(57)【要約】【課題】      表示用パネルの上下を逆にすることなく、修正とその確認のための点灯検査とを共通の装置で行うことを可能にすることにある。【解決手段】  表示用パネルの処理装置は、表示用パネルをこれの薄膜トランジスタ及び配線が光フィルタより下側となる状態に共同して受ける複数のパネル受けと、少なくとも２つのパネル受けけに個々に対応して備えられた少なくとも２つのプローブブロックであって表示用パネルの電極の上方側に接触子を押圧可能のプローブブロックと、表示用パネルの被処理箇所に照明用光線を上方から照射するバックライトと、表示用パネルの下方側に配置された処理ユニットとを含む。前記処理ユニットは、被処理箇所に処理用のレーザ光線を下方側から照射するレーザ発生器と、被処理箇所を下方側から撮影するビデオカメラとを含む。【選択図】          図３
2005227652.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示用パネルをこれの薄膜トランジスタ及び配線が光フィルタより下側となる状態に共同して受ける複数のパネル受けと、少なくとも２つの前記パネル受けに個々に対応して備えられた少なくとも２つのプローブブロックであって前記表示用パネルの電極の上方側に接触子を押圧可能のプローブブロックと、前記表示用パネルの被処理箇所に照明用光線を上方から照射するバックライトと、前記表示用パネルの下方側に配置された処理ユニットとを含み、
前記処理ユニットは、前記被処理箇所に処理用のレーザ光線を下方側から照射するレーザ発生器と、前記被処理箇所を下方側から撮影するビデオカメラとを含む、表示用パネルの処理装置。
【請求項２】
さらに、前記パネル受けを前記パネルと平行の面内で相寄り相離れる方向へ移動させる第１の移動機構を含む、請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
さらに、前記表示用パネルの縁部を検出すべく前記パネル受けに配置された少なくとも１つのエッジセンサを含む、請求項１に記載の処理装置。
【請求項４】
さらに、前記バックライトを前記表示用パネルと平行の面内で二次元的に移動させる第２の移動機構とを含む、請求項１から３のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項５】
さらに、前記処理ユニットを前記表示用パネルと平行の面内で二次元的に移動させる第３の移動機構を含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項６】
前記処理ユニットは、さらに、前記表示用パネルを前記パネル受けに対し受け渡す受け渡し装置を含む、請求項１から５のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項７】
前記処理ユニットは、さらに、前記レーザ光線のための第１の光学系と、前記ビデオカメラへの入射光線のための第２の光学系と、前記第１の光学系を経る前記レーザ光線を前記被処理箇所に指向させかつ前記被処理箇所からの光線を前記第２の光路に案内する第３の光学系とを含む、請求項１から６のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項８】
前記処理ユニットは、さらに、照明用の光線を前記被処理箇所に前記第２及び第３の光学系を介して指向させる照明用光線発生器を含む、請求項７に記載の処理装置。
【請求項９】
前記処理ユニットは、さらに、前記表示用パネルと平行な面内における当該処理ユニットと前記被処理箇所との相対的位置決めに用いる位置決め用光線を前記第１及び第３の光学系を介して前記被処理箇所に指向させる位置決め用光線発生器を含む、請求項７に記載の処理装置。
【請求項１０】
前記第３の光学系は、倍率が異なる複数のレンズ系であって選択的に使用される複数のレンズ系を含む、請求項８又は９に記載の処理装置。
【請求項１１】
各パネル受けは、上下方向へ伸びる支持部材と、前記表示用パネルを受けるべく前記支持部材の下端から相手のパネル受けに向けて伸びる受け片と、前記表示用パネルの縁部に当接可能に前記受け片に配置された位置決め部材とを含む、請求項１から１０のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項１２】
さらに、各プローブブロックを前記パネル受けに昇降可能に組み付けている昇降機構を含む、請求項１から１１のいずれか１項に記載の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような表示用パネルの検査及び修正を行うことが可能の処理装置に関する。
【０００２】
用語の定義
本発明においては、パネル受けに受けた表示用パネルの厚さ方向を上下方向といい、その上下方向に交差する方向を水平方向という。また、以下の説明においては、水平方向における一方をＸ方向といい、他方向をＹ方向という。
【背景技術】
【０００３】
液晶表示パネルは、一般に、電極に配線を介して個々に接続された複数の薄膜トランジスタの側の基板と、カラーフィルタのような光フィルタの側の基板との間に液晶層を配置している。各表示画素は、薄膜トランジスタ及び配線により電極に対応されている。
【０００４】
そのような表示用パネルは、製造過程の途中及び終了時に、点灯状態が基準を満たしているか否かの点灯検査をされる。この点灯検査は、表示用パネルを背後（トランジスタの側）から照明した状態で、所定の薄膜トランジスタに通電することにより行われる。
【０００５】
この種の検査を行う点灯検査装置の１つとして、特許文献１に記載されたものがある。この点灯検査装置は、薄膜トランジスタ及び配線が液晶層及び光フィルタより下方側に位置するように表示用パネルを処理テーブルに受け、処理テーブルの上方に配置されたプローブユニットの接触子（プローブ）を表示用パネルの電極に押圧し、処理テーブルに配置されたバックライトユニットにより表示用パネルを下方から照明した状態で所定の電極に通電する。
【０００６】
点灯検査の結果、不良品となった表示用パネルは、良品と区別される。しかし、そのような不良品であっても、不良の発生具合によっては、薄膜トランジスタ又は配線の接続状態を修正することにより、上記基準を満たして良品となるものがある。
【０００７】
そのような修正を行う修正装置の１つとして、特許文献２に記載されたものがある。この修正装置は、レーザ光線を異常の表示画素に対応する配線や薄膜トランジスタ等の被処理箇所に照射して、異常の表示画素とそれに対応する電極との接続回線を変更することにより行われる。
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−１６０６２９号公報
【特許文献２】特開２００１−９１９１９号公報
【０００９】
しかし、上記点灯検査装置は、点灯検査機能は有するが、修正機能を有していない。また、上記修正装置は、修正機能は有するが、点灯検査機能を備えていない。このため、従来では、点灯検査装置により異常表示画素を見つけ、その異常表示画素を修正装置により修正せざるを得なかった。
【００１０】
また、１つの装置で、修正と修正結果の確認のための点灯検査とを実行可能にしようとすると、表示用パネルを裏返す作業及び装置が必要になり、その作業が面倒であり、装置自体が複雑化する。
【００１１】
一方、表示用パネルにおいては、商品の完全性を維持する上では、被処理箇所が正しく修正されたか否かを確認することが重要である。しかし、従来では、そのような確認は、上記特許文献１に記載されているような点灯検査装置により行わざるを得なかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明の目的は、表示用パネルの上下を逆にすることなく、修正とその確認のための点灯検査とを共通の装置で行うことを可能にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る、表示用パネルの処理装置は、表示用パネルをこれの薄膜トランジスタ及び配線が光フィルタより下側となる状態に共同して受ける複数のパネル受けと、少なくとも２つの前記パネル受けに個々に対応して備えられた少なくとも２つのプローブブロックであって前記表示用パネルの電極の上方側に接触子を押圧可能のプローブブロックと、前記表示用パネルの被処理箇所に照明用光線を上方から照射するバックライトと、前記表示用パネルの下方側に配置された処理ユニットとを含む。前記処理ユニットは、前記被処理箇所に処理用のレーザ光線を下方側から照射するレーザ発生器と、前記被処理箇所を下方側から撮影するビデオカメラとを含む。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の処理装置においては、接触子を表示用パネルの電極の上方側に押圧すると共に、バックライトからの光線を被処理箇所に上方側から照射するのに対し、処理用のレーザ光線の発生器と被処理箇所を撮影するカメラとを表示用パネルの下方側に配置している。
【００１５】
このため、不良となった表示用パネルを薄膜トランジスタ及び配線が光フィルタより下側となる状態にパネル受けに受け、レーザ光線を異常の表示画素に対応する被処理箇所に下方側から照射してその被処理箇所の加工処理を行って、異常の表示画素とそれに対応する電極との接続回線を変更することにより、表示用パネルを修正することができる。
【００１６】
また、修正した表示用パネルを上記のようにパネル受けに配置した状態で、被処理箇所にプローブブロックを下降させて接触子を被処理箇所に対応する電極の上方側に押圧し、バックライト光源からの光を被処理箇所にその情報から照射すると共に、被処理箇所を下側から撮影することにより、修正結果のための確認をすることができる。
【００１７】
上記の結果、本発明によれば、表示用パネルの上下を逆にすることなく、修正用のレーザ光線が光フィルタに照射することを防止することができると共に、修正とその確認のための点灯検査とを共通の装置で行うことができる。
【００１８】
処理装置は、さらに、前記パネル受けを前記パネルと平行の面内で相寄り相離れる方向へ移動させる第１の移動機構を含むことができる。そのようにすれば、パネル受けを相寄り相離れる方向に移動させて、パネル受けに対する表示用パネルの受け渡しを確実に行うことができる。
【００１９】
処理装置は、さらに、前記表示用パネルの縁部を検出すべく前記パネル受けに配置された少なくとも１つのエッジセンサを含むことができる。そのようにすれば、エッジセンサが表示用パネルの縁部を検出した位置でパネル受けを停止させることにより、パネル受けが相寄る方向へ移動されたときに大きな負荷が表示用パネルに作用することを防止することができる。
【００２０】
処理装置は、さらに、前記バックライトを前記表示用パネルと平行の面内で二次元的に移動させる第２の移動機構を含むことができる。そのようにすれば、被処理箇所がバックライトからの光線により確実に照明されるから、ビデオカメラによる被処理箇所の像が鮮明になる。
【００２１】
処理装置は、さらに、前記処理ユニットを前記表示用パネルと平行の面内で二次元的に移動させる第３の移動機構を含むことができる。
【００２２】
前記処理ユニットは、さらに、前記表示用パネルを前記パネル受けに対し受け渡す受け渡し装置を含むことができる。
【００２３】
前記処理ユニットは、さらに、前記レーザ光線のための第１の光学系と、前記ビデオカメラへの入射光線のための第２の光学系と、前記第１の光学系を経る前記レーザ光線を前記被処理箇所に指向させかつ前記被処理箇所からの光線を前記第２の光路に案内する第３の光学系とを含むことができる。
【００２４】
前記処理ユニットは、さらに、照明用の光線を前記被処理箇所に前記第２及び第３の光学系を介して指向させる照明用光線発生器を含むことができる。そのようにすれば、レーザ光線による処理前又は処理中に被処理箇所をビデオカメラで撮影することにより、レーザ光線の照射位置の確認又は処理状態の確認をすることができる。
【００２５】
前記処理ユニットは、さらに、前記表示用パネルと平行な面内における当該処理ユニットと前記被処理箇所との相対的位置決めに用いる位置決め用光線を前記第１及び第３の光学系を介して前記被処理箇所に指向させる位置決め用光線発生器を含むことができる。そのようによれば、レーザ光線の照射位置を容易にかつ正確に決めることができる。
【００２６】
前記第３の光学系は、倍率が異なる複数のレンズ系であって当該第３の光学系の光路に選択的に移動可能の複数のレンズ系を含むことができる。そのようにすれば、ビデオカメラによる撮影範囲を容易に変更することができるから、レーザ光線の照射位置合わせや、ビデオカメラの出力信号による処理結果の確認が容易になる。
【００２７】
各パネル受けは、上下方向へ伸びる支持部材と、前記表示用パネルを受けるべく前記支持部材の下端から相手のパネル受けに向けて伸びる受け片と、前記表示用パネルの縁部に当接可能に前記受け片に配置された位置決め部材とを含むことができる。
【００２８】
処理装置は、さらに、各プローブブロックを前記パネル受けに昇降可能に組み付けているブロック昇降機構を含むことができる。そのようにすれば、表示用パネルをプローブブロックに対し昇降させる場合に比べ、昇降機構が簡略になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
図１〜図５を参照するに、処理装置１０は、複数の電極を矩形の隣り合う二対の辺のそれぞれに備える表示用パネル１２の修正とその確認のための点灯検査とに用いられる。図示の例では、表示用パネル１２は、長方形の平面形状を有している。
【００３０】
表示用パネル１２は、図示の例では、電極、配線及び薄膜トランジスタ（いずれも、図示せず）が配置された基板１４と、カラーフィルタのような光フィルタが配置された基板１６との間に液晶層（図示せず）を配置した液晶表示パネルである。
【００３１】
表示用パネル１２は、電極、配線、薄膜トランジスタ及び光フィルタが液晶に重なるように、基板１４及び１６を配置している。各表示画素は、薄膜トランジスタ及び配線により電極に対応されている。
【００３２】
処理装置１０は、複数の長尺部材を用いたフレーム１８を支持体として用い、表示用パネル１２を共同して水平に受ける４つのパネル受け２０をパネル受け移動機構２２によりフレーム１８に取り付け、パネル受け２０に個々に対応するプローブブロック２４をパネル受け移動機構２２に取り付けている。
【００３３】
図示の例では、Ｘ方向及びＹ方向は、それぞれ、図２において左右方向及び上下方向である。４つのパネル受け２０は、表示用パネル１２の対向する縁部を受けるように、Ｘ方向に間隔をおいた組とＹ方向に間隔をおいた組とに分けられている。
【００３４】
プローブブロック２４は、パネル受け２０に個々に対応されており、したがってパネル受け２０と同様にＸ方向に間隔をおいた組とＹ方向に間隔をおいた組とに分けられている。
【００３５】
パネル受け移動機構２２は、Ｘ方向の組の一方の（図２において、左方に位置する）パネル受け２０をＸ方向及びＹ方向のいずれにも移動不能に支持しており、また他方のパネル受け２０をＸ及びＹの両方向へ二次元的に移動させる。
【００３６】
これに対し、パネル受け移動機構２２は、Ｙ方向の組の一方の（図２において、上方に位置する）パネル受け２０をＸ方向へ移動させ、他方のパネル受け２０をＸ及びＹの両方向へ二次元的に移動させる。
【００３７】
上記のようなパネル受け移動機構２２として、例えば、フレーム１８に取り付けられた１以上のガイドレール２６と、ガイドレール２６に移動可能に組み付けられたガイド部材２８と備えたリニアガイドを、移動不能のパネル受けを除くパネル受け２０毎に１以上備え、モータを駆動源とする駆動機構３０により各ガイド部材２８を移動させるボールねじ機構を用いることができる。
【００３８】
しかし、固定子及び可動子を備えたリニアモータのような既知の他の移動装置をパネル受け移動機構２２として用いてもよい。
【００３９】
図示の例では、パネル受け移動機構２２は、表示用パネル１２を図２における左上隅に維持させるように、パネル受け２０を対応するガイド部材２８により移動させる。
【００４０】
移動不能のパネル受け２０に対応するプローブブロック２４は、パネル受け移動機構２２の他のガイド部材２８によりによりＹ方向へ移動される。
【００４１】
移動不能のパネル受け２０に対応するプローブブロック２４をパネル受け移動機構２２の他のガイド部材２８に取り付ける代わりに、移動不能のパネル受け２０をパネル受け移動機構２２の他のガイド部材２８に取り付けてＹ方向へ移動させるようにしてもよい。
【００４２】
各パネル受け２０は、上下方向へ伸びる支持部材３２と、表示用パネル１２を受けるように支持部材３２の下端から対応する組の相手のパネル受け２０に向けて水平に伸びる受け片３４と、受けた表示用パネル１２の縁部に当接可能に受け片３４の上に配置された位置決め部材３６とを含む。支持部材３２と受け片３４とをＬ字状の一体の部材であってもよい。
【００４３】
移動不能のパネル受け２０の支持部材３２はパネル移動機構２２のベース３８に取り付けられており、他のパネル受け２０は対応するリニアモータのガイド部材２８に取付部材４０により取り付けられている。
【００４４】
各プローブブロック２４は、プローブ針のような複数の接触子４２を有している。接触子４２の先端は、マトリクス状に配列されており、また対応するプローブブロック２４から下方に突出されている。
【００４５】
移動不能のパネル受け２０に対応するプローブブロック２４は、取付部材４０及びブロック昇降機構４４により、パネル受け移動機構２２の他のリニアモータのガイド部材２８に取り付けられている。これにより、このプローブブロック２４は、移動不能のパネル受け２０に関係付けて配置されている。
【００４６】
他のプローブブロック２４は、ブロック昇降機構４４により、又は取付部材４０とガイド部材２８とを介して、対応するパネル受け２０の支持部材３２に取り付けられている。これにより、これらのプローブブロック２４は、移動可能のパネル受け２０に関係付けて配置されている。
【００４７】
各プローブブロック２４は、パネル受け２０に受けられた表示用パネル１２より上方に位置されており、ブロック昇降機構４４により昇降される。各ブロック昇降機構４４としては、リニアモータ、ボールねじ機構、シリンダ機構、ソレノイド機構等、既知の装置を用いることができる。
【００４８】
処理装置１０は、また、表示用パネル１２の被処理箇所に照明用光線を上方から照射するバックライト４６をバックライト移動機構４８によりフレーム１８に取り付けている。バックライト４６は、白色光源を用いている。
【００４９】
バックライト移動機構４８は、バックライト４６をパネル受け移動機構２２の上方においてＸ及びＹの両方向へ二次元的に移動させる。このため、バックライト移動機構４８は、バックライト４６をＸ方向へ移動させるＸ移動機構と、Ｙ方向へ移動させるＹ移動機構とを備える。
【００５０】
図示の例では、Ｘ移動機構は１つのボールねじ機構を用い、Ｙ移動機構は２つのボールねじ機構を用いている。各ボールねじ機構は、ガイドレール５０と、このガイドレール５０に移動可能に組み付けられたガイド部材５２と、ガイド部材を移動させる駆動機構（図示せず）とを備えている。
【００５１】
Ｙ移動機構は、両ボールねじ機構のガイドレール５０を、これらがＹ方向へ伸びる状態に、Ｙ方向に間隔をおいて取付部材５４によりフレーム１８に取り付けている。Ｙ移動機構のガイド部材５２は、長尺部材５６により連結されている。
【００５２】
これに対し、Ｘ移動機構は、これのガイドレール５０を、これがＸ方向へ伸びる状態に、長尺部材５６に取り付けている。Ｘ移動機構のガイド部材５２は、図示していない。Ｘ移動機構のガイド部材５２には、支持部材５８が取り付けられている。バックライト４６は、光線を上方から下方へ放出する状態に支持部材５８に取り付けられている。
【００５３】
処理装置１０は、さらに、表示用パネル１２をこれの下側から処理する処理ユニット６０をユニット移動機構６２によりフレーム１８に表示用パネル１２の下方側において表示用パネル１２と平行の面内で二次元的に移動可能に取り付けている。
【００５４】
処理ユニット６０は、表示用パネル１２の受け渡し装置６４と、光処理ユニット６６とを含む。
【００５５】
受け渡し装置６４は、表示用パネル１２を上端に受けて昇降させる６つのパネルリフター６８を備えている。そのようなパネルリフター６８として、シリンダ機構、ソレノイド機構を用いることができる。
【００５６】
光処理ユニット６６は、図６及び図７に示すように、当該光処理ユニット６６と表示用パネル１２の被処理箇所との相対的な位置決めに用いる位置決め用光線を発生する光線発生器７０と、処理用のレーザ光線を発生するレーザ発生器７２と、表示用パネル１２の被処理箇所を撮影するビデオカメラ７４と、表示用パネル１２の被処理箇所の照明に用いる光線を発生する光線発生器７６とを筐体７８内に配置し、倍率が異なる複数の対物レンズ系８０を筐体７８の上端に取り付けている。
【００５７】
位置決め用光線は、光線発生器７０から、ハーフミラー８２、絞り８４、集光レンズ８６及びビームスプリッター８８を介していずれかの対物レンズ系８０に達し、その対物レンズ系８０から表示用パネル１２の下面に、微小スポットの位置決め用光線として照射される。
【００５８】
レーザ光線は、レーザ発生器７２から、ミラー９０、ハーフミラー８２、絞り８４、集光レンズ８６及びビームスプリッター８８を介していずれかのレンズ系８０に達し、そのレンズ系８０から表示用パネル１２の下面に、微小スポットの処理用光線として照射される。
【００５９】
照明用光線は、光線発生器７６から、ハーフミラー９２、ミラー９４及びビームスプリッター８８を介していずれかの対物レンズ系８０に達し、そのレンズ系８０から表示用パネル１２の下面に、位置決め用及び処理用の光線よりやや大きいスポットの照明用光線として照射される。
【００６０】
被処理箇所からの光線は、いずれかの対物レンズ系８０と、ビームスプリッター８８、ミラー９４、ハーフミラー９２及び集光レンズ９６を介してビデオカメラ７４に入射する。
【００６１】
対物レンズ系８０の選択は、図６に示すように、対物レンズ系８０以外の光学機器を、光線発生器７０、レーザ発生器７２、ハーフミラー８２及びミラー９０を含むレーザユニット１００、ビデオカメラ７４及び光線発生器７６を含むカメラユニット１０２、並びに残りの機器を含むレンズユニット１０４にユニット化し、それらのユニットを単一の光学系組立体１０６に組み立て、その光学系組立体１０６を組立体移動機構１０８により少なくとも一方向（図示の例では、Ｙ方向）に移動させることにより、行うことができる。
【００６２】
対物レンズ系８０の選択は、上記の代わりに、図７に示すように、対物レンズ系８０を対物レンズ系移動機構１１０により、Ｙ方向に移動させることにより、行うことができる。対物レンズ系８０は、Ｙ方向に一列に整列されている。
【００６３】
上記いずれの場合も、移動機構１０８及び１１０として、リニアモータ、ボールねじ機構、シリンダ機構、ソレノイド機構等、既知の移動装置を用いることができる。
【００６４】
ユニット移動機構６２も、リニアモータ、ボールねじ機構、シリンダ機構、ソレノイド機構等、既知の二次元的移動装置を用いることができる。図示の例では、モータを駆動源とするボールねじ機構を用いている。
【００６５】
次に、処理装置１０の動作について説明する。
【００６６】
処理装置１０において、処理すべき表示用パネル１２は、図８に示すように、各プローブブロック２４が上昇され、各組のパネル受け２２及び各組のプローブブロック２４が大きく離間され、各パネルリフター６８が下げられた状態において、搬送ロボットにより、処理ユニット６０の上方に搬送される。
【００６７】
Ｙ方向の組の一方のパネル受け２０は、パネル受け移動機構２２により、図２において左上隅の方向へ予め移動されている。これにより、表示用パネル１２をＸ方向の一方のパネル受け２０とＹ方向の一方のパネル受け２０とに受ける準備が完了されている。
【００６８】
上記状態で、図９に示すように、各パネルリフター６８が上昇されて、表示用パネル１２を搬送ロボットから受け取り、その表示用パネル１２をさらにパネル受け２０の高さ位置よりやや上方に上昇させる。この時点において、搬送ロボットは後退される。
【００６９】
次いで、処理ユニット６０がユニット搬送機構６２により、表示用パネル１２を図１０に示すように左上の２つのパネル受け２０に渡すように、移動される。
【００７０】
ユニット移動機構２２による処理ユニット６０の移動は、Ｙ方向の一方のパネル受け２０に備えられたエッジセンサ１１２が表示用パネル１２の縁部を感知したことにより、停止される。これにより、表示用パネル１２は、図１０において左上の２つの縁部がパネル受け２０の受け片３４とプローブブロック２４との間に位置する状態に、移動される。
【００７１】
次いで、残りの２つのパネル受け２０がパネル受け移動機構２２により表示用パネル１２に向けて移動される。
【００７２】
残りの２つのパネル受け２０の移動は、Ｙ方向の他方のパネル受け２０に備えられたエッジセンサ１１２が表示用パネル１２の縁部を感知したことにより、停止される。これにより、表示用パネル１２は、図１１において右下の２つの縁部を残りのパネル受け２０の受け片３４とプローブブロック２４との間に位置される。
【００７３】
上記両エッジセンサ１１２として、発光素子と受光素子とを用いた光学的センサ、リミットスイッチのような機械的センサ等を用いることができる。また、同種のエッジセンサをＸ方向の組のパネル受け２０にも配置してもよい。
【００７４】
上記の結果、表示用パネル１２は、矩形の各縁部がパネル受け２０の受け片３４からわずかに浮き上がり、かつ矩形の各辺に対応する側部をパネル受け２０の位置決めピン３６に当接させた状態に維持される。このため、表示用パネル１２は、各組のパネル受け２０の位置決めピン３４により位置決められる。
【００７５】
次いで、図１２に示すように、各パネルリフター６８が下降されて、表示用パネル１２がパネル受け２０に渡される。
【００７６】
次いで、図１２に示すように、レーザ発生器７２からのレーザ光線１１４が表示パネル１２の処理すべき箇所（被処理箇所）に照射するように、処理ユニット６０がユニット移動機構６２により表示用パネル１２と平行の面内で、二次元的に移動される。
【００７７】
被処理箇所の特定は、例えば、光線発生器７０からの位置決め用光線を表示用パネル１２に照射して、その照射箇所をビデオカメラ７４で撮影し、ビデオカメラ７４の出力信号を画像処理することにより、行うことができる。この際、光線発生器７６からの照明用光線を表示用パネル１２に照射してもよい。
【００７８】
次いで、図１２に示すように、処理用のレーザ光線１１４が被処理箇所に照射される。処理の間、光線発生器７６からの照明用光線を表示用パネル１２に照射して、処理状態をビデオカメラ７４により撮影して観察してもよい。
【００７９】
被処理箇所は、異常の表示画素に対応する配線や薄膜トランジスタの部分である。レーザ光線１１４による処理は、被処理箇所をレーザ光線１１４により切断又は溶接する加工処理である。これにより、異常の表示画素とそれに対応する電極との接続回線が変更される。処理の終了は、ビデオカメラ７４の出力信号を用いて行うことができる。
【００８０】
次いで、図１２に示すように、バックライト４６からの照明用光線１１６が表示用パネル１２の被処理箇所に照射するように、バックライト４６がバックライト移動機構４８により移動されると共に、プローブブロック２４が下降される。これにより、各プローブブロック２４の複数の接触子４２がそれらの針先を表示用パネル１２の電極に押圧され、それらの電極に通電される。
【００８１】
次いで、上記状態で、点灯検査が行われる。点灯検査は、照明用光線１１６を異常の表示画素及びその周囲に照射すると共に、各プローブに通電し、異常の表示画素及びその周囲をビデオカメラ７４により撮影することにより、行われる。
【００８２】
実際に確認は、撮影した画像をモニタに表示して人手により確認するか、又はビデオカメラ７４の出力信号の画像処理をすることにより、行うことができる。
【００８３】
処理が終了すると、各プローブブロック２４が上昇された状態で、パネルリフター６８が上昇されて、表示用パネル１２をパネル受け２０から受け渡し装置６４に受け取る。その後、表示パネル１２受け渡し装置６４から搬送ロボットに渡され、処理ユニット６０及び各パネル受け２０は待機位置に戻される。
【００８４】
上記の結果、処理装置によれば、表示用パネル１２の上下を逆にすることなく、修正用のレーザ光線が光フィルタに照射することを防止することができると共に、修正とその確認のための点灯検査とを共通の装置で行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００８５】
上記の実施例は、ビデオカメラを用いる自動点灯検査の場合であるが、本願発明は作業者の目視による目視点灯検査にも適用することができる。
【００８６】
また、本発明は、表示用パネルの受け渡しを、受け渡し装置により自動的に行う装置のみならず、作業者の手で行う装置にも適用することができる。さらに、本発明は、表示用パネルを、水平の状態で処理する装置のみならず、斜めの状態で処理する装置にも適用することができる。
【００８７】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本願発明に係る処理装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】図１に示す処理装置の平面図である。
【図３】図２における３−３線に沿って得た断面図である。
【図４】図３における一部拡大断面図である。
【図５】図１に示す処理装置の一部を断面して示す斜視図である。
【図６】図１の処理装置における光処理ユニットの一実施例を示す断面図である。
【図７】図１の処理装置における光処理ユニットの他の実施例を示す概略図である。
【図８】図１に示す処理装置の動作を説明するための正面図である。
【図９】図８に続く動作を説明するための正面図である。
【図１０】図９に続く動作を説明するための平面図である。
【図１１】図１０に続く動作を説明するための平面図である。
【図１２】図１１に続く動作を説明するための平面図である。
【符号の説明】
【００８９】
１０  処理装置
１２  表示用パネル
２０  パネル受け
２２  パネル受け移動機構
２４  プローブブロック
３２  支持部材
３４  受け片
３６  位置決め部材
４２  接触子
４４  ブロック移動機構
４６  バックライト
４８  バックライト移動機構
６０  処理ユニット
６２  ユニット移動機構
６４  受け渡し装置
６６  光処理ユニット
６８  パネルリフター
７０  光線発生器
７２  レーザ発生器
７４  ビデオカメラ
７６  光線発生器
７８  筐体
８０  対物レンズ系
【図１】
2005227652.tif 000003
【図２】
2005227652.tif 000004
【図３】
2005227652.tif 000005
【図４】
2005227652.tif 000006
【図５】
2005227652.tif 000007
【図６】
2005227652.tif 000008
【図７】
2005227652.tif 000009
【図８】
2005227652.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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