(57)【要約】【課題】  自己共振周波数を低下させないようにしつつ、内側と端面側のコイル導体のインダクタンスおよび直流抵抗を略等しくした積層コイルアレイを提供する。【解決手段】  内側のコイル導体２０ｂ，２０ｃの近傍に、内部電極層と重ならないように調整用導体４０を設ける。【選択図】        図１
2005294637.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のセラミック層と内部導体層が交互に積層されてなる積層体を備え、複数の前記内部導体層が直列に接続されてなりコイル軸方向が前記積層体の積層方向に平行であるコイル導体が前記積層体の内部に３個以上配置されている積層コイルアレイであって、
前記積層体の前記コイル導体の配列方向の両端部に位置していないコイル導体の近傍に、前記コイル導体と前記積層体の積層方向で重ならないように前記積層体の積層面に平行な調整用導体を設けたことを特徴とする積層コイルアレイ。
【請求項２】
前記調整用導体は、前記積層体の両端部に位置していないコイル導体が周回する内側の領域に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の積層コイルアレイ。
【請求項３】
複数のセラミック層と内部導体層が交互に積層されてなる積層体を備え、複数の前記内部導体層が直列に接続されてなりコイル軸方向が前記積層体の積層方向に平行であるコイル導体が前記積層体の内部に３個以上配置されている積層コイルアレイであって、
前記積層体の積層面に垂直な端面であって、前記積層体の両端部に位置していないコイル導体の近傍に、調整用導体を設けたことを特徴とする積層コイルアレイ。
【請求項４】
複数のセラミック層が積層されてなる積層体と、前記積層体の内部に積層面に平行に配置された複数の帯状導体からなる内部導体層と、前記積層体の内部に配置されたバイアホールと、を備え、所定の帯状導体の端部と異なる積層面に配置された帯状導体の端部とをバイアホールによって接続してなりコイル軸方向が前記積層体の積層方向と直交する方向であるコイル導体が、前記積層体の内部に３個以上配置されている積層コイルアレイであって、
前記積層体のコイル導体の配列方向の両端部に位置していないコイル導体の近傍に、前記コイル導体と前記積層体の積層方向で重ならないように前記積層体の積層面に平行な調整用導体を設けたことを特徴とする積層コイルアレイ。
【請求項５】
前記コイル導体は、前記コイル軸方向に直交する方向に沿って３個以上配列されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のうちいずれか一項に記載の積層コイルアレイ。
【請求項６】
前記コイル導体は、前記コイル軸方向に沿って３個以上配列されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のうちいずれか一項に記載の積層コイルアレイ。
【請求項７】
前記調整用導体は強磁性体を含んでなることを特徴とする請求項１ないし請求項６のうちいずれか一項に記載の積層コイルアレイ。
【請求項８】
前記調整用導体は前記内部導体層と同一の材料からなることを特徴とする請求項１ないし請求項７のうちいずれか一項に記載の積層コイルアレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック積層体の内部に複数のコイル導体を内蔵した積層コイルアレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータなどのＯＡ機器のノイズ除去用などの用途に用いられる電子部品として、セラミック基体の内部に複数のコイル導体を内蔵した積層コイルアレイがある。図１０は従来より知られている積層コイルアレイの透視斜視図であり、図１１は分解斜視図である。
【０００３】
磁性体セラミックスなどからなるセラミック積層体１０はセラミック層１４が積層されてなり、セラミック層１４にスクリーン印刷などの方法によって形成された内部導体層がビアホール２３によって接続されてコイル導体２０ａ〜２０ｄを形成している。セラミック積層体１０には、その長手方向に沿って複数のコイル導体２０ａ〜２０ｄが内蔵されている。コイル導体２０ａ〜２０ｄの端部は、ビアホール２１を介して、セラミック積層体１０の表面に形成された外部電極３０ａ〜３０ｄに接続されている。
【０００４】
この種の積層コイルアレイでは、セラミック積層体１０の端面側に配置されたコイル導体２０ａ，２０ｄと、内側に配置されたコイル導体２０ｂ，２０ｃとでは、磁路の断面積が異なるため、インダクタンスが異なることが知られている。具体的には、端面側に配置されたコイル導体２０ａ，２０ｄの磁路が狭くなり、内側のコイル導体２０ｂ，２０ｃよりもインダクタンスが小さくなる。
【０００５】
そこで、端面側に配置されたコイル導体と内側に配置されたコイル導体とのインダクタンスを等しくするために、端面側に配置されたコイル導体のターン数を、内側に配置されたコイル導体のターン数よりも多くしたり、端面側に配置されたコイル導体の径を内側に配置されたコイル導体の径よりも大きくすることが特許文献１に記載されている。
【０００６】
また、積層コイルアレイではないが、積層コイル部品のインダクタンスを調整するために、セラミック積層体の内部にコイル導体と重なるように浮遊導体を形成し、磁路を狭くすることが特許文献２に記載されている。
【特許文献１】特開平１１−１４４９５７号公報
【特許文献２】特開２００３−２７２９２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載された発明では、端面側のコイル導体のターン数を多くしたりコイル径を大きくしたりするため、外側のコイル導体のほうが線路長が長くなってしまう。これにより、内側のコイル導体よりも直流抵抗が大きくなってしまうという問題がある。つまり、インダクタンスを等しくすると直流抵抗が異なってしまうことになる。
【０００８】
特許文献２に記載された発明では、線路長を変化させずに、浮遊導体とコイル導体とが重なる面積を調整することによってインダクタンスを調整するので、直流抵抗を変化させずにインダクタンスを変化させることができる。よって、特許文献２に記載された発明を積層コイルアレイに適用すれば、内側と端面側のコイル導体のインダクタンスと直流抵抗を共に等しくすることができる。
【０００９】
しかしながら、特許文献２に記載された発明では浮遊導体とコイル導体とが重なっているため、浮遊導体とコイル導体との間に比較的大きな浮遊容量が発生する。浮遊容量が大きくなると自己共振周波数が低下し、周波数の高いノイズの減衰量が低下する。コンピュータなどのＯＡ機器の使用周波数がますます高くなりつつある現在、高周波帯域での良好なノイズ減衰特性が要求されている。
【００１０】
よって、本発明はセラミック積層体の内部に複数のコイル導体が配置された積層コイルアレイにおいて、自己共振周波数を低下させないようにしつつ、内側と端面側のコイル導体のインダクタンスおよび直流抵抗を略等しくすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は上述の問題点を鑑みてなされたものであり、本発明の積層コイルアレイは、複数のセラミック層と内部導体層が交互に積層されてなる積層体を備え、複数の前記内部導体層が直列に接続されてなりコイル軸方向が前記積層体の積層方向に平行であるコイル導体が前記積層体の内部に３個以上配置されている積層コイルアレイであって、前記積層体の前記コイル導体の配列方向の両端部に位置していないコイル導体の近傍に、前記コイル導体と前記積層体の積層方向で重ならないように前記積層体の積層面に平行な調整用導体を設けたことを特徴とする。
【００１２】
これにより、調整用導体で渦電流が発生し、渦電流によって発生した磁界が、内側に配置されたコイル導体のインダクタンスを低下させる。また、調整用導体と内部導体層とはともに積層面に平行に、且つ重ならないように配置されているので、調整用導体と内部導体層とは面同士で対向せずに厚みで対向することになるので、内部導体層と調整用導体との間で発生する浮遊容量が低減される。これにより自己共振周波数の低下が防止され、高周波帯域においても十分なノイズ減衰を得ることができる。
【００１３】
また、本発明の積層コイルアレイは、前記調整用導体は、前記積層体の両端部に位置していないコイル導体が周回する内側の領域に設けられていることを特徴とする。
【００１４】
コイル導体が周回する内側の領域は磁束が集中するため、より小さな調整用導体でもインダクタンスを低下させることができる。調整用導体が小さくなると浮遊容量が低下し、自己共振周波数の低下を抑制できる。
【００１５】
さらに、本発明の積層コイルアレイは、複数のセラミック層と内部導体層が交互に積層されてなる積層体を備え、複数の前記内部導体層が直列に接続されてなりコイル軸方向が前記積層体の積層方向に平行であるコイル導体が前記積層体の内部に３個以上配置されている積層コイルアレイであって、前記積層体の積層面に垂直な端面であって、前記積層体の両端部に位置していないコイル導体の近傍に、調整用導体を設けたことを特徴とする。
【００１６】
これにより、調整用導体で渦電流が発生し、渦電流によって発生した磁束が、内側に配置されたコイル導体のインダクタンスを低下させる。また、調整用導体と内部導体層とは直交するように配置されているので、調整用導体に対して内部導体層は厚みで対向することになり、内部導体層と調整用導体との間で発生する浮遊容量が低減される。これにより自己共振周波数の低下が防止され、高周波帯域においても十分なノイズ減衰を得ることができる。
【００１７】
さらにまた、本発明の積層コイルアレイは、複数のセラミック層が積層されてなる積層体と、前記積層体の内部に積層面に平行に配置された複数の帯状導体からなる内部導体層と、前記積層体の内部に配置されたバイアホールと、を備え、所定の帯状導体の端部と異なる積層面に配置された帯状導体の端部とをバイアホールによって接続してなりコイル軸方向が前記積層体の積層方向と直交する方向であるコイル導体が、前記積層体の内部に３個以上配置されている積層コイルアレイであって、前記積層体のコイル導体の配列方向の両端部に位置していないコイル導体の近傍に、前記コイル導体と前記積層体の積層方向で重ならないように前記積層体の積層面に平行な調整用導体を設けたことを特徴とする。
【００１８】
これにより、調整用導体で渦電流が発生し、渦電流によって発生した磁界が、内側に配置されたコイル導体のインダクタンスを低下させる。また、調整用導体と内部導体層とはともに積層面に平行に、且つ重ならないように配置されているので、調整用導体と内部導体層とは面同士で対向せずに厚みで対向することになるので、内部導体層と調整用導体との間で発生する浮遊容量が低減される。これにより自己共振周波数の低下が防止され、高周波帯域においても十分なノイズ減衰を得ることができる。
【００１９】
本発明の積層コイルアレイは、前記コイル導体が、前記コイル軸方向に直交する方向に沿って３個以上配列されている場合や、前記コイル導体が、前記コイル軸方向に沿って３個以上配列されている場合を含む。要するに、３個以上のコイル導体が積層体の内部に直列に配列されていればよい。
【００２０】
また、本発明に係る積層コイルアレイは、前記調整用導体は強磁性体を含んでなるようにしてもよい。
【００２１】
調整用導体を強磁性体によって構成することにより、調整用導体の単位面積あたりの渦電流によって発生する磁界が大きくなるので、より小さい調整用導体でインダクタンスを低下させることができる。
【００２２】
また、本発明に係る積層コイルアレイは、前記調整用導体は前記内部導体層と同一の材料からなるようにしてもよい。
【００２３】
セラミック積層体を焼成するときの調整用導体の収縮挙動が、セラミックグリーンシートや内部導体層の収縮挙動と大きく異なる場合、セラミック積層体にクラックが生じることがある。よって、調整用導体と内部導体層を同一の材料で構成するようにすれば、セラミック積層体にクラックが生じることを防止できる。
【発明の効果】
【００２４】
以上のように本発明によれば、内部導体層と調整用導体とが面同士で対向することがないので、浮遊容量の発生を抑制することができる。そのため、端面側のコイル導体と内側のコイル導体との直流抵抗とインダクタンスをそろえるとともに、自己共振周波数の低下を防止して高周波帯域でも良好なノイズ減衰特性をもつ積層コイルアレイを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下において、添付図面を参照しつつ本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【実施例１】
【００２６】
図１（ａ）は本発明の第１の実施例に係る積層コイルアレイを示す透視斜視図であり、図１（ｂ）はそのＡ線断面図である。
【００２７】
積層コイルアレイは、磁性体セラミックスからなるセラミック層が積層されてなるセラミック積層体１０と、セラミック積層体１０に内蔵された４つのコイル導体２０ａ〜２０ｄと、セラミック積層体１０の表面に形成された外部電極３０ａ〜３０ｄと、セラミック積層体の内部に配置された調整用導体４０とからなる。
【００２８】
コイル導体２０ａ〜２０ｄはコイル軸方向がセラミック積層体１０の積層方向と略平行になるように形成されており、４つのコイル導体２０ａ〜２０ｄがコイル軸方向（図の縦方向）に直交する方向に沿って配列されている。また、コイル導体２０ａ〜２０ｄの端部はそれぞれ外部電極３０ａ〜３０ｄに接続されている。４つのコイル導体２０ａ〜２０ｄは、直流抵抗が同一の値となるように、すべて同一の形状とされている。
【００２９】
調整用導体４０は、４つのコイル導体２０ａ〜２０ｄのうち端面側に配置されていないもの、すなわち内側に配置されたコイル導体２０ｂ，２０ｃの近傍に、セラミック積層体１０の積層面と平行に配置されている。
【００３０】
積層コイルアレイでは、すべてのコイル導体２０ａ〜ｄを同一形状とした場合、端面側に配置されたコイル導体２０ａ，２０ｄの磁路が、内側に配置されたコイル導体２０ｂ，２０ｃの磁路より狭くなって、端面側のコイル導体２０ａ，２０ｄのインダクタンスが内側のコイル導体２０ｂ，２０ｃよりも低くなる。そこで本発明では、内側のコイル導体２０ｂ，２０ｃによって発生する磁束を横切るように、積層面と平行に調整用導体４０を配置している。これにより、調整用導体４０の内部で渦電流が発生し、渦電流によって発生した磁界が内側のコイル導体２０ｂ，２０ｃによって発生する磁界を打ち消すように作用して、内側のコイル導体２０ｂ，２０ｃのインダクタンスを低下させる。よって、調整用導体４０を適当な大きさにすることによって、端面側のコイル導体２０ａ，２０ｄと内側のコイル導体２０ｂ，２０ｃとを同一のインダクタンスにすることができる。
【００３１】
調整用導体４０は適当な金属から形成されていればよく、金属であれば特に限定されるものではないが、導電性の高い材料や強磁性体が好ましく、具体的にはＡｇやＮｉが好適である。調整用導体４０を導電性が高い材料や強磁性体で構成することにより、調整用導体４０の単位面積あたりの渦電流によって発生する磁束が大きくなるので、調整用導体４０の面積を小さくしてもインダクタンス抑制効果を得ることができる。調整用導体４０を小さくすれば浮遊容量が減るので、自己共振周波数が高くなって、高周波帯域でのノイズ減衰特性が良好になる。
【００３２】
次にこの積層コイルアレイの製造方法について説明する。図３は本発明の第１の実施例に係る積層コイルアレイを示す分解斜視図である。
【００３３】
まず、所定量のＦｅ2Ｏ3、ＮｉＯ、ＣｕＯ、ＺｎＯなどの金属酸化物を秤量して混合し、仮焼・粉砕を経てＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライトの粉末を得る。フェライト粉末、バインダー、可塑剤などを混練してセラミックスラリーを得て、ドクターブレード法などの方法でシート上に成形して無地のセラミックグリーンシートを得る。
【００３４】
また、Ａｇ粉末、有機ビヒクルなどを混合して導電性ペーストを用意する。導電性ペーストにはＡｇ粉末に加えてＰｄ粉末を含んでいてもよい。また、Ａｇ以外の金属粉末を主成分としてもよいが、導電性を高くして直流抵抗を低減するにはＡｇ粉末が好適である。
【００３５】
次に、この無地のセラミックグリーンシートにレーザ加工装置や金型などを用いて貫通孔を形成し、貫通孔に導電性ペーストを充填してビアホール２１を形成し、セラミックグリーンシート１１を得る。
【００３６】
また、無地のセラミックグリーンシートに貫通孔を形成し、スクリーン印刷などの方法によって内部導体層２２の形成と貫通孔への導電性ペーストの充填を同時に行い、セラミックグリーンシート１２を得る。
【００３７】
さらに、無地のセラミックグリーンシートに同様の方法でビアホール２３、内部導体層２２、調整用導体４０を形成してセラミックグリーンシート１３を得る。調整用導体４０は、セラミックグリーンシート１３上に内部導体層２２と並んで形成され、セラミックグリーンシート１２に形成された内部導体層２２ともコイル軸方向に重ならない位置に形成されている。調整用導体４０と内部導体層２２はともにセラミックグリーンシート１３に印刷されているので、セラミック積層体１０の積層面（セラミックグリーンシートの面と同じ）と平行になる。よって、調整用導体４０と内部導体層２２とは面同士で対向することはなく、厚み部分で対向することになる。内部導体層２２や調整用導体４０の厚みは通常、厚くても２０μｍ程度であるから、調整用導体４０と内部導体層２２との対向面積は小さく、発生する浮遊容量を小さくすることができる。なお、調整用導体４０は異なる積層面に複数設けられていてもよい。
【００３８】
次に、セラミックグリーンシート１１〜１３を図２に示した所定の順序に積層して焼成し、セラミック積層体１０を得る。セラミック積層体１０の内部では、内部導体層２２がビアホール２３を介して直列に接続されてコイル導体２０ａ〜２０ｄを構成する。コイル導体２０ａ〜２０ｄの両端はビアホール２１によってセラミック積層体１０の表面まで引き出されている。
【００３９】
セラミック積層体１０の表面にＡｇ粉末やガラスを含む導電性ペーストを焼き付け、Ｎｉめっき、Ｓｎめっきを施して、コイル導体２０ａ〜２０ｄの端部に接続する外部電極３０ａ〜３０ｄを形成し、積層インダクタアレイが完成する。
【００４０】
本実施例では調整用導体４０はコイル導体２０ａ〜２０ｄと電気的に絶縁された状態に形成されているが、コイル導体２０ａ〜２０ｄと調整用導体４０が電気的に接続されているようにしてもよい。ただし、コイル導体２０ａ〜２０ｄと調整用導体４０とを電気的に絶縁することにより、調整用導体４０で発生した渦電流がコイル導体２０ａ〜２０ｄを通過する電気信号に影響を与えることを防止できるので、コイル導体２０ａ〜２０ｄと調整用導体４０とは絶縁されていることが好ましい。
【００４１】
また、上記の実施例ではセラミック材料としてＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライトを用いたが、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトなど他の磁性体材料でもよい。さらに、調整用導体４０は内部導体層２２と同一の導電性ペーストを用いたが、異なる材料で形成してもよい。その場合、例えばＮｉなどの強磁性体を好適に用いることができる。調整用導体を強磁性体によって構成することにより、調整用導体の単位面積あたりの渦電流によって発生する磁束が大きくなるので、より小さい調整用導体でインダクタンスを低下させることができる。
【実施例２】
【００４２】
図３（ａ）は本発明の第２の実施例に係る積層コイルアレイを示す透視斜視図であり、図３（ｂ）はそのＢ線断面図であり、図４は分解斜視図である。なお、図３および図４においては、図１および図２と共通あるいは対応する部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００４３】
本実施例に係る積層コイルアレイでは、内側のコイル導体２０ｂ，２０ｃが周回している内側の領域に、積層面と平行に調整用導体４０を配置している。これにより、調整用導体４０で渦電流が発生し、内側に配置されたコイル導体２０ｂ，２０ｃのインダクタンスを低下させる。
【００４４】
図４を参照して、この積層コイルアレイの製造方法について説明する。
【００４５】
Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライトなどの磁性体セラミック材料からなる無地のセラミックグリーンシートを用意し、ビアホール２１を形成してセラミックグリーンシート１１を得る。また、無地のセラミックグリーンシートに内部導体層２２とビアホール２３とを形成してセラミックグリーンシート１２を得る。さらに、無地のセラミックグリーンシートに内部導体層２２と、ビアホール２３と、調整用導体４０とを形成してセラミックグリーンシート１３を得る。
【００４６】
調整用導体４０は、略コ字状の内部導体層２２に囲まれた領域に形成されている。すなわち、調整用導体４０は、内部導体層２２がビアホール２３によって接続されてなるコイル導体２０ｂ，２０ｃが周回している内側の領域に形成されていて、いずれの内部導体層２２ともコイル軸方向に重ならないように形成されている。
【００４７】
コイル導体２０ｂ，２０ｃが周回している内側の領域には磁束が集中しているため、調整用導体４０の単位面積あたりに発生する渦電流が大きくなり、より小さな面積の調整用導体４０でインダクタンスを低下させることができる。
【００４８】
また、調整用導体４０と内部導体層２２とが同一面に印刷されていてコイル軸方向に重ならず、面同士が対向しないので、浮遊容量を小さくすることができ、自己共振周波数の低下を防止できる。
【００４９】
セラミックグリーンシート１１〜１３を図４に示した所定の順序で積層して焼成し、外部電極３０ａ〜３０ｄを形成して積層コイルアレイが完成する。
【実施例３】
【００５０】
図５（ａ）は第３の実施例に係る積層コイルアレイを示す透視斜視図であり、図５（ｂ）はそのＣ線断面図であり、図６は分解斜視図である。なお、図５および図６においては、図１ないし図４と共通あるいは対応する部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００５１】
本実施例に係る積層コイルアレイでは、積層面に垂直なセラミック積層体１０の端面であって、内側のコイル導体２０ｂ，２０ｃに近接する部分に調整用導体４０を形成している。これにより、調整用導体４０で渦電流が発生し、内側に配置されたコイル導体２０ｂ，２０ｃのインダクタンスを低下させる。
【００５２】
図６を参照して、この積層コイルアレイの製造方法について説明する。
【００５３】
Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライトなどの磁性体セラミック材料からなる無地のセラミックグリーンシートを用意し、ビアホール２１を形成してセラミックグリーンシート１１を得る。また、無地のセラミックグリーンシートに内部導体層２２とビアホール２３とを形成してセラミックグリーンシート１２を得る。
【００５４】
次に、セラミックグリーンシート１１，１２を図６に示した所定の順序で積層して焼成してセラミック積層体１０を形成する。セラミック積層体１０の積層面に対して垂直な端面であって内側のコイル導体２０ｂ，２０ｃと近接する部分に調整用導体４０を形成する。調整用導体４０は導電性ペーストの焼付けやめっき、スパッタ法など適当な方法で形成すればよい。また、焼成前に調整用導体４０を形成するようにしてもよい。
【００５５】
コイル導体２０ｂ，２０ｃで発生する磁束の多くは、空気よりも透磁率の高いセラミック積層体１０の内部を周回するが、磁束の一部はセラミック積層体１０の外側に漏れ出して周回している。そのため、セラミック積層体１０の表面に調整用導体４０を設けることによって、セラミック積層体１０の外側に漏れ出している磁束に対して主として作用してコイル導体２０ｂ，２０ｃのインダクタンスを低下させる効果がある。
【００５６】
また、コイル導体２０ａ〜ｄを形成している内部導体層２２は積層面に平行に配置されているから、調整用導体４０を積層面に対して垂直に配置することにより、内部導体層２２と調整用導体４０とが面同士で対向することがなく、浮遊容量の発生を抑制することができ、自己共振周波数の低下を防止できる。
【００５７】
次に、セラミック積層体１０の表面に導電性ペーストを焼きつけ、Ｎｉめっき、Ｓｎめっきを施して外部電極３０ａ〜ｄを形成して積層コイルアレイが完成する。このとき、必要に応じて、調整用導体４０にもめっきを施すようにしてもよい。
【実施例４】
【００５８】
図７（ａ）は本発明の第４の実施例に係る積層コイルアレイを示す外観斜視図であり、図７（ｂ）はＤ線断面図であり、図８は分解斜視図である。図７および図８においては、図１ないし図７と共通あるいは対応する部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００５９】
本実施例に係る積層コイルアレイは、セラミック積層体１０の内部に４つのコイル導体２０ａ〜２０ｄが配設されてなる。コイル導体２０ａ〜２０ｄはコイル軸方向に沿ってセラミック積層体１０の内部に配列されている。コイル導体２０ａ〜２０ｄの端部はそれぞれ外部電極３０ａ〜３０ｄに接続している。
【００６０】
４つのコイル導体２０ａ〜２０ｄのうち、配列方向の両端部に配置されていないもの、すなわち内側に配置されているコイル導体２０ｂ，２０ｃの近傍には、調整用導体４０がセラミック積層体１０の積層面に平行に配置されている。これにより、コイル導体２０ｂ，２０ｃに電流が流れることによって発生する磁束が調整用導体４０に作用して渦電流を発生させ、内側に配置されたコイル導体２０ｂ，２０ｃのインダクタンスを低下させる。
【００６１】
図８を参照して、この積層コイルアレイの製造方法について説明する。
【００６２】
Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライトなどの磁性体セラミック材料からなる無地のセラミックグリーンシートを用意し、内部導体層２２およびビアホール２３を形成してセラミックグリーンシート１２を得る。また、無地のセラミックグリーンシートに内部導体層２２、ビアホール２３、調整用導体４０を形成してセラミックグリーンシート１３を得る。調整用導体４０は略コ字状の内部導体層２２に囲まれた領域に形成されている。すなわち、調整用導体４０は内部導体層２２がビアホール２３によって接続されてなるコイル導体２０ｂ，２０ｃが周回している内側の領域に形成されていて、いずれの内部導体層２２とも積層方向に重ならないように形成されている。これにより、調整用導体と内部導体層とが面同士で対向しないので、浮遊容量を小さくすることができ、自己共振周波数の低下を防止できる。
【００６３】
セラミックグリーンシート１２，１３と無地のセラミックグリーンシートを図８に示す所定の順序で積層して焼成し、外部電極３０ａ〜３０ｄを形成して積層コイルアレイが完成する。
【実施例５】
【００６４】
図９（ａ）は本発明の第５の実施例に係る積層コイルアレイを示す外観斜視図であり、図９（ｂ）はＥ線断面図である。また、図１０は分解斜視図である。
【００６５】
本実施例に係る積層コイルアレイは、磁性体セラッミックスからなる積層体１０の内部に４つのコイル導体２０ａ〜２０ｄ（コイル導体２０ａ，２０ｃ，２０ｄは不図示）を有し、４つのコイル導体２０ａ〜２０ｄの端部はそれぞれ外部電極３０ａ〜３０ｄに接続されている。
【００６６】
４つのコイル導体２０ａ〜２０ｄはコイル軸方向に直交する方向に配列され、配列方向の両端部に位置していないもの、すなわち内側に配置されているコイル導体２０ｂ，２０ｃの近傍には、積層体１０の積層面に平行な調整用導体４０が形成されている。
【００６７】
図１０を参照してこの積層コイルアレイの製造方法について説明する。
【００６８】
まず、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライトなどの磁性体セラミック材料からなる無地のセラミックグリーンシートを用意する。そして無地のセラミックグリーンシートに上部帯状導体２４ａ〜２４ｄ、ビアホール２６ａ〜２６ｄ、調整用導体４０を形成してセラミックグリーンシート１６を作製する。調整用導体４０は上部帯状導体２４ａ〜２４ｄと同じ積層面に形成されるので、上部帯状導体２４ａ〜２４ｄと調整用導体４０とは積層方向に重ならない。つまり上部帯状導体２４ａ〜２４ｄと調整用導体４０とが面同士で対向していないので、上部帯状導体２４ａ〜２４ｄと調整用導体４０との間に発生する浮遊容量を小さくすることができる。また、無地のセラミックグリーンシートにビアホール２６ａ〜２６ｄを形成してセラミックグリーンシート１７を作製する。さらに、無地のセラミックグリーンシートに下部帯状導体２５ａ〜２５ｄを形成してセラミックグリーンシート１８を作製する。
【００６９】
次にセラミックグリーンシート１６〜１８と無地のセラミックグリーンシート１７とを図１０に示す所定の順序に積層して積層体を得る。すなわち、上部帯状導体２４ａ〜２４ｄが設けられたセラミックグリーンシート１６と下部帯状導体２５ａ〜２５ｄが設けられたセラミックグリーンシート１８との間には、ビアホール２６ａ〜２６ｄが設けられたセラミックグリーンシート１７が配置されている。上部帯状導体２４ａ〜２４ｄの所定の端部と下部帯状導体２５ａ〜２５ｄの所定の端部とがビアホール２６ａ〜２６ｄによって接続されることにより、コイル軸方向が積層体１０の積層方向に直交する方向とされたコイル導体２０ａ〜２０ｄが形成される。
【００７０】
また、上部帯状導体２４ａ〜２４ｄ、下部帯状導体２５ａ〜２５ｄ、ビアホール２６ａ〜２６ｄによって構成されたコイル導体２０ａ〜２０ｄを積層方向に挟むように無地のセラミックグリーンシート１５が積層されている。
【００７１】
次にこの積層体１０を焼成し、外部電極３０を形成して積層コイルアレイが完成する。
【００７２】
この積層コイルアレイは、内側に配置されたコイル導体２０ｂ，２０ｃの磁束が通過する領域に調整用導体４０が配置されているため、調整用導体４０に流れる渦電流によって発生する磁束がコイル導体２０ｂ，２０ｃのインダクタンスを低下させるので、４つのコイル導体２０ａ〜２０ｄを同一の形状にしても等しいインダクタンスを得ることができる。
【００７３】
なお本実施例においては、調整用導体４０を上部帯状電極２４ａ〜２４ｄと同じ積層面に形成したが、異なる積層面に形成してもよい。
【００７４】
本発明は上記の実施例１ないし実施例５に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々の変更を加えることができる。例えば、磁性体材料や導電性ペーストなどは任意に変更してよい。また、上記の実施例ではいずれも積層体の内部にコイル導体のみが形成されていたが、コイル導体に対して直列あるいは並列にコンデンサが形成されていてもよい。要するに互いに絶縁状態にあるコイル導体が積層体の内部に３つ以上配列されていれば本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の第１の実施例に係る積層コイルアレイを示す斜視図および断面図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係る積層コイルアレイを示す分解斜視図である。
【図３】本発明の第２の実施例に係る積層コイルアレイを示す斜視図および断面図である。
【図４】本発明の第２の実施例に係る積層コイルアレイを示す分解斜視図である。
【図５】本発明の第３の実施例に係る積層コイルアレイを示す斜視図および断面図である。
【図６】本発明の第３の実施例に係る積層コイルアレイを示す分解斜視図である。
【図７】本発明の第４の実施例に係る積層コイルアレイを示す斜視図および断面図である。
【図８】本発明の第４の実施例に係る積層コイルアレイを示す分解斜視図である。
【図９】本発明の第５の実施例に係る積層コイルアレイを示す斜視図および断面図である。
【図１０】本発明の第５の実施例に係る積層コイルアレイを示す分解斜視図である。
【図１１】従来の積層コイルアレイを示す斜視図である。
【図１２】従来の積層コイルアレイを示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００７６】
１０    セラミック積層体
１１，１２，１３，１５，１６，１７，１８    セラミックグリーンシート
１４    セラミック層
２０ａ〜２０ｄ    コイル導体
２１，２３，２６ａ〜２６ｄ    ビアホール
２２    内部導体層
２４ａ〜２４ｄ    上部帯状導体
２５ａ〜２５ｄ    下部帯状導体
３０ａ〜３０ｄ    外部電極
４０    調整用導体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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