(57)【要約】【課題】ヘッドのノズル面を清掃部材により払拭する際に、清掃部材によるノズル開口からの液体の掻き出しを防ぎ、ノズル面が液体により汚れるのを確実に防止することができる液滴吐出装置、ヘッドのクリーニング方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供すること。【解決手段】液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置１０であって、ヘッド１１に液体を供給する液体貯留部３００と、液体貯留部３００から液体１９００が供給されて液滴を吐出するヘッド１１と、ヘッド１１のノズル面７０を払拭する清掃部材６００と、液体貯留部３００とヘッド１１との相対的な高さ位置を変更して、ヘッド１１内の液体境界面１９０１をヘッド１１の内部へ移動するための位置変更手段５００とを備える。【選択図】図８
2005305269.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置であって、
液体を貯留する液体貯留部と、
前記液体貯留部から前記液体が供給されて前記液滴を吐出するヘッドと、
前記ヘッドのノズル面を払拭する清掃部材と、
前記液体貯留部と前記ヘッドとの相対的な高さ位置を変更して、前記ヘッド内の液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動するための位置変更手段と、
を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記位置変更手段は、前記液体貯留部の水頭位置を前記ヘッドに対して上下させる液体貯留部位置変更部であることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記位置変更手段は、前記ヘッドを前記液体貯留部の水頭位置に対して上下させるヘッド位置変更部であることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記清掃部材は、長手方向に送られながら前記ノズル面を清掃する帯状の清掃シートであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記清掃部材は、前記ノズル面に接触して前記ノズル面に対して相対的に移動することで前記ノズル面を清掃するブレードであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
液滴吐出装置に設けられて液滴をワークに吐出すためのヘッドのノズル面をクリーニングするヘッドのクリーニング方法であって、
前記ヘッドの前記ノズル面を清掃部材により払拭する前に、位置変更手段により液体貯留部と前記ヘッドとの相対的な位置を変更して、前記ヘッド内の液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動するための位置変更ステップと、
前記ヘッド内の前記液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動した後に、前記ヘッドの前記ノズル面を前記清掃部材により払拭する払拭ステップと、
を有することを特徴とするヘッドのクリーニング方法。
【請求項７】
ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて電気光学装置の製造をする電気光学装置の製造方法であって、
前記液滴吐出装置の前記ヘッドのノズル面を清掃部材により払拭する際に、位置変更手段により液体貯留部と前記ヘッドとの相対的な位置を変更して、前記ヘッド内の液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動するための位置変更ステップと、
前記ヘッド内の前記液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動した後に、前記ヘッドの前記ノズル面を前記清掃部材により払拭する払拭ステップと、
前記ノズル面を払拭後に、前記ワークに対して前記液滴を吐出する液滴吐出ステップと、を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置であって、
前記液滴吐出装置の前記ヘッドのノズル面を清掃部材により払拭する際に、位置変更手段により液体貯留部と前記ヘッドとの相対的な位置を変更して、前記ヘッド内の液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動するための位置変更ステップと、
前記ヘッド内の前記液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動した後に、前記ヘッドの前記ノズル面を前記清掃部材により払拭する払拭ステップと、
前記ノズル面を払拭後に、前記ワークに対して前記液滴を吐出する液滴吐出ステップとを行うことで得られることを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項８に記載の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置、ヘッドのクリーニング方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置は、描画システムとして用いられることがあり、この描画システムはインクジェット式で液滴をワークに対して吐出するようになっている。この描画システムはたとえばフラットパネルディスプレイのような電気光学素子の製造に用いられることがある。
インクジェット式で液滴を吐出する液滴吐出装置は、液滴を吐出するためのヘッドを有している。このヘッドのノズル面は、必要に応じてクリーニングする必要があり、このためヘッドのクリーニング方法が提案されている（たとえば特許文献１）。
【特許文献１】特開２００３−２７０４２６号公報（第１０頁、図１８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この種のヘッドクリーニング用の装置は、ヘッド内の気泡、ごみあるいは凝固したインク等の異物をノズル開口から外部に放出した後に、ノズル面に対してワイピングシートを押し付けた状態でノズル面をきれいな状態にする。ところが、ヘッドのノズル面側において各ノズル開口内にはインクのメニスカス（インク境界面）が位置していて、このメニスカスはノズル面に近い位置に形成されている。
このために、従来用いられているようなワイピングシートをノズル面に対して押し付けながらノズル面の残留インク等を払拭していくと、各ノズル開口におけるインクのメニスカスを壊して、ノズル開口内のインクをノズル面側に掻き出してしまう現象を発生させてしまう。
【０００４】
このことからノズル面のクリーニングを行ったにも関わらず、ノズル面にはノズル開口から掻き出されたインクが付着してしまう。このノズル面に付着したインクは常にインクジェット式による液滴の吐出には悪影響を及ぼすとは限らないが、ノズル面に残っているインクがノズル開口の近くに付着すれば、それ以降に行うインクジェット式によるインク滴の吐出動作は、インク滴の飛行曲がり現象を発生させてしまう。
また、長時間ノズル面にインクが付着してしまうと、ノズル面を構成しているノズルプレートの腐食にもつながってしまう。
【０００５】
そこで本発明は上記課題を解消し、ヘッドのノズル面を清掃部材により払拭する際に、清掃部材によるノズル開口からの液体の掻き出しを防ぎ、ノズル面が液体により汚れるのを確実に防止することができる液滴吐出装置、ヘッドのクリーニング方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的は、第１の発明にあっては、液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置であって、液体を貯留する液体貯留部と、前記液体貯留部から前記液体が供給されて前記液滴を吐出するヘッドと、前記ヘッドのノズル面を払拭する清掃部材と、前記液体貯留部と前記ヘッドとの相対的な高さ位置を変更して、前記ヘッド内の液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動するための位置変更手段と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置により、達成される。
【０００７】
第１の発明の構成によれば、液体貯留部は液体を貯留する。ヘッドは、液体貯留部から液体を供給されて液滴を吐出する。清掃部材は、ヘッドのノズル面を払拭する。位置変更手段は、液体貯留部とヘッドとの相対的な高さ位置を変更して、ヘッド内の液体境界面をヘッドの内部へ移動する。
これによって、ヘッド内の液体供給面はヘッドの内部へ移動することから、清掃部材がヘッドのノズル面を払拭する場合に、清掃部材は液体をノズル面側に掻き出すことが無くなる。したがって、ノズル面は液体により汚れることが無いので、液滴を吐出する際の液滴の飛行曲がりを防ぐことができる。また液滴がノズル面に付着しないので、ノズル面の腐食を確実に防ぐこともできる。
【０００８】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記位置変更手段は、前記液体貯留部の水頭位置を前記ヘッドに対して上下させる液体貯留部位置変更部であることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、位置変更手段は、液体貯留部の水頭位置をヘッドに対して下げる液体貯留部位置変更部である。
これにより、位置変更手段は、液体貯留部の水頭位置をヘッドに対して上下させることで、液体貯留部の水頭位置をヘッドに対して上下させてヘッド内の液体供給面をヘッドの内部へ移動させて、清掃部材がノズル面側へ液体を掻き出す現象を確実に防ぐことができる。
【０００９】
第３の発明は、第１の発明の構成において、前記位置変更手段は、前記ヘッドを前記液体貯留部の水頭位置に対して上下させるヘッド位置変更部であることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、位置変更手段は、ヘッドを液体貯留部の水頭位置に対して上下させるヘッド位置変更部である。
これにより、位置変更手段は、ヘッドを液体貯留部の水頭位置に対して上下させることにより、ヘッド内の液体をヘッドの内部へ確実に移動させることができる。このため、清掃部材がノズル面を払拭する際に、清掃部材が液体をノズル面側に掻き出す現象を確実に防ぐことができる。
【００１０】
第４の発明は、第１の発明または第２の発明の構成において、前記清掃部材は、長手方向に送られながら前記ノズル面を清掃する帯状の清掃シートであることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、清掃部材は帯状の清掃シートである。この帯状の清掃シートは、長手方向に送られながらノズル面を清掃する。
これにより、帯状の清掃シートがノズル面を払拭する際に、ヘッド内の液体境界面がヘッドの内部に移動していることから、帯状の清掃シートがノズル面側に液体を掻き出すことが無くなる。
【００１１】
第５の発明は、第１の発明または第２の発明の構成において、前記清掃部材は、前記ノズル面に接触して前記ノズル面に対して相対的に移動することで前記ノズル面を清掃するブレードであることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、清掃部材はブレードである。このブレードは、ノズル面に接触してノズル面に対して相対的に移動することでノズル面を清掃する。
これにより、ブレードがノズル面を払拭する際に、ブレードが液体をノズル面側に掻き出すことが無くなる。
【００１２】
上記目的は、第６の発明にあっては、液滴吐出装置に設けられて液滴をワークに吐出すためのヘッドのノズル面をクリーニングするヘッドのクリーニング方法であって、前記ヘッドの前記ノズル面を清掃部材により払拭する前に、位置変更手段により液体貯留部と前記ヘッドとの相対的な位置を変更して、前記ヘッド内の液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動するための位置変更ステップと、前記ヘッド内の前記液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動した後に、前記ヘッドの前記ノズル面を前記清掃部材により払拭する払拭ステップと、を有することを特徴とするヘッドのクリーニング方法により、達成される。
【００１３】
第６の発明の構成によれば、位置変更ステップでは、ヘッドのノズル面を清掃部材により払拭する前に、位置変更手段により液体貯留部とヘッドとの相対的な位置を変更して、ヘッド内の液体境界面をヘッドの内部へ移動する。払拭ステップは、ヘッド内の液体境界面をヘッドの内部へ移動した後に、ヘッドのノズル面を清掃部材により払拭する。
これにより、ヘッド内の液体供給面はヘッドの内部へ移動することから、清掃部材がヘッドのノズル面を払拭する場合に、清掃部材は液体をノズル面側に掻き出すことが無くなる。したがって、ノズル面は液体により汚れることが無いので、液滴を吐出する際の液滴の飛行曲がりを防ぐことができる。また液滴がノズル面に付着しないので、ノズル面の腐食を確実に防ぐこともできる。
【００１４】
上記目的は、第７の発明にあっては、ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて電気光学装置の製造をする電気光学装置の製造方法であって、前記液滴吐出装置の前記ヘッドのノズル面を清掃部材により払拭する際に、位置変更手段により液体貯留部と前記ヘッドとの相対的な位置を変更して、前記ヘッド内の液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動するための位置変更ステップと、前記ヘッド内の前記液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動した後に、前記ヘッドの前記ノズル面を前記清掃部材により払拭する払拭ステップと、前記ノズル面を払拭後に、前記ワークに対して前記液滴を吐出する液滴吐出ステップと、を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法により、達成される。
【００１５】
これにより、ヘッド内の液体供給面はヘッドの内部へ移動することから、清掃部材がヘッドのノズル面を払拭する場合に、清掃部材は液体をノズル面側に掻き出すことが無くなる。したがって、ノズル面は液体により汚れることが無いので、液滴を吐出する際の液滴の飛行曲がりを防ぐことができる。また液滴がノズル面に付着しないので、ノズル面の腐食を確実に防ぐこともできる。
したがって、このように行う電気光学装置の製造方法は、より製造品質の高い電気光学装置を製造することができる。
【００１６】
上記目的は、第８の発明にあっては、ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置であって、前記液滴吐出装置の前記ヘッドのノズル面を清掃部材により払拭する際に、位置変更手段により液体貯留部と前記ヘッドとの相対的な位置を変更して、前記ヘッド内の液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動するための位置変更ステップと、前記ヘッド内の前記液体境界面を前記ヘッドの内部へ移動した後に、前記ヘッドの前記ノズル面を前記清掃部材により払拭する払拭ステップと、前記ノズル面を払拭後に、前記ワークに対して前記液滴を吐出する液滴吐出ステップとを行うことで得られることを特徴とする電気光学装置により、達成される。
【００１７】
これにより、ヘッド内の液体供給面はヘッドの内部へ移動することから、清掃部材がヘッドのノズル面を払拭する場合に、払拭部材は液体をノズル面側に掻き出す現象を防ぐことができる。したがって、ノズル面は液体により汚れることが無いので、液滴を吐出する際の液滴の飛行曲がりを防ぐことができる。また液滴がノズル面に付着しないので、ノズル面の腐食を確実に防ぐこともできる。このようにして得られる電気光学装置は、より製造品質が良いものになる。
【００１８】
第９の発明は、第８の発明の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図である。図１に示す液滴吐出装置１０は、描画システムとして用いることができる。この描画システムは、一例としていわゆるフラットパネルディスプレイの一種であるたとえば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置の製造ラインに組み込まれるものである。この液滴吐出装置１０は、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成することができる。
【００２０】
液滴吐出装置１０は、たとえばインクジェット式描画装置として用いることができる。液滴吐出装置１０は、有機ＥＬ装置の発光素子を液滴吐出法（インクジェット法）で形成するためのものである。液滴吐出装置１０のヘッド（機能液滴吐出ヘッドとも言う）は、有機ＥＬ素子の発光素子を形成できる。具体的には、有機ＥＬ素子の製造工程において、バンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経て、バンク部が形成された基板（ワークの一例）に対して、発光機能材料を導入したヘッドを相対的に走査することにより、液滴吐出装置１０は、基板の画素電極の位置に対応して正孔注入／輸送層および発光層の成膜部を形成することができる。
液滴吐出装置１０はたとえば２台用意することにより、１台目の液滴吐出装置１０が正孔注入／輸送層を形成し、もう１台の液滴吐出装置１０はＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色の発光層を形成することができる。
【００２１】
図１の液滴吐出装置１０はチャンバ１２の中に収容されている。チャンバ１２は別のチャンバ１３を有している。このチャンバ１３の中には、ワーク搬出入テーブル１４を収容している。ワーク搬出入テーブル１４は、ワークＷをチャンバ１２内へ搬入したりあるいは処理後のワークＷをチャンバ１２内のテーブル３０の上から搬出するためのテーブルである。
【００２２】
図１に示すチャンバ１２の中には、ヘッド１１のメンテナンスを行うメンテナンス部１５を収容している。またチャンバ１２の外側には、回収部１６を備えている。
メンテナンス部１５は、吸引ユニット４００、清掃ユニット（ワイピングユニット）６００、フラッシングユニット（図示せず）、吐出検査ユニット（図示せず）あるいは重量測定ユニット（図示せず）等を有している。
フラッシングユニットは、ヘッド１１から予備的に吐出された液滴を受けるためのものである。吸引ユニット４００は、ヘッド１１のノズル面のノズルから液体や気泡を吸引するためのものである。
清掃ユニットは以下ではワイピングユニットと言うが、このワイピングユニット６００は、ノズル面に付着する液体などの汚れを清掃部材（ワイピング部材）により払拭するためのものである。吐出検査ユニットは、ヘッド１１から吐出される液滴の吐出状態を検査する。重量測定ユニットは、ヘッド１１から吐出される液滴の重量を測定する。
回収部１６は、たとえば液滴を回収する液滴回収系とワイピングの後に用いる洗浄用の溶剤を供給する洗浄液供給系を有している。
【００２３】
チャンバ１２とチャンバ１３は、個別にエアー管理されており、チャンバ１２とチャンバ１３の中の雰囲気に変動が生じないようになっている。このようにチャンバ１２とチャンバ１３を用いるのは、たとえば有機ＥＬ素子を製造する場合には大気中の水分等を嫌うために大気の影響を排除できるようにするためである。チャンバ１２とチャンバ１３の中にはドライエアーを連続的に導入して排気することで、ドライエアー雰囲気を維持する。
【００２４】
次に、図１に示すチャンバ１２内の構成要素について説明する。
チャンバ１２の中には、フレーム２０、ヘッド１１、キャリッジ１９、液体貯留部３００、第１操作部２１、第２操作部２２、テーブル３０、ガイド基台１７、液体貯留部位置変更部５００を収容している。
図１のフレーム２０はＸ軸方向に沿って水平に設けられている。ガイド基台１７はＹ軸方向に沿って設けられている。フレーム２０はガイド基台１７の上方にある。Ｘ軸は第１移動軸に相当し、Ｙ軸は第２移動軸に相当する。Ｘ軸とＹ軸は直交しており、Ｚ軸に対しても直交している。Ｚ軸は、図１において紙面垂直方向である。
【００２５】
第１操作部２１は、フレーム２０に沿ってキャリッジ１９とヘッド１１を、Ｘ軸方向に沿って直線往復移動および位置決めするためのものである。
第２操作部２２は、テーブル３０を有している。このテーブル３０は、図１に示すようなワークＷを着脱可能に搭載することもできる。この第２操作部２２のテーブル３０は、ヘッド１１からワークＷに対して液滴を与える際に、ワークＷを保持する。そして第２操作部２２は、ワークＷをＹ軸方向に沿ってガイド基台１７上を直線移動して位置決めすることができる。
【００２６】
第１操作部２１は、キャリッジ１９とヘッド１１をＸ軸方向に直線移動して位置決めするためのモータ２１Ａを有している。このモータ２１Ａは、たとえば送りねじを用いることにより、キャリッジ１９とこのヘッド１１をＸ軸方向に直線移動することができる。モータ２１Ａは、この回転型の電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。
【００２７】
第２操作部２２のモータ２２Ａは、テーブル３０をガイド基台１７に沿ってＹ軸方向に直線移動して位置決め可能である。モータ２２Ａはたとえば送りねじを回転する回転型の電動モータを用いることができる。モータ２２Ａとしては回転型のモータの他にリニアモータを用いることも可能である。
【００２８】
第２操作部２２のテーブル３０は、搭載面３０Ａを有している。この搭載面３０Ａは、図１のＺ軸方向に垂直な面である。搭載面３０Ａは、吸着部３０Ｂを有している。この吸着部３０Ｂは、ワークＷを真空吸着により吸着することができるものである。これにより、ワークＷは、搭載面３０Ａに対してずれることなく確実に着脱可能に固定することができる。
【００２９】
次に、図２と図３を参照して、キャリッジ１９とヘッド１１の構造例について説明する。
図２はキャリッジ１９とヘッド１１の周りの形状例を示す斜視図であり、図３は、図２のＥ方向から見た正面図の例である。
キャリッジ１９は、図１に示すモータ２１ＡによりＸ軸方向に移動して位置決め可能である。キャリッジ１９はヘッドホルダ６１を用いてヘッド１１を着脱可能に保持している。
【００３０】
図３に示すように、制御部２００の指令によりモータ６２が作動すると、ヘッドホルダ６１とヘッド１１のユニットがＺ軸方向に沿って上下動して位置決め可能である。そして、制御部２００の指令により、もう１つのモータ６３が作動することにより、ヘッド１１は、Ｕ軸を中心としてθ方向に回転可能になっている。
【００３１】
図２と図３に示すように、ヘッド１１はノズルプレート６４を有している。ノズルプレート６４の下面はノズル面７０である。このノズル面７０は、複数のノズルのノズル開口１２１〜１２６を有している。ヘッド１１は、液体貯留部３００に接続されている。この液体貯留部３００は、ワークＷに吐出するための液体を貯留するものであり、液体貯留部３００は機能液貯蔵部ともいう。液体貯留部３００内の液体は、ノズル開口１２１〜１２６からたとえば図４（Ａ）に示す圧電振動子７８９の作動によりインクジェット式で吐出させることができるのである。
【００３２】
図４（Ａ）は、ヘッド１１内に配置されている複数の圧電振動子７８９の例を示している。この圧電振動子７８９は、図２に示すヘッド１１の各ノズルに対応して１つずつ配列されている。図４（Ａ）の制御部２００は、駆動部２０１に信号を与えることにより、駆動部２０１は、複数の圧電振動子７８９の中の任意の圧電振動子を動作させることで、動作された圧電振動子７８９に対応するノズルの図２に示すノズル開口１２１〜１２６からはインクジェット式で液滴を吐出させることができるようになっている。
【００３３】
次に、液体貯留部３００について、図５と図６および図４（Ｂ）を参照して説明する。
液体貯留部３００は、たとえば図４（Ｂ）に示すように複数の液体パック１１１乃至１１６と、これらの液体パックを収容している収容体３０１を有している。液体パック１１１乃至１１６は、この例では６つ示しているが、液体パックの数は特に限定されず１つあるいは２つ以上乃至５つ、あるいは７つ以上であっても勿論構わない。
各液体パック１１１乃至１１６は、可撓性を有する材料により作られていて、各液体パックには同じ種類もしくは異なる種類の液体が収容されている。収容体３０１内は、外部から圧縮空気を入れることにより、液体パック１１１乃至１１６を加圧して、各液体パック１１１乃至１１６から液体を別々に吐出させることができるようになっている。
【００３４】
図５では、液体貯留部３００の収容体３０１が、たとえばサポート部材３０３により支持されている。この収容体３０１はサポート部材３０３と共に、液体貯留部位置変更部５００の作動により、Ｚ軸方向に沿って高さ方向に上下移動して位置決めすることができる。この液体貯留部位置変更部５００は、位置変更手段の一例であり、制御部２００の指令により動作する。
【００３５】
図５の各液体パック１１１乃至１１６は、ヘッド１１の対応するノズル８１乃至８６に対して、液体供給チューブ９１乃至９６によりそれぞれ着脱可能に接続されている。液体供給チューブ９１の一端部は、液体パック１１１の接続部１１１Ａに対して着脱可能に接続されている。液体供給チューブ９１の他端部は、ヘッド１１の接続部８１Ａに対して着脱可能に接続されている。
同様にして、液体供給チューブ９２乃至９６の一端部は、各液体パック１１１乃至１１６の接続部１１２Ａ乃至１１６Ａに対して着脱可能に接続されている。液体供給チューブ９２乃至９６の他端部は、ヘッド１１側の接続部８２Ａ乃至８６Ａに対してそれぞれ着脱可能に接続されている。
【００３６】
図５に示すようにヘッド１１は、複数のノズル８１乃至８６を有している。ノズル８１乃至８６は、それぞれノズル開口１２１乃至１２６を有している。各ノズル８１は、たとえば図５の紙面垂直方向に沿って数１０個若しくは数１０００個配列されていて、ノズル列を形成している。その他のノズル８２〜８６も、紙面垂直方向に関してノズル列を形成している。ノズル開口１２１乃至１２６は、ノズルプレート６４のノズル面７０に面して形成されている。
このノズル面７０は、図５の例ではＺ軸方向の下方向Ｚ２に向いている。このように、ノズル面７０には、たとえば６つのノズル列（ノズル開口列）が図５の紙面垂直方向に配列されている。
【００３７】
次に、図６を参照して、図５に示す液体貯留部位置変更部５００の構造例について説明する。
図６の液体貯留部位置変更部５００は、基台５０１、モータ５０２，５０２、送りねじ５０３，５０３およびナット５０４，５０４を有している。ナット５０４，５０４は、サポート部材３０３に固定されている。モータ５０２，５０２は基台５０１に設定されている。各モータ５０２の出力軸は、送りねじ５０３の一端に接続されている。送りねじ５０３は対応するナット５０４に噛み合っている。
【００３８】
これにより、制御部２００はモータ５０２，５０２に指令信号を送ると、モータ５０２が正転および逆転することで、サポート部材３０３と液体パック１１１〜１１６はＺ軸方向の上方向であるＺ１方向と下方向であるＺ２方向に沿って移動して位置決め可能である。
液体貯留部位置変更部５００は、図６の形態に関わらず他の形態をも採用することも勿論可能である。
図６に示す液体貯留部位置変更部５００は、図７に示す液体吐出時と図８に示すワイピング（清掃）時では、ヘッド１１と液体貯留部３００との相対的な高さ位置を変更する。
【００３９】
図６の液体貯留部位置変更部５００は、ヘッド１１のＺ軸方向の高さを変更するのではなく、液体貯留部３００をヘッド１１に対して高さ位置の変更を行う。
図７に示すのは、ヘッド１１のノズル面７０のノズル開口から、液滴を吐出する場合の状態を示している。図８は、ヘッド１１のノズル面７０をワイピング部材により清掃（払拭）する場合の状態を示している。
【００４０】
図７と図８において、ヘッド１１のノズル面７０は、ノズル面高さＬＮで示している。図７の液体吐出時では液体貯留部３００の高さ位置Ｅ１は、ノズル面高さＬＮに対してＺ２方向に関して距離Ｄだけ低くなっている。この距離Ｄは、たとえば２０ｍｍ乃至４０ｍｍである。液体貯留部３００内の液体１９００の水頭位置は、液体の出口位置である高さ位置に相当する。
これに対して、図８に示すワイピング時では、液体貯留部３００の高さ位置Ｅ１がノズル面高さＬＮに対して距離Ｄ１だけ低くなっている。図８の距離Ｄ１は、図７に示す距離Ｄよりもさらに大きく、たとえば５０ｍｍ乃至７０ｍｍである。
【００４１】
図７に示す液体吐出時では、ヘッド１１の液体１９００のメニスカス１９０１が、ノズル開口１２１乃至１２６において形成されている。このメニスカス１９０１は、ノズル面７０の近傍に形成されている。メニスカス１９０１は、液体境界面とも言う。
図８のワイピング時においては、液体貯留部３００が図７の状態よりもさらにヘッド１１のノズル面７０に対して下げてあるので、液体１９００のメニスカス１９０１は、ノズル面７０からヘッド１１の内部へさらに奥まったＺ１方向に入り込んだ状態になる。ノズル開口１２１乃至１２６はノズル穴とも言う。このため、液体１９００の水頭位置はノズル面７０に比べてさらに下がっている。
【００４２】
次に、図１に示す吸引ユニット４００と清掃ユニット６００について説明する。
まず図１と図９を参照して、吸引ユニット４００の構造例について説明する。
図９に示す吸引ユニット４００は、キャップ本体４０１、吸収材４０２、吸引ポンプ４０３および廃液タンク４０４を有している。キャップ本体４０１の中には吸収材４０２が収容されている。
図１に示す吸引ユニット４００と清掃ユニット６００は、ヘッド１１がワークＷ（ＨＰ）に対して液体の吐出を行う範囲の外にある非動作領域に位置しており、ホームポジションと呼ばれる領域に配置されている。ヘッド１１は、図９（Ａ）に示すようにキャップ本体４０１の上方位置において対面するように、図１に示す第１操作部２１の動作により、図９に示すホームポジションＨＰに位置決めされる。
【００４３】
図９のキャップ本体４０１は、吸収材４０２を収容している。キャップ本体４０１は、ノズル面７０の各ノズル開口を封止するための部材である。このためにキャップ本体４０１の上側は開放されていて、キャップ本体４０１の中には吸収材４０２が収容されている。吸収材４０２は、液体を吸収しやすいたとえば多孔質材料により作ることができる。キャップ本体４０１の底部４０５は、吸引ポンプ４０３に対して吸引チューブ４０６を介して接続されている。
【００４４】
吸引ポンプ４０３はモータ４０９の動作により、図９（Ａ）の状態から図９（Ｂ）に示すようにキャップ本体４０１がノズル面７０に密着してノズル面７０の各ノズル開口が封止される。この封止された状態では、モータ４０７により吸引ポンプ４０３が作動して、各ノズル開口からヘッド１１内の各ノズル内の気泡、ごみあるいは凝固した液体等の異物が吸収材４０２側に吸引されるようになっている。
吸引ポンプ４０３がこのように作動していると、吸収材４０２に吸収された液体は吸引チューブ４０６を通じて廃液タンク４０４に排出されることになる。モータ４０７，４０９は制御部２００の制御により動作する。
【００４５】
次に、図１０を参照して、図１に示す清掃ユニット６００について説明する。
清掃ユニット６００は、ワイピングユニットとも呼んでいる。清掃ユニット６００は、たとえば図１０に示すように巻取りユニット６０１と拭取りユニット６０３を有している。巻取りユニット６０１は、ワイピングシート７００を取り出して巻き取るための装置である。ワイピングシート７００は、帯状の清掃シートの一例である。巻取りユニット６０１は、繰出しリール６１０と、巻取りリール６１１、および速度検出ローラ６１２と、中間ローラ６１３，６１４を有している。
巻取りユニット６０１に巻き取られているワイピングシート７００は、速度検出ローラ６１２と中間ローラ６１４の間を通り、中間ローラ６１３により導かれながら、巻取りユニット６０１の拭取りローラ１８８０側に導かれるようになっている。
【００４６】
ワイピングシート７００は、この拭取りローラ１８８０とローラ１８８１を介して、巻取りリール６１１側に巻き取られる。ワイピングシート７００が拭取りローラ１８８０側に送られる時には、ワイピングシート７００には洗浄液が供給される。
拭取りユニット６０３は、上述した拭取りローラ１８８０とローラ１８８１およびモータ１８８３を有している。モータ１８８３が作動することにより、巻取りローラ１８８０はＲ方向に回転して、ワイピングシート７００を連続して送るようになっている。この帯状のワイピングシート７００は、たとえば液体吸収性に優れた布や不織布等を使用することができる。
【００４７】
図１０に示す拭取りユニット６０３は、アクチュエータ６２０によりＺ軸方向に移動可能である。したがって、拭取りローラ１８８０はＺ軸方向に移動して位置決めできるようになっている。
移動テーブル６３０が、拭取りユニット６０３と巻取りユニット６０１を、Ｘ軸方向に沿って移動可能である。これにより、拭取りユニット６０３と巻取りユニット６０１は、Ｘ軸方向に沿って一体となってヘッド１１のノズル面７０に近付いたりあるいはノズル面７０から離れることができる。
巻取りリール６１１の下側には、洗浄液を受けるための洗浄液回収部６４０が形成されている。巻取りリール６１１は、モータ６４１により作動する。モータ１８８３，６４１は、制御部２００の指令により動作が制御される。
【００４８】
次に、図１１を参照しながら、本発明の液滴吐出装置の実施形態による電気光学装置の製造方法およびクリーニング方法の好ましい実施形態について説明する。
図１１において電気光学装置の製造方法は、ステップＳＴ１からステップＳＴ８までを有している。クリーニング方法は、ステップＳＴ１からステップＳＴ７までを有している。
【００４９】
図１１における電気光学装置の製造方法において、ヘッドのノズル面に対してクリーニング方法を実施するのは、ヘッドが良好な液体吐出特性を確保できるようにするためである。つまり、ノズル面のノズル開口から液体を良好に吐出させる性能を確保するために、次のようなクリーニング方法を実施する。クリーニング方法の基本動作は次の２つの動作である。
まずヘッドのノズルから液体を強制的に吸引して、インクジェット式の吐出動作を阻害する原因であるヘッドのノズル内の気泡、ごみまたは凝固した液体等の異物を外部に放出する。そして、液体の吸引により汚れたノズル面が、清掃部材により払拭（ワイピング）をして、ノズル面がきれいな状態になるように保持する。これによって、ヘッドは安定したインクジェット式の液体の吐出ができるのである。
【００５０】
図１１に示すステップＳＴ１では、ヘッドがキャッピングされる。具体的には、図９（Ａ）に示すように、キャップ本体４０１がノズル面７０から離れている状態から図９（Ｂ）に示すようにキャップ本体４０１がモータ４０９によりＺ１方向に上昇される。これによって、キャップ本体４０１はノズル面７０に密着して、キャップ本体４０１は各ノズル開口を封止する。
【００５１】
次に、図１１のステップＳＴ２では、液体の吸引を行う。この液体の吸引動作では、図９（Ｂ）に示す吸引ポンプ４０３が駆動されて、ヘッド１１のノズル内の気泡、ごみまたは凝固した液体等の異物が吸収材４０２側にノズル開口から吐き出される。そして吸収材４０２内に吸収された液体は、吸引ポンプ４０３によるキャップ本体４０１内の負圧によって、吸引ポンプ４０３を通じて廃液タンク４０４側に排出される。
【００５２】
図１１に示すステップＳＴ３では、安定時間を確保するために待機をする。この安定時間を確保するための待機状態を維持するのは、次のような理由からである。すなわち、ステップＳＴ２において、液体吸引により、吸引チューブ４０６の中が負圧になっている。この負圧状態で、キャップ本体４０１がノズル面７０から離れてしまうと、ノズル面７０の各ノズル開口における液体のメニスカスへの急激な圧力変動がかかり、各メニスカスを壊してしまったり、気泡がノズルの液体内へ進入する恐れがある。
【００５３】
このことから、吸引ポンプ４０３を停止した後では、ある時間を安定時間として確保して、キャップ本体４０１内の圧力が負圧状態から常圧に戻るのを待つのである。
次に図１１のステップＳＴ４に移り、図９（Ｃ）に示すようにキャップ本体４０１がＺ２方向に下がることでキャップを開く。
【００５４】
図１１の位置変更ステップＳＴ５に移る。
位置変更ステップＳＴ５では、図７に示す液体吐出時（基準位置）から、図８に示すように液体貯留部３００が下降される。つまり図６に示す制御部２００がモータ５０２，５０２に指令を送ることにより、送りねじ５０３，５０３が同期して回転して、サポート部材３０３がＺ２方向に所定量下がる。このように、液体貯留部３００の高さ位置Ｅ１は、図７に示すノズル面の高さＬＮとの間の距離Ｄから、図８に示す距離Ｄ１まで下がっていくことになる。これによって、液体パック１１１〜１１６の水頭位置がノズル面７０の位置に比べてさらに下がることになる。
【００５５】
このように、液体貯留部３００が、ヘッド１１のノズル面７０に対して図７の基準位置から図８に示すワイピング時の位置に下がることにより、図７に示すメニスカス１９０１の位置は、図８に示すメニスカス１９０１の位置にまでヘッドのノズルの内部へ入り込むようにして上昇していく。
図８に示すようにメニスカス１９０１がノズル８１乃至８６の内部にまで上昇した状態で、図１１に示す払拭ステップＳＴ６に移る。
この払拭ステップＳＴ６では、ノズル面７０のワイピング（払拭）をたとえば図１２の要領で行う。
【００５６】
図１２は、払拭ステップＳＴ６において、ワイピングシート７００を用いてノズル面７０のワイピングを行っている様子を示している。
図１２（Ａ）では、ワイピングシート７００が、拭取りローラ１８８０によりノズル面７０に接触して拭取り始めた状態を示している。ワイピングシート７００がノズル開口１２１乃至１２６に達しても、既にメニスカス１９０１はノズル開口より内側において上昇した位置にあるので、ワイピングシート７００はメニスカス１９０１の形成状態に影響を与えることが無い。
【００５７】
そして、図１２（Ｂ）に示すようにワイピングシート７００がＸ１方向にさらに移動していき、ワイピングシート７００がノズル開口１２１乃至１２６を通過して、ノズル面７０に残留している残留液１０５０を吸着して、図１２（Ｃ）のようにしてさらにＸ１方向に移動していく。
このように、ワイピングシート７００がノズル面７０に対して押し付けるようにして接触してワイピング（払拭）をした場合であっても、ワイピングシート７００はメニスカス１９０１の形成状態には影響を与えることなく、ノズル面７０を確実にワイピングすることができる。
【００５８】
次に、図１１のステップＳＴ７では、図８に示す液体貯留部３００が、図７に示すように液体吐出時の状態（基準位置）にＺ１方向に上昇されることになる。図７に示すように液体貯留部３００が上昇されて、液体貯留部３００の高さ位置Ｅ１がノズル面高さＬＮに対して距離Ｄに保たれることにより、各液体パック１１１乃至１１６内の液体は通常の水頭位置に戻すことができる。
これに従って、図７に示すように液体１９００のメニスカス１９０１は、ノズル８１乃至８６内を下降していき、メニスカス１９０１はノズル面７０の近傍に位置される。インクジェット式で液滴を吐出するのに最適なメニスカス１９０１の位置を確保することができる。
ノズル面のクリーニングが終了した後に、図１に示す液滴吐出装置１０は、テーブル３０の上のワークＷに対して所定の液滴を吐出することにより、電気光学装置用のワークＷを描画することができる。この場合にヘッド１１が描画用の機能液滴をワークＷの所定の位置に吐出することになる。これが図１１のステップＳＴ８である。
【００５９】
上述したように、本発明の実施形態では、ワイピング時にヘッド内部のメニスカスが、ヘッドの内部へさらに上昇するようにして、すなわち引き込むようにすることができるので、ワイピング時に清掃部材によりノズル面を払拭する際に、清掃部材であるワイピングシートがノズル開口内の液体をノズル面側へ掻き出してしまう現象を防ぐことができる。
これによって、ノズル面には液体が付着しない。したがって、拭き残した液体がノズル開口の近くに付着することが無いので、インクジェット式で吐出する液滴が飛行曲がりを起こすことが無くなる。
また長時間ノズル面に液体が付着するような現象が全く無いので、液滴を吐出していないにも関わらずノズル面が腐食してしまう現象を確実に防ぐことができる。
【００６０】
このようにしてクリーニングを行った後に本発明の液滴吐出装置１０により製造されるワークＷは、その製造精度を上げることができ、電気光学装置の製造品質を向上させることができる。
このような電気光学装置を備える電子機器の製品品質はさらに向上させることができるのである。
【００６１】
次に、本発明の別の実施形態について説明する。
図１３に示す本発明の実施形態は、図６に示す実施形態と似てはいるが、使用しているアクチュエータの種類が異なる。図１３のその他の構成要素については、図６に示す対応する構成要素と同じであるのでその符号を記して説明を用いる。
【００６２】
図１３に示す液体貯留部位置変更部５００は、電動モータの代わりに流体圧シリンダ１５０１を用いている。このシリンダ１５０１は、たとえばエアシリンダや油圧シリンダ等を用いることができる。シリンダ１５０１は、制御部２００の指令により動作する。シリンダ１５０１のロッド１５０２は、サポート部材３０３に連結されている。２つのガイド軸１５１０は、サポート部材３０３の案内部材１５２０を通っている。案内部材１５２０は基台５０１と１５３０の間に平行に固定されている。
これによって、シリンダ１５０１が作動すると、サポート部材３０３と共に液体貯留部３００がＺ軸方向に関して上下移動して図７に示す基準位置と図８に示す下降位置に位置決め可能である。
【００６３】
図１４は、本発明のさらに別の実施形態を示している。
図７と図８の実施形態では、液体貯留部３００側がヘッド１１のノズル面７０に対してＺ軸方向に関して上下動可能になっている。これによってヘッド１１のノズル面高さＬＮに対して、液体貯留部３００の高さを変更している。
これに対して、図１４の実施形態では、モータ６２が動作することによりヘッド１１が液体貯留部３００に対してＺ軸方向に上下できるようになっている。このモータ６２は、図２に示すモータであり、ヘッド位置変更部１８００の一部を構成している。
このヘッド位置変更部１８００は、位置変更手段の一例である。ヘッド位置変更部１８００は、図２に例示するように、モータ６２、送りねじ１８０１、ナット１８０２を有している。ナット１８０２は軸１８０３に固定されている。モータ６２の出力軸には送りねじ１８０１が連結されている。送りねじ１８０１がモータ６２の作動により回転すると、ナット１８０２と軸１８０３およびヘッドホルダ６１とヘッド１１がＺ軸方向に移動して位置決め可能である。
【００６４】
このように図１４の実施形態では、ヘッド１１側がＺ軸方向に上下動できるようにして、液体貯留部３００の位置は固定状態にすることができる。図１４（Ａ）ではヘッド１１のノズル面７０のノズル面高さＬＮが、液体貯留部３００の高さ位置Ｅ１に対して距離Ｄだけ高くなっている。この状態では、ヘッド１１のノズル開口１２１乃至１２６内のメニスカス１９０１はノズル面７０の近傍に位置している。
【００６５】
図１４（Ｂ）では、ヘッド１１のノズル面７０がＺ１方向に上昇されている。これによってノズル面の高さＬＮ１が、液体貯留部３００の高さ位置Ｅ１に対して距離Ｄ２大きくなっている。これによって、結果的にメニスカス１９０１はノズル開口１２１乃至１２６の内側に沿ってヘッドの内部へ上昇していくことになる。
このように、液体貯留部３００側がヘッド１１に対して高さの位置を変更するのに代えて、ヘッド１１側が液体貯留部３００側に対して高さの位置を変更するようにしても構わない。
【００６６】
図１５は、本発明のさらに別の実施形態を示している。
図１５に示す実施形態では、清掃部材としてワイピングブレード１７００を用いている。このワイピングブレード１７００は、弾性変形可能なたとえばゴムやエラストマーにより作られている板状の部材である。
ワイピング部材１７００は、先端部１７０１を有していて、図１５（Ａ）に示すように先端部１７０１はノズル面７０に対して機械的に押されながら弾性変形する。ヘッドが移動するか、あるいはワイピングブレード１７００がＸ１方向に移動することにより、先端部１７０１がノズル面７０を図１５（Ａ）から図１５（Ｂ）に示すようにワイピングしていく。この際に、すでにメニスカス１９０１はノズル開口１２１乃至１２６の内部まで上昇していることから、先端部１７０１がメニスカス１９０１の状態に悪影響を与えることが無く、メニスカス１９０１は確実にその形状を保つ。
【００６７】
図１５（Ｂ）に示すように先端部１７０１はノズル面７０に残留している残留液１０５０を払拭して、図１５（Ｂ）から図１５（Ｃ）に示すようにノズル面７０から除去することができる。
このように、図１５に示すワイピングブレード１７００は、図１２に示すワイピングシート７００に代えて使用することができる。
【００６８】
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、電気光学装置（デバイス）を製造するのに用いることができる。この電気光学装置（デバイス）としては液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する各種装置が考えられる。
【００６９】
図１６は、本発明の液滴吐出装置を描画装置として用いて、フラットパネルディスプレイの一種類である有機ＥＬ装置の製造に用いる場合の有機ＥＬ装置の構造例を示している。有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７７１から構成された有機ＥＬ素子７０２に対して、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。
【００７０】
有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。
【００７１】
有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。
【００７２】
また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程と、が含まれている。
有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。
【００７３】
次に、本発明の実施形態の液滴吐出装置１０を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。
図１７は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。
【００７４】
カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えている。着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。
【００７５】
液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。
【００７６】
対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。
【００７７】
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、上記カラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【００７８】
本発明の電子機器は、上記電気光学装置を搭載している。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００７９】
図１８は、電子機器の一例である携帯電話１０００の形状例を示している。携帯電話１０００は、本体部１００１と表示部１００２を有している。表示部１００２は、上述したような電気光学装置であるたとえば有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を用いている。
【００８０】
図１９は、電子機器の他の例であるコンピュータ１１００を示している。コンピュータ１１００は本体部１１０１と表示部１１０２を有している。表示部１１０２は、上述したような電気光学装置の一例である有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を使用することができる。
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、ワークの一例である印刷対象に対して、白黒もしくはカラー印刷（印字）することにも使用できる。この場合には、液体貯留部は、インクカートリッジであり、このインクカートリッジは、１種類もしくは複数種類のインク（たとえばブラック、イエロー、マゼンダ、シアン、ライトシアン、ライトマゼンダ等）を別々に貯留しておく。各インクは液体の一例である。
【００８１】
本発明の実施形態では、ヘッドのノズル面（液体吐出面）が、清掃部材により擦り拭きにより液体吐出を良好に保つことができる。擦り拭き時（ワイピング時）では、液体供給側の液体貯留部の水頭位置を上下させて、ヘッドのノズル開口から液滴が流れ出すのを抑えて、良好な液体吐出面を確保することができる。
また逆に液体貯留部を上下動させるのではなく、ヘッドが上下動されることにより、同様にしてワイピング時においてヘッドからの液体の流れ出しを抑えることができる。
このようにワイピング時において、ヘッドのノズル面はきれいな状態に仕上げることができ、インクジェット式で液滴を安定して吐出することができると共にノズル面は、長期にわたってきれいな状態を維持することができる。
【００８２】
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。さらに、上述の各実施形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図。
【図２】図１の液滴吐出装置のキャリッジ、ヘッド等を示す斜視図。
【図３】図２のキャリッジおよびヘッド等を示す図２におけるＥ方向から見た正面図。
【図４】ヘッドの圧電振動子の例と液体貯留部の構造例を示す図。
【図５】液体貯留部およびヘッドの接続例を示す図。
【図６】液体貯留部の液体貯留部位置変更部の構造例を示す図。
【図７】液体吐出時（基準位置）におけるヘッドのノズル面と液体貯留部の位置関係例を示す図。
【図８】ワイピング時におけるヘッドのノズル面と液体貯留部の位置関係を示す図。
【図９】吸引ユニットによりノズル面を吸引する様子を示す図。
【図１０】清掃ユニットの構造例を示す図。
【図１１】本発明の電気光学装置の製造方法およびクリーニング方法の好ましい実施形態を示すフロー図。
【図１２】ワイピングシートによりノズル面をワイピングしている様子を示す図。
【図１３】本発明の別の実施形態を示す図。
【図１４】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【図１５】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【図１６】本発明の液滴吐出装置により製造される有機ＥＬ装置の形状例を示す断面図。
【図１７】本発明の液滴吐出装置により製造される液晶表示装置の構造例を示す断面図。
【図１８】本発明の実施形態により製造された表示装置を備える電子機器の一例である携帯電話を示す斜視図。
【図１９】電子機器の別の例であるコンピュータを示す斜視図。
【符号の説明】
【００８４】
１０・・・液滴吐出装置、１１・・・ヘッド、７０・・・ノズル面、８１乃至８６・・・ノズル、１２１乃至１２６・・・ノズル開口、３００・・・液体貯留部、４００・・・吸引ユニット、５００・・・液体貯留部位置変更部、６００・・・清掃ユニット、１９００・・・液体、１９０１・・・メニスカス（液体境界面）
【図１】
2005305269.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2005305269.tif 000017
【図１６】
2005305269.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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