(57)【要約】【課題】  非破壊にて表面状態を評価できる、表面加工品の表面状態測定方法を提供する。【解決手段】  被測定物１の表面に対し、被測定物１の表面近傍内にレーリー波４ｂを発生するように圧力波４を照射する。圧力波４が被測定物１への照射表面にて反射した反射波５を検出する。レーリー波４ｂに基づく被測定物１からの漏洩波７を検出する。被測定物１のクラック層１ａの厚さを反射波５と漏洩波７とにより測定する。【選択図】  図１ 
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面加工品である被測定物に対して発信側トランスデューサから圧力波を発信し、被測定物からの反射波を受信側トランスデューサで受信して、被測定物表面に存在する変質層の層厚を測定する方法であって、
被測定物表面に沿うように圧力波を発信し、被測定物の表面を反射してきた縦波と被測定物の裏面を反射してきた縦波との時間差から、縦波の速度を算出するステップと、
発振側トランスデューサと受信側トランスデューサとを移動させて、被測定物への圧力波の入射角および反射角を変更しながら臨界角を測定するステップと、
臨界角における反射波と漏洩波との混合受信波形を測定するステップと、
臨界角以外における反射波の受信波形を測定するステップと、
反射波と漏洩波との混合受信波形と、反射波の受信波形とを比較し、遅延時間を算出するステップと、
縦波の速度と遅延時間とから変質層の層厚を算出するステップとを備える、ことを特徴とする表面加工品の表面状態測定方法。
【請求項２】
表面加工品である被測定物に対して発信側トランスデューサから圧力波を発信し、被測定物からの反射波を受信側トランスデューサで受信して、被測定物表面に存在する変質層の層厚を測定する方法であって、
被測定物に周波数の異なる複数の圧力波を入射し、発信側トランスデューサと受信側トランスデューサを移動させて、被測定物への圧力波の入射角および反射角を変更しながら、各周波数における臨界角を測定するステップと、
臨界角において、各周波数の圧力波を入射したときの被測定物の表面と平行な方向に伝播するレーリー波の速度を算出するステップと、
低周波から高周波に向って周波数を変化させたとき、レーリー波速度が変化を開始する変節点における周波数を算出するステップと、
被測定物における、圧力波の周波数と伝播深さとの関係を算出するステップと、
変節点における周波数の伝播深さを算出して、被測定物表面に存在する変質層の層厚を測定するステップとを備える、ことを特徴とする表面加工品の表面状態測定方法。
【請求項３】
被測定物の表面に対し、被測定物の表面近傍内にレーリー波を発生するように圧力波を照射し、
上記圧力波が被測定物の照射表面にて反射した反射波を検出し、
上記レーリー波に基づく被測定物からの漏洩波を検出し、
被測定物の表面状態を上記反射波と漏洩波とにより測定する、ことを特徴とする表面加工品の表面状態測定方法。
【請求項４】
被測定物の表面に対する圧力波の入射角は、臨界角に基づいて設定される、ことを特徴とする請求項３記載の表面加工品の表面状態測定方法。
【請求項５】
被測定物の表面状態の測定は、上記反射波に対する漏洩波の遅延時間によって算出される、ことを特徴とする請求項３または４に記載の表面加工品の表面状態測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックスや単結晶などからなる母材の表面を加工した表面加工品の表面近傍に存在する加工変質層を評価するための、表面加工品の表面状態測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
セラミックスや単結晶などの母材に対し、ラッピング等の表面処理や表面加工を施した表面加工品がある。上記表面加工品の表面およびその近傍には、表面処理や表面加工によってクラック層等の加工変質層が形成されている。上記加工変質層は、表面加工品の性能や寿命に影響を与える。特に、機械部品では、曲げ強度や、耐磨耗性、耐腐食性、疲労強度、精度の経年変化などに悪影響を及ぼし、光学部品においては、屈折率や反射率、複屈折率などとそれらの経年変化に、電気部品では、電気伝導度などとその経年変化に、磁気部品においては、透磁率や磁気異方性などとそれらの経年変化に影響を及ぼす。
【０００３】
上記加工変質層の量を評価するために、例えば、加工変質層の厚さを測定する必要がある。
【０００４】
従来、上記厚さの測定としては、測定する被測定物の表面を斜めに所定の角度にて加工変質層から母材まで順次露出するように切り出し、露出した被測定物の断面を表層より内部へ順次硬さを測定し、硬さが一定になる母材までの深さを測定し、これを加工変質層の厚さ（深さ）とする方法が知られている（非特許文献１参照）。
【非特許文献１】「新版  精密加工便覧」（1335頁〜1337頁、1992年２月25日発行、編者：社団法人精密工学会、発行所：株式会社コロナ社）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来方法においては、加工変質層の量を評価するために、硬度測定するには、表面加工品の一部を切断して硬度を測定することから、表面加工品を破損してしまうという問題を生じている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の表面加工品の表面状態測定方法は、以上の課題を解決するために、表面加工品である被測定物に対して発信側トランスデューサから圧力波を発信し、被測定物からの反射波を受信側トランスデューサで受信して、被測定物表面に存在する変質層の層厚を測定する方法であって、被測定物表面に沿うように圧力波を発信し、被測定物の表面を反射してきた縦波と被測定物の裏面を反射してきた縦波との時間差から、縦波の速度を算出するステップと、発振側トランスデューサと受信側トランスデューサとを移動させて、被測定物への、圧力波の入射角および反射角を変更しながら臨界角を測定するステップと、臨界角における反射波と漏洩波との混合受信波形を測定するステップと、臨界角以外における反射波の受信波形を測定するステップと、反射波と漏洩波との混合受信波形と、反射波の受信波形とを比較し、遅延時間を算出するステップと、縦波の速度と遅延時間とから変質層の層厚を算出するステップとを備えることを特徴としている。
【０００７】
本発明の、他の表面加工品の表面状態測定方法は、前記の課題を解決するために、表面加工品である被測定物に対して発信側トランスデューサから圧力波を発信し、被測定物からの反射波を受信側トランスデューサで受信して、被測定物表面に存在する変質層の層厚を測定する方法であって、被測定物に周波数の異なる複数の圧力波を入射し、発信側トランスデューサと受信側トランスデューサを移動させて、被測定物への圧力波の入射角および反射角を変更しながら、各周波数における臨界角を測定するステップと、臨界角において、各周波数の圧力波を入射したときの被測定物の表面と平行な方向に伝播するレーリー波の速度を算出するステップと、低周波から高周波に向って周波数を変化させたとき、レーリー波速度が変化を開始する変節点における周波数を算出するステップと、被測定物における、圧力波の周波数と伝播深さとの関係を算出するステップと、変節点における周波数の伝播深さを算出して、被測定物表面に存在する変質層の層厚を測定するステップとを備える、ことを特徴としている
本発明の、さらに他の表面加工品の表面状態測定方法は、前記の課題を解決するために、被測定物の表面に対し、被測定物の表面近傍内にレーリー波を発生するように圧力波を照射し、上記圧力波が被測定物の照射表面にて反射した反射波を検出し、上記レーリー波に基づく被測定物からの漏洩波を検出し、被測定物の表面状態を上記反射波と漏洩波とにより測定する、ことを特徴としている。
【０００８】
上記表面状態測定方法では、被測定物の表面に対する圧力波の入射角は、臨界角に基づいて設定されることが好ましい。
【０００９】
上記表面状態測定方法においては、被測定物の表面状態の測定は、上記反射波に対する漏洩波の遅延時間によって算出されることが望ましい。
【００１０】
上記方法によれば、被測定物の表面に対し、被測定物の表面近傍内にレーリー波を発生するように圧力波を照射し、上記レーリー波に基づく漏洩波を検出して、上記の表面状態を測定できるから、被測定物の切断、切り出しなどを省いて、非破壊にて表面状態を測定できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の表面加工品の表面状態測定方法は、被測定物の表面に対し、被測定物の表面近傍内にレーリー波を発生するように圧力波を照射し、上記圧力波が被測定物の照射表面にて反射した反射波と上記レーリー波に基づく漏洩波とを検出して、上記の表面状態を上記反射波と漏洩波とにより測定する方法である。
【００１２】
それゆえ、上記方法は、被測定物の切断、切り出しなどを省いて、非破壊にて被測定物の表面状態を測定できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施の各形態について図１ないし図１１に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００１４】
（実施の第一形態）
本発明の実施の第一形態に係る、表面加工品の表面状態測定方法では、図２に示すように、被測定物１の表面状態、例えば、加工変質層の層厚を測定して、上記加工変質層を評価するために、２つの、発信側トランスデューサ３、および受信側トランスデューサ６が用いられている。上記被測定物１としては、セラミック、シリコン単結晶、ガラス等を母材として、その表面にラッピングや研磨等の表面加工や表面処理を施したものが挙げられる。また、上記被測定物１の形状としては、特に限定されないが、略直方体や、板状のものが挙げられる。
【００１５】
前記の発信側トランスデューサ３、および受信側トランスデューサ６は、それぞれ、圧電素子３ａ、６ａに平面レンズ３ｂ、６ｂを設けたものであり、入射角θｉと反射角θｒとが互いに同じ角度になるようにそれぞれ制御されている。
【００１６】
圧電素子３ａは、パルス電気信号が入力されると、上記パルス電気信号に応じた圧力波（超音波、縦波）を発信（出力）するものである。圧電素子６ａは、圧力波が受信（入力）されると、上記圧力波に応じたパルス電気信号を出力するものである。
【００１７】
また、被測定物１と発信側トランスデューサ３の発信口と受信側トランスデューサ６の受信口は水２に浸漬されている。上記水２としては、圧力波を効率よく伝搬できる非弾性流体であればよく、上記水２に代えて、アルコール等も用いることができる。
【００１８】
発信側トランスデューサ３にパルス電気信号を印加すると、このパルス電気信号の電圧変化に対応して圧電素子３ａは、その厚み方向に変形する。圧電素子３ａには質量があるのでこの変形により、平面レンズ３ｂの端面を介して縦波が発生する。この縦波は平面レンズ３ｂのもう一方の端面に達し、圧力波４として水２中を伝播する。この圧力波４は被測定物１に達して反射して、反射波５となり、その反射波５は水２を介して受信側トランスデューサ６に到達しパルス電気信号に変換される。
【００１９】
被測定物１の表面に対する、発信側トランスデューサ３、および受信側トランスデューサ６の入射角θｉと反射角θｒとを少しずつ変化させていくと、図１に示すように、ある角度の入射角θｉでの圧力波４の照射でのみ、被測定物１内にて厚さ方向に伝搬した縦波４ａを介して被測定物１の表面近傍にレーリー波４ｂが励起される。発生したレーリー波４ｂは、被測定物１の表面近傍内を、その表面方向に沿って被測定物１内を伝搬する。
【００２０】
また、上記レーリー波４ｂは、被測定物１内を伝搬すると直ちに縦波４ｃを厚さ方向に発生させ、その縦波４ｃから漏洩波７を被測定物１の表面から外方に向かって発生させる。上記厚さ方向は、上記表面方向と直交する方向である。
【００２１】
上記漏洩波７は、反射波５と重なり受信側トランスデューサ６に達するので、受信側トランスデューサ６においては、反射波５だけの電気信号とは異なる波形の電気信号が出力される。
【００２２】
このようにレーリー波４ｂが効率よく発生するときの入射角θｉが臨界角である。レーリー波４ｂの伝搬速度ＶRは、スネルの法則から求めることができる。これが臨界角度法である。
【００２３】
被測定物１の表面に、主に厚さ方向に延びる割れ目であるクラック１ｂによって、表面方向に沿って力学的連続性が乏しいクラック層１ａを有する場合、上記被測定物１内では、レーリー波４ｂはこのクラック層１ａにおいては伝播できず、このクラック層１ａの下にある力学的連続性を有する、母材側のクラック層１ａに面した境界層中にて表面方向に沿って伝播する。
【００２４】
そして、上記の漏洩波７はクラック層１ａを往復伝播する各縦波４ａ、４ｃの行路差分だけ反射波５より時間的遅れ（Δｔ）が生じる。この遅延時間（Δｔ）を計測することで、力学的連続性の乏しいクラック層１ａの深さ測定が可能となる。
【００２５】
そこで、種々な作製条件での、表面変質層の状態が相違する、複数の被測定物１をそれぞれ作製し、それらについて、遅延時間（Δｔ）から求めたクラック層１ａの深さと、別に、従来の硬度法から求めたクラック層深さの間の関係を調べた。その結果、図３に示すように、上記両者の間には、ほぼ比例関係となる相関関係があることを確認した。このことから、本発明の方法で加工変質層としてのクラック層１ａの深さを非破壊にて測定できる。
【００２６】
次に、本発明の表面状態測定方法に用いる測定装置の例を説明する。上記測定装置は、図４に示すように、装置のブロック図を示す。パーソナルコンピュータ９によるモータドライバ８を介した各モータ３ｃ、６ｃの回転制御によって、発信側トランスデューサ３および受信側トランスデューサ６の位置を設定できるようになっている。
【００２７】
上記測定装置では、パルサーレシーバ１０のパルス電気信号の送受信、デジタルオシロスコープ１１での受信波形の平均化処理をパーソナルコンピュータ９により制御し、さらに平均化処理を施されたデータの記録処理等をパーソナルコンピュータ９において行える構造となっている。パーソナルコンピュータ９と、パルサーレシーバ１０およびデジタルオシロスコープ１１との間でのデータや制御信号の入出力は、各ＧＰＩＢ（汎用インターフェースバス）ボード９ａ、９ｂを介して行なわれている。
【００２８】
上記測定装置での、本発明の表面状態測定方法における処理の手順は図５に示す通りである。まず、２つの発信側トランスデューサ３、および受信側トランスデューサ６の位置（角度）決めを行う（ステップ１、以下、ステップをＳと略記する）。続いて、パルサーレシーバ１０から所定の周期でパルス電気信号を発信側トランスデューサ３に印加する。発信側トランスデューサ３で発生した圧力波（超音波）は水２を介して被測定物１に照射され、反射した圧力波は受信側トランスデューサ６に受信され、パルス電気信号に変換され、パルサーレシーバ１０にて受信される（Ｓ２）。
【００２９】
その後、この受信したパルス電気信号をデジタルオシロスコープ１１で取り込み、平均化処理する（Ｓ３）。次に、図６に示すように、反射波５のみの受信波形のデータとしてパーソナルコンピュータ９に取り込む。
【００３０】
以上の処理を、角度を種々変えて所定の回数繰返す。取り込まれた各受信波形から臨界角度が演算される。臨界角における受信波形（反射波と漏洩波の合成）と臨界角から少しずれた入射角における受信波形（反射波のみ）を比較し、前記遅延時間（Δｔ）を算出する（Ｓ４）。本実施の第一形態では、遅延時間（Δｔ）の例として、８．５ナノ秒が観測された。
【００３１】
次に、入射角θｉが０°（つまり、被即定物１の照射表面の表面方向に沿うように）となるように発信側トランスデューサ３のみを位置（角度）決めする（Ｓ６）。
【００３２】
続いて、パルサーレシーバ１０から所定の周期でパルス電気信号を発信側トランスデューサ３に印加する。発信側トランスデューサ３で発生した圧力波（超音波）は水２を介して被測定物１に照射され、被測定物１の表面と裏面とからそれぞれ反射した圧力波は受信側トランスデューサ６にそれぞれ取り込まれ、パルス電気信号に変換される（Ｓ７）。
【００３３】
受信した、パルス電気信号の波形はデジタルオシロスコープ１１ヘ取り込まれ、平均化処理される。その後、被測定物１の表面を反射してきた圧力波（縦波）と裏面を反射してきた圧力波（縦波）の時問差ΔｔLから、被測定物１の厚さＡは既知であるので圧力波（縦波）の速度ＶLは次式（１）で求まる（Ｓ８）。
【００３４】
ＶL＝２Ａ／ΔｔL                    …（１）
よって、クラック層１ａの深さＺｃは次式（２）で表され、遅延速度（Δｔ）を測定することで、深さＺｃを求めることが可能となる。
【００３５】
Ｚｃ＝Δｔ・ＶL／２                  …（２）
このように本実施の第一形態では、非破壊で力学的連続性の乏しい加工変質層の深さ、すなわちクラック層１ａの深さを評価できる。なお、上記のＳ６〜Ｓ８の各ステップは、前記のＳ１〜Ｓ５の前に行ってもよい。
【００３６】
また、臨界角以外における反射波５の受信波形を測定するステップでは、発信側トランスデューサ３から発信し、受信側トランスデューサ６で受信できる角度であって、漏洩波７が生じない臨界角以外の入射角θｉおよび反射角θｒであれば、どの角度であってもよいが、臨界角から大きく外れた角度の場合、測定装置の機械的な誤差により伝播距離に差が生じる恐れがあるので、できるだけ臨界角に近い位置で測定することが好ましい。
【００３７】
（実施の第二形態）
本発明の実施の第二形態に係る、表面状態測定方法を以下に説明する。なお、本実施の第二形態では、上記の実施の第一形態と同様な機能を有する部材については、同一の部材番号を付与して、それらの説明を省いた。
【００３８】
本実施の第二形態においても、図２に示す測定装置が用いられている。クラックや弾性・塑性歪が存在し、力学的連続性を有する加工変質層においては、レーリー波速度の支配要因である弾性定数、ポアッソン比及び密度が複雑に変化している。
【００３９】
また、図７に示すように、このような加工変質層１ｃを有する被測定物１の表面に対して、広帯域周波数成分の圧力波を入射すると、広帯域周波数成分をもったレーリー波が発生する。このとき、レーリー波の伝播深さが周波数に依存し、周波数に対するレーリー波の速度分布を求めることにより、深さに対するレーリー波の速度変化が把握される。広帯域周波数成分の圧力波を発生させるには、例えば、前記の発信側トランスデューサ３の圧電素子３ａに、焼成密度を小さく設定した圧電セラミックを用いることが挙げられる。
【００４０】
図８に示すように、周波数の低いレーリー波は、被測定物１の母材の影響を強く受けて母材のレーリー波速度に近い速度で伝播する。また、周波数が高くなると加工変質層１ｃの影響を受けるようになるので加工変質層１ｃのレーリー波速度に近い速度で伝播する。この速度変化から、被測定物１の加工変質層１ｃの深さを評価できる。
【００４１】
本発明の測定方法は、例えば図４に示した測定装置を用い、図９に示すように、まず、パーソナルコンピュータ９によって、発信側トランスデューサ３および受信側トランスデューサ６の位置（角度）を設定する（Ｓ１１）。パルサーレシーバ１０から所定の周期でパルス電気信号を発信側トランスデューサ３に印加し、発信側トランスデューサ３で発生した圧力波（超音波）は水２を介して被測定物１に照射され、反射した圧力波（超音波）は受信側トランスデューサ６に取り込まれ、パルス電気信号に変換され、パルサーレシーバ１０にて受信される（Ｓ１２）。
【００４２】
その後、このパルス電気信号に対してデジタルオシロスコープ１１で受信波形の平均化処理を施す（Ｓ１３）。さらに平均化処理を施されたデータであるパルス電気信号は、パーソナルコンピュータ９に入力されて、ＦＦＴ等の記録処理が施される（Ｓ１４）。
【００４３】
続いて、以上の処理を、発信側トランスデューサ３および受信側トランスデューサ６の位置（角度）の設定を順次変えながら、所定の回数繰返す。図１０に示すように、周波数ごとの臨界角θCRを求め、スネルの法則（レーリー波速度ＶR＝ＶW／ｓｉｎθCR）からレーリー波速度を求める（Ｓ１５）。上記のＶWは、水中での音速を示し、１４９０ｍ／ｓｅｃである。
【００４４】
これより、周波数と、レーリー波の伝播速度が変化している点との関係が得られる。レーリー波の伝播速度が変化しているか、否かを判定する基準は、１ｍ／ｓ以上の同傾向の速度変化が連続して生じているか否かで判定している。
【００４５】
一方、周波数ｆは、前述の硬度法により別に求めた伝播深さｄと比例の関係を有することが分かっている。よって、伝播深さｄは、実験的に次式（３）で表される。
【００４６】
ｄ＝０．１８ＶR／ｆ                …（３）
この式より、図１１に示すように、レーリー波の伝播深さと伝播速度の関係が得られる。
【００４７】
このように本実施の第二形態に係る方法では、非破壊で深さ方向のレーリー波速度の分布を評価でき、レーリー波速度は（弾性率／密度）の平方根に比例するから、分布から密度変化や弾性率の変化を読み取ることが可能となる。また、逆に加工変質層１ｃのない均質な材料の被測定物１においてはレーリー波速度は一定となるから、均質であることが分かる。
【００４８】
また、ＳＡＷガイドの場合、理論上ＳＡＷガイドに要求されるレーリー波速度に対し、材料のレーリー波度分布を測定することで適正な拡散条件を求めることができる。
【００４９】
なお、図１１では、レーリー波の伝播深さが加工変質層１ｃに至るとレーリー波速度が低下している。しかしながら、加工変質層１ｃに至るとレーリー波速度は変化するが、必ずしも低下するとは限らない。これは、レーリー波速度ＶRは、ＶR∝（Ｍ／ρ）と表されるように被測定物の弾性係数Ｍと密度ρによって決定されるが、この弾性係数や密度は異なる被測定物間で常に同じような傾向を示しているとは限らないからである。
【００５０】
また、図１１では、変節点で急激にレーリー波速度が変化せず、徐々に変化しているが、これは変質度合いが被測定物１の中心側から表層側に向うにしたがって徐々に大きく（重く）なっているからである。さらに、図１１では、変節点に至るまでにレーリー波速度が微妙に変化しているが、これは測定誤差による影響と考えられる。
【００５１】
図８（加工変質層なし）と図１１（加工変質層あり）とでは、レーリー波速度が異なっているが、これは図８で用いている被測定物がチタン酸バリウム系セラミック、図１１で用いている被測定物がチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックであり、被測定物１の母材の材質が異なるためである。
【００５２】
なお、本実施の第二形態では、変質しているが力学的には連続な加工変質層１ｃの評価について検討したが、上記に限定されず、被測定物１としての基板表面の一部分に原子拡散を施す場合があり、深さ方向の拡散度合いなども、本発明の方法で評価できる。具体的にはＡＯＴＦ（音響光学フィルタ）などで表面波のエネルギー拡散を防ぐためにＳＡＷガイドを設けるが、上記のＳＡＷガイドの作製に、拡散による方法がとられるときがある。上記のときにも、ＳＡＷガイドの特性を評価する方法として本発明の方法を用いることができる。
【００５３】
以下に、クラック層１ａと加工変質層１ｃとの違いについて説明する。
【００５４】
まず、ラップや研削などの機械加工では被加工物の表面にクラックが多く発生する。このクラックは砥粒が被加工物の表面に押し当てられたときに砥粒と接した部分が起点となり内部に向かって発生し、クラックの先端の応力（エネルギー）とクラックの進展との間に密接な関係がある。応力がある値以下になるとクラックの進行は停止する。このクラックの先端までをクラック層１ａと呼ぶ。クラックの先端より下では塑性変形層があり、さらに下では弾性変形層があり、その下では加工の影響を受けていない層になる。加工変質層１ｃというのはこの加工の影響を受けていない層の手前までを言う。
【００５５】
レーリー波は表面層の連続体の中を運動エネルギーと弾性エネルギーの和が一定の状態を保ちながら伝播する。クラック層１ａがあると弾性エネルギーのもとになる応力が伝わらなくなり、レーリー波はクラック層１ａでは伝播しない。しかし、クラック層１ａより下では、表面方向に沿って力学的連続性はあるので、レーリー波は伝播できる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、非破壊にて、機械加工品などの表面加工品の表面状態、例えばクラック層等の加工変質層の状態（例えば厚さ）を評価できるので、表面加工の評価に好適に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施の第一形態に係る表面加工品の表面状態測定方法を示す概略構成図である。
【図２】上記表面状態測定方法に用いる測定装置の概略構成図である。
【図３】上記表面状態測定方法における、硬度法にて求めたクラック深さと、遅延時間から求めたクラック深さとの関係を示すグラフである。
【図４】上記測定装置の全体を示すブロック図である。
【図５】上記表面状態測定方法の手順を示すフローチャートである。
【図６】上記遅延時間を示すグラフである。
【図７】本発明の実施の第二形態に係る表面加工品の表面状態測定方法を説明する被測定物の概略断面図である。
【図８】上記表面状態測定方法における、レーリー波速度と周波数および伝播速度との関係を示すグラフである。
【図９】上記表面状態測定方法での手順を示すフローチャートである。
【図１０】上記表面状態測定方法における臨界角を求めるための、入射角、周波数、強度との関係を三次元的に示したグラフである。
【図１１】上記表面状態測定方法における、各周波数に対するレーリー波速度の変節点に基づく伝播深さを示すグラフである。
【符号の説明】
【００５８】
１：被測定物
１ａ：クラック層（加工変質層）
４：圧力波
４ｂ：レーリー波
５：反射波
７：漏洩波
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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