(57)【要約】【課題】チャタリングに起因する光センサの検出誤差発生を防止すること。【構成】パーフォレーションが等間隔に穿孔されたＴＣＰ用のテープと、テープを搬送するローラと、ローラを回転させるモータと、穿孔穴の通過により生じる光のONとOFFを検出する２個の光センサと、位相の異なる光センサで検出されたONとOFFの信号を組み合わせて加算信号と減算信号を生成させる検出回数カウント回路と、加算信号と減算信号の検出回数に基づいて間欠的にモータを駆動する駆動回路とからなる。【選択図】      図１
2005059986.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ送り機構と、光センサと、テープの移動により光センサで検出されるＯＮ信号とＯＦＦ信号の検出回数をカウントする検出回数カウント回路と、上記検出回数に基づいてテープを間欠的に送る制御機構からなるテープ搬送装置において、
光センサは、第１光センサと第２光センサからなり、
第１光センサと第２光センサは、同時にチャタリングを検出しないようにテープ送り方向に対して離間した位置に配設されたことを特徴とするテープ搬送装置。
【請求項２】
前記検出回数カウント回路は、
第１光センサがＯＦＦで第２光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を減算し、
第１光センサがＯＦＦで第２光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を加算し、
第１光センサがＯＮで第２光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を加算し、
第１光センサがＯＮで第２光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を減算し、
第２光センサがＯＦＦで第１光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を加算し、
第２光センサがＯＦＦで第１光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を減算し、
第２光センサがＯＮで第１光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を減算し、そして
第２光センサがＯＮで第１光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を加算する
ことを特徴とする請求項１記載のテープ搬送装置。
【請求項３】
前記検出回数カウント回路は、
第１光センサがＯＦＦで第２光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を加算し、
第１光センサがＯＦＦで第２光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を減算し、
第１光センサがＯＮで第２光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を減算し、
第１光センサがＯＮで第２光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を加算し、
第２光センサがＯＦＦで第１光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を減算し、
第２光センサがＯＦＦで第１光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を加算し、
第２光センサがＯＮで第１光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を加算し、そして
第２光センサがＯＮで第１光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を減算する
ことを特徴とする請求項１記載のテープ搬送装置。
【請求項４】
前記光センサは、パーフォレーションの位置が巾方向で異なるテープの位置検出を前記光センサの取付位置を変更しないで行うことができるように、前記テープの巾方向に長いラインセンサであることを特徴とする請求項１記載のテープ搬送装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、TCP(Tape Carrier
Package)やCOF(Chip On Film)等のテープを搬送する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のテープ搬送装置において、テープに設けられたパーフォレーションが光センサの下を通過する時に生じる光のＯＮとＯＦＦでテープ送り量を検出する方法が慣用されている。図１０は、従来の方法でテープを右へ送った場合の検出波形の一例である。横軸は、テープ移動距離（または時間）で、縦軸は、受光素子の出力で、ＯＦＦはゼロと、受光素子の出力が所定量を超えた時に光センサがＯＮとなるように定義されている。また、光センサの出力がＯＮからＯＦＦに変化した場合、光センサの検出回数を加算１と定義する。このような定義のもとで、図１０でのチャタリングが発生した所では、加算が３で、ＯＮからＯＦＦの回数が余分に計数される。このように、チャタリングの発生は、チャタリングが検出された回数だけ多くパーフォレーションを通過したとみなされる欠点がある。
【０００３】
他方、チャタリング検出防止装置も慣用されている（例えば、特開２００１−２１４６６３号公報、特開平１０−１０４０１８号公報参照）。特開２００１−２１４６６３号公報に開示されているチャタリング検出防止方法は、所定時間以上連続するパルス信号のみを計数する方法であり、また、特開平１０−１０４０１８号公報は、予測される速度より桁はずれに速い速度に対応するパルス信号を除去する方法である。しかし、いずれの方法も、樹脂テープを低速度で間欠的に送ることを主な動作とするテープ送り機構では、チャタリング信号を正常な信号として誤って計数する問題点があった。
【０００４】
また、従来の光センサは、テープの種類を変更する毎に、光センサの取付位置を変更しなければならない問題点があった。
【特許文献１】特開２００１−２１４６６３号公報
【特許文献２】特開平１０−１０４０１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の問題点を解決することを目的とするものであって、本発明の第１の目的は、チャタリングによる誤計数を防止したテープ搬送装置を実用に供することにある。第２の目的は、巾の異なるテープに取り替えても、光センサの
取付位置を変更しないテープ搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のテープ送り機構においては、テープ送り機構と、光センサと、テープの移動により光センサで検出されるＯＮ信号とＯＦＦ信号の検出回数をカウントする検出回数カウント回路と、検出回数に基づいてテープを間欠的に送る制御機構からなるテープ搬送装置であって、光センサは、第１光センサと第２光センサからなり、且つ、第１光センサと第２光センサは、テープ送り方向に対して離間した位置に配設さる。このような構成を採用することにより、チャタリングによる信号を全て計数しても、チャタリングに起因して出力されるパルス信号を相殺することが可能となり、誤計数することはなくなる。
【０００７】
また、本発明の検出回数カウント回路は、第１光センサがＯＦＦの状態で第２光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、検出回数に１を減算し、第１光センサがＯＦＦの状態で第２光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、検出回数に１を加算し、第１光センサがＯＮで第２光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、検出回数に１を加算し、第１光センサがＯＮで第２光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、検出回数に１を減算し、第２光センサがＯＦＦ状態で第１光センサがＯＮ状態からＯＦＦに変化する時、信号回数に１を加算し、第２光センサがＯＦＦ状態で第１光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、検出回数に１を減算し、第２光センサがＯＮで第１光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を減算し、そして第２光センサがＯＮ状態で第１光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を加算する機能有する。このような機能を有する回数回路により、チャタリングによる信号を全て計数しても、チャタリングに起因して出力されるパルス信号を相殺するので、誤計数することをなくすことができる。
【０００８】
また、本発明の検出回数カウント回路は、第１光センサがＯＦＦで第２光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時に信号回数に１を加算し、第１光センサがＯＦＦで第２光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時に信号回数に１を減算し、第１光センサがＯＮで第２光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時に信号回数に１を減算し、第１光センサがＯＮで第２光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時に信号回数に１を加算し、第２光センサがＯＦＦで第１光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時に信号回数に１を減算し、第２光センサがＯＦＦで第１光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時に信号回数に１を加算し、第２光センサがＯＮで第１光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時に信号回数に１を加算し、そして第２光センサがＯＮで第１光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時に信号回数に１を減算することを特徴とする。
【０００９】
また、光センサは、パーフォレーションの位置が巾方向で異なるテープの位置検出を光センサの取付位置を変更しないで行うことができるように、前記テープの巾方向に長いラインセンサであると良い。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のテープ搬送装置は、位相の異なる２つの光センサを用い且つ新たな検出回数計数アルゴリズムを採用することにより、チャタリングによる誤計数をなくすことができる他、テープの進行方向を検出する利点がある。
【００１１】
更に、本発明のテープ搬送装置は、光センサにラインセンサを用いることにより、巾の異なるテープに切り替えても、光センサの取付位置を変更する必要がなく、テープに切り替えに要する時間を大幅に短縮できる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
チャタリングに起因する誤計数を防止するという目的を、２つの光センサを位相の異なる位置に配設することにより実現することができた。さらに、巾の異なるテープの切替時間を短縮する目的を、光センサとしてラインセンサを使用することにより実現することができた。
【実施例１】
【００１３】
図１は、テープの搬送機構とセンサの関係を示す斜視図である。テープ１は、テンションローラ２と送りローラ３により張力をかけられながら左から右方向に送られる。テープ１には、その両端部にパーフォレーション６が穿孔されている。テープ１の両端は、テープ案内板によって案内され、テープが巾方向に移動する量を規制している。
【００１４】
テンションローラ２は、上ローラ２ａと下ローラ２ｂからなり、送りローラ３の上流で、テープ１の両端にそれぞれ１組が配設されている。それぞれのテンションローラは、同一の寸法形状で、直径が５０ｍｍ、巾が５ｍｍである。下ローラ２ｂは、駆動ローラで、左右の下ローラ２ｂは、軸で連結され、モータ７により回転できりょうになっている。他方、上ローラ２ａは、従動ローラで、バネ（図示略）により下方に付勢され、下ローラ２ｂとの間でテープ１を挟みながら押圧している。バネの付勢力は、ネジなどで調整できるようになっている。
【００１５】
トルクモータ７は、モータドライバ２によりディテントトルクを任意に設定できるようになっている。トルクモータ７は、テープ１に所定未満の張力が印加されても回転しないが、テープ１に所定以上の張力が印加されると回転する。バネの付勢力は、テンションローラ２が作動している時にテープ１が上ローラ２ａと下ローラ２ｂの間を滑らない摩擦力を発生させるためのものである。
【００１６】
送りローラ３が回転を始めてテープ１に所定以上の張力が発生すると、トルクモータが回転してテンションローラ２が回転することにより、テープ１は、一定の張力で送られる。テープ１に樹脂を塗布する場合、テープ１に張力を印加することは必須な事項である。その理由は、テープが緩んでいると、テープが波打つので、樹脂を所定の形状に塗布することができないし、またテープが波打っている状態で樹脂をアンダーフィルすると、テープ１と半導体素子との間の間隙が均一でなくなるので、樹脂の塗布不良が発生するからである。
【００１７】
送りローラ３は、上ローラ３ａと下ローラ３ｂからなり、上下のローラでテープ１を挟んで送る。上ローラ３ａは、上ローラ３ａと下ローラ３ｂの間にテープを押圧するためのバネ（図示略）が連結されている従動ローラである。一方、下ローラ３ｂは、サーボモータ８に連結された駆動ローラである。
【００１８】
テープ送り機構は、テンションローラ２と送りローラ３からなる。また、樹脂硬化装置を併設したＴＣＰ実装装置においては、樹脂硬化装置の更に下流に送りローラ１１（図９参照）を設けるようになっている。この送りローラは、送りローラ３と時間差を設けて同期するように制御されている。具体的には、送りローラ１１は、送りローラ３が回転を停止した後、０．１〜０．５秒経ってから回転を停止し、送りローラが回転を開始する前、０．１〜０．５秒前に回転を開始するようになっている。
【００１９】
テープ１は、幅が４８ｍｍでその両側縁にパーフォレーション６が設けられている。パーフォレーション６は、２ｍｍ角の孔で、任意の間隔（例えば５ｍｍ）で側縁に設けられている。テープ１には、半導体素子が１列あるいは複数列に実装されている（図示略）。ローラは、テープ１の側縁に配置され、結果としてパーフォレーション６の一部を上下で挟むように配設されている。
【００２０】
光センサは、第１光センサ４と第２光センサ５からなり、テンションローラ２と送りローラ３との間に配設される。検出された光は、光電変換されてセンサアンプ（図７参照）に送られる。
【００２１】
図２は、テープ搬送装置の制御に関するブロックダイアグラムである。光センサからの信号がセンサアンプで増幅され搬送装置コントローラに送られる。搬送装置コントローラには、検出回数カウント回路、搬送開始停止回路やモータ制御回路が組み込まれている。装置のパネルコンピュータでこれらの電子回路を制御するようになっている。制御プログラムのインストール、パラメータの入力・訂正は、パネルコンピュータで行われる。
【００２２】
搬送装置コントローラは、検出回数カウント回路と搬送開始停止制御回路からなる。光センサからのＯＮ、とＯＦＦ信号は、検出回数カウント回路で計数される。テープ移動命令により設定された所定検出回数から検出回数カウント回路で計数された検出回数を減数して、残数がゼロになった時、ローラの回転停止の命令が出力される。残数がゼロになってから所定時間の後に停止するように設定しても良い。ローラの回転開始の命令は、他の条件をトリガーとして（例えば、ディスペンス操作等が終了した後）出力される。搬送開始停止制御回路からの命令がモータドライバに送られ、モータドライバからは、モータ駆動パルスがモータに送られてモータは回転を開始停止する。また、トルクモータにおいては、搬送装置コントローラからの信号によりモータのディテントトルクを決めることができ、更に、正逆に回転させることもできる。
【００２３】
図３は、２つの光センサ（４，５）と、パーフォレーション６の関係を説明するための図である。
光センサ４は、発光素子４ａと受光素子４ｂからなる。発光素子４ａから放射された光４ｃを受光素子４ｂで光―電気変換した電気信号は、センサアンプに送られる。光４ｃは、テープ１を透過しないので、光センサは、光４ｃがパーフォレーション６を通過している時のみONとなるように設計されている。光４ｃがテープ１で遮られた状態が、光センサのOFFである。光センサ５は、符号が異なるだけで光センサ４と実質同一である。
【００２４】
光センサ４と光センサ５との位置関係の例として、光４ｃと光５ｃが異なるパーフォレーションを通過し且つパーフォレーションの中心線６ａに対して互いに反対側を通過している状態を示している。光３ｃと光４ｃの離間距離は、パーフォレーション間の距離（ピッチ）の整数倍でなく、且つ、チャタリングが発生する領域に同時に存在しない条件を満たすように設定されている。このような関係を設けることにより、一方の光センサがパーフォレーションの１辺でチャタリングしている時に、他方の光センサは、ＯＮ又はＯＦＦの安定は状態を保つことができるようになっている。
【００２５】
このように、光センサ（４，５）は、テープの進行方向に離間（例えばピッチが５ｍｍで、パーフォレーションが２ｍｍ角の場合、５×ｎ＋１ｍｍ（ｎ：整数））して、配設されるように説明しているが、テープの左右に配設しても良い。この場合も、光センサは、同時にチャタリングが発生しない程度、テープの進行方向に対して離間させる。
【００２６】
図４は、チャタリングが発生しない場合の検出波形を示す図である。縦軸は、受光素子からの出力信号であり、横軸は、テープの移動距離である。２つの光センサ（４，５）の離間距離は、図３で説明した場合と同様である。
【００２７】
図４（ａ）は、第１光センサの位相が第２光センサよりテープの進行方向に対して遅れている位置に配設されている場合で、図１でテープ１を右方向に送った場合の検出波形である。ＯＦＦは、受光素子が光を検出しない状態であり、ＯＮは、受光素子が光を検出した状態である。ａ１〜ａ６とｂ１〜ｂ６は、光センサがＯＮからＦＦへ、またはＯＦＦからＯＮへ変化する時を表記している。
【００２８】
図４（ｂ）は、テープ１を左方向に送った場合の検出波形である。同様に、ＯＦＦは、受光素子が光を検出しない状態であり、ＯＮは、受光素子が光を検出した状態である。図４（ａ）とは逆に、第１光センサは、第２光センサより位相が進んでいる。
【００２９】
ここで、テープを送った時に生じる２つの光センサのＯＮとＯＦＦを組み合わせて、検出回数を計数する計数アルゴリズムを以下に説明する。
計数アルゴリズムは、
１．第１光センサがＯＦＦで第２光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を減算し、
２．第１光センサがＯＦＦで第２光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を加算し、
３．第１光センサがＯＮで第２光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を加算し、
４．第１光センサがＯＮで第２光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を減算し、
５．第２光センサがＯＦＦで第１光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を加算し、
６．第２光センサがＯＦＦで第１光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を減算し、
７．第２光センサがＯＮで第１光センサがＯＮからＯＦＦに変化する時、信号回数に１を減算し、そして
８．第２光センサがＯＮで第１光センサがＯＦＦからＯＮに変化する時、信号回数に１を加算する
ことから構成されるものとする。
【００３０】
この計数アルゴリズムを用いると、図４（ａ）において、ａ１，ａ２，ａ３，ａ４，ａ５およびａ６で、それそれ１加算が１回生成する。更に、b１、ｂ２、ｂ３、ｂ４、ｂ５およびｂ６で、それぞれ１加算が１回生成する。また、図４（ｂ）において、ｃ１、ｃ２、ｃ３、ｃ４、ｃ５およびｃ６で、それぞれ１減算が１回生成する。更に、ｄ１、ｄ２、ｄ３、ｄ４、ｄ５およびｄ６で、それぞれ１減算が１回生成する。即ち、テープが右に送られる時、１パーフォレーションあたり、１加算が４回生成し、テープが左に送られる時、１パーフォレーションあたり、１減算が４回生成することとなる。パーフォレーションをｎ個通過すれば、４ｎ個の加算又は減算が生成する。
【００３１】
図５は、チャタリングの模式図である。４図（ａ）は、光センサがＯＦＦの状態からＯＮの状態になる時生じるチャタリングの例示である。４図（ｂ）は、光センサがＯＮの状態からＯＦＦの状態になる時生じるチャタリングの例示である。チャタリングの検出波形を全て同一に記載してあるが、実際は、種々の波形となる。なお、予め閾値を設け、受光素子の光量が閾値に達しないとチャタリングは生じない設定となっているので、光センサの検出量が変化する時はいつでも、チャタリングが必ず生じるわけではない。
【００３２】
図６は、第１光センサの立下り時にチャタリングが２回発生し、他ではチャタリングが発生しない場合を、計数アルゴリズムを用いて計数すると、
ａ１は、１減算が３回、１加算が２回（積算して１減算）
ａ２、ａ３及びａ４は、それぞれ１減算
ｂ１、ｂ２、ｂ３及びｂ４：それぞれ１減算
となり、テープが左方向に移動して１パーフォレーションを通過すると１減算が４回生成し、チャタリングの影響は除かれている。なお、１加算と１減算は、テープの移動方向に依存するが、計数アルゴリズムの１加算と１減算の定義により変えることができるので、テープが進む場合を加算とし、テープが戻る場合を減算としなくてもテープ送りの制御に問題は生じない。更に、論理回路でテープの進む方向を減算とし、テープが戻る方向を加算と設定してもテープ送りの制御に問題は生じない。
【００３３】
図７は、第１光センサの立上がり時にチャタリングが２回発生し、他ではチャタリングが発生しない場合で、計数アルゴリズムを用いた計数回数は、
ａ１は、１減算、
ａ２は、１減算が３回、１加算が２回で積算して１減算、
ａ３及びａ４は、それぞれ１減算、
ｂ１、ｂ２、ｂ３及びｂ４は、それぞれ１減算、
となり、１パーフォレーションを通過すると１減算が４回生成し、チャタリングの影響は除かれている。
【００３４】
テープには、その巾が３５、４８、７０ｍｍ以外に標準テープと巾広テープの準規格がある。標準テープ１ａと巾広テープ１ｂは、その巾は同一であるが、パーフォレーション６の位置が異なる。巾広テープ１ｂでは、パーフォレーションの位置がより端部に配置され、有効に使用できるテープ巾が広くなるように設計されたものである。しかし、巾広テープは、パーフォレーションの強度が低くなる欠点があるので、強い力がテープに掛かると、パーフォレーションが変形・破損する欠点がある。
【００３５】
図８は、光センサにラインセンサを使用することにより、テープの巾が変更となっても光センサの取付位置を変更しないで光検出ができることを説明する図で、標準テープとテープの有効巾が５mm広いテープを並べて模式的に示している。テープ巾は、３５、４８、と７０ｍｍが業界標準である。このため、例えば、巾が４８ｍｍのテープで、電子部品を実装するテープの有効巾が３ｍｍ足らない場合、テープ巾７０ｍｍのテープを使用しなければならない。このような時、パーフォレーションの位置を外側に配設した巾広テープを採用すると経済的である。
【００３６】
標準テープの例を図８（ａ）と図８（ｂ）に標準テープを、そして図８（ｃ）と図８（ｄ）に巾広テープの例を示している。なお、図８（ｂ）と図８（ｄ）は、光センサの平面図である。図８（ａ）は、ＡＡ断面図で、図８（ｃ）は、ＢＢ断面図である。平面図ではパーフォレーションの１穴と発光素子２個が破線で、断面図では受光素子の受光領域を示してある。なお、テープ（１ａ、１ｂ）は、テープの片側の端部のみを示している。
【００３７】
標準テープ１aの両端部には、パーフォレーション６が穿孔されている。発光素子４ａの下面には、２個のレーザ１０が配設されている。そしてこのレーザ１０から放射される光線４ｃを受光できる位置に受光素子４ｂが配設されている。平面図では、図面を複雑化させないため、発光素子４ａと受光素子４ｂの重なり合うように作図されている。光線４ｃは、パーフォレーションに対応した右側（内側）のレーザ１０が用いられる。レーザは、個々に制御できるようになっており、左側（外側）のレーザは、誤動作を引き起こすので発光させない方が良い。なお、第２光センサ４ｂは、図３で記述したように、第１光センサと同一のセンサであり、取付位置が第１光センサと離間して設けられている。
【００３８】
上記実施例では、標準テープと巾広テープを例示したが、より巾広のラインセンサを用いることにより、光センサの取り付け位置を変更しないで、どのようなテープ巾でも対応できる。
【００３９】
図９は、本発明のテープ搬送装置の応用例である樹脂塗布硬化装置を示す。テープ送り機構１７、テープ１にバックテンションを掛けるテンションローラ２、光センサ（４，５）、樹脂ディスペンサ（１２，１３）、送りローラ３、樹脂硬化装置１９、送りローラ１１、とテープ巻取装置２０からなる。テープの送り方式は、送りローラ（３、１１）にスプロケット歯車を用いるスプロケット方式ではなく、送りローラは、ローラで、パーフォレーションをテープ送りの位置検出に用いるローラ方式である。
【００４０】
テープ送り機構１７は、送りリール１４と巻き取りリール１６からなる。送りリール１４は、半導体チップなどの電子部品が実装されたテープ１をスペーサ１ｃで挟んで巻き取ったものであり、テープ１を送る度に送り出されるスペーサ１ｃは、巻き取りリール１６に巻き取られる。樹脂ディスペンサは、シングルヘッド型とマルチヘッド型がある。図９では、２ヘッドを例示しているが、４ヘッドでも、１ヘッドでも良い。
【００４１】
樹脂硬化装置１９は、３段炉である。炉長は３ｍ〜４ｍである。テープ１の搬送方向を反転する反転ローラ（２１，２２）が炉内の設けられている。炉内の各段毎にヒータが配設されている。炉内は、窒素ガスの雰囲気とする。樹脂ディスペンサ（１２，１３）により塗布された樹脂は、炉内で加熱され、炉の入口付近で溶剤を蒸発させるので、溶剤が炉内に拡散しないように、炉入口付近から炉内ガスを炉外へ放出させるガス排出口（図示略）を設けてある。
【００４２】
樹脂塗布硬化装置において、リール１４からリール１５までのテープの長さは十数メートルになりテープを送るために大きな力がテープに掛かる。テープ厚さが３０μ以下となると、スプロケット歯車によるテープ送りが困難になるので、本発明になるテープ搬送装置は、特段に有効となる。
【００４３】
本発明において、テープの位置マークの例としてパーフォレーションを示したが、印刷したマークでも、エッチングにより成形したプリント配線の銅薄膜でもよい。パーフォレーションは、ＴＣＰテープに慣用されているので実用価値は高いが、テープの強度を低下させること、ファインピッチの穿孔が困難なこと等の欠点があり、これらの欠点をクリアする場合前記位置マークが有効となる。    
【００４４】
ＴＣＰテープの位置決めは、通常、パーフォレーションを利用してテープを送り、荒い位置決めをし、その後、テープに形成されたアライメントマークをＣＣＤカメラ等で検出して正確な位置決めをしている。アライメントマークを光センサ等で検出してＣＣＤカメラを用いないでも精度の高いテープの位置決めが可能である。本発明において、光センサの代わりに、容量センサや磁気センサを用いても良い。
【００４５】
光センサのＯＮ−ＯＦＦの判定は、光センサが検出した光量を時間で微分し、微計数がゼロまたはマイナスからプラスに変化する時、１回ＯＮになったと判断しても良い。同様に、ＯＦＦは、光センサが検出した光量を時間で微分し、微計数がプラスからマイナスに変化する時、１回ＯＮになったと判断しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
光センサで検出する物体は、四角なパーフォレーションに限定されることはなく、テープ上に掲載された線にも適用できる。また、テープ搬送装置は、樹脂封止装置以外に、フリップチップ実装装置やＩＣハンドラー等にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】テープの搬送機構とパーフォレーションを検出する光センサとの関係を示す斜視図である。
【図２】検出制御回路のブロック図である。
【図３】２つの光センサの位置を例示する図である。
【図４】２つの光センサの検出波形で、チャタリングが生じない場合を示す図である。
【図５】チャタリングの例を示す図である。
【図６】第１光センサがOFFからONに変化するときの第１光センサと第２光センサの検出波形である。
【図７】第１光センサがONからOFFに変化するときの第１光センサと第２光センサの検出波形である。
【図８】標準巾テープと広巾テープを同一の光センサで位置検出することを説明する図である。
【図９】本発明になるテープ搬送装置を用いた樹脂封止装置の正面図である。
【図１０】従来方法でチャタリングを計数した場合の検出回数の例。
【符号の説明】
【００４８】
１          テープ
１ａ        標準テープ
１ｂ        巾広テープ
２        テンションローラ
２ａ      上ローラ
２ｂ      下ローラ
３        送りローラ
３ａ      上ローラ
３ｂ      下ローラ
４        第１光センサ
４ａ      発光素子
４ｂ      受光素子
４ｃ      光線
５        第２光センサ
５ａ      発光素子
５ｂ      受光素子
５ｃ      光線
６        パーフォレーション
６ａ      パーフォレーションの中心線
７        トルクモータ
８        サーボモータ
９        テープ案内板
１０      レーザ
１１      送りローラ
１２、１３  ディスペンサ
１４      送りリール
１５      テープ巻取りリール
１６      スペーサテープ巻取りリール
１７      テープ送り機構
１８      樹脂塗布機構
１９      樹脂硬化装置
２０      テープ巻取り機構
２１、２２  反転ローラ
【図１】
2005059986.tif 000003
【図２】
2005059986.tif 000004
【図３】
2005059986.tif 000005
【図４】
2005059986.tif 000006
【図５】
2005059986.tif 000007
【図６】
2005059986.tif 000008
【図７】
2005059986.tif 000009
【図８】
2005059986.tif 000010
【図９】
2005059986.tif 000011
【図１０】
2005059986.tif 000012