(57)【要約】【課題】本発明はヘリウム供給流路を通じてヘリウムガスを供給することによって、ウエハーに発生する熱を簡単で便利に冷却させることができるようにした、ウエハー用静電チャックに関する。【解決手段】本発明によるウエハー用静電チャックは、ウエハー１０が装着されるベース２０と、ベース２０の上部面の端部に備えられる環型の第１シーリング部材３０と、第１シーリング部材３０の内側に離隔してベース２０の上部面に備えられ、ウエハー１０装着時にウエハー１０をエッジ部１２及びセンター部１４に区分する環型の第２シーリング部材４０と、ベース２０の内部に分岐形成され、ウエハー１０のエッジ部１２にヘリウムガスを排出する第１ヘリウム供給流路５０と、第１ヘリウム供給流路５０と高さ差を有するようにベース２０の内部に分岐形成され、ウエハー１０のセンター部１４にヘリウムガスを排出する第２ヘリウム供給流路６０とを含んで構成される。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハーが装着されるベースと、
前記ベースの上部面の端部に備えられる環型の第１シーリング部材と、
前記第１シーリング部材の内側に離隔して前記ベースの上部面に備えられ、前記ウエハー装着時に前記ウエハーをエッジ部及びセンター部に区分する環型の第２シーリング部材と、
前記ベースの内部に分岐形成されて、前記ウエハーのエッジ部にヘリウムガスを排出する第１ヘリウム供給流路と、
前記第１ヘリウム供給流路と高さ差を有するように前記ベースの内部に分岐形成されて、前記ウエハーのセンター部にヘリウムガスを排出する第２ヘリウム供給流路と
を含むことを特徴とするウエハー用静電チャック。
【請求項２】
前記第１ヘリウム供給流路は、前記ベースの中央下部に形成された第１ヘリウム流入口と、前記ウエハーのエッジ部と対応するように前記ベースの外側上部に形成された複数の第１ヘリウム排出口と、前記第１ヘリウム流入口から分岐形成され、前記第１ヘリウム排出口と連通する第１内部流路とを含むことを特徴とする請求項１に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項３】
前記第１内部流路は、前記第１ヘリウム流入口と連通する複数の第１分岐流路と、前記第１分岐流路及び前記第１ヘリウム排出口と連通する第１循環流路とを含むことを特徴とする請求項２に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項４】
前記第２ヘリウム供給流路は、前記ベースの中央下部に形成された第２ヘリウム流入口と、前記ウエハーのセンター部と対応するように前記ベースの上部に形成された複数の第２ヘリウム排出口と、前記第１内部流路と高さ差を有するように前記第２ヘリウム流入口から分岐形成され、前記第２ヘリウム排出口と連通する第２内部流路とを含むことを特徴とする請求項２に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項５】
前記第２内部流路は、前記第２ヘリウム流入口と連通する複数の第２分岐流路と、前記第２分岐流路及び前記第２ヘリウム排出口と連通する第２循環流路とを含むことを特徴とする請求項４に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項６】
前記第２ヘリウム供給流路は、前記ベースの中央下部に形成された第２ヘリウム流入口と、前記ウエハーのセンター部と対応するように前記ベースの上部に形成された複数の第２ヘリウム排出口と、前記第１内部流路と高さ差を有するように前記第２ヘリウム流入口から分岐形成され、前記第２ヘリウム排出口と連通する第２内部流路とを含むことを特徴とする請求項３に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項７】
前記第２内部流路は、前記第２ヘリウム流入口と連通する複数の第２分岐流路と、前記第２分岐流路及び前記第２ヘリウム排出口と連通する第２循環流路とを含むことを特徴とする請求項６に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項８】
前記第２シーリング部材の内側に離隔して前記ベースの上部面に備えられ、前記ウエハー装着時に前記ウエハーのセンター部を分割する環型の第３シーリング部材と、
前記第２ヘリウム供給流路と高さ差を有するように前記ベースの内部に分岐形成され、前記分割されたウエハーのセンター部のそれぞれにヘリウムガスを排出する第３ヘリウム供給流路と
をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項９】
前記第３ヘリウム供給流路は、前記ベースの中央下部に形成された第３ヘリウム流入口と、前記分割されたウエハーのセンター部のそれぞれに対応するように前記ベースの上部に形成された複数の第３ヘリウム排出口と、前記第２内部流路と高さ差を有するように前記第３ヘリウム流入口から分岐形成され、前記第３ヘリウム排出口と連通する第３内部流路とを含むことを特徴とする請求項８に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項１０】
前記第３内部流路は、前記第３ヘリウム流入口と連通する複数の第３分岐流路と、前記第３分岐流路及び前記第３ヘリウム排出口と連通する第３循環流路とを含むことを特徴とする請求項９に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項１１】
前記第２シーリング部材の内側に離隔して前記ベースの上部面に備えられ、前記ウエハー装着時に前記ウエハーのセンター部を分割する環型の第３シーリング部材と、
前記第２ヘリウム供給流路と高さ差を有するように前記ベースの内部に分岐形成され、前記分割されたウエハーのセンター部のそれぞれにヘリウムガスを排出する第３ヘリウム供給流路と
をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項１２】
前記第３ヘリウム供給流路は、前記ベースの中央下部に形成された第３ヘリウム流入口と、前記分割されたウエハーのセンター部のそれぞれに対応するように前記ベースの上部に形成された複数の第３ヘリウム排出口と、前記第２内部流路と高さ差を有するように前記第３ヘリウム流入口から分岐形成され、前記第３ヘリウム排出口と連通する第３内部流路とを含むことを特徴とする請求項１１に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項１３】
前記第３内部流路は、前記第３ヘリウム流入口と連通する複数の第３分岐流路と、前記第３分岐流路及び前記第３ヘリウム排出口と連通する第３循環流路とを含むことを特徴とする請求項１２に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項１４】
前記第２シーリング部材の内側に離隔して前記ベースの上部面に備えられ、前記ウエハー装着時に前記ウエハーのセンター部を分割する環型の第３シーリング部材と、
前記第２ヘリウム供給流路と高さ差を有するように前記ベースの内部に分岐形成され、前記分割されたウエハーのセンター部のそれぞれにヘリウムガスを排出する第３ヘリウム供給流路と
をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項１５】
前記第３ヘリウム供給流路は、前記ベースの中央下部に形成された第３ヘリウム流入口と、前記分割されたウエハーのセンター部のそれぞれに対応するように前記ベースの上部に形成された複数の第３ヘリウム排出口と、前記第２内部流路と高さ差を有するように前記第３ヘリウム流入口から分岐形成され、前記第３ヘリウム排出口と連通する第３内部流路とを含むことを特徴とする請求項１４に記載のウエハー用静電チャック。
【請求項１６】
前記第３内部流路は、前記第３ヘリウム流入口と連通する複数の第３分岐流路と、前記第３分岐流路及び前記第３ヘリウム排出口と連通する第３循環流路とを含むことを特徴とする請求項１５に記載のウエハー用静電チャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハー用静電チャック（ELECTROSTATIC CHUCK FOR WAFER）に関し、より詳しくは、ヘリウム供給流路を通じてヘリウムガスを供給することによってウエハー（wafer）に発生する熱を簡単で便利に冷却させることができるようにしたウエハー用静電チャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体素子の一種であるウエハー（wafer）の製造工程は密閉された反応容器であるチャンバー（chamber）の内部で進められ、このようなチャンバーの内部には静電相互作用を通じてウエハーを装着できる静電チャック（ＥＳＣ：electrostatic chuck）が設置されている。
【０００３】
このような静電チャックは、エッチング装置または化学的気相蒸着装置などに広く用いられており、特に半導体製造工程において静電チャックに装着されるウエハーの温度制御は完成素子の特性、つまり、均一度（uniformity）、線幅（profile）及び再現性（repeatability）などに重要な影響を与えるようになる。したがって、静電チャックは、加工工程中に発生する高温反応によってウエハーが損傷されることを防止するためにヘリウムガスによってウエハーを持続的に冷却させる。
【０００４】
従来のウエハー用静電チャックは、図１及び図２のように、ウエハー７が装着されるベース２と、ベース２の中央に形成され、ウエハー７のセンター部７ａにヘリウムガスを排出するセンター流路３と、ベース２の外側に形成され、ウエハー７のエッジ部７ｂにヘリウムガスを排出する複数のエッジ流路４と、複数のエッジ流路４を相互連通させる環型の内部循環流路５と、センター流路３及びエッジ流路４を連結させる放射形の連結流路６とを含んで構成される。
【０００５】
このような静電チャックは、ウエハー７のエッジ部７ｂの温度分布をセンター部７ａと同一に維持することができるようにするために、ベース２の最外郭段差ｄを高めてヘリウムガスが充填される体積を増加させることができる構造を有しており、また、センター流路３をエッジ流路４の幅サイズに比べて小さく形成することによって、エッジ流路４を通じたヘリウム排出量を相対的に増加させて、ウエハー７のセンター部７ａ及びエッジ部７ｂを均一に冷却させることができるようになっている。
【０００６】
【特許文献１】日本特開２００２−３０５２３８号
【特許文献２】日本特開平１−２５１７３５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、前記のような構造のウエハー用静電チャックは、センター流路３を通じてヘリウムガスが流入された後に分岐された連結流路６を通じてエッジ流路４に伝達される構造を有することにより、ウエハー７の装着状態及び加工公差による漏れ量、ウエハー７のセンター部７ａとエッジ部７ｂに供給されるヘリウムガスの時間差などによってヘリウムガスの均一な分布を得ることに難しさがある。また、一つのヘリウム供給流路、つまり、センター流路３を通じてウエハー７に伝達されるヘリウムガスの量ではエッジ部７ｂの温度上昇を防止することが困難である。
【０００８】
そして、静電チャックの最外郭段差ｄでは、ウエハー７の全体的な温度均一性を確保することが難しいだけでなく、ウエハー７のエッジ部７ｂに多量のヘリウムガスを供給するためにエッジ流路４のサイズを増加させると、工程進行時にプラズマによるアーキング（arcing）現象が発生しやすくて、むしろ静電チャックの寿命を短縮させる結果をもたらす。
【０００９】
最近、前記のような問題点を考慮して、ウエハーのセンター部及びエッジ部を冷却させるためのヘリウム供給流路を別途に形成した構造の静電チャックが提案（特許文献１、特許文献２）されたが、これはヘリウム供給構造が複雑なので、静電チャックの生産性が低下するだけでなく、冷却の効率性面でも問題が提起されている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記のような目的を達成するために本発明は、ウエハーが装着されるベースと、前記ベースの上部面の端部に備えられる環型の第１シーリング部材と、前記第１シーリング部材の内側に離隔して前記ベースの上部面に備えられ、前記ウエハー装着時に前記ウエハーをエッジ部及びセンター部に区分する環型の第２シーリング部材と、前記ベースの内部に分岐形成され、前記ウエハーのエッジ部にヘリウムガスを排出する第１ヘリウム供給流路と、前記第１ヘリウム供給流路と高さ差を有するように前記ベースの内部に分岐形成され、前記ウエハーのセンター部にヘリウムガスを排出する第２ヘリウム供給流路とを含んで構成されることを特徴とする。
【００１１】
前記第１ヘリウム供給流路は、前記ベースの中央下部に形成された第１ヘリウム流入口と、前記ウエハーのエッジ部と対応するように前記ベースの外側上部に形成された複数の第１ヘリウム排出口と、前記第１ヘリウム流入口から分岐形成され、前記第１ヘリウム排出口と連通する第１内部流路とを含むのが好ましい。
【００１２】
前記第１内部流路は、前記第１ヘリウム流入口と連通する複数の第１分岐流路と、前記第１分岐流路及び前記第１ヘリウム排出口と連通する第１循環流路とを含むのが好ましい。
【００１３】
前記第２ヘリウム供給流路は、前記ベースの中央下部に形成された第２ヘリウム流入口と、前記ウエハーのセンター部と対応するように前記ベースの上部に形成された複数の第２ヘリウム排出口と、前記第１内部流路と高さ差を有するように前記第２ヘリウム流入口から分岐形成され、前記第２ヘリウム排出口と連通する第２内部流路とを含むのが好ましい。
【００１４】
前記第２内部流路は、前記第２ヘリウム流入口と連通する複数の第２分岐流路と、前記第２分岐流路及び前記第２ヘリウム排出口と連通する第２循環流路とを含むのが好ましい。
【００１５】
前記第２シーリング部材の内側に離隔して前記ベースの上部面に備えられ、前記ウエハー装着時に前記ウエハーのセンター部を分割する環型の第３シーリング部材と、前記第２ヘリウム供給流路と高さ差を有するように前記ベースの内部に分岐形成され、前記分割されたウエハーのセンター部のそれぞれにヘリウムガスを排出する第３ヘリウム供給流路とをさらに含むのが好ましい。
【００１６】
前記第３ヘリウム供給流路は、前記ベースの中央下部に形成された第３ヘリウム流入口と、前記分割されたウエハーのセンター部のそれぞれに対応するように前記ベースの上部に形成された複数の第３ヘリウム排出口と、前記第２内部流路と高さ差を有するように前記第３ヘリウム流入口から分岐形成され、前記第３ヘリウム排出口と連通する第３内部流路とを含むのが好ましい。
【００１７】
前記第３内部流路は、前記第３ヘリウム流入口と連通する複数の第３分岐流路と、前記第３分岐流路及び前記第３ヘリウム排出口と連通する第３循環流路とを含むのが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、ウエハーの加工工程時にエッジ部及びセンター部の温度均一性を確保することができるだけでなく、冷却効率を相対的に向上させることができる。
また、多層構造に形成されたヘリウム供給流路によってヘリウムガス供給の時間的不均衡を解消することができ、ヘリウム供給流路の形成位置による制約を最少化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付した図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明する。
図３は、本発明の第１実施形態によるウエハー用静電チャックの平面図であり、図４は、本発明の第１実施形態によるウエハー用静電チャックのヘリウム供給流路を切開して示した背面図であり、図５は、本発明の第１実施形態によるウエハー用静電チャックの使用状態を示した断面図である。
【００２０】
図面に示されているように、本発明によるウエハー用静電チャックは、ウエハー１０が装着されるベース２０と、ベース２０の上部面の端部に備えられる環型の第１シーリング部材３０と、第１シーリング部材３０の内側に離隔してベース２０の上部面に備えられ、ウエハー１０装着時にウエハー１０をエッジ部１２及びセンター部１４に区分する環型の第２シーリング部材４０と、ベース２０の内部に分岐形成され、ウエハー１０のエッジ部１２にヘリウムガスを排出する第１ヘリウム供給流路５０と、第１ヘリウム供給流路５０と高さ差を有するようにベース２０の内部に分岐形成され、ウエハー１０のセンター部１４にヘリウムガスを排出する第２ヘリウム供給流路６０とを含んで構成される。
【００２１】
ベース２０は、直流電圧の印加によって形成された静電場がウエハー１０と静電相互作用をすることにより、ウエハー１０を固定させ、その大きさ及び形状は必要に応じて多様に変形可能である。
【００２２】
第１シーリング部材３０及び第２シーリング部材４０は、同心円構造を有し、ウエハー１０のエッジ部１２及びセンター部１４のそれぞれに供給されるヘリウムガスの気密を維持する役割を果たす。
【００２３】
第１ヘリウム供給流路５０は、ベース２０の中央下部に形成され、外部からヘリウムガスが流入される第１ヘリウム流入口５２と、ウエハー１０のエッジ部１２と対応するようにベース２０の外側上部に形成され、ウエハー１０のエッジ部１２にヘリウムガスを排出する複数の第１ヘリウム排出口５４と、第１ヘリウム流入口５２から分岐形成され、第１ヘリウム排出口５４と連通する第１内部流路５６とを含む。
【００２４】
第１ヘリウム流入口５２は、ベース２０下部の適切な位置に選択的に形成することができるが、ウエハー１０のエッジ部１２及びセンター部１４に伝達されるヘリウムガスがほぼ同一な時間に到着してウエハー１０の冷却効率を向上させることができるように、ベース２０の下部中央に形成されるのが好ましい。
【００２５】
第１ヘリウム排出口５４は、装着されたウエハー１０のエッジ部１２と対応してヘリウムガスを排出することができるように、ベース２０の外側周囲に沿って一定の間隔で複数形成される。
【００２６】
第１内部流路５６は、第１ヘリウム流入口５２と連通する複数の第１分岐流路５５ａと、第１分岐流路５５ａ及び第１ヘリウム排出口５４と連通する第１循環流路５５ｂとを含むのが好ましい。そして、第１ヘリウム供給流路５０の構造が複雑になる短所があるが、第１分岐流路５５ａの数を第１ヘリウム排出口５４の数と同一に形成することによって、第１循環流路５５ｂを除去して第１内部流路５６を形成することができる。
【００２７】
一方、第１ヘリウム流入口５２と第１ヘリウム排出口５４及び第１内部流路５６の規格はアーキング（arcing）現象が発生しない程度の範囲内で選択的に調節可能である。
【００２８】
第２ヘリウム供給流路６０は、ベース２０の中央下部に形成された第２ヘリウム流入口６２と、ウエハー１０のセンター部１４と対応するようにベース１０の上部に形成された複数の第２ヘリウム排出口６４と、第１内部流路５６と高さ差を有するように第２ヘリウム流入口６２から分岐形成され、第２ヘリウム排出口６４と連通する第２内部流路６６とを含む。
【００２９】
第２内部流路６６は、第１内部流路５６と高さ差が発生するように形成されて、第２ヘリウム供給流路６０の形成位置による制約を最少化することができることにより、ヘリウムガスをウエハー１０のセンター部１４に均等に排出させることができる。
【００３０】
第２ヘリウム流入口６２の位置は、必要によって多様に変形可能であるが、ウエハー１０のエッジ部１２及びセンター部１４に伝達されるヘリウムガスがほぼ同一な時間に到着して、ウエハー１０の冷却効率を向上させることができるように、第１ヘリウム流入口５２と干渉されない範囲内でベース２０の下部中央に形成されるのが好ましい。
【００３１】
第２ヘリウム排出口６４は、装着されたウエハー１０のセンター部１４と対応してヘリウムガスを排出することができるように、ベース２０の外側周囲に沿って一定の間隔で複数形成され、その間隔は適切に調節可能である。
【００３２】
第２内部流路６６は、第２ヘリウム流入口６２と連通する複数の第２分岐流路６５ａと、第２分岐流路６５ａ及び第２ヘリウム排出口６４と連通する第２循環流路６５ｂとを含むのが好ましい。そして、第２ヘリウム供給流路６０の構造が複雑になる短所があるが、第２分岐流路６５ａの数を第２ヘリウム排出口６４の数と同一に形成することによって、第２循環流路６５ｂを除去して第２内部流路６６を形成することができる。
【００３３】
一方、第１ヘリウム供給流路５０及び第２ヘリウム供給流路６０は、個別的に形成されて、ウエハー１０のエッジ部１２及びセンター部１４に供給されるヘリウムガスの量及び供給時間などを選択的に調節することができる。
【００３４】
以上で説明したウエハー用静電チャックの作動状態を簡単に説明すると次の通りである。
【００３５】
まず、ベース２０に貫通形成された第１ヘリウム供給流路５０の第１ヘリウム流入口５２を通じて流入されたヘリウムガスは、分岐された第１内部流路５６に沿ってベース２０の外側端部に流動され、このように流動されたヘリウムガスは、複数の第１ヘリウム排出口５４を通じて排出されることにより、ウエハー１０のエッジ部１２を均等に冷却させるようになる。この時、第１ヘリウム排出口５４を通じて排出されたヘリウムガスは、ウエハー１０をチャッキングするベース２０の圧着力によって、第１、２シーリング部材３０、４０の間に気密が維持された状態で存在して、ウエハー１０のエッジ部１２にのみ集中的にヘリウムガスを分布させることができるようになる。
【００３６】
そして、ベース２０に貫通形成された第２ヘリウム供給流路６０の第２ヘリウム流入口６２を通じて流入されたヘリウムガスは、分岐された第２内部流路６６に沿ってベース２０の外側端部に流動され、このように流動されたヘリウムガスは、複数の第２ヘリウム排出口６４を通じて排出されることことにより、ウエハー１０のセンター部１４を均等に冷却させるようになる。この時、第２ヘリウム排出口６４を通じて排出されたヘリウムガスは、ウエハー１０をチャッキングするベース２０の圧着力によって、第２シーリング部材４０の内側に気密が維持された状態で存在して、ウエハー１０のセンター部１４にのみ集中的にヘリウムガスを分布させることができるようになる。
【００３７】
図６は、本発明の第２実施形態によるウエハー用静電チャックの平面図であり、図７は、本発明の第２実施形態によるウエハー用静電チャックのヘリウム供給流路を切開して示した背面図であり、図８は、本発明の第２実施形態によるウエハー用静電チャックの使用状態を示した断面図である。
【００３８】
図面に示されているように、第２ヘリウム供給流路６０を通じてヘリウムガスが供給されるウエハー１０のセンター部１４を分割してその冷却効率をより向上させるためのものであって、第２シーリング部材４０の内側に離隔してベース２０の上部面に備えられ、ウエハー１０装着時にウエハー１０のセンター部１４を分割する環型の第３シーリング部材７０と、第２ヘリウム供給流路６０と高さ差を有するようにベース２０の内部に分岐形成され、第３シーリング部材７０によって分割されたウエハー１０のセンター部１４にヘリウムガスを排出する第３ヘリウム供給流路８０とを含んで構成される。
【００３９】
第３ヘリウム供給流路８０は、ベース２０の中央下部に形成された第３ヘリウム流入口８２と、分割されたウエハー１０のセンター部１４に対応するようにベース２０の上部に形成された複数の第３ヘリウム排出口８４と、第２内部流路６６と高さ差を有するように第３ヘリウム流入口８２から分岐形成され、第３ヘリウム排出口８４と連通する第３内部流路８６とを含む。
【００４０】
第３内部流路８６は、第３ヘリウム流入口８２と連通する複数の第３分岐流路８５ａと、第３分岐流路８５ａ及び第３ヘリウム排出口８４と連通する第３循環流路８５ｂとを含むのが好ましい。
【００４１】
一方、第１、２シーリング部材３０、４０及び第１、２ヘリウム供給流路５０、６０の構成及び機能は図３乃至図５で説明した内容と同一なので省略する。
【００４２】
前記では、ベース２０の上部面に第３シーリング部材７０を追加した実施形態であるが、ウエハー１０の大きさが大きくなってセンター部１４のヘリウム供給量が多量要求される時には、必要に応じて複数のシーリング部材及びそれによるヘリウム供給流路を多層構造に形成して、ウエハー１０のセンター部１４をより細分して冷却させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】従来のウエハー用静電チャックの底面図である。
【図２】従来のウエハー用静電チャックの使用状態を示した断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるウエハー用静電チャックの平面図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるウエハー用静電チャックのヘリウム供給流路を切開して示した背面図である。
【図５】本発明の第１実施形態によるウエハー用静電チャックの使用状態を示した断面図である。
【図６】本発明の第２実施形態によるウエハー用静電チャックの平面図である。
【図７】本発明の第２実施形態によるウエハー用静電チャックのヘリウム供給流路を切開して示した背面図である。
【図８】本発明の第２実施形態によるウエハー用静電チャックの使用状態を示した断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０…ウエハー
１２…エッジ部
１４…センター部
２０…ベース
３０…第１シーリング部材
４０…第２シーリング部材
５０…第１ヘリウム供給流路
５２…第１ヘリウム流入口
５４…第１ヘリウム排出口
５５ａ…第１分岐流路
５５ｂ…第１循環流路
５６…第１内部流路
６０…第２ヘリウム供給流路
６２…第２ヘリウム流入口
６４…第２ヘリウム排出口
６５ａ…第２分岐流路
６５ｂ…第２循環流路
６６…第２内部流路
７０…第３シーリング部材
８０…第３ヘリウム供給流路
８２…第３ヘリウム流入口
８４…第３ヘリウム排出口
８５ａ…第３分岐流路
８５ｂ…第３循環流路
８６…第３内部流路
【図１】
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【図２】
2005045207.tif 000004
【図３】
2005045207.tif 000005
【図４】
2005045207.tif 000006
【図５】
2005045207.tif 000007
【図６】
2005045207.tif 000008
【図７】
2005045207.tif 000009
【図８】
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