(57)【要約】【課題】  従来のＳＣＴ系磁器組成物よりも比誘電率εｒが高く、かつＱ値及び比誘電率の温度係数τεの優れた誘電体磁器組成物を提供する。【解決手段】  Ｂａ、Ｓｒ、Ｃａ及びＴｉを含有する複合酸化物からなり、ＢａＴｉＯ3、ＳｒＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の組成比（ｍｏｌ比）を三元組成図（ＢａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＣａＴｉＯ3）で表したときに、ＢａＴｉＯ3、ＳｒＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の組成が下記式（１）〜（３）で示される線図で囲まれる領域内（線図上を含む）にあることを特徴とする誘電体磁器組成物。（ＢａＴｉＯ3）x（ＳｒＴｉＯ3）0.53-x（ＣａＴｉＯ3）0.47：ｘ＝０．０１〜０．１２                                                                        …（１）（ＢａＴｉＯ3）0.01（ＳｒＴｉＯ3）0.99-y（ＣａＴｉＯ3）y：ｙ＝０．３３〜０．４７                                                                        …（２）（ＢａＴｉＯ3）0.01+0.11z（ＳｒＴｉＯ3）0.66-0.25z（ＣａＴｉＯ3）0.33+0.14z：ｚ＝０〜１                                                                        …（３）【選択図】図２
2005170732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｂａ、Ｓｒ、Ｃａ及びＴｉを含有する複合酸化物からなり、ＢａＴｉＯ3、ＳｒＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の組成比（ｍｏｌ比）を三元組成図（ＢａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＣａＴｉＯ3）で表したときに、ＢａＴｉＯ3、ＳｒＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の組成が下記式（１）〜（３）で示される線図で囲まれる領域内（線図上を含む）にあることを特徴とする誘電体磁器組成物。
（ＢａＴｉＯ3）x（ＳｒＴｉＯ3）0.53-x（ＣａＴｉＯ3）0.47：ｘ＝０．０１〜０．１２
…（１）（ＢａＴｉＯ3）0.01（ＳｒＴｉＯ3）0.99-y（ＣａＴｉＯ3）y：ｙ＝０．３３〜０．４７
…（２）（ＢａＴｉＯ3）0.01+0.11z（ＳｒＴｉＯ3）0.66-0.25z（ＣａＴｉＯ3）0.33+0.14z：ｚ＝０〜１
…（３）    
【請求項２】
下記式（１）’〜（３）’で示される線図で囲まれる領域内（線図上を含む）にあることを特徴とする請求項１に記載の誘電体磁器組成物。
（ＢａＴｉＯ3）x（ＳｒＴｉＯ3）0.55-x（ＣａＴｉＯ3）0.45：ｘ＝０．０１〜０．１０
…（１）’
（ＢａＴｉＯ3）0.01（ＳｒＴｉＯ3）0.99-y（ＣａＴｉＯ3）y：ｙ＝０．３５〜０．４５
…（２）’
（ＢａＴｉＯ3）0.01+0.09z（ＳｒＴｉＯ3）0.64-0.19z（ＣａＴｉＯ3）0.35+0.10z：ｚ＝０〜１
…（３）’
【請求項３】
Ｚｒ、Ｙ、Ｍｎ、Ｙｂ、Ｃｏ、Ｓｎ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｂｉ、Ｗ及びＳｉの中から選ばれる少なくとも１種以上の酸化物（Ｍ酸化物）が１０ｍｏｌ％未満添加されている請求項１又は２に記載の誘電体磁器組成物。
【請求項４】
前記Ｍ酸化物の添加量が０．１〜７ｍｏｌ％である請求項３に記載の誘電体磁器組成物。
【請求項５】
測定周波数２ＧＨｚにおける比誘電率εrが２５０以上、
−４０℃〜８５℃における比誘電率の温度係数の絶対値｜τε｜が１５００ｐｐｍ／℃以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の誘電体磁器組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波帯域において使用される誘電体共振器、フィルタ又はコンデンサ等に適用するのに好適な誘電体磁器組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、自動車電話、携帯電話、衛星放送など、マイクロ波領域の電磁波を利用する通信技術の進展に伴い、デバイスの小型化が要求されている。このためには、デバイスを構成する個々の部品が小型化される必要がある。誘電体磁器組成物は、これらのマイクロ波デバイスにおいて、共振器、フィルタ、積層コンデンサ用などの材料として用いられている。
例えば、共振器用材料では高周波特性の向上と小型化を達成するために、使用周波数において以下の（１）〜（３）のような特性が要求される。
（１）比誘電率εｒが大きいこと：真空中のマイクロ波の波長をλ0とすると、誘電体中の波長λはλ＝λ0／εｒ1/2となる。εｒの大きな誘電体を用いれば共振器の寸法を１／εｒ1/2にすることができるため、比誘電率εｒを大きくすることにより共振器の小型化を図ることが望まれる。
（２）品質係数（Ｑｆ）が大きいこと：誘電体中をマイクロ波が通過するときにエネルギ損失があり、この誘電損失をｔａｎδで表す。いわゆるＱ値はＱ＝１／ｔａｎδで与えられるから、誘電損失が小さいものはＱ値が大きくなる。このＱ値は共振周波数ｆに依存し、Ｑｆ＝一定の関係が成立している。このＱｆを品質係数と呼び、Ｑｆ値が大きいほど高品質である。
（３）比誘電率の温度係数τεが小さいこと：デバイスが使用される環境下、特に温度の変化に対して比誘電率εｒの変動が小さいことが安定した特性を発揮するために重要である。
【０００３】
従来のマイクロ波用誘電体材料としては、比誘電率εｒ及びＱ値が高く、比誘電率の温度係数τεが良好なＳｒ−Ｃａ−Ｔｉ−Ｏ系の磁器組成物（以下、ＳＣＴ系磁器組成物ということがある）が知られている。その代表的な組成物として、（Ｓｒ0.6Ｃａ0.4）ＴｉＯ3があり、この誘電体磁器は比誘電率εｒ＝２１０、Ｑｆ＝２０００、−４０〜８５℃における比誘電率の温度係数τεの絶対値｜τε｜＝８００ｐｐｍ／℃の特性を備えている。
【０００４】
また、本出願人は特許文献１（特開２０００−２６４７２９号公報）において、焼成時の耐還元性に優れ、高誘電率および低歪み率を示すとともに容量温度係数に優れた誘電体組成物として、少なくともチタン酸カルシウム（ＣａＴｉＯ2）、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ2）およびチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ2）を含有する誘電体組成物であって、少なくともこれら３つの組成ｍｏｌ比について、チタン酸カルシウムの組成ｍｏｌ比（Ｐ）が０．５〜０．８５、チタン酸ストロンチウムの組成ｍｏｌ比（Ｑ）が０．０５〜０．４、チタン酸バリウムの組成ｍｏｌ比（Ｒ）が０．１〜０．２、（但しＰ＋Ｑ＋Ｒ＝１）である誘電体組成物を提案している。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２６４７２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
デバイスのさらなる小型化の要求は常に継続しているものの、ＳＣＴ系磁器組成物の比誘電率εｒではデバイスの小型化の要求を満足することは難しくなってきている。
また、特許文献１に開示された誘電体磁器組成物は、比誘電率εｒは高いものの、Ｑ値及び比誘電率の温度係数τεが劣っている。
そこで本発明は、従来のＳＣＴ系磁器組成物よりも比誘電率εｒが高く、かつＱ値及び比誘電率の温度係数τεの優れた誘電体磁器組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる目的のもと、本発明の誘電体磁器組成物は、Ｂａ、Ｓｒ、Ｃａ及びＴｉを含有する複合酸化物からなり、ＢａＴｉＯ3、ＳｒＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の組成比（ｍｏｌ比）を三元組成図（ＢａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＣａＴｉＯ3）で表したときに、ＢａＴｉＯ3、ＳｒＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の組成が下記式（１）〜（３）で示される線図で囲まれる領域内（線図上を含む）にあることを特徴としている。
（ＢａＴｉＯ3）x（ＳｒＴｉＯ3）0.53-x（ＣａＴｉＯ3）0.47：ｘ＝０．０１〜０．１２
…（１）（ＢａＴｉＯ3）0.01（ＳｒＴｉＯ3）0.99-y（ＣａＴｉＯ3）y：ｙ＝０．３３〜０．４７
…（２）（ＢａＴｉＯ3）0.01+0.11z（ＳｒＴｉＯ3）0.66-0.25z（ＣａＴｉＯ3）0.33+0.14z：ｚ＝０〜１
…（３）  本発明において下記式（１）’〜（３）’を満足するのが望ましい。
（ＢａＴｉＯ3）x（ＳｒＴｉＯ3）0.55-x（ＣａＴｉＯ3）0.45：ｘ＝０．０１〜０．１０
…（１）’
（ＢａＴｉＯ3）0.01（ＳｒＴｉＯ3）0.99-y（ＣａＴｉＯ3）y：ｙ＝０．３５〜０．４５
…（２）’
（ＢａＴｉＯ3）0.01+0.09z（ＳｒＴｉＯ3）0.64-0.19z（ＣａＴｉＯ3）0.35+10z：ｚ＝０〜１
…（３）’
本発明の誘電体磁器組成物によれば、比誘電率εｒが２５０以上、−４０〜８５℃における比誘電率の温度係数τεの絶対値が１５００ｐｐｍ／℃以下、さらにはＱ値が１０００以上という特性を具備することができる。
本発明の誘電体磁器組成物は、Ｚｒ、Ｙ、Ｍｎ、Ｙｂ、Ｃｏ、Ｓｎ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｂｉ、Ｗ及びＳｉの中から選ばれる少なくとも１種以上の酸化物（Ｍ酸化物）を１０ｍｏｌ％未満、望ましくは０．１〜７ｍｏｌ％の範囲で添加することができる。Ｍ酸化物を含有させることにより、誘電特性（比誘電率εｒ、Ｑ値及び比誘電率の温度特性）のいずれかを向上させることができる。Ｍ酸化物の中でＳｉＯ2は焼結助剤として機能して誘電特性の向上に寄与する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、従来のＳＣＴ系の誘電体磁器組成物の有する誘電体特性、特に比誘電率の温度係数τεの低下を最小限に抑えつつ、比誘電率εｒを向上させた誘電体磁器組成物を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の誘電体磁器組成物を詳細に説明する。
本発明の誘電体磁器組成物は、Ｂａ、Ｓｒ、Ｃａ及びＴｉを含有する複合酸化物からなり、ＢａＴｉＯ3、ＳｒＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の組成比（ｍｏｌ比）を三元組成図（ＢａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＣａＴｉＯ3）で表したときに、ＢａＴｉＯ3、ＳｒＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の組成が下記式（１）〜（３）で示される線図で囲まれる領域内（線図上を含む）にあることを特徴としている。
（ＢａＴｉＯ3）x（ＳｒＴｉＯ3）0.53-x（ＣａＴｉＯ3）0.47：ｘ＝０．０１〜０．１２
…（１）（ＢａＴｉＯ3）0.01（ＳｒＴｉＯ3）0.99-y（ＣａＴｉＯ3）y：ｙ＝０．３３〜０．４７
…（２）（ＢａＴｉＯ3）0.01+0.11z（ＳｒＴｉＯ3）0.66-0.25z（ＣａＴｉＯ3）0.33+0.14z：ｚ＝０〜１
…（３）      
【００１０】
式（１）においてｘが０．０１未満では比誘電率εｒの向上効果が不十分である。また、ｘが０．１２を超えると比誘電率の温度係数τεの低下が無視できなくなる。そこで本発明では、ｘを０．０１〜０．１２とする。式（２）においてｙが０．３３未満又は０．４７を超えると比誘電率の温度係数τεが劣化する。そこで本発明では、ｙを０．３３〜０．４７とする。次に、式（３）においてｚが１を超えるとＱ値が低下してしまう。
【００１１】
本発明の誘電体磁器組成物に対して、Ｍ酸化物（Ｚｒ、Ｙ、Ｍｎ、Ｙｂ、Ｃｏ、Ｓｎ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｂｉ、Ｗ及びＳｉの中から選ばれる少なくとも１種）を１０ｍｏｌ％未満の範囲で添加することができる。Ｍ酸化物を添加することにより、誘電特性（比誘電率εｒ、Ｑ値及び比誘電率の温度特性）のいずれかを向上させることができる。ただし、１０ｍｏｌ％以上Ｍ酸化物を含むと、誘電特性をかえって低下させる。Ｍ酸化物の望ましい範囲は、０．１〜７ｍｏｌ％、さらに望ましい範囲は０．１〜４ｍｏｌ％である。
【００１２】
次に、本発明による誘電体磁器組成物にとって好適な製造方法を説明する。
＜原料粉末、秤量＞
主成分の原料として、酸化物または加熱により酸化物となる化合物の粉末を用いる。具体的にはＢａＣＯ3粉末，ＳｒＣＯ3粉末，ＣａＣＯ3粉末，ＴｉＯ2粉末、さらにＭ酸化物の原料粉末（例えばＺｒＯ2粉末、ＭｎＣＯ3粉末等）を用いることができる。原料粉末を式（１）〜（３）の組成となるように、それぞれ秤量する。各原料粉末の平均粒径は０．１〜３．０μｍの範囲で適宜選択すればよい。
なお、上述した原料粉末に限らず、２種以上の金属を含む複合酸化物の粉末を原料粉末としてもよい。
【００１３】
＜仮焼＞
原料粉末を例えばボールミルにより湿式混合した後、９００〜１３００℃の範囲内で所定時間保持する仮焼を行う。このときの雰囲気はＮ2または大気とすればよい。仮焼の保持時間は０．５〜５．０時間の範囲で適宜選択すればよい。仮焼後、仮焼体を例えば平均粒径０．５〜２．０μｍ程度まで粉砕する。
なお、主成分の原料粉末（ＳｒＣＯ3粉末，ＣａＣＯ3粉末，ＴｉＯ2粉末、Ｍ酸化物の原料粉末）を混合した後に、仮焼に供する場合について示したが、Ｍ酸化物の原料粉末を添加するタイミングは上述したものに限定されるものではない。例えば、まず主成分の粉末のみを秤量、混合、仮焼および粉砕する。そして、仮焼粉砕後に得られた主成分の粉末に、Ｍ酸化物の原料粉末を所定量添加し混合するようにしてもよい。
【００１４】
＜造粒・成形＞
粉砕粉末は、後の成形工程を円滑に実行するために顆粒に造粒される。この際、粉砕粉末に適当なバインダ、例えばポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を少量添加することが望ましい。得られる顆粒の粒径は８０〜２００μｍ程度とすることが望ましい。
造粒粉末を２００〜３００ＭＰａの圧力で加圧成形し、所望の形状の成形体を得る。
【００１５】
＜焼成＞
成形時に添加したバインダを除去した後、１２５０〜１５００℃の範囲内で所定時間成形体を加熱保持し焼結体を得る。このときの雰囲気はＮ2または大気とすればよい。加熱保持時間は２〜６時間の範囲で適宜選択すればよい。本発明の誘電体磁器組成物の効果を十分引き出すには、１３００〜１４５０℃の範囲で焼成することが望ましい。本発明による誘電体磁器組成物は４．５ｇ／ｃｍ3以上の焼成密度を得ることができる。
【００１６】
以上の工程を経ることで、本発明における誘電体磁器組成物を得ることができる。本発明における誘電体磁器組成物は、２ＧＨｚにおける比誘電率εｒが２５０以上、Ｑｆが１０００以上、比誘電率の温度係数τεの絶対値が１５００ｐｐｍ／℃以下という特性を備える。こうした優れた特性を備えた本発明における誘電体磁器組成物は、高周波用、特にマイクロ波用の共振器、フィルタ、積層コンデンサ等の材料として好適である。
【実施例１】
【００１７】
以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明する。
原料粉末として、ＳｒＣＯ3粉末、ＣａＣＯ3粉末、ＴｉＯ2粉末、ＺｒＯ2粉末およびＳｉＯ2粉末を準備した。なお、各原料粉末の平均粒径は０．１〜１．０μｍである。この原料粉末を表１に示す組成となるように秤量した後、ボールミルを用いて湿式混合を１６時間行った。得られたスラリーを十分に乾燥させた後、大気中、１２００℃で２時間保持する仮焼を行い、仮焼体を得た。仮焼体をボールミルにより１６時間湿式粉砕した後、バインダとしてＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を適量加えて造粒し、ブレス成形を行った。得られた成形体を、１４００℃で４時間焼成した後に、直径１０ｍｍ、厚さ５ｍｍに加工して誘電体磁器組成物からなる試料を得た。
【００１８】
得られた誘電体磁器組成物を用いて、誘電特性（比誘電率εｒ、Ｑｆ、比誘電率の温度係数τε（３０〜８５℃）、焼成密度を測定した。その結果を表１に併せて示す。なお、誘電特性の測定はＨａｋｋｉ−Ｃｏｌｅｍａｎ法に基づき以下に従って行った。
試料を平行に配設された２枚の金属板に挟み、ネットワークアナライザー（ヒューレッドパッカード社製８５１０Ｃ）に接続されたプローブを試料の両側に固定した。比誘電率εｒの測定の際には、一方のプローブより高周波を発振して周波数特性を測定し、得られたＴＥ０１１モードの共振周波数ピークと試料の寸法より比誘電率εｒを求めた（測定周波数は２ＧＨｚ）。また、標準試料を用いて前記金属板の表面比抵抗を求め、この値から金属板の誘電損失分を求め、全体の誘電損失値から前記金属板の誘電損失分を除き、試料のＱｆを求めた。また、−４０℃及び８５℃における比誘電率εｒを求め、その温度間における比誘電率の温度係数τεを求めた。
【００１９】
【表１】
2005170732.tif 000003
【００２０】
表１の試料Ｎｏ．１１が従来のＳＣＴ系誘電体磁器組成物である。ＳＣＴ系誘電体磁器組成物において、ＳｒとＣａの比が試料Ｎｏ．１１の値近傍において比誘電率の温度係数τεが顕著に変動し、試料Ｎｏ．１１の組成比で極小を示すことが知られている。そのため、試料Ｎｏ．１１は比誘電率の温度係数τεが−７５７ｐｐｍ／℃と優れている。
試料Ｎｏ．１１以外は、Ｓｒ、Ｃａの一部がＢａに置換された組成を有している。その中で試料Ｎｏ．１〜１０は、比誘電率の温度係数τεが、また試料Ｎｏ．１０はＱｆが試料Ｎｏ．１１に対して若干劣っているものの、比誘電率εｒはいずれも２５０、さらには２８０を超えて大きく向上していることがわかる。また、Ｑｆは２０００以上、あるいは３０００以上の値を得ることができる。
【００２１】
しかし、試料Ｎｏ．１４のようにＢａＴｉＯ3の量が多すぎると、比誘電率の温度係数τεの劣化が大きくなってしまう。また、試料Ｎｏ．１２のようにＢａＴｉＯ3の量が適切であってもＳｒＴｉＯ3の量が少なすぎる（ＣａＴｉＯ3の量が多すぎる）と、やはり比誘電率の温度係数τεの劣化が大きくなってしまう。さらに、試料Ｎｏ．１３のようにＢａＴｉＯ3の量が適切であってもＳｒＴｉＯ3の量が多すぎる（ＣａＴｉＯ3の量が少なすぎる）と、やはり比誘電率の温度係数τεの劣化が大きくなってしまう。
【００２２】
図１は表１に示された試料Ｎｏ．１〜１４のＢａＴｉＯ3、ＳｒＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の組成比（ｍｏｌ％）を三元組成図（ＢａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＣａＴｉＯ3）上に示したものである。なお、図１において、○付きの数字は、試料Ｎｏ．に対応している。前述したように、試料Ｎｏ．１〜１０は、比誘電率εｒが２５０以上、Ｑｆが１０００以上、比誘電率の温度係数τεの絶対値が１５００ｐｐｍ／℃以下の特性を有している。
図２は、この特性を得ることができる領域を前記三元組成図上に示したものであり、この三角形で囲まれる領域（線上を含む）が本発明で規定する範囲となる。この範囲は、三元組成図上の座標で表すとき、α＝（０．０１，０．５２，０．４７）、β＝（０．１２，０．４１，０．１７）、γ＝（０．０１，０．６６，０．３３）の３つの座標を頂点とする三角形で囲まれる領域となる。この領域は、下記式（１）〜（３）で示される線図で囲まれている。
【００２３】
（ＢａＴｉＯ3）x（ＳｒＴｉＯ3）0.53-x（ＣａＴｉＯ3）0.47：ｘ＝０．０１〜０．１２
…（１）（ＢａＴｉＯ3）0.01（ＳｒＴｉＯ3）0.99-y（ＣａＴｉＯ3）y：ｙ＝０．３３〜０．４５
…（２）（ＢａＴｉＯ3）0.01+0.11z（ＳｒＴｉＯ3）0.66-0.25z（ＣａＴｉＯ3）0.33+0.14z：ｚ＝０〜１
…（３）      
【００２４】
さらに望ましい範囲が図３に示されている。図３は、三元組成図（ＢａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＣａＴｉＯ3）上の座標で表すとき、α’＝（０．０１，０．５４，０．４５）、β’＝（０．１，０．４５，０．４５）、γ’＝（０．０１，０．６４，０．３５）の３つの座標を頂点とする三角形で囲まれる領域となる。この領域は、下記式（１）’〜（３）’で示される線図で囲まれている。
（ＢａＴｉＯ3）x（ＳｒＴｉＯ3）0.55-x（ＣａＴｉＯ3）0.45：ｘ＝０．０１〜０．１０
…（１）’
（ＢａＴｉＯ3）0.01（ＳｒＴｉＯ3）0.99-y（ＣａＴｉＯ3）y：ｙ＝０．３５〜０．４５
…（２）’
（ＢａＴｉＯ3）0.01+0.09z（ＳｒＴｉＯ3）0.64-0.19z（ＣａＴｉＯ3）0.35+10z：ｚ＝０〜１
…（３）’
【実施例２】
【００２５】
（Ｂａ0.05 Ｓｒ0.55 Ｃａ0.4）ＴｉＯ3の組成に対して、表２、３に示すＭ酸化物を添加する以外実施例１と同様にして誘電体磁器組成物からなる試料を作製し、やはり実施例１と同様にして誘電特性および焼成密度を測定した。その結果を表２、３に示す。なお、Ｍ酸化物は、湿式混合の後に添加した。
【００２６】
【表２】
2005170732.tif 000004
【００２７】
【表３】
2005170732.tif 000005
【００２８】
表２、３に示すように、Ｍ酸化物は、比誘電率εｒ、Ｑｆ及び比誘電率の温度係数τεのいずれかの特性向上に寄与し、比誘電率εｒを２５０以上、Ｑｆを１０００以上、比誘電率の温度係数τεの絶対値が１５００ｐｐｍ／℃以下という特性を備えることができる。ただし、Ｍ酸化物の量が多くなると誘電率εｒ又はＱｆが低下する傾向にあるため、Ｍ酸化物を添加する場合は１０ｍｏｌ％未満とすることが望ましい。なお、比誘電率εｒ、Ｑｆ及び比誘電率の温度係数τεの各々の特性向上に寄与するＭ酸化物を区分すると以下のとおりである。
【００２９】
比誘電率εｒ：ＺｒＯ2、ＭｎＯ、ＳｎＯ2、Ｂｉ2Ｏ3
Ｑｆ：Ｙ2Ｏ3、Ｙｂ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5
比誘電率の温度係数τε：ＺｒＯ2、Ｙ2Ｏ3、Ｙｂ2Ｏ3、Ｃｏ3Ｏ4、Ｎｂ2Ｏ5、Ｔａ2Ｏ5、Ｂｉ2Ｏ3、ＷＯ3、ＳｉＯ2
【００３０】
Ｍ酸化物の中で、ＳｉＯ2は焼結助剤として機能するものである。したがって、焼成温度を１３００℃と他の試料に比べて低くしたとしても、他の試料と遜色のない誘電特性を備えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明による誘電体磁器組成物の特性を三元組成図（ＢａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＣａＴｉＯ3）上にプロットした図である。
【図２】本発明による誘電体磁器組成物の組成範囲を三元組成図（ＢａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＣａＴｉＯ3）上に示した図である。
【図３】本発明による誘電体磁器組成物の望ましい組成範囲を三元組成図（ＢａＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＣａＴｉＯ3）上に示した図である。
【図１】
2005170732.tif 000006
【図２】
2005170732.tif 000007
【図３】
2005170732.tif 000008