(57)【要約】【課題】  平面コイル１１の電気的特性の測定を正確にかつ容易に行う。【解決手段】  電気的特性が既知である測定時接続用コンデンサ２を測定対象の平面コイル１１に接続して発振回路を構成する。測定用コイル６を平面コイル１１に面して配設し、測定用コイル６に設定範囲内で周波数を変えて電流を流す。これにより、磁束を変化させて、平面コイル１１の電気的特性の違いに応じて変化する、平面コイル１１からの応答信号を測定用コイル６で測定する。この測定値に基づいて平面コイル１１のインダクタンスを算出する。測定時接続用コンデンサ２を平面コイル１１に接触する手段として測定用プローブ３を用いる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的特性が既知である測定時接続用コンデンサを測定対象の平面コイルに接続し、
測定用コイルを上記平面コイルに面して配設し、上記測定用コイルに設定範囲内で周波数を変えて電流を流すことで、上記平面コイルの電気的特性の違いに応じて変化する応答信号を測定することを特徴とする平面コイルの電気的特性測定方法。
【請求項２】
測定対象の平面コイルに対して電気的特性の測定時に一時的に接続される測定時接続用コンデンサと、
上記平面コイルに面して配設され設定範囲内で周波数を変えて電流を流すことで上記平面コイルの電気的特性の違いに応じて変化する応答信号を測定する測定用コイルと
を備えたことを特徴とする平面コイルの電気的特性測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の平面コイルの電気的特性測定装置において、
上記測定時接続用コンデンサの両端に測定用プローブが接続され、当該測定用プローブを上記平面コイルに接触させることで、上記測定時接続用コンデンサを上記平面コイルに対して測定時に一時的に接続させることを特徴とする平面コイルの電気的特性測定装置。
【請求項４】
測定対象の平面コイルに対して電気的特性の測定時に当該平面コイルに接続される測定時接続用コンデンサと、
当該測定時接続用コンデンサの両端に接続され上記平面コイルに接触することで上記測定時接続用コンデンサを上記平面コイルに一時的に接続する測定用プローブと、
当該測定用プローブを支持して上記平面コイルに対して測定時にのみ接続させる測定用プローブ接続機構と、
上記平面コイルの位置を検出する位置検出手段と、
上記平面コイルに面して配設され設定範囲内で周波数を変えて電流を流すことで上記平面コイルの電気的特性の違いに応じて変化する応答信号を測定する測定用コイルと、
電気的特性の測定時に上記位置検出手段で上記測定対象の平面コイルの正確な位置を検出して上記測定用プローブ接続機構で上記測定用プローブを上記平面コイルに接触させて測定時接続用コンデンサを平面コイルに接続させ、当該平面コイルに面して配設された測定用コイルで上記平面コイルの電気的特性の違いに応じて変化する応答信号を測定させる制御手段と、
当該制御手段で測定した応答信号の変化を基に上記平面コイルのインダクタンスを導き出す演算手段と
を備えたことを特徴とする平面コイルの電気的特性測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の平面コイルの電気的特性測定装置において、
上記測定対象の平面コイルが縦横に複数個配設された帯状基板を上記測定用コイル側へ繰り出す繰り出し機構を備え、
上記測定時接続用コンデンサ及び測定用コイルが、上記帯状基板の幅方向に配設された平面コイルの個数に合わせて配設されたことを特徴とする平面コイルの電気的特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、近接・近傍型の非接触ＩＣカード・タグのアンテナ等に用いられる平面コイルの電気的特性を測定するための電気的特性測定方法及び電気的特性測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
平面コイルは、非接触ＩＣカード・タグのアンテナ等として広く用いられているが、その性能（交信距離）を最大限に引き出すためには、回路（コイル）の電気的特性値（インダクタンス）を正確に知る必要がある。このため、各平面コイルに対して、電気的特性の測定が行われる。この電気的特性の測定をするに際しては、その電気的特性値を正確に知るために、測定対象の平面コイルに測定用の端子を設け、その端子を測定機に直接接続して測定する方法が取られている。
【０００３】
非接触で測定することも可能であるが、正確な電気的特性を知るためには、平面コイルに測定機を直接接続して測定する必要があった。
【０００４】
この例としては、特許文献１に記載の「インダクタンス測定装置及びその測定用プローブ装置」がある。この装置は、容量を備えた２本の同軸線を測定サンプルに接続して測定を行う。
【特許文献１】特開平０８−１４６０６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述のような平面コイルの電気的特性測定方法では、ある程度高い精度で平面コイルの電気的特性を測定することができるが、近年の情報量の増大、装置の複雑化、高度化等によって、さらに高い精度での平面コイルの電気的特性測定が要請されている。
【０００６】
これに対して、上述のような平面コイルの電気的特性測定方法では、測定用端子を測定対象の平面コイルに取り付けた際の状態（端子の長さ、接続方向）や、測定機への接続状態等に微妙な違いが生じてしまい、その違いによって測定結果にばらつきが生じてしまうという問題がある。
【０００７】
さらに、測定対象の平面コイル全てに対して測定用端子を個別に取り付けるのは非常に煩雑であり、品質管理が容易でないという問題がある。
【０００８】
また、特許文献１の場合、２本の同軸線にＵ字状の配線（直線配線及び接続配線からなるＵ字状の配線）を接続した状態で、２本の同軸線を測定サンプルに接続して測定を行うため、接続方法の機構が複雑になる。さらに、プローブ測定機（ＬＣＲメータ）までの引き回しの状態や長さが変わってしまうと、調整し直す必要がある。
【０００９】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、測定及び品質管理の容易化、品質の向上を図った平面コイルの電気的特性測定方法及び電気的特性測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の発明に係る平面コイルの電気的特性測定方法は、電気的特性が既知である測定時接続用コンデンサを測定対象の平面コイルに接続し、測定用コイルを上記平面コイルに面して配設し、上記測定用コイルに設定範囲内で周波数を変えて電流を流すことで、上記平面コイルの電気的特性の違いに応じて変化する応答信号を測定することを特徴とする。
【００１１】
上記構成により、測定時接続用コンデンサを測定対象の平面コイルに接続することで、発振回路となって、測定用コイルに応答信号を送る。このとき、測定時接続用コンデンサの電気的特性は既知である為、測定時接続用コンデンサと平面コイルとによる応答信号の変化（基準値からのずれ）は、平面コイルの電気的特性の違いにのみ依存する。この測定した応答信号の変化を基に、平面コイルの電気的特性を測定する。
【００１２】
第２の発明に係る平面コイルの電気的特性測定装置は、測定対象の平面コイルに対して電気的特性の測定時に一時的に接続される測定時接続用コンデンサと、上記平面コイルに面して配設され設定範囲内で周波数を変えて電流を流すことで上記平面コイルの電気的特性の違いに応じて変化する応答信号を測定する測定用コイルとを備えたことを特徴とする。
【００１３】
上記構成により、測定時接続用コンデンサが平面コイルに接続することで、電気的特性の測定時に一時的に発振回路を構成する。平面コイルに面して配設された測定用コイルに、設定範囲内で周波数を変えて電流を流すと、相互誘導により測定用コイルに応答信号を送る。そして、この応答信号は上記平面コイルの電気的特性の違いに応じて変化するため、応答信号を測定することで、上記平面コイルの電気的特性を測定することができる。
【００１４】
第３の発明に係る平面コイルの電気的特性測定装置は、第２の発明に係る平面コイルの電気的特性測定装置において、上記測定時接続用コンデンサの両端に測定用プローブが接続され、当該測定用プローブを上記平面コイルに接触させることで、上記測定時接続用コンデンサを上記平面コイルに対して測定時に一時的に接続させることを特徴とする。
【００１５】
上記構成により、測定用プローブを平面コイルに接触させて測定時接続用コンデンサを平面コイルに対して測定時に一時的に接続させることで、測定時にのみ発振回路を構成することができる。さらに、測定用プローブが接続された測定時接続用コンデンサの電気的特性は既知であるため、これらが各平面コイルに接続されたときに、端子の長さ、接続方向等にばらつきが生じることがなくなり、各平面コイルの電気的特性を正確に測定することができる。
【００１６】
第４の発明に係る平面コイルの電気的特性測定装置は、測定対象の平面コイルに対して電気的特性の測定時に当該平面コイルに接続される測定時接続用コンデンサと、当該測定時接続用コンデンサの両端に接続され上記平面コイルに接触することで上記測定時接続用コンデンサを上記平面コイルに一時的に接続する測定用プローブと、当該測定用プローブを支持して上記平面コイルに対して測定時にのみ接続させる測定用プローブ接続機構と、上記平面コイルの位置を検出する位置検出手段と、上記平面コイルに面して配設され設定範囲内で周波数を変えて電流を流すことで上記平面コイルの電気的特性の違いに応じて変化する応答信号を測定する測定用コイルと、電気的特性の測定時に上記位置検出手段で上記測定対象の平面コイルの正確な位置を検出して上記測定用プローブ接続機構で上記測定用プローブを上記平面コイルに接触させて測定時接続用コンデンサを平面コイルに接続させ、当該平面コイルに面して配設された測定用コイルで上記平面コイルの電気的特性の違いに応じて変化する応答信号を測定させる制御手段と、当該制御手段で測定した応答信号の変化を基に上記平面コイルのインダクタンスを導き出す演算手段とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
上記構成により、制御手段の制御によって、位置検出手段で平面コイルの位置を検出させ、当該平面コイルが設定位置に移動されたとき、測定用プローブ接続機構で測定用プローブを平面コイルに接触させて、測定時接続用コンデンサと平面コイルとで発振回路を構成する。このとき、測定用コイルは平面コイルに面して配設されており、この測定用コイルに設定範囲内で周波数を変えて電流を流し、平面コイルの電気的特性の違いに応じて変化する応答信号を測定する。次いで、演算手段で、上記応答信号の変化を基に平面コイルのインダクタンスを導き出す。
【００１８】
第５の発明に係る平面コイルの電気的特性測定装置は、第４の発明に係る平面コイルの電気的特性測定装置において、上記測定対象の平面コイルが縦横に複数個配設された帯状基板を上記測定用コイル側へ繰り出す繰り出し機構を備え、上記測定時接続用コンデンサ及び測定用コイルが、上記帯状基板の幅方向に配設された平面コイルの個数に合わせて配設されたことを特徴とする。
【００１９】
上記構成により、帯状基板が繰り出し機構で測定用コイル側へ繰り出されるときに、幅方向に一列に複数配設された各平面コイルに、各測定時接続用コンデンサがそれぞれ接続され、各測定用コイルで応答信号が測定される。
【発明の効果】
【００２０】
以上詳述したように、本発明の薄板支持容器によれば、次のような効果を奏する。
【００２１】
（１）  平面コイルの電気的特性の違いにのみ依存する、測定時接続用コンデンサと平面コイルとによる応答信号の変化を基に、平面コイルの電気的特性を測定するため、平面コイルの電気的特性を容易にかつより正確に測定することができるようになる。この結果、上記平面コイル及び当該平面コイルを用いた製品の品質管理の容易化、品質の向上を図ることができる。
【００２２】
（２）  測定用プローブを平面コイルに接触させることで測定時接続用コンデンサを平面コイルに接続させることで、端子の長さ、接続方向等のばらつきを抑えて電気的特性を測定するため、各平面コイルの電気的特性を正確に測定することができ、上記平面コイル及び当該平面コイルを用いた製品の品質管理の容易化、品質の向上を図ることができる。
【００２３】
（３）  制御手段の制御によって、平面コイルの位置検出、測定用プローブの平面コイルへの接触、測定用コイルへの周波数を変えた電流の供給、応答信号の測定、インダクタンスの導出を行うため、多数の平面コイルの電気的特性を容易にかつより正確に測定することができるようになる。この結果、多数の平面コイルの電気的特性を効率的に測定することができ、多数の平面コイル及び当該平面コイルを用いた多数の製品の品質管理の容易化、品質の向上を図ることができる。
【００２４】
（４）  繰り出し機構で繰り出される帯状基板の幅方向に一列に並んだ各平面コイルを、各測定時接続用コンデンサ及び各測定用コイルで同時に測定し、帯状基板の繰り出しに応じて連続的に測定するため、多数の平面コイルの電気的特性を効率的に測定することができ、多数の平面コイル及び当該平面コイルを用いた多数の製品の品質管理の容易化、品質の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の平面コイルの電気的特性測定方法及び電気的特性測定装置は、非接触ＩＣカード・タグ等に用いられる平面コイルの測定方法及び測定装置である。具体的には、近接・近傍型の非接触ＩＣカード・タグのアンテナ等の、薄く配設されるタイプの平面型のコイルの測定に適した方法及び装置である。
【００２６】
［平面コイルの電気的特性測定装置］
まず、平面コイルの電気的特性測定方法に用いる電気的特性測定装置について、図１及び図２を基に説明する。なお、ここで測定する電気的特性はインダクタンスである。
【００２７】
電気的特性測定装置１は、測定時接続用コンデンサ２と、測定用プローブ３と、測定用プローブ接続機構４と、位置検出手段５と、測定用コイル６と、制御手段７と、演算手段８と、帯状基板送り機構９と、マーク付与器１０とから構成されている。
【００２８】
測定時接続用コンデンサ２は、測定対象の平面コイル１１に対して電気的特性の測定時に一時的に接続されるためのコンデンサである。この測定時接続用コンデンサ２は、平面コイル１１に接続されることで、それら測定時接続用コンデンサ２及び平面コイル１１で発振回路を構成するようになっている。測定時接続用コンデンサ２は、その電気的特性が予め測定されて分かっているものを用いる。これにより、発振回路を構成する部材のうち、後述する測定用プローブ３を含めた測定時接続用コンデンサ２の電気的特性は予め分かっているため、発振回路による応答信号が変化する場合、その変化は平面コイル１１の電気的特性の違いによるものであることが分かる。測定時接続用コンデンサ２は、後述する帯状基板１６の幅方向に配設された平面コイル１１の個数に合わせて６個並列に配設されている。
【００２９】
測定用プローブ３は、平面コイル１１に接触することで測定時接続用コンデンサ２を平面コイル１１に一時的に接続するためのプローブである。この測定用プローブ３は、測定時接続用コンデンサ２の両端にそれぞれ接続されている。各測定用プローブ３が平面コイル１１の両端部にそれぞれ接触することで、測定時接続用コンデンサ２と平面コイル１１とが互いに接続されるようになっている。測定用プローブ３が測定時接続用コンデンサ２に接続された状態で、これら測定用プローブ３と測定時接続用コンデンサ２とからなる素子の電気的特性を予め調べておく。
【００３０】
測定用プローブ接続機構４は、測定用プローブ３を支持して測定時に平面コイル１１に対して接触させるための機構である。この測定用プローブ接続機構４は、支持部１２と、昇降部１３とから構成されている。支持部１２は、測定用プローブ３を支持するための部材である。支持部１２は、測定用プローブ３が測定時接続用コンデンサ２に接続された状態で、これら測定時接続用コンデンサ２及び測定用プローブ３を一体的に支持している。昇降部１３は、支持部１２を昇降させるための部材である。昇降部１３は、例えばネジ山を刻んだ昇降軸と、この昇降軸にねじ込まれてステッピングモータ等で回転角度を正確に制御されて昇降軸を正確に上下動させる昇降ナット部等から構成されて、支持部１２を正確に上下動させることができるようになっている。昇降部１３は制御手段７に接続されている。支持部１２の取り付けられた測定用プローブ３は、平面コイル１１に対してその環状に巻いた線の外側から斜めに延びて平面コイル１１の各端部に接触するように配設されている。これは、環状の平面コイル１１の内部を貫く磁束に影響を及ぼさないようにすると共に、測定用プローブ３の撓み（弾性変形）によって各測定用プローブ３の先端が平面コイル１１の両端部に確実に接触するようにするためである。測定用プローブ接続機構４は、測定時にのみ測定用プローブ３を平面コイル１１に接続させる。
【００３１】
位置検出手段５は、平面コイル１１の位置を検出するための手段である。位置検出手段５としては、種々のものを用いることができる。光の反射状態や画像から平面コイル１１の境界を検出して平面コイル１１の両端部の位置を特定するセンサや、後述する帯状基板１６に直接的に付けた印や切欠等を検出してその位置から平面コイル１１の両端部の位置を特定するセンサ等を用いることができる。
【００３２】
測定用コイル６は、平面コイル１１からの応答信号を測定するためのコイルである。測定用コイル６は平面コイル１１に面して配設されている。具体的には、平面コイル１１の両端部と各測定用プローブ３の先端部とが整合した位置（測定位置）の平面コイル１１と整合する位置であって、帯状基板１６の下側面から５〜１０ｍｍ程度隔てて配設されている。測定用コイル６には、測定部１５が接続されている。この測定部１５は、測定用コイル６に供給する交流電流の周波数を調整できる機能と、平面コイル１１からの応答信号を検出する機能とが備えられている。これにより測定部１５は、設定範囲内（例えば、基準周波数１３．５６ＭＨｚを中心に１０〜１５ＭＨｚの範囲）で電流の周波数を変えて測定用コイル６に供給すると共に、平面コイル１１からの応答信号を検出する。この応答信号は、平面コイル１１の電気的特性の違いに応じて変化するため、この応答信号の違いを測定部１５で正確に測定することができる。測定用コイル６及び測定部１５は、測定時接続用コンデンサ２と同様に、帯状基板１６の幅方向に配設された平面コイル１１の個数に合わせて６個並列に配設されている。
【００３３】
制御手段７は、全体を制御するための装置である。制御手段７は具体的には、図３に示すフローチャートの処理機能が格納されている。
【００３４】
演算手段８は、制御手段７で測定した応答信号の変化を基に平面コイル１１のインダクタンスを導き出すための手段である。この演算手段８は制御手段７内に組み込まれている。演算手段８では、具体的には次の式に基づいて平面コイル１１のインダクタンスを算出する。
【数１】
2005227041.tif 000003
【００３５】
Ｚ：測定系のインピーダンス
Ｌ２：測定対象コイルのインダクタンス
Ｌ１：測定用コイルのインダクタンス（既知）
ｒＬ：測定用コイルの直流抵抗（既知）
ｒ：測定対象コイルの直流抵抗（理論計算値を適用）
Ｃ：測定時接続用コンデンサの静電容量（既知）
Ｍ：測定用コイルと測定対象コイル間の相互インダクタンス（コイル間距離により決定）
ｗ：２π×測定周波数［Ｈｚ］
ｉ：虚数単位
上式からＬ２を導き出す。
【００３６】
帯状基板送り機構９は、順次間欠的に帯状基板１６を流れ方向Ｘへ繰り出すための繰り出し機構である。帯状基板送り機構９は、帯状基板１６が巻かれた繰り出しロール１８と、この繰り出しロール１８を回転駆動する繰り出し側駆動部１９と、帯状基板１６を巻き取る巻き取りロール２０と、この巻き取りロール２０を回転駆動する巻き取り側駆動部２１とから構成されている。繰り出し側駆動部１９と巻き取り側駆動部２１は、帯状基板１６の繰り出し量を正確に制御できるステッピングモータ等の駆動手段で構成されている。これら繰り出し側駆動部１９及び巻き取り側駆動部２１は上記制御手段７に接続されている。この制御手段７に制御された繰り出し側駆動部１９及び巻き取り側駆動部２１は、帯状基板１６を正確に繰り出して、位置検出手段５で検査対象の平面コイル１１の位置を検出し、正確に位置決めするようになっている。
【００３７】
帯状基板１６は、測定対象の平面コイル１１を縦横に複数個配設された基板である。この帯状基板１６は、横幅５０ｃｍで縦方向に長尺の帯状に形成されている。平面コイル１１は帯状基板１６の流れ方向Ｘに対して６個並列に並べられ、縦方向に２ｃｍの間隔で多数設けられている。
【００３８】
マーク付与器１０は、制御手段７で不良品と判断された平面コイル１１にマークを付与するための装置である。このマーク付与器１０は、スタンプや印刷装置等によって構成され、不良である旨の印を平面コイル１１に付ける。マーク付与器１０は、帯状基板１６に配設された平面コイル１１に合わせて帯状基板１６の幅方向に６個並列に設けられている。
【００３９】
［平面コイルの電気的特性測定方法］
次に、平面コイル１１の電気的特性測定方法について説明する。この平面コイル１１の電気的特性測定方法は、具体的には制御手段７の制御によって行われる。以下、図３のフローチャートを基に説明する。
【００４０】
まず、位置検出手段５で平面コイル１１の位置を検出する（ステップＳ１）。次いで、帯状基板送り機構９の繰り出し側駆動部１９と巻き取り側駆動部２１を作動させる（ステップＳ２）。これにより、繰り出しロール１８と巻き取りロール２０とが回転して帯状基板１６が流れ方向Ｘへ繰り出される。測定対象の平面コイル１１は位置検出手段５で監視されており、当該平面コイル１１が測定位置に整合したか否かを判断する（ステップＳ３）。整合していない場合は、ステップＳ２に戻って帯状基板送り機構９をさらに作動させ、平面コイル１１を測定位置に整合させる。
【００４１】
測定対象の平面コイル１１が測定位置に整合したら、帯状基板送り機構９の繰り出しを停止する（ステップＳ４）。次いで、測定用プローブ接続機構４を作動させる（ステップＳ５）。これにより、測定用プローブ３を降下させて平面コイル１１の両端部と接触させ、測定時接続用コンデンサ２と平面コイル１１とを接続する。
【００４２】
次いで、測定用コイル６の測定部１５を作動させる（ステップＳ６）。これにより、測定用コイル６に設定範囲内で周波数を変えて電流を流す。この電流によって測定用コイル６に生じる磁束が変化し、測定時接続用コンデンサと平面コイル１１とからなる発振回路が共振して応答信号を測定用コイル６に送る。この応答信号を測定用コイル６で検出させる（ステップＳ７）。次いで、検出した応答信号を基に演算手段８でインダクタンスを演算させる（ステップＳ８）。
【００４３】
次いで、算出したインダクタンスが設定値内にあるか否かを判断し（ステップＳ９）、設定値内であれば良品と判断する。設定値を越えていれば不良品と判断し、当該平面コイル１１にマーク付与器１０でマークを付ける（ステップＳ１０）。なお、マークは、不良品と判断したその場で不良品位置に付与しても良いし、不良品位置を制御手段７が記憶しておいて、次回以降の間欠送りの停止時に付与しても良い。マーク付与器１０は、マークを付与する態様に応じた位置に取り付けられる。
【００４４】
次いで、上記ステップＳ１に戻り、次の列の平面コイル１１の電気的特性を測定する。
【００４５】
次に、上記電気的特性測定方法で実際に平面コイル１１のインダクタンス値を測定した例を以下に示す。ここでは、同一性能の平面コイル１１を従来方法でサンプル数２５、本発明方法でサンプル数２５に対して行った。
【表１】
2005227041.tif 000004
【００４６】
この結果、上記表のように、標準偏差で１／２以下に改善された。
【００４７】
これにより、平面コイル１１の電気的特性をより正確に測定することができるようになる。さらに、平面コイル１１の電気的特性の測定が容易になる。この結果、平面コイル１１及び当該平面コイル１１を用いた製品の品質管理が容易化にあり、品質の向上を図ることができる。
【００４８】
［変形例］
（１）  上記実施形態では、測定時接続用コンデンサ２に測定用プローブ３を接続して、測定時に測定時接続用コンデンサ２を平面コイル１１に一時的に接続したが、予め各平面コイル１１に測定時接続用コンデンサ２を半田等で接続するようにしてもよい。この場合は、測定時接続用コンデンサ２、測定用プローブ３、測定用プローブ接続機構４は不要となる。この場合も上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００４９】
（２）  上記実施形態では、平面コイル１１を縦横に多数配設した帯状基板１６を測定対象にしたが、平面コイル１１は、横に７個以上、５個以下配設されている場合、１列に配設されている場合でもよいことは言うまでもない。
【００５０】
（３）  上記実施形態では、平面コイル１１を識別するためにマーク付与器１０を設けたが、穴を空ける等の他の手段でもよい。この場合も上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施形態に係る平面コイルの電気的特性測定装置を示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る平面コイルを配設した帯状基板を示す平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る電気的特性測定装置の制御手段での機能を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５２】
１：電気的特性測定装置、２：測定時接続用コンデンサ、３：測定用プローブ、４：測定用プローブ接続機構、５：位置検出手段、６：測定用コイル、７：制御手段、８：演算手段、９：帯状基板送り機構、１０：マーク付与器、１１：平面コイル、１２：支持部、１３：昇降部、１５：測定部、１６：帯状基板、１８：繰り出しロール、１９：繰り出し側駆動部、２０：巻き取りロール、２１：巻き取り側駆動部。
【図１】
2005227041.tif 000005
【図２】
2005227041.tif 000006
【図３】
2005227041.tif 000007