(57)【要約】【課題】  インク内に混入した異物を吐出口以外から除去できるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】  インクジェットヘッド１は、ヒーター基板２上にオリフィスプレート４が積層され、共通液室５と、共通液室５から各吐出口３に至る複数の流路６と、共通液室５へのインク供給孔７と、大気連通溝８と、共通液室５と大気連通溝８とをつなぐ小径の連通路９と、連通路９と大気連通溝８の境界部分に位置する逆止弁１０とが設けられている。逆止弁１０は通常は閉じており、大気連通溝８側から吸引された場合にのみ開く。異物がインクに混入して流路６内または共通液室５内に存在する場合に、回復装置等を用いて大気連通溝８から吸引することによって、逆止弁１０が開いて、共通液室５や流路６中のインクおよび混入物が、連通路９を介して大気連通溝８に流入し、外部に吸引排出される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出口からインク滴を吐出するインクジェットヘッドにおいて、
インクが供給される共通液室と、前記共通液室から前記吐出口へ向かって延びる流路と、前記共通液室に接続されており大気に開放されている大気連通溝と、前記共通液室と前記大気連通溝との間に設けられている逆止弁とを有し、
前記逆止弁は、通常は閉じており、前記大気連通溝側から吸引力を受けると開いて前記大気連通溝と前記共通液室とを連通させることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記吐出口および前記流路は複数設けられており、前記各流路は前記共通液室から前記各吐出口に向けてそれぞれ延びており、
前記共通液室にインクを供給するためのインク供給孔をさらに有しており、
前記大気連通溝は、前記インク供給孔から前記吐出口に向かう途中のインクが流入可能である、請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記大気連通溝と前記共通液室は、前記大気連通溝および前記共通液室よりも断面寸法が小さい連通路を介して接続されており、前記逆止弁は前記連通路と前記大気連通溝の境界部分に設けられている、請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記逆止弁は、前記吐出口が形成されている部材に一体的に形成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
基板に、インクが供給される共通液室と、前記共通液室から延びる流路とを形成する工程と、
前記基板上に積層されるもう１つの基板に、前記流路内に位置する吐出口と、前記共通液室に接続されており大気に開放されている大気連通溝と、完成状態で前記共通液室と前記大気連通溝との間に位置する逆止弁とを形成する工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記大気連通溝と前記共通液室とを接続する、前記大気連通溝および前記共通液室よりも断面寸法が小さい連通路を、前記大気連通溝および前記共通液室と同時に前記基板に形成し、
前記もう１つの基板に、完成状態で前記連通路と前記大気連通溝の境界部分に位置するように前記逆止弁を形成する、請求項５に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記もう１つの基板を、前記基板上に塗布した樹脂層を固化させることによって形成する、請求項５または６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記もう１つの基板を、前記吐出口と前記大気連通溝と前記逆止弁とを形成する工程の後に前記基板上に積層する、請求項５または６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記大気連通溝から吸引して前記逆止弁を開き、前記共通液室内および前記流路内の異物をインクとともに除去する工程をさらに含む、請求項５〜８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
吐出口からインク滴を吐出するインクジェットヘッドにおいて、
インクが供給される共通液室と、前記共通液室から前記吐出口へ向かって延びる流路と、前記共通液室に接続されており大気に開放されている大気連通溝と、前記共通液室と前記大気連通溝との間に設けられている封止材とを有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１１】
前記封止材は、前記大気連通溝から前記共通液室内および前記流路内の異物が除去された状態で前記共通液室と前記大気連通溝との間を塞いでいる、請求項１０に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
基板に、インクが供給される共通液室と、前記共通液室から延びる流路とを形成する工程と、
前記基板上に積層されるもう１つの基板に、前記流路内に位置する吐出口と、前記共通液室に接続されており大気に開放されている大気連通溝とを形成する工程と、
前記基板と前記もう１つの基板が積層された状態で、前記大気連通溝から吸引して前記共通液室内および前記流路内の異物をインクとともに除去する工程と、
前記大気連通溝から吸引して異物を除去する工程の後に、前記封止材によって前記共通液室と前記大気連通溝の間を塞ぐことを特徴とする、インクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記大気連通溝と前記共通液室を接続する、前記大気連通溝と前記共通液室よりも断面寸法が小さい連通路を、前記大気連通溝と前記共通液室と同時に前記基板に形成する、請求項１２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録方式に用いられる記録液（インク）の小滴を形成するためのインクジェットヘッドとその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクの小滴を発生させ、それを吐出して紙等の被記録媒体に付着させて記録を行うインクジェット記録方式は、記録時の騒音が極めて小さく、かつ高速記録が可能であり、しかもインクジェットヘッドを極めて小型化できるため、カラー化および記録装置のコンパクト化が容易な記録方式である。インクジェット記録方式の１つに、発熱素子によってインクを加熱して発泡させ、この気泡の成長を利用してインクを吐出するタイプがある。
【０００３】
近年の記録技術の進展に伴い、インクジェット記録技術にも、より高密度かつ高精度の記録が求められている。この要求を満たすインクジェットヘッドとして、例えば特許文献１には、フォトリソグラフィ技術を用いて、溶解可能な樹脂にて基体上にインク流路パターンを形成し、パターニングされた溶解可能な樹脂層上にエポキシ樹脂を被覆して硬化させ、基体を適宜切断した後に溶解可能な樹脂を溶出して除去する方法が提案されている。
【特許文献１】特開平６−２８６１４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述した従来の製造方法によると、高密度かつ高精度の記録を行えるインクジェットヘッドを得ることができるものの、近年では、記録スピードのさらなる高速化や記録のさらなる高品質化が求められているため、インクジェットヘッドの吐出口の数が多くなるとともに、吐出口の寸法が極めて小さく（具体的には吐出口径が数十〜十数μｍ程度から、数μｍ程度）なってきている。
【０００５】
そのため、インクジェットヘッドの製造工程中やユーザーの手元に渡った後に、インク内に混入した異物が吐出口に詰まってしまうと、吐出不能を引き起こす恐れがある。この場合、記録装置本体に設けられている回復装置を用いて吐出口からインクを吸引しようとしても、吐出口が異物より小さいと異物を除去できなかったり、吸引の結果吐出口に異物が詰まってしまうことが考えられる。このような異物を除去するために、吐出口の近傍に吐出口よりも寸法の大きいダミー吐出口を形成することも提案されているが、その場合にも吐出口とダミー吐出口とを同時に吸引してしまうため、やはり吐出口に異物が詰まってしまう恐れがあった。
【０００６】
そこで本発明は、インク内に混入した異物を吐出口以外から除去することができるインクジェットヘッドとその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の特徴は、吐出口からインク滴を吐出するインクジェットヘッドにおいて、インクが供給される共通液室と、共通液室から吐出口へ向かって延びる流路と、共通液室に接続されており大気に開放されている大気連通溝と、共通液室と大気連通溝との間に設けられている逆止弁とを有し、逆止弁は、通常は閉じており、大気連通溝側から吸引力を受けると開いて大気連通溝と共通液室とを連通させるところにある。この構成によると、吐出口ではなく大気連通溝から吸引することによって、共通液室内および流路内の異物を除去することができる。そして、逆止弁が設けられており、運転停止時や通常の記録中には逆止弁が閉じるためインク漏れ等を起こすおそれはなく正常な動作が行え、大気連通溝から吸引された時にのみ逆止弁が開いて異物除去が行える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によると、吐出口ではなく大気連通溝から吸引して、共通液室内および流路内の異物を除去することができるため、吐出口が非常に小さい場合であっても、異物が詰まって吐出不能になることが抑制できる。すなわち、異物が吐出口に詰まることや、異物を吐出口から吸引除去することを考慮する必要がなく、寸法の小さい吐出口を形成することができるため、高精細の記録を可能にするために有効である。
【０００９】
大気連通溝と共通液室の間に逆止弁が設けられた構成の場合には、ユーザーが任意のタイミングで、または定期的に繰り返し異物の除去を行うことができ、メンテナンスが簡単になる。
【００１０】
一方、大気連通溝と共通液室の間に封止部材が設けられた構成の場合には、インクジェットヘッドおよびその周囲に圧力変動が生じたり衝撃が加わったりしても、インク漏れの事故を起こすことがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して具体的に説明する。
【００１２】
本発明のインクジェットヘッドは、図示しないがインクジェット記録方式の記録装置（プリンタ等）に装着されて、被記録媒体に対してインク滴を吐出してそれを被記録媒体に付着させて記録を行うものである。以下に示すインクジェットヘッドは、流路内のインクに吐出エネルギーを付与して吐出口から外部に吐出するものであり、吐出エネルギーとして、加熱によるインクの発泡圧が利用される。なお、記録（プリント）とは、意味を有する文字や図形や画像などの形成に限らず、意味を持たない模様やデザインなどの形成も含む。
【００１３】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態のインクジェットヘッドの構成について、図１，２を参照して説明する。
【００１４】
本実施形態のインクジェットヘッド１は、図示しない複数の吐出エネルギー発生素子（ヒーター）が設けられたヒーター基板２上に、各ヒーターに対応して設けられた複数の吐出口３を有するオリフィスプレート４が積層された構成であり、ヒーター基板２とオリフィスプレート４との間に、共通液室５と、共通液室５から各吐出口３に向けてそれぞれ延びており各々がヒーターを内蔵している複数の流路６が構成されている。ヒーター基板２には、共通液室５にインクを供給するインク供給孔７が設けられている。オリフィスプレート４には大気連通溝８が設けられている。そして、ヒーター基板２とオリフィスプレート４との間に、共通液室５と大気連通溝８とをつなぐ、共通液室５および大気連通溝８よりも小径の連通路９が形成されており、連通路９と大気連通溝８の境界部分には逆止弁１０が設けられている。逆止弁１０は、通常時、すなわち記録装置の停止時や記録動作中には図２（ａ）に示すように閉じた状態であり、大気連通溝８側から吸引された場合にのみ図２（ｂ）に示すように開く構成である。
【００１５】
このインクジェットヘッド１によると、通常の記録動作は従来のインクジェットヘッドと同様に行える。そして、異物がインクに混入して流路６内または共通液室５内に存在する場合には、図示しない回復装置等を用いて大気連通溝８から吸引することによって、図２（ｂ）に示すように逆止弁１０が開いて、共通液室５や流路６中のインクが連通路９を介して大気連通溝８に流入し、外部に吸引排出される。この時に、インクに混入していた異物も外部に排出される。このように本実施形態のインクジェットヘッド１によると、吐出口３ではなく大気連通溝８から異物を排出することができるので、異物を排出するために吐出口３の寸法を大きくする必要がなくなる。従って、吐出口３の寸法を従来より小さく（例えば直径５μｍ程度に）して高精細の記録と記録装置のコンパクト化を可能にしつつ、異物が吐出口３に詰まることによる吐出不能を抑制でき、また、万一吐出口３に異物が詰まったとしても詰まりを容易に解消できる。なお、大気連通溝８と共通液室５とを直接接続するのではなく、共通液室および大気連通溝に比べて小径の連通路９を設け、その連通路９と大気連通溝８の境界に逆止弁１０を設ける構成であるため、逆止弁１０を小型化でき製造が簡単になる。
【００１６】
本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法について、図３，４を参照して詳細に説明する。まず、複数のヒーターが形成されているヒーター基板２上に、逆止弁１０を形成するための犠牲層１１を形成する（ステップ１０１）。この犠牲層１１は、アルミニウムなど、最終的に化学的に除去可能な材料から形成する。次に、流路６、共通液室５、連通路９、および大気連通溝８の壁の一部となる流路壁層１２を形成し、フォトリソグラフィ技術を用いて所望の形状にパターニングする（ステップ１０２，図４（ａ）参照）。ここで、流路壁層１２の作用の１つについて説明する。逆止弁１０によって連通路９を確実に遮断するためには、図２（ａ）に示すように連通路９よりも断面形状が大きい（例えば図２（ａ）の上下方向に長い）逆止弁１０を用いることが好ましく、そのような構成を可能にするために、連通路９の底面は、逆止弁１０の揺動範囲である大気連通溝８よりも１段高く形成される。そのために、流路壁層１２が連通路９の底面部分に位置して大気連通孔８の底面部分よりも高くなっている。
【００１７】
次に、最終的に流路６、共通液室５、および連通路９となる部分に、溶解可能な固体層であるレジスト層１３を塗布する。レジスト層１３は、例えばポリメチルイソプロペニルケトンからなるポジ型のレジストであり、フォトリソグラフィ技術を用いて流路６および共通液室５の形状にパターニングする（ステップ１０３，図４（ｂ）参照）。
【００１８】
続いて、被覆樹脂層を形成し、その被覆樹脂層に、流路６、共通液室５、および連通路９の壁や、大気連通溝８や、吐出口３（図１参照）を形成してオリフィスプレート４を構成する（ステップ１０４，図４（ｃ）参照）。被覆樹脂層はネガ型感光性エポキシ樹脂から構成され、密着性向上のためにシランカップリング処理などが行われていてもよい。具体的には、被覆樹脂層は、従来知られているコーティング法などによって、流路６等のパターンが形成されたヒーター基板２上に塗布することができ、それからフォトリソグラフィ技術によってパターニングしてオリフィスプレート４にすることができる。
【００１９】
その後、異方性エッチング法、サンドブラスト法、異方性プラズマエッチング法などによって、ヒーター基板２に裏面側からインク供給孔７を形成する（ステップ１０５，図４（ｄ）参照）。最も好ましくは、テトラメチルヒドロキシアミン（ＴＭＡＨ）やＮａＯＨやＫＯＨ等を用いた化学的シリコン異方性エッチング法によってインク供給孔７を形成する。
【００２０】
続いて、紫外光（Ｄｅｅｐ−ＵＶ光）による全面露光を行った後、現像および乾燥を行って、レジスト層１３を除去する（ステップ１０６）。最後に、犠牲層１１を酸で除去して逆止弁１０を形成する（ステップ１０７，図４（ｅ）参照）。
【００２１】
一般的には、以上の工程によってヘッド構成部分を、所望のインクジェットヘッド１の大きさよりも大面積のヒーター基板２上に形成するので、このヒーター基板２およびその上の積層体をダイシングソーなどにより所望の大きさに分離切断する（ステップ１０８）。その後、分離切断されたヘッド構成部分に、図示しないがヒーター（発熱抵抗体）を駆動するための電気的接合部材とインク供給部材を接合して（ステップ１０９）、インクジェットヘッド１を完成させる。
【００２２】
このような方法で１００個のインクジェットヘッド１を製造し、それらにインクを供給し、吐出口３ではなく大気連通溝８から吸引して流路６内の異物を排出した。その後、記録検査を行ったところ、良品率は９８％と良好な結果を示した。さらに、このインクジェットヘッド１を記録装置本体（図示せず）に装着して記録を行ったところ、１００００枚程度は異物による吐出不能が発生することなく記録できた。
【００２３】
以上説明した通り、本実施形態によると、大気連通溝８から吸引することによって、共通液室５から各吐出口に至る前に、異物をインクとともに大気連通溝８から除去することが可能になる。そして、大気連通溝８と共通液室５は、それらに比べて断面寸法の小さい連通路９を介して接続されており、逆止弁１０は連通路９と大気連通溝８の境界部分に設けられている。従って、逆止弁１０による開閉動作が容易になり、逆止弁１０が形成し易くなる。なお、逆止弁１０は、吐出口３が形成されているオリフィスプレート４に一体的に形成されていると形成が容易であり、特に、逆止弁１０が感光性樹脂からなるとフォトリソグラフィ技術を用いて容易に形成できる。さらに、逆止弁１０は少なくとも１層のポリイミド樹脂層を含むのが好ましい。
【００２４】
また、本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法において、大気連通溝８から吸引して逆止弁１０を開き、共通液室５内および流路６内の異物をインクとともに除去する工程を含むことが好ましい。これによって、高い確率で異物が除去された信頼性の高いインクジェットヘッドが得られる。さらに、インクジェットヘッド１の完成後においても、図示しない回復手段等を用いて、適宜のタイミングで大気連通溝８から吸引して異物をインクとともに除去することができる。
【００２５】
［第２の実施形態］
次に本発明の第２の実施形態について説明する。本実施形態のインクジェットヘッドの基本構成は第１の実施形態と同様なので説明は省略する。第１の実施形態との主な相違点である、本実施形態のインクジェットヘッドの製造方法について図５，６を参照して説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分については同一の符号を付与して説明を省略する。
【００２６】
本実施形態では、ヒーター基板２とオリフィスプレート４とにそれぞれ各部材を形成して個別に完成させた後に、互いに貼り合わせる方法を採用している。
【００２７】
ヒーター基板２上に、ネガ型感光性エポキシ樹脂からなる流路壁層１２を塗布形成し、フォトリソグラフィ技術によって所望の形状にパターニングする（ステップ１０２，図６（ａ）参照）。流路壁層１２は、密着性向上のためにシランカップリング処理などが施されていていてもよく、スピンコート法など従来知られているコーティング法を適宜選択して塗布することができ、また、ドライフィルム化されたフィルムをラミネートして形成することもできる。次に、ヒーター基板２に裏面側から、異方性エッチング法、サンドブラスト法、異方性プラズマエッチング法など第１の実施形態と同様な方法で、インク供給孔７を形成する（ステップ１０５，図６（ｂ）参照）。大面積のヒーター基板２を用いている場合には、このヒーター基板２およびその上の積層体をダイシングソーなどにより所望の大きさに分離切断する（ステップ１０８）。
【００２８】
一方、ポリイミド樹脂からなるフィルム１４（図６（ｃ）参照）に、エキシマレーザー加工等によって大気連通溝８と逆止弁１０と吐出口３を形成して、オリフィスプレート４を作成する（ステップ１１０，図６（ｄ）参照）。
【００２９】
このようにして個別に完成させたヒーター基板２とオリフィスプレート４とを互いに重ね合わせて接合し（ステップ１１１，図６（ｅ）参照）、それに、図示しないがヒーター（発熱抵抗体）を駆動するための電気的接合部材とインク供給部材を接合して、第１の実施形態と同様なインクジェットヘッド１を完成させる（ステップ１０９）。
【００３０】
このような方法で１００個のインクジェットヘッド１を製造し、それらにインクを供給し、吐出口３ではなく大気連通溝８から吸引して流路６内の異物を排出した。その後、記録検査を行ったところ、良品率は９６％と良好な結果を示した。さらに、このインクジェットヘッド１を記録装置本体（図示せず）に装着して記録を行ったところ、１００００枚程度は異物による吐出不能が発生することなく記録できた。本実施形態でも、第１の実施形態と実質的に同じ効果が得られる。
【００３１】
［第３の実施形態］
次に本発明の第３の実施形態について説明する。本実施形態のインクジェットヘッドの基本構成は第１，２の実施形態と同様なので説明は省略する。第１，２の実施形態との主な相違点である、本実施形態のインクジェットヘッドの製造方法について以下に説明する。なお、第１，２の実施形態と同様の部分については同一の符号を付与して説明を省略する。
【００３２】
本実施形態では、ヒーター基板２とオリフィスプレート４とにそれぞれ各部材を形成して個別に完成させた後に、互いに貼り合わせる方法であって、ヒーター基板２とオリフィスプレート４の両方に積層された層を組み合わせて流路６を構成している。
【００３３】
ヒーター基板２には、ネガ型感光性エポキシ樹脂からなる第１の流路壁層１２ａを塗布形成し、フォトリソグラフィ技術によって所望の形状にパターニングする（ステップ１０２，図８（ａ）参照）。流路壁層１２ａは基板平坦化層としての作用も有し、密着性向上のためにシランカップリング処理などが施されていていてもよく、スピンコート法など従来知られているコーティング法を適宜選択して塗布することができ、また、ドライフィルム化されたフィルムをラミネートして形成することもできる。次に、ヒーター基板２に裏面側から、異方性エッチング法、サンドブラスト法、異方性プラズマエッチング法などによってインク供給孔７を形成する（ステップ１０５，図８（ｂ）参照）。最も好ましくは、テトラメチルヒドロキシアミン（ＴＭＡＨ）やＮａＯＨやＫＯＨ等を用いた化学的シリコン異方性エッチング法によってインク供給孔７を形成する。大面積のヒーター基板２を用いている場合には、このヒーター基板２およびその上の積層体をダイシングソーなどにより所望の大きさに分離切断する（ステップ１０８）。
【００３４】
一方、ポリイミド樹脂からなるフィルム１４上に第２の流路壁層（接着層）１２ｂを形成し（ステップ１１２，図８（ｃ）参照）、エキシマレーザー加工等によって、流路６および共通液室５の形状と、大気連通溝８、逆止弁１０、および吐出口３を形成してオリフィスプレート４を作成する（ステップ１１０，図８（ｄ）参照）。
【００３５】
このようにして個別に完成させたヒーター基板２とオリフィスプレート４とを互いに重ね合わせて、第１の流路壁層１２ａと第２の流路壁層１２ｂが組み合わされて所望の流路および共通液室の形状になるように接合し（ステップ１１１，図８（ｅ）参照）、それに、図示しないがヒーター（発熱抵抗体）を駆動するための電気的接合部材とインク供給部材を接合して、第１の実施形態と同様なインクジェットヘッド１を完成させる（ステップ１０９）。
【００３６】
このようにして１００個のインクジェットヘッド１を製造し、それらにインクを供給し、吐出口３ではなく大気連通溝８から吸引して流路６内の異物を排出した。その後、記録検査を行ったところ、良品率は９３％と良好な結果を示した。さらに、このインクジェットヘッド１を記録装置本体（図示せず）に装着して記録を行ったところ、１００００枚程度は異物による吐出不能が発生することなく記録できた。本実施形態でも、第１の実施形態と実質的に同じ効果が得られる。
【００３７】
［第４の実施形態］
次に本発明の第４の実施形態について説明する。本実施形態のインクジェットヘッドは、第１〜３の実施形態とは異なり逆止弁１０を有しておらず、製造時に吐出口３以外の大気連通溝８から吸引して異物を除去した後に、この大気連通溝８および／または連通路９を完全に封止された構成である。すなわち、第１〜３の実施形態と同様に共通液室５からつながる連通路９および大気連通溝８が形成されているが、完成状態では大気連通溝８および／または連通路９が封止材１５によって完全に封止されている。
【００３８】
本実施形態のインクジェットヘッドの製造方法について以下に説明する。なお、第１〜３の実施形態と同様の部分については同一の符号を付与して説明を省略する。
【００３９】
まず、ヒーター基板２上に、流路６、共通液室５、連通路９、および大気連通溝８の壁の一部となる流路壁層１２を形成し、フォトリソグラフィ技術を用いて所望の形状にパターニングする（ステップ１０２，図１０（ａ）参照）。次に、最終的に流路６、共通液室５、および連通路９となる部分に、溶解可能な固体層であるレジスト層１３を塗布する。レジスト層１３は、例えばポリメチルイソプロペニルケトンからなるポジ型のレジストであり、フォトリソグラフィ技術を用いて流路６および共通液室５の形状にパターニングする（ステップ１０３，図１０（ｂ）参照）。
【００４０】
続いて、被覆樹脂層を形成し、流路６、共通液室５、および連通路９の壁や、大気連通溝８や、吐出口３（図１参照）を形成してオリフィスプレート４を構成する（ステップ１０４，図１０（ｃ）参照）。被覆樹脂層はネガ型感光性エポキシ樹脂から構成され、密着性向上のためにシランカップリング処理などが行われていてもよい。具体的には、被覆樹脂層は、従来知られているコーティング法などによって、流路６等のパターンが形成されたヒーター基板２上に塗布することができ、それからフォトリソグラフィ技術によってパターニングしてオリフィスプレート４にすることができる。
【００４１】
その後、異方性エッチング法、サンドブラスト法、異方性プラズマエッチング法などによって、ヒーター基板２に裏面側からインク供給孔７を形成する（ステップ１０５，図１０（ｄ）参照）。最も好ましくは、テトラメチルヒドロキシアミン（ＴＭＡＨ）やＮａＯＨやＫＯＨ等を用いた化学的シリコン異方性エッチング法によってインク供給孔７を形成する。
【００４２】
続いて、紫外光（Ｄｅｅｐ−ＵＶ光）による全面露光を行った後、現像および乾燥を行って、レジスト層１３を除去する（ステップ１０６，図１０（ｅ）参照）。
【００４３】
大面積のヒーター基板２を用いている場合には、このヒーター基板２およびその上の積層体をダイシングソーなどにより所望の大きさに分離切断（ステップ１０８）した後、それに、図示しないがヒーター（発熱抵抗体）を駆動するための電気的接合部材とインク供給部材を接合する（ステップ１０９）。この時点で、大気連通溝８、連通路９、および共通液室５は開放されて大気に連通した状態のままである。そこで、図示しないが、インク供給孔７から共通液室５にインクを供給し、吐出口３ではなく大気連通溝８から吸引して流路６内の異物を排出する（ステップ１１３）。そして、樹脂製の封止材１５を、大気連通溝８と連通路９の境界部分に配設して固化させ、完全に封止する（ステップ１１４，図１０（ｆ）参照）。こうしてインクジェットヘッド１を完成させる。
【００４４】
この方法によって１００個のインクジェットヘッド１を製造し、それらの記録検査を行ったところ、良品率は９３％と良好な結果を示した。さらに、このインクジェットヘッド１にインクを供給するためのタンク（図示せず）を洗浄して、０．１μｍ間隔のメッシュのフィルタを通してこのタンクにインクを注入してインクジェットヘッド１への異物の流入を避ける構成にしてインクジェットヘッド１を記録装置本体（図示せず）に装着して、記録を行ったところ、１００００枚程度は異物による吐出不能が発生することなく記録できた。
【００４５】
本実施形態のインクジェットヘッド１は、封止材の封止前に大気連通溝から異物を吸引して除去することができ、封止材で封止した後は、インク漏れ等を起こすおそれはなく正常な動作が行える。ただし、インクジェットヘッド１の完成後に大気連通溝８から異物を吸引して除去することは困難なので、前記したように、記録時にこのインクジェットヘッド１に流入させるインクはフィルタによって濾過させることが好ましい。
【００４６】
本実施形態において、大気連通溝８と共通液室５は、それらに比べて断面寸法の小さい連通路９を介して接続されており、封止材１５は連通路９と大気連通溝８の境界部分に設けられている。従って、封止材１５による封止が容易である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１の実施形態のインクジェットヘッドの一部を示す模式的平面図である。
【図２】（ａ）は第１の実施形態のインクジェットヘッドの逆止弁を閉じた状態のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）はその逆止弁を開いた状態のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】第１の実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を示すフローチャートである。
【図４】第１の実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を工程順に示す模式的断面図である。
【図５】第２の実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を示すフローチャートである。
【図６】第２の実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を工程順に示す模式的断面図である。
【図７】第３の実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を示すフローチャートである。
【図８】第３の実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を工程順に示す模式的断面図である。
【図９】第４の実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を示すフローチャートである。
【図１０】第４の実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を工程順に示す模式的断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１      インクジェットヘッド
２      ヒーター基板
３      吐出口
４      オリフィスプレート
５      共通液室
６      流路
７      インク供給孔
８      大気連通溝
９      連通路
１０    逆止弁
１１    犠牲層
１２    流路壁層
１２ａ  第１の流路壁層（基板平坦化層）
１２ｂ  第２の流路壁層（接着層）
１３    レジスト層
１４    フィルム
１５    封止材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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