(57)【要約】【課題】研磨によって試料の断面を露出させて観察する際に、研磨深度を最適に調節する事が可能な断面観察用スケールを提供すること。【解決手段】１）断面観察用スケールの基材の表面に基準点パターンと付属パターンで構成される目盛りパターン、裏面には接着体が設けられ、２）基準点パターンは長方形で、その上短辺が研磨開始線上にあり、３）複数個の付属パターンは長方形で、断面観察用スケールの１目盛りを差として順次に短くなり、長さの順に一定の間隔で配置され、４）すべての短辺は平行で、すべての下短辺は基準点パターンの下短辺の線上に配置されていること。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の観察する断面を研磨によって露出させる際に、試料に貼り合わせて研磨開始面からの研磨深度を判定するために用いる断面観察用スケールであって、
１）断面観察用スケールの基材の表面には１個の基準点パターンと複数個の付属パターンで構成される目盛りパターンが設けられ、基材の裏面には接着体が設けられ、
２）基準点パターンの形状は長方形で、判定する研磨深度をその長辺の略長さとし、その上短辺が研磨開始線上にあり、
３）複数個の付属パターンの形状は長方形で、その長辺の長さは基準点パターンの長辺の長さより短く、その短辺の長さは基準点パターンの短辺の長さと同一で、各付属パターンの長辺の長さは、基準点パターンの長辺の長さより始まり断面観察用スケールの１目盛りを差とする一定の差で順次に短くなる長さであり、
４）基準点パターンの短辺と複数個の付属パターンの各短辺は平行で、複数個の付属パターンは長辺の長さの順に一定の間隔を保って配置され、基準点パターンの下短辺と複数個の付属パターンの各下短辺が、研磨開始線から基準点パターンの長辺の長さ分離れて平行な線上に配置されていることを特徴とする断面観察用スケール。
【請求項２】
前記目盛りパターンが、基材の表面に複数設けられていることを特徴とする請求項１記載の断面観察用スケール。
【請求項３】
前記複数設けられている目盛りパターンの色が、目盛りパターン毎に異なる色であることを特徴とする請求項２記載の断面観察用スケール。
【請求項４】
試料の観察する断面を研磨によって露出させる際に、試料に貼り合わせて研磨開始面からの研磨深度を判定するために用いる断面観察用スケールであって、
１）断面観察用スケールの基材の表面には複数個の長方形パターンからなる目盛りパターンが設けられ、基材の裏面には接着体が設けられ、
２）第１長方形パターン〜第ｎ長方形パターンの複数個の長方形パターンは、凡て同一大きさの長方形で、その長辺の長さは試料の長さに略等しく、その短辺の長さは断面観察用スケールの１目盛りの長さを有し、
３）第１長方形パターンの上長辺が研磨開始線上にあり、第２長方形パターン〜第ｎ長方形パターンの長辺は、凡て第１長方形パターンの長辺に平行で、順次に相互の下長辺と上長辺が接し、第１長方形パターン〜第ｎ長方形パターンの各両短辺は各々、研磨開始線と直角に交わる直線上に配置され、
４）第１長方形パターン〜第ｎ長方形パターンの色が、相互に異なった色であることを特徴とする断面観察用スケール。
【請求項５】
前記基材が、フィルム、紙、又は金属であることを特徴とする請求項１、２、３、又は４記載の断面観察用スケール。
【請求項６】
前記基材、目盛りパタ−ン、及び接着体が、水に不溶であることを特徴とする請求項１、２、３、４、又は５記載の断面観察用スケール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨によって試料の断面を露出させて観察する際に、研磨深度を調節する為のスケールに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、研磨によって試料の断面を観察する際には、観察する断面を確保するため、観察用試料を感覚的に少量ずつ研磨しては顕微鏡観察などで所望の断面が得られたかどうかを確認するという作業を繰り返している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、昨今、プリント基板上にあるビア等の非常に小さい物の断面を観察する要求が増え、上記の様な方法では、微少なサンプルを研磨し過ぎてしまい、サンプルを試作し直した後、再度研磨するという非効率的な事態がしばしば発生していた。
この問題を考慮し、本発明は、所望の観察断面を得る為に、研磨深度を最適に調節する事が可能な断面観察用スケールを提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、試料の観察する断面を研磨によって露出させる際に、試料に貼り合わせて研磨開始面からの研磨深度を判定するために用いる断面観察用スケールであって、
１）断面観察用スケールの基材の表面には１個の基準点パターンと複数個の付属パターンで構成される目盛りパターンが設けられ、基材の裏面には接着体が設けられ、
２）基準点パターンの形状は長方形で、判定する研磨深度をその長辺の略長さとし、その上短辺が研磨開始線上にあり、
３）複数個の付属パターンの形状は長方形で、その長辺の長さは基準点パターンの長辺の長さより短く、その短辺の長さは基準点パターンの短辺の長さと同一で、各付属パターンの長辺の長さは、基準点パターンの長辺の長さより始まり断面観察用スケールの１目盛りを差とする一定の差で順次に短くなる長さであり、
４）基準点パターンの短辺と複数個の付属パターンの各短辺は平行で、複数個の付属パターンは長辺の長さの順に一定の間隔を保って配置され、基準点パターンの下短辺と複数個の付属パターンの各下短辺が、研磨開始線から基準点パターンの長辺の長さ分離れて平行な線上に配置されていることを特徴とする断面観察用スケールである。
【０００５】
また、本発明は、上記発明による断面観察用スケールにおいて、前記目盛りパターンが、基材の表面に複数設けられていることを特徴とする断面観察用スケールである。
【０００６】
また、本発明は、上記発明による断面観察用スケールにおいて、前記複数設けられている目盛りパターンの色が、目盛りパターン毎に異なる色であることを特徴とする断面観察用スケールである。
【０００７】
また、本発明は、試料の観察する断面を研磨によって露出させる際に、試料に貼り合わせて研磨開始面からの研磨深度を判定するために用いる断面観察用スケールであって、
１）断面観察用スケールの基材の表面には複数個の長方形パターンからなる目盛りパターンが設けられ、基材の裏面には接着体が設けられ、
２）第１長方形パターン〜第ｎ長方形パターンの複数個の長方形パターンは、凡て同一大きさの長方形で、その長辺の長さは試料の長さに略等しく、その短辺の長さは断面観察用スケールの１目盛りの長さを有し、
３）第１長方形パターンの上長辺が研磨開始線上にあり、第２長方形パターン〜第ｎ長方形パターンの長辺は、凡て第１長方形パターンの長辺に平行で、順次に相互の下長辺と上長辺が接し、第１長方形パターン〜第ｎ長方形パターンの各両短辺は各々、研磨開始線と直角に交わる直線上に配置され、
４）第１長方形パターン〜第ｎ長方形パターンの色が、相互に異なった色であることを特徴とする断面観察用スケールである。
【０００８】
また、本発明は、上記発明による断面観察用スケールにおいて、前記基材が、フィルム、紙、又は金属であることを特徴とする断面観察用スケールである。
【０００９】
また、本発明は、上記発明による断面観察用スケールにおいて、前記基材、目盛りパタ−ン、及び接着体が、水に不溶であることを特徴とする断面観察用スケールである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明を実施の形態に基づいて説明する。
本発明者らは、前記課題を達成する為に鋭意検討した結果、形状と色を掛け合わせた研磨深度確認用の目盛りパターンを持った断面観察用スケールを観察用試料に貼って研磨する事によって、本発明を完成するに至った。
本発明は、研磨深度をより精細に調節することができる方法であり、この技術を利用することにより、研磨し過ぎず無駄なく所望の観察断面を得る事ができる。以下に本発明を実施例により説明する。
【００１１】
【実施例】
＜実施例１＞
図１は、本発明による断面観察用スケールの実施例１の全体構成を示す平面図である。また、図２は、図１のＡ−Ａ’線の断面図である。
断面観察用スケールの基材１０には紙を使用した。基材１０の表面に目盛りパタ−ン２及び目盛りパタ−ン３を油性インキで印刷加工し、また、基材１０の裏面に、観察用試料と断面観察用スケールを貼り合わせる為の接着体１２として両面テープを設けた。
【００１２】
実施例１においては、目盛りパターンは、目盛りパターン２と目盛りパターン３の２組を設けた。目盛りパターン２の色を赤、目盛りパターン３の色を青とした。目盛りパターン２は、１個の基準点パターン２０Ａと複数個の付属パターン２０Ｂで構成され、付属パターン２０Ｂは、第１付属パターン２１〜第９付属パターン２９の９個である。
第１付属パターン２１〜第９付属パターン２９の長辺の長さは、基準点パターン２０Ａの長辺の長さより始まり断面観察用スケールの１目盛りｄを差とする一定の差で順次に短くなっており、順次に一定の間隔を保って配置されている。
【００１３】
基準点パターン２０Ａの上短辺は研磨開始線Ｂ上にあり、長辺は研磨開始線と直角になっている。第１付属パターン２１〜第９付属パターン２９の各短辺は、基準点パターン２０Ａの短辺と平行に配置されている。
また、基準点パターン２０Ａの下短辺と、第１付属パターン２１〜第９付属パターン２９の各下短辺は、研磨開始線Ｂから基準点パターン２０Ａの長辺の長さ分Ｌ離れて平行な線Ｃ上に配置されている。
【００１４】
図３は、断面観察用スケールと観察用試料を貼り合わせる位置関係の説明図である。図３に示すように、観察用試料４０が最初に研磨される研磨面４１と、断面観察用スケールの研磨開始線Ｂが合わさる様に貼り合わせた。
尚、図３中、矢印は観察用試料４０の研磨方向であり、観察する断面の方向を表している。
【００１５】
図４に示すように、この断面観察用スケールと観察用試料の貼合体５１を断面観察用アクリルセクション（容器）５２中に、エポキシ樹脂を充填して埋め込んだ。次に、図５に示すように、研磨紙５３を用いて研磨を行い、研磨面と同一平面上に、所望の観察断面に対応する付属パターンの短辺および色が現れた時に研磨を完了した。
観察断面を顕微鏡観察し、所望の観察断面が得られている事を確認した。
【００１６】
＜実施例２＞
図６は、請求項４に係わる断面観察用スケールの一例の平面図である。実施例１よりも研磨深度が浅い時に使用する断面観察用スケールである。この断面観察用スケールの目盛りパターン６は、複数の色が違う長方形パターンから構成されている。第１長方形パターン６１は青、第２長方形パターン６２は緑、第３長方形パターン６３は赤、第４長方形パターン６４は黒、第５長方形パターン６５は黄、第６長方形パターン６６は茶とした。
【００１７】
この断面観察用スケールは、図７に示すように、観察用試料７０が最初に研磨される研磨面７１と、断面観察用スケールの研磨開始線Ｂが合わさる様に貼り合わせた。研磨方向に対して各長方形パターンの長辺が直角の位置関係になっている。以下、実施例１と同様な方法で観察用試料と共に研磨した。
【００１８】
【発明の効果】
本発明により、研磨深度の調節が容易になり、微少試料の研磨し過ぎを無くす事ができた。また、研磨深度が正確に把握できるので、研磨紙の番手の交換時期を正確に押さえる事が可能となった。
尚、実施例１の断面観察用スケールでは研磨面の傾きを敏感に確認する事もできる為、研磨面が斜めに削れた場合でも、面の傾きから逆算する事により正確な寸法を把握する事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による断面観察用スケールの実施例１の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’線の断面図である。
【図３】断面観察用スケールと観察用試料を貼り合わせる位置関係の説明図である。
【図４】断面観察用スケールと観察用試料の貼合体を断面観察用アクリルセクション（容器）中に埋め込む説明図である。
【図５】貼合体を研磨紙を用いて研磨を行う説明図である。
【図６】請求項４に係わる断面観察用スケールの一例の平面図である。
【図７】実施例２における断面観察用スケールと観察用試料を貼り合わせる位置関係の説明図である。
【符号の説明】
２、３・・・目盛りパターン
１０、６０・・・断面観察用スケールの基材
１２・・・接着体
２０Ａ、３０Ａ・・・基準点パターン
２０Ｂ、３０Ｂ・・・複数個の付属パターン
２１〜２９・・・第１付属パターン〜第９付属パターン
３１〜３９・・・第１付属パターン〜第９付属パターン
４０、７０・・・観察用試料
４１、７１・・・観察用試料が最初に研磨される研磨面
５１・・・断面観察用スケールと観察用試料の貼合体
５２・・・断面観察用アクリルセクション
５３・・・研磨紙
Ｂ・・・研磨開始線
Ｃ・・・研磨開始線から基準点パターンの長辺の長さ分離れて平行な線
ｄ・・・断面観察用スケールの１目盛り
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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