(57)【要約】【課題】ピストン位置の検知や検知されたピストン位置に関する情報の送出などの機能を備えた流体圧シリンダであって、該機能を担う為に該流体圧シリンダに設置された電気・電子システムに電源を供給する能力を備えた流体圧シリンダを提供する。【解決手段】シリンダチューブ１１内部に、動作流体の移動によって回転する羽根車１４を設け、該羽根車に永久磁石１４４を設置し、該永久磁石の磁界が到達する範囲内に固定コイル１６を設置する。該羽根車の回転により該固定コイルを通過する磁界に時間的変化が生じ、以って、電磁誘導作用により、該固定コイルから電力が得られるように構成されて成ることを特徴とする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダチューブと、その内部に移動可能に配置されたピストンと、当該ピストンに連結されたピストンロッドとを含み、動作流体によって駆動される流体圧シリンダであって、
（１）前記シリンダチューブの内部に設置され、前記動作流体の流れにより前記シリンダチューブの回転対称軸を中心に回転する部材、  （２）前記回転部材の回転運動により、時間的に変化する磁界を発生する手段、および、
（３）前記磁界が到達する範囲内に設置されたコイル
を具備することを特徴とする、発電機能を備えた流体圧シリンダ。
【請求項２】
請求項１に記載の発電機能を備えた流体圧シリンダであって、
（１）の回転部材が羽根車であり、かつ、
（２）の磁界発生手段が前記羽根車に設置された永久磁石である
ことを特徴とする、発電機能を備えた流体圧シリンダ。
【請求項３】
請求項１に記載の発電機能を備えた流体圧シリンダであって、
（１）の回転部材が羽根車であり、かつ、
（２）の磁界発生手段が前記シリンダチューブに設置された永久磁石と前記羽根車に設置された軟磁性材料部材とから成る
ことを特徴とする、発電機能を備えた流体圧シリンダ。
【請求項４】
請求項１〜３に記載の発電機能を備えた流体圧シリンダであって、該発電機能の発電出力の変化によって前記ピストンの位置を検知し、かつ、該発電出力を利用して検知されたピストン位置に関する情報を無線送信することを特徴とする、発電機能を備えた流体圧シリンダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体圧シリンダに関し、特に、流体圧シリンダに設置されたピストン位置検知手段や通信手段などの電気・電子システムに電源を供給する為の発電機能を備えた流体圧シリンダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、流体圧シリンダに設置されたピストン位置検知手段や通信手段などの電気・電子システムに電源を供給する手段としては、電線を利用した外部からの電源供給が広く用いられている。
【０００３】
また、流体圧シリンダの利用形態の代表的なものの一つに、例えば圧搾空気などの気体を動作流体として使用してピストンの運動を起こし、ピストンが上死点あるいは下死点に到達したことをセンサが検知し、その情報をコントローラに伝達し、コントローラはその情報を受けて前記動作流体の送出を停止する、という形態がある。
このような一連の動作を行うために従来は、前記センサや情報通信手段に電源を供給しかつ情報を伝達する為に電線を流体圧シリンダまで配線していた。
近年では、無線通信技術の発達により、情報の伝達は無線通信により行うことが出来るようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、電源を供給する為の配線については、これをなくす実用的な手段は実現されていない。電池を用いることにより電源を供給する為の配線をなくすことが出来るが、電池は定期的に交換しなければならないので、実用性に乏しい。
また、流体圧シリンダの駆動に用いられている動作流体と同じ動作流体を用いて、各流体圧シリンダに隣接する場所で動作流体の流れを利用して発電機を運転する手法も考えられるが、この手法では、その発電機自体はもとより、新たな配管、および、新たな制御系をも必要とするため、設置スペースや設置費用の点でやはり実用性に乏しい。
【０００５】
本発明は、上記のような状況を考慮し、流体圧シリンダに備えられた上記のような電気・電子システムに電源を供給する機能を備え、設置スペースが小さく、かつ、設置費用が少ない流体圧シリンダを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述したようなセンサや情報通信手段は、ピストンが運動している期間、あるいは、ピストンが上死点あるいは下死点に到達する直前（例えば数ミリ秒前）から情報通信手段が情報を送信し終わるまでの短い期間、においてだけ電源を必要とすること、および、前記の電源を必要とする期間においては流体圧シリンダ内において動作流体が移動していること、に着目して成されたものであって、必要な期間だけ発電し、設置スペースが小さく、かつ、設置費用が少ない流体圧シリンダを実現するものである。
【０００７】
本発明の流体圧シリンダは、シリンダチューブと、その内部に移動可能に配置されたピストンと、当該ピストンに連結されたピストンロッドとを含み、動作流体によって駆動される流体圧シリンダであって、
（１）前記シリンダチューブの内部に設置され、前記動作流体の流れにより前記シリンダチューブの回転対称軸を中心に回転する部材（以下、回転部材と称する）、
（２）前記回転部材の回転運動により、時間的に変化する磁界を発生する手段、および、
（３）前記磁界が到達する範囲内に設置されたコイル
を具備することを特徴とし、流体圧シリンダ内における動作流体の移動を利用して発電を行うものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施の形態を説明する。以下の説明においては、流体圧シリンダのシリンダチューブの回転対称軸をｚ軸とする円柱座標を導入する。また、説明の簡単の為に、特に必要な場合を除き、前記シリンダチューブを構成する素材の厚みは無視する。動作流体の出入口に関する記述および図示は、本質的重要性がないので、以下に説明においては省略する。
【０００９】
本発明における前記（１）の回転部材、（２）の磁界発生手段、（３）のコイルの具体的実施形態は、下記（Ａ）〜（Ｄ）に示す４つの場合によって異なる。
なお、以下の説明において、「片ロッド型」とはピストンロッドがシリンダチューブの片方の端面のみを貫通している型を意味し、「両ロッド型」とはピストンロッドがシリンダチューブの両方の端面を貫通している型を意味する。
【００１０】
（Ａ）流体圧シリンダが片ロット型で、回転部材がｚ軸方向にピストンと連動して動く場合、
（Ｂ）流体圧シリンダが両ロット型で、回転部材がｚ軸方向にピストンと連動して動く場合、
（Ｃ）流体圧シリンダが片ロット型で、回転部材がｚ軸方向に動かない場合、
（Ｄ）流体圧シリンダが両ロット型で、回転部材がｚ軸方向に動かない場合、
以下、上記（Ａ）〜（Ｄ）のそれぞれの場合について、前記（１）〜（３）の具体的実施形態を説明する。
【００１１】
まず、前記（Ａ）の場合について説明する。図１（ａ）は、（Ａ）の場合の流体圧シリンダをｚ軸を含む面で切った断面の概略図である。シリンダチューブ１１の内部に、回転対称形のピストン１２が、その回転対称軸がｚ軸と一致するように、納められている。ピストン１２の一方（図では左側）にピストンロッド１３が取り付けられ、ピストンロッド１３はシリンダチューブ１１の一方（図では左側）の端面を貫通してシリンダチューブ１１の外部に突き出している。
（Ａ）の場合の構成においては、ピストン１２の外周とシリンダチューブ１１の内周の摺動がピストンロッド１３のｚ軸に垂直な方向のぶれを防止する役割を担っている。従って、ピストン１２の外周部分は、シリンダチューブ１１の内周部分との摺動に際して、ｚ軸方向には摩擦が小さく、かつ、ｚ軸と垂直な方向には動かないように構成される。
【００１２】
羽根車１４は、ピストン１２に隣接して、しかし、接触しないように、ピストンロッド１３に設置される。ここで、羽根車１４は、ｚ軸と垂直な方向には動かず、ｚ軸方向にはピストンロッド１３と連動して動き、かつ、小さい摩擦でｚ軸を中心に回転できるように、ピストンロッド１３に取り付けられる。即ち、図において符号１５で示された部分は、詳細は図示しないが、羽根車１４がｚ軸と垂直な方向には動かず、ｚ軸方向にはピストンロッド１３と連動して動き、かつ、小さい摩擦でｚ軸を中心に回転できるように構成される。
【００１３】
コイル１６は、シリンダチューブ１１の外側であって、コイル１６が発電をするべき期間に羽根車１４とコイル１６が接近するような位置に設置される。コイル１６’についても同様である。
【００１４】
なお、以上の説明においては、設置されているコイルの数は２個であるが、必要に応じて３個以上のコイルを必要な場所に設置することも出来る。これには、シリンダチューブ上の同一の外周円上に複数のコイルを設置することも含まれる。
【００１５】
シリンダチューブ１１の材料には、磁気シールド作用の弱い材料、より好ましくは、非磁性材料が用いられる。
【００１６】
ピストン１２の構成の一例を図１（ｂ）に示す。同図は、ピストン１２をｚ軸方向から見た図である。ピストン中心部１２１とピストン外周部１２３が、薄い板状の構造材１２２を介して互いに固定的に接続されている。ピストンロッド取付け孔１２４は、ピストン１２にピストンロッド１３を完全に固定して取り付ける為のものである。ピストン外周部１２３の表面１２５は、前記摺動の役割を担うことが出来るように構成される。
【００１７】
羽根車１４の構成の一例を図１（ｃ）に示す。同図は、羽根車１４をｚ軸方向から見たものである。羽根車中心部１４１の外周の外側には羽根１４２が設置される。羽根の角度φ（ｚ＝一定で定義される面と羽根が成す角）は、３０°から６０°が好適に用いられる。
ピストン１２が右に進む時と左に進む時において回転数がなるべく同じになることが好ましい場合には、それぞれの羽根は平板状のものが好適に用いられる。しかし、それぞれの羽根の形状は、平板状に限定されるものではない。
羽根１４２の材料としては、非磁性材料または軟磁性材料が好適に用いられる。
羽根の設置密度については、ｚ軸方向から見たときに隣接する羽根と羽根の間に隙間が見えない程度に密に配置することが好ましい。
【００１８】
羽根１４２の外側に、羽根１４２と接する形で、軟磁性材料から成るリング１４３が設置される。
リング１４３の外側に、複数（ただし、偶数）個の永久磁石１４４が設置される。ここで、永久磁石１４４の永久磁気モーメントの向きは、ひとつおきにｒ方向とそれとは逆方向になるように設置される。
【００１９】
図１（ｂ）に示されたピストン１２と図１（ｃ）に示された羽根車１４を、図１（ａ）に示されたように組み立てると、ピストン１２の両側で動作流体の圧力に差が生じた場合、ピストン１２が移動すると同時に、ピストン１２に設けられた動作流体通過部分１２６を通して動作流体の流れが生じ、この流れが隣接する羽根車１４の羽根１４２に当たって、羽根車１４を回転させる。羽根車１４の回転により、シリンダチューブ１１の外部に時間的に変化する磁界が発生する。
そして、この時間的に変化する磁界をコイル１６またはコイル１６’が捉えた時、それぞれのコイルにおいて発電が行われる。
【００２０】
図１（ｄ）は、シリンダチューブ１１の外側に設置されたコイル１６をｚ軸方向から見た概略図である。コイル１６は、羽根車１４に設置された永久磁石からの磁界を効率よく利用するように構成される。具体的には、コイル１６は、軟磁性材料からなり磁気回路の一部を構成する部材１８と、部材１８に巻きつけられた例えば被覆銅線から成る巻線１７から成る。
ここで、部材１８には磁束の出入口となる部分が２箇所あるが、これら２箇所の部分の間隔が羽根車１４に設置された永久磁石１４４の間隔と等しくなるように、部材１８を構成する。図で説明すると、図１（ｃ）に示されている角度ψと図１（ｄ）に示されている角度ψ’が等しくなるようにする。
【００２１】
図２（ａ）は、ピストン１２の変形例を示す。同図は、ピストン１２をｚ軸方向から見た図である。ピストン１２を構成する部材１２１ａに、動作流体が通過できる孔１２６ａが複数個、同一円周上に設けられている。孔１２６ａは、羽根１４２に効率よく動作流体の流れが当たるような位置に設けられる。ピストン１２の外周１２５ａは、前記図１（ｂ）で示した例と同様に、シリンダチューブ１１の内周部との間で摺動が実現されるように構成される。
【００２２】
図２（ｂ）は、発電の為の機構の変形例を示す。同図では、ｚ軸方向から見た羽根車とコイルが描かれている。なお、ここでは、以上においてすでに説明した例（以下、基本例と称する）とは異なる箇所のみを記述する。
【００２３】
羽根車１４に関しては次の点が異なる。即ち、基本例においてはリング１４３（図１（ｃ）参照）は軟磁性材料で構成されたが、本変形例においてはリング１４３ａは非磁性材料で構成される。また、本変形例においては、基本例において設置された永久磁石を隣り合う２個づつを一組としてそれぞれの一組の永久磁石とその間を軟磁性材料で置き換えた部材１４７が、基本例の永久磁石１４４の代わりに、設置される。
【００２４】
シリンダチューブ１１の外部においては次の点が異なる。即ち、本変形例においては、基本例における部材１８（図１（ｄ）参照）が占める空間とそれをｚ軸の回りにψ’（＝ψ）だけ回転した空間の和から成る空間を占める新しい部材１８ａを具備する。部材１８ａの中央の凸部は永久磁石１４４ａで置き換えられており、残りの部分は軟磁性材料から成る。
【００２５】
永久磁石１４４ａの永久磁気モーメントの向きは、ｒ方向またはそれとは逆向きである。また、本変形例においては、巻線１７ａは、永久磁石１４４ａを挟んで部材１８ａの両側に設けられ、該２個の巻線は巻きの向きが連続するように接続される。
【００２６】
以上で説明した（Ａ）の場合の全ての実施形態においては、ピストン１２を構成する材料には非磁性材料が好適に用いられる。しかし、必ずしもこれに限定されるものではない。永久磁石１４４または１４４ａからの距離が磁気回路に含まれる間隙に比べて十分遠い位置に存在する部材には磁性材料を用いても発電性能の低下はない。また、発電性能の低下を許容すれば、上記条件に係わらず、ピストン１４を構成する材料に磁性材料を用いることが出来る。
【００２７】
次に、（Ｂ）の場合について説明する。（Ａ）の場合に対して適用し得る全ての実施形態は、（Ｂ）の場合にも適用し得る。（Ｂ）の場合にはさらに、ピストンと羽根車を一体化した形態をとることも可能である。（Ｂ）の場合には、ピストンにシリンダチューブ１１の内周部との間で摺動機能を担わせる必要がない。従って、（Ａ）の場合において使用したピストンを必ずしも使用する必要はない。（Ａ）の場合において使用したピストンを省略すれば、羽根車１４がピストンの役割、即ち、動作流体の圧力差によりピストンロッドを動かすという役割を果たす。
【００２８】
図３（ａ）は、羽根車とピストンを一体化した場合の流体圧シリンダをｚ軸を含む面で切った断面の概略図である。ここでは、ピストンの機能と羽根車の機能を兼ね備えた部材２４が用いられる。部材２４をｚ軸方向から見た図が図３（ｂ）である。
部材２４は、羽根車１４と次の点で異なる。即ち、永久磁石１４４の間の空間が非磁性材料からなる部材２４１で埋められている。部材２４をこのように構成することにより、動作流体の無駄な移動あるいは漏れを最小にすることが出来る。
【００２９】
なお、（Ａ）の場合であっても、ピストン１２に前記摺動の役割を担わせることなく、ピストンロッド１３のｚ軸に垂直な方向のぶれを防止する機構が具備されている場合には、図３（ｂ）に示すようなピストンの機能と羽根車の機能を兼ね備えた部材２４を用いて、ピストン１２と羽根車１４を一体化することが出来る。
【００３０】
次に、（Ｃ）の場合について説明する。図４は、（Ｃ）の場合の実施形態の例を示す、流体圧シリンダをｚ軸を含む面で切った断面の概略図である。本実施形態の場合には、ピストン１２およびピストンロッド１３は本発明とは関係なく、適宜の従来技術のピストンおよびピストンロッドが使用される。羽根車１４は、羽根車取付部材３１を介して、シリンダチューブ１１のピストンロッド１３が貫通しない側の端面（図では右側）に設置される。羽根車１４と取付部材３１の結合部分（符号１５で示された部分）は、（Ａ）の場合と同様である。即ち、羽根車１４は、詳細は図示しないが、ｚ軸を中心に小さい摩擦で回転することは出来るがｚ方向やｚ軸に垂直な方向には動かないように、取付部材３１に取付けられる。
【００３１】
羽根車１４の構成は、（Ａ）の場合と同一である。ただし、動作流体の無駄な移動あるいは漏れを最小にする為に、永久磁石１４４の間は、図３（ｂ）に示されるように、非磁性材料からなる部材２４１で埋めることが好適である。
コイル１６は、コイル１６の中心のｚ座標値と羽根車１４の中心のｚ座標値が一致する位置に設置される。また、コイル１６の設置の向きは、図１（ｄ）に示された（Ａ）の場合と同じである。
【００３２】
以上に、（Ｃ）の場合であって（Ａ）の場合の基本例に対応する実施形態を述べたが、（Ｃ）の場合であって（Ａ）の場合の変形例（図２（ｂ）に示された発電の為の機構を使用する場合）に対応する実施形態も可能である。
【００３３】
（Ｃ）の場合には、上記の実施形態の他に、次の実施形態も可能である。即ち、コイルをシリンダチューブ１１の内部に設置することが可能である。
図５（ａ）に、この場合の流体圧シリンダをｚ軸を含む面で切った断面の概略図を示す。コイル１６ｃがシリンダチューブ１１の端面の設置される。
図５（ｂ）は、本実施形態において好適に用いられる羽根車の構成を示す図である。羽根車中心部１４１ｃは軟磁性材料からなり、複数（ただし、偶数）個の永久磁石１４４ｃが羽根車中心部１４１ｃの側面に、同一円周上に、同一の間隔をおいて、設置される。羽根車中心部１４１ｃの外側には、複数の羽根が設置される。
【００３４】
羽根に関する詳細は、（Ａ）の場合と変わらない。ただし、羽根より外側には何も存在しない。従って、羽根車は、羽根の部分の外周がシリンダチューブの内周に接触はしないが接近するように、形成される。
図５（ｃ）は、本実施形態において好適に用いられるコイルの設置方法を模式的に示す図である。シリンダチューブの端面１１ｃに、非磁性材料からなる取付部材４１を介して、磁気回路を構成する部材１８ｃが取付けられ、部材１８ｃに巻き線１７ｃが巻きつけられている。
コイル１６ｃの寸法、および、コイル１６ｃと永久磁石１４４ｃとの位置関係は、磁気回路を効率良く構成するように構成される。具体的内容は、（Ａ）の場合において記述した内容から容易に理解できるので、ここでは省略する。
【００３５】
以上に、（Ｃ）の場合であって、コイルをシリンダチューブ１１の内部に設置する場合であり、かつ、（Ａ）の場合の基本例に対応する実施形態を述べたが、（Ｃ）の場合であって、コイルをシリンダチューブ１１の内部に設置する場合であり、かつ、（Ａ）の場合の変形例に対応する実施形態も可能である。
後者の具体的内容は、すでに述べた内容から容易に理解されるので、その記述を省略する。
【００３６】
最後に、（Ｄ）の場合について説明する。図６（ａ）は、（Ｄ）の場合の流体圧シリンダをｚ軸を含む面で切った断面の概略図を示す。（Ｄ）の場合には、ピストンロッド１３がシリンダチューブ１１の両側の端面を貫通しているので、（Ｃ）の場合に用いられた取付部材３１を用いることが出来ない。このため、羽根車１４をｚ軸を中心に小さい摩擦で回転することは出来るがｚ方向やｚ軸に垂直な方向には動かないようにする機構を、シリンダチューブ１１と羽根車１４の間に備える。
この機構として好適に用いられる機構の例の概略を図６（ｂ）に示す。
回転ベアリング機構５１がシリンダチューブ１１に内接して設置され、回転ベアリング機構５１の内側の回転部材と羽根車中心部分１４１（または１４１ａ）が、例えば４本の、Ｌ字型の取付部材５２を用いて、結合される。
発電の為の機構に関しては、（Ｃ）の場合と同じであるので、記述を省略する。
【００３７】
コイルをシリンダチューブの内部に設置する場合、シリンダチューブの材料として、非磁性材料のみならず磁性材料を用いることが出来る。このコイルをシリンダチューブの内部に設置する場合のコイルからの配線は、シリンダチューブの端部から該容器の壁を貫通して設置するのが好適である。
【００３８】
本発明における動作流体は、空気のみならず、流体圧シリンダに用いられるその他の気体、あるいは粘度が気体に比べて著しく高くない液体（例えば、水、天然・合成油類等）の場合にも用いられる。
【００３９】
以上において説明したすべての実施形態においては、より多くの発電量を得るために、軟磁性材料を用いた磁気回路を形成することとした。
この磁気回路は必ずしも必要ではなく、より少ない発電量で所望の機能が達成される場合には、当該磁気回路の一部または全部を省略することが出来る。また、図２（ｂ）に示された発電の為の機構の変形例において、２個の巻き線１７ａうちのどちらか一方を省略することも出来る。
【００４０】
（Ａ）および（Ｂ）の場合には、コイルが起電力を発生していることが、ピストンが上死点あるいは下死点などの位置にあることに対応する。換言すると、本発明の発電機能は、電源を供給する機能のみならず、ピストンの位置を検知するセンサの機能も同時に果たすことが出来る。
（Ｃ）および（Ｄ）の場合には、コイルが起電力を発生していることが、ピストンが移動している状態にあることに対応する。従って、起電力の低下をもって、ピストンが上死点あるいは下死点に到達したことを知ることが出来る。従って、（Ｃ）および（Ｄ）の場合にも本発明の発電機能は、電源を供給する機能のみならず、ピストンの位置を検知するセンサの機能も同時に果たすことが出来る。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、流体圧シリンダに備えられた電気・電子システムに電線を敷設することなく電源を供給することが出来る。よって、必要な情報通信を無線で行えば、電線の敷設を完全に排除しつつ、流体圧シリンダの制御に必要なセンサなどの電気・電子システムを動作させることが出来る。このことにより、電線の敷設に由来する問題、例えば電線敷設費用や電線保守費用の問題を解決することが出来る。
さらに、本発明によれば、ピストンの位置を検知するセンサの機能を同時に果たすことが出来るので、従来使用されていたセンサを使用する必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における（Ａ）の場合の一実施形態例を説明するための図であり、（ａ）が流体圧シリンダをｚ軸を含む面で切った断面の概略図、（ｂ）がピストン１２の構成をｚ軸方向から見た図、（ｃ）が羽根車１４の構成をｚ軸方向から見た図、（ｄ）がシリンダチューブ１１の外側に設置されたコイル１６をｚ軸方向から見た概略図である。
【図２】図１に示す実施形態例の変形例を説明するための図であり、（ａ）がピストン１２の変形例を示す図、（ｂ）が発電の為の機構の変形例を示す図である。
【図３】本発明における（Ｂ）の場合の一実施形態例を説明するための図であり、（ａ）が流体圧シリンダをｚ軸を含む面で切った断面の概略図、（ｂ）がピストン１２と羽根車１４を一体化した部材をｚ軸方向から見た図、である。
【図４】本発明における（Ｃ）の場合の一実施形態例を説明するための図であって、コイル１６がシリンダチューブ１１の外部に設置される場合の例を説明するための図で、流体圧シリンダをｚ軸を含む面で切った断面の概略図である。
【図５】本発明における（Ｃ）の場合の一実施形態例を説明するための図であって、コイル１６がシリンダチューブ１１の内部に設置される場合の例を説明するための図であり、（ａ）が流体圧シリンダをｚ軸を含む面で切った断面の概略図、（ｂ）が羽根車１４の構成をｚ軸方向から見た図、（ｃ）がコイルの設置方法を模式的に示す図である。
【図６】本発明における（Ｄ）の場合の一実施形態例を説明するための図であり、（ａ）が流体圧シリンダをｚ軸を含む面で切った断面の概略図、（ｂ）がシリンダチューブ１１に羽根車１４を取付ける機構の例を示す概略図である。
【符号の説明】
１１  シリンダチューブ
１１ｃ  シリンダチューブ端面
１２  ピストン
１２１  ピストン中心部
１２１ａ  ピストン１２を構成する部材
１２２  薄い板状の構造材
１２３  ピストン外周部
１２４  ピストンロッド取付け孔
１２５、１２５ａ  ピストン外周表面
１２６、１２６ａ  動作流体通過部分
１３  ピストンロッド
１４  羽根車
１４１、１４１ｃ  羽根車中心部
１４２  羽根
１４３、１４３ａ  リング
１４４、１４４ａ、１４４ｃ  永久磁石
１４５  ピストンロッド１３を通す孔
１４７  磁気回路を構成する部材
１５、１５’  羽根車の取付け部分
１６、１６’、１６ｃ  コイル
１７、１７ａ、１７ｃ  コイルの巻き線
１８、１８ａ、１８ｃ  磁気回路を構成する部材
２４  ピストン１２と羽根車１４を一体化した部材
２４１  永久磁石１４４の間の空間を埋める部材
３１  羽根車取付部材
４１  コイル取付部材
５１  回転ベアリング機構
５２  回転ベアリング機構取付部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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