(57)【要約】【課題】接合作業の効率向上を図る。【解決手段】加圧昇降機構２のホルダ３の下降途中において、接合作用部１１の下端面と搭載台４の上における複数の加工対象部品Ｗ１；Ｗ２の接合する部分の上面とが互いに接触し、接合作用部１１と搭載台４とが複数の加工対象部品Ｗ１；Ｗ２の接合する部分を挟み付け、これと並行し、超音波振動回転駆動機構５の接合作用部１１が超音波振動に共振する一方、超音波振動回転駆動機構５のモータ１２が駆動し、接合作用部１１が一方向に回転することによって、接合作用部１１の上下方向に振動する超音波振動と、加圧昇降機構２の下降による加圧力と、モータ１２による回転とが、複数の加工対象部品Ｗ１；Ｗ２の互い重ね合わされた部分に相乗的に作用し、接合作用部１１が複数の加工対象部品Ｗ１；Ｗ２の互い重ね合わされた部分を摩擦撹拌により短時間に接合する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の重ね合わされた加工対象部品を載せる搭載台、搭載台よりも上方に設けられた加圧昇降機構と、加圧昇降機構の加圧昇降出力部に取付けられた超音波振動回転駆動機構とを備えた超音波振動回転接合装置において、超音波振動回転駆動機構が、昇降出力部に取付けられた筒状の固定外殻と、固定外殻の内部に回転可能に装着された回転内殻と、回転内殻に格納された振動子と、振動子に同軸状に結合されて回転内殻と同軸状に配置された共振器と、共振器における固定外殻の一端及び回転内殻の一端より外側に突出された最大振動振幅点の存在する下端部に形成された接合作用部と、回転内殻を回転するための駆動源とを備えたことを特徴とする超音波振動回転接合装置。
【請求項２】
共振器が、２つの最小振動振幅点を有する少なくとも１波長以上であって、２つの最小振動点のそれぞれに共振器を回転内殻の内部に取付けるための支持部を備えたことを特徴とする請求項１記載の超音波振動回転接合装置。
【請求項３】
振動子及び駆動源への外部からの配線を中継するための端子基板が固定外殻に設けられたことを特徴とする請求項１記載の超音波振動回転接合装置。
【請求項４】
複数の加工対象部品の接合する部分を互いに重ね合わせて搭載台に回転しないように搭載し、加圧昇降機構のホルダが下降することによって、接合作用部の下端面と搭載台の上における複数の加工対象部品の接合する部分の上面とが互いに接触し、接合作用部と搭載台とが複数の加工対象部品の接合する部分を挟み付け、超音波振動回転駆動機構の接合作用部が超音波振動に共振する一方、超音波振動回転駆動機構のモータが駆動し、接合作用部が一方向に回転することによって、接合作用部の上下方向に振動する超音波振動と、加圧昇降機構の下降による加圧力と、モータによる回転とが、複数の加工対象部品の互い重ね合わされた部分に相乗的に作用し、接合作用部が複数の加工対象部品の互い重ね合わされた部分を摩擦撹拌により接合する超音波振動回転接合方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は複数の加工対象部品の互いに重ね合わされた部分を接合する超音波振動回転接合装置およびその装置を用いた接合方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の回転接合装置には、複数の加工対象部品の互い重ね合わされた部分を搭載台と回転ツールとで挟み、回転ツールを回転させることで、回転ツールから伝達される摩擦撹拌で複数の加工対象部品の互い重ね合わされた部分を接合するものが知られている（例えば、参考文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−２９２４８０号公報（第１頁、要約、図１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の回転接合装置は、回転ツールが回転された後に加工対象部品に押し当てられ、回転ツールの先端部が加工対象部品の内部に進入することで、複数の加工対象部品の互い重ね合わされた部分を摩擦撹拌により接合するので、回転ツールの先端部が複数の加工対象部品の互い重ね合わされた部分の内部に進入してから、複数の加工対象部品の互い重ね合わされた部分を接合するまでの時間が長く、作業効率が悪い。
【０００５】
そこで、本発明は、超音波振動と回転と加圧力との併用で作業効率のよい接合を行うことができる超音波振動回転接合装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る超音波振動回転接合装置にあっては、複数の重ね合わされた加工対象部品を載せる搭載台、搭載台よりも上方に設けられた加圧昇降機構と、加圧昇降機構の加圧昇降出力部に取付けられた超音波振動回転駆動機構とを備えた超音波振動回転接合装置において、超音波振動回転駆動機構が、昇降出力部に取付けられた筒状の固定外殻と、固定外殻の内部に回転可能に装着された回転内殻と、回転内殻に格納された振動子と、振動子に同軸状に結合されて回転内殻と同軸状に配置された共振器と、共振器における固定外殻の一端及び回転内殻の一端より外側に突出された最大振動振幅点の存在する下端部に形成された接合作用部と、回転内殻を回転するための駆動源とを備えたことによって、接合作用部の上下方向に振動する超音波振動と、加圧昇降機構の下降による加圧力と、駆動源による回転とが、複数の加工対象部品の互い重ね合わされた部分に相乗的に作用し、接合作用部が複数の加工対象部品の互い重ね合わされた部分を摩擦撹拌により短時間に接合するすることができる。また、本発明に係る超音波振動回転接合装置にあっては、共振器が、２つの最小振動振幅点を有する少なくとも１波長以上であって、２つの最小振動点のそれぞれに共振器を回転内殻の内部に取付けるための支持部を備えれば、回転内殻に対する共振器の支持間隔が長くなり、接合加工時における共振器の撓みを防止し、接合加工が適切となる。また、本発明に係る超音波振動回転接合装置にあっては、振動子及び駆動源への外部からの配線を中継するための端子基板が固定外殻に設けられれば、超音波振動回転駆動機構の構造が簡素となる。また、本発明に係る超音波振動回転接合方法にあっては、複数の加工対象部品の接合する部分を互いに重ね合わせて搭載台に回転しないように搭載し、加圧昇降機構のホルダが下降することによって、接合作用部の下端面と搭載台の上における複数の加工対象部品の接合する部分の上面とが互いに接触し、接合作用部と搭載台とが複数の加工対象部品の接合する部分を挟み付け、超音波振動回転駆動機構の接合作用部が超音波振動に共振する一方、超音波振動回転駆動機構のモータが駆動し、接合作用部が一方向に回転することによって、接合作用部の上下方向に振動する超音波振動と、加圧昇降機構の下降による加圧力と、モータによる回転とが、複数の加工対象部品の互い重ね合わされた部分に相乗的に作用し、接合作用部が複数の加工対象部品の互い重ね合わされた部分を摩擦撹拌により接合することによって、短時間に接合することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１−図５は本発明の第１実施の形態であって、図１は超音波振動回転接合装置の側面を示し、図２は超音波振動回転駆動機構５を図１のＡ−Ａ線に沿い切断した断面を示し、図３は超音波振動回転駆動機構５を図２のＢ−Ｂ線に沿い切断した断面を示し、図４は共振器と振動波形との関係を示し、図５は固定外殻６とカバー５３との周りを分解して示す。
【０００８】
図１を参照し、超音波振動回転接合装置について説明する。１は装置本体、１ａは装置本体１の底部、１ｂは底部１ａの一端部より上方に立設された支持躯体、１ｃは支持躯体１ｂの上端部より底部１ａと対向するように横方向に突出した取付部、２は装置本体１の取付部１ｃに設けられた加圧昇降機構、２ａは加圧昇降機構２の昇降ヘッドであって、底部１ａの側に向けられており、図外のステップモータ又はエアシリンダの何れか１つのアクチュエータにより装置本体１に対し回転せずに直線的に矢印Ｘで示す上下方向に昇降する。Ｇは超音波振動回転駆動機構５を支持躯体１ｂに対し上下方向に案内するガイド機構、３は昇降ヘッド２ａに着脱自在に取付けられたホルダ、４は加工対象部品Ｗ１；Ｗ２を搭載するために装置本体１の底部１ａの上に設けられた搭載台、５はホルダ３に着脱自在に取付けられた超音波振動回転駆動機構、Ｗ１；Ｗ２は加工対象部品である。加工対象部品Ｗ１；Ｗ２の個数は２個に限定されるものではなく、２個以上であればよい。
【０００９】
図２と図３とを参照し、超音波振動回転駆動機構５について説明する。超音波振動回転駆動機構５は、大まかには、ホルダ３に着脱自在に取付けられた固定外殻６と、固定外殻６の内部に回転可能に装着された回転内殻７と、回転内殻７の内部に格納された振動子８と、振動子８に無頭ねじのようなねじで同軸状に結合されて回転内殻７の内部に同軸状に格納されたブースタ９と、ブースタ９に無頭ねじのようなねじで同軸状に結合されて固定外殻６及び回転内殻７の一端より外側に突出されたホーン１０と、ホーン１０に設けられた工具である接合作用部１１と、固定外殻６の他端部に取付けられて回転内殻７を回転するための駆動源であるモータ１２とを備える。接合作用部１１は、共振器における固定外殻６の一端及び回転内殻７の一端より外側に突出された最大振動振幅点ｆ７の存在する下端部に形成される。ブースタ９とホーン１０とが共振器を構成する。ブースタ９とホーン１０とを単一体に形成してもよいが、本実施形態のように、ブースタ９とホーン１０とを別々に形成し、これらのブースタ９とホーン１０とをねじで同軸状に結合すれば、ブースタ９を交換することで、振動子８からホーン１０に伝達される超音波振動の振動振幅を変更することができる。
【００１０】
固定外殻６は前後に貫通する格納室１３を有する。格納室１３の前半部に挿入された回転内殻７と固定外殻６との間には後側ベアリング１４と前側ベアリング１５とが配置される。後側ベアリング１４のアウタリングが固定外殻６の格納室１３に突出した段差部１６で受止められ、後側ベアリング１４のインナリングが回転内殻７の外周面に突出した段差部１７で受止められ、後側ベアリング１４と前側ベアリング１５と間には筒状のベアリングシート１８が配置される。ベアリングシート１８の両端は後側ベアリング１４のアウタリングと前側ベアリング１５のアウタリングとのそれぞれに接触する。前側ベアリング１５のアウタリングは固定外殻６の前端部内側にねじ嵌合装着された環状の外側ベアリング押え１９により押えられる。前側ベアリング１５のインナリングは回転内殻７の前端部外側にねじ嵌合装着された環状の内側ベアリング押え２０により押えられる。そして、外側ベアリング押え１９は内側ベアリング押え２０と回転内殻７の前端とを冷媒の表面張力より小さな隙間を以って被覆し、係る隙間より冷媒が前側ベアリング１５の側に進入することを防止する。外側ベアリング押え１９は前面に締結工具を嵌め込むための図外の凹部を有し、係る凹部に締結工具を嵌めて締結操作することにより、外側ベアリング押え１９と固定外殻６との結合が適切となる。
【００１１】
固定外殻６は周壁に作業用孔２１を有する。作業用孔２１は固定外殻６をホルダ３に取付けた際にホルダ３で覆われない位置、例えば、ホルダ３に取付けられた固定外殻６の前面に位置する（図１参照）。ベアリングシート１８は作業用孔２１と対応する逃げ孔２２を有する。回転内殻７は前後に貫通する収容室２３と周壁の貫通孔２４とを有する。貫通孔２４は作業用孔２１と対応する。ブースタ９は作業用孔２１と対応する凹部２５を外周面に有する。そして、振動子８とブースタ９とが回転内殻７の内部に装着される際に貫通孔２４と凹部２５との位置を合せておき、ベアリングシート１８が固定外殻６の内部に装着される際に作業用孔２１と逃げ孔２２との位置を合せておく。それから、ホーン１０を交換する場合、作業者がホーン１０を手で回して作業用孔２１と貫通孔２４との整合を確認した後に図外の棒を作業用孔２１より逃げ孔２２と貫通孔２４とを経て凹部２５に差込むことにより、回転内殻７及びブースタ９の回り止めが図られ、ホーン１０又は接合作用部１１の何れかの交換がやりやすくなる。
【００１２】
回転内殻７の収容室２３には振動子８とブースタ９とが配置される。振動子８とブースタ９とが結合された状態において、振動子８とブースタ９とが収容室２３に回転内殻７の前側より挿入されることにより、振動子８が収容室２３に非接触に配置され、ブースタ９の前側支持部２６の外周面と後側支持部２７の外周面とが収容室２３の内周面に接触しつつ挿入され、後側支持部２７が収容室２３に突出した段差部２８で受止められる。前側支持部２６の外周面と後側支持部２７の外周面と収容室２３の内周面との接触により、振動子８とブースタ９とが収容室２３に径方向にがたつきなく配置される。前側支持部２６は回転内殻７の前端部内側にねじ嵌合装着された環状の締結具２９により押えられる。これにより、振動子８とブースタ９とが回転内殻７に前後方向にがたつきなく同軸状に組付けられる。締結具２９は内側縁部にゴム又は合成樹脂より成る環状のシール部材３０を有する。シール部材３０はブースタ９の外周面に接触して、締結具２９とブースタ９との間の隙間に対する防水や防塵を図る。締結具２９は外側ベアリング押え１９を水の表面張力より小さな隙間を以って被覆し、係る隙間より水が回転内殻７の側に進入することを防止する。締結具２９は前面に締結工具を嵌め込むための図外の凹部を有し、係る凹部に締結工具を嵌めて締結操作することにより、締結具２９と回転内殻７との結合が適切となる。
【００１３】
振動子８への電気系統は次のようになっている。振動子８は導電性の有る覆体３１を外嵌装着し、振動子８の負極電極と覆体３１とが接続される。覆体３１の後端中央には正極振動子端子３２を電気絶縁固定し、正極振動子端子３２と振動子８の正極端子とが接続される。回転内殻７の後端には電気絶縁材製の回転接続部３３がねじで固定される。回転接続部３３は、内部に埋設された正極回転端子３４と、周面に装着されたスリップリングと称呼される負極・正極環状回転端子３５；３６と、前面より突出した負極回転端子３７と、負極・正極環状回転端子３５；３６相互を隔てるように周面より突出した電気絶縁材よる成る環状の隔壁３８とを有する。正極回転端子３４と正極環状回転端子３６とが回転接続部３３に埋設された図外の導体により接続され、正極回転端子３４の前面が正極振動子端子３２に接触する。負極環状回転端子３５と負極回転端子３７とが回転接続部３３に埋設された導体により接続され、負極回転端子３７が覆体３１の外周面に接触する。回転接続部３３と対応する位置において、固定外殻６は電気絶縁材よる成る複数の固定接続部３９を有する。各固定接続部３９は、ブラシと称呼される負極・正極摺接端子４０；４１と、負極・正極摺接端子４０；４１を負極・正極環状回転端子３５；３６側に付勢する導電性材料より成る負極・正極弾性部材４２；４３と、負極・正極配線端子４４；４５と、電気絶縁材製のキャップ４６；４７と、負極・正極摺接端子４０；４１間に位置した環状の溝４８とを個別に有する。負極摺接端子４０が負極弾性部材４２により押されて負極環状回転端子３５に接触し、正極摺接端子４１が正極弾性部材４３により押されて正極環状回転端子３６に接触する。
【００１４】
よって、正極配線端子４５が図外の配線により超音波発生器の正極出力端子に配線されることにより、振動子８に対する正極経路が正極配線端子４５、正極弾性部材４３、正極摺接端子４１、正極環状回転端子３６、正極回転端子３４、正極振動子端子３２により形成される。各負極配線端子４４が図外の配線により超音波発生器の負極出力端子に配線されることにより、負極配線端子４４、負極弾性部材４２、負極摺接端子４０、負極環状回転端子３５、負極回転端子３７、覆体３１により形成される。正極経路と負極経路とが形成された状態において、超音波発生器から振動子８に電力が供給されることにより、振動子８が所定周波数の縦波の超音波振動を発生して出力する。又、隔壁３８は、負極・正極環状回転端子３５；３６と負極・正極摺接端子４０；４１との摺接により発生した粉末が負極・正極環状回転端子３５；３６相互を短絡するような、粉塵短絡を防止する。又、溝４８は、負極・正極環状回転端子３５；３６と負極・正極摺接端子４０；４１との摺接により発生した粉末が負極・正極摺接端子４０；４１相互を短絡するような、粉塵短絡を防止する。又、隔壁３８と溝４８との嵌合により、上記粉塵短絡の防止性能が最適となる。
【００１５】
回転内殻７とモータ１２との連結構造は次のようになっている。回転接続部３３の後部には電気絶縁材製の軸部材４９がボルトで締結される。軸部材４９には前側カップリング５０が一緒に回転するように装着される。モータ１２が固定外殻６の後部に装着された後部外殻５１にボルトで締結される。モータ１２の出力端には後側カップリング５２が一緒に回転するように装着される。前側カップリング５０と後側カップリング５２とが相互に前後方向への嵌め合いにより一緒に回転するような凹凸を有する。そして、前側・後側カップリング５０；５２が嵌合した状態おいて、モータ１２が回転駆動すると、その回転動力がモータ１２の出力端より前側・後側カップリング５０；５２、軸部材４９、回転接続部３３を経て回転内殻７に伝達し、回転内殻７が回転する。
【００１６】
後部外殻５１には箱形のカバー５３がねじで固定される。カバー５３は後部外殻５１より固定接続部３９を非接触に被覆しつつ固定外殻６の中間部を非接触に被覆する。カバー５３の前部は固定外殻６の外側面に立設された図外の支柱にねじで固定される。要するに、図２に示すように、超音波振動回転駆動機構５は回転内殻７の内部にブースタ９と振動子８とが同軸状に組込まれ、ブースタ９に同軸状に結合された接合作用部１１を有するホーン１０が回転内殻７と固定外殻６との前外側に配置され、固定外殻６の後部に取付けられたモータ１２が回転内殻７に同軸状に連結された簡素な構造である。
【００１７】
図４を参照し、ブースタ９とホーン１０とより構成される共振器について説明する。ブースタ９は、チタン、アルミニウム、焼き入れされた鉄等の何れかの音響特性の良い材料より成り、振動子８より伝達された超音波振動に共振する１波長の長さを有する形態により、半波長の長さに比較し、回転内殻７と振動子８とへの同軸状となる芯出しと接合加工時の撓み防止とが良くなる。ブースタ９の両端部には振動子８からの超音波振動に共振する振動波形Ｗの最大振動振幅点ｆ１；ｆ５が存在し、ブースタ９の前側支持部２６と後側支持部２７とには最小振動振幅点ｆ２；ｆ４が存在する。振動波形Ｗは共振による超音波振動の瞬間的な変位（振動振幅）を表す。
【００１８】
前側支持部２６は、振動波形Ｗの最小振動振幅点ｆ４より径方向外側に突出する環状の付根部２６ａと、付根部２６ａの周縁よりホーン１０側に延設した筒状の肉薄部２６ｂと、肉薄部２６ｂの先端より径方向外側に突出する環状の肉厚部２６ｃとを有する。後側支持部２７は、最小振動振幅点ｆ２より径方向外側に突出する環状の付根部２７ａと、付根部２７ａの周縁より振動子８側に延設した筒状の肉薄部２７ｂと、肉薄部２７ｂの先端より径方向外側に突出する環状の肉厚部２７ｃとを有する。肉厚部２６ｃ；２７ｃの外周面が回転内殻７の収容室２３の内周面に全体的に接触することにより、ブースタ９の回転内殻７に対する前後方向の支持間隔（スパン）が長くなり、接合加工時の撓み防止がより良くなる。付根部２６ａ；２７ａの厚さ＞肉薄部２６ｂ；２７ｂ、肉厚部２６ｃ；２７ｃ＞肉薄部２６ｂ；２７ｂに形成されている。
【００１９】
ホーン１０はチタン、アルミニウム、焼き入れされた鉄等の何れかの音響特性の良い材料より成り、振動子８より伝達された超音波振動に共振する１／２波長の長さを有する。ホーン１０の両端部には振動波形Ｗの最大振動振幅点ｆ５；ｆ７が存在する。ホーン１０の最大振動振幅点ｆ７には接合作用部１１が存在する。ホーン１０と接合作用部１１とは同一材料により単一体として形成されている。接合作用部１１は、ホーン１０の回転中心を中心とするホーン１０よりも小さな直径の短円柱であって、ホーン１０が軸方向に共振することにより、ホーン１０と同一の振動モードで同方向（矢印Ｘで示す軸方向と平行な方向）に振動する。
【００２０】
又、ブースタ９の前側・後側支持部２６；２７を避けた外周面、及び、ホーン１０の接合作用部１１を避けた外周面のそれぞれには、ブースタ９と振動子８との結合や解除、ブースタ９とホーン１０との結合や解除それぞれに際し工具を挿入する工具用凹部５４；５５；５６を個別に有する。
【００２１】
図５を参照し、固定外殻６とカバー５３との周りについて説明する。カバー５３は底面前部の開口部６０と底面後部の端子基板６１とを有する。端子基板６１は合成樹脂製基部に振動子用正極端子６２と振動子用負極端子６３とモータ用正極端子６４とモータ用負極端子６５とを有する。そして、カバー５３が固定外殻６に装着された状態において、振動子用正極端子６２と固定接続部３９の正極配線端子４５とが、振動子用負極端子６３と固定接続部３９の負極配線端子４４とが、モータ用正極端子６４とモータ１２の正極端子とが、モータ用負極端子６５とモータ１２の負極端子とが、カバー５３で覆われた内部空間を利用して配線された図外のそれぞれの電線を介して接続される。又、振動子用正極端子６２と振動子用負極端子６３とには図外の超音波発生器の正極出力端子と負極出力端子とがそれぞれの電線を介してカバー５３の外部より接続される。モータ用正極端子６４とモータ用負極端子６５とには図外のモータドライブ回路の正極出力端子と負極出力端子とがそれぞれの電線を介してカバー５３の外部より接続される。上記各端子と電線との配線作業終了後に、蓋６６が固定外殻６に複数の支柱６７を介してねじで固定されて開口部６０を閉じる。よって、開放された開口部６０を利用して上記配線を行うことにより、配線作業がやりやすくなる。又、蓋６６で開口部６０を閉じることにより、感電等の事故が防止できる。なお、固定外殻６の側面に突出した複数の支柱６８は反対側面にも同様に存在し、固定接続部３９と干渉しないようにカバー５３を固定外殻６にねじで取付けるための部材である。
【００２２】
第１実施形態の動作について説明する。図１において、複数の加工対象部品Ｗ１；Ｗ２の接合する部分を互いに重ね合わせて搭載台４に搭載する。このように搭載台４に搭載された複数の加工対象部品Ｗ１；Ｗ２は回転しないように図外の支持機構で支持される。そして、作業者が装置本体１に設けられた図外の操作盤を操作することにより、加圧昇降機構２のホルダ３が下降する。その下降途中において、接合作用部１１の下端面と搭載台４の上における複数の加工対象部品Ｗ１；Ｗ２の接合する部分の上面とが互いに接触し、接合作用部１１と搭載台４とが複数の加工対象部品Ｗ１；Ｗ２の接合する部分を挟み付ける。これと並行し、超音波振動回転駆動機構５の接合作用部１１が超音波振動に共振する一方、超音波振動回転駆動機構５のモータ１２が駆動し、接合作用部１１が一方向に回転する。これによって、接合作用部１１の上下方向に振動する超音波振動と、加圧昇降機構２の下降による加圧力と、モータ１２による回転とが、複数の加工対象部品Ｗ１；Ｗ２の互い重ね合わされた部分に相乗的に作用し、接合作用部１１が複数の加工対象部品Ｗ１；Ｗ２の互い重ね合わされた部分を摩擦撹拌により短時間に接合することができる。このように短時間に接合することができることにより、加工対象部品Ｗ１；Ｗ２の熱劣化、熱歪、接合跡を低減することができ、装置や接合作用部１１の長寿命化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の超音波振動回転接合装置を示す側面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】図２のＢ−Ｂ線断面に相当する断面図。
【図４】同第１実施形態の共振器と振動波形との関係を示す模式図。
【図５】同第１実施形態の固定外殻と後部外殻とを分解した斜視図。
【符号の説明】
１  装置本体、２  加圧昇降機構、３  ホルダ、５  超音波振動回転駆動機構、６  固定外殻、７  回転内殻、８  振動子、９  ブースタ、１０  ホーン、１１  接合作用部、１２  モータ、６１  端子基板
【図１】
2005028382.tif 000003
【図２】
2005028382.tif 000004
【図３】
2005028382.tif 000005
【図４】
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【図５】
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