(57)【要約】【課題】  送風式支持手段の清浄空気の供給による板状体に対する負荷を軽減することができる板状体搬送装置を提供する。【解決手段】  送風式支持手段３を、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通して板状体２の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段１３とを備えて構成し、板状体２の搬送方向と直交する横幅方向の中間箇所に板状体２の下面に供給される清浄空気を下方に排気する通気路１７を形成する。【選択図】        図２
2005029360.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置であって、
前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを備えて構成され、前記板状体の搬送方向と直交する横幅方向の中間箇所に前記板状体の下面に供給される清浄空気を下方に排気する通気路が形成されている板状体搬送装置。
【請求項２】
前記送風式支持手段が、前記除塵フィルタと前記送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向と前記横幅方向とに並べて構成され、
前記通気路が、前記横幅方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させることにより形成されている請求項１記載の板状体搬送装置。
【請求項３】
前記通気路の排気量を調節可能な排気量調節手段が設けられている請求項１又は２記載の板状体搬送装置。
【請求項４】
前記送風式支持手段が、その上部側に位置されて前記板状体の下面に供給される清浄空気の整風を行う多孔板状体を備えて構成され、
前記多孔板状体が、前記通気路に通風させる通気部を備えて構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。
【請求項５】
前記多孔板状体が、前記横幅方向に分割されて複数の板状部分で構成され、それら複数の板状部分が、前記横幅方向に隣接するもの同士を間隔を隔てて位置させて、前記通気部を形成するように構成され、
前記排気量調節手段が、前記多孔板状体における前記板状部分同士の間隔を調節することにより前記通気路の排気量を調節するように構成されている請求項４記載の板状体搬送装置
【請求項６】
前記排気量調節手段が、前記通気部の開口量を調整する調節板を備えて構成されている請求項４記載の板状体搬送装置。
【請求項７】
前記送風式支持手段が、前記送風ユニットを搬送方向に並べて構成され、前記搬送方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させることにより、前記板状体の下面に供給される清浄空気を下方に排気する排風路が形成されている請求項２〜６のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。
【請求項８】
前記板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、前記板状体の一端側を接触支持する駆動回転体と、他端側を接触支持する従動回転体と、前記駆動回転体に対する駆動機構と、前記駆動機構の動力を従動回転体に伝達する伝達機構とを備えて、前記板状体の両端部を駆動回転体と従動回転体とにより接触支持しながら推進力を付与するように構成され、
前記伝達機構が、前記排風路に配備されている請求項７記載の板状体搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる板状体搬送装置は、液晶用のガラス基板等の板状体を搬送するために用いられるものであって、従来では、搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、前記板状体の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成され、その推進力付与手段にて両端部を接触支持されて、水平又は略水平状態で搬送される板状体の中間部を送風式支持手段にて支持するようになっていた。送風式支持手段は、板状体の搬送経路に沿って所定間隔おきに備えた多数の空気噴出部と、圧縮ポンプ等を含む供給源とを備えて、供給源からの圧縮空気を多数の空気噴出部に分配供給するように、供給源と空気噴出部とが供給管にて接続され、そして、空気噴出部から噴出する圧縮空気を、前記板状体の両端部の間に位置する中間部に供給して、板状体の中間部を非接触状態で支持するように構成されており、送風式支持手段が、供給源と搬送方向に並ぶ多数の空気噴出部とを供給管にて接続する構成であるため、供給源と多数の空気噴出部とを、圧縮空気が漏れることのないように接続する煩雑な作業を要するものであり、板状体搬送装置の製作が煩雑なものとなっていた。（例えば、特許文献１参照。）。
そこで、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを備えて送風式支持手段を構成することにより、除塵フィルタと送風手段とを板状体の搬送方向に並べて備えるだけで、搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができるものがあった（例えば、特許文献２参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３２１８２０号公報
【特許文献２】特願２００３−１０９１３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献２の板状体搬送装置では、搬送される板状体の下方には、送風式支持手段が位置しているため、板状体の下面に供給された清浄空気の排出経路は、板状体と送風式支持手段との間を通って送風式支持手段の側方に排出する経路しかなく、板状体の中間部の下方では清浄空気が排出されにくいため滞留しやすいものとなり、この滞留により、板状体は中間部の盛り上がった形状に変形した状態で搬送されることとなるため、板状体に対して大きな負荷がかかっていた。
【０００５】
本発明の目的は、送風式支持手段の清浄空気の供給による板状体に対する負荷を軽減することができる板状体搬送装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明の板状体搬送装置は、搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを備えて構成され、前記板状体の搬送方向と直交する横幅方向の中間箇所に前記板状体の下面に供給される清浄空気を下方に排気する通気路が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
すなわち、送風式支持手段には、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とが備えられており、搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給する機能が備えられているので、その送風式支持手段により、板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を非接触状態で支持することができる。そして、送風式支持手段における横幅方向の中間箇所、つまり、搬送される板状体の中間部の下方箇所に、清浄空気を下方に排気させる通気路が形成されているため、板状体の下面に供給された清浄空気は、板状体と送風式支持手段との間を通る側方と、送風式支持手段の横幅方向の中間箇所に形成された通気路を通る下方とに排出されることとなり、板状体の中間部の下方でも清浄空気が排出されやすくなるため、板状体の中間部の下方に清浄空気が滞留しにくくなるので、搬送される板状体は、中間部の盛り上がりが抑制された水平姿勢に近い状態で搬送されることとなり、板状体に対する負荷を軽減させることができる。
従って、板状体の下面に供給した清浄空気を送風式支持手段の横幅方向の中間箇所に形成した通気路から排出させることによって、板状体の中間部の下方に清浄空気が滞留することによる板状体の盛り上がりを抑えることができるので、送風式支持手段の清浄空気の供給による板状体に対する負荷を軽減することができる板状体搬送装置を提供することができる。
【０００８】
第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記送風式支持手段が、前記除塵フィルタと前記送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向と前記横幅方向とに並べて構成され、前記通気路が、前記横幅方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させることにより形成されていることを特徴とする。
【０００９】
すなわち、送風装置と除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを搬送方向に並べて備えるだけで、板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、また、送風ユニットを横幅方向に並べて備える際に、その横幅方向に並ぶ送風ユニット同士を離間する状態で並べるだけで通気路を形成することができるので、通気路を容易に形成することができる。
また、板状体を横幅方向での両端部を支持して搬送する場合においては、清浄空気の供給により、板状体は搬送方向視でかまぼこ状となるように中間部が盛り上がりやすくなるが、横幅方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させることにより、搬送方向に沿って長い通気路を形成することができるので、板状体の搬送方向視でかまぼこ状となる中間部の盛り上がりを効果的に抑制することができる。
【００１０】
第３特徴構成は、上記第１特徴構成又は第２特徴構成に加えて、前記通気路の排気量を調節可能な排気量調節手段が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
すなわち、排気量調節手段により通気路の排気量を調節することができるので、搬送する板状体の厚みや大きさ、形状等が変わったとしても、その板状体の厚みや大きさ、形状等に適した排気量に調節することができるため、使用勝手の良い板状体搬送装置を提供できる。
【００１２】
第４特徴構成は、上記第１〜第３特徴構成のいずれか１項に加えて、前記送風式支持手段が、その上部側に位置されて前記板状体の下面に供給される清浄空気の整風を行う多孔板状体を備えて構成され、前記多孔板状体が、前記通気路に通風させる通気部を備えて構成されていることを特徴とする。
【００１３】
すなわち、板状体の下面に向けて供給される清浄空気は、多孔板状体により整風されて板状体の下面に供給されるので、板状体の下面には広範囲にわたって均一化された清浄空気を供給することができ、板状体の下面の一部分に集中して清浄空気が供給されることによる板状体の盛り上がりを抑えることができ、且つ、送風式支持手段の上部側に位置するように多孔板状体を備えたとしても、この多孔板状体には通気路に通風させる通気部が備えられているため、板状体の下面に供給される清浄空気は、通気部と通気路とを通って下方に排出することができる。従って、多孔板状体を備えることによって、清浄空気の供給による板状体に対する負荷をより一層軽減することができる。
【００１４】
第５特徴構成は、上記第４特徴構成に加えて、前記多孔板状体が、前記横幅方向に分割されて複数の板状部分で構成され、それら複数の板状部分が、前記横幅方向に離間するもの同士を間隔を隔てて位置させて、前記通気部を形成するように構成され、前記排気量調節手段が、前記多孔板状体における前記板状部分同士の間隔を調節することにより前記通気路の排気量を調節するように構成されていることを特徴とする。
【００１５】
すなわち、多孔板状体を横幅方向に分割して複数の板状部分で構成し、その横幅方向に隣接する板状部分同士を間隔を隔てて位置することにより、通風部が形成されるように構成されているので、多孔板状体に孔等を形成する必要がなく通気部を容易に形成することができる。
【００１６】
第６特徴構成は、上記第４特徴構成に加えて、前記排気量調節手段が、前記通気部の開口量を調整する調節板を備えて構成されていることを特徴とする。
【００１７】
すなわち、排気量調節手段が、多孔板状体に備えられた通気部の開口量を調節板により調節する構成であるため、調節板は多孔板状体より小型に構成しやすく、その小型に構成した調節板を動かす動力が小さなもので済むので、排気量調節手段の駆動構造を小型なものに構成しやすい。
【００１８】
第７特徴構成は、上記第１〜第６特徴構成のいずれか１項に加えて、前記送風式支持手段が、前記送風ユニットを搬送方向に並べて構成され、前記搬送方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させることにより、前記板状体の下面に供給される清浄空気を下方に排気する排風路が形成されていることを特徴とする。
【００１９】
すなわち、送風ユニットを搬送方向に並べる際に、その搬送方向に並ぶ送風ユニット同士を離間する状態で並べるだけで排風路を形成することができるので、排気路を容易に形成することができる。
また、搬送方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させることにより、横幅方向に沿って長い通風路を形成することができるので、板状体の横幅方向視でかまぼこ状となる中間部の盛り上がりを効果的に抑制することができる。
【００２０】
第８特徴構成は、上記第７特徴構成に加えて、前記板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、前記板状体の一端側を接触支持する駆動回転体と、他端側を接触支持する従動回転体と、前記駆動回転体に対する駆動機構と、前記駆動機構の動力を従動回転体に伝達する伝達機構とを備えて、前記板状体の両端部を駆動回転体と従動回転体とにより接触支持しながら推進力を付与するように構成され、前記伝達機構が、前記排風路に配備されていることを特徴とする。
【００２１】
すなわち、板状体の一端側を支持する駆動回動体と他端側を支持する従動回動体と回動させるための駆動機構が１つで済むため、駆動機構に対する配線等を簡素化することができ、また、駆動回転体と従動回転体とを同期させやすくなるので、駆動回転体と従動回転体との回転速度に差が生じることによる板状体のずれを抑えることができる。
そして、駆動回転体と従動回転体とを横幅方向に振り分けて備え、駆動機構を駆動回転体近くに配備した場合、駆動回転体と従動回転体との間には、送風式支持手段が位置しているため、駆動機構の動力を従動回転体に伝達する伝達機構が配備しにくいものであるが、送風式支持手段における搬送方向に並び送風ユニット同士を離間させて排風路が形成されているため、伝達機構をこの排風路を利用して配備することにより、伝動機構を送風式支持手段の下方等を迂回させる必要がなくなり、伝達機構の構成、もっては、推進力付与手段の構成を簡単なものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明に係る板状体搬送装置を、板状体として液晶用のガラス基板に適用した場合について図面に基づいて説明する。
【００２３】
図１に示すように、板状体搬送装置Ｈは、板状体搬送ユニット１を、ガラス基板２の搬送方向に並べて使用するものであり、搬送上手側に位置する板状体搬送ユニット１に移載されたガラス基板２を、送風式支持手段３と推進力付与手段４とで支持しながら、推進力付与手段４にて搬送上手側から搬送下手側に向けてガラス基板２を搬送し、搬送下手側に位置する板状体搬送ユニット１に搬送するものである。尚、搬送上手側に位置する板状体搬送ユニット１へのガラス基板２の移載や搬送下手側に位置する板状体搬送ユニット１から他の箇所への移載は、図示しない移載機にて行われる。
【００２４】
図２、図３に示すように、板状体搬送ユニット１のそれぞれは、水平又は略水平状態で搬送されるガラス基板２の下面２ａの中間部２ｃに向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を非接触状態で支持する送風式支持手段３と、ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４と、後述する搬送空間Ａ並びに収納空間Ｂを略密閉状態で覆うケース体７とを備えて構成されている。
【００２５】
図２〜図４に示すように、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通して前記ガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風手段としての送風ファン１３とを一体的に備えてファンフィルタユニット１４が構成され、前記送風式支持手段３は、このファンフィルタユニット１４を前記ガラス基板２の搬送方向と搬送方向に直交する横幅方向とに並べて構成されている。
【００２６】
つまり、図２に示すように、前記ファンフィルタユニット１４が、１つの送風ファン１３と、この１つの送風ファン１３の上方を覆う１つの除塵フィルタ１２とを一体的に組み付けて構成されており、図６に示すように、送風式支持手段３が、搬送方向に沿って３つ並べられ横幅方向に沿って２つ並べられた計６つのファンフィルタユニット１４にて構成されている。また、送風式支持手段３には、その上部側に位置されて前記ガラス基板２の下面２ａに供給される清浄空気の整風を行う多孔板状体としての整風板１６が、６つのファンフィルタユニット１４の上方を覆うように備えられている。尚、送風ファン１３は、この送風ファン１３に備えた電動モータによりファンが回転駆動する電動式に構成されており、整風板１６には、ファンフィルタユニットの真上に位置する箇所にパンチングにより形成された通気孔１６ａが備えられている。
【００２７】
そして、前記送風式支持手段３は、送風ファン１３の送風作用により、送風ファン１３の下方の空気を吸引してその空気を除塵フィルタ１２が位置する上方に向けて供給するように構成されており、その上方に向けて供給された空気が、除塵フィルタ１２を通り、整風板１６の通気孔１６ａを通ってガラス基板２の下面２ａにおける中間部２ｃに清浄空気として供給され、その清浄空気にてガラス基板２の中間部２ｃを支持するように構成されている。
【００２８】
図２〜図４に示すように、前記ケース体７は、６つのファンフィルタユニット１４を載置支持する平面視が略長方形のユニット用枠体１５と、ユニット用枠体１５の両端部夫々に搬送方向に沿って備えた左右一対の収納フレーム８と、右側の収納フレーム８の上端部から左側の収納フレーム８の上端部にわたって備えた搬送カバー２０とを備えて構成されている。前記収納フレーム８のそれぞれは、上壁８ｃ、下壁８ｂ並びに搬送空間Ａ側の内周壁８ａを備えた搬送方向視で略コ字状に一体形成され、搬送空間Ａ側とは反対側には収納カバー８ｄが備えられて構成されている。また、前記ユニット用枠体１５は、フレーム部材を組み付けた支持枠部分１５ａと、その支持枠部分１５ａより下方に位置して、外部空気を搬送空間Ａ内に導入する空気導入口１１を備えた板状の板状枠部分１５ｂとで構成されている。
【００２９】
前記搬送空間Ａ及び前記収納空間Ｂは、搬送方向に並べて設けた搬送上手側の板状体搬送ユニット１と搬送下手側の板状体搬送ユニット１とで互いに連通しており、板状体搬送装置Ｈにおける最も搬送上手側に位置する板状体搬送ユニット１は、搬送空間Ａ及び収納空間Ｂの搬送上手側端部が図示しない閉塞部材にて閉塞され、最も搬送下手側に位置する板状体搬送ユニット１は、搬送空間Ａ及び収納空間Ｂの搬送下手側端部が閉塞部材にて閉塞されている。従って、搬送空間Ａは、ユニット用枠体１５と前記収納フレーム８の内周壁８ａと搬送カバー２０と閉塞部材とによって略密閉状態に形成され、収納空間Ｂは、収納フレーム８と閉塞部材とによって略密閉状態に形成されている。
【００３０】
そして、搬送空間Ａは、搬送カバー２０を取り外すことにより上方を開放可能に構成されており、収納空間Ｂは、収納カバー８ｄを取り外すことにより側方を開放可能に構成されている。また、搬送空間Ａには、送風式支持手段３と推進力付与手段４における後述する駆動ローラ４３及び従動ローラ４４とガラス基板２の搬送経路とが収納され、収納空間Ｂには、推進力付与手段４における駆動ローラ４３に対する電動モータ１０が収納されている。そして、収納フレーム８の下壁８ｂには、収納空間Ｂの空気を外部に排出する外部排出口２４を備えるとともに、この外部排出口２４を閉塞するように、送風機能と除塵機能とを有する外部排出手段としてのサブ送風ユニット２３が備えられている。
【００３１】
従って、搬送空間Ａ内においては、前記ファンフィルタユニット１４により、搬送空間Ａ内の空気を吸引して、その吸引した空気を除塵フィルタ１２と整風板１６とを通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気として供給する形態で、搬送空間Ａ内の空気は循環する。また、ファンフィルタユニット１４により、外部空気が空気導入口１１から搬送空間Ａ内に導入され、搬送空間Ａ内が加圧されることによって、搬送空間Ａ内において循環する空気の一部が収納フレーム８と搬送カバー２０との隙間等から外部に排出されて、搬送空間Ａ内の循環する空気の一部が交換される。そして、収納空間Ｂにおいては、サブ送風ユニット２３により、収納空間Ｂ内の空気が外部排出口２４から外部に排出され、収納空間Ｂ内が減圧されることによって、外部空気が上壁８ｃと収納カバー８ｄとの隙間等から外部空気が収納空間Ｂ内に導入されて、収納空間Ｂ内の空気の一部が交換される。よって、搬送空間Ａにおいては、加圧されている状態であるので、収納フレーム８と搬送カバー２０との隙間等からの外部空気の進入を防止することができ、収納空間Ｂにおいては、減圧されている状態であるので、上壁８ｃと収納カバー８ｄとの隙間等からの収納空間Ｂ内の空気の進出を防止することができる。
【００３２】
そして、前記ユニット用枠体１５にファンフィルタユニット１４を載置支持させた状態では、ファンフィルタユニット１４とその横側に位置する収納フレーム８との間に循環路１９が形成されており、横幅方向に並ぶ前記ファンフィルタユニット１４同士を離間させることにより通気路１７が形成され、搬送方向に並ぶ前記ファンフィルタユニット１４同士を離間させることにより排風路１８が形成されており、通風路１７と排風路１８と循環路１９とは互いに連通した状態で形成されている。そして、図６に示すように、前記整風板１６における通気路１７の真上に位置する部分にはパンチングにより通気部１６ｂが形成されており、整風板１６における排風路１８の真上に位置する部分にはパンチングによりサブ通気部１６ｃが形成されている。
【００３３】
従って、ガラス基板２の下面２ａに向けて供給された清浄空気を送風ファン１３の下方の空間に排気させる経路としては、送風式支持手段３とその横側に位置する収納フレーム８との間の循環路１９を通る経路のほかに、通気部１６ｂを介して横幅方向に並ぶ前記ファンフィルタユニット１４同士の間の通気路１７を通る経路や、サブ通気部１６ｃを介して搬送方向に並ぶ前記ファンフィルタユニット１４同士の間の排風路１８を通る経路があり、板状体２の中間部２ｃの下方に滞留しようとする清浄空気を、清浄空気が通気路１７を通る経路や排風路１８を通る経路、特に、通気路１７を通る経路を通して下方に排気させることによって、板状体の中間部２ｃの盛り上がりを抑制している。
【００３４】
つまり、図１１（イ）に示すように、送風式支持手段３の横幅方向の中間箇所に通気路１７が形成されていない場合では、送風式支持手段３の横幅方向の中間箇所の板状体２と送風式支持手段３との間に清浄空気が滞留しやすく、板状体２は中間部２ｃが盛り上がった状態で搬送されるが、送風式支持手段３の横幅方向の中間箇所に通気路１７を形成することによって、図１１（ロ）に示すように、送風式支持手段３の横幅方向の中間箇所でも通気路１７から清浄空気を排出されることによって、板状体２と送風式支持手段３との間に清浄空気が滞留しにくくなり、板状体２は中間部２ｃが盛り上がった状態を抑制することができて略水平状態で搬送することができる。
【００３５】
図２に示すように、板状体搬送手段Ｈは、ガラス基板２を搬送する上下２段の搬送部Ｍが備えられ、その上下２段の搬送部Ｍのうちの上側の搬送部Ｍが、下側の搬送部Ｍの上方を開放すべく一端側を支点にして上方側に揺動操作できるように構成されている。つまり、板状体搬送ユニット１のそれぞれには、ケース体７が上下２段に備えられており、そのケース体７の収納空間Ａそれぞれに送風式支持手段３や推進力付与手段４等により構成される搬送部Ｍが収納されている。そして、上側のケース体７を揺動軸芯Ｐ周りに上方側に揺動することにより、この上側のケース体７とともに上側の搬送部Ｍも上方側に揺動され、下側のケース体７の上方が開放されることとなり、下側のケース体７のカバー２０を取り外すことにより搬送空間Ａ内を上方からメンテナンスすることができる。尚、上下２段の搬送部Ｍの使用形態としては、上側の搬送部Ｍと下側の搬送部Ｍとの搬送方向を逆方向とし、上段の搬送部Ｍにてガラス基板２を搬送元から搬送先に搬送し、下段の搬送部Ｍにて、同じ工程を行うガラス基板２や、不良なガラス基板２などを搬送先から搬送元に搬送する形態や、上側の搬送部Ｍと下側の搬送部Ｍとの搬送方向を同方向とし、上側の搬送部Ｍ及び下側の搬送部Ｍにより板状体を搬送元から搬送先に搬送する形態がある。また、板状体搬送ユニット１には、上下２段の搬送部Ｍに替えて昇降自在な１段の搬送部Ｍを備えられたものがあり、隣接する板状体搬送ユニット１の上段の搬送部Ｍから受け取ったガラス基板２を隣接する板状体搬送ユニット１の下側の搬送部Ｍに受け渡す等、上側の搬送部Ｍと下側の搬送部Ｍとでガラス基板２を受け渡す際に使用される。
【００３６】
次に、前記推進力付与手段４について説明する。図８〜１０に示すように、前記ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する前記推進力付与手段４が、前記ガラス基板２の一端側を接触支持する駆動回転体としての複数個の駆動ローラ４３と、他端側を接触支持する従動回転体としての複数個の従動ローラ４４と、前記駆動ローラ４３に対する駆動機構としての電動モータ１０と、前記電動モータ１０の動力を従動ローラ４４に伝達する伝達機構としての伝達軸４５とを備えて構成されている。そして、推進力付与手段４が、水平又は略水平状態の前記ガラス基板２の両端部２ａを駆動ローラ４３と従動ローラ４４とにより接触支持しながら推進力を付与するように構成されている。前記伝達軸４５は、前記ファンフィルタユニット１４の前記ガラス基板２の搬送方向に隣接するもの同士の間に形成された前記通気路１７に配備されている。
【００３７】
つまり、一対の収納フレーム８における前記揺動軸芯Ｐの存在側には、駆動側推進力付与機構４ａが備えられており、一対の収納フレームにおける前記軸芯Ｐの存在側とは反対側には、従動側推進力付与機構４ｂが備えられている。以下、駆動側推進力付与機構４ａについて説明すると、前記揺動軸芯Ｐの存在側の収納空間Ｂ内に、搬送方向に複数本並べられ互いにカップリング３１によって連動連結された伝動軸２７と、この伝動軸２７のうちの１つに備えられた平歯車２８に出力ギヤが噛み合う電動モータ１０とが備えられている。また、収納フレーム８の内壁８ａには、収納空間Ｂ側並びに搬送空間Ａ側にそれぞれ突出する多数の出力軸２６が、搬送方向に沿って回転自在に支持されており、出力軸２６の搬送空間Ａ側に突出する部分には、大径部４６を設けた駆動ローラ４３が備えられており、出力軸２６の収納空間Ｂ側に突出する部分には、ねじ歯車に構成されて伝動軸に備えられた出力ギヤ部２９と噛み合う入力ギヤ部３０が備えられている。尚、従動側推進力付与機構４ｂは、前記駆動側推進力付与機構４ａと駆動ローラ４３に代えて従動ローラ４４が設けられている点、並びに、伝動モータ１０や平歯車２８が設けられていない点以外は同様に構成されているため説明は省略する。
【００３８】
そして、図６、図７に示すように、駆動側推進力付与機構４ａの伝動軸２７の１つと、従動側推進力付与機構４ｂの伝動軸２７の１つとにそれぞれ伝達ギヤ４７が備えられ、駆動側推進力付与機構４ａの伝達ギヤ４７から従動側動力伝達機構４ｂの伝達ギヤ４７への動力の伝達は、前記伝達軸４５にて連動連結されることによって行われ、その伝動軸４５は、ファンフィルタユニット１４のガラス基板２の搬送方向に隣接するもの同士の間に形成された通気路１７を利用して配備されている。
【００３９】
従って、駆動ローラ４３は電動モータ１０の動力にて駆動回転し、従動ローラ４４も電動モータ１０から伝達軸４５を介して伝達された動力にて駆動回転されるように構成されている。そして、ガラス基板２は、推進力支持手段３の駆動ローラ４３及び従動ローラ４４にて両端部２ｂが接触状態で支持され、送風式支持手段４の清浄空気にて中間部２ｃが非接触状態で支持され、且つ、回転駆動される駆動ローラ４３及び従動ローラ４４によって推進力が付与されることによって、大径部４６にて搬送方向と交差する方向への位置ずれを規制しながら搬送方向に沿って搬送される。
【００４０】
〔別実施の形態〕
（１）上記実施の形態において、通気路の排風量を調節可能な排風量調節手段を設けてもよい。
つまり、図１２、図１３に示すように、多孔板状体としての分割整風板５１を、前記横幅方向に分割された複数の板状部分５１ａで構成し、それら複数の板状部分５１ａが、前記横幅方向に隣接するもの同士を間隔を隔てて位置させて、前記通気路１７に通風させる通気部１６ｂを形成し、排気量調節手段５０により、前記分割整風板５１における前記板状部分５１ａ同士の間隔を調節することにより前記通気路１７の排風量を調節するように構成してもよい。
【００４１】
詳述すると、前記分割整風板５１は、横幅方向の一側寄りに位置する３つのファンフィルタユニット１４の上方を覆う板状部分５１ａと、横幅方向の他側寄りに位置する３つのファンフィルタユニット１４の上方を覆う板状部分５１ａとの２枚に分割されて構成されており、この両板状部分５１ａの間に通気部１６ｂが形成されている。そして、横幅方向の一側寄りの板状部分５１ａについて説明すると、その板状部分５１ａは、ファンフィルタユニット１４の上方に位置する多数の通気孔１６ａが形成された多孔状部５１ｂと、前記通気路の上方に位置する通気孔１６ａが形成されていない閉塞部５１ｃとで構成されており、ファンフィルタユニット１４の上部側に横幅方向にスライド移動自在に支持されている。また、前記３つのファンフィルタユニット１４における搬送上手側のファンフィルタユニット１４の搬送上手側の側壁、並びに、搬送下手側のファンフィルタユニット１４の搬送下手側の側壁のそれぞれに電動式のシリンダ５２が備えられており、そのシリンダ５２のそれぞれの先端部が板状部分５１ａに連結されており、シリンダ５２の伸縮作動により板状部分５１ａが横幅方向にスライド移動して、閉塞部５１ｃが通気路の上方を横幅方向に出退するように構成されている。尚、横幅方向の多側寄りの板状部分５１ａは、横幅方向の一側寄りの板状部分５１ａと同様に構成されているため説明は省略する。
【００４２】
つまり、前記排気量調節手段５０は、上記した計４つのシリンダ５２で構成されており、シリンダ５２のそれぞれを同調した状態で伸縮させることにより、板状部分５１ａ同士の間隔を調節されるように構成されている。従って、図１２（イ）に示すように、シリンダ５２のそれぞれを伸長させることによって板状部分５１ａ同士の間隔が狭くなり、通気部１６ｂにおける通風量が少なくなることによって、通気路１７における排気量も少なくなり、図１２（ロ）に示すように、シリンダ５２のそれぞれを短縮させることによって板状部分５１ａ同士の間隔が広くなり、通気部１６ｂにおける通風量が多くなることによって、通気路１７における排気量も多くなるように構成されている。
【００４３】
（２）上記実施の形態において、通気路の排風量を調節可能な排風量調節手段を設けるにあたり、次のように構成してもよい。
図１４、図１５に示すように、前記排風量調節手段５０を、前記通気部１６ｂの開口量を調節する調節板５５を備えて構成し、排風量調節手段５０により調節板５５を移動させることにより通気部１６ｂの開口量が調節されて前記通気路１７の排風量を調節するように構成する。
【００４４】
詳述すると、上記実施の形態と同様に構成された整風板１６の下面側に横幅方向に一枚の調節板５５がスライド自在に支持されており、この調節板５５が横幅方向にスライド移動することにより複数の通気部１６ｂの夫々に対して一部を塞いだり全体を塞いだりして通気部１６ｂの開口量を調節するように構成されている。そして、通気路１７に位置するように電動式のモータ５６が前記支持枠部分１５ａに載置支持されており、そのモータ５６の出力軸に備えられたギヤ部５６ａが調節板５５の下面に形成されたギヤ溝５５ａに噛み合わされている。
【００４５】
つまり、排風量調節手段５０は、調節板５５とモータ５６とで構成されており、モータ５６を正逆回転させて調節板５５をスライド移動させることによって、通気部１６ｂの開口量を調節することができ、通気部１６ｂにおける通風量が調節されることにより、通気路１７における排気量も調節されるように構成されている。
【００４６】
（３）上記実施の形態において、通気路の排風量を調節可能な排風量調節手段を設けるにあたり、送風ユニットを横幅方向に位置調節可能に構成し、前記排風量調節手段が、横幅方向に並ぶ送風ユニット同士の離間距離を変更調節することにより、通風路の排気量を調節するように構成してもよい。
つまり、図１６、図１７に示すように、ファンフィルタユニット１４がユニット用枠体１５の支持枠部分１５ａに横幅方向へスライド移動自在に支持され、搬送方向に並ぶ３つのファンフィルタユニット１４は一体的に横幅方向にスライド移動するように連結部材にて連結されている。そして、図１６に示すように、支持枠部分１５ａには電動式のユニット用シリンダ５８が４つ備えられており、搬送上手側の２つのファンフィルタユニット１４の搬送上手側の底部のそれぞれ、並びに、搬送下手側の２つのファンフィルタユニット１４の搬送下手側の底部のそれぞれにユニット用シリンダ５８の先端部が連結されている。また、整風板１６はユニット用枠体１５等の板状体搬送装置Ｈの固定部分に固定支持されている。
【００４７】
つまり、前記排気量調節手段５０は、上記した計４つのユニット用シリンダ５８で構成されており、ユニット用シリンダ５８のそれぞれを同調した状態で伸縮させることにより、横幅方向に並ぶファンフィルタユニット１４同士の間隔が調節されるように構成されている。従って、図１６（イ）に示すように、ユニット用シリンダ５８のそれぞれを伸長させることにより、横幅方向に並ぶファンフィルタユニット１４同士の間隔が狭くなって、通気路１７における排気量が少なくなり、また、図１６（ロ）に示すように、ユニット用シリンダ５８のそれぞれを短縮させることにより、横幅方向に並ぶファンフィルタユニット１４同士の間隔が広くなって、通気路１７における排気量が多くなるように構成されている。そして、ユニット用シリンダ５８の伸縮させることにより、ファンフィルタユニット１４が整風板１６に対して横幅方向に移動することとなり、ユニット用シリンダ５８が伸長させるとファンフィルタユニット１４により通気部１６ｂの一部が閉塞されて、通気部１６ｂの通器量が少なくなるというように、ファンフィルタユニット１４の移動により通気部１６ｂにおける通風量も調節されるように構成されている。
尚、上記実施の形態と別実施の形態（３）や別実施の形態（４）とでは、通気孔の大きさが異なるが、送風式支持手段の風力や支持する板状体に応じて、板状体の下面に供給する板状体の清浄空気の風圧が適するように適宜変更すればよい。
【００４８】
（４）上記実施の形態では、横幅方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させて形成した通気路と搬送方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させて形成した排風路との両方を備えさせたが、通気路と排風路とのいずれか一方のみを備えた構成でもよい。つまり、図１８に示すように、横幅方向に並ぶファンフィルタユニット１４同士を離間させて通気路１７を備えさせ、搬送方向に並ぶ送風ユニット同士は近接させて排風路１８を備えさせないように構成してもよい。
【００４９】
（５）上記実施の形態では、送風ユニットを、１つの送風手段とその送風手段の上方を覆う１つの除塵フィルタとを一体的に組み付けて構成し、送風式支持手段を構成する際に横幅方向においては送風ユニットを２つ並べて備えさせたが、
送風ユニットを、横幅方向に２つ並べた送風手段とその２つの送風手段の上方を覆う１つの除塵フィルタとを一体的に組み付けて構成し、送風式支持手段を構成する際に横幅方向において１つの送風ユニットを備えるように構成してもよい。
そして、図１９に示すように、送風ユニットとしてのファンフィルタユニットにおける２つの送風手段の間の箇所に前記通気路１７を形成することにより、送風式支持手段の横幅方向の中間箇所に通気路が形成されるように構成してもよい。
【００５０】
（６）上記実施の形態では、送風式支持手段が、除塵フィルタと送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットの複数にて構成したが、ケース体に送風手段と除塵フィルタとを個別に組み付けて送風式支持手段を構成してもよい。
【００５１】
（７）上記実施の形態では、推進力支持手段の駆動回動体にて板状体の両端部を接触状態で支持し、その接触支持する駆動回動体を回転駆動させて板状体に対して推進力を付与することによって、板状体を搬送方向に沿って搬送するように構成したが、板状体の両端部を自由回転する回動体にて支持して、自動的或いは人為的に板状体を搬送上手側に位置する板状体搬送装置に移載する力を利用して、先行する板状体を後押しすることにより先行する板状体に対して搬送方向での推進力を付与するように構成してもよく、また、送風式支持手段にて供給される清浄空気にて、板状体に対して搬送方向での推進力を付与するように構成してもよい。さらに、板状体の搬送方向を傾斜方向に設定して、板状体の自重により推進力を付与するように構成してもよい。
また、駆動回動体や従動回転体を、タイミングベルト等の無端帯状体にて構成してもよい。
【００５２】
（８）図５に示すように、前記支持用枠体１５ａにおける横幅方向に沿うものに、長手方向の中間部を凹入形成することによって前記排風路１８と送風ファン１３の下方側の空間とを連通させるためのサブ排風路２１を形成して、排風路１８から排風される空気を送風ファン１３の下方に円滑に循環するように構成してもよい。
【００５３】
（９）上記実施の形態では、板状体として、液晶用のガラス基板としたが、半導体のウェハ等でもよく、被支持体の形状や大きさは実施の形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】板状体搬送装置の斜視図
【図２】板状体搬送装置の正面断面図
【図３】板状体搬送装置の正面断面の一部拡大図
【図４】板状体搬送装置の側面断面図
【図５】別実施の形態（８）における搬送ユニットの斜視図
【図６】板状体搬送装置の平面図
【図７】伝達機構を示す正面図
【図８】揺動軸芯の存在側の収納フレームの側面断面図
【図９】推進力付与手段の正面断面図
【図１０】推進力付与手段の側面断面図
【図１１】板状体の盛り上がり状態を示す作用図
【図１２】別実施の形態（１）の排気量調節手段を示す正面図
【図１３】別実施の形態（１）の排気量調節手段を示す平面図
【図１４】別実施の形態（２）の排気量調節手段を示す正面図
【図１５】別実施の形態（２）の排気量調節手段を示す平面図
【図１６】別実施の形態（３）の排気量調節手段を示す正面図
【図１７】別実施の形態（３）の排気量調節手段を示す平面図
【図１８】別実施の形態（４）の搬送ユニットを示す平面図
【図１９】別実施の形態（５）の搬送ユニットを示す平面図
【符号の説明】
【００５５】
２    ガラス基板（板状体）
２ａ  下面
３    送風式支持手段
１２    除塵フィルタ
１３    送風ファン（送風手段）
１４    ファンフィルタユニット（送風ユニット）
１６    整風板（多孔板状体）
１６ｂ  通気部
１７    通気路
１８    排風路
５０    排気量調節手段
５１    分割整風板（多孔板状体）
５１ａ  板状部分
５１ｄ  通気部
５５    調節板
Ｈ    板状体搬送装置
【図１】
2005029360.tif 000003
【図２】
2005029360.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2005029360.tif 000018
【図１７】
2005029360.tif 000019
【図１８】
2005029360.tif 000020
【図１９】
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