(57)【要約】【課題】エージング時間を短縮し、電力効率のよいエージングを行うことが可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法を実現する。【解決手段】走査電極、維持電極、アドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルに対して少なくとも走査電極と維持電極との間に走査電極用パルス電圧と維持電極用パルス電圧とを交互に印加してエージング放電を行うエージング工程において、少なくとも、立上りタイミングが走査電極用パルス電圧の立上りタイミングと同期しかつパルス幅が走査電極用パルス電圧より狭い第１のアドレス電極用パルス電圧、または、立上りタイミングが維持電極用パルス電圧の立上りタイミングと同期しかつパルス幅が維持電極用パルス電圧より狭い第２のアドレス電極用パルス電圧を、アドレス電極に印加することを特徴とする。【選択図】図３
2005032717.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査電極、維持電極、アドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルに対して少なくとも前記走査電極と前記維持電極との間に走査電極用パルス電圧と維持電極用パルス電圧とを交互に印加してエージング放電を行うエージング工程において、
少なくとも、
立上りタイミングが前記走査電極用パルス電圧の立上りタイミングと同期し、かつパルス幅が前記走査電極用パルス電圧より狭い第１のアドレス電極用パルス電圧、
または、
立上りタイミングが前記維持電極用パルス電圧の立上りタイミングと同期し、かつパルス幅が前記維持電極用パルス電圧より狭い第２のアドレス電極用パルス電圧
を、前記アドレス電極に印加することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記第１のアドレス電極用パルス電圧の前記アドレス電極への印加を休止する場合、または前記第２のアドレス電極用パルス電圧の前記アドレス電極への印加を休止する場合が存在することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
少なくとも、前記第１のアドレス電極用パルス電圧を３回以上連続しないように前記アドレス電極に印加する、または前記第２のアドレス電極用パルス電圧を３回以上連続しないように前記アドレス電極に印加することを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記第１のアドレス電極用パルス電圧および前記第２のアドレス電極用パルス電圧の電圧値は、前記走査電極用パルス電圧の電圧値および前記維持電極用パルス電圧の電圧値を越えないことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
前記エージング工程において、
少なくとも、前記走査電極用パルス電圧、前記維持電極用パルス電圧、前記アドレス電極用パルス電圧のいずれかの電圧値を時間とともに減少させることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
走査電極、維持電極、アドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルに対して少なくとも前記走査電極と前記維持電極との間に走査電極用パルス電圧と維持電極用パルス電圧とを交互に印加してエージング放電を行うエージング工程において、
前記走査電極と前記アドレス電極との間または前記維持電極と前記アドレス電極との間で放電を発生させ、この放電を種火として前記走査電極と前記維持電極との間で放電を発生させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示デバイスとして知られるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と略記する）は、大画面、薄型、かつ軽量であることを特徴とする視認性に優れた表示デバイスである。ＰＤＰの放電方式としてはＡＣ型とＤＣ型とがあり、電極構造としては３電極面放電型と対向放電型とがある。そして現在は、高精細化に適し、しかも製造の容易なことからＡＣ型かつ面放電型であるＡＣ面放電型ＰＤＰが主流となっている。
【０００３】
ＡＣ面放電型ＰＤＰは、一般に、対向配置された前面板と背面板との間に多数の放電セルを形成したものである。前面板は、前面側のガラス基板上に表示電極として走査電極と維持電極とを互いに並行に複数対形成し、この表示電極を覆うように誘電体層および保護層を形成したものである。背面板は、背面側ガラスの基板上にアドレス電極を互いに並行に複数形成し、これらを覆うように誘電体層を形成し、そしてこの誘電体層上にアドレス電極と並行に隔壁を複数形成し、そして誘電体層の表面と隔壁の側面とに蛍光体層を形成したものである。そして、表示電極とデータ電極とが直交するように前面板と背面板とを対向させて気密に接合する、いわゆる封着を行い、その後、内部の放電空間に放電ガスを封入することでＰＤＰを構成する。
【０００４】
以上のようにして組み立てたＰＤＰは、一般にパネルを全面均一に点灯させるために必要な電圧（以下、「動作電圧」と略記する）が高く、放電自体も不安定である。この原因は、一般にＭｇＯで形成される保護層の表面にＨ２Ｏ、ＣＯ２、炭化水素系ガス等の不純ガスが吸着しているためである。そこで、ＰＤＰの製造工程ではエージングを行い、これらの吸着ガスをエージングでの放電によるスパッタによって除去することで、動作電圧を低下させるとともに、放電特性を均一化かつ安定化させている。
【０００５】
このようなエージングの方法としては、従来より、走査電極と維持電極との間に交番電圧として逆位相の矩形波のパルス電圧を長時間にわたり印加する方法がとられてきた。しかし、エージング時間を短縮するために、例えば、表示電極間に逆位相の矩形波のパルス電圧を印加するとともに、アドレス電極にも維持電極に印加する電圧波形と同相の波形のパルス電圧を印加して、走査電極と維持電極との間での放電と同時に、走査電極とアドレス電極との間での放電も積極的に発生させる方法（例えば、特許文献１参照）が提案されている。
【特許文献１】特開２００２−２３１１４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら上述のエージング方法によっても、エージングを完了させるまで、すなわち、動作電圧を下げかつ放電を安定させるまでには１０時間程度必要であった。このような長時間のエージング工程は、消費電力が膨大となりＰＤＰ製造時のランニングコストを増加させると同時に、工場の敷地面積を増大させる、あるいは空調設備等の工場の環境を維持するための設備が増大する等の要因にもなっている。そしてこのような問題は、今後のＰＤＰの大画面化、生産量増大に伴って、さらに一層大きくなることは明白である。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、エージング時間を短縮し、電力効率のよいエージングを行うことが可能なＰＤＰの製造方法を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、走査電極、維持電極、アドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルに対して少なくとも走査電極と維持電極との間に走査電極用パルス電圧と維持電極用パルス電圧とを交互に印加してエージング放電を行うエージング工程において、少なくとも、立上りタイミングが走査電極用パルス電圧の立上りタイミングと同期しかつパルス幅が走査電極用パルス電圧より狭い第１のアドレス電極用パルス電圧、または、立上りタイミングが維持電極用パルス電圧の立上りタイミングと同期しかつパルス幅が維持電極用パルス電圧より狭い第２のアドレス電極用パルス電圧を、アドレス電極に印加することを特徴とする。この方法により、エージング時間を短縮し、電力効率のよいエージングを行うことが可能なＰＤＰの製造方法を実現することができる。
【０００９】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、第１のアドレス電極用パルス電圧のアドレス電極への印加を休止する場合、または第２のアドレス電極用パルス電圧のアドレス電極への印加を休止する場合が存在することが望ましい。この方法によっても、エージング時間を短縮し、電力効率のよいエージングを行うことが可能なＰＤＰの製造方法を実現することができる。
【００１０】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、少なくとも、第１のアドレス電極用パルス電圧を３回以上連続しないようにアドレス電極に印加する、または第２のアドレス電極用パルス電圧を３回以上連続しないようにアドレス電極に印加することがさらに望ましい。この方法によっても、エージング時間を短縮し、電力効率のよいエージングを行うことが可能なＰＤＰの製造方法を実現することができる。
【００１１】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法の第１のアドレス電極用パルス電圧および第２のアドレス電極用パルス電圧の電圧値は、走査電極用パルス電圧の電圧値および維持電極用パルス電圧の電圧値を越えないことを特徴とする。この方法によって、走査電極と維持電極との間のエージング放電に影響を与えることなく、安定したエージングを行うことができる。
【００１２】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、エージング工程において、少なくとも、走査電極用パルス電圧、維持電極用パルス電圧、アドレス電極用パルス電圧のいずれかの電圧値を時間とともに減少させてもよい。この方法により、エージング電力を低減することができる。
【００１３】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、走査電極、維持電極、アドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルに対して少なくとも走査電極と維持電極との間に走査電極用パルス電圧と維持電極用パルス電圧とを交互に印加してエージング放電を行うエージング工程において、走査電極とアドレス電極との間または維持電極とアドレス電極との間で放電を発生させ、この放電を種火として走査電極と維持電極との間で放電を発生させることを特徴とする。この方法により、エージング時間を短縮し、電力効率のよいエージングを行うことが可能なＰＤＰの製造方法を実現することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、エージング時間を短縮し、電力効率のよいエージングを行うことが可能なＰＤＰの製造方法を実現することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１６】
（実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法を用いて製造されるＰＤＰの構成を示す断面斜視図である。
【００１７】
ＰＤＰ１の前面板２は、ガラス等の基板３上に走査電極４と維持電極５とからなる表示電極６を複数形成し、表示電極６を覆うように低融点ガラス材料による誘電体層７を形成し、さらに誘電体層７上に保護層８を形成することにより構成している。保護層８は、プラズマによる損傷から誘電体層７を保護するために、例えばＭｇＯを用いて形成される。なお、走査電極４および維持電極５は、それぞれ、放電電極となる透明電極４ａ、５ａ、およびこの透明電極４ａ、５ａに電気的に接続された、例えばＣｒ／Ｃｕ／ＣｒやＡｇ等からなるバス電極４ｂ、５ｂとから構成されている。
【００１８】
また、背面板９は、ガラス等の基板１０上に、アドレス電極１１を複数形成し、アドレス電極１１を覆うように誘電体層１２を形成している。そして誘電体層１２上の、隣り合うアドレス電極１１の間の位置には隔壁１３を設けており、誘電体層１２の表面と隔壁１３の側面にかけて、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色の蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂを設けられている。
【００１９】
そして表示電極６とアドレス電極１１とが直交し、かつ放電空間１５を形成するように、前面板１と背面板９とが隔壁１３を挟んで対向して配置されている。そして放電空間１５には、放電ガスとして、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうち、少なくとも１種類の希ガスが６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）程度の圧力で封入されている。こうして、アドレス電極１１と表示電極６との交差部がそれぞれ隔壁１３によって仕切られて、放電セル１６を形成する。そして、ＰＤＰ１のアドレス電極１１および表示電極６に駆動電圧を印加することによって放電を発生させ、このとき生じる紫外線が蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂにより可視光に変換され、画像表示を行う。
【００２０】
このようなＰＤＰ１の製造直後は、動作電圧が高く放電自体も不安定である。この原因は、保護層８であるＭｇＯ表面に、Ｈ２Ｏ、ＣＯ２、炭化水素系ガス等の不純ガスが吸着しているためである。そこで、エージング放電（以下、「放電」と略記する）によるスパッタによってこれらの吸着ガスを除去し、動作電圧を低下させるとともに放電特性を均一化かつ安定化させるためにエージング工程を行う。エージング工程では、表示電極６やアドレス電極１１に所定のパルス電圧を印加して放電空間１５内で放電を発生させる。ここで、パルス電圧の電圧は、パネルを全面点灯させる必要があるので、少なくともそのときのパネルの動作電圧以上に設定される。
【００２１】
以下に、本発明の実施の形態によるＰＤＰの製造方法におけるエージング工程について説明する。なお、エージング工程までのＰＤＰ１の製造工程は、従来のＰＤＰの製造方法と同様である。
【００２２】
図２は、本発明の実施の形態におけるエージング工程でのＰＤＰとエージング装置との接続状態を示す図である。エージング時には、それぞれの走査電極Ｘ１〜Ｘｎ（図１の走査電極４）を短絡電極１０１を用いて短絡し、エージング装置１０４に接続されている。それぞれの維持電極Ｙ１〜Ｙｎ（図１の維持電極５）およびそれぞれのアドレス電極Ａ１〜Ａｎ（図１のアドレス電極１１）についても同様に短絡電極１０２および短絡電極１０３を用いて短絡し、エージング装置１０４に接続されている。
【００２３】
図３は、エージング装置１０４から走査電極４、維持電極５およびアドレス電極１１に印加する走査電極用パルス電圧、維持電極用パルス電圧、アドレス電極用パルス電圧（以下、「パルス電圧」と略記する）の波形を模式的に示したものである。走査電極４と維持電極５とにはパルス電圧として電圧Ｖｓの台形波あるいは矩形波を繰返し周期Ｔで交互に印加する。また、アドレス電極１１には、走査電極用パルス電圧の立上りタイミングと同期し、かつ走査電極用パルス電圧よりパルス幅の狭い台形あるいは矩形のパルス電圧、すなわち第１のアドレス電極用パルス電圧を印加する。したがって、アドレス電極１１に印加するパルス電圧の立下りタイミングは走査電極４に印加するパルス電圧の立下りタイミングよりも早くなる。また、維持電極５にパルス電圧を印加するときにはアドレス電極１１にはパルス電圧を印加しないので、アドレス電極１１に連続してパルス電圧を印加することはない。さらに、このときのパルス電圧の電圧は電圧Ｖｓよりも低い電圧Ｖｄに設定した。
【００２４】
なお、アドレス電極１１に、維持電極用パルス電圧の立上りタイミングと同期し、かつ維持電極用パルス電圧よりパルス幅の狭い台形あるいは矩形のパルス電圧、すなわち第２のアドレス電極用パルス電圧を印加しても以下に説明する結果と同様の結果が得られる。
【００２５】
次に、このようなエージング工程によりエージングを行った結果について説明する。なお、以下の説明においては、対角４２インチ、画素数１０２８×７６８のＰＤＰを用いてエージングを行った。また、電圧Ｖｓは３５０Ｖ、電圧Ｖｄは１００Ｖでそれぞれ一定とし、走査電極用パルス電圧および維持電極用パルス電圧の繰返し周期Ｔは２５μｓとした。また、比較のために、図４に示すような、走査電極４と維持電極５との両方のパルス電圧に対して、毎回、立上りは同期させ立下りは早くしたパルス電圧、すなわち第１のアドレス電極用パルス電圧と第２のアドレス電極用パルス電圧とを連続してアドレス電極へ印加した場合についても検討を行った。
【００２６】
図５は、エージング工程において、放電セル内でエージング放電が発生する最低電圧（以下、「放電開始電圧」と略記する）の時間変化を示す図であり、横軸はエージング時間、縦軸は走査電極４と維持電極５との間での放電開始電圧である。図５には図３および図４に示したパルス電圧によるエージングの結果を示している。なお、放電開始電圧が所定の設定電圧以下にまで低下し、かつ安定した時点がエージング工程の終了であると判断する。図４に示したパルス電圧によるエージング（図５の「比較例」）では、１２時間経過しても放電開始電圧は下がり切っておらず、また、安定していないことから、エージングは終了していない。一方、図３に示したパルス電圧によるエージング（図５の「本発明」）では、およそ６時間でエージングが終了する。このように、本発明の実施の形態によればエージング時間の短縮が可能であり、これにより電力効率のよいエージングを行うことが可能である。
【００２７】
本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法のエージング工程によってエージング時間が短縮できる理由は以下のように考えられる。
【００２８】
図６（ａ）〜（ｆ）は、図３に示したパルス電圧を用いてエージングを行ったときの放電セル１６内での各電極の壁電荷の動きを予想した図である。図６（ａ）は、周期Ｔのエージング放電が終了した直後、言い換えれば次の周期Ｔのエージング放電が開始する直前の壁電荷の配置を示しており、走査電極４側には正の壁電荷、維持電極５側には負の壁電荷が蓄積し、アドレス電極１１側にはわずかに正の壁電荷が蓄積している。
【００２９】
維持電極５は電圧０Ｖに接地された状態で、走査電極４およびアドレス電極１１に、同期したパルス電圧が印加される。パルス電圧の電圧が上昇する過程で、図６（ａ）中に矢印Ａで示すように、維持電極５側の電子がアドレス電極１１の正の電荷および正の電位に引き寄せられ弱い放電が発生する。維持電極側電子は正イオンより軽く、またＭｇＯ保護層は２次電子放出係数が大きく電子が飛び出し易いこともこの弱い放電を生じる理由と考えられる。この弱い放電が引き金となって走査電極４と維持電極５との間の距離の近い領域で強い放電が発生し、図６（ａ）中に矢印Ｂで示すように正イオンと電子とが互いに逆の方向に移動する。その結果、図６（ｂ）に示すように、放電の発生した領域で壁電荷の極性が反転する。さらに印加電圧を上昇させ、走査電極４の電圧がＶｓ、アドレス電極１１の電圧がＶｄに至ると、最初の放電で発生した荷電粒子、励起原子、励起分子、ラジカル等の粒子（以下、「プライミング粒子」と略記する）が引き金となって、走査電極４と維持電極５との間の距離の遠い領域で強い放電が発生し、矢印Ｃで示すように電子と正イオンとが互いに逆の方向に移動する。そして、図６（ｃ）に示すように、走査電極４、維持電極５上の壁電荷が反転し、走査電極４上には負の壁電荷、維持電極５上には正の壁電荷が蓄積する。また、アドレス電極１１に電圧Ｖｄが印加されているため、アドレス電極１１上にはわずかに負の壁電荷が蓄積する。
【００３０】
次にアドレス電極１１の印加電圧をＶｄから０Ｖに減少させるが、蛍光体の２次電子放出係数は小さくＭｇＯに比べて電子が飛び出しにくいため、蛍光体表面の電子が維持電極５側に移動しにくく弱い放電は生じにくい。そしてアドレス電極の印加電圧が０Ｖになった後、走査電極４の印加電圧をＶｓから０Ｖに減少させる。このときは、アドレス電極１１側に蓄積した負の壁電荷によって走査電極４とアドレス電極１１との間の電界が弱められるため弱い放電は生じにくく、走査電極４−維持電極５間の放電には至らない。なお、アドレス電極用パルス電圧が立下った後に走査電極用パルス電圧が立下るのは、立上りタイミングが走査電極用パルス電圧の立上りタイミングと同期し、かつパルス幅が走査電極用パルス電圧より狭くなるように、アドレス電極用パルス電圧を設定しているからである。
【００３１】
次に図６（ｄ）に示すように、走査電極４およびアドレス電極１１を０Ｖとし、維持電極５側に電圧Ｖｓのパルス電圧を印加すると、矢印Ｄで示すように、アドレス電極１１上の電子が維持電極５側に引き寄せられ弱い放電が生じる。この放電が引き金となって走査電極４と維持電極５との間の距離の近い領域で強い放電が発生し、矢印Ｅで示すように正イオンと電子とが互いに逆の方向に移動する。その結果、図６（ｅ）に示すように、放電の発生した領域で壁電荷の極性が反転する。さらに維持電極５への印加電圧を上昇させ、電極の電位がＶｓに至ると、プライミング粒子の影響を受けて、走査電極４と維持電極５との間の距離の遠い領域でも強い放電が発生し、矢印Ｆで示すように電子と正イオンとが互いに逆の方向に移動する。維持電極５側の電位がＶｓに到達して放電が終了した状態では維持電極５に対してアドレス電極１１は陰極になるため、図６（ｆ）に示すように、アドレス電極１１上には正の壁電荷が蓄積している。また、走査電極４上には正の壁電荷、維持電極５上には負の壁電荷が蓄積している。
【００３２】
次に維持電極５の電圧をＶｓから０Ｖに減少させると、ＭｇＯ保護層の２次電子放出係数が大きいため、維持電極側にたまった電子がアドレス電極側にたまった正電荷に引き寄せられて維持電極５とアドレス電極１１間で弱い放電が生じ、走査電極４−維持電極５間の放電に至る。続けて図６（ａ）に示すように走査電極４の電圧をＶｓに増加させると同時にアドレス電極の電圧をＶｄに増加させる。その後、図６（ｂ）、図６（ｃ）、・・・となり、上記の動作を繰返す。以上の説明では、便宜上、図６（ａ）において、アドレス電極にパルス電圧Ｖｄが印加された後、維持電極−アドレス電極間の弱い放電が生じるとしたが、正しくは図６（ａ）の前の状態、すなわち図６（ｆ）の時点において弱い放電が生じている。
【００３３】
図７（ａ）〜（ｆ）は、図４に示した、比較例の場合のパルス電圧を用いてエージングを行ったときの放電セル１６内での各電極の壁電荷の動きを予想した図である。図７（ａ）は周期Ｔのエージング放電が終了した直後、言い換えれば次の周期Ｔのエージング放電が開始する直前の壁電荷の配置を示し、走査電極４側には正の壁電荷、維持電極５側には負の壁電荷が蓄積し、アドレス電極１１側にはエージング放電時にＶｄの電圧を印加したために負の壁電荷が蓄積している。
【００３４】
維持電極５を電圧０Ｖに接地した状態で、走査電極４およびアドレス電極１１に、同期したパルス電圧を印加する。このとき、アドレス電極１１上の負の壁電荷がアドレス電極１１と維持電極５との間の電界を緩和するので、図６（ａ）に矢印Ａで示したようなアドレス電極１１と維持電極５との間での弱い放電は図７（ａ）では発生しない。そして、走査電極４と維持電極５との間の電位差が大きくなって初めて、走査電極４と維持電極５との間の距離の近い領域で強い放電が発生し、矢印Ｂ’で示すような電荷の移動が起こる。その結果、図７（ｂ）に示すように、放電の発生した領域で壁電荷の極性が反転する。さらに印加電圧を上昇させ、走査電極４の電圧がＶｓ、アドレス電極１１の電圧がＶｄに至ると、矢印Ｃ’で示すように、最初の放電で発生したプライミング粒子が引き金となって、走査電極４と維持電極５との間の距離の遠い領域で強い放電が発生しようとするが、アドレス電極１１上の負の壁電荷が電子の移動を妨げ、この強い放電を妨げるように作用する。そのため、走査電極４と維持電極５との間の距離の、より遠い領域まで放電が発生せず、走査電極４および維持電極５上の壁電荷は図７（ｃ）に示すように一部をのこして反転する。
【００３５】
次に走査電極４が０Ｖに接地された状態で、維持電極５に電圧Ｖｓのパルス電圧を、アドレス電極１１に電圧Ｖｄのパルス電圧を印加すると、図７（ａ）において、走査電極４と維持電極５とを入れ替えたものと同様の動作を行う。すなわち、アドレス電極１１上の負の壁電荷がアドレス電極１１と走査電極４との間の電界を緩和し、アドレス電極１１と走査電極４との間での弱い放電は発生しない。そして、走査電極４と維持電極５との間の電位差が大きくなって初めて、図７（ｄ）に示すように、走査電極４と維持電極５との間の距離の近い領域で強い放電が発生し電荷の移動が起こる。さらに印加電圧を上昇させ、維持電極５の電圧がＶｓ、アドレス電極１１の電圧がＶｄに至ると、図７（ｅ）に示すように、走査電極４と維持電極５との間の距離の遠い領域で強い放電が発生しようとする。しかし、アドレス電極１１上の負の壁電荷がこの強い放電を妨げるので、走査電極４と維持電極５との間の距離の、より遠い領域まで放電が発生せず、走査電極４および維持電極５上の壁電荷は図７（ｆ）に示すように一部をのこして反転する。
【００３６】
エージングは、走査電極４および維持電極５上の保護層８表面に吸着した不純ガスを放電によるスパッタで除去し、放電セル１６の放電開始電圧を低減するとともに放電を安定させることを目的として行うものである。この観点で図６および図７を比べてみると、図６に示したように本発明の実施の形態においては、走査電極４および維持電極５上での電荷の移動が放電セル内の広い領域にわたり均一に行われていると考えられる。しかし、図７に示した比較例の場合では、走査電極４と維持電極５との間の距離の遠い領域では十分な電荷の移動が行われていないと考えられる。すなわち、本発明の実施の形態によれば、走査電極４および維持電極５上の保護層８の表面が、比較例に比べ均一性よくスパッタされ、その結果、比較例に比べてエージング時間を短くすることが可能になるものと考えられる。
【００３７】
また、蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂ表面には排気工程で取りきれないＨ２ＯやＣＯ２、炭化水素ガス等の不純物ガスが吸着しており、これらの吸着ガスをスパッタで叩き出しておかないと、使用中に徐々にこれらのガスが放電空間に放出されてＭｇＯ表面に吸着し、動作電圧を不安定にする。本発明の実施の形態においては図６（ａ）〜（ｆ）で示すように蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂ表面の壁電荷が正と負に交互に変化している。そして壁電荷の極性が負から正へ変わるときに蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂ表面が正イオンにより叩かれ、蛍光体層表面に吸着している不純物ガスが効率よく叩き出されていることも動作電圧が速やかに安定させる要因のひとつである。一方、比較例の場合は図７（ａ）〜（ｆ）に示すように常に蛍光体層１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂは負に帯電しており電荷の移動がない。そのため正イオンが蛍光体層を叩く機会が少なく動作電圧が安定するまでに時間を要すると考えられる。
【００３８】
このようにエージング工程では、走査電極４および維持電極５にパルス電圧を印加し、アドレス電極１１にもパルス電圧を印加するエージング放電（図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応）と、アドレス電極１１にはパルス電圧を印加しないエージング放電（図６（ｄ）、（ｅ）、（ｆ））とを交互に繰返すことが重要である。これによって、保護層８のＭｇＯ表面を均一にスパッタするとともに蛍光体表面をイオンが叩き、保護層８の表面および蛍光体表面に吸着されている不純ガスを除去することができ、効率のよいエージングを実施できる。
【００３９】
ここで、パルス電圧の波形としては、走査電極４には走査電極用パルス電圧、維持電極には維持電極用パルス電圧を交互に印加し、アドレス電極１１にアドレス電極用パルス電圧を印加しないエージング放電と、アドレス電極用パルス電圧を印加するエージング放電とを繰返す、すなわち第１のアドレス電極用パルス電圧のアドレス電極への印加を休止する場合、または第２のアドレス電極用パルス電圧のアドレス電極への印加を休止する場合が存在すれば、図３に示した波形以外の波形であってもよい。上述したように、立上りタイミングが走査電極用パルス電圧の立上りタイミングと同期し、かつパルス幅が走査電極用パルス電圧より狭い第１のアドレス電極用パルス電圧をアドレス電極に印加してもよい。また、立上りタイミングが維持電極用パルス電圧の立上りタイミングと同期し、かつパルス幅が維持電極用パルス電圧より狭い第２のアドレス電極用パルス電圧をアドレス電極に印加する方法でもよい。さらにまた、少なくとも、第１のアドレス電極用パルス電圧を３回以上連続しないようにアドレス電極に印加する、または第２のアドレス電極用パルス電圧を３回以上連続しないようにアドレス電極に印加することによっても実現することができる。
【００４０】
図８は本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法におけるエージング工程の他のパルス電圧の波形を示す図である。図８（ａ）は、走査電極４に印加するパルス電圧の立上りに同期させてアドレス電極１１にパルス電圧を印加させる場合と、維持電極５に印加するパルス電圧の立上りに同期させてアドレス電極１１にパルス電圧を印加させる場合とを交互に繰返し、かつ、アドレス電極にパルス電圧を加えない期間を２回連続して設けた例である。すなわち、アドレス電極に、第１のアドレス電極用パルス電圧と第２のアドレス電極用パルス電圧とを連続させずに交互に印加した例である。また、図８（ｂ）は、アドレス電極１１にパルス電圧を印加させる期間を２回連続し、アドレス電極にパルス電圧を加えない期間を１回設けた例である。すなわち、アドレス電極に、第１のアドレス電極用パルス電圧と第２のアドレス電極用パルス電圧とを３回以上連続させずに交互に印加した例である。さらに、図８（ｃ）は、アドレス電極１１にパルス電圧を印加させる期間を２回連続し、アドレス電極にパルス電圧を加えない期間も２回連続して設けた例である。このようなパルス電圧の波形であっても上記と同様の効果が得られる。
【００４１】
なお、アドレス電極にパルス電圧を連続して印加する場合は、２０回以下とすることが好ましく、これ以上連続させると上述した効果は小さくなる。また、アドレス電極にパルス電圧を印加しないタイミングも２０回以下とすることが好ましく、これ以上長くなると、やはり上述した効果は小さくなる。
【００４２】
また、アドレス電極用パルス電圧の形状は、立上りのタイミングでは走査電極用パルス電圧または維持電極用パルス電圧の立上りタイミングに同期させ、走査電極用パルス電圧または維持電極用パルス電圧が立下る前に立ち下げるものである。
【００４３】
また、アドレス電極１１へのパルス電圧Ｖｄの大きさは、上限としては走査電極４と維持電極５との間の放電に影響を与えないよう、走査電極および維持電極へのパルス電圧Ｖｓを越えないように設定することが好ましい。一方、下限としては維持電極５とアドレス電極１１間で少なくとも弱い放電を生じさせる電圧である。ただし、図６（ａ）のように各電極には電荷がたまっているため、放電開始電圧の半分程度である。なお、この放電開始電圧は、ＰＤＰ放電セルの形状に依存するものである。典型的なＰＤＰでは、Ｖｄの大きさは５０Ｖ〜１５０Ｖの範囲である。
【００４４】
また、アドレス電極１１は、パルス電圧を加えないときは接地状態としたが、例えば図９に示すように、負の電圧Ｖｄ−を印加すると、図６（ｄ）に示す状態において、維持電極５とアドレス電極１１との間での弱い放電が生じ易くなり、かつ、エージング放電後、より多くの正の電荷がアドレス電極１１側に蓄えられ、図６（ａ）に示す状態での維持電極５とアドレス電極１１との間での弱い放電が生じ易くなるため、より好ましい。ただし、走査電極４と維持電極５との間の放電に影響を与えないようにするため、Ｖｄ＋と｜Ｖｄ−｜との和が、Ｖｓを越えないように設定する必要がある。
【００４５】
また、図２において、エージング装置１０４とＰＤＰ１との間の配線を極力短くすることで、配線のインダクタンスをできる限り小さくした場合には、図３に示すように、パルス電圧の波形がほぼそのままの形でＰＤＰ１に印加される。しかし、エージング装置１０４とＰＤＰ１との間にインダクタを挿入した場合はもちろんであるが、インダクタを用いなくても配線長が長く配線の浮遊インダクタンスが大きい場合には、ＰＤＰ１の静電容量との共振によってパルス電圧にリンギングが重畳される。図１０（ａ）は、エージング装置１０４から出力される走査電極用パルス電圧を示し、図１０（ｂ）はエージング装置１０４から出力される維持電極用パルス電圧を示している。また、図１０（ｃ）は走査電極Ｘ１〜Ｘｎを短絡する短絡電極１０１におけるリンギングが重畳された走査電極用パルス電圧を示し、図１０（ｄ）は維持電極Ｙ１〜Ｙｎを短絡する短絡電極１０２におけるリンギングが重畳された維持電極用パルス電圧を示す。このように、パルス電圧の波形にリンギングが重畳している場合には、パルス電圧のピーク電圧がＶｓを遙かに越えるので、エージング装置１０４の出力端におけるパルス電圧の電圧値Ｖｓは小さく設定することができる。また、このような場合、アドレス電極に印加されるパルス電圧もリンギングが重畳するが、走査電極あるいは維持電極の電圧波形のリンギングの立上りに同期させてアドレス電極の電圧波形のリンギングを立ち上げ、最初のリンギングの谷に合わせてアドレス電極の電圧波形が立下るようにすれば、リンギングに関係なくアドレス電極にパルス電圧を印加する効果は上記の矩形波の場合と同様に得られる。
【００４６】
また、本発明の実施の形態によれば、アドレス電極１１にパルス電圧を印加することにより、維持電極５あるいは走査電極４とアドレス電極１１との間で弱い放電を発生させ、そして維持電極５と走査電極４との間で強い放電を生じさせている。すなわち、弱い放電を種火として、維持電極５と走査電極４との間で強い放電を生じさせるため、小さいパルス電圧Ｖｓでのエージング放電を可能にしている。これに対し、従来のエージング手法においては、アドレス電極１１は接地した状態で走査電極４と維持電極５との間にパルス電圧を印加する方式であり、この場合、常にアドレス電極１１側には正の電荷が蓄積された状態となるため、Ｖｓを下げる効果はない。そしてＶｓが高いと、エージングに必要な消費電力が増大するだけでなく、ＰＤＰ１内部で絶縁破壊が生じ易くなるという問題もあり好ましくない。
【００４７】
また、上記構成においては、エージング電圧のパルス電圧Ｖｓ、Ｖｄは一定としたが、図１１に、一例として示すように、走査電極４および維持電極５へのパルス電圧Ｖｓおよび／またはアドレス電極１１へのパルス電圧Ｖｄを、エージングの進行による放電開始電圧の低下に応じて減少させると、エージング電力を低減できるので、より好ましい。ここで、図１１（ａ）は、連続的に電圧を変化させた場合の一例であり、変化のさせ方は直線的であってもよい。また図１１（ｂ）はエージング開始後、所定の時間は一定とし、その後電圧値を減少させた例である。現象のさせ方は階段状でもよく徐々に電圧を下げる形であってもよい。電圧の変化のさせ方は、この例の電圧および形に限るものではなく、エージング時の動作電圧の変化に応じて、プロファイルを決定すればよい。ここで、放電開始電圧よりも大きな印加電圧Ｖｓが印加されるとＰＤＰ１内部での絶縁破壊が発生し易くなるので、放電開始電圧の減少に合わせてＶｓを下げるのが好ましい。
【００４８】
上記実施の形態では周波数を４０ｋＨｚとしたが、数ｋＨｚ〜１００ｋＨｚの範囲で使用可能である。そしてパルス電圧の電圧Ｖｓ、Ｖｄの値も、ＰＤＰ１の構造に合わせて最適な値に設定すればよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
以上述べたように本発明によれば、エージング時間を短縮し、電力効率のよいエージングを行うことが可能なＰＤＰの製造方法を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法を用いて製造されるＰＤＰの構成を示す断面斜視図
【図２】本発明の実施の形態におけるエージング工程でのＰＤＰとエージング装置との接続状態を示す図
【図３】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法のパルス電圧の波形を模式的に示す図
【図４】比較例におけるパルス電圧の波形を模式的に示す図
【図５】エージング工程における放電開始電圧の時間変化を示す図
【図６】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法のエージング工程での放電セル内での壁電荷の動きの予想を示す図
【図７】比較例におけるエージング工程での放電セル内での壁電荷の動きの予想を示す図
【図８】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法の他のパルス電圧の波形を示す図
【図９】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法のさらに他のパルス電圧の波形を示す図
【図１０】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法に用いるエージング装置から出力されるパルス電圧を示す図
【図１１】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法のパルス電圧の電圧値の時間変化を示す図
【符号の説明】
【００５１】
１    ＰＤＰ
４    走査電極
５    維持電極
６    表示電極
１１    アドレス電極
１５    放電空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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