(57)【要約】【課題】  基板の撓みに関係なく、基板を安定的に支持することを可能とする、大型基板用カセットを提供する。【解決手段】  基板１の両側部に位置する領域に側面支柱１３０をそれぞれ有し、それぞれの側面支柱１３０には、基板１の両側近傍領域において、基板１の搬入搬出方向に沿って、基板１を下面側から線状に受けて支持するための基板支持部材１５０が設けられている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面側から基板の出し入れを可能とし、この基板を積層状態に収容するための基板用カセットであって、
基板の両側部に位置する領域に側部フレームをそれぞれ有し、
それぞれの前記側部フレームには、基板の両側近傍領域において、基板の搬入搬出方向に沿って、基板を下面側から線状に受けて支持するための基板支持部材が設けられている、基板用カセット。
【請求項２】
前記側部フレームから、前記基板支持部材が延びる方向に対して交差する方向に延び、同一高さに複数設けられる支持アームを有し、
前記基板支持部材は、同一高さに設けられた複数の前記支持アームに取付けられている、請求項１に記載の基板用カセット。
【請求項３】
前記基板支持部材は、
基板の搬入搬出方向に沿って延びる線状の基板受部材と、
前記基板受部材の長手方向に沿って設けられ、基板に直接接する基板保護部材とを有する、請求項１または２に記載の基板用カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板用カセットに関し、より特定的には、基板用カセットの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等にはガラス基板が用いられているが、その製造プロセスにおいては、工程間におけるガラス基板の搬送・ストック等のために、このガラス基板を複数枚蓄積させた状態で保持する基板用カセットが用いられる。
【０００３】
この基板用カセットとしては、以下に示す特許文献１等に開示されるものがある。特許文献１に開示される基板用カセットは、側板の両側面から内方に向かって延びる長尺リブを張出させ、基板の両側面側から基板を支持する構造が採用されている。
【０００４】
近年、フラットパネルディスプレイ等の大型化が進んでおり、たとえば、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板の大きさは、従来は、１１００ｍｍ（短辺寸法）×１３００ｍｍ（長辺寸法）が最大サイズであったが、より大きくなり、１５００（短辺寸法）×１８００（長辺寸法）、１８００ｍｍ（短辺寸法）×２１００ｍｍ（長辺寸法）等が考えられており、その後も、ガラス基板の大きさは加速的に大型化されるものと思われる。その結果、ガラス基板の大型化に伴い基板用カセットも大型化することになる。
【０００５】
また、ガラス基板の厚さについても、今後は薄型化されるものと思われる。そのため、基板の大型化および薄型化により、基板の自重による撓みも無視することのできない問題となる。
【０００６】
ここで、上記特許文献１に開示された基板用カセットを基板用カセットとして適用した場合には、両側から延びるようにリブが設けられ、基板の中央領域が撓んだ場合には、リブの先端部分でのみの点受状態となり、基板の支持が不安定となってしまう。
【特許文献１】特開２００１−１４６２９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、この発明が解決しようとする課題は、基板が撓んだ場合の基板支持の不安定化にある。よって、この発明は、基板が撓んだ場合であっても、安定的に基板を支持することが可能な構造を有する、基板用カセットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に基づいた基板においては、前面側から基板の出し入れを可能とし、この基板を積層状態に収容するための基板用カセットであって、基板の両側部に位置する領域に側部フレームをそれぞれ有し、それぞれの上記側部フレームには、基板の両側近傍領域において、基板の搬入搬出方向に沿って、基板を下面側から線状に受けて支持するための基板支持部材が設けられている。
【０００９】
また、上記基板用カセットにおいて、他の形態としては、上記側部フレームから、上記基板支持部材が延びる方向に対して交差する方向に延び、同一高さに複数設けられる支持アームを有し、上記基板支持部材は、同一高さに設けられた複数の上記支持アームに取付けられている。
【００１０】
また、上記基板用カセットにおいて、他の形態としては、上記基板支持部材は、基板の搬入搬出方向に沿って延びる線状の基板受部材と、上記基板受部材の長手方向に沿って設けられ、基板に直接接する基板保護部材とを有している。
【発明の効果】
【００１１】
この発明に基づいた基板用カセットによれば、基板の両側近傍領域において、基板の搬入搬出方向に沿って、基板を下面側から線状に受けて支持するための基板支持部材を有することにより、基板がその自重により、中央領域が下方に撓んだ場合であっても、基板支持部材が前後方向に延びるように配置されていることから、基板の両端部が反り上がっても、基板支持部材による基板の支持状態（支持面積）に変化を与えることはない。その結果、基板の撓みの有無に関係なく、基板を安定的に支持することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、この発明に基づいた各実施の形態における基板用カセットの構造について、以下図を参照しながら説明する。
【００１３】
（実施の形態１）
まず、図１および図２を参照して、実施の形態１における基板用カセット１００の概略構成について説明する。なお、図１は、本実施の形態における基板用カセット１００の構成を示す全体斜視図であり、図２は、本実施の形態における基板用カセット１００の内部構成のみを抜き出した斜視図である。なお、便宜上、一部図示を省略して示している。
【００１４】
図１および図２を参照して、この基板用カセット１００は、一例として、１５００ｍｍ（短辺寸法）×１８００ｍｍ（長辺寸法）、１８００ｍｍ（短辺寸法）×２１００ｍｍ（長辺寸法）等の大きさを備えるガラス基板１をその前面側からの出し入れを可能とし（図中矢印方向）、このガラス基板１を積層状態に収容することを目的としており、底面外枠フレーム１１０と、上面外枠フレーム１２０と、この底面外枠フレーム１１０と上面外枠フレーム１２０を連結するように、側部フレームとして複数の側面支柱１３０が配置されている。
【００１５】
また、底面外枠フレーム１１０と上面外枠フレーム１２０との間の搬入方向後部側には、基板の進行を阻止するためのストッパピン１３５が設けられている。
【００１６】
側面支柱１３０からは、基板の搬入搬出方向に対して交差する方向に延びるように、支持アーム１４０が複数配置されている。本実施の形態においては、側面支柱１３０を上下方向に延びるように設けられていることから、支持アーム１４０も、各側面支柱１３０に対して上下方向に所定のピッチで取付けられている。各側面支柱１３０に設けられる支持アーム１４０は、対応する支持アーム１４０の高さが同一高さとなるように設けられている。
【００１７】
各側面において、同一高さとなる支持アーム１４０には、一本の基板支持部材１５０がそれぞれ取付けられている。この基板支持部材１５０は、基板１の搬入搬出方向に沿って、基板１を下面側から線状に受けて支持するため、基板１の搬入搬出方向に沿って線状に延びる形態を有している。対向する位置に設けられる基板支持部材１５０も、同一の高さとなるように設けられることで、基板１を下面側から支持するための仮想支持面が形成されることになる。本実施の形態においては、支持アーム１４０の長さは、１００ｍｍ〜２００ｍｍ程度、側面支柱１３０への取り付け高さピッチは、３０ｍｍ〜４０ｍｍ程度である。
【００１８】
対向する基板支持部材１５０の間の距離は、本実施の形態ではすべて同じ間隔となるように設けているが、支持アーム１４０の長さを異なるものとすることで、対向する基板支持部材１５０の間の距離を、高さ位置において異ならせることも可能である。
【００１９】
底面外枠フレーム１１０、上面外枠フレーム１２０、支持アーム１４０、および、側面支柱１３０はいずれも、ステンレス、アルミ、樹脂等、炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料等が用いられる。
【００２０】
なお、側面支柱１３０の高さ方向に沿って同一ピッチで支持アーム１４０および基板支持部材１５０が配列されるものであるが、構造の理解を容易にするため、一部二点差線により図示を省略している。本実施の形態においては、２０枚のガラス基板１を積層収納可能なように、上下方向に２０段の基板支持部材１５０が設けられている。
【００２１】
（基板支持部材１５０の取り付け）
次に、図３および図４を参照して、基板支持部材１５０の支持アーム１４０への取り付け構造について説明する。図３は、支持アーム１４０と基板支持部材１５０との連結部分の状態を示す部分拡大斜視図であり、図４は、支持アーム１４０と基板支持部材１５０との連結部分の状態を示す分解側面図である。
【００２２】
両図を参照して、支持アーム１４０の先端部分には、軸方向にあらかじめ雌ネジ１４０ａが形成されており、基板支持部材１５０に設けられたネジ穴１５１ａに固定ボルト１６０を貫通させて、ネジ穴１５１ａに固定ボルト１６０を締付けることにより、支持アーム１４０の先端部分に基板支持部材１５０が固定されることになる。なお、ボルトによる固定はあくまでも一例であり、Ｃ型止め輪等を用いた固定方法の採用も可能である。
【００２３】
なお、本実施の形態においては、側部フレームとしての側面支柱１３０を、上下方に延びる構造とし、この側面支柱１３０を複数本、基板の搬入方向に沿って配列させる構造を採用しているが、側面支柱を基板の搬入方向に沿って延びる構造とし、この側面支柱を複数本上下方向の沿って配列させることも可能である。また、支持アーム１４０を支持するものとしては、支柱構造だけでなく、側面全体を覆う壁構造や、本実施の形態における底面外枠フレーム１１０等のように、格子形状のフレーム構造の採用も可能である。よって、支持アーム１４０を支持するための側部フレームとしての機能を有するものであれば、どのような構造の採用も可能である。
【００２４】
（基板支持部材１５０の構造）
次に、図５から図８を参照して、基板支持部材１５０の具体的な構造、特に断面構造について説明する。なお、図５は、基板支持部材１５０の構造を示す断面図であり、図６から図８は、基板支持部材の他の形態を示す断面図である。
【００２５】
図５を参照して、本実施の形態における基板支持部材１５０は、上述したように、基板１の搬入搬出方向に沿って線状に延びる形態を有し、その長さは、略底面外枠フレーム１１０と同じ長さを有している。具体的な構成としては、長さ方向に沿って、所定のピッチでネジ穴１５１ａが設けられる基板受部材１５１と、このベース部材１５１の上端部に設けられた球形凹部溝１５１ｂに固定され、直接基板１に接する円柱形状の基板保護部材１５２とを有している。基板保護部材１５２は球形凹部溝１５１ｂに、接着剤等を用いて固定される。このように、基板支持部材１５０を、基板受部材１５１と基板保護部材１５２との構成にすることで、基板保護部材１５２が磨耗等により劣化した場合であっても、基板保護部材１５２のみを取り替えることができる。
【００２６】
基板受部材１５１の最大幅は、約１０ｍｍ、最大高さは、約１０ｍｍ程度ある。また、基板保護部材１５２は、断面直径が約φ５ｍｍであり、基板支持部材１５０としての最大高さは、約１３ｍｍ程度ある。
【００２７】
なお、この基板保護部材１５２は、基板１に直接接し、また、基板が反り返った場合でも、基板１のすべりを阻止する観点から、基板に傷を付けることなく、基板との間の摩擦係数が大きくなるような材料を選択することが好ましい。また、発塵防止に優れた材料や、基板への帯電を防止するため帯電防止処理が施された材料を用いることが好ましい。
【００２８】
また、基板支持部材１５０の他の形態としては、図６に示す角柱形状からなり、基板保護部材を兼用する基板受部材１５３、図７に示すような、上端部に球面領域１５１ｃが設けられ基板保護部材を兼用する基板受部材１５４、角柱形状からなる基板受部材１５６の上端部に、球面部を含む基板保護部材１５５を覆いかぶせる構成等、様々な形態の採用が可能である。なお、基板受部材に用いられる材料としては、ステンレス、アルミ、樹脂等、炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料等が用いられる。また、基板保護部材に用いられる材料としては、樹脂（ポリエーテル、エーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリカーボネート、ＰＥＥＫ等）、ステンレス、アルミ等、炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料等が挙げられる。
【００２９】
（基板支持部材１５０の配置）
上述した基板用カセット１００においては、平面的に見た場合、基板支持部材１５０を、基板１の両側近傍領域に、それぞれ一列ずつ配置した構成を示しているが、他の配置構成の採用も可能である。図９から図１１に基板支持部材１５０の他の配置構成の平面模式図を示す。
【００３０】
図９は、基板支持部材１５０を、基板１の両側近傍領域に、それぞれ二列ずつ配置した構成である。１つの支持アーム１４０に２本の基板支持部材１５０を固定している。複数列配置させることも可能である。また、図１０に示すように、基板支持部材１５０の背面側にも基板支持部材１５０を支持するための背面支柱１７０を設けることも可能である。また、図１１に示すように、基板支持部材１５０を、２以上に分割させる構成も可能である。
【００３１】
（作用・効果）
上記構成からなる基板用カセット１００によれば、基板１の両側近傍領域において、基板１の搬入搬出方向に沿って、基板１を下面側から線状に受けて支持するための基板支持部材１５０を有することにより、基板１がその自重により、中央領域が下方に撓んだ場合であっても、基板支持部材１５０が前後方向に延びるように配置されていることから、基板１の両端部が反り上がっても、基板支持部材１５０による基板の支持状態（支持面積）に変化を与えることはない。その結果、基板１の撓みの有無に関係なく、基板１を安定的に支持することが可能となる。
【００３２】
また、支持アーム１４０の長さを適宜選択するよとにより、支持すべき基板の大きさに対応した、基板用カセットを容易に得ることができる。また、１つの基板用カセットにおいても、大きさの異なる基板を適切に支持することが可能となる。
【００３３】
（実施の形態２）
次に、図１２を参照して、実施の形態２における基板用カセット２００の概略構成について説明する。なお、図１２は、本実施の形態における基板用カセット２００の構成を示す全体斜視図である。
【００３４】
図１２を参照して、この基板用カセット２００は、一例として、１８００ｍｍ（短辺寸法）×２１００ｍｍ（長辺寸法）等の大きさを備えるガラス基板１をその前面側からの出し入れを可能とし（図中矢印方向）、このガラス基板１を積層状態に収容することを目的としており、底面外枠フレーム２１０と、上面外枠フレーム２２０と、この底面外枠フレーム２１０と上面外枠フレーム２２０を連結するように、側部フレームとして四隅のコーナ部に側面支柱２３０が配置されている。
【００３５】
側面支柱２３０からは、基板の搬入搬出方向に対して交差する方向に延びるように、左右に位置する対応する側面支柱２３０を連結するように、支持アーム２４０が上下方向に複数配置されている。本実施の形態においては、側面支柱２３０を上下方向に延びるように設けられていることから、支持アーム２４０も、側面支柱２３０に対して上下方向に所定のピッチで取付けられている。支持アーム２４０は、前後において対応する支持アーム２４０の高さが同一高さとなるように設けられている。
【００３６】
前後において、同一高さとなる支持アーム２４０には、複数の基板支持部材２５０が取付けられている。本実施の形態においては、同一高さ位置において４本ずつ配置されている。この基板支持部材２５０は、上記実施の形態１と同様に、基板１の搬入搬出方向に沿って、基板１を下面側から線状に受けて支持するため、基板１の搬入搬出方向に沿って線状に延びる形態を有している。同一高さに位置する複数の基板支持部材２５０により、基板１を下面側から支持するための仮想支持面が形成されることになる。
【００３７】
底面外枠フレーム２１０、上面外枠フレーム２２０、支持アーム２４０、および、側面支柱２３０はいずれも、実施の形態１と同様に、ステンレス、アルミ、樹脂等、炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料等が用いられる。
【００３８】
なお、側面支柱２３０の高さ方向に沿って同一ピッチで支持アーム２４０および基板支持部材２５０が配列されるものであるが、構造の理解を容易にするため、一部二点差線により図示を省略している。本実施の形態においては、１５枚のガラス基板１を積層収納可能なように、上下方向に１５段の基板支持部材２５０が設けられている。
【００３９】
基板支持部材２５０の支持アーム２４０への取り付けは、ボルト等の固定手段を用いることにより、着脱可能に取付けることが可能である。なお、基板支持部材２５０の構造は、上記実施の形態１に示した基板支持部材１５０と同様の構造の採用が可能であるため、重複する説明は繰り返さないこととする。
【００４０】
また、支持アーム２４０を前後に設ける構造を示したが、基板の中間位置にも支持アーム２４０を設ける構成も可能である。また、基板支持部材２５０を、それぞれ四列ずつ配置した場合を示したが、基板１の両側近傍領域に、一列配置配置する構成や、図９〜図１１に示した配列構造を採用することも可能である。
【００４１】
（作用・効果）
上記構成からなる基板用カセット２００によっても、上記実施の形態１の場合と同様の作用効果を得ることができる。
【００４２】
なお、上記各実施の形態においては、比較的大型基板に用いられる基板用カセットについて説明したが、本発明は、基板の大きさに関係なく、小型基板用のカセットに適用することも可能である。また、ガラス基板用の基板用カセットについて説明したが、ガラス基板に限られず、同様の性質を有する基板に対しても本発明を適用することが可能である。
【００４３】
したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】実施の形態１における基板用カセットの構成を示す全体斜視図である。
【図２】実施の形態１における基板用カセットの内部構成のみを抜き出した斜視図である。
【図３】実施の形態１における基板用カセットの支持アームと基板支持部材との連結部分の状態を示す部分拡大斜視図である。
【図４】実施の形態１における基板用カセットの支持アームと基板支持部材との連結部分の状態を示す分解側面図である。
【図５】実施の形態１における基板用カセットの基板支持部材の構造を示す断面図である。
【図６】実施の形態１における基板支持部材の他の形態を示す断面図である。
【図７】実施の形態１における基板支持部材のさらに他の形態を示す断面図である。
【図８】実施の形態１における基板支持部材のさらに他の形態を示す断面図である。
【図９】実施の形態１における基板支持部材のさらに他の配置構成の平面模式図である。
【図１０】実施の形態１における基板支持部材の他の配置構成の平面模式図である。
【図１１】実施の形態１における基板支持部材のさらに他の配置構成の平面模式図である。
【図１２】実施の形態２における基板用カセットの構成を示す全体斜視図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  基板、１００，２００  基板用カセット、１１０，２１０  底面外枠フレーム、１２０，２２０  上面外枠フレーム、１３０，２３０  側面支柱、１３５  ストッパピン、１４０，２４０  支持アーム、１４０ａ  雌ネジ、１５０，２５０  基板支持部材、１５１ａ  ネジ穴、１５１ｂ  球形凹部溝、１５１ｃ  球面領域、１５２，１５５  基板保護部材、１５１，１５３，１５４，１５６  基板受部材、１６０  固定ボルト。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005335743.tif 000009
【図８】
2005335743.tif 000010
【図９】
2005335743.tif 000011
【図１０】
2005335743.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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