(57)【要約】【課題】  自動的に迅速且つ適正なアライメントおよび作動距離が設定され、低出力な低コヒーレントな光源によって十分に光干渉を利用できる干渉式眼計測装置の提供。【解決手段】  計測光源１１と対物レンズ１２とを有する計測光照射光学系２と、計測光源１１からの光の一部を参照光として反射して元に戻す参照光学系３と、上記光を被検眼Ｅと参照光学系３とに分離して送る光分離器４と、被検眼で反射された計測光と参照光とを受光し、両光の干渉に基づいて被検眼Ｅの所定寸法を計測する干渉計測光学系５と、作動距離を検出する作動距離検出機構６と、装置１の光軸２ａを被検眼頂点に対して位置合わせをするアライメント光学系７と、作動距離検出機構６およびアライメント光学系７の移動および作動を制御するための制御装置８とを備えており、制御装置８が、アライメント光学系７によるアライメント検出情報および作動距離検出機構６による作動距離検出情報に基づいて、上記各光学系の作動を指令する。【選択図】  図１
2005198851.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低コヒーレントな計測光を被検眼に照射するための計測光源と、対物レンズとを有する計測光照射光学系と、
上記計測光の一部を参照光として反射して元に戻す参照光学系と、
上記計測光源からの計測光を被検眼と上記参照光学系とに分離して送る光分離器と、
被検眼で反射された計測光と上記参照光とを受光し、計測光と上記参照光との干渉に基づいて被検眼における所定寸法を計測する干渉計測光学系と、
合焦光を被検眼に投影する合焦光投影光学系、および、被検眼で反射した合焦光を検出することにより作動距離を検出する合焦検出光学系を有する作動距離検出機構と、
被検眼の前眼部に正面から照明光を照射してその角膜反射光の像を検出することにより装置を被検眼頂点に対して位置合わせをするためのアライメント光学系と、
上記作動距離検出機構およびアライメント光学系の移動および作動を制御するための制御装置とを備えており、
該制御装置が、アライメント光学系によるアライメント検出情報および作動距離検出機構による作動距離検出情報に基づいて、上記各光学系の作動を指令するように構成されてなる干渉式眼計測装置。
【請求項２】
上記作動距離検出機構が検出する作動距離が所定範囲内に設定されてなる請求項１記載の干渉式眼計測装置。
【請求項３】
上記作動距離の所定範囲が、上記対物レンズの位置を基準とした位置から被検眼の角膜表面までの距離であり、２０〜３５ｍｍである請求項２記載の干渉式眼計測装置。
【請求項４】
上記作動距離の所定範囲が２５〜３０ｍｍである請求項３記載の干渉式眼計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は干渉式眼計測装置に関する。さらに詳しくは、被検眼の眼組織からの反射光と参照光とを干渉させて角膜厚さ等の部位間距離を計測する干渉式眼計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、同一光を複数箇所で反射させた複数の反射光同士の干渉を利用した各種の干渉式の眼科計測装置、すなわち、被検眼における所定部位の寸法を計測する装置が知られている（たとえば特許文献１、特許文献２、特許文献３および特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平２−４３１０号公報
【特許文献２】特開平２−２９７３３２号公報
【特許文献３】特開平３−１１１０２７号公報
【特許文献４】特開平４−３５６３７号公報  しかしながら、これらの文献に開示されている内容は、光の干渉を利用して被検眼中の所定部位間距離を測定する原理を実行するための基本的な構成である。したがって、被検眼が動かない間に迅速に装置の被検眼に対する位置決めを行って計測するための装置の構成、低出力且つ低コヒーレントな光によって十分に光干渉を起こさしめる装置の構成など、自動計測を行う装置については開示されていない。
【０００３】
上記先行文献に開示された計測方法を実行するためには、従来公知のスリットランプに光干渉光学系を搭載し、全てが検査者の手動操作による計測を余儀なくされる。
【０００４】
一方、実用的装置としてはコストおよび安全性の観点から低出力の光源を用いるのが望ましい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述した現状にかんがみ、本発明は自動的に適正なアライメントおよび作動距離を決定することにより、低出力な低コヒーレントな光源を用いても十分に光干渉を利用して被検眼の各部位間の寸法（たとえば角膜厚さ等）を計測することができる干渉式眼計測装置を提供することを目標としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の干渉式眼計測装置は、
低コヒーレントな計測光を被検眼に照射するための計測光源と、対物レンズとを有する計測光照射光学系と、
上記計測光の一部を参照光として反射して元に戻す参照光学系と、
上記計測光源からの計測光を被検眼と上記参照光学系とに分離して送る光分離器と、
被検眼で反射された計測光と上記参照光とを受光し、計測光と上記参照光との干渉に基づいて被検眼における所定寸法を計測する干渉計測光学系と、
合焦光を被検眼に投影する合焦光投影光学系、および、被検眼で反射した合焦光を検出することにより作動距離を検出する合焦検出光学系を有する作動距離検出機構と、
被検眼の前眼部に正面から照明光を照射してその角膜反射光の像を検出することにより装置を被検眼頂点に対して位置合わせをするためのアライメント光学系と、
上記作動距離検出機構およびアライメント光学系の移動および作動を制御するための制御装置とを備えており、
該制御装置が、アライメント光学系によるアライメント検出情報および作動距離検出機構による作動距離検出情報に基づいて、上記各光学系の作動を指令するように構成されている。
【０００７】
上記作動距離検出機構が検出する作動距離が所定範囲内に設定されてなる干渉式眼計測装置が好ましい。
【０００８】
上記作動距離の所定範囲が、上記対物レンズの位置を基準とした位置から被検眼の角膜表面までの距離であり、２０〜３５ｍｍである干渉式眼計測装置がこのましい。
【０００９】
上記作動距離の所定範囲が２５〜３０ｍｍである干渉式眼計測装置が一層好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、自動的に迅速且つ適正なアライメントおよび作動距離を決定することができ、しかも、低出力な低コヒーレントな光源を用いても十分に光干渉を利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
添付図面を参照しながら本発明の実施形態にかかる干渉式眼計測装置を説明する。
【００１２】
図１は本発明の干渉式眼計測装置の一実施形態を示す概略平面図であり、主にその機器および光路を示している。図２は図１中の一部の光学系（後述の合焦光投影光学系および合焦検出光学系）の側面を示す、図１のＩＩ−ＩＩ線矢視図である。図３は図１中の一部の光学系（後述のアライメント光学系）の側面を示す、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視図である。
【００１３】
図１に示す干渉式眼計測装置（以下、単に装置という）１は、干渉用の計測光を被検眼Ｅに照射するための計測光源１１と対物レンズ１２とを有する計測光照射光学系２と、計測光源１１からの計測光の一部を参照光として反射する参照ミラー１３を有する参照光学系３と、上記計測光源１１からの計測光を被検眼Ｅへの光路２ａと上記参照光学系３の光路３ａとに分離して送る光分離器４と、被検眼Ｅで反射された計測光と上記参照光とを受光し、計測光と参照光との干渉を検出する干渉受光センサ１４を有する干渉計測光学系５とを備えている。計測光源１１としてはレーザー光ではなく、高輝度の低コヒーレント光を発するスーパールミネッセントダイオード（ＳＬＤと称す）が用いられている。光分離器４として無偏光ビームスプリッタが用いられている。
【００１４】
この装置１はさらに、合焦光を被検眼Ｅに対して斜め前方から投影する合焦光投影光学系１５、および、被検眼Ｅで反射した上記合焦光を被検眼Ｅの斜め前方から検出することにより作動距離を検出する合焦検出光学系１６を有する作動距離検出機構６と、被検眼Ｅの前眼部に正面から照明光を照射してその角膜反射光の像を検出することにより装置１の被検眼Ｅ頂点に対する位置合わせをするためのアライメント光学系７と、作動距離検出機構６およびアライメント光学系７の移動および作動を制御するための制御装置８とを備えている。加えて、被検眼Ｅに固視させることによって被検眼の視軸を一定方向に固定するための固視灯９を備えている。本装置１の被検者に対向する面には図示しない額当ておよびあご台が設置されている。被検者はその額を額当てに押し当て、あごをあご台に乗せることによって顔を固定する。
【００１５】
上記各光学系２、３、４、５、７、１５、１６は全てＸＹＺの三軸方向に移動しうる三軸架台１０上に設置されている。
【００１６】
計測光照射光学系２は、低コヒーレンス計測光源１１からの計測光を平行光束とするコリメーションレンズ１９と、投影側集光レンズ２０と、ノイズ除去のための第一ピンホール部材２１と、この第一ピンホール部材２１のピンホールを通過した光を平行光束とするための投影側拡大レンズ２２とを有しており、これらを透過した上記計測光を光分離器４に導く。
【００１７】
また、この光分離器４によって分離された一方の計測光は上記対物レンズ１２によって被検眼Ｅに収束させられ、分離された他方の計測光は後述するように参照光学系３に送られる。計測光源１１からの計測光は、コリメーションレンズ１９と投影側集光レンズ２０との間、および、投影側拡大レンズ２２と対物レンズ１２との間は平行光束にされている。上記符号２２のレンズを拡大レンズと呼ぶのは、コリメーションレンズ１９から出た平行光束の幅を投影側拡大レンズ２２によって拡大した平行光束とするからである。符号２３は計測光照射光学系２の光路を屈曲させるためのミラーであり、必要に応じて設置される。被検眼Ｅで反射した計測光は同一光路を対物レンズ１２を透過することにより平行光として光分離器４まで戻る。
【００１８】
参照光学系３はマスク部材２４を備えている。マスク部材２４は、その窓２４ａによって上記光分離器４によって分離された他方の計測光を所定の径の光束にし、上記参照ミラー１３に送る。このマスク部材２４の窓２４ａを通過した光束は参照ミラー１３で反射して同一光路３ａを通り、上記マスク部材２４の窓２４ａを通過して光分離器４まで戻る。この光を参照光と呼ぶ。参照光は平行光束である。参照ミラー１３は参照光学系３の光路３ａに沿って移動可能に構成されている。光の干渉の計測は参照ミラー１３を光軸３ａ方向に移動させながら計測光と参照光との位相の合致状態を検出することによってなされる。
【００１９】
干渉計測光学系５では、被検眼Ｅで反射した計測光と参照ミラー１３で反射して参照光学系３から入射した参照光とが光分離器４において重ね合わされる。これら参照光および反射計測光はともに平行光束である。そして、この干渉計測光学系５は、光路５ａを屈曲させるホットミラー１７と、ノイズ除去のための第二ピンホール部材２５と、上記重ね合わせ光束を第二ピンホール部材２５のピンホールに収束させるための検出側集光レンズ２６と、ピンホールを通過した光束を平行光とするための検出側縮小レンズ２７とを備えている。これらの光学要素１７、２５、２６、２７を透過して来た光束を上記干渉受光センサ１４が受光する。光分離器４と検出側集光レンズ２６との間、および、検出側縮小レンズ２７と干渉受光センサ１４との間の光束は平行光束にされている。上記符号２７のレンズを縮小レンズと呼ぶのは、光分離器４からの平行光束の幅を検出側縮小レンズ２７によって縮小した平行光束とするからである。また、光束を収縮させるのは、光の密度を高くして干渉受光センサ１４による干渉の検出を容易にするためである。計測光と参照光との干渉を得るためには、計測光の光束断面がマスクの窓２４ａの範囲の参照光と完全に重なるようにカバーする形状でなければならない。
【００２０】
干渉受光センサ１４としてＡＰＤ（アバランシェフォトダイオード）が用いられている。上記参照ミラーを参照光学系の光軸３ａに沿って移動させることにより、被検眼の各部位からの反射計測光と参照光とがそれぞれ干渉するので、干渉受光センサ１４は受光した光の強度からこの干渉を検出する。干渉受光センサ１４には制御装置８が接続されており、制御装置８では低コヒーレンス光干渉法を用いて距離を計測する。符号２８は干渉計測光学系５の光路５ａを屈曲させるためのミラーであり、必要に応じて設置される。
【００２１】
図１および図２に示すごとく、作動距離検出機構６においては、その合焦光投影光学系１５の光路１５ａと合焦検出光学系１６の光路１６ａとが交差（交点を符号Ｃで示す）するように所定角をなして配設されている。合焦光投影光学系１５は、合焦光光源としての赤外ＬＥＤ２９を有しており、光軸１５ａに沿って被検眼Ｅに向けてコンデンサレンズ３０、視標スリット３１および投影レンズ３２を備えている。合焦検出光学系１６は被検眼Ｅの頂点で反射した合焦光を検出するためのものであり、ＰＳＤ（Position Sensitive  Detector）等からなる検出センサ３３を有し、光軸１６ａ上の被検眼Ｅ側に結像レンズ３４および可視光カットフィルタ３５を備えている。作動距離検出機構６には制御装置８が接続されており、この制御装置８が上記合焦光学系１５、１６を用いて被検眼Ｅに対する装置１のＺ方向の位置決めを行う。すなわち、制御装置８は三軸架台１０を被検眼に対して前後移動させる。そして、両光軸１５ａ、１６ａの交点Ｃが被検眼Ｅの頂点に一致したときに合焦検出光学系１６が合焦点を検出することになり、制御装置８は作動距離を検出した判断する。符号３６は干渉計測光学系５の光路を屈曲させるためのミラーであり、必要に応じて設置される。
【００２２】
図１および図３に示すごとく、アライメント光学系７は被検眼Ｅに対する装置１のＸＹ各方向の位置決めを行うものであり、被検眼の前眼部を照射するアライメント指標光の光源としての赤色ＬＥＤ３７を有し、その光軸７ａ上に投影レンズ３８を有している。そして、ホットミラー３９、ハーフミラー４０を介してアライメント指標光を被検眼Ｅの前眼部に照射する。また、アライメント光学系７はアライメント光源３７の被検眼での反射像たる輝点（プルキンエ像）を受光するアライメントセンサとしてのＣＣＤ４１を有している。上記反射像（反射光）は上記ホットミラー１７（図１）を透過し、光軸７ａに沿って配置された上記ハーフミラー４０、検出レンズ４２を通してＣＣＤ４１に至る。アライメント光学系７には上記制御装置８が接続されている。制御装置８はこのプルキンエ像に基づいて上記三軸架台１０をＸＹ方向に移動させる（各光学系をＸＹ方向に移動させる）ことによってアライメント光軸７ａを角膜頂点に一致させる。すなわち、図４に示すように、撮影されている前眼部に生じたプルキンエ像Ｐを前眼部の中央の所定範囲（所定直径の円Ｔ内）に導くのである。前眼部像の中心が角膜頂点である。プルキンエ像がこの円Ｔ内に入ればアライメントがなされたと判断される。
【００２３】
図１に示すように、このアライメント光学系７の被検眼Ｅに至る光軸７ａは上記交点Ｃを通る。そして、上記合焦光投影光学系１５および合焦検出光学系１６による合焦点の検出と、このアライメント光学系７によるアライメントとが平行して行われた結果、作動距離が検出されることになる。すなわち、作動距離検出機構６およびアライメント光学系７を用いて行う制御装置８による作動距離の検出は、合焦動作とアライメント動作との協働により達成される。具体的には、三軸架台１０を被検眼Ｅに向けて（Ｚ方向）前進させる。そして、アライメント光学系７によって上記プルキンエ像を検出することが可能になった時点で三軸架台１０をＸ方向およびＹ方向にも変位させてアライメントを行う。アライメントを維持しつつ、すなわち、アライメント光軸７ａを角膜頂点の所定範囲内（図４に示すアライメント画面４３中の円Ｔ内）に維持しつつ、三軸架台１０をＺ方向に変位させる。上記交点Ｃが被検眼Ｅの角膜頂点に達したとき、この合焦光が検出センサ３３によって検出される。すなわち、作動距離が検出されることになる。このときの検出センサ３３からの検出信号により、制御装置８は、たとえば、計測光照射光学系２の計測光源１１を発光させ、且つ、参照ミラー１３を変位させ、干渉受光センサ１４によって干渉光を受光する。
【００２４】
上記作動距離とは、予め焦点が合うように定められる、被検眼表面（角膜頂点）と装置１の対物レンズ１２先端面との離間距離のことである。また、被検眼Ｅからこの作動距離だけ離間した装置１の位置を作動位置という。この角膜頂点と対物レンズ１２先端面との距離は対物レンズ１２の焦点距離にほぼ一致させられるが、対物レンズ１２の焦点距離は後述の条件によって定められる。具体的には、この作動距離は角膜頂点と対物レンズ１２先端面との距離（対物レンズ１２の焦点距離に近似している）に基づいて定められる距離をいう。作動距離は便宜のために一般に上記対物レンズ１２の焦点距離から対物レンズ支持部材等の厚さを差し引いた寸法としている。すなわち、一般的な定義としては装置のうちで被検眼Ｅに最も近い部位と被検眼の角膜頂点との離間距離である。しかし、理解容易のために、以下の説明では角膜頂点と対物レンズ１２先端面との距離（対物レンズ１２の焦点距離に近似した距離）を作動距離と称する。本装置１ではこの作動距離を２０〜３５ｍｍの範囲の一つに設定されている（たとえば２８ｍｍ）。好ましくは２５〜３０ｍｍの範囲で定めればよい。
【００２５】
本装置１の作動距離の設定範囲（２０〜３５ｍｍ）は以下の理由および条件から定めている。これらを図５を参照しつつ説明する。
【００２６】
まず、前述のアライメントをいかに精度良く行ったとしても、通常は被検眼には高振動数且つ微小振幅の固視微動が生じている。さらに、扱いやすく且つ工業製品として需要に応えうる現実的な装置とするためには、アライメント精度のみを高めるのではなく、必要な各性能をバランス良く備える必要がある。そのため、アライメントの現実的な誤差も考慮する必要がある。さらに、コスト低減および被検者の安全性のために、計測光源１１の出力にも上限を設定する必要が生じる。市販製品のうち出力の小さいものを選択するのが好ましい。
【００２７】
図５（ａ）は装置１の光軸２ａが角膜頂点になされ（正確にアライメントがなされ）、作動距離も合致した状態を示している。つまり、固視微動による被検眼の位置ずれが無く、装置１のアライメント誤差もなくその装置光軸が角膜頂点に一致した理想の状態である。符号ＤＬは装置１の光軸（具体的には計測光照射光学系の光軸２ａ）であり、符号ＥＬは眼光軸である。符号Ｌ１は対物レンズから被検眼Ｅへ照射される光束の図中上端周辺光である。この上端周辺光の出射角（装置１の光軸ＤＬとのなす角度）を符号θ１で示す。符号Ｌ２は被検眼Ｅで反射した光（計測光）の上記上端周辺光の装置１への入射光線であり、それの装置１への入射角を符号θ２で示す。図示のごとく、アライメントおよび作動距離が正確になされて全くズレがなければθ１＝θ２であり、対物レンズ１２から出射された計測光はの被検眼Ｅで反射され、装置１光軸ＤＬに線対称に対物レンズ１２上で出射範囲と同一範囲で戻ってくる。
【００２８】
図１も併せて参照すれば明らかなように、図中の符号Ｄ１で示すのは照射光束の断面直径である。前述のとおり、小出力の計測光源１１を用いるので、拡大レンズ２２による光束拡大が引き起こす光密度の低下を極力抑制する必要があるので、Ｄ１は大きくすることができない。すなわち、Ｄ１は照射光の光密度の最小限度から決定される許容最大径であり、このＤ１以上に計測光の光束幅を広げると、光密度が低下するため上記干渉受光センサ１４によって明瞭に判定され得ないのである。
【００２９】
符号Ｄ２は、図１中の上記Ｄ１が光分離器４で分離されたあと上記マスクの窓２４ａで制限された直径であり、装置光軸ＤＬを中心とした範囲を示している。被検眼Ｅで反射して戻ってきた計測光は対物レンズ１２によって平行にされて光分離器４に至る。ここで計測光は、参照ミラー１３に反射されて上記窓２４ａを通った参照光とのみ重なり合って干渉を起こす。換言すれば、被検眼Ｅで反射した計測光は対物レンズ１２におけるＤ２の範囲に戻った光のみが参照光と干渉を起こす。
【００３０】
図５（ｂ）は被検眼Ｅの固視微動および装置１のアライメント誤差が生じ、装置光軸２ａが眼軸ＥＬから外れた状態を示す。このように、被検眼Ｅには常時固視微動が生じており、また、装置１のアライメントにも誤差があるため、計測光の被検眼Ｅにおける反射方向はめまぐるしく変化している。そして、被検眼Ｅの表面は球面であるため、被検眼光軸ＥＬと装置光軸ＤＬとがずれると反射光（計測光）Ｌ２は装置光軸ＤＬから大きく外れてしまう。しかし本図は角膜反射光（計測光）が対物レンズ１２における上記許容範囲Ｄ２に戻っている状態を示している。図中、符号ＮＬは被検眼における反射点での法線を示している。
【００３１】
図５（ｃ）も固視微動およびアライメントの許容最大誤差によってアライメントが角膜頂点から外れた状態を示している。本図では光軸ズレの限界の状態を示しており、これ以上ずれると角膜反射計測光がＤ２から外れてくる。その結果、干渉可能な計測光がＤ２の範囲より少なくなり、干渉による光の強度も低下する。なぜなら、干渉の強さは被検眼から戻る計測光と参照光との位相の合致、および、参照光の全域Ｄ２に計測光が重なり合うことによって決まるからである。
【００３２】
図５（ｄ）は未だアライメントされていないために計測光が対物レンズ１２におけるＤ２から外れている状態を示している。この状態では計測光と参照光との干渉が生じることが無く、計測は不可能である。
【００３３】
上記Ｄ２はマスクの窓２４ａの形状によって決めるものであるから、大きくも小さくもすることができる。しかし、以下の理由からその制限がある。
【００３４】
Ｄ２を大きくするために拡大レンズ２２によって光束を拡大すると光密度が低下するので明瞭な計測が難しくなる。しかも、図５（ｂ）および図５（ｃ）から判るように、Ｄ２を大きく設定すればこれに対応してアライメントの許容誤差を小さくしておかなければ反射計測光がＤ２から外れやすくなる。しかし、前述のとおり被検眼には固視微動が生じており、さらにアライメントの高精度化にも限度がある。したがって、Ｄ２を大きくすることは難しい。
【００３５】
一方、Ｄ２を小さくするとアライメントの許容誤差を大きくすることはできる。しかし、Ｄ２を小さくするというのはマスクの窓２４ａを小さくすることであるから、参照光の光量が減少するので明瞭な計測が難しくなる。窓２４ａを小さくしつつ参照光の光量を増加させるために投影側集光レンズ２０および投影側拡大レンズ２２の焦点距離を小さくすることが考えられるが、Ｄ１も小さくなるので効果がない。以上のとおり、Ｄ２の大きさが限られる。
【００３６】
また、上記作動距離の設定（対物レンズの選定）にも制限が生じる。図５（ｃ）を参照しつつ説明する。Ｄ１およびＤ２を不変として作動距離を小さく設定（小さい焦点距離のレンズを選定）する場合、図５（ｃ）においては相対的に対物レンズ１２を被検眼Ｅに近づけていく方向であるので、レンズ１２面においてＬ２がＤ２の内側に入り込む方向である。しかし、それ以上にθ１が大きくなるに伴うθ２の増加が大きくなる。したがって、作動距離が小さいほど固視微動やアライメントの誤差を吸収して無影響化する方向にある。しかし、対物レンズの焦点距離を小さくしなければならないのでそのＦ値が不利になる。さらに、作動距離を小さく設定するということは、対物レンズ保持部等の装置先端部が被検眼に接近するということなので被検者に恐怖感を与えてしまう。したがって、作動距離の縮小化には制限がある。この下限が上記２０ｍｍであり、好ましくは２５ｍｍである。
【００３７】
一方、Ｄ１およびＤ２を不変として作動距離を大きく設定（大きい焦点距離のレンズを選定）する場合、相対的に対物レンズ１２を被検眼Ｅから遠ざける方向であるので、レンズ１２面においてＬ２がＤ２の外側に出る方向（有利な方向）である。しかし、それ以上にθ１が小さくなるに伴うθ２の減少程度が大きくなってしまうので、上記有利性を打ち消してしまう。すなわち、干渉することのできる計測光の率が低下してしまう。したがって作動距離には上限が設定される。この上限が上記３５ｍｍであり、好ましくは３０ｍｍである。
【００３８】
以上の理由および条件から、作動距離は２０〜３５ｍｍが妥当であり、２５〜３０ｍｍが一層好ましいものとなる。このように、妥当な作動距離は、低出力の計測光源を採用することによる被検者にとっての安全性や入手容易性の考慮、および、装置のアライメント精度の緩和によるコストダウンやアライメント必要時間の短縮の実現などの結果としてその範囲が設定される。作動距離が上記範囲となるように対物レンズを選択し、それに併せて周辺要素の仕様を決定すればよい。そのように構成された装置１は、制御装置８による三軸架台１０、作動距離検出機構６およびアライメント光学系７の作動によって自動的に装置１を上記作動位置に移動させる。そして、作動距離が検出されると、制御装置８は自動的に計測光照射光学系２、参照光学系３および干渉計測光学系５を作動させ、低コヒーレント光干渉法をを用いて被検眼Ｅの所定部位の距離を計測する。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明によれば、自動的に適正なアライメントおよび作動距離を決定することにより、低出力な低コヒーレントな光源を用いても十分に光干渉を利用することができる。したがって、比較的低コストで迅速且つ正確な角膜厚さ等の寸法計測が可能な干渉式眼計測装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の干渉式眼計測装置の一実施形態を示す概略平面図であり、主にその機器および光路を示している。
【図２】図１中の合焦光投影光学系および合焦検出光学系の側面を示す、図１のＩＩ−ＩＩ線矢視図である。
【図３】図１中のアライメント光学系の側面を示す、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視図である。
【図４】図１における制御装置によるアライメント動作を示す説明図である。
【図５】図５（ａ）は本発明の干渉式眼計測装置の一実施形態を示す概略平面図であり、図１（ｂ）はその概略側面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１    装置（干渉式眼計測装置）
２    計測光照射光学系
２ａ  （計測光照射光学系の）光路
３    参照光学系
３ａ  （参照光学系の）光路
４    光分離器
５    干渉計測光学系
５ａ  （干渉計測光学系の）光路
６    作動距離検出機構
７    アライメント光学系
７ａ  （アライメント光学系の）光路
８    制御装置
９    固視灯
１０    三軸架台
１１    計測光源
１２    対物レンズ
１３    参照ミラー
１４    干渉受光センサ
１５    合焦光投影光学系
１６    合焦検出光学系
１７    ホットミラー
１９    コリメーションレンズ
２０    投影側集光レンズ
２１    第一ピンホール部材
２２    投影側拡大レンズ
２３    ミラー
２４    マスク部材
２５    第二ピンホール部材
２６    検出側集光レンズ
２７    検出側縮小レンズ
２８    ミラー
２９    赤外ＬＥＤ（合焦光源）
３０    コンデンサレンズ
３１    指標スリット
３２    投影レンズ
３３    検出センサ
３４    結像レンズ
３５    可視光カットフィルタ
３６    ミラー
３７    赤外ＬＥＤ（アライメント光源）
３８    投影レンズ
３９    ホットミラー
４０    ハーフミラー
４１    （アライメント用）ＣＣＤ
４２    検出レンズ
４３    アライメント画面
Ｃ    作動距離検出機構の光軸交点
Ｅ    被検眼
ＮＬ    （被検眼表面における）法線
Ｐ    プルキンエ像
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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