(57)【要約】【課題】耐久性があり、光量変化に対して色温度の変化が小さい上に光量ムラも小さい照明装置を提供する。【解決手段】照明装置の光量調節には、複数のＮＤフィルタ１１を有するＮＤフィルタ装置１０を用いる。ＮＤフィルタ１１は、インコーネル合金薄膜を有する金属膜フィルタ部１２と、金属膜フィルタ部１２に対して、色温度変換能の絶対値が実質的に同じで正負の符号が逆の補正フィルタ部１５とを有している。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光量を調整するために用いられるＮＤフィルタにおいて、
入射光を減光させる金属膜フィルタ部と、
前記金属膜フィルタ部と、色温度変換能の絶対値が実質的に同じで正負の符号が逆の補正フィルタ部と、
を有することを特徴とするＮＤフィルタ。
【請求項２】
光量を調整するために用いられるＮＤフィルタにおいて、
入射光を減光させる金属膜フィルタ部と、
前記金属膜フィルタ部と組み合わせた透過率を各波長域で均一にする補正フィルタ部と、
を有することを特徴とするＮＤフィルタ。
【請求項３】
請求項１及び２のいずれか一項に記載のＮＤフィルタにおいて、
前記補正フィルタ部は、誘電体膜を有する、
ことを特徴とするＮＤフィルタ。
【請求項４】
請求項３に記載のＮＤフィルタにおいて、
一枚の基板の表裏面のうち、一方の面に前記金属膜フィルタ部の金属膜が形成され、他方の面に前記補正フィルタ部の前記誘電体膜が形成されている、
ことを特徴とするＮＤフィルタ。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載のＮＤフィルタを複数備え、
複数の前記ＮＤフィルタの各金属膜フィルタ部は、互いに光学濃度が異なり、
複数の前記ＮＤフィルタは、各ＮＤフィルタの前記金属膜フィルタ部の光学濃度の増加又は減少に対応して、各ＮＤフィルタの前記補正フィルタ部の色温度変換能が増加又は減少する、
ことを特徴とするＮＤフィルタ装置。
【請求項６】
請求項５に記載のＮＤフィルタ装置において、
複数の前記ＮＤフィルタは、各ＮＤフィルタの前記金属膜フィルタ部の光学濃度Ｄの変化と、各ＮＤフィルタの前記補正フィルタ部の色温度変換能Ｖの変化とがほぼ比例関係にある、
ことを特徴とするＮＤフィルタ装置。
【請求項７】
請求項６に記載のＮＤフィルタ装置において、
前記金属膜フィルタ部は、インコーネルを主成分とする金属薄膜を有し、
前記金属膜フィルタ部の光学濃度Ｄと前記補正フィルタ部の色温度変換能Ｖとの前記比例関係を示す比例係数Ｖ／Ｄが−２０から−４０の間の値である、
ことを特徴とするＮＤフィルタ装置。
【請求項８】
光を発する光源と、
前記光源からの光を受ける請求項５から７のいずれか一項に記載のＮＤフィルタ装置と、
ＮＤフィルタ装置の複数のＮＤフィルタのうちのいずれかのＮＤフィルタを通過した光の光量分布の平均化を図る光量分布平均化光学系と、
を備えていることを特徴とする照明装置。
【請求項９】
請求項８に記載の照明装置において、
位置の変化に伴って光学濃度が連続的に変化する光量微調整用フィルタを備えている、
ことを特徴とする照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光量を変えることができる照明装置、これに用いられるＮＤフィルタ、及びこのＮＤフィルタを複数備えたＮＤフィルタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤやＣＭＯＳ等のカラーイメージセンサを検査する際には、このカラーイメージセンサに、各種光量の光をムラなく照射する必要がある。また、このような検査では、カラーイメージセンサでの通常撮像による光の照度の数千倍から数十万倍の光を照射して、各素子のコンデンサ容量の限界まで電荷を蓄えさせて、絶縁の検査、いわゆるオーバーフロー検査を実行する。このため、この種の検査に用いる照明装置では、一般的に、非常に光量の大きな光源を用いて、非常に大きな光量を確保すると共に、この光源から光を光量減衰フィルタで減光して、微弱な光量も確保している。
【０００３】
従来、このカラーイメージセンサの検査に用いる照明装置では、前述の光量減衰フィルタとして、吸収を利用した色ガラス濃度フィルタや、一部の光を反射する光吸収量の少ない金属膜フィルタを用いている。
【０００４】
また、以上のようなフィルタを用いずに光量調整が可能な照明装置としては、特許文献１に記載のものがある。この照明装置は、光照射面での光量ムラを無くすためのインテグレータロッドの光源側に開口可変絞りを設け、この開口可変絞りの開口サイズを変えることで、光量を調整するものである。
【０００５】
【特許文献１】特開2001-356203号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、色ガラス濃度フィルタを用いているものでは、吸収する光量が増加すると、フィルタが熱を持ってしまい、割れたり特性が変化したりするという問題点がある。
【０００７】
また、金属膜フィルタを用いているものでは、一部の光を反射するので、光吸収量が少なくなり、色ガラス濃度フィルタのような問題を生じないものの、金属膜の物性により、単位厚さあたりの透過率が波長によって異なってしまう。より具体的には、波長特性の変化が少ないといわれているインコーネル合金薄膜フィルタでも、長波長側の透過率に比べ短波長側の透過率がわずかに小さく、この傾向は光学濃度が高いフィルタで顕著に現われるため、光学濃度の高い膜を通過した光と光学濃度の低い膜を通過した光とで、波長分布、言い換えると色温度が変わってしまい有効な検査を行うことができないことがあるという問題点がある。このように色温度が変わることにより有効な検査ができないと、検査対象であるカラーイメージセンサの出力信号のカラーバランスが所望のバランスになっていないことがある。
【０００８】
また、特許文献１に記載の照明装置では、インテグレータロッドの光源側に開口可変絞りが設けられ、インテグレータロッドの光入射面での光受光面積が変化するため、インテグレータロッドの光量ムラを無くすという効果を十分に得られず、光量ムラが生じることがあるという問題点がある。また、検査に必要な、例えば、0．1〜10000ルクスの光量調整を開口絞りの大きさ調整のみで行うことは極めて困難であるという問題点もある。
【０００９】
本発明は、以上のような従来技術の問題点に着目し、耐久性があり、光量変化に対して色温度の変化が小さい上に光量ムラも小さい照明装置、これに用いられるＮＤフィルタ、及びこのＮＤフィルタを複数備えたＮＤフィルタ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記問題点を解決するための請求項１に係る発明のＮＤフィルタは、
光量を調整するために用いられるＮＤフィルタにおいて、
入射光を減光させる金属膜フィルタ部と、
前記金属膜フィルタ部と、色温度変換能の絶対値が実質的に同じで正負の符号が逆の補正フィルタ部と、を有することを特徴とする。
【００１１】
請求項２に係る発明のＮＤフィルタは、
光量を調整するために用いられるＮＤフィルタにおいて、
入射光を減光させる金属膜フィルタ部と、
前記金属膜フィルタ部と組み合わせた透過率を各波長域で均一にする補正フィルタ部と、を有することを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る発明のＮＤフィルタは、
請求項１及び２のいずれか一項に記載のＮＤフィルタにおいて、
前記補正フィルタ部は、誘電体膜を有することを特徴とする。
【００１３】
請求項４に係る発明のＮＤフィルタは、
請求項３に記載のＮＤフィルタにおいて、
一枚の基板の表裏面のうち、一方の面に前記金属膜フィルタ部の金属膜が形成され、他方の面に前記補正フィルタ部の前記誘電体膜が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
前記問題点を解決するための請求項５に係る発明のＮＤフィルタ装置は、
請求項１から４のいずれか一項に記載のＮＤフィルタを複数備え、
複数の前記ＮＤフィルタの各金属膜フィルタ部は、互いに光学濃度が異なり、
複数の前記ＮＤフィルタは、各ＮＤフィルタの前記金属膜フィルタ部の光学濃度の増加又は減少に対応して、各ＮＤフィルタの前記補正フィルタ部の色温度変換能が増加又は減少することを特徴とする。
【００１５】
請求項６に係る発明のＮＤフィルタ装置は、
請求項５に記載のＮＤフィルタ装置において、
複数の前記ＮＤフィルタは、各ＮＤフィルタの前記金属膜フィルタ部の光学濃度Ｄの変化と、各ＮＤフィルタの前記補正フィルタ部の色温度変換能Ｖの変化とがほぼ比例関係にあることを特徴とする。
【００１６】
請求項７に係る発明のＮＤフィルタ装置は、
請求項６に記載のＮＤフィルタ装置において、
前記金属膜フィルタ部は、インコーネルを主成分とする金属薄膜を有し、
前記金属膜フィルタ部の光学濃度Ｄと前記補正フィルタ部の色温度変換能Ｖとの前記比例関係を示す比例係数Ｖ／Ｄが−２０から−４０の間の値であることを特徴とする。
【００１７】
前記問題点を解決するための請求項８に係る発明の照明装置は、
光を発する光源と、
前記光源からの光を受ける請求項５から７のいずれか一項に記載のＮＤフィルタ装置と、
ＮＤフィルタ装置の複数のＮＤフィルタのうちのいずれかのＮＤフィルタを通過した光の光量分布の平均化を図る光量分布平均化光学系と、
を備えていることを特徴とする。
【００１８】
請求項９に係る発明の照明装置は、
請求項８に記載の照明装置において、
位置の変化に伴って光学濃度が連続的に変化する光量微調整用フィルタを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、従来技術の欄で述べた特許文献１のように開口絞りにより光量を調節せずに、ＮＤフィルタで光量を調整しているため、インテグレータロッド等の光量分布平均化光学系の光入射面での光受光面積が変化せず、光量ムラを抑えることができる。しかも、本発明のＮＤフィルタは、光学濃度の変化に対して色温度変化のある金属膜フィルタ部を有しているものの、この色温度変化を補正する補正フィルタ部を設けているので、光濃度の高い金属膜フィルタ部を用いているときと、光学濃度の低い金属膜フィルタ部を用いているときで、色温度に変化が無く、有効な検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る照明装置の一実施形態について説明する。
【００２１】
本実施形態の照明装置は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等のカラーイメージセンサに光をムラなく照射するもので、図１に示すように、光源１と、光源１からの光を集光するコレクタレンズ２と、コレクタレンズ２を通過した光が入射する複数のＮＤフィルタ１１を有するＮＤフィルタ装置１０と、複数のＮＤフィルタ１１のうちのいずれかのＮＤフィルタ１１を通過した光を再び集光するリレーレンズ４と、このリレーレンズ４からの光の光量を微調整するための光量微調整フィルタ装置２０と、この光量微調整フィルタ装置２０を通過した光の分布を平均化するインテグレータロッド５と、このインテグレータロッド５からの光の光量分布をさらに平均化するフライアイレンズ６と、フライアイレンズ６からの光を集光するコンデンサレンズ７と、を備えている。
【００２２】
ＮＤフィルタ装置１０は、円盤状のターレット１８と、このターレット１８に設けられている前述の複数のＮＤフィルタ１１と、ターレット１８を回転させる回転モータ１９と、を備えている。各ＮＤフィルタ１１は、図２に示すように、入射光を減光させる金属膜フィルタ部１２と、この金属膜フィルタ部１２と組み合わせた透過率を各波長域で均一にする補正フィルタ部１５と、これらが互いに平行になるように固定するためのフィルタ枠１７と、を有している。金属膜フィルタ部１２は、基板１４とインコーネル合金で形成された薄膜１３とを有している。また、補正フィルタ部１５は、基板１４とＮｂＯやＳｉＯ２等で形成された誘導体膜１６とを有している。ターレット１８には複数の貫通孔１８ａが形成されており、各貫通孔１８ａに対応する位置にＮＤフィルタ１１が配置されている。なお、この金属膜フィルタ部１２及び補正フィルタ部１５の光学能力の相互関係に関しては、後で詳細に説明する。
【００２３】
光量微調整フィルタ装置２０は、ウェッジフィルタ２１と、これを回転させる回転モータ２５と、を備えている。ウェッジフィルタ２１は、図３に示すように、円盤状の基盤２２と、この基盤２２の一方の面に形成されている金属膜２３と、を有している。この金属膜２３の厚さは、基盤２２の中心Ｏを基準とした回転角に比例して増加している。言い換えると、基盤２２の中心Ｏを基準として回転角に比例して光学濃度が増加している。
【００２４】
インタグレータロッド５は、このインタグレータロッド５の光軸に対して斜めに入射した光を側壁面で反射して、光軸に対してほぼ平行に入射した光に重ね合わせるように出射することで、出力光の光量分布の平均化を図るものである。また、フライアイレンズ６は、複数の素レンズ６ａを有しており、各素レンズ６ａに入射した光は、互いに重なり合うように、この照明光学装置の光照射面８に照射されることで、光照射面８での光量分布の平均化をさらに図るものである。
【００２５】
ここで、前述のＮＤフィルタ１１の金属膜フィルタ部１２と補正フィルタ部１５との光学能力の相互関係について詳細に説明する。
【００２６】
金属膜による光量の減衰率は光学濃度(Optical Density)で表される。光学濃度Ｄと透過率Ｔとの関係は、以下の数１で表される。
【００２７】
D=-log(T)                    ・・・・・・・・・・・・（数１）
金属膜の透過率は、厳密には波長によって異なるが、インコーネルなどのいわゆるニュートラルデンシティ膜の場合、550nm付近の透過率が代表透過率として扱われるのが一般的である。なお、この光学濃度Dは薄膜の厚さに比例する。
【００２８】
図４は、各種光学濃度（ＯＤ：Optical Density）のインコーネル合金薄膜の各波長と透過率比（＝実際の透過率／代表透過率）との関係を示している。同図に示すように、インコーネル合金の薄膜の場合、光学濃度が高くなればなるほど、短波長側の透過率が低下し、長波長側の透過率が高くなる傾向がある。また、ある代表透過率の薄膜に注目すると、波長に応じてほぼ直線的に短波長側の透過率が低下する傾向がある。このため、ある代表透過率の薄膜の透過率分布を均一化したい場合には、波長の増加に対してほぼ直線的に透過率が低下する色温度補正フィルタを補正フィルタ部１５として用いればよい。
【００２９】
色温度補正フィルタの色温度変換能Ｖは、JIS B7125に規定されているように、波長610nm,635nm,655nmでのフィルタの透過率の平均値Trと、波長405nm,435nm,465nmでのフィルタの透過率の平均値Tbとから、以下の（数２）で表される。
【００３０】
V=221*(log(Tr)-log(Tb))        ・・・・・・・・・・・（数２）
この（数２）が示す色温度変換能Ｖは、基本的に、波長の異なる２箇所の透過率の平均値の差であるから、図４における透過率特性の傾きをある意味で表していることになる。このため、補正フィルタ部１５は、ある代表透過率の薄膜の透過率分布を均一化したい場合には、色温度変換能の絶対値が実質的に同じで正負の符号が逆の色温度補正フィルタを用いればよい、とも言える。なお、（数２）に示す定義により、色温度変換能Ｖの符号が正の場合、透過光の色温度を下げる機能を持つことを示し、逆に、色温度変換能Ｖの符号が負の場合、透過光の色温度を上げる機能を持つことを示している。
【００３１】
図５は、横軸に各種インコーネル合金薄膜の光学濃度をとり、縦軸にインコーネル合金薄膜による分光スペクトル分布の均一化を図るのに必要な色温度補正フィルタの色温度変換能、言い換えると、インコーネル合金薄膜の色温度変換能の正負の符号を逆にした値をとったものである。同図に示すように、例えば、光学濃度が０．９のインコーネル合金薄膜による、分光スペクトル分布の均一化を図るのに必要な色温度補正フィルタの色温度変換能は、約−１２で、光学濃度が０．９の３倍の２．７のインコーネル合金薄膜による、分光スペクトル分布の均一化を図るのに必要な色温度補正フィルタの色温度変換能は、−１２のほぼ３倍の約−６５であることから、インコーネル合金薄膜の光学特性を補正をするのに必要な色温度変換能は光学濃度にほぼ比例することが分かる。また、この比例係数は、-20〜-40の値をとることも分かる。
【００３２】
以上のように、本実施形態では、ある代表透過率のインコーネル合金薄膜１３を有する金属膜フィルタ部１２に対して、このインコーネル合金薄膜１３と、色温度変換能の絶対値が実質的に同じで正負の符号が逆の補正フィルタ部１５を用いている。また、本実施形態のＮＤフィルタ装置１０が備えている複数のＮＤフィルタ１１は、各ＮＤフィルタ１１の金属膜フィルタ部１２の光学濃度Ｄの変化に対して、各ＮＤフィルタ１１の補正フィルタ部１５の色温度変換能Ｖの変化が比例関係になる。
【００３３】
次に、本実施形態の照明装置の作用について説明する。
【００３４】
光源１からの光は、ＮＤフィルタ装置１０の複数のＮＤフィルタ１１のうち一つのＮＤフィルタ１１で減光された後、光量微調整フィルタ装置２０のウェッジフィルタ２１のいずれかの箇所を通過してさらに減光される。この減光処理で、光源１からの光を照射面８で所望の照度にするためには、まず、ＮＤフィルタ装置１０の複数のＮＤフィルタ１１のうち、照射面８での所望の照度よりも僅かに明るい光が得られるＮＤフィルタ１１を選び、このＮＤフィルタ１１が照明装置の光路中に位置するようにターレット１８を回転させる。さらに、ＮＤフィルタ１１を通過した光が照射面８で所望の光度が得られるウェッジフィルタ２１の位置を定め、この位置が照明光学装置の光路中に位置するように、ウェッジフィルタ２１を回転させる。
【００３５】
ウェッジフィルタ２１を通過した光は、インテグレータロッド５に入射する。インテグレータロッド５では、前述したように、斜めに入射した光は壁面で反射してインテグレータロッド５の出射面で、光軸とほぼ平行に入射した光と折り重なるように重なり合い、照度が平均化される。インテグレータロッド５から出射した光は、さらにフライアイレンズ６に入射する。フライアイレンズ６を構成する複数の素レンズ６ａに入射した各光は、照射面８で互いに重なり合い更に平均化される。
【００３６】
このように本実施形態では、従来技術の欄で述べた特許文献１のように開口絞りにより光量を調節せずに、ＮＤフィルタ１１で光量を調整しているため、インテグレータロッド５の光入射面での光受光面積が変化せず、光量ムラを抑えることができる。特に、本実施形態では、光量ムラを抑えるために、インテグレータロッド５の他に、フライアイレンズ６も用いているため、光量ムラを極めて小さくすることができる。
【００３７】
また、本実施形態では、光学濃度の変化に対して色温度変化のある金属膜フィルタ部１２を有しているものの、この色温度変化を補正する補正フィルタ部１５を設けているので、光学濃度の高い金属膜フィルタ部１２を用いているときと、光学濃度の低い金属膜フィルタ部１２を用いているときで、色温度に変化がほとんど無く、有効な検査を行うことができる。
【００３８】
ところで、ウェッジフィルタ２１は、前述したように、金属膜２３を用いているので、ＮＤフィルタ１１の金属膜フィルタ部１２と同様に、波長に応じて透過率が異なっている。しかしながら、光量微調整に用いるウェッジフィルタ２１中で光学濃度の最も高い部分でも、光学濃度が比較的低いために、波長に応じた透過率の変化量は、検査に影響を与えるほどではない。具体的に、仮に、図４及び図５に示すように、複数のＮＤフィルタ１１の各金属膜フィルタ部１２として、光学濃度が、０．４５、０．９、１．３５、１．４５、…と、光学濃度差が０．４５のものを用いた場合、ウェッジフィルタ２１で光量調整するために必要な光学濃度の範囲は、０〜０．４５である。このため、ウェッジフィルタ２１中で光学濃度が最も高い部分でも、そこの光学濃度は０．４５で、そのときの色温度変換能が５以下であり、図４中の光学濃度が０．４５の透過率特性と同じで、波長に応じた透過率の変化はきわめて小さい。したがって、ウェッジフィルタ２１に金属膜を用いても、検査にほとんど影響を与えない。
【００３９】
なお、本実施形態では、補正フィルタ部１５として、基板１４と、この基板１４上に形成された誘導体膜１６とを有するものを用いたが、本発明は、これに限定されるものでなく、目的の色温度変換能を有する色ガラスフィルタを用いてもよい。但し、光学濃度の小さい、つまり透過率の高いＮＤフィルタを製造する場合には、耐久性の面で、光を実質的に吸収しない誘電体膜１６を用いた方が好ましい。また、以上の実施形態では、金属膜フィルタ部１２の金属膜１３としてインコーネル合金を用いたが、クロムや銀など他の材料を用いてもよい。この場合、当然、その材料の波長に応じた透過率特性を調べ、その透過率特性に応じた補正フィルタ部１５を用いる必要があることは言うまでもない。
【００４０】
また、以上の実施形態のＮＤフィルタ１１は、金属膜フィルタ部１２及び補正フィルタ部１５が、それぞれ、独自の基板１４，１４を有し、そこに膜１３，１６を形成したものであるが、図６に示すように、一枚の基板１４の一方の面に金属薄膜１３を形成し、他方の面に誘導体膜１６を形成して、これでＮＤフィルタ１１ａを構成するようにしてもよい。このようにＮＤフィルタ１１ａを構成することにより、ＮＤフィルタ装置の軽量化及び低コスト化を図ることができる。但し、本実施形態のように、それぞれ独自の基板１４，１４で金属膜フィルタ部１２及び補正フィルタ部１５を形成した方が、各フィルタ部１２，１５の光学性能に製造上のバラツキが生じても簡単にフィルタ部を交換できるというメリットがある。
【００４１】
また、以上の実施形態では、金属膜フィルタ部１２に対する補正フィルタ部１５の相対的な位置が変化しないものであるが、例えば、図７に示すように、互いに光学濃度が異なる複数の金属フィルタ部１２を有する第１のターレット１８ａと、同じく互いに光学濃度が異なる複数の金属フィルタ部１２を有する第２のターレット１８ｂと、複数の補正フィルタ部１５を有する第３のターレット１８ｃとを設けて、第１のターレット１８ａの各金属フィルタ部１２及び第２のターレット１８ｂの各金属フィルタ部１２に対して、相対位置が変化する複数の補正フィルタ部１５を設けてもよい。この場合、第１のターレット１８ａの複数の金属フィルタ部１２と第２のターレット１８ｂの複数の金属フィルタ部１２との組み合わせで、より多くの光学濃度を確保できるようにし、第１のターレット１８ａの複数の金属フィルタ部１２と第２のターレット１８ｂの複数の金属フィルタ部１２との組み合わせにより生じる全ての光学濃度に対して、その透過率特性を補正する複数の補正フィルタ部１５を第３のターレット１８ｃに設けることになる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に係る一実施形態として照明装置の構成を示す説明図である。
【図２】本発明に係る一実施形態としてＮＤフィルタの断面図である。
【図３】本発明に係る一実施形態として光量微調整フィルタ装置の平面図である。
【図４】各光学濃度のインコーネル合金薄膜の波長に対する透過率比を示す説明図である。
【図５】各光学濃度のインコーネ合金薄膜の透過率特性を補正をするのに必要な色温度変換能を示す説明図である。
【図６】本発明に係る他の実施形態としてのＮＤフィルタの断面図である。
【図７】本発明に係る他の実施形態としてのＮＤフィルタ装置の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
１：光源                                ５：インテグレータロッド
６：フライアイレンズ                ８：照射面
１０：ＮＤフィルタ装置                  １１，１１ａ：ＮＤフィルタ
１２：金属膜フィルタ部                  １３：インコーネル合金薄膜
１４：基板                              １５：補正フィルタ部
１６：誘電体膜                          １８：ターレット
２０：光量微調整フィルタ装置            ２１：ウェッジフィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005345930.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005345930.tif 000009