(57)【要約】【課題】  １つの渦巻き状のトラックフォーマットを持つ光ディスクにおいて、外周部におけるプッシュプル信号量の減少を抑制する。【解決手段】  １つの渦巻き状のトラックフォーマットを持つ光ディスク上を内周から外周へと進むに伴い、トラックピッチＴｐが徐々に大きくなるようにトラックを形成する。ＤＶＤ＋ＲＷ、ＤＶＤ−Ｒの場合は、トラックピッチの変化量が５ｎｍ以下とされ、ＣＤ−Ｒの場合は、トラックピッチの変化量１５ｎｍ以下とされる。外周側でトラックピッチを大きくすることによって、外周部におけるプッシュプル信号量の減少を抑制することができる。【選択図】  図３
2005203051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つの渦巻きをなすようにトラックが形成された光ディスクにおいて、
上記トラックのトラックピッチが平均トラックピッチの０．９４％変化量以下で徐々に変化された光ディスク。
【請求項２】
請求項１において、
上記トラックピッチが平均トラックピッチの９７．５％から１０５．６％まで変化する光ディスク。
【請求項３】
請求項１において、
上記トラックピッチが外周に向かって大きくされた光ディスク。
【請求項４】
請求項１において、
上記トラックピッチの変化率が平均トラックピッチの０．６８％以下とされた光ディスク。
【請求項５】
請求項１において、
上記トラックピッチが平均トラックピッチの９７．５％から１０５．６％まで変化する光ディスク。
【請求項６】
請求項１において、
上記トラックピッチが平均トラックピッチの９８．９２％から１０４．０５％まで変化する光ディスク。
【請求項７】
請求項４において、
上記グルーブの深さが２１ｎｍから２６ｎｍとされた光ディスク。
【請求項８】
１つの渦巻きをなすようにトラックが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録および／または再生がなされる光ディスクを製造する際に使用される光ディスク用原盤であって、
上記トラックのトッラクピッチが平均トラックピッチの０．９４％変化量以下で徐々に変化された光ディスク用原盤。
【請求項９】
請求項８において、
上記トラックピッチが平均トラックピッチの９７．５％から１０５．６％まで変化する光ディスク用原盤。
【請求項１０】
請求項８において、
上記トラックピッチが外周に向かって大きくされた光ディスク用原盤。
【請求項１１】
請求項８において、
上記トラックピッチの変化率を平均トラックピッチの０．６８％以下とされた光ディスク用原盤。
【請求項１２】
請求項１１において、
上記トラックピッチが、平均のトラックピッチの９８．９２％から１０４．０５％まで変化する光ディスク用原盤。
【請求項１３】
請求項１１において、
上記グルーブの深さが２１ｎｍから２６ｎｍである光ディスク用原盤。
【請求項１４】
１つの渦巻きをなすようにトラックが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録および／または再生がなされる光ディスクを製造する際に使用される光ディスク用原盤の記録方法であって、
上記トラックのトッラクピッチが平均トラックピッチの０．９４％変化量以下で徐々に変化するように、記録を行う記録方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、１つの渦巻き状のトラックをなすように形成されてなる光ディスク、並びにそのような光ディスクを製造する際に使用される光ディスク用原盤並びに光ディスク用原盤の記録方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の記録可能なディスク状記録媒体のフォーマットとして、ＭＤ（Mini Disc ）、ＣＤ（Compact Disc）−Ｒ（Recordable）、ＣＤ−ＲＷ（ReWritable）、ＤＶＤ（Digital
Versatile Disc）＋ＲＷ（ReWritable）、ＤＶＤ−Ｒ（Recordable）、ＤＶＤ−ＲＷ（ReWritable）等が提案されている。これらのディスク状記録媒体のフォーマットでは、グルーブに記録するグルーブ記録フォーマットが採用されている。最近では、ＤＶＤ＋ＲＷディスク等の光ディスク開発が目ざましく、光ディスクのグルーブ形状を高精度に制御する技術が望まれている
【０００３】
ここでグルーブとは、主にトラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラックに沿って形成された、いわゆる案内溝のことである。なお、グルーブとグルーブの間の部分は、ランドと称される。グルーブ内に信号を記録する場合では、グルーブのピッチがトラックピッチとなる。
【０００４】
図１は、この発明を適用できる光ディスクの一例を示す。この発明は、１つの渦巻きをなすようにトラックが形成された光ディスクに対して適用できる。図１は、その種の光ディスクの一例としてのＤＶＤ＋ＲＷディスクのフォーマットの一部を拡大して示す。参照符号Ｇｖは、グルーブを示し、Ｔｐはトラックピッチを示している。
【０００５】
図１に示すように、ＤＶＤ＋ＲＷディスクでは、グルーブが蛇行するように形成されたウォブルグルーブのみを有するフォーマットである。記録領域であるウォブルグルーブの記録再生特性の規格値（ジッター≦９．０％）とウォブルグルーブの充分なプッシュプル信号量の規格値（≧０．２８）を得て、安定なトラッキングサーボによる記録再生および、ウォブル信号の再生を行える必要がある。プッシュプル信号量は、プッシュプル信号の振幅をグルーブの再生信号レベルとランドの再生信号のレベルの平均値で割って求められた値である。
【０００６】
ＤＶＤ＋ＲＷディスク等の相変化光ディスクにおけるジッターは、グルーブの深さを３１ｎｍ、２６ｎｍ、２１ｎｍとそれぞれ変化させたとき、９．７％、８．４％、７．１％となっている。よって記録再生特性を得るにはグルーブの深さが２６ｎｍより浅いフォーマットが望ましい。
【０００７】
プッシュプル信号振幅が最大となるグルーブの深さは、光ピックアップのレーザビームの波長λの１／（８ｎ）程度とされる。ここでｎは基板等の屈折率である。ＤＶＤ＋ＲＷディスクの場合、ポリカーボネート（ｎ＝１．５８）の基板が用いられているので、プッシュプル信号振幅が最大となるグルーブの深さは６５５ｎｍ／（８・１．５８）＝５２ｎｍとなる。これに対し、上記波長λの１／（１６ｎ）より浅いグルーブの深さのときは充分なプッシュプル信号量を得ることが困難となる。ＤＶＤ＋ＲＷディスクの場合、６５５ｎｍ／（１６・１．５８）＝２６ｎｍとなるので、グルーブの深さが２６ｎｍより浅いときは充分なプッシュプル信号量を得ることは難しくなる。
【０００８】
下記の特許文献１には、ＭＤのピット部のトラックピッチをグルーブ部のトラックピッチよりも大きくすることにより、ピット部の良好な再生を実現することが記載されている。
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−６３７４７号公報
【００１０】
ＭＤは、ピットのトラックとグルーブのトラックとが一つの渦巻き状をなすように連続して形成されたものであり、記録時間が８０分のＭＤを実現する場合には、グルーブのトラックピッチを７４分の記録時間のものにおける１．６０μｍよりも狭い１．５０〜１．５１μｍとしている。ピットの場合に、このようにトラックピッチを狭くすると、ＭＤの規格を満足する記録再生特性を得ることが困難なかめに、ピットのトラックピッチは、１．６０μｍとしている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
図２は、ＤＶＤ＋ＲＷディスクのプッシュプル信号量の半径依存性のグラフである。ここでグルーブの深さは２３ｎｍとされているので、ジッターは７．５％と充分に良好な記録再生特性を得ることができる。しかしながら、図２に示すように、ディスク基板成形時におけるトラック形状の転写性やディスク基板の内部応力による複屈折、記録膜成膜による光反射率の低下等の影響により、外周部におけるプッシュプル信号量が減少している。特に半径５５ｍｍよりも外周では、プッシュプル信号量は規格値である０．２８よりも低くなる問題があった。このように、ＤＶＤ＋ＲＷディスク等では、外周部になるにつれて適切な記録再生特性とプッシュプル信号量を同時に得ることが困難であった。
【００１２】
したがって、この発明の目的は、グルーブが一つの渦巻き状をなすようにトラックが形成された光ディスクであって、外周部においてもとして、記録再生特性とプッシュプル信号量を同時に得ることが可能な光ディスク、光ディスク用原盤並びに記録方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述した課題を達成するために、この発明の第１の態様は、１つの渦巻きをなすようにトラックが形成された光ディスクにおいて、
トラックのトラックピッチが平均トラックピッチの０．９４％変化量以下で徐々に変化された光ディスクである。例えばＣＤ−Ｒディスクの場合では、１５＊１００／１６００＝０．９４％である。また、トラックピッチの変化率が平均トラックピッチの０．６８％以下とされる。例えばＤＶＤ＋ＲＷディスクおよびＤＶＤ−Ｒディスクの場合では、５＊１００／７４０＝０．６８％である。
【００１４】
この発明の第２の態様は、１つの渦巻きをなすようにトラックが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録および／または再生がなされる光ディスクを製造する際に使用される光ディスク用原盤であって、
トラックのトッラクピッチが平均トラックピッチの０．９４％変化量以下で徐々に変化された光ディスク用原盤である。
【００１５】
この発明の第３の態様は、１つの渦巻きをなすようにトラックが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録および／または再生がなされる光ディスクを製造する際に使用される光ディスク用原盤の記録方法であって、
トラックのトッラクピッチが平均トラックピッチの０．９４％変化量以下で徐々に変化するように、記録を行う記録方法である。
【発明の効果】
【００１６】
この発明は、外周部側へトラックピッチを徐々に大きくすることで、成形の転写性や複屈折、記録膜成膜等の影響による外周部のプッシュプル信号量の減少を抑え、プッシュプル信号量が安定した光記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、この発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。一実施形態における光ディスクでは、１つの渦巻きをなすようにトラックに対応するグルーブが形成される。内周部のトラックピッチよりも中周部および外周部のグルーブのトラックピッチの方が徐々に大きいとなされる。その結果、中周部および外周部におけるプッシュプル信号量の減少を抑制することができる。
【００１８】
上述した光ディスクを製造する際には、光ディスクの原盤となる光ディスク用原盤が作製される。図３は、光ディスク用原盤の作製に使用されるレーザカッティング装置の一例を示す。
【００１９】
図３において参照符号２０で示すレーザカッティング装置は、ガラス原盤２８の上に塗布されたフォトレジスト３４を露光して、当該フォトレジスト３４に潜像を形成するためのものである。フォトレジスト３４に潜像を形成する際、フォトレジスト３４が塗布されたガラス原盤２８は、移動光学テーブル２７上に設けられた回転駆動装置１７に取り付けられる。そして、ガラス原盤２８は、フォトレジスト３４の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、回転駆動装置１７によって回転駆動されるとともに、移動光学テーブル２７によって平行移動される。
【００２０】
レーザカッティング装置２０は、レーザ光を出射する光源２１と、回転駆動装置１７と、スピンドルサーボ１８と、駆動用ドライバ２５と、位置センサ３０と、レーザスケール３１と、エアスライダー３２と、送りサーボ３３とをその主要部として備えている。光源２１から出射されたレーザ光は、ミラーＭ１およびミラーＭ２によって反射され、移動光学テーブル２７上に水平且つ平行に導かれる。
【００２１】
なお、光源２１には、任意のものが使用可能であるが、短波長のレーザ光を出射するものが好ましい。具体的には、例えば、波長λが３５１ｎｍのレーザ光を出射するＫｒレーザなどが好適である。ミラーＭ２で反射され、移動光学テーブル２７上に水平に導かれたレーザ光は、ウェッジプリズム２３および音響光学偏向器２４によって光学偏向が施される。
【００２２】
ウェッジプリズム２３は、音響光学偏向器２４の音響光学素子の格子面に対してブラッグ条件を満たすようにレーザ光が入射するようにするとともに、音響光学偏向器２４によってレーザ光に対して光学偏向を施し、ビーム水平高さを変えるためのものである。
【００２３】
音響光学偏向器２４には、音響光学偏向器２４を駆動するための駆動用ドライバ２５が接続されている。駆動用ドライバ２５には、直流電圧と、電圧制御発振器（ＶＣＯ：Voltage Controlled Oscillator ）２９から、アドレス情報を含む制御信号により変調された高周波信号が供給される。そして、その信号に応じて駆動用ドライバ２５によって音響光学偏向器２４が駆動され、これにより、レーザ光に対して光学偏向が施される。
【００２４】
電圧制御発振器２９に供給される制御信号は、例えばウォブルグルーブを形成する場合は４０５ｋHzの信号である。この４０５ｋHzの信号はアドレスのウォブル情報を記録するものである。
【００２５】
音響光学偏向器２４は、ブラッグ回折における１次回折光強度が超音波パワーにほぼ比例することを利用したものであり、記録信号に基づいて超音波パワーを変調してレーザ光２２の光変調を行う。ブラッグ回折を実現するために、ブラッグ条件；２ｄ sinθ＝ｎλ（ここに、ｄ：格子間隔、λ：レーザ光波長、θ：レーザ光と格子面のなす角、ｎ：整数である）を満たすように、レーザ光に光軸に対する音響光学偏向器２４の位置関係および姿勢が設定される。
【００２６】
ウェッジプリズム２３および音響光学偏向器２４によって光学偏向が施されたレーザ光は拡大レンズＬ３に入射した後、ミラーＭ３によって反射されて対物レンズ２６へと導かれ、対物レンズ２６によってフォトレジスト３４上に集光される。
【００２７】
フォトレジスト３４がレーザ光によって露光され、フォトレジスト３４に潜像が形成される。このとき、フォトレジスト３４が塗布されているガラス原盤２８は、フォトレジスト３４の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、回転駆動装置１７によって回転駆動されるとともに、移動光学テーブル２７によってレーザ光が径方向に移動される。この結果、レーザ光の照射軌跡に応じた潜像がフォトレジスト３４の全面にわたって形成されることになる。
【００２８】
レーザ光をフォトレジスト３４の上に集光するための対物レンズ２６は、より微細なグルーブパターンを形成できるようにするために、開口数ＮＡが大きい方が好ましく、具体的には、開口数ＮＡが０．９程度の対物レンズが好適である。
【００２９】
レーザカッティング装置２０は、移動光学テーブル２７の位置を位置センサ３０によって検出し、ディスク上の半径方向の各領域ごとに各々対応したトラックピッチで露光を行うことが可能とされている。レーザスケール３１により検知される波長を基準として、送りサーボ３３およびエアスライダー３２の動作を制御して、移動光学テーブル２７の送りピッチを瞬時に変更することが可能である。
【００３０】
内周から外周までのウォブリンググルーブであるグルーブトラックが１つの渦巻き状に連なるパターンとしてガラス原盤２８上のフォトレジスト３４に形成される。一実施形態におけるレーザカッティング装置２０は、トラックの長手方向の線速度が一定になるようにターンテーブル１７の回転数を制御しつつ、移動光学テーブル２７の送りピッチを外周に向かって徐々に大きくして露光を行う。送りピッチの変化に応じて下記の例に示すように、トラックピッチを変化させる。
【００３１】
内周部（半径ｒ＝２１．９ｍｍ〜３９．９ｍｍ）のトラックピッチを７３５ｎｍ
中周部（半径ｒ＝３９．９ｍｍ〜４９．９ｍｍ）のトラックピッチを７３７ｎｍ
外周部（半径ｒ＝４９．９ｍｍ〜５１．９ｍｍ）のトラックピッチを７４０ｎｍ
（半径ｒ＝５１．９ｍｍ〜５２．９ｍｍ）のトラックピッチを７４４ｎｍ
（半径ｒ＝５２．９ｍｍ〜５３．９ｍｍ）のトラックピッチを７４８ｎｍ
（半径ｒ＝５３．９ｍｍ〜５４．９ｍｍ）のトラックピッチを７５２ｎｍ
（半径ｒ＝５４．９ｍｍ〜５５．９ｍｍ）のトラックピッチを７５６ｎｍ
（半径ｒ＝５５．９ｍｍ〜５６．９ｍｍ）のトラックピッチを７６０ｎｍ
（半径ｒ＝５６．９ｍｍ〜５７．９ｍｍ）のトラックピッチを７６４ｎｍ
（半径ｒ＝５７．９ｍｍ〜５８．６ｍｍ）のトラックピッチを７６８ｎｍ
と変化させる。
【００３２】
フォトレジスト３４に潜像を形成した後、フォトレジスト３４が塗布されている面が上面となるように、ガラス原盤２８を現像機のターンテーブル上に載置する。そして、当該ターンテーブルを回転させることによりガラス原盤２８を回転させながら、フォトレジスト３４上に現像液を滴下して現像処理を施して、１つの渦巻き状を形成するウォブリンググルーブに対応する凹凸パターンを形成する。
【００３３】
原盤工程では、次に、ガラス原盤２８の凹凸パターン上に無電界メッキ法によりニッケル等からなる導電化膜を形成し、その後、導電化膜が形成されたガラス原盤２８を電鋳装置に取り付け、電気メッキ法により導電化膜上に３００±５[μｍ] 程度の厚さになるよ
うにニッケルメッキ層を形成する。その後、このメッキ層をカッター等で剥離し、剥離したニッケルメッキ層をアセトン等を用いて洗浄し、凹凸パターンが転写された信号形成面に残存しているフォトレジスト３４を除去する。
【００３４】
以上の工程により、ガラス原盤上に形成されていた凹凸パターンが転写されたメッキからなる光ディスク用原盤（いわゆるスタンパ）が完成する。
【００３５】
凹凸パターンが形成された光記録媒体製造用原盤を用いてポリカーボネートの透明樹脂で射出成型によってディスク基板を作製する。ディスク基板の材料としてポリメチルメタクリレート等の透明樹脂を用いても良い。射出成型以外に、フォトポリマー法（photo polymerization法、いわゆる２Ｐ法）を用いて、ディスク基板を作製しても良い。
【００３６】
ＤＶＤ＋ＲＷディスクの場合、成膜工程として、光ディスク用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板にスパッタリング装置等を用いて、誘電体層、記録層および保護層を形成する。具体的には、先ず、ディスク基板の凹凸パターンが形成された面上に、硫化亜鉛と窒化シリコン（ＺｎＳ・ＳｉＮ）の混合からなる第１の誘電体層を成膜し、次に、ゲルマニウム・アンチモン・テルル合金（ＧｅＳｂＴｅ）等からなる相変化記録層を成膜し、次に、硫化亜鉛と窒化シリコン（ＳｉＮ）の混合からなる第２の誘電体層を成膜し、最後に銀合金（ＡｇＮｄＣｕ）等からなる光反射膜を成膜する。
【００３７】
その結果、第１の誘電体層、相変化記録層、第２の誘電体層および光反射膜からなる記録層が形成される。その後、記録層上に基板の全体をほぼ覆うように、紫外線硬化樹脂がスピンコート法等により平滑に塗布され、紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させることにより、保護層が形成される。以上の工程により、相変化型のＤＶＤ＋ＲＷディスクが完成する。
【００３８】
上述したカッティング装置および製造方法を用いて、評価用のＤＶＤ＋ＲＷ光ディスクＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを作製し、それらの評価を行った結果について説明する。評価作業は、評価機（レーザ波長λ；６５５ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡ；０．６５の光ピックアップ）を用いてなされる。
【００３９】
評価作業では、上述した例のように、外周部に向かって大きくなるように、トラックピッチを徐々に変化させた評価用光ディスクＡと、トラックピッチが一定例えば７４０ｎｍとされた評価用光ディスクＢについて、プッシュプル信号量、トラッキングサーボの記録再生特性およびウォブル信号の再生特性を評価する。光ディスクＡおよび光ディスクＢのグルーブの深さはともに２３ｎｍとされる。評価結果を下記の表１に示す。
【００４０】
【表１】
2005203051.tif 000003
【００４１】
光ディスクＡおよび光ディスクＢのすべての領域において、ウォブル信号特性を満たし、ウォブル信号を安定再生することができる。さらに、ウォブルグルーブのジッターは、光ディスクＡが７．５−７．８％、光ディスクＢが７．６−８．１％となり、良好な記録再生特性を得ることができる。
【００４２】
しかしながら、プッシュプル信号量について、光ディスクＢでは、成形の転写性や複屈折、記録膜成膜などの影響で外周部のプッシュプル信号量が減少し、半径５５．０ｍｍより外周ではプッシュプル信号量が０．２８以下と規格外になる。これに対して、トラックピッチを外周部に向かって大きくなるようにした光ディスクＡでは、内周部から外周部の全領域において、プッシュプル信号量は０．３０１−０．２９４とほぼ一定で充分に規格を満たしている。
【００４３】
次に、フォトレジストの厚さを変えて、グルーブの深さが２１ｎｍの光ディスクＣと、グルーブの深さが２６ｎｍの光ディスクＤを作成した。これらの光ディスクＣおよびＤについて、プッシュプル信号量、トラッキングサーボの記録再生特性およびウォブル信号の再生特性を評価した結果を下記の表２に示す。光ディスクＣのトラックピッチは、下記の例に示すように、変化させる。
【００４４】
（半径ｒ＝２１．９ｍｍ〜２９．９ｍｍ）のトラックピッチを７３４ｎｍ
（半径ｒ＝２９．９ｍｍ〜３６．９ｍｍ）のトラックピッチを７３６ｎｍ
（半径ｒ＝３６．９ｍｍ〜４２．９ｍｍ）のトラックピッチを７３８ｎｍ
（半径ｒ＝４２．９ｍｍ〜４６．９ｍｍ）のトラックピッチを７４０ｎｍ
（半径ｒ＝４６．９ｍｍ〜４９．９ｍｍ）のトラックピッチを７４２ｎｍ
（半径ｒ＝４９．９ｍｍ〜５１．９ｍｍ）のトラックピッチを７４４ｎｍ
（半径ｒ＝５１．９ｍｍ〜５２．４ｍｍ）のトラックピッチを７４６ｎｍ
（半径ｒ＝５２．４ｍｍ〜５３．４ｍｍ）のトラックピッチを７４８ｎｍ
（半径ｒ＝５３．４ｍｍ〜５４．２ｍｍ）のトラックピッチを７５０ｎｍ
（半径ｒ＝５４．２ｍｍ〜５４．７ｍｍ）のトラックピッチを７５２ｎｍ
（半径ｒ＝５４．７ｍｍ〜５５．３ｍｍ）のトラックピッチを７５４ｎｍ
（半径ｒ＝５５．３ｍｍ〜５５．８ｍｍ）のトラックピッチを７５６ｎｍ
（半径ｒ＝５５．８ｍｍ〜５６．３ｍｍ）のトラックピッチを７５８ｎｍ
（半径ｒ＝５６．３ｍｍ〜５６．７ｍｍ）のトラックピッチを７６０ｎｍ
（半径ｒ＝５６．７ｍｍ〜５７．１ｍｍ）のトラックピッチを７６２ｎｍ
（半径ｒ＝５７．１ｍｍ〜５７．５ｍｍ）のトラックピッチを７６４ｎｍ
（半径ｒ＝５７．５ｍｍ〜５７．９ｍｍ）のトラックピッチを７６６ｎｍ
（半径ｒ＝５７．９ｍｍ〜５８．３ｍｍ）のトラックピッチを７６８ｎｍ
（半径ｒ＝５８．３ｍｍ〜５８．６ｍｍ）のトラックピッチを７７０ｎｍ
と変化させる。
【００４５】
光ディスクＤのトラックピッチは、下記の例に示すように、変化させる。
【００４６】
（半径ｒ＝２１．９ｍｍ〜３７．９ｍｍ）のトラックピッチを７３２ｎｍ
（半径ｒ＝３７．９ｍｍ〜４９．９ｍｍ）のトラックピッチを７３６ｎｍ
（半径ｒ＝４９．９ｍｍ〜５１．９ｍｍ）のトラックピッチを７４０ｎｍ
（半径ｒ＝５１．９ｍｍ〜５２．９ｍｍ）のトラックピッチを７４４ｎｍ
（半径ｒ＝５２．９ｍｍ〜５４．４ｍｍ）のトラックピッチを７４８ｎｍ
（半径ｒ＝５４．４ｍｍ〜５５．９ｍｍ）のトラックピッチを７５２ｎｍ
（半径ｒ＝５５．９ｍｍ〜５７．４ｍｍ）のトラックピッチを７５６ｎｍ
（半径ｒ＝５７．４ｍｍ〜５８．６ｍｍ）のトラックピッチを７６０ｎｍ
と変化させる。
【００４７】
【表２】
2005203051.tif 000004
【００４８】
表２から分かるように、光ディスクＣおよび光ディスクＤのすべての領域において、ウォブル信号特性を満たし、ウォブル信号を安定再生することができる。さらに、ウォブルグルーブのジッターは、光ディスクＣが６．８−７．２％、光ディスクＤが８．２−８．６％となり、良好な記録再生特性を得ることができた。
【００４９】
光ディスクＣおよびＤは、トラックピッチが適切に変化されているので、内周部から外周部の全領域において、光ディスクＣのプッシュプル信号量は０．２８５−０．２８０、光ディスクＤのプッシュプル信号量は０．３１５−０．３０１とほぼ一定で充分に規格を満たしている。
【００５０】
上述したように、グルーブの深さ２１ｎｍから２６ｎｍであり、トラックピッチを７３２ｎｍから７７０ｎｍまで徐々に変化させた光ディスクは、プッシュプル信号量およびジッター等のＤＶＤ＋ＲＷの規格を満たすものである。
【００５１】
ここでトラックピッチ７３２ｎｍは、平均のトラックピッチ７４０ｎｍの９８．９２％（（７３２／７４０）＊１００＝９８．９２）であり、トラックピッチ７７０ｎｍは、平均のトラックピッチ７４０ｎｍの１０４．０５％（（７７０／７４０）＊１００＝１０４．０５）である。
【００５２】
次に、ＤＶＤ−Ｒ規格に対してこの発明を適用した例について説明する。ＤＶＤ−Ｒディスクの場合、製造方法における成膜工程として、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板上に記録層および保護層を形成する。具体的には例えば、先ず、ディスク基板の凹凸パターンが形成された面上に、アゾ、フタロシアニン、シアニン等の色素をスピンコート法により塗布することにより色素記録膜を成膜し、色素記録膜上に銀合金（ＡｇＮｄＣｕ）等からなる光反射膜を成膜することにより銀合金（ＡｇＮｄＣｕ）光反射膜を形成する。
【００５３】
その結果、銀（Ａｇ）色素記録膜と光反射膜とからなる記録層が形成される。銀（Ａｇ）光反射膜に紫外線硬化樹脂をスピンコート法により塗布し、当該紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させることにより、保護層が形成される。以上の工程により、有機色素型のＤＶＤ−Ｒディスクが完成する。
【００５４】
かかる製造方法を用いて、評価用のＤＶＤ−Ｒ光ディスクＥ、Ｆを作製し、それらの評価を行った結果について説明する。評価作業は、評価機（レーザ波長λ；６５５ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡ；０．６０の光ピックアップ）を用いてなされる。
【００５５】
トラックピッチを徐々に変化させた光ディスクＥとトラックピッチが一定（例えば７４０ｎｍ）の光ディスクＦについて、プッシュプル信号量、トラッキングサーボの記録再生特性およびウォブル信号の再生特性を評価し、評価結果を下記の表３に示す。
【００５６】
光ディスクＥのトラックピッチを、下記に示すように変化させる。
【００５７】
（半径ｒ＝２１．９ｍｍ〜３９．９ｍｍ）のトラックピッチを７３５ｎｍ
（半径ｒ＝３９．９ｍｍ〜４９．９ｍｍ）のトラックピッチを７３７ｎｍ
（半径ｒ＝４９．９ｍｍ〜５１．９ｍｍ）のトラックピッチを７４０ｎｍ
（半径ｒ＝５１．９ｍｍ〜５２．９ｍｍ）のトラックピッチを７４４ｎｍ
（半径ｒ＝５２．９ｍｍ〜５３．９ｍｍ）のトラックピッチを７４８ｎｍ
（半径ｒ＝５３．９ｍｍ〜５４．９ｍｍ）のトラックピッチを７５２ｎｍ
（半径ｒ＝５４．９ｍｍ〜５５．９ｍｍ）のトラックピッチを７５６ｎｍ
（半径ｒ＝５５．９ｍｍ〜５６．９ｍｍ）のトラックピッチを７６０ｎｍ
（半径ｒ＝５６．９ｍｍ〜５７．９ｍｍ）のトラックピッチを７６４ｎｍ
（半径ｒ＝５７．９ｍｍ〜５８．５ｍｍ）のトラックピッチを７６９ｎｍ
と変化させる。
【００５８】
【表３】
2005203051.tif 000005
【００５９】
光ディスクＥおよび光ディスクＦのすべての領域において、ウォブル信号特性を満たし、ウォブル信号を安定再生することができる。さらに、ウォブルグルーブのジッターは、光ディスクＥが７．４−７．９％、光ディスクＦが７．５−７．９％となり、良好な記録再生特性を得ることができた。
【００６０】
ディスクの内周部から外周部の全領域において、光ディスクＥのプッシュプル信号量は０．２９５−０．２５８となり、光ディスクＦのプッシュプル信号量は０．３０５−０．２４１となり、両ディスクとも規格を満たしている。しかしながら、光ディスクＦは、成形の転写性や複屈折、記録膜成膜などの影響で外周方向に進むにつれ、プッシュプル信号量の減少の割合が光ディスクＥの減少の割合に較べて大きい。
【００６１】
以上より、ＤＶＤ−Ｒの場合においても、トラックピッチを７３５ｎｍから７６９ｎｍまで徐々に変化させることにより、外周部のプッシュプル信号量の減少を抑えるようになされる。
【００６２】
上述したように、光ディスクＡ、Ｃ、Ｄ、Ｅのトラックピッチの変化量はいずれも５ｎｍ以下とされる。具体的には光ディスクＡのトラックピッチの変化量は２ｎｍ、３ｎｍ、４ｎｍ、光ディスクＣのトラックピッチの変化量は２ｎｍ、光ディスクＤのトラックピッチの変化量は４ｎｍ、光ディスクＥのトラックピッチの変化量は２ｎｍ、３ｎｍ、４ｎｍ、５ｎｍとされる。また、トラックピッチの変化量を１ｎｍにすることも可能である。トラックピッチは７３２ｎｍから７７０ｎｍまで徐々に変化している。
【００６３】
ここでトラックピッチの変化量が５ｎｍでは、平均のトラックピッチ７４０ｎｍの０．６８％（（５／７４００）＊１００＝０．６８）であり、同様にトラックピッチの変化量が２ｎｍ、３ｎｍ、４ｎｍでは、それぞれ０．２７％、０．４１％、０．５４％である。
【００６４】
次に、この発明をＣＤ−Ｒに適用した例について説明する。評価用のＣＤ−Ｒ光ディスクＧおよびＨを作製し、それらの評価を行った結果について説明する。ここで光ディスクＧ、Ｈの色素記録膜として、フタロシアニン色素が用いられる。光ディスクＧのトラックピッチは、一定（例えば１６００ｎｍ）とする。光ディスクＨのトラックピッチを、下記に示すように変化させる。
【００６５】
（半径ｒ＝２３ｍｍ〜３３ｍｍ）のトラックピッチを１５６０ｎｍ
（半径ｒ＝３３ｍｍ〜３８ｍｍ）のトラックピッチを１５７０ｎｍ
（半径ｒ＝３８ｍｍ〜４２ｍｍ）のトラックピッチを１５８５ｎｍ
（半径ｒ＝４２ｍｍ〜４５ｍｍ）のトラックピッチを１６００ｎｍ
（半径ｒ＝４５ｍｍ〜４８ｍｍ）のトラックピッチを１６１５ｎｍ
（半径ｒ＝４８ｍｍ〜５１ｍｍ）のトラックピッチを１６３０ｎｍ
（半径ｒ＝５１ｍｍ〜５３．５ｍｍ）のトラックピッチを１６４５ｎｍ
（半径ｒ＝５３．５ｍｍ〜５５．５ｍｍ）のトラックピッチを１６６０ｎｍ
（半径ｒ＝５５．５ｍｍ〜５７ｍｍ）のトラックピッチを１６７５ｎｍ
（半径ｒ＝５７ｍｍ〜５８．５ｍｍ）のトラックピッチを１６９０ｎｍ
と変化させる。
【００６６】
この例では、トラックピッチの変化の比は、（１６９０／１５６０＝１．０８３）以内である。トラックピッチの変化のステップは、平均トラックピッチ１６００ｎｍに対して１５ｎｍ以下であり、（１５／１６００）＊１００＝０．９４％である。トラックピッチの０．９４％以下が好ましい。
【００６７】
【表４】
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【００６８】
ディスクの内周部から外周部の全領域において、光ディスクＧのプッシュプル信号量は０．１１２−０．０９１、光ディスクＨのプッシュプル信号量は０．１０５−０．０９９と規格を満たしている。しかしながら、光ディスクＧは、成形の転写性や複屈折、記録膜成膜などの影響で外周方向に進むにつれ、プッシュプル信号量の減少の割合が光ディスクＨの減少の割合に較べて大きい。
【００６９】
以上より、ＣＤ−Ｒの場合、トラックピッチを１５６０ｎｍから１６９０ｎｍまで変化量１５ｎｍ以下で徐々に変化させることにより、外周部のプッシュプル信号量の減少を抑えるようになされる。
【００７０】
ここでトラックピッチ１５６０ｎｍは、平均のトラックピッチ１６００ｎｍの９７．５％（（１５６０／１６００）＊１００＝９７．５）であり、トラックピッチ１６９０ｎｍは、平均のトラックピッチ１６００ｎｍの１０５．６％（（１６９０／１６００）＊１００＝１０５．６）である。
【００７１】
この発明により、成形の転写性や複屈折、記録膜成膜などの影響による外周部のプッシュプル信号量の減少を抑制し、プッシュプル信号量が均一で安定したトラッキングサーボが得られるフォーマットを実現できる。
【００７２】
この発明は、上述したこの発明の一実施形態に限定されるものでは無く、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。例えばこの発明は、ＣＤ−ＲＯＭに対しても適用可能であり、ＣＤ−ＲＯＭにおいて、プッシュプル信号量が均一で安定したトラッキングサーボが得られるフォーマットを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】ＤＶＤ＋ＲＷディスクのフォーマットを模式的に示す略線図である。
【図２】ＤＶＤ＋ＲＷディスクのプッシュプル信号量半径依存性のグラフである。
【図３】この発明に係る記録媒体および記録媒体製造用原盤を作製する際に使用されるレーザカッティング装置の一例について、その光学系の概要を示す略線図である。
【符号の説明】
【００７４】
Ｇｖ  グルーブ
Ｔｐ  トラックピッチ
２０  レーザカッティング装置
２２  レーザ光
２５  ドライバー
２６  対物レンズ
２７  移動光学テーブル
Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３  ミラー
１７  ターンテーブル
１８  スピンドルサーボ
２８  ガラス原盤
２４  音響光学偏向器（ＡＯＤ）
２９  電圧周波数制御器
３０  ポジションセンサー
３１  レーザスケール
３２  エアスライダー
３３  送りサーボ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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