(57)【要約】  【課題】  床の多自由度振動により生産、研究または居住性能上の問題となる数Ｈｚ〜数百Ｈｚまでの広い周波数範囲にわたる固体伝搬音や床振動を安定的に低減することができる床制振装置を提供する。  【解決手段】  制振対象床の振動を検知するためのセンサと、センサによる検知信号と制振対象の動特性モデルとから振動及び固体伝搬音を低減し得るアクチュエータ操作量を求めてアクチュエータを制御する制御器と、制御器により駆動制御されて加振力を生じるアクチュエータとを備え、制御器は、制振対象床の動特性モデルに内在するモデル誤差を正規化左既約分解で表現するとと共に、制御性能とロバスト安定性を考慮した周波数重み関数を用い、γ−反復無しでＨ無限大準最適制御問題を解くことにより設計されたものである。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
制振対象である床の振動を検知するためのセンサと、該センサによる検知信号と制振対象の動特性モデルとから振動及び固体伝搬音を低減し得るアクチュエータ操作量を求めてアクチュエータを制御する制御器と、該制御器により駆動制御されて加振力を生じるアクチュエータとを備え、
前記制御器は、前記制振対象床の動特性モデルに内在するモデル誤差を正規化左既約分解で表現するとと共に、制御性能とロバスト安定性を考慮した周波数重み関数を用い、γ−反復無しでＨ無限大準最適制御問題を解くことにより設計されたものであるアクティブ床制振装置。
【請求項２】
前記制御器は、前記アクティブ床制振装置の設置時及び前記制振対象床の動特性が変化した際に、アクチュエータが発生する加振力と制振対象床の振動との時系列データを多変数Levinsonアルゴリズムにより多変数自己回帰モデルにあてはめ、赤池の情報量基準が最小となるモデル次数を選択して制振対象床をシステム同定し、制御対象床の動特性モデルに内在するモデル誤差を低下させるものである請求項１に記載のアクティブ床制振装置。
【請求項３】
制振対象物である床の多自由度振動を検知するためのセンサと、該センサによる検知信号と制振対象の動特性モデルとから前記多自由度振動及び固体伝搬音を低減し得るアクチュエータ操作量を求めてアクチュエータを制御する制御器と、該制御器により駆動制御されるアクチュエータとを備え、
前記アクチュエータは、制振対象床に固定される固定部材と、制振対象床に対して相対的に上下動する可動部材とを備え、該可動部材には一対の環状形磁石が上下に所定間隔で設けられ、該一対の環状形磁石に対向するように一対のコイルが上下に所定間隔で固定部材に設けられ、前記一対の環状形磁石の一方はコイル対向側がＮ極とされ、前記一対の環状形磁石の他方はコイル対向側がＳ極とされ、前記一対のコイルはそれぞれ電流が逆方向に流れる二極型ボイスコイルモータであることを特徴とするアクティブ床制振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は環境振動の振動源による床振動及び固体伝搬音のアクティブ制振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の床振動に関するアクティブ制振装置としては、建物床等の支持面と嫌振機器もしくは建物床等の支持面と嫌振機器の設置床の間に除振装置を設置し、主に支持系の共振応答を抑えるアクティブ除振装置として使用されることが多い。あるいは、制振対象である床や梁に直接設置し、床の固有振動数や外乱振動数における振動をＨ無限大制御理論等を用いて、ボイスコイルモータやピエンゾアクチュエータを介して低減させるものが開発されている。
【０００３】
しかしながら、上記従来のアクティブ制振装置では、下記(1)〜(6)に記載したような問題点があった。
(1) 個々の嫌振機器が設置された箇所に限られ、その床面積のみを制御対象とする装置が多く、広範囲の床面積にわたって振動を制御するには複数の装置が必要となり、コストが大きくなる。
(2) 極配置法や最適レギュレータ法などの線形制御理論で設計した制御器は、制御対象の動特性モデルにモデル誤差が含まれると、期待通りの制振効果が得られず、制御系が不安定になる恐れがある。
(3) 混合感度法によるＨ無限大標準問題を解けばロバスト安定な制御器が得られるが、設計方法が複雑で望ましい制振効果を得るには試行錯誤が必要である。
(4) ロバスト安定性を保証する制御理論を用いても、アクチュエータやセンサなどを含めた制御対象の動特性モデルに内在するモデル誤差、制御性能とロバスト安定性の二律背反性のため、広い周波数範囲にわたる振動を安定に大きく低減するのは困難である。
(5) アクチュエータが一極型のボイスコイルモータでは、コイルの磁束がヨーク中を通るため、マグネットによる磁束とプラスされ、電流により推力変動が起こり、電流・推力の非線形性、エネルギーロスが大きくなる。
(6) アクチュエータが一極型のボイスコイルモータでは、電流の周波数が大きくなるにつれて鉄損が大きくなり、制御効率が低下する。
【０００４】
また特開２００１−３１２３０２号公報（特許文献１）にアクティブ制振方法が記載されており、この方法により制御される床制振装置が、特開２００１−３１７５８４号公報（特許文献２）に記載されている。
【０００５】
すなわち、特許文献１の制振方法は、制振装置が設置された制振対象床の振動をセンサで検知し、この検知信号から制振対象床に対する制御量を演算し、得られた制御量に基づいて制振装置のアクチュエータに制振力を入力し、アクチュエータによって制振対象床に振動を加えることにより、制振対象床の振動を低減させるアクティブ制振方法であって、外乱により生じた制御対象床の固有振動数と異なる振動数において大きな重みを持つ感度低減用の周波数重み関数を設定し、Ｈ無限大制御理論を用いてコントローラを設計し、センサによって検出された外乱により発生した制御対象床の固有振動数と異なる振動数の検出信号からアクチュエータに上記周波数重み関数に基づく感度低減用の制御力を入力することにより、制御対象床の外乱振動数における振動を低減させるものである。
【０００６】
しかしながら、特許文献１の制振方法では、１次固有振動数および外乱振動数の振動を制御対象としており、例えば、地下鉄付近の集合住宅等の建築物に伝搬される固体伝搬音を制御することは課題とされておらず、したがって、都市建築物における振動問題への対策となり得るものではない。また特許文献１では、感度低減用の周波数重み関数を設定し、Ｈ無限大制御理論を用いてコントローラを設計する際に、評価関数γの最小値を解析的に求めることができず、極値探索法の繰り返し計算（γ−反復法）が必要であり、しかも、制御対象の極やゼロ点が虚軸に近い場合の問題なども含めて、設計が容易ではない。
【０００７】
また特許文献２に記載された装置は、励磁コイルと駆動コイルの組み合わせにより錘を上下方向に駆動制御するものであるが、このような構成では、鉄損、すなわちコイルの磁界が乱れることによるエネルギー損失が比較的大きいという問題がある。
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−３１２３０２号公報
【特許文献２】特開２００１−３１７５８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明では、上記の問題点を解決することを課題とするものであり、床の多自由度振動（曲げ波）により生産、研究または居住性能上の問題となる数Ｈｚ〜数百Ｈｚまでの広い周波数範囲、例えば、５Ｈｚ〜２００Ｈｚといった周波数範囲にわたる固体伝搬音や床振動を安定的に低減することができる床制振装置を提供する。
【００１０】
本発明の別の課題は、制御器の設計が比較的容易に行える床制振装置を提供することである。
【００１１】
また本発明の別の課題は、アクチュエータにおける鉄損が比較的小さくなるように抑制可能であるとともに、数Ｈｚ〜数百Ｈｚまで平坦で円滑な周波数特性を有するアクチュエータを備えた床制振装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明では、制振対象である床の振動を検知するためのセンサと、該センサによる検知信号と制振対象の動特性モデルとから振動及び固体伝搬音を低減し得るアクチュエータ操作量を求めてアクチュエータを制御する制御器と、該制御器により駆動制御されて加振力を生じるアクチュエータとを備え、前記制御器は、前記制振対象床の動特性モデルに内在するモデル誤差を正規化左既約分解で表現すると共に、制御性能とロバスト安定性を考慮した周波数重み関数を用い、γ−反復無しでＨ無限大準最適制御問題を解くことにより設計されたものであるアクティブ床制振装置が提供される。
【００１３】
本発明のアクティブ床制振装置では、個々の嫌振機器が設置された箇所などに限られた範囲の床のみを制御対象とするのではなく、大梁に囲まれた構造床全体を制御対象として、その多自由度振動（曲げ波）を制御量とする。したがって、制御量や操作量（アクチュエータが制御対象に及ぼす力）は床振動の主成分である鉛直方向（床の面外方向）のみを対象とし、その周波数範囲は生産や研究上または居住性能上、床振動自体やそれに付随する固体伝搬音が問題とされる数Ｈｚから数百Ｈｚを対象とする。単数のセンサとアクチュエータで多自由度の曲げ波を効率良く制御するために、モード形状を想定して操作点と観測点を適切に定める。
建築物における制御対象床の動特性モデルを有限要素法などで作成すると共に、アクチュエータ、センサ、Ａ／Ｄ変換器などの動特性モデルをシステム同定などにより定め、アクティブ制振の制御系において制御器のみを除いた広義制振対象の動特性モデルを作成する。しかしながら、この動特性モデルがモデル誤差を含むことは避けられない。このモデル誤差を正規化左既約分解で表現した場合、最大のモデル誤差（εmax）を許容するロバスト制御器の正解が反復計算無しで得られる。しかし、このままでは、制御器に制御性能を加味することはできないので、広義制御対象の動特性モデルの前後に周波数重み関数を用い、古典制御の開ループ伝達関数の整形手法を用いて制御性能を考慮する。整形された広義制御対象の動特性モデルを用いて正規化左既約分解表現によるロバスト制御器を求め、前置、後置の周波数重み関数と結合すれば、制御性能とロバスト安定性を保証する整形前の広義制御対象の制御器が得られる。この手法によれば、制御設計者は前置、後置の周波数重み関数を経由して制御性能を設定することができて、制御性能とロバスト安定性の二律背反性は、設定した制御性能の実現性、すなわち、εmax＜１の大きさとなって現れる。
【００１４】
本発明において、前記制御器は、前記アクティブ床制振装置の設置時及び前記制振対象床の動特性が変化した際に、アクチュエータが発生する加振力と制振対象床の振動の時系列データを多変数Levinsonアルゴリズムにより多変数自己回帰モデルにあてはめ、赤池の情報量基準が最小となるモデル次数を選択して制振対象床をシステム同定し、制御対象床の動特性モデルに内在するモデル誤差を低下させるものである。
さらに詳細に説明すれば、前記制御器は、
(1) 暗振動状態において制振対象床への入力外乱よりも充分大きいランダム加振力をアクチュエータから発生させ、
(2) アクチュエータのランダム加振力と制振対象床の振動の時系列データを収録し、
(3) 多自由度系の運動方程式は多変数自己回帰移動平均モデル(多変数ＡＲＭＡモデル)で記述することが可能であり、そのモード特性がＡＲ係数行列のモードマトリクスや固有値で表現できることを利用して、
(4) 収録した時系列データを多変数Levinsonアルゴリズムにより多変数自己回帰モデル（多変数ＡＲモデル）にあてはめ、
(5) 最小ＡＩＣ法（赤池の情報量基準が最小となるモデル次数の選択）を利用して制振対象床のモード特性を同定し、
(6) 制振対象床の動特性モデルに内在するモデル誤差を低下させるものである。
【００１５】
さらに、本発明では、制振対象物である床の多自由度振動を検知するためのセンサと、該センサによる検知信号と制振対象の動特性モデルとから前記多自由度振動及び固体伝搬音を低減し得るアクチュエータ操作量を求めてアクチュエータを制御する制御器と、該制御器により駆動制御されるアクチュエータとを備え、前記アクチュエータは、制振対象床に固定される固定部材と、制振対象床に対して相対的に上下動する可動部材とを備え、該可動部材には一対の環状形磁石が上下に所定間隔で設けられ、該一対の環状形磁石に対向するように一対のコイルが上下に所定間隔で固定部材に設けられ、前記一対の環状形磁石の一方はコイル対向側がＮ極とされ、前記一対の環状形磁石の他方はコイル対向側がＳ極とされ、前記一対のコイルはそれぞれ電流が逆方向に流れる二極型ボイスコイルモータであることを特徴とするアクティブ床制振装置が提供される。
制御性能とロバスト安定性の二律背反性のため、広い周波数範囲にわたる振動を安定に大きく低減するには、アクチュエータ、センサ、Ａ／Ｄ変換器などがモデル誤差の小さい動特性を持つ必要がある。このため、特にアクチュエータについては、上記のように構成することにより、推力−電流特性が線形で、数Ｈｚから数百Ｈｚまで平坦な周波数特性を有するようにして、上記要求を満たすものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のアクティブ床制振装置では、嫌振機器が設置された個々の区画に限らず、大梁に囲まれた床全域において、曲げ波に伴う数Ｈｚ〜数百Ｈｚの広い周波数範囲の固体伝搬音や床振動を効果的に低減することが可能である。この際、センサ、Ａ／Ｄ変換器、アクチュエータを含めた広義の制御対象の動特性に近いモデルを得ることにより、制御設計者にとって、周波数重み関数を経由して制御性能を設定し、ロバスト安定性が保証されるモデル誤差の最大値（εmax）を指標に制御性能とロバスト安定性を調整するだけの簡単な設計が可能になる。
【００１７】
本発明のアクティブ床制振装置では、制御器が、アクティブ床制振装置の設置時や制振対象床の動特性が変化した際にも、制振対象床をシステム同定するものであるため、制御対象床の動特性モデルに内在するモデル誤差を最低限に抑え、制御性能を向上させることができる。
【００１８】
本発明のアクティブ床制振装置では、アクチュエータが上下一対のコイルと上下一対の環状形磁石とを備え、一対のコイルはそれぞれ逆方向に電流が流れるように設定し、一対の環状形磁石のコイル対向面をそれぞれＮ極とＳ極にしたので、推力−電力特性が線形となり、数Ｈｚから数百Ｈｚまでの比較的広い周波数範囲の固体伝搬音や床振動を効率良く制御することができて、しかも、環状形磁石とコイルにおける磁界の乱れによるエネルギー損失も著しく低減することが可能になった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、実施例を参照して本発明について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１は本発明のアクティブ床制振装置におけるアクチュエータ１０の断面図である。
図１のアクチュエータ１０は、制振対象床２０に固定された部材と、上下方向に反復移動して制振対象床に制御力を与える可動部材とから構成される。固定側の部材として、制振対象床２０に固定されたベースプレート１１の外縁に複数の支柱１２が立設され、これら外縁の支柱１２よりも太い支柱１３がベースプレート１１の中央に立設され、さらに、これら外縁支柱１２と中央支柱１３との中間位置には、上下一対のコイル１４ａ，１４ｂが固定された管体１５が設けられる。
一方、可動側の部材としては、上端が連結された二重管構造の錘１６がスライド可能に中央支柱に環装され、この二重管の空洞部分１６ａに前記コイル固定管体１５が下方から嵌挿されている。錘１６はその外周に複数のブラッケット１６ｂを有し、各ブラッケットに形成された貫通孔内にはブッシュが固定され、このブッシュに前記外縁支柱１２が貫装され、ブラッケット１６ｂの下側に弦巻バネ１２ａが設けられる。また二重管構造の錘１６の空洞部１６ａにおいては、外管１６ｃ側に上下一対の磁石１７ａ，１７ｂが固定され、これらの磁石１７ａ，１７ｂは前記上下一対のコイル１４ａ，１４ｂと対向配置される。一対の磁石１７ａ，１７ｂのうち、上側の磁石１７ａはコイル対向面がＮ極に、下側の磁石１７ｂはコイル対向面がＳ極に形成されている。以上の構成の錘１６は、上下方向に動くことができるように、弦巻バネ１２ａにより下方から弾性状に支持されているのみであり、可動側の他の部材に対しては摺動可能に接触するか、あるいは所定のクリアランスを置いて接触しないように設けられている。
【００２０】
上記構成のアクチュエータ１０では、錘１６が上下運動を行い、弦巻バネ１２ａからベースプレート１１を介して制御対象床２０に加えられる振動が制御力として作用し、制御対象床２０の固体伝搬音や振動を低減させるものである。つまり、後述する制御器により所定の通電が為されることにより、電流と推力の非線形性を低減させると共に、錘１６内における鉄損を著しく低減させることができて、錘１６を数Ｈｚから数百Ｈｚまで平坦な周波数特性で効率良く上下方向に駆動させることが可能になるものである。
【００２１】
次に、図２は本発明のアクティブ床制振装置における制御系を示した図である。
本実施例において制御対象は、柱と大梁により囲まれた床の構造体であり、この一部にセンサやアクチュエータ１０が設置される。センサは設備機器や人の動きなど環境振動の振動源によって生じる床の振動を電圧として検出するものであり、Ａ／Ｄ変換器によりデジタル化された検出電圧を制御器に伝える。制御器は、この検出電圧に基づいて最適な制御電圧を算出し、ＰＷＭ制御（パルス幅変調制御）によってアクチュエータ１０を稼動させる。
センサ、Ａ／Ｄ変換器を含めた制御器、アクチュエータ１０の動特性は、制御系設計時に事前の試験データから定めることができる。しかしながら、制御対象は、柱と大梁により囲まれた床の構造体であり、設計では竣工後の制御対象の動特性に近いモデルを得ることができるだけであり、例外なく、モデル誤差が含まれるものである。図２の制御系において、制御器の設計で用いられる制御対象のモデルは、現実の制御対象の不確定な部分を無視したノミナルモデルである。ある程度の大きさのモデル誤差があっても良好な制御性能を保つには、ノミナルモデルとそれに近いシステム類を安定にするロバスト制御器が必要である。
【００２２】
本発明のアクティブ床制振装置では、図２の広義制御対象のノミナルモデルとそれに近いシステム類の表現に正規化左既約分解を用いており、可能な限り大きいモデル誤差に対してノミナルモデルに近いシステム類をすべて安定化させるフィードバック制御器を、Ｈ無限大準最適制御問題の解としてγ−反復計算無しで求めるものである。この際、制御性能とロバスト安定性は周波数重み関数によって考慮しても良いものである。
【００２３】
以下の記載では、床振動を簡易的に分布質量系単純支持平板の微小たわみ問題と考えて、各パラメータが図３の通りである単純支持平板を制御対象とする系に対して制御器を設計し、周波数応答の改善効果を検証するものである。
図４（ａ）では、実用上、２次モードまでが問題となる制御対象に２次の制御対象モデルを用い、操作点、観測点ともに（ｘ，ｙ）＝（ａ／２，ｂ／４）の位置で制御する場合（case1）について、制御前後の周波数応答を示した。図４（ｂ）（ｃ）では、同様に７次の制御対象に２次または７次の制御対象モデルを用い、操作点、観測点ともに（ｘ，ｙ）＝（３ａ／８，３ｂ／８）の位置で制御する場合(case2)または(case3)について、制御前後の周波数応答を示した。サンプリング周波数は、１０００Ｈｚ、周波数重みV(s)は定数１、周波数重みW(s)は(case1)、(case2)で定数１０、(case3)では定数５としている。
また図５は、図４（ｃ）における制御対象と制御対象モデルの周波数応答の差と、制御対象モデルとその制御器による準相補感度関数の逆数の関係を示すグラフである。すなわち、図５のグラフにおいて、点線は制御対象（７次）の周波数応答、下の実線は制御対象（７次）と制御対象モデル（２次）との周波数応答の差（加法的誤差）、上の実線は制御対象モデル（２次）とその制御器から得られる準相補感度関数との逆数（加法的誤差の許容値）である。
図４（ａ）すなわち(case1)では１、２次モードともに２０ｄB程度の制振効果が得られている。また図４（ｂ）すなわち(case2)では、操作点、観測点が全モードの腹近傍とはならないため、４〜５次モードの制振効果が小さくなっているが、問題の実情に合わせた操作点、観測点の位置選定や複数化で制振効果の改善が可能である。図中、６次モードは７次モードに埋もれている。図４（ｃ）すなわち(case3)は、(case2)よりも制振効果が小さいが、図５の通り、制振対象と制御対象モデルの周波数応答の差（加法的誤差）が、制振対象モデルとその制御器による準相補感度関数の逆数（加法的誤差の許容値）よりも小さく、モデル誤差に対するロバスト安定性を有している。
【００２４】
制御性能とロバスト安定性は二律背反の関係にあるため、（case2）（case3）の例でも見られたように、モデル誤差が大きい場合には、たとえロバスト安定性を確保できても、目標通りの制御性能が達成できないことがある。そこで、制御対象のモデル誤差や動特性変動に対する制御性能低下を抑えたい場合、または制御対象のモデル化を省略して制振装置を設置したい場合には、極めて有効である制振対象のシステム化を以下に示す。
【００２５】
多自由度系の運動方程式は、多変数ＡＲＭＡモデル（多変数自己回帰移動平均モデル）で記述することが可能であり、そのモード特性がＡＲ係数行列のモードマトリクスや固有値で表現できるものである。したがって、図２の制御系において入力外乱ｆ(t)よりも充分大きい操作量と観測量の時系列データが得られれば、これらを多変数ＡＲＭＡモデルにあてはめることにより、制御対象のモード特性を求めることができ、この結果を用いれば制御性能のより高い制御器を設計することができる。
【００２６】
図３のパラメータを持つ分布質量系単純支持平板を制御対象とし、アクティブ床制振装置による加振力（操作量）と床上速度（観測量）のデータから制御対象モデルを同定する際の同定精度を確認する。最初に、平均０、分散１００Ｎの正規性白色雑音加振力データと、これを制御対象に入力した際の観測量データを作成し、操作点、観測点ともに（ｘ，ｙ）＝（３ａ／８，３ｂ／８）の１点とし、６次モード特性まで同定する場合を考える。自由度数６、観測点数１であるから、可観測の条件よりＡＲ係数行列の次数は１２となる。次に、得られた加振力、観測量データを多変数Levinsonアルゴリズムにより、多変数ＡＲモデルに当てはめる。離散化の時間刻みは１／１５０秒、システム同定を用いたデータ数は１５００とする。図６に、この当てはめの際のＡＩＣ値分布を示す。最小ＡＩＣ法によるとＡＲモデルの最適次数は１２次となり、上述のＡＲ係数行列の次数と一致する。
１２次のＡＲ係数行列（ここでは観測点数が１のため１行１列のスカラー値ＡＲ係数）から同定される制御対象の１〜６次の固有振動数、減衰定数を設定した真値と比較して図７に示す。各モードの固有振動数、減衰定数とも精度良く同定されていることが判る。このように、制御対象のモード特性を精度良く同定することができれば、制御対象モデルにおけるモデル誤差が小さくなり、前述の（case2）のように、制御性能の高い制御器を設計することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明のアクティブ床制振装置におけるアクチュエータの断面図である。
【図２】本発明のアクティブ床制振装置における制御系の図である。
【図３】本発明のアクティブ床制振装置の効果を検証するため作成した単純支持平板の各パラメータを示す表である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は床振動を分布質量系単純支持平板の微小たわみ問題と考え、各パラメータが図３のとおりである単純支持平板を制御対象とする系に対して制御器を設計し、周波数応答の改善効果をみた際の結果を示すグラフである。
【図５】図４（ｃ）における制御対象と制御対象モデルの周波数応答の差（加法的誤差）と制御対象モデルとその制御器による準相補感度関数の逆数（加法的誤差の許容値）の関係を示す図である。
【図６】加振力、観測量データを多変数ＡＲモデルに当てはめた際のＡＩＣ値分布で、最小ＡＩＣ法によるＡＲモデルの最適次数が真値と同じ１２次であることを示す図である。
【図７】数値シミュレーションによる加振力（操作量）と床上速度（観測量）の時系列データから同定された制御対象の１〜６次の固有振動数、減衰定数を設定した真値と比較した表である。
【符号の説明】
【００２８】
１０  アクチュエータ
１１  ベースプレート（固定部材）
１２  外縁支柱（固定部材）
１２ａ  ブッシュ
１２ｂ  弦巻バネ
１３  中央支柱（固定部材）
１４ａ，１４ｂ  上下一対のコイル
１５  コイル固定管体（固定部材）
１６  錘（可動部材）
１７ａ，１７ｂ  一対の環状形磁石
２０  制振対象床
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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