(57)【要約】【課題】各種電子機器、通信機器等に用いられる回路部品内蔵モジュールの製造方法に関するものであり、３層のめっき被膜からなり、耐環境性、電磁波シールド性に優れたものである。【解決手段】貫通孔２１を形成した板状体２０と、回路部品２４を実装した離型フィルム２５とを積層して電気絶縁性基板２６を形成し、その後前記電気絶縁性基板２６を単一基板毎に切断し、次に切断により分割した単一回路基板３１の絶縁樹脂表面および切断面に無電解銅めっき層にて第１の金属層２８、電解銅めっきで第２の金属層２９、銅の酸化を防止するために金属めっきにて第３の金属層３０をそれぞれ形成した回路部品内蔵モジュールの製造方法である。【選択図】図１４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機フィラーと未硬化状態の熱硬化性樹脂とを含む混合物からなる板状体に貫通孔を形成し、前記貫通孔に熱硬化性の導電性物質を充填した板状体と、表面に配線パターンと回路部品を実装した離型フィルムとを、位置合わせしながら重ねて加圧することにより基板を形成し、次に前記基板から離型フィルムを剥離し、その後前記基板と別の未硬化状態の板状体とをそれぞれ位置合わせしながら重ねて集合回路基板を形成し、次に金属層を形成する面の離型フィルムを剥離し、その後前記集合回路基板を単一基板毎に切断し、次に切断により分割した回路基板の絶縁樹脂表面および切断面に無電解銅めっき層にて第１の金属層、電解銅めっきで第２の金属層、銅の酸化を防止するために金属めっきにて第３の金属層をそれぞれ形成し、その後離型フィルムを集合回路基板から剥離する回路部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項２】
第３の金属層を錫めっきにて形成する請求項１に記載の回路部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項３】
錫めっき時に１５〜６０Ｈｚの周波数で振動撹拌を行う請求項２に記載の回路部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項４】
錫めっき後、２３０〜３００℃の温度ではんだリフローを行う請求項２に記載の回路部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項５】
第３の金属層をニッケルめっきにて形成する請求項１に記載の回路部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項６】
ニッケルめっきにて形成する第３の金属層はリンを６〜１０％含有する請求項５に記載の回路部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項７】
第３の金属層をクロムめっきにて形成する請求項１に記載の回路部品内蔵モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器、通信機器等に用いられる回路部品内蔵モジュールの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の電気シールドを有する回路部品内蔵モジュールの製造方法を図１５に示す。このシールドめっき形成方法では、まず図１５（ａ）に示すように集合回路基板１は、いずれかの層にグランドパターン２を有している。集合回路基板１の単一基板毎にＩＣ、チップ抵抗、チップコンデンサなどの回路部品３を所定の位置に搭載し、ダイボンド、ワイヤボンド、リフローなどの手段で集合回路基板１に実装する。次いで、図１５（ｂ）に示すように集合回路基板１の上面全体に無機フィラーと熱硬化性樹脂とを含む混合物からなる絶縁樹脂を充填し、集合回路基板１の上に均一な厚さの絶縁体４を形成して実装部品を封止する。
【０００３】
その後、図１５（ｃ）に示すように、ダイシングラインに沿って絶縁体４の上から格子状に切り込みを入れ、集合回路基板１の下半部を残した状態でハーフダイシングを行う。このハーフダイシングによって絶縁体４は単一回路基板毎に溝５が形成されると共に、集合回路基板１の上半部にも切り込みが入るため、グランドパターン２の一端部も集合回路基板１から露出することになる。
【０００４】
そして、図１５（ｄ）に示すように、ハーフダイシングが終了した絶縁体４の表面に、ニッケルめっき層６をグランドパターン２と導通させるように形成することで電子部品パッケージの電磁波シールドを行い、単一回路基板に分割して、図１５（ｅ）のような回路部品内蔵モジュールを形成する。
【０００５】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平１１−１６３５８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、電磁波シールドめっきの被膜方法として、単一基板毎に溝を形成して、グランドパターンを露出してからめっきを行っているが、溝の幅が狭いためにめっき液の侵入が困難で溝部分の均一なるめっき被膜形成は難しく、めっき被膜形成不完全による製品不良が多いという問題点を有していた。
【０００７】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、回路部品内蔵モジュールのシールド性向上に対応し、電子機器の小型化、低背化、軽量化、高周波化に十分なシールド効果を容易に実現する回路部品内蔵モジュールの製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明は、無機フィラーと未硬化状態の熱硬化性樹脂とを含む混合物からなる板状体に貫通孔を形成し、前記貫通孔に熱硬化性の導電性物質を充填した板状体と、表面に配線パターンと回路部品を実装した離型フィルムとを、位置合わせしながら重ねて加圧することにより基板を形成し、次に前記基板から離型フィルムを剥離し、その後前記基板と別の未硬化状態の板状体とをそれぞれ位置合わせしながら重ねて集合回路基板を形成し、次に金属層を形成する面の離型フィルムを剥離し、その後前記集合回路基板を単一基板毎に切断し、次に切断により分割した回路基板の絶縁樹脂表面および切断面に無電解銅めっき層にて第１の金属層、電解銅めっきで第２の金属層、銅の酸化を防止するために金属めっきにて第３の金属層をそれぞれ形成し、その後離型フィルムを集合回路基板から剥離することを特徴とし、電子機器の小型化、低背化、軽量で電磁波シールド性に優れた回路部品内蔵モジュールを構成することができる。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように本発明は、集合回路基板を個片に分割した後に導体層を形成することにより、回路部品内蔵モジュールのシールド性を向上させることができ、低背化、軽量化、高周波化に十分なシールド効果を有する回路部品内蔵モジュールを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
（実施の形態１）
以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項１〜７に記載の発明について、図面を参照しながら説明する。
【００１１】
図１は、本発明の実施の形態１の回路部品内蔵モジュールの製造方法を示したものである。
【００１２】
まず、図１に示すように、無機フィラーと未硬化状態の熱硬化性樹脂とを混合してペースト状混練物とし、このペースト状混練物を一定厚みに成型することによって板状体２０を形成する。その後板状体２０の可撓性を維持しながら粘着性を除去することにより、その後の処理を容易にするので、板状体２０の熱処理を行う。また、溶剤によって熱硬化性樹脂を溶解させた混合物では、熱処理をすることによって、溶剤の一部を除去することができる。
【００１３】
次に、図２に示すように、板状体２０の所望の位置に貫通孔２１を形成する。貫通孔２１は、たとえば、レーザ、ドリルまたは金型による加工で形成する。特にレーザ加工は、微細なピッチで貫通孔２１を形成することができ、削り屑が発生しないため好ましい。また炭酸ガスレーザやエキシマレーザを用いると加工が容易である。なお、貫通孔２１は、ペースト状混練物を成型して板状体２０を形成する際に、同時に形成することができる。
【００１４】
その後、図３に示すように、貫通孔２１に導電性樹脂組成物２２を充填する。
【００１５】
一方、図１〜図３の工程と平行して、図４に示すように、離型フィルム２５上に配線パターン２３を形成し、配線パターン２３に回路部品２４を実装する。離型フィルム２５は、たとえば、銅箔、アルミ箔、ＰＰＳなどのフィルムを用いることができる。配線パターン２３は、たとえば、離型フィルム２５に銅箔を接着した後フォトリソ工程およびエッチング工程を行うことによって形成でき、エッチング法または打ち抜き法で形成された金属板のリードフレームを用いてもよい。
【００１６】
また、図１〜図４の工程と平行して、図５に示すように、別の離型フィルム２５上に配線パターン２３を図４と同様に形成する。
【００１７】
次に、図３、図４、図５の工程で形成したものを、図６に示すように、それぞれを位置合わせして重ね合わせる。そしてこの板を加圧、加熱することによって、板状体２０および導電性樹脂組成物２２中の熱硬化性樹脂を硬化させる。加熱は、板状体２０および導電性樹脂組成物２２中の熱硬化性樹脂が硬化する温度以上の温度（１５０℃〜２６０℃）、圧力は１０〜２００ｋｇ／ｃｍ2で行う。
【００１８】
硬化後、図７に示すように、板状体２０は電気絶縁性基板２６となり、導電性樹脂組成物２２はインナービア２７となる。これによって、配線パターン２３、回路部品２４と電気絶縁性基板２６が機械的に強固に接着する。また、インナービア２７によって、表裏の配線パターン２３が電気的に接続され、回路部品モジュールの機械的強度がより向上する。
【００１９】
その後、図８に示すように、両面の離型フィルム２５を剥離する。
【００２０】
次に、図９に示すように、図８で形成された電気絶縁性基板２６に、図１〜図７の工程と同様に形成した、少なくとも一つ以上のグランドパターン２３を有する離型フィルム２５と貫通孔２１に導電性樹脂組成物２２が充填された板状体２０を位置合わせして重ねて、図１０に示すように加圧、加熱することによって、未硬化の板状体２０および導電性樹脂組成物２２中の熱硬化性樹脂を硬化させる。
【００２１】
その後、図１１に示すように、めっきが必要な面の離型フィルム２５を剥離し、図１２に示すように、ダイシングラインにて、単一回路基板３１毎に分割する。このダイシングによって、配線パターン２３の一端部も露出することになる。
【００２２】
その後、図１２のような分割された単一回路基板３１を、無電解銅めっきの前処理としてまずアミノカルボン酸塩等の活性剤で表面の脱脂、コンディショニングを行い、過硫酸ナトリウム、硫酸混合液で表面を軽くエッチングし、硫酸でデスミアを行う。前処理後パラジウムを単一回路基板３１の表面に付与させ、無電解銅めっき液で銅めっきを行い、約１μｍの厚さの第１の金属層２８を形成する。
【００２３】
ここで、無電解銅めっきだけではめっき被膜の緻密さ、被膜物性が劣るため、第２、第３の金属層２９，３０を形成する。以下、その方法について説明する。
【００２４】
第１の金属層２８を形成後、ジエタノールアミン、硫酸混合液で表面を脱脂し、硫酸で表面を活性化する。その後硫酸銅めっき液で電解銅めっきを行い、約１〜５μｍの厚さで第２の金属層２９を形成する。
【００２５】
次に、ジエタノールアミン、硫酸混合液で表面を脱脂し、過硫酸ナトリウム、硫酸混合液で電解銅めっき被膜上の酸化膜を軽くエッチングして除去した後、硫酸で酸活性する。その後銅の酸化防止層からなる電解錫めっきを行い、約１〜６μｍの厚さの電解錫めっき被膜からなる第３の金属層３０を形成する。このようにして、図１３に示すような電磁波シールド層が得られる。
【００２６】
ここで第３の金属層３０を形成した後、１００℃、１時間の熱処理を行うと、単一回路基板３１とめっき被膜との密着性はさらに向上する。さらに、第１、第２の金属層２８，２９のめっき被膜形成後に、それぞれ１００℃、１時間の熱処理を行うと、単一回路基板３１の表面とめっき被膜との密着性はよりいっそう向上する。
【００２７】
なお、電解錫めっきを行うとき、錫めっき浴を周波数１５〜６０Ｈｚの振動攪拌をすることにより錫めっき浴の流動性が良くなり、めっき析出速度が向上し、めっき時間の短縮化が図れると共に、単一回路基板３１の側面部へのめっきカバーリング性が著しく向上し、より電磁波シールド性効果が向上する。
【００２８】
また、錫めっき被膜よりなる第３の金属層３０を形成した単一回路基板３１を、ピーク温度２３０〜３００℃のはんだリフロー炉に通すことにより、錫めっき被膜が溶融し、より緻密な被膜となり耐候性が一段と向上する。
【００２９】
なお、第３の金属層３０の形成方法として、スルファミン酸ニッケルめっき液により１〜２μｍの電解ニッケルめっき被膜を形成してもよく、また、次亜リン酸ナトリウムを還元剤とする無電解Ｎｉ−Ｐ（ニッケル−リン）浴でＮｉ−Ｐめっき被膜を形成してもよい。特に、塩水噴霧試験など環境試験においては純ニッケル被膜より、リンを含有することで著しく耐環境特性は向上する。特にＰが６％〜１０％含有することで、Ｎｉ−Ｐ被膜の耐環境性は著しく向上する。
【００３０】
また、第３の金属層３０の他の形成方法として、３価クロムあるいは６価クロムめっき液により１〜６μｍの電解クロムめっき被膜を形成しても、同等の電磁波シールド層を得ることができる。
【００３１】
金属層を形成後、図１４に示すように、離型フィルム２５を剥離することで回路部品内蔵モジュールが形成される。
【００３２】
なお、本実施の形態では、貫通孔２１に充填する導電性物質として導電性樹脂組成物２２を用いたが、熱硬化性の導電性物質であれば何でもよい。
【００３３】
なお、離型フィルム２５の剥離方法は、たとえば、エッチング法によるキャリアを溶解させてもよい。
【００３４】
以上のように、本実施の形態では、基板切断し、個片に分割した後に金属層を形成するので、切断された単一回路基板３１の表面および側面に確実に電磁波シールド層が形成されることになり、その結果外部の電界ノイズ、磁界ノイズから電子部品をシールドすることができ、これにより、電子部品パッケージ内部から発生する電界ノイズ、磁界ノイズを外部に放出することがないため、他の周辺の電子部品、電子機器に電波障害を与えることもない。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、絶縁体との密着性、耐環境性、電磁波シールド効果に優れた電磁波シールド被膜を有し、各種電子機器、通信機器等に用いられる回路部品内蔵モジュール及びそのシールド被膜形成技術として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図２】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図３】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図４】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図５】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図６】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図７】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図８】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図９】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図１０】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図１１】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図１２】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図１３】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図１４】本発明の実施の形態１における回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【図１５】従来の回路部品内蔵モジュールの製造方法の製造工程図
【符号の説明】
【００３７】
２０  板状体
２１  貫通孔
２２  導電性樹脂組成物
２３  配線パターン
２４  回路部品
２５  離型フィルム
２６  電気絶縁性基板
２７  インナービア
２８  第１の金属層
２９  第２の金属層
３０  第３の金属層
３１  単一回路基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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