(57)【要約】【課題】処理槽の底面部からの被処理物の破片の除去を容易かつ迅速に行うことができる湿式処理装置を提供する。【解決手段】処理槽と、処理槽内に設けられ、被処理物を搬送する搬送手段とを備える湿式処理装置である。処理槽は、搬送手段の下方に位置する底面部１２を有し、底面部１２は凹凸状表面１２ａを有する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理槽と、前記処理槽内に設けられ、被処理物を搬送する搬送手段とを備える湿式処理装置であって、
前記処理槽は前記搬送手段の下方に位置する底面部を有し、
前記底面部は凹凸状表面を有する、湿式処理装置。
【請求項２】
前記底面部の前記凹凸状表面には複数の溝が形成されている、請求項１に記載の湿式処理装置。
【請求項３】
前記複数の溝のそれぞれの断面形状は、台形状である、請求項２に記載の湿式処理装置。
【請求項４】
前記複数の溝のそれぞれは、側面と底面とを有し、前記側面と前記底面とのなす角が９０°を超えている、請求項２または３に記載の湿式処理装置。
【請求項５】
前記複数の溝は、第１の方向に平行な複数の第１の溝と、前記第１の方向に交差する第２の方向に平行な複数の第２の溝とを含んでいる、請求項２から４のいずれかに記載の湿式処理装置。
【請求項６】
前記第１の方向と前記第２の方向とは略直交する、請求項５に記載の湿式処理装置。
【請求項７】
前記複数の第１の溝および前記複数の第２の溝は略２ｃｍの間隔で配置されており、
前記複数の第１の溝および前記複数の第２の溝のそれぞれの上部の幅は３ｍｍ以上５ｍｍ以下であり、前記複数の第１の溝および前記複数の第２の溝のそれぞれの深さは２ｍｍ以上３ｍｍ以下である、請求項６に記載の湿式処理装置。
【請求項８】
前記底面部の前記凹凸上表面にはそれぞれが角錐台状の複数の凸部が形成されている、請求項１から７のいずれかに記載の湿式処理装置。
【請求項９】
前記複数の凸部のそれぞれは四角錐台状である、請求項８に記載の湿式処理装置。
【請求項１０】
前記底面部の前記凹凸状表面は、前記底面部の全体にわたって実質的に一様なパターンで形成されている、請求項１から９のいずれかに記載の湿式処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被処理物にウェットエッチングや湿式洗浄などの湿式処理を施す湿式処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置や半導体装置の製造工程は、ウェットエッチングや湿式洗浄、湿式成膜などの湿式処理を含んでいる。このような湿式処理に用いられる湿式処理装置（「ウェットプロセス装置」や「ウェット装置」ともよばれる。）は、一般に、処理槽と、この処理槽の内部に設けられ、ガラス基板などの被処理物を搬送する搬送ラインとを備えている。湿式処理装置としては、例えば、特許文献１に開示されているウェット枚葉処理装置や特許文献２に開示されている半導体洗浄装置が挙げられる。
【０００３】
このような湿式処理装置において、搬送ラインによる搬送中にガラス基板が不慮の事故で割れ、ガラス片が処理槽の底面部に落下した場合には、湿式処理装置の動作を一旦停止させ、作業者が処理槽の底面部からガラス片の回収を行う必要がある。ガラス片の大きさは一様ではないので、一般には専用の治具は無く、ガラス片の回収は作業者が自らの手で行うことが多い。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−３６１１５９号公報
【特許文献２】
特開２０００−４０６８３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、処理槽の底面部は一般には平坦であるため、湿式処理に用いる液体によって接触面に対する付着力が増加しているガラス片を処理槽の底面部から除去するのは困難であり、この除去作業を迅速に行うことは難しい。
【０００６】
そのため、ガラス片の除去を容易化、迅速化し、作業者の安全の確保をさらに万全とすることが望まれている。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理槽の底面部からの被処理物の破片の除去を容易かつ迅速に行うことができる湿式処理装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明による湿式処理装置は、処理槽と、前記処理槽内に設けられ、被処理物を搬送する搬送手段とを備える湿式処理装置であって、前記処理槽は前記搬送手段の下方に位置する底面部を有し、前記底面部は凹凸状表面を有し、そのことによって上記目的が達成される。
【０００９】
ある好適な実施形態において、前記底面部の前記凹凸状表面には複数の溝が形成されている。
【００１０】
ある好適な実施形態において、前記複数の溝のそれぞれの断面形状は、台形状である。
【００１１】
ある好適な実施形態において、前記複数の溝のそれぞれは、側面と底面とを有し、前記側面と前記底面とのなす角が９０°を超えている。
【００１２】
ある好適な実施形態において、前記複数の溝は、第１の方向に平行な複数の第１の溝と、前記第１の方向に交差する第２の方向に平行な複数の第２の溝とを含んでいる。
【００１３】
ある好適な実施形態において、前記第１の方向と前記第２の方向とは略直交する。
【００１４】
ある好適な実施形態において、前記複数の第１の溝および前記複数の第２の溝は略２ｃｍの間隔で配置されており、前記複数の第１の溝および前記複数の第２の溝のそれぞれの上部の幅は３ｍｍ以上５ｍｍ以下であり、前記複数の第１の溝および前記複数の第２の溝のそれぞれの深さは２ｍｍ以上３ｍｍ以下である。
【００１５】
ある好適な実施形態において、前記底面部の前記凹凸上表面にはそれぞれが角錐台状の複数の凸部が形成されている。
【００１６】
ある好適な実施形態において、前記複数の凸部のそれぞれは四角錐台状である。  ある好適な実施形態において、前記底面部の前記凹凸状表面は、前記底面部の全体にわたって実質的に一様なパターンで形成されている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００１８】
図１（ａ）および（ｂ）に、本実施形態における湿式処理装置（ウェット装置）１００の構造を示す。湿式処理装置１００は、図１（ａ）および（ｂ）に示すように、処理槽１０と、処理槽１０内に設けられた複数の搬送ローラ２０とを備えている。
【００１９】
複数の搬送ローラ２０は、被処理物としてのガラス基板１を搬送する搬送手段として機能する。これらの搬送ローラ２０は、所定の方向に沿って配列されており、各搬送ローラ２０が回転することによってガラス基板１の搬送が行われる。なお、搬送手段としてはここで例示した搬送ローラ２０に限定されず、公知の種々の搬送手段を用いることができる。
【００２０】
搬送ローラ２０によって搬送されるガラス基板１は、処理槽１０内で湿式処理を施される。湿式処理としては、例えば、ウェットエッチング、湿式洗浄、湿式成膜、湿式剥離が挙げられる。
【００２１】
処理槽１０は、搬送ローラ２０の下方に位置する底面部１２を有している。この底面部１２は、図２（ａ）および（ｂ）に示すように、凹凸状表面１２ａを有している。本実施形態では、底面部１２の凹凸状表面１２ａには、複数の溝１３と、複数の凸部１４とが形成されている。
【００２２】
複数の溝１３のそれぞれの断面形状は、図２（ｂ）に示すように台形状（より厳密には下底よりも上底が長い等脚台形状）である。また、これらの複数の溝１３は、格子状に形成されている。すなわち、複数の溝１３は、所定の方向に平行な第１の溝１３ａと、上記所定の方向に交差する（ここでは略直交する）方向に平行な第２の溝１３ｂとを含んでいる。
【００２３】
一方、複数の凸部１４のそれぞれは、格子状に形成された複数の溝１３によって囲まれており、その形状は四角錐台状である。
【００２４】
本実施形態における湿式処理装置１００では、搬送中のガラス基板１が破損した場合に底面部１２に落下するガラス片１ａの大きさは、搬送ローラ２０の配置間隔（隣接する搬送ローラ２０間の距離）Ａに依存している。そのため、搬送ローラ２０から落下するガラス片１ａの幅は、搬送方向には搬送ローラ２０の配置間隔Ａ、搬送方向に直交する方向にはその方向に沿ったガラス基板１の幅が最大である。つまり、ガラス片１ａの最大の大きさは、図１（ｂ）中でハッチングを付した領域１ａ’とほぼ同じ大きさである。搬送ローラ２０の配置間隔Ａは、搬送するガラス基板１の大きさにも依るが、一般的には、作業者が処理槽１０の底面部１２に手を伸ばすことができるように十数センチ程度である。
【００２５】
ガラス片１ａのうち、比較的小さいもの、例えば目視が困難な大きさのものは処理槽１０内に設けられた廃液ライン（不図示）から流れ出るので、作業者が手で除去する必要性は低い。これに対して、比較的大きく、廃液ラインから流れ出ないガラス片１ａは、引き続く処理に差し支えが無いよう除去する必要がある。
【００２６】
ところが、従来の湿式処理装置のように処理槽の底面部が平坦であると、濡れたガラス片を除去することは難しい。濡れたガラス片は底面部への付着力が増しているからである。特に、ガラス片の大きさが２〜３ｃｍ角以下になると、平坦な底面部から除去することは非常に困難である。
【００２７】
本発明による湿式処理装置１００では、処理槽１０の底面部１２が凹凸状表面１２ａを有しているので、ガラス片１ａが底面部１２に落下した場合、ガラス片１ａの下方に凹部（ここでは溝１３）が存在することによってガラス片１ａと底面部１２の表面との間に空気層２が存在する。そのため、ガラス片１ａと底面部１２との付着力は比較的弱いので、ガラス片１ａの除去を容易かつ迅速に行うことができ、その結果、作業者の安全の確保をさらに万全とすることが可能となる。また、ガラス片１ａの下方に位置する凹部（溝１３）を利用する（例えば指や冶具を差込む）ことによってガラス片１ａを下側から容易に持ち上げることができるので、この点からも上記の効果が得られる。
【００２８】
付着力を弱める観点およびガラス片１ａの下側からの持ち上げを容易にする観点からは、凹凸状表面１２ａの凹部は連続していることが好ましく、凹凸状表面１２ａには複数の点状（島状）の凹部が形成されているよりも本実施形態のように複数の溝１３が形成されていることが好ましい。
【００２９】
また、同様の観点から、複数の溝１３は格子状に形成されていることが好ましい。すなわち、複数の溝１３が、所定の方向に平行な第１の溝１３ａと、その方向に交差する（例えば略直交する）方向に平行な第２の溝１３ｂとを含んでいることが好ましい。また、落下するガラス片１ａの形状や、落下位置がランダムであるので、四方からガラス片１ａに手（あるいは冶具）をのばせることが好ましく、この観点からも複数の溝１３が格子状であることが好ましい。
【００３０】
指先の形状が丸みを帯びていることから、溝１３の側面１３Ｓは、溝１３の底面１３Ｂに対して垂直でないことが好ましく、溝１３の側面１３Ｓと溝１３の底面１３Ｂとのなす角θが９０°を超えていることが好ましい。また、ガラス片１ａが溝１３内に落ちた場合、ガラス片１ａの端面が上を向いているよりも横を向いている方が作業者の安全の確保を万全とする観点からはより好ましい。そのため、溝１３は、底面を有していることが好ましく、溝１３の断面形状は三角形状（Ｖ字状）よりも台形状が好ましい。
【００３１】
ここまでは、溝１３の好ましい構成を説明したが、凸部１４についても同じ観点から好ましい形状が規定される。つまり、凸部１４は連続しているよりも不連続であることが好ましく、例えば格子状に形成された複数の溝１３によって囲まれていることが好ましい。また、凸部１４の側面１４Ｓは溝１３の側面１３Ｓでもあるので、凸部１４の側面１４Ｓと溝１３の底面１３Ｂとがなす角が９０°を超えることが好ましい。例えば、凸部１４を四角錐台状などの角錐台状とすることによって、このような条件を満足することができる。
【００３２】
溝１３および／または凸部１４の形状、大きさなどは、除去対象となるガラス片１ａの大きさに応じて適宜設定すればよい。本願発明者は、１ｃｍ角のガラス片１ａを除去するのに好適な構成を詳細に検討した結果、図２（ａ）に示した構成において、第１の溝１３ａの間隔Ｓ１および第２の溝１３ｂの間隔Ｓ２を略２ｃｍ（具体的には１．００ｃｍ以上２．５０ｃｍ以下、好ましくは１．２０ｃｍ以上２．００ｃｍ以下）、第１の溝１３ａおよび第２の溝１３ｂの上部の幅ＷＵを３ｍｍ以上５ｍｍ以下、第１の溝１３ａおよび第２の溝１３ｂの深さＤを２ｍｍ以上３ｍｍ以下とすることによって、好適にガラス片１ａの除去を行うことができることを見出した。このとき、第１の溝１３ａおよび第２の溝１３ｂの下部の幅ＷＬは例えば略１ｍｍとすることができる。なお、１ｃｍ角のガラス片１ａが溝１３と重ならず、略２ｃｍ角の凸部１４の頂面内に位置することもありえるが、その場合でもガラス片１ａをスライド（平行移動）させることによってガラス片１ａの下方に溝１３を位置させることができるので、除去を好適に行うことができる。
【００３３】
底面部１２の凹凸状表面１２ａの形状はここで例示したものに限定されず、除去するガラス片１ａの大きさに応じて適宜設定することができる。例えば、溝１３の断面形状は、例示した台形状に限定されず、ガラス片１ａの下方に空気層を存在させ得る形状であればよく、溝１３の断面形状をＵ字状やＶ字状（三角形状）あるいは半円状としてもよい。また、ガラス片１ａの落下する場所に依らず除去を好適に行う観点からは、底面部１２の凹凸状表面１２ａは、底面部１２の全体にわたって実質的に一様なパターンで形成されていることが好ましく、多数の凸部や凹部（例えば溝）がほぼ一定の間隔で周期的に配列されていることが好ましい。
【００３４】
処理槽１０の底面部１２に凹凸状表面１２を形成するには、公知の加工技術を用いることができる。底面部１２の表面の外形が予め凹凸状に作りこまれていてもよいし、底面部１２の平坦な表面に凹部（例えば溝）を形成してもよい。また、平坦な表面に凸部となる部材を設置してもよく、凹凸状表面が予め作り込まれた部材を平坦な表面に設置してもよい。
【００３５】
【発明の効果】
本発明によると、処理槽の底面部が凹凸状表面を有しているので、被処理物の破片の底面部への付着力を弱めることができ、また、被処理物の破片を下側から容易に持ち上げることができる。そのため、処理槽の底面部からの被処理物の破片の除去を容易かつ迅速に行うことができる湿式処理装置が提供され、作業者の安全の確保をより万全とすることができる。
【００３６】
本発明は、ウェットエッチング装置や湿式洗浄装置などの湿式処理装置全般に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明による湿式処理装置を模式的に示す断面図であり、（ｂ）は本発明による湿式処理装置を模式的に示す上面図である。
【図２】（ａ）は本発明による湿式処理装置が備える処理槽の底面部を模式的に示す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）中の２Ｂ−２Ｂ´線に沿った断面図である。
【符号の説明】
１  ガラス基板
１０  処理槽
１２  底面部
１２ａ  凹凸状表面
１３  溝
１３ａ  第１の溝
１３ｂ  第２の溝
１３Ｂ  溝の底面
１３Ｓ  溝の側面
１４  凸部
１４Ｓ  凸部の側面
２０  搬送手段
２０ａ  搬送ローラ
１００  湿式処理装置
【図１】
2005001826.tif 000003
【図２】
2005001826.tif 000004