(57)【要約】【課題】絶縁体で被覆され、先端が細径であると同時にある程度の強度を持ち、且つ電気抵抗が低い微小絶縁被覆金属導電体の製造方法、及び微小絶縁被覆金属導電体を提供すること。この微小絶縁被覆金属導電体を電極として利用した細胞電気信号検出装置を提供すること【解決手段】  中空状絶縁体に金属材料が封入された線材の一部を、該絶縁体が軟化するまで加熱する第１ステップと、線材における加熱部位を引き伸ばし、線材を切断する第２ステップと、を経て、微小絶縁被覆金属導電体を製造方法する。そして、得られた微小絶縁被覆金属導電体は、中空状絶縁体と、中空状絶縁体に封入された金属材料とを含んで構成され、少なくとも一端が中空状絶縁体から金属材料が露出していると共に、切断部分の長径が１００ｎｍ〜３μｍである構成となる。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空状絶縁体に金属材料が封入された線材の一部を、該絶縁体が軟化するまで加熱する第１ステップと、
前記線材における加熱部位を引き伸ばし、前記線材を切断する第２ステップと、
を有することを特徴とする微小絶縁被覆金属導電体の製造方法。
【請求項２】
前記線材は、前記中空状絶縁体より融点が低い前記金属材料を融かして、前記中空状絶縁体に封入させたことを特徴とする請求項１に記載の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法。
【請求項３】
前記線材は、前記中空状絶縁体より融点が低い樹脂材料に前記金属材料を分散させて、前記中空状絶縁体に封入させたことを特徴とする請求項１に記載の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法。
【請求項４】
さらに、切断された前記線材における切断部位に、カーボンナノチューブと特定の化学反応を起こす触媒とこれらを封止する絶縁性封止材料又はその前駆体とが含まれる溶液を塗布する第３ステップを有することを特徴とする請求項１に記載の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法。
【請求項５】
前記第２ステップにおいて、前記線材における切断部分の長径が１００ｎｍ〜３μｍになるように引き伸ばし、前記線材を切断することを特徴とする請求項１に記載の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法。
【請求項６】
前記金属材料は、低融点はんだ、ガリウム、アルミニウム、錫、金、銀、銅、白金、及び鉄から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項１に記載の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法。
【請求項７】
前記中空状絶縁体の体積抵抗値が、１０5Ωｃｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法。
【請求項８】
中空状絶縁体の材料が、ガラス、石英、セラミックス、テフロン（Ｒ）、ポリイミド類、及びポリカーボネート類から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項１に記載の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法。
【請求項９】
中空状絶縁体と、前記中空状絶縁体に封入された金属材料と、を含んで構成され、
少なくとも一端は前記中空状絶縁体から前記金属材料が露出していると共に、切断部分の長径が１００ｎｍ〜３μｍであることを特徴とする微小絶縁被覆金属導電体。
【請求項１０】
前記線材は、前記中空状絶縁体より融点が低い前記金属材料を融かして、前記中空状絶縁体に封入させたことを特徴とする請求項９に記載の微小絶縁被覆金属導電体。
【請求項１１】
前記線材は、前記中空状絶縁体より融点が低い樹脂材料に前記金属材料を分散させて、前記中空状絶縁体に封入させたことを特徴とする請求項９に記載の微小絶縁被覆金属導電体。
【請求項１２】
前記金属材料が露出している前記一端は、テーパー状になっていることを特徴とする請求項９に記載の微小絶縁被覆金属導電体。
【請求項１３】
前記金属材料は、低融点はんだ、ガリウム、アルミニウム、錫、金、銀、銅、白金、及び鉄から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項９に記載の微小絶縁被覆金属導電体。
【請求項１４】
前記中空状絶縁体の体積抵抗値が、１０5Ωｃｍ以上であることを特徴とする請求項９に記載の微小絶縁被覆金属導電体。
【請求項１５】
前記中空状絶縁体の材料が、ガラス、石英、セラミックス、テフロン（Ｒ）、ポリイミド類、及びポリカーボネート類から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項９に記載の微小絶縁被覆金属導電体。
【請求項１６】
前記一端において露出した前記金属材料には、カーボンナノチューブと特定の化学反応を起こす触媒とこれらを封止する絶縁性封止材料とを含んで構成される混合物が付着していることを特徴とする請求項９に記載の微小絶縁被覆金属導電体。
【請求項１７】
細胞に接触させる細胞電気信号検出用電極と、前記細胞電気信号検出用電極からの電気信号を検出する電気信号検出部と、を備えた細胞電気信号検出装置であって、
前記細胞電気信号検出用電極として、請求項１〜８のいずれか１項に記載された微小絶縁被覆金属導電体の製造方法により得られた微小絶縁被覆金属導電体、又は、請求項９〜１６のいずれか１項に記載の微小絶縁被覆金属導電体を用いたことを特徴とする細胞電気信号検出装置。
【請求項１８】
前記細胞電気信号検出用電極として、複数の前記微小絶縁被覆金属導電体を備え、当該複数の微小絶縁被覆金属導電体における前記金属材料は同一材料であることを特徴とする請求項１７に記載の細胞電気信号検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電極や、配線として利用可能な微小絶縁被覆金属導電体、微小絶縁被覆金属導電体の製造方法に関する。また、本発明は、微小絶縁被覆金属導電体を適用した細胞電気信号検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品、たとえばトランジスタなどの半導体素子、は年々高密度、微細化が進んでいる。そのなかで、それらを結線する金属細線の重要度は増している。一方で、金属細線はそのような導線としてだけではなく、電気化学測定等の電極プローブとしても、近年重要になってきている。
【０００３】
たとえば、半導体素子の評価のために、素子を結線する場合、素子から伸びたパッド電極に２０〜５０μｍの金属細線を接続する。ところが、集積化、微細化が進むにつれて、隣接した細線同士の短絡が問題になってくる。
【０００４】
そこで、その短絡を防ぐために、特開平８−２９３５１７号公報に提案されているように、絶縁体で被覆した金属細線が提案されている。ところが、たとえば、現在の半導体素子は１３０ｎｍの半導体プロセスで作製されているように、現在の半導体素子は微細化、集積化がさらに進んでいるために、素子自体が小さくなりすぎ、２０〜５０μｍの金属細線を接続できるパッド電極を素子から延ばすことは非常に困難になっている。そのために、細線自体も細くして、現状の素子にあう形状の金属細線が求められている。現状では絶縁被覆された直径が１μｍ以下の金属細線は存在しない。
【０００５】
一方、絶縁被覆された金属細線は電気化学測定のプローブとしても用いられている。たとえば、一般的に電気化学の電極プローブは先端が細ければ細いほど感度があがるので、絶縁被覆された金属細線を用いることは非常に効果的である。なかでも電気化学測定の応用として、薬物試験あるいは、バイオセンサー等の応用に向けて生体の電気生理特性の測定が近年さかんにおこなわれており、この測定に金属細線を用いることは有効である。細胞が活動する際には活動電位が発生する。
【０００６】
この活動電位は、細胞のイオン透過性の変化に伴って細胞膜内外のイオン濃度が変化し、これに伴って細胞膜電位が変化することによって生じるものである。そこで、電極により細胞近傍のイオン濃度変化（すなわちイオン電流）に伴う電位、電流変化を測定することによって、刺激に対する細胞の活動を検出することができる。現在はこれらの測定はパッチクランプ法に代表される電気化学的手法によって細胞膜などの電位、電流の測定が行われている。
【０００７】
生体、特に細胞の電気測定を行うパッチクランプ法は、Ｅ．ＮｅｈｅｒとＢ．  Ｓａｋｍａｎｎが開発した測定方法でＮａｔｕｒｅ，２６０，７９９（１９７６）に報告されている。この方法はガラス電極プローブを細胞膜表面に密着させ、吸引してガラス管に密着している部分だけを破りとり、密着させた細胞膜の電位、電流をガラスプローブに入れた電解質を通して電気化学的に直接測定する方法である。このとき重要な点は、ガラス電極先端入り口付近の膜外との電気的絶縁性の維持である。パッチクランプでは吸引することによって高い絶縁性を保っている。
【０００８】
従って、膜のみのを流れる電流、電圧が測定でき、電解質を変化させることによってその応答まで測定できる非常に有効な方法であるが、細胞膜を破壊するため、細胞内のシグナル物質が流失してしまうという欠点がある。それ故、細胞を生きたまま、破壊せずに測定することが望まれていた。そこでＯ．Ｐ．ＨａｍｉｌらはＰｆｌｕｇｅｒｓ  Ａｒｃｈ．３９１，８５（１９８１）で報告されているように膜を破らずに細胞全体を測定する方法（いわゆるパッチクランプのホールセル法）を開発した。
【０００９】
この方法は、パッチクランプ法の一種で、１本のプローブを細胞に接触させ、吸引して膜を破ることなく測定するものである。この方法であれば、上記で述べたように細胞外との絶縁性は保たれているが、電極の電気抵抗を下げるため通常のパッチクランプ法より太いプローブを用いなければならず、プローブを２本使うことはできず、電極が１本（電圧印加と電流、電圧検出電極が同じ、参照電極は除く）であるため、外部に補正回路をくむ必要があり、この補正を正しく行わないと正確な測定ができない欠点がある。加えて、細胞全体を流れる電流を電極に接続した膜を通して測定することになるので、細胞膜のどの部分が最も電流が流れるのかと言った電流分布は測定できない。
【００１０】
一方、生きたままの細胞を測定する方法として、細胞を破壊しない程度の細いガラス電極を細胞内に１本あるいは２本刺して測定する方法がある。この場合は、細胞に膜電位測定用微小ガラス電極と膜電位を固定するために通電する電流用微小ガラス電極の２本の電極を顕微鏡下でマイクロマニピュレーターにより細胞に挿入しており、パッチクランプ法のように電極と細胞との絶縁性の維持が困難であり、イカの巨大神経細胞等の大きい細胞のみにしか適用できなかった。何故なら、大きい細胞ではシグナル電流が大きくなり、相対的にリーク電流を小さくすることができるからである。通常の細胞に刺入する場合は、プローブ電極を細くしなければならず、電気抵抗が高くなり電極を流れる電流が小さくなるため、リーク電流に対して充分大きいシグナル電流を検出できなかったためにＳ／Ｎ比が悪く、適用できなかった。
【００１１】
以上のように、生体、特に細胞の電気測定を行う上では、プローブ電極が重要となる。実際のプローブ電極はガラスキャピラリー内に電解質溶液を充填させたものを用いている。この電極の作製方法は、新パッチクランプ実験技術法（岡田泰伸編、吉岡書店２００１年）にあるように、まず、通常のガラス管に熱を加えて引き伸ばし、先端直径を１ｎｍ〜５μｍにする。さらに、この電極先端と細胞膜の間の絶縁を保ち易くするため、ｈｅａｔ  ｐｏｌｉｓｈといわれている熱を加えて先端を加工する操作を行う。この操作により先端端面が広がり、かつなめらかになる。さらにこの電極内部に伝導体となる電解質の溶液を注入する。この液を充填する方法は、ガラス電極先端を、目的の溶液に浸し、反対側に、注射器、あるいはポンプを取り付け、末端から電解質溶液を吸引し、プローブ電極内に充填する。
【００１２】
できあがったプローブ電極を取り扱う場合、充填した電解質が漏れないよう、圧力を外部からかけ続ける必要がある。当然、伝導体部が電解質であるため、電極自体の電気抵抗が高く、先端直径が１ｎｍ〜５μｍのもので、電気抵抗は１〜１０ＭΩ程度になる。そのため、Ｓ／Ｎ比をあげるために電気抵抗を低くしようとすれば、電極を太くするか、あるいは電解質の濃度を高くしなければならない。電極を太くしていけば、細胞によっては、その大きさのため測定できなくなる。逆に電極を細くしていくと、細胞の制限はなくなるが、高抵抗になるだけではなく、強度の点から細胞に接触させることが難しくなる。加えて、先端まで電解質を満たすことが困難になる。
【００１３】
一方、電解質の濃度を上げると、細胞膜が半透膜であるために、バス溶液（細胞の周りの溶液）との間に著しい浸透圧の差が生じ、加えた刺激による電気信号なのか、浸透圧差から生じた電気信号を検出したのかの判別が難しくなる。従って、低抵抗で、かつ細胞に制限がないような先端が細いプローブが望まれていた。
【００１４】
さらに、近年の通信技術の発達により、通信機器による電磁波が生体に及ぼす危険性が懸念されている。それ故、生体、特に細胞に対して、交流電圧電流での電気生理学的測定が望まれている。ところが、パッチクランプ法に代表する現状での測定方法で用いている電極の電動部分はガラス管内の電解質溶液であり、電荷を担うのはイオンであるために、特に高周波の交流電圧電流を印加した場合のように、高速に応答する細胞の電気生理学的測定はできないという欠点があった。
【特許文献１】特開平８−２９３５１７号公報
【非特許文献２】Ｎａｔｕｒｅ，２６０，７９９（１９７６）
【非特許文献３】Ｐｆｌｕｇｅｒｓ  Ａｒｃｈ．３９１，８５（１９８１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
このように、微細化された素子及び電気部品を結線する場合、現在の集積化が進んだ素子上では結線した導線同士が短絡するおそれがあり、それを防ぐために絶縁体で被覆され、かつ素子に対して接続できる程度の細径の導線が必要となる。
【００１６】
また、電気化学測定の一つとして神経細胞や卵母細胞などの細胞一つを生きたまま測定する場合、細胞に与えるダメージをできるだけ少なくするために、できるだけ先端が細い電極プローブを細胞に刺して、できるだけ短時間に測定する必要がある。しかしながら、先端が細いプローブ電極は、電気抵抗が高くなり、Ｓ／Ｎ比が悪くなるだけでなく、強度の面においても問題があった。さらに、電解質を用いているため、高周波に対する電気生理学的測定は、現状ではできなかった。従って、先端が細く、さらに細胞膜に刺入できる程度の強度を持ち、かつ電気抵抗が低いプローブ電極が必要であった。
【００１７】
従って、本発明の目的は、絶縁体で被覆され、先端が細径であると同時にある程度の強度を持ち、且つ電気抵抗が低い微小絶縁被覆金属導電体の製造方法、及び微小絶縁被覆金属導電体を提供することである。
また、他の目的は、上記微小絶縁被覆金属導電体を電極として利用した細胞電気信号検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題は、以下の手段により解決される。即ち、
本発明の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法は、
中空状絶縁体に金属材料が封入された線材の一部を、該絶縁体が軟化するまで加熱する第１ステップと、
前記線材における加熱部位を引き伸ばし、前記線材を切断する第２ステップと、
を有することを特徴としている。
【００１９】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法において、前記線材は、前記中空状絶縁体より融点が低い前記金属材料を融かして、前記中空状絶縁体に封入させることが好適である。
【００２０】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法において、前記線材は、前記中空状絶縁体より融点が低い樹脂材料に前記金属材料を分散させて、前記中空状絶縁体に封入させることが好適である。
【００２１】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法において、さらに、切断された前記線材における切断部位に、カーボンナノチューブと特定の化学反応を起こす触媒とこれらを封止する絶縁体とが含まれる溶液を塗布する第３ステップを有することが好適である。
【００２２】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法において、前記第２ステップにおいて、前記線材における切断部分の長径が１００ｎｍ〜３μｍになるように引き伸ばし、前記線材を切断することが好適である。
【００２３】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法において、前記金属材料は、低融点はんだ、ガリウム、アルミニウム、錫、金、銀、銅、白金、及び鉄から選択される少なくとも１種であることが好適である。
【００２４】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法において、前記中空状絶縁体の体積抵抗値は、１０5Ωｃｍ以上であることが好適である。
【００２５】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法において、中空状絶縁体の材料は、ガラス、石英、セラミックス、テフロン（Ｒ）、ポリイミド類、及びポリカーボネート類から選択される少なくとも１種であることが好適である。
【００２６】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体は、中空状絶縁体と、前記中空状絶縁体に封入された金属材料と、を含んで構成され、
少なくとも一端は前記中空状絶縁体から前記金属材料が露出していると共に、切断部分の長径が１００ｎｍ〜３μｍであることを特徴としている。
【００２７】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体において、前記線材は、前記中空状絶縁体より融点が低い前記金属材料を融かして、前記中空状絶縁体に封入させることが好適である。
【００２８】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体において、前記線材は、前記中空状絶縁体より融点が低い樹脂材料に前記金属材料を分散させて、前記中空状絶縁体に封入させることが好適である。
【００２９】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体において、前記金属材料が露出している前記一端は、テーパー状になっていることが好適である。
【００３０】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体において、前記金属材料は、低融点はんだ、ガリウム、アルミニウム、錫、金、銀、銅、白金、及び鉄から選択される少なくとも１種であることが好適である。
【００３１】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体において、前記中空状絶縁体の体積抵抗値は、１０5Ωｃｍ以上であることが好適である。
【００３２】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体において、前記中空状絶縁体の材料は、ガラス、石英、セラミックス、テフロン（Ｒ）、ポリイミド類、及びポリカーボネート類から選択される少なくとも１種であることが好適である。
【００３３】
本発明の微小絶縁被覆金属導電体において、前記一端において露出した前記金属材料には、カーボンナノチューブと特定の化学反応を起こす触媒とこれらを封止する絶縁性封止材料とを含んで構成される混合物が付着していることが好適である。
【００３４】
本発明の細胞電気信号検出装置は、細胞に接触させる細胞電気信号検出用電極と、前記細胞電気信号検出用電極からの電気信号を検出する電気信号検出部と、を備え、
前記細胞電気信号検出用電極として、上記本発明の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法により得られた微小絶縁被覆金属導電体、又は、上記本発明の微小絶縁被覆金属導電体を用いたことを特徴としている。
【００３５】
本発明の細胞電気信号検出装置おいて、前記細胞電気信号検出用電極として、複数の前記微小絶縁被覆金属導電体を備え、当該複数の微小絶縁被覆金属導電体における前記金属材料は同一材料であることが好適である。
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、絶縁体で被覆され、先端が細径であると同時にある程度の強度を持ち、且つ電気抵抗が低い微小絶縁被覆金属導電体の製造方法、及び微小絶縁被覆金属導電体を提供することができる。
また、上記微小絶縁被覆金属導電体を電極として利用した細胞電気信号検出装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明について詳細に説明する。なお、本発明の微小絶縁被覆金属導電体の製造方法と共に、本発明の微小絶縁被覆金属導電体を説明する。
【００３８】
（微小絶縁被覆金属導電体：以下、微小導電体と略記）
本発明の微小導電体の製造方法は、線材の一部を加熱する第１ステップと、線材における加熱部位を引き伸ばし、前記線材を切断する第２ステップと、を有する。そして、必要に応じて、切断された線材における切断部位に、カーボンナノチューブと特定の化学反応を起こす触媒とこれらの分散媒となる絶縁体とが含まれる溶液を塗布する第３ステップを有することもできる。以下、各ステップについて説明する。
【００３９】
−第１ステップ−
第１ステップでは、中空状絶縁体と中空状絶縁体に封入された金属材料とで構成された線材を用いる。そして、この線材の任意の一部を加熱する。この加熱は、線材における中空状絶縁体が軟化するまで行われる。
【００４０】
加熱は、例えば、ヒータによる加熱処理や、電磁波を照射する加熱処理などより行われる。
【００４１】
線材を構成する金属材料は、微小導電体としての電気伝導部として機能させるためのものである。電気伝導部として金属材料を適用することで、例えば、１Wｃｍ〜１×１０3 Wｃｍ程度となり非常に低抵抗を実現することができる。金属材料として具体的には、例えば、低融点はんだ、ガリウム、アルミニウム、錫、金、銀、銅、白金、及び鉄から選択される少なくとも１種が好適に挙げられる。これらの中でも、加工しやすさ・伝導度の点から低融点はんだ、ガリウムが特に好ましい。
【００４２】
金属材料の中でも、例えば、低融点はんだ、ガリウム、アルミニウム、及び錫などの中空状絶縁体よりも融点が低い金属材料を用いた場合、金属材料を溶かして中空状絶縁体に封入させる。一方、金、銀、銅、白金、鉄等などの樹脂材料に分散させても十分低抵抗を確保可能な金属材料を用いる場合、中空状絶縁体よりも融点が低い樹脂材料に金属材料を分散させて、中空状絶縁体に封入させることもできる。このような金属材料分散用の樹脂材料としてはエポキシ樹脂、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリスチレン、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテル、ポリエステルなどが挙げられる。
【００４３】
線材を構成する中空状絶縁体の材料としては、微小導電体としての絶縁部として機能させるためのものである。この絶縁材料は、完全な絶縁材料である必要はなく、一般的に半導電性材料とされる程度の導電性であってもかまわないが、Ｓ／Ｎ比の向上のため１０5Ωｃｍ以上の体積抵抗値を持つことが好ましい。この体積抵抗値としてより好ましくは１×１０5Ωｃｍ〜１×１０15Ωｃｍである。絶縁材料として具体的は、加工しやすさの点からガラス、石英、セラミックス、テフロン（Ｒ）、ポリイミド類、ポリカーボネート類が好ましいが、この中でも特にガラス管が容易に扱え好ましい。
【００４４】
線材は、例えば、中空状絶縁体に金属材料を融かして封入すること、或いは中空状絶縁体に、金属材料が分散された樹脂材料を溶融させて封入することで作製することができる。具体的には、溶融させた金属材料（或いは溶融させた金属材料含有樹脂材料）を中空状絶縁体の中空部に流し込み、当該中空部内で固化させて作製する。この中空部へ流し込む際、中空状絶縁体の一端から吸引させながら行うことで、中空状絶縁体の中空部に密に充填することができる。
【００４５】
−第２ステップ−
第２ステップでは、例えば、線材の両端を引っ張る（或いは一端を固定して、他端を引っ張る）ことで、第１ステップによって加熱された加熱部位を引き伸ばす。第１ステップによる加熱は線材における中空状絶縁体が軟化するまで行われるので、金属材料として中空状絶縁体より融点が低い金属材料を用いた場合、金属材料が中空状絶縁体中で溶融した状態で存在することとなる。また、金属材料を中空状絶縁体より融点が低い樹脂材料に分散させてある場合、樹脂材料が中空状絶縁体中で溶融した状態で存在することとなる。このため、例えば、線材の両端を引っ張ることで、線材の加熱部位は中空状絶縁体が軟化状態、且つ金属材料（或いは金属材料含有樹脂材料）が溶融状態で引き伸ばされ、その後切断される。切断は、既知のいかなる方法で行ってもよいが、溶融状態で引き伸ばす際にそのまま引き千切る方法が簡便でよい。
【００４６】
この状態で線材の加熱部位を切断することで、全体が中空状絶縁体に被覆されつつ先端（切断部）断面中心のみに金属材料が露出し、先端が細径の微小導電体が得られる。しかも、先端がテーパー状の微小導電体が得られる。微小導電体の一端（先端）がテーパー状であれば、扱いやすく、細胞電気信号検出電極として使用する際には細胞に刺入しやすくなると共に、先端部分から太さが一定のものに比べ、電流を検知しやすいという特徴も併せ持つ。また金属を使用しているために、電解質を用いたプローブに比べ強度が高くなる。このため、絶縁体で被覆され、先端が細径であると同時にある程度の強度を持ち、且つ電気抵抗が低い微小導電体が得られる。
【００４７】
微小導電体の切断部（先端）の長径は、微小電気デバイスに十分配線可能なように５μｍ以下であることがよい。また、細胞電気信号検出電極として使用する際には、細胞の複数箇所で測定できるように測定対象となる細胞の２分の１以下であることが好ましいが、さらに３μｍ以下であれば、溶出する金属が検出する電流を担うイオンの量に比べ十分少なく、ノイズを小さくすることができる。また、長径が１００ｎｍ以下であると抵抗が高くなったり電流の検知が困難になったり、また細胞に刺入できる程度の強度に問題が出てきたりするため、１００ｎｍ以上であることがよい。このように、微小導電体の切断部（先端）の長径は１００ｎｍ〜３μｍが好ましく、より好ましくは１００ｎｍ〜１μｍであり、さらに好ましくは１００ｎｍ〜５００ｎｍである。
【００４８】
ここで、微小導電体の切断部（先端）の長径制御は、中空状絶縁体種や金属材料種に応じて、線材への加熱温度、線材の引っ張り強度、引っ張り速度を適宜選択して行われる。例えば、加熱温度、引っ張り強度、引っ張り速度を高く或いは速く行うことで、長径は小さくなり、逆に低く或いは遅くすることで、長径は太くなる傾向になる。
【００４９】
このようにして、例えば、少なくとも一端が中空状絶縁体から金属材料が露出していると共に、切断部（先端）の長径が１００ｎｍ〜３μｍである微小導電体が得られる。なお、両端が同様な構成の微小導電体を作製する場合は、例えば、得られた微小導電体を線材として用いて上記同様の操作を行えばよい。
【００５０】
−第３ステップ−
第３ステップでは、得られた微小導電体の一端において露出した金属材料に、カーボンナノチューブと特定の化学反応を起こす触媒（以下、検出用触媒ということがある）とこれらを封止する絶縁性封止材料又はその前駆体とが含まれる溶液を塗布する。これにより、当該溶液の混合物が露出した金属材料に付着して微小導電体の通電部を構成する。
【００５１】
このため通電部は、複数のカーボンナノチューブと特定の化学反応を起こす触媒とが封入された絶縁体で構成されており、複数のカーボンナノチューブは、互いが電気的に接続された状態で絶縁性封止材料に封入されている。そして、検出用触媒が絶縁性封止材料表面に露出すると共に、絶縁性封止材料を介して複数のカーボンナノチューブの一部が絶縁性封止材料表面に露出して通電部を構成することとなる。即ち、複数のカーボンナノチューブは互いに電気的に絶縁された状態で複数箇所露出している。このため、検出用触媒は電極部（化学反応部）、カーボンナノチューブは導線、絶縁性封止材料は絶縁被膜の役割を担っている。また、微小導電体先端に露出した金属材料（電気伝導部）は複数のカーボンナノチューブの一部と電気的に接続されることとなる
【００５２】
通電部では、絶縁性封止材料表面に露出した触媒にカーボンナノチューブの一部が電気的に接続された第１の態様と、検出用触媒及びカーボンナノチューブがそれぞれ独立して絶縁性封止材料表面に露出した第２の態様と、の両方の態様が混在している。
【００５３】
第１の態様では、検出用触媒による化学反応に伴う電子の動きを、検出用触媒に直接接続されたカーボンナノチューブにより検出する。一方、第２の態様では、検出用触媒による化学反応に伴う電子の動きを、検出用触媒近傍に露出したカーボンナノチューブにより検出する。
【００５４】
このため、いずれの態様でも、通電部における複数箇所で、検出用触媒による化学反応に伴う電子の動きをカーボンナノチューブが並列的に検出し、電流が絶縁性封止材料中で互いに電気的に接続されたカーボンナノチューブを通じて、微小導電体の金属材料（電気伝導部）に電流が抽出されることとなる。
【００５５】
なお、複数のカーボンナノチューブは互いが電気的に接続された状態で検出用触媒に封入されているので、通電部において検出した電流は損失がほとんどない状態で微小導電体の金属材料（電気伝導部）に抽出される。
【００５６】
このように、電極部として機能する検出用触媒で生じた化学反応を、極めて伝導効率の良い状態のカーボンナノチューブにより検出するため、検出用触媒と特定の化学反応を生じる微量な物質を高感度で検出することができる。さらに、検出用触媒、カーボンナノチューブ、絶縁性封止材料で構成しているので、大気中でも安定に取り扱うことも可能となる。
【００５７】
電極部として機能する検出用触媒で生じた化学反応を、複数箇所で並列的にカーボンナノチューブが検出するため、検出感度を向上することができる。
【００５８】
また、一般的に、電気化学法での物質検出は、電極サイズが小さくなるほど高感度になるという特徴があるため、電極部として機能する触媒の大きさを小さくすることで、検出感度を上げることができる。さらに、微小導電体を電気化学測定用電極として利用した場合、電位窓も広くなる。具体的には、例えば、その電位窓は４V以上８V以下程度となる。
【００５９】
なお、複数のカーボンナノチューブを用いて並列的な電気的接続を施した形態もよいし、一本のカーボンナノチューブを用いて電極を構成した形態でもよい。１本のカーボンナノチューブの一部のみが絶縁性封止材料表面に露出することで実質的な電極部分（通電部）が微小になり、高感度な電気検出が可能となる。
【００６０】
カーボンナノチューブとしては、単層カーボンナノチューブでも、二層以上の多層カーボンナノチューブでも構わない。いずれのカーボンナノチューブを用いるか、あるいは双方を混合するかは、適宜、選択すればよい。また、単層カーボンナノチューブの変種であるカーボンナノホーン（一方の端部から他方の端部まで連続的に拡径しているホーン型のもの）、カーボンナノコイル（全体としてスパイラル状をしているコイル型のもの）、カーボンナノビーズ（中心にチューブを有し、これがアモルファスカーボン等からなる球状のビーズを貫通した形状のもの）、カップスタック型ナノチューブ、カーボンナノホーンやアモルファスカーボンで外周を覆われたカーボンナノチューブ等、厳密にチューブ形状をしていないものも、カーボンナノチューブとして用いることができる。
【００６１】
さらに、カーボンナノチューブ中に金属等が内包されている金属内包ナノチューブ、フラーレン又は金属内包フラーレンがカーボンナノチューブ中に内包されるピーポッドナノチューブ等、何らかの物質をカーボンナノチューブ中に内包したカーボンナノチューブも、カーボンナノチューブとして用いることができる。
【００６２】
以上のように、本発明においては、一般的なカーボンナノチューブのほか、その変種や、種々の修飾が為されたカーボンナノチューブ等、いずれの形態のカーボンナノチューブでも、その反応性から見て問題なく使用することができる。したがって、本発明における「カーボンナノチューブ」には、これらのものが全て、その概念に含まれる。
【００６３】
カーボンナノチューブは相互に接触させることで、互いに電気的接続をした場合は、電極の折り曲げなどにより接触状態が変化し、機械的強度や電気的強度が変動し、十分な性能を発揮できないことがある、また、電気伝導度を高めるためにはカーボンナノチューブの充填量（封入量）を増加させなければならないが、そうすると絶縁体の量が減少し電極自体の機械的強度が低下してしまうことがある。
【００６４】
このため、カーボンナノチューブは、化学結合により互いが電気的に接続されたネットワーク構造を形成していることが、カーボンナノチューブ自体の電気伝導性や機械的強度、及び電極強度を向上させる観点から好適である。具体的には、官能基が結合した複数のカーボンナノチューブの官能基間を化学結合させて相互に網目構造を構成する架橋カーボンナノチューブ構造体が挙げられる。
【００６５】
架橋カーボンナノチューブ構造体は、複数のカーボンナノチューブの官能基間を化学結合させた架橋部位を有することになるが、この架橋部位としては、架橋剤により複数の官能基間を架橋した第１の構造、複数の官能基同士を化学結合により形成された第２の構造が好適に挙げられる。
【００６６】
第１の構造は、官能基の架橋反応後に残存する残基同士を、架橋剤の架橋反応後に残存する残基である連結基で連結した架橋構造となる。
【００６７】
架橋剤は、その特性として架橋剤同士が重合反応をするような性質（自己重合性）を有すると、当該架橋剤自身が２つ以上連結した重合体を連結基として構造体が含む状態となってしまう場合があり、架橋カーボンナノチューブ構造体中に占める実質的なカーボンナノチューブの密度が低くなるため、電極としては、電気伝導性や機械的強度が十分に得られない場合がある。
【００６８】
一方、架橋剤が非自己重合性であれば、カーボンナノチューブ相互の間隔を、使用した架橋剤の残基のサイズに制御することができるため、所望のカーボンナノチューブのネットワーク構造を高い再現性で得られるようになる。さらに架橋剤の残基のサイズを小さくすれば、電気的にも物理的にも極めて近接した状態に、カーボンナノチューブ相互の間隔を構成することができ、また、構造体中のカーボンナノチューブを密に構造化できる。
【００６９】
したがって、架橋剤が非自己重合性であれば、架橋カーボンナノチューブ構造体を、カーボンナノチューブ自身が有する電気特性ないし機械的特性を極めて高い次元で発揮することができるものとすることができる。なお、本発明において「自己重合性」とは、架橋剤同士が、水分等他の成分の存在下、あるいは他の成分の存在なしに、相互に重合反応を生じ得る性質をいい、「非自己重合性」とは、そのような性質を有しないことを言う。
【００７０】
ここで、架橋剤として非自己重合性のものを選択すれば、カーボンナノチューブ同士が架橋する架橋部位が、主として同一の架橋構造となる。また、連結基としては、炭化水素を骨格とするものが好ましく、その炭素数としては２〜１０個とすることが好ましい。この炭素数を少なくすることで、架橋部位の長さが短くなり、カーボンナノチューブ相互の間隙をカーボンナノチューブ自体の長さと比較して十分に近接させることができ、実質的にカーボンナノチューブのみから構成される網目構造の架橋カーボンナノチューブ構造体を得ることができる。
【００７１】
第１の構造において、官能基としては、−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ（Ｒは、置換又は未置換の炭化水素基）、−ＣＯＸ（Ｘはロゲン原子）、−ＮＨ2及びＮＣＯを挙げることができ、これらからなる群より選ばれる少なくとも１つの基を選択することが好ましく、その場合、架橋剤として、選択された前記官能基と架橋反応を起こし得るものを選択する。
【００７２】
また、好ましい架橋剤としては、ポリオール、ポリアミン、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸エステル、ポリカルボン酸ハライド、ポリカルボジイミド及びポリイソシアネートを挙げることができ、これらからなる群より選ばれる少なくとも１つの架橋剤を選択することが好ましく、その場合、前記官能基として、選択された前記架橋剤と架橋反応を起こし得るものを選択する。
【００７３】
上記好ましい官能基として例示された群、及び、上記好ましい架橋剤として例示された群より、それぞれ少なくとも１つの官能基及び架橋剤を、相互に架橋反応を起こし得る組み合わせとなるように選択することが好ましい。
【００７４】
第１の構造において、官能基としては、−ＣＯＯＲ（Ｒは、置換又は未置換の炭化水素基）を特に好適なものとして挙げることができる。カーボンナノチューブにカルボキシル基を導入することは、比較的容易であり、しかも得られる物質（カーボンナノチューブカルボン酸）は、反応性に富むため、その後エステル化して官能基を−ＣＯＯＲ（Ｒは、置換又は未置換の炭化水素基）とすることは比較的容易である。この官能基は架橋反応しやすく、塗布膜形成に適している。
【００７５】
また、当該官能基に対応する前記架橋剤として、ポリオールを挙げることができる。ポリオールは、−ＣＯＯＲ（Ｒは、置換又は未置換の炭化水素基）との反応により硬化し、容易に強固な架橋体を形成する。ポリオールの中でも、グリセリンやエチレングリコールは、上記官能基との反応性が良好であることは勿論、それ自体生分解性が高く、環境に対する負荷が小さい。
【００７６】
第１の構造において、架橋部位は、官能基が−ＣＯＯＲ（Ｒは、置換又は未置換の炭化水素基）であり、架橋剤としてエチレングリコールを用いた場合、−ＣＯＯ（ＣＨ2）2ＯＣＯ−となり、前記架橋剤としてグリセリンを用いた場合、ＯＨ基２つが架橋に寄与すれば−ＣＯＯＣＨ2ＣＨＯＨＣＨ2ＯＣＯ−あるいは−ＣＯＯＣＨ2ＣＨ（ＯＣＯ−）ＣＨ2ＯＨとなり、ＯＨ基３つが架橋に寄与すれば−ＣＯＯＣＨ2ＣＨ（ＯＣＯ−）ＣＨ2ＯＣＯ−となる。架橋部位の化学構造は上記４つからなる群より選ばれるいずれかの化学構造であっても構わない。
【００７７】
一方、第２の構造は、複数のカーボンナノチューブの官能基同士を化学結合により形成されている構造であるが、この化学結合を生ずる反応は脱水縮合、置換反応、付加反応及び酸化反応のいずれかであることが好ましい。
【００７８】
第２の構造を有する架橋カーボンナノチューブ構造体は、カーボンナノチューブに結合された同官能基同士を化学結合により架橋部位を形成して網目状の構造体を形成しているため、結合させる官能基によってカーボンナノチューブ間を結合させる架橋部位のサイズが一定となる。カーボンナノチューブは極めて安定な化学構造であるため、修飾させようとした官能基以外の官能基等が結合する可能性は低く、この官能基同士を化学結合させた場合は、設計した構造の架橋部位とすることができ、架橋カーボンナノチューブ構造体を均質なものとすることができる。
【００７９】
第２の構造は官能基同士の化学結合であることから、官能基間を架橋剤を用いて架橋した場合に比べて、カーボンナノチューブ間の架橋部位の長さを短くできるので、架橋カーボンナノチューブ構造体が密となり、カーボンナノチューブ特有の効果を奏しやすくなる。
【００８０】
第２の構造において、官能基同士の化学結合としては、縮合反応では、−ＣＯＯＣＯ−、−Ｏ−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＯ−及びＮＣＨ−から選ばれる一つ、置換反応では−ＮＨ−、−Ｓ−及びＯ−から選ばれる少なくとも一つ、付加反応では−ＮＨＣＯＯ−、酸化反応では、−Ｓ−Ｓ−であることが好ましい。
【００８１】
また、反応前にカーボンナノチューブに結合させる官能基としては、−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ（Ｒは、置換又は未置換の炭化水素基）、−Ｘ、−ＣＯＸ（Ｘはロゲン原子）、−ＳＨ、−ＣＨＯ、−ＯＳＯ2ＣＨ3、−ＯＳＯ2（Ｃ6Ｈ4）ＣＨ3−ＮＨ2及びＮＣＯを挙げることができ、これらからなる群より選ばれる少なくとも１つの基を選択することが好ましい。
【００８２】
これらの中でも、官能基としては、−ＣＯＯＨを特に好適なものとして挙げることができる。カーボンナノチューブにカルボキシル基を導入することは、比較的容易である。しかも得られる物質（カーボンナノチューブカルボン酸）は、反応性に富み、Ｎ−エチル−Ｎ'−(３−ジメチルアミノプロピル)カルボジイミド等の脱水縮合剤を利用することで、容易に縮合反応をおこし、塗布膜形成に適する。
【００８３】
このように、第１の構造、及び第２の構造のいずれの架橋部位を有する架橋カーボンナノチューブ構造体は、複数のカーボンナノチューブが複数の架橋部位を介して網目構造の状態となっているので、単なるカーボンナノチューブ同士が偶発的に接触しているだけで、実質的に孤立した状態とは異なり、カーボンナノチューブの優れた特性を安定的に活用することができる。
【００８４】
検出用触媒は、例えば、微粒子或いは小片からなることが好適である。上述のように、電極部として機能する検出用触媒を小さくすると検出感度を向上させることができるため、検出用触媒の大きさは平均粒径で１ｎｍ〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは１ｎｍ〜１０μｍであり、さらに好ましくは１ｎｍ〜１μｍである。
【００８５】
検出用触媒としては、例えば、金属、金属酸化物、タンパク質、及びこれらを担持した炭素片などが挙げられる。金属としては、例えば、白金、銀、金、鉄、銅、シリコンなどが挙げられる。金属酸化物としては、例えば、白金黒、酵素、酸化鉄、酸化コバルト、酸化チタン、酸化すず、酸化インジウム、窒化ガリウム、酸化シリコン、シリコン、酸化亜鉛、酸化ルテニウム、酸化ハフニウム、酸化タングステンなどが挙げられる。タンパク質としては、酵素などが挙げられる。これらは、１種或いは２種以上で用いることもできるが、検出したい物質に応じて、その物質と化学反応が生じるものを適宜選択する。
【００８６】
絶縁性封止材料としては、非導電性の材料であれば特に問題なく使用することができ、有機材料でも無機材料でも構わない。ここで非導電性とは、完全な絶縁材料であることは要求されず、一般に半導電性材料とされる程度の導電性であっても構わない。この絶縁体としての体積抵抗値は１×１０5Ωｃｍ〜１×１０10Ωｃｍの範囲内であることが好適である。
【００８７】
絶縁性封止材料としては、成形性、加工性、精密性等の観点から、樹脂であることが好ましい。樹脂を用いれば、射出成形や塗布・乾燥による層形成等、従来公知の方法により容易かつ高精度に非導電性基材を形成することができる。
【００８８】
絶縁性封止材料として使用可能な具体的な材料としては、非導電性能のみならず、外気遮断機能あるいは機械的保護機能の観点から、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化チタン、酸化ニオブ、ニオブ酸リチウム、チタン酸ストロンチウム、ダイヤモンド等の無機材料や、エポキシ樹脂、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、フッ素樹脂、アミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリアセタール、シリコーン樹脂、テフロン（Ｒ）樹脂、ポリエーテルケトン、ポリケトン等の各種樹脂やその他の有機材料を挙げることができる。
【００８９】
これらの中でも、ポリエーテルケトン、ポリケトン、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレンが好ましく、より好ましくはポリエーテルケトン、ポリケトンであり、さらに好ましくは脂肪族ポリエーテルケトンである。
【００９０】
また、絶縁性封止材料はカーボンナノチューブと化学的に結合させてもよい。極めて伝導効率のよいカーボンナノチューブが絶縁体に化学的に結合した状態で封入された場合、カーボンナノチューブと絶縁体との密着度が高くなり、カーボンナノチューブが絶縁体内で変動しにくくなる。このため微量な物質を検出することができ、しかも液体を測定する際には電位窓がより広くなる。
【００９１】
このように絶縁性封止材料をカーボンナノチューブと化学的に結合させる場合、例えば、重合触媒の存在下で、絶縁性封止材料の前駆体（原料）としての多価アルコール、多価アルコールと重合反応する官能基を有するカーボンナノチューブ、及び測定用触媒の混合液を原料として、これ微小導体の先端に塗布した後、重合反応させる。この重合反応では、多価アルコール同士を重合させると共に、多価アルコールとカーボンナノチューブの官能基との重合が生じ、複数のカーボンナノチューブをポリマー（絶縁性封止材料）と化学的に結合すると共に、互いが電気的に接続された状態でポリマー（絶縁性封止材料）中に封入させることができる。
【００９２】
なお、この製法に従うと、多価アルコールからポリマーの硬度を向上させるケトン基を合成することが可能であり、特に、ケトン基とエーテル基を有すると共に芳香族基を含まないポリエーテルケトンと、カーボンナノチューブと、検出用触媒とで構成される通電部が得られる。
【００９３】
ここで、カーボンナノチューブに修飾させる多価アルコールと重合反応する官能基としては、−ＣＯＯＲ、−ＣＯＸ、―ＮＣＯ（Ｒは置換又は未置換の炭化水素基、Ｘはロゲン原子を示す）が挙げられ、カーボンナノチューブを比較的修飾しやすい―ＣＯＯＨ（カルボン酸）を選択すると重合が密に発生し、より複合化された構造、即ちカーボンナノチューブをポリマー（絶縁体）に密着して封入され、高い効果を得ることができる。
【００９４】
また、複数のカーボンナノチューブとポリマー（絶縁体）分子が相互に結合する結合部位は、例えば、官能基が−ＣＯＯＲ（Ｒは、置換又は未置換の炭化水素基）であり、ポリマー原料としてグリセリンを用いた場合、ＯＨ基２つがカーボンナノチューブとの化学結合に寄与すれば−ＣＯＯＣＨ2ＣＨＯＨＣＨ2ＯＣＯ−あるいは−ＣＯＯＣＨ2ＣＨ（ＯＣＯ−）ＣＨ2ＯＨとなり、ＯＨ基３つが架橋にカーボンナノチューブとの化学結合に寄与すれば−ＣＯＯＣＨ2ＣＨ（ＯＣＯ−）ＣＨ2ＯＣＯ−となる。架橋部位の化学構造は上記２つからなる群より選ばれるいずれかの化学構造であっても構わない。
【００９５】
多価アルコールから酸化反応を伴う重合反応により脂肪族ポリケトンが得られ、更に脱水反応も伴う重合反応を生じさせると脂肪族ポリエーテルケトンを得ることができる。即ち、重合触媒としては、多価アルコールからポリケトンを製造するときは酸化触媒を、ポリエーテルケトンを製造するときには脱水酸化触媒を用いる。
【００９６】
ただし、ポリエーテルケトンを製造する際に、多価アルコールとしてポリエーテルポリオールを用いる場合には酸化触媒もしくは脱水酸化触媒を用いればよい。なお、ここで酸化触媒とは、二級水酸基を酸化し、水酸基間を脱水縮合する触媒を指す。また、重合触媒としては液体でも固体でも構わないが、水溶液とした方が多価アルコールとの混合が向上し触媒作用を好適に生じさせることができる。また、重合触媒は、ポリマーの熱分解温度以下の温度で揮発、あるいは、不揮発性の重合触媒においては分解してポリマーから一部あるいは完全に除去されるものがより好ましい。
【００９７】
これらの重合触媒として具体的には、硫酸、硝酸、過酸化水素水、Ｎａ2Ｃｒ2Ｏ7、ＣｒＯ3Ｃｌ、及びＮａＯＣｌから選択される少なくとも１つであることが好ましく、特に硫酸を使用することが効率よく脱水反応及び酸化反応が生じやすく、安価で取り扱い性に優れるため好適である。
【００９８】
この重合触媒の使用量（添加量）は、原料１ｇに対して０．１ｍｇ〜１００ｍｇであることが好ましく、より好ましくは０．５ｍｇ〜８０ｍｇであり、さらに好ましくは５ｍｇ〜５０ｍｇである。重合触媒の量が少なすぎると重合反応が生じにくくなり、逆に多すぎると得られるポリマー（絶縁体）が発泡してしまうことがある。
【００９９】
多価アルコールとしては、二級アルコールと一級アルコールとを一分子内に有する多価アルコールであることが好適であり、このような多価アルコールとしては、グリセリン、１，３，５−Ｔｒｉｈｙｄｒｏｘｙｐｅｎｔａｎｅ、１，２，４−Ｔｒｉｈｙｄｒｏｘｙｂｕｔａｎｅ、１，２，６−Ｔｒｉｈｙｄｒｏｘｙｈｅｘａｎｅが挙げられる。特にグリセリンは安価であるとともに環境へ負荷が小さいこと、また脱水及び酸化反応触媒を用いた重合反応を容易に生じさせることができる点で好ましい。
【０１００】
また、カーボンナノチューブは絶縁性封止材料中で単に接触しているだけでは、外部刺激等により接触状態が変化し、機械的強度や電気的特性が変動し、十分性能を発揮できないことがある。また、電気伝導度を高めるためにはカーボンナノチューブの充填量を増加させなければならないが、そうするとバインダーである絶縁性封止材料量が減少し、通電部としての機械的強度が低下してしまう。
【０１０１】
このため、上述した架橋カーボンナノチューブ構造体を用いることが好適である。但し、架橋カーボンナノチューブ構造体は、多価アルコールとの重合反応と共に架橋反応させて形成してもよいし、予め形成した架橋カーボンナノチューブ構造体と多価アルコールとを重合反応させてもよい。なお、予め形成した架橋カーボンナノチューブ構造体を原料として用いる場合、多価アルコールと重合反応する官能基が修飾されている必要がある。
【０１０２】
このような各ステップを経て、微小導電体が得られる。得られた微小導電体は、上述のように、絶縁体で被覆され、先端が細径であると同時にある程度の強度を持ち、且つ電気抵抗が低いものである。
【０１０３】
（細胞電気信号検出装置）
本発明の細胞電気信号検出装置について図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明の細胞電気信号検出装置の一例を示す概略図である。図２は、本発明の細胞電気信号検出装置の内部構成の一例を示すブロック図である。
【０１０４】
図１及び図２に示す細胞電気信号検出装置１０は、細胞及び電極を観察する光学顕微鏡（不図示）に設置した例であり、電圧印加用と電流検出用の２本の電極プローブ１２（電気信号検出用電極）及びそれを操作する操作部１４が、光学顕微鏡の試料台１６上に載置されている。
【０１０５】
２本の電極プローブ１２としては、上記本発明の微小導電体（或いは、その製造方法により得られたもの）を使用する。このように電極プローブ１２を複数利用する場合には、電流検出用の電極プローブ１２として、上記本発明の微小導電体（或いは、その製造方法により得られたもの）を使用することが好ましい。また、それぞれの微小導電体における金属材料を同一材料とすることが好ましい。これにより、ノイズの小さい測定が可能となる。さらに、できるだけサイズが均等なものを用いることが好ましい。同じ金属材料でさらにサイズも同等であれば、電解質への金属の溶出の観点から、効果的にノイズを小さくして測定することが可能となる。
【０１０６】
また、操作部１４としては、例えば高性能マニュピレーター（株式会社ユニソク製）を使用する。
【０１０７】
２本の電極プローブ１２はそれぞれ操作部１４に固定し、精密に電極プローブ１２を動作できるようにしてある。電極プローブのうち一本は、そのリード線が電気信号を増幅する電流増幅器２４と接続されており、それから、電気信号検出部２０（例えば、マルチメータ）へと信号が入力されるよう配線されている。そして、もう一本は電気的な刺激、例えば電圧を印加できるよう、そのリード線が電源部１８に接続されている。このように、２本の電極プローブ１２を試料（細胞）に接触させて一方から電気的な刺激を付与することで、試料（細胞）の電気生理学的測定を可能にしてある。なお、電源部１８、及び電気信号検出部２０は、例えば、コンピューターによって一括制御できるようになっている。
【０１０８】
さらに光学顕微鏡試料台１６上には、パターン電極２２が設置されている。パターン電極２２は、電極の数だけ電気信号を増幅する電流増幅器２４が接続されており、それらから、電気信号検出部２０（例えば、マルチメータ）へと信号が入力されるよう配線されている。
【０１０９】
パターン電極２２上に測定する細胞を含んだ溶液を滴下することによって、細胞１個の電流分布が同時に測定可能になる。
【０１１０】
パターン電極２２は、細胞大きさ以下の電極幅と電極間隔で作製するとよい。例えば、１μｍの電極幅、電極間隔で作製した櫛形パターン電極２２上におよそ１０μｍの細胞を固定して測定すれば、５箇所の電極から細胞の電流、電圧が測定できる。すなわち、電極プローブ１２は電圧印加、及び電流検出に用い、パターン電極２２から細胞の電流分布が測定可能となる。このパターン電極２２はガラスもしくは石英基板上に作製することが好ましい。これにより、光学顕微鏡試料台１６上でも、このパターン電極２２上にある細胞が観察可能となる。このパターン電極２２は、例えば、レジスト形成、露光、現像、金属蒸着、リフトオフからなる通常の半導体作製工程で作製できる。なお、このパターン電極２２に蒸着する金属はハーフミラーにすることによって、光を透過させ細胞の観察が容易になる。
【０１１１】
このような構成の細胞電気信号検出装置１０の電極プローブ１２（特に検出用の電極プローブ１２）として、上記本発明の微小導電体（或いは、その製造方法により得られたもの）を適用した場合、従来の電解質を利用した電極プローブ（微小導電体）に比べ、以下の点で優れている。
【０１１２】
１）金属やカーボンナノチューブは従来用いていた電解質より抵抗が低いため、微弱な電流も高いＳ／Ｎ比で検知できる。具体的には、電極プローブの抵抗を１０Ω〜１０ｋΩにできる。２）先端部を一定の強度を保ったまま非常に細くすることが可能で、簡便に細胞１つの電位、電流を測定し、かつ細胞１つの電流分布を測定することができる。また先端部が細いことで、高感度になる。さらに直接複数本の電極を容易に細胞に用いることができ、補正回路を組むことなく正確な測定ができる。３）電荷のキャリアがイオンでなく電子もしくはホールであるため、細胞の高速の応答を検出できる。４）同じ理由（キャリアが電子又はホール）から、高周波に対する減衰が電解質の場合より小さいので、高周波での細胞の応答性を測定できる。５）さらに、通電部をカーボンナノチューブ及び特定の物質と反応する触媒で構成すると、特定の物質に対する検出感度を高めることができる。
【実施例】
【０１１３】
以下、本発明を、実施例を挙げてさらに具体的に説明する。ただし、これら各実施例は、本発明を制限するものではない。
【０１１４】
〈実施例１〉
微小絶縁体被覆金属導電体を、以下のように作製した。まず、長さ１０ｃｍ、外径１．２ｍｍ、容量５μｌのガラスキャピラリーに、７０℃に熱して溶かした低融点ハンダを吸引しながら充填させた。ガラスキャピラリーのハンダを吸引した口の反対側の口には太さ約０．５ｍｍのリード線を差し込んだ。次に、島津製作所製マイクロピペットテンションＭＰＴ−１を用いて、充填したガラスキャピラリーの中央部分を約５５０℃で加熱した。そして、ガラスキャピラリーの一端を固定しつつ他端を引っ張り（条件：張力３〜５Ｎ）、加熱部位を引き伸ばして、切断した。これにより先端が先鋭化された、先端長径３００ｎｍ、長さ約５ｃｍの微小絶縁体被覆金属導電体を作製した。得られた導電体の金属材料で構成された電気伝導部の電気抵抗は１０Wｃｍ〜１００ Wｃｍであった。この導電体の先端の電子顕微鏡写真を図３に示す。図３から、先端が非常に先鋭化された導電体であることがわかる。なお、図３（ａ）は導電体の先端の斜視図であり、図３（ｂ）は側面図である。
【０１１５】
〈実施例２〉
実施例１で作製した微小導電体を２本測定用電極プローブとして用い、単一細胞生物であるゾウリムシの電気応答を測定した。用いた細胞電気信号検出装置の構成としては、図１及び２に示す細胞電気信号検出装置１０と同様な構成のものを用いた（但し、パターン電極はなし）。具体的には、光学顕微鏡（オリンパス製ＩＸ−７０）の試料台１６に高性能マニュピレーター（株式会社ユニソク製）を２台固定し、そのマニュピレーター（操作部１４）に電極プローブ１２をそれぞれ４５度の角度で固定した。電極プローブ１２から出ているリード線を電流増幅器２４に、もう一本の電極のリード線を電源部１８に接続して、細胞に電圧を印加しながら細胞が応答する電流を測定できるようにした。
【０１１６】
まず、スライドグラスを光学顕微鏡の試料台１６の観察部に置き、その上からゾウリムシを含んだ培養液を５０μｌ滴下する。次にゾウリムシの繊毛の運動を止める麻酔薬である１０ｍＭの塩化ニッケルを１０μｌ滴下する。光学顕微鏡で観察しながら、運動を停止したゾウリムシに電極プローブ１２２本を高性能マニュピレーターを用いて操作し、電流検出用の電極プローブ１２をゾウリムシ内部に刺入させ、電圧印加用の電極プローブをゾウリムシ表面に接触させた。そのときの光学顕微鏡観察の写真を図４に示す。図４から、実施例１で作製した微小導電体は、ゾウリムシ内部に刺入できるほど、先端が細径であると共に強度も十分であることがわかる。
【０１１７】
さらに、電極プローブ１２から電圧を１００ｍＶステップで印加させたときに応答して流れた電流をプロットしたグラフを図５に示す。図５からわかるように、生きた細胞１つからの１０ｐＡの微弱電流を測定可能である。
【０１１８】
〈実施例３〉
パターン電極を利用した以外、実施例２と同様にして、単一細胞生物であるゾウリムシの電気応答を測定した。パターン電極の作製方法は、以下に示す。なお、電極プローブの設置、操作は実施例３に記載の通りである。
【０１１９】
パターン電極２２を次のようにして作製した。パターン電極２２は基板にステップサイエンス社の石英ウェハー基板を使用し、この石英基板上にスピンコーター（１Ｈ−ＤＸ２ミカサ製）を用いてレジスト剤（ＮＰＲ９７１０長瀬産業製）を５２００ｒｐｍ、２０秒の条件で塗布し、ホットプレートにより２分間、１００度で加熱し製膜させた。次にレジスト形成されたウェハーをマスクアライナー（ＭＡ−２０  ミカサ製）を用いて電極間隔２μｍで４つの電極がある（いわゆる４フィンガー）電極パターンのマスクを用いて３秒間露光した。次に露光されたウェハーをホットプレートで１分間、１１０度で過熱した後、放冷し現像機（ＡＤ−１２００  滝沢産業）を用いて現像を行った。その後、ＥＢ蒸着機（ＳＥＣ−０６Ｔ−ＳＰ  昭和真空製）にてＴｉさらにはＡｕをそれぞれの膜厚が１０ｎｍになるよう蒸着した。蒸着後Ｔｉ、Ａｕが蒸着されたウェハーをアセトン溶媒に３０分間つけておき、その後超音波洗浄機（ＶＳ−Ｄ１００  アズワン製）に３分間かけることにより、レジスト膜を除去した。これらの工程によってパターン電極が作製した。作製したパターン電極を図６に示す。
【０１２０】
得られたパターン電極２２を光学顕微鏡の試料台１６の観察部に置き、パターン電極２２の各電極１〜３はそれぞれ電流増幅器２４を介して電気信号検出部２０に接続させた。その上からゾウリムシを含んだ培養液を５０μｌ滴下する。次にゾウリムシの繊毛の運動を止める麻酔薬である１０ｍＭの塩化ニッケルを１０μｌ滴下する。光学顕微鏡で観察しながら、運動を停止したゾウリムシに電極プローブ１２を高性能マニュピレーター（操作部１４）を用いて操作し、電圧印加用の電極プローブ１２をゾウリムシ表面に接触させた。実施例２同様に電極プローブ１２から電圧を１００ｍＶステップで印加させたときに応答して流れた電流をすべての電極対してプロットしたグラフを図７に示す。図７に示すパターン電極の各電極１〜３は、パターン電極の各電極１〜３に細胞（ゾウリムシ）を配置した様子を示す図８に対応している。図７からわかるように、各パターン電極の各電極１〜電極３から生きた細胞１つからの１０ｐＡの微弱電流を検出でき、しかも細胞の位置によって電流値が逆転していることがわかる。すなわち細胞１個の電流分布が同時に測定可能であることがわかる。
【０１２１】
（実施例４）
カルボン酸修飾カーボンナノチューブを、以下のように合成した。多層カーボンナノチューブ粉末（純度９０％、平均直径３０ｎｍ、平均長さ３μｍ；サイエンスラボラトリー製）３０ｍｇを濃硝酸（６０質量％水溶液、関東化学製）２０ｍｌに加え、１２０℃の条件で還流を２０時間行い、カーボンナノチューブカルボン酸を合成した。溶液の温度を室温に戻したのち、５０００ｒｐｍの条件で１５分間の遠心分離を行い、上澄み液と沈殿物とを分離した。回収した沈殿物を純水１０ｍｌに分散させて、再び５０００ｒｐｍの条件で１５分間の遠心分離を行い、上澄み液と沈殿物とを分離した（以上で、洗浄操作１回）。この洗浄操作をさらに５回繰り返し、最後に沈殿物を回収することでカルボン酸修飾カーボンナノチューブを得た。
【０１２２】
得られたカルボン酸修飾ナノチューブ０．２ｇを、グリセリン（関東化学製）１０ｍｌ、白金黒（和光純薬製）０．２ｇ、メタノール２ｍｌ、濃硫酸（９８質量％水溶液、関東化学製）１００μｌと混合した。
【０１２３】
この混合液１ｍｌに、マニピュレーターを用いて実施例１で作製した微小導電体の先端を接触させることによって、導電体先端断面に、この混合液を塗布した。その後、電子レンジ内で電磁波を５秒間照射して先端の混合液を固化させた。これによって、先端のみにカーボンナノチューブ及び白金黒が露出した微小導電体を作製した。
【０１２４】
この微小導電体を電極として２本用いて、過酸化水素電気化学測定を行った。電解液は塩化カリウム（和光純薬製）の０．１Ｍ水溶液を使用した。これらの電極を用いて１００ｐＭ（＝１０-12Ｍ）の濃度に調整した過酸化水素のサイクリックボルタンメトリーを測定した。測定結果を図９に示す。図９からわかるように、−１．５Ｖ付近に過酸化水素の還元ピークを観測することができた。このように、実施例１で作製した微小導電体を電気化学測定にも用いることができ、＋３．２Ｖ〜−３．２Ｖの範囲で電位を掃印しても溶媒の電気分解が起こらず、少なくとも６．４Ｖ以上の広い電位窓を有していることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】本発明の細胞電気信号検出装置の一例を示す概略図である。
【図２】本発明の細胞電気信号検出装置の内部構成の一例を示すブロック図である。
【図３】実施例１で作製した微小絶縁被覆金属導電体を示す図であり、図３（ａ）は斜視図。図３（ｂ）は側面図である。
【図４】実施例２において、電流検出用の電極プローブを細胞（ゾウリムシ）内部に刺入させ、電圧印加用の電極プローブを細胞（ゾウリムシ）表面に接触させた様子を示す図である。
【図５】実施例２で得られた細胞の電圧に応答する電流値を示すグラフである。
【図６】実施例３で作製したパターン電極を示す図である。
【図７】実施例３で得られたパターン電極の各電極１〜３からの電流値を示すグラフである。
【図８】実施例３で得られたパターン電極の各電極１〜３に細胞（ゾウリムシ）を配置した様子を示す図である。
【図９】実施例４で得られた過酸化水素のサイクリックボルタンメトリーを示すグラフである。
【符号の説明】
【０１２６】
１０   細胞電気信号検出装置
１２   電極プローブ
１４   操作部
１６   光学顕微鏡の試料台
１６   試料台
２０   電気信号検出部
２２   パターン電極
２４   電流増幅器
【図１】
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【図２】
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【図５】
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【図７】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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