(57)【要約】【課題】  制御回路で電力用スイッチング素子が制御される、小型の電力用半導体装置を提供する。【解決手段】  制御回路で電力用スイッチング素子が制御される電力用半導体装置が、表面と裏面を有する半導体基板と、半導体基板の表面側に設けられ、第１導電層、絶縁膜、および第２導電層の積層構造からなるコンデンサと、コンデンサより表面側に設けられ、ボンディングワイヤが接続されたボンディングパッドとを含む。ボンディングパッドはコンデンサと重なるように配置されている。【選択図】  図２
2005327952.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御回路で電力用スイッチング素子が制御される電力用半導体装置であって、
表面と裏面を有する半導体基板と、
該半導体基板の表面側に設けられ、第１導電層、絶縁膜、および第２導電層の積層構造からなるコンデンサと、
該コンデンサより表面側に設けられ、ボンディングワイヤが接続されたボンディングパッドとを含み、
該ボンディングパッドが該コンデンサと重なるように配置されたことを特徴とする電力用半導体装置。
【請求項２】
上記半導体基板の表面側に、複数の上記コンデンサが積層されたことを特徴とする請求項１に記載の電力用半導体装置。
【請求項３】
上記コンデンサと上記ボンディングパッドとの間に、絶縁膜を設けたことを特徴とする請求項１に記載の電力用半導体装置。
【請求項４】
上記コンデンサと上記ボンディングパッドとの間に、導電層を設けたことを特徴とする請求項１に記載の電力用半導体装置。
【請求項５】
上記半導体基板と上記コンデンサとの間に、導電層を設けたことを特徴とする請求項１に記載の電力用半導体装置。
【請求項６】
上記導電層が、固定電位に接続されたことを特徴とする請求項４又は５に記載の電力用半導体装置。
【請求項７】
上記コンデンサを構成する絶縁膜が、上記電力用半導体装置に含まれる上記電力用スイッチング素子のゲート酸化膜からなることを特徴とする請求項１に記載の電力用半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、制御回路で電力用スイッチング素子が制御される電力用半導体装置に関し、特に、コンデンサを備えた電力用半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８は、全体が６００で表される、従来の電力用半導体装置の概略図であり、（ａ）は、ボンディングパッド部分の上面図、（ｂ）は、（ａ）をVIII−VIII方向に見た場合の断面図を示す。電力用半導体装置６００は、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ）とこれを制御するための制御回路とを含む（図示せず）。
【０００３】
図８（ａ）（ｂ）に示すように、電力用半導体装置６００は、アルミナ等からなるダイパッド５１を含む。ダイパッド５１の上には、半田等の接合材５２により半導体チップ５３が固定されている。半導体チップ５３は、制御回路や電力用スイッチング素子であるＩＧＢＴを含む。半導体チップ５３の上面には、アルミニウム等からなるボンディングパッド５４が設けられ、同じくアルミニウム等からなるボンディングワイヤ５５が接続されている。
【０００４】
図９は、ボンディングパッド５４近傍を拡大した断面図である。図８（ｂ）の半導体チップ５３は、シリコン基板５６を含み、シリコン基板５６の上には、シリコン酸化膜５７を介して上述のボンディングパッド５４が設けられ、この上にボンディングワイヤ５５が接続されている。
【特許文献１】特開２０００−０５８７６５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、電力用半導体装置６００が大容量のコンデンサを含む場合、容量の大きさがコンデンサの面積に比例することもあり、電力用半導体装置６００が大面積化した。この結果、製造コストが増大するとともに、電力用半導体装置６００の小型化も困難であった。
【０００６】
そこで、発明者は鋭意研究の結果、電力用半導体装置に含まれる金属配線や絶縁層を用いてコンデンサを作製することにより、ボンディングパッドとコンデンサとを重ねて配置することができ、電力用半導体装置の小型化が可能なことを見出し、本発明を完成した。
【０００７】
即ち、本発明は、制御回路で電力用スイッチング素子が制御される電力用半導体装置の小型化を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、制御回路で電力用スイッチング素子が制御される電力用半導体装置であって、表面と裏面を有する半導体基板と、半導体基板の表面側に設けられ、第１導電層、絶縁膜、および第２導電層の積層構造からなるコンデンサと、コンデンサより表面側に設けられ、ボンディングワイヤが接続されたボンディングパッドとを含み、ボンディングパッドがコンデンサと重なるように配置されたことを特徴とする電力用半導体装置である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、ボンディングパッドとコンデンサとを重なるように配置することにより、大容量のコンデンサを有する電力用半導体装置の小型化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１にかかる電力用半導体装置Ｂ２の回路図である。電力用半導体装置Ｂ２は、電力用スイッチング素子である絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ（ＩＧＢＴ）Ｔ１を含む。ＩＧＢＴＴ１の制御入力端子Ｐ１側には制御回路Ｂ１が接続されている。ＩＧＢＴＴ１は、更に、出力端子Ｐ２、ＧＮＤ端子Ｐ３を備える。制御回路Ｂ１とＧＮＤ端子Ｐ３との間には、コンデンサＣ１が設けられている。
【００１１】
図２は、全体が１００で表される、本実施の形態１にかかる電力用半導体装置の断面図であり、図８（ａ）のVIII−VIIIと同じ方向に見た場合の断面となっている。電力用半導体装置１００は、シリコン基板１を含む。シリコン基板１の上には、例えば酸化シリコンからなる絶縁膜２、多結晶シリコン層３、例えば酸化シリコンからなる絶縁膜４が順次、積層されている。絶縁膜４の上には、例えばアルミニウムからなる金属層５が設けられている。
金属層５はボンディングパッドを兼ね、アルミニウム等からなるボンディングワイヤ６が金属層５に接続されている。ボンディングワイヤ６は、外部信号や固定電位（ＧＮＤ）との接続に用いられる。
【００１２】
上述のように、電力用半導体装置１００は、ＩＧＢＴと制御回路（図示せず）を含むが、多結晶シリコン層３は、制御回路の配線層と同時に形成され、また金属層５は、固定電位（ＧＮＤ電位）として用いられる金属配線層と同時に形成される。
【００１３】
かかる電力用半導体装置１００では、絶縁膜４と、これを挟む多結晶シリコン層３および金属層５がコンデンサを形成する。また、かかるコンデンサの金属層５が、ボンディングワイヤ６を接続するボンディングパッドを兼ねる。このため、ボンディングパッドとコンデンサとが重ねて配置され、電力用半導体装置１００の小型化が可能となる。
【００１４】
なお、多結晶シリコン層３をＩＧＢＴのゲートに接続することにより、ＩＧＢＴのゲート容量を増加させて静電サージ耐量を向上させることができる。後述する実施の形態３の構成を用いることによっても、静電サージ耐量の大きなＩＧＢＴが得られる。
【００１５】
実施の形態２．
図３は、全体が２００で表される、本実施の形態２にかかる電力用半導体装置の断面図であり、図８（ａ）のVIII−VIIIと同じ方向に見た場合の断面となっている。図３中、図２と同一符号は同一または相当箇所を示す。
【００１６】
電力用半導体装置２００は、シリコン基板１を含む。シリコン基板１には、高濃度の不純物が注入された不純物注入層７が形成されている。不純物注入層７は、通常、固定電位（ＧＮＤ）として使用される。不純物注入層７の上にはＩＧＢＴのゲート酸化膜を兼ねる、例えば酸化シリコンからなる絶縁膜８が形成されている。酸化膜８の上には、多結晶シリコン層３、絶縁膜４、および金属層５が設けられている。金属層５はボンディングパッドを兼ね、ボンディングワイヤ６が接続されている。
【００１７】
電力用半導体装置２００では、絶縁膜８と、これを挟む不純物注入層７および多結晶シリコン層３がコンデンサを形成する。かかる構造では、このため、ボンディングパッドとコンデンサとが重ねて配置されるため、電力用半導体装置２００の小型化が可能となる。
【００１８】
また上述のように、絶縁膜８は、ＩＧＢＴのゲート酸化膜と同時に形成されるため、膜厚が数１００Åと薄くなり、単位面積あたりのコンデンサの容量を大きくすることが可能となる。
【００１９】
また、コンデンサの上に絶縁膜４が設けられているため、ボンディングワイヤ６を金属層５に接続する際の、コンデンサの機械的破壊を防止できる。
【００２０】
実施の形態３．
図４は、全体が３００で表される、本実施の形態３にかかる電力用半導体装置の断面図であり、図８（ａ）のVIII−VIIIと同じ方向に見た場合の断面となっている。図４中、図２と同一符号は同一または相当箇所を示す。
【００２１】
電力用半導体装置３００では、電力用半導体装置１００と同様にシリコン基板１上に、絶縁膜２、多結晶シリコン層３が形成され、更にその上に、酸化シリコンからなる絶縁膜９、アルミニウム等からなる金属層１０、酸化シリコン等の絶縁膜１１が形成されている。絶縁膜１１の上には、ボンディングパッドを兼ねる金属層５が設けられ、金属層５の上には、ボンディングパワイヤ６が接続されている。多結晶シリコン層３、金属層１０は、制御回路等の配線層としても使用される。
【００２２】
かかる構造の電力用半導体装置３００では、絶縁膜９と、これを挟む多結晶シリコン層３および金属層１０がコンデンサを形成するとともに、絶縁膜１１と、これを挟む金属層１０および金属層５もコンデンサを形成する。
【００２３】
図５は、電力用半導体装置３００の回路図である。図１に示す電力用半導体装置１００の回路に加えて、ＩＧＢＴＴ１のゲート端子とエミッタ端子との間にコンデンサＣ２が接続されている。かかる回路では、コンデンサＣ２は、静電サージ耐量を向上させる機能を果たす。
【００２４】
かかる構造では、このため、ボンディングパッドとコンデンサとが重ねて配置されるため、電力用半導体装置３００の小型化が可能となる。
【００２５】
特に、電力用半導体装置３００では、２つのコンデンサが積層された構造を有するため、並列接続することで単位面積あたりのコンデンサの容量を約２倍にすることが可能となる。
【００２６】
実施の形態４．
図６は、全体が４００で表される、本実施の形態４にかかる電力用半導体装置の断面図であり、図８（ａ）のVIII−VIIIと同じ方向に見た場合の断面となっている。図６中、図２と同一符号は同一または相当箇所を示す。
【００２７】
電力用半導体装置４００では、電力用半導体装置２００と同様にシリコン基板１上に、不純物注入層７、絶縁膜８が形成され、その上に多結晶シリコン層３が形成されている。絶縁膜８は、ＩＧＢＴのゲート酸化膜を兼ねるとともに、絶縁膜３と、これを挟む不純物注入層７および多結晶シリコン層３が、コンデンサを形成している。
【００２８】
更に、多結晶シリコン層３の上に、酸化シリコン等からなる絶縁膜９、アルミニウム等からなる金属層１０、酸化シリコン等の絶縁膜１１が形成されている。絶縁膜１１の上には、ボンディングパッドを兼ねる金属層５が設けられ、金属層５の上には、ボンディングパワイヤ６が接続されている。電力用半導体装置４００では、金属層１０が固定電位（ＧＮＤ）に接続されている。
【００２９】
かかる構造では、ボンディングパッドとコンデンサとが重ねて配置されるため、電力用半導体装置４００の小型化が可能となる。
【００３０】
更に、コンデンサの上方に配置された金属層１０が固定電位（ＧＮＤ）に接続されているため、電力用半導体装置４００の表面（金属層１０より上方）での電位変動からコンデンサをシールドし、コンデンサの容量を安定させることができる。
【００３１】
実施の形態５．
図７は、全体が５００で表される、本実施の形態５にかかる電力用半導体装置の断面図であり、図８（ａ）のVIII−VIIIと同じ方向に見た場合の断面となっている。図７中、図２と同一符号は同一または相当箇所を示す。
【００３２】
電力用半導体装置５００では、シリコン基板１上に、不純物注入層７、絶縁膜８が形成されている。絶縁膜８は、ＩＧＢＴのゲート酸化膜を兼ねる。絶縁膜８の上には、紙面に垂直な方向に延びたストライプ状の多結晶シリコン層１２が設けられている。多結晶シリコン層１２の上には、酸化シリコン等からなる絶縁膜９、アルミニウム等からなる金属層１０、酸化シリコン等の絶縁膜１１が形成されている。更に、不純物注入層７、多結晶シリコン層１２、および金属層１０は、高濃度の不純物を注入した不純物注入層１３により接続されている。
【００３３】
更に絶縁膜１１の上には、ボンディングパッドを兼ねる金属層５が設けられ、金属層５の上には、ボンディングパワイヤ６が接続されている。絶縁膜８とこれを挟む多結晶シリコン層１２および不純物注入層７がコンデンサを形成する。
【００３４】
かかる構造では、ボンディングパッドとコンデンサとが重ねて配置されるため、電力用半導体装置５００の小型化が可能となる。
【００３５】
また、不純物注入層７、多結晶シリコン層１２、および金属層１０を不純物注入層１３により接続することにより、コレクタ電極（図示せず）が設けられた電力用半導体装置５００の裏面からコンデンサをシールドする。これにより、例えばコレクタ電極に数１００Ｖの電圧が印加された場合でも、コンデンサの容量を安定させることができる。
【００３６】
なお、実施の形態１〜５では、シリコン基板を用いる場合について説明したが、ガリウム砒素やインジウムリン等の他の半導体基板にも適用することができる。
また、電力用スイッチング素子として、ＩＧＢＴ以外にパワーＦＥＴ等の半導体素子も使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる電力用半導体装置の回路図である。
【図２】本発明の実施の形態１にかかる電力用半導体装置の断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２にかかる電力用半導体装置の断面図である。
【図４】本発明の実施の形態３にかかる電力用半導体装置の断面図である。
【図５】本発明の実施の形態３にかかる電力用半導体装置の回路図である。
【図６】本発明の実施の形態４にかかる電力用半導体装置の断面図である。
【図７】本発明の実施の形態５にかかる電力用半導体装置の断面図である。
【図８】従来の電力用半導体装置の概略図である。
【図９】従来の電力用半導体装置の断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  シリコン基板、２  絶縁膜、３  多結晶シリコン層、４  絶縁膜、５  金属層、６  ボンディングワイヤ、１００  電力用半導体装置
【図１】
2005327952.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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