(57)【要約】【課題】            高密度でノズルを配置した構造においても、配線や製造が容易で、かつ、大気中の湿度等による圧電素子の特性劣化のない液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】        本発明にかかる液体噴射ヘッドは、２つの圧電薄膜ユニットと、該各圧電薄膜ユニットに接合された圧力室用ブロックと、該２つの圧電薄膜ユニットに挟まれた空洞部形成用ブロックとからなる液体噴射ヘッドであり、前記圧電薄膜ユニットは、前記基板の第１面の一部を除いて高分子材料で被覆されており、前記空洞部形成用ブロックは、２つの前記基板の第１面どうしが対向するように挟まれて該基板の一部に接合されることによって空洞部を形成しており、前記圧力室用ブロックは、表面に凹部が形成されており、前記圧電薄膜ユニットの圧電体膜の形成されていない裏面に接合されて、インクを加圧するための圧力室とインク流路が形成されており、前記タブ配線は、前記空洞部に沿って設置されている。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの圧電薄膜ユニットと、該各圧電薄膜ユニットに接合された圧力室用ブロックと、該２つの圧電薄膜ユニットに挟まれた空洞部形成用ブロックとからなる液体噴射ヘッドであり、
前記圧電薄膜ユニットは、導電性弾性体基板と、該基板の第１面の所定領域に配置された複数の圧電体膜と、該圧電体膜上に形成された駆動電極と、該駆動電極に接続されたタブ配線とを有し、
前記圧電薄膜ユニットは、前記基板の第１面の一部を除いて高分子材料で被覆されており、
前記空洞部形成用ブロックは、２つの前記基板の第１面どうしが対向するように挟まれて該基板の一部に接合されることによって、前記各圧電薄膜ユニットの複数の圧電体膜形成領域と該空洞部形成用ブロックとに囲まれた空洞部を形成しており、
前記圧力室用ブロックは、表面に凹部が形成されており、前記圧電薄膜ユニットの圧電体膜の形成されていない裏面に接合されて、前記凹部と圧電薄膜ユニットとによりインクを加圧するための圧力室とインク流路が形成されており、
前記タブ配線は、前記空洞部に沿って設置されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記圧電体膜が水熱合成で形成した圧電体であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記圧力室用ブロックおよび前記空洞部形成用ブロックはポリイミド焼結体であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記圧力室用ブロックおよび前記空洞部形成用ブロックはポリイミドフィルムの積層体であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記導電性弾性体基板はＮｉ板であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
ノズルを複数配したノズル用ブロックを接合したことを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記インク流路と外部インクタンクとを結ぶためのインク供給用ブロックを接合したことを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド
【請求項８】
請求項１記載の液体噴射ヘッドを複数積層したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記圧電薄膜ユニットの前記第１面に被覆された前記高分子材料が疎水性樹脂であり、前記圧電薄膜ユニットの圧電体膜の形成されていない裏面に被覆された前記高分子材料が親水性樹脂であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッドのような液体噴射ヘッドに係わり、詳しくは、配線の取り出しや製造が容易で、ノズルを高密度に配置でき、特性劣化の少ない、水熱合成により形成した圧電体薄膜を利用した液体噴射ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、マルチメディア情報社会においてパソコンが普及し、それに伴ってプリンタの需要が増大している。特に、インクジェットプリンタは低価格で高画質なカラープリントが可能なことから、急速に市場が拡大している。
【０００３】
インクジェットには種々の方式があり、ピエゾ素子を使用して機械振動力をインクの圧力波に変換してインク液滴を吐出させる方式や、インクを急激に加熱して気泡を発生させ、気泡の圧力波でインク液滴を吐出させる方式、また静電気力でインクを吸引して飛翔させる方式等があり、中でも圧電体薄膜（ピエゾ素子）を使用する方式は、圧電体薄膜（ピエゾ素子）の製造方法が進歩する中で、特に注目されている。
【０００４】
インクジェット記録ヘッドは、印字の高速化、高精密化を進めるために、ヘッドのノズルを複数、密度を上げて配置する傾向にある。たとえば特許文献１には１つのヘッドに複数のノズルが配置された圧電セラミック材料で構成されたインクジェット記録ヘッドが開示されている。図７は、ピエゾ素子を使用したインクジェット記録ヘッドの構成例であり断面図である。
【０００５】
このインクジェット記録ヘッドは、一対の駆動電極に挟まれた圧電セラミック材料からなる振動板と、該振動板の間に圧力室および空洞部が、交互に設けられている。インクは、インク供給部から供給され、圧力室で加圧されてノズル孔より吐出される。
【０００６】
このような構成のインクジェット記録ヘッドでは、圧力室と空洞部の挟まれた駆動電極に電圧を印加して、圧電セラミックス材料を変形させることによって発生した吐出エネルギーを、これに隣接する圧力室で吸収することができるため、隣接するノズルからでも隣接するノズルの影響を受けずに同時に液滴を吐出させることができる。したがって、個別のノズルの吐出制御が可能であり、かつ狭ピッチにノズルを配置したインクジェット記録ヘッドを得ることができる。
【０００７】
また、特許文献２には、水熱合成で形成した圧電体を利用したインクジェットプリンタ用印字ヘッドが記載されている。
【０００８】
【特許文献１】特開平２−３３１１号公報
【特許文献２】特開平８−１１８６６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところが図７に示した従来のインクジェット記録ヘッドでは、そのインク吐出のために駆動電極を含む部分の圧電セラミックス材料を効率よく変形させる必要があり、圧力室と空洞部の間の圧電セラミックス材料を非常に薄くする必要がある。
【００１０】
駆動板を含むこれらのインクジェット記録ヘッドは、セラミックでできており、グリーンシートを積層し、焼成することにより製造されているが、駆動板が薄い上に圧力室と空洞部を有するため、焼成時に変形し、製造の歩留まりが悪く、十分な特性を有するヘッドが得られないという問題がある。
【００１１】
また、圧電セラミック材料を含む駆動板には高い電界が印加され、大気中の湿気を吸収した場合には駆動電極間のリーク電流が増加しやすく、ついには絶縁破壊に至るという問題を抱えている。
【００１２】
また、引用文献２に示された積層タイプのヘッドでは、引用文献１に相当する空洞部はなく、圧電駆動部が重なるように積層されており、圧電体に負荷がかかるとともに圧電体の動きを制限することにもなる。また、積層厚み方向の精度に配慮が無く、圧電体が露出していることから耐久性についても懸念される。
【００１３】
本発明は、上記従来のインクジェット記録ヘッドの問題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、高密度でノズルを配置した構造においても、配線や製造が容易で、かつ、大気中の湿度等による圧電素子の特性劣化のない液体噴射ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために本発明にかかる液体噴射ヘッドは、２つの圧電薄膜ユニットと、該各圧電薄膜ユニットに接合された圧力室用ブロックと、該２つの圧電薄膜ユニットに挟まれた空洞部形成用ブロックとからなる液体噴射ヘッドであり、前記圧電薄膜ユニットは、導電性弾性体基板と、該基板の第１面の所定領域に配置された複数の圧電体膜と、該圧電体膜上に形成された駆動電極と、該駆動電極に接続されたタブ配線とを有し、前記圧電薄膜ユニットは、前記基板の第１面の一部を除いて高分子材料で被覆されており、前記空洞部形成用ブロックは、２つの前記基板の第１面どうしが対向するように挟まれて該基板の一部に接合されることによって、前記各圧電薄膜ユニットの複数の圧電体膜形成領域と該空洞部形成用ブロックとに囲まれた空洞部を形成しており、前記圧力室用ブロックは、表面に凹部が形成されており、前記圧電薄膜ユニットの圧電体膜の形成されていない裏面に接合されて、前記凹部と圧電薄膜ユニットとによりインクを加圧するための圧力室とインク流路が形成されており、前記タブ配線は、前記空洞部に沿って設置されていることを特徴とする。
【００１５】
特に前記圧電体膜は形成プロセス上、あるいは薄膜化が可能であることなどから、水熱合成で作られたものであることが望ましい。
【００１６】
本発明の一実施態様において、前記圧力室用ブロックおよび前記空洞部形成用ブロックはポリイミド焼結体あるいはポリイミドフィルムの積層体であることを特徴とする。
【００１７】
本発明の一実施態様において、前記導電性弾性体基板はＮｉ板であることを特徴とする。
【００１８】
さらに、本発明の液体噴射ヘッドの一実施態様は、さらにノズルを複数配したノズル用ブロックを接合したことを特徴とする。
【００１９】
さらに、本発明の液体噴射ヘッドの一実施態様は、前記インク流路と外部インクタンクとを結ぶためのインク供給用ブロックを接合したことを特徴とする。
【００２０】
本発明の液体噴射ヘッドの一態様は、上記の２層の圧電薄膜ユニットからなる液体噴射ヘッドをさらに複数積層したことを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の一実施態様では、前記圧電薄膜ユニットの前記第１面に被覆された前記高分子材料が疎水性樹脂であり、前記圧電薄膜ユニットの圧電体膜の形成されていない裏面に被覆された前記高分子材料が親水性樹脂であることが好ましい。疎水性樹脂としてはフッ素樹脂が好ましく、親水性樹脂としては、ポリイミド樹脂が好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明にかかる液体噴射ヘッドは、基板上に圧電体膜を形成し、高分子材料で被覆した圧電薄膜ユニットを有し、この２つの圧電薄膜ユニット間に一連の空洞部を形成するようにブロックをはさみ、その空洞部を利用してタブ配線を配置するようにしたことにより、高密度でノズルを配置した構造においても、配線や製造が容易で、かつ、大気中の湿度等による圧電素子の特性劣化のない液体噴射ヘッドを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態にかかる液体噴射ヘッドについて、図面を参照しながら説明する。
【００２４】
図１は、本発明の実施の形態にかかる液体噴射ヘッドの構成を示す斜視図である。図２は、図１のＸ−Ｘ’断面図、図３は図１のＹ−Ｙ’断面の一部拡大図である。図１〜３において、液体噴射ヘッド１は、２つの圧電薄膜ユニット２と、該各圧電薄膜ユニット２に接合された圧力室用ブロック３と、該２つの圧電薄膜ユニット２に挟まれた空洞部用ブロック４（または４’）とからなる。図２の実施形態においては、さらにノズル６１が形成されているノズル用ブロック６や、インクをインクタンクより供給するためのインク供給用ブロック７も図示されている。
【００２５】
圧電薄膜ユニット２は、導電性弾性体基板２１と、該弾性体基板２１の第１面の所定領域に形成した複数の圧電体膜２２と、該圧電体膜２２上に形成された駆動電極２３と、該駆動電極２３に接続されたタブ配線２４とを有する。前記圧電薄膜ユニット２は、前記基板２１の第１面の一部を除いて高分子材料２５で被覆されている。即ち、圧電薄膜ユニット２の第１面は、前記空洞部用ブロック４、４’と導電性弾性体基板２１が接触する部分を除いて、高分子材料２５で被覆されており、また、圧電薄膜ユニット２の裏面（前記基板の第１面とは裏にあたる面）は、導電性弾性体基板２１が高分子材料２５または高分子シートで被覆されている。圧電体膜２２の形成は、水熱合成による方法が、焼結なしに、基板との密着強度が大きく、予め配向した圧電体膜を容易なプロセスで得ることができるため好ましいが、焼結した薄膜圧電体の貼り付けでも同様な効果が得られる。
【００２６】
空洞部用ブロック４、４’は、２つの圧電薄膜ユニット２の複数の圧電体膜を形成した部分が対向し接触しないように外部に連通する一連の空洞部を形成するよう前記導電性弾性体基板２１間に接合されている。即ち、空洞部用ブロック４、４’は、２つの基板２１の第１面どうしが対向するように挟まれて該基板２１の一部に接合され、これによって、本発明の液体噴射ヘッドは、前記各圧電薄膜ユニット２の複数の圧電体膜形成領域と該空洞部用ブロック４、４’とに囲まれた空洞部５を形成している。そして、この空洞部５に沿ってタブ配線２４が設置されており、外部の圧電駆動回路（図示せず）に接続される。
【００２７】
圧力室用ブロック３は、インクを加圧するための圧力室３２とインク流路３３を形成するための凹部３１が形成されており、前記圧電薄膜ユニット２の圧電体膜２２の形成されていない裏面に接合されて、前記凹部３１と圧電薄膜ユニット２とによりインクを加圧するための圧力室３２とインク流路３３が形成されている。
【００２８】
以上のように、本発明の液体噴射ヘッド１は、圧電薄膜ユニット２の一方に形成されたインク圧力室３と、２つ圧電薄膜ユニット間に外部に通じる空洞部５とを有する。
【００２９】
液体噴射ヘッドの動作について図２を用いて簡単に説明する。導電性弾性体基板２１上に圧電体膜２２が形成されていることによって、共通電極を兼ねる導電性弾性体基板２１と駆動電極２３との間（即ち、圧電体膜の厚み方向）に電圧が印加されると、通常の駆動方法では、圧電体膜２２は、圧電体膜２２の厚み方向に伸び、基板に平行な方向に縮む。このため、圧電体膜の形成されている領域では、基板２１と圧電体膜２２とが基板に接触している圧力室３２側に曲がることとなり、圧力室３２のインクを加圧し、ノズル側にインクを押し出し、ノズル６１よりインクを噴射することとなる。インクはインク供給用ブロック７を介して補給される。
【００３０】
上記のように、本発明の液体噴射ヘッドでは、空洞部５を有しているため、１つの圧電体膜２２が振動して圧力室３２に圧力を負荷しても、それに対向する圧力室には影響がないため、ノイズのない液体噴射ヘッドを提供できる。また、空洞部５が複数の圧電体膜２２形成領域にまたがって形成され、外部に通じており、単純な構成で形成できるため、各圧電体膜２２の駆動電極２３に駆動信号を送るためのタブ配線２４をこの空洞部５を利用して設置できるため、配線や製造が容易である。なお、圧電体膜２２の他方の電極である共通電極は、導電性弾性体基板２１を利用しており、該基板２１はそのまま外部まで繋がっているため新たな配線は不要である。
【００３１】
また、空洞部５に面する圧電体膜２２、駆動電極２３、および導電性弾性体基板２１の一部は、高分子材料で被覆されているため、湿度等の影響を受けにくく、特性劣化を避けることができる。特に、圧電薄膜ユニットの第１面に被覆された前記高分子材料は、疎水性樹脂であることが好ましく、これにより、いっそう湿度等の影響を受けにくく、特性劣化を避けることが出来る。疎水性樹脂としては、フッ素樹脂が挙げられ、特に４ふっ化エチレン樹脂が好ましい。
【００３２】
また、導電性弾性体基板２１の圧力室３２の形成される側（第２面側）は、高分子材料２５で被覆または高分子シートが接着されているため、インク等による基板の劣化を防止することができるとともに、インクとの親和性を上げ気泡の発生を防ぐことが出来る。圧力室はインクが充填されるため、インクジェット記録ヘッドの製造直後には完全な空隙となっている必要がある。また、圧力室にインクを充填してノズルより吐出させる場合には、インク圧力室に気泡が残留していると駆動部の変形エネルギーが気泡を圧縮するのみに使われ、インクをノズルより吐出させることができない。インクをインク圧力室に気泡を残すことなく充填させるため、インク圧力室の内壁はインクが良く濡れるような特性とするか、またはインク圧力室を気泡が残留しにくい形状とすることが好ましい。このためには、インク圧力室の内面に親水性膜を設けることが好ましい。即ち、圧電薄膜ユニットの圧電体膜の形成されていない裏面（第２面）に被覆された高分子材料は親水性樹脂であることが好ましい。親水性樹脂としては、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂が挙げられ、特にポリイミド樹脂が好ましい。高分子材料は、最初から高分子シートとなっているものを接着してもよい。
【００３３】
さらに、図１〜３の実施形態では、２つの圧電薄膜ユニットの圧電体膜が対向するように配置されているが、圧電体膜が対向しないようにずらせて液体噴射ヘッドを形成することも可能である。これにより、２列のノズルが上下の同じ位置にあるのではなく、互いに補完するような配置とすることも可能であり、設計の自由度が広がり、ノズルの高密度配置が可能となる。
【００３４】
以上のように、本発明の液体噴射ヘッドは、高分子材料で被覆し水熱合成で作製した圧電薄膜ユニットと、２つの圧電薄膜ユニット間に一連の空洞部を形成するようにブロックをはさみ、その空洞部を利用してタブ配線を配置するようにしたことにより、高密度でノズルを配置した構造においても、配線や製造が容易で、かつ、大気中の湿度等による圧電素子の特性劣化のない液体噴射ヘッドとすることができる。また、セラミックのグリーンシートから製作する場合と異なり、焼成等が不要である。
【００３５】
圧力室用ブロックおよび前記空洞部形成用ブロックとしては、樹脂ブロックやセラミックブロックなどが挙げられる。樹脂ブロックとしては、ポリウレタン、ポリアミド、ポリカーボネイトなどが挙げられるが、特にポリイミド焼結体であることが好ましい。ポリイミド焼結体は、耐熱性があるので、製造工程中に熱処理を行っても変形しないという効果がある。また、圧力室用ブロックおよび前記空洞部形成用ブロックは、樹脂フィルムを積層した積層体でもよい。樹脂フィルムの樹脂としては、ポリウレタン、ポリアミド、ポリカーボネイトなどが挙げられるが、特にポリイミドが好ましい。
【００３６】
本発明の導電性弾性体基板は、金属板や、合金の板の他に、プラスチックやセラミックに導電性の薄膜を形成したものでもよい。特に、本発明の導電性弾性体基板としては、Ｎｉ板が好ましい。Ｎｉ基板は、耐アルカリ性材料であり、強アルカリを用いる水熱合成ＰＺＴ圧電膜の基板として有用である。
【００３７】
本発明の液体噴射ヘッドは、図１に示したように、ノズルを複数配したノズル用ブロックを接合することにより、均一で特性の安定した液体の噴射が可能である。なお、本発明の液体噴射ヘッドでは、ノズル用ブロックを使用することなく、直接インク流路の末端を噴射ノズルとしてもよい。
【００３８】
また、本発明の液体噴射ヘッドは、図１に示したように、インクを外部のインクタンク（図示せず）より本液体噴射ヘッドに導くためのインク供給用ブロックを接合させることにより、複数のインク室に必要な種類のインクを選択して供給することができる。
【００３９】
以上説明した本発明の液体噴射ヘッドは、２列のノズル列からなっている噴射ヘッドが１つのユニットになっているが、図４に示すようにこれをさらに上下方向にそのまま複数積層することにより、ノズル列を増やすことが可能である。これにより高さ方向、横方向に多数のノズルを有する液体噴射ヘッドを提供することが可能となる。タブ配線は、常に空洞部から導出されているため、積層により特に複雑になることもない。さらに、積層する場合、ノズルのピッチ方向にずらせることにより、ノズルの配置を変えることも可能である。
【００４０】
次に、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法について図を用いて説明する。図４は、Ｎｉ基板上に水熱合成法により圧電体膜を形成し作製した圧電薄膜ユニットの断面図である。圧電薄膜ユニット１は、水熱合成法を用いて以下のように製造できる。まず、次のようにして水熱合成法によりＴｉ膜２２１上に圧電体膜（例えばＰＺＴ膜２２３）を形成する。即ち、まず、導電性弾性体基板（例えばＮｉ基板２１１）にレジストをスピンコートし、フォトリソグラフィー技術により所定領域のレジストを除去する。次に、スパッタリングにより基板（例えば、Ｎｉ基板２１１）上に、所定の位置にチタン膜２２１を０．５〜１μｍ程度の膜厚で形成し、前記レジストを除去する。これにより、圧電体膜（例えばＰＺＴ膜２２３）を形成する領域にＴｉ膜２２１が形成できる。
【００４１】
次に、この工程で得た基板（例えば、Ｎｉ基板２１１）上にＰＺＴ種結晶２２２を以下に示す方法で形成する。硝酸鉛（Ｐｂ（ＮＯ３）２）水溶液、オキシ塩化ジルコニウム（ＺｒＣｌ２・８Ｈ２Ｏ）水溶液、硝酸ストロンチウム（Ｓｒ（ＮＯ３）２）および水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液を混合して調整された反応溶液に、前述した基板（例えば、Ｎｉ基板２１１）を浸漬し、１５０℃で水熱処理を行う。この反応では、チタン膜２２１から溶出するＴｉ源と反応液中のＰｂ源、Ｚｒ源とを反応させて圧電体薄膜種結晶（例えばＰＺＴ種結晶２２２）をチタン層２２１表面に０．１μｍの厚さで形成する。
【００４２】
次に、上記で得た圧電体薄膜種結晶（例えばＰＺＴ種結晶２２２）上に、水熱合成法により圧電体膜（例えばＰＺＴ膜２２３）を成長させる。なお、本実施の形態では、この水熱反応で使用する反応溶液として、硝酸鉛（Ｐｂ（ＮＯ３）２）水溶液、オキシ塩化ジルコニウム（ＺｒＣｌ２・８Ｈ２Ｏ）水溶液、四塩化チタン（ＴｉＣｌ４）水溶液、及び水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液を混合したものが使用できる。
【００４３】
このように、本発明にかかわる圧電薄膜素子の形成方法では、圧電体薄膜種結晶（例えばＰＺＴ種結晶２２２）上にのみ、圧電体膜（例えばＰＺＴ膜２２３）を選択的に形成することができる結果、水熱合成法により、所定領域に選択的に圧電体膜（例えばＰＺＴ膜２２３）を形成することができる。
【００４４】
このようにして、圧電体膜（例えばＰＺＴ膜２２３）を導電性弾性体基板（例えば、Ｎｉ基板２１１）上に形成した後、圧電体膜（例えばＰＺＴ膜２２３）上にフォトリソグラフィー技術により所定のパターンにＡｕ電極からなる駆動電極２３を形成する。駆動電極との配線は、タブ配線２４を用いて行う。圧電体膜上の駆動電極上にタブ配線を施した概略図を図５に示す。駆動電極２３とタブ配線２４との接続は、所定の電極に対応したタブの所定位置にコンタクトホール２４１を形成し、導電性樹脂で接続することにより行う。
【００４５】
次に、前記空洞部形成用ブロックと接触する導電性弾性体基板上の領域をメタルマスクでマスキングし、高分子材料をスプレー塗布する。高分子材料としては、フッ素系樹脂が好ましい。
【００４６】
続いて、導電性弾性体基板の第２面（前記第１の面の裏面）にフッ素系あるいはスルホン系の高分子材料を塗布するか、あるいは、高分子シートを接着する。接着剤としては、エポキシ樹脂が使用できる。以上のようにして、圧電薄膜ユニットを製作することが出来る。
【００４７】
次に、上記の圧電薄膜ユニットを使って本発明の液体噴射ヘッドを製造する方法について図２を用いて説明する。圧力室用ブロック３は、インク流路３３および圧力室３２用の凹部３１が形成されたブロックであり、凹部３１が形成されている面を、上記圧電薄膜ユニット２の圧電体膜２２が形成されていない面（基板２１の第１面の裏面に相当、第２面）、即ち、導電性弾性体基板第２面の高分子シートが形成されている面に合わせて、接着剤を用いて接合させる。接着剤としては、エポキシ樹脂が使用できる。このような、圧力室用ブロック３と圧電薄膜ユニットが接合されたものを２つ用意する。
【００４８】
次に、２つの上記圧力室用ブロック３の接合した圧電薄膜ユニット２の圧電体膜２２が形成されている側（表の面、第１面）の導電性弾性体基板２１の高分子材料２５が塗布されていない個所に、空洞部形成用ブロック４、４’を接着し、２つの圧電薄膜ユニット２の間に空洞部５と空洞部用ブロック４が挟まれた構造の液体噴射ヘッド１を形成することができる。なお、空洞部用ブロック４は、ノズルに近い側に設置されるノズル側空洞部用ブロック４とインク供給側に近いインク供給側空洞用ブロック４’との２つのブロックであることが製造上容易であるため好ましいが、これら２つのブロックを空洞部５を遮断しない程度に連結部をつけた構造とした１つの空洞用ブロックとしてもよい。以上のようにして本発明の液体噴射ヘッドを作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施の形態にかかるインクジェット記録ヘッドの斜視図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ’断面図である。
【図３】図１のＹ−Ｙ’断面図である。
【図４】本発明の実施の形態にかかる圧電薄膜ユニットの断面図である。
【図５】本発明のタブ配線の接続方法を示すます圧電薄膜ユニットの概略図である。
【図６】本発明の液体噴射ヘッドの一実施形態を示す斜視図である。
【図７】従来のインクジェット記録ヘッドの構造を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１    液体噴射ヘッド
２    圧電薄膜ユニット
２１  導電性弾性体基板（共通電極）
２１１  Ｎｉ基板
２２  圧電体膜
２２１  チタン膜
２２２  ＰＺＴ種結晶膜
２２３  ＰＺＴ膜
２３  駆動電極
２４  タブ配線
２４１  コンタクトホール
２５  高分子材料
３    圧力室用ブロック
３１  凹部
３２    圧力室
３３    インク流路
４、４’  空洞部用ブロック
５    空洞部
６    ノズル用ブロック
６１  ノズル
７    インク供給用ブロック
【図１】
2005305827.tif 000003
【図２】
2005305827.tif 000004
【図３】
2005305827.tif 000005
【図４】
2005305827.tif 000006
【図５】
2005305827.tif 000007
【図６】
2005305827.tif 000008
【図７】
2005305827.tif 000009