(57)【要約】【課題】主基板が補強されたプローブカードを提供することを目的とする。【解決手段】被検査対象物に接触する接触子を一方の主面に有する主基板、主基板の他方の主面に設けられた補強板、及び主基板と補強板とを固定するネジを備え、上記補強板が複数の独立した部材からなることを特徴とするプローブカード。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象物に接触する接触子を一方の主面に有する主基板、主基板の他方の主面に設けられた補強板、及び主基板と補強板とを固定するネジを備え、上記補強板が複数の独立した部材からなることを特徴とするプローブカード。
【請求項２】
上記補強板が、主基板の中心部に配置される第１の補強板と主基板の端部に配置される第２の補強板とで構成されることを特徴とする請求項１記載のプローブカード。
【請求項３】
上記第１の補強板と上記第２の補強板とは、異種材料であることを特徴とする請求項１乃至請求項２記載のプローブカード。
【請求項４】
上記ネジは、ネジ頭部の締付面が平らな面を有することを特徴とする請求項１記載のプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は主基板が補強されたプローブカードに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プローブカードＡ’は、図６に示すように、測定器（図示省略）に接触される第１接続用電極（図示省略）を有する第１主面１ａ’と、第１接続用電極と配線にて電気的に導通する第２接続用電極（図示省略）を有する第２主面１ｂ’とを備えた主基板１’と、測定対象物（図示省略）に接触する接触子８’を備え、この接触子８’に導通した第４接続用電極（図示省略）を有する第２主面２ｂ’と、第４接続用電極と配線にて電気的に導通する第３接続用電極（図示省略）を有する第１主面２ａ’とを備えた支持板２’と、主基板１’にネジ止めされ、主基板の歪みを抑える補強板３’とを設け、主基板をホルダー５’にて支持する構成としていた。又、その際、主基板の第１主面１ａ’に補強板３’をネジ止めするにあたり、ほとんどがネジ頭部の突出を嫌って図７に示されるような皿ネジ７を使用していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このプローブカードは、補強板が一枚の板状に構成されているために、主基板の第１接続用電極と、測定器の電極との接触圧力によって、又、支持板を経由する熱膨張差の発生によるバイメタル的歪みによって、主基板と同調して湾曲状に変形し、測定器と主基板の第１主面の間、並びに被検査対象物と支持板の第２主面との間に電気的な導通不良を起こし、電気的接触が不安定になり、信頼性を失うという問題点があった。しかも、補強板は同一材料による一枚の板状であるので測定器の電極が接触する領域では特に、熱膨張差が激しく歪みも大きくなるという問題点があった。
【０００４】
又、主基板と当接する皿ネジのネジ頭部の下面が斜めとなって、主基板の水平方向への膨張を確実に抑制しているので、主基板の水平方向への膨張による歪みを緩和することが全く出来ず、主基板が変形して導通不良を起こすという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明の目的は、このような従来のプローブカードが有していた課題を解決し、主基板にかかる歪みを抑え、電気的接触の安定性が高く、高い信頼性を有するプローブカードを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のプローブカードは、被検査対象物に接触する接触子を一方の主面に有する主基板、主基板の他方の主面に設けられた補強板、及び主基板と補強板とを固定するネジを備え、上記補強板が複数の独立した部材からなる構成としている。
【０００７】
又、プローブカードの補強板は、主基板の中心部に配置される第１の補強板と主基板の端部に配置される第２の補強板とで構成されている。更に、第１の補強板と第２の補強板とは、異種材料で構成されている。更に又、ネジは、ネジ頭部の締付面が平らな面を有する構成としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について図に基づき説明する。
【０００９】
図中、図１は本発明実施例を示す平面図、図２は図１のイ−イ断面図、図３は本発明実施例の歪み状態を示す断面概略図、図４は本発明の他の実施例を示す断面概略図、図５は本発明実施例に使用されるネジの状態を示す概略図、図６は従来のプローブカードの歪み状態を示す断面概略図、図７は従来のプローブカードに使用されるネジの状態を示す概略図である。
【００１０】
プローブカードＡは、図１に示すように円形の主基板１と、その中央部に配置された補強板３により構成される。
【００１１】
プローブカードＡは、図２に示すように、被検査対象物（図示省略）に接触する接触子８を第２主面１ｂに有する主基板１と、この主基板１の第１主面１ａに設けられた補強板３及び主基板１と補強板３とを固定するネジ４とを備えている。検査時、プローブカードＡは、測定器（図示省略）側に設けられたホルダー５に、主基板１の縁部を支えられる。
【００１２】
主基板１は、図２に示すように、測定器（図示省略）の電極（図示省略）と接触する複数の第１接続用電極（図示省略）を有する第１主面１ａと、第１接続用電極（図示省略）と配線（図示省略）にて電気的に導通する第２接続用電極（図示省略）を有し、この第２接続用電極（図示省略）を測定対象物（図示省略）に接触する接触子８と電気的に導通してなる第２主面１ｂとからなっている。
【００１３】
補強板３は、図１、図２に示すように、複数に分かれて独立した部材３１，３２からなっている。この補強板の独立した部材３１は、主基板１の中心部に配置され、独立した部材３２は、独立した部材３１より離れた主基板１の端部に配置され、各独立した部材３１，３２が主基板１の第１主面１ａにそれぞれ主基板１の第２主面１ｂよりネジ４，４にて螺着している。
【００１４】
この補強板３が複数の独立した部材３１，３２からなっているので、図３に示すように、測定器（図示省略）の電極（図示省略）の接触圧力が主基板１にかかって、主基板１の端部に歪みを生じても、主基板１の電極の接触する領域に相当する中央部では影響が少なく、この主基板１の電極の接触する領域に相当する中央部をフラットに保持できて、電気的接触の安定性を高く維持することができる。
【００１５】
又、補強板３は、複数の独立した部材３１，３２がそれぞれ熱伝導率の違ったアルミニウム材、ニッケル材、炭素鋼材、及びステンレス材等の異なった種類の材料からなっており、主基板１の端部に近い個所の独立した部材３２と、主基板１の中央部に近い個所の独立した部材３１とを異なった種類の材料にすることで、熱膨張量の差による湾曲状の歪みを効果的に減少させることができる。
【００１６】
図４は、別実施例を示すもので、プローブカードＡは、測定器に接触される第１接続用電極（図示省略）を有する第１主面１ａと、第１接続用電極（図示省略）と配線にて電気的に導通する第２接続用電極（図示省略）を有する第２主面１ｂとを備えた主基板１と、接触子８を介して測定対象物（図示省略）に接触される第４接続用電極（図示省略）を有する第２主面２ｂと、第４接続用電極（図示省略）と配線にて電気的に導通する第３接続用電極（図示省略）を有する第１主面２ａとを備えた支持板２と、主基板１の第１主面１ａに設けた補強板３から構成されている。検査時、プローブカードＡは、測定器（図示省略）側に設けられたホルダー５に、主基板１の縁部を支えられる。
【００１７】
この補強板３は、複数に分かれて独立した部材３１，３２からなっている。この補強板の独立した部材３１は、主基板１の中心部に配置され、独立した部材３２は、独立した部材３１より離れた主基板１の端部に配置され、各独立した部材３１、３２が主基板１の第１主面１ａにそれぞれ主基板１の第２主面１ｂよりネジにて螺着している。更に、支持板２の第３接続用電極（図示省略）を有する第１主面２ａと主基板１の第２接続用電極（図示省略）を有する第２主面１ｂとは、半田、導電性樹脂等による導電材（図示省略）にて電気的に導通しながら、結合している。
【００１８】
更に、主基板１と補強板３とのネジ止めは、図４に示すように、主基板１の第２主面１ｂよりナベネジと称されるネジ４にて螺着している。このようにネジ頭部の締付面６が平らな面を有するネジによって、従来の皿ネジと称されるネジのように、水平方向への膨張を抑制することなく、主基板１及び補強板３が水平方向に膨張することを可能とし、主基板１のバイメタル的歪みをより少なくすることができる。このネジ４は、ネジ頭部の締付面６が平らな面を有するネジであれば特にナベネジに限定されるものではない。
【００１９】
以上、本発明の代表例と思われる実施例について説明したが、本発明は必ずしもこれらの実施例の構造のみに限定されるものではなく、本発明にて述べる前記の構成要件を備え、かつ本発明にて述べる目的を達成し、以下に述べる効果を有する範囲内において適宜改変して実施することができるものである。
【００２０】
【発明の効果】
以上の説明から既に明らかなように、本発明にて述べるところのプローブカードは、被検査対象物に接触する接触子を一方の主面に有する主基板、主基板の他方の主面に設けられた補強板、及び主基板と補強板とを固定するネジを備え、上記補強板が複数の独立した部材からなる構成としている。又、この補強板は、主基板の中心部に配置される第１の補強板と主基板の端部に配置される第２の補強板とで構成されているので、測定器の電極の接触圧力による主基板の湾曲状の歪みが発生しても、接触圧力の少ない主基板の電極の接触する領域に相当する個所ではフラットに近いために、電気的な接触の安定性が高く、高い信頼性を有することができるという顕著な効果を期待することが出来るに至ったのである。
【００２１】
又、プローブカードの補強板である第１の補強板と第２の補強板とが、異種材料で構成されているので、測定器の電極の接触圧力がかかる個所と接触圧力がかかりにくい個所とで独立した部材の材料を変えることによって、より湾曲状の歪みを効果的に減少させることができる。更に又、主基板と補強板とを固定するネジは、ネジ頭部の締付面が平らな面を有する構成としているので、熱膨張の影響を受ける主基板に対して水平方向への膨張を許容できるために、バイメタル的歪みを抑えることができるという顕著な効果を期待することが出来るに至ったのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明実施例を示す平面図。
【図２】図１のイ−イ断面図。
【図３】本発明実施例の歪み状態を示す断面概略図。
【図４】本発明の他の実施例を示す断面概略図。
【図５】本発明実施例に使用されるネジの状態を示す概略図。
【図６】従来のプローブカードの歪み状態を示す断面概略図。
【図７】従来のプローブカードに使用されるネジの状態を示す概略図。
【符号の説明】
１，１’  主基板
１ａ，１ａ’  主基板の第１主面
１ｂ，１ｂ’  主基板の第２主面
２’  支持板
２ａ’  支持板の第１主面
２ｂ’  支持板の第２主面
３，３’  補強板
３１，３２  補強板の独立した部材
４  ネジ
５，５’  ホルダー
６  ネジ頭部の締付面
７  皿ネジ
８  接触子
Ａ，Ａ’  プローブカード
【図１】
2005069702.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005069702.tif 000007
【図６】
2005069702.tif 000008
【図７】
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