(57)【要約】      （修正有）【課題】簡単に位置ズレ検出が行える位置教示装置及びそれを備えた搬送システムを提供する。【解決手段】ＦＯＵＰを載置する搬入ポート５１ａに設けられ、円の一部が欠損した認識マークが描かれた補正シート４と、ＦＯＵＰを搬送し、搬入ポート５１ａにＦＯＵＰを載置する搬送台車１によって搬送可能な位置補正器２とを備えている。位置補正器２は筐体とフランジからなり、筐体に設けられ、認識マーク位置を検出するＣＣＤカメラ２２と、検出された認識マークの位置と所定位置との位置ズレ量検出する位置ズレ量検出手段とを備えている。【選択図】図１
2005170544.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物を載置する架台に設けられた基準部と、
前記搬送物を搬送し、前記架台に前記搬送物を載置する搬送台車と、
前記搬送台車によって搬送可能な筐体と、
前記筐体に設けられ、前記基準部の位置を検出する位置検出機構と、
検出された前記基準部の位置と所定位置との位置ズレ量検出する位置ズレ量検出手段と
を備えていることを特徴とする位置教示装置。
【請求項２】
前記位置検出機構が、
画像認識により前記基準部の位置を検出することを特徴とする請求項１に記載の位置教示装置。
【請求項３】
前記基準部が、認識マークであることを特徴とする請求項２に記載の位置教示装置。
【請求項４】
前記基準部が、
向きを識別できる形状を有していることを特徴とする請求項２又は３に記載の位置教示装置。
【請求項５】
前記位置ズレ量に基づいて前記搬送台車の位置ズレを補正する補正機構をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の位置教示装置。
【請求項６】
前記筐体が、
前記架台と前記筐体との距離を検出する距離検出機構を
備えていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の位置教示装置。
【請求項７】
前記筐体が、前記搬送物と同形状を有していることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の位置教示装置。
【請求項８】
検出した前記位置ズレ量を記憶する記憶手段をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の位置教示装置。
【請求項９】
前記基準部が、前記架台に対して着脱可能であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の位置教示装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の位置教示装置と、
前記搬送物に処理を施す処理装置と、
前記処理装置の近傍に配置され、前記搬送台車が走行する走行路と
を有していることを特徴とする搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の搬送物を搬送する搬送台車と、この搬送台車が搬送する搬送物を載置する載置台とを具備してなる位置教示装置及びそれを備えた搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
最近の半導体製造、液晶製造、ＦＡなどにおける搬送手段は、ＯＨＴ(Over head Hoist Transport)やＯＨＳ(Over Head Shuttle)などの軌道上を走行する台車による無人搬送システムが主流となってきている。一般的に、台車は天井から吊り下げられた軌道上を走行し、搬送物を目的の装置まで搬送して、載置する。このとき、搬送物は装置上に正確に載置しないと、装置内で処理できなくなる場合があるため、台車を装置上の正確な位置で停止させる必要がある。これまでに、目的の装置上に台車を正確に停止させるため、例えば特許文献１に記載されているような台車は、実際の停止位置と、理想の停止位置との位置ズレを検出する停止位置ズレ量検出手段を備えている。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３４９２８０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の搬送台車は、発光ダイオードが配設されており、装置に設けられた受光素子で発光ダイオードの光を受光することにより、位置ズレを検出している。しかしながら、近年の搬送システムは大型化しており、それに伴い搬送台車や装置等の数が増大するため、特許文献１に記載されている搬送台車は、搬送台車毎に位置検出のための発光ダイオードなどを配設しなければならないため、高価となり、容易に位置ズレ量検出を行うことができない。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、簡単に位置ズレ検出が行える位置教示装置及びそれを備えた搬送システムを提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００６】
本発明は、搬送物を載置する架台に設けられた基準部と、搬送物を搬送し、架台に搬送物を載置する搬送台車と、搬送台車によって搬送可能な筐体と、筐体に設けられ、基準部の位置を検出する位置検出機構と、検出された基準部の位置と所定位置との位置ズレ量検出する位置ズレ量検出手段とを備えている。
【０００７】
この構成によれば、位置検出機構が搬送台車により搬送可能な筐体に設けられているため、位置ズレを検出する場合には、搬送台車に検出手段を設けることなく、簡単に位置ズレを検出することができる。位置ズレを検出することで、搬送物を正確に架台に載置することができる。
【０００８】
本発明の位置検出機構が、画像認識により前記基準部の位置を検出することが好ましい。これによると、基準部に位置を検出するための手段などを特に設ける必要がなくなる。
【０００９】
この場合、基準部が、認識マークであることが好ましい。これによると、画像認識しやすくなるため、位置検出を正確にすることができる。また、この場合、回転方向における位置ズレを検出しやすくするために、基準部が、向きを識別できる形状を有していることが好ましい。
【００１０】
本発明は、前記位置ズレ量に基づいて前記搬送台車の位置ズレを補正する補正機構をさらに備えていてもよい。これによると、作業者などが搬送台車の位置ズレを補正する手間を省くことができる。
【００１１】
本発明において、筐体が、架台と筐体との距離を検出する距離検出機構を備えていることが好ましい。この構成によれば、最適な位置で位置検出をすることができる。また、本発明の筐体が、搬送物と同形状を有していることにより、筐体を基準に位置ズレを補正するだけでよく、搬送物の形状などを考慮して位置ズレを補正する必要がなくなるため、複雑な演算をする必要がなくなる。
【００１２】
本発明は、検出した前記位置ズレ量を記憶する記憶手段をさらに備えていることが好ましい。この構成によれば、一度搬送台車の位置合わせを行えば、他の架台に対して搬送台車の位置合わせをする際に、再度位置ズレ量を検出する必要が無く、無駄な時間を短縮することができる。
【００１３】
本発明において、基準部が、架台に対して着脱可能であることが好ましい。この構成によれば、必要な架台に対して基準部を装着することができるため、新たに位置合わせを行いたい架台に対しても、基準部を設けることができる。
【００１４】
本発明の搬送システムは、上述の位置教示装置と、搬送物に処理を施す処理装置と、処理装置の近傍に配置され、搬送台車が走行する走行路とを有している。これによると、好適に搬送台車の位置ズレを補正することができ、処理装置上に正確に搬送物を載置することができるため、処理装置が搬送物に処理を施しやすくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１６】
本実施の形態に係る搬送システム１０は、図１０に示すように、複数の処理内容の異なる半導体製造装置５（架台・処理装置）、ストッカ６（架台・処理装置）、及び複数の移載装置１をそれぞれ備える各ベイ１９（半導体処理工程を構成する点線で囲んだ領域）が複数備えられて構成されている。各ベイ１９内の各半導体製造装置５及びストッカ６は、工程内起動１８で連結され、さらに、工程内軌道１８は、分岐軌道１７を介して工程間軌道１６に連結されている。
【００１７】
工程間軌道１６、分岐軌道１７、及び工程内軌道１８は、半導体（搬送物）を搬送する複数の懸垂型搬送台車１が走行可能な走行路となっている。これらの走行路（１６、１７、１８）は工場の上方（天井側）に設置され、半導体が各搬送台車１に吊り下げられるように搭載されて搬送される。ここで半導体とは、例えば、一般的にＦＯＵＰ３０（Front Opening Unified Pod）と呼ばれるカセット（収納容器）内に複数枚収納された半導体ウェハである。図１１に示すように、ＦＯＵＰ３０は略立方体の形状を有しており、その上面中央にＦＯＵＰ３０を把持して搬送するためのフランジ３１が配設されている。半導体は、カセット単位で搬送され、各半導体製造装置５内で所定の処理が施されていく。以下の説明で、搬送台車１によって搬送される搬送物をＦＯＵＰ３０と称する。
【００１８】
ストッカ６は複数のＦＯＵＰ３０を収納可能な保管手段であって、搬送システム１０につき１つ又は複数配置されている。ＦＯＵＰ３０が処理待ちの状態などのときに、ＦＯＵＰ３０はストッカ６に搬送され、ストッカ６内で要求されるまで保管されるようになっている。ストッカ６は、必ずしも、各ベイ１９に１つずつ備えられているものでなくてもよい。ストッカ６内では、図示しないスタッカクレーンによってＦＯＵＰ３０の移動が行われ、各棚に収納される。
【００１９】
半導体製造装置５は、ＦＯＵＰ３０を内部に取り込み、ＦＯＵＰ３０に収納されている半導体ウェハに薄膜形成、フォトリソグラフィー、エッチングなどの処理を施す。半導体製造装置５は、搬入ポート５１ａと搬出ポート５１ｂとを有している。搬入ポート５１ａと搬出ポート５１ｂとが工程内軌道１８の直下に位置するように、半導体製造装置５を配置する。また、搬送台車１は、搬入ポート５１ａと搬出ポート５１ｂとに同時にアクセスすることも可能である。搬送台車１により搬入ポート５１ａに載置されたＦＯＵＰ３０は、半導体製造装置５に内蔵されている図示しない移載機構により内部に取り込まれる。その後、クリーンな環境でＦＯＵＰ３０内の半導体ウェハを取り出して、必要な処理を施す。処理終了後、再びＦＯＵＰ３０内に半導体ウェハを収納し、半導体製造装置５に内蔵されている図示しない搬送機構によりＦＯＵＰ３０が搬出ポート５１ｂ上に運び出され、載置される。
【００２０】
搬送台車１は、上述したように、ＦＯＵＰ３０を半導体製造装置５及びストッカ６に搬送する。図１１に示すように、搬送台車１は、走行機１１と、昇降機体１２と、ベルト１３と、昇降体１４と、フィンガ１５とを有している。走行機１１は、走行路（１６、１７、１８）を一方向に走行する。走行機１１の下方には、昇降機体１２が配設されている。昇降機体１２は、図示しないモータに接続されたリールを有しており、そのリールにベルト１３が巻回されている。また、昇降機体１２には、搬送台車１を制御するための後述するコントローラ１００を備えている。
【００２１】
ベルト１３の先端には、昇降体１４が配設されており、リールの正逆回転により、ベルト１３を介して昇降体１４が昇降するようになっている。また、ベルト１３は、半導体製造装置５等に載置できるまでＦＯＵＰ３０を降下させることができる長さを有している。昇降体１４の下部には、フィンガ１５が設けられている。フィンガ１５は、ＦＯＵＰ３０のフランジ３１を挟持可能なように開閉可能となっている。上述の搬送台車１の各機構、半導体製造装置５やストッカ６等は、後述する図４に示すシステムコントローラ９０と通信可能となっており、システムコントローラ９０の支持により各機構、装置が動作するようになっている
【００２２】
搬送台車１の停止位置と、半導体製造装置５又はストッカ６のＦＯＵＰ３０を載置する載置位置との位置ズレを補正するために、本実施の形態では、図１に示すように、位置補正器２と補正シート４とを用いている。位置補正器２は、図２に示すように、ＦＯＵＰ３０と同形状で内部空間を有する筐体２ａ（筐体）とフランジ２１とを有しており、搬送台車１によって搬送可能となっている。また、補正シート４は、図３に示すように、正方形のプレートであり、中心に、円の一部が欠損した形状の認識マーク４１（基準部）が描かれている。そして、補正シート４は、半導体製造装置５の搬出入ポート５１ａ・５１ｂ等の上に着脱可能に載置されている。認識マーク４１を円の一部が欠損した形状とすることで、回転方向に対する誤差を検出しやすくなる。尚、位置ズレを補正するために、作業者が補正シート４を載置するようにしてもよいし、認識マーク４１を予め搬出入ポート５１ａ・５１ｂ等に描いてもよい。
【００２３】
筐体２ａの内側上面の略中心部には、補正シート４の認識マーク４１を撮像するためのＣＣＤカメラ２２（位置検出機構）が配設されている。また、筐体２ａの下面のＣＣＤカメラ２２と対向する位置には、開口２５が設けられており、ＣＣＤカメラ２２が、開口２５を介して画像認識できるようになっている。筐体２ａの側面には、ＣＣＤカメラ２２により取込んだ画像を処理する画像処理装置２３（位置検出機構）が配設されている。さらに、筐体２ａの下面の開口２５の近傍には、レーザ式の距離センサ２４（距離検出機構）が設けられており、位置補正器２と補正シート４との距離を検出できるようになっている。尚、図３中の点線がＣＣＤカメラ２２により撮像範囲である。撮像範囲は、略正方形であり、撮像範囲に対して垂直に交差する方向をＣＣＤカメラ２２のＸ軸、Ｙ軸（図中一点鎖線）とする。
【００２４】
また、画像処理装置２３と距離センサ２４とに接続されているケーブル２６ａ・２６ｂが搬送台車１の昇降体１４に接続されており、ケーブル２６ａ・２６ｂを介して、位置補正器２と搬送台車１のコントローラ１００とが通信可能となっており、ケーブル２６ａ・２６ｂを介して位置補正器２に電力が供給されるようになっている。尚、ケーブル２６ａ・２６ｂを介さず、無線により通信可能としてもよいし、電力源を筐体２ａ内に設けるようにしてもよい。
【００２５】
ここで、コントローラ１００について説明する。コントローラ１００は、搬送システム１０のシステムコントローラ９０の支持に従って搬送台車１を制御し、また、搬送台車１とＦＯＵＰ３０を載置する半導体製造装置５及びストッカ６との位置ズレを補正する。コントローラ１００は、図４に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１０と、ＲＡＭ（Random Access Memory）１２０と、ＲＯＭ（Read Only Memory）１３０と、インターフェースユニット１４０とを備えている。
【００２６】
ＣＰＵ１１０は、各種コマンドに従って演算処理を行う中央演算処理装置である。ＲＡＭ１２０は、ＣＰＵ１１０がプログラムを実行する際に使用するデータの一時記憶用の揮発性の読出し又は書き込みメモリである。ＲＯＭ１３０は、ＣＰＵ１１０により、図４の各機能部を制御し、図６のフローチャートを動作させるための演算プログラムが格納されている不揮発性の読出し専用メモリである。
【００２７】
インターフェースユニット１４０は、システム全体をコントロールするシステムコントローラ９０や位置補正器２とコントローラ１００とを直接的、間接的に電気的接続する接続部である。上述したように、位置補正器２と搬送台車１とはケーブル２６ａ・２６ｂにより通信されている。また、搬送台車１とシステムコントローラ９０とは、無線により通信されている。
【００２８】
次に、搬送台車１のコントローラ１００及び位置補正器２の各機能について説明する。図４に示すように、コントローラ１００において、ＣＰＵ１１０は、位置ズレ量検出部１１１と、位置補正制御部１１２（補正機構）と、モータ制御部１１３とを有している。また、ＲＡＭ１２０は、基準画像記憶部１２１と位置ズレ量記憶部１２２（記憶手段）と、カメラ補正値記憶部１２３とを有している。さらに、上述したように、位置補正器２は、画像処理装置２３と、距離センサ２４とを有している。
【００２９】
距離センサ２４は、位置補正器２の筐体２ａと補正シート４との距離を検出する。距離センサ２４はレーザ式であり、レーザを補正シート４に投光し、反射光を受光することにより、筐体２ａと補正シート４との距離を検出する。
【００３０】
画像処理装置２３は、ＣＣＤカメラ２２が撮像した補正シート４の認識マーク４１の画像処理をする。また、ＣＣＤカメラ２２が基準位置を決定するために撮像した認識マーク４１の画像をＲＡＭ１２０の基準画像記憶部１２１に記憶する。
【００３１】
位置ズレ量検出部１１１は、搬送台車１の停止位置と、半導体製造装置５及びストッカ６のＦＯＵＰ３０の載置位置との回転方向又は水平方向に対する位置ズレ量を検出する。検出方法については後に詳述するが、ＲＡＭ１２０の基準画像記憶部１２１と画像処理装置２３が画像処理した認識マーク４１との比較により位置ズレ量を検出する。検出した位置ズレ量は、ＲＡＭ１２０の位置ズレ量記憶部１２２に記憶される。
【００３２】
位置補正制御部１１２は、ＲＡＭ１２０の位置ズレ量記憶部１２２に記憶されている位置ズレ量に基づいて、搬送台車１の位置ズレを補正する。補正することにより、搬送台車１は、ＦＯＵＰ３０を正確に半導体製造装置５等に載置することができる。
【００３３】
モータ制御部１１３は、搬送台車１の昇降機体１２のリールに接続されているモータを作動させて、昇降体１４を昇降させる。また、位置補正器２の距離センサ２４が検出した筐体２ａと補正シート４との距離が所定値となると、モータを停止させる。所定値は、画像処理をするのに最適な距離に予め設定された値である。これにより、最適な位置で認識シート４の画像検出を行うことができる。尚、距離の所定値は、ＲＡＭ１２０の図示しない領域に記憶されていてもよいし、図示しないフラッシュメモリ等に作業者がその都度入力するようにしてもよい。
【００３４】
基準画像記憶部１２１は、ＣＣＤカメラ２２の撮像範囲の基準位置となる画像を記憶する。位置ズレ量記憶部１２２は、位置ズレ量検出部１１１で検出された位置ズレ量を記憶する。尚、位置ズレ量記憶部１２２は、位置ズレ量を搬送台車毎又は装置（半導体製造装置５・ストッカ６）毎に分類して記憶している。カメラ補正値記憶部１２４は、ＣＣＤカメラ２２と搬送台車１との位置ズレ量を記憶する。
【００３５】
次に、搬送台車１及び各装置の位置ズレ補正を行う方法について説明する。かかる位置ズレ補正は、搬送台車１に位置補正器２を把持させ、補正シート４の認識マーク４１を撮像し、ＣＣＤカメラの傾き角度補正値、ＣＣＤカメラの位置補正値、搬送台車１の位置ズレ量および各装置の位置ズレ量を検出することにより可能となる。以下、その各検出について、図６及び図７のフローチャートを参照しつつ説明する。尚、以下の説明において、搬送台車１が走行する走行路に対して正確に位置合わせをした半導体製造装置５の搬入ポート５１ａを位置ズレの基準とし、その搬入ポート５１ａを基準架台Ａと称する。また、基準とする装置は搬出ポート５１ｂでもストッカ６であってもよい。
【００３６】
まず、Ｓ６０１において、ＣＣＤカメラの傾き角度補正値を検出する。つまり、搬送台車１の軸（搬送台車１の走行方向）と搬送台車１が把持する位置補正器２のＣＣＤカメラ２２のＸ軸との傾き角度を検出する。尚、このステップにおける搬送台車１の動作は、作業者により基準架台Ａに対して正確に位置合わせされて行われる。これにより、搬送台車１と基準架台Ａとの位置ズレがなくなるため、ＣＣＤカメラ２２の傾き角度を検出することができる。
【００３７】
まず、搬入ポート５１ａに補正シート４を載置して、ＣＣＤカメラ２２により補正シート４の認識マーク４１を撮像する。このとき、図５（ａ）に示すように、認識マーク４１がＣＣＤカメラ２２の撮像範囲内に収まるように撮像する。その後、認識マーク４１が撮像範囲から外れない範囲で搬送台車１を移動させる。図５（ｂ）に示すように、搬送台車１を移動させることで搬送台車１の軸を認識することができ、その認識した軸とＣＣＤカメラ２２のＸ軸との傾き角度δを検出することができる。
【００３８】
次に、Ｓ６０２に移行して、ＣＣＤカメラの位置補正値を検出する。つまり、ＣＣＤカメラ２２のＸ軸Ｙ軸方向における位置ズレを検出する。ここで、図７のフローチャートに移行し、まず、Ｓ７０１において、基準画像を基準画像記憶部１２１に記憶させる。ここで基準画像とは、位置ズレを検出する際に基準とする認識マーク４１の位置を表し、ＣＣＤカメラ２２、搬送台車１、及び各装置（半導体製造装置５・ストッカ６）が、全てズレがない場合に得られる画像である。具体的には、図３に示すように、認識マーク４１の中心と、撮像範囲の中心とが重合し、且つ、認識マーク４１の傾きがない状態で撮像される画像である。
【００３９】
次に、Ｓ７０２に移行し、作業者が位置補正器２を降下させ、基準架台Ａの正規位置に固定し、さらに、Ｓ７０３に移行し、認識マーク４１を撮像する。そして、Ｓ７０４に移行し、基準画像記憶部１２１に記憶させた基準画像と、Ｓ７０３撮像した画像との認識マーク４１の位置ズレ量をＣＣＤカメラ２２の補正用データとして、カメラ補正値記憶部１２４に記憶させる。尚、ここで記憶させる位置ズレは、Ｓ６０１で検出した傾き角度δと、ＣＣＤカメラ２２のＸ軸Ｙ軸方向における位置ズレとを含んでいる。その後、位置補正器２を搬送台車１の元の位置に戻す。尚、以下の説明において、基準画像で記憶した認識マークを基準画像４１ａと称す。
【００４０】
次に、Ｓ６０３に移行して、搬送台車１の位置ズレ量を検出する。ここで図８のＳ８０１に移行して、今度は作業者を介さず、モータ制御部１１３がモータを作動させ、位置補正器２を降下させる。尚、以下の説明において、最初に位置ズレの補正を行う搬送台車１を搬送台車Ａと称する。搬送台車Ａが位置補正器２を降下する途中で、距離検出器２４が検出した位置補正器２と補正シート４との距離が所定値となったか否かを判断する（Ｓ８０２）。距離が所定値でない場合（Ｓ８０２：Ｎｏ）、Ｓ８０１に戻り位置補正器２を降下させつづける。距離が所定値の場合（Ｓ８０２：Ｙｅｓ）、Ｓ８０３に移行して、モータ制御部１１３がモータを停止し、位置補正器２の降下を停止させる。ここで、所定値は、予め設定された、画像認識に最適な位置補正器２と補正シート４との距離値である。
【００４１】
Ｓ８０４に移行して、停止位置で、ＣＣＤカメラ２２により補正シート４の認識マーク４１を撮像し、Ｓ８０５において、撮像した認識マーク４１と基準画像記憶部１２１に記憶した基準画像４１ａとから位置ズレ量検出部１１１が位置ズレ量を検出する。ここで、位置ズレ量の検出方法について説明する。ＣＣＤカメラ２２の撮像範囲が、図５（ｃ）に示すような位置に存在する場合について説明する。尚、図中点線の認識マークは、基準画像４１ａである。認識マーク４１が基準画像４１ａと重合するようにすることで位置ズレを補正することができる。ここで、認識マーク４１と基準位置４１ａとの中心距離をＬとし、認識マーク４１と基準位置４１ａとの回転方向における誤差が角度λとする。
【００４２】
上述したように、ＣＣＤカメラ２２のＸ軸と搬送台車の軸とは角度δの誤差がある。ＣＣＤカメラ２２の傾き誤差を補正した場合、認識マーク４１と基準位置４１ａとの回転方向における誤差が角度（λ―δ）となる。従って、認識マーク４１と基準位置４１ａとの位置ズレは、Ｘ軸ではＬｃｏｓ（λ―δ）、Ｙ軸ではＬｓｉｎ（λ―δ）と検出することができる。さらに、Ｓ６０２で検出したＣＣＤカメラ２２のＸ軸Ｙ軸方向における位置ズレを考慮した位置ズレ量を搬送台車Ａの位置ズレ量とし、位置ズレ量記憶部１２２に記憶する（Ｓ８０６）。
【００４３】
図６に戻り、Ｓ６０４に移行して、搬送台車Ａ以外の搬送台車についても同様に、基準架台Ａに対する位置ズレ量を検出する。これにより、全ての搬送台車１において、基準となる基準架台Ａに対しての位置ズレを補正することができる。検出方法については、上述した方法と同様のため説明は省略する。
【００４４】
次に、Ｓ６０５に移行して、基準架台Ａ以外の装置について、位置ズレ補正値を検出する。このステップにおいて、上述したように搬送台車Ａの位置ズレは補正されているので、この搬送台車Ａに対する位置ズレ量を検出し、補正すればよい。尚、他の装置の位置ズレ量の検出方法は、搬送台車Ａの位置ズレ量を検出した検出方法と同様であるため、説明は省略する。検出した他の装置に対する位置ズレ量は、位置ズレ量記憶部１２２に装置毎にマッピングされて記憶される。
【００４５】
以上のように、検出し、位置ズレ量記憶部１２２に記憶した位置ズレ量に基づいて、搬送台車１の動作毎に位置補正制御部１１２が搬送台車１の位置ズレ補正を行う。尚、各装置の位置ズレに対しては、作業者が位置ズレ量に基づいて正確に位置合わせを行っても良いし、搬送台車１の位置ズレ補正を行う際に、各装置の位置ズレを考慮して位置ズレ補正を行うようにしてもよい。
【００４６】
次に、本実施の形体の変形例として、搬送台車１の停止位置が半導体装置５及びストッカ６に対して位置ズレ量が大きい場合について説明する。
【００４７】
位置ズレ量が大きい場合、認識マーク４１がＣＣＤカメラ２２の撮像範囲に収まらず、基準画像４１ａとの位置ズレ量を検出できない場合がある。しかしながら、撮像範囲を大きくすると計測精度が落ちる。このため、本実施の形態の変形例として、図９（ａ）に示すような補正シート３を用いる。
【００４８】
補正シート３は、中心位置に円の一部が欠損した形状の認識シート３１を有している。さらに、認識マーク３１の中心線で分割した形状のマーク３１ａ・３１ｂが、認識マーク３１を通る中心線に対して左右対称に距離２Ｍだけ離れて配置されている。左右対称に別の形状の認識マーク３１ａ・３１ｂを配置することで、ＣＣＤカメラ２２の撮像範囲をずらしても、ずれ方向を識別することができるようになっている。尚、左右対称に配置する認識マークは別の形状であってもよく、方向が識別できるものであればよい。
【００４９】
次に、補正シート３において、基準画像４１ａからの位置ズレ量を検出する方法について説明する。図９（ｂ）に示すように、補正シート３に対してＣＣＤカメラの撮像範囲が位置する場合について説明する。認識マーク３１ａと、認識マーク３１の一部とが撮像範囲内に収まっている。基準画像４１ａと認識マーク３１との距離をＬ１、基準画像４１ａと認識マーク３１ａとの距離をＬ２とする。また、認識マーク３１と基準画像４１ａとは回転方向において角度λだけ誤差があるとする。三角関数の定義から、距離Ｌ１を導くことができる。尚、位置ズレを補正したＣＣＤカメラ２２のＸ軸と補正シート３の横軸（各認識マーク３１の配列方向の軸）との回転方向における誤差は角度αとする。
【００５０】
【数１】
2005170544.tif 000003
【００５１】
また、ＣＣＤカメラ２２のＸ軸と、基準画像４１ａと認識マーク３１との中心を結ぶ線との角度をβは以下のようになる。
【００５２】
【数２】
2005170544.tif 000004
【００５３】
以上より、基準画像４１ａと認識マーク３１と位置ズレは、Ｘ軸においてＬ１ｃｏｓ（β―δ）、Ｙ軸においてＬ１ｓｉｎ（β―δ）と検出することができる。
【００５４】
以上説明したように、本実施の形態において、位置検出器２が搬送台車１により搬送可能であるため、位置ズレを検出する場合には、搬送台車１に検出手段を設けることなく、簡単に位置ズレを検出することができる。位置ズレを検出することで、ＦＯＵＰ３０を正確に半導体製造装置５やストッカ６等に載置することができる。また、画像認識により位置ズレを検出することで、半導体製造装置５やストッカ６等に位置を検出するための手段などを特に設ける必要がなくなる。さらに、認識マーク４１が、円の一部が欠損した形状となっているため、回転方向における位置ズレを検出しやすくなる。
【００５５】
また、位置補正器２の筐体２ａが、ＦＯＵＰ３０と同じ形状であることで、位置ズレを補正する際に、ＦＯＵＰ３０を考慮して補正する必要がなくなるため、複雑な演算をする必要がなくなる。また、補正シート４が着脱可能であるため、搬送システム１０内に新たに半導体製造装置５を追加した場合であっても、簡単に位置ズレを検出することができる。
【００５６】
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。即ち、上述の実施の形態では、認識マーク４１・３１の形状は円の一部が欠損した形状となっているが、これに限定されることはない。認識マーク４１・３１を凸型の認識部材としてもよい。また、補正シート４は正方形の形状を有しているが、正方形でなくても良い。
【００５７】
上述の実施の形態は、位置補正器２が画像処理装置２３を有しているが、別に設けてもよい。また、ケーブル２６ａ・２６ｂを介して位置補正器２と搬送台車１とが通信しているが、無線による通信であってもよい。さらに、位置補正器２がＣＣＤカメラなどを駆動させるバッテリを有していてもよい。この場合、駆動源を持つことで、他の装置と分離させることができる。位置補正器２がＦＯＵＰ３０と異なる形状であってもよい。
【００５８】
本発明は、上記の好適な実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の好適な実施の形態に係る位置補正器と補正シートとの関係を表した概略図。
【図２】図１に描かれている位置補正器の断面図。
【図３】図１に描かれている補正シートの上面図。
【図４】搬送台車と位置補正器との機能ブロック図。
【図５】（ａ）及び（ｂ）ＣＣＤカメラのＸ軸と搬送台車の軸との傾き誤差を検出する方法図。（ｃ）基準画像と認識マークとの位置ズレ量を検出する方法概略図。
【図６】位置ズレを検出する位置補正器の動作を表すフローチャート図。
【図７】図６中のＣＣＤカメラの位置補正値検出の動作を表すフローチャート図。
【図８】図６中の位置ズレ量検出の動作を表すフローチャート図。
【図９】（ａ）好適な実施の形態に係る変形例であり、位置ズレ量が大きい場合の補正シートの上面図。（ｂ）変形例においける基準画像と認識マークとの位置ズレ量を検出する方法概略図。
【図１０】搬送システムの概略図。
【図１１】搬送台車の概略図。
【符号の説明】
【００６０】
１    搬送台車
２    位置補正器
４    補正シート
１１    走行機
１２    昇降機体
１３    ベルト
１４    昇降体
１５    フィンガ
２６ａ、２６ｂ    ケーブル
４１    認識マーク
５１ａ    搬入ポート
５１ｂ    搬出ポート
１００    コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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