(57)【要約】【課題】フィルムの基板との密着度や貼付状態に左右されず、基板を汚染することもなく、基板からフィルムを剥離したい。【解決手段】基板４に貼り付けたフィルム６をその端部から剥離するフィルム剥離装置１００であり、外周に円盤状歯，丸鋸状歯もしくは鑢状突起を有するきっかけローラ１０と外周に粘着部材を有する粘着ローラ１１を備え、きっかけローラ１０を基板４に貼り付けたフィルム６の端部に押圧して回転させ、フィルム６の端部を基板４から浮かせ、きっかけローラ１０で浮いたフィルム６の端部に粘着ローラ１１を押圧して回転させ、粘着ローラ１１によってフィルム６の端部を基板から剥離させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に貼り付けたフィルムをその端部から剥離するフィルム剥離装置において、
外周に突起を有するきっかけローラと外周に粘着部材を有する粘着ローラを備え、該きっかけローラを基板に貼り付けたフィルムの端部に押圧して回転させ該フィルムの端部を基板から浮かせ、該きっかけローラで浮いた該フィルムの端部に該粘着ローラを押圧して回転させ、該フィルムの端部を基板から剥離させることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
上記請求項１に記載のフィルム剥離装置において、さらに、突出部が該粘着ローラを跨ぎ該粘着ローラの接線方向に主面が延びた剥離フィルム受け板を設けてあることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３】
上記請求項１に記載のフィルム剥離装置において、きっかけローラの突起は、円盤状歯，丸鋸状歯もしくは鑢状突起のいずれかであることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項４】
基板に貼り付けたフィルムをその端部から剥離するフィルム剥離装置において、
外周に円盤状歯，丸鋸状歯もしくは鑢状突起を有するきっかけローラを備え、該きっかけローラが基板に貼り付けたフィルムの端部上で回転することで該フィルムの端部を基板から浮かせることを特徴とするフィルム剥離装置の剥離ローラ。
【請求項５】
上記請求項４に記載のフィルム剥離装置の剥離ローラにおいて、  さらに、外周に粘着部材を有する粘着ローラを備え、該きっかけローラで浮いた該フィルムの端部上で該粘着ローラが回転することで、該フィルムの端部に粘着して基板から剥離させることを特徴とするフィルム剥離装置の剥離ローラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板に貼り付けたフィルムの端部から剥離するフィルム剥離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体基板などの製造においては、保護フィルムで覆ったレジストフィルムを貼り付けて、露光処理後に保護フィルムを剥離する工程があり、フィルム剥離装置で保護フィルムの剥離を行うようにしている。
【０００３】
下記の特許文献１のフィルム剥離装置は、粘着テープで保護フィルムを接着してレジストフィルムから剥がすものであり、特許文献２のものは、レジストフィルムと保護フィルムの密着部を破壊して両フィルム間に気泡を混入させ、その部分にエアーを吹付けて保護フィルムを剥がすものである。
【０００４】
【特許文献１】
特開平６−２７８９３６号公報
【特許文献２】
特開２０００−２０３７５９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１に示されたフィルム剥離装置では、保護フィルムとレジストフィルムの密着度やレジストフィルムの保護フィルム側端部への滲み出しなどにより、粘着テープが保護フィルムに接着しても、保護フィルムが粘着テープとともに基板側から剥がれて来ないことがある。
【０００６】
また、上記特許文献２に示されたフィルム剥離装置では、レジストフィルムと保護フィルムの密着部を破壊するときにレジストフィルムの端部を破損することがあり、エアーの吹付けでレジストフィルムから出た塵埃が、剥離中にレジストフィルム上に飛散付着して現像不良や基板上に製作しているパターンに不具合を生じることがある。
【０００７】
それゆえ本発明の目的は、フィルムの基板との密着度や貼付状態に左右されず、基板を汚染することもないフィルム剥離装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の特徴とするところは、基板に貼り付けたフィルムをその端部から剥離するフィルム剥離装置において、外周に突起を有するきっかけローラと外周に粘着部材を有する粘着ローラを備え、該きっかけローラを基板に貼り付けたフィルムの端部に押圧して回転させ該フィルムの端部を基板から浮かせ、該きっかけローラで浮いた該フィルムの端部に該粘着ローラを押圧して回転させ、該フィルムの端部を基板から剥離させることにある。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図に示した一実施形態について説明する。
図１において、１はフィルム剥離装置１００のハウジング、２は複数の搬送ローラ３ａ〜３ｃで構成する搬送路である。搬送ローラ３ａは前段装置からの搬送ローラであり、搬送ローラ３ｂはフィルム剥離装置１００のもの、搬送ローラ３ｃは後段装置への搬送ローラである。
【００１０】
４は方形の基板で、基板４は図１の左方から右方に向けて各搬送ローラ３ａ〜３ｃの回転により搬送路２上を移動する。基板４の上面には、レジストフィルム５と保護フィルム６を順次貼り付けてある。
【００１１】
７は搬送路２上に基板４の搬送方向に直交する幅方向において左右各側に設けてあり、基板４の上面に貼り付けてある保護フィルム６の左右各端部を剥離する剥離ユニットである。
【００１２】
剥離ユニット７は、基板４の幅方向にガイドシャフト８で案内され、保護フィルム６の幅に合わせて移動できるようになっている。
【００１３】
また、剥離ユニット７は、主軸を上下させるアクチュエータ９を有し、その主軸の下方端にきっかけローラ１０と粘着ローラ１１を軸支している。基板４上の保護フィルム６は、基板４の右方向への搬送移動に伴って、先にきっかけローラ１０に接触し、後で粘着ローラ１１と接触する。
【００１４】
きっかけローラ１０は、図５（ａ）に示すように、外周に複数の円盤状歯１０ａを突起として設けたものである。複数の円盤状歯１０ａの両側の外周に弾力材１０ｄを設けてある。弾力材１０ｄはレジストフィルム５を傷つけないように、円盤状歯１０ａが保護フィルム６に食い込む深さを調整するものである。
【００１５】
きっかけローラ１０との接触で浮いた保護フィルム６の端部に粘着ローラ１１が接触し、基板４の右方向への搬送移動とともに基板４側から剥離した保護フィルム６は、剥離フィルム受け板１２によって粘着ローラ１１から離れる。
【００１６】
剥離フィルム受け板１２は、図３に示すように、突出部１２ａが粘着ローラ１１を跨ぎ粘着ローラ１１の接線方向に主面部１２ｂが延びた構成である。主面部１２ｂは、基板４の幅方向に延在し基板４の搬送方向上流側上方に向けて傾斜している。突出部１２ａが粘着ローラ１１間に入っているので、保護フィルム６は主面１２ｂ上を移動するときに粘着ローラ１１から離れる。
【００１７】
剥離フィルム受け板１２の上側端部にフィルム排出ユニット１３を設けてある。フィルム排出ユニット１３は２個の無端ベルトが互いに逆回転をするように合わせて、基板４の幅方向左右各側にそれぞれ設けてあり、剥離フィルム受け板１２の上側端部から保護フィルム６を受け取って挟み込んで搬送し、下流側からフィルム回収箱１４に落下させる。
【００１８】
幅方向左右各側のフィルム排出ユニット１３も、基板４の幅方向に図示していないガイドシャフトで案内され、保護フィルム６の幅に合わせて移動できるようになっている。
【００１９】
基板４は、図示を省略した幅寄せ機構により、搬送路２の搬送中心に中心を合わせて幅方向に移動できるようにしてあり、従って、剥離ユニット７とフィルム排出ユニット１３の幅方向中心位置は搬送路２の搬送中心に一致させてある。
【００２０】
以下、保護フィルム６の剥離について説明する。
【００２１】
図２に示すように、搬送路２上を複数の基板４が適宜な間隔で移動してくると、図示していないセンサが基板４を検出し、搬送路２を構成している搬送ローラ３ｂは基板４における進行方向の先端がきっかけローラ１０の位置に至ったところで、基板４の移動を止めて、図示していない幅寄せ機構が基板４の搬送方向における中心と搬送路２の搬送方向における中心を一致させる。すると、きっかけローラ１０は基板４における進行方向の左右各先端に並ぶ。
【００２２】
きっかけローラ１０は、図５（ａ）に示すように、中央部外周に複数の円盤状歯１０ａとその両側の外周に弾力材１０ｄを設けてある。
【００２３】
アクチュエータ９できっかけローラ１０を保護フィルム６に押付け、搬送ローラ３ｂで基板４をゆっくり下流に移動させると、きっかけローラ１０は、基板４の移動に合わせて回転し、図２のように各円盤状歯１０ａは保護フィルム６に切れ目を開け、保護フィルム６の先端部は浮きあがり、保護フィルム６にレジストフィルム５との部分的な剥離が起こる。
【００２４】
保護フィルム６とレジストフィルム５の粘着性は保護フィルム６の浮き上がりにより低下し、続く粘着ローラ１１が図３に示すように保護フィルム６の端部全体をレジストフィルム５から剥離させる。
【００２５】
粘着ローラ１１の外周に粘着している保護フィルム６の先端は、図４に示すように、剥離フィルム受け板１２の突出部１２ａが粘着ローラ１１間に入っていることによって粘着ローラ１１から剥離して主面部１２ｂに乗り移り、ここからフィルム排出ユニット１３の２個の無端ベルトに渡して、フィルム排出ユニット１３により基板４の下流方向への移動に合わせて保護フィルム６の剥離と回収を同時に行う。
【００２６】
保護フィルム６とレジストフィルム５の粘着性を弱め剥離を容易にするきっかけローラ１０の円盤状歯１０ａに代わるものとして、図５（ｂ）に示す丸鋸状歯１０ｂがある。丸鋸状歯１０ｂは保護フィルム６をミシン目に切断するだけである。ミシン目を形成する鋸状歯はきっかけローラ１０の軸方向に沿って中央部外周に設けてあっても良い。
【００２７】
さらに、図５（ｃ）に示すように、きっかけローラ１０の円盤状歯１０ａに代わるものとして、鑢状突起１０ｃを有するものでも良い。
【００２８】
鑢面の凹凸が、保護フィルム６の端部を浮かせるように機能する。
【００２９】
きっかけローラ１０は機械力で保護フィルム６の端部を浮かせるので、レジストフィルム５との密着度などに左右されずに粘着ローラ１１で基板側から剥がすことができる。
【００３０】
きっかけローラ１０はレジストフィルムの端部を破損することはなく、エアーの吹付けもないので、レジストフィルムから出た塵埃が、剥離中にレジストフィルム上に飛散付着して現像不良や基板上に製作しているパターンに不具合を生じることもない。
【００３１】
図１の実施形態では、きっかけローラ１０の下流側に粘着ローラ１１を配置しているが、クランク状の保持軸にきっかけローラ１０と粘着ローラ１１をきっかけローラ１０がずれた上流側になるように配置して、粘着ローラ１１で剥離する個所がきっかけローラ１０で浮かした保護フィルム６の端部でなくてもよい。
【００３２】
粘着ローラ１１で剥離するときにきっかけローラ１０で保護フィルム６の端部が浮いていればよいことなので、きっかけローラ１０が保護フィルム６上を走行する方向は、基板４の先端から後端に向かうものに限らず、後端側から先端に向かうものや、幅方向に向かうものであってもよい。従って、図１の実施形態では剥離ユニット７では、きっかけローラ１０と粘着ローラ１１を備えているが、両ローラ１０．１１は分離して配置してあってもよい。
【００３３】
また、図１の実施形態は基板４の上面の保護フィルム６を剥がしているが、基板の下面を剥がすものや上下両面のフィルムを剥がすものであってもよい。
【００３４】
きっかけローラ１０に設けた突起の形状は、図５に示したものに限定されるものではない。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明フィルム剥離装置によれば、フィルムの基板との密着度や貼付状態に左右されず、基板を汚染することもなく、基板からフィルムを剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態になるフィルム剥離装置を示す概略図である。
【図２】図１に示したフィルム剥離装置で基板から保護フィルムの端部を浮かせる状況を示す部分的斜視図である。
【図３】図１に示したフィルム剥離装置で保護フィルムの剥離をしている状況を示す部分的斜視図である。
【図４】図３に続くフィルムを剥離している状況を示す部分的斜視図である。
【図５】図１に示したフィルム剥離装置でフィルムの剥離に用いるきっかけローラを示す概略斜視図である。
【符号の説明】
１００‥フィルム剥離装置
２‥搬送路
３ａ〜３ｃ‥搬送ローラ
４‥基板
５‥レジストフィルム
６‥保護フィルム
７‥剥離ユニット
８‥ガイドシャフト
９‥アクチュエータ
１０‥きっかけローラ
１１‥粘着ローラ
１２‥剥離フィルム受け板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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