(57)【要約】【課題】先行の走行台車の搬出入処理による後続の走行台車の停滞状態が発生することを抑制し、保管手段に対する搬出入処理能力の向上を図る。【解決手段】複数の物品２０を収納可能な保管手段１４と、保管手段１４に搬入又は搬出される物品２０を搭載して搬送する複数の走行台車１３と、走行台車１３が走行移動可能な閉ループの軌道を形成する主走行路１２と、主走行路１２から分岐して保管手段１４近傍を通過するとともに主走行路１２に合流する分岐走行路１７と、主走行路１２及び分岐走行路１７に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともに保管手段１４にそれぞれ連結され、走行台車１３で搬送された物品２０が載置されて当該物品２０を保管手段１４に搬入する搬入手段１８と、主走行路１２及び分岐走行路１７に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともに保管手段１４にそれぞれ連結され、走行台車１３に搭載可能な位置まで保管手段１４から物品２０を搬出する搬出手段１９とを備える。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の物品を収納可能で１つ以上配置される保管手段と、
前記保管手段に搬入又は搬出される物品を搭載して搬送する複数の走行台車と、
前記走行台車が走行移動可能であって、少なくとも１つの閉ループの軌道を形成する主走行路と、
前記走行台車が走行移動可能であって、前記主走行路から分岐して前記保管手段近傍を通過するとともに前記主走行路に合流する分岐走行路と、
前記主走行路及び前記分岐走行路に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともに前記保管手段にそれぞれ連結され、前記走行台車で搬送された物品が載置されて当該物品を前記保管手段に搬入する搬入手段と、
前記主走行路及び前記分岐走行路に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともに前記保管手段にそれぞれ連結され、前記走行台車に搭載可能な位置まで前記保管手段から物品を搬出する搬出手段と、
を備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記１つ以上の搬入手段及び前記１つ以上の搬出手段は、いずれも互いに重なり合うことなく隣接して設けられ、前記搬入手段及び前記搬出手段が隣接して設置される間隔は、少なくとも前記走行台車の走行方向の長さ以上であることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
物品が搬入又は搬出される際、前記主走行路に対応して設けられた搬入手段又は搬出手段を介してよりも、前記分岐走行路に対応して設けられた搬入手段又は搬出手段を介して優先的に搬入又は搬出が行われるように、前記保管手段に物品を搬入又は前記保管手段から物品を搬出する搬入手段又は搬出手段を選択する搬出入選択手段を更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は複数の物品を収納可能な保管手段と、この保管手段に搬入又は搬出される物品を搭載して搬送する複数の走行台車と、この走行台車が走行して移動する走行路とを備える搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、複数の物品を収納可能な保管手段と、この保管手段に搬入又は搬出される物品を搭載して搬送する複数の走行台車と、この走行台車が走行して移動する走行路とを備える搬送システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。下記特許文献１に記載された搬送システムは、半導体処理工程間で半導体ウェハを搬送するためのものであり、閉ループを形成する本線（走行路）と、本線から分岐して対応するストッカ（保管手段）の近傍を通って再び本線に合流する側線（走行路）と、本線と側線との間で進路を切り替える切替手段とを備えたものである。そして、所定の搬送車（走行台車）を所定の側線に誘導することで対応するストッカに対して移載作業（搬出入作業）を行い、当該ストッカでの移載作業と関係のない搬送車については、側線へと誘導することなく本線上をそのまま進行させるものである。これにより、先行搬送車の移載作業による後続搬送車の停滞状態を抑制し、搬送システムの稼働率向上を図ることを目的としている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−１６９８４号公報（第３−４頁、第１図、第３図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１に記載の搬送システムにおいては、１つの保管手段（ストッカ）に対して複数の走行台車（搬送車）との間で搬出入処理を行う必要がある場合、順次１台ずつしか搬出入処理を行うことができず、後続の走行台車は先行の走行台車の処理が完了するまで停滞した状態となる。
【０００５】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、先行の走行台車の搬出入処理による後続の走行台車の停滞状態が発生することを抑制し、保管手段に対する搬出入処理能力の向上を図ることができる搬送システムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の搬送システムは、複数の物品を収納可能で１つ以上配置される保管手段と、前記保管手段に搬入又は搬出される物品を搭載して搬送する複数の走行台車と、前記走行台車が走行移動可能であって、少なくとも１つの閉ループの軌道を形成する主走行路と、前記走行台車が走行移動可能であって、前記主走行路から分岐して前記保管手段近傍を通過するとともに前記主走行路に合流する分岐走行路と、前記主走行路及び前記分岐走行路に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともに前記保管手段にそれぞれ連結され、前記走行台車で搬送された物品が載置されて当該物品を前記保管手段に搬入する搬入手段と、前記主走行路及び前記分岐走行路に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともに前記保管手段にそれぞれ連結され、前記走行台車に搭載可能な位置まで前記保管手段から物品を搬出する搬出手段と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
この構成によると、主走行路及び分岐走行路にそれぞれ対応する搬入手段及び搬出手段から物品の搬出入処理を行うことができる。このため、主走行路を走行する走行台車と分岐走行路を走行する走行台車とから、干渉することなく別々に同一の保管手段に対して搬出入処理を行うことができる。また、主走行路及び分岐走行路それぞれに搬入手段及び搬出手段がそれぞれ１つ以上対応して設けられているため、同一の走行路から同一の保管手段に対して搬入処理と搬出処理とを同時に行うことができる。したがって、先行の走行台車の搬出入処理による後続の走行台車の停滞状態が発生することを抑制し、保管手段に対する搬出入処理能力の向上を図ることができる。
【０００８】
請求項２に記載の搬送システムは、請求項１において、前記１つ以上の搬入手段及び前記１つ以上の搬出手段は、いずれも互いに重なり合うことなく隣接して設けられ、前記搬入手段及び前記搬出手段が隣接して設置される間隔は、少なくとも前記走行台車の走行方向の長さ以上であることを特徴とする。
【０００９】
この構成によると、各搬出入手段の間で干渉が生じることもなく効率よく各搬出入手段を配置することができる。また、同一の保管手段に対して複数の走行台車との間で搬出入処理が行われる場合に、走行台車間での干渉が発生することもない。
【００１０】
請求項３に記載の搬送システムは、請求項１又は２において、物品が搬入又は搬出される際、前記主走行路に対応して設けられた搬入手段又は搬出手段を介してよりも、前記分岐走行路に対応して設けられた搬入手段又は搬出手段を介して優先的に搬入又は搬出が行われるように、前記保管手段に物品を搬入又は前記保管手段から物品を搬出する搬入手段又は搬出手段を選択する搬出入選択手段を更に備えることを特徴とする。
【００１１】
この構成によると、主走行路に対応する搬出入手段よりも分岐走行路に対応する搬出入手段を介して優先的に搬出入処理が行われるため、主走行路が停滞状態になることを抑制することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００１３】
（第１実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態に係る搬送システムが適用される工場の概略について説明する。図１は、第１実施形態に係る搬送システム１が適用された工場１００を例示したレイアウト図である。この工場１００は、例えば、半導体処理工場であって、複数の半導体製造装置１５をそれぞれ備えるベイ１６（半導体処理工程を構成する点線で囲んだ領域）が複数備えられて構成されている。ベイ１６内の各半導体製造装置１５は、工程内軌道（主走行路）１２で連結されており、各工程内軌道１２は、分岐軌道１０を介して工程間軌道１１に連結されている。工程内軌道１２、工程間軌道１１、分岐軌道１０は、半導体（物品）を搬送する複数の走行台車１３が走行可能な走行路となっており、これらの走行路（１０、１１、１２）は工場の上方（天井側）に設置され、半導体が各走行台車１３に吊り下げられるように搭載されて搬送される。即ち、この工場には、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒ  Ｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）搬送システムが適用されている。また、半導体は、例えば、一般的にＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）と呼ばれるカセット（収納容器）内に複数枚収納された半導体ウェハであって、カセット単位で搬送される。そして、各半導体製造装置１５内で所定の処理が施されていく。
【００１４】
また、ベイ１６には、工程間（各ベイ１６間）と工程内（各ベイ１６内）とのインターフェースや、バッファーの目的で、複数のＦＯＵＰ（半導体ウェハを収納したＦＯＵＰ）２０を収納するストッカ（保管手段）１４が配置されている。ストッカ１４は、工程内軌道１２に連結されており、走行台車１３によって搬送されるＦＯＵＰ２０が搬入又は搬出される。なお、走行台車１３は、各軌道（１０、１１、１２）を一方向に走行してＦＯＵＰ２０を搬送し、ストッカ１４、半導体製造装置１５との間でＦＯＵＰ２０の受け渡しを行う。
【００１５】
以下、第１実施形態に係る搬送システム１について詳しく説明する。なお、当該搬送システム１は、ベイ１６単位で適用されているものとして捉えることもでき、また、工場１００全体として搬送システム１が適用されているものとして捉えることもできる。
【００１６】
図２は搬送システム１の要部を拡大して示す平面図であり、図３はそのＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面図である。図２及び図３に示すように、搬送システム１は、ストッカ１４、走行台車１３、主走行路１２、分岐走行路１７、搬入装置１８、搬出装置１９、を備えている。
【００１７】
ストッカ１４は複数のＦＯＵＰ２０（半導体ウェハが収納されたＦＯＵＰ（物品））を収納可能な保管手段であって、搬送システム１につき１つ又は複数配置される。各ベイ１６に適用されている各搬送システム１においては、ストッカ１４が１つずつ配置されており、この各ストッカ１４に対して、ＦＯＵＰ２０の搬出入が行われる。ストッカ１４は、必ずしも、各ベイ１６に１つずつ備えられているものでなくてもよい。ストッカ１４内では、図示しないクレーンによってＦＯＵＰ２０の移動が行われ、各棚２３に収納される（図１参照）。なお、ストッカ１４の設置数は、少ないことが望まれるが、設置数が少ない程、ストッカ１台当たりの稼働率向上が要求されることになる。即ち、ストッカ１台当たりの単位時間当たりのＦＯＵＰ２０の搬出入可能回数をより増やすことが求められることになる。
【００１８】
走行台車１３は、ストッカ１４に搬入又は搬出されるＦＯＵＰ２０を搭載して搬送する。走行台車１３は、複数備えられており、工程間軌道１１及び各工程内軌道（主走行路）１２を移動して走行可能となっている。即ち、工場１００においては、複数のベイ１６にて、複数の走行台車１３が共有されるものとして構成されている。
【００１９】
主走行路１２は、工程内軌道１２によって構成されており、例えば、工場の天井から吊り下げられるようにして取り付けられている（図３参照）。そして、主走行路１２は、走行台車１３が走行移動可能であって、少なくとも１つの閉ループの軌道を形成している（図１では、各ベイ１６に１つの閉ループ軌道が形成されている場合を例示している）。走行台車１３は、主走行路１２に対して吊り下げられるようにして走行自在に支持される。
【００２０】
分岐走行路１７は、主走行路１２と同様に工場の天井から吊り下げられるようにして取り付けられており、主走行路１２から分岐してストッカ１４近傍を通過するとともに再び主走行路１２に合流している。そして、主走行路１２を走行する走行台車１３が主走行路１２と同様に走行移動可能となっている。分岐走行路１７が主走行路１２から分岐する分岐点には、走行路切換装置２４が設けられている。これにより、主走行路１２を走行してきた走行台車１３がそのまま主走行路１２を直進して走行するか、又は分岐走行路１７へと移動して走行するかを選択して切り換えることができるようになっている。なお、分岐走行路１７は、主走行路１２と同一の水平面内を走行するように設けられているが、必ずしもこのとおりでなくてもよく、主走行路１２が走行する水平面よりも上方或いは下方を走行するように設けられているものであってもよい。
【００２１】
搬入装置（搬入手段）１８は、主走行路１２及び分岐走行路１７に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともにストッカ１４にそれぞれ連結されている。図２の例では、分岐走行路１７に対応して搬入装置１８ａが、主走行路１２に対応して搬入装置１８ｂが、それぞれ設けられている場合を示している。そして、走行台車１３で搬送されたＦＯＵＰ２０が搬入装置１８に載置され、載置されたＦＯＵＰ２０が、この搬入装置１８によってストッカ１４に搬入される。即ち、搬入装置１８は、ＦＯＵＰ２０をストッカ１４に搬入する際の搬入ポートとしての機能を果たすものである。
【００２２】
走行台車１３から搬入装置１８に対してＦＯＵＰ２０を載置（移載）する場合は、まず、走行台車１３が搬入装置１８の直上まで移動してきて停止する。そして、走行台車１３の把持機構（図示せず）に保持されたＦＯＵＰ２０を降下させる。そして、ＦＯＵＰ２０の底面が搬入装置１８に接触したことを把持機構に装着されたセンサー（図示せず）で検知し、把持機構に保持されたＦＯＵＰを開放して、搬入装置１８への載置動作を完了する。載置動作が完了すると、把持機構は最上部まで巻き上げられ、走行台車１３が走行可能な状態となる。
【００２３】
搬出装置（搬出手段）１９は、主走行路１２及び分岐走行路１７に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともにストッカ１４にそれぞれ連結されている。図２の例では、分岐走行路１７に対応して搬出装置１９ａが、主走行路１２に対応して搬出装置１９ｂが、それぞれ設けられている場合を例示している。そして、走行台車１３に搭載可能な位置までストッカ１４からＦＯＵＰ２０を搬出する。即ち、搬出装置１９は、ＦＯＵＰ２０をストッカ１４から搬出する際の搬出ポートとしての機能を果たすものである。
【００２４】
搬出装置１９から走行台車１３にＦＯＵＰ２０を搭載（移載）する場合は、まず、走行台車１３が、搬出装置１９の直上まで移動してきて停止する。そして、走行台車１３で搭載可能な位置まで搬送装置１９によって移動されたＦＯＵＰ２０を、走行台車１３の把持機構が降下して保持して巻き上げられることで、走行台車１３への搭載動作が行われる。走行台車１３へのＦＯＵＰ２０の搭載動作が完了すると、走行台車１３は、走行を開始してＦＯＵＰ２０の搬送を行う。
【００２５】
各搬入装置（１８ａ、１８ｂ）及び各搬出装置（１９ａ、１９ｂ）は、図２に示すように、いずれも互いに重なり合うことなく隣接して設けられ、各搬出入装置（１８ａ、１８ｂ、１９ａ、１９ｂ）が隣接して設置される間隔（ピッチ）は、走行台車１３の走行方向の長さ以上に設定されている。即ち、各搬出入装置の幅Ｌは、各搬出入装置が設置されるピッチＷ以下の幅寸法となっており、また、ピッチＷは、走行台車１３の走行方向の長さＶ以上の長さ寸法となっている（図２参照）。
【００２６】
これにより、各搬出入装置の間で干渉が生じることもなく効率よく各搬出入装置を配置することができる。また、同一のストッカ１４に対して複数の走行台車１３との間で搬出入処理が行われる場合に、走行台車間の干渉が発生することもない。即ち、全ての搬出入装置（１８ａ、１８ｂ、１９ａ、１９ｂ）に同時に走行台車１３が停止して搬出入処理を行うことができる。
【００２７】
次に、搬入装置１８及び搬出装置１９の機構について、図４を参照しながら説明する。図４は、移載機構を含む同一の装置として構成される搬入装置１８及び搬出装置１９をＦＯＵＰ２０とともに示した斜視図である。ＦＯＵＰ２０には、走行台車１３で搬送される際に把持されるフランジ２１と、搬出入装置（１８、１９）に載置時に底面となる底板２２とが設けられている。底板２２には、後述のキネマティックピンと嵌合する嵌合穴が設けられている。キネマティックピンは、３個で１組の位置合わせピンであり、嵌合穴は、２組のキネマティックピンに対応して、内側と外側にそれぞれ１組ずつ設けられている。
【００２８】
搬出入装置（１８、１９）は、ポートテーブル２５、搬送テーブル２６を備えており、走行台車１３から移載されるＦＯＵＰ２０は、搬送テーブル２６の表面に設けられた内側の組のキネマティックピン３８によって位置合わせされて支持される。搬送テーブル２６は、テーブル軸２８とカム機構２９とを介してサポート軸３５に固定されている。サポート軸３５の両端はリニアスライダ３４に支持されており、サポート軸３５はさらにその一端をベルト３１に固定されている。ベルト３１は、プーリ３２、３２に取り付けられ、プーリ３２はベルト駆動モータ３３により駆動される。これにより、リニアスライダ３４はベルト３１の正逆回転運動に連動して、前後方向（図中矢印Ａ方向）に往復動を行う。そして、サポート軸３５に固定されているテーブル軸２８と一体となっている搬送テーブル２６もサポート軸３５とともにポートテーブル２５上をガイド溝２７に沿って前後方向に往復動を行う。
【００２９】
また、搬送テーブル２６は、カム機構２９によって図中矢印Ｂ方向に上下動が行われる。搬送テーブル２６は、ストッカ１４とは反対側（反ストッカ側）の位置Ｐ１において、走行台車１３からＦＯＵＰ２０が載置される時点では、ポートテーブル２５の面よりも低い高さ位置に保持されるが、ＦＯＵＰ２０の載置後（荷受後）は、カム機構２９を作動させてポートテーブル２５の面よりも高い位置に保持され、その後ストッカ１４側の位置Ｐ２に移動するまでの間、ポートテーブル２５の面よりも高い位置に保持される。そして、搬送テーブル２６が位置Ｐ２に到着後は、再びカム機構２９を作動させて搬送テーブル２６をポートテーブル２５の面よりも下側に降下させる。このとき、ＦＯＵＰ２０の底板２２は、ポートテーブル２５に設けられた切欠部３９の寸法よりも大きく形成されているため、底板２２と切欠部３９の縁部とが重なる状態となる。そして、ポートテーブル２５上に設けられた外側の組のキネマティックピン４０がＦＯＵＰ底板２２に設けられた外側の組用の嵌合穴と嵌合した状態で、ＦＯＵＰ２０がポートテーブル２５上に載置される。
【００３０】
搬送テーブル２６は、位置Ｐ２にＦＯＵＰを載置後、ポートテーブル２５の下面側に位置した状態で、そのまま位置Ｐ２から位置Ｐ１まで移動する。そして、ストッカ１４からスタッカクレーンのアーム３６が、ポートテーブル２５の下面側で位置Ｐ２まで伸びて進出する。進出後、アーム３６は、ポートテーブル２５に位置Ｐ２で載置されたＦＯＵＰ２０をすくい上げ、アーム３６に設けられた内側の組のキネマティックピン３７をＦＯＵＰ２０の対応する嵌合穴に嵌合させ、位置合わせした状態で持ち上げる。スタッカクレーン（図示せず）は、アーム３６にＦＯＵＰ２０を搭載した状態でストッカ１４内部の所定の収納棚２３までＦＯＵＰ２０を搬送し、棚内部に収納する。なお、上記説明は、走行台車１３が搬送してきたＦＯＵＰ２０をストッカ１４の内部に収納する場合の動作説明であり、ストッカ１４からＦＯＵＰ２０を取り出して走行台車１３に受け渡す場合は、上記説明とは逆の動作となる。
【００３１】
また、搬送システム１は、各走行台車１３によるＦＯＵＰの搬送動作を制御する搬送コントローラ４１を備えている。図５のブロック図に示すように、搬送コントローラ４１は、各半導体製造装置１５、各ストッカ１４、各走行台車１３、各位置検出手段４２、各走行路切換手段２４と通信可能に設けられている。ここで、位置検出手段４２は、各走行路（１０、１１、１２、１７）に沿った所定個所に複数配設され、各走行台車１３がその設置個所を通過したことを検出する。位置検出手段４２と、搬送コントローラ４１及び走行台車１３との間では、例えば赤外線等を用いて非接触で通信が行われる。各走行台車１３と搬送コントローラ４１との間でも同様の非接触での通信が行われる。また、各半導体製造装置１５、各ストッカ１４、各走行路切換装置２４は、搬送コントローラ４１と有線で通信可能に接続されている。
【００３２】
また、図６は、搬送コントローラ４１及び走行台車１３の構成を示すブロック図である。搬送コントローラ４１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）４３、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）４４、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）４５、通信インターフェイス（Ｉ／Ｆ）４６を備えており、これらは、図示しないバスを介して相互に接続されている。ＲＯＭ４３は、読み出し専用の記憶装置であって、搬送コントローラ４１での処理を行うために用いられる各種プログラムが格納されている。ＣＰＵ４３は、受信した信号やＲＯＭ４３内の各種プログラム等に基づいて各種演算及び処理を行う。そして、通信Ｉ／Ｆ４６を介して走行台車１３等と通信を行う。ＲＡＭ４５は、読み出し・書き込み可能な揮発性記憶装置であって、ＣＰＵ４３での各種演算結果等が記憶される。これら、ハードウェア及びソフトウェアが組み合わされることによって、搬送コントローラ４１が構成される。
【００３３】
走行台車１３は、制御装置４７、駆動装置４８、通信Ｉ／Ｆ４９を備えており、通信Ｉ／Ｆ４９を介して搬送コントローラ４１から受信した指令に基づいて、制御装置４７によって駆動装置４８を制御して、ＦＯＵＰ２０の積み込み・積み降ろし動作、搬送動作等を行う。
【００３４】
また、搬送コントローラ４１は、各ＦＯＵＰ２０に収納された半導体の各半導体製造装置１５での処理状況、及び各ストッカ１４内での各ＦＯＵＰ２０の保管状況に関する情報を受信して、上位コンピュータ（図示せず）からの処理命令に基づいて、どのＦＯＵＰ２０をどのストッカ１４又はどの半導体製造装置１５に搬入又は搬出する必要があるかを判断する。そして、各位置検出手段４２及び各走行台車１３からの情報を受信して、各走行台車１３の現在位置を把握し、所定の走行台車１３を所定のストッカ１４又は半導体製造装置１５へと誘導するための指令を送信する。この指令は、各走行台車１３及び各走行路切換装置２４に対して送信される。各走行路切換装置２４は、主走行路１２と分岐走行路１７との分岐点だけでなく、主走行路１２と分岐軌道１０との分岐点、分岐軌道１０と工程間軌道１１との分岐点にも設けられており、所定の走行台車１３が所定の分岐点の上流側に到達した時点で、対応する走行路切換装置２４を切り換え、当該走行台車１３が所定の軌道を走行するように誘導する。
【００３５】
また、搬送コントローラ４１は、主走行路１２と分岐走行路１７との間の分岐点において主走行路１２と分岐走行路１７とのいずれかに走行台車１３を誘導する際、当該走行台車１３に、対応するストッカ１４での搬入又は搬出動作があるか否かに応じて適宜走行路切換装置２４が切換動作を行うように指令を送信する。即ち、搬送コントローラ４１は、所定のＦＯＵＰ２０が所定のストッカ１４に搬入又は搬出される際、主走行路１２に対応して設けられた搬入装置１８ｂ又は搬出装置１９ｂを介してよりも、分岐走行路１７に対応して設けられた搬入装置１８ａ又は搬出装置１９ａを介して優先的に搬入又は搬出が行われるように、当該ストッカ１４にＦＯＵＰ２０を搬入又は当該ストッカ１４からＦＯＵＰ２０を搬出する搬入装置１８又は搬出装置１９を選択する搬出入選択手段として構成されている。これにより、搬入装置１８ａ及び１８ｂがともに空き状態の場合、又、搬出装置１９ａ及び１９ｂがともに空き状態の場合、走行台車１３は、分岐走行路１７へと優先的に誘導されることになる。
【００３６】
搬送コントローラ４１が、上述した搬出入選択手段として機能することで、主走行路１２に対応する搬出入装置（１８ｂ、１９ｂ）よりも分岐走行路１７に対応する搬出入装置（１８ａ、１９ａ）を介して優先的に搬出入処理が行われるため、主走行路１２が停滞状態になることを抑制することができる。従って、ストッカ１４での搬出入処理を行っている走行台車１３が、そのストッカ１４での搬出入処理が行われない走行台車１３の走行の妨げとなることを抑制できる。
【００３７】
次に、搬送システム１における搬出入処理の手順について、具体的な搬出入処理の一例に基づいて説明する。なお、以下の説明例は、あくまで搬出入処理の手順の一例を示したものであり、この例に限らず、種々の組み合わせによる手順に基づいて搬出入処理を行うことができる。
【００３８】
この搬出入処理は、以下の手順に従って行われる（図２参照）。
（１）ＦＯＵＰ２０を搭載した走行台車１３ａ（１台目の走行台車）が、分岐走行路１７に誘導され、搬入装置１８ａの位置に到着して停止する。
（２）走行台車１３ａが搬入装置１８ａのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。
（３）ＦＯＵＰ２０を搭載した走行台車１３ｂ（２台目の走行台車）が、主走行路１２に誘導され、搬入装置１８ｂの位置に到着して停止する。この時点で、ストッカ１４の前には、２台の走行台車１３が停止した状態となっている。
（４）走行台車１３ｂが搬入装置１８ｂのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。
（５）走行台車１３ａが搬出装置１９ａの位置に移動する。
（６）走行台車１３ａが搬出装置１９ａのポート上に載置された状態にあるＦＯＵＰ２０を積み込む。
（７）走行台車１３ｂが搬出装置１９ｂの位置に移動する。
（８）図示しない３台目の走行台車１３が搬入装置１８ａの位置に到着して停止する。
（９）図示しない４台目の走行台車１３が搬入装置１８ｂの位置に到着して停止する。この時点で、ストッカ１４にアクセスしている走行台車１３の台数は、最大の４台となる。
（１０）走行台車１３ｂが搬出装置１９ｂのポート上に載置された状態にあるＦＯＵＰ２０を積み込む。
（１１）走行台車１３ａがＦＯＵＰ２０を積み終わり、搬出装置１９ａの位置から出発する。
（１２）走行台車１３ｂがＦＯＵＰ２０を積み終わり、搬出装置１９ｂから出発する。
（１３）以下、３台目、４台目の走行台車１３も、順次搬出装置１９ａ、１９ｂに移動してＦＯＵＰ２０を積み込み、搬出装置１９ａ、１９ｂから出発する。
【００３９】
なお、走行台車１３の動作としては、図７（ａ）のタイミングチャートに示すものが基本となる。即ち、走行台車１３が搬出入装置（１８、１９）の位置に到着すると、把持機構を下降させ（Ｔ１）、次いで、ＦＯＵＰ２０を載置又は保持して搬出入装置（１８、１９）との間で移載動作を行う（Ｔ２）。そして、把持機構を巻き上げて上昇させ（Ｔ３）、走行を開始する（Ｔ４）。しかし、走行台車１３は、図７（ｂ）に示すタイミングチャートに従って動作を行うこともできる。即ち、ＦＯＵＰ２０を下降させ（Ｔ１）、次いで、ＦＯＵＰ２０を搬入装置１８に載置する移載動作（Ｔ２）を行った後、把持機構を巻き上げない状態のままで搬出装置１９の位置まで走行して移動するシフト動作を行う（Ｔ５）。そして、搬出装置１９から把持機構でＦＯＵＰ２０を把持して走行台車１３に搭載する移載動作を行い（Ｔ６）、把持機構を巻き上げてＦＯＵＰ２０ごと上昇させ（Ｔ３）、搬送移動を開始する（Ｔ４）こともできる。
【００４０】
以上説明したように、搬送システム１においては、主走行路１２及び分岐走行路１７にそれぞれ対応する搬入装置１８及び搬出装置１９からＦＯＵＰ２０の搬出入処理を行うことができる。このため、主走行路１２を走行する走行台車１３と分岐走行路１７を走行する走行台車１３とから、干渉することなく別々に同一のストッカ１４に対して搬出入処理を行うことができる。また、主走行路１２及び分岐走行路１７それぞれに搬入装置１８及び搬出装置１９がそれぞれ１つ以上対応して設けられているため、同一の走行路（１２又は１７）から同一のストッカ１４に対して搬入処理と搬出処理とを同時に行うことができる。従って、先行の走行台車１３の搬出入処理により後続の走行台車１３の停滞状態が発生することを抑制し、ストッカ１４に対する搬出入処理能力の向上を図ることができる。なお、搬送システム１においては、同時に４台の走行台車１３がアクセスして搬出入処理を行うことができ、搬出入ポートが１箇所しか無い場合と単純に比較すると、４倍の処理能力を達成することができる。
【００４１】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態に係る搬送システム２について説明する。図８は、搬送システム２の要部を示す平面図であり、第１実施形態に係る搬送システム１における図２に対応する図である。搬送システム２は、搬送システム１と同様に、例えば図１に示す工場１００等に適用される。
【００４２】
搬送システム２は、搬送システム１と同様に構成されるため、図８において同一の符号を付して説明を割愛するが、搬送システム１とは、搬出入装置（１８、１９）の配置構成が異なっている。搬送システム１では、分岐走行路１７に対応する搬出入装置（１８ａ、１９ａ）が内側に配置され、主走行路１２に対応する搬出入装置（１８ｂ、１９ｂ）が外側に配置されていたが、搬送システム２では、交互に配置されている。即ち、主走行路１２に対応する搬入装置１８ｂの隣に分岐走行路１７に対応する搬入装置１８ａが配置され、搬入装置１８ａの隣に主走行路１２に対応する搬出装置１９ｂが配置され、搬出装置１９ｂの隣に分岐走行路１７に対応する搬出装置１９ａが配置されている。なお、搬送システム２においても、搬送システム１と同様に、Ｌ≦Ｗ≦Ｖの関係が成立するように、各搬出入装置が配設されている。
【００４３】
搬送システム２においても、搬送システム１と同様の作用効果を奏することができる。なお、優先して走行台車１３が誘導される分岐軌道１７に対応する搬入装置１８ａと搬出装置１８ｂとの間の距離を短くしたい要求があれば、搬送システム１を適用することが望ましく、当該要求が無ければ、搬送システム１と２とは、作用効果において全く差異は無い。
【００４４】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態に係る搬送システム３について説明する。図９は、搬送システム３の要部を示す平面図であり、第１実施形態に係る搬送システム１における図２に対応する図である。搬送システム３は、搬送システム１と同様に、例えば図１に示す工場１００等に適用される。
【００４５】
搬送システム３は、搬送システム１と同様に構成されるため、図９において同一の符号を付して説明を割愛するが、搬送システム１とは、配置される搬出入装置（１８、１９）の設置数が異なっている。搬送システム１では、搬出入装置は全部で４箇所に配置されているが、搬送システム１では、全部で８箇所に配置されている。即ち、分岐走行路１７に対応して搬入装置（１８ａ、１８ｂ）と搬出装置（１９ａ、１９ｂ）とが配置され、主走行路１２に対応して搬入装置（１８ｃ、１８ｄ）と搬出装置（１９ｃ、１９ｄ）とが配置されている。なお、搬送システム３においても、搬送システム１と同様に、Ｌ≦Ｗ≦Ｖの関係が成立するように、各搬出入装置が配設されている。
【００４６】
搬送システム３における搬出入処理の一例を示すと、例えば、次のようになる。
（１）ＦＯＵＰ２０を搭載した１台目の走行台車１３が、分岐走行路１７に誘導され、搬入装置１８ａの位置に到着して停止する。
（２）ＦＯＵＰ２０を搭載した２台目の走行台車１３が、分岐走行路１７に誘導され、搬入装置１８ｂの位置に到着して停止する。
（３）ＦＯＵＰ２０を搭載した３台目の走行台車１３が、主走行路１２に誘導され、搬入装置１８ｃの位置に到着して停止する。
（４）ＦＯＵＰ２０を搭載した４台目の走行台車１３が、主走行路１２に誘導され、搬入装置１８ｄの位置に到着して停止する。
（５）１台目の走行台車１３が搬入装置１８ａのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。
（６）２台目の走行台車１３が搬入装置１８ｂのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。
（７）３台目の走行台車１３が搬入装置１８ｃのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。
（８）４台目の走行台車１３が搬入装置１８ｄのポート上にＦＯＵＰ２０を降ろす。
（９）１台目の走行台車１３が搬出装置１９ａの位置に移動する。
（１０）２台目の走行台車１３が搬出装置１９ｂの位置に移動する。
（１１）３台目の走行台車１３が搬出装置１９ｃの位置に移動する。
（１２）４台目の走行台車１３が搬出装置１９ｄの位置に移動する。
（１３）１台目の走行台車１３が搬出装置１９ａのポート上のＦＯＵＰ２０を積む。
（１４）２台目の走行台車１３が搬出装置１９ｂのポート上のＦＯＵＰ２０を積む。
（１５）３台目の走行台車１３が搬出装置１９ｃのポート上のＦＯＵＰ２０を積む。
（１６）４台目の走行台車１３が搬出装置１９ｄのポート上のＦＯＵＰ２０を積む。
（１７）５台目の走行台車１３が搬入装置１８ａの位置に停止する。
（１８）６台目の走行台車１３が搬入装置１８ｂの位置に停止する。
（１９）７台目の走行台車１３が搬入装置１８ｃの位置に停止する。
（２０）８台目の走行台車１３が搬入装置１８ｄの位置に停止する。この時点で、ストッカ１４にアクセスしている走行台車の台数は、最大の８台となる。
（２１）ＦＯＵＰ２０を積み終わり、１台目から８台目までの各走行台車１３が、各搬出装置１９から逐次出発する。
【００４７】
以上説明した搬送システム３においても、搬送システム１と同様の作用効果を奏することができる。なお、搬送システム３においては、同時に８台の走行台車１３がアクセスして搬出入処理を行うことができ、搬出入ポートが１箇所しか無い場合と単純に比較すると、８倍の処理能力を達成することができる。
【００４８】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態に係る搬送システム４について説明する。図１０は、搬送システム４の要部を示す平面図であり、第１実施形態に係る搬送システム１における図２に対応する図である。搬送システム４は、搬送システム１と同様に、例えば図１に示す工場１００等に適用される。
【００４９】
搬送システム４は、搬送システム１と同様に構成されるため、図１０において同一の符号を付して説明を割愛するが、搬送システム１とは、分岐走行路１７が主走行路１２と平面視において重なるように設けられている点が異なる。図１１に、図１０のＸＩ−ＸＩ線矢視断面を示すが、分岐走行路１７は、主走行路１２から下方に分岐した後、主走行路１２の略真下を通過し、最後は上方に向かって主走行路１２と合流するように延設されている。
【００５０】
図１０に示すように、搬送システム４においては、主走行路１２から分岐走行路１７が分岐する分岐点にはリフター構造の走行路切換装置５０が、分岐した分岐走行路１７が主走行路１２に合流する合流点には同じくリフター構造の走行路切換装置５１が、それぞれ設けられている。走行路切換装置５０によって、主走行路１２を走行してきた走行台車１３がそのまま主走行路１２を走行するか、又は分岐走行路１７へと移動して走行するかを切り換えることができるようになっている。また、走行路切換装置５１によって、分岐走行路１７を走行してきた走行台車１３を主走行路１２へと戻すことができる。
【００５１】
そして、搬入装置１８ａ及び搬出装置１９ａは、下方に位置している分岐走行路１７に対応して設けられ、搬入装置１８ｂ及び搬出装置１９ｂは上方に位置している主走行路１２に対応して設けられている。なお、搬送システム４においても、搬送システム１と同様に、Ｌ≦Ｗ≦Ｖの関係が成立するように、各搬出入装置が配設されている。この搬送システム４においても、搬送システム１と同様の作用効果を奏することができる。
【００５２】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、次のように変更して実施することができる。
【００５３】
（１）搬送システムが適用される対象は、半導体処理工場でなくてもよく、種々の工場等において適用できる。また、搬送される物品は、ＦＯＵＰとともに搬送される半導体ウェハでなくてもよく、種々の物品を搬送するシステムにおいて適用できる。
【００５４】
（２）分岐走行路は、１本だけ分岐するものに限らず、段階的に複数本分岐するものであってもよい。例えば、主走行路から第１の分岐走行路が分岐した下流側で第２、第３の分岐走行路が分岐して、それぞれストッカ近傍を通過した後、下流側に向かって順番に異なる位置で主走行路に合流するものであってもよい。この場合、主走行路及び各分岐走行路には、搬入装置及び搬出装置がそれぞれ対応して設けられる。
【００５５】
（３）搬入装置及び搬出装置の設置数は、実施形態で説明したものに限らず、特許請求の範囲に記載した限りにおいて種々変更して設置することが可能である。また、搬送システム１〜３においても、主走行路及び搬出入装置を複数段構成とすることもできる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によると、主走行路及び分岐走行路にそれぞれ対応する搬入手段及び搬出手段から物品の搬出入処理を行うことができる。このため、主走行路を走行する走行台車と分岐走行路を走行する走行台車とから、干渉することなく別々に同一の保管手段に対して搬出入処理を行うことができる。また、主走行路及び分岐走行路それぞれに搬入手段及び搬出手段がそれぞれ１つ以上対応して設けられているため、同一の走行路から同一の保管手段に対して搬入処理と搬出処理とを同時に行うことができる。したがって、先行の走行台車の搬出入処理による後続の走行台車の停滞状態が発生することを抑制し、保管手段に対する搬出入処理能力の向上を図ることができる。
【００５７】
請求項２の発明によると、各搬出入手段の間で干渉が生じることもなく効率よく各搬出入手段を配置することができる。また、同一の保管手段に対して複数の走行台車との間で搬出入処理が行われる場合に、走行台車間での干渉が発生することもない。
【００５８】
請求項３の発明によると、主走行路に対応する搬出入手段よりも分岐走行路に対応する搬出入手段を介して優先的に搬出入処理が行われるため、主走行路が停滞状態になることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る搬送システムが適用された工場を例示したレイアウト図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る搬送システムの要部を拡大して示す平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面図である。
【図４】図２に示す搬送システムにおける搬出入装置をＦＯＵＰとともに示した斜視図である。
【図５】図２に示す搬送システムにおいて各走行台車によるＦＯＵＰ搬送動作を制御する構成を示すブロック図である。
【図６】図５に示す搬送コントローラ及び走行台車の構成を示すブロック図である。
【図７】図３に示す走行台車の動作を説明するタイミングチャートである。
【図８】本発明の第２実施形態に係る搬送システムの要部を示す平面図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る搬送システムの要部を示す平面図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る搬送システムの要部を示す平面図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線矢視断面図である。
【符号の説明】
１                    搬送システム
１２                  主走行路（工程内軌道）
１３                  走行台車
１４                  ストッカ（保管手段）
１７                  分岐走行路
１８、１８ａ、１８ｂ  搬入装置（搬入手段）
１９、１９ａ、１９ｂ  搬出装置（搬出手段）
２０                  ＦＯＵＰ（物品）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2005029319.tif 000011
【図１０】
2005029319.tif 000012
【図１１】
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