(57)【要約】【課題】  正確で再現性の良いイオン収量曲線を短時間かつ自動的に取得するため高沸点物質の光イオン化質量分析装置を提供する。【解決手段】  本発明の装置は、試料炉１、質量分析計、膜厚計６、光ダイオード検出器から構成されていて、試料を加熱してイオン化室に気体の中性状態で導入し、１０ｋＨｚのパルス押出し法によって飛行時間分解質量スペクトルを測定し、高速多チャネルスケーラと中枢コンピュータでデータを収集・処理した。その結果、光子エネルギー（波長）を連続的に変えながら質量スペクトルを取得し、しかも、任意の３種類のイオンについて、自動的にイオン収量曲線を測定することが可能となった。その際、イオン化領域での試料濃度と光フラックスを常に監視し、それらの値をコンピュータに転送してイオン収量を規格化した。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料炉、質量分析計、膜厚計、光ダイオード検出器、高速多チャネルスケーラ及びデータ処理手段から構成され、前記試料炉で試料を加熱して前記イオン化室に気体の中性状態で導入し、極端紫外光でイオン化し、パルス押出し法によって飛行時間分解質量スペクトルを測定し、高速多チャネルスケーラと前記データ処理手段でデータを収集・処理し、極端紫外光のエネルギー（波長）掃引と同期させながらイオンの信号強度、試料濃度、光量を測定し、正確なイオン収量曲線を得ることを特徴とする高沸点物質の光イオン化質量分析装置。
【請求項２】
前記質量分析計は光イオン化電極、イオン飛行管、２次電子増倍板からなることを特徴とする請求項１記載の高沸点物質の光イオン化質量分析装置。
【請求項３】
高速多チャンネルスケーラにより質量スペクトルを取得し、質量スペクトル上の指定飛行時間領域での信号カウント数を積分してイオンの信号カウント数Ｃを得ると共に、光ダイオード検出器の電流値Ｉを取り込み、別途取得した実際の光子エネルギー値Ｅと電流値Ｉにより極端紫外光のフラックスＰを求め、イオンの信号カウント数Ｃ、膜厚計を用いて取得した積算蒸着量Ａ、極端紫外光のフラックスＰを用いて、前記データ処理手段が、式Ｙ＝１×１０7 Ｃ/ＡＰに基づいて、イオン収量Ｙを求めることを特徴とする請求項１記載の高沸点物質の光イオン化質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は質量分析装置、特に試料が高沸点物質の質量分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
質量分析技術は物理化学基礎研究の主要な手法の一つであるばかりでなく、化学分析、同位体分離、半導体純度評価などにも広く応用されている。この技術は試料の種類や形態を問わず適用できる優れた手法であるが、難燃固体、高分子、生体分子、フラーレンのような高沸点物質を対象にする場合、真空中で試料をいかに効率良くイオン化するかが課題となる。
【０００３】
過去５０年に渡り、多くの研究グループが固体試料の汎用イオン源の開発に取り組んできた。その結果、複数の優れたアイデアが実用化され、質量分析装置に組み込まれて製品化されるに至っている。真空スパーク放電法（ＳＳＭＳ）、イオン衝撃２次イオン分析法（ＳＩＭＳ）、レーザー誘起法（ＬＩＭＳ）、グロ−放電法（ＧＤＭＳ）、誘導結合プラズマ法（ＩＣＰＭＳ）等が代表的なものである。これらのイオン源は感度が高い、試料の組成を忠実に反映する、取り扱いが容易でどんな試料にも利用できるなどの長所がある。
【０００４】
また、イオン源、イオンビームパルス化機構、イオンビームレンズ、試料、レーザー装置、飛行時間型質量分析装置、静電偏向器、アパーチャ、チャンネルプレート、パルス計数装置などから構成され、試料を構成する分子種の同定や試料に含まれる微量な原子を超高感度で分析可能な飛行時間型質量分析装置も公知である（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかし、いずれのイオン源も、（ア）放電領域の不安定性のために定量的データを得にくい、（イ）実験条件の変動で質量スペクトルのパターンが大きくフラつくなどの短所をもつ。試料が高沸点物質の場合にはこれらの問題はさらに深刻となる。定量性や安定性を増すためには試料表面のプラズマ中に存在する高速電子や励起種の濃度を評価し、複雑な多段のイオン化過程を抽出またはモデル化し、速度論的に生成物の濃度を見積もることが大事である。
【０００６】
それには高沸点物質のイオン化・励起・分解の確率を正確に知ることが前提となるが、これら諸量は、構成する原子分子やフラーレンが、あるエネルギー量子を吸収した時に、どの電子がイオン化され、どのような電子または原子核の集団運動が起き、どの化学結合が切断されるのかに深く関わっている。
【０００７】
イオン化過程に関するこのような基礎的データを十分に蓄積するためには、試料を中性のまま気体状態にし、エネルギー可変（即ち、波長可変）の極端紫外光（１０〜１０００電子ボルト程度）を照射して、イオン化質量分析によって各種評価を遂行する方法が最も優れている。現状では国内外を問わず上記のような高沸点物質試料に適用できる極端紫外光イオン化評価装置は大学や研究所の試作品に限られておりほとんど実用化されていない。
【特許文献１】特開平８−３３９７７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このように、高沸点物質試料を対象にする場合、光のエネルギー（波長）の関数としてイオン化確率を精度よく決定するために、イオン化領域での試料濃度と光量（フラックス）を常に厳密にモニターすることが要求される。また、広い質量範囲に渡って良好な検出感度を得る目的で飛行時間分解型の質量分析計を用いるのが一般的であるが、それに伴ってイオン引出しの繰返し周期を高め仕事率を上昇させるための高速のデータ処理システムも本質的に重要である。これらの条件を満足する極端紫外光イオン化質量分析の汎用システムはこれまで全く報告例がない。そこで、本発明は、正確で再現性の良いイオン収量曲線を短時間かつ自動的に取得するための高沸点物質試料を対象にした光イオン化質量分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、この発明の請求項１に係る高沸点物質の光イオン化質量分析装置は、試料炉、質量分析計、膜厚計、光ダイオード検出器、高速多チャネルスケーラ及びデータ処理手段から構成され、前記試料炉で試料を加熱して前記イオン化室に気体の中性状態で導入し、極端紫外光でイオン化し、パルス押出し法によって飛行時間分解質量スペクトルを測定し、高速多チャネルスケーラと前記データ処理手段でデータを収集・処理し、極端紫外光のエネルギー（波長）掃引と同期させながらイオンの信号強度、試料濃度、光量を測定し、正確なイオン収量曲線を得るように構成した。
【００１０】
この発明の請求項２に係る高沸点物質の光イオン化質量分析装置は、請求項１に記載の構成の高沸点物質の光イオン化質量分析装置において、前記質量分析計は光イオン化電極、イオン飛行管、２次電子増倍板で構成した。
【００１１】
この発明の請求項３に係る高沸点物質の光イオン化質量分析装置は、請求項１に記載の構成の高沸点物質の光イオン化質量分析装置において、高速多チャンネルスケーラにより質量スペクトルを取得し、質量スペクトル上の指定飛行時間領域での信号カウント数を積分してイオンの信号カウント数Ｃを得ると共に、光ダイオード検出器の電流値Ｉを取り込み、別途取得した実際の光子エネルギー値Ｅと電流値Ｉにより極端紫外光のフラックスＰを求め、イオンの信号カウント数Ｃ、膜厚計を用いて取得した積算蒸着量Ａ、極端紫外光のフラックスＰを用いて、前記データ処理手段が、式Ｙ＝１×１０7 Ｃ/ＡＰに基づいて、イオン収量Ｙを求めるように構成した。
【００１２】
これにより、イオン化領域で十分な試料濃度を確保し、膜厚計とシリコン光ダイオードを用いて、試料の濃度と光のフラックスをを常時モニターし、データ処理手段により、極端紫外光のエネルギー（波長）掃引と同期させながらイオンの信号強度、試料濃度、光量を測定し、正確なイオン収量曲線を短時間かつ自動的に得ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明の高沸点物質の光イオン化質量分析装置は、試料を中性のまま気体状態にし、イオン化領域で十分な試料濃度を確保し、膜厚計とシリコン光ダイオードを用いて、試料の濃度と光のフラックスを常時モニターし、中枢コンピュータヘデータを転送する。これにより極端紫外光のエネルギー（波長）掃引と同期させながらイオンの信号強度、試料濃度、光量を測定し、正確なイオン収量曲線を短時間かつ自動的に得ることができる。また、高速の２次電子増倍板と多チャネルスケーラを利用することで、飛行時間分解型質量分析計のイオン引出しの繰返し周期を上昇させることにより、検出効率の著しい向上が実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の高沸点物質を対象にした極端紫外光イオン化質量分析装置は、試料炉、質量分析計、膜厚計、光ダイオード検出器から構成されている。そして試料を加熱してイオン化室に気体の中性状態で導入し、パルス押出し法によって飛行時間分解質量スペクトルを測定し、高速多チャネルスケーラと中枢コンピュータでデータを収集・処理するものである。
【００１５】
次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１に本発明による高沸点物質用の光イオン化質量分析装置の模式図を示す。図１において、下部には試料炉１があり、試料炉１の上方に質量分析計が位置する。質量分析計は、光イオン化電極、イオン飛行管４、イオン検出用の２次電子増倍板５から構成されている。
【００１６】
光イオン化電極は押出し電極２と引き込み電極３の２枚から成り、それらは５０ｍｍ角のステンレス鋼製で距離１０ｍｍだけ隔てられている。イオン飛行管４は長さ７１ｍｍ内径２０ｍｍの円筒形をしている。光イオン化電極の上方には、試料の蒸着速度を精密に測る目的で、膜厚計６が支柱で固定されている。膜厚計６には応答速度の速いインフィコン社の水晶振動子型が用いられ、水冷で冷却されている。
【００１７】
試料炉１の構成を図２の拡大図に示す。試料炉１には、粉末試料を収納する試料充填容器７とカートリッジヒーター８が設置してある。試料充填容器７の底には温度を測るためのクロメル・アルメル熱電対が接続され、一方、試料充填容器７の出口には口径０.５ｍｍ、開き角７.２度のコニカルノズル９が接続されている。これらの部材は熱輻射防御筒１０で覆われている。温度勾配を付けるために、コニカルノズル９の肉厚は試料充填容器７のそれより厚くなっている。光イオン化領域中央からコニカルノズル９の咽喉部または膜厚計６の感知面までの距離は、両者とも３５ｍｍである。
【００１８】
本装置の制御機器および計測機器の接続態様を図３に基づいて説明する。イオン検出用２次電子増倍板５からの電流信号は前置増幅器１１と波高弁別器１２で処理されてディジタル信号に変換され、高速多チャネルスケーラ１３のストップ入力に送られる。時刻のスタートとなるパルス電圧は、遅延信号発生器１４と高圧パルス発生器１５を使って作成し、押し出し電極２に印加される。周波数は１０ｋＨｚ、間幅１−３μｓ、最大電圧は＋１００Ｖである。
【００１９】
高速多チャネルスケーラ１３の計時スタートに必要なトリガー信号も、遅延信号発生器１４から供給される。このトリガー信号とパルス電圧とのタイミングは、−５０μｓから＋５０μｓの範囲で変えることができ、これによって高圧パルスに伴う電気的ノイズの妨害を回避することができる。高速多チャネルスケーラ１３はラボラトリ・イクイップメント社の既製品（ＬＮ６５００，ＮＴ２４００）を用いており、その時間分解能は１ｎｓ、メモリは時間軸が８ｋバイトで縦軸（事象数）が２32バイトである。尚、高速多チャネルスケーラ１３の代わりに時間波高変換器１６と高速カウンター１７の組み合せを充てることが可能である。
【００２０】
本装置の性能試験には極端紫外光施設の斜入射分光器から供給される放射光を利用する。全システムはパーソナルコンピュータ１台によって統括・制御されている。この中枢コンピュータ２３にはＧＰＩＢまたはＬＡＮインターフェースを介して各種測定機器が接続されている。
【００２１】
中枢コンピュータ２３で遠隔操作が可能なパルスモーター制御装置２０を用いて、分光器スリット並進機構２１を制御して焦点調整を行ない、分光器回折格子の回転機構２２を制御して、分光器の波長は掃引される。光のフラックスは光ダイオード検出器（図示せず）によって常時監視される。この検出器はストロークが４０ｍｍの高真空仕様のべローズ封入型直線導入機の先端部に保持されており、真空を破らずに、手動で光軸に挿入したりそこから撤去したりすることが可能である。膜厚計６の膜厚信号は膜厚計制御ユニット１８に入力される。また、光ダイオード検出器からの電流信号は微少電流計１９で計測される。
【００２２】
次に、本発明の装置を用いて、（１）質量スペクトルの取得と（２）イオン収量曲線の測定を経て、イオン収量曲線を取得するまでの手順を以下に説明する。
【００２３】
（１）質量スペクトルの取得
図１および図２に基づいて説明する。試料炉１において、粉末試料は試料充填容器７に充填され、カートリッジヒーター８により加熱される。蒸発または昇華した試料気体はコニカルノズル９から噴出し光イオン化領域に到達し、そこで極端紫外光を吸収してイオン化される。普段は押出し電極２と引き込み電極３は接地されておりイオン化領域の電位は０Ｖである。
【００２４】
ある瞬間に押出し電極２に振幅＋５０から＋１００Ｖのパルス電圧を印加すると、引き込み電極３との間にできた平行電場によってイオンは加速され、引き込み電極３の中央の１０ｍｍφの穴から接地されたイオン飛行管４に進入する。質量数と電荷の比ｍ/ｚによって個々のイオンの速さが異なり、従ってイオン化領域からイオン検出用２次電子増倍板５までの飛行時間もｍ/ｚに依存する。
【００２５】
押出し電極３に印加されたパルス電圧の立ち上がり時刻からイオンの到着時刻までの飛行時間を高速多チャネルスケーラ１３で計測し、飛行時間に関するイオン強度の分布を求めれば、飛行時間分解質量スペクトルを得ることができる。
【００２６】
（２）イオン収量曲線の測定
図１の膜厚計６に装着された水晶振動子の振動数の変化から、振動子に付着した物質の質量が得られ、その質量から気化した試料の蒸着量が求められる。試料分子線の広がりが、膜厚計６とイオン化領域の位置でそれぞれ６６.８と１８.６ｍｍ2 、膜厚計６の有効径が５３.５ｍｍ2 として、蒸着速度から試料の蒸発（または昇華）速度およびイオン化領域での試料濃度の絶対値を計算できる。例えば、４７０℃でＣ60を昇華させた場合、昇華速度は５ｎｓ-1で試料濃度は１.５×１０9  molecules ｃｍ-3であった。膜厚計６には、試料炉１からの熱輻射による動作不良を防ぐために冷却水を循環させている。
【００２７】
冷却水は熱交換型恒温水循環器（図示せず）から供給される。外部からの振動によるノイズを防ぐためにステンレスの水冷用配管（図示せず）が使用されている。図３において、試料の蒸着量は膜厚計６の制御ユニット１８からＧＰＩＢインターフェースを介して中枢コンピュータ２３へ転送される。一方、極端紫外光を供給する斜入射分光器はパルスモーター制御装置２０によって駆動され、マニュアル操作または中枢コンピュータ２３からの遠隔操作によって、分光器スリット並進機構２１及び分光器回折格子の回転機構２２を制御して、波長掃引、出口スリットでの焦点調整、回折格子交換、高次光除去用平面鏡交換などが行われる。
【００２８】
光ダイオード検出器によって監視された光のフラックスは、微少電流計１９からＧＲＩＢインターフェースを介して中枢コンピュータ２３へ転送される。中枢コンピュータ２３ではイオン収量（Ｙ）は次式で求められる。
【００２９】
Ｙ＝１×１０7 Ｃ/ＡＰ
ここで、Ｃはイオンの信号カウント数（ｃｐｓ）、Ａは膜厚計の蒸着量（ｎｓ-1）、Ｐは極端紫外光のフラックス（photons ｓ-1）を表す。イオン収量は相対量であり、定数１×１０7 は単なる比例係数である。但し、必要に応じてイオン化断面積の絶対値を計算することは容易に行える。
【００３０】
更に、上記イオン収量曲線を取得するまでの手順を図４の制御フローを参照して説明する。ステップＳ１で測定を開始する。ステップＳ２で、光子エネルギー値から、分光器スリットの並進値と回転格子の回転角を算出する。それに基づき、ステップＳ３で、パルスモーター制御装置でスリットを移動し、ステップＳ４で、パルスモーター制御装置で回折格子を回転し、ステップＳ５で、回折サインバーの位置を読み、実際のエネルギー値を計算し、エネルギー値Ｅとして、後段のステップＳ１３に出力する。
【００３１】
次に、ステップＳ６で、膜厚計のシャッターを開放し、ステップＳ７で、高速多チャンネルスケーラによる計測を開始する。ステップＳ８で、指定時間測定後にヒストグラムデータ転送と質量スペクトルを取得し、ステップＳ９で、膜厚計のシャッターを閉鎖する。
【００３２】
ステップＳ１０で、膜厚計から積算蒸着量を読み込み、膜厚計の蒸着量Ａを中枢コンピュータに入力する。ステップＳ１１では、質量スペクトル上の指定飛行時間領域での信号カウント数を積分し、イオンの信号カウント数Ｃを中枢コンピュータに入力する。次にステップＳ１２で、微少電流計により光ダイオード検出器の電流値Ｉの取り込みを行ない、ステップＳ１３では、ステップＳ５で求められた実際のエネルギー値Ｅと電流値Ｉにより、光フラックスの計算を行ない、極端紫外光のフラックスＰを求め、中枢コンピュータに入力する。
【００３３】
そして、ステップＳ１４では、イオンの信号カウント数Ｃ、膜厚計の蒸着量Ａ、極端紫外光のフラックスＰを用いて、中枢コンピュータが、Ｙ＝１×１０7 Ｃ/ＡＰに基づいて、イオン収量Ｙを求めて、制御フローは終了する。
【００３４】
本発明装置を用いたこのような分析による、フラーレンＣ60を用いた２３から１８０ｅＶにおけるイオン化収量曲線の測定について例をとる。ヒーター温度が３８０℃付近を越えるとＣ60の昇華が観測される。チャンバー内圧力も次第に上昇し、加熱前の１０-8Ｔｏｒｒから約１×１０-7 Ｔｏｒｒまで変化した。
【００３５】
試料充填容器底部の温度Ｔに対する昇華速度の変化を図５に示す。昇華速度曲線の再現性は±１０％以内と良好である。また試料の量が最初の半分まで減少しても、昇華速度のＴ依存性には変化が見られなかった。このことから、容器中での突沸や温度分布の不均一化は起こつていないことがわかる。また、コニカルノズル咽喉部での試料の目詰まりも検知されないことから、コニカルノズルは試料充填容器よりも十分に高温であると考えられる。
【００３６】
また、試験的に膜厚計と試料炉の距離を±２０ｍｍ前後させてみたが、図５の曲線に変化は見られなかった。この実験から、試料炉が５００℃以上の高温になっても膜厚計の性能は変化しないと考えられる。一般に、膜厚計内の水晶振動子の感度は、熱により極端に変化し、５０℃以上では正常な周波数を示さないことが知られている。本発明では冷却水を常時循環させ振動子の温度を一定に保つ工夫を行っており、そのおかげで試料炉からの熱輻射の影響はほとんど無視できることが示された。本発明の膜厚計による試料濃度の検出限界は、フラーレンＣ60の場合はそれぞれ３×１０7 molecules ｃｍ-3 と推定された。
【００３７】
次に、試料温度４６０−４８０℃、昇華速度４.６−６.３ｎｇ ｓ-1の条件下、Ｃ60試料に５０ｅＶの放射光（波長２４.８ｎｍ）を照射した。その時の光イオン化で生成するイオンの飛行時間分解質量スペクトルを図６に示す。Ｈ2Ｏ+、Ｃ60+ 、Ｃ602+、Ｃ603+のイオンのピークが分離されている。
【００３８】
また、質量と電荷の比、ｍ/ｚが２０−１００にかけて、複数のイオンが存在するが、それらはまだ同定されていない。これら未同定のイオンは、もともと試料炉内部やヒーターに吸蔵されていた不純物が、加熱によって真空中に放出されたものと予想される。
【００３９】
更に、各イオンのピークは幅が広くｍ/ｚの近いイオン種同士でピークが重なってしまう現象が見られた。但し、図１に示した押出し電極２と引き込み電極３の２枚組の代わりに、２重集束型の３枚組み電極を用いれば質量分解能の大幅な向上が見込める。
【００４０】
次に、図６と同様のスペクトルをさまざまな光子エネルギーについて測定した。そしてＣ60+ イオンのピーク面積を光子エネルギーに関してプロットすることで、図７（ａ）（ｂ）に示すようなＣ60+ の収量曲線を求めた。収量は光子エネルギーが増加するに従って減少するが、２０−５０ eＶの領域には複数の微細構造が観測される。
【００４１】
これらの微細構造はＣ60の価電子がイオン化される途中で、フラーレンの電子ポテンシャルにフエムト秒以下の僅かな時間だけトラップされる現象に基づくと説明される。このような１電子励起形状共鳴がフラーレンで検出されたのは今回が初めてである。
【００４２】
仮に質量分析計を置かずにイオンすべてを収集してイオン収量曲線を測定したとすると、１価のイオンだけでなく同程度の強度を持つ多価イオンの寄与も含まれてしまう。一般に、価数が異なると収量曲線の形状は全く異なるので、図７の微細構造を判別するにはｍ/ｚ値を選別することは必須である。
【００４３】
２０−５０ｅＶのエネルギー領域では、Ｃ60+ イオンの収量曲線は吸収スペクトルと同等である。気相Ｃ60フラーレンは過去１０年来多くの分光研究がなされているが、図７（ａ）のように信頼性の高い吸収スペクトルはこれまで報告されていない。本発明装置を用いることで、光子エネルギーを連続的に変えながら、高い精度でフラーレンの吸収スペクトルを測定することが初めて可能となった。
【００４４】
これまで述べてきたとおり、図６と図７の測定には連続的に光子エネルギーを変えられる放射光を使用した。しかし、放射光の代わりに真空紫外城の連続光源であれば、放電ランプやレーザーを利用しても構わない。但し、イオン化領域における光のサイズが、イオンの引出し方向に沿って３ｍｍを超えると飛行時間スペクトルの質量分解能が著しく悪化する。
【００４５】
このように、本発明の高沸点物質を対象にした極端紫外光イオン化質量分析装置は、試料炉、質量分析計、膜厚計、光ダイオード検出器から構成されていて、試料を加熱してイオン化室に気体の中性状態で導入し、１０ｋＨｚのパルス押出し法によって飛行時間分解質量スペクトルを測定し、高速多チャネルスケーラと中枢コンピュータでデータを収集・処理した。
【００４６】
同時に、このコンピュータからＧＰＩＢインターフェースとネットワークを用いて装置の制御も行った。その結果、光子エネルギー（波長）を連続的に変えながら質量スペクトルを取得し、しかも、任意の３種類のイオンについて、自動的にイオン収量曲線を測定することが可能となった。その際、イオン化領域での試料濃度と光フラックスを常に監視し、それらの値をコンピュータに転送してイオン収量を規格化した。
【００４７】
以上の手続きにより、正確で再現性の良いイオン収量曲線を短時間かつ自動的に取得するための装置システムが初めて達成された。また、試料炉が５００℃以上の高温になっても試料は安定に昇華供給され、膜厚計の性能も良好に保たれていることを、フラーレンＣ60固体試料を用いて確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の装置は、正確で再現性の良いイオン収量曲線を短時間かつ自動的に取得するための高沸点物質試料を対象にした極端紫外光イオン化質量分析装置として利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の高沸点物質用の光イオン化質量分析装置の模式図。
【図２】本発明の試料炉の拡大図。
【図３】本発明装置の制御機器および計測機器の接続態様図。
【図４】イオン収量曲線を取得する制御フロー。
【図５】試料充填容器底部の温度Ｔに対する昇華速度の関係。
【図６】イオンの飛行時間分解質量スペクトル図。
【図７】試料に照射した光の光子エネルギー（波長）とイオン収量の関係図。
【符号の説明】
【００５０】
１            試料炉
２            押出し電極
３            引き込み電極
４            イオン飛行管
５            ２次電子増倍板
６            膜厚計
７            試料充填容器
８            カートリッジヒーター
９            コニカルノズル
１０          熱輻射防御筒
１１          前置増幅器
１２          波高弁別器
１３          高速多チャネルスケーラ
１４          遅延信号発生器
１５          高圧パルス発生器
１６          時間波高変換器
１７          高速カウンター
１８          膜厚計制御ユニット
１９          微少電流計
２０          パルスモーター制御装置
２１          分光器スリット並進機構
２２          分光器回折格子の回転機構
２３          中枢コンピュータ
【図１】
2005276679.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005276679.tif 000005
【図４】
2005276679.tif 000006
【図５】
2005276679.tif 000007
【図６】
2005276679.tif 000008
【図７】
2005276679.tif 000009