(57)【要約】【課題】  プリンティング速度を向上させることができるインクジェットプリントヘッド，インクジェットプリントヘッドの作動方法を提供する。【解決手段】  本発明によれば，インクビア２と，ヒータ５を含む複数のインクチャンバ３と，インクビア２と各々のインクチャンバ３を連結するインク流路４とが形成されるチャンバ層（ａ）と，インクチャンバ３と対応するように形成される複数のノズル６が形成されるノズル層（ｂ）とを含み，インク流路４は，インクチャンバ３からインクビア２まで延長されて対向する二つの壁の間に形成される多機能構造体７を含むインクジェットプリントヘッドが提供される。【選択図】    図２Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクビアと，ヒータを含む複数のインクチャンバと，前記インクビアと前記インクチャンバの各々を連結するインク流路とが形成されるチャンバ層と；
前記インクチャンバと対応するように複数のノズルが形成されるノズル層と；
を含み，
前記インク流路は，前記インクチャンバから前記インクビアまで延長されて対向する二つの壁の間に形成され，フィルタの役割とリストリクタの役割をともに実行する多機能構造体を含むことを特徴とする，インクジェットプリントヘッド。
【請求項２】
前記多機能構造体は，前記ヒータと対向するように突出して形成され，リストリクタとしての役割を実行する第１の突出部と，前記インク流路の二つの壁と対向するように突出して形成され，フィルタとしての役割を実行する第２の突出部および第３の突出部とが一体に形成されることを特徴とする，請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３】
前記インク流路には，前記インクビアからインクが流入される部位にリストリクタ流路部が形成されることを特徴とする，請求項１または２に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項４】
前記多機能構造体は，前記インク流路の前記リストリクタ流路部内に形成されることを特徴とする，請求項３に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項５】
前記リストリクタ流路部を形成する二つの壁は，前記インク流路側から前記インクビア側に向けて広くなるようにテーパ状に形成されることを特徴とする，請求項３または４に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項６】
前記リストリクタ流路部を形成する二つの壁は，前記インク流路を形成する二つの壁に対して段差を有するように形成されることを特徴とする，請求項３，４または５のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項７】
前記第１の突出部は，前記ヒータの上部面に対して垂直方向に形成されることを特徴とする，請求項２〜６のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項８】
前記第１の突出部は，前記第１の突出部が位置する前記リストリクタ流路部の幅に対して２／３以内の幅を有するように形成されることを特徴とする，請求項３〜７のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項９】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，前記リストリクタ流路部の幅に対して１／２以内の幅を有するように形成されることを特徴とする，請求項３〜８のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１０】
前記第１の突出部と前記ヒータとの間の間隔は，１〜４０μm以内であることを特徴とする，請求項２〜９のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１１】
前記第２の突出部および前記第３の突出部には，少なくとも一つの折曲部が対称に形成されることを特徴とする，請求項２〜１０のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１２】
前記第２の突出部および前記第３の突出部の幅が少なくとも５μm以上の幅を有するように形成されることを特徴とする，請求項２〜１１のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１３】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，対称に形成されることを特徴とする，請求項２〜１２のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１４】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，非対称に形成されることを特徴とする，請求項２〜１２のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１５】
前記多機能構造体は，前記ヒータと対向するように突出して形成される第１の突出部と，前記第１の突出部より低い高さを有する第２の突出部および第３の突出部とが一体に形成されることを特徴とする，請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１６】
前記インク流路は，前記インクビアからインクが流入される位置にリストリクタ流路部をさらに具備し，前記第１の突出部は，前記リストリクタ流路部内に位置することを特徴とする，請求項１５に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１７】
前記リストリクタ流路部を形成する二つの壁は，前記インク流路側から前記インクビア側に向かって広くなるようにテーパ状に形成されることを特徴とする，請求項１６に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１８】
前記リストリクタ流路部を形成する前記二つの壁は，前記インク流路を形成する二つの壁に対して，高さ差を有するように形成されることを特徴とする，請求項１７に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１９】
前記第１の突出部の幅が前記リストリクタ流路部の幅の２／３より狭く形成されることを特徴とする，請求項１６〜１８のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項２０】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，前記リストリクタ流路部の幅と比較して各々の幅が半分以下であることを特徴とする，請求項１６〜１９のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項２１】
前記第１の突出部は，前記ヒータの上面に対して垂直方向に形成されることを特徴とする，請求項１５〜２０のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項２２】
前記第１の突出部と前記ヒータとの間の間隔は，１〜４０μmであることを特徴とする，請求項１５〜２１のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項２３】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，少なくとも一つの折曲部が対称に形成される構造であることを特徴とする，請求項１５〜２２のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項２４】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，少なくとも５μm以上の幅を有するように形成されることを特徴とする，請求項１５〜２３のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項２５】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，対称構造に形成されることを特徴とする，請求項１５〜２４のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項２６】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，非対称構造に形成されることを特徴とする，請求項１５〜２４のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項２７】
前記第２の突出部および前記第３の突出部と前記第１の突出部との高さの差は，少なくとも４μm以上であることを特徴とする，請求項１５〜２６のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項２８】
前記多機能構造体は，ポリマー系列のプレートで構成され，前記チャンバ層に熱圧着方式により固定されることを特徴とする，請求項１〜２７のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項２９】
前記多機能構造体は，マイクロモールドで構成されることを特徴とする，請求項１〜２７のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３０】
インクビアと，インクチャンバと，前記インクビアと前記インクチャンバを連結するインク流路と，前記インクチャンバに含まれ，インクを加熱する発熱抵抗体とを有するチャンバ層と；
前記インクチャンバに対応するように配置されるノズルを含むノズル層と；
フィルタと；
前記フィルタと一体で形成されたリストリクタと；
を具備することを特徴とする，インクジェットプリントヘッド。
【請求項３１】
前記リストリクタは，前記インクチャンバと対向するように突出して形成される第１の突出部を含み，前記フィルタは，前記インク流路の二つの壁と対向するように各々突出して形成される第２の突出部および第３の突出部を含むことを特徴とする，請求項３０に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３２】
前記第１の突出部が形成される位置における前記インク流路の対向する二つの壁は，前記インクチャンバに対してテーパ状に形成されることを特徴とする，請求項３１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３３】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，少なくとも一つの折曲部を具備することを特徴とする，請求項３１または３２に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３４】
前記第１の突出部は，前記発熱抵抗体に対して１〜４０μm範囲の間隔をおいて形成され，前記第１の突出部の幅は，前記第１の突出部が位置する前記二つのテーパ状に形成された壁の幅の２／３以下であることを特徴とする，請求項３２または３３の記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３５】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，前記第１の突出部より低い高さを有することを特徴とする，請求項３１〜３４のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３６】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，各々対称に形成されることを特徴とする，請求項３１〜３５のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３７】
インクビアと，インクチャンバと，前記インクビアと前記インクチャンバを連結するインク流路と，前記インクチャンバに含まれてインクを加熱する発熱抵抗体とを有するチャンバ層と；
前記インクチャンバに対応するように配置されるノズルを含むノズル層と；
前記インク流路から前記インクビア側に延長された二つの壁の間のインク流路内に形成されたバルブと；
を具備することを特徴とする，インクジェットプリントヘッド。
【請求項３８】
前記バルブは，前記インクチャンバに対向するように突出して形成される第１の突出部と，各々が前記インク流路の二つの壁の中でいずれの一つに向かって延長された第２の突出部と第３の突出部とを含むことを特徴とする，請求項３７に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３９】
前記第１の突出部が形成される位置における前記インク流路の対向する二つの壁は，前記インクチャンバに向かってテーパ状に形成されることを特徴とする，請求項３８に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項４０】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，少なくとも一つの折曲部を具備することを特徴とする，請求項３８または３９に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項４１】
前記第１の突出部は，前記発熱抵抗体に対して１〜４０μm範囲の間隔をおいて形成され，前記第１の突出部の幅は，前記第１の突出部が位置する前記二つのテーパ状に形成された壁の幅の２／３以下に形成されることを特徴とする，請求項３９または４０に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項４２】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，前記第１の突出部より低い高さを有することを特徴とする，請求項３８〜４１のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項４３】
前記第２の突出部および前記第３の突出部は，各々対称に形成されることを特徴とする，請求項３８〜４２のいずれかに記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項４４】
インクビアからインク流路を通じてインクチャンバにインクを供給する過程と；
発熱するヒータを制御する過程と；
熱によりバブルを生成するためにヒータを加熱する過程と；
インクチャンバからインクビアに向かって前記バブルが漏洩されることを多機能構造物の第１の突出部により防止するとともに，前記多機能構造物の第２の突出部および第３の突出部に供給されるインクをフィルタリングする過程と；
前記バブルの膨張力を利用してインク液滴を吐出する過程と；
を含むことを特徴とする，インクジェットプリントヘッドの作動方法。
【請求項４５】
前記フィルタリング過程は，前記第２の突出部と前記第３の突出部の各々に対称に具備される少なくとも一つの折曲部により針状の汚染物をフィルタリングする過程をさらに含むことを特徴とする，請求項４４に記載のインクジェットプリントヘッドの作動方法。
【請求項４６】
前記バブルの流速を利用して前記インク流路内の流路を塞いでいる汚染物質を除去する過程をさらに含むことを特徴とする，請求項４４または４５に記載のインクジェットプリントヘッドの作動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，インクジェットプリントヘッド，インクジェットプリントヘッドの作動方法に関し，より詳しくは，インク液滴の吐出メカニズムを熱駆動方式により実行するインクジェットプリントヘッド，インクジェットプリントヘッドの作動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリントヘッドは，カートリッジから供給されたインクの微小な液滴(ｄｒｏｐｌｅｔ)を記録用紙等の印刷媒体上の所望の位置に噴き出して，所定色相の画像として印刷する装置である。このようなインクジェットプリントヘッドは，インク液滴の吐出メカニズムによって二つに分類できる。即ち，ヒータを利用してインクにバブル(ｂｕｂｂｌｅ)を発生させ，バブルの膨張力によりインク液滴を吐出させる熱駆動方式のインクジェットプリンターヘッドと，圧電体を使用してこの圧電体の変形によってインクに加わる圧力によりインク液滴を吐出させる圧電駆動方式のインクジェットプリントヘッドとに分けられる。
【０００３】
上述のような熱駆動方式のインクジェットプリントヘッドにおいて，インク液滴吐出メカニズムについて，より詳細に説明すれば，次のようである。まず，発熱抵抗体からなるヒータにパルス形態の電流が流れると，ヒータから熱が発生し，ヒータに隣接したインクを瞬間加熱する。これによって，インクが沸騰するようになってバブルが生成され，生成されたバブルは，膨脹してインクチャンバ内部に満たされたインクに圧力を加えるようになる。したがって，ノズルの近傍にあるインクがノズルを通じて液滴の形態でインクチャンバの外に吐出される。以後，インクチャンバ内部では，バブルが消滅しながら液滴分離が起き，新しいインクがインクチャンバ内に再充填されて上述のような液滴形態のインク吐出を繰り返すようになる。
【０００４】
ここで，熱駆動方式のインクジェットプリントヘッドは，チャンバ層とノズル層を形成する製造方法によって接着方式と一体式に区分できる。一体式インクジェットヘッド製造方法によれば，半導体基板上に複数の薄膜層と回路部を半導体工程，例えば，フォトレジスト工程により構成してチャンバ層とノズル層を一体に形成する。
【０００５】
一方，インク内に存在する汚染物質は，インクジェットプリントヘッドの性能を低下させる原因になる。即ち，汚染物質がインク流路を塞ぐと，インクチャンバ内でインクの円滑な供給を行うことができない。このような汚染物質は，インクジェットプリントヘッドとカートリッジのパッケージング工程でも流入されるので，インクがカートリッジのフィルタを経由しても微細な汚染物質が相変らずインク内に存在する。したがって，インクジェットプリントヘッドの性能を向上させるためには，上述の要件の以外にも，インク内に存在する汚染物質を濾過して汚染物質により，インク流路が塞がることを防止しなければならない。
【０００６】
特許文献１には，汚染物質をフィルタリングできるインクジェットプリントヘッドが開示されている。
【０００７】
図１Ａは，汚染物質をフィルタリングできる従来のインクジェットプリントヘッドの一例を示す断面図である。
【０００８】
図１Ａに示したように，インクは，チャンバ層(ａ)のインクビア(Ｉｎｋ  Ｖｉａ)１１０からインク流路１３０を通じて，インクチャンバ１２０内のヒータ１５０部位に供給される。そして，チャンバ層(ａ)の上面には，ノズル層(ｂ)が具備される。インク流路１３０の入口には，フィルタ１４０を形成して汚染物質１６０がヒータ１５０部位に流入されることを防止している。
【０００９】
しかし，特許文献１に開示されたインクジェットプリントヘッド１００は，フィルタ１４０により形成される開口部１４１がインクの流入経路に対して並んで配列されているので，インクに含まれている汚染物質，例えば，針状または棒状の汚染物質１６０を濾過するのに限界がある。
【００１０】
図１Ｂは，汚染物質をフィルタリングできる従来のインクジェットプリントヘッドの他例を示した図として，チャンバ層からノズル層を分離した状態を示す平面図である。
【００１１】
図１Ｂに示したように，インク流路２３０には，リストリクタ(Ｒｅｓｔｒｉｃｔｏｒ)２６０と，ピーラ(Ｐｉｌｌａｒ)形態のフィルタ(Ｆｉｌｔｅｒ)２４０が形成される。リストリクタ２６０は，インクビア２１０からインクチャンバ２２０に供給されるインクに適切なインピーダンス(Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ)を付与すると同時に，インクチャンバ２２０で生成されたバブルがインク流路２３０側に膨脹することを抑制して新しいインクの再充填を円滑にする。フィルタ２４０は，一連の島状の形状が一列に並んで形成されているので，多様な種類の汚染物質をフィルタリングすると同時にヒータ２５０またはノズルが塞がる現象を防止する。
【００１２】
上述したリストリクタ２６０とフィルタ２４０は，フォトレジスト工程のような半導体工程，モールドまたはピールアップなどのＭＥＭＳ(Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ)工程を通じて形成できる。このようなリストリクタ２６０とフィルタ２４０は，交互に配置されるので，長い槍または棒形態の汚染物質(Ｄｕｓｔ)がインクチャンバ２２０に流入されることを防止する。
【００１３】
【特許文献１】米国特許第６,５８２,０６４号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかし，従来のインクジェットプリントヘッド２００は，ヒータ２５０とインクビア２１０との間にフィルタ２４０が形成されるので，プリンティング速度を向上させることに限界があった。即ち，インクのリフィル周期を短縮してプリンティング速度を向上させるためには，ヒータ２５０の中心とインクビア２１０との間の距離(ＳＨ  ：  Ｓｕｐｐｌｙ  Ｐｏｒｔ−Ｈｅａｔｅｒ  Ｄｉｓｔａｎｃｅ)を最大限短くしなければならないが，図１Ｂに示されたインクジェットプリントヘッド２００のようにヒータ２５０とインクビア２１０との間にフィルタ２４０を形成すれば，プリント速度を向上させることに限界があった。また，インクジェットプリントヘッド２００は，各々のノズルに一つずつのリストリクタ２６０が存在するので，インクジェットプリントヘッドとカートリッジのパッケージング工程中に発生する汚染物質によりその入口が塞がる場合，該当ノズルからインクが吐出できない問題点があった。
【００１５】
そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，プリンティング速度を向上させることができるインクジェットプリントヘッド，インクジェットプリントヘッドの作動方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために，本発明の第１の観点によれば，インクビアと，ヒータを含む複数のインクチャンバと，上記インクビアと上記インクチャンバの各々を連結するインク流路とが形成されるチャンバ層と，上記インクチャンバと対応するように複数のノズルが形成されるノズル層とを含み，上記インク流路は，上記インクチャンバから上記インクビアまで延長されて対向する二つの壁の間に形成され，フィルタの役割とリストリクタの役割をともに実行する多機能構造体と含むインクジェットプリントヘッドが提供される。
【００１７】
本発明によれば,リストリクタの役割とフィルタの役割をともに実行する多機能構造体をインク流路内に設けることで，ヒータ中心とイングビアとの間の距離を短く形成することができるので，プリンティング速度を向上させることができる。
【００１８】
上記多機能構造体は，上記ヒータと対向するように突出して形成され，リストリクタとしての役割を実行する第１の突出部と，上記インク流路の二つの壁と対向するように突出して形成され，フィルタとしての役割を実行する第２の突出部および第３の突出部とが一体に形成されてもよい。
【００１９】
本発明によれば，第１の突出部，第２の突出部および第３の突出部を有する多機能構造体をインク流路に設けることによって，多様な形態の汚染物質をフィルタリングするとともに，生成されたバブルがイングビア側に膨脹および漏出することを防止してインクのリフィル時間を短縮させることにより，プリンティング速度を向上させることができる。
【００２０】
上記インク流路には，上記インクビアからインクが流入される部位にリストリクタ流路部が形成されてもよい。
【００２１】
上記多機能構造体は，上記インク流路の上記リストリクタ流路部内に形成されてもよい。
【００２２】
上記リストリクタ流路部を形成する二つの壁は，上記インク流路側から上記インクビア側に向けて広くなるようにテーパ状に形成されてもよい。
【００２３】
上記リストリクタ流路部を形成する二つの壁は，上記インク流路を形成する二つの壁に対して段差を有するように形成されてもよい。
【００２４】
上記第１の突出部は，上記ヒータの上部面に対して垂直方向に形成されてもよい。上記第１の突出部は，上記ヒータにより形成されるバブルを上記インクビア側に漏出することを防止することができる。
【００２５】
上記第１の突出部と上記ヒータとの間の間隔は，１〜４０μm以内であってよい。
【００２６】
上記第１の突出部は，上記第１の突出部が位置する上記リストリクタ流路部の幅に対して２／３以内の幅を有するように形成されてもよい。上記第１の突出部は，上記インクチャンバから生成されたバブルを上記インクビア側に漏出することを防止することができる。
【００２７】
上記第２の突出部および上記第３の突出部には，少なくとも一つの折曲部を対称に具備できる。上記少なくとも一つの折曲部によって，上記第２の突出部および上記第３の突出部は，針状の異物をフィルタリングすることができる。
【００２８】
上記第２の突出部および上記第３の突出部の幅が少なくとも５μm以上の幅を有するように形成されてもよい。
【００２９】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，上記リストリクタ流路部の幅に対して１／２以内の幅を有するように形成できる。
【００３０】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，対称に形成されてもよい。
【００３１】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，非対称に形成されてもよい。
【００３２】
上記多機能構造体は，上記ヒータと対向するように突出して形成され，リストリクタとしての役割を実行する第１の突出部と，上記第１の突出部より低い高さを有する第２の突出部および第３の突出部とが一体に形成される構造体であってよい。
【００３３】
上記インク流路は，上記インクビアからインクが流入される位置にリストリクタ流路部を具備し，上記第１の突出部は，上記リストリクタ流路部内に位置することができる。
【００３４】
上記リストリクタ流路部を形成する二つの壁は，上記インク流路側から上記インクビア側に向かって広くなるようにテーパ状に形成されてもよい。
【００３５】
上記リストリクタ流路部を形成する上記二つの壁は，上記インク流路を形成する二つの壁に対して，高さ差を有するように形成されてもよい。
【００３６】
上記第１の突出部の幅が上記リストリクタ流路部の幅の２／３より狭く形成されてもよい。上記第１の突出部は，上記インクチャンバから発生したバブルを上記インクビアに向かって漏洩することを防止することができる。
【００３７】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，上記リストリクタ流路部の幅と比較して各々の幅が半分以下であってよい。
【００３８】
上記第１の突出部は，上記ヒータの上面に対して垂直方向に形成されてもよい。上記第１の突出部は，上記ヒータにより発生したバブルを上記インクビアに向かって漏洩することを防止することができる。
【００３９】
上記第１の突出部と上記ヒータとの間の間隔は，１〜４０μmであってよい。
【００４０】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，少なくとも一つの折曲部が対称に形成される構造であってよい。上記少なくとも一つの折曲部によって，上記第２の突出部および上記第３の突出部は，針状の異物をフィルタリングすることができる。
【００４１】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，少なくとも５μm以上の幅を有するように形成されてもよい。
【００４２】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，対称構造に形成されてもよい。
【００４３】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，非対称構造に形成されてもよい。
【００４４】
上記第２の突出部および上記第３の突出部と上記第１の突出部との高さの差は，少なくとも４μm以上であってよい。
【００４５】
上記多機能構造体は，ポリマー系列のプレートで構成され，上記チャンバ層に熱圧着方式により固定されてもよい。
【００４６】
上記多機能構造体は，マイクロモールドで構成されてもよい。
【００４７】
上記課題を解決するために，本発明の第２の観点によれば，インクビアと，インクチャンバと，上記インクビアと上記インクチャンバを連結するインク流路と，上記インクチャンバに含まれて，インクを加熱する発熱抵抗体とを有するチャンバ層と，上記インクチャンバに対応するように配置されるノズルを含むノズル層と，フィルタと，上記フィルタと一体で形成されるリストリクタとを具備するインクジェットプリントヘッドが提供される。上記フィルタは，上記インクチャンバにリフィル(ｒｅｆｉｌｌ)されるインクをフィルタリングすることができ，上記リストリクタは，上記発熱低抗体により生成されたバブルを制御することができる。
【００４８】
上記リストリクタは，上記インクチャンバと対向するように突出して形成される第１の突出部を含み，上記フィルタは，上記インク流路の二つの壁と対向するように各々突出して形成される第２の突出部および第３の突出部を含むことができる。
【００４９】
上記第１の突出部が形成される位置における上記インク流路の対向する二つの壁は，上記インクチャンバに向かって対してテーパ状に形成されてもよい。
【００５０】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，少なくとも一つの折曲部を具備することができる。上記少なくとも一つの折曲部によって，上記第２の突出部および上記第３の突出部は，各々インク流路の内側から針状の汚染物をフィルタリングすることができる。
【００５１】
上記第１の突出部は，上記発熱抵抗体に対して１〜４０μm範囲の間隔をおいて形成され，上記第１の突出部の幅は，上記第１の突出部が位置する上記二つのテーパ状に形成された壁の幅の２／３以下の幅であってよい。
【００５２】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，上記第１の突出部より低い高さを有することができる。
【００５３】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，各々対称に形成されてもよい。
【００５４】
上記課題を解決するために，本発明の第３の観点によれば，インクビアと，インクチャンバと，上記インクビアと上記インクチャンバを連結するインク流路と，上記インクチャンバに含まれてインクを加熱する発熱抵抗体とを有するチャンバ層と，上記インクチャンバに対応するように配置されるノズルを含むノズル層と，上記インク流路から上記インクビア側に延長された二つの壁の間のインク流路内に形成されたバルブとを具備するインクジェットプリントヘッドが提供される。上記バルブは，上記発熱抵抗体により発生したバブルを制御することができ，上記インクチャンバに流入されるリフィルインクをフィルタリングすることができる。
【００５５】
上記バルブは，上記インクチャンバに対向するように突出して形成される第１の突出部と，各々が上記インク流路の二つの壁に対向するように形成される第２の突出部と第３の突出部とを含むことができる。
【００５６】
上記第１の突出部が形成される位置における上記インク流路の対向する二つの壁は，上記インクチャンバに向かってテーパ状に形成されてもよい。
【００５７】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，少なくとも一つの折曲部を具備することができる。上記少なくとも一つの折曲部によって，上記第２の突出部および上記第３の突出部は，各々インク流路の内側から針状の汚染物をフィルタリングすることができる。
【００５８】
上記第１の突出部は，上記発熱抵抗体に対して１〜４０μm範囲の間隔をおいて形成され，上記第１の突出部の幅は，上記第１の突出部が位置する上記二つのテーパ状に形成された壁の幅の２／３以下の幅に形成されてもよい。
【００５９】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，上記第１の突出部より低い高さを有することができる。
【００６０】
上記第２の突出部および上記第３の突出部は，各々対称に形成されてもよい。
【００６１】
インクビアからインク流路を通じてインクチャンバにインクを供給する過程と，発熱するヒータを制御する過程と，熱によりバブルを生成するためにヒータを加熱する過程と，インクチャンバからインクビアに向かって上記バブルが漏洩されることを多機能構造物の第１の突出部により防止するとともに，上記多機能構造物の第２の突出部および第３の突出部に供給されるインクをフィルタリングする過程と，上記バブルの膨張力を利用してインク液滴を吐出する過程とを含むインクジェットプリントヘッドの作動方法が提供される。
【００６２】
上記フィルタリング過程は，上記第２の突出部と上記第３の突出部の各々に対称に具備される少なくとも一つの折曲部により針状の汚染物をフィルタリングする過程をさらに含むことができる。
【００６３】
上記バブルの流速を利用して上記インク流路内の流路を塞いでいる汚染物質を除去する過程をさらに含むことができる。
【発明の効果】
【００６４】
以上説明したように本発明によれば，インクジェットプリントヘッドは，リストリクタとフィルタとしての役割を実行する多機能構造体をインク流路内に形成することにより，ヒータ中心とイングビアとの間の距離を短く形成することができので，駆動周波数特性を向上させることができるので，プリンティング速度を向上することができる。また，多様な形態の異物をフィルタリングするとともに，バブルの膨脹を阻んでリフィル時間を短縮させることにより，高性能，高駆動周波数を具現することができるので，プリンティング速度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６５】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００６６】
以下に添付図面を参照しながら，本発明に係る好適な実施形態について詳細に説明する。
【００６７】
第１の実施の形態
図２Ａは，本発明の第１の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの一部分を拡大した垂直断面図であり，図２Ｂは，本発明の第１の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドからノズル層を分離した状態を示す平面図である。
【００６８】
図２Ａおよび図２Ｂに示すように，基板上に複数の薄膜層が形成されたチャンバ層(ａ)には，インクビア２とインクチャンバ３とが形成され，インクビア２とインクチャンバ３は，インク流路４により連結される。インクチャンバ３には，発熱抵抗体であるヒータ５が含まれ，チャンバ層(ａ)は，ヒータ５に電流を供給するための回路部(図示せず)をさらに含む。ノズル層(ｂ)には，インクチャンバ３と対応するように形成されるノズル６が形成される。ここで，ノズル６は，発熱抵抗体５から生成されるバブルによりインクが吐出されるように，発熱抵抗体５の直上部に位置するように配置されてもよい。
【００６９】
図２Ｂによれば，インク流路４は，インクチャンバ３からインクビア２まで延長されて対向する二つの壁の間に形成され，そのインク流路４には，フィルタとしての役割とリストリクタとしての役割をともに実行する多機能構造体７が具備される。このような多機能構造体７がインク流路４内に形成される位置について詳しく説明すれば，インク流路４において，インクビア２からインクが流入される部位をリストリクタ流路部４１と定義する場合，多機能構造体７は，そのリストリクタ流路部４１内に形成される。
【００７０】
多機能構造体７は，ヒータ５と対向するように突出して形成され，リストリクタとしての役割を実行する第１の突出部７１と，リストリクタ流路部４１の二つの壁と対向するように突出して形成されるフィルタとしての役割を実行する第２の突出物８１および第３の突出部９１とが一体に形成された構造体である。ここで，第１の突出物７１は，ヒータ５に向かって突き出されて形成され，第２の突出物８１および第３の突出物９１は，インク流路４を形成する二つの壁に向かって突き出されて形成されてもよい。第１の突出部７１は，ヒータ５により生成されるバブルが膨脹することを阻むことができるようにヒータ５と最大限近接するように形成され，ヒータ５の上面に対して垂直に形成される。
【００７１】
そして，リストリクタ流路部４１を形成する二つの壁は，インク流路４側からインクビア２側に向かって広くなるようにテーパ状に形成されてもよい。言い換えると，第１の突出部７１が形成される位置におけるインク流路４の対向する二つの壁は，インクチャンバ３に対してテーパ状に形成されてもよい。このようなリストリクタ流路部４１の二つの壁と第２の突出部８１および第３の突出部９１の間には，インク流入経路が形成される。さらに，第２の突出部８１および第３の突出部９１には，長い槍または棒のような針状の汚染物質をフィルタリングするための折曲部８１１，折曲部９１１，例えば，一回以上折れる形態の折曲部８１１，折曲部９１１が対称に形成される。ここで，多機能構造体７は，バルブであってもよい。
【００７２】
ここで，インクジェットプリントヘッド１の駆動周波数(１ｓｅｃ当たりｄｒｏｐ数)は，インクのリフィルタイム，即ち，ノズル６を通じてインクを吐出した後に新しいインクがインクチャンバ３に再充填される時間に相応して変わる。このようなリフィルタイムは，ノズル６とインクチャンバ３およびリストリクタ流路部４１の流動抵抗によってその値が異なる。ここで，駆動周波数とは，一つのノズルから１秒間に噴射されるインクドロップの噴射回数のことである。例えば，駆動周波数が２２ｋｈｚの場合，１秒間に２２００回のインクドロップが一つのノズルから噴出される。
【００７３】
図７は，(リストリクタ流路部＋インクチャンバ)／(ノズル＋インクチャンバ)の流動抵抗比(Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ  Ｒａｔｉｏ)によるインクジェットプリントヘッド１のリフィルタイム(Ｒｅｆｉｌｌ  Ｔｉｍｅ)の数値解析結果を示す。
【００７４】
図７から分かるように，インクのリフィルタイムは，流動抵抗比が増加するほど，即ち，リストリクタ流路部４１の抵抗が増加するほど増加する。
【００７５】
したがって，多機能構造体７は，流動抵抗によるインクのリフィルタイムを考慮して第１の突出部７１と第２の突出部８１および第３の突出部９１の位置，サイズおよび長さを設計する必要がある。バブルがインクチャンバ３から漏出されることを防止するために，ヒータ５と第１の突出部７１との間の間隔(Ｇ)は，１μm〜４０μmの間隔を有するようにするとともに，第１の突出部７１の幅は，第１の突出部７１が位置したリストリクタ流路部４１の幅に対して２／３以下の幅を有するように構成されてもよい。第２の突出部８１および第３の突出部９１は，少なくとも５μm以上の幅を有するように構成し，インク流路４のリストリクタ流路部４１の幅に対して１/２以下の幅を有するように構成されてもよい。ここで，リストリクタ流路部４１の幅は，図２ＢのＷに相当する。かかる形状を有する多機能構造体７は，シミュレーション(ＦＬＯＷ−３Ｄ)を利用した数値解釈を実行した結果，インク吐出速度１５ｍ／ｓ，吐出液滴量４.４ｐｉｃｏ  ｌｉｔｅｒ，リフィルタイム４５μsの結果を得た。したがって，最初のリフィルタイムから駆動周波数を算出すれば，約２２ｋＨｚ(１ｓｅｃ当たり２２００ｄｒｏｐ)の駆動周波数を得ることができるので，通常的なカラーインクジェットプリンターの性能を向上することができる。
【００７６】
図３は，本発明の第１の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドにおいて，多機能構造体７の第１の突出部７１の作用状態を説明するための構成図である。
【００７７】
図３に示したように，多機能構造体７の第１の突出部７１は，ヒータ５に近傍の位置でヒータ５の上部面に対して垂直に形成されるので，インクチャンバ３から生成されたバブル(Ｂ)が膨脹することを阻んで，バブル(Ｂ)がインクビア２側に漏出されることを防止できる。これによって，第１の突出部７１は，生成されたバブル(Ｂ)をより速く弱化させることができ，これによって，速いインクのリフィルタイムを具現するとともに高い駆動周波数を具現することができる。即ち，第１の突出部７１により，バブル(Ｂ)が膨脹することを阻んでバブルを速く弱化することができるので，インクの吐出速度が増大されるとともに，インクのリフィルタイムも短縮できるので，インクを印刷媒体の正確な位置に液滴を吐出できることにより高画質の画像が得られ，プリンティング速度を向上することができる。
【００７８】
図４Ａおよび図４Ｂは，本発明の第１の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドにおいて，多機能構造体７の第２の突出部８１および第３の突出部９１の作用状態を説明するための構成図である。
【００７９】
図４Ａに示したように，多機能構造体７の第２の突出部８１および第３の突出部９１は，リストリクタ流路部４１の二つの壁の間にインク流入経路を形成することにより，ヒータ５の運用に影響を与える円形および不規則な形態の汚染物質(ｄ)を容易にフィルタリングすることができる。
【００８０】
図４Ｂに示したように，第２の突出部８１および第３の突出部９１には，折曲部８１１，折曲部９１１が形成されており，折曲部８１１，折曲部９１１の折曲面を利用して針状の汚染物質(ｄ)もフィルタリングすることができる。
【００８１】
このような第２の突出部８１および第３の突出部９１に含まれる折曲部８１１，折曲部９１１は，複数個に構成されてもよく，第２の突出部８１および第３の突出部９１は，対称構造または非対称構造に構成されてもよい。例えば，第２の突出部８１および第３の突出部９１は，左右対称に構成されてもよいし，非対称に構成されてもよい。
【００８２】
特に，本発明の実施形態に係る多機能構造体７には，第２の突出部８１および第３の突出部９１が，バブルを生成するインクチャンバ３と近接する位置に形成されることにより，第２の突出部８１および第３の突出部９１により形成されるインク流入経路を異物が塞いでもバブルの速い流速により自力で汚染物質を除去できる長所がある。このように，第２の突出部８１および第３の突出部９１により形成されるインク流入経路では，バブルの最大流動速度が１μsから約１２ｍ／ｓまで達する。これは，インクジェットプリントヘッドとカートリッジのパッケージング工程のうちに発生する汚染物質までも充分に除去できる速度である。つまり，バブルの膨張力が第１の突出部７１まで及ぶと，第１の突出部７１によってバブルの膨張力を減少させるが，このバブルは，速い流速を有しているので，第２の突出部８１および第３の突出部９１により形成されるインク流入経路を異物が塞いでも汚染物質を除去できる。
【００８３】
一方，上述の本発明の実施形態に係る多機能構造体７は，半導体工程またはＭＥＭＳ(Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ)工程を利用して製造することができる。
【００８４】
半導体工程では，エキシマレーザーを利用してポリマー系列の薄い(５０μm以下)プレートを加工して多機能構造体７をプレート上に形成した後，形成された多機能構造体プレートを熱圧着方式により基板(シリコンウェハ)，例えば，チャンバ層を製造する基板に固定する。
【００８５】
ＭＥＭＳ工程を利用して製造される多機能構造体７には，マイクロモールドを形成してインクジェットプリントヘッドのチャンバ層とノズル層を形成する技法を適用することができる。
【００８６】
したがって，本発明の実施形態に係るインクジェットプリントヘッド１は，リストリクタとフィルタとの役割を担う多機能構造体７をヒータ５の近接部位に位置させて，既存のフィルタが設置される部位までインクビア２を形成することができるので，ヒータ５の中心からインクビア２の先端までの距離(ＳＨ)を減らすことができることにより，高い駆動周波数を具現することができ，多機能構造体７の形状が単純化されることにより，製造工程作業も容易に実行できる。
【００８７】
また，多様な汚染物質のフィルタリングが可能であり，バブルがインクチャンバ３から押し出される現象を最小化することができるので，インクのリフィルを安定化させることができる。インクジェットプリントヘッドとカートリッジのパッケージング工程中またはカートリッジのフィルタおよびフォーム(ＦＯＡＭ)から発生する汚染物質を効果的にフィルタリングすることができるので，高い駆動周波数のインクジェットプリントヘッドを具現することができる。
【００８８】
第２の実施の形態
図５Ａは，本発明の第２の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの一部分を拡大した垂直断面図であり，図５Ｂは，図５ＡのＡ−Ａ'線に沿って切断した断面図であり，図５Ｃは，本発明の第２の実施形態係るインクジェットプリントヘッドからノズル層を分離した状態を示す平面図である。
【００８９】
図５Ａに示すように，本発明の第２の実施形態に係るインクジェットプリントヘッド１において，多機能構造体８の第２の突出部８２および第３の突出部９２が第１の突出部７２より低く形成される。即ち，リストリクタ流路部４２の流動抵抗を減らすように，第２の突出部８２および第３の突出部９２をインク流路４の高さより低く形成する。図５Ｂによれば，そして，リストリクタ流路部４２を形成する二つの壁は，インク流路４側からインクビア２側に向かって広くなるようにテーパ状に形成し，特に，インク流路４を形成する二つの壁に対して段差部１０を有する形態に形成することができる。言い換えると，第１の突出部７２が形成される位置におけるインク流路４の対向する二つの壁は，インクチャンバ３に対してテーパ状に形成されてもよい。このようなリストリクタ流路部４２の構造は，本発明の第１の実施形態に適用することができ，第２の実施形態のリストリクタ流路部４２の形態を第１の実施形態に適用することもできる。
【００９０】
図５Ｂに示すように，第１の突出部７２は，バブルの膨脹抑制作用を強化するためにリストリクタ流路部４２の内部に位置する。このような第１の突出部７２は，バブル(Ｂ)がインクチャンバ３から漏出されることを防止するためにヒータ５の上面に対して垂直構造を有する。また，インクのリフィルタイムを考慮して第１の突出部７２とヒータ５との間隔(Ｇ)は，１μm〜４０μmの間隔を有するように形成されるとともに，第１の突出部７２の幅を第１の突出部７２が形成されたリストリクタ流路部４２の幅に対して２／３以下であるように構成することができる。したがって，第１の突出部７２は，生成されたバブル(Ｂ)を一層速く弱化させることができるので，速いインクのリフィルタイムを具現するとともに高い駆動周波数を具現することができる。
【００９１】
また，図５Ａまたは図５Ｃを参照すれば，第２の突出部８２および第３の突出部９２は，第１の突出部７２に対して，４μm以上高さ差を有するように形成される。このような第２の突出部８２および第３の突出部９２に，本発明の第１の実施形態のように針状の異物をフィルタリングするための折曲部８２２，折曲部９２２が対称に形成される。そして，第２の突出部８２および第３の突出部９２の幅は，少なくとも５μm以上の幅を有し，リストリクタ流路部４２の幅に対して１／２以下の幅を有するように形成されてもよい。
【００９２】
図６Ａおよび図６Ｂは，本発明の第２の実施形態に係るインクジェットプリントヘッド１において，多機能構造体８の第２の突出部８２および第３の突出部９２の作用状態を説明するための構成図である。
【００９３】
図６Ａに示すように，多機能構造体８の第２の突出部８２および第３の突出部９２は，インク流路４のリストリクタ流路部４２の両側壁の間にインク流入経路を形成することにより，ヒータ５の運用に影響を与える円形および不規則な形態の汚染物質(ｄ)を容易にフィルタリングすることができる。
【００９４】
図６Ｂに示すように，第２の突出部８２および第３の突出部９２には，折曲部８２２，折曲部９２２が形成されており，折曲部８２２，折曲部９２２の折曲面を利用して針状の汚染物質(ｄ)もフィルタリングすることができる。
【００９５】
このような第２の突出部８２および第３の突出部９２に形成される折曲部８２２，折曲部９２２は，複数個に構成されても良く，第２の突出部８２および第３の突出部９２は，対称構造または非対称構造に構成されてもよい。例えば，第２の突出部８２および第３の突出部９２は，左右対称に構成されてもよいし，非対称に構成されてもよい。
【００９６】
特に，本発明の実施形態に係る多機能構造体８には，第２の突出部８２および第３の突出部９２が，バブルを生成するインクチャンバ３と近接する位置に形成されることにより，第２の突出部８２および第３の突出部９２により形成されるインク流入経路を汚染物質が塞いでもバブルの速い流速により自力で異物を除去できる長所がある。このように，第２の突出部８２および第３の突出部９２により形成されるインク流入経路では，バブルの最大流動速度が本発明の第１の実施形態より速い１μsから約２８ｍ／ｓまで達することにより，インクジェットプリントヘッドとカートリッジのパッケージング工程中に発生する汚染物質までも充分に除去することができる。つまり，バブルの膨張力が第１の突出部７２まで及ぶと，第１の突出部７２によってバブルの膨張力を減少させるが，このバブルは，速い流速を有しているので，第２の突出部８２および第３の突出部９２により形成されるインク流入経路を異物が塞いでも汚染物質を除去できる。
【００９７】
一方，多機能構造体８は，半導体工程またはＭＥＭＳ(Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ)工程を利用して製造することができる。
【００９８】
半導体工程は，エキシマレーザーを利用してポリマー系列の薄い(５０μm以下)プレートを加工して多機能構造体８をプレート上に形成した後，形成された多機能構造体プレートを熱圧着工程を利用して基板(シリコンウェハ)，例えば，チャンバ層を製造する基板に固定することにより製造することができる。
【００９９】
ＭＥＭＳ工程を利用して製造される多機能構造体８には，マイクロモールドを形成してインクジェットプリントヘッドのチャンバ層とノズル層を形成する技法を適用することができる。即ち，第２の実施形態の多機能構造体８は，段差を形成するために第２の突出部８２および第３の突出部９２の高さで形成した後，その上に第１の突出部７２を積層する方法により製造できる。
【０１００】
したがって，本発明の第２の実施形態に係るインクジェットプリントヘッド１は，多機能構造体８の第１の突出部７２をリストリクタ流路部４２内に形成し，バブルの膨脹を阻むリストリクタ機能を強化することができる。また，第２の突出部８２および第３の突出部９２は，リストリクタ流路部４２の流動抵抗を減らすためにインク流路４の高さより低く形成することにより，結果的に，インクの流動抵抗比を減らすことができるので，インクのリフィルタイムを短縮することができる。
【０１０１】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１Ａ】汚染物質をフィルタリングできる従来のインクジェットプリントヘッドの一例を示す断面図である。
【図１Ｂ】汚染物質をフィルタリングできる従来のインクジェットプリントヘッドの他例を示した図として，チャンバ層からノズル層を分離した状態を示す平面図である。
【図２Ａ】本発明の第１の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの一部分を拡大した垂直断面図である。
【図２Ｂ】本発明の第１の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドからノズル層を分離した状態を示す平面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドにおいて，多機能構造体の第１の突出部の作用状態を説明するための構成図である。
【図４Ａ】本発明の第１の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドにおいて，多機能構造体の第２の突出部および第３の突出部の作用状態を説明するための構成図である。
【図４Ｂ】本発明の第１の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドにおいて，多機能構造体の第２の突出部および第３の突出部の作用状態を説明するための構成図である。
【図５Ａ】本発明の第２の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドの一部分を拡大した垂直断面図である。
【図５Ｂ】図５ＡのＡ−Ａ'線に沿って切断した断面図である。
【図５Ｃ】本発明の第２の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドからノズル層を分離した状態を示す平面図である。
【図６Ａ】本発明の第２の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドにおいて，多機能構造体の第２の突出部および第３の突出部の作用状態を説明するための構成図である。
【図６Ｂ】本発明の第２の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドにおいて，多機能構造体の第２の突出部および第３の突出部の作用状態を説明するための構成図である。
【図７】本発明の実施形態に係るインクジェットプリントヘッドにおける流動抵抗比とインクのリフィルタイムとの関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【０１０３】
１      インクジェットプリントヘッド
２      インクビア
３      インクチャンバ
４      インク流路
５      ヒータ
６      ノズル
７，８      多機能構造体
４１，４２      リストリクタ流路部
７１，７２      第１の突出部
８１，８２      第２の突出部
９１，９２      第３の突出部
８１１，８２２，９１１，９２２      折曲部
１０      段差部
ａ      チャンバ層
ｂ      ノズル層
ｄ      汚染物質
Ｂ      バブル
【図１Ａ】
2005335387.tif 000003
【図１Ｂ】
2005335387.tif 000004
【図２Ａ】
2005335387.tif 000005
【図２Ｂ】
2005335387.tif 000006
【図３】
2005335387.tif 000007
【図４Ａ】
2005335387.tif 000008
【図４Ｂ】
2005335387.tif 000009
【図５Ａ】
2005335387.tif 000010
【図５Ｂ】
2005335387.tif 000011
【図５Ｃ】
2005335387.tif 000012
【図６Ａ】
2005335387.tif 000013
【図６Ｂ】
2005335387.tif 000014
【図７】
2005335387.tif 000015