(57)【要約】  【課題】  外乱による酸素濃度の変動を抑制できるリフロー装置を提供する。  【解決手段】  炉体10内に複数の加熱室11〜17を区画形成し、これらの各加熱室11〜17に対して、混合タンク24にて窒素ガスなどの不活性ガスと空気とを混合して酸素濃度を調整した混合ガスを分散供給する。混合タンク24は、複数のガス供給口25を有し、これらの各ガス供給口25から各加熱室11〜17にわたってそれぞれ混合ガス配管26を配設する。混合タンク24には、このタンク24内の酸素濃度を検出して表示する酸素濃度計31を接続する。混合タンク24内に不活性ガスおよび空気を供給する配管27，28中には、酸素濃度計31を見ながら不活性ガスおよび空気の流量を初期設定した後はこれらの気体を定量供給する流量調整弁32，33を設ける。  【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
炉体と、
炉体内に区画形成された複数の加熱室と、
不活性ガスと空気とを混合して酸素濃度を調整した混合ガスを複数の加熱室に分散供給する混合タンクと
を具備したことを特徴とするリフロー装置。
【請求項２】
混合タンクに設けられた複数のガス供給口と、
これらの複数のガス供給口から複数の加熱室にわたってそれぞれ配設された複数の混合ガス配管と
を具備したことを特徴とする請求項１記載のリフロー装置。
【請求項３】
混合ガスの供給を受ける複数の加熱室は、少なくとも設定温度の高い加熱室である
ことを特徴とする請求項１または２記載のリフロー装置。
【請求項４】
不活性ガスおよび空気を混合タンク内へ供給する前に加熱する加熱手段
を具備したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載のリフロー装置。
【請求項５】
混合タンク内および炉体内の酸素濃度を検出して表示する酸素濃度計と、
混合タンク内に不活性ガスおよび空気を供給する配管中に設けられ酸素濃度計を見ながら不活性ガスおよび空気の流量を初期設定した後はこれらの気体を定量供給する流量調整弁と
を具備したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載のリフロー装置。
【請求項６】
流量調整弁は、定量の不活性ガス流量に対し空気流量を微量調整する
ことを特徴とする請求項５記載のリフロー装置。
【請求項７】
複数の加熱室のうち最も入口側と最も出口側の各加熱室に対して接続された混合ガスを供給する混合ガス配管および不活性ガスのみを供給する不活性ガス配管
を具備したことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか記載のリフロー装置。
【請求項８】
混合タンク内および混合タンク前の少なくとも一方に設けられ空気よりも窒素比率の高いガスを発生する窒素発生器
を具備したことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか記載のリフロー装置。
【請求項９】
混合タンクは、
不活性ガスと空気とを混合する前段の混合タンクと、
前段の混合タンクで混合された混合ガスと不活性ガスとを混合する後段の混合タンクと
を具備したことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか記載のリフロー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炉体内を不活性ガスにより低酸素濃度に保つリフロー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は、従来のリフロー装置を示し、炉体10内に区画形成された複数の加熱室11〜17のうち、ワークＷを予加熱するプリヒート用の加熱室11〜15よりも高温に設定されたリフロー用の加熱室16に対して、窒素ガス（Ｎ２）と空気とを直接供給し、また、この窒素ガスを供給する加熱室16に酸素濃度計18を取付け、この酸素濃度計18により炉体10内の雰囲気中の残留酸素濃度を測定し、窒素ガスおよび空気の供給量を管理するようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この従来のリフロー装置は、図５に示されるように、窒素ガスおよび空気の供給を受ける加熱室16から遠くなるほど酸素濃度が高くなる上、ワークＷなどにより外部から炉体10内に持込まれる空気が外乱要因となって、炉体10内の酸素濃度が変動しやすく、安定性が悪い。すなわち、外乱による酸素濃度の変動量が大きくなる。これにより、加熱室間で酸素濃度にバラツキが生じ、外乱に対する酸素濃度の変動量が大きくなると、必要な酸素濃度を維持できない場合もある。なお、図４に示された冷却部20の冷却室21，22での酸素濃度の変動量は、図５に示されるように少ない。
【０００４】
また、炉体10内の酸素濃度は、窒素ガスの供給量の増減で調整し、低酸素濃度にする場合は窒素ガスの供給量を増やし、高酸素濃度にする場合は窒素ガスの供給量を減らすため、この窒素ガスの供給量を減らす制御中は外乱に対する酸素濃度の変動量が大きくなる。
【０００５】
さらに、複数の加熱室11〜17に窒素ガスをそれぞれ供給すると、各加熱室11〜17への窒素ガス供給量の増減で炉体10内の対流が複雑化し、総流量が同じでも、各加熱室11〜17へ供給される窒素ガスと空気の流量比が異なると、各加熱室間でのワークＷの移動に伴ない雰囲気の移動も生じたときに、各加熱室11〜17の酸素濃度が変化する。
【０００６】
その上、炉体10内の酸素濃度をフィードバックして、炉体10内に供給される窒素ガス量をバルブの開閉量で可変制御する酸素濃度自動制御システムは、ワークＷを炉体10内に投入したときの炉体10内の酸素濃度変動に対応し難く、外乱に対し安定性に欠ける傾向がある。
【０００７】
これに対し、窒素ガスと空気とをガス混合タンクで混合して、はんだ付け装置のチャンバ内に供給し、酸素濃度測定装置によりチャンバ内の酸素濃度を測定し、その測定結果と目標値との差の時間的積分値に基づき空気流量調整弁の弁開度をフィードバック制御するものがある（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特許第３４２０２８３号公報（第３頁、図１）
【特許文献２】特開平７−７４４６２号公報（第４頁、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
引用文献２に記載された従来技術は、窒素ガスと空気とをガス混合タンクで混合して、はんだ付け装置のチャンバ内に供給するものであるが、このようなチャンバ内では場所によって圧力勾配、酸素濃度が不安定に変化しやすく、ワークが外部から持込む空気などの外乱によってチャンバ内酸素濃度が変動しやすい問題がある。
【０００９】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、外乱による酸素濃度の変動を抑制できるリフロー装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１記載の発明は、炉体と、炉体内に区画形成された複数の加熱室と、不活性ガスと空気とを混合して酸素濃度を調整した混合ガスを複数の加熱室に分散供給する混合タンクとを具備したリフロー装置であり、そして、混合タンク内で酸素濃度を調整された不活性ガスおよび空気の混合ガスを、炉体内に区画形成された複数の加熱室に分散供給することで、各加熱室間の圧力勾配、各加熱室間の酸素濃度差を安定化し、これにより、ワークが炉体内に持込む空気などの外乱に対する炉体内酸素濃度の変動を抑制する。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のリフロー装置において、混合タンクに設けられた複数のガス供給口と、これらの複数のガス供給口から複数の加熱室にわたってそれぞれ配設された複数の混合ガス配管とを具備したものであり、そして、複数の混合ガス配管によって混合タンクから複数の加熱室に対する混合ガスの供給をそれぞれ独立させることで、各配管の管路抵抗が相互に影響し合って流量のバラツキが顕著になることを防止できるので、複数の加熱室への混合ガスの等量供給も可能となり、各加熱室の内圧および酸素濃度を同一にして、各加熱室の酸素濃度変化を抑制する。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載のリフロー装置において、混合ガスの供給を受ける複数の加熱室を、少なくとも設定温度の高い加熱室としたものであり、そして、少なくとも設定温度の高い複数の加熱室に不活性ガスおよび空気の混合ガスを供給することで、比較的低温の加熱室や冷却ゾーンに混合ガスを定常的に移動させる安定状態を作り、外乱に対する炉体内酸素濃度の安定化を図る。
【００１３】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか記載のリフロー装置において、不活性ガスおよび空気を混合タンク内へ供給する前に加熱する加熱手段を具備したものであり、そして、不活性ガスおよび空気を少なくとも混合タンクから加熱室内へ供給する前に加熱手段により加熱することで、混合ガスの供給による加熱室内での温度変動を抑制する。
【００１４】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか記載のリフロー装置において、混合タンク内および炉体内の酸素濃度を検出して表示する酸素濃度計と、混合タンク内に不活性ガスおよび空気を供給する配管中に設けられ酸素濃度計を見ながら不活性ガスおよび空気の流量を初期設定した後はこれらの気体を定量供給する流量調整弁とを具備したものであり、そして、混合タンク内に供給される不活性ガスおよび空気の流量を酸素濃度計を見ながら流量調整弁によって初期設定した後は、この最初に調整された酸素濃度を酸素濃度計で監視しているが、運転中の不活性ガス流量などの可変制御はしないことで、すなわち混合ガス供給量および混合比率を一定に保つことで、従来のような不活性ガスの供給量を減らす制御中に生じやすい外乱変動を抑制する。
【００１５】
請求項６記載の発明は、請求項５記載のリフロー装置における流量調整弁が、定量の不活性ガス流量に対し空気流量を微量調整するものであり、そして、酸素濃度を変更する場合は、定量の不活性ガス流量に対し添加される空気流量を流量調整弁によって微量調整することで、炉体内に供給される混合ガスの総流量の変動を抑えることが可能となり、ほぼ一定量の混合ガス供給が炉体内の対流を安定させるので、炉体内の酸素濃度に関係なく常に同じ温度プロファイルが得られるとともに、空気流量の微量調整により炉体内酸素濃度の変更も容易になる。
【００１６】
請求項７記載の発明は、請求項１乃至６のいずれか記載のリフロー装置において、複数の加熱室のうち最も入口側と最も出口側の各加熱室に対して接続された混合ガスを供給する混合ガス配管および不活性ガスのみを供給する不活性ガス配管を具備したものであり、そして、炉体において外気と接触する最も入口側と最も出口側の各加熱室に混合ガス配管および不活性ガス配管によって混合ガスとともに不活性ガスのみも供給することで、外気の侵入すなわち外乱による酸素濃度の変動を抑制し、外乱に対する炉体内酸素濃度の安定化を図る。
【００１７】
請求項８記載の発明は、請求項１乃至７のいずれか記載のリフロー装置において、混合タンク内および混合タンク前の少なくとも一方に設けられ空気よりも窒素比率の高いガスを発生する窒素発生器を具備したものであり、そして、混合タンク内または混合タンク前に、空気よりも窒素比率の高いガスを発生する窒素発生器を設け、空気の代りに空気より酸素比率の低いガスを供給することで、酸素濃度の調整を高精度にできる。
【００１８】
請求項９記載の発明は、請求項１乃至７のいずれか記載のリフロー装置における混合タンクが、不活性ガスと空気とを混合する前段の混合タンクと、前段の混合タンクで混合された混合ガスと不活性ガスとを混合する後段の混合タンクとを具備したものであり、そして、前段の混合タンクで空気よりも窒素比率の高いガスを作り、このガスを空気の代りに後段の混合タンクに供給して不活性ガスと混合することで、酸素濃度の調整を高精度にできる。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１記載の発明によれば、混合タンク内で酸素濃度を調整された不活性ガスおよび空気の混合ガスを、炉体内に区画形成された複数の加熱室に分散供給することで、各加熱室間の圧力勾配、各加熱室間の酸素濃度差を安定化でき、これにより、ワークが炉体内に持込む空気などの外乱に対する炉体内酸素濃度の変動を抑制できる。
【００２０】
請求項２記載の発明によれば、複数の混合ガス配管によって混合タンクから複数の加熱室に対する混合ガスの供給をそれぞれ独立させることで、各配管の管路抵抗が相互に影響し合って流量のバラツキが顕著になることを防止できるので、複数の加熱室への混合ガスの等量供給も可能となり、各加熱室の内圧および酸素濃度を同一にして、各加熱室の酸素濃度変化を抑制できる。
【００２１】
請求項３記載の発明によれば、少なくとも設定温度の高い複数の加熱室に不活性ガスおよび空気の混合ガスを供給することで、比較的低温の加熱室や冷却ゾーンに混合ガスを定常的に移動させる安定状態を作り、外乱に対する炉体内酸素濃度の安定化を図ることができる。
【００２２】
請求項４記載の発明によれば、不活性ガスおよび空気を少なくとも混合タンクから加熱室内へ供給する前に加熱手段により加熱することで、混合ガスの供給による加熱室内での温度変動を抑制できる。
【００２３】
請求項５記載の発明によれば、混合タンク内に供給される不活性ガスおよび空気の流量を酸素濃度計を見ながら流量調整弁によって初期設定した後は、この最初に調整された酸素濃度を酸素濃度計で監視しているが、運転中の不活性ガス流量などの可変制御はしないことで、すなわち混合ガス供給量および混合比率を一定に保つことで、従来のような不活性ガスの供給量を減らす制御中に生じやすい外乱変動を抑制できる。
【００２４】
請求項６記載の発明によれば、炉体内雰囲気の酸素濃度を変更する場合は、定量の不活性ガス流量に対し添加される空気流量を流量調整弁によって微量調整することで、炉体内に供給される混合ガスの総流量の変動を抑えることが可能となり、ほぼ一定量の混合ガス供給が炉体内の対流を安定させるので、炉体内の酸素濃度に関係なく常に同じ温度プロファイルが得られるとともに、空気流量の微量調整により炉体内酸素濃度の変更も容易にできる。
【００２５】
請求項７記載の発明によれば、炉体において外気と接触する最も入口側と最も出口側の各加熱室に混合ガス配管および不活性ガス配管によって混合ガスとともに不活性ガスのみも供給することで、外気の侵入すなわち外乱による酸素濃度の変動を抑制でき、外乱に対する炉体内酸素濃度の安定化を図ることができる。
【００２６】
請求項８記載の発明によれば、混合タンク内または混合タンク前に、空気よりも窒素比率の高いガスを発生する窒素発生器を設け、空気の代りに空気より酸素比率の低いガスを供給することで、酸素濃度の調整を高精度にできる。
【００２７】
請求項９記載の発明によれば、前段の混合タンクで空気よりも窒素比率の高いガスを作り、このガスを空気の代りに後段の混合タンクに供給して不活性ガスと混合することで、酸素濃度の調整を高精度にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明を、図１に示された一実施の形態、図２に示された他の実施の形態を参照しながら、詳細に説明する。
【００２９】
先ず、図１に示された実施の形態を説明すると、はんだ付け用のリフロー装置を示し、炉体10内に複数の加熱室11，12，13，14，15，16，17が区画形成され、プリヒート用の各加熱室11，12，13，14，15内には、プリヒート用のヒータ11h，12h，13h，14h，15hおよびファン11f，12f，13f，14f，15fがそれぞれ設けられ、リフロー用の加熱室16，17内には、リフロー用のヒータ16h，17hおよびファン16f，17fがそれぞれ設けられている。
【００３０】
炉体10の一部には、炉体10内の酸素濃度を検出して表示する酸素濃度計18が設けられている。
【００３１】
また、炉体10のワーク搬出側隣接部には冷却部20が配置され、この冷却部20には、複数の冷却室21，22が設けられ、各冷却室21，22内には、冷却ファン21f，22fがそれぞれ設けられている。
【００３２】
炉体10内および冷却部20には、ワークＷを搬送するコンベヤ23が貫通して設けられている。ワークＷは、基板上に電子部品が実装されたものであり、それらの間にはソルダペーストが塗布されている。
【００３３】
このようなリフロー装置に対し混合タンク24が設置されている。この混合タンク24は、窒素ガス（Ｎ２）などの不活性ガスと空気とを混合して酸素濃度を調整した混合ガスを各加熱室11〜17に分散供給するものである。
【００３４】
この混合タンク24には、全部の加熱室11〜17に対応する複数のガス供給口25が設けられ、これらの複数のガス供給口25から全部の加熱室11〜17にわたってそれぞれ複数の混合ガス配管26が配設され、これらの混合ガス配管26により、全部の加熱室11〜17に混合ガスが均等に分散供給される。
【００３５】
なお、この混合ガスの供給を受ける複数の加熱室は、全部の加熱室11〜17であることが望ましいが、一部の複数の加熱室に限定しても良く、例えば、設定温度の高いリフロー用の加熱室16，17や、入口から２番目のプリヒート用の加熱室12に混合ガスをそれぞれ供給しても良い。
【００３６】
混合タンク24内に不活性ガスおよび空気を供給するそれぞれの配管27，28中には、不活性ガスおよび空気を混合タンク24内へ供給する前に加熱するヒータなどの加熱手段29がそれぞれ設けられている。
【００３７】
混合タンク24には、この混合タンク24内の酸素濃度を検出して表示する酸素濃度計31が設けられている。
【００３８】
混合タンク24内に不活性ガスおよび空気を供給するそれぞれの配管27，28中には、酸素濃度計31を見ながら不活性ガスおよび空気の流量を初期設定するとともに初期設定後はこれらの気体を定量供給する流量調整弁32，33がそれぞれ設けられている。
【００３９】
これらの流量調整弁32，33は、総量を調整するときは、両方の絞りを調整するが、混合ガスの酸素濃度を調整するときは、定量の不活性ガス流量に対し空気流量の流量調整弁33のみを微量調整する。
【００４０】
複数の加熱室11〜17のうち最も入口側と最も出口側の各加熱室11，17に対して、混合ガスを供給する混合ガス配管26とともに、窒素ガス（Ｎ２）などの不活性ガスのみを供給する不活性ガス配管34がそれぞれ接続され、これらの不活性ガス配管34中にもヒータなどの加熱手段35および流量調整弁36がそれぞれ設置されている。
【００４１】
混合タンク24に対して、流量調整弁37を介して、空気よりも窒素比率の高いガスを発生する窒素発生器38が設けられている。このような窒素発生器38は、混合タンク24に対して直接設置しても良い。２つの流量調整弁33，37のいずれか一方は閉じられる。
【００４２】
次に、図１に示された実施の形態の作用効果を説明する。
【００４３】
ワークＷは、コンベヤ23により炉体10内に搬入され、炉体10内の不活性雰囲気中を搬送されながら、加熱室11〜15でプリヒート加熱された後に、加熱室16，17でリフロー加熱されて、基板上に実装部品がリフローはんだ付けされる。リフロー後のワークＷは、冷却部20の冷却室21，22に搬送され、これらの冷却室21，22内で、はんだ付け部が急冷固化される。
【００４４】
炉体10内の不活性雰囲気を形成するには、先ず、酸素濃度計31を見ながら流量調整弁32，33で流量調整された不活性ガスおよび空気を混合タンク24内で混合して、この混合タンク24内の混合ガス酸素濃度を、例えば約1000 ppmに調整し、この混合ガスを炉体10内に区画形成された複数の加熱室11〜17に分散供給し続ける。
【００４５】
このとき、全ての加熱室11〜17に対して、同一酸素濃度の混合ガスを供給することで、隣接する加熱室の雰囲気も同一酸素濃度となるので、隣接する加熱室間をワークＷが跨いだときに各加熱室間の雰囲気が互いに入り乱れても、酸素濃度は変動しない。
【００４６】
さらに、混合ガスの供給流量を多くして加熱室11〜17の内圧を高めれば、外気が加熱室11〜17に混入することを抑制でき、炉体内雰囲気の酸素濃度は変動しない。
【００４７】
また、例えばプリヒート用の加熱室12や、設定温度の高いリフロー用の加熱室16，17に限って不活性ガスおよび空気の混合ガスを供給する場合は、他の加熱室11，13〜15や冷却室21，22に混合ガスを定常的に移動させる安定状態を作ることで、外乱に対する炉体内酸素濃度の安定化を図れる。
【００４８】
いずれにしても、各加熱室間の圧力勾配、各加熱室間の酸素濃度差を安定化させることができるので、ワークＷが炉体10内に持込む空気などの外乱に対する炉体内酸素濃度の変動を抑制できる。
【００４９】
混合タンク24に複数のガス供給口25が設けられ、これらの各ガス供給口25から各混合ガス配管26を介して複数の加熱室11〜17に対する混合ガスの供給をそれぞれ独立させることで、各配管の管路抵抗が相互に影響し合って流量のバラツキが顕著になることを防止できるので、複数の加熱室11〜17への混合ガスの等量供給も可能となり、各加熱室の内圧および酸素濃度を同一にして、酸素濃度変化を抑制できる。
【００５０】
不活性ガスおよび空気を少なくとも混合タンク24から加熱室11〜17内へ供給する前に、これらの不活性ガスおよび空気をヒータなどの加熱手段29により加熱することで、混合ガスの供給による加熱室11〜17内での温度変動を抑制できる。
【００５１】
混合タンク24内に供給される不活性ガスおよび空気の流量を酸素濃度計31を見ながら流量調整弁32，33によって初期設定した後は、この最初に調整された酸素濃度を酸素濃度計31で監視しているが、はんだ付け運転中の不活性ガス流量などの可変制御はしないことで、すなわち混合ガス供給量および混合比率を一定に保つことで、従来のような不活性ガスの供給量を減らす制御中に生じやすい外乱変動を抑制できる。
【００５２】
酸素濃度を変更する場合は、定量の不活性ガス流量に対し添加される空気流量を流量調整弁33によって微量調整することで、炉体10内に供給される混合ガスの総流量の変動を抑えることが可能となり、ほぼ一定量の混合ガス供給が炉体10内の対流を安定させるので、炉体10内の酸素濃度に関係なく常に同じ温度プロファイルが得られるとともに、空気流量の微量調整により炉体内酸素濃度の変更も容易にできる。
【００５３】
炉体10において外気と接触する最も入口側と最も出口側の各加熱室11，17に混合ガス配管26および不活性ガス配管34によって混合ガスとともに不活性ガスのみも供給することで、外気の侵入すなわち外乱による酸素濃度の変動を抑制でき、外乱に対する炉体内酸素濃度の安定化を図れる。
【００５４】
混合タンク24内または混合タンク24より上流側に、空気よりも窒素比率の高いガスを発生する窒素発生器38を設け、空気の代りに空気より酸素比率の低いガスを供給することで、酸素濃度の調整を高精度にできる。
【００５５】
次に、図２に示された実施の形態を説明する。なお、図１に示された実施の形態と同一の部分には、同一符号を付して、その説明を省略する。
【００５６】
この図２の実施の形態は、混合タンク24が、窒素ガスなどの不活性ガスと空気とを混合する前段の混合タンク24aと、この前段の混合タンク24aで混合された混合ガスと窒素ガスなどの不活性ガスとを混合する後段の混合タンク24bとを具備したものである。
【００５７】
前段の混合タンク24aには、空気を供給する配管28とともに、不活性ガスを供給する配管41が接続され、この配管41にも流量調整弁42および加熱手段43が設けられている。
【００５８】
そして、前段の混合タンク24aにより窒素含有率の高い空気を作り、後段の混合タンク24bにより、この空気と窒素などの不活性ガスとを所定の酸素濃度に混合する。
【００５９】
このようにして、前段の混合タンク24aおよび後段の混合タンク24bによって酸素濃度を調整された不活性ガスおよび空気の混合ガスを、図１の実施の形態と同様に、炉体10内に区画形成された複数の加熱室11〜17に分散供給することで、各加熱室間の圧力勾配、各加熱室間の酸素濃度差を安定化し、これにより、ワークＷが炉体10内に持込む空気などの外乱に対する炉体内酸素濃度の変動を抑制する。
【００６０】
その際、前段の混合タンク24aで空気よりも窒素比率の高いガスを作り、このガスを空気の代りに後段の混合タンク24bに供給して不活性ガスと混合することで、酸素濃度の調整を高精度にできる。
【００６１】
図３は、図１または図２に示された炉体10内の各加熱室11〜17内および冷却部20の各冷却室21，22に酸素濃度計をそれぞれ設置し、炉体10内にワークＷを搬入させて外乱を与えた場合の酸素濃度変化を示し、図５に示された従来技術の場合と比較して、外乱に対する酸素濃度変動が小さく、安定性が顕著に改善されていることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明に係るリフロー装置の一実施の形態を示す断面図である。
【図２】本発明に係るリフロー装置の他の実施の形態を示す断面図である。
【図３】同上リフロー装置による炉体内酸素濃度の経時変化を示す実験データのグラフである。
【図４】従来のリフロー装置を示す断面図である。
【図５】従来のリフロー装置による炉体内酸素濃度の経時変化を示す実験データのグラフである。
【符号の説明】
【００６３】
10    炉体
11〜17    加熱室
18    酸素濃度計
24    混合タンク
24a   前段の混合タンク
24b   後段の混合タンク
25    ガス供給口
26    混合ガス配管
27，28    配管
29    加熱手段
31    酸素濃度計
32，33    流量調整弁
34    不活性ガス配管
38    窒素発生器
【図１】
2005288494.tif 000003
【図２】
2005288494.tif 000004
【図３】
2005288494.tif 000005
【図４】
2005288494.tif 000006
【図５】
2005288494.tif 000007