(57)【要約】【課題】  本発明は、長時間に亘って滑水効果を持続する滑水ガラスに関し、特に、ワイパー等の払拭部材による払拭動作に対する耐久性の高い滑水表面構造を提供することを課題とする【解決手段】  ガラス基板２０に滴下した液滴の滑水性を向上させる滑水ガラス１０の表面構造において、ガラス基板２０より硬度の高い高硬度材質を主成分とし、凹凸形状が連続してなる硬質層４０と、この硬質層４０の凹部に充填され、滴下した液滴の接触角が９０°以上の撥水性材質からなる撥水層３１と、を備える滑水層３０が、ガラス基板２０の表面に設けられていることを特徴とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に滴下した液滴の滑水性を向上させる滑水表面構造であって、
前記基板よりも硬度の高い高硬度材質を主成分とし、凹凸形状が連続してなる硬質層と、
この硬質層の凹部に充填され、滴下した液滴の接触角が９０°以上の撥水性材質からなる撥水層と、を備える滑水層が、前記基板の表面に設けられていることを特徴とする滑水表面構造。
【請求項２】
前記硬質層を構成する凸形状の硬質突起は、
前記高硬度材質の他、この高硬度材質よりも靭性の高い高靭性材質も含有する複合材料から構成されることを特徴とする請求項１に記載の滑水表面構造。
【請求項３】
前記複合材料は、
前記硬質突起の先端部から下端部にいくに従い、前記高靭性材質の含有濃度が高くなるように構成されることを特徴とする請求項２に記載の滑水表面構造。
【請求項４】
前記滑水層は、
さらに、前記基板に接触する面に、高靭性材質からなる緩衝層を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の滑水表面構造。
【請求項５】
前記高硬度材質は、ＤＬＣを含むことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の滑水表面構造。
【請求項６】
前記撥水性材質は、フッ素系樹脂を含むことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の滑水表面構造。
【請求項７】
前記高靭性材質は、酸化チタンを含むことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の滑水表面構造。
【請求項８】
自動車のウィンドウガラスに用いられることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の滑水表面構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長時間に亘って滑水効果を持続する滑水表面に関し、特に、ワイパー等の払拭部材による払拭動作に対する耐久性の高い滑水表面構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車のウィンドウガラス等の表面に撥水性を付与し、付着した水滴が自重により移動する滑水性を向上させ、視界が悪化することの防止が図られている。かかる滑水性を向上させるための手段として、従来から、フッ素樹脂をガラス表面に塗布する方法が採られている。このようなフッ素系樹脂を塗布することにより、ガラス表面の撥水性が向上し、水滴、油滴および汚れが付着しにくくなる。
ところで、このフッ素系樹脂は、ガラス表面との密着性が悪く、さらにワイパー等の払拭動作に対する耐磨耗性も低く、耐久性に劣るといった問題がある。このような問題を改善するべく、ガラスとの相性が良好でかつ耐磨耗性の優れるセラミック成分を、このフッ素系樹脂に添加してなる混合物をガラス表面にコーティングする技術が公知となっている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平６−５６４７６号公報（段落００１２〜００１５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、前記したフッ素系樹脂にセラミック成分を含有させ、ガラスの表面をコーティングする方法は、以下に述べる問題を有していた。すなわち、セラミック成分の含有量を増量すると、コーティング膜の耐久性は向上するが、フッ素系樹脂のガラス表面への露出面積が減少する分だけ撥水性能が低下してしまう。一方、同含有量を減量すると、撥水性能が向上するが耐久性が低下してしまうという二律背反の関係を有する問題があった。
【０００４】
本発明は、以上の問題点を解決することを課題としてなされたものであり、撥水性及び耐久性の性能を同時に高いレベルで具現化することができる滑水表面構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、前記した目的を達成するために創案されたものであり、まず請求項１に記載の滑水表面構造は、基板に滴下した液滴の滑水性を向上させる滑水表面構造において、前記基板よりも硬度の高い高硬度材質を主成分とし、凹凸形状が連続してなる硬質層と、この硬質層の凹部に充填され、滴下した液滴の接触角が９０°以上の撥水性材質からなる撥水層と、を備える滑水層が、前記基板の表面に設けられていることを特徴とする。
【０００６】
かかる構成によれば、基板（ガラス基板等）の表面である滑水層を摺動する払拭部材からの摩擦力は、硬質層の凸部の先端に作用することとなる。この凸部先端は高硬度で耐磨耗性を有しているので、払拭部材による繰返し摺動と受けても磨耗しない。また、基板の表面に滴下した液滴をはじく撥水層は、硬質層の表面凹凸形状の凹部分に充填されているため、この撥水層に払拭部材からの摩擦力がおよぶことはなく、撥水層が磨耗することはない。さらに、撥水層は、滑水層の表面に対し、露出度の高い構成をなしているため、滑水層の表面は高い撥水効果が発揮され、基板に滴下した液滴の良好な滑水性が維持される。
【０００７】
なお、ここで撥水性とは、JIS R3257「ガラス基板のぬれ性試験方法」に記載される接触角で評価されるものであって、この接触角が大きいほど撥水性が良いという。逆に、接触角が小さいものはぬれ性が良いという。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の滑水表面構造において、前記硬質層を構成する凸形状の硬質突起は、前記高硬度材質の他、この高硬度材質よりも靭性の高い高靭性材質も含有する複合材料から構成されることを特徴とする。
【０００９】
かかる構成によれば、一般に、高硬質材質は、脆くて、衝撃を受けると、欠けたり基板から剥がれたりしてダメージを受けやすいものであるが、複合材料からなることにより硬質層に靭性が付与され、払拭部材から摩擦力を受けても硬質層が破断しにくくなる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の滑水表面構造において、前記複合材料は、前記硬質突起の先端部から下端部にいくに従い、前記高靭性材質の含有濃度が高くなるように構成されることを特徴とする。
【００１１】
かかる構成によれば、硬質突起の先端が高硬度であることを維持しつつ、下端部に靭性が付与されることとなる。これにより、払拭部材に直接接触する先端部の耐磨耗性が維持されつつ、払拭部材から受けた摩擦応力は、下端部により緩和されることになる。このようにして、硬質突起が払拭部材から受けたエネルギは、先端部を磨耗させることなく、下端部の高靭性部分を変形させることにより消費されるので、硬質層がダメージを受けることがない。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか1項に記載の滑水表面構造において、前記滑水層は、さらに、前記基板に接触する面に、高靭性材質からなる緩衝層を有することを特徴とする。
【００１３】
かかる構成によれば、硬質層と基板（ガラス基板等）とは、緩衝層を介して接着されることとなる。これにより、硬質層と基板との密着性が向上し、払拭部材から受けた摩擦力は、この緩衝層においてさらに緩和されるので、硬質層が受けるダメージがさらに低減される。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の滑水表面構造において、前記硬質層は、ＤＬＣを含むことを特徴とする。
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の滑水表面構造において、前記撥水層は、フッ素系樹脂を含むことを特徴とする。
請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の滑水表面構造において、前記緩衝層は、酸化チタンを含むことを特徴とする。
請求項８に記載の発明は、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の滑水表面構造において、自動車のウィンドウガラスに用いられることを特徴とする。
【００１５】
かかる構成によれば、硬質層は、ＤＬＣの特長である高い硬度と優れた低摩擦性を備え、撥水層は、フッ素樹脂の特長である優れた撥水性を備えることとなる。また、緩衝層に用いた酸化チタンの光触媒（バンドギャップ）作用により、汚れを分解して洗い流す自己洗浄効果が得られる。このような、表面処理（滑水層）が施されたガラス基板が、ワイパーなどの払拭部材によりその表面が繰返し払拭される自動車のウィンドウガラスに採用されれば、キズが着き難く、滑水性能及び清浄な表面を長期間に亘り持続させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る滑水表面構造により以下に示す優れた効果を奏する。すなわち、ワイパーのような払拭部材により、ガラスの表面が払拭されても、この払拭部材からの押圧力は、硬質層の凸部分の先端部で防御されて撥水層に到達せず、撥水層の磨耗が抑止される。また、撥水層に押圧力が作用した場合あっても、撥水層は凹部に充填されているので、せん断力が抑制され剥離が発生しない。また、構造上、液滴が付着するガラス表面における撥水層の露出面積を広くとることができる。これにより、撥水性及び耐久性の性能を同時に高いレベルで具現化した表面構造を有する滑水ガラスが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図１は本実施形態における滑水ガラスの基本構造を模式的に示す、（ａ）は断面図、（ｂ）は、上面図である。図２は、滑水ガラスの表面を拡大して示す硬質突起の断面図である。
図１に示すように、滑水ガラス１０は、板形状で可視光を透過するガラス基板（基板）２０の、少なくとも片面に、滑水層３０が設けられている。そして、この滑水層３０は、撥水層３１と、硬質層４０と、緩衝層３３とから構成されている。
【００１８】
硬質層４０は、ガラス基板２０の表面に均一に分散する先端が凸形状で略円錐形状を有する硬質突起４１…の集合体であり、その表面は、連続する凹凸形状をなしている。この硬質突起４１は、日本工業規格JIS R1610「ファインセラミックスの硬さ試験方法」に準拠して測定される硬度の大きい高硬度材質を主成分として構成されている。一般に、高硬度材質は、耐磨耗性に優れる。なお、硬質層４０に用いる高硬質材質の硬度は、ガラス基板２０の硬度よりも大きいことが望ましく、例えば、低摩擦性にも優れるＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）が好適である。これにより、ガラス基板２０の表面にキズがつきにくく、さらに、このガラス基板２０の表面に付着した液滴（図示せず）を払拭するためのワイパー（図示せず）などの払拭部材の磨耗も抑えることができる。
【００１９】
そして、図２に示すように硬質突起４１は、主成分である前記高硬度材質（ＤＬＣ）と、後記する緩衝層３３の主成分である高靭性材質（酸化チタン）との複合材料から構成されている。さらに、この複合材料は、硬質突起４１の底部から先端部にかけて高硬度材質の組成が高くなるように連続的に変化して分布する傾斜材料となっている。
図２に示す疎密線は、ＤＬＣの濃度分布を示すものであって、線密度が密である程、ＤＬＣの含有濃度が高いことを示し、線密度が疎である程、ＤＬＣの含有濃度が低く、酸化チタンの濃度が高いことを示す。
【００２０】
緩衝層３３は、硬質層４０とガラス基板２０との間に配置されるものであって、これら硬質層４０及びガラス基板２０の素材より靭性の高い高靭性材質からなる。ここで、靭性が高いとは、破断するのに高いエネルギを要することであって、脆くないことをさす。具体的に、この高靭性材質が、例えば、酸化チタンから構成されれば、この酸化チタンがＤＬＣ及びガラス基板２０との親和性が良好であることによる相乗効果も得られる。すなわち緩衝層３３は、硬質層４０の先端が、ワイパーなどの摺動部材から受けた衝撃を緩衝して、硬質層４０が破損したり、ガラス基板２０から剥がれ落ちたりすることを防止する役目を果たす。
【００２１】
なお、図２で硬質突起４１は、酸化チタンの緩衝層３３の被膜の一部が隆起して平面垂直方向に成長し、この成長方向に行くに従い、先鋭化し硬質材料（ＤＬＣ）の濃度分布が連続的に高くなるように構成されている。このように、硬質突起４１が、緩衝層３３から連続的に、高硬度材質と高靭性材質との複合材料の組成が傾斜配分するように構成されれば、硬質突起４１と緩衝層３３とは一体化して界面なく形成されることとなる。このように、硬質突起４１と緩衝層３３との間の界面が無くなれば、硬質層４０のガラス基板２０に対する接着強度が向上し、払拭部材から付与される摩擦力に対する耐性を向上させることができる。
【００２２】
以上の説明において、硬質層４０は、緩衝層３３を介してガラス基板２０に接着されることとしたが、この緩衝層３３を用いない構成としてもよい。この場合、硬質層４０は、前記したように、高硬度材質と高靭性材質とが傾斜分布してなる複合材料でなり、直接、ガラス基板２０に接着されていてもよいし、また硬質層４０が、高硬度材質の均一相のみからなり、直接、ガラス基板２０に接着されていてもよい。
【００２３】
撥水層３１は、表面に付着した液滴をはじく性能に優れる撥水性材質から構成される。この撥水性材質は、日本工業規格JIS R3257「ガラス基板のぬれ性試験方法」で規定される接触角が９０°よりも大きい性質を有する、例えば、−ＣＦ3基を官能基として保持するフッ素系樹脂から構成される。
ところで、フッ素系樹脂は、その硬度と撥水性との関係において、−ＣＦ3基の連鎖が１０以上である場合、硬度は低下し撥水性は向上し、その逆も成り立つ二律背反の関係を有している。従って、傾斜して配置された滑水ガラス１０において、滴下した液滴の良好な滑水特性を得るためには、−ＣＦ3基の連鎖が１０以上の撥水性の高い（接触角の大きい）フッ素系樹脂が使用可能となることが望まれる。
撥水層３１は、図１（ｂ）に示すように、硬質層４０の凹形状（隣接する硬質突起４１…の谷間部）を埋めるように配置され、その表面が、ガラス基板２０の面全体として一様に平滑となるように、さらに硬質突起４１の先端部が露出するように配置されている。
【００２４】
次に、本発明に係る滑水ガラスの表面に関し、ワイパー等の払拭部材が摺動動作する際の状況について説明する。まず図１に示す滑水ガラス１０の表面に、図示しない液滴が付着しているとし、この液滴をワイパー等（図示せず）の払拭動作により除去させようとする場合を想定する。この液滴の除去をより効果的にするために、ワイパーの払拭部材は所定の圧力で滑水ガラス１０の表面を押圧しつつ摺動させることが必要である。
【００２５】
この押圧力を伴う払拭部材の繰返し払拭動作により、滑水層３０の表面は繰返して摺動される。この払拭部材による、繰返し摺動動作は、撥水層３１を構成する撥水性材料（フッ素樹脂）の磨耗を進行させるのに充分な衝撃を有するものである。しかし、払拭部材からの押圧力の大部分は、一様に分散して存在する硬質突起４１の先端部分で受けとめることとなるので、撥水層３１の表面に与える直接ダメージを低減させることができる。なお、払拭部材に接触して、その押圧力のほとんどを受けることになる硬質突起４１の先端は、耐磨耗性に優れるので、繰返し払拭されても磨耗することがない。
【００２６】
また、払拭部材により払拭されるたびに、硬質突起４１が受ける衝撃は、硬質突起４１が固定されている緩衝層３３、もしくは硬質突起４１の下部が変形することにより緩衝される。このため、高硬度材質は一般に脆い性質を有するが、硬質突起４１の先端部分のみが高硬度を有するのにすぎないので、硬質突起４１の全体が、疲労して破断してガラス基板２０から剥がれ落ちることがない。
【００２７】
なお、滑水ガラス１０の表面に滴下した液滴は、疎水性を示し表面の大部分を占める撥水層３１の作用により、接触角が９０°以上の玉状を形成する。そして、滑水ガラス１０の表面が傾斜していれば、ワイパーなどの払拭部材の助けを借りなくとも重力の作用により、この傾斜面を転げ落ちる滑水特性が発揮される。
なお、発明者は、本発明の一連の実験より、撥水層３１の表面から突出している硬質層４１の先端が材質として親水性の高いものである程、滑水ガラスはより高い滑水性を発現することを見出した。その発現メカニズムに関する詳細は明らかでないが、滑水ガラス１０の表面において、疎水性の部分および親水性の部分が交互に配置されたナノ構造を有していることと、さらに高い滑水効果が発現されることとの関連性が示唆される。
また、滑水ガラス１０の表面の凹凸はナノオーダーの構造を有している。ダストや、汚れの主成分であるタンパク質などは、小さくてもせいぜい数ミクロン〜数１０ミクロンのオーダーであるので、表面の凹凸に入り込むことはできない。したがって、そのようなダスト、汚れも付着することが防止され、汚れにくい構造となっている。
【００２８】
＜製造方法＞
本発明に係る滑水ガラス１０の表面構造は、公知の高周波マグネトロンスパッタリング（ＲＦ−ＭＳ法）の薄膜形成方法により得ることができる。次に図３を参照しつつ、本発明における滑水表面構造の製造方法について説明する（適宜、図１参照）。図３は本発明にかかる滑水表面構造を製造するスパッタリング装置の基本構成を示す構成図である。
【００２９】
図３に示すように、スパッタリング装置５０は概略、内部を真空可能とするチャンバ５１と、ガラス基板２０を固定し回転する回転台５２と、緩衝層３３を構成する高靭性材質（酸化チタン）を表面に配置し、電場（電極５４ａによる）及び磁場（マグネット５５ａによる）の作用により表面にプラズマが形成されるターゲット５３ａと、硬質層４０を構成する高硬度材質（ＤＬＣ）を表面に配置し、電場（電極５４ｂによる）及び磁場（マグネット５５ｂによる）の作用により表面にプラズマが形成されるターゲット５３ｂとからなる二元同時スパッタリング方式を採用している。
なお、各ターゲット５３ａ，５３ｂのガラス基板２０に対向する面側には、各ターゲット５３ａ，５３ｂから出射してガラス基板２０に衝突させるスパッタ粒子の量を調整するためのシャッタ５４ａ，５４ｂが設けられている。
【００３０】
製造の手順を以下に示す。
まず、回転台５２の上に、洗浄処理を行ったガラス基板２０を載置する。そして、高靭性材質（酸化チタン）および高硬度材質（ＤＬＣ）のスパッタ源をそれぞれのターゲット５３ａ，５３ｂに取り付ける。
次に、チャンバ５１内を真空にしたのち、アルゴンガス（Ａｒ）をチャンバ５１内へ導入する。そして、このガス圧力は、安定した放電が得られ、かつ、安定なスパッタリングが実現される範囲（０．１〜１０Ｐａ）でコントロールする。そして、このガス圧力調整と同時に適宜、回転台５２の表面温度を所定温度に設定しガラス基板２０の温度も適宜制御する（非加熱であってもよい）。
【００３１】
次に、各ターゲット５３ａ，５３ｂに配置された電極に高周波電力を印加すると、ターゲット５３ａ，５３ｂの表面からたたき出された二次電子が、磁場の作用で向心力を得、ターゲット５３ａ，５３ｂの表面上をアルゴンガス（Ａｒ）に出会うまでトロイダル曲線を描きながら周回して、プラズマが形成される。
【００３２】
そして、チャンバ５１内に導入されているアルゴンガス（Ａｒ）がこの周回する電子に衝突すると、アルゴンはイオン化し、ターゲット５３ａ，５３ｂをスパッタする。そして、ターゲット５３ａでは、酸化チタン、ターゲット５３ｂでは、ＤＬＣをはじき飛ばし（スパッタし）、これらスパッタされた粒子が、回転台５２上のガラス基板２０の上に積層することとなる。
【００３３】
まず、ＤＬＣ側のシャッタ５４ｂを閉じ、酸化チタンのみのスパッタリングを実行し、ガラス基板２０の上に酸化チタンのみの成膜を行い、緩衝層３３を形成する。スパッタされた酸化チタンの粒子は、ターゲット５３ａから高速で回転台５２上のガラス基板２０に衝突する。衝突した酸化チタンの粒子は、一部は反射される一方、他の多くはガラス基板２０の表面上にとどまり、ガラス基板２０の表面上を動き回りながら、他の粒子と粒子団を形成し、ガラス基板２０上の一部に固定され核を形成する。なお、酸化チタンは凝集力が強いので、この形成された核を中心に、新たにスパッタされた酸化チタンの粒子が積層していくので、凹凸表面が形成されやすい。
【００３４】
ガラス基板２０の上に酸化チタンが堆積して所定の厚み（望ましくは５ｎｍ程度）の緩衝層３３が形成された時点で、除々に、ＤＬＣ側のシャッタ５４ｂも解放し、酸化チタン側のシャッタ５４ａを絞っていくこととする。このようにすることにより、ガラス基板２０に衝突させるスパッタ粒子のうちＤＬＣの濃度を除々に高めていく。
【００３５】
ところで、DLC（ダイヤモンド）のような非晶性物質からスパッタ法により膜を得るとすると一般に凹凸のない滑らかな表面を得ることができる。一方、酸化チタンのような結晶性物質からスパッタ法により、膜を得るとなると凹凸形状を有する表面が得られる。そこで、両物質を組み合わせて、膜を得るとすると、この凹凸形状を任意に制御することができる。
【００３６】
この凹凸形状の制御とは、ターゲット５３ａ，５３ｂの電極に投入する電力強度や周波数を可変し、プラズマ放電における電流密度を調節して、ターゲットから発射される原子（分子）の速度を調整したり、シャッタの絞りを調節してスパッタ原子の比率を調整したりする事で実現することができる。
【００３７】
かかるプロセスを通じて、ガラス基板２０の上に緩衝層３３を介して、高硬度材質（ＤＬＣ）と高靭性材質（酸化チタン）との比率が傾斜配分してなる硬質層４０が形成される。そして、この硬質層４０の構成単位であって断面凸形状の硬質突起４１が、所望の高さに成長したところで、チャンバ５１内を大気開放しガラス基板２０を取り出す。
【００３８】
このようにして得られたガラス基板２０の上には、緩衝層３３と凹凸形状の硬質層４０とからなる滑水層３０が形成される。そして、この硬質層４０を構成する凸形状の硬質突起４１は、最終的に高さ（厚み）が５〜５０ｎｍ厚（のぞましくは１０ｎｍ〜３０ｎｍ）でかつ、配列のピッチが１０〜２００ｎｍ（のぞましくは２０〜１００ｎｍ）で形成される。なお、この硬質突起の高さが、その硬質突起の谷間に配置される撥水層３１の厚みに対応することとなる。
【００３９】
次に、取り出したガラス基板２０の表面に対して、撥水層３１を成膜させる処理を行う。この撥水層の成膜は、例えば、ディッピング法による塗布方法を用いる。具体的には、フッ素化合物が混合されたゾル（フ゜ロヒ゜レンク゛リコールメチルエーテル：蒸留水の50：50溶媒）に、硬質層まで成膜されたガラス基板２０を浸漬させ、所定速度で引き上げ、乾燥させた後、所定の熱処理を行い撥水層３１を定着させる。
以上の工程により、付着した液滴の滑水性能の優れる滑水ガラス１０の表面構造が形成される。
【００４０】
なお、前記した説明では、緩衝層３３から硬質層４０を連続して成膜する方法を一例として示したが、それぞれの膜を別個に形成するようにしてもよい。また、撥水層３１の成膜した直後において、この撥水層に硬質突起の先端が図１（ａ）に示すように露出しておらず、埋没してしまっていてもかまわない。使用するうちに磨耗して、いずれ図示したようになるからである。
【００４１】
また、本発明にかかる滑水ガラス１０の表面構造は、以上説明したように、表面凹凸形状を有する硬質層４０が、一定厚みの緩衝層３３を介して、ガラス基板２０に結合されている場合に限定されることなく、この緩衝層を設けずに直接ガラス基板に固定される場合もあり得る。また、以上の説明において硬質突起４１は、ガラス基板２０に側に接する側において靭性の高い緩衝材料で構成され先端方向にいくに従い、高硬質材料の含有率が高くなるように構成された傾斜材料であるとしたが、均一の高硬質材料で構成される場合もあり得る。
また、硬質層４０の表面凹凸形状は、スパッタリング方法により生成したが、この方法に限定されることはなく、他の物理的または化学的方法を用いても良い。
また、滑水ガラス１０の表面に付着し得る液滴は、水滴、油滴の他、流動性を有するその他の物質を広く含む概念である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本実施形態における滑水表面構造の基本構成を模式的に示す、（ａ）は断面図、（ｂ）は、上面図である。
【図２】本実施形態における滑水表面構造の基本構成を拡大して示す硬質突起の断面図である。
【図３】本発明にかかる滑水表面構造を製造するスパッタリング装置の基本構成を示す構成図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０    滑水ガラス
２０    ガラス基板（基板）
３０    滑水層
３１    撥水層
３３    緩衝層
４０    硬質層
４１    硬質突起
【図１】
2005335980.tif 000003
【図２】
2005335980.tif 000004
【図３】
2005335980.tif 000005