(57)【要約】【課題】  貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに貼付け応力分布の偏り少なく粘着シートを貼り付けることができるようにする。【解決手段】  貼付けローラ３０を介してワークＷに粘着シートＴを貼り付ける粘着シート貼付け方法において、貼付けローラ３０の進行方向に対して貼付け幅が変化するワークＷに対し、貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラ３０の荷重を大きくなるように制御し、単位面積あたりの荷重を略均一にする。【選択図】        図９
2005223190.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被粘着面に貼付けローラを転動させながら粘着シートを保持手段に保持されたワーク面上に貼り付ける粘着シート貼付け方法において
前記貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに対して、粘着シートの貼付け応力が一定となるようにワークと粘着シートとを、貼付けローラと保持手段とにより挟持しながら粘着シートをワークに貼付けることを特徴とする粘着シート貼付け方法。
【請求項２】
請求項１に記載の粘着シート貼付け方法において、
前記貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに対して、貼付けローラの移動に伴って貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラと保持手段の挟持によってワークに加える荷重を大きくするように制御することを特徴とする粘着シート貼付け方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の粘着シート貼付け方法において、
粘着シートをワークに貼り付けながら貼付けローラの高さを制御することを特徴とする粘着シート貼付け方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の粘着シート貼付け方法において、
粘着シートをワークに貼り付けながら保持手段の高さを制御することを特徴とする粘着シート貼付け方法。
【請求項５】
請求項１に記載の粘着シート貼付け方法において、
前記貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに対して、貼付けローラの移動に伴って貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラの移動速度を遅くするように制御することを特徴とする粘着シート貼付け方法。
【請求項６】
請求項５に記載の粘着シート貼付け方法において、
前記貼付けローラと保持手段の挟持によりワークに加える荷重を一定にしたことを特徴とする粘着シート貼付け方法。
【請求項７】
請求項５に記載の粘着シート貼付け方法において、
前記貼付けローラの移動速度と、貼付けローラと保持手段の挟持によりワークに加える荷重とを制御することを特徴とする粘着シート貼付け方法。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の粘着シート貼付け方法において、
前記ワークは、半導体ウエハであることを特徴とする粘着シート貼付け方法。
【請求項９】
被粘着面に貼付けローラを転動させながら粘着シートを保持手段に保持されたワーク面上に貼り付ける粘着シート貼付け装置において、
前記貼付けローラと前記保持手段の挟持により前記ワークに加える荷重を変化させる荷重調整手段と、
前記貼付けローラの前記ワークに対するローラ移動方向での位置を検知する位置検知手段と、
検知された前記貼付けローラ位置において貼付け幅が広くなるに従って、ワークに加える荷重を大きくするように前記荷重調整手段を制御する圧力制御手段と、
を備えたことを特徴とする粘着シート貼付け装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の粘着シート貼付け装置において、
前記荷重調整手段は、前記貼付けローラの高さを調整することを特徴とする粘着シート貼付け装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の粘着シート貼付け装置において、
前記荷重調整手段は、前記保持手段の高さを調整することを特徴とする粘着シート貼付け装置。
【請求項１２】
被粘着面に貼付けローラを転動させながら粘着シートを保持手段に保持されたワーク面上に貼り付ける粘着シート貼付け装置において、
前記貼付けローラの貼付け移動速度を変化させる速度調整手段と、
前記貼付けローラの前記ワークに対するローラ移動方向での位置を検知する位置検知手段と、
検知された前記貼付けローラ位置において貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラの貼付け移動速度を遅くするように制御する速度制御手段と、
を備えたことを特徴とする粘着シート貼付け装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の粘着シート貼付け装置において、前記装置はさらに、
前記貼付けローラにより前記ワークに加える荷重を変化させる荷重調整手段と、
前記位置検知手段により検知された前記貼付けローラ位置に応じて貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラによりワークに加える荷重を大きくするように前記荷重調整手段を制御する圧力制御手段と、
を備えたことを特徴とする粘着シート貼付け装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の粘着シート貼付け装置において、
前記荷重調整手段は、前記貼付けローラの高さを調整することを特徴とする粘着シート貼付け装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の粘着シート貼付け装置において、
前記荷重調整手段は、前記保持手段の高さを調整することを特徴とする粘着シート貼付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハに保護シートなどの粘着シートを貼付け処理する場合などに利用する粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）を薄型加工する手段として、研削や研磨などの機械的方法、またはエッチングを利用した化学的方法などを利用してウエハの裏面を加工してその厚みを薄くしている。また、これらの方法を利用してウエハを加工する際、配線パターンの形成されたウエハ表面を保護するために、その表面に保護シートが貼り付けられる。
【０００３】
つまり、バックグラインド工程に移載されたウエハは、その表面（パターン面）をチャックテーブルで吸着保持され、その裏面が砥石で研削される。このとき、ウエハの表面には研削によるストレスが加わりパターンが破損したしり、汚れたりする恐れがあるので、その表面に保護シートを貼り付けている。
【０００４】
この保護シートは、ロール巻きされた帯状の粘着シートをウエハ表面に供給するとともに、貼付けローラをウエハ表面に沿って転動移動させることで、粘着シートをウエハ表面にその一端から順次に貼付けてゆき、その後、ウエハ周縁に沿って粘着シートが切断される（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−２１７３２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように貼付けローラを転動移動させて、略円形に形成されているウエハの表面に粘着シートを貼り付ける場合、貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化することになる。しかしながら、従来では、貼付けローラにより加えられる荷重、および貼付け移動速度をそれぞれ一定に設定していたために、貼付け幅の小さいウエハの端部では貼付けローラからの荷重を受ける面積が小さく、貼付け幅が大きいウエハ中心部では貼付けローラからの荷重を受ける面積が大きくなっている。このために、ウエハ面内での単位面積当たりの荷重が異なることになって貼付け応力の分布に偏りが発生し、この貼付け応力分布の偏りによって裏面研削されて薄くなったウエハに反りや歪みが発生するといった問題がある。
【０００６】
また、ウエハ面内での単位面積当たりの荷重が異なると、配線パターンの間への粘着剤の埋め込み性が不均一になる問題もある。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに貼付け応力分布の偏りを少なく粘着シートを貼り付けることができる粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、被粘着面に貼付けローラを転動させながら粘着シートを保持手段に保持されたワーク面上に貼り付ける粘着シート貼付け方法において
前記貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに対して、粘着シートの貼付け応力が一定となるようにワークと粘着シートとを、貼付けローラと保持手段により挟持しながら粘着シートをワークに貼付けることを特徴とする。
【０００９】
（作用・効果）  この方法によると、貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに対して、粘着シートとワークとを貼付けローラと保持手段により挟持したときに、粘着貼付けローラの移動に伴って粘着シートに加わる荷重が一定となる。したがって、ワークに対する単位面積あたりの荷重を略均一にすることができる。その結果、粘着シート貼付け後のワークに対して研削などの薄型加工を行なっても、粘着シート貼付け時の応力分布に偏りがないことから、残留応力による反りなどが発生しない。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明において、前記貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに対して、貼付けローラの移動に伴って貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラと保持手段の挟持によってワークに加える荷重を大きくするように制御することを特徴とする。
【００１１】
（作用・効果）  この方法によると、貼付け幅が小さい領域では荷重が小さく、また、貼付け幅が大きい領域では荷重が大きくなるように貼付けローラの移動に伴って荷重を制御することで、ワークに対する単位面積あたりの荷重を略均一にすることができる。したがって、第１の発明方法を好適に実施することができる。
【００１２】
なお、粘着シートの貼付け応力が一定となる方法としては、例えば、粘着シートをワークに貼り付ける貼付けローラの移動に伴って、貼付けローラの高さを制御したり（第３の発明）、保持手段の高さを制御したりする方法（第４の発明）がある。
【００１３】
第５の発明は、第１の発明において、前記貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに対して、貼付けローラの移動に伴って貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラの移動速度を遅くするように制御することを特徴とする
【００１４】
（作用・効果）  この方法によると、貼付け幅が小さい領域ではローラ移動速度を速くし、また、貼付け幅が大きい領域になるに従って移動速度を遅くなるように貼付けローラのローラ移動速度を制御することで、ワークの位置に応じて荷重時間を調整することができる。つまり、貼付け幅が小さい領域での荷重時間を短くし、貼付け幅の大きい領域での荷重時間を長くすることにより、粘着シートの伸び率を略均一にすることができる。換言すれば、粘着シートの貼付け応力を一定にすることができる。その結果、粘着シート貼付け後のワークに対して研削などの薄型加工を行なっても、粘着シート貼付け時の応力分布に偏りがないことから、残留応力による反りなどが発生せず、第１の発明を好適に実施することができる。
【００１５】
なお、貼付けローラの移動速度を制御することで、粘着シートをワークに略均一に貼り付ける方法として、例えば、貼付けローラによりワークと粘着シートに加える荷重を一定にし、貼付けローラの移動に伴って貼付けローラの移動速度を制御する方法や（第６の発明）、貼付けローラの移動に伴って貼付けローラの移動速度と、貼付けローラによりワークと粘着シートに加える荷重の両方を制御する方法（第７の発明）とがある。
【００１６】
また、ワークとしては、略円形の半導体ウエハに適用するのが好ましい。
【００１７】
第９の発明は、被粘着面に貼付けローラを転動させながら粘着シートを保持手段に保持されたワーク面上に貼り付ける粘着シート貼付け装置において、
前記貼付けローラと前記保持手段の挟持により前記ワークに加える荷重を変化させる荷重調整手段と、
前記貼付けローラの前記ワークに対するローラ移動方向での位置を検知する位置検知手段と、
検知された前記貼付けローラ位置において貼付け幅が広くなるに従って、ワークに加える荷重を大きくするように前記荷重調整手段を制御する圧力制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
【００１８】
（作用・効果）  この構成によると、ワークの形状および大きさによってローラ移動方向での位置に対する貼付け幅が判るので、その情報に基づいてローラ位置においてワークに加えるべき荷重を予め設定しておき、ローラ位置検知結果に基づいて貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラと保持手段により挟持してワークと粘着シートに加わる荷重が大きくなるように制御することができる。したがって、ワークに対する単位面積あたりの荷重を略均一にすることができ、第１の発明方法を好適に実現することができる。
【００１９】
なお、ワークと粘着シートに加える荷重を調整する構成として、貼付けローラの高さ（第１０の発明）、または保持手段の高さ（第１１の発明）を荷重調整手段を介して制御することで実現する構成がある。
【００２０】
第１２の発明は、被粘着面に貼付けローラを転動させながら粘着シートを保持手段に保持されたワーク面上に貼り付ける粘着シート貼付け装置において、
前記貼付けローラの貼付け移動速度を変化させる速度調整手段と、
前記貼付けローラの前記ワークに対するローラ移動方向での位置を検知する位置検知手段と、
検知された前記貼付けローラ位置において貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラの貼付け移動速度を遅くするように制御する速度制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
【００２１】
（作用・効果）  この構成によると、ワークの形状および大きさによってローラ移動方向での位置に対する貼付け幅が判るので、その情報に基づいてローラ位置におけるローラ移動速度を予め設定しておき、ローラ位置検知結果に基づいてローラ移動速度を制御することでワークの位置に応じてワークと粘着シートに加える荷重時間を調節し、粘着シートの伸び率を略均一にすることができる。すなわち、第５の発明を好適に実現することができる。
【００２２】
第１３の発明は、第１２の発明において、前記装置はさらに、
前記貼付けローラの荷重を変化させる荷重調整手段と、
前記位置検知手段により検知された前記貼付けローラ位置に応じて貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラに加える荷重を大きくするように前記荷重調整手段を制御する圧力制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
【００２３】
（作用・効果）  この構成によると、ワークの形状および大きさによってローラ移動方向での位置に対する貼付け幅に応じて、貼付けローラ移動速度および貼付けローラによりワークと粘着シートに加える荷重の両方を制御することができ、ワークに対する単位面積あたりの荷重と粘着シートの伸び率の両方を調節することができ、粘着シートの貼付け応力の偏りなく、より一層に均一に粘着シートをワークに貼り付けることができる。なお、具体的な構成として、貼付けローラの高さ（第１４の発明）、または保持手段の高さ（第１５の発明）を荷重調整手段を介して制御することで実現する構成がある。
【発明の効果】
【００２４】
この発明に係る粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置によれば、粘着シートを貼り付ける貼付けローラの移動に伴って、その荷重、移動速度、またはこれらを組み合わせて制御することにより、貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに対する単位面積あたりの荷重または／および粘着シートの伸び率を略均一にすることができる。その結果、粘着シート貼付け後のワークを薄型加工など行なっても、粘着シート貼付け時の応力分布が略均一であることから、残留応力による反りなどが発生しない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００２６】
図１は、粘着シート貼付け装置の全体構成を示す斜視図である。この粘着シート貼付け装置は、ワークとしての半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」という）を収納したカセットＣ１，Ｃ２が装填されるウエハ供給／回収部１、ロボットアーム２を備えたウエハ搬送機構３、アライメントステージ４、ウエハＷを載置して吸着保持するチャックテーブル５、ウエハＷに向けて表面保護用の粘着シートＴを供給するシート供給部６、シート供給部６から供給されたセパレータ付きの粘着シートＴからセパレータｓを剥離回収するセパレータ回収部７、チャックテーブル５に載置されて吸着保持されたウエハＷに粘着シートＴを貼付ける貼付けユニット８、ウエハＷに貼付けられた粘着シートＴをウエハＷの外形に沿って切り抜き切断するシート切断機構９、ウエハＷに貼付けて切断処理した後の不要シートＴ’を剥離する剥離ユニット１０、剥離ユニット１０で剥離された不要シートＴ’を巻き取り回収するシート回収部１１などが備えられている。
【００２７】
以下、各機構について具体的に説明する。
【００２８】
ウエハ供給／回収部１には２台のカセットＣ１，Ｃ２を並列して装填可能であり、各カセットＣ１，Ｃ２には、配線パターン面を上向きにした多数枚のウエハＷが多段に水平姿勢で差込み収納されている。
【００２９】
ウエハ搬送機構３に備えられたロボットアーム２は、水平に進退移動可能に構成されるとともに、全体が駆動旋回および昇降可能となっている。そして、ロボットアーム２の先端には、馬蹄形をした真空吸着式のウエハ保持部２ａが備えられており、カセットＣ１に多段に収納されたウエハＷ同士の間隙にウエハ保持部２ａを差し入れてウエハＷを裏面から吸着保持し、吸着保持したウエハＷをカセットＣ１から引き出して、アライメントステージ４、チャックテーブル５、および、ウエハ供給／回収部１の順に搬送するようになっている。
【００３０】
アライメントステージ４は、ウエハ搬送機構３によって搬入載置されたウエハＷを、その外周に形成されたオリエンテーションフラットやノッチなどに基づいて位置合わせを行なうようになっている。
【００３１】
チャックテーブル５は、図２に示すように、ウエハ搬送機構３から移載されたウエハＷを所定の位置合わせ姿勢でウエハ載置面Ｓに載置するとともに、そのウエハ載置面Ｓに環状に形成された微少幅（幅１ｍｍ以内）の吸着溝１３を介して真空吸着するようになっている。また、このチャックテーブル５の上面には、後述するシート切断機構９のカッタ刃１４をウエハＷの外形に沿って旋回移動させて粘着シートを切断するためにカッタ走行溝１５が形成されるとともに、テーブル中心にはウエハＷの搬入搬出時にウエハＷをテーブル上面から浮上させて支持する吸着パッド１６が昇降自在に配備されている。
【００３２】
この吸着パッド１６を配備するよう中抜きされたチャックテーブル５と吸着パッド１６とが形成する環状の間隙Ｇも１ｍｍ以内となっている。
【００３３】
また、チャックテーブル５は、図３に示すように、ヒータ１７を内装したテーブル基台１８にテーブル本体１９および周枠部２０とを面一状態に連結して構成されている。テーブル本体１９におけるウエハ載置面Ｓの外側箇所に一段低く形成された段差部１９ａに中抜き形状の周枠部２０が嵌合配備されて、ウエハ載置面Ｓの外周と周枠部２０の内周との間に前記カッタ走行溝１５が形成されている。
【００３４】
ここで、テーブル本体１９は、その段差部１９ａにおいて基台１８にボルト２１を介して連結することで、ボルト装着用の座ぐりがテーブル本体１９のウエハ載置面Ｓに表れないようにしている。
【００３５】
また、テーブル本体１９に中心に配備された吸着パッド１６は、テーブル基台１８の下部に連結されるエアーシリンダ２２のピストン部２２ａに連結されて駆動昇降されるとともに、エアーシリンダ２２をテーブル基台１８に取り付けるボルト２３を調節してエアーシリンダ２２の高さを調節することで、ピストン部２２ａが下限に到達したときの吸着パッド１６の上面がテーブル本体１９におけるウエハ載置面Ｓと正しく面一になるように調節設定される。
【００３６】
なお、吸着パッド１６は、その吸着面に座ぐりのないよう裏面側からネジ固定されている。
【００３７】
したがって、本実施例のチャックテーブル５は、ウエハ載置面Ｓに形成された環状の吸着溝１３と、間隙Ｇとを１ｍｍ以内の微小幅にするとともに、吸着パッド１６の上面がテーブル本体１９におけるウエハ載置面Ｓと正しく面一になるように調節することで、ウエハ載置面Ｓに載置したウエハＷが、吸着による負圧で溝などの凹部において凹入変形するのを解消できるようになっている。
【００３８】
また、テーブル本体１９のウエハ載置面Ｓに基台１８と連結するためのボルトを装着する座ぐりなどをウエハ載置面Ｓから外れた箇所に設けることで、座ぐりにウエハＷが凹入変形するのを解消できるようになっている。すなわち、ウエハＷに粘着シートＴを均一な加圧力で貼り付けることができ、その後に高い平滑度でバックグラインド加工を施すことができるようになる。
【００３９】
図１に戻り、シート供給部６は、ボビン２６から繰り出されたセパレータ付きの粘着シートＴをガイドローラ２７群に巻回案内し、セパレータｓを剥離した粘着シートＴを貼付けユニット８に導くよう構成されており、ボビン２６に適度の回転抵抗を与えて過剰なテープ繰り出しが行われないように構成されている。
【００４０】
セパレータ回収部７は、粘着シートＴから剥離されたセパレータｓを巻き取る回収ボビン２８が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【００４１】
貼付けユニット８には、図４に示すように、エアーシリンダ２９で昇降される貼付けローラ３０が水平片持ち状に備えられており、ユニット全体が案内レール３１に沿って水平移動可能に案内支持される。また、貼付けユニット８は、モータ３２で正逆転駆動されるネジ軸３３によって左右水平に往復ネジ送り駆動されるようになっている。
【００４２】
剥離ユニット１０には剥離ローラ３４が水平片持ち状に備えられており、ユニット全体が案内レール３１に沿って水平移動可能に案内支持されるとともに、モータ３６で正逆転駆動されるネジ軸３７によって左右水平に往復ネジ送り駆動されるようになっている。
【００４３】
図１に戻り、シート回収部１１は、不要シートＴ’を巻き取る回収ボビン３８が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【００４４】
シート切断機構９は、駆動昇降可能な可動台３９に、チャックテーブル５の中心上に位置する縦軸心Ｘ周りに駆動回転可能な支持アーム４０が備えられるとともに、この支持アーム４０の遊端側に備えたカッタユニット４１に、刃先を下向きにしたカッタ刃１４が装着された構造となっている。
【００４５】
次に、上記実施例装置を用いて表面保護用の粘着シートＴをウエハＷの表面に貼付けるための一連の基本動作を図１および図５〜図８を参照しながら説明する。
【００４６】
貼付け指令が出されると、先ず、ウエハ搬送機構３におけるロボットアーム２がカセット台１２に載置装填されたカセットＣ１に向けて移動され、ウエハ保持部２ａがカセットＣに収容されているウエハ同士の隙間に挿入され、ウエハ保持部２ａでウエハＷを裏面（下面）から吸着保持して搬出し、取り出したウエハＷをアライメントステージ４に移載する。
【００４７】
アライメントステージ４に載置されたウエハＷは、オリエンテーションフラットやノッチを利用して位置合わせされ、位置合わせのすんだウエハＷは再びロボットアーム２によって搬出されてチャックテーブル５上に突出している吸着パッド１６に移載され、その後、吸着パッド１６が下降することでウエハＷがチャックテーブル５のウエハ載置面Ｓに載置される。この場合、下限まで下降した吸着パッド１６の上面がウエハ載置面Ｓと面一となっているのでウエハＷは吸着パッド１６の上面にも載置支持されることになる。
【００４８】
チャックテーブル５に載置されたウエハＷは、その中心がチャックテーブル５の中心上にあるように位置合わせされた状態で吸着溝１３に与えられた負圧によって吸着保持されるとともに、内装されたヒータ１７により貼り付けられる粘着シートＴの粘着剤が適度に軟化する程度に加熱される。この時、図５に示すように、貼付けユニット８と剥離ユニット１０は左側の初期位置に、また、シート切断機構９のカッタ刃１４は上方の初期位置でそれぞれ待機している。
【００４９】
次に、図５中の仮想線で示すように、貼付けユニット８の貼付けローラ３０が下降されるとともに、この貼付けローラ３０で粘着シートＴを下方に押圧しながらウエハＷ上をテープ走行方向と逆方向（図では左から右方向）に転動し、これによって粘着シートＴがウエハＷの表面全体に貼付けられる。
【００５０】
次に、図６に示すように貼付けユニット８が終端位置に達すると、図７に示すように、上方に待機していたカッタ刃１４が下降されて、チャックテーブル５のカッタ走行溝１５において粘着シートＴに突き刺さり貫通される。
【００５１】
カッタ刃１４が所定の切断高さ位置まで下降されて停止すると、支持アーム４０が所定の方向に回転され、これに伴ってカッタ刃１４が縦軸心Ｘ周りに旋回移動して、粘着シートＴがウエハ外形に沿って切断される。
【００５２】
ウエハＷの外周に沿ったシート切断が終了すると、図８に示すように、カッタ刃１４は元の待機位置まで上昇される。次いで、剥離ユニット１０がウエハＷをテープ走行方向と逆方向（図では左から右方向）へ移動しながらウエハＷ上で切り抜き切断されて残った不要テープＴ’を巻き上げ剥離する。
【００５３】
剥離ユニット１０が剥離作業の終了位置に達すると、剥離ユニット１０と貼付けユニット８とがテープ走行方向に移動して初期位置に復帰する。この時、不要テープＴ’が回収ボビン３８に巻き取られるとともに、一定量の粘着シートＴがシート供給部６から繰り出される。
【００５４】
シート貼付け作動が終了すると、吸着溝１３の負圧が解除されるとともに吸着パッド１６が上昇作動して処理済みのウエハＷはテーブル上方に浮上された後、ロボットアーム２のウエハ保持部２ａに移載されてウエハ供給／回収部１のカセットＣ２に差込み回収される。
【００５５】
以上で１回のシート貼付け作動が完了し、以後、上記作動を順次繰返してゆく。
【００５６】
上記貼付け作動において、ウエハＷの面において単位面積当たりの荷重が略均一な状態で粘着シートＴが貼付けられるように以下のような制御が行われる。
【実施例１】
【００５７】
図４に示すように、前記貼付けユニット８を水平移動させるネジ軸３３の回転量を検知するロータリエンコーダ４２が制御装置４３に接続されて貼付けローラ３０の移動位置が演算されるとともに、貼付けローラ３０を昇降するエアーシリンダ２９のエアー圧を調整して貼付けローラ３０の荷重を制御するレギュレータ４４が貼付けローラ３０の位置情報に基づいて制御されるようになっている。なお、エアーシリンダ２９は、本発明の荷重調節手段に、制御手段４３は圧力制御手段に、ロータリエンコーダ４２は位置検出手段にそれぞれ相当する。
【００５８】
図９に、貼付けローラ３０の貼付け移動方向での位置に対して貼付けローラ３０によりウエハＷと粘着シートＴに与えられる荷重の変化特性を示している。具体的には、貼付けローラ３０の移動に伴うウエハＷへのシート貼付け幅がウエハＷの略円形に伴って端部の小さい幅から大きい幅、そして終端部の小さい幅へとなる連続的な変化に対し、比例して端部では小さい荷重、中央部に向かうに連れて大きい荷重、そして終端部に向かうに連れて小さい荷重に変化するように、荷重変化特性がウエハＷのサイズに対応して演算式あるいはマップデータとして予め制御装置４３に入力設定されている。
【００５９】
そして、この特性で貼付けローラ３０の荷重を制御することで、ウエハＷの面において単位面積当たりの荷重が略均一な状態で粘着シートＴを貼付けることができるようになっている。その結果、粘着シートＴを貼付け後のウエハＷを研削などの薄型加工を行なっても、図９の破線に示すように、粘着シート貼付け時の応力分布が略均一となっているので、残留応力による反りなどが発生しない。
【００６０】
また、単位面積当たりの荷重が略均一となることで、ウエハ面内での配線パターンの間への粘着剤の埋め込みも略均一にすることができる。
【００６１】
なお、上述のように、荷重を連続的に変化させる上記変化特性は理想的なものであるが、図１０に示すように、貼付けローラの位置領域を複数に区分し、貼付けローラ３０によりウエハＷと粘着シートＴに与えられる荷重を段階的に変化させる形態で実施することもできる。このような形態にすると、制御の簡素化を図ることができる。
【実施例２】
【００６２】
上述の実施例１では、貼付けローラ３０の荷重を制御していたが、本実施例では、貼付けローラ３０の位置に応じて貼付けローラ３０の移動速度を制御する場合について説明する。
【００６３】
図１１に示すように、貼付けユニット８を水平移動させるネジ軸３３の回転量を検知するロータリエンコーダ４２が制御装置４３に接続されて貼付けローラ３０の移動位置が演算されるとともに、ネジ軸３３を駆動するモータ３２のドライバー４５が貼付けローラ３０の位置情報に基づいて制御されるようになっている。なお、モータ３２は、本発明の速度調節手段に、制御手段４３は速度制御手段に、ロータリエンコーダ４２は位置検出手段にそれぞれ相当する。
【００６４】
図１２に、貼付けローラ３０の貼付け移動方向での位置に対して貼付けローラ３０の移動速度の変化特性を示している。具体的には、貼付けローラ３０の貼付け移動に伴うウエハＷへのシート貼付け幅がウエハＷの略円形に伴って端部の小さい幅から大きい幅、そして終端部の小さい幅へとなる連続的な変化に対し、逆比例して端部では早い速度、中央部に向かうに連れて遅い速度、そして終端部に向かうに連れて早い速度に変化するように、変化特性がウエハＷのサイズに対応して演算式あるいはマップデータとして予め制御装置４３に入力設定されている。
【００６５】
そして、この特性で貼付けローラ３０の移動速度を制御することで、ウエハＷの領域に応じて粘着シートＴへの荷重時間が調節されて伸び率が略均一となり、図１２の破線に示すように、貼付け応力部分の偏りがなくなる。その結果、粘着シートＴを貼付け後のウエハＷを研削などの薄型加工を行なっても、粘着シート貼付け時の応力分布が略均一となっているので、残留応力による反りなどが発生しない。
【００６６】
また、粘着シートＴの伸び率が略均一となることで、ウエハ面内での配線パターンの間への粘着剤の埋め込みも略均一にすることができる。
【００６７】
なお、移動速度を連続的に変化させる上記変化特性は理想的なものであるが、貼付けローラの位置領域を複数に区分し、貼付けローラ３０の移動速度を段階的に変化させる形態で実施することもでき、これによると制御の簡素化を図ることができる。
【００６８】
本発明は上述した実施例のものに限らず、次のように変形実施することもできる。
【００６９】
（１）上記各実施例では、貼付けユニット８を水平移動させるネジ軸３３の回転量をロータリエンコーダ４２でそれぞれ検知し、この検知結果に応じて貼付けローラ３０によりウエハＷと粘着シートＴに与えられる荷重または移動速度のいずれか一方を制御してウエハＷの面で荷重または粘着シートの伸び率が略均一になるように制御していたが、貼付けローラ３０の荷重と移動速度の両方を同時に制御してもよい。このように構成することにより、ウエハＷにより一層に均一に粘着シートを貼り付けることができる。
【００７０】
（２）上記各実施例では、エアーシリンダ２９のエアー圧を調整して貼付けローラ３０が粘着シートＴとウエハＷに加える荷重をレギュレータ４４で制御する構成であったが、貼付けローラ３０の位置（高さ）を固定し、エアーシリンダのエアー圧を調整してチャックテーブル５を昇降させて粘着シートＴとウエハＷに荷重を加えるように構成してもよい。この場合、一定の高さを維持した貼付けローラ３０がチャックテーブル５のウエハ載置面を転動し、この転動する位置を検知してチャックテーブル５の昇降を調整する。このように構成することで、上述の実施例と同様の効果を奏する。
【００７１】
（３）上記各実施例では、ワークとしてウエハＷを例にとって説明したが、ウエハに限定されるものではなく、貼付けローラ３０の移動方向に対して粘着シートＴの貼付け幅が変化するワークに適用することができる。例えば、方形状の偏光板の角部から保護フィルムである粘着フィルムを貼り付ける場合や、多角形のワークの角部から粘着シートを貼り付ける場合や、楕円形のワークに適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】各実施例の粘着シート貼付け装置の全体を示す斜視図である。
【図２】チャックテーブルの平面図である。
【図３】チャックテーブルの縦断面図である。
【図４】貼付けユニットおよび剥離ユニットの駆動構造を示す正面図である。
【図５】シート貼付け作動を示す概略正面図である。
【図６】シート貼付け作動を示す概略正面図である。
【図７】シート貼付け作動を示す概略正面図である。
【図８】シート貼付け作動を示す概略正面図である。
【図９】実施例１における貼付けローラの位置とローラの荷重との関係を示す特性線図である。
【図１０】変形例における貼付けローラの位置とローラの荷重との関係を示す特性線図である。
【図１１】他の実施例における貼付けユニットおよび剥離ユニットの駆動構造を示す正面図である。
【図１２】他の実施例における貼付けローラの位置とローラ移動速度との関係を示す特性線図である。
【符号の説明】
【００７３】
２９  …  エアーシリンダ
３０  …  貼付けローラ
４２  …  ロータリエンコーダ
４３  …  制御装置
４４  …  レギュレータ
Ｗ  …  ワーク（ウエハ）
Ｔ  …  粘着シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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