(57)【要約】【課題】    製造コストの増大を防止しつつ、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することができ、かつ、長期間の保存に対する信頼性を高めることができる光記録媒体を提供することを目的とする。【解決手段】    支持基板１１と、支持基板１１上に形成され、光入射面１３ａ側から、第一の記録膜２３ａ、第二の記録膜２３ｂ、誘電体膜２２および反射膜２１が、この順に、積層された積層体を含む情報層２０とを備え、反射膜２１が、Ａｇ、またはＡｇを含む合金を主成分として含み、誘電体膜２２が、実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として含み、窒素が添加されていることを特徴とする光記録媒体。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板上に形成され、光入射面側から、記録膜、誘電体膜および反射膜が、この順に、積層された積層体を含む情報層とを備え、前記反射膜が、Ａｇ、またはＡｇを含む合金を主成分として含み、前記誘電体膜が、実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として含み、窒素が添加されていることを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
前記誘電体膜が、Ｚｎ、Ａｌ、Ｃｅ、Ｚｒよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物を主成分として含んでいることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項３】
前記誘電体膜が、Ｚｎの酸化物を主成分として含み、４原子％ないし７原子％の窒素が添加されていることを特徴とする請求項２に記載の光記録媒体。
【請求項４】
前記誘電体膜が、Ｃｅの酸化物とＡｌの酸化物の混合物を主成分として含み、９原子％以上の窒素が添加されていることを特徴とする請求項２に記載の光記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録媒体に関するものであり、とくに、製造コストの増大を防止しつつ、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することができ、かつ、長期間の保存に対する信頼性を高めることができる光記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、デジタルデータを記録するための記録媒体として、ＣＤやＤＶＤに代表される光記録媒体が広く利用されており、近年においては、より大容量で、かつ、高いデータ転送レートを有する次世代型の光記録媒体が提案されている。
【０００３】
これらの光記録媒体は、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭのように、データの追記や書き換えができない再生専用の光記録媒体と、ＣＤ−ＲやＤＶＤ−Ｒのように、データの追記はできるが、データの書き換えができない追記型光記録媒体と、ＣＤ−ＲＷやＤＶＤ−ＲＷのように、データの書き換えが可能な書き換え型光記録媒体とに大別することができる。
【０００４】
これらのうち、追記型光記録媒体や書き換え型光記録媒体においては、強度変調されたレーザビームを記録膜に照射して、記録膜に含まれた有機色素や相変化材料を、化学的および／または物理的に変化させ、記録マークを形成することにより、データを記録し、記録膜にレーザビームを照射して、レーザビームの反射光量を検出することにより、データを再生するように構成されている。
【０００５】
追記型光記録媒体や書き換え型光記録媒体においては、記録膜を化学的および／または物理的に保護するとともに、記録マークが形成された記録膜の領域と、記録マークが形成されていない記録膜の領域との反射率の差が増大するように、記録膜の近傍に、誘電体膜が設けられるのが一般的である。
【０００６】
こうした誘電体膜を形成するための材料としては、光学特性、成膜特性および熱伝導率などの観点から、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物が好ましく用いられる。すなわち、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物は、高い屈折率を有するため、記録マークが形成された領域と、記録マークが形成されていない領域との反射率の差を大きくすることができるとともに、スパッタリングレートが高いため、生産性を向上することができる。また、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物は、熱伝導率が低いため、誘電体膜を記録膜の近傍に形成した場合にも、記録膜に生じた熱を過剰に逃がすことがなく、記録膜を効率的に加熱するための弊害にならないという利点がある。
【０００７】
また、追記型光記録媒体や書き換え型光記録媒体においては、記録マークが形成された領域と、記録マークが形成されていない領域との反射率の差を、より一層、大きくするとともに、記録膜に過剰に生じた熱を適度に放熱するために、反射膜が設けられることも一般的である。
【０００８】
反射膜を形成するための材料としては、反射特性や放熱特性の観点からＡｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｇなどの金属、または、これらの合金が好ましく用いられる。これらのなかでも、反射膜の表面上に、誘電体膜、記録膜が、順次、成膜されて製造されるタイプの光記録媒体においては、反射膜を形成するための材料として、表面平坦性に優れた反射膜を形成し得るＡｇ、またはＡｇを含む合金が、とくに好ましく用いられる。
【０００９】
しかしながら、Ａｇ、またはＡｇを含む合金を用いて、反射膜を形成した場合には、Ａｇが硫黄と化学反応を生じ易い性質を有しているため、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物を主成分として含む誘電体膜と組み合わせて使用すると、反射膜の表面が腐食されるという問題があった。こうした反射膜の表面の腐食は、光記録媒体を、高温高湿下に、長期間にわたって保存するか否かを問わず、時間経過とともに進行していくため、光記録媒体の保存信頼性を悪化させる要因となっていた。
【００１０】
そこで、かかる問題を解決するための手段の一つとして、反射膜と誘電体膜の間に、中間膜が形成された光記録媒体が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【００１１】
特許文献１に提案されている光記録媒体においては、Ａｇや硫黄と化学反応を生じにくい材料を用いて成膜された中間膜が、反射膜と誘電体膜の間に設けられており、かかる構成によって、反射膜と誘電体膜を、物理的に離間させ、Ａｇと硫黄の化学反応を防止している。
【特許文献１】特開平１１−２３８２５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上述の光記録媒体においては、保存信頼性を向上させることはできるものの、中間膜を形成するための製造工程を追加する必要があるため、製造コストが増大とするいう新たな問題が生じていた。したがって、製造コストを増大させることなく、保存信頼性を向上させるためには、硫黄を含まない誘電体材料を用いて、誘電体膜を形成することが要求される。
【００１３】
しかしながら、硫黄を含まないＴｉＯ２やＴａ２Ｏ５などの誘電体材料は、高い屈折率と優れた成膜特性を有するものの、熱伝導率が高いという性質を有している。このため、これらの誘電体材料を用いて、誘電体膜を形成した場合には、記録膜に生じた熱が反射膜側に逃げやすくなり、記録感度が悪化するという問題があった。
【００１４】
したがって、本発明は、製造コストの増大を防止しつつ、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することができ、かつ、長期間の保存に対する信頼性を高めることができる光記録媒体を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明のかかる目的は、基板と、前記基板上に形成され、光入射面側から、記録膜、誘電体膜および反射膜が、この順に、積層された積層体を含む情報層とを備え、前記反射膜が、Ａｇ、またはＡｇを含む合金を主成分として含み、前記誘電体膜が、実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として含み、窒素が添加されていることを特徴とする光記録媒体によって達成される。
【００１６】
本発明において、光記録媒体は、Ａｇ、またはＡｇを含む合金を主成分として含む反射膜を備えている。本明細書において、元素を主成分として含むとは、ある膜に含まれる元素のうち、その元素の含有率が最も大きいことを意味する。
【００１７】
本発明によれば、反射膜が、Ａｇ、またはＡｇを含む合金を主成分として含んでいるから、優れた光学特性や放熱特性を有するとともに、優れた表面平坦性を有する反射膜を形成することができ、したがって、Ｃ／Ｎ比などの信号特性に優れた再生信号を得ることが可能となる。
【００１８】
また、本発明において、光記録媒体は、実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として含む誘電体膜を備えている。本明細書において、実質的に硫黄を含まないとは、不純物として硫黄が含まれている以外には、誘電体膜に、硫黄が含まれていないことを意味する。
【００１９】
実質的に硫黄を含まない誘電体材料によって形成された誘電体膜は、Ａｇを含む反射膜の近傍に形成されても、Ａｇとの間で、化学反応を生じる可能性がきわめて低いため、反射膜の表面が腐食されるのを防止することができる。
【００２０】
また、本発明において、実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として含む誘電体膜には、添加物として、窒素が添加されている。
【００２１】
本発明者の研究によれば、実質的に硫黄を含まない誘電体材料に、窒素を添加させて、誘電体膜を形成した場合には、優れた光学特性や成膜特性を保持したまま、熱伝導率を低くできる誘電体膜を形成し得ることが見出されている。
【００２２】
したがって、本発明によれば、誘電体膜の熱伝導率を低くすることができるから、データを記録するに際して、記録膜に生じた熱を適度に保持することができ、記録感度を向上させることが可能となる。
【００２３】
さらに、本発明にかかる誘電体膜は、アルゴンガスと窒素ガスとの混合ガスをスパッタリングガスとして用い、実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として含むターゲットを用いたスパッタリング法によって、形成することが可能である。このため、同一の製造工程で、実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として含み、窒素が添加された誘電体層を形成し得るから、新たな製造工程を追加することを要せず、製造コストが増大するのを防止することが可能である。
【００２４】
このように、本発明によれば、製造コストの増大を防止しつつ、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することができ、かつ、長期間の保存に対する信頼性を高めることが可能となる。
【００２５】
本発明において、好ましくは、誘電体膜が、誘電体材料として、Ｚｎ、Ａｌ、Ｃｅ、Ｚｒよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物を主成分として含んでいる。Ｚｎ、Ａｌ、Ｃｅ、Ｚｒよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物を主成分として含んでいる誘電体膜は、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームに対して、とくに、高い屈折率を有しているため、データの記録再生に、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームを用いた場合に、良好な信号特性を有する再生信号を得ることが可能となる。また、Ｚｎ、Ａｌ、Ｃｅ、Ｚｒよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物を主成分として含む誘電体材料は、高いスパッタリングレートを有するため、成膜特性に優れ、生産性を向上させることが可能になる。
【００２６】
本発明において、誘電体膜が、Ｚｎの酸化物を主成分として含む場合には、誘電体膜に添加される窒素の添加量は、４原子％ないし７原子％であることが好ましく、５．５原子％ないし６．５原子％であることが、さらに好ましい。
【００２７】
誘電体膜が、Ｚｎの酸化物を主成分として含む場合に、誘電体膜に添加される窒素の添加量が、４原子％未満、あるいは７原子％を超えるときには、誘電体膜の熱伝導率を十分に低くすることができないおそれがある。
【００２８】
本発明において、誘電体膜が、Ｃｅの酸化物とＡｌの酸化物の混合物を主成分して含む場合には、誘電体膜に添加される窒素の添加量は、９原子％以上であることが好ましく、１０原子％ないし１２原子％であることが、さらに好ましい。
【００２９】
誘電体膜が、Ｃｅの酸化物とＡｌの酸化物の混合物を主成分として含む場合に、誘電体膜に添加される窒素の添加量が、９原子％未満のときには、誘電体膜の熱伝導率を十分に低くすることができないおそれがある。
【００３０】
本発明において、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームによって、情報層へのデータの記録および情報層からのデータの再生が可能であることが好ましい。
【００３１】
本発明の好ましい実施態様においては、前記記録膜が、Ｃｕを主成分として含む第二の記録膜と、前記第二の記録膜の近傍に設けられ、Ｓｉ、ＧｅおよびＳｎよりなる群から選ばれる一種の元素を主成分として含む第一の記録膜とを備えている。
【００３２】
レーザビームが照射されると、第一の記録膜および第二の記録膜が加熱され、第二の記録膜に主成分として含まれるＣｕと、第一の記録膜に主成分として含まれる元素とが混合されて、混合領域が形成される。こうして形成された混合領域は、それ以外の領域と、レーザビームに対する反射率が大きく異なるため、反射率の大きな差異を利用すれば、良好な信号特性を有する再生信号を得ることが可能となる。
【００３３】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記第二の記録膜が、Ａｌ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｍｇ、Ａｕからなる群より選ばれる少なくとも一種の元素が添加されている。これらの元素を、Ｃｕを主成分として含む第二の記録膜に添加した場合には、再生信号のノイズレベルを低下させることが可能になるとともに、長期間の保存に対する信頼性を向上させることが可能になる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、製造コストの増大を防止しつつ、所望のように、データを記録し、記録されたデータを再生することができ、かつ、長期間の保存に対する信頼性を高めることができる光記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。
【００３６】
図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録媒体の略斜視図であり、図２は、図１のＡで示される部分の略拡大断面図である。
【００３７】
図１に示されるように、本実施態様にかかる光記録媒体１０は、円板状をなし、図２において、矢印で示される方向から、レーザビームが照射されて、データが記録され、記録されたデータが再生されるように構成されている。
【００３８】
図２に示されるように、本実施形態にかかる光記録媒体１０は、支持基板１１と、支持基板１１の表面上に形成された情報層２０と、情報層２０の表面上に形成された光透過層１３を備えている。
【００３９】
支持基板１１は、光記録媒体１０の機械的な支持体として、機能するものである。
【００４０】
支持基板１１を形成するための材料は、光記録媒体１０の支持体として機能することができれば、とくに限定されるものではなく、たとえば、ガラス、セラミック、樹脂などによって、形成することができる。これらのうち、成形の容易性の観点から、樹脂が好ましく使用される。このような樹脂としては、ポリカーボネート樹脂、オレフィン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコーン樹脂、フッ素系樹脂、ＡＢＳ樹脂、ウレタン樹脂などが挙げられる。これらの中でも、加工性、光学特性などの点から、ポリカーボネート樹脂、オレフィン樹脂がとくに好ましく、本実施形態においては、支持基板１１は、ポリカーボネート樹脂によって形成される。
【００４１】
本実施形態においては、支持基板１１は、約１．１ｍｍの厚さを有している。
【００４２】
本実施形態においては、レーザビームは、支持基板１１とは反対側に位置する光透過層１３を介して、照射されるから、支持基板１１が、光透過性を有していることは必ずしも必要ではない。
【００４３】
支持基板１１の表面には、交互に、グルーブ１１ａおよびランド１１ｂが形成されている。支持基板１１の表面に形成されたグルーブ１１ａおよび／またはランド１１ｂは、情報層２０にデータを記録する場合および情報層２０からデータを再生する場合において、レーザビームのガイドトラックとして機能する。グルーブ１１ａの深さは、λ／（８ｎ）ないしλ／（４ｎ）（λは、レーザビームの波長であり、ｎは、光透過層１３の屈折率である。）に設定することが好ましく、グルーブ１１ａのピッチは、０．２μｍないし０．４μｍに設定することが好ましい。
【００４４】
図２に示されるように、支持基板１１の表面上には、情報層２０が形成されている。
【００４５】
図２に示されるように、情報層２０は、支持基板１１の表面上に形成された反射膜２１と、反射膜２１の表面上に形成された第二の誘電体膜２２と、第二の誘電膜２２の表面上に形成された第二の記録膜２３ｂと、第二の記録膜２３ｂの表面上に形成された第一の記録膜２３ａと、第一の記録膜２３ａの表面上に形成された第一の誘電体膜２４を備えている。
【００４６】
反射膜２１は、光透過層１３を介して、情報層２０に照射されるレーザビームを反射し、再び、光透過層１３から出射させる役割を果たすとともに、レーザビームの照射によって、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａに生じた熱を効果的に放熱させる役割を果たす。
【００４７】
反射膜２１は、Ａｇ、またはＡｇを含む合金を主成分として含んでいる。本明細書において、元素を主成分として含むとは、ある膜に含まれる元素のうち、その元素の含有率が最も大きいことを意味する。
【００４８】
反射膜２１が、かかる組成を有する場合には、優れた光学特性や放熱特性を有するとともに、優れた表面平坦性を有する反射膜を形成し得るから、Ｃ／Ｎ比などの信号特性に優れた再生信号を得ることが可能となる。
【００４９】
反射膜２１が、Ａｇを含む合金を主成分として含む場合には、Ｍｇ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇｅ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎｄ、Ｉｎ、ＳｎおよびＢｉなどの金属と、Ａｇとの合金によって、反射膜２１を形成することができ、これらのなかでも、高い反射率を有しているＡｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎｄ、Ｉｎ、ＳｎおよびＢｉの少なくとも１つ金属と、Ａｇとの合金を用いて、反射膜２１を形成することが、好ましい。
【００５０】
反射膜２１の厚さは、とくに限定されるものではないが、１０ｎｍないし３００ｎｍであることが好ましく、２０ｎｍないし２００ｎｍであることが、とくに好ましい。反射膜２１の厚さが１０ｎｍ未満であると、反射膜２１の反射率を十分に高くすることが困難になるとともに、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａに生成された熱を放熱することが困難になる。その一方で、反射膜２１の厚さが２００ｎｍを越えていると、反射膜２１の成膜に長い時間を要するため、生産性が低下し、また、内部応力などによって、クラックが発生するおそれがある。
【００５１】
第二の誘電体膜２２は、後述する第一の誘電体膜２４とともに、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａを物理的、化学的に保護するとともに、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａに記録されたデータを再生するときの光学特性を調整する機能を有している。また、第二の誘電体膜２２は、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａに生じた熱を、適度に、反射膜２１側に逃がす役割も果たしている。
【００５２】
本実施態様において、第二の誘電体膜２２は、Ｚｎ、Ａｌ、Ｃｅ、Ｚｒよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物、すなわち実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として、含んでいる。本明細書において、実質的に硫黄を含まないとは、不純物として硫黄が含まれている以外には、第二の誘電体膜２２に、硫黄が含まれていないことを意味する。
【００５３】
実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として含む誘電体膜は、Ａｇを含む反射膜の近傍に形成されても、Ａｇとの間で、化学反応を生じる可能性がきわめて低いため、反射膜の表面が腐食されるのを防止することができる。また、Ｚｎ、Ａｌ、Ｃｅ、Ｚｒよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物を主成分として含む誘電体膜は、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームに対して、高い屈折率を有するのに加え、比較的に良好なスパッタリングレートを有するため、光学特性および成膜特性にも優れる。
【００５４】
しかしながら、かかる誘電体膜は、熱伝導率が高いため、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａに生じた熱を反射膜２１側に逃げやすくし、記録感度を悪化させるという問題があった。
【００５５】
そこで、本発明者は、かかる問題を解決すべく、鋭意研究を重ねた結果、Ｚｎ、Ａｌ、Ｃｅ、Ｚｒよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物を主成分として含む誘電体材料に、窒素を添加させて、誘電体膜を形成することにより、優れた光学特性や成膜特性を保持したまま、熱伝導率を低くできる誘電体膜を形成し得ることを見出した。
【００５６】
したがって、本実施態様において、第二の誘電体膜２２には、添加物として、窒素が添加されており、本実施態様によれば、第二の誘電体膜２２の熱伝導率を低くすることができるから、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａに生じた熱を、適度に保持することができ、記録感度を向上させることが可能となる。
【００５７】
本実施態様において、たとえば、第二の誘電体膜２２が、Ｚｎの酸化物を主成分として含む場合には、第二の誘電体膜２２に添加される窒素の添加量は、４原子％ないし７原子％であることが好ましく、５．５原子％ないし６．５原子％であることが、さらに好ましい。
【００５８】
第二の誘電体膜２２が、Ｚｎの酸化物を主成分として含む場合に、第二の誘電体膜２２に添加される窒素の添加量が、４原子％未満、あるいは７原子％を超えるときには、第二の誘電体膜２２の熱伝導率を十分に低くすることができないおそれがある。
【００５９】
また、本実施態様において、たとえば、第二の誘電体膜２２が、Ｃｅの酸化物とＡｌの酸化物の混合物を主成分して含む場合には、第二の誘電体膜２２に添加される窒素の添加量は、９原子％以上であることが好ましく、１０原子％ないし１２原子％であることが、さらに好ましい。
【００６０】
第二の誘電体膜２２が、Ｃｅの酸化物とＡｌの酸化物の混合物を主成分として含む場合に、第二の誘電体膜２２に添加される窒素の添加量が、９原子％未満のときには、第二の誘電体膜２２の熱伝導率を十分に低くすることができないおそれがある。
【００６１】
第二の誘電体膜２２の厚さは、とくに限定されるものではないが、１０ｎｍないし１００ｎｍであることが好ましい。第二の誘電体膜２２の厚さが１０ｎｍ未満であると、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａを、十分に保護できないおそれがある。一方、第二の誘電体膜２２の厚さが１００ｎｍを越えると、成膜に要する時間が長くなり、光記録媒体１０の生産性が低下するおそれがあり、さらに、第二の誘電体膜２２のもつ応力によって、情報層２０にクラックが発生するおそれもある。
【００６２】
第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａは、データが記録される記録膜であり、二つの記録膜によって、一つの記録層を構成している。第二の記録膜２３ｂは、Ｃｕを主成分として含み、第一の記録膜２３ａは、Ｓｉ、ＧｅおよびＳｎよりなる群から選ばれる一種の元素を主成分として含んでいる。
【００６３】
また、第二の記録膜２３ｂの保存信頼性および記録感度を向上させるために、第二の記録膜２３ｂに、さらに、Ａｌ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｍｇ、Ａｕからなる群より選ばれる少なくとも一種の元素が添加されていてもよい。これらの元素を、第二の記録膜２３ｂに添加した場合には、再生信号のノイズレベルを低下させることが可能になるとともに、長期間の保存に対する信頼性を向上させることが可能になる。第二の記録膜２３ｂに添加すべき元素の添加量は、１原子％以上、５０原子％未満であることが好ましい。
【００６４】
第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａは、その総厚が、４ｎｍないし４０ｎｍとなるように形成されることが好ましい。第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａの総厚が、４ｎｍ未満の場合には、データを記録する前後の反射率の変化が小さくなって、高いＣ／Ｎ比の再生信号を得ることができなくなり、一方、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａの総厚が、４０ｎｍを越えると、記録感度が悪化するおそれがある。
【００６５】
第一の誘電体膜２４は、第二の誘電体膜２２とともに、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａを物理的、化学的に保護するとともに、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａに記録されたデータを再生するときの光学特性を調整する機能を有している。
【００６６】
第一の誘電体膜２４を形成するための材料は、レーザビームの波長領域において、透明な誘電体材料であれば、とくに限定されるものではないが、第一の誘電体膜２４は、Ｓｉ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｚｒ、Ｐｂ、Ａｇ、Ｓｎ、Ｃａ、Ｃｅ、Ｖ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｇよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、あるいは、これらの複合物から形成されることが好ましい。
【００６７】
第一の誘電体膜２４は、第二の誘電体膜２２と異なる誘電体材料を主成分として含むように形成されてもよいし、同じ誘電体材料を主成分として含むように形成されてもよい。
【００６８】
第一の誘電体膜２４の厚さは、とくに限定されるものではないが、第二の誘電体膜２２と同様の理由から、１０ｎｍないし１００ｎｍであることが好ましい。
【００６９】
図２に示されるように、情報層２０の表面上には、光透過層１３が形成されている。
【００７０】
光透過層１３は、レーザビームを透過させる層であり、その一方の表面によって、光入射面１３ａが構成されている。
【００７１】
光透過層１３を形成するための材料は、光学的に透明で、使用されるレーザビームの波長領域において、光学吸収や反射が少なく、複屈折が小さいものであれば、とくに限定されるものではないが、スピンコーティング法などによって、光透過層１３を形成する場合には、紫外線硬化性樹脂、電子線効果性樹脂などが好ましく用いられ、より好ましくは、紫外線硬化性樹脂によって、光透過層１３が形成される。光透過層１３は、情報層２０の表面上に、光透過性樹脂によって形成されたシートを、接着剤を用いて、接着することによって、形成されてもよい。
【００７２】
以上のような構成を有する光記録媒体１０は、たとえば、以下のようにして、製造される。
【００７３】
まず、スタンパ（図示せず）を用い、射出成形法によって、表面に、グルーブ１１ａおよびランド１１ｂが形成された支持基板１１が作成される。
【００７４】
さらに、グルーブ１１ａおよびランド１１ｂが形成された支持基板１１の表面上に、情報層２０が形成される。情報層２０を形成するにあたっては、まず、支持基板１１の表面上に、反射膜２１が形成される。反射膜２１は、Ａｇ、またはＡｇを含む合金をターゲットとして用いたスパッタリング法によって、形成される。
【００７５】
次いで、反射膜２１の表面上に、第二の誘電体膜２２が形成される。本実施態様においては、第二の誘電体膜２２は、アルゴンガスと窒素ガスとの混合ガスをスパッタリングガスとして用い、ＺｎＯ、ＣｅＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２などの酸化物をターゲットとして用いたスパッタリング法によって、形成される。その結果、第二の誘電体膜２２は、実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として含み、添加物として、窒素が添加された組成を有する。第二の誘電体膜２２を形成するに際しては、スパッタリングガス中の窒素ガスの割合を制御することによって、第二の誘電体膜２２中の窒素の含有量が調整される。
【００７６】
さらに、第二の誘電体膜２２の表面上に、第二の記録膜２３ｂ、第一の記録膜２３ａおよび第一の誘電体膜２４が、順次、形成される。第二の記録膜２３ｂ、第一の記録膜２３ａおよび第一の誘電体膜２４は、いずれも、たとえば、真空蒸着法、スパッタリング法などの気相成長法によって、形成することができる。
【００７７】
最後に、第一の誘電体膜２４の表面上に、光透過層１３が形成される。光透過層１３は、たとえば、粘度調整されたアクリル系の紫外線硬化性樹脂あるいはエポキシ系の紫外線硬化性樹脂を、スピンコーティング法などによって、第一の誘電体膜２４の表面に塗布して、塗膜を形成し、紫外線を照射して、塗膜を硬化させることによって、形成することができる。
【００７８】
以上のようにして、光記録媒体１０が形成される。
【００７９】
本実施態様においては、第二の誘電体膜２２は、アルゴンガスと窒素ガスとの混合ガスをスパッタリングガスとして用い、ＺｎＯ、ＣｅＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２などの酸化物をターゲットとして用いたスパッタリング法によって、形成されており、同一の製造工程で、実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として含み、窒素が添加された誘電体層を形成することができる。したがって、新たな製造工程を追加することを要せず、製造コストが増大するのを防止することが可能である。
【００８０】
以上のように構成された本実施態様にかかる光記録媒体１０には、次のようにして、データが記録される。
【００８１】
まず、図２に示されるように、所定のパワーを有するレーザビームが、光透過層１３を介して、情報層２０に照射される。データを高い記録密度で、光記録媒体１０に記録するために、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームが、λ／ＮＡ≦６４０ｎｍを満たす開口数ＮＡを有する対物レンズ（図示せず）を介して、光記録媒体１０に集光される。
【００８２】
情報層２０にレーザビームが照射されると、情報層２０が加熱され、第二の記録膜２３ｂに主成分として含まれる元素と、第一の記録膜２３ａに主成分として含まれる元素とが混合されて、混合領域が形成される。こうして形成された混合領域は、それ以外の領域と、レーザビームに対する反射率が大きく異なるため、記録マークとして、利用することができる。
【００８３】
本実施態様においては、第二の誘電体膜２２が、低い熱伝導率を有するから、情報層２０にデータを記録するに際して、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａに生じた熱を適度に保持することができ、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａを効率的に加熱することが可能となる。したがって、第二の記録膜２３ｂに主成分として含まれる元素と、第一の記録膜２３ａに主成分として含まれる元素とを、速やかに、混合させることができ、感度よく、データを記録することが可能となる。
【００８４】
一方、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａに記録されたデータは、次のようにして、再生される。
【００８５】
第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａに記録されたデータを再生するにあたっては、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームが、λ／ＮＡ≦６４０ｎｍを満たす開口数ＮＡを有する対物レンズを介して、情報層２０に照射され、情報層２０によって反射されたレーザビームの光量が検出されることによって、記録されたデータが再生される。
【００８６】
本実施態様においては、第二の誘電体膜２２が、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームに対して、高い屈折率を有するから、記録マークが形成された領域と、記録マークが形成されていない領域との反射率の差を大きくすることができる。したがって、情報層２０に記録されたデータを、感度よく、再生することが可能となる。
【００８７】
図３は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる光記録媒体の層構成を示す略拡大断面図である。
【００８８】
本実施態様にかかる光記録媒体１００は、書き換え型の光記録媒体として構成されており、図３に示されるように、支持基板１１と、支持基板１１の表面上に形成された情報層２００と、情報層２００の表面上に形成された光透過層１３を備え、情報層２００は、反射膜２１と、反射膜２１の表面上に形成された第一の誘電体膜２２と、第二の誘電体膜２２の表面上に形成された記録膜２１０と、記録膜２１０の表面上に形成された第一の誘電体膜２４を備えている。
【００８９】
本実施態様においても、光透過層１３を介して、レーザビームが照射されて、光記録媒体１００にデータが記録され、記録されたデータが再生される。
【００９０】
本実施態様にかかる光記録媒体１００の支持基板１１、反射膜２１、第二の誘電体膜２２、第一の誘電体膜２４および光透過層１３は、図２に示される支持基板１１、反射膜２１、第二の誘電体膜２２、第一の誘電体膜２４および光透過層１３と同様の機能を有し、同様に構成されている。
【００９１】
すなわち、本実施態様においても、反射膜２１は、Ａｇ、またはＡｇを含む合金を主成分として含み、第二の誘電体膜２２は、Ｚｎ、Ａｌ、Ｃｅ、Ｚｒよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物を主成分として含み、添加物として、窒素が添加されている。
【００９２】
記録膜２１０は、相変化材料によって形成されており、結晶状態にある場合の反射率と、アモルファス状態にある場合の反射率とが異なることを利用して、記録膜２１０にデータが記録され、記録膜２１０からデータが再生される。
【００９３】
記録膜２１０を形成するための材料は、とくに限定されるものではないが、高速で、データを直接的に上書きすることを可能にするためには、アモルファス状態から結晶状態への相変化に要する時間（結晶化時間）が短いことが好ましく、このような材料としてはＳｂＴｅ系材料を挙げることができる。
【００９４】
ＳｂＴｅ系材料としては、ＳｂＴｅのみでもよいし、結晶化時間をより短縮するとともに、長期の保存に対する信頼性を高めるために、添加物が添加されてもよい。
【００９５】
具体的には、組成式（ＳｂｘＴｅ１−ｘ）１−ｙＭｙ（ＭはＳｂおよびＴｅを除く元素である）で表されるＳｂＴｅ系材料のうち、０．５５≦ｘ≦０．９、０≦ｙ≦０．２５であるＳｂＴｅ系材料によって、記録膜２１０が形成されることが好ましく、０．６５≦ｘ≦０．８５、０≦ｙ≦０．２５であるＳｂＴｅ系材料によって、記録膜２１０が形成されることがより好ましい。
【００９６】
元素Ｍはとくに限定されるものではないが、結晶化時間を短縮し、保存信頼性を向上させるためには、元素Ｍが、Ｉｎ、Ａｇ、Ａｕ、Ｂｉ、Ｓｅ、Ａｌ、Ｐ、Ｇｅ、Ｈ、Ｓｉ、Ｃ、Ｖ、Ｗ、Ｔａ、Ｚｎ、Ｍｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｐｄ、Ｎ、Ｏおよび希土類元素よりなる群から選ばれる１または２以上の元素であることが好ましい。とくに、保存信頼性を向上させるためには、元素Ｍが、Ａｇ、Ｉｎ、Ｇｅおよび希土類元素よりなる群より選ばれる１または２以上の元素によって構成されることが好ましい。
【００９７】
記録膜２１０は、真空蒸着法、スパッタリング法などの気相成長法によって、形成することができる。
【００９８】
以上のような構成を有する光記録媒体１００には、次のように、データが記録される。
【００９９】
まず、所定のパワーを有するレーザビームが、光透過層１３を介して、情報層２００に照射される。図２に示された前記実施態様と同様に、本実施態様においても、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームが、λ／ＮＡ≦６４０ｎｍを満たす開口数ＮＡの対物レンズを介して、記録膜２１０に集光される。
【０１００】
レーザビームを照射して、記録膜２１０の所定の領域を、相変化材料の融点以上の温度に加熱し、急冷することにより、その領域がアモルファス状態となり、一方、レーザビームを照射して、記録膜２１０の所定の領域を、相変化材料の結晶化温度以上の温度に加熱し、徐冷することにより、その領域が結晶化状態となる。記録膜２１０のアモルファス状態になった領域により、記録マークが形成され、記録マークの長さと、隣り合った記録マーク間のブランク領域の長さとによって、データが構成され、記録膜２１０に、データが記録される。
【０１０１】
本実施態様においては、第二の誘電体膜２２が、低い熱伝導率を有するから、情報層２００にデータを記録するときに、記録膜２１０を効率的に加熱することが可能となる。したがって、レーザビームが照射された記録膜２１０の領域を、速やかに、相変化材料の融点以上の温度に加熱することができ、感度よく、データを記録することが可能となる。
【０１０２】
一方、記録膜２１０に記録されたデータは、次のようにして、再生される。
【０１０３】
記録膜２１０に記録されたデータを再生するにあたっては、図２に示された前記実施態様と同様に、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームが、λ／ＮＡ≦６４０ｎｍを満たす開口数ＮＡの対物レンズを介して、情報層２００に照射され、情報層２００によって反射されたレーザビームの光量が検出されることによって、記録されたデータが再生される。
【０１０４】
本実施態様においては、第二の誘電体膜２２が、３８０ｎｍないし４５０ｎｍの波長を有するレーザビームに対して、高い屈折率を有するから、記録マークが形成された領域と、記録マークが形成されていない領域との反射率差を大きくすることができる。したがって、記録膜２１０に記録されたデータを、感度よく、再生することが可能となる。
【０１０５】
以上のように、本実施態様によれば、製造コストの増大を防止しつつ、所望のように、データを記録することができるとともに、記録されたデータを再生することができ、かつ、長期間の保存に対する信頼性を高めることが可能となる。
【０１０６】
以下、本発明の効果をより明瞭なものとするため、実施例を掲げる。
【実施例】
【０１０７】
実施例１
まず、射出成型法により、厚さが１．１ｍｍ、直径が１２０ｍｍで、表面に、グルーブおよびランドが、０．３２μｍのグルーブピッチで形成されたポリカーボネート基板を作製した。
【０１０８】
次いで、このポリカーボネート基板をスパッタリング装置にセットし、ポリカーボネート基板の表面上に、９８：１：１の割合で、Ａｇ、Ｎｄ、Ｃｕを含有し、１００ｎｍの厚さを有する反射膜を形成した。
【０１０９】
さらに、ポリカーボネート基板をスパッタリング装置にセットし、アルゴンガスおよび窒素ガスの流量が、それぞれ、１０ｓｃｃｍおよび５ｓｃｃｍの混合ガス雰囲気中で、ＺｎＯターゲットを用いて、スパッタリングすることにより、ＺｎＯを主成分として含み、窒素が添加され、２５ｎｍの厚さを有する第二の誘電体膜を形成した。第二の誘電体膜中のＺｎ、ＯおよびＮの含有量は、それぞれ、４７．９原子％、４７．８原子％および４．３原子％であった。
【０１１０】
第二の誘電体膜中のＺｎ、ＯおよびＮの含有量は、理学電気工業株式会社製の蛍光Ｘ線分析（ＸＲＦ）装置「ＲＩＸ２０００」（商品名）を用いて、Ｒｈ管の管電圧＝５０ｋＶ、管電流＝５０ｍＡの条件で、Ｘ線を発生させ、ＦＰ法によって、測定した。
【０１１１】
次いで、ポリカーボネート基板をスパッタリング装置にセットし、第二の誘電体膜の表面上に、Ｃｕを主成分とし、２３原子％のＡｌと１３原子％のＡｕが添加された７．５ｎｍの厚さを有する第二の記録膜、Ｓｉを主成分として含み、４．５ｎｍの厚さを有する第一の記録膜、およびＺｎＳとＳｉＯ２の混合物を主成分として含み、３０ｎｍの厚さを有する第一の誘電体膜を、順次、スパッタリング法により形成し、情報層を形成した。第一の誘電体膜を形成するに際しては、ＺｎＳとＳｉＯ２のモル比率が、８０：２０の混合物ターゲットを使用した。
【０１１２】
最後に、情報層の表面上に、少なくとも情報層の表面全体を被うように、紫外線硬化性アクリル樹脂を、スピンコーティング法によって、塗布して、塗膜を形成し、塗膜に、紫外線を照射して、紫外線硬化性アクリル樹脂を硬化させ、１００μｍの厚さを有する光透過層を形成した。
【０１１３】
こうして、サンプル＃１を作製した。
【０１１４】
次いで、混合ガスにおけるアルゴンガスおよび窒素ガスの流量を、それぞれ、１０ｓｃｃｍ、１０ｓｃｃｍに変更して、２８ｎｍの厚さを有する第二の誘電体膜を形成した点を除き、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃２を作製した。第二の誘電体膜中のＺｎ、ＯおよびＮの含有量は、それぞれ、４７．１原子％、４７．０原子％および５．９原子％であった。
【０１１５】
次いで、混合ガスにおけるアルゴンガスおよび窒素ガスの流量を、それぞれ、１０ｓｃｃｍ、１５ｓｃｃｍに変更して、３１ｎｍの厚さを有する第二の誘電体膜を形成した点を除き、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃３を作製した。第二の誘電体膜中のＺｎ、ＯおよびＮの含有量は、それぞれ、４６．８原子％、４６．７原子％および６．５原子％であった。
【０１１６】
次いで、混合ガスにおけるアルゴンガスおよび窒素ガスの流量を、それぞれ、１０ｓｃｃｍ、３０ｓｃｃｍに変更して、３５ｎｍの厚さを有する第二の誘電体膜を形成した点を除き、サンプル＃１と同様にして、比較サンプル＃１を作製した。第二の誘電体膜中のＺｎ、ＯおよびＮの含有量は、それぞれ、４６．３原子％、４６．２原子％および７．５原子％であった。
【０１１７】
次いで、混合ガスにおけるアルゴンガスおよび窒素ガスの流量を、それぞれ、１０ｓｃｃｍ、５０ｓｃｃｍに変更して、３８ｎｍの厚さを有する第二の誘電体膜を形成した点を除き、サンプル＃１と同様にして、比較サンプル＃２を作製した。第二の誘電体膜中のＺｎ、ＯおよびＮの含有量は、それぞれ、４６．１原子％、４６．０原子％および７．９原子％であった。
【０１１８】
次いで、混合ガスにおけるアルゴンガスおよび窒素ガスの流量を、それぞれ、１０ｓｃｃｍ、０ｓｃｃｍに変更して、２２ｎｍの厚さを有し、窒素が添加されていない第二の誘電体膜を形成した点を除き、サンプル＃１と同様にして、比較サンプル＃３を作製した。第二の誘電体膜中のＺｎおよびＯの含有量は、それぞれ、５０．０原子％および５０．０原子％であった。
【０１１９】
次いで、サンプル＃１を、パルステック工業株式会社製の光記録媒体評価装置「ＤＤＵ１０００」（商品名）にセットし、以下の条件で、データを記録した。
【０１２０】
波長が４０５ｎｍの青色レーザビームを、開口数ＮＡが０．８５の対物レンズを用いて、光透過層を介して、情報層に集光し、下記の記録信号条件で、（１、７）ＲＬＬ変調方式における２Ｔないし８Ｔの長さの記録マークを、ランダムに組み合わせて、サンプル＃１の情報層に形成した。データを記録するに際しては、レーザビームの記録パワーＰｗを、６．２ｍＷに設定し、基底パワーＰｂを、２．０ｍＷに設定した。
【０１２１】
次いで、レーザビームの記録パワーＰｗを、６．２ｍＷないし８．６ｍＷの範囲で、６．２ｍＷから少しずつ、上げていき、順次、サンプル＃１の情報層にデータを記録した。
【０１２２】
変調方式：（１，７）ＲＬＬ
記録線速度：４．９ｍ／秒
チャンネルビット長：１１２ｎｍ
チャンネルクロック：６６ＭＨｚ
【０１２３】
次いで、上述の光記録媒体評価装置を用いて、サンプル＃２ないし比較サンプル＃３につき、サンプル＃１と同様にして、情報層にデータを記録した。サンプル＃２ないし比較サンプル＃３にデータを記録するに際しては、レーザビームの基底パワーＰｂを２．０ｍＷに固定し、レーザビームの記録パワーＰｗを、それぞれ、６．２ｍＷないし８．２ｍＷの範囲、５．８ｍＷないし８．０ｍＷの範囲、５．８ｍＷないし８．０ｍＷの範囲、６．４ｍＷないし８．２ｍＷの範囲、７．２ｍＷないし９．８ｍＷの範囲で、少しずつ、上げていった。
【０１２４】
次いで、上述の光記録媒体評価装置を用いて、サンプル＃１ないし比較サンプル＃３の情報層に記録されたデータを再生し、ジッタを測定した。ジッタは、タイムインターバルアナライザによって、再生信号の「ゆらぎσ」を求め、σ／Ｔｗ（Ｔｗ：クロックの１周期）によって、算出した。データを再生するに際しては、すべてのサンプルにつき、４０５ｎｍの波長を有するレーザビームおよび開口数ＮＡが０．８５の対物レンズを用い、レーザビームの再生パワーＰｒは、０．３５ｍＷとした。
【０１２５】
サンプル＃１ないし比較サンプル＃３のジッタの測定結果が、それぞれ、図４の曲線ＡないしＦに示され、情報層に記録されたデータを再生したときの最小のジッタ、および最小のジッタが得られたデータを記録したときのレーザビームの記録パワーＰｗが、表１に示されている。
【０１２６】
【表１】
2005276328.tif 000003
【０１２７】
図４および表１から明らかなように、窒素の含有量が４原子％ないし７原子％であるサンプル＃１ないし３においては、最小のジッタが得られたデータを記録したときのレーザビームの記録パワーＰｗが、いずれも８．０ｍＷ以下であった。これに対し、窒素の含有量が４原子％ないし７原子％の範囲外である比較サンプル＃１ないし３においては、最小のジッタが得られたデータを記録したときのレーザビームの記録パワーＰｗが、いずれも８．０ｍＷを超えていた。これらの結果から、サンプル＃１ないし３においては、記録感度が向上し、データを記録するときのレーザビームの記録パワーＰｗを低下させることができるのが認められた。
【０１２８】
また、図４および表１から明らかなように、サンプル＃１ないし３においては、ジッタの最小値が、いずれも、５．５％以下であったのに対し、比較サンプル＃１ないし３においては、ジッタの最小値が、いずれも、５．５％を超えていた。これらの結果から、サンプル＃１ないし３においては、レーザビームの記録パワーＰｗを低下させることができるだけでなく、ジッタが低減できることも分かった。
【０１２９】
実施例２
アルゴンガスおよび窒素ガスの流量が、それぞれ、３５ｓｃｃｍ、１０ｓｃｃｍの混合ガス雰囲気中で、ＣｅＯ２ターゲットと、Ａｌ２Ｏ３ターゲットを用いて、スパッタリングすることにより、ＣｅＯ２とＡｌ２Ｏ３の混合物を主成分として含み、窒素が添加された第二の誘電体膜を形成した点を除き、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃４を作製した。第二の誘電体膜中のＣｅ、Ａｌ、ＯおよびＮの含有量は、それぞれ、２０．９原子％、１０．４原子％、５７．５原子％および１１．２原子％であり、また、第二の誘電体膜の厚さは、２８ｎｍとした。
【０１３０】
次いで、混合ガスにおけるアルゴンガスおよび窒素ガスの流量を、それぞれ、３５ｓｃｃｍ、１５ｓｃｃｍに変更して、３１ｎｍの厚さを有する第二の誘電体膜を形成した点を除き、サンプル＃４と同様にして、サンプル＃５を作製した。第二の誘電体膜中のＣｅ、Ａｌ、ＯおよびＮの含有量は、それぞれ、２０．４原子％、１０．２原子％、５６．０原子％および１３．４原子％であった。
【０１３１】
次いで、混合ガスにおけるアルゴンガスおよび窒素ガスの流量を、それぞれ、３５ｓｃｃｍ、３０ｓｃｃｍに変更して、３８ｎｍの厚さを有する第二の誘電体膜を形成した点を除き、サンプル＃４と同様にして、サンプル＃６を作製した。第二の誘電体膜中のＣｅ、Ａｌ、ＯおよびＮの含有量は、それぞれ、１９．５原子％、９．７原子％、５３．６原子％および１７．２原子％であった。
【０１３２】
次いで、混合ガスにおけるアルゴンガスおよび窒素ガスの流量を、それぞれ、３５ｓｃｃｍ、５０ｓｃｃｍに変更して、３８ｎｍの厚さを有する第二の誘電体膜を形成した点を除き、サンプル＃４と同様にして、サンプル＃７を作製した。第二の誘電体膜中のＣｅ、Ａｌ、ＯおよびＮの含有量は、それぞれ、１８．９原子％、９．４原子％、５２．０原子％および１９．７原子％であった。
【０１３３】
次いで、混合ガスにおけるアルゴンガスおよび窒素ガスの流量を、それぞれ、１０ｓｃｃｍ、５ｓｃｃｍに変更して、２５ｎｍの厚さを有する第二の誘電体膜を形成した点を除き、サンプル＃４と同様にして、比較サンプル＃４を作成した。第二の誘電体膜中のＣｅ、Ａｌ、ＯおよびＮの含有量は、それぞれ、２１．８原子％、１０．９原子％、５９．８原子％および７．５原子％であった。
【０１３４】
次いで、混合ガスにおけるアルゴンガスおよび窒素ガスの流量を、それぞれ、３５ｓｃｃｍ、０ｓｃｃｍに変更して、２２ｎｍの厚さを有し、窒素を含まない第二の誘電体膜を形成した点を除き、サンプル＃４と同様にして、比較サンプル＃５を作製した。第二の誘電体膜中のＣｅ、ＡｌおよびＯの含有量は、それぞれ、２３．５原子％、１１．８原子％および６４．７原子％であった。
【０１３５】
次いで、実施例１と同様にして、上述の光記録媒体評価装置を用い、サンプル＃４ないし比較サンプル＃５の情報層にデータを記録した。サンプル＃４ないし比較サンプル＃５にデータを記録するに際しては、レーザビームの基底パワーＰｂを２．０ｍＷに固定し、レーザビームの記録パワーＰｗを、それぞれ、５．２ｍＷないし７．２ｍＷの範囲、５．２ｍＷないし７．２ｍＷの範囲、５．２ｍＷないし７．２ｍＷの範囲、５．２ｍＷないし７．２ｍＷの範囲、５．４ｍＷないし７．２ｍＷの範囲、５．６ｍＷないし７．６ｍＷの範囲で、少しずつ、上げていった。
【０１３６】
次いで、実施例１と同様にして、上述の光記録媒体評価装置を用い、サンプル＃４ないし比較サンプル＃５の情報層に記録されたデータを再生し、ジッタを測定した。
【０１３７】
サンプル＃４ないし比較サンプル＃５のジッタの測定結果が、それぞれ、図５の曲線ＧないしＬに示され、情報層に記録されたデータを再生したときの最小のジッタ、および最小のジッタが得られたデータを記録したときのレーザビームの記録パワーＰｗが、表２に示されている。
【０１３８】
【表２】
2005276328.tif 000004
【０１３９】
図５および表２から明らかなように、窒素の含有量が９原子％以上であるサンプル＃４ないし７においては、最小のジッタが得られたデータを記録したときのレーザビームの記録パワーＰｗが、いずれも、６．２ｍＷ以下であったのに対し、窒素の含有量が９原子％未満である比較サンプル＃４および５においては、最小のジッタが得られたデータを記録したときのレーザビームの記録パワーＰｗが、６．２ｍＷを超えていた。これらの結果から、サンプル＃４ないし７においては、記録感度が向上し、データを記録するときのレーザビームの記録パワーＰｗを低下させることができるのが認められた。
【０１４０】
また、図５および表２から明らかなように、サンプル＃４ないし７のうち、サンプル＃４および５においては、ジッタの最小値が、いずれも、５．６％以下であり、これらのサンプルにおいては、レーザビームの記録パワーＰｗを低下させることができるだけでなく、ジッタを低減できることも分かった。
【０１４１】
本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【０１４２】
たとえば、図１ないし図３に示された実施態様においては、光記録媒体１０、１００は、支持基板１１と、情報層２０、２００と、光透過層１３とを備え、一層のみの情報層を備えているが、本発明は、情報層が一層である光記録媒体に限定されるものではなく、広く、二層以上の情報層を有する光記録媒体に適用することができる。この場合には、二層以上の情報層が、すべて、記録膜と、実質的に硫黄を含まない誘電体材料を主成分として含み、窒素が添加されている誘電体膜と、Ａｇ、またはＡｇを含む合金を主成分として含む反射膜とが、レーザビームの光入射面から、順に、積層された積層体を含んでいることは必ずしも必要ではなく、二層以上の情報層のうちの少なくとも一層が、かかる積層体を含んでいればよい。
【０１４３】
また、図１ないし図３に示された実施態様においては、光記録媒体１０、１００は、第二の記録膜２３ｂおよび第一の記録膜２３ａ、記録膜２１０を挟むように、第二の誘電体膜２２および第一の誘電体膜２４が形成されているが、本発明においては、第二の誘電体膜２２および第一の誘電体膜２４の２つ誘電体膜で、記録膜を挟むことは必ずしも必要ではなく、記録マークが形成された領域と、記録マークが形成されていない領域との光反射率の差が十分に大きい場合には、第一の誘電体膜２４を省略することもできる。
【０１４４】
また、図１および図２に示された実施態様においては、光記録媒体１０は、第二の記録膜２３ｂと第一の記録膜２３ａが、互いに接触するように形成されているが、第二の記録膜２３ｂは、レーザビームが照射されたときに、第二の記録膜２３ｂに主成分として含まれている元素と、第一の記録膜２３ａに主成分として含まれている元素とが混合して、混合領域が形成されるように、第一の記録膜２３ａの近傍に配置されていればよく、第二の記録膜２３ｂと第一の記録膜２３ａの間に、誘電体膜などの一または二以上の他の膜が介在していてもよい。
【０１４５】
さらに、図１ないし図３に示される実施態様においては、光記録媒体１０、１００は、光透過層１３を備えているが、光透過層１３に代えて、または、光透過層１３の表面上に、ハードコート組成物を主成分として含むハードコート層を設けてもよいし、さらに、潤滑性や防汚性の機能を付与するために、ハードコート層に潤滑剤を含ませてもよいし、ハードコート層の表面上に、潤滑剤を主成分として含む潤滑層を、別途、設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４６】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録媒体の略斜視図である。
【図２】図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【図３】図３は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録媒体の層構成を示す略拡大断面図である。
【図４】実施例１におけるジッタの測定結果を示すグラフである。
【図５】実施例２におけるジッタの測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【０１４７】
１０  光記録媒体
１１  支持基板
１１ａ  グルーブ
１１ｂ  ランド
１３  光透過層
２０  情報層
２１  反射膜
２２  第二の誘電体膜
２３ｂ  第二の記録膜
２３ａ  第一の記録膜
２４  第一の誘電体膜
１００  光記録媒体
２００  情報層
２１０  記録膜
【図１】
2005276328.tif 000005
【図２】
2005276328.tif 000006
【図３】
2005276328.tif 000007
【図４】
2005276328.tif 000008
【図５】
2005276328.tif 000009