(57)【要約】  【課題】  しかし、従来の保持構造では、大気圧部と真空圧部の間で密閉性を必要とされる部位で真空度が保てないという課題とネジ固定のため着脱時に、工具を用いるための広い空間を設けておくか、着脱時に周囲の部品を取り外さなければならないという課題があった。  【解決手段】  本発明の保持構造は、上記課題を解決するために、レーザ光を外部に導くレーザ光導入部７と、レーザ導入部７を保持するアライメントベース部４とを備え、レーザ光導入部７とアライメントベース部４とが着脱可能なため、光学部品を工具を用いずに容易に行え、また、レーザ導入部７とアライメントベース部４のうち少なくとも一方にＯリング１４ａ，１４ｂが設けられているため、密閉性を有する。【選択図】  図２
2005294616.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電管とレーザ光増幅用の光学部材とを有したレーザ発振部と、前記レーザ発振部から出力鏡を経たレーザ光を外部に導くレーザ光導入部と、前記レーザ導入部を保持するアライメントベース部とを備え、前記レーザ光導入部と前記アライメントベース部とが着脱可能なガスレーザ発振器。
【請求項２】
レーザ光導入部とともに出力鏡も、アライメントベース部と着脱可能な請求項１記載のガスレーザ発振器。
【請求項３】
レーザ導入部とアライメントベース部のうち少なくとも一方に封止部材が設けられた請求項１記載のガスレーザ発振器
【請求項４】
封止部材はＯリングである請求項３記載のガスレーザ発振器。
【請求項５】
出力鏡と放電管との間のレーザ導入部は前記放電管の径に略等しい管状である請求項１から４のいずれかに記載のガスレーザ発振器。
【請求項６】
レーザ光導入部は出力鏡と前記出力鏡を保持するホルダーと前記ホルダーを保持する締結部材からなる請求項１から５のいずれかに記載のガスレーザ発振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品がその保持部ごと着脱可能であるレーザ発振器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ガスレーザ発振器において反射鏡や出力鏡等の光学部品は、調整や定期メンテナンス時に、取り外されることが多い。そのため、従来よりレーザ発振器における光学部品を保持する構造として、光学部品を固定する保持部と、この保持部を保持するアライメントベース部とが着脱可能に構成されているが、保持部はアライメントベース部にネジで固定されているため、光学部品を固定する保持部の着脱には工具が必要であった（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
以下、光学部品の保持構造を図６を用いて説明する。
【０００４】
５１は光学部品である出力鏡、５２，５３はＯリング、５４ａ，５４ｂはホルダー、５５，７５はネジ、５６はアライメントベース、６１はレーザ管、６２，７２はアライメントネジ、６３，７３はバネ押さえネジ、６４，７４はバネ、６５はメインベースである。
【０００５】
以上のように構成された出力鏡５１の保持構造について、その詳細を説明する。
【０００６】
出力鏡５１は、Ｏリング５２によって縦方向の位置を弾性的に規制され、ホルダー５４ａに固定され、ホルダー５４ａは、ネジ５５，７５でホルダー５４ｂに固定されている。ホルダー５４ｂは、Ｏリング５３によって縦横２方向の位置を弾性的に規制され、アライメントベース５６に固定されている。
【０００７】
そして、アライメントベース５６は、バネ６４とバネ押さえネジ６３ならびにバネ７４とバネ押さえネジ７３で、メインベース６５に弾性的に固定される。弾性的に固定されたアライメントベース５６は、アライメントネジ６２，７２で角度の位置を微調整することができる。
【０００８】
なお、レーザ管６１は、その内部に図示しないレーザガスが循環されている。
【特許文献１】特開昭６３−２５３６８１号公報（第３頁、第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、従来の保持構造では、ネジ７５によって出力鏡５１とホルダー５４ａ，５４ｂがアライメントベース５６に固定されているため、出力鏡５１、ホルダー５４ａ，５４ｂとアライメントベース５６との着脱時に、工具を用いるための広い空間を設けておくか、着脱時に周囲の部品を取り外さなければならないという課題があった。
【００１０】
本発明のガスレーザ発振器は、出力鏡５１を工具を用いず着脱可能にする光学部品の保持構造と、密閉性を必要とされる部位で真空度を保つことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のガスレーザ発振器は、上記課題を解決するために、放電管とレーザ光増幅用の光学部材とを有したレーザ発振部と、前記レーザ発振部から出力鏡を経たレーザ光を外部
に導くレーザ光導入部と、前記レーザ導入部を保持するアライメントベース部とを備え、前記レーザ光導入部と前記アライメントベース部とが着脱可能なもので、さらに前記レーザ導入部と前記アライメントベース部のうち少なくとも一方に封止部材が設けられたものである。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、本発明のガスレーザ発振器によれば、放電管とレーザ光増幅用の光学部材とを有したレーザ発振部と、前記レーザ発振部から出力鏡を経たレーザ光を外部に導くレーザ光導入部と、前記レーザ導入部を保持するアライメントベース部とを備え、前記レーザ光導入部と前記アライメントベース部とが着脱可能なため、光学部品を工具を用いずに容易に行え、また、前記レーザ導入部と前記アライメントベース部のうち少なくとも一方に封止部材が設けられているため、大気圧部と真空圧部の間で密閉性を必要とされる部位で真空度が保てる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図１から図５を用いて説明する。
【００１４】
（実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態におけるガスレーザ発振器である。
【００１５】
レーザ管１の内部のレーザ媒質２をレーザ媒質励起用電源８で励起し、反射鏡５と出力鏡６によってレーザ発振させてレーザ光を発生させる。反射鏡５はアライメントベース部３で保持され、出力鏡６はアライメントベース部４によって保持されている。反射鏡５は全反射ミラーであり、出力鏡６は部分透過ミラーであるため、発生したレーザ光は出力鏡６を通過してレーザ光導入部７を経て外部に照射される。
【００１６】
図１に示す矢印は、外部に出力されるレーザ光を示しており、レーザ加工用のビームとして利用される。
【００１７】
図２は本実施の形態におけるレーザ発振器置の光軸に沿ったレーザ光導入部の断面図で、図３はレーザ光導入部を分離させた説明図で、図４はレーザ発振器のレーザ光導入部の光軸に沿った説明図である。いずれの図にも参考としてレーザ管１を表記している。また、図５は図４の左側面図を示している。
【００１８】
図２、図３、図４および図５において、１はレーザ管、６は出力鏡、１２，１３はＯリング、１４ａ，１４ｂはホルダー、１５，２５，３５はネジ、１７は締結リング、１８はガイドピン、１９はハンドル、２０はボールプランジャー、２４はアライメントベースである。
【００１９】
ここで、レーザ光導入部７は、出力鏡６、ホルダー１４ａ，１４ｂ、ネジ１５，２５，３５、締結リング１７、ハンドル１９から構成され、アライメントベース部４は、アライメントベース２４、ガイドピン１８、ボールプランジャ２０から構成される。
【００２０】
以上のように構成されたアライメントベース部４とレーザ光導入部７について、詳細に説明する。
【００２１】
ホルダー１４ａとホルダー１４ｂとはネジ１５，２５，３５で固定し密着されており、出力鏡６はＯリング１２によって封止されている。
【００２２】
また、Ｏリング１３は、アライメントベース２４とホルダー１４ｂとを密着させること
によってレーザ導入部７が大気と封止される。
【００２３】
締結リング１7は、回転可能な状態でホルダー１４ａ，１４ｂに挟まれてネジ１５，２５，３５で固定されており、締結リング１７の側面には、ガイドピン１８が通る傾斜した抜き溝２１が構成されている。
【００２４】
図４で示す矢印の方向に所定角度回転させることで、締結リング１７をガイドピン１８に沿ってアライメントベース２４の方向にスライドし、最後の平坦な抜き溝部２２にガイドピン１８が位置したときにアライメントベース２４とホルダー１４ｂとが密着する機構である。
【００２５】
ハンドル１９は、締結リング１７を回転させる時に握る取っ手である。また、ボールプランジャー２０は、締結リング１７の締結位置の位置決めと緩み止めのために設けられている。
【００２６】
なお、締結部品の寸法公差を考慮して、アライメントベース２４とホルダー１４ｂの接触面に弾性部品を挟んでもよい。
【００２７】
以上のように、本実施の形態によれば出力鏡６とホルダー１４ａ，１４ｂとアライメントベース２４の３つの部品が、Ｏリング１２，１３で密着させることによって、封止されている。
【００２８】
また、出力鏡６、ホルダー１４ａ，１４ｂ、締結リング１７と、アライメントベース２４とが着脱できるように構成されている。
【００２９】
このため、出力鏡６のメンテナンス時は容易に分離させることができるとともに、アライメントベース２４に取り付ける際も光軸がずれることがない。
【００３０】
また、ハンドル１９を1回転することなく出力鏡６とホルダー１４ａ，１４ｂと締結リング１７の部品一式をまとめて着脱することを可能としたため、メンテナンスが容易に行える。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明の出力鏡保持構造は、定期メンテナンスで着脱を必要とする光学部品の封止効果を損なうことなくワンタッチで着脱することができ、メンテナンス時間の短縮による加工機の稼働率を向上させると共に、作業者の労働負担を低減することができるガスレーザ発振器に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施の形態におけるガスレーザ発振器の説明図
【図２】同実施の形態おけるレーザ発振器のレーザ光導入部の光軸に沿った断面図
【図３】図２においてレーザ光導入部を分離させた光軸に沿った断面図
【図４】同実施の形態おけるレーザ発振器のレーザ光導入部の光軸に沿った説明図
【図５】図４の左側面図
【図６】従来におけるレーザ光導入部の断面図
【符号の説明】
【００３３】
１  レーザ管
３，４  アライメントベース部
５  反射鏡
６  出力鏡
７  レーザ光導入部
１２，１３  Ｏリング
１４ａ，１４ｂ  ホルダー
２４  アライメントベース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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