(57)【要約】【課題】半導体集積回路設計における回路の動作不良の原因となる寄生容量値と寄生抵抗値の発生個所を視覚的に理解しやすく表示する半導体表示装置を提供する。【解決手段】物理形状情報と着目配線情報と寄生容量・抵抗情報を読み込み、簡易形状データ生成手段２１５により、表示対象回路における着目配線をＸＹ座標平面上で直線状に変形する座標変換を行い、簡易形状データを生成し、相対位置データ生成手段２１６により、着目配線との相対的な位置が保存されるように寄生容量・抵抗の原因となる配線等の座標も変換し、相対位置データを生成し、簡易形状データと相対位置データを表示することにより、寄生容量・抵抗の所在を効果的に表示することを可能とする。【選択図】図２
2005327021.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半体集積回路の配線パターンを表示する回路表示装置であって、
半導体集積回路に含まれる配線要素の各配線層における位置及び前記配線要素の所在する配線層を示すデータである物理形状情報と、表示対象となる半導体集積回路の各配線層の基盤層からの距離を示すデータである配線構造情報と、寄生容量、寄生抵抗のうち少なくとも一つの前記半導体集積回路中の所在位置を示すデータである寄生・容量抵抗情報とを読み込む入力手段と、
前記物理形状情報と前記配線構造情報から、前記半導体集積回路中の特定配線に含まれる配線要素の三次元座標系における座標値である配線要素座標値を抽出した後、前記特定配線を垂直方向から見た形状が直線状となるように前記配線要素座標値を変換した簡易形状データを生成する簡易形状データ生成手段と、
関連寄生容量・抵抗情報と前記物理形状情報から容量または寄生抵抗の所在位置を示す三次元の座標値である寄生容量・抵抗座標値を抽出し、前記特定配線との相対的な位置関係が保存されるように前記寄生容量・抵抗座標値を変換した相対位置データを生成する相対位置データ生成手段と、
前記簡易形状データと前記相対位置データを画像として表示する表示手段を備えることを特徴とする回路表示装置。
【請求項２】
前記簡易形状データ及び前記相対位置データを軸測投影することにより二次元の座標値を求め、前記二次元の座標値に基づく画像を表示することを前記表示手段に指示する投影手段を備えることを特徴とする請求項１記載の回路表示装置。
【請求項３】
前記入力手段は、前記半導体集積回路中の着目配線を特定する情報を入力する着目配線特定情報入力部を備え、前記着目配線を前記特定配線として扱うことを特徴とする請求項１記載の回路表示装置。
【請求項４】
前記入力手段は、各寄生容量・抵抗の発生原因の種別を含む寄生容量・抵抗データを読み込み、前記表示手段は、寄生容量・抵抗の発生原因の種別を表示することを特徴とする請求項１記載の回路表示装置。
【請求項５】
半体集積回路の配線パターンを表示する回路表示方法であって、
半導体集積回路に含まれる配線要素の位置及び前記配線要素の所在する配線層を示すデータである物理形状情報と、表示対象となる半導体集積回路の各配線層の基盤層からの距離を示す配線構造情報と、寄生容量、寄生抵抗のうち少なくとも一つの前記半導体集積回路中の所在位置を示すデータである寄生・容量抵抗情報とを読み込む入力ステップと、
前記物理形状情報と前記配線構造情報から、前記半導体集積回路中の特定配線に含まれる配線要素の三次元座標系における座標値である配線要素座標値を抽出した後、前記特定配線を垂直方向から見た形状が直線状となるように前記配線要素座標値を変換した簡易形状データを生成する簡易形状データ生成ステップと、
関連寄生容量・抵抗情報と前記物理形状情報から寄生容量または寄生抵抗の所在位置を示す三次元の座標値である寄生容量・抵抗座標値を抽出し、前記特定配線との相対的な位置関係が保存されるように前記寄生容量・座標値を変換した相対位置データを生成する相対位置データ生成ステップと、
前記簡易形状データと前記相対位置データを画像として表示する表示ステップを備えたことを特徴とする回路表示方法。
【請求項６】
半体集積回路の配線パターンを表示する回路表示プログラムであって、
半導体集積回路に含まれる配線要素の位置及び前記配線要素の所在する配線層を示すデータである物理形状情報と、前記表示対象となる半導体集積回路の各配線層の基盤層からの距離を示す配線構造情報と、寄生容量、寄生抵抗のうち少なくとも一つの前記半導体集積回路中の所在位置を示すデータである寄生・容量抵抗情報とを読み込む入力ステップと、
前記物理形状情報と前記配線構造情報から、前記半導体集積回路中の特定配線に含まれる配線要素の三次元座標系における座標値である配線要素座標値を抽出した後、前記特定配線を垂直方向から見た形状が直線状となるように前記配線要素座標値を変換した簡易形状データを生成する簡易形状データ生成ステップと、
関連寄生容量・抵抗情報と前記物理形状情報から寄生容量または寄生抵抗の所在位置を示す三次元の座標値である寄生容量・抵抗座標値を抽出し、前記特定配線との相対的な位置関係が保存されるように前記寄生容量・座標値を変換した相対位置データを生成する相対位置データ生成ステップと、
前記簡易形状データと前記相対位置データを画像として表示する表示ステップを備えたことを特徴とする回路表示プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路の配線パターンにおける寄生容量値、寄生抵抗値の発生箇所を効率的に確認することを目的とした回路表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体集積回路の微細化が進む中、寄生抵抗や、配線要素同士の寄生容量が原因となるタイミングエラーが発生し、回路の誤動作を引き起こすという問題がある。
【０００３】
このため、半導体集積回路の設計時に、半導体集積回路の配線パターンのいかなる箇所で、いかなる値の寄生容量や寄生抵抗が発生しているかを知ることは、回路の誤動作を改善するために必要不可欠である。寄生容量・寄生抵抗に関する情報は、「Ｌａｙｏｕｔ  Ｐａｒａｓｔｉｃ  Ｅｘｔｒａｃｔｉｏｎ」の頭文字をとって、「ＬＰＥ情報」と呼ばれる。ＬＰＥ情報を表示することは、半導体の設計上重要になっており、配線パターンと寄生容量値や寄生抵抗値を表示する装置として、パターン自動圧縮装置などが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、近年では、Ｓｙｎｏｐｓｙｓ社のＲａｐｈａｅｌ（Ｒ）などに代表される三次元で図示した配線パターンと寄生容量値や寄生抵抗値を表示する装置などがある。
【０００４】
図１３は、前述したＲａｐｈａｅｌ（Ｒ）等従来の回路表示装置が、寄生容量値と寄生抵抗値を具体的に表示したイメージを模式的に示す図である。
【０００５】
図１３において、回路表示装置８０１は、寄生容量値と寄生抵抗値を数値で表示する寄生容量・抵抗情報表示部８０２と、寄生容量・抵抗情報表示部８０２で表示している寄生容量値と寄生抵抗値の発生箇所周辺の配線等の物理形状を、三次元物理情報で表示する三次元物理情報表示部８０３とを備えており、寄生容量・寄生抵抗に関する情報を表示していた。
【特許文献１】特開平７−２９７２８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記従来の構成では、配線形状を本来の複雑な物理形状のままで表示していたので視覚的に理解しにくく、利用者が、着目する配線の寄生容量値、寄生抵抗値の発生している配線要素や、着目配線要素と寄生容量値発生の原因となる配線要素を確認するのは煩雑であり、確認作業が効率的に行えなかったという課題を有していた。
【０００７】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、寄生容量、寄生抵抗と着目配線の相互の位置関係を視覚的に把握しやすく表示することにより、利用者が寄生容量値や寄生抵抗値の発生している配線要素の確認作業と、寄生容量値や寄生抵抗値の発生原因となる配線要素の確認の効率化を可能とした寄生容量値と寄生抵抗値の表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記従来の課題を解決するために、本発明の回路表示装置は、半体集積回路の配線パターンを表示する回路表示装置であって、半導体集積回路に含まれる配線要素の各配線層における位置及び前記配線要素の所在する配線層を示すデータである物理形状情報と、表示対象となる半導体集積回路の各配線層の基盤層からの距離を示すデータである配線構造情報と、寄生容量、寄生抵抗のうち少なくとも一つの前記半導体集積回路中の所在位置を示すデータである寄生・容量抵抗情報とを読み込む入力手段と、前記物理形状情報と前記配線構造情報から、前記半導体集積回路中の特定配線に含まれる配線要素の三次元座標系における座標値である配線要素座標値を抽出した後、前記特定配線を垂直方向から見た形状が直線状となるように前記配線要素座標値を変換した簡易形状データを生成する簡易形状データ生成手段と、関連寄生容量・抵抗情報と前記物理形状情報から容量または寄生抵抗の所在位置を示す三次元の座標値である寄生容量・抵抗座標値を抽出し、前記特定配線との相対的な位置関係が保存されるように前記寄生容量・座標値を変換した相対位置データを生成する相対位置データ生成手段と、前記簡易形状データと前記相対位置データを画像として表示する表示手段を備えたことを特徴としている。
【０００９】
本構成によって、特定配線が簡易化された単純な形状で表示されるとともに前記特定配線に関連する寄生容量・寄生抵抗が特定配線との相対的な位置関係が理解できるように表示されるので、寄生容量、寄生抵抗と特定配線の相互の位置関係を視覚的に把握しやすく表示することができる。
【００１０】
さらに、本発明の回路表示装置は、前記簡易形状データ及び前記相対位置データを軸測投影することにより二次元の座標値を求め、前記二次元の座標値に基づく画像を表示することを前記表示手段に指示する投影手段を備えることを特徴としている。
【００１１】
本構成により、簡易形状で表された特定配線と前記特定配線に関連する寄生容量・寄生抵抗の位置関係が軸測投影された画像として表現され、相互の位置関係をより分かりやすく表現することができる。
【００１２】
さらに、本発明の回路表示装置は、半導体集積回路中の着目配線を特定する情報を入力する着目配線特定情報入力部を備えることを特徴としている。
【００１３】
本構成により、利用者は、着目したい配線を特定し、前記配線を簡易直線形状で表示して、関連する寄生容量・寄生抵抗を表示することにより、着目したい配線に関連する寄生容量・寄生抵抗を表示することができる。
【００１４】
さらに、本発明の回路表示装置の入力手段は、各寄生容量・抵抗の発生原因の種別を含む寄生容量・抵抗データを読み込み、表示手段は、寄生容量・抵抗の発生原因の種別を表示することを特徴としている。
【００１５】
本構成により、特定配線と前記特定回線に関連する寄生容量・寄生抵抗の相対的な位置関係に加え、寄生容量や寄生抵抗が何を原因として生じたか、たとえば配線によって生じたのかコンタクトによって生じたのかを知ることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の回路表示装置によれば、半導体集積回路の配線パターンにおける着目配線とそれに関連する寄生容量・寄生抵抗の相対的な位置関係を視覚的に分かりやすく表示することができ、寄生容量・寄生抵抗の発生箇所を特定する確認作業を効率的に行うことができる。
【００１７】
また、特定配線と当該特定回線に関連する寄生容量・寄生抵抗の相対的な位置関係に加え、寄生容量や寄生抵抗が何を原因として生じたか、たとえば配線によって生じたのかコンタクトによって生じたのかを知ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１９】
図１は、本発明の実施の形態にかかる回路表示装置に表示対象の半導体集積回路の配線パターン（以下、単に回路という。）における着目配線と当該着目配線に関連して発生する寄生容量及び寄生抵抗が表示された状態を示す図であり、具体的に表示したイメージを図示している。
【００２０】
図１において、１０１は表示手段であり、液晶やＣＲＴ等のディスプレイを用いる。表示されているのは、着目配線の配線要素１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、１４ｅ）、端子１５（１５ａ）、寄生容量の原因となるノード１６（１６ｂ）、寄生容量の値１７（１７ａ、１７ｂ）、寄生容量の原因となる基盤１８、寄生容量の原因となるコンタクト１９、寄生抵抗の値２０である。
【００２１】
図２は、本実施の形態にかかる回路表示装置の構成を示すブロック図である。本実施の形態の、回路表示装置は、外部記憶装置２０１、処理装置２０２と表示装置１０１から構成されている。
【００２２】
外部記憶装置２０１は、半導体修正回路中の配線の長さや配置位置を表す物理形状情報２０３と、基盤層から各配線層までの配線層までの距離を表す配線構造情報２０４と、寄生容量値と寄生抵抗値を表すＬＰＥ情報２０５と、ＬＰＥ情報２０５を表示させたい配線の配線名を表す着目配線特定情報２０６を記憶している。
【００２３】
処理装置２０２は、具体的にはパーソナルコンピュータ上などでコンピュータ・プログラムを稼動させ、各種の機能を実現するものである。処理装置２０２は、物理形状情報２０３を読み込む物理形状情報入力部２０７、配線構造情報２０４を読み込む配線構造情報入力部２０８、着目配線特定情報２０６を読み込む着目配線特定情報入力部２１０、ＬＰＥ情報２０５を読み込むＬＰＥ情報入力部２０９から構成される入力手段２１８を具備している。
【００２４】
物理形状情報テーブル２１１は、物理形状情報２０３が物理形状情報入力部２０７によって処理装置２０２に取り込まれて、主記憶装置（図示せず）上に生成されるもので物理形状情報２０３が格納されているテーブルである。物理形状情報テーブル２１１の詳細は、後述する図３に示している。
【００２５】
配線構造情報テーブル２１２は、配線構造情報２０４が配線構造情報入力部２０８によって処理装置２０２に取り込まれて、主記憶装置（図示せず）上に生成されるもので配線構造情報２０４が格納されているテーブルである。配線構造情報テーブル２１２の詳細は、後述する図４に示している。
【００２６】
着目配線情報テーブル２１４は、着目配線特定情報２０６が着目配線特定情報入力部２１０によって処理装置２０２に取り込まれて、主記憶装置（図示せず）上に生成されるもので着目配線特定情報２０６が格納されているテーブルである。着目配線情報テーブル２１４の詳細は、後述する図６に示している。
【００２７】
簡易形状データ生成手段２１５は、物理形状情報テーブル２１１、配線構造情報テーブル２１２、着目配線情報テーブル２１４から、着目回線に含まれる配線要素の三次元座標系における座標値を抽出し、さらに着目配線を垂直方向から見ると直線状になるように当該座標値を変換し、簡易形状データを生成するものである。
【００２８】
相対位置データ生成手段２１６は、着目配線情報テーブル２１４とＬＰＥ情報テーブル２１３から着目配線に関連する寄生容量・寄生抵抗の原因となる配線要素を求め、物理形状情報テーブル２１１と配線構造情報テーブル２１２を参照して当該配線要素の三次元座標系における座標値を求めたうえ、前記簡易形状データを参照して、簡易形状に変換後の着目配線との相対的な位置関係が保存されるように変換して寄生容量・寄生抵抗の着目配線との相対的な位置関係を示す座標値であるＬＰＥ位置データを生成する。
【００２９】
投影手段２１７は、簡易形状データと相対位置データを、軸測投影により、二次元の座標系に投影した座標値を生成し、当該座標値に基づく画像の表示を表示手段１０１にするものである。
【００３０】
図３は、物理形状情報テーブル２１１の内容を示す説明図である。物理形状テーブル２１１は、配線名フィールド３０１、配線要素名フィールド３０２、始点Ｘ座標フィールド３０３、始点Ｙ座標フィールド３０４、終点Ｘ座標フィールド３０５、終点Ｙ座標フィールド３０６、配線幅フィールド３０７、および配線層フィールド３０８を具備している。そして、一つの配線要素に、当該テーブルの１レコードが対応している。
【００３１】
配線名フィールド３０１は、半導体集積回路中の配線を識別する配線名を格納するフィールドである。配線名には、「ネット１」、「ネット２」等の配線名が格納されている。
【００３２】
従って、配線名が同一のレコードには、同一の配線を構成する配線要素に関するデータが格納されていることになる。配線要素名フィールド３０２は、配線を構成する各要素を識別するための名称である配線要素名を格納するフィールドである。配線要素には、ノード（通常の配線）、コンタクト（ノード間の接点）がある。ノードの場合は、配線要素名として「ノード１」、「ノード２」等が付されており、コンタクトの場合は、配線要素名として、「コンタクト１」、「コンタクト２」等が付されている。
【００３３】
配線要素は直線形状であり、直線の両端点の一方を始点、もう一方の端点を終点とする。始点、終点の位置は、水平方向をＸ軸、垂直方向をＹ軸で表現した二次元座標値で表現し、始点の座標値を始点Ｘ座標フィールド３０３と、始点Ｙ座標フィールド３０４の２つの値で表す。また、終点の座標値を終点Ｘ座標フィールド３０５と、終点Ｙ座標フィールド３０６の２つの値で表す。ノードは、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に延びており、コンタクトは始点、終点とも同一のＸ座標、Ｙ座標を持つ。また、配線要素は幅を持ち、いずれかの配線層に属しているので、幅を表す数値を、配線幅フィールド３０７に、属している配線層を識別する名称または符号を配線層情報フィールド３０８に格納する。
【００３４】
図４は、配線構造情報テーブル２１２の内容を示す説明図である。配線層名フィールド４０１は、配線層を識別するための名称である配線層名である。基盤層からの距離フィールド４０２は、各配線層が基盤層からどれくらい離れているかを示す距離の情報を表す。図４に示した例では、基盤層からの距離を直接基盤層からの距離フィールド４０１に格納しているが、すぐ下の配線層からの距離を格納する構成としてもよい。
【００３５】
図５は、ＬＰＥ情報テーブル２１３の内容を示す図である。ＬＰＥ情報テーブル２１３は、寄生抵抗値テーブル５０１と、寄生容量値テーブル５０２との２つのテーブルから構成される。寄生抵抗値テーブル５０１は、配線名を特定する配線名フィールド５０３と、配線要素名を特定する配線要素名フィールド５０４と、寄生抵抗の値を示す寄生抵抗値フィールド５０５から構成されている。つまり、１レコードには、特定配線の特定の配線要素に寄生する寄生容量値が検索時のキーとなる配線名、配線要素とともに格納されているので、配線名と配線要素名を特定すれば、当該配線要素に寄生する寄生抵抗値を知ることができる。
【００３６】
寄生容量値テーブル５０２は、配線名を特定する配線名フィールド５０３と、配線要素名を特定する配線要素名フィールド５０４と、寄生容量発生の原因となる関係配線とその配線要素名を特定する関係配線名フィールド５０６、関係配線要素名フィールド５０７と、配線容量の値を示す寄生容量値フィールド５０８から構成される。たとえば、１レコード目の、配線名は、「ネット１」、配線要素名は「ノード１」、関係配線名は「ネット２」関係配線要素名は、「ノード１」で、寄生容量は、「０．２５」である。これは、「ネット１」の「ノード１」に関連する寄生容量の原因となる配線要素は、「ネット２」の「ノード１」であり、発生する寄生容量の値は、０．４４ｐＦであることを意味している。
【００３７】
一方、２レコード目の配線名は、「ネット１」、配線要素名は「グランドネット」である。これは、「ネット１」の「ノード３」と基盤層の間で寄生容量が生じていることを示す。寄生容量は、配線要素と基盤層の間でも発生するので、基盤層については、関係配線名を「グランドネット」、関係配線要素名を「ＶＳＳ」として、識別できるようにしているのである。
【００３８】
図６は、着目配線情報テーブル２１４の内容を示す図であり、着目配線情報テーブル２１４は、着目したい配線を特定する配線名を表す着目配線名フィールド６０１のみで構成される。図７は、本実施の形態における回路表示装置がデータを読み込んでから、画像を表示するまでの処理を示すフローチャートであり、ステップＳ１からＳ１３までの処理ステップで構成される。
【００３９】
図８は、配線と配線要素の関係を示した説明図である。ここで示す配線は、５つの配線要素（９０１、９０２、９０３、９０４、９０５）から構成されている。それぞれの配線要素の長さをＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５であり、それぞれ、９１０、９１１、９１２、９１３、９１４で示す。
【００４０】
図９は、配線要素の接続順序を定義した配線要素接続順情報テーブルの内容の内容を説明した図であり、配線のある端点から数えて何番目の配線要素であるかを定義した接続順序フィールド９０６と、配線要素を特定する名称を示す配線要素名フィールド９０７と、配線要素の長さを示す長さフィールド９０８と、配線要素の配線の方向を示す配線方向フィールド９０９から構成される。
【００４１】
図１０は、配線の簡易直線形状生成方法を示す説明図である。１００１〜１００５は、それぞれ配線要素であるノード１〜５の簡易直線形状を示しており、１００６と１００７はそれぞれ、配線要素（ノード１）の簡易直線形状１００１の始点座標値、終点座標値である。１００８と１００９は、それぞれ配線要素（ノード２）の簡易直線形状１００２の始点座標値、終点座標値である。１０１０と１０１１は、それぞれ配線要素（ノード３）の簡易直線形状１００３の始点座標値、終点座標値である。１０１２と１０１３は、それぞれ配線要素（ノード４）の簡易直線形状１００４の始点座標値、終点座標値である。１０１４と１０１５は、それぞれ配線要素（ノード５）の簡易直線形状１００５の始点座標値、終点座標値である。
【００４２】
図１１と図１２は、着目する配線要素の配線方向がＸ方向の場合と、Ｙ方向の場合における関係配線要素の簡易直線形状の始点座標値と終点座標値の決定方法を示した図である。着目する配線要素１１０１は、ＬＰＥ情報を表示する配線に含まれる配線要素を示しており、関係配線要素１１０２は、配線要素１１０１に発生するＬＰＥ情報である寄生容量の発生原因となる配線要素を示している。配線要素１１０１の始点と終点の座標値は、それぞれ、始点座標値１１０３と終点座標値１１０４で示している。また、関係配線要素１１０２の始点と終点の座標値は、着目配線要素始点座標値１１０５と着目配線要素終点座標値１１０６で示す。
【００４３】
また、着目配線要素１１０１を簡易直線形状に変換すると、その形状は着目配線要素の簡易直線形状１１０７となるが、変換後の始点座標値を１１０９、終点座標値を１１１０とする。このとき、関係配線要素１１０２の簡易直線形状は、関係配線要素の簡易直線形状１１０８となる。関係配線要素の簡易直線形状１１０８における始点座標値１１１１、終点座標値１１１２は、着目配線要素の簡易直線形状の始点座標値、終点座標値をもとにして、１１１３、１１１４で示す計算式で求められる。
【００４４】
次に、本実施の形態にかかる回路表示装置が、データを読み込んでから画像を表示するまでの処理手順について図７を中心に適宜図８、図９、図１０、図１１、図１２を用いて説明する。
【００４５】
まず、入力手段２１８の行なう処理について説明する。入力手段２１８の行なう処理は、図７のフローチャートでは、ステップＳ１からステップＳ４までで表されている。物理形状情報入力部２０７、配線構造情報入力部２０８、ＬＰＥ情報入力部２０９、着目配線特定情報入力部２１０は、それぞれ、物理形状情報２０３、配線構造情報２０４、ＬＰＥ情報２０５、着目配線特定情報２０６からの入力処理を行い、物理形状情報テーブル２１１、配線構造情報テーブル２１２、ＬＰＥ情報テーブル２１３、着目配線情報テーブル２１４を作成する（ステップＳ１、ステップＳ２、ステップＳ３、ステップＳ４）。この段階の処理は、外部記憶装置２０１にあるデータを読み込んで、主記憶装置上のテーブルに格納するものである。
【００４６】
次に、簡易形状データ生成手段２１５の行なう処理について説明する。簡易形状データ生成手段２１５の行なう処理は、図７のフローチャートでは、ステップＳ５からステップＳ９まで表されている。まず、着目配線情報テーブル２１４の配線名フィールド６０１に列挙されている配線名をひとつ選び（たとえば「ネット１」）、着目配線の配線名とする。そして、着目配線の配線名と一致する配線名を、物理形状情報テーブル２１１の配線名フィールド３０１の配線名から求め、それに関する配線要素名３０２と、始点Ｘ座標３０３と、始点Ｙ座標３０４と、終点Ｘ座標３０５と、終点Ｙ座標３０６と、配線幅３０７と、配線層３０８とを、着目配線を構成する配線要素の物理形状情報とする（ステップＳ５）。
【００４７】
次に、着目配線を構成する配線要素を図８で示すようにＸＹ座標系に配置した場合に、各配線要素同士の始点、終点のＸ座標値、Ｙ座標値が一致しているところを確認する。この各配線要素の始点、終点の一致しているところを配線要素の接続点とする。たとえば、「ネット１」を着目配線とした場合、「ノード１」の終点Ｘ、Ｙ座標が（１０、１００）であり、「ノード２」の始点Ｘ、Ｙ座標が（１０、１００）で一致していることから、（１０、１００）が最初の接続点である。同様に（１００、１００）が次の接続点である。このようにして、着目配線についてすべての接続点を求め、着目配線が最初のノードの始点から終点まで接続されていることを確認する。
【００４８】
そして、各配線要素のＸＹ始点座標値（Ｘ、Ｙ）の値の小さいものから、配線要素を並べ、その並び順を持って配線要素の接続順序とし、図９の配線要素接続順序情報テーブルを作成する。また、この時、各配線要素の長さ（９１０、９１１、９１２、９１３、９１４）と配線の方向を調べ、図９の配線要素接続順序情報テーブルの配線要素長フィールド９０８と配線方向フィールド９０９に記憶しておく。（ステップＳ６、ステップＳ７）配線要素の長さを調べるには、（終点Ｘ座標−始点Ｘ座標）の値と（終点Ｙ座標−終点Ｙ座標）の値を求め、正の値となる方を配線要素の長さとすればよい。配線要素は、Ｘ方向またはＹ方向のみに長さを持つからである。たとえば、配線要素「ノード１」の長さは、１００−１０＝９０となり、Ｙ座標方向に長さをもつことから、配線方向はＹ方向である。
【００４９】
さらに、これら配線要素の属性である配線層の基盤層からの距離を配線構造情報テーブル２１２から求め、配線要素の始点と終点のＺ座標とする。たとえば、配線要素「ノード１」については、図３における３０８を見ると、配線層が「Ｍ２」であることが分かる。そして、図４の配線構造情報テーブルを見ると配線層「Ｍ２」の基盤層からの距離は４であることから、「ノード１」のＺ座標は４であることが知られる。（ステップＳ８）以上の処理により、図９の配線要素接続順テーブルを作成することができる。
【００５０】
図１０にここまで生成した情報を元に、着目配線の三次元簡易直線形状を生成する方法を示す。本来、着目配線の物理形状は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸で表現される座標系において、Ｘ方向、またはＹ方向に配線方向を持つ配線要素の集まりであるが、ここでは、Ｘ方向の配線方向を持つ配線要素をＹ方向の配線方向をもつ配線要素に変化させることで、三次元簡易直線形状を生成する。つまり、着目配線をＺ方向（垂直方向いわゆる真上）から見ると、図８に示すように折れ線状をしているのであるが、これを、長さを変化させずに、いわばＹ軸方向に引っ張るような変形を行なう。
【００５１】
まず、全ての配線要素の配線方向を、Ｙ方向に変化させ、まず、図９の配線要素接続順序情報テーブルから接続順序（９０６）のもっとも小さい配線要素ノード１（１００１）の配置位置を決定する。ノード１の始点の配置座標は、図３の物理形状情報テーブルの始点Ｘ座標３０３と始点Ｙ座標３０４、そしてステップＳ８で求めたＺ座標とした座標値（ｘ１、ｙ１、ｚ１）とする。また終点の配置座標値は、始点座標値に対し、Ｙ座標方向に配線要素ノード１の長さＬ１（９０８）だけ移動した個所（ｘ１、ｙ１＋Ｌ１、ｚ１）とする。次に、図９の配線要素接続順序情報テーブルから接続順序のひとつ大きい配線要素ノード２の配置座標値を決定する。配線要素ノード２の始点の配置座標値は、Ｘ座標とＹ座標を、直前に配置した配線要素ノード１の終点Ｘ座標、Ｙ座標と同一の座標値とし、Ｚ座標については、そしてステップＳ８で求めたＺ座標とした座標値とする。その結果、配線要素ノード２の始点の配置座標は（ｘ１、ｙ１＋Ｌ１、ｚ２）となる。つまり、配線要素ノード１と配線要素ノード２の配線層の違いによりＺ座標だけを変化させたものである。配線要素ノード２の終点座標値は、配線要素ノード１の終点座標値の決定方法と同様に、始点に対しＹ座標方向に配線要素の長さＬ２だけ移動した座標値（ｘ１、ｙ１＋Ｌ１＋Ｌ２、ｚ２）とする。着目配線に含まれる他の配線要素についても、これと同様の方法で、始点終点の配置座標値を決定することで、着目配線の三次元簡易直線形状を決定することができる。すなわち、配線要素がＸ軸方向の長さを持っていても、始点を軸として９０度回転させてＹ軸方向に伸びるように変形して順次Ｙ軸方向に接続していく変換を行なう。
【００５２】
次に、ＬＰＥ情報テーブル２１３から、着目配線情報テーブル２１４に配線名６０１が列挙されている配線それぞれについての配線要素名５０４と、関係配線要素名５０７と、寄生抵抗値５０５と、寄生容量値５０８とを抽出し、関係配線要素名５０７をキーとして物理形状情報テーブル２１１と配線構造テーブル２１２を参照し、当該関係配線要素の三次元座標系における座標値を求める。（ステップＳ１０）。以上述べた方法によると、着目配線は垂直方向から見ると（ＸＹ平面に投影すると）完全な直線になるように変形されるが、完全な直線でなくても、直線状の簡明な形状に変換されるのであれば、他の方法を用いても良い。次に、相対位置データ生成手段２１６の行なう処理について説明する。相対位置データ生成手段２０６の行なう処理は、図７のフローチャートではステップＳ１０からステップＳ１２までで構成されている。まず、ステップＳ１０では、着目配線情報テーブル２１４とＬＰＥ情報テーブル２１３を参照して、着目配線に関連するＬＰＥ情報を抽出する。
【００５３】
着目配線情報テーブル２１４を参照すると、最初の着目配線は、「ネット１」であることが分かるので、寄生抵抗テーブルから配線名５０３の値が、「ネット１」であるレコードを抽出することにより、着目配線である「ネット１」に関連する寄生抵抗に関するデータを抽出することができる。さらに、寄生容量値テーブル５０２から、配線名５０３の値が「ネット１」となっているレコードを抽出することができる。
【００５４】
ステップＳ１１では、着目配線に関連する寄生抵抗、寄生容量の原因となる配線要素の座標値を求め、三次元簡易形状に変形した着目配線との相対的な位置が保存されるように、座標値を変換する。まず、寄生抵抗は、着目配線を電流が流れることにより生ずるものであるので、原因となる配線要素は、着目配線の配線要素そのものである。したがって、寄生抵抗の原因となる配線要素の求める座標は、着目配線を構成する配線要素の座標そのものであり、すでに求められている。
【００５５】
一方、寄生容量は、着目配線を構成する配線要素と別の配線の配線要素がコンデンサを形成することにより生ずるものである。たとえば、寄生容量値テーブル５０２の最初のレコードは、「ネット１」の「ノード３」と「ネット２」の「ノード１」がコンデンサを形成する形になっており。０．４４ｐＦの寄生容量が生じていることを示している。したがって、寄生容量の原因となる配線要素については、座標の変換が必要である。関係配線要素の三次元簡易直線形状と、配線要素の三次元簡易直線形状に対する相対的な位置関係は、そもそもの配線要素の物理形状と、関係配線要素の物理形状の相対的な位置関係と変わりないものとする。つまり、配線要素の変形にともない、関係配線要素もそれに付随して、相対的な位置関係を変えることなく移動すると考える。そのため、関係配線要素の簡易形状の始点、終点の座標値は、配線要素の三次元簡易直線形状の始点、終点の座標値が決定すれば、それに従属する形で決定される。
【００５６】
図１１は、先に配置位置を決定した配線要素の配線方向がＸ方向である場合の関係配線要素の簡易直線形状を求める方法を示した説明図であり、また、図１２は、先に配置位置を決定した配線要素の配線方向がＹ方向である場合の関係配線要素の簡易直線形状を求める方法を示した説明図である。先に配置位置を求めた配線要素のもとの始点座標値１１０３を（ｘ１、ｙ１）とし、終点座標値１１０４を（ｘ２、ｙ２）とし、さらに、配線要素に発生するＬＰＥ情報の発生原因となる関係配線要素の始点座標値、終点座標値をそれぞれ（ｘ３、ｙ３）、（ｘ４、ｙ４）とする。また、着目配線要素の簡易直線形状の始点、終点の配置座標値をそれぞれ（ｘ５、ｙ５）、（ｘ６、ｙ６）とすると、関係配線要素の簡易直線形状の始点、終点の配置座標値は、１１１３、１１１４で示す計算式により、それぞれ、（ｘ７、ｙ７）、（ｘ８、ｙ８）と決定することができる。理由は、以下の通りである。
【００５７】
まず、着目する配線要素がＸ方向に長さを持つ場合、すなわち、図１１の場合を考える。変形前の配線要素の始点の座標は（ｘ１、ｙ１）であり、関係配線要素の始点は（ｘ３、ｙ３）である。すなわち、関係要素の始点は配線要素の始点を基準として、Ｘ軸方向に（ｘ３−ｘ１）、Ｙ軸方向に（ｙ３―ｙ１）だけ移動した位置にある。変形により、（ｘ１、ｙ１）が（ｘ５、ｙ５）に移り、相対的な位置関係が移動しないとすると、変形は、Ｘ方向にのびている配線要素をＹ方向にのびるように変形するのであるから、９０度回転してＹ軸方向に移動することに相当する。よって、関係配線要素の始点は配線要素の始点からＸ軸方向に−（ｙ３−ｙ１）、Ｙ軸だけ移動した位置に移ることになる。したがって、関係配線要素の始点のＸ座標は、ｘ７＝ｘ５−（ｙ３−ｙ１）となり、Ｙ座標は、ｙ７＝ｙ５＋（ｘ３−ｘ１）となる。同様にして終点の座標も求めることができる。
【００５８】
次に、着目する配線要素がＹ方向に長さを持つ場合、すなわち、図１２の場合を考える。関係要素の始点は配線要素の始点を基準として、Ｘ軸方向に、（ｘ３−ｘ１）、Ｙ軸方向に−（ｙ３−ｙ１）だけ移動した位置にある。変形により、Ｙ軸方向に平行移動するだけで、回転しないのであるから、相対的なＸ座標、Ｙ座標の差は保存され、ｘ７＝ｘ５＋（ｘ３−ｘ１）、ｙ７＝ｙ５＋（ｙ３−ｙ１）という計算式が得られる。以上により、１１１３、１１１４に示す計算式が得られた。
【００５９】
次に、寄生抵抗の表示座標について、説明する。ノードによって生ずる寄生抵抗については、当該ノードの中点を表示座標とする。当該ノードの始点のＸ座標をｘ１、Ｙ座標をｙ２、終点のＸ座標をＸ２、Ｙ座標をｙ２とすると、寄生抵抗のＸ座標は、（ｘ１＋ｘ２）／２、Ｙ座標は、（ｙ１＋ｙ２）／２となる。コンタクトによって生ずる寄生抵抗については、当該コンタクトのＸ座標、Ｙ座標そのもの（始点、終点とも同一）を表示座標とする。
【００６０】
ここで求めた関係配線要素の簡易直線形状の始点と終点に、配線構造情報テーブル２１２にある基盤層からの距離をＺ座標として追加することで、関係配線要素の三次元簡易直線形状を生成することが可能である。（ステップＳ１２）また、基盤層による寄生抵抗のデータについては、寄生容量値テーブル５０２の関係配線名５０６のフィールドが「グランドネット」となったレコードに記載されている。着目配線について基盤層による寄生容量が生じている場合は、基盤層の位置は、表示対象の半導体の最下部の面であるので通常の関係配線要素のように座標を求める処理は行なわず、別途基盤層の画像を表示段階で付加する。
【００６１】
最後に、投影手段２１７と表示手段１０１の行なう処理について説明する。前述の着目配線の三次元簡易直線形状と、前述の関係配線要素の三次元簡易直線形状を重ねあわせ、さらに着目配線の三次元簡易直線形状の上に寄生容量・抵抗情報を重ねる。そして、それぞれの座標値ｘ軸を水平方向、ｚ軸を垂直方向とするｘ−ｚ平面スクリーンに軸測投影することで、着目配線と関連寄生容量・抵抗を表示する画像を生成できる。三次元座標系での座標値（ｘ、ｙ、ｚ）の軸測投影後の座標値（ｘ３、ｚ３）の算出には、下記の数式によって求まることが数学的に分かっている。ここで、αはＸ軸回りの回転角、βはＺ軸回りの回転角、γはＹ軸回りの回転角である（ステップＳ１３）。基盤層による寄生容量がある場合は、着目配線の下部に基盤層を表す図形を表示する（図１における１０８参照）。
【００６２】
ｘ１＝ｘ  ｃｏｓ（β）＋ｙ  ｓｉｎ（β）
ｙ１＝  −ｘ  ｓｉｎ（β）＋ｙ  ｃｏｓ（β）
ｚ１＝ｚ
ｘ２＝ｘ１
ｚ２＝ｚ１  ｃｏｓ（α）−ｙ１  ｓｉｎ（α）
ｘ３＝ｘ２  ｃｏｓ（γ）−  ｚ２  ｓｉｎ（γ）
ｚ３＝ｘ２  ｓｉｎ（γ）−  ｚ２  ｃｏｓ（γ）
この結果、図１に示す三次元簡易直線形状による関連寄生容量・寄生抵抗情報画像を表示する回路表示装置が実現でき、着目配線における寄生容量値、寄生抵抗値の発生個所確認作業の効率を大きく高めることができる。図１における寄生容量の値１７は、寄生容量の値を、当該寄生容量の原因となる配線要素の近傍に表示したものであり、寄生容量テーブル５０２には、寄生容量の原因となる配線要素ごとに、それによって生ずる寄生容量値が格納されているので、寄生容量の原因となる配線要素の表示位置が分かりさえすれば、容易に表示することができる。図１における寄生抵抗の値２０についても、寄生抵抗値テーブルには、寄生抵抗の原因となる配線要素の抵抗値が格納されているので、同様に寄生抵抗の値を知ることができ、寄生抵抗の原因となる配線要素の表示位置さえ分かれば容易に表示することができる。
【００６３】
なお、上記数式における、角度α、β、γは固定の値でもよいが、使用者が都度指定し、指定の回転角で表示する構成としてもよい。さらに、最初は所定の角度とし、使用者が変更を指示すれば、指示された角度で軸測投影された画像が表示される構成としてもよい。
【００６４】
また、表示装置１０１に２個のウィンドウを表示し、一のウィンドウに上記の方法で生成された画像を表示し、他のウィンドウに従来の回路表示装置と同様な方法で回路の物理的形状を表示し、使用者が回路の物理的形状と着目配線に関連する寄生容量・寄生抵抗を同時に見ることができる構成としてもよいし、物理的形状の画像と上記方法による画像を使用者の指示により切り替えて表示する構成としてもよい。
【００６５】
また、投影方法は、上記の軸測投影に限られるものではなく、三次元の形状を二次元に投影して見やすくする方法であれば、他の投影法を用いても良い。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明にかかる回路表示装置は、半導体集積回路の配線パターンを表示する装置等に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態における寄生容量値と寄生抵抗値の表示装置の説明図
【図２】本発明の実施の形態における寄生容量値と寄生抵抗値の表示装置の構成を示すブロック図
【図３】物理形状情報テーブルの説明図
【図４】配線構造情報テーブルの説明図
【図５】ＬＰＥ情報テーブルの説明図
【図６】着目配線情報テーブルの説明図
【図７】本発明の実施の形態における回路表示装置の処理手順を示すフローチャート
【図８】配線と配線要素の関係を示した説明図
【図９】配線要素接続順情報テーブルの説明図
【図１０】配線の簡易直線形状生成方法を示す説明図
【図１１】着目配線要素の配線方向がＸ方向の場合における関係配線要素の簡易直線形状決定方法を示した説明図
【図１２】着目配線要素の配線方向がＹ方向の場合における関係配線要素の簡易直線形状決定方法を示した説明図
【図１３】従来の寄生容量値と寄生抵抗値の表示装置の説明図
【符号の説明】
【００６８】
１４    着目配線の配線要素
１５    端子
１６    ノード
１７    寄生容量の値
１８    基盤
１９    コンタクト
２０    寄生抵抗の値
１０１    表示手段
２０１    外部記憶装置
２０２    処理装置
２０３    物理形状情報
２０４    配線構造情報
２０５    ＬＰＥ情報
２０６    着目配線特定情報
２０７    物理形状情報入力部
２０８    配線構造情報入力部
２０９    ＬＰＥ情報入力部
２１０    着目配線情報入力部
２１１    物理形状特定情報テーブル
２１２    配線構造情報テーブル
２１３    ＬＰＥ情報テーブル
２１４    着目配線情報テーブル
２１５    簡易形状データ生成手段
２１６    相対位置データ生成手段
２１７    投影生成手段
２１８    入力手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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