(57)【要約】【課題】  半導体ウエハの収納効率および生産ラインの稼動率を向上させることが可能なウエハストッカ、半導体装置の搬送システムおよび搬送方法を提供する。【解決手段】  ウエハストッカ１０内に、カセット保管部２１と、ウエハ保管部２２とを設け、カセット保管部２１では、カセット搬送ロボット２１ａによって、自動カセット搬送装置２０とウエハ保管部２２の出入口２２ｃとカセット棚１４との間でウエハカセットの搬送を行い、ウエハ保管部２２では、ウエハ搬送ロボット２２ａによって、カセット保管部２１にてウエハ保管部２２の出入口２２ｃに搬送されたウエハカセットとウエハ棚１２との間で半導体ウエハ１１の搬送を行う。そして、このようなウエハストッカ１０を含んだ搬送システムを構築し、長期間停滞するロットなどをウエハストッカ１０内のウエハ棚１２に保管する。【選択図】  図２
2005203498.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセット保管部とウエハ保管部を有するウエハストッカであって、
前記カセット保管部は、
半導体ウエハを収納するウエハカセットを搬送するカセット搬送ラインとの間で前記ウエハカセットの受け入れ・払い出しを行う手段と、
前記ウエハカセットを保管する手段と、
前記ウエハカセットを前記ウエハ保管部及び前記ウエハカセットを保管する手段へ搬送する手段とを備え、
前記ウエハ保管部は、
前記半導体ウエハを枚葉式で保管する手段と、
前記ウエハカセットから前記半導体ウエハを受け取り前記保管する手段へ、前記保管する手段から前記ウエハカセットへ前記半導体ウエハを搬送する手段とを備えることを特徴とするウエハストッカ。
【請求項２】
請求項１記載のウエハストッカにおいて、
前記ウエハカセットはＦＯＵＰであり、
前記ウエハ保管部は、さらに前記ウエハ保管部内をクラス１以下にクリーン化する手段を有することを特徴とするウエハストッカ。
【請求項３】
請求項１または２記載のウエハストッカと、ウエハカセットを搬送するカセット搬送ラインと、前記ウエハストッカおよび前記カセット搬送ラインを制御するコンピュータとを有する半導体装置の搬送システムであって、
前記コンピュータは、
前記カセット搬送ライン上のロットを認識する機能と、
エンジニア等が前記ロットに対してＨｏｌｄコードを設定できるようにする機能と、
前記認識したロットに前記Ｈｏｌｄコードが設定されているかを判別し、設定されている場合には、そのロットが、前記カセット搬送ラインから前記ウエハストッカへ入力されるように制御する機能と、
前記入力されたロットが、半導体ウエハ単位で前記ウエハストッカ内に枚葉式で保管されるように制御する機能と、
前記ウエハストッカ内に枚葉式で保管されたロットに対し、前記Ｈｏｌｄコードの設定が解除されているかを判別し、解除されている場合には、そのロットが前記ウエハストッカから前記カセット搬送ラインへ出力されるように制御する機能とを有することを特徴とする半導体装置の搬送システム。
【請求項４】
請求項１または２記載のウエハストッカと、ウエハカセットを搬送するカセット搬送ラインと、前記ウエハストッカおよび前記カセット搬送ラインを制御するコンピュータとを有する半導体装置の搬送システムであって、
前記コンピュータは、
前記カセット搬送ライン上のロットを認識する機能と、
エンジニア等が前記ロットに対してバッチ着工のコードを設定できるようにする機能と、
前記認識したロットに前記バッチ着工のコードが設定されているかを判別し、設定されている場合には、バッチ着工の枚数が揃うまで、そのロットが順次、前記カセット搬送ラインから前記ウエハストッカへ入力されるように制御する機能と、
前記入力されたロットが、半導体ウエハ単位で前記ウエハストッカ内に枚葉式で保管されるように制御する機能と、
前記バッチ着工の枚数が揃った段階で、前記枚葉式で保管されたロットを統合し、その統合されたロットが、前記ウエハストッカから前記カセット搬送ラインへ出力されるように制御する機能とを有することを特徴とする半導体装置の搬送システム。
【請求項５】
請求項１または２記載のウエハストッカと、ウエハカセットを搬送するカセット搬送ラインと、前記ウエハストッカおよび前記カセット搬送ラインを制御するコンピュータとを用いた半導体装置の搬送方法であって、
前記カセット搬送ライン上のロットを認識するステップと、
エンジニア等が、前記ロットに対してＨｏｌｄコードの設定を行うステップと、
前記認識したロットに前記Ｈｏｌｄコードが設定されているかを判別し、設定されている場合には、そのロットを前記カセット搬送ラインから前記ウエハストッカへ入力し、そのロットを半導体ウエハ単位で前記ウエハストッカ内に枚葉式で保管するステップと、
前記ウエハストッカ内に枚葉式で保管されたロットに対し、前記Ｈｏｌｄコードの設定が解除されているかを判別し、解除されている場合には、そのロットを前記ウエハストッカから前記カセット搬送ラインへ出力するステップとを含むことを特徴とする半導体装置の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハストッカ、半導体装置の搬送システムおよび搬送方法に関し、特にＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）を用いる際のウエハストッカと、そのウエハストッカを用いた半導体装置の搬送システムおよび搬送方法に適用して有効な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体装置の生産ラインでは半導体ウエハをウエハカセットに収納して製造を行っている。このウエハカセットは、半導体ウエハの処理中以外はウエハストッカと呼ばれるウエハカセットの保管棚に一時的に収納される。このウエハストッカを用いた生産ラインの一例として特許文献１が挙げられる。
【０００３】
特許文献１には、例えば、製造装置に接続された通常のウエハストッカに加え、退避用のウエハストッカを設けることで生産性の向上を図った搬送制御方法が示されている。この搬送制御方法は、通常のウエハストッカに対して予め空棚確保数を設定し、その空棚確保数を下回る際には、溢れたウエハカセットを退避用のウエハストッカに収納するというものである。これによって、通常のウエハストッカが満杯になることを防止することができ、生産性の向上が図れる。
【特許文献１】特開２００１−３０１４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前記のような半導体装置の製造工程の技術について、本発明者が検討した結果、以下のようなことが明らかとなった。
【０００５】
例えば、前記背景技術で述べたようなウエハストッカは、例えばロット分割が頻繁に行われた場合などで、半導体ウエハの収納効率の低下や製造装置の稼働率の低下などが生じてくる。
【０００６】
すなわち、半導体装置の生産ラインにおいて、１ロットが例えば２５枚の半導体ウエハで構成された場合、通常、この１ロット分が１つのウエハカセットに収納される。ところがロット分割を行った場合は、たとえ１ロットが１枚の半導体ウエハで構成される場合であっても、ウエハカセットにはその１枚のみが収納されることになる。そして、さらに、このようなロット分割が行われたウエハカセットは、各種の理由で生産ライン上に停滞する場合が多い。そうすると、少ない数の半導体ウエハしか入っていないウエハカセットが数多く存在することになるため、大きなスペースを有するウエハストッカと数多くのウエハカセットが必要になってくる。
【０００７】
また、ウエハストッカのスペースが足りない場合には、図８に示すようにウエハストッカ１０ａが、数枚の半導体ウエハ１１しか含まずに停滞しているウエハカセット１３によって頻繁に満杯状態となってしまう。そうすると、このウエハストッカはカセット搬送ラインで製造装置と接続されているため、当該ウエハストッカと当該製造装置との間でウエハカセットの出し入れがスムーズにいかず、製造装置の稼働率が低下する。
【０００８】
さらに、ロット分割および統合を行う際には、通常、ウエハ移載機などといった装置が用いられる。このウエハ移載機を用いずにロット分割および統合が可能になれば、より生産ラインの効率を高めることができる。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、半導体ウエハの収納効率および生産ラインの稼動率を向上させることが可能なウエハストッカ、半導体装置の搬送システムおよび搬送方法を提供することにある。
【００１０】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１２】
本発明によるウエハストッカは、カセット保管部とウエハ保管部とを有するものである。そして、カセット保管部は、ウエハカセットを搬送するカセット搬送ラインとの間でウエハカセットの入出力を行う手段と、カセット搬送ラインとの間で入出力するウエハカセットをウエハ保管部に搬送する手段と、カセット搬送ラインへ出力するためのウエハカセットを保管する手段とを有するものである。また、ウエハ保管部は、カセット保管部の搬送する手段によって搬送されたウエハカセットとの間で半導体ウエハの入出力を行う手段と、ウエハカセットとの間で入出力する半導体ウエハを枚葉式で保管する手段とを有するものである。
【００１３】
このウエハストッカによって、カセット搬送ライン上などに停滞するウエハカセットを、そのウエハカセット単位ではなく、その中の半導体ウエハ単位で保管することができるため、収納効率などを向上させることができる。
【００１４】
ところで、ウエハストッカは、ウエハカセットが、サイズが大きいＦＯＵＰであった場合にとりわけ有益なものとなる。この場合、ウエハ保管部に、さらにウエハ保管部内をクラス１以下にクリーン化する手段を設けることでＦＯＵＰ内のクリーン度を確保することができる。
【００１５】
そして、本発明による半導体装置の搬送システムは、前述したようなウエハストッカと、ウエハカセットを搬送するカセット搬送ラインと、ウエハストッカおよびカセット搬送ラインを制御するコンピュータとを有するものである。そして、コンピュータは、カセット搬送ライン上のロットを認識する機能と、エンジニア等がロットに対してＨｏｌｄコードを設定できるようにする機能と、認識したロットにＨｏｌｄコードが設定されているかを判別し、設定されている場合には、そのロットが、カセット搬送ラインからウエハストッカへ入力されるように制御する機能と、入力されたロットが、半導体ウエハ単位でウエハストッカ内に枚葉式で保管されるように制御する機能と、ウエハストッカ内に枚葉式で保管されたロットに対し、Ｈｏｌｄコードの設定が解除されているかを判別し、解除されている場合には、そのロットがウエハストッカからカセット搬送ラインへ出力されるように制御する機能とを有するものである。
【００１６】
すなわち、例えば、生産ライン上に比較的長く停滞すると予想されるロットに対しＨｏｌｄコードを設定することで、そのロットが半導体ウエハ単位で自動的にウエハストッカ内に保管される。また、このＨｏｌｄコードの設定を解除することで、その保管されたロットをウエハカセットに入れて自動的にウエハストッカから払い出すことができる。
【００１７】
また、本発明による半導体装置の搬送システムは、前述したＨｏｌｄコードの場合と同様に、ロットに対してバッチ着工のコードを設定できるものである。この場合、このコンピュータは、Ｈｏｌｄコードの場合と同様、ロットを認識する機能およびバッチ着工のコードを設定できるようにする機能と、認識したロットにバッチ着工のコードが設定されているかを判別し、設定されている場合には、バッチ着工の枚数が揃うまで、そのロットが順次、カセット搬送ラインからウエハストッカへ入力されるように制御する機能と、入力されたロットが、半導体ウエハ単位でウエハストッカ内に枚葉式で保管されるように制御する機能と、バッチ着工の枚数が揃った段階で、枚葉式で保管されたロットを統合し、その統合されたロットが、ウエハストッカからカセット搬送ラインへ出力されるように制御する機能とを有するものとなる。
【００１８】
これによって、枚葉式とバッチ式の処理装置が混在した生産ラインにおいて、効率的にバッチ処理を行うことなどが可能になる。
【発明の効果】
【００１９】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００２０】
（１）半導体ウエハを枚葉式で保管することが可能なウエハストッカを用いることによって、半導体ウエハの収納効率を向上させることができる。
【００２１】
（２）枚葉式で保管されている半導体ウエハに対し、その半導体ウエハのクリーン度を保つためのクリーン化する手段を設けることで、ＦＯＵＰなどのウエハカセットにも対応することができる。
【００２２】
（３）半導体ウエハを枚葉式で保管することが可能なウエハストッカを含んだ半導体装置の搬送システムを構築し、Ｈｏｌｄコードが設定されたロットをウエハストッカ内に自動的に保管することで、カセット搬送ライン上には流動可能なロットのみが存在することになり、生産ラインの稼動率を向上させることができる。
【００２３】
（４）半導体ウエハを枚葉式で保管することで、半導体ウエハの保管中はウエハカセットを他のウエハ搬送に利用できるため、流動可能なウエハカセットが不足するような事態を防止することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００２５】
図１は、本発明の一実施の形態のウエハストッカにおいて、その機能概要の一例を示す概略図である。図１に示すウエハストッカ１０は、半導体ウエハ１１が枚葉式に保管されるウエハ棚１２と、払い出し用などのウエハカセット１３が保管されるカセット棚１４などを含んでいる。このウエハストッカ１０は、例えばロット分割によって生産ライン上に停滞するウエハカセット１３をカセット搬送ラインから受け入れ、そのウエハカセット１３内の半導体ウエハ１１を取り出してウエハ棚１２に保管することができる。また、ウエハ棚１２に保管された半導体ウエハ１１が生産ライン上で流動可能となった際に、カセット棚１４のウエハカセット１３に当該半導体ウエハ１１を挿入し、カセット搬送ラインを含む生産ライン上に払い出すことができる。
【００２６】
なお、このような半導体ウエハ１１の受け入れ、保管および払い出しは、自動搬送ロボットによって行われ、この自動搬送ロボットを制御するコンピュータシステムによって、半導体ウエハ１１の履歴管理が行われる。そして、このようなウエハストッカ１０は、より詳細には図２に示すような構成となっている。
【００２７】
図２は、本発明の一実施の形態のウエハストッカにおいて、その構成の一例を示す図である。図２に示すウエハストッカ１０は、例えば、自動カセット搬送装置２０と、カセット保管部２１と、ウエハ保管部２２などから構成され、カセット保管部２１は、カセット棚１４と、カセット搬送ロボット２１ａを有し、ウエハ保管部２２は、ウエハ棚１２と、ウエハ搬送ロボット２２ａと、クリーン空調機２２ｂなどを有している。ここで、ウエハカセット１３は、例えばＦＯＵＰとすることができる。
【００２８】
自動カセット搬送装置２０は、生産ライン内のカセット搬送ラインに接続され、台車に載せられたウエハカセット（ＦＯＵＰ）を、カセット保管部２１の上部に設けられた出入口２１ｂまで運ぶことができる。カセット保管部２１のカセット搬送ロボット２１ａは、カセット保管部２１の出入口２１ｂとウエハ保管部２２の出入口２２ｃとカセット棚１４との間で、自由にウエハカセット１３を搬送する機能を有している。これによって、例えば、自動カセット搬送装置によってウエハストッカ１０に運ばれてきたウエハカセット１３をカセット保管部２１の出入口２１ｂから取り込み、それをウエハ保管部２２の出入口２２ｃに搬送したり、またはその逆の搬送を行ったり、もしくは取り込んだウエハカセット１３をカセット棚１４に一時保管し、必要に応じてウエハ保管部２２の出入口２２ｃに搬送したり、ウエハ保管部２２の出入口２２ｃで空になったウエハカセット１３をカセット棚１４に搬送することなどが可能になっている。
【００２９】
ウエハ保管部２２のウエハ搬送ロボット２２ａは、ウエハ保管部２２の出入口２２ｃとウエハ棚１２との間で自由に半導体ウエハ１１を搬送する機能を有している。すなわち、例えば、カセット搬送ロボット２１ａによってウエハ保管部２２の出入口２２ｃに運ばれたウエハカセット１３から半導体ウエハ１１を真空吸着などを用いて取り出し、それをウエハ棚１２に搬送したり、ウエハ棚１２に保管された半導体ウエハ１１をウエハ保管部２２の出入口２２ｃからウエハカセット１３内に搬送することなどが可能になっている。
【００３０】
クリーン空調機２２ｂは、このウエハ保管部２２内を、例えば、ＦＯＵＰ内のクリーン度以下となるクラス１以下にクリーン化することができる。なお、カセット搬送ロボット２１ａによってウエハカセット１３がウエハ保管部２２の出入口２２ｃに運ばれた際、ウエハカセット１３とウエハ保管部２２を密着させた後にウエハ保管部２２の開閉扉２３を開くことで、カセット保管部２１内のパーティクルがウエハ保管部２２内に流入しないようにする。
【００３１】
そして、これら各種の搬送ロボット（自動搬送ロボット）は、コンピュータシステムによって制御される。また、このコンピュータシステムにより自動搬送ロボットを制御することで、ウエハストッカ１０を用いて、例えばロット分割および統合といったことを行うことができる。その一例を図３〜図５に示す。
【００３２】
図３は、本発明の一実施の形態のウエハストッカにおいて、ロット分割および統合の機能について説明するための説明図である。図４は、本発明の一実施の形態のウエハストッカにおいて、図３とは異なるロット分割の機能について説明するための説明図である。図５は、本発明の一実施の形態のウエハストッカにおいて、図３とは異なるロット統合の機能について説明するための説明図である。
【００３３】
まず、図３は、例えば、枚葉式とバッチ式の装置が混在している生産ラインで発生するロット分割および統合の例である。すなわち、それぞれ数枚の半導体ウエハ１１を含んでいる複数のウエハカセット（ロット）１３に対し、それらの半導体ウエハ１１をウエハストッカ１０によって１つのロットに統合し、それを熱処理装置などといったバッチ式処理装置３０に投入する。
【００３４】
この際、統合するロットの選択は、コンピュータシステムによって優先順位等を考慮して行われる。また、ロットを統合する際には、図２において、コンピュータシステムの制御によって、例えばカセット保管部２１の出入口２１ｂに順次搬送されてきたウエハカセット１３内の半導体ウエハ１１を、ウエハ保管部２２のウエハ棚１２に順次保管し、所定の枚数が揃った際に、それらをウエハ棚１２からウエハカセット１３に搬送・収納して、このウエハカセット１３をカセット保管部２１の出入口２１ｂより払い出せばよい。
【００３５】
このようにして統合されたロットは、バッチ式処理装置３０によって処理が行われ、再びウエハストッカ１０に搬送される。そして、ロットを分割する際、コンピュータシステムの制御によって、例えば、このロット内の半導体ウエハ１１をウエハ棚１２に格納し、カセット棚１４に保管されたウエハカセット１３を用いて、元の複数のロットとなるように半導体ウエハ１１を順次ウエハ棚１２からウエハカセット１３へ搬送し、このウエハカセット１３を順次払い出せばよい。
【００３６】
つぎに、図４は、例えば１ロットが１２枚の半導体ウエハ１１から構成されるものとして、そのウエハカセット（ロット）１３をウエハストッカ１０に搬送し、そのロット内のスロット（Ｓｌｏｔ）１〜４に挿入されている４枚の半導体ウエハ１１を分割して、ウエハ棚１２に停滞させた一例である。そして、ウエハストッカ１０は、残りのスロット５〜１２に挿入されている８枚の半導体ウエハ１１を生産ライン上に払い出すことができる。
【００３７】
そして、図５は、図４とは逆に、スロット５〜１２に半導体ウエハ１１が挿入されているロットをウエハストッカに搬送し、このロットに対しウエハストッカ１０のウエハ棚１２に格納されている４枚の半導体ウエハ１１を統合させた一例である。そして、ウエハストッカ１０は、１２枚の半導体ウエハ１１を備えたロットをカセット搬送ライン上に払い出すことができる。
【００３８】
以上のように、半導体ウエハを枚葉式で格納する機能と、ロット分割および統合を行う機能を備えたウエハストッカによって、例えば次のような効果を得ることができる。
【００３９】
（１）従来技術において、ウエハカセット単位でしか保管できなかったものを、半導体ウエハ単位で保管できるため、ウエハストッカの大きさを小さくすることができる。また、その半導体ウエハが格納されていたウエハカセットを空にすることができるため、生産ライン上に投入可能なウエハカセットの数を増加させることができる。つまり、ウエハカセットを効率的に使用することができ、生産ライン上で流動可能なウエハカセットが不足するような事態を防止することができる。このようなことから、半導体ウエハの収納効率と生産ラインの稼働率を向上させることができる。
【００４０】
（２）特に、ウエハカセットのサイズが大きいＦＯＵＰを用いる場合において、（１）の効果がより有益なものとなる。そして、ＦＯＵＰを用いた際にも、ウエハストッカ内にクリーン空調機を有しているため、ＦＯＵＰ内のクリーン度を損なうことがない。
【００４１】
（３）バッチ処理を行う場合などで、複数のロットを効率的に統合することができる。これによって、生産ラインの稼働率が向上する。また、半導体ウエハの分割および統合をウエハストッカによって行うことが可能になるため、ウエハ移載機が不要となり、装置スペースが効率化される。
【００４２】
そして、このようなウエハストッカを用いることで、例えば図６に示すような搬送システムを構築することができる。図６は、本発明の一実施の形態の半導体装置の搬送システムにおいて、その構成の一例を示す図である。
【００４３】
図６に示す半導体装置の搬送システムは、例えば、半導体ウエハ１１に対して薄膜形成や不純物導入などといった各種の処理を行うウエハ処理装置（１）６０ａ，（２）６０ｂと、このウエハ処理装置（１）６０ａ，（２）６０ｂにウエハカセット１３を供給するステーション６１と、図１および図２で説明したようなウエハストッカ１０などから構成される。そして、ウエハ処理装置（１）６０ａ，（２）６０ｂとステーション間は例えばＲＧＶ（Ｒａｉｌ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）等のカセット搬送ライン（１）６２ａで接続され、ステーション６１とウエハストッカ１０間は、リニアモーターライン等のカセット搬送ライン（２）６２ｂで接続されている。なお、ステーション６１とは、通常のウエハストッカと同様なものであり、図１および図２のような半導体ウエハ１１を枚葉保管するものでなく、それが収納されたウエハカセット１３を保管するものである。
【００４４】
また、このウエハ処理装置（１）６０ａ，（２）６０ｂ、ステーション６１、ウエハストッカ１０およびカセット搬送ライン（１）６２ａ，（２）６２ｂは、ホストコンピュータやそのホストコンピュータに通信ネットワークで接続された処理端末などを含むコンピュータシステム６３によって管理されている。このコンピュータシステム６３による管理によって、ウエハカセット１３はＲＧＶやリニアモーターライン上を自動的に移動し、必要に応じてウエハストッカ１０やステーション６１などに受け入れられる。すなわち、例えば、図７のように動作する。
【００４５】
図７は、本発明の一実施の形態の半導体装置の搬送方法において、図６の搬送システムの動作の一例を示す処理フロー図である。図７に示す処理フローは、コンピュータシステム６３のプログラム制御によるものであり、例えば次のように実行される。
【００４６】
Ｓ７０１において、ウエハ処理装置（１）６０ａ，（２）６０ｂによるロット（ウエハカセット）の着工が完了し、ステーション６１よりカセット搬送ライン（２）６２ｂにロットが払い出される。そして、Ｓ７０２へ移行する。
【００４７】
Ｓ７０２において、コンピュータシステム６３は、それが管理している自動読み取り器などを用いて、各ロットが備えたバーコード等の識別子を読み取ることで、カセット搬送ライン（２）６２ｂ上の各ロットを認識する。そして、コンピュータシステム６３は、その識別子にＨｏｌｄコードまたはバッチ着工のコードが設定されているか否かを判断する。
【００４８】
ここで、このＨｏｌｄコードは、比較的長時間カセット搬送ライン（２）６２ｂ上またはステーション６１上に停滞すると予想されるロットに対して設定するとよい。このようなロットの一例としては、例えば、レチクル待ち、エンジニア作業待ち、顧客判断待ち（製品の結果待ち等）、スクラップ待ち、エンジニア判断待ち、装置トラブルのため復旧待ちのものなどが挙げられる。
【００４９】
なお、このＨｏｌｄコードやバッチ着工のコードは、エンジニアなどがコンピュータシステム６３上で、各ロット（識別子）に対して、例えばチェックボタンなどで設定する。また、これと同様に、コンピュータシステム６３上で、Ｈｏｌｄコードの設定を解除し、当該ロットを着工可能にすることもできる。そして、認識したロットにＨｏｌｄコードまたはバッチ着工のコードが設定されている場合は、Ｓ７０３へ移行し、設定されていない場合は、Ｓ７０８へ移行する。
【００５０】
Ｓ７０３において、コンピュータシステム６３は、Ｈｏｌｄコードかバッチ着工のコードかの判定を行う。Ｈｏｌｄコードの場合は、Ｓ７０４へ移行し、バッチ着工のコードの場合は、Ｓ７０６へ移行する。
【００５１】
Ｓ７０４において、コンピュータシステム６３の制御によって、当該ロットがカセット搬送ライン（２）６２ｂからウエハストッカ１０に入力され、当該ロット内の半導体ウエハ１１が図２のウエハ棚１２に保管される。そして、Ｓ７０５へ移行する。
【００５２】
Ｓ７０５において、コンピュータシステム６３は、図２のウエハ棚１２に保管された当該ロットが着工可能な状態に指示が変更されたか否かを判定する。指示が変更された場合は、コンピュータシステム６３の制御によって、当該ロットがカセット棚１４のウエハカセット１３に挿入され、ウエハストッカ１０より払い出される。そして、この払い出しが行われた場合はＳ７０８へ移行し、指示が変更されていない場合はＳ７０５で指示が変更されるのを待つ。
【００５３】
Ｓ７０６において、コンピュータシステム６３は、バッチ着工を行う枚数分のロットが揃ったか否かを判定しながら、バッチ着工のコードが設定されたロットを順次、カセット搬送ライン（２）６２ｂからウエハストッカ１０へ入力する。この入力されたロットは、コンピュータシステム６３がウエハストッカ１０を制御することによって、半導体ウエハ単位で図２のウエハ棚１２に格納される。そして、Ｓ７０７へ移行する。
【００５４】
Ｓ７０７において、バッチ着工を行う枚数分のロットが揃った際に、コンピュータシステム６３は、ウエハストッカ１０を制御することによって、当該ロットに対してロットの統合を行い、ウエハストッカ１０より統合されたロットが払い出される。すなわち、コンピュータシステム６３の制御によって、図３で述べたようなロットの統合処理が行われる。そして、Ｓ７０８へ移行する。
【００５５】
Ｓ７０８において、コンピュータシステム６３の制御によって、ロットが、ステーション６１およびカセット搬送ライン（１）６２ａを介して、ウエハ処理装置（１）６０ａ，（２）６０ｂといった処理装置に搬送される。そしてＳ７０９へ移行する。
【００５６】
Ｓ７０９において、処理装置によってロットが着工される。
【００５７】
以上のように、図６で示したような搬送システムを用い、図７で示したような処理フローを実施することで、図１〜図５で前述したウエハストッカによる効果に加え、例えば次のような効果を得ることができる。
【００５８】
Ｈｏｌｄコードが設定されたものをウエハストッカに格納することで、カセット搬送ライン上およびステーション内には流動可能なウエハカセットのみが存在することになる。これによって、搬送効率および処理装置の稼働率が高まり、生産ラインの稼働率が向上する。また、生産ラインの稼働率向上に加え、停滞するウエハカセットが無くなることから生産ライン上に必要なウエハカセットの数も減らすことができ、生産コストの低減が可能になる。
【００５９】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００６０】
例えば、図６においては、ステーションに加えて予備のウエハストッカとして枚葉式のウエハストッカを用いる例を示したが、このステーションに当たる箇所に枚葉式のウエハストッカを用いることもできる。また、例えば、図７で示した処理フローの他の例として、Ｈｏｌｄコードに種類を持たせるなどで、長期で停滞するものを半導体ウエハ単位で保管し、比較的短期で停滞するものをカセット棚にウエハカセットのままで保管するなど、図２のウエハストッカを半導体ウエハの保管とウエハカセットの保管を兼用するものとして活用することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明のウエハストッカ、半導体装置の搬送システムおよび搬送方法は、ウエハカセットを用いる半導体装置の生産ラインに広く適用可能であり、特に、φ３００ｍｍといった大口径の半導体ウエハを取り扱う生産ラインおよびＦＯＵＰを用いている生産ラインに適用して有益なものである。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の一実施の形態のウエハストッカにおいて、その機能概要の一例を示す概略図である。
【図２】本発明の一実施の形態のウエハストッカにおいて、その構成の一例を示す図である。
【図３】本発明の一実施の形態のウエハストッカにおいて、ロット分割および統合の機能について説明するための説明図である。
【図４】本発明の一実施の形態のウエハストッカにおいて、図３とは異なるロット分割の機能について説明するための説明図である。
【図５】本発明の一実施の形態のウエハストッカにおいて、図３とは異なるロット統合の機能について説明するための説明図である。
【図６】本発明の一実施の形態の半導体装置の搬送システムにおいて、その構成の一例を示す図である。
【図７】本発明の一実施の形態の半導体装置の搬送方法において、図６の搬送システムの動作の一例を示す処理フロー図である。
【図８】本発明の前提となる従来技術のウエハストッカにおいて、その問題点を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００６３】
１０，１０ａ  ウエハストッカ
１１  半導体ウエハ
１２  ウエハ棚
１３  ウエハカセット
１４  カセット棚
２０  自動カセット搬送装置
２１  カセット保管部
２１ａ  カセット搬送ロボット
２１ｂ  カセット保管部の出入口
２２  ウエハ保管部
２２ａ  ウエハ搬送ロボット
２２ｂ  クリーン空調機
２２ｃ  ウエハ保管部の出入口
２３  開閉扉
３０  バッチ式処理装置
６０ａ，６０ｂ  ウエハ処理装置
６１  ステーション
６２ａ，６２ｂ  カセット搬送ライン
６３  コンピュータシステム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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