(57)【要約】【課題】被駆動部材に十分に高い強度で固定されることができる微動アクチュエータを提供することを目的とする。【解決手段】微動アクチュエータ４１は、所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置５２で被駆動部材２２を受け止める第１固定部材５１を備える。第１固定部材の一端には第２固定部材５４が接続される。第２固定部材は少なくとも先端で被駆動部材を受け止める。第１固定部材の他端には第３固定部材５７が接続される。第３固定部材は少なくとも先端で被駆動部材を受け止める。第２および第３固定部材の外面には圧電素子５６、５９が固定される。圧電素子の収縮に基づき被駆動部材は中心軸ＣＲ回りで回転する。被駆動部材２２と固定部材５１、５４、５７との間で多数の接着箇所は確保されることができる。被駆動部材は微動アクチュエータに強固に固定されることができる。【選択図】図３
2005028554.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、少なくとも先端で前記被駆動部材を受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、少なくとも先端で前記被駆動部材を受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータ。
【請求項２】
所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から相反する２方向に延び、少なくとも２点で前記被駆動部材を受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から相反する２方向に延び、少なくとも２点で前記被駆動部材を受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータ。
【請求項３】
揺動アームと、揺動アームの先端から前方に延びるヘッドサスペンションと、ヘッドスライダと、ヘッドサスペンションに固定されつつ所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置でヘッドスライダを受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、少なくとも先端でヘッドスライダを受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、少なくとも先端でヘッドスライダを受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【請求項４】
被駆動部材を受け止める支持部材と、被駆動部材および支持部材に連結されて、支持部材に対して被駆動部材の姿勢変化を引き起こす第１アクチュエータと、被駆動部材から切り離されつつ支持部材に固定され、支持部材の撓みを引き起こす第２アクチュエータとを備えることを特徴とする微小駆動装置。
【請求項５】
ジンバルばねに連続する支持部材と、支持部材の表面に受け止められるヘッドスライダと、ヘッドスライダから切り離されつつ支持部材に固定され、支持部材の撓みを引き起こすアクチュエータとを備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、任意の表面で支持部材に受け止められる被駆動部材に、その表面を貫通する中心軸回りで回転駆動力を付与する微動アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特開２００３−１２３４１６号公報に開示されるように、ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）でヘッドアセンブリに組み込まれる微動アクチュエータは広く知られる。微動アクチュエータは例えばヘッドサスペンションとヘッドスライダとの間に組み込まれる。微動アクチュエータの働きで、ヘッドスライダはヘッドサスペンション上で任意の中心軸回りに回転することができる。こうした回転に基づきヘッドスライダ上の電磁変換素子は高い精度で磁気ディスク上の記録トラックに位置決めされることができる。
【特許文献１】特開２００３−１２３４１６号公報
【特許文献２】特開２００２−７４８７０号公報
【特許文献３】国際公開第ＷＯ００／３００８１号パンフレット
【特許文献４】特開２０００−３４８３２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
こういった微動アクチュエータの場合には、ヘッドスライダとの接着面積が著しく制限されてしまう。微動アクチュエータとヘッドスライダとの接着強度は低下する。こういった接着強度が十分に高められなければ、外部からＨＤＤに大きな衝撃が加わった際にヘッドスライダは微動アクチュエータから分離してしまう。しかも、前述のように微動アクチュエータの働きでヘッドスライダが中心軸回りに回転すると、ヘッドスライダにはしばしば予想もしない姿勢変化が引き起こされる。
【０００４】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、被駆動部材に十分に高い強度で固定されることができる微動アクチュエータを提供することを目的とする。また、本発明は、被駆動部材の姿勢を安定化させることができる微小駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、第１発明によれば、所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、少なくとも先端で前記被駆動部材を受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、少なくとも先端で前記被駆動部材を受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータが提供される。
【０００６】
こういった微動アクチュエータでは、例えば第１圧電素子の収縮に基づき第２固定部材の先端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。同様に、第２圧電素子の収縮に基づき第３固定部材の先端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。こうして所定の中心軸回りに偶力は生み出される。被駆動部材は中心軸回りで回転する。
【０００７】
この微動アクチュエータでは、被駆動部材と固定部材との間で多数の接着箇所は確保されることができる。したがって、被駆動部材は微動アクチュエータに強固に固定されることができる。被駆動部材の落下や離脱は確実に回避されることができる。第１、第２および第３固定部材は一体に形成されてもよい。
【０００８】
第２発明によれば、所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から相反する２方向に延び、少なくとも２点で前記被駆動部材を受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から相反する２方向に延び、少なくとも２点で前記被駆動部材を受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータが提供される。
【０００９】
こういった微動アクチュエータでは、例えば第１圧電素子で一方の伸縮体が収縮すると、第２固定部材の一端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。同様に、第２圧電素子で一方の伸縮体が収縮すると、第３固定部材の一端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。こうして所定の中心軸回りに偶力は生み出されることができる。被駆動部材は中心軸回りで回転する。反対に、第１圧電素子で他方の伸縮体が収縮すると、第２固定部材の他端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。第２圧電素子で他方の伸縮体が収縮すると、第３固定部材の他端は第１固定部材に向かって引き寄せられる。所定の中心軸回りに偶力は生み出されることができる。被駆動部材は中心軸回りで反対向きに回転することができる。
【００１０】
この微動アクチュエータでは、前述と同様に、被駆動部材と固定部材との間で多数の接着箇所は確保されることができる。したがって、被駆動部材は微動アクチュエータに強固に固定されることができる。被駆動部材の落下や離脱は確実に回避されることができる。第１、第２および第３固定部材は一体に形成されてもよい。
【００１１】
ここで、第１圧電素子や第２圧電素子では、伸縮体、不活性域および伸縮体は連続する１セラミック体から構成されればよい。こういったセラミック体は例えばグリーンシートから簡単に成形されることができる。ただし、セラミック体の成形にあたっていかなる製法が用いられてもよい。
【００１２】
以上のような微動アクチュエータでは、第１固定部材の長手方向に直交する横幅方向に広がる取り付け部材が第１固定部材に一体に形成されてもよい。こういった取り付け部材によれば、第１固定部材の取り付けにあたって第１固定部材上だけでなく取り付け部材上にも接着層は形成されることができる。接着層の範囲は拡大されることができる。第１固定部材は強固に固定されることができる。
【００１３】
第１固定部材上には導電性の配線パターンが形成されてもよい。こういった配線パターンは第２固定部材上の配線と第３固定部材上の配線とを相互に接続することができる。その結果、微動アクチュエータに至る配線は簡略化されることができる。その他、第１固定部材は導電性材料から構成されてもよい。
【００１４】
以上のような微動アクチュエータは例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった記録媒体駆動装置に組み込まれて利用されることができる。このとき、微動アクチュエータは、記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダとヘッドサスペンションとの間に挟み込まれればよい。微動アクチュエータの働きでヘッドスライダは微小な角度で回転することができる。例えばヘッドスライダ上の電磁変換素子は高い精度で記録トラックを追従することができる。
【００１５】
このとき、記録媒体駆動装置は、例えば、揺動アームと、揺動アームの先端から前方に延びるヘッドサスペンションと、ヘッドスライダと、ヘッドサスペンションに固定されつつ所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置でヘッドスライダを受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、少なくとも先端でヘッドスライダを受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、少なくとも先端でヘッドスライダを受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えればよい。その他、記録媒体駆動装置は、揺動アームと、揺動アームの先端から前方に延びるヘッドサスペンションと、ヘッドスライダと、ヘッドサスペンションに固定されつつ所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置でヘッドスライダを受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から相反する２方向に延び、少なくとも２点でヘッドスライダを受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から相反する２方向に延び、少なくとも２点でヘッドスライダを受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第２圧電素子とを備えてもよい。
【００１６】
こういった記録媒体駆動装置は、例えば、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、浮遊領域でヘッドサスペンションから離隔するフレキシブルプリント配線基板と、フレキシブルプリント配線基板の浮遊領域に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に挟まれるボンディング部材とをさらに備えてもよい。こうしてヘッドスライダ上のヘッド素子に電流は供給されることができる。その他、記録媒体駆動装置は、電流の供給にあたって、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、ヘッドサスペンションの表面に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に介在するワイヤボンディング部材とをさらに備えてもよい。
【００１７】
第３発明によれば、被駆動部材を受け止める支持部材と、被駆動部材および支持部材に連結されて、支持部材に対して被駆動部材の姿勢変化を引き起こす第１アクチュエータと、被駆動部材から切り離されつつ支持部材に固定され、支持部材の撓みを引き起こす第２アクチュエータとを備えることを特徴とする微小駆動装置が提供される。
【００１８】
こういった微小駆動装置では、第１アクチュエータの働きで支持部材に対して被駆動部材は駆動される。しかも、支持部材の撓みに基づき被駆動部材の姿勢は制御されることができる。こうして被駆動部材では姿勢の安定化は実現されることができる。
【００１９】
第１アクチュエータや第２アクチュエータは、例えば、被駆動部材を貫通する中心軸回りで点対称に配置される１以上の圧電素子を備えてもよい。こういった場合には、第１アクチュエータの作動時に支持部材の撓みは引き起こされやすい。第２アクチュエータはこうした支持部材の撓みを矯正することができる。被駆動部材では姿勢の安定化は実現される。
【００２０】
第４発明によれば、ジンバルばねに連続する支持部材と、支持部材の表面に受け止められるヘッドスライダと、ヘッドスライダから切り離されつつ支持部材に固定され、支持部材の撓みを引き起こすアクチュエータとを備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリが提供される。
【００２１】
こういったヘッドサスペンションセンブリでは、支持部材の撓みに基づきヘッドスライダの姿勢は制御されることができる。アクチュエータは直接にヘッドスライダに連結される必要はない。ヘッドスライダは広い面積で支持部材に接着されることができる。
【００２２】
特に、こういったヘッドサスペンションアセンブリは、ヘッドスライダおよび支持部材に連結されて、支持部材に対してヘッドスライダの姿勢変化を引き起こす圧電素子をさらに備えてもよい。こういった場合には、圧電素子の作動時に支持部材の撓みは引き起こされる。前述のアクチュエータはこうした支持部材の撓みを矯正することができる。被駆動部材では姿勢の安定化は実現される。
【００２３】
この種の圧電素子は、例えば、ヘッドスライダを貫通する中心軸回りで点対称に配置されればよい。こうした構成では、アクチュエータの作動時に支持部材の撓みは引き起こされやすい。こういった撓みは確実に矯正されることができる。ヘッドスライダでは姿勢の安定化は実現される。このとき、アクチュエータは、ヘッドアクチュエータを貫通する中心軸回りで点対称に配置される１以上の圧電素子を備えればよい。
【発明の効果】
【００２４】
以上のように本発明によれば、被駆動部材に十分に高い強度で固定されることができる微動アクチュエータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明する。
【００２６】
図１は記録媒体駆動装置の一具体例に係るハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１は、例えば平たい直方体の収容空間を区画する箱形の筐体本体１２を備える。収容空間には、記録媒体としての１枚以上の磁気ディスク１３が収容される。磁気ディスク１３はスピンドルモータ１４の回転軸に装着される。スピンドルモータ１４は例えば７２００ｒｐｍや１００００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１３を回転させることができる。筐体本体１２には、筐体本体１２との間で収容空間を密閉する蓋体すなわちカバー（図示されず）が結合される。
【００２７】
収容空間にはヘッドアクチュエータ１５がさらに収容される。このヘッドアクチュエータ１５は、垂直方向に延びる支軸１６に回転自在に連結されるアクチュエータブロック１７を備える。アクチュエータブロック１７には、支軸１６から水平方向に延びる複数のアクチュエータアーム１８が区画される。こういったアクチュエータブロック１７は例えば鋳造に基づきアルミニウムから成型されればよい。
【００２８】
個々のアクチュエータアーム１８の先端にはヘッドサスペンションアセンブリ１９が取り付けられる。このヘッドサスペンションアセンブリ１９では、アクチュエータアーム１８の先端から前方に向かってヘッドサスペンション２１が延びる。ヘッドサスペンション２１には、弾性変形に基づきアクチュエータアーム１８に対して揺動するロードビームが組み込まれる。
【００２９】
ヘッドサスペンション２１の先端には浮上ヘッドスライダ２２が支持される。浮上ヘッドスライダ２２には、ロードビームの働きで磁気ディスク１３の表面に向かって押し付け力が作用する。磁気ディスク１３が回転すると、磁気ディスク１３の表面に沿って生成される気流の働きで浮上ヘッドスライダ２２には浮力が作用する。ロードビームの押し付け力と浮力とのバランスで磁気ディスク１３の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２２は浮上し続けることができる。
【００３０】
こういった浮上ヘッドスライダ２２の浮上中にヘッドアクチュエータ１５が支軸１６回りで回転すると、浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１３の半径線に沿って移動することができる。こうした移動に基づき浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１３上の所望の記録トラックに位置決めされる。ヘッドアクチュエータ１５の回転すなわちアクチュエータアーム１８の揺動は例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）といった動力源２３の働きを通じて実現されればよい。
【００３１】
図２に示されるように、本発明の第１実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリ１９では、ロードビームの先端にいわゆるフレキシャ２４が固定される。フレキシャ２４には平板部材２５が打ち抜かれる。この平板部材２５はいわゆるジンバルばね２６の働きで姿勢を変化させることができる。平板部材２５の表面に浮上ヘッドスライダ２２は受け止められる。浮上ヘッドスライダ２２はジンバルばね２６の働きで磁気ディスク１３の表面に対して浮上姿勢を変化させることができる。
【００３２】
浮上ヘッドスライダ２２は、平たい直方体に形成されるＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ（アルチック）製のスライダ本体２７を備える。スライダ本体２７には電磁変換素子すなわち読み出し書き込みヘッド２８が搭載される。読み出し書き込みヘッド２８は、スライダ本体２７の空気流出端に接合されるＡｌ２Ｏ３（アルミナ）製のヘッド素子内蔵膜２９に埋め込まれる。読み出し書き込みヘッド２８は、例えば、磁気ディスク１３から情報を読み出す際に使用される巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）素子やトンネル接合磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子といった読み取り素子と、磁気ディスク１３に情報を書き込む際に使用される薄膜磁気ヘッドといった書き込み素子とで構成されればよい。
【００３３】
浮上ヘッドスライダ２２の空気流出側端面すなわちヘッド素子内蔵膜２９の表面には２対の電極端子３１、３２すなわち端子パッドが配置される。１対の電極端子３１は例えば読み出し書き込みヘッド２８の読み取り素子に電気的に接続される。こうして読み取り素子には１対の電極端子３１からセンス電流が供給される。電極端子３１からセンス電流の電圧変化は取り出される。もう１対の電極端子３２は例えば読み出し書き込みヘッド２８の書き込み素子に電気的に接続される。電極端子３２から書き込み素子に書き込み電流が供給される。書き込み電流の供給に応じて例えば薄膜コイルパターンで磁界は生成される。
【００３４】
スライダ本体２７およびヘッド素子内蔵膜２９には、磁気ディスク１３に対向する媒体対向面すなわち浮上面３３が規定される。浮上面３３には、スライダ本体２７の空気流入端に沿って延びるフロントレール３４と、スライダ本体２７の空気流出端に隣接して広がるリアレール３５とが形成される。フロントレール３４およびリアレール３５の頂上面にはいわゆるＡＢＳ（空気軸受け面）３６、３７が規定される。ＡＢＳ３６、３７の空気流入端は段差３８、３９でレール３４、３５の頂上面に接続される。読み出し書き込みヘッド２８はＡＢＳ３７で前端を露出させる。ただし、ＡＢＳ３７の表面には、読み出し書き込みヘッド２８の前端に覆い被さるＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）保護膜が形成されてもよい。
【００３５】
磁気ディスク１３の回転に基づき生成される気流は浮上面３３に受け止められる。このとき、段差３８、３９の働きでＡＢＳ３６、３７には比較的に大きな正圧すなわち浮力が生成される。しかも、フロントレール３４の後方すなわち背後には大きな負圧が生成される。これら浮力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダ２２の浮上姿勢は確立される。なお、浮上ヘッドスライダ２２の形態はこういった形態に限られるものではない。
【００３６】
浮上ヘッドスライダ２２とフレキシャ２４の平板部材２５との間にはマイクロアクチュエータ４１が挟み込まれる。マイクロアクチュエータ４１は平板部材２５に浮上ヘッドスライダ２２を連結する。マイクロアクチュエータ４１の働きで、浮上ヘッドスライダ２２は、浮上面３３を貫通する回転中心軸ＣＲ回りで回転することができる。回転中心軸ＣＲは平板部材２５の表面に直交する。マイクロアクチュエータ４１の詳細は後述される。
【００３７】
フレキシャ２４の表面には所定の配線パターン４２が形成される。この配線パターン４２には、前述のセンス電流や書き込み電流の供給に用いられる電極取り出し用導電パターン４３と、マイクロアクチュエータ４１に駆動電圧を供給する際に用いられる導電パターン４４とが含まれる。電極取り出し用導電パターン４３は、電極端子３１、３２の表面を含む１垂直平面に直交する１水平平面に沿って広がる導電性パッドを備える。
【００３８】
電極取り出し用導電パターン４３と電極端子３１、３２とは導電ワイヤ４５で相互に接続される。個々の導電ワイヤ４５は、電極端子３１、３２の表面から直立する第１接点４６と、導電取り出し用導電パターン４３の表面から直立する第２接点４７とを備える。第１および第２接点４６、４７はワイヤ本体４８で相互に接続される。第１および第２接点４６、４７の９０度の角度差はワイヤ本体４８の湾曲で吸収される。こうした導電ワイヤ４５は例えばワイヤボンディング法に基づき形成されればよい。
【００３９】
図３に示されるように、本発明の一具体例に係るマイクロアクチュエータ４１は、浮上ヘッドスライダ２２の横幅方向に延びる長尺の第１固定部材５１を備える。第１固定部材５１は、横幅方向中央の基準位置で浮上ヘッドスライダ２２の上面を受け止める。この基準位置では、浮上ヘッドスライダ２２は第１接着層５２の働きで第１固定部材５１に接着される。第１接着層５２は少なくとも回転中心軸ＣＲから周囲に向かって広がる。ただし、第１接着層５２は、第１固定部材５１に対して浮上ヘッドスライダ２２の回転を妨げない程度に接着力を発揮する。第１固定部材５１は接着層５３の働きで平板部材２５に固着される。第１接着層５２や接着層５３は例えばエポキシ系接着剤から構成されればよい。
【００４０】
第１固定部材５１の一端には、相反する２方向に延びる第２固定部材５４が一体に形成される。この第２固定部材５４は、前述の横幅方向に直交する前後方向に延びればよい。第２固定部材５４の前端および後端は浮上ヘッドスライダ２２の側面を受け止める。第２接着層５５の働きで浮上ヘッドスライダ２２は第２固定部材５４の前端および後端に接着される。第２接着層５５同士は所定の間隔で隔てられる。第２接着層５５は例えばエポキシ系接着剤から構成されればよい。第２固定部材５４の外向き面には第１圧電素子５６が貼り付けられる。貼り付けにあたって例えば接着剤は用いられる。第１圧電素子５６の詳細は後述される。
【００４１】
同様に、第１固定部材５１の他端には、相反する２方向に延びる第３固定部材５７が一体に形成される。第１〜第３固定部材５１、５４、５７は例えばジルコニアのグリーンシートから焼成に基づき成型されればよい。この第３固定部材５７は、前述の横幅方向に直交する前後方向に延びればよい。第３固定部材５７の前端および後端は浮上ヘッドスライダ２２の側面を受け止める。第３接着層５８の働きで浮上ヘッドスライダ２２は第３固定部材５７の前端および後端に接着される。第３接着層５８同士は所定の間隔で隔てられる。第３接着層５８は例えばエポキシ系接着剤から構成されればよい。第３固定部材５７の外向き面には第２圧電素子５９が貼り付けられる。貼り付けにあたって例えば接着剤は用いられる。
【００４２】
図４に示されるように、第１圧電素子５６は前端側の第１伸縮体６２ａと後端側の第２伸縮体６２ｂとを備える。第１および第２伸縮体６２ａ、６２ｂは不活性域６３で相互に隔てられる。この不活性域６３に基づき第１圧電素子５６は第２固定部材５４上で位置決めされる。すなわち、第１伸縮体６２ａは第２固定部材５４の前端と第１固定部材５１との間に配置される。第２伸縮体６２ｂは第２固定部材５４の後端と第１固定部材５１との間に配置される。
【００４３】
第１および第２伸縮体６２ａ、６２ｂは圧電セラミック薄板の積層体から構成される。圧電セラミック薄板は、平板部材２５の表面に対して直立姿勢で順番に重ね合わせられる。圧電セラミック薄板は例えばＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺといった圧電性材料から構成されればよい。ここでは、第１伸縮体６２ａ、不活性域６３および第２伸縮体６２ｂは、連続する１セラミック体から構成される。
【００４４】
第１伸縮体６２ａでは、圧電セラミック薄板同士の間に第１電極層６４および第２電極層６５が交互に挟み込まれる。第１伸縮体６２ａの外壁には第１取り出し電極層６６が接合される。全ての第１電極層６４は第１取り出し電極層６６に接続される。同様に、第２伸縮体６２ｂでは、圧電セラミック薄板同士の間に第１電極層６４および第２電極層６５が交互に挟み込まれる。第２伸縮体６２ｂの外壁には第１取り出し電極層６６が接合される。全ての第１電極層６４は第１取り出し電極層６６に接続される。
【００４５】
その一方で、不活性域６３の外壁には第２取り出し電極層６７が接合される。全ての第２電極層６５は第２取り出し電極層６７に接続される。ここでは、第１伸縮体６２ａ内の第２電極層６５と第２伸縮体６２ｂ内の第２電極層６５とは不活性域６３を貫通して連続する。第１および第２電極層６４、６５や第１および第２取り出し電極層６６、６７は例えばＰｔといった導電性金属材料から構成されればよい。
【００４６】
例えば前端側の第１取り出し電極層６６に駆動電圧が供給されると、第１伸縮体６２ａ内では第１電極層６４および第２電極層６５の間に電位差が生み出される。個々の圧電セラミック薄板では、第１および第２電極層６４、６５の間に確立される電圧の向きに応じて分極が引き起こされる。同時に、この分極方向に電圧は印加される。その結果、第１伸縮体６２ａは前後方向に収縮する。同様に、後端側の第１取り出し電極層６６に駆動電圧が供給されると、第２伸縮体６２ｂは前後方向に収縮する。なお、第２圧電素子５９は第１圧電素子５６と同様に構成されればよい。ただし、第２圧電素子５９では、第１伸縮体６２ａは第３固定部材５７の後端と第１固定部材５１との間に配置され、第２伸縮体６２ｂは第３固定部材５７の前端と第１固定部材５１との間に配置される。
【００４７】
こういった圧電素子５６、５９の製造にあたって例えばＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺのグリーンシートは利用される。個々のグリーンシート上には第１および第２電極層６４、６５が形成される。形成にあたって例えばスクリーン印刷が用いられればよい。第１および第２電極層６４、６５の素材には例えばＰｔといった導電材料が用いられればよい。グリーンシートは順番に積層された後に大気中で焼成される。グリーンシートは例えば１０５０℃程度の高温に曝される。こうして形成されたセラミック体から複数の圧電素子５６、５９は切り出されることができる。切り出された圧電素子５６、５９は第２固定部材５４や第３固定部材５７に接着される。その他、圧電素子５６、５７はＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺペーストやＰｔペーストの印刷法に基づき形成されてもよい。この場合には、圧電セラミック薄板や第１および第２電極６４、６５は第２固定部材５４や第３固定部材５７の表面に直接に形成されていく。
【００４８】
いま、磁気ディスク１３上の記録トラックに対して浮上ヘッドスライダ２２上の読み出し書き込みヘッド２８が位置決めされる場面を想定する。アクチュエータアーム１８の揺動に基づき記録トラックに対して読み出し書き込みヘッド２８は位置決めされる。記録トラックに対する読み出し書き込みヘッド２８の追従が始まると、コントローラチップはいわゆるサーボ制御に基づきマイクロアクチュエータ４１に電気信号を供給する。
【００４９】
図５に示されるように、第１および第２圧電素子５６、５９で第１伸縮体６２ａに駆動電圧が供給されると、第１伸縮体６２ａは収縮する。第１圧電素子５６の前端は第１固定部材５１に向かって引き寄せられる。同様に、第２圧電素子５９の後端は第１固定部材５１に向かって引き寄せられる。こうして回転中心軸ＣＲ回りに偶力は生み出される。浮上ヘッドスライダ２２は回転中心軸ＣＲ回りに時計回りに回転する。この回転に応じて読み出し書き込みヘッド２８は磁気ディスク１３の半径方向に移動する。その一方で、第１および第２圧電素子５６、５９で第２伸縮体６２ｂに駆動電圧が供給されると、図６に示されるように、第２伸縮体６２ｂは収縮する。第１圧電素子５６の後端は第１固定部材５１に向かって引き寄せられる。同様に、第２圧電素子５９の前端は第１固定部材５１に向かって引き寄せられる。回転中心軸ＣＲ回りに偶力は生み出される。浮上ヘッドスライダ２２は回転中心軸ＣＲ回りに反時計回りに回転する。この回転に応じて読み出し書き込みヘッド２８は磁気ディスク１３の半径方向に移動する。こうして読み出し書き込みヘッド２８は高い精度で記録トラックを追従し続けることができる。
【００５０】
図５および図６から明らかなように、第１伸縮体６２ａ、６２ａの第１取り出し電極層６６は平板２５上の第１導電パッド７１に電気的に接続される。接続にあたって例えば導電性のボール端子７２は用いられることができる。第１導電パッド７１には導電パターン４４から駆動電圧が供給される。第１導電パッド７１同士は例えば任意の配線パターン７３で相互に接続されればよい。こうして１対の第１伸縮体６２ａにはコントローラチップから単一の配線パターン４４で駆動電圧は供給されることができる。
【００５１】
同様に、第２伸縮体６２ｂ、６２ｂの第１取り出し電極層６６は平板２５上の第２導電パッド７４に電気的に接続される。接続にあたって例えば導電性のボール端子７５は用いられることができる。第２導電パッド７４には導電パターン４４から駆動電圧が供給される。第２導電パッド７４同士は例えば任意の配線パターン７６で相互に接続されればよい。こうして１対の第２伸縮体６２ｂにはコントローラチップから単一の配線パターン４４で駆動電圧は供給されることができる。
【００５２】
さらにまた、不活性域６３、６３の第２取り出し電極層６７は平板２５上の第３導電パッド７７に電気的に接続される。接続にあたって例えば導電性のボール端子７８は用いられることができる。第１伸縮体６２ａや第２伸縮体６２ｂに供給された駆動電圧は第３導電パッド７７から導電パターン４４に逃される。第３導電パッド７７同士は例えば任意の配線パターン７９で相互に接続されればよい。こうして１対の第２取り出し電極層６７から単一の配線パターン４４で駆動電圧は逃されることができる。配線パターン７９は例えば第１固定部材５１上に形成されてもよい。
【００５３】
以上のようなヘッドサスペンションアセンブリ１９では、読み出し書き込みヘッド２８の微小移動にあたって浮上ヘッドスライダ２２の回転が利用される。回転時に浮上ヘッドスライダ２２で生成される慣性モーメントは低く抑え込まれる。したがって、マイクロアクチュエータ４１には比較的に小さなモーメントのみが作用する。その結果、浮上ヘッドスライダ２２とマイクロアクチュエータ４１とで構成される振動系の固有振動数は高められることができる。広い周波数帯域でサーボ信号の周波数は確保されることができる。
【００５４】
しかも、第１圧電素子５６や第２圧電素子５９が直接にフレキシャ２４の平板部材２５に接着される場合に比べて、浮上ヘッドスライダ２２およびマイクロアクチュエータ４１の間には多数の接着箇所が確保されることができる。したがって、浮上ヘッドスライダ２２はマイクロアクチュエータ４１に強固に固定されることができる。例えばＨＤＤ１１の外部から大きな衝撃が加わっても、浮上ヘッドスライダ２２の落下や離脱は確実に回避されることができる。
【００５５】
以上のようなマイクロアクチュエータ４１では、例えば図７に示されるように、第１固定部材５１の長手方向に直交する横幅方向すなわち浮上ヘッドスライダ２２の前後方向に広がる取り付け部材８１が一体に形成されてもよい。こういった取り付け部材８１は、前述の第１固定部材５１単体に比べて接着層５３の範囲を拡大させることができる。したがって、第１固定部材５１はさらに強固に平板部材２５に固定されることができる。第１固定部材５１すなわち浮上ヘッドスライダ２２の落下はさらに確実に防止されることができる。
【００５６】
その他、例えば図８に示されるように、第１固定部材５１は第２および第３固定部材５４、５７とは別部材で構成されてもよい。こういった場合には、第１固定部材５１は例えば導電性の金属材料から構成されてもよい。第１固定部材５１に導電性が付与されれば、第１固定部材５１は、前述のように第３導電パッド７７同士を接続する配線パターン７９として機能することができる。この場合でも、例えば図９に示されるように、第１固定部材５１にはその横幅方向に広がる取り付け部材８２が一体に形成されてもよい。取り付け部材８２は接着層５３の範囲の拡大に大いに寄与する。ここで、第２固定部材５４や第３固定部材５７上では、例えば図８や図９に示されるように、第２取り出し電極層６７と第３導電パッド７７との接続にあたって第２取り出し電極６７には張り出し部７７ａが形成されてもよい。
【００５７】
なお、第２固定部材５４や第３固定部材５７は、第１固定部材５１から少なくともいずれか一方にのみ延びればよい。例えば、第２固定部材５４が第１固定部材５１から前方に延びる場合には、第３固定部材５７は第１固定部材５１から後方に延びればよい。反対に、第２固定部材５４が第１固定部材５１から後方に延びる場合には、第３固定部材５７は第１固定部材５１から前方に延びればよい。こういった場合には、第１および第２伸縮体６２ａ、６２ｂのいずれか一方のみが圧電素子５６、５９内に確立されればよい。その他、前述の不活性域６３には、第１および第２伸縮体６２ａ、６２ｂを相互に隔てる空間が配置されてもよい。すなわち、第１および第２伸縮体６２ａ、６２ｂは別体に構成されてもよい。
【００５８】
以上のようなヘッドサスペンションアセンブリ１９では、例えば図１０に示されるように、センス電流の供給や書き込み電流の供給にあたってフレキシブルプリント配線基板８３が用いられてもよい。フレキシブルプリント配線基板８３は例えばロードビームから前方に向かって浮上ヘッドスライダ２２まで延びればよい。フレキシブルプリント配線基板８３は浮遊領域でヘッドサスペンション２１すなわちフレキシャ２４から離隔する。言い換えれば、フレキシブルプリント配線基板８３はフレキシャ２４の平板部材２５には接触しない。
【００５９】
フレキシブルプリント配線基板８３の表面には導電性パッド８４が形成される。個々の導電性パッド８４は対応する電極端子３１、３２にそれぞれ位置合わせられる。電極端子３１、３２は対応する導電性パッド８４に個別に接続される。こういった接続にあたって例えば金ボールといったボンディング部材が用いられればよい。前述と同様に、個々の導電性パッド８４は対応する電極取り出し用導電パターン４３に接続される。電極取り出し用導電パターン４３は同様にフレキシブルプリント配線基板８２の表面に形成されればよい。その他、前述のヘッドサスペンションアセンブリ１９と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
【００６０】
ヘッドサスペンションアセンブリ１９では、浮上ヘッドスライダ２２の回転に伴い電極端子３１、３２はフレキシャ２４に対して相対的に移動する。このとき、電極端子３１、３２の移動はフレキシブルプリント配線基板８２の変形を引き起こす。したがって、浮上ヘッドスライダ２２の回転は妨げられない。電極端子３１、３２と導電性パッド８４との間で確実に電気的接合は維持されることができる。
【００６１】
図１１は本発明の第２実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリ１９を示す。このヘッドサスペンションアセンブリ１９には本発明の一具体例に係るマイクロアクチュエータ１０１が組み込まれる。このマイクロアクチュエータ１０１すなわち微小駆動装置は、被駆動部材すなわち浮上ヘッドスライダ２２を受け止める支持部材を備える。この支持部材は前述の平板部材２５に相当する。
【００６２】
浮上ヘッドスライダ２２および平板部材２５の間には第１アクチュエータ１０２が配置される。この第１アクチュエータ１０２は、前述の回転中心軸ＣＲ回りで点対称に配置される１対の圧電素子すなわち第１および第２圧電素子１０３ａ、１０３ｂを備える。第１および第２圧電素子１０３ａ、１０３ｂは相互に並列に延びる。第１圧電素子１０３ａの前端は第１接着層１０４の働きで平板部材２５に固着される。第１圧電素子１０３ａの後端は第２接着層１０５の働きで浮上ヘッドスライダ２２に固着される。こうして第１圧電素子１０３ａは浮上ヘッドスライダ２２および平板部材２５に連結される。同様に、第２圧電素子１０３ｂの後端は第１接着層１０４の働きで平板部材２５に固着される。第２圧電素子１０３ｂの前端は第２接着層１０５の働きで浮上ヘッドスライダ２２に固着される。第２圧電素子１０３ｂは浮上ヘッドスライダ２２および平板部材２５に連結される。第１および第２接着層１０４、１０５は例えばエポキシ系接着剤から構成されればよい。
【００６３】
図１２に示されるように、第１圧電素子１０３ａは圧電セラミック薄板の積層体から構成される。圧電セラミック薄板は、平板部材２５の表面に対して直立姿勢で順番に重ね合わせられる。圧電セラミック薄板は例えばＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺといった圧電性材料から構成されればよい。
【００６４】
第１圧電素子１０３ａでは、圧電セラミック薄板同士の間に第１電極層１０６および第２電極層１０７が交互に挟み込まれる。第１圧電素子１０３ａの前端面および後端面には第１および第２取り出し電極層１０８、１０９が接合される。全ての第１電極層１０６は第１取り出し電極層１０８に接続される。同様に、全ての第２電極層１０７は第２取り出し電極層１０９に接続される。第１および第２電極層１０６、１０７や第１および第２取り出し電極層１０８、１０９は例えばＰｔといった導電性金属材料から構成されればよい。なお、第２圧電素子１０３ｂは第１圧電素子１０３ａと同様に構成されればよい。ただし、第２圧電素子１０３ｂでは、第１取り出し電極層１０８は後端に配置される一方で、第２取り出し電極層１０９は前端に配置される。第１および第２圧電素子１０３ａ、１０３ｂは前述の圧電素子５６、５９と同様にＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺといった圧電性材料のグリーンシートに基づき成形されればよい。
【００６５】
例えば第１および第２取り出し電極層１０８、１０９の間で駆動電圧が生起されると、第１および第２圧電素子１０３ａ、１０３ｂ内では第１電極層１０６および第２電極層１０７の間に電位差が生み出される。個々の圧電セラミック薄板では、第１および第２電極層１０６、１０７の間に確立される電圧の向きに応じて分極が引き起こされる。同時に、この分極方向に電圧は印加される。その結果、第１および第２圧電素子１０３ａ、１０３ｂはともに前後方向に収縮する。第１圧電素子１０３ａでは、接着層１０４で平板部材２５に固着された前端に向かって後端は引き寄せられる。その一方で、第２圧電素子１０３ｂでは、接着層１０４で平板部材２５に固着された後端に向かって前端は引き寄せられる。こうして回転中心軸ＣＲ回りに偶力は生み出される。浮上ヘッドスライダ２２は回転中心軸ＣＲ回りで反時計回りに回転する。駆動電圧が分極電圧を上回る限り、第１および第２取り出し電極層１０８、１０９のいずれから駆動電圧が供給されても第１および第２圧電素子１０３ａ、１０３ｂは収縮する。
【００６６】
図１２に示されるように、このマイクロアクチュエータ１０１には、浮上ヘッドスライダ２２から切り離されつつ平板部材２５に固定される第２アクチュエータ１１０が組み込まれる。第２アクチュエータ１１０は、例えば、中心回転軸ＣＲ回りで点対称に配置される１対の補助圧電素子すなわち第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂを備える。第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂは圧電セラミック薄板の積層体から構成される。圧電セラミック薄板は、平板部材２５の表面に対して直立姿勢で順番に重ね合わせられればよい。圧電セラミック薄板は例えばＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺといった圧電性材料から構成されればよい。第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂは、平板部材２５と第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂとの間で全域にわたって挟み込まれる接着層（図示されず）に基づき平板部材２５に固着される。ただし、第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂは少なくとも前端および後端で平板部材２５に固着されてもよい。
【００６７】
第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂでは、前述と同様に、圧電セラミック薄板同士の間に第１電極層１１２および第２電極層１１３が交互に挟み込まれる。第１電極層１１２は一方の取り出し電極層１１４に接続される。第２電極層１１３は他方の取り出し電極層１１５に接続される。第１および第２電極層１１２、１１３や取り出し電極層１１４、１１５は例えばＰｔといった導電性金属材料から構成されればよい。
【００６８】
例えば第１および第２取り出し電極層１１４、１１５の間で駆動電圧が生起されると、第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂ内では第１電極層１１２および第２電極層１１３の間に電位差が生み出される。個々の圧電セラミック薄板では、第１および第２電極層１１２、１１３の間に確立される電圧の向きに応じて分極が引き起こされる。同時に、この分極方向に電圧は印加される。その結果、第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂはともに前後方向に収縮する。こういった収縮に応じて平板部材２５は撓む。駆動電圧が分極電圧を上回る限り、第１および第２取り出し電極層１１４、１１５のいずれから駆動電圧が供給されても第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂは収縮する。
【００６９】
いま、磁気ディスク１３上の記録トラックに対して浮上ヘッドスライダ２２上の読み出し書き込みヘッド２８が位置決めされる場面を想定する。ここで、ＨＤＤ１１内のコントローラチップはマイクロアクチュエータ１０１に例えば０Ｖ〜３０Ｖの範囲で電気信号を供給することができると仮定する。第１および第２圧電素子１０３ａ、１０３ｂに３０Ｖの最大電圧が印加されると、第１および第２圧電素子１０３ａ、１０３ｂは最大限に収縮する。このとき、読み出し書き込みヘッド２８には、記録トラックにほぼ直交する方向に例えば１．０μｍ程度の最大直線移動量すなわち最大ストロークが平板部材２５上で確保されることができる。
【００７０】
位置決めの開始にあたって、マイクロアクチュエータ１０１には１５Ｖの電気信号が供給される。したがって、読み出し書き込みヘッド２８は、最大ストロークの２分の１（＝０．５μｍ）のストロークで平板部材２５上で位置決めされる。続いて、アクチュエータアーム１８の揺動に基づき記録トラックに対して読み出し書き込みヘッド２８は位置決めされる。
【００７１】
記録トラックに対する読み出し書き込みヘッド２８の追従が始まると、コントローラチップはいわゆるサーボ制御に基づきマイクロアクチュエータ１０１に電気信号を供給する。圧電素子１０３ａ、１０３ｂに供給される電気信号の電圧が１５Ｖから減少すると、圧電素子１０３ａ、１０３ｂは伸張する。浮上ヘッドスライダ２２は回転中心軸ＣＲ回りに時計回りに回転する。この回転に応じて読み出し書き込みヘッド２８は磁気ディスク１３の半径方向に移動することができる。反対に、マイクロアクチュエータ１０１に供給される電気信号の電圧が１５Ｖから増加すると、圧電素子１０３ａ、１０３ｂは収縮する。浮上ヘッドスライダ２２は回転中心軸ＣＲ回りに反時計回りに回転する。この回転に応じて読み出し書き込みヘッド２８は磁気ディスク１３の半径方向に前述とは反対向きに移動することができる。こうして読み出し書き込みヘッド２８は高い精度で記録トラックを追従し続けることができる。
【００７２】
このとき、第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂには圧電素子１０３ａ、１０３ｂと同様に駆動電圧が供給される。第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂの収縮に応じて平板部材２５は撓む。図１３に示されるように、平板部材２５の隅部は引き上げられる。前述のように第１アクチュエータ１０２が浮上ヘッドスライダ２２に作用すると、平板部材２５には応力が作用する。この応力は接着層１０４同士を接近させる。応力に応じて平板部材２５の隅部は引き上げられる。こうして４隅が均等に引き上げられれば、浮上ヘッドスライダ２２では姿勢の変化は防止されることができる。浮上ヘッドスライダ２２の浮上姿勢は安定する。図１３から明らかなように、第２アクチュエータ１１０が作用しなければ、平板部材２５の２隅だけが引き上げられてしまう。その結果、浮上ヘッドスライダ２２は予想もしない姿勢変化に曝されてしまう。
【００７３】
図１４に示されるように、第１圧電素子１０３ａの第１および第２取り出し電極層１０８、１０９は平板部材２５上の導電パッド１１７、１１８に電気的に接続される。接続にあたって例えば導電性のボール端子１１９、１２１は用いられることができる。同様に、第２圧電素子１０３ｂの第１および第２取り出し電極層１０８、１０９は平板部材２５上の導電パッド１２２、１２３に電気的に接続される。接続にあたって例えば導電性のボール端子１２４、１２５は用いられることができる。第１補助圧電素子１１１ａの第１および第２取り出し電極層１１４、１１５は平板部材２５上の導電パッド１２７、１２８に電気的に接続される。接続にあたって例えば導電性のボール端子１２９、１３１は用いられることができる。第２補助圧電素子１１１ｂの第１および第２取り出し電極層１１４、１１５は平板部材２５上の導電パッド１３２、１３３に電気的に接続される。接続にあたって例えば導電性のボール端子１３４、１３５は用いられることができる。図１４から明らかなように、導電パッド１１７、１２３、１２８、１３２は共通の配線パターン１３６に接続される。導電パッド１１８、１２２、１２７、１３３は共通の配線パターン１３７に接続される。こうして第１および第２圧電素子１０３ａ、１０３ｂ並びに第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂにはコントローラチップから１対の配線パターン１３６、１３７で駆動電圧は供給されることができる。しかも、第１および第２圧電素子１０３ａ、１０３ｂ並びに第１および第２補助圧電素子１１１ａ、１１１ｂで共通に駆動電圧は利用されることができる。配線構造の複雑化は確実に阻止されることができる。
【００７４】
以上のような第２実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリ１９では、例えば図１５に示されるように、第２アクチュエータ１１０ａは平板部材２５の裏面に搭載されてもよい。このとき、前述の第１アクチュエータ１０２は平板部材２５の表面で浮上ヘッドスライダ２２を受け止める。第２アクチュエータ１１０ａは、前述と同様に、回転中心軸ＣＲ回りで点対称に配置される１対の補助圧電素子１４１ａ、１４１ｂを備えればよい。ここでは、個々の補助圧電素子１４１ａ、１４１ｂは第１接着層１０４側に偏倚して配置される。すなわち、補助圧電素１４１ａは第１圧電素子１０３ａの前端側に配置される一方で、補助圧電素子１４１ｂは第２圧電素子１０３ｂの後端側に配置される。こういった配置によれば、補助圧電素子１４１ａ、１４１ｂの収縮は前述の応力に対抗することができる。撓みは解消されることができる。その結果、隅部の引き上げは回避される。浮上ヘッドスライダ２２の浮上姿勢は安定する。
【００７５】
なお、前述のようなマイクロアクチュエータ４１、１０１では圧電素子の構造や配置は適宜に設定されればよい。
【００７６】
（付記１）  所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、少なくとも先端で前記被駆動部材を受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、少なくとも先端で前記被駆動部材を受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００７７】
（付記２）  付記１に記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１、第２および第３固定部材は一体に形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００７８】
（付記３）  付記１または２に記載の微動アクチュエータにおいて、前記被駆動部材は、記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダであることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００７９】
（付記４）  付記１〜３のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材には、前記長手方向に直交する横幅方向に広がる取り付け部材が一体に形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００８０】
（付記５）  付記１〜４のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材上には導電性の配線パターンが形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００８１】
（付記６）  付記１に記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材は導電性材料から構成されることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００８２】
（付記７）  所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置で被駆動部材を受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から相反する２方向に延び、少なくとも２点で前記被駆動部材を受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から相反する２方向に延び、少なくとも２点で前記被駆動部材を受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第２圧電素子とを備えることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００８３】
（付記８）  付記７に記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１圧電素子では、伸縮体、不活性域および伸縮体は連続する１セラミック体から構成されることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００８４】
（付記９）  付記７または８に記載の微動アクチュエータにおいて、前記第２圧電素子では、伸縮体、不活性域および伸縮体は連続する１セラミック体から構成されることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００８５】
（付記１０）  付記７〜９のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記被駆動部材は、記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダであることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００８６】
（付記１１）  付記７〜１０のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１、第２および第３固定部材は一体に形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００８７】
（付記１２）  付記７〜１１のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材には、前記長手方向に直交する横幅方向に広がる取り付け部材が一体に形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００８８】
（付記１３）  付記７〜１２のいずれかに記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材上には導電性の配線パターンが形成されることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００８９】
（付記１４）  付記７に記載の微動アクチュエータにおいて、前記第１固定部材は導電性材料から構成されることを特徴とする微動アクチュエータ。
【００９０】
（付記１５）  揺動アームと、揺動アームの先端から前方に延びるヘッドサスペンションと、ヘッドスライダと、ヘッドサスペンションに固定されつつ所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置でヘッドスライダを受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から少なくとも第１方向に延び、少なくとも先端でヘッドスライダを受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から第１方向に相反する第２方向に少なくとも延び、少なくとも先端でヘッドスライダを受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定される第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定される第２圧電素子とを備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【００９１】
（付記１６）  付記１５に記載の記録媒体駆動装置において、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、浮遊領域でヘッドサスペンションから離隔するフレキシブルプリント配線基板と、フレキシブルプリント配線基板の浮遊領域に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に挟まれるボンディング部材とをさらに備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【００９２】
（付記１７）  付記１５に記載の記録媒体駆動装置において、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、ヘッドサスペンションの表面に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に介在するワイヤボンディング部材とをさらに備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【００９３】
（付記１８）  揺動アームと、揺動アームの先端から前方に延びるヘッドサスペンションと、ヘッドスライダと、ヘッドサスペンションに固定されつつ所定の長手方向に延びて、長手方向中央の基準位置でヘッドスライダを受け止める第１固定部材と、第１固定部材の一端から相反する２方向に延び、少なくとも２点でヘッドスライダを受け止める第２固定部材と、第１固定部材の他端から相反する２方向に延び、少なくとも２点でヘッドスライダを受け止める第３固定部材と、第２固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第１圧電素子と、第３固定部材の外面に固定されて、１対の伸縮体を相互に隔てる不活性域で第１固定部材に対して位置合わせされる第２圧電素子とを備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【００９４】
（付記１９）  付記１８に記載の記録媒体駆動装置において、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、浮遊領域でヘッドサスペンションから離隔するフレキシブルプリント配線基板と、フレキシブルプリント配線基板の浮遊領域に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に挟まれるボンディング部材とをさらに備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【００９５】
（付記２０）  付記１８に記載の記録媒体駆動装置において、ヘッドスライダ上に配置される導電性の端子パッドと、ヘッドサスペンションの表面に配置される導電性パッドと、ヘッドスライダ上の端子パッドおよび導電性パッドの間に介在するワイヤボンディング部材とをさらに備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【００９６】
（付記２１）  被駆動部材を受け止める支持部材と、被駆動部材および支持部材に連結されて、支持部材に対して被駆動部材の姿勢変化を引き起こす第１アクチュエータと、被駆動部材から切り離されつつ支持部材に固定され、支持部材の撓みを引き起こす第２アクチュエータとを備えることを特徴とする微小駆動装置。
【００９７】
（付記２２）  付記２１に記載の微小駆動装置において、前記第１アクチュエータは、被駆動部材を貫通する中心軸回りで点対称に配置される１以上の圧電素子を備えることを特徴とする微小駆動装置。
【００９８】
（付記２３）  付記２２に記載の微小駆動装置において、前記第２アクチュエータは、前記中心軸回りで点対称に配置される１以上の圧電素子を備えることを特徴とする微小駆動装置。
【００９９】
（付記２４）  ジンバルばねに連続する支持部材と、支持部材の表面に受け止められるヘッドスライダと、ヘッドスライダから切り離されつつ支持部材に固定され、支持部材の撓みを引き起こすアクチュエータとを備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【０１００】
（付記２５）  付記２４に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記ヘッドスライダおよび支持部材に連結されて、支持部材に対してヘッドスライダの姿勢変化を引き起こす圧電素子をさらに備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【０１０１】
（付記２６）  付記２５に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記圧電素子は、ヘッドスライダを貫通する中心軸回りで点対称に配置されることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【０１０２】
（付記２７）  付記２６に記載のヘッドサスペンションアセンブリにおいて、前記アクチュエータは、前記中心軸回りで点対称に配置される１以上の圧電素子を備えることを特徴とするヘッドサスペンションアセンブリ。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】記録媒体駆動装置の一具体例に係るハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の構造を概略的に示す平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリの主要部の構造を概略的に示す拡大斜視図である。
【図３】浮上ヘッドスライダおよびマイクロアクチュエータの分解斜視図である。
【図４】第１圧電素子の構造を概略的に示す拡大斜視図である。
【図５】マイクロアクチュエータの動作を説明するヘッドサスペンションアセンブリの拡大部分平面図である。
【図６】マイクロアクチュエータの動作を説明するヘッドサスペンションアセンブリの拡大部分平面図である。
【図７】別の具体例に係るマイクロアクチュエータの構造を概略的に示す斜視図である。
【図８】さらに別の具体例に係るマイクロアクチュエータの構造を概略的に示す斜視図である。
【図９】さらに別の具体例に係るマイクロアクチュエータの構造を概略的に示す斜視図である。
【図１０】図２に対応し、他の具体例に係るヘッドサスペンションアセンブリの主要部の構造を概略的に示す拡大斜視図である。
【図１１】図３に対応し、本発明の第２実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリに組み込まれる浮上ヘッドスライダおよびマイクロアクチュエータの分解斜視図である。
【図１２】微小駆動装置すなわちマイクロアクチュエータの拡大平面図である。
【図１３】平板部材の撓みを示す平板部材の全体図である。
【図１４】マイクロアクチュエータの配線構造を概略的に示す平板部材の拡大平面図である。
【図１５】本発明の第２実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリで他の具体例に係るマイクロアクチュエータの構造を概略的に示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【０１０４】
１１  記録媒体駆動装置としてのハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）、１３  記録媒体としての磁気ディスク、１８  揺動アーム（アクチュエータアーム）、１９  ヘッドサスペンションアセンブリ、２１  ヘッドサスペンション、２２  被駆動部材としてのヘッドスライダ、２５  支持部材（平板部材）、２６  ジンバルばね、３１、３２  端子パッド（電極端子）、４１  微動アクチュエータ（マイクロアクチュエータ）、４５  ワイヤボンディング部材（導電ワイヤ）、５１  第１固定部材、５４  第２固定部材、５６  第１圧電素子、５７  第３固定部材、５９  第２圧電素子、６２ａ  第１伸縮体、６２ｂ  第２伸縮体、６３  不活性域、７９  配線パターン、８１  取り付け部材、８２  取り付け部材、８３  フレキシブルプリント配線基板、８４  導電性パッド、１０１  微小駆動装置（マイクロアクチュエータ）、１０２  第１アクチュエータ、１０３ａ  第１圧電素子、１０３ｂ  第２圧電素子、１１０  第２アクチュエータ、１１１ａ  圧電素子（第１補助圧電素子）、１１１ｂ  圧電素子（第２補助圧電素子）。
【図１】
2005028554.tif 000003
【図２】
2005028554.tif 000004
【図３】
2005028554.tif 000005
【図４】
2005028554.tif 000006
【図５】
2005028554.tif 000007
【図６】
2005028554.tif 000008
【図７】
2005028554.tif 000009
【図８】
2005028554.tif 000010
【図９】
2005028554.tif 000011
【図１０】
2005028554.tif 000012
【図１１】
2005028554.tif 000013
【図１２】
2005028554.tif 000014
【図１３】
2005028554.tif 000015
【図１４】
2005028554.tif 000016
【図１５】
2005028554.tif 000017