(57)【要約】【課題】電子ビーム照射窓の窓箔に皺やピンホール等の欠陥を生じさせることなく該窓箔をコストの嵩まない簡易な加工により薄膜化してその電子透過性能を著しく高めることができるようにすると共に、窓箔を薄膜化しても、その取り扱いが容易で損傷のおそれがないようにする。【解決手段】窓箔２をこれを支持するサポート板３の片面側に張り付けるか若しくは該サポート板の代用冶具の片面側に押し当てた状態で、その反対面側からイオンビーム等のエネルギービームを放射することにより、窓箔２のサポート板３に穿設された各電子ビーム照射穴４、４…と対峙する部分８、８…をミリングして他の部分より薄膜化する。【選択図】  図４
2005017077.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子を透過させる窓箔が、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板に張り付けられるか若しくは気密に押し当てて使用される電子ビーム照射窓であって、前記窓箔の前記サポート板に穿設された各電子ビーム照射穴と対峙する部分若しくは電子ビーム照射穴が穿設された区域と対峙する部分が、他の部分よりも薄膜化されていることを特徴とする電子ビーム照射窓。
【請求項２】
電子を透過させる窓箔が、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板に張り付けられるか若しくは気密に押し当てて使用される電子ビーム照射窓の加工方法であって、前記窓箔を前記サポート板の片面側に張り付けるか若しくは該サポート板の代用冶具の片面側に押し当てた状態で、その反対面側からイオンビーム等のエネルギービームを放射することにより、前記窓箔の前記サポート板に穿設された各電子ビーム照射穴と対峙する部分をミリングして他の部分より薄膜化することを特徴とする電子ビーム照射窓の加工方法。
【請求項３】
電子を透過させる窓箔が、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板に張り付けられるか若しくは気密に押し当てて使用される電子ビーム照射窓の加工方法であって、前記窓箔を前記サポート板の片面側に張り付けるか若しくは該サポート板の代用冶具の表面に押し当てて、その窓箔の上に前記サポート板の電子ビーム照射穴が穿設された区域と対峙しない部分を覆うマスキング用冶具を押し当てた状態で、イオンビーム等のエネルギービームを放射することにより、前記窓箔の前記マスキング用冶具で覆われていない部分をミリングして他の部分より薄膜化することを特徴とする電子ビーム照射窓の加工方法。
【請求項４】
電子を透過させる窓箔と、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板とが一体化された電子ビーム照射窓の加工方法であって、前記窓箔を前記サポート板の片面側に張り付けた状態で、その片面側からイオンビーム等のエネルギービームを放射することにより、前記窓箔を全体的にミリングして薄膜化することを特徴とする電子ビーム照射窓の加工方法。
【請求項５】
電子ビーム照射窓の窓箔を支持するサポート板において、複数の電子ビーム照射穴が一定の配列パターンで穿設された薄板が、その配列パターンを互いに符合させるようにして複数枚積層されて成ることを特徴とする電子ビーム照射窓のサポート板。
【請求項６】
前記薄板が、複数枚積層された状態で熱圧着により一体的に接合されている請求項５記載のサポート板。
【請求項７】
電子ビーム照射窓の窓箔を支持するサポート板において、複数の電子ビーム照射穴が、サポート板の中心部における開口率が最も小さく、その中心部から離間するに従って開口率が大きくなる配列パターンで穿設されていることを特徴とする請求項５又は６記載のサポート板。
【請求項８】
電子ビーム照射窓の窓箔を支持するサポート板において、複数の電子ビーム照射穴が穿設されると共に、前記窓箔を支持する面とその面に開口する前記電子ビーム照射穴との間に生ずる角部に丸みをつける面取りが施されていることを特徴とする電子ビーム照射窓のサポート板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子ビーム放出管等の電子ビーム照射装置に設けられた電子ビームの照射口を気密封止するために使用される電子ビーム照射窓とその加工方法及びそのサポート板に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カソードとグリッドとを有する電子発生部が内装された電子ビーム放出管は、その内部を高真空とするために、電子ビームの照射口が電子を透過させる電子ビーム照射窓の窓箔によって気密封止されるようになっている。
【０００３】電子ビーム照射窓は、電子を透過させる窓箔がミクロンオーダーの薄い金属箔で形成されているため、内部を高真空とした電子ビーム放出管の外部からその窓箔に加わる大気圧力を複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板で支えるようにしている。
【０００４】窓箔は、その厚みを薄くするほど電子の透過性能が向上するが、従来一般の窓箔は圧延加工により製造されるため、一定以上薄くすると圧延方向の直交断面内における圧下の不均一等に起因する腹波、耳波等の形状不良を生じて皺が寄った状態となり、また、厚さ２μｍ以下に圧延するとピンホールの発生率が高まって、電子ビームを照射する窓穴を気密封止することができなくなる。また、ミクロンオーダーの薄い金属箔で成る窓箔は、剛性に欠けるため、それ単体での取り扱いが非常に難しく、電子ビーム放出管に取り付ける際に誤って破損するおそれも大きいので、その取付作業に時間を要する等の問題がある。
【０００５】このような諸問題に鑑みて、ＣＶＤやＰＶＤ等の蒸着法によって薄膜状の窓箔を作る方法も提案されている。この方法は、窓箔を支持するサポート板を蒸着基板として、その片面側に窓箔となる蒸着膜を生成した後、その反対面側からサポート板のみを貫通する複数の電子ビーム照射穴を穿設することによって、電子を透過させる窓箔と、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板とが一体化された電子ビーム照射窓を製造するものである（特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特表平１０−５１２０９２号公報
【０００７】上記の如く窓箔とこれを支持するサポート板とが一体化された照射窓は、取り扱いが容易で、電子ビーム放出管に取り付ける際に誤って窓箔を破損するおそれが少ないという利点を有するが、これを製造する際は、サポート板の片面側に生成した蒸着膜で成る窓箔を損傷することなく、その反対面側からサポート板だけを貫通する複数の電子ビーム照射穴を穿設するために、サポート板の片面とその片面に生成される窓箔との間にエッチングレジスト層を設けて、サポート板の反対面側からエッチングすることにより電子ビーム照射穴を穿設することとしているので、工数が多く、加工コストが嵩むという欠点があった。また、蒸着法によって形成された窓箔は、蒸着の際に生ずる応力のためにひずみが残って割れやすくなるので、薄膜化も厚さ３μｍ程度までが限度であった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、例えば厚さ３μｍのチタン箔で成る窓箔から有効に電子ビームが取り出せる加速電圧の範囲は、５０ｋＶ以上である。一方、ユーザーのニーズとしては、加速電圧が４０〜３０ｋＶ程度で足りる簡易で安価な装置が求められているが、厚さ３μｍのチタン箔で成る窓箔を用いた場合は、電流密度１ｍＡ／ｃｍ２程度で４０ｋＶの電子ビームを照射すると、その処理能力が１０ｋＧｙ／ｓｅｃ以下となり、一般的に要求される処理能力が得られない。
【０００９】そこで本発明は、窓箔に皺やピンホール等の欠陥を生じさせることなくこれを簡易な加工により例えば厚さ３μｍ以下に薄膜化してその電子透過性能を著しく高められるようにすると同時に、窓箔を取り扱い易くて損傷のおそれが少ないものにすることを技術的課題としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、請求項１に係る発明は、電子を透過させる窓箔が、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板に張り付けられるか若しくは気密に押し当てて使用される電子ビーム照射窓であって、前記窓箔の前記サポート板に穿設された個々の電子ビーム照射穴と対峙する部分若しくは電子ビーム照射穴が穿設された区域と対峙する部分が、他の部分よりも薄膜化されていることを特徴とする。
【００１１】本発明の電子ビーム照射窓は、サポート板に張り付けるか若しくは気密に押し当てて使用する窓箔が、サポート板に穿設された電子ビーム照射穴を通して照射する電子ビームを透過させる必要部分を他の部分よりも薄膜化することによって、その必要部分における電子透過性能が高められる一方、その必要部分よりも厚みがある他の部分によって剛性が付与されるので、窓箔の取り扱いが容易となり、窓箔を損傷するおそれも低減する。
【００１２】次に、請求項２に係る発明は、電子を透過させる窓箔が、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板に張り付けられるか若しくは気密に押し当てて使用される電子ビーム照射窓の加工方法であって、前記窓箔を前記サポート板の片面側に張り付けるか若しくは該サポート板の代用冶具の片面側に押し当てた状態で、その反対面側からイオンビーム等のエネルギービームを放射することにより、前記窓箔の前記サポート板に穿設された各電子ビーム照射穴と対峙する部分をミリングして他の部分より薄膜化することを特徴とする。
【００１３】本発明の加工方法によれば、窓箔とそのサポート板とを各々別個に製造して著しく薄膜化した窓箔を得ることができる。すなわち、全体的に使用厚より厚めで製造し易く取り扱いも容易な窓箔と、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板とを各々別個に製造した後、サポート板の各電子ビーム照射穴から照射する電子ビームを透過させる窓箔の部分だけをエネルギービームによる研磨加工によって皺やピンホール等を生ずることなく所定の使用厚まで簡易迅速に薄膜化することができるので、電子ビーム照射窓の製造加工コストが嵩むことなくその窓箔の電子透過性能を著しく高めることができると同時に、窓箔の損傷等も防止することができる。
【００１４】次に、請求項３に係る発明は、電子を透過させる窓箔が、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板に張り付けられるか若しくは気密に押し当てて使用される電子ビーム照射窓の加工方法であって、前記窓箔を前記サポート板の片面側に張り付けるか若しくは該サポート板の代用冶具の表面に押し当てて、その窓箔の上に前記サポート板の電子ビーム照射穴が穿設された区域と対峙しない部分を覆うマスキング用冶具を押し当てた状態で、イオンビーム等のエネルギービームを放射することにより、前記窓箔の前記マスキング用冶具で覆われていない部分をミリングして他の部分より薄膜化することを特徴とする。
【００１５】本発明方法も、請求項２に係る発明と同様に、使用厚よりも厚めの窓箔と、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板とを各々別個に製造した後、サポート板の電子ビーム照射穴から照射する電子ビームを透過させる窓箔の必要部分を簡易迅速に薄膜化して、その窓箔部分の電子透過性能を著しく高めることができる。
【００１６】次いで、請求項４に係る発明は、電子を透過させる窓箔と、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板とが一体化された電子ビーム照射窓の加工方法であって、前記窓箔を前記サポート板の片面側に張り付けた状態で、その片面側からイオンビーム等のエネルギービームを放射することにより、前記窓箔を全体的にミリングして薄膜化することを特徴とする。
【００１７】本発明方法によれば、製造が容易な厚めの窓箔と、複数の電子ビーム照射穴が穿設されたサポート板とを各々別個に製造した後、その厚めの窓箔をサポート板に張り付けてエネルギービーム・ミリングにより薄膜化する簡易な加工によって、窓箔の電子透過性能を著しく高めることができる。また、窓箔は、全体的に薄膜化されるが、サポート板に張り付けた状態で薄膜化されるので損傷のおそれは少なく、取り扱いも容易である。
【００１８】次に、請求項５に係る発明は、電子ビーム照射窓の窓箔を支持するサポート板において、複数の電子ビーム照射穴が一定の配列パターンで穿設された薄板が、その配列パターンを互いに符合させるようにして複数枚積層されて成ることを特徴とする。
【００１９】本発明のサポート板は、各々に電子ビーム照射穴が穿設された複数枚の薄板を積層することによって必要な耐圧強度を有した一定板厚のサポート板に形成される。すなわち、サポート板に複数の電子ビーム照射穴を一定の配列パターンで精度良く穿設するにはエッチング法が有効であるが、エッチングにより穿設する電子ビーム照射穴の開口率を高めるにはサポート板の板厚をできるだけ薄くする必要がある。しかし、板厚を薄くすると耐圧強度が低下するという問題がある。これに対し、本発明のサポート板は、エッチングによって電子ビーム照射穴が高開口率で穿設された薄板を複数枚積層することによって必要十分な耐圧強度を有した板厚とすることができる。
【００２０】次に、請求項８に係る発明は、電子ビーム照射窓の窓箔を支持するサポート板において、複数の電子ビーム照射穴が穿設されると共に、前記窓箔を支持する面とその面に開口する前記電子ビーム照射穴との間に生ずる角部に丸みをつける面取りが施されていることを特徴とする。
【００２１】本発明のサポート板は、電子透過性能を高めるために薄膜化された窓箔を損傷するおそれが少ない。すなわち、サポート板で支持した窓箔は、大気圧力によってサポート板の表面に押し当てられると同時に、サポート板に穿設された各電子ビーム照射穴と対峙する部分が該照射穴にめり込んでその周縁部に強く接触せられるため、照射穴の周縁部が角張っていると、その周縁部における応力集中によりひび割れや裂傷を生じて気密性能を喪失するおそれがあるが、本発明の如くすれば、電子ビーム照射穴の周縁部が丸みを帯びるので薄膜化した窓箔を損傷するおそれが少なくなる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面によって具体的に説明する。
図１及び図２は本発明に係る電子ビーム照射窓の加工方法の一例を示す図、図３及び図４は夫々本発明に係る電子ビーム照射窓とその加工方法の他の例を示す図、図５は本発明に係る電子ビーム照射窓の使用例を示す図、図６は本発明に係るサポート板の一例を示す図、図７はそのサポート板の製法を示す図、図８は本発明に係るサポート板の他の例を示す図、図９〜図１１はサポート板の変形例を示す図である。
【００２３】図１の電子ビーム照射窓１Ａは、電子を透過させるチタン等の金属によって使用厚よりも厚めに製造された窓箔２と、複数の電子ビーム照射穴４、４…が穿設されたサポート板３とを図２の如く互いに重ね合わせるようにして、窓箔２をサポート板３の片面側に銀ロウによるロウ付け等の接着手段により張り付けた状態で、その片面側からイオンビームや中性粒子ビーム等のエネルギービームを放射することにより、窓箔２の表面全体５をミリングしてその窓箔２を所定の使用厚ｔが得られるまで薄膜化する加工が施されている。
【００２４】すなわち、電子ビーム照射窓１Ａは、窓箔２とサポート板３とを各々別個に製造してから、その窓箔２をエネルギービーム・ミリングによって薄膜化するものであり、しかも、製造する窓箔２は使用厚ｔよりも厚めでよいため、面倒でコストが嵩む煩雑高度な製造技術を必要とせず、また、窓箔２を厚めに製造すれば、その製造の際に皺やピンホール等を生ずるおそれが少ないうえに、取り扱いも容易である。そして、その厚めに製造した窓箔２をサポート板３に張り付けて該サポート板３と一体化させてから、イオンビーム等による研磨加工により必要な使用厚ｔまで薄膜化するため、窓箔２を損傷するおそれが少なく、その使用厚ｔを３μｍ以下とすることも可能である。
【００２５】次に、図３の電子ビーム照射窓１Ｂは、窓箔２がサポート板３に張り付けて一体化されたものと、サポート板３に気密に押し当てて使用されるものとがあり、前者は、使用厚よりも厚めに製造した窓箔２をサポート板３の片面側にロウ付け等により張り付けて、その窓箔２の上にサポート板３の電子ビーム照射穴４、４…が穿設された区域と対峙しない部分を覆うマスキング用冶具６を気密に押し当てた状態で、イオンビーム等のエネルギービームを放射することにより、窓箔２のマスキング用冶具６で覆われていない部分７を必要な使用厚となるまでミリングして他の部分よりも薄膜化する。一方、後者は、使用厚よりも厚めに製造した窓箔２をその上に押し当てるマスキング用冶具６によってサポート板３の片面側若しくはサポート板３と同一パターンの電子ビーム照射穴４、４…が穿設された代用冶具の表面に気密に押し当てた状態で、エネルギービームを放射する。
【００２６】後者の場合は、窓箔２がサポート板３と一体化されていないが、該窓箔２が使用厚にまで薄膜化されるのは、サポート板３の電子ビーム照射穴４、４…が穿設された区域と対峙する部分だけであり、その他の部分は使用厚よりも厚めに保持されるので、窓箔２それ単体での取り扱いが容易であり、これをサポート板３に押し当てて使用する際に破損するおそれも少ない。
【００２７】次に、図４の電子ビーム照射窓１Ｃも、窓箔２がサポート板３に張り付けて一体化されたものと、サポート板３に気密に押し当てて使用されるものとがあり、前者は、使用厚よりも厚めに製造した窓箔２をサポート板３の片面側にロウ付け等の接着手段により張り付けた状態で、その反対面側からイオンビーム等のエネルギービームを放射することにより、窓箔２のサポート板３に穿設された各電子ビーム照射穴４、４…と対峙する部分８、８…をミリングして他の部分よりも薄膜化する。一方、後者は、窓箔２をサポート板３の片面側若しくはサポート板３の如く電子ビーム照射穴４、４…が穿設された代用冶具の片面側に気密に押し当てた状態で、その反対面側から電子ビーム照射穴４、４…を通して窓箔２にイオンビーム等のエネルギービームを放射することにより、窓箔２のサポート板３に穿設された各電子ビーム照射穴４、４…と対峙する部分８、８…だけをミリングして、その部分を他の部分よりも薄膜化する。
【００２８】上記の如く加工が施された図４の窓箔２は、サポート板３に穿設された各電子ビーム照射穴４、４…を通る電子ビームを透過させる必要部分だけが使用厚まで薄膜化されて、その必要部分の電子透過性能が著しく高められると同時に、電子ビームを透過させる必要のない部分が使用厚よりも厚めになっているので、全体的な強度や剛性に優れており、取り扱いが容易で損傷を生ずるおそれが少ない。
【００２９】また、上述の電子ビーム照射窓１Ａ〜１Ｃを使用する場合は、これを例えば図５の如く、電子ビームの照射口１１を設けた電子ビーム放出管のヘッド部１０と、その照射口１１と連通する貫通穴１３を設けた押圧体１２との間に挟み込み、押圧体１２をヘッド部１０にボルト１４で脱着可能に締め止めることによって、電子ビームの照射口１１を気密封止するように装着させる。この際、窓箔２の外縁部に対して押圧体１２が強く押し当てられるが、図３及び図４の窓箔２はその外縁部が厚めになっているので押圧体１２をボルト１４で締め止める際の圧縮荷重によって千切れたり損傷することが防止される。
【００３０】また、ヘッド部１０の照射口１１を気密封止するように装着させた電子ビーム照射窓１Ａ〜１Ｃは、その使用中に窓箔２とこれを支持するサポート板３に大気圧力が加わるので、サポート板３は、その大気圧力に抗し得る程度の剛性を有していなければならない。サポート板３の剛性を付与向上させる手段としては、サポート板３に穿設する電子ビーム照射穴４、４…の穴数を少なくしたり、その穴の大きさを小さくして、電子ビーム照射穴４、４間の間隔を広くする方法も考えられるが、これらの方法は、照射穴４の開口率が小さくなって電子ビームの照射効率が低下するという不利がある。照射穴４の開口率を小さくせずにサポート板３の剛性を高めるには、その板厚を大きくする以外にないが、板厚を大きくすると簡易でコストの嵩まないエッチング加工によって照射穴４を穿設することが困難になる。
【００３１】そこで、図６のサポート板３は、各々エッチングによって複数の電子ビーム照射穴４、４…が一定の配列パターンで穿設された複数枚の薄板１５、１５…が、その配列パターンを互いに符合させるようにして積層された構造となっている。すなわち、図６のサポート板３は、同図（ａ）の如く各々電子ビーム照射穴４、４…が穿設されたニッケルや銅等で成る複数枚の薄板１５を互いに重ね合わせて同図（ｂ）の如く積層した構造とすることにより、その製造に際しては、簡易でコストの嵩まないエッチング加工によって各薄板１５ごとに電子ビーム照射穴４、４…を容易に且つ高開口率で穿設することができ、また、薄板１５に穿設する電子ビーム照射穴４の開口率を大きくしても、それに応じて薄板１５の積層枚数を増やすことによって大気圧力に抗し得る剛性を付与することができる。
【００３２】なお、図６のサポート板３は、積層された薄板１５、１５…を図７（ａ）の如く熱間プレスによる熱圧着で全面接合して一体化させるか、あるいは図７（ｂ）の如くスポット溶接して一体化させている。サポート板３は、電子ビームの照射時にその片面側が加熱されるため、その片面側と他面側とで熱膨張の不均一が生ずるが、薄板１５、１５…を熱圧着によって一体的に接合させると、各薄板１５間に熱膨張の不均一によるずれが生じて電子ビーム照射穴４、４…の配列パターンが互いに符合しなくなるという不具合を生ずるおそれがなく、取り扱いも容易になる。なお、薄板１５をスポット溶接で接合する場合は、その溶接箇所のバリを取るバフ研磨を施す必要があるが、熱圧着の場合は、そのような後加工を施す面倒もない。
【００３３】また、サポート板３で支持される窓箔２は、これを使用する際に、サポート板３に穿設された各電子ビーム照射穴４、４…と対峙する部分がその照射穴４に引き込まれるため、照射穴４の周縁部が角張っていると、その周縁部に接触する部分に応力が集中してひび割れや裂け目が生じ、気密性能を喪失するおそれがある。そこで、図８のサポート板３は、複数の電子ビーム照射穴４、４…が穿設されると共に、窓箔を支持する面１６とその面に開口する電子ビーム照射穴４との間に生ずる角部に丸み１７をつける面取りが施されている。
【００３４】つまり、内部を高真空とした電子ビーム放出管の電子ビーム照射口に取り付けられた電子ビーム照射窓の窓箔２は、これを支持するサポート板３に穿設された各電子ビーム照射穴４内に引き込まれるため、照射穴４の周縁部が角張っていると、その周縁部における応力集中によって窓箔２が破損するおそれがあるが、サポート板３の窓箔を支持する面１６をバフ研磨するなどして、その面１６と電子ビーム照射穴４の周縁部との間に生ずる角部に丸み１７をつければ、窓箔２が破損するおそれが少なくなる。なお、実験によれば、曲率半径Ｒ≧０．１ｍｍの丸み１７をつけると、厚さ３μｍの窓箔２の破損率が約１０％以下に低下することが確認された。
【００３５】また、サポート板３に穿設する電子ビーム照射穴４の開口率を高めるためには、その照射穴４の穴形状を三角形、四角形あるいは六角形等とするのが好ましいが、三角形の穴は、角隅部が狭角であるため、これに引き込まれた窓箔２の部分に皺が生じてその部分が破損し易い。したがって、サポート板３に穿設する電子ビーム照射穴４の穴形状は、図９の如く六角形とするか、あるいは四角形とするのが望ましい。ただし、その電子ビーム照射穴４の二面幅が２ｍｍを超えると、該照射穴４に引き込まれた窓箔２が破損する確率が高まり、特にその穴の角隅部で皺を生じて破損する確率が約５０％にも達することが実験により判明した。そこで、図９の如く、電子ビーム照射穴４の二面幅を２ｍｍ未満とし、その穴の角隅部に曲率半径Ｒ≧０．３ｍｍの丸みをつけると、窓箔２の破損確率が約１０％以下に低下した。
【００３６】なお、電子ビーム照射穴４の大きさを二面幅０．９ｍｍ程度にまで小さくすれば、窓箔２がその穴内に引き込まれて変形する度合いが小さくなって窓箔２の破損確率が著しく低減することが実験によって確認された。しかし、電子ビーム照射穴４を小さくしてもその開口率が低下して電子ビームの照射効率が低下しないようにするためには、それに応じて隣接する電子ビーム照射穴４、４間の間隔（残り寸法）を小さくする必要があるが、簡易なエッチング法によってサポート板３に電子ビーム照射穴４を穿設する場合は、照射穴４の間隔をサポート板３の板厚寸法以上にしなければならないという技術的制約があるため、板厚の大きいサポート板は、電子ビーム照射穴４、４間の間隔を小さくして該照射穴４の開口率を低下させないようにすることが困難である。
【００３７】これに対して、上述した図６のサポート板３は、各々複数の電子ビーム照射穴４、４…が一定の配列パターンで穿設された複数枚の薄板１５、１５…が、その配列パターンを互いに符合させるようにして積層される構造となっているため、例えば厚さ０．１ｍｍ以下の薄板１５にエッチング法によって二面幅０．９ｍｍ以下の四角形あるいは六角形を成す電子ビーム照射穴４、４…を０．１ｍｍ以下の間隔で穿設し、その薄板１５を複数枚積層することによって、電子ビーム照射穴４の開口率が高くて耐圧強度も十分なサポート板とすることができる。
【００３８】なお、通常一般の電子ビーム放出管は、例えば図５に示す電子ビーム照射口１１の中心付近における電子密度が最も大きく、それより周辺部に向かうに従って電子密度が徐々に小さくなるという傾向を示すため、図９のサポート板３の如く、電子ビーム照射穴４、４…が全体的に均一な配列パターンで穿設されたサポート板を用いると、電子ビーム照射範囲の中心部における照射強度が強くてその周辺部の照射強度が弱いという傾向を示すが、ユーザーによっては、逆に、電子ビーム照射範囲の中心における照射強度を弱くしてその周辺部の照射強度を強くするような仕様や、電子ビーム照射範囲の全域にわたって略均一な照射強度となる仕様を必要とする場合がある。
【００３９】このようなユーザーの要請に応えるために、図１０及び図１１のサポート板３は、複数の電子ビーム照射穴４、４…が、サポート板３の中心部における開口率が最も小さく、その中心部から離間するに従って開口率が大きくなる配列パターンで穿設されている。すなわち、図１０のサポート板３は、電子ビームの照射強度が図で見て左端側から右端側にかけて漸次強くなるような照射強度分布とするために、電子ビーム照射穴４、４…が、サポート板３の中心部における開口率が最も小さく、その中心部から左端側と右端側にかけて開口率が漸次大きくなると同時に、右端側の開口率が左端側に比べてより大きくなる配列パターンで穿設されている。
【００４０】また、図１１のサポート板３は、電子ビーム照射範囲の全域にわたって略均一な照射強度分布とするために、複数の電子ビーム照射穴４、４…が、サポート板２の中心部における開口率が最も小さく、その中心部から左右両側にかけて左右対称形を成すように開口率が漸次大きくなる配列パターンで穿設されている。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、電子ビーム照射窓の窓箔に皺やピンホール等の欠陥を生じさせることなく該窓箔をコストの嵩まない簡易な加工により薄膜化してその電子透過性能を著しく高めることができると同時に、薄膜化した窓箔の取り扱いが容易となり、これを損傷するおそれが少なくなるという大変優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電子ビーム照射窓とその加工方法の一例を示す図
【図２】本発明に係る電子ビーム照射窓の加工手順を示す図
【図３】本発明に係る電子ビーム照射窓とその加工方法の他の例を示す図
【図４】本発明に係る電子ビーム照射窓とその加工方法の他の例を示す図
【図５】本発明に係る電子ビーム照射窓の使用例を示す図
【図６】本発明に係るサポート板の一例を示す図
【図７】図６に示すサポート板の製法を示す図
【図８】本発明に係るサポート板の他の例を示す図
【図９】サポート板の変形例を示す図
【図１０】サポート板の変形例を示す図
【図１１】サポート板の変形例を示す図
【符号の説明】
１Ａ……………電子ビーム照射窓
１Ｂ……………電子ビーム照射窓
１Ｃ……………電子ビーム照射窓
２………………窓箔
３………………サポート板
４………………電子ビーム照射窓
６………………マスキング用冶具
１５………………薄板
１６………………サポート板の窓箔を支持する面
１７………………丸み
【図１】
2005017077.tif 000003
【図２】
2005017077.tif 000004
【図３】
2005017077.tif 000005
【図４】
2005017077.tif 000006
【図５】
2005017077.tif 000007
【図６】
2005017077.tif 000008
【図７】
2005017077.tif 000009
【図８】
2005017077.tif 000010
【図９】
2005017077.tif 000011
【図１０】
2005017077.tif 000012
【図１１】
2005017077.tif 000013