(57)【要約】【課題】  コストダウンを図れるバルク断面試料ホルダを提供することを課題とする。【解決手段】  ホルダ本体３と、ホルダ本体３に設けられ、ホルダ本体３の先端面（側面）３ａと対向し弾性を有する壁部１９を有し、壁部１９とホルダ本体３の先端面３ａとで、観察面３３以外の対向関係にあるバルク断面試料３１の二つの面３５、３７を挟む試料押さえ５とを有し、ホルダ本体３のバルク断面試料３１を挟む先端面３ａと隣接する上面３ｂには、ユーセントリック条件を満足する高さ目安面４３が形成されている。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２次電子検出器、反射電子検出器のうちのいずれかの検出器を有する電子顕微鏡に設けられ、設けられたバルク断面試料の観察面と平行な平面方向および前記観察面と直交する高さ方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ方向）に移動するバルク断面試料ホルダにおいて、
ホルダ本体と、
該ホルダ本体に設けられ、前記ホルダ本体の側面と対向し弾性を有する壁部を有し、該壁部と前記ホルダ本体の側面とで、前記観察面以外の対向関係にある前記バルク断面試料の二つの面を挟む試料押さえと、
を有し、
前記ホルダ本体の前記バルク試料を挟む側面と隣接する面には、ユーセントリック条件を満足する高さ目安面が形成されていることを特徴とするバルク断面試料ホルダ。
【請求項２】
前記試料押さえは、
挟まれた前記バルク断面試料の底面と対向する面を有することを特徴とする請求項１記載のバルク断面試料ホルダ。
【請求項３】
前記ホルダ本体は、照射される電子に対して傾斜可能なように構成され、
前記バルク断面試料は、前記ホルダ本体の前記傾斜の軸に沿う側面に設けられることを特徴とする請求項１又は２記載のバルク断面試料ホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２次電子検出器、反射電子検出器のうちのいずれかの検出器を有する電子顕微鏡に設けられ、設けられたバルク断面試料の観察面と平行な平面方向および前記観察面と直交する高さ方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ方向）に移動するバルク断面試料ホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子顕微鏡は、像質のよい２次電子像の観察可能となり、薄膜試料のみならずバルク断面試料（矩形で厚い試料）を観察する要求が高まっている。
バルク断面試料の場合、その高さ（厚み）はさまざまである。試料の高さが基準の高さより大きく異なっていると、顕微鏡の焦点が合わない場合がある。更に、顕微鏡の焦点が合ったとしても、高さが異なる試料に焦点を合わせると、標準的な対物レンズの励磁からずれてしまうので対物レンズの焦点距離が変化してしまい、結果として異なる倍率が表示される場合もある。
【０００３】
また、試料の高さを研磨等で加工して基準の高さにするには、時間がかかり、コストもかかる。
このような不都合を解決するために、ねじを用い、セットした試料の高さを調整できる機構を有した試料ホルダが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−３２７５７０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、高さ調整機構を有した試料ホルダは製造するコストが高くなる問題点がある。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、コストダウンを図れるバルク断面試料ホルダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に係る発明は、２次電子検出器、反射電子検出器のうちのいずれかの検出器を有する電子顕微鏡に設けられ、設けられたバルク断面試料の観察面と平行な平面方向および前記観察面と直交する高さ方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ方向）に移動するバルク断面試料ホルダにおいて、ホルダ本体と、該ホルダ本体の側面と対向し弾性を有する壁部を有し、該壁部と前記ホルダ本体の側面とで、前記観察面以外の対向関係にある前記バルク断面試料の二つの面を挟む試料押さえと、を有し、前記ホルダ本体の前記バルク試料を挟む側面と隣接する面には、ユーセントリック条件を満足する高さ目安面が形成されていることを特徴とするバルク断面試料ホルダである。
【０００６】
バルク断面試料の観察面以外の対向関係にある二つの面が、ホルダ本体の側面と、試料押さえの壁部とで挟まれ保持される。
請求項２に係る発明は、前記試料押さえは、挟まれた前記バルク断面試料の底面と対向する面を有することを特徴とする請求項１記載のバルク断面試料ホルダである。
【０００７】
請求項３に係る発明は、前記ホルダ本体は、照射される電子に対して傾斜可能なように構成され、前記バルク断面試料は、前記ホルダ本体の前記傾斜の軸に沿う側面に設けられることを特徴とする請求項１又は２記載のバルク断面試料ホルダである。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１から５に係る発明によれば、ホルダ本体と、該ホルダ本体の側面と対向し弾性を有する壁部を有し、該壁部と前記ホルダ本体の側面とで、前記観察面以外の対向関係にある前記バルク断面試料の二つの面を挟みむ試料押さえとを有することで、バルク断面試料の観察面以外の対向関係にある二つの面が、ホルダ本体の側面と、試料押さえの壁部とで挟まれ保持される。
【０００９】
更に、前記ホルダ本体の前記バルク試料を挟む側面と隣接する面には、ユーセントリック条件を満足する高さ目安面が形成されていることにより、バルク断面試料の観察面を高さ目安面と同じ高さに合わせることで、容易に試料の高さを設定できる。
【００１０】
ユーセントリック条件を満足する高さ目安面が形成されたホルダ本体と、試料押さえだけでよいので、コストダウンが図れる。
請求項２に係る発明によれば、前記試料押さえは、挟まれた前記バルク断面試料の底面と対向する面を有することにより、バルク断面試料が落下した場合、挟まれた前記バルク断面試料の底面と対向する面が落下防止となる。
【００１１】
請求項３に係る発明によれば、前記ホルダ本体は、照射される電子に対して傾斜可能なように構成され、前記バルク断面試料は、前記ホルダ本体の前記傾斜の軸に沿う側面に設けられることにより、ホルダ本体を傾斜の軸を中心に９０度回転させることで、バルク断面試料の観察面と、側面とを観察することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
（第１形態例）
図１、図２を用いて、第１形態例を説明する。図１は第１形態例のバルク断面試料ホルダの分解斜視図、図２は図１のバルク断面試料ホルダと試料ホルダロッドとの斜視図である。
【００１３】
図１において、バルク断面試料ホルダ１は、板状のホルダ本体３と、ホルダ本体３に設けられる試料押さえ７とからなっている。
ホルダ本体３には、先端面３ａから側面と略平行に基端面側に向かって延びるスリット９、スリット１１が形成されている。一方、試料押さえ５は、薄板材を折り曲げ加工して形成され、底部１３と、底部１３の側部から折曲され、その高さ（ｈ：図１参照）がホルダ本体３の高さ（Ｈ：図１参照）以上に設定され、ホルダ本体３のスリット９、スリット１１に挿入される側壁部１５、側壁部１７と、ホルダ本体３の先端面と対向する壁部１９とからなっている。尚、側壁部１５、側壁部１７の厚み（ｔ：図１参照）は、側壁部１５、側壁部１７をスリット９、スリット１１に挿入した際に、その位置を保持する程度の摩擦力を発生するように、スリット９、スリット１１の幅（Ｔ：図１参照）と同じか若干厚くなるように設定した。更に、側壁部１５、側壁部１７には、その上端部から外側に向かって折曲され、ホルダ本体３の上面３ｂに当接する折曲部２１、折曲部２３が形成されている。これら折曲部２１、折曲部２３には、ピンセット等が係合可能な穴２１ａ、穴２３ａが形成されている。また、壁部１９は薄板材を折り曲げて形成されるものなので、壁部１９は折り曲げ線（底部１３と壁部１９との稜線）を支点として、弾性変形可能となっている。更に、本形態例では壁部１９には、切り欠き１９ａが形成されている。
【００１４】
ホルダ本体３の上面３ｂで、スリット９、スリット１１に挟まれた部分には、先端面にも開口を有する凹部４１が形成され、その底面はユーセントリック条件を満足する高さ目安面４３となっている。ホルダ本体３の先端面３ａの一方の端部側には、Ｘ線検出用の切り欠き４５が形成されている。
【００１５】
また、図２に示すように、ホルダ本体３には、試料移動装置の試料ホルダロッド５１の前端面に形成された挿入穴５３に着脱可能な棒部５５が形成されている。
次に、上記構成の試料ホルダのバルク断面試料のセット方法を説明する。
（１）ホルダ本体３のスリット９、スリット１１に試料押さえ５の側壁部１５、側壁部１７を挿入し、ホルダ本体３の先端面３ａと試料押さえ５の壁部１９との間隔をバルク断面試料３１の厚さより若干大きくした状態とする。この際、ピンセットの先端を試料押さえ５の穴２１ａ、穴２３ａに引っ掛けて試料押さえ５を移動させると、作業が楽である。
（２）バルク断面試料３１の観察面（断面）３３を上にした状態で、バルク断面試料３１を、ホルダ本体３の先端面３ａと試料押さえ５の壁部１９との間に挿入する。
【００１６】
このとき、バルク断面試料３１の観察面３３をホルダ本体３の凹部４１の高さ目安面４３にあわせておく。壁部１９に切り欠き１９ａを形成したので、この切り欠き１９ａから見て、容易にあわせることが可能である。
（３）試料押さえ５をその壁部１９がホルダ本体３の先端面３ａに向かう方向に向かって押す。これにより、バルク断面試料３１の観察面３３以外の対向関係にある二つの面３５、３７が、ホルダ本体３の側面である先端面３ａと、試料押さえ５の壁部１９とで挟まれる。このとき、試料押さえ５の壁部１９は弾性変形し、その弾性復元力によりバルク断面試料３１をホルダ本体３の先端面３ａに押さえつけるので、バルク断面試料３１は、保持される。
（４）バルク断面試料ホルダ１を電子顕微鏡に設けられた試料移動装置の試料ホルダロッド５１にセットする。
このような構成によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）ホルダ本体３と、ホルダ本体３の先端面（側面）３ａと対向し弾性を有する壁部１９を有し、壁部１９とホルダ本体３の先端面３ａとで、観察面３３以外の対向関係にあるバルク断面試料３１の二つの面３５、３７を挟みむ試料押さえ５とを有することで、バルク断面試料３１の観察面３３以外の対向関係にある二つの面３５、３７が、ホルダ本体３の先端面３ａと、試料押さえ５の壁部１９とで挟まれ保持される。
【００１７】
更に、ホルダ本体３のバルク断面試料３１を挟む先端面３ａと隣接する面（本形態例では上面３ｂ）には、ユーセントリック条件を満足する高さ目安面４３が形成されていることにより、バルク断面試料３１の観察面３３を高さ目安面４３と同じ高さに合わせることで、容易に試料の高さを設定できる。
【００１８】
ユーセントリック条件を満足する高さ目安面４３が形成されたホルダ本体３と、試料押さえ５だけでよいので、コストダウンが図れる。
（２）試料押さえ５は、挟まれたバルク断面試料３１の底面と対向する面（本形態例では底部１３）を有することにより、バルク断面試料３１が落下した場合、底部１３が落下防止となる。
（３）ホルダ本体３には、Ｘ線検出用の切り欠き４５が形成されていることにより、バルク断面試料３１から発生し、切り欠き４５を介してバルク断面試料ホルダ１の外部に出たＸ線を検出することにより、バルク断面試料３１の定性定量分析を行なうことができる。
（４）ホルダ本体３は、試料移動装置の試料ホルダロッド５１に対して着脱可能であることにより、バルク断面試料ホルダ１のコストが安くなる。
（第２形態例）
図３、図４を用いて第２形態例を説明する。図３は第２形態例のバルク試料ホルダの斜視図、図４は図３のホルダ本体と試料押さえとを分離した状態で、上方向から見た図である。
【００１９】
これらの図に示すように、本形態例のバルク断面試料ホルダ７１は、第１形態例と同様に、ホルダ本体７３と試料押さえ７５とからなっている。第１形態例のバルク断面試料ホルダと本形態例のバルク断面試料ホルダとの相違点は、第１形態例の試料押さえがホルダ本体の先端面に設けられるのに対し、本形態例のバルク断面試料ホルダ７１はホルダ本体７３の側面に設けられる点である。
【００２０】
本形態例のホルダ本体７３は、一方の側面７３ａから他方の側面７３ｂに向かってスリット７９、スリット８１が形成されている。そして、第１形態例と同様に、ホルダ本体７３の上面７３ｃで、スリット７９、スリット８１に挟まれた部分には、側面７３ａにも開口を有する凹部１１１が形成され、その底面はユーセントリック条件を満足する高さ目安面１１３となっている。
【００２１】
一方、試料押さえ７５は、薄板材を折り曲げ加工して形成され、底部８３と、底部８３の側部から折曲され、その高さがホルダ本体７３の高さ以上に設定され、ホルダ本体７３のスリット７９、スリット８１に挿入される側壁部８５、側壁部８７と、ホルダ本体７３の側面７３ａと対向する壁部８９とからなっている。
【００２２】
更に、側壁部８５、側壁部８７には、その上端部から折曲され、ホルダ本体７３の上面７３ｃに当接する折曲部９１、折曲部９３が形成されている。これら折曲部９１、折曲部９３には、ピンセット等が係合可能な穴９１ａ、穴９３ａが形成されている。壁部８９は薄板材を折り曲げて形成されるものなので、壁部８９は折り曲げ線（底部８３と壁部８９との稜線）を支点として、弾性変形可能となっている。更に、本形態例では壁部８９には、切り欠き８９ａが形成されている。
【００２３】
また、ホルダ本体７３には、試料移動装置の試料ホルダロッドの前端面に形成された挿入穴に着脱可能な棒部１２５が形成されている。そして、ホルダ本体７３は、図３に示すように、棒部１２５の長手方向の軸（傾斜軸）Ｏを中心に回転可能となっている。すなわち、ホルダ本体７３は、照射される電子に対して傾斜可能なように構成されている。
【００２４】
次に、上記構成の試料ホルダのバルク断面試料のセット方法を説明する。
（１）ホルダ本体７３のスリット７９、スリット８１に試料押さえ７５の側壁部８５、側壁部８７を挿入し、ホルダ本体７３の側面７３ａと試料押さえ７５の壁部８９との間隔をバルク断面試料３１の厚さより若干大きくした状態とする。この際、ピンセットの先端を試料押さえ５の穴９１ａ、穴９３ａに引っ掛けて試料押さえ５を移動させると、作業が楽である。
（２）バルク断面試料３１の観察面（断面）３３を上にした状態で、バルク断面試料３１を、ホルダ本体７３の側面７３ａと試料押さえ５の壁部１９との間に挿入する。
【００２５】
このとき、バルク断面試料３１の観察面３３をホルダ本体７３の凹部１１１の高さ目安面１４３にあわせておく。壁部８９に切り欠き８９ａを形成したので、この切り欠き８９ａから見て、容易にあわせることが可能である。
（３）試料押さえ７５をその壁部８９がホルダ本体７３の側面７３ａに向かう方向に向かって押す。これにより、バルク断面試料３１の観察面３３以外の対向関係にある二つの面３５、３７が、ホルダ本体７３の側面７３ａと、試料押さえ７５の壁部８９とで挟まれる。このとき、試料押さえ７５の壁部８９は弾性変形し、その弾性復元力によりバルク断面試料３１をホルダ本体７３の側面７３ａに押さえつけるので、バルク断面試料３１は、保持される。
（４）バルク断面試料ホルダ７１を電子顕微鏡に設けられた試料移動装置の試料ホルダロッドにセットする。
このような構成によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）ホルダ本体７３と、ホルダ本体７３の側面７３ａと対向し弾性を有する壁部８９を有し、壁部８９とホルダ本体７３の側面７３ａとで、観察面３３以外の対向関係にあるバルク断面試料３１の二つの面３５、３７を挟みむ試料押さえ７５とを有することで、バルク断面試料３１の観察面３３以外の対向関係にある二つの面３５、３７が、ホルダ本体７３の側面７３ａと、試料押さえ７５の壁部８９とで挟まれ保持される。
【００２６】
更に、ホルダ本体７３のバルク断面試料３１を挟む側面７３ａと隣接する面（本形態例では上面７３ｃ）には、ユーセントリック条件を満足する高さ目安面１１３が形成されていることにより、バルク断面試料３１の観察面３３を高さ目安面４３と同じ高さに合わせることで、容易に試料の高さを設定できる。
【００２７】
ユーセントリック条件を満足する高さ目安面１１３が形成されたホルダ本体７３と、試料押さえ７５だけでよいので、コストダウンが図れる。
（２）ホルダ本体７３を傾斜軸Ｏを中心に９０度回転すると、バルク断面試料３１の側面３５はユーセントリック条件を満足する高さにある。よって、試料押さえ７５の壁部８９の切り欠き８９ａを介して、バルク断面試料３１の側面３５に電子を照射すれば、バルク断面試料３１の側面３５の観察も可能となる。
（３）試料押さえ７５は、挟まれたバルク断面試料３１の底面と対向する面（本形態例では底部８３）を有することにより、バルク断面試料３１が落下した場合、底部８３が落下防止となる。
（４）ホルダ本体７３は、試料移動装置の試料ホルダロッドに対して着脱可能であることにより、バルク断面試料ホルダ７１のコストが安くなる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】第１形態例のバルク断面試料ホルダの分解斜視図である。
【図２】図１のバルク断面試料ホルダと試料ホルダロッドとの斜視図である。
【図３】第２形態例のバルク試料ホルダの斜視図である。
【図４】図３のホルダ本体と試料押さえとを分離した状態で、上方向から見た図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  バルク断面試料ホルダ
３  ホルダ本体
３ａ  先端面
７  試料押さえ
１９  壁部
３１  バルク断面試料
３３  観察面
３５、３７  面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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