(57)【要約】【課題】光の高周波ノイズ成分を抑制する。【解決手段】光出力から高周波ノイズ成分を取り出すハイパスフィルタ１２と、高周波ノイズ成分を抑制するように半導体レーザ３の駆動電流を制御する負帰還回路１３とを、レーザ発振部筐体１５内に設ける。【効果】高周波ノイズ成分に関しては伝送路中に大きな時定数が発生しないため、光の高周波ノイズ成分を十分に抑制できる。ハイパスフィルタ１２と負帰還回路１３とは常時作動するため、光の高周波ノイズ成分を常時抑制することが出来る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体レーザと固体レーザ結晶とを含むレーザ発振部を収容する筐体外に、光出力に基づいて前記半導体レーザの駆動電流を制御する制御部を設けてなる固体レーザ装置であって、前記光出力から高周波ノイズ成分を取り出すフィルタと、前記高周波ノイズ成分を抑制するように前記半導体レーザの駆動電流を制御する第２の制御回路とを、前記制御部よりも前記レーザ発振部の近傍に設けたことを特徴とする固体レーザ装置。
【請求項２】
請求項１に記載の固体レーザ装置において、前記フィルタと前記第２の制御回路とを、前記レーザ発振部を収容する筐体内に設けたことを特徴とする固体レーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体レーザ装置に関し、さらに詳しくは、光の高周波ノイズ成分を常時抑制することが出来る固体レーザ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
固体レーザ装置は、半導体レーザと固体レーザ結晶とを含むレーザ発振部を収容する筐体外に、光出力に基づいて半導体レーザの駆動電流を制御する制御部が設けられており、両者はケーブル等で接続されている。しかし、ケーブル等を介して信号を伝達すると、伝送路中に大きな時定数が発生してしまい、制御部の応答速度を速くしても、光の高周波ノイズ成分を十分に抑制できなかった。
【０００３】
そこで、高周波ノイズ成分が最も少なくなるように、半導体レーザ，共振器，エタロンの温度を別個にチューニングする固体レーザ装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００３−１５８３１８号公報（［００１８］〜［００２０］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の固体レーザ装置では、半導体レーザ，共振器，エタロンの温度をそれぞれチューニングすることで高周波ノイズ成分を抑制している。
しかし、チューニングは、例えば毎日始業時の電源立ち上げ時に行われるだけなので、チューニングから時間が経つと、高周波ノイズ成分を抑制できなくなるおそれがあった。
そこで、本発明の目的は、光の高周波ノイズ成分を常時抑制することが出来る固体レーザ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１の観点では、本発明は、半導体レーザと固体レーザ結晶とを含むレーザ発振部を収容する筐体外に、光出力に基づいて前記半導体レーザの駆動電流を制御する制御部を設けてなる固体レーザ装置であって、前記光出力から高周波ノイズ成分を取り出すフィルタと、前記高周波ノイズ成分を抑制するように前記半導体レーザの駆動電流を制御する第２の制御回路とを、前記制御部よりも前記レーザ発振部の近傍に設けたことを特徴とする固体レーザ装置を提供する。
上記第１の観点による固体レーザ装置では、フィルタと第２の制御回路とを制御部よりもレーザ発振部の近傍に設けたため、高周波ノイズ成分に関しては伝送路中に大きな時定数が発生しなくなる。このため、光の高周波ノイズ成分を十分に抑制できる。また、フィルタと第２の制御回路とは常時作動するため、光の高周波ノイズ成分を常時抑制することが出来る。
【０００６】
第２の観点では、本発明は、上記構成の固体レーザ装置において、前記フィルタと前記第２の制御回路とを、前記レーザ発振部を収容する筐体内に設けたことを特徴とする固体レーザ装置を提供する。
上記第２の観点による固体レーザ装置では、レーザ発振部を収容する筐体内にフィルタと第２の制御回路とを設けたため、高周波ノイズ成分に関しては伝送路中に大きな時定数が発生しなくなる。このため、光の高周波ノイズ成分を十分に抑制できる。また、フィルタと第２の制御回路とは常時作動するため、光の高周波ノイズ成分を常時抑制することが出来る。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の固体レーザ装置によれば、光の高周波ノイズ成分を十分に且つ常時抑制することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図に示す実施例により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【０００９】
図１は、実施例１に係る固体レーザ装置１００を示す説明図である。
この固体レーザ装置１００は、レーザ発振部筐体１５に収容されたレーザ発振部１７と、制御部筐体２５に収容された制御部２０と、レーザ発振部１７と制御部２０とを接続するケーブル３０とからなっている。
【００１０】
レーザ発振部１７は、励起光（波長λａ）を出射する半導体レーザ３と、励起光を集光する集光レンズ系４と、励起光の入射面に反射面が形成され励起光により基本波光（波長λｂ）を発生するレーザ媒質５と、基本波光が入射すると第２高調波光（波長λｃ＝λｂ／２）を発生するＳＨＧ素子６と、波長選択用のエタロン７と、レーザ媒質５の反射面との間で光共振器を形成する反射面を持つ出力ミラー９と、出力ミラー９から外部へ出力されるレーザ光の一部を透過すると共に残りを分岐するビームスプリッタ１０と、分岐光の強度を検出するためのホトダイオード１１と、ホトダイオード１１の出力から高周波ノイズ成分を抽出するハイパスフィルタ１２と、高周波ノイズ成分を抑制するための補正電流Ｉ２を出力する負帰還回路１３と、補正電流Ｉ２と制御部２０から出力された制御電流Ｉ１とを加算して半導体レーザ３へ駆動電流Ｉｄを出力するアンプ１４と、ペルチェ素子と温度センサとを有し半導体レーザ３の温度調整を行うための半導体レーザ温調ユニット１と、ペルチェ素子と温度センサとを有し共振器の温度調整を行うための共振器温調ユニット２と、ペルチェ素子と温度センサとを有しエタロン７の温度調整を行うためのエタロン温調ユニット８と、コネクタ１６とを具備している。
【００１１】
制御部２０は、半導体レーザ温調ユニット１を介して半導体レーザ３の温度を制御する半導体レーザ温度制御回路２１と、共振器温調ユニット２を介して共振器の温度を制御する共振器温度制御回路２２と、エタロン温調ユニット８を介してエタロン７の温度を制御するエタロン温度制御回路２８と、ホトダイオード１１の出力から光出力成分を抽出する光出力検出回路２３と、光出力を所定強さにするように制御電流Ｉ１を出力する半導体レーザ駆動電流制御回路２４と、コネクタ２６とを具備している。
【００１２】
ケーブル３０は、レーザ発振部１７のコネクタ１６と制御部２０のコネクタ２６とを結合している。
【００１３】
実施例１に係る固体レーザ装置１００によれば、制御部２０の帰還制御で光出力の強度を規定範囲内で一定に制御できると共に、制御部２０の帰還制御では抑制できない高周波ノイズ成分を、レーザ発振部筐体１５内に設置されたハイパスフィルタ１２および負帰還回路１３により効果的に抑制することが出来る。
【実施例２】
【００１４】
レーザ発振部筐体１５内でなく、レーザ発振部筐体１５の近傍にハイパスフィルタ１２および負帰還回路１３を設置してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００１５】
本発明の固体レーザ装置は、広帯域通信，データ記憶装置，精密計測などに利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例１に係る固体レーザ装置を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００１７】
３                  半導体レーザ
４                  集光レンズ系
５                  レーザ媒質
６                  ＳＨＧ素子
７                  エタロン
９                  出力ミラー
１０                ビームスプリッタ
１１                ホトダイオード
１２                ハイパスフィルタ
１３                負帰還回路
１４                アンプ
１５                レーザ発振部筐体
２５                制御部筐体
３０                ケーブル
１００              固体レーザ装置
【図１】
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