(57)【要約】【目的】従来の基板チャッキング装置においてはサイズの異なった基板を保持することは原則的に不可能であり、部品を交換したり、再調整を行わねばならず、基板を保持させる際の位置決めもむずかしく、位置決めの為に精密な器材を用いる必要があった。本発明は、部品の交換や調整を必要とせずにサイズの異なる基板を確実に保持できる様にすることを目的とする。【構成】上下方向に対して傾斜したガイド長孔１１が形成された昇降可能なチャック開閉ガイド部材１０と、水平腕部６とこの水平腕部６から上方に立上がった垂直腕部７とを有し、端部に配置されたガイドピン１２が前記チャック開閉ガイド部材１０のガイド長孔１１にスライド自在に係合されているチャック４と、チャック４の水平腕部６をガイド用透孔９に挿通させることによりこれを左右スライド自在に支持するサポート部材８、とからなりチャック開閉ガイド部材１０を任意の移動量だけ昇降させることにより、チャック４の垂直腕部７、７間の間隔を自由に設定出来る様にした。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に対して傾斜したガイド長孔１１が形成された昇降可能なチャック開閉ガイド部材１０と、水平腕部６とこの水平腕部６から上方に立上がった垂直腕部７とを有し、端部に配置されたガイドピン１２が前記チャック開閉ガイド部材１０のガイド長孔１１にスライド自在に係合されているチャック４と、チャック４の水平腕部６をガイド用透孔９に挿通させることによりこれを左右方向にスライド自在に支持するサポート部材８とからなり、チャック開閉ガイド部材１０を任意の移動量だけ昇降させることにより、チャック４の垂直腕部７、７間の間隔を自由に設定出来る様にしたことを特徴とする基板チャッキング装置。
【請求項２】
ガイド長孔１１が直線状に傾斜していることを特徴とする請求項１記載の基板チャッキング装置。
【請求項３】
ガイド長孔１１が多次曲線状に傾斜していることを特徴とする請求項１記載の基板チャッキング装置。
【請求項４】
ガイド長孔１１が連続した２つ以上の傾斜角を組み合わせてなることを特徴とする請求項１記載の基板チャッキング装置。
【請求項５】
チャック開閉ガイド部材１０が任意の位置で停止させることができる駆動手段によって昇降させられる様になっていることを特徴とする請求項１乃至４記載の基板チャッキング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板チャッキング装置、詳しくはサイズの異なる基板を部品の交換や調整なしに保持することが出来る基板チャッキング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ基板、ガラス基板、プリント基板、レンズなど各種基板の製造工程においては、基板チャッキング装置によってこれら基板の側面又は端面を保持し、搬送したり洗浄、乾燥、薬液処理など各種作業を行うことがある。
【０００３】
図１は従来の基板チャッキング装置の代表例の側面図であり、この基板チャッキング装置においては、略Ｌ字形をしたチャック１がその末端を支点として基部２に起伏自在に支持されており、チャック１を閉状態Ａにすることにより基板３の保持、破線で示した開状態Ｂにすることにより基板３の離脱を行う様になっていた。
【特許文献１】見当たらず。
【非特許文献１】見当たらず。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この従来の基板チャッキング装置においては、チャック１は閉状態Ａと開状態Ｂとの間を非直線状に変位する為、基板３の位置決めは高精度の機構を用いて行わねばならず、組立調整も高い精度で行う必要があった。又、この従来の基板チャッキング装置では、基板３のサイズが変わるたびにチャック１を交換し、その都度高精度の組立調整を行う必要があった。
【０００５】
この発明は、各種基板を水平に保持する基板チャッキング装置の上記問題点を解決せんとしてなされたものであり、サイズの異なった基板３を部品交換や面倒な調整を行うことなく確実に保持することが出来る基板チャッキング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上下方向に対して傾斜したガイド長孔１１が形成された昇降可能なチャック開閉ガイド部材１０と、水平腕部６とこの水平腕部６から上方に立上がった垂直腕部７とを有し、端部に配置されたガイドピン１２が前記チャック開閉ガイド部材１０のガイド長孔１１にスライド自在に係合されているチャック４と、チャック４の水平腕部６をガイド用透孔９に挿通させることによりこれを左右方向にスライド自在に支持するサポート部材８とから、基板チャッキング装置を構成し、チャック開閉ガイド部材１０を任意の移動量だけ昇降させることにより、チャック４の垂直腕部７、７間の間隔を自由に設定出来る様にして上記課題を解決した。
【発明の効果】
【０００７】
チャック開閉ガイド部材１０を任意の移動量だけ昇降させることにより、チャック４の垂直腕部７、７の間隔を自由に変えることが出来るので、サイズの異なった基板３を自由に保持することが出来る。又、チャック４は左右方向にしか移動しないので、基板３をチャックする際の位置決めが極めて容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
上下方向に対して傾斜したガイド長孔１１をチャック開閉ガイド部材１０に形成し、これにガイドピン１２をスライド自在に係合させ、チャック４を左右方向にのみ移動できるようにすると共に、チャック開閉ガイド部材１０を任意の位置で停止できる様にした点に本発明の構成上の特徴が存在する。
【実施例１】
【０００９】
図２はこの発明に係る基板チャッキング装置の実施例１の正面図である。図中４はチャックであり、水平腕部６とこの水平腕部６から上方に立上がった垂直腕部７とからなる略Ｌ字形をなしており、垂直腕部７の上端付近には基板保持部５が形成されている。そして、このチャック４は、図示を省略した基部から植設されたサポート部材８に設けられているガイド用透孔９にその水平腕部６がスライド自在に挿通されており、水平方向にのみスライド出来る様になっている。又、１０はチャック開閉ガイド部材であり、該チャック開閉ガイド部材１０の上部には、上端部が中央寄りに、下端部が外側寄りに位置する様に傾斜したガイド長孔１１が形成されており、このガイド長孔１１にはチャック４の水平腕部６の末端に突設されたガイドピン１２が滑動自在に係合されている。そして、このチャック開閉ガイド部材１０の下端にはモーターやエアシリンダーなどの駆動手段１３が接続され、チャック開閉ガイド１０を上下方向にスライドさせ、任意の位置で停止させることが出来る様になっている。
【００１０】
この実施例１は上記の通りの構成を有するものであり、駆動手段１３によってチャック開閉ガイド部材１０を図３に示す様に上昇させると、チャック４のガイドピン１２はガイド長孔１１中をその下方に移動し、これに伴ってチャック４は外側に押し出され、一対のチャック４、４の垂直腕部７、７間の間隔は拡がり、図４に示すガイドピン１２がガイド長孔１１の下端に達した状態で、一対の垂直腕部７の基板保持部５、５
間の間隔は最大となる。逆に、チャック開閉ガイド部材１０を下降させると、チャック４のガイドピン１２はガイド長孔１１中をその上方へ移動し、これに伴いチャック４は内側に引き込まれ、図２に示す状態となり、一対の垂直腕部７の基板保持部５、５間の間隔は最小となる。従って、モーターやエアシリンダーなどの駆動手段１３によってチャック開閉ガイド部材１０を任意の位置で停止させることにより、チャック４の移動範囲内なら、どの様なサイズの基板３でも確実に保持することが出来る。この際、チャック４は左右方向にのみ移動するので、チャック作業の際の基板３の位置決めはスムースかつ容易に行うことが出来る。
【００１１】
なお、上記実施例においては、チャック４は一対設けられているが、四角形をなした基板３の四辺を保持する様にチャック４を９０°ずつ変位させて４本設けたり、円形の基板３の周縁を保持する様にチャック４を１２０°ずつ変位させて３本設けても良く、その場合にはガイド長孔１１も当然チャック４の数だけ設けられることになる。
【実施例２】
【００１２】
図５及び図６はこの発明に係る基板チャッキング装置の実施例２を示したものであり、この実施例２においては、ガイド長孔１１は下部における傾斜が緩やかに、上部における傾斜が急勾配になる様に二次曲線状に形成されている。なお、他の部分は前記実施例１と全く同じである。
【００１３】
この実施例２においては、ガイド長孔１１が二次曲線状に形成されているので、図６に示す様にガイド長孔１１の傾斜の緩やかな部分をガイドピン１２が通過する際のチャック４の左右移動量は大きく、図５に示す様に傾斜の急な部分を通過する際のチャック４の左右移動量は小さくなるので、チャック４の初期移動動作は速やかに、基板３の保持位置付近での移動動作は低速かつ精密に行うことが可能となる。
又、ガイド長孔１１を図７に示すものの様に、異なった曲率を持った曲線が組み合わされた多次曲線状としたり、図８に示すものの様に、異なった傾斜角を持つ直線を連続的に組み合わせても良く、これらの場合には基板３のサイズに応じてチャック４の左右移動運動をよりきめ細かく設定することが出来る。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
半導体ウェーハ基板、ガラス基板、プリント基板、レンズなど各種基板の製造工程において十分な利用可能性を有している。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来の基板チャッキング装置の代表例の正面図。
【図２】この発明に係る基板チャッキング装置の実施例１の基板３を保持している状態の正面図。
【図３】同じく、一対のチャック４、４間の間隔を拡げた状態の正面図。
【図４】同じく、一対のチャック４、４間の間隔を最大限拡げた状態の正面図。
【図５】この発明に係る基板チャッキング装置の実施例２の基板を保持した状態の正面図。
【図６】同じく、一対のチャック４、４間の間隔を最大限拡げた状態の正面図。
【図７】ガイド長孔１１を、異なった曲率を持った曲線が組み合わされた多次曲線状とした実施例の部分正面図。
【図８】ガイド長孔１１を、異なった傾斜角を持つ直線を組み合わせて構成した実施例の部分正面図。
【符号の説明】
【００１６】
１    チャック
２    基部
３    基板
４    チャック
５    基板保持部
６    水平腕部
７    垂直腕部
８    サポート部材
９    ガイド用透孔
１０    チャック開閉ガイド部材
１１    ガイド長孔
１２    ガイドピン
１３    駆動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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