(57)【要約】【課題】大きなばね定数や減衰係数を必要とする場合でも大型化せず、磁気吸引力の釣り合い調整や、ばね定数調整、減衰係数調整の作業性を向上させ、製作、組立が容易な磁気式制振装置を得る。【解決手段】可動部磁石７を備えた可動部２を多角柱形状または円柱形状に形成し、直動レール１６と直動ベアリング１７とからなる直動支持部で可動部２を移動可能に支持し、可動部２の周囲側面に可動部磁石７を取り付け、これに対向して固定部１に固定部磁石８を取り付ける。【選択図】図１
2005226799.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制振対象物に固定される固定部と、この固定部と相対運動可能な可動部と、前記固定部と可動部間に取り付けられ前記可動部を前記固定部に対して移動可能に支持する直動レールと直動ベアリングとからなる直動支持部と、前記可動部の移動方向を除く周囲側面に取り付けられる可動部磁石と、前記固定部に取り付けられ前記可動部磁石と磁気作用する固定部磁石とからなる磁気式制振装置。
【請求項２】
前記可動部が多角柱形状または正多角柱形状に形成されたことを特徴とする請求項１記載の磁気式制振装置。
【請求項３】
前記可動部が円柱形状または楕円柱形状に形成されたことを特徴とする請求項１記載の磁気式制振装置。
【請求項４】
前記固定部と前記可動部間に減衰要素を備えたことを特徴とする請求項１記載の磁気式制振装置。
【請求項５】
前記減衰要素は前記可動部磁石と前記固定部磁石との間に介挿される導体板であることを特徴とする請求項４記載の磁気式制振装置。
【請求項６】
前記減衰要素は、バックヨークと、そのバックヨークの少なくとも片面に任意個数固定されバックヨークの厚さ方向に磁化され隣り合う磁極は異磁極とした減衰磁石と、該減衰磁石との距離が増減する方向に相対運動する磁性材とから構成されることを特徴とする請求項４記載の磁気式制振装置。
【請求項７】
前記制振対象物に複数台の前記磁気式制振装置が固定され、各磁気式制振装置の直動レール間を接続した直動レール接続部を備えたことを特徴とする請求項１記載の磁気式制振装置。
【請求項８】
制振対象物に固定される固定部と、この固定部と相対運動可能な可動部と、前記固定部と可動部間に取り付けられ前記可動部を前記固定部に対して一方向に移動可能に支持する直動レールと直動ベアリングとからなる直動支持部と、前記可動部に取り付けられる可動部磁石と、前記固定部に取り付けられ前記可動部磁石と磁気作用する固定部磁石と、前記可動部に取り付けられる減衰磁石と、前記固定部に対して前記減衰磁石との距離が増減する方向に相対運動するように取り付けられる磁性材とからなることを特徴とする磁気式減衰装置。
【請求項９】
前記固定部に対する前記直動支持部の取り付け位置を調整するための移動軸位置調整部を有することを特徴とする請求項１記載の磁気式制振装置または磁気式減衰装置。
【請求項１０】
前記可動部磁石と前記固定部磁石との平行方向の相対位置を調整する磁石平行位置調整部を有することを特徴とする請求項１記載の磁気式制振装置または磁気式減衰装置。
【請求項１１】
前記導体板と前記可動部磁石および前記固定部磁石との平行方向の相対位置を調整する導体板平行位置調整部を有することを特徴とする請求項１記載の磁気式制振装置または磁気式減衰装置。
【請求項１２】
前記制振対象物に固定される固定部と、該固定部と相対運動可能な可動部と、前記固定部と前記可動部間に取り付けられ前記可動部を移動可能に支持する気体圧ガイドからなる可動支持部と、前記可動部に取り付けられる可動部磁石と、前記固定部に取り付けられ前記可動部磁石と磁気作用する固定部磁石とからなる磁気式制振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、構造物や機器の振動を低減する磁気式制振装置および磁気式減衰装置に係り、特に磁石をばね要素や減衰要素として利用した磁気式制振装置および磁気式減衰装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置のような精密機器を工場施設の床の上に設置して使用する場合、床に発生する非常に微弱な振動であってもその振動は精密機器に伝わり、製造される製品に好ましくない影響を与える。
【０００３】
この振動対策として従来、精密機器に制振装置を取り付け、床に発生する振動をこの制振装置により減衰させることにより振動が精密機器に伝わらないようにすることが考えられている。
【０００４】
制振装置としては一般に、バネ要素、減衰要素、可動質量要素などから構成されている。  
このような制振装置として、従来、磁石をばね要素や減衰要素として利用した床用制振装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
以下、図１６乃至図１８を参照して従来の磁気式制振装置及び磁気式減衰装置について説明する。  
図１６において、磁気式制振装置は、図示しない制振対象物に固定される固定部１と、固定部１と相対運動可能な可動部２と、固定部１に対して可動部２を相対運動可能に支持するベアリング部３および受座４と、可動部２の側面に取り付けられバックヨーク５と要素磁石６とから構成される第１の可動部磁石７ａと、可動部２の第１の可動部磁石７ａとは反対側の面に取り付けられる同じくバックヨーク５と要素磁石６とから構成される第２の可動部磁石７ｂと、固定部１の内面に取り付けられ、バックヨーク５と要素磁石６とから構成され、第１の可動部磁石７ａと磁気吸引し合う第１の固定部磁石８ａと、固定部１の第１の固定部磁石８ａと反対側の内面に取り付けられ、同じくバックヨーク５と要素磁石６とから構成され、第２の可動部磁石７ｂと磁気吸引し合う第２の固定部磁石８ｂと、固定部１に取り付けられ可動部磁石７ａと固定部磁石８ａ、および可動部磁石７ｂと固定部磁石８ｂ間にそれぞれ介挿される導体板９とから構成されている。
【０００６】
このように構成された磁気式制振装置においては、固定部１に対して可動部２がその静止位置から上下方向に相対移動すると、可動部磁石７ａと固定部磁石８ａ間、および可動部磁石７ｂと固定部磁石８ｂ間の磁気吸引力により、可動部２を静止位置に引き戻そうとする復元力が生じる。
【０００７】
この復元力は、可動部２の移動量に応じて大きくなることから、固定部１と可動部２間にばね力として作用する。  
また、可動部２の移動に伴い、可動部磁石７ａ、７ｂの磁束が導体板９内を移動することにより、導体板９内に渦電流損失が生じる。
【０００８】
この渦電流損失は可動部２の運動速度に応じて大きくなることから、固定部１と可動部２間に減衰力として作用する。  
従って、このような構成の磁気式制振装置は、動吸振器に必要な可動質量、ばね要素、減衰要素を備えており、固定部１を制振対象物に固定しておくだけで、受動的に可動部２が振動し、制振対象物の振動を低減できる。
【０００９】
また、可動部磁石７ａと固定部磁石８ａ間、および可動部磁石７ｂと固定部磁石８ｂ間の磁気吸引力をほぼ釣り合うように調整することにより、各ベアリング部３と受座４間の負荷を零、または磁気吸引力に対して非常に小さくすることができることから、可動部２の移動に伴う摩擦力が非常に小さくなり、微振動をする制振対象物に対しても有効な制振効果を得ることができる。
【００１０】
次に、磁気式減衰装置の従来例について説明する。図１７において、制振対象物１０には導体板９が固定されている。この導体板９を非接触状態で挟むように吸引し合う減衰用磁石１１がヨーク１２を介して構造物１３に固定されている。
【００１１】
このような構成において、制振対象物１０に振動が発生すると、吸引し合う減衰用磁石１１により生じる磁束と導体板９とが相対運動し、導体板９内に渦電流損失が生じる。  
この渦電流損失は導体板９と減衰用磁石１１との相対運動速度に応じて大きくなるため、このような構成を磁気式減衰装置として利用できる。
【００１２】
次に、磁気式減衰装置の他の従来例について説明する。図１８において、磁気減衰装置は、バックヨーク５と減衰用磁石１１とからなる減衰磁石１４と、減衰磁石１４と非接触状態で磁気作用する磁性材１５とから構成されている。  
減衰磁石１４は制振対象物１０に固定され、磁性材１５は構造物１３に固定されている。
【００１３】
このような構成において、減衰磁石１４と磁性材１５との間隔が増減する方向に制振対象物１０が振動すると、減衰磁石１４と磁性材１５間の磁束密度が増減し、磁性材１５内の磁束密度も増減する。これにより、磁性材１５内に渦電流損失が生じる。  
この渦電流損失は、減衰磁石１４と磁性材１５との相対運動速度に応じて大きくなるため、このような構成を磁気減衰装置として利用できる。
【特許文献１】特開２０００−２０５３３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
上述の図１６に示した従来の磁気式制振装置においては、大きなばね定数を必要とする場合、可動部磁石７ａ、７ｂ、および固定部磁石８ａ、８ｂを大型化することによって対応する必要がある。このため、可動部２の側面の面積および固定部１の内面の面積を大きくすることになる。
【００１５】
この場合、可動部磁石７ａと固定部磁石８ａ間、および可動部磁石７ｂと固定部磁石８ｂ間の磁気吸引力も大きなものとなることから、固定部１の強度を高める対策が必要となる。  
このように、大きなばね定数を必要とする場合、磁気式制振装置全体が大型化するという問題があった。
【００１６】
また、可動部磁石７ａと固定部磁石８ａ間、および可動部磁石７ｂと固定部磁石８ｂ間に導体板９を介挿することにより減衰要素としているが、大きな減衰係数を必要とする場合、上記と同様に可動部磁石７ａ、７ｂ、および固定部磁石８ａ、８ｂを大型化する必要があり、磁気式制振装置全体が大型化するという問題があった。
【００１７】
また、制振対象物の微振動を制振対象とする場合、ベアリング部３と受座４の負荷を可能な限り小さくする必要があるが、このためには、ベアリング部３と受座４の高い製作精度および組み立て精度が要求されると共に、可動部磁石７ａと固定部磁石８ａ間、および可動部磁石７ｂと固定部磁石８ｂ間の磁気吸引力の釣り合い調整が必要であり、磁気式制振装置の製作、組み立て、調整が難しくなるという問題があった。
【００１８】
また、可動部磁石７ａと固定部磁石８ａ間、および可動部磁石７ｂと固定部磁石８ｂ間の距離を調整することによりそれぞれの磁気吸引力を調整する必要があるが、大きなばね定数が要求される場合、可動部磁石７ａ、７ｂ、および固定部磁石８ａ、８ｂを大型化する必要があることから、その距離調整量に対するばね定数の変化も大きくなり、高精度なばね定数調整が困難となるという問題があった。
【００１９】
また、可動部磁石７ａ、７ｂと導体板９間の距離を調整することにより減衰係数を調整する必要があるが、大きな減衰係数が要求される場合、可動部磁石７ａ、７ｂ、および固定部磁石８ａ、８ｂを大型化する必要があることから、磁束密度の大きい磁石では間隔の調整量に対する減衰係数の変化も大きくなるため、その距離調整量に対する減衰係数の変化も大きくなり、高精度な減衰係数調整が困難となるという問題があった。
【００２０】
次に、上述の図１７に示した磁気式減衰装置においては、吸引し合う減衰用磁石１１による磁束が導体板９内を移動することによる渦電流損失を減衰力として利用しているため、磁気式減衰装置の大きさに対して減衰係数が小さいため、大きな減衰係数を必要とする場合、磁気式減衰装置が大型化してしまうという問題があった。
【００２１】
また、図１８に示す磁気式減衰装置の例では、減衰磁石１４と磁性材１５間の距離の増減方向の相対運動により生じる磁性材１５内の磁束密度の増減による渦電流損失を減衰力として利用しているため、減衰磁石１４と磁性材１５が吸着するという問題があった。
【００２２】
このため、吸着力に打ち勝つようなばねを取り付けることが考えられるが、大きな減衰係数を必要とする場合には、この吸引力も強大なものとなることから、コイルばねや板ばねを用いた場合、磁気減衰装置全体として大型化してしまうという問題があった。
【００２３】
本発明はこれらの問題を解決するためになされたものであり、装置の全体形状を大型化することなく大きなばね定数および減衰係数が得られ、また、磁石間吸引力の釣り合い調整、ばね定数調整、減衰係数調整の作業性を向上させた磁気式制振装置および磁気式減衰装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
以上の目的を達成するために本発明は、制振対象物に固定される固定部と、この固定部と相対運動可能な可動部と、前記固定部と可動部間に取り付けられ前記可動部を前記固定部に対して移動可能に支持する直動レールと直動ベアリングとからなる直動支持部と、前記可動部の移動方向を除く周囲側面に取り付けられる可動部磁石と、前記固定部に取り付けられ前記可動部磁石と磁気作用する固定部磁石とからなることを特徴とする。
【００２５】
また、本発明は、制振対象物に固定される固定部と、この固定部と相対運動可能な可動部と、前記固定部と可動部間に取り付けられ前記可動部を前記固定部に対して一方向に移動可能に支持する直動レールと直動ベアリングとからなる直動支持部と、前記可動部に取り付けられる可動部磁石と、前記固定部に取り付けられ前記可動部磁石と磁気作用する固定部磁石と、前記可動部に取り付けられる減衰磁石と、前記固定部に対して前記減衰磁石との距離が増減する方向に相対運動するように取り付けられる磁性材とからなることを特徴とする。
【００２６】
さらに、本発明は、前記制振対象物に固定される固定部と、該固定部と相対運動可能な可動部と、前記固定部と前記可動部間に取り付けられ前記可動部を移動可能に支持する気体圧ガイドからなる可動支持部と、前記可動部に取り付けられる可動部磁石と、前記固定部に取り付けられ前記可動部磁石と磁気作用する固定部磁石とからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、装置の全体形状を大型化することなく大きなばね定数および減衰係数が得られ、また、磁石間吸引力の釣り合い調整、ばね定数調整、減衰係数調整の作業性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、以下の実施の形態の説明において図１６乃至１８に示す従来の磁気式制振装置または磁気式減衰装置と同一部分には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００２９】
図１は本発明の第１の実施の形態を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。  
図１に示すように、本実施の形態による磁気式制振装置は、図示しない制振対象物に固定される固定部１と、四角柱形状に形成され固定部１とは図１（ｂ）中の上下の振動方向に相対運動可能な可動部２と、可動部２の周囲、すなわち４つの側面にそれぞれ取り付けられ、バックヨーク５および要素磁石６とから構成される可動部磁石７と、可動部磁石７と吸引し合うように対向して固定部１に取り付けられ、バックヨーク５および要素磁石６とから構成される固定部磁石８と、固定部１の前記上下の振動方向に沿った間に固定され、固定部１に対して可動部２を移動可能に支持するように可動部２の中央を貫通する直動支持部である直動レール１６と、可動部２に取り付けられ直動レール１６に沿って可動部２をガイドするための直動ベアリング１７と、固定部１の４つの側面に取り付けられ可動部磁石７と固定部磁石８間に介挿される導体板９とから構成されている。
【００３０】
このように構成された本実施の形態においては、制振対象物に固定された固定部１が図１（ｂ）中の上下の振動方向の振動を受けると、固定部磁石８と可動部磁石７間の磁気吸引力および、導体板９と可動部磁石７間の磁気減衰力を介して可動部２が直動レール１６および直動ベアリング１７により軸方向の回転を拘束されて案内されながら受動的に図１（ｂ）中の上下の振動方向に振動する。
【００３１】
可動部２の質量、固定部磁石８と可動部磁石７間の磁気吸引力によるばね定数、導体板９と可動部磁石７間の磁気減衰力による減衰係数は、制振対象物の振動条件に合わせてあらかじめ設計、調整しておく。
【００３２】
具体的には、固定部磁石８と可動部磁石７の形状、寸法、配置、間隔および、導体板９の厚さ、面積、導体板９と可動部磁石７との間隔等をパラメータとすることにより、必要なばね定数、減衰係数を得ることができる。これにより、動吸振器の原理で制振対象物の振動を低減できる。
【００３３】
図１に示す磁気式制振装置によれば、可動部２を四角柱形状としていることから、可動部磁石７をほとんど隙間なく可動部２の周囲側面に取り付けることが可能であり、固定部１に取り付ける固定部磁石８によってもほとんど無駄な空間を生じないため小型化できる。
【００３４】
また、直動レール１６と直動ベアリング１７により可動部２を一方向に移動可能に支持し、その移動方向以外の周囲に可動部磁石７および固定部磁石８を配置していることから、比較的大きなばね定数および減衰係数が得られ、小型の磁気式制振装置が得られる。
【００３５】
なお、導体板９は可動部２側に取り付けて、固定部磁石８と相対運動する構成としても同様の効果が得られる。  
また、導体板９を除いた構成とすることにより、一定振動数の制振対象物の振動を反共振の原理で低減することもできる。
【００３６】
また、直動レール１６を可動部２に固定し、直動ベアリング１７を固定部１の上下の振動方向に沿って取り付ける構成としても同様の効果が得られる。  
さらにまた、可動部２を三角柱や任意の側面数を持つ多角柱形状、または正多角柱形状などに形成しても同様の効果が得られる。
【００３７】
図２は、図１に示す実施の形態における可動部２を円柱形状に形成した構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。  
図２に示すように、図示しない制振対象物に固定される固定部１と、円柱形状に形成され、固定部１とは図２（ｂ）中の上下の振動方向に相対運動可能な可動部２と、可動部２の周囲、すなわち円柱面に４分割されて取り付けられ、バックヨーク５および要素磁石６から構成される可動部磁石７と、可動部磁石７と吸引し合うように対向して固定部１に取り付けられ、バックヨーク５および要素磁石６とから構成される固定部磁石８と、固定部１の前記上下上下の振動方向に沿った間に固定され、固定部１に対して可動部２を移動可能に支持するように可動部２の中央を貫通する直動支持部である直動レール１６と、可動部２に取り付けられ直動レール１６に沿って可動部２をガイドするための直動ベアリング１７とから構成されている。
【００３８】
図２に示す磁気式制振装置の構成においては、導体板９による減衰力が無い以外は図１に示す磁気式制振装置と同様に作動する。この場合、減衰係数が零であることから、一定の振動数で振動する制振対象物の振動条件に合わせて各部を設計、調整することにより、反共振の原理でその振動を低減することができる。
【００３９】
また、可動部２を円柱形状に形成していることから、可動部２の製作が容易となり、その強度を高めることができる。  
なお、可動部磁石７および固定部磁石８は、各４個取り付けているが、任意の個数とすることが可能であり、同様の効果が得られる。
【００４０】
また、導体板を可動部磁石７と固定部磁石８間に介挿することにより、動吸振器の原理で制振対象物の振動を低減することも可能である。  
さらにまた、可動部２は楕円柱形状にするようにしてもよい。
【００４１】
図３は、図１に示す磁気式制振装置の構成における導体板に代えて、減衰用磁石と磁性材とからなる減衰要素を可動部の外側に取り付けた構成を示す側面図である。  
図３に示すように、磁気式制振装置は、図１から導体板９を除いた構成であり、かつ、可動部２の上下面にバックヨーク５およびバックヨーク５の厚さ方向に磁化され、隣り合う磁極を異磁極とした減衰用磁石１１とから構成される減衰磁石１４が取り付けられている。  
その減衰磁石１４に磁気吸引されるように、固定部１の前記上下の振動方向に沿った内面に磁性材１５が取り付けられている。
【００４２】
図３に示す磁気式制振装置の構成においては、可動部２が前記上下の振動方向に振動すると、前記上下の振動方向に沿って取り付けられた減衰磁石１４と磁性材１５との間隔が増減する。この時、磁性材１５内の磁束密度も増減し、磁性材１５内に渦電流損失が生じて、磁気減衰力が得られる。この時、減衰磁石１４と磁性材１５間に吸着力を生じるが、可動部磁石７および固定部磁石８間の磁気吸引力によるばね定数をその分大きめに設計、調整しておくことにより、その影響を受けずに良好に作動することができる構成となっている。
【００４３】
このような磁気式制振装置によれば、非磁性の導体材料を用いること無く減衰用磁石１４と磁性材１５のみによって比較的大きな減衰力が得られるため、磁気式制振装置のコストを低減できる。
【００４４】
また、可動部磁石７と固定部磁石８によるばね力により、減衰磁石１４と磁性材１５間の吸着力を吸収できることから、そのためのコイルばねや板ばねを設ける必要が無く、小型の磁気式制振装置を構成できる。
【００４５】
なお、減衰磁石１４を固定部１の前記振動方向に沿った内面に取り付け、磁性材１５を可動部２側に取り付けても同様の効果が得られる。  
また、固定部１あるいは可動部２の材質を磁性材料とし、磁性材１５に相当する部分を形成してもよく、同様の効果が得られる。
【００４６】
図４は、図１の磁気式制振装置の構成における導体板に代えて、減衰磁石と磁性材とからなる減衰要素を可動部の内側に取り付けた構成を示す側面図である。  
図４に示すように、磁気式制振装置は、図１に示す構成から導体板９を除いた構成であり、かつ、分割されて連結された可動部２に設けられた内部空間内において、直動レール１６にはバックヨーク５およびバックヨーク５の両面に固定された減衰用磁石１１とからなる減衰磁石１４が取り付けられている。
【００４７】
また、可動部２の内部空間の上下面には、それぞれ減衰磁石１４に磁気吸引されるように磁性材１５が取り付けられている。  
このような磁気式制振装置の構成においても、図３に示す磁気式制振装置と同様に作動する。
【００４８】
図４に示す磁気式制振装置によれば、減衰磁石１４および磁性材１５が可動部２の内部空間に収納されていることから、可動部２の上下面に減衰要素のための大きな空間を設ける必要が無く、磁気式制振装置を小型化できる。
【００４９】
なお、減衰磁石１４を可動部２の内面に取り付け、磁性材１５を直動レール１６に取り付けても、同様の効果が得られる。  
また、可動部２を磁性材料とし、磁性材１５に相当する部分を形成してもよく、同様の効果が得られる。
【００５０】
図５は、図１に示す構成の複数の磁気式制振装置の可動部間を連結可能とした構成を示す側面図である。  
図５に示すように、磁気式制振装置は、第１の磁気式制振装置１８ａと第２の磁気式制振装置１８ｂの２台から構成されている。
【００５１】
各磁気式制振装置１８ａ、１８ｂは、可動部２の前記上下にそれぞれ直動レール１６が固定されている。固定部１の上下の振動方向に沿った間には、直動ベアリング１７が取り付けられており、直動レール１６を上下の振動方向に移動可能にガイドしている。  
磁気式制振装置１８ａの直動レール１６の下部、および磁気式制振装置１８ｂの直動レール１６の上部は直動レール連結部１９により連結されている。
【００５２】
このような磁気式制振装置の構成においては、磁気式制振装置１８ａ、１８ｂの各可動部２は一体の振動質量となり、また、ばね定数および減衰係数も各磁気式制振装置１８ａ、１８ｂのものを足しあわせた大きさとなる。  
従って、制振対象物に対して各固定部１を固定しておくことにより、図１の構成の磁気式制振装置と同様に動作し、受動的に制振効果を得ることができる。
【００５３】
図５に示す磁気式制振装置によれば、個々の磁気式制振装置１８ａ、１８ｂの制振効果が不足している場合でも、連結することにより対応することが可能となり、磁気式制振装置の適用性が向上する。
【００５４】
なお、磁気式制振装置の連結数を３台以上の任意数に増やしても同様の効果が得られる。また、各定数の異なる磁気式制振装置を用意しておき、適宜組み合わせて使用してもよい。
【００５５】
図６は、図１の構成の磁気式制振装置の構成に加えて、移動軸位置調整部を備えた構成を示す側面図である。  
図６に示すように、磁気式制振装置は、図１に示す構成に加えて、固定部１振動方向の面には、フランジ２０および固定ボルト２１およびワッシャ２２からなる移動軸調整部２３が取り付けられている。
【００５６】
各フランジ２０には、直動レール１６の両端が固定されている。各フランジ２０の固定ボルト２１の貫通部には、固定ボルトの外径よりも大きな径の穴部２４が設けられている。
このような磁気式制振装置においても、図１に示す磁気式制振装置と同様に制振作動を行う。  
さらに、可動部２の左右の可動部磁石７および固定部磁石８間の吸引力の釣り合いを取る場合、固定ボルト２１を緩め、フランジ２０を穴部２４の範囲内で水平に移動させる。
【００５７】
これにより、フランジ２０に取り付けられた直動レール１６およびその直動レール１６に直動ベアリング１７を介して移動可能に取り付けられる可動部２と可動部磁石７の水平方向の位置を調整でき、可動部２の左右の可動部磁石７および固定部磁石８間の吸引力の釣り合いをとることができる。
【００５８】
図６に示す磁気式制振装置によれば、可動部２の左右の可動部磁石７と固定部磁石８間の吸引力の釣り合い調整のために固定部１に対する固定部磁石８の位置を調整する場合と比較して、直動レール１６の水平位置を調整する場合、可動部２の左右の可動部磁石７と固定部磁石８間の吸引力がほぼ釣り合っているため、大きな吸引力を受けることが無く、調整作業を簡単化できる。
【００５９】
なお、直動レール１６を可動部２に固定し、固定部１に直動ベアリングを取り付ける場合には、フランジ２０に直動ベアリング１７を取り付けることにより同様の効果を得ることができる。
【００６０】
次に本発明の第２の実施の形態について図７および８を参照して説明する。  
本実施の形態においては、減衰用磁石と磁性材間の距離が増減する磁気式減衰装置において、減衰用磁石と磁性材間の吸着力に打ち勝つばね要素を設けた磁気式減衰装置について説明する。
【００６１】
図７に示すように、磁気式減衰装置は、図示しない制振対象物に固定される固定部１と、固定部１に対して上下方向に相対運動可能な可動部２と、可動部２の上下面にそれぞれ取り付けられ、バックヨーク５および減衰用磁石１１とから構成される減衰磁石１４と、固定部１の上下の内面に取り付けられる磁性材１５と、可動部２の左右の側面に取り付けられ、バックヨーク５および要素磁石６とから構成される可動部磁石７と、可動部磁石７と吸引し合うように固定部１の振動方向の内面の側面に取り付けられ、バックヨーク５および要素磁石６とから構成される固定部磁石８と、可動部２の左右に取り付けられる直動レール１６と、固定部１の上下に取り付けられ、直動レール１６を案内する直動ベアリング１７と、各直動レール１６の下部に取り付けられる可動部取り付け部２５とから構成されている。
【００６２】
このように構成された本実施の形態において、固定部１を例えば図示しない構造物に固定し、可動部取り付け部２５を図示しない制振対象物に固定する。この状態で制振対象物が上下方向に振動すると、可動部取り付け部２５および可動部２が直動レール１６および直動ベアリング１７に案内されながら共に振動し、可動部２の上下に取り付けられた磁性材１５と減衰磁石１４間の距離が増減する。
【００６３】
これにより、磁性材１５内の磁束密度が増減し、磁性材１５内に渦電流損失が生じる。これを減衰係数として利用することができる。この時、減衰磁石１４と磁性材１５間に吸着力が生じるが、可動部２の左右に取り付けられた可動部磁石７と固定部磁石８間の吸引力によるばね力を減衰磁石１４と磁性材１５間の吸引力よりも大きくしておくことにより、その影響を受けずに良好に減衰装置として作動できる。
【００６４】
図７に示す磁気式減衰装置によれば、可動部磁石７および固定部磁石８間の吸引力により減衰磁石１４と磁性材１５間の吸着力に打ち勝つばね力を発生させることができるため、磁気式減衰装置を小型化できる。
【００６５】
また、磁性材内の磁束密度の増減による渦電流損失を減衰力として利用していることから、非磁性の導電材料を使用する必要が無く、小型で大きな減衰係数が得られる磁気式減衰装置を提供できる。  
なお、固定部１に取り付けられる磁性材１５は固定部１の材質を磁性材料とし、磁性材１５に相当する部分を形成しても同様の効果が得られる。
【００６６】
また、可動部２に取り付けられる減衰磁石１４および可動部磁石７は、可動部２の材質を磁性材料とし、可動部２に直接減衰用磁石１１を固定する構成としても同様の効果が得られる。
【００６７】
図８は、図７に示した磁気式減衰装置の減衰磁石を固定部に取り付け、磁性材を可動部に取り付けた構成を示す側面図である。  
図８に示すように、磁気式減衰装置は、図７に示した構成において、減衰磁石１４が固定部１の振動方向の内面の上下に取り付けられており、磁性材１５は可動部２と一体成形されている。  
図８に示す磁気式減衰装置の構成においても、図７に示す磁気式制振装置と同様に減衰作用を行う。
【００６８】
図８に示す磁気式減衰装置によれば、可動部２を磁性材料とし、磁性材１５に相当する部分を形成していることから、部品点数を削減でき、また、可動部２の強度を向上できる。  
なお、可動部２の左右の可動部磁石７のバックヨーク５を省略し、要素磁石６を直接可動部２に固定しても同様の効果が得られる。
【００６９】
次に本発明の第３の実施の形態について図９乃至１３を参照して説明する。  
本実施の形態においては、可動部の静止状態において、吸引し合う可動部磁石と固定部磁石との平行方向の位置を調整する構成および導体板の平行方向の位置を調整する構成を有する磁気式制振装置について説明する。
【００７０】
図９に示すように、磁気式制振装置は、図示しない制振対象物に固定される固定部１と、固定部１に対して上下方向に相対運動可能な可動部２と、可動部２の左右の側面に取り付けられ、バックヨーク５および要素磁石６とから構成される可動部磁石７と、固定部１の左右の内面にそれぞれ上下に分割されて取り付けられ、バックヨーク５および要素磁石６とから構成される分割固定部磁石２６ａ、２６ｂと、分割固定部磁石２６ａ、２６ｂを固定部１に固定するための固定ボルト２７およびワッシャ２８と、分割固定部磁石２６ａ、２６ｂを上下方向に移動させるため分割固定部磁石２６ａ、２６ｂに固定されるスタッドボルト２９と、スタッドボルト２９を固定部１の上下面に固定するためのナット３０と、可動部２を上下方向に移動可能に支持するため固定部１に取り付けられるベアリング部３１と、可動部２に取り付けられる受座３２とから構成されている。固定部１には固定ボルト２７が貫通するための長穴部３３が設けられている。
【００７１】
このように構成された本実施の形態において、制振対象物に固定された固定部１が上下の振動方向の振動力を受けると、分割固定部磁石２６ａ、２６ｂと可動部磁石７間の磁気吸引力を介して可動部２がベアリング部３１および受座３２により案内されながら受動的に上下方向に振動する。可動部２の質量、分割固定部磁石２６ａ、２６ｂと可動部磁石７間の磁気吸引力によるばね定数は、制振対象物の振動条件に合わせてあらかじめ設計、調整しておく。
【００７２】
これにより、反共振の原理で制振対象物の振動を低減できる。さらに、分割固定部磁石２６ａ、２６ｂと可動部磁石７間の磁気吸引力によるばね定数を調整する場合、各固定ボルト２７を緩め、各ナット３０を回して、長穴部３３の範囲内で分割固定部磁石２６ａ、２６ｂの平行方向の位置を調整する。この時、分割固定部磁石２６ａ、２６ｂの要素磁石６と可動部磁石７の要素磁石６との平行方向のずれ量が大きいほどばね定数は小さくなるため、分割固定部磁石２６ａ、２６ｂの平行方向の位置の調整量とばね定数の関係をあらかじめ測定しておくことにより、適宜ばね定数を調整することができる。
【００７３】
図９に示す磁気式制振装置によれば、分割しない固定部磁石と可動部磁石７間の距離を調整することによりばね定数を調整する方法と比較して、吸引力が比較的大きい場合であっても、調整量に対するばね定数変化が小さく、調整作業を簡単化できる。
【００７４】
また、分割しない固定部磁石と可動部磁石７の距離を調整するために、固定部磁石をその距離方向に移動させる必要があるが、このような調整では、固定部１側面と固定部磁石との間に間隙が生じるため、吸引力が大きくなると固定部磁石と可動部磁石７の平行調整が難しいが、本構成によれば、このような困難が生じないため、調整作業を簡単化できると共に、固定ボルト２７により分割固定部磁石２６ａ、２６ｂを固定部１に堅牢に固定できることから、固定部１の側面の強度を向上できる。
【００７５】
なお、固定部１の上下で分割固定部磁石２６ａ、２６ｂの平行位置を調整する構成となっているが、上部または下部のみとした場合でもその分受座３２を大き目にしておくことにより同様の効果が得られる。
【００７６】
また、可動部２にベアリング部３１を取り付け、固定部に受座３２を取り付けても同様の効果が得られる。  
また、分割固定部磁石２６ａ、２６ｂと可動部磁石７間に導体板を介挿して減衰要素とし、動吸振器の原理で制振対象物の振動を低減してもよい。
【００７７】
図１０は、導体板の平行方向の位置を調整する構成を有する磁気式制振装置の構成を示す側面図である。  
図１０に示すように、磁気式制振装置は、図示しない制振対象物に固定される固定部１と、固定部１に対して上下方向に相対運動可能な可動部２と、可動部２の左右の側面に取り付けられバックヨーク５および要素磁石６とから構成される可動部磁石７と、固定部１の左右の側面にそれぞれ取り付けられバックヨーク５および要素磁石６から構成される固定部磁石８と、固定部１の左右の側面にそれぞれ上下に分割されて取り付けられ、可動部磁石７と固定部磁石８間に介挿される分割導体板３４ａ、３４ｂと、分割導体板３４ａ、３４ｂを固定部１に固定するためのスタッドボルト３５およびワッシャ３６と、スタッドボルト３５を固定部１の左右の側面に固定するためのナット３７と、可動部２を上下方向に移動可能に支持するため固定部１に取り付けられるベアリング部３１と、可動部２に取り付けられる受座３２とから構成されている。固定部１にはスタッドボルト３５が貫通するための長穴部３８が設けられている。
【００７８】
図１０に示す磁気式制振装置の構成においては、制振対象物に固定された固定部１が上下の振動方向の振動力を受けると、固定部磁石８と可動部磁石７間の磁気吸引力および分割導体板３４ａ、３４ｂと可動部磁石７間の磁気減衰力を介して可動部２がベアリング部３１および受座３２により案内されながら受動的に上下方向に振動する。
【００７９】
可動部２の質量、固定部磁石８と可動部磁石７間の磁気吸引力によるばね定数、および分割導体板３４ａ、３４ｂと可動部磁石７間の磁気減衰力による減衰係数は、制振対象物の振動条件に合わせてあらかじめ設計、調整しておく。
【００８０】
これにより、動吸振器の原理で制振対象物の振動を低減できる。さらに、分割導体板３４ａ、３４ｂと可動部磁石７間の磁気減衰力による減衰係数を調整する場合、各スタッドボルト３５を固定しているナット３７を緩め、長穴部３８の範囲内で分割導体板３４ａ、３４ｂの平行方向（図示上下方向）の位置を調整する。
【００８１】
この時、分割導体板３４ａ、３４ｂと可動部磁石７との平行方向のずれ量が大きいほど減衰係数は小さくなるため、分割導体板３４ａ、３４ｂの平行方向の位置の調整量と減衰係数の関係をあらかじめ測定しておくことにより、適宜減衰係数を調整することができる。
【００８２】
図１０に示す磁気式制振装置によれば、分割しない導体板と可動部磁石７間の距離を調整することによりばね定数を調整する方法と比較して、可動部磁石７の磁束密度が比較的大きい場合であっても、調整量に対する減衰係数の変化が小さく、調整作業を簡単化できる。
【００８３】
また、分割しない導体板と可動部磁石７の距離を調整する場合、導体板と可動部磁石７の平行調整が難しいが、本構成によれば、このような困難が生じないため、調整作業を簡単化できる。
【００８４】
なお、固定部１の上下で分割導体板３４ａ、３４ｂの平行位置を調整する構成となっているが、上部または下部のみとした場合でも同様の効果が得られる。  
また、可動部２にベアリング部３１を取り付け、固定部に受座３２を取り付けても同様の効果が得られる。
【００８５】
図１１は、可動部の静止状態において、吸引し合う可動部磁石と固定部磁石の平行方向の位置を調整するために、可動部および可動部磁石を分割した構成を有する磁気式制振装置の構成を示す側面図である。
【００８６】
図１１に示すように、磁気式制振装置は、図１に示す構成から導体板９が省略されており、かつ、可動部２は上部可動部３９と下部可動部４０から構成されている。上部可動部３９および下部可動部４０には、バックヨーク５および要素磁石６とから構成される分割可動部磁石２６ａ、２６ｂが取り付けられている。
【００８７】
上部可動部３９はカップ型に形成されている。下部可動部４０は凸型に形成されており、上部可動部３９のカップ型内面にガイドされて、上部可動部３９に対して上下方向にスライド可能に組み合わされている。
上部可動部３９と下部可動部４０は、上部可動部３９の上部に取り付けられる引きボルト４１および押しボルト４２によって固定されている。
【００８８】
引きボルト４１は上部可動部３９の穴部を貫通し下部可動部４０に設けられためねじ部にねじ込まれている。  
押しボルト４２は、上部可動部３９に設けられたねじ部にねじ込まれながら貫通し、下部可動部４０を押し付けており、ナット４３によって回り止めされている。
【００８９】
図１１に示す磁気式制振装置の構成においては、図２に示す構成の磁気式制振装置と同様に作動する。さらに、分割可動部磁石２６ａ、２６ｂと固定部磁石８間の磁気吸引力によるばね定数を調整する場合、上部可動部３９の上部の各引きボルト４１を緩め、各押しボルト４２およびナット４３を回して上部可動部３９と下部可動部４０の上下方向の間隔を調整する。この時、上部可動部３９と下部可動部４０は上部可動部３９のカップ型の内側側面と下部可動部４０の凸型の側面がはめ合わさせてガイドされ、上下方向にスライドする。
これにより、固定部磁石８に対する上部可動部３９および下部可動部４０にそれぞれ取り付けられた分割可動部磁石２６ａ、２６ｂの平行方向の位置を調整できる。
【００９０】
この場合、分割可動部磁石２６ａ、２６ｂの要素磁石６と固定部磁石８の要素磁石６との平行方向のずれ量が大きいほどばね定数は小さくなるため、分割可動部磁石２６ａ、２６ｂの平行方向の位置の調整量とばね定数の関係をあらかじめ測定しておくことにより、適宜ばね定数を調整することができる。
【００９１】
図１１に示す磁気式制振装置によれば、図９に示した構成の磁気式制振装置と同様に制振作用を行う。  
さらに、上部可動部３９の上部のみで磁気ばね定数の調整が可能となることから、さらにばね定数の調整作業を簡単化できる。  
なお、上部可動部３９を凸型とし、下部可動部４０をカップ型として、下部可動部４０の下部で磁気ばね定数の調整をする構成としても同様の効果が得られる。
【００９２】
図１２は、複数の磁気式制振装置の固定部および可動部を連結し、可動部の連結距離を調整することにより、可動部の静止位置における可動部磁石と固定部磁石の平行方向の位置を調整する構成を示す側面図である。
【００９３】
図１２に示すように、磁気式制振装置は、図５に示した構成に加えて、第１の磁気式制振装置１８ａと第２の磁気式制振装置１８ｂの固定部１を固定部連結部４４により連結固定されている。また、直動レール連結部１９は、図示しないフランジとスペーサ等により各直動レール１６間の距離を調整できる構造となっている。
【００９４】
図１２に示す磁気式制振装置の構成においては、図５に示す構成の磁気式制振装置と同様に作動する。さらに、直動レール連結部１９により、各磁気式制振装置１８ａ、１８ｂの直動レール１７間の連結距離を調整することにより、各可動部磁石７と固定部磁石８間の平行位置を同時にずらすことができる。この時、可動部磁石７の要素磁石６と固定部磁石８の要素磁石６との平行方向のずれ量が大きいほどばね定数は小さくなるため、直動レール連結部１９による平行方向の位置の調整量とばね定数の関係をあらかじめ測定しておくことにより、適宜ばね定数を調整することができる。
【００９５】
図１２に示す磁気式制振装置によれば、図９に示した構成の磁気式制振装置と同様の効果がある。さらに、直動レール連結部１９のみで磁気ばね定数の調整が可能となることから、さらにばね定数の調整作業を簡単化できる。
なお、直動レール連結部１９は固定とし、固定部連結部４４によって各磁気式制振装置１８ａ、１８ｂの固定部１間の距離を調整する方法でも同様の効果が得られる。
【００９６】
図１３は、複数の磁気式制振装置の固定部および可動部を連結した構成の可動部の連結距離を駆動機構により調整する構成を示す側面図である。
図１３に示す磁気式制振装置の構成においては、図１２に示した構成から導体板９を除いた構成において、固定部１には、振動数検出器４５が取り付けられている。また、直動レール連結部１９に代えて、直動駆動部４６が設けられている。
【００９７】
直動駆動部４６は直動駆動部本体４７と直動駆動部可動部４８とから構成され、図示しないが電動あるいは油圧駆動により直動駆動部本体４７に対する直動駆動部可動部４８の相対位置を任意に調整する構造となっている。
【００９８】
直動駆動部本体４７と直動駆動部可動部４８間には、直動駆動部本体４７に対する直動駆動部可動部４８の相対位置を検出するための位置検出器４９が取り付けられている。  
振動数検出器４５、直動駆動部４６、位置検出器４９は、別途設置された駆動部制御装置５０に接続されている。
【００９９】
図１３に示す磁気式制振装置の構成においては、図１２に示す構成の磁気式制振装置と同様に作動する。さらに、振動数検出器４５により固定部１すなわち制振対象物の振動数が検出され、その信号が駆動部制御装置５０に送られる。
【０１００】
駆動部制御装置５０は、位置検出器４９により直動駆動部４６の直動駆動部本体４７と直動駆動部可動部４８の間隔を検出した信号を基にして、その間隔を増減させるように直動駆動部４６に信号を送る。これにより、制振対象物の振動数に合わせて自動的に磁気ばね定数を調整することができる。
【０１０１】
図１３に示す磁気式制振装置によれば、図１２に示した構成の磁気式制振装置と同様の効果がある。  
さらに、制振対象物の振動数に合わせて自動的にばね定数を調整できるため、制振対象物の振動数が変化する場合でも柔軟に対応可能な磁気式制振装置を提供できる。
【０１０２】
なお、振動数検出器４５に代えて加速度検出器を用いることにより、振動数と共に加振力を検出する構成とすることにより、可動部２の変位によるばね定数変化の影響も考慮する構成としてもよく、さらに最適なばね定数調整が可能となる。  また、直動駆動部本体４７と直動駆動部可動部４８間の間隔を保持するために、直動駆動部本体４７と直動駆動部可動部４８間に作用する電磁ブレーキを設けてもよく、これにより磁気ばね定数を安定に維持でき、磁気式制振装置の信頼性が向上する。
【０１０３】
次に本発明の第４の実施の形態について図１４および１５を参照して説明する。  
本実施の形態においては、固定部に対して可動部を移動可能に支持するための気体圧ガイドまたは液体圧ガイドを設けた磁気式制振装置について説明する。
【０１０４】
図１４に示す磁気式制振装置の構成においては、図示しない制振対象物に固定される固定部１と、固定部１に対して上下方向に相対運動可能な可動部２と、可動部２の左右の側面に取り付けられバックヨーク５と要素磁石６とから構成される可動部磁石７と、固定部１の左右の内面に取り付けられバックヨーク５と要素磁石６とから構成される固定部磁石８と、固定部１の左右の内面に取り付けられ可動部２に近い側に噴出口５１を持つ空気圧ガイド５２と、別途設置され各空気圧ガイド５２に対して空気圧を供給する共通圧力室５３と、別途設置され共通圧力室５３に対して圧力を供給する空気圧源５４と、固定部１に対して可動部２を移動可能に支持するため固定部１に取り付けられるベアリング部３１と、可動部２に取り付けられる受座３２とから構成されている。
【０１０５】
このように構成された本実施の形態においては、制振対象物に固定された固定部１が上下の振動方向の振動力を受けると、固定部磁石８と可動部磁石７間の磁気吸引力を介して可動部２がベアリング部３１および受座３２および空気圧ガイド５２の噴出口５１から噴出する空気の圧力により案内されながら受動的に上下方向に振動する。
【０１０６】
可動部２の質量、固定部磁石８と可動部磁石７間の磁気吸引力によるばね定数は、制振対象物の振動条件に合わせてあらかじめ設計、調整しておく。  
これにより、反共振の原理で制振対象物の振動を低減できる。
【０１０７】
さらに、ベアリング部３１および受座３２間の微小な隙間により、可動部２の位置が左右に微小変化した場合、可動部２の左右の空気圧ガイド５２の噴出口５１と可動部２間の隙間も変化する。
【０１０８】
この時、空気圧源５４の空気圧は、共通圧力室５３に蓄積され、そこから各空気圧ガイド５２に供給されているため、可動部と噴出口５１の隙間が広がった可動部２の側面の圧力は低くなり、狭まった側面の圧力は高くなって、可動部２を自動的に中央に安定に保持することができる。
【０１０９】
図１４に示す磁気式制振装置によれば、各ベアリング部３１と受座３２間の摩擦力をほぼ零とすることができるため、微振動する制振対象物に対しても、有効な制振効果を得ることができる。
また、共通圧力室５３により可動部２の左右位置を自動的に調整することが可能となっており、磁気式制振装置の微振動に対する制振性能の安定性を向上できる。
【０１１０】
また、空気圧ガイド５２とベアリング部３１および受座３２を併設していることにより、可動部２の水平方向に大きな振動力が加わった場合でも、可動部２が水平方向に大きく移動すること無く、磁気式制振装置の安定性を向上できる。
【０１１１】
なお、各ベアリング部３１と受座３２に代えて、固定部１にストッパを取り付け、可動部２の水平位置を制限することも可能であり、可動部２に頻繁に水平方向の大きな振動力が加わることが無い場合には、磁気式制振装置の構成を単純化できる。
【０１１２】
また、空気圧ガイドに代えて、油圧ガイドを用いることも可能であり、噴出口５１から噴出するオイルを固定部１の下部で回収する構成とすることにより、同様の効果が得られる。
【０１１３】
図１５は、固定部に対して可動部を移動可能に支持するための気体圧ガイドまたは液体圧ガイドの圧力調整部を設けた磁気式制振装置の構成を示す側面図である。
図１５に示す磁気式制振装置の構成においては、図１４に示した構成に加えて、固定部１に対する可動部２の水平位置を検出するための位置検出器５５が固定部１の上下２ヶ所に取り付けられている。
【０１１４】
また、共通圧力室５３に代えて、各空気圧ガイド５２の圧力を個別に調整するための圧力調整部５６が設けられている。位置検出器５５および圧力圧力調整部５６は、別途設置される圧力制御装置５７に接続されている。
【０１１５】
このように構成された本実施の形態において、制振対象物に固定された固定部１が上下の振動方向の振動力を受けると、固定部磁石８と可動部磁石７間の磁気吸引力を介して可動部２がベアリング部３１および受座３２および空気圧ガイド５２の噴出口５１から噴出する空気の圧力により案内されながら受動的に上下方向に振動する。
【０１１６】
可動部２の質量、固定部磁石８と可動部磁石７間の磁気吸引力によるばね定数は、制振対象物の振動条件に合わせてあらかじめ設計、調整しておく。  
これにより、反共振の原理で制振対象物の振動を低減できる。
【０１１７】
さらに、ベアリング部３１および受座３２間の微小な隙間により、可動部２の位置が左右に微小変化した場合、固定部１の上下の位置検出器５５により、各固定部１と可動部２間の距離を検出し、その信号を圧力制御装置５７に送る。
【０１１８】
圧力制御装置５７は、その信号に基づいて、圧力調整部５６を制御し、各空気圧ガイド５２の圧力を調整する。  
これにより、可動部２を自動的に中央に安定に保持することができる。
【０１１９】
図１５に示す磁気式制振装置によれば、図１４に示す構成の磁気式制振装置と同様の効果が得られる。さらに、可動部２の水平位置を位置検出器５５で正確に検出して各空気圧ガイド５２の空気圧を個々に調整することができるため、磁気式制振装置の微振動に対する制振効果をさらに向上できる。
【０１２０】
なお、位置検出器５５の個数をさらに増やして、より正確に可動部２の水平位置を検出する構成としてもよく、各空気圧ガイド５２の空気圧をより正確に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２１】
【図１】本発明の第１の実施の形態による磁気式制振装置を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図。
【図２】本発明の第１の実施の形態の変形例を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図。
【図３】本発明の第１の実施の形態の変形例を示す側面図。
【図４】本発明の第１の実施の形態の変形例を示す側面図。
【図５】本発明の第１の実施の形態の変形例を示す側面図。
【図６】本発明の第１の実施の形態の変形例を示す側面図。
【図７】本発明の第２の実施の形態による磁気式減衰装置を示す側面図。
【図８】本発明の第２の実施の形態の変形例を示す側面図。
【図９】本発明の第３の実施の形態による磁気式制振装置を示す側面図。
【図１０】本発明の第３の実施の形態の変形例を示す側面図。
【図１１】本発明の第３の実施の形態の変形例を示す側面図。
【図１２】本発明の第３の実施の形態の変形例を示す側面図。
【図１３】本発明の第３の実施の形態の変形例を示す側面図。
【図１４】本発明の第４の実施の形態による磁気式制振装置を示す側面図。
【図１５】本発明の第４の実施の形態の変形例を示す側面図。
【図１６】従来の磁気式制振装置の構成を示す側面図。
【図１７】従来の磁気式減衰装置の構成を示す概略側面図。
【図１８】従来の磁気式減衰装置の他の構成を示す概略側面図。
【符号の説明】
【０１２２】
１…固定部、２…可動部、３…ベアリング部、４…受座、５…バックヨーク、
６…要素磁石、７…可動部磁石、８…固定部磁石、９…導体板、１０…制振対象物、１１…減衰用磁石、１２…ヨーク、１３…構造物、１４…減衰磁石、１５…磁性材、１６…直動レール、１７…直動ベアリング、１８ａ、１８ｂ…磁気式制振装置、１９…直動レール連結部、２３…移動軸調整部、２５…可動部取り付け部、２６…分割固定部磁石、分割可動部磁石、３１…ベアリング部
３２…受座、３３…長穴部、３４…分割導体板、４４…固定部連結部、４５…振動数検出器、４６…直動駆動部、４７…直動駆動部本体、４８…直動駆動部可動部、４９…位置検出器、５０…駆動部制御装置、５１…噴出口、５２…空気圧ガイド、５３…共通圧力室、５４…空気圧源、５５…位置検出器、５６…圧力調整部、５７…圧力制御装置。
【図１】
2005226799.tif 000003
【図２】
2005226799.tif 000004
【図３】
2005226799.tif 000005
【図４】
2005226799.tif 000006
【図５】
2005226799.tif 000007
【図６】
2005226799.tif 000008
【図７】
2005226799.tif 000009
【図８】
2005226799.tif 000010
【図９】
2005226799.tif 000011
【図１０】
2005226799.tif 000012
【図１１】
2005226799.tif 000013
【図１２】
2005226799.tif 000014
【図１３】
2005226799.tif 000015
【図１４】
2005226799.tif 000016
【図１５】
2005226799.tif 000017
【図１６】
2005226799.tif 000018
【図１７】
2005226799.tif 000019
【図１８】
2005226799.tif 000020