(57)【要約】【課題】半導体ウェハ収納容器自体から発生する汚染物質を効率的に除去する。【解決手段】半導体ウェハを収納するポリプロピレン製の収納容器を、半導体ウェハを収納する前に、４０℃以上で且つ沸点未満のイソプロピルアルコールに１０分間以上浸漬する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハを収納する樹脂製の収納容器を、半導体ウェハを収納する前に、加温された有機物液体で洗浄することを特徴とする半導体ウェハ収納容器の洗浄方法。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体ウェハ収納容器の洗浄方法であって、
前記加温された有機物液体として、室温以上で且つ前記樹脂製の収納容器が軟化変形する温度以下に加温されたものを使用することを特徴とする半導体ウェハ収納容器の洗浄方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の半導体ウェハ収納容器の洗浄方法であって、
前記収納容器がポリプロピレン製であり、前記加温された有機物液体として、４０℃以上で且つ沸点未満のイソプロピルアルコールを使用し、そのイソプロピルアルコールに１０分間以上、前記収納容器を浸漬することを特徴とする半導体ウェハ収納容器の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保管・輸送などのために半導体ウェハを収納する樹脂製の収納容器の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハは、表面の異物や酸化膜などの汚染除去のための表面処理（エッチング等）が行われた後、専用の収納容器に収納されて、窒素等不活性ガス封入下で保管・輸送される。
【０００３】
半導体ウェハを収納する容器としては、図１に示すようなトレータイプの収納容器１や、図２に示すようなボックスタイプの収納容器５がある。トレータイプの収納容器１は、ウェハを１枚ずつ個別に収納するためのものであり、本体２とスプリング３と蓋４とからなる。ボックスタイプの収納容器５は、多数枚のウェハを一度に収納するためのものであり、ウェハが互いに接触しないようにするためのスロット６が内部に備わっている。これらの収納容器１、５は、通常、ポリプロピレンを主原料として作製されている。
【０００４】
ところで、これらの半導体ウェハの収納容器１、５は、購入した状態のまま使用すると、付着していた異物や材料樹脂から徐々に発生する物質などによって、ウェハの表面が汚染されることになるので、一般的には使用前に汚染物除去処理を行っている。
【０００５】
収納容器の汚染物質除去方法としては、純水、界面活性剤、有機溶剤等による洗浄や、特許文献１に記載される加熱処理による脱ガス等が知られている。
【０００６】
【特許文献１】特開平５−２５９２５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の洗浄方法では、使用する洗浄液の適性や条件の不十分さから、容器自体に含まれる有機ガス成分の除去が十分に行われず、ウェハ保管中に、発生した有機ガスの表面吸着によるカーボン量の増加が見られた。また、加熱による除去処理方法は、処理に長時間を要し、効率の悪いものであった。
【０００８】
本発明は、保管中のウェハの表面汚染を低減するために、樹脂製の収納容器自体から発生する汚染物質を効率的に除去することの可能な半導体ウェハ収納容器の洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明は、半導体ウェハを収納する樹脂製の収納容器を、半導体ウェハを収納する前に、加温された有機物液体で洗浄することを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１において、前記加温された有機物液体として、室温以上で且つ前記樹脂製の収納容器が軟化変形する温度以下に加温されたものを使用することを特徴とする。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１または２において、前記収納容器がポリプロピレン製であり、前記加温された有機物液体として、４０℃以上で且つ沸点（８０℃）未満のイソプロピルアルコールを使用し、そのイソプロピルアルコールに１０分間以上、前記収納容器を浸漬することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１の発明によれば、半導体ウェハを収納する樹脂製の容器を、使用前に、加温された有機物液体で洗浄するので、従来よりも短時間で強力に容器自体に含まれる汚染物質を除去することができる。従って、この洗浄処理を施した容器にウェハを収納した場合、長期保管に伴う表面汚染を大幅に低減することができる。
【００１３】
請求項２の発明によれば、室温以上で容器軟化変形温度以下に加温した有機物液体で容器を洗浄するので、容器が持っている有機ガス成分を効率良く除去することができる。
【００１４】
請求項３の発明によれば、容器がポリプロピレン製である場合に、４０℃以上で沸点未満のイソプロピルアルコールを洗浄液として使用して、その洗浄液に１０分間以上容器を浸漬するので、より確実に容器が持っている有機ガス成分を除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について説明する。
本発明の実施形態の洗浄方法では、主原料がポリプロピレン製の半導体ウェハ収納容器（トレータイプのものやボックスタイプのもの）を、中に半導体ウェハを収納する前に、予め加温された有機物液体で洗浄することを特徴としている。
【００１６】
この場合、有機物液体を加熱可能な、例えばＳＵＳ製の角型容器に入れて、下部よりヒータで加熱し、半導体ウェハ収納容器が軟化変形しない温度に保つ。有機物液体としては、例えば、ポリプロピレン製の半導体ウェハ収納容器に対してはイソプロピルアルコール（以下「ＩＰＡ」と呼称することもある）を使用し、これを４０℃以上の温度に保ち、その中に半導体ウェハ収納容器を入れて、１０分間以上浸漬状態を保持する。有機物液体として使用するＩＰＡは、樹脂製の半導体ウェハ収納容器の全体が液中に浸るだけの量があればよい。
【００１７】
半導体ウェハ収納容器を有機物液体中に浸漬させて１０分間以上保持したら、次に半導体ウェハ収納容器を液中から取り出して、純水で有機物液体を洗い流し、その後、乾燥する。純水リンス後の乾燥では、樹脂製の半導体ウェハ収納容器が軟化変形しない程度に温度を上げると速く乾燥させることができる。乾燥時の雰囲気はエア、窒素、アルゴン等のいずれでもよく、他に真空下乾燥してもよく、特に乾燥方式に拘るものではない。
【００１８】
なお、収容容器として、例えばポリプロピレン製のような低比重の収納容器を用いた場合、浸漬させる液体によっては液体の上に浮いてしまうことがある（ポリプロピレン製収納容器の場合、ＩＰＡに対しては沈むが、水やＣＨ2Ｃｌ2に対しては浮いてしまう。）。そこで作業性の観点からは、例えばＳＵＳ製蓋付き網籠のような高比重の網籠を準備し、この網籠内に収納容器を入れておき、その網籠ごと一連の洗浄処理（浸漬〜乾燥の工程）を行うと効率的である。また、有機物液体の加熱は、換気設備、消火設備が十分に整った施設において、窒素等不活性ガス雰囲気下で行うことが望ましい。
【００１９】
次に実施例と比較例について述べる。表１及び図３はサンプル（ａ）〜（ｈ）毎の評価内容を示している。
【００２０】
【表１】
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【実施例１】
【００２１】
実施例１のサンプル（ａ）では、６０℃に加温したＩＰＡに１時間浸漬した後、純水リンス、乾燥（エア気流下５０℃５時間）したポリプロピレン製３インチトレー（フロロウェア社製）に、アンモニアと過酸化水素を含有するエッチング液で表面をエッチングした３インチＧａＡｓ（ガリウム砒素）ウェハを収納して、アルミラミネート袋（藤森工業製）に入れて、窒素封入したものを複数個作製した。これらを３５℃で保管し、定期的にウェハ表面のＸ線分光測定（ＥＳＣＡ測定）を行った。
【００２２】
Ｘ線分光測定は、測定毎にラミネート袋を開封してウェハを取り出し、Ｘ線分光装置（日本電子株式会社製ＪＰＳ−９０００ＭＣ）を用いて行い、観測されたスペクトルのＣ1sピーク強度と、そのピークの半価幅との積を算出して、ウェハ表面へのカーボン吸着を評価した。
【００２３】
表１及び図３は、ウェハ保管中の表面へのカーボン吸着の測定結果を示している。この測定結果より、ウェハへのカーボン吸着の増加は少なく、６０℃のＩＰＡに１時間浸漬したトレーでの保管では、カーボン吸着が良好に抑制されることがわかった。
【実施例２】
【００２４】
実施例２のサンプル（ｂ）では、６０℃に加温したＩＰＡに３時間浸漬したトレーを用いて、実施例１と同様に収納したウェハのカーボン吸着量の経時変化をＸ線分光測定で評価した。この測定結果より、ウェハのカーボン吸着は良好に抑制されるが、その程度は実施例１の場合と同等であることがわかった。
【００２５】
（比較例）
比較例では、室温のＩＰＡに１０分間、１２時間、及び２日間浸漬したトレー〔サンプル（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）〕、室温のＣＨ2Ｃｌ2に１０分間、及び１２時間浸漬したトレー〔サンプル（ｆ）、（ｇ）〕、室温の純水でのみ洗浄したトレー〔サンプル（ｈ）〕に、各々実施例１と同様に表面をエッチングしたウェハを収納、保管して定期的にＸ線分光測定を行ない、ウェハへのカーボン吸着を評価した。
【００２６】
これらの比較例のように室温のＩＰＡ、ＣＨ2Ｃｌ2で洗浄処理したトレー〔サンプル（ｃ）〜（ｇ）〕用いた場合、純水だけで洗浄したトレー〔サンプル（ｈ）〕を使用した場合と同程度に、ウェハ表面のカーボン吸着量の増加が大きく、十分な汚染物質低減効果が得られないことがわかった。
【００２７】
即ち、実施例１、２のように、６０℃のＩＰＡで洗浄したトレーを用いた場合は、従来よりも短時間で強力に容器自体に含まれる汚染物質を除去することができる。従って、容器にウェハを収納した場合、長期保管に伴う表面汚染を大幅に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】トレータイプの半導体ウェハ収納容器の例を示す斜視図である。
【図２】ボックスタイプの半導体ウェハ収納容器の例を示す斜視図である。
【図３】本発明の効果を証明するために行った実施例及び比較例の評価図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  トレータイプの半導体ウェハ収納容器
５  ボックスタイプの半導体ウェハ収納容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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