(57)【要約】【課題】検査効率を向上させつつ回路基板についての断線検査を正確に実行する。【解決手段】基準電極上の絶縁シート上に一面側導体パターン１２ａが表面側となるようにして回路基板１１を載置し、絶縁シートの厚みまたは誘電率を変更してその変更前後において一面側導体パターン１２ａおよび基準電極の間の静電容量をそれぞれ１回測定し、測定した各静電容量に基づいて導体パターン１２ａ，１２ｂの各面積を算出し、その各面積に基づいて断線有無を検査する方法であって、基準電極４１ａ，４１ｂおよび絶縁体４２ａ，４２ｂを交互に重ね合わせた電極部４における最上部の絶縁体４２ｂ上に回路基板１１を載置し、その状態において、一面側導体パターン１２ａおよび各基準電極４１ａ，４１ｂの間の各静電容量を変更前後における静電容量として測定する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準電極上に配設された絶縁シート上に一面側導体パターンが表面側となるようにして回路基板を載置し、前記絶縁シートの厚みおよび誘電率の少なくとも一方を変更すると共にその変更前後において前記一面側導体パターンおよび前記基準電極の間の静電容量をそれぞれ少なくとも１回測定し、前記一面側導体パターン、および当該一面側導体パターンに内部接続導体を介して接続される他面側導体パターンの各面積を前記測定した各静電容量に基づいて算出し、当該算出した各面積に基づいて前記回路基板についての断線の有無を検査する回路基板検査方法であって、
複数の前記基準電極および複数の前記絶縁シートを交互に重ね合わせた電極部における最上部の当該絶縁シート上に前記回路基板を載置し、その状態において、前記一面側導体パターンおよび前記各基準電極の間の各静電容量を前記変更前後における静電容量として測定する回路基板検査方法。
【請求項２】
前記電極部は前記複数の基準電極および前記複数の絶縁シートを交互に重ね合わせて一体形成されている請求項１記載の回路基板検査方法。
【請求項３】
基準電極上に配設された絶縁シート上に一面側導体パターンが表面側となるようにして載置された回路基板の当該一面側導体パターンおよび当該基準電極の間の静電容量を測定可能な測定部と、前記絶縁シートの厚みおよび誘電率の少なくとも一方を変更したその変更前後において前記測定部によってそれぞれ少なくとも１回測定される前記各静電容量に基づいて前記一面側導体パターン、および当該一面側導体パターンに内部接続導体を介して接続される他面側導体パターンの各面積を算出すると共に当該算出した各面積に基づいて前記回路基板についての断線の有無を判別する判別部とを備えた回路基板検査装置であって、
複数の前記基準電極および複数の前記絶縁シートを交互に重ね合わせて形成されると共に最上部の当該絶縁シート上に前記回路基板を載置可能な電極部と、前記各基準電極を切り替えて前記測定部に接続可能な接続切替手段と、当該接続切替手段に対して前記各基準電極を切り替えさせると共にその切替前後において前記一面側導体パターンおよび前記各基準電極の間の各静電容量を前記変更前後における静電容量として前記測定部に測定させる制御部とを備えている回路基板検査装置。
【請求項４】
前記電極部は前記複数の基準電極および前記複数の絶縁シートを交互に重ね合わせて一体形成されている請求項３記載の回路基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基準電極上に配設された絶縁シート上に回路基板を載置して静電容量を測定し、その静電容量に基づいて回路基板における一面側導体パターンおよび他面側導体パターンの面積を算出し、その面積に基づいて回路基板についての断線の有無を検査する回路基板検査方法および回路基板検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の回路基板検査方法および回路基板検査装置として、特開２００２−１３９５３２号公報に開示された電気回路の断線検査方法（以下、単に「断線検査方法」ともいう）、および電気回路の断線検査装置（以下、単に「断線検査装置」ともいう）が知られている。この断線検査装置は、基準導体（１）、絶縁シート（２）、プローブ（４）および容量測定器（８）を備えて構成されている。この断線検査装置を使用して上記の断線検査方法に従ってプリント配線板（３）における断線の有無を検査する際には、基準導体（１）上に配設した絶縁シート（２）にその裏面パターン（６）を密着させるようにしてプリント配線板（３）をセット（載置）する。次に、容量測定器（８）を用いて、プリント配線板（３）の表面パターン（５）にプローブ（４）を接触させて、基準導体（１）と表面パターン（５）との間の静電容量（容量：Ｃ）を測定する。
【０００３】
次に、厚み（または誘電率）の異なる絶縁シート（２）に変更して、上記と同様にして静電容量（Ｃ）を測定する。次いで、予め規定されているプリント配線板（３）の厚さ（ｄ１）、プリント配線板（３）の誘電率（ε１）、各絶縁シート（２，２）の厚さ（ｄ２，ｄ２）および各絶縁シート（２，２）の誘電率（ε２，ε２）と、２つの静電容量（Ｃ，Ｃ）とを所定の関係式に代入して解くことにより、表面パターン（５）の面積（Ｓ１）と、裏面パターン（６）の面積（Ｓ２）とを算出する。続いて、算出した面積（Ｓ１，Ｓ２）に基づいて表面パターン（５）と裏面パターン（６）とを接続するバイアホール（７）が断線しているか否かを判別する。この場合、バイアホール（７）に断線が発生しているときには、裏面パターン（６）に電荷が蓄積されないため、算出した裏面パターン（６）の面積（Ｓ２）が０と算出される。したがって、面積（Ｓ２）が０のときには、バイアホール（７）が断線していると判別することができ、面積（Ｓ２）が０以外のときには、バイアホール（７）が断線していないと判別することができる。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−１３９５３２号公報（第３−６頁）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この断線検査方法および断線検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この断線検査方法および断線検査装置では、表面パターン（５）の面積（Ｓ１）および裏面パターン（６）の面積（Ｓ２）を算出するために、厚みまたは誘電率が互いに異なる少なくとも２種類の絶縁シート（２）を交換して静電容量測定を２回行う必要がある。この場合、正確な測定を行うためには、絶縁シート（２）の配設やプリント配線板（３）のセットの際に、位置調整を正確に行う必要がある。したがって、この断線検査方法および断線検査装置には、絶縁シート（２）を交換する度に位置調整が必要となるために、作業が煩雑なうえに検査に長時間を要するという問題点がある。この場合、絶縁シート（２）の交換やプリント配線板（３）のセットを自動化する方法も考えられるが、この方法では、断線検査装置が大形化すると共に、装置価格が高騰することとなる。したがって、この方法を採用するのは困難である。また、絶縁シート（２）を交換してプリント配線板（３）を再セットした際に、絶縁シート（２）の厚みや材質の違いに起因して、プリント配線板（３）（裏面パターン（６））と絶縁シート（２）との密着度が変化する可能性がある。したがって、この断線検査方法および断線検査装置には、この密着度の変化に起因して静電容量の測定誤差、ひいては面積算出誤差が発生するおそれがある結果、検査精度が低いという問題点も存在する。
【０００６】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、検査効率を向上させつつ回路基板についての断線検査を正確に実行し得る回路基板検査方法および回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載の回路基板検査方法は、基準電極上に配設された絶縁シート上に一面側導体パターンが表面側となるようにして回路基板を載置し、前記絶縁シートの厚みおよび誘電率の少なくとも一方を変更すると共にその変更前後において前記一面側導体パターンおよび前記基準電極の間の静電容量をそれぞれ少なくとも１回測定し、前記一面側導体パターン、および当該一面側導体パターンに内部接続導体を介して接続される他面側導体パターンの各面積を前記測定した各静電容量に基づいて算出し、当該算出した各面積に基づいて前記回路基板についての断線の有無を検査する回路基板検査方法であって、複数の前記基準電極および複数の前記絶縁シートを交互に重ね合わせた電極部における最上部の当該絶縁シート上に前記回路基板を載置し、その状態において、前記一面側導体パターンおよび前記各基準電極の間の各静電容量を前記変更前後における静電容量として測定する。
【０００８】
請求項２記載の回路基板検査方法は、請求項１記載の回路基板検査方法において、前記電極部は前記複数の基準電極および前記複数の絶縁シートを交互に重ね合わせて一体形成されている。
【０００９】
請求項３記載の回路基板検査装置は、基準電極上に配設された絶縁シート上に一面側導体パターンが表面側となるようにして載置された回路基板の当該一面側導体パターンおよび当該基準電極の間の静電容量を測定可能な測定部と、前記絶縁シートの厚みおよび誘電率の少なくとも一方を変更したその変更前後において前記測定部によってそれぞれ少なくとも１回測定される前記各静電容量に基づいて前記一面側導体パターン、および当該一面側導体パターンに内部接続導体を介して接続される他面側導体パターンの各面積を算出すると共に当該算出した各面積に基づいて前記回路基板についての断線の有無を判別する判別部とを備えた回路基板検査装置であって、複数の前記基準電極および複数の前記絶縁シートを交互に重ね合わせて形成されると共に最上部の当該絶縁シート上に前記回路基板を載置可能な電極部と、前記各基準電極を切り替えて前記測定部に接続可能な接続切替手段と、当該接続切替手段に対して前記各基準電極を切り替えさせると共にその切替前後において前記一面側導体パターンおよび前記各基準電極の間の各静電容量を前記変更前後における静電容量として前記測定部に測定させる制御部とを備えている。
【００１０】
請求項４記載の回路基板検査装置は、請求項３記載の回路基板検査装置において、前記電極部は前記複数の基準電極および前記複数の絶縁シートを交互に重ね合わせて一体形成されている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る回路基板検査方法および回路基板検査装置の好適な実施の形態について説明する。
【００１２】
最初に、回路基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１３】
図１に示す回路基板検査装置１は、本発明に係る回路基板検査方法に従って回路基板１１についての断線検査を実行可能な検査装置であって、回路基板載置台２、吸気ポンプ３、電極部４、移動機構５、測定部６、切替スイッチ７、制御部８、ＲＡＭ９およびＲＯＭ１０を備えて構成されている。回路基板載置台２は、図２に示すように、全体として箱状に形成されると共に、その上面に電極部４および回路基板１１を嵌入可能な凹部２ａが形成されている。また、回路基板載置台２は、複数の吸気口２ｂ，２ｂ・・が凹部２ａの底面に形成されて構成されている。さらに、回路基板載置台２は、吸気口２ｃがその側面に形成されて構成されている。吸気ポンプ３は、吸気パイプを介して回路基板載置台２の吸気口２ｃに連通させられて、制御部８の制御下で回路基板載置台２における内部空間Ｓの空気を吸引する。
【００１４】
電極部４は、図３に示すように、例えば薄膜状に形成された基準電極４１ａ，４１ｂ（以下、区別しないときには「基準電極４１」ともいう）、および絶縁体（絶縁シート）４２ａ，４２ｂ（以下、区別しないときには「絶縁体４２」ともいう）を交互に重ね合わせて一体形成して、全体として回路基板載置台２の凹部２ａよりもやや小さい矩形の板状に構成されている。この場合、絶縁体４２ａ，４２ｂは、互いに同等の厚みに形成されている。また、絶縁体４２ａ，４２ｂは、共に同じ材質（同じ誘電率）で形成されている。また、各基準電極４１および各絶縁体４２には、小径の通気用孔（図示せず）が複数形成されている。したがって、電極部４は、全体として通気性を有して構成されている。なお、電極部４については、基準電極４１ａ，４１ｂをベタパターンで形成した多層のプリント基板で構成することもできる。
【００１５】
移動機構５は、制御部８の制御下で、図２に示すプローブ保持部５ａおよびプローブ５ｂを電極部４の上にセット（載置）された回路基板１１に対してＸ−Ｙ方向および上下方向（Ｚ方向）に移動させて、回路基板１１における一面（表面）に形成された一面側導体パターン１２ａ（回路基板１１の表裏を反転してセットしたときには他面（裏面）に形成された他面側導体パターン１２ｂ。以下、区別しないときには「導体パターン１２」ともいう）にプローブ５ｂの先端部を接触させる。測定部６は、制御部８の制御下で、移動機構５のプローブ５ｂに接触している導体パターン１２と、電極部４の基準電極４１との間に測定用電流（交流電流）を通電させて、基準電極４１と導体パターン１２との間の静電容量を測定して、その測定値を制御部８に出力する。切替スイッチ７は、本発明における接続切替手段に相当し、図１に示すように、制御部８の制御に従い、電極部４における基準電極４１ａ，４１ｂのいずれか一方に切り替えて、その切り替えた基準電極４１を測定部６に接続する。
【００１６】
制御部８は、本発明における制御部および判別部に相当し、移動機構５によるプローブ５ｂ（プローブ保持部５ａ）の移動、および吸気ポンプ３の駆動を制御する。また、制御部８は、切替スイッチ７に対して制御信号を出力することにより、電極部４における基準電極４１ａ，４１ｂのいずれか一方に切り替えて測定部６に接続させる。また、制御部８は、測定部６に対して、切替スイッチ７によって切替接続させられた基準電極４１と導体パターン１２との間の静電容量を測定させる。さらに、制御部８は、測定部６によって出力された静電容量の測定値に基づいて一面側導体パターン１２ａの面積、および他面側導体パターン１２ｂの面積を算出して、算出した各面積に基づいて、各導体パターン１２，１２同士を接続する内部接続導体（いわゆるスルーホールなど）についての断線の有無を検出する。ＲＡＭ９は、測定部６から出力された静電容量の測定値を一時的に記憶する。ＲＯＭ１０は、制御部８の動作プログラムを記憶する。
【００１７】
次に、回路基板検査装置１を用いて本発明に係る回路基板検査方法に従って検査対象の回路基板１１における断線有無の検査手順について、図面を参照して説明する。この場合、回路基板１１は、その一面に形成された一面側導体パターン１２ａと、他面に形成された他面側導体パターン１２ｂとが内部接続導体（図示せず）によって接続されているものとする。また、初期状態においては、切替スイッチ７が、基準電極４１ａと測定部６とを接続しているものとする。
【００１８】
まず、図２に示すように、回路基板載置台２における凹部２ａの底部に基準電極４１ａを下向き（回路基板載置台２の内部空間Ｓ側の向き）にして電極部４をセット（載置）する。次に、表面側導体パターン１２ａが表面側となるように（この例では上向きとなるように）して回路基板１１を電極部４の上にセットする。次いで、制御部８が、吸気ポンプ３を駆動させる。この際に、吸気ポンプ３によって回路基板載置台２における内部空間Ｓの空気が吸い出されて内部空間Ｓが負圧となる。この場合、電極部４が通気性を有して構成されているため、電極部４および回路基板１１が凹部２ａの底部に吸い寄せられて回路基板載置台２に保持される。
【００１９】
続いて、制御部８は、図２に示すように、移動機構５に対してプローブ保持部５ａを移動させて、回路基板１１の一面側導体パターン１２ａにプローブ５ｂの先端部を接触させる。次に、制御部８は、測定部６に対して基準電極４１ａと一面側導体パターン１２ａとの間の静電容量Ｃ１を測定させるための制御信号を出力する。これに応じて、測定部６は、基準電極４１ａと一面側導体パターン１２ａとの間にプローブ５ｂを介して測定用電流を通電させて、両者の間の静電容量Ｃ１を測定して測定値を制御部８に出力する。続いて、制御部８は、静電容量Ｃ１の測定値をＲＡＭ９に記憶させる。
【００２０】
次に、制御部８は、図１に示すように、制御信号を出力して切替スイッチ７に対して接続を切り替えさせることにより、基準電極４１ａに代えて基準電極４１ｂと測定部６とを接続させる。この場合、絶縁体４２ａ，４２ｂが互いに同等の厚みのため、切替スイッチ７による接続の切り替えにより、基準電極４１と他面側導体パターン１２ｂとの間の絶縁体の厚みが約１／２に変更される。次いで、制御部８は、測定部６に対して、基準電極４１ｂと一面側導体パターン１２ａとの間の静電容量Ｃ２を測定させるための制御信号を出力する。これに応じて、測定部６は、基準電極４１ｂと一面側導体パターン１２ａとの間に測定用電流を通電させて、両者の間の静電容量Ｃ２を測定して測定値を制御部８に出力する。続いて、制御部８は、静電容量Ｃ２の測定値を測定値をＲＡＭ９に記憶させる。この場合、従来の回路基板検査装置とは異なり、絶縁シートを交換することなく、切替スイッチ７の接続を切り替えるだけで、絶縁シートの厚みや誘電率を変更して静電容量の測定を２回行うのと等価の測定を行うことができる。したがって、絶縁シートの交換や回路基板１１の再セット、および再セットの際の絶縁シートや回路基板１１の位置調整が不要な分だけ検査時間が短縮される。また、回路基板１１の再セットが不要のため、電極部４と回路基板１１との密着度の変化が回避される結果、密着度の変化に起因する静電容量Ｃ１，Ｃ２についての測定誤差の発生が防止される。
【００２１】
次に、制御部８は、静電容量Ｃ１，Ｃ２の測定値をＲＡＭ９から読み出して、両測定値に基づいて回路基板１１についての断線の有無を判別する判別処理を実行する。この判別処理では、制御部８は、まず、静電容量Ｃ１，Ｃ２の測定値に基づいて一面側導体パターン１２ａの面積Ｓ１および他面側導体パターン１２ｂの面積Ｓ２を算出する。この場合、回路基板１１の誘電率をε１、回路基板１１の厚さをｄ１、絶縁体４２ａ，４２ｂの誘電率をε２、絶縁体４２ａ，４２ｂの厚さをｄ２、静電容量Ｃ１の測定時における他面側導体パターン１２ｂの影響を無視した一面側導体パターン１２ａと基準電極４１ａとの間の静電容量をＣａ１、静電容量Ｃ１の測定時における一面側導体パターン１２ａの影響を無視した他面側導体パターン１２ｂと基準電極４１ａとの間の静電容量をＣｂ１とすれば、これらの関係は次の各式によって表される。
Ｃ１＝Ｃａ１＋Ｃｂ１・・・・▲１▼式
Ｃａ１＝Ｓ１／（ｄ１／ε１＋ｄ２×２／ε２）・・・・▲２▼式
Ｃｂ１＝ε２×Ｓ２／（ｄ２×２）・・・・▲３▼式
【００２２】
また、静電容量Ｃ２の測定時における他面側導体パターン１２ｂの影響を無視した一面側導体パターン１２ａと基準電極４１ｂとの間の静電容量をＣａ２、静電容量Ｃ２の測定時における一面側導体パターン１２ａの影響を無視した他面側導体パターン１２ｂと基準電極４１ｂとの間の静電容量をＣｂ２とすれば、これらの関係は次の各式によって表される。
Ｃ２＝Ｃａ２＋Ｃｂ２・・・・▲４▼式
Ｃａ２＝Ｓ１／（ｄ１／ε１＋ｄ２／ε２）・・・・▲５▼式
Ｃｂ２＝ε２×Ｓ２／ｄ２・・・・▲６▼式
したがって、予め規定されている誘電率ε１、厚さｄ１、誘電率ε２および厚さｄ２についての各値と、測定によって得られた静電容量Ｃ１，Ｃ２の値とを上記の▲１▼式〜▲６▼式に代入して面積Ｓ１，Ｓ２についての連立方程式とし、この連立方程式を解くことによって、面積Ｓ１，Ｓ２が算出される。
【００２３】
次に、制御部８は、算出した面積Ｓ２に基づき、一面側導体パターン１２ａと他面側導体パターン１２ｂとを接続する内部接続導体の断線（回路基板１１についての断線）の有無を判別する。この場合、内部接続導体が断線しているときには、一面側導体パターン１２ａと基準電極４１との間に電流を通電させたとしても他面側導体パターン１２ｂに電荷が蓄積されないため、他面側導体パターン１２ｂの面積Ｓ２が理論的には値０として算出される。したがって、制御部８は、面積Ｓ２を値０または値０の近似値として算出したときには、内部接続導体に断線が発生していると判別する。一方、制御部８は、面積Ｓ２が値を有するときには、内部接続導体に断線が発生していないと判別する。次いで、制御部８は、判別結果を図外の表示部に表示させる。これにより、回路基板１１についての断線の有無が報知されて断線検査が終了する。
【００２４】
このように、この回路基板検査方法および回路基板検査装置１によれば、基準電極４１ａ，４１ｂおよび絶縁体４２ａ，４２ｂを交互に重ね合わせて一体形成した電極部４における絶縁体４２ｂ上に回路基板１１を載置し、その状態を維持しつつ、切替スイッチ７が基準電極４１ａと基準電極４１ｂとを順次切り替えて測定部６に接続し、測定部６が切替接続された基準電極４１と回路基板１１上の一面側導体パターン１２ａとの間の静電容量を順次２回測定することにより、接続を切り替えて測定するだけで断線検査に必要な２つの静電容量を取得することができる。したがって、絶縁シートを交換する従来の回路基板検査方法および回路基板検査装置とは異なり、絶縁シートの交換や回路基板１１の再セット、および再セットの際の絶縁シートや回路基板１１の位置調整が不要な分だけ検査時間を短縮することができるため、検査効率を十分に向上させることができる。また、回路基板１１をセットし直す必要がないため、電極部４（絶縁体４２ｂ）と回路基板１１（他面側導体パターン１２ｂ）との密着度の変化を回避することができる。したがって、静電容量を正確に測定することができる結果、断線検査の精度向上させることができる。
【００２５】
また、基準電極４１ａ，４１ｂおよび絶縁体４２ａ，４２ｂを交互に重ね合わせて一体形成した電極部４を使用することにより、基準電極４１ａ，４１ｂおよび絶縁体４２ａ，４２ｂ同士が互いに位置ずれする事態を確実に防止することができるため、静電容量をさらに正確に測定することができる。また、例えば互いに別個独立した複数の基準電極および複数の絶縁シートを重ね合わせてセットする構成と比較して、短時間でしかも容易に電極部４を回路基板載置台２にセットすることができる。
【００２６】
なお、本発明は、上記した発明の実施の形態に限定されない。例えば、上記の回路基板検査装置１および回路基板検査方法では、表面側導体パターン１２ａを表面側にしてセットした状態における静電容量の測定値から算出した一面側導体パターン１２ａおよび他面側導体パターン１２ｂの各面積（以下、「第１の方法で算出した各面積」ともいう）に基づいて回路基板１１についての断線の有無を判別する例について説明したが、判別方法はこれに限定されない。例えば、回路基板１１の表裏を反転してセットした状態で、他面側導体パターン１２ｂと基準電極４１ａとの間の静電容量、および他面側導体パターン１２ｂと基準電極４１ｂとの間の静電容量をそれぞれ測定して、これらの測定値から算出した一面側導体パターン１２ａおよび他面側導体パターン１２ｂの各面積（以下、「第２の方法で算出した各面積」ともいう）と、第１の方法で算出した各面積とを比較することによって回路基板１１についての断線の有無を判別することもできる。この場合、第１の方法で算出した各面積と、第２の方法で算出した対応する各面積とが互いにそれぞれ等しいときには上記の内部接続導体に断線が発生していないと判別する。一方両者が互いに一致しないとき（所定の許容範囲内に収まらないとき）には内部接続導体に断線が発生していると判別する。
【００２７】
また、上記の回路基板検査装置１では、２枚の基準電極４１および２枚の絶縁体４２を交互に積層して一体形成した電極部４を備えた例について説明したが、電極部４の構成はこれに限定されず、２枚以上の任意の枚数の基準電極４１、および基準電極４１と同数の絶縁体４２で構成した電極部を採用することができる。また、電極部４に代えて別個独立した複数の基準電極および複数の絶縁体を交互に積層して使用することもできる。さらに、上記した絶縁体４２ａ，４２ｂ各々の材質、誘電率および厚み等は互いに等しい必要はなく、これらが互いに異なる２種または複数種の絶縁体を用いることもできる。
【００２８】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載の回路基板検査方法および請求項３記載の回路基板検査装置によれば、電極部における最上部の絶縁シート上に回路基板を載置した状態を維持しつつ各基準電極に順次切り替えて測定した一面側導体パターンおよび各基準電極の間の各静電容量に基づいて求めた一面側導体パターンおよび他面側導体パターンの各面積に基づいて回路基板についての断線の有無を検査することにより、接続を切り替えるだけで断線を検査するために必要な静電容量を測定することができる。したがって、絶縁シートを交換する従来の回路基板検査方法および回路基板検査装置とは異なり、絶縁シートの交換や回路基板の再セット、および再セットの際の絶縁シートや回路基板の位置調整が不要な分だけ検査時間を短縮することができるため、検査効率を十分に向上させることができる。また、回路基板をセットし直す必要がないため、基準電極と回路基板との密着度の変化を確実に回避することができる。したがって、静電容量を正確に測定することができる結果、断線検査の精度を向上させることができる。
【００２９】
また、請求項２記載の回路基板検査方法および請求項４記載の回路基板検査装置によれば、複数の基準電極および複数の絶縁シートを交互に重ね合わせて一体形成して電極部を構成したことにより、基準電極および絶縁シート同士が互いに位置ずれする事態を確実に防止することができるため、静電容量をさらに正確に測定することができる。また、例えば互いに別個独立した複数の基準電極および複数の絶縁シートを重ね合わせてセットする構成と比較して、短時間でしかも容易に電極部をセットすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】回路基板検査装置１における回路基板載置台２に電極部４および回路基板１１をセットした状態の断面図である。
【図３】電極部４の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  回路基板検査装置
４  電極部
４１ａ，４１ｂ  基準電極
４２ａ，４２ｂ  絶縁体
６  測定部
７  切替スイッチ
８  制御部
１１  回路基板
１２ａ  一面側導体パターン
１２ｂ  他面側導体パターン
【図１】
2005017095.tif 000003
【図２】
2005017095.tif 000004
【図３】
2005017095.tif 000005