(57)【要約】【課題】  ワークを組立てラインに投入する際における塵埃等の異物の付着を防止して、ショートや表示不良の発生の少ない電気光学装置の製造装置、及びその製造方法を提供する。【解決手段】  クリーンブースを備えた電気光学装置の製造装置であって、クリーンブースにおけるワークの投入口の近傍に、当該投入口を全面的又は部分的に覆うエアーカーテンを形成するためのエアーの吹出口を備える。あるいは、投入口に連なる張出部を備えるとともに、当該張出部に当該エアーの吹出口を備える。【選択図】  図１
2005345705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンブースを備えた電気光学装置の製造装置であって、前記クリーンブースにおけるワークの投入口の近傍に、当該投入口を全面的又は部分的に覆うエアーカーテンを形成するためのエアーの吹出口を備えることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項２】
前記投入口に連なる張出部を備えるとともに、当該張出部に前記吹出口を備えることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項３】
前記張出部の上方に前記吹出口を備えることを特徴とする請求項２に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項４】
前記張出部の幅が、前記投入口の幅よりも広くしてあることを特徴とする請求項２又は３に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項５】
前記張出部が、前記投入口に連なる側面部を備えることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項６】
前記張出部の前面に、前記投入口を部分的に覆う被覆部をさらに備えることを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項７】
前記張出部を帯電防止材料から構成してあることを特徴とする請求項２〜６のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項８】
前記張出部の奥行を３００〜６００ｍｍの範囲内の値とすることを特徴とする請求項２〜７のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項９】
前記クリーンブース内に、前記ワーク上に付着した異物の量を測定するための測定装置を備えることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１０】
前記クリーンブースが、クリーンルーム内に設置してあることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１１】
基板及び当該基板によって保持された電気光学物質を含む電気光学装置の製造方法において、
前記基板を形成する基板形成工程と、
投入口を全面的又は部分的に覆うエアーカーテンを形成するためのエアーの吹出口を備えた前記投入口を介して、前記基板をクリーンブースに投入する基板投入工程と、
前記基板を前記クリーンブースから組立てラインへ移動させるとともに、当該基板を用いて前記電気光学装置の中間体を組み立てる組立工程と、
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
前記基板投入工程において、前記基板をマガジンに搭載した状態で、前記クリーンブースに投入することを特徴とする請求項１１に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
前記クリーンブース内において、前記基板上に付着した異物の量を測定する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１１又は１２に記載の電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の製造装置、及びその製造方法に関する。特に、ワークを組立てラインに投入する際における異物の付着を防止して、ショートや表示不良の発生が少ない電気光学装置が得られる電気光学装置の製造装置、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電気光学装置の一態様である液晶表示装置が多用されている。かかる液晶表示装置に使用される液晶パネルは、それぞれ電極等が形成された一対の基板をシール材で貼り合わせることによりセル構造を形成した後、当該セル構造の内部に液晶材料を封入することにより製造されている。
ここで、基板上に異物が付着していると、ショート等の電気的な不具合や、表示品位の低下等の不具合が発生する場合がある。また、セル構造が形成された際の内部あるいは外部に異物が付着したために、液晶材料に異物が混入したり、セル構造の表面に異物が付着したままで偏光板等が貼付されたりした場合においても、やはり、ショート等の不具合や、表示品位の低下等の不具合が発生する場合がある。
【０００３】
そこで、電気光学装置の製造段階において、基板等のワークに異物が付着することを防止するために、電気光学装置の部品や中間体等をクリーンブース内に保管する電気光学装置の製造方法が開示されている。より具体的には、図１３に示すように、電気光学装置を製造する際の仕掛途中品（ワーク）を一時保管する際に、ワークが配置されるクリーン空間と、当該クリーン空間の上方位置で当該クリーン空間の外側で吸い込んだ空気を清浄化してクリーン空間に吹出すフィルタ装置と、を有するクリーンブース用空気清浄装置におけるクリーン空間内に保管する電気光学装置の製造方法である（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、液晶表示装置の製造工程をクリーンルーム内で行う液晶表示装置の製造方法が開示されている。より具体的には、図１４に示すように、配向膜の形成から一対の基板を貼り合わせるまでの工程で使用される基板搬送装置等をカバーで覆い、カバー内部には外気を取り入れて温湿度調整し、かつフィルタにより数ミクロンレベルの異物を除去した空気を供給する液晶表示装置の製造方法である（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００３−５００３０号公報  （特許請求の範囲、図６）
【特許文献２】特開２００４−２９５０３号公報  （特許請求の範囲、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１及び２に記載の電気光学装置（液晶表示装置）の製造方法では、それぞれのクリーンブース内や、基板搬送装置等において、異物の付着を防止することはできるものの、それらの装置等の間でワークの受け渡しをする際に、異物が付着してしまう場合が見られた。
すなわち、一時保管用のクリーンブースから取出したワークを、ワーク搬送用の台車等を用いて基板搬送装置等に投入する際に、クリーンブースや基板搬送装置等の外部の空気を巻き込むことにより、ワークに異物が付着してしまうという問題があった。特に、一時保管用のクリーンブースやワーク搬送用の台車と、基板搬送装置等におけるワークの投入口との間の距離が離れている程、かかる問題が顕著に見られた。
【０００６】
そこで、本発明の発明者らは鋭意努力し、基板の貼り合わせ工程等において使用される電気光学装置の製造装置において、クリーンブースを備えるとともに、クリーンブースにおけるワークの投入口の近傍に、所定のエアーカーテンを形成するためのエアーの吹出口を備えることによりこのような問題を解決できることを見出し、本発明を完成させたものである。
すなわち、本発明は、電気光学装置の製造装置に備えたクリーンブースにおけるワークの投入口から、クリーンブース内部への塵埃等の異物の侵入を防止して、ワークに対して付着する異物の量を減少させた電気光学装置の製造装置を提供することを目的とする。また、本発明の別の目的は、このような電気光学装置の製造装置を使用した電気光学装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、クリーンブースを備えた電気光学装置の製造装置であって、クリーンブースにおけるワークの投入口の近傍に、当該投入口を全面的又は部分的に覆うエアーカーテンを形成するためのエアーの吹出口を備えた電気光学装置の製造装置が提供され、上述した問題を解決することができる。
すなわち、クリーンブースにおけるワークの投入口に、所定のエアーカーテンを形成することにより、当該クリーンブースの投入口から、塵埃等の異物が侵入することが少なくなり、クリーンブース内にワークを投入した場合に、異物が付着することを防止することができる。したがって、ショートや表示不良等の不具合の発生の少ない電気光学装置を得ることができる。
【０００８】
また、本発明の電気光学装置の製造装置を構成するにあたり、投入口に連なる張出部を備えるとともに、当該張出部に吹出口を備えることが好ましい。
このように構成することにより、例えば、台車等の搬送手段を用いてワークをクリーンブースに投入する場合に、当該台車と投入口との間の距離を小さくすることができるとともに、台車からクリーンブースへのワークの受け渡しをクリーン環境下で行うことができるために、外部の空気を巻き込むことが少なくなる。したがって、ワーク上に異物が付着することを有効に防止することができる。
【０００９】
また、本発明の電気光学装置の製造装置を構成するにあたり、張出部の上方に吹出口を備えることが好ましい。
このように構成することにより、張出部の下方側を開口することができ、台車等のワークの搬送手段を、投入口の近傍まで近づけることが容易になる。
【００１０】
また、本発明の電気光学装置の製造装置を構成するにあたり、張出部の幅が、投入口の幅よりも広くしてあることが好ましい。
このように構成することにより、張出部の側方が開口されている場合であっても、側方からの異物の侵入を効果的に防止することができる。
【００１１】
また、本発明の電気光学装置の製造装置を構成するにあたり、張出部が、投入口に連なる側面部を備えることが好ましい。
このように構成することにより、張出部の側方からの異物の侵入をさらに効果的に防止することができる。
【００１２】
また、本発明の電気光学装置の製造装置を構成するにあたり、張出部の前面に、投入口を部分的に覆う被覆部をさらに備えることが好ましい。
このように構成することにより、張出部の前面からの異物の侵入を有効に防止することができるとともに、前面の一部を開口してあることにより、台車等のワークの搬送手段を、投入口の近傍まで近づけることが容易になる。
【００１３】
また、本発明の電気光学装置の製造装置を構成するにあたり、張出部を帯電防止材料から構成してあることが好ましい。
このように構成することにより、張出部に静電気が滞留することを防止して、張出部に塵埃等が集積したり、ワークが損傷したりすることを防止することができる。
【００１４】
また、本発明の電気光学装置の製造装置を構成するにあたり、張出部の奥行を３００〜６００ｍｍの範囲内の値とすることが好ましい。
このように構成することにより、台車等のワークの搬送手段を張出部の下方領域のクリーン環境下まで確実に進入させることができ、ワークをクリーンブースに投入する際に、異物が付着することを効果的に防止することができる。
【００１５】
また、本発明の電気光学装置の製造装置を構成するにあたり、クリーンブース内に、ワーク上に付着した異物の量を測定するための測定装置を備えることが好ましい。
このように構成することにより、ワーク上に付着した異物の量を定期的に測定することができる。したがって、表示不良等の少ない電気光学装置の製造効率を著しく向上させることができる。
【００１６】
また、本発明の電気光学装置の製造装置を構成するにあたり、クリーンブースが、クリーンルーム内に設置してあることが好ましい。
このように構成することにより、クリーンブースや組立てラインの外部の空気も清浄化させて、ワークに対して塵埃等の異物が付着することをさらに有効に防止することができる。
【００１７】
また、本発明の別の態様は、基板及び当該基板によって保持された電気光学物質を含む電気光学装置の製造方法であって、基板を形成する基板形成工程と、投入口を全面的又は部分的に覆うエアーカーテンを形成するためのエアーの吹出口を備えた投入口を介して、基板をクリーンブースに投入する基板投入工程と、基板をクリーンブースから組立てラインへ移動させるとともに、当該基板を用いて電気光学装置の中間体を組み立てる組立工程と、を含む電気光学装置の製造方法である。
すなわち、組立てラインへ基板を投入する際に、所定のエアーカーテンが形成された投入口からクリーンブース内に投入した後に、組立てラインへ移動することにより、基板に対して異物が付着することを少なくすることができる。したがって、ショートや表示不良の少ない電気光学装置を効率的に提供することができる。
【００１８】
また、本発明の電気光学装置の製造方法を実施するにあたり、基板投入工程において、基板をマガジンに搭載した状態で、クリーンブースに投入することが好ましい。
このように実施することにより、一度に複数の基板をクリーンブース内に投入することができるため、異物が付着する機会を少なくすることができるとともに、製造効率を向上させることができる。
【００１９】
また、本発明の電気光学装置の製造方法を実施するにあたり、クリーンブース内において、基板上に付着した異物の量を測定する工程をさらに含むことが好ましい。
このように実施することにより、基板上に付着した異物の量が所定量を超えて検知された場合には、電気光学装置の製造を速やかに中止させることができ、電気光学装置の歩留まりを著しく向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して、本発明の電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法に関する実施形態について具体的に説明する。
ただし、かかる実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の範囲内で任意に変更することが可能である。
【００２１】
［第１実施形態］
第１実施形態は、クリーンブース１２１を備えた電気光学装置の製造装置１２０であって、クリーンブース１２１におけるワーク１３１の投入口１２７の近傍に、当該投入口１２７を全面的又は部分的に覆うエアーカーテンを形成するためのエアーの吹出口１２３を備えることを特徴とする電気光学装置の製造装置１２０である。
以下、図面を適宜参照しながら、本発明の第１実施形態の電気光学装置の製造装置１２０について説明する。
【００２２】
１．基本的構成
まず、図１に、本発明にかかる電気光学装置の製造装置１２０を示す。
この図１に示すように、第１実施形態にかかる電気光学装置の製造装置１２０は、基本的に、組立てライン１２５に連続して配置されるとともに、ワーク１３１の投入口１２７を有するクリーンブース１２１を備えている。
かかるクリーンブース１２１に投入されるワーク１３１は、電気光学装置の製造に用いられる部品や中間体であれば特に制限されるものではなく、主として、電気光学装置を構成する基板が挙げられる。
【００２３】
また、組立てライン１２５は、クリーンブース１２１から移送されたワーク１３１を用いて、電気光学装置やその中間体を組み立てるためのラインである。かかる組立てライン１２５は、例えば、液晶表示装置の製造工程における二枚の基板の貼り合わせ工程を実施するための組立てライン１２５とすることができる。
また、かかる組立てライン１２５は、例えば、ワーク１３１搬送用のコンベアや、ワーク１３１を用いて中間体等を組立てる装置等の周囲を、外気から遮断するようにカバー１２６等で覆ってあることが好ましい。また、かかるカバー１２６には、内部の空気を清浄化するための空気清浄装置１３３が設置されていることが好ましい。
この理由は、組立てライン１２５等を覆うカバー１２６の内部を陽圧状態に保ち塵埃等の侵入を防ぐとともに、空気を清浄化することにより、組立工程等を実施する間に、ワーク１３１に対して塵埃等の異物が付着することを防止することができるためである。
なお、かかる電気光学装置の製造装置１２０は、最終段階における電気光学装置１０を製造するための装置であってもよく、あるいは、電気光学装置１０が形成される前段階における中間体を製造する装置であっても構わない。
【００２４】
２．クリーンブース
組立てライン１２５に連続して配置されるクリーンブース１２１は、ワーク１３１を組立てライン１２５上に搬送させる際に、一時的にワーク１３１を載置させておく部位である。
かかるクリーンブース１２１は、ワーク１３１を投入するための投入口１２７と、投入されたワーク１３１を一旦載置しておくことができるような床面１２９と、を備えることが好ましい。
この理由は、複数のワーク１３１を、例えば、マガジン１３２等に搭載した状態で投入した場合であっても、クリーンブース１２１内で組立てライン１２５に移動させられるまで、各ワーク１３１を待機させておくことができるためである。また、かかるクリーンブース１２１において待機可能であることにより、複数のワーク１３１をまとめてクリーンブース１２１内に投入することができるため、異物が付着する機会を少なくすることができるためである。
【００２５】
また、クリーンブース１２１を設置する地盤面からの、クリーンブース１２１の床面１２９の高さを６００〜１０００ｍｍの範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかる床面１２９の高さが６００ｍｍ未満の値となると、クリーンブース１２１の周囲を人が行き来した際に舞い上がった塵埃等の影響を受けやすくなるためである。一方、かかる床面１２９の高さが１０００ｍｍを超えると、作業性が低下する場合があるためである。
したがって、クリーンブース１２１を設置する地盤面からの、クリーンブース１２１の床面１２９の高さを６５０〜９００ｍｍの範囲内の値とすることがより好ましく、７００〜８００ｍｍの範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００２６】
また、かかるクリーンブース１２１においても、上述した組立てライン１２５と同様に、上方に空気清浄装置１３３を配置してあることが好ましい。
この理由は、このように構成することにより、内部を陽圧状態に保ちつつ、塵埃等の侵入を防止して、クリーンブース１２１内において、ワーク１３１上に付着する塵埃等の量を減少させることができるためである。
【００２７】
３．エアー吹出口
次に、図２（ａ）〜（ｃ）に、本発明の電気光学装置の製造装置１２０に備えられるクリーンブース１２１の斜視図、正面図、断面図をそれぞれ示す。図２（ｃ）は、図２（ｂ）におけるＸＸ断面を矢印方向に見た断面図である。
この図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、クリーンブース１２１の投入口１２７の近傍には、当該投入口１２７を全面的又は部分的に覆うエアーカーテンを形成するためのエアーの吹出口１２３を備えることを特徴としている。すなわち、投入口１２７を、全面的又は部分的に外部空間から遮断して、投入口１２７からクリーンブース１２１の内部に、塵埃等の異物が侵入することを防止するためである。したがって、ワーク１３１が、クリーンブース１２１内に置かれた状態で、当該ワーク１３１上に異物が付着することが少なくなる。
【００２８】
また、かかるエアー吹出口１２３から吹出されるエアーは、空気清浄装置１３５により清浄化されたエアーであることが好ましい。すなわち、クリーンブース１２１の上方であって、投入口１２７の近傍に、エアーの吹出口１２３からエアーを吹出すための空気清浄装置１３５を備えることが好ましい。
この理由は、塵埃等の異物を含まないエアーを用いてエアーカーテンを形成することにより、当該エアーカーテン中を通過する際に、ワーク１３１に対して異物が付着することを防止することができるためである。また、エアーカーテンを形成するエアーによって、クリーンブース１２１内に異物が侵入してしまうことを防止するためである。
【００２９】
また、かかるエアー吹出口１２３は、投入口１２７の上下左右のいずれか、あるいは複数の方向に設けることができる。ただし、重力等を考慮して、形成されるエアーカーテンの位置等の制御が容易であることから、投入口１２７の上方に設けることが好ましい。
そして、かかるエアー吹出口１２３の配置位置及び幅、若しくは吹出口１２３から吹出させるエアーの幅を適宜制御することにより、形成されるエアーカーテンの幅を変化させ、投入口１２７を全面的又は部分的に形成することができる。
このとき、図３（ａ）に示すように、エアーカーテンを全面的に形成することにより、クリーンブース１２１の投入口１２７から侵入する塵埃等の異物の量を、確実に減少させることができる。一方で、図３（ｂ）に示すように、エアーカーテンを部分的に形成することにより、製造コストの増加を抑えつつ、クリーンブース１２１の投入口１２７から侵入する塵埃等の異物の量を減少させることができる。
【００３０】
ここで、図４を参照して、クリーンブース１２１の投入口１２７にエアーカーテンを部分的に形成した場合の、ワーク１３１上に付着する塵埃等の異物の増加量の減少効果について詳しく説明する。
図４（ａ）及び（ｂ）は、上方に空気清浄装置１３３を備えたクリーンブース１２１内に、三段構成のマガジン１３２に搭載した三枚の基板３０を投入するとともに、一週間放置した場合における、それぞれの基板３０上に付着した異物の増加量を測定した結果を示している。また、図４（ａ）は、投入口１２７にエアーカーテンを形成していないクリーンブース１２１に、マガジン１３２を投入した場合の測定結果を示しており、図４（ｂ）は、投入口１２７の半分をエアーカーテンにより部分的に覆ったクリーンブース１２１に、マガジン１３２を投入した場合の測定結果を示している。さらに、図中、それぞれ上段、中段、下段に置かれた基板３０上に付着した、最大長さが３μｍ以上５μｍ未満の異物の量Ａ、最大長さが５μｍ以上１０μｍ未満の異物の量Ｂ、最大長さが１０μｍ以上の異物の量Ｃを示している。
なお、基板３０上に付着した異物の量は、パーティクルカウンターを用いて測定した。
【００３１】
かかる図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、投入口１２７において、部分的にエアーカーテンを形成した場合には、クリーンブース１２１内に投入された基板３０上に付着する異物の量が確実に減少している。かかる効果は、異物の最大長さが小さくなるほど、さらに、マガジン１３２の上段に近付くほど、顕著に現われていることが理解できる。
したがって、クリーンブース１２１の投入口１２７に、部分的にであってもエアーカーテンを形成することにより、投入するワーク１３１上に付着する塵埃等の異物の量を減少させることができる。そして、言うまでもなく、投入口１２７を全面的に覆うエアーカーテンを形成した場合には、ワーク１３１上に付着する異物の量をさらに減少させることができる。
【００３２】
また、エアー吹出口１２３から吹出すエアーの流速を４００〜９００ｍｍ／秒の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかるエアーの流速が４００ｍｍ／秒未満の値となると、外部からの塵埃等の侵入を防止する効果が発現しない場合があるためである。一方、かかるエアーの流速が９００ｍｍ／秒を超えると、エアーの勢いによって、塵埃等が空気中に舞上がって、クリーンブース１２１及び組立てライン１２５の外気のクリーン度を低下させる場合があるためである。
したがって、吹出口１２３から吹出すエアーの流速を４２０〜８００ｍｍ／秒の範囲内の値とすることがより好ましく、４５０〜７００ｍｍ／秒の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００３３】
４．張出部
次に、図５〜図８を参照して、クリーンブース１２１の投入口１２７に備えた張出部１４０について説明する。なお、図５（ａ）〜（ｃ）は、所定の張出部１４０を備えるとともに、当該張出部１４０にエアーカーテンを形成するためのエアーの吹出口１２３を備えたクリーンブース１２１を示す図である。また、図６〜図８は、張出部１４０を備えたクリーンブース１２１の変形例を示す図である。
【００３４】
本発明の電気光学装置の製造装置１２０は、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、クリーンブース１２１の投入口１２７に、当該投入口１２７に連なる張出部１４０を備えることが好ましい。そして、当該張出部１４０に、上述した、エアーカーテンを形成するためのエアーの吹出口１２３を設けることが好ましい。
この理由は、このように構成することにより、台車１４９等のワーク搬送手段を、クリーンブース１２１の投入口１２７に近接させることができ、台車１４９等からクリーンブース１２１へのワーク１３１の受け渡しをクリーン環境下で行うことができるためである。すなわち、図５（ｃ）に示すように、台車１４９等のワーク搬送手段をエアーカーテンで遮断されたクリーンブース１２１内のクリーン環境下まで進入させることができる。したがって、台車１４９からワーク１３１を取出してクリーンブース１２１内に投入する際に外気を巻き込むことが少なくなり、ワーク１３１上に、塵埃等の異物が付着することを効果的に防止することができる。
なお、図５（ａ）は、所定の張出部１４０を備えたクリーンブース１２１を示す斜視図であり、図５（ｂ）は、当該クリーンブース１２１の側面図であり、図５（ｃ）は、当該クリーンブース１２１の断面図である。
【００３５】
また、かかる張出部１４０を設ける場合には、張出部１４０の上方にエアーの吹出口１２３を設けることが好ましい。
この理由は、上述のクリーンブース１２１の上方にエアー吹出口１２３を設ける場合と同様に、重力等を考慮すると、エアーカーテンの形成位置の制御が容易になるためである。
このとき、投入口１２７の前面側だけでなく、側方側にもエアーカーテンを形成するようにエアーの吹出口１２３を設けることにより、クリーンブース１２１の投入口１２７から侵入する塵埃等の量を、さらに減少させることができる。
【００３６】
また、図６に示すように、張出部１４０の幅を、投入口１２７の幅よりも広くしてあることが好ましい。
この理由は、投入口１２７の幅よりも広い範囲で、エアーカーテンを形成することができるために、張出部１４０の側方から侵入する塵埃等の異物の量をより少なくすることができるためである。
【００３７】
また、図７に示すように、張出部１４０は、投入口１２７に連なる側面部１４１を備えることが好ましい。
この理由は、張出部１４０の側方をエアーカーテンのみでなく、シート状部材又は板状部材からなる側面部１４１で、外気から確実に遮断することにより、張出部１４０の側方から侵入する塵埃等の異物の量を確実に減少させることができるためである。
【００３８】
また、図８に示すように、張出部１４０の前面には、投入口１２７を部分的に覆う被覆部１４３をさらに備えることが好ましい。
この理由は、投入口１２７の前面を部分的に覆うことにより、投入口１２７からのワーク１３１の投入を阻害することがないとともに、必要最小限の開口面積を確保した被覆部１４３であれば、張出部１４０の前面からの塵埃等の異物の侵入を少なくすることができるためである。
【００３９】
また、張出部１４０を帯電防止材料から構成してあることが好ましい。
この理由は、張出部１４０が帯電した場合には、ワーク１３１との間で静電気が発生して、ワーク１３１が損傷する場合があるためである。また、張出部１４０が帯電することにより、当該張出部１４０に塵埃等の異物が堆積し、ワーク１３１に対しても付着しやすくなってしまうためである。
かかる帯電防止材料としては、例えば、導電性材料や親水性材料を含む塩化ビニル、ポリエステル、シリコン、アクリル等を使用することができる。
また、張出部１４０における空気清浄装置１３５を載置する上面を比較的強度の高い板状部から構成するとともに、側面部１４１あるいは前面の被覆部１４３をフィルム上のシート状物とすることにより、作業性が低下することがなくなることから、好ましい態様である。
【００４０】
また、張出部１４０の奥行を３００〜６００ｍｍの範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、張出部１４０の奥行が３００ｍｍ未満の値となると、台車１４９等の搬送手段が、張出部１４０の下方側のクリーン環境下に進入させることが不十分となって、クリーンブース１２１に対してワーク１３１の受け渡しをする際に、外気を巻き込みやすくなる場合があるためである。一方、張出部１４０の奥行が６００ｍｍを超えると、張出部１４０の強度が低下したり、装置が大型化したりする場合があるためである。
したがって、張出部１４０の奥行を３５０〜５５０ｍｍの範囲内の値とすることがより好ましく、４００〜５００ｍｍの範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００４１】
５．異物測定装置
また、クリーンブース１２１の内部に、ワーク１３１上に付着した異物の量を測定する測定装置を備えることが好ましい。
この理由は、かかる測定装置を備えることにより、クリーンブース１２１に投入されたワーク１３１の全部あるいは一部を対象に、ワーク１３１上に付着した異物の量を測定することができ、クリーンブース１２１内のクリーン度を測る目安とすることができるためである。したがって、測定された異物の量が所定量を超える場合には、速やかに製造ラインを中止させて、電気光学装置の歩留まりを向上させることができるためである。
なお、かかる測定装置としては、パーティクルカウンター等を好適に使用することができる。
【００４２】
６．クリーンルーム
また、図９に示すように、上述したクリーンブース１２１や組立てライン１２５を、クリーンルーム１８５内に設置してあることが好ましい。
この理由は、クリーンブース１２１や組立てライン１２５の内部だけでなく、外部の空気も清浄化されたクリーン環境下で組立工程等を実施することにより、塵埃等の量を減少させて、ワーク１３１及び中間体等に対して異物が付着することを防止することができるためである。
また、クリーンルーム１８５内のクリーン環境及びその制御を考慮して、かかるクリーンルーム１８５内のクリーン度に関し、８００〜１２００の範囲内の値とすることが好ましい。
【００４３】
［第２実施形態］
第２実施形態は、基板３０及び当該基板３０によって保持された電気光学物質２１を含む電気光学装置の製造方法であって、基板３０を形成する基板形成工程と、投入口１２７を全面的又は部分的に覆うエアーカーテンを形成するためのエアーの吹出口１２３を備えた投入口１２７を介して、基板３０をクリーンブース１２１に投入する基板投入工程と、基板３０をクリーンブース１２１から組立てライン１２５へ移動させるとともに、当該基板３０を用いて電気光学装置の中間体を組み立てる組立工程と、を含む電気光学装置の製造方法である。
以下、第２実施形態の電気光学装置の製造方法について、第１の基板３０及び第２の基板６０を含むとともに、それらの基板３０、６０の間に電気光学物質２１が狭持された電気光学装置を、第１実施形態の製造装置１２０を用いて製造する製造方法を例に採って説明する。また、第２実施形態の電気光学装置の製造方法を示す工程図を図１０に示す。
【００４４】
１．基板形成工程
基板形成工程（Ｓ１）は、電気光学装置を構成する第１の基板（カラーフィルタ基板と称する場合がある。）３０及び第２の基板（素子基板と称する場合がある。）６０を形成する工程である。かかる第１の基板３０及び第２の基板６０としては、例えば、以下のように構成された基板とすることができる。
【００４５】
すなわち、電気光学装置を構成する第１の基板３０は、一例として、図１１（ａ）に示すように、第１のガラス基板３１と、反射層３５と、着色層３７と、遮光層３９と、第１の電極３３と、から構成されている。
かかる図１１（ａ）に示す例では、着色層３７や遮光層３９の上に、アクリル樹脂やエポキシ樹脂などの透明樹脂からなる表面保護層４１を設けて、被覆している。また、表面保護層４１の上に形成された、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）等の透明導電体からなる第１の電極３３は、複数の透明電極が並列したストライプ状に構成されている。さらに、この第１の電極３３の上には、ポリイミド樹脂等からなる第１の配向膜４５が形成されている。
また、第１のガラス基板３１の所定位置に、鮮明な画像表示が認識できるように、位相差板（１／４波長板）４７及び偏光板４９が配置されている。
かかる第１の基板３０の形成方法は特に制限されるものではなく、公知の方法を適宜使用することができる。
【００４６】
また、第１の基板３０と対向する第２の基板６０は、一例として、図１１（ｂ）に示すように、第２のガラス基板６１と、電気配線６５と、スイッチング素子（図示せず）と、第２の電極（図示せず）と、から構成されている。
また、電気配線６５や第２の電極（図示せず）等の上には、第１の基板３０における第１の配向膜４５と同様のポリイミド樹脂等からなる第２の配向膜７５が形成されている。さらに、第２のガラス基板６１の外面においても、位相差板（１／４波長板）７７及び偏光板７９が配置されている。
なお、本実施形態の電気光学装置の例では、着色層３７を第１のガラス基板３１上に設けてあるが、第２のガラス基板６１上に設けることもできる。
かかる第２の基板６０の形成方法についても特に制限されるものではなく、第１の基板３０の形成と同様に、公知の方法を適宜使用することができる。
【００４７】
２．基板投入工程
基板投入工程（Ｓ２）は、上記基板形成工程で形成された第１の基板３０及び第２の基板６０を、組立てライン１２５に連続して配置され、所定のエアーカーテンが形成された投入口１２７を介してクリーンブース１２１に投入する工程である。
かかる基板投入工程においては、第１の基板３０と第２の基板６０は、異なるクリーンブース１２１の投入口１２７から投入される。このとき、図１２（ａ）に示すように、クリーンブース１２１における投入口１２７は、エアーカーテンにより全面的又は部分的に覆われているために、クリーンブース１２１内に投入され、載置された基板に対して塵埃等の異物が付着することが少なくなる。また、図１２（ｂ）に示すように、投入口１２７に連続した張出部１４０を備えている場合には、台車１４９からクリーンブース１２１への基板３０の受け渡しの際にも、外部の空気の巻き込みを防止して基板に対して異物が付着することをさらに効果的に防止することができる。したがって、異物の付着によるショートや表示不良の発生の少ない電気光学装置を効率的に提供することができる。
【００４８】
また、第１の基板３０及び第２の基板６０は、それぞれ異なるマガジン１３２等に複数搭載された状態で、台車１４９等の搬送手段を用いて、異なるクリーンブース１２１の投入口１２７まで搬送するとともに、クリーンブース１２１内に投入することが好ましい。この理由は、複数の基板をまとめて投入することにより、投入する際に異物が付着する機会を減少させることができるとともに、製造効率を向上させることができるためである。
また、使用する台車１４９等の搬送手段は、その上に載置した基板をクリーン環境下で搬送させることができるようにしてあることが好ましい。すなわち、台車１４９等についても、例えば、簡易なクリーンルームを形成するとともに、その内部に基板やマガジンを載置して、搬送させることが好ましい。この理由は、製造工程全体を通じて、基板をクリーン環境下で取扱うことにより、基板に対して塵埃等の異物が付着する機会を少なくするためである。
【００４９】
３．組立工程（貼り合わせ工程）
本実施形態における組立工程（Ｓ３）は、第１の基板３０及び第２の基板６０を、クリーンブース１２１から組立てライン１２５へ移動させるとともに、当該第１の基板３０及び第２の基板６０をシール材２３を用いて貼り合わせることによりセル構造を形成する工程である。
かかる組立工程においては、まず、クリーンブース１２１内に載置された第１の基板３０又は第２の基板６０を、組立てライン１２５に備えられたアーム等により、組立てライン１２５に移動させる。このとき、複数の第１の基板３０又は第２の基板６０をマガジンに搭載してクリーンブース１２１に投入した場合には、それぞれの基板を一枚ずつ、組立てライン１２５に移動させることになる。
【００５０】
次いで、例えば、第２の基板６０上において、エポキシ樹脂等を主成分とするシール材２３を、スクリーン印刷やディスペンサにより、表示領域を囲むようにパターニングして形成する。一方、湿式法あるいは乾式法等により、第１の基板３０上に均一に分散するように、スペーサ１０５を散布する。そして、第１の基板３０と、シール材２３が積層された第２の基板６０とを重ね合わせて接合させた後、加熱しながら加圧保持して、第１の基板３０と第２の基板６０とを貼合せることにより、図１１（ｃ）に示すようなセル構造２７を形成することができる。
なお、本実施形態においては、第２の基板６０上にシール材２３を塗布しているが、第１の基板６０上に印刷しても構わない。
【００５１】
４．後工程
次いで、後工程（Ｓ４）として形成されたセル構造２７の内部に液晶材料を注入することにより、液晶パネルを形成する。そして、形成された液晶パネルに対して半導体素子や回路基板等を実装するとともに、図示しないが、バックライトやフロントライト等の照明装置やケース体などを、必要に応じて適宜取付けることにより、電気光学装置を製造することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明の電気光学装置の製造装置及び製造方法によれば、電気光学装置の製造段階において、基板等のワーク上に付着する異物の量を少なくして、表示不良等の発生の少ない電気光学装置を製造することができる。したがって、液晶表示装置等の電気光学装置や電子機器、例えば、携帯電話機やパーソナルコンピュータ等をはじめとして、液晶テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電気泳動装置、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた電子機器、電子放出素子を備えた装置（ＦＥＤ:Field Emission DisplayやＳＣＥＥＤ：Surface-Conduction Electron-Emitter Display）などの製造に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】第１実施形態の電気光学装置の製造装置を示す斜視図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ第１実施形態の電気光学装置の製造装置に備えられるクリーンブースを示す斜視図、正面図、断面図である。
【図３】（ａ）は、投入口を全面的に覆うエアーカーテンを示す図であり、（ｂ）は、投入口を部分的に覆うエアーカーテンを示す図である。
【図４】（ａ）は、エアーカーテンを形成しない状態でのワーク上に付着した異物の量を説明するために供する図であり、（ｂ）は、エアーカーテンを形成した状態でのワーク上に付着した異物の量を説明するために供する図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、投入口に張出部を備えたクリーンブースを説明するために供する図である。
【図６】張出部の変形例を示す図である。
【図７】側面部を備えた張出部を説明するために供する図である。
【図８】（ａ）〜（ｂ）は、それぞれ前面に被覆部を備えた張出部を説明するために供する図である。
【図９】クリーンブース及び組立てラインを、クリーンルーム内に配置した状態を示す図である。
【図１０】第２実施形態の電気光学装置の製造方法を示すフロー図である。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ第１の基板、第２の基板、及びセル構造を示す断面図である。
【図１２】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ基板投入工程を説明するために供する図である。
【図１３】従来のクリーンブースを示す図である。
【図１４】従来のクリーンルームを備えた製造ラインを示す図である。
【符号の説明】
【００５４】
１２０：製造装置、１２１：クリーンブース、１２３：吹出口、１２５：組立てライン、１２６：カバー、１２７：投入口、１２９：床面、１３１：ワーク、１３２：マガジン、１３３・１３５：空気清浄装置、１４０：張出部、１４１：側面部、１４３：被覆部、１４９：台車（搬送手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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