(57)【要約】【課題】顕微鏡観察の効率化及び暗箱内への塵の侵入防止を可能にした顕微鏡台を提供する。【解決手段】この顕微鏡台１においては、ドア１９ａの上方で水平方向に延在してエアーカーテンを作り出すためのエアー吹出口２４をダクト２２に設け、ドア１９ａの閉鎖時における風量よりドアの開放時における風量を多くするようにエアー供給源２７を制御する。そして、観察時にドア１９ａが閉鎖されている場合おいては、エアー吹出口２４から所定温度で且つ所定風量のエアーが暗箱１９内に噴出し続け、暗箱１９内の温度を一定に保ち続ける。これに対し、被測定物の確認や交換のためにドア１９ａが開放された場合でも、暗室１９内の温度を一定に維持する必要があるので、本発明ではエアー吹出口２４からの風量を増大させる。これにより、外気がドア開口部２５から暗箱１９内に流入し難くなり、ドア１９ａの開放時に暗箱１９内にゴミや塵が侵入し難くなる。【選択図】  図６
2005017657.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡を搭載させるための顕微鏡台において、
前記顕微鏡を収容する暗箱と、
前記暗箱に設けられたドア開口部に対して開閉自在なドアと、
前記暗箱の内側に設けられると共に、前記ドア開口部において一方側から他方側へ流れるエアーカーテンを形成するエアー吹出口と、
前記エアー吹出口を端部に有するダクトと、
前記ダクト内にエアーを供給するエアー供給源と、
前記ドアの開閉を検知するドア開閉検知手段と、
前記ドアの閉鎖時における風量より前記ドアの開放時における風量を多くするように前記エアー供給源を制御する制御部とを備えたことを特徴とする顕微鏡台。
【請求項２】
前記エアー供給源は、前記暗箱から離間して配置されることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡台。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡の搭載に利用するための顕微鏡台に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、このような分野の技術として、特開２００２−２０７１７１号公報がある。この公報に記載された顕微鏡台は、防振台とこの防振台上に配置したベースとを備え、ベースには、微少領域を拡大観察するための光学顕微鏡が搭載されている。このような光学顕微鏡は、ＸＹステージによって水平方向に移動させることができ、Ｚステージによって上下方向に移動させることができる。さらに、防振台には、光学顕微鏡を包囲する暗箱が固定され、この暗箱には、顕微鏡の下方に設置された被測定物の交換を可能にするためのドアが設けられている。そして、暗箱内の温度を安定させるために、空調機構を有する。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−２０７１７１号公報
【特許文献２】
実公昭６３−１０９４３号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した従来の顕微鏡台では、被測定物の確認や交換時において、ドアを開ける度に暗箱内のエアーがドア開口部から外部に流出し、暗箱内の温度が急激に変動する虞があった。従って、観察開始のためにドアが閉められた後も、暗箱内の温度が安定するまで長時間要する場合があり、このことが、観察の効率化を低下させる原因になっていた。しかも、ドアの開閉によって暗箱内にゴミや塵が侵入すると、暗箱内で行われている精密観察に悪影響が出る虞があった。
【０００５】
本発明は、特に、顕微鏡観察の効率化及び暗箱内への塵の侵入防止を可能にした顕微鏡台を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る顕微鏡台は、顕微鏡を搭載させるための顕微鏡台において、顕微鏡を収容する暗箱と、暗箱に設けられたドア開口部に対して開閉自在なドアと、暗箱の内側に設けられると共に、ドアの上方で水平方向に延在してドア開口部を塞ぐようなエアーカーテンを形成するエアー吹出口と、エアー吹出口を端部に有するダクトと、ダクト内にエアーを供給するエアー供給源と、ドアの開閉を検知するドア開閉検知手段と、ドアの閉鎖時における風量よりドアの開放時における風量を多くするようにエアー供給源を制御する制御部とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
この顕微鏡台においては、被測定物の確認や交換のためにドアを開閉することができる。ドアをもったこのような暗箱では、ドアを開ける度に暗箱内のエアーがドア開口部から外部に流出若しくは外気が流入することにより、暗箱内の温度を急激に変動させる虞がある。そこで、ドアの上方で水平方向に延在してエアーカーテンを作り出すためのエアー吹出口をダクトに設け、ドアの開放時における風量がドアの閉鎖時における風量より多くするようにエアー供給源を制御して暗箱内部の環境維持を図る。つまり、観察時にドアが閉鎖されている場合においては、エアー吹出口から所定温度で且つ所定風量のエアーが暗箱内に噴出し続け、暗箱内の温度や湿度を一定に保つ空調機能を図る。さらに、被測定物の確認や交換のためにドアが開放された場合でも、暗室内の温度を一定に維持する必要があるので、本発明ではエアー吹出口からの風量を増大させる。これにより、外気がドア開口部から暗箱内に流入し難くなり、暗箱内の温度変化を抑制することができる。その結果として、観察再開のためにドアが閉められた後であっても、暗箱内の温度を短時間で安定させることができる。しかも、エアーカーテンの採用により、ドアの開放時に暗箱内にゴミや塵が侵入し難くなる。
【０００８】
また、エアー供給源は、暗箱から離間して配置されると好適である。このような構成を採用すると、エアー供給源から発生する振動を顕微鏡に伝搬させ難く、顕微鏡を利用した精密測定への影響を少なくすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明に係る顕微鏡台の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００１０】
図１及び図２に示すように、顕微鏡台１は、床面上を移動可能な架台２を有する。この架台２は、床面に着地して顕微鏡台１を下から支える４本の脚部３を有する固定台５と、この固定台５の内方に配置されて上下方向に移動自在な可動台６と、上下方向に延在して固定台５と可動台６とを連結するガイドレール７と備えている。そして、この可動台６の脚部８にはキャスタ９が固定されている。可動台６には、ハンドル１０の回転によって昇降するジャッキ部１１が固定され、このジャッキ部１１は、ハンドル１０の回転に追従するウォームギアの回転によってネジ軸１１ａが昇降するスクリュージャッキである。さらに、固定台５の横枠１２にはジャッキ受け部１２ａが設けられ、このネジ軸１１ａとジャッキ受け部１２ａとはネジ止めされている。ガイドレール７は、顕微鏡等の重量物が載置される固定台５を保持する観点から、ジャッキ部１１側の左右の脚部３だけでなく、対向する脚部３にも設けることが好ましい。ジャッキ部１１側の脚部３と対向する脚部３にガイドレールを設けるには、Ｌ字部材６ｂを介して可動台６と固定台５とが接するようにＬ字部材６ｂを可動台６の所定位置に固定すればよい。後述するが、架台２の固定台５に突張り支柱２０が設けられる場合には、その脚部にはガイドレールを設けないで３つのガイドレールで固定台５を保持する。
【００１１】
例えば、固定台５の脚部３が床面に着地している状態で、ネジ軸１１ａが徐々に上昇するようにハンドル１０を正転させ続けると、可動台６側が降下を開始し、可動台６のキャスタ９が床面に着地する。その後、ハンドル１０を更に回転し続けると、固定台５側が上昇を開始し、固定台５の脚部３が床面から離れ、顕微鏡台１は、キャスタ９によって所定場所（半導体テスタＴＥの設置場所）自由に移動させることができる。
【００１２】
一方、顕微鏡台１を所定の場所まで移動した後、ネジ軸１１ａを徐々に下降させるようにハンドル１０を逆転させると、固定台５側が下降を開始し、固定台５の脚部３が床面に着地する。その後、ハンドル１０を更に回転し続けると、可動台６が上昇を開始し、可動台６側が床面から離れることにより、顕微鏡台１は、固定台５によって床面上にしっかり固定されることになる。
【００１３】
さらに、顕微鏡台１は、図３〜図５に示すように、架台２によって支持される顕微鏡載置部１３を有している。この顕微鏡載置部１３は、微少領域を拡大観察するための顕微鏡Ａのネジ固定が予定されている顕微鏡固定板１５と、顕微鏡固定板１５の下方に配置されたベース板１６とを有し、このベース板１６は、架台２の頂部に固定した天板１７に対面するように配置されている。さらに、床や架台２の振動を顕微鏡Ａに伝えないようにするため、顕微鏡固定板１５とベース板１６との間に４本の防振部１８が配置され、各防振部１８はベース板１６に立設させるように固定され、顕微鏡固定板１５は防振部１８の頂部に置かれるようにして保持される。このような防振部１８の採用によって、顕微鏡Ａによるサンプル観察時に架台２側から伝搬される振動を防振部１８で吸収することができ、振動を顕微鏡Ａへ伝え難くして、顕微鏡Ａによる精密測定の影響が少なくなる。このような防振部１８としては、空気バネを含むものや、防振ゴム等を使用することができる。
【００１４】
さらに、顕微鏡台１は、図１に示すように、対物レンズＡ１をもった顕微鏡Ａを包囲するための暗箱１９を有している。この暗箱１９はベース板１６に固定されている。暗箱１９内部の温度を常に一定に保つために、この暗箱１９内には外部からエアーが循環供給される。なお、暗箱１９内のサンプルの交換を可能にするため、暗箱１９には、横開きのドア１９ａが開閉自在に取付けられている。
【００１５】
また、二点鎖線で示す半導体テスタＴＥのヘッド部Ｈ上に検査のために固定された検査対象物（半導体サンプル）は、顕微鏡観察を可能にするために顕微鏡Ａの真下に配置される必要があるので、顕微鏡台１には、ヘッドＨを挿入させ得る構造が採用されている。例えば、架台２の固定台５には上下方向に伸縮自在な突張り支柱２０が設けられ、この突張り支柱２０は、ヘッドＨの側面に設けられたケーブル接続端子Ｋへの衝突を回避させるために、顕微鏡台１を移動する際に固定台５から外される。
【００１６】
ここで、図６及び図７に示すように、暗箱１９には、外気温の影響を受け難くするために断熱材が封入されていると共に、暗箱１９に設けられた矩形のドア開口部２５に対して開閉自在な横スライド式のドア１９ａが取り付けられている。更に、暗箱１９の内壁面における天井面にはダクト２２が固定され、ダクト２２の一端は、暗箱１９に設けられたエアー導入部２３に接続され、ダクト２２の他端は、暗箱１９の内側においてエアー吹出口２４として形成されている。このエアー吹出口２４は、ドア１９ａの上方で下方に向けて開放されていると共に、ドア１９ａの全幅にわたって水平方向に細長く延在する。これにより、矩形のドア開口部２５を塞ぐようなエアーカーテンを作り出すことができる。なお、暗箱内部、ダクト２２およびエアー吹出口２４は、光を反射しないようにその表面は黒色であることが好ましい。
【００１７】
また、暗箱１９内でのエアーの循環を可能にするために、暗箱１９の側壁には、エアー排出部２６が設けられている。そして、モータＭやエアーポンプＢを内蔵したエアー供給源２７が暗箱１９から離間した場所に設置され、エアー供給源２７の排気口２７ａは、フレキシブル管２８を介して暗箱１９のエアー導入部２３に接続され、エアー供給源２７の吸気口２７ｂは、フレキシブル管２９を介して暗箱１９のエアー排出部２６に接続されている。このように、フレキシブル管２８，２９を介して暗箱１９とエアー供給源２７とを離間させているので、エアー供給源２７から発生する振動を暗箱１９、さらには顕微鏡Ａに伝搬させ難く、顕微鏡Ａを利用した高解像度での観察への影響を少なくすることができる。
【００１８】
さらに、顕微鏡観察の効率化及び暗箱１９内への塵の侵入防止を可能にするため、ドア１９ａの閉鎖時における風量よりドア１９ａの開放時における風量を多くする必要がある。そこで、エアー供給源２７はモータＭの回転数を変化させる制御部３０を備え、この制御部３０によって、エアーポンプＢの吐出量を変化させ、それに伴って、エアー吹出口２４から噴出する風量を変化させる。更に、この制御部３０は、ドア１９ａの開閉を検知するドア開閉検知手段３１に電気的に接続されている。従って、ドア開閉検知手段３１によってドア１９ａの開放状態が検知されると、制御部３０からの信号によりモータＭの回転数を上昇させて、エアー吹出口２４からの風量を増加させる。これに対し、ドア開閉検知手段３１によってドア１９ａの閉鎖状態が検知されると、制御部３０からの信号によりモータＭの回転数を低下させて、エアー吹出口２４からの風量を減少させる（図８参照）。なお、ドア開閉検知手段３１としては、単純なオン・オフスイッチや近接スイッチなどがある。
【００１９】
例えば、半導体サンプルの顕微鏡観察時にドア１９ａが閉鎖されている場合おいては、暗箱１９内の温度を２３〜２４°Ｃに保っておく必要があり、一定した温度で且つ一定した風量のエアーが暗箱１９内で流動し続ける。これに対し、半導体サンプルの確認や交換のためにドア１９ａが開放された場合、暗室１９内の温度を２３〜２４°Ｃ付近に維持することが必要になる。そこで、エアー吹出口２４からの風量を増大させてエアーカーテンを作り出し、暗箱１９内のエアーがドア１９ａの開口部２５から外部に流出し難くなり、外気も暗箱１９内へ流入し難くなる。その結果として、暗箱１９内の温度変化に起因する顕微鏡や試料台の温度ドリフトを抑制することができ、観察再開のためにドア１９ａが閉められた後であっても、暗箱１９内の温度を短時間で安定させることができる。しかも、エアーカーテンの採用により、ドア１９ａの開放時に暗箱１９内にゴミや塵が侵入し難くなる。このように、ドア１９ａの開放時には、外気の侵入を防ぎ、塵や埃の侵入を防ぐ内部環境維持が図られ、ドア１９ａの閉鎖時には、空気清浄、温度・湿度の制御といった空調機能が果たされるのである。
【００２０】
本発明に係る顕微鏡台は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、昇降用ジャッキ部１１はハンドル１０を備えた手動式のものであったが、電動式であってもよい。また上記実施形態では、ドア１９ａは横スライド式であったが、縦スライド式でもよく、あるいは中央から左右両側に対称に開くようにしたもの（観音開き）でもよい。さらに上記実施形態では、顕微鏡台１は正立型であったが、検査対象物の下方に顕微鏡を配置して下側から観察を行う倒立型等、種々のタイプの顕微鏡台を適用することもできる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明による顕微鏡台は、以上のように構成されているため、次のような効果を得る。すなわち、顕微鏡を搭載させるための顕微鏡台において、顕微鏡を収容する暗箱と、暗箱に設けられたドア開口部に対して開閉自在なドアと、暗箱の内側に設けられると共に、ドアの上方で水平方向に延在してドア開口部を塞ぐようなエアーカーテンを形成するエアー吹出口と、エアー吹出口を端部に有するダクトと、ダクト内にエアーを供給するエアー供給源と、ドアの開閉を検知するドア開閉検知手段と、ドアの閉鎖時における風量よりドアの開放時における風量を多くするようにエアー供給源を制御する制御部とを備えたことにより、顕微鏡観察の効率化及び暗箱内への塵の侵入防止を可能にする。更に暗箱内部の温度・湿度を保つといった空調だけでなく、暗箱内部のクリーン度を維持することができる。また、ドア開口部に形成されるエアカーテンによって、ドアの開放時にも暗箱内部の温度・湿度の維持、クリーン度が維持されるので、省エネを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る顕微鏡台の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る顕微鏡台が半導体テスタに対して組み付けられた状態を示す斜視図である。
【図３】顕微鏡台に光学顕微鏡を組み付けた状態を示す斜視図である。
【図４】図３の正面図である。
【図５】図３の側面図である。
【図６】本発明に係る顕微鏡台に適用する暗箱を示す斜視図である。
【図７】ドアの開放状態を示す暗箱の断面図である。
【図８】ドアの閉鎖状態を示す暗箱の断面図である。
【符号の説明】
１…顕微鏡台、１９…暗箱、１９ａ…ドア、２２…ダクト、２４…エアー吹出口、２５…ドア開口部、２７…エアー供給源、３０…制御部、３１…ドア開閉検知手段、Ａ…顕微鏡。
【図１】
2005017657.tif 000003
【図２】
2005017657.tif 000004
【図３】
2005017657.tif 000005
【図４】
2005017657.tif 000006
【図５】
2005017657.tif 000007
【図６】
2005017657.tif 000008
【図７】
2005017657.tif 000009
【図８】
2005017657.tif 000010