(57)【要約】【課題】微小粉末を溶媒中に均一に分散させる装置であって生産工程に適用可能な稼働時間を有する装置を提供する。【解決手段】高圧ポンプにおけるプランジャーの外周表面、プランジャーを摺動自在に支持する円筒状の引導部材、あるいは引導部材の内周面に接触する内部空間を形成することとし、当該空間に冷却媒体を循環させることとする。この冷却媒体の温度を管理することによって引導部材の内周面あるいはプランジャー表面等への固体粒子の粉体状での凝着状態の発生を防止する。【選択図】図１
2005131568.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小な固体粒子を溶媒中に混合し、高圧力条件を用いることで該混合物中の前記固体粒子を前記溶媒中に均一に分散させる高圧分散機であって、
前記混合物に対して高圧力を付加する高圧ポンプであって、略円筒形状のシリンダと、前記シリンダの内部に移動可能に配置されて前記シリンダ内部の空間の容積を変化させて高圧力を生じせしめる円柱状のプランジャーと、前記プランジャーが貫通されて前記シリンダ内部の空間を密閉空間とする環状のシール部材と、前記シリンダ内部の空間に対して前記シール部材より後方に配置されると共に前記プランジャーが貫通されて前記プランジャーの移動方向を摺動可能に規制する円筒形状の引導部材とを有する高圧ポンプと、
前記高圧ポンプによって高圧力が与えられた後の前記混合物が流入する導入口と、前記導入口から分岐する複数の流路と、前記複数の流路を所定位置で合流させた合流点と前記合流点から連通する排出口とを有する衝突ユニットとを有し、
前記高圧ポンプは、更に、前記プランジャー表面、前記引導部材あるいは前記引導部材の内周面に接触する内部空間を有し、前記内部空間内部には温度が管理された冷却媒体が循環されることを特徴とする高圧分散機。
【請求項２】
前記冷却媒体は、前記溶媒の主たる成分と同一の成分を有すると共に、前記冷却媒体の凝固点以上室温以下の温度に管理されていることを特徴とする請求項１記載の高圧分散機。
【請求項３】
微小な固体粒子と前記固体粒子が混入された溶媒とに高圧力を付加する高圧ポンプであって、
略円筒形状のシリンダと、
前記シリンダの内部に移動可能に配置されて前記シリンダ内部の空間の容積を変化させて高圧力を生じせしめる円柱状のプランジャーと、
前記プランジャーが貫通されて前記シリンダ内部の空間を密閉空間とする環状のシール部材と、
前記シリンダ内部の空間に対して前記シール部材より後方に配置されると共に前記プランジャーが貫通されて前記プランジャーの移動方向を摺動可能に規制する円筒形状の引導部材と、
前記プランジャー表面、前記引導部材あるいは前記引導部材の内周面に接触する内部空間を有し、
前記内部空間内部には温度が管理された冷却媒体が循環されることを特徴とする高圧ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばセラミック、金属等の固体粒子からなる粉末を溶媒中に分散させる湿式分散機に関する。より詳細には、例えば200Mpa程度の高圧条件下において溶媒中に粉末を分散させる操作を行ってスラリーを形成し、略同圧力にてこれを押し出す高圧分散機、および当該高圧条件を生成する高圧ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサ等のチップ状電子部品の製造工程において、いわゆるセラミックグリーンシート用の絶縁性のスラリー、あるいは金属ペーストがその原材料として用いられる。これらは、所望の電気的特性を有するセラミックや金属を粉末状にし、これら粉末を樹脂等の溶媒中に所望量混入することによって得られている。
【０００３】
近年、チップ状電子部品は、その小型化、高性能化が急速に進められており、より薄い絶縁層あるいは金属層を形成可能とするスラリー等が求められている。これに伴って、スラリー等に用いられる粉末も微細化し、その粒径がミクロン以下のオーダーに至っている。このような微細粉末は、一般的に凝集し易く且つその表面が溶媒等に対して非常に濡れ難いという特徴を有している。このため、これまで粉末を溶媒に混入するために用いられてきたボールミル等の攪拌装置では対応が困難となってきている。
【０００４】
このような微細粉末に対応するために、粉末と溶媒、あるいはこれらの準混合物（粉末と溶媒とが完全には混合されていないが、ある程度粉末が溶媒中に分散したものを本明細書においては以下このように述べる。）を高圧条件下で衝突させ、粉末の凝集状態の破壊と濡れ性の強制的な改善を図り、良好な混合状態を得る衝突分散方法の検討が進められている。具体的なその構成の主要部断面図を図６に示す。衝突ユニット５０はその内部に複数の分流路５１ａ、５１ｂを有しており、これら分流路はIN側およびOUT側で合流して単一の流路５１となっている。分流路のOUT側の合流点が衝突作用部５１ｃとなる。準混合状態の粉末および溶媒は、IN側の流路５１の端部から高圧力下で導入され、衝突ユニット内部の分流路５１ａ、５１ｂ各々に分岐された後に、衝突作用部５１ｃにて個々の流れが衝突し、粉末と溶媒との再混合が行われる。
【０００５】
当該方法においては、この準混合状態の溶媒等に対して高圧力を付加する構成が必須となる。図７に当該高圧力を生成するために用いられる高圧ポンプの主要部の構成に関し、その断面概略を示す。高圧ポンプ１００は、略円筒形状のシリンダ１０１と、シリンダ内部で往復運動をするプランジャー１０３と、プランジャー外周とシリンダ内周壁との間に配置されるシール部材１０５と、当該シール部材を固定する固定リング１０７とを有する。シール部材１０５は、シリンダ１０１とプランジャー１０３とによって形成される空間１０９の密閉性を保つ作用を有する。
【０００６】
準混合状態の溶媒等は、この密閉空間１０９に対して導入され、プランジャー１０３がシリンダ１０１端部近傍（図中左側）に移動することによって高圧力を得、その後密閉空間１０９より排出される（特許文献１参照）。以上のような構成からなる高圧ポンプ１００を衝突ユニット５０の上流に配置することにより、準混合状態の溶媒等に対して簡易且つ効果的に高圧力を付加することが可能となる。なお、通常の高圧ポンプは、流体のみを対象とし、固体粒子を含有する流体等に対しては用いられていない。従って、本発明が対象とする準混合状態の溶媒等に高圧力を付与するためにこれを用いる場合、この固体粒子を考慮して高圧ポンプの構成を改変することが求められる。
【０００７】
具体的には、固体粒子がプランジャー１０３の外周部に付着することで、プランジャー１０３の往復運動に伴って生じるシール部材１０５の磨耗等を促進し、これによるシール性の劣化を急激に進めることが考えられる。このため、当該用途に適応するために、シール部材１０５の両端面の何れかの側に、プランジャー１０３表面を洗浄するための室を設ける構成が案出されている（特許文献２参照）。特許文献２においては、このような洗浄室を設け更に室内部に洗浄用の液体を循環させることによって、固体粒子に起因する磨耗等を低減でき、シール部材の寿命が大きく延びたことが述べられている。
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−３０６７７６号公報
【特許文献２】特開２００１−２４１３８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献２においては、100MPsの圧力を得る条件において数百時間の連続稼動が可能であることが確認されている。しかしながら、当該装置を実生産工程に用いようとした場合、粉末の個々の粒径がミクロンオーダー以下となる場合には、200MPs以上の高圧力を得る必要がある。本発明が対象とする電子部品用のセラミックスラリーあるいは金属ペーストに対しては、この高圧力を得ることが必須であり、今後この圧力は更に高くなることも予想される。本発明者がこのような観点から当該装置の稼動可能な時間を確認したところ、高圧用シール部材の寿命は50〜60時間程度でしかなかった。従って、今後所望のスラリー生成に当該装置を用いようとした場合、より粒径の小さな粉末を用いた場合であっても、シール部材の寿命を延長して数百時間以上の連続稼働時間が得られる構成を構築する必要がある。
【００１０】
本発明は、上記状況に鑑みて為されたものであり、高圧ポンプにおけるプランジャー摺動部の高圧シール部材の長寿命化を図ることを目的とし、これにより高圧分散機としての稼働時間の長時間化を図ることを目的とする。また、当該目的を達成することにより、安定したスラリー生成と設備のダウンタイムの短縮化を図ることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明に係る高圧分散機は、微小な固体粒子を溶媒中に混合して高圧力条件を用いることで該混合物中の固体粒子を溶媒中に均一に分散させる高圧分散機であって、混合物に対して高圧力を付加する高圧ポンプであって、略円筒形状のシリンダと、シリンダの内部に移動可能に配置されてシリンダ内部の空間の容積を変化させて高圧力を生じせしめる円柱状のプランジャーと、プランジャーが貫通されてシリンダ内部の空間を密閉空間とする環状のシール部材と、シリンダ内部の空間に対してシール部材より後方に配置されると共にプランジャーが貫通されてプランジャーの移動方向を摺動可能に規制する円筒形状の引導部材とを有する高圧ポンプと、高圧ポンプによって高圧力が与えられた後の混合物が流入する導入口と、導入口から分岐する複数の流路と、複数の流路を所定位置で合流させた合流点と合流点から連通する排出口とを有する衝突ユニットとを有し、高圧ポンプは、更に、プランジャー表面、引導部材あるいは引導部材の内周面に接触する内部空間を有し、内部空間内部には温度が管理された冷却媒体が循環されることを特徴としている。
【００１２】
なお、上述の高圧分散機において、冷却媒体は、溶媒の主たる成分と同一の成分を有すると共に、冷却媒体の凝固点以上室温以下の温度に管理されていることが好ましい。
【００１３】
また、上記課題を解決するために、本発明にかかる高圧ポンプは、微小な固体粒子と固体粒子が混入された溶媒とに高圧力を付加する高圧ポンプであって、略円筒形状のシリンダと、シリンダの内部に移動可能に配置されてシリンダ内部の空間の容積を変化させて高圧力を生じせしめる円柱状のプランジャーと、プランジャーが貫通されてシリンダ内部の空間を密閉空間とする環状のシール部材と、シリンダ内部の空間に対してシール部材より後方に配置されると共にプランジャーが貫通されてプランジャーの移動方向を摺動可能に規制する円筒形状の引導部材と、プランジャー表面、引導部材あるいは引導部材の内周面に接触する内部空間を有し、内部空間内部には温度が管理された冷却媒体が循環されることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明にかかる構成を案出するに際して、本発明者が見出した高圧シール部材の劣化メカニズムについてここで簡単に述べ、当該メカニズムに対しての本発明の効果について述べることとする。実施の形態において詳述するが、密閉室から見て高圧シール部材の後方には、密閉室から受ける高圧力に実質的に抗し且つプランジャーの軸方向以外の動きを規制する略円筒形状の引導部材が配置されている。引導部材は、前述した作用を呈するために、その内周面がプランジャー外周面に対して摺動可能であると同時にある程度密接に接触している必要がある。従って、プランジャーが軸方向に前後移動した際にプランジャーとの接触部分において摩擦熱を生じる。
【００１５】
この摩擦熱によってプランジャー表面に付着したスラリーが固化し、潤滑作用を有する例えば溶媒等を何ら有さない金属粉等がプランジャー表面あるいは引導部材内周面に付着することとなる。これら金属粉等は、その粒径がある程度以上であれば、再度溶媒あるいは特許文献２に開示される洗浄液と接触することによってプランジャー表面から除去することも可能である。しかし本発明の対象とする微小粒径の金属粉等の場合、その表面が活性であるために一体付着した当該粉末は強固にプランジャー表面に密着している。従ってこれらを取り除くためには、例えばイオン化された気体を吹き付ける等の特別な処理を施す必要があり、単にプランジャーを洗浄液中で動かす程度では除去困難と思われる。
【００１６】
プランジャー表面に密着した金属粉等は、プランジャーの移動に伴って高圧シール部材の内周面に達する。これら金属粉等の存在によって、プランジャー表面と高圧シール部材内周面との摩擦による高圧シール部材の劣化が急激に進行することとなる。従って、特許文献２に示す洗浄液を用いた方法では、この高圧シール部材の劣化を抑えることは困難であり、この傾向は金属粉等が微細化するにつれてより顕著になるとも考えられる。
【００１７】
本発明の如く、プランジャー表面の温度、あるいは引導部材内周面の温度を制御し、スラリー中から溶媒が多量に脱離する状態を防止することによって、金属粉等の状態でのプランジャー表面へ固体粒子の密着が防止される。従って、本発明の実施により高圧シール部材の寿命が数百時間まで延長され、衝突分散方式を実際の生産工程に用いることが可能となる。
【００１８】
なお、プランジャー表面に対して摩擦熱を発生する程度に密着する部材としては、高圧シール部材と引導部材とが挙げられる。しかしながら、高圧シール部材は、準混合物が存在する密閉空間近くに配置されることから準混合物自体を介して熱を逃がすことも可能であり、急激な温度上昇は生じないと思われる。また、仮に温度上昇が大きい場合であったとしても、その接触面積が小さいことからこの領域でスラリー中からの溶媒の多量の脱離は起こりにくいと考えられる。また、スラリー自身の温度管理を行うことによって、この高圧シール部材での金属粉末の固着の防止は容易と思われる。従って、接触面積が大きく且つ近くに熱を逃がす媒体が存在しない引導部材の内周部分を冷却することが最も効果的と思われる。
【００１９】
なお、本発明においては、プランジャー表面等の温度を制御するために、スラリーを構成する一材料であるターピネオールを冷却材として用いることとし、高圧シール部材後方にてこれをプランジャー表面に接触させることとしている。従って、当該冷却材が高圧シール部材を超えて密閉室内に進入したとしても、スラリーの特性上、これに何ら悪影響を与えない。なお、冷却媒体は、ターピネオールに限定されず、スラリーを構成する材料の主たる成分と同一の成分を有するものであればこれに限定されない。また、当該冷却媒体の管理温度は、当該媒体の凝固点以上、室温以下に管理することとすれば良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。本発明の実施の形態に係る高圧分散機の概略構成を図1に示す。本発明に係る高圧分散機１は、第一の流路系１０と第二の流路系３０とを有している。第一の流路系１０は、その上流側から、攪拌タンク１１、ダイアフラムポンプ１３、第一の逆支弁１５、高圧ポンプ２０、第二の逆支弁１７、衝突ユニット５０、および三方弁１９の順で配置されている。
【００２１】
攪拌タンク１１には、最初金属粉等とターピネオールを含む溶媒とが混入され、攪拌羽１１ａによって攪拌されて流動性の準混合物１８が得られる。準混合物１８は、ダイアフラムポンプ１３によって下流側に送られ、第一の逆支弁１５を通過して高圧領域に送られる。第一の逆支弁１５より下流においては、高圧ポンプ２０によって準混合物に200MPsの高圧力が与えられる。第一の逆支弁１５は、この高圧力が第一の逆支弁１５より上流に付加されることを防止している。
【００２２】
高圧力が与えられた準混合物は、第二の逆支弁１７を通過し衝突ユニット５０に送られる。高圧ポンプ５０は、常に200MPsの圧力を維持しているわけではなく、プランジャーが後退した際にはこれより大幅に低い圧力となる。第二の逆支弁１７は、この低圧力状態において、当該逆支弁を通過して高圧力に保たれた準混合物の逆流を防止している。なお、衝突ユニット５０については既に詳細を述べているためにここでの説明は省略する。衝突ユニット５０を経て金属粉等の分散状態が改善された準混合物は、三方弁１９において再度攪拌タンク１１に送られる。準混合物がこの一連の流路を複数回循環することによって、良好な分散状態を有するスラリー等が得られる。当該スラリー等は、所定回数の循環後に、三方弁１９より排出され、次工程に送られる。
【００２３】
第二の流路系３０は、高圧ポンプ２０におけるプランジャーおよび後述する引導部材を冷却し、プランジャーの表面温度あるいは引導部材の内周面の温度を制御するために用いられる。第二の流路系３０は、その上流から、冷却媒体槽３１、冷却槽３３、ダイアフラムポンプ３５、高圧ポンプ２０の順に配置されている。冷却媒体槽３１に入れられた冷却媒体３７は、冷却槽３３を通過することで、冷却されてその温度が管理される。冷却媒体はダイアフラムポンプ３５によって高圧ポンプ２０中に導入される。高圧ポンプ２０内部においては、冷却媒体が、特に引導部材近傍におけるプランジャーの表面あるいは、引導部材の内周面の温度を低下させるようにその流路が形成されている。冷却媒体は、これら所定部分を冷却した後に冷却媒体槽３１に戻る。
【００２４】
なお、上述した高圧分散機１における各構成は、あくまで例示であって同等の作用を有する種々の構成と置換可能である。具体的には、攪拌タンクは攪拌羽を有さなくとも良く、あるいは攪拌タンクをボールミル等としてより攪拌効率を高めることとしても良い。また、ダイアフラムポンプ、逆支弁等も例えば準混合物の特性に応じて適宜変更されることが好ましい。
【００２５】
また、冷却媒体としてはターピネオールを用いることとしているが、これは溶媒としてターピネオールを含有したものが用いられていることによる。即ち、溶媒中に混入したとしても、生成しようとするスラリーの特性を改変するものでなければ、種々の流体を冷却媒体として用いることが可能である。また、冷却媒体を冷却する際の温度は低いほうが好ましいが、当該冷却媒体の凝固点以上、常温以下であれば良い。ターピネオールを冷却媒体として用いる場合、好適な温度領域は-5℃以上20℃以下と考えられる。また、冷却効率を高めるために、冷却媒体の流路は十分な流量を確保できる大きさとすることが好ましい。
【００２６】
次に、本発明に係る高圧分散機用高圧ポンプに関して、具体的にプランジャー表面等を冷却するために設けられた流路等について以下に説明する。なお、説明においては、本発明にかかる高圧ポンプの特徴の理解を容易とするために、背景技術で述べた高圧ポンプの構成における高圧シール部材およびその近傍に配置される構成および本発明における特徴部分に係る構成についてのみ述べることとする。
【００２７】
図２は、本発明の実施の形態に係る高圧ポンプ２０の断面該略図であって、高圧シール部材近傍の各構成を示すものである。なお、当該高圧ポンプ２０における前述した密閉空間は、図中左方に存在している。当該高圧ポンプ２０には、不図示の密閉空間側から、環状の第一のランタンリング２１、環状の高圧シール部材２２、環状のバックアップリング２３、環状の第二のランタンリング２４、および引導部材２５がその順に配置されている。個々の部材の中心穴にはプランジャー２６が貫通している。またシリンダ２７は略円筒形状を有し、その円筒状穴は、個々の部材に応じてその内径を異ならせた部分が存在している。従って、引導部材２５を固定することで、これら環状の部材全てが所定位置に略固定される。
【００２８】
第一のランタンリング２１は、準混合物からの圧力を直接受けて、当該圧力を高圧シール部材２２に均等に加える作用を有する。高圧シール部材２２は加えられた圧力によって変形し、その内外周をプランジャー２６表面とシリンダ２７の内周面とそれぞれ密着することを要する。バックアップリング２３は、高圧シール部材２２を支持し、高圧シール部材２２がその周方向に安定且つ均一に変更することを補助する作用を有する。従って、第一のランタンリング２１およびバックアップリング２３の内外周は、何れもプランジャー２６表面やシリンダ２７内周面とは接触しない。
【００２９】
第二のランタンリング２４は、固定された引導部材２５に対して、バックアップリング２３が局所的な付加荷重を与えることを防止し、且つバックアップリング２３をより大きな面積で安定的に支持する作用を有する。従って、第二のランタンリング２４は、何れもプランジャー２６表面やシリンダ２７内周面とは接触しない。引導部材２５はその後端を不図示の固定手段によって固定されており、その先端部において第二のランタンリング２４と接触している。
【００３０】
引導部材２５は、プランジャー２６の径方向へのずれを規制し、且つ軸方向への移動を容易とする作用を要するため、プランジャー２６の表面と本来接触して配置される。従って、プランジャーとの磨耗損防止の観点から、金属ではなく樹脂等の弾性を有する材料から構成されている。引導部材２５は、密閉空間の高圧力を最終的に受ける配置に存在することから当該圧力によって弾性変形し、高圧ポンプ２０の動作状態において、その内外周面がそれぞれプランジャー２６表面やシリンダ２７内周面と略密着する。
【００３１】
引導部材２５には、プランジャー２６の表面を巻き回すように、プランジャー２６表面と接触する引導部材内部空間２５ａを有している。当該空間２５ａは、シリンダ２７に設けられた導入ポート２７ａおよび排出ポート２７ｂと連通している。前述した冷却媒体を導入ポート２７ａから引導部材内部空間２５ａに導入することによって、当該冷却媒体はプランジャー２６の表面上を流れ、これを冷却する。プランジャー２６表面を冷却した冷却媒体は、その後排出ポート２７ｂより外部に排出される。
【００３２】
高圧ポンプの構成を以上のものとすることによって、本発明者が見出した引導部材２５およびその近傍でのプランジャー表面への金属粉等の付着が大幅に低減され、高圧シール部材の寿命が延長される。なお、当該冷却媒体は、同時にプランジャー表面の洗浄作用も有しており、本発明者が見出した高圧シール部材の寿命延長上最も効果的と思われる部分を優位に洗浄する効果も得られる。
【００３３】
図３に、高圧ポンプ２０の構成についての変形例を示す。本変形例においては、上述した実施例で引導部材２５に形成されていた空間が、第二のランタンリング２４に形成されている部分が異なっている。ランタンリング内部空間２４ａは、シリンダ２７に設けられた導入ポート２７ａおよび排出ポート２７ｂと連通している。その他の構成に関しては特に異なる部分は無いため、これらに関しての説明は省略する。当該構成においては、問題となる部分を効果的に冷却するという観点では先の実施の形態に劣る。しかしながら、高圧力が加えられるということを考慮した場合、比較的強度の低い引導部材に対して空間を設けるよりも、当該構成のほうが高い圧力を得ようとした場合には適切な構成であるともいえる。しかしながら、当該空間の形成位置は、金属粉末の再発生防止の観点から、より引導部材に近い位置に設けることが好ましい。
【００３４】
図４は、上述した変形例に加え、更にランタンリング内部空間２４ａ内部に、冷却媒体の流れを乱す邪魔板２４ｂを設けた場合を示す。当該邪魔板２４ａを配置することによって、より引導部材に近い領域を効果的に冷却することが可能となる。用いる冷却媒体の種類によっては、このような構成を付加することによって、冷却効率がより向上する場合も考えられる。
【実施例】
【００３５】
本発明の実施例として冷却媒体としてターピネオールを用いることとし、その温度を14〜18℃に制御した場合と、冷却媒体の温度を制御せず、当該冷却媒体の効果が洗浄効果のみとなった場合とを比較した。図５にその結果を示す。図５は、冷却媒体の温度制御を行なわなかった場合のプランジャーの２箇所での温度およびポンプから排出された直後のスラリーの温度と、冷却媒体の温度制御を行なった場合のプランジャーの２箇所での温度およびスラリーの温度とをそれぞれＡ条件、Ｂ条件として側定し、その結果が時間経過に伴って変化することを示すものである。
【００３６】
図によれば、高圧ポンプ稼動開始後およそ30分程度でＢ条件のプランジャーは一定温度となり、その後大きな温度変化は示していない。また、スラリーの温度も50℃以下のほぼ一定の温度を示している。これと比較して、条件Ａにおいては、稼動直後からスラリー温度は100℃近い値を示している。スラリー温度が高いため、条件Ａにおける摩擦係数は条件Ｂのものより低く、摩擦による発熱は条件Ｂより小さいと思われる。しかし、スラリー温度の影響も加味する必要はあるが、条件Ａにおけるプランジャーの温度は上昇しつづけている。
【００３７】
また、図中にも追記しているが、条件Ａにおいては稼動開始後40分で異常音が発生している。これは異常な摩擦状態が発生していることを示すものであり、プランジャー表面には既に多量の金属粉等が付着していると思われる。実際に条件Ａにおいては、稼働時間50〜60時間程度でシール部材が破損した。これと比較して、条件Ｂにおいては、およそ300時間の稼働時間が得られており、本発明の優位性が明確に確認された。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
上述の実施の形態等は、チップ状電子部品を製造する際にその原料として用いられるセラミックグリーンシート形成用のスラリーあるいは金属ペーストの製造に用いる高圧分散機について述べている。しかしながら、本発明に係る高圧分散機およびこれに用いられる高圧ポンプは、フェライト等磁性材料を用いる場合、カーボン含有塗料を形成する場合等、微細な固体粒子、特に高度の高い微細固体粒子を、200MPs以上の高圧環境下で溶媒中に均一に分散させるために使用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係る高圧分散機の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る高圧分散機用のポンプに関し、その主要部の概略構成を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る高圧分散機用のポンプに関し、その変形例の主要部の概略構成を示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る高圧分散機用のポンプに関し、その変形例の主要部の概略構成を示す断面図である。
【図５】本発明の実施例に関し、プランジャーおよびスラリーの温度の時間に伴う変化を示す図である。
【図６】衝突ユニットの概略構成を示す図である。
【図７】高圧ポンプの従来構成に関し、その主要部を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１：高圧分散機
１０：第一の流路系
１１：攪拌タンク
１３：ダイアフラムポンプ
１５：第一の逆支弁
１７：第二の逆支弁
１８：準混合物
１９：三方弁
２０：高圧ポンプ
２１：第一のランタンリング
２２：高圧シール部材
２３：バックアップリング
２４：第二のランタンリング
２５：引導部材
２６：プランジャー
２７：シリンダ
３０：第二の流路系
３１：冷却媒体槽
３３：冷却槽
３５：ダイアフラムポンプ
３７：冷却媒体
５０：衝突ユニット
５１：スラリー流路
１００：高圧ポンプ
１０１：シリンダ
１０３：プランジャー
１０５：シール部材
１０７：固定部材
【図１】
2005131568.tif 000003
【図２】
2005131568.tif 000004
【図３】
2005131568.tif 000005
【図４】
2005131568.tif 000006
【図５】
2005131568.tif 000007
【図６】
2005131568.tif 000008
【図７】
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