(57)【要約】【課題】電鋳の変形が生ずることを抑制できる電鋳装置及び電鋳方法を提供する。【解決手段】メッキ液の劣化度合いを示す劣化特性値を検出し、これを閾値と比較して上回ったときに、それを表す信号を出力することで、メッキ液の交換等の処置を執れるようにし、もってメッキ液の組成を略一定に維持しつつ電鋳処理を行うことにより、電鋳の変形を抑制できる。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電鋳対象物に対して電鋳処理を電鋳装置において、
電鋳対象物を浸漬するメッキ液を貯留するメッキ槽と、
電鋳対象物を保持する陰極と、
前記電鋳対象物に対峙して配置された陽極と、
前記陽極と前記陰極との間に電圧を付与する電源と、
前記メッキ槽内のメッキ液の劣化度合いを示す劣化特性値を検出する検出装置と、
前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、信号を出力する出力装置とを有することを特徴とする電鋳装置。
【請求項２】
前記劣化特性値は、電鋳対象物をメッキ液中に浸漬した状態で、前記陽極と前記陰極との間に電力を供給した時間であることを特徴とする請求項１に記載の電鋳装置。
【請求項３】
前記劣化特性値は、電鋳対象物をメッキ液中に浸漬した状態で、前記陽極と前記陰極との間に流れた電流に、前記陽極と前記陰極との間に電力を供給した時間を乗じた値であることを特徴とする請求項１に記載の電鋳装置。
【請求項４】
前記検出装置は、前記メッキ液の成分濃度を測定することを特徴とする請求項１に記載の電鋳装置。
【請求項５】
前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、警報を発する警報装置を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電鋳装置。
【請求項６】
前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、前記メッキ槽内のメッキ液の少なくとも一部を交換する交換装置を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電鋳装置。
【請求項７】
前記交換装置は、前記メッキ槽から回収したメッキ液を廃棄して、前記メッキ槽にフレッシュなメッキ液を戻すラインを設けたことを特徴とする請求項６に記載の電鋳装置。
【請求項８】
前記循環ラインは外部に対して密閉されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の電鋳装置。
【請求項９】
前記陽極は、複数のニッケルペレットを有しており、前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、前記ニッケルペレットの少なくとも一部を交換もしくは新たに補充する交換装置を有することを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の電鋳装置。
【請求項１０】
前記ニッケルペレットの収容部を前記メッキ液中で移動させる移動装置を有することを特徴とする請求項９に記載の電鋳装置。
【請求項１１】
電鋳対象物と前記陰極を回転させる回転装置を有し、前記陰極の前記陽極と反対側にデッドスペースを小さくする遮蔽物を設けたことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の電鋳装置。
【請求項１２】
電鋳対象物と前記陰極を回転させる回転装置と、前記陰極と前記陽極との間に配置した整流板とを有することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の電鋳装置。
【請求項１３】
電鋳対象物と前記陰極を回転させる回転装置と、メッキ液を前記陰極と前記陽極との間に吐出する吐出装置とを有し、前記吐出装置の吐出口は、少なくとも電鋳対象物よりも幅の大きなスリット形状を有していることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれかに記載の電鋳装置。
【請求項１４】
陰極に保持された電鋳対象物をメッキ液中で陽極と対峙させ、前記陰極と前記陽極との間に電圧を付与することで電鋳対象物に電鋳処理を行う電鋳方法において、
メッキ槽内のメッキ液の劣化度合いを示す劣化特性値を検出するステップと、
前記劣化特性値が閾値を超えた場合、信号を出力するステップとを有することを特徴とする電鋳方法。
【請求項１５】
前記劣化特性値は、電鋳対象物をメッキ液中に浸漬した状態で、前記陽極と前記陰極との間に電力を供給した時間であることを特徴とする請求項１４に記載の電鋳方法。
【請求項１６】
前記劣化特性値は、電鋳対象物をメッキ液中に浸漬した状態で、前記陽極と前記陰極との間に流れた電流に、前記陽極と前記陰極との間に電力を供給した時間を乗じた値であることを特徴とする請求項１４に記載の電鋳方法。
【請求項１７】
前記検出するステップは、前記メッキ液の成分濃度を測定するステップを含むことを特徴とする請求項１４に記載の電鋳方法。
【請求項１８】
前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、警報を発するステップを有することを特徴とする請求項１４乃至１７のいずれかに記載の電鋳方法。
【請求項１９】
前記劣化特性値が前記閾値を超えた場合、前記メッキ槽内のメッキ液の少なくとも一部を交換するステップを有することを特徴とする請求項１４乃至１８のいずれかに記載の電鋳方法。
【請求項２０】
前記交換するステップは、前記メッキ槽から回収したメッキ液を廃棄して、前記メッキ槽にフレッシュなメッキ液を戻すステップを含むことを特徴とする請求項１９に記載の電鋳方法。
【請求項２１】
前記陽極は、複数のニッケルペレットを有しており、前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、前記ニッケルペレットの少なくとも一部を交換もしくは新たに補充するステップを有することを特徴とする請求項１４乃至２０のいずれかに記載の電鋳方法。
【請求項２２】
前記ニッケルペレットの収容部を前記メッキ液中で移動させるステップを有することを特徴とする請求項２１に記載の電鋳方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電鋳装置及び電鋳方法に関し、特に精密部品を成形する成形型などの製造に用いられると好適な電鋳装置及び電鋳方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、急速に発展している光ピックアップ装置の分野では、極めて高精度な対物レンズなどの光学素子が用いられている。プラスチックやガラスなどの素材を、金型を用いてそのような光学素子に成形すると、均一な形状の製品を迅速に製造することができるため、かかる金型成形は、そのような用途の光学素子の大量生産に適しているといえる。ここで、金型は消耗品であり、また不測の事態による破損なども予想されることから、高精度な光学素子を成形するためには、定期的或いは不定期の金型交換が必要であるといえる。従って、光学素子を成形するための金型も、一定精度の金型をある程度の量だけ予め用意しておく必要があるといえる。
【０００３】
ここで、単結晶ダイヤモンド工具などを用いた切削加工で金型を製造した場合、手間がかかる上に、全く同一形状の金型を切り出すことは困難といえ、それ故金型交換前後で光学素子製品の形状バラツキが生じる恐れがあり、又コストもかかるという問題がある。これに対し、光学素子の光学面に対応した母光学面を有する母型に対し、電鋳を成長させることで、金型を製作しようとする試みがある。このような電鋳による金型製作手法を用いると、精度の良い母型を一つ用意するだけで、寸法バラツキの少ない光学素子成形用金型を比較的容易に得ることができる。このような電鋳方法としては、例えば以下の特許文献１に記載されたものがある。
【特許文献１】
特開２００２−４０７６号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、本発明者の研究によれば、電鋳により例えば光学素子成形用金型を形成する場合において、成長させた電鋳を陰極から取り外した後、内部応力により電鋳が微小に変形するという問題が判明した。しかるに、特許文献１に開示されているような一般用途の場合には、電鋳が微小に変形しても大きな問題は生じない。ところが、光ピックアップ装置の対物レンズのような場合、収差特性を良好にするために光学面に微細な回折構造を形成しており、そのような精密な対物レンズ等を成形するための金型に微小な変形が生ずれば、それから成形される対物レンズ等の光学特性が悪化し、光ピックアップ装置において満足な性能が得られない恐れがある。
【０００５】
本発明は、かかる従来技術の問題に鑑みてなされたものであり、電鋳の変形が生ずることを抑制できる電鋳装置及び電鋳方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
第１の本発明の電鋳装置は、電鋳対象物に対して電鋳処理を電鋳装置において、電鋳対象物を浸漬するメッキ液を貯留するメッキ槽と、電鋳対象物を保持する陰極と、前記電鋳対象物に対峙して配置された陽極と、前記陽極と前記陰極との間に電圧を付与する電源と、前記メッキ槽内のメッキ液の劣化度合いを示す劣化特性値を検出する検出装置と、前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、信号を出力する出力装置とを有することを特徴とする。
【０００７】
本発明者は、鋭意研究の結果、陰極から取り外した後に電鋳に変形が生じる主因は、電鋳処理におけるメッキ液の劣化度が異なることによるものであることを見出した。即ち、メッキは化学反応により行われるから、不純物の析出、酸化、変質、蒸発等によりメッキ液が劣化すると電鋳の組織に偏りが生じ、これが変形を生じさせる内部応力を引き起こす主因と断定したのである。そこで、本発明者は、メッキ液の劣化度合いを示す劣化特性値を検出し、これを閾値と比較して上回ったときに、それを表す信号を出力することで、メッキ液の交換等の処置を執れるようにし、もってメッキ液の組成を略一定に維持しつつ電鋳処理を行うことにより、電鋳の変形を抑制できることを見出したのである。
【０００８】
更に、前記劣化特性値は、電鋳対象物をメッキ液中に浸漬した状態で、前記陽極と前記陰極との間に電力を供給した時間であると好ましい。時間経過により、メッキ液が劣化するからである。
【０００９】
又、前記劣化特性値は、電鋳対象物をメッキ液中に浸漬した状態で、前記陽極と前記陰極との間に流れた電流に、前記陽極と前記陰極との間に電力を供給した時間を乗じた値（いわゆる電流積算値）であると好ましい。電流が増大すれば、それだけメッキ液の劣化が進むからである。
【００１０】
更に、前記検出装置は、前記メッキ液の成分濃度を測定すると好ましい。メッキ液の劣化度合いをダイレクトに検出できるからである。このようなメッキ液の成分濃度の測定法としては、例えばよく知られている電気泳動法などを利用できる。
【００１１】
又、前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、警報を発する警報装置を有すると、警報に応じて作業者がメッキ液の交換等の処置を執れるので好ましい。
【００１２】
更に、前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、前記メッキ槽内のメッキ液の少なくとも一部を交換する交換装置を有すると、例えば劣化したメッキ液を抜き取って新鮮なメッキ液を補充することで、メッキ液の組成を一定に維持できる。
【００１３】
又、前記交換装置は、前記メッキ槽から回収したメッキ液を廃棄して、前記メッキ槽にフレッシュなメッキ液を戻すラインを設けていると、メッキ液の再利用を図れるので好ましい。
【００１４】
更に、前記循環ラインは外部に対して密閉されていると、メッキ液の蒸発を抑制できるので好ましい。
【００１５】
又、前記陽極は、複数のニッケルペレットを有しており、前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、前記ニッケルペレットの少なくとも一部を交換もしくは新たに補充する交換装置を有すると、析出により減少したニッケルペレットを適切なタイミングで補充できるので好ましい。
【００１６】
更に、前記ニッケルペレットの収容部を前記メッキ液中で移動させる移動装置を有すると、ニッケルペレットの析出を効率的に行えるため好ましい。
【００１７】
又、電鋳対象物と前記陰極を回転させる回転装置を有し、前記陰極の前記陽極と反対側にデッドスペースを小さくする遮蔽物を設けると、不均一な組成を生じやすいメッキ液の滞留を抑制できるので好ましい。
【００１８】
更に、電鋳対象物と前記陰極を回転させる回転装置と、前記陰極と前記陽極との間に配置した整流板とを有すると、メッキ液を整流することで不均一な組成となることを抑制できる。
【００１９】
又、電鋳対象物と前記陰極を回転させる回転装置と、メッキ液を前記陰極と前記陽極との間に吐出する吐出装置とを有し、前記吐出装置の吐出口は、少なくとも電鋳対象物よりも幅の大きなスリット形状を有していると、メッキ液を整流することで不均一な組成となることを抑制できる。
【００２０】
第２の本発明の電鋳方法は、陰極に保持された電鋳対象物をメッキ液中で陽極と対峙させ、前記陰極と前記陽極との間に電圧を付与することで電鋳対象物に電鋳処理を行う電鋳方法において、メッキ槽内のメッキ液の劣化度合いを示す劣化特性値を検出するステップと、前記劣化特性値が閾値を超えた場合、信号を出力するステップとを有するので、メッキ液の劣化度合いを示す劣化特性値を検出することで、メッキ液の組成を略一定に維持しつつ電鋳処理を行うことにより、電鋳の変形を抑制できる
【００２１】
更に、前記劣化特性値は、電鋳対象物をメッキ液中に浸漬した状態で、前記陽極と前記陰極との間に電力を供給した時間であると好ましい。
【００２２】
又、前記劣化特性値は、電鋳対象物をメッキ液中に浸漬した状態で、前記陽極と前記陰極との間に流れた電流に、前記陽極と前記陰極との間に電力を供給した時間を乗じた値であると好ましい。
【００２３】
更に、前記検出するステップは、前記メッキ液の成分濃度を測定するステップを含むと好ましい。
【００２４】
又、前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、警報を発するステップを有すると好ましい。
【００２５】
更に、前記劣化特性値が前記閾値を超えた場合、前記メッキ槽内のメッキ液の少なくとも一部を交換するステップを有すると好ましい。
【００２６】
又、前記交換するステップは、前記メッキ槽から回収したメッキ液を廃棄して、前記メッキ槽にフレッシュなメッキ液を戻すステップを含むと好ましい。
【００２７】
更に、前記陽極は、複数のニッケルペレットを有しており、前記検出装置が検出した劣化特性値が閾値を超えた場合、前記ニッケルペレットの少なくとも一部を交換もしくは新たに補充するステップを有すると好ましい。
【００２８】
又、前記ニッケルペレットの収容部を前記メッキ液中で移動させるステップを有すると好ましい。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき、図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態にかかる電鋳方法を実行できる電鋳装置を示す概略図である。図１において、電鋳装置１００は、メッキ液ＭＬを貯留し密閉されたメッキ槽１０１内に、電鋳対象物１０５を保持した円盤部１０９ａと円板部１０９ａに連結されたシャフト１０９ｂとを有する陰極１０９を配置している。陰極１０９のシャフト１０９ｂは、回転装置であるモータ１１０により回転するように構成されている。円盤部１０９ａの電鋳対象物１０５の保持面と反対側の面は、殆どスキマなくメッキ槽１０１の壁面（遮蔽物）１０１ｃが対向し、ここにメッキ液ＭＬの滞留が生じることを抑制している。
【００３０】
メッキ液ＭＬに浸漬された電鋳対象物１０５に対峙するようにして、メッキ槽１０１内には陽極１０２が配置されている。陽極１０２は、チタン製の金網でできた籠１０２ａと（チタンケース）、その内部に充填された多数のニッケルペレット１０２ｂとを有する。チタンケース１０２ａは、直流電源１１１のプラス側に通電可能に接続されており、陰極１０９は、直流電源１１１のマイナス側に通電可能に接続されている。
【００３１】
籠１０２ａは、ワイヤ等を介して巻き取りモータ１０３に連結されており、巻き取りモータ１０３の往復回転により、メッキ液ＭＬ中で上下に移動するようになっている。
【００３２】
メッキ槽１０１の排出口１０１ａは、循環ラインを構成する配管１１５に連結されている。配管１１５は、フィルタ１１６を介してポンプ１１７に接続している。ポンプ１１７は、メッキ槽１０１の吐出口１０１ｂに接続されたノズル１１９に連結されている。更に配管１１５は、バルブ１１４Ａにより開閉される排出路１１５ａと、バルブ１１４Ｂにより開閉される排出路１１５ｂとを有している。尚、メッキ槽１０１及び配管１１５は、バルブ１１４Ａ、１１４Ｂを閉じている限り外部に対して閉鎖空間となっており、メッキ液ＭＬの酸化防止、蒸発防止、外部からの異物の侵入などを抑制できる。また、メッキ液ＭＬを循環させる際に、タンクの液面に落下させるタイプでは気泡が発生するので、電鋳に悪影響が及ぶ恐れがあるが、本実施の形態によれば、かかる悪影響を回避できる。
【００３３】
ＣＰＵ１０４は、検出装置である電流計１０６から出力される電流値を入力し、巻き取りモータ１０３，モータ１１０，バルブ１１４Ａ、１１５Ｂ、ポンプ１１７を駆動制御することができ、更に警報装置であるモニタ１０７に警報及び他の情報を表示できるようになっている。
【００３４】
図２は、本実施の形態にかかる電鋳装置の動作を説明するためのフローチャート図である。図２のステップＳ１０１において、電鋳処理を開始する。具体的には、ＣＰＵ１０４は、電源１１１の電力供給を開始するともに、巻き取りモータ１０３を往復動作させて、陽極１０２をメッキ液ＭＬ中で往復移動させ、モータ１１０を駆動して陰極１０９を電鋳対象物１０５と共に回転させる。それにより電鋳対象物１０５の表面に化学反応が生じ、電鋳が成長する。更に、ポンプ１１７が作動して、配管１１５を介してメッキ槽１０１内のメッキ液ＭＬが吸い出され、フィルタ１１６を通過することで、異物などが除去されリフレッシュする。
かかるリフレッシュしたメッキ液ＭＬはポンプ１１７を通ってノズル１１９から陽極１０２と電鋳対象物１０５との間に吹き出される。このとき、電鋳対象物１０５に対峙するようにして１枚又は複数枚の整流板１１８を平行に配置すれば、ノズル１１９から吐出されたメッキ液ＭＬが整流されるので、より均質な電鋳を形成できる。尚、この段階では、バルブ１１４Ａ、１１４Ｂは閉じているものとする。
【００３５】
ステップＳ１０２で、ＣＰＵ１０４は積算電流値を求める。積算電流値は、電流計１０６で検出した電流値に、電力供給時間を掛け合わせたものである。ステップＳ１０３で、ＣＰＵ１０４は、求めた積算電流値を第１の閾値ＴＨ１と比較し、それが第１の閾値ＴＨ１以下であれば、ステップＳ１０２に戻って新たに積算電流値を計算する。
【００３６】
一方、求めた積算電流値が第１の閾値ＴＨ１を超えた場合、出力装置であるＣＰＵ１０４は、メッキ液ＭＬが劣化したと判断し、ステップＳ１０４で第１の警報を発令（信号を出力）し、モニタ１０７に警告表示を表示（ブザー音でもよい）させ、ステップＳ１０５で巻き上げモータ１０３を制御して、陽極１０２のニッケルペレット１０２ｂの補充・交換を行う。巻き上げモータ１０３の作動は、第１の警報に基づいて作業者が行っても良い。
【００３７】
より具体的に、ニッケルペレット１０２ｂを補充・交換動作を説明すると、ＣＰＵ１０４が、電源１１１からの電力供給を遮断した後、図１で巻き上げモータ１０３の往復動作を一旦停止し、大きく巻き上げることで、陽極１０２をメッキ槽１０１から引き上げ、籠１０２ａ内に新たなニッケルペレット１０２ｂを補充すること、或いは小さくなったニッケルペレット１０２ｂを排出して、不図示の貯留部より新たなニッケルペレット１０２ｂに交換し、再び巻き上げモータ１０３を駆動して、陽極１０２をメッキ槽１０１に戻すことができる。その後、ＣＰＵ１０４は、電源１１１からの電力供給を再開するとともに、巻き上げモータ１０３の往復動作を再開する。ここで、巻き上げモータ１０３が移動装置及び交換装置を構成する。
【００３８】
更にステップＳ１０６で、ＣＰＵ１０４は積算電流値を求める。ステップＳ１０７で、ＣＰＵ１０４は、求めた積算電流値を第２の閾値ＴＨ２と比較し、それが第２の閾値ＴＨ２以下であれば、ステップＳ１０６に戻って新たに積算電流値を計算する。
【００３９】
一方、求めた積算電流値が第２の閾値ＴＨ２を超えた場合、ＣＰＵ１０４は、メッキ液ＭＬが劣化したと判断し、ステップＳ１０８で第２の警報を発令（信号を出力）し、モニタ１０７に警告表示を表示（ブザー音でもよい）させ、ステップＳ１０９でメッキ液交換処理を行う。メッキ液交換処理は、具体的にはＣＰＵ１０４が、電源１１１からの電力供給を停止（すなわち電鋳処理を中断し）た後に、バルブ１１４Ａ，１１４Ｂを開放することで、排出路１１５ａから劣化したメッキ槽１０１内のメッキ液ＭＬを外部へと排出し、供給路１１５ｂから新鮮なメッキ液ＭＬを取り込んで、ノズル１１９を介して吐出するようになっている。
メッキ液ＭＬの交換後に、ＣＰＵ１０４は電源１１１の電力供給（すなわち電鋳処理）を再開する。尚、メッキ液交換は、第２の警報に応じて作業者が行っても良い。又、メッキ液交換処理は、電源１１１からの電力供給を中断せず、同じ流量で劣化したメッキ液の廃棄とフレッシュなメッキ液の供給とを一定時間行うという、連続的な交換方法を採用してもよい。ステップＳ１１０で、電鋳が規定の厚さに成長していなければ、ＣＰＵ１０４は、ステップＳ１０２〜Ｓ１０９を再度実行し、電鋳が規定の厚さに成長していれば、電源１１１の電力供給を停止し且つモータ１０３，１１０を停止し、電鋳処理を終了する。ここで、配管１１５，バルブ１１４Ａ，１１４Ｂ、ポンプ１１７が交換装置を構成する。
【００４０】
本実施の形態においては、メッキ液の劣化度合いを示す劣化特性値として電流積算値を検出することで、メッキ液の組成を略一定に維持しつつ電鋳処理を行うことにより、電鋳の変形を抑制できる。本発明者の実験結果によれば、スルファミン酸浴（スルファミン酸ニッケル：６００ｇ／ｌ、ホウ酸：４０ｇ／ｌ、塩化ニッケルとピット防止剤を適量）にてシリコン基材上に電鋳した場合、本発明の適用により、電鋳の変形をφ４ｍｍ当たり０．１μｍ以下、変形のバラツキを±０．０１５μｍ以下に抑えることができることがわかった（測定器ＺｙｇｏＧＰＩ−ＸＰＨＲ）。
【００４１】
尚、劣化特性値としては、電力供給時間でもよく、或いは電気泳動法で得られるメッキ液の成分濃度を用いても良い。電気泳動法を用いるメリットとしては、一度に複数の成分を検出でき、分析時間が短いこと、複雑な前処理が不要であり、分析装置を電鋳装置に組み込みやすいこと、比較的高精度であることなどがある。又、第１の閾値ＴＨ１，第２の閾値ＴＨ２は、実験等で求めることができる。
【００４２】
以上述べた実施の形態の変形例として、求めた積算電流値が第１の閾値を上回ったとき、メッキ液ＭＬの交換を行い、第２の閾値を上回ったとき、ニッケルペレット１０２ｂを補充或いは交換することも考えられる。
【００４３】
図３は、本実施の形態の変形例にかかる電鋳装置の一部の拡大斜視図である。
本変形例では、図３に示すように、吐出装置を構成するノズル１１９’の吐出口が扁平なスリット形状となっており、吐出口の幅Ｄは、電鋳対象物１０５又は陰極１０９の円板部１０９ｂの外径ｄより小さくなっている。従って、ノズル１１９’から吐出されるメッキ液ＭＬは電鋳対象物１０５の表面に沿って流れるため、均質な電鋳を形成できる。尚、その他の構成は図１に示すものと同様であるので、その説明を省略する。
【００４４】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。本発明は、光ピックアップ装置用の光学素子成形用型に用いる電鋳に限らず、例えばインクジェットプリンタのヘッド成形用型に用いる電鋳、その他精密部品成形用型に用いる電鋳など幅広く適用が可能である。
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、電鋳の変形が生ずることを抑制できる電鋳装置及び電鋳方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態にかかる電鋳方法を実行できる電鋳装置を示す概略図である。
【図２】本実施の形態にかかる電鋳装置の動作を説明するためのフローチャート図である。
【図３】本実施の形態の変形例にかかる電鋳装置の一部の拡大斜視図である。
【符号の説明】
１０１  メッキ槽
１０２  陽極
１０３  巻き上げモータ
１０４  ＣＰＵ
１０５  電鋳対象物
１０９  陰極
１１０  モータ
１１５  配管
１１６  フィルタ
１１７  ポンプ
１１９，１１９’  ノズル
【図１】
2005048214.tif 000003
【図２】
2005048214.tif 000004
【図３】
2005048214.tif 000005