(57)【要約】【課題】  発熱抵抗体の領域の形状を複雑にすることなく、発熱抵抗体、ひいては液体吐出ヘッドの耐久性及び安定性を向上させることができる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】  液体吐出ヘッドは、吐出口（不図示）に連通する液路（不図示）中の液体を加熱して気泡を発生させるヒータ抗体ＲＨと、ヒータ抗体ＲＨへ流す電流のオン／オフを切り換えるスイッチ回路ＳＷとを有している。ヒータ抗体ＲＨの一端は電源電位ＶＨに接続され、スイッチ回路ＳＷの一端は接地電位ＧＮＤＨに接続され、ヒータ抗体ＲＨの他端とスイッチ回路ＳＷの他端とは互いに接続されている。この液体吐出ヘッドは、ヒータ抗体ＲＨとスイッチ回路ＳＷとの接続点の電圧Ｖａを検出し、電圧Ｖａに所定の変化が生じた場合に出力信号Ｓ１を出力する検出回路１０と、検出回路１０からの出力信号Ｓ１に応じてスイッチ回路ＳＷのオン／オフを制御するスイッチ制御回路１１とを有している。【選択図】  図１
2005305966.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の電源と第２の電源との間に液体吐出機構とスイッチ回路が電気的に直列に接続され、前記スイッチ回路によって前記液体吐出機構へのエネルギー注入の制御により液体の吐出制御を行う液体吐出ヘッドにおいて、
前記液体吐出機構と前記スイッチ回路との接続点の電圧を検出し、該接続点の電圧に所定の変化が生じた場合に出力信号を出力する検出回路を有していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記出力信号に応じて前記スイッチ回路の制御を行なうスイッチ制御回路を含む、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記検出回路は、前記接続点の電圧が基準電圧以下もしくは以上であることを検出している間、第１の出力信号を出力し、
前記スイッチ制御回路は、画像信号と相関関係を有する第１の信号と、前記検出回路からの前記第１の出力信号とが入力され、前記第１の信号が入力されてから前記第１の出力信号が入力されている間、第２の出力信号を出力し、
前記スイッチ回路の制御端子には前記スイッチ制御回路から出力される前記第２の出力信号が入力され、前記スイッチ回路は、前記制御端子に前記第２の出力信号が入力されている間はオン状態になり、前記制御端子に前記第２の出力信号が入力されていない間はオフ状態になり、
前記スイッチ制御回路は、前記第１の信号が入力されてから前記第１の出力信号が入力されている間、第２の出力信号を前記スイッチ回路の制御端子に出力し、その後に前記第１の出力信号の入力が停止されると第２の出力信号の出力を停止する、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記検出回路はコンパレータ回路であり、該コンパレータ回路は、正入力端子に前記基準電圧が入力され、負入力端子に前記接続点の電圧が入力され、前記第１の出力信号を出力し、
前記スイッチ制御回路はＯＲ回路であり、該ＯＲ回路は、前記コンパレータ回路からの前記第１の信号と前記コンパレータ回路からの前記第１の出力信号とが入力され、前記第２の出力信号を出力する、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記検出回路はコンパレータ回路であり、該コンパレータ回路は、負入力端子に前記基準電圧が入力され、正入力端子に前記接続点の電圧が入力され、前記第１の出力信号を出力し、
前記スイッチ制御回路はＮＡＮＤ回路であり、該ＮＡＮＤ回路は、前記コンパレータ回路からの前記第１の信号と前記コンパレータ回路からの前記第１の出力信号とが入力され、前記第２の出力信号を出力する、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記スイッチ回路は、ＮＰＮバイポーラトランジスタ、ＭＯＳトランジスタ、オフセットＭＯＳトランジスタ、ＬＤＭＯＳトランジスタ、およびＶＤＭＯＳトランジスタのいずれか１つのトランジスタを含んでいる、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記スイッチ制御回路は、前記第１の信号を前記スイッチ回路に出力してから前記第１の出力信号が入力されるまでの時間が所定の時間よりも短い場合、あるいは、前記第１の信号を前記スイッチ回路に出力してから所定の時間内に前記第１の出力信号が入力されない場合にも前記第２の出力信号を出力する、請求項３から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記検出回路からの検出結果によって、液体の不吐検出を行なうことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを有する液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出機構にスイッチ回路を有する液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関し、特に、インク吐出機構にエネルギーを注入してインクを吐出させ、インク液滴を記録媒体上に付着させることにより画像を形成するインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置及び、ＤＮＡチップ、有機トランジスタ、カラーフィルタなどの作製に用いられる装置などに適用できる液体吐出ヘッドであって、液体吐出用素子にエネルギーを注入して液体を吐出させ、液滴を媒体上に付着させる液体吐出ヘッドに関するものであり、特に、液体としてインクを用いたインクジェット記録ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出装置として、インクジェット記録方式を用いたインクジェットプリンタのような記録装置が従来から知られている。インクを加熱して気泡を発生させ、この気泡の膨張運動によりインクを圧迫して吐出し、吐出されたインク液滴を記録媒体上に付着させることにより画像を形成するインクジェット記録方式は、記録品位が高く、低騒音であるという利点を有している。また、インクジェット記録方式は、カラー記録が比較的容易であり、普通紙にも記録可能であり、装置の小型化が容易であるという利点を有している。さらに、インクジェット記録方式は、インクが吐出される多数の吐出口を高密度に配設することにより高速記録が可能であり、プリンタやファクシミリ等の情報出力装置に広く用いられている。
【０００３】
インクジェット記録方式の記録ヘッドは、一般的には、インクを吐出するための吐出口と、吐出口に連通しているインク路と、このインク路中に設けられ、電圧が印加されると熱エネルギーを発生する電気熱変換素子とを具備している。この電気熱変換素子は、薄膜の発熱抵抗体であるのが一般的である。
【０００４】
図９は従来のインクジェット記録ヘッドの一部を示す断面図である。発熱抵抗体１０３３はシリコン基板１０３１上に形成されている。また、発熱抵抗体層１０３３とシリコン基板１０３１との間には、蓄熱層および絶縁層としての役割を果たす酸化膜１０３２が形成されている。発熱抵抗体層１０３３は、接続された電極配線１０３４の間の領域が発熱抵抗体１０３３ａとして機能し、パルス状の電圧が印加されることによって発熱し、熱エネルギーを発生させ、インク路中のインクに気泡を発生させる。インクの気泡が発生する際には、インクの化学的反応や、気泡の成長や消滅によって衝撃が発生する。これらの衝撃から発熱抵抗体１０３３ａを保護するために、タンタル（Ｔａ）保護膜１０３６が発熱抵抗体層１０３３上に形成されている。Ｔａ保護膜１０３６の下には、発熱抵抗体層１０３３とＴａ保護膜１０３６との電気的な絶縁を図るために、窒化シリコン（ＳｉＮ）等からなる絶縁保護膜１０３５がさらに形成されている。
【０００５】
このような構成により、発熱抵抗体１０３３ａから発生した熱エネルギーは、発熱抵抗体１０３３ａの上に設けられたＳｉＮ絶縁保護膜１０３５およびＴａ保護膜１０３６中を熱伝導現象によって伝達される。これにより、Ｔａ保護膜１０３６上のインクに熱が与えられてインクに気泡１０３９が発生する。気泡１０３９が発生することにより、インクの吐出口であるノズル１０３７周辺のインクが圧迫され、インク滴１０３８がノズル１０３７から吐出される。
【０００６】
ところで、近年では画像の高画質化を図るために、吐出口から吐出されるインクは小液適化の傾向にある。このため、同じ画像を１紙面に形成するのに必要なインク滴の数は著しく上昇している。例えば、Ａ４用紙（２１０ｍｍ×２９７ｍｍ）に２５．４ｍｍ2（１平方インチ）あたり１２００×１２００ドットの密度で１５％密度の画像を形成しようとした場合、同じ色のインクのドット数は１．９×１０7ドット／枚になる。カラー画像を形成しようとした場合には、各色のインクがこのドット数で紙面上に打たれることになる。また、インクジェット記録ヘッドを応用したプリンタ等の機器では、高速化が進められるとともに、耐久記録枚数の向上が強く望まれるようになってきている。耐久記録枚数を向上させるためには、吐出口から吐出されるインク滴が長時間、同じ方向、同じ量、同じ速度で吐出される必要がある。
【０００７】
しかしながら、インクの吐出がくり返されると、図９に示すＴａ保護膜１０３６の表面上にインクが焦げ付くことがあり、そのインクの焦げ付きが生じると気泡の形成の安定性が低下する。さらにインクの吐出がくり返されると、Ｔａ保護膜１０３６が削られて薄くなり、インクがＴａ保護膜１０３６を貫通するような現象が発生することがある。その後、発熱抵抗体１０３３ａ上に形成された絶縁保護膜１０３５にもインクの浸潤が進み、発熱抵抗体１０３３ａおよびそれに接続された電極配線１０３４にまでインクが浸潤していき、電極配線１０３４において電蝕現象が進行し、最終的には、電極配線１０３４が断線してしまうことがある。
【０００８】
図１０は、従来のインクジェット記録ヘッドの発熱抵抗体１０３３ａの温度およびＴａ保護膜１０３６の表面温度の変化を示すグラフである。図１０（ａ）は、この熱エネルギーが与えられた発熱抵抗体１０３３ａの温度およびＴａ保護膜１０３６の表面温度の変化を示すグラフである。図１０（ｂ）は、発熱抵抗体１０３３ａに入力するパルス電圧の波形を示すグラフである。図１０（ａ）では、発熱抵抗体１０３３ａの温度は実線で表され、Ｔａ保護膜１０３６の表面温度は点線で表されている。
【０００９】
発熱抵抗体１０３３ａの温度およびＴａ保護膜１０３６の表面温度は、パルス電圧が発熱抵抗体１０３３ａに入力される時刻ｔ０には、室温と同じＴ０となっている。パルス電圧が発熱抵抗体１０３３ａに印加されると、それまで室温と同じＴ０だった発熱抵抗体１０３３ａの温度およびＴａ保護膜１０３６の表面温度は上昇する。Ｔａ保護膜１０３６の表面温度がＴ１（＝約３００℃）に達した時刻ｔ１には、Ｔａ保護膜１０３６とインクとの界面に気泡が発生する。その時、発熱抵抗体１０３３ａの温度はすでにＴ２に達している。気泡が発生したことにより、Ｔａ保護膜１０３６の表面からインク中へ熱が伝搬しなくなるため、Ｔａ保護膜１０３６の表面温度は急激な上昇を始める。同様に発熱抵抗体１０３３ａの温度も急激に上昇する。これらの温度は、発熱抵抗体１０３３ａへのパルス電圧の印加を停止した時刻ｔ３において頂点を示し、その値はそれぞれＴＰ１，ＴＰ２となる。発熱抵抗体１０３３ａへのパルス電圧の印加が停止された時刻ｔ３の後は、発熱抵抗体１０３３ａから熱エネルギーが発生しないので、発熱抵抗体１０３３ａの温度およびＴａ保護膜１０３６の表面温度は急激に低下し、もとの室温Ｔ０にもどる。発熱抵抗体１０３３ａへ入力するパルス電圧の印加を停止する時刻ｔ３と、気泡が発生する時刻ｔ１との間を短縮し、発熱抵抗体１０３３ａの最高到達温度ＴＰ１およびＴａ保護膜１０３６の最高到達温度ＴＰ２を下げるほど、インクジェット記録ヘッドの耐久性が著しく向上することが、実験的に明らかとなっている。
【００１０】
この発熱抵抗体１０３３ａの最高到達温度ＴＰ１およびＴａ保護膜１０３６の最高到達温度ＴＰ２を下げるために、様々な工夫がなされている。インクジェット記録装置に温度センサを取り付け、インクジェット記録ヘッドの温度をこの温度センサでセンシングするとともに、発熱抵抗体を駆動するパルス電圧の幅を変調する制御装置をプリンタ本体に備えるのは、その一例である。しかしながら、この温度センサは、インクジェット記録ヘッド全体の温度を計測するものであり、発熱抵抗体近辺の温度を正確に計測するものではない。また、特許文献１には複数の発熱抵抗体を同時に駆動し、その駆動数が逐次変化するような場合には、その同時駆動数に応じて、発熱抵抗体を駆動する時間を制御する制御装置をプリンタ本体に備えるのも、その一例である。
【００１１】
また、上述した従来のインクジェット記録ヘッドの問題を解決する手段として、特許文献２には、図１１に示すような、従来のインクジェット記録ヘッドの断面図（図４）が示す構造の発熱抵抗体１０３３ａの直下に不純物を拡散させて形成された半導体拡散抵抗体１０４０を配置した構造が示されており、さらに、図１２に示すような、図１１の構造を用いたインクジェット記録ヘッドの回路構成図が示されている。
【００１２】
図１２は、図１１に示したインクジェット記録ヘッドの制御部の等価回路図である。このインクジェット記録ヘッドの制御部の等価回路は、発熱抵抗体１０３３と、発熱抵抗体１０３３ａに電力を供給する電源１０１１と、スイッチ駆動信号１０１７が入力されるとオンとなるスイッチ１０１３と、気泡の発生を検出すると制御信号１０１６を出力するセンサ１０１４と、画像入力信号１０１５と制御信号１０１６とを入力とし、スイッチ駆動信号１０１７を出力とする駆動制御部１０１８とから構成される。センサ１０１４は、半導体拡散抵抗体１０４０の抵抗値の変化を利用して、気泡の発生を検出する。絶縁保護膜１０３５およびＴａ保護膜１０３６の厚さや、それら保護膜の熱伝導率や密度によってＴａ保護膜１０３６の表面温度との温度差を正確に予測することが可能である。したがって、センサ１０１４は、半導体拡散抵抗体１０４０の電気抵抗値からＴａ保護膜１０３６の表面温度を割り出して、気泡の発生を検出することができる。
【００１３】
画像入力信号１０１５が入力されないときには、駆動制御部１０１８はスイッチ駆動信号１０１７を出力せず、スイッチ１０１３はオフのままとなる。駆動制御部１０１８に画像入力信号１０１５が入力され、制御信号１０１６が入力されない場合には、駆動制御部１０１８はスイッチ駆動信号１０１７を出力する。そうするとスイッチ１０１３がオンとなり、発熱抵抗体１０３３ａが発熱する。しかし、駆動制御部１０１８に画像入力信号１０１５が入力されても、センサ１０１４によって気泡の発生が検出され制御信号１０１６が駆動制御部１０１８に入力されれば、駆動制御部１０１８はスイッチ駆動信号１７を出力せず、スイッチ１０１３がオフとなる。
【００１４】
特許文献２には、このような構成により、発熱抵抗体体１０３３ａの発熱に起因して生じる半導体拡散抵抗体１０４０の抵抗値の変化からインクの発泡が生じたことを検出し、その検出結果に基づいて発熱抵抗体への電圧印加を停止し、発熱抵抗体１０３３ａの余分な加熱を抑制してインクジェット記録ヘッドの耐久性を向上させることが提案されている。
【特許文献１】特開２００１−３４１３５５号公報
【特許文献２】特開２００１−１２９９９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、図９に示した従来のインクジェット記録ヘッドでは、インクジェット記録ヘッドの全体的な温度を代表値として検出しており、それぞれの発熱抵抗体の温度を検出していない。
【００１６】
したがって、実駆動時の発熱抵抗体に印加するパルス電圧のパルス幅は、発熱抵抗体と電源配線抵抗とスイッチ回路との合計抵抗値のばらつきを考慮して個々の発熱抵抗体ごとに設定するのではなく、ある１つのインクジェット記録ヘッド内においてインクが発泡吐出するために必要な最大パルス幅に設定されている。言い換えれば、このことは、ある発熱抵抗体にとっては必要以上のパルス電圧が発熱抵抗体に印加され、記録ヘッドの耐久性や安定性を低下させる要因になっている。そのため、１つのインクジェット記録ヘッド内の発熱抵抗体と電源配線抵抗とスイッチ回路との合計抵抗値ばらつきを小さくする補正手段の１つとして電源配線抵抗の合わせ込みが取られている。なお、インクが発泡吐出するために必要な最大パルス幅の検出及び設定は工場出荷時に行われ、その結果は記録ヘッド内に搭載された不揮発性メモリ（ＥＥＲＯＭなど）に記録・設定されているので、そのような比較的高価な不揮発性メモリを備える分だけプリンタ本体のコストが増大してしまう。
【００１７】
また、特許文献２に開示された構成（図１１および図１２参照）では、各発熱抵抗体から発生した熱を検出し、その検出結果を駆動制御部にフィードバックし、発熱抵抗体ごとにパルス幅を制御するので不必要な電圧印加時間が無くなり、発熱抵抗体、ひいては記録ヘッドの耐久性を向上させることはできるが、発熱抵抗体の直下に半導体拡散抵抗体を埋め込む必要があるため発熱抵抗体領域の構成が複雑になると共に、発熱抵抗体の周辺に必要以上の物理的段差が発生するためノズル部の構成や機能に少なからず悪影響を与える場合がある。
【００１８】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、液体吐出機構（発熱抵抗体）の領域の形状を複雑にすることなく、液体吐出機構、ひいては液体吐出ヘッドの耐久性及び安定性を向上させることができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記目的を達成するため、本発明の液体吐出ヘッドは、第１の電源と第２の電源との間に液体吐出機構とスイッチ回路が電気的に直列に接続され、前記スイッチ回路によって前記液体吐出機構へのエネルギー注入の制御により液体の吐出制御を行う液体吐出用ヘッドにおいて、前記液体吐出機構と前記スイッチ回路との接続点の電圧を検出し、該接続点の電圧に所定の変化が生じた場合に出力信号を出力する検出回路を有していることを特徴とする。
【００２０】
上記本発明の液体吐出ヘッドによれば、例えば、液体発泡後に液体吐出機構（発熱抵抗体）の抵抗が変化することに起因して生じる上記接続点の電圧変化に応じて、スイッチ回路のオン／オフを制御することが可能である。そのため、液体発泡後の液体吐出機構へ電圧パルスが余剰に印加されることを防止することができ、液体吐出機構、ひいては液体吐出ヘッドの耐久性を向上させることが可能になる。また、液体吐出機構上に焦げ付き（液体成分の一部が加熱されることによって液体吐出機構上に焦げ付くこと）が発生することを防ぐことができ、液体吐出ヘッドからの液体吐出を安定して行うことが可能となる。
【００２１】
また、本発明の構成によれば、液体吐出ヘッドの液体吐出機構の下に半導体拡散抵抗体を設ける必要がないので、液体吐出機構の領域の構成を複雑にすることなくその耐久性を向上させることができる。さらに、本発明の構成によれば、多数の液体吐出機構を備えた液体吐出ヘッドにおいて、個々の電源電位と接地電位との間の液体吐出機構、スイッチ回路、および電源配線回路の合計抵抗値のばらつきを抑えるための補正を行うことが不要であり、液体が吐出するために必要な最大パルス幅の検出および設定を行うことが不要であり、さらには、パルス幅の設定を記録する不揮発性メモリが不要となる。
【００２２】
また、このような液体吐出ヘッドが用いられる従来の装置本体は、個々の液体吐出ヘッドごとに異なる電圧パルス幅に併せて電圧パルス幅を変化させるためにＰＷＭ回路を備えているが、本発明の構成を備えた液体吐出ヘッドは電圧パルス幅を共通にすることができるため、本発明の構成を備えた記録ヘッドが用いられる装置本体には、そのようなＰＷＭ回路を備える必要がない。そのため、本発明によれば、液体吐出ヘッドのみならず、それが用いられる装置本体の製造コストを低下させることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体吐出機構とスイッチ回路との接続点の電圧を検出し、接続点の電圧に所定の変化が生じた場合に出力信号を出力する検出回路を有しているので、液体吐出機構の領域の形状を複雑にすることなく、液体吐出機構、ひいては液体吐出ヘッドの耐久性及び安定性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２５】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの制御部の等価回路図である。
【００２６】
本実施形態に係る液体吐出ヘッドの制御部は、液体吐出機構としての発熱抵抗体（以下、「ヒータ抵抗ＲＨ」という。）とスイッチ回路ＳＷとが電源電位ＶＨと接地電位ＧＮＤＨとの間に直列に接続されており、ヒータ抵抗ＲＨとスイッチ回路ＳＷとの接続点には、その接続点の電圧Ｖａを検出する検出回路１０が接続されている。スイッチ回路ＳＷの制御端子には、スイッチ制御回路（ＳＷ制御回路）１１の出力信号が入力され、スイッチ回路ＳＷが制御されてヒータ抵抗ＲＨに流れる電流が制御される。スイッチ制御回路１１には、画像信号に相当する（相関関係を有する）制御信号ＨＥＳと検出回路１０からの出力信号Ｓ１とが入力される。ここで、ヒータ抵抗ＲＨは、例えばタンタルシリコン窒化物で形成された、負の温度係数を有するものである。なお、このように構成された制御部は、図９に示した従来技術の構成のインクジェット記録ヘッド、すなわち液体吐出素子である発熱抵抗体（ヒータ抵抗）の下方に図１１に示したような半導体拡散抵抗体を備えていない構成のインクジェット記録ヘッドに適用可能である。
【００２７】
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッド（インクジェット記録ヘッド）の制御部の動作説明をする。
【００２８】
図１に示した制御部を備えた記録ヘッドが取り付けられているプリンタ本体からインク吐出指令が制御信号ＨＥＳとして記録ヘッドに伝送されると、スイッチ制御回路１１はスイッチ回路ＳＷをオン状態にし、ヒータ抵抗ＲＨの両端に電圧を印加してヒータ抵抗ＲＨに電流ＩＶＨを流し始める。ヒータ抵抗ＲＨに電流が流れると、ヒータ抵抗ＲＨとスイッチ回路ＳＷとの接続点における電圧Ｖａは、電源電位ＶＨからヒータ抵抗ＲＨにかかる電圧を引いた電位差ＶＲＨ分だけ低下した電圧になる。また、先述したように、ヒータ抵抗ＲＨに電流が流れるとヒータ抵抗ＲＨは熱を発生させ、絶縁保護膜およびＴａ保護膜を介してインク路中のインクを加熱し始める。
【００２９】
ヒータ抵抗ＲＨの発熱によってＴａ保護膜の表面温度が約３００℃になると、ヒータ抵抗ＲＨ上のインクは発泡し始める。ヒータ抵抗ＲＨ上のインクが発泡すると、ヒータ抵抗ＲＨから発せられた熱を吸収する媒質が無くなるため、ヒータ抵抗ＲＨ自体の温度が急激に上昇する。これは、従来技術の説明で述べた通りである。
【００３０】
上記のように、本実施形態ではヒータ抵抗ＲＨが負の温度係数を持っているので、ヒータ抵抗ＲＨ自体の温度が急激に上昇するとヒータ抵抗ＲＨの抵抗値が急激に小さくなり、接続点の電圧Ｖａも急激に上昇する。したがって、電圧Ｖａの電圧変化を検出回路１０で検出することにより（例えば、電圧Ｖａが所定の電圧を越えたか否かを検出することにより）、ヒータ抵抗ＲＨ上のインクの発泡の有無を検出することができる。そして、インクが発泡したことを検出回路１０が検出すると、検出回路１０はインクが発泡したことに相関する出力信号Ｓ１をスイッチ制御回路１１に出力し、出力信号Ｓ１が入力されたスイッチ制御回路１１はスイッチ回路ＳＷをオフ状態に制御する。ここで相関するとは、完全にインクが吐出された状態以外でも、あらかじめ閾値を設定しておき、インク残量が一定量以下になった場合を、吐出完了したとみなす場合の信号である。
【００３１】
これにより、インク発泡後のヒータ抵抗ＲＨへ電圧パルスが余剰に印加されることを防止することができ、記録ヘッドの耐久性を向上させることが可能になる。また、ヒータ抵抗ＲＨ上に焦げ付き（インク成分の一部が加熱されることによってヒータ抵抗ＲＨ上に焦げ付くこと）が発生することを防ぐことができ、インク吐出を安定して行うことが可能となる。
【００３２】
なお、上記のように、ヒータ抵抗ＲＨ自体の温度が急激に上昇してヒータ抵抗ＲＨの抵抗値が急激に小さくなると接続点の電圧Ｖａが急激に上昇するという現象は、下記の式（１）によって説明することができる。
【００３３】
Ｖａ＝｛ｒ／（ＲＨ＋ｒ）｝×ＶＨ  ・・・  式（１）
ここで、ｒは、上記の接続点と接地電位ＧＮＤＨとの間の電源配線回路とスイッチ回路ＳＷとに含まれる合計の抵抗値である。式（１）から、ヒータ抵抗ＲＨの抵抗値が小さくなると右辺の分母成分（ＲＨ＋ｒ）が小さくなり、電圧Ｖａが大きくなることがわかる。
【００３４】
本実施形態の構成によれば、記録ヘッドのヒータ抵抗の下に半導体拡散抵抗体を設ける必要がないので、ヒータ抵抗の領域の構成を複雑にすることなくその耐久性を向上させることができる。さらに、本実施形態の構成によれば、多数のヒータ抵抗を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、個々の電源電位ＶＨと接地電位ＧＮＤＨとの間のヒータ抵抗ＲＨ、スイッチ回路ＳＷ、および電源配線回路の合計抵抗値のばらつきを抑えるための補正を行うことが不要であり、インクが吐出するために必要な最大パルス幅の検出および設定を行うことが不要であり、さらには、パルス幅の設定を記録する不揮発性メモリが不要となる。なお、このような記録ヘッドが用いられる従来のプリンタ本体は、個々の記録ヘッドごとに異なる電圧パルス幅に併せて電圧パルス幅を変化させるためにＰＷＭ回路を備えているが、本実施形態の構成を備えた記録ヘッドは電圧パルス幅を共通にすることができることから、本実施形態の構成を備えた記録ヘッドが用いられるプリンタ本体には、そのようなＰＷＭ回路を備える必要がない。そのため、本実施形態の構成によれば、液体吐出ヘッドのみならず、それが用いられる装置本体の製造コストを低下させることができる。
【００３５】
また、本実施形態の構成はインクの不吐を検知することにも応用することが可能である。ここで、インクの不吐には、大きく３つの原因が考えられる。
原因１：インク流入路にゴミ等が詰まってヒータ抵抗ＲＨ上にインクが充填され無いので、インクが吐出されない。
原因２：ヒータ抵抗ＲＨが寿命等により発熱体として機能しなくなったため（断線した場合等）、インクが吐出されない。
原因３：ノズルの吐出口にゴミ等が詰まって、インクが吐出されない。
【００３６】
本実施形態の構成では、上記の３つの原因のうち、原因１および原因２の場合にインクの不吐を検知することが可能である。
【００３７】
原因１の場合は、ヒータ抵抗ＲＨ上にインクが充填され無いためインク発泡状態と同じ状態になり、接続点の電圧Ｖａの急激な上昇が制御信号ＨＥＳの入力とほぼ同時に起こる。そのため、ヒータ抵抗ＲＨに電圧を印加してから所定の時間が経過するよりも早い時間で電圧Ｖａが変化したかどうか（例えば、電圧Ｖａが所定の電圧を越えたか否か）を検出すれば、インクの不吐を検出することができる。
【００３８】
原因２の場合は、ヒータ抵抗ＲＨに電圧を印加しても接続点の電圧Ｖａの急激な電圧変化はいつまで経っても起こらない。そのため、ヒータ抵抗ＲＨに電圧を印加してから所定の時間が経過した時点で電圧Ｖａが変化したかどうか（例えば、電圧Ｖａが所定の電圧を越えたか否か）を検出すれば、インクの不吐を検出することができる。不吐検知において、検出信号をもとにフィードバック制御することは、考えられますが、ヒータボードのみの制御ではなく、システムを含んだ制御となる。
【００３９】
このように、本実施形態の構成によれば、ヒータ抵抗ＲＨとスイッチ回路ＳＷとの接続点の電圧Ｖａの変化を検出する手段である検出回路１０と、その検出の有無に応じてスイッチ回路ＳＷのオン／オフを制御するスイッチ制御回路１１とによって、ヒータ抵抗ＲＨの過加熱を防止することができる。検出回路１０が、電圧Ｖａが所定の電圧を越えたか否かをもって電圧Ｖａが変化したかどうかを検出する構成の場合には、スイッチ制御回路１１は、電圧Ｖａの値に応じてスイッチ回路ＳＷを制御するというような複雑な構成を必ずしも備えていなくてもよい。
【００４０】
本実施形態では、ヒータ抵抗の温度係数を負として説明してきたが、正の温度係数でも理論的にはインクの発泡状態を検出することが可能であることは容易に類推できる。
【００４１】
（第２の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの制御部の等価回路図である。
【００４２】
本実施形態に係る液体吐出ヘッドの制御部は、ヒータ抵抗ＲＨと、スイッチ回路を構成するＮ型ＭＯＳトランジスタＴｒとが、電源電位ＶＨと第１の接地電位ＧＮＤＨとの間に直列に電気的配置されている。さらに、ヒータ抵抗ＲＨとトランジスタＴｒとの接続点（トランジスタＴｒのドレイン端）の電圧Ｖａがコンパレータ回路２０の負入力端子に入力されている。一方、コンパレータ回路２０の正入力端子には基準電圧Ｖｒが入力されている。ここで、基準電圧Ｖｒは、ヒータ抵抗ＲＨがインクを発泡させ始めるときのヒータ抵抗ＲＨへの印加電圧である。
【００４３】
コンパレータ回路２０の出力信号Ｓ１（第１の出力信号）と画像信号に相当する（相関関係を有する）制御信号ＨＥＳ（第１の信号）とがＯＲ回路２１に入力され、ＯＲ回路２１の出力Ｖｇ（第２の出力信号）はトランジスタＴｒのゲートに入力される。トランジスタＴｒのソースは第１の接地電位ＧＮＤＨに接続され、トランジスタＴｒの基板電位（バックゲート）は、第２の接地電位ＶＳＳに接続されている。ここで、第２の接地電位ＶＳＳは第１の接地電位ＧＮＤＨと同じであっても構わない。すなわち、トランジスタＴｒのソースとバックゲートとはショートしていても構わない。
【００４４】
本実施形態のヒータ抵抗ＲＨも、第１の実施形態と同様に負の温度係数を有している。また、このように構成された制御部は、図９に示した従来技術の構成のインクジェット記録ヘッド、すなわち発熱抵抗体（ヒータ抵抗）の下方に図１１に示したような半導体拡散抵抗体を備えていない構成のインクジェット記録ヘッドに適用可能である。
【００４５】
なお、図２に示した構成では、スイッチ回路としてのトランジスタＴｒにＮ型ＭＯＳトランジスタを使用しているが、本実施形態に適用可能なトランジスタはこれに限られず、ＯＲ回路２１の出力によってヒータ抵抗ＲＨに流れる電流をオン／オフさせることができるトランジスタあるいはそのようなトランジスタを用いたスイッチ回路であれば、特に限定するものではない。例えば、Ｎ型のトランジスタとして、ＮＰＮバイポーラトランジスタ、ＭＯＳトランジスタ、ソースドレインがゲートとオフセットを設けて配置されているオフセットＭＯＳトランジスタ、ＬＤＭＯＳ(Lateral Double-diffused Metal Oxide Semiconductor)トランジスタ、ＶＤＭＯＳトランジスタ等を用いることが可能である。この中でも、ＬＤＭＯＳトランジスタがプロセス工程が容易であり、かつ、容易に高耐圧化を達成することが可能であるため、このような液体吐出用ヘッドに応用する場合には好ましい。
【００４６】
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッドの制御部の動作説明をする。図３は、本実施形態に係る構成の液体吐出ヘッドを動作させたときの各点の電圧変化および電流変化を示すグラフである。
【００４７】
図３からわかるように、時間ｔ０ではコンパレータ回路２０の出力信号Ｓ１はローレベルであるので、図２に示した制御部を備えた記録ヘッドが取り付けられているプリンタ本体から画像データに応じてインク吐出指令が制御信号ＨＥＳとして記録ヘッドに伝送され、信号ＨＥＳがローレベルからハイレベルに変化すると、ＯＲ回路２１の出力Ｖｇもローレベルからハイレベルに変化する。これにより、トランジスタＴｒはオン状態に制御され、ヒータ抵抗ＲＨに電圧が印加されて電流ＩＶＨが流れる。
【００４８】
ヒータ抵抗ＲＨに電流ＩＶＨが流れると、ヒータ抵抗ＲＨは熱を発生させて絶縁保護膜およびＴａ保護膜を介してインクを加熱し始めるとともに、トランジスタＴｒのドレイン端の電圧Ｖａは、電源電位ＶＨからヒータ抵抗ＲＨの両端に発生する電位差ＶＲＨ分だけ低下した電圧へ時定数τを持って変化する。
【００４９】
ヒータ電流ＩＶＨが流れ始めた直後は、トランジスタＴｒのドレイン端の電圧Ｖａが基準電圧Ｖｒより高いので、コンパレータ回路２０はローレベルの出力信号Ｓ１を出力し、電圧Ｖａが時定数τで変化して基準電圧Ｖｒより低い電圧になるとコンパレータ回路２０はハイレベルの出力信号Ｓ１を出力する。そして、制御信号ＨＥＳは、所定の時間が経過した後、望ましくは、正常に動作する記録ヘッドの平均的な上記時定数τの２倍以上の時間が経過し、かつ、コンパレータ回路２０の出力信号Ｓ１がハイレベルに変化した後、ローレベルに変化する。
【００５０】
ヒータ抵抗ＲＨは負の温度係数を有しているので、インクを加熱し始めてヒータ抵抗ＲＨの温度が上昇するとヒータ抵抗ＲＨの抵抗値が徐々に小さくなっていく。しかし、Ｔａ保護膜の表面温度が約３００℃になり、ヒータ抵抗ＲＨ上のインクが発泡し始めると（図３の時間ｔ１）、ヒータ抵抗ＲＨから発せられた熱を吸収する媒質が無くなるため、ヒータ抵抗ＲＨ自体の温度が急激に上昇し、これに伴ってヒータ抵抗ＲＨの抵抗値も急激に小さくなり、トランジスタＴｒのドレイン端の電圧Ｖａが急激に上昇する。この現象も、上記の接続点と接地電位ＧＮＤＨとの間の電源配線回路とスイッチ回路（トランジスタＴｒを含む）とに含まれる合計の抵抗値をｒとすると、上述した式（１）によって説明できる。
【００５１】
トランジスタＴｒのドレイン端の電圧Ｖａが基準電圧Ｖｒより高い電圧になると、コンパレータ回路２０はローレベルの出力信号Ｓ１を出力し（図３の時間ｔ２）、これにより、ＯＲ回路２１の出力信号Ｖｇもローレベルになり、トランジスタＴｒがオフ状態に制御される。なお、ヒータ電流ＩＶＨの最大電流値は、トランジスタＴｒのゲートに印加される電圧による飽和領域特性で決まるため、ヒータ電流ＩＶＨが自動的に制限される構成になっている。
【００５２】
これにより、インク発泡後のヒータ抵抗ＲＨへ電圧パルスが余剰に印加されることを防止することができ、記録ヘッドの耐久性を向上させることが可能になる。また、ヒータ抵抗ＲＨ上に焦げ付き（インク成分の一部が加熱されることによってヒータ抵抗ＲＨ上に焦げ付くこと）が発生することを防ぐことができ、インク吐出を安定して行うことが可能となる。
【００５３】
さらに、本実施形態の構成によれば、記録ヘッドのヒータ抵抗の下に半導体拡散抵抗体を設ける必要がないので、ヒータ抵抗の領域の構成を複雑にすることなくその耐久性を向上させることができる。さらに、本実施形態の構成によれば、多数のヒータ抵抗を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、個々の電源電位ＶＨと接地電位ＧＮＤＨとの間のヒータ抵抗ＲＨ、スイッチ回路（トランジスタＴｒを含む）、および電源配線回路の合計抵抗値のばらつきを抑えるための補正を行うことが不要であり、インクが吐出するために必要な最大パルス幅の検出および設定を行うことが不要であり、さらには、パルス幅の設定を記録する不揮発性メモリが不要となる。なお、このような記録ヘッドが用いられる従来のプリンタ本体は、個々の記録ヘッドごとに異なる電圧パルス幅に併せて電圧パルス幅を変化させるためにＰＷＭ回路を備えているが、本実施形態の構成を備えた記録ヘッドは電圧パルス幅が共通することから、本実施形態の構成を備えた記録ヘッドが用いられるプリンタ本体には、そのようなＰＷＭ回路を備える必要がない。
【００５４】
また、本実施形態の構成も、第１の実施形態と同様にインクの不吐を検知することに応用することが可能である。
【００５５】
（第３の実施形態）
図４は、本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの制御部の等価回路図である。
【００５６】
本実施形態の基本的な構造は上述した第２の実施形態と同様であるので、以下では第２の実施形態との相違点を主に説明する。
【００５７】
本実施形態に係る液体吐出ヘッドの制御部は、トランジスタＴｒのドレイン端の電圧Ｖａがコンパレータ回路３０の正入力端子に入力され、コンパレータ回路３０の負入力端子には、ヒータ抵抗ＲＨがインクを発泡させ始めるときのヒータ抵抗ＲＨへの印加電圧である基準電圧Ｖｒが入力されている。制御信号ＨＥＳはインバータ回路３２に入力され、インバータ回路３２の出力信号ＨＥＳＢ（第１の信号）と、コンパレータ回路３０の出力信号Ｓ１（第１の出力信号）とがＮＡＮＤ回路３１に入力されている。ＮＡＮＤ回路３１の出力信号Ｖｇ（第２の出力信号）はトランジスタＴｒのゲートに入力されている。
【００５８】
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッドの制御部の動作説明をする。図５は、本実施形態に係る構成の液体吐出ヘッドを動作させたときの各点の電圧変化および電流変化を示すグラフである。
【００５９】
図５からわかるように、時間ｔ０ではコンパレータ回路２０の出力信号Ｓ１はハイレベルであるので、ハイレベルの制御信号ＨＥＳがインバータ回路３２に入力されるとインバータ回路３２からローレベルの信号ＨＥＳＢがＮＡＮＤ回路３１に入力され、ＮＡＮＤ回路３１の出力信号Ｖｇがハイレベルになり、トランジスタＴｒがオン状態になる。
【００６０】
トランジスタＴｒがオン状態になると、ヒータ抵抗ＲＨに電流ＩＶＨが流れ、トランジスタＴｒのドレイン端の電圧Ｖａが電源電位ＶＨからヒータ抵抗ＲＨの両端に発生する電位差ＶＲＨの分だけ低下し始める。電圧Ｖａが基準電圧Ｖｒより低くなると、コンパレータ回路３０はローレベルの出力信号Ｓ１を出力する。
【００６１】
ヒータ電流ＩＶＨが流れ始めた直後は、トランジスタＴｒのドレイン端の電圧Ｖａが基準電圧Ｖｒより高いので、コンパレータ回路３０はハイレベルの出力信号Ｓ１を出力し、電圧Ｖａが時定数τで変化して基準電圧Ｖｒより低い電圧になるとコンパレータ回路３０はローレベルの出力信号Ｓ１を出力する。そして、制御信号ＨＥＳは、所定の時間が経過した後、望ましくは、正常に動作する記録ヘッドの平均的な上記時定数τの２倍以上の時間が経過し、かつ、コンパレータ回路３０の出力信号Ｓ１がローレベルに変化した後、ローレベルに変化する。
【００６２】
ヒータ抵抗ＲＨに電流が流れてヒータ抵抗ＲＨが発熱し、インクが加熱されて発泡し始めると（図５の時間ｔ１）、ヒータ抵抗ＲＨから発せられた熱を吸収する媒質が無くなるため、ヒータ抵抗ＲＨ自体の温度が急激に上昇し、これに伴ってヒータ抵抗ＲＨの抵抗値も急激に小さくなり、トランジスタＴｒのドレイン端の電圧Ｖａが急激に上昇する。そして、電圧Ｖａが基準電圧Ｖｒより高くなると、コンパレータ回路３０はハイレベルの出力信号Ｓ１を出力し（図５の時間ｔ２）、スイッチ制御回路としてのＮＡＮＤ回路３１は、トランジスタＴｒをオフ状態にさせるためにローレベルの出力信号Ｖｇを出力する。
【００６３】
これにより、インク発泡後のヒータ抵抗ＲＨへ電圧パルスが余剰に印加されることを防止することができ、記録ヘッドの耐久性を向上させることが可能になる。さらに、記録ヘッドのヒータ抵抗の下に半導体拡散抵抗体を設ける必要がないので、ヒータ抵抗の領域の構成を複雑にすることなくその耐久性を向上させることができる。
【００６４】
本実施形態の構成がもたらすその他の効果は、上述した第２の実施形態と同様である。
【００６５】
（その他の実施形態）
＜液体吐出装置＞
本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドは、上述した各実施形態による半導体装置の絶縁層上に形成された発熱抵抗層で発熱抵抗体を形成し、吐出口やそれに連通する液路を形成するために、成形樹脂やフィルムなどからなる天板などの吐出口形成部材を組合わせれば作製できる。そして、そのような液体吐出ヘッドに液体容器を接続して、これらを液体吐出装置本体に搭載させ、装置本体の電源回路からは電源電位を、装置本体の画像処理回路からは画像データをその液体吐出装置に供給すれば、装置本体およびそれに搭載された液体吐出ヘッドはインクジェットプリンタとして動作することになる。
【００６６】
図６は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドの吐出ユニットを説明するための図であり、その一部分を破断した状態で示している。
【００６７】
上記の各実施形態の説明において示した制御部の回路が作製された素子基体１５２上には、電流が流れる電気信号を受けることで熱を発生し、その熱によって発生する気泡によって吐出口１５３からインクを吐出するための電気熱変換素子１４１が複数列状に配されている。この電気熱変換素子１４１のそれぞれには、各電気熱変換素子１４１を駆動するための電気信号を供給する配線電極１５４が設けられており、配線電極１５４の一端側は前述したスイッチ回路（スイッチＳＷやトランジスタＴｒ）に電気的に接続されている。
【００６８】
電気熱変換体１４１に対向する位置に設けられた吐出口１５３へインクを供給するための流路１５５が、それぞれの吐出口１５３に対応して設けられている。これらの吐出口１５３および流路１５５を構成する壁が溝付き部材１５６に設けられており、これらの溝付き部材１５６を前述の素子基体１５２に接続することで、流路１５５と、複数の流路１５５にインクを供給するための共通液室１５７が設けられている。
【００６９】
図７は、図６に示した吐出ユニットを組み込んだ液体吐出ヘッドの構造を示す斜視図である。
【００７０】
図７に示すように、吐出ユニット１５０は枠体１５８に組み込まれている。吐出ユニット１５０は、上述したように、素子基体１５２上に吐出口１５３や流路１５５を構成する部材１５６が取り付けられて構成されている。吐出ユニット１５０には、プリンタ本体側からの電気信号を受け取るためのコンタクトパッド１５９が設けられたフレキシブルプリント配線基板１６０が接続されており、各種駆動信号となる電気信号がプリンタ本体の制御部からフレキシブルプリント配線基板１６０を介して吐出ユニット１５０に供給される。
【００７１】
図８は、本発明に係る液体吐出ヘッドが適用される液体吐出装置の一実施形態であるインクジェット記録装置ＩＪＲＡの概略構成を示す斜視図である。
【００７２】
駆動モータ９０１１の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア５０１１，５００９を介して回転するリードスクリュー５００５の螺旋溝５００４に係合するピン（不図示）を有するキャリッジＨＣは、リードスクリュー５００５の正逆方向の回転に伴ってガイドシャフト５００３に沿って矢印ａ，ｂ方向に往復移動させられる。キャリッジＨＣには、記録ヘッドＩＪＣと、これにインクを供給するインクタンクＩＴとが搭載される。
【００７３】
紙押え板５００２は、キャリッジＨＣの移動範囲にわたって記録紙Ｐを記録媒体搬送手段であるプラテン（不図示）に対して押圧する。ホームポジション検知手段としてのフォトカプラ５００７，５００８は、キャリッジＨＣのレバー５００６のこの域での存在を確認して、駆動モータ９０１１の回転方向の切換等を行うための信号を発する。記録ヘッドＩＪＣのインク吐出口形成面をキャップするキャップ部材５０２２が、支持部材５０１３によって支持されている。吸引回復の吸引を開始する際には、キャリッジＨＣと係合するカム５０２０の移動に伴ってレバー５０１２が移動し、駆動モータ９０１１からの駆動力がクラッチ切換等の公知の伝達手段によって切換えられて、キャップ部材５０２２が記録ヘッドＩＪＣのインク吐出口形成面に接するように移動制御される。この状態で吸引手段（不図示）によってキャップ部材５０２２の吸引を行うことで、キャップ内開口５０２３を介して記録ヘッドＩＪＣの吸引回復が行われる。
【００７４】
本体支持板５０１８には、クリーニングブレード５０１７を記録ヘッドＩＪＣに近づけたり離したりする方向に移動させることを可能にする移動部材５０１９とが支持されており、その移動部材５０１９にはクリーニングブレード５０１７が設けられている。なお、クリーニングブレード５０１７には、図示した形態のみならず、他の周知の形態のものを本例に適用できることはいうまでもない。
【００７５】
インクジェット記録装置ＩＪＲＡは、キャリッジＨＣがホームポジション側領域に移動してきたときにリードスクリュー５００５に所定の回転動作をさせることで、各々の対応位置でキャッピング動作、クリーニング動作、および吸引回復動作のうちの所望の動作を行うように構成されている。これらの動作を行うタイミングは周知であり、そのような周知のタイミングは本例も適用可能である。上述した各構成は単独でも複合的に見ても優れた構成であり、本発明に係る液体吐出ヘッドが適用されるのに好ましい構成例を示している。
【００７６】
また、本装置ＩＪＲＡは、電源電圧や画像信号や駆動制御信号などを吐出ユニット１５０（図６等参照）に供給するための電気回路を有している。
【００７７】
なお、本発明は上述した各種実施形態に限定されるものではなく、上述した課題を解決できるものであれば、本発明の各構成要件を代替物や均等物に置換できることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの制御部の等価回路図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの制御部の等価回路図である。
【図３】図２に示した構成の液体吐出ヘッドを動作させたときの各点の電圧変化および電流変化を示すグラフである。
【図４】本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの制御部の等価回路図である。
【図５】図４に示した構成の液体吐出ヘッドを動作させたときの各点の電圧変化および電流変化を示すグラフである。
【図６】本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドの吐出ユニットを説明するための図である。
【図７】図６に示した吐出ユニットを組み込んだ液体吐出ヘッドの構造を示す斜視図である。
【図８】本発明に係る液体吐出ヘッドが適用される液体吐出装置の一実施形態であるインクジェット記録装置の概略構成を示す斜視図である。
【図９】従来のインクジェット記録ヘッドの一部を示す断面図である。
【図１０】従来のインクジェット記録ヘッドの発熱抵抗体の温度およびＴａ保護膜の表面温度の変化を示すグラフである。
【図１１】従来の他のインクジェット記録ヘッドの一部を示す断面図である。
【図１２】図１１に示したインクジェット記録ヘッドの制御部の等価回路図である。
【符号の説明】
【００７９】
１０    検出回路
１１    スイッチ制御回路
２０，３０    コンパレータ回路
２１    ＯＲ回路
３１    ＮＡＮＤ回路
３２    インバータ回路
１４１    電気熱変換素子
１５０    吐出ユニット
１５２    素子基体
１５３    吐出口
１５４    配線電極
１５５    流路
１５６    溝付き部材
１５７    共通液室
１５８    枠体
１５９    コンタクトパッド
１６０    フレキシブルプリント配線基板
５００２    紙押え板
５００３    ガイドシャフト
５００４    螺旋溝
５００５    リードスクリュー
５００６，５０１２    レバー
５００７，５００８    フォトカプラ
５００９，５０１１    駆動力伝達ギア
５０１３    支持部材
５０１７    クリーニングブレード
５０１８    本体支持板
５０１９    移動部材
５０２０    カム
５０２２    キャップ部材
５０２３    キャップ内開口
９０１１    駆動モータ
【図１】
2005305966.tif 000003
【図２】
2005305966.tif 000004
【図３】
2005305966.tif 000005
【図４】
2005305966.tif 000006
【図５】
2005305966.tif 000007
【図６】
2005305966.tif 000008
【図７】
2005305966.tif 000009
【図８】
2005305966.tif 000010
【図９】
2005305966.tif 000011
【図１０】
2005305966.tif 000012
【図１１】
2005305966.tif 000013
【図１２】
2005305966.tif 000014