(57)【要約】【課題】液体噴射ヘッドのノズル形成面に形成されたノズル開口における液体の混入を防止し、そのノズル形成面に付着したインクのクリーニング処理が頻繁に行われないようにすることができる液体噴射装置及び成膜装置を提供すること。【解決手段】固定手段１５は、キャッピング手段３０によって液体噴射ヘッド５１のノズル形成面２００ｘを密封した状態にて、吸収材９の表面上であってノズル列間領域２００ａに対向するノズル列非対向領域９ａに設けられている。【選択図】図１
2005169343.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル形成面に、記録媒体に対してそれぞれ液体を噴射する複数のノズル開口の配列でなるノズル列が複数形成されると共に、隣り合う前記ノズル列の間であるノズル列間領域が設けられた液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが搭載されたキャリッジと、
前記キャリッジを前記記録媒体に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を密封するキャッピング手段とを備え、
前記キャッピング手段は、
前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を覆って封止する封止部材と、
前記封止部材内に配置されており前記液体を吸収する吸収材と、
前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、
前記固定手段は、前記キャッピング手段によって前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を密封した状態にて、前記吸収材の表面上であって前記ノズル列間領域に対向するノズル列非対向領域に設けられていることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
記録媒体に対してそれぞれ液体を噴射する複数のノズル開口の配列でなるノズル列がノズル形成面に形成された液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが搭載されたキャリッジと、
前記キャリッジを前記記録媒体に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を密封するキャッピング手段とを備え、
前記キャッピング手段は、
前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を覆って封止する封止部材と、
前記封止部材内に配置されており前記液体を吸収する吸収材と、
前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、
前記固定手段は、前記キャッピング手段によって前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を密封した状態にて、前記吸収材の表面上であって前記液体噴射ヘッドからの前記液体の飛行曲がりによって到達する到達領域から離間した非到達領域に設けられていることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項３】
記録媒体に対してそれぞれ液体を噴射する複数のノズル開口の配列でなるノズル列がノズル形成面に形成された液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドが搭載されたキャリッジと、
前記キャリッジを前記記録媒体に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を密封するキャッピング手段とを備え、
前記キャッピング手段は、
前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を覆って封止する封止部材と、
前記封止部材内に配置されており前記液体を吸収する吸収材と、
前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、
前記固定手段は、前記封止部材と前記吸収材の内部との間に配置される構成であることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項４】
圧電振動子を有し、所定の駆動波形を前記圧電振動子に加えることで被処理物に対してそれぞれ機能性液滴を吐出する複数の吐出部の配列でなる吐出部列が吐出部形成面に複数形成されると共に、隣り合う前記吐出部列の間である吐出部列間領域が設けられた液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジと、
前記キャリッジを前記被処理物に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を密封するキャッピング手段とを備え、
前記キャッピング手段は、
前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を覆って封止する封止部材と、
前記封止部材内に配置されており前記機能性液滴を吸収する吸収材と、
前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、
前記固定手段は、前記キャッピング手段によって前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を密封した状態にて、前記吸収材の表面上であって前記吐出部列間領域に対向する吐出部列非対向領域に設けられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項５】
圧電振動子を有し、所定の駆動波形を前記圧電振動子に加えることで被処理物に対してそれぞれ機能性液滴を吐出する複数の吐出部の配列でなる吐出部列が、吐出部形成面に形成された液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジと、
前記キャリッジを前記被処理物に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を密封するキャッピング手段とを備え、
前記キャッピング手段は、
前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を覆って封止する封止部材と、
前記封止部材内に配置されており前記機能性液滴を吸収する吸収材と、
前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、
前記固定手段は、前記キャッピング手段によって前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を密封した状態にて、前記吸収材の表面上であって前記液滴吐出ヘッドからの前記機能性液滴の飛行曲がりによって到達する到達領域から離間した非到達領域に設けられていることを特徴とする成膜装置。
【請求項６】
圧電振動子を有し、所定の駆動波形を前記圧電振動子に加えることで被処理物に対してそれぞれ機能性液滴を吐出する複数の吐出部の配列でなる吐出部列が、吐出部形成面に形成された液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジと、
前記キャリッジを前記被処理物に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を密封するキャッピング手段とを備え、
前記キャッピング手段は、
前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を覆って封止する封止部材と、
前記封止部材内に配置されており前記機能性液滴を吸収する吸収材と、
前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、
前記固定手段は、前記封止部材と前記吸収材の内部との間に配置される構成であることを特徴とする成膜装置。
【請求項７】
前記成膜装置は、カラーフィルタを製造する装置であることを特徴とする請求項４ないし請求項６のいずれかに記載の成膜装置。
【請求項８】
前記成膜装置は、有機エレクトロルミネッセンス素子の構成要素となる膜を成膜する装置であることを特徴とする請求項４ないし請求項６のいずれかに記載の成膜装置。
【請求項９】
前記成膜装置は、前記液滴吐出ヘッドから金属微粒子を含有する液状体を吐出するものであって、前記液状体を所望面に吐出することで金属配線となる膜を成膜する装置であることを特徴とする請求項４ないし請求項６のいずれかに記載の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドのノズル形成面を封止するキャッピング装置を備える液体噴射ヘッド及び成膜装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年のインクジェット記録装置においては、インクを吐出する記録ヘッドのノズル形成面を密封するキャッピング装置を備えている。このキャッピング装置は、その記録ヘッドのノズル形成面を覆って封止する封止部材や、この封止部材を収容するキャップホルダを備えている。このキャッピング装置は、記録ヘッドに対してキャッピング装置を密着させ、インク溶媒の蒸発を防止するほか、いわゆるキャップ前フラッシング、混色防止フラッシング或いは定期フラッシングといったフラッシング処理や、ノズルの目詰まり発生時にインク吸引を行うクリーニング処理を行うことで、記録ヘッドのノズル開口の回復処理を行う構成となっている。
【０００３】
図１２は、従来のインクジェット記録装置における記録ヘッド１５１及びキャッピング装置１３０近傍の構成例を示す側面図であり、図１３は、図１２に示すキャッピング装置１３０の構成例を示す上面図である。
従来のインクジェット記録装置としては、図１３に示すように吸収材１０９が固定手段１１１によってキャップ部材１２０内に固定される構成となっている。
【０００４】
具体的には、この固定手段は、吸収材１０９をキャップ部材１２０に押さえつけるための支持手段としての板状のバネ（以下「板バネ」と呼ぶ）１１５及び、板バネ１１５をキャップ部材１２０に固定する固定部材としてのカシメ１１３を備えている（特許文献１参照）。このような従来のインクジェット記録装置では、図１２に示すようにキャッピング装置１３０によって記録ヘッド１５１のノズル形成面１５１ａを封止した状態において、図１３に示すように固定手段１１１が、記録ヘッド１５１のノズル形成面１５１ａに形成されたノズル列（のノズル開口１５５）の位置に関係なく、キャップ部材１２０内において吸収材１１５を固定していた。
【特許文献１】特開２０００−６２２０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、キャップ部材１２０内においてノズル形成面１５１ａのノズル開口１５５の位置に関係なく、固定手段１１１で吸収材１０９を固定すると、固定手段１１１の位置によっては、上記フラッシング処理の際に不都合が生じてしまう。具体的には、例えば固定手段１１１がノズル開口１５５に対向する真下の位置において吸収材１０９を固定する構成であると、従来のインクジェット記録装置では、上記フラッシング処理が行われた際に、図１３（Ｂ）に示すように記録ヘッド１５１のノズル開口１５５から噴射されたインクが固定手段１１１に当たって反射し、反射したインクがノズル形成面１５１ａに付着してしまうおそれがあった。また、クリーニングによる吸引時にキャップ内には複数色のインクが同時に堆積することで、固定手段１１１上に溜まったインクがノズル形成面１５１ａに付着してしまうおそれがあった。このようにインクがノズル形成面１５１ａに付着すると、付着したインクがノズル開口１５５から逆流することで、インクの混色が生じてしまうという問題点があった。
【０００６】
その一方、従来のインクジェット記録装置では、このようなインクの混色を防止するため、逆流したインクを、予備吐出としてフラッシングで吐き出させたり、クリーニング後に記録ヘッドのノズル形成面１５１ａに付着したインクを拭き取るワイピング処理等が行われる構成となっている。上述のようにクリーニング処理とフラッシング処理の際に固定手段１１１でインクが堆積したり反射してしまう構成のインクジェット記録装置では、上述のような処理が行われる度に、記録ヘッド１５１のノズル開口１５５にインクが逆流して混色等を生じてしまうおそれがある。このようなことを防止するため、従来のインクジェット記録装置では、記録ヘッド１５１のノズル開口１５５に逆流したインクを吐出させる混色防止フラッシング処理や定期フラッシング処理を、キャッピング装置側とは逆側のフラッシングエリア等で行う必要があった。しかし、それらを実施しても、キャップ内の保湿性を保持するキャップ前フラッシングや、クリーニング吸引処理はキャッピング装置側で行う必要があるので、キャッピング後は必ずある一定以上のインク予備吐出の混色防止フラッシングを行う必要があり、完全な対策にはなっていなかった。
そこで、本発明の目的は、上記課題を解消して、液体噴射ヘッドのノズル形成面に形成されたノズル開口における液体の混入を防止し、混色防止フラッシングで消費されるインク量を削減することができる液体噴射装置及び成膜装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的は、第１の発明によれば、ノズル形成面に、記録媒体に対してそれぞれ液体を噴射する複数のノズル開口の配列でなるノズル列が複数形成されると共に、隣り合う前記ノズル列の間のノズル列間領域が設けられた液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドが搭載されたキャリッジと、前記キャリッジを前記記録媒体に対して相対的に移動させる移動手段と、前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を密封するキャッピング手段とを備え、前記キャッピング手段は、前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を覆って封止する封止部材と、前記封止部材内に配置されており前記液体を吸収する吸収材と、前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、前記固定手段は、前記キャッピング手段によって前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を密封した状態にて、前記吸収材の表面上であって前記ノズル列間領域に対向するノズル列非対向領域に設けられていることを特徴とする液体噴射装置により、達成される。
上記構成によれば、固定手段がノズル列非対向領域において吸収材を固定しているので、固定手段は、ノズル形成面のノズル列のノズル開口に対向しておらず、ノズル形成面の隣り合うノズル列から離間した部分で吸収材を固定していることになる。このため、ノズル形成面の各ノズル開口から吐出された液体は、吸収材上の固定手段に当たりにくくなる。そして、この液体噴射装置は、ノズル開口からの液体が固定手段に当たりにくいことから、固定手段で反射してノズル形成面に戻って付着しないようにすることができる。
従って、液体噴射装置は、液体噴射ヘッドのノズル形成面のノズル開口における液体の付着、混入を防止することができる。そして、この液体噴射装置は、液体噴射ヘッドのノズル形成面への液体の付着を防止することができることから、ノズル形成面に付着した液体のクリーニング処理が頻繁に行われないようにすることができる。
【０００８】
上述の目的は、第２の発明によれば、記録媒体に対してそれぞれ液体を噴射する複数のノズル開口の配列でなるノズル列がノズル形成面に形成された液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドが搭載されたキャリッジと、前記キャリッジを前記記録媒体に対して相対的に移動させる移動手段と、前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を密封するキャッピング手段とを備え、前記キャッピング手段は、前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を覆って封止する封止部材と、前記封止部材内に配置されており前記液体を吸収する吸収材と、前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、前記固定手段は、前記キャッピング手段によって前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を密封した状態にて、前記吸収材の表面上であって前記液体噴射ヘッドからの前記液体の飛行曲がりによって到達する到達領域から離間した非到達領域に設けられていることを特徴とする液体噴射装置により、達成される。
上記構成によれば、固定手段が非到達領域において吸収材を固定しているので、固定手段は、ノズル形成面のノズル列のノズル開口に対向しておらず、ノズル形成面のノズル列から離間した部分で吸収材を固定していることになる。このため、ノズル形成面の各ノズル開口から吐出された液体は、吸収材上の固定手段に当たりにくくなる。そして、この液体噴射装置は、ノズル開口からの液体が固定手段に当たりにくいことから、固定手段で反射してノズル形成面に戻って付着しないようにすることができる。
従って、液体噴射装置は、液体噴射ヘッドのノズル形成面のノズル開口における液体の付着、混入を防止することができる。そして、この液体噴射装置は、液体噴射ヘッドのノズル形成面への液体の付着を防止することができることから、ノズル形成面に付着した液体のクリーニング処理が頻繁に行われないようにすることができる。
【０００９】
上述の目的は、第３の発明によれば、記録媒体に対してそれぞれ液体を噴射する複数のノズル開口の配列でなるノズル列がノズル形成面に形成された液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドが搭載されたキャリッジと、前記キャリッジを前記記録媒体に対して相対的に移動させる移動手段と、前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を密封するキャッピング手段とを備え、前記キャッピング手段は、前記液体噴射ヘッドのノズル形成面を覆って封止する封止部材と、前記封止部材内に配置されており前記液体を吸収する吸収材と、前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、前記固定手段は、前記封止部材と前記吸収材の内部との間に配置される構成であることを特徴とする液体噴射装置により、達成される。
上記構成によれば、固定手段が封止部材と吸収材の内部との間に配置される構成であるので、固定手段は、吸収材上に露出しておらず、ノズル形成面のノズル列のノズル開口に対向していないことになる。このため、ノズル形成面の各ノズル開口から吐出された液体は、吸収材内の固定手段に直接当たらない。そして、この液体噴射装置は、ノズル開口からの液体が固定手段に直接当たらないことから、固定手段で反射してノズル形成面に戻って付着しないようにすることができる。
従って、液体噴射装置は、液体噴射ヘッドのノズル形成面のノズル開口における液体の付着、混入を防止することができる。そして、この液体噴射装置は、液体噴射ヘッドのノズル形成面への液体の付着を防止することができることから、ノズル形成面に付着した液体のクリーニング処理が頻繁に行われないようにすることができる。
【００１０】
上述の目的は、第４の発明によれば、圧電振動子を有し、所定の駆動波形を前記圧電振動子に加えることで被処理物に対してそれぞれ機能性液滴を吐出する複数の吐出部の配列でなる吐出部列が吐出部形成面に複数形成されると共に、隣り合う前記吐出部列の間である吐出部列間領域が設けられた液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジと、前記キャリッジを前記被処理物に対して相対的に移動させる移動手段と、前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を密封するキャッピング手段とを備え、前記キャッピング手段は、前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を覆って封止する封止部材と、前記封止部材内に配置されており前記機能性液滴を吸収する吸収材と、前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、前記固定手段は、前記キャッピング手段によって前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を密封した状態にて、前記吸収材の表面上であって前記吐出部列間領域に対向する吐出部列非対向領域に設けられていることを特徴とする成膜装置により、達成される。
上記構成によれば、固定手段が吐出部非対向領域において吸収材を固定しているので、固定手段は、吐出部形成面の吐出部列の吐出部に対向しておらず、吐出部形成面の隣り合う吐出部列間から離間した部分で吸収材を固定していることになる。このため、吐出部形成面の各吐出部から吐出された機能性液滴は、吸収材上の固定手段に当たりにくくなる。そして、この成膜装置は、吐出部からの機能性液滴が固定手段に当たりにくいことから、固定手段で反射して吐出部形成面に戻って付着しないようにすることができる。
従って、成膜装置は、液滴吐出ヘッドの吐出部形成面の吐出部における機能性液滴の付着、混入を防止することができる。そして、この成膜装置は、液滴吐出ヘッドの吐出部形成面への機能性液滴の付着を防止することができることから、吐出部形成面に付着した機能性液滴のクリーニング処理が頻繁に行われないようにすることができる。
【００１１】
上述の目的は、第５の発明によれば、圧電振動子を有し、所定の駆動波形を前記圧電振動子に加えることで被処理物に対してそれぞれ機能性液滴を吐出する複数の吐出部の配列でなる吐出部列が、吐出部形成面に形成された液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジと、前記キャリッジを前記被処理物に対して相対的に移動させる移動手段と、前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を密封するキャッピング手段とを備え、前記キャッピング手段は、前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を覆って封止する封止部材と、前記封止部材内に配置されており前記機能性液滴を吸収する吸収材と、前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、前記固定手段は、前記キャッピング手段によって前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を密封した状態にて、前記吸収材の表面上であって前記液滴吐出ヘッドからの前記機能性液滴の飛行曲がりによって到達する到達領域から離間した非到達領域に設けられていることを特徴とする成膜装置により、達成される。
上記構成によれば、固定手段が非到達領域において吸収材を固定しているので、固定手段は、吐出部形成面の吐出部列の吐出部に対向しておらず、吐出部形成面の吐出部列から離間した部分で吸収材を固定していることになる。このため、吐出部形成面の各ノズル開口から吐出された機能性液滴は、吸収材上の固定手段に当たりにくくなる。そして、この成膜装置は、吐出部からの機能性液滴が固定手段に当たりにくいことから、固定手段で反射して吐出部形成面に戻って付着しないようにすることができる。
従って、成膜装置は、液滴吐出ヘッドの吐出部形成面の吐出部における機能性液滴の付着、混入を防止することができる。そして、この成膜装置は、液滴吐出ヘッドの吐出部形成面への液体の付着を防止することができることから、吐出部形成面に付着した機能性液滴のクリーニング処理が頻繁に行われないようにすることができる。
【００１２】
上述の目的は、第６の発明によれば、圧電振動子を有し、所定の駆動波形を前記圧電振動子に加えることで被処理物に対してそれぞれ機能性液滴を吐出する複数の吐出部の配列でなる吐出部列が、吐出部形成面に形成された液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジと、前記キャリッジを前記被処理物に対して相対的に移動させる移動手段と、前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を密封するキャッピング手段とを備え、前記キャッピング手段は、前記液滴吐出ヘッドの吐出部形成面を覆って封止する封止部材と、前記封止部材内に配置されており前記機能性液滴を吸収する吸収材と、前記吸収材を前記封止部材内に固定する固定手段とを備え、前記固定手段は、前記封止部材と前記吸収材の内部との間に配置される構成であることを特徴とする成膜装置により、達成される。
上記構成によれば、固定手段が封止部材と吸収材の内部との間に配置される構成であるので、固定手段は、吸収材上に露出しておらず、吐出部形成面の吐出部列の吐出部に対向していないことになる。このため、吐出部形成面の各吐出部から吐出された機能性液滴は、吸収材内の固定手段に直接当たらない。そして、この成膜装置は、吐出部からの機能性液滴が固定手段に直接当たらないことから、固定手段で反射して吐出部形成面に戻って付着しないようにすることができる。
従って、成膜装置は、液滴吐出ヘッドの吐出部形成面の吐出部における機能性液滴の付着、混入を防止することができる。そして、この成膜装置は、液滴吐出ヘッドの吐出部形成面への液体の付着を防止することができることから、吐出部形成面に付着した機能性液滴のクリーニング処理が頻繁に行われないようにすることができる。
【００１３】
第７の発明は、第４の発明ないし第６の発明のいずれかの構成において、前記成膜装置は、カラーフィルタを製造する装置であることを特徴とする。
上記構成によれば、液滴吐出ヘッドの吐出部形成面に形成された吐出部における機能性液滴の混入を防止できる成膜装置がカラーフィルタを製造する装置でもあるので、高価なカラーフィルタ用インクを浪費することなく、安価に製造することが可能となる。
【００１４】
第８の発明は、第４の発明ないし第６の発明のいずれかの構成において、前記成膜装置は、有機エレクトロルミネッセンス素子の構成要素となる膜を成膜する装置であることを特徴とする。
上記構成によれば、液滴吐出ヘッドの吐出部形成面に形成された吐出部における機能性液滴の混入を防止できる成膜装置が有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子を製造する装置でもあるので、高価な機能性液滴を浪費することなく、有機エレクトロルミネッセンス素子（装置）を安価に製造することが可能となる。
【００１５】
第９の発明は、第４の発明ないし第６の発明のいずれかの構成において、前記成膜装置は、前記液滴吐出ヘッドから金属微粒子を含有する液状体を吐出するものであって、前記液状体を所望面に吐出することで金属配線となる膜を成膜する装置であることを特徴とする。
上記構成によれば、液滴吐出ヘッドの吐出部形成面に形成された吐出部における機能性液滴の混入を防止できる成膜装置が金属配線となる膜を製造する装置でもあるので、高価な機能性液滴を浪費することなく、金属配線を安価に製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、この発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１７】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態としての液体噴射装置が適用されたインクジェット記録装置１００の構成例を示す斜視図である。尚、図１は、内部構造を明らかにするため本体カバーをはずした状態を示している。
インクジェット式記録装置１００は、液体である例えばインクを収容する液体収容手段である例えばインクカートリッジ１０１と、このインクカートリッジ１０１が搭載される液体噴射ヘッドである例えばインクジェット式記録ヘッド（以下「記録ヘッド」という）２００を有している。
【００１８】
この記録ヘッド２００は、キャリッジ１０２に取り付けられる構成となっている。
キャリッジ１０１は、図１に示すように、タイミングベルト１０３を介してステッピングモータ１０４に接続され、ガイドバー１０５に案内されて、記録紙１０６の紙幅方向（主走査方向）に往復移動するようになっている。
キャリッジ１０１は、上部に開放する箱形を呈し、記録紙１０６と対向する面（図の下面）に、記録ヘッド２００のノズル面が露呈するように取り付けられると共に、インクカートリッジ１０１が収容されるようになっている。
【００１９】
そして、記録ヘッド２００にインクカートリッジ１０１からインクが供給され、キャリッジ１０２を移動させながら、記録紙１０６上面にインク滴を吐出させて記録紙１０６に画像や文字をドットマトリックスにより印刷するようになっている。
また、インクジェット式記録装置１００は、図１に示すように、印刷休止中に記録ヘッド２００のノズル開口を封止することによりインクを吐出するノズル部である例えばノズルの乾燥をできるだけ防止するキャップ１０７を備えている。
さらに、インクジェット式記録装置１００は、記録ヘッド２００のノズル面をワイピングするワイパー部材１０８も有している。
【００２０】
図２（Ａ）は、図１に示す記録ヘッド２００及びキャッピング装置１０７を簡素化して図示した概略側面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示すキャッピング装置１０７を上方から見た場合の構成例を示す上面図である。
図３は、図２（Ｂ）に示すキャッピング部２１の構成例を示す斜視図であり、図４（Ａ）は、図３に示す固定部材１５の構成例を示す平面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示す固定部材１５のＡ−Ａ断面図である。
図２（Ａ）に示すように記録ヘッド２００は、必要に応じて、ノズル形成面２００ｘがキャッピング装置１０７のキャップ部材２０によって密封されたり、開放される構成となっている。記録ヘッド２００は、このように封止された状態でフラッシング処理を行う構成となっている。このキャッピング装置１０７は、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘを覆って封止する図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すキャップ部材２３、キャップ部材２３内に配置されておりインクを吸収する吸収材９及び、吸収材９をキャップ部材２３内に固定する固定手段１５を備えている。
【００２１】
図２（Ｂ）に示すようにキャッピング部２１は、上記キャップ部材２０の他、上記吸収材９及び上記固定手段１５を備えている。吸収材９は、例えばベルイータを材質とし、インクを吸収するためのものである。固定手段１５は、吸収材９をキャップ部材２０内に固定するためのものである。また、本実施形態においては、ノズル列の位置（ノズル列対向部分９ｂの位置に相当）とノズル列の位置との間（以下「ノズル列間」という）が図２（Ｂ）に示すように広い場合と狭い場合とがある場合には、固定手段１５を図示のように広い側のノズル列間に配置させるのが望ましい。
【００２２】
この固定手段１５は、支持部材としての板状のバネ部材（以下「板バネ」という）１４及び、固定部材としてのカシメ１３を備えている。
板バネ１４は、例えば弾性を有する板状のバネ部材であり、図３に示すように吸収材９をその上部から支持する部材である。一方、カシメ１３は、このように吸収材９を支持した板バネ１４をキャップ部材２０内に固定するための固定部材である。このカシメ１３は、板バネ１４及び吸収材９を貫通するように差し込まれ、板バネ１４を固定している。図示のようにキャップ部材２０は、吸収材９及び、吸収材９を固定する固定手段１５を包囲するように構成されている。
【００２３】
板バネ１４は、図４（Ａ）に示すように長尺部１４ａ及び、この長尺部１４ａから、例えば長尺部１４ａに対してほぼ垂直な方向に延びる腕部１４ｂが設けられている。長尺部１４ａのみでは直線状の部分で吸収材９を固定するのに対して、この腕部１４ｂは、より広い部分で吸収材９を固定するための部分である。上述のようにカシメ１３は、図４（Ｂ）に示すように吸収材９を支持する板バネ１４の下部から差し込まれることで、板バネ１４を固定する構成となっている。
【００２４】
図５は、吸収材９の固定手段１５とノズル開口２００ｚとの位置関係の一例を表す側面図である。尚、図５は、キャッピング装置１０７によって記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘを密封した状態を表している。
固定手段１５は、吸収材９の表面上のノズル列非対向領域９ａに設けられている点が特徴的である。ノズル列非対向領域９ａは、記録ヘッド２００のノズル形成面の一部であるノズル列間領域２００ａに対向する領域である。
【００２５】
隣り合うノズル列非対向領域９ａ同士の間には、ノズル列対向部分９ｂが存在している。このノズル列対向部分９ｂは、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘに形成されたノズル列（のノズル開口２００ｚ）に対向する部分である。
【００２６】
インクジェット記録装置１００は以上のような構成であり、次に上記図１〜図５を参照しつつその動作例について説明する。
図１に示すインクジェット記録装置１００は、上述のようにキャッピング装置１０７を備えている。キャッピング装置１０７は、例えばフラッシング処理を行う際に、図２（Ａ）に示すように記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘの密封を行う構成となっている。
【００２７】
このキャッピング装置１０７においては、図２（Ｂ）に示すように固定手段１５は、例えば隣り合うノズル列対向部分９ｂ，９ｂの間に位置するようにして、吸収材９をキャップ部材２０内に固定するようになっている。つまり、上述のように固定手段１５は、図５に示すように吸収材９の表面上におけるノズル列対向部分９ｂではなく、ノズル列非対向領域９ａに設けられている。
【００２８】
このような構成のキャッピング装置１０７においては、図５に示すように記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘに形成されたノズル開口２００ｚからインクを噴射しても、図５に示すようにノズル開口２００ｚと固定手段１５とが対向しない位置関係にあるため、ノズル開口２００ｚから噴射されたインクが固定手段１５に当たりにくく、或いは当たらないようにすることができる。このように噴射されたインクが固定手段１５に当たりにくくなることから、インクが固定手段１５で反射して戻ってノズル形成面２００ｘに付着しにくくすることができる。
【００２９】
そして、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘへのインクの付着を防止することができることから、ノズル形成面２００ｘに形成されたノズル開口２００ｚへのインクの混入を防止することができる。また、記録ヘッド２００が複数色のインクを噴射する場合においては、ノズル形成面２００ｘに形成されたノズル開口２００ｚでのインクの混色を防止することができる。
【００３０】
このように本発明の第１実施形態によれば、固定手段１５がノズル列非対向領域９ａにおいて吸収材９を固定しているので、固定手段１５は、ノズル形成面２００ｘのノズル列のノズル開口２００ｚに対向しておらず、ノズル形成面２００ｘの隣り合うノズル列から離間した部分で吸収材９を固定していることになる。このため、ノズル形成面２００ｘの各ノズル開口から吐出されたインクは、吸収材９上の固定手段１５に当たりにくくなる。
そして、このインクジェット記録装置１００は、ノズル開口からのインクが固定手段１５に当たりにくいことから、固定手段１５で反射してノズル形成面２００ｘに戻って付着しないようにすることができる。
【００３１】
また、図５に示すようにノズル開口２００ｚと固定手段１５とが対向しない位置関係にあるため、ノズル開口２００ｚの目詰まり発生時にインク吸引を行うクリーニング処理が行われた際に、仮に、吸引されたインクが固定手段１５に堆積しても、固定手段１５上に溜まったインクがノズル形成面２００ｘのノズル開口２００ｚに接触しにくくなる。このため、固定手段１５上のインクがノズル開口２００ｚに接触してノズル開口２００ｚを逆流しないようにすることで、ノズル開口２００ｚにおけるインクの混入、特に複数色のインクを噴射する記録ヘッド２００においては混色を防止することができる。
また、このようなインクの混入や混食を防止することができることから、逆流したインクを、予備吐出としてフラッシングで吐き出させたり、クリーニング後に記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘに付着したインクを拭き取るワイピング処理等を行う必要が無くなる。従って、ワイピング処理を施す数が減ることから、記録ヘッド２００の寿命を延長することができる。
【００３２】
従って、インクジェット記録装置１００は、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘのノズル開口２００ｚにおけるインクの付着、混入を防止することができる。そして、このインクジェット記録装置１００は、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘへのインクの付着を防止することができることから、従来行われていたようなノズル形成面２００ｘに付着したインクのクリーニング処理が頻繁に行われないようにすることができる。
【００３３】
＜第２実施形態＞
図６は、本発明の第２実施形態としての液体噴射装置が適用されたインクジェット記録装置１００ａの記録ヘッド２００近傍の構成例を示す側面図である。尚、図６に示すインクジェット記録装置１００ａでは、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘがキャッピング装置１０７によって密封されている状態を表している。
インクジェット記録装置１００ａでは、図１〜図５において第１実施形態におけるインクジェット記録装置１００と同一の符号を付した箇所はほぼ同じ構成であるから、同一の構成は図１〜図５と共通の符号を用いてその説明を省略し、異なる点を中心として説明する。
【００３４】
第２実施形態としてのインクジェット記録装置１００ａでは、第１実施形態とは異なり、図６に示すように固定手段１５が、キャッピング装置１０７によって記録ヘッド２００のノズル形成面を密封した状態にて、吸収材９の表面上であって記録ヘッド２００からのインクの飛行曲がりによって到達するインク到達領域９ｄ（到達領域）から離間したインク非到達領域９ｃ（非到達領域）に設けられている点が特徴である。
【００３５】
すなわち、第２実施形態では、固定手段１５が、図５に示すように記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘのノズル列間領域２００ａに対向する、吸収剤９上のノズル列非対向領域９ａに設けられている代わりに、図６に示すように最も端のノズル列のノズル開口２００ｚからのインクの飛行曲がりによるインク到達領域９ｄよりも外側に設けられている点が特徴である。
上記吸収材９の表面は、上記インク到達領域９ｄ及び上記インク非到達領域９ｃを有する。インク到達領域９ｄは、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘに形成されたノズル開口から噴射されたインクが、その飛行曲がりにより吸収材９上に到達しうる領域を表している。図示の例では平面的に表しているが、実際にはインク到達領域９ｄは、記録ヘッド２００のノズル列（のノズル開口２００ｚ）に沿って帯状に広がる領域である。
【００３６】
一方、インク非到達領域９ｃは、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘに形成されたノズル開口２００ｚから噴射されたインクが、その飛行曲がりにより吸収材９上において到達し得ない領域を表している。インク到達領域９ｄと同様に図示の例では平面的に表しているが、実際にはインク非到達領域９ｃは、記録ヘッド２００のノズル列（のノズル開口２００ｚ）に沿って帯状に広がる領域である。
【００３７】
本発明の第２実施形態においては、上記固定手段１５が、上記インク到達領域９ｄではなく、上記インク非到達領域９ｃにおいて吸収材９を固定する構成となっている点が特徴的である。このような構成とすると、固定手段１５が非到達領域９ｃにおいて吸収材９を固定しているので、固定手段１５は、ノズル形成面２００ｘのノズル列のノズル開口２００ｚに対向しておらず、ノズル形成面２００ｘのノズル列から離間した部分で吸収材９を固定していることになる。このため、ノズル形成面２００ｘの各ノズル開口２００ｚから吐出されたインクは、吸収材９上の固定手段１５に当たりにくくなる。そして、このインクジェット記録装置１００ａは、ノズル開口２００ｚからのインクが固定手段１５に当たりにくいことから、固定手段１５で反射してノズル形成面２００ｘに戻って付着しないようにすることができる。
【００３８】
ここで、固定手段１５は、ノズル列非対向領域９ａに含まれるインク非到達領域９ｄにおいて吸収材９を固定する構成であっても良いことはいうまでもない。このような構成としても、固定手段１５が非到達領域９ｃで吸収材９を固定している場合とほぼ同様の効果を挙げることができる。
【００３９】
図７は、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘのノズル開口から噴射されたインクの飛行曲がりの様子の一例を示す側面図である。
線Ｌ１は、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘのノズル開口２００ｚから吐出面Ｐ１までの距離、いわゆるプラテンギャップを図示した線であり、その距離は例えば１．２ｍｍ（１２００μｍ）である。線Ｌ２は、飛行曲がりによるインク到達領域９ｄの中心からインク到達領域９ｄの端部までの距離を図示した線、つまり、飛行曲がりによる吐出位置ズレを表している。線Ｌ３は、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘに形成されたノズル開口から、飛行曲がりによるインク到達領域９ｄと非到達領域９ｃとの境界までを結んだ線を表している。また、角度θは、プラテンギャップを図示した線Ｌ１と線Ｌ３とのなす角、つまり、インクの飛行曲がり発生による角度を表している。
【００４０】
ここで、角度θ、線Ｌ１，Ｌ２の関係は、以下のように表すことができる。
ｔａｎθ＝（線Ｌ２の長さ）／（線Ｌ１の長さ）・・・（１）
と表すことができる。よって、インクの飛行曲がりθによる吐出位置ズレＬ２は、線Ｌ２の長さ＝プラテンギャップ（線Ｌ１の長さ）×ｔａｎθで表すことができる。ここで、仮に線Ｌ１の長さであるプラテンギャップ＝１．２ｍｍ（１２００μｍ），飛行曲がり角度θ＝１ｄｅｇ（度）とすれば、位置ズレ＝１２００μｍ×ｔａｎ１＝２０．９μｍである。すなわち、±１度の飛行曲がりが発生するすることにより、±２１μｍ程度インクの着弾位置がずれることになる。
【００４１】
本発明の第２実施形態においては、縦アライメントとして例えば±３５μｍを品質狙い値とすると、メカ精度を考慮しない場合、インクの飛行曲がりθ＝１．７ｄｅｇ（度）付近が飛行曲がりθの限界値であり、横アライメントとして例えば±７０μｍを品質狙い値とすると、例えばインクの飛行曲がりθ＝３．３ｄｅｇ（度）付近が飛行曲がりθの限界値である。
本発明の第２実施形態によれば、第１実施形態とほぼ同様の効果を発揮することができる。
【００４２】
＜第３実施形態＞
図８及び図９は、それぞれ本発明の第３実施形態としての液体噴射装置が適用されたインクジェット記録装置のキャッピング装置１０７ａの構成例を示す側面断面図である。
本発明の第３実施形態におけるインクジェット記録装置では、図１〜図５において第１実施形態におけるインクジェット記録装置１００とほぼ同じ構成であるから、同一の構成は図１〜図５と共通の符号を用いてその説明を省略し、以下、異なる点を中心として説明する。
【００４３】
本発明の第３実施形態におけるインクジェット記録装置は、第１実施形態と異なり、第１実施形態における図２（Ｂ）の固定手段１５に相当する図８の固定手段１５ａが、封止部材としてのキャップ部材２３と吸収材９の内部との間に配置されている点が特徴的である。具体的には、この吸収材９は、キャップ部材２３の内周面の側面から延びる固定手段１５ａが吸収材９の内部に突き刺さるように、キャップ部材２３に固定されている。つまり、このインクジェット記録装置においては、キャッピング装置１０７ａの吸収材９の表面上に、固定手段１５ａが露出していない。さらに、固定手段１５ａは、記録ヘッド２００のノズル形成面２００ｘに形成されたノズル列を構成するノズル開口２００ｚに対向していないことになる。
【００４４】
このような構成とすると、記録ヘッド２００のノズル形成面の各ノズル開口から吐出されたインクは、吸収材９の内部の固定手段１５ａに直接当たらない。そして、このインクジェット記録装置は、記録ヘッド２００のノズル形成面に形成されたノズル開口２００ｚからのインクが固定手段１５ａに直接当たらないことから、固定手段１５ａで反射してノズル形成面に戻って付着しないようにすることができる。
また、上記第３実施形態におけるインクジェット記録装置のキャッピング装置１０７ａにおいては、図９に示すように吸収材９は、吸収材９からキャップ部材２３の内周面の底部まで延びる固定手段１５ｂによってキャップ部材２３に固定されるようにしても良い。
【００４５】
図８や図９に示すように吸収材９をキャップ部材２３に固定する場合においては、それぞれ、これら固定手段１５ａ，１５ｂが吸収材９の内部におけるインクの流路を避けるように配置されているのが望ましい。このようにすると、記録ヘッド２００が噴射したインクを吸収した吸収材９の内部においてインクが効率よく流れるようになり、固定手段１５ａ，１５ｂにインクが載って吸収材９の表面にインクが露出することを防止することができる。
本発明の第３実施形態によれば、第１実施形態とほぼ同様の効果を発揮することができる。
【００４６】
＜応用例＞
図１０は、本発明の各実施形態におけるキャッピング装置の構成を、成膜装置１のキャッピング装置に適用した応用例としての成膜装置１の概要を示す模式斜視図である。
この成膜装置１は、例えば、カラーフィルタ製造用のもので、ＸＹテーブル３及び、液滴噴射ヘッドとしての液滴吐出ヘッド部４を備えている。ＸＹテーブル３は、ベース架台２上に載置されたＸ方向及びＹ方向に相対的に移動可能なテーブルである。液滴吐出ヘッド部４は、このＸＹテーブル３の上方に設けられた、機能性液滴としての液滴を被処理物の一例としての基板Ｓに対して吐出する構成となっている。
【００４７】
ＸＹテーブル３上には、例えばブラックマトリクスが形成され、未着色の状態の基板Ｓが載置される。液滴吐出ヘッド部４は、架台５に設けられた支持部材６に取り付けられたもので、赤、青、緑の各色の機能性液滴としてのインクをそれぞれ吐出する各色用の独立したヘッド４ａ・・・を有したものである。これら各ヘッド４ａ・・・には、それぞれ独立してインク供給チューブ７及び電気信号用ケーブル（ＦＦＣなど、図示せず）が接続されている。
【００４８】
インク供給チューブ７のもう一方の端部には、三方弁、溶存酸素計等を含む弁ボックス８を介してインク供給ユニット９が接続されている。
このような構成のもとに、この成膜装置１は、タンク内のインクを、インク供給チューブ７ｂ、弁ボックス８、インク供給チューブ７ａを介して液滴吐出ヘッド部４に移送することにより、ここから吐出して基板Ｓ上に塗布するようになっている。
【００４９】
本応用例における特徴的な構成を次のように示す。
まず、成膜装置１は、上記液滴吐出ヘッド部４、上記実施形態におけるキャリッジに相当する支持部材６、移動手段としての上記ＸＹテーブル３及び、キャッピング装置１０７，１０７ａを備えている。
液滴吐出ヘッド部４は、図示しない圧電振動子を有し、所定の駆動波形を前記圧電振動子に加えることで被処理物である基板Ｓに対してそれぞれインクを吐出する複数の吐出部の配列でなる吐出部列が吐出部形成面（上記実施形態におけるノズル形成面に相当）に複数形成されている。さらに、この液滴吐出ヘッド部４は、隣り合う吐出部列の間である吐出部列間領域（上記実施形態におけるノズル列間領域に相当）が設けられている。
【００５０】
支持部材６には、上述のように液滴吐出ヘッド部４が搭載されている。キャッピング装置１０７，１０７ａは、液滴吐出ヘッド部４の吐出部形成面を密封する機能を有し、このキャッピング装置１０７，１０７ａは、液滴吐出ヘッド部４の吐出部形成面を覆って封止する図示しない封止部材と、その封止部材内に配置されており機能性液滴としてのインクを吸収する吸収材と、その吸収材を前記封止部材内に固定する図示しない固定手段とを備えている。この固定手段は、キャッピング装置１０７，１０７ａによって液滴吐出ヘッド部４の吐出部形成面を密封した状態にて、上記吸収材の表面上であって上記吐出部列間領域に対向する吐出部列非対向領域に設けられている。
【００５１】
このような構成によれば、固定手段が吐出部非対向領域において吸収材を固定しているので、固定手段は、吐出部形成面の吐出部列の吐出部に対向しておらず、吐出部形成面の隣り合う吐出部列間から離間した部分で吸収材を固定していることになる。このため、吐出部形成面の各吐出部から吐出された機能性液滴は、吸収材上の固定手段に当たりにくくなる。そして、この成膜装置１は、吐出部からのインクが固定手段に当たりにくいことから、固定手段で反射して吐出部形成面に戻って付着しないようにすることができる。
従って、成膜装置１は、液滴吐出ヘッド部４の吐出部形成面の吐出部におけるインクの付着、混入を防止することができる。そして、この成膜装置１は、液滴吐出ヘッド部４の吐出部形成面へのインクの付着を防止することができることから、吐出部形成面に付着したインクのクリーニング処理が頻繁に行われないようにすることができる。
【００５２】
また、この応用例においては、上記第２実施形態のように固定手段は、キャッピング装置１０７等によって液滴吐出ヘッド部４の吐出部形成面を密封した状態にて、吸収材の表面上であって液滴吐出ヘッド部４からのインクの飛行曲がりによって到達する到達領域から離間した非到達領域に設けられているようにしても良い。このような構成とすると、本発明の第２実施形態とほぼ同様の効果を発揮することができる。
また、この応用例においては、上記第３実施形態のように固定手段は、封止部材と吸収材の内部との間に配置される構成としても良い。このような構成とすると、本発明の第３実施形態とほぼ同様の効果を発揮することができる。
【００５３】
このような構成の成膜装置１により、基板Ｓにインクを吐出してカラーフィルタを製造するには、まず、基板ＳをＸＹテーブル３上の所定位置に設置する。ここで、基板Ｓとしては、適度の機械的強度を有すると共に、光透過性が高い透明基板が用いられる。具体的には、透明ガラス基板、アクリルガラス、プラスチック基板、プラスチックフィルム及びこれらの表面処理品等が用いられる。
【００５４】
また、本応用例では、上述のような各構成の液滴吐出ヘッド部４から吐出された液滴によって、例えば図１１に示すように長方形形状の基板Ｓ上に、生産性を上げる観点から複数個のカラーフィルター領域５１をマトリクス状に形成する。これらのカラーフィルター領域５１は、後で基板Ｓを切断することにより、液晶表示装置に適用するカラーフィルターとして、図１１に示したようにＲのインク、Ｇのインク、およびＢのインクをそれぞれ所定のパターン、本応用例では、例えばストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型の他に、モザイク型やデルタ型或いはスクウェアー型等としても良い。
【００５５】
このような成膜装置１によるカラーフィルタの製造にあたっては、長期にわたって安定して液滴を吐出することができる成膜装置１を用いて製造するので、従来よりも高精度に膜厚、平坦度、形成位置などを制御された膜からなる高品位なカラーフィルタを安価に製造することが可能となる。なお、本発明の実施形態の応用例としての成膜装置１は図１０に示した構成に限定されることなく、特に液滴吐出ヘッド部４の構成は３つのヘッド４ａを備えた構成である必要はない。
【００５６】
また、上記成膜装置１は、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子の構成要素となる薄膜の形成にも用いることができる。
また、本発明の実施形態の応用例では、上記液滴吐出ヘッド部４の駆動装置から金属微粒子を含有する液状体を所望面に吐出することで、金属配線となる膜を成膜することとしてもよい。このようにすることにより、液滴吐出ヘッド部４の吐出部形成面に形成された吐出部におけるインクの混入を防止することができる成膜装置１が金属配線となる膜を製造する装置であるので、従来よりも高精度に膜厚、平坦度、形成位置などを制御された膜からなる金属配線、すなわち断線する確率が低く高密度に配置することができる金属配線を、高価な機能性液滴の一例としての液状体を浪費することなく、安価に製造することが可能となる。
【００５７】
本発明は、上記実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。例えば上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせることができる。また、本発明を適用して製造されるデバイスは上記実施形態に限られず、機能性液体を用いて所定の成膜処理を施して製造される物に広く適用される。例えば、この他に、マイクロレンズアレイの製造方法への適用などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】インクジェット記録装置の構成例を示す斜視図。
【図２】図１に示す記録ヘッド及びキャッピング装置を簡素化して図示した概略側面図及びキャッピング装置の構成例を示す上面図。
【図３】図２（Ｂ）に示すキャッピング部の構成例を示す斜視図。
【図４】図３に示す固定部材の構成例を示す平面図及び固定部材のＡ−Ａ断面図。
【図５】吸収材の固定手段とノズル開口との位置関係の一例を表す側面図。
【図６】インクジェット記録装置の記録ヘッド近傍の構成例を示す側面図。
【図７】インクの飛行曲がりの様子の一例を示す側面図。
【図８】インクジェット記録装置のキャッピング装置の構成例を示す側面断面図。
【図９】インクジェット記録装置のキャッピング装置の構成例を示す側面断面図。
【図１０】本発明の実施形態の応用例としての成膜装置の概要を示す模式斜視図。
【図１１】成膜される様子の一例を示す図。
【図１２】従来の記録ヘッド及びキャッピング装置近傍の構成例を示す側面図。
【図１３】図１２に示すキャッピング装置の構成例を示す上面図。
【符号の説明】
【００５９】
１・・・成膜装置、９・・・吸収材、９ａ・・・ノズル列非対向領域、９ｃ・・・インク非到達領域（非到達領域）、９ｄ・・・飛行曲がりによるインク到達領域（到達領域）、１５，１５ａ・・・固定手段、１００，１００ａ・・・インクジェット記録装置（液体噴射装置）、１０２・・・キャリッジ、１０６・・・記録紙、１０７，１０７ａ・・・キャッピング装置（キャッピング手段）、２００ａ・・・ノズル列間領域、２００ｘ・・・ノズル形成面
【図１】
2005169343.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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