(57)【要約】  【課題】  磁気転写用マスター担体を用い、信号再生時にサブパルスによるエラー等の問題を発生しない磁化パターンを被転写媒体に転写する。  【解決手段】  所望の情報に応じた転写パターンを有する磁気転写用マスター担体３とディスク状の被転写媒体２との重畳体に磁界を印加する、被転写媒体２の内周から外周に延び、端面52ａ、52ｂが重畳体に対向するように配置される磁極52を有する磁界印加手段50と、磁極52に対して重畳体を相対的に回転させる回転手段とを備えた磁気転写装置において、磁極の端面52ａ、52ｂが、該端面と重畳体との距離ｄが、内周から外周にかけて小さくなるように配置し、磁界の強度が被転写媒体２の内周から外周にかけて大きくなる磁界を用いて磁気転写を行う。【選択図】          図２
2005276295.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所望の情報に応じた転写パターンを有する磁気転写用マスター担体と、ディスク状の被転写媒体との重畳体に磁界を印加して、前記転写パターンを前記被転写媒体の磁気記録面に転写する磁気転写方法において、
前記印加する磁界として、強度が前記被転写媒体の内周より外周で強度が大である磁界を用いることを特徴とする磁気転写方法。
【請求項２】
前記被転写媒体の最内周トラックに印加する磁界強度Ｈinが、該被転写媒体の保磁力Ｈc±39.8ｋＡ／ｍの範囲であることを特徴とする請求項１記載の磁気転写方法。
【請求項３】
前記被転写媒体の最外周トラックに印加する磁界強度Ｈout[Ａ/ｍ]、最内周トラック半径ｒinと最外周トラック半径ｒoutの差ｒ＝ｒout−ｒin  [mm]、および前記最内周トラックに印加する磁界強度Ｈin[Ａ/ｍ]が、
Ｈout＝Ｈin＋α／ｒ  （7.96×103≦α≦3184×103）
の関係を満たすことを特徴とする請求項２記載の磁気転写方法。
【請求項４】
前記印加する磁界が、直流磁界であることを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の磁気転写方法。
【請求項５】
所望の情報に応じた転写パターンを有する磁気転写用マスター担体とディスク状の被転写媒体との重畳体に磁界を印加する、被転写媒体の内周から外周に延び、端面が前記重畳体に対向するように配置される磁極を有する磁界印加手段と、前記磁極に対して前記重畳体を相対的に回転させる回転手段とを備え、前記転写パターンを前記被転写媒体の磁気記録面に転写する磁気転写装置において、
前記磁極の前記端面が、該端面と前記重畳体との距離が、内周より外周で小さくなるように配置されていることを特徴とする磁気転写装置。
【請求項６】
請求項１から４いずれか１項記載の磁気転写方法により、磁気転写用マスター担体から磁気転写により前記転写パターンに基づく磁化パターンが記録されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被転写媒体に所望の磁化パターンを磁気転写用マスター担体から転写する磁気転写方法および磁気転写装置、並びに磁気記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、微細凹凸パターンにより転写情報を担持した磁気転写用マスター担体と、転写を受ける磁気記録層を有する被転写媒体（スレーブ媒体）とを密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に
転写記録する磁気転写方法が知られている。この磁気転写方法は、マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、しかも記録に要する時間も極めて短時間であるという利点を有している（例えば特許文献１、２参照）。
【０００３】
この磁気転写手法を磁気記録媒体上にヘッド位置決め用サーボ信号を記録するために用いることが既に上記特許文献１、２等において提案されている。
【０００４】
一方、磁気転写方法における技術的な問題点の一つとして、マスター担体からスレーブ媒体への信号の転写において、スレーブ媒体上に不明瞭な磁気記録部（反転磁化）が発生するという問題がある。この不明瞭な磁気記録部の存在により、磁化パターンの読出し波形においてサブパルスが検出されるため、磁気再生装置においては該サブパルスを再生信号として認識しエラーを発生する可能性がある。この不明瞭な磁気記録部により発生するサブパルスを観測する方法は例えば特許文献３、４等に開示されている。
【特許文献１】特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献２】特開平１０−２６９５６６号公報
【特許文献３】特開２００２−９３０６５号公報
【特許文献４】特開２００２−４２３０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明者の研究により、マスター担体上に設けられる凹凸パターンにおいて、凸部が密に設けられている部分では被転写媒体上にサブパルスの発生が見られず、一方、凸部が疎に設けられている部分では被転写媒体上にサブパルスの発生が多く見られることが分かった。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑み、信号再生時にサブパルスによる誤認識を発生しない磁化パターンを被転写媒体に転写する磁気転写方法および転写装置を提供することを目的とする。
【０００７】
また、本発明は、磁気転写方法により磁化パターンが転写された被転写媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者によるシミュレーションおよび要因分離の結果、マスター担体上の凸部パターンが密な部分では、隣接凸部パターン間で磁束を順次吸収、放出するために、転写磁界が小さくても、スレーブ媒体の磁化を反転するのに十分な磁束を発生できることがわかった。しかし、凸部パターンが疎の部分ではマスター担体の凸部から放出された磁束を被転写媒体が十分に吸収できず、被転写媒体上に不鮮明な磁化領域が発生するために、再生波形においてサブパルスが発生することがわかった。また、内周に比べて外周部の方が密集パターンから孤立信号までの距離が長いことから、外周部でサブパルス発生現象が顕著であることがわかった。具体的には、3.5inchサイズにおいて、例えば、最内周で１ビット当たり100ｎｍのビット長が、最外周では４倍の400ｎｍとなるため、凸部と凸部との間隔が大きくなる。
【０００９】
基本的にパターン上の磁束量の不足が原因であることから、印加磁界強度を上げることにより、疎パターン部での転写精度を向上させることができた。印加磁界強度を増加させることにより外周部のパターンが疎な部分でのサブパルスの発生は大幅に抑制されたが、逆に内周部で信号欠落が発生した。
【００１０】
この内周部での信号欠落はパターンが密な部分におけるＳ／Ｎ不足であることがわかった。従来、印加する磁界は内周から外周にかけて均一強度のものであり、外周での転写精度を向上させるために転写磁界を増加させたことにより、内周部の凸部パターンが密な部分において、凸部パターン内で収束すべき磁界が漏れ出し、被転写媒体上に不鮮明な磁化領域が発生し信号のコントラストを低減したためと考えられた。
【００１１】
本発明は、以上の知見に基づいてなされたものである。
【００１２】
本発明の磁気転写方法は、所望の情報に応じた転写パターンを有する磁気転写用マスター担体と、ディスク状の被転写媒体との重畳体に磁界を印加して、前記転写パターンを前記被転写媒体の磁気記録面に転写する磁気転写方法において、
前記印加する磁界として、強度が前記被転写媒体の内周より外周で強度が大である磁界を用いることを特徴とするものである。
【００１３】
印加する磁界は、少なくとも被転写媒体の外周における強度が内周における強度より大きければよく、必ずしも内周から外周にかけて連続的（単調に）に大きくなるものに限らず、内周部の一部、外周部の一部などに強度の増減があってもよい。但し、ディスク内周部から外周部にかけて連続的に強度が増加する磁界がより望ましい。また、特に、被転写媒体の最内周で最小の磁界強度となり、最外周で最大の磁界強度とすることが望ましい。
【００１４】
なお、被転写媒体の最内周トラックに印加する磁界強度Ｈinとしては、該被転写媒体の保磁力Ｈc±39.8ｋＡ／ｍ（500Ｏｅ）の範囲であることが望ましい。このとき、被転写媒体の最外周トラックに印加する磁界強度Ｈout[Ａ/ｍ]、最内周トラック半径ｒinと最外周トラック半径ｒoutの差ｒ＝ｒout−ｒin  [mm]、および前記最内周トラックに印加する磁界強度Ｈin[Ａ/ｍ]が、
Ｈout＝Ｈin＋α／ｒ  （7.96×103≦α≦3184×103）
の関係を満たすものであることが望ましい。
【００１５】
なお、上記式は、cgs単位系で表示するとＨout＝Hin＋α’／ｒ  [Oe]  （100≦α’≦40000）となる。ここで、１Oe=79.6Ａ／ｍとしたものである。
【００１６】
また、印加する磁界が、直流磁界であることが望ましい。
【００１７】
本発明の磁気転写装置は、所望の情報に応じた転写パターンを有する磁気転写用マスター担体とディスク状の被転写媒体との重畳体に磁界を印加する、被転写媒体の内周から外周に延び、端面が前記重畳体に対向するように配置される磁極を有する磁界印加手段と、前記磁極に対して前記重畳体を相対的に回転させる回転手段とを備え、前記転写パターンを前記被転写媒体の磁気記録面に転写する磁気転写装置において、
前記磁極の前記端面が、該端面と前記重畳体との距離が、内周より外周で小さくなるように配置されていることを特徴とするものである。
【００１８】
本発明の磁気記録媒体は、本発明の磁気転写方法により、磁気転写用マスター担体から磁気転写により前記転写パターンに基づく磁化パターンが記録されたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の磁気転写方法によれば、印加する転写磁界強度を被転写媒体内周より外周で大きくしており、外周部においてパターンが疎な領域で十分な磁界を印加しつつ、内周部においてパターンが密な領域でパターン外に漏れ出す磁界を抑制することができるため、被転写媒体全面に亘って良好な磁気転写を行うことができる。これにより、被転写媒体に磁気転写された磁化パターンを良好なＳ／Ｎで読み出すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２１】
図１は、本発明の実施の形態にかかる磁気転写装置の概略構成を示す斜視図、図２は図１に示す磁気転写装置の側面図、図３は、磁気転写用マスター担体と被転写媒体たるスレーブ媒体を示す平面図である。
【００２２】
図１および図２に示すように、磁気転写装置１は、所望の情報に応じた転写パターン３ｂを表面に有するマスター担体３に磁気記録面２ｂを有するスレーブ媒体２を密着させた重畳体を保持する保持手段としての転写ホルダー10と、密着されたマスター担体３とスレーブ媒体２とに転写用磁界を印加する電磁石装置50からなる磁界印加手段とを備えている。
【００２３】
この磁気転写装置１は、重畳体に対してトラックの接線方向の転写用磁界を印加させた状態で、転写パターン３ｂの中心（転写中心Ｃ）の周りに、該重畳体を電磁石装置50に対して相対的に回転させることにより、転写パターン３ｂに応じた磁化パターンを磁気記録面２ｂに磁気転写させるものである。
【００２４】
電磁石装置50は、転写ホルダー10の半径方向に延びるギャップ51を有するコア52にコイル53が巻き付けられてなる。電磁石装置50はコア52の磁極端52ａ、52ｂ間のギャップ51にトラックの接線方向（略トラック方向とみなすことができる）に沿った向きの磁界Ｈを発生させるものである。なお、磁界印加手段としては、電磁石装置に代えて永久磁石装置で構成してもよい。また、磁界印加手段は、転写ホルダー10の両側に配置されていてもよい。
【００２５】
磁気転写時には、図２に示すように、磁極端52ａ、52ｂの端面が、重畳体との距離ｄが内周から外周にかけて小さくなるように構成配置され、印加する転写用磁界強度がスレーブ媒体の内周から外周にかけて大きくなるように構成されている。
【００２６】
電磁石装置50は、転写ホルダー10内に密着配置されたスレーブ媒体２およびマスター担体３に転写用磁界を印加するときには転写ホルダー10に近接して配置されるが、転写ホルダー10内の空間にマスター担体３およびスレーブ媒体２をセッティングするとき、およびこの空間からスレーブ媒体２およびマスター担体３を取り出すときには、後述の第１のホルダー11と第２のホルダー12の開閉動作が許容されるように待避移動される。
【００２７】
転写ホルダー10は、相対的に接離移動可能な第１のホルダー11と第２のホルダー12とを備え、その内部に形成される内部空間に、スレーブ媒体２およびマスター担体３を収容して、スレーブ媒体２とマスター担体３とを中心位置を合わせた状態で重ね合わせてこの内部空間を減圧することにより対峙密着させるものである。より詳細には、転写ホルダー10の内部空間は、密着時には所定の真空度に減圧されて、スレーブ媒体２とマスター担体３との密着力を得るととともに、密着面のエア抜きを行って密着性を高めるとともに、大気開放時および剥離時には圧縮空気の導入が行われる。また、密着力の印加のために、真空吸引に加えて、転写ホルダーを外部から機械的に加圧してもよい。
【００２８】
第２のホルダー12の背面の中心位置にはそれぞれ支持軸12ａが突設されており磁気転写時に中心軸Ｇの周りに回転駆動される。
【００２９】
第２のホルダー12の内側中心位置には、マスター担体３の中心孔３ａ、スレーブ媒体２の中心孔２ａに係合して両者の位置決めをする位置決め部15が設けられている。この位置決め部15により、マスター担体３とスレーブ媒体２が、その中心が一致するようにして重ねられる。
【００３０】
図３に示すように、マスター担体３は円盤状であり、その中央部に中心孔３ａを備え、同心円状のトラックに沿って形成された転写パターン３ｂを有するものである。なお、マスター担体３は、中心孔３ａの中心と転写パターン３ｂの中心Ｃとが一致するように形成されている。本実施形態においては、最内周半径ｒinから最外周半径ｒoutの各トラック毎に複数のサーボ領域が設けられ、全体として複数のサーボ領域が放射状に形成されている。各トラックの各サーボ領域毎にそれぞれサーボ信号に応じた微細凹凸パターン（図５参照）がトラックに沿って形成されている。本実施形態においては転写パターンとしてサーボ信号に応じたパターンを有するものとしたが、転写パターンとしてマスター担体が担持する情報はサーボ信号に限るものではなく他のデータ信号を含むものであってもよい。
【００３１】
マスター担体３は、基本的に凹凸パターンを表面に有する基板31と基板31上の少なくとも凸部上面に形成された強磁性層33とを備えてなる（図５参照）。
【００３２】
基板31は非磁性でもよいが、強磁性を有するものが好ましく、中でもＮｉ、もしくはＮｉを主成分とする合金からなるものが特に好ましい。表面に凹凸パターンを有する基板31の作製は、スタンパー法、フォトリソグラフィー法等を用いて行うことができる。基板の凸部高さ（凹凸パターンの深さ）は、例えば20〜800ｎｍであり、凹凸パターンの凸部の半径方向の長さは50ｎｍ〜５μｍ、円周方向の長さは50ｎｍ〜5μｍである。
【００３３】
強磁性層33の磁性材料としては、飽和磁化（Ｍｓ）の高いものが好ましく、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）が挙げられる。特に好ましいのはＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。強磁性層33としては、主として軟磁性もしくは半硬質磁性等の保磁力の小さい磁性層が用いられている。
【００３４】
なお、強磁性層33上には、耐久性向上のため、炭素を主成分とする硬質保護層を備えることが好ましい。保護層は、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）やスパッタにより形成された炭素などにより構成することができる。
【００３５】
スレーブ媒体２は、中心孔２ａを備えたディスク状磁気記録媒体であり、少なくとも片面に磁気記録面２ｂを備えており、最内周半径ｒinから最外周半径ｒoutの領域が記録領域となる。現実にはマスター担体により該マスター担体の転写パターンが担持するサーボ信号等の情報が磁気記録面２ｂに転写記録され、該転写パターンに応じた領域が記録領域として使用可能となるものであり、記録領域は転写時に密着せしめられたマスター担体の転写パターン３ｂ領域と一致する。なお、スレーブ媒体は、ハードもしくはフレキシブルなディスク状支持体21の片面もしくは両面に磁気記録層22が配されてなるものであり（図５参照）、金属薄膜型磁気記録層を備えた磁気記録媒体の場合、磁性材料として、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ、Ｃｏ／Ｐｄ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ）を用いることができる。好ましい磁性層厚は10〜500ｎｍであり、さらに好ましくは20〜200ｎｍである。
【００３６】
また、磁性層の下（基板側）には、該磁性層に必要な磁気異方性を持たせるために非磁性の下地層を設けることが好ましい。下地層としては、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ、Ｐｄ等を用いることができるが、結晶構造および格子定数が、その上に設けられる磁性層の結晶構造および格子定数と一致するものを選択する必要がある。好ましい非磁性層の厚みは、10〜150ｎｍであり、さらに好ましくは20〜80ｎｍである。
【００３７】
次に上記実施の形態の磁気転写装置における作用について説明する。
【００３８】
第１のホルダー11と第２のホルダー12とが離間した開状態で第１のホルダー11の位置決め部15にマスター担体３の中心孔３ａを係合させてセットする。そして、予め円周方向の一方の向きに初期磁化されたスレーブ媒体２を、その中心孔２ａを第１のホルダー11の位置決め部15に係合させてセットした後、第２のホルダー12を第１のホルダー11に接近移動させ閉状態とする。スレーブ媒体２およびマスター担体３を収容した転写ホルダー10の内部空間を真空吸引することにより減圧し、スレーブ媒体２とマスター担体３とに均一に密着力を加え密着させる。密着力の印加のために、真空吸引に加えて、転写ホルダーを外部から機械的に加圧してもよい。
【００３９】
その後、転写ホルダー10の両側に電磁石装置50を接近させ、転写ホルダー10を回転させつつ電磁石装置50によって初期磁化とほぼ反対の向きに転写用磁界Ｈを印加し、マスター担体３の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁気記録層に転写記録する。
【００４０】
磁気転写時には、図２に示すように、磁極端52ａ、52ｂの端面が、重畳体との距離ｄが内周から外周にかけて小さくなるように配置され、印加する転写用磁界強度がスレーブ媒体の内周から外周にかけて大きくなるように構成されている。
【００４１】
なお、転写用磁界印加時には、スレーブ媒体の最内周トラックに印加する磁界強度Ｈinは、該スレーブ媒体の保磁力Ｈc±39.8ｋＡ／ｍの範囲とし、スレーブ媒体の最外周トラックに印加する磁界強度Ｈoutと、最内周トラック半径ｒinと最外周トラック半径ｒoutの差ｒ＝ｒout−ｒin  [mm]と、最内周トラックに印加する磁界強度Ｈinとの関係が、
Ｈout＝Ｈin＋α／ｒ  （7.96×103≦α≦3184×103）
を満たすように設定する。
【００４２】
図４は、半径方向位置における印加磁界Ｈの磁界強度を示す図である。図４中、実線ａ、ｂ、ｃに示すような、最内周トラック半径ｒinにおける磁界強度Ｈin、最外周トラック半径ｒoutにおける磁界強度Ｈoutがそれぞれ最小値、最大値をとり、内周側から外周側に向けて徐々に強度が大きくなる磁界を印加することが望ましいが、点線ｄ、一点鎖線ｅ、二点鎖線ｆで示すように、最外周トラック半径ｒoutにおける磁界強度Ｈoutが最内周トラック半径ｒinにおける磁界強度Hinより大きくなるものであれば、その間の半径領域において強度が単調増加でなくてもよい。
【００４３】
次に、磁気転写の基本的な原理について説明する。図５は、面内磁気記録媒体への磁気転写の基本工程を説明するための図であり、磁気記録面に垂直かつトラック方向に平行な断面の一部を示している。図５（ａ）は磁界を一方向に印加してスレーブ媒体を初期直流磁化する工程、同図（ｂ）はマスター担体とスレーブ媒体とを密着させて初期直流磁界とは略反対方向に磁界を印加する工程、同図（ｃ）は磁気転写後のスレーブ媒体の磁気記録面の状態をそれぞれ示す図である。
【００４４】
図５（ａ）に示すように、予めスレーブ媒体２にトラック方向の一方の向きの初期直流磁界Ｈ０を印加して磁気記録層22の磁化を該一方の向きに初期直流磁化させておく。その後、図５（ｂ）に示すように、このスレーブ媒体２の記録面２ｂとマスター担体３の転写パターン面とを密着させ、スレーブ媒体２のトラック方向に前記初期直流磁界Ｈ０とは逆方向の転写用磁界Ｈを印加する。転写用磁界Ｈの強度は、上述のとおりスレーブ媒体２の内周側から外周側にかけて大きくなるようなものとする。スレーブ媒体２とマスター担体３の転写パターンの密着した箇所において、転写用磁界Ｈは、マスター担体３の凸部に吸い込まれ、この部分に対応するスレーブ媒体２の磁化は反転せずその他の部分の磁化が反転する。その結果、図５（ｃ）に示すように、スレーブ媒体２の記録面２ｂの磁気記録層22にはマスター担体３の凹凸パターンに応じた情報（例えばサーボ信号）が磁気的に転写記録される。ここでは、スレーブ媒体２が片面に磁気記録面２ｂを有するものとし、該面へのマスター担体３による磁気転写について説明したが、磁気記録媒体２は両面に磁気記録面を有するものであってもよく、その場合、片面ずつもしくは両面同時にそれぞれの面用のマスター担体と密着させて同様に磁気転写を行えばよい。
【実施例】
【００４５】
次に、本発明の実施例および比較例の磁気転写方法について評価を行った結果を説明する。
【００４６】
まず、実施例および比較例の転写装置において使用したマスター担体およびスレーブ媒体たる磁気記録媒体について説明する。
【００４７】
マスター担体は、基板としてスタンパー作製法を用いて作製した円盤状のＮｉ基板を備えてなるものとした。
【００４８】
８インチＳｉウエハー上に化学増感型レジストを100ｎｍ塗布し、電子線により回転中心から半径方向10ｍｍ〜40ｍｍの位置までの半径領域に、トラック幅1.0μｍ、トラックピッチ1.1μｍ、溝深さ0.1μｍであり、半径10ｍｍでビット長が0.15μｍである放射状ラインを100波長＋４波長分無信号＋３波長信号、角度45°毎に描画し、現像することによりレジストによる凹凸パターンを形成する。このレジストパターン上にＮｉ電導層を10ｎｍ、基板温度40℃でスパッタにより形成した。この際のスパッタ条件は、Ａｒスパッタ圧0.15Pa（1.08mTorr）、投入電気力2.80Ｗ／cm2とした。Ｎｉ電導層を形成後にＮｉ電鋳を行う。電鋳は厚みが0.3mmになるまで行った。電鋳後、レジストからＮｉ基板を剥離し、Ｎｉ基板表面に対してクリーニングを行った。Ｎｉ基板は、内径12.5ｍｍφ、外径83ｍｍφである。図６（ａ）は本実施例に用いたマスター担体基板の平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＶｂ−Ｖｂ断面図であり、最内周であるｒin＝10ｍｍの位置におけるトラック方向に沿った側断面を示すものである。Ｎｉ基板上には図６（ａ）に示すような45°毎に設けられた８つの放射状領域81に、半径10ｍｍでビット長0.15μｍの凹凸パターンが設けられている。この凹凸パターンは、１つの領域81の１トラック中に、図６（ｂ）に示すように、２ビット１波長λとし、１ビットの凹部84、１ビットの凸部85が交互に形成された100λの凹凸パターン、それに続く４λ（８ビット）の凹部、さらに１ビットの凹部84、１ビットの凸部85が交互に形成された３λの凹凸パターンを有するものである。なお、１ビットの長さは半径が大きくなるにつれて大きくなる。
【００４９】
その後、Ｎｉ基板上に、強磁性層（FeCo25at%)を100ｎｍ、スパッタ法により形成した。スパッタは、初期真空度は1.33×10-5Pa（1.0×10-7Torr）、基板温度は25℃、Arスパッタ圧は0.15Ｐａ（1.08mTorr）とし、投入電力は3.20Ｗ／cm2の条件で行った。
【００５０】
スレーブ媒体としては、真空蒸着装置（芝浦メトロニクス:S-50Sスパッタ装置）において、室温にて1.33×10-5Pa（1.0×10-7Torr）まで減圧した後に、アルゴンを導入して0.4Pa（3.0mTorr）とした条件下で、ガラス板を200℃に加熱し、CrTi：30ｎｍ、CoCrPt：30ｎｍ、飽和磁化Ｍｓ：2.8Ｔ（2250Gauss)、保磁力Ｈｃ：318ｋＡ／ｍ（4000Oe）の磁性層を備えた3.5インチ型の円盤状面内磁気記録媒体を用いた。
【００５１】
実施例１：最内周トラック位置での転写磁界を278.6ｋＡ／ｍ（3500Ｏe）、最外周トラック位置での転写磁界を358.2ｋＡ／ｍ（4500Ｏe）と設定し、最外周トラックに印加する磁界強度Ｈout、最内周トラック半径ｒinと最外周トラック半径ｒoutの差ｒ＝ｒout−ｒin  [mm]、最内周トラックに印加する磁界強度Ｈinの関係式
Ｈout＝Ｈin＋α／ｒ  （7.96×103≦α≦3184×103）
において、αが2388×103（α’＝30000）となるものとした。
【００５２】
実施例２：最内周トラック位置での転写磁界を278.6ｋＡ／ｍ（3500Ｏe）、最外周トラック位置での転写磁界を318.4ｋＡ／ｍ（4000Ｏe）と設定し、αを1194×103（α’＝15000)とした。
【００５３】
実施例３：最内周トラック位置での転写磁界を278.6ｋＡ／ｍ（3500Ｏe）、最外周トラック位置での転写磁界を278.8ｋＡ／ｍ（3503Ｏe）と設定し、αを7.164×103 (α’＝90）とした。
【００５４】
実施例４：最内周トラック位置での転写磁界を318.4ｋＡ／ｍ（4000Ｏe）、最外周トラック位置での転写磁界を390.0ｋＡ／ｍ（4900Ｏe）と設定し、αを4537×103（α’＝57000）とした。
【００５５】
実施例５：最内周トラック位置での転写磁界を318.4ｋＡ／ｍ（4000Ｏe）、最外周トラック位置での転写磁界を398.0ｋＡ／ｍ（5000Ｏe）と設定し、αを2388×103（α’＝30000）とした。
【００５６】
比較例１：最内周トラック位置での転写磁界を278.6ｋＡ／ｍ（3500Ｏe）、最外周トラック位置での転写磁界を278.6ｋＡ／ｍ（3500Ｏe）とし、最内周と最外周のトラック位置での転写磁界を同一強度とした。
【００５７】
比較例２：最内周トラック位置での転写磁界を318.4ｋＡ／ｍ（4000Ｏe）、最外周トラック位置での転写磁界を278.6ｋＡ／ｍ（3500Ｏe）とし、最内周トラック位置での転写磁界を最外周トラック位置での転写磁界よりも大きくした。
【００５８】
各磁気転写方法による磁気転写後のスレーブ媒体における転写信号の品位を測定し評価した。
【００５９】
＜スレーブ記録信号評価方法＞
各磁気転写方法によりマスター担体から磁気転写により磁化パターンが記録されたスレーブ媒体を電磁変換特性測定装置（協同電子製SS-60）に設置し、半径40ｍｍ位置でのヘッド（再生ヘッドギャップ0.105μｍ、再生トラック幅0.35μｍ、記録ヘッドギャップ0.15μｍ、記録トラック幅0.51μｍであるＧＭＲヘッド）の線速度が10ｍ／secとなるように設定する。
【００６０】
最内周トラック１周、最外周トラック１周に８つ設けられた100波長、３波長信号部の平均出力を算出する。サブパルスは、100波長および３波長信号部のそれぞれの前後に同様に発生すると考えられるが、サブパルスの影響は３波長信号部の出力により大きな影響を与えるため、100波長信号の平均出力をＯＴ100、３波長信号の平均出力をＯＴ３とし、ＯＴ３／ＯＴ100が0.95より大きければ良好（○）、0.95−0.80であれば可（△）、0.80未満であれば不良（×）と評価した。
【００６１】
各実施例および比較例についての観測結果および評価結果を表１に示す。
【表１】
2005276295.tif 000003
【００６２】
表１に示すとおり、本発明の実施例１〜５はいずれの評価においても可以上であり、比較例１および２は最外周トラックにおける信号評価が不良であった。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】磁気転写装置の概略構成を示す斜視図
【図２】磁気転写装置の要部の側面図
【図３】マスター担体とスレーブ媒体を示す平面図
【図４】スレーブ媒体半径位置上の印加磁界の強度を示す図
【図５】面内磁気記録媒体への磁気転写方法の基本工程を示す図
【図６】実施例のマスター担体の基板を示す平面図および一部の断面図
【符号の説明】
【００６４】
１    磁気転写装置
２    スレーブ媒体
２ａ    スレーブ媒体の中心孔
２ｂ    磁気記録面
３    マスター担体
３ａ    マスター担体の中心孔
３ｂ    転写パターン
10    転写ホルダー
11    第１のホルダー
12    第２のホルダー
12ａ    支持部
15    位置決め部
21    スレーブ媒体支持体
22    磁性層
31    マスター担体基板
33    強磁性層
50    電磁石装置
51    ギャップ
52    コア
52ａ、52ｂ    コア磁極端
53    コイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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