(57)【要約】【課題】  超音波振動子に対して同位相或いは逆位相の電圧をかけた場合に横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生してしまい、超音波モータが不安定な駆動をしてしまう問題を解決する。【解決手段】  圧電素子を備えたランジュバン型の２個の超音波振動子と、前記２個の超音波振動子を所定の角度で保持する保持部材と、略Ｖ字型の形状を有し、その頂点部で前記被駆動体と接し、その端部で前記２個の超音波振動子と接続された接触部材と、を具備する超音波モータにおいて、前記超音波振動子はハウジング部材と、前記圧電素子をボルト締めするボルト部材によって構成され、前記ハウジング部材にボルト部材を螺合する際のハウジング部材の頭部の形状が前記頭部の中心軸に対して面対称にする。【選択図】  図７
2005287111.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を備えたランジュバン型の２個の超音波振動子と、
前記２個の超音波振動子を所定の角度で保持する保持部材と、
略Ｖ字型の形状を有し、その頂点部で前記被駆動体と接し、その端部で前記２個の超音波振動子と接続された接触部材と、を具備する超音波モータにおいて、
前記超音波振動子はハウジング部材と、前記圧電素子をボルト締めするボルト部材によって構成され、前記ハウジング部材にボルト部材を螺合する際のハウジング部材の頭部の形状が前記頭部の中心軸に対して面対称であることを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記ハウジング部材の頭部の形状がｎ角柱であることを特徴とする請求項１記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記ハウジング部材の頭部の形状が丸柱であることを特徴とする請求項１記載の超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は超音波モータに関し、より詳しくは、超音波モータを駆動することによってＸ−Ｙステージ等の被駆動体を高速で移動させ、高精度に位置決めさせる位置決め装置等の電子機器に使用される超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、二つの超音波振動子を組み込んだ駆動子を複数設けることによって可動子としてのロータを回転させる超音波モータがある。駆動子の固有振動モードとしては、横振動モードと縦振動モードとがある。この二つの振動モードの共振周波数を一致させることによって、二つの振動モードは縮退する。よって、このような縮退を生じる共振周波数で、各超音波振動子に異なる位相の電圧をかけると、二つの超音波振動子の変位を合成する駆動子の先端部は、楕円運動を行う。そして、このような複数の駆動子はロータの外周部に当接可能に配置されており、各駆動子の楕円運動による駆動力がロータに伝達されてロータが回転する。（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１５２６７１号公報
【０００４】
ここで、超音波モータの二つの超音波振動子に同位相或いは逆位相の電圧をかけてインピーダンス測定を行う際に、本来は両方の超音波振動子に同位相の電圧をかけた場合は縦振動モードのみで共振し、一方、片方の超音波振動子に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合は横振動モードのみで共振するはずである。しかし、超音波モータを複数個作成し、動作試験を行った際に、二つの超音波振動子に同位相のみの電圧をかけた場合或いは片方の超音波振動子の電圧に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合の何れにおいても横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生する現象が必ず数個は発生してしまった。この現象が起こると超音波モータが不安定な駆動になった。これは、超音波モータのバランスがくずれた為に、本来励起されるはずのない振動が励起されてしまったことが考えられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような不都合を解決するために、本発明者らは、先に特願２００３−９３１１２号において、前記ハウジング部材に前記ボルト部材をボルト締めする際のボルト部材の外形寸法当たりのトルク量を規定することによって縦振動モードと横振動モードの両方の発振が発生することを防ぐ方法を提案した。
【０００６】
しかしながら、特願２００３−９３１１２号に開示した方法により、縦振動モードと横振動モードの両方の発振が発生する割合は減少したが、動作試験を行った際に、数％の割合で二つの超音波振動子に同位相のみの電圧をかけた場合或いは片方の超音波振動子の電圧に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合の何れにおいても横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生した。図２が超音波モータを用いた駆動試験で、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生した際の共振特性で、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生した図である。
【０００７】
本発明はこのような新たな問題を解決するためになされたものであり、両方の超音波振動子に同位相の電圧をかけた場合は縦振動モードのみで共振し、一方、片方の超音波振動子に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合は横振動モードのみで共振する超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
即ち、圧電素子を備えたランジュバン型の２個の超音波振動子と、前記２個の超音波振動子を所定の角度で保持する保持部材と、略Ｖ字型の形状を有し、その頂点部で前記被駆動体と接し、その端部で前記２個の超音波振動子と接続された接触部材と、を具備する超音波モータにおいて、前記超音波振動子はハウジング部材と、前記圧電素子をボルト締めするボルト部材によって構成され、前記ハウジング部材にボルト部材を螺合する際のハウジング部材の頭部の形状が前記頭部の中心軸に対して面対称であることを特徴とする。
【０００９】
好適な実施形態において、前記ハウジング部材の頭部の形状がｎ角柱であることを特徴とする。
【００１０】
好適な実施形態において、前記ハウジング部材の頭部の形状が丸柱であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の超音波モータによれば、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生することを防止することができるため、両方の超音波振動子に同位相の電圧をかけた場合は縦振動モードのみで共振し、一方、片方の超音波振動子に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合は横振動モードのみで共振することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。ここでは、圧電モータの一例として、精密加工装置等に用いられるＸ−Ｙステージ等の移動ステージ装置に使用される圧電モータを取り上げることとする。図１は超音波モータ１０ａの構造をより詳細に示す断面図である。超音波モータ１０ａは、ランジュバン型の構造を有する２個の超音波振動子１１ａ・１１ｂと、超音波振動子１１ａ・１１ｂを９０度の角度で保持する保持部材１２と、ステージ４０に接する略Ｖ字型の形状を有する接触部材１３とを有している。保持部材１２には予圧機構１４が取り付けられており、予圧機構１４は所定の力で接触部材１３をステージ４０に押し当てている。
【００１３】
超音波振動子１１ａは、両端がネジ切りされたボルト部材２１と、ボルト部材２１のネジ溝に螺合するネジ穴を有するハウジング部材２２、２２´と、ボルト部材２１を通すことができる２枚のリング状の圧電板２３ａ・２３ｂと、ボルト部材２１を通すことができるリング状の電極板２４ａ〜２４ｃとを有している。超音波振動子１１ｂは、超音波振動子１１ａと同様に、ボルト部材２１´と、ハウジング部材２２´と、２枚のリング状の圧電板２３ａ´・２３ｂ´と、リング状の電極板２４ａ´〜２４ｃ´とを有している。圧電板２３ａ・２３ｂ・２３ａ´・２３ｂ´の表裏面には電極（図示せず）が形成されている。なお、１個の超音波振動子に設けられる圧電板の枚数は任意であり、２枚に限定されるものではない。
【００１４】
保持部材１２には、ボルト部材２１を通すための孔部が設けられている。接触部材１３は、ステージ４０に接する当接部１３ａと、超音波振動子１１ａ・１１ｂと連結される連結部１３ｂ・１３ｂ´と、当接部１３ａと連結部１３ｂ・１３ｂ´とを連結するネック部１３ｃ・１３ｃ´から構成されており、連結部１３ｂ・１３ｂ´にはそれぞれボルト部材２１・２１´のネジ溝に螺合するネジ穴が形成されている。
【００１５】
なお、圧電板２３ａ・２３ｂはハウジング部材２２と接触部材１３の連結部１３ｂによって所定の力で締め付けられ、これによってランジュバン型の超音波振動子１１ａが得られることから、接触部材１３の連結部１３ｂは超音波振動子１１ａの構成要素でもある。同様に、連結部１３ｂ´は超音波振動子１１ｂの構成要素でもある。
【００１６】
圧電板２３ａ・２３ｂが電極板２４ａ〜２４ｃに挟まれるように配置し、これら圧電板２３ａ・２３ｂと電極板２４ａ〜２４ｃおよび保持部材１２の孔部にボルト部材２１を通し、ボルト部材２１の端部にそれぞれ接触部材１３とハウジング部材２２を取り付ける。これによってハウジング部材とボルト部材を所定の力で締め付けることにより、圧電板２３ａ・２３ｂは一定の力で締め付けられる。このように、超音波モータ１０ａにおいては、接触部材１３はステージ４０を摩擦駆動するだけでなく、圧電板２３ａ・２３ｂを締め付けてランジュバン型振動子を構成する部材としての役割を担っている。
【００１７】
圧電板２３ａ・２３ｂには、ＰＺＴ系等の圧電セラミックスが好適に用いられる。圧電板２３ａ・２３ｂの分極の向きは、圧電板２３ａ・２３ｂの間に挟まれている電極板２４ｂについて対称となっている。また、電極板２４ａ・２４ｃは互いに電気的に接続されている。したがって、電極板２４ｂと電極板２４ｃとの間に電圧を印加すると、圧電板２３ａ・２３ｂには同じ位相で変位（振動）が生ずる。つまり、圧電板２３ａ・２３ｂがその厚み方向にともに伸び、または、ともに縮む。
【００１８】
通常、ボルト部材２１とハウジング部材２２と保持部材１２には金属材料が用いられ、この場合には電極板２４ａ・２４ｃは保持部材１２を介してハウジング部材２２と導通する。このため、保持部材１２または超音波振動子１１ａのハウジング部材２２を圧電体２３ａ・２３ｂを駆動するための接地電極として用いることができ、このときに超音波振動子１１ｂが具備する圧電板２３ａ´・２３ｂ´を駆動するためのアースを同時にとることができる。
【００１９】
超音波振動子１１ａの圧電板２３ａ・２３ｂを伸縮させ、またこれと同時に超音波振動子１１ｂの圧電板２３ａ´・２３ｂ´を伸縮させた際には、接触部材１３のネック部１３ｃ・１３ｃ´が適度にしなって、超音波振動子１１ａ・１１ｂの変位が当接部１３ａにおいて合成され、これによって当接部１３ａが変位する。
【００２０】
接触部材１３には、耐摩耗性に優れる材料、例えば、ステンレスや超硬合金等の金属材料や、アルミナや窒化ケイ素、炭化ケイ素等のセラミックスが用いられる。接触部材１３が金属製であれば、接触部材１３にボルト部材２１と連結するためのネジ溝を形成することが容易である。接触部材１３が金属製であっても、接触部材１３は電極板２４ａと導通するために、保持部材１２または超音波振動子１１ａ・１１ｂのハウジング部材２２・２２´のいずれかを接地すれば、接触部材１３もまた接地される。
【００２１】
なお、接触部材１３を金属材料で作製し、その当接部１３ａの表面に窒化ケイ素等のコーティングを施すことも好ましい。また、接触部材１３を金属材料で作製し、当接部１３ａにセラミック部材を配設し、このセラミック部材が実質的にステージ４０と接するようにしてもよい。
【００２２】
予圧機構１４としては、例えば、エアーシリンダや油圧シリンダ、スプリングコイル等が用いられる。
【００２３】
次に、このような構成を有する本実施の形態に係る超音波モータ１０ａの動作について説明する。超音波モータ１０ａの駆動方法の一例として、超音波振動子１１ａの圧電板２３ａ・２３ｂのそれぞれに適当な電圧を印加するとそこで発生した変位がそれぞれ連結部１３ｂ・１３ｂ´及びネック部１３ｃ・１３ｃ´を介して当接部１３ａに伝わり合成される。当接部１３ａすなわち接触部材１３の頂点は、横方向に動く左右振動と縦方向に動く前後振動とのそれぞれに関する固有振動モードを持っている。この二つの固有振動モードを一致させることによって二つの振動モードは縮退する。縮退する共振周波数で、二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに９０°位相がずれた正弦波の電圧を印加すると、二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂで発生した変位が合成される接触部材１３の当接部１３ａは、楕円運動を描くように動く。この部分にステージ４０を押し付ければステージ４０は摩擦力を介して推力を受ける。なお、二つの印加電圧の位相差を逆転すれば楕円運動は反対に回り、推力も反対向きに働く。
【００２４】
ここで、超音波モータ１０ａの二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相、或いは片方の超音波振動子に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけてインピーダンス測定を行う際に、本来は両方の超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相の電圧をかけた場合は超音波モータ１０ａの当接部１３ａは前後方向に動く縦振動モードのみで共振し、一方、片方の超音波振動子に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合は超音波モータ１０ａの当接部１３ａは横向きに首を振るように動く横振動モードのみで共振する。
【００２５】
一般的に、図１で示される超音波モータ１０ａはハウジング部材２２、２２´とボルト部材２１を所定の力で締め付けるので、トルクレンチ等の工具で締め付けやすくする為に、ハウジング部材２２、２２´の頭部は図３のハウジング部材の頭部３０で示されるように2ケ所の切り込みが入っている。図３はこの切り込み以外は図１と同じ構成である。この切り込みはトルクレンチ等の工具で締め付けやすければ良いので、特に切り込み位置に指定はない。
ここで、図３で示される超音波モータ１０ａを複数個作成し、動作試験を行った際に、二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相のみの電圧をかけた場合、或いは片方の超音波振動子の電圧に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合の何れにおいても横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生する現象が必ず数個は発生してしまった。図２が超音波モータ１０ａを用いた駆動試験で、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生した際の共振特性で、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生した図である。
ここで、同位相と逆位相入力時の共振がほぼ重なっていることが確認できる。
この現象が起こると超音波モータが不安定な駆動になった。
【００２６】
このような不都合を解決するために、本発明者らは、先に特願２００３−９３１１２号において、ハウジング部材にボルト部材を螺合し、ボルト締めを行う際のボルト部材の外形寸法当たりのトルク量を下記の式で規定することによって縦振動モードと横振動モードの両方の発振が発生することを防ぐ方法を提案した。
【００２７】
ハウジング部材にボルト部材を螺合し、ボルト締めする際のボルト部材の外径寸法当たりのトルク量Ｙが
（α／１０）2×５≦Ｙ≦（α／１０）2×１００
α：ボルトの外形寸法（ｍｍ）
Ｙ：トルク量（Ｎ・ｍ）
であること。
【００２８】
しかしながら、特願２００３−９３１１２号に開示した方法により、縦振動モードと横振動モードの両方の発振が発生する割合は減少したが、動作試験を行った際に、数％の割合で二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相のみの電圧をかけた場合或いは片方の超音波振動子の電圧に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合の何れにおいても横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生した。
【００２９】
そこで、本出願人は、研究を重ね、特願２００３−９３１１２号に開示した方法に加えて、本発明においては、図４で示されるようにハウジング部材２２・２２´にボルト部材２１、２１´を螺合する際におけるハウジング部材２２・２２´の頭部の形状は、ハウジング部材２１、２１´の頭部における中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称にすることが好ましいことを見出すことができた。以下に実施例を例示して詳細に説明する。
【実施例１】
【００３０】
まず、図３の構成で超音波モータ１０ａを１０個作成した。ここで、ボルト部材２１、２１´の両端の雄ねじ部はＭ１０にした。さらに、ハウジング部材２２、２２´の頭部Ｂ１の２ケ所の切り込みの位置は特に決まった位置ではない。次にボルト部材２１、２１´の両端の雄ねじ部とハウジング部材２２、２２´の雌ねじ部を螺合し、ボルト締めする際のトルクを２０Ｎ・ｍにした。そして、超音波モータの二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相（Ｖ＝Ｖ0ｓｉｎ２πｆｔ、ここでＶ0＝１４１Ｖ、ｆ＝２９〜３３ｋＨｚ）の電圧をかけたところ、７個は超音波振動子の超音波モータ１０ａの接触部材１３は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。図５が超音波モータ１０ａを用いた駆動試験で、縦振動モードのみ共振が発生した際の共振特性の図である。しかし、３個は図２の共振特性の図で示されるように横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生してしまった。
【００３１】
その為、ハウジング部材２２、２２´の頭部の形状を、図４で示されるように中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称に切り込みを入れてみた。続いて、１０個の超音波モータのボルト部材２１、２１´とハウジング部材２２、２２´を螺合し、２０Ｎ・ｍのトルクで締めた。そして、超音波モータの二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相（Ｖ＝Ｖ0ｓｉｎ２πｆｔ、ここでＶ0＝１４１Ｖ、ｆ＝２９〜３３ｋＨｚ）の電圧をかけたところ、９個は超音波振動子の超音波モータ１０ａの接触部材１３は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。このように中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称に切り込みを入れることにより、課題は改善されるが、なお1個は横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生してしまう。
【００３２】
次に、ハウジング部材２２、２２´の頭部の形状を、図６で示されるように中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称に切り込みを入れると共に、四角柱の切り込み形状にした。
そして、同様に１０個の超音波モータのボルト部材２１、２１´とハウジング部材２２、２２´を螺合し、２０Ｎ・ｍのトルクで締めた。そして、超音波モータの二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相（Ｖ＝Ｖ0ｓｉｎ２πｆｔ、ここでＶ0＝１４１Ｖ、ｆ＝２９〜３３ｋＨｚ）の電圧をかけたところ、９個は超音波振動子の超音波モータ１０ａの接触部材１３は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。しかし、今回も1個は横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生してしまった。
【００３３】
そこで、ハウジング部材２２、２２´の頭部の形状を、図７で示されるように中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称に切り込みを入れると共に、六角柱の切り込み形状にした。そして、同様に１０個の超音波モータのボルト部材２１、２１´とハウジング部材２２、２２´を螺合し、２０Ｎ・ｍのトルクで締めた。そして、超音波モータの二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相（Ｖ＝Ｖ0ｓｉｎ２πｆｔ、ここでＶ0＝１４１Ｖ、ｆ＝２９〜３３ｋＨｚ）の電圧をかけたところ、全てにおいて、超音波モータの１０ａの接触部材１３は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。超音波モータ１０ａを用いた駆動試験を行った結果、全てにおいて、図５で示す縦振動モードのみ共振が発生した際の共振特性が確認された。
【実施例２】
【００３４】
まず、図８の構成でハウジング部材２２、２２´の頭部の形状を、中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称に切り込みを入れると共に、八角柱の切り込み形状にした超音波モータ１０ａを１０個作成した。次に１０個の超音波モータのボルト部材２１、２１´とハウジング部材２２、２２´を螺合し、２０Ｎ・ｍのトルクで締めた。そして、超音波モータの二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相（Ｖ＝Ｖ0ｓｉｎ２πｆｔ、ここでＶ0＝１４１Ｖ、ｆ＝２９〜３３ｋＨｚ）の電圧をかけたところ、全てにおいて、超音波モータの１０ａの接触部材１３は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。超音波モータ１０ａを用いた駆動試験を行った結果、全てにおいて、図５で示す縦振動モードのみ共振が発生した際の共振特性が確認された。
【実施例３】
【００３５】
まず、図９の構成でハウジング部材２２、２２´の頭部の形状を、中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称な丸柱の形状をした超音波モータ１０ａを１０個作成した。
次に１０個の超音波モータのボルト部材２１、２１´とハウジング部材２２、２２´を螺合し、２０Ｎ・ｍのトルクで締めた。そして、超音波モータの二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相（Ｖ＝Ｖ0ｓｉｎ２πｆｔ、ここでＶ0＝１４１Ｖ、ｆ＝２９〜３３ｋＨｚ）の電圧をかけたところ、全てにおいて、超音波モータの１０ａの接触部材１３は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。超音波モータ１０ａを用いた駆動試験を行った結果、全てにおいて、図５で示す縦振動モードのみ共振が発生した際の共振特性が確認された。
【実施例４】
【００３６】
まず、図９の構成でハウジング部材２２、２２´の頭部の形状が中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称な丸柱の形状をした超音波モータ１０ａに、中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称に六角柱の掘り込みを入れることで、図１０に示す超音波モータ１０ａを１０個作成した。
次にこれら１０個の超音波モータのボルト部材２１、２１´とハウジング部材２２、２２´を螺合し、２０Ｎ・ｍのトルクで締めた。そして、超音波モータの二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相（Ｖ＝Ｖ0ｓｉｎ２πｆｔ、ここでＶ0＝１４１Ｖ、ｆ＝２９〜３３ｋＨｚ）の電圧をかけたところ、全てにおいて、超音波モータの１０ａの接触部材１３は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。超音波モータ１０ａを用いた駆動試験を行った結果、全てにおいて、図５で示す縦振動モードのみ共振が発生した際の共振特性が確認された。
【実施例５】
【００３７】
まず、図９の構成でハウジング部材２２、２２´の頭部の形状が中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称な丸柱の形状をした超音波モータ１０ａに、中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称に星形八角柱の掘り込みを入れることで、図１１に示す超音波モータ１０ａを１０個作成した。
次にこれら１０個の超音波モータのボルト部材２１、２１´とハウジング部材２２、２２´を螺合し、２０Ｎ・ｍのトルクで締めた。そして、超音波モータの二つの超音波振動子１１ａ・１１ｂに同位相（Ｖ＝Ｖ0ｓｉｎ２πｆｔ、ここでＶ0＝１４１Ｖ、ｆ＝２９〜３３ＫＨｚ）の電圧をかけたところ、全てにおいて、超音波モータの１０ａの接触部材１３は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。超音波モータ１０ａを用いた駆動試験を行った結果、全てにおいて、図５で示す縦振動モードのみ共振が発生した際の共振特性が確認された。
【００３８】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこのような形態に限定されるものではない。ハウジング部材２２、２２´の頭部の形状が、中心軸Ａ−Ａ´に対して面対称であれば良い。なお、本発明の超音波モータは、直線的駆動に適用されることには限定されず、回転駆動に適用することも可能である。よって、被駆動体としては、回転運動可能に設けられたロータを用いることもできる。
また、通常は、超音波振動子側が固定されており、その振動を受ける部材側が被駆動体として可動する形式が多いが、本発明は、これに限定されるものではない。よって、超音波振動子側が可動であって、その振動を受ける部材側が固定されており、超音波振動子及びそれと一体の部分が、振動を受ける部材からの反力によって被駆動体として可動する形式でもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、半導体製造装置等に装着されるＸ−Ｙステージ装置の駆動に用いられる超音波モータの使用に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係る超音波モータの概略構造を示す断面図である。
【図２】異常時の超音波モータのインピーダンス特性である。
【図３】従来、使用されていた超音波モータの概略構造を示す断面図である。
【図４】本発明に係るハウジング部材の頭部の形状における一実施例を示す超音波モータの断面図である。
【図５】正常駆動時の超音波モータのインピーダンス特性である。
【図６】本発明に係るハウジング部材の頭部の形状における別の一実施例を示す超音波モータの断面図である。
【図７】本発明に係るハウジング部材の頭部の形状における別の一実施例を示す超音波モータの断面図である。
【図８】本発明に係るハウジング部材の頭部の形状における別の一実施例を示す超音波モータの断面図である。
【図９】本発明に係るハウジング部材の頭部の形状における別の一実施例を示す超音波モータの断面図である。
【図１０】本発明に係るハウジング部材の頭部の形状における別の一実施例を示す超音波モータの断面図である。
【図１１】本発明に係るハウジング部材の頭部の形状における別の一実施例を示す超音波モータの断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０ａ；超音波モータ
１１ａ・１１ｂ；超音波振動子
１２；保持部材
１３；接触部材
１３ａ；当接部
１３ｂ・１３ｂ′；連結部
１３ｃ・１３ｃ′；ネック部
１４；予圧機構
２１・２１′；ボルト部材
２２・２２′；ハウジング部材
２３ａ・２３ｂ・２３ａ′・２３ｂ′；圧電板
２４ａ〜２４ｃ；２４ａ′〜２４ｃ′；電極板
３０；ハウジング部材の頭部
４０；被駆動体
【図１】
2005287111.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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