(57)【要約】【課題】  静電アクチュエータの可動子の移動による、レンズ群の移動に際して画像がぶれず、円滑なフォーカシングやズーミングのプレビュー画像表示を可能とした、撮像装置を得ること。【解決手段】  撮像素子で得られる画像データのうち、可動子を吸着した固定子に対応して、所定の領域の画像データを選択して使用する、或いは可動子の固定子間での振動に同期して撮像素子を振動させる撮像装置とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体像を光電変換する撮像素子と、該撮像素子へ被写体光を導く撮像光学系と、所定の位置に配置固定された固定子の対と前記固定子に相対する面に電極部を備え前記固定子に交互に吸着され振動しつつ所定方向に移動可能な可動子を有した静電アクチュエータとを有し、前記可動子が前記撮像光学系の少なくとも一部を保持するよう構成された撮像装置において、
前記撮像素子で得られる画像データのうち、前記可動子を吸着した固定子に対応して、所定の領域の画像データを選択して使用することを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記所定の領域の選択は、焦点調節時におこなわれることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記所定の領域の選択は、ズーミング時におこなわれることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項４】
被写体像を光電変換する撮像素子と、該撮像素子へ被写体光を導く撮像光学系と、所定の位置に配置固定された固定子の対と前記固定子に相対する面に電極部を備え前記固定子に交互に吸着され振動しつつ所定方向に移動可能な可動子を有した静電アクチュエータとを有し、前記可動子が前記撮像光学系を保持するよう構成された撮像装置において、
前記可動子の前記固定子間での振動に同期して前記撮像素子を振動させることを特徴とする撮像装置。
【請求項５】
前記撮像素子の振動は、焦点調節時におこなわれることを特徴とする請求項４に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記撮像素子の振動は、ズーミング時におこなわれることを特徴とする請求項４に記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は静電アクチュエータ及び静電アクチュエータを用い、光学系を光軸方向に移動可能に構成した撮像装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、固体撮像素子により被写体画像を撮影する撮像装置が、携帯電話機やＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）等の小型、薄型の携帯端末に搭載されるようになり、これにより遠隔地へ音声情報だけでなく画像情報も相互に伝送することが可能となっている。これらの撮像装置は、携帯端末に内蔵可能とするために、極めて小型薄型に構成することが要求されている。
【０００３】
これらの小型化、の要望に対し、光学系を個々に直接的に移動させることの可能なアクチュエータとして、静電アクチュエータを用いた光学装置が種々提案されている。この静電アクチュエータは、所定の間隔で配置された、電極部を有する２つの固定子と、この固定子間に配置された可動子を有し、可動子が静電気力により固定子間を振動しつつ、所定の方向に移動させるものである。
【０００４】
このような、静電アクチュエータの可動子に光学素子を保持し、撮像素子の読み出し周期に合わせて可動子を振動させ、撮像素子の持つ画素数以上の画質を得る撮像装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−２８１８７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、静電アクチュエータを用いた撮像装置は、以下のような問題がある。
【０００６】
デジタルカメラ、ビデオカメラ或いは携帯端末に内蔵された撮像装置等で一般的に使用されているＬＣＤ等の表示装置を、ファインダとして用いる時のプレビュー画像が、ズーミング時に振動方向にぶれつつ変倍し、円滑なズーミング画像とならない欠点がある。また、この問題はフォーカシング時にも同様の欠点となる。
【０００７】
上述の特許文献１に記載の撮像装置は、解像度は向上するが、上記のズーミング時及びフォーカシング時にプレビュー画像がぶれる欠点を併せ持つものである。更に、この手法で得た画像を処理したり、表示させるには専用の装置が必要であり、従来から多用されている通常の画像処理手段や画像表示手段に対し適用が困難であるという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記問題に鑑み、従来から多用されている通常の画像処理手段や画像表示手段に対し適用が可能で、静電アクチュエータの可動子の移動による、レンズ群の移動に際して画像がぶれず、円滑なフォーカシングやズーミングのプレビュー画像表示を可能とした、撮像装置を得ることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題は、以下の構成で解決される。
【００１０】
１）  被写体像を光電変換する撮像素子と、該撮像素子へ被写体光を導く撮像光学系と、所定の位置に配置固定された固定子の対と前記固定子に相対する面に電極部を備え前記固定子に交互に吸着され振動しつつ所定方向に移動可能な可動子を有した静電アクチュエータとを有し、前記可動子が前記撮像光学系の少なくとも一部を保持するよう構成された撮像装置において、前記撮像素子で得られる画像データのうち、前記可動子を吸着した固定子に対応して、所定の領域の画像データを選択して使用することを特徴とする撮像装置。
【００１１】
２）  前記所定の領域の選択は、焦点調節時におこなわれる１）の撮像装置。
【００１２】
３）  前記所定の領域の選択は、ズーミング時におこなわれる１）の撮像装置。
【００１３】
４）  被写体像を光電変換する撮像素子と、該撮像素子へ被写体光を導く撮像光学系と、所定の位置に配置固定された固定子の対と前記固定子に相対する面に電極部を備え前記固定子に交互に吸着され振動しつつ所定方向に移動可能な可動子を有した静電アクチュエータとを有し、前記可動子が前記撮像光学系を保持するよう構成された撮像装置において、前記可動子の前記固定子間での振動に同期して前記撮像素子を振動させることを特徴とする撮像装置。
【００１４】
５）  前記撮像素子の振動は、焦点調節時におこなわれる４）の撮像装置。
【００１５】
６）  前記撮像素子の振動は、ズーミング時におこなわれる４）の撮像装置。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、撮像素子で得られる画像データのうち、可動子を吸着した固定子に対応して、撮像領域から所定の領域の画像データを選択して使用することによって、通常の画像処理手段や画像表示手段に対し適用が可能で、ブレのないプレビュー画像表示を可能とした、撮像装置を得ることが可能となる。
【００１７】
また、可動子の固定子間での振動に同期して撮像素子を振動させることによって、従来の画像処理手段や画像表示手段を変更することなく、静電アクチュエータの可動子の振動を伴う移動によるレンズ群の移動に際して画像がぶれないフォーカシングやプレビュー画像表示を可能とした、撮像装置を得ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、実施の形態により本発明を詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。以下、実施の形態に基づき説明する。なお、以下の図においては、説明の重複を避けるため、同機能部材には同符号を付与して説明する。
【００１９】
（第一の実施の形態）
図１は、本発明の第一の実施の形態に係る撮像装置１００の概略構成を示す斜視図である。同図は、撮像装置１００の主要な内部が見えるように、側面を開放して示している。
【００２０】
同図において、１１はレンズ群で構成された光軸をＯとする撮像光学系であり、可動子１７に組み付けられている。１３は撮像素子であり例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）型イメージセンサやＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）型イメージセンサ等の固体撮像素子である。撮像素子１３の前面には、図示しないが赤外光カットフィルタ、光学ローパスフィルタ等の光学素子が配置されている。１４はプリント基板であり、撮像素子１３が実装されると共に、撮像素子１３の駆動用電子部品が実装されており、フレキシブルプリント基板１９が接続されて、撮像素子１３から出力される光電変換信号に所望の処理を施した後、他のプリント基板へ送出するようになっている。
【００２１】
１６及び１８は静電アクチュエータの固定子であり、図示しない筐体に、電極部を対向させて並行に固定されている。固定子１６、１８は、ガラスまたはセラミックス等の絶縁体からなる基板上にスパッタリング等の手法により導電体被膜を形成することで作成される。また、形成された導電体被膜上には絶縁体被膜を設けることが好ましい。
【００２２】
固定子１６及び１８の間には、可動子１７が配置されている。この可動子１７は、導電性を有する材料で形成されており、例えば、特開２００３−２８４３５９号公報に記載の気相成長炭素繊維（ＶＧＣＳ）とＰＰＳ（ポリフェニレンスルフィド）等の熱可塑性樹脂と溶融混練してなる樹脂組成物で成形した導電性樹脂等で形成されるのが、軽量で安価なため望ましい。可動子１７には、固定子１６と対向する面に、凸部の幅が２Ｌでピッチが４Ｌとなるように形成された可動子電極部１７ｆ、固定子１８と対向する面に、固定子１８の電極パターンに対応した可動子電極部１７ｄが形成されている。
【００２３】
固定子１６、１８に形成された電極部及び可動子１７は、それぞれ、選択的にスイッチング制御をおこなうスイッチング回路２０に接続されており、このスイッチング回路２０に電力を供給する電源回路２１が接続されている。また、コントローラ２２は、スイッチング回路のスイッチング状態と撮像素子１３の動作状態、詳しくは、撮像素子１３から出力される信号が、可動子１７が固定子１６、１８のいずれに吸着されている時に蓄積された信号であるかを判断するものである。
【００２４】
図２は、固定子１６及び固定子１８の、可動子１７に相対する面に形成された電極の模式図である。同図（ａ）は、固定子１６に形成された電極を示し、同図（ｂ）は、固定子１８に形成された電極を示している。
【００２５】
同図（ａ）に示すように、固定子１６の可動子１７と相対する面には、可動子電極部１７ｆ（図１参照）の配列に対応して、移動方向に垂直な方向にストライプ状に、第１の電極である、４系統の電極Ａ、電極Ｂ、電極Ｃ、電極Ｄが交互に形成されており、電極Ａは電極パッドＡに、電極Ｂは電極パッドＢに、電極Ｃは電極パッドＣに、電極Ｄは電極パッドＤに接続されている。この４系統の電極Ａ〜Ｄは、後述のように、順次切り替えて電圧を印加することにより可動子１７を移動させるために用いられる。このストライプ状の電極の配列ピッチはＬとなるよう形成されている。以下、この電極Ａ〜Ｄを駆動電極と称す。
【００２６】
また、同図（ｂ）に示すように、固定子１８の可動子１７と相対する面には、可動子電極部１７ｄ（図１参照）の凸部に対応して、第２の電極である、電極Ｋが形成されており、これらの電極Ｋは一系統の電極パッドＫに接続されている。以下、この電極Ｋを保持電極と称す。
【００２７】
駆動電極Ａ〜Ｄ及び保持電極Ｋには、各電極に選択的に電圧を印加するスイッチング回路２０（図１参照）が接続されている。
【００２８】
この固定子１６及び１８は、紙面左側の端面を物体側、紙面右側の端面を像面側（撮像素子側）にして配置されている。
【００２９】
図３は、固定子１６に形成された駆動電極Ａ〜Ｄ、固定子１８に形成された保持電極Ｋにより、可動子１７を光軸方向に駆動する場合のシーケンスを示すタイムチャートである。
【００３０】
図４は、駆動電極Ａ〜Ｄ及び保持電極Ｋへの選択的通電による可動子１７の移動を示す図である。
【００３１】
図３及び図４を用い、可動子１７の移動制御について説明する。
【００３２】
図３における、時間ｔ０〜ｔ１の時、保持電極Ｋに電圧が印加され可動子１７の可動子電極１７ｄ側が固定子１８に吸着され、可動子電極１７ｆ側の凸部は、それぞれ固定子１８の駆動電極ＣとＤに対応する位置にある状態とする。
【００３３】
図３に示すように、ｔ１で保持電極Ｋへの電圧印加を停止し、駆動電極Ｂ、Ｃに電圧を印加する。これにより、可動子１７は、固定子１８との吸着力を失い、固定子１６の駆動電極Ｂ、Ｃに吸着され、駆動電極１ピッチ分（Ｌ）だけずれて、図４（ａ）に示すように紙面左斜上方向に移動する。
【００３４】
次いで、ｔ２で駆動電極Ｂ、Ｃへの電圧印加を停止し、保持電極Ｋに電圧を印加する。可動子１７は固定子１６との吸引力を失い、図４（ｂ）に示すように、その位置で固定子１８の保持電極Ｋ側に吸引される。
【００３５】
次いで、ｔ３で保持電極Ｋへの電圧印加を停止し、駆動電極Ａ、Ｂに電圧を印加する。これにより、可動子１７は、固定子１８の保持電極Ｋとの吸着力を失い、固定子１６の駆動電極Ａ、Ｂに吸着され、更に駆動電極１ピッチ分（Ｌ）だけ、図４（ｃ）に示すように紙面左斜上方向に移動する。
【００３６】
更に、ｔ４で駆動電極Ａ、Ｂへの電圧印加を停止し、保持電極Ｋに電圧を印加することにより、可動子１７は固定子１６との吸引力を失い、図４（ｄ）に示すように、その位置で固定子１８の保持電極Ｋ側に吸引される。
【００３７】
以下同様に、ｔ５で保持電極Ｋへの電圧印加を停止し、駆動電極Ａ、Ｄに電圧を印加、ｔ６で駆動電極Ａ、Ｄへの電圧印加を停止し、保持電極Ｋに電圧を印加、ｔ７で保持電極Ｋへの電圧印加を停止し、駆動電極Ｃ、Ｄに電圧を印加、ｔ８で駆動電極Ｃ、Ｄへの電圧印加を停止し、保持電極Ｋに電圧を印加、ｔ９で保持電極Ｋへの電圧印加を停止し、駆動電極Ｂ、Ｃに電圧を印加、ｔ１０で駆動電極Ｂ、Ｃへの電圧印加を停止し、保持電極Ｋに電圧を印加というようにスイッチング回路を制御することにより、可動子１７を、駆動電極１ピッチ（Ｌ）ずつ順次図４に示す紙面左方向に移動させることができる。
【００３８】
また、可動子１７を上記と逆方向（図４に示す紙面右方向）に移動させるには、駆動電極Ａ〜Ｄへの電圧印加を逆の順序でおこなうことで移動させることができる。
【００３９】
例えば、前述のｔ１０の状態から、可動子１７を逆方向に移動させるには、ｔ１１で保持電極Ｋへの電圧印加を停止し、駆動電極Ｃ、Ｄに電圧印加、ｔ１２で駆動電極Ｃ、Ｄへの電圧印加を停止し、保持電極Ｋに電圧印加、ｔ１３で保持電極Ｋへの電圧印加を停止し、駆動電極Ａ、Ｄに電圧印加、ｔ１４で駆動電極Ａ、Ｄへの電圧印加を停止し、保持電極Ｋに電圧印加、ｔ１５で保持電極Ｋへの電圧印加を停止し、駆動電極Ａ、Ｂに電圧印加、ｔ１６で駆動電極Ａ、Ｂへの電圧印加を停止し、保持電極Ｋに電圧印加、ｔ１７で保持電極Ｋへの電圧印加を停止し、駆動電極Ｂ、Ｃに電圧印加、ｔ１８で駆動電極Ｂ、Ｃへの電圧印加を停止し、保持電極Ｋに電圧印加というように順次スイッチングすることで、可動子１７を、逆方向に移動させることができる。
【００４０】
このように、固定子１６に形成された駆動電極Ａ〜Ｄ、固定子１８に形成された保持電極Ｋへの電圧印加を制御することにより、可動子１７を固定子１６、１８間で振動させつつ光軸方向に移動させることができ、可動子１７と共に光学系１１も移動し、撮像素子１３との距離を変化させ、焦点調節をおこなうことができる。
【００４１】
以上のように、可動子１７を固定子１６と１８間で振動させつつ移動させるため、光学系１１によって撮像素子１３上に結像した画像は、可動子１７がどちらの固定子に吸着されているかで像の位置が異なるものとなる。即ち、可動子１７の振動振幅分だけ、光学系１１の光軸Ｏがずれ、これにより画像も可動子１７の振幅分だけずれている。
【００４２】
図５は、撮像素子１３で得られる画像データのうち、選択して使用する領域を示す図である。同図（ａ）は可動子１７が保持電極側に吸着された時の、撮像素子１３の有効画素領域１３ｙに対する光軸Ｏの位置を示し、同図（ｂ）は可動子１７が駆動電極側に吸着された時の、撮像素子１３の有効画素領域１３ｙに対する光軸Ｏの位置を示している。
【００４３】
同図において、有効画素領域１３ｙ上で、相互の光軸Ｏの位置は振動振幅ｄだけずれ、この量だけ画像もずれる。
【００４４】
この時、図１に示すコントローラ２２は、スイッチング回路のスイッチング状態と撮像素子１３の動作状態、詳しくは、撮像素子１３から出力される信号が、可動子１７が固定子１６、１８のいずれに吸着されている時に蓄積された信号であるかを判断し、得られた有効画素領域１３ｙの全ての画像データから、予め決められた領域の画像データを選択する。
【００４５】
より具体的には、撮像素子１３から出力される信号が、可動子１７が保持電極側に吸着された時に蓄積された信号の場合は、同図（ａ）の一点鎖線で示した領域２３ａの画像データを選択する。一方、撮像素子１３から出力される信号が、可動子１７が駆動電極側に吸着された時に蓄積された信号の場合は、同図（ｂ）の一点鎖線で示した領域２３ｂの画像データを選択する。
【００４６】
このようにして選択された領域の画像は、可動子１７が固定子１６か１８のいずれに吸着された場合に蓄積された画像であっても、ずれのない画像となり、ＡＦ、ＡＥ用の評価データ、或いは、表示装置へのプレビュー画像用に用いられる。
【００４７】
以上説明したように、撮像素子で得られる画像データのうち、可動子を吸着した固定子に対応して、撮像領域から所定の領域を選択して、使用することにより、通常の画像処理手段や画像表示手段に対し適用が可能で、ブレのないプレビュー画像表示を可能とした、撮像装置を得ることが可能となる。
【００４８】
なお、第一の実施の形態では、撮像光学系を可動子内に保持した例で説明したが、撮像光学系のうちの一部のレンズが可動子内に保持され、その他のレンズが固定されたものについても、本発明が適用可能なのは勿論である。
【００４９】
（第二の実施の形態）
図６は、本発明の第二の実施の形態に係る撮像装置２００の概略構成を示す斜視図である。同図は、撮像装置２００の主要な内部が見えるように、側面を開放して示している。同図については、図１と異なる部分についてのみ説明する。
【００５０】
同図に示す撮像装置２００においては、撮像素子１３を実装したプリント基板１４が、可動子１７とは別体の可動子１５に組み付けられている。この可動子１５には、固定子１６に対向する面に可動子電極１５ｆ、固定子１８に対向する面に可動子電極１５ｄが形成されている。
【００５１】
図７は、撮像装置２００に使用される固定子１６及び固定子１８の、可動子１７及び１５に相対する面に形成された電極の模式図である。同図（ａ）は、固定子１６に形成された電極を示し、同図（ｂ）は、固定子１８に形成された電極を示している。同図についても、図２と異なる部分についてのみ説明する。
【００５２】
同図（ａ）に示すように、固定子１６には上述の駆動電極Ａ〜Ｄに加え、電極Ｅが形成されている。この電極Ｅは可動子１５の可動子電極１５ｆに対応した位置に形成されている。
【００５３】
また、同図（ｂ）に示すように、固定子１８には上述の可動子１７に対応したパターン形状の保持電極Ｋａと、可動子１５の可動子電極１５ｄに対応した位置に保持電極Ｋｂが形成されている。保持電極Ｋａ、Ｋｂは共に電極Ｋと接続されている。
【００５４】
図８は、固定子１６に形成された駆動電極Ａ〜Ｅ、固定子１８に形成された保持電極Ｋａ、Ｋｂにより、可動子１７を光軸方向に駆動し、可動子１５を振動させる場合のシーケンスを示すタイムチャートである。
【００５５】
図９は、駆動電極Ａ〜Ｅ及び保持電極Ｋへの選択的通電による可動子１７の移動及び可動子１５の振動状態を示す図である。
【００５６】
図８及び図９を用い、可動子１７の移動と可動子１５の振動について説明する。
【００５７】
図８に示すタイムチャートは、図３に示すタイムチャートに電極Ｅの通電パターンを追加したものである。即ち、可動子１７は上述の図３で述べた駆動電極Ａ〜Ｄのシーケンスで光軸方向に移動させることができる。更に、電極Ｅは駆動電極Ａ〜Ｄのいずれかへの通電時には、これに合わせて通電するように制御される。即ち、保持電極Ｋと交互に通電がおこなわれる。
【００５８】
即ち、駆動電極Ａ〜Ｄのいずれかに通電され、同時に電極Ｅに通電されたときは、図９（ａ）に示すように、可動子１７は駆動電極Ａ〜Ｄ側へ、可動子１５は電極Ｅへ吸着され、共に固定子１６側に吸着される。一方、電極Ｋに通電されると、図９（ｂ）に示すように、可動子１７は保持電極Ｋａに、可動子１５は保持電極Ｋｂに吸着され、共に固定子１８側に吸着される。
【００５９】
即ち、撮像素子１３が組み付けられた可動子１５と、撮像光学系１１を保持した可動子１７を、同時に固定子１６、１８間で振動させることにより、撮像素子１３と撮像光学系１１の光軸直交方向の位置関係がずれることなく、いつも同じに維持することができる。
【００６０】
このようにすることにより、撮像光学系１１による画像は、撮像素子１３上でずれることが無くなり、従来の画像処理手段や画像表示手段を変更することなく、静電アクチュエータの可動子の振動を伴う移動によるレンズ群の移動に際して画像がぶれないフォーカシングやプレビュー画像表示を可能とした、撮像装置を得ることが可能となる。
【００６１】
なお、本例では、フォーカシングで説明したが、撮像光学系がズームレンズであって複数群のレンズがそれぞれ複数の可動子に保持され、個々に独立して移動するズーミング時にも、同様の方法が適用可能なのは言うまでもない。
【００６２】
また、第二の実施の形態では、撮像光学系を可動子内に保持した例で説明したが、撮像光学系のうちのレンズ群が可動子内に保持され、赤外光カットフィルタや光学ローパスフィルタ等の平板状の光学素子を振動しないよう固定されたものについても、本発明が適用可能なのは勿論である。
【００６３】
更に、上述の可動子電極、固定子電極の形状、電極パタン、スイッチング制御は、一例を示したものであり、その他の公知の電極の形状、電極パタン、スイッチング制御を用いてもよいのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第一の実施の形態に係る撮像装置１００の概略構成を示す斜視図である。
【図２】固定子１６及び固定子１８の、可動子１７に相対する面に形成された電極の模式図である。
【図３】固定子１６に形成された駆動電極Ａ〜Ｄ、固定子１８に形成された保持電極Ｋにより、可動子１７を光軸方向に駆動する場合のシーケンスを示すタイムチャートである。
【図４】駆動電極Ａ〜Ｄ及び保持電極Ｋへの選択的通電による可動子１７の移動を示す図である。
【図５】撮像素子１３で得られる画像データのうち、選択して使用する領域を示す図である。
【図６】本発明の第二の実施の形態に係る撮像装置２００の概略構成を示す斜視図である。
【図７】撮像装置２００に使用される固定子１６及び固定子１８の、可動子１７及び１５に相対する面に形成された電極の模式図である。
【図８】固定子１６に形成された駆動電極Ａ〜Ｅ、固定子１８に形成された保持電極Ｋａ、Ｋｂにより、可動子１７を光軸方向に駆動し、可動子１５を振動させる場合のシーケンスを示すタイムチャートである。
【図９】駆動電極Ａ〜Ｅ及び保持電極Ｋへの選択的通電による可動子１７の移動及び可動子１５の振動状態を示す図である。
【符号の説明】
【００６５】
１１  撮像光学系
１３  撮像素子
１４  プリント基板
１５  可動子
１６  固定子
１７  可動子
１８  固定子
１９  フレキシブルプリント基板
２０  スイッチング回路
２１  電源回路
２２  コントローラ
１００、２００  撮像装置
【図１】
2005303867.tif 000003
【図２】
2005303867.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2005303867.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005303867.tif 000009
【図８】
2005303867.tif 000010
【図９】
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