(57)【要約】【課題】  管継手を使用することがないため連結部における液体等の漏れの心配がなく、熱可塑性樹脂材以外の樹脂にも適用することができ、簡単な治具を使用するだけで作業者の熟練が不要で短時間で曲げ加工を施すことのできる樹脂管の曲げ加工方法及び曲げ加工用治具を提供する。【解決手段】  被加工物としての略々直線状の樹脂管に、該樹脂管の内径よりわずかに小径の外径及び可撓性を有する棒状の曲げ加工用治具を挿入し、前記樹脂管及び該曲げ加工用治具に外力を加えて所望の形状に変形させ、該曲げ加工用治具を前記樹脂管から抜き取ることにより前記樹脂管に曲がり部を形成する。【選択図】  図１
2005001397.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物としての略々直線状の樹脂管に、該樹脂管の内径よりわずかに小径の外径及び可撓性を有する棒状の曲げ加工用治具を挿入し、前記樹脂管及び該曲げ加工用治具に外力を加えて所望の形状に変形させ、該曲げ加工用治具を前記樹脂管から抜き取ることにより前記樹脂管に曲がり部を形成することを特徴とする樹脂管の曲げ加工方法。
【請求項２】
樹脂管の曲げ加工用治具であって、被加工物としての略々直線状の樹脂管の内径よりわずかに小径の外径及び可撓性を有する棒状に形成され、前記樹脂管に挿入され、該樹脂管及び該曲げ加工用治具に加えられた外力により所望の形状に変形でき、前記樹脂管から抜き取られた後に前記樹脂管に所望の曲がり部が形成されることを特徴とする樹脂管の曲げ加工用治具。
【請求項３】
前記曲げ加工用治具は、コイル状に巻回されたステンレス製線材からなることを特徴とする請求項２記載の樹脂管の曲げ加工用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置等に使用され、外径が１／４インチ乃至３／４インチ程度の比較的細径のフッ素樹脂等で形成された樹脂管の曲げ加工方法及び曲げ加工用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、比較的細径のフッ素樹脂等で形成された樹脂管を曲げ加工するにあたっては、そのままの状態で単に外力を加えて樹脂管を曲げたのでは、曲がり部において樹脂管が折れ曲がり十分な管内の流体通路が確保できなくなるため、例えば、図２に示すように、エルボ等の管継手１１を使用して直交する２本の樹脂管１２、１２を連結する方法が使用されている。
【０００３】
さらに、このような管継手を使用しないで曲げ加工を行う方法として、熱可塑性樹脂材の場合には、樹脂管の曲げ部に外部から熱を加えて徐々に樹脂管を変形させることにより所望の形状を得る方法がある。
【０００４】
また、曲げ加工のために治具を使用する方法としては、特許文献１に開示されている方法として、図３に示すように、予め定尺に切断された被加工物としての熱可塑性樹脂細径長尺材２１を、この長尺材の外径よりわずかに大径の所要の長さを有する比較的軟質の金属管部材２２に挿入し、その後、曲げ治具による手動曲げ、またはベンダー装置による自動曲げ等により所望の一体曲げ加工を施し、次いで一体に曲げ成形された状態をもって熱処理炉内で加熱処理を行い、その後冷却して前記長尺材２１に硬化に伴う永久曲げ形状を生じさせ、更にその一端側より前記長尺材２１を引き抜く方法があった。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６４−７５２２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、エルボ等の管継手を使用して直交する２本の樹脂管を連結した場合には、管継手と樹脂管の連結部において、シールが不十分な場合には管内の液体等が外部に漏れるおそれがあった。また、継手と樹脂管を結合するための工程が必要であった。
【０００７】
また、このような継手を使用しないで、熱可塑性樹脂材に熱を加えることにより変形させた後、所望の形状に曲げ加工を行う方法においては、樹脂管の曲げ部に熱を加えながら徐々に樹脂管を曲げなければならないため、曲げ加工作業に長時間を要するとともに、滑らかな曲げ部を形成するためには高い熟練度を有する作業者を必要としていた。
【０００８】
さらに、曲げ加工のために治具を使用する上記従来の方法においては、加熱しながら曲げ加工を行う前記方法と同様に、熱可塑性樹脂材にしか適用できないとともに、熱処理炉内での加熱処理、冷却による永久曲げ加工、曲げ治具としての長尺材の引き抜きに耐える樹脂材料にしか適用できなかった。
【０００９】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、管継手を使用することがないため連結部における液体等の漏れの心配がなく、熱可塑性樹脂材以外の樹脂にも適用することができ、簡単な治具を使用するだけで作業者の熟練が不要で短時間で曲げ加工を施すことのできる樹脂管の曲げ加工方法及び曲げ加工用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明は、樹脂管の曲げ加工方法であって、被加工物としての略々直線状の樹脂管に、該樹脂管の内径よりわずかに小径の外径及び可撓性を有する棒状の曲げ加工用治具を挿入し、前記樹脂管及び該曲げ加工用治具に外力を加えて所望の形状に変形させ、該曲げ加工用治具を前記樹脂管から抜き取ることにより前記樹脂管に曲がり部を形成することを特徴とする。
【００１１】
そして、本発明によれば、熱、及び管継手を使用しなくとも、簡単な治具を使用するだけで樹脂管に曲がり部を形成することができる。
【００１２】
また、本発明は、樹脂管の曲げ加工用治具であって、被加工物としての略々直線状の樹脂管の内径よりわずかに小径の外径及び可撓性を有する棒状に形成され、前記樹脂管に挿入され、該樹脂管及び該曲げ加工用治具に加えられた外力により所望の形状に変形でき、前記樹脂管から抜き取られた後に前記樹脂管に所望の曲がり部が形成されることを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、熱、及び管継手を使用しなくとも、樹脂管に容易に曲がり部を形成することができる。
【００１４】
前記曲げ加工用治具をコイル状に巻回されたステンレス製線材で形成することができる。これによって、樹脂管に滑らかな曲がり部を形成することができる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明によれば、熱を使用しないため熱可塑性を有しない樹脂材にも使用することができ、管継手を使用しないので管内の液体等が外部に漏れるおそれがなく、また、継手と樹脂管を結合するための工程が不要で、簡単な治具を使用するだけで作業者の熟練が不要で短時間で曲げ加工を施すことのできる樹脂管の曲げ加工方法を提供することができる。
【００１６】
また、本発明は、熱を使用しないため、熱可塑性を有しない樹脂材にも使用することができ、管継手を使用しないので管内の液体等が外部に漏れるおそれがなく、また、継手と樹脂管を結合するための工程が不要で、作業者の熟練不要で短時間で曲げ加工を施すことのできる樹脂管の曲げ加工用治具を提供することができる。
【００１７】
さらに、コイル状に巻回されたステンレス製線材からなる樹脂管の曲げ加工用治具を使用することにより、滑らかな曲がり部を形成することができる樹脂管の曲げ加工用治具を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明にかかる樹脂管の曲げ加工方法及び曲げ加工用治具の実施の形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
【００１９】
図１は、本発明にかかる樹脂管の曲げ加工方法を示す概略図であって、参照番号１は、被加工物としての略々直線状のフッ素樹脂からなる樹脂管を示し、曲げ加工用治具２によって曲げ加工される。
【００２０】
樹脂管１は、図１（ａ）に示すように、外径が１／４インチ乃至３／４インチ程度の比較的細径で、比較的柔らかい長尺材として形成された樹脂管であって、略々一定の厚さ及び略々一定の内径を有する。
【００２１】
曲げ加工用治具２は、図１（ｂ）に示すように、ステンレス製線材をコイル状に巻回して形成され、樹脂管１の内径よりも外径が若干小さく形成されるとともに、樹脂管１に挿入された際は、樹脂管１の内面とコイル状部分の最外部のみで接するので、容易に曲げ加工用治具２の中を通過させることができる。また、この曲げ加工用治具２は、可撓性を有し、加えられた曲げ力に応じて容易に変形し、また元の状態に復帰することができる。
【００２２】
次に、上記治具を使用した本発明にかかる曲げ加工方法を説明する。まず、図１（ｃ）に示すように、樹脂管１に曲げ加工用治具２を挿入し、樹脂管１の曲げ加工される部分に曲げ加工用治具２を位置決めする。そして、図１（ｃ）の状態において、外部から曲げ加工用治具２の両端を掴んで曲げ力を加えて図１（ｄ）に示すように、所望の形状に樹脂管１に曲げ加工を施す。
【００２３】
この際、曲げ加工用治具２が樹脂管１の内部において、樹脂管１と一体的に曲げられるため、曲げ加工用治具２の存在により、樹脂管１の内面が樹脂管１の軸芯に向かって移動するのが妨げられ、従来のように、樹脂管１の内側断面が曲げ変形により狭小になることはない。また、曲げ加工用治具２がコイル状に形成されているため加えられた曲げ力に対して一定の曲率で撓むため、滑らかな曲がり部を有する樹脂管１を得ることができる。
【００２４】
そして、樹脂管１の一方の解放端から曲げ加工用治具２を抜き取り、図１（ｅ）に示すように樹脂管１の所望の曲げ形状が得られる。この際、曲げ加工用治具２のコイル状部分の最外部のみが樹脂管１の内面に接し、また曲げ加工用治具２は可撓性を有し、曲げ力が解除されると容易に元の略々直線状の状態に復帰することができるため、簡単に樹脂管１から抜き取ることができる。
【００２５】
尚、上記実施の形態においては、樹脂管をフッ素樹脂製としたが、フッ素樹脂製でなくとも、一定の曲げ応力を加えた場合に撓み、応力を解除した後もその状態を維持することのできる樹脂であれば本発明を適用することができる。また、曲げ加工用治具２もステンレスに限らず、他の金属等で形成することも可能であり、さらに、コイル状に構成しなくとも、可撓性を有し、加えられた曲げ力に応じて容易に変形し、また元の状態に復帰することができるように構成されていれば足りる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】（ａ）は、被加工物しての樹脂管、（ｂ）は、本発明にかかる曲げ加工用治具の一実施の形態としてのコイル状ステンレス製治具、（ｃ）は前記曲げ加工用治具を樹脂管に挿入した状態を示す図、（ｄ）は前記曲げ加工用治具に外部から曲げ力を加えて樹脂管を所望の曲げ形状に変形させた状態を示す図、（ｅ）は、前記曲げ加工用治具を樹脂管から引き抜き曲げ加工が完了した状態の樹脂管を示す図である。
【図２】従来の樹脂管の曲げ加工方法の一例として、エルボ継手を使用して直交する２本の樹脂管を連結した状態を示す概略図である。
【図３】従来の樹脂管の曲げ加工方法の一例として、曲げ加工治具を使用して、熱可塑性樹脂細径長尺材を曲げ加工する方法を示す概略図である。
【符号の説明】
【００２７】
１      樹脂管
２      曲げ加工用治具
【図１】
2005001397.tif 000003
【図２】
2005001397.tif 000004
【図３】
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