(57)【要約】【課題】液晶注入装置において、液晶注入を行う液晶パネルや液晶材料が異なる場合であっても、液晶注入装置を構成する各部品のメンテナンス時期や交換時期を的確に判断すること。  【解決手段】液晶注入処理を行う真空チャンバ１０、真空チャンバ１０内に配置された液晶溜容器１１、真空チャンバ１０内の圧力調整を行うバルブ１２、真空チャンバ１０内を排気する真空ポンプの前段ポンプ１３、さらに前段ポンプ１３の下流にあって真空チャンバ１０を排気する後段ポンプ１４、真空チャンバ１０内の状態を検出するセンサ１５等から構成され、上記構成のほかに、入力手段３、記憶手段４、判定手段５、読み出し手段６、及び表示手段７を備える。記憶手段４及び判定手段５は、液晶注入装置を構成するバルブやポンプ等の各部品についてそのメンテナンス時期や交換時期の判定や、真空チャンバの洗浄時期やセンサのメンテナンス時期の判定を行う。【選択図】図１
2005202001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶基板のセル内に液晶を注入する液晶注入装置であって、
液晶注入装置の各部品の動作履歴と液晶注入条件とを記憶する記憶手段と、
前記動作履歴を液晶注入条件に応じた判定基準と対比し、前記部品のメンテナンス時期及び／又は交換時期を判定する判定手段と備えることを特徴とする液晶注入装置。
【請求項２】
前記部品の動作履歴は動作回数及び／又は動作時間であり、
前記判定手段は、当該動作履歴の現在値とあらかじめ液晶注入条件に基づいて設定した設定値とを比較し、現在値が設定値を越えた場合にメンテナンス時期及び／又は交換時期を判定することを特徴とする請求項１に記載の液晶注入装置。
【請求項３】
前記設定値は、部品ごとにメンテナンス時期を定める動作回数及び／又は動作時間の累積値、及び/又は交換時期を定める動作回数及び／又は動作時間の累積値であることを特徴とする請求項２に記載の液晶注入装置。
【請求項４】
前記部品は、バルブ、シリンダ、ポンプの少なくとも何れかを含み、
前記バルブ及びシリンダの動作履歴は動作回数であり、前記ポンプの動作履歴は動作時間であることを特徴とする請求項３に記載の液晶注入装置。
【請求項５】
前記判定手段は、各部品について、液晶注入条件ごとに設定された係数を当該部品の動作履歴に乗じ、各液晶注入条件の当該演算で得られた値を加算することにより当該部品の規格化された現在値を算出し、当該規格化現在値を規格化された規格化設定値と比較することを特徴とする請求項２乃至４の何れかに記載の液晶注入装置。
【請求項６】
前記係数は、前記設定値の逆数であることを特徴とする請求項５に記載の液晶注入装置。
【請求項７】
液晶基板のセル内に液晶を注入する液晶注入装置であって、
液晶注入条件を記憶する記憶手段と、
現在の液晶注入条件と前回の液晶注入条件とに比較に基づいて、液晶注入装置が備える真空チャンバの洗浄時期及び/又はセンサのメンテナンス時期の判定を行う判定手段とを備え、
前記判定手段は、液晶注入条件から液晶材料を読み出し、前回の液晶材料と現在の液晶材料が異なる場合に真空チャンバの洗浄時期を判定し、液晶材料中に特定物質が含まれ、センサが特定物質に設定時間以上暴露される場合にセンサのメンテナンス時期を判定することを特徴とする液晶注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶基板の製造において、液晶基板のセル内に液晶を注入する液晶注入装置に関し、特に、部品やチャンバのメンテナンス、交換、洗浄等の時期判断に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルは、所定の間隔で貼り合わせた一対の透明電極基板（液晶パネル）の隙間に液晶を注入することで作製される。液晶を注入する方法として、液晶パネルを冶具で固定して液晶皿中の液晶に浸漬させ、毛細管現象と圧力差とを利用して液晶を液晶パネルの隙間において、広がらせる真空注入法が知られている。
【０００３】
この真空注入法による液晶注入装置は、例えば、真空チャンバ、真空チャンバ内に配置された液晶溜容器、バルブ、真空チャンバ内を排気する真空ポンプの前段ポンプ、さらに前段ポンプの下流にあって真空チャンバを排気する後段ポンプ等から構成されている。
【０００４】
この液晶注入装置を用いた液晶注入は以下のようにして行われる。真空チャンバ内を前段ポンプ及び後段ポンプを用いて減圧し、真空チャンバ内に配置された液晶溜容器の液晶に液晶パネルの注入口を浸し、バルブを調整しながら徐々に通常気圧状態に戻すことにより、液晶溜容器内の液晶表面にかかる気圧を増し、液晶パネル内へ液晶を流入させることで液晶注入を完了する。液晶パネル内の液晶の封止は、液晶注入口付近に封止樹脂を塗布することによって行う（たとえば、特許文献１参照）。
【０００５】
液晶注入装置において、液晶注入装置を構成する各部品についてメンテナンスや交換を行うことによって液晶注入処理の信頼性の向上を図ることができる。一方、部品のメンテナンスや交換の回数が増加するとスループットが低下することになる。
【０００６】
一般に、半導体製造装置のメンテナンス時期の判断は、ウエハの処理回数や処理時間をたよりにして経験則に基づいて行われている。このため、ウエハの生産枚数をカウントし、このカウント値が設定値に達したことからメンテナンス時期を判断することができる。処理が同一シーケンスだけである場合には、ウエハの処理回数や処理時間によってメンテナンス時期を判断することができるが、同一装置で異なるシーケンスを多数行う場合には、時期の判断が難しく、常に装置内の点検を必要とし、メンテナンス時期が短いと装置の稼動時間を長くすることができず、また、メンテナンス間隔が長すぎると、副生成物等によりウエハの歩留まりが悪くなるという課題がある。そこで、このような課題を解決するために、ウエハを指定された複数の異なる処理用のレシピにより処理し、このレシピ、及び各レシピを構成するイベントの実行回数や実行時間をカウントし、そのカウント値が設定値となったとき、アラームを発生してメンテナンス時期を報知することが提案されている（たとえば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２０００-１６２６２２号公報（段落番号０００２，０００３）
【特許文献２】特開平８−３７１５６号公報（段落番号０００４，０００５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した半導体製造装置によれば、単にウエハの処理回数や処理時間をカウントするのではなく、ウエハ処理を構成するレシピやイベントの実行回数や実行時間をカウントすることによって、シーケンスが異なる場合にもメンテナンス時期を的確に報知することができる。
【０００８】
液晶注入装置についても、上述した半導体製造装置のメンテナンス時期の判断処理方法を適用することにより、液晶注入装置を構成する各部品のメンテナンス時期や交換時期を的確に判断することが期待される。
【０００９】
しかしながら、液晶注入装置では、上述したように単にシーケンスが異なるだけでなく液晶注入条件が異なるため、単純に液晶注入処理を構成するレシピやイベントの実行回数や実行時間をカウントすることによっては、液晶注入装置を構成する各部品のメンテナンス時期や交換時期を的確に判断することはできない。
【００１０】
これは、液晶注入においては、同一の液晶注入装置によって、液晶基板の大きさ、枚数、注入する液晶材料等の液晶注入条件を異にして液晶注入を行う場合があり、液晶注入装置は、これら液晶注入条件に応じて真空チャンバの圧力変化を変えながら液晶注入処理を行うため、ポンプやバルブや真空チャンバのメンテナンス時期や部品交換時期も単に処理回数によっては判断することができないからである。
【００１１】
また、このほか、液晶注入条件として液晶材料がある。液晶注入に用いる液晶材料には様々な物質が含まれており、液晶材料を変更した場合には、前回の液晶注入に用いた液晶材料の物質が、次の液晶パネルにとっては汚染物質となる可能性があるため、液晶材料が変化した場合には真空チャンバを洗浄する必要がある。また、真空チャンバに設けた各種センサには特定物質に対して耐性がない場合があり、センサ感度を維持するには、この液晶材料中に特定物質が含まれる場合には、センサのメンテナンスが必要がある。
【００１２】
したがって、半導体製造装置の処理回数のカウントによるメンテナンス時期の判断は、単に実行回数や実行時間をカウントして設定値との比較で行うことができるのに対して、液晶注入装置では、液晶注入条件のように液晶注入装置に固有の課題を含むものであるため、単に実行回数や実行時間のカウント値と設定値との比較では、液晶注入装置を構成する各部品のメンテナンス時期や交換時期を的確に判断することはできない。
【００１３】
そこで、本発明は上記課題を解決し、液晶注入装置において、液晶注入を行う液晶パネルや液晶材料が異なる場合であっても、液晶注入装置を構成する各部品のメンテナンス時期や交換時期を的確に判断できることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を解決するために、本発明は、液晶注入装置の各部品の動作履歴を液晶注入条件を考慮して判断するものであり、液晶注入を行う液晶パネルや液晶材料が異なる場合であっても、液晶注入装置を構成する各部品のメンテナンス時期や交換時期を的確に判断することができる。
【００１５】
本発明の液晶注入装置は、液晶基板のセル内に液晶を注入する液晶注入装置であって、液晶注入装置の各部品の動作履歴と液晶注入条件とを記憶する記憶手段と、動作履歴を液晶注入条件に応じた判定基準と対比して部品のメンテナンス時期及び／又は交換時期を判定する判定手段と備える。
【００１６】
動作履歴の判断において液晶注入条件に応じた判定基準を用いることによって、液晶注入を行う液晶パネルや液晶材料が異なる場合であっても、液晶注入装置を構成する各部品のメンテナンス時期や交換時期を的確に判定することができる。
【００１７】
部品の動作履歴は動作回数及び／又は動作時間であり、判定手段は動作履歴の現在値とあらかじめ液晶注入条件に基づいて設定した設定値とを比較し、現在値が設定値を越えた場合にメンテナンス時期及び／又は交換時期を判定する。
【００１８】
設定値は、部品ごとにメンテナンス時期を定める動作回数や動作時間の累積値とするほか、交換時期を定める動作回数や動作時間の累積値とすることができ、これらの設定値は液晶基板の大きさ、枚数、注入する液晶材料等の液晶注入条件に応じて設定される。
【００１９】
部品は、液晶注入装置が備えるバルブ、シリンダ、ポンプの少なくとも何れかを含む。バルブ及びシリンダについは、動作履歴は動作回数とすることができ、また、ポンプについては、動作履歴は動作時間とすることができる。
【００２０】
判定手段は、各部品について、液晶注入条件ごとに設定された係数を当該部品の動作履歴に乗じ、各液晶注入条件の当該演算で得られた値を加算することにより当該部品の規格化された現在値を算出し、当該規格化現在値を規格化された規格化設定値と比較することで行うことができる。この係数は、例えば設定値の逆数とすることができる。
【００２１】
また、本発明の液晶注入装置は、液晶基板のセル内に液晶を注入する液晶注入装置であって、液晶注入条件を記憶する記憶手段と、現在の液晶注入条件と前回の液晶注入条件とに比較に基づいて、液晶注入装置が備える真空チャンバの洗浄及び/又はセンサのメンテナンス時期の判定を行う判定手段とを備える。判定手段は、液晶注入条件から液晶材料を読み出し、前回の液晶材料と現在の液晶材料が異なる場合に真空チャンバの洗浄時期を判定し、液晶材料中に特定物質が含まれ、設定時間以上暴露された場合にセンサのメンテナンス時期を判定する。
【００２２】
前回の液晶注入時に用いた液晶材料と現在の液晶材料とが異なる場合には、当該液晶注入が完了した後で次の液晶注入の前に真空チャンバを洗浄する。また、液晶注入時に用いた液晶材料中に特定物質が含まれ、センサが特定物質に設定時間以上暴露された場合には、当該液晶注入が完了した後で次の液晶注入の前にセンサのメンテナンスを行う。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、液晶注入装置において、液晶注入を行う液晶パネルや液晶材料が異なる場合であっても、液晶注入装置を構成する各部品のメンテナンス時期や交換時期を的確に判断することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。
【００２５】
図１は本発明の液晶注入装置の一構成例を説明するための図である。
【００２６】
本発明の液晶注入装置１は、液晶注入処理を行う真空チャンバ１０、真空チャンバ１０内に配置された液晶溜容器１１、真空チャンバ１０内の圧力調整を行うバルブ１２、真空チャンバ１０内を排気する真空ポンプの前段ポンプ１３、さらに前段ポンプ１３の下流にあって真空チャンバ１０を排気する後段ポンプ１４、真空チャンバ１０内の状態を検出するセンサ１５等から構成されている。なお、ポンプとしては、例えば油圧ポンプやターボ分子ポンプを用いることができ、また、センサとしては、例えば真空チャンバ１０内の圧力を測定する圧力センサや、真空チャンバ１０内の特定物質の濃度を測定する濃度センサを用いることができる。
【００２７】
液晶注入前の液晶パネル２０は、真空チャンバ１０内において真空注入法によってセル内に液晶を注入することができる。真空注入法により液晶注入では、真空チャンバ１０内を前段ポンプ１３及び後段ポンプ１４を用いて減圧し、真空チャンバ１０内に配置された液晶溜容器１１の液晶に液晶パネル２０の注入口（図示していない）を浸し、バルブ１２を調整しながら徐々に通常気圧状態に戻すことにより、液晶溜容器１２内の液晶表面にかかる気圧を増し、液晶パネル２０内へ液晶を流入させることで液晶注入を完了する。液晶パネル２０は複数枚をまとめてホルダ２１内に収納した状態で真空チャンバ１０内に搬入し、同時に複数枚を液晶注入することができる。
【００２８】
液晶注入装置は制御手段２を備え、液晶パネル２０の真空チャンバ１０内への搬入及び真空チャンバ１０外への搬出、真空チャンバ１０のチャックの開閉、真空チャンバ１０内における液晶パネル２０あるいは液晶溜容器１２の移動、バルブ１２の調整、ポンプ１３，１４の駆動等の動作制御を行う。制御手段２の動作制御は、プログラム８にしたがって行うことができる。また、制御手段２は、センサ１５で検出した圧力信号や濃度信号を受信して、入力手段３を介して記憶手段４に記憶する。
【００２９】
本発明の液晶注入装置１は、上記構成のほかに、入力手段３、記憶手段４、判定手段５、読み出し手段６、及び表示手段７を備える。
【００３０】
記憶手段４及び判定手段５は、液晶注入装置を構成するバルブやポンプ等の各部品についてそのメンテナンス時期や交換時期の判定や、真空チャンバの洗浄時期やセンサのメンテナンス時期の判定を行う。記憶手段４は、液晶注入装置を構成する各部品の動作回数を計数したり動作時間を累積する計数・累積手段４ｂを備え、その動作回数や動作時間等の動作履歴を現在値４ｃとして記憶する。なお、計数・累積手段４ｂは、例えば１分間隔などの所定時間間隔で停電保持可能なメモリに保存する。
【００３１】
また、過去の動作履歴についても履歴情報４ｅとして記憶することができる。これら、動作回数や動作時間等の動作履歴は、制御手段２のプログラム８により生成される制御信号、あるいはバルブ１２，ポンプ１３，１４等の各部品の動作信号を入力手段３を介して入力することにより記憶することができる。
【００３２】
また、記憶手段４は、各液晶パネル２０を液晶注入する際の液晶注入条件４ｄを記憶することができる。この液晶注入条件４ｄは、プログラム８から読み取って記憶するほかに、液晶パネル２０を保持するホルダ２１等に符号化して記載しておき、この符号を図示しない読み取り手段で読み取って記憶するようにしてもよい。液晶注入条件としては、例えば液晶基板の大きさ、枚数、注入する液晶材料等とすることができる。
【００３３】
また、記憶手段４は、部品のメンテナンス時期や交換時期の判定や、真空チャンバの洗浄時期やセンサのメンテナンス時期の判定を行うための設定値４ａを記憶する。この設定値４ａは、動作回数や動作時間等の動作履歴と比較するためのしきい値となる値であり、部品のメンテナンス時期や交換時期の判定や、真空チャンバの洗浄時期やセンサのメンテナンス時期の判定を行うための基準となる。
【００３４】
設定値４ａは液晶注入条件に応じて設定される。例えば、液晶注入を行う際の圧力変化が大きい液晶注入条件の場合には、大きな設定値によって部品のメンテナンスや交換の時期を短く設定し、逆に、液晶注入を行う際の圧力変化が小さい液晶注入条件の場合には、小さな設定値によって部品のメンテナンスや交換の時期を長く設定する。また、部品のメンテナンス時期を定める設定値と、部品の交換時期を定める設定値をそれぞれ定めるほかに、部品の交換時期を定める設定値のみを定め、部品交換と同時にメンテナンスを行うよう設定してもよい。
【００３５】
記憶手段４は停電保護されたメモリであり、電源断の状態においてもデータは保持される。
【００３６】
前記設定値及び現在値は、入力手段３から入力することができる。現在値を入力して設定する場合には、例えば新品に交換する場合には「０」を設定し、他の装置から部品を移設する場合には移設前の現在値を設定する。これにより、部品のメンテナンス時に予備部品を使用した場合、その部品のメンテナンス時期を引き継ぐことができる。
【００３７】
判定手段５は、動作回数や動作時間等の現在値４ｃを設定値４ａと比較することにより、部品のメンテナンス時期や交換時期の判定を行う。判定手段５において、現在値４ｃとの比較に用いる設定値４ａは、当該現在値に該当する動作履歴の液晶注入条件４ｄに対応する設定値を用いる。現在値４ｃが設定値４ａを越えた場合には、部品のメンテナンス時期あるいは交換時期を表示手段７に表示する。これによって、液晶注入を行う液晶パネルや液晶材料が異なる場合であっても、その液晶パネルや液晶材料に対応して、各部品のメンテナンス時期や交換時期を判定することができる。
【００３８】
また、判定手段５は、前回の液晶注入処理の液晶注入条件と次回（現在）の液晶注入条件とを比較し、液晶材料が変更されている場合には真空チャンバの洗浄時期であることを判定し、また、液晶材料中にセンサの洗浄を必要とする特定物質が含まれ設定時間以上暴露された場合にはセンサのメンテナンス時期であることを判定する。
【００３９】
なお、記憶手段４に記憶する現在値４ｃ、液晶注入条件４ｄ，履歴情報４ｅは、読み出し手段６で読み出して表示手段７に表示させることができる。
【００４０】
表示手段は、部品ごとに現在値や設定値を表示するほか、メンテナンス時期や部品交換時期をランプ等で表示することができる。
【００４１】
次に、図２のフローチャートを用いて本発明の液晶注入装置の動作例について説明する。図２において、液晶注入処理を行う処理対象の液晶パネルの基板種を識別する。液晶パネルの基板種は、プログラムから取得するほか、液晶パネル又は液晶パネルを保持するホルダに付した識別用の符号から取得することもできる（ステップＳ１）。また、液晶注入条件についても、プログラムや液晶パネル又は液晶パネルのホルダに付した識別用の符号から取得する（ステップＳ２）。
【００４２】
取得して液晶注入条件から、前回の液晶注入に用いた液晶材料と現在の液晶注入に用いる液晶材料を比較し、現在の液晶材料と前回の液晶材料が異なるなど、現在の液晶注入において前回の液晶材料が汚染の要因となる場合には、真空チャンバ内の洗浄が必要であると判定して（ステップＳ３）、洗浄時期を表示する（ステップＳ９）。
【００４３】
前記ステップＳ３において、現在の液晶材料と前回の液晶材料が同一である場合には真空チャンバの洗浄は不要と判定して、液晶注入処理を行う（ステップＳ４）。液晶注入の処理の後、現在値を更新する。例えば、バルブの場合には動作回数を更新し、ポンプの場合には動作時間を更新する（ステップＳ５）。
【００４４】
液晶パネルの種類に対応した設定値を読み出し（ステップＳ６）、ステップＳ５で更新した現在値を設定値と比較する。現在値が設定値を超えている場合には、時期が到来したと判定する。
【００４５】
本発明の判定手段５は、動作回数や動作時間等の現在値を設定値と比較することにより、部品のメンテナンス時期や交換時期の判定を行う。この判定において、現在値との比較に用いる設定値として、現在値に該当する動作履歴の液晶注入条件に対応する設定値を用いる。現在値が設定値を越えた場合には、部品のメンテナンス時期あるいは交換時期を表示手段に表示する。これによって、液晶注入を行う液晶パネルや液晶材料が異なる場合であっても、その液晶パネルや液晶材料に対応して、各部品のメンテナンス時期や交換時期を判定する。
【００４６】
例えば、バルブの現在値がバルブのメンテナンス設定値を超えている場合には、メンテナンス時期が到来したと判定し、バルブの現在値がバルブの交換設定値を超えている場合には、交換時期が到来したと判定する。また、ポンプについても、同様に、ポンプの現在値がポンプのメンテナンス設定値を超えている場合にはメンテナンス時期が到来したと判定し、ポンプの現在値がポンプの交換設定値を超えている場合には交換時期が到来したと判定して、メンテナンス時期や交換時期を表示する（ステップＳ９）。
【００４７】
図３は本発明の液晶注入装置の動作例を説明するための図である。図３では、液晶注入装置の初期状態の現在値が「０」であり、メンテナンス設定値として「３」が設定され、液晶パネルの基板種がＡ，Ａ，Ｂ，Ｃの順で液晶注入される場合について示している。なお、液晶パネルの基板種Ａ，Ｂ，Ｃの液晶注入条件もそれぞれＡ，Ｂ，Ｃであるとする。
【００４８】
図３（ａ）は、最初の液晶パネルが未処理の状態を示し、液晶注入装置の現在値は「０」である。図３（ｂ）は、最初の液晶パネル（基板種Ａ）の液晶注入処理が完了した状態を示している。このとき、現在値は「１」に更新される。現在値「１」を設定値「３」と比較すると、現在値は設定値以下であるためメンテナンス時期は判定されない。
【００４９】
次に、図３（ｃ）は、２番目の液晶パネル（基板種Ａ）の液晶注入処理が完了した状態を示している。ここで、３番目の液晶パネルの液晶注入条件（液晶注入条件Ｂ）に設定される液晶材料が２番目の液晶注入条件（液晶注入条件Ａ）に設定される液晶材料と異なる場合には、真空チャンバの洗浄を要するものと判定し洗浄指示を表示する。また、このとき、現在値は「２」に更新される。現在値「２」を設定値「３」と比較すると、現在値は設定値以下であるためメンテナンス時期は判定されない。
【００５０】
次に、図３（ｄ）は、３番目の液晶パネル（基板種Ａ）の液晶注入処理が完了した状態を示している。ここで、４番目の液晶パネルの液晶注入条件（液晶注入条件Ｃ）に設定される液晶材料が３番目の液晶注入条件（液晶注入条件Ｂ）に設定される液晶材料と異なる場合には、真空チャンバの洗浄を要するものと判定し洗浄指示を表示する。また、このとき、現在値は「３」に更新される。現在値「３」を設定値「３」と比較すると、現在値は設定値に達したためメンテナンス時期と判定しメンテナンス指示を行う。
【００５１】
次に、液晶注入条件が変更された場合における現在値と設定値との比較について説明する。液晶注入を行う液晶パネルや液晶材料が異なる場合には、その液晶パネルや液晶材料に対応して異なる設定値が設定される場合がある。このように液晶パネルや液晶材料に対応して異なる設定値が設定される場合には、現在値と設定値との比較を一律に行うことができない。そこで、ここでは、現在値を規格化して規格化した現在値を規格設定値と比較することにより、液晶注入を行う液晶パネルや液晶材料が異なる場合においても現在値と設定値との比較を可能とする。
【００５２】
図４は、規格化した現在値及び設定値を用いた判定処理の一例を説明するためのフローチャートである。図４において、液晶注入装置を構成する各部品から一部品を選択し（ステップＳ１１）、選択した部品の設定値と現在値を読み込む（ステップＳ１２）。読み込んだ現在値を規格化する、現在値の規格化は、現在値に所定の係数を乗ずることで行うことができる。この係数は、例えば当該液晶注入に対応して設定されている設定値の逆数とすることができる。この規格化によって、液晶注入条件が異なり、液晶注入を行う液晶パネルや液晶材料が異なる場合においても、同じ基準で比較を行うことができる（ステップＳ１３）。
【００５３】
各液晶注入条件でそれぞれ規格化して得られた現在値（規格化現在値）を加算して、この加算値を規格化しておいた設定値と比較する。規格化に用いる係数を、当該液晶注入に対応して設定されている設定値の逆数とする場合には、規格化された加算値は例えば「１」とすることができる（ステップＳ１４）。規格化現在値が規格化設定値を超えた場合には（ステップＳ１５）、当該部品のメンテナンス時期や交換時期が到来したものと判定して表示する（ステップＳ１５）。上記したステップＳ１１〜ステップＳ１６の処理について、液晶注入装置を構成する全部品について行う（ステップＳ１７）。
【００５４】
前記した規格化に処理について、図５，６を用いて説明する。なお、以下の例では、基板種Ａ，Ｂ，Ｃの３種類の液晶注入条件が異なる場合について説明する。
【００５５】
図５（ａ）はバルブの設定回数の例である。なお、各設定回数Ｎの最初の添え字ｂはバルブを表し、２番目の添え字ｍ，ｃはそれぞれメンテナンスと交換を表し、３番目の添え字Ａは基板種を表しており、Ｎbm-Aは基板種Ａのみを液晶注入処理したときのバルブのメンテナンス設定回数を表し、Ｎbc-Aは基板種Ａのみを液晶注入処理したときのバルブの交換設定回数を表している。
【００５６】
また、現在値Ｎの最初の添え字ｂはバルブを表し、２番目の添え字Ａは基板種を表しており、Ｎb-Aは基板種Ａの液晶注入処理したときのバルブの動作回数を表している。
【００５７】
ここで、バルブのメンテナンスについての規格化回数Ｎbmnor（norは規格化を表すものとする）は、以下の式に示すように、各基板種について求めた規格化値の和で表すことができる。
【００５８】
Ｎbmnor＝Ｎb-A／Ｎbm-A＋Ｎb-B／Ｎbm-B＋Ｎb-C／Ｎbm-C
【００５９】
また、バルブの交換についての規格化回数Ｎbcnor（norは規格化を表すものとする）は、以下の式に示すように、各基板種について求めた規格化値の和で表すことができる。
【００６０】
Ｎbcnor＝Ｎb-A／Ｎbc-A＋Ｎb-B／Ｎbc-B＋Ｎb-C／Ｎbc-C
【００６１】
図５（ｂ）はシリンダの設定回数の例である。なお、各設定回数Ｎの最初の添え字ｃはバルブを表し、２番目の添え字ｍ，ｃはそれぞれメンテナンスと交換を表し、３番目の添え字Ａは基板種を表しており、Ｎｃc-Aは基板種Ａのみを液晶注入処理したときのシリンダのメンテナンス設定回数を表し、Ｎbc-Aは基板種Ａのみを液晶注入処理したときのバルブの交換設定回数を表している。
【００６２】
また、現在値Ｎの最初の添え字cはシリンダを表し、２番目の添え字Ａは基板種を表しており、Ｎc-Aは基板種Ａの液晶注入処理したときのシリンダの動作回数を表している。
【００６３】
ここで、シリンダのメンテナンスについての規格化回数Ｎcmnor（norは規格化を表すものとする）は、以下の式に示すように、各基板種について求めた規格化値の和で表すことができる。
【００６４】
Ｎcmnor＝Ｎc-A／Ｎcm-A＋Ｎc-B／Ｎcm-B＋Ｎc-C／Ｎcm-C
【００６５】
また、シリンダの交換についての規格化回数Ｎccnor（norは規格化を表すものとする）は、以下の式に示すように、各基板種について求めた規格化値の和で表すことができる。
【００６６】
Ｎccnor＝Ｎc-A／Ｎcc-A＋Ｎc-B／Ｎcc-B＋Ｎc-C／Ｎcc-C
【００６７】
図６はポンプの駆動時間の例である。なお、各駆動時間Ｔの最初の添え字ｐはポンプを表し、２番目の添え字ｍ，ｃはそれぞれメンテナンスと交換を表し、３番目の添え字Ａは基板種を表しており、Ｔpm-Aは基板種Ａのみを液晶注入処理したときのポンプのメンテナンス動作時間を表し、Ｎpc-Aは基板種Ａのみを液晶注入処理したときのポンプの交換動作時間を表している。
【００６８】
また、現在値Ｔの最初の添え字ｐはポンプを表し、２番目の添え字Ａは基板種を表しており、Ｔp-Aは基板種Ａの液晶注入処理したときのポンプの動作時間を表している。
【００６９】
ここで、ポンプのメンテナンスについての規格化動作時間Ｔpmnor（norは規格化を表すものとする）は、以下の式に示すように、各基板種について求めた規格化値の和で表すことができる。
【００７０】
Ｔpmnor＝Ｔp-A／Ｔpm-A＋Ｔp-B／Ｔpm-B＋Ｔp-C／Ｔpm-C
【００７１】
また、ポンプの交換についての規格化動作時間Ｔpcnor（norは規格化を表すものとする）は、以下の式に示すように、各基板種について求め規格化値の和で表すことができる。
【００７２】
Ｔpcnor＝Ｔp-A／Ｔpc-A＋Ｔp-B／Ｔpc-B＋Ｔp-C／Ｔpc-C
【００７３】
図７は真空チャンバの洗浄判定を説明するためのフローチャートであり、図８はセンサのメンテナンス判定を説明するためのフローチャートである。
【００７４】
図７において、液晶注入条件を取得し（ステップＳ２１）、前回の液晶注入条件とを比較して（ステップＳ２２）、液晶材料に変化があるか否かを識別する（ステップＳ２３）。液晶材料が変化した場合には、真空チャンバの洗浄を表示する（ステップＳ２４）。
【００７５】
また、図８において、液晶注入条件を取得し（ステップＳ３１）、液晶材料中にセンサの検出感度を低下させる特定物質が含まれているか否かを判定する。
【００７６】
センサのなかには、例えば塩素やテフロン(登録商標）等の物質により検出感度が低下するものがあり、液晶材料中にこのような物質が含まれ、設置時間以上暴露された場合にはメンテナンスを行う必要がある。そこで、液晶材料に特定物質が含まれ、センサがこの特定物質に設定時間以上暴露された場合（ステップＳ３２，３３）には、センサのメンテナンスを表示する（ステップＳ３４）。
【００７７】
本発明の形態によれば、操作画面等の表示装置に現在値、設定値、メンテナンス時期、交換時期、洗浄時期等の到来を表示することにより、的確な部品の交換，メンテナンス、洗浄時期を知ることができる。
【００７８】
本発明の形態によれば、液晶注入装置の機能や使用履歴について十分な知識を有さない者であっても、メンテナンス時期、交換時期、洗浄時期等の到来を知ることができる。
【００７９】
本発明の形態によれば、設定値を変更することにより、メンテナンス時期、交換時期を表示する時期を使用環境、装置状態に合わせて変更することができる。
【００８０】
本発明の形態によれば、現在値を変更することにより、部品のメンテナンス時に予備部品を使用した場合、その部品のメンテナンス時期を引き継ぐことができる。また、複数の装置間で部品を交換した場合においても、現在値を引き継ぐことができる。
【００８１】
本発明の形態によれば、真空チャンバの洗浄時期やセンサのメンテナンス時期を告知することにより、生産品への汚染を防止することができる。
【００８２】
本発明の形態によれば、操作画面での表示により部品のメンテナンス時期、交換時期を簡易に認識することができ、部品単位でのメンテナンス時期、交換時期の管理が可能となり、装置のダウンタイムや故障を減少させ、液晶パネルや液晶材料のロスを減少させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明は、バルブ、ポンプ、シリンダ等の限らず他の部品についても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明の液晶注入装置の一構成例を説明するための図である。
【図２】本発明の液晶注入装置の動作例について説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の液晶注入装置の動作例を説明するための図である。
【図４】本発明の液晶注入装置の規格化した現在値及び設定値を用いた判定処理例を説明するためのフローチャートである。
【図５】本発明の液晶注入装置の規格化処理を説明するための図である。
【図６】本発明の液晶注入装置の規格化処理を説明するための図である。
【図７】本発明の液晶注入装置の真空チャンバの洗浄判定を説明するためのフローチャートである。
【図８】本発明の液晶注入装置のセンサのメンテナンス判定を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００８５】
１…液晶注入装置、２…制御手段、３…入力手段、４…記憶手段、４ａ…設定値、４ｂ…計数・累積手段、４ｃ…現在値、４ｄ…液晶注入条件、４ｅ…履歴情報、５…判定手段、６…読み出し手段、７…表示手段、１０…真空チャンバ、１１…液晶溜容器、１２…バルブ、１３…前段ポンプ、１４…後段ポンプ、１５…センサ、２０…ホルダ、２１…液晶パネル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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