(57)【要約】【課題】ガラス面の温度が非常に高くなるような反射鏡でも耐熱性があり、反射面精度に優れ、しかも廉価なプロジェクター用ガラス製反射鏡及びその製造方法を提供すること。【解決手段】熱膨張係数が３０〜４５×１０−７／℃の非晶質ガラスから成り、光源から発射される光を反射する反射面部と光源バルブ又は光源バルブへの導線を挿入する開孔部とを有するプロジェクター用ガラス製反射鏡であって、前記開孔部は孔開け加工後に表面を熱処理によって平滑化されることにより加工部の機械的損傷が取り除かれているプロジェクター用ガラス製反射鏡。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱膨張係数が３０〜４５×１０−７／℃の非晶質ガラスから成り、
光源から発射される光を反射する反射面部と光源バルブ又は光源バルブへの導線を挿入する開孔部とを有するプロジェクター用ガラス製反射鏡であって、
前記開孔部は孔開け加工後に表面を熱処理によって平滑化されることにより加工部の機械的損傷が取り除かれていることを特徴とするプロジェクター用ガラス製反射鏡。
【請求項２】
前記開孔部は、バーナーにより火炎を当てることにより平滑化されたことを特徴とする請求項１記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡。
【請求項３】
前記平滑化された表面の平均粗さが０．０３μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡。
【請求項４】
前記開孔部は、レーザ光の照射により平滑化されたことを特徴とする請求項１記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡。
【請求項５】
前記反射面部が回転楕円面又は回転放物面の形状を有し、前記開孔部近傍における面精度が、理想曲面に対して±２０μｍ以内であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１に記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡。
【請求項６】
光源から発せられる光を反射する反射面部と光源バルブ又は光源バルブへの導線を挿入する開孔部とを有するプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法であって、
溶融ガラスをボトム金型とプランジャとを有する金型により所定の反射鏡形状にプレス成形するプレス成形工程と、
この工程により成形された反射鏡の前記開孔部に当たる部位のガラスを除去することにより前記開孔部を形成する開孔部形成工程と、
この工程により形成された前記開孔部に熱処理を施してその表面を平滑化することにより加工部の機械的損傷を取り除く表面平滑化工程と、
を有することを特徴とするプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法。
【請求項７】
前記開孔部形成工程は、前記開孔部に当たる部位を加熱した後、前記反射面の側から打ち抜き加工により前記開孔部を形成することを特徴とする請求項６記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法。
【請求項８】
前記開孔部形成工程は、前記反射面の側からドリルにより前記開孔部を形成することを特徴とする請求項６記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法。
【請求項９】
前記開孔部形成工程は、前記開孔部に当たる部位をカッターにより切断して前記開孔部を形成することを特徴とする請求項６記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法。
【請求項１０】
前記表面平滑化工程は、前記開孔部に火炎を当ることにより表面を平滑化することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１に記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法。
【請求項１１】
前記表面平滑化工程は、前記開孔部にレーザ光を照射することにより表面を平滑化することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１に記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高圧水銀放電灯等の光源と共に用いられるガラス製反射鏡とその製造方法に係わり、特に液晶プロジェクターやＤＬＰプロジェクターなどプロジェクターの光源に好適なガラス製反射鏡とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶プロジェクターやＤＬＰプロジェクターなど（ここではこれらをまとめてプロジェクターという）の光源として、初期にはハロゲンランプと硼珪酸ガラスなどの耐熱ガラス製の反射鏡の組合せが用いられたが、投射画像の明るさや、より白色に近い光色、ランプ寿命などの点で優れるＨＩＤランプ（放電灯）がこれに置き換わってきた。この置き換わりには放電灯の小型化、高出力化の進展が貢献している。
【０００３】
プロジェクターは、パーソナルコンピュータやＤＶＤなどの映像機器の普及に伴って、業務用プレゼンテーションから家庭用に至るまで、用途が拡大しており、そのためにプロジェクター自体の小型化が進む一方で、明るさを損なわない、即ちランプの出力を落とさない、ニーズが拡大している。ランプ出力の増大はランプからの発熱量の増大を招き、プロジェクター筐体の小型化の影響もあって光源部分の温度上昇は著しく、反射鏡のネック部において６００℃を超えることもある。
【０００４】
従来のプロジェクターでは、ガラス面の最高温度が４００〜４５０℃程度であったが、最近のプロジェクターでは、ガラス面の最高温度が４５０〜５５０℃にも上昇している。したがって、プロジェクターの用途では、従来用いられてきた硼珪酸ガラスなどを用いた耐耐熱ガラス製反射鏡よりも耐熱性に優れる低熱膨張の結晶化ガラス製反射鏡が主流になっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
これは、反射鏡の上昇温度が、従来用いられていた硼珪酸ガラスの転移点を越える可能性があること、５５０℃に達する温度では従来の硼珪酸ガラス製反射鏡はクラックや割れを生ずる確率が高いと信じられていたことによる。
【０００６】
一方、ガラス製反射鏡は所望の光学設計に基づいて製作された金型を用いて、溶融ガラスをプレス成型して製作される。
【０００７】
ところで、光源用の反射鏡は反射面の頂部に光源ランプを挿入固定するために開口部が必要であるので、プレス成型時に反射面の裏面側に反射鏡の光軸に沿ってネック部を形成しておき、これを切断、孔開け加工することにより行なっていた。ハロゲンランプ用反射鏡で、打ち抜き加工により孔開けした後、上記開孔部付近をバーナーの火炎で丸みをつけることは知られている（特許文献２参照）。
【０００８】
しかし、これは、ハロゲンランプ用の反射鏡に関するものであってプロジェククター用でなく、ガラス面の温度はそれほど高くはならない。
【０００９】
【特許文献１】
・特公平７−３７３３４号公報
【００１０】
【特許文献２】
・登録実用新案第２５６８５４１号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述のような、従来のプロジェクター用反射鏡の問題点にかんがみてなされたもので、ガラス面の温度が非常に高くなるような反射鏡でも耐熱性があり、反射面精度に優れ、しかも廉価なプロジェクター用ガラス製反射鏡及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１によれば、熱膨張係数が３０〜４５×１０−７／℃の非晶質ガラスから成り、光源から発射される光を反射する反射面部と光源バルブ又は光源バルブへの導線を挿入する開孔部とを有するプロジェクター用ガラス製反射鏡であって、前記開孔部は孔開け加工後に表面を熱処理によって平滑化されることにより加工部の機械的損傷が取り除かれていることを特徴とするプロジェクター用ガラス製反射鏡を提供する。
【００１３】
本発明の請求項２によれば、前記開孔部は、バーナーにより火炎を当てることにより平滑化されたことを特徴とする請求項１記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡を提供する。
【００１４】
本発明の請求項３によれば、前記平滑化された表面の平均粗さが０．０３μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡を提供する。
【００１５】
本発明の請求項４によれば、前記開孔部は、レーザ光の照射により平滑化されたことを特徴とする請求項１記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡を提供する。
【００１６】
本発明の請求項５によれば、前記反射面部が回転楕円面又は回転放物面の形状を有し、前記開孔部近傍における面精度が、理想曲面に対して±２０μｍ以内であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１に記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡を提供する。
【００１７】
本発明の請求項６によれば、光源から発せられる光を反射する反射面部と光源バルブ又は光源バルブへの導線を挿入する開孔部とを有するプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法であって、溶融ガラスをボトム金型とプランジャとを有する金型により所定の反射鏡形状にプレス成形するプレス成形工程と、この工程により成形された反射鏡の前記開孔部に当たる部位のガラスを除去することにより前記開孔部を形成する開孔部形成工程と、この工程により形成された前記開孔部に熱処理を施してその表面を平滑化することにより加工部の機械的損傷を取り除く表面平滑化工程と、を有することを特徴とするプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法を提供する。
【００１８】
本発明の請求項７によれば、前記開孔部形成工程は、前記開孔部に当たる部位を加熱した後、前記反射面の側から打ち抜き加工により前記開孔部を形成することを特徴とする請求項６記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法を提供する。
【００１９】
本発明の請求項８によれば、前記開孔部形成工程は、前記反射面の側からドリルにより前記開孔部を形成することを特徴とする請求項６記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法を提供する。
【００２０】
本発明の請求項９によれば、前記開孔部形成工程は、前記開孔部に当たる部位をカッターにより切断して前記開孔部を形成することを特徴とする請求項６記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法を提供する。
【００２１】
本発明の請求項１０によれば、前記表面平滑化工程は、前記開孔部に火炎を当ることにより表面を平滑化することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１に記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法を提供する。
【００２２】
本発明の請求項１１によれば、前記表面平滑化工程は、前記開孔部にレーザ光を照射することにより表面を平滑化することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１に記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法を提供する。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施形態について図面を用いて説明する。実施例及び比較例の反射鏡のガラスとして次に示す成分などを有する２種類のガラス（Ａ）、（Ｂ）を用いた。％はいずれも質量％である。
【００２４】
（Ａ）  ＳｉＯ２  ８０．９％、  Ａｌ２Ｏ３  ２．３％、  Ｎａ２Ｏ  ４％、Ｂ２Ｏ３  １２．７％、  熱膨張係数（０〜３００℃）；３２．５×１０−７／℃。
【００２５】
（Ｂ）  ＳｉＯ２  ７８％、Ａｌ２Ｏ３  ２．１％、  Ｎａ２Ｏ  ５．２％、  Ｂ２Ｏ３  １４．５％、  熱膨張係数（０〜３００℃）；３８×１０−７／℃。
【００２６】
また実施例及び比較例のサンプルは、光軸方向から見て外形寸法が縦５０ｍｍ、横５０ｍｍであり、焦点距離Ｆが６ｍｍの回転楕円面を有する変形反射鏡である。ネック部の長さは、反射面との境目から５ｍｍ、焦点付近における肉厚は４．５ｍｍ、ネック部内径（開孔面径）φ１０ｍｍ、開孔径φ９ｍｍの寸法のものを用いた。
【００２７】
＜実施例１＞
実施例１として、上記ガラス組成となるように原料を調合し、約１６００℃で溶融した後、所定重量のガラスゴブを、図４に示すようなボトム金型４１に落とし、その上方からプランジャ４２などで押圧して、上記の寸法の反射鏡の形状にプレス加工する。（なお、ここまでは、以下に述べる実施例２及び比較例１でも同様である。）
このプレス加工を行う際、ガラス温度が約８００℃以下になるまで押圧すると、反射面となるプランジャ形状の転写精度がよく、反射面の精度を良好にすることができる利点がある。
【００２８】
上記のようにプレス成型した反射鏡を、図１（Ａ）に示す。実施例１では、プレス加工するとき、開孔予定部１１の肉厚ｄ１が１．５ｍｍ以下であることが好ましい。そこでこの肉厚ｄ１が１．５ｍｍ以下になるように金型間の空隙を設計してあり、例えばこの厚さを１．２ｍｍとする。
【００２９】
なお、開孔面部の肉厚が１．５ｍｍより厚いと打ち抜き加工の際の加熱に時間がかかり、バリが生じたり、パンチの寿命が短くなったりするので好ましくない。また、この種のガラスでは、溶融ガラスをプレスする際、ガラスは金型との接触によって肉厚が薄くなる程急速に熱を奪われ固化するので、実際には通常肉厚１ｍｍ程度が成型の限界である。
【００３０】
また、前記開孔予定部１１は、反射面から凹入した位置に設けておくことが望ましい。この部分は、打ち抜き加工時の過熱及びその後のファイヤーポリッシュで火炎を当てるため、開孔面と反射面とに段差を設けることにより、加熱による反射面精度への影響を小さくできる。
【００３１】
次に図１（Ｂ）に示すように、ネック部１２の反射面でない側１３から開口予定部１１にかけてバーナー１４により火炎をあてガラスを軟化させる。その後、図１（Ｃ）に示すようにダイス１５上に上記反射鏡を載置し、パンチ１６により、矢印１７に示すように反射鏡の反射面方向から開口予定部１２を打ち抜き、開孔して開孔部１８を形成する（ダイレクトパンチング）。打ち抜き時の開孔部ガラスは軟化点以上の温度で、粘度がおよそ３００〜５００Ｐａ・ｓ（３０００〜５０００Ｐ）とする。
【００３２】
その後、図１（Ｄ）に示すように、ネック部１２の反射面でない側１３から開孔部１８にかけてファイヤーポリッシュする。即ち、バーナー１４によりまんべんなく火炎を当てて表面のガラスを再溶融し、丸みを持った滑らかな状態にする。火炎を当てる時間は１個当たり３〜５秒程度である。ファイヤーポリッシュした反射鏡を、その後、徐冷炉にてアニールしてサンプル基体とした（図１（Ｅ））。
【００３３】
＜実施例２＞
実施例２では、ドリル、例えばダイアモンドのコアドリル２６により孔開けを行なう。即ち、図４に示したようにプレス加工を行い、図２（Ａ）に示したように、プレス成型した反射鏡を得る。このプレス加工のとき反射鏡の開孔予定部２１の肉厚ｄ２は、上記実施例１における開孔予定部１１の肉厚ｄ１よりも厚くする。
【００３４】
この反射鏡をダイス２５の上に載置し、反射面側からコアドリル２６を当てて、矢印２７方向に回転させることにより、開孔予定部２１に孔をあけ開孔部２８を形成する。
【００３５】
次に図２（Ｃ）に示すように、バーナー２９の火炎を開孔部２８に当てて表面のガラスを溶融して丸みを持った滑らかな状態にし、その後徐冷炉でゆっくり冷やす（図２（Ｄ））。
【００３６】
＜実施例３＞
第３の実施例では、上記実施例１，２よりもネック部を長めに設定した金型を用いて、ネック部後端を閉塞状態にした反射鏡をプレス加工により造る（図３（Ａ））。次に、この反射鏡を徐冷した後、ネック部３１の後端を、残存するネック部の長さが上記実施例１，２と同じ位置の、光軸に直交する面でカッター３３により、ネック部後端を切断除去する（図３（Ｂ））。
【００３７】
次にこの切断面３４を、図３（Ｃ）に示すように、バーナー３５により火炎を当ててファイヤーポリッシュし、徐冷炉でアニールし、サンプル基体とした（図３（Ｄ））。
【００３８】
＜比較例１＞
比較例１は、硼珪酸ガラスを用いプレス成型して反射鏡を製造し徐冷を経た後、上記実施例２と同様にコアドリルにより孔開けして開孔部を設けるがその後ファイヤーポリッシュしていないものである。
【００３９】
＜比較例２＞
比較例２は、硼珪酸ガラスを用い上記実施例３のように、ネック部後端を閉塞状態にした反射鏡をプレス加工により製造して徐冷を経た後、ネック部後端を切除して孔開け加工するが、その後その加工面をファイヤーポリッシュしないものである。
【００４０】
＜比較例３＞
比較例３は、結晶化ガラスを用いた例であり、特公昭７−３７３３４号公報の実施例（１）に準ずる結晶化ガラス製のもので、上記実施例３の場合と同様に成型後、ネック部後端を光軸に直交する面で切断除去するが、その後の切断面のファイヤーポリッシュを行なわないものである。
【００４１】
この比較例３は具体的には、ＳｉＯ２  ６０％、Ａｌ２Ｏ３  ２１％、Ｌｉ２Ｏ  ５．５％、ＴｉＯ２＋ＺｒＯ２  ４％、Ｐ２Ｏ５  ５％、Ｂ２Ｏ３  ２．５％、ＺｎＯ＋ＭｇＯ  ４％、Ｋ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ  １．５％の組成になるように原料を調合し、１５００℃で溶融してガラス化しこれをプレス法により反射鏡の基材形状に成形した。
【００４２】
このガラス成形体を５７℃に１時間保持した後、毎分３℃の昇温速度で７７０℃に昇温し。この温度で１時間保持してから冷却した。熱処理前には透明であった成形体は乳白色となり、β−スポジュウメン固溶体から成る。熱膨張係数は６×１０−７／℃の結晶化ガラスである。
【００４３】
したがって、実施例１，２、比較例１により作成された反射鏡のネック部内周には環状の突起が残るが、実施例３、比較例２，３により作成された反射鏡のネック部内周には突起はない。
【００４４】
以上述べたように実施例、比較例により作成した反射鏡基体の反射面に、真空蒸着によってＴｉＯ２膜、とＳｉＯ２膜とを交互に３０層から成る反射膜を積層して、反射鏡サンプルとした。
【００４５】
＜実施例、比較例の評価結果＞
これらの実施例及び比較例についての評価結果を、各サンプル１０個の平均値で図５に示す。なお表中の番号５１の欄は、比較例３の投射面平均照度に対する各実施例、比較例の投射面平均照度の比を示す。
【００４６】
（１）加工部の機械的損傷の有無
まず、目視で加工部のバリ、欠け、表面荒れを観察した。上記実施例の反射鏡はいずれもバリ、欠けが認められず、丸みを帯びた滑らかな表面状態であった。これに対して、上記各比較例の加工面は機械加工の痕跡が認められ、すりガラス状の粗面であり、開孔部のエッジに細かな欠けが認められた。
【００４７】
次に、加工部表面にレーザー光を入射させ、散乱光を観察した。実施例の反射鏡はいずれもクラックに起因する光の散乱は認められず、加工部の機械的損傷が取り除かれていると判断した。
【００４８】
（２）加工部の表面粗さ
触針式表面粗さ計を用い、各サンプルの加工部表面粗さを測定した。実施例１，２、比較例１は、反射鏡を光軸に沿って２分割し、ネック部内周面を露出させて開孔部内周面を光軸方向に１ｍｍに亘って測定、比較例２，３ではネック部端面を切断面に沿って測定した。
【００４９】
各実施例は、平均粗さＲａで０．０１〜０．０３μｍであったのに対して、各比較例は平均粗さＲａで１μｍ程度、最大で１７〜１８μｍの凹凸を有する粗面であった。
【００５０】
（３）反射面精度
各サンプルの反射面を半径方向に沿って触針式三次元形状測定装置を用いて測定した結果、反射面設計値に対して実施例１，２，３及び比較例１，２では±１０〜１５μｍの精度であった。これに対して比較例３では、およそ±７０μｍのずれがあることが確認された。
【００５１】
一般に本発明において、開孔部近傍における面精度は理想曲面に対して±２０μｍ以内であればよい。この場合の開孔部近傍とは開孔端部から半径方向に２０ｍｍ程度までの範囲である。
【００５２】
実施例１（Ａ）と比較例３の三次元測定データの測定結果を図６及び図７に示す。これらの図において、測定値は理想曲面（曲線）に対する各測定点の法線方向に拡大して示す。反射面曲線（測定値）は、５０倍の拡大表示であり、中心線と上下の線との間隔は、それぞれ５０μｍを示している。
【００５３】
（４）点灯評価
各サンプルの反射鏡に１５０Ｗの超高圧水銀灯（ＵＨＰ）を装着し、反射鏡のネック部から１０ｃｍの距離に直径１ｃｍの電動ファンを設置し、熱電対で反射鏡ネック部の温度を測定しながら、温度上昇後の温度が設定温度（４５０℃、５５０℃）になるようにファンの風量を制御して２．５時間連続点灯し、０．５時間消灯を繰り返す点灯評価を実施した。これをサンプル数、各１０個について各実施例、比較例について行なった。
【００５４】
この結果、図５の表に示すような結果になった。図５に示す点灯評価において、分子は１０サンプルのうちの割れやクラックが生じたサンプル数を意味する。
【００５５】
このように、ガラス（Ａ）を用いた実施例及び比較例３では２０００時間経過後も反射鏡に割れやクラックは生じなかった。これに対して、比較例１，２では、４５０℃、１０００時間でクラックが発生したものがあり、５５０℃では５０時間でサンプル１０個のうち半数にクラックや割れが発生した。
【００５６】
これは、本発明の各実施例において、加工部の機械的損傷が取り除かれた結果と考えられる。ここで、加工部の機械的損傷が取り除かれた、とは、打ち抜き加工によるバリやクラック、機械的加工による欠け、表面荒れや表面に存在する数十μｍ以下の微小クラックが存在しない状態であることを意味する。
【００５７】
（５）投射面照度（ｌｘ）
上記点灯評価で割れ、クラックの発生しなかった実施例１，２，３及び比較例３の反射鏡に、１５０Ｗの超高圧水銀灯（ＵＨＰ）を装着し、実際の液晶プロジェクターに実装して、投射画面サイズが対角４０インチになる距離においてスクリーンに無画像の光を投射し、投射面を３×３列の９区分に等分した各区画の中央に置いた照度計で照度を測定し、明るさを評価した。
【００５８】
９区画の照度の平均で比較したところ、比較例３の測定値に対して各実施例の測定値はいずれも３〜５％程、上回っていた。各実施例の反射鏡を用いたものでは、同一光学系での比較において、中央の区画と周辺区画との照度差が、比較例３の反射鏡を用いた場合に比べて小さくなっており、周辺部までの比較的均一な投射照度が得られた。
【００５９】
この結果から、結晶化ガラスを用いていない本発明による反射鏡の方が、反射面精度に優れていると判断できた。
【００６０】
ところで、上述の実施形態では孔開け加工後の表面処理をファイヤーポリッシュによって行なっていた。このようにファイヤーポリッシュによれば、容易に、孔開け加工後の表面処理を行なうことができる利点がある。
【００６１】
＜他の実施形態＞
しかし、本発明ではファイヤーポリッシュに限られず、これに代えてレーザ光を照射して当該切断面に熱処理を行なってもよい。この本発明の他の実施形態の場合、孔開け加工面にマイクロクラックなどが発生してもその後、レーザ光を照射して切断面に熱処理を行なうので、マイクロクラックがなまされる。このため、それ以降の工程において、あるいはプロジェクターなどのこの反射鏡を搭載した状態においてガラス基体に機械的又は熱的応力が加わっても、マイクロクラックを起点としてガラスが不用意に割れることを防止することが可能である。更に、レーザ照射による熱処理であるので面取り加工と異なり処理速度が速い利点もある。
【００６２】
このレーザ光により表面処理を行なう場合にも、その前までの工程は図１乃至図３に示したように、ファイヤーポリッシュしてダイレクトパンチにより行う、コアドリルにより孔開けする、あるいはカッターにより切断するなどの工程によって開孔部を形成することができる。
【００６３】
上記実施例１，２のような孔開け加工を行なう場合、勿論、１方向のみからレーザ光を照射してもよいが、被照射面がネック部内面となるので、レーザ光を照射する際、反射鏡外部のネック後端側及び反射面側の２方向から光を照射すると、端部の欠けやクラックを確実に短時間で除去できて好ましい。
【００６４】
この場合、図８に示すように、例えば炭酸ガスレーザ装置８１が発射するレーザ光を導光系８２を介して各レーザ出射部８３ａ，８３ｂに導き、孔開け加工部に残った開孔面端部（稜線部分）に２方向からレーザ光８４ａ，８４ｂを照射する。このとき、照射方向を制御してレーザ光を開孔形状に沿って照射することもできるが、開孔形状が円形の場合には、照射点を固定して反射鏡をその光軸を中心に回転させることにより開孔部全周に亘る熱処理を容易に行なうこともできる。
【００６５】
レーザ光によって熱処理を行なう場合には加熱範囲がファイヤーポリッシュの場合よりも更に局部的となり、反射面などへの影響がより少なくて済むという利点がある。
【００６６】
なお、上記実施例３のように、ネック部の端部を切断することによって孔開けを行なう場合には、ネック部の後方から切断面に対向させてレーザ光を照射させればよい。
【００６７】
なお、本発明に用いる非晶質ガラスは、熱膨張係数が３０〜４５×１０−７／℃の範囲のものであればよい。熱膨張係数が３０×１０−７／℃より低いと、成形性が悪くなり、精密な反射面を要する反射鏡では歩留まりが低下する。また、熱膨張係数が４５×１０−７／℃を超えると、耐熱性が十分でなく高出力光源と組み合わせることができなくなる。本発明における非晶質ガラスとして更に好ましくは熱膨張係数が３０〜４０×１０−７／℃の範囲のものである。具体的には、上記実施例の硼珪酸ガラスのほか、アルミノシリケート系ガラスも好適に使用できる。
【００６８】
本発明では、孔開け加工による機械的損傷を取り除いたことにより、非晶質ガラスをもちいているが割れやクラックが発生しない高耐熱の反射鏡を得ることができる効果がある。
【００６９】
また、本発明による反射鏡では、非晶質ガラスを使用しているので、結晶化ガラスにおいて避けられない結晶化工程による変形や収縮がなく、反射面精度を理想局面により近づけることができ、したがって投射照度が明るくかつ中心部と周辺部との照度差が少ない、即ちプロジェクター光源に好適な反射鏡が得られる効果がある。
【００７０】
この種の反射鏡は、反射面に可視光を反射し赤外線を透過する誘電体多層膜を被着し、被照射物の赤外線による加熱を防止する手段が講じられる。したがって、光源が発した赤外線は多層膜を透過し反射鏡基体を通過するが、結晶化ガラスは結晶界面等で赤外線が散乱されるため、プロジェクターなどの筐体内では、反射鏡周辺に熱がこもりやすい。これに対し、赤外線に対して透明な非晶質ガラスでは、赤外線を散乱せず直線的に透過するため、反射鏡背面で集中的な放熱対策が採りやすい利点がある。
【００７１】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、耐熱性が高く反射精度が優れ廉価なプロジェクター用に好適なガラス反射鏡及びその製造方法が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１による反射鏡を製造する工程を説明するための図。
【図２】本発明の実施例２による反射鏡を製造する工程を説明するための図。
【図３】本発明の実施例３による反射鏡を製造する工程を説明するための図。
【図４】本発明の実施例などの反射鏡のプレス加工に用いる金型の構造を示す図。
【図５】本発明の各実施例と比較例の特性の測定結果を示す図。
【図６】本発明の実施例１（Ａ）による反射基体の反射面三次元形状測定の結果を示す図。
【図７】比較例３による反射基体の反射面三次元形状測定の結果を示す図。
【図８】本発明の他の実施形態においてレーザ光により切断面の熱処理を行なう場合の構成を示す図。
【符号の説明】
１１・・・開孔予定部、
１２・・・ネック部、
１４・・・バーナー、
１５・・・ダイス、
１６・・・パンチ、
１８・・・開孔部、
２６・・・コアドリル、
３１・・・ネック部、
３３・・・カッター、
４１・・・ボトム金型、
４２・・・プランジャ、
８１・・・炭酸ガスレーザ装置、
８２・・・導光系、
８３ａ，８３ｂ・・・レーザ出射部、
８４ａ，８４ｂ・・・レーザ光。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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