(57)【要約】【課題】  生産性が良く、欠け等の無い材料基板の劈開方法を提供する。【解決手段】  本発明の材料基板の劈開方法は、弾性材料で形成されたステージ１と、一面２ａ側に格子状のスクライブ溝３が設けられ、一面２ａ側がステージ１に載置された材料基板２と、この材料基板２の他面２ｂ側に粘着された粘着シート４と、この粘着シート４を押圧することによって材料基板２をステージ１に押し付けて、材料基板２を劈開するローラー５とを備え、ローラー５は、１本のスクライブ溝３に対応して移動すると共に、ローラー５が１本のスクライブ溝３に沿って移動する時、ローラー５は、粘着シート４を介して材料基板２がステージ１に押し付けられて、材料基板２がスクライブ溝３に沿って劈開されるようにしたため、材料基板２の大きさに関係なく、全ての材料基板２に共用でき、従って、ローラー５を取り替えることが無く、生産性の良好なものが得られる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性材料で形成されたステージと、一面側に格子状のスクライブ溝が設けられ、前記一面側が前記ステージに載置された材料基板と、この材料基板の他面側に粘着された粘着シートと、この粘着シートを押圧することによって前記材料基板を前記ステージに押し付けて、前記材料基板を劈開するローラーとを備え、前記ローラーは、１本の前記スクライブ溝に対応して移動すると共に、前記ローラーが１本の前記スクライブ溝に沿って移動する時、前記ローラーは、前記粘着シートを介して前記材料基板が前記ステージに押し付けられて、前記材料基板が前記スクライブ溝に沿って劈開されるようにしたことを特徴とする材料基板の劈開方法。
【請求項２】
前記スクライブ溝は、Ｘ方向溝と、このＸ方向溝に直交するＹ方向溝を有し、前記ローラーが前記Ｘ方向溝に沿って移動した時は、前記Ｘ方向溝が劈開されると共に、前記ローラーが前記Ｙ方向溝に沿って移動した時は、前記Ｙ方向溝が劈開されることを特徴とする請求項１記載の材料基板の劈開方法。
【請求項３】
前記ローラーは、間隔を置いて複数個配置され、複数個の前記ローラーのそれぞれによって、前記スクライブ溝が劈開されるようにしたことを特徴とする請求項１、又は２記載の材料基板の劈開方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体やセラミック基板からなる回路基板等に適用して好適な材料基板の劈開方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は従来の材料基板の劈（へき）開方法に係り、劈開装置を示す平面図、図４は従来の材料基板の劈開方法に係り、劈開装置を示す正面図で、次に、従来の材料基板の劈開装置の構成を図３，図４に基づいて説明すると、ゴム等の弾性材料で形成されたステージ５１は、上面５１ａが平面状で形成されている。
【０００３】
半導体材料やセラミック材料等で形成された円板状の材料基板５２の一面（下面）５２ａ側には、格子状のスクライブ溝５３が設けられると共に、他面（上面）５２ｂ側には、粘着シート５４が粘着されている。
【０００４】
スクライブ溝５３は、Ｘ方向溝５３ａと、このＸ方向溝５３ａに直交するＹ方向溝５３ｂを有し、材料基板５２は、スクライブ溝５３を形成した一面５２ａ側がステージ５１の上面５１ａ上に載置されると共に、材料基板５２からはみ出た粘着シート５４がステージ５１の上面５１ａに粘着されて、材料基板５２をステージ５１に保持している。
【０００５】
棒状のローラー部材５５は、材料基板５２の径よりも大きな長さを有した状態で配設され、ローラー部材５５は、材料基板５２の径方向の全長に跨った状態で、回転しながら粘着シート５４を押圧すると共に、粘着シート５４を介して材料基板５２がステージ５１に押し付けられるようになっている。
【０００６】
次に、従来の材料基板の劈開方法を説明すると、先ず、図３，図４に示すように、ローラー部材５５の軸線Ｇ１がスクライブ溝５３のＹ方向溝５３ｂと平行になるように配置する。
この状態で、ローラー部材５５を矢印方向（Ｘ方向溝５３ａの方向）に移動すると、ローラー部材５５は、転がりながら粘着シート５４を介して材料基板５２をステージ５１に押し付ける。
【０００７】
この時、１本のＹ方向溝５３ｂの全体がローラー部材５５によって一度に押圧されるため、１本のＹ方向溝５３ｂの箇所全体で劈開されるようになり、従って、ローラー部材５５の移動によって、１本のＹ方向溝５３ｂ毎に順次劈開される。
【０００８】
次に、Ｙ方向溝５３ｂの劈開が終わると、ステージ５１側を９０度回転させるか、或いは、ローラー部材５５をＸ方向溝５３ａに平行するように移動した後、ローラー部材５５をＸ方向溝５３ａの方向に移動させると、１本のＹ方向溝５３ｂの全体がローラー部材５５によって一度に押圧されるため、１本のＹ方向溝５３ｂの箇所全体で劈開されるようになり、従って、ローラー部材５５の移動によって、１本のＹ方向溝５３ｂ毎に順次劈開されて、材料基板５２の劈開が完了する。（例えば、特許文献１参照）
【０００９】
しかし、従来の材料基板の劈開方法は、ローラー部材５５が材料基板５２の径よりも大きな長さを有して、スクライブ溝５３の１本のＸ方向溝５３ａ、又は１本のＹ方向溝５３ｂの全体を押圧するようになっているため、材料基板５２の大きさが異なると、この材料基板５２毎に長さの異なるローラー部材５５を必要とするばかりか、長さの異なるローラー部材５５の取り替えが必要として、生産性が悪くなるものであった。
【００１０】
また、ローラー部材５５は、棒状で軸線Ｇ１が長いため、軸線Ｇ１をＹ方向溝５３ｂ、或いはＸ方向溝５３ａと平行に合わすことが難しく、このため、ズレた軸線Ｇ２になると、中央部から外れた材料基板５２の外周部に位置する軸線Ｇ２は、Ｙ方向溝５３ｂ、或いはＸ方向溝５３ａから外れた状態となり、従って、ズレた軸線Ｇ２で劈開すると、材料基板５２の外周部に位置する箇所では、欠け等が生じる。
【００１１】
【特許文献１】特開２００１−２５７１８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
従来の材料基板の劈開方法は、ローラー部材５５が材料基板５２の径よりも大きな長さを有して、スクライブ溝５３の１本のＸ方向溝５３ａ、又は１本のＹ方向溝５３ｂの全体を押圧するようになっているため、材料基板５２の大きさが異なると、この材料基板５２毎に長さの異なるローラー部材５５を必要とするばかりか、長さの異なるローラー部材５５の取り替えが必要として、生産性が悪くなるという問題がある。
【００１３】
また、ローラー部材５５は、棒状で軸線Ｇ１が長いため、軸線Ｇ１をＹ方向溝５３ｂ、或いはＸ方向溝５３ａと平行に合わすことが難しく、このため、ズレた軸線Ｇ２となり、その結果、軸線Ｇ２は、Ｙ方向溝５３ｂ、或いはＸ方向溝５３ａから外れた状態となって、ズレた軸線Ｇ２で劈開すると、材料基板５２の外周部に位置する箇所では、欠け等が生じるという問題がある。
【００１４】
そこで、本発明は生産性が良く、欠け等の無い材料基板の劈開方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するための第１の解決手段として、弾性材料で形成されたステージと、一面側に格子状のスクライブ溝が設けられ、前記一面側が前記ステージに載置された材料基板と、この材料基板の他面側に粘着された粘着シートと、この粘着シートを押圧することによって前記材料基板を前記ステージに押し付けて、前記材料基板を劈開するローラーとを備え、前記ローラーは、１本の前記スクライブ溝に対応して移動すると共に、前記ローラーが１本の前記スクライブ溝に沿って移動する時、前記ローラーは、前記粘着シートを介して前記材料基板が前記ステージに押し付けられて、前記材料基板が前記スクライブ溝に沿って劈開されるようにした劈開方法とした。
【００１６】
また、第２の解決手段として、前記スクライブ溝は、Ｘ方向溝と、このＸ方向溝に直交するＹ方向溝を有し、前記ローラーが前記Ｘ方向溝に沿って移動した時は、前記Ｘ方向溝が劈開されると共に、前記ローラーが前記Ｙ方向溝に沿って移動した時は、前記Ｙ方向溝が劈開される劈開方法とした。
【００１７】
また、第３の解決手段として、前記ローラーは、間隔を置いて複数個配置され、複数個の前記ローラーのそれぞれによって、前記スクライブ溝が劈開されるようにした劈開方法とした。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の材料基板の劈開方法は、弾性材料で形成されたステージと、一面側に格子状のスクライブ溝が設けられ、一面側がステージに載置された材料基板と、この材料基板の他面側に粘着された粘着シートと、この粘着シートを押圧することによって材料基板をステージに押し付けて、材料基板を劈開するローラーとを備え、ローラーは、１本のスクライブ溝に対応して移動すると共に、ローラーが１本のスクライブ溝に沿って移動する時、ローラーは、粘着シートを介して材料基板がステージに押し付けられて、材料基板がスクライブ溝に沿って劈開されるようにした劈開方法とした。
このように、ローラーは、１本のスクライブ溝に対応し、且つ、１本のスクライブ溝に沿って移動するようにしたため、材料基板の大きさに関係なく、全ての材料基板に共用でき、従って、ローラーを取り替えることが無く、生産性の良好なものが得られる。
また、ローラーは、１本のスクライブ溝に対応した大きさであるため、ローラーの軸線が若干ズレても、従来の棒状のローラー部材のように、軸線が大きくズレることが無く、ローラーは、１本のスクライブ溝に対応した移動ができ、従って、欠け等のないものが得られる。
【００１９】
また、スクライブ溝は、Ｘ方向溝と、このＸ方向溝に直交するＹ方向溝を有し、ローラーがＸ方向溝に沿って移動した時は、Ｘ方向溝が劈開されると共に、ローラーがＹ方向溝に沿って移動した時は、Ｙ方向溝が劈開されるため、ローラーは、移動方向に延びるスクライブ溝の位置で材料基板が劈開され、従って、ローラーの軸線のズレに関係なく、材料基板を劈開することができる。
【００２０】
また、ローラーは、間隔を置いて複数個配置され、複数個のローラーのそれぞれによって、スクライブ溝が劈開されるようにしたため、劈開工程を少なくできて、生産性の良好なものが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の材料基板の劈開方法の図面を説明すると、図１は本発明の材料基板の劈（へき）開方法に係り、劈開装置を示す平面図、図２は本発明の材料基板の劈開方法に係り、劈開装置を示す正面図で、次に、本発明の材料基板の劈開装置の構成を図１，図２に基づいて説明すると、ゴム等の弾性材料で形成されたステージ１は、上面１ａが平面状で形成されている。
【００２２】
半導体材料や低温焼成（ＬＴＣＣ）等のセラミック材料等で形成された円板状の材料基板２の一面（下面）２ａ側には、格子状のスクライブ溝３が設けられると共に、他面（上面）２ｂ側には、粘着シート４が粘着されている。
【００２３】
スクライブ溝３は、Ｘ方向溝３ａと、このＸ方向溝３ａに直交するＹ方向溝３ｂを有し、材料基板２は、スクライブ溝３を形成した一面２ａ側がステージ１の上面１ａ上に載置されると共に、材料基板２からはみ出た粘着シート４がステージ１の上面１ａに粘着されて、材料基板２をステージ１に保持している。
【００２４】
算盤珠状のローラー５は、１本のスクライブ溝３に対応し、且つ、１本のスクライブ溝３に沿って移動するように配置されており、このローラー５は、回転しながら粘着シート４を押圧すると共に、粘着シート４を介して材料基板２がステージ１に押し付けられるようになっている。
【００２５】
次に、本発明の材料基板の劈開方法を説明すると、先ず、図１，図２に示すように、ローラー５がスクライブ溝３のＸ方向溝３ａと一直線状になるように配置する。
この状態で、ローラー５を矢印方向（Ｘ方向溝３ｂの方向）に移動すると、ローラー５は、転がりながら粘着シート４を介して材料基板２をステージ１に押し付ける。
【００２６】
この時、１本のＸ方向溝３ａ上がローラー５によって順次押圧されるため、１本のＸ方向溝３ａが劈開されるようになり、このように、１本ずつＸ方向溝３ａに沿ってローラー５の往復動を繰り返すことによって、Ｘ方向溝３ａの劈開が行われる。
また、ローラー５の軸線Ｇは、Ｙ方向溝３ｂとの間の平行度がズレても、ローラー５は１本のＸ方向溝３ａに沿って移動するようになる。
【００２７】
次に、Ｘ方向溝３ａの劈開が終わると、ステージ１側を９０度回転させるか、或いは、ローラー５をＹ方向溝３ｂと一直線状になるように移動した後、ローラー５をＹ方向溝３ｂに沿って移動させると、１本のＹ方向溝３ｂ上がローラー５によって順次押圧されるため、１本のＹ方向溝３ｂが劈開されるようになり、このように、１本ずつＹ方向溝３ｂに沿ってローラー５の往復動を繰り返すことによって、Ｙ方向溝３ｂの劈開が行われて、材料基板２の劈開が完了する。
この時、ローラー５の軸線Ｇは、Ｘ方向溝３ａとの間の平行度がズレても、ローラー５は１本のＹ方向溝３ｂに沿って移動するようになる。
【００２８】
なお、上記実施例では、１個のローラー５を使用したもので説明したが、複数個のローラー５を間隔を置いて配置し、複数個のローラー５のそれぞれによって１本ずつの複数本のスクライブ溝３を同時に劈開するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の材料基板の劈（へき）開方法に係り、劈開装置を示す平面図。
【図２】本発明の材料基板の劈開方法に係り、劈開装置を示す正面図。
【図３】従来の材料基板の劈（へき）開方法に係り、劈開装置を示す平面図。
【図４】従来の材料基板の劈開方法に係り、劈開装置を示す正面図。
【符号の説明】
【００３０】
１：ステージ
１ａ：上面
２：材料基板
２ａ：一面
２ｂ：他面
３：スクライブ溝
３ａ：Ｘ方向溝
３ｂ：Ｙ方向溝
４：粘着シート
５：ローラー
Ｇ：軸線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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