(57)【要約】【課題】簡単な構成で、実際に供給される樹脂量を正確に計量し、かつ供給のサイクルタイムを短縮することのできる樹脂供給装置を得る。【解決手段】キャビティＣ内に成形すべき樹脂を供給するための樹脂供給装置１００において、樹脂の供給量を調整する機能、及び樹脂を直接前記キャビティ内に搬送・供給する機能の双方の機能を有する樹脂供給量制御手段１１０と、前記樹脂供給量制御手段１１０をそのまま載置可能で、前記キャビティＣに供給される樹脂量を、前記樹脂供給量制御手段ごと計量可能な電子天秤（計量器）１１２と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャビティ内に成形すべき樹脂を供給するための樹脂供給装置において、
樹脂の供給量を調整する機能、及び樹脂を直接前記キャビティ内に搬送・供給する機能の双方の機能を有する樹脂供給量制御手段と、
前記樹脂供給量制御手段をそのまま載置可能で、前記キャビティに供給される樹脂量を、前記樹脂供給量制御手段ごと計量可能な計量器と、
を備えたことを特徴とする樹脂供給装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記樹脂供給量制御手段が、振動発生手段を少なくとも一個備えている樹脂供給装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記振動発生手段の少なくとも一個に、発生された振動を増幅する錘が付設されている樹脂供給装置。
【請求項４】
請求項２または３において、
前記振動発生手段の少なくとも１個に、振動によって樹脂の目詰まりを防止又は解消する振動体が付設されている樹脂供給装置。
【請求項５】
請求項１において、
前記樹脂供給量制御手段が、スクリュウコンベヤを備えている樹脂供給装置。
【請求項６】
請求項１において、
前記樹脂供給量制御手段が、ベルトコンベアを備えている樹脂供給装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかにおいて、
前記樹脂供給量制御手段に演算手段が付設され、
該演算手段が、樹脂の供給量がその最終目標値に対して少なくとも１つ以上設定された手前目標値に達したと推定された時点で、前記計量器での計量値に基づいて現在までの供給量を演算し、該供給量と次の手前目標値との差分に基づいて、次の手前目標値までの供給態様を設定する樹脂供給装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記差分に基づいて、次の手前目標値までの供給時間を算出し、算出された時間だけ次の手前目標値に対する供給を継続する樹脂供給装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかにおいて、
前記樹脂供給量制御手段が２種類以上の供給速度を設定可能とされ、１回の樹脂供給の間に供給速度が変更可能とされた樹脂供給装置。
【請求項１０】
請求項１〜６、及び９のいずれかにおいて、
前記樹脂供給量制御手段が、その樹脂排出部の先端にゲートを備え、
前記計量器を介して該ゲートから排出された前記樹脂供給量をリアルタイムで計量し、
該リアルタイムで計量された供給量が最終目標値又はその直前に到達した時点で、前記ゲートを閉じる樹脂供給装置。
【請求項１１】
キャビティ内に成形すべき樹脂を供給するための樹脂供給方法において、
樹脂の供給量を調整・排出可能な樹脂供給量制御手段によって前記キャビティに樹脂を直接供給する手順と、
該供給される樹脂の量を、計量器によって前記樹脂供給量制御手段ごと計量する手順と、
該計量器での計量値を前記樹脂供給量制御手段での供給量調整に反映させる手順と、
を含む樹脂供給装置の樹脂供給量制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂封止装置等のキャビティに適量の樹脂を供給する際に適用するのに好適な樹脂供給装置、及び樹脂供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、図５（ａ）に示されるように、金型のキャビティ１４内にあらかじめ所定量のタブレット３６を投入して半導体搭載基板３４を上部金型３１と枠状金型３２との間にセットし、その後、図５（ｂ）に示すように、上部金型３１と枠状金型３２によって基板３４を挟み込み、図示せぬヒーターにより加熱した圧縮金型３３を上昇させることによってタブレット３６を加熱溶融させる樹脂封止装置３０が知られている。 
【０００３】
しかし樹脂封止装置３０において、このようにキャビティ１４内にタブレット単位で樹脂を供給する場合には、樹脂量の微調整ができない。そのため、封止される被成形品の数や大きさが封止単位ごとに変化する場合に適切な樹脂量を供給することができない。
【０００４】
そこで、例えば特許文献１において、より小さな粒子に分割された樹脂を、１回の成形に必要な量となるように計量し、計量した樹脂をキャビティー内に供給するようにした構成が開示されている。
【０００５】
図６を参照してこの構成を簡単に説明する。
【０００６】
この樹脂供給装置２０は、樹脂として粒状のもの（顆粒、造粒、粉状、タブレット打錠後破砕したもの等）を供給するもので、電子天秤１１、粒状樹脂投入部２１、ホッパ２２、計量シャッタ２３、カップ搬送機構２５及び制御装置１２を主に備える。 計量シャッタ２３には、成形に必要な樹脂量より僅かに少ない量の容積を持つ貫通穴２３ａと、微小容積を持つ貫通穴２３ｂが形成されている。
【０００７】
この樹脂供給装置２０では、カップ搬送機構２５によって、カップ２４をホッパ２２の下部に搬送して図７（ａ）の状態とした後、計量シャッタ２３を移動させてホッパ２２の開口に貫通穴２３ａを合わせる。すると、図７（ｂ）に示すように、ホッパ２２内の粒状樹脂が、貫通穴２３ａ内に、その容積に応じた量（一回の成形に必要な樹脂量より僅かに少ない量）だけ落下する。さらに計量シャッタ２３を移動させると、図７（ｃ）に示すように、貫通穴２３ａ内部の粒状樹脂がカップ２４内に落下する。 
【０００８】
次に、カップ搬送機構２５によってカップ２４を電子天秤１１まで搬送してカップ内部の粒状樹脂の重量を計量し、その結果が制御装置１２に入力される。制御装置１２においては、差分に応じて不足分を充足するための計量シャッタ２３の開閉回数を算出する。 
【０００９】
カップ２４を再びホッパ２２の下部に搬送し、計量シャッタ２３を移動させて、図７（ｄ）に示すように、ホッパ２２の穴に貫通穴２３ｂを合わせ、さらに計量シャッタ２３を移動させると、貫通穴２３ｂ内部の粒状樹脂がカップ２４内に落下する。計量シャッタ２３は、算出された供給回数だけ、上記の動作を繰り返して行う。その後、カップ２４を再び電子天秤１１へ搬送して樹脂重量を計量し、不足ならば図７（ｃ）以降を繰り返す。
【００１０】
重量が許容範囲に収まると、カップ２４は投入容器２１ｃ上に移動され、そこで傾斜、反転される。粒状樹脂の投入された投入容器２１ｃはキャビティ１４上に移動され、開閉シャッタ２１ｄを開いてキャビティ１４内に樹脂を供給する。
【００１１】
【特許文献１】特開２００３−２３１１４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、このように、計量した樹脂を計量カップを介してキャビティ内に供給する装置にあっては、電子天秤上の計量皿に微粉が付着して残存する場合があり、また、投入容器からキャビティ内に樹脂を移し替える際にも該投入容器に樹脂が残存することもあり、計量自体は正確に行われても実際に供給される供給量は必ずしも正確でないという問題があった。
【００１３】
さらに、計量のために何度かカップをホッパと電子天秤との間で往復させなければならず、計量に時間が掛かっていた。また、該往復のための機構や、カップから投入容器へ、、さらには投入容器からキャビティ内に樹脂を移し替えるための機構も必要であり、装置全体が複雑になっていた。
【００１４】
本発明は、このような従来の問題を解消するためになされたものであって、簡単な構成で、実際に供給される樹脂量を正確に計量し、かつ計量と同時あるいはほぼ同時に供給も完了させることにより、供給のサイクルタイムを短縮することのできる樹脂供給装置、及び樹脂供給方法を提供することその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、キャビティ内に成形すべき樹脂を供給するための樹脂供給装置において、樹脂の供給量を調整する機能、及び樹脂を直接前記キャビティ内に搬送・供給する機能の双方の機能を有する樹脂供給量制御手段と、前記樹脂供給量制御手段をそのまま載置可能で、前記キャビティに供給される樹脂量を、前記樹脂供給量制御手段ごと計量可能な計量器と、を備えたことにより、上記課題を解決したものである。
【００１６】
本発明では、樹脂の供給量を調整する機能と樹脂をキャビティにまで「直接」搬送する機能を兼ね備えた樹脂供給量制御手段を備え、該樹脂供給量制御手段をそっくり電子天秤等の計量器に載置するようにしている。この結果、樹脂をキャビティ内に供給したことによって生じる計量値の差は必ずキャビティ内への樹脂の実際の供給量と一致するようになる。
【００１７】
従って、計量値と供給量とに差が生じてしまう恐れがない。また、カップへの樹脂の投入、計量、再投入、計量、とを繰り返すたびに計量カップを搬送する必要がなく、計量のサイクルタイムを短縮することができ、さらには、供給装置全体の構成も簡略化できる。
【００１８】
本発明には、さまざまな実施形態、あるいはバリエーションが存在する。これらについては、以下に詳述する。
【発明の効果】
【００１９】
簡単な構成で、実際に供給される樹脂量を正確に計量し、かつ計量と同時あるいはほぼ同時に供給も完了させることができ、供給のサイクルタイムを短縮することのできる樹脂供給装置及び樹脂供給方法を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下図面に基づいて、本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。
【００２１】
図１は、本発明の実施形態の一例に係る樹脂供給装置１００を示す概略斜視図である。
【００２２】
この樹脂供給装置１００は、樹脂供給量制御手段１１０を電子天秤（計量器）１１２上に直接載置したものである。
【００２３】
樹脂供給量制御手段１１０は、樹脂の供給量を調整する機能と樹脂を直接キャビティＣ内に搬送・供給する機能の双方の機能を有する。この樹脂供給量制御手段１１０は、漏斗１１４、樹脂溜まり１１６、供給ノズル１１８、及び平形ノズル１２０を備える。
【００２４】
漏斗１１４は、ほぼ錐形形状とされ、所定量の樹脂を保持可能である。樹脂溜まり１１６は、箱形状とされ、漏斗１１４の下部に配置されている。樹脂溜まり１１６は、漏斗１１４から落下してくる樹脂を受け止め、供給ノズル１１８側に送り出す機能を有する。供給ノズル１１８は、樹脂溜まり１１６の側面１１６Ａに接続され、樹脂溜まり１１６側から送られてきた樹脂を、平形ノズル１２０にまで搬送する。供給ノズル１１８は、樹脂溜まり１１６側の樹脂を円滑に平形ノズル１２０にまで搬送できるように、その平形ノズル１２０側が樹脂溜まり１１６側より下方に約１５度傾斜した状態で設置されている。なお、この１５度という傾斜は、樹脂の粒状態などに応じて適宜に変更可能である。平形ノズル１２０は、樹脂の落下を防止するための立壁１２０Ａを備えた平板状のトレイであり、樹脂を広範囲に均等に拡散させた状態でキャビティＣ内に供給するためのものである。この平形ノズル１２０も、樹脂の粒状態、あるいは供給先のキャビティＣの形状等に応じてさまざまな形状に交換可能である。キャビティＣの形状によっては、省略も可能である。
【００２５】
樹脂供給量制御手段１１０は、支柱１２２を備える。支柱１２２は、漏斗１１４、樹脂溜まり１１６、供給ノズル１１８、及び平形ノズル１２０を支持している。支柱１２２には、振動子（振動発生手段）１２４が取り付けられている。振動子１２４は、樹脂溜まり１１６を介して漏斗１１４、供給ノズル１１８、及び平形ノズル１２０の全体に振動を発生させることが可能である。樹脂溜まり１１６の反供給ノズル側には、錘１２６が取り付けられている。錘１２６は、樹脂溜まり１１６等と共振して該樹脂溜まり１１６の後部を連打することにより、振動子１２４によって発生された振動を増幅可能である。
【００２６】
漏斗１１４の中央には、樹脂溜まり１１６の中心部に至る振動棒（振動体）１２８が振動子１２４の振動によって振動（或いは揺動）自在に取り付けられている。
【００２７】
支柱に１２２は台座１３０及び防振材１３２を介して電子天秤１１２上に載置されている。電子天秤１１２は、供給されるべき樹脂の重量を樹脂供給量制御手段１１０の重量ごと計量可能である。
【００２８】
この樹脂供給量制御手段１１０には演算装置１３６が付設されている。演算装置１３６は、電子天秤１１２の計量結果を受け取り、所定の演算を行った結果に基づいて振動子１２４に所定の時間だけ振動させるための指令を発信する。振動子１２４の振動により、漏斗１１４、樹脂溜まり１１６、供給ノズル１１８、及び平形ノズル１２０の全体が振動し、それぞれの位置に存在する樹脂が振動された時間に応じた量だけ移動し、キャビティＣ内に落下・供給される搬送構成とされている。
【００２９】
次に、図２に示すフローチャートに従い、上記実施形態の一例に係る樹脂供給装置１００の作用を説明する。
【００３０】
まず、ステップ１５０において、ｍが２に設定される。これについては後述する。次いで、ステップ１５２において、漏斗１１４にキャビティＣに供給すべき供給量の最終目標値Ａｅよりもを若干多めの樹脂を投入し、電子天秤１１２が安定信号を発したときの電子天秤１１２上の重量Ｗ１を計量する。この重量Ｗ１は、漏斗１１４内に投入された樹脂のほか、樹脂供給量制御手段１１０を構成する一切の部材の重量及び防振材の重量の合計値に相当する。重量Ｗ１は初期値として演算装置１３６に記録される。
【００３１】
次に、ステップ１５４に進んで、演算装置１３６の指令により、振動子１２４に対して振動指令が発信される。これにより、漏斗１１４、樹脂溜まり１１６、供給ノズル１１８、及び平形ノズル１２０の全体が振動し、それぞれの位置に存在する樹脂が振動された時間に応じた量だけ移動する。この移動に伴い、平形ノズル１２０からキャビティＣ内に樹脂が所定量だけ供給される。
【００３２】
振動子１２４の振動によって漏斗１１４内の樹脂が順次平形ノズル１２０を介してキャビティＣ内に供給されると、供給された樹脂量に相当する分電子天秤１１２の計量値（現在値）Ｗｐが減少してゆく。ステップ１５６では、この減少状態を、演算装置１３６によって連続的にモニタし、初期値Ｗ１から現在値Ｗｐを差し引くことによって供給量Ｆｐを算出する。この際、振動により電子天秤１１２の現在値Ｗｐが振れて正確な現在値Ｗｐを検知できない場合があることを考慮して、事前に振れ量を計測しておき、演算装置１３６で補正したもの現在値Ｗｐとして使用する。
【００３３】
ステップ１５８では、こうして求められた供給量が第１の手前目標値Ａ１よりも大きくなったか否かが判断される。第１の手前目標値Ａ１とは、供給量Ｆｐのばらつきと、振動で触れる電子天秤１１２の現在値Ｗｐのばらつきを考慮し、１度目の供給で最終目標値Ａｅを超えてしまわないように設定した手前目標値のことである。
【００３４】
供給量Ｆｐが第１の手前目標値Ａ１よりも少ないと判断されている間はステップ１５６に戻って計量を継続し、供給量Ｆｐが第１の手前目標値Ａ１以上となったと判断された段階でステップ１６０に進み、振動子１２４の振動が停止される。
【００３５】
その後、ステップ１６２において、振動が収束し、電子天秤１１２から安定信号が発生されるのを待つ。ステップ１６２で電子天秤１１２の安定信号が得られたら、ステップ１６４に進み、演算装置１３６は、改めて現在値Ｗｐを読み込むことによって現時点での正確な供給量Ｆｐを算出し、最終目標値Ａｅから現在の供給量Ｆｐを差し引いて未達量（未だ供給不足の樹脂量）Ｕｐを算出する。
【００３６】
ステップ１６６では、未達量Ｕｐがあらかじめ設定しておいた最終目標値Ａｅの誤差範囲に収まっているか否かを判断する。もし収まっていると判断されたときには、ステップ１６８に進んで供給を完了する。
【００３７】
一方、未だ誤差範囲にまで至っていないと判断されたときには、未達量Ｕｐから第ｍ番目の手前目標値Ａｍとの差分Ｄｍを追加料として算出し、該差分Ｄｍをあらかじめ実測しておいた振動時の供給速度Ｖで割ることにより振動時間Ｂｍを算出する。ここで、ステップ１５０において、当初ｍは２に設定されているため、具体的には、ここで第２番目の手前目標値Ａ２との差分Ｄ２が演算され、この差分Ｄ２に基づいて第２番目の手前目標値Ａ２に到達するための振動時間Ｂ２が設定されることになる。
【００３８】
なお、設定後、ｍは１だけインクリメントされる。ステップ１７２では、この演算された振動時間Ｂ２だけ振動子１２４が再びオン状態とされ、樹脂の追加供給が再開される。その後、ステップ１６２に戻って、同様の作業が繰り返される。ただし、ｍは、前回のステップ１７０の実行時において１だけインクリメントされているため、今回のステップ１７０においては、第３番目の手前目標値Ａ３との差分Ｄ３が演算され、この差分Ｄ３に基づいて第３番目の手前目標値Ａ３に到達するための振動時間Ｂ３が設定されることになる。この第３番目の手前目標値Ａ３は、第２番目の手前目標値Ａ２よりも所定量だけ最終目標値Ａｅに近くに設定した値である。
【００３９】
こうして、ステップ１６２〜１７２の操作を繰り返すと、やがてステップ１６６において未達量Ｕｐが誤差範囲以内に収まったと判断されるようになるため、この段階でステップ１６８に進み、供給を完全に終了する。
【００４０】
この実施形態によれば、未達量Ｕｐが最終の誤差範囲内にの収まるまで計量と追加供給が繰り返されるため、最終的に必ず供給量Ｆｐが最終目標値Ａｅの誤差範囲内に収まるように供給することができる。樹脂の供給量Ｆｐは、当初の初期値Ｗ１と現在値Ｗｐとの差によって求められており、この差は、それまでにキャビティＣ内に投入された全量に相当しているため、樹脂供給量制御手段１１０の如何なる箇所に如何なる態様で如何なる量の樹脂が残存していたとしても、計量・演算された供給量Ｆｐと実際の供給量は（電子天秤１１２の計量誤差の範囲で）必ず一致している。
【００４１】
また、計量操作と供給操作とが一体化されているため、計量のたびにカップを搬送したりする必要がなく、構造も簡単である。
【００４２】
さらには、最終的には、誤差範囲に収まる直前の値と次の手前目標値Ａｍとの差分Ｄｍを解消するための振動を発生させるだけとなるため、例えば、電子天秤１１２の温度ドリフトの影響なども、共通に受けている状態で計量作業を行うことができるため、極めて信頼性の高い計量(差分計算)を行うことができる。
【００４３】
また、この実施形態では、樹脂供給量制御手段１１０が、振動子（振動発生手段）１２４を備えているため、搬送系の構造が簡単であり、一層の低コスト化が実現できる。また、該振動子１２４によって発生された振動を増幅する錘１２６を付設するようにしたため、振動子１２４自体によって発生する振動が小さくても、これを効率的に増幅することができる。さらには、この振動子１２４による振動を利用して、樹脂の目詰まりを防止または解消する振動棒（振動体）１２８を漏斗１１４内に設置するようにしたため、目詰まり無く円滑に樹脂を搬送することができる。
【００４４】
また、この実施形態においては、演算装置１３６が、樹脂の供給量がその最終目標値Ａｅに対して２以上設定された手前目標値Ａ１、Ａ２、…  Ａｍに達したと推定された時点で、電子天秤（計量器）１１２での現在値Ｗｐに基づいて現在までの供給量Ｆｐを演算し、該供給量Ｆｐと次の手前目標値Ａ２、Ａ３、…Ａｍとの差分Ｄｍに基づいて、当該次の手前目標値Ａ２、Ａ３、…Ａｍまでの供給態様を設定し直すようにしているため、常に最新の情報に基づいて、最終的な誤差が最も少なくなる供給態様（この場合は振動時間、即ち供給時間）が設定されることになる。そのため、最終的な供給量を確実に最終目標値Ａｅの誤差範囲内に収めることができる。
【００４５】
なお、演算装置１３６は、この実施形態のように樹脂供給量制御手段１１０と別体で付設されていてもよく、又、一体で付設されていてもよい。別体で付設されているときには、電子天秤１１２に載置する樹脂供給量制御手段１１０の重量をそれだけ軽減することができるため、電子天秤１１２の負担を軽くできると共に、計量値自体の信頼性もそれだけ高めることができる。これに対し、演算装置１３６を樹脂供給量制御手段１１０と一体で付設した場合には、ワイヤハーネス等が不要となるため、取り扱いがそれだけ容易となる。
【００４６】
本発明は、さまざまなバリエーションを有する。
【００４７】
図３は、樹脂供給量制御手段の他の例を示す。この樹脂供給量制御手段２１０は、樹脂を振動と傾斜によって搬送するのではなく、スクリュウコンベヤ２７０によって搬送するようにしている。すなわち、漏斗２１４からスクリュウコンベヤ２７０の始端部２７０Ａに落下した樹脂は、駆動部２７２によって回転駆動されるスクリュウコンベヤ２７０によって搬送され、キャビティＣ内に落下する。演算装置２３６からは、（振動子１２４の振動時間の代わりに）スクリュウコンベヤ２７０の駆動時間が演算される。
【００４８】
その他の構成は、先の実施形態と同様であるため、図３中において図１と対応する部分に下２けたが共通の符号を付すにとどめ、重複説明を省略する。この実施形態においては、樹脂がスクリュウコンベヤ２７０によって搬送されるため、駆動時間と供給量との相関が強く、一層確実に所定量の樹脂を供給することができる。また、最終目標値に近づいた段階で、予定よりも多量の樹脂が供給されてしまう恐れも極めて少ない。さらには、樹脂供給量制御手段２１０において発生する振動も小さいため、電子天秤２１２が安定するまでの時間を短縮することができ、また計量値自体も安定した値が得られ易い。
【００４９】
図４には、さらに他の構成例に係る樹脂供給量制御手段３１０が示されている。この樹脂供給量制御手段３１０は、ベルトコンベア３７０によって樹脂を搬送するようにしている。すなわち、この実施形態では、ベルトコンベア３７０の駆動によって漏斗３１４の直下の樹脂が運ばれることによって漏斗３１４の開口部３１４Ａとベルトコンベア３７０のベルト３７０Ａとの間に空間が生じ、この空間に漏斗３１４内の樹脂が落下する態様で樹脂が連続的に搬送される。その他の構成については、先のスクリュウコンベヤ２７０を備えた例とほぼ同様である。従って、この例においても、同一または類似する部分に下２けたが同一の符号付すにとどめ、重複説明は省略する。この構成例においても、先のスクリュウコンベヤに２７０を備えた例とほぼ同様の効果が得られる。
【００５０】
このように、本発明においては、樹脂供給量制御手段から樹脂がキャビティ内に直接供給されているため、計量器によって「重量差」として検出される値は、必ず実際にキャビティ内に供給されている樹脂量に一致する。したがって本発明においては、樹脂供給量制御手段の具体的な構成については、特に限定されない。要は、樹脂の供給量を調整・排出可能な樹脂供給量制御手段によって前記キャビティに樹脂を直接供給し、該供給される樹脂の量を、計量器によって前記樹脂供給量制御手段ごと計量し、該計量器での計量値を前記樹脂供給量制御手段での供給量調整に反映させるものであるならば、正確に演算された供給量だけ確実にキャビティ内に樹脂を供給することができる。
【００５１】
なお、上記実施形態においては、樹脂供給量制御手段が樹脂を供給している間は、振動により得られる計量値が必ずしも正確でないことに鑑み、正確な計量を行うに当たってその都度供給を停止するようにしていたが、この計量のための供給の停止は、本発明にとって必ずしも必須のものではなく、樹脂の供給中においてもリアルタイムで正確な計量値が得られる場合には、供給は停止する必要はない。
【００５２】
すなわち、極めて振動の小さな搬送系を用い、且つ有効な防振機構を介して樹脂供給量制御手段を計量器上に載置した場合には、例えば、樹脂供給量制御手段の樹脂排出部の先端にゲートを設け、計量器を介して該ゲートから排出された樹脂供給量をリアルタイムで計量し、該リアルタイムでの計量値が最終目標値の誤差範囲内に到達した時点（又は応答速度を考慮してその直前）で、該ゲートを閉じるような構成としてもよい。
【００５３】
なお、上記実施形態においては、何れも供給速度は基本的に一定であり、供給量を振動時間、或いは駆動時間によって制御するようにしていた。しかしながら、例えば所定の手前目標値を境に供給態様を変える場合、この変える対象の「供給態様」には、供給速度の概念も含まれる。すなわち、ある特定の手前目標値までは、速めの供給速度で樹脂を搬送・供給し、（最終目標値に近づくにつれ）より遅めの供給速度で樹脂を搬送・供給するようにしてもよい。上記実施形態の例で言うならば、供給速度は振動子の振幅調整、スクリュウコンベヤの回転速度、またはベルトコンベアの搬送速度を変えることによって制御することができる。あるいは、樹脂の搬送経路を２系統以上有し、適宜に選択して（あるいは組み合わせて）使用するようにしても、供給速度を変えることができる。
【００５４】
このように、樹脂供給量制御手段が２種類以上の供給速度を設定可能とされ、１回の樹脂供給の間に供給速度が変更可能とされていた場合には、供給時間の短縮と供給量の高精度化を両立させることができる。
【００５５】
また、上記実施形態においては、被供給樹脂として、粒粒の樹脂が用いられていたが、キャビティの大きさによってはタブレット状、またはタブレット打錠前のものでも良く、また実質的に液状のものでも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、樹脂供給装置のキャビティ内に樹脂供給する分野において適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の第１の実施形態が適用された樹脂供給装置を示す斜視図
【図２】図２の実施形態における処理手順を示すフローチャート
【図３】本発明の第２の実施形態が適用された樹脂供給装置を示す斜視図
【図４】本発明の第３の実施形態が適用された樹脂供給装置を示す斜視図
【図５】従来の樹脂封止装置の例を示す斜視図
【図６】図５の従来例において採用されている樹脂供給装置の構成例を示す斜視図
【図７】図５の従来例における計量シャッタによる粉状樹脂の投入手順を示す説明図であり、（ａ）は待機時、（ｂ）はホッパからの初期樹脂排出時、（ｃ）はカップへの初期樹脂投入時、（ｄ）はホッパからの追加樹脂排出時を示す。
【符号の説明】
【００５８】
１００…樹脂供給装置
１１０…樹脂供給量制御手段
１１２…電子天秤（計量器）
１１４…漏斗
１１６…樹脂溜まり
１１８…供給ノズル
１２０…平形ノズル
１２２…支柱
１２４…振動子（振動発生手段）
１２８…振動棒（振動体）
１３０…台座
１３２…防振材
Ｃ…キャビティ
【図１】
2005335117.tif 000003
【図２】
2005335117.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005335117.tif 000006
【図５】
2005335117.tif 000007
【図６】
2005335117.tif 000008
【図７】
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