(57)【要約】【課題】第１に、設備コストやランニングコストに優れ、第２に、排気ガスが分散して大気放出されるようになり、第３に、活性炭の破過進行状況を常時確認でき、第４に、不活性ガスの使用量を削減でき、第５に、適切量の活性炭を充填できる、溶剤回収装置を提案する。【解決手段】この溶剤回収装置１は、排気ガス発生設備４と廃液発生設備５から、選択的又は同時併行的に溶剤Ｃを回収可能である。そして、凝結用の熱交換器２３からの排気ガスＡを、予備冷却用の熱交換器２０の冷媒として使用し、又、複数の温度検出手段１１で、吸脱着槽２に充填された活性炭１０の各高さレベルの温度変化を検出する。更に、熱風供給手段１７から吸脱着槽２に、不活性ガスと大気を切換えて供給可能であり、又、高さ位置が調整可能な上部網目材と下部網目材との間に、活性炭１０を充填する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気ガス中や廃液中に含有された溶剤を回収する溶剤回収装置であって、吸脱着槽と熱交換器とを有しており、
該吸脱着槽は、吸着材が充填されており、気化した溶剤を含有した排気ガスを、排気ガス発生設備と、廃液発生設備に付設された加熱気化器とから、選択的又は同時併行的に回収して、排気ガス中から該吸着材に溶剤を吸着した後に脱着し、
該熱交換器は、該吸脱着槽から脱着され濃縮された溶剤を含有した排気ガスが供給され、冷却により排気ガス中から溶剤を凝結，回収すること、を特徴とする溶剤回収装置。
【請求項２】
排気ガス中や廃液中に含有された溶剤を回収する溶剤回収装置であって、気化された溶剤を含有した排気ガスが供給され、冷却により排気ガス中から溶剤を凝結，回収する熱交換器を有しており、
該熱交換器は、上流側から下流側へ順に複数個設けられており、上流側の該熱交換器は、供給された溶剤を含有した高温の排気ガスを、溶剤が凝結しない程度に予備冷却し、下流側の該熱交換器は、冷却手段や回収容器が付設されており、上流側の該熱交換器から供給された排気ガスを冷却して溶剤を凝結，回収し、
かつ上流側の該熱交換器は、下流側の該熱交換器から、溶剤の凝結，回収後に排出された冷却された排気ガスが供給され、その熱交換用の冷媒として使用した後、加熱された排気ガスを大気へと放出すること、を特徴とする溶剤回収装置。
【請求項３】
排気ガス中や廃液中に含有された溶剤を回収する溶剤回収装置であって、吸脱着槽と熱交換器とを有しており、
該吸脱着槽は、吸着材が充填されており、気化された溶剤を含有した排気ガスが供給され、排気ガス中から該吸着材に溶剤を吸着した後に脱着し、該熱交換器は、該吸脱着槽から脱着され濃縮された溶剤を含有した排気ガスが供給され、冷却により排気ガス中から溶剤を凝結，回収し、
かつ該吸脱着槽は、下端部に設けられた排気ガスの供給口と、上端部に設けられた排気ガスの排出口と、該吸着材として内部に充填された活性炭と、温度検出手段とを備えており、
該温度検出手段は、該活性炭の充填高さレベルに応じて複数設けられており、該活性炭について、吸着そして破過が下から上へと段階的に徐々に進行して行くのに伴い、下から上へと段階的に徐々に進行して行く発熱そして発熱解除の温度変化を検出し、もって検出された温度変化に基づき、該活性炭の破過進行状況を常時確認可能となっていること、を特徴とする溶剤回収装置。
【請求項４】
請求項３に記載した溶剤回収装置において、該吸脱着槽には、熱風供給手段が付設されており、該熱風供給手段は、不活性ガスと大気とを選択的に吸気可能であると共に、該吸脱着槽の活性炭に吸着した溶剤を脱着させて該熱交換器へと供給させるため、吸気された不活性ガス又は大気を熱風化して該吸脱着槽に供給すること、を特徴とする溶剤回収装置。
【請求項５】
請求項３に記載した溶剤回収装置において、該吸脱着槽は、該活性炭の流動化防止用の上部網目材と、該活性炭の落下防止用の下部網目材と、該上部網目材と該下部網目材との間に充填された該活性炭とを、内部に備えており、
該上部網目材は、高さ位置が可変調整可能であり、もって該吸脱着槽は、処理に対応した適切量の該活性炭を充填可能となっていること、を特徴とする溶剤回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶剤回収装置に関する。すなわち、排気ガス中や廃液中に含有された溶剤を、凝結，回収する溶剤回収装置に、関するものである。
【背景技術】
【０００２】
《技術的背景》
例えば樹脂の塗布工程，塗装工程，その加熱工程，乾燥工程や、金属の洗浄工程等において、これらの設備から排出された排気ガス中や廃液中には、溶剤が含有されており、そのまま大気中に放出すると、有害であると共に無駄も多い。
そこで、公害防止と再生利用の観点から、この種の排気ガス発生設備や廃液発生設備には、それぞれ、溶剤回収装置が付設されている。
【０００３】
《従来技術》
まず、排気ガス発生設備に付設された溶剤回収装置では、気化した溶剤を含有した排気ガスを、→多くの場合まず、活性炭等の吸着材に供給して、→溶剤を吸着させた後、→溶剤を脱着させる。→もって、濃縮された溶剤を含有した排気ガスを、→熱交換器に供給して冷却することにより、→排気ガス中から溶剤を、凝結させて回収すると共に、→クリーン化された排気ガスを大気へと放出していた。
他方、廃液発生設備に付設された溶剤回収装置では、まず、溶剤を含有した廃液を、→加熱気化器に供給して、加熱，送風することにより蒸発，気化させ、→もって、気化した溶剤を含有した排気ガスとしていた。→そして上述した所に準じ、溶剤を含有した排気ガスを、→熱交換器に供給して冷却することにより、→排気ガス中から溶剤を、凝結させて回収すると共に、→クリーン化された排気ガスを大気へと放出していた。
【０００４】
《先行技術文献情報》
このような従来例としては、例えば次の特許文献１，特許文献２に示したものが挙げられる。特許文献１は、排気ガス発生設備に付設される溶剤回収装置に関し、特許文献２は、廃液発生設備に付設される溶剤回収装置に関する。
【特許文献１】特開平９−３０８８１４号公報
【特許文献２】特開昭６３−１０７７９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、このような従来例の溶剤回収装置については、次の問題が指摘されていた。
《第１の問題点について》
第１に、溶剤の排出形態によって、タイプの異なる２種類の溶剤回収装置を、使い分ける必要があった。すなわち、排気ガス発生設備から排出される排気ガスを対象とする場合は、前述した専用の溶剤回収装置を付設することが必要であり、廃液発生設備から排出される廃液を対象とする場合は、前述した専用の溶剤回収装置を付設することが必要であった。
そして、例え同一溶剤を回収する場合であっても、この間の事情は変わらなかった。すなわち、排気ガス発生設備から排出される排気ガス中に含有された溶剤と、廃液発生設備から排出される廃液中に含有された溶剤とが、例え同一溶剤であっても、それぞれ専用の溶剤回収装置を付設することを要していた。
このように、この種従来例では、タイプの異なる２種類（２台）の溶剤回収装置を使い分ける必要があり、設備コストやランニングコストがかさむ、という問題が指摘されていた。
【０００６】
《第２の問題点について》
第２に、この種従来例の溶剤回収装置では、熱交換器が必須的に使用されるが、溶剤を確実に凝結，回収するためには、付設されるチラーユニットその他の冷却手段を含め、熱交換器の関連設備が大型化し多連化して、設備コストやランニングコストがかさみエネルギー効率にも難点がある、という問題が指摘されていた。
特に、回収対象の溶剤が低沸点溶剤の場合は、熱交換器において排気ガスを低温まで冷却する必要があり、このような設備コスト，ランニングコスト，エネルギー効率上の問題が、顕著化していた。
【０００７】
《第３の問題点について》
第３に、吸着材の破過を、排気ガス中の溶剤濃度で判断していたが、高価な分析装置が必要となると共に、分析結果が出るまでに時間がかかり、更に、吸着材の各段階・各部分の破過進行状態が判断できない、という問題が指摘されていた。
すなわち、この種の溶剤回収装置では、多くの場合、吸着材として活性炭を用いて、排気ガス中の溶剤を吸着，脱着，濃縮しているが、その際、活性炭は、溶剤吸着の進行に伴い、段階的・部分的に徐々に吸着容量が飽和して破過して行き、全体的に破過すると再生や交換されていた。
そこで、このような活性炭の破過状況を、確認することが必要となるが、この種従来例では、活性炭から排出される排気ガス中の溶剤濃度（つまり、溶剤が破過するまで活性炭に吸着されたか否か）を、高価なガスクロマトグラフィー等の分析装置を使用して検出し、もって全体的破過を推測しているに過ぎなかった。そこで、設備コストがかさむと共に、検出，確認に時間がかかりタイムリーさに欠け、更に、各段階・各部分の破過進行状況が把握できない、という難点があった。
【０００８】
そして、破過進行状況の迅速な常時確認によって始めて、まず、活性炭の全体的破過を事前に予測可能となり、活性炭の全体的破過を看過することが防止され、溶剤を多量に含んだ排気ガスが、オーバーフローして大気放出されることが防止される。
又、途中の段階的・部分的レベルの破過に止まっていることが確認された場合は、次の使用時において、活性炭を全体的にすべて均一に破過するまで使い切ることが可能となり、無駄がなく効率化される。又、活性炭をすべて破過させた後に一斉に再生や交換でき、能率的となる。
この種従来例では、これらの各点について、不安が指摘され実現が困難視されていた。
【０００９】
《第４の問題点について》
第４に、活性炭等の吸着材に吸着された溶剤を脱着する際、排気ガス中の溶剤が濃縮されて濃度が高くなり、爆発下限界を上回って、引火，爆発の危険が生じる。そこで、この種従来例の溶剤回収装置では、脱着に際して不活性ガスを供給し、もって不活性ガスの雰囲気中で脱着を行っていたが、不活性ガスを必要とする分、材料コストがかさむ、という問題が指摘されていた。
なお、このような引火，爆発対策や材料コスト対策として、排気ガスの総流量を増加させることも、従来試みられていた。すなわち、脱着に際し大気を大量に吸引，供給することにより、排気ガスの総流量を増加させて、排気ガス中の溶剤濃度を薄めて低下させ爆発下限界以下とし、もって、不活性ガスを用いることなく、引火，爆発の危険を回避することも、試みられていた。
しかしながらこれでは、次工程の熱交換器において、その分、排気ガス中の溶剤が熱交換される接触時間が短くなり、熱交換が十分に行われず、溶剤の凝結効率が悪化する。つまり、溶剤の回収率が低下して、溶剤を多量に含んだ排気ガスが大気放出されてしまう、という難点が指摘され、その採用は見送られることが多かった。
【００１０】
《本発明について》
本発明の溶剤回収装置は、このような実情に鑑み、上記従来例の課題を解決すべくなされたものである。
そして第１に、本発明の請求項１は、排気ガス発生設備と廃液発生設備とから、選択的又は同時併行的に溶剤を回収可能としたことを、特徴とする。もって、設備コストやランニングコストに優れた、溶剤回収装置を提案することを目的とする。
第２に、本発明の請求項２は、凝結用の下流側の熱交換器からの排気ガスを、予備冷却用の上流側の熱交換器の冷媒として使用し、加熱させて大気放出するようにしたことを、特徴とする。もって、設備コストやランニングコストに優れると共に、排気ガスが高く分散して大気放出されるようになる、溶剤回収装置を提案することを目的とする。
【００１１】
第３に、本発明の請求項３は、複数の温度検出手段で、活性炭の各高さレベル毎の温度変化を検出するようにしたことを、特徴とする。もって、活性炭の破過進行状況を常時確認できると共に、設備コストにも優れるようになる、溶剤回収装置を提案することを目的とする。
第４に、本発明の請求項４は、熱風供給手段から吸脱着槽に、不活性ガスと大気とを切換えて供給可能としたことを、特徴とする。もって、不活性ガスの使用量を削減でき材料コストに優れた、溶剤回収装置を提案することを目的とする。
第５に、本発明の請求項５は、高さ位置が調整可能な上部網目材と、下部網目材との間に活性炭を充填することを、特徴とする。もって、適切量の活性炭を充填でき効率的な、溶剤回収装置を提案することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
《各請求項について》
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項１については次のとおり。
請求項１の溶剤回収装置は、排気ガス中や廃液中に含有された溶剤を回収し、吸脱着槽と熱交換器とを有している。
そして該吸脱着槽は、吸着材が充填されており、気化した溶剤を含有した排気ガスを、排気ガス発生設備と、廃液発生設備に付設された加熱気化器とから、選択的又は同時併行的に回収して、排気ガス中から該吸着材に溶剤を吸着した後に脱着する。又、該熱交換器は、該吸脱着槽から脱着され濃縮された溶剤を含有した排気ガスが供給され、冷却により排気ガス中から溶剤を凝結，回収すること、を特徴とする。
【００１３】
請求項２については次のとおり。請求項２の溶剤回収装置は、排気ガス中や廃液中に含有された溶剤を回収する溶剤回収装置であって、気化された溶剤を含有した排気ガスが供給され、冷却により排気ガス中から溶剤を凝結，回収する熱交換器を有している。
そして該熱交換器は、上流側から下流側へ順に複数個設けられており、上流側の該熱交換器は、供給された溶剤を含有した高温の排気ガスを、溶剤が凝結しない程度に予備冷却し、下流側の該熱交換器は、冷却手段や回収容器が付設されており、上流側の該熱交換器から供給された排気ガスを冷却して溶剤を凝結，回収する。
これと共に、上流側の該熱交換器は、下流側の該熱交換器から、溶剤の凝結，回収後に排出された冷却された排気ガスが供給され、その熱交換用の冷媒として使用した後、加熱された排気ガスを大気へと放出すること、を特徴とする。
【００１４】
請求項３については次のとおり。請求項３の溶剤回収装置は、排気ガス中や廃液中に含有された溶剤を回収し、吸脱着槽と熱交換器とを有している。
そして該吸脱着槽は、吸着材が充填されており、気化された溶剤を含有した排気ガスが供給され、排気ガス中から該吸着材に溶剤を吸着した後に脱着する。又、該熱交換器は、該吸脱着槽から脱着され濃縮された溶剤を含有した排気ガスが供給され、冷却により排気ガス中から溶剤を凝結，回収する。
そして該吸脱着槽は、下端部に設けられた排気ガスの供給口と、上端部に設けられた排気ガスの排出口と、該吸着材として内部に充填された活性炭と、温度検出手段とを備えている。
該温度検出手段は、該活性炭の充填高さレベルに応じて複数設けられており、該活性炭について、吸着そして破過が下から上へと段階的に徐々に進行して行くのに伴い、下から上へと段階的に徐々に進行して行く発熱そして発熱解除の温度変化を検出し、もって検出された温度変化に基づき、該活性炭の破過進行状況を常時確認可能となっていること、を特徴とする。
【００１５】
請求項４については次のとおり。請求項４の溶剤回収装置は、請求項３において、該吸脱着槽には、熱風供給手段が付設されている。
そして該熱風供給手段は、不活性ガスと大気とを選択的に吸気可能であると共に、該吸脱着槽の活性炭に吸着した溶剤を脱着させて該熱交換器へと供給させるため、吸気された不活性ガス又は大気を熱風化して該吸脱着槽に供給すること、を特徴とする。
請求項５については次のとおり。請求項５の溶剤回収装置は、請求項３において、該吸脱着槽は、該活性炭の流動化防止用の上部網目材と、該活性炭の落下防止用の下部網目材と、該上部網目材と該下部網目材との間に充填された該活性炭とを、内部に備えている。
そして該上部網目材は、高さ位置が可変調整可能であり、もって該吸脱着槽は、処理に対応した適切量の該活性炭を充填可能となっていること、を特徴とする。
【００１６】
《作用について》
本発明に係る溶剤回収装置は、このようになっているので、次のようになる。
（１）この溶剤回収装置は、溶剤を含有した排気ガスや廃液が排出される、排気ガス発生設備や、加熱気化器付の廃液発生設備に付設される。
（２）そして、溶剤を含有した排気ガスは、溶剤回収装置の吸脱着槽に供給，回収され、その下端部の供給口から、下部網目材と上部網目材間に吸着材として充填された活性炭を経た後、上端部の排出口へと向かう。
そこで、排気ガス中に含有されていた溶剤は、まず下部の活性炭に吸着され、下部の活性炭が破過するとその上の活性炭に吸着され、事後も順次、吸着そして破過が下から上へと進行して行く。
（３）吸脱着槽にて吸着が完了すると、熱風供給手段から不活性ガス又は大気が、熱風化されて供給され、もって吸着していた溶剤が活性炭から脱着される。そして、熱風に基づく高温の２次的な排気ガスが、脱着され濃縮された溶剤を含有しつつ、溶剤回収装置の熱交換器に供給される。
（４）そして排気ガスは、上流側の熱交換器にて予備冷却された後、下流側の熱交換器にて更に冷却され、もって溶剤が凝結して回収される。なお、下流側の熱交換器から排出された排気ガスは、上流側の熱交換器に供給され、熱交換用の冷媒として使用された後、大気へと放出される。
【００１７】
（５）さてそこで、本発明の溶剤回収装置によると、次のようになる。第１に、排気ガス発生設備と加熱気化器付の廃液発生設備とから、選択的又は同時併行的に、溶剤を含有した排気ガスを回収可能である。つまり、排気ガスと廃液のどちらからでも、溶剤を回収可能であり、更に、溶剤が同一種類の場合は、両者からの同時併行回収も可能である。
（６）第２に、溶剤凝結用の下流側の熱交換器から排出された冷却された排気ガスが、予備冷却用の上流側の熱交換器に供給されて、熱い排気ガスの熱交換用冷媒として使用され、加熱されて大気へと放出される。
このように、凝結後の排気ガスにて、凝結前の排気ガスを冷却するので、効率的であり、特に低沸点溶剤の場合は効率的である。又、溶剤凝結後の冷却された排気ガスは、このように加熱されてから大気放出され、高く舞い上がって分散されるので、回収しきれなかった溶剤が付近に高濃度化して漂うこともない。
【００１８】
（７）第３に、吸脱着槽の活性炭では、溶剤吸着と破過、そして発熱と発熱解除の温度変化が、下から上へと進行して行く。そこで、各高さレベル毎に温度検出手段を設けて、その温度変化を検出，モニターすることにより、活性炭の各高さレベル毎の破過進行状況を、簡単容易かつ迅速・タイムリーに常時確認可能となる。
（８）第４に、熱風供給手段から吸脱着槽に、不活性ガスと大気とを熱風化して選択供給可能である。そこで、引火性のある溶剤の場合は、溶剤脱着用および引火対策用として不活性ガスが供給され、引火性のない溶剤の場合は、溶剤脱着用として大気が供給される。もって、不活性ガスの使用量が削減される。
（９）第５に、吸脱着槽では、下部網目材と高さ調整可能な上部網目材との間に、活性炭が充填されるので、処理に対応した適切な量の活性炭を、充填可能である。
【発明の効果】
【００１９】
《第１の効果》
第１に、本発明の請求項１の溶剤回収装置は、排気ガス発生設備と廃液発生設備から、選択的又は同時併行的に、排気ガスそして溶剤を回収可能としたことを、特徴とする。
つまり、排気ガスと廃液のどちらからでも、溶剤を回収可能であり、同一溶剤の場合は、同時併行的にも回収可能である。前述したこの種従来例の溶剤回収装置のように、排気ガスと廃液について、それぞれ専用のタイプの異なる２種類の溶剤回収装置を使い分ける必要がなくなり、その分、設備コストやランニングコストに優れる、という効果を発揮する。
【００２０】
《第２の効果》
第２に、本発明の請求項２の溶剤回収装置は、凝結用の下流側の熱交換器から排出された冷却された排気ガスを、予備冷却用の上流側の熱交換器に供給して、熱交換用の冷媒として使用し、加熱させて大気放出することを、特徴とする。
このように溶剤凝結後の排気ガスを再利用するので、前述したこの種従来例の溶剤回収装置に比べ、エネルギー効率が向上すると共に、設備の大型化や多連化が抑制されるので、設備コストやランニングコストに優れる、という効果を発揮する。溶剤が低沸点溶剤の場合は、低温まで冷却する必要があるので、特に効果的である。
又、溶剤凝結後の冷却された排気ガスは、前述したこの種従来例のようにそのまま大気放出されることなく、加熱されてから大気放出される。そこで排気ガスは、高く舞い上がって分散されるので、溶剤の局地的な高濃度化が防止される。つまり、回収しきれず大気放出された溶剤が、付近の地表に高濃度化して偏在することが防止される、という効果を発揮する。
【００２１】
《第３の効果》
第３に、本発明の請求項３の溶剤回収装置では、吸脱着槽の活性炭について、各高さレベル毎に温度検出手段を設けて、下から上へと進行して行く吸着，破過に伴う発熱，発熱停止の温度変化を検出し、もって、各高さレベル毎の活性炭の破過進行状況を常時確認できることを、特徴とする。
すなわち、前述したこの種従来例の溶剤回収装置のように、ガスクロマトグラフィー等の分析装置にて排出される排気ガス中の溶剤濃度を検出することにより、活性炭の破過状況を全体的に推測していたのに比し、活性炭の各高さレベル毎の破過進行状況を簡単容易に確認でき、設備コストが低減されると共に、迅速・タイムリーに常時確認，把握できる、という効果を発揮する。
そこでまず、活性炭の全体的破過を事前に予測可能となり、これを看過することが防止されるので、溶剤を多量に含んだ排気ガスがオーバーフローして大気放出されてしまう危険が、解消される。
又、途中の部分的高さレベルの破過に止まっていることが確認された場合は、次の使用時において、活性炭を全体的にすべて均一に破過するまで使い切ることが可能となり、その分、無駄がなくなり効率的である。更に、活性炭をすべて破過させた後、一斉に再生・再使用や交換できるようになり、能率的である。
【００２２】
《第４の効果》
第４に、本発明の請求項４の溶剤回収装置は、熱風供給手段から吸脱着槽に、溶剤の引火性に応じ、不活性ガスと大気とを選択的に供給可能としたこと、を特徴とする。
前述したこの種従来例の溶剤回収装置の熱風供給手段のように、脱着に際し、引火，爆発対策として常に不活性ガスを熱風化して供給するのではなく、引火性の危険がある溶剤を脱着，回収する場合のみ、不活性ガスを供給する。引火性の危険がない溶剤を脱着，回収する場合は、大気を熱風化して供給する。そこでその分だけ、不活性ガスの使用量を削減でき材料コストに優れる、という効果を発揮する。
又これは、脱着に際し大量の大気を供給して排気ガスの総流量を増加させる対策、つまり不活性ガスを全く用いない引火，爆発対策のように、溶剤の回収率低下を招くこともない。
【００２３】
《第５の効果》
第５に、本発明の請求項５の溶剤回収装置は、吸脱着槽に下部網目材と、高さ位置が可変調整可能な上部網目材とを配し、その間に活性炭を充填するようにしたことを、特徴とする。そこで、処理対象の排気ガスや溶剤の量に対応し、適切な量の活性炭を吸脱着槽に充填でき、無駄がなく効率的である、という効果を発揮する。
このように、この種従来例に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
《図面について》
以下、本発明の溶剤回収装置を、図面に示した発明を実施するための最良の形態に基づいて、詳細に説明する。図１，図２，図３等は、本発明を実施するための最良の形態の説明に供する。
そして図１は、システム全体の構成説明図である。図２の（１）図は、活性炭がフル充填された吸脱着槽の正断面図であり、（２）図は、活性炭が１／２充填された吸脱着槽の正断面図である。（３）図は、上部網目材の平面図であり、（４）図は、上部網目材の取付け固定状態の平面図である。図３は、各バルブの切換状態を示す断面説明図であり、（１）図は直進開、（２）図は曲進開、（３）図は半開の状態を、それぞれ示す。
【００２５】
《溶剤回収装置１の概要について》
この溶剤回収装置１は、排気ガスＡ中や廃液Ｂ中に含有された溶剤Ｃを回収し、吸脱着槽２と熱交換器３とを有している。
すなわち、各種の塗布工程，塗装工程，接着工程，その加熱工程，乾燥工程や、洗浄工程等から排出される排気ガスＡ中には、気化した溶剤Ｃが含有されており、又、同様に排出される廃液Ｂ中には、液化した溶剤Ｃが含有されている。そこで、この種の排気ガス発生設備４や廃液発生設備５には、溶剤回収装置１が付設されている。
溶剤回収装置１にて回収される溶剤Ｃとしては、例えばＮ−メチル２ピロリドン，イソホロン，ジメチルアセトアミド等の高沸点溶剤（沸点１５０℃以上）や、中沸点溶剤（沸点１５０℃未満〜１００℃以上）や、例えば塩素系の低沸点溶剤（沸点１００℃未満）、等が考えられる。
溶剤回収装置１は、概略このようになっている。
【００２６】
《吸脱着槽２について》
まず、図１や図２を参照しつつ、溶剤回収装置１の吸脱着槽２について述べる。吸脱着槽２は、吸着材６が充填されており、気化した溶剤Ｃを含有した排気ガスＡを、排気ガス発生設備４と、廃液発生設備５に付設された加熱気化器Ｄとから、選択的又は同時併行的に回収して、排気ガスＡ中から溶剤Ｃを吸着した後、脱着する。
これらについて、更に詳述すると、まず、廃液発生設備５の廃液ダクトは、バルブＶ１を介し加熱気化器Ｄに接続されている。加熱気化器Ｄは、ヒーターを内蔵しており、供給された溶剤Ｃを含有した廃液Ｂをその沸点近くまで加熱すると共に、付設された送風機７から送風することにより、液化した溶剤Ｃを含有した加熱された廃液Ｂが、気化，蒸発して溶剤Ｃを含有した排気ガスＡとなる。そして加熱気化器Ｄは、バルブＶ２を介し溶剤回収装置１の吸脱着槽２に接続されており、発生した溶剤Ｃを含有した排気ガスＡを、吸脱着槽２に供給可能となっている。なお加熱気化器Ｄは、廃液発生設備５側に付設されるか、又は吸脱着槽２側に付設されるか、いずれでもよい。
他方、排気ガス発生設備４の排気ダクトは、バルブＶ２を介し溶剤回収装置１の吸脱着槽２に接続されており、発生した溶剤Ｃを含有した排気ガスＡを、吸脱着槽２に供給可能となっている。
【００２７】
そして吸脱着槽２は、下端部に設けられた排気ガスＡの供給口８と、上端部に設けられた排気ガスＡの排出口９と、吸着材６として内部に充填された炭素物質よりなる活性炭１０と、活性炭１０の温度検出手段１１と、活性炭１０の流動化防止用の上部網目材１２と、活性炭１０の落下防止用の下部網目材１３と、を有しており、上部網目材１２と下部網目材１３との間に活性炭１０が充填されている。
これらについて更に詳述すると、図１の図示例では、２個の吸脱着槽２が並列に併設されており、排気ガス発生設備４や廃液発生設備５に付設された加熱気化器６からの配管は、バルブＶ２を介した後、バルブＶ３にて両方の吸脱着槽２に向けて分岐され、それぞれの供給口８に接続されている。なお図中Ｖ４，Ｖ５は、吸脱着槽２の排出口９の下流側に設けられたバルブである。
吸脱着槽２は、このようになっている。
【００２８】
《上部網目材１２と下部網目材１３について》
図２を参照しつつ、このような吸脱着槽２の上部網目材１２と下部網目材１３について、更に詳述する。吸脱着槽２内では、供給口８上に若干の空間を介して、下部網目材１３が横に架設，固定されており、吸脱着槽２内部の下部を区画している。下部網目材１３としては、例えば金網が使用されている。
これに対し、同じく例えば金網を使用した上部網目材１２は、高さ位置が可変調整可能であり、処理に対応した適切量の活性炭１０が充填可能となっている。すなわち上部網目材１２は、下部網目材１３とは異なり高さ調整可能であり、例えば図２の（１）図に示したように、吸脱着槽２内部の上部や、図２の（２）図に示したように、吸脱着槽２内部の中央部において、横に架設，位置決めされて、吸脱着槽２内の上部や中央部を区画する。
【００２９】
図示例では、図２の（１）図，（２）図，（４）図等に示したように、チャンネル材１４が、吸脱着槽２の内面四方の上部から中央部付近まで縦に固設されており、対応して図２の（３）図，（４）図に示したように、上部網目材１２の四方にも、切欠き部１５が形成されている。
そして、図２の（４）図に示したように、各チャンネル材１４にそれぞれ、上部網目材１２の切欠き部１５が摺接，外嵌されることにより、上部網目材１２が、吸脱着槽２内部を上部から中央部付近まで、上下スライドしてその高さ位置を可変となっている。そして適宜高さ位置において、ストッパーとしてボルト１６やナットを用いることにより、上部網目材１２がチャンネル材１４に対し、ネジで止めされて位置決め，固定される。
活性炭１０は、このような上部網目材１２下で下部網目材１３上に充填される。すなわち活性炭１０は、下部網目材１３にて落下を防止されると共に、熱風供給手段１７からの熱風の風圧にて流動化しないように、上部網目材１２にて抑止される。
そして活性炭１０は、最多で図２の（１）図に示したように、吸脱着槽２内の略上部から下部までフル充填されたり、最少で図２の（２）図に示したように、中央部か下部まで１／２充填される等、各種の充填量で充填可能となっている。又、このような活性炭１０の充填量に応じて、上部網目材１２の高さ位置が調整される。
上部網目材１２と下部網目材１３は、このようになっている。
【００３０】
《温度検出手段１１について》
次に、吸脱着槽２の温度検出手段１１について、更に詳述する。温度検出手段１１は、活性炭１０の充填高さレベルに応じ、複数設けられている。
そして、充填された活性炭１０について、吸着そして破過が下から上へと段階的に徐々に進行して行くのに伴い、下から上へと段階的に徐々に進行して行く発熱そして発熱解除の温度変化を検出し、もって、検出された温度変化に基づき、活性炭１０の破過を常時確認可能となっている。
すなわち図示例では、温度検出手段１１として熱電対が使用されており、吸脱着槽２について、上部，中央部，下部にそれぞれ、計３本設けられている。つまり、図２の（１）図の活性炭１０のフル充填状態では、上中下の３本の温度検出手段１１が、充填された活性炭１０の温度変化を検出し、図２の（２）図の活性炭１０の１／２充填状態では、中下の２本の温度検出手段１１が、充填された活性炭１０の温度変化を検出する。
【００３１】
ところで、排気ガスＡに含有されて吸脱着槽２に圧送，供給された溶剤Ｃは、充填された活性炭１０に分離，吸着される時に、エンタルピーの内部エネルギーが減少すると共に発熱し、活性炭１０も共に発熱する。そして活性炭１０が、溶剤Ｃ吸着により吸着容量が飽和し、溶剤Ｃを分離，吸着困難となって破過すると、溶剤Ｃの吸着が止まると共に、溶剤Ｃそして活性炭１０の発熱も止まる。
各高さレベルの温度検出手段１１は、それぞれの高さレベルの活性炭１０について、このような温度変化を検出して、付設された表示部にて表示する。つまり、吸着前は低く、→吸着時に高く、→破過により再び低くなる活性炭１０の温度層・温度変化が、活性炭１０の下部，中部，上部の各高さレベルについて順に発生し、温度検出手段１１が順次これを検出，表示する。そこで看者は、このような表示を見ることにより、活性炭１０の破過進行状況を常時確認可能となる。
温度検出手段１１は、このようになっている。
【００３２】
《熱風供給手段１７について》
次に、吸脱着槽２に付設された熱風供給手段１７について述べる。吸脱着槽２には、熱風供給手段１７が付設されており、この熱風供給手段１７は、不活性ガスと大気とを選択的に切換えて吸気可能であると共に、吸脱着槽２の活性炭１０に吸着した溶剤Ｃを脱着させて熱交換器３へと供給させるため、吸気された不活性ガス又は大気を熱風Ｅ化して、吸脱着槽２に供給する。
すなわち熱風供給手段１７は、バルブＶ６を介し吸脱着槽２の供給口８へと接続されると共に、バルブＶ７を介し不活性ガスボンベ１８と大気吸引口１９とに接続されている。
そこで熱風供給手段１７は、まず、不活性ガスボンベ１８からの不活性ガスと、大気吸引口１９からの大気とを、選択的に切換えて吸気可能となっている。そして、このように吸気した不活性ガス又は大気を、付設されたヒーターおよび送風機等により熱風Ｅ化して、供給口８から吸脱着槽２へと供給可能となっている。
吸脱着槽２では、溶剤Ｃ吸着により破過された活性炭１０について、このような熱風Ｅが供給されることにより、吸着されていた溶剤Ｃが、破過した活性炭１０から離脱，脱着される。脱着された溶剤Ｃは、２次的な排気ガスＡとなった熱風Ｅ中に含有されつつ、排出口９からバルブＶ４又はＶ５を介し、熱交換器２０へと送られる。なお、図１中２１は大気放出口２１であり、バルブＶ４やバルブＶ５より下流側の配管の末端に形成されている。
熱風供給手段１７は、このようになっている。
【００３３】
《熱交換器３について》
次に、図１を参照しつつ、溶剤回収装置１の熱交換器３について述べる。熱交換器３は、吸脱着槽２から脱着され濃縮された溶剤Ｃを含有した熱風Ｅ、つまり２次的な排気ガスＡが供給され、冷却により排気ガスＡ中から溶剤Ｃを凝結，回収する。
すなわち、この溶剤回収装置１では、上流側から下流側へ順に直列的に、熱交換器３が複数個設けられている。そして、上流側の熱交換器２０は、図示例では１個設けられており、供給された溶剤Ｃを含有した高温の排気ガスＡを、凝結しない程度に予め予備冷却する。下流側の熱交換器２２，２３は、図示例では２個設けられると共に、例えばチラーユニットよりなる冷却手段２４や、回収容器２５がそれぞれ付設されており、上流側の熱交換器２０から供給された排気ガスＡを冷却して、溶剤Ｃを凝結，液化，回収する。
そして、上流側の熱交換器２０は、下流側最下流の熱交換器２３から、溶剤Ｃの凝結，回収後に排出された冷却された排気ガスＡが供給され、もってその熱交換用の冷媒として使用した後、加熱された排気ガスＡを、大気放出口２１から大気へと放出する。
そこで、吸脱着槽２から供給された排気ガスＡは、まず、１個の上流側の熱交換器２０から、→１個の下流側上流の熱交換器２２を経由した後、→更に、下流側最下流の熱交換器２３を流れた後、→再び、上流側の熱交換器２０を経由して、→大気放出される。
【００３４】
ところで図示例では、２個の下流側の熱交換器２２，２３が用いられているが、溶剤Ｃが高沸点溶剤や中沸点溶剤専用の場合は、１個のみとすることも考えられる。例えば、熱交換器２２のみとし、熱交換器２３を用いないようにすることも可能である。
これに対し図示例のように、溶剤Ｃとして低沸点溶剤も回収する場合は、凝結しにくい低沸点溶剤を十分に冷却して凝結，回収すべく、下流側には２個の熱交換器２２，２３が設けられ、もって下流側上流の熱交換器２２では回収しきれない溶剤Ｃを、下流側最下流の熱交換器２３で回収するようになっている。
【００３５】
なお、図１中２６は、ワイヤメッシュであり、このようなワイヤメッシュ２６又は金網又は衝突板等よりなる捕集部が、下流側最下流の熱交換器２３に付設されている。
この捕集部は、下流側最下流の熱交換器２３から排出された排気ガスＡ中に、ミストとなってまだ残存している溶剤Ｃ、つまり凝結，液化したものの排気ガスＡと共に吹き飛ばされて回収されなかった溶剤Ｃを、衝突，捕集，回収すべく設けられており、回収された溶剤Ｃは、回収容器２５へと送られる。図示例では、このようなワイヤメッシュ２６等の捕集部を経由した排気ガスＡが、ほとんど溶剤Ｃ成分がなくなった状態で、上流側の熱交換器２０の冷媒用に供給された後、大気放出される。
なお冷却手段２４は、図示例のチラーユニットに限定されるものではなく、熱交換器２２，２３において排気ガスＡとの間で熱の授受を行わしめる冷却水、その他の低温流体を供給可能な各種公知方式のものを採用可能である。
熱交換器３は、このような上流側の熱交換器２０と、下流側の熱交換器２２，２３と、からなっている。
【００３６】
《作用等》
本発明に係る溶剤回収装置１は、以上説明したように構成されている。そこで、以下のようになる。
（１）例えば、樹脂の塗布工程，塗装工程，接着工程，その加熱工程，乾燥工程や、金属の洗浄工程等において、その設備から排出された排気ガスＡ中や廃液Ｂ中には、溶剤Ｃが含有されている。
そこで、公害防止や再生利用の観点から、溶剤Ｃを含有した排気ガスＡや廃液Ｂが排出されるこの種の排気ガス発生設備４や廃液発生設備５には、溶剤回収装置１が付設されている。そして溶剤回収装置１は、吸脱着槽２と熱交換器３を有しており、排気ガスＡ中や廃液Ｂ中に含有されていた溶剤Ｃを、回収する。
【００３７】
（２）この溶剤回収装置１は、使用に際しまず、バルブＶ３が曲進開（図３の（２）図を参照）に、バルブＶ４が直進開（図３の（１）図を参照）に、バルブＶ５が曲進開（図３の（２）図を参照）に、バルブＶ６が直進開（図３の（１）図を参照）に、それぞれ切換えられる。
そして、排気ガス発生設備４からの気化した溶剤Ｃを含有した排気ガスＡ、および、廃液発生設備５からの液化した溶剤Ｃを含有した廃液Ｂが加熱気化器６にて気化された、溶剤Ｃを含有した排気ガスＡは、選択的又は同時併行的に、溶剤回収装置１の吸脱着槽２に供給，回収される。
【００３８】
すなわち、まず排気ガス発生設備４からの排気ガスＡを供給，回収する場合は、→バルブＶ２が直進開（図３の（１）図を参照）に切換えられ、→溶剤Ｃを含有した排気ガスＡが、吸脱着槽２に供給，回収される。
これに対し、廃液発生設備５から供給，回収する場合は、→まず、バルブＶ１が直進開（図３の（１）図を参照）に切換えられ、→適当量の廃液Ｂが加熱気化器Ｄに供給されたら、→バルブＶ１が曲進開（図３の（２）図を参照）に、バルブＶ２が曲進開（図３の（２）図を参照）に、それぞれ切換えられる。→そして加熱気化器Ｄでは、加熱と送風機７による送風により、溶剤Ｃを含有した廃液Ｂが気化，蒸発して、→溶剤Ｃを含有した排気ガスＡが発生して、吸脱着槽２に供給，回収される。
排気ガス発生設備４からの排気ガスＡと、廃液発生設備５から加熱気化器Ｄを介した排気ガスＡと、両方を同時併行的に供給，回収する場合、→つまり、両排気ガスＡに含有された溶剤Ｃが同一種類の場合は、→バルブＶ２が半開（図２の（３）図を参照）に切換えられ、→もって両排気ガスＡが、同時併行的に吸脱着槽２に供給，回収される。
【００３９】
そして、→このように供給，回収された排気ガスＡは、図面左側の吸脱着槽２下端部の供給口８から、→同吸脱着槽２内部へと導入され、→同吸脱着槽２内で、落下防止用の下部網目材１３と流動化防止用の上部網目材１２との間に、吸着材６として充填された活性炭１０を経た後、→同吸脱着槽２上端部の排出口９へと向かう。
そこで、→排気ガスＡ中に含有されていた溶剤Ｃは、最初の段階では、下部の活性炭１０に吸着され、→次の段階では、下部の活性炭１０が吸着容量の飽和に達して破過すると、その上の活性炭１０に吸着され、→更に次の段階で、その活性炭１０が吸着容量の飽和に達して吸着不能に破過すると、又その上の活性炭１０に吸着され、→事後も順次、このような吸着そして破過が、下から上へと段階的に徐々に進行して行く。→このようにして、排気ガスＡに含有されていた溶剤Ｃが、図面左側の吸脱着槽２の活性炭１０に吸着されて行く。→なお排気ガスＡは、溶剤Ｃが活性炭１０に吸着された後、吸脱着槽２上端部の排出口９を経由して、配管末端の大気放出口２１から大気へと放出される。
そして図示例では、図面左側の吸脱着槽２による溶剤Ｃの吸着が完了したら、例えばこの吸脱着槽２の活性炭１０がすべて破過すると、→バルブＶ４を曲進開（図３の（２）図を参照）、バルブＶ３を直進開（図３の（１）図を参照）に、それぞれ切換え、→図面右側の吸脱着槽２において、上述した左側の吸脱着槽２の場合に準じ、活性炭１０による溶剤Ｃの吸着と破過が進行して行く。なおこの場合、バルブＶ６は曲進開とされている。
【００４０】
（３）そして、図面左側の吸脱着槽２については、上述により排気ガスＡについて溶剤Ｃの吸着が完了すると、→付設された熱風供給手段１７が、バルブＶ７の直進開（図３の（１）図を参照）か曲進開（図３の（２）図を参照）かの切換えにより、不活性ガスと大気とを選択的に切換えて吸気し、→吸気した不活性ガス又は大気を、熱風Ｅ化して左側の吸脱着槽２に供給する。
そこで、→この熱風Ｅにより、左側の吸脱着槽２の活性炭１０に吸着していた溶剤Ｃが、活性炭１０から離脱，脱着され、→もって、熱風Ｅに基づく高温の２次的な排気ガスＡが、このように脱着され濃縮された溶剤Ｃを濃度高く含有しつつ、同吸脱着槽２上端部の排出口９を経由した後、→熱交換器３へと供給される。
【００４１】
（４）このように、図面左側の吸脱着槽２から脱着され濃縮された溶剤Ｃを含有した高温の排気ガスＡは、溶剤回収装置１の熱交換器３に供給される。
→熱交換器３は、上流側から下流側へ順に複数個設けられており、→供給された高温の排気ガスＡは、まず、上流側の熱交換器２０に供給されて、凝結しない程度に予め予備冷却された後、→下流側の熱交換器２２，２３に供給されて、更に冷却されることにより、→溶剤Ｃが凝結して、それぞれ付設された回収容器２５に、液化した溶剤Ｃとして回収される。
このようにして、排気ガスＡに含有されていた溶剤Ｃが、下流側の熱交換器２２，２３にて凝結，回収される。
【００４２】
ここで、下流側最下流の熱交換器２３から、溶剤Ｃの凝結，回収後に排出された排気ガスＡは、熱交換により冷却されているが、→再び、上流側の熱交換器２０に供給されて、→その熱交換用の冷媒として使用され、→もって、凝結前の高温の排気ガスＡを予備冷却すると共に、自身は加熱されて、→上流側の熱交換器２０の下流の大気放出口２１から、大気へと放出される。
なお、下流側の熱交換器２２，２３用の冷媒は、それぞれ、付設された冷却手段２４から供給される。又、下流側最下流の熱交換器２３から排出された排気ガスＡ中に含有されていたミスト状の溶剤Ｃは、ワイヤメッシュ２６等の捕集部にて捕集されて、回収容器２５に液化した溶剤Ｃとして回収される。
【００４３】
このようにして、図面左側の吸脱着槽２について、排気ガスＡ中に含有されていた溶剤Ｃの回収が、下流側の熱交換器２２，２３にて完了すると共に、図面右側の吸脱着槽２において、排気ガスＡ中に含有されていた溶剤Ｃの吸着が完了すると、バルブＶ４が直進開（図３の（１）図を参照）に、バルブＶ５が直進開（図３の（２）図を参照）に、バルブＶ６が直進開（図３の（１）図を参照）に、バルブＶ３が曲進開（図３の（２）図を参照）に、それぞれ切換えられる。
そして、再び図面左側の吸脱着槽２においては、排気ガスＡの回収と溶剤Ｃの吸着とが、又、図面右側の吸脱着槽２においては、溶剤Ｃの脱着そして熱交換器３における溶剤Ｃの回収とが、それぞれ実施される。
【００４４】
なお、吸脱着槽２に供給，回収された排気ガスＡ中には、溶剤Ｃと共に水分が含有されている。そして、この水分は、溶剤Ｃが活性炭１０等の吸着材６に吸着された際、分子の大きさの相違により吸着材６には吸着されず、もって溶剤Ｃとは分離され、もって排気ガスＡと共に大気に放出される。
なお、それでも熱交換器３へと供給された排気ガスＡ中に、溶剤Ｃと共に含有されていた水分は、回収容器２５中でデカンタされることにより、回収された溶剤Ｃと分離されるようになっている。
【００４５】
（５）さてそこで、本発明の溶剤回収装置１によると、次のようになる。第１に、この溶剤回収装置１は、排気ガス発生設備４と、加熱気化器６付の廃液発生設備５とから、気化した溶剤Ｃを含有した排気ガスＡを、選択的又は同時併行的に回収可能である。
つまり、この溶剤回収装置１は１台で、排気ガス発生設備４つまり排気ガスＡと、廃液発生設備５つまり廃液Ｂとの両方どちらからでも、選択的に自在に溶剤Ｃを回収することが可能である。
更に、排気ガス発生設備４の排気ガスＡに含有されていた溶剤Ｃと、廃液発生設備５の廃液Ｂに含有されていた溶剤Ｃとが、同一種類の溶剤Ｃである場合は、同時併行的に回収することも可能である。
【００４６】
（６）第２に、この溶剤回収装置１の熱交換器３において、溶剤Ｃの凝結，回収用の下流側の熱交換器２３から排出された冷却された排気ガスＡは、予備冷却用の上流側の熱交換器２０に供給されて、その熱交換用の冷媒として使用され、加熱されて大気へと放出される。
このように、この溶剤回収装置１の熱交換器３では、溶剤Ｃ凝結後の冷却された排気ガスＡにて、溶剤Ｃ凝結前の熱い排気ガスＡを熱交換して冷却するので、効率的である。特に、回収対象の溶剤Ｃが低沸点溶剤の場合は、その凝結のため、熱交換器３において排気ガスＡを低温まで冷却する必要があり、排気ガスＡのこのような再利用は、非常に効率的である。
又、この溶剤回収装置１の熱交換器３では、溶剤Ｃ凝結後の冷却された排気ガスＡが、そのまま大気放出されることなく、溶剤Ｃ凝結前の熱い排気ガスＡとの熱交換により加熱されてから、大気放出される。そこで、大気放出された排気ガスＡが、加熱されている分だけ上空高く舞い上がって分散されるので、溶剤回収装置１で回収しきれなかった溶剤Ｃが、付近に高濃度化して漂うようなこともなくなる。
【００４７】
（７）第３に、この溶剤回収装置１では、吸脱着槽２の吸着材６たる活性炭１０について、その充填高さレベルに応じ、複数の温度検出手段１１が設けられている。
すなわち吸脱着槽２では、活性炭１０への溶剤Ｃの吸着そして活性炭１０の破過が、下から上へと段階的に徐々に進行して行くが、これに伴い、活性炭１０の発熱そして発熱解除の温度変化が、下から上へと段階的に徐々に進行して行く。溶剤Ｃが活性炭１０に吸着される時、エンタルピーの内部エネルギーが減少するのに伴い発熱し、実験データによると、活性炭１０が５０℃程度まで発熱するが、活性炭１０が破過して溶剤Ｃの吸着が止まると、このような発熱も止まる。
そこで、各高さレベルに設けられた温度検出手段１１により、このような発熱そして発熱解除の温度変化、つまり下から上へと段階的に徐々に進行して行く温度変化を検出し、もって、検出された温度変化をモニターすることにより、活性炭１０について、どの上下高さレベルまで溶剤Ｃが吸着されたか、そしてどの高さレベルまで破過したか等、活性炭１０の各高さレベル毎の破過進行状況を、常時確認可能となる。
このように、活性炭１０の破過進行状況を、各高さレベル毎に簡単容易に確認できると共に、活性炭１０の破過進行状況を、各高さレベル毎に迅速・タイムリーに常時確認できるようになる。
【００４８】
（８）第４に、この溶剤回収装置１では、吸脱着槽２に対し、付設された熱風供給手段１７から、回収対象の溶剤Ｃの引火性に応じ、不活性ガスボンベ１８からの不活性ガスと、大気吸引口１９からの大気とを選択的に切換えて、供給可能である。
そして、引火性があり危険な溶剤Ｃを回収対象とする場合は、熱風供給手段１７から吸脱着槽２に対し、活性炭１０からの溶剤Ｃの脱着用および引火，爆発対策用として、不活性ガスを選択し熱風Ｅ化して供給する。これに対し、引火性が低く危険がない溶剤Ｃを回収対象とする場合は、熱風供給手段１７から吸脱着槽２に対し、活性炭１０からの溶剤Ｃの脱着用として、大気を選択し熱風Ｅ化して供給する。このようにして、不活性ガスの使用量を削減可能となる。
【００４９】
（９）第５に、この溶剤回収装置１では、吸脱着槽２内部に、落下防止用の下部網目材１３と流動化防止用の上部網目材１２とを配し、その間に吸着材６として活性炭１０が、充填されている。
そして上部網目材１２が、高さ位置を可変調整可能であるので、処理に対応した適切量の活性炭１０を、充填可能となる。つまり、処理対象の排気ガスＡや溶剤Ｃの処理量に対応し、適切な充填量の活性炭１０を、上部網目材１２の高さ位置を調整することにより、簡単容易に吸脱着槽２内に充填可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に係る溶剤回収装置について、発明を実施するための最良の形態の説明に供し、システム全体の構成説明図である。
【図２】同発明を実施するための最良の形態の説明に供し、（１）図は、活性炭がフル充填された吸脱着槽の正断面図であり、（２）図は、活性炭が１／２充填された吸脱着槽の正断面図である。（３）図は、上部網目材の平面図であり、（４）図は、上部網目材の取付け固定状態の平面図である。
【図３】同発明を実施するための最良の形態の説明に供し、各バルブの切換状態を示す断面説明図であり、（１）図は直進開、（２）図は曲進開、（３）図は半開の状態を、それぞれ示す。
【符号の説明】
【００５１】
１  溶剤回収装置
２  吸脱着槽
３  熱交換器
４  排気ガス発生設備
５  廃液発生設備
６  吸着材
７  送風機
８  供給口
９  排出口
１０  活性炭
１１  温度検出手段
１２  上部網目材
１３  下部網目材
１４  チャンネル材
１５  切欠き部
１６  ボルト
１７  熱風供給手段
１８  不活性ガスボンベ
１９  大気吸引口
２０  上流側の熱交換器
２１  大気放出口
２２  下流側の熱交換器
２３  下流側の熱交換器
２４  冷却手段
２５  回収容器
２６  ワイヤメッシュ
Ａ  排気ガス
Ｂ  廃液
Ｃ  溶剤
Ｄ  加熱気化器
Ｅ  熱風
【図１】
2005169227.tif 000003
【図２】
2005169227.tif 000004
【図３】
2005169227.tif 000005