(57)【要約】【課題】  基板用カセットの重量増加を抑制することが可能な構造を備え、また、基板の撓みの増大を抑制し、基板収容枚数の向上を可能とする構造を備える基板用カセットおよび基板搬送用アームを提供することにある。【解決手段】  支持フレーム１６０Ｂは、直線状支持部材１７０の略中央領域に設けられるとともに、支持フレーム１６０Ｂに対して直線状支持部材１７０は、前側に向かって突出するように設けられる。また、２本の直線状支持部材１７０，１７０を組支持部材１７０Ａとし、直線状支持部材１７０，１７０の間に挿入可能な支持アーム２０３を有する搬送用アーム２００が設けられている。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面側から基板(1)の出し入れを可能とし、この基板(1)を積層状態に収容するための基板用カセットであって、
枠本体を構成する枠体フレーム(110〜140)と、
基板(1)を下面側から支持するため、前後方向に延びる複数の直線状支持部材(170)と、
複数の前記直線状支持部材(170)を保持するため横方向に延び、前記枠体フレーム(110〜150)に固定される支持フレーム(160A,160B)とを備え、
前記直線状支持部材(170)の前面側の先端部分が、最も前側に位置する前記支持フレーム支持フレーム(160A,160B)の前面側の領域よりも、前面側に向けて突出するように設けられる、基板用カセット。
【請求項２】
所定の間隔で配置された２本の前記直線状支持部材(170,170)を組支持部材(170A)とし、
この組支持部材(170A)を、所定のピッチで複数組配置することを特徴とする、請求項１に記載の基板用カセット。
【請求項３】
請求項２に記載の基板用カセットへの基板(1)の搬入および搬出を行なうための基板搬送用アームであって、
前後方向に延び、前記組支持部材(170A)の間隔以下の横幅寸法に設けられた支持アーム(203)と、
前記支持アーム(203)を、前記組支持部材(170A)の配置ピッチに対応したピッチで配置して、前記支持アーム(203)を支持するためのベース部(202)と、
を備える、基板搬送用アーム。
【請求項４】
前記支持アーム(203)は、
先端部側の高さ方向の長さ(t2,t3)が、前記ベース部(202)側の高さ方向の長さ(t1)よりも短くなるように設けられる、請求項３に記載の基板搬送用アーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板用カセットおよび基板搬送用アームに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等にはガラス基板が用いられているが、その製造プロセスにおいては、工程間におけるガラス基板の搬送・ストック等のために、このガラス基板を複数枚蓄積させた状態で保持する基板用カセットが用いられる。
【０００３】
この基板用カセットとしては、以下に示す特許文献１等に開示されるものがある。特許文献１に開示される基板用カセットは、側板の両側面から内方に向かって延びる長尺リブを張出させ、基板の両側面側から基板を支持する構造が採用されている。
【０００４】
近年、フラットパネルディスプレイ等の大型化が進んでおり、たとえば、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板の大きさは、従来は、１１００ｍｍ（短辺寸法）×１３００ｍｍ（長辺寸法）が最大サイズであったが、より大きくなり、１５００（短辺寸法）×１８００（長辺寸法）、１８００ｍｍ（短辺寸法）×２１００ｍｍ（長辺寸法）等が考えられており、その後も、ガラス基板の大きさは加速的に大型化されるものと思われる。その結果、ガラス基板の大型化に伴い基板用カセットも大型化することになる。
【０００５】
基板用カセットが大型化すると、その基板用カセット自体の自重も重くなり、重いものでは、１０００Ｋｇを超えるような重さのものとなる。これにともない、基板用カセットを搬送するための装置、機器等も大型化する傾向にあり、基板用カセットのハンドリングの困難性、基板用カセットおよびそれに付随する装置のコスト上昇が懸念される。
【０００６】
また、基板が大型化すると、基板自身の撓み問題、この基板の撓みに起因して、基板用カセットへの基板の搬入および搬出を行なうための基板搬送用アームの基板への干渉を回避するために、基板カセットへの支持アームの抜き差しのためのクリアランスの増大し、基板収容枚数の低下が問題となる。
【特許文献１】特開２００１−１４６２９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、この発明が解決しようとする課題は、基板の大型化にともなう、基板カセットの大型化による自重の増大や、基板の撓みによる、基板収容枚数の低下にある。よって、この発明の目的は、基板が大型化した場合でも、基板用カセットの重量増加を抑制することが可能な構造を備える基板用カセットを提供することにある。また、基板が大型化することによる、基板の撓みの増大を抑制し、基板収容枚数の向上を可能とする構造を備える基板用カセットおよびこの基板用カセットに用いられる基板搬送用アームを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に基づいた基板用カセットにおいては、前面側から基板の出し入れを可能とし、この基板を積層状態に収容するための基板用カセットであって、枠本体を構成する枠体フレームと、基板を下面側から支持するため、前後方向に延びる複数の直線状支持部材と、複数の上記直線状支持部材を保持するため横方向に延び、上記枠体フレームに固定される支持フレームとを備え、上記直線状支持部材の前面側の先端部分が、最も前側に位置する上記支持フレームの前面側の領域よりも、前面側に向けて突出するように設けられている。
【０００９】
また、所定の間隔で配置された２本の上記直線状支持部材を組支持部材とし、この組支持部材を、所定のピッチで複数組配置している。
【００１０】
また、この発明に基づいた基板搬送用アームにおいては、上述した基板用カセットへの基板の搬入および搬出を行なうための基板搬送用アームであって、前後方向に延び、上記組支持部材の間隔以下の横幅寸法に設けられた支持アームと、上記支持アームを、上記組支持部材の配置ピッチに対応したピッチで配置して、上記支持アームを支持するためのベース部とを備えている。
【００１１】
また、上記支持アームは、先端部側の高さ方向の長さが、上記ベース部側の高さ方向の長さよりも短くなるように設けられている。
【発明の効果】
【００１２】
この発明に基づいた基板用カセットによれば、直線状支持部材の前面側の先端部分が、最も前側に位置する上記支持フレームの前面側の領域よりも、前面側に向けて突出するように設けられている。この構成により、従来、枠体フレームの外形形状は、略基板の大きさと同じ大きさに設けられていたが、本発明の構成を採用することにより、基板を支持すべき直線状支持部材のみを支持フレームよりも前側に突出させ、支持フレームを後退させるように設けることで、枠体フレームの小型化を図ることが可能となる。
【００１３】
これにより、基板が大型化した場合であっても、枠体フレームの大型化が抑制され、基板用カセットの重量増加を抑制することが可能となる。その結果、基板用カセットのハンドリングの困難性、基板用カセットおよびそれに付随する装置のコスト上昇を回避することが可能となる。
【００１４】
また、所定の間隔で配置された２本の直線状支持部材を組支持部材とし、この組支持部材を、所定のピッチで複数組配置することで、組支持部材の間隔を比較的狭いものとすることで、この間での基板の撓みを抑制することができる。さらに、この発明に基づいた基板搬送用アームによれば、この組支持部材の間に、支持アームを挿入可能な幅寸法に設定されていることから、支持アームの挿入時における基板の撓みを考慮することなく、組支持部材の上下方向の配置ピッチを決定することができ、より多くの基板の収容を可能としている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、この発明に基づいた各実施の形態における基板用カセットの構造について、以下図を参照しながら説明する。なお、各実施の形態において、同一または相当部分については、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さないこととする。
【００１６】
（実施の形態１）
まず、図１を参照して、本実施の形態における基板用カセット１００Ａの構成について説明する。図１は、本実施の形態における基板用カセット１００Ａの構成を示す全体斜視図である。なお、便宜上、一部図示を省略して示している。
【００１７】
図１を参照して、この基板用カセット１００Ａは、１５００ｍｍ（短辺寸法）×１８００ｍｍ（長辺寸法）、１８００ｍｍ（短辺寸法）×２１００ｍｍ（長辺寸法）等の大きさを備える大型のガラス基板１をその前面側からの出し入れを可能とし（図中矢印方向）、このガラス基板１を上下方向に積層状態に収容することを目的としている。この基板用カセット１００Ａは、底面外枠フレーム１１０と、上面外枠フレーム１２０と、この底面外枠フレーム１１０および上面外枠フレーム１２０を連結する側部フレーム１３０と、傾斜フレーム１４０とを備え、これらの各フレーム部材により枠本体を形成するための枠体フレームを構成している。
【００１８】
また、左右の前側に位置する側部フレーム１３０の間には、横方向に延びる支持フレーム１６０Ａが固定され、上下方向に所定のピッチで複数配設されている。この支持フレーム１６０Ａのそれぞれには、ガラス基板１を下面側から支持するための基板支持部材として、前後方向に延びる直線状支持部材１７０が、横方向に沿って、複数本所定の間隔で配置されている。
【００１９】
本実施の形態においては、各支持フレーム１６０Ａに４本の直線状支持部材１７０が取り付けられ、同一の支持フレーム１６０Ａに設けられた、直線状支持部材１７０の上面により、基板１を下面側から支持するための仮想支持面が形成されることになる。なお、各支持フレーム１６０Ａの左右において、直線状支持部材１７０よりも外側には、ガラス基板１の側面の位置決めを行なうための、側部ストッパフレーム１８０が設けられている。
【００２０】
本実施の形態においては、支持フレーム１６０Ａは、直線状支持部材１７０の略中央領域に設けられるとともに、支持フレーム１６０Ａに対して直線状支持部材１７０は、前側に向かって突出するように設けられる（寸法Ｗ１）。なお、支持フレーム１６０Ａの後端側は、底面外枠フレーム１１０と上面外枠フレーム１２０を連結するように、背面側に設けられた上下方向に延びるストッパフレーム１５０に固定されている。このストッパフレーム１５０は、直線状支持部材１７０の横方向ピッチと同一のピッチで配置されている。また、図示する前側の側部フレーム１３０と後側の側部フレーム１３０との間に、さらに側部フレーム１３０を追加し、追加した左右の側部フレーム１３０の間に直線状支持部材１７０を支持するための支持フレーム１６０Ａを適宜追加することも可能である。
【００２１】
上面外枠フレーム１２０の前面側の位置は、支持フレーム１６０Ａが設けられる位置と略同じ位置となるように設けられ、また、底面外枠フレーム１１０の前面側の位置は、支持フレーム１６０Ａが設けられる位置よりも前側に設けられるものの、直線状支持部材１７０の先端部よりも後側に後退する位置となるように設けられている（寸法Ｗ２）。
【００２２】
底面外枠フレーム１１０、上面外枠フレーム１２０、側部フレーム１３０、傾斜フレーム１４０、ストッパフレーム１５０、支持フレーム１６０Ａ、直線状支持部材１７０、および、側部ストッパフレーム１８０はいずれも、ステンレス、アルミ、樹脂等、炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料等が用いられる。
【００２３】
なお、側部フレーム１３０の高さ方向に沿って同一ピッチで支持フレーム１６０Ａが配列されるものであるが、構造の理解を容易にするため、一部二点差線により図示を省略している。本実施の形態における基板用カセット１００Ａにおいては、高さ方向に１０枚のガラス基板１の収容を可能としている。
【００２４】
（作用・効果）
上記構成からなる基板用カセット１００Ａによれば、直線状支持部材１７０の前面側の先端部分が、最も前側に位置する支持フレーム１６０Ａの前面側の領域よりも、前面側に向けて突出するように設けられている。この構成により、従来、枠体フレームの外形形状は、ガラス基板１の大きさと略同じ大きさに設けられていたが、ガラス基板１を支持すべき直線状支持部材１７０のみを支持フレーム１６０Ａよりも前側に突出させ、支持フレーム１６０Ａを後退させる位置に設けることで、枠体フレームの小型化を図ることが可能となる。これにより、ガラス基板１が大型化した場合であっても、枠体フレームの大型化が抑制され、基板用カセット１００Ａの重量増加を抑制することが可能となる。
【００２５】
なお、本実施の形態においては、基板用カセット１００Ａの載置状態における安定性を確保する観点から、底面外枠フレーム１１０の前面側を、最も前側に位置する支持フレーム１６０Ａの前面側の領域よりも、前面側に向けて突出する位置としているが、ガラス基板のサイズ、最も前側に位置する支持フレーム１６０Ａを設ける位置によっては、上面外枠フレーム１２０と同様に、底面外枠フレーム１１０の前面側の位置を、最も前側に位置する支持フレーム１６０Ａの前面側の位置と同じにすることも可能である。
【００２６】
また、支持フレーム１６０Ａとして、図１に示すように、帯状の形態を有するフラットバーを用いる場合について示しているが、支持フレーム１６０Ａとして、丸棒鋼部材、角棒鋼部材、ワイヤ部材（線状部材）、アングル部材等を用いることも可能であり、また、これらの部材を適宜組み合わせて用いることも可能である。
【００２７】
（実施の形態２）
次に、図２から図４を参照して、本実施の形態における基板用カセット１００Ｂの構成、および、この基板用カセット１００Ｂに用いられる搬送用アーム２００ついて説明する。図２は、本実施の形態における基板用カセット１００Ｂおよび搬送用アーム２００の構成を示す全体斜視図であり、図３および図４は、搬送用アーム２００に採用される支持アームの形状を示す側面図である。なお、図２においては、構造の理解を容易にするため、一部図示を省略し、また、支持フレーム１６０Ｂ、および、直線状支持部材１７０は、実施の形態１における基板用カセット１００Ａの場合と同様に、上下方向に複数設けられるものであるが、ここでは、最下段のみを図示している。
【００２８】
（基板用カセット１００Ｂの構成）
まず、図２を参照して、この基板用カセット１００Ｂの基本的構成は、上記基板用カセット１００Ａの場合と同様であり、相違点は、直線状支持部材１７０の支持および配置にある。本実施の形態における基板用カセット１００Ｂにおいては、まず、前側と後側とに配置される前後の側部フレーム１３０の間に、３本の補助側部フレーム１３０Ｂを左右にそれぞれ設け、左右の対応する補助側部フレーム１３０Ｂの間に、それぞれ、支持フレーム１６０Ｂを設けるようにしている。したがって、１本の直線状支持部材１７０は、３本の支持フレーム１６０Ｂによって、固定支持されることになる。なお、本実施の形態において支持フレーム１６０Ｂとして、角棒鋼部材を用いた場合を図示しているが、フラットバー部材、丸棒鋼部材、ワイヤ部材（線状部材）、アングル部材等を用いることも可能であり、また、これらの部材を適宜組み合わせて用いることも可能である。
【００２９】
また、直線状支持部材１７０の配置として、所定の間隔で配置された２本の直線状支持部材１７０，１７０を組支持部材１７０Ａとし、この組支持部材１７０Ａを、所定のピッチで複数組配置している。
【００３０】
２本の直線状支持部材１７０，１７０の間隔は、後述する基板搬送アーム２００を構成する支持アーム２０３の横幅よりも若干大きい寸法に設定されている。この基板用カセット１００Ｂにおいては、４組の組支持部材１７０Ａを配置している。ストッパフレーム１５０は、その幅が、組支持部材１７０Ａを構成する２本の直線状支持部材１７０，１７０の間隔となるように設けられ、直線状支持部材１７０，１７０の後端部が、ストッパフレーム１５０の側面に固定されている。
【００３１】
（搬送用アーム２００の構成）
次に、図２を参照して、この搬送用アーム２００は、上記基板用カセット１００Ｂへのガラス基板１の搬入および搬出を行なうためのものであり、前後方向に延び、組支持部材１７０Ａの直線状支持部材１７０，１７０間隔以下の横幅寸法に設けられた複数の支持アーム２０３を有している。この搬送用アーム２００の場合には、基板用カセット１００Ｂの組支持部材１７０Ａの数に対応させて、４本の支持アーム２０３が設けられている。４本の支持アーム２０３は、組支持部材１７０Ａのピッチに対応した間隔で、ベース部２０２に固定されている。このベース部２０２は、搬送機器２０１に固定されている。
【００３２】
（作用・効果）
上記構成からなる基板用カセット１００Ｂによっても、実施の形態１における基板用カセット１００Ａと同様の作用効果を得ることができる。さらに、所定の間隔で配置された２本の直線状支持部材１７０，１７０を組支持部材１７０Ａとし、この組支持部材１７０Ａを、所定のピッチで複数組配置し、２本の直線状支持部材１７０，１７０の間隔を比較的狭いものとすることで、この間でのガラス基板１の撓みを抑制することができる。さらに、上記基板搬送用アーム２００によれば、支持アーム２０３が、この組支持部材１７０Ａの間に挿入可能な幅寸法に設定されていることから、支持アーム２０３の挿入時におけるガラス基板１の撓みを考慮することなく、組支持部材１７０Ａの上下方向の配置ピッチを決定することができ、より多くのガラス基板１の収容を可能としている。
【００３３】
なお、基板搬送用アーム２００に採用される支持アーム２０３の形状としては、基板用カセット１００Ｂに対して、より後方側（奥側）にまで、支持アーム２０３を挿入できる方が、ガラス基板１の支持という観点から好ましいと言える。そこで、組支持部材１７０Ａの上下方向の配置ピッチを大きくすることなく、支持アーム２０３を支持フレーム１６０Ｂよりもさらに奥側に挿入することができるように、支持アーム２０３の先端部側の高さ方向の長さが、ベース部２０２側の高さ方向の長さよりも短くすることが考えられる。
【００３４】
たとえば、図３に示すように、支持アーム２０３の上面側は水平状態であり、先端部側の高さ方向の長さｔ２が、ベース部２０２側の高さ方向の長さｔ１よりも短くなるように、下面側が先端側に向かうにしたがって、徐々に上側に傾斜するテーパ面２０３ａとする構成や、図４に示すように、支持アーム２０３の上面側は水平状態であり、先端部側の高さ方向の長さｔ３が、ベース部２０２側の高さ方向の長さｔ１よりも短くなるように、段差部２０３ａを設ける構成が考えられる。
【００３５】
なお、ガラス基板用の基板用カセットについて説明したが、ガラス基板に限られず、同様の性質を有する基板に対しても本発明を適用することが可能である。
【００３６】
したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】この発明に基づいた実施の形態１における基板用カセットの構成を示す全体斜視図である。
【図２】この発明に基づいた実施の形態２における基板用カセットおよび搬送用アームの構成を示す全体斜視図である。
【図３】この発明に基づいた実施の形態２における搬送用アームに採用される支持アームの形状を示す第１側面図である。
【図４】この発明に基づいた実施の形態２における搬送用アームに採用される支持アームの形状を示す第２側面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  ガラス基板、１００Ａ，１００Ｂ  基板用カセット、１１０  底面外枠フレーム、１２０  上面外枠フレーム、１３０  側部フレーム、１３０Ｂ  補助側部フレーム、１４０  傾斜フレーム、１５０  ストッパフレーム、１６０Ａ，１６０Ｂ  支持フレーム、１７０  直線状支持部材、１７０Ａ  組支持部材、１８０  側部ストッパフレーム、２００
搬送用アーム、２０１  搬送機器、２０２  ベース部、２０３  支持アーム。
【図１】
2005335744.tif 000003
【図２】
2005335744.tif 000004
【図３】
2005335744.tif 000005
【図４】
2005335744.tif 000006