(57)【要約】    【課題】  厚み縦振動の３倍波を利用しており、スプリアスとなる厚み縦振動の基本波を効果的に抑圧することができ、かつ電極面積の制約が少なく、様々な周波数に対応することができるとともに、製品寸法の制約が少なく、小型化に対応し得るエネルギー閉じ込め型圧電共振部品を提供する。    【解決手段】  矩形板状の圧電基板３の第１，第２の主面３ａ，３ｂに部分的に楕円形状の第１，第２の振動電極４が形成されており、第１の振動電極４と、第２の振動電極とが圧電基板３を介して表裏対向されている、厚み縦振動モードの３倍波を利用した圧電共振子であって、振動電極４の楕円形状の長径３ａと短径３ｂとの比である扁平率ａ／ｂが１．２〜１．４５の範囲とされている、エネルギー閉じ込め型圧電共振部品１。【選択図】      図１
2005198216.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み縦振動モードの３倍波を利用したネルギー閉じ込め型圧電共振部品であって、
第１，第２の主面を有し、第１，第２の主面を結ぶ厚み方向に分極処理されている圧電基板と、
前記圧電基板の第１の主面に部分的に形成された第１の振動電極と、
前記圧電基板の第２の主面に部分的に形成されており、第１の振動電極と圧電基板を介して対向するように配置された第２の振動電極とを有し、
前記第１，第２の振動電極が楕円形状を有するように構成されており、かつ該楕円の長径の長さをａ、短径の長さをｂとしたときに、扁平率ａ／ｂが、１．２〜１．４５の範囲とされるエネルギー閉じ込め型圧電共振子と、
前記圧電共振子の上下に積層された第１，第２のケース基板とを備え、
前記第１，第２の振動電極と第１，第２のケース基板との間には振動空間が形成されている、エネルギー閉じ込め型圧電共振部品。
【請求項２】
前記圧電基板の第１，第２の主面が、一対の長辺と一対の短辺とを有する矩形の形状を有し、前記第１，第２の振動電極の形状である楕円の短径の方向と、前記圧電基板の短辺方向とが略一致されている、請求項１に記載のエネルギー閉じ込め型圧電共振部品。
【請求項３】
前記圧電基板の第１の主面において前記第１の振動電極に連ねられており、かつ第１の主面の外周縁に向かって延ばされている第１の引出し電極と、
前記圧電基板の第２の主面において第２の振動電極に連ねられており、かつ第２の主面の外周縁に向かって延ばされている第２の引出し電極とをさらに備え、
前記第１，第２の引出し電極の幅が、前記第１，第２の振動電極の短径よりも小さくされている、請求項１または２に記載のエネルギー閉じ込め型圧電共振部品。
【請求項４】
前記第１，第２のケース基板の前記エネルギー閉じ込め型圧電共振子側の面に、第１，第２の振動電極が対向して構成されている振動部の振動を妨げないための凹部が形成されていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のエネルギー閉じ込め型圧電共振部品。
【請求項５】
前記第１，第２のケース基板と、前記圧電共振子との間に配置されており、第１，第２のケース基板をエネルギー閉じ込め型圧電共振子に接着している第１，第２の接着剤層とを備え、
第１，第２の接着剤層が、矩形枠状の形状を有し、該矩形枠状の開口内に前記第１，第２の振動電極が対向している振動部が配置されている、請求項１〜３のいずれかに記載のエネルギー閉じ込め型圧電共振部品。
【請求項６】
圧電基板の少なくとも一方面の周縁部に設けられた枠状のダンピング材をさらに備える、請求項１〜５のいずれかに記載のエネルギー閉じ込め型圧電共振部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エネルギー閉じ込め型の圧電共振部品に関し、より詳細には、厚み縦振動の高調波を利用しており、厚み縦振動の基本波を抑圧する構造が備えられたエネルギー閉じ込め型の圧電共振部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、発振子や共振子として、エネルギー閉じ込め型の圧電共振子が広く用いられている。圧電共振子では、目的とする周波数に応じて、様々な振動モードが利用されている。
【０００３】
下記の特許文献１には、厚み縦振動モードの３倍波を利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振子が開示されている。図１２及び図１３は、特許文献１に記載の圧電共振子を示す斜視図及び平面図である。
【０００４】
圧電共振子１０１は、矩形板状の圧電基板１０２を有する。圧電基板１０２の上面及び下面中央に平面形状が円形の振動電極１０３，１０４が形成されている。振動電極１０３，１０４に連ねられて、引出し電極１０５，１０６が形成されている。振動電極１０３，１０４は、圧電基板１０２を介して対向するように配置されている。圧電基板１０２は、厚み方向に分極処理されている。
【０００５】
振動電極１０３，１０４間に交流電界が印加されると、厚み縦振動モードが励振され、圧電共振子１０１では、該厚み縦振動の３倍波が利用されて、所望とする共振特性が得られている。
【０００６】
ところが、厚み縦振動が励振された場合、３倍波以外に、基本波も励振される。そして、３倍波を利用しようとした場合、基本波がスプリアスとなる。そのため、圧電共振子１０１では、基本波を抑制し得るスプリアス抑制電極部を有するように引出し電極１０５，１０６の幅が選択されている。
【０００７】
他方、下記の特許文献２には、図１４に平面図で示す、厚み縦振動の３倍波を用いた圧電共振子が開示されている。圧電共振子１１１は、矩形板状の圧電基板１１２を有する。圧電基板１１２の上面中央に楕円形状の振動電極１１３が形成されている。圧電基板１１２の下面にも、楕円形状の振動電極が形成されており、圧電基板１１２の両主面の振動電極１１３が圧電基板１１２を介して対向されている。
【０００８】
ここでは、振動電極１１３の長径をＬ1、短径をＬ2としたときに、Ｌ1／Ｌ2が１．１０〜１．７５の範囲とされており、かつ振動電極１１３の短径側に引出し電極１１４が接続されており、引出し電極１１４の幅が振動電極１１３の長径Ｌ1の０．９〜１．１倍とさ
れている。それによって、厚み縦振動とは異なる拡がり振動の高調波を積極的に励振させ、該拡がり振動の高調波を厚み縦振動の基本波に重ね合わせることにより、基本波の抑圧が図られている。
【特許文献１】特開平１１−１６８３４３号公報
【特許文献２】特開平１０−１７８３２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１に記載の圧電共振子１１１では、引出し電極１０５，１０６に上記スプリアス抑制部を構成することにより、スプリアス抑制部において意図的に厚み縦振動の基本波 を増大させ、該基本波を封止部分で抑圧することにより、基本波の抑圧が図られていた。
【００１０】
また、特許文献２に記載の構成では、厚み縦振動の基本波自体に拡がり振動の高調波を重ね合わせることにより、基本波の抑圧が図られていた。
【００１１】
従って、特許文献１，２に記載の厚み縦振動の基本波を抑圧する構造では、利用しようとする３倍波を抑圧してはならない制約の範囲において、振動電極の面積を大きくすることができなかった。そのため、電極面積を大きくしたりして、様々な周波数の共振特性を得ようとした場合、厚み縦振動の基本波を確実に抑圧することができなかった。
【００１２】
加えて、特許文献２に記載の構造では、拡がり振動の高調波を厚み縦振動の基本波に重ね合わせるため、圧電共振子の寸法自体に制約があった。そのため、様々な周波数の圧電共振子を提供することができず、かつ小型化に対応することができなかった。
【００１３】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、厚み縦振動モードの３倍波を利用するにあたり、スプリアスとなる厚み縦振動の基本波を効果的に抑圧し得るだけでなく、電極面積や圧電基板の寸法の制約が少なく、所望とする共振特性を容易に得ることができ、かつ小型化が可能な厚み縦振動モードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、厚み縦振動モードの３倍波を利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振部品であって、第１，第２の主面を有し、第１，第２の主面を結ぶ厚み方向に分極処理されている圧電基板と、前記圧電基板の第１の主面に部分的に形成された第１の振動電極と、前記圧電基板の第２の主面に部分的に形成されており、第１の振動電極と圧電基板を介して対向するように配置された第２の振動電極とを有し、前記第１，第２の振動電極が楕円形状を有するように構成されており、かつ該楕円の長径の長さをａ、短径の長さをｂとしたときに、扁平率ａ／ｂが、１．２〜１．４５の範囲とされるエネルギー閉じ込め型圧電共振子と、前記圧電共振子の上下に積層された第１，第２のケース基板とを備え、前記第１，第２の振動電極と第１，第２のケース基板との間に振動空間が形成されていることを特徴とする。
【００１５】
本発明に係るエネルギー閉じ込め型圧電共振部品のある特定の局面では、前記圧電基板の第１，第２の主面が、一対の長辺と一対の短辺とを有する矩形の形状を有し、前記第１，第２の振動電極の形状である楕円の短径の方向と、前記圧電基板の短辺方向とが略一致されている。
【００１６】
本発明に係るエネルギー閉じ込め型圧電共振部品の他の特定の局面では、前記圧電基板の第１の主面において前記第１の振動電極に連ねられており、かつ第１の主面の外周縁に向かって延ばされている第１の引出し電極と、前記圧電基板の第２の主面において第２の振動電極に連ねられており、かつ第２の主面の外周縁に向かって延ばされている第２の引出し電極とをさらに備え、前記第１，第２の引出し電極の幅が、前記第１，第２の振動電極の短径よりも小さくされている。
【００１７】
本発明に係るエネルギー閉じ込め型圧電共振部品のさらに他の特定の局面では、前記第１，第２のケース基板の前記エネルギー閉じ込め型圧電共振子側の面に、第１，第２の振動電極が対向して構成されている振動部の振動を妨げないための凹部が形成されている。
【００１８】
本発明に係るエネルギー閉じ込め型圧電共振部品のさらに別の特定の局面では、前記第１，第２のケース基板と、前記圧電共振子との間に配置されており、第１，第２のケース 基板をエネルギー閉じ込め型圧電共振子に接着している第１，第２の接着剤層とを備え、第１，第２の接着剤層が、矩形枠状の形状を有し、該矩形枠状の開口内に前記第１，第２の振動電極が対向している振動部が配置されている。
【００１９】
本発明に係るエネルギー閉じ込め型圧電共振部品のさらに他の特定の局面では、圧電基板の少なくとも一方面の周縁部に設けられた枠状のダンピング材がさらに備えられる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係るエネルギー閉じ込め型圧電共振部品では、第１，第２の振動電極が楕円形状を有し、楕円の長径の長さをａ、短径の長さをｂとしたときに、扁平率ａ／ｂが１．２〜１．４５の範囲とされている。従って、厚み縦振動の基本波が振動電極の側方において大きく変位する。よって、該厚み縦振動の基本波が大きく変位する部分を封止することにより、厚み縦振動の３倍波の振動にさほど影響を与えることなく、厚み縦振動の基本波を効果的に抑圧することができる。
従って、厚み縦振動の３倍波を利用した良好な共振特性を有するエネルギー閉じ込め型圧電共振部品を提供することができ、かつ電極の寸法の制約が少ないため、様々な周波数の圧電共振部品を容易に提供することが可能となるとともに、圧電共振部品の小型化を図ることができる。
【００２１】
圧電基板の第１，第２の主面が、一対の長辺と一対の短辺とを有する矩形の形状を有し、第１，第２の振動電極の形状である楕円の短径の方向と圧電基板の短辺方向とが略一致されている場合には、厚み縦振動の基本波が、振動電極から圧電基板の短辺方向外側において強く励振される。従って、厚み縦振動の基本波の強く励振されている上記部分を封止することにより、厚み縦振動の基本波を効果的に抑圧することができる。
【００２２】
本発明に係るエネルギー閉じ込め型圧電共振部品において、第１，第２の引出し電極の幅が、第１，第２の振動電極の短径よりも小さくされている場合には、引出し電極による不要な重なり部を少なくすることができ、これにより、３倍波の振動付近に発生するスプリアスを抑制することができる。
【００２３】
本発明に係るエネルギー閉じ込め型圧電共振部品において、第１，第２のケース基板のエネルギー閉じ込め型圧電共振子側の面に振動部の振動を妨げないための凹部が形成されている場合には、該凹部により振動部の振動が妨げない。従って、厚み縦振動の３倍波にさほど影響を与えることなく、本発明に従って厚み縦振動の基本波が封止部分により効果的に抑圧されて、良好な共振特性を有するエネルギー閉じ込め型圧電共振部品を提供することができる。
【００２４】
本発明において、第１，第２のケース基板が、矩形枠状の第１，第２の接着剤層を介してエネルギー閉じ込め型圧電共振子に積層されており、該矩形枠状の開口内に凹部が配置されている場合には、該接着剤層の矩形枠状の開口により振動部の振動を妨げないための空洞が形成される。従って、厚み縦振動の３倍波の振動にさほど影響を与えることなく本発明に従って厚み縦振動の基本波を効果的に抑圧することが可能となるエネルギー閉じ込め型圧電共振部品を提供することができる。
【００２５】
特に、本発明に係るエネルギー閉じ込め型圧電共振部品では、前述した凹部や接着剤層の開口により空洞を形成した構造において、厚み縦振動の基本波が大きく変位する位置を接着剤層により封止される部分とすることにより、より一層厚み縦振動の基本波を効果的に抑圧することができ、良好な共振特性を得ることができる。
【００２６】
また、圧電基板の少なくとも一方面の周縁部に設けられた枠状のダンピング材が備えら れている場合には、該ダンピング材により基本波を散乱・減衰させ、基本波をより効果的に抑圧することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２８】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る圧電共振部品を示す分解斜視図である。圧電共振部品１は、エネルギー閉じ込め型圧電共振子２を有する。
【００２９】
エネルギー閉じ込め型圧電共振子２は、矩形板状の圧電基板３を用いて構成されている。圧電基板３は、チタン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミックスにより構成されており、第１，第２の主面３ａ，３ｂを結ぶ方向である厚み方向に分極処理されている。
【００３０】
また、圧電基板３の第１の主面３ａは、一対の長辺と、一対の短辺とを有する矩形形状を有する。第２の主面３ｂは第１の主面３ａと同じ形状を有する。
【００３１】
第１の主面３ａの中央には、平面形状が楕円である第１の振動電極４が部分的に形成されている。圧電基板３の第２の主面３ｂにも、同じ楕円形状の第２の振動電極が形成されており、第１，第２の振動電極は、圧電基板３を介して表裏対向するように配置されている。
【００３２】
第１の振動電極４に連ねられて、第１の引出し電極５が形成されている。引出し電極５は、第１の主面３ａの外周縁に向かって延ばされており、本実施形態では、主面３ａの一方の短辺側に延ばされている。引出し電極５は、該短辺に沿うように設けられた接続電極６に連ねられている。
【００３３】
接続電極６は、主面３ａの短辺方向に延び、その両端が一対の長辺に至るように配置されている。
【００３４】
圧電基板３の第２の主面３ｂにおいても、同様に第２の振動電極に接続された第２の引出し電極及び第２の引出し電極に接続された第２の接続電極が配置されている。もっとも、第２の引出し電極及び第２の接続電極は、端面３ｃとは反対側の端面３ｄ側に配置されている。
【００３５】
なお、本実施形態では、第１の振動電極４、第１の引出し電極５及び第１の接続電極６並びに主面３ｂ側に形成された第２の振動電極、第２の引出し電極及び第２の接続電極は、Ｎｉ、Ｃｒ及びＡｇを含む合金により構成されているが、これらを構成する電極材料は特に限定されない。また、これらの電極は、蒸着もしくはスパッタリング等の薄膜形成法により形成されている。
【００３６】
エネルギー閉じ込め型の圧電共振子２の上方には、第１のケース基板７が矩形枠状の接着剤層８を介して積層され、接合されている。また、圧電共振子２の下方においては、第２のケース基板９が、矩形枠状の接着剤層１０及び矩形枠状のダンピング材１１を介して貼り合わされている。第１，第２のケース基板７，９は、平板状の形状を有する。第１，第２のケース基板７，９は、絶縁性セラミックスなどの適宜のセラミックス、あるいは合成樹脂などにより構成され得る。
【００３７】
接着剤層８，１０は、エポキシ樹脂系接着剤などの適宜の接着剤により構成され得る。接着剤層８，１０は、矩形枠状の形状を有し、開口８ａ，１０ａを有する。開口８ａ，１ ０ａは、第１の振動電極４と第２の振動電極とが対向している振動部の振動を妨げないための空洞を形成するために用いられている。
【００３８】
矩形枠状のダンピング材１１は、例えばエポキシ系樹脂などにより構成されており、該ダンピング材１１は、接着剤層８，１０に比べて弾性率が高い材料で構成されており、それによって厚み縦振動の基本波を散乱・減衰させる機能を有する。また、基本波を散乱・減衰させるために、ダンピング材中での基本波の波長をλとしたとき、ダンピング材１１及び接着剤層１０は、合計でλ／４の偶数倍の厚みが必要となる。よって、本実施形態では、ダンピング材１１は、４０μｍ以上の厚みとされる。なお、基本波は圧電基板の両面において発生するため、それぞれを効果的に抑圧するにはダンピング材は圧電基板の両面に設けられていることが好ましいが、本実施形態のように片面においてのみダンピング材１１が設けられている場合においても、該片面において厚み縦振動の基本波を効果的に抑圧することができる。
【００３９】
なお、図１において、ケース基板及び圧電共振子の側面に斜線を付して示されている電極膜１５Ａ〜１５Ｃ，１５Ｄ〜１５Ｆは、外部との接続のための電極を示す。図１では、圧電共振部品１が分解されて示されているため、外部電極１５Ａ〜１５Ｃの一部が、それぞれ、ケース基板及び圧電基板の側面に分割されて図示されている。
【００４０】
本実施形態の圧電共振部品１の特徴は、圧電共振子２において、第１，第２の振動電極が楕円の形状を有し、該楕円の長径の長さをａ，短径の長さをｂとしたときに、扁平率ａ／ｂが、１．２〜１．４５の範囲とされていることにある。それによって、厚み縦振動の基本波を効果的に抑圧することができる。これを、具体的な実験例に基づき説明する。
【００４１】
圧電共振子２を構成する圧電基板３として、長さＬ２．５ｍｍ×幅Ｗ２．０ｍｍ×厚み０．２３ｍｍのチタン酸鉛系セラミックスからなる圧電基板を用意した。そして、図３に略図的に示すように、第１，第２の振動電極として、長径ａが１．００、短径ｂが０．７５ｍｍ、扁平率ａ／ｂ＝１．３３となるように、第１，第２の振動電極を形成した。また、上記接着剤層８，１０としては、図２に示す開口部の長辺側寸法ｄａ＝２．１０ｍｍ、短辺側の寸法ｄｂ＝１．６０ｍｍとした。また、接着剤層８，１０の厚みは０．０５ｍｍとした。ダンピング材１１の平面形状は、図２に示す開口部の長辺側寸法ｄａ＝１．９０ｍｍ、短辺側寸法ｄｂ＝１．２０ｍｍとし、その厚みは０．０５ｍｍとした。
【００４２】
このように構成された圧電共振部品１と、比較のために、振動電極の面積Ｓ＝０．５９ｍｍ2は等しいが、振動電極が円形であることを除いては、上記実施形態と同様にして構
成された比較例の圧電共振部品を用意した。上記実施形態及び比較例の圧電共振部品の共振特性を測定した。
【００４３】
図４は、本実施形態及び比較例の圧電共振装置における基本波の位相の最大値及び３倍波の位相の最大値を示す。
【００４４】
図４から明らかなように、円形の振動電極を用いた比較例の圧電共振部品では、３倍波の位相の最大値に比べて、基本波の位相の最大値がはるかに大きいのに対し、本実施形態の圧電共振部品では、３倍波の位相の最大値が、基本波の位相の最大値よりもかなり大きくなっていることがわかる。すなわち、本実施形態によれば、比較の圧電共振部品に比べて、厚み縦振動の基本波を効果的に抑圧し、利用する３倍波の共振特性を有効に利用し得ることがわかる。
【００４５】
このように、本実施形態において、このような効果が得られる理由は、第１，第２の振動電極を楕円形の電極とすることにより、厚み縦振動の基本波の振動電極短径方向の振動 形態が変化し、接着剤層による封止部に近い部分で厚み方向に大きな変位を有するのに対し、３倍波は楕円形状になっても、変位が大きく変わらないためと考えられる。
【００４６】
そこで、本願発明者は、変位を有限要素法により、上記実施形態及び比較例の圧電共振部品における振動形態を解析した。
【００４７】
図５及び図６は、上記解析結果を示し、図５は厚み縦振動の基本波における圧電基板Ｙ軸方向の変位を、図６は厚み縦振動の３倍波の圧電基板のＹ軸方向における変位分布を示す。なお、Ｙ軸方向とは、図７に示すように、楕円形状の振動電極４の短径方向、すなわち圧電基板３の短辺方向である。円形の電極についても、圧電基板の短辺方向をＹ軸方向とした。
【００４８】
図５から明らかなように、第１，第２の振動電極を円形から楕円形とした場合、Ｙ＝±０．４ｍｍ付近において、厚み縦振動の基本波の変位が大きくなることがわかる。すなわち、円形の振動電極の場合には、この地点における変位が小さく、従って、周囲の接着剤層からなる封止部によって基本波が抑圧される効果が小さいことがわかる。これに対して、本実施形態では、Ｙ＝±０．４ｍｍ付近で厚み縦振動の基本波の変位が大きいため、封止部によって基本波が効果的に抑圧され得る。
【００４９】
また、図６から明らかなように、厚み縦振動の３倍波では、円形の振動電極及び楕円形の振動電極の間で、Ｙ軸方向における変位に殆ど差がみられなかった。
【００５０】
従って、図５及び図６からも明らかなように、第１，第２の振動電極が楕円形とされている本実施形態の圧電共振部品では、封止部、すなわち接着剤層８，１０による封止により、Ｙ軸方向に沿って伝播する厚み縦振動の基本波が効果的に抑圧されることがわかる。
【００５１】
また、楕円形の振動電極の形状を変化させた場合、基本波の抑圧効果がどのように変化するかを調べた。図８に示すように、振動電極の形状を、円形（扁平率ａ／ｂ＝１．０）と、扁平率ａ／ｂが１．１０、１．２６及び１．３３の楕円とした場合の各圧電共振部品の上記Ｙ軸方向における厚み縦振動の基本波の変位分布を示す図である。図８から明らかなように、扁平率ａ／ｂを１．０から１．３３まで変動させた場合、扁平率が１．３３に近づくにつれて、Ｙ＝±０．４ｍｍ付近の変位が大きくなることがわかる。
【００５２】
図９は、振動電極の面積Ｓを０．６２ｍｍ2とし、扁平率を変化させた場合の厚み縦振
動の基本波の位相最大値の変化を示す。図９から明らかなように、扁平率が１．２〜１．３の間で位相が極小となることがわかる。すなわち、扁平率ａ／ｂが１．２と１．３との間で基本波の抑圧効果が最も大きくなることがわかる。また、円形の電極、すなわち扁平率＝１．０の場合に比べて、扁平率が１．２〜１．４５の範囲であれば、厚み縦振動の基本波の位相の最大値が４０度以下となることがわかる。従って、本実施形態では、上記のように、楕円形状の第１，第２の振動電極の扁平率ａ／ｂが１．２〜１．４５の範囲とされ、それによって厚み縦振動の３倍波を利用した場合のスプリアスとなる基本波を効果的に抑圧することができ、良好な共振特性の得られることがわかる。
【００５３】
図１０は、上記実施形態の圧電共振部品の変形例を説明するための分解斜視図である。この変形例に係る圧電共振部品２１は、ダンピング材１１を用いなかったことを除いては、上記実施形態の圧電共振部品１と同様に構成されている。従って、同一部分については同一の参照番号を付することにより、その詳細な説明を省略する。圧電共振部品２１のように、ダンピング材１１を必ずしも設けずともよい。もっとも、上記実施形態により、ダンピング材１１を用いることにより、厚み縦振動の基本波をより効果的に抑圧することができる。
【００５４】
図１１は、本発明の第２の実施形態に係る圧電共振部品を説明するための分解斜視図である。
【００５５】
圧電共振部品３１では、第１の実施形態の圧電共振部品１と同様に構成された圧電共振子２が用いられている。異なるところは、ケース基板７，９に代えて、圧電共振子２に積層される面に凹部が形成されているケース基板を用いていること、並びに空洞を形成するための接着剤層に代えて、厚みの薄い接着剤層が用いられていることにある。
【００５６】
すなわち、図１１に示すように、圧電共振子２の第１の主面上には、フィルム状接着剤３２を介して第１のケース基板３３が積層されており、圧電共振子２の第２の主面３ｂ側には、フィルム状接着剤３４を介して第２のケース基板３５が接合されている。第２のケース基板３５では、上面凹部３５ａが形成されている。凹部３５ａは、振動部の振動を妨げないための空洞を形成するために設けられている。図１１では、明瞭ではないが、第１のケース基板３３の下面にも同様に凹部が形成されている。
【００５７】
このように、本発明に係る圧電共振部品では、振動部の振動を妨げないための空洞は、凹部を有するケース基板３３，３５を用いることにより構成されてもよい。この場合には、フィルム状接着剤３２，３４の厚みは薄くともよい。また、フィルム状接着剤に代えて、矩形枠状に接着剤を接着面に塗布してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一実施形態に係る圧電共振部品の分解斜視図。
【図２】第１の実施形態の圧電共振部品における振動部の振動を妨げないための空間の寸法を説明するための模式的平面図。
【図３】第１の実施形態で用いられている圧電共振子の平面図。
【図４】円形の振動電極を用いた比較例の圧電共振装置と、第１の実施形態の圧電共振装置とにおける厚み縦振動の基本波及び３倍波の位相の最大値を示す図。
【図５】第１の実施形態及び比較例の圧電共振装置における、振動電極の中心を通り圧電基板の短辺方向と平行な方向のＹ軸に沿う厚み縦振動の基本波の変位分布を示す図。
【図６】第１の実施形態及び比較例の圧電共振装置における、振動電極の中心を通り圧電基板の短辺方向と平行な方向のＹ軸に沿う厚み縦振動の３倍波の変位分布を示す図。
【図７】図５及び図６に示されているＹ軸方向の意味を説明するための振動電極の模式的平面図。
【図８】振動電極の扁平率ａ／ｂを変化させた場合のＹ軸方向に沿う厚み縦振動の基本波の変位分布を示す図。
【図９】扁平率ａ／ｂを変化させた場合の厚み縦振動モードの基本波の位相の最大値の変化を示す図。
【図１０】第１の実施形態の圧電共振部品の変形例を示す分解斜視図。
【図１１】第２の実施形態に係る圧電共振部品を説明するための分解斜視図。
【図１２】従来のエネルギー閉じ込め型圧電共振子の一例を示す斜視図。
【図１３】図１２に示した従来のエネルギー閉じ込め型圧電共振子の平面図。
【図１４】従来のエネルギー閉じ込め型圧電共振子の他の例を説明するための平面図。
【符号の説明】
【００５９】
１…圧電共振部品
２…エネルギー閉じ込め型圧電共振子
３…圧電基板
３ａ，３ｂ…第１，第２の主面   ３ｃ…端面
３ｄ…端面
４…第１の振動電極
５…第１の引出し電極
６…第１の接続電極
７…第１のケース基板
８…接着剤層
９…第２のケース基板
１０…接着剤層
１１…ダンピング材
１５Ａ〜１５Ｆ…外部電極
２１…圧電共振部品
３１…圧電共振部品
３２…接着剤
３３…第１のケース基板
３４…接着剤
３５…第２のケース基板
３５ａ…凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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