電極と前記第１共通電極とから電気的に絶縁され、且つ前記第１個別電極に隣接して配置された接点部を備え、前記第２個別電極は、前記圧力室ブロックを貫通するスルーホールを介して前記接点部に電気的に接続していることが好ましい。これにより、第１個別電極が電気的に接続される部分と第２個別電極の接点とを共通の信号線（ＦＰＣ：フレキシブルフラットケーブル）にて接続することができ、インクジェットヘッドの組み立てを容易にすることができる。つまり、第１個別電極の電気的に接続される部分と第２個別電極の接点とが同一平面上に存在することになるので、ほぼ同時にそれらをＦＰＣに接合することが可能となり、インクジェットヘッドの組み立てを簡単にできる。
【００１０】
また、本発明において、前記圧力室は、２つの鋭角部を有する平行四辺形または角が丸められた平行四辺形の平面形状を有し、前記第１個別電極が、前記圧力室に対向する位置に配置された主電極領域と、前記主電極領域の一方の鋭角部から引き出され前記鋭角部に隣接して配置された補助電極領域とから構成されており、前記補助電極領域が別の２つの前記主電極領域の間に位置するように、前記第１個別電極及び前記圧力室がマトリクス状に配置されており、前記接点部が前記主電極領域に対して前記補助電極領域と反対側に配置されていることが好ましい。これにより、第２個別電極に対する電気的な接続をさらに容易にすることができる。
【００１１】
また、本発明において、前記主アクチュエータブロックが、前記第１個別電極と、前記第１共通電極と、前記第１圧電シートとにより構成されており、前記主アクチュエータブロックの分極方向に外部電界を印加したときに、前記分極方向と交差する方向に前記第１圧電シートが伸縮することを利用して前記圧力室の容積を変化させるとともに、前記第１個別電極に対して第１圧電シート側と反対側には、前記第１圧電シートの前記伸縮を規制するものが存在しないことが好ましい。これにより、主アクチュエータブロックは、ユニモルフ型の変位をするので、大きな変位量を稼げる。
【００１２】
また、本発明において、前記補助アクチュエータブロックに対して前記圧力室ブロックとは反対側に固定され且つ前記ノズルが形成されたノズルブロックをさらに備えており、前記圧力室と前記ノズルとを連結する孔が形成された前記補助アクチュエータブロックと、前記圧力室ブロックと、前記ノズルブロックとが流路ユニットを構成していることが好ましい。これにより、ノズルを高密度に配置することが可能となる。
【００１３】
また、本発明は、別の観点では、インク滴を吐出するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに供給される駆動信号を生成する駆動信号生成装置とを備えたインクジェット記録装置であって、前記インクジェットヘッドが、ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されており、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えている。そして、前記主アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えており、前記補助アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えている。前記駆動信号生成装置が、前記第１個別電極に供給されるパルス列信号を生成するパルス生成手段と、前記第２個別電極に供給される補助駆動信号であって、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさない振幅を有し且つ前記パルス列信号よりも周波数の高い補助駆動信号を生成する補助駆動信号生成手段と、画像データに基づいて、インク滴を吐出すべき前記ノズルに係わる前記第１個別電極に前記パルス列信号を供給するパルス供給手段と、少なくともインク滴を吐出すべき前記ノズルに係わる前記第２個別電極に前記補助駆動信号を供給する補助駆動信号供給手段とを備えている。
【００１４】
また、本発明は、別の観点では、インク滴を吐出するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに供給される駆動信号を生成する駆動信号生成装置とを備えたインクジェット記録装置であって、前記インクジェットヘッドが、ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されており、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えている。そして、前記主アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えており、前記補助アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えている。そして、前記駆動信号生成装置が、画像データに基づいて、各ノズルについて、インク滴を吐出するべきか否かを決定する決定手段と、前記決定手段によってインク滴を吐出すべきと決定された前記ノズルに係わる前記第１個別電極に供給されるパルス列信号を生成するパルス生成手段と、少なくとも前記決定手段によってインク滴を吐出すべきと決定された前記ノズルに係わる前記第２個別電極に供給される補助駆動信号であって、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさない振幅を有し且つ前記パルス列信号よりも周波数の高い補助駆動信号を生成する補助駆動信号生成手段とを備えている。
【００１５】
これにより、補助駆動信号とパルス列信号を１つの圧力室に供給することにより、駆動電圧を下げることができる。補助駆動信号としてパルス列信号よりも周波数の高いものを供給するので、複数の圧力室に連通した共通インク室内の圧力変動によって生じる流体的クロストークを抑制することができる。また、媒体上の１ドットに対応して吐出されるインク滴数に応じたパルス数をそれぞれ有する複数種類のパルス列信号が用いられるときに、１周期内において２番目以降のパルスと補助駆動信号との同期を取りやすくなる。
【００１６】
また、本発明において、前記補助駆動信号生成手段が生成する補助駆動信号の周波数が、前記パルス生成手段が生成するパルス列信号の周波数のｎ倍（ｎは２以上の自然数）であることが好ましい。これにより、補助駆動信号とパルス列信号との同期を取ることができるようになるので、パルス列信号のレベルを低下させて消費電力を低減することができる。
【００１７】
また、このとき、前記補助駆動信号生成手段が生成する補助駆動信号と、前記パルス生成手段が生成するパルス列信号とが、前記圧力室の容積を減少させるタイミングにおいて、一致するように同期していてもよい。これにより、効率的に駆動電圧を下げることができる。
【００１８】
また、このとき、前記パルス生成手段が生成するパルス列信号が、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさない振幅を有するパルスを含んでいてもよい。これにより、消費電力を最も効率的に低減することができる。
【００１９】
また、本発明において、前記パルス生成手段が生成するパルス列信号が、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こす振幅を有するパルスを含んでいることが好ましい。
【００２０】
また、本発明は、別の観点では、インクジェット記録装置を用いたインクジェット記録方法であって、前記インクジェット記録装置が、インク滴を吐出するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに供給される駆動信号を生成する駆動信号生成装置とを備えたインクジェット記録装置であって、前記インクジェットヘッドが、ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されており、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えている。そして、前記主アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えている。そして、前記補助アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えており、前記第１個別電極に供給されるパルス列信号を前記駆動信号生成装置で生成するステップと、前記第２個別電極に供給される補助駆動信号であって、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさない振幅を有し且つ前記パルス列信号よりも周波数の高い補助駆動信号を前記駆動信号生成装置で生成するステップとを備えている。
【００２１】
また、本発明は、別の観点では、インクジェット記録装置を制御するプログラムであって、前記インクジェット記録装置が、インク滴を吐出するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに供給される駆動信号を生成する駆動信号生成装置とを備えており、前記インクジェットヘッドが、ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えている。そして、前記主アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えており、前記補助アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えており、前記主アクチュエータブロックの前記第１個別電極に供給されるパルス列信号を前記駆動信号生成装置で生成するステップと、前記補助アクチュエータブロックの前記第２個別電極に供給される補助駆動信号であって、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさないレベルを有し且つ前記パルス生成手段が生成するパルス列信号よりも周波数の高い補助駆動信号を前記駆動信号生成装置で生成するステップとをコンピュータに実行させる。
【００２２】
また、本発明は、別の観点では、インクジェット記録装置を用いたインクジェット記録方法であって、前記インクジェット記録装置が、インク滴を吐出するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドに供給される駆動信号を生成する駆動信号生成装置とを備えたインクジェット記録装置であって、前記インクジェットヘッドが、ノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置された、一又は複数枚のシート状部材からなる圧力室ブロックと、前記圧力室ブロックの一表面に固定されて、前記圧力室の容積を変化させる主アクチュエータブロックと、前記圧力室ブロックの前記一表面と反対側の表面に固定されており、前記圧力室の容積を変化させる補助アクチュエータブロックとを備えている。そして、前記主アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第１個別電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第１共通電極と、前記第１共通電極と前記第１個別電極とによって挟まれた第１圧電シートとを備えており、前記補助アクチュエータブロックが、複数の前記圧力室内に対向する位置に配置された複数の第２個別電極と、複数の前記圧力室に跨って設けられた第２共通電極と、前記第２共通電極と前記第２個別電極とによって挟まれた第２圧電シートとを備えている。そして、画像データに基づいて、各ノズルについて、インク滴を吐出するべきか否かを決定するステップと、前記決定ステップにおいてインク滴を吐出すべきと決定された前記ノズルに係わる前記第１個別電極に供給されるパルス列信号を生成するステップと、インク滴を吐出すべきと決定された前記ノズルに係わる前記第２個別電極に供給される補助駆動信号であって、前記ノズルからのインク吐出を単独で引き起こさない振幅を有し且つ前記パルス列信号よりも周波数の高い補助駆動信号を生成するステップとを備えている。
【００２３】
これにより、補助駆動信号とパルス列信号との同期を取る必要がなくなるので、設計的な自由度が大きくなり、補助駆動信号の周波数として流体的クロストークを抑制するのに適した周波数を選択することが可能になる。
【００２４】
また、本発明において、前記補助アクチュエータブロックの前記第２個別電極が、互いに電気的に連結していることが好ましい。これにより、各第２個別電極に独立した信号を供給する必要がない。そのため、配線構造が簡略化される。
【００２５】
また、本発明において、前記補助アクチュエータブロックの前記第２個別電極が、互いに電気的に独立していることが好ましい。これにより、複数種類の補助駆動信号を、補助アクチュエータブロックの第２個別電極に供給することが可能になる。そのため、制御が簡単となる。
【００２６】
また、このとき、前記補助駆動信号生成手段が生成する補助駆動信号が、前記パルス生成手段が生成するパルス列信号が供給される前記第１個別電極と前記圧力室を共有する前記第２個別電極に隣接した複数の前記第２個別電極のうちの少なくとも１つに供給されていてもよい。これにより、補助駆動信号とパルス列信号との同期が取れていれば、第１圧電シートの変位が第１個別電極に伝わることによって生じる構造的クロストークを抑制することができる。
【００２７】
また、このとき、前記圧力室の平面形状が２つの鋭角部を有する平行四辺形又は角部が丸められた平行四辺形形状であり、前記第１個別電極が、前記圧力室に対向する位置に配置された主電極領域と、前記主電極領域につながっており且つ前記主電極領域から前記圧力室の一方の鋭角部に向かう方向に配置された補助電極領域とから構成されており、前記補助電極領域が別の２つの前記第１個別電極の前記主電極領域間に位置するように、前記第１個別電極及び前記圧力室がマトリクス状に配置されており、前記補助駆動信号生成手段が生成する補助駆動信号が、前記パルス生成手段が生成するパルス列信号が供給される前記第１個別電極の前記補助電極領域とは反対側の鋭角部又は角部に隣接した２つの前記第１個別電極と前記圧力室を共有する前記第２個別電極に供給されていてもよい。これにより、構造的クロストーク及び流体的クロストークを効果的に抑制することができる。
【００２８】
また、このとき、前記補助駆動信号生成手段が生成する補助駆動信号が、前記第２個別電極の全てに供給されていてもよい。これにより、消費電力が低い状態のまま、構造的クロストーク及び流体的クロストークをより効果的に抑制することができる。
【００２９】
また、このとき、前記補助アクチュエータブロックに対して前記圧力室ブロックとは反対側に固定され且つ前記ノズルが形成されたノズルブロックをさらに備えており、前記圧力室と前記ノズルとを連結する孔が形成された前記補助アクチュエータブロックと、前記圧力室ブロックと、前記ノズルブロックとが流路ユニットを構成しており、複数の前記圧力室に連通した共通インク室が前記流路ユニット内に設けられることによって、前記共通インク室の出口から前記圧力室を経て前記ノズルに至る複数の個別インク流路が前記流路ユニット内に形成されており、パルス列信号が供給される前記第１個別電極に対向した前記圧力室に連通した前記共通インク室の出口に隣接した別の出口に連通した前記圧力室に対向した前記第２個別電極には、補助駆動信号が供給されるものが少なくとも１つ存在しておればよい。これにより、構造的クロストーク及び流体的クロストークを簡単な制御により抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００３１】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態によるインクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタの概略図である。図１に示すインクジェットプリンタ１０１は、４つのインクジェットヘッド１を有するカラーインクジェットプリンタである。このプリンタ１０１には、図中左方に給紙部１１１が、図中右方に排紙部１１２が、それぞれ構成されている。
【００３２】
プリンタ１０１内部には、給紙部１１１から排紙部１１２に向かって用紙が搬送される用紙搬送経路が形成されている。給紙部１１１のすぐ下流側には、画像記録媒体たる用紙を挟持搬送する一対の送りローラ１０５ａ、１０５ｂが配置されている。一対の送りローラ１０５ａ、１０５ｂによって用紙は図中左方から右方へ送られる。用紙搬送経路の中間部には、二つのベルトローラ１０６、１０７と、両ローラ１０６、１０７間に架け渡されるように巻回されたエンドレスの搬送ベルト１０８とが配置されている。搬送ベルト１０８の外周面すなわち搬送面にはシリコン処理が施されており、一対の送りローラ１０５ａ、１０５ｂによって搬送されてくる用紙を、搬送ベルト１０８の搬送面にその粘着力により保持させながら、一方のベルトローラ１０６の図中時計回り（矢印１０４の方向）への回転駆動によって下流側（右方）に向けて搬送できるようになっている。
【００３３】
用紙のベルトローラ１０６に対する挿入及び排出位置には、押さえ部材１０９ａ、１０９ｂがそれぞれ配置されている。押さえ部材１０９ａ、１０９ｂは、搬送ベルト１０８上の用紙が搬送面から浮かないように、搬送ベルト１０８の搬送面に用紙を押し付けて搬送面上に確実に粘着させるためのものである。
【００３４】
用紙搬送経路に沿って搬送ベルト１０８のすぐ下流側には、剥離機構１１０が設けられている。剥離機構１１０は、搬送ベルト１０８の搬送面に粘着されている用紙を搬送面から剥離して、右方の排紙部１１２へ向けて送るように構成されている。
【００３５】
４つのインクジェットヘッド１は、その下端にヘッド本体７０を有している。ヘッド本体７０は、それぞれが矩形断面を有しており、その長手方向が用紙搬送方向に垂直な方向（図１の紙面垂直方向）となるように互いに近接配置されている。つまり、このプリンタ１０１は、ライン式プリンタである。４つのヘッド本体７０の各底面は用紙搬送経路に対向しており、これら底面には微小径を有する多数のノズル８（図７参照）が設けられている。４つのヘッド本体７０のそれぞれからは、マゼンタ、イエロー、シアン、ブラックのインクが吐出される。
【００３６】
ヘッド本体７０は、その下面と搬送ベルト１０８の搬送面との間に少量の隙間が形成されるように配置されており、この隙間部分に用紙搬送経路が形成されている。この構成で、搬送ベルト１０８上を搬送される用紙が４つのヘッド本体７０のすぐ下方側を順に通過する際、この用紙の上面すなわち印刷面に向けてノズルから各色のインクが吐出されることで、用紙上に所望のカラー画像を形成できるようになっている。
【００３７】
インクジェットプリンタ１０１は、インクジェットヘッド１に対するメンテナンスを自動的に行うためのメンテナンスユニット１１７を有している。このメンテナンスユニット１１７には、４つのヘッド本体７０の下面を覆うための４つのキャップ１１６や、図示しないパージ機構などが設けられている。
【００３８】
メンテナンスユニット１１７は、インクジェットプリンタ１０１で印刷が行われているときには、給紙部１１１の直下方の位置（退避位置）に位置している。そして、印刷終了後に所定の条件が満たされたとき（例えば、印刷動作が行われない状態が所定の時間だけ継続したときや、プリンタ１０１の電源オフ操作がされたとき）は、４つのヘッド本体７０の直ぐ下方の位置に移動して、この位置（キャップ位置）にて、キャップ１１６によってヘッド本体７０の下面をそれぞれ覆い、ヘッド本体７０のノズル部分のインクの乾燥を防止するようになっている。
【００３９】
ベルトローラ１０６、１０７や搬送ベルト１０８は、シャーシ１１３によって支持されている。シャーシ１１３は、その下方に配置された円筒部材１１５上に載置されている。円筒部材１１５は、その中心から外れた位置に取り付けられた軸１１４を中心として回転可能となっている。そのため、軸１１４の回転に伴って円筒部材１１５の上端高さが変化すると、それに合わせてシャーシ１１３が昇降する。メンテナンスユニット１１７を退避位置からキャップ位置に移動させる際には、予め円筒部材１１５を適宜の角度回転させてシャーシ１１３、搬送ベルト１０８及びベルトローラ１０６、１０７を図１に示す位置から適宜の距離だけ下降させ、メンテナンスユニット１１７の移動のためのスペースを確保しておく必要がある。
【００４０】
搬送ベルト１０８によって囲まれた領域内には、インクジェットヘッド１と対向する位置、つまり上側にある搬送ベルト１０８の下面と接触することによって内周側からこれを支持するほぼ直方体形状（搬送ベルト１０８と同程度の幅を有している）のガイド１２１が配置されている。
【００４１】
図２は、図１に示すインクジェットヘッドの外観斜視図である。図３は、図２のIII−III線における断面図である。インクジェットヘッド１は、用紙に対してインクを吐出するための主走査方向に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体７０と、ヘッド本体７０の上方に配置され且つヘッド本体７０に供給されるインクの流路である２つのインク溜まり３が形成されたベースブロック７１とを備えている。
【００４２】
ヘッド本体７０は、インク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面に接着された複数のアクチュエータユニット２１とを含んでいる。これら流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１は共に、複数のシート状部材を積層して互いに接着させた構成である。また、アクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるフレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）５０が接着されており、ＦＰＣ５０が図３中において屈曲しながら上方に引き出されている。ベースブロック７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック７１内のインク溜まり３は、ベースブロック７１のその長手方向に沿って形成された略直方体の中空領域である。
【００４３】
ベースブロック７１の下面７３は、開口３ｂの近傍において周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック７１は、下面７３の開口３ｂ近傍部分７３ａにおいてのみ流路ユニット４と接触している。そのため、ベースブロック７１の下面７３の開口３ｂ近傍部分７３ａ以外の領域は、ヘッド本体７０から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット２１が配されている。
【００４４】
ベースブロック７１は、ホルダ７２の把持部７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。ホルダ７２は、把持部７２ａと、把持部７２ａの上面からこれと直交する方向に所定間隔をなして延出された平板状の一対の突出部７２ｂとを含んでいる。アクチュエータユニット２１に接着されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材８３を介してホルダ７２の突出部７２ｂ表面に沿うようにそれぞれ配置されている。そして、ホルダ７２の突出部７２ｂ表面に配置されたＦＰＣ５０上にドライバＩＣ８０が設置されている。ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１（後に詳述）に伝達するように、両者とハンダ付けによって電気的に接合されている。
【００４５】
ドライバＩＣ８０の外側表面には略直方体形状のヒートシンク８２が密着配置されているため、ドライバＩＣ８０で発生した熱を効率的に散逸させることができる。ドライバＩＣ８０及びヒートシンク８２の上方であって、ＦＰＣ５０の外側には、基板８１が配置されている。ヒートシンク８２の上面と基板８１との間、および、ヒートシンク８２の下面とＦＰＣ５０との間には、それぞれシール部材８４が配置されており、それらシール部材８４によってそれぞれが接着されている。
【００４６】
基板８１及びＦＰＣ５０を介してこれに接続されたドライバＩＣ８０により、アクチュエータユニット２１を駆動するためのパルスを生成するとともに生成したパルスをアクチュエータユニット２１に供給するためのパルス制御装置２００を構成している。パルス制御装置２００は、インクジェットプリンタ１０１を制御するための制御部１１３に接続されており、制御部１１３との通信に基づいて、マゼンタ、イエロー、シアン、ブラックに対応する各インクジェットヘッド１の制御を行う。
【００４７】
図４は、図２に描かれたインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。図４において、ベースブロック７１内に形成されたインク溜まり３が仮想的に破線で描かれている。２つのインク溜まり３は、ヘッド本体７０の長手方向に沿って、互いに所定間隔をなして平行に延在している。２つのインク溜まり３はそれぞれ一端に開口３ａを有し、この開口３ａを介してインクタンク（図示せず）に連通することによって、常にインクで満たされている。また、開口３ｂは、ヘッド本体７０の長手方向に沿って各インク溜まり３に多数設けられていて、上述したように各インク溜まり３と流路ユニット４とを結んでいる。多数の開口３ｂは、対となる２つずつがヘッド本体７０の長手方向に沿って近接配置されている。一方のインク溜まり３に連通した開口３ｂの対と、他方のインク溜まり３に連通した開口３ｂの対とは、千鳥状に配置されている。
【００４８】
開口３ｂが配置されていない領域には、開口３ｂの対とは逆のパターンで、台形の平面形状を有する複数のアクチュエータユニット２１が千鳥状に配置されている。各アクチュエータユニット２１の平行対向辺（上辺及び下辺）は、ヘッド本体７０の長手方向と平行である。また、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺の一部同士がヘッド本体７０の幅方向にオーバーラップしている。
【００４９】
図５は、図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図５に示すように、各インク溜まり３に設けられた開口３ｂは共通インク室であるマニホールド５に連通し、さらに各マニホールド５の先端部は２つに分岐して副マニホールド５ａを形成している。また、平面視において、アクチュエータユニット２１における２つの斜辺側のそれぞれから、隣接する開口３ｂから分岐した２つの副マニホールド５ａが延出している。つまり、アクチュエータユニット２１の下方には、アクチュエータユニット２１の平行対向辺に沿って互いに離隔した計４つの副マニホールド５ａが延在している。
【００５０】
アクチュエータユニット２１の接着領域と対応した流路ユニット４の下面は、インク吐出領域となっている。インク吐出領域の表面には、後述するように、多数のノズル８がマトリクス状に配列されている。ノズル８は、図面を簡単にするために図５では幾つかだけを描いているが、実際にはインク吐出領域全体に亘って配列されている。
【００５１】
図６は、図５に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図５及び図６は、流路ユニット４における多数の圧力室１０がマトリクス状に配置された平面を、インク吐出面に対して垂直な方向から見た状態を示している。各圧力室１０は、角部にアールが施された平行四辺形の平面形状を有しており、その長い方の対角線は流路ユニット４の幅方向に平行である。各圧力室１０の一端はノズル８に連通しており、他端はアパーチャ１２を介して共通インク流路としての副マニホールド５ａに連通している。平面視において各圧力室１０と重なり合う位置には、圧力室１０と相似でこれよりも一回り小さい平面形状を有する第１個別電極３５が、アクチュエータユニット２１上に形成されている。図６には、図面を簡略にするために、多数の第１個別電極３５のうちの幾つかだけを描いている。なお、図５及び図６において、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１内又は流路ユニット４内にあって破線で描くべき圧力室１０及びアパーチャ１２等を実線で描いている。
【００５２】
図６において、圧力室１０がそれぞれ収容された仮想的な複数の菱形領域１０ｘは、互いに重なり合うことなく各辺を共有するように、配列方向Ａ（第１の方向）及び配列方向Ｂ（第２の方向）の２方向にマトリクス状に隣接配置されている。配列方向Ａは、インクジェットヘッド１の長手方向、すなわち副マニホールド５ａの延在方向であって、菱形領域１０ｘの短い方の対角線と平行である。配列方向Ｂは、配列方向Ａと鈍角θをなす菱形領域１０ｘの一斜辺方向である。圧力室１０は、対応する菱形領域１０ｘと中心位置が共通であって、両者の輪郭線は平面視において互いに離隔している。
【００５３】
配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置された圧力室１０は、配列方向Ａに沿って３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔している。また、圧力室１０は、１つのインク吐出領域内において、配列方向Ｂに１６個並べられている。配列方向Ｂの両端にある圧力室はダミーであって、インク吐出に寄与しない。
【００５４】
マトリクス状に配置された複数の圧力室１０で構成される圧力室群は、アクチュエータユニット２１の平面形状とほぼ同じ相似形状となっている。また、複数の圧力室１０は、図６に示す配列方向Ａに沿って、複数の圧力室列を形成している。圧力室列は、図６の紙面に対して垂直な方向（第３の方向）から見て、副マニホールド５ａとの相対位置に応じて、第１の圧力室列１１ａ、第２の圧力室列１１ｂ、第３の圧力室列１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄは、アクチュエータユニット２１の上辺から下辺に向けて、１１ｃ→１１ｄ→１１ａ→１１ｂ→１１ｃ→１１ｄ→…→１１ｂという順番で周期的に４個ずつ配置されている。
【００５５】
第１の圧力室列１１ａを構成する圧力室１０ａ及び第２の圧力室列１１ｂを構成する圧力室１０ｂにおいては、第３の方向から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）に関して、ノズル８が図５の紙面下側に偏在している。そして、ノズル８が、それぞれ対応する菱形領域１０ｘの下端部に位置している。一方、第３の圧力室列１１ｃを構成する圧力室１０ｃ及び第４の圧力室列１１ｄを構成する圧力室１０ｄにおいては、第４の方向に関して、ノズル８が図５の紙面上側に偏在している。そして、ノズル８が、それぞれ対応する菱形領域１０ｘの上端部に位置している。第１及び第４の圧力室列１１ａ、１１ｄにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ａ、１０ｄの半分以上の領域が、副マニホールド５ａと重なっている。第２及び第３の圧力室列１１ｂ、１１ｃにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ｂ、１０ｃの全領域が、副マニホールド５ａと重なっていない。そのため、いずれの圧力室列に属する圧力室１０についてもこれに連通するノズル８が副マニホールド５ａと重ならないようにしつつ、副マニホールド５ａの幅を可能な限り広くして各圧力室１０にインクを円滑に供給することが可能となっている。
【００５６】
次に、ヘッド本体７０の断面構造について、図７を参照してさらに説明する。図７は、図６のVII−VII線における断面図であり、図７には、第１の圧力室列１１ａに属する圧力室１０ａが描かれている。図７から分かるように、各ノズル８は、圧力室１０（１０ａ）及びアパーチャ１２を介して副マニホールド５ａと連通している。このようにして、ヘッド本体７０には、副マニホールド５ａの出口１３からアパーチャ１２、圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路３２が圧力室１０ごとに形成されている。
【００５７】
また、図７から明らかなように、圧力室１０とアパーチャ１２とは異なるレベルに設けられている。これにより、図６に示すように、アクチュエータユニット２１の下方にあるインク吐出領域に対応した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１２を、当該圧力室に隣接する圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。
【００５８】
ヘッド本体７０は、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、アクチュエータプレート２３、ベースプレート２４、アパーチャプレート２５、サプライプレート２６、マニホールドプレート２７、２８、２９、カバープレート３０及びノズルプレート３１の合計１１枚のシート状部材が接着剤を介して積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた１０枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。
【００５９】
アクチュエータユニット２１は、後述するように３枚の圧電シート４１〜４３（図８（ａ）参照）が積層され且つ電極が配されることによってそのうちの最上層だけが電界印加時に活性層となる部分を有する層（以下、単に「活性層を有する層」というように記す）とされ、残り２層が非活性層とされたものである。キャビティプレート２２は、圧力室１０に対応するほぼ菱形の開口が多数設けられた金属プレートである。アクチュエータプレート２３も、後述するように３枚の圧電シート４５〜４７（図８（ａ）参照）が積層され且つ電極が配されることによってそのうちの中央層だけが電界印加時に活性層となる部分を有する層（以下、単に「活性層を有する層」というように記す）とされ、アクチュエータプレート２３における上層及び下層の２層は、非活性層とされたものである。また、アクチュエータプレート２３には、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔１４ａ及び圧力室１０からノズル８への連絡孔１４ｂがそれぞれ設けられている。ベースプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。アパーチャプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２６はキャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２と副マニホールド５ａとの連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２７，２８，２９は、副マニホールド５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート３１は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００６０】
これら１０枚のシート２１〜３１は、図７に示すような個別インク流路３２が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路３２は、副マニホールド５ａの出口１３からまず上方へ向かい、アパーチャ１２において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１２から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。
【００６１】
次に、流路ユニット４における最上層のキャビティプレート２２に積層されたアクチュエータユニット２１と、キャビティプレート２２とベースプレート２４との間に積層されたアクチュエータプレート２３の構成について説明する。図８は、ヘッド本体７０の上層部分を示しており、（ａ）は流路ユニット４のキャビティプレートの上面にアクチュエータユニット２１、下面にアクチュエータプレート２３が積層された状況を示す拡大断面図であり、（ｂ）は第１個別電極の配置状況を示す平面図であり、（ｃ）は第２個別電極の配置状況を示す平面図である。
【００６２】
図８（ａ）に示すアクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された３枚の圧電シート４１〜４３を含んでいる。これら圧電シート４１〜４３は、ヘッド本体７０内の１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４３が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート４１上に第１個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、第１個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート４１〜４３は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。
【００６３】
最上層の圧電シート４１上には、第１個別電極３５が形成されている。最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、シート全面に形成された略２μｍの厚みの第１共通電極３４が介在している。なお、圧電シート４２と圧電シート４３の間に、電極は配置されていない。これら第１個別電極３５、第１共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。
【００６４】
第１個別電極３５は、略１μｍの厚みで、図８（ｂ）に示すように、圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している主電極領域３６と、主電極領域３６における鋭角部の一方から延出されたその先端に、主電極領域３６と電気的に接続された略１６０μｍの径を有する円形のランド部（補助電極領域）３７が設けられている。ランド部３７は、例えばガラスフリットを含む金からなる。また、ランド部３７は、ＦＰＣ５０に設けられた接点と電気的に接合されている。
【００６５】
また、第１共通電極３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、第１共通電極３４が、すべての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。また、図８（ａ）に示すように第１個別電極３５のランド部３７は、第１個別電極３５が各圧力室１０に対応するものごとに電位を制御することができるように、各第１個別電極３５ごとに独立した別のリード線を含むＦＰＣ５０を介してドライバＩＣ８０に接続されている（図２及び図３参照）。
【００６６】
図８（ａ）に示すようにアクチュエータプレート２３は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された３枚の圧電シート４５〜４７を含んでいる。これら圧電シート４５〜４７は、ヘッド本体７０内の１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４５〜４７が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより、図８（ｃ）に示すように圧電シート４７上に前述した第１個別電極３５の主電極領域３６と同様な形状の第２個別電極３８を高密度に配置することが可能となっている。第２個別電極３８は、略１μｍの厚みで、前述した個別電極３５と同様に各圧力室１０に対応する位置に形成されている。また、隣接する第２個別電極３８は、細長形状の連結電極３９によって連結されている。連結電極３９は、隣接する第２個別電極３８の互いに対向する辺の中央部分同士の間に架け渡されている。これにより、４つの連結電極３９と、これら４つの連結電極３９によって連結された４つの第２個別電極３８とで、略菱形形状が形成されている。なお、圧電シート４５〜４７は、前述の圧電シート４１〜４３と同様に強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。
【００６７】
圧電シート４５とその下側の圧電シート４６との間には、シート全面に形成された略２μｍの厚みの第２共通電極４０が介在している。なお、圧電シート４５とキャビティプレート２２との間、及び、圧電シート４７とベースプレート２４との間には、電極は配置されていない。これら第２個別電極３８、連結電極３９及び第２共通電極４０は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。
【００６８】
また、アクチュエータユニット２１とキャビティプレート２２とアクチュエータプレート２３には、それらに亘って１つのスルーホール６１が形成されている。スルーホール６１は、アクチュエータユニット２１の全厚と、キャビティプレート２２の全厚と、アクチュエータプレート２３の圧電シート４５，４６とを貫通している。スルーホール６１内には、導体６２が埋め込まれている。図８（ｃ）に示すように、特定の１つの第２個別電極３８の一方の鋭角部（対向する第１個別電極３５においてランド部３７が設けられていない方の鋭角部）からは、対角線方向に細長い引き出し部３８ａが延設されている。導体６２は、引き出し部３８ａの先端部と、圧電シート４１上に設けられた接点部６３とを電気的に接続している。接点部６３は、ＦＰＣ５０の独立したリード線と接合されており、ドライバＩＣ８０によってすべての第２個別電極３８に同じ電位を印加することができるようにされている。このように接点部６３が設けられているので、第１個別電極３５のランド部３７と第２個別電極３８の接点部６３とをＦＰＣ５０にて接続するときに、同一平面上で接合することができるので、インクジェットヘッド１の組み立てが簡単にできる。また、接点部６３が第１個別電極３５のランド部３７と反対側に配置されているので、第２個別電極３８に対する電気的な接続をさらに容易にすることができる。なお、連結電極３９は、流路ユニット４の側面に引き出されてＦＰＣ５０と接続されていてもよい。第２共通電極４０は、図示しない領域において接地されており、すべての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。
【００６９】
次に、アクチュエータユニット２１及びアクチュエータプレート２３の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート４１の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた側）１枚の圧電シート４１を活性層が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い側）２枚の圧電シート４２，４３を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。圧電シート４１の上面には、圧電シート４１〜４４の変形を規制するものが存在しない。従って、圧電シート４１〜４４の変位量を大きなものとすることができるようになっている。第１個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性層（圧力発生部）として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、圧電シート４２，４３は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２，４３との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４３全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図８（ａ）に示したように、圧電シート４１〜４３の下面は圧力室を区画するキャビティプレート２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４３は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇する。そして、電界と分極とが逆方向になるように第１個別電極３５の電位を変化させると（以下、変化後、電位を逆電位と称す）、圧電シート４１〜４３は逆に活性側に凸となる形状になって、インク圧力が降下する。
【００７０】
アクチュエータプレート２３における圧電シート４６の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータプレート２３は、中央の１枚の圧電シート４６を活性層が存在する層とし且つ上及び下側の２枚の圧電シート４５，４７を非活性層とした構成となっている。従って、すべての第２個別電極３８を正又は負の所定電位とすると、例えば、電界と分極とが同方向であれば圧電シート４６中の電極に挟まれた電界印加部分が活性層（圧力発生部）として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、圧電シート４５，４７は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、中央層の圧電シート４６と上下層の圧電シート４５，４７との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４５〜４７全体が非活性側に凸となるように変形しようとする。このとき、図８（ａ）に示したように、圧電シート４５〜４７の上面（すなわち、アクチュエータプレート２３の上面）は圧力室１０を区画するキャビティプレート２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４５〜４７は圧力室１０側へ凸となるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インク圧力が上昇する。そして、電界と分極とが逆方向になるように第２個別電極３８の電位を変化させると、圧電シート４５〜４７は逆に活性側に凸となる形状になって、インク圧力が降下する。
【００７１】
このようなアクチュエータユニット２１とアクチュエータプレート２３の構成でノズル８からインクを吐出する場合において、アクチュエータユニット２１は、第１個別電極３５を予め同電位にしておき、吐出要求があるごとに、第１個別電極３５を一旦逆電位とし、その後所定のタイミングにて同電位にする。このとき、第２個別電極３８には正弦波（図１０参照）のパルスパターンの正及び負の電位が繰り返し印加されており、第１個別電極３５と第２個別電極３８とによって圧力室１０内のインクをノズル８から吐出する。この場合に、第１個別電極３５が逆電位になるタイミングで、インクの圧力が降下してインクがマニホールド５側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後、再び第１個別電極３５を同電位にしたタイミングで、インクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。
【００７２】
なお、本実施の形態において、ノズル８からインクを吐出させるためには、第１個別電極３５への同電位と逆電位とが所定の電位差を有するようにしなければならず、この電位差であるパルスの振幅は、１０Ｖとなっている。また、第２個別電極３８に印加され、正及び負の電位差である振幅は、１０Ｖ以下となっている。
【００７３】
次に、基板８１及びドライバＩＣ８０で構成されるパルス制御装置２００の機能について詳細に説明する。図９は、パルス制御装置２００の機能ブロック図である。図９に示す各機能部は、基板８１に搭載されている演算処理装置であるＣＰＵ（Central Processing Unit）と、ＣＰＵが実行するプログラム及びプログラムに使用されるデータが記憶されているＲＯＭ（Read Only Memory）と、プログラム実行時にデータを一時記憶するためのＲＡＭ（Random Access Memory）と、ドライバＩＣ８０内に構成されている各回路とが機能することにより実現されている。
【００７４】
パルス制御装置２００は、通信部２０１と、記憶部２０２と、信号生成部２０３と、信号供給部２０４とを含んでいる。通信部２０１は、制御部１１３との通信を行う。制御部１１３は、マゼンタ、イエロー、シアン、ブラックに分離された印刷すべき階調表現された画像データと、この画像データに基づいて印刷すべきタイミングデータとを、各色に対応するインクジェットヘッド１のパルス制御装置２００に対して送信する。通信部２０１は、画像データとタイミングデータとを受信し、他の各部機能から参照可能なように記憶部２０２に格納する。
【００７５】
記憶部２０２は、ＲＯＭとＲＡＭとから構成されるものであり、パルスパターン記憶部２０２ａ及び画像データ記憶部２０２ｂを備えている。パルスパターン記憶部２０２ａは、ＲＯＭにより構成されており、吐出されるインク滴の数が３個の場合、２個の場合、及び、１個の場合の３種類のパルスパターン（パルスの立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミング）を記憶している。吐出されるインク滴の数は、画像データに含まれる階調データの濃度値に対応している。
【００７６】
画像データ記憶部２０２ｂは、ＲＡＭにより構成されており、制御部１１３から受信した画像データ及びタイミングデータを一時的に記憶するものである。
【００７７】
信号生成部２０３は、吐出パルス生成部２０３ａと、補助駆動信号生成部２０３ｂとを含んでいる。吐出パルス生成部２０３ａは、パルスパターン記憶部２０２ａに記憶されたパルスパターンから、第１個別電極３５に供給される吐出パルス信号を生成する。吐出パルス信号は、パルスパターン記憶部２０２ａに記憶された立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングを有する各パルスが所定電圧波高を有するようにしたパルス列信号である。補助駆動信号生成部２０３ｂは、パルス制御装置２００内で発生するクロック信号を利用して、第２個別電極３８に供給される補助駆動信号を生成する。補助駆動信号は、吐出パルス信号よりも高い周波数を有する正弦波信号である。
【００７８】
図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に、吐出パルス生成部２０３ａが生成する吐出パルス信号を示す。本実施の形態において吐出パルス信号は、１個〜３個の凹型矩形波を含むパルス列信号であって、立ち下がりタイミングから立ち上がりタイミングまでがＡＬ（Acoustic Length）の幅を有した矩形波が、吐出されるインクの液滴の数（１〜３）に合わせてＡＬの間隔で連続したものである。凹型矩形波の数は、吐出されるインク滴の数に相当している。つまり、図１０（ａ）は吐出されるインク滴の数が１個の場合の吐出パルス信号を、図１０（ｂ）は２個の場合の吐出パルス信号を、図１０（ｃ）は３個の場合の吐出パルス信号を示している。吐出パルス信号の振幅すなわち波高は、単独でインクを吐出させることがないような値に決められている。
【００７９】
図１０（ｄ）に、補助駆動信号生成部２０３ｂが生成する補助駆動信号を示す。補助駆動信号は、図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す吐出パルス信号の１０倍の周波数を有する正弦波である。つまり、吐出パルス信号の周期をＴ１とすると、補助駆動信号の周期Ｔ２は周期Ｔ１の１０分の１である。補助駆動信号の振幅は、単独でノズルからインクを吐出させることがないような値に決められている。
【００８０】
図１０（ａ）〜（ｄ）に示すように、吐出パルス信号の凹型矩形波の立ち下がりタイミングは、補助駆動信号が最小値をとるタイミングと一致している。凹型矩形波の立ち下がりタイミングから次の立ち上がりタイミングまでの間には、１．５周期分の補助駆動信号が含まれている。そのため、吐出パルス信号の次の凹型矩形波の立ち上がりタイミングは、補助駆動信号が最大値をとるタイミングと一致している。このように、アクチュエータユニット２１が圧力室１０の容積を縮小するタイミングとアクチュエータプレート２３が圧力室１０の容積を縮小するタイミングとを一致させていると共に、アクチュエータユニット２１が圧力室１０の容積を拡大するタイミングとアクチュエータプレート２３が圧力室１０の容積を拡大するタイミングとを一致させているので、吐出パルス信号及び補助駆動信号の電圧振幅をそれぞれ単独ではインクを吐出させることが不可能な非常に小さい値としても、ノズルからインクを吐出させることができる。そのため、ドライバＩＣ８０のコストを小型にして大幅に低下させることができると共に、エネルギー消費量を最小限に抑えることができる。
【００８１】
信号供給部２０４は、吐出パルス供給部２０４ａと補助駆動信号供給部２０４ｂとを含んでいる。吐出パルス供給部２０４ａは、吐出パルス生成部２０３ａが生成した３種類の吐出パルス信号を、画像データ記憶部２０２ｂに記憶された画像データに含まれる階調データに基づいて、第１個別電極３５に供給する。つまり、濃度が低い画素については、図１０（ａ）に示す吐出パルス信号を供給し、濃度が高い画素については、図１０（ｃ）に示す吐出パルス信号を供給し、中間の濃度を有する画素については、図１０（ｂ）に示す吐出パルス信号を供給する。
【００８２】
補助駆動信号供給部２０４ｂは、補助駆動信号生成部２０３ｂが生成した補助駆動信号を、画像データの内容に関係なく、接点部６３からスルーホール６１内の導体６２を介してアクチュエータプレート２３の全ての第２個別電極３８に供給する。
【００８３】
次に、パルス制御装置２００の動作手順について説明する。図１１は、パルス制御装置２００の動作手順を示すフローチャートである。パルス制御装置２００は、インクジェットプリンタ１０１に対する電源の投入により、制御部１１３から送信される画像データとタイミングデータとの受信を待機している。
【００８４】
制御部１１３から画像データとタイミングデータとが送信されると、ステップＳ１０１（以下Ｓ１０１と略す、他のステップも同様）に移行し、通信部２０１が送信された画像データとタイミングデータとを受信する。画像データを受信した通信部２０１は、画像データとタイミングデータとを受信し、他の各部機能から参照可能なように画像データ記憶部２０２ｂに記憶する。
【００８５】
その後、Ｓ１０２に移行し、吐出パルス生成部２０３ａによって３種類の吐出パルス信号を生成すると共に、補助駆動信号生成部２０３ｂによって補助駆動信号を生成する。それから、Ｓ１０３において、吐出パルス供給部２０４ａは、１つのノズルに係わる第１個別電極３５について、画像データ記憶部２０２ｂに記憶された画像データに含まれる階調データに基づいて、吐出パルス信号を供給すべきか否か、そして、供給すべき場合には、図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す３種類の吐出パルス信号のうちのいずれを供給すべきかを決定する。次に、Ｓ１０４において、Ｓ１０３の決定がまだ行われていないノズル（次のノズル）が存在するか否かが判断される。次のノズル８があると判断されれば（Ｓ１０４：ＹＥＳ）、Ｓ１０３に戻って同様の処理を行う。次のノズル８がないと判断されれば（Ｓ１０４：ＮＯ）、Ｓ１０５に移行する。
【００８６】
Ｓ１０５において、吐出パルス供給部２０４ａは、Ｓ１０３での決定に即した吐出パルス信号を所定のタイミングで各第１個別電極３５に供給する。このとき、Ｓ１０３で吐出パルス信号を供給すべきでないと決定された第１個別電極に対しては、吐出パルス信号が供給されない。同時に、補助駆動信号供給部２０４ｂは、Ｓ１０２で補助駆動信号生成部２０３ｂが生成した補助駆動信号を第２個別電極に供給する。その後、図１１のフローチャートを終了する。
【００８７】
以上のような第１の実施の形態によるインクジェットヘッド１は、アクチュエータプレート２３の第２個別電極３８が連結電極３９によって電気的に連結されているために、接点部６３とＦＰＣ５０とを接続すれば、各第２個別電極３８に独立した信号を供給する必要がない。したがって、インクジェットヘッド１の配線構造が簡略化される。また、アクチュエータユニット２１及びアクチュエータプレート２３の変形が共に圧力室１０の容積変化に寄与するので、ノズル８からのインク吐出量を維持しつつ、アクチュエータユニット２１に供給するパルス列信号のパルスの振幅を低下させることができるとともに、インク吐出量を増大させることができる。そのため、ノズル８からのインク吐出量の増大に伴ってドライバＩＣ８０を高電圧信号の生成可能な大型なものにする必要がなくなり、小型のドライバＩＣを使用することができ、しかもドライバＩＣによるコストの上昇を抑えることができる。また、アクチュエータユニット２１とアクチュエータプレート２３との両方による変形で圧力室１０の容積を変化させているので、インク吐出量を維持しつつアクチュエータユニット２１の変形量を小さくできるので、アクチュエータユニット２１の寿命を長くすることができる。
【００８８】
また、第２個別電極３８には、補助駆動信号としてパルス列信号よりも周波数の高いものを供給するので、複数の圧力室１０に連通した副マニホールド５ａ内の圧力変動によって生じる流体的クロストークを抑制することができる。流体的クロストークとは、圧力室１０の容積変化にともなって圧力室１０内のインクがノズル８から吐出されたときに生じるインクの圧力変化が、副マニホールド５ａ内のインクに伝わり、他の圧力室１０内のインクに影響を与えるものである。従って、補助駆動信号による第２個別電極３８の圧力室１０の容積変化で圧力室１０内のインクに小さな圧力変化を与えることで、流体的クロストークがすべての圧力室１０に生じた状態にできることで、流体的クロストークを抑制した状態と同じ状態とすることができる。すなわち、圧力室１０内には、流体的クロストークではない圧力変化が与えられているので、それに応じた圧力室１０の容積変化で圧力室１０内のインクに圧力を与えることで所望のインク吐出速度及びインク吐出量に調整することができる。
【００８９】
また、記録媒体にインクを吐出した場合において、媒体上の１ドットに対応して吐出されるインク滴数に応じたパルス数をそれぞれ有する複数種類のパルス列信号が用いられるときに、１周期内において２番目以降のパルスと補助駆動信号との同期が取りやすくなる。また、流路ユニット４が上述のような構成なので、ノズル８を高密度に配置することが可能になる。
【００９０】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。図１２は、本発明の第２の実施の形態によるインクジェットヘッド３０１のヘッド本体１７０の上層部分を示しており、（ａ）は流路ユニット４のキャビティプレート２２の上面にアクチュエータユニット２１、下面にアクチュエータプレート２２３が積層された状況を示す拡大断面図であり、（ｂ）は第１個別電極３５の配置状況を示す平面図であり、（ｃ）は第２個別電極２３８の配置状況を示す平面図である。本実施の形態のインクジェットヘッド３０１は、第２個別電極２３８同士が互いに接続されていない点において第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と異なっている。
【００９１】
図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように第２個別電極２３８は、前述した第２個別電極３８と同様の箇所に形成されている。第２個別電極２３８は、前述した連結電極３９によって連結されていない。第２個別電極２３８は、第１個別電極３５の主電極領域３６とほぼ同様な形状をしている。各第２個別電極２３８の一方の鋭角部（対向する第１個別電極３５においてランド部３７が設けられていない方の鋭角部）からは、対角線方向に細長い引き出し部２３８ａが延設されている。引き出し部２３８ａの先端部と、圧電シート４１上に設けられた接点部６３との間は、それぞれ、接点部６３ごとに形成されたスルーホール２６１内に埋め込まれた導体６２によって電気的に接続されている。スルーホール２６１は、前述したスルーホール６１と同様に、アクチュエータユニット２１の全厚と、キャビティプレート２２の全厚と、アクチュエータプレート２２３の圧電シート４５，４６とを貫通している。
【００９２】
接点部６３は、ＦＰＣ５０の独立したリード線とそれぞれ接合されており、ドライバＩＣ８０によって各第２個別電極３８に独立した電位を制御することができるようにされている。このように接点部６３が設けられているので、前述と同様な効果を得ることができる。また、第２共通電極４０は、図示しない領域において接地されており、すべての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。
【００９３】
次に、本実施の形態におけるパルス制御装置２００の機能について説明する。本実施の形態においてパルス制御装置２００は、補助駆動信号供給部２０４ｂの機能が異なる以外、第１の実施の形態と同様に機能する。本実施の形態において、補助駆動信号供給部２０４ｂは、各第２個別電極２３８に対してそれぞれ独立に接続されており、吐出パルス信号が与えられる第１個別電極３５に対向する（圧力室を共有する）第２個別電極２３８に補助駆動信号を供給する。以下、この点についての詳細を、図１３に基づいて説明する。
【００９４】
図１３は、本実施の形態におけるパルス制御装置２００の動作手順を示すフローチャートである。Ｓ２０１からＳ２０３までは図１１で説明したＳ１０１からＳ１０３までの動作とそれぞれ同じであるため、説明を省略する。
【００９５】
Ｓ２０４において、補助駆動信号供給部２０４ｂは、１つのノズルに係わる第２個別電極２３８について、画像データ記憶部２０２ｂに記憶された画像データに基づいて、図１０（ｄ）に示す補助駆動信号を供給すべきか否かを決定する。具体的には、圧力室１０を共有する第１個別電極３５に吐出パルス信号が供給される場合には、当該第２個別電極２３８には補助駆動信号を供給すべきと決定する。
【００９６】
変形例として、第２個別電極２３８と圧力室１０を共有する第１個別電極３５に吐出パルス信号が供給される場合の当該第２個別電極２３８に加えて、その第２個別電極２３８に隣接した複数の第２個別電極２３８のうちの少なくとも１つに補助駆動信号が供給されてもよい。こうすることで、補助駆動信号とパルス列信号との同期が取れていれば、圧電シート４１の変位が第１個別電極３５に伝わることによって生じる構造的クロストークを抑制することができる。
【００９７】
また、別の変形例として、第２個別電極２３８と圧力室１０を共有する第１個別電極３５に吐出パルス信号が供給される場合の当該第２個別電極２３８に加えて、当該第１個別電極３５のランド部３７とは反対側の鋭角部に隣接した２つの第１個別電極３５と圧力室１０を共有する第２個別電極２３８に補助駆動信号が供給されてもよい。こうすることで、前述した構造的クロストークを効果的に抑制することができる。
【００９８】
さらに別の変形例として、全ての第２個別電極に補助駆動信号が供給されてもよい。こうすることで、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００９９】
他の変形例として、第２個別電極２３８と圧力室１０を共有する第１個別電極３５に吐出パルス信号が供給される場合の当該第２個別電極２３８に加えて、当該第１個別電極３５に対向した圧力室１０に連通した副マニホールド５ａの出口１３に隣接した別の出口１３に連通した圧力室に対向した第２個別電極２３８に補助駆動信号が供給されてもよい。
【０１００】
次に、Ｓ２０５において、Ｓ２０３及びＳ２０４の決定がまだ行われていないノズル（次のノズル）が存在するか否かが判断される。次のノズル８があると判断されれば（Ｓ２０５：ＹＥＳ）、Ｓ２０３に戻って同様の処理を行う。次のノズル８がないと判断されれば（Ｓ２０５：ＮＯ）、Ｓ２０６に移行する。
【０１０１】
Ｓ２０６において、吐出パルス供給部２０４ａは、Ｓ２０３での決定に即した吐出パルス信号を所定のタイミングで各第１個別電極３５に供給する。このとき、Ｓ２０３で吐出パルス信号を供給すべきでないと決定された第１個別電極３５に対しては、吐出パルス信号が供給されない。同時に、補助駆動信号供給部２０４ｂは、Ｓ２０２で補助駆動信号生成部２０３ｂが生成した補助駆動信号を、Ｓ２０４で補助駆動信号を供給すべきとされた第２個別電極２３８だけに供給する。その後、図１３のフローチャートを終了する。
【０１０２】
以上のような第２の実施の形態によるインクジェットヘッド３０１は、第２個別電極２３８に関する構成が違う以外はほとんど同様なため、第１の実施の形態によるインクジェットヘッド１と同様な効果を得ることができる。第２個別電極２３８に関する構成が違う点で生じる効果は、複数種類の補助駆動信号を、アクチュエータプレート２２３の第２個別電極２３８に個々に供給することが可能になるので、制御が簡単になる。つまり、前述したインクジェットヘッド１の第２個別電極３８は連結電極３９で連結されているので、第２個別電極３８に補助駆動信号を供給するとすべての第２個別電極３８が同様に駆動されるが、本実施の形態におけるインクジェットヘッド３０１では、必要最低限の第２個別電極２３８だけに補助駆動信号を供給することができるので、制御が簡単になる。また、第２個別電極２３８を駆動する消費電力も効率的に低減することができる。
【０１０３】
［第３の実施の形態］
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。本実施の形態のインクジェットヘッドは、第１の実施の形態によるインクジェットヘッド１と同様の構造を有しており、パルス制御装置２００の機能においてのみ第１の実施の形態と異なっている。そこで、以下では、インクジェットヘッドの構造についての説明を省略し、パルス制御装置２００Ａの機能について図１４を参照して説明することとする。なお、図１４において、図９と同じ部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【０１０４】
図１４に示すパルス制御装置２００Ａは、通信部２０１と、記憶部２０２と、パルスパターン決定部２１１と、信号生成部２１２とを含んでいる。パルスパターン決定部２１１は、画像データ記憶部２０２ｂに記憶されている画像データに含まれる階調データとタイミングデータとに基づいて、各第１個別電極３５について、吐出パルス信号を供給すべきか否か、そして、供給すべき場合には、図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す３種類の吐出パルス信号のうちのいずれを供給すべきかを決定する。
【０１０５】
信号生成部２１２は、吐出パルス生成部２１２ａと、補助駆動信号生成部２１２ｂとを含んでいる。本実施の形態において、吐出パルス生成部２１２ａは、各第１個別電極に対してそれぞれ独立に設けられている。吐出パルス生成部２１２ａは、パルスパターン決定部２１１での決定に基づいて、各ノズル毎に、パルスパターン記憶部２０２ａに記憶されたパルスパターンから、図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す３種類の吐出パルス信号のいずれかを生成する。補助駆動信号生成部２１２ｂは、パルス制御装置２００Ａ内で発生するクロック信号を利用して、第２個別電極３８に供給される補助駆動信号を生成する。
【０１０６】
図１５は、本実施の形態におけるパルス制御装置２００Ａの動作手順を示すフローチャートである。パルス制御装置２００Ａは、インクジェットプリンタ１０１に対する電源の投入により、制御部１１３から送信される画像データとタイミングデータとの受信を待機している。
【０１０７】
制御部１１３から画像データとタイミングデータとが送信されると、Ｓ３０１に移行し、通信部２０１が送信された画像データとタイミングデータとを受信する。画像データを受信した通信部２０１は、画像データをとタイミングデータとを受信し、他の各部機能から参照可能なように画像データ記憶部２０２ｂに記憶する。
【０１０８】
その後、Ｓ３０２に移行し、画像データ記憶部２０２ｂに記憶された画像データ及びタイミングデータに基づいて各ノズル８がインクを吐出するノズル（吐出ノズル）８であるか否かを、パルスパターン決定部２１１が順に判断する。ノズル８が吐出ノズルでないと判断されれば（Ｓ３０２：ＮＯ）、Ｓ３０５に移行する。ノズル８が吐出ノズルであると判断されれば（Ｓ３０２：ＹＥＳ）、Ｓ３０３に移行する。
【０１０９】
Ｓ３０３では、パルスパターン決定部２１１が、当該ノズル８に対応する画像データ内の画素の階調データに基づいて、パルスパターン記憶部２０２に記憶された３種類のパルスパターンの中から、ノズル８に対応する第１個別電極３５に供給する吐出パルス信号のパルスパターンを決定する。その後、Ｓ３０４に移行し、Ｓ３０３で決定されたパルスパターンのデータを吐出パルス生成部２１２ａのレジスタに格納してパルスの生成準備を完了する。その後Ｓ３０５に移行する。
【０１１０】
次に、Ｓ３０５において、Ｓ３０３のパルスパターン決定がまだ行われていないノズル（次のノズル）が存在するか否かが判断される。次のノズル８があると判断されれば（Ｓ３０５：ＹＥＳ）、Ｓ３０２に戻って同様の処理を行う。次のノズル８がないと判断されれば（Ｓ３０５：ＮＯ）、Ｓ３０６に移行する。
【０１１１】
Ｓ３０６において、各吐出パルス生成部２１２ａが、Ｓ３０３での決定に即した図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す３種類の吐出パルス信号のいずれかを所定のタイミングで生成し、生成された吐出パルス信号を対応する第１個別電極３５にそれぞれ供給する。このとき、Ｓ３０２で吐出ノズルでないと決定されたノズルに関しては、対応する吐出パルス生成部２１２ａにおいて吐出パルス信号が生成されない。同時に、補助駆動信号生成部２１２ｂは、補助駆動信号を生成し、生成された補助駆動信号を全ての第２個別電極に供給する。その後、図１５のフローチャートを終了する。
【０１１２】
以上のような第３の実施の形態によるインクジェットヘッドは、前述した第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同様な構成を有しているので、同様な効果を得ることができる。つまり、第２個別電極３８が連結電極３９によって連結されているので、各第２個別電極３８に独立した信号を供給する必要がない。また、第１個別電極３５と第２個別電極３８とがパルス列信号及び補助駆動信号で駆動されることで、圧力室の容積変化に寄与するので、ノズル８からインク吐出量を維持しつつ、アクチュエータユニット２１に供給するパルス列信号のパルスの振幅を低下させることができるとともに、インク吐出量を増大させることができる。また、第２個別電極３５には、補助駆動信号としてパルス列信号よりも周波数の高いものを供給するので、複数の圧力室１０に連通した副マニホールド５ａ内の圧力変動によって生じる流体的クロストークを抑制することができる。
【０１１３】
［第４の実施の形態］
次に、本発明の第４の実施の形態について説明する。本実施の形態のインクジェットヘッドは、第２の実施の形態によるインクジェットヘッド３０１と同様の構造を有しており、そのパルス制御装置２００Ａはパルスパターン決定部２１１及び補助駆動信号生成部２１２ｂの機能が異なる以外、第３の実施の形態と同様である。そこで、以下では、インクジェットヘッドの構造及びパルス制御装置２００Ａについての説明を省略し、図１６のフローチャートに基づいて、パルスパターン決定部２１１及び補助駆動信号生成部２１２ｂの動作を説明することとする。なお、本実施の形態において、吐出パルス生成部２１２ａ及び補助駆動信号生成部２１２ｂは、各第１個別電極及び各第２個別電極に対してそれぞれ独立に設けられている。また、図１６において、Ｓ４０１からＳ４０４までは図１５で説明したＳ３０１からＳ３０４までの動作とそれぞれ同じであるため、説明を省略する。
【０１１４】
Ｓ４０５では、パルスパターン決定部２１１が、Ｓ４０２で吐出ノズルであると判断されたノズル８に対応する第２個別電極３５に供給される補助駆動信号を生成する準備を行う。ここでの準備とは、例えば当該ノズルに関して設けられたフラグを、補助駆動信号生成部２１２ｂが補助駆動信号を生成する旨に設定することであってよい。
【０１１５】
次に、Ｓ４０６において、Ｓ４０３のパルスパターン決定がまだ行われていないノズル（次のノズル）が存在するか否かが判断される。次のノズル８があると判断されれば（Ｓ４０６：ＹＥＳ）、Ｓ４０２に戻って同様の処理を行う。次のノズル８がないと判断されれば（Ｓ４０６：ＮＯ）、Ｓ４０８に移行する。
【０１１６】
一方、Ｓ４０２でノズル８が吐出ノズルでないと判断されれば（Ｓ４０２：ＮＯ）、Ｓ４０７に移行する。Ｓ４０７では、当該ノズルの周辺に吐出ノズルがあるか否かが、パルスパターン決定部２１１によって判断される。そして、周辺に吐出ノズルがない場合（Ｓ４０７：ＮＯ）、Ｓ４０６の処理に移行する。周辺に吐出ノズルがある場合（Ｓ４０７：ＹＥＳ）、Ｓ４０５の処理に移行し、当該ノズルに対応する第２個別電極２３８に供給される補助駆動信号を生成する準備を行う。
【０１１７】
当該ノズルの周辺に吐出ノズルがあると判断されるのは、例えば、当該ノズルに対応した第１個別電極３５に隣接する複数の第１個別電極３５の少なくとも１つが吐出ノズルである場合、当該ノズルに対応した第１個別電極３５のランド部３７とは反対側の鋭角部に隣接した２つの第１個別電極３５の少なくともどちらか１つが吐出ノズルである場合、当該ノズル８に対応した第１個別電極３５に対向した圧力室１０に連通した副マニホールド５ａの出口１３に隣接した別の出口１３に連通した圧力室１０に対向した第１個別電極３５が吐出ノズルである場合である。
【０１１８】
Ｓ４０８において、各吐出パルス生成部２１２ａが、Ｓ４０３での決定に即した吐出パルス信号を所定のタイミングで生成し、生成された吐出パルス信号を対応する第１個別電極３５にそれぞれ供給する。このとき、Ｓ４０２で吐出ノズルでないと決定されたノズル８に関しては、対応する吐出パルス生成部２１２ａにおいて吐出パルス信号が生成されない。同時に、各補助駆動信号生成部２１２ｂが補助駆動信号をそれぞれ生成し、生成された補助駆動信号を対応する第２個別電極２３８に供給する。その後、図１６のフローチャートを終了する。
【０１１９】
以上のような第４の実施の形態によるインクジェットヘッドは、前述した第２の実施の形態のインクジェットヘッド３０１と同様な構成を有しているので、同じ効果を得ることができる。つまり、複数種類の補助駆動信号を、アクチュエータプレート２２３の第２個別電極２３８に個々に供給することが可能になるので、制御が簡単になるとともに、第２個別電極２３８を駆動する消費電力も効率的に低減することができる。
【０１２０】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいてさまざまな設計変更が可能なものである。例えば、上述した実施の形態は、パルスパターン記憶部に記憶されているパルスパターンを用いてパルスを生成する構成であるが、このような構成に限定されるものではなく、パルスパターン記憶部を備えず、パルスを生成する度に全てのパルスパターンを形成する構成でもよい。
【０１２１】
また、補助駆動信号の周波数は、吐出パルス信号の周波数の自然数倍でなくてもよい。上述した実施の形態では、圧力室からアクチュエータプレートに向かう方向にノズルからインクが吐出されるが、圧力室からアクチュエータプレートに向かう方向に対して垂直な方向（例えば図８の紙面に対して垂直な方向）にノズルからインクが吐出されるような構成であってもよい。
【０１２２】
また、第１の実施の形態において隣接する第２個別電極同士の間にそれぞれ連結電極が設けられているが、連結電極は第２個別電極同士を電気的に接続されたものとできれば、必ずしも隣接する第２個別電極同士の間にそれぞれ設ける必要はない。また、第１の実施の形態において、スルーホールを１つだけ設けているが、２個以上のスルーホールを設けてもよい。また、吐出パルス信号の波形は、上述したものに限らず、適宜変更可能である。さらに、補助駆動信号と吐出パルス信号とが圧力室の容積を減少させるタイミングにおいて、一致するように同期していなくてもよい。そして、吐出パルス信号がノズルからのインク吐出を単独で引き起こす振幅を有するパルスを含んでいてもよい。
【０１２３】
また、上述した実施の形態では、圧力室、第１個別電極及び第２個別電極が平行四辺形の平面形状を有するとともに、マトリックス状に配置される構成であるが、このような構成に限定されるものではなく、圧力室、第１個別電極及び第２個別電極の形状は任意に設定されていてよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２４】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるインクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタの概略図である
【図２】図１に示すインクジェットヘッドの外観斜視図である。
【図３】図２のIII−III線における断面図である。
【図４】図２に描かれたインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。
【図５】図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図６】図５に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図７】図６のVII−VII線における断面図である。
【図８】ヘッド本体の上層部分を示しており、（ａ）は流路ユニットのキャビティプレートの上面にアクチュエータユニット、下面にアクチュエータプレートが積層された状況を示す拡大断面図であり、（ｂ）は第１個別電極の配置状況を示す平面図であり、（ｃ）は第２個別電極の配置状況を示す平面図である。
【図９】第１の実施の形態におけるパルス制御装置の機能ブロック図である。
【図１０】吐出パルス生成部および補助駆動信号生成部が生成する吐出パルス信号及び補助駆動信号を示しており、（ａ）は吐出されるインク滴の数が１個の場合の吐出パルス信号を示す図であり、（ｂ）は吐出されるインク滴の数が２個の場合の吐出パルス信号を示す図であり、（ｃ）は吐出されるインク滴が３個の場合の吐出パルス信号を示す図であり、（ｄ）は、補助駆動信号生成部が生成する補助駆動信号を示す図である。
【図１１】パルス制御装置の動作手順を示すフローチャートである。
【図１２】本発明の第２の実施の形態によるインクジェットヘッド３０１のヘッド本体７０の上層部分を示しており、（ａ）は流路ユニット４のキャビティプレート２２の上面にアクチュエータユニット２１、下面にアクチュエータプレート２２３が積層された状況を示す拡大断面図であり、（ｂ）は第１個別電極３５の配置状況を示す平面図であり、（ｃ）は第２個別電極２３８の配置状況を示す平面図である。
【図１３】第２の実施の形態におけるパルス制御装置の動作手順を示すフローチャートである。
【図１４】第３の実施の形態におけるパルス制御装置の機能ブロック図である。
【図１５】第３の実施の形態におけるパルス制御装置の動作手順を示すフローチャートである。
【図１６】第４の実施の形態におけるパルス制御装置の動作手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１２５】
１  インクジェットヘッド
４  流路ユニット
８  ノズル
１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ  圧力室
２１  アクチュエータユニット（主アクチュエータブロック）
２２  キャビティプレート
２３  アクチュエータプレート（補助アクチュエータブロック）
３４  第１共通電極
３５  第１個別電極
３６  主電極領域
３７  ランド部（補助電極領域）
３８、２３８  第２個別電極
３９  連結電極
４０  第２共通電極
４１  圧電シート（第１圧電シート）
５０  ＦＰＣ（フレキシブルフラットケーブル）
６１  スルーホール
６２  導体
６３、２６３  接点部
７０  ヘッド本体
７１  ベースブロック
７２  ホルダ
８０  ドライバＩＣ
１０１  インクジェットプリンタ（インクジェット記録装置）
２００  パルス制御装置（駆動信号生成装置）
２０３  信号生成部
２０３ａ  吐出パルス生成部（パルス生成手段）
２０３ｂ  補助駆動信号生成部（補助駆動信号生成手段）
２０４ａ  吐出パルス供給部（パルス供給手段）
２０４ｂ  補助駆動信号供給部（補助駆動信号供給手段）
【図１】
2005059442.tif 000003
【図２】
2005059442.tif 000004
【図３】
2005059442.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005059442.tif 000007
【図６】
2005059442.tif 000008
【図７】
2005059442.tif 000009
【図８】
2005059442.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2005059442.tif 000012
【図１１】
2005059442.tif 000013
【図１２】
2005059442.tif 000014
【図１３】
2005059442.tif 000015
【図１４】
2005059442.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
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