(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向をＸ軸方向とし、このＸ軸方向に変位可能な検出錘（１２、２２）を有すると共に前記Ｘ軸方向に並べられた一対の角速度検出部（１０、２０）と、
前記Ｘ軸方向に対して垂直なＹ軸方向に振動するものであり、前記Ｘ軸方向に前記一対の角速度検出部（１０、２０）を挟んだ一対の外側駆動錘（３０、３１）と、
前記一対の角速度検出部（１０、２０）および前記一対の外側駆動錘（３０、３１）を前記Ｙ軸方向に挟むと共に前記一対の角速度検出部（１０、２０）および前記一対の外側駆動錘（３０、３１）を前記Ｙ軸方向に変位可能に連結し、前記外側駆動錘（３０、３１）の振動に伴って前記Ｙ軸方向に対して波状に変形すると共に前記Ｙ軸方向に前記一対の角速度検出部（１０、２０）を互いに逆位相で駆動振動させる一対の駆動フレーム（４０、４１）と、を備え、
前記Ｙ軸方向に振動する前記一対の検出錘（１２、２２）に対して前記Ｘ軸方向および前記Ｙ軸方向に垂直なＺ軸方向を中心とした角速度が作用したときに前記一対の検出錘（１２、２２）が前記Ｘ軸方向に変位する変位量を角速度として検出するように構成された角速度センサであって、
前記一対の角速度検出部（１０、２０）、前記一対の外側駆動錘（３０、３１）、および前記一対の駆動フレーム（４０、４１）を囲むと共に、前記一対の駆動フレーム（４０、４１）よりも剛性の高い外枠（５０）を備えており、
前記一対の駆動フレーム（４０、４１）は、前記波状に変形する一対の駆動フレーム（４０、４１）のうちの腹（４２）に対応する部分に連結されると共に前記Ｙ軸方向にのみ変位する第１バネ（７０）を介して前記一対の角速度検出部（１０、２０）および前記外枠（５０）に支持され、
前記外枠（５０）は、前記Ｘ軸方向にのみ変位する第２バネ（７１）を介してアンカー（６０）に支持されていることを特徴とする角速度センサ。
【請求項２】
前記一対の駆動フレーム（４０、４１）は、波状に変形することで前記腹（４２）を複数形成し、
前記複数の腹（４２）における１つの腹（４２）に対して１つの第１バネ（７０）が連結されていることを特徴とする請求項１に記載の角速度センサ。
【請求項３】
前記一対の外側駆動錘（３０、３１）は、前記第１バネ（７０）を介して前記一対の駆動フレーム（４０、４１）に支持されていることを特徴とする請求項１または２に記載の角速度センサ。
【請求項４】
前記外枠（５０）は、当該外枠（５０）に対して前記Ｘ軸方向の加速度が作用したときに、前記外枠（５０）が前記Ｘ軸方向に変位する変位量に基づいて加速度を検出するように構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、角速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、駆動錘としての外側質量部が検出錘としての中央質量部の周囲に位置する構造を備えた角速度センサが特許文献１で提案されている。
【０００３】
具体的には、Ｘ軸方向に延設された２つの外側質量部はＹ軸方向に延設された２つの外側支持梁により直接連結されており、各外側質量部と外側支持梁とで囲まれた領域内に２つの中央質量部が配置されている。各中央質量部は連結部を介して外側支持梁に支持されている。また、外側支持梁は外側支持梁の周囲に位置する延設部に腕部を介して支持されている。
【０００４】
腕部は、延設部に接続された２本の横梁と、２本の横梁を繋ぐ縦梁と、縦梁と外側支持梁とを繋ぐ固着部とにより構成されている。そして、外側質量部が延びるＸ軸方向に中央質量部が振動すると、腕部の縦梁がＳ字状をなして撓み変形する。一方、外側支持梁が延びるＹ軸方向に中央質量部が振動すると、腕部の各横梁がＹ軸方向に撓み変形する。このように、腕部はＸ軸方向とＹ軸方向との２つの自由度をもった回転バネとして機能する。
【０００５】
また、２つの中央質量部が互いに逆位相でＸ軸方向に振動すると、外側支持梁はＸ軸方向に対してＳ字状に撓み変形する。そして、腕部の固着部はＳ字状に変形する外側支持梁の節に連結されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３８７０８９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来の技術では、外側支持梁と延設部とを繋ぐ腕部がＸ軸方向とＹ軸方向との２つの方向に対してそれぞれ自由度を持っているので、一方の軸方向の振動が他方の軸方向の振動に影響を及ぼしてしまう。このため、角速度センサの出力は多軸出力になってしまい、出力が安定しないという問題がある。
【０００８】
本発明は上記点に鑑み、出力変動の影響を低減し、出力安定性を向上させることができる角速度センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、一方向をＸ軸方向とし、このＸ軸方向に変位可能な検出錘（１２、２２）を有すると共にＸ軸方向に並べられた一対の角速度検出部（１０、２０）と、Ｘ軸方向に対して垂直なＹ軸方向に振動するものであり、Ｘ軸方向に一対の角速度検出部（１０、２０）を挟んだ一対の外側駆動錘（３０、３１）と、一対の角速度検出部（１０、２０）および一対の外側駆動錘（３０、３１）をＹ軸方向に挟むと共に一対の角速度検出部（１０、２０）および一対の外側駆動錘（３０、３１）をＹ軸方向に変位可能に連結し、外側駆動錘（３０、３１）の振動に伴ってＹ軸方向に対して波状に変形すると共にＹ軸方向に一対の角速度検出部（１０、２０）を互いに逆位相で駆動振動させる一対の駆動フレーム（４０、４１）と、を備え、Ｙ軸方向に振動する一対の検出錘（１２、２２）に対してＸ軸方向およびＹ軸方向に垂直なＺ軸方向を中心とした角速度が作用したときに一対の検出錘（１２、２２）がＸ軸方向に変位する変位量を角速度として検出するように構成されている。
【００１０】
さらに、一対の角速度検出部（１０、２０）、一対の外側駆動錘（３０、３１）、および一対の駆動フレーム（４０、４１）を囲むと共に、一対の駆動フレーム（４０、４１）よりも剛性の高い外枠（５０）を備えている。
【００１１】
そして、一対の駆動フレーム（４０、４１）は、波状に変形する一対の駆動フレーム（４０、４１）のうちの腹（４２）に対応する部分に連結されると共にＹ軸方向にのみ変位する第１バネ（７０）を介して一対の角速度検出部（１０、２０）および外枠（５０）に支持され、外枠（５０）は、Ｘ軸方向にのみ変位する第２バネ（７１）を介してアンカー（６０）に支持されていることを特徴とする。
【００１２】
このように、一対の駆動フレーム（４０、４１）は、駆動方向であるＹ軸方向に１自由度を持った第１バネ（７０）により外枠（５０）に支持され、外枠（５０）は検出方向であるＸ軸方向に１自由度を持った第２バネ（７１）によってアンカー（６０）に支持されているので、外枠（５０）はＸ軸方向にのみ変位し、一対の駆動フレーム（４０、４１）はＹ軸方向にのみ変位する。このため、駆動フレーム（４０、４１）の駆動と角速度検出部（１０、２０）の検出とが互いに影響しない。すなわち、Ｘ軸方向においてはＹ軸方向の影響を分離することができ、Ｙ軸方向においてはＸ軸方向の影響を分離することができる。したがって、角速度センサの出力に他軸の影響が含まれないので、角速度センサの出力変動の影響を低減することができ、角速度センサの出力安定性を向上させることができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明では、一対の駆動フレーム（４０、４１）は、波状に変形することで腹（４２）を複数形成し、複数の腹（４２）における１つの腹（４２）に対して１つの第１バネ（７０）が連結されていることを特徴とする。
【００１４】
これによると、１つの腹（４２）の振動は１つの第１バネ（７０）によって変動するので、１つの腹（４２）に２つの第１バネ（７０）が連結された場合よりも駆動フレーム（４０、４１）全体の振動のバランスを取りやすくすることができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明では、一対の外側駆動錘（３０、３１）は、第１バネ（７０）を介して一対の駆動フレーム（４０、４１）に支持されていることを特徴とする。これにより、外側駆動錘（３０、３１）をＹ軸方向に変位させやすくすることができる。
【００１６】
請求項４に記載の発明では、外枠（５０）は、当該外枠（５０）に対してＸ軸方向の加速度が作用したときに、外枠（５０）がＸ軸方向に変位する変位量に基づいて加速度を検出するように構成されていることを特徴とする。
【００１７】
このように、外枠（５０）を加速度センサの一部として用いることができる。これにより、加速度センサとしての機能を備えた角速度センサを実現することができる。
【００１８】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る角速度センサの平面模式図である。
【図２】１自由度を持った第１、第２バネの一例を示した図である。
【図３】（ａ）は角速度検出部を駆動振動させたときの角速度センサの平面模式図であり、（ｂ）は検出錘にコリオリ力が作用したときの角速度センサの平面模式図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る角速度センサにおいて、駆動フレームと第１バネとの連結関係を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【００２１】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について図を参照して説明する。以下で示される角速度センサは、物理量として角速度を検出するためのセンサであり、例えば車両の角速度の検出に用いられるものである。もちろん、角速度センサは車両用に限定されるものではない。
【００２２】
図１は、本実施形態に係る角速度センサの平面模式図である。この図に示されるように、角速度センサは、一対の角速度検出部１０、２０と、一対の外側駆動錘３０、３１と、一対の駆動フレーム４０、４１と、外枠５０と、複数のアンカー６０と、を備えて構成されている。
【００２３】
これらの構造は、支持基板と半導体層とで犠牲層を挟み込んだＳＯＩ基板のうちの半導体層に形成されている。なお、半導体層の一面の面方向のうちの任意の方向をＸ軸方向とし、半導体層の面方向においてＸ軸方向に垂直な方向をＹ軸方向とし、さらにＸ軸方向およびＹ軸方向に垂直な方向をＺ軸方向と定義する。
【００２４】
角速度検出部１０、２０は角速度に伴うコリオリ力を検出するためのセンシング部であり、振動子である。一対の角速度検出部１０、２０はＸ軸方向に沿って並べられている。角速度検出部１０、２０の構造はまったく同じ構造になっており、角速度検出部１０、２０は内側駆動錘１１、２１と検出錘１２、２２とを備えている。
【００２５】
内側駆動錘１１、２１は、検出錘１２、２２を駆動方向（Ｙ軸方向）に振動させるための錘である。内側駆動錘１１、２１は矩形枠状をなしており、矩形枠状の内側駆動錘１１、２１の内側に検出錘１２、２２が配置されている。
【００２６】
検出錘１２、２２は、角速度センサにＺ軸方向を中心とした角速度が印加されたときにコリオリ力を受けて変位する錘である。検出錘１２、２２は、検出バネ１３、２３を介して内側駆動錘１１、２１に支持されていると共に、当該コリオリ力を受けたときにＸ軸方向に変位可能になっている。
【００２７】
また、検出錘１２、２２には図示しない検出可動電極が櫛歯状に設けられている。そして、検出可動電極は検出錘１２、２２の周囲に設けられた検出固定電極に対向配置され、検出可動電極が検出固定電極に対して変位可能となっている。これにより、検出錘１２、２２が当該コリオリ力を受けたときにＸ軸方向に変位したときの検出可動電極と検出固定電極との間の容量変化量に基づいて角速度が検出される。
【００２８】
外側駆動錘３０、３１は、駆動フレーム４０、４１を介して角速度検出部１０、２０を逆位相でＹ軸方向に駆動振動させるための錘である。外側駆動錘３０、３１はＹ軸方向に延びる棒状のものである。一対の外側駆動錘３０、３１は、Ｘ軸方向に一対の角速度検出部１０、２０を挟んでいる。
【００２９】
外側駆動錘３０、３１には図示しない駆動可動電極が櫛歯状に設けられている。また、外側駆動錘３０、３１の周囲に検出固定電極が設けられており、駆動可動電極と検出固定電極とが対向配置され、駆動可動電極が駆動固定電極に対してＹ軸方向に変位可能となっている。後で詳しく説明するが、各電極間に所定の周波数の電圧を加えることで外側駆動錘３０、３１を振動させることができる。
【００３０】
駆動フレーム４０、４１は、外側駆動錘３０、３１の振動に伴って一対の角速度検出部１０、２０を互いに逆位相でＹ軸方向に駆動振動させるものである。駆動フレーム４０、４１はＸ軸方向に延びる棒状のものであり、一対の駆動フレーム４０、４１は一対の角速度検出部１０、２０および一対の外側駆動錘３０、３１をＹ軸方向に挟んでいる。また、駆動フレーム４０、４１は、外側駆動錘３０、３１の振動に伴ってＹ軸方向に対して波状に変形するものである。つまり、駆動フレーム４０、４１は波打つものである。
【００３１】
このような一対の駆動フレーム４０、４１は、一対の角速度検出部１０、２０および一対の外側駆動錘３０、３１をＸ軸方向に変位可能に連結している。具体的には、駆動フレーム４０、４１は波状に変形すると腹４２を複数形成する。そして、駆動フレーム４０、４１において、波状に変形する一対の駆動フレーム４０、４１のうちの腹４２に対応する部分に、Ｙ軸方向にのみ変位する第１バネ７０がそれぞれ連結されている。この第１バネ７０を介して駆動フレーム４０、４１が角速度検出部１０、２０および外側駆動錘３０、３１に支持されている。
【００３２】
本実施形態では、駆動フレーム４０、４１に形成される複数の腹４２のうちの１つの腹４２に対して２つの第１バネ７０が連結されている。２つの第１バネ７０の１つは角速度検出部１０、２０または外側駆動錘３０、３１に連結され、２つの第１バネ７０の１つは外枠５０に連結されている。また、駆動フレーム４０、４１に形成される複数の腹４２のうちの１つの腹４２と隣の腹４２とに第１バネ７０を介して角速度検出部１０、２０がそれぞれ連結されている。
【００３３】
外枠５０は、一対の角速度検出部１０、２０および一対の駆動フレーム４０、４１を囲んだ矩形枠状のものである。外枠５０は駆動フレーム４０、４１のように変形しないように駆動フレーム４０、４１よりも硬く形成されている。すなわち、外枠５０は一対の駆動フレーム４０、４１よりも剛性の高いものである。
【００３４】
また、外枠５０はＸ軸方向に変位する第２バネ７１を介してアンカー６０に支持されている。これにより、外枠５０はＸ軸方向にのみ変位可能になっている。
【００３５】
外枠５０には、Ｙ軸方向に変位する第１バネ７０とＸ軸方向に変位する第２バネ７１とが連結されるが、角速度検出部１０、２０を振動させるための第１バネ７０と第２バネ７１とが外枠５０の内側と外側とに１自由度ずつに分離されている。このため、角速度検出部１０、２０は、Ｘ軸方向においてはＹ軸方向の影響を受けないようにすることができ、Ｙ軸方向においてはＸ軸方向の影響を受けないようにすることができる。
【００３６】
アンカー６０は、第２バネ７１で外枠５０を保持する固定部である。本実施形態ではアンカー６０は外枠５０の各角部の周囲に４つ設けられ、４つのアンカー６０で第２バネ７１を介して外枠５０を支持している。
【００３７】
以上の構成によると、角速度検出部１０、２０、駆動フレーム４０、４１、および外側駆動錘３０、３１は第１バネ７０によってＹ軸方向に変位し、外枠５０は第２バネ７１によってＸ軸方向に変位する。
【００３８】
上述のように、第１バネ７０はＹ軸方向に変位し、第２バネ７１はＸ軸方向に変位するものであり、それぞれ１自由度を持ったバネである。このような第１バネ７０および第２バネ７１の一例を図２に示す。なお、図２の各図は平面図である。
【００３９】
図２（ａ）に示される１自由度のバネの例では、４本の梁７２の一方の端部が梁７３にそれぞれ連結されており、４本の梁７２のうちの外側の２本の梁７２の他方の端部がアンカー７４に固定されている。また、４本の梁７２のうちの内側の２本の梁７２の他方の端部が振動物７５にそれぞれ連結されている。
【００４０】
振動物７５は、上述の外枠５０、駆動フレーム４０、４１、外側駆動錘３０、３１、および内側駆動錘１１、２１である。このような構成のバネにより図２（ａ）の矢印に示す方向に１自由度を持つと共に振動物７５が当該方向に変位可能になっている。
【００４１】
一方、図２（ｂ）に示される１自由度のバネの例では、２本の梁７６の一部が湾曲するようにそれぞれ折り曲げられている。そして、各梁７６の一方の端部がアンカー７７にそれぞれ固定され、他方の端部が振動物７５にそれぞれ連結されている。このようなバネにより、図２（ｂ）の矢印に示す方向に振動物７５が変位可能になっている。
【００４２】
第１バネ７０および第２バネ７１として、図２に示されるバネを用いることができる。もちろん、図２に示される１自由度のバネは一例であるので、他の構造のバネを用いても良い。以上が、本実施形態に係る角速度センサの構成である。
【００４３】
次に、上記振動型角速度センサの製造方法について説明する。まず、支持基板の上に犠牲層が形成され、この犠牲層の上に半導体層が形成されたＳＯＩ基板を用意する。また、半導体層の上にＡｌ等の金属膜を形成し、フォトリソグラフィ・エッチング工程により外部との電気的接続のためのパッドを形成する。
【００４４】
続いて、フォトリソグラフィ・エッチング工程により半導体層に角速度検出部１０、２０、駆動フレーム４０、４１、外側駆動錘３０、３１、外枠５０、アンカー６０、第１バネ７０、および第２バネ７１のパターンを形成する。
【００４５】
そして、半導体層に形成されたパターンのうち、角速度検出部１０、２０の内側駆動錘１１、２１、検出錘１２、２２、検出バネ１３、２３、図示しない検出可動電極、駆動フレーム４０、４１、外側駆動錘３０、３１、図示しない駆動可動電極、および外枠５０の下部の犠牲層をＨＦ（フッ化水素）の気相または液相のエッチング媒体で除去する。同様に、図２（ａ）の梁７２、７３や図２（ｂ）の梁７６等の第１バネ７０および第２バネ７１の可動部分の下部の犠牲層を除去する。
【００４６】
これにより、内側駆動錘１１、２１、検出錘１２、２２、検出バネ１３、２３、図示しない検出可動電極、駆動フレーム４０、４１、外側駆動錘３０、３１、図示しない駆動可動電極、外枠５０、第１バネ７０の可動部分、第２バネ７１の可動部分を支持基板からリリースする。こうして、角速度センサが完成する。
【００４７】
なお、上記では１つの角速度センサの製造方法について説明したが、実際には１枚のウェハに多数の角速度センサを形成し、最終的にウェハをダイシングカットすることにより、個々のチップに分割する方法が採用される。
【００４８】
上記のようにして製造された角速度センサの角速度検出方法について、図３を参照して説明する。角速度センサでは、外側駆動錘３０、３１および駆動フレーム４０、４１による角速度検出部１０、２０の駆動振動中に角速度が発生したとき、検出錘１２、２２に対して作用するコリオリ力によって検出固定電極と検出可動電極との間隔が変化するので、この電極間の容量変化量に基づいて角速度が検出される。
【００４９】
具体的には、駆動固定電極と駆動可動電極との間に電位差を与えると外側駆動錘３０、３１はＹ軸方向に変位する。したがって、駆動固定電極に外側駆動錘３０、３１を振動させたい周波数（通常は各角速度検出部１０、２０の固有振動数）の交流電圧を加えるとその周波数で各外側駆動錘３０、３１は振動を始める。外側駆動錘３０、３１はＹ軸方向に１自由度を持った第１バネ７０を介して駆動フレーム４０、４１に連結されているので、外側駆動錘３０、３１をＹ軸方向に振動させやすくすることができる。
【００５０】
そして、一方の外側駆動錘３０と他方の外側駆動錘３１とが互いに逆位相（位相差１８０°）となるように駆動方向（Ｙ軸方向）に振動させる。これにより、駆動フレーム４０、４１は、外側駆動錘３０、３１の振動に伴って、Ｙ軸方向に対して波状に変形する。
【００５１】
上述のように、駆動フレーム４０、４１に形成される複数の腹４２において１つの腹４２と隣の腹４２とに角速度検出部１０、２０が連結されているため、駆動フレーム４０、４１が波状に変形することで、一方の角速度検出部１０の内側駆動錘１１と他方の角速度検出部２０の内側駆動錘２１とが互いに逆位相（位相差１８０°）となるように駆動方向（Ｙ軸方向）に振動する。これにより、図３（ａ）に示されるように、検出錘１２、２２が内側駆動錘１１、２１と共にＹ軸方向に逆位相で振動する。
【００５２】
そして、検出錘１２、２２がＹ軸方向に振動しているときに、Ｘ軸およびＹ軸に垂直なＺ軸を中心とする角速度が印加された場合、振動（運動）しているＹ軸方向とは直角のＸ軸方向にコリオリ力が発生する。その力によって、図３（ｂ）に示されるように、検出錘１２、２２は内側駆動錘１１、２１に対して相対的にＸ軸方向へ変位する。各検出錘１２、２２は互いに逆位相で振動しているので、各検出錘１２、２２の各検出可動電極はＺ軸周りの角速度が加わるときにコリオリ力によって互いに逆方向に変位する。
【００５３】
各検出錘１２、２２の変位量は、検出可動電極と検出固定電極との距離が変化することにより生じる容量の変化を検出することで測定する。すなわち、一対の検出錘１２、２２に角速度が作用したときに一対の検出錘１２、２２がコリオリ力によってＸ軸方向にそれぞれ変位したときの検出可動電極と検出固定電極との間の容量変化量に基づいて角速度を検出する。このようにして角速度を検出することができる。
【００５４】
以上説明したように、本実施形態では、駆動方向であるＹ軸方向に１自由度を持った第１バネ７０と、検出方向であるＸ軸方向に１自由度を持った第２バネ７１と、をそれぞれ外枠５０に連結したことが特徴となっている。
【００５５】
これによると、角速度検出部１０、２０の駆動方向と検出方向とが外枠５０を介して１自由度ずつに分離されるので、角速度検出部１０、２０の駆動と角速度の検出とが互いに影響しないようにすることができる。すなわち、角速度検出部１０、２０の出力に対して他軸成分である角速度検出部１０、２０の駆動成分が含まれないようにすることができる。したがって、角速度センサにおいて他軸成分が原因の出力変動の影響を低減することができ、ひいては角速度センサの出力安定性を向上させることができる。
【００５６】
（第２実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分について説明する。第１実施形態では、波状に変形する駆動フレーム４０、４１の腹４２となる部分において、１つの腹４２に複数の第１バネ７０が連結されていたが、本実施形態では、１つの腹４２に１つの第１バネ７０が連結されていることが特徴となっている。
【００５７】
図４は、本実施形態に係る駆動フレーム４０、４１と第１バネ７０との連結関係を示した図である。外側駆動錘３０、２の振動に伴って、図４に示されるように駆動フレーム４０、４１は波状に変形し、腹４２を複数形成する。そして、第１バネ７０は、上述のように駆動フレーム４０、４１に対して複数連結されているが、本実施形態では複数の腹４２における１つの腹４２に対して１つの第１バネ７０が連結されている。
【００５８】
これにより、１つの腹４２の振動は１つの第１バネ７０によって変動するので、１つの腹４２に２つの第１バネ７０が連結された場合よりもバネ形成時のバネ定数のばらつきを低減することができ、駆動フレーム４０、４１全体の振動のバランスを取りやすくすることができる。
【００５９】
もちろん、角速度検出部１０、２０をＹ軸方向に逆位相で駆動振動をさせるため、１つの腹４２に対して１つの第１バネ７０を連結する場合には、１つの腹４２とこの腹４２から３つ離れた腹４２に第１バネ７０を介してそれぞれ角速度検出部１０、２０を支持すれば良い。また、第１バネ７０が連結されない腹４２が存在していても良い。
【００６０】
（他の実施形態）
上記各実施形態で示された構造は一例であり、上記で示した構造に限定されることなく、本発明の特徴を含んだ他の構造とすることもできる。例えば、外枠５０を利用して加速度を検出することもできる。
【００６１】
外枠５０は第２バネ７１によってＸ軸方向に変位可能であるので、外枠５０のうちＸ軸方向に沿った部分にＹ軸方向に突出する図示しない加速度検出用の検出可動電極を櫛歯状に設ける。また、検出固定電極に対向配置させた図示しない加速度検出用の検出固定電極を設ける。これにより、検出可動電極が検出固定電極に対して変位可能になっている。そして、外枠５０にＸ軸方向の加速度が印加されると、検出可動電極が検出固定電極に対して変位するので、検出可動電極と検出固定電極との間の容量変化量に基づいて加速度が検出される。このように、外枠５０に加速度が作用したときに、外枠５０がＸ軸方向に変位する変位量に基づいて加速度を検出することができ、加速度センサとしての機能を備えた角速度センサを実現することができる。
【符号の説明】
【００６２】
１０、２０  角速度検出部
１２、２２  検出錘
３０、３１  外側駆動錘
４０、４１  駆動フレーム
４２        腹
５０        外枠
６０        アンカー
７０        第１バネ
７１        第２バネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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