(57)【要約】【課題】液晶用ガラス基板を縦型搬送するときに、液晶用ガラス基板の取付角度を選択できるキャリア台車を提供する。【解決手段】キャリア台車１において、移動装置３上に立設された取付板２の主面２０上には４つのピンＰ１〜Ｐ４が設けられる。一方、固定板４には複数の非貫通孔ＨＯ１〜ＨＯ３が形成される。非貫通孔ＨＯ１にピンＰ１〜Ｐ４を挿入すれば、固定板４は取付板２に掛けられ、固定される。さらに、固定板４を時計回りに９０°、１８０°、２７０°回転した場合も、非貫通孔ＨＯ１にピンＰ１〜Ｐ４を挿入でき、固定板４は取付板２に掛けられる。つまり、固定板４に取り付けられた液晶用ガラス基板の取付角度を選択できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶用ガラス基板上の液晶配向膜をイオンビーム照射により配向処理する配向処理装置に、前記液晶用ガラス基板を縦型搬送するキャリア台車であって、
主面上に前記液晶用ガラス基板を固定する固定板と、
前記配向処理装置に前記液晶用ガラス基板を搬送するための移動装置と、
前記移動装置上に直立され、主面上に前記固定板が取り付けられる取付板とを備え、
前記固定板及び取付板の一方は、当該他方と対向する面の仮想円上に配置される複数のピンを有し、前記仮想円は長さの等しい複数の仮想円弧に区切られ、各仮想円弧上の１又は２以上のピンは当該他の仮想円弧上の１又は２以上のピンと相対的に同じ位置に配置され、
前記固定板及び取付板の他方は、前記複数のピンと対向する位置に形成された複数の孔を有することを特徴とするキャリア台車。
【請求項２】
請求項１に記載のキャリア台車であって、
前記孔の数は前記ピンの数よりも多いことを特徴とするキャリア台車。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のキャリア台車であって、
前記複数のピンは前記取付板に設けられ、前記複数の孔は前記固定板に形成され、
前記ピンは前記取付板の主面の法線よりも上方に傾斜していることを特徴とするキャリア台車。
【請求項４】
請求項３に記載のキャリア台車であって、
前記孔の大きさは前記ピンの軸方向に垂直な断面よりも大きいことを特徴とするキャリア台車。
【請求項５】
請求項４に記載のキャリア台車であって、
前記ピンは、
前記取付板の主面上に立設された軸体と、
前記軸体に回動自在に支持されたローラとを含むことを特徴とするキャリア台車。
【請求項６】
請求項５に記載のキャリア台車であって、
前記ローラの表面は軸方向に沿ってアーチ状になっていることを特徴とするキャリア台車。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載のキャリア台車であって、
前記孔は前記ローラが定位する領域を有することを特徴とするキャリア台車。
【請求項８】
請求項３に記載のキャリア台車であって、
前記複数のピンは、
前記取付板の主面の上部に固定された固定ピンと、
前記取付板の主面の下部に揺動可能に取り付けられ、かつ先端が上方に付勢された可動ピンとを含むことを特徴とするキャリア台車。
【請求項９】
請求項１に記載のキャリア台車であって、
前記取付板は、前記主面の裏面にも前記固定板が取り付けられることを特徴とするキャリア台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリア台車に関し、さらに詳しくは、液晶用ガラス基板上の液晶配向膜をイオンビーム照射により配向処理する配向処理装置に、液晶用ガラス基板を搬送するキャリア台車に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイの製造工程の１つに配向処理工程がある。近年、イオンビーム配向装置を用いて配向処理を行う技術が開発された。イオンビーム配向装置による配向処理では、イオンビームの照射方向に液晶を配向できる。イオンビーム配向装置では、非接触で配向処理ができるだけでなく、ラビング処理ではできなかった配向方向の選択的な制御ができるため、ラビング処理に代わる配向処理として注目されている。
【０００３】
イオンビーム配向装置により配向処理を行う場合、液晶用ガラス基板に対するイオンビームの照射方向により配向方向が決定される。液晶用ガラス基板の大きさや用途に応じて配向方向は変更する必要があるため、イオンビーム配向装置を用いて配向処理をする場合、イオンビームの照射方向と液晶用ガラス基板との相対的な角度を選択できるようにしなければならない。
【０００４】
一方、インライン型の配向処理装置では、配向処理装置内を移動するキャリア台車上に液晶用ガラス基板を水平に取り付けて搬送（水平搬送）し、配向処理を行ってきた。しかしながら、近年の液晶用ガラス基板の大型化に伴い、配向処理装置の設置面積が増大する問題が発生している。設置面積を低減するためには、キャリア台車に液晶用ガラス基板を縦型に取り付け、搬送する縦型搬送を採用する必要がある。
【０００５】
以上より、イオンビーム配向処理装置を用いて大型の液晶用ガラス基板を配向処理する場合、液晶用ガラス基板を縦型搬送できるキャリア台車を用い、かつ、イオンビームの方向と液晶用ガラス基板との相対的な角度を選択できるようにしなければならない。
【０００６】
また、配向処理はクリーンルーム内で行われるため、配向処理工程中は塵の発生をできるだけ抑える必要がある。よって、キャリア台車に液晶用ガラス基板を取り付けるとき、可能な限り塵の発生を防止しなければならない。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２０３８８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、液晶用ガラス基板を縦型搬送するときに、液晶用ガラス基板の取付角度を選択できるキャリア台車を提供することである。
【０００９】
本発明の他の目的は、液晶用ガラス基板を取り付けるときの塵の発生を抑制できるキャリア台車を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【００１０】
本発明によるキャリア台車は、液晶用ガラス基板上の液晶配向膜をイオンビーム照射により配向処理する配向処理装置に、液晶用ガラス基板を縦型搬送するキャリア台車であって、固定板と、移動装置と、取付板とを備える。固定板は、主面上に液晶用ガラス基板を固定する。移動装置は、配向処理装置に液晶用ガラス基板を搬送する。取付板は移動装置上に直立され、主面上に固定板が取り付けられる。固定板及び取付板の一方は、当該他方と対向する面の仮想円上に配置される複数のピンを有し、仮想円は長さの等しい複数の仮想円弧に区切られ、各仮想円弧上の１又は２以上のピンは当該他の仮想円弧上の１又は２以上のピンと相対的に同じ位置に配置され、固定板及び取付板の他方は、複数のピンと対向する位置に形成された複数の孔を有する。
【００１１】
本発明によるキャリア台車は固定板に液晶用ガラス基板を固定し、その固定板を取付板に取り付ける。このとき、固定板及び取付板の一方に形成された孔を、固定板及び取付板の他方に設けられたピンに掛けることで、固定板を取付板に固定できる。このとき、複数の孔と複数のピンとの組合せは区切られた円弧の数通り存在するので、その組合せ数だけ取付角度を選択できる。取付角度が変えることができれば、イオンビーム照射の照射方向と液晶用ガラス基板との相対的な角度が変更できる。さらに、複雑な機構を用いることなく、複数のピンと複数の孔を用いて固定板を取付板に取り付けるため、取り付けるときに摺動する箇所が少ない。その結果、塵の発生を抑制できる。
【００１２】
好ましくは、孔の数はピンの数よりも多い。
【００１３】
この場合、孔の数がピンの数よりも多ければ、それだけ多くの取付角度を選択できる。
【００１４】
好ましくは、複数のピンは取付板に設けられ、複数の孔は固定板に形成され、ピンは取付板の主面の法線よりも上方に傾斜している。
【００１５】
この場合、ピンは主面の法線よりも上方に傾斜しているため、掛けた固定板がピンから外れることなく、静止される。
【００１６】
好ましくは、孔の大きさはピンの軸方向に垂直な断面よりも大きい。
【００１７】
この場合、孔の大きさがピンの軸方向の断面よりも大きいため、固定板を取付板に取り付けやすい。
【００１８】
好ましくは、ピンは、軸体とローラとを含む。軸体は取付板の主面上に立設され、ローラは軸体に回動自在に支持される。
【００１９】
この場合、ピンの先端にローラが取り付けられているため、固定板を掛けるとき、ローラは孔の内側面に当接し、回動する。そのため、ピンが孔の内側面と摺動せず、塵の発生を防止できる。
【００２０】
好ましくは、ローラの表面は軸方向に沿ってアーチ状になっている。
【００２１】
この場合、ローラの表面と孔の内側面との接触面積を小さくできるため、摺動箇所を軽減でき、塵の発生を防止できる。
【００２２】
好ましくは、孔はローラが定位する領域を有する。
【００２３】
この場合、固定板を取付板に取り付けるとき、ピンのローラは孔の所定領域に定位する。よって、取付板に掛けた固定板を静止でき、また、取付角度の精度を確保できる。
【００２４】
好ましくは、複数のピンは、固定ピンと、可動ピンとを含む。固定ピンは取付板の主面の上部に固定される。可動ピンは取付板の主面の下部に揺動可能に取り付けられ、かつ先端が上方に付勢される。
【００２５】
この場合、固定板の孔の位置と、固定ピン及び可動ピンとの位置にずれがあっても、可動ピンが可動することで、そのずれを解消できる。その結果、固定板は常に固定ピン及び可動ピンにより確実に保持される。
【００２６】
好ましくは、取付板は、主面の裏面にも固定板が取り付けられる。
【００２７】
この場合、キャリア台車は２つの固定板を取り付けることができる。よって、配向処理装置の処理能力を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、図面を参照し、本発明の実施の形態を詳しく説明する。図中同一又は相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。
【００２９】
［キャリア台車の構成］
図１及び図２を参照して、キャリア台車１は、取付板２と、移動装置３と、固定板４とを備える。
【００３０】
移動装置３は、キャリア台車１が配向処理装置内を移動するためのものであり、平板３１と平板３１の下面に取り付けられるラック３２と、平板３１の側面のうちの移動方向と並行な側面に複数取り付けられる車輪３３とを備える。配向処理装置内の移動経路には複数のピニオンギア５が設けられ、キャリア台車１はラックピニオン機構により移動経路を移動する。
【００３１】
取付板２は移動装置３上に立設される。取付板２の主面２０には、液晶用ガラス基板６を装着した固定板４が取り付けられる。主面２０上には４つのピンＰ１〜Ｐ４が設けられる。一方、固定板４には１２個の非貫通孔ＨＯ１〜ＨＯ３が形成される。４個の非貫通孔ＨＯ１にピンＰ１〜Ｐ４を挿入すれば、固定板４は取付板２に掛けられる。さらに、固定板４を時計回りに９０°、１８０°、２７０°回転した場合も、４個の非貫通孔ＨＯ１にピンＰ１〜Ｐ４を挿入でき、固定板４は取付板２に掛けられる。つまり、固定板４に取り付けられた液晶用ガラス基板の取付角度を選択できる。また、４個の非貫通孔ＨＯ２にピンＰ１〜Ｐ４を挿入しても、固定板４の取付角度を変更できる。さらに、４個の非貫通孔ＨＯ３にピンＰ１〜Ｐ４を挿入しても、固定板４の取付角度を変更できる。
【００３２】
以上より、本実施の形態によるキャリア台車１は、ピンＰ１〜Ｐ４を挿入する非貫通孔ＨＯ１〜ＨＯ３を選択することで、固定板４上に取り付けられた液晶用ガラス基板と取付板２との相対的な角度（取付角度）を選択できる。また、キャリア台車１は、取付板２のピンＰ１〜Ｐ４に固定板４を掛けるだけで、固定板４をキャリア台車に容易に取り付けることができる。よって、取り付ける際の摺動箇所が少なく、取付時の塵の発生を抑制できる。
【００３３】
なお、取付板２の裏面２５も主面２０と同様に、４つのピンＰ１〜Ｐ４が設けられ、固定板４が掛けられる。また、キャリア台車１は低発塵性のステンレス、アルミ、樹脂等で構成される。
【００３４】
以下、取付板２と固定板４について詳細に説明する。
【００３５】
［取付板の構成］
図３及び図４を参照して、各ピンＰ１〜Ｐ４の近傍には、台座ＳＴ１〜ＳＴ４が設けられる。台座ＳＴ１〜ＳＴ４はピンＰ１〜Ｐ４よりも低く、取付板２の主面２０から所定間隔を置いて固定板４を支持する。また、主面２０の中央領域には貫通孔２７が形成される。キャリア台車１の重量を軽減するためである。
【００３６】
ピンＰ１〜Ｐ４は仮想円ＣＩＲ１上に配置される。仮想円ＣＩＲ１は長さの等しい４つの仮想円弧ＡＲＣ１〜ＡＲＣ４に区切られ、各仮想円弧ＡＲＣ上のピンＰは当該他の仮想円弧ＡＲＣ上のピンＰと相対的に同じ位置に配置される。図３において、仮想円ＣＩＲ１の中心Ｃ１を通りかつ主面２０に水平な仮想Ｘ軸と、中心Ｃ１を通りかつ取付板２に垂直な仮想Ｙ軸とにより、仮想円ＣＩＲ１が仮想円弧ＡＲＣ１〜ＡＲＣ４に区切られた場合、仮想円弧ＡＲＣ１上のピンＰ１は他の仮想円弧ＡＲＣ２〜ＡＲＣ４上のピンＰ２〜Ｐ４と相対的に同じ位置に配置される。ピンＰ１〜Ｐ４をこのような配置にする理由については後述する。
【００３７】
取付板２の上部に設けられたピンＰ１及びＰ２は固定ピンであり、下部に設けられたピンＰ３及びＰ４は可動ピンである。
【００３８】
固定ピンＰ１は、図５に示すように、軸体５２と、軸体５２に回動自在に支持されたローラ５１とを備える。軸体５２は土台５３に立設される。土台５３の表面の一部は取付板２の主面２０に対して傾斜しており、その傾斜した表面に軸体５２が固定される。そのため、固定ピンＰ１は取付板２の主面２０の法線よりも上方に所定角度αだけ傾斜している。このため、掛けた固定板４が固定ピンＰ１から外れない。なお、固定板４に形成される非貫通孔ＨＯの形状は、図５に示すようにテーパ状となっているため、図６に示すように固定板４は固定ピンＰ１と台座ＳＴ１により支持される。
【００３９】
また、固定ピンＰ１の先端にはローラ５１が取り付けられているため、固定板４を掛けるとき、ローラ５１は非貫通孔ＨＯの内側面に当接し、回動する。そのため、固定板４と固定ピンＰ１とが互いに摺動することなく、塵の発生を防止できる。さらに、ローラ５１の表面は軸方向に沿ってアーチ状になっている。つまり、ローラ５１は樽形をなしている。樽形にすることでローラ５１の表面と非貫通孔ＨＯの内側面との接触面積を小さくできるため、摺動箇所を軽減でき、塵の発生をさらに防止できる。
【００４０】
なお、固定ピンＰ２についても固定ピンＰ１と同じ構造である。
【００４１】
一方、可動ピンＰ４は、図７に示すように、軸体６２と、軸体６２に回動自在に支持されたローラ６１とを備える。ローラ６１はローラ５１と同様に樽形をなしている。固定ピンＰ１と同様に、塵の発生を防止するためである。
【００４２】
軸体６２は、取付板２に形成された貫通孔６８に挿入された状態で、支持ピン６３を軸として揺動可能に取り付けられる。さらに、貫通孔６８の下方の取付板２の内面には支持体６７が取り付けられ、支持体６７上部に形成された貫通孔６６と、軸体６２の端部に形成された貫通孔６４との間に引っ張りコイルばね６５が掛止される。引っ張りコイルばね６５により、可動ピンＰ４のローラ６１は上方に付勢される。
【００４３】
以上の構成により、可動ピンＰ４は、固定板４の非貫通孔ＨＯの位置に対応して揺動する。具体的には、非貫通孔ＨＯの位置と、可動ピンＰ４の位置とがずれている場合でも、可動ピンＰ４が上下に揺動するため、そのずれを解消できる。つまり、可動ピンＰ４は挿入される非貫通孔ＨＯの内側面に常に接した状態となる。可動ピンＰ３についても同様である。そのため、固定板４は常に４つのピンＰ１〜Ｐ４により保持され、その結果、固定板４の取付角度の精度も担保される。
【００４４】
［固定板の構造］
図８及び図９を参照して、固定板４は、貼付板４０とガイド４１〜４４とを備える。貼付板４０の主面には、液晶用ガラス基板６が複数のクランプ（図示せず）により取り付けられる。また、裏面には、ガイド４１〜４４が取り付けられる。
【００４５】
ガイド４１〜４４には貫通孔が形成されているが、貼付板４０にガイド４１〜４４が取り付けられることにより非貫通孔ＨＯ１〜ＨＯ３が形成される。１２個の非貫通孔ＨＯは、取付板２のピンＰ１〜Ｐ４の軸方向に垂直な断面よりも大きく形成される。固定板４を取付板２に取り付けやすくするためである。
【００４６】
さらに、１２個の非貫通孔ＨＯは、取付板２のピンＰ１〜Ｐ４と対向する位置に形成される。具体的には、１２個の非貫通孔ＨＯは、仮想円ＣＩＲ１上に配置される。また、中心Ｃ１を通り、仮想Ｘ軸と仮想Ｙ軸とにより、仮想円ＣＩＲ１が仮想円弧ＡＲＣ１〜ＡＲＣ４に区切られた場合、仮想円弧ＡＲＣ１上の非貫通孔ＨＯ１は他の仮想円ＡＲＣ１〜ＡＲＣ３上の非貫通孔ＨＯ１と相対的に同じ位置に配置される。他のガイド４２〜４４に形成される非貫通孔ＨＯ１も同様である。そのため、非貫通孔ＨＯ１にピンＰ１〜Ｐ４を挿入することで、取付板２に固定板４を掛けるとき、４通りの掛け方を選択できる。
【００４７】
具体的には、図１０に示すように、ガイド４１の非貫通孔ＨＯ１に固定ピンＰ１を掛ける場合、取付板２と固定板４との相対的な角度（取付角度）を０°とする。取付角度を９０°にしたい場合、図１１に示すように、ガイド４１の非貫通孔ＨＯ１を固定ピンＰ２に掛ければよい。同様に、取付角度を１８０°、２７０°に設定することもできる。
【００４８】
つまり、各ガイド４１〜４４に形成された非貫通孔ＨＯ１とピンＰ１〜Ｐ４との組合せにより、４通り（０°、９０°、１８０°、２７０°）の取付角度を選択できる。
【００４９】
再び図８に戻って、非貫通孔ＨＯ２は非貫通孔ＨＯ１を仮想円ＣＩＲ１の中心から時計回りに１５°回転した位置に配置される。また、非貫通孔ＨＯ３は非貫通孔ＨＯ１を仮想円ＣＩＲ１の中心から反時計回りに１５°回転した位置に配置される。
【００５０】
よって、非貫通孔ＨＯ２を用いて固定板４を取付板２に掛けるときも、４通の掛け方を選択できる。具体的には、図１２に示すように、ガイド４１の非貫通孔ＨＯ２を固定ピンＰ１を挿入して固定板４を掛けるとき、取付角度は３４５°になる。同じように、非貫通孔ＨＯ２とピンＰ１〜Ｐ４との組合せにより、他に７５°、１６５°、２５５°の取付角度を選択できる。
【００５１】
非貫通孔ＨＯ３を用いて固定板を掛けるとき、図１３に示すような１５°の取付角度と、他に１０５°、１９５°、２８５°の取付角度を選択できる。
【００５２】
以上により、本実施の形態によるキャリア台車では、固定板４に形成された１２個の非貫通孔ＨＯ１〜ＨＯ３により、１２通りの取付角度を自由に選択できる。なお、非貫通孔ＨＯ２及び非貫通孔ＨＯ３は、非貫通孔ＨＯ１を仮想円ＣＩＲ１の中心Ｃ１から時計回りに０°〜９０°の範囲で回転させた位置のいずれに配置してもよい。
【００５３】
また、図１４に示すように非貫通孔ＨＯはピンＰ１〜Ｐ４のローラ５１及びローラ６１が定位する定位領域ＡＲ１〜ＡＲ４を有する。定位領域ＡＲ１〜ＡＲ４の曲率は、ローラ５１及びローラ６１の曲率と同じである。そのため、ローラ５１及びローラ６１は、定位領域ＡＲ１〜ＡＲ４で定位する。
【００５４】
具体的には、取付角度を０°としたときに固定ピンＰ１のローラ５１が定位する領域が定位領域ＡＲ１の場合、取付角度が９０°ではローラ５１は定位領域ＡＲ２に定位する。同様に取付角度が１８０°としたときは定位領域ＡＲ３に、取付角度が２７０°としたときは定位領域ＡＲ４に、それぞれ定位する。そのため、固定板４は所望の取付角度で正確に静止でき、取付角度の精度を確保できる。
【００５５】
［配向処理装置］
図１５を参照して、配向処理装置２００は、液晶用ガラス基板６を取り付けた固定板４を取付板２に掛けるまでの工程を行うキャリア台車セット装置３００と、液晶用ガラス基板６に配向処理を施す処理装置４００とを備える。
【００５６】
キャリア台車セット装置３００は、複数のカセットステーション１０１と、アームロボット１０２と、多関節ロボット１０３と、ターンテーブル１０４とを備える。カセットステーションは、配向処理を施す複数の液晶用ガラス基板６を収納する。アームロボット１０２は、カセットステーションから液晶用ガラス基板を取り出し、水平に置かれた固定板４に液晶用ガラス基板を取り付ける。
【００５７】
多関節ロボット１０３は、液晶用ガラス基板６を取り付けた固定板４を把持し、垂直にした後、所望の取付角度に固定板４を回動し、ターンテーブル１０４上の取付板２に掛ける。すなわち、多関節ロボットが、固定板４を所望の取付角度に掛けるように指示されることで、固定板４上の液晶用ガラス基板６の取付角度が決定される。固定板４が所望の取付角度で取付板２に掛けられ、固定された後、ターンテーブル１０４が回動し、処理開始位置にキャリア台車１を移動させる。
【００５８】
処理装置４００は、大気側渡りコンベア１０５とゲートバルブ１０６及び１０７と、ロードロック室１０８と、プロセスチャンバ１１２とを備える。なお、処理装置４００にはキャリア台車が移動する移動経路として往路の移動経路１２０と復路の移動経路１３０とがある。
【００５９】
ターンテーブル１０４上の処理開始位置に配置されたキャリア台車１は、大気渡りコンベア１０５上の往路の移動経路１２０を移動する。このとき、移動経路１２０及び１３０には複数のピニオンギア５が設けられ、キャリア台車１の移動装置３のラック３２とピニオンギア５とによりキャリア台車１が駆動する。ロードロック室１０８前までキャリア台車１が移動した後、ゲートバルブ１０６が開かれ、キャリア台車１はロードロック室に移動する。ゲートバルブ１０６が閉められた後、キャリア台車１を収納したロードロック室１０８の室内は真空に減圧される。減圧された後、ゲートバルブ１０７が開かれ、キャリア台車１はプロセスチャンバ１１２に移動する。
【００６０】
プロセスチャンバ１１２はイオンビーム配向装置１０９及び１１０とシフトコンベア１１１とを備える。プロセスチャンバ１１２内でキャリア台車１が移動すると、初めに取付板２の主面２０に掛けられた固定板４上の液晶用ガラス基板６がイオンビーム配向装置１０９により配向処理される。このとき、液晶用ガラス基板６の取付角度と、イオンビーム照射方向により、配向方向が決定される。
【００６１】
主面２０に掛けられた液晶用ガラス基板６の配向処理が終了した後、キャリア台車１はシフトコンベア１１１により往路の移動経路１２０から復路の搬送経路１３０に並行移動し、そのまま復路の搬送経路１３０を移動する。このとき、取付板２の裏面２５に掛けられた固定板４上の液晶用ガラス基板６がイオンビーム配向装置１１０から出力されるイオンビームにより配向処理される。両面の液晶用ガラス基板６を配向処理されたキャリア台車１はロードロック室１０８を経由して大気側渡りコンベア１０５に移動する。
【００６２】
以上の工程により、本発明の実施の形態であるキャリア台車１を用いた液晶用ガラス基板６の配向処理は終了する。
【００６３】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。よって、本発明は上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変形して実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施の形態によるキャリア台車の構成を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示したキャリア台車の全体構成を示す斜視図である。
【図３】図１中の取付板の正面図である。
【図４】図３中のＩＶ−ＩＶ線での断面図である。
【図５】図３中の固定ピンの構成を示す側面図である。
【図６】固定ピンに固定板が掛けられた状態を示す側面図である。
【図７】図３中の可動ピンの構成を示す側面図である。
【図８】図１中の固定板の正面図である。
【図９】図１中の固定板の側面図である。
【図１０】取付板に固定板を掛けた状態を示す概略図である。
【図１１】取付板に固定板を掛けた状態を示す概略図の他の例である。
【図１２】取付板に固定板を掛けた状態を示す概略図の他の例である。
【図１３】取付板に固定板を掛けた状態を示す概略図の他の例である。
【図１４】図８中の非貫通孔を示す正面図及び側面図である。
【図１５】配向処理装置の全体構成を示す上面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１  キャリア台車
２  取付板
３  移動装置
４  固定板
６  液晶用ガラス基板
２０  主面
２５  裏面
４０  貼付板
４１〜４４  ガイド
５１，６１  ローラ
５２，６２  軸体
２００  配向処理装置
ＡＲ１〜ＡＲ４  定位領域
ＡＲＣ１〜ＡＲＣ４  仮想円弧
ＣＩＲ１  仮想円
ＨＯ１〜ＨＯ３  非貫通孔
Ｐ１，Ｐ２  固定ピン
Ｐ３，Ｐ４  可動ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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