(57)【要約】【課題】  積層体の折れや積層体の表層のはがれを防止しながらコンデンサを良好に製造することができるコンデンサの製造方法を提供する。  【解決手段】  分割した積層体をスペーサー３１と交互に枠に組んだ後、分割した積層体の樹脂層と電極金属との間の層間接着のために熱処理し、前記熱処理の際に、前記スペーサー３１として、孔３１ａおよび毛細管３１ｂを有するものを用いることにより、積層体とスペーサー３１との接着を抑制することができて、表層はがれがなく、外観不良のないコンデンサ素子を製造できる。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空中において冷却ロール上に誘電体となる樹脂層と電極金属とを交互に積層してロール状積層体とし、前記ロール状積層体を冷却ロールから取り外して板状の積層体にした後、積層体を分割し、前記分割した積層体をスペーサーと交互に枠に組んだ後、分割した積層体の樹脂層と電極金属との間の層間接着のために熱処理し、この熱処理の際に、前記スペーサーとして、孔および毛細管を有するものを用いることを特徴とするコンデンサの製造方法。
【請求項２】
ロール状積層体を冷却ロールから取り外して板状の積層体にした後、湾曲した積層体が平坦になるように加圧した状態で熱処理し、この後、積層体を条に分割し、積層体をスペーサーと交互に枠に組んで層間接着のために熱処理することを特徴とする請求項１に記載のコンデンサの製造方法。
【請求項３】
スペーサーとして、表面に突起を有するものを用いることを特徴とする請求項１または２に記載のコンデンサの製造方法。
【請求項４】
スペーサーとして、表面を不活性化させたものを用いることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のコンデンサの製造方法。
【請求項５】
スペーサーの表面の不活性化を、オゾン処理、または酸素中での加熱処理、またはフッ素処理により行うことを特徴とする請求項４に記載のコンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子機器や電気機器に用いられるコンデンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空蒸着方式により有機膜と電極金属とを交互にロール上に積層するタイプのコンデンサの製造方法としては、冷却ロールより取り外して湾曲した積層体に分割し、分割した積層体を金属板の間に圧力をかけた状態で固定し、この状態で熱処理することにより、湾曲した積層体を平坦させると同時に、積層体の樹脂層と電極金属との間の層間接着を行う方法が例えば特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開平１０−３２１４６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来のコンデンサの製造方法においては以下に述べるような問題がある。すなわち、熱処理を行った際に、積層体の表面に未硬化成分が析出し、積層体が金属板に接着して、積層体の折れ、積層体の表層のはがれが発生する課題があった。
【０００４】
本発明は上記課題を解決するもので、積層体の折れや積層体の表層のはがれを防止しながらコンデンサを良好に製造することができるコンデンサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために本発明は、熱処理時に孔および毛細管を有し、さらに、突起を有する、あるいは、さらに、表面を不活性化したスペーサーを用いて、熱処理を行っている。この方法により、熱処理時の表面析出物を、スペーサーの孔または毛細管により抽出・除外することができて、接触面積を低減することができ、さらに、突起を設けたり不活性化したりすることによって、接着が抑制され、この結果、積層体の折れや積層体の表層のはがれを防止することができる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、分割した積層体をスペーサーと交互に枠に組んだ後、分割した積層体の樹脂層と電極金属との間の層間接着のために熱処理し、前記熱処理の際に、前記スペーサーとして、孔および毛細管を有するものを用いることにより、積層体とスペーサーとの接着を抑制することができて、表層はがれがなく、外観不良のないコンデンサ素子を製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明の請求項１記載のコンデンサの製造方法は、真空中において冷却ロール上に誘電体となる樹脂層と電極金属とを交互に積層してロール状積層体とし、前記ロール状積層体を冷却ロールから取り外して板状の積層体にした後、積層体を分割し、前記分割した積層体をスペーサーと交互に枠に組んだ後、分割した積層体の樹脂層と電極金属との間の層間接着のために熱処理し、この熱処理の際に、前記スペーサーとして、孔および毛細管を有するものを用いることを特徴とする。
【０００８】
この方法により、熱処理時の表面析出物を、スペーサーの孔または毛細管により抽出・除外することができて、接触面積を低減することができ、これにより接着が抑制され、積層体の折れや積層体の表層のはがれを防止することができる。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載のコンデンサの製造方法において、ロール状積層体を冷却ロールから取り外して板状の積層体にした後、湾曲した積層体が平坦になるように加圧した状態で熱処理し、この後、積層体を条に分割し、積層体をスペーサーと交互に枠に組んで層間接着のために熱処理することを特徴とする。
【００１０】
この方法により、積層体の平坦化と、積層体の層間接着とを別工程で行うため、平坦化と層間接着とをそれぞれ最適な条件で効果的に行うことができる。
請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載のコンデンサの製造方法において、スペーサーとして、表面に突起を有するものを用いることを特徴とする。
【００１１】
この方法により、接触面積をさらに低減することができて接着が抑制される。
請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何れかに記載のコンデンサの製造方法において、スペーサーとして、表面を不活性化させたものを用いることを特徴とする。
【００１２】
この方法によっても、積層体とスペーサーとの接着がさらに抑制されて、積層体の折れや積層体の表層のはがれを防止することができる。
請求項５記載の発明は、請求項４に記載のコンデンサの製造方法において、スペーサーの表面の不活性化を、オゾン処理、または酸素中での加熱処理、またはフッ素処理により行うことを特徴とする。
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図４は本実施の形態に係るコンデンサの製造方法に用いるコンデンサの製造装置を概略的に示した図である。このコンデンサの製造装置は、真空槽４６内において冷却ロール４１の表面にマージン形成ユニット４４によりオイル蒸気を所定のパターンで噴霧し、電子ビームによる電気蒸発源４２により電極金属１１（図１参照）を蒸発付着させて、オイルパターンによる電極蒸着部と非蒸着部とを得るように構成されている。そして、その上に、樹脂蒸着源４３により、誘電体となる樹脂層１２を蒸発付着させ、紫外線ランプ４５から紫外線を照射し、樹脂層１２（図１参照）のビニル基残存率を所定の硬度に調整する。マージン形成ユニット４４、電気蒸発源４２、樹脂蒸発源４３には、それぞれシャッターが設けてあり、このシャッターの開閉によりオイル、金属、樹脂の付着を調整する。また、誘電体となる樹脂層１２は熱硬化性を有している。
【００１４】
このコンデンサの製造装置を用いたコンデンサの製造方法を説明する。まず、真空槽４６内を１×１０Ｔｏｒｒの圧力とした後、マージン形成ユニット４４のオイル温度を１９０℃とし、電極蒸着源４２を所定の蒸発率を有する温度にし、樹脂蒸発源４２の温度を１５０℃とし、オイル、蒸着電源、樹脂を順に蒸発させる。この時、冷却ロール４１を４０ｍ／分のスピードで回転し、２３０Ｗの紫外線ランプ４５の紫外線を１００ｍｍの距離から照射する。実際には、上記条件が安定した後、マージンシャッター、電極蒸着源シャッター、樹脂蒸着源シャッターを開き積層を開始する。冷却ロール４１の１回転毎に樹脂層１２と電極金属１１との交互の積層ができ、所定の積層数に達したら、各シャッターを閉じて冷却ロール４１の運転を停止する。
【００１５】
次に、冷却ロール４１上から積層体２２（図２参照）を分割して取り外し、図２に示すように、この湾曲した積層体２２を金属板２１間に挟み、積層体２２が平坦になるように加圧した状態で固定する。その後、平坦した積層体２２を切断して条（略短冊形状）に分割（スリット）した後、図３に示すように、積層体２２とスペーサー３１とを枠３２内に交互に組み込んでいく。それをさらに熱処理して、電極塗布を行う。
【００１６】
さらに、上記工程を、より具体的に説明すると、本実施の形態では電極金属１１としてアルミニウムを使用し、また、樹脂層１２としてジメチロールトリシクロデカンジアクリレートを使用し、冷却ロール４１上に電極金属１１と樹脂層１２とを交互に２００層積層し、０．９ｍｍの積層体２２を得た。この時、紫外線によりビニル基の２重結合を開いて硬化反応を促進し、ビニル基の残存率を２５％とした。そして、冷却ロール４１上から積層体２２を分割して取り外し、この湾曲した積層体２２を金属板２１間に挟み、積層体２２が平坦になるように３ｋｇ／ｃｍで加圧固定した状態で高温炉の中で熱処理した。この時の熱処理条件は１５０℃で２時間であった。そして、積層体２２を切断して条（略短冊形状）に分割（スリット）した後、図３に示すように、積層体２２とスペーサー３１とを枠３２内に交互に組み込み、上記積層体２２の平坦化の際の熱処理よりも高い温度で熱処理して積層体２２の樹脂層１２と電極金属１１との間の層間接着を行わせ、最後に、電極塗布を行った。なお、冷却ロール４１から取り外す際の積層体２２の厚みは０．２ｍｍ〜５ｍｍの範囲であることが望ましく、０．２ｍｍ〜５ｍｍの範囲外では、冷却ロール４１からの取り外しの際や、湾曲した積層体２２を加圧して平板化する際に、積層体２２が割れ易くなるが、上記寸法範囲では、このような不具合が生じない。また、層間接着を行わせるための熱処理により、樹脂層１２の樹脂のビニル基の残存率が５％以下になるようにすることが望ましい。つまり、熱処理後のビニル基の残存率が５％を越える場合は、十分な接着力を得ることができず、積層体２２の積層間の密着性が悪く、耐湿性やコンデンサの性能が低下する問題を生じるが、これに対して、熱処理後のビニル基の残存率が５％以下であれば、上記のような問題を生じない。
【００１７】
ここで、スペーサー３１として、図５に示すように、孔３１ａおよび毛細管３１ｂを有するものを用いた。このように、スペーサー３１として、孔３１ａや毛細管３１ｂを有するものを用いることにより、積層体２２とスペーサー３１との接着を抑制でき、また、孔３１ａや毛細管３１ｂの大きさ（直径）を小さくすると接着確率が小さくなることが確認できた。つまり、孔３１ａや毛細管３１ｂの大きさを小さくすると、表面張力により毛細管現象が起こることで接着層となりうる積層体２２とスペーサー３１との界面の樹脂未硬化析出物を孔３１ａおよび毛細管３１ｂにより抽出・除外できる。また、孔３１ａや毛細管３１ｂの大きさ（直径）を小さくすると接触面積の低下により接着が抑制できる。この結果、積層体２２をスペーサー３１から剥がす際での積層体２２の折れや積層体２２の表層のはがれを防止することができる。
【００１８】
また、上記の実施の形態によれば、積層体２２の平坦化と、積層体２２の層間接着とを別個の熱処理工程で行うため、平坦化と層間接着とをそれぞれ最適な条件で効果的に行うことができる。
【００１９】
（実施の形態２）
この実施の形態２においても、上記実施の形態１と同様に、枠３２に積層体２２とスペーサー３１とを交互に組み、熱処理、電極塗布を行う。しかしながら、この実施の形態２では、スペーサー３１として、図６に示すように、孔３１ａおよび毛細管３１ｂを有する（図６においては略している）とともに、表面に突起３１ｃのあるものを用いた。
【００２０】
このように、スペーサー３１として表面に突起３１ｃを設けたものを用いることで、積層体２２とスペーサー３１との接触面積をさらに低下させることができ、上記実施の形態１の場合よりもさらに接触確率を低減できることができた。
【００２１】
（実施の形態３）
この実施の形態３においても、上記実施の形態１と同様に、枠３２に積層体２２とスペーサー３１とを交互に組み、熱処理、電極塗布を行う。しかしながら、この実施の形態３では、スペーサー３１として、孔３１ａおよび毛細管３１ｂを有するだけでなく、その表面をオゾン処理、酸素中で熱処理またはフッ素処理により不活性化させたものを用いた。
【００２２】
このように、スペーサー３１として、その表面を不活性化し、表面エネルギーを低下させることにより、上記実施の形態１の場合よりもさらに接着確率を低減できることが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明のコンデンサの製造方法は、電子機器や電気機器などに用いられる信頼性の高いコンデンサを製造する方法に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態に係るコンデンサの製造方法における積層体の断面図
【図２】同コンデンサの製造方法における積層体の平坦化のための熱処理方法を示す図
【図３】同コンデンサの製造方法における積層体の層間接着のための熱処理方法を示す斜視図
【図４】同コンデンサの製造方法に用いるコンデンサの製造装置を概略的に示す図
【図５】同コンデンサの製造方法に用いるスペーサーの概略的な部分切欠斜視図
【図６】同コンデンサの製造方法に用いる他のスペーサーの概略的な斜視図
【符号の説明】
【００２５】
１１    電極金属
１２    樹脂層
２１    金属板
２２    積層体
３１    スペーサー
３２    枠
４１    冷却ロール
４２    電気蒸発源
４３    樹脂蒸着源
４４    マージン形成ユニット
４５    紫外線ランプ
４６    真空槽
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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