(57)【要約】【課題】表示面積の大きな電気泳動表示装置を製造するに当たり、基板貼り合わせ前の一方の基板への電気泳動分散液の塗布を均一にかつ短時間で行えるようにする。【解決手段】各画素への電気泳動分散液（絶縁性液体２に帯電泳動粒子３を分散させたもの）４の供給を、液幕状（つまり、帯状に液層が流れ落ちるような状態）で行う。その供給に際しては、図１（ｂ）  に示すような、スリット状開口を有する塗布ヘッド２１を用い、かつ、その塗布ヘッド２１を基板１ｂに沿って移動させる。このとき、電気泳動分散液４の供給量が適量となるように制御する。その結果、基板１ｂへの電気泳動分散液４の塗布を均一かつ短時間で行うことができる。【選択図】      図１
2005017754.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性液体に複数の帯電泳動粒子を分散させた電気泳動分散液を一対の基板の間に封止して電気泳動表示装置を製造する、電気泳動表示装置の製造方法において、
一方の基板の表面に電気泳動分散液を塗布する工程と、
該塗布された電気泳動分散液を封止するように他方の基板を貼り付ける工程と、を備え、
電気泳動分散液の前記一方の基板への塗布は、電気泳動分散液を該一方の基板に対して帯状に吐出すると共に、該塗布される領域を相対的に移動させることにより行う、
ことを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記塗布される領域を移動させる方向は、その領域の略短手方向である、
ことを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項３】
吐出させられる電気泳動分散液の量は、吐出途中における帯状形状を維持でき、かつ、封止されるときに前記一対の基板の間隙に対し過剰とならない程度の量である、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項４】
電気泳動分散液を塗布する前に、前記一方の基板の表面に隔壁を形成し、かつ、
前記吐出された電気泳動分散液が、前記隔壁にて区画される凹部に保持される、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項５】
電気泳動分散液が帯状に吐出させられるときの幅は、電気泳動表示装置の表示領域の幅と一致する、もしくはより大きく、前記吐出される領域を一方向に移動させることにより前記表示領域の全体への塗布が完了する、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項６】
電気泳動分散液を前記一方の基板に塗布する際に、電界を発生させて電気泳動分散液中の帯電泳動粒子が前記一方の基板の側に固定されるようにする、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項７】
絶縁性液体に複数の帯電泳動粒子を分散させた電気泳動分散液を吐出する電気泳動分散液塗布装置において、
電気泳動分散液を帯状に吐出する吐出部と、
電気泳動分散液を塗布させたい部分に沿って前記吐出部を相対移動させる吐出部移動手段と、を備え、かつ、
電気泳動分散液を帯状に吐出すると共に該吐出される領域を移動させることにより、電気泳動分散液を基板表面に塗布する、
ことを特徴とする電気泳動分散液塗布装置。
【請求項８】
前記吐出部移動手段が前記吐出部を移動させる方向は、前記塗布される領域の略短手方向である、
ことを特徴とする請求項７に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項９】
前記吐出部は、スリット状の開口を有する、
ことを特徴とする請求項７又は８に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項１０】
前記吐出部は、電気泳動分散液を糸状に吐出する開口を複数隣接させて構成され、
各開口から糸状に吐出される電気泳動分散液が基板への接地前に落下途中で合流して帯状の流れを作り出す、
ことを特徴とする請求項７又は８に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項１１】
電気泳動分散液中の帯電泳動粒子の濃度を検知する粒子濃度モニターを備え、
該粒子濃度モニターの検知結果に基づき、電気泳動分散液中の帯電泳動粒子の濃度が一定になるように制御する、
ことを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項１２】
電気泳動分散液中の帯電泳動粒子を均等密度に分散させる帯電泳動粒子分散手段、
を備えたことを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項１３】
前記帯電泳動粒子分散手段が、電気泳動分散液を攪拌する攪拌機である、
ことを特徴とする請求項１２に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項１４】
前記帯電泳動粒子分散手段が、電気泳動分散液に超音波振動を与える超音波発生器である、
ことを特徴とする請求項１２に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項１５】
前記帯電泳動粒子分散手段が、電気泳動分散液を循環させる装置である、
ことを特徴とする請求項１２に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項１６】
電気泳動分散液中に含まれる気泡を排除する脱泡機構、
を備えたことを特徴とする請求項７乃至１５のいずれか１項に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項１７】
吐出されずに前記吐出部に残存した帯電泳動粒子および吐出部開口部に付着した帯電泳動粒子を除去するクリーニング機構、
を備えたことを特徴とする請求項７乃至１６のいずれか１項に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項１８】
前記吐出部は、電気泳動分散液の帯状状態での塗布を阻害しないような材質で形成された、
ことを特徴とする請求項７乃至１７のいずれか１項に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項１９】
電気泳動表示装置の製造に用いる装置であって、
前記吐出部の形状は、電気泳動分散液が帯状に吐出させられるときの幅が電気泳動表示装置の表示領域の幅と一致する、もしくはより大きい、
ことを特徴とする請求項７乃至１８のいずれか１項に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【請求項２０】
前記吐出部の移動は、表示領域でない部分から開始し、表示領域を通過した後、表示領域でない部分にて終了させ、かつ、
表示領域でない部分に付着した電気泳動分散液は電気泳動分散液除去手段にて除去する、
ことを特徴とする請求項１９に記載の電気泳動分散液塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、絶縁性液体に複数の帯電泳動粒子を分散させた電気泳動分散液を一対の基板の間に封止して電気泳動表示装置を製造する、電気泳動表示装置の製造方法、及び電気泳動分散液塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、絶縁性液体中の帯電泳動粒子を移動させて表示を行う電気泳動表示装置が注目されている。以下、この電気泳動表示装置について説明する。
【０００３】
図６は従来の電気泳動表示装置の構造の一例を示す断面図である。この図に示す電気泳動表示装置は、所定の間隔をあけた状態に配置された一対の基板１０１、１０２と、この基板１０１、１０２の間に充填された絶縁性液体１０３と、該絶縁性液体１０３に分散された多数の着色帯電泳動粒子１０４と、それぞれの基板１０１、１０２上に画素毎に配置された表示電極１０５、１０６を備えている。着色帯電泳動粒子１０４は、正極性または負極性に帯電されていて、絶縁性液体１０３及び着色帯電泳動粒子１０４はそれぞれ異なる色に着色されている。また、画素と画素との間には隔壁１０７が設けられており、着色帯電泳動粒子１０４の他の画素への移動を防止して均一表示を維持できるように構成されている。
【０００４】
いま、電極１０５、１０６への電圧印加によって図（ａ）  に示すように着色帯電泳動粒子１０４を下側電極１０６の方へ集めると絶縁性液体１０３の色が画素の色として視認され、図（ｂ）  に示すように着色帯電泳動粒子１０４を上側電極１０５の方へ集めると該粒子１０４の色が画素の色として視認される。このような制御を画素毎に行うことにより、電気泳動表示装置全体としては様々な画像を表示することができる。
【０００５】
ところで、このような電気泳動表示装置を製造するには、絶縁性液体に多数の帯電泳動粒子を分散させたもの（以下、“電気泳動分散液”とする）を基板１０１，１０２の間に配置する必要があるが、その方法についてはいくつかのものが提案されている。
【０００６】
例えば、電気泳動分散液の充填を、基板貼り合わせ前ではなく基板貼り合わせ後に行うようにしたものがある（特許文献１参照）。この提案では、基板間隙には、画素と画素とを仕切るための隔壁（有孔性スペーサ）が既に配置されているが、その隔壁を形状記憶部材で形成すると共に電気泳動分散液を注入する場合には画素と画素との連通を確保しておいて電気泳動分散液が全画素に行き渡るようにし、電気泳動分散液注入後に（形状記憶機能を利用して）その連通を遮断するように構成されている。
【０００７】
また、インクジェット方式の分散系充填装置を用い、基板貼り合わせ前の、隔壁で仕切られた複数の分割セルの開口部に対して電気泳動分散液を液滴の状態で充填することを提案しているものもある（特許文献２参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開昭６４―８６１１７号公報
【特許文献２】
特開２００１―３４３６７２号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に記載の方法では、絶縁性液体が全画素に行き渡ったとしても帯電泳動粒子は有孔性スペーサが障害となって局部的に集積してしまい、さらには気泡が混入してしまい、表示品質が悪くなってしまうという問題があった。
【００１０】
また、特許文献２に記載の方法では、各画素に等量の帯電泳動粒子を含んだ電気泳動分散液を充填することが可能となるが、画素開口部と分散系充填装置吐出部（インクジェットノズル）との正確な位置合わせが必要となるほか、高い均一性を達成する為には液滴を重ね打ちして電気泳動分散液を所望の液量まで表示領域全面に渡って充填するために多くの時間を必要としてしまう問題があった。
【００１１】
本発明はこのような従来の問題を解消し、表示品質の良い電気泳動表示装置を短時間で製造することのできる、電気泳動表示装置の製造方法及び電気泳動分散液塗布装置を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記事情を考慮してなされたものであり、絶縁性液体に複数の帯電泳動粒子を分散させた電気泳動分散液を一対の基板の間に封止して電気泳動表示装置を製造する、電気泳動表示装置の製造方法において、
一方の基板の表面に電気泳動分散液を塗布する工程と、
該塗布された電気泳動分散液を封止するように他方の基板を貼り付ける工程と、を備え、
電気泳動分散液の前記一方の基板への塗布は、電気泳動分散液を該一方の基板に対して帯状に吐出すると共に、該塗布される領域を移動させることにより行う、ことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図５を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１４】
本発明が適用されて製造される電気泳動表示装置は、図５に例示するように、所定間隙を開けた状態に配置された一対の基板１ａ，１ｂと、これらの基板１ａ，１ｂの間隙に封止された絶縁性液体２及び複数の帯電泳動粒子３と、を備えている。なお、本明細書では、絶縁性液体２に複数の帯電泳動粒子３を分散させたものを“電気泳動分散液４”とする。
【００１５】
この電気泳動分散液４に近接する位置に一対の電極５ａ，５ｂを配置して、電界を印加できるようにすると良い。なお、図５では、これらの電極５ａ，５ｂはいずれも下側の基板１ｂに配置されているが、上側の基板１ａに配置しても、両基板１ａ，１ｂにそれぞれ配置しても、その他の位置（例えば、次述する隔壁６の内部や側部）に配置しても良い。また、一対の基板１ａ，１ｂの間隙を仕切るように隔壁６を配置すると良く、この隔壁６により、画素と画素とを区画するようにすると良い。また、基板間隙には、その厚みを規定するためのスペーサを配置しても良い。隔壁６及びスペーサの両方を設けても、隔壁６にスペーサとしての機能を兼用させても良い。
【００１６】
次に、本発明に係る電気泳動表示装置の製造方法について説明する。
【００１７】
本発明に係る電気泳動表示装置の製造方法は、図１に示すように、
・  一方の基板１ｂの表面に電気泳動分散液４を塗布する工程（同図（ｂ）  参照）と、
・  該塗布された電気泳動分散液４を封止するように他方の基板１ｂを貼り付ける工程（同図（ｃ）  参照）と、
を備える。以下では、電気泳動分散液４を塗布する方の基板１ｂを“支持基板”とし、貼り付ける方の基板１ａを“対向基板”とする。なお、電気泳動分散液４を塗布する前或いは後に上述した電極５ａ，５ｂを（基板１ａ又は１ｂに）配置すると良い。また、電気泳動分散液４を塗布する前に上述した隔壁６を支持基板１ｂの側に形成すると良い（図２参照）。このように隔壁６を形成した場合には、該隔壁６にて区画される凹部に電気泳動分散液４を保持でき、帯電泳動粒子３の他の画素への移動に伴う帯電泳動粒子３の不均一分布化を低減でき、該不均一分布に伴う表示品質低下を低減することができる。
【００１８】
ところで、電気泳動分散液４の前記支持基板１ｂへの塗布は、電気泳動分散液４を該支持基板１ｂに対して帯状に吐出する（つまり、カーテン状の液幕を現出する）と共に、該吐出される領域（基板表面の領域であって、図１（ａ）  に符号Ａで示す細長長方形状領域）を移動させることにより行う、と良い。なお、その移動方向（以下、適宜“電気泳動分散液塗布方向”とする）は、その領域の略短手方向にすると良い（図１（ａ）（ｂ）の符号Ｂ参照）。これにより、支持基板１ｂのほぼ全面に、均一にかつ短時間で電気泳動分散液４を塗布することができる。（また、前記領域Ａの移動は、支持基板１ｂのいずれか１つの辺（図１（ａ）の符号Ｃ１参照）に近接した位置から、該辺Ｃ１に対向する辺Ｃ２に近接する位置まで行うと良い。）
【００１９】
ここで、電気泳動分散液４が帯状に塗布される状態は、前記吐出部開口から吐出された電気泳動分散液帯状を保ったままの均一な状態が好ましい。このような状態は、後述する電気泳動分散液塗布装置２０の吐出部２１と支持基板１ｂとの離間距離や、電気泳動分散液４の粘性や、電気泳動分散液４の流速（吐出速度）等を調整して得ることができる。
【００２０】
なお、吐出させられる電気泳動分散液の量は、吐出途中における帯状形状を維持でき、かつ、封止されるときに前記一対の基板１ａ，１ｂの間隙に対し過剰とならない程度の量が好ましい。
【００２１】
また、電気分散液４が帯状に吐出させられるときの幅（領域Ａの長辺の長さ）は、電気泳動表示装置の表示領域Ｄ１の幅より小さくすることも可能ではあるが、その場合は、電気分散液の塗布を１回の走査で行うことはできず複数回の走査が必要となる。走査領域相互の間に隙間が出来てしまった場合にはその部分には帯電泳動粒子３が存在せず、逆に走査領域が重なってしまった部分では帯電泳動粒子３の濃度が高くなり、いずれの場合にも表示欠陥を引き起こしてしまう。このような表示欠陥を未然に防ぐには、かなりの精度で走査位置を調整する必要がある。このような点を考慮し、図１（ａ）  に示すように、電気泳動分散液４が帯状に吐出させられるときの幅（領域Ａの長辺の長さΔＸＡ）を、電気泳動表示装置の表示領域Ｄ１の幅ΔＸＤ１より大きくして、前記吐出される領域Ａを一方向（電気泳動分散液塗布方向Ｂ）に移動させることにより前記表示領域Ｄ１の全体への塗布を完了させることができるようにすると良い。かかる場合、領域Ａの移動は、表示領域Ｄ１でない部分（表示領域Ｄ１の外側であれば良く、例えば符号２５ｅに示すような基板ステージ表面）から開始し、表示領域Ｄ１を通過した後、表示領域Ｄ１でない部分（表示領域Ｄ１の外側であれば良く、例えば符号２５ｇに示すような基板ステージ表面）にて終了させると良い。そのようにした場合には、表示領域Ｄ１を移動するときの前記領域Ａの移動速度を等速にでき、電気泳動分散液４を等しい厚みに配置して、（電気泳動分散液４中における帯電泳動粒子３の分散密度を等しくできている場合には）帯電泳動粒子３の配置密度（基板への配置密度）を均等にすることができる。
【００２２】
さらに、電気泳動分散液４を前記支持基板１ｂに塗布する際に、電界を発生させて電気泳動分散液中の帯電泳動粒子３が該支持基板１ｂの側に付着されるようにする、と良い。このような電界発生は、電極５ａ，５ｂのいずれか又は両方が支持基板１ｂの側に既に形成されているような場合には該電極５ａ，５ｂを使って行えば良いが、この工程（電気泳動分散液を塗布する工程）で電界を発生させるための専用の電極を製造装置自体に設けておいても良い。支持基板１ｂ上に塗布された帯電泳動粒子３がその位置（吐出直後に固定された位置）において保持されることで、帯電泳動粒子３が他の画素へ移動すること（隔壁６が形成されている場合には、帯電泳動粒子３が隔壁６を越えて他の画素へ移動すること）を防止でき、表示面内における帯電泳動粒子３の濃度均一性を損なうことを防ぐことができる。このときの電界は、帯電泳動粒子３の保持が維持されれば特に限定はされないが、例えば、図５に示す位置に第１電極５ａや第２電極５ｂを配置した場合であって、帯電泳動粒子３がマイナス極性の場合、第１電極５ａに対して第２電極５ｂにプラスの直流電圧、もしくはある関数で規定される減衰電圧波形を印加することにより達成することができる。また、第１電極５ａと第２電極５ｂ間に高周波の電圧を印加することも可能である。
【００２３】
次に、本発明に係る電気泳動分散液塗布装置（以下、“電気泳動分散液塗布システム”とする）について、図３及び図４を参照して説明する。
【００２４】
電気泳動分散液塗布システム２０は、電気泳動分散液４を帯状に吐出する吐出部２１と、電気泳動分散液４を塗布する部分（つまり、支持基板１ｂの表示領域）に沿って前記吐出部２１を移動（電気泳動分散液４を付着させたい部分との相対移動を意味し、吐出部２１自体を移動させても、吐出部２１は静止させておいて支持基板１ｂの方を移動させても良い）させる吐出部移動手段２２と、を備えており、電気泳動分散液４を帯状に吐出すると共に該吐出される領域（図１（ａ）  の符号Ａ参照）を支持基板１ｂに対して相対移動させることにより、電気泳動分散液４を基板表面に塗布する、ように構成されている。前記吐出部移動手段２２が前記吐出部２１を移動させる方向（つまり、前記吐出部２１が支持基板１ｂに対して相対移動する電気泳動分散液塗布方向）は、前記吐出される領域の略短手方向である。
【００２５】
この吐出部（以下、“長尺吐出部”とする）２１は、
・  スリット状の開口を有していても、
・  スリット状でない開口（つまり、電気泳動分散液を帯状ではなくて糸状に吐出する形状の開口である）を複数隣接させて構成しても、
良い。なお、上記２種類の開口を区別する必要がある場合には“スリット状開口”“微小開口”なる文言を使用し、区別の必要がない場合には単に“開口”とする。後者の構造の場合、電気泳動分散液は、微小開口から吐出された直後は糸状に吐出するが、吐出途中で合流して帯状の流れを作り出すこととなる。つまり、電気泳動分散液が吐出されて支持基板１ｂに到達する時点で長尺方向及び吐出方向に連続な状態に連なっていれば（つまり、支持基板１ｂの近傍で、カーテン状の液幕を形成していれば）良く、長尺吐出部２１の構造は、スリット状開口であっても、もしくは微小開口の列であっても、特に限定されない。微小開口の内径は０．１ｍｍから３ｍｍφが好ましく、微小開口の列は１列であっても複数列であってもよい。スリット状開口の幅（長手方向の幅）は１０μｍから１００μｍであることが好ましい。このスリット状開口は、例えば、少なくとも２枚のダイブレードを平行に配置して形成することができる。
【００２６】
なお、スリット状開口及び微小開口のいずれを用いるにしても、長尺吐出部２１の形状（具体的には開口長さ）は、電気泳動分散液が帯状に吐出させられるときの幅ΔＸＡが電気泳動表示装置の表示領域Ｄ１の幅ΔＸＤ１と一致、もしくはより大きな形状にすると良い（詳細は既述）。
【００２７】
ところで、長尺吐出部２１の移動は、表示領域Ｄ１でない部分（表示領域Ｄ１の外側）から開始し、表示領域Ｄ１を通過した後、表示領域Ｄ１でない部分（表示領域Ｄ１の外側）にて終了させると良いが、その場合には、余分な電気泳動分散液（表示領域Ｄ１でない部分に付着した電気泳動分散液）を除去する必要がある。そのために、電気泳動分散液除去手段（不図示）を設けておくと良い。この電気泳動分散液除去手段は、支持基板１ｂに付着した電気泳動分散液だけでなく、他の部分（例えば、後述するような基板ステージ２５）に付着した電気泳動分散液を除去するものであっても良い。また、この電気泳動分散液除去手段は、支持基板１ｂに付着した電気泳動分散液と、他の部分に付着した電気泳動分散液とを同時に除去するものであっても、別々に除去するものであっても良い。なお、除去した電気泳動分散液は後述する電気泳動分散液供給源２４に戻して再利用すれば良い。上述した長尺吐出部２１は、符号２７で示すようなガイドレール等によってｘ軸方向に移動可能に構成し、不図示の手段によってｚ軸方向に上下動可能に構成して、支持基板１ｂに対する位置調整できるようにすると良い。
【００２８】
一方、長尺吐出部２１の材質は使用目的を達するものであれば特に限定されないが、ステンレス、アルミニウムおよびアルミニウム合金、真鍮、ポリテトラフルオロチレン（テフロン（登録商標））、ポリアセタールなどが好適に使用できる。
【００２９】
また、長尺吐出部２１における開口は、電気泳動分散液の連続吐出（帯状の吐出状態での吐出）を阻害しないような材料で形成する必要がある。例えば、該材料が電気泳動分散液に対し親和性が高いものであれば、電気泳動分散液の一部が（吐出されずに）開口壁面を這い上がってしまう現象が生ずる場合もあり、該現象が生じた場合には、電気泳動分散液の連続吐出が阻害され、電気泳動分散液はカーテン状の液幕を形成しにくくなる。このような問題を回避するには、該開口を樹脂（具体的には、上記テフロン（登録商標）やポリアセタールなど）で形成すると良い。また、這い上がり現象を回避させるために、開口と支持基板１ｂとを５０μｍから５００μｍ程度に接近させることが望ましい。
【００３０】
その他の構成について説明する。
【００３１】
長尺吐出部２１には、電気泳動分散液供給路２３を介して電気泳動分散液供給源２４を接続し、該長尺吐出部２１に適量の電気泳動分散液を供給するようにすると良い。ここで、電気泳動分散液を過剰に供給してしまったときには、基板封止時に、
・  過剰な電気泳動分散液が溢れ出てしまって帯電泳動粒子が他の画素に移動して帯電泳動粒子の不均一分布を生じさせたり、
・  過剰な電気泳動分散液の除去作業に時間を費やさなければならない、
等の問題があるが、上述のように供給量を適量にした場合には、そのような問題を回避できる。
【００３２】
また、長尺吐出部２１に対向する位置（長尺吐出部２１の下方）には、支持基板１ｂを保持するための基板ステージ２５を配置すると良い。図４に１例を示すように、該ステージ２５には空気通路２５ａを形成し、該通路２５ａの一端は、支持基板１ｂが載置される面に開口させておき、他端には真空吸引源２６を接続しておいて、支持基板１ｂが基板ステージ２５の上面に真空吸着されるように構成すると良い。
【００３３】
この基板ステージ２５の表面には、図４に示すように、凹部２５ｃを設けておいて支持基板１ｂを保持できるようにすると良い。その場合、凹部２５ｃの形状は支持基板１ｂと同じ形状にする必要があるが、凹部２５ｃの深さを支持基板１ｂの厚みと同じ深さにすると良い。そのようにした場合には、支持基板１ｂの表面と基板ステージ周辺部２５ｄ，２５ｅ，２５ｆ，２５ｇの表面の相対位置を等しくでき、気泡を巻き込んだり、液膜が破断ないしは分断したりすることのないようにすることができる。なお、この凹部２５ｃは、基板ステージ２５に穴あけ加工を施すことにより形成しても、板状部材の表面に１枚もしくは複数枚の板状部材（支持基板１ｂと同じ厚みの板状部材とし、高さ調整アダプターを設けて高さの微調整ができるようにしておくと良い）を枠状に組み付けることにより形成しても良い。
【００３４】
なお、図４に示す基板ステージ２５には１枚の支持基板１ｂしかセットできないために、複数の支持基板１ｂに電気泳動分散液を塗布したい場合には、電気泳動分散液の塗布が終わる度に支持基板１ｂを新しいもの（未塗布のもの）に交換する必要があるが、基板ステージ２５に複数枚の支持基板１ｂをセットできるようにしておけば、一度に分散液の塗布をすることができる。
【００３５】
図３に示す基板ステージ２５は、吐出部移動手段としてのガイドレール２２に移動自在に支持され、かつ、不図示の駆動手段によって移動されるように構成されているが、基板ステージ２５の方は静止させておいて吐出部２１の方を移動させるようにしても良い。
【００３６】
ところで、帯電泳動粒子３が支持基板１ｂにて均等密度で配置されるためには、塗布の際に、電気泳動分散液中の帯電泳動粒子３の密度を均等にしておく必要がある。そのために、粒子濃度モニター（不図示）を設けておいて、電気泳動分散液中の帯電泳動粒子３の濃度を検知できるようにしておくと良い。また、その検知結果を電気泳動分散液塗布システムにフィードバックして、帯電泳動粒子３の濃度を一定になるように制御すると良い。また、不図示の帯電泳動粒子分散手段（例えば、電気泳動分散液を攪拌する攪拌機や、電気泳動分散液に超音波振動を与える超音波発生器や、電気泳動分散液を循環させる装置等）を設けておいて、電気泳動分散液中の帯電泳動粒子３が均等密度で分散されるようにしておくと良い。この帯電泳動粒子分散手段は、電気泳動分散液供給源２４、電気泳動分散液供給路２３、長尺吐出部２１などの箇所に適宜配置すれば良い。なお、電気泳動分散液を循環させたい場合には、電気泳動分散液の循環経路を設けても良い。例えば、長尺吐出部２１と電気泳動分散液供給源２４の間に電気泳動分散液供給路２３とは別の循環経路（不図示）を設け、電気泳動分散液を循環させておくことで、帯電泳動粒子の分散は保たれる。
【００３７】
さらに、
・  電気泳動分散液中に含まれる気泡を排除する脱泡機構や、
・  吐出されずに吐出部２１に残存した帯電泳動粒子を除去するクリーニング機構や、
・  吐出部２１からの電気泳動分散液の吐出量を一定に維持する吐出状態調整機構や、
・  電気泳動分散液の温度を一定に維持する温度調節機構や、
・  基板ステージ２５外の位置で電気泳動分散液吐出を行う吐出状態調整機構、を設けておいて、吐出される電気泳動分散液の状態を一定に維持して、帯電泳動粒子３の配置密度が均一になるようにしても良い。
【００３８】
以下、帯電泳動粒子３や絶縁性液体２等について説明する。
【００３９】
本発明に用いられる帯電泳動粒子３の平均粒径は、０．１μｍ以上１０μｍ以下の範囲であることが好ましい。着色剤としては特に限定されないが、例えば、カーボンブラック、酸化チタン、硫酸バリウム、ニグロシン、鉄黒、アニリンブルー、カルコイルブルー、クロムイエロー、ウルトラマリンブルー、デュポンオイルレッド、キノリンイエロー、メチレンブルークロリド、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、スカイブルー、ローダミンレーキ等が挙げられる。
【００４０】
また粒子樹脂としては、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリメタクリレート、ポリアクリルレート、ポリアクリル酸エステル、ポリエチレン−アクリル酸共重合体、ポリエチレン−メタクリル酸共重合体、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリエチレン系樹脂その他ポリ塩化ビニル樹脂、ニトロセルロース、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂等の高分子材料が挙げられる。これらの材料は単独あるいは２種類以上を併用してもよい。
【００４１】
絶縁性液体２としては、導電率の低い、高絶縁性の有機溶媒を使用できる。例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、ナフテン酸系炭化水素などの芳香族炭化水素系溶剤、ヘキサン、シクロヘキサン、パラフィン系炭化水素溶媒、イソパラフィン系炭化水素等の脂肪族炭化水素系溶媒、ハロゲン化炭化水素系溶媒、あるいはシリコンオイル、高純度石油などが挙げられる。
【００４２】
絶縁性液体に必要に応じて帯電制御剤を含有してもよい。例えば、カルボン酸塩、スルホン酸塩、硫酸エステル塩、リン酸エステル塩などの陰イオン界面活性剤、脂肪族アミン塩およびその４級アンモニウム塩、芳香族４級アンモニウム塩、複素環４級アンモニウム縁などの陽イオン界面活性剤、カルボキシベタイン、スルホベタイン、アミノカルボン酸塩、イミダゾリン誘導体などの両性界面活性剤、エーテル型、エーテルエステル型、エステル型、含窒素型の非イオン性界面活性剤、フッ素系界面活性剤、反応性界面活性剤などが挙げられる。単独あるいは２種類以上混合して用いても良い。
【００４３】
本発明に用いられる電気泳動分散液４は上記帯電泳動粒子と絶縁性液体、荷電制御剤から構成すると良い。電気泳動分散液４における帯電泳動粒子の濃度は０．１ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下であることが好ましい。また、電気泳動分散液４の粘度は０．１ｃｐ以上３０ｃｐ以下であることが好ましい。
【００４４】
電気泳動分散液４は着色の異なる複数の粒子から構成されていてもよく、その時帯電泳動粒子の濃度は０．１ｗｔ％以上５０ｗｔ％以下であることが好ましい。
【００４５】
次に、本実施の形態の効果について説明する。
【００４６】
本実施の形態によれば、広い面積であっても電気泳動分散液４を均一にかつ短時間で塗布することができ、画像表示領域の広い電気泳動表示装置を効率良く生産することができる。
【００４７】
また、電気泳動分散液塗布装置に粒子濃度モニターや帯電泳動粒子分散手段を設けた場合には、電気泳動分散液中の帯電泳動粒子３の密度を均等にしておくことができ、そのような状態の電気泳動分散液を支持基板１ｂに均一厚みに塗布することにより、帯電泳動粒子３を基板上に均等密度で配置することができる。その結果、表示品質は良好となる。つまり、該粒子により表示される各画素の色濃度が同電圧印加時に表示面内でほぼ等しくなり、良好な表示品位が達成できる。
【００４８】
さらに、脱泡機構やクリーニング機構を設けた場合には、電気泳動分散液を常に同じ状態で吐出することができ、帯電泳動粒子３を基板上に均等密度で配置することができる。その結果、表示品質は良好となる。特に、脱泡機構により気泡を排除するようにした場合には、気泡混入に起因する帯電泳動粒子の駆動不良を解消することができる。
【００４９】
また、電気泳動分散液を一対の基板の間に封止することにより、電気泳動分散液流出による帯電泳動粒子濃度の低下、異物の混入を防ぐことができ、良好な表示品位を保つことができる。
【００５０】
【実施例】
以下、実施例に沿って本発明を更に詳細に説明する。
【００５１】
（実施例１）
本実施例では、図５に示す構造の電気泳動表示装置を作製した。基板１ａ，１ｂのサイズは１００ｍｍ×１３０ｍｍとし、表示領域（図１（ａ）  の符号Ｄ１参照）のサイズは９０ｍｍ×１２０ｍｍとした。そして、表示領域の画素の大きさは４０μｍ×１２０μｍとし、画素の個数は２２５０×１０００個とした。この画素は隔壁６によって仕切るようにした。隔壁６の幅は５μｍとし、高さは２０μｍとした。支持基板１ｂには、各画素の中央部に第１電極５ａを配置し、各第１電極５ａには不図示のスイッチング素子を接続した。この第１電極５ａを被覆するように絶縁層８ａを配置し、その絶縁層８ａの表面であって、画素境界部には第２電極５ｂを配置した。各画素の第２電極５ｂは接続して共通電極とした。また、この第２電極５ｂを覆うように絶縁層８ｂを配置した。
【００５２】
本実施例では、図３に示す電気泳動分散液塗布システム（電気泳動分散液塗布装置）２０を使用した。
【００５３】
図中の符号２１は、電気泳動分散液を吐出する塗布ヘッド（長尺吐出部）であり、塗布ヘッド２５は２枚のブレードにより形成されていて４０μｍ厚のスリット状開口を有し、このスリット状開口の長尺方向長さは、表示領域Ｄ１の幅１２０ｍｍよりもやや長い１４０ｍｍの長さとした。そして、この塗布ヘッド２１には電気泳動分散液供給路２３を介して定流量式のディスペンサ（電気泳動分散液供給源）２４を接続して、塗布ヘッド２１への電気泳動分散液４の供給量（電気泳動分散液の吐出量）を制御できるようにした。ディスペンサにセットされたシリンジから押し出された電気泳動分散液はテフロン（登録商標）チューブにより塗布ヘッド２１に送られる。
【００５４】
この塗布ヘッド２１の下方には基板ステージ２５を配置し、基板ステージ２５には凹部２５ｃを形成した。この凹部２５ｃは、支持基板１ｂがぎりぎり入るように１００．５ｍｍ×１３０．５ｍｍの大きさとして、支持基板１ｂを支持できるようにした。また、凹部２５ｃの深さは、支持基板１ｂの厚み（正確には、支持基板１ｂの表面に電極５ａ，５ｂや絶縁層８ａ，８ｂ等を形成した構造体の厚み）と同じにして、基板ステージ２５に支持基板１ｂが固定された状態で支持基板１ｂの表面と基板ステージ周辺部２５ｄ，２５ｅ，２５ｆ，２５ｇの表面が一致するようにした。また、ステージ２５には空気通路２５ａを形成すると共に、一端を凹部２５ｃに開口させ、他端には真空ポンプ（真空吸引源）２６を接続しておいて、支持基板１ｂが凹部２５ｃに真空吸着されるようにした。
【００５５】
また、この電気泳動分散液塗布システムには３軸コントローラー（吐出部移動手段）を配置した。そして、基板ステージ２５はｙ軸方向に移動できるようにし、塗布ヘッド２１はｘ軸方向及びｚ軸方向に移動できるようにした。ｘ軸方向及びｚ軸方向への塗布ヘッド２１の移動は、支持基板１ｂに対する位置調整を行うためのものであり、基板ステージ２５のｙ軸方向への移動は、電気泳動分散液の塗布作業を行うためのものである。
【００５６】
次に、電気泳動表示装置の製造方法について説明する。
【００５７】
まず、第１電極５ａや第２電極５ｂや隔壁６等を支持基板１ｂに形成し、該支持基板１ｂを基板ステージ２５の凹部２５ｃにセットして、真空ポンプ２６で真空吸着させる（図１（ａ）  参照）。
【００５８】
次に、電気泳動分散液４の塗布を行うが、塗布ヘッド２１から吐出される電気泳動分散液４の吐出状態を一定状態にするために、一旦基板ステージ２５の脇に設けられた吐出状態調整スペースにて電気泳動分散液４を吐出し、吐出される電気泳動分散液量が一定となったところで電気泳動分散液４の吐出を停止、塗布ヘッド（開口周辺）２１に付着した電気泳動分散液４を除去する。
【００５９】
次いで、塗布ヘッド２１を基板ステージ２５上に移動し、電気泳動分散液４を吐出させながら、図１（ｂ）  に符号Ｂで示す方向に走査し、支持基板１ｂ全面に電気泳動分散液４を塗布する。このとき、マイナス帯電の帯電泳動粒子３を支持基板１ｂ側に保持するために、第１電極５ａに対して第２電極５ｂに＋２５Ｖの電圧を印加しておく。また、電気泳動分散液塗布領域は基板ステージ周辺部部２５ｄ，２５ｅ，２５ｆ，２５ｇにも及ぶようにし、塗布の開始位置、終了位置は基板基板からやや距離をおいた基板ステージ周辺部の位置２５ｅ，２５ｇで行う。
【００６０】
電気泳動分散液４が塗布された支持基板１ｂは、真空ポンプ２６による固定を解除してステージ２５から取り外し、表示領域以外の部分Ｄ２に付着している電気泳動分散液４を除去する。また、基板ステージ周辺部部２５ｄ，２５ｅ，２５ｆ，２５ｇや塗布ヘッド２１に付着している電気泳動分散液４を除去する。
【００６１】
そして、支持基板１ｂには対向基板１ａを貼り付けて、電気泳動表示装置を完成させる。
【００６２】
以上の製造方法により、表示面内において色濃度が均一な電気泳動表示装置を作成できる。
【００６３】
（実施例２）
本実施例では、厚さ２００μｍのプラスチック製フレキシブル基板を用い、他の構成は実施例１と同様にして電気泳動表示装置を作製した。
【００６４】
電気泳動分散液塗布システムの塗布ヘッド２１は、内径０．８ｍｍφのノズル（微小開口）を１列に隣接させたマルチノズル構造とした。このマルチノズルの長さは、表示領域の幅１２０ｍｍよりもやや長い１４０ｍｍの長さとした。電気泳動分散液供給源２４は電気泳動分散液タンクと、電気泳動分散液タンクの加圧制御装置と、により構成した。そして、この電気泳動分散液タンクには電気泳動分散液の分散を保つための攪拌機構と、温度を一定に保つための温度調節機構と、混入した気泡を除去するための脱泡機構と、を配置した。その他の構成は、実施例１のものとほぼ同様とした。
【００６５】
以上の電気泳動分散液塗布システムを用いて、塗布ヘッドから吐出される電気泳動分散液状態を一定にした後、粒子保持のための電圧を印加しながら、基板ステージ上に固定された支持基板表面に沿って電気泳動分散液の塗布を行う。その後、表示領域外の電気泳動分散液を除去し、表示基板をのせ隔壁上部と接着し、配線を施すことにより表示が可能となる。
【００６６】
以上の製造方法により、表示面内において色濃度が均一な電気泳動表示装置を作成できる。
【００６７】
（実施例３）
本実施例では、基板１ａ，１ｂのサイズは２１０ｍｍ×２９７ｍｍで、表示領域のサイズは１９０ｍｍ×２８０ｍｍとし、実施例１の電気泳動表示装置（表示領域サイズは９０ｍｍ×１２０ｍｍ）よりも表示領域のサイズを大きくした。なお、画素の大きさは４０μｍ×１２０μｍと実施例１と同じとし、隔壁６の幅寸法や高さ寸法も同じとした。その他の電気泳動表示装置の構成も、実施例１と同じとした。
【００６８】
一方、電気泳動分散液塗布システムの塗布ヘッド長は、表示領域の幅１９０ｍｍよりもやや長い２１０ｍｍの長さにした。この塗布ヘッドでは、実施例１と同様に、２枚のブレードによってスリット状開口を形成したが、その開口幅は４０μｍではなく３０μｍとした。塗布ヘッド２１には、その長尺方向に沿って複数個の粒子濃度モニター（不図示）を配置し、吐出される電気泳動分散液中の帯電泳動粒子の濃度、均一性を測定することができるようにした。これらの粒子濃度モニターは、ディスペンサ（電気泳動分散液供給源）２４や、塗布ヘッドおよび基板ステージの移動手段（符号２２参照）と連動しており、帯電泳動粒子の濃度と濃度均一性が規定値に一致したときに、支持基板への電気泳動分散液の塗布を行うようにした。
【００６９】
基板ステージ２５には、支持基板サイズに相当する２１０．５ｍｍ×２９７．５ｍｍの大きさで、支持基板を保持するための凹部を形成した。なお、その深さは支持基板厚みと同じであり、支持基板が基板ステージに固定されたときに、支持基板表面と基板ステージ周辺部の表面が一致するようにした。
【００７０】
以上の電気泳動分散液塗布システムを用いて、粒子保持のための電圧を印加しながら、基板ステージ上に固定された支持基板表面に沿って電気泳動分散液の塗布を行う。その後、表示領域外の電気泳動分散液を除去し、表示基板をのせ隔壁上部と接着し、配線を施すことにより表示が可能となる。
【００７１】
以上の製造方法により、表示面積が大きく、しかも表示面内において色濃度が均一な電気泳動表示装置を作成できる。
【００７２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、広い面積であっても電気泳動分散液を均一にかつ短時間で塗布することができ、画像表示領域の広い電気泳動表示装置を効率良く生産することができる。
【００７３】
また、電気泳動分散液塗布装置に粒子濃度モニターや帯電泳動粒子分散手段を設けた場合には、電気泳動分散液中の帯電泳動粒子の密度を均等にしておくことができ、そのような状態の電気泳動分散液を基板に均一厚みに塗布することにより、帯電泳動粒子を基板上に均等密度で配置することができる。その結果、表示品質は良好となる。
【００７４】
さらに、脱泡機構やクリーニング機構を設けた場合には、電気泳動分散液を常に同じ状態で吐出することができ、帯電泳動粒子を基板上に均等密度で配置することができる。その結果、表示品質は良好となる。特に、脱泡機構により気泡を排除するようにした場合には、気泡混入に起因する帯電泳動粒子の駆動不良を解消することができる。
【００７５】
また、電気泳動分散液を一対の基板の間に封止することにより、電気泳動分散液流出による帯電泳動粒子濃度の低下、異物の混入を防ぐことができ、良好な表示品位を保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電気泳動表示装置の製造方法の一例を示す模式図。
【図２】電気泳動表示装置の構造を示す斜視図。
【図３】本発明に係る電気泳動分散液塗布装置の外観を示す斜視図。
【図４】基板ステージ等の構造を示す斜視図。
【図５】本発明において製造される電気泳動表示装置の構造の一例を示す断面図。
【図６】従来の電気泳動表示装置の構造の一例を示す断面図。
【符号の説明】
１ａ        他方の基板（対向基板）
１ｂ        一方の基板（支持基板）
２          絶縁性液体
３          帯電泳動粒子
４          電気泳動分散液
６          隔壁
２０        電気泳動分散液塗布装置（電気泳動分散液システム）
２１        吐出部（塗布ヘッド）
２２        吐出部移動手段（ガイドレール）
Ａ          電気泳動分散液が吐出される領域
Ｄ          電気泳動表示装置の表示領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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