(57)【要約】【課題】  液滴吐出装置の気圧を測定するのに適した構造を得ることを目的とする。【解決手段】  振動板５を有してノズル２１から液滴を吐出させる複数の圧力室６と、各圧力室６に液体を供給するリザーバ８と、振動板５に対向する個別電極１６と、振動板５と個別電極１６との間に駆動電圧を印加するドライバ２４とを備え、ドライバ２４が振動板５と個別電極１６との間に駆動電圧を印加して振動板５を変形させてノズル２１から液滴を吐出させる液滴吐出装置において、振動板５と個別電極１６との静電容量を測定する気圧補正ダイアフラム１１とダイアフラム電極１３とで構成された静電容量測定部を備えたものである。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板を有してノズルから液滴を吐出させる複数の圧力室と、各圧力室に液体を供給するリザーバと、振動板に対向する電極と、振動板と電極との間に駆動電圧を印加するドライバとを備え、ドライバが振動板と前記電極との間に駆動電圧を印加して振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させる液滴吐出装置において、
前記振動板と前記電極との静電容量を測定する静電容量測定部を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記静電容量測定部は、気圧補正ダイアフラムとダイアフラム電極とからなり、気圧補正ダイアフラムとダイアフラム電極とのギャップ長は前記振動板と前記電極とのギャップ長と略同じであることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記気圧補正ダイアフラムは前記振動板を構成するキャビティプレートに形成され、前記ダイアフラム電極は前記電極を構成する電極ガラスプレートに形成されていることを特徴とする請求項２記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記静電容量測定部は、前記振動板と前記電極とからなることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記静電容量測定部と、該静電容量測定部が測定した静電容量に基づき気圧を求める静電容量型気圧計測部とで気圧測定部を構成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記請求項５記載の気圧測定部が計測した気圧に基づいて前記振動板と前記電極との間に印加する駆動電圧を補正する気圧補償手段と、
前記気圧補償手段により補正された駆動電圧を前記振動板と前記電極との間に印加するドライバと
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の駆動制御装置。
【請求項７】
前記気圧補償手段は、前記駆動電圧のパルス幅を補正することを特徴とする請求項６記載の液滴吐出装置の駆動制御装置。
【請求項８】
前記気圧補償手段は、前記駆動電圧のピーク値を補正することを特徴とする請求項６記載の液滴吐出装置の駆動制御装置。
【請求項９】
振動板を有してノズルから液滴を吐出させる複数の圧力室と、各圧力室に液体を供給するリザーバと、振動板に対向する電極と、振動板と前記電極との間に駆動電圧を印加するドライバとを備え、ドライバが振動板と前記電極との間に駆動電圧を印加して振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させる液滴吐出装置の駆動制御方法において、
気圧補償手段が前記請求項４記載の気圧測定部が計測した気圧に基づいて前記駆動電圧を補正し、前記ドライバが前記気圧補償手段により補正された駆動電圧を前記振動板と前記電極との間に印加するようにしたことを特徴とする液滴吐出装置の駆動制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は例えばインクジェット記録装置の液滴を吐出するインクジェットヘッド等の液滴吐出装置及びその駆動制御装置並びにその駆動制御方法、更に詳しくは液滴吐出装置の気圧を測定するのに適した構造及び気圧変化に対応して最適なインク吐出を行うように液滴吐出装置を駆動制御するようにしたものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のインクジェットヘッドの駆動制御装置は、ヘッド基板に取り付けた圧力センサによりヘッド周囲の気圧を検出し、この検出した気圧に基づき、駆動電圧のパルス幅を最適な値に補正することにより、使用環境が変化しても常に最適なインク吐出特性が得られるようにしたものである（例えば、特許文献１参照。）。
また、従来の静電アクチュエータを利用したインクジェットヘッドは、表面の結晶面が１１０面であるＳｉウエハーの底部に薄肉の振動板が備えられて列状に形成され、薄い隔壁にて区分されて独立した複数のインク室と、各振動板に対応して対向配置された個別田こくが備えられ、封止された隙間と、隙間側に振動板より広く形成され、外気と隙間の気圧の差によって変形可能な変位部を備えたダイアフラム部とを有し、ダイアフラム部と該ダイアフラム部に隣接するインク室との隔壁は、Ｓｉウエハー板厚より厚く形成されことにより振動板にダイアフラム部からの距離と相関のあるタワミの発生を防止するようにしたものである（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平１１−２８０１０９号公報（第１頁、図１）
【特許文献２】特開２００１−２０１１６６号公報（第１頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のインクジェットヘッドの駆動制御装置では、ヘッド基板に独立した部品である圧力センサを取り付けるため、コスト高及び装置全体が大型化するという問題があるものであった。
また、従来の静電アクチュエータを利用したインクジェットヘッドでは、隙間側に振動板より広く形成された圧力変動に対するダイアフラム部は気圧変動に対するダイアフラム能力が充分でなく、印字品質が安定しない等の問題があるものであった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明に係る液滴吐出装置は、振動板を有してノズルから液滴を吐出させる複数の圧力室と、各圧力室に液体を供給するリザーバと、振動板に対向する電極と、振動板と電極との間に駆動電圧を印加するドライバとを備え、ドライバが振動板と前記電極との間に駆動電圧を印加して振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させる液滴吐出装置において、前記振動板と前記電極との静電容量を測定する静電容量測定部を備えたことを特徴とする。
【０００５】
本発明によれば、前記振動板と前記電極との静電容量を測定する静電容量測定部を備えているので、静電容量測定部により振動板と電極との静電容量と同様の静電容量を測定することができる。
【０００６】
本発明の液滴吐出装置において、前記静電容量測定部は、気圧補正ダイアフラムとダイアフラム電極とからなり、気圧補正ダイアフラムとダイアフラム電極とのギャップ長は前記振動板と前記電極とのギャップ長と略同じであることを特徴とする。
このように静電容量測定部が気圧補正ダイアフラムを備えていることにより、振動板と電極との間における気圧の変化を気圧補正ダイアフラムで吸収し、振動板と電極とが気圧の変化を受けにくいものとなった。
また、気圧補正ダイアフラムとダイアフラム電極とのギャップ長は前記振動板と前記電極とのギャップ長と略同じであるので、振動板と電極との静電容量と同様の静電容量を測定することができる。
【０００７】
本発明の液滴吐出装置において、前記気圧補正ダイアフラムは前記振動板を構成するキャビティプレートに形成され、前記ダイアフラム電極は前記電極を構成する電極ガラスプレートに形成されていることを特徴とする。
こうすることにより、静電容量測定部をキャビティプレートと電極ガラスプレートとを加工するだけで簡単に構成することができ、コストの低減と小型化を図ることができる。
【０００８】
本発明の液滴吐出装置において、前記静電容量測定部は、前記振動板と前記電極とからなることを特徴とする。
こうすることにより、静電容量測定部をキャビティプレートや電極ガラスプレートに何らの加工を施すことなく、コストをかけずに構成することができる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置において、前記静電容量測定部と、該静電容量測定部が測定した静電容量に基づき気圧を求める静電容量型気圧計測部とで気圧測定部を構成したことを特徴とする。
こうすることにより、液滴吐出装置の液滴吐出装置には新たな圧力センサを設ける必要がないので、コストの低減と小型化を図ることができる。
【００１０】
本発明に係る液滴吐出装置の駆動制御装置は、前記記載の気圧測定部が計測した気圧に基づいて前記振動板と前記電極との間に印加する駆動電圧を補正する気圧補償手段と、前記気圧補償手段により補正された駆動電圧を前記振動板と前記電極との間に印加するドライバとを備えたことを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、気圧補償手段が気圧測定部が計測した気圧に基づいて前記振動板と前記電極との間に印加する駆動電圧を補正し、ドライバが気圧補償手段により補正された駆動電圧を前記振動板と前記電極との間に印加するようにしたので、液滴吐出装置がインクジェットヘットとして使用された場合には、インク吐出特性に大きな影響を及ぼす気圧という環境要素に基づき、気圧変化に起因したインク吐出特性の変動を補償して、常に安定したインク吐出特性を得ることができ、高い印刷品質を確保することができる。
この駆動電圧を補正する方法としては、その駆動電圧のパルス幅を補正する方法と駆動電圧のピーク値を補正する方法がある。また、駆動電圧のパルス幅及びピーク値の双方を補正する方法でもよい。
【００１２】
本発明に係る液滴吐出装置の駆動制御方法は、振動板を有してノズルから液滴を吐出させる複数の圧力室と、各圧力室に液体を供給するリザーバと、振動板に対向する電極と、振動板と前記電極との間に駆動電圧を印加するドライバとを備え、ドライバが振動板と前記電極との間に駆動電圧を印加して振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させる液滴吐出装置の駆動制御方法において、気圧補償手段が前記記載の気圧測定部が計測した気圧に基づいて前記駆動電圧を補正し、前記ドライバが前記気圧補償手段により補正された駆動電圧を前記振動板と前記電極との間に印加するようにしたことを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、気圧補償手段が気圧測定部が計測した気圧に基づいて前記振動板と前記電極との間に印加する駆動電圧を補正し、ドライバが気圧補償手段により補正された駆動電圧を前記振動板と前記電極との間に印加するようにしたので、液滴吐出装置がインクジェットヘットとして使用された場合には、インク吐出特性に大きな影響を及ぼす気圧という環境要素に基づき、気圧変化に起因したインク吐出特性の変動を補償して、常に安定したインク吐出特性を得ることができ、高い印刷品質を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は本発明の実施の形態１に係る液滴吐出装置の一部を断面で示した分解斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図、図３は図１のＢ−Ｂ線断面図、図４は同液滴吐出装置の駆動制御装置の制御系の概略ブロック図、図５（Ａ）は液滴吐出装置が設置された環境の気圧と最適パルス幅の対応関係を示すグラフ、図５（Ｂ）は各気圧におけるパルス幅に対するインク吐出重量の特性を示すグラフである。
この実施の形態１の液滴吐出装置の例えばインクジェットヘッドである液滴吐出ヘッドは、液滴を基板の面部に設けたノズルから吐出させるフェイス型と呼ばれるものである。
この液滴吐出ヘッドは、第１の基板であるキャビティプレート１と、第２の基板である電極ガラスプレート２と、第３の基板であるノズルプレート３とを積層し接合して構成されている。
【００１５】
キャビティプレート１はシリコン基板により構成されている。そのキャビティプレート１には、その底壁が振動板５となる複数の圧力室６を構成する複数の凹部７と、各圧力室６に供給すべき液体が貯蔵されるリザーバ８を構成する凹部９とが形成されている。共通電極端子１０は、図３に示すドライバ２４と接続されている。
キャビティプレート１の側部には圧力室６及びリザーバ８に隣接して気圧補正ダイアフラム１１が設けられている。この気圧補正ダイアフラム１１はキャビティプレート１の一部を薄肉に例えばエッチングにより加工して形成されている。この気圧補正ダイアフラム１１の厚さは振動板５の厚さと同じに形成されている。
【００１６】
電極ガラスプレート２は、例えば、ホウ珪酸系の耐熱硬質ガラス（ＳｉＯ2，Ｂ2Ｏ3）又はシリコン基板により構成され、図１〜図３に示すように、キャビティプレート１の裏面に接合されている。
電極ガラスプレート２の側部には、キャビティプレート１に形成されている気圧補正ダイアフラム１１に対向して凹部１２が形成されている。その凹部１２の内部にはダイアフラム電極１３及びリード部を有するダイアフラム電極端子１４が形成されている。
【００１７】
また、電極ガラスプレート２の略全面には、キャビティプレート１に形成されている各圧力室６に対向して複数の凹部１５が形成されている。各凹部１５の内部には、個別電極１６、リード部１７及び端子部１８が形成されている。ダイアフラム電極１３、ダイアフラム電極端子１４、個別電極１６、リード部１７及び端子部１８の材料としては、例えば、錫ドープ酸化インジウムやクロム等の金属等がある。
【００１８】
この実施の形態１では、キャビティプレート１に形成された振動板５と、これに対向して配置され、電極ガラスプレート２に形成された個別電極１６との対向間隔、すなわち、ギャップ長は、凹部１５の深さから個別電極１６の厚さを減算したものとなる。
また、キャビティプレート１に形成された気圧補正ダイアフラム１１と、これに対向して配置され、電極ガラスプレート２に形成されたダイアフラム電極１３との対向間隔、すなわち、ギャップ長は、凹部１２の深さからダイアフラム電極１３の厚さを減算したものとなる。
【００１９】
そして、振動板５と個別電極１６とのギャップ長と気圧補正ダイアフラム１１とダイアフラム電極１３とのギャップ長は同じに設定されることにより、振動板５と個別電極１６との静電容量を測定するための気圧補正ダイアフラム１１とダイアフラム電極１３とからなる静電容量測定部が構成される。
また、隣接する凹部１５の間の所定箇所には、一端がリザーバ８に連通するとともに他端が図示せぬ液体タンクに接続されている液体供給孔１９が設けられている。
また、ダイアフラム電極１３はダイアフラム電極端子１４を介し、図２に示す静電容量から計算により気圧を求める静電容量型気圧計測部２５と接続されている。
この静電容量型気圧計測部２５と静電容量計測部とで気圧測定部が構成される。
さらに、個別電極１６は、リード部１７及び端子部１８を介して図３に示すドライバ２４と接続されている。
【００２０】
ノズルプレート３は、シリコン基板又はガラス基板により構成され、図１及び図２に示すように、キャビティプレート１の表面に接合されることにより、これらプレート１，３間に圧力室６，リザーバ８及び後述するオリフィス状の液体供給口２２とが平面方向に配列された状態に区画形成される。
【００２１】
ノズルプレート３の両端部には、キャビティプレート１に形成されているリザーバ８に対向してリザーバ８内の圧力変動を抑制するダイアフラム２０が形成されている。このダイアフラム２０はノズルプレート３の一部を薄肉に例えばエッチングにより加工して形成されている。
また、ノズルプレート３の略中央表面には、対応する圧力室６と連通するノズル２１が２列並列して形成されている。
さらに、ノズルプレート３の内側の面（図１では裏面）には液体供給口２２を構成する細溝２３が形成されており、圧力室６とリザーバ８とを連通させている。
【００２２】
また、図３において、ドライバ２４は、例えば、２０ｋＨｚで発振し、電極１６とキャビティプレート１との間に、０Ｖから３０Ｖのパルス電圧を印加して、個別電極１６に電荷の供給及び停止を行う。
従って、液滴吐出装置は、上記記載の液滴吐出ヘッドと、圧力室６の振動板５と該振動板５に対向する電極１６との間に電圧を印加するドライバ２４とで構成される。
【００２３】
次に、上記構成の液滴吐出ヘッドの動作について説明する。
まず、図示せぬ液体タンクより液体供給孔１９を経てキャビティプレート１の内部に液体であるインク液が供給され、リザーバ８、圧力室６等に貯蔵される。
次に、ドライバ２４を駆動して電極１６に０Ｖから３０Ｖのパルス電圧を印加することにより、電極１６に電荷を供給してその表面を正に帯電させると、振動板５の裏面は負に帯電し、振動板５は静電気の吸引作用により電極１６に引き寄せられて下方に撓む。これにより圧力室６の容積は広がる。
【００２４】
次に、ドライバ２４からの電極１６への電荷供給を停止すると、振動板５は元に戻るが、そのとき圧力室６の容積も元に戻るから、その圧力により差分のインク液の液滴が吐出し、例えば、記録紙に付着することによって記録が行われる。
次に、ドライバ２４を駆動することにより、振動板５が再び下方に撓むと、インク液がリザーバ８より液体供給口２２を介して圧力室６に補給される。
【００２５】
次に、ドライバ２４を駆動するインクジェットヘッドの駆動制御装置について、図４に基づいて詳細に説明する。
図４に示す駆動制御装置１００により駆動制御されるインクジェットヘッドは図１に示すものである。
インクジェットヘッドの駆動制御装置１００は、インクジェットヘッド制御部１０２を有し、このインクジェットヘッド制御部１０２は、ＣＰＵを中心に構成されている。すなわち、ＣＰＵには外部装置３からバスを介して印刷情報が供給される。
ＣＰＵには、内部バスを介してＲＯＭ、ＲＡＭ及びキャラクタージェネレーション１０４が接続されており、ＲＡＭ内の記憶領域を作業領域として用いてＲＯＭ内に格納されている制御プログラムを実行し、キャラクタージェネレーション１０４から発生するキャラクター情報に基づき、インクジェットヘット駆動用の制御信号を生成する。
【００２６】
制御信号は論理ゲートアレイ１０５および駆動パルス発生回路１０６６を介して、印刷情報に対応した駆動制御信号となって、コネクタ１０７を経由して、ヘッド基板１０８に形成されたヘッドドライバＩＣ１０９（図１のドライバ２４に相当）に供給される。
ヘッドドライバＩＣ１０９では、供給された駆動制御信号および電源回路１１０から供給される駆動電圧Ｖｐに基づき、インクジェットヘッド１１１の各インクノズルに対応するインク室と対向板（振動板）に形成された対向電極間に印加すべき駆動電圧のパルス信号Ｐｗを生成して、当該対向電極間に所定のタイミングで印加する。この結果、駆動電圧パルス信号Ｐｗが印加されたインクノズルからインク液滴が吐出される。
【００２７】
また、インクジェットヘッドの駆動制御装置１００は、ヘッド基板１０８の表面に形成されたヘッドランク識別回路１１２を有している。このヘッドランク識別回路１１２は、インクジェットヘッド１１１の出荷時に測定される当該インクジェットヘッド１１１の実際のインク吐出特性に基づき、最適な駆動電圧パルス信号のパルス幅初期値Ｐｗｓを設定するための回路である。
このヘッドランク識別回路１１２は、３ビットのショートランドＲａｎｋ１、２、３を備え、各ショートランドＲａｎｋ１、２、３の一方の端子は設置され、他方の端子はコネクタ１０７を介してインクジェットヘッド制御部１０２のランク検出回路１１３に接続されている。
【００２８】
更に、インクジェットヘッドの駆動制御装置１００は、気圧検出回路１１４を備えている。この気圧検出回路１１４は、静電容量型気圧計測部２５に接続されている。
従って、インクジェットヘッド１００の環境の気圧変化は、静電容量型気圧計測部２５の出力波形として気圧検出回路１１４において検出される。検出された出力波形は、当該気圧検出回路１１４でＡ／Ｄ変換された後に、入出力ポートＩ／Ｏを介してＣＰＵに供給される。
【００２９】
インクジェットヘッドの駆動制御装置１００では、ＲＯＭに予め記憶された制御プログラムをＣＰＵが実行することにより、静電容量型気圧計測部２５で求めた気圧に基づき、駆動電圧のパルス幅Ｐｗを補正する気圧補償手段が実現される。
この気圧補償手段は、図５（Ａ）に示す特性曲線Ｘ１に基づき、検出された気圧からその気圧下において適切な吐出インク重量が得られるパルス幅Ｐｗを求める機能を有している。
【００３０】
特性曲線Ｘ１は、インクジェットヘッド１００の設置された環境の気圧がパルス幅初期値Ｐｗｓの設定時の気圧Ｐｓより高くなるにつれてパルス幅Ｐｗの値を小さくし、気圧を気圧Ｐｓより低くなるにつれてパルス幅Ｐｗの値を大きくするよに設定された線形の曲線である。なお、この特性曲線Ｘ１は、振動板１５の厚さなどのヘッドの特性に応じて設定されるものである。
【００３１】
気圧補償手段、すなわち、インクジェットヘッド制御部１０２のＣＰＵは、検出した気圧に対応するパルス幅Ｐｗを特性曲線Ｘ１から求め、この求めたパルス幅Ｐｗを駆動電圧のパルス幅として設定する。この結果、例えば、インクジェットヘッド１１１が設置された環境の気圧に基づき、そのパルス幅が気圧に応じて増減するように補正される。
【００３２】
詳しく説明すると、図５（Ａ）に示すように、パルス幅初期値Ｐｗｓの設定時の気圧がＰｓ（ｈｐａ）であった場合、気圧がＰｂ（ｈｐａ）である環境下（例えば、標高の低い場所）でインクジェットヘッド１１１を使用すると、駆動電圧のパルス幅Ｐｗは、パルス幅初期値Ｐｗｓより小さな値Ｐｗｂに設定される。
一方、気圧がＰａ（ｈｐａ）である環境下（例えば、標高の高い場所）でインクジェットヘッド１１１を使用すると、駆動電圧のパルス幅Ｐｗは、パルス幅初期値Ｐｗｓより大きな値Ｐｗａに設定される。
【００３３】
ここで、パルス幅初期値Ｐｗｓの設定時より気圧の低い環境下でインクジェットヘッド１１１を使用した場合、最適なインク吐出特性を得るのに必要なパルス幅Ｐｗの値はパルス幅初期値Ｐｗｓより大きくなり、気圧の高い環境下ではそのパルス幅Ｐｗの値はパルス幅初期値Ｐｗｓより小さくなる。
このため、特性曲線Ｘ１に基づき駆動電圧のパルス幅Ｐｗが補正されると、図５（ｂ）のグラフに示すように、駆動電圧のパルス幅Ｐｗに対する各気圧Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｓにおけるインクジェットヘッド１１１の吐出インク重量が一定となる。
【００３４】
換言すれば、本例のインクジェットヘッドの駆動制御装置１００では、インクジェットヘッド１１１が設置された環境の気圧に基づき、インクジェットヘッド１１１の駆動電圧のパルス幅を補正しているので、気圧変化に起因したインク吐出特性の変動を補償して、常に安定したインク吐出特性をえることができる。
このため、インクジェットヘッド１１１をインク吐出条件が設定された気圧と異なる気圧下でしようしたとしても、常に最適なインク吐出特性が保持される。
【００３５】
以上のように、この実施の形態１の液滴吐出装置においては、振動板５と個別電極１６との静電容量を測定する静電容量測定部を備えている。
その静電容量測定部は、キャビティプレート１の側部に設けられた気圧補正ダイアフラム１１と、電極ガラスプレート２の側部に気圧補正ダイアフラム１１と対向して設けられたダイアフラム電極１４とで構成されている。
従って、静電容量測定部をキャビティプレート１と電極ガラスプレート２を加工するだけで簡単に構成することができ、コストの低減と小型化を図ることができる。
この気圧補正ダイアフラム１１とダイアフラム電極１４とのギャップ長は振動板５と個別電極１６とのギャップ長と同じに設定されているため、気圧補正ダイアフラム１１とダイアフラム電極１４は、振動板５と個別電極１６の静電容量と同様の静電容量を測定することができる。
【００３６】
また、静電容量測定部が気圧補正ダイアフラム１１を有することにより、振動板５と個別電極１６との間における気圧の変化を気圧補正ダイアフラム１１で吸収し、振動板５と個別電極１６とが気圧の変化を受けにくいものとなっている。なお、気圧補正ダイアフラム１１の厚さを薄くすると、ダイアフラムの持つ緩衝作用が増加する。
また、振動板５と個別電極１６とがそれ自身で静電容量測定部を構成することもできる。この場合には、キャビティプレート１や電極ガラスプレート２に何らの加工を施すことなく、コストをかけずに静電容量測定部を構成することができる。
また、静電容量測定部である気圧補正ダイアフラム１１とダイアフラム電極１４に静電容量型気圧計測部２５を接続して構成した気圧測定部を形成しているため、液滴吐出装置に従来のように新たな圧力センサを設ける必要がないので、コストの低減と小型化を図ることができる。
【００３７】
さらに、インクジェット制御部１０２の気圧補償手段が気圧測定部が計測した気圧に基づいて駆動電圧を補正し、ドライバ２４が気圧補償手段により補正された駆動電圧を振動板５と個別電極１６との間に印加するようにしたことにより、液滴吐出ヘッドがインクジェットヘッドとして使用された場合には、インク吐出特性に大きな影響を及ぼす気圧という環境要素に基づき、気圧変化に起因したインク吐出特性の変動を補償して、常に安定したインク吐出特性を得ることができ、高い印刷品質を確保することができる。
【００３８】
上記実施の形態１では、駆動電圧のパルス幅Ｐｗを補正する例を説明したが、パルス幅Ｐｗに変えて駆動電圧のピーク電圧値を補正するようにしてもよく、パルス幅Ｐｗとピーク電圧値の双方を補正するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
上述の本発明のインクジェットヘッドにおいて、吐出液体は印刷用のインク液とし、水、アルコール、トルエン等の主溶媒にエチレングリコール等の海面活性剤と、染料または顔料とを溶解または分散させることにより調製され、通常の紙媒体等への印刷をする一般的なインクジェットプリンタとして利用することができるとして説明した。
さらに、インクジェットヘッドにヒータを設けておけば、ホットメルトインクも使用できる。
また、吐出液体を生体分子を含む溶液とすれば、例えばＤＮＡチップ、プロテイン（蛋白質）チップ等の製造に利用することができる。
さらに、吐出形態をカラーフィルタを形成させる溶液とすれば、液晶表示装置に利用するカラーフィルタ製造に利用することができる。
また、吐出液体を発光材料を含む溶液とすれば、電界発光素子の吐出を行うことができ、これを用いた表示装置の製造に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態１に係る液滴吐出装置の一部を断面で示した分解斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】同液滴吐出装置の駆動制御装置の制御系の概略ブロック図である。
【図５】（Ａ）は液滴吐出装置が設置された環境の気圧と最適パルス幅の対応関係を示すグラフであり、（Ｂ）は各気圧におけるパルス幅に対するインク吐出重量の特性を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４１】
１  キャビティープレート、２  電極ガラスプレート、３  ノズルプレート、５  振動板、６  圧力室、８  リザーバ、１０  共通電極端子、１１  気圧補正ダイアフラム（静電容量測定部）、１３  ダイアフラム電極（静電容量測定部）、１４  ダイアフラム電極端子、１６  個別電極、２０  ダイアフラム、２１  ノズル、２２  液体供給口、２４  ドライバ、２５  静電容量型気圧計測部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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