(57)【要約】【課題】  記録されるべきデータを記録媒体へ安定的に記録することができるホログラム記録装置を提供する。【解決手段】  本発明のホログラム記録装置は、可干渉性の参照光ビームを発生する光源と、情報データに応じて該参照光ビームを空間的に変調して信号光ビームを生成する空間変調器を含む信号光生成部と、該信号光ビーム及び該参照光ビームを記録媒体へ向けて対物レンズを通して照射して、該記録媒体の内部に光干渉パターンによる回折格子の領域を形成する干渉部と、該対物レンズを該記録媒体の記録面に対して位置決めするレンズ位置決め部と、該記録媒体から該対物レンズを通過して戻ってくる戻りビームを検出する受光部と、を含む。該信号光生成部は、該情報データに含まれる記録されるべきデータが供給される空間変調器の記録データ設定領域と該対物レンズの開口領域との間の光学的な位置偏倚量を検出して該記録データ設定領域の位置を補正する補正手段を含む。【選択図】  図４
2005227704.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可干渉性の参照光ビームを発生する光源と、
情報データに応じて前記参照光ビームを空間的に変調して信号光ビームを生成する空間変調器を含む信号光生成部と、
前記信号光ビーム及び前記参照光ビームを記録媒体へ向けて対物レンズを通して照射して、前記記録媒体の内部に光干渉パターンによる回折格子の領域を形成する干渉部と、
前記対物レンズを前記記録媒体の記録面に対して位置決めするレンズ位置決め部と、
前記記録媒体から前記対物レンズを通過して戻ってくる戻りビームを検出する受光部と、を含み、
前記信号光生成部は、前記情報データに含まれる記録されるべきデータが供給される空間変調器の記録データ設定領域と前記対物レンズの開口領域との間の光学的な位置偏倚量を検出して前記記録データ設定領域の位置を補正する補正手段を含む、ことを特徴とするホログラム記録装置。
【請求項２】
前記補正手段は前記受光部にて検出された受光データから前記空間変調器の記録データ設定領域と前記開口領域の範囲との間の相対的かつ光学的な位置偏倚量を求める手段を含む、ことを特徴とする請求項１記載のホログラム記録装置。
【請求項３】
前記光学的な位置偏倚量を求める手段は前記情報データに基準マークデータを含ませて、前記受光データに含まれる基準マークデータをもとにして前記位置偏倚量を求める手段であることを特徴とする請求項２記載のホログラム記録装置。
【請求項４】
前記光学的な位置偏倚量を求める手段は前記受光データから受光部における戻りビームの光量分布のピーク位置をもとにして前記位置偏倚量を求める手段であることを特徴とする請求項２記載のホログラム記録装置。
【請求項５】
前記補正手段は前記対物レンズの変位量を測定する手段を含むことを特徴とする請求項１記載のホログラム記録装置。
【請求項６】
前記補正手段は前記空間変調器における前記記録データ設定領域の位置を変更する手段を含むことを特徴とする請求項１記載のホログラム記録装置。
【請求項７】
前記補正手段は前記空間変調器を移動せしめる手段を含むことを特徴とする請求項１記載のホログラム記録装置。
【請求項８】
前記受光部は前記情報データの単位データを複数の受光素子で受光することを特徴とする請求項１記載のホログラム記録装置。
【請求項９】
前記干渉部は前記参照光ビームの光路中にシャッタを含むことを特徴とする請求項１記載のホログラム記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はホログラム記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高密度情報記録のために、データ信号を高密度で記録できるホログラムが注目されている。このホログラムの特徴は、記録情報を担持する光の波面を、フォトリフラクティブ材料などの光感応材料からなる記録媒体に体積的に屈折率の変化として記録することにある。例えば、ホログラム記録媒体をディスク（ホログラムディスク）として利用した記録再生システムが開発されている（特許文献１参照）。
【０００３】
図１はホログラム記録再生原理を示している。このホログラム記録再生に用いられるホログラム記録媒体の１例としてのホログラムディスク１は、円盤状透明基板の主面全体に亘って、ホログラム層と、反射膜と、保護層とが順に積層されて形成されている。このホログラムディスクの反射膜の反射面には、サーボエリア２が所定の回転角度間隔で設けられ、隣り合うサーボエリア２間の扇形の区間にデータエリア３が設けられている。
【０００４】
ホログラム記録再生においては、かかるホログラムディスクに信号光及び参照光を照射する対物レンズが必要となる。対物レンズ４は、ホログラムディスクの厚み方向およびトラック方向に移動できるアクチュエータ５によって位置決めされる。ホログラムディスクに偏心などがあり、対物レンズから出射したレーザ光がトラックを追跡しなくなった場合、アクチュエータ５はサーボ制御部（図示せず）からの信号にもとづいて対物レンズ４を移動させて、該レーザ光をデータエリア３に正しく照射することができる。
【０００５】
ホログラム記録再生においては、対物レンズ４を用いてホログラムディスク１に参照光を照射し、ホログラム層を通過させ反射膜上でスポットとして収束させて、反射膜により反射した参照光がホログラム層を通過するようにする。また、対物レンズ４を用いて記録すべき情報を担持する信号光ビームをホログラム層を通過させる。これにより、ホログラム層内において、反射した参照光と信号光とが干渉して干渉パターンを形成し、ホログラム層内に体積的にホログラムが記録される。また、参照光を照射してホログラムの各々から再構築された再生光を検出、復調して、記録情報が再生される。
【特許文献１】特開平１１−３１１９３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
かかるホログラム記録再生をなす装置において、対物レンズの開口領域（レンズの有効径）の中心と信号光ビームの光軸が不一致となり、該信号光ビームの１部が対物レンズの開口領域を通過できずにデータエリアへ到達できなくなる恐れがある。換言すれば、信号光ビームに担持されている記録すべき情報の１部が記録できなくなる恐れがある。
【０００７】
また、ホログラム記録再生装置によってホログラムディスクのホログラム層に情報を記録するには、ホログラム層に用いられている光感応材料の感応時間が長いことなどによってデータエリアに信号光を所定時間照射する必要がある。従って、ホログラムディスクを回転させる場合、データエリアに信号光を所定時間照射するにはデータエリアに対物レンズを追従させる位置決めをしなければならず、かかる位置決め動作の間に対物レンズの開口領域の中心と信号光の光軸との不一致が発生し得ることもわかった。
【０００８】
そこで本発明の解決しようとする課題には、例え対物レンズの光軸が信号光の光軸に対して変位しても記録されるべきデータを含む信号光を記録媒体に照射して当該データを該記録媒体に正しく記録することができるホログラム記録装置を提供することが１例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載のホログラム記録装置は、可干渉性の参照光ビームを発生する光源と、情報データに応じて該参照光ビームを空間的に変調して信号光ビームを生成する空間変調器を含む信号光生成部と、該信号光ビーム及び該参照光ビームを記録媒体へ向けて対物レンズを通して照射して、該記録媒体の内部に光干渉パターンによる回折格子の領域を形成する干渉部と、該対物レンズを該記録媒体の記録面に対して位置決めするレンズ位置決め部と、該記録媒体から該対物レンズを通過して戻ってくる戻りビームを検出する受光部と、を含み、該信号光生成部は、該情報データに含まれる記録されるべきデータが供給される空間変調器の記録データ設定領域と該対物レンズの開口領域との間の相対的かつ光学的な位置偏倚量を検出して該記録データ設定領域の位置を補正する補正手段を含む、ことを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明によるホログラムの記録装置の動作について図面を参照しつつ以下に説明する。
【００１１】
ホログラムの記録は、記録されるべき情報を担持した信号光と参照光とをホログラム記録媒体に照射するホログラム記録装置を用いて行われる。例えば図２に示す如く、ホログラム記録装置６は、同一光軸（一点鎖線）上に受光部ＣＭＯＳ、第１ハーフミラープリズムＨＰ１、第２ハーフミラープリズムＨＰ２、対物レンズＯＢが順に並べて形成されている。なお説明の便宜上、第１ハーフミラープリズムＨＰ１側を上流側と称し、対物レンズＯＢ側を下流側と称することとする。
【００１２】
受光部ＣＭＯＳは、複数の受光素子がマトリックス配列されているＣＭＯＳ等の光検出装置を含み、後述する記録媒体からの信号光を受光し、該信号光をデータに変換することができる。
【００１３】
第１ハーフミラープリズムＨＰ１の反射面は、該光軸に対して直角方向から第１ハーフミラープリズムＨＰ１に向かって入射してくる参照光を該光軸の下流側へ反射するように配置されている。
【００１４】
第２ハーフミラープリズムＨＰ２の反射面は該光軸に対して直角方向から第２ハーフミラープリズムＨＰ２に向かって入射してくる信号光を該光軸の下流側へ反射するように配置されており、第２ハーフミラープリズムＨＰ２は信号光と参照光とを合流させてこれらを対物レンズに入射させる。
【００１５】
空間変調器ＳＬＭは、供給された情報データに応じてレーザ光を空間的に変調することができる装置であり、複数の光変調素子を含む。例えばマトリクス状に分割された複数の画素電極を有する液晶パネルが空間変調器として使用できる。液晶パネルの場合、各画素が入射光の透過及び遮蔽を行う機能や入射光の偏光面の方向を変化させる機能を有する。かかる画素が情報データのビット単位となっており、例えば１画素で１ビットのデジタルデータ“０”または“１”を表現する場合、１画素領域に入射する光の透過の有無若しくは偏光面の変化の有無によって表すことができる。
【００１６】
対物レンズＯＢには、光軸方向に対物レンズＯＢを移動させるフォーカシング部分と、対物レンズＯＢを光軸に垂直なディスク半径方向及びトラック方向に移動させるトラッキング部分とからなる対物レンズ駆動部（図示せず）が備えられている。駆動部はフォーカスサーボ（図示せず）及びトラッキングサーボ（図示せず）に接続されており、対物レンズが記録媒体のトラックに追従して記録媒体上に焦点を合わせることができるようになっている。
【００１７】
なお、信号光及び参照光のビーム径は、対物レンズに照射された入射光を透過して集光できる空間、すなわち開口領域よりも大になっており、対物レンズの移動に伴って開口領域が移動する範囲は信号光及び参照光のビーム径内に設定されている。（図２においては説明を簡単にするために、対物レンズの開口領域と信号光及び参照光のビーム径を一致させている。）
対物レンズの下流には、ディスク状に形成されたホログラム記録媒体であるホログラムディスク７を配することができる。ホログラムディスク７は、例えば基板８上に積層された、反射層９、分離層１０、記録層１１、及び保護層１２からなり、保護層１２は対物レンズと対向している。
【００１８】
基板８は例えばガラスやプラスチック材料からなる平行平板にアドレスやトラック構造が予め形成されたものである。反射層９は例えばアルミニウムなどの金属又は誘電体多層膜からなり、離れて交わることなく延在する複数のガイドトラックＧＴとしてグルーブが形成されている。反射層９はガイド層として機能する。ガイドトラックは少なくともトラッキングサーボのサーボ制御を行うため設けられる。記録層１１には例えばフォトリフラクティブ材料や、ホールバーニング材料、フォトクロミック材料など光学干渉パターンを保存できる光感応材料が用いられる。ホログラムはガイドトラックＧＴ上方の記録層に記録される。分離層１０及び保護層１２は光透過性材料からなり、積層構造の平坦化や、記録層などの保護の機能を担う。
【００１９】
図３に基づいて、記録動作を説明する。なお、参照光を実線矢印で、信号光を破線矢印で示し、光路説明のためにそれぞれ図２に示す光軸からずらして示してある。
【００２０】
図３に示すように、第１ハーフミラープリズムＨＰ１（図示せず）の反射面（図示せず）で反射された参照光Ｒは第２ハーフミラープリズムＨＰ２に入射する。かかる参照光Ｒは第２ハーフミラープリズムＨＰ２を透過し、対物レンズＯＢにより集光されホログラムディスク７の記録層１１に照射される。
【００２１】
図３に破線矢印で示す信号光Ｓは、第２ハーフミラープリズムＨＰ２により反射され対物レンズＯＢにより集光されホログラムディスクの記録層１１に照射される。
【００２２】
記録層１１内において参照光と信号光とが干渉して干渉パターンが形成され、該干渉パターンが記録層１１内に保存されて記録される。
【００２３】
上記した記録動作によって記録媒体にホログラムを記録することができるのである。
【００２４】
図４は本発明によるホログラムディスクに情報を記録するホログラム記録装置の概略構成の例を示す。ホログラム記録装置は、ホログラムディスク７をターンテーブルを介して回転させるスピンドルモータ１３、ホログラムディスク７から光ビームによって信号を読み出すピックアップ１４、該ピックアップを保持しディスク半径方向に移動させるピックアップ駆動部１５、第１レーザ光源駆動回路１６、空間変調器駆動回路１７、検出信号処理回路１８、サーボ信号処理回路１９、フォーカスサーボ回路２０、トラッキングサーボ回路２１、ピックアップ駆動部１５に接続されピックアップの位置信号を検出するピックアップ位置検出回路２２、ピックアップ駆動部１５に接続されこれに所定信号を供給するスライダサーボ回路２３、スピンドルモータ１３に接続されスピンドルモータの回転数信号を検出する回転数検出部２４、該回転数検出部に接続されホログラムディスク７の回転位置信号を生成する回転位置検出回路２５、スピンドルモータ１３に接続されこれに所定信号を供給するスピンドルサーボ回路２６、並びにスピンドルサーボ回路２６に接続された制御回路２７を備えている。制御回路２７はこれら回路からの信号に基づいて、これら駆動回路を介してピックアップに関するフォーカス及びトラッキングサーボ制御などを行う。制御回路２７は、各種メモリを搭載したマイクロコンピュータからなり装置全体の制御をなすものであり、操作部（図示せず）からの使用者による操作入力及び現在の装置の動作状況に応じて各種の制御信号を生成するとともに、使用者に動作状況などを表示する表示部（図示せず）に接続されている。また、制御回路２７は外部から入力された記録すべきデータの符号化などの処理をして所定信号を空間変調器駆動回路１７に供給して記録動作を制御する。更にまた、制御回路２７は、ピックアップ内に設けられた受光部（図示せず）若しくは対物レンズの変位量を測定する対物レンズ検出部（図示せず）に接続されている検出信号処理回路１８からの信号にもとづいて、ピックアップ１４内に設けられた対物レンズ（図示せず）と空間変調器の記録されるべきデータが供給される記録データ設定領域（図示せず）との間の光学的な位置偏倚を補正して空間変調器駆動回路１７を制御する。
【００２５】
図５は、上記の如き記録装置のピックアップの概略構成の例を示している。図５に示すピックアップは、ホログラムの記録用の第１レーザ光源ＬＤ１、第１コリメータレンズＣＬ１、第１ハーフミラープリズムＨＰ１、ミラープリズムＭ、空間変調器ＳＬＭ、ＣＣＤや相補型金属酸化膜半導体装置などのアレイからなる像検出センサを含む受光部ＣＭＯＳ、第２ハーフミラープリズムＨＰ２、及び第３ハーフミラープリズムＨＰ３の記録光学系と、ホログラムディスク７に対する光ビームの位置をサーボ制御（フォーカス、トラッキング）するための第２レーザ光源ＬＤ２、第２コリメータレンズＣＬ２、第４ハーフミラープリズムＨＰ４、シリンドリカルレンズなどの非点収差素子ＡＳ、及び光検出器ＰＤを含むサーボ信号検出部のサーボ系と、ダイクロイックプリズムＤＰ及び対物レンズＯＢの共通系と、からなり、これらの系は対物レンズＯＢを除いてほぼ共通の平面上に配置されている。第１，第２および第３ハーフミラープリズムＨＰ１，ＨＰ２，ＨＰ３のハーフミラー面並びにミラープリズムＭの反射面は平行となるように配置されるとともに、これらハーフミラー面及び反射面の法線方向において、ダイクロイックプリズムＤＰの分離面及び第４ハーフミラープリズムＨＰ４のハーフミラー面が平行となるように配置されている。これら光学部品は、第１及び第２レーザ光源ＬＤ１、ＬＤ２からの光ビームの光軸（一点鎖線）がそれぞれ記録光学系並びにサーボ系に延在し、共通系でほぼ一致するように配置されている。
【００２６】
更に、ピックアップ１４には、対物レンズＯＢを光軸方向に移動させるフォーカシング部分と、対物レンズＯＢを光軸に垂直なディスク半径方向（およびこれに直交する方向）に移動させるトラッキング部分とからなる対物レンズ駆動部２８が備えられている。
【００２７】
第１レーザ光源ＬＤ１は第１レーザ光源駆動回路１６に接続され、射出する光ビームの強度を記録データ設定領域の位置補正時には弱くし、記録時には強くするように、同回路により出力が調整される。
【００２８】
空間変調器ＳＬＭはマトリクス状に分割された複数の画素電極を有する液晶パネルなどで電気的に入射光の一部を遮蔽する機能、又はすべて透過させる機能を有する。空間変調器ＳＬＭは空間変調器駆動回路１７に接続され、空間変調器駆動回路１７からの情報データに基づいた成分分布を有するように光ビームを変調して、信号光を生成する。
【００２９】
像検出センサを含む受光部ＣＭＯＳは検出信号処理回路１８に接続されている。検出信号処理回路１８は、受光部ＣＭＯＳからの受光信号を処理して、対物レンズＯＢと空間変調器ＳＬＭの記録データ設定領域（図示せず）との間の光学的な位置偏倚量に対応する位置偏倚信号を制御回路２７へ供給する。
【００３０】
光検出器ＰＤはサーボ信号処理回路１９に接続され、一般的に光ディスクで用いられているフォーカス及びトラッキングサーボ用に分割された受光素子形状を有する。サーボ方式は非点収差法やプッシュプル法などが適用できる。光検出器ＰＤのフォーカスエラー信号やトラッキングエラー信号などの出力信号はサーボ信号処理回路１９に供給される。
【００３１】
サーボ信号処理回路１９においては、フォーカスエラー信号からフォーカシング駆動信号が生成され、これが制御回路２７を介してフォーカスサーボ回路２０に供給される。フォーカスサーボ回路２０は駆動信号に応じて、ピックアップ１４に搭載されている対物レンズ駆動部２８のフォーカシング部分を駆動し、そのフォーカシング部分はホログラムディスクに照射される光スポットの焦点位置を調整するように動作する。
【００３２】
更に、サーボ信号処理回路１９においては、トラッキングエラー信号からトラッキング駆動信号が発生され、これがトラッキングサーボ回路２１に供給される。トラッキングサーボ回路２１は、トラッキング駆動信号に応じてピックアップ１４に搭載されている対物レンズ駆動部２８のトラッキング部分を駆動し、そのトラッキング部分はトラッキング駆動信号による駆動電流に応じた分だけ、ホログラムディスクに照射される光スポットの位置をディスク半径方向若しくはトラック方向に変位させる。
【００３３】
制御回路２７は、操作部又はピックアップ位置検出回路２２からの位置信号及びサーボ信号処理回路１９からのトラッキングエラー信号に基づいてスライダ駆動信号を生成し、これをスライダサーボ回路２３に供給する。スライダサーボ回路２３はピックアップ駆動部１５を介して、そのスライダ駆動信号による駆動電流に応じピックアップ１４をディスク半径方向に移送せしめる。
【００３４】
回転数検出部２４は、ホログラムディスク７をターンテーブルを介して回転させるスピンドルモータ１３の現回転周波数を示す周波数信号を検出し、これに対応するスピンドル回転数を示す回転数信号を生成し、回転位置検出回路２５に供給する。回転位置検出回路２５は回転数位置信号を生成し、それを制御回路２７に供給する。制御回路２７はスピンドル駆動信号を生成し、それをスピンドルサーボ回路２６に供給し、スピンドルモータ１３を制御して、ホログラムディスク７を回転駆動する。
【００３５】
上記ホログラム記録装置を用いた、ホログラムディスクに光ビームを照射して情報を記録する記録方法を説明する。
【００３６】
図６に示すように、サーボ制御のための第２レーザ光源ＬＤ２は第１レーザ光源ＬＤ１とは別の波長のコヒーレント光を射出する。第２レーザ光源ＬＤ２からのサーボ光ビーム（細実線で示し、光路説明のために光軸からずらして示してある）は、第２コリメータレンズＣＬ２及び第４ハーフミラープリズムＨＰ４のサーボ検出用光路に導かれ、ダイクロイックプリズムＤＰに入射する。サーボ光ビームはダイクロイックプリズムＤＰで反射された後、対物レンズＯＢで集光されホログラムディスク７に入射する。ホログラムディスク７からの反射したサーボ光ビームの対物レンズＯＢへの戻り光は、第４ハーフミラープリズムＨＰ４及び非点収差素子ＡＳを経て、サーボ用光検出器ＰＤの受光面の法線に沿って入射する。
【００３７】
かかるサーボ光ビームによりホログラムディスク７との位置決めサーボ制御を行う。非点収差法の場合、光検出器ＰＤは、例えば図７に示すようにビーム受光用の４等分割の受光面を有した受光素子１ａ〜１ｄから構成される。４分割線の方向はディスク半径方向とトラック接線方向に対応している。光検出器ＰＤは、合焦時の光スポットが受光素子１ａ〜１ｄの分割交差中心を中心とする円形となるように設定されている。
【００３８】
光検出器ＰＤの受光素子１ａ〜１ｄの各出力信号に応じて、サーボ信号処理回路１９はＲＦ信号Ｒｆ及びフォーカスエラー信号を生成する。受光素子１ａ〜１ｄの各出力信号をその順にＡａ〜Ａｄとすると、ＲＦ信号ＲｆはＲｆ＝Ａａ＋Ａｂ＋Ａｃ＋Ａｄと算出され、フォーカスエラー信号ＦＥは、ＦＥ＝（Ａａ＋Ａｃ）−（Ａｂ＋Ａｄ）と算出され、トラッキングエラー信号ＴＥは、ＴＥ＝（Ａａ＋Ａｄ）−（Ａｂ＋Ａｃ）と算出される。これらエラー信号は制御回路２７に供給される。
【００３９】
なお、上記した実施形態においては、フォーカスサーボ、トラッキングサーボを非点収差法およびプッシュプル法で行ったが、これに限らず３ビーム法など周知の方法を採用してもよい。
【００４０】
サーボ制御が完了した後、図６に示す如く、第１レーザ光源ＬＤ１は記録媒体に記録感度を生じせしめる強度よりも低い光強度のコヒーレント光を発する。かかるコヒーレント光は、第１ハーフミラープリズムＨＰ１により、参照光ビームと信号光ビームに分離される（両ビームは破線で示し、光路説明のために光軸からずらして示してある）。
【００４１】
信号光ビームはミラープリズムＭにて反射され、空間変調器ＳＬＭの主面の法線に沿って入射する。空間変調器ＳＬＭは、無変調の部分、すなわち遮蔽されていない部分の信号光ビームを透過してビーム光を空間的に変調する。変調された信号光は、第３ハーフミラープリズムＨＰ３へ向かう。
【００４２】
参照光ビームは第２ハーフミラープリズムＨＰ２で反射され、第３ハーフミラープリズムＨＰ３へ向かう。
【００４３】
参照光ビームと信号光ビームは第３ハーフミラープリズムＨＰ３にて合流する。合流した２つの光ビームはダイクロイックプリズムＤＰを通過し、対物レンズＯＢによってホログラムディスク７に集光されホログラムが記録層上に形成される。かかるホログラムは第１レーザ光源ＬＤ１からのコヒーレント光の強度が弱い故、ホログラムディスク７の記録層に記録されない。
【００４４】
ホログラムディスク７の反射層で反射された信号光ビーム（一点鎖線で示し、光路説明のために光軸からずらして示してある）は、対物レンズに入射して、ダイクロイックプリズムＤＰ、第３ハーフミラープリズムＨＰ３、第２ハーフミラープリズムＨＰ２を経て像検出センサを含む受光部ＣＭＯＳに入射する。像検出センサは受光した光を電気信号に変換してかかる電気信号を検出信号処理回路１８に供給する。検出信号処理回路１８は、該電気信号から対物レンズの開口領域と記録データ設定領域との間の位置偏倚量に対応する位置偏倚信号を生成し、制御回路２７へ該位置偏倚信号を供給する。制御回路２７は、かかる位置偏倚信号を処理して記録データ設定領域の位置と対物レンズの開口領域の位置との間の位置偏倚量を空間変調器のピクセル単位で求め、該位置偏倚量に従って空間変調器駆動回路１７に供給される情報データの記録データ設定領域の設定位置を補正する。
【００４５】
空間変調器駆動回路１７は制御回路２７で補正された情報データを受信して空間変調器ＳＬＭへ供給し、記録データ設定領域の位置補正が終了した後、第１レーザ光源ＬＤ１の出力をホログラムディスクの記録層に感度が生じる強度に上昇せしめて、記録層に形成されたホログラムを記録する。
【００４６】
上記の如き構成のピックアップは、記録媒体からのホログラムの再生にも使用できる。再生時には、図８に示す如く、記録時と同様に光は第１ハーフミラープリズムＨＰ１により参照光ビームと信号光ビームに分離されるものの、ホログラムの再生は参照光ビームのみで行う。空間変調器ＳＬＭを遮蔽状態にすることで、第１ハーフミラープリズムＨＰ１から第２ハーフミラープリズムＨＰ２へ入射されて第２ハーフミラープリズムＨＰ２において反射された参照光だけが、ダイクロイックプリズムＤＰ及び対物レンズＯＢを通過し、ホログラムディスク７に入射する。
【００４７】
ホログラムディスク７から発生する再生光（二点鎖線）は、対物レンズＯＢ、ダイクロイックプリズムＤＰ、第３ハーフミラープリズムＨＰ３及び第２ハーフミラープリズムＨＰ２を透過し、像検出センサを含む受光部ＣＭＯＳに入射する。像検出センサは再生光で結像された像に対応する出力を検出信号処理回路１８に送出して、そこで生成した再生信号を制御回路２７に供給して記録されていたデータを再生する。なお、ホログラムの再生時においても記録時と同様に、サーボ光ビームによりホログラムディスク７との位置決めサーボ制御を行う。
【００４８】
以下に、本発明による対物レンズの光軸の偏倚を検出する手段および記録データ設定領域の補正手段について説明する。
【００４９】
説明を簡単にするために空間変調器に供給される情報データを２次元的に示し、入射光を透過せしめる領域を“１”として白で表し、入射光を遮蔽せしめる領域を“０”として黒で表すこととする（以下同様）。かかる２次元データをページデータと称し、該ページデータは、図９（ａ−１）に示す如く、空間変調器において白黒パターンで示される。
【００５０】
空間変調器に供給される情報データには、記録媒体に記録されるべき記録データが含まれており、かかる記録データは空間変調器の記録データ設定領域ＲＡ（説明の便宜上、ページデータにおいて太線枠で囲んで表示。以下同様。）に供給される。また、情報データには基準マークデータが含まれても良い。基準マークデータは、対物レンズの開口領域の範囲に対して記録データ設定領域の光学的な位置を合わせるためのデータであり、例えばページデータにおいて記録データ設定領域に接する“コ”の字型の基準位置マーク（ＲＭ１ａ）を形成する。かかる“コ”の字型のパターンは、記録データ領域の中心に対してＸ方向及びＹ方向にそれぞれ設けられる。
【００５１】
かかる空間変調器ＳＬＭに、記録データ設定領域ＲＡよりも大なる範囲の空間を有するレーザ光を照射して信号光が生成される。
【００５２】
図９（ａ−１）に示す如く、例えば対物レンズにサーボ制御が適用されていない状態において対物レンズの信号光入射面を含む平面上において対物レンズの開口領域ＬＡ（説明の便宜上、鎖線円で表示。以下同様。）の中心（＋印）と記録データ設定領域ＲＡの中心（×印）が一致している場合、対物レンズの開口領域ＬＡ内に記録データ設定領域ＲＡが完全に包含される。すなわち、記録データ設定領域ＲＡからの信号光は対物レンズの開口領域ＬＡを通過することができる。その結果、受光部において検出される受光データは、図９（ａ−２）に示す如く記録データ設定領域内のパターンとそのＸ方向及びＹ方向のいずれにも基準位置マークの１部（ＲＭ１ｂ）を含む。かかる状態における記録データ設定領域ＲＡの中心を基準位置と定める。
【００５３】
しかし、記録媒体のトラックに追従するなどして対物レンズが移動（Δｘ）すると対物レンズの開口領域ＬＡの中心と記録データ設定領域ＲＡの中心とが一致しなくなり（図９（ｂ−１））、受光部における受光データは、記録データ設定領域内のパターン及び基準位置マークの１部を含まなくなる（図９（ｂ−２））。
【００５４】
そこで、受光データにおける基準位置マークのパターンを基にして移動後の対物レンズの開口領域の中心と記録データ設定領域の該基準位置との間の位置偏倚量（Δｘ）を求めて、記録データ設定領域ＲＡの中心が対物レンズの開口領域ＬＡの中心に一致するように空間変調器における記録データ設定領域ＲＡの位置を修正する（図９（ｃ−１））。その結果、受光部において記録データ設定領域からの信号光が受光できるようになる（図９（ｃ−２））。すなわち、記録媒体へ記録データ設定領域からの信号光を照射することができて、記録媒体に記録されるべきデータを記録することができるのである。
【００５５】
なお基準位置マークのパターンは、例えば図１０に示す如く、レンズの開口領域ＬＡを内接する大きさの矩形の縁部上に複数の十字模様（ＲＭ２）を並べて、該十字の一方のラインが該矩形の辺の１部を形成するパターンでも良い。
【００５６】
対物レンズの開口領域に対する記録データ設定領域の位置の補正ステップは、記録媒体にデータを記録する前に行われなければならない。すなわち、記録動作を開始して対物レンズの位置を決定した後、上記の如き補正を行ってから記録媒体に記録する必要がある。
【００５７】
例えば、記録動作開始後、トラッキングサーボ及びフォーカスサーボを用いて記録媒体に対して対物レンズの位置を決めるステップが行われる。対物レンズの位置決めステップの後、該記録媒体に感度が生じないパワーのレーザ光を情報データが供給されている空間変調器に照射して信号光を生成するステップと、信号光を該対物レンズを介して該所定位置に照射する照射ステップと、該照射ステップの後に該対物レンズの開口領域を透過した該信号光を受光部で受光して受光データを生成するステップと、該受光データから該空間変調器の記録データ設定領域と該開口領域の範囲との光学的な位置偏倚量を求めて該開口領域の範囲に対する該記録データ設定領域の位置を修正する修正ステップと、を含む補正ステップを行う。該補正ステップの後、該信号光と該参照光のパワーを該記録媒体が感度を生じるまで上昇させて、かかる信号光及び参照光を記録媒体に照射してホログラムを記録する該記録ステップが行われる。
【００５８】
受光部における信号光の検出は、ページデータの単位データに対して複数の受光素子で検出することとしても良い。例えば単位データに対してｎ2個の受光素子で検出することとしても良い。図１１に示す如く、空間変調器における単位データのそれぞれ（図１１（ａ））に対して４つの受光素子を用いて検出する場合（図１１（ｂ））、ＸＹ方向にそれぞれ単位データが占有する空間の半分の偏倚量を検出することができる。
【００５９】
単位データをｎ2個の受光素子で検出する場合、ホログラムの記録は例えば図１２に示す如きフローチャートに従って行われる。
【００６０】
記録動作が開始された後、ＸＹＺ方向サーボ及びスピンドルサーボを動作せしめて対物レンズの焦点が記録媒体の所定の位置に合うように移動せしめる（Ｓ１）。
【００６１】
対物レンズの位置が定まった後、空間変調器に基準マークデータを含む情報データを供給する（Ｓ２）。さらに低出力のレーザビームを当該空間変調器に照射して空間的に変調された信号光を生成する（Ｓ３）。
【００６２】
かかる信号光は該対物レンズを介して記録媒体に照射され、該記録媒体からの信号光を受光部で受光して受光データを得る。受光データ中に含まれる基準マークデータが検出された位置から、対物レンズの光軸と信号光の光軸との間の位置偏倚量、すなわち受光部における位置偏倚ピクセル量（ΔＰｘ、ΔＰｙ）を推定する（Ｓ４）。
【００６３】
受光部における位置偏倚量から空間変調器における変調領域の移動すべき移動ピクセル量（Δｐｘ、Δｐｙ）を決定する。移動ピクセル量（Δｐｘ、Δｐｙ）は、オーバーサンプリング数、すなわちページデータの単位データを検出する受光素子群のｘ方向およびｙ方向の数であるｎを用いて求められ、Δｐｘ／ｎ  ＝  Δｐｘ，Δｐｙ／ｎ  ＝  Δｐｙとして計算される（Ｓ５）。
【００６４】
上記の如き移動ピクセル量（Δｐｘ、Δｐｙ）にもとづいて空間変調器の記録データ設定領域の位置を移動せしめて補正する（Ｓ６）。
【００６５】
補正後の当該空間変調器にレーザ光を照射して信号光を生成し、再度該信号光を対物レンズを介して該記録媒体に照射する。該記録媒体からの信号光を検出して、対物レンズ開口領域に対する記録データ設定領域の位置ずれの状態を確認する（Ｓ７）。
【００６６】
ここで補正が完了していない場合、受光部における位置偏倚ピクセル量（ΔＰｘ、ΔＰｙ）を決定するステップ（Ｓ４）に戻り、再度空間変調器の記録データ設定領域の位置を補正するステップを繰り返す。一方、補正が完了していれば、空間変調器に記録されるべきデータが含まれる情報データを供給し、レーザ光の出力を上昇させて信号光及び参照光を記録媒体に照射してデータを記録する（Ｓ８）。
【００６７】
なお、対物レンズの開口領域の範囲に対して記録データ設定領域の位置が補正されるまでは信号光のみを記録媒体に照射し、記録ステップにおいて信号光と参照光とを照射することとしても良い。
【００６８】
位置偏倚量の検出は、上記の如く基準位置マークが受光部において所定のパターンで検出されることに基づいて行う場合に限定されない。すなわち、基準位置マークが受光部に検出されることをもって位置偏倚量を検出することとしても良い。
【００６９】
例えば図１３（ａ−１）に示す如く、基準位置マーク（ＲＭ３ａ）が一方の軸に平行な縞模様でありかつ所定のラインを基準として該一方の軸から離れるに従って線幅が大となっているパターンの場合、基準位置マーク（ＲＭ３ａ）は対物レンズの開口領域ＬＡのＸ軸方向及びＹ軸方向で接するように設けておく。
【００７０】
例えば対物レンズにサーボ制御が適用されていない状態において対物レンズの開口領域ＬＡの中心（＋印）と記録データ設定領域ＲＡの中心（×印）が一致している場合、図１３（ａ−１）に示す如く対物レンズの開口領域内に記録データ設定領域が完全に含まれる。すなわち、記録データ設定領域ＲＡからの信号光は対物レンズの開口領域ＬＡを通過することができる。その結果、図１３（ａ−２）に示す如く、受光部において検出される受光データは記録データ設定領域内のパターンを含み、基準位置マークを含まない。かかる状態における記録データ設定領域ＲＡの中心を基準位置と定める。
【００７１】
しかし、記録媒体のトラックに追従して対物レンズがＸ方向に移動（ΔＰｘ）すると対物レンズの開口領域の中心と記録データ設定領域の中心とが一致しなくなり（図１３（ｂ−１））、受光部における受光データは、記録データ設定領域内のパターンを含まなくなり、基準位置マークの１部（ＲＭ３ｂ）を含むようになる（図１３（ｂ−２））。
【００７２】
そこで、検出された基準位置マーク（ＲＭ３ｂ）のパターンをもとにして記録データ設定領域の該基準位置と移動後の対物レンズの開口領域の中心と間の位置偏倚量（ΔＰｘ）を求めて記録データ設定領域ＲＡの位置を修正する（図１３（ｃ−１））。その結果、受光部において記録データ設定領域からの信号光が受光できるようになる（図１３（ｃ−２））。すなわち、記録媒体へ記録データ設定領域からの信号光を照射することができて、記録媒体に記録されるべきデータを記録することができるのである。
【００７３】
上記の如き基準位置マークを用いる場合、対物レンズがＸ軸方向に１ピクセル分ずつ移動すると（図１４（ａ１）〜（ａ５））、Ｘ軸を中心にしてＹ軸方向に広がるストライプのステップパターンが受光部において検出される（図１４（ｂ１）〜（ｂ５））。すなわち、検出部で検出された基準位置マークのパターンから、対物レンズの開口領域と記録データ設定領域との光学的な位置偏倚量を算出して記録データ設定領域の中心を補正することができる。
【００７４】
なお、対物レンズ位置決めステップ及び補正ステップにおいて記録データ設定領域に記録すべきデータが必ずしも供給されていなくても良く、記録ステップにおいて該記録されるべきデータを該記録データ設定領域に供給することとしても良い。例えば、対物レンズ位置決めステップ及び補正ステップにおいて情報データは基準マークデータのみを含み、記録ステップにおいて情報データは基準マークデータと記録されるべきデータとを含むもしくは記録されるべきデータのみを含むこととしても良い。例えば図１２に示すフローチャートによれば、対物レンズの位置が定まった後の空間変調器に情報データを供給するステップ（Ｓ２）における該情報データは基準マークデータのみを含み、記録データ設定領域の位置を補正した後の空間変調器に情報データを供給して信号光及び参照光を記録媒体に照射してデータを記録するステップ（Ｓ８）における該情報データは記録されるべきデータのみを含む、こととしても良い。なお情報データを基準マークデータのみ若しくは記録されるべきデータのみとする切替は、制御回路２７で行うこととしてもよい。
【００７５】
なお、駆動部によって対物レンズはＹ方向に対して不動でありＸ方向に可動である場合、基準位置マークはＸ方向上にのみ設定することとしても良い。また、逆にＸ方向に対して不動でありＹ方向に可動である場合、基準位置マークはＹ方向上にのみ設定することとしても良い。
【００７６】
なお、対物レンズの開口領域と記録データ設定領域との間の光学的な位置偏倚量の決定方法は、上述の如く基準位置マークを検出することによって行う場合に限定されない。例えば受光部の受光素子が並べられた受光平面における信号光の光量分布のピーク位置を求め、受光部の基準位置と該ピーク位置との偏倚量をもとに空間変調器における記録データ設定領域の位置を補正することとしても良い。ここで、光量分布は、受光平面を構成する２軸のうち一方の軸方向における他方の軸方向の信号光の透過面積の積分値の分布である。
【００７７】
光量分布のピークを用いる補正方法の説明を簡単にするために、空間変調器に供給される情報データのページデータは、記録データ設定領域の周囲において市松模様を形成し、記録データ設定領域には記録されるべきデータが当該領域の中心において光量分布のピークを形成するように変換された模様を形成することとする。また対物レンズがＸ方向にのみ移動するとして説明する。
【００７８】
図１５（ａ−１）に示す如く、例えば対物レンズにサーボ制御が適用されていない状態において対物レンズの開口領域ＬＡの中心（＋印）と記録データ設定領域ＲＡの中心（×印）が一致している場合、記録データ設定領域ＲＡの中心をもとに定められた受光部における基準位置（一点鎖線）と光量分布のピーク位置が一致する（図１５（ｂ−１））。
【００７９】
しかし、対物レンズがＸ軸方向に移動すると、図１６（ａ−１）に示す如く、対物レンズの開口領域中心と記録データ設定領域の中心とが一致しなくなって、受光部の該基準位置と光量分布のピーク位置が一致しなくなる（図１６（ａ−２））。
【００８０】
そこで、記録データ設定領域ＲＡの中心に対応する受光部の該基準位置と対物レンズの開口領域ＬＡの中心に対応する光量分布のピーク位置との間の位置偏倚量ΔＰｘから空間変調器上におけるＸ方向の変動量Δｐｘを算出して空間変調器上の記録データ設定領域の中心位置を補正することとしても良い（図１６（ｂ−１），（ｂ−２））。
【００８１】
なお補正ステップにおいて記録データ設定領域に供給される情報データは、記録されるべきデータを含まないこととしても良い。かかる場合、対物レンズの変位に依らず受光部における光量分布のピークが対物レンズの中心位置となる情報データを空間変調器に供給することが好ましい。すなわち、該情報データは、空間変調器の２次元平面において変調の有無の分布が一様であるページデータを形成することが好ましい。例えば空間変調器上の全空間において市松模様を形成するページデータや、空間変調器上の全空間において入射する光を透過させる（すなわちすべて白の）ページデータなどが該情報データとして使用できる。
【００８２】
なお上述した記録データ設定領域の位置の補正方法の説明において、サーボ制御が適用されていない状態における記録データ設定領域の中心を基準に設定して位置偏倚量を求めているもののこれに限定されない。
【００８３】
例えば、対物レンズにサーボ制御が適用されておりかつホログラムの記録が連続的に行われている場合において、新たな位置にホログラムを記録するときに、その直前に行われた記録時の記録データ設定領域の中心を基準位置に設定しても良い。
【００８４】
また、サーボ制御が適用されていない状態における対物レンズの開口領域の中心を基準位置として設定しても良い。該基準位置と対物レンズが移動した後の開口領域の中心とから対物レンズの変位量を求め、かかる変位量をもとにして記録データ設定領域と該開口領域との間の位置偏倚量を求めて、記録データ設定領域の位置を補正することとしても良い。
【００８５】
上述したピックアップの構成例では、第１レーザ光源ＬＤ１からの光ビームが、第１コリメータレンズＣＬ１、第１ハーフミラープリズムＨＰ１及びミラープリズムＭを経て空間変調器ＳＬＭに入射しているものの、これに限定されない。
【００８６】
例えば図１７に示す如く、空間変調器ＳＬＭを第１ハーフミラープリズムＨＰ１とミラープリズムＭとの間に配置しても良い。かかる点を除くその他の構成は、図５に示すピックアップと同一の構成としても良い。
【００８７】
ピックアップの変形例として、参照光の光路上に参照光を遮断できるシャッタが設けられても良い。例えば図１８に示す如く、第１ハーフミラープリズムＨＰ１と第２ハーフミラープリズムＨＰ２との間にシャッタＳＨを設けることとしても良い。シャッタＳＨは、例えば透過型液晶パネルであり、電気的に入射光を透過又は遮蔽させる機能を有する。かかるシャッタＳＨは制御回路２７に接続され、当該機能を制御回路２７によって制御されても良い。その他の構成は図５に示す如き上述のピックアップとほぼ同様である。
【００８８】
上述のホログラム記録装置は、対物レンズの開口領域と記録データ設定領域との間の光学的な位置偏倚の補正を空間変調器上における記録データ設定領域の設定位置を変更して行っているもののこれに限定されない。例えば、対物レンズの基準位置からの移動量を光学センサなどの測定手段によって直接測定することとしても良い。
【００８９】
例えば図１９に示す如く、対物レンズに対してレーザ光を投射してその戻り光を受光して対物レンズの変位量を求めることができる光学センサを含む対物レンズ検出部２９を設け、対物レンズ検出部２９を検出信号処理回路１８に接続することとしても良い。対物レンズ検出部２９において検出された検出信号は検出信号処理回路１８に供給され、検出信号処理回路１８は該検出信号を処理して、対物レンズＯＢと空間変調器ＳＬＭの記録データ設定領域（図示せず）との間の光学的な位置偏倚量に対応する位置信号を制御回路２７へ供給する。上記した点を除くその他の構成は、図５に示すピックアップと同一構成としても良い。
【００９０】
上述したピックアップの構成において、対物レンズの開口領域と記録データ設定領域との間の光学的な位置偏倚を補正する手段は、空間変調器を移動せしめる手段を含むこととしても良い。例えば図２０に示す如く、空間変調器の平面に平行な方向、すなわちレーザ光の光軸に対して垂直方向に該空間変調器を移動することができるアクチュエータを含む空間変調器駆動部３０が備えられ、空間変調器駆動部３０は空間変調器駆動回路１７に接続されても良い。空間変調器駆動回路１７は、検出信号処理回路１８からの位置信号を受信した制御回路２７から、空間変調器を移動せしめる方向及び移動量を含む変調器移動信号が供給される。この変調器移動信号によって空間変調器駆動部３０を動作させて、空間変調器ＳＬＭを移動せしめ、対物レンズの開口領域と記録データ設定領域との間の位置偏倚を修正する。上記した点を除くその他の構成は、図５に示すピックアップと同一構成としても良い。
【００９１】
なお、上記実施例において、透過型の空間変調器を用いて説明しているものの、これに限定されず、反射型の空間変調器を用いることとしても良い。また、空間変調器の変調方法は、入射光の透過の有無による方法に限定されず、例えば入射光の偏光面を変化させる方法を用いても良い。
【００９２】
可干渉性の参照光ビームを発生する光源と、情報データに応じて該参照光ビームを空間的に変調して信号光ビームを生成する空間変調器を含む信号光生成部と、該信号光ビーム及び該参照光ビームを記録媒体へ向けて対物レンズを通して照射して、該記録媒体の内部に光干渉パターンによる回折格子の領域を形成する干渉部と、該対物レンズを該記録媒体の記録面に対して位置決めするレンズ位置決め部と、該記録媒体から該対物レンズを通過して戻ってくる戻りビームを検出する受光部と、を含み、該信号光生成部は、該情報データに含まれる記録されるべきデータが供給される空間変調器の記録データ設定領域と該対物レンズの開口領域との間の光学的な位置偏倚量を検出して該記録データ設定領域の位置を補正する補正手段を含む、ことを特徴とする本発明のホログラム記録装置によれば、信号光の記録されるべきデータが変調されている空間の大きさを対物レンズの開口領域の大きさとほぼ同じ若しくはやや小としても、かかる空間の信号光が対物レンズを透過できる。すなわち、空間変調器の記録データ設定領域は、対物レンズの可動範囲に依存せずに対物レンズのレンズ開口領域に対応する大きさまで広げることができて、記録データ設定領域に供給できる情報データのデータ量を増やすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】ホログラム記録再生原理を示す部分断面図である。
【図２】本発明のホログラム記録装置を説明する概略部分断面図である。
【図３】本発明のホログラム記録装置による記録原理を説明する概略部分断面図である。
【図４】本発明によるホログラム記録装置の概略構成を示すブロック図である。
【図５】本発明によるホログラム記録装置のピックアップの概略を示す構成図である。
【図６】本発明によるホログラム記録装置のピックアップの概略を示す構成図である。
【図７】本発明によるホログラム記録装置のピックアップにおける光検出器を示す平面図である。
【図８】本発明によるホログラム記録装置のピックアップの概略を示す構成図である。
【図９】本発明のホログラム記録装置による対物レンズの信号光入射面を含む平面（ａ−１，ｂ−１，ｃ−１）と受光部（ａ−２，ｂ−２，ｃ−２）におけるページデータを示す平面図である。
【図１０】本発明によるホログラム記録装置に使用できる基準位置マークを含むページデータを示す平面図である。
【図１１】本発明によるホログラム記録装置のピックアップにおける空間変調器（ａ）と受光部（ｂ）を示す部分拡大平面図である。
【図１２】本発明のホログラム記録装置のフローチャートである。
【図１３】本発明のホログラム記録装置による対物レンズの信号光入射面を含む平面（ａ−１，ｂ−１，ｃ−１）と受光部（ａ−２，ｂ−２，ｃ−２）におけるページデータを示す平面図である。
【図１４】本発明のホログラム記録装置による対物レンズの信号光入射面を含む平面（ａ１〜ａ５）と受光部（ｂ１〜ｂ５）におけるページデータの基準位置マークを示す部分拡大平面図である。
【図１５】本発明のホログラム記録装置による対物レンズの信号光入射面を含む平面（ａ−１）と受光部（ａ−２）におけるページデータを示す平面図と光量分布を示すグラフである。
【図１６】本発明のホログラム記録装置による対物レンズの信号光入射面を含む平面（ａ−１，ｂ−１）と受光部（ａ−２，ｂ−２）ページデータを示す平面図と光量分布を示すグラフである。
【図１７】本発明によるホログラム記録装置のピックアップの概略を示す構成図である。
【図１８】本発明によるホログラム記録装置のピックアップの概略を示す構成図である。
【図１９】本発明によるホログラム記録装置のピックアップの概略を示す構成図である。
【図２０】本発明によるホログラム記録装置のピックアップの概略を示す構成図である。
【符号の説明】
【００９４】
６…ホログラム記録装置
７…ホログラムディスク
８…基板
９…反射層
１０…分離層
１１…記録層
１２…保護層
１３…スピンドルモータ
１４…ピックアップ
１５…ピックアップ駆動部
１６…第１レーザ光源駆動回路
１７…空間変調器駆動回路
１８…検出信号処理回路
１９…サーボ信号処理回路
２０…フォーカスサーボ回路
２１…トラッキングサーボ回路
２２…ピックアップ位置検出回路
２３…スライダサーボ回路
２４…回転数検出部
２５…回転位置検出回路
２６…スピンドルサーボ回路
２７…制御回路
２８…対物レンズ駆動部
２９…対物レンズ検出部
３０…空間変調器駆動部
ＬＡ…開口領域
ＲＡ…記録データ設定領域
ＲＭ１ａ，ＲＭ１ｂ，ＲＭ２，ＲＭ３ａ，ＲＭ３ｂ…基準位置マーク
ＡＳ…非点収差素子
ＧＴ…ガイドトラック
ＬＤ１…第１レーザ光源
ＣＬ１…第１コリメータレンズ
ＨＰ１…第１ハーフミラープリズム
Ｍ…ミラープリズム
ＳＬＭ…空間変調器
ＣＭＯＳ…受光部
ＨＰ２…第２ハーフミラープリズム
ＬＤ２…第２レーザ光源
ＣＬ２…第２コリメータレンズ
ＨＰ３…第３ハーフミラープリズム
ＨＰ４…第４ハーフミラープリズム
ＰＤ…光検出器
ＤＰ…ダイクロイックプリズム
ＯＢ…対物レンズ
ＳＨ…シャッタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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