(57)【要約】【課題】  導電性流体が流れるループ状配管を形成する検出器において、検出器のサイズを必要最小限にコンパクト化させ、ループ状配管からの液漏が起こることがなく、組み立て容易であり、検出部が回転方向及び／または管軸方向において任意の位置決めを行うことができる導電率計用検出器を提供する。【解決手段】  フッ素樹脂からなる流入部１、分岐部６、少なくとも二本の直管部が設けられた合流部１４、及び流出部２２が連続して設けられる管路の、一つの直管部外周に導電率を計測する検出部２７が配置される導電率計用検出器において、流入部１、分岐部６、合流部１４、及び流出部２２の各部品を、検出部２７を直管部外周に配置させた状態でそれぞれ溶着による接合によって設ける。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流入部、分岐部、少なくとも二本の直管部が設けられた合流部、及び流出部が連続して設けられる管路の、一つの直管部外周に導電率を計測する検出部が配置される導電率計用検出器において、該流入部、分岐部、合流部、及び流出部が溶着によって接合されたことを特徴とする導電率計用検出器。
【請求項２】
溶着方法が熱溶着、ＥＦ接合、ＩＨ溶着、超音波溶着、振動溶着であることを特徴とする請求項１記載の導電率計用検出器。
【請求項３】
該検出部が直管部上での回転方向及び／または管軸方向において、任意の位置決めが可能であることを特徴とする請求項１または２記載の導電率計用検出器。
【請求項４】
流入部、流出部の少なくとも一方の端部外周部に雄ネジ部と円筒状の嵌合凸部が連続して設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の導電率計用検出器。
【請求項５】
導電率計用検出器が、電磁誘導式の導電率計、濃度計、温度計、抵抗計として用いられることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の導電率計用検出器。
【請求項６】
流入部、分岐部、合流部、及び流出部が、フッ素系樹脂からなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の導電率計用検出器。
【請求項７】
分岐部、合流部の各々の外周に鍔部が設けられており、分岐部の鍔部と検出部、検出部と合流部の鍔部の各々の間の少なくとも一方にスペーサーが介在されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の導電率計用検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配管を流れる腐食性の導電性流体の導電率を計測する検出部を備えた導電率計用検出器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、配管を流れる導電性流体の導電率を測定するものとしては、リング状の二個のトロイダルコイルからなり電磁誘導の原理によって流体の導電性誘導電流を測定する電磁誘導式の導電率計である検出部が用いられ、配管の内部に検出部を設置したり、配管内に液溜まり槽を設けて検出部を浸漬することで流体の誘導電流を測定する導電率計用検出器があった。
【０００３】
しかしながら、配管内の内部に検出部を設置した場合、検出部が流路の妨げとなり、圧力損失を引き起こすという問題があった。また、配管内に液溜まり槽を設けて検出部を浸漬した場合、急激な温度変化による誘導電流の変動を感知することができず、検出部の検出精度が低下する問題や、液溜まり槽を設けることによる配管および装置の大型化の問題があった。
【０００４】
これらの問題を解決する手段として、図７のような配管の一部をループ状に構成し、管の外周に検出器５１を取り付ける電磁導電率計用検出部ユニットが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この電磁導電率計用検出部ユニットは、上部三方管４６と、上部三方管４６の二個の出口に回転結合具４７で接続される外側にカーブした二個の管４８と、二個の管４８と回転結合具４９で接続される下部三方管５０とからなり、配管の途中を二つに分流し、再び合流させることでループ状配管を設け、管４８のいずれか一方の外周に検出器５１を配置して構成される電磁導電率計用検出部ユニットであり、配管の内部に検出器５１を配置しないため、流路の妨げが無く圧力損失が生じることがないという効果や、液溜まり槽を設けないので流体の急激な温度変化に対しても誘導電流の変動を感知できるといった効果が得られるものであった。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２２００３６号公報（第２−４頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、三方管４６、５０、回転結合具４７、４９、管４８を用いて配管を行う場合、三方管４６、５０に取り付ける回転結合具４７、４９の取付けスペースや、外側にカーブした管４８など、ループ状配管自体にある程度の大きさが必要となるため、例えば半導体製造装置に電磁電導率計用検出部ユニットが設置される場合、電磁電導率計用検出部ユニットの構成に合わせた装置内配管の設計が必要となり、省スペース化の妨げとなる問題があった。また、回転結合具４７、４９を取付けたり、上部三方管４６と下部三方管５０の二個の出口角度に合わせてカーブさせた管４８を接続するなど、組み立てに手間がかかるという問題や、回転結合具４７、４９で接続作業を行うと、作業者によって接続の状態にばらつきを生じ、組み立てに手間がかかることも重なって回転結合具４７、４９の接続不良や緩みなどにより流体が腐食性流体の場合液漏れが発生し、回転結合具４７、４９と検出器５１には間を遮るものがないため検出器５１まで腐食して計測値が狂う恐れがあるという問題があった。さらに、検出器５１はループ状配管に固定されていないので、計測中に検出器５１が動くことで計測誤差が大きくなる問題や、仮に検出器５１を固定するにしても固定するための冶具を用意する必要があるなど配管接続作業に手間がかかるという問題があった。
【０００７】
本発明は、以上のような従来技術の問題点に鑑みなされたものであり、導電性流体が流れるループ状配管を形成する検出器において、検出器のサイズを必要最小限にコンパクト化させ、ループ状配管からの液漏が起こることがなく、組み立て容易であり、検出部が回転方向及び／または管軸方向において任意の位置決めを行うことができる導電率計用検出器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明の構成を、図１〜図６を参照して説明すると、流入部１、分岐部６、少なくとも二本の直管部１６、１７が設けられた合流部１４、及び流出部２２が連続して設けられる管路の、合流部１４に設けられた一つの直管部１６の外周に導電率を計測する検出部２７が配置される導電率計用検出器において、流入部１、分岐部６、合流部１４、及び流出部２２が溶着によって接合されたことを第１の特徴とし、溶着方法が熱溶着、ＥＦ接合、ＩＨ溶着、超音波溶着、振動溶着であることを第２の特徴とし、検出部２７が直管部１６上での回転方向及び／または管軸方向において、任意の位置決めが可能であることを第３の特徴とし、流入部１、流出部２２の少なくとも一方の端部外周部に雄ネジ部３６と円筒状の嵌合凸部３５が連続して設けられていることを第４の特徴とし、導電率計用検出器が、電磁誘導式の導電率計、濃度計、温度計、抵抗計として用いられることを第５の特徴とし、流入部１、分岐部６、合流部１４、及び流出部２２が、フッ素系樹脂からなることを第６の特徴とし、分岐部６、合流部１４の各々の外周に鍔部１０、１８が設けられており、分岐部６の鍔部１０と検出部２７、検出部２７と合流部１４の鍔部１８の各々の間の少なくとも一方にスペーサー３１が介在されていることを第７の特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は以上のような構造をしており、フッ素系樹脂からなる流入部１、分岐部６、合流部１４、流出部２２の各部品を、検出部２７を直管部外周に配置させた状態でそれぞれ溶着による接合によって設けることにより、以下の優れた効果が得られる。
【００１０】
（１）ループ状配管を無駄なく構成させる各部品を直接溶着していることから、導電率計用検出器をコンパクトに構成することができる。
（２）各部品の接合部が一体的に溶着されているため、結合部品の不具合や緩みなどによる液漏れの心配が無く使用することができる。
（３）部品点数が少なくて済み、組立てが容易であるため、作業者による組み立てのバラツキがなく安定した品質を得ることができる。
（４）検出部が直管部での回転方向および管軸方向に、任意の位置決めが可能であり、検出部の姿勢を自由に変更し、主配管の構成に合わせて検出器を取り付けることができるため、配管の省スペース化が実現できる。
（５）主配管がチューブの場合、流入部や流出部にチューブ用の接続構造を設けることでチューブと導電率計用検出器の接続を容易に行うことができ、また流入部および流出部とチューブの材質が異なっていても問題なく接続することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明するが、本発明が本実施例に限定されないことは言うまでもない。
【００１２】
図１は本発明の第一の実施例を示す導電率計用検出器の縦断面図である。図２は図１の分解縦断面図であり、図３は図１の分解斜視図である。図４は図１の検出部を回転させた状態を示す斜視図である。図５は本発明の第二の実施例を示す導電率計用検出器の要部縦断面図である。図６は本発明の導電率計用検出器に温度補正用センサーを取り付けた状態を示す縦断面図である。
【００１３】
以下、図１〜図３に基づいて本発明の第一の実施例である導電率計用検出器ついて説明する。
【００１４】
１はテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合樹脂（以下、ＰＦＡと表記する）製の流入部である。流入部１は、有底楕円円筒体２の底部に流入管３が連通して一体的に設けられており、有底楕円円筒体２の底部のコーナー部４には流入管３の内径の半径と同一のＲが形成されている。なお、有底楕円円筒体２の底部のコーナー部４に設けられたＲは、流入管３の内径の半径に対して５０％〜２００％の範囲内であることが好ましい。コーナー部４で導電性流体の滞留を起こさないために５０％以上が良く、Ｒを大きくすることでループ状配管が大きくならないために２００％以下が良い。また、有底楕円円筒体２と流入管３は一体的に設けられているが、別部品の有底楕円円筒体２と流入管３を溶着接合して設けてもかまわない。
【００１５】
６はＰＦＡ製の分岐部である。分岐部６は有底楕円円筒体７の底部に二本の短管部８、９が平行に連通して一体的に設けられており、有底楕円円筒体７の外周には鍔部１０が設けられている。分岐部６と前記流入部１は、分岐部６の有底楕円円筒体７の接合端面１１と前記流入部1の有底楕円円筒体２の接合端面５とを溶着させることにより接合される。なお、分岐部６には二本の短管部８、９が設けられているが、導電率を計測できるループ状配管を形成できる構成であれば少なくとも二本以上ならいくつ設けてもかまわない。
【００１６】
１４はＰＦＡ製の合流部である。合流部１４は有底楕円円筒体１５の底部に二本の直管部１６、１７が平行に連通して一体的に設けられており、有底楕円円筒体１５の外周には鍔部１８が設けられている。一方の直管部１６には後記検出部２７が遊嵌されており、合流部１４と前記分岐部６は、合流部１４の二本の直管部１６、１７の接合端面１９、２０と前記分岐部６の二本の短管部８、９の接合端面１２、１３とを溶着させることにより接合される。なお、合流部１４には二本の直管部１６、１７が設けられているが、導電率を計測できるループ状配管を形成できる構成であり、分岐部６と整合可能であれば少なくとも二本以上ならいくつ設けてもかまわない。
【００１７】
２２はＰＦＡ製の流出部である。流出部２２は有底楕円円筒体２３の底部に流出管２４が連通して一体的に設けられており、有底楕円円筒体２３の底部のコーナー部２５には流出管２４の内径の半径と同一のＲが形成されている。流出部２２と前記合流部１４は、流出部２２の有底楕円円筒体２３の接合端面２６と前記合流部１４の有底楕円円筒体１５の接合端面２１とを溶着させることにより接合される。なお、有底楕円円筒体２３の底部のコーナー部２５に設けられたＲは、流出管２４の内径の半径に対して５０％〜２００％の範囲内であることが好ましい。コーナー部２５で導電性流体の滞留を起こさないために５０％以上が良く、Ｒを大きくすることでループ状配管が大きくならないために２００％以下が良い。また、有底楕円円筒体２３と流出管２４は一体的に設けられているが、別部品の有底楕円円筒体２３と流出管２４を溶着接合して設けてもかまわない。
【００１８】
２７は導電率を計測する検出部である。検出部２７の内部には、直管部１６の外周に近接してリング状の励磁トロイダルコイル２９と検出トロイダルコイル３０が連続して並んで設置され、外側はポリエーテルエーテルケトン製のケーシングで覆われている。また、検出部２７には合流部１４の直管部１６に遊嵌される貫通孔２８が設けられており、貫通孔２８の内径ｄは直管部１６の外径Ｄと略同径に設けられているため、ガタツキのない状態で回転方向、管軸方向の任意の向き、位置に調整することが可能である。なお、貫通孔２８の内径ｄは直管部１６の外径Ｄと略同径に設けられているが、０．９７５ｄ＜Ｄ＜１．０２５ｄの範囲内であることが好ましい。検出部２７を直管部１６上をガタツキのない状態で移動させるためには０．９７５ｄ＜Ｄが良く、直管部１６を検出部２７の貫通孔２８に挿通するためにＤ＜１．０２５ｄが良い。
【００１９】
３１はポリテトラフルオロエチレン樹脂（以下、ＰＴＦＥと表記する）製のスペーサーである。スペーサー３１の内径は合流部１４の直管部１６の外径Ｄと略同径であり、一箇所に切り欠きを設けたＣ形のリング形状をしている。スペーサー３１は、切り欠き部分を開いて、分岐部６外周の鍔部１０と合流部１４外周の鍔部１８の間の直管部１６において、鍔部１０、１８と検出部２７の隙間を埋めるように着脱可能に嵌合して配置させることで、検出部２７を直管部１６の管軸上の定位置に固定している。なお、スペーサー３１は複数配置しても良い。
【００２０】
本発明の流入管３、直管部１６、１７、流出管２４は、それぞれ同径であっても異径であってもかまわない。また、流入部１、分岐部６、合流部１４、および流出部２２の有底楕円円筒体２、７、１５、２３は底面形状を楕円としているが、コンパクトなループ状配管で流体を流すことのできる形状であれば、長方形、真円、ひょうたん型など形状はいずれでもよい。また、導電率計用検出器に台座を設置してもかまわない。
【００２１】
また、本発明の流入部１、分岐部６、合流部１４、流出部２２はＰＦＡ製であるが、ＰＦＡ以外にもＰＴＦＥやポリビニリデンフルオロライドなどのフッ素系樹脂を用いても良く、流体が腐食性を有する導電性流体である場合、フッ素系樹脂であれば耐熱性、耐食性に強く、腐食性を有する導電性流体を流したとしても腐食の心配なく好的に使用される。なお、使用する導電性流体に対して侵食されない樹脂であれば、フッ素系樹脂以外でも塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレンなどの樹脂を用いてもかまわない。
【００２２】
次に、図１〜図３に基づいて、本発明の第一の実施例である導電率計用検出器の組み立て方法について説明する。
【００２３】
導電率計用検出器の組み立てには、突き合せ式の溶着機（図示せず）を用いる。この溶着機は接合する端面を加熱して突き合わせて溶着する熱溶着方式であり、溶着条件となるヒーター温度、加熱時間、加圧時間、圧力は溶着機が手動や自動により制御できるようになっている。
【００２４】
まず、合流部１４の一方の直管部１６を検出部２７の貫通孔２８に挿通させ、検出部２７が挿通された合流部１４と分岐部６とを溶着機に設置されたクランプで固定し、分岐部６の二本の短管部８、９の接合端面１２、１３と、合流部１４の二本の直管部１６、１７の接合端面１９、２０とを熱板ヒーターで溶融した後、接合端面１２、１９、接合端面１３、２０をそれぞれ突き合わせ、加圧したまま冷却固化するまで保持することにより分岐部６と合流部１４とを溶着接合する。
【００２５】
次に、分岐部６と流入部１をクランプで固定し、分岐部６の接合端面１１と流入部１の接合端面５を熱板ヒーターで溶融した後、接合端面５、１１同士を突きわ合せ、加圧したまま冷却固化するまで保持することにより分岐部６と流入部１とを溶着接合する。
【００２６】
次に、合流部１４と流出部２２をクランプで固定し、合流部１４の接合端面２１と流出部２２の接合端面２６を熱板ヒーターで溶融した後、接合端面２１、２６同士を突き合わせ、加圧したまま冷却固化するまで保持することにより合流部１４と流出部２２とを溶着接合する。
【００２７】
このとき、分岐部６や合流部１４の鍔部１０、１８は、クランプで固定を行なう際に、位置決めとして利用される。例えば、クランプの縁に鍔部１０、１８が当るように固定できるため、容易に溶着に適した位置決めができ、常に同じ条件で溶着を行なうことができる。また、鍔部１０、１８を設けることで、分岐部６や合流部１８は補強され、クランプの掴みによる変形を防止するとともに、導電率計用検出器の使用時に流体の内圧や外力による変形や歪みを防止することができる。
【００２８】
以上の手順により、導電率計用検出器の組み立てが完了するが、用途や目的に応じて、分岐部６外周の鍔部１０と合流部外周の鍔部１８の間の直管部１６において、鍔部１０、１８と検出部２７の各々の隙間を埋めるようにスペーサー３１を配置しても良い。
【００２９】
このため、ループ状配管を無駄なく構成させる各部品を直接溶着していることから、導電率計用検出器をコンパクトに構成することができる。また、各部品の接合部が一体的に溶着されているため、ループ状配管に回転結合具などの結合部品が不要であり、結合部品の不具合や緩みなどによる液漏れの心配が無い。さらに部品点数が少なくて済み、溶着機の自動制御による溶着であることから組立てが容易であり、作業者による組み立てのバラツキが無く安定した品質の導電率計用検出器を得ることができる。
【００３０】
なお、本発明の導電率計用検出器の溶着方法は熱溶着を用いているが、熱溶着以外にも、EF接合、IH溶着、超音波溶着、振動溶着などが好適に使用される。
【００３１】
次に、図１〜図３に基づいて、本発明の第一の実施例である導電率計用検出器に導電性流体を流して導電率を計測する時の作用について説明する。
【００３２】
導電率計用検出器の流入部１と流出部２２の流入管３、流出管２４は、熱溶着によって主配管（図示せず）へ接続される。
導電性流体として、例えばフッ酸溶液が主配管から導電率計用検出器に流れると、導電性流体はまず流入部１に流入し、分岐部６で流路が分岐され、合流部１４で分岐された流路が合流し、流出部２２から導電性流体が流出する。この時、導電率計用検出器は１つのループ状の流路となり、このループ状の流路に導電性流体が流れることで導電ループが形成される。次に合流部１４の直管部１６に取り付けられた検出部２７の励磁トロイダルコイル２９に電圧を印加すると、電磁誘導の原理により導電ループ内に誘導電流が流れ、検出トロイダルコイル３０に電圧が誘起される。この誘起された電圧を演算機に入力して導電率を算出させることで、導電性流体の導電率を計測する。
【００３３】
このとき、本発明の導電率計用検出器は各部品が溶着で接合され、且つコンパクトに形成されており、導電性流体の流れを妨げるものがないため滞留を生じさせないため、導電ループに対して効率よく導電率を計測することができ、精度の良い導電率を得ることができる。
また、流入部１と流出部２２のコーナー部４、２５に流入管３、流出管２４の内径の半径に対して５０％〜２００％の範囲内のＲを設けることで、コーナー部４、２５にＲを設けないときに発生する導電性流体の滞留によるパーティクルの発生を防止でき、導電性流体の流れを妨げない構造となるため導電率計用検出器を流れる導電性流体の圧力損失を抑えることができる。
さらに、本発明の導電率計用検出器のループ状配管は、腐食に強いフッ素系樹脂のＰＦＡ製であり、フッ素系樹脂製であればフッ酸溶液などの腐食性を有する導電性流体に対しても、腐食の心配なく使用することができる。また流体への溶出が少ないため、コンタミを嫌う用途においても好適に使用することができる。
【００３４】
なお、本実施例の検出部２７は導電率計であるが、導電率計以外にも他の数値を計測する装置を使用しても良く、特に電磁誘導式の濃度計、温度計、抵抗計を用いた場合、導電率計と同様に精度の良い計測を行うことができる。
【００３５】
本発明の導電率計用検出器は、導電性流体を流出部から流入させ流入部から流出させるように流しても良く、この場合に得られる効果は本実施例の効果と同じである。
【００３６】
次に、図４に基づいて、本発明の第一の実施例である導電率計用検出器の検出部２７の位置決めの作用について説明する。
【００３７】
検出部２７は、直管部１６の管軸上において分岐部６外周の鍔部１０と合流部１４外周の鍔部１８の間を管軸方向に移動可能であり、また検出部２７と直管部１７とが干渉しない範囲で回転方向に移動可能に設けられている（図４参照）。このとき、検出部２７の貫通孔２８の内径ｄと直管部１６の外径Ｄは、０．９７５ｄ＜Ｄ＜１．０２５ｄの範囲内で設けられており、検出部２７と直管部１６とは緊密に挿通されているため、回転方向及び管軸方向の任意の向き、位置に調整することが可能である。
【００３８】
さらに、分岐部６外周の鍔部１０と合流部１４外周の鍔部１８の間の直管部１６において、鍔部１０、１８と検出部２７の隙間を埋めるようにスペーサー３１を配置することにより、管軸方向に対しては、スペーサー３１によって位置決めして固定されるため、検出部２７は管軸上でずれることなく安定した計測を行うことができる。またスペーサー３１は、配置位置、幅、個数を変更することにより、検出部２７を管軸方向に自由に位置決めすることができる。回転方向に対しては、スペーサー３１を鍔部１０と検出部２７、検出部２７と鍔部１８の各々の間に嵌合して配置することにより、検出部２７の回転方向への移動を適度に抑制させるため、検出部２７を必要なだけ移動させればそれ以上動くことなく、回転方向へ自由に位置決めすることができる。このため、回転方向へ向きを変えた状態で動くことなく保持されるので安定した計測を行うことができる。
【００３９】
以上のことから、配管作業中に邪魔にならないように作業の間のみ検出部２７を任意の向きに回転させたり、検出部２７が配管にあたらないように検出部２７を配管からよけて設置させることができるため、配管および装置をよりコンパクトにすることができる。また、検出器２７を固定させる冶具を使用しなくても直管部１６上で回転方向及び／または管軸方向に、位置決めして保持することができるため、設置作業が簡単である。
【００４０】
次に、図５に基づいて、本発明の第二の実施例である導電率計用検出器の接続構造について説明する。
【００４１】
図５より、３２はＰＦＡ製の流入部である。流入部３２は、有底楕円円筒体３３と、内部に有底楕円円筒体３３の底部に連通する連通孔３４を有し端部外周に雄ネジ部３６と円筒状の嵌合凸部３５が連続して設けられている接続部３７とが一体的に設けられている。
【００４２】
３８は円筒状のＰＦＡ製のキャップである。キャップ３８の内部には貫通孔３９が設けられ、端部内周には接続部３７の雄ネジ部３６に螺合される雌ネジ部４０が設けられている。
【００４３】
４１は主配管に通じるＰＦＡ製のチューブである。なお、本実施例のチューブ４１はＰＦＡ製であるが、ＰＦＡ以外にも他の材質のチューブでも良い。
【００４４】
次に、図５に基づいて、本発明の第二の実施例である導電率計用検出器の接続方法について説明する。
【００４５】
まず、チューブ４１をキャップ３８の貫通孔３９に挿通させ、次にチューブ４１の端部４２を拡径して嵌合凸部３５に挿入させた後、キャップ３８の雌ネジ部４０を接続部３７の雄ネジ部３６に螺着させることにより、チューブ４１の端部４２と接続部３７の嵌合凸部３５を密封状態に圧接させることで導電率計用検出器と主配管とを接続する。
【００４６】
これにより、主配管がチューブである場合、部品点数が少なく、かつコンパクトに導電率計用検出器と主配管を接続することができるとともに、主配管から導電率計用検出器を取り外す必要がある場合に容易に取り外しが可能である。また、この接続方法であればチューブ４１と流入部３２が同一の材質でない場合でも、問題なく接続することができる。
なお、本実施例の接続構造では回転結合具であるキャップ３８を使用しているが、必要最低限の箇所のみの回転結合具による接続であり、配管作業を容易にかつ短時間で行うことができるため、締付け不良や緩みによる連結箇所での液漏れ等の不具合は発生しにくく、万が一液漏れなどの不具合が発生したとしても連結箇所と計測箇所とは他の部材（流入部３２など）で遮られた状態で離れているので計測値には影響しにくい。
本実施例の接続構造は、流入部３２に設けられたものであるが、流出部に設けても良く、両方に設けても良い。
【００４７】
第二の実施例の導電率計用検出器の他の部分の構造、組み立て方法、及び作用は第一の実施例と同様であるので説明を省略する。
【００４８】
本発明の導電率計用検出器は、図６に示すような温度補正用センサー４５を取付けても良い。
【００４９】
４３は導電率計用検出器の流出部２２（または流入部１）に設けられた温度補正用センサー取付穴である。温度補正用センサー取付穴４３は、導電率計用検出器の内部には貫通しておらず、温度補正用センサー取付穴４３と内部との間に薄肉部４４が形成されている。４５は温度補正用センサー取付穴４３に挿入された温度補正用センサーである。
【００５０】
温度補正用センサー４５を温度補正用センサー取付穴４３に挿入した際に、薄肉部４４が温度補正用センサー４５の先端を樹脂で被覆する役割を果たし、温度補正用センサー４５が流体に直接接触しないため、温度補正用センサー４５の腐食や液漏れの心配がなく、流体の温度変化を高精度で検出することができる。なお、温度補正用センサー４５に耐腐食の保護と、温度補正用センサー取付穴４３からの液漏れ防止措置を施していれば、温度補正用センサー取付穴４３は内部に貫通していてもかまわない。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、主に半導体製造分野において、各種装置内を流れる導電性流体の導電率、濃度、抵抗、温度などを計測する用途において好適に使用され、特に配管や装置のコンパクト化が求められる用途に最適である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第一の実施例を示す導電率計用検出器の縦断面図である。
【図２】図１の分解縦断面図である。
【図３】図１の分解斜視図である。
【図４】図１の検出部を回転させた状態を示す斜視図である。
【図５】本発明の第二の実施例を示す導電率計用検出器の要部縦断面図である。
【図６】本発明の導電率計用検出器に温度補正用センサーを取り付けた状態を示す縦断面図である。
【図７】従来の電磁導電率計用検出器ユニットを示す正面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１…流入部
２…有底楕円円筒体
３…流入管
４…コーナー部
５…接合端面
６…分岐部
７…有底楕円円筒体
８…短管部
９…短管部
１０…鍔部
１１…接合端面
１２…接合端面
１３…接合端面
１４…合流部
１５…有底楕円円筒体
１６…直管部
１７…直管部
１８…鍔部
１９…接合端面
２０…接合端面
２１…接合端面
２２…流出部
２３…有底楕円円筒体
２４…流出管
２５…コーナー部
２６…接合端面
２７…検出部
２８…貫通孔
２９…励磁トコダイルコイル
３０…検出トコダイルコイル
３１…スペーサー
３２…流入部
３３…有底楕円円筒体
３４…連通孔
３５…嵌合凸部
３６…雄ネジ部
３７…接続部
３８…キャップ
３９…貫通孔
４０…雌ネジ部
４１…チューブ
４２…端部
４３…温度補正用センサー取付穴
４４…薄肉部
４５…温度補正用センサー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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