(57)【要約】【課題】  高感度、高解像度及び高透過率特性を有すると共に、色相が良好で、熱堅牢性及び光堅牢性が高く、保存安定性に優れた着色硬化性組成物、並びにそれを用いたカラーフィルターを提供する。【解決手段】  下記一般式（Ｉ）で表される染料を含有することを特徴とする着色硬化性組成物、それを用いたカラーフィルタ、及びその製造方法。【化１】2005189802.tif 000024【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（Ｉ）で表される染料を含有することを特徴とする着色硬化性組成物。
【化１】
2005189802.tif 000021
［式中、Ｒ1は水素原子又は置換基を表し（但し、パーフロロアルキルカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、及びスルファモイル基は除く）、Ｒ2〜Ｒ5は各々独立に水素原子又は置換基を表し、Ｒ6及びＲ7は、各々独立にアルキル基、アルケニル基、又はアリール基を表し、Ｚａ及びＺｂは各々独立に−Ｎ＝、又は−Ｃ（Ｒ8）＝を表す。Ｒ8は水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。Ｒ2とＲ3、Ｒ3とＲ6、Ｒ4とＲ5、Ｒ5とＲ7、及び／又はＲ6とＲ7とが互いに結合して、各々独立に５員、６員、又は７員の環を形成しても良い。］
【請求項２】
下記一般式（ＩＩ）で表される染料を含有することを特徴とする請求項１に記載の着色硬化性組成物。
【化２】
2005189802.tif 000022
［式中、Ｒ101は前記一般式（Ｉ）におけるＲ1と同義であり、Ｒ102〜Ｒ104は前記一般式（Ｉ）におけるＲ2〜Ｒ4と同義であり、Ｒ106は前記一般式（Ｉ）におけるＲ6と同義である。Ｒ9〜Ｒ14は各々独立に水素原子又は置換基を表す。Ｚｃ及びＺｄは前記一般式（Ｉ）におけるＺａ及びＺｂと同義である。］
【請求項３】
下記一般式（ＩＩＩ）で表される染料を含有することを特徴とする請求項２に記載の着色硬化性組成物。
【化３】
2005189802.tif 000023
［式中、Ｒ9〜Ｒ14、Ｒ101〜Ｒ104、及びＲ106は前記一般式（ＩＩ）のそれと同義であり、Ｒ108は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。］
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物を、支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示素子（ＬＣＤ）や固体撮像素子（例えば、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等）に用いられるカラーフィルタを形成する為に好適な着色硬化性組成物、これを用いたカラーフィルタ、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
固体撮像素子や液晶表示素子をカラー化するために素子上に形成されるカラーフィルターとして、基板上の同一平面に隣接して形成されたイエローフィルタ層、マゼンタフィルタ層、及びシアンフィルタ層からなるカラーフィルターや、赤色フィルタ層、緑色フィルタ層、青色フィルタ層から構成されるカラーフィルターが知られている。該フィルター層においては、帯状のパターン、若しくはモザイク状のパターンが形成されている。カラーフィルターの製造方法としては種々の方法が提案されている。中でも、色素を含有する感光性樹脂組成物を露光し、現像することによってパターニングする工程を所要の回数繰り返し行う、所謂カラーレジスト法は広く実用化されている。
【０００３】
カラーレジスト法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソグラフィー法によってカラーフィルターを作製する方法（以下、「顔料分散法」ともいう。）であり、この方法は、顔料を使用しているために光や熱等に安定であると共にフォトリソグラフィー法によってパターニングするための位置精度も充分であり、大画面、高精細カラーディスプレー用カラーフィルターの作製に好適な方法である。
【０００４】
上記顔料分散法によってカラーフィルターを作製するには、ガラス基板上に感放射線性組成物をスピンコーターやロールコーター等を用いて塗布し、塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光して現像することによって着色した画素を得、この操作を各色毎に行いカラーフィルターを得ている。該顔料分散法としては、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを用いるネガ型感光性組成物が開示されている（例えば、特許文献１〜特許文献８参照。）。
【０００５】
しかしながら、近年、固体撮像素子用のカラーフィルターにおいては、更なる高精細化が望まれている。しかし、従来の顔料分散系においては解像度が向上せず、又、顔料の粗大粒子による色ムラが発生する等の問題点を有しているために、固体撮像素子のような微細パターンが要求される用途には適さなかった。この問題点を解決するために従来から染料の使用が提案され、ポジ型感光性組成物が開示されている（例えば、特許文献９〜１１等参照。）。
【０００６】
しかしながら、染料含有の着色硬化性組成物は、以下の問題点を有しており更なる改良が求められている。
１）染料は、一般的に顔料に比べて耐熱性、耐光性等に劣り更なる堅牢性の改良が求められる。
２）染料のモル吸光係数が低い場合には、多量の染料を添加しなければならず、このために着色硬化性組成物中の重合性化合物やバインダー、光重合開始剤等の他の成分を減らさざるを得ず、組成物の硬化性、硬化後の耐熱性、非硬化部の現像性等が低下する等の問題点の改良が望まれる。
３）染料は着色硬化性組成物中の他の成分との相互作用を示す場合が多く、硬化部、硬化部の現像性（溶解性）の調節が困難であり、この点についても改良が求められている。
このように従来から感光性組成物に用いられている染料においては、特に堅牢性が充分に満足できるものではなく、更に、感光性組成物に対する溶解性が低く高濃度で染料を含有させることも困難であり改良が求められていた。
【０００７】
一方、カラーフィルターの青色フィルターアレイにはバイオレット色素が用いられることが知られている（例えば、特許文献１２参照。）。しかしながら、該特許に用いられているバイオレット色素は耐熱性、及び耐光性が不十分で更なる改良が望まれている。又、同様にイエローフィルター層、マゼンタフィルター層、及びシアンフィルター層からなるカラーフィルターにおいても、マゼンタフィルター層に用いられるマゼンタ色素の更なる堅牢性の改良が望まれている。又、ピラゾロアゾール系のアゾメチン色素を含有するカラーフィルターが開示されている（例えば、特許文献１３参照。）。これらに示されている色素も同様に溶解性、堅牢性の改良が望まれている。
【特許文献１】特開平１−１０２４６９号公報
【特許文献２】特開平１−１５２４９９号公報
【特許文献３】特開平２−１８１７０４号公報
【特許文献４】特開平２−１９９４０３号公報
【特許文献５】特開平４−７６０６２号公報
【特許文献６】特開平５−２７３４１１号公報
【特許文献７】特開平６−１８４４８２号公報
【特許文献８】特開平７−１４０６５４号公報
【特許文献９】特開平６−７５３７５号公報
【特許文献１０】特開２００２−１４２２１号公報
【特許文献１１】特公平７−１１１４８５号公報
【特許文献１２】特開２００２−１４２２２号公報
【特許文献１３】特開平２００２−２５６１６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、高感度、高解像度、及び高透過率特性を有し、しかも熱堅牢性、及び光堅牢性の優れた着色硬化性組成物、並びにそれを用いたカラーフィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、良好な色相を有し、かつ光および熱に対する堅牢性の高い各種染料化合物を詳細に検討したところ、ある特定の構造の染料が特に耐熱性や耐光性等の堅牢性の改善に有用であるとの知見を得、該知見に基づいて下記構成の着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法が提供され、前記目的が達成されたものである。前記課題を達成するための具体的な手段は通りである。
【００１０】
＜１＞  下記一般式（Ｉ）で表される染料を含有することを特徴とする着色硬化性組成物。
【００１１】
【化１】
2005189802.tif 000002
【００１２】
［式中、Ｒ1は水素原子又は置換基を表し（但し、パーフロロアルキルカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、及びスルファモイル基は除く）、Ｒ2〜Ｒ5は各々独立に水素原子又は置換基を表し、Ｒ6及びＲ7は、各々独立にアルキル基、アルケニル基、又はアリール基を表し、Ｚａ及びＺｂは各々独立に−Ｎ＝、又は−Ｃ（Ｒ8）＝を表す。Ｒ8は水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。Ｒ2とＲ3、Ｒ3とＲ6、Ｒ4とＲ5、Ｒ5とＲ7、及び／又はＲ6とＲ7とが互いに結合して、各々独立に５員、６員、又は７員の環を形成しても良い。］
＜２＞  下記一般式（ＩＩ）で表される染料を含有することを特徴とする上記＜１＞に記載の着色硬化性組成物。
【００１３】
【化２】
2005189802.tif 000003
【００１４】
［式中、Ｒ101は前記一般式（Ｉ）におけるＲ1と同義であり、Ｒ102〜Ｒ104は前記一般式（Ｉ）におけるＲ2〜Ｒ4と同義であり、Ｒ106は前記一般式（Ｉ）におけるＲ6と同義である。Ｒ9〜Ｒ14は各々独立に水素原子又は置換基を表す。Ｚｃ及びＺｄは前記一般式（Ｉ）におけるＺａ及びＺｂと同義である。］
＜３＞  下記一般式（ＩＩＩ）で表される染料を含有することを特徴とする上記＜２＞に記載の着色硬化性組成物。
【００１５】
【化３】
2005189802.tif 000004
【００１６】
［式中、Ｒ9〜Ｒ14、Ｒ101〜Ｒ104、及びＲ106は前記一般式（ＩＩ）のそれと同義であり、Ｒ108は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。］
＜４＞  上記＜１＞〜＜３＞のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルタ。
＜５＞  上記＜１＞〜＜３＞のいずれか１項に記載の着色硬化性組成物を、支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、高感度、高解像度及び高透過率特性を有すると共に、色相が良好で、熱堅牢性及び光堅牢性が高く、保存安定性に優れた着色硬化性組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、前記着色硬化性組成物を用いて構成され、高解像度及び高透過率特性を有すると共に、色相が良好で、熱堅牢性及び光堅牢性の高いカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを高い生産性での作製が可能なカラーフィルタの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明の着色硬化性組成物、並びにカラーフィルタ及びその製造方法について詳しく説明する。
［着色硬化性組成物］
本発明の着色硬化性組成物は、下記一般式（Ｉ）で表される染料を含んでなり、好ましくはバインダー、感放射線性化合物、重合性モノマーを含んでなる。また一般には、更に溶剤を用いて構成することができ、必要に応じて更に架橋剤などの他の成分を用いて構成することができる。
【００１９】
−一般式（Ｉ）で表される化合物−
本発明の着色硬化性組成物は、下記一般式（Ｉ）で表される染料の少なくとも一種を含有する。この染料は良好な色相を有し、液状調製物もしくは塗布された塗布膜の状態としたときの経時析出がなく保存安定性に優れており、特に熱及び光の堅牢性が高い。
【００２０】
【化４】
2005189802.tif 000005
【００２１】
式中、Ｒ1は水素原子又は置換基を表し（但し、パーフロロアルキルカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、及びスルファモイル基は除く）、Ｒ2〜Ｒ5は各々独立に水素原子又は置換基を表し、Ｒ6及びＲ7は、各々独立にアルキル基、アルケニル基、又はアリール基を表し、Ｚａ及びＺｂは各々独立に−Ｎ＝、又は−Ｃ（Ｒ8）＝を表す。Ｒ8は水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。Ｒ2とＲ3、Ｒ3とＲ6、Ｒ4とＲ5、Ｒ5とＲ7、及び／又はＲ6とＲ7とが互いに結合して、各々独立に５員、６員、又は７員の環を形成しても良い。
【００２２】
一般式（Ｉ）におけるＲ1〜Ｒ6、Ｚａ、及びＺｂについて詳しく説明する。
一般式（Ｉ）におけるＲ1は水素原子又は置換基を表し、Ｒ1の置換基は、ハロゲン原子（例えば、フッ素、塩素、臭素）、アルキル基（好ましくは炭素数１〜４８の、直鎖、分岐鎖、又は環状のアルキル基で、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、ｔ−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、２−エチルヘキシル、ドデシル、ヘキサデシル、シクロプロピル、シクロペンチル、シクロヘキシル、１−ノルボルニル、１−アダマンチル）、アルケニル基（好ましくは炭素数２〜４８のアルケニル基で、例えば、ビニル、アリル、３−ブテン−１−イル）、アリール基（好ましくは炭素数６〜４８のアリール基で、例えば、フェニル、ナフチル）、ヘテロ環基（好ましくは炭素数１〜３２のヘテロ環基で、例えば、２−チエニル、４−ピリジル、２−フリル、２−ピリミジニル、１−ピリジル、２−ベンゾチアゾリル、１−イミダゾリル、１−ピラゾリル、ベンゾトリアゾール−１−イル）、シリル基（好ましくは炭素数３〜３８のシリル基で、例えば、トリメチルシリル、トリエチルシリル、トリブチルシリル、ｔ−ブチルジメチルシリル、ｔ−ヘキシルジメチルシリル）、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基（好ましくは炭素数１〜４８のアルコキシ基で、例えば、メトキシ、エトキシ、１−ブトキシ、２−ブトキシ、イソプロポキシ、ｔ−ブトキシ、ドデシルオキシ、シクロアルキルオキシ基で、例えば、シクロペンチルオキシ、シクロヘキシルオキシ）、アリールオキシ基（好ましくは炭素数６〜４８のアリールオキシ基で、例えば、フェノキシ、１−ナフトキシ）、ヘテロ環オキシ基（好ましくは炭素数１〜３２のヘテロ環オキシ基で、例えば、１−フェニルテトラゾール−５−オキシ、２−テトラヒドロピラニルオキシ）、シリルオキシ基（好ましくは炭素数１〜３２のシリルオキシ基で、例えば、トリメチルシリルオキシ、ｔ−ブチルジメチルシリルオキシ、ジフェニルメチルシリルオキシ）、アシルオキシ基（好ましくは炭素数２〜４８のアシルオキシ基で、例えば、アセトキシ、ピバロイルオキシ、ベンゾイルオキシ、ドデカノイルオキシ）、アルコキシカルボニルオキシ基（好ましくは炭素数２〜４８のアルコキシカルボニルオキシ基で、例えば、エトキシカルボニルオキシ、ｔ−ブトキシカルボニルオキシ、シクロアルキルオキシカルボニルオキシ基で、例えば、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシ）、アリールオキシカルボニルオキシ基（好ましくは炭素数７〜３２オアリールオキシカルボニルオキシ基で、例えば、フェノキシカルボニルオキシ）、カルバモイルオキシ基（好ましくは炭素数１から４８のカルバモイルオキシ基で、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルカルバモイルオキシ、Ｎ−ブチルカルバモイルオキシ、Ｎ−フェニルカルバモイルオキシ、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルカルバモイルオキシ）、スルファモイルオキシ基（好ましくは炭素数１〜３２のスルファモイルオキシ基で、例えば、Ｎ，Ｎ−ジエチルスルファモイルオキシ、Ｎ−プロピルスルファモイルオキシ）、アルキルスルホニルオキシ基（好ましくは炭素数１〜３８のアルキルスルホニルオキシ基で、例えば、メチルスルホニルオキシ、ヘキサデシルスルホニルオキシ、シクロヘキシ���スルホニルオキシ）、アリールスルホニルオキシ基（好ましくは炭素数６〜３２のアリールスルホニルオキシ基で、例えば、フェニルスルホニルオキシ）、
【００２３】
アシル基（好ましくは炭素数１から４８のアシル基で、例えば、ホルミル、アセチル、ピバロイル、ベンゾイル、テトラデカノイル、シクロヘキサノイル）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜４８のアルコキシカルボニル基で、例えば、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、オクタデシルオキシカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニル）、アリールオキシカルボニル基（好ましくは炭素数７〜３２のアリールオキシカルボニル基で、例えば、フェノキシカルボニル）、カルバモイル基（好ましくは炭素数１〜４８のカルバモイル基で、例えば、カルバモイル、Ｎ，Ｎ−ジエチルカルバモイル、ンーエチル−Ｎ−オクチルカルバモイル、Ｎ，Ｎ−ジブチルカルバモイル、Ｎ−プロピルカルバモイル、Ｎ−フェニルカルバモイル、Ｎ−メチルＮ−フェニルカルバモイル、Ｎ，Ｎ−ジシクロへキシルカルバモイル）、アミノ基（好ましくは炭素数３２以下のアミノ基で、例えば、アミノ、メチルアミノ、Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノ、テトラデシルアミノ、２−エチルへキシルアミノ、シクロヘキシルアミノ）、アニリノ基（好ましくは炭素数６〜３２のアニリノ基で、例えば、アニリノ、Ｎ−メチルアニリノ）、ヘテロ環アミノ基（好ましくは炭素数１〜３２のヘテロ環アミノ基で、例えば、４−ピリジルアミノ）、カルボンアミド基（好ましくは、炭素数１〜３２のカルボンアミド基で、例えば、アセトアミド、ベンズアミド、ピバロイルアミド、シクロヘキサンアミド、アダマンチルアミノ、２−エチルヘキサンアミド、但し、パーフロロアルキルカルボニルアミノ基は除く）、ウレイド基（好ましくは炭素数１〜３２のウレイド基で、例えば、ウレイド、Ｎ，Ｎ−ジメチルウレイド、Ｎ−フェニルウレイド）、イミド基（好ましくは炭素数１０以下のイミド基で、例えば、Ｎ−スクシンイミド，Ｎ−フタルイミド）、アルコキシカルボニルアミノ基（好ましくは炭素数２〜４８のアルコキシカルボニルアミノ基で、例えば、メトキシカルボニルアミノ、エトキシカルボニルアミノ、ｔ−ブトキシカルボニルアミノ、オクタデシルオキシカルボニルアミノ、シクロヘキシルオキシカルボニルアミノ）、アリールオキシカルボニルアミノ基（好ましくは炭素数７〜３２のアリールオキシカルボニルアミノ基で、例えば、フェノキシカルボニルアミノ）、アゾ基（好ましくは炭素数１〜３２のアゾ基で、例えば、フェニルアゾ、３−ピラゾリルアゾ）、アルキルチオ基（好ましくは炭素数１〜４８のアルキルチオ基で、例えば、メチルチオ、エチルチオ、オクチルチオ、シクロヘキシルチオ）、アリールチオ基（好ましくは炭素数６〜４８のアリールチオ基で、例えば、フェニルチオ）、ヘテロ環チオ基（好ましくは炭素数１〜３２のヘテロ環チオ基で、例えば、２−ベンゾチアゾリルチオ、２−ピリジルチオ、１−フェニルテトラゾリルチオ）、アルキルスルフィニル基（好ましくは炭素数１〜３２のアルキルスルフィニル基で、例えば、ドデカンスルフィニル）、アリールスルフィニル基（好ましくは炭素数６〜３２のアリールスルフィニル基で、例えば、フェニルスルフィニル）、アルキルスルホニル基（好ましくは炭素数１〜４８のアルキルスルホニル基で、例えば、メチルスルホニル、エチルスルホニル、プロピルスルホニル、ブチルスルホニル、イソプロピルスルホニル、２−エチルヘキシルスルホニル、ヘキサデシルスルホニル、オクチルスルホニル、シクロヘキシルスルホニル）、
【００２４】
アリールスルホニル基（好ましくは炭素数６〜４８のアリールスルホニル基で、例えば、フェニルスルホニル、１−ナフチルスルホニル）、スルファモイル基（好ましくは炭素数３２以下のスルファモイル基で、例えば、スルファモイル、Ｎ，Ｎ−ジプロピルスルファモイル、Ｎ−エチル−Ｎ−ドデシルスルファモイル、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルスルファモイル、Ｎ−シクロヘキシルスルファモイル）、スルホ基、ホスホニル基（好ましくは炭素数１〜３２のホスホニル基で、例えば、フェノキシホスホニル、オクチルオキシホスホニル、フェニルホスホニル）、ホスフィノイルアミノ基（好ましくは炭素数１〜３２のホスフィノイルアミノ基で、例えば、ジエトキシホスフィノイルアミノ、ジオクチルオキシホスフィノイルアミノ）を表わす。
【００２５】
Ｒ1が置換可能な基である場合には、その置換基としては前記Ｒ1の置換基、スルホンアミド基、又はスルファモイルアミノ基を有していてもよく、２個以上の置換基を有している場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
【００２６】
一般式（Ｉ）におけるＲ2〜Ｒ5は、各々独立に水素原子又は置換基を表し、Ｒ2〜Ｒ5の置換基は、前記Ｒ1で説明した置換基、パーフロロアルキルカルボニルアミノ基、スルホンアミド基（好ましくは炭素数１〜４８のスルホンアミド基で、例えば、メタンスルホンアミド、ブタンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、ヘキサデカンスルホンアミド、シクロヘキサンスルホンアミド）、又はスルファモイルアミノ基（好ましくは炭素数１〜４８のスルファモイルアミノ基で、例えば、Ｎ、Ｎ−ジプロピルスルファモイルアミノ、Ｎ−エチル−Ｎ−ドデシルスルファモイルアミノ）を表す。
【００２７】
一般式（Ｉ）のＲ2〜Ｒ5が置換可能な基である場合には、前記Ｒ2〜Ｒ5の置換基で説明した置換基を有していてもよく、２個以上の置換基を有している場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
【００２８】
一般式（Ｉ）におけるＲ2とＲ3、Ｒ3とＲ6、Ｒ4とＲ5、Ｒ5とＲ7、及び／又はＲ6とＲ7は互いに結合して５員、６員、又は７員の環を形成しても良い。Ｒ2とＲ3、Ｒ3とＲ6、Ｒ4とＲ5、Ｒ5とＲ7、及びＲ6とＲ7とが結合して形成される５員、６員、又は７員の環は、前記Ｒ2〜Ｒ5の置換基で説明した置換基を有していてもよく、２個以上の置換基で置換されている場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていても良い。
【００２９】
一般式（Ｉ）におけるＲ6、及びＲ7は各々独立にアルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基を表し、Ｒ6及びＲ7のアルキル基、アルケニル基、アリール基、及びヘテロ環基の好ましい範囲は、前記Ｒ1で説明したアルキル基、アルケニル基、アリール基、及びヘテロ環基と同義である。
一般式（Ｉ）のＲ6及びＲ7が更に置換可能な基である場合には、前記Ｒ2〜Ｒ5で説明した置換基で置換されていてもよく、２個以上の置換基で置換されている場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていても良い。
【００３０】
一般式（Ｉ）におけるＺａ及びＺｂは各々独立に、＝Ｎ−又は−Ｃ（Ｒ8）−を表し、Ｒ8は水素原子又は置換基を表す。
Ｒ8の置換基は前記Ｒ2〜Ｒ5の置換基で説明した置換基と同義であり、Ｒ8の置換基が更に置換可能な基である場合には、前記Ｒ2〜Ｒ5で説明した置換基で置換されていてもよく、２個以上の置換基で置換されている場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていても良い。
【００３１】
前記一般式（Ｉ）で表される染料は、好ましくは下記一般式（ＩＩ）で表される。
【００３２】
【化５】
2005189802.tif 000006
【００３３】
式中、Ｒ101は前記一般式（Ｉ）におけるＲ1と同義であり、Ｒ102〜Ｒ104は前記一般式（Ｉ）におけるＲ2〜Ｒ4と同義であり、Ｒ106は前記一般式（Ｉ）におけるＲ6と同義である。Ｒ9〜Ｒ14は各々独立に水素原子又は置換基を表す。Ｚｃ及びＺｄは前記一般式（Ｉ）におけるＺａ及びＺｂと同義である。
【００３４】
次に、一般式（ＩＩ）のＲ9〜Ｒ14、Ｒ101〜Ｒ104、Ｒ106、Ｚｃ、及びＺｄについて詳しく説明する。
一般式（ＩＩ）におけるＲ9〜Ｒ14は、各々独立に水素原子又は置換基を表し、Ｒ9〜Ｒ14の置換基の好ましい範囲は、前記Ｒ2〜Ｒ5で説明した置換基と同様である。
Ｒ9〜Ｒ14の置換基が更に置換可能な基である場合には、前記Ｒ2〜Ｒ5で説明した置換基で置換されていてもよく、２個以上の置換基で置換されている場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていても良い。
【００３５】
Ｒ102とＲ103、Ｒ103とＲ106、Ｒ106とＲ9、Ｒ104とＲ14が互いに結合して５員、６員、又は７員の環を形成していても良い。
【００３６】
一般式（ＩＩ）におけるＲ101は、前記一般式（Ｉ）のＲ1で説明した置換基と同義であり。Ｒ101の置換基が更に置換可能な基である場合には、前記のＲ2〜Ｒ5で説明した置換基で置換されていてもよく、２個以上の置換基で置換されている場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていても良い。
【００３７】
一般式（ＩＩ）におけるＲ102は、前記一般式（Ｉ）におけるＲ2と同義であり、Ｒ103は前記一般式（Ｉ）におけるＲ3と同義であり、Ｒ104は前記一般式（Ｉ）におけるＲ4と同義であり、Ｒ106は前記一般式（Ｉ）におけるＲ6と同義である。
【００３８】
一般式（ＩＩ）におけるＺｃは一般式（Ｉ）におけるＺａと同義であり、一般式（ＩＩ）におけるＺｄは一般式（Ｉ）におけるＺｂと同義である。
【００３９】
一般式（ＩＩ）で表される染料は、更に好ましくは下記一般式（ＩＩＩ）で表される。
【００４０】
【化６】
2005189802.tif 000007
【００４１】
式中、Ｒ9〜Ｒ14、Ｒ101〜Ｒ104、及びＲ106は前記一般式（ＩＩ）のそれと同義であり、Ｒ108は水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。
【００４２】
次に、一般式（ＩＩＩ）におけるＲ9〜Ｒ14、Ｒ101〜Ｒ104、Ｒ106、及びＲ108について詳しく説明する。
一般式（ＩＩＩ）におけるＲ9〜Ｒ14、Ｒ101〜Ｒ104、及びＲ106は、前記一般式（ＩＩ）におけるそれと同義である。
一般式（ＩＩＩ）におけるＲ108は、アルキル基、アルケニル基、アリール基、またはヘテロ環基を表し、Ｒ108のアルキル基、アルケニル基、アリール基、及びヘテロ環基の好ましい範囲は、前記Ｒ1の置換基で説明したアルキル基、アルケニル基、アリール基、およびヘテロ環基と同義である。
Ｒ108は更に、前記Ｒ2〜Ｒ5で説明した置換基で置換されていてもよく、２個以上の置換基で置換されている場合にはそれらの置換基は同一であっても異なっていても良い。
一般式（Ｉ）〜一般式（ＩＩＩ）で表される染料が２個以上（同一であっても、異なっていてもよい）、Ｒ1〜Ｒ14、Ｒ101〜Ｒ108のいずれかで結合して、ビス体、トリス体、又は多量体を形成していてもよい。
【００４３】
次に、本発明における一般式（ＩＩＩ）で表される染料の好ましい範囲について説明する。
一般式（ＩＩＩ）におけるＲ101は、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシル基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、カルバモイルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、イミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスホニル基、ホスフィノイルアミノ基で表され、Ｒ102、Ｒ103、及びＲ104は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、スルファモイルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、ホスホニル基、ホスフィノイルアミノ基で表され、Ｒ106はアルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基で表され、Ｒ108は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基で表され、Ｒ9〜Ｒ14は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基で表される染料が好ましい。
【００４４】
更に好ましくは、一般式（ＩＩＩ）におけるＲ101は、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、イミド基、、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基で表され、Ｒ102、Ｒ103、及びＲ104は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、カルボンアミド基、ウレイド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アルキルチオ基、アリールチオ基で表され、Ｒ106はアルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基で表され、
Ｒ108は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基で表され、Ｒ9〜Ｒ14は各々独立に、水素原子、アルキル基で表される染料が好ましい。
【００４５】
更に好ましくは、一般式（ＩＩＩ）におけるＲ101は、アルキル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基で表され、Ｒ102、Ｒ103、及びＲ104は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、カルボンアミド基、ウレイド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アルキルチオ基、アリールチオ基で表され、Ｒ106はアルキル基、又はアリール基で表され、Ｒ108は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基で表され、Ｒ9〜Ｒ14は各々独立に、水素原子、又はアルキル基で表される染料が好ましい。
【００４６】
更に好ましくは、一般式（ＩＩＩ）におけるＲ101は、アルキル基で表され、Ｒ102、Ｒ103、及びＲ104は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基で表され、Ｒ106はアルキル基で表され、Ｒ108はアルキル基、アルケニル基、アリール基、又はヘテロ環基で表され、Ｒ9〜Ｒ14は各々独立に、水素原子、又はアルキル基で表される染料が好ましい。
【００４７】
最も好ましくは、一般式（ＩＩＩ）におけるＲ101は、三級アルキル基（好ましくは炭素数４〜１６、更に好ましくは４〜８の三級アルキル基で、例えば、ｔ−ブチル、ｔ−アミル、ｔ−オクチル、１−アダマンチル、エチルシクロヘキシル）で表され、Ｒ102、Ｒ103、及びＲ104は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子（例えば、フッ素、塩素、臭素、沃素、より好ましくはフッ素又は塩素）、アルキル基（好ましくは炭素数１〜１２、より好ましくは１〜８のアルキル基で、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｔ−ブチル、シクロヘキシル、２−エチルヘキシル）、アルコキシ基（好ましくは炭素数１〜１２、より好ましくは１〜８のアルコキシ基で、例えば、メトキシ、エトキシ、イソプロピルオキシ、オクチルオキシ、２−エチルヘキシルオキシ）で表され、Ｒ106はアルキル基（好ましくは炭素数１〜１８、より好ましくは１〜１２のアルキル基で、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、オクチル、２−エチルヘキシル、２−ヒドロキシエチル、３−ヒドロキシプロピル）で表され、Ｒ108はアルキル基（好ましくは炭素数１〜２４、より好ましくは１〜１８のアルキル基で、例えば、メチル、エチル、イソプロピル、ｔ−ブチル、２−エチルヘキシル、ドデシル、ヘキサデシル）、アルケニル基（好ましくは炭素数２〜１８、より好ましくは２〜１２のアルケニル基で、例えば、ビニル、アリル、３−ブテン−１−イル）、アリール基（好ましくは炭素数６〜２４、より好ましくは、６〜１２のアリール基で、例えば、フェニル、ナフチル）、又はヘテロ環基（好ましくは炭素数１〜１２、より好ましくは、２〜１２のヘテロ環基で、例えば、２−チエニル、４−ピリジル、２−ピリジル、２−イミダゾリル、３−ピラゾリル）で表され、Ｒ9及びＲ10はアルキル基（好ましくは炭素数１〜８、より好ましくは１〜４のアルキル基で、例えば、メチル、エチル、プロピル、最も好ましくはメチル）で表され、Ｒ11〜Ｒ13は水素原子で表され、Ｒ14はアルキル基（好ましくは炭素数１〜８、より好ましくは１〜４で、例えば、メチル、エチル、プロピルで、最も好ましくはメチル）で表される。
【００４８】
次に、本発明における一般式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）で表される染料の具体例を以下に示すが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
【００４９】
【化７】
2005189802.tif 000008
【００５０】
【化８】
2005189802.tif 000009
【００５１】
【化９】
2005189802.tif 000010
【００５２】
【化１０】
2005189802.tif 000011
【００５３】
【化１１】
2005189802.tif 000012
【００５４】
【化１２】
2005189802.tif 000013
【００５５】
【化１３】
2005189802.tif 000014
【００５６】
【化１４】
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【００５７】
【化１５】
2005189802.tif 000016
【００５８】
次に、本発明における一般式（Ｉ）の例示染料Ｍ−１の合成例を、以下の反応スキームＡに示すが、これに限定されるものではない。
【００５９】
［合成例］：例示染料Ｍ−１の合成
【００６０】
【化１６】
2005189802.tif 000017
【００６１】
（１）化合物Ｂの合成
化合物Ａ９４．７ｇ（０．５モル）、沃化ナトリウム  ３７．５ｇ（０．２５モル）、炭酸水素ナトリウム  １２６ｇ（１．５モル）にジメチルイミダゾリジノン  ３００ｍｌを加えて９５℃に加熱、攪拌した。この溶液に３−ブロモプロパノール  ９０．３ｇ（０．６５モル）を滴下した。滴下終了後、９５℃〜１００℃で５時間加熱、攪拌して反応を完結させた。反応終了後、反応液を室温に冷却してから水  ６００ｍｌと酢酸エチル  ５００ｍｌを添加して抽出した。この酢酸エチル溶液を水洗して、無水硫酸マグネシウムで乾燥した。この酢酸エチル溶液を減圧下で濃縮した後、シリカゲルカラムクロマトグラフィー（溶離液：ｎ−ヘキサン／酢酸エチル＝１０／１）で精製した。化合物Ｂ９０．５ｇ（収率：７３．２％）を得た。化合物Ａは、シグマ−アルドリッチ社製を用いた。
【００６２】
（２）化合物Ｃの合成
前記の方法で得た化合物Ｂ  ９０ｇ（０．３６４モル）に、メタノール  ２７０ｍｌを添加して５℃に冷却し、攪拌した。この溶液に濃塩酸  ９３．７ｍｌ（１．０９モル）を滴下した。更に、亜硝酸ナトリウム  ２７．６ｇ（０．４モル）を水  ７５ｍｌに溶解したし溶液を５℃〜１０℃に保ちながら滴下した。滴下終了後、５℃〜１０℃で２時間攪拌して反応を完結させた。反応終了後、酢酸エチル  ５００ｍｌと水  １０００ｍｌを添加した。この溶液に炭酸水素ナトリウム８４ｇを少しずつ添加して中和した後、水層を除去した。この酢酸エチル溶液を水洗した後、無水硫酸マグネシウムで乾燥した。この酢酸エチル溶液を減圧下で濃縮すると結晶が析出した。この結晶にｎ−ヘキサン  ２００ｍｌと酢酸エチル  ２００ｍｌを添加して攪拌し、結晶を分散した。この結晶を濾過して、乾燥した。化合物Ｃを７８ｇ（収率：７７．６％）得た。
【００６３】
（３）化合物Ｅの合成
化合物Ｅの合成を下記スキームに示す方法で合成した。
【００６４】
【化１７】
2005189802.tif 000018
【００６５】
−中間体（Ｍ）の合成−
４−メトキシフェノール  １１２ｇ（０．９モル）にジメチルアセトアミド  ６００ｍｌを加えて室温で攪拌した。この溶液にナトリウムメトキシドの２８％メタノール溶液１９６ｍｌを添加した。添加終了後、この溶液に２−プロモプタン酸エチルエステル１９０ｇ（０．９７４モル）を滴下した。滴下終了後、室温で３時間攪拌を行い反応を完結させた。
この反応液に水  １０００ｍｌと酢酸エチル１０００ｍｌを添加し酢酸エチルで抽出した。この酢酸エチル溶液を食塩水で洗浄した後、減圧下で酢酸エチルを留去した。残留物に、メタノール２５０ｍｌを加えて室温で撹拌した。この溶液に、水酸化ナトリウム１４４ｇを水１０００ｍｌに溶解した水溶液を添加した。この溶液を５０℃〜５５℃に加熱して２時間攪拌した。反応終了後、この反応液に濃塩酸３４０ｍｌを滴下して酸性とし、次いで、酢酸エチル１０００ｍｌを添加して抽出した。この酢酸エチル溶液を食塩水で洗浄した後、無水硫酸ナトリウムで乾燥した。この酢酸エチル溶液を減圧下で濃縮した。中間体（Ｍ）を定量的に得た。
【００６６】
−中間体（Ｎ）の合成−
前記の方法で得た中間体（Ｍ）９３．１ｇ（０．４３３モル）にトルエン４００ｍｌを加えて８５℃〜９０℃に加熱し攪拌した。この溶液に塩化チオニル  ５０ｍｌを滴下し、３時間加熱攪拌した。反応終了後、減圧下でトルエンと過剰の塩化チオニルを留去した。次いで、室温まで冷却してから酢酸エチル  １００ｍｌを添加して、中間体（Ｎ）の酢酸エチル溶液を得て、次工程に使用した。
【００６７】
−化合物Ｅの合成−
特開平２−２０１４４３号公報記載の方法に従って、原料である５−アミノ−３−メチルピラゾールを、５−アミノ−３−ｔｅｒｔ―ブチルピラゾールで（特許第２６７０９４３号公報記載の方法で合成した。）に変更して中間体Ｌを合成した。
この中間体Ｌ  １８９ｇ（０．５３８モル）に２−プロパノール  ５７０ｍｌを加えて加熱攪拌した。この溶液にヒドラジン１水和物  ３３．６ｇ（０．６７３モル）を滴下し、２時間、加熱撹拌を行った。反応終了後、減圧下で２−プロパノールを約４００ｍｌ留去した。残留物に、炭酸水素ナトリウム  ４２０ｇと水１５００ｍｌ、及び酢酸エチル１２００ｍｌを添加して室温で攪拌した。
この溶液に前記の方法で得た中間体（Ｎ）の酢酸エチル溶液を滴下した。滴下終了後、室温で２時間攪拌し、次いで水層を除去した。この酢酸エチル溶液を水洗すると結晶が析出した。この分散液にｎ−ヘキサン１２００ｍｌを添加して１時間攪拌した後、結晶を濾過、水洗、乾燥して、化合物Ｅ  １５９ｇ（収率：８６．９％）を得た。
【００６８】
（４）例示染料Ｍ−１の合成
前記の方法で得た化合物Ｃ  ７．３５ｇ（０．０２６６モル）にメタノール  ５０ｍｌ、酢酸エチル  １００ｍｌ、水  １００ｍｌを加えて４０℃に加熱して攪拌した。この溶液にハイドロサルファイトソーダ  ２５ｇを少しずつ添加した。添加終了後、４０℃で１時間反応を行った。反応終了後、室温に冷却してから、酢酸エチル１００ｍｌと水  ２００ｍを添加し、水層を除去した。この酢酸エチル溶液を次工程に使用した。
前記化合物Ｅ  １０．０ｇ（０．０２４２モル）、炭酸水素ナトリウム  ２１ｇにメタノール１００ｍｌと水２００ｍｌを加えて室温で攪拌した。この溶液に上記の酢酸エチル溶液全量を添加した。この溶液に過硫酸アンモニウム  １２ｇを水１００ｍｌに溶解した水溶液を滴下した。滴下終了後、室温で１時間反応を行った。反応終了後、水層を除去し、次いで酢酸エチル溶液を水洗した。この酢酸エチル溶液を減圧下で濃縮した。残留物をシリカゲルカラムクロマトグラフィー（溶離液：ｎ−ヘキサン／酢酸エチル＝１／１）で精製した。アモルファス状の例示染料Ｍ−１を得た。λｍａｘ＝５５６ｎｍ、モル吸収係数は５，５０００（酢酸エチル溶液）であった。
【００６９】
本発明の着色硬化性組成物における染料として、前記一般式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）を単独または併用して用いることができる。
本発明における染料の着色硬化性組成物中における濃度は、分子量及びモル吸光係数によって異なるが、該組成物の全固形成分に対して、０．５〜８０％質量％が好ましく、０．５〜６０％質量％がより好ましく、０．５〜５０％質量％が特に好ましい。
【００７０】
−バインダー−
本発明の着色硬化性組成物は、バインダーの少なくとも一種を含有することが好ましい。本発明に係るバインダーとしては、アルカリ可溶性であれば特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
アルカリ可溶性のバインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶性で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号等の明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、特に、側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等やポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ（２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート）、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール等も有用である。
【００７１】
又親水性基を有するモノマーを共重合してもよく、このモノマーの例としては、アルコキシアルキル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、２級及び３級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリレート、モルホリノ（メタ）アクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、分岐又は直鎖のプロピル（メタ）アクリレート、分岐又は直鎖のブチル（メタ）アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００７２】
その他親水性基を有するモノマーとしては、テトラヒドロフルフリル基、燐酸、燐酸エステル、４級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
【００７３】
また、架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、アリル基、（メタ）アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等も有用である。これらの重合性基を有するポリマーの例としては、ＫＳレジスト−１０６（大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ（ダイセル化学工業（株）製）等が挙げられる。
また、硬化被膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−プロパンとエピクロルヒドリンとのポリエーテル等も有用である。
【００７４】
前記各種バインダーの中で、本発明におけるバインダーとしては、耐熱性の観点で、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、また、現像性制御の観点では、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。上記アクリル系樹脂としては、ベンジル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体、及びＫＳ−レジスト−１０６（大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰ−シリーズ（ダイセル化学工業（株））等が好ましい。
【００７５】
また、本発明に用いるバインダーとしては、アルカリ可溶性フェノール樹脂を用いることができる。該アルカリ可溶性フェノール樹脂は、本発明の着色硬化性組成物をポジ型の組成物とする場合に好適に用いることができる。アルカリ可溶性フェノール樹脂としては、例えば、ノボラック樹脂、又はビニル重合体等が挙げられる。
上記ノボラック樹脂としては、例えば、フェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存在下に縮合させて得られるものが挙げられる。上記フェノール類としては、例えば、フェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニルフェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロール、ナフトール、又はビスフェノールＡ等が挙げられる。
上記アルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、又はベンズアルデヒド等が挙げられる。
上記フェノール類及びアルデヒド類は単独若しくは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００７６】
上記ノボラック樹脂の具体例としては、例えば、メタクレゾール、パラクレゾール又はこれらの混合物とホルマリンとの縮合生成物が挙げられる。
【００７７】
上記ノボラック樹脂は、分別等の手段を用いて分子量分布を調節してもよい。又、ビスフェノールＣやビスフェノールＡ等のフェノール系水酸基を有する低分子量成分を上記ノボラック樹脂に混合してもよい。
【００７８】
上記バインダーは、質量平均分子量（ＧＰＣ法で測定されたポリスチレン換算値）が１０００〜２×１０5の重合体が好ましく、２０００〜１×１０5の重合体が更に好ましく、５０００〜５×１０4の重合体が特に好ましい。
本発明の着色硬化性組成物中の上記バインダーの使用量は、該組成物中の全固形分に対して、１０〜９０質量％が好ましく、２０〜８０質量％が更に好ましい。３０〜７０質量％が特に好ましい。
【００７９】
−架橋剤−
本発明は前記一般式（Ｉ）〜一般式（ＩＩＩ）で表される染料を用いることにより、従来に比較して膜の硬化反応をより高度に進行させ、硬化性の良好な膜が得られるが、補足的に架橋剤を用いて、更に高度に硬化させた膜を得ることが可能である。
【００８０】
本発明に使用できる架橋剤は、架橋反応によって膜硬化を行えるものであれば、特に限定されないが、例えば、（ａ）エポキシ樹脂、（ｂ）メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれた少なくとも一つの置換基で置換されたメラミン化合物、グアナミン化合物、グルコールウリル化合物、又はウレア化合物、（ｃ）メチロール基、アルコキシメチル基及びアシロキシメチル基から選ばれた少なくとも一つの置換基で置換されたフェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物が挙げられる。その中でも、特に多官能エポキシ樹脂が好ましい。
【００８１】
（ａ）成分のエポキシ樹脂としては、エポキシ基を有し、且つ架橋性を有しているものであればいずれでもよいが、これらの化合物の例としては、ビスフェノールＡ−グリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン等の２価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡトリグリシジルエーテル等に代表される３価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノール−Ａ−テトラグリシジルエーテル等に代表される４価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物、ポリグリシジル（メタ）アクリレート、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物等が挙げられる。
【００８２】
（ｂ）成分に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基が置換している数は、メラミン化合物の場合２〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、及びウレア化合物の場合は２〜４であるが、好ましくはメラミン化合物の場合５〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、及びウレア化合物の場合は３〜４である。
【００８３】
これらのメチロール基含有化合物は、上記アルコキシメチル基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下、加熱することにより得られる。アシロキシメチル基含有化合物は、メチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルクロリドと混合攪拌することにより得られる。
【００８４】
以下、上記置換基を有する（ｂ）における化合物の具体例を挙げる。
メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。
【００８５】
グアナミン化合物として、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。
【００８６】
グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、及びテトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。
【００８７】
ウレア化合物としては、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルウレアなどが挙げられる。
（ｂ）に係る化合物は、単独で使用しても良く、組み合わせて使用しても良い。
【００８８】
（ｃ）成分として含有されるメチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれた少なくとも一つの基で置換されたフェノール化合物、ナフトール合物またはヒドロキシアントラセン化合物は、（ｂ）成分の場合と同様、熱架橋により上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制するとともに、膜強度を更に高めるものである。
【００８９】
（ｃ）成分に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基、またはアルコキシメチル基の数としては、一分子あたり最低２個必要であり、熱架橋性および保存安定性の観点からフェノール性化合物の２位，４位が全て置換されている化合物が好ましい。また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、ＯＨ基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が好ましい。
【００９０】
骨格となるフェノール化合物の３位または５位は未置換であってもよいし、置換基を有していてもよい。骨格となるナフトール化合物においても、ＯＨ基のオルト位以外は未置換であってもよいし、置換基を有していてもよい。
【００９１】
これらのメチロール基含有化合物は、フェノール性ＯＨ基のオルト位又はパラ位（２位又は４位）が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、またはテトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下、ホルマリンと反応させることにより得られる。また、アルコキシメチル基含有化合物は、上記メチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱する事により得られる。アシロキシメチル基含有化合物は、上記メチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
【００９２】
（ｃ）成分における骨格化合物としては、フェノール性ＯＨ基のオルト位またはパラ位が未置換のフェノール化合物、ナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、２，３−キシレノール、２，５−キシレノール、３，４−キシレノール、３，５−キシレノール、ビスフェノール−Ａなどのビスフェノール類、４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、２，７−ジヒドロキシアントラセン等が使用される。
【００９３】
（ｃ）成分の具体例としては、例えば、トリメチロールフェノール、トリ（メトキシメチル）フェノール、トリメチロールフェノールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−３−クレゾール、トリ（メトキシメチル）−３−クレゾール、トリメチロール−３−クレゾールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、２，６−ジメチロール−４−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノール−Ａ、テトラメトキシメチルビスフェノール−Ａ、テトラメチロールビスフェノール−Ａの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメトキシメチル体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体の１〜５個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール等がある。
【００９４】
また、ヒドロキシアントラセン化合物としては、例えば、１，６−ジヒドロキシメチル−２，７−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられる。
アシロキシメチル基含有化合物としては、例えば、上記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部または全部アシロキシメチル化した化合物が挙げられる。
【００９５】
これらの化合物の中で好ましいものは、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル−ｐ−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールＡ、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）のヘキサメチロール体またはそれらのメチロール基がアルコキシメチル基およびメチロール基とアルコキシメチル基の両方で置換されたフェノール化合物である。
これら（ｃ）成分に係る化合物は、単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
【００９６】
本発明の着色硬化性組成物中に、必ずしも架橋剤を含有する必要がないが、場合により含有する場合において、前記（ａ）〜（ｃ）成分の総含有量は、素材により異なるが、該組成物の固形分に対して１〜７０質量％が好ましく、５〜５０質量％がより好ましく、７〜３０質量％が特に好ましい。
【００９７】
−重合性モノマー−
本発明の着色硬化性組成物は、重合性モノマーの少なくとも一種を含有することによって好適に構成することができる。重合性モノマーは、着色硬化性組成物をネガ型に構成する場合に主として含まれる。
なお、後述のナフトキノンジアジド化合物を含有するポジ型の系に、後述の光重合開始剤と共に更に含有でき、この場合には形成されるパターンの硬化度をより促進させることができる。以下、重合性モノマーについて説明する。
【００９８】
上記重合性モノマーとしては、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン基を有し、常圧下で１００℃以上の沸点をもつエチレン性不飽和基を有する化合物が好ましく、その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、およびフェノキシエチル（メタ）アクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートおよびこれらの混合物をあげることができる。
【００９９】
更に、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
【０１００】
上記重合性モノマーの着色硬化性組成物中における含有量としては、固形分に対して０．１〜９０質量％が好ましく、１．０〜８０質量％がさらに好ましく、２．０〜７０質量％が特に好ましい。
【０１０１】
−感放射線性化合物−
本発明の着色硬化性組成物は、感放射線性化合物の少なくとも一種を含有することにより好適に構成することができる。本発明に係る感放射線性化合物は、ＵＶ、ＤｅｅｐＵＶ、可視光、赤外光、電子線などの放射線に対し、ラジカル発生、酸発生、塩基発生などの化学反応を起こし得る化合物であるが、上記のバインダーを架橋、重合、酸性基の分解などの反応により不溶化させたり、塗膜中に共存する重合性モノマーやオリゴマーの重合、架橋剤の架橋などを起こすことで塗膜をアルカリ現像液に対して不溶化させる目的で用いられる。
【０１０２】
着色硬化性組成物が、特に、ネガ型に構成される場合には光重合開始剤を含有するのが好適であり、ポジ型を構成される場合にはナフトキノンジアジド化合物を含有するのが好適である。
【０１０３】
〜光重合開始剤〜
次に、本発明の着色硬化性組成物が、ネガ型の組成物である場合に含まれる光重合開始剤について説明する。
光重合開始剤は、前記重合性モノマーを重合させられるものであれば特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれることが好ましい。
尚、上記のナフトキノンジアジド化合物を含有するポジ型の系に更に含有してもよく、この場合には形成されるパターンの硬化度をより促進させることができる。
上記光重合開始剤としては、ハロメチルオキサジアゾール化合物、及びハロメチル−ｓ−トリアジン化合物から選択された少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、３−アリール置換クマリン化合物、ロフィン２量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、オキシム系化合物等が挙げられる。
【０１０４】
ハロメチルオキサジアゾール等の活性ハロゲン化合物としては、特公昭５７−６０９６号公報に記載の２−ハロメチル−５−ビニル−１，３，４−オキサジアゾール化合物等や、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、及び２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール等が挙げられる。
【０１０５】
ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物の光重合開始剤としては、特公昭５９−１２８１号公報に記載のビニル−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、特開昭５３−１３３４２８号公報に記載の２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、および４−（ｐ−アミノフェニル）−２，６−ジ−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物が挙げられる。
【０１０６】
その他の例としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（３，４−メチレンジオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリアジン、２−トリクロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−メトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−エトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、
【０１０７】
２−〔４−（２−ブトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（２−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−５−メチル−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（５−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−エトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，５−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（フェニル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルカルボニルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ−（ｐ−メトキシフェニル）カルボニルアミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１０８】
４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【０１０９】
その他、みどり化学社製ＴＡＺシリーズ、ＴＡＺ−１０７、ＴＡＺ−１１０、ＴＡＺ−１０４、ＴＡＺ−１０９、ＴＡＺ−１４０、ＴＡＺ−２０４、ＴＡＺ−１１３、ＴＡＺ−１２３、ＴＡＺ−１０４、ＰＡＮＣＨＩＭ社製Ｔシリーズ、Ｔ−ＯＭＳ、Ｔ−ＢＭＰ、Ｔ−Ｒ、Ｔ−Ｂ、チバガイギー社製イルガキュアシリーズ、イルガキュア３６９、イルガキュア７８４、イルガキュア６５１、イルガキュア１８４、イルガキュア５００、イルガキュア１０００、イルガキュア１４９、イルガキュア８１９、イルガキュア２６１、ダロキュアシリーズ、ダロキュア１１７３、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）−ベンゾフェノン、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタンジオン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−（ｏ−クロルフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル等も有用に用いられる。
【０１１０】
本発明の着色硬化性組成物には、前記光重合開始剤以外の他の公知の光重合開始剤を併用することができる。
具体的には、米国特許第２，３６７，６６０号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第２，３６７，６６１号および第２，３６７，６７０号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第２，４４８，８２８号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第２，７２２，５１２号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３，０４６，１２７号および第２，９５１，７５８号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第３，５４９，３６７号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー／ｐ−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１６号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物／トリハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物等を挙げることができる。
【０１１１】
上記光重合開始剤の着色硬化性組成物中における含有量は、前記重合性モノマー固形分に対して、０．０１〜５０質量％が好ましく、１〜３０質量％がより好ましく、１〜２０質量％が特に好ましい。該含有量が０．０１質量％より少ないと重合が進み難く、また、５０質量％を超えると重合率は大きくなるが分子量が低くなり膜強度が弱くなる場合がある。
【０１１２】
前記光重合開始剤には、増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、９−フルオレノン、２−クロロ−９−フルオレノン、２−メチル−９−フルオレノン、９−アントロン、２−ブロモ−９−アントロン、２−エチル−９−アントロン、９，１０−アントラキノン、２−エチル−９，１０−アントラキノン、２−ｔ−ブチル−９，１０−アントラキノン、２，６−ジクロロ−９，１０−アントラキノン、キサントン、２−メチルキサントン、２−メトキシキサントン、２−メトキシキサントン、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、アクリドン、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニルスチリルケトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニル−ｐ−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、ｐ−（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（またはミヒラーケトン）、ｐ−（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や、特公昭５１−４８５１６号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン１１３０、同４００等が挙げられる。
【０１１３】
また、以上の他に更に、熱重合防止剤を加えておくことが好ましく、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【０１１４】
〜ナフトキノンジアジド化合物〜
次に、本発明の着色硬化性組成物が、ポジ型の組成物である場合に含まれるナフトキノンジアジド化合物について説明する。
該ナフトキノンジアジド化合物は、少なくとも１つのｏ−キノンジアジド基を有する化合物であり、例えば、ｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステル、ｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸アミド、ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル、ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸アミド等が挙げられる。これらのエステルやアミド化合物は、例えば特開平２−８４６５０号公報、特開平３−４９４３７号公報において一般式（Ｉ）で記載されているフェノール化合物等を用いて公知の方法により製造することができる。
【０１１５】
また、着色組成物をポジ型に構成する場合には、上記アルカリ可溶性フェノール樹脂並びに上記架橋剤は、通常、有機溶剤中にそれぞれ２〜５０質量％程度および２〜３０質量％程度の割合で溶解させるのが好ましい。上記ナフトキノンジアジド化合物および上記染料の各含有量は、通常、上記バインダー並びに架橋剤を溶解した溶液に対して、各々２〜３０質量％および２〜５０質量％程度の割合で添加するのが好ましい。
【０１１６】
―溶剤―
本発明の着色硬化性組成物の調製の際には、一般に溶剤を含有することができる。使用される溶剤は、該組成物の各成分の溶解性や着色硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特にバインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
前記溶剤の具体例としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル等の３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類；３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等；エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等；ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン等が好ましい。
【０１１７】
前記の中でも、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等がより好ましい。
【０１１８】
―各種添加物―
本発明の着色硬化性組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
【０１１９】
前記各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物；ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール等の酸化防止剤：２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤；およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【０１２０】
また、放射線未照射部（非画像部）のアルカリ溶解性を促進し、本発明の着色硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、該組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。
具体的には、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０１２１】
本発明の着色硬化性組成物は、液晶表示素子（ＬＣＤ）や固体撮像素子（例えば、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等）等に用いられるカラーフィルタなどの着色画素形成用として、また、印刷用インキ、インクジェットインキ、及び塗料などの作製用途として、好適に用いることができる。
【０１２２】
≪カラーフィルタ及びその製造方法≫
本発明のカラーフィルターについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、既述の本発明の着色硬化性組成物が用いられる。本発明のカラーフィルターは、本発明の着色硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感放射線性組成物層を形成し、所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、ネガ型もしくはポジ型の着色されたパターン（レジストパターン）を形成することができる（画像形成工程）。このとき必要に応じて、形成された着色パターンを加熱及び／又は露光により硬化する硬化工程を設けることができる。この際に使用される光もしくは放射線としては、特にｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。
また、着色硬化性組成物がポジ型に構成されているときには、画像形成後に着色パターンをポストべークする工程を設けることもできる。
【０１２３】
カラーフィルタの作製においては、ネガ型の場合は、前記画像形成工程（及び必要により硬化工程）を所望の色相数に合わせて繰り返すことにより、ポジ型の場合は、前記画像形成工程及びポストベーク工程を所望の色相数に合わせて繰り返すことにより、所望数の色相に構成されたカラーフィルタを作製することができる。
【０１２４】
上記支持体としては、例えば液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス（Ｒ）ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの支持体は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
【０１２５】
また、これらの支持体上には、必要により上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは支持体表面の平坦化の為に、下塗り層を設けてもよい。
【０１２６】
本発明のカラーフィルタの製造方法に用いる現像液としては、本発明の着色硬化性組成物の未硬化部を溶解する一方、放射線照射部（硬化部）を溶解しない組成よりなるものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。該有機溶剤としては、本発明の組成物を調整する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。
【０１２７】
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５．４．０〕−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように溶解したアルカリ性水溶液が使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に、現像後、水で洗浄する。
【０１２８】
本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子やＣＣＤ等の固体撮像素子に用いることができ、特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ素子等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、ＣＣＤを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
【実施例】
【０１２９】
以下に、本発明を実施例を用いて具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１３０】
（実施例１）
１）レジスト溶液の調製
・  プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  ５．２０部
（ＰＧＭＥＡ）
・  乳酸エチル（ＥＬ）                                                ５２．６部
・  バインダー〔メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸／メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル共重合体（モル比＝６０：２０：２０）の４１％ＥＬ溶液〕          ３０．５部
・  ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート                          １０．２部
・  重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）                            ０．００６部
・  フッ素系界面活性剤（Ｆ−４７５大日本インキ化学工業製）            ０．８０部
・  光重合開始剤ＴＡＺ−１０７（みどり化学社製）                      ０．５８部
を混合して溶解し、レジスト溶液を調製した。
【０１３１】
２）下塗り層付ガラス基板の作製
ガラス基板（コーニング１７３７）を０．５％ＮａＯＨ水で超音波洗浄した後、水洗、脱水ベーク（２００℃／２０分）を行った。
ついで、上記１）で得たレジスト溶液を洗浄したガラス基板上に膜厚２μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、２２０℃で１時間加熱乾燥し、硬化膜（下塗り層）を形成した。
【０１３２】
３）染料レジスト溶液（着色硬化性組成物［ネガ型］）の調製
上記１）で得られたレジスト溶液９．４ｇと本発明に係る染料である既述の例示化合物Ｍ−１（一般式（Ｉ）で表される化合物）０．７５ｇとを混合し溶解して、染料レジスト溶液（着色硬化性組成物［ネガ型］の溶液）を調製した。
【０１３３】
４）染料レジスト溶液の露光・現像（画像形成）
上記３）で得られた染料レジスト溶液を、上記２）で得られた下塗り層付ガラス基板の下塗り層の上に膜厚が１．０μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃で１２０秒間プリベークした。
次いで、露光装置を使用して、塗布膜に３６５ｎｍの波長で線幅２０μｍのマスクを通して５００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で照射した。露光後、６０％ＣＤ−２０００（富士フイルム・アーチ社製）現像液を使用して、２５℃、４０秒間の条件で現像した。その後、流水で３０秒間リンスした後、スプレー乾燥した。
以上のようにして、マゼンタ色のカラーフィルターに好適なパターンが得られた。
【０１３４】
５）評価
上記で調製した染料レジスト溶液の保存安定性、及び染料レジスト溶液を用いてガラス基板上に塗布された塗布膜の耐熱性、耐光性を下記のようにして評価した。評価結果は下記表１に示す。
【０１３５】
（１）保存安定性
前記染料レジスト溶液を室温で１ケ月保存した後の異物の析出度合いを目視により下記判定基準に従って評価した。
＜判定基準＞
○：析出は認められなかった。
△：僅かに析出が認められた。
×：析出が認められた。
【０１３６】
（２）耐熱性
前記染料レジスト溶液を塗布したガラス基板を、ホットプレートにより２００℃で１時間加熱した後、色度計ＭＣＰＤ−１０００（大塚電子製）にて、耐熱テスト前後の色差のΔＥａｂ値を測定して、下記基準に従って評価した。ΔＥａｂ値の小さい方が耐熱性が良
好であることを示す。
＜判定基準＞
○：ΔＥａｂ値＜５
△：５≦ΔＥａｂ値≦１０
×：１０＜ΔＥａｂ値
【０１３７】
（３）耐光性
前記染料レジスト溶液を塗布したガラス基板に対し、キセノンランプを５万ｌｕｘで２０時間照射（１００万ｌｕｘ・ｈ相当）したのち、耐光テスト前後の色差のΔＥａｂ値を測定した。ΔＥａｂ値の小さいほうが耐光性が良好であることを示す。
＜判定基準＞
○：ΔＥａｂ値＜３
△：３≦ΔＥａｂ値≦１０
×：１０＜ΔＥａｂ値
【０１３８】
（実施例２〜１５）
実施例１の前記３）染料レジスト溶液の調製において、染料を下記表１の染料に等モル置き換えた以外は（実施例１１〜１４は実施例１の例示染料に対して１／２モル使用）、すべて実施例１と同様に行った。結果を表１に示した。
【０１３９】
（比較例１〜３）
実施例１の前記３）染料レジスト溶液の調製において、染料を下記表１に示される様に変えた以外は、すべて実施例１と同様に行った。結果を表１に示した。
【０１４０】
（比較例４〜６）
実施例１の前記３）染料レジスト溶液の調整において、本発明の例示化合物Ｍ−１に代えて下記比較色素−Ａ、比較色素−Ｂ、比較色素−Ｃにそれぞれ等モル置き換えた以外は、実施例１と同様に行った。結果を下記表１に示した。
【０１４１】
【化１８】
2005189802.tif 000019
【０１４２】
【表１】
2005189802.tif 000020
【０１４３】
表１の結果から、本発明に係る染料を用いた実施例の着色硬化性組成物は、これ以外の染料を用いた比較例に対して、その溶液状において保存安定性に優れ、更に、この着色硬化性組成物を用いて形成された画像パターンは共に、耐熱性及び耐光性に優れていることが分かる。
【０１４４】
（実施例１６）
１）着色硬化性組成物〔ポジ型〕の調製
・  乳酸エチル  （ＥＬ）                                            ３０部
・  樹脂Ｐ−１（下記）                                            ３．０部
・  ナフトキノンジアジド化合物Ｎ−１（下記）                      １．８部
・  架橋剤：ヘキサメトキシメチロール化メラミン                    ０．６部
・  光酸発生剤：ＴＡＺ−１０７（みどり化学製）                    １．２部
・  フッ素系界面活性剤（Ｆ−４７５大日本インキ化学工業製）  ０．０００５部
・  本発明における例示染料Ｍ−１                                  １．５部
以上を混合、溶解し、着色硬化性組成物［ポジ型］を得た。
【０１４５】
上記樹脂Ｐ−１及びナフトキノンジアジド化合物（Ｎ−１）は、以下のようにして合成した。
【０１４６】
−樹脂Ｐ−１の合成−
ベンジルメタクリレート７０．０ｇ、メタクリル酸１３．０ｇ、メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル１７．０ｇ、２−メトキシプロパノール  ６００ｇを三ツ口フラスコに仕込み、攪拌装置と還流冷却管、温度計を取り付け窒素気流下６５℃にて重合開始剤Ｖ−６５（和光純薬工業製）を触媒量添加して１０時間攪拌した。得られた樹脂溶液を２０Ｌのイオン交換水に激しく攪拌しながら滴下し、白色粉体を得た。この白色粉体を４０℃で２４時間真空乾燥し１４５ｇの樹脂Ｐ−１を得た。分子量をＧＰＣにて測定したところ、重量平均分子量Ｍｗ＝２８，０００、数平均分子量Ｍｎ＝１１，０００であった。
【０１４７】
−ナフトキノンジアジド化合物（Ｎ−１）の合成−
Ｔｒｉｓｐ−ＰＡ（本州化学製）４２．４５ｇ、ｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホニルクロリド６１．８０ｇ、アセトン３００ｍｌを三ツ口フラスコに仕込み、室温下、トリエチルアミン２４．４４ｇを１時間かけて滴下した。滴下終了後、更に２時間攪拌した後、反応液を大量の水に攪拌しながら注いだ。沈殿したナフトキノンジアジドスルホン酸エステルを、吸引ろ過にて濾取し、４０℃で２４時間真空乾燥し感光性化合物Ｎ−１を得た。
【０１４８】
２）着色硬化性組成物の露光・現像（画像形成）
実施例１と同様にして、下塗り層つきのガラス基板に上記のようにして調製した着色硬化性組成物を塗布し、プリベーク、照射、現像およびリンス、乾燥を行ってマゼンタパターン画像を得、その後このパターン画像を１８０℃で５分間加熱した（ポストベーク）。形成されたマゼンタパターン画像は矩形状の良好なプロファイルを示した。
【０１４９】
本発明における染料を用いた着色硬化性組成物の保存安定性、塗布したものの耐熱性、耐光性を実施例１と同様の方法で評価したところ、保存安定性に優れ、耐光性、耐熱性が良好であることがわかった。
【０１５０】
（実施例１７〜３０）
実施例１のガラス基板をシリコンウエハー基板に変えた他は、実施例１と全て同様の操作を行い、下塗り層つきシリコンウエハーの塗布基板を得た。ただし、実施例２６〜２９は、実施例１の例示染料Ｍ−１に対して１／２モル量を使用した。
次いで、ｉ−線縮小投影露光装置を使用して２μｍの正方形パターンに５００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で露光し、６０％ＣＤ−２０００（富士フイルムアーチ社製）現像液を使用して、２３℃で６０秒間現像した。
次いで、流水で３０秒間リンスした後、スプレー乾燥した。正方形の断面が矩形のＣＣＤ用カラーフィルターとして好適なパターンが得られた。
【０１５１】
（実施例３１〜３６）
特開２００２−１４２２２号公報に記載の実施例１の方法に従って、シー・アイ・アシッド・ブルー８３を、等モルの本発明に係る染料（例示染料Ｍ−１、Ｍ−２、Ｍ−２１、Ｍ−７６、Ｍ−７７、Ｍ−７８）にそれぞれ置き換えた以外は、特開２００２−１４２２２号公報に記載の実施例１の方法に従ってポジ型着色硬化性組成物を得た。得られた組成物を用いて該公報に記載の実施例１と同様にしてマゼンタフィルタ層を形成した。ただし、Ｍ−７６、Ｍ−７７、Ｍ−７８は各々１／２モル使用した。
【０１５２】
実施例１７〜３６を、本発明の実施例１の方法に従って、着色硬化性組成物の保存安定性、耐熱性、及び耐光性の評価を行った結果、上記表１の結果と同様な傾向が認められた。