(57)【要約】      （修正有）【課題】光ファイバを用いてレーザ加工部分の撮影に必要な照明光源を効率的に伝送し照射させるためのレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供する。【解決手段】レーザ発振器３１より出射されるレーザ光が光ファイバ３２により伝送され、出射ハウジング３３を介して加工対象物２１に照射することにより加工を行い、前記加工における加工状況又は加工結果を撮像装置３６により撮影して加工精度の確認を行うためのレーザ加工装置において、前記光ファイバ３２は、同一のケーブルに少なくとも２つの光経路が形成され、一方の光経路は前記レーザ光を伝送し、他方の光経路は前記撮像装置にて前記加工状況又は加工結果を撮影するために必要な照明用の可視光を伝送し、前記出射ハウジング３３は、前記レーザ光及び可視光を同軸で前記加工対象物２１に照射する。【選択図】        図３
2005021937.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ発振器より出射されるレーザ光が光ファイバにより伝送され、出射ハウジングを介して加工対象物に照射することにより加工を行い、前記加工における加工状況又は加工結果を撮像装置により撮影して加工精度の確認を行うためのレーザ加工装置において、
前記光ファイバは、同一のケーブルに少なくとも２つの光経路が形成され、一方の光経路は前記レーザ光を伝送し、他方の光経路は前記撮像装置にて前記加工状況又は加工結果を撮影するために必要な照明用の可視光を伝送し、前記出射ハウジングは、前記レーザ光及び可視光を同軸で前記加工対象物に照射することを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
前記光ファイバは、前記可視光を入力するための光経路の断面が所定の傾斜を有して形成されることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記加工対象物へ前記レーザ光を照射することにより生じる反射光における温度を測定するための温度センサを有し、
前記光ファイバは、前記可視光を伝送するための光経路に前記反射光を伝送させることを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
レーザ発振器より出射されるレーザ光が光ファイバにより伝送され、出射ハウジングを介して加工対象物に照射することにより加工を行い、前記加工における加工状況又は加工結果を撮像装置により撮影して加工精度の確認を行うためのレーザ加工方法において、
前記光ファイバは、同一のケーブルに形成された少なくとも２つの光経路のうち、一方の光経路には前記レーザ光を伝送し、他方の光経路には前記撮像装置にて前記加工状況又は加工結果を撮影するために必要な照明用の可視光を伝送して、前記出射ハウジングから前記レーザ光及び可視光を同軸で前記加工対象物に照射することを特徴とするレーザ加工方法。
【請求項５】
前記可視光は、前記光ファイバに所定の傾斜を有して形成された断面から入力させることを特徴とする請求項４に記載のレーザ加工方法。
【請求項６】
前記加工対象物へ前記レーザ光を照射することにより生じる反射光を、前記可視光を伝送するための光経路を用いて伝送させることを特徴とする請求項４又は５に記載のレーザ加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ加工装置及びレーザ加工方法に係り、特に、光ファイバを用いてレーザ加工部分の撮影のために必要な照明光源を効率的に伝送させるためのレーザ加工装置及びレーザ加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、レーザ光を用いた加工は多種多様な方面で使用されているが、レーザ光を加工対象物へ出力するための経路の１つとして光ファイバが多く用いられている。また所望する位置、加工穴径等で正確に加工が行われているかを加工時又は加工後に確認するため、加工地点を撮像する撮像装置（撮像カメラ）を設け、撮像装置により撮影される加工状況又は加工結果に基づいて加工設定を調整し、高精度な加工を実現するためのレーザ加工装置が存在する。
【０００３】
ところで、加工状況又は加工結果を確認するには、加工地点を容易に撮影することができる位置に撮像カメラを設置する必要があり、通常はレーザ光を加工対象物に照射する光路軸上に撮像カメラを設置することが多い。また、撮像カメラを用いて加工対象物を撮影するためには、可視光レベルの明るさの照明が必要となるため、照明用の光源をレーザ加工装置に別途設置する必要がある。
【０００４】
ここで、上述の内容について具体的に図を用いて説明する。図１は、従来のレーザ加工装置の第１構成例を示す図である。
【０００５】
図１のレーザ加工装置は、レーザ発振器１１と、光ファイバケーブル１２と、出射ハウジング１３と、照明光源１４と、ＣＣＤカメラ１５と、モニタ１６と、ミラー１７，１８と、集光レンズ１９と、ステージ２０とを有するよう構成されている。また、ステージ２０には、加工対象物２１が載置されており、加工の際には、加工対象物２１の所望する加工位置に対して出射ハウジング１３が移動するか、ステージ２０が移動することで位置決めして加工を行うことができる。また、出射ハウジング１３と、ステージ２０とを対応づけて両方を移動させることもできる。
【０００６】
次に、動作について説明する。まず、出射ハウジング１３の移動により加工対象物２１の加工を行う所望する位置に位置付けられる。次に、レーザ発振器１１からレーザ光が出射され、光ファイバケーブル１２のコア部を通過して出射ハウジング１３に入力される。一方、照明光源１４から出力される可視光も別のケーブルを介して出射ハウジング１３に入力される。ミラー１７は、レーザ発振器１１からのレーザ光を通過し、照明光源１４からの可視光を反射する。これにより、レーザ光と可視光とが同軸の光路でミラー１８に到達し、ミラー１８にて加工対象物２１のある方向に向きを変えて集光レンズ１９−１，１９−２によりレーザ光及び可視光が集光されて加工対象物２１に照射され加工が行われる。
【０００７】
ここで、可視光は、レーザ光と同様に出射ハウジング１３内の集光レンズ１９−１，１９−２により集光されるが、ビームの拡がり角が大きいためレーザ光に比べると集光性は低く、加工対象物２１への加工に影響を与えることはない。また、可視光を加工点付近に照射されることにより、ＣＣＤカメラ１５を用いて加工状況を撮影することができ、ＣＣＤカメラ１５にて撮影された画像をモニタ１６に出力することにより、モニタ１６にて加工状況を確認することができ、これにより必要に応じて加工設定を調整することで高精度なレーザ加工を実現することができる。
【０００８】
また、レーザ光のように照射光源について専用の光ケーブルにより出射ハウジングに伝送するレーザ加工装置の構成について開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００９】
更に、照明光源において、上述の図１で示した構成ではなく直接加工対象物へ照明光源を照射するように設置される場合も考えられる。上述の内容について具体的に図を用いて説明する。
【００１０】
図２は、従来のレーザ加工装置の第２構成例を示す図である。なお、図２は、図１に示した装置の同様の構成であるため、動作の詳細な説明は省略する。
【００１１】
図２に示したように照射光源２２からの光源は、出射ハウジング１３に出力されずに加工対象物２１に直接照射される。これにより、ＣＣＤカメラ１５で加工状況又は加工結果を撮影することができ、モニタ１６にて容易に確認することができる。
【００１２】
【特許文献１】
特開２００１−７９６７９号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１に示したように出射ハウジングに照明光源に設けた場合は、出射ハウジングを移動させてレーザ加工を行う際に、出射ハウジングと照明光源とを結ぶケーブルや照明光源ユニットが移動中に邪魔になる可能性があるため、移動範囲が限定される恐れがある。
【００１４】
また、図２に示すように照明光源を加工対象物に直接出力する場合は、照明位置や、加工対象物に照射する角度等の調整が必要になり設定に時間を要してしまう。更に、出射ハウジングの移動時には邪魔になる可能性があり最適な装置構成であるとは言えない。
【００１５】
本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、特に、光ファイバを用いて、照明光源を効率的に伝送し照射させるためのレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本件発明は、以下の特徴を有する課題を解決するための手段を採用している。
【００１７】
請求項１に記載された発明は、レーザ発振器より出射されるレーザ光が光ファイバにより伝送され、出射ハウジングを介して加工対象物に照射することにより加工を行い、前記加工における加工状況又は加工結果を撮像装置により撮影して加工精度の確認を行うためのレーザ加工装置において、前記光ファイバは、同一のケーブルに少なくとも２つの光経路が形成され、一方の光経路は前記レーザ光を伝送し、他方の光経路は前記撮像装置にて前記加工状況又は加工結果を撮影するために必要な照明用の可視光を伝送し、前記出射ハウジングは、前記レーザ光及び可視光を同軸で前記加工対象物に照射することを特徴とする。
【００１８】
請求項１記載の発明によれば、同一の光ファイバケーブルを用いてレーザ光と可視光とを伝送することで、効率的な照明光源を加工対象物に照射させることができ撮影を容易に行うことができる。また、出射ハウジングが移動する場合にも照射光源ユニットは移動の妨げになることがなく、高精度なレーザ加工を実現することができる。
【００１９】
請求項２に記載された発明は、前記光ファイバは、前記可視光を入力するための光経路の断面が所定の傾斜を有して形成されることを特徴とする。
【００２０】
請求項２記載の発明によれば、光経路の断面に傾斜を有することで、光ファイバの側面から容易に可視光を入力させることができ、複雑な装置構成を必要とせず効率的な伝送を行うことができる。
【００２１】
請求項３に記載された発明は、前記加工対象物へ前記レーザ光を照射することにより生じる反射光における温度を測定するための温度センサを有し、前記光ファイバは、前記可視光を伝送するための光経路に前記反射光を伝送させることを特徴とする。
【００２２】
請求項３記載の発明によれば、照射状況を撮像装置により確認し、更に、温度センサにて加工用のレーザ光の照射に対する反射光の計測を行うことで、より高精度な加工を行うことができる。また、反射光から温度センサへの伝送も同一の光ファイバケーブルを用いることにより、出射ハウジングが移動する場合にも移動の妨げになることがなく、高精度なレーザ加工を実現することができる。
【００２３】
請求項４に記載された発明は、レーザ発振器より出射されるレーザ光が光ファイバにより伝送され、出射ハウジングを介して加工対象物に照射することにより加工を行い、前記加工における加工状況又は加工結果を撮像装置により撮影して加工精度の確認を行うためのレーザ加工方法において、前記光ファイバは、同一のケーブルに形成された少なくとも２つの光経路のうち、一方の光経路には前記レーザ光を伝送し、他方の光経路には前記撮像装置にて前記加工状況又は加工結果を撮影するために必要な照明用の可視光を伝送して、前記出射ハウジングから前記レーザ光及び可視光を同軸で前記加工対象物に照射することを特徴とする。
【００２４】
請求項４記載の発明によれば、同一の光ファイバケーブルを用いてレーザ光と可視光とを伝送することで、効率的な照明光源を加工対象物に照射させることができ撮影を容易に行うことができる。また、出射ハウジングが移動する場合にも照射光源ユニットは移動の妨げになることがなく、高精度なレーザ加工を実現することができる。
【００２５】
請求項５に記載された発明は、前記可視光は、前記光ファイバに所定の傾斜を有して形成された断面から入力させることを特徴とする。
【００２６】
請求項５記載の発明によれば、光経路の断面から可視光を入力させることで、複雑な装置構成を必要とせず効率的な伝送を行うことができる。
【００２７】
請求項６に記載された発明は、前記加工対象物へ前記レーザ光を照射することにより反射光を、前記可視光を伝送するための光経路を用いて伝送させることを特徴とする。
【００２８】
請求項６記載の発明によれば、反射光の伝送も同一の光ファイバケーブルを用いることにより、出射ハウジングが移動する場合にも移動の妨げになることがなく、高精度なレーザ加工を実現することができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
本発明は、レーザ発振器から出力されるレーザ光が出射ハウジングまでの伝送路で光ファイバを用いている場合に、撮像カメラにて加工状況を撮影するために必要となる光を照射するための照明光源を、レーザ光の伝送用の光ファイバケーブルと同一の光ファイバケーブルを用いて伝送させることにより、照射光源を効率的に伝送し照射させることができる。また、出射ハウジングを移動する場合に照射光源ユニットが別ケーブルにて出射ハウジングに設置されていないため、移動の妨げになることがなく高精度なレーザ加工を実現することができる。
【００３０】
次に、本発明の実施の形態について図を用いて説明する。図３は、本発明におけるレーザ加工装置の第１の実施の形態を示す図である。
【００３１】
図３のレーザ加工装置は、レーザ発振器３１と、光ファイバケーブル３２と、出射ハウジング３３と、照明光源３４と、ＣＣＤカメラ３５と、モニタ３６と、ミラー３７と、集光レンズ３８と、ステージ３９と、照明光源集光レンズ４０とを有するよう構成されている。
【００３２】
ここで、レーザ発振器３１は、加工対象物２１に対して所望する加工を行うことができるエネルギー強度のレーザ光を出力することができればよく、例えばＹＡＧレーザを用いることができる。また、照明光源３４は、ＣＣＤカメラ３５にて加工地点の様子が撮影できる明るさの可視光を出力することができればよく、例えばフォトダイオードを用いることができる。また、ステージ３９には、加工対象物２１が載置されており、加工の際には加工対象物２１の所望する加工位置に対して出射ハウジング３３が移動するか、ステージ３９が移動することで位置決めして加工を行うことができる。また、出射ハウジング３３と、ステージ３９とを対応づけて両方を移動させることもできる。
【００３３】
次に動作について説明する。まず、出射ハウジング３３が移動することにより加工対象物２１の加工を行う所望する位置に位置付けられる。次に、レーザ発振器３１からレーザ光が出射され、光ファイバケーブル３２のコア部を通過して出射ハウジング３３に入力される。
【００３４】
また、照明光源３４から出力される可視光は、照明光源集光レンズ４０により集光されて光ファイバケーブル３２に入力され、レーザ光と可視光とが１つの光ファイバにより出射ハウジング３３に入力される。なお、可視光を光ファイバケーブル３２に入力するための具体的な内容については後述する。
【００３５】
ミラー３７は、光ファイバケーブル３２から出射ハウジング３３へ入力されるレーザ発振器３１からのレーザ光と、照明光源３４からの可視光とを加工対象物２１のある方向に向きを変え、集光レンズ３８−１，３８−２によりレーザ光及び可視光が集光されて加工対象物２１に照射され加工が行われる。なお、上述したように、可視光もレンズ３８−１，３８−２により集光されるが、ビームの拡がり角が大きいためレーザ光に比べると集光性は低い。
【００３６】
これにより、レーザ光と可視光とを同軸上から加工対象物に照射することができる。また、可視光を落射照明として照射することができ、ＣＣＤカメラ３５を用いて加工状況又は加工結果を高精度に撮影することができる。更にＣＣＤカメラ３５にて撮影された画像はモニタ３６に出力することで、モニタ３６により作業者は加工状況を容易に確認することができ、これにより高精度なレーザ加工を実現することができる。
【００３７】
また、同軸上からレーザ光と可視光が加工対象物に照射されるが、レーザ光と比較して可視光のエネルギーは微小であるため、加工対象物２１に影響を与えることはなく、高精度なレーザ加工を行うことができる。
【００３８】
上述したような実施の形態にすることで、同一の光ファイバケーブルを用いてレーザ光と可視光とを伝送することができる。これにより、効率的な照明光源を加工対象物に照射させることができ撮影を容易に行うことができる。また、出射ハウジングを移動する場合にも照射光源ユニットは移動の妨げになることがなく、高精度なレーザ加工を実現することができる。
【００３９】
次に、本発明における照明光源の具体的な光ファイバへの入力内容について図を用いて説明する。
【００４０】
図４は、第１の実施の形態における光ファイバケーブルへの入力内容を説明するための一例の図である。図４は、図３に示した実施の形態で示した光ファイバケーブル３２を示しており、本発明におけるレーザ加工装置の第１の実施の形態に対応するものである。
【００４１】
図４の光ファイバケーブル３２の中心にファイバコア４１と、ファイバコア４１の周りを覆うように管状に形成されるキャピラリー管４２と、更に外側を覆うための被覆樹脂４３とを有している。
【００４２】
ファイバコア４１は、中芯のコアをクラッドと呼ばれる管状の外周部で覆った２層構造をしており、コアの屈折率を外側のクラッドよりも高く設定して光を閉じ込めるようにして伝送を行う。本実施の形態では、レーザ発振器３１から出力されるレーザ光を通過させる。キャピラリー管４２は、照射光源からの可視光を出射ハウジング３３まで導出するための経路管であり、例えば、溶融シリカ毛細管等により形成されており、ファイバコア４１に近接して、放射エネルギーのための代替通路を提供する。
【００４３】
ここで、被覆樹脂４３には、開口部４４を有しており、照明光源３４からの可視光は、照明光源集光レンズ４０にてキャピラリー管４２の断面部に対して集光されるように開口部４４に入力される。キャピラリー管４２は、断面を傾斜させて形成されており、開口部４４からの可視光を断面で反射させることによりキャピラリー管４２内を伝送することができる。
【００４４】
ここで、キャピラリー管４２の断面は、開口部４４から入力される可視光の入射角度により設定することが好ましい。例えば、図４に示すように光ファイバケーブル３２に対して垂直に可視光が入射される場合は、キャピラリー管４２の断面角度は４５°になるように調整される。また、断面部に光学コーティングを行い、反射精度を向上させることもでき、また、キャピラリー管４２に溶融シリカ以外の材質を用いて、その材質に基づいて傾斜角度を設定することもできる。
【００４５】
これにより、同一の光ファイバを用いてレーザ光と可視光とを出射ハウジング３３へ伝送することができる。出射ハウジング３３では、上述したようにミラー３７により方向を変え加工対象物２１に対してレーザ光と可視光と照射する。
【００４６】
これにより、効率的な照明光源をレーザ光と同軸上から加工対象物２１に照射させることができ、ＣＣＤカメラ３５は、可視光により明るくなった加工対象物２１の加工部分の撮影を行うことができる。また、出射ハウジングを移動する場合に照射光源ユニットは移動の妨げになることがなく、高精度なレーザ加工を実現することができる。
【００４７】
ここで、レーザ加工装置において、更に加工精度を向上させることを目的として、レーザ光の照射時に発生する加工対象物からの反射光のエネルギーを計測し、その計測値に基づいて加工の良否を判定する手段がある。
【００４８】
この手段においても、本発明の光ファイバの構成を利用することで、効率的に反射光を伝送することができ反射光の計測を実現することができる。次に、上述した反射光の計測も含めた光ファイバの実施の形態について図を用いて説明する。なお、反射光の計測する方法の一例として、温度センサにより反射光の温度を計測し、加工精度を判定、確認する方法について説明する。
【００４９】
図５は、本発明におけるレーザ加工装置の第２の実施の形態を示す図である。ここで、図５のレーザ加工装置は、上述の第１の実施の形態で示した主要構成部分に温度センサ５１と、ミラー５２とが設けられたものである。
【００５０】
加工対象物２１に照射されたレーザ光の加工時の発生する反射光は、出射ハウジング３３に入力されるとミラー３７にて向きを変え光ファイバケーブル３２に入力される。更に、光ファイバケーブルに設けられた、照明光源４０からの可視光を入力するための開口部から反射光が出力され、それをミラー５２にて、温度センサ５１のある方向へ反射される。なお、ミラー５２は、照明光源３４からの可視光については透過する。
【００５１】
温度センサ５１は、入力される反射光から温度を検知して反射戻り光量を計測する。この戻り光量（温度）を確認することにより、加工状況を更に詳細に把握することができ、レーザ加工の加工精度を向上させることができる。
【００５２】
また、反射光も同一の光ファイバケーブルを用いて伝送することにより、レーザ加工装置におけるケーブル構成が複雑になることがなく、温度センサのユニットが出射ハウジングの移動の妨げになることがない。
【００５３】
なお、高精度なレーザ加工を行うために温度センサ５１にスイッチ手段（図示せず）を有し、反射戻り光量が多い場合にレーザ発振器３１からのレーザ光の出射を停止させるよう構成させることもできる。
【００５４】
次に、上述の第２の実施の形態における具体的な光ファイバ内の伝送動作について図を用いて説明する。図６は、第２の実施の形態における光ファイバケーブルにおける伝送の様子を説明するための一例の図である。なお、光ファイバケーブル３２は、図４と同様の構成を有しているため、ここでの詳細な説明は省略する。図６では、ファイバコア４１をレーザ光の伝送経路としレーザ発振器３１から出力されるレーザ光を通過させる。
【００５５】
キャピラリー管４２は、照射光源からの可視光を出射ハウジングまで導出するための経路管であると同時に加工対象物からの反射光を出射ハウジング側から入力し、キャピラリー管４２の断面部にて反射させて、開口部４４から光ファイバケーブル３２の外部へ反射光を出力する。
【００５６】
開口部４４から出力された反射光は、ミラー５２にて反射して温度センサ５１に入力され、温度センサ５１にて反射戻り光量の測定を行うことができる。なお、キャピラリー管４２には、可視光と反射光とが逆方向に伝送されるが、波長等が異なるためお互いの光の影響により可視光を加工対象物に照射することによるＣＣＤカメラの撮影、及び反射光を用いて温度センサにて戻り光量の測定を行う点で支障をきたすことはない。
【００５７】
上述したように第２の実施の形態により、照射状況を撮像カメラにより確認し、更に温度センサにて加工用のレーザ光の照射に対する反射光の確認を行うことにより高精度な加工を行うことができる。また、反射光からの出射ハウジングから温度センサへの伝送も同一の光ファイバケーブルにより行うことで、出射ハウジングを移動する場合にも移動の妨げになることがなく高精度なレーザ加工を実現することができる。
【００５８】
なお、上述の光ファイバ中にあるキャピラリー管の断面形状については、上述の図４、図６に示す形状でなくてもよい。具体的には、キャピラリー管の断面は、開口部から入力される可視光の入射角度、キャピラリー管の材質等に基づいて設定される。
【００５９】
ここで、キャピラリー管の断面形状例について図を用いて説明する。図７は、キャピラリー管の断面形状を説明するため光ファイバケーブルの一例を示す図である。
【００６０】
図７（ａ）に示すように、図４、図６とは逆に、開口部４４に断面が向くように傾斜を設けて形状としてもよい。
【００６１】
また、図７（ｂ）に示すように断面部分を逆円錐形上に形成させ、被覆樹脂４３には、照明光源３４からの可視光の入射用である第１開口部７１と、キャピラリー管から反射光を温度センサへ導出するための第２開口部７２を形成し、それぞれの開口部を用いて照明光源３４の入射、反射光の計測を行うようにする構成にしてもよい。
【００６２】
更に、光ファイバケーブルの外皮は被覆樹脂４３でなくてもよく、金属系の光ファイバ端子に形成されてもよい。
【００６３】
上述したように本発明によれば、光ファイバを用いてレーザ加工部分の撮影のために必要な照明光源を効率的に伝送させ、高精度な加工を行うことができる。
【００６４】
更に詳細に説明すれば、同一の光ファイバケーブルを用いてレーザ光と可視光とを伝送することで、照明光源を効率的に加工対象物に照射させることができ撮影を容易に行うことができる。また、出射ハウジングを移動する場合に照射光源ユニットが別ケーブルにて出射ハウジングに設置されていないため、移動の妨げになることがなく高精度なレーザ加工を実現することができる。
【００６５】
また、照射状況を撮像装置により確認し、更に温度センサにて加工用のレーザ光の照射にて生じる加工対象物からの反射光の計測を行う場合にも、その反射光を同一の光ファイバにより伝送することで、効率的な光伝送を可能にし反射光を用いて加工状況を計測することで、より高精度な加工を行うことができる。
【００６６】
また、反射光から温度センサへの伝送も光ファイバにより行うことにより、出射ハウジングを移動する場合にも移動の妨げになることがなく、高精度なレーザ加工を実現することができる。
【００６７】
以上本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【００６８】
【発明の効果】
上述の如く、本発明によれば、光ファイバを用いてレーザ加工部分の撮影のために必要な照明光源を効率的に伝送させ、高精度な加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のレーザ加工装置の第１構成例を示す図である。
【図２】従来のレーザ加工装置の第２構成例を示す図である。
【図３】本発明におけるレーザ加工装置の第１の実施の形態を示す図である。
【図４】第１の実施の形態における光ファイバケーブルへの入力内容を説明するための一例の図である。
【図５】本発明におけるレーザ加工装置の第２の実施の形態を示す図である。
【図６】第２の実施の形態における光ファイバケーブルにおける伝送の様子を説明するための一例の図である。
【図７】キャピラリー管の断面形状を説明するため光ファイバケーブルの一例を示す図である。
【符号の説明】
１１，３１  レーザ発振器
１２，３２  光ファイバ
１３，３３  出射ハウジング
１４，２２，３４  照明光源
１５，３５  ＣＣＤカメラ
１６，３６  モニタ
１７，１８，３７，５２  ミラー
１９，３８  集光レンズ
２０，３９  ステージ
２１  加工対象物
４０  照明光源集光レンズ
４１  ファイバコア
４２  キャピラリー管
４３  被覆樹脂
４４  開口部
５１  温度センサ
７１  第１開口部
７２  第２開口部
【図１】
2005021937.tif 000003
【図２】
2005021937.tif 000004
【図３】
2005021937.tif 000005
【図４】
2005021937.tif 000006
【図５】
2005021937.tif 000007
【図６】
2005021937.tif 000008
【図７】
2005021937.tif 000009