(57)【要約】【課題】  貼合せ基板の歩留りを向上させ、かつ構成を簡略化し得る貼合せ基板製造装置を提供する。【解決手段】  ２枚の基板Ｗ１，Ｗ２の非貼り合せ面をそれぞれ保持板１４，２０で吸着し、処理室内で基板Ｗ１，Ｗ２を貼合せる貼り合せ基板製造装置であって、処理室外から非貼り合せ面を吸着した状態で処理室内に搬送される基板Ｗ１を、非貼り合せ面のみを吸着した状態で保持板２０に受け渡し可能とした基板搬入装置２３，２８ａを備えた。【選択図】      図１
2005258325.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の基板の非貼り合せ面をそれぞれ保持板で吸着し、処理室内で前記基板を貼合せる貼り合せ基板製造装置であって、
前記処理室外から前記非貼り合せ面を吸着した状態で処理室内に搬送される基板を、前記非貼り合せ面のみを吸着した状態で前記保持板に受け渡し可能とした基板搬入装置を備えたことを特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項２】
２枚の基板の非貼り合せ面をそれぞれ保持板で吸着し、処理室内で前記基板を貼合せる貼り合せ基板製造装置であって、
前記基板を処理室内に搬送するロボットハンドの先端部の自重垂れを矯正する撓み防止装置を備えたことを特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項３】
２枚の基板の非貼り合せ面をそれぞれ保持板で吸着し、処理室内で前記基板を貼合せる貼り合せ基板製造装置であって、
前記処理室外から前記非貼り合せ面を吸着した状態で処理室内に搬送される基板を、前記非貼り合せ面のみを吸着した状態で前記保持板に受け渡し可能とした基板搬入装置と、
前記基板を処理室内に搬送するロボットハンドの先端部の自重垂れを矯正する撓み防止装置と
を備えたことを特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項４】
前記保持板は、前記２枚の基板のうちの上基板を吸着する加圧板と、下基板を吸着するテーブルとで構成し、
前記基板搬入装置は、前記処理室内で昇降可能に支持されるとともに、前記上基板を吸着可能とした複数本の支持棹で構成し、前記加圧板には前記支持棹を収容する収容溝を設けたことを特徴とする請求項２又は３記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項５】
前記撓み防止装置は、前記下基板をロボットハンドから前記テーブルに受け渡す下基板保持装置に設けたことを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項６】
前記支持棹を備えた上基板保持装置は、駆動装置により前記加圧板に対し上下方向に相対移動可能に、かつ水平方向に移動可能に支持したことを特徴とする請求項４又は５記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項７】
前記支持棹には複数の吸着パッドを備え、前記上基板の吸着時に、前記上基板の撓みの少ない位置から前記吸着パッドに順次負圧を供給する吸着制御装置を備えたことを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項に記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項８】
前記加圧板には複数の吸着孔を備え、前記上基板の吸着時に、前記上基板の撓みの少ない位置から前記吸着孔に順次負圧を供給する吸着制御装置を備えたことを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項に記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項９】
前記吸着パッドは、前記支持棹あるいは加圧板に対し弾性的に支持したことを特徴とする請求項７記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項１０】
２枚の基板をロボットハンドで処理室内に搬入して上基板保持装置に受け渡し、前記基板を該上基板保持装置から保持板に受け渡し、処理室内で前記基板を貼合せる貼り合せ基板製造方法であって、
前記基板の受け渡し動作時に、前記上基板保持装置に備えられた複数の吸着パッドあるいは前記保持板に備えられた複数の吸着孔に対し、前記上基板の撓みの少ない位置に対応する吸着パッドあるいは吸着孔から順次負圧を供給することを特徴とする貼合せ基板製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶表示装置（Liquid Crystal Display;LCD）等の２枚の基板を貼り合わせた基板（パネル）を製造する際に使用して好適な貼合わせ基板製造装置及び貼合わせ基板製造方法に関するものである。
【０００２】
近年、ＬＣＤ等の平面表示パネルは、大型化（薄型化）が進むとともに、低コスト化の要求が高まっている。そこで、２枚の基板を貼り合せる貼合わせ装置においても、大型化及び生産性の向上が求められている。
【背景技術】
【０００３】
液晶表示パネルは、例えば複数のＴＦＴ(薄膜トランジスタ)がマトリクス状に形成されたアレイ基板(ＴＦＴ基板)と、カラーフィルタ(赤、緑、青)や遮光膜等が形成されたカラーフィルタ基板(ＣＦ基板)とが極めて狭い間隔(数μｍ程度)で対向して設けられ、両基板間に液晶が封入されて製造される。遮光膜はコントラストを稼ぐため、あるいはＴＦＴを遮光して光リーク電流の発生を防止するために用いられる。ＴＦＴ基板とＣＦ基板は、熱硬化性樹脂を含むシール材(接着剤)で貼り合わされている。
【０００４】
この液晶パネルの製造工程において、対向するガラス基板間に液晶を封入する液晶封入工程では、例えばＴＦＴ基板の周囲に枠状に形成したシール材の枠内の基板面上に、規定量の液晶を滴下し、真空中でＴＦＴ基板とＣＦ基板を貼り合せて液晶封入を行う滴下注入方が採用されている。
【０００５】
このような基板の貼り合わせは、貼り合わせ装置としてのプレス装置を用いて基板加圧工程にて行われる。このプレス装置は、処理室内に互いに対向して配置される上下２枚の保持板を備え、両保持板の平行度を精密に保ちながら、基板間の厚さ方向の間隔を均一に保持した状態で両基板を接近させることにより貼り合わせを行う。
【０００６】
上記のようなプレス装置の概要を図２２〜図２４に従って説明すると、処理室内に配設されるテーブル１に対し下基板保持部材２が昇降可能に配設され、その上方には加圧板３が昇降可能に配設される。
【０００７】
ロボットハンド４ａ，４ｂは、上基板Ｗ１及び下基板Ｗ２を処理室内に搬入し、貼り合わせ済の基板Ｗ３を処理室外へ搬出するものである。シャッター５は、常には処理室外に位置し、上基板Ｗ１の搬入時に処理室内へ侵入し、上基板Ｗ１を加圧板３に吸着させる動作に寄与する。
【０００８】
基板Ｗ１，Ｗ２の搬入動作を説明すると、まず上基板Ｗ１の上面（非貼り合わせ面）を吸着保持したロボットハンド４ａが処理室内に侵入し、次いで、図２３に示すように、シャッター５が閉じて処理室内に侵入する。
【０００９】
そして、図２４に示すように、ロボットハンド４ａが下降して、基板Ｗ１の外周部がシャッター５に支持されるとともに、基板Ｗ１の中央部が上基板保持部材（図示しない）で吸着され、ロボットハンド４ａが基板Ｗ１の吸着を解除して処理室外へ移動する。このとき、ロボットハンド４ａは前サイクルで貼り合わされて、下基板保持部材２上に支持されている基板Ｗ３を処理室外へ搬送する。
【００１０】
次いで、上基板保持部材が上昇して基板Ｗ１が加圧板３に吸着される。また、ロボットハンド４ｂに支持された基盤Ｗ２が処理室内に搬入され、テーブル１上に吸着される。
そして、ロボットハンド４ｂが処理室外へ移動した後、処理室が密封され、加圧板３が下降してテーブル１との間で基板Ｗ１，Ｗ２を押圧して貼り合せる。
【００１１】
上記のような基板貼合せ装置の一例が、特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開２００２−２２９０４４号公報（図２０）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
通常、基板Ｗ１，Ｗ２を加圧板３及びテーブル２に保持するためには、真空チャック（吸引吸着）あるいは静電チャック（静電吸着）のいずれかを用いて行われる。
処理室内を真空として基板Ｗ１，Ｗ２を貼り合せるとき、真空チャックによる保持動作は機能しなくなるため、基板Ｗ１，Ｗ２は静電チャックにより保持される。静電チャックによる基板保持は、テーブル１及び加圧板３に形成した電極と、ガラス基板に形成された導電膜との間に電圧を印加して、ガラス基板と電極との間にクーロン力を発生させることにより、当該ガラス基板を吸着する。
【００１３】
ところで、近年の基板の大型化及び薄型化にともない、ロボットハンド４ａによる基板Ｗ１の搬送時に、基板Ｗ１の自重による撓みあるいはロボットハンド４ａ先端部の自重垂れにともなう基板Ｗ１の撓みが増大する傾向にある。
【００１４】
このように、基板Ｗ１に撓みが生じている状態では、加圧板３で基板Ｗ１を吸着する際、吸着状態が不安定となるとともに、撓みが残存する状態で加圧板３に吸着されると、処理室内を減圧する過程で加圧板３からの基板Ｗ１の位置ずれや離脱が生じる可能性がある。
【００１５】
また、基板Ｗ１に撓みが残存する状態で、静電吸着により加圧板３に吸着されると、処理室内を減圧する過程でグロー放電が生じてしまい、基板上の回路やＴＦＴ素子を破損するという問題点がある。
【００１６】
一方、基板Ｗ１を加圧板３に吸着させる過程において、シャッター５を処理室内に侵入させて、基板Ｗ１の外周部を支持する構成としたため、シャッター５と基板Ｗ１の貼合せ面との接触により、その貼合せ面にパーティクルが発生し易い。また、シャッター５の移動により処理室内にパーティクルが持ち運ばれる可能性もある。
【００１７】
さらに、シャッター５及びその駆動装置を処理室外に設置しているので、基板貼合せ装置が複雑化あるいは大型化するとともに、基板貼合せ装置の製造コスト及びメンテナンスコストを上昇させるという問題点もある。
【００１８】
この発明の目的は、貼合せ基板の歩留りを向上させ、かつ構成を簡略化し得る貼合せ基板製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記目的は、２枚の基板の非貼り合せ面をそれぞれ保持板で吸着し、処理室内で前記基板を貼合せる貼合せ基板製造装置において、前記処理室外から前記非貼り合せ面を吸着した状態で処理室内に搬送される基板を、前記非貼り合せ面のみを吸着した状態で前記保持板に受け渡し可能とした基板搬入装置を備えたことにより達成される。
【００２０】
また、上記目的は、２枚の基板の非貼り合せ面をそれぞれ保持板で吸着し、処理室内で前記基板を貼合せる貼り合せ基板製造装置において、前記基板を処理室内に搬送するロボットハンドの先端部の自重垂れを矯正する撓み防止装置を備えたことにより達成される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、貼合せ基板の歩留りを向上させ、かつ構成を簡略化し得る貼合せ基板製造装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
（第一の実施の形態）
図１は、第一の実施の形態の貼合せ基板製造装置（プレス装置）の概要を示す。貼合せ基板製造装置の処理室は上側容器１１と、下側容器１２とから構成され、上側容器１１は図示しないアクチュエータ等の駆動機構により、下側容器１２に対し上下動可能となっている。
【００２３】
そして、上側容器１１の側縁部が下側容器１２の側縁部に当接するまで下降すると、上側容器１１と下側容器１２とで密封される空間で処理室（真空チャンバ）が形成されるようになっている。
【００２４】
前記下側容器１２の側縁部には、前記上側容器１１の側縁部との当接面にシール材１３が取着されて、真空チャンバの気密性を確保するようになっている。
前記下側容器１２上には、下定盤１４を介してテーブル１５が配設され、そのテーブル１５には静電チャック機能が備えられ、制御部１６の動作に基づいて、基板Ｗ２の静電チャック動作を行う。
【００２５】
また、下側容器１２には下基板保持装置１７が昇降可能に支持され、図示しない駆動装置により昇降される。なお、下基板保持装置１７は、複数本の支持棹の両端部を連結枠で連結した柵状に形成され、テーブル１５には下基板保持装置１７が最下限まで下降したとき、各支持棹がテーブル１５の上面に露出しないように収容する収容溝が形成されている。
【００２６】
前記下基板保持装置１７を構成する枠の一方には、後記第一のロボットハンド２８ａの先端を支持して、第一のロボットハンド２８ａの自重垂れを防止する撓み防止片１８が上方に突出されている。
【００２７】
前記テーブル１５の上方には上定盤１９が支持され、その上定盤１９の下面には、加圧板２０が取着されている。上定盤１９は、前記上側容器１１の上方において、モータを含む駆動装置２１から吊下げ軸２２を介して吊下支持され、駆動装置２１の動作により上側容器１１の下方で昇降される。従って、前記加圧板２０は上定盤１９と一体に昇降される。
【００２８】
前記加圧板２０には、基板Ｗ１を吸着する真空チャック機能及び静電チャック機能が備えられ、それらの各機能は前記制御部１６により制御される。
前記加圧板２０の下方には上基板保持装置２３が配設される。この上基板保持装置２３は、前記下基板保持装置１７と同様に、複数本の支持棹の両端部を連結枠で連結した柵状に形成され、各支持棹には下方に向かって開口する複数の吸着パッド３７が設けられる。
【００２９】
前記上基板保持装置２３の両側部には、前記上側容器１１を貫通して上方へ延びる支軸２５が取着され、その支軸２５の上端部はフレキシブルカップリング２６を介して昇降軸２７に吊下支持される。そして、昇降軸２７は前記駆動装置２１の制御に基づいて昇降する。
【００３０】
従って、上基板保持装置２３は駆動装置２１の制御に基づいて昇降動作を行う。また、上基板保持装置２３は昇降軸２７に対し、フレキシブルカップリング２６により水平方向に移動可能に支持されている。このフレキシブルカップリング２６は、加圧板２０に保持される基板Ｗ１の水平方向の変移を補正するための位置合せ処理を行う際に、加圧板２０と上基板保持装置２３との水平方向の相対移動を許容するものである。
【００３１】
前記下基板保持装置１７と前記上基板保持装置２３の間には、第一のロボットハンド２８ａにより基板Ｗ１が搬入されるとともに、第二のロボットハンド２８ｂにより基板Ｗ２が搬入される。第一のロボットハンド２８ａは基端側の主枠２９から上部アーム３０と下部アーム３１とが平行に延設され、上部アーム３０には基板Ｗ１を吸着するための吸着パッド３２が形成されている。また、下部アーム３１は貼り合せ後の基板Ｗ３を支持可能となっている。
【００３２】
前記上部アーム３０は下部アーム３１より長く形成され、処理室内へ前進したとき、その先端は前記下基板保持装置１７の撓み防止片１８の移動軌跡上に位置する。
図３及び図４は基板Ｗ１を処理室内に搬入した第一のロボットハンド２８ａの上部アーム３０と、上基板保持装置２３の位置関係を示す。上部アーム３０は、主枠２９から６本平行に延設され、各上部アーム３０にはそれぞれ７個の吸着パッド３２ａ〜３２ｇが設けられている。
【００３３】
各上部アーム３０内には、負圧を供給するための三本の管路が主枠２９からそれぞれ延設され、各管路は主枠２９外に配設される３個のバルブ３３ａ〜３３ｃを介して負圧源３４に接続される。このバルブ３３ａ〜３３ｃは前記制御部１６により制御され、制御部１６とともに吸着制御装置が構成される。
【００３４】
そして、前記吸着パッド３２ａ〜３２ｇのうち、中央に位置する３個の吸着パッド３２ｃ，３２ｄ，３２ｅはバルブ３３ｃで開閉される。また、吸着パッド３２ｃ，３２ｄ，３２ｅの外側に位置する１個ずつの吸着パッド３２ｂ，３２ｆはバルブ３３ｂで開閉され、両外側に位置する２個の吸着パッド３２ａ，３２ｇはバルブ３３ａで開閉される。このような制御は、６本の各上部アーム３０について同様である。
【００３５】
処理室内への基板Ｗ１の搬入に先立ち、上部アーム３０で基板Ｗ１を吸着する際には、まずバルブ３３ｃが開路されて、各上部アーム３０の吸着パッド３２ｃ，３２ｄ，３２ｅで基板Ｗ１の長手方向中央部が吸着される。次いで、バルブ３３ｂが開路されて、各上部アーム３０の吸着パッド３２ｂ，３２ｆで吸着され、最後にバルブ３３ａが開路されて、吸着パッド３２ａ，３２ｇで吸着される。
【００３６】
このような制御により、基板Ｗ１の上部アーム３０への吸着動作時において、基板Ｗ１に撓みが生じにくい。また、各バルブ３３ａ〜３３ｃの開閉順は、吸着前における基板Ｗ１での撓みの発生状況に応じて適宜に変更可能である。
【００３７】
前記上基板保持装置２３は、５本の支持棹３５の両端が連結枠３６で連結され、各支持棹３５にはそれぞれ９個の吸着パッド３７ａ〜３７ｉが設けられている。各支持棹３５内には、負圧を供給するための三本の管路が連結枠３６からそれぞれ延設され、各管路は連結枠３６外に配設される３個のバルブ３８ａ〜３８ｃを介して負圧源３９に接続される。このバルブ３９ａ〜３９ｃは前記制御部１６により制御され、制御部１６とともに吸着制御装置が構成される。
【００３８】
そして、前記吸着パッド３７ａ〜３７ｉのうち、中央に位置する３個の吸着パッド３７ｄ，３７ｅ，３７ｆはバルブ３８ｃで開閉される。また、吸着パッド３７ｄ，３７ｅ，３７ｆの外側に位置する１個ずつの吸着パッド３７ｃ，３７ｇはバルブ３８ｂで開閉され、吸着パッド３７ｃ，３７ｇより外側に位置する２個ずつの吸着パッド３７ａ，３７ｂ，３７ｈ，３７ｉはバルブ３８ａで開閉される。このような制御は、５本の各支持棹３５について同様である。
【００３９】
上基板保持装置２３で基板Ｗ１を吸着する際には、まずバルブ３８ｃが開路されて、各支持棹３５の吸着パッド３７ｄ，３７ｅ，３７ｆで基板Ｗ１の長手方向中央部が吸着される。次いで、バルブ３８ｂが開路されて、各支持棹３５の吸着パッド３７ｃ，３７ｇで吸着され、最後にバルブ３８ａが開路されて、吸着パッド３７ａ，３７ｂ，３７ｈ，３７ｉで吸着される。
【００４０】
このような制御により、基板Ｗ１の支持棹３５への吸着動作時において、基板Ｗ１に撓みが生じにくい。なお、各バルブ３８ａ〜３８ｃの開閉順は、第一のロボットハンド２８ａに吸着されている基板Ｗ１における撓みの発生状況に応じて適宜変更可能である。
【００４１】
図５及び図６は、前記上基板保持装置２３の支持棹３５と前記加圧板２０に形成される吸着孔４０との位置関係を示す。前記吸着孔４０は、前記各支持棹３５間において、同支持棹３５に沿って８個ずつの吸着孔４０がそれぞれ３列設けられている。
【００４２】
各支持棹３５間の３列の吸着孔４０は、各列毎に共通の管路に接続され、各管路はバルブ４１ａ〜４１ｃを介して負圧源４２に接続される。このバルブ４１ａ〜４１ｃは前記制御部１６により制御される。
【００４３】
３列の吸着孔４０のうち、一方の列４３ａはバルブ４１ａで開閉され、中間の列４３ｂはバルブ４１ｂで開閉され、他方の列４３ｃはバルブ４１cで開閉される。そして、バルブ４１ａ，４１ｃが最初に開路され、次いでバルブ４１ｂが開路される。このような制御は、各支持棹３５間の各列について同様である。
【００４４】
図７は、上基板保持装置２３で吸着保持された基板Ｗ１での撓みの発生状況を解析した一例を示す。同図に示すように、吸着パッドでの吸着部分Ｐから遠ざかるにつれて撓みＸが増大することがわかる。
【００４５】
従って、上記のような順番でバルブ４１ａ〜４１ｃを開路することにより、まず撓みの少ない部分を吸着孔４０で吸着して撓みを矯正し、さらに残る部分を吸着パッドで吸着することができるので、吸着後の基板Ｗ１に撓みが生じにくい。
【００４６】
図８は、前記上基板保持装置２３の吸着パッド３７ａの具体的構成を示す。他の吸着パッド３７ｂ〜３７ｉ及び前記第一のロボットハンド２８ａの吸着パッド３２も同様な構成である。
【００４７】
同図に示すように、前記支持棹３５内には当接部材４４が上下方向に移動可能に支持され、その当接部材４４には負圧が供給される出力管４５が挿通されている。前記出力管４５には、支持棹３５内において、当接部材４４に当接するフランジ４６が形成され、支持棹３５外において、前記出力管４５の先端には前記吸着パッド３７ａが取着される。吸着パッド３７ａは蛇腹状に形成されて、伸縮可能である。
【００４８】
前記吸着パッド３７ａと支持棹３５との間には、コイルスプリング４７が配設され、支持棹３５を支点とするコイルスプリング４７の付勢力により、吸着パッド３７は常に支持棹３５から遠ざかる方向、すなわち下方に付勢されている。
【００４９】
また、支持棹３５内において、前記当接部材４４と支持棹３５の底辺との間には、前記出力管４５の周囲に複数のコイルスプリング４８が配設され、支持棹３５を支点とするコイルスプリング４８の付勢力により、当接部材４４と支持棹３５の底辺との間隔が所定値以下となると、当接部材４４に上方への付勢力が作用するようになっている。
【００５０】
このような構成により、第一のロボットハンド２８ａから基板Ｗ１を受けるとき、吸着パッド３７ａには上方への押圧力が作用するため、図８（ｂ）に示すように、コイルスプリング４７が縮んで吸着パッド３７ａが上昇する。また、基板Ｗ１を加圧板２０に受け渡すとき、吸着パッド３７ａには下方への引張り力が作用するため、同図（ｃ）に示すように、コイルスプリング４７が伸びるとともに、コイルスプリング４８が縮んで、吸着パッド３７ａが下降する。
【００５１】
このような動作により、基板Ｗ１の受け渡しを確実に行うことができるとともに、基板Ｗ１を確実に吸着することができる。また、蛇腹状の吸着パッド３７ａにより、基板Ｗ１に撓みや反りが生じていても、安定して吸着可能である。
【００５２】
図２に示すように、前記加圧板２０の下面には前記上基板保持装置２３の支持棹３５を収容可能とした収容溝４９が形成されている。そして、上基板保持装置２３が最上限まで上昇したとき、各支持棹３５は収容溝４９内に収容されて、加圧板２０の下面より下方へ露出されないようになっている。
【００５３】
次に、上記のように構成された貼合せ基板製造装置の動作を図９〜図２０に従って説明する。
基板Ｗ１，Ｗ２の搬入に先立ち、図９に示すように、第一のロボットハンド２８ａに基板Ｗ１が吸着され、第二のロボットハンド２８ｂに基板Ｗ２が支持される。また、下基板保持装置１７上には前サイクルで貼り合わされた基板Ｗ３が支持されている。
【００５４】
この状態から、第一のロボットハンド２８ａが処理室内に前進し（図１０）、下降する(図１１)。この状態では、第一のロボットハンド２８ａの上部アーム３０の先端部が撓み防止片１８に支持されて、その自重垂れが矯正される。
【００５５】
次いで、上基板保持装置２３が下降して、基板Ｗ１を吸着する（図１２）。そして、第一のロボットハンド２８ａは基板Ｗ１の吸着を解除して上方へ移動し（図１３）、下基板保持装置１７が下降する（図１４）。すると、基板Ｗ３は第一のロボットハンド２８ａの下部アーム３１に支持された状態となる。
【００５６】
次いで、第一のロボットハンド２８ａが処理室外へ後退し（図１５）、上基板保持装置２３が上昇して基板Ｗ１が加圧板２０の下面に当接した状態で、加圧板２０に吸着される（図１６）。
【００５７】
次いで、第二のロボットハンド２８ｂが処理室内に前進し（図１７）、さらに下基板保持装置１７が上昇して、基板Ｗ２が下基板保持装置１７上に支持される（図１８）。
そして、第二のロボットハンド２８ｂが処理室外へ後退し、下基板保持装置１７が下降して基板Ｗ２がテーブル１５上に支持され、かつ吸着保持される（図１９）。そして、上側容器１１及び下側容器１２が閉じられて、処理室が密封され、真空下によるプレス処理が行われる（図２０）。このとき、２枚の基板Ｗ１，Ｗ２の水平方向の相対位置を一定の範囲内に矯正するための位置合せが行われる。この位置合せにともなう加圧板２０と上基板保持装置との水平方向の変移が、フレキシブルカップリング２６で吸収される。
【００５８】
上記のように構成された貼合せ基板製造装置では、次に示す作用効果を得ることができる。
（１）基板Ｗ１を加圧板２０に吸着するとき、処理室内で移動する上基板保持装置２３で第一のロボットハンド２８ａから基板Ｗ１を受け取り、その上基板保持装置２３から加圧板２０に基板Ｗ１を受け渡すようにした。従って、従来例で示したシャッターを使用しないので、貼合せ基板製造装置を小型化かつ簡略化することができる。
（２）上基板保持装置２３では基板Ｗ２の上面を吸着するので、貼合せ面と接触することはない。従って、貼合せ面でのパーティクルの発生を防止することができる。
（３）外部から処理室内へ侵入するシャッターを使用しないので、外部から処理室内へのパーティクルの持ち運びを防止することができる。
（４）加圧板２０の下面には、上基板保持装置２３の支持棹３５を収容する収容溝４９を設けたので、基板Ｗ１を加圧板２０に吸着する際、支持棹３５が干渉することはない。
（５）上基板保持装置２３は、フレキシブルカップリング２６により水平方向に移動可能である。従って、基板Ｗ１の水平方向の変移補正動作に対応することができる。
（６）下基板保持装置１７に撓み防止片１８を設けたので、第一のロボットハンド２８ａから上基板保持装置２３に基板Ｗ１を受け渡す際、第一のロボットハンド２８ａの上部アーム３０の自重垂れを防止して、基板Ｗ１での撓みの発生を防止することができる。
（７）第一のロボットハンド２８ａで基板Ｗ１を吸着する際、まず上部アーム３０の中央部の吸着パッドで基板Ｗ１を吸着し、次いで上部アーム３０の中央部と両端部の間の吸着パッドで基板Ｗ１を吸着し、最後に両端部の吸着パッドで基板Ｗ１を吸着するようにした。従って、基板Ｗ１の撓みを矯正しながら同基板Ｗ１を上部アーム３０に吸着させることができるとともに、吸着動作時の基板Ｗ１の位置ずれを防止し、かつ基板Ｗ１を確実に保持することができる。
（８）上基板保持装置２３で基板Ｗ１を吸着する際、基板Ｗ１の撓みの小さい部分から順に吸着するようにした。例えば、まず支持棹３５の中央部の吸着パッドで基板Ｗ１を吸着し、次いで支持棹３５の中央部と両端部の間の吸着パッドで基板Ｗ１を吸着し、最後に両端部の吸着パッドで基板Ｗ１を吸着するようにした。従って、基板Ｗ１の撓みを矯正しながら基板Ｗ１を支持棹３５に吸着させることができるとともに、吸着動作時の基板Ｗ１の位置ずれを防止し、かつ基板Ｗ１確実に保持することができる。
（９）加圧板２０で基板Ｗ１を吸着する際、基板Ｗ１の撓みの小さい部分から順に吸着するようにした。例えば、まず上基板保持装置２３の支持棹３５で吸着された部分に近い位置を吸着し、次いで遠い位置を吸着するようにした。従って、基板Ｗ１の撓みを矯正しながら基板Ｗ１を加圧板２０に吸着させることができるとともに、吸着動作時の基板Ｗ１の位置ずれを防止し、かつ基板Ｗ１確実に保持することができる。
（１０）第一のロボットハンド２８ａの上部アーム３０及び上基板保持装置２３の支持棹３５に設けた吸着パッドを、上部アーム３０あるいは支持棹３５に対し伸縮可能とした。従って、撓みや反りが生じている基板Ｗ１でも確実に吸着するこことができる。
（１１）撓み防止片１８を下基板保持装置１７に設けたので、下基板保持装置１７と共通の駆動源により、上部アーム３０の自重垂れを防止することができる。
（第二の実施の形態）
図２１は、第二の実施の形態を示す。この実施の形態は、前記第一の実施の形態の上基板保持装置２３を省略し、第一のロボットハンド２８ａに吸着支持した基板Ｗ１を加圧板２０に直接受け渡すようにしたものである。加圧板２０には、第一のロボットハンド２８ａの上部アーム３０を収容する収容溝５０が設けられる。その他の構成は、第一の実施の形態と同様である。
【００５９】
このように構成された貼合せ基板製造装置では、基板Ｗ１を吸着した第一のロボットハンド２８ａが処理室内に前進した後、下基板保持装置１７が上昇して上部アーム３０が撓み防止片１８に支持される。そして、加圧板２０が下降して基板Ｗ１の吸着が行われ、その後第一のロボットハンド２８ａが処理室外に後退する。その他の動作は、第一の実施の形態と同様である。
【００６０】
このように構成された貼合せ基板製造装置では、上基板保持装置２３を使用しないので、前記第一の実施の形態に比して、さらに小型化及び構成の簡素化を図ることができる。
上記実施の形態は、次に示すように変更してもよい。
・撓み防止片１８は、下基板保持装置１７とは別機構としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】第一の実施の形態を示す概要図である。
【図２】第一の実施の形態の加圧板及び上基板保持装置を示す断面図である。
【図３】上基板保持装置及び第一のロボットハンドを示す側面図である。
【図４】上基板保持装置及び第一のロボットハンドを示す下面図である。
【図５】上基板保持装置及び加圧板を示す側面図である。
【図６】上基板保持装置及び加圧板を示す下面図である。
【図７】上基板保持装置に吸着された基板の撓みを示す解析図である。
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）は吸着パッドを示す断面図である。
【図９】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図１０】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図１１】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図１２】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図１３】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図１４】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図１５】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図１６】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図１７】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図１８】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図１９】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図２０】貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図２１】第二の実施の形態を示す概要図である。
【図２２】従来の貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図２３】従来の貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【図２４】従来の貼合せ基板製造装置の動作工程図である。
【符号の説明】
【００６２】
１５        保持板（テーブル）
１７        下基板保持装置
１８        撓み防止装置（撓み防止片）
２０        保持板（加圧板）
２３        基板搬入装置（上基板保持装置）
２８ａ      基板搬入装置（第一のロボットハンド）
３０        上部アーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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