(57)【要約】【課題】所定の位置への顕微鏡の位置合せを高精度且つ容易に行うことができ、しかも、安定した状態で顕微鏡を支持することができる顕微鏡台を提供する。【解決手段】顕微鏡台１によれば、可動台６にキャスタ９を取り付け、固定台５に対して下方向に可動台６を移動させて固定台５を床面から浮上させた状態で、顕微鏡を所定の場所に移動することができる。その後、固定台５に対して上方向に可動台６を移動させて固定台５を床面に着地させ、キャスタ９に替えてエアーベアリングを可動台６に取り付けることで、所定の位置への顕微鏡の位置合せを高精度且つ容易に行うことができる。更に、位置合せ後においては、顕微鏡は固定台５によって支持されることになるため、安定した状態で顕微鏡を支持することができる。【選択図】  図１
2005017654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡を搭載させるための顕微鏡台において、
床面に着地して前記顕微鏡を所定の位置に配置させる固定台と、
前記固定台に対して上下方向に移動自在であり、下方向に移動して前記固定台を前記床面から浮上させる可動台と、
前記可動台に対して着脱自在なキャスタと、
前記可動台に対して着脱自在であり、圧縮空気を前記床面に吹き付けて前記固定台及び前記可動台を前記床面から浮上させるエアーベアリングとを備え、
前記キャスタと前記エアーベアリングとは、前記可動台に対して選択的に取り付けられることを特徴とする顕微鏡台。
【請求項２】
前記キャスタ又は前記エアーベアリングは、ネジにより前記可動台に取り付けられることを特徴とする顕微鏡台。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡の搭載に利用するための顕微鏡台に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来におけるこの種の技術として、例えば、下記の特許文献１に記載されたベース架台がある。この特許文献１記載のベース架台は、エミッション顕微鏡を搭載させるための顕微鏡台であり、キャスタが取り付けられた伸縮自在な脚部を有している。このベース架台によれば、半導体テスタ等の測定装置の上方にエミッション顕微鏡を移動・配置させることができ、更に、脚部を伸縮させることで、測定装置上に固定された半導体デバイス等の被解析体とエミッション顕微鏡との距離を調整することができる。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−３２１３３９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したベース架台にあっては、キャスタによって移動が行われるため、半導体テスタ等の測定装置に対する高精度の位置合せが極めて困難である。また、位置合せ後においても、エミッション顕微鏡等の重量物がキャスタにより支持されることになるため、エミッション顕微鏡を安定した状態で支持することができない。特に、高倍率で被解析体を観察する場合には、微小な振動があるだけで、高解像度の像の取得が妨げられてしまう。
【０００５】
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、所定の位置への顕微鏡の位置合せを高精度且つ容易に行うことができ、しかも、安定した状態で顕微鏡を支持することができる顕微鏡台を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る顕微鏡台は、顕微鏡を搭載させるための顕微鏡台において、床面に着地して顕微鏡を所定の位置に配置させる固定台と、固定台に対して上下方向に移動自在であり、下方向に移動して固定台を床面から浮上させる可動台と、可動台に対して着脱自在なキャスタと、可動台に対して着脱自在であり、圧縮空気を床面に吹き付けて固定台及び可動台を床面から浮上させるエアーベアリングとを備え、キャスタとエアーベアリングとは、可動台に対して選択的に取り付けられることを特徴とする。
【０００７】
この顕微鏡台によれば、可動台にキャスタを取り付け、固定台に対して下方向に可動台を移動させて固定台を床面から浮上させた状態で、顕微鏡を所定の場所に移動することができる。その後、固定台に対して上方向に可動台を移動させて固定台を床面に着地させ、キャスタに替えてエアーベアリングを可動台に取り付けることで、所定の位置への顕微鏡の位置合せを高精度且つ容易に行うことができる。更に、位置合せ後においては、顕微鏡は固定台によって支持されることになるため、安定した状態で顕微鏡を支持することができる。
【０００８】
また、キャスタ又はエアーベアリングは、ネジにより可動台に取り付けられることが好ましい。これにより、可動台に対するキャスタとエアーベアリングとの交換を容易に行うことができる。しかも、固定台に対して上方向に可動台を移動させて可動台を床面から浮上させることが可能であるため、可動台に対するキャスタやエアーベアリングの着脱作業を容易に行うことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明に係る顕微鏡台の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００１０】
図１及び図２に示すように、顕微鏡台１は、床面上を移動可能な架台２を有する。この架台２は、床面に着地して顕微鏡台１を下から支える４本の脚部３を有する固定台５と、この固定台５の内方に配置されて上下方向に移動自在な可動台６と、上下方向に延在して固定台５と可動台６とを連結するガイドレール７とを備えている。そして、この可動台６の脚部８にはキャスタ９が固定されている。可動台６には、ハンドル１０の回転によって昇降するジャッキ部１１が固定され、このジャッキ部１１は、ハンドル１０の回転に追従するウォームギアの回転によってネジ軸１１ａが昇降するスクリュージャッキである。更に、固定台５の横枠１２にはジャッキ受け部１２ａが設けられ、このネジ軸１１ａとジャッキ受け部１２ａとはネジ止めされている。ガイドレール７は、顕微鏡等の重量物が載置される固定台５を保持する観点から、ジャッキ部１１側の左右の脚部３だけでなく、対向する脚部３にも設けることが好ましい。ジャッキ部１１側の脚部３と対向する脚部３にガイドレールを設けるには、図１２に示されるように、Ｌ字部材６ｂを介して可動台６と固定台５とが接するようにＬ字部材６ｂを可動台６の所定位置に固定すればよい。後述するが、架台２の固定台５に突張り支柱２０が設けられる場合には、その脚部にはガイドレールを設けないで３つのガイドレールで固定台５を保持する。
【００１１】
例えば、固定台５の脚部３が床面に着地している状態で、ネジ軸１１ａが徐々に上昇するようにハンドル１０を正転させ続けると、可動台６側が降下を開始し、可動台６のキャスタ９が床面に着地する。その後、ハンドル１０を更に回転し続けると、固定台５側が上昇を開始し、固定台５の脚部３が床面から離れ、顕微鏡台１は、キャスタ９によって所定の場所（半導体テスタＴＥの設置場所）へ自由に移動させることができる。
【００１２】
一方、顕微鏡台１を所定の場所まで移動した後、ネジ軸１１ａを徐々に下降させるようにハンドル１０を逆転させると、固定台５側が下降を開始し、固定台５の脚部３が床面に着地する。その後、ハンドル１０を更に回転し続けると、可動台６が上昇を開始し、可動台６側が床面から離れることにより、顕微鏡台１は、固定台５によって床面上にしっかり固定されることになる。
【００１３】
更に、顕微鏡台１は、図３〜図５に示すように、架台２によって支持される顕微鏡載置部１３を有している。この顕微鏡載置部１３は、微少領域を拡大観察するための顕微鏡Ａのネジ固定が予定されている顕微鏡固定板１５と、顕微鏡固定板１５の下方に配置されたベース板１６とを有し、このベース板１６は、固定台５の頂部に固定した天板１７に対面するように配置されている。更に、床や架台２の振動を顕微鏡Ａに伝えないようにするため、顕微鏡固定板１５とベース板１６との間に４本の防振部１８が配置され、各防振部１８はベース板１６に立設させるように固定され、顕微鏡固定板１５は防振部１８の頂部に置かれるようにして保持される。このような防振部１８の採用によって、顕微鏡Ａによるサンプル観察時に架台２側から伝搬される振動を防振部１８で吸収することができ、振動を顕微鏡Ａへ伝え難くして、顕微鏡Ａによる精密測定の影響が少なくなる。なお、このような防振装置（防振部）としては、空気バネを含むものや、防振ゴム等を使用することができる。
【００１４】
更に、顕微鏡台１は、図１に示すように、対物レンズＡ１をもった顕微鏡Ａを包囲するための暗箱１９を有している。この暗箱１９はベース板１６に固定されている。この暗箱１９内の温度を常に一定に保つために、暗箱１９内には外部からエアーが循環供給される。なお、暗箱１９内のサンプルの交換を可能にするため、暗箱１９には、横開きのドア１９ａが開閉自在に取り付けられている。
【００１５】
また、二点鎖線で示す半導体テスタＴＥのヘッド部Ｈ上に検査のために固定された観察対象物（半導体サンプル）は、顕微鏡観察を可能にするために顕微鏡Ａの真下に配置される必要があるので、顕微鏡台１には、ヘッドＨを挿入させ得る構造が採用されている。例えば、架台２の固定台５には上下方向に伸縮自在な突張り支柱２０が設けられ、この突張り支柱２０は、ヘッドＨの側面に設けられたケーブル接続端子Ｋへの衝突を回避させるために、顕微鏡台１を移動する際に固定台５から外される。
【００１６】
続いて、可動台６に設けられた脚部８について、より詳細に説明する。上述したように、顕微鏡Ａを所定の場所に移動するために、可動台６の下枠の四隅に設けられた脚部８にはキャスタ９が固定されている。このキャスタ９は、図６に示すように、その保持板２１を介して脚部８に固定ボルト２２によりネジ固定され、可動台６に対して着脱自在となっている。
【００１７】
このキャスタ９が脚部８から外されると、図７に示すように、エアーベアリング２３を脚部８に固定することができる。このエアーベアリング２３もまた、その保持体２４を介して脚部８に固定ボルト２２によりネジ固定され、可動台６に対して着脱自在となっている。
【００１８】
図８に示すように、エアーベアリング２３は、床面に当接されるゴム製のスカート部２５と、このスカート部２５内に圧縮空気を供給すべくエアーコンプレッサ（図示せず）に接続されるエアー供給口２６とを備えている。このエアーベアリング２３によれば、スカート部２５内への圧縮空気の供給によって、スカート部２５の下端と床面との間にエアー膜が形成されるため、顕微鏡Ａを搭載した顕微鏡台１を床面から浮上させることができる。なお、エアーベアリング２３に関する技術は、例えば、特公平５−６３５８０号公報に記載されている。
【００１９】
以上のように可動台６に対して選択的に取り付けられるキャスタ９とエアーベアリング２３との採用により、次のような顕微鏡台１の設置が可能になる。まず、固定台５に対して上方向に可動台６を移動させ、可動台６を床面から浮上させた状態で、可動台６の脚部８にキャスタ９を取り付ける。その後、図９に示すように、ジャッキ部１１により可動台６を固定台５に対して下方向に移動させ、固定台５の脚部３を床面Ｆから浮上させる一方で、可動台６のキャスタ９を床面Ｆに着地させる。そして、このキャスタ９によって、顕微鏡台１を半導体テスタＴＥの設置場所に移動し、半導体テスタＴＥのヘッドＨの上方に顕微鏡Ａを配置させる。
【００２０】
その後、図１０に示すように、ジャッキ部１１により可動台６を固定台５に対して上方向に移動させ、固定台５の脚部３を床面Ｆに着地させる一方で、可動台６のキャスタ９を床面Ｆから浮上させる。この状態で、可動台６の脚部８からキャスタ９を外し、図１１に示すように、脚部８にエアーベアリング２３を取り付ける。このように、顕微鏡台１においては、可動台６を床面から浮上させた状態で、可動台６の脚部８に対するキャスタ９とエアーベアリング２３との交換作業を実施することができるため、その作業効率を向上させることが可能となる。しかも、キャスタ９とエアーベアリング２３とは、脚部８に固定ボルト２２によりネジ固定されるため、可動台６の脚部８に対するキャスタ９とエアーベアリング２３との交換を容易に行うことができる。なお、図９〜図１１においては、顕微鏡台１の天板１７から上側の構成を省略している。
【００２１】
エアーベアリング２３の取付け後、図１２に示すように、ジャッキ部１１により可動台６を固定台５に対して下方向に移動させ、固定台５の脚部３を床面に着地させたまま、可動台６のエアーベアリング２３のスカート部２５を床面に当接させる。この状態で、スカート部２５内に圧縮空気を供給し、顕微鏡Ａを搭載した顕微鏡台１を床面から浮上させる。これにより、重量物である顕微鏡Ａ及び顕微鏡台１を、キャスタ９の場合に比べ非常に小さな力で容易に移動することができる。従って、顕微鏡Ａの配置位置の微調整が可能となり、半導体テスタＴＥに対する所定の位置への顕微鏡Ａの位置合せを高精度に行うことができる。そして、顕微鏡Ａの位置合せ後においては、顕微鏡Ａは固定台５の脚部３によって支持されることになるため、安定した状態で顕微鏡Ａを支持することができる。
【００２２】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した顕微鏡台１は正立型であったが、観察対象物の下方に顕微鏡を配置して下側から観察を行う倒立型等、種々のタイプの顕微鏡台に本発明を適用することができる。また、昇降用ジャッキ部１１はハンドル１０を備えた手動式のものを例示したが、電動化することも可能である。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、所定の位置への顕微鏡の位置合せを高精度且つ容易に行うことができ、しかも、安定した状態で顕微鏡を支持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る顕微鏡台の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１の顕微鏡台を半導体テスタに対して設置した状態を示す斜視図である。
【図３】顕微鏡台に顕微鏡を組み付けた状態を示す斜視図である。
【図４】図３の正面図である。
【図５】図３の側面図である。
【図６】顕微鏡台の可動台に取り付けられたキャスタを示す正面図である。
【図７】顕微鏡台の可動台に取り付けられたエアーベアリングを示す正面図である。
【図８】図７のエアーベアリングを示す斜視図である。
【図９】顕微鏡台において可動台に取り付けられたキャスタを床面に着地させた状態を示す正面図である。
【図１０】顕微鏡台において可動台に取り付けられたキャスタを床面から浮上させた状態を示す正面図である。
【図１１】図１０のキャスタに替わってエアーベアリングが可動台に取り付けられた状態を示す正面図である。
【図１２】顕微鏡台において可動台に取り付けられたエアーベアリングを床面に着地させた状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…顕微鏡台、５…固定台、６…可動台、９…キャスタ、２３…エアーベアリング、Ａ…顕微鏡、Ｆ…床面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2005017654.tif 000010
【図９】
2005017654.tif 000011
【図１０】
2005017654.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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