(57)【要約】      （修正有）【課題】送信側発光素子と受信側発光素子の間に最適化されたレンズを配置し、中間領域部を有するレンズの存在により、良好な結合効率で、広い位置ずれ許容量を実現すること。【解決手段】受信側発光素子と、送信側発光素子の間には前記受信側発光素子の屈折率と同じ程度の樹脂又はガラス等からなる中間領域部を有するレンズとからなること。該レンズと前記送信側発光素子との間に所定距離有する空隙部を設けてなること。前記受信側発光素子を光ファイバ又は矩形光導波路とし、送信側発光素子を光ファイバ, ＶＣＳＥＬ又は矩形光導波路としてなること。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
受信側発光素子と、送信側発光素子の間には前記受信側発光素子の屈折率と同じ程度の樹脂又はガラス等からなる中間領域部を有するレンズとからなり、該レンズと前記送信側発光素子との間に所定距離有する空隙部を設けてなることを特徴とする光接続デバイス。
【請求項２】
前記受信側発光素子を光ファイバ又は矩形光導波路とし、送信側発光素子を光ファイバ, ＶＣＳＥＬ又は矩形光導波路としてなることを特徴とする請求項１記載の光接続デバイス。
【請求項３】
前記受信側発光素子、前記送信側発光素子、前記中間領域部、前記空隙部及び前記レンズを略直列状に設けてなることを特徴とする請求項１又は２記載の光接続デバイス。
【請求項４】
前記中間領域部の長さを、前記レンズの曲率半径の約２倍以上としてなることを特徴とする請求項１、２又は３記載の光接続デバイス。
【請求項５】
光ファイバの先端及び該先端周囲に設けたコネクタ部に形成した穴状部と、ロッド付きレンズと、キャップ部とからなり、前記穴状部に前記ロッド付きレンズのロッド部が挿入され、前記キャップ部下端が前記コネクタ部上端に貼着され、前記キャップ部箇所に設けた送信側発光素子と前記ロッド付きレンズとの間で且つ前記キャップ部内に空隙部を有し、前記ロッド部の長さを、前記ロッド付きレンズの曲率半径の約２倍以上としてなることを特徴とした光接続デバイス。
【請求項６】
光ファイバの先端及び該先端周囲に設けたコネクタ部に形成した穴状部と、ボールレンズと、キャップ部とからなり、前記穴状部に光学接着充填剤が充填され、前記キャップ部下端が前記コネクタ部上端に貼着され、前記キャップ部箇所に設けた送信側発光素子と前記ロッド付きレンズとの間で且つ前記キャップ部内に空隙部を有し、前記光学接着充填剤の長さを、前記ロッド付きレンズの曲率半径の約２倍以上としてなることを特徴とした光接続デバイス。
【請求項７】
光ファイバと、該光ファイバの先端に設けられた円柱状レンズと、キャップ部とからなり、該キャップ部下端が前記コネクタ部上端に貼着され、前記キャップ部箇所に設けた送信側発光素子と前記円柱状レンズとの間で且つ前記キャップ部内に空隙部を有し、前記円柱部の長さを、前記円柱状レンズの曲率半径の約２倍以上としてなることを特徴とした光接続デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光素子と光ファイバとを光学的に結合する光接続デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
ここ数年で、情報処理装置が扱う情報量は増大の一途をたどっている。これに伴って、これらの装置を構成している電子回路基板内、基板間での処理速度の高速化が要求されている。しかしながら従来の電気信号においては配線間での信号の干渉や配線距離の長尺かによる伝搬遅延の問題が顕著になりつつある。
【０００３】
このような問題を解決する手段として、電子回路基板間での信号を光化することが注目されてきた。電気信号に比べ、光信号の伝搬には相互干渉の問題がなく、電子回路基板間での信号の光化は高速大容量伝送に適したものである。電子デバイスからの電気信号を基板上に実装した発光素子によりＯＥ変換し、光導波路等の光伝送媒体を通して光検出器へ伝送しＯＥ変化する、いわゆる基板間を光配線化するものである。
【０００４】
電子の配線の一部を光の配線で置き換えることで高速化を実現するものであるが、キャリアである電子と光子の扱いには大きな違いが存在する。光配線の場合、発光素子から出射された光は広がり、直進するといった性質のため、伝搬する導波路等に対する位置合わせが非常に重要となっている。電子回路の場合、ハンダによって接合してしまえば電子の移動は互いの伝送路の位置ずれに関係なく行われ、信号の送受信はなされる。
【０００５】
一方で、光で配線する際の結合には、結合する発光素子と光配線間の簡易的な位置合わせのためにガイドピンが用いられている。これは、発光素子が搭載されている基板側、もしくは、光配線側の両サイドに穴を設け、そこへピンを挿入することにより送信側と受信側の光軸をある程度位置合わせするものである。また、一般的に用いられている光コネクタにおいては、フェルール中心にファイバ径より少し大きな穴を作製してその中心にファイバを固定し、ファイバが固定されたフェルールそのものを一方の穴へ挿入することにより、互いの光軸を一致させている。光コネクタの種類としては、伝送機器用に高精度加工したステンレスフェルールを使用したＦＣコネクタ、ジルコニアフェルールを使用しワンタッチ脱着を可能としたＳＣコネクタ、基板実装用のＭＵコネクタなどがあり、いずれの接続も高い結合効率を実現している。
【０００６】
上記ガイドピンを使用した場合、互いの光軸はある程度一致するが高い光結合効率を得るためには発光素子と光配線間距離を近づける必要がある。また、光コネクタを使用した場合、その高い光結合を実現するために、スプリングやケプラ、カップリングナット等の部品を数多く使用し、それら部品の精度に対する要求も高い。さらに、接続損失の要因となる、端面の粗さ、端面の傾斜、うねりなど光ファイバ端面の不完全性を取り除くために、端面を研磨する必要がある。
【０００７】
そこで発光素子と光ファイバ、もしくは光ファイバ同士間距離が離れていても、高い効率で結合するための改良もされている。具体的には、光ファイバ端面にレンズ形状を作製した先球レンズが用いられている。光ファイバ端面のレンズの作製方法としては、図１６（Ａ）に示すように、レンズａを貼り付けたものや、図１６（Ｂ）に示すように、光ファイバ端面に生成したガラスｂの突起をエッチングなどにより加工したもの、図１６（Ｃ）に示すように、光ファイバ端面を加熱して作製したレンズ形状部ｃなどがある。これらのレンズａ，ガラスｂ，レンズ形状部ｃを総称して先球レンズと称する。また、図示しないが、光コネクタにおいても、端面を球面形状に研磨し、反射損失の軽減を実現したものがある。さらに特許文献１の光ファイバ端面のレンズ加工方法でも位置ずれに対して良好な結合効率を得るに至らなかった。
【特許文献１】特開２００１−３０５３８２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記先球レンズは高い結合効率が得られるものの、互いの光軸が一致している必要がある。先球レンズに位置ずれした光が入射した場合、図１６（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、集光したとしても光はクラッドｐへ入射してしまい、二度とコアｑを伝搬しないからである。光コネクタなどの互いの光軸が高い精度で合う構造を設け、先球レンズを使用することにより、高い結合効率は実現できるが、前述したようにコネクタを構成する部品の数が多いため、必然的にその実装面積は大きくなってしまう問題点がある。
【０００９】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的（技術的課題）は、光ファイバを有する光コネクタなどの光接続部において、広い位置ずれ許容量と高い結合効率を実現した光接続デバイスを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そこで、発明者は上記課題を解決すべく鋭意，研究を重ねた結果、請求項１の発明を、
受信側発光素子と、送信側発光素子の間には前記受信側発光素子の屈折率と同じ程度の樹脂又はガラス等からなる中間領域部を有するレンズとからなり、該レンズと前記送信側発光素子との間に所定距離有する空隙部を設けてなる光接続デバイスとしたことにより、前記課題を解決した。さらに、前記受信側発光素子を光ファイバ又は矩形光導波路とし、送信側発光素子を光ファイバ, ＶＣＳＥＬ又は矩形光導波路としてなる請求項１記載の光接続デバイスとしたことにより、前記課題を解決した。また、本発明においては、前記受信側発光素子、前記送信側発光素子、前記中間領域部、前記空隙部及び前記レンズを略直列状に設けてなる請求項１又は２記載の光接続デバイスとしたことにより、前記課題を解決した。
【００１１】
また、本発明においては、前記中間領域部の長さを、前記レンズの曲率半径の約２倍以上としてなる請求項１、２又は３記載の光接続デバイスとしたことにより、前記課題を解決した。さらに、本発明においては、光ファイバの先端及び該先端周囲に設けたコネクタ部に形成した穴状部と、ロッド付きレンズと、キャップ部とからなり、前記穴状部に前記ロッド付きレンズのロッド部が挿入され、前記キャップ部下端が前記コネクタ部上端に貼着され、前記キャップ部箇所に設けた送信側発光素子と前記ロッド付きレンズとの間で且つ前記キャップ部内に空隙部を有し、前記ロッド部の長さを、前記ロッド付きレンズの曲率半径の約２倍以上としてなる光接続デバイスとしたことにより、前記課題を解決した。
【００１２】
また、本発明においては、光ファイバの先端及び該先端周囲に設けたコネクタ部に形成した穴状部と、ボールレンズと、キャップ部とからなり、前記穴状部に光学接着充填剤が充填され、前記キャップ部下端が前記コネクタ部上端に貼着され、前記キャップ部箇所に設けた送信側発光素子と前記ロッド付きレンズとの間で且つ前記キャップ部内に空隙部を有し、前記光学接着充填剤の長さを、前記ロッド付きレンズの曲率半径の約２倍以上としてなる光接続デバイスとしたことにより、前記課題を解決した。さらに、本発明においては、光ファイバと、該光ファイバの先端に設けられた円柱状レンズと、キャップ部とからなり、該キャップ部下端が前記コネクタ部上端に貼着され、前記キャップ部箇所に設けた送信側発光素子と前記円柱状レンズとの間で且つ前記キャップ部内に空隙部を有し、前記円柱部の長さを、前記円柱状レンズの曲率半径の約２倍以上としてなる光接続デバイスとしたことにより、前記課題を解決した。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１の発明においては、送信側発光素子と受信側発光素子の間に最適化されたレンズを配置することにより、中間領域部を有するレンズの存在により、良好な結合効率で、広い位置ずれ許容量を実現できる。また、請求項２の発明においては、より高い結合効率で、広い位置ずれ許容量を実現できる。さらに、請求項３の発明においては、請求項１又は２の発明と同等な効果を奏する。また、請求項４の発明においては、さらに良好な結合効率で、広い位置ずれ許容量を実現できる。また、請求項５の発明においては、特に、ロッド付きレンズの存在にて、良好な結合効率で、広い位置ずれ許容量を実現できる。また、請求項６の発明においては、特に、ボールレンズ及び光学接着剤の存在にて、良好な結合効率で、広い位置ずれ許容量を実現できる。また、請求項７の発明においては、特に、円柱状レンズの存在にて、良好な結合効率で、広い位置ずれ許容量を実現できるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は本発明の光接続デバイスでの第１実施例を模式的に示した図であって、集光のための半球状のレンズと裁頭円錐とが結合されてロッド付きレンズ３として設けられた構成である。光ファイバ１の端面に、前記ロッド付きレンズ３のロッド部３ａ端が重合され、前記光ファイバ１の端部及びロッド部３ａ箇所を覆うようにコネクタ部２が設けられている。該コネクタ部２の外端にはキャップ部４が固着されている。該キャップ部４の内部は、ロッド付きレンズ３のレンズ表面との間に空隙部５が形成され、且つキャップ部４の内部の奥には送信側発光素子としてのＶＣＳＥＬ６が設けられている。
【００１５】
かかる構成において、ＶＣＳＥＬ６から出射した光は、広がりながら空隙部５なる自由空間を伝搬し、ロッド付きレンズ３によって集光される。集光された光は、ロッド付きレンズ３内のロッド部３ａを通り、受信側発光素子としての光ファイバ１へ入射する。このとき、送信側発光素子としてのＶＣＳＥＬ６が受信側発光素子としての光ファイバ１上に設けたロッド付きレンズ３と位置ずれして配置された場合、出射した光は集光とともに方向が補正され、受信側発光素子としての光ファイバ１へ入射する。このロッド部３ａの領域の長さは、送信側発光素子としてのＶＣＳＥＬ６が位置ずれした際に、ロッド付きレンズ３によって補正された光が受信側発光素子としての光ファイバ１の中心まで到達するよう調整する。受信側発光素子が光ファイバ１の場合を考えると、ロッド付きレンズ３の中心からずれた位置に光が入射した場合、ロッド付きレンズ３によって方向が補正されるが、ロッド付きレンズ３と光ファイバ１間の距離が短いと、補正されても光ファイバ１のクラッド１ｂに入射してしまう。ロッド部３ａを設けたことで、補正された光は光ファイバ１のコア１ａへ入射することができる。
【００１６】
図１において、ロッド付きレンズ３から受信側発光素子としての光ファイバ１までのロッド部３ａ領域がテーパー状になっているが、これはレンズ径によって異なる。受信側発光素子がφ１２５μｍの光ファイバ１の場合、ファイバ先端にレンズを作製した先球レンズにおいて、レンズ直径は最大で１２５μｍと決まってしまうが、コネクタ形状にすることにより、レンズ径は自由に選択できる。
【００１７】
図３（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）は第１実施形態の製造方法を示した模式図である。図３（Ａ）のようにコネクタ部２を光ファイバ１の先端に取付け、次いで、図３（Ｂ）のように、前記コネクタ部２にレーザなどによって前記光ファイバ１の先端径下端とするテーパー状のホール１０を成形する。レンズはロッド部３ａを有するロッド付きレンズ３を挿入する。このとき、該ロッド付きレンズ３と光ファイバ１間に間隙が生じ、加工時に生じるファイバ端面の凹凸によって光が散乱する懸念があるが、レンズ固定時にレンズと同じ程度の屈折率を有する樹脂などの光学接着剤１１を介して固定することにより〔図３（Ｃ），（Ｄ）参照〕、光の散乱を抑えることができる。また、本製造方法を用いることにより、市販の完成品である光コネクタの端面をレーザなどによりホール加工し、レンズや樹脂を挿入することによって、先球ファイバタイプの光コネクタが製造できる。
【００１８】
また、第１実施形態の光接続デバイスの変形例としては、図２に示すように、送信側発光素子としてのＶＣＳＥＬ６に換えて、光ファイバ７を用いたものである。これ以外の構成要素については、第１実施形態の光接続デバイスと同様である。作用については、送信側発光素子としての光ファイバ７が位置ずれした際に、ロッド付きレンズ３によって補正された光が受信側発光素子としての光ファイバ１の中心まで到達するよう調整して、ロッド部３ａを設けたことで、補正された光は光ファイバ１のコア１ａへ入射することができる。
【００１９】
図４は本発明の光接続デバイスでの第２実施形態を模式的に示した図であって、集光のためのレンズが球状のボールレンズ８を設けた構成であって、該ボールレンズ８とホール１０箇所との結合は、ボールレンズ８と同じ程度の屈折率を有する樹脂などの光学接着剤１１を介して固定されている。この場合には、光の散乱による減衰を軽減できる。実際の製造方法としては第１実施形態の場合に比較して、前記光学接着剤１１は、量的にも多く使用されるが、その他は同様である（図６参照）。また、ボールレンズ８の場合、レンズおよび受信側光学系の屈折率に近い樹脂などの光学接着剤１１で封止することにより、使用する曲率部分は上部のみとなり、図１及び図２の光学モデルと同じ扱いが可能となる。
【００２０】
また、第２実施形態の光接続デバイスの変形例としては、図５に示したように、送信側発光素子としての光ファイバ７に換えて、ＶＣＳＥＬ６を用いたものである。これ以外の構成要素については、第２実施形態の光接続デバイスと同様である。作用については、第１実施形態の場合と同様に、送信側発光素子としての光ファイバ７又はＶＣＳＥＬ６が位置ずれした際に、ロッド部３ａにて補正して受信側発光素子としての光ファイバ１のコア１ａへ入射することができる。
【００２１】
図７は本発明の光接続デバイスでの第３実施形態を模式的に示した図である。特に、図１及び２に示すようなロッド部３ａ領域に第１実施形態のロッド付きレンズ３と同じ程度の屈折率を有する石英ガラスやプラスチックなどの素材で形成した円柱状レンズ９が接着され、該円柱状レンズ９の基部及び光ファイバ１の先端には、コネクタ部２が包むようにして接着剤１３にて固定されている。さらに前記コネクタ部２の外端には、第１実施形態又は第２実施形態と同様に、キャップ部４が固着され、この中には空隙部５が形成され、送信側発光素子としてのＶＣＳＥＬ６又は光ファイバ７が設けられている。
【００２２】
作用については、送信側発光素子としてのＶＣＳＥＬ６又は光ファイバ７が位置ずれした際に、円柱状レンズ９によって補正された光が受信側発光素子としての光ファイバ１の中心まで到達するよう調整して、円柱状ロッド部９ａを設けたことで、補正された光は光ファイバ１のコア１ａへ入射することができる。また、製造方法は、次の通りである。使用する光ファイバ１の先端に、石英ガラスやプラスチックなどの円柱状レンズ９の素材Ｍを加熱融着や接着などの方法で接合する。このとき素材Ｍの長さは取扱性の面より比較的長くしておき〔図８（Ａ）参照〕、円柱状ロッド部９ａ領域が希望の長さになるように素材Ｍをカットする〔図８（Ｂ）参照〕。そして、前記素材Ｍの上端を溶解し表面張力を利用する方法や、研磨などの方法により、媒体上に球面を形成する〔図８（Ｃ）参照〕。前記コネクタ部２の素材Ｍは、ＳＵＳ−３４０Ｆ、コバール若しくはジルコニアフェルールなどがある。
【００２３】
送信側発光素子から出射した光をレンズによって集光し、かつ、位置ずれ時の軌道補正を行うために、レンズの曲率、ロッド部領域の長さ、各発光素子間距離の最適化を行う必要がある。また、前記ロッド部３ａ、前記光学接着充填剤１２、前記円柱ロット部９ａを総称して、中間領域部と言うこともある。
【実施例】
【００２４】
光コネクタ形状の最適化を三次元の光線追跡法を用いて行った実施例を以下に示す。ただし、送信側発光素子をＶＣＳＥＬ６とし、受信側発光素子をマルチモードの光ファイバ１とする。図９は、最適化を行った光学モデルである。パラメータは、ＶＣＳＥＬ６のＹ軸方向の位置ずれ“Ｙ１”μｍ、レンズの曲率“Ｒ”μｍ、光源の広がり角“θ”deg.である。まず、光源が位置ずれした際に、光ファイバ１へ入射した光が光ファイバ１の臨界角を満たす必要があるため、Ｒを９０μｍ、１００μｍ、１１０μｍの範囲で変化させた。ロッド長ｄ１は１７０μｍ、ＶＣＳＥＬ−レンズ端面間距離Ｌ１は１０００μｍ、コネクタ内部のテーパ-角θ0は０ deg.一定とし解析を行った。マルチモードファイバの屈折率はコア１．４７、クラッド、１．４６であり、レンズおよびロッド部３ａ領域の屈折率は１．５である。ＶＣＳＥＬ６の位置ずれＹ１を変化させ、ＶＣＳＥＬ６から出射した光線がどの程度マルチモードファイバへ入射し、マルチモードファイバの出射端に設置したDetectorへ結合したかを解析した。出射した光線は１０万本で、Detectorへ結合した光線数Ｎ本より次の式で結合効率を算出した。
【数１】
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【００２５】
図１０は、θが５deg.（半角，１／ｅ2）で、ＶＣＳＥＬ６のＹ軸方向の位置ずれＹ１に対する、結合効率の変化である。図１１は、θが１０deg.（半角，１／ｅ2）で、ＶＣＳＥＬ６のＹ軸方向の位置ずれＹ１に対する、結合効率の変化である。図１２は、θが１５deg.（半角，１／ｅ2）で、ＶＣＳＥＬ６のＹ軸方向の位置ずれＹ１に対する、結合効率の変化である。結果、いずれのデータも、位置ずれＹ１が３０μｍ間では結合効率の変化は小さく、３０μｍを超えると急激に結合効率は悪化する。曲率を大きくしていくと３０μｍ以上位置ずれさせた場合の結合効率の減少は緩やかになるが、３０μｍ以内での結合効率が悪い。この解析結果の簡単な説明としては、曲率Ｒが９０μｍ以下の場合、入射後の光が光ファイバ１の臨界角を越えてしまう。一方１３０μｍ以上になると、レンズの集光力が無くなり、広いトレランスは得られない。従って最適な曲率Ｒは１００μｍ程度と考えられ、位置ずれが３０μｍまで、最大結合効率とほぼ同じ値を得ることが可能となる。
【００２６】
上記の通り、本光学モデルは発光素子間の接続における位置ずれ許容量を緩和することが期待できる。そこで、レンズを使用しない場合と比べ、どの程度緩和されているかを、同様に三次元の光線追跡法を用いて解析を行った。ＶＣＳＥＬ６の広がり角θを５deg.とし、レンズを使用しない場合はＶＣＳＥＬ６とファイバ端面間距離を１００μｍ一定として、前項と同様にＹ１の位置ずれに対する結合効率の変化を解析した。
【００２７】
図１３は、レンズを使用した場合（実線でｄ１＝１７０μｍ、間隔の長い点線でｄ１＝０μｍ）と、レンズを使用しない場合（点線）の、位置ずれＹ１に対する結合効率の変化を比較したものである。結果、レンズを使用することにより、位置ずれ許容量は広がっていることが確認できる。最大結合効率とほぼ同じ値を得ることのできる位置ずれ許容量は、レンズを使用しない場合±１０μｍであった。先にも述べた通りレンズを使用することにより、最大結合効率の値は±３０μｍまで緩和されているため、より粗い調心でも、安定した結合効率を得ることが期待できる。
【００２８】
なお、必要となる領域ｄ１の長さは、１７０μｍ以上が好ましい。これは、ＶＣＳＥＬ６とレンズ端面間距離Ｌ１の変化によって、結合効率が変化するためである。Ｌ１は、ＶＣＳＥＬ６の発光面上部に突出している駆動用ワイヤとレンズとの接触を防ぐために必要な長さであり、その突出長は１００μｍ〜２００μｍ程度である。そこで、Ｌ１が１００μｍ、２００μｍの時、領域ｄ１の変化に対する結合効率がどのように変化するかを解析した。光源の広がり角θ＝５ｄｅｇ．ＶＣＳＥＬ６の位置ずれＹ１＝３０μｍ、としている。解析結果を図１４に示す。Ｌ１が１００μｍの場合、領域ｄ１の変化に対して、徐々に結合効率が増加し、１７０μｍ以上の領域で、ほぼ一定の値を得ている。一方、Ｌ１が２００μｍの場合、１５０μｍ以上の領域では、ほぼ同じ結合効率を得ているため、領域ｄ１の必要な長さは１７０μｍ以上で、かつ、ＶＣＳＥＬ６の駆動用ワイヤと接触しない長さが確保されていればよい。
【００２９】
前記中間領域部としてのロッド付きレンズ３のロッド部３ａの長さ、ボールレンズ８を設けた光学接着剤１１箇所の長さ又は円柱状レンズ９の円柱状ロッド部９ａの長さを、前記各レンズの曲率半径Ｒの約２倍以上とすることが好適である。この約２倍は、１．６倍から２．４倍が含まれるものである。
【００３０】
図１５（Ａ）は、本発明の光接続デバイスを、同一基板内のチップ間、もしくは基板間光接続へ適用した実施例を示した模式図である。基板とは反対側に発光面を向けて実装（ワイヤボンディング）したＶＣＳＥＬ６から出射した光が、レンズを返して光ファイバ１へ入射し、他のチップやボードに光信号が出力される構成である。図１５（Ｂ）のＶＣＳＥＬ６は、ワイヤボンディング実装のため、発光面上部に駆動用のワイヤが出ている。ＶＣＳＥＬ６と光ファイバ間で高い光結合効率を得るためには、先にも述べたとおり、互いの距離をきわめて近づける必要があるが、発光面上部に出ているワイヤが邪魔になり、互いの距離を近づけられない懸念がある。そこで、本発明の光接続デバイスを使用することにより、互いの距離が離れていても高い結合効率を得ることが期待できる。また、従来の光結合においては、互いの光軸がきわめて重要であり、図１５（Ｂ）にしたようなガイドピン１６に対してピンの作製精度や穴の位置精度に高い要求がある。しかし、本発明デバイスを使用することによって、その位置ずれの許容量は緩和され、ガイドピン１６に対する作製精度や穴の位置精度も緩和されることが期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】（Ａ）は本発明の第１実施形態の光接続デバイスの一部断面とした斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の断面図である。
【図２】（Ａ）は本発明の第１実施形態の変形例を示した光接続デバイスの一部断面とした斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の断面図である。
【図３】（Ａ）〜（Ｅ）は本発明の第１実施形態の光接続デバイスの製造過程を示した状態図である。
【図４】本発明の第２実施形態の光接続デバイスの一部断面とした斜視図である。
【図５】本発明の第２実施形態の変形例の光接続デバイスの断面図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｅ）は本発明の第２実施形態の光接続デバイスの製造過程を示した状態図である。
【図７】本発明の第３実施形態の光接続デバイスの断面図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｃ）は本発明の第３実施形態の光接続デバイスの製造過程を示した状態図である。
【図９】本発明の光接続デバイスの解析モデル図である。
【図１０】本発明の第１の解析結果表である。
【図１１】本発明の第２の解析結果表である。
【図１２】本発明の第３の解析結果表である。
【図１３】本発明の効果を従来方法と比較するために行った第４の解析結果表である。
【図１４】ロッドｄ1に関する解析結果表である。
【図１５】（Ａ）は本発明のチップ間又は基板間接続に適用した概要図、（Ｂ）は（Ａ）のイ部拡大概要図である。
【図１６】（Ａ）はレンズ張り付けによる従来の先球ファイバの断面図、（Ｂ）はエッチングによる従来の先球ファイバの断面図、（Ｃ）は端面加熱による従来の先球ファイバの断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１,７…光ファイバ、２…コネクタ部、３…ロッド付きレンズ、３ａ…ロッド部、４…キャップ部、５…空隙部、６…ＶＣＳＥＬ、８…ボールレンズ、９…円柱状レンズ、９ａ…円柱状ロッド部、１１…光学接着剤、１２…光学接着充填剤である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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