(57)【要約】【課題】被研磨物の研磨焼け防止ができ、品質の安定に寄与すると共に、製造コストの抑制が可能となる研磨装置を提供すること。【解決手段】被研磨物１５例えば蒸気タービン翼の表面を研磨ベルト４０により研磨する研磨装置において、過去の研磨データであって、研磨焼けの生じない正常な研磨圧データに基いて研磨を行なう研磨圧制御装置３０を備えたものである。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸気タービン翼、ガスタービン翼のごとき肉厚の変化のある被研磨物の表面を研磨ベルトにより研磨する研磨装置において、過去の研磨データであって、研磨焼けの生じない正常な研磨圧データに基いて研磨を行なう研磨圧制御装置を備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記研磨ベルトの張力は、過去の前記研磨ベルトの張力データであって、研磨時前記研磨ベルトのゆるみが生じない張力データに基いて研磨を行なう研磨ベルト張力制御装置をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】
前記研磨ベルトを駆動する駆動用電動機の回転数は、過去の前記研磨ベルトの送り速度データであって、研磨効率を上げるための適切な研磨ベルトの駆動用電動機の回転数に基いて研磨を行なう研磨ベルト駆動用電動機制御装置をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項４】
前記研磨ベルトの張力は、過去の前記研磨ベルトの張力データであって、研磨時前記研磨ベルトのゆるみが生じない張力データに基いて研磨を行なう研磨ベルト張力制御装置と、
前記研磨ベルトを駆動する駆動用電動機の回転数は、過去の前記研磨ベルトの送り速度データであって、研磨効率を上げるための適切な研磨ベルトの駆動用電動機の回転数に基いて研磨を行なう研磨ベルト駆動用電動機制御装置と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項５】
蒸気タービン翼、ガスタービン翼のごとき肉厚の変化のある被研磨物の表面を研磨ベルトにより研磨する研磨装置において、過去の研磨データであって、研磨焼けの生じない正常な研磨圧データに基いて研磨を行なう研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸気タービン翼、ガスタービン翼等のごとき肉厚の変化のある被研磨物の表面を研磨する研磨装置及び研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の研磨装置の一例として、複雑な形状の被研磨物でも容易に研磨加工することができるとともに、研磨加工時間を短縮させることができるとすることを目的としたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
これは、研磨ヘッド部を被研磨物の形状に合わせて選択できる研磨部を設けた構成であるので、複雑な形状の被研磨物でも容易に研磨加工することができるとともに、研磨加工時間を短縮させることができる。
【特許文献１】特開２００１−３１０２５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、前述の公知例の技術では、研磨する以前に設定した研磨圧、研磨ベルト張力及び研磨ベルト送り速度により翼面全域を研磨している。このことにより、例えば図３に示すように腹面側１５Ｒ及び背面側１５Ｂを有する被研磨物１５である、タービン翼面全域を同じ条件で研磨すると、厚みが薄い排気端１の部位で研磨焼けが発生することがあり、この研磨焼けが発生すると、それまで製作してきたタービン翼が再生不可能な不良品となり、この結果品質、生産性を低下させてコスト上昇に結びつく課題があった。
【０００５】
そこで、本発明は被研磨物の研磨焼け防止ができ、品質の安定に寄与すると共に、製造コストの抑制が可能となる研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、請求項１に対応する発明は、蒸気タービン翼、ガスタービン翼のごとき肉厚の変化のある被研磨物の表面を研磨ベルトにより研磨する研磨装置において、過去の研磨データであって、研磨焼けの生じない正常な研磨圧データに基いて研磨を行なう研磨圧制御装置を備えた研磨装置である。
【０００７】
前記目的を達成するため、請求項２に対応する発明は、次のように構成したものである。すなわち、前記研磨ベルトの張力は、過去の前記研磨ベルトの張力データであって、研磨時前記研磨ベルトのゆるみが生じない張力データに基いて研磨を行なう研磨ベルト張力制御装置をさらに備えた研磨装置である。
【０００８】
前記目的を達成するため、請求項３に対応する発明は、次のように構成したものである。すなわち、前記研磨ベルトを駆動する駆動用電動機の回転数は、過去の前記研磨ベルトの送り速度データであって、研磨効率を上げるための適切な研磨ベルトの駆動用電動機の回転数に基いて研磨を行なう研磨ベルト駆動用電動機制御装置をさらに備えた請求項１記載の研磨装置である。
【０００９】
前記目的を達成するため、請求項４に対応する発明は、次のように構成したものである。すなわち、前記研磨ベルトの張力は、過去の前記研磨ベルトの張力データであって、研磨時前記研磨ベルトのゆるみが生じない張力データに基いて研磨を行なう研磨ベルト張力制御装置と、前記研磨ベルトを駆動する駆動用電動機の回転数は、過去の前記研磨ベルトの送り速度データであって、研磨効率を上げるための適切な研磨ベルトの駆動用電動機の回転数に基いて研磨を行なう研磨ベルト駆動用電動機制御装置と、をさらに備えた請求項１記載の研磨装置である。
【００１０】
前記目的を達成するため、請求項５に対応する発明は、蒸気タービン翼、ガスタービン翼のごとき肉厚の変化のある被研磨物の表面を研磨ベルトにより研磨する研磨装置において、過去の研磨データであって、研磨焼けの生じない正常な研磨圧データに基いて研磨を行なう研磨方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、被研磨物の研磨焼け防止ができ、品質の安定に寄与すると共に、製造コストの抑制が可能となる研磨装置及び研磨方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００１３】
（第１の実施の形態）
図１は本発明に係る研磨装置の第１の実施の形態を示す概略斜視図であり、図２は図１の研磨ヘッド部２７における概念図である。図４は、図１及び図２における研磨装置の要部のみを示す概略構成図である。
【００１４】
本実施形態に係る研磨装置は、例えばタービン翼等の被研磨物（ワーク）１５を把持し、適正位置に移動させる被研磨物把持移動部１２と、被研磨物１５に沿って移動しながら研磨する移動研磨部１３と、被研磨物把持移動部１２と移動研磨部１３とを適正位置に移動調整する制御部１４とを備えて構成される。
【００１５】
被研磨物把持移動部１２は、ベッド１６に設けたコラム１７のＹ軸方向に沿って把持部１８を摺動させる第１モータ（第１電動機）１９と、把持部１８をＣ軸を中心にして回転させる第２モータ（第２電動機）２０と、把持部１８をＡ軸を中心にして回転させる第３モータ（第３電動機）２１とを備え、被研磨物１５の設置位置を自在に調整できるようになっている。
【００１６】
また、移動研磨部１３は、ベッド１６に設けたレール２２のＸ軸方向に沿って基板２３を摺動させる第４モータ（第４電動機）２４と、基板２３上に設けられ、研磨ヘッド架台２５をＢ軸を中心にして回転させる第５モータ（第５電動機）２６と、研磨ヘッド架台２５に設けた研磨ヘッド部２７をＺ軸方向に沿って摺動させる第６モータ（第６電動機）２８とを備え、被研磨物１５の寸法、形状に合わせて研磨ヘッドの２つを自在に接離させることができるようになっている。
【００１７】
さらに、制御部１４は、ＮＣ制御装置２９と、後述する研磨圧制御装置３０を備え、ＮＣ制御装置２９は制御線５３によりベッド１６を介して電気的に接続され、また研磨圧制御装置３０はエアーホース５４によりベッド１６を介して接続されている。
【００１８】
予め、プログラムを組み込んでおいたＮＣ制御装置２９からの指令を研磨圧制御装置３０を介して研磨ヘッド部２７に与え、研磨ヘッド部２７の被研磨物１５への研磨加工の自動化を図っている。
【００１９】
被研磨物１５は、例えば図３に示すようなタービン翼であり、この腹側面１５Ｒ及び背側面１５Ｂが共に、外側に向って湾曲状に形成し、この湾曲状に形成した腹側面１５Ｒ及び背側面１５Ｂのそれぞれに研磨加工が施される。
【００２０】
一方、研磨ヘッド部２７は、図２に示すように、枠組部３３に組み込まれた第１プーリ３４、第２プーリ３５、第３プーリ３６、第４プーリ３７、研磨部３８、第５プーリ３９を介して回転する砥粒を備えたベルト４０と、研磨ヘッド架台２５に組み込まれ、図１で示した研磨圧制御装置３０からの指令に基づいてベルト４０を駆動する研磨ベルト駆動用電動機（研磨ベルト駆動用モータ）４１と、枠組部３３に組み込まれ、研磨圧制御装置３０からの指令に基づいてベルト４０の張力を発生する研磨ベルト張力発生用シリンダ４２と、枠組部３３に組み込まれ、研磨部３８の被研磨物１５への研磨圧（押圧力）を発生する研磨圧発生用シリンダ４３とを備えている。
【００２１】
また、研磨ヘッド部２７は、図４に示すように枠組部３３に２個の台車４４、４４を備え、研磨ヘッド架台２５のレール４５上をＺ軸に向って進退摺動する構成になっている。ＮＣ制御装置２９の位置信号により、研磨部位毎に定められた空気圧を研磨圧制御装置３０が研磨圧発生用シリンダ４３に供給して所定の研磨圧を得る。
【００２２】
研磨圧制御装置３０には、図示しないデータメモリに、図５に示す、過去の研磨データであって、研磨焼けの生じない正常な押圧力（研磨圧）データが記憶されている。この正常な研磨圧データは、ＮＣ制御装置２９の図示しないプログラムデータメモリに格納されている座標データから送られてくる座標データ（Ｘ座標、Ｙ座標、Ｚ座標）を参照して読み出され、これが実際の駆動指令として研磨圧発生用シリンダ４３、研磨ベルト張力発生用シリンダ４２、研磨ベルト駆動用電動機４１に与えられるようになっている。
【００２３】
図５に示す正常な研磨圧データは、各ステップにそれぞれ対応するＸ，Ｙ，Ｚの各座標値におけるデータ（数値は例）、すなわち、被研磨物１５例えばタービン翼における研磨が正常に行われたときのデータ、つまり研磨焼けが発生したときのデータが取除かれている。
【００２４】
また、図５に示す研磨ベルト張力は、過去の研磨ベルトの張力データであって、研磨時研磨ベルトのゆるみが生じない張力データである。
【００２５】
更に、図５に示す電動機回転数は、研磨ベルトを駆動する駆動用電動機の回転数であり、過去の研磨ベルトの送り速度データであって、研磨効率を上げるための適切な研磨ベルトの駆動用電動機の回転数である。
【００２６】
ここで、Ｘ，Ｙ，Ｚの各座標値は、被研磨を行なおうとする被研磨物１５例えばタービン翼の形状データであり、各座標値に対応して押圧力（研磨圧）、研磨ベルト張力及び電動機回転数は、研磨を行なう際にＮＣ制御装置２９に格納するプログラムデータメモリに格納されている座標データと同一である。
【００２７】
ここで、図６のフローチャートを参照して本実施形態の研磨装置の動作について説明する。研磨が開始されると、プログラムが開始され(Ｓ１)、ＮＣ制御装置２９が起動して被研磨物１５であるタービン翼の座標値をＮＣプログラムから読込むと同時に（Ｓ２）、研磨圧制御装置３０にも、座標データを送る。
【００２８】
研磨圧制御装置３０には、上記のように「座標データ」に関連付けて「押圧力」のデータが格納されている。よって、ＮＣ制御装置２９から送られてきた座標データを参照して、その位置における「押圧力」の情報を読み出す（Ｓ３）。
【００２９】
その読み出された「押圧力」のデータは、前のステップＳ３の「押圧力」に対して変更があるのか否かを判断し（Ｓ４）、ここで「押圧力」の変更が無ければ次のステップ（座標データ読込ステップＳ２）に戻り、逆にステップＳ４において押圧力の変更がある場合には、上記格納データに基づいて、研磨圧（押圧力）の「増／減」の指示データを作成し（Ｓ５）、この後実際に研磨圧発生用シリンダ４３の駆動圧を算出し（Ｓ６）、研磨圧発生用シリンダ４３へデータ送信を行なう（Ｓ７）。
【００３０】
このように研磨圧発生用シリンダ４３は、送信されたデータに基づいて（シリンダ駆動圧の増減による）、シリンダの移動変更が行なわれる（Ｓ８）。実際にシリンダが移動したことは、図示しない検出器によって研磨圧制御装置３０にフィードバックされる。このフィードバックデータに基づいて、研磨圧制御装置３０は送信したデータに基づいて研磨装置の押圧力の変化を確認したかを判断し（Ｓ９）、もし押圧力の変化を確認できない場合には、研磨作業を中止するようにＮＣ制御装置２９に研磨中止指令のデータを送信し（Ｓ１０）、またステップＳ９において研磨装置の押圧力の変化を確認した場合には、次のプログラムステップ、具体的には前述のステップＳ２に戻る。
【００３１】
本実施形態によれば、研磨部位毎の適切な研磨圧により研磨されるため、研磨焼けを防止することができる。図７は、被研磨物１５例えばタービン翼の押圧力と研磨部分との関係を示すもので、図７（ａ）はタービン翼の腹側面１５Ｒにおける研磨位置と研磨押圧力比の関係を示す図であり、図７（ｂ）はタービン翼の背側面１５Ｂにおける研磨位置と研磨押圧力比の関係を示す図である。
【００３２】
以上述べた第１の実施形態によれば、被研磨物例えばタービン翼を研磨する場合、図５に示す如く、過去の研磨データであって研磨焼けの生じない正常な研磨データが各座標研磨圧制御装置３０により研磨中、研磨圧を変えて翼面の研磨ができる。
【００３３】
さらに第１の実施形態によれば、図５に示す如く、ＮＣ制御装置２９の位置信号を基に研磨圧制御装置３０により研磨中、研磨部位に適した研磨圧にてタービン翼面の研磨が可能となり、研磨焼けを防止することができる。
【００３４】
（第２の実施の形態）
図８は本発明に係る研磨装置の第２の実施の形態を示す概略斜視図であり、図９は、図８及び図２における研磨装置の要部のみを示す概略構成図である。
【００３５】
本実施形態に係る研磨装置は、前述の本発明の第１の実施形態と異なる点は、制御部１４の構成として、新たに研磨ベルト張力制御装置３１を追加したものである。
【００３６】
この研磨ベルト張力制御装置３１は、前述した図５の過去の研磨ベルトの張力データであって、研磨時研磨ベルトのゆるみが生じない張力データに基いて研磨を行なう研磨圧制御装置３０の圧力信号により、研磨ベルト張力制御装置３１が研磨圧毎に定められた空気圧を研磨ベルト張力発生用シリンダ４２に供給して所定の研磨ベルト張力を得るものである。これ以外に、ＮＣ制御装置２９の位置信号により、研磨部位毎に定められた空気圧を研磨圧制御装置３０が研磨圧発生用シリンダ４３に供給して所定の研磨圧を得る点については、前述した第１の実施形態と同じである。
【００３７】
ここで、図１０のフローチャートにより、研磨装置の動作について説明する。前述の図６と異なる点は、新たにステップＳ１１〜Ｓ１６を追加したことである。前述のステップＳ４において、押圧力が変更があったと判断されたときであって、研磨ベルト張力の変更があったかと判断され（Ｓ１１）、ここで「張力」の変更が無ければ前述したステップすなわち研磨圧の「増／減」の指示データを作成ステップ（Ｓ５）の入力側に戻り、逆にステップＳ１１において張力の変更があると判断された場合には、張力「増／減」の指示データを作成する（Ｓ１２）。そして、張力発生用シリンダ４２の駆動圧を読出し（Ｓ１３）、さらにこの読出したデータを張力発生用シリンダ４２に送信する（Ｓ１４）。すると、張力発生用シリンダ４２が動作し（Ｓ１５）、その後張力に変化があったかを確認する（Ｓ１６）。ステップＳ１６において、張力に変化がない場合には、前述した研磨中止指令のステップＳ１０に進み、ステップＳ１６において、張力に変化があったと判断した場合にはステップＳ９のＹｅｓ側に進む。
【００３８】
なお、Ｓ１〜Ｓ１０の動作は、前述した第１の実施形態と同一であり、研磨部位毎の適切な研磨圧により研磨されるため、研磨焼けを防止することができる。
【００３９】
第２の実施形態によれば、研磨部位毎の適切な研磨圧により研磨されるため、研磨焼けを防止することができると共に、研磨圧上昇時に発生する研磨ベルトのたるみを研磨ベルトの張力を増加させて防止できる。この結果、被研磨物例えばタービン翼を研磨する場合、前述した第１の実施形態と同様に過去の研磨データであって研磨焼けの生じない正常な研磨データが各座標研磨圧制御装置３０により研磨中、研磨圧を変えて翼面の研磨ができることは言うまでもない。
【００４０】
これに加えて、研磨ベルト張力制御装置３１を備えているので、研磨中、研磨圧を変えて翼面の研磨ができると共に研磨ベルトのたるみを防止することができ、この結果研磨加工を高品質に維持できるようになる。
【００４１】
（第３の実施の形態）
図１１は本発明に係る研磨装置の第３の実施の形態を示す概略斜視図であり、図１２は、図８及び図２における研磨装置の要部のみを示す概略構成図である。
【００４２】
本実施形態に係る研磨装置は、前述の本発明の第１の実施形態と異なる点は、制御部１４の構成として、新たに研磨ベルト駆動用電動機制御装置３２を追加したものである。
【００４３】
研磨ベルト駆動用電動機制御装置３２は、研磨ベルト４０を駆動する駆動用電動機４１の回転数は、図５に示す過去の前記研磨ベルトの送り速度データであって、研磨効率を上げるための適切な研磨ベルト４０の研磨ベルト駆動用電動機４１の回転数に基いて研磨を行なうものである。
【００４４】
ここで、図１３のフローチャートにより、研磨装置の動作について説明する。前述の図６と異なる点は、新たにステップＳ１７〜Ｓ２２を追加したことである。
【００４５】
前述のステップＳ４において、押圧力が変更があったと判断されたときであって、研磨ベルト４０を駆動する研磨ベルト駆動用電動機４１の回転数の変更があったか判断され（Ｓ１７）、ここで「研磨ベルト駆動用電動機４１の回転数」の変更が無ければ前述したステップすなわち研磨圧の「増／減」の指示データを作成ステップ（Ｓ５）の入力側に戻り、逆にステップＳ１７において「研磨ベルト駆動用電動機４１の回転数」の変更があると判断された場合には、研磨ベルト駆動用電動機４１の回転数の「増／減」の指示データを作成する（Ｓ１８）。そして、研磨ベルト駆動用電動機４１の回転数を読出し（Ｓ１９）、さらにこの読出したデータを駆動用電動機４１に送信する（Ｓ２０）。すると、回転数駆動用シリンダが動作し、電動機回転数が変化し（Ｓ２１）、その後回転数に変化があったかを確認する（Ｓ２２）。ステップ２２において、電動機回転数に変化がない場合には、前述した研磨中止指令のステップＳ１０に進み、ステップＳ２２において、張力に変化があったと判断した場合にはステップＳ９のＹｅｓ側に進む。
【００４６】
なお、Ｓ１〜Ｓ１０の動作は、前述した第１の実施形態と同一である。
【００４７】
以上述べた第３の実施形態によれば、研磨圧制御装置３０及び研磨ボルト駆動用電動機制御装置３２を備えているので、研磨部位毎の適切な研磨圧により研磨されるため、研磨焼けを防止することができると共に、図５のデータに基き回転数駆動用電動機４１の速度を変えることができ、研磨効率も上げることができる。
【００４８】
（第４の実施の形態）
図１４は本発明に係る研磨装置の第４の実施の形態を示す概略斜視図であり、図１５は、図２における研磨装置の要部のみを示す概略構成図である。
【００４９】
本実施形態に係る研磨装置は、前述の本発明の第１の実施形態と異なる点は、制御部１４の構成として、新たに、研磨ベルト張力制御装置３１及び研磨ベルト駆動用電動機制御装置３２を追加したものである。
【００５０】
研磨ベルト張力制御装置３１は、前述した第２の実施の形態と同一である。また、研磨ベルト駆動用電動機制御装置３２は、前述した第３の実施の形態と同一である。
【００５１】
以上述べた第４の実施の形態によれば、研磨部位毎の適切な研磨圧により研磨されるため、研磨焼けを防止することができると共に、図５のデータに基き研磨ベルト張力並びに回転数駆動用電動機４１の回転数を変えることができ、研磨中、研磨圧を変えて翼面の研磨ができると共に研磨ベルトのたるみを防止することができ、この結果研磨加工を高品質に維持できるようになり、更に研磨効率も上げることができる。
【００５２】
図５に示す研磨圧制御装置のメモリに保存されているデータ例は、例えば過去の実験データの製番に対応するものであり、過去の実験データのうち研磨焼けの発生しないデータの全てをデータメモリに蓄積しておき、これを使用したり，或いはこれらのデータ基にパソコンに有する学習機能で学習させることで、更に信頼性が向上する。
【００５３】
本発明は、以上述べた各実施形態に限らず例えば次のようにしたものも含む。すなわち、前述した実施形態では、何れも研磨装置について説明したが、蒸気タービン翼、ガスタービン翼のごとき肉厚の変化のある被研磨物の表面を研磨ベルトにより研磨する研磨装置において、過去の研磨データであって、研磨焼けの生じない正常な研磨圧データに基いて研磨を行なう研磨方法を含む。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の研磨装置の第１の実施形態を説明するための概略斜視図。
【図２】本発明の第１、第２、第３及び第４の実施形態の研磨ヘッド部概念図。
【図３】本発明の研磨装置の被研磨物であるタービン翼の断面図。
【図４】本発明の研磨装置の第１の実施形態の要部を説明するための概略構成図。
【図５】図１の研磨圧制御装置のメモリに保存されているデータ例を説明するための図。
【図６】本発明の第１の実施形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図７】本発明の第１の実施形態のタービン翼の位置と研磨押圧力比の関係を示す図。
【図８】本発明の研磨装置の第２の実施形態を説明するための概略斜視図。
【図９】本発明の研磨装置の第２の実施形態の要部を説明するための概略構成図。
【図１０】本発明の第２の実施形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図１１】本発明の研磨装置の第３の実施形態を説明するための概略斜視図。
【図１２】本発明の研磨装置の第３の実施形態の要部を説明するための概略構成図。
【図１３】本発明の第３の実施形態の動作を説明するためのフローチャート。
【図１４】本発明の研磨装置の第４の実施形態を説明するための概略斜視図。
【図１５】本発明の研磨装置の第４の実施形態の要部を説明するための概略構成図。
【符号の説明】
【００５５】
１…排気端、１２…被研磨物把持移動部、１３…移動研磨部、１４…制御部、１５Ｒ…腹面側、１５Ｂ…背面側、１５…被研磨物、１６…ベッド、１７…コラム、１８…把持部、１９…第１電動機、２０…第２電動機、２１…第３電動機、２２…レール、２３…基板、２４…第４電動機、２５…研磨ヘッド架台、２６…第５電動機、２７…研磨ヘッド部、２８…第６電動機、２９…ＮＣ制御装置、３０…研磨圧制御装置、３１…研磨ベルト張力制御装置、３２…研磨ベルト駆動用電動機制御装置、３３…枠組部、３４…第１プーリ、３５…第２プーリ、３６…第３プーリ、３７…第４プーリ、３８…研磨部、３９…第５プーリ、４０…研磨ベルト、４１…研磨ベルト駆動用電動機、４２…研磨ベルト張力発生用シリンダ、４３…研磨圧発生用シリンダ、４４…台車、４５…レール、５３…制御線、５４…エアーホース。
【図１】
2005335024.tif 000003
【図２】
2005335024.tif 000004
【図３】
2005335024.tif 000005
【図４】
2005335024.tif 000006
【図５】
2005335024.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005335024.tif 000009
【図８】
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【図９】
2005335024.tif 000011
【図１０】
2005335024.tif 000012
【図１１】
2005335024.tif 000013
【図１２】
2005335024.tif 000014
【図１３】
2005335024.tif 000015
【図１４】
2005335024.tif 000016
【図１５】
2005335024.tif 000017