(57)【要約】【課題】紫外線照射装置の光量を安定させ、またＬＥＤの寿命を予知する。【解決手段】紫外線照射装置は、紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子を備える一以上のヘッド部１２０と、ヘッド部１２０の紫外線照射条件を設定可能な制御部１１４と、半導体素子に駆動信号を供給する電源部１１２とを備えるコントローラ部１１０と、ヘッド部１２０とコントローラ部１１０とを電気的に接続するための電気信号線を備えるケーブル部１３０とを備える。ヘッド部１２０は、半導体素子から照射される紫外線の光量を検出可能な受光素子１５２を備えており、受光素子１５２で検出された紫外線光量の情報に基づいて、紫外線照射量が所望値となるように駆動信号を調整するよう構成される。これにより、実際に出力される紫外線の照射量をフィードバック制御して所望の紫外線照射を安定して得ることができる。【選択図】図２
2005227241.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子を備える一以上のヘッド部(120)と、
ヘッド部(120)の紫外線照射条件を設定可能な制御部(114)と、前記半導体素子に駆動信号を供給する電源部(112)とを備えるコントローラ部(110)と、
前記ヘッド部(120)とコントローラ部(110)とを電気的に接続するための電気信号線を備えるケーブル部(130)と、
を備える紫外線照射装置であって、
前記ヘッド部(120)が、前記半導体素子から照射される紫外線の光量を検出可能な受光素子(152)を備えており、
前記受光素子(152)で検出された紫外線光量の情報に基づいて、紫外線照射量が所望値となるように駆動信号を調整するよう構成されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子を備える一以上のヘッド部(120)と、
ヘッド部(120)の紫外線照射条件を設定可能な制御部(114)と、前記半導体素子に駆動信号を供給する電源部(112)とを備えるコントローラ部(110)と、
前記ヘッド部(120)とコントローラ部(110)とを電気的に接続するための電気信号線を備えるケーブル部(130)と、
を備える紫外線照射装置であって、
前記ヘッド部(120)が、前記半導体素子から照射される紫外線の光量を検出可能な受光素子(152)を備えており、
前記受光素子(152)で検出された紫外線光量の情報に基づいて前記半導体素子の出力低下を検出し、出力低下が所定値に達すると前記制御部が警告を発するよう構成されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項３】
紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子を備える一以上のヘッド部(120)と、
ヘッド部(120)の紫外線照射条件を設定可能な制御部(114)と、前記半導体素子に駆動信号を供給する電源部(112)とを備えるコントローラ部(110)と、
前記ヘッド部(120)とコントローラ部(110)とを電気的に接続するための電気信号線を備えるケーブル部(130)と、
を備える紫外線照射装置であって、
前記ヘッド部(120)が、前記半導体素子から照射される紫外線出力の履歴を記録可能なメモリ部(1227)を備えており、
前記メモリ部(1227)に記録された履歴情報に基づき、各ヘッド部(120)の半導体素子毎に予め記録された紫外線出力に伴う素子の低下を示す特性曲線を参照して、紫外線出力の低下を考慮した半導体素子の駆動信号の補正値を演算して、補正値に相当する駆動信号を増加させるよう制御することを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、前記制御部が前記受光素子(152)で検出された紫外線光量の情報に基づいて所定の演算を行うことを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項５】
請求項１から３のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、前記ヘッド部(120)は、前記受光素子(152)で検出された紫外線光量の情報に基づいて所定の演算を行うためのヘッド制御部(123)を備えることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、前記ヘッド部(120)が、
前記半導体素子(150)の紫外線照射部分に近接して配置され半導体素子(150)からの紫外光を偏光又は集光して外部に照射するためのレンズ部(1260)と、
前記半導体素子およびレンズ部(1260)を内蔵し、一の方向に延長された形状に形成されたヘッド本体部(122)と、
を備えており、前記ヘッド本体部(122)の長手方向と垂直な端面に、前記半導体素子からの紫外線が照射されるレンズ部(1260)が配置されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項７】
請求項１から５のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、前記ヘッド部(120)が、
前記半導体素子(150)の紫外線照射部分に近接して配置され半導体素子(150)からの紫外光を偏光又は集光して外部に照射するためのレンズ部(1260)と、
前記半導体素子およびレンズ部(1260)を内蔵し、一の方向に延長された形状に形成されたヘッド本体部(122)と、
を備えており、前記ヘッド本体部(122)の長手方向と平行な側面に、前記半導体素子からの紫外線が照射されるレンズ部(1260)が配置されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項８】
請求項６または７のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、前記レンズ部(1260)がヘッド本体部(122)に交換可能に装着されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、
前記受光素子(152)が、前記半導体素子の側方で漏れ光を受光可能な姿勢に配置されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、
前記受光素子(152)の前面に、前記受光素子(152)を覆う開閉可能なシャッタを配置して、シャッタ閉塞時に前記半導体素子からの紫外線の漏れ光が曝されないようにシャッタを開閉可能としてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、
前記受光素子(152)が、前記半導体素子から照射される紫外線の光量を所定のタイミングで検出するよう構成されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載の紫外線照射装置であって、
前記受光素子(152)が受光するタイミングに同期させて前記シャッタを開放するようシャッタの開閉が制御されることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項１３】
請求項１１または１２に記載の紫外線照射装置であって、
前記受光素子(152)が紫外線の光量を検出するタイミングが、紫外線照射装置の電源投入時であることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項１４】
請求項１１または１２に記載の紫外線照射装置であって、
前記受光素子(152)が紫外線の光量を検出するタイミングが、所定の時間間隔と、紫外線照射とが一致するタイミングであることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、
前記受光素子(152)がフォトダイオードであることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項１６】
請求項１から１５のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、
前記コントローラ部(110)が、複数のヘッド部(120)毎に個別の紫外線照射条件を設定可能に構成してなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項１７】
請求項１から１６のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、
前記半導体素子(150)が紫外線発光ダイオード(151)であることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項１８】
紫外線照射装置で紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射して硬化させる紫外線照射方法であって、
紫外線照射装置のヘッド部(120)に備えられた半導体素子から照射される紫外線の光量を、前記半導体素子の側方に配置された受光素子(152)で半導体素子からの漏れ光を受光することにより検出するステップと、
検出された紫外線光量をアナログ信号からデジタル信号に変換してコントローラ部(110)の制御部に送出するステップと、
前記制御部で紫外線照射量が所望値となるように駆動信号を調整するステップと、
を有することを特徴とする紫外線照射方法。
【請求項１９】
紫外線照射装置で紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射して硬化させる紫外線照射方法であって、
紫外線照射装置のヘッド部(120)に備えられた半導体素子から照射される紫外線出力の履歴を前記ヘッド部(120)に備えられたメモリ部(1227)で記録するステップと、
前記メモリ部(1227)に記録された履歴情報に基づき、各ヘッド部(120)の半導体素子毎に予め記録された紫外線出力に伴う素子の低下を示す特性曲線を参照して、紫外線出力の低下を考慮した半導体素子の駆動信号の補正値を演算して、補正値に相当する駆動信号を増加させるよう制御するステップと、
を有することを特徴とする紫外線照射方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小物部品の接着等に使用される紫外線硬化型の樹脂を硬化させる紫外線を照射する紫外線照射装置及び紫外線照射方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、医療分野での生体内外部の紫外線照射による殺菌、治療、分光（発光）診断や、鉱物や古墳深部の観察等の分野、あるいは電子部品の組み立て作業における紫外線硬化型の樹脂を硬化させる目的等に、紫外線照射装置が利用されている。この内、紫外線硬化型の樹脂を硬化させる紫外線照射装置は、レジスト皮膜の形成や印刷の分野から光ピックアップ等の組立工程における小物部品の接着固定の分野まで広く使用されている紫外線硬化型の樹脂に対して紫外線を照射する目的で利用される。このタイプの紫外線照射装置は、電源回路等を内蔵した装置本体であるコントローラと、紫外線を照射するヘッドと、これらを接続するケーブルとを備えている。従来の紫外線照射装置は、紫外線源として高圧水銀ランプや水銀キセノンランプ、メタルハライドランプ等をコントローラに内蔵し、石英ガラス等の光ファイバでコントローラからヘッドまで紫外線を伝達して、ヘッドから紫外線を照射していた（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−２０９４９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような高圧水銀ランプ等を使用したランプ式の紫外線照射装置では、紫外線源に高圧水銀ランプや水銀キセノンランプを使用しているため、発熱量及び消費電力も大きく、冷却機構が必要で装置が大型化し高価になる上、常時点灯している構造のためエネルギー消費量が大きい、立ち上がり、立ち下がりに時間がかかる、ランプの寿命が短くなる等の欠点があった。加えて、紫外線出力の調整は機械的なシャッタで行われる構造のため、微細な調整が困難である。さらに、ランプが劣化してくるとガラスにクラックが生じることがあり、ガラス管内部に封入した高圧ガスによってガラス管が破裂する危険がある。このため、一定時間経過したランプは必ず交換する必要があり、ランニングコストが高くなることに加えて毎日など定期的に交換の確認作業を行う必要があり、手間がかかっていた。
【０００４】
これに対し出願人は、このような問題点を解決するものとして、紫外線源として紫外線発光ダイオード（ＵＶＬＥＤ）を使用し、かつＬＥＤを本体のコントローラでなくヘッド側に設けた紫外線照射装置を開発した（特願２００３−１５８９５８号、特願２００３−４２５５５２号等）。これらの紫外線照射装置は、半導体素子であるＵＶＬＥＤを使用しているため、出力の微調整が可能で高速に動作でき、長寿命で信頼性が高く、かつ低消費電力で使用できるといった優れた特長が得られる。ただ、ＵＶＬＥＤは高圧水銀ランプや水銀キセノンランプに比較すれば飛躍的に長寿命ではあるものの、使用するにつれて出力が徐々に低下することは避けられない。電流駆動されるＵＶＬＥＤを長期にわたって使用し続けた場合、入力電流に対する出力値が徐々に低下していくため、紫外線照射量も低下するという問題があった。このため、半導体素子の劣化に伴い所望の紫外線照射量が得られず、また劣化が著しい場合は素子の交換が必要となる。しかしながら半導体素子は劣化の進行が極めてゆっくりであり、急激な出力低下が見られない上交換のスパンが長期間となるため、実際の紫外線照射量の測定や素子の交換作業を逸することが生じ得、長期にわたって正確な使用を継続することの妨げとなることが考えられる。
【０００５】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、本発明の主な目的は、長期にわたって安定して使用可能とした紫外線照射装置及び紫外線照射方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明の紫外線照射装置は、紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子を備える一以上のヘッド部１２０と、ヘッド部１２０の紫外線照射条件を設定可能な制御部１１４と、半導体素子に駆動信号を供給する電源部１１２とを備えるコントローラ部１１０と、ヘッド部１２０とコントローラ部１１０とを電気的に接続するための電気信号線を備えるケーブル部１３０とを備える。この紫外線照射装置は、ヘッド部１２０が、半導体素子から照射される紫外線の光量を検出可能な受光素子１５２を備えており、受光素子１５２で検出された紫外線光量の情報に基づいて、紫外線照射量が所望値となるように駆動信号を調整するよう構成される。これにより、実際に出力される紫外線の照射量をフィードバック制御して所望の紫外線照射を安定して得ることができる。例えば、半導体素子の劣化により同一の駆動信号であっても出力される紫外線照射量が低下したときでも、所望の紫外線出力が得られるように駆動信号を増すことにより、所望の紫外線照射量を維持できる。
【０００７】
また紫外線照射装置は、ヘッド部１２０が、半導体素子から照射される紫外線の光量を検出可能な受光素子１５２を備えており、受光素子１５２で検出された紫外線光量の情報に基づいて半導体素子の出力低下を検出し、出力低下が所定値に達すると制御部が警告を発するよう構成してもよい。これにより、半導体素子の出力が低下していることをユーザに通知でき、半導体素子の交換を促すことができる。
【０００８】
さらに紫外線照射装置は、ヘッド部１２０が、半導体素子から照射される紫外線出力の履歴を記録可能なメモリ部１２２７を備えており、メモリ部１２２７に記録された履歴情報に基づき、各ヘッド部１２０の半導体素子毎に予め記録された紫外線出力に伴う素子の低下を示す特性曲線を参照して、紫外線出力の低下を考慮した半導体素子の駆動信号の補正値を演算して、補正値に相当する駆動信号を増加させるよう制御することもできる。これにより、実際に出力された紫外線量に基づいて現在の主力低下を予測でき、これに応じて駆動信号値を補正して正確な紫外線照射が可能となる。
【０００９】
さらにまた紫外線照射装置は、制御部が受光素子１５２で検出された紫外線光量の情報に基づいて所定の演算を行うことができる。これにより、受光素子１５２から送られる情報に基づいてコントローラ部で駆動信号の調整や警告の発令といった動作に必要な演算を行えるので、ヘッド部側の負担を少なくでき、ヘッド部の小型化、簡素化に寄与し得る。
【００１０】
一方紫外線照射装置は、ヘッド部１２０に、受光素子１５２で検出された紫外線光量の情報に基づいて所定の演算を行うためのヘッド制御部１２３を設けてもよい。これによって、各ヘッド部側で必要な演算を行った結果をコントローラ部に送出するため、特にヘッド部の接続台数が多い場合等にコントローラ部側の処理負担を軽減できる。
【００１１】
さらにまた紫外線照射装置は、ヘッド部１２０が、半導体素子１５０の紫外線照射部分に近接して配置され半導体素子１５０からの紫外光を偏光又は集光して外部に照射するためのレンズ部１２６０と、半導体素子およびレンズ部１２６０を内蔵し、一の方向に延長された形状に形成されたヘッド本体部１２２を備えており、ヘッド本体部１２２の長手方向と垂直な端面に、半導体素子からの紫外線が照射されるレンズ部１２６０が配置された構成とできる。この構成により、ヘッド部の先端面から紫外線を照射するタイプとして扱いやすい紫外線照射が実現できる。
【００１２】
さらにまた紫外線照射装置は、ヘッド部１２０が、半導体素子１５０の紫外線照射部分に近接して配置され半導体素子１５０からの紫外光を偏光又は集光して外部に照射するためのレンズ部１２６０と、半導体素子およびレンズ部１２６０を内蔵し、一の方向に延長された形状に形成されたヘッド本体部１２２とを備えており、ヘッド本体部１２２の長手方向と平行な側面に、半導体素子からの紫外線が照射されるレンズ部１２６０が配置された構成とできる。この構成により、ヘッド部の側面からの紫外線照射が可能となるため、隙間等に挿入して紫外線を横方向に照射する使用態様などに好適に利用できる。
【００１３】
さらにまた紫外線照射装置は、レンズ部１２６０をヘッド本体部１２２に交換可能に装着してもよい。レンズ部を交換可能とする構成によって、使用目的に応じて焦点距離などの異なるレンズに交換して便利に使用できる。
【００１４】
さらにまた紫外線照射装置は、受光素子１５２を、半導体素子の側方で漏れ光を受光可能な姿勢に配置することができる。これにより、外部に照射される紫外線の有効照射量を低減することなく、紫外線照射を検出できる。
【００１５】
さらにまた紫外線照射装置は、受光素子１５２の前面に、受光素子１５２を覆う開閉可能なシャッタを配置して、シャッタ閉塞時に半導体素子からの紫外線の漏れ光が曝されないようにシャッタを開閉可能としてもよい。この構成により、使用時以外にシャッタを閉塞して受光素子を紫外線照射から保護でき、紫外線による受光素子の劣化を低減できる。
【００１６】
さらにまた紫外線照射装置は、受光素子１５２が、半導体素子から照射される紫外線の光量を所定のタイミングで検出するよう構成することもできる。受光素子を常時使用しないことで、受光素子の寿命を長寿命化できる。特に紫外線源である半導体素子は、一般に劣化の進行が緩やかな傾向にあるため、受光量の変動は少なく常時出力をモニタせずとも支障なく使用できる。
【００１７】
さらにまた紫外線照射装置は、受光素子１５２が受光するタイミングに同期させてシャッタを開放するようシャッタの開閉が制御されるよう構成してもよい。受光素子を使用しないときはシャッタを閉じて紫外線照射に曝されないようすることで、紫外線による受光素子の劣化を低減できる。
【００１８】
さらにまた紫外線照射装置は、受光素子１５２が紫外線の光量を検出するタイミングを、紫外線照射装置の電源投入時としてもよい。これにより、電源ＯＮという決まった動作毎に紫外線光量をチェックして半導体素子の状態を定期的に確認できる。
【００１９】
さらにまた紫外線照射装置は、受光素子１５２が紫外線の光量を検出するタイミングが、所定の時間間隔と、紫外線照射とが一致するタイミングとすることもできる。これにより、受光素子の検出のみのために紫外線照射を行う必要がなく、装置の使用時に同時に光量を検出できるので、効率的に運用できる。
【００２０】
さらにまた紫外線照射装置は、好ましくは受光素子１５２をフォトダイオードとする。受光素子に半導体素子を使用することで信頼性高く安定して光量検出を行える。
【００２１】
さらにまた紫外線照射装置は、コントローラ部１１０が、複数のヘッド部１２０毎に個別の紫外線照射条件を設定可能に構成してもよい。これにより、ヘッド部毎に独立して紫外線照射が行えると共に、各ヘッド部の半導体素子の使用状況に応じた駆動信号補正や交換時期の通知を行える。
【００２２】
さらにまた紫外線照射装置は、好ましくは半導体素子１５０を紫外線発光ダイオード１５１とする。紫外線発光ダイオードは長寿命で高速に駆動でき、また小型で低消費電力で信頼性高く安定して使用できる。
【００２３】
一方、本発明の紫外線照射方法は、紫外線照射装置で紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射して硬化させる紫外線照射方法であって、紫外線照射装置のヘッド部１２０に備えられた半導体素子から照射される紫外線の光量を、半導体素子の側方に配置された受光素子１５２で半導体素子からの漏れ光を受光することにより検出するステップと、検出された紫外線光量をアナログ信号からデジタル信号に変換してコントローラ部１１０の制御部に送出するステップと、制御部で紫外線照射量が所望値となるように駆動信号を調整するステップとを有する。これにより、実際に出力される紫外線の照射量をフィードバック制御して所望の紫外線照射を安定して得ることができる。
【００２４】
また他の紫外線照射方法は、紫外線照射装置のヘッド部１２０に備えられた半導体素子から照射される紫外線出力の履歴をヘッド部１２０に備えられたメモリ部１２２７で記録するステップと、メモリ部１２２７に記録された履歴情報に基づき、各ヘッド部１２０の半導体素子毎に予め記録された紫外線出力に伴う素子の低下を示す特性曲線を参照して、紫外線出力の低下を考慮した半導体素子の駆動信号の補正値を演算して、補正値に相当する駆動信号を増加させるよう制御するステップとを有する。これにより、実際に出力された紫外線量に基づいて現在の主力低下を予測でき、これに応じて駆動信号値を補正して正確な紫外線照射が可能となる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の紫外線照射装置及び紫外線照射方法によれば、半導体素子の状態に応じた正確な紫外線照射が可能となる。それは、受光素子で半導体素子から紫外線照射量を検出して、検出量に応じたフィードバックにより所望の紫外線照射が得られるよう半導体素子の駆動信号を制御しているからである。また、受光素子で光量を検出することにより、半導体素子の出力が一定以上低下すると報知する機能が実現でき、これによって半導体素子の交換時期が容易に把握でき、メンテナンスの利便性が向上される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するための紫外線照射装置及び紫外線照射方法を例示するものであって、本発明は紫外線照射装置及び紫外線照射方法を以下のものに特定しない。さらに、本明細書は、特許請求の範囲を理解し易いように、実施の形態に示される部材に対応する番号を、「特許請求の範囲の欄」、及び「課題を解決するための手段の欄」に示される部材に付記している。ただ、特許請求の範囲に示される部材を、実施の形態の部材に特定するものでは決してない。なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。さらに、本発明を構成する各要素は、複数の要素を同一の部材で構成して一の部材で複数の要素を兼用する態様としてもよいし、逆に一の部材の機能を複数の部材で分担して実現することもできる。
【００２７】
図１に、本発明の実施の形態１に係る紫外線照射装置のブロック図を示す。この図に示す紫外線照射装置１００は、コントローラ部１１０とヘッド部１２０とがケーブル部１３０で接続される。ヘッド部１２０には、紫外線硬化型樹脂を硬化させるための紫外線を発する紫外線源である半導体素子１５０（ここではＵＶＬＥＤ１５１）が内蔵されている。コントローラ部１１０は、ヘッド部１２０の半導体素子１５０を駆動するための電源部１１２及び制御部１１４、記憶部１１６を備え、ケーブル部１３０を介して半導体素子１５０の駆動信号（電気信号）をヘッド部１２０に送信する。
【００２８】
（紫外線照射量の安定化）
またヘッド部１２０は、受光素子１５２、ヘッド制御部１２３およびメモリ部１２２７（後述）を備えている。受光素子１５２は、半導体素子から照射される紫外線Ｕの一部を受光して、受光した信号をヘッド制御部１２３に送る。ヘッド制御部１２３はこの情報をコントローラ部１１０の制御部１１４に送出し、半導体素子から出力される紫外線出力を把握し、所望の紫外線照射が得られるように駆動信号を補正する。このように実際に出力される紫外線照射の値を検出し、この値に基づいて入力値（駆動信号）を調整するフィードバック制御によって、正確な紫外線照射が実現される。
【００２９】
本発明の実施の形態２として、フィードバック制御の一例を、図２に示す紫外線照射装置２００のブロック図に基づいて説明する。制御部２１４は、設定部（後述）で設定された紫外線照射条件に基づいて、所望の出力を得るために必要な半導体素子の駆動信号を演算する。演算された値はＤ／Ａ変換部２１９によってデジタル信号からアナログ信号に変換され、駆動回路２１８に送出される。駆動回路２１８は半導体素子を駆動するための回路であり、半導体素子がＵＶＬＥＤの場合はＵＶＬＥＤ２５１を電流駆動するドライブ回路として定電流回路等で構成される。駆動回路２１８からケーブル部２３０を介してヘッド部２２０に供給された駆動電流は、ヘッド制御部を介して（あるいは直接）ＵＶＬＥＤ２５１に供給される。ＵＶＬＥＤ２５１から照射される紫外線の一部は、ヘッド部２２０内部に設置された受光素子２５２で受光され、受光回路２２３３でアナログの電気信号に変換される。受光回路２２３３はヘッド制御部で実現することもできる。変換された電気信号はケーブル部２３０を介してコントローラ部２１０に送出され、Ａ／Ｄ変換部２１９１でデジタル信号に変換されて制御部２１４で受信される。制御部２１４は、ＵＶＬＥＤ２５１からの紫外線量が一定となるようにＵＶＬＥＤ２５１の駆動電流を制御する。すなわち、設定部で設定された出力に満たないときは駆動電流を増し、出力が設定値を超える場合は駆動電流を減じる制御を行う。これにより半導体素子毎の特性のばらつきや使用による劣化等によらず、安定した紫外線照射が実現される。なお、上記は一例であって、例えば受光回路を省略して受光された信号を制御部で直接取り込むこともできる。
【００３０】
（半導体素子の寿命予知）
また、受光素子で半導体素子の出力をモニタすることにより、経年劣化や寿命による半導体素子の交換時期を把握することもできる。例えば、半導体素子の出力値が予め設定された出力値以下に低下した場合に、紫外線照射装置は警報を発し、ユーザに半導体素子の交換を促す。これにより、ユーザは交換時期を記録したり定期的に出力や経過時間の確認をすることなく、紫外線照射装置の通知によってこれらを意識せずとも交換時期を逸することがなくなり、正しい時期に確実に交換作業を行うことができ、正確な紫外線照射を維持できる。以下、本発明の実施の形態３としてＵＶＬＥＤの寿命予測の一例を示す。図２の回路において、ＵＶＬＥＤ２５１から出力される紫外線を受光素子２５２で検出し、受光回路２２３３で電気信号に変換する。変換した電気信号は積分器に入力して単位時間当たりのフィードバック量を算出する。フィードバック信号はコントローラ部２１０に送られ、フィードバック信号に該当する駆動電流が増加される。一方でフィードバック量は時間積分され、積分値が予め設定された規定値を超えた時点でＵＶＬＥＤ２５１の劣化が規定を超えたものと判断し、警告を発する。規定値は、ＵＶＬＥＤ２５１の特性および要求される紫外線量等に基づいて予め設定される。特にフィードバック量が一定量を超えると設定された紫外線出力を下回ってしまうため、出力の維持が困難となる時点を寿命として設定する。なお、積分器はアナログ回路で構成する例、デジタル処理する例などが採用できる。アナログ回路を採用する場合は、ヘッド部２２０側で処理し、処理結果をコントローラ部２１０側に送出する。なお受光回路や積分器はヘッド制御部で実現することができるが、別部材としてもよい。一方デジタル処理する場合は、受光回路２２３３からコントローラ部２１０に出力されたアナログ信号をＡ／Ｄ変換部２１９１でデジタル信号に変換し、制御部２１４に入力する。制御部２１４はフィードバック信号を一定間隔でサンプリングしてレジスタや外部メモリ等に順次加算していく。そして単位時間当たりの加算値をあらかじめ設定した規定値と比較し、既定値を超えた場合に寿命に達したと判定する。このように制御部２１４を構成するＣＰＵ等の演算素子でデジタル的なカウンタによって処理することもでき、この場合はヘッド部側の処理を低減できるのでヘッド部を簡素化、小型化し得るという利点が得られる。
【００３１】
（警告）
半導体素子が寿命に達したときの警報の手段としては、コントローラ部２１０の表示部（後述）にメッセージを表示する方法、点滅パターンの変化や色変化、あるいは交換時期を知らせる専用の表示部を設けるといった視覚的な手段、あるいはこれに加えてアラームや警告音、音声ガイダンスによる通知など聴覚に訴える方法、該当する半導体素子を備えるヘッド部２２０のバイブレーションによる物理的な通知手段や、該ヘッド部２２０の動作を強制的に停止し交換が完了するまで復旧しない方法等が適宜利用できる。また、コントローラ部２１０が警告信号を外部に送信して外部接続機器で警告表示など所定の動作を行わせることもできる。一方、一のヘッド部に複数の半導体素子を備える構成においては、各半導体素子毎に寿命を確認でき、例えば一の半導体素子が寿命に達したとき、交換せずとも他の半導体素子を駆動させ、すべての半導体素子が寿命に達したときに交換を行うよう促す、あるいは一以上の所定数の半導体素子が寿命に達したとき交換を促すなど、様々な態様が適宜採用できる。また、寿命による劣化以外に、電気的な接触不良や断線によっても半導体素子の出力が不安定となったり、動作しないこともある。このため、電流の通電状態をモニタし、通電しない場合に警告を発する断線検知機能を付加しても良い。あるいは、半導体素子等の駆動素子の入力側端子と出力側端子の電気的状態に基づいて駆動回路系の動作不良を検出することもできる。これによって、電気接触に起因する問題を容易に検出でき、紫外線照射装置の設置時やメンテナンス作業を容易にできる。
【００３２】
（紫外線量監視のタイミング）
上記の受光素子を利用した出力安定化、寿命検出のいずれにおいても、紫外線出力の検出は常時継続して行う他、所定のタイミングで受光素子を動作させて検出することもできる。常時検出する方法では、紫外線量が設定された量よりも低下してもリアルタイムで補正されて出力が一定に維持されるメリットがある。一方、半導体素子の劣化は一般にゆっくり進むため、常時モニタせずとも正確な制御が行える。そこで、継続的でなく離散的なタイミングで出力の監視を行うことでも十分な紫外線照射が実現できる。また、この方法であれば受光素子の駆動時間を短くできるので、受光素子の長寿命化が図られる。さらに受光素子の非使用時に紫外線が照射されないように保護することで、紫外線による受光素子の劣化も防止できる。例えば、紫外線照射装置の電源ＯＮ時、ＯＦＦ時、紫外線を照射する度又は紫外線照射のトリガ入力のタイミングといった所定の動作の度に受光動作を行う。あるいは所定の時間間隔で検出を行うこともできる。所定の時間間隔で検出する場合は、一定周期で紫外線を実際に照射して受光量をモニタすることもできるが、好ましくは紫外線照射装置の使用により紫外線が出力されている期間と、一定周期が重なるタイミングで受光量の検出を行うようにする。この方法によれば、受光素子の動作のみのために紫外線照射を行う必要がない。また一定周期で紫外線出力をモニタする方法では、紫外線照射装置の非使用時であっても定期的に紫外線が照射されることとなり、ユーザが意図しないタイミングで紫外線が出力されることが起こり得る。よって、ユーザの使用時と検出タイミングのＡＮＤを取り、検出タイミングと紫外線照射が合致したときのみ検出を行うよう構成することで、安全にかつ効率的に紫外線出力を確認できる。
【００３３】
（劣化曲線からの予測）
以上は、受光素子を利用した紫外線出力の安定化および半導体素子の交換時期監視を説明した。次に、受光素子を使用することなく半導体素子の使用による劣化の特性に基づいて劣化の度合いを予測する方法について説明する。半導体素子は、一般に使用時間および出力に応じて実際の出力が低下していく様子がある程度一意的であるため、この特性曲線を予め記憶しておき、かつ半導体素子の使用履歴すなわち使用時間と出力とを記録し、これらを対比することで劣化の進行具合をある程度予測することができる。これによれば、受光素子によるモニタを行わずとも履歴情報から劣化の分を考慮した駆動信号の補正や交換時期の警告が行える。以下、本発明の実施の形態４として、予測方法の一例を図３に示す紫外線照射装置のブロック図、および図４、図５のグラフに基づいて説明する。図３の紫外線照射装置３００は、ヘッド部３２０毎にメモリ部３２２７を備えている。メモリ部３２２７は、半導体素子の一形態であるＵＶＬＥＤ３５１を実駆動した履歴情報として、紫外線を照射した駆動時間と、出力に相当する駆動電流とを記録する。ＵＶＬＥＤの劣化は、駆動時間と出力とを積算した積算出力に依存して決定される。積算出力を演算して出力の劣化を算出する方法を図４および図５に示す。図４は駆動電流を一定としたとき駆動時間と共に紫外線出力が低下していく劣化曲線を示すグラフであり、図５は、駆動電流を一定としたときのＵＶＬＥＤ出力の劣化曲線を折れ線で示している。この例では、駆動時間ｔ１における積算出力Ｍを斜線領域で示す。この積算出力Ｍは、一定の駆動電流で駆動時間ｔ１紫外線を照射したときの紫外線量が、当初の１００％より２０％低下することを示している。駆動電流が一定電流よりも多い場合は、積算出力が増加するため、より長い時間照射したものと近似される。このように、積分された面積に相当するグラフの位置を算出することにより、出力の低下が決定される。この駆動時間と出力は、紫外線照射の度にメモリ部３２２７にリアルタイムで記録され、同時に積算出力も演算される。そして積算出力に応じて紫外線量の低下が決定されると、これに応じて駆動電流を補正して所定の紫外線量が得られるように駆動電流を多くする。これによって常に一定範囲内の紫外線量が維持される。
【００３４】
ＵＶＬＥＤの劣化曲線、すなわち駆動電流を一定としたときの駆動時間に対する紫外線量出力低下を示すグラフは、予めメモリ部３２２７に保持される。図４に、ＵＶＬＥＤの劣化曲線の一例を示す。この例では、駆動電流を７００ｍＡとしたときの劣化曲線を実線で、５００ｍＡとしたときの劣化曲線を破線で示している。このように、劣化曲線は使用される半導体素子に応じてほぼ一意的に決まるため、使用される半導体素子の劣化曲線をメモリ部３２２７で保持しておき、実際の駆動時間と出力とで得られる積算出力を参照することによって劣化を演算でき、これに応じて駆動電流を多くして出力値を所望の値に維持できる。さらに劣化が所定値まで進むと、交換時期に至ったと判定して警告を行い、ユーザに交換を促すこともできる。これらの出力維持や警告の詳細は、上記実施例や既知の方法と同様の手法が適宜採用できる。
【００３５】
なお、メモリ部３２２７で記録された照射履歴と劣化曲線から劣化を予測する処理は、ヘッド部側で行わせる他、コントローラ部側で行わせてもよい。コントローラ部３１０側で行う場合は、記憶部３１６に劣化曲線を予め記憶させ、制御部３１４で演算を行う。またヘッド部３２０側で処理を行う場合は、上述の通りメモリ部３２２７に劣化曲線を予め記憶させ、ヘッド制御部３２３にて必要な演算を行う。なおメモリ部はヘッド制御部と一体に構成してもよい。さらに、劣化曲線を使用する方法に代わって、予め半導体素子の照射履歴に応じた出力の低下を示したルックアップテーブルを作成しておき、これを参照する方法等も採用できる。以上のようにして、実際の積算出力と代表的な劣化曲線から求められる積算出力とを比較しながら、自動的に駆動電流を増やして紫外線量の出力値を補正し、所望の紫外線照射を安定して得ることができ、また交換時期の報知機能によって交換時期を失することがなく、長期間にわたって正確な紫外線照射を維持することができる。
【００３６】
次に、紫外線照射装置の動作について図１に戻って説明する。紫外線照射装置は、紫外線照射条件を設定する設定モードと、実際に紫外線を照射する照射モードとを切替可能である。設定モードにおいて設定部（後述）で設定された紫外線照射条件は、記憶部１１６に保存される。設定部は、複数の紫外線照射条件を設定して記憶部１１６に保存する。照射モード時に制御部１１４が記憶部１１６から必要な紫外線照射条件設定を呼び出し、この設定に従って制御部１１４は電源部１１２からヘッド部１２０に駆動電流を供給し、ヘッド部１２０の半導体素子１５０を制御する。紫外線照射条件は、各ヘッド部毎に独立して設定可能である。
【００３７】
コントローラ部１１０は、ヘッド部１２０を接続するためのヘッド部接続部１６０を設けている。図１の例ではヘッド部を一台のみ接続しているが、複数のヘッド部接続部１６０を設けて一台のコントローラ部に複数のヘッド部を接続可能とすることができる。複数のヘッド部接続部１６０は、それぞれ固有のチャンネル番号を割り当てられており、チャンネル番号によって他のヘッド部接続部と区別される。またヘッド部１２０は、各ヘッド部１２０をチャンネル毎に区別する識別情報を表示可能な識別部を設けてもよい。識別情報は、チャンネル番号に関する情報を表示することで、ユーザがヘッド部毎に割り当てられたチャンネル番号を理解し、これによって複数のヘッド部を相互に区別する。識別情報の表示は、直接的にチャンネル番号を表示する他、複数の点灯の組み合わせや点灯パターン等が利用できる。したがって、ここでいう表示には、数字や文字情報の表示のみならず、点灯による情報表示も含む。また点灯には、連続的な灯火表示の他、点滅や強弱を付けた点灯表示も含む。ヘッド部１２０の識別を行うときは、紫外線照射装置に対して識別動作の実行をコントローラ部１１０の設定部から指示する。識別動作が指示されると、コントローラ部１１０の制御部１１４は識別信号を生成し、ヘッド部１２０側に送出する。ヘッド部１２０は、識別信号を受けると識別部に識別情報を表示する。ユーザはヘッド部１２０の識別部に表示される識別情報を見てチャンネル番号を把握し、これに基づいてヘッド部１２０を区別できる。識別部は、識別情報を示すための表示を行う部材であり、点灯部を備える。点灯部は発光素子で構成され、例えば電球や半導体発光素子が使用できる。好適にはＬＥＤが使用される。
【００３８】
（半導体素子）
紫外線源である半導体素子には、発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ（ＬＤ）等の半導体発光素子が利用できる。これらの半導体素子は水銀キセノンランプ等に比して小型で高効率であり発熱量も少なく、長寿命で機械的振動にも強いといった優れた特長を備えており、理想的に使用できる。本実施の形態においては、半導体素子として直接紫外光を照射する紫外線発光ダイオード（ＵＶＬＥＤ）を使用する。ＵＶＬＥＤは、例えば活性層（発光層）に一般式がＩｎｘＡｌｙＧａ１−ｘ−ｙＮ（０≦ｘ、０≦ｙ、ｘ＋ｙ≦１）で表される窒化物系化合物半導体を使用したものが利用できる。また発光層にはダブルへテロ構造や単一量子井戸構造（ＳＱＷ）、多重量子井戸構造（ＭＱＷ）等を適宜採用できる。なお、紫外線を直接照射するＵＶＬＥＤに限られず、例えば波長変換素子等を使ってＬＥＤの照射光を紫外光に変換する構成も適宜採用できることは言うまでもない。ＵＶＬＥＤは必要時のみ点灯し、言い換えると常時点灯させないことで、電力消費を抑え、ＵＶＬＥＤの寿命を長くできる。半導体素子から出力される紫外線の波長としては、３００〜４００ｎｍ近傍、例えば波長３８０ｎｍ付近、あるいは３６５ｎｍ付近の近紫外線が利用でき、使用される紫外線硬化型樹脂に応じて波長が決定される。
【００３９】
（紫外線硬化型樹脂）
紫外線硬化型樹脂としては、紫外線を照射されると硬化するあらゆる樹脂が採用でき、例えば脂環式エポキシ樹脂及びグリシジル基含有エポキシ樹脂を含むエポキシ樹脂や紫外線活性化カチオン重合触媒、カチオン重合抑制剤を含む樹脂等が利用できる。このような紫外線硬化型樹脂組成物を対象物の表面に塗布した後、紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂組成物の硬化皮膜を形成する。
【００４０】
（ケーブル部１３０）
ケーブル部１３０は電源線と信号線を束ねたワイヤーハーネスが使用される。このケーブル部１３０は、光ファイバ等の光路を含まないシンプルな電気信号線であるため、折曲角の制限や光減衰等に起因する全長の制約を受けず、従来の紫外線照射装置で使用されていたフレキシブルケーブルに比して細くて軽くでき、柔軟性が高く取り扱いが極めて容易となる。また全長の制約もなく、長くすることもできる。このため複数台のヘッド部１２０に異なる紫外線照射条件を設定して使用する際、ケーブルを延長して一台の紫外線照射装置に接続できるので、システムの設計や配置にも柔軟に対応できる。
【００４１】
（ヘッド部１２０）
次にヘッド部１２０の外観を、実施の形態５として図６〜図９に示す。図６（ａ）はヘッド部１２０の正面図であり、図６（ｂ）は内部構造を示す部分断面図である。また図７〜図９は、ヘッド部１２０の分解図であり、図７は上方から見た分解斜視図を、図８は図７と逆の下方から見た分解斜視図を、図９は図８の連結コネクタ１２３１、１２４４を各々連結した状態を示す斜視図を、それぞれ示す。これらの図に示すヘッド部１２０は、基端側にケーブル部１３０が接続されたヘッド本体部１２２と、その先端側に着脱自在に結合した冷却ブロック１２４と、その先端側に着脱自在に結合した交換可能なレンズホルダ１２６とを備えている。ヘッド本体部１２２はユーザが把持できる程度の大きさとし、図７に示すように、上下に分かれるケース部材１２２１及び１２２２と、基端部材１２２３とが組み合わされた中空箱形のケースを備え、その内部に基板１２２４が収容されている。基端部材１２２３にはケーブル部１３０が接続されるケーブル用コネクタ１２２５が取り付けられ、ケーブル用コネクタ１２２５を介してケーブル部１３０と基板１２２４が電気的に接続される。
【００４２】
基板１２２４は、ケーブル部１３０から受けた駆動電流をＵＶＬＥＤ１５０に供給して駆動制御するための電子部品を備える。基板１２２４上には、紫外線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を表示するインジケータとして、インジケータＬＥＤ１２２６が実装されている。図７の例では、インジケータＬＥＤ１２２６を２つ配置して光量を増している。ただ、インジケータとして要求される光量や高輝度のＬＥＤを使用することにより、１のＬＥＤでも良いことは言うまでもない。また、３以上のＬＥＤとすることもできる。
【００４３】
基板１２２４上には、コントローラ部１１０の制御部１１４で生成された駆動信号を受けて、ＵＶＬＥＤ１５０に駆動電流を供給するための各種電子部品や、メモリ部１２２７、調整回路１２２８等が実装されている。メモリ部１２２７は、ヘッド部１２０の稼働時間を記憶し、またＵＶＬＥＤ１５０の初期特性を記録するため等に使用され、不揮発性メモリであるＥ２ＰＲＯＭが好適に利用できる。
【００４４】
（ＵＶＬＥＤ１５０の調整作業）
ＵＶＬＥＤ１５０等の半導体素子は、駆動電流に対する出力のリニアリティが良いが、上述の通り使用時間と共に出力が低下する傾向にある。経時劣化による出力の変動は、上述した受光素子や照射履歴を利用した出力の自動調整に加えて、実施の形態５では駆動電流を手動で調整することもできる。手動による駆動電流の調整は、図６（ｂ）等に示すような半固定抵抗（電流調整用トリマ）等の調整回路１２２８によって、各ヘッド部１２０毎に行う。なお図６（ｂ）の例では、調整回路１２２８を構成する半固定抵抗はヘッド部１２０内の基板に実装して外部から調整できないよう構成しており、これによって意図しない半固定抵抗の操作によって駆動電流が変更される事態を回避している。ただ、外部から駆動電流の調整作業を行えるような構成を採用することも可能である。例えば、特殊な形状の工具で抵抗値を調整できるようにする、あるいは小さな孔をヘッド部１２０のケースに開口して、この孔から抵抗値を調整可能とする、あるいはまたコントローラ部１１０やヘッド部１２０に設けられた個別設定スイッチの長押し等、特定の操作により調整回路１２２８の調整機能を呼び出せるようにする等の方法が採用できる。
【００４５】
このような駆動電流の調整を定期的に行うため、各ヘッド部１２０の使用時間が一定時間に達する毎に、ユーザに報告し、駆動電流の調整作業を促す。各ヘッド部１２０に設けられたメモリ部１２２７は、ＵＶＬＥＤ１５０の駆動時間の積算値、すなわち駆動積算時間を更新記憶する。コントローラ部１１０の制御部１１４は、Ｄ／Ａ変換部及びドライブ回路等を介してヘッド部１２０のＵＶＬＥＤ１５０の駆動を制御すると共に、その駆動時間の積算値をヘッド部１２０のメモリ部１２２７に書き込む。この書き込み（更新記憶）は、所定時間ごと（例えば１分ごと）に行われる。そして、制御部１１４は、メモリ部１２２７から読み出した駆動積算時間が所定の要調整時間に達すれば、ＵＶＬＥＤ１５０の調整作業を行うよう報知出力を行う。報知出力として、例えばＬＥＤの点滅表示やブザー鳴動等が使用される。あるいは、コントローラ部１１０にメッセージ表示可能な表示器が備えられている場合は、それを用いてＵＶＬＥＤ１５０の調整作業を促すメッセージの表示を行ってもよい。ユーザは報知出力によって調整作業が必要な時期に達したことを把握し、上述の通り調整回路１２２８を使って電流補正を行う。例えば、基準となる駆動電流に対する出力の低下分を考慮し、駆動電流が多くなるように調整する。さらに、駆動積算時間がＵＶＬＥＤ１５０の寿命に達すると、ＵＶＬＥＤ１５０の交換を促す報知出力を行うようにしても良い。
【００４６】
またメモリ部１２２７は、ＵＶＬＥＤ１５０の初期特性に関するデータを記憶して、駆動電流の調整にも利用できる。一般にＵＶＬＥＤ１５０の初期輝度には個体差（ばらつき）があるため、通常はＵＶＬＥＤ１５０のヘッド部１２０側の駆動回路に初期輝度調整回路１２２８が必要となる。初期輝度調整回路には、半固定抵抗等が利用され、例えば図６（ｂ）に示す調整回路１２２８を併用できる。そして、ヘッド部１２０毎に紫外線照射パワーが所定値となるように、各々のヘッド部１２０で初期輝度調整回路により初期調整を行う必要がある。
【００４７】
実施の形態５の紫外線照射装置では、各ヘッド部１２０に実装されたＵＶＬＥＤ１５０の予め測定された初期輝度に関する初期特性データをメモリ部１２２７に記憶させておくことにより、上記のような初期輝度調整回路やこれを用いた初期調整作業が不要になる。つまり、制御部１１４がメモリ部１２２７から初期特性データを読み出し、初期特性データに応じた適切な基本駆動電流（正確にはそれに対応するデジタル値）を決定する。
【００４８】
制御部１１４から出力される駆動電流に対応するデジタル値は、Ｄ／Ａ変換部でアナログ電圧に変換され、ドライブ回路に与えられる。ドライブ回路は、与えられたアナログ電圧に対応する駆動電流でヘッド部１２０のＵＶＬＥＤ１５０を駆動する。なお、この駆動電流は、設定部によって増減調節することができるので、これによって紫外線照射出力を調整できる。
【００４９】
以上のように、ヘッド部１２０側にメモリ部１２２７を設けることで、ヘッド部１２０に備えられたＵＶＬＥＤ１５０の特性に応じた正確な調整が実現できる。例えば、ヘッド部１２０を接続するコントローラ部１１０のヘッド接続部の一形態であるヘッド接続部１６０のチャンネルを一意的に固定する場合は、コントローラ部１１０側にメモリ部を設けても上記のような調整は可能である。コントローラ部１１０側のメモリ部がチャンネル毎に駆動積算時間や初期特性データを記憶できるからである。ただ、ヘッド部１２０の接続先のチャンネルが変更される場合は、上記の方法では対応できず、必ずヘッド部１２０毎に接続先の紫外線照射装置及びそのチャンネル番号を何らかの手段でユーザ側が記憶しておく必要があり、手間がかかって使い勝手が悪くなる。従って、上記のようにヘッド部１２０側にメモリ部１２２７を設けることで、いずれの紫外線照射装置のいずれのチャンネル番号にヘッド部１２０が接続されても、ヘッド部１２０の特性に応じた正確な駆動電流調整が実現され、使い勝手も向上する。
【００５０】
（冷却ブロック１２４）
なお、紫外線を発するＵＶＬＥＤ１５０は通常の可視光を発するＬＥＤに比べて自己発熱が大きい傾向にあるので、安定して長期間使用できるよう放熱機構をヘッド部１２０に設けることが好ましい。図６〜図９に示す例では、ＵＶＬＥＤ１５０を冷却ブロック１２４に接続している。冷却ブロック１２４はＵＶＬＥＤ１５０の動作時の発熱を冷却するヒートシンクとして機能し、アルミニウム等熱伝導の良い金属で構成される。冷却ブロック１２４の先端面にＵＶＬＥＤ１５０が密着固定されている。図１０は、冷却ブロック１２４の先端面にＵＶＬＥＤ１５０を密着固定する様子を示す図である。この図に示すように、３本の固定ネジ１２４１によってＵＶＬＥＤ１５０が冷却ブロック１２４の先端面に密着するように固定される。
【００５１】
（レンズホルダ１２６）
レンズホルダ１２６には、ＵＶＬＥＤ１５０から発した紫外線を集光するための１又は複数の光学系レンズ１２６１が収容されている。図１１は、レンズホルダ１２６とその内部構造例を示す分解図である。この例では、レンズを２枚構成として第１のレンズ１２６１Ａと第２のレンズ１２６１Ｂがスペーサ１２６２とレンズ固定キャップ１２６３によって、レンズホルダ１２６の内部に固定されている。レンズは１枚で構成することもできるが、屈折率の関係から１枚のレンズではレンズサイズが大きくなる傾向がある。そこで実施の形態５では、光学系レンズ１２６１を２枚使用して第１のレンズ１２６１Ａと第２のレンズ１２６１ＢでＵＶＬＥＤ１５０からの紫外線を外部に照射する構造とすることで、レンズ自体のサイズを小型化でき、ひいてはレンズホルダ１２６やヘッド部１２０の小型化に貢献する。
【００５２】
図１２は、冷却ブロック１２４とレンズホルダ１２６との固定方法の例を示す図である。この例では、３本の固定ネジ１２４２によって冷却ブロック１２４とレンズホルダ１２６とが互いに固定される。また、レンズの合成焦点距離が異なる複数種類のレンズホルダ１２６を用意して交換可能とすることにより、同一のヘッド部１２０を使用しながら、ヘッド部１２０の先端と紫外線照射対象（紫外線硬化型樹脂による接着固定部）との距離が変化する場合に対応することができる。
【００５３】
図７に戻って、冷却ブロック１２４とヘッド本体部１２２との固定方法について説明する。上記のようにして冷却ブロック１２４とレンズホルダ１２６とを固定した後に、ヘッド本体部１２２を構成する上ケース部材１２２１及び下ケース部材１２２２が互いに合わせられ、先端部分が冷却ブロック１２４の基端側突出部１２４３を挟むようにしてそれぞれ固定ネジ１２２９で冷却ブロック１２４に固定される。また、上ケース部材１２２１及び下ケース部材１２２２の基端面には、基端部材１２２３が固定ネジ１２３０を用いて固定される。
【００５４】
図８および図９に示すように、ケーブル用コネクタ１２２５やＵＶＬＥＤ１５０を含む冷却ブロック１２４は、それぞれ連結コネクタ１２３１、１２４４を介して基板と電気的に接続される。これによってＵＶＬＥＤ１５０はケーブル部１３０を介してコントローラ部１１０から電力供給を受け、駆動制御される。このように電気的接続が必要な各ブロックを連結コネクタを介して連結する構造とすることで、各部の分解が容易で交換や修理等のメンテナンス作業を容易に行えるという利点がある。特に図に示すヘッド部１２０はヘッド本体部１２２、冷却ブロック１２４及びレンズホルダ１２６が順番に結合した構造としており、ユニット毎の分割が容易で、メンテナンス性に優れたヘッド部１２０が得られる。
【００５５】
また下ケース部材１２２２には、図８および図９に示すように、ヘッド部１２０をホルダ等に固定するためのネジ孔である貫通孔１２３２を開口している。ネジを螺合する等してヘッド部１２０を固定する際、ネジの先端が基板１２２４や基板上の実装部品を破損しないように、下ケース部材１２２１には図７に示すように保護プレート１２４５が固定されており、貫通孔１２３２と基板１２２４との間を遮断している。
【００５６】
（受光素子１５２）
受光素子１５２はフォトディテクタ（光検出器）が利用でき、例えばフォトダイオードやフォトトランジスタ等が利用できる。受光素子１５２は、半導体素子から出力される紫外線の漏れ光を受光できる位置に配設される。漏れ光を利用することによって、外部に出力される紫外線の光量を損なうことなく紫外線出力を受光素子１５２で検知できる。受光素子１５２は、好ましくは半導体素子の側方で、漏れ光を検出できる位置及び姿勢に配置される。図１の例では、受光素子１５２はＵＶＬＥＤ１５１とレンズ部１２６０との間に位置し、紫外線の光軸と面する姿勢に配設されている。実施の形態６〜９に係る紫外線照射装置の受光素子の配置例を、それぞれ図１３〜図１６に示す。これらの例においては、紫外線が出力される部分であるヘッド部のＵＶＬＥＤおよびレンズ部を備えた部分の断面図を示している。
【００５７】
図１３に示す実施の形態６に係る紫外線照射装置では、ＵＶＬＥＤ１３５１から出力される紫外線の光軸に対して垂直な方向に漏れる漏れ光を受光するよう、光軸と略垂直に、光軸の側面に面するよう受光素子３５２を配置している。具体的には、ヘッド基板部１３５４上に配置されたＵＶＬＥＤ１３５１の紫外線照射方向を覆う円筒状のレンズホルダ１３２６の側面の一部を開口した受光窓１３２７を形成し、この受光窓１３２７と一致させて受光素子３５２をレンズホルダ１３２６の外側に配置する。また図１３に示すヘッド部１２０は、レンズホルダ１３２６から紫外線が漏れないようにレンズホルダ１３２６の内壁表面を黒塗りとしている。さらにレンズホルダ１３２６内部にはレンズ部として、ＵＶＬＥＤ１３５１に近い側から順に迷光をカットするための迷光カットアパーチャ１３６４、投光用の光学系レンズ１３６１、反射光をカットするための反射光カットフィルタ１３６５などを備える。迷光カットアパーチャ１３６４によって、アパーチャとＵＶＬＥＤ１３５１の間の空間には紫外光が散乱しており、側方に開口した受光窓１３２７から漏れ光を取り出すことができる。なお光学系レンズは第１のレンズ、第２のレンズの２枚を使用している。
【００５８】
また図１４に示す実施の形態７に係る紫外線照射装置の受光素子では、受光素子４５２はレンズホルダ１４２６の外側でなく内側に配置している。具体的には、ＵＶＬＥＤ１４５１を設けた底面の側方に受光窓１４２７を開口し、ここからＵＶＬＥＤ１４５１の漏れ光を受光できるよう受光素子４５２をＵＶＬＥＤ１４５１と略並行に配置している。このように、ＵＶＬＥＤ１４５１の背面に受光素子４５２を配置することによって、レンズホルダ１４２６から突出する部分を少なくし、ヘッド部の口径の小型化に寄与し得る。なお、レンズ部の構成部品や配置は、上記図１３と同様の構成が採用できる。
【００５９】
（サイドビュータイプ）
上記図１３および図１４の例は、ヘッド部１３２０、１４２０の本体を構成するヘッド本体部１３２２、１４２２の長手方向と紫外線出力の光軸が略一致するように、ヘッド本体部を長手方向の端面にレンズ部を配置したストレートタイプを示している。一方、図１５に示す実施の形態８に係る紫外線照射装置では、ヘッド本体部１５２２の長手方向と紫外線出力の光軸が略直交するように、ヘッド本体部１５２２の長手方向と平行な側面にレンズ部を配置したサイドビュータイプとしている。ヘッド部の端面でなく側面から紫外線を出力するタイプは、隙間などに挿入して紫外線を横方向に出射する等、照射スペースが狭い使用態様に好適に利用できる。このタイプにおいても、ＵＶＬＥＤ１５５１の光軸の周方向に面して受光素子５５２を配置できる。すなわち、円筒状のレンズホルダ１５２６の側壁に受光窓１５２７を開口し、受光窓１５２７と一致するように受光素子５５２を配置する。これによって、光軸の側方に漏れた漏れ光を受光素子５５２で検出してフィードバック制御が実現できる。なお、レンズ部の構成部品や配置は、上記図１３、図１４と同様の構成が採用できる。
【００６０】
さらに、受光素子はＵＶＬＥＤと一体化することもできる。図１６に示す実施の形態９に係る紫外線照射装置では、ＵＶＬＥＤチップ１６５１１を載せたパッケージ内に受光素子６５２のチップを並べたＵＶＬＥＤパッケージ１６５１を使用する例を示している。チップ状の受光素子６５２を使用して、図１６（ａ）の平面図に示すようにＵＶＬＥＤチップ１６５１１と並行に配置することで、ヘッド本体部１６２２に別途受光素子を設けることなくＵＶＬＥＤパッケージ１６５１内部で紫外光の検出が可能となり、またレンズホルダ１６２６に受光窓等を設ける必要もなく、図１６（ｂ）の断面図に示すようにヘッド部の構成の簡素化、小型化に寄与し得る。また以上は半導体素子としてＵＶＬＥＤを使用した例を説明したが、半導体素子として半導体レーザ（ＬＤ）を使用する場合は、共振面の光取り出し面側に受光素子を配置して漏れ光を検出する他、反射面側に受光素子を配置して漏れ光を検出するよう構成してもよい。また、ＵＶＬＥＤ、ＵＶＬＤいずれの例においても、受光素子は必ずしも漏れ光を利用する必要はなく、十分な紫外線量が確保できる場合はヘッド部から外部に照射される紫外線を受光するよう構成することもできる。この場合、受光素子はヘッド部に内蔵する態様に限られず、受光素子をヘッド部と独立した部材として紫外光を受光できる位置、例えば紫外線硬化型樹脂を塗布した対象物（ワーク、試料）近傍等に配置してもよい。
【００６１】
（シャッタ）
また上記図１３〜図１５の例では、受光窓に開閉可能なシャッタを設けることもできる。上記図においては、シャッタ１３２８、１４２８、１５２８の位置を破線で示している。シャッタを閉じることで受光窓１３２７、１４２７、１５２７が閉塞され、紫外光の漏れ光が受光素子に照射されないため、受光素子の非使用時に紫外光が照射されて紫外光による劣化が生じることを抑制できる。特にＵＶＬＥＤなどの半導体素子は高圧水銀ランプなどと異なり劣化が緩やかに進行するため、常時出力をモニタする必要はない。したがって、所定のタイミングで紫外光を検出すれば足り、非使用時には受光素子を紫外光から遮断することにより、紫外光による劣化を低減でき、受光素子の長寿命化を図ることができる。シャッタの開閉は、受光素子による紫外光検出のタイミングに同期させて行うことができる。例えば、受光回路あるいはヘッド制御部がシャッタの開閉を制御し、紫外光検出のタイミングに同期させてシャッタを開放し、検出終了後はシャッタを閉塞する。またシャッタには機械的に開閉する絞りやスライド式の蓋などが利用できる。
【００６２】
（サイドビュータイプの詳細）
次に本発明の実施の形態１０に係る紫外線照射装置として、サイドビュータイプの構造を図１７〜図２２に基づき説明する。図１７はサイドビュータイプのヘッド部１７２０においてレンズ部分が見える方向からの斜視図であり、図１８は図１７の反対面から見た斜視図である。これらの図に示すヘッド部１７２０は図６等と同様に角柱状であり、紫外線照射部分であるレンズ部１７６０の装着位置をヘッド本体部１７２２の長手方向端面でなく側面の端部に設けている。この例では、角柱状のヘッド本体部１７２２を延長するように、同型に形成されたサイドビューレンズ装着部１７２７をヘッド本体部１７２２の先端に別部材で設けている。また図１９〜図２２に、レンズ部１７６０の詳細を示す。図１９はサイドビューレンズ装着部１７２７の分解斜視図であり、図２０は図１９のサイドビューレンズ装着部１７２７を、レンズ部を除いて縦方向に切断した状態を示す分解斜視図であり、図２１は図２０からＵＶＬＥＤ１７５１およびヘッド基板部１７５４を除き、レンズホルダ１７２６を付加した分解斜視図であり、図２２は図２１のレンズホルダ１７２６を示す断面図である。
【００６３】
これらの図に示すように、サイドビューレンズ装着部１７２７は、右ケース部材１７２７Ａと左ケース部材１７２７Ｂに分割されており、その内部にヘッド基板部１７５４を収納して３箇所でネジ止めして固定される。ヘッド基板部１７５４は断面略コ字状に形成し、コ字状の底面にＵＶＬＥＤ１７５１を載置して固定する。またこれらのヘッド基板部１７５４や左ケース部材１７２７Ｂは、熱伝導可能な状態で接触されており、ＵＶＬＥＤ１７５１の放熱板として機能する。またヘッド基板部１７５４の後端には、図１９に示すようにヘッド本体部１７２２とネジ止めにより固定するための突出部１７５４Ａが設けられる。突出部１７５４Ａを左右から挟着するようにヘッド本体部１７２２の上ケース部材１７２２Ａおよび下ケース部材１７２２Ｂが重ね合わされて、突出部１７５４Ａのネジ穴でネジ止めすることによりサイドビューレンズ装着部１７２７はヘッド本体部１７２２と固定される。なお、図１７〜図１９に示すように、ヘッド本体部１７２２の上ケース部材１７２２Ａおよび下ケース部材１７２２Ｂの接合面と、サイドビューレンズ装着部１７２７の右ケース部材１７２７Ａおよび左ケース部材１７２７Ｂの接合面とは９０°回転させることで機械的強度を増している。ヘッド基板部１７５４は、サイドビューレンズ装着部１７２７の右ケース部材１７２７Ａおよび左ケース部材１７２７Ｂを固定するためのネジ穴を上下にそれぞれ３箇所設けると共に、ヘッド本体部１７２２の上ケース部材１７２２Ａおよび下ケース部材１７２２Ｂで固定するためのネジ穴を突出部１７５４Ａの左右に２箇所、それぞれ形成している。
【００６４】
レンズホルダ１７２６は、右ケース部材１７２７Ａの内面に設けられた円筒状のレンズホルダ挿入部１７２７Ｃに挿入されて固定される。レンズホルダ挿入部１７２７Ｃは、ここにレンズホルダ１７２６を挿入した状態でＵＶＬＥＤ１７５１の光軸とレンズホルダ１７２６にセットされたレンズ部の光軸とが一致するように位置決めされる。レンズホルダ１７２６には、図２２の断面図に示すように、中空円筒状の内ホルダ１７２６Ａを同じく中空円筒状で内径が内ホルダ１７２６Ａの外径よりも若干大きい外ホルダ１７２６Ｂに下方から挿入し、その間に光学系レンズ１７６１を保持する。内ホルダ１７２６Ａ及び外ホルダ１７２６Ｂには、光学系レンズ１７６１を保持するための段差部が形成される。図１９の分解図に示す例では、光学系レンズ１７６１は２枚のレンズで構成される。レンズホルダ１７２６は、サイドビューレンズ装着部１７２７のレンズホルダ挿入部１７２７Ｃに脱着可能としており、用途に応じて容易にレンズ部を交換できる。なお、上記の例では受光素子を図示していないが、図１や図２に示すように受光素子を付加する態様においてはＵＶＬＥＤの近傍あるいは内部に受光素子を付加することも可能であることはいうまでもない。
【００６５】
（細径化）
さらに、本発明の実施の形態１１として、ヘッド部の紫外線出力部分の外径を小型化した例を図２３〜図２７に示す。これらの図に示すヘッド本体部２３２２は、レンズホルダ２３２６部分をヘッド本体部２３２２から突出させると共に、その外径を小さく形成しており、紫外線出力部分を小さな穴に挿入して使用するといった小サイズのヘッド部が要求される態様において好適に使用できる。図２３の斜視図に示す例では、角柱型のヘッド本体部２３２２の先端を、一回り小さい角柱状に突出させた突出部２３２２Ｃとし、その端面にさらに小径のレンズホルダ２３２６を挿入する構成としている。図２４はヘッド本体部２３２２の上ケース部材２３２２Ａを除去した状態を示す分解図であり、図２５はさらに各部材を分解した分解斜視図である。これらの図に示すように、ヘッド本体部２３２２の下ケース部材２３２２Ｂを構成する装部材と、ＵＶＬＥＤ２３５１と、ヘッド基板部２３５４と、レンズホルダ２３２６と、ＵＶＬＥＤホルダ２３５５とを備える。レンズホルダ２３２６は、内部に光学系レンズなどを保持する。このレンズホルダ２３２６はヘッド部１２０に脱着可能に装着されており、目的に応じたレンズを備えるレンズホルダに容易に交換できる。ＵＶＬＥＤ２３５１は、図２６および図２７の例では底面が略正方形のパッケージタイプを使用し、パッケージに内蔵されたＵＶＬＥＤチップから所定の波長の紫外線が照射される。ここでは中心ピーク波長が３６５ｎｍのＵＶＬＥＤチップを使用した。ＵＶＬＥＤ２３５１の裏面すなわちヘッド基板部２３５４と接触する面には電極２３５６が形成される。電極２３５６にはスタッド２３５７がはんだ付けされ、これをリードとして配線される。またＵＶＬＥＤ２３５１の側面部には放熱用のランド２３５８が形成される。ヘッド基板部２３５４は図２６に示すように一方の面をＵＶＬＥＤ２３５１の裏面に電気接触する状態で一体的に固定され、他方の面を図２４、図２５に示すようにＵＶＬＥＤ２３５１と熱伝導する状態に接触される。ＵＶＬＥＤホルダ２３５５はＵＶＬＥＤ２３５１の放熱を行うヒートシンクとして機能する。装部材である下ケース部材２３２２Ｂは、内部にＵＶＬＥＤホルダ２３５５などを挿入して保持できる大きさ及び形状に設計され、ＵＶＬＥＤ２３５１、ヘッド基板部２３５４、ＵＶＬＥＤホルダ２３５５が下ケース部材２３２２Ｂにセットされた状態で位置決めされる。これにより、ＵＶＬＥＤ２３５１の紫外線出力の光軸がレンズホルダ２３２６のレンズ部の光軸と一致し、またＵＶＬＥＤ２３５１を固定したヘッド基板部２３５４はＵＶＬＥＤホルダ２３５５と熱伝導する状態で接触し、ＵＶＬＥＤ２３５１の発熱がＵＶＬＥＤホルダ２３５５を通じて放熱される。またこの例では紫外線の光軸とヘッド本体部の長手方向が略一致したストレートタイプについて説明したが、上記の細径化構造はヘッド本体部の側面から紫外線を出力するサイドビュータイプにも適用できることはいうまでもない。
【００６６】
（コントローラ部１１０）
次に本発明の実施の形態１２として、紫外線照射装置に使用するコントローラ部を図２８の正面図に基づいて説明する。この例では、４台のヘッド部１２０を接続可能な４チャンネルのコントローラ部１１０を示している。ヘッド部１２０を接続可能な台数はチャネル数で決定されるが、チャンネル数は３以下とすることも、あるいは５以上とすることもできることはいうまでもない。この図に示すコントローラ部１１０は、前面パネルにＵＶＬＥＤ１５０の紫外線照射条件を個別に設定するための設定部１４０として、表示部１４２及び操作パネル１４４を設けている。図２８において表示部１４２は前面パネルの上部に配置し、その下に操作パネル１４４を配置している。
【００６７】
（操作パネル１４４）
設定部１４０を構成する操作パネル１４４は、上下左右の選択スイッチである＜、＞、∧、∨スイッチ１４４Ａ、１４４Ｂ、１４４Ｃ、１４４Ｄと、エスケープスイッチ１４４Ｅ、エンタースイッチ１４４Ｆが各々配置されている。ユーザは、これらのスイッチを操作して所定の手順に従い、ＵＶＬＥＤ１５０の紫外線照射条件を設定する。なお、この例に限られず、操作パネル１４４には十字キーやテンキー、ジョグダイヤル等の各種の入力デバイスが利用できる。また、操作パネルを表示部と一体化したタッチパネルとしても良い。操作パネル１４４に設けた各種スイッチは、各ヘッド部１２０の操作に共通して利用でき、各ヘッド部１２０を接続したチャンネルを切り替えて設定できる。
【００６８】
なお、設定部１４０のスイッチ類は、コントローラ部１１０上に固定する必要はなく、コントローラ部１１０と個別の部材として設けても良い。例えばコンソールやリモートコントローラ、フットスイッチ等、コントローラ部１１０と別体とした設定部にスイッチ類を設け、これらをコントローラ部１１０と有線あるいは無線で接続して操作する形態も本発明の範囲内である。また後述するように、紫外線照射装置に接続された外部接続機器から設定や操作を行えるよう構成してもよい。
【００６９】
また、本明細書において設定部には、紫外線照射条件の設定時以外に使用する態様も包含し、例えば紫外線照射装置の動作時に使用する照射スイッチも、設定部に含む。なお、例えば照射スイッチとしてフットスイッチをコントローラ部１１０と接続する場合は、外乱によるチャタリングを防止するためにＯＮ／ＯＦＦ入力の遅延を設定することもできる。紫外線のオンタイミング（遅延設定）及びオフタイミング（遅延設定）は、設定部を用いて個別に、あるいは一括して設定することができる。
【００７０】
（表示部１４２）
また設定部１４０を構成する表示部１４２には、ＬＥＤや液晶表示器を使用した７セグメント表示器を備える。操作パネル１４４で設定された紫外線の出力や照射時間等の紫外線照射条件を、表示部１４２で表示、確認しながらユーザは設定作業を行う。表示部１４２は、一の画面で各ヘッド部１２０の設定条件を切り替えて表示する。また、後述するように各ヘッド部１２０毎に個別に複数の表示部を設けることもできる。なお紫外線出力は、相対的な強度値、例えばＵＶＬＥＤ１５０の駆動デューティファクタで設定、表示しているが、絶対的な出力値（ｍＷ等）で表示してもよい。なお、表示部１４２は液晶や有機ＥＬで構成してアイコン表示等のグラフィカルな表示を可能とできる。またカラー表示可能としても良い。
【００７１】
また、表示部１４２の下部には、各チャンネル毎にチャンネル表示ランプ１４５を設けている。これによって、現在選択されて表示部１４２に表示されているチャンネルが区別できる。図の例では１〜４チャンネルの４つのチャンネル表示ランプ１４５が設けられる。さらに、これらのチャンネル表示ランプ１４５に隣接して、紫外線照射ランプ１４６が配置される。紫外線照射ランプ１４６は、いずれかのヘッド部１２０から紫外線が照射（エミッション）状態であることを示すパイロットランプとして機能し、例えばＬＥＤ等で構成される。すなわち、紫外線照射ランプ１４６のＬＥＤが点灯しているときは、紫外線が照射中であることがユーザに通知される。
【００７２】
操作パネル１４４の下部には、電源スイッチ１４７と一括照射スイッチ１４８を備える。電源スイッチ１４７は紫外線照射装置の電源をＯＮ／ＯＦＦするスイッチである。例えば電源スイッチ１４７にキースイッチを採用することで、不意にスイッチがＯＮになる事態を回避できる。
【００７３】
（一括照射スイッチ１４８）
一括照射スイッチ１４８は、これを押下することで、設定部１４０で予めヘッド部１２０毎に設定された各々の紫外線照射条件に従い、すべてのヘッド部１２０から紫外線を独立して照射できる。
【００７４】
（ヘッド接続部１６０）
さらに、前面パネルの下部には、各ヘッド部１２０毎にヘッド接続部１６０、個別照射ランプ１７０、個別照射スイッチ１８０をそれぞれ設けている。図２８において左側に縦並びに配置されるヘッド接続部１６０は、ヘッド部１２０のケーブルを接続するためのコネクタであってヘッド接続部を構成する。上述の通り、図２８のコントローラ部１１０は４台のヘッド部１２０を接続可能なように４チャンネルのヘッド接続部１６０を設けている。もちろん、すべてのチャンネルを使用する必要はなく、使用条件に応じてこの内の任意のチャンネルのみを使用可能であることはいうまでもない。
【００７５】
（個別照射ランプ１７０）
また、各ヘッド接続部１６０の右側に隣接して、個別照射ランプ１７０が配置される。個別照射ランプ１７０は、各チャンネルに接続されたヘッド部１２０のＵＶＬＥＤ１５０から紫外線が照射されていることを示すためのランプである。これによってユーザは、どのヘッド部１２０から現在紫外線が照射されているかを確認できる。個別照射ランプ１７０にもＬＥＤ等が利用できる。なお、一括照射スイッチ１４８を押下すると、すべての個別照射ランプ１７０が点灯することとなる。
【００７６】
（個別照射スイッチ１８０）
さらに、個別照射ランプ１７０の右側に個別照射スイッチ１８０を配置している。個別照射スイッチ１８０は、各チャンネルに接続されたヘッド部１２０の紫外線出力を個別にＯＮ／ＯＦＦするスイッチである。個別照射スイッチ１８０をチャンネル毎に設けることで、各々のチャンネルに接続されたヘッド部１２０の紫外線出力を個別に操作でき、特に専用スイッチを設けることにより少ない操作回数（例えばボタンを押すのみ）で各ヘッド部１２０の出力をＯＮ／ＯＦＦできるので、より便利に紫外線照射装置を使用できる。ただ、個別照射スイッチを設けることなく、操作パネル１４４で各チャンネルのＯＮ／ＯＦＦを操作するように構成することも可能である。
【００７７】
以上、設定部１４０のレイアウト配置を図２８に基づき説明したが、これらの配置は任意に変更できることはいうまでもない。例えば、図２８の例では複数のチャンネルを縦に配置し、横方向にチャンネル毎のヘッド接続部１６０、個別照射ランプ１７０、個別照射スイッチ１８０を配置しているが、他の実施の形態として、横方向にチャンネルを配置し、縦方向にチャンネル毎のヘッド接続部、個別照射ランプ、個別照射スイッチ等を配置することもできる。また、上記実施の形態では照射ランプと照射スイッチを個別に設けたが、オン状態で点灯するバックライト付のスイッチを使用すれば、これらを一部材に統合することもできる。
【００７８】
コントローラ部１１０は、図１に示すように電源部１１２及び制御部１１４を備える。ＡＣインレットから供給される商用電源が、ラインフィルタ、ヒューズ及び電源スイッチ１４７を経て電源部１１２に供給され、電源部１１２で生成された直流安定化電圧が制御部１１４に供給される。制御部１１４は、マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）やＣＰＵ、ＬＳＩ、ＦＰＧＡやＡＳＩＣ等のゲートアレイで実現できる。また制御部１１４はメモリを備え、予め記憶しているプログラムとユーザの設定操作にしたがって各ヘッド部１２０からの近紫外線の強さ、照射タイミング等を制御する。制御部１１４には、端子台基板及び通信用コネクタが接続されており、これらのインターフェイスを用いてコンピュータやＰＬＣ（プログラマブル・ロジック・コントローラ）等の外部制御機器をコントローラ部１１０に接続することができる。外部接続機器は、後述するように紫外線照射条件の設定や紫外線照射装置のＯＮ／ＯＦＦ操作に使用できる。すなわち、紫外線照射装置のコントローラ部１１０に設けられた設定部１４０で設定や操作を行う他、外部接続機器からのトリガ入力によって紫外線照射装置のＯＮ／ＯＦＦを操作することもできる。
【００７９】
例えば、一台のコントローラ部１１０に４個のヘッド接続部１６０が制御部１１４に接続され、これらのヘッド接続部１６０を介して各ヘッド部１２０がコントローラ部１１０の制御部１１４に接続される。そして、制御部１１４は各ヘッド部１２０のＵＶＬＥＤ１５０の駆動制御のための電気信号を各ヘッド部１２０に与え、各ヘッド部１２０からの近紫外線の強さや照射タイミングを制御する。さらに、制御部１１４にはフロントパネル基板が接続されている。フロントパネル基板には、コントローラ部１１０の前面パネルに設けられた表示部１４２及び設定部１４０を構成する表示器や各種スイッチ類が実装されている。ユーザは表示部１４２及び設定部１４０を用いて４個のヘッド部１２０の近紫外線の強さ、照射タイミング等を個別に設定することができる。
【００８０】
［モード切替］
上述の通り、本発明の各実施の形態に係る紫外線照射装置は、コントロール部によって紫外線照射条件を設定する設定モードと、紫外線を照射する照射モードとを切替可能である。設定モードと照射モードの切替は、専用の切替スイッチを設けたり、特定のスイッチの組み合わせや長押し等が利用できる。本実施の形態においては、図２８に示す操作パネル１４４の内、エスケープスイッチ１４４Ｅの長押し（例えば３秒以上）によって、設定モードと照射モードを相互に切り替える。
【００８１】
［照射モード］
以下、照射モードの詳細について説明する。まず、本実施の形態においては、紫外線照射装置の照射モード時において、すべてのヘッド部１２０から紫外線を照射する一括照射モードと、一のヘッド部１２０から紫外線を照射する個別照射モードとを備えている。そして上述の通り、一括照射スイッチ１４８を操作すると一括照射モードが実行され、個別照射スイッチ１８０を操作すると個別照射モードが実行される。
【００８２】
さらに、各照射モードはそれぞれ自動モードと手動モードに区別できる。自動モードとは、予め設定された紫外線照射条件に従って、照射出力や照射時間を変更可能なモードである。すなわち、自動モードにおいては照射開始指令を受けると、事前に各ヘッド部１２０毎に登録された照射パターンで照射を開始し、終了後は自動的に紫外線照射を停止する。一方、手動モードとは、指定されたタイミングで紫外線照射のＯＮ／ＯＦＦを切り替えるモードである。すなわち、照射開始指令を受けると、照射停止指令を受けるまで一定の出力にて照射し続ける。照射スイッチをＯＮすると出力が開始され、ＯＦＦすると終了する。なお、後述するように手動モードにおいても紫外線出力値は変更可能である。
【００８３】
照射モード時における紫外線の照射開始、及び停止の指令は、上述の通りコントローラ部１１０に設けた照射スイッチや端子台１６４からのトリガ入力によって実現される。なお、本実施の形態においては、照射スイッチを一度押下すると照射モードが実行され、再度押下すると中断もしくは停止される。中断の場合は、一時停止状態を維持し、再度スイッチを押下することで照射モードが再開される。
【００８４】
［手動照射モード］
紫外線照射装置は、設定部１４０で設定される複数の紫外線照射条件を記憶部１１６に保存できる。さらに、各紫外線照射条件設定毎に動作モードを保存できる。手動モードにおいては、紫外線出力値は各ヘッド部１２０毎に保存できる。従って、個別手動照射モードでは複数のヘッド部１２０を異なる紫外線出力で各々照射できる。また一括手動照射モードでは、各ヘッド部１２０で同時に異なる紫外線出力を開始し、同時に照射終了させることができる。また、各ヘッド部１２０毎に照射許可／不許可を設定できるので、ヘッド部１２０が紫外線照射装置に接続されていても、所望のヘッド部１２０のみから照射することができる。従来の紫外線照射装置では、同一の装置に接続されたヘッドはすべて同じ出力及びタイミングで出力されていたため、装置にヘッドを接続している限り、他のヘッドの出力と共に必ず出力が生じ、照射を停止することができなかった。これに対して、本実施の形態では各ヘッド部１２０が独立しているため、紫外線照射の許可／不許可を容易に設定できるという利点がある。
【００８５】
［自動照射モード］
また、自動モードにおいても、照射パターンを各ヘッド毎に保存できる。従って、一括自動照射モードでは複数のヘッド部１２０にて異なる照射パターンで同時に照射を開始して、異なるタイミングで照射を終了させることができる。上述の通り、このような動作も従来の紫外線照射装置では実現できなかった。特にヘッド毎に異なる照射パターン、異なるタイミングで停止することができなかったが、本実施の形態により、独立して各ヘッド部１２０毎に出力やタイミングを変化させた出力が可能となり、極めて自由度の高い紫外線照射が実現される。上述の通り、各ヘッド部１２０毎に照射許可／不許可を設定できるため、ヘッド部１２０が紫外線照射装置に接続されていても、所望のヘッド部１２０のみから照射させることができる。さらに、照射開始指令をヘッド部毎に入力できるようにすれば、ヘッド部毎に異なるタイミングで紫外線照射を開始させることもできる。例えば、個別照射スイッチをヘッド部の数だけ設けたり、あるいはヘッド部の台数分の端子台トリガ入力を用意すればよい。
【００８６】
以上説明した動作モードをまとめると、一括自動照射モードにおいては、各ヘッド部１２０毎に予め設定された紫外線出力、照射時間等の紫外線照射条件で、すべてのヘッド部１２０で紫外線照射を実行する。一括照射スイッチを押下すると、各ヘッド部１２０から紫外線照射が開始され、様々な異なる出力、時間で独立して紫外線照射が実行される。なお紫外線照射の終了は、各々の設定に応じてヘッド部１２０毎に異なり、設定が終了するとヘッド部１２０毎に自動的に終了する。
【００８７】
また一括手動照射モードにおいては、実行するとすべてのヘッド部１２０から一定値で紫外線が出力される。一括照射スイッチを押下すると、各ヘッド部１２０から紫外線照射が開始され、再度一括照射スイッチを押下すると各ヘッド部１２０の紫外線照射が停止される。この場合においても各ヘッド毎に紫外線出力値を変更することはできる。
【００８８】
さらに、個別手動照射モードは、各々のヘッド部１２０で実行されると、該ヘッド部１２０から一定値で紫外線が出力される。この場合においても各ヘッド毎の紫外線出力値を変更することはできる。
【００８９】
［個別自動照射モード］
個別自動照射モードは、ヘッド部１２０毎に紫外線照射条件を設定するモードである。個別自動照射モードに相当する機能は、特に設けなくとも、一括自動照射モードを利用して実質的に実現できる。すなわち、特定のＵＶＬＥＤについてのみ照射を行い、他のＵＶＬＥＤの照射を行わないことで、該特定のＵＶＬＥＤの照射時間や出力等の紫外線照射条件を設定することにより、一括自動照射モード実行時に該ＵＶＬＥＤのみが自動的に設定されたパターンで紫外線照射を実行できる。ただ、この場合は特定のＵＶＬＥＤのみしか紫外線照射を実行できず、他のＵＶＬＥＤに個別自動照射モードに相当する動作を実行させるには、複数の一括自動照射モードを並列して実行可能とする必要がある。一方、複数のＵＶＬＥＤを動作させるように一括自動照射モードを設定することは可能である。ただ、ＵＶＬＥＤ毎の動作タイミングが変化する場合には対応が困難となる。一方、ユーザによっては各ヘッド部毎に自動照射を設定、実行する方が便利である場合も考えられるので、個別自動照射モードを別途設けることもできる。
【００９０】
［紫外線照射条件の設定方法］
次に、紫外線照射条件の設定方法について、図２９に基づき説明する。ここでは、各ヘッド部１２０から照射される紫外線が、図３０（ｂ）に示すように時間と共にステップ状に変化するパターンを得るために、図３０（ａ）に示すように複数の矩形波の組み合わせとして、個々の矩形波の条件を設定する例を考える。なお、図３０に示す各矩形波、すなわち一定の照射出力及び照射時間の組み合わせからなる紫外線照射条件のセットを、ここではステップと呼ぶことにする。
【００９１】
［矩形波状照射パターン］
図２９は、ヘッド部１２０が一のＵＶＬＥＤ１５０を備える場合の設定方法の概要を示している。図２９において、まず工程１００１でヘッド部１２０の番号を選択する。上述のように本実施の形態ではヘッド部１２０はチャンネル１〜４まで４台接続されており、どのチャンネルについて設定を行うかをここで選択する。次に工程１００２でステップの番号を選択する。ステップは、１から順に設定され、本実施の形態では一の紫外線照射条件設定において２０個までステップを設定可能としている。次に選択されたステップにつき、工程１００３で紫外線の照射時間を設定する。ここでは、秒数で指定する。さらに工程１００４で紫外線の照射出力を指定する。ここではデューティ比で設定する。そして工程１００５で設定を一時保存すると共に、ステップ番号の選択ステップに戻り、必要なすべてのステップについて設定が完了するまでループする。このようにして図３０のような紫外線照射パターンが設定されると、紫外線照射条件設定が保存される。
【００９２】
なお、上記の各工程は、順序を適宜入れ替えることもできる。例えば、先に照射出力を設定した後、照射時間を設定してもよい。
【００９３】
上記工程を、より詳細に示したフローチャートを図３１に示す。まず工程１２０１で紫外線照射条件設定の番号（設定番号）を選択する。本実施の形態では、ｎｏ０〜ｎｏ１９まで２０個の紫外線照射条件設定を記録できる。次に工程１２０２で照射モードを選択する。照射モードは、Ｕ０〜２の３通りであり、一括手動照射モード、個別手動照射モード、一括自動照射モードの別を指定する。なお、本実施の形態では個別自動照射モードに相当するモードを採用していない。次に工程１２０３で紫外線照射条件を設定するヘッド部１２０を接続したチャンネル番号を選択する。ここではチャンネル番号ＣＨ１〜４の４個から選択する。
【００９４】
次に工程１２０４では、選択されたチャンネル番号に接続されたヘッド部１２０に対して、紫外線出力を許可するかどうかを設定する。ヘッド部１２０毎に紫外線照射の許可／不許可を設定可能とすることで、従来のように接続されたヘッド部１２０すべてから紫外線が出力されることなく使用することが可能となる。出力を許可する場合は、工程１２０５に進み、許可しない場合は工程１２０４−１ですべてのヘッド部１２０の設定が終了したか否かを判定し、未だの場合は工程１２０３に戻り他のヘッド部１２０の設定を継続し、すべてのヘッド部１２０の設定が終了した場合は工程１２１１にジャンプする。
【００９５】
なお、後述するように複数のＵＶＬＥＤを備える場合は、各ＵＶＬＥＤ毎に紫外線照射の許可／不許可を設定することもできる。
【００９６】
次に工程１２０５で、工程１２０２で選択された照射モードが自動モードか否かを判定する。自動モードの場合は、次工程１２０６でステップ番号を選択する。ステップ番号は、Ｓ０〜Ｓ１９まで、最大２０個設定できる。自動モードでない場合はステップ番号の選択が不要であるから工程１２０７にジャンプする。工程１２０７では照射時間を設定する。ここでは秒数を入力する。次に工程１２０８で照射出力を設定する。ここではデューティ比で入力する。次に工程１２０９で必要なステップ番号の設定をすべて完了したか否かを判定し、未だの場合は工程１２０６に戻り、次のステップ番号の設定を繰り返す。終了した場合は工程１２１０に進み、すべてのヘッド部１２０の設定が終了したか否かを判定し、未だの場合は工程１２０３に戻り他のヘッド部１２０の設定を繰り返す。終了した場合は工程１２１１に進み、上記の設定を記憶部１１６に保存して終了する。
【００９７】
［階層メニュー］
次に、コントローラ部１１０に設けた表示部１４２における表示の切り替えについて説明する。本実施の形態においては、階層メニュー方式を採用している。図３２に、階層メニューの一例を示す。この図に示すように、紫外線照射装置は照射モードと設定モードに切替可能であり、各々のモードにおいて、さらに各種のメニュー項目が選択できる。また選択されたメニュー項目についても様々な設定項目が存在し得、図３２において下方向に示すように各階層に下って各項目を設定する。
【００９８】
［照射モードにおける表示］
次に、図３３に基づいて照射モードにおける表示部１４２の表示例を説明する。照射モードにおいては、図３３に示すように運転中設定番号表示、現タイマ値表示、現照射パワー値表示、累積照射時間表示等の項目が切り替えて表示される。項目の切替は、左右の＜、＞スイッチ１４４Ａ、１４４Ｂで行われる。また、最上位階層を表示中にエスケープスイッチ１４４Ｅを長押しすると、上述の通り照射モード、設定モード間のモードが変更される。一方、最上位以外の階層からエスケープスイッチ１４４Ｅを長押しすると、そのモードの最上位階層へ遷移する。
【００９９】
（運転中設定番号表示）
運転中設定番号表示は現在選択中の設定番号を表示している。この例ではＪ０が選択されている。設定番号はｎｏ０〜Ｊ１９まで最大２０個の設定を保存することが可能であり、この内から任意の設定番号を選択する。また図３３に示すように、表示部１４２の下方に設けられたチャンネル表示ランプ１４５が、現在表示中の設定番号において照射が設定されているヘッド部１２０を表示する。これによって、選択中の設定番号において紫外線が照射されるヘッド部１２０がいずれであるかをユーザが容易に把握できる。この例においては、チャンネル１〜４すべてのヘッド部１２０でＵＶＬＥＤ１５０が動作することを示している。
【０１００】
なお設定番号の変更は、本実施の形態では後述するように設定モードで行う。ただ、照射モードにおいて設定番号を変更できるようにしても良い。例えば図３３の画面からエンタースイッチ１４４Ｆを押下して設定番号の選択メニューに移行する方法や、図３３の画面から∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄを押下して設定番号を変更する方法等が適宜採用できる。
【０１０１】
（現タイマ値表示）
現タイマ値表示は、紫外線の照射時間を表示する。図の例では、チャンネル１に接続されたヘッド部１２０から１２秒間照射するよう設定されていることを示している。該設定番号の紫外線照射条件設定の実行時には、設定された照射時間からカウントダウン式に残りの照射時間が秒数で表示され、ユーザは残り時間を容易に知ることができる。また、照射時間が設定されていないチャンネルを表示する場合は、停止時は−−−で表示し、実行時はカウントアップ式に経過時間を秒数で表示する。これによって、照射時間が現在どの程度経過したかをユーザが確認できる。以上のように、照射時間の設定の有無によって時間の表示方式をカウントダウン式とカウントアップ式に自動切り替えすることにより、ユーザは照射時間の設定の有無、および経過時間、残り時間を知ることができ、紫外線硬化型樹脂の接着状態に際して状況把握等に便利に使用できる。また時間の表示単位は、秒数の他、粉数、時間数あるいは進捗状況の割合での表示等を適宜採用できる。
【０１０２】
図３３の例では、チャンネル１の照射時間が表示されているが、この状態で∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄを押下すると、その他のチャンネルの情報に切り替えて表示できる。このように、本実施の形態では、＜、＞スイッチ１４４Ａ、１４４Ｂはメニューの切替に、∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄは、項目値の選択、変更にそれぞれ使用される。図３３の例では、∧スイッチ１４４Ｃを押下するとチャンネル２→３→４→１の順に切り替えられる。同時に、チャンネル表示ランプ１４５の点灯が該当チャンネルに切り替わって、現在表示中の項目（ここでは照射時間）がいずれのチャンネルに接続されたヘッド部１２０の情報であるかが判別できる。なお照射が設定されていないチャンネルの情報を表示させると、表示部１４２に「−−−」と表示される。
【０１０３】
なお、これらのスイッチ操作を行わず、設定されたチャンネルの情報を自動的に切り替えて順次表示するように構成してもよい。
【０１０４】
（現照射パワー値表示）
現照射パワー値表示は、紫外線照射の出力値を表示する。この例ではチャンネル１のＵＶＬＥＤの駆動デューティ比により相対的な強度を表示しているが、最大出力を１００とするパーセント表示や出力ワット数等、その他の単位による表示も適宜採用できる。ここでも上記と同様、∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄを押下することで、他のチャンネルの情報を切り替えて表示できる。
【０１０５】
（累積照射時間表示）
累積照射時間表示は、紫外線の照射時間の累積値、すなわちＵＶＬＥＤのトータルの使用時間を表示する。これによってＵＶＬＥＤがどのくらい使用されているか、寿命の把握や駆動電流の調整作業の目安を得ることができる。ここでも∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄで他のチャンネルの情報を切り替えて表示できる。なお図３３において、単位を区別するために「ｈ」と「Ｈ」の表示を使い分けており、「ｈ」は×１０時間、「Ｈ」は×１００時間をそれぞれ示している。このように、記号の大文字、小文字の使い分けによって単位の大小等の意味合いを持たせ、少ない表示画面で多くの情報量を表示できるようにしている。
【０１０６】
以上、照射モードにおける表示部１４２の表示例を説明した。もちろん、これ以外の表示項目を追加したり、任意の項目のみを表示するよう構成できることはいうまでもない。
【０１０７】
なお図３２の例では、照射モードにおいてはメニュー項目は基本的に表示部１４２の切替として機能するため、更なる階層構造は設けていない。もちろん、表示項目等を階層構造で切り替えるよう構成してもよいことはいうまでもない。
【０１０８】
［設定モード］
次に、図３４および図３５を参照しながら、設定モードにおける紫外線照射条件を設定する方法の詳細を説明する。図３４に示すように、設定モードでは運転中設定番号メニューと、設定編集メニューと、通信条件メニューと、その他条件メニューの４つの項目が、＜、＞スイッチ１４４Ａ、１４４Ｂにより切り替えられる。メニューの選択は、エンタースイッチ１４４Ｆを押下することで実行され、選択された項目の設定モードに移行できる。なお、エスケープスイッチ１４４Ｅを押下すれば、上位の階層に戻ることができる。
【０１０９】
もちろん、複数の項目をまとめたり、他の項目を追加したりしてもよい。例えば通信条件メニューとその他条件メニューを一つにまとめたり、あるいは編集設定メニューを２つに分けても良い。
【０１１０】
（運転中設定番号メニュー）
運転中設定番号メニューは、照射モードにおいて使用する紫外線照射条件設定の設定番号を選択する。ここでは、既に設定され保存された紫外線照射条件設定の中から、所望の設定番号を∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄにて選択する。選択後、エンタースイッチ１４４Ｆを押下すると表示部１４２に「Ｅｎｄ」と表示され、選択された設定番号が保存されると共に、運転中設定番号メニューに戻る。
【０１１１】
なお本実施の形態では、運転中設定番号メニューと後述する設定編集メニューとを個別に設けているが、これらを統合してもよい。この場合は、前回の設定作業の際に選択された番号を保持し、照射モードにおいてこの番号の設定が選択されているものとして扱う。
【０１１２】
（設定編集メニュー）
設定編集メニューは、紫外線照射条件を設定するメニューである。設定編集メニューの詳細を図３５に示す。設定編集メニューに含まれる大項目としては、編集設定番号選択、照射モード選択の設定画面がある。各々の設定画面での設定が完了しエンタースイッチ１４４Ｆを押下すると、次の設定画面に移行する。
【０１１３】
（編集設定番号選択）
まず、編集設定番号選択では、設定番号を選択する。本実施の形態では、上述の通りｎｏ０〜１９まで最大２０個の設定を保存できる。もちろん、これ以上あるいは以下の数を設定可能とすることもできる。
【０１１４】
（照射モード選択）
次に、選択された設定番号について、照射モードを選択する。照射モードは、上述の通りＵ０〜２の３通り、すなわち一括手動照射モード、個別手動照射モード、一括自動照射モードのいずれかを選択する。照射モードを選択してエンタースイッチ１４４Ｆを押下すると、表示部１４２に「Ｅｎｄ」と表示されて上記の設定を一時保存すると共に、編集チャンネル選択に移行する。
【０１１５】
編集チャンネル選択では、設定の対象となるヘッド部１２０が接続されたチャンネル番号をＣＨ１〜４の中から選択する。次に、出力許可選択に進み、上記で選択されたチャンネル番号のヘッド部１２０につき、紫外線出力を許可するか否かを選択する。許可の場合は「ｏｎ」、不許可の場合は「ｏｆｆ」と表示部１４２に表示される。この状態でエンタースイッチ１４４Ｆを押下すると、照射モード選択画面にて選択した照射モードに応じて、ステップ番号選択画面、もしくはステップ番号選択不可表示に進む。
【０１１６】
（一括自動照射モードの詳細設定）
照射モード選択画面において一括自動照射モードを選択した場合は、ステップ番号選択画面に進み、ステップ番号を選択する。上述の通りステップ番号はＳ０〜１９まで最大２０個設定可能であり、必要な数だけ順番に設定していく。ステップ番号を選択すると、照射時間設定画面となり、紫外線照射時間を入力する。次に照射出力を同様に入力する。これらの入力値は、∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄで増減させる。入力の便宜のため、前回の設定値をコピーしてデフォルト値として入力したり、長押しで高速増減を可能にすることもできる。以上の設定が終了すると、エンタースイッチ１４４Ｆを押下して設定を一時保存すると共に、ステップ番号選択画面に戻る。このとき、設定されたステップ番号に１を増加させた値がデフォルト値として入力される。すべてのステップ番号の設定が終了すると、エスケープスイッチ１４４Ｅを押下すれば、編集設定番号選択画面に戻る。
【０１１７】
（一括手動照射モード、個別手動照射モードの詳細設定）
一方、照射モード選択画面において一括手動照射モードまたは個別手動照射モードを選択した場合は、一定値での出力となり、出力を可変とするステップを選択できないので、出力許可選択画面からステップ番号選択不可表示に進む。このとき表示部１４２には「ｓ．−−−」と表示され、ステップ番号が選択できないことを表示する。手動照射モードでは照射時間も設定しないので、この状態でエンタースイッチ１４４Ｆを押下すると、照射出力設定画面となる。上記と同様にデューティ比で出力を設定後、エンタースイッチ１４４Ｆを押下すると設定が保存され、編集チャンネル番号選択画面に戻る。以上のようにして、編集設定メニューで紫外線照射条件が設定される。
【０１１８】
（通信条件メニュー）
通信条件メニューでは、紫外線照射装置と外部接続機器とをＲＳ−２３２Ｃインターフェースで接続する際の通信条件を設定する。図３４の例では、通信条件メニューからボーレート選択、ストップビット・パリティ選択、デリミタ・チェックサム選択がそれぞれ設定できる。各々の設定画面での設定が完了しエンタースイッチ１４４Ｆを押下すると、次の設定画面に移行する。まずボーレート選択では、予め設定された１２００ｂｐｓ、２４００ｂｐｓ、４８００ｂｐｓ、９６００ｂｐｓ、１９２００ｂｐｓ、３８４００ｂｐｓの選択肢から、∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄにて選択し、エンタースイッチ１４４Ｆで決定する。表示部１４２においては、「ｂ．３８４」等、×１００にて表示することで表示桁数を節約している。なお、ハードウェア的に対応しておれば、上記以外のボーレート値を設定することもできる。ストップビット・パリティ選択では、ストップビットが１または２、パリティがなし、偶数、奇数をそれぞれ選択できる。図の例では、これらの組み合わせを予め選択肢として提示し、ストップビット１・パリティなし（表示部１４２における表示「ｙ．１ｎ」）、ストップビット１・パリティ偶数（「ｙ．１Ｅ」）、ストップビット１・パリティ奇数（「ｙ．１ｏ」）、ストップビット２・パリティなし（「ｙ．２ｎ」）、ストップビット２・パリティ偶数（「ｙ．２Ｅ」）、ストップビット２・パリティ奇数（「ｙ．２ｏ」）の中から∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄにて選択し、エンタースイッチ１４４Ｆで決定する。同様にデリミタ・チェックサム選択では、デリミタとしてＣＲもしくはＥＴＸ、チェックサムのあり・なしをそれぞれ選択できる。図の例では、これらの組み合わせとしてデリミタＣＲ・チェックサムなし（表示部１４２における表示「ｄ．Ｃ０」）、デリミタＣＲ・チェックサムあり（「ｄ．Ｃ１」）、デリミタＥＴＸ・チェックサムなし（「ｄ．Ｅ０」）、デリミタＥＴＸ・チェックサムあり（「ｄ．Ｅ１」）の中から、∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄにて選択し、エンタースイッチ１４４Ｆで決定する。
【０１１９】
（その他条件メニュー）
その他条件メニューにおいては、入力接点選択、点灯アラーム時間編集が設定できる。入力接点選択は、フットスイッチを接続する場合等、チャタリング防止のための遅延時間を設定する。点灯アラーム時間編集は、ＵＶＬＥＤの劣化による警告を行う時間を設定する。上記の階層メニューの構成は一例であって、他の構成も適宜採用できる。例えばメニューの選択には水平方向、選択された項目の設定には垂直方向のスイッチを使用したが、水平方向と垂直方向を入れ替えてもよいことはいうまでもない。
【０１２０】
［実施の形態１３］
また実施の形態１２のように設定部を共通とする構成の他、各ヘッド部毎に個別設定スイッチ２９０と個別表示部２９２を設けることもできる。図３６に、本発明の実施の形態１３に係る紫外線照射装置のコントローラ部２１０の正面図を示す。この図に示す個別設定スイッチ２９０は、各ヘッド部から照射される紫外線出力の設定や照射時間の増減に使用され、アップダウンスイッチ等が利用できる。この態様では、個別設定スイッチ２９０で各チャンネルの紫外線照射条件を設定できる他、上記の操作パネル２４４を用いて紫外線照射条件を設定することもできる。また、共通の操作パネルを省略して、個別設定スイッチ２９０のみで設定するよう構成することもできる。個別表示部２９２は７セグメント表示器等が利用でき、設定された出力や照射時間を表示する。また、個別設定スイッチ２９０のみ、あるいは個別表示部２９２のみを各チャンネル毎に設けても良い。
【０１２１】
［実施の形態１４］
また、各ヘッド部の紫外線出力を調整する個別設定スイッチや個別照射スイッチは、コントローラ部１１０でなくヘッド部１２０に設けることもできる。図３７〜図３８に、本発明の実施の形態１４に係る紫外線照射装置のヘッド部３２０を示す。これらの図に示すように、ヘッド部３２０にＵＶＬＥＤ３５１からの紫外線照射のＯＮ／ＯＦＦを行うための個別照射スイッチ３８０、紫外線の出力レベルを調節するための個別設定スイッチ３９０を設ける。個別設定スイッチ３９０は、２個のプッシュスイッチからなるアップダウンスイッチが利用できる。図３７（ｂ）や図３８に示すように、これらのスイッチ類は基板上に実装される。その他の部材は、上述した図７等と同様の構成が利用できる。この構成は、ユーザが手でヘッド部３２０を把持して使用する場合に、手元で出力を調整でき、このような態様において好適に利用できる。また図示しないが、７セグメント表示器等の個別表示部をヘッド部にそれぞれ設けることもできる。あるいは、個別設定スイッチまたは個別照射スイッチのみをヘッド部に設け、コントローラ部側に残りの部材を設けても良い。
【０１２２】
［実施の形態１５］
以上の各実施の形態では、ヘッド本体部の長手方向に沿って、ケーブル部と紫外線の照射方向が略直線状となる態様（ストレートタイプ）とした。これに対して図３９に示す本発明の実施の形態１５に係る紫外線照射装置のヘッド部４２０は、ＵＶＬＥＤ４５１からの紫外線の照射方向がヘッド部４２０の長手方向と略直交するように構成したアングル状のタイプとしている。図３９はヘッド部４２０の平面図および断面図を、図４０はこのヘッド部４２０の支持方法の一例を示す斜視図を、それぞれ示している。これらの図に示すように、ヘッド本体部４２２とレンズホルダ４２６とが冷却ブロック４２４を介してアングル状に結合し、アングル形状のヘッド部４２０が構成されている。
【０１２３】
図４０に示すように、実施の形態１５のアングルタイプのヘッド部４２０では、ヘッド本体部４２２を把持するホルダ４２０２を設け、これによってヘッド部４２０を固定することができる。この場合、ヘッド部４２０の上方空間に余裕ができる。つまり、ヘッド部４２０を設備に固定する際に、設備の関係でヘッド部４２０の上方に十分なスペースを確保することが困難な場合に適している。また、紫外線照射の対象物（箇所）を上方からヘッド部４２０越しに観察する際の視認性に優れている。
【０１２４】
一方、上述した実施の形態におけるストレートタイプのヘッド部１２０の支持方法の一例を図４１に示す。図４１（ａ）の例では、ヘッド本体部１２２の背面に螺合によって略直角に固定したポール部材１２０１をホルダ１２０２で把持することによってヘッド部１２０を固定する。図４１（ｂ）の例では、ヘッド本体部１２２の背面に形成した２箇所のネジ孔を用いて、壁面等の固定対象Ｈに固定ネジ１２０３によって直接ネジ止めする。いずれの場合も、ヘッド部１２０の上方にケーブル部１３０のための空間が必要になる。図３９、図４０に示した実施の形態１５のアングルタイプのヘッド部１２０の場合は、ケーブル部１３０が側方へ延びるので、ヘッド部４２０の上方空間に余裕が無くても問題が生じない。
【０１２５】
［実施の形態１６］
上記の各実施の形態では、図７等に示すように各ヘッド部がＵＶＬＥＤを１個備えている。ただ、複数の半導体素子をヘッド部５２０に設けることもできる。複数の半導体素子を使用することによって、紫外線の照射量を必要に応じて調整することが可能となる。本発明の実施の形態１６に係る紫外線照射装置として、図４２に複数のＵＶＬＥＤ５５１を備えるヘッド部５２０を示す。図４２（ａ）は、円柱状の冷却ブロックの底面に、略均一に１２個のＵＶＬＥＤ５５１Ａを配置した例を示す。図４２（ｂ）は略正方形状の冷却ブロックに、３行×３列＝９個のＵＶＬＥＤ５５１Ｂを配置した例を示す。もちろん、ＵＶＬＥＤ５５１は１列や２列に並べてもよいし４列以上に並べてもよい。また図４２（ｃ）は一方向に延長した略長方形状の冷却ブロックに、２行×３列＝６個のＵＶＬＥＤ５５１Ｃを配置した例を示す。この例の構造では、長手方向に並んだ複数のＵＶＬＥＤ５５１Ｃによって、細長い領域に塗布された樹脂に一度に紫外線を照射して硬化させることができる。
【０１２６】
もちろん、ＵＶＬＥＤの個数や配列パターンや、これ以外にも適宜採用できる。複数のＵＶＬＥＤを同時にＯＮして使用することで、紫外線量を増やして出力を増大できる。また、複数のＵＶＬＥＤの内、特定のＵＶＬＥＤのみをＯＮさせ、他のＵＶＬＥＤをＯＦＦとし、動作するＵＶＬＥＤを交互に切り替えて使用することによって、特定のＵＶＬＥＤの連続使用を避けて各素子の長寿命化を図ることができ、ＵＶＬＥＤの交換時期を延長できる。
【０１２７】
さらに、特性が同一のＵＶＬＥＤを複数設ける場合のみならず、異なる特性を備えるＵＶＬＥＤを同一のヘッド部に設けても良い。例えば、波長の異なるＵＶＬＥＤを切り替えて使用することで、同一のヘッド部から照射可能な紫外線の波長を変更できる。特性の異なるＵＶＬＥＤを使用する場合は、各ＵＶＬＥＤに応じた駆動電流等を予めヘッド部側で設定しておく。さらにまた、ヘッド部間で異なる特性のＵＶＬＥＤを各ヘッド部に設けることも可能であることはいうまでもない。
【０１２８】
複数の半導体素子をヘッド部５２０に設ける場合は、ＯＮする素子を他と区別する必要があるので、各半導体素子に個別のＩＤ番号等の素子識別情報を割り当る。そして紫外線照射条件を設定する際に、いずれの素子をＯＮするかの素子識別情報も設定する。複数の半導体素子を点灯する場合は、該半導体素子に同一の設定を容易に行えるよう、設定のコピーを可能としてもよい。また、すべての素子をＯＮするような場合は、素子識別情報として「すべて」を指定できるようにする。例えば、設定画面において「Ａ」を入力する。これによって、各素子毎に同じ紫外線照射条件を設定する手間を省くことができる。なお、複数の半導体素子で電流値を変えて紫外線を照射させることも可能であることはいうまでもない。
【０１２９】
次に、ヘッド部５２０が複数のＵＶＬＥＤ５５１を備える場合の、紫外線照射条件の設定方法について、図４３に基づき説明する。図４３において、工程２４０１のヘッド部５２０番号選択ステップ、および工程２４０２のステップ番号選択ステップは、上述した図２９の工程１００１、工程１００２と同様である。次に工程２４０２−１で動作対象となるＵＶＬＥＤ５５１の番号を選択する。ヘッド部５２０に備えられた複数のＵＶＬＥＤ５５１には、上述の通り固有のＩＤ番号が予め付与されており、この内駆動させたいＵＶＬＥＤ５５１の番号を選択する。以下の工程は、図２９の工程１００３、１００４、１００５と同様である。また、一のヘッド部で設定した紫外線照射条件を他のヘッド部にコピーすることもできる。この場合、遷移画面にコピー設定画面を表示させ、コピー元のヘッド番号とコピー先のヘッド番号を指定する。また、一のヘッド部で設定した条件をすべてのヘッド部にコピーすることも可能である。例えばコピー先としてヘッド部に割り当てられた番号に代わってａｌｌを示す「Ａ」等と指定する。あるいはまた、一のヘッド部に設定された条件を保存しておき、これを呼び出して使用することもできる。
【０１３０】
［実施の形態１７］
また、紫外線照射条件の設定は、上記のように照射時間と照射出力の組をステップ状に指定する方法の他、予め設定された照射パターンを選択することもできる。例えば、関数状の照射パターンを選択する方法や、さらに選択した関数の定数を入力することもできる。これらの設定は、関数番号や定数を数値で指定、選択する方法の他、グラフ図形をグラフィカルに表示して選択する方法等が採用できる。さらに前者の数値による選択方法においても、設定された関数をグラフ図形で確認可能としてもよい。このようなグラフ表示を可能にするには、図形表示が可能な表示部１４２を用意する。
【０１３１】
［関数状照射パターン］
図４４は、紫外線の照射時間と照射出力を関数で表示する３つのパターンを示した例を示すグラフである。この図に示すようなパターンでも、本発明の実施の形態は紫外線を照射可能である。図４４の例では、関数の例としてＦ１〜Ｆ３の３種類の示している。
【０１３２】
Ｆ１：Ｐ＝ａｔ＋ｃ
Ｆ２：Ｐ＝ａ＊（１−ＥＸＰ（−ｂ＊ｔ））＋ｃ
Ｆ３：Ｐ＝ａ＊（ＥＸＰ（ｂ＊ｔ）−１）＋ｃ
（ａ，ｂ，ｃは条件に応じて設定する定数）
【０１３３】
また、これら以外にもｎ次式の関数を利用することもできる。上記の関数のいずれかを選択した後、定数ａ，ｂ，ｃを設定すると照射パターンが決定される。定数は、紫外線照射装置の使用条件に応じて設定される。図４４に例示する関数Ｆ１〜Ｆ３では、紫外線の照射出力を照射時間１０秒で７０％まで上げる場合に設定される定数として、以下の値を設定している。
【０１３４】
Ｆ１：Ｐ＝７ｔ（ａ＝７、ｃ＝０）
Ｆ２：Ｐ＝７０＊（１−ＥＸＰ（−０．５＊ｔ））（ａ＝７０、ｂ＝０．５、ｃ＝０）
Ｆ３：Ｐ＝１０＊（ＥＸＰ（０．２１＊ｔ）−１）（ａ＝１０、ｂ＝０．２１、ｃ＝０）
【０１３５】
図４４のような照射パターンでの紫外線照射条件を設定する手順を、図４５に基づき説明する。まず工程２６０１でヘッド番号を選択し、工程２６０２でステップ番号を選択する工程は、図２９と同様である。次に工程２６０２−１で、関数番号を選択する。ここでは関数Ｆの選択肢として、上述したＦ０〜Ｆ３が選択可能である。なおＦ＝０は、上記と同様に照射時間と照射出力を入力するステップ状関数である。工程２６０２−１でＦ＝０を選択した場合は、工程２６０３で照射時間、工程２６０４で照射出力をそれぞれ入力し、工程２６０５で設定を保存する。また工程２６０２−１でＦ＝１を選択した場合は、工程２６０３−１で定数ａ、工程２６０４−１で定数ｂをそれぞれ入力し、工程２６０５で設定を保存する。さらに工程２６０２−１でＦ＝２または３を選択した場合は、工程２６０３−２で定数ａ、工程２６０４−２で定数ｂ、ｃをそれぞれ入力し、工程２６０５で設定を保存する。
【０１３６】
上記以外にも、照射パターンを設定する方法として、例えば照射パターンの波形を選択後、照射時間を入力して自動的に関数の定数を演算し、設定する方法や、紫外線の総照射量や熱量で設定する方法等が適宜利用できる。
【０１３７】
従来の紫外線照射装置では、紫外線源として使用する高圧水銀ランプ等に機械的なシャッタを介することにより出力を変更していたため、紫外線出力の最小分解能が粗くなり離散的な変化となって微調整ができず、波形パターンに沿った出力の変更が極めて困難であった。これに対して、駆動電流に対するリニアリティの高い半導体素子を利用する本実施の形態によれば、入力電流を調整してほぼ連続的な出力の変化が実現される。駆動電流に応じて出力をリニアリティ良く変化できるので、上記のようなパターンにも対応できる。なお、紫外線出力と連続波形との近似性は、Ａ／Ｄ変換部の分解能に依存することはいうまでもない。
【０１３８】
［実施の形態１８］
上記の各実施の形態では、紫外線照射条件の設定をコントローラ部の設定部で行っている。ただ、紫外線照射条件の設定は、紫外線照射装置に外部接続された機器にて行うことも可能である。例えば、本発明の実施の形態１８として、図４６に示すように紫外線照射装置７００のコントローラ部７１０を、コンピュータやＰＬＣ等の外部接続機器７１０１と接続し、外部接続機器７１０１側で設定した紫外線照射条件をコントローラ部１１０に転送することで設定を行う。
【０１３９】
紫外線照射装置７００は外部接続機器７１０１と接続するためのインターフェースを備える。インターフェースはコントローラ部７１０の制御部７１４と接続され、制御部７１４で外部接続機器７１０１との電気信号のやりとりやデータ通信を行う。外部接続機器７１０１と紫外線照射装置７００との接続は、ＲＳ−２３２ｘやＲＳ−４２２、ＵＳＢやＩＥＥＥ１３９４等のシリアル接続、パラレル接続、あるいは１０ＢＡＳＥ−Ｔ、１００ＢＡＳＥ−ＴＸ、１０００ＢＡＳＥ−Ｔ等のネットワークを介して電気的に接続して通信を行うことができる。接続は有線を使った物理的な接続に限られず、ＩＥＥＥ８０２．１１ｘ、ＯＦＤＭ方式等の無線ＬＡＮやＢｌｕｅｔｏｏｔｈ等の電波、赤外線、光通信等を利用した無線接続等でもよい。さらに記録媒体を介して設定情報を保存、読み込みさせることもできる。記録媒体には、メモリカードや磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリ等が利用できる。
【産業上の利用可能性】
【０１４０】
本発明の紫外線照射装置及び紫外線照射方法は、ピックアップ等の電子部品の組み立て作業において、紫外線硬化型樹脂による接着に好適に利用できる。また、半導体ステッパーや光洗浄装置、光乾燥装置等の用途にも利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】本発明の実施の形態１に係る紫外線照射装置を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態２および３に係る紫外線照射装置を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態４に係る紫外線照射装置を示すブロック図である。
【図４】駆動電流一定時に駆動時間と紫外線出力の関係を示すＵＶＬＥＤの劣化曲線のグラフである。
【図５】積算出力とＵＶＬＥＤの劣化曲線から出力の劣化を算出する様子を示すグラフである。
【図６】本発明の実施の形態５に係る紫外線照射装置のヘッド部の詳細を示す正面図及び断面図である。
【図７】実施の形態５に係る紫外線照射装置のヘッド部を上方から見た分解斜視図である。
【図８】実施の形態５に係る紫外線照射装置のヘッド部を下方から見た分解斜視図である。
【図９】図８のコネクタを各々連結した状態を示す斜視図である。
【図１０】冷却ブロックの先端面にＵＶＬＥＤを密着固定する様子を示す図である。
【図１１】レンズホルダとその内部構造例を示す分解図である。
【図１２】冷却ブロックとレンズホルダとの固定方法の例を示す図である。
【図１３】本発明の実施の形態６に係る紫外線照射装置のヘッド部の紫外線照射部分を示す断面図である。
【図１４】本発明の実施の形態７に係る紫外線照射装置のヘッド部の紫外線照射部分を示す断面図である。
【図１５】本発明の実施の形態８に係る紫外線照射装置のヘッド部の紫外線照射部分を示す断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態９に係る紫外線照射装置のヘッド部のＵＶＬＥＤの平面図及び紫外線照射部分を示す断面図である。
【図１７】本発明の実施の形態１０に係る紫外線照射装置のヘッド部を、紫外線照射部分が見える方向から見た示す斜視図である。
【図１８】図１７のヘッド部を反対側から見た斜視図である。
【図１９】図１７のヘッド部のサイドビューレンズ装着部を示す分解斜視図である。
【図２０】図１９のサイドビューレンズ装着部を、レンズ部を除いて縦方向に切断した状態を示す分解斜視図である。
【図２１】図２０からＵＶＬＥＤおよびヘッド基板部を除き、レンズホルダを付加した状態を示す分解斜視図である。
【図２２】図２１のレンズホルダを示す断面図である。
【図２３】本発明の実施の形態１１に係る紫外線照射装置のヘッド本体部を示す斜視図である。
【図２４】図２３のヘッド本体部の上ケース部材を除去した状態を示す分解図である。
【図２５】図２３のヘッド本体部を分解した状態を示す分解斜視図である。
【図２６】図２５のＵＶＬＥＤとヘッド基板部を示す分解斜視図である。
【図２７】図２５のＵＶＬＥＤとヘッド基板部を接合した状態を示す斜視図である。
【図２８】本発明の実施の形態１２に係る紫外線照射装置のコントローラ部の前面パネルに設けられた表示部及び設定部の配置例を示す正面図である。
【図２９】本発明の実施の形態１２に係る紫外線照射装置で紫外線照射条件の設定方法を示すフローチャートである。
【図３０】紫外線の照射パターンがステップ状に変化する様子を示すグラフ図である。
【図３１】図２９の紫外線照射条件の設定方法を詳細に示すフローチャートである。
【図３２】紫外線照射装置に使用される階層メニューの一例を示す状態遷移図である。
【図３３】照射モードにおける階層メニューの一例を示す状態遷移図である。
【図３４】設定モードにおける階層メニューの一例を示す状態遷移図である。
【図３５】設定モードにおける設定編集メニューの詳細を示す状態遷移図である。
【図３６】本発明の実施の形態１３に係る紫外線照射装置のコントローラ部の正面図である。
【図３７】本発明の実施の形態１４に係る紫外線照射装置のヘッド部を示す正面図及び断面図である。
【図３８】図３７のヘッド部を示す分解斜視図である。
【図３９】本発明の実施の形態１５に係る紫外線照射装置のヘッド部を示す平面図および側面断面図である。
【図４０】図３９のヘッド部を示す斜視図である。
【図４１】ストレートタイプのヘッド部の支持方法の例を示す斜視図である。
【図４２】本発明の実施の形態１６に係る紫外線照射装置のヘッド部を示す底面図である。
【図４３】本発明の実施の形態１６に係る紫外線照射装置における紫外線照射条件の設定方法を示すフローチャートである。
【図４４】本発明の実施の形態１７に係る紫外線照射条件の設定方法において、関数状とした紫外線の照射パターンを示すグラフである。
【図４５】本発明の実施の形態１７に係る紫外線照射条件を設定する手順を示すフローチャートである。
【図４６】本発明の実施の形態１８に係る紫外線照射装置のブロック図である。
【符号の説明】
【０１４２】
１００、２００、３００、７００…紫外線照射装置
１１０、２１０、３１０、７１０…コントローラ部
１１２…電源部
１１４、２１４、３１４、７１４…制御部
１１６、３１６…記憶部
２１８…駆動回路
２１９…Ｄ／Ａ変換部
２１９１…Ａ／Ｄ変換部
１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、１３２０、１４２０、１７２０…ヘッド部
１２０１…ポール部材
１２０２、４２０２…ホルダ    １２０３…固定ネジ
１２２、１３２２、１４２２、１５２２、１６２２、１７２２、２３２２、４２２…ヘッド本体部
１２２１、１７２２Ａ、２３２２Ａ…上ケース部材
１２２２、１７２２Ｂ、２３２２Ｂ…下ケース部材
２３２２Ｃ…突出部
１２２３…基端部材
１２２４…基板
１２２５…ケーブル用コネクタ
１２２６…インジケータＬＥＤ
１２２７、３２２７…メモリ部
１２２８…調整回路
１２２９…固定ネジ      １２３０…固定ネジ
１２３、３２３…ヘッド制御部
１２３１…連結コネクタ
１２３２…貫通孔
１２４、４２４…冷却ブロック
１２４１…固定ネジ      １２４２…固定ネジ
１２４３…基端側突出部
１２４４…連結コネクタ
１２４５…保護プレート
１２６、１３２６、１４２６、１５２６、１６２６、１７２６、２３２６、４２６…レンズホルダ
１７２６Ａ…内ホルダ    １７２６Ｂ…外ホルダ
１７２７…サイドビューレンズ装着部
１７２７Ａ…右ケース部材    １７２７Ｂ…左ケース部材
１７２７Ｃ…レンズホルダ挿入部
１３２７、１４２７、１５２７…受光窓
１３２８、１４２８、１５２８…シャッタ
２３５５…ＵＶＬＥＤホルダ
２３５６…電極
２３５７…スタッド
２３５８…ランド
１２６０、１７６０…レンズ部
１２６１、１３６１、１７６１…光学系レンズ
１２６１Ａ…第１のレンズ    １２６１Ｂ…第２のレンズ
１２６２…スペーサ
１２６３…レンズ固定キャップ
１３６４…迷光カットアパーチャ
１３６５…反射光カットフィルタ
１３０、２３０…ケーブル部
１４０…設定部
１４２…表示部
１４４、２４４…操作パネル
１４４Ａ、１４４Ｂ、１４４Ｃ、１４４Ｄ…＜、＞、∧、∨スイッチ
１４４Ｅ…エスケープスイッチ    １４４Ｆ…エンタースイッチ
１４５…チャンネル表示ランプ
１４６…紫外線照射ランプ
１４７…電源スイッチ
１４８…一括照射スイッチ
１５０…半導体素子
１５１、２５１、３５１、４５１、５５１、５５１Ａ、５５１Ｂ、５５１Ｃ、１３５１、１４５１、１５５１、１６５１、１７５１、２３５１…ＵＶＬＥＤ
１６５１…ＵＶＬＥＤパッケージ    １６５１１…ＵＶＬＥＤチップ
１５２、３５２、４５２、５５２、６５２…受光素子
１３５４、１７５４、２３５４…ヘッド基板部
１７５４Ａ…突出部
２２３３…受光回路
１６０…ヘッド接続部
１７０…個別照射ランプ
１８０、３８０…個別照射スイッチ    ２９０、３９０…個別設定スイッチ
２９２…個別表示部
７１０１…外部接続機器
Ｕ…紫外線    Ｈ…固定対象
【図１】
2005227241.tif 000003
【図２】
2005227241.tif 000004
【図３】
2005227241.tif 000005
【図４】
2005227241.tif 000006
【図５】
2005227241.tif 000007
【図６】
2005227241.tif 000008
【図７】
2005227241.tif 000009
【図８】
2005227241.tif 000010
【図９】
2005227241.tif 000011
【図１０】
2005227241.tif 000012
【図１１】
2005227241.tif 000013
【図１２】
2005227241.tif 000014
【図１３】
2005227241.tif 000015
【図１４】
2005227241.tif 000016
【図１５】
2005227241.tif 000017
【図１６】
2005227241.tif 000018
【図１７】
2005227241.tif 000019
【図１８】
2005227241.tif 000020
【図１９】
2005227241.tif 000021
【図２０】
2005227241.tif 000022
【図２１】
2005227241.tif 000023
【図２２】
2005227241.tif 000024
【図２３】
2005227241.tif 000025
【図２４】
2005227241.tif 000026
【図２５】
2005227241.tif 000027
【図２６】
2005227241.tif 000028
【図２７】
2005227241.tif 000029
【図２８】
2005227241.tif 000030
【図２９】
2005227241.tif 000031
【図３０】
2005227241.tif 000032
【図３１】
2005227241.tif 000033
【図３２】
2005227241.tif 000034
【図３３】
2005227241.tif 000035
【図３６】
2005227241.tif 000036
【図３７】
2005227241.tif 000037
【図３８】
2005227241.tif 000038
【図３９】
2005227241.tif 000039
【図４０】
2005227241.tif 000040
【図４１】
2005227241.tif 000041
【図４２】
2005227241.tif 000042
【図４５】
2005227241.tif 000043
【図４６】
2005227241.tif 000044
【図３４】
2005227241.tif 000045
【図３５】
2005227241.tif 000046
【図４３】
2005227241.tif 000047
【図４４】
2005227241.tif 000048