(57)【要約】【課題】  磁気ヘッドを保持するサスペンションのタイプによらずに、磁気ヘッドの空気膜の固有振動数を測定する。【解決手段】  最表面に液体潤滑剤が塗布されて潤滑層が形成されてなる磁気ディスクの回転によりその表面上に浮上する磁気ヘッドの空気膜の固有振動数測定方法において、磁気ヘッドを浮上させたときに潤滑層に形成される液体潤滑剤の流動分布を測定し、この液体潤滑剤の流動分布から磁気ヘッドの固有振動数９，１０を導出する。【選択図】        図３
2005116112.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
最表面に液体潤滑剤が塗布されて潤滑層が形成されてなる磁気ディスクの回転によりその表面上に浮上する磁気ヘッドの空気膜の固有振動数測定方法において、前記磁気ヘッドを浮上させたときに前記潤滑層に形成される液体潤滑剤の流動分布を測定し、この液体潤滑剤の流動分布から前記磁気ヘッドの固有振動数を導出することを特徴とする磁気ヘッドの空気膜の固有振動数測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスクの回転による動圧空気軸受けにより浮上する磁気ヘッドの空気膜の固有振動数を測定する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
固定磁気ディスク装置（いわゆるハードディスク装置：ＨＤＤ）においては、記録密度を増大させるため、磁気ヘッドの浮上量（磁気ヘッドの底面と磁気ディスク表面との距離）の狭小化が急速に進行されている。浮上量が低減すると、磁気ヘッドの浮上姿勢が磁気ディスク表面のうねりの影響を受けやすくなり、特に磁気ヘッドの浮上を支えている磁気ディスクと磁気ヘッドスライダの間の空気膜（以下「磁気ヘッドの空気膜」という。）の固有振動数と磁気ディスク表面のうねりの振動数が一致した場合には、共振現象が生じて磁気ヘッドの浮上が不安定となり、磁気ディスク表面との接触を誘発し、最悪の場合にはヘッドクラッシュに至る。
このため、磁気ヘッドの空気膜の固有振動数を把握することは、ＨＤＤの設計を行う上で重要である（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
磁気ヘッドの空気膜の固有振動数を測定する方法としては、レーザードップラー振動計（ＬＤＶ）により磁気ヘッドの浮上量変動を直接測定して空気膜の固有振動数を導出する方法がある。
【特許文献１】特開２００３−２０３４５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の方法により磁気ヘッドの空気膜の固有振動数を測定する場合には、次のような問題がある。
すなわち、ＬＤＶを用いる場合、磁気ヘッドスライダの背面に対してレーザー光を照射するが、磁気ヘッドを保持するサスペンションのタイプによっては、磁気ヘッドスライダの背面を覆い隠してしまう形状のものがあり、このタイプの磁気ヘッドに対しては磁気ヘッドの浮上量変動を測定することができない。
本発明は、上述の点に鑑み、磁気ヘッドを保持するサスペンションのタイプによらずに、磁気ヘッドの空気膜の固有振動数を測定する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の目的を達成するため、最表面に液体潤滑剤が塗布されて潤滑層が形成されてなる磁気ディスクの回転によりその表面上に浮上する磁気ヘッドの空気膜の固有振動数測定方法において、前記磁気ヘッドを浮上させたときに前記潤滑層に形成される液体潤滑剤の流動分布を測定し、この液体潤滑剤の流動分布から前記磁気ヘッドの固有振動数を導出することを特徴としている。
磁気ディスクの回転により磁気ヘッドを浮上させると、磁気ヘッドの空気膜の固有振動数で空気膜の圧力が変動し、この空気膜の圧力の変動によって液体潤滑剤の流動分布が潤滑層に形成される。
従って、この液体潤滑剤の流動分布を測定することにより、磁気ヘッドの空気膜の固有振動数を測定することができる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、磁気ヘッドを浮上させたときに潤滑層に形成される液体潤滑剤の流動分布を測定し、この液体潤滑剤の流動分布から磁気ヘッドの固有振動数を導出するようにしたので、液体潤滑剤の流動分布を測定することにより、磁気ヘッドのサスペンションのタイプによらずに、磁気ヘッドの空気膜の固有振動数を測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図１は、本発明に係る実施形態の磁気ヘッドと磁気ディスクの関係を示す模式図である。図において、１は磁気ヘッド（スライダ）、３０は、非磁性基板上に下地層（不図示）を介して磁性膜層５，保護膜層４，潤滑層３がこの順に積層された磁気ディスクであり、いずれも周知のものである。
この磁気ディスク３０の回転により誘発される空気流６が磁気ヘッド（スライダ）１の前方から流入することで、磁気ヘッド（スライダ）１と磁気ディスク３０の間の空気膜２に圧力が発生し、磁気ヘッド１の浮上を支える。
一方、磁気ディスク３０の最表面には、液体潤滑剤を塗布してなる潤滑層３が形成され、空気膜２は主として磁気ヘッド１のスライダ形状に依存した固有振動数を有するから、この固有振動数で空気膜２の圧力が変動し、この空気膜２の圧力の変動によって潤滑層３の表面に凹凸形状が形成される。
【０００８】
この潤滑層３の表面に形成される凹凸形状を潤滑層分布測定装置により測定し、潤滑層３の凹凸形状の周期をＦＦＴ(Fast Fourier Transform)解析により求め、磁気ヘッド１の空気膜２の固有振動数を導出する。
【実施例】
【０００９】
磁気ヘッドのＨＤＩ(Head Disk Interface)特性を評価するＣＳＳ(Contact Start Stop)テスタと呼ばれる試験装置において、スライダ背面が覆い隠されないタイプの３０％サイズの磁気ヘッドをフッ素系の液体潤滑剤（パーフルオロポリエーテル：ＰＦＰＥ）を表面に塗布してなる磁気ディスク上に設置し、この磁気ヘッドを回転数１０，０００ｒｐｍで回転させた磁気ディスク上の半径位置３０ｍｍで２０分間定点浮上させた。
この間にレーザードップラー振動計（ＬＤＶ）を用い、磁気ヘッドのスライダ背面にレーサー光を照射して磁気ヘッドの浮上量変動を測定し、その浮上量変動から振動数を求めたところ、図２に示すように１００ｋＨｚ，１４０ｋＨｚにおいてピーク７，８が見られた。
一方、磁気ヘッド浮上後の磁気ディスクの表面をＯＳＡ(Optical Surface Analyzer)と呼ばれる光学式磁気ディスク表面検査装置により観察したところ、磁気ヘッドの浮上通過位置である半径位置３０ｍｍ付近において、高さ０．１ｎｍから０．３ｎｍの潤滑層の凹凸が見られた。
【００１０】
観察された周方向の潤滑層の凹凸形状に対しＦＦＴ解析を行ったところ、図３に示すように１０５ｋＨｚ，１３８ｋＨｚにピーク９，１０が見られた。
このように、潤滑層の凹凸形状からＦＦＴ解析により求めた磁気ヘッドの空気膜の固有振動数は、従来の測定方法であるＬＤＶでの測定結果とほぼ一致し、本発明の測定方法により従来と同等の測定結果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００１１】
本発明の磁気ヘッドの空気膜の固有振動数測定方法は、その測定結果をＨＤＤの設計に用いて磁気ヘッドの安定走行を可能とする。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る実施形態の磁気ヘッドと磁気ディスクの関係を示す模式図である。
【図２】本発明に係る測定方法の実施例において、従来のＬＤＶ観察による磁気ヘッドの浮上変動周波数の解析結果を示すグラフである。
【図３】本発明に係る測定方法の実施例のＯＳＡ観察による磁気ヘッドの浮上変動周波数の解析結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００１３】
１    磁気ヘッド（スライダ）
２    空気膜
３０  磁気ディスク
【図１】
2005116112.tif 000003
【図２】
2005116112.tif 000004
【図３】
2005116112.tif 000005