(57)【要約】【課題】  小型、軽量化を達成できると共に狭い領域に高強度の照射を行い得るようにすること。【解決手段】  この紫外線照射装置１は、１つの平面を形成するようにかつ装置主光軸から同心円上で互いに等間隔となるように並べられた紫外線を出射する複数の発光ダイオード２と、各発光ダイオード２に対応させて光の出射側に配置した発光ダイオード２の数と同一の数のコリメート光学系３と、複数の発光ダイオード２および複数のコリメート光学系３を保持する１つの光源筐体６と、を有している。なお、光源筐体６を保持すると共にその高さ位置を調節するスタンドを配置しても良い。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線を出射する複数の発光ダイオードと、
上記各発光ダイオードに対応させて光の出射側に配置したコリメート光学系と、  を有することを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
１つの平面を形成するようにかつ装置主光軸から同心円上で互いに等間隔となるように並べられた紫外線を出射する複数の発光ダイオードと、
上記各発光ダイオードに対応させて光の出射側に配置した上記発光ダイオードの数と同一の数のコリメート光学系と、
上記複数の発光ダイオードおよび上記複数のコリメート光学系を保持する１つの光源筐体と、
上記光源筐体を保持すると共にその高さ位置を調節するスタンドと、
を有することを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項３】
紫外線を出射する単一または複数の発光ダイオードと、
上記各発光ダイオードに対応させて光の出射側に配置したコリメート光学系と、
上記コリメート光学系からの出射光を集光する集光光学系と、
上記集光光学系で集光された光を入射すると共に入射した光を照射すべきワークの位置付近までガイドし、上記ワーク方向に紫外線を出射するフレキシブルなライトガイドと、
を有することを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項４】
請求項１、２または３記載の紫外線照射装置において、前記コリメート光学系として１枚のレンズを配置または２枚のレンズを直列に配置したことを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項５】
請求項１、２または３記載の紫外線照射装置において、前記コリメート光学系として１枚または複数のレンズを直列に配置したものとし、上記レンズのうち少なくとも１枚を非球面レンズとしたことを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項６】
請求項１、２または３記載の紫外線照射装置において、前記発光ダイオードの駆動電流の直接変調で照射光量を変化させることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項７】
請求項１、２または３記載の紫外線照射装置において、前記発光ダイオードは、出射される最大量の波長が３６３ｎｍ〜３６７ｎｍの範囲のものとしたことを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項８】
請求項１、２または３記載の紫外線照射装置において、前記複数のコリメート光学系の直後にそれらをカバーする１つのフィールドレンズを配置し、紫外線が照射されるワークへの集光特性を向上させたことを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項９】
請求項８記載の紫外線照射装置において、前記フィールドレンズの直後に照射強度分布を均一にする拡散板を配置したことを特徴とする紫外線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線を出射する発光ダイオード(Light Emitting Diode、以下ＬＥＤという。）を光源とした紫外線照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、紫外線照射装置は、バックライト照明、紫外線硬化樹脂の光硬化、殺菌、洗浄、半導体の製造過程等において使用されている。紫外線照射装置の光源としては、主に、高圧水銀、メタルハライドまたはキセノン等の放電ランプを用いている。
【０００３】
この種の放電ランプの光源を使用して、樹脂を硬化させる場合、次のような工夫を必要としている。すなわち、放電ランプからは光硬化加工に必要な紫外線領域のみならず、深紫外から遠赤外までの広範囲のスペクトルの光が投射されるため、特許文献１記載のように、光源ランプの反射ミラーとして赤外光を通過させ紫外線を高効率で反射させるコールドミラーと、可視光や不必要な紫外線領域をカットするバンドパスフィルタ（コールドフィルタ）とを使用する必要が生じている。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１５６０５０（要約書）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の紫外線照射装置は、所定の紫外線を得るために、上述したような工夫、すなわち、コールドミラー、コールドフィルタという余分な部品の使用を必要としている。この問題に対して、最近出現してきている紫外線を出射するＬＥＤ（以下、紫外線ＬＥＤという。）を使用する対策が考えられる。紫外線ＬＥＤを使用すれば、コールドミラー等の部材を使用する必要がなくなり、小型、軽量化が達成され得る。
【０００６】
しかしながら、紫外線ＬＥＤは、単体では放射強度がきわめて小さく、光源としては不十分である。樹脂硬化やバックライトやその他の用途に使用するための光源として紫外線ＬＥＤを採用する場合、多数の紫外線ＬＥＤを並べて照射光量を増大させる必要がある。このように多数の紫外線ＬＥＤを単に並べて配置した場合、光源の実効的な表面積が大きくなってしまい、狭い領域に高強度の照射を必要とする用途では使用できなくなってしまう。
【０００７】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、小型、軽量化を達成できると共に狭い領域に高強度の照射を行い得る紫外線照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するために、本発明の紫外線照射装置は、紫外線を出射する複数の発光ダイオードと、各発光ダイオードに対応させて光の出射側に配置したコリメート光学系とを、有している。
【０００９】
本発明によると、小型、軽量化を達成できると共に狭い領域に高強度の照射を行い得る紫外線照射装置を得ることができる。
【００１０】
また、他の発明の紫外線照射装置は、１つの平面を形成するようにかつ装置主光軸から同心円上で互いに等間隔となるように並べられた紫外線を出射する複数の発光ダイオードと、各発光ダイオードに対応させて光の出射側に配置した発光ダイオードの数と同一の数のコリメート光学系と、複数の発光ダイオードおよび複数のコリメート光学系を保持する１つの光源筐体と、光源筐体を保持すると共にその高さ位置を調節するスタンドとを、有している。なお、光源筐体は、さらに、上述の複数のコリメート光を１つに束ねる単一の集光光学系をも保持するようにしても良い。
【００１１】
本発明では、小型、軽量化を達成できると共に狭い領域に高強度の照射を行い得る紫外線照射装置を得ることができる。また、光源筐体によって光源の扱いが容易になると共に、高さ調節可能なスタンドによって出射される紫外線を適切な強度にて、紫外線が照射されるワーク、たとえば紫外線硬化樹脂が塗布された物体に照射することができる。
【００１２】
さらに、他の発明の紫外線照射装置は、紫外線を出射する単一または複数の発光ダイオードと、各発光ダイオードに対応させて光の出射側に配置したコリメート光学系と、コリメート光学系からの出射光を集光する集光光学系と、集光光学系で集光された光を入射すると共に入射した光を照射すべきワークの位置付近までガイドし、ワーク方向に紫外線を出射するフレキシブルなライトガイドと、を有している。
【００１３】
本発明の構成を採用すると、小型、軽量化を達成できると共に狭い領域に高強度の照射を行い得る紫外線照射装置を得ることができる。また、ライトガイドの使用によって、この紫外線照射装置の設置条件の制約を緩和することができる。
【００１４】
さらに、他の発明は、上述の各発明の紫外線照射装置に加え、コリメート光学系として１枚のレンズを配置または２枚のレンズを直列に配置している。このような簡単なコリメート光学系で十分な集光特性を得ることができる。
【００１５】
また、コリメート光学系として、１枚または複数のレンズを直列に配置したものとし、レンズのうち少なくとも１枚を非球面レンズとするのが好ましい。非球面レンズの使用によってコリメート光学系が簡素な構成となると共に、精度の良いコリメートが達成される。
【００１６】
また、発光ダイオードの駆動電流の直接変調で照射光量を変化させるのが好ましい。この構成を採用すると、従来使用していた照射光量変更用のフィルタが不要となる。
【００１７】
さらに、発光ダイオードは、出射される最大量の波長が３６３ｎｍ〜３６７ｎｍの範囲のものとするのが好ましい。このようにすると、工業用途に幅広く使用されている紫外線硬化樹脂を最も効率的に硬化できることとなる。
【００１８】
また、複数のコリメート光学系の直後にそれらをカバーする１つのフィールドレンズを配置し、紫外線が照射されるワークへの集光特性を向上させるのが好ましい。この構成では、集光特性が向上するため、ワークへの照射強度が上がり、作業能率が向上する。
【００１９】
また、フィールドレンズの直後に照射強度分布を均一にする拡散板を配置するのが好ましい。この構成を採用すると、照射強度分布が均一となり、たとえば樹脂硬化の場合は、ばらつきが無く安定した品質の硬化作用を得ることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、小型、軽量化を達成できると共に狭い領域に高強度の照射を行い得る紫外線照射装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態に係る紫外線照射装置を図を参照しながら説明する。まず、図１から図３に基づき、第１の実施の形態に係る紫外線照射装置１を説明する。
【００２２】
この紫外線照射装置１は、平面状に並べられた、複数の紫外線ＬＥＤ２と、各紫外線ＬＥＤ２に対応させて光の出射側に配置した複数のコリメートレンズ３とから主に構成される。ここで、紫外線ＬＥＤ２とコリメートレンズ３の各数は同一で、この実施の形態ではそれぞれ４つとされている。また、コリメートレンズ３は、コリメート光学系となるもので、この実施の形態では、円形状の１つの平凸状非球面レンズとされている。
【００２３】
紫外線照射装置１は、さらに、コリメートレンズ３の光の出射側にそれら複数のコリメートレンズ３の全てをカバーするように（覆うように）配置された１つの円形状の凸平状レンズからなるフィールドレンズ４と、紫外線ＬＥＤ２の背面側に配置される放熱フィン５と、紫外線ＬＥＤ２およびコリメートレンズ３を保持すると共にそれらを覆う光源筐体６とを有している。なお、フィールドレンズ４は、集光光学系を形成する。
【００２４】
紫外線ＬＥＤ２は、３８０ｎｍの波長をメインで出射する、窒化ガリウム（ＧａＮ）からなる化合物半導体となっている。紫外線ＬＥＤ２としては、他の化合物半導体やダイヤモンドｐｎ接合ダイヤモンド等を採用することもできる。現在、工業用途に幅広く採用されている紫外線硬化樹脂は、波長３６５ｎｍの光で最も効率的（すばやく）かつ確実に硬化される。このため、紫外線ＬＥＤ２として、波長が３６５ｎｍのものを使用するのがより好ましい。
【００２５】
なお、波長３８０ｎｍを出射する紫外線ＬＥＤ２は、３８０ｎｍの波長のみを出射するのではなく、３８０ｎｍの波長が最も多くなるが、３８０ｎｍの前後の波長の紫外線も出射する。よって、以下、紫外線ＬＥＤを特定する場合、出射する波長で行うが、光の波長は出射される波長分布のうち、最も光量が多いものを指している。なお、この実施の形態の紫外線ＬＥＤ２の波長半値幅は、１５ｎｍとなっている。
【００２６】
この実施の形態の紫外線ＬＥＤ２は、波長３８０ｎｍの紫外線を出射するものであるが、上述したように樹脂硬化に最適な３６５ｎｍのものを使用しても良い。波長３６５ｎｍの紫外線を出射する紫外線ＬＥＤを樹脂硬化に使用する場合は、３６３〜３６７ｎｍの範囲に入るいずれかとしても良い。この範囲の紫外線ＬＥＤであれば、３６５ｎｍの紫外線ＬＥＤとほぼ同様な効果を得ることができる。また、殺菌を目的とする場合には殺菌効果が高い２００〜２８０ｎｍの範囲の紫外線を出射するものとしても良い。さらに、紫外線ＬＥＤ２としては、各紫外線ＬＥＤ２と一体的に設けられる固有のレンズを有するものとしても良い。
【００２７】
コリメートレンズ３は、上述したように１枚の非球面レンズとされ、平面側を紫外線ＬＥＤ２側に向けられ、非球面形状側を出力側に向けられて配置される。この実施の形態では、石英材からなる非球面レンズとしているが、波長３８０ｎｍの場合には、ＢＫ７等のガラス材としても良い。また、１枚のレンズでコリメート光学系を構成しないで、２枚のレンズや３枚のレンズ等を直列に配置した複数のレンズでコリメート光学系を構成しても良い。１枚または２枚のレンズでコリメート光学系を構成した場合、コリメート光学系が簡単な構成となる。なお、この場合、少なくとも１枚のレンズを非球面レンズとすると、光学系が簡素な構成にもかかわらず、所望の精度を得ることができる。
【００２８】
フィールドレンズ４は、視野レンズとも呼ばれているもので、コリメートレンズ２で、コリメート（平行化）された紫外線をフィールドレンズ４から所定の距離にある照射面１１（図３参照）に集光させるものである。すなわち、図３に示すように、各紫外線ＬＥＤ２から出射された紫外線の各光軸１２は、照射面１１で交わることとなる。なお、光学系全体の光軸１３は、フィールドレンズ４の中心を貫いている。紫外線が集光されることで照射密度が上がり、樹脂を硬化させる場合、硬化速度がアップすることとなる。
【００２９】
この実施の形態では、フィールドレンズ４は、凸面側がコリメートレンズ３に向けられ、平面側が出力側に向けられて配置されている。凸面側は、一般的には非球面が好ましいとされているが、球面としても良い。非球面とした方が集光特性は向上するが、コスト的には球面とした方が安くなる。
【００３０】
放熱フィン５は、円形の底面部１４と、複数の直線状に形成された突起部１５とから構成されている。紫外線ＬＥＤ２は、１つ１つでは発熱量が少ないが、複数、たとえば４つ以上となると合計の発熱量は無視できないものとなる。また、ＬＥＤの一般的な特性として、高温下での動作は効率低下を招くので、放熱フィン５によって、紫外線ＬＥＤ２を自然伝導空冷している。
【００３１】
光源筐体６は、円筒状の円筒筐体２１と、放熱フィン５が固定されると共に円筒筐体２１の一方の開口部を塞ぐ端面筐体２２と、コリメートレンズ３を保持するための内部筐体２３と、フィールドレンズ４を保持するための保持筐体２４とから主に構成されている。
【００３２】
円筒筐体２１の周面には、円柱状のスタンド取付用支持棒３１が固定されている。端面筐体２２の放熱フィン５の取付面とは反対側の面には、紫外線ＬＥＤ２を取り付けた四角形状の基板３２と、内部筐体２３の支持部３３とが固定されている。支持部３３には、コリメートレンズ３を保持する保持体３４が固定され、保持体３４には、狭持材３５がコリメートレンズ３の外周平面部を挟み込むように固定されている。
【００３３】
保持体３４は円板状で、コリメートレンズ３が配置される位置に対応して４つの貫通孔３６を有している。また、狭持材３５は、保持体３４と同様、円板状で、コリメートレンズ３が配置される位置に４つの貫通孔３７を有している。
【００３４】
なお、この実施の形態では、図２に示すように、４つの紫外線ＬＥＤ２は、互いに等間隔をもって四角状に配置されている。また、紫外線ＬＥＤ２の中心と、コリメートレンズ３の中心とが一致するように配置されている。さらに、この実施の形態では、フィールドレンズ４が円筒筐体２１の他方の開口部を塞ぐように配置されている。また、この実施の形態では、コリメートレンズ３とフィールドレンズ４との間の光軸方向の距離を固定としているが、可変としても良い。
【００３５】
第１の実施の形態の紫外線照射装置１は、出力波長は上述したとおり３８０ｎｍで、波長半値幅は１５ｎｍとされる。最小集光領域は約３０ｍｍの径の円形となり、その際の紫外線強度は約１７ｍＷ／ｃｍ２となる。また、この紫外線照射装置１の消費電力は、１０Ｗとされている。
【００３６】
次に、第２の実施の形態に係る紫外線照射装置４１を図４に基づいて説明する。なお、この紫外線照射装置４１は、第１の実施の形態に係る紫外線照射装置１を光源モジュールとしてスタンド４２に取り付けたものであり、紫外線照射装置１の部分についての説明は省略する。
【００３７】
この紫外線照射装置４１は、紫外線を照射することで硬化する樹脂（以下、紫外線硬化樹脂という。）の硬化に利用される加工装置である。紫外線硬化樹脂は、一般的に透明体の接着剤として使用される。紫外線硬化樹脂を被照射物（ワーク）４３の接着させたい部分に塗布した後、紫外線をその塗布部分に照射することで部材を接着する。ワーク４３は、図４に示すように、ワーク台４４上に配置される。なお、紫外線硬化樹脂をシート状にし、補修に使用したり、粘着剤として使用する際にも、紫外線照射装置４１を利用できる。
【００３８】
スタンド４２は、スタンド取付用支持棒３１を取り付ける第１の取付部４５と、拡散板４６を保持している保持棒４７を取り付ける第２の取付部４８と、マグネットが内部に配置され外部の操作ツマミ４９の操作でマグネットの磁力が台部５０との間で働くようにしたり、働かないようにすることで、台部５０に取り付け可能となる固定機能部５１とを有している。
【００３９】
このスタンド４２は、第１の取付部４５を上下動させることで光源モジュールとなる紫外線照射装置１のワーク４３からの高さ位置を調節できる。また、第２の取付部４８を上下動させることで拡散板４６のワーク４３からの高さ、位置を調節できると共に、紫外線照射装置１との間の距離を調節できる。なお、拡散板４６は、照射強度分布の均一性を改善するものである。
【００４０】
この紫外線照射装置４１では、紫外線ＬＥＤ２から出射した紫外線をコリメートレンズ３で平行化し、フィールドレンズ４で集光し、ワーク４３の紫外線硬化樹脂が塗布されている部分に、集光化（スポット化）された紫外線を当てる。ワーク４３の所望位置にスポット化された紫外線が当たらないときは、第１の取付部４５を操作して光源モジュールとしての紫外線照射装置１の高さ位置を調節し、スポット化された紫外線がワーク４３の所望位置（＝紫外線硬化樹脂が塗布されている部分）に当てるようにする。
【００４１】
以上の第１、第２の実施の形態に係る紫外線照射装置１，４１は、集光レンズとなるコリメート光学系（コリメートレンズ３）のレンズ径が小口径であるにも拘わらず、各紫外線ＬＥＤ２に対して１対１に対応しているため、光源全体をカバーする大口径のフィールドレンズ４とこれらコリメート光学系とを組み合わせることにより、照射面１１やワーク４３上への集光を高効率かつ均一に実現できるものとなる。また、拡散板４６をさらに組み合わせることにより、集光の均一性はさらに向上する。
【００４２】
また、紫外線照射装置１，４１は、従来の紫外線照射装置に比べ、小型、軽量となり、長寿命となる。また、低熱化も達成される。さらに、紫外線ＬＥＤ２に対して１対１に対応するコリメート光学系を配置しているため、発光チップ面積が広い高出力タイプの複数の紫外線ＬＥＤに対しても、高い集光効率と、照射面１１やワーク４３上でのより均一な照射強度分布が達成される。
【００４３】
次に、第３の実施の形態に係る紫外線照射装置６１を図５に基づいて説明する。なお、図５は、紫外線照射装置６１の光学系を現している。
【００４４】
紫外線ＬＥＤ２は、図５では１つのみ示されているが、複数配置される。この各紫外線ＬＥＤ２には、従来と同様の集光用の固有のレンズ６２がそれぞれ配置されている。固有のレンズ６２の光の進行方向から見て直後にはコリメート光学系となるコリメートレンズ３が各紫外線ＬＥＤ２に対応するように１つのみ配置されている。このコリメートレンズ３の直後には集光光学系となる集光レンズ７が１つのみ配置されている。これらのコリメートレンズ３と集光レンズ７とで入射光学系６３を形成している。なお、コリメートレンズ３と集光レンズ７との間の距離は固定となっているが、可変としても良い。また、紫外線ＬＥＤ２を複数配置するのではなく、１つとしても良い。
【００４５】
入射光学系６３で絞り込まれた紫外線は、集光レンズ７の直後に配置されたフレキシブルなライトガイド６４の入射端６５に集められライトガイド６４中に入り込む。この実施の形態では、ライトガイド６４は、コア径８ｍｍの液体封止ライトガイドとしているが、コア径を異ならせたり、液体封止構造以外のもの、たとえば石英ファイバをバンドルした光ファイバとしても良い。多量の紫外線を取り込みたい場合は、口径がさらに大きなものを採用し、一方、ライトガイド６４の機械的な柔軟性を必要とする場合は、コア径が８ｍｍ未満のものを採用するのが好ましい。
【００４６】
ライトガイド６４にガイドされながらその内部を通過した紫外線は、ライトガイド６４の出射端６６から放射される。そして、放射された紫外線は、ライトガイド６４の出射端６６の直後に配置されるコリメートレンズ６７でコリメートされた後、フィールドレンズ６８で集光され、ワークエリアとなる照射面１１に照射される。コリメートレンズ６７と、その直後に配置される集光レンズ６８とで、出射光学系６９を形成している。なお、コリメートレンズ６７と集光レンズ６８との間の距離はこの実施の形態では固定となっているが、可変としても良い。
【００４７】
なお、コリメート光学系は、１枚のコリメートレンズ３で構成するのではなく、直列に配置した２枚または３枚以上のレンズで構成しても良く、また少なくとも１枚のレンズを非球面レンズとするのが好ましい。また、コリメートレンズ３を１つとするのではなく、第１や第２の実施の形態に係る紫外線照射装置１，４１のように、各紫外線ＬＥＤ２の１つ１つに対応して紫外線ＬＥＤ２と同数のコリメートレンズを配置するようにしても良い。また、集光レンズ６８の直後に拡散板４６を配置しても良い。
【００４８】
この第３の実施の形態に係る紫外線照射装置６１は、フレキシブルなライトガイド６４の採用により、設置条件が厳しい場所にもこの紫外線照射装置６１を設置できることとなる。すなわち、製造現場などではワークとなる被照射物が他の物の背後となる等により、先の紫外線照射装置１，４１では被照射物に適切に紫外線を照射できないことが度々生ずるが、この紫外線照射装置６１を使用すればそのような場合でも被照射物に紫外線を適切に照射することが可能となる。換言すれば、この紫外線照射装置６１は、設置条件の制約を大幅に緩和できることとなる。
【００４９】
以上、各実施の形態に係る紫外線照射装置１，４１，６１は、光源部に高効率なコリメート光学系を採用したことにより、紫外線ＬＥＤ２からの放射光（＝紫外線）を効率よく後段の光学系に取り込むことができる。さらに光軸に略平行な成分の多い光束として前方へ投射することができるので、後段の光学系での光の取り回しにおいて損失が少なく、集光用途の紫外線照射装置として好適となる。また、集光用途の光源モジュールとしても好適となる。
【００５０】
また、紫外線照射装置１，４１，６１の光源はＬＥＤであるため、低電圧駆動であり、従来の紫外線光源電源のような高電圧は不要となり、電源自体も構成がより安全でシンプルとなる。この結果、メンテナンス回数も従来の紫外線照射装置に比べ減らすことができ、実験室や作業現場での取り扱いの作業性が大幅に向上する。
【００５１】
さらに、紫外線照射装置１，４１，６１に使用される紫外線ＬＥＤ２からの放射としては、不必要な赤外や可視域のスペクトルを含まないようにできるので、従来のランプ装置の場合のような各種フィルターが不要となる。また、ＬＥＤは、半導体素子であるため、注入電流変調により放射光の強度変調が容易に可能となるので、紫外線の照射量の変調制御を取り入れた照射モードを付加することにより、被照射物に最適な照射を行うことができることとなる。すなわち、紫外線ＬＥＤ２の駆動電流の直接変調によって照射光量を変化させることができる。注入電流変調としては、電流のオンオフのデューティを替えることや、電流のミニマム値、マクシマム値のいずれか一方または両者を変えること等が採用され得る。
【００５２】
以上、各実施の形態は本発明の好適な実施例であるが、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更実施可能である。たとえば、紫外線ＬＥＤ２を４つとしているが、３つとし、正三角形状に配置したり、５つとし正五角形状に配置したり、６つ以上としても良い。また、紫外線ＬＥＤ２は、平板状の基板３２上に配置されることで各放射部をつなぐことで形成される面が１つの完全な平面を形成するように並べられているが、球面等の湾曲面を形成するように配置したり、複数の紫外線ＬＥＤ２の一部が光軸１３方向で他のものの前または後にくるように配置しても良い。
【００５３】
また、紫外線ＬＥＤ２としては、放射する最大光量が３８０ｎｍや３６５ｎｍのものとしたが、その用途によって他の紫外領域のものを放射する紫外線ＬＥＤとしても良い。たとえば４００ｎｍ、３９５ｎｍ、３７０ｎｍの紫外線ＬＥＤとしても良い。３８０ｎｍ等のように可視光に近い波長の紫外線ＬＥＤを使用すると、発光の一部を目で確認でき、操作性が良くなる。
【００５４】
フィールドレンズ４としては１つが好ましいが、２つ並列に配置したり、３つ以上並列に配置したりしても良い。また、集光光学系として２つ以上のレンズを直列に配置しても良い。また、集光光学系としては、フィールドレンズ４の他に、フレネルレンズや両凸レンズ等を使用したりしても良い。
【００５５】
また、紫外線照射装置１，４１，６１は、紫外線硬化樹脂の硬化に適しているが、その用途以外に、紫外線硬化インクの硬化、バックライト光源、水その他のものの殺菌、空気清浄、ガラスその他のものの洗浄、熱可塑性樹脂フィルムの製造、電荷消去、紙幣認識装置、光化学反応等他の用途、他の装置にも使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る紫外線照射装置の断面図で、図２のＡ−Ａ切断線による断面図である。
【図２】図１の右方から見た正面図である。
【図３】図１の紫外線照射装置の光学系を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る紫外線照射装置を示す図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係る紫外線照射装置の光学系を示す図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  紫外線照射装置
２  紫外線ＬＥＤ（紫外線を出射するダイオード）
３  コリメートレンズ（コリメート光学系）
４  フィールドレンズ（集光光学系）
５  放熱フィン
６  光源筐体
７  集光レンズ
４１  紫外線照射装置
４２  スタンド
４６  拡散板
６１  紫外線照射装置
６４  ライトガイド
【図１】
2005203481.tif 000003
【図２】
2005203481.tif 000004
【図３】
2005203481.tif 000005
【図４】
2005203481.tif 000006
【図５】
2005203481.tif 000007