(57)【要約】【課題】  本発明は、インダクタンス素子からなる回路の電気的な特性の変化を測定することにより、バイオ結合を検出するインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置及び方法を提供する。【解決手段】  本発明のバイオ結合検出方法は、少なくとも１つのインダクタンス素子で信号変換部を形成する段階、基板(Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ)に、プローブ(ｃａｐｔｕｒｉｎｇ  ｐｒｏｂｅ)生分子(ｂｉｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ)付きのバイオチップを前記信号変換部の所定領域に配置させ、前記信号変換部の電気的な特性を測定する段階、バイオチップと分析したい試料(ＤＡＮ、ＲＮＡ、Ｐｒｏｔｅｉｎ、Ｂｉｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ)とを結合反応させる段階、及び、結合反応後、信号変換部の電気的な特性を測定する段階を含む。従って、バイオ結合の検出結果を電気的な信号で得られるため、従来に比べてバイオ結合反応に対する検出力が向上する。【選択図】      図２ｂ
2005345468.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのインダクタンス素子で形成された信号変換部
前記信号変換部の所定領域に配置されるバイオチップ;
前記信号変換部の一端と連結しており、前記信号変換部の電気的な特性を測定するための信号が入力される入力ポート；
前記信号変換部の他端と連結しており、前記信号変換部の信号が出力される出力ポート；及び、
前記出力ポートと連結しており、前記信号変換部の電気的な特性を測定する特徴量検出部；を含むことを特徴とする、インダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置。
【請求項２】
前記バイオチップが配置される前記信号変換部の所定領域は、前記インダクタンス素子の巻線間、及び、前記インダクタンス素子の上部の少なくとも１つであることを特徴とする、請求項１に記載のインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置。
【請求項３】
前記電気的な特性は、前記信号変換部の周波数特性、位相特性、インピーダンス特性、損失特性、電流特性、電圧特性の何れか１つであることを特徴とする、請求項１に記載のインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置。
【請求項４】
前記特徴量検出部は、周波数特性検出器、位相特性検出器、インピーダンス特性検出器、損失特性検出器、電流特性検出器、電圧特性検出器の何れか１つにより動作することを特徴とする、請求項１に記載のインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置。
【請求項５】
少なくとも１つのインダクタンス素子で信号変換部を形成する段階；
基板(Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ)に、プローブ(ｃａｐｔｕｒｉｎｇ  ｐｒｏｂｅ)生分子(ｂｉｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ)付きのバイオチップを前記信号変換部の所定領域に配置させ、前記信号変換部の電気的な特性を測定する段階；
前記バイオチップと分析したい試料(Ｓａｍｐｌｅ)とを結合反応させる段階；及び、
前記結合反応後、前記信号変換部の電気的な特性を測定する段階；を含むことを特徴とする、インダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法。
【請求項６】
前記バイオチップと前記試料とのバイオ結合後、前記バイオチップと結合しない試料の生分子と、前記バイオチップと結合する試料の生分子の中の余分の生分子とを除去する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項５に記載のインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法。
【請求項７】
前記バイオチップと前記試料との結合反応の前後において、電気的な特性が変化する場合、バイオ結合があると判断する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項５に記載のインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法。
【請求項８】
前記電気的な特性は、前記信号変換部の周波数特性、位相特性、インピーダンス特性、損失特性、電流特性、電圧特性の何れか１つであることを特徴とする、請求項５に記載のインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法。
【請求項９】
前記バイオチップが配置される前記信号変換部の所定領域は、前記インダクタンス素子の巻線間、及び、前記インダクタンス素子の上部の少なくとも１つであることを特徴とする、請求項５に記載のインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法。
【請求項１０】
前記特徴量検出部は、周波数特性検出器、位相特性検出器、インピーダンス特性検出器、損失特性検出器、電流特性検出器、電圧特性検出器の何れか１つにより動作することを特徴とする、請求項５に記載のインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
バイオチップは、ガラス、シリコン又はナイロン等の材質からなる小さな固形の基板上に、その配列が知られたＤＮＡ、ＤＮＡ片、ＲＮＡなどの生分子(ｂｉｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ)を、数百個から数十万個まで一定間隔に配設することにより、遺伝子の発現方式、分布様子及び突然変異などの分析が可能な生物学的マイクロチップを言う。
バイオチップ上には、試料に含まれた特定の遺伝情報の探索が可能なプローブ(ｃａｐｔｕｒｉｎｇ  ｐｒｏｂｅ)の役割を果たす物質らをチップの表面に固定させる。
【０００３】
バイオチップに分析したい試料を反応させると、試料に含まれている物質とバイオチップの表面に固定されたプローブとは、各々結合して混成化(ｈｙｂｒｉｄｉｚａｔｉｏｎ)することになり、これを検出・解析することにより、試料に含まれている物質に関する情報を同時に得られる。
バイオチップに係る技術としては、プローブの付着及び固定技術、信号検出技術及び情報処理技術などが挙げられる。
【０００４】
現在用いられている信号検出方法としては、レーザー誘起蛍光検出法、電気化学的検出法、質量検出法及び機械的検出法などがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
レーザー誘起蛍光検出法は、試料に蛍光物質を結合させ、試料とプローブとの結合反応後に、蛍光検出器にてその結果を読み出すことにより、光学的にプローブの結合の有無を区別するもので、広く用いられている。しかし、このような方法は、プローブと試料との結合反応前に、試料に蛍光物質を結合させる前処理反応を必要とするため、試料の損失や汚染を誘発する恐れがある。また、プローブと試料との結合反応後に、これを読み出すための光学読出システムが複雑であり、高価の計測装備を必要とするという問題点がある。また、光学的な検出法は小型化しにくく、デジタル化した出力を見にくいという問題点もある。
【０００６】
電気化学的検出法は、プローブと試料との結合が生じた電極上において、他の化学物質の電気化学反応、即ち、酸化還元反応の程度を用いて、プローブの結合の有無を検出するものである。このような方法は、蛍光検出法に比べて認識能力が低下するという問題点がある。
質量検出法は、プローブと試料との相互反応を電気信号化して検出するものである。その代表例としては、高周波数で振動する水晶上に固定されたプローブの重さに応じて、振動数の変化を測定するＥＱＣＭ (ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ  ｑｕａｒｔｚ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｍｉｃｒｏｂａｌａｎｃｅ)検出法がある。
【０００７】
機械的検出法は、プローブと試料との結合の前後の分子間の結合力を測定する微細組立のカンチレバー(ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ)を用いるものである。しかし、この場合、カンチレバービームの屈折を極に精密に測定すべきであるが、このためにレーザー等の付加装備が必要である。
一方、図１ａ及び図１ｂは、従来のキャパシタンス素子を用いたバイオ結合検出装置を示す図である。
【０００８】
図１ａはトレンチ状のキャパシターを用いたバイオ結合検出装置を示し、図１ｂは平面状のキャパシターを用いたバイオ結合検出装置を示す。
キャパシタンス素子の特性変化を用いる場合、小型のキャパシタンス素子を形成するのに問題点がある。キャパシタンスは断面積に比例し厚さに反比例するため、断面積を広げながらバイオ処理が容易であるように設計するのは、非常に難しい。
【０００９】
図１ａのようなトレンチ状のキャパシターを用いたバイオ結合検出装置は、トレンチを深く形成させて、厚さを薄くし、断面積を広げる方法を用いたもので、実際のギャップは極小であるため、バイオ処理が非常に難しいという問題点がある。
図１ｂは、平面において櫛状でキャパシタンス素子を形成したキャパシターを用いたバイオ結合検出装置であって、金属膜の厚さが非常に薄くて少量のキャパシタンス素子が形成され、実際にバイオ結合検出感度が良くないという問題点がある。
【００１０】
従って、本発明の目的は、バイオ結合反応前に、別途の前処理反応及び高価の装備を必要とせず、検出結果を電気的な信号で得ることで、結合反応に対する検出力が向上したバイオ結合検出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するために、本願第１発明に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置は、少なくとも１つのインダクタンス素子で形成された信号変換部、前記信号変換部の所定領域に配置されるバイオチップ、前記信号変換部の一端と連結しており、前記信号変換部の電気的な特性を測定するための信号が入力される入力ポート、前記信号変換部の他端と連結しており、前記信号変換部の信号が出力される出力ポート、及び、前記出力ポートと連結しており、前記信号変換部の電気的な特性を測定する特徴量検出部を含むことを特徴とする。
【００１２】
インダクタンス素子の所定領域に配置されたバイオチップに試料を導入して互いに反応させる。このとき、バイオチップの生分子と、それと反応する試料中の生分子とが結合する。バイオチップは、例えば試料導入前は全てが未反応の状態であり、試料の導入及び反応により未反応の生分子と反応後の生分子とが混合した状態に変化する。このようにバイオチップへの試料の導入によりバイオチップの状態が変化し、この変化によりインダクタンス素子内での誘電率が変化する。これによりバイオチップが配置される信号変換部のインピーダンスが変化する。この変化を検出することで、試料中の所定の生分子の量を検出することができる。このような検出装置は、インダクタンス素子を用いて構成された回路の電気的な特性をバイオ結合反応の前後に測定することにより、バイオ結合の検出結果を電気的な信号で得られるため、従来に比べてバイオ結合反応に対する検出力が向上する。また、蛍光検出法のように、結合反応前に別途の前処理反応を必要とせず、機械的検出法や蛍光検出法などのように、別途の高価の装備を必要としない。これにより、従来に比べて結合反応の検出時間が短縮できる。また、高周波領域では、誘電率の変化に応じてインダクタンス素子の特性変化が敏感なので、従来に比べてバイオ結合反応に対する検出力が向上する。
【００１３】
本願第２発明は、第１発明において、前記バイオチップが配置される前記信号変換部の所定領域は、前記インダクタンス素子の巻線間、及び、前記インダクタンス素子の上部の少なくとも１つであることを特徴とするインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置を提供する。
本願第３発明は、第１発明において、前記電気的な特性は、前記信号変換部の周波数特性、位相特性、インピーダンス特性、損失特性、電流特性、電圧特性の何れか１つであることを特徴とする、請求項１に記載のインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置。
【００１４】
本願第４発明は、第１発明において、前記特徴量検出部は、周波数特性検出器、位相特性検出器、インピーダンス特性検出器、損失特性検出器、電流特性検出器、電圧特性検出器の何れか１つにより動作することを特徴とするインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置を提供する。
また、信号変換部は、インダクタンス素子だけでなく、寄生的に発生するインダクタンス成分を持つ素子を用いることができる。
【００１５】
また、本願第５発明に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法は、少なくとも１つのインダクタンス素子で信号変換部を形成する段階、基板(Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ)に、プローブ(ｃａｐｔｕｒｉｎｇ  ｐｒｏｂｅ)生分子(ｂｉｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ)付きのバイオチップを前記信号変換部の所定領域に配置させ、前記信号変換部の電気的な特性を測定する段階、前記バイオチップと分析したい試料(ＤＡＮ、ＲＮＡ、Ｐｒｏｔｅｉｎ、Ｂｉｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ)とを結合反応させる段階、及び、前記結合反応後、前記信号変換部の電気的な特性を測定する段階を含むことを特徴とする。
【００１６】
本願第６発明は、第５発明において、前記バイオチップと前記試料とのバイオ結合後に、前記バイオチップと結合しない試料の生分子と、前記バイオチップと結合する試料の生分子の中の余分の生分子とを除去する段階をさらに含むバイオ結合検出方法を提供する。
本願第７発明は、第５発明において、前記バイオチップと前記試料との結合反応の前後において、電気的な特性が変化する場合、バイオ結合があると判断する段階をさらに含むバイオ結合検出方法を提供する。
【００１７】
本願第８発明は、第５発明において、前記電気的な特性は、前記信号変換部の周波数特性、位相特性、インピーダンス特性、損失特性、電流特性、電圧特性の何れか１つである。
本願第９発明は、第５発明において、前記バイオチップが配置される前記信号変換部の所定領域は、前記インダクタンス素子の巻線間、及び、前記インダクタンス素子の上部の少なくとも１つである。
【００１８】
本願第１０発明は、第５発明において、前記特徴量検出部は、周波数特性検出器、位相特性検出器、インピーダンス特性検出器、損失特性検出器、電流特性検出器、電圧特性検出器の何れか１つにより動作する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、バイオ結合反応前に、別途の前処理反応及び高価の装備を必要であり、検出結果を電気的な信号で得ることで、結合反応に対する検出力が向上したバイオ結合検出方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面に基づき、本発明の好適な実施の形態を詳細に説明する。
図２ａ及び図２ｂは、本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置を示す断面図である。
同図に示すように、１つのインダクタンス素子１１０で信号変換部１６０を形成する。信号変換部１６０は、バイオ結合の有無によってその電気的な特性が変化して、バイオ結合を検出する手段である。ここで、電気的な特性は、信号変換部１６０の周波数特性、位相特性、インピーダンス特性、損失特性、電流特性、電圧特性などを言う。信号変換部１６０は、少なくとも１つのインダクタンス素子１１０が直列又は並列に連結して形成されるが、図２ａ及び図２ｂでは、１つのインダクタンス素子１１０のみで信号変換部１６０を形成した。このようなインダクタンス素子１１０は、同図に示すように、立体の巻線構造で形成されるが、環形や線形でも形成されることができる。
【００２１】
そして、プローブ(ｃａｐｔｕｒｉｎｇ  ｐｒｏｂｅ)生分子(ｂｉｏｍｏｌｅｃｕｌｅＳ)付きのバイオチップ１２０が信号変換部１６０に配置される。バイオチップ１２０は、インダクタンス素子１１０の捲線間、及び、インダクタンス素子１１０の上部の少なくとも１つに配置される。このようなバイオチップ１２０は、図２ａではインダクタンス素子１１０の捲線間に配置され、図２ｂではインダクタンス素子１１０の上部に配置される。
【００２２】
一方、入力ポート１４０は、信号変換部１６０のインダクタンス素子１１０の一端と連結しており、信号変換部１６０の電気的な特性を測定するための信号が入力される。出力ポート１５０は、信号変換部１６０のインダクタンス素子１１０の他端と連結しており、特徴量検出部１７０にも連結している。出力ポート１５０は、入力ポート１４０からの入力信号が出力される手段であって、信号変換部１６０に配置されたバイオチップ１２０と試料とのバイオ結合の有無に応じて、その出力ポートに出力される周波数特性、位相特性、インピーダンス特性、損失特性、電流特性、電圧特性などが変化する。
【００２３】
出力ポート１５０と連結している特徴量検出部１７０は、出力ポート１５０から出力される電気的な特性を検出する手段である。特徴量検出部１７０は、周波数特性検出器、位相特性検出器、インピーダンス特性検出器、損失特性検出器、電流特性検出器、電圧特性検出器の何れか１つにより具現される。
図３ａ及び図３ｂは、本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合装置の信号変換部を示す図である。
【００２４】
図３ａは、厚さ７２５μｍ、誘電率εr１１.９のシリコン(Ｓｉ)上に形成された厚さ８.９μｍ、誘電率εr２.６５のＢＣＢ(ｂｅｎｚｏｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ)の上部に形成された信号変換部１６０を示す図であって、信号変換部１６０の幅を４６９μｍとした。
図３ｂは、図３ａに示した信号変換部のインダクタンス素子１１０の捲線間の間隔を２μｍとし、巻線の幅を１５μｍとし、巻線の厚さを２μｍとして構成した。
【００２５】
図４は、本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法を示すフローチャートである。
まず、試料に含まれている特定の情報を探索できるプローブ(ｃａｐｔｕｒｉｎｇ  ｐｒｏｂｅ)の役割を果たす物質を、基板(ＳｕｂＳｔｒａｔｅ)の表面に付着してバイオチップ１２０を形成する。続いて、インダクタンス素子１１０で信号変換部１６０を形成する(Ｓ３１０)。ここで、信号変換部１６０は、少なくとも１つのインダクタンス素子１１０が直列又は並列に連結して形成される。
【００２６】
そして、信号変換部１６０のインダクタンス素子１１０の捲線間、または、インダクタンス素子１１０の上部の少なくとも１つにバイオチップを配置させる(Ｓ３２０)。
次に、バイオチップ１２０が配置された信号変換部１６０の電気的な特性を測定する。つまり、バイオチップ１２０が分析したい試料との反応前、即ちバイオ結合前の信号変換部１６０の周波数特性、位相特性、インピーダンス特性、損失特性、電流特性、電圧特性などの電気的な特性を測定する(Ｓ３３０)。これは、バイオ結合後の信号変換部１６０の電気的な特性と比較して、バイオ結合の有無及び量を検出するためである。
【００２７】
続いて、分析したい試料を信号変換部１６０に配置されたバイオチップ１２０と反応させる(Ｓ３４０)。バイオチップ１２０上の生分子と一致する形態を持つ生分子が試料に存在する場合にはバイオ結合を行う。バイオチップ１２０上の生分子と反応する生分子の中の余分の生分子と、バイオチップ１２０上の生分子と反応しない試料上の生分子とを除去する(Ｓ３５０)。
【００２８】
そして、バイオチップ１２０上の生分子が試料と結合した後の信号変換部１６０の周波数特性、位相特性、インピーダンス特性、損失特性、電流特性、電圧特性などのような電気的な特性を測定する(Ｓ３６０)。
バイオチップ１２０が試料と結合反応すれば、信号変換部１６０の電気的な特性が変化するので、結合反応の前後の信号変換部１６０の電気的な特性の測定値を比較して、バイオ結合の有無及び量を検出する(Ｓ３７０)。
【００２９】
図５ａ乃至図５ｆは、本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法を示す説明図である。図５ａ乃至図５ｃはインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法を示す斜視図、図５ｄ乃至図５ｆは各々図５ａ乃至図５ｃの斜視図のｘ-ｙ軸に対する断面図である。
図５ａ及び図５ｄはバイオ結合前の信号変換部１６０を示す図である。同図に示すように、１つのインダクタンス素子１１０で信号変換部１６０が形成され、バイオチップ１２０はインダクタンス素子１１０の巻線間に形成される。バイオチップ１２０を信号変換部１６０に配置させた後、入力ポート１４０から高周波の信号を入力して、バイオ結合前の信号変換部１６０の電気的な特性を測定する。
【００３０】
図５ｂ及び図５ｅはバイオ結合反応時を示す図であって、バイオチップ１２０に付着された生分子と結合し得る生分子が試料１３０内に存在する場合、バイオ結合が行われる。
図５ｃ及び図５ｆはバイオ結合反応後を示す図であって、バイオチップ１２０と結合しない試料１３０の生分子と、バイオチップ１２０と結合する試料１３０の生分子の中の余分の生分子とを除去した後を示す図である。バイオ結合後に入力ポート１４０から信号を入力して、信号変換部１６０の電気的な特性を測定する。結合反応の有無は、結合反応の前後の出力ポート１５０からの出力値を互いに比較して検出する。
【００３１】
図６はバイオ結合の前後の信号変換部の誘電率の変化を説明するための断面図である。
図６から、インダクタンス素子１１０の巻線間にバイオチップ１２０を形成し、巻線間の誘電率を、空気中と仮定したとき、バイオ結合反応後にその誘電率が４に変化し、結合反応の前後の差を電気的な信号に変換できることが分かる。また、誘電率の変化は、バイオ試料の種類に応じて変化することができ、特に、バイオ試料の誘電率の変化だけでなく、インピーダンス変化も信号変換に影響を与える。
【００３２】
図７ａ及び図７ｂは、バイオ結合の前後の信号変換部の誘電率の変化によるインダクタンス素子の特性変化を示す説明図である。
図７ａは、金属薄膜が誘電物質内に存在する場合、自由空間での波長に比べて波長が変化することを誘電率の観点で示す図である。同図に示すように、金属薄膜の周囲に誘電物質があり、誘電率が変化すれば、波長が変化し、周波数特性が変化する。このような誘電率の変化による波長の変化は、次の式による。
【数１】
2005345468.tif 000003
【００３３】
ここで、λgは管内波長(ｇｕｉｄｅ  ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ)、λ0は自由空間波長(ｆｒｅｅ  ｓｐａｃｅ  ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ)、εは誘電率を言う。
図７ｂはインダクタンス素子の構造を示す図であって、上下部層の誘電率の変化はインダクタンス素子の特性変化に影響を与えるが、特に、Ｑ(ｑｕａｌｉｔｙ  ｆａｃｔｏｒ)値の変化に影響を与えて、インダクタンス素子の周波数及び入出力特性を変化させる。特に、高周波領域では、誘電率の変化に応じてインダクタンス素子の特性変化が敏感なので、バイオ結合後のインダクタンス素子の特性を測定して、バイオ結合の有無を容易に検出することができる。
【００３４】
本発明によれば、インダクタンス素子の所定領域に配置されたバイオチップに試料を導入して互いに反応させる。このとき、バイオチップの生分子と、それと反応する試料中の生分子とが結合する。バイオチップは、例えば試料導入前は全てが未反応の状態であり、試料の導入及び反応により未反応の生分子と反応後の生分子とが混合した状態に変化する。このようにバイオチップへの試料の導入によりバイオチップの状態が変化し、この変化によりインダクタンス素子内での誘電率が変化する。これによりバイオチップが配置される信号変換部のインピーダンスが変化する。この変化を検出することで、試料中の所定の生分子の量を検出することができる。このような検出装置は、インダクタンス素子を用いて構成された回路の電気的な特性をバイオ結合反応の前後に測定することにより、バイオ結合の検出結果を電気的な信号で得られるため、従来に比べてバイオ結合反応に対する検出力が向上する。また、蛍光検出法のように、結合反応前に別途の前処理反応を必要とせず、機械的検出法や蛍光検出法などのように、別途の高価の装備を必要としない。これにより、従来に比べて結合反応の検出時間が短縮できる。また、高周波領域では、誘電率の変化に応じてインダクタンス素子の特性変化が敏感なので、従来に比べてバイオ結合反応に対する検出力が向上する。
【００３５】
上記では、信号変換部は、インダクタンス素子を用いているが、寄生的に発生するインダクタンス成分を持つ素子を用いることができる。
本発明の詳細な説明では具体的な実施の形態に関し説明したが、これに限定されるものではなく、本発明の技術的史上から逸脱しない範囲内で多様に変形・実施可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
プローブと試料との結合の前後のインダクタンス素子の電気的な特性を測定して、バイオチップと試料との結合の有無を検出するのに利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１ａ】従来のキャパシタンス素子を用いたバイオ結合検出装置を示す説明図（１）。
【図１ｂ】従来のキャパシタンス素子を用いたバイオ結合検出装置を示す説明図（２）。
【図２ａ】本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置を示す断面図（１）。
【図２ｂ】本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出装置を示す断面図（２）。
【図３ａ】本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合装置の信号変換部を示す図（１）。
【図３ｂ】本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合装置の信号変換部を示す図（２）。
【図４】本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法を示すフローチャート。
【図５ａ】本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法を示す説明図（１）。
【図５ｂ】本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法を示す説明図（２）。
【図５ｃ】本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法を示す説明図（３）。
【図５ｄ】本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法を示す説明図（４）。
【図５ｅ】本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法を示す説明図（５）。
【図５ｆ】本発明の一実施の形態に係るインダクタンス素子を用いたバイオ結合検出方法を示す説明図（６）。
【図６】バイオ結合の前後の信号変換部の誘電率の変化を説明するための断面図である。
【図７ａ】バイオ結合の前後の信号変換部の誘電率の変化によるインダクタンス素子の特性変化を示す説明図（１）。
【図７ｂ】バイオ結合の前後の信号変換部の誘電率の変化によるインダクタンス素子の特性変化を示す説明図（２）。
【符号の説明】
【００３８】
１１０  インダクタンス素子
１２０  バイオチップ
１３０  試料
１４０  入力ポート
１５０  出力ポート
１６０  信号変換部
１７０  特徴量検出部
【図１ａ】
2005345468.tif 000004
【図１ｂ】
2005345468.tif 000005
【図２ａ】
2005345468.tif 000006
【図２ｂ】
2005345468.tif 000007
【図３ａ】
2005345468.tif 000008
【図３ｂ】
2005345468.tif 000009
【図４】
2005345468.tif 000010
【図５ａ】
2005345468.tif 000011
【図５ｂ】
2005345468.tif 000012
【図５ｃ】
2005345468.tif 000013
【図５ｄ】
2005345468.tif 000014
【図５ｅ】
2005345468.tif 000015
【図５ｆ】
2005345468.tif 000016
【図６】
2005345468.tif 000017
【図７ａ】
2005345468.tif 000018
【図７ｂ】
2005345468.tif 000019