(57)【要約】【課題】配管を流れる気体の質量流量を測定する際に、配管内に設けた絞り機構の上流側（高圧側）圧力Ｐ１と下流側（低圧側）圧力Ｐ２との差圧（Ｐ１−Ｐ２）並びに上流側の圧力Ｐ１を検出するに用いる検出器、その周辺機器、付帯設備、配線等の構成を簡単化し、低コスト化する。【解決手段】差圧（Ｐ１−Ｐ２）を検出する静電容量式の差圧センサ３Ｄと、圧力Ｐ１を検出する静電容量式の圧力センサ３Ａとを同一材質のブロックからなるハウジング４に穿たれた２つの円筒状の凹穴４０内にそれぞれ収納するようにして差圧検出器と圧力検出器を一体に構成する。【選択図】        図１
2005069705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出対象の差圧に応じた信号を出力するセンサであって大気圧と異なる第１および第２の流体の圧力相互の差圧を検出対象とする第１のセンサと、同じく大気圧と第１の流体の圧力との差圧を検出対象とする第２のセンサとを同一のハウジングに収納してなることを特徴とする差圧・圧力検出器。
【請求項２】
請求項１に記載の差圧・圧力検出器において、
前記第１，第２のセンサが、それぞれ、膜面両側の圧力差に比例して変位し該膜面を可動電極の電極面とする平膜状のダイアフラムと、該ダイアフラムの両面側にそれぞれ該ダイアフラムの膜面に対向するように設けられた第１，第２の固定電極とを備え、
第１の固定電極と可動電極との間に形成される第１の静電容量と第２の固定電極と可動電極との間に形成される第２の静電容量とを測定する静電容量式のセンサからなることを特徴とする差圧・圧力検出器。
【請求項３】
請求項２に記載の差圧・圧力検出器において、
前記ハウジングが同一材質のブロックからなり、前記第１，第２のセンサが該ブロックに穿たれた２つの円筒状の凹穴内にそれぞれ収納されてなることを特徴とする差圧・圧力検出器。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の差圧・圧力検出器において、
前記第１，第２の圧力は前記第１，第２のセンサに対してそれぞれ第１，第２の封入液を介して伝達され、
周縁が固定されると共に第１の封入液が充填された第１の液体空間に対する外部からの第１の圧力の入力面を構成し、第１の圧力が第２の圧力に対し、所定の第１の差圧分高まった第１の過大圧状態において該差圧に対する剛性が無視できる状態で、その支持体に着座し第１の液体空間側への変位を停止する第１のシールダイアフラムと、
同じく周縁が固定されると共に第２の封入液が充填された第２の液体空間に対する外部からの第２の圧力の入力面を構成し、第２の圧力が第１の圧力に対し、所定の第２の差圧分高まった第２の過大圧状態において該差圧に対する剛性が無視できる状態で、その支持体に着座し第２の液体空間側への変位を停止する第２のシールダイアフラムと、
周縁が固定されて第１の液体空間と第２の液体空間との界面を構成し、前記第１の過大圧状態では第２の液体空間側に弾性変形によって変位し、前記第２の過大圧状態では第１の液体空間側に弾性変形によって変位する保護ダイアフラムとを持つ保護部を備えたことを特徴とする差圧・圧力検出器。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の差圧・圧力検出器において、
前記第１および第２の流体が気体であり、該気体の質量流量を測定するために用いられることを特徴とする差圧・圧力検出器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、第１の圧力と第２の圧力との間の差圧を検出する差圧センサと、大気圧を基準にした第１の圧力を検出する圧力センサとを検出部の同一ハウジングに収納した検出器であって、差圧と圧力を同時に測定することにより気体の質量流量を測定することを容易にした差圧・圧力検出器に関する。
なお、以下各図において同一の符号は同一もしくは相当部分を示す。
【０００２】
【従来の技術】
図３は、この種の用途に用いられる従来の差圧検出器の一例についての断面図である。同図に示すように、差圧検出器０１Ｄは大別して、差圧センサ３Ｄをハウジング４Ｄに格納してなる検出部１、検出対象の差圧を形成する高，低の２つの導入された圧力Ｐ１，Ｐ２をそれぞれ本体８ａ，８ｂの右，左の側面上のシールダイアフラム１０ａ，１０ｂで受けて、差圧センサ３Ｄの耐圧強度を超える差圧が検出部１に伝達されないように保護すると共に安全な差圧を差圧センサ３Ｄに伝達するための保護部２、検出部１と保護部２とを連結して高，低の２つの圧力Ｐ１，Ｐ２をそれぞれ保護部２側から検出部１側に伝える導圧管１１ａ、１１ｂからなる。
【０００３】
保護部２は、本例では主として円形平膜状の保護ダイアフラム９と、この保護ダイアフラム９を挟んで相互に嵌合しながら対向し、保護ダイアフラム９および導圧孔１３ａ，１３ｂの中心線を軸とするほぼ円柱状の本体８ａ，８ｂと、本体８ａ，８ｂと同軸で回転対称の波形断面を持ち本体８ａ，８ｂのそれぞれ右，左の端面に互いに面対称に取付けられた円形薄膜状の前述のシールダイアフラム１０ａ，１０ｂとからなる。
そして本例の場合、本体８ａと８ｂは、本体８ａの左側端面上に本体８ａと同軸に、保護ダイアフラム９の外径にほぼ等しく設けられた円柱状の突出部８１と、本体８ｂの右側端面上に本体８ｂと同軸に突出部８１に対応して設けられた円環状の凹部８２とで嵌合し、本体８ａと８ｂの外周の溶接部Ｗ２にて相互に結合されている。
【０００４】
なお、保護ダイアフラム９は、本体８ａと８ｂのこの結合に先立って本体８ａの突出部８１の先端外周縁の溶接部Ｗ１にて突出部８１に溶接にて接合され、本体８ａと８ｂとが結合される際に保護ダイアフラム９の周縁部分にてその両面を本体８ａの突出部８１の先端面と本体８ｂの凹部８２の底面とで圧着保持される。
ここで、保護ダイアフラム９は、この差圧検出器０１Ｄが検出する差圧の範囲内では保護ダイアフラム９の両面間に加わる圧力差に対して、その変位（歪み）が比例するような弾性変形を行い、他方、シールダイアフラム１０ａ，１０ｂは上記測定差圧の範囲内では、その剛性が無視できる状態で変位する。
高圧側の本体８ａの左端面の中心側は本体８ａの軸に回転対称に擂鉢状に凹んでおり、これにより保護ダイアフラム９との間に保護ダイアフラム室１４ａが形成されている。また、本体８ａの右端面は本体８ａの軸に回転対称のシールダイアフラム１０ａの波形断面とほぼ同じ断面形状を持つ波形面に形成され、シールダイアフラム１０ａは本体８ａのこの右端面との間にシールダイアフラム室１２ａを形成するようにその周縁部で本体８ａに接合されている。
【０００５】
導圧孔１３ａは本体８ａをその軸線に沿つて貫通し、シールダイアフラム室１２ａと保護ダイアフラム室１４ａとに連通している。また、本体８ａに別に穿たれた導圧孔１５ａは一方では保護ダイアフラム室１４ａの外周近傍に開口し、他方では導圧管１１ａを経て検出部１の高圧側の導圧孔１６ａに連通している。
同様に、低圧側の本体８ｂの右端面の中心側は本体８ｂの軸に回転対称に擂鉢状に凹んでおり、これにより保護ダイアフラム９との間に保護ダイアフラム室１４ｂが形成されている。また、本体８ｂの左端面は本体８ｂの軸に回転対称のシールダイアフラム１０ｂの波形断面とほぼ同じ断面形状を持つ波形面に形成され、シールダイアフラム１０ｂは本体８ｂのこの左端面との間にシールダイアフラム室１２ｂを形成するようにその周縁部で本体８ｂに接合されている。
【０００６】
導圧孔１３ｂは本体８ｂをその軸線に沿つて貫通し、シールダイアフラム室１２ｂと保護ダイアフラム室１４ｂとに連通している。また、本体８ｂに別に穿たれた導圧孔１５ｂは一方では保護ダイアフラム室１４ｂの外周近傍に開口し、他方では導圧管１１ｂを経て検出部１の低圧側の導圧孔１６ｂに連通している。
保護ダイアフラム９により右側に仕切られた、シールダイアフラム室１２ａ、導圧孔１３ａ、保護ダイアフラム室１４ａ、導圧孔１５ａ、導圧管１１ａ、検出部１内の導圧孔１６ａ等からなる内部空間には高圧側圧力Ｐ１の伝達用の封入液ＬＱ１が充填されている。
同様に、保護ダイアフラム９により左側に仕切られた、シールダイアフラム室１２ｂ、導圧孔１３ｂ、保護ダイアフラム室１４ｂ、導圧孔１５ｂ、導圧管１１ｂ、検出部１内の導圧孔１６ｂ等からなる内部空間には低圧側圧力Ｐ２の伝達用の封入液ＬＱ２が充填されている。
【０００７】
検出部１においては、ハウジング４Ｄに、その左側面を開口側、図の左右方向を軸方向とし、右に向かって順次内径が少しずつ階段状に小さくなっている同軸の３つの内周面４３，４２，４１を持つ円筒穴４０が穿たれており、円柱状の外形を持つ差圧センサ３Ｄが円筒穴４０の内周面４１の内部空間に絶縁筒５１、絶縁スペーサ５２、基台６を介して、円筒穴４０とほぼ同軸に格納されたうえ、円筒穴４０の入口が蓋部材７によって閉じられている。
ここで、厚肉円筒状の絶縁筒５１は、外径が円形穴４０の内周面４１の内径にほぼ等しく、内径が差圧センサ３Ｄの外径よりやや大きく形成され、その右端面が円筒穴４０の底面に接するように円形穴４０の内周面４１部分にはめ込まれ、その内側空間に差圧センサ３Ｄをハウジング４Ｄから絶縁して収容している。
【０００８】
厚肉円盤状の基台６は、その外周が円形穴４０の内周面４１に嵌合し、その外周面の左端の周縁の溶接部Ｗ３にて円形穴４０の内周面４１の左端の周縁に溶接され、基台６の右端面で絶縁筒５１の左端面に接して絶縁筒５１の軸方向の位置決めをすると共に、絶縁スペーサ５２を介して差圧センサ３Ｄを保持している。薄肉円板状の絶縁スペーサ５２は、その右と左の両面でそれぞれ差圧センサ３Ｄの左端面と基台６の右端面に同軸に接着され、差圧センサ３Ｄを基台６、従ってハウジング４Ｄから絶縁しながら基台６に結合している。
厚肉円盤状の蓋部材７は、その左半部の外周面が右半部の外周面に対し階段状に突出して円筒穴４０の内周面４３に嵌合し、蓋部材７のこの突出した外周面の右端部は円筒穴４０の内周面４３と４２との段付部に突き当てられている。
【０００９】
そして、蓋部材７の左端面はハウジング４Ｄの左端面にほぼ一致するように形成され、蓋部材７はその左端面の外周縁の溶接部Ｗ４にて円筒穴４０の内周面４３の左端の周縁に溶接されている。
また、蓋部材７の右半部の外周面は円筒穴４０の内周面４２に導圧空隙１７Ｄを介して対向し、蓋部材７の右端面は基台６の左端面に導圧空隙１８Ｄを介して対向している。
差圧センサ３Ｄは、その両面間の差圧、本例では（Ｐ１−Ｐ２）に比例して変位する円形平膜状の可動電極（ダイアフラム）３３と、この可動電極３３の図の右左両側にそれぞれ可動電極の面に平行に対向して配置された厚肉円盤状の２つの固定電極３１および３２とで一対のキャパシタを形成した周知の静電容量式差圧センサからなる。
【００１０】
差圧センサ３Ｄの固定電極３１の軸心には導圧孔１９Ｄ１が穿たれて導圧孔１６ａに連通し、可動電極３３の膜面の右側の空間には導圧孔１９Ｄ１と共に高圧側圧力Ｐ１の伝達用の封入液ＬＱ１が充填されている。
また、差圧センサ３Ｄの固定電極３２の軸心には、基台６および絶縁スペーサの軸心を通る導圧孔１９Ｄ２が穿たれて導圧空隙１８Ｄおよび１７Ｄを介し導圧孔１６ｂに連通している。そして、可動電極３３の膜面の左側の空間には導圧孔１９Ｄ２、導圧空隙１８Ｄおよび１７Ｄと共に低圧側圧力Ｐ２の伝達用の封入液ＬＱ２が充填されている。
また、差圧センサ３Ｄの電極３１〜３３からハウジング４Ｄの外部へそれぞれ絶縁かつ気密状態で電極端子３１ａ〜３３ａが引き出されている。
【００１１】
可動電極３３の膜の両面間の差圧（Ｐ１−Ｐ２）に応じて差圧センサ３Ｄの出力が変化し、この出力は差圧センサ３Ｄから引き出された電極端子３１ａ〜３３ａにより差圧検出信号３Ｄｏｕｔ（図５参照）として取り出される。
なお、保護部２の動作を述べると、測定対象の２ケ所の圧力Ｐ１，Ｐ２がシールダイアフラム１０ａ，１０ｂにそれぞれ印加されると、シールダイアフラム１０ａに印加された圧力Ｐ１は、高圧側内部空間の封入液ＬＱ１を媒体にして検出部１の高圧側に、またシールダイアフラム１０ｂに印加された圧力Ｐ２は、低圧側内部空間の封入液ＬＱ２を媒体にして検出部１の低圧側にそれぞれ伝達される。
ここで、高圧側（低圧側）から過大圧が作用した場合、その圧力に応じて保護ダイアフラム９が低圧側（高圧側）へ変位して、その変位体積分だけシールダイアフラム１０ａ（１０ｂ）が対向する本体８ａ（８ｂ）側に変位する。
【００１２】
そして、シールダイアフラム室１２ａ（１２ｂ）にあった封入液が保護ダイアフラム室１４ａ（１４ｂ）に移動し、シールダイアフラム１０ａ（１０ｂ）が対向する本体８ａ（８ｂ）の右側（左側）の波形表面に着座すると、それ以上の過大圧は検出部１へは伝達されなくなり、検出部１は過大圧から保護されることになる。
図４は、この種の用途に用いられる従来の圧力検出器の一例についての断面図である。
図４の圧力検出器０１Ａと図３の差圧検出器０１Ｄとの構成は、本例では基本的には同じであり、両者０１Ａと０１Ｄの相違は圧力検出器０１Ａでは低圧側が大気圧Ｐ０に開放されている点である。（但し、厳密にはセンサの可動電極３３および保護ダイアフラム９の、（膜面両側の圧力差）／（膜面の変位）の係数、従ってその膜厚が異なり得る。）
なお、図４では図３の差圧センサ３Ｄ、ハウジング４Ｄ、導圧空隙１７Ｄ，１８Ｄ、導圧孔１９Ｄ１，１９Ｄ２、差圧検出信号３Ｄｏｕｔ、封入液ＬＱ２、低圧側圧力Ｐ２をそれぞれ圧力センサ３Ａ、ハウジング４Ａ、導圧空隙１７Ａ，１８Ａ、導圧孔１９Ａ１，１９Ａ２、圧力検出信号３Ａｏｕｔ、封入液ＬＱ０、大気側圧力Ｐ０に置換えて区別してある。
【００１３】
図４では可動電極３３の膜の両面間の差圧（Ｐ１−Ｐ０）、つまり大気圧Ｐ０に対する高圧側圧力Ｐ１に応じて圧力センサ３Ａの出力が変化し、出力はその電極端子３１ａ〜３３ａにより圧力検出信号３Ａｏｕｔ（図５参照）として取り出される。
図５は従来の気体の質量流量測定装置の要部の構成例を示す模式図である。同図に示すように、測定対象の気体が流れる配管０４内に絞り機構０５を設け、この絞り機構０５の上流側圧力、下流側圧力をそれぞれ差圧検出器０１Ｄへ高圧側圧力Ｐ１、低圧側圧力Ｐ２として印加すると共に、絞り機構０５の上流側圧力を圧力検出器０１Ａへ高圧側圧力Ｐ１として印加し、また絞り機構０５の上流側に温度検出器０２を配置している。
【００１４】
そして、差圧検出器０１Ｄの出力である差圧検出信号３Ｄｏｕｔ、圧力検出器０１Ａの出力である圧力検出信号３Ａｏｕｔ、温度検出器０２の出力である温度検出信号０２ｏｕｔを演算器０３に与え、測定対象気体の質量流量Ｑｍを求めている。
ここで気体の質量流量Ｑｍの測定の原理を説明する。
周知の通り差圧を測定し、それを演算することで流量が測定できる。その関係は下式（１）により表される。
【００１５】
【数１】
2005069705.tif 000003
この式（１）に基づき、原則的には流体の密度ρが一定として絞り機構０５で発生した差圧（Ｐ１−Ｐ２）を測定し、質量流量Ｑｍを算出する。しかし、気体の場合、密度ρは温度や圧力により変化してしまう。そこで、演算器０３を介して、圧力検出器０１Ａの出力である圧力検出信号３Ａｏｕｔおよび温度検出器０２の出力である温度検出信号０２ｏｕｔによりそれぞれ演算測定された気体の圧力Ｐ１と温度から気体の密度ρを補正し、この補正された密度ρと、差圧検出器０１Ｄの出力である差圧検出信号３Ｄｏｕｔにより演算測定された差圧（Ｐ１−Ｐ２）とを用いて正しい質量流量Ｑｍを算出するものである。
【００１６】
なお、差圧から流量を求める測定技術に関連するものとして、例えば、特許第３１６６４７７号公報（特許文献１参照）、特開平１０−２５３４１０号公報（特許文献２参照）に記載の装置が知られている。
【００１７】
【特許文献１】
特許第３１６６４７７号公報
【特許文献２】
特開平１０−２５３４１０号公報
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の質量流量測定装置には次のような問題があり、その改善が望まれている。
▲１▼差圧検出器と圧力検出器の２台の検出器が必要となりコストが高くなる。
▲２▼差圧検出器と圧力検出器へ付随する設備（例えば供給電源）も２台分必要となる。
▲３▼配線コスト、設置工事コストなどが２台分発生する。
本発明は上記の問題を解消できる差圧・圧力検出器を提供することを課題とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するために請求項１の差圧・圧力検出器は、
検出対象の差圧に応じた信号を出力するセンサであって大気圧と異なる第１および第２の流体の圧力（高圧側圧力Ｐ１および低圧側圧力Ｐ２）相互の差圧（Ｐ１−Ｐ２）を検出対象とする第１のセンサ（差圧センサ３Ｄ）と、同じく大気圧（Ｐ０）と第１の流体の圧力（高圧側圧力Ｐ１）との差圧を検出対象とする第２のセンサ（圧力センサ３Ａ）とを同一のハウジング（４）に収納してなるようにする。
また請求項２の差圧・圧力検出器は、請求項１に記載の差圧・圧力検出器において、
前記第１，第２のセンサが、それぞれ、膜面両側の圧力差に比例して変位し該膜面を可動電極の電極面とする平膜状のダイアフラム（３３）と、該ダイアフラムの両面側にそれぞれ該ダイアフラムの膜面に対向するように設けられた第１，第２の固定電極（３１，３２）とを備え、
第１の固定電極と可動電極との間に形成される第１の静電容量と第２の固定電極と可動電極との間に形成される第２の静電容量とを測定する静電容量式のセンサからなるようにする。
【００２０】
また請求項３の差圧・圧力検出器は、請求項２に記載の差圧・圧力検出器において、
前記ハウジングが同一材質のブロックからなり、前記第１，第２のセンサが該ブロックに穿たれた２つの円筒状の凹穴（円筒穴４０）内にそれぞれ収納されてなるようにする。
また請求項４の差圧・圧力検出器は、請求項１ないし３のいずれかに記載の差圧・圧力検出器において、
前記第１，第２の圧力は前記第１，第２のセンサに対してそれぞれ第１，第２の封入液（ＬＱ１，ＬＱ２）を介して伝達され、
周縁が固定されると共に第１の封入液が充填された第１の液体空間に対する外部からの第１の圧力の入力面を構成し、第１の圧力が第２の圧力に対し、所定の第１の差圧分高まった第１の過大圧状態において該差圧に対する剛性が無視できる状態で、その支持体（本体８ａ）に着座し第１の液体空間側への変位を停止する第１のシールダイアフラム（１０ａ）と、
同じく周縁が固定されると共に第２の封入液が充填された第２の液体空間に対する外部からの第２の圧力の入力面を構成し、第２の圧力が第１の圧力に対し、所定の第２の差圧分高まった第２の過大圧状態において該差圧に対する剛性が無視できる状態で、その支持体（本体８ｂ）に着座し第２の液体空間側への変位を停止する第２のシールダイアフラム（１０ｂ）と、
周縁が固定されて第１の液体空間と第２の液体空間との界面を構成し、前記第１の過大圧状態では第２の液体空間側に弾性変形によって変位し、前記第２の過大圧状態では第１の液体空間側に弾性変形によって変位する保護ダイアフラム（９）とを持つ保護部（２）を備えたものとする。
【００２１】
また請求項５の差圧・圧力検出器は、請求項１ないし４のいずれかに記載の差圧・圧力検出器において、
前記第１および第２の流体が気体であり、該気体の質量流量を測定するために用いられるようにする。
即ち、本発明の作用は、検出対象の差圧（Ｐ１−Ｐ２）に応じた信号を出力する差圧センサ３Ｄと、検出対象の圧力Ｐ１に応じた信号を出力する圧力センサ３Ａとを同一のハウジング４からなる差圧・圧力検出器０１内に配置し、流体の差圧および圧力を同時に測定することを可能にして、気体の質量流量測定装置の構成を簡単化するものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例としての差圧・圧力検出器０１の構成を示す断面図である。本実施例の従来例と異なる点は、差圧センサと圧力センサが同一の検出部１内に配置されていることである。
即ち、図１の検出部１においては共通のハウジング４の左右両側面をそれぞれ開口側として、ハウジング４に図の左右方向を軸方向とする同軸かつ面対称の、図３，図４と同形状の円筒穴４０が穿たれており、左と右の円筒穴４０にはそれぞれ差圧センサ３Ｄと圧力センサ３Ａが格納されている。
ここで、差圧センサ３Ｄ側（左側）の円筒穴４０内における各手段の構成は図３と同様である。また、圧力センサ３Ａ側（右側）の円筒穴４０内における各手段の構成は蓋部材７が７ａに置き換わっている点を除いて図４と同様である（但し左右を反転している）。なお、右側の円筒穴４０の各内周面４１〜４３および溶接部Ｗ３，Ｗ４の符号は省略されている。
【００２３】
蓋部材７ａはハウジング４の内側では蓋部材７と同じ形状を持ち、ハウジング４に同様に結合されている。しかし蓋部材７ａの開放側である右端面は軸に回転対称の波形面に形成され、この波形面とほぼ同じ断面形状を持ち蓋部材７ａと同軸のシールダイアフラム１０ｃが、蓋部材７ａの右端面との間にシールダイアフラム室１２ｃを形成するようにその周縁部で蓋部材７ａに接合されている。
このシールダイアフラム室１２ｃは蓋部材７ａの軸心を通る導圧孔１３ｃを介して圧力センサ３Ａの導圧孔１９Ａ２に連通しており、この連通空間内には液体ＬＱ０が充填されてシールダイアフラム１０ｃに加わる大気側圧力Ｐ０を伝達する。
なお、圧力センサ３Ａについては過大圧保護の必要はなく、このシールダイアフラム１０ｃおよびシールダイアフラム室１２ｃは、圧力センサ３Ａの大気圧側空間内への塵埃等の進入を防ぐために設けられている。
【００２４】
次に、図１の導圧管１１ａ、１１ｂを含む保護部２の構成は、導圧管１１ａ、１１ｂの検出部１側の結合先がそれぞれハウジング４の導圧孔１６ａ，１６ｂに置き換わったのみで図３と同じである。
そして導圧管１１ａは、ハウジング４側の導圧孔１６ａと、左右の円筒穴４０の底部間をその軸心部分で連結する導圧孔１９とを介して、差圧センサ３Ｄの導圧孔１９Ｄ１および圧力センサ３Ａの導圧孔１９Ａ１に連通し、この連通空間には液体ＬＱ１が充填されて保護部２からの高圧側圧力Ｐ１を伝達する。
また、導圧管１１ｂはハウジング４側の導圧孔１６ｂを介して、図３と同様に導圧空隙１７Ｄ、１８Ｄを経て差圧センサ３Ｄの導圧孔１９Ｄ２に連通し、この連通空間には液体ＬＱ２が充填されて保護部２からの低圧側圧力Ｐ２を伝達する。
【００２５】
そして差圧センサ３Ｄの電極端子３１ａ〜３３ａからは図３と同様に差圧検出信号３Ｄｏｕｔが出力され、圧力センサ３Ａの電極端子３１ａ〜３３ａからは図４と同様に圧力検出信号３Ａｏｕｔが出力される。
なお、保護部２の構成としては、差圧（Ｐ１−Ｐ２）が大きいような場合、図１の構成に代わりシールダイアフラム室１２ａ，導圧管１１ａ、およびシールダイアフラム室１２ｂ，導圧管１１ｂにそれぞれ連通する保護ダイアフラム室１４ａおよび１４ｂと、保護ダイアフラム室１４ａ，１４ｂを両側面に配した保護ダイアフラム９とを複数組設けて保護ダイアフラムに生ずる応力を抑制するようにしてもよい。
図２は、図１の差圧・圧力検出器０１を用いた気体の質量流量測定装置の要部の構成を示す模式図で、従来の図５に対応するものである。図２では図５と異なり、従来別々に配置されていた差圧検出器０１Ｄと圧力検出器０１Ａが一体となり、構成が簡略化されている。
【００２６】
【発明の効果】
この発明によれば、差圧検出器、圧力検出器を一体に構成したので、差圧および圧力の検出を従来２台の検出器で行ない、気体の質量流量測定を実施したのに対し、本発明では１台の検出器で実施できることになる。
これにより、検出器本体のみならず、その周辺機器のコストを低減することができ、さらに付随する供給電源等の設備、配線、設置工事等のコストも低減することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例としての差圧・圧力検出器の断面図
【図２】本発明による気体の質量流量測定装置の要部の構成を示す模式図
【図３】従来の差圧検出器の一例の断面図
【図４】従来の圧力検出器の一例の断面図
【図５】従来の気体の質量流量測定装置の要部の構成を示す模式図
【符号の説明】
０１                    差圧・圧力検出器
０２                    温度検出器
０３                    演算器
０４                    配管
０５                    絞り機構
１                      検出部
２                      保護部
３Ｄ                    差圧センサ
３Ａ                    圧力センサ
３Ｄｏｕｔ              差圧検出信号
３Ａｏｕｔ              圧力検出信号
４                      ハウジング
６                      基台
７，７ａ                蓋部材
８ａ，８ｂ              本体
９                      保護ダイアフラム
１０ａ〜１０ｃ          シールダイアフラム
１１ａ，１１ｂ          導圧管
１２ａ〜１２ｃ          シールダイアフラム室
１３ａ，１３ｂ          導圧孔
１４ａ，１４ｂ          保護ダイアフラム室
１５ａ，１５ｂ          導圧孔
１６ａ，１６ｂ          導圧孔
１７Ｄ，１８Ｄ          導圧空隙
１９，１９Ｄ１，１９Ｄ２，１９Ａ１，１９Ａ２    導圧孔
３１，３２              固定電極
３３                    可動電極（ダイアフラム）
３１ａ〜３３ａ          電極端子
４０                    円筒穴
４１〜４３              円筒穴４０の内周面
５１                    絶縁筒
５２                    絶縁スペーサ
８１                    突出部
８２                    円環状凹部
Ｐ０                    大気側圧力
Ｐ１                    高圧側圧力
Ｐ２                    低圧側圧力
Ｗ１〜Ｗ４              溶接部
ＬＱ０〜ＬＱ２          封入液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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