(57)【要約】【課題】構造が簡潔で、液体を効率よく気化させることが可能な気化装置及びこれを用いた熱処理炉を提供する。【解決手段】内部にキャリアガスを供給するための気体供給口１と、内部に蒸発させるべき液体を供給する液体供給口２と、液体が蒸発した蒸気とキャリアガスの混合気体を外部に取り出す気体取り出し口３とを備えた筒状の気化器本体４の内部に、外周面６ａを液体供給口２から供給された液体が濡れ広がって蒸発するとともに、内周側を気体供給口１から供給されたキャリアガスが通過する内部筒状体６を配設する。内部筒状体６を、外周部が気化器本体４の内周面４ａと接して、気体供給口１から気体が供給される領域Ａと液体供給口２から液体が供給される領域Ｂを仕切るフランジ部（つば部）７を備えた構成とする。内部筒状体６を、外周面６ａ側に、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材（多孔質金属部材）８を備えた構成とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にキャリアガスを供給するための気体供給口と、内部に蒸発させるべき液体を供給するための液体供給口と、液体が蒸発した蒸気とキャリアガスの混合気体を外部に取り出すための気体取り出し口とを備えた筒状の気化器本体と、
前記気化器本体を加熱する加熱手段と、
前記気化器本体の内部に配設され、外周面を前記液体供給口から供給された液体が濡れ広がって蒸発するとともに、内周側を前記気体供給口から供給されたキャリアガスが通過する内部筒状体と
を具備することを特徴とする気化装置。
【請求項２】
前記内部筒状体は、外周部が前記気化器本体の内周面と接し、前記気体供給口から気体が供給される領域と前記液体供給口から液体が供給される領域とを仕切るフランジ部を備えており、前記気体供給口から供給されたキャリアガスが、内部筒状体の外周面を液体が濡れ広がって蒸発する領域に直接に流れ込むことなく、内部筒状体の内周側を通過するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の気化装置。
【請求項３】
前記内部筒状体が、その外周面側に、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材を備えていることを特徴とする請求項１又は２記載の気化装置。
【請求項４】
前記液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材が、多孔質部材、メッシュ部材、線状部材からなる群より選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項３記載の気化装置。
【請求項５】
前記内部筒状体の外周面に、表面積を増大させるための加工が施されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の気化装置。
【請求項６】
熱処理の雰囲気を調整するためのガスを供給する供給装置として請求項１〜５のいずれかに記載の気化装置を備えることを特徴とする熱処理炉。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、液体を気化させる気化装置に関し、詳しくは、液体を気化させて、キャリアガスと混合された混合ガスを得るための気化装置及びこれを用いた熱処理炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品を製造するにあたって、例えば焼成等の熱処理を行う場合、雰囲気の調整が重要である。このような雰囲気の調整のために、液体を蒸発させてキャリアガスと混合した混合ガスを熱処理炉に供給しながら熱処理を行う場合がある。
そして、このような混合ガスを得るために用いられる気化装置としては、例えば、図５に示すような気化装置（水蒸気発生装置）５１がある。
この気化装置５１は、図５に示すように、断熱材からなるハウジング６１内に配設された、密閉容器状の筒型マッフル５２と、筒型マッフル５２を覆うように配設されたヒータ５３と、筒型マッフル５２の長手方向に沿って傾いた状態で配設された、断面形状が略Ｕ字状の、一対の傾斜レール５４，５５と、筒型マッフル５２内の異常な圧力上昇を防止して安全を確保するためのリリーフバルブ５９とを備えている。そして、筒型マッフル５２の、上側に位置する傾斜レール５４の上端部５４ａが位置する方の端部（一方の端部）５２ａには、上側の傾斜レール５４上に一定量の水Ｗを滴下して供給する水供給管５６が設けられている。
また、筒型マッフル５２の、上側に位置する傾斜レール５４の下端部と、下側に位置する傾斜レール５５の上端部とは、筒型マッフル５２の端部（他方の端部）５２ｂで折り返されるように連結（連通）されている。
【０００３】
さらに、筒型マッフル５２の他方の端部５２ｂには、キャリアガスＣＧを供給するガス供給管５７が設けられており、ガス供給管５７は筒型マッフル５２の一方の端部５２ａの近傍にまでキャリアガスＣＧが供給されるように、筒型マッフル５２に深く挿入されている。また、筒型マッフル５２の他方の端部５２ｂには筒型マッフル５２内で発生した水蒸気ＳとキャリアガスＣＧとの混合ガスＧを排出するためのガス排出管５８が設けられている。
【０００４】
そして、この気化装置５１においては、ヒータ５３により、外部から筒型マッフル５２を加熱しつつ、水供給管５６から、筒型マッフル５２の内部に斜めに配設された傾斜レール５４上に水を滴下、供給し、傾斜レール５４及び５５を通過させることにより水Ｗの加熱を行うとともに、ガス供給管５７から筒型マッフル５２の内部にキャリアガスＣＧを供給することにより、キャリアガスＣＧを加熱し、蒸発した水蒸気ＳとキャリアガスＣＧの混合ガスをガス排出管５８から取り出すようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平６−２２１５０１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の気化装置（水蒸気発生装置）においては、ハウジング６１内に筒型マッフル５２が配設され、この筒型マッフル５２を覆うようにヒータ５３が配設されているとともに、筒型マッフル５２の内部には、その端部５２ｂで折り返されるように連結（連通）された傾斜レール５４，５５が配設されており、さらに、筒型マッフル５２には、水供給管５６、ガス供給管５７、水蒸気ＳとキャリアガスＣＧとの混合ガスＧを排出するためのガス排出管５８、リリーフバルブ５９などが配設された複雑な構造を有しており、設備コストの削減を図ることが困難であるという問題点がある。
【０００７】
また、上記従来の気化装置では、外部から筒型マッフル５２を加熱しつつ、水供給管５６から、筒型マッフル５２の内部に斜めに配設された傾斜レール５４上に水を滴下、供給し、傾斜レール５４及び５５を通過させることにより加熱を行って、水を気化させるようにしており、筒型マッフル５２の周壁から傾斜レール５４及び５５までの距離が大きいこと、傾斜レール５４，５５と水の接触面積が小さいこと、筒型マッフル５２内の雰囲気と接する、傾斜レール５４，５５を流れる水の表面積が小さいことなどから水の蒸発効率が低く、キャリアガスや水の供給量を増やそうとすると、それに応じて装置を大型化することが必要になり、コストの増大を招くという問題点がある。
【０００８】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、構造が簡潔で、液体を効率よく気化させることが可能な気化装置及びこれを用いた熱処理炉を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願発明（請求項１）の気化装置は、
内部にキャリアガスを供給するための気体供給口と、内部に蒸発させるべき液体を供給するための液体供給口と、液体が蒸発した蒸気とキャリアガスの混合気体を外部に取り出すための気体取り出し口とを備えた筒状の気化器本体と、
前記気化器本体を加熱する加熱手段と、
前記気化器本体の内部に配設され、外周面を前記液体供給口から供給された液体が濡れ広がって蒸発するとともに、内周側を前記気体供給口から供給されたキャリアガスが通過する内部筒状体と
を具備することを特徴としている。
【００１０】
内部にキャリアガスを供給するための気体供給口と、内部に蒸発させるべき液体を供給する液体供給口と、液体が蒸発した蒸気とキャリアガスの混合気体を外部に取り出すための気体取り出し口とを備えた筒状の気化器本体の内部に、外周面を液体供給口から供給された液体が濡れ広がって蒸発するとともに、内周側を気体供給口から供給されたキャリアガスが通過する内部筒状体が配設された構造とすることにより、簡潔な構造で、液体を効率よく蒸発させることが可能な気化装置を得ることが可能になる。
すなわち、外周面を液体が濡れ広がるような内部筒状体を筒状の気化器本体の内部に配設することにより、従来の気化装置のような筒型マッフルの内部に途中に折り返しのある傾斜レールを配設した複雑な構造を必要とせずに、液体を効率よく蒸発・気化させることが可能になり、エネルギー効率を向上させることが可能になるとともに設備コストの低減を図ることが可能になる。
【００１１】
また、請求項２の気化装置は、前記内部筒状体が、外周部が前記気化器本体の内周面と接し、前記気体供給口から気体が供給される領域と前記液体供給口から液体が供給される領域とを仕切るフランジ部を備えており、前記気体供給口から供給されたキャリアガスが、内部筒状体の外周面を液体が濡れ広がって蒸発する領域に直接に流れ込むことなく、内部筒状体の内周側を通過するように構成されていることを特徴としている。
【００１２】
内部筒状体を、外周部が気化器本体の内周面と接して、気体供給口から気体が供給される領域と液体供給口から液体が供給される領域を仕切るフランジ部（つば部）を備えた構成とすることにより、該フランジ部が内部筒状体の筒状部と協働して、気体供給口から供給されたキャリアガスが、内部筒状体の外周面を液体が濡れ広がって蒸発する領域に直接に流れ込むことを阻止し、内部筒状体の内周側を確実に通過させることができるようになるため、内部筒状体の外周面と対向する気化器本体の内周面から、該外周面を濡れ広がる液体に効率よく熱を伝えることが可能になるとともに、気化器本体と接するフランジ部からの伝熱により、内部筒状体を加熱することが可能になり、液体を効率よく蒸発・気化させることが可能になる。
【００１３】
なお、本願発明において、気体供給口から気体が供給される領域と液体供給口から液体が供給される領域を仕切るフランジ部とは、気化器本体の所定の領域においては、フランジ部が気体供給口から気体が供給される領域と液体供給口から液体が供給される領域とが仕切られているが、気化器本体の内部を所定の経路で通過する途中で、気体供給口から供給された気体が、液体が蒸発・気化した蒸気（気体）と混ざり合い、気体取り出し口から混合ガスが取り出されるように構成されていることを意味する概念である。
【００１４】
また、請求項３の気化装置は、前記内部筒状体が、その外周面側に、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材を備えていることを特徴としている。
【００１５】
内部筒状体が、その外周面側に、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材を備えた構成とすることにより、液体にさらに確実に熱を伝えることが可能になり、液体を効率よく蒸発・気化させることが可能になる。
【００１６】
また、請求項４の気化装置は、前記液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材が、多孔質部材、メッシュ部材、線状部材からなる群より選ばれる少なくとも１種であることを特徴としている。
【００１７】
液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材として、焼結金属などの気孔を有するポーラスな多孔質部材、金網などのメッシュ部材、金属線などの線状部材からなる群より選ばれる少なくとも１種を用いることが可能であり、これらを用いることにより、液体との接触面積及び液体保持能力を確実に増大させることが可能になり、さらに液体を効率よく蒸発・気化させることが可能になる。
【００１８】
また、請求項５の気化装置は、前記内部筒状体の外周面に、表面積を増大させるための加工が施されていることを特徴としている。
【００１９】
内部筒状体の外周面に、表面積を増大させるための加工を施すことによっても、内部筒状体の外周面と液体との接触面積及び液体保持能力を増大させることが可能である。また、内部筒状体の外周面に、表面積を増大させるための加工を施すことと、請求項４のように、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材を備えることを組み合わせることにより、さらに液体を効率よく蒸発・気化させることが可能になる。
なお、表面積を増大させるための加工の態様としては、内部筒状体の外周面に堀溝を形成したり、内部筒状体の外周面に下ろし金の表面のように多数の掘り起こし突起を設けたりすることが例示される。
【００２０】
また、本願発明（請求項６）の熱処理炉は、熱処理の雰囲気を調製するためのガスを供給する供給装置として上記気化装置を備えることを特徴としている。
【００２１】
上記気化装置を備えていることにより、液体を効率よく気化させることができるため、液体が気化した気体の混合量を容易に多くすることが可能になる。
したがって、熱処理炉において雰囲気の調整幅が大きくなり、所望の雰囲気に容易に調整することが可能になる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の実施形態を示してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【００２３】
［実施形態１］
この実施形態１では、キャリアガスがＮ２ガスであり、蒸発・気化すべき液体が水である気化装置を例にとって説明する。
この実施形態１の気化装置は、図１（ａ），（ｂ）に示すように、内部にキャリアガスを供給するための気体供給口１と、内部に蒸発させるべき液体（この実施形態１では水）を供給するための液体供給口２と、液体が蒸発した蒸気とキャリアガスの混合気体を外部に取り出すための気体取り出し口３とを備えた筒状の気化器本体４と、気化器本体４を加熱するための加熱手段５と、気化器本体４の内部に、気化器本体４と軸心が略同一となるような態様で配設され、外周面６ａを液体供給口２から供給された液体が濡れ広がって蒸発するとともに、内周側を気体供給口１から供給されたキャリアガスが通過するように構成された内部筒状体６とを備えている。
【００２４】
そして、内部筒状体６は、その一端側に、外周部が気化器本体４の内周面４ａと接し、気体供給口１から気体が供給される領域Ａと液体供給口２から液体が供給される領域Ｂとを仕切るフランジ部７を備えており、気体供給口１から供給されたキャリアガスが、内部筒状体６の外周面６ａを液体が濡れ広がって蒸発する領域Ｂに直接に流れ込むことなく、内部筒状体６の内周側を通過するように構成されている。
【００２５】
さらに、内部筒状体６は、その外周面６ａ側に、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材として、例えば焼結金属などからなる多孔質金属部材８を備えている。
なお、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材としては、例えば、金網のようなメッシュ部材、金属線のような線状部材などを用いることも可能である。
また、内部筒状体６の外周面６ａに堀溝を形成したり、下ろし金の表面のように多数の掘り起こし突起を設けたりして、表面積を増大させる加工を施すことにより、さらに、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるように構成することも可能である。
【００２６】
また、この実施形態１の気化装置においては、内部筒状体６のフランジ部７が配設されていない方の端部が、フランジ部７が設けられた方の端部よりも位置が高くなるように、気化器本体４を所定の角度（この実施形態１では傾斜角度θ＝５°）で傾斜させている。
【００２７】
次に、上述のように構成された気化装置の動作及び作用について説明する。
まず、加熱手段５により気化器本体４を外部から所定の温度（この実施形態１では３００℃）に加熱する。そして、気化器本体４の液体供給口２から、水を定量ポンプ（図示せず）などにより所定の割合で気化器本体４の内部の領域Ｂに供給するとともに、気体供給口１から気体（Ｎ２ガス）を気化器本体４の内部の領域Ａに供給する。
これにより、水は内部筒状体６の外周面６ａを濡れ広がり、かつ、多孔質金属部材８により保持されて、気化器本体４の内周面４ａから伝わる熱と、気化器本体４と接する内部筒状体６のフランジ部７から伝わる熱により昇温し、蒸発する。
一方、気化器本体４内の領域Ａに供給された気体は、内部筒状体６の内周側を通過し、内部筒状体６を出た後、蒸発した水（水蒸気）と混ざり合い、気体取り出し口３から外部に取り出される。
【００２８】
この実施形態１の気化装置を用いた場合、上述のように、気化器本体４内の領域Ｂに供給された水は、内部筒状体６の外周面６ａを濡れ広がり、気化器本体４内の領域Ａに供給された気体は、フランジ部７に仕切られて、水が内部筒状体６の外周面６ａを濡れ広がって蒸発する領域Ｂに流れ込むことなく、内部筒状体６の内周側を通過するため、気化器本体４の内周面４ａからの熱が、主として、内部筒状体６の外周面６ａを濡れ広がる水に伝わるため、水を効率よく蒸発・気化させることが可能になり、エネルギー効率を向上させて設備の小型化を図ることが可能になる。
【００２９】
すなわち、図２に示すように、水は経路Ｙに沿って流れ、その過程で気化器本体４から熱Ｈ１が伝熱され、温度が上昇して蒸発する。一方、気体は経路Ｘに沿って流れ、その過程で、内部筒状体６を介して熱Ｈ２が伝熱され、温度が上昇する。このとき、水に伝わる熱Ｈ１は気体に伝わる熱Ｈ２より大きい（Ｈ１＞Ｈ２）ため、効率よく水を蒸発させることが可能になる。なお、図２において、図１と同一符号を付した部分は、同一部分又は相当する部分を示している。
【００３０】
また、内部筒状体６が、その外周面６ａ側に、水との接触面積を増大させるとともに、水の保持能力を増大させる多孔質金属部材８を備えているので、水をさらに効率よく蒸発・気化させることができる。
【００３１】
さらに、気化器本体４を水平面に対して傾斜させているので、気化器本体４の内周面４ａと、内部筒状体６の外周面６ａと、フランジ部７とにより規定され、かつ、気体供給口１から気体が供給される領域Ａからフランジ部７により仕切られた領域Ｂに水を確実に保持して、効率よく蒸発させることができる。
【００３２】
なお、この実施形態１の気化装置（実施例１）と、図５に示した従来の気化装置（従来例）を用いて、気体及び液体を所定量（１倍量）供給したときと、その２倍量を供給したときの特性を調べた。その結果を表１に示す。
【００３３】
【表１】
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【００３４】
表１に示すように、従来例の気化装置では、気体及び液体の供給量を２倍にすると、加熱度（蒸気温度（気体取り出し口における混合気体の温度）−沸点（水の沸点＝１００℃））が−５．５℃となり十分気化できなくなったが、実施例１の気化装置では、気体及び液体の供給量を２倍にしても、加熱度（蒸気温度−沸点）が２４．５℃となり、十分に気化させることができた。
【００３５】
［実施形態２］
図３は本願発明の他の実施形態（実施形態２）にかかる気化装置を示す図である。なお、図３において、図１と同一符号を付した部分は、同一部分又は相当する部分を示している。
【００３６】
この実施形態２の気化装置の構成は、内部筒状体として、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための多孔質金属部材を備えていない内部筒状体６が用いられている点を除いては上記実施形態１の気化装置の場合と同一である。そして、この実施形態２の気化装置においては、液体供給口２から供給された液体が、多孔質金属部材を備えていない内部筒状体６の外周面を濡れ広がることになる点を除いて、各部の作用は上記実施形態１の場合と同様である。
【００３７】
なお、この実施形態２の気化装置（実施例２）についても、上記実施形態１の気化装置と同様にして、気体及び液体を所定量（１倍量）供給したときと、その２倍量を供給したときの特性を調べた、その結果を、図５に示した従来の気化装置（従来例）について調べた結果（表１と同じ値）と併せて表２に示す。
【００３８】
【表２】
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【００３９】
表２に示すように、実施形態２の気化装置（実施例２）においても、上記実施形態１の気化装置（実施例１）よりはいくらか劣るが、従来の気化装置に比べて、良好な特性が得られることが確認された。
【００４０】
［実施形態３］
図４は本願発明の他の実施形態（実施形態３）にかかる気化装置を示す図である。なお、図４において、図１と同一符号を付した部分は、同一部分又は相当する部分を示している。
【００４１】
この実施形態３の気化装置の構成は、内部筒状体として、フランジ部を備えておらず、ガス投入管９を備えた構成を有していることを除いて、上記実施形態２の気化装置と同様である。また、この実施形態３の気化装置においては、気体供給口１から供給された気体が、ガス投入管９を経て内部筒状体６の内側に導かれることになる点を除いて、各部の作用も上記実施形態２の場合と同様である。
なお、実施形態３の気化装置も実施形態２の気化装置と同様に、内部筒状体６が液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための多孔質金属部材を備えていない。
そして、このように構成された実施形態３の気化装置においても、上記実施形態２と同等の性能が得られることが確認されている。
【００４２】
なお、上記の各実施形態では、液体が水であり、気体がＮ２ガスである場合を例にとって説明したが、本願発明において、液体及び気体の種類に特に制約はなく、種々の液体を蒸発させて混合気体を発生させる場合に広く本願発明を適用することが可能である。
【００４３】
本願発明は、さらにその他の点においても上記各実施形態に限定されるものではなく、気化器本体の具体的な形状、構造、気化器本体を加熱する加熱手段の構成、内部筒状体の構成や配設態様、フランジ部の形状、構造などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００４４】
【発明の効果】
上述のように、本願発明（請求項１）の気化装置は、内部にキャリアガスを供給するための気体供給口と、内部に蒸発させるべき液体を供給する液体供給口と、液体が蒸発した蒸気とキャリアガスの混合気体を外部に取り出すための気体取り出し口とを備えた筒状の気化器本体の内部に、外周面を液体供給口から供給された液体が濡れ広がって蒸発するとともに、内周側を気体供給口から供給されたキャリアガスが通過する内部筒状体が配設された構造とすることにより、簡潔な構造で、液体を効率よく蒸発させることが可能になる。すなわち、外周面を液体が濡れ広がるような内部筒状体を筒状の気化器本体の内部に配設することにより、従来の気化装置のような筒型マッフルの内部に途中に折り返しのある傾斜レールを配設した複雑な構造を必要とせずに、液体を効率よく蒸発・気化させることが可能になり、設備の小型化、低コスト化を図ることが可能になる。
【００４５】
また、請求項２の気化装置のように、内部筒状体を、外周部が気化器本体の内周面と接して、気体供給口から気体が供給される領域と液体供給口から液体が供給される領域を仕切るフランジ部（つば部）を備えた構成とした場合、該フランジ部が内部筒状体の筒状部と協働して、気体供給口から供給されたキャリアガスが、内部筒状体の外周面を液体が濡れ広がって蒸発する領域に直接に流れ込むことを阻止し、内部筒状体の内周側を確実に通過させることができるようになるため、内部筒状体の外周面と対向する気化器本体の内周面から、該外周面を濡れ広がる液体に効率よく熱を伝えることが可能になるとともに、気化器本体と接するフランジ部からの伝熱により、内部筒状体を加熱することが可能になり、液体を効率よく蒸発・気化させることができる。
【００４６】
また、請求項３の気化装置のように、内部筒状体が、その外周面側に、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材を備えた構成とすることにより、液体にさらに確実に熱を伝えることが可能になり、液体を効率よく蒸発・気化させることが可能になる。
【００４７】
また、請求項４の気化装置のように、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材として、焼結金属などの気孔を有するポーラスな多孔質部材、金網などのメッシュ部材、金属線などの線状部材からなる群より選ばれる少なくとも１種を用いることが可能であり、これらを用いることにより、液体との接触面積及び液体保持能力を確実に増大させることが可能になり、さらに液体を効率よく蒸発・気化させることができる。
【００４８】
また、請求項５の気化装置のように、内部筒状体の外周面に、表面積を増大させるための加工を施すことによっても、内部筒状体の外周面と液体との接触面積及び液体保持能力を増大させることが可能である。また、内部筒状体の外周面に、表面積を増大させるための加工を施すことと、請求項４のように、液体との接触面積及び液体保持能力を増大させるための部材を備えることを組み合わせることにより、さらに液体を効率よく蒸発・気化させることができる。
【００４９】
また、本願発明（請求項６）の熱処理炉では、上記気化装置を備えることにより、熱処理の雰囲気の調整幅が大きく、熱処理雰囲気を迅速に所望の雰囲気に切り換えることが可能で、意図する雰囲気で確実に熱処理を行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる気化装置を示す図であり、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は、（ａ）のｂ−ｂ線で切断した側面断面図である。
【図２】本願発明の実施形態１にかかる気化装置の作用を説明する図である。
【図３】本願発明の他の実施形態（実施形態２）にかかる気化装置を示す図であり、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は、（ａ）のｂ−ｂ線で切断した側面断面図である。
【図４】本願発明のさらに他の実施形態（実施形態３）にかかる気化装置を示す図であり、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は、（ａ）のｂ−ｂ線で切断した側面断面図である。
【図５】従来の気化装置を示す断面図である。
【符号の説明】
１        気体供給口
２        液体供給口
３        気体取り出し口
４        気化器本体
４ａ      気化器本体の内周面
５        加熱手段
６        内部筒状体
６ａ      内部筒状体の外周面
７        フランジ部（つば部）
８        多孔質金属部材
９        ガス投入管
Ａ        気体供給口から気体が供給される領域
Ｂ        液体供給口から液体が供給される領域
Ｈ１      気化器本体から水に伝わる熱
Ｈ２      内部筒状体を介して気体に伝わる熱
Ｘ        気体の流れる経路
Ｙ        液体の流れる経路
θ        気化器本体の傾斜角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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