(57)【要約】【課題】保持部を毟りによって破断して余白部を取り除きシャドウマスクに仕上げるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板において、毟りにてシャドウマスクにペコを発生させない、破断残部（バリ）を極めて微小とし金属粒を飛散させない、窪み部を極めて微小とし皺を発生させない該金属薄板を提供すること。【解決手段】貫通線２６の平面形状がスカート部側を下底ｇ、余白部側を上底ｈとする台形で、台形の両底角θが鋭角であり、金属薄板の一面の、隣接する貫通線の底角の頂点ｊ、ｋ間に、ハーフエッチング部２８をハーフエッチング部の両端部が各々頂点に接するように設けたこと。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スカート部の周縁部に設けた、貫通線と保持部で構成される外形線の該保持部を毟りによって破断してスカート部の外周の余白部を取り除き、シャドウマスクに仕上げるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板において、該貫通線の平面形状がスカート部側を下底、余白部側を上底とする台形で、該台形のスカート部側の両底角が鋭角であり、金属薄板の一方の面の、隣接する貫通線の上記底角の頂点（下底と斜辺の交点）間に、ハーフエッチング部をハーフエッチング部の両端部が各々頂点に接するように設けたことを特徴とするシャドウマスク用エッチング済み金属薄板。
【請求項２】
前記鋭角の角度が、２０度〜６０度であることを特徴とする請求項１記載のシャドウマスク用エッチング済み金属薄板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シャドウマスクに関するものであり、特に、毟り作業においてシャドウマスクにペコが発生せず、また、毟り後のバリ及び窪みを極めて微小にしたシャドウマスク用エッチング済み金属薄板に関する。
【背景技術】
【０００２】
シャドウマスクは、長尺帯状の金属薄板の巾方向に複数面、長尺帯方向に多数面、面付けされた状態でフォトエッチングにより連続して製造されるのが一般的である。
長尺帯状の金属薄板に面付けされたシャドウマスクは分断され枚葉状になるのであるが、分断された枚葉状の金属薄板の一例の平面図を図１に示す。図１に示すように、シャドウマスクが１面付けされた金属薄板（１０）は、シャドウマスク（１１）と余白部（１４）とで構成されており、シャドウマスク（１１）は画像面部（貫通孔エリア）（１２）とスカート部（１３）とからなる。
【０００３】
画像面部（１２）は、シャドウマスクがＣＲＴに組み込まれた際に、電子線が通過する多数の貫通孔が形成された部分であり、画像を表示するエリアである。また、スカート部（１３）は、画像面部（１２）の周辺に位置し、プレス成形によって所定の形状に形成される部分である。
【０００４】
スカート部（１３）の周縁部、すなわち、スカート部（１３）と余白部（１４）との境界には外形線（１５）が設けられている。
図２は、図１におけるＰ部分を拡大して示す外形線（１５）の説明図である。図２（イ）はＰ部分の平面図、図２（ロ）は（イ）におけるＡ−Ａ’線断面図、図２（ハ）は（イ）におけるＢ−Ｂ’線断面図である。
図２（イ）、（ロ）、（ハ）に示すように、外形線（１５）は、金属薄板の表裏がエッチングされて貫通した貫通線（１６）とエッチングされていない保持部（１７）とが交互に連なった線状のものである。
【０００５】
保持部（１７）は、シャドウマスク（１１）が金属薄板（１０）から脱落しないようにシャドウマスク（１１）を保持し、且つ余白部（１４）を取り除いてシャドウマスクに仕上げる際には容易に破断されるようにできている。
具体的には、例えば、厚さ（ｃ）０．１０〜０．１５ｍｍ程度の金属薄板を用いた対角略１４〜２１インチのシャドウマスクの場合、貫通線（１６）の巾（ａ）は２００μｍ程度、保持部（１７）の長さ（ｂ）は２ｍｍ程度のものである。
【０００６】
シャドウマスクが一面付けされた金属薄板（１０）からシャドウマスク（１１）に仕上げる際には、所謂「毟り」によって、この外形線（１５）の保持部（１７）を破断し、金属薄板（１０）から余白部（１４）を取り除きシャドウマスク（１１）とする。
毟り作業は、外形線（１５）の位置で余白部（１４）を折り曲げ、再び折り返すといった操作を数回繰り返す折り曲げ応力、或いは、余白部（１４）を引っ張るといった操作による引っ張り応力によって保持部（１７）を破断し、金属薄板の余白部（１４）を取り除く作業である。
【０００７】
この毟り作業においては、毟り操作中の応力が均一にかからないと、シャドウマスクには、局部的な折れ、曲がりなど、所謂「ペコ」が発生することがある。
【０００８】
また、この毟りによって保持部（１７）は破断され、図３の平面図に示すように、通称
、「バリ」と称する破断残部が残る。余白部（１４）には保持部（１７）の余白部側破断残部（１７ｂ）が、また、スカート部（１３）には保持部（１７）のスカート部側破断残部（１７ａ）が残る。
この破断残部（バリ）は、必ずしも保持部（１７）の、余白部（１４）とスカート部（１３）間の中央部で破断されるものではなく、例えば、保持部（１７）の幅が２００μｍの際には、スカート部側に残るスカート部側破断残部（１７ａ）の高さ（ｅ）は、略６０μｍ〜１４０μｍのバラツキを有する。
【０００９】
このスカート部側破断残部（１７ａ）は、取扱中の僅かな衝撃でも折れや、欠けなどが発生し易い。例えば、複数枚のシャドウマスク（１１）を作業台上で突き揃え作業を行う際など、スカート部側破断残部（１７ａ）に折れや、欠けなどが発生し、脱落したスカート部側破断残部（１７ａ）、或いは欠け落ちた金属粒が周囲に異物として飛散することがある。
【００１０】
このような飛散したスカート部側破断残部、或いは金属粒が、シャドウマスクの孔に詰まると、所謂「孔不良」としてシャドウマスクは不良品となってしまう。或いは、検査の際に取り除けたとしても疑似欠陥として検出され検査効率を低下させることとなる。
或いは、スカート部（１３）を所定の形状に形成する、前記プレス成形において、スカート部側破断残部（１７ａ）が金型に接触して金属粒として脱落しシャドウマスクの孔に詰まってしまうことがある。
【００１１】
スカート部側破断残部から脱落した金属粒は、シャドウマスクをＣＲＴに組み込む際に、多くの場合にとられているアニール処理、及び黒化処理などの熱処理によっても燃え尽きて消滅することはなく孔不良のままとなる。
また、シャドウマスクの表面に付着したスカート部側破断片、或いは金属粒などの異物は、シャドウマスクに凹みを与えるのでシャドウマスクは不良品となってしまう。
【００１２】
上記問題を解決する技法として、特開２００１−７６６１６号公報には、保持部（１７）に連なるスカート部（１３）側にハ−フエッチングされた被破断部分を設ける方法が開示されている。
図４（ａ）は、保持部（１７）が破断される前の金属薄板の平面図である。また、図４（ｂ）は、破断後の状態の平面図である。
図４（ａ）、（ｂ）に示すように、毟り前の金属薄板において、保持部（１７）に連なるスカート部（１３）側にハ−フエッチングされた被破断部分（１８）を設けておく。毟り作業によって、保持部（１７）及び被破断部分（１８）が取り除かれ、スカート部（１３）側は凹状の窪み部（１９）となり、破断残部（バリ）は形成されないといった技法である。
【００１３】
しかし、この技法によると、スカート部（１３）を所定の形状に形成する前記プレス成形において、凹状の窪み部（１９）に皺が生じ易く、また、窪み部（１９）が金型にひっかかりシャドウマスクが変形してしまうことがある。
【特許文献１】特開２００１−７６６１６号公報
【特許文献２】特開２００３−１６２９６８号公報
【特許文献３】特開２００３−２５７３１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、シャドウマスクのスカート部の周縁部に設けた外形線の保持部を毟りによって破断して余白部を取り除き、シャドウマスクに仕上げるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板において、毟りによってシャドウマスクに局部的な折れ、曲がりなど、所謂ペコを発生させることのない、また、毟り後のスカート部側に残る破断残部（バリ）を極めて微小なものとし、また、毟り後のスカート部側に残る窪み部を極めて微小なものとしたシャドウマスク用エッチング済み金属薄板を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、スカート部の周縁部に設けた、貫通線と保持部で構成される外形線の該保持部を毟りによって破断してスカート部の外周の余白部を取り除き、シャドウマスクに仕上げるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板において、該貫通線の平面形状がスカート部側を下底、余白部側を上底とする台形で、該台形のスカート部側の両底角が鋭角であり、金属薄板の一方の面の、隣接する貫通線の上記底角の頂点（下底と斜辺の交点）間に、ハーフエッチング部をハーフエッチング部の両端部が各々頂点に接するように設けたことを特徴とするシャドウマスク用エッチング済み金属薄板である。
【００１６】
また、本発明は、上記発明によるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板において、前記鋭角の角度が、２０度〜６０度であることを特徴とするシャドウマスク用エッチング済み金属薄板である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、貫通線と保持部で構成される外形線の該貫通線の平面形状がスカート部側を下底、余白部側を上底とする台形で、この台形のスカート部側の両底角が鋭角であり、金属薄板の一方の面の、隣接する貫通線の上記底角の頂点（下底と斜辺の交点）間に、ハーフエッチング部をハーフエッチング部の両端部が各々頂点に接するように設けたシャドウマスク用エッチング済み金属薄板であるので、小さな応力で容易に毟りを行うことができ、均一な応力をかけることが容易になりシャドウマスクに局部的な折れ、曲がりなど、所謂ペコを発生させることはない。
【００１８】
また、毟り後のスカート部側に残る破断残部（バリ）は極めて微小なものなので、破断残部から金属粒が脱落することのないシャドウマスク用エッチング済み金属薄板となる。従って、金属粒に起因するシャドウマスクの孔不良は激減する。
【００１９】
また、毟り後のスカート部側に残る窪み部は極めて微小なものなので、プレス成形時に凹状の窪み部に皺が生じたり、窪み部が金型にひっかかることのないシャドウマスクが得られる。
すなわち、ペコ、孔不良、皺、ひっかかり、などの不良を減少させ、廉価に製造することのできるシャドウマスクが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明の実施の形態を一実施例に基づき詳細に説明する。
図５は、本発明によるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板の一実施例における外形線（２５）の一部分を拡大して示したものであり、図１におけるＰ部分に相当する部分の説明図である。
【００２１】
図５（ａ）は、シャドウマスク用エッチング済み金属薄板の片面の平面図、図５（ｃ）は、他面の平面図、図５（ｂ）は、（ａ）及び（ｃ）に示すシャドウマスク用エッチング済み金属薄板のＸ−Ｘ’線での断面図である。
図５（ａ）と図５（ｃ）は、シャドウマスク用エッチング済み金属薄板の片面（Ｑ）及び
他面（Ｒ）を示したものであり表裏の関係にある。
【００２２】
図５（ａ）においては、説明の都合上、余白部（２４）は図５（ａ）中の下部、スカート部（２３）は図５（ａ）中の上部に示してある。一方、前記図１のＰ部分においては、余白部（１４）は図１中の上部、スカート部（１３）は図１中の下部に示してある。
すなわち、図５（ａ）と図１とで各部位の上下関係を逆に示してある。参照方向を示すために白太矢印を用いている。白太矢印の方向が余白部→スカート部の方向を表している。
【００２３】
図５（ｃ）においては、白太矢印にて示すように、図５（ｃ）中の各部位の上下関係は前記図１と同方向に示してある。図５（ｂ）は、片面（Ｑ）の平面図である図５（ａ）、及び他面（Ｒ）の平面図である図５（ｃ）のＸ−Ｘ’線での断面図であり、白太矢印の方向からの断面を表している。（Ｔ）はシャドウマスク用エッチング済み金属薄板の厚さを表している。
図５は、図５（ｂ）に示す白太矢印の方向からの断面に対し、片面（Ｑ）のスカート部（２３）を図５（ａ）において、図５（ａ）中の上部に展開し、他面（Ｒ）のスカート部（２３）を図５（ｃ）において、図５（ｃ）中の下部に展開した説明図である。
【００２４】
図５（ａ）、（ｃ）に示すように、本発明によるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板の外形線（２５）は、金属薄板の表裏がエッチングされて貫通した貫通線（２６）と保持部（２７）とが交互に連なった線状のものである。
外形線（２５）を構成する貫通線（２６）の平面形状は、スカート部（２３）側を下底（ｇ）、余白部（２４）側を上底（ｈ）とし、貫通線（２６）の巾（Ｗ）を高さとする台形である。また、この台形のスカート部側の両底角（θ）は鋭角である。                
【００２５】
また、図５（ｃ）に示すように、金属薄板の他面には、隣接する貫通線（２６）の底角の頂点（下底（ｇ）と斜辺（ｉ）の交点）（ｊ、ｋ）の間（Ｌ）に、ハーフエッチング部（２８）をハーフエッチング部の両端部が各々頂点（ｊ、ｋ）に接するように設けられている。
本一実施例においては、ハーフエッチング部（２８）の平面形状は長円形にしてある。また、ハーフエッチング部（２８）は、金属薄板の他面に設けたが、片面（Ｑ）、他面（Ｒ）のいづれに設けてもよい。
【００２６】
図５（ｂ）に示すように、シャドウマスク用エッチング済み金属薄板のＸ−Ｘ’線での断面形状は、スカート部（２３）と余白部（２４）が連なる接続部（５０）において、片面（Ｑ）側は平坦である。
他面（Ｒ）側には、ハーフエッチング部（２８）がその両端部を底角（θ）の頂点（ｊ、ｋ）に接するように設けられているために、底角（θ）の頂点（ｊ、ｋ）部の断面形状は、片面（Ｑ）側の表面で鋭く尖った形状をしている。
また、片面（Ｑ）側からエッチングによって形成したハーフエッチング部（２８）の断面形状は、略半円状をしており、Ｘ−Ｘ’線に対してスカート部（２３）側に凹状の窪み部（２９）を形成している。
【００２７】
上記のように、本発明によるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板は、貫通線の平面形状が台形で、その両底角が鋭角であり、一方の面の底角の頂点間にハーフエッチング部が頂点に接するように設けられているので、毟りによって保持部を破断する際に小さな応力で容易に毟りを行うことができる。
すなわち、台形の両底角（下底と斜辺で挟まれた角）が鋭角なので、毟りの応力が底角の頂点（下底と斜辺の交点）のＸ−Ｘ’線上に集中し、小さな応力での毟りが可能となる。
【００２８】
また、図５（ｂ）に示すように、保持部（２７）の、スカート部（２３）と余白部（２４）が連なる接続部（５０）の断面形状は、片面（Ｑ）側は平坦な状態であるが、他面（Ｒ）側は、表面で鋭く尖った形状（ｊ、ｋ）となっているので、毟りの応力は小さな応力で容易に毟りを行うことができる。
これは、前記図２に示す保持部（１７）の断面形状と対比して明らかなものである。
【００２９】
すなわち、図７は、前記図２に示す金属薄板において、保持部（１７）の、スカート部（１３）と余白部（１４）が連なる接続部（７０）の断面を示したものである。図７は、図２中、白太矢印の方向からの断面図であり、Ｘ−Ｘ’線での断面である。
図７に示すように、接続部（７０）は矩形であり、接続部（７０）の片面（Ｑ）、他面（Ｒ）の両面側は共に平坦な状態になっているので、毟りの応力は大きな応力を必要とする。
【００３０】
従って、本発明によるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板は、小さな応力で容易に毟りを行うことができるので、均一な応力をかけることが容易になりシャドウマスクに局部的な折れ、曲がりなど、所謂ペコを発生させることはない。
【００３１】
また、毟りの応力は、図５に示すように、前記底角の頂点（下底と斜辺の交点）のＸ−Ｘ’線上に集中するので、保持部（２７）が破断される位置は、Ｘ−Ｘ’線上から離れた位置（例えば、保持部（２７）の中央部）ではなくＸ−Ｘ’線上となり、同時にスカート部（２３）側に発生する破断残部（バリ）は極めて微小なものとなる。
【００３２】
図６は、図５に示すシャドウマスク用エッチング済み金属薄板から余白部（２４）が取り除かれた状態、すなわち、シャドウマスクとして仕上がった状態の説明図である。
図６（ａ）は、シャドウマスクの片面の平面図、図６（ｃ）は、他面の平面図、図６（ｂ）は、白太矢印の方向からのシャドウマスクの側面図である。図６（ａ）、（ｃ）中における各部位の上下関係は、図５（ａ）、（ｃ）中の場合と同様である。
【００３３】
図６（ｂ）に示すように、保持部（２７）のスカート部側破断残部（２７ａ）の断面の片面（Ｑ）側は平坦な状態である。断面の他面（Ｒ）側には、前記底角（θ）の頂点（ｊ、ｋ）の鋭く尖った部分が形成されている。また、略半円状のハーフエッチング部（２８）が金属薄板の厚さ方向の中央部付近（Ｔ’）まで形成され、この部分はスカート部面で凹状の窪み部（２９）となっている。
スカート部側に残る破断残部（バリ）は極めて微小なものであり、その高さ（ｌ）は０〜５０μｍ程度である。また、窪み部（２９）の深さ（ｍ）は０〜５０μｍ程度である。
【００３４】
上記のように、本発明によるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板は、毟り後のスカート部側に残る破断残部（バリ）は極めて微小なものなので、破断残部から金属粒が脱落することはなく、金属粒に起因するシャドウマスクの孔不良は激減する。また、毟り後のスカート部側に残る窪み部は極めて微小なものなので、凹状の窪み部に皺が生じたり、窪み部が金型にひっかかることはない。
【００３５】
また、本発明は、貫通線のスカート部側を下底、余白部側を上底とする台形の両底角（θ）が鋭角で、この角度が、２０度〜６０度であることを特徴とするものである。
すなわち、台形の両底角（θ）（下底と斜辺で挟まれた角）が鋭角なので、毟りの応力が底角の頂点（下底と斜辺の交点）のＸ−Ｘ’線上に集中し、小さな応力での毟りが可能となるのであるが、この角度が２０度〜６０度であると破断が良好に行われる。
【００３６】
本発明においては、金属薄板の厚さ（Ｔ）が０．０５〜０．３ｍｍの際に、貫通線の巾（Ｗ）は０．１〜０．５ｍｍ程度、隣接する貫通線の底角の頂点の間隔（Ｌ）は０．１〜
３０ｍｍ程度、ハーフエッチング部の金属薄板の厚さ方向の深さ（Ｔ’）は０．０３〜０．２ｍｍ程度のものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】長尺帯状の金属薄板が分断され、シャドウマスクが一面付けされた枚葉状の金属薄板の一例の説明図である。
【図２】（イ）は、図１におけるＰ部分を拡大して示す外形線の平面図である。（ロ）は、（イ）におけるＡ−Ａ’線断面図である。（ハ）は、（イ）におけるＢ−Ｂ’線断面図である。
【図３】毟りによって破断された保持部の余白部側破断残部とスカート部側破断残部の説明図である。
【図４】（ａ）は、破断残部（バリ）を発生させない技法の説明図であり、保持部が破断される前の平面図である。（ｂ）は、破断残部（バリ）を発生させない技法の説明図であり、保持部が破断された後の平面図である。
【図５】（ａ）は、本発明によるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板の片面の、外形線を拡大して示す平面図である。（ｂ）は、（ａ）及び（ｃ）におけるＸ−Ｘ’線での断面図である。（ｃ）は、本発明によるシャドウマスク用エッチング済み金属薄板の他面の、外形線を拡大して示す平面図である。
【図６】（ａ）は、図５に示すシャドウマスク用エッチング済み金属薄板から余白部が取り除かれた、片面の平面図である。（ｂ）は、（ａ）及び（ｃ）におけるＸ−Ｘ’線での断面図である。（ｃ）は、図５に示すシャドウマスク用エッチング済み金属薄板から余白部が取り除かれた、他面の平面図である。
【図７】図２に示す金属薄板において、保持部の、スカート部と余白部が連なる接続部の断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０……シャドウマスクが１面付けされた金属薄板
１１……シャドウマスク
１２……画像面部（貫通孔エリア）
１３……スカート部
１４、２４……余白部
１５……外形線
１６……貫通線
１７……保持部
１７ａ……スカート部側破断残部
１７ｂ……余白部側破断残部
１８……被破断部分
１９……窪み部
２３……本発明におけるスカート部
２５……本発明における外形線
２６……本発明における貫通線
２７……本発明における保持部
２８……本発明におけるハーフエッチング部
２９……本発明における窪み部
ａ、Ｗ……貫通線の巾
ｂ……保持部の長さ
ｃ、Ｔ……金属薄板の厚さ
ｅ……スカート部側破断残部の高さ
ｆ……余白部側破断残部の高さ
ｇ……台形の下底
ｈ……台形の上底
ｉ……台形の斜辺
ｊ、ｋ……底角の頂点
θ……底角
Ｑ……片面
Ｒ……他面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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