(57)【要約】【課題】  冷却板に寸法変形（塑性変形）が生じた場合でも、支持部材に設けられたボルト孔や冷却水を流す給排水口と冷却板に設けられた開口孔とを正常な配置状態で連続させることが出来る薄膜形成用積層体を提供する。【解決手段】  薄膜形成用積層体２０は、ターゲット材２１と冷却板２３とが想付けされた状態で構成されたものであり、冷却板２３は、ターゲット材２１と比較して、剛性が低く、かつ、熱膨張率が異なる素材で構成されている。そして、冷却板側ボルト孔２３１は、このボルト孔２３１の中心位置から位置決め中心位置Ｃに向かう方向ＩＨ、及び、その反対の方向に延びる形状で形成され、冷却板側給排水口２４１は、その給排水口２４１の中心位置が、装置側給排水口１５の中心位置から位置決め中心位置Ｃに向かう方向ＷＨと略反対の方向にずれた状態で配置されるように形成されている。【選択図】      図３
2005029850.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スパッタリング法で基材表面に金属薄膜を形成するための金属薄膜形成装置に設けられている支持部材に装着可能な薄膜形成用積層体であって、
上記支持部材に取り付け可能な冷却板と、この冷却板にろう材でろう付けされたターゲット材とを備え、上記冷却板は、上記ターゲット材と比較して剛性が低くかつ熱膨張率が異なるように構成され、上記支持部材に複数形成された装置側開口孔に各々連続可能な冷却板側開口孔を複数有し、この冷却板側開口孔は上記装置側開口孔と異なる大きさの孔径に形成され、上記冷却板と上記ターゲット材とがろう材の融点以上の温度で加熱された状態でろう材によりろう付けされ、上記ろう付けされた状態から冷却するときに生じたたわみを矯正することにより上記冷却板に寸法変形が生じたときであっても、上記冷却板を上記支持部材に取り付けたとき、上記冷却板側開口孔又は上記装置側開口孔のうち、小さい方の孔の全部分が、他方の孔が形成されている範囲内に存在する状態となるように上記冷却板側開口孔が配置される
ことを特徴とする薄膜形成用積層体。
【請求項２】
上記冷却板側開口孔は上記支持部材に上記冷却板を取り付けるボルトを挿通させる冷却板側ボルト孔であり、当該冷却板ボルト孔は、上記支持部材を上記冷却板に取り付ける為に複数箇所に配置され、かつ、上記装置側開口孔に該当する装置側ボルト孔の径より大きく形成され、上記寸法変形が一度も生じていない状態の冷却板の冷却板側ボルト孔にボルトを挿入し、このボルトを上記装置側ボルト孔に螺合することにより上記冷却板を上記支持部材に取り付けた場合、上記ボルトと上記冷却板側ボルト孔周縁との間に間隙が生じ、かつ上記冷却板に上記寸法変形が生じたときであっても上記冷却板を上記支持部材に取り付けるときには上記冷却板側ボルト孔に上記装置側ボルト孔の全部分が連続可能であるように上記冷却板側ボルト孔の大きさ及び配置位置が設定されていることを特徴とする請求項１記載の薄膜形成用積層体。
【請求項３】
上記冷却板側ボルト孔は、上記冷却板の寸法変形が一度も生じていない状態では丸孔であることを特徴とする請求項２記載の薄膜形成用積層体。
【請求項４】
上記冷却板側ボルト孔は、上記冷却板の寸法変形が一度も生じていない状態で上記冷却板側ボルト孔及び装置側ボルト孔にボルトを挿入して上記冷却板を上記支持部材に取り付けた場合、上記ボルトと上記冷却板側ボルト孔周縁との間に生ずる間隙が、上記ボルトの中心位置から上記支持部材に上記冷却板を取り付けるときの位置決め中心位置に向かう方向と略同一の方向、又は、この方向と略反対方向のほうが、他の方向と比較して大きくなるようにこの冷却板側ボルト孔が形成されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の薄膜形成用積層体。
【請求項５】
上記冷却板側ボルト孔は、上記冷却板の寸法変形が一度も生じていない場合、上記冷却板側ボルト孔の中心位置から上記位置決め中心位置に配置される部分に向かう方向と略同一の方向に延びる形状であることを特徴とする請求項４記載の薄膜形成用積層体。
【請求項６】
上記冷却板側ボルト孔は、上記冷却板の寸法変形が一度も生じていない状態で上記冷却板側ボルト孔及び装置側ボルト孔にボルトを挿入して上記冷却板を上記支持部材に取り付けた場合、上記ボルトと上記冷却板側ボルト孔に生ずる間隙は、上記ボルトの中心位置から上記支持部材に上記冷却板を取り付ける時の位置決め中心位置に向かう方向と略同一の方向、又は、略反対方向に延びる方向においては上記位置決め中心位置から上記冷却板側ボルト孔までの最短距離の０．１５％以上となるように上記冷却板側ボルト孔が形成されていることを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載の薄膜形成用積層体。
【請求項７】
上記冷却板ボルト孔は、上記冷却板の寸法変形が一度も生じていない状態では上記装置側ボルト孔より大きな径で形成された丸孔であり、かつ上記冷却板側ボルト孔及び上記装置側ボルト孔に対応するボルトを挿入し、上記冷却板を上記支持部材に取り付けた場合、上記ボルトと上記冷却板側ボルト孔周縁との間に生じる間隙は、全周に亘って略同一の大きさとなるように形成されていることを特徴とする請求項６記載の薄膜形成用積層体。
【請求項８】
上記冷却板側開口孔は、冷却板内に冷却水を給排水する冷却板側給排水口であり、上記冷却板とターゲット材とをろう材の融点以上の温度で加熱した状態でろう付けした後、冷却した状態で生じたたわみを矯正することにより上記冷却板に寸法変形が生じたときであっても、上記冷却板を上記支持部材に配置したとき、上記冷却板側給排水口、又は、上記装置側開口孔として形成された装置側給排水口のうちの小さい方の排水口が、他の排水口の全部分に連続可能であるように上記冷却板側給排水口の大きさ及び配置位置が設定されていることを特徴とする請求項１記載の薄膜形成用積層体。
【請求項９】
上記冷却板側給排水口は、上記寸法変形が一度も生じていない状態の冷却板を上記支持部材に取り付けた場合、この冷却板側給排水口の中心位置が、上記装置側給排水口の中心位置から上記支持部材に上記冷却板を取り付けるときの位置決め中心位置に向かう方向と略同一の方向、又は、上記方向と略反対方向にずれるようにこの冷却板側給排水口が配置されていることを特徴とする請求項８記載の薄膜形成用積層体。
【請求項１０】
請求項９記載の薄膜形成用積層体において、上記冷却板側給排水口に生じる位置ずれが上記位置決め中心位置から上記冷却板側給排水口までの最短距離の０．１５％以上となるように上記冷却板側給排水口が配置されていることを特徴とする薄膜形成用積層体。
【請求項１１】
上記冷却板に使用する素材の熱膨張率と、上記ターゲット材の素材の熱膨張率との差が１０％以上であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の薄膜形成用積層体。
【請求項１２】
上記冷却板に使用する素材は銅であり、上記ターゲット材に使用する素材はアルミニウム又はアルミニウム合金であることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の金属薄膜形積層体。
【請求項１３】
上記冷却板に使用する素材は銅であり、上記ターゲット材に使用する素材はチタン又はチタン合金であることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれかに記載の薄膜形成用積層体。
【請求項１４】
スパッタリング法で基材表面に金属薄膜を形成するための金属薄膜形成装置であって、請求項１乃至１３のいずれかに記載の薄膜形成用積層体と、この薄膜形成用積層体を装着する支持部材と、この支持部材と対面するように基材を配置する基材支持部とを備えたことを特徴とする金属薄膜形成装置。
【請求項１５】
スパッタリング法で基材表面に金属薄膜を形成するための金属薄膜形成装置に設けられている支持部材に装着可能な冷却板であって、
上記支持部材に複数形成された孔である装置側開口孔に各々連続可能な冷却板側開口孔を複数有し、この冷却板側開口孔は上記装置側開口孔と異なる大きさの孔径に形成され、ろう材の融点以上の温度で加熱された状態でターゲット材がろう付けされ、上記ろう付けされた状態から冷却するときに生じたたわみを矯正することにより寸法変形が生じたときであっても、上記支持部材に取り付けたとき、上記冷却板側開口孔又は上記装置側開口孔のうち小さい方の孔の全部分が、他方の孔が形成されている範囲内に存在する状態となるように上記冷却板側開口孔が配置されることを特徴とする冷却板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材の上に金属を形成する薄膜形成装置、及び、その装置に配設される冷却板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板等の上に金属薄膜を形成する方法としては、例えば非特許文献１に記載のように、ターゲット材にイオン化されたガスイオンを衝突させ、そのエネルギーにより、ターゲット素材の分子または原子を叩き出し、この分子又は原子を基板表面に付着させるスパッタリング法が存在する。
【０００３】
この方法により金属薄膜を形成するための金属薄膜形成装置１としては、例えば図１に示すものが挙げられる。
【０００４】
この装置１は、吸気口１ａと、排気口１ｂと、支持部材１１と、支持部材１１と対面するように配置される基材支持部３１とを備えている。吸気口１ａからはアルゴンガスＡｒが装置内に取り入れられ、排気口１ｂからかかるガスが排気される。また、支持部材１１には、ターゲット材２１及び冷却板２３を備えた薄膜形成用積層体２０がボルト（図示せず）等で取り付けられている。
【０００５】
冷却板２３には、支持部材１１に取り付けるためのボルト孔、及び、支持部材１１内部から冷却板２３内部に冷却水を流すための給排水口に代表される開口孔が、支持部材１１に形成されたボルト孔及び給排水口と連続するように形成されている。
【０００６】
また、冷却板２３の表面には、ターゲット材２１がろう材でろう付けされている。冷却板２３には、銅などの比較的剛性の低い金属が使用され、ターゲット材２１には、アルミ合金、チタン等のように冷却板２３よりも剛性の高い金属が使用されている。ろう材としては、インジウム合金、Ｓｎ−Ｚｎ合金等が使用されている。
【０００７】
基材支持部３１上には、基板４１（基材）が配置され、ターゲット材２１の対面と基板４１が対面するように配置されている。そして、基板４１とターゲット材２１間にプラズマ放電を形成し、イオン化したアルゴンＡｒ、すなわちアルゴンイオンＩＡｒが、ターゲット材２１からターゲット材原子ＩＴをたたき出し、そのターゲット材原子ＩＴを基板４１上に積層させることにより、基板４１上に薄膜４２を形成する。
【０００８】
ターゲット材２１は、薄膜形成作業を行う毎に消耗するため、定期的に交換する必要があり、この交換作業は、次のような手順で行う。まず、支持部材１１から冷却板２３を取り外す。次に、冷却板２３及びターゲット材２１をろう材の融点以上の温度に加熱し、消耗したターゲット材２１を取り外し、代わりに新しいターゲット材２１をろう材で取り付け、その後、これらの部材を冷却する。この時、冷却板２３に使用した金属とターゲット材２１に使用した金属との熱膨張率が異なるため、冷却板２３及びターゲット材２１にはたわみが生じている。そこで、このたわみをなくすように矯正し、その後、ボルト等で冷却板２３を支持部材１１に再度取り付ける。
【非特許文献１】吉川、液晶パネル用アルミニウム合金ターゲット材料の開発、２０００年９月／１０月、財団法人日本アルミニウム協会、Ｐ１８６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながらこのような冷却板を用いたとき、冷却板は、ターゲット材よりも剛性が低いため、上記たわみの矯正を行うときは、主に冷却板の寸法が変形するように塑性変形されることにより矯正される。したがって、交換作業前の冷却板の寸法と交換作業後の冷却板との寸法が異なることになり、それに伴い上記開口孔の位置ずれを起こし、支持部材に形成された開口孔と正常な配置状態で連続させることが出来なくなる。
【００１０】
本発明は、かかる課題を解決し、冷却板に寸法変形が生じた場合でも、支持部材に設けられた開口孔と冷却板に設けられた開口孔とを正常な配置状態で連続させることが出来る薄膜形成用積層体を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、スパッタリング法で基材表面に金属薄膜を形成するための金属薄膜形成装置の支持部材に装着可能な薄膜形成用積層体であって、上記支持部材に取り付け可能な冷却板と、この冷却板にろう材でろう付けされたターゲット材とを備え、上記冷却板は上記ターゲット材と比較して剛性が低くかつ熱膨張率が異なるように構成され、上記支持部材に複数形成された装置側開口孔に各々連続可能な冷却板側開口孔を複数有し、この冷却板側開口孔は上記装置側開口孔と異なる大きさの孔径に形成され、上記冷却板と上記ターゲット材とがろう材の融点以上の温度で加熱された状態でろう材によりろう付けされ、上記ろう付けされた状態から冷却するときに生じたたわみを矯正することにより上記冷却板に寸法変形が生じたときであっても、上記冷却板を上記支持部材に配置したとき、上記冷却板側開口孔又は上記装置側開口孔のうち、小さい方の孔の全部分が、他方の孔が形成されている範囲内に存在する状態となるように上記冷却板側開口孔が配置されるものである。
【００１２】
この薄膜形成用積層体は、上記冷却板に寸法変形が生じたときであっても、上記冷却板を上記支持部材に配置したとき、上記冷却板側開口孔又は上記装置側開口孔のうち小さい方の開口孔の全部分が、他方の開口孔が形成されている範囲内に存在する状態で配置可能であるため、上記冷却板と上記ターゲット材とのろう付け作業を繰り返し行い、上記冷却板が繰り返し変形した後であっても、上記装置側開口孔と上記冷却板側開口孔とを正常な配置状態で連続させた状態で、上記薄膜形成用積層体を上記支持部材に取り付けることが可能となる。
【００１３】
また本発明は、上記冷却板側開口孔が上記支持部材に上記冷却板を取り付けるボルトを挿通させる冷却板側ボルト孔であり、当該冷却板ボルト孔は上記支持部材を当該冷却板に取り付ける為に複数箇所に配置され、かつ、上記装置側開口孔に該当する装置側ボルト孔の径より大きく形成され、上記寸法変形が一度も生じていない状態の冷却板の冷却板側ボルト孔にボルトを挿入し、このボルトを上記装置側ボルト孔に螺合することにより上記冷却板を上記支持部材に取り付けた場合、上記ボルトと上記冷却板側ボルト孔周縁との間に間隙が生じ、かつ上記冷却板に上記寸法変形が生じたときであっても上記冷却板を上記支持部材に取り付けるときには上記冷却板側ボルト孔に上記装置側ボルト孔の全部分が連続可能であるように上記冷却板側ボルト孔の大きさ及び配置位置が設定されているものである。
【００１４】
この薄膜形成用積層体の構成によると、上記冷却板に寸法変形が生じたときであっても、上記冷却板側ボルト孔に上記装置側ボルト孔の全部分が連続する状態で上記冷却板を上記支持部材に取り付けることが可能であるため、上記冷却板と上記ターゲット材とのろう付け作業を繰り返し行い、上記冷却板に繰り返し寸法変形が生じたときであっても、上記冷却板側ボルト孔及び上記装置側ボルト孔にボルトを挿入させ、この薄膜形成用積層体を正常に上記支持部材に取り付けることが可能となる。
【００１５】
また、上記冷却板側ボルト孔を、上記冷却板の寸法変形が一度も生じていない状態では丸孔であるように形成すると、このボルト孔の加工成形が行い易くなる点では有効である。
【００１６】
なお、支持部材には、上記冷却板を取り付けるための位置決め中心位置が設定されており、この位置は装置側ボルト孔の位置等から装置毎に予め設定されている。
【００１７】
また、上記冷却板に寸法変形が生じた状態で上記冷却板を上記支持部材に取り付けると、上記冷却板側ボルト孔の中心位置が、上記支持部材に上記冷却板を取り付けるときの位置決め中心位置に向かう方向と略同一の方向、又は、この方向と略反対方向に上記寸法変形前の状態からずれる状態となる。
【００１８】
そこで、上記冷却板側ボルト孔が、上記冷却板の寸法変形が一度も生じていない状態で上記冷却板側ボルト孔及び装置側ボルト孔にボルトを挿入して上記冷却板を上記支持部材に取り付けた場合、上記ボルトと上記冷却板側ボルト孔周縁との間に生ずる間隙が、上記ボルトの中心位置から上記支持部材に上記冷却板を取り付けるときの位置決め中心位置に向かう方向と略同一の方向、又は、この方向と略反対方向のほうが、他の方向と比較して大きくなるようにこの冷却板側ボルト孔が形成されているようにすると、上記冷却板に寸法変形が生じ、その結果冷却板側ボルト孔の中心位置がずれる場合でも、このずれに対応した状態で上記冷却板を上記支持部材に取り付けることが可能となる。
【００１９】
また、上記冷却板の寸法変形が一度も生じていない場合、上記冷却板側ボルト孔の中心位置から上記位置決め中心位置に配置される部分に向かう方向と略同一の方向に延びる形状に上記冷却板側ボルト孔が形成されるようにすると、冷却板側ボルト孔が形成される領域を少なくした状態で、上記寸法変形による上記冷却板側ボルトの位置ずれに対応することが出来、冷却板側の物性（例えば、引っ張り耐力等）の低下を可及的に抑制した状態で、より大きな寸法変形に対応することが可能となる。
【００２０】
なお、薄膜形成用積層体を上記支持部材に取り付けるときに生ずる上記冷却板の寸法変形による冷却板側ボルト孔の位置ずれは、上記位置決め中心位置から離れるに従い大きくなる。
【００２１】
そこで、上記冷却板側ボルト孔が、上記冷却板の寸法変形が一度も生じていない状態で上記冷却板側ボルト孔及び装置側ボルト孔にボルトを挿入して上記冷却板を上記支持部材に取り付けた場合、上記ボルトと上記冷却板側ボルト孔に生ずる間隙は、上記ボルトの中心位置から上記位置決め中心位置に向かう方向と略同一の方向、又は、略反対方向に延びる方向においては上記位置決め中心位置から上記冷却板側ボルト孔までの最短距離の０．１５％以上となるように上記冷却板側ボルト孔が形成されているようにすると、より好適な状態で上記寸法変形量に対応することが出来る。
【００２２】
また、上記冷却板の寸法変形による位置ずれの方向は、上記位置決め中心位置の設定箇所や、上記冷却板と上記ターゲット材との熱膨張率の差により異なる。
【００２３】
そこで、上記冷却板ボルト孔が、上記冷却板の寸法変形が一度も生じていない状態では上記装置側ボルト孔より大きな径で形成された丸孔であり、かつ上記冷却板側ボルト孔及び上記装置側ボルト孔に対応するボルトを挿入し、上記冷却板を上記支持部材に取り付けた場合、上記ボルトと上記冷却板側ボルト孔周縁との間に生じる間隙は、全周に亘って略同一の大きさとなるように形成されているようにすると、上記位置決め位置の設定箇所が異なる装置に取り付けたりターゲット材の材質を変更したりすることによって上記冷却板ボルト孔が様々な方向にずれる場合においても、上記装置側ボルト孔の全部分が上記冷却板側ボルト孔に連続させることが可能であり、正常な状態で上記薄膜形成用積層体を支持部材に取り付けることができる。
【００２４】
また本発明は、上記冷却板側開口孔が、冷却板内に冷却水を給排水する冷却板側給排水口であり、上記冷却板とターゲット材とをろう材の融点以上の温度で加熱した状態でろう付けした後、冷却した状態で生じたたわみを矯正することにより上記冷却板に寸法変形が生じたときであっても、上記冷却板を上記支持部材への取り付け位置に配置したとき、上記冷却板側給排水口、又は、上記装置側開口孔として形成された装置側給排水口のうちの小さい方の排水口が、他の排水口の全部分に連続可能であるように上記冷却板側給排水口の大きさ及び配置位置が設定されているものである。
【００２５】
この構成によれば、上記冷却板に寸法変形が生じた場合においても、上記冷却板を上記支持部材への取り付け位置に配置したときには、上記冷却板側給排水口、又は、上記装置側開口孔として形成された装置側給排水口のうちの小さいほうの排水口が、他の排水口の全部分に連続できるため、上記冷却板と上記ターゲット材とのろう付け作業を繰り返した場合であっても、水漏れなどの不具合を発生させることなくこの薄膜形成用積層体を上記支持部材に取り付けることが可能となる。
【００２６】
なお、上記冷却板に寸法変形が生じた状態で上記冷却板を上記支持部材に取り付けると、上記冷却板側給排水口の中心位置は、上記位置決め中心位置に向かう方向と略同一の方向、又は、この方向と略反対方向に上記寸法変形前の状態からずれる状態となる。
【００２７】
そこで、上記冷却板側給排水口が、上記寸法変形が一度も生じていない状態の冷却板を上記支持部材に取り付けた場合、この冷却板側給排水口の中心位置が、上記装置側給排水口の中心位置から上記位置決め中心位置に向かう方向と略同一の方向、又は、上記方向と略反対方向にずれるようにこの冷却板側給排水口が配置されているようにすると、上記冷却板の寸法変形による冷却板側給排水口の位置ずれに対応した状態で上記冷却板を上記支持部材に取り付けることが可能となる。
【００２８】
また、上記冷却板の寸法変形による冷却板側ボルト孔の位置ずれ量は、上記位置決め中心位置に配置される部分から離れるに従い大きくなる。
【００２９】
そこで、上記冷却板側給排水口に生じる位置ずれが上記位置決め中心位置から上記冷却板側給排水口の中心位置までの距離の０．１５％以上となるように上記冷却板側給排水口が配置されているようにすると、より好適な状態で上記寸法変形量に対応することが出来る。
【００３０】
なお、上記冷却板の寸法変形は、上記冷却板に使用する素材の熱膨張率と、上記ターゲット材の素材の熱膨張率との差が１０％以上である場合、特に起こりやすい。したがって、上記の薄膜形成用積層体の構成は、上記冷却板に使用する素材の熱膨張率と、上記ターゲット材の素材の熱膨張率との差が１０％である場合に採用すると、より有効である。
【００３１】
また、上記冷却板に使用する素材は熱伝導性を向上させる点では、銅を使用することが好ましい。また、上記ターゲット材に使用する素材は、主にアルミニウム、アルミニウム合金、チタン、及び、チタン合金が用いられる。なお、銅は、熱伝導性が良好である反面、上記ターゲット材に使用する素材と比較して特に剛性が低く、上記寸法変形が特に起こりやすいため、上述のような薄膜形成用積層体の構成を採ると、特に好適な状態で上記寸法変形に対応できる。
【００３２】
また本発明は、スパッタリング法で基材表面に金属薄膜を形成するための金属薄膜形成装置であって、上記薄膜形成用積層体と、この薄膜形成用積層体を装着する支持部材と、この支持部材と対面するように基材を配置する基材支持部とを備えたことを特徴とする金属薄膜形成装置にしてもよい。
【００３３】
さらに本発明は、スパッタリング法で基材表面に金属薄膜を形成するための金属薄膜形成装置に設けられている支持部材に装着可能な冷却板であって、上記支持部材に複数形成された孔である装置側開口孔に各々連続可能な冷却板側開口孔を複数有し、この冷却板側開口孔は上記装置側開口孔と異なる大きさの孔径に形成され、ろう材の融点以上の温度で加熱された状態でターゲット材がろう付けされ、上記ろう付けされた状態から冷却するときに生じたたわみを矯正することにより寸法変形が生じたときであっても、上記支持部材に取り付けたとき、上記冷却板側開口孔又は上記装置側開口孔のうち小さい方の孔の全部分が、他方の孔が形成されている範囲内に存在する状態となるように上記冷却板側開口孔が配置されることを特徴とする冷却板にしてもよい。
【発明の効果】
【００３４】
以上のように本発明の薄膜形成用積層体を用いると、上記冷却板と上記ターゲット材とのろう付け作業を繰り返し行い、上記冷却板が繰り返し変形した後であっても、支持部材に設けられた開口孔（ボルト孔、冷却水口等）と冷却板に設けられた開口孔とを正常な配置状態で連続させた状態で、上記薄膜形成用積層体を上記支持部材に取り付けることが可能となる。
【００３５】
また、冷却板側ボルト孔は、上記寸法変形が一度も生じていない状態の冷却板に、上記冷却板側ボルト孔及び装置側ボルト孔にボルトを挿入し、上記冷却板を上記支持部材に取り付けた場合、上記ボルトと上記冷却板側ボルト孔周縁との間に生ずる間隙が、上記ボルトの中心位置から、上記支持部材に上記冷却板を取り付けるときの位置決め中心位置に向かう方向と略同一の方向、又は、この方向と略反対方向の方が、他の方向と比較して大きくなるように形成されているため、上記寸法変形により生ずる冷却板側ボルト孔の配置位置のずれに対応した状態で上記冷却板を上記支持部材に取り付けることが可能となる。
【００３６】
またさらに、上記の状態では、冷却板側給排水口の中心位置が、上記装置側給排水口の中心位置から上記支持部材に上記冷却板を取り付けるときの位置決め中心位置に向かう方向と略同一の方向、又は、上記方向と略反対方向にずれた状態で上記冷却板側給排水口が形成されているため、上記寸法変形により生ずる冷却板側給排水口の配置位置のずれに対応した状態で上記冷却板を上記支持部材に取り付けることが可能となる。
【００３７】
したがって、より好適な状態で上記冷却板を上記支持部材に取り付けることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
本発明の実施形態について、図１〜図１３を用いて説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されることはない。
【００３９】
第一実施形態（図１〜図６参照）
図１は、本実施形態における金属薄膜形成装置１（以下、装置１と略す。）の概要を示したものである。なお、かかる構成のうち、［従来の技術］と共通する部分については、その説明を省略する。
【００４０】
この装置１は、支持部材１１を備え、この支持部材１１には、ターゲット材２１及び冷却板２３を備えた薄膜形成用積層体２０（以下、積層体２０と略す。）が取り付けられている。また、冷却板２３の表面には、ターゲット材２１がろう材でろう付けされている。
【００４１】
図２（ａ）は、図１の積層体２０及び支持部材１１に関し、鉛直方向（図１においては上下方向）に切断した場合の断面図である。また、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡＡ断面図である。
【００４２】
積層体２０及び支持部材１１の内部には、冷却水を流水させるための水路が形成されている。支持部材１１の内部には、装置側給排水路１７が形成され、この給排水路１７端部の装置側給排水口１５が、支持部材１１と冷却板２３と接触する支持部材１１の片面には、開口孔が形成されている。また、装置側給排水路１７のうち、装置側給排水口１５が形成された方と反対側は、図示しないが、冷却水の貯水槽につながっている。
【００４３】
冷却板２３の内部には、冷却板側給排水路２４３が形成され、この冷却板側給排水路２４３は、冷却板２３の略全域を冷却可能とするため、蛇腹状に冷却板２３内部を張り巡らすように形成されている。そして、冷却板側給排水路２４３の両端には冷却板側給排水口２４１が形成されている。この冷却板側給排水口２４１は、支持部材１１に接触する冷却板２３の片面において装置側給排水口１５に対向する位置に形成されている。また、冷却板側給排水口２４１は、装置側給排水口１５の大きさより小さくなるように形成され、冷却板２３を支持部材１１とに取り付けたときには、冷却板側給排水口２４１の全部分が装置側給排水口１５に連続する形状に形成されている。
【００４４】
また、支持部材１１の四隅の近くに装置側ボルト孔１３が設けられ、支持部材１１に接触する冷却板２３の片面において、この装置側給排水口１３に対向する位置に冷却板側ボルト孔２３１が形成されている。そして、装置側ボルト孔１３及び冷却板側ボルト孔２３１にボルト２５１が挿入されたとき、積層体２０が支持部材１１に固定されるようになっている。
【００４５】
図３（ａ）は、一度もターゲット材２１を取り付けたことのない状態の冷却板２３を支持部材１１に取り付けた状態において、下側から見た状態を示した図である。なお、実際に装置１を使用する時においては、冷却板２３は、その表面にターゲット材２１がろう付けされた状態、すなわち積層体２０となった状態で使用されるが、本図においては、冷却板２３が、一度も寸法変形を起こしていない状態、すなわちターゲット材２１をろう付けする以前の状態で支持部材１１に取り付けた状態を示すため、ターゲット材２１がろう付けされる位置については、想像線で図示するのみとする。
【００４６】
また、本図に示されているＣとは、支持部材１１にターゲット材２１、すなわち積層体２０を取り付ける時の支持部材１１側の位置決め中心位置であり、支持部材１１に形成されている装置側ボルト孔１３が形成される位置から決定され、本実施形態では支持部材１１の略図心となる位置に設定されている。そして、冷却板２３も、図心が位置決め中心位置Ｃに位置するように配置されている。なお、この位置決め中心位置Ｃは、装置１によって異なる。
【００４７】
冷却板２３は、略正方形の板状に形成され、この図心位置が位置決め中心位置Ｃに位置するように配置されている。また、ターゲット材２１も、略正方形の板状に形成され、この図心が冷却板２３の図心と略一致するように冷却板２３にろう付けされる。なお、冷却板２３、及び、ターゲット材２１は、任意の大きさに設定することが可能であるが、本実施形態では、冷却板２３の一辺の長さは略１０００ｍｍであり、取り付けられる予定のターゲット材２１の一辺の長さは略９６０ｍｍとなるように構成されている。そして、冷却板２３のうち、ターゲット材２１が取り付けられる部分より外側には、冷却板側ボルト孔２３１、及び、冷却板側給排水口２４１が形成されている。
【００４８】
冷却板側ボルト孔２３１は、冷却板２３の四隅に近い部分に形成され、かつ、このボルト孔２３１の中心位置から位置決め中心位置Ｃに向かう方向ＩＨ（以下、ＩＨ方向と略す。）、及び、その反対の方向に延びる長円形状に形成されている。また、このボルト孔２３１は、当該ボルト孔２３１と装置側ボルト孔１３の全部分とが連続する状態に配置されている。なお、装置側ボルト孔１３、及び、冷却板側ボルト孔２３１には、図４に記載のようにボルト２５１が挿入されているが、図３（ａ）、（ｂ）においては、装置側ボルト孔１３の配置状況を説明するため、図示しない。また、図３（ａ）の冷却板側ボルト孔２３１はあくまで概略図であり、実際の形状は図３（ｂ）に示したとおりである。
【００４９】
図３（ｂ）は、図３（ａ）の左上に配置された冷却板側ボルト孔２３１及びその周辺の拡大図である。冷却板側ボルト孔２３１の外側には、冷却板側ザグリ穴２３３と、ボルト座面２３５とが形成されている。そして冷却板側ボルト孔２３１のＩＨ方向に偏った位置に装置側ボルト孔１３が配置されている。
【００５０】
図４は、冷却板側ボルト孔２３１及び装置側ボルト孔１３にボルト２５１が挿入された状態を示した断面図である。ボルト２５１は、ボルト頭部２５１ａとボルト軸部２５１ｂとを備え、冷却板２３に形成されたボルト座面２３５とボルト頭部２５１ａとが当接され、ボルト軸部２５１ｂが装置側ボルト孔１３に螺合した状態で配置されている。このような状態でボルト軸部２５１ｂと冷却板側ボルト孔２３１の周縁との間に形成される間隙は、ＩＨ方向と略反対方向に形成される間隙Ｗ１が、他の方向に形成される間隙より大きくなる。間隙Ｗ１の長さは、位置決め中心位置Ｃから冷却板側ボルト孔２３１までの最短距離の０．１５％以上、好ましくは０．２％以上となるように設定されている。なお、間隙Ｗ１の長さは、必ずしも、位置決め中心位置Ｃから冷却板側ボルト孔２３１の中心位置までの距離の０．１５％以上となるように設定する必要はなく、それ以下の値に設定してもよい。また、ボルト頭部２５１ａと冷却板側ザグリ穴２３３の周縁との間に形成される間隙についても、ＩＨ方向に形成される間隙Ｗ２のほうが、他の方向に形成される間隙より大きくなる。また、この間隙Ｗ２は、間隙Ｗ１と同じ大きさであるか、間隙Ｗ１の大きさよりも大きい。なお、本実施形態に使用するボルト２５１及びボルト孔等の具体的な寸法の一例としては、表１に記載したものが挙げられる。
【００５１】
【表１】
2005029850.tif 000003
【００５２】
なお、冷却板側ボルト孔２３１の径Ｄ１は、ボルト頭部２５１ａの径Ｂ２より２／３以下であるほうが、ボルト頭部２５１ａがボルト座面２３５に安定した状態で圧接出来るため好ましい。
【００５３】
図３に戻って、冷却板側給排水口２４１について続きを説明する。冷却板側給排水口２４１、及び、装置側給排水口１５は、共に略長方形の形状に形成され、冷却板側給排水口２４１の大きさのほうが、装置側給排水口１５より小さくなるように形成されている。
【００５４】
また、冷却板側給排水口２４１は、その給排水口２４１の中心位置が、装置側給排水口１５の中心位置から位置決め中心位置Ｃに向かう方向ＷＨ（以下、ＷＨ方向と略す。）と略反対の方向にずれた状態で配置され、かつ、冷却板側給排水口２４１の全部分が、装置側給排水口１５に連続できる状態に配置されている。
【００５５】
なお、本実施形態では、冷却板側給排水口２４１の中心と、装置側給排水口１５の中心との位置ずれは、位置決め中心位置Ｃから冷却板側給排水口２４１までの最短距離の０．１５％以上、好ましくは０．２％以上存在するように設定されている。しかし、この位置ずれの長さは必ずしも０．１５％以上存在する必要はなく、それ以下の値であってもよい。
【００５６】
次に、図５（ａ）〜図５（ｃ）を用いて、冷却板２３にターゲット材２１を取り付ける場合の手順、および、既に冷却板２３に取り付けられたターゲット材２１を新しいターゲット材２１に交換する場合の手順について説明する。
【００５７】
なお、冷却板２３としては、熱伝導性が良好であるため銅が使用され、ターゲット材２１には、アルミとネオジウムとの合金（アルミ合金）が使用されている。また、ターゲット材２１を冷却板２３に取り付けるためのろう材としては、インジウム合金、Ｓｎ−Ｚｎ合金等が使用されている。
【００５８】
まず、ターゲット材２１、及び、冷却板２３を、ろう材の融点以上の温度に加熱し、冷却板２３の表面にターゲット材２１をろう材でろう付けする（図５（ａ）参照）。
【００５９】
なお、既にターゲット材２１が冷却板２３に取り付けられており、ターゲット材２１を新しいものに交換する場合においては、ターゲット材２１及び冷却板２３をろう材の融点以上の温度に加熱した状態で、既に取りつけられているターゲット材２１を取り外し、その後、新しいターゲット材２１を上記の手順で取り付ける。
【００６０】
次に、ターゲット材２１及び冷却板２３を冷却する（図５（ｂ）参照。）。このとき、ターゲット材２１及び冷却板２３には、ターゲット材２１が配置されている方を内側としてたわみが生じる。
【００６１】
その後、ターゲット材２１及び冷却板２３に外力を加え、上記たわみを除去するように積層体２０を矯正することにより積層体２０を形成する。
【００６２】
このとき、ターゲット材２１に使用しているアルミ合金より冷却板２３に使用している銅よりアルミ合金のほうが熱膨張率（冷却時の収縮率）が大きく、さらに銅の方が剛性が低いため、冷却板２３は収縮する方向に寸法変形する。
【００６３】
このような状態に寸法変形を起こした冷却板２３を備えた積層体２０を支持部材１１に取り付けると、冷却板側ボルト孔２３１の配置位置は、上記寸法変形前と比較して略ＩＨ方向にずれ、冷却板側給排水口２４１の配置位置は、上記寸法変形前と比較して略ＷＨ方向にずれる。
【００６４】
なお、冷却板２３にターゲット材２１を取り付ける場合の手順、および、既に冷却板２３に取り付けられたターゲット材２１を新しいターゲット材２１に交換する場合の手順を約１０回繰り返した状態では、冷却板２３の寸法変形量としては、一辺長１０００ｍｍにつき約２ｍｍ、すなわち約０．２％の割合で生じた。
【００６５】
なお、本実施形態に使用したターゲット材２１及び冷却板２３は表２に記載したものである。
【００６６】
【表２】
2005029850.tif 000004
【００６７】
そして、この位置ずれが進行すると、図６（ａ）、（ｂ）に示すとおり、装置側ボルト孔１３は、冷却板側ボルト孔２３１に対して相対的に、ＩＨ方向と略反対側の方向にずれた位置に配置される状態で、その全部分が冷却板側ボルト孔２３１に連続する。なお、図６（ｂ）は、図６（ａ）で左上に示された冷却板側ボルト孔２３１の拡大図である。また、冷却板側給排水口２４１は、ＷＨ方向にずれた位置に配置される状態で、その全部分が装置側給排水口１５に連続する。
【００６８】
上記のような構成にすれば、冷却板２３に寸法変形が生じたときであっても、冷却板２３を支持部材１１の取り付け位置に配置したとき、装置側ボルト孔１３及び冷却板側給排水口２４１は、冷却板側ボルト孔２３１及び装置側給排水口１５にその全部分が連続した状態で配置される。
【００６９】
したがって、この積層体２０を用いると、冷却板２３を繰り返し使用しても、正常な状態でこの積層体２０を支持部材１１に取り付けることが可能となる。
【００７０】
すなわち、寸法変形が一度も生じていない冷却板２３をボルト２５１で支持部材１１に取り付けた場合、ボルト２５１と冷却板側ボルト孔２３１の周縁との間に生ずる間隙は、ＩＨ方向と略反対方向に形成される間隔Ｗ１の方が、他の方向と比較して大きくなるように形成されている。このため、冷却板２３に寸法変形が生じた状態で、上記位置決め中心位置Ｃを基準として冷却板２３を支持部材１１に取り付け、冷却板側ボルト孔２３１の配置位置が上記寸法変形前と比較してＩＨ方向に向けてずれた場合においても、装置側ボルト孔１３の全部分が、冷却板側ボルト孔２３１に連続させることが可能となる。したがって、上記寸法変形に対応した状態で冷却板２３を支持部材１１に取り付けることが可能となる。
【００７１】
なお、冷却板２３の寸法変形量は、位置決め中心位置Ｃから冷却板側ボルト孔２３１が形成されている距離が大きくなるにつれて大きくなる。
【００７２】
そこで、本実施形態のように、上記間隙Ｗ１の大きさを、位置決め中心位置Ｃから冷却板側ボルト孔２３１までの最短距離の０．２％以上となるように形成すると、位置決め中心位置Ｃを基準にして冷却板２３を支持部材１１に取り付けるとき、冷却板２３の寸法変形量に応じた状態に上記間隙Ｗ１の大きさが設定されているため、より好適な状態で上記寸法変形に対応することが可能となる。
【００７３】
このような構成は、本実施形態のように、冷却板側ボルト孔２３１が、ターゲット材２１が形成されている領域、すなわち、位置決め中心位置Ｃから比較的離れた領域（本実施形態では４８０ｍｍ以上）に形成されている場合においては、特に寸法変形量が大きいため、特に好適である。
【００７４】
また、本実施形態では、冷却板２３を位置決め中心位置Ｃを基準に支持部材１１に配置する場合において、冷却板２３に、上記寸法変形によって位置ずれる方向に延びるように冷却板側ボルト孔２３１が形成されていることになるため、冷却板側ボルト孔２３１が形成される領域を少なくした状態で、上記寸法変形に対応することが出来、冷却板側の物性（例えば、引っ張り耐力、曲げ剛性等）の低下を可及的に抑制した状態で、より大きな寸法変形に対応することが可能となる。
【００７５】
また、冷却板側給排水口２４１は、冷却板２３に上記寸法変形が生じた状態で冷却板２３を支持部材１１に取り付けたとき、冷却板側給排水口２４１の全部分が装置側給排水口１５に連続するように配置される。
【００７６】
したがって、この積層体２０を用いると、冷却板２３に寸法変形が生じた場合であっても冷却板側給排水口２４１を装置側給排水口１５に確実に連続させることが可能となり、水漏れなどの不具合を発生させることなく、この積層体２０を支持部材１１に取り付けることが可能となる。
【００７７】
なお、上記寸法変形が生じた状態で冷却板２３を支持部材１１に取り付けるとき、冷却板側給排水口２４１の配置位置は、上記寸法変形前と比較してＷＨ方向にずれる。
【００７８】
したがって本実施形態のように、冷却板２３の寸法変形が生じていない状態では、冷却板側給排水口２４１の中心位置が、ＷＨ方向と略反対方向にずれた状態で、冷却板側給排水口２４１が形成されるようにすると、冷却板２３の寸法変形に対応した状態で冷却板２３を支持部材１１に取り付けることが可能となる。
【００７９】
またさらに、上記位置ずれ量は、位置決め中心位置Ｃから冷却板側給排水口２４１の中心位置までの最短距離の０．１５％以上となる状態で、冷却板側給排水口２４１が冷却板２３上に形成されているため、冷却板２３の寸法変形量に応じた状態に位置ずれ量が設定されていることになり、より好適な状態で上記寸法変形に対応することが可能となる。
【００８０】
また、冷却板２３に使用する素材は、本実施形態では、熱伝導性を向上させる点で銅が使用され、ターゲット材２１に使用する素材は、アルミニウムとネオジウムとの合金（アルミ合金）が用いられる。このような素材を使用した場合、銅は、アルミ合金と比較して特に曲げ剛性が低く、冷却板２３の寸法変形が特に起こりやすくなるため、上記のような積層体２０の構成を採ることは、特に有効である。
【００８１】
第二実施形態（図７（ａ）、（ｂ）参照）
以下の実施形態において、第１実施形態と同一部分には同一符号を付して示し、その重複説明を省略する。
【００８２】
図７（ａ）は、一度も寸法変形を起こしていない冷却板２３を支持部材１１に取り付けた状態において、下側から見た状態を示した図である。なお、ターゲット材２１が取り付けられる位置については、第１実施形態の場合と同様の理由で想像線で図示するのみとする。また、図７（ｂ）は、図７（ａ）で左上に示した冷却板側ボルト孔２３１の拡大図である。
【００８３】
冷却板側ボルト孔２３１は、寸法変形が一度も生じていない状態の冷却板２３では丸孔の形状に形成されている。そして、装置側ボルト孔１３は、その全部分が冷却板側ボルト孔２３１に連続する状態で配置されるが、この配置位置は、ＩＨ方向に偏った位置となる。なお、このボルト孔２３１及び装置側ボルト孔１３にボルト２５１が挿入された状態を示した断面図は図４に図示した通りであり、その詳細は第一実施形態で説明した通りである。このボルト孔２３１についても、ＩＨ方向と略反対方向に形成される間隙Ｗ１が、他の方向に形成される間隔より大きくなる。また、冷却板２３が繰り返し寸法変形した状態で支持部材１１にこの冷却板２３を取り付けたときの冷却板側ボルト孔２３１の状態、すなわち冷却板側ボルト孔２３１の位置ずれが進行した状態については、図６（ｃ）に示した通り、装置側ボルト孔１３は、冷却板側ボルト孔２３１の中心位置から位置決め中心位置Ｃに向かう方向ＩＨと略反対側の方向にずれた位置に配置される状態で、その全部分が冷却板側ボルト孔２３１に連続する。
【００８４】
このようなボルト孔２３１の形状にすると、このボルト孔２３１は丸穴の形状に形成されているため、丸穴以外の形状と比較してボルト孔の成形が行い易くなる。
【００８５】
第三実施形態（図８（ａ）、（ｂ）参照）
本実施形態は、冷却板２３を支持部材１１取り付けるときの位置決め中心位置Ｃが、支持部材１１からずれた位置に設定された装置１、及びこの装置１に対応する積層体２０を示したものである。
【００８６】
図８（ａ）は、一度も寸法変形を起こしていない冷却板２３を支持部材１１に取り付けた状態において、下側から見た状態を示した図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）の左上に配置された冷却板側ボルト孔２３１の拡大図である。なお、ターゲット材２１が取り付けられる場所については第２実施形態と同様の理由で想像線で示すのみとする。
【００８７】
本実施形態の装置１では、位置決め中心位置Ｃは、支持部材１１のうち、この部材１１の縁の一辺の略中央部に近い位置の近傍（図８（ａ）においては下面側略中央位置。）に設定されている。
【００８８】
冷却板側ボルト孔２３１は、冷却板２３の角に近い部分に形成され、かつ、このボルト孔２３１の中心位置から位置決め中心位置Ｃに向かう方向ＩＨ′（以下ＩＨ′方向と略す。）、及び、その反対の方向に延びる形状で形成されている。なお、本実施形態では、第一実施形態と比較して位置決め中心位置Ｃの位置が異なるため、上記ＩＨ′方向は第一実施形態のＩＨ方向と異なる。また、このボルト孔２３１は、当該ボルト孔２３１と装置側ボルト孔１３の全部分とが連続する状態に配置されている。
【００８９】
冷却板側給排水口２４１、及び、装置側給排水口１５は、共に略長方形の形状に形成され、冷却板側給排水口２４１の大きさのほうが、装置側給排水口１５より小さくなるように形成されている。
【００９０】
また、冷却板側給排水口２４１は、その給排水口２４１の中心位置が、装置側給排水口１５の中心位置から位置決め中心位置Ｃに向かう方向ＷＨ′（以下、ＷＨ′方向と略す。）と略反対の方向にずれた状態で配置され、かつ、冷却板側給排水口２４１の全部分が、装置側給排水口１５に連続できる状態に配置されている。
【００９１】
このような実施形態においても、冷却板２３が寸法変形すると、冷却板側ボルト孔２３１及び冷却板側給排水口２４１は、各々ＩＨ′方向及びＷＨ′方向にずれた位置で支持部材１１上に取り付けられる。
【００９２】
したがって、本実施形態の構成では、上記位置決め中心位置Ｃが支持部材１１の中心に位置しない場合であっても、冷却板２３に寸法変形が生じた後、冷却板２３を支持部材１１の取り付け位置に配置したときには、装置側ボルト孔１３及び装置側給排水口１５の全部分が、各々冷却板側ボルト孔２３１及び冷却板側給排水口２４１に連続した状態で配置することが出来る。すなわち、上記位置決め中心位置Ｃが支持部材１１の中心に位置しない場合であっても、上記寸法変形に対応した状態で、冷却板２３を支持部材１１に取り付けることが出来る。
【００９３】
第四実施形態（図９参照）
冷却板側給排水口２４１、及び、装置側給排水口１５は、必ずしも第１実施形態のように略長方形の形状に形成する必要はない。例えば、本実施形態のように冷却板側給排水口２４１及び装置側給排水口１５を円形の形状に形成してもよい。なお、かかる場合においても、第１実施形態と同様、ＷＨ方向と略反対の方向にずれた状態で配置され、かつ、冷却板側給排水口２４１の全部分が、装置側給排水口１５に連続可能である状態で配置されている。
【００９４】
第五実施形態（図１０〜図１２参照）
本実施形態では、冷却板２３が延伸する方向に寸法変形するものについて示す。
【００９５】
図１０（ａ）は、一度も寸法変形を起こしていない冷却板２３を支持部材１１に取り付けた状態において、下側から見た状態を示した図である。なお、既に述べた理由によりターゲット材２１が取り付けられる位置については想像線のみで示すものとする。
【００９６】
冷却板２３及びターゲット材２１に使用する素材としては、冷却板２３は銅、ターゲット材２１としてはチタンを使用し、これらの部材のスペックは表３に記載した通りである。なお、熱膨張率については、ターゲット材２１より冷却板２３のほうが高くなっている。
【００９７】
【表３】
2005029850.tif 000005
【００９８】
冷却板側ボルト孔２３１は、略ＩＨ方向、及び、その反対の方向に延びる形状で形成されており、かつ、当該ボルト孔２３１と装置側ボルト孔１３の全部分とが連続する状態に配置されている。
【００９９】
なお、装置側ボルト孔１３は、冷却板側ボルト孔２３１のＩＨ方向と略反対方向に偏った位置に配置されている。
【０１００】
すなわち、ボルト２５１が、冷却板側ボルト孔２３１及び装置側ボルト孔１３に挿入されたとき、ボルト軸部２５１ｂと冷却板側ボルト孔２３１の周縁との間に形成される間隙は、ＩＨ方向に形成される間隙Ｗ３が、他の方向に形成される間隙より大きくなる。間隙Ｗ３の長さは、位置決め中心位置Ｃから冷却板側ボルト孔２３１までの最短距離の０．１５％以上、好ましくは０．２％以上となるように設定されている。また、ボルト頭部２５１ａと冷却板側ザグリ穴２３３の周縁との間に形成される間隙についても、ＩＨ方向と略反対の方向に形成される間隙のほうが、他の方向に形成される間隙より大きくなる。なお、この間隙は、上記間隙Ｗ３と同じか、それよりも大きい。
【０１０１】
冷却板側給排水口２４１、及び、装置側給排水口１５は、冷却板側給排水口２４１の大きさのほうが、装置側給排水口１５より小さくなるように形成されており、冷却板側給排水口２４１の全部分が、装置側給排水口１５に連続できる状態で配置されている。
【０１０２】
また、給排水口２４１の中心位置は、ＷＨ方向にずれた状態で配置されている。なお、本実施形態では、冷却板側給排水口２４１の中心と、装置側給排水口１５の中心との位置ずれは、位置決め中心位置Ｃから冷却板側給排水口２４１までの最短距離の０．１５％以上、好ましくは０．２％以上存在するように設定されている。しかし、この位置ずれの長さは必ずしも０．１５％以上存在する必要はなく、それ以下の値であってもよい。
【０１０３】
次に、図１１（ａ）〜図１１（ｃ）を用いて、冷却板２３にターゲット材２１を取り付ける場合の手順、および、既に冷却板２３に取り付けられたターゲット材２１を新しいターゲット材２１に交換する場合の手順について説明する。
【０１０４】
まず、第一実施形態と同様、ターゲット材２１、及び、冷却板２３を、ろう材の融点以上の温度に加熱し、冷却板２３の表面にターゲット材２１をろう材でろう付けする（図１１（ａ）参照）。なお、既に冷却板２３に取り付けられているターゲット材２１を新しいものに交換する場合においても第一実施形態と同様の手順のため、その説明を省略する。
【０１０５】
次に、ターゲット材２１及び冷却板２３を冷却する（図１１（ｂ）参照。）。このとき、ターゲット材２１及び冷却板２３には、第一実施形態とは逆の方向、すなわち冷却板２３が配置されている方を内側としてたわみが生じる。
【０１０６】
その後、ターゲット材２１及び冷却板２３に外力を加え、上記たわみを除去するように積層体２０を矯正することにより、積層体２０を形成する（図１１（ｃ）参照）。
【０１０７】
このとき、ターゲット材２１に使用しているチタンより、冷却板２３に使用している銅の方が剛性が低いため、冷却板２３は、延伸する方向に寸法変形する。
【０１０８】
このような状態に寸法変形を起こした冷却板２３を備えた積層体２０を、支持部材１１に取り付けると、冷却板側ボルト孔２３１の配置位置は、上記寸法変形前と比較して、ＩＨ方向と略反対方向にずれ、冷却板側給排水口２４１の配置位置についても、上記寸法変形前比較してＷＨ方向と略反対方向にずれる。
【０１０９】
なお、冷却板２３にターゲット材２１を取り付ける場合の手順、および、既に冷却板２３に取り付けられたターゲット材２１を新しいターゲット材２１に交換する場合の手順を約１０回繰り返した状態では、冷却板２３の寸法変形量としては、一辺につき約２．５ｍｍ、すなわち約０．２５％の割合で生じた。
【０１１０】
そして、この位置ずれが進行すると、図１２（ａ）、（ｂ）に示すとおり、装置側ボルト孔１３は、ＩＨ方向と略同一の方向にずれた位置に配置される状態で、その全部分が冷却板側ボルト孔２３１に連続する。なお、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）で左上に示された冷却板側ボルト孔２３１の拡大図である。また、冷却板側給排水口２４１は、装置側給排水口１５の中心位置から位置決め中心位置Ｃに向かう方向ＷＨと略反対方向にずれた位置に配置される状態で、その全部分が装置側給排水口１５に連続する。
【０１１１】
したがって、本実施形態の積層体２０の構成を採れば、冷却板２３が延伸する方向に寸法変形する場合であっても、装置側ボルト孔１３及び冷却板側ボルト孔２３１にボルト２５１を挿通させることができる。また、冷却板２３に上記寸法変形が生じた場合であっても、冷却板側給排水口２４１を装置側給排水口１５に確実に挿通させることが可能となり、水漏れなどの不具合を発生させることなく、この積層体２０を支持部材１１に取り付けることが可能となる。
【０１１２】
第六実施形態（図１３（ａ）、（ｂ）参照）
図１３（ａ）は、一度も寸法変形を起こしていない冷却板２３を支持部材１１に取り付けた状態において、下側から見た状態を示した図である。なお、ターゲット材２１については、第１実施形態の場合と同様の理由で想像線で図示するのみとする。また、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）で左上に示した冷却板側ボルト孔２３１の拡大図である。
【０１１３】
冷却板側ボルト孔２３１は、冷却板２３上に装置側ボルト孔１３より大きな径の丸孔であり、装置側ボルト孔１３が、冷却板側ボルト孔２３１の略中心位置に位置するように配置されている。すなわち、冷却板側ボルト孔２３１及び装置側ボルト孔１３にボルト２５１を挿入したとき、ボルト軸部２５１ｂ、及び、ボルト頭部２５１ａと冷却板側ザグリ穴２３３の縁部との間に形成される間隙は、全周に亘って略一定の大きさとなる。また、この間隙Ｗ３の大きさは、位置決め中心位置Ｃから冷却板側ボルト孔２３１までの最短距離の０．１５％以上、好ましくは約０．２％以上となるように冷却板側ボルト孔２３１の径が設定されている。
【０１１４】
なお、寸法変形を起こした冷却板２３を備えた積層体２０を支持部材１１に取り付けると、ターゲット材２１に使用する材質や取り付けるときの位置決め中心位置Ｃの違いにより下記のような状態に冷却板側ボルト孔２３１の配置位置がずれる。
【０１１５】
ターゲット材２１の材質としてアルミ合金、すなわちターゲット材２１の線膨張率のほうが冷却板２３の線膨張率よりも大きいものを使用したときは、第１実施形態等に記載のように、冷却板側ボルト孔２３１の配置位置は、上記寸法変形前と比較してＩＨ方向と略同一の方向にずれる。
【０１１６】
また、ターゲット材２１の材質としてチタン、すなわちターゲット材２１の線膨張率のほうが冷却板２３の線膨張率よりも小さいものを使用したときは、第５実施形態に記載のように、冷却板側ボルト孔２３１の配置位置は、上記寸法変形前と比較してＩＨ方向と略反対方向にずれる。
【０１１７】
またさらに、この位置決め中心位置Ｃは、装置１の種類によって様々な位置に設置されるため、装置１が異なると、冷却板側ボルト孔２３１の配置位置がずれる方向はそれに伴って異なることになる。すなわち装置１によって冷却板側ボルト孔２３１の配置位置は様々な方向にずれることになる。
【０１１８】
そこで、本実施形態の冷却板側ボルト孔２３１の形状にすると、位置決め中心位置Ｃの位置が様々な位置にずれたとしても、上記寸法変形前の冷却板側ボルト孔２３１において、上記間隙Ｗ３の大きさが、位置決め中心位置Ｃから冷却板側ボルト孔２３１までの最短距離の０．１５％以上である限りは上記寸法変形に対応した状態で冷却板２３を支持部材１１に取り付けることが可能となる。
【０１１９】
その他実施形態
（１）  冷却板側ボルト孔２３１の配置位置は、必ずしも冷却板２３の四角に限定されるものではなく、ターゲット材２１が配置される領域外であれば特に配置場所は限定されない。また、冷却板側ボルト孔２３１の形成箇所は四箇所に限定されるものではなく、それ以上の箇所に形成してもよい。
【０１２０】
（２）  冷却板２３とターゲット材２１の素材は、冷却板２３の曲げ剛性が、冷却板２３より低くなるようになる状態であれば、任意の素材を組み合わせて選定することが可能である。ただし、冷却板２３に使用する素材の熱膨張率とターゲット材２１の素材の熱膨張率との差が１０％以上となるように冷却板２３とターゲット材２１との素材を選定した場合、冷却板２３の寸法変形が特に起こりやすくなるため、上述のような実施形態の構成を採用すると、特に好適な状態で上記寸法変形に対応することが出来る。
【０１２１】
（３）  冷却板側給排水口２４１、及び、装置側給排水口１５は、必ずしも冷却板側給排水口２４１の大きさのほうが、装置側給排水口１５より小さくなるように形成する必要はなく、その逆となる大きさに形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】本発明の第一実施形態にかかる装置の概要図である。
【図２】本発明の第一実施形態にかかる冷却板の断面図である。
【図３】本発明の第一実施形態にかかる薄膜形成用積層体の概要図であり、（ａ）はその全体概要図、（ｂ）は、ボルト孔付近の拡大図である。
【図４】本発明の第一実施形態にかかるボルト孔及びボルトの概要図である。
【図５】本発明の第一実施形態にかかる薄膜形成用積層体の構成する過程を示した図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は本発明の第一実施形態にかかる薄膜形成用積層体の冷却板が寸法変形を起こした状態を示した図であり、（ｃ）は第二実施形態にかかる薄膜形成用積層体の冷却板が寸法変形を起こした状態を示した図である。
【図７】本発明の第二実施形態にかかる薄膜形成用積層体の概要図であり、（ａ）はその全体概要図、（ｂ）はボルト孔付近の拡大図である。
【図８】本発明の第三実施形態にかかる薄膜形成用積層体の概要図であり、（ａ）はその全体概要図、（ｂ）はボルト孔付近の拡大図である。
【図９】本発明の第四実施形態にかかる薄膜形成用積層体の概要図であり、あり、（ａ）はその全体概要図、（ｂ）はボルト孔付近の拡大図である。
【図１０】本発明の第五実施形態にかかる薄膜形成用積層体の概要図であり、（ａ）はその全体概要図、（ｂ）はボルト孔付近の拡大図である。
【図１１】本発明の第五実施形態にかかる薄膜形成用積層体の構成する過程を示した図である。
【図１２】本発明の第五実施形態にかかる薄膜形成用積層体の冷却板が寸法変形を起こした状態を示した図であり、（ａ）はその全体概要図、（ｂ）はボルト孔付近の拡大図である。
【図１３】本発明の第六実施形態にかかる薄膜形成用積層体の概要図で（ａ）はその全体概要図、（ｂ）は、ボルト孔付近の拡大図である。
【符号の説明】
【０１２３】
１  装置（金属薄膜形成装置）
１１  支持部材
１３  装置側ボルト孔
１５  装置側給排水口
２０  薄膜形成用積層体
２１  ターゲット材
２３  冷却板
３１  基材支持部
４１  基板
２３１  冷却板側ボルト孔
２４１  冷却板側給排水口
２４３  冷却板側給排水路
２５１  ボルト
【図１】
2005029850.tif 000006
【図２】
2005029850.tif 000007
【図３】
2005029850.tif 000008
【図４】
2005029850.tif 000009
【図５】
2005029850.tif 000010
【図６】
2005029850.tif 000011
【図７】
2005029850.tif 000012
【図８】
2005029850.tif 000013
【図９】
2005029850.tif 000014
【図１０】
2005029850.tif 000015
【図１１】
2005029850.tif 000016
【図１２】
2005029850.tif 000017
【図１３】
2005029850.tif 000018