(57)【要約】【課題】湿度センサにおいて、その保護層の比表面積に工夫を凝らし、シリコンのほかリン、その他金属、有機金属化合物或いは無機金属化合物に対する耐被毒特性を向上させることを目的とする。【解決手段】保護層５０は、上側電極４０の表面及び外周面並びに感湿層３０の外周部を被覆するように、電気絶縁基板１０の表面の右側部上に層状に形成されている。ここで、当該保護層５０の比表面積は、３．０（ｍ２／ｇ）〜１０．０（ｍ２／ｇ）の範囲以内の値となっている。【選択図】    図２
2005069719.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気絶縁基板と、
多孔質性の感湿層と、この感湿層に互いに対向して位置するように設けられる一対の電極とを有して、前記電気絶縁基板の表面に設けられる感湿素子と、
この感湿素子を前記電気絶縁基板の表面上に被覆してなる保護層とを備える湿度センサにおいて、
前記保護層は、３．０（ｍ２／ｇ）〜１０．０（ｍ２／ｇ）の範囲以内の比表面積を有することを特徴とする湿度センサ。
【請求項２】
前記保護層は、１０（μｍ）〜７０（μｍ）の範囲以内の厚さを有することを特徴とする請求項１に記載の湿度センサ。
【請求項３】
前記保護層は、その焼成後において１０（μｍ）〜７０（μｍ）の範囲以内の厚さを有するように、保護層用ペースト状形成材料のスクリーン印刷でもって、前記感湿素子を前記電気絶縁基板の表面上に被覆して形成されていることを特徴とする請求項１に記載の湿度センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定雰囲気内の湿度を検出する湿度センサに係り、特に、当該湿度を感湿層のインピーダンスの変化により電気的に検出する湿度センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の湿度センサとしては、下記特許文献１に開示されたものがある。この湿度センサは、電気絶縁基板の表面に下側電極、感湿層及び上側電極を積層状に設け、上側電極を下側電極及び感湿層の各外周部と共に被覆するように電気絶縁基板の表面に保護層を形成して構成されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−３５７５７９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記湿度センサにおいては、保護層は、湿度センサとしての耐熱性や鉛に対する耐被毒特性の向上を図るため、例えば、スピネル系酸化物でもって形成されている。
【０００５】
しかし、当該湿度センサでもって、自動車の内燃機関の排気ガス中の湿度を検出する場合、内燃機関内の機械油には例えばシリコンが含まれているため、湿度センサが排気ガス中において当該シリコンに晒される。その結果、このシリコンが湿度センサに対し被毒物質として作用し当該湿度センサの耐被毒特性を悪化させる要因となっている。
【０００６】
そこで、本発明は、以上のようなことに対処するため、湿度センサにおいて、その保護層の比表面積に工夫を凝らし、シリコンのほかリン、その他金属、有機金属化合物或いは無機金属化合物に対する耐被毒特性を向上させることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題の解決にあたり、本発明に係る湿度センサは、請求項１の記載によれば、
電気絶縁基板（１０）と、
多孔質性の感湿層（３０）と、この感湿層に互いに対向して位置するように設けられる一対の電極（２０、４０）とを有して、電気絶縁基板の表面に設けられる感湿素子と、
この感湿素子を電気絶縁基板の表面上に被覆してなる保護層（５０）とを備える。
【０００８】
当該湿度センサにおいて、保護層は、３．０（ｍ２／ｇ）〜１０．０（ｍ２／ｇ）の範囲以内の比表面積を有することを特徴とする。
【０００９】
このように、保護層の比表面積を３．０（ｍ２／ｇ）〜１０．０（ｍ２／ｇ）の範囲以内の値とすることで、湿度センサとしての被毒物質に対する耐被毒特性を著しく向上させ得る。従って、感湿層の劣化や当該感湿層の感湿特性の低下を招くことなく、検出出力の安定性及び信頼性を高く維持し得る湿度センサの提供が可能となる。
【００１０】
ここで、上記被毒物質としては、シリコンやリンその他金属、有機金属化合物或いは無機金属化合物が挙げられる。従って、例えば、内燃機関の排気ガス中に含まれるシリコンやリンに対しても、湿度センサとしての耐被毒特性が著しく向上する。なお、鉛は金属に含まれるが、この鉛に対しても、湿度センサとしての耐被毒特性の向上が著しいのは当然である。
【００１１】
また、上述のように、保護層の比表面積を３．０（ｍ２／ｇ）以上としたのは、この範囲であれば、当該保護層の組織が微細となるため、例えば排気ガスが保護層を通過する際にシリコンやリンが当該保護層によりトラップされ易いためである。
【００１２】
また、上述のように、保護層の比表面積を１０．０（ｍ２／ｇ）以下としたのは、比表面積が大きい程、耐被毒特性を向上させ得るが、当該比表面積が１０．０（ｍ２／ｇ）より大きな保護層を形成しようとすると、保護層用ペースト状形成材料にバインダーや溶媒等を多量に添加しなければならず、その結果、当該形成材料の成形性が悪くなるとともに、この成形後の乾燥で当該形成材料に亀裂が発生し易くなるからである。
【００１３】
ここで、請求項１に記載の発明において、保護層は、さらに、２０（％）〜８０（％）の範囲以内の気孔率を有するようにしてもよい。
【００１４】
このように、保護層の気孔率を２０（％）〜８０（％）の範囲以内の値とすれば、当該保護層の比表面積を３．０（ｍ２／ｇ）〜１０．０（ｍ２／ｇ）の範囲以内の値にすることと相俟って、被毒物質、特にシリコンやリンその他金属、有機金属化合物或いは無機金属化合物に対する湿度センサとしての耐被毒特性をさらに向上させることができる。
【００１５】
また、上述のように保護層の気孔率の下限値を２０（％）としたのは、２０（％）未満の気孔率では、例えば内燃機関の排気ガスが保護層を通過しにくくなるためである。また、上述のように保護層の気孔率の上限値を８０（％）としたのは、８０（％）よりも高い気孔率では、例えばシリコンやリンに対する湿度センサの耐被毒特性の低下を招くからである。
【００１６】
なお、請求項１の記載において、保護層を形成する材料としては、アルミナ系酸化物、スピネル系酸化物やジルコニア系酸化物が挙げられる。例えば、スピネル系酸化物は、保護層の比表面積を３．０（ｍ２／ｇ）〜１０．０（ｍ２／ｇ）の範囲以内の値とするように、出発原料において細かい粒径に湿式粉砕したスピネル粉末を含有するものであってもよい。
【００１７】
また、一対の電極を形成する材料としては、白金（Ｐｔ）や金（Ａｕ）等の貴金属が挙げられる。
【００１８】
また、本発明は、請求項２の記載によれば、請求項１に記載の湿度センサにおいて、保護層は、１０（μｍ）〜７０（μｍ）の範囲以内の厚さを有することを特徴とする。
【００１９】
このように、保護層の厚さを１０（μｍ）〜７０（μｍ）の範囲以内の値とすることで、シリコンやリンその他金属、有機金属化合物或いは無機金属化合物等の被毒物質に対する湿度センサとしての耐被毒耐久性を向上させるとともに、湿度センサとしての応答性の遅延や保護層の剥がれを防止しつつ、請求項１に記載の発明の作用効果を達成し得る。
【００２０】
ここで、上述のように、保護層の厚さを１０（μｍ）以上とすることで、上記被毒物質に対する湿度センサの被毒耐久性を向上させることができ、また、保護層の厚さを７０（μｍ）以下とすることで、保護層の剥がれの発生や湿度センサとしての応答性の遅延を防止し得る。
【００２１】
また、本発明は、請求項３の記載によれば、請求項１に記載の湿度センサにおいて、保護層は、その焼成後において１０（μｍ）〜７０（μｍ）の範囲以内の厚さを有するように、保護層用ペースト状形成材料のスクリーン印刷でもって、感湿素子を電気絶縁基板の表面上に被覆して形成されていることを特徴とする。
【００２２】
これにより、スクリーン印刷を有効に活用しつつ、請求項１或いは２に記載の発明の作用効果を達成し得る。
【００２３】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明に係る湿度センサ１００を示している。この湿度センサ１００は、図１〜図３にて示すごとく、電気絶縁基板１０、下側電極２０、感湿層３０、上側電極４０及び保護層５０を備えており、下側電極２０は、電気絶縁基板１０の表面の図１にて図示右側部上に形成されている。
【００２５】
感湿層３０は、下側電極２０をその表面及び外周面から被覆するように、電気絶縁基板１０の表面の右側部上に層状に形成されている。また、上側電極４０は、感湿層３０のうち下側電極２０の表面に対する対応部位上に形成されて、この対応部位を介し下側電極２０に対向している。保護層５０は、上側電極４０の表面及び外周面並びに感湿層３０の外周部を被覆するように、電気絶縁基板１０の表面の右側部上に層状に形成されている。本実施形態において、上述のような下側電極２０、感湿層３０及び上側電極４０からなる構成を感湿素子ともいう。
【００２６】
また、電気絶縁基板１０には、測温抵抗体１１及びヒータ１２が図２にて示すごとく内蔵されており、測温抵抗体１１は、電気絶縁基板１０内にて感湿層３０の近傍直下に位置している。当該測温抵抗体１１は、上述のように感湿層３０の近傍直下に位置することで、当該感湿層３０の温度補正及び被測定環境の湿度測定を可能にする役割を果たす。
【００２７】
また、ヒータ１２は、電気絶縁基板１０内の感湿層３０の近傍直下にて、測温抵抗体１１よりも図２にて図示下側に位置している。当該ヒータ１２は、上述のように感湿層３０の近傍直下に位置することで、感湿層３０を定期的に加熱クリーニングして鉛等を焼き飛ばす役割を果たす。
【００２８】
このように構成した湿度センサ１００は、被測定雰囲気内に置かれて、当該被測定雰囲気内の水蒸気の含有量（湿度に対応）を感湿層３０のインピーダンスに変換して出力する。
【００２９】
なお、下側電極２０と上側電極４０との間に直流電圧を印加する場合には、感湿層３０の抵抗を検出し、また、下側電極２０と上側電極４０との間に交流電圧を印加する場合には、感湿層３０のインピーダンスを検出することになるが、本実施形態では、抵抗及びインピーダンスをまとめてインピーダンスと表現する。
【００３０】
また、湿度センサ１００の出力取り出し用両リード線１３、１４は、図１及び図３にて示すごとく、電気絶縁基板１０の表面のうち左側部上に形成されており、リード線１３は、下側電極２０に接続され、リード線１４は上側電極４０に接続されている。
【００３１】
次に、このように構成した湿度センサ１００は、以下のような各形成工程を経て製造される。
（１）電気絶縁基板１０の形成工程
アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）の粉末を含むスラリーを調製し、ドクターブレード法により、アルミナグリーンシートを４枚形成する。これら各アルミナグリーンシートは、所定外形寸法（厚さ４００（μｍ）×幅４（ｍｍ）×長さ４５（ｍｍ））を有する。
【００３２】
これら４枚のアルミナグリーンシートのうち、一枚目のアルミナグリーンシートの表面のうち右側部（絶縁基板１０の表面の右側部に対応）上に、白金（Ｐｔ）を含むヒータ用ペーストをスクリーン印刷してヒータパターンを形成する。このヒータパターンは、電気絶縁基板１０の長手方向（図１にて図示左右方向、図２では紙面に直交する方向）においてジグザグ状となるようにヒータ１２を電気絶縁基板１０の幅方向に形成すべくスクリーン印刷される。
【００３３】
ついで、白金（Ｐｔ）を含む測温抵抗体用ペーストを、二枚目のアルミナグリーンシートの表面のうち上記ヒータパターンに対応する部位上にスクリーン印刷して測温抵抗体パターンを形成する。この測温抵抗体パターンは、電気絶縁基板１０の長手方向においてジグザグ状となるように測温抵抗体１１を電気絶縁基板１０の幅方向に形成すべくスクリーン印刷される。
【００３４】
さらに、白金（Ｐｔ）を含むリード線用ペーストを三枚目の表面の左側部上にスクリーン印刷してリード線パターンを形成する。このリード線パターンは、電気絶縁基板１０の長手方向に沿い各リード線１３、１４を形成するように、スクリーン印刷される。
【００３５】
然る後、四枚目のアルミナグリーンシートを、その裏面にて、上記ヒータパターンを介し上記一枚目のアルミナグリーンシートの表面に重ねる。これにより、上記ヒータパターンは、上記一枚目及び四枚目の両アルミナグリーンシートの右側部間に介装される。ここで、上記四枚目のアルミナグリーンシートは、上記ヒータパターンと上記測温抵抗体パターンとの接触を確実に防止する絶縁シートとしての役割を果たす。
【００３６】
ついで、上記二枚目のアルミナグリーンシートを、その裏面にて、上記四枚目のアルミナグリーンシートの表面に重ね、さらに、上記三枚目のアルミナグリーンシートをその裏面にて上記二枚目のアルミナグリーンシートの表面に重ねる。これにより、上記測温抵抗体パターンは、上記三枚目及び二枚目の両アルミナグリーンシートの右側部間に介装される。
【００３７】
以上のようにして４枚のアルミナグリーンシートを積層した後圧着して積層体として形成する。その後、この積層体を温度１５５０（℃）の雰囲気内に２（時間）の間保持して一体に焼成する。これにより、図１及び図２の構成を有する電気絶縁基板１０が、板厚１．６（ｍｍ）×幅４（ｍｍ）×長さ４５（ｍｍ）の外形寸法にて形成される。
（２）下側電極２０の形成工程
白金（Ｐｔ）からなるペーストを、上述のように形成した電気絶縁基板１０の表面のうち右側部上にスクリーン印刷して、下側電極パターンを形成する。この下側電極パターンは、厚さ１５（μｍ）×幅２（ｍｍ）×長さ２．５（ｍｍ）なる外形寸法に形成される。
【００３８】
このように形成した下側電極パターンを、電気絶縁基板１０と共に、温度１２０（℃）の雰囲気内で１５（分）の間乾燥し、その後、温度１２００（℃）の雰囲気内で１０（分）の間保持して焼成し、電気絶縁基板１０の表面右側部上に下側電極２０として形成する。
【００３９】
ここでは、湿度センサ１００による被測定雰囲気が自動車の排気管内のような極めて過酷な環境にあることを考慮して、このような過酷な環境でも経時変化なく長期安定性に優れる湿度センサを提供するため、耐熱性、耐食性や長期安定性に優れた白金を下側電極２０の形成材料として採用する。
（３）感湿層３０の形成工程
上述のように電気絶縁基板１０の表面上に形成した下側電極２０の表面に、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、二酸化チタン（ＴｉＯ２）及び二酸化錫（ＳｎＯ２）の各粉末を、所定の質量比でもって配合してなる混合粉末を含むペースト（以下、混合粉末含有ペーストともいう）をスクリーン印刷する。なお、このスクリーン印刷に伴い、当該混合粉末含有ペーストは、下側電極２０の表面上からその外周面に沿い電気絶縁基板１０の表面上に印刷される。
【００４０】
上記スクリーン印刷後、上記混合粉末含有ペーストを、電気絶縁部材１０及び下側電極２０と共に、温度６０（℃）の雰囲気内で１（時間）の間乾燥し、温度１２００（℃）の雰囲気内で２（時間）の間保持して焼成し、厚さ３０（μｍ）×幅２．５（ｍｍ）×長さ２．５（ｍｍ）の外形寸法を有する感湿層３０を形成する。なお、この感湿層３０は多孔質であることから、感湿層３０の表面に対する水分の吸着量が湿度の増大に応じて増大することで、感湿層３０の表面の電気的伝導度が増大して当該感湿層３０のインピーダンスが減少する。
（４）上側電極４０の形成工程
上述のように感湿層３０を形成した後、白金（Ｐｔ）からなるペーストを感湿層３０の表面上にスクリーン印刷して、上側電極パターンを形成する。この上側電極パターンは、厚さ１５（μｍ）×幅２（ｍｍ）×長さ２．５（ｍｍ）なる外形寸法に形成される。
【００４１】
このように形成した上側電極パターンを、電気絶縁基板１０、下側電極２０及び感湿層３０と共に、温度１２０（℃）の雰囲気内で１５（分）の間乾燥し、その後、温度１２００（℃）の雰囲気内で１０（分）の間保持して焼成し、感湿層３０の表面のうち下側電極２０の表面に対応する表面部上に上側電極２０として形成する。これにより、当該上側電極４０は、感湿層３０を介し下側電極２０に対向する。
（５）保護層５０の形成工程
上述のように上側電極４０を形成した後、スピネル（ＭｇＡｌ２Ｏ４）の粉末を含むペースト（以下、スピネル粉末含有ペーストともいう）を、上側電極４０の表面上に沿いスクリーン印刷して保護層パターンを形成する。
【００４２】
この保護層パターンは、上側電極４０の表面の他、当該上側電極４０の外周面及び感湿層３０の外周部をも、電気絶縁基板１０の表面のうち右側部上にて被覆するように、上記スピネル粉末含有ペーストのスクリーン印刷でもって形成される（図２参照）。なお、スクリーン印刷による上記スピネル粉末含有ペーストの厚さは、焼成後の保護層５０としての厚さを１０（μｍ）〜７０（μｍ）の範囲以内の値にするように選定される。
【００４３】
上述したスピネル粉末含有ペーストは次のようにして得る。即ち、例えば、比表面積０．６２（ｍ２／ｇ）のスピネル粉末１０（ｇ）を、１００（時間）の間、ボールミルにより湿式粉砕し、このように粉砕したスピネル粉末に、エチルセルロース１（ｇ）を適量のアセトンに溶かしてなる溶液と酢酸ｎ−ブチル４．１８（ｇ）とを加えて、２４（時間）の間湿式混合して、上記スピネル粉末含有ペーストとする。なお、上記比表面積は、一般に、粉体の単位重量あたりの表面積をいう。
【００４４】
上述のように形成した保護層パターンを、電気絶縁基板１０、下側電極２０、感湿層３０及び上側電極４０と共に温度６０（℃）の雰囲気内において１（時間）の間乾燥し、その後、温度１２００（℃）の雰囲気内に２（時間）の間保持して焼成し、保護層５０として形成する。
【００４５】
ここで、上述のように保護層５０の厚さの下限値を１０（μｍ）としたのは、保護層５０の厚さを１０（μｍ）未満にすると、湿度センサとしてのシリコン（後述する）に対する被毒耐久性の向上があまりみられないためである。一方、保護層５０の上限値を７０（μｍ）としたのは、保護層５０の厚さを７０（μｍ）よりも厚くすると、湿度センサとしての応答性の遅延や保護層５０の剥がれを招くためである。
【００４６】
なお、保護層５０の厚さは、次のようにして決定する。即ち、上側電極が現れる湿度センサ１００の断面像を取得し、上側電極と感湿層との積層方向に沿う保護層の厚さを、当該上側電極の任意の５点上にて測定し、これら各測定厚さの平均値を保護層の厚さとして決定する。
【００４７】
以上のような形成工程を経て当該湿度センサ１００が製造される。なお、下側電極２０、感湿層３０、上側電極４０及び保護層５０は、当該湿度センサ１００のセンサ素子を構成する。
【００４８】
次に、以上のように製造した湿度センサ１００の特性につき、比較例である従来の湿度センサとの対比において評価してみた。ここで、比較例として準備した従来の湿度センサにおいては、保護層の主たる形成材料であるスピネル粉末の湿式混合時間（粉砕時間）が２（時間）である点を除き、湿度センサ１００と同様である。
（１）粒径分布に関する評価
上記比較例では、スピネル粉末の粉砕時間が上述のように２（時間）であるのに対し、湿度センサ１００では、スピネル粉末の粉砕時間が、１００（時間）と、上記比較例よりも、５０倍長い。このため、湿度センサ１００におけるスピネル粉末の粒径は、当然のことながら、上記比較例のスピネル粉末の粒径に比べ非常に小さくなる。
【００４９】
このような粒径の相違を把握するために、温度１２００（℃）の雰囲気内で２（時間）の間焼成した後のスピネル粉末の粒径分布を測定してみたところ、図４にて示すグラフが得られた。図４は、湿度センサ１００における保護層の形成材料であるスピネル粉末の粒径分布を示し、図５は、上記比較例における保護層の形成材料であるスピネル粉末の粒径分布を示す。なお、図４及び図５の各グラフを示す座標系は、横軸を対数座標とする片対数座標系である。
【００５０】
また、上記粒径分布の測定は、（株）堀場製作所製ＬＡ−７５０型測定装置を用いて、ＪＩＳ規格（ＪＩＳ  Ｒ  １６１９）による測定方法により行った。この測定方法は、光透過法により粒径分布を測定する方法である。具体的には、このＪＩＳ  Ｒ  １６１９による測定方法は、スピネル粉末を、液相中に均一に分散させた状態から沈降させ、光透過法により、粒径分布を測定する方法である。
【００５１】
図４のグラフによれば、本実施形態におけるスピネル粉末の粒径分布は、粒径５．０（μｍ）以下の範囲にあり、この粒径分布では、当該スピネル粉末の平均粒径が０．９０（μｍ）である。これに対し、図５のグラフによれば、上記比較例におけるスピネル粉末の粒径分布は、本実施形態の場合よりも粒径の大きい範囲にあり、この粒径分布では、スピネル粉末の平均粒径が１．７（μｍ）程度である。
【００５２】
ちなみに、上記焼成後のスピネル粉末を写真撮影してみた。図６は、本実施形態におけるスピネル粉末の写真を示し、図７は、上記比較例におけるスピネル粉末の写真を示す。これによれば、上記粒径分布の相違の通り、本実施形態におけるスピネル粉末の粒径は、上記比較例におけるスピネル粉末の粒径に比べ、はるかに小さいことが分かる。なお、上記写真撮影は、走査型電子顕微鏡を用いて行ったものである。
（２）被毒試験による評価
また、自動車の排気ガス中の湿度検出への湿度センサの利用を考慮して、内燃機関内の機械油に含まれるシリコンに対する湿度センサ１００の被毒試験を行った。この試験は、所定量のシリコン油を添加してなるガソリンを燃料とした自動車の内燃機関の排気ガス中に湿度センサ１００を６（時間）の間晒すことで行った。
【００５３】
また、湿度センサ１００を排気ガス中に晒す前と晒した後とにおける湿度センサ１００の感湿特性の測定は、分流法（ＪＩＳ  Ｚ  ８８０６）を用いて次の分流評価条件のもとに行った。
【００５４】
即ち、この分流評価条件としては、測定温度を２０（℃）とし、評価ガスとして空気を用い、測定相対湿度を１０（ＲＨ％）、２０（ＲＨ％）、５０（ＲＨ％）及び８０（ＲＨ％）とする。
【００５５】
このような分流評価条件に基づき、湿度センサ１００のシリコンに対する被毒試験を行った。即ち、自動車の排気ガス中に湿度センサ１００を晒す前及び晒した後の各々において、温度７５０（℃）の雰囲気内で２（分）の間加熱クリーニングして当該湿度センサ１００の出力を安定させた後、分流法により当該湿度センサ１００の検出出力特性を測定した。
【００５６】
これにより、図８にて示す両グラフ１０１、１０２が得られた。なお、図８で示す座標系は、後述の図９で示す座標系と共に、縦軸を対数座標とする片対数座標系である。
【００５７】
図８によれば、グラフ１０１は、湿度センサ１００を排気ガス中に晒す前の湿度センサ１００のインピーダンスと相対湿度との関係を示し、グラフ１０２は、湿度センサ１００を排気ガス中に６（時間）の間晒した後における湿度センサ１００のインピーダンスと相対湿度との関係を示す。
【００５８】
これによれば、湿度センサ１００では、そのインピーダンスと相対湿度との関係は、両グラフ１０１、１０２で殆ど変わらず、ほぼ一致している。このことは、排気ガス中のシリコンが保護層５０を通り感湿層３０に到達することは殆どないことを意味する。換言すれば、このことは、湿度センサ１００のシリコンに対する耐被毒特性が良好であることを意味する。
【００５９】
また、上記比較例についても、湿度センサ１００と同様の被毒試験を行った結果、図９にて示すグラフ１０３、１０４が得られた。図９によれば、グラフ１０３は、上記比較例を排気ガス中に晒す前の当該比較例のインピーダンスと相対湿度との関係を示し、グラフ１０４は、上記比較例を排気ガス中に６（時間）の間晒した後における当該比較例のインピーダンスと相対湿度との関係を示す。
【００６０】
これによれば、上記比較例では、そのインピーダンスと相対湿度との関係は、両グラフ１０１、１０２の場合とは異なり、両グラフ１０３、１０４の間で大きく異なっていることが分かる。具体的には、グラフ１０４上のインピーダンスは、相対湿度との関係において、グラフ１０３上のインピーダンスよりも大きく増大している。
【００６１】
これは、上記比較例を排気ガス中に晒すと、排気ガス中のシリコンが上記比較例の感湿層に吸着されて、この感湿層による水分の吸着を妨げる。従って、感湿層のインピーダンスは、グラフ１０４で示すごとく、グラフ１０３による場合よりも増大する。例えば、相対湿度２０（％）に対応するインピーダンスは、上記比較例を排気ガス中に晒す前では１００（ｋΩ）であるが、上記比較例を排気ガス中に６（時間）の間晒した後では、１００（ＭΩ）を超えてしまい、当該比較例による湿度検出が不能となる。
【００６２】
このことは、排気ガス中のシリコンが保護層を通り感湿層に到達することで、上記比較例の感湿層がシリコンによって被毒し湿度検出を不能にすることを意味する。
【００６３】
以上述べたことから、湿度センサ１００では、上記比較例に比べて、シリコンに対する耐被毒特性が格段に向上していることが分かる。
（３）被表面積に関する評価
また、本実施形態において、保護層の主たる形成材料であるスピネル粉末の粉砕時間を種々変更して、このように粉砕時間を互いに異にするスピネル粉末を用いて、多数の湿度センサを、湿度センサ１００と同様に製造した。当該多数の湿度センサにおいては、各保護層が、互いに粉砕時間の異なるスピネル粉末を含有してなるスピネル粉末含有ペーストを用いて、湿度センサ１００の保護層と同様に形成されている。
【００６４】
このように製造した当該多数の湿度センサの各々における出力比と保護層の比表面積との関係を、湿度センサ１００における出力比と保護層の比表面積との関係と共に測定した。ここで、上記出力比とは、上述のように湿度センサを排気ガス中に晒した後における当該湿度センサの感湿層のインピーダンス（以下、インピーダンスＺともいう）と、上述のように湿度センサを排気ガス中に晒す前の当該湿度センサの感湿層のインピーダンス（以下、インピーダンスＺｏともいう）との比（Ｚ／Ｚｏ）で表される。
【００６５】
上記測定の結果、出力比と比表面積との関係を示すグラフが図１０にて示すように得られた。これによれば、保護層の比表面積と感湿層のインピーダンスとの間には相関があり、保護層の比表面積を３．０（ｍ２／ｇ）以上とすれば、出力比（Ｚ／Ｚｏ）は、１００倍以下に抑え得ることが分かる（図１０にて領域１０５参照）。
【００６６】
これは、保護層の焼成後の比表面積を３．０（ｍ２／ｇ）以上とすれば、当該保護層の組織が微細となるため、排気ガスが保護層を通過する際にシリコンが保護層によりトラップされ易いからである。なお、図１０で示す座標系は、図８と同様の片対数座標系である。
【００６７】
よって、保護層の比表面積が３．０（ｍ２／ｇ）以上である湿度センサであれば、この湿度センサが、自動車の内燃機関の排気ガスのように高温で機械油の成分の影響を受ける雰囲気や、高温で塵埃や不純物等の影響を受ける雰囲気に晒されても、これらの雰囲気中に含まれるシリコンに対する耐久性等の湿度センサとしての耐被毒特性が、この湿度センサの性能の劣化を伴うことなく、著しく良好に確保される。その結果、極めて精度のよい長期安定性に優れた湿度センサの提供が可能となる。
【００６８】
但し、保護層の焼成後の比表面積を１０．０（ｍ２／ｇ）以下とするのが望ましい。比表面積が１０．０（ｍ２／ｇ）より大きな保護層を形成しようとすると、スピネル粉末含有ペーストを作る際に、アセトン等の溶媒やバインダーを多量に添加する必要がある。このため、当該ペーストのスクリーン印刷による成形性が悪くなるとともに、この成形後の乾燥で上記ペーストに亀裂が発生し易くなるのは勿論のこと、出発原料のスピネル粉末の比表面積を１２（ｍ２／ｇ）以上にする必要があり、スピネル粉末の粉砕コストが上昇するためである。
【００６９】
なお、本発明の実施にあたり、上記実施形態に限ることなく、以下のような種々の変形例が挙げられる。
（１）自動車の内燃機関内の機械油には、シリコンの他、リンも含まれるため、このリンも、シリコンと同様に、当該内燃機関の排気ガス中に含まれる。従って、湿度センサにより排気ガス中の湿度を検出する際には、当該湿度センサは、排気ガス中のリンにも晒される。
【００７０】
当該リンは、シリコンと同様に湿度センサに対し被毒物質として作用することから、湿度センサの耐被毒特性の悪化を招く原因となる。しかし、上記実施形態にて述べたように湿度センサ１００に保護層５０を形成することで、リンに対する湿度センサ１００の耐被毒特性その他の特性をシリコンの場合と同様に確保できる。
【００７１】
また、このようなことは、シリコンやリンの他、鉛を含めた金属、有機金属化合物或いは無機金属化合物に対しても同様に成立する。なお、例えば、シリコンやリンは、自動車の内燃機関の排気ガス中に含まれるものに限ることなく、船舶や飛行機等の内燃機関の排気ガス中の湿度を湿度センサ１００でもって検出する場合において当該排気ガス中に含まれるシリコンやリンであってもよい。
【００７２】
なお、このようなことは、燃料電池の燃料供給ライン内の雰囲気中や一般的な或る被測定雰囲気中の湿度を湿度センサ１００でもって検出する場合において当該雰囲気中に含まれるシリコンやリンでも同様である。
（２）また、湿度センサ１００において、保護層５０の気孔率を、２０（％）〜８０（％）の範囲以内の値とするのが望ましい。２０（％）未満の気孔率では、排気ガスが保護層５０を通過しにくくなって湿度センサとしての応答性の遅延を招き、また、８０（％）よりも多い気孔率では、湿度センサとしてのシリコンに対する耐被毒特性の悪化を招くからである。なお、上記気孔率は、一般に、多孔質体（例えば、保護層５０）中に含まれる気孔の割合をいう。
（３）また、上記スピネル粉末含有ペーストに含有すべきスピネル粉末は、上記実施形態にて述べたようにボールミルにより細かく粉砕したものに限ることなく、予め粒径を細かく調整済みのスピネル粉末であってもよい。
（４）また、下側電極２０や上側電極４０の形成材料としては、白金に限ることなく、金（Ａｕ）であってもよく、また、一般的には、貴金属であればよい。金等の貴金属は、白金と同様に、耐熱性、耐食性や長期安定性に優れているからである。
（５）電気絶縁基板１０の形成材料は、アルミナに限ることなく、ＹＳＺ等のセラミックであってもよく、また、電気絶縁樹脂であってもよい。なお、電気絶縁基板１０の厚さ等の外形寸法は、特に制限はなく、必要に応じて適宜変更してもよい。このことは、下側電極２０、感湿層３０や上側電極４０においても同様である。
（６）上述した下側電極２０、感湿層３０及び上側電極４０からなる感湿素子は、上記実施形態にて述べた構成に限ることなく、例えば、一対の櫛歯電極を感湿層の面に沿い互いに対向して位置するように形成した構成或いは一対の櫛歯電極を互いに対向して位置するように感湿層に埋設して形成した構成であってもよい。また、上記感湿素子は、同一面上において一対の櫛歯電極を感湿層を介し互いに対向して位置させる構成であってもよい。一般的には、櫛歯電極を有する感湿素子は、一対の櫛歯電極を互いに対向して位置するように感湿層に設けた構成であればよい。
（７）上述した下側電極２０、感湿層３０及び上側電極４０からなる感湿素子は、上記実施形態にて述べた構成に限ることなく、感湿層３０に下側電極２０及び上側電極４０を互いに対向して位置するように内蔵した構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る湿度センサの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１にて２−２線に沿う断面図である。
【図３】図１の湿度センサの概略分解斜視図である。
【図４】上記実施形態における湿度センサにおける保護層のスピネル粉末の粒径分布を、粒径の頻度と粒径との関係で示すグラフである。
【図５】従来の湿度センサである比較例における保護層のスピネル粉末の粒径分布を、粒径の頻度と粒径との関係で示すグラフである。
【図６】上記実施形態における湿度センサにおける保護層の部分写真撮影図である。
【図７】従来の湿度センサである比較例における保護層の部分写真撮影図である。
【図８】上記実施形態における湿度センサの感湿層のインピーダンスと相対湿度との関係を、当該湿度センサを排気ガスに晒す前と晒した後につき、示すグラフである。
【図９】従来の湿度センサである比較例の感湿層のインピーダンスと相対湿度との関係を、当該比較例を排気ガスに晒す前と晒した後につき、示すグラフである。
【図１０】上記実施形態において製造した多数の湿度センサの出力比と各湿度センサの保護層の比表面積との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１０…電気絶縁基板、２０…下側電極、３０…感湿層、４０…上側電極、
５０…保護層。
【図１】
2005069719.tif 000003
【図２】
2005069719.tif 000004
【図３】
2005069719.tif 000005
【図４】
2005069719.tif 000006
【図５】
2005069719.tif 000007
【図６】
2005069719.tif 000008
【図７】
2005069719.tif 000009
【図８】
2005069719.tif 000010
【図９】
2005069719.tif 000011
【図１０】
2005069719.tif 000012