(57)【要約】【課題】  パターンを形成する露光工程において感度が非常に高く、微細パターンを正確に形成できる感光性着色組成物を提供する。【解決手段】  少なくとも反応性モノマー、光重合開始剤、着色剤、及び有機溶剤を含有し、前記光重合開始剤が下記式（１）で表される化合物を含むことを特徴とする、固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物。【化１】（式中、Ｒ1乃至Ｒ14は、それぞれ独立して水素、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン、ケトン基、芳香族基、又は脂肪族基のいずれかである。但し、前記芳香族基及び脂肪族基は、分岐構造及び脂環式構造から選ばれる構造を含んでいても良く、基の途中にエーテル結合、エステル結合、アミノ結合、アミド結合、チオエーテル結合、不飽和結合から選ばれる１種以上を含んでいても良く、基の末端にヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン、カルボニル基、芳香族基から選ばれる１種以上を含んでいても良い。）【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも反応性モノマー、光重合開始剤、着色剤、及び有機溶剤を含有し、前記光重合開始剤が下記式（１）で表される化合物を含むことを特徴とする、固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物。
【化１】
2005202252.tif 000007
（式中、Ｒ1乃至Ｒ14は、それぞれ独立して水素、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン、ケトン基、芳香族基、又は脂肪族基のいずれかである。但し、前記芳香族基及び脂肪族基は、分岐構造及び脂環式構造から選ばれる構造を含んでいても良く、基の途中にエーテル結合、エステル結合、アミノ結合、アミド結合、チオエーテル結合、不飽和結合から選ばれる１種以上を含んでいても良く、基の末端にヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン、カルボニル基、芳香族基から選ばれる１種以上を含んでいても良い。）
【請求項２】
前記式（１）において、Ｒ2乃至Ｒ11が水素である、請求項１に記載の固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物。
【請求項３】
前記式（１）において、Ｒ1がメチル基、Ｒ12がエチル基、Ｒ13がメチル基、及びＲ14がメチル基である、請求項２に記載の固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物。
【請求項４】
前記着色剤が顔料である、請求項１乃至３のいずれかに記載の固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物。
【請求項５】
前記着色剤が染料である、請求項１乃至３のいずれかに記載の固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物。
【請求項６】
青色画素部、又は緑色画素部を形成する請求項１乃至５のいずれかに記載の固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物。
【請求項７】
基板上に少なくとも着色層を備えてなり、当該着色層が前記請求項１乃至６のいずれかに記載の感光性着色組成物を硬化させて形成したものであることを特徴とする、固体撮像素子カラーフィルター。
【請求項８】
パターン形状が一画素につき１０μｍ角以下であり、且つパターン膜厚が０．２μｍ以上且つ１．６μｍ以下である、請求項７に記載の固体撮像素子カラーフィルター。
【請求項９】
請求項７又は８に記載のカラーフィルターを有する固体撮像素子。
【請求項１０】
撮像素子基板に請求項１乃至６のいずれかに記載の感光性着色組成物を塗布する工程、これを所定のパターン状に露光する露光工程、及び露光後に現像する工程を含む、固体撮像素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像入力装置に好適に用いられる固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物、固体撮像素子カラーフィルター、及び固体撮像素子カラーフィルターの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルターには、液晶表示装置等の画像出力装置に用いられるカラーフィルター、或いは固体撮像素子等の画像入力装置に用いられるカラーフィルター等がある。固体撮像素子に用いられるカラーフィルター構造の代表例を、図１を用いて説明する。ＣＣＤ又はＣＭＯＳ等に用いられる撮像素子基板は、通常、シリコーンウェハー１、該シリコーンウェハー１上に形成された信号転送部２、及び該信号転送部２の相互間のシリコーンウェハー１表面に形成された受光部（光電変換部）３等から構成される。この撮像素子基版の表面には樹脂からなる平坦化膜４が全面に設けられている。さらに、受光部３の上部に位置する該平坦化膜４上に各受光部に必要な分光特性に合わせて赤、緑、青（ＲＧＢ）の組み合わせ、シアン、マゼンダ、イエロー（ＣＭＹ）の組み合わせ又はその他の色の着色層５が形成されている。そして、該着色層５の上に樹脂からなる平坦化膜６を全面に設け、さらに着色層５の真上の位置にレンズ７が選択的に設けられている。従って、撮像素子基板上には、受光部の配置に合わせてＲＧＢ、ＣＭＹ又は他の色の着色パターンが設けられ、１つ１つの受光素子が形成される。各ＲＧＢ、ＣＭＹ又は他の色の着色パターンの単位サイズは、一般的には１０μｍ角以下であり、各パターン単位を一画素として、入射光を色分解できる構造となっている。固体撮像素子用カラーフィルターの画素サイズは、画像出力装置用カラーフィルターと比べて、格段に小さい。
【０００３】
固体撮像素子を搭載したデジタルカメラで高精細画像を記録するためには、有効記録画素数、つまり固体撮像素子一つに含まれる受光素子をできるだけ多くすることが望まれる。また、携帯電話へのデジタルカメラ搭載やコンパクトデジタルカメラの普及に伴い、固体撮像素子自体も小型化が進んでいる。従って、限られた面積に受光素子をより多く配置するために、各受光素子に対応して形成される着色パターンの微細化も同時に進んでいる。また、受光部へ光を効率的に取り込むために、着色層を含む固体撮像素子カラーフィルター全体の薄膜化も進行しており、その結果として着色層の薄膜化も進んでいる。これに伴って、膜厚を薄くした着色層でも吸収分光特性を維持するために、感光性着色組成物中の着色剤濃度を高くする傾向がある。
【０００４】
上記固体撮像素子用カラーフィルターの着色層部分の製造方法としては、染色法、電着法、印刷法、顔料分散法、染料分散法等が挙げられるが、分光特性、耐久性、パターン形状等の特性をバランス良く発揮する顔料分散法が広く採用されている。また、顔料粒子表面の乱反射等により、固体撮像素子の受光部分に入射する光強度の画素間におけるバラつきや、画素内でのノイズが発生し問題となる場合は、顔料粒子による影響を排除できる染色法や染料分散法が使われる場合もある。しかし、染料は顔料と比べて光や熱、水、酸化環境等に対する耐性が低いため、これらの影響により染料の構造が変化し、それに伴う吸収分光特性変化、つまり色の変化が生じやすいという問題がある。
【０００５】
顔料分散法は、例えば、顔料を分散させたネガ型感光性着色組成物を、基板上に塗布、乾燥して、塗膜を形成し、この塗膜にパターンマスクを介する露光、或いは、レーザー光による直接描画等の選択的露光を行って硬化させた後、現像することによりカラーフィルターを作製する。この場合、ネガ型の感光性着色組成物を用いるので、露光工程において露光された部分は硬化し、露光されない部分は硬化せず、その後の現像工程において未露光部分のみが現像液によって溶解し、洗い流され、硬化パターンが形成される。
【０００６】
上述したところから明らかなように、固体撮像素子用カラーフィルターの着色パターンは、そもそも画像出力装置用カラーフィルターのものと比べて格段に小さいうえ微細化が進んでいると共に、その構造上、受光素子の位置に合わせて個々のパターン単位を正確に形成する必要もある。そのため、パターン形成プロセスにおける感光性着色樹脂組成物への露光方法も画像出力装置用カラーフィルターのものとは異なる。例えば、画像出力装置の一つである液晶ディスプレイ用カラーフィルターでは、パターンと等倍のマスクを用いて、アライナーで露光しパターン形成を行うことができる。一方、固体撮像素子用カラーフィルターでは、高度な位置精度を有し、微細な形状の露光を得意とする半導体製造用ステッパーを用いて、レンズによりマスクパターンを縮小投影させる露光が一般的に行われている。
【０００７】
ステッパーはレンズにより縮小投影させることから、使用される光の波長に幅があるとマスクに忠実なパターン投影ができないため、特定の波長を用い、且つ限りなく短波長にすることが望ましい。現在では、４３６ｎｍ、３６５ｎｍ、２４８ｎｍ、１９３ｎｍ等の波長の光で露光するステッパーが実用化されている。露光波長が小さくなればなるほど、微細なパターンを露光することが可能となるが、装置の価格は高くなる傾向にある。固体撮像素子用カラーフィルターの画素のサイズは、半導体のパターン幅に比べて比較的大きいことから、現状では、その製造には、高出力で価格的には比較的安価な３６５ｎｍのステッパーを用いられる場合がほとんどである。
【０００８】
カラーフィルターは、顔料や染料等の着色剤を混合し、着色されることによって、所望の波長の光を選択的に透過させる役割をもつ。基本的に透過することを求められる波長は、ディスプレイ等の画像表示媒体の場合は可視光（３８０〜８００ｎｍ程度）の間であり、固体撮像素子用のカラーフィルターも、データとして取り込みたい画像の種類や撮影目的によって異なるが、一般的なデジタルカメラ等の場合は可視光であることが多い。そのような性質上、カラーフィルター形成用の感光性着色組成物自体も、必要とされる色（ＲＧＢ、ＣＭＹ、その他）の分光スペクトルに対応する可視光の範囲において選択的な波長の透過及び吸収を持つものであれば、可視光以外の領域では吸収があってもなくても、最終的な固体撮像素子としての性能にあまり影響を及ぼさない。
【０００９】
しかし、パターニング時に、塗膜に含まれる着色剤や高分子のような硬化反応に関与しない成分が照射光を吸収してしまうようなネガ型感光性着色組成物の場合には、照射光が感光性着色組成物の硬化に有効利用されないため、塗膜の硬化が十分に進行しなくなる。特に塗膜の底部は光が到達しにくいため、硬化不良が比較的強く起こる。このような塗膜底部の硬化不良は、膜厚が大きいほど著しくなる。また、小さな膜厚で目的の吸収分光特性を達成するためには、感光性着色組成物中の着色剤濃度を大きくし、且つ硬化反応に関与する成分濃度を小さくする必要がある。従って、膜厚が小さくても、同様に塗膜の硬化が不十分になる場合がある。露光部分の塗膜底部で硬化不良が生じている状態では、たとえ当該露光部分の塗膜上部が十分に硬化していても、現像プロセス中にその底部が現像液によって侵食されて剥がれやすいため、露光部分の塗膜とその下地との接着が不十分となり、着色パターンの欠損や形状不良が発生しやすい。露光時間を十分に長くすれば塗膜底部の硬化不良を防止できるが、製品の製造に要する時間が長くなってしまうという問題もある。
【００１０】
液晶ディスプレイ用カラーフィルターの場合は、パターンが比較的大きいことから等倍のマスクを用いて複数の波長が混ざった光により露光を行うため、照射光の一部の波長が硬化反応に関与しない成分によって吸収されたとしても、重合開始剤等の硬化反応に関与する成分の吸収波長領域に当てはまる波長の光が透過していれば、感光性着色組成物の硬化が進行するため、上記のような問題はそれほど深刻な問題とはならない。
【００１１】
しかしながら、固体撮像素子用カラーフィルターの場合は、一般にステッパーを用いて波長選択性の高い光（ある程度の波長分布を有している場合もある）で露光を行うため、組成物中の成分による吸収が硬化性に大きく影響する。例えば、３６５ｎｍという一つの波長の光で感光性着色組成物の塗膜を露光する場合に、感光性着色組成物に含まれている着色剤等の硬化反応に関与しない成分のなかに波長３６５ｎｍの光を吸収する成分が存在すると、底部の硬化不良が顕著になる。特に、一般に用いられているカラーフィルターの緑や青の画素を形成するために用いられている着色剤（顔料・染料等）は、３３０〜３７０ｎｍに吸収を有していることが多いため、凡用されている３６５ｎｍの光による露光では、着色層の膜厚が厚くなれはなるほど、底部の硬化不良が起こりやすい。
【００１２】
さらに、固体撮像素子用カラーフィルターは、一般に、パターン形状が１０μｍ角以下であり、パターン膜厚が０．２μｍ以上１．６μｍ以下であるような微細なパターン形状が求められている。着色パターンの一画素分のサイズが細かくなるにつれ、基材側への密着する面積が小さくなるために現像液による侵食の影響は大きく、また、着色パターンの膜厚が大きくなるにつれ、パターンの基材側へ密着する面積に対するパターンの高さが増大するため、現像プロセス中に現像液により底部が侵食され、着色パターンが残らずに現像液と共に流されてしまう現象が生じやすい。
また、感光性着色組成物を用いる着色パターン形成プロセスは、一般に空気中で行われるため、ラジカル反応により硬化を行う場合には酸素による反応阻害が問題となる。酸素による反応阻害は主に塗膜表面で起こるため、パターンエッジ等の形状不良の原因となる。
【００１３】
これらの問題を解決するため、露光を実際に行っている空気中で、少ない光の量でも塗膜をその表面から底部に到るまで、十分に硬化させることができる感光性着色組成物の開発が望まれている。
【００１４】
ネガ型の感光性組成物として、例えば、特許文献１には、o-アシルオキシム基を含む光重合開始剤を使用した感光性樹脂組成物と染料を攪拌、溶解し得られるネガ型着色感光性組成物、特許文献２には、オキシムエステル化合物を光開始剤として含む感光性組成物が記載されている。
【００１５】
【特許文献１】特開２００２−３２３７６２号公報
【特許文献２】特開２００１−２３５８５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
固体撮像素子用カラーフィルター製造においては、その性質上、受光素子の位置にあわせて正確に着色パターンを形成する必要がある。本発明は、固体撮像素子カラーフィルターの微細な着色パターンを少ない照射エネルギーで正確に形成できるように、高感度の固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物を提供することを目的とする。
また本発明は、高感度の上記着色組成物を用いて固体撮像素子カラーフィルターを製造する方法、上記着色組成物を用いて着色層を形成した固体撮像素子カラーフィルター及び、該固体撮像素子カラーフィルターを備えた固体撮像素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明者らは、少なくとも反応性モノマー、光重合開始剤、着色剤、及び有機溶剤を含有する固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物において、光重合開始剤として、下記式（１）で表される光重合開始剤を用いることによって、前記感光性着色組成物の感度が著しく向上し、さらに、パターン形成能に優れることを見出した。すなわち、本発明は、感度が良好であり、少ない露光量で充分に硬化させることができ、且つ精密なパターンを形成することができる固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物を提供するものである。
【００１８】
本発明は、少なくとも反応性モノマー、光重合開始剤、着色剤、及び有機溶剤を含有し、前記光重合開始剤が下記式（１）で表される化合物を含むことを特徴とする、固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物である。
【００１９】
【化１】
2005202252.tif 000002
【００２０】
（式中、Ｒ1乃至Ｒ14は、それぞれ独立して水素、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン、ケトン基、芳香族基、又は脂肪族基のいずれかである。但し、前記芳香族基及び脂肪族基は、分岐構造及び脂環式構造から選ばれる構造を含んでいても良く、基の途中にエーテル結合、エステル結合、アミノ結合、アミド結合、チオエーテル結合、不飽和結合から選ばれる１種以上を含んでいても良く、基の末端にヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン、カルボニル基、芳香族基から選ばれる１種以上を含んでいても良い。）
【００２１】
上記式（１）で表される光重合開始剤は感度が高く、この光重合開始剤を使用することによって、感光性着色組成物の感度が飛躍的に向上し、その結果、通常と比べて少ない露光量でも充分硬化させることができる。
また、式（１）で表される光重合開始剤は、感度が高く且つ酸素による反応阻害を受け難いことから、塗膜の深い位置でも充分に硬化反応が進行し、下地である基板若しくは平坦化膜等に対する硬化膜の密着性が高くなる。さらに、式（１）で表される光重合開始剤は、酸素による反応阻害を受けにくいため、酸素存在下でも重合反応が速やかに進行し、パターンの表面形状の正確さ、特にエッジのシャープさも向上する。
従って、感光性着色組成物に式（１）の光重合開始剤を使用することによって、下地に対する塗膜の密着性、及び、パターンの表面形状の正確性が同時に向上し、その結果、固体撮像素子カラーフィルターに求められる微細且つ精密なパターニング性が得られる。
【００２２】
式（１）で表される光重合開始剤のうち、Ｒ2乃至Ｒ11が水素である化合物が好ましく、特に、Ｒ2乃至Ｒ11が水素であり、且つＲ1がメチル基、Ｒ12がエチル基、Ｒ13がメチル基、及びＲ14がメチル基である化合物（式（２））は、可視領域に近い紫外線（目安として３３０〜３７０ｎｍ）の照射によって効率よくラジカルを発生させ、感光性着色組成物に高感度を与える。式（２）の化合物は、高感度であるために少量の添加で充分な重合開始能を発現させ、且つ可視領域に近い紫外線照射で感度が高いにもかかわらず、、開始剤の１％溶液は、目視で確認できるものの非常に薄い黄色であり開始剤自体の透明性も高いため、感光性着色組成物及び得られる着色層の色への影響が少ない。
特に、（２）の化合物は、３３０〜３７０ｎｍの吸収強度が大きく、かつ重合開始反応に関する量子収率が高いために、感光性着色組成物が、３３０〜３７０ｎｍに吸収を有していることが多い緑や青の画素を形成するために用いられる着色剤を含有する場合でも、上記範囲の波長の光によって感光性樹脂組成物塗膜の上部を硬化すると同時に、少量の光しか届かない底部においても速く硬化が進行するという高い感度を有する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る感光性着色組成物は、非常に微細な着色パターンを正確に形成することができるため、１０μｍ角以下のパターン形状と０．２μｍ以上１．６μｍ以下の膜厚という細かな加工を必要とする固体撮像素子用カラーフィルターに好適に用いることができる。また、本発明に係る感光性着色組成物は、少ない照射エネルギーで硬化させることができ、また、酸素による反応阻害を受けにくいことから、酸素存在下でも感度の低下が少なく、酸素に対する注意を特に必要としないため、着色パターンを形成するプロセスにかかる煩雑さやコストを軽減する効果もある。
従って、この感光性着色組成物を用いて固体撮像素子用カラーフィルターの画素を形成するのに適しており、得られたカラーフィルターは固体撮像素子に好適に利用される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下において本発明を詳しく説明する。なお、本発明において（メタ）アクリルとはアクリル基又はメタクリル基のいずれかであることを意味し、（メタ）アクリロイルとはアクリロイル基又はメタクリロイル基のいずれかであることを意味する。また、光とは、可視及び非可視領域の波長の電磁波及び放射線が含まれ、放射線には例えばマイクロ波、電子線が含まれ、具体的には、波長５μm以下の電磁波、及び電子線をいう。
【００２５】
本発明の固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物（以下、「感光性着色組成物」という場合がある）は、少なくとも反応性モノマー、光重合開始剤、着色剤、及び有機溶剤を含有し、前記光重合開始剤が下記式（１）で表される化合物を含むことを特徴とする。
【００２６】
【化２】
2005202252.tif 000003
【００２７】
（式中、Ｒ1乃至Ｒ14は、それぞれ独立して水素、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン、ケトン基、芳香族基、又は脂肪族基のいずれかである。但し、前記芳香族基及び脂肪族基は、分岐構造及び脂環式構造から選ばれる構造を含んでいても良く、基の途中にエーテル結合、エステル結合、アミノ結合、アミド結合、チオエーテル結合、不飽和結合から選ばれる１種以上を含んでいても良く、基の末端にヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン、カルボニル基、芳香族基から選ばれる１種以上を含んでいても良い。）
そこで、まず、本発明の感光性着色組成物に配合される各成分について説明する。
【００２８】
本発明に用いる反応性モノマーとしては、基板上に感光性着色組成物の塗膜を形成し、当該塗膜を可視及び非可視領域の波長の電磁波及び放射線等の光を照射したときに重合硬化させることのできるモノマー及びオリゴマーが含まれる。このような反応性モノマーとして、エチレン性不飽和結合等の光硬化性官能基を有するモノマー及びオリゴマーを用いることができる。架橋密度を高めるために、反応性モノマーは一分子中に光硬化性官能基を２個以上有していることが好ましい。
【００２９】
エチレン性不飽和結合を含有するモノマー又はオリゴマーとして具体的には、次のような多官能アクリレート系のモノマー又はオリゴマー、すなわち、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールの（メタ）アクリレート類；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールの（メタ）アクリレート類；グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類や、それらのジカルボン酸変性物；ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ（メタ）アクリレート類；両末端ヒドロキシポリ−１，３−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジ（メタ）アクリレート類のほか、トリス〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕フォスフェート等を挙げることができるが、これらに限定されない。
【００３０】
さらに具体的には、エチレングリコール（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート、グリセリンテトラ（メタ）アクリレート、テトラトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（ＤＰＨＡ）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（ＤＰＰＡ）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等を例示することができる。なかでも、３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類やそれらの多塩基酸無水物変性物が好ましく、具体的には、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等を例示できるが、これらに限定されない。
【００３１】
アルカリ現像性を有する点から、分子内に酸性官能基を有するものでも良い。例えば、酸性官能基とエチレン性不飽和結合を有するもの、特に一分子内に１つ以上の酸性官能基と３つ以上のエチレン性不飽和結合を有するもの（以下、「３官能以上の酸性多官能アクリレートモノマー」という）を用いることができる。３官能以上の酸性多官能アクリレートモノマーは、塗膜の架橋密度を向上させる役割と、アルカリ現像性を向上させる役割を有するため、組成物に着色剤を多量に配合する場合であっても、当該酸性多官能アクリレートモノマーによって感光性着色組成物の硬化性及び現像性を損なうことなく調節して向上させることができる。
【００３２】
酸性多官能アクリレートモノマーの酸性官能基は、アルカリ現像が可能なものであればよく、例えばカルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられるが、アルカリ現像性及び感光性着色組成物の取り扱い性の点からカルボキシル基が好ましい。
上記したような３官能以上の酸性多官能アクリレートモノマーとしては、（１）水酸基含有多官能（メタ）アクリレートを多塩基酸無水物で変性することによりカルボキシル基を導入した多官能（メタ）アクリレート、或いは、（２）芳香族多官能（メタ）アクリレートを濃硫酸や発煙硫酸で変性することによりスルホン酸基を導入した多官能（メタ）アクリレート等を用いることができる。
【００３３】
反応性モノマーは、感光性着色組成物中の固形分１００重量部に対して０．５〜９９．５重量部、好ましくは１〜９５重量部の割合で使用する。この使用量が少な過ぎると、充分な光硬化性が得られず、この使用量が多過ぎると着色剤の割合が相対的に低くなって、充分な着色濃度が得られない。ここで、固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物の固形分には、溶剤を除く全ての成分が含まれ、例えば液状のモノマー成分もこれに含まれる。
【００３４】
本発明の感光性着色組成物は、さらに、塗膜に十分な強度、耐久性、密着性等を付与するために、上記反応性モノマーと共に、必要に応じて、非反応性ポリマー、光硬化性ポリマー及び熱硬化性ポリマー等の反応性ポリマー、又は熱硬化性樹脂等のバインダー樹脂を用いる。
【００３５】
非反応性ポリマーとしては、エチレン性不飽和結合含有単位のような光硬化性官能基含有単位を含まず、芳香族炭素環含有単位、エステル基含有単位等を含む共重合体を用いることができ、例えば、次のモノマーの２種以上からなる共重合体を用いることができる：（メタ）アクリル酸、メチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、及び、スチレン。
より具体的には、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン共重合体、ベンジルメタクリレート／スチレン共重合体などを例示することができる。
中でも、上記共重合体が、（メタ）アクリル酸等の酸性官能基を備えた構成単位を含む場合には、上記共重合体にアルカリ現像性が付与される点から好ましい。
【００３６】
光硬化性ポリマーは、バインダー機能と共に光硬化性も有するため、好ましく用いられる。このような光硬化性ポリマーとしては、上記のエチレン性不飽和結合含有単位のような光硬化性官能基含有単位を必須の構成単位として含み、必要に応じて、アルコール性水酸基含有単位、芳香族炭素環含有単位、エステル基含有単位等を含む共重合体が好ましく用いられる。
光硬化性ポリマーの分子量は通常、重量平均分子量が１，０００〜１００，０００、好ましくは１，０００〜５０，０００である。重量平均分子量が１，０００より少ない場合は、塗膜の強度が弱くなり高分子を添加した効果が得られず、１００，０００より大きい場合、溶解性や現像性が悪化する恐れがある。
【００３７】
熱硬化性ポリマー又は熱硬化性樹脂としては、１分子中に熱硬化性官能基を２個以上有する化合物が通常用いられ、熱硬化性官能基としてはエポキシ基が好ましく用いられる。
【００３８】
１分子中に熱硬化性官能基を２個以上有する化合物として、通常は、１分子中にエポキシ基２個以上を有するエポキシ化合物（以下「エポキシ化合物」ということがある）が用いられる。１分子中にエポキシ基２個以上を有するエポキシ化合物は、エポキシ基を２個以上、好ましくは２〜５０個、より好ましくは２〜２０個を１分子中に有するエポキシ化合物（エポキシ樹脂と称されるものを含む）である。エポキシ基は、オキシラン環構造を有する構造であればよく、例えば、グリシジル基、オキシエチレン基、エポキシシクロヘキシル基等を示すことができる。エポキシ化合物としては、カルボン酸により硬化しうる公知の多価エポキシ化合物を挙げることができ、このようなエポキシ化合物は、例えば、新保正樹編「エポキシ樹脂ハンドブック」日刊工業新聞社刊（昭和６２年）等に広く開示されており、これらを用いることが可能である。具体的には、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ジフェニルエーテル型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、３官能型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ含核ポリオール型エポキシ樹脂、ポリプロピレングリコール型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリオキザール型エポキシ樹脂、脂環型エポキシ樹脂、複素環型エポキシ樹脂などを挙げることができる。
より具体的には、商品名エピコート１５７Ｓ７０（ジャパンエポキシレジン社製）などのビスフェノールＡ型ノボラック系エポキシ樹脂、及び、商品名ＹＤＣＮ−７０１（東都化成社製）などのクレゾールノボラック型エポキシ樹脂が挙げられる。
【００３９】
エポキシ化合物としては、硬化膜に密着性や耐熱性、耐アルカリ性を付与するために通常バインダー成分として用いられる比較的分子量の高い重合体（以下、「バインダー性エポキシ化合物」ということがある）と、硬化膜の架橋密度を高くしたり、感光性着色組成物の粘度調整のために、上記バインダー性エポキシ化合物よりも分子量の小さい、一分子中にエポキシ基を二つ以上有する化合物（以下、「多官能エポキシ化合物」ということがある）を併用してもよい。
【００４０】
バインダー性エポキシ化合物の平均分子量は、ポリスチレン換算重量平均分子量で表した時に１，０００〜１００，０００であることが好ましく、２，０００〜５０，０００であることが特に好ましい。上記バインダー性エポキシ化合物の分子量が１，０００よりも小さすぎると固体撮像素子用カラーフィルターの細部としての硬化樹脂層に要求される強度、耐溶剤性等の物性が不足し易く、一方、当該分子量が１００，０００よりも大きすぎると粘度上昇が起こり易くなり、基板への塗工時の均一性が損なわれ、膜厚に大きな分布が生じやすくなる。
【００４１】
一方、多官能エポキシ化合物のポリスチレン換算の重量平均分子量は、これと組み合わせるバインダー性エポキシ化合物よりも小さいことを条件に、４，０００以下が好ましく、３，０００以下が特に好ましい。なお、重量平均分子量はテトラヒドロフランを展開液としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー（例えば、ＨＬＣ−８０２９、東ソー株式会社製）を用い、ポリスチレン換算により求めた値をいう。
【００４２】
上記バインダー性エポキシ化合物には、共重合体の分子内に導入できるエポキシ量には限界がある。感光性着色組成物に比較的分子量が小さい多官能エポキシ化合物を添加すると、組成物中にエポキシ基が補充されてエポキシの反応点濃度が増加し、架橋密度を高めることができる。多官能エポキシ化合物は、上述した多価エポキシ化合物の中から適宜選択できる。
【００４３】
反応性モノマーと共に上記のようなバインダー樹脂を用いる場合は、感光性着色組成物中の固形分１００重量部に対して、反応性モノマーとバインダー樹脂を合計で１〜９９重量部、好ましくは５〜９５重量部の割合で使用する。
【００４４】
本発明に用いる光重合性開始剤としては、下記式（１）により表される化合物群から１種又は２種以上を選び用いる。
【００４５】
【化３】
2005202252.tif 000004
【００４６】
（式中、Ｒ1乃至Ｒ14は、それぞれ独立して水素、ヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン、ケトン基、芳香族基、又は脂肪族基のいずれかである。但し、前記芳香族基及び脂肪族基は、分岐構造及び脂環式構造から選ばれる構造を含んでいても良く、基の途中にエーテル結合、エステル結合、アミノ結合、アミド結合、チオエーテル結合、不飽和結合から選ばれる１種以上を含んでいても良く、基の末端にヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ハロゲン、カルボニル基、芳香族基から選ばれる１種以上を含んでいても良い。）
【００４７】
Ｒ1乃至Ｒ14の１箇所又は２箇所以上の任意位置にハロゲンを置換することによって、光照射時における式（１）の化合物の開裂反応性を高めることが可能であり、感度をより向上させることができる。ハロゲンとしては、Ｂｒ、Ｃｌ等が挙げられる。
また、Ｒ1乃至Ｒ14の１箇所又は２箇所以上の任意位置にヒドロキシル基、アミノ基、カルボキシル基、ケトン基、芳香族基、又は脂肪族基を置換することによって、式（１）の化合物の吸収スペクトルを変えることが可能であり、照射波長に合わせて吸収波長特性を調節することができる。ケトン基としては、炭素数１〜１０のアルキル基若しくは炭素数５〜１４の芳香族基を含むものが挙げられる。これらアルキル基及び芳香族基は置換基を有していてもよいし、基の途中に炭化水素以外の構造を有していてもよい。
【００４８】
芳香族基としては、炭素数５〜２０の芳香族基が好ましく、例えば、フェニル基、ナフチル基のような芳香族炭化水素基の他、ピリジル基のような炭化水素以外の異種原子を含む基も挙げられる。
脂肪族基としては、炭素数１〜１０の脂肪族基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、ｎ‐プロピル基、イソプロピル基、ｎ‐ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ‐ペンチル基、ｎ‐ヘキシル基のようなアルキル基、アルケニル基のような不飽和炭化水素基等の脂肪族炭化水素基の他、炭化水素以外の異種原子を含む基も挙げられる。
【００４９】
式（１）で表される光重合開始剤としては、例えば、以下のようなものが挙げられる。
【００５０】
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００５１】
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００５２】
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００５３】
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００５４】
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００５５】
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００５６】
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００５７】
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００５８】
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００５９】
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００６０】
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００６１】
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００６２】
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００６３】
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００６４】
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００６５】
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００６６】
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００６７】
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００６８】
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００６９】
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００７０】
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００７１】
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００７２】
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００７３】
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
エタノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００７４】
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００７５】
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００７６】
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００７７】
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００７８】
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００７９】
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐（Ｏ‐アセチルオキシム）
【００８０】
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００８１】
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００８２】
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００８３】
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００８４】
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００８５】
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐プロパノン）オキシム］
【００８６】
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００８７】
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００８８】
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００８９】
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００９０】
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００９１】
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ブタノン）オキシム］
【００９２】
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００９３】
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐エチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００９４】
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００９５】
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐メチル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００９６】
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐メチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリメチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００９７】
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（４‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（６‐エチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，６‐ジエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］、
プロパノン １‐［９‐プロピル‐６‐（２，４，６‐トリエチルベンゾイル）‐９Ｈ‐カルバゾイル‐３‐イル］‐ １‐［Ｏ‐（１‐ペンタノン）オキシム］
【００９８】
式（１）で表される光重合開始剤は感度が高く、この光重合開始剤を使用することによって、感光性着色組成物の感度が飛躍的に向上するため効率よく反応が進行し、その結果、通常と比べて少ない露光量でも充分硬化させることができる。また、感度が高いことから、少量の光しか届かない塗膜の深い位置でも、又は感光性着色組成物中の着色剤濃度が高かったり、硬化成分濃度が小さい場合でも十分に硬化反応が進行し、下地である基板若しくは平坦化膜等に対する硬化後の密着性が高くなるので、現像時にパターンが流れにくくなり、細かいパターン形状を正確に形成することができる。
【００９９】
このような感度の向上は、特に、酸素存在下での露光において顕著である。式（１）の光重合開始剤は、酸素による反応阻害を受けにくいため、酸素存在下でも重合反応が速やかに進行する。従って、本発明の感光性着色組成物を用いて塗膜を形成する場合には、塗膜表面に露光前に酸素遮断膜を塗工したり、塗膜を窒素雰囲気下で露光する必要がなく、プロセスの煩雑さやコスト高を回避することができる。
また、酸素による反応阻害は、酸素との接触がある塗膜表面で強く起こるため、パターンの表面形状、特にエッジのシャープさに影響を及ぼす傾向がある。これに対し、感光性着色組成物に式（１）の光重合開始剤を使用することによって酸素による反応阻害を受けにくくなるため、パターンの表面形状の正確さも向上する。
従って、式（１）の光重合開始剤を使用することによって、下地に対する塗膜の密着性及び、パターンの表面形状の正確性が同時に向上し、その結果、固体撮像素子カラーフィルターに求められる微細且つ精密なパターニング性が得られる。
【０１００】
上記式（１）で表される化合物のうち、Ｒ2乃至Ｒ11が水素である化合物が好ましく、また、該Ｒ2乃至Ｒ11が水素である化合物としては、Ｒ1、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ14が炭素数１乃至３の脂肪族基である化合物が好ましい。
さらに、上記式（１）においてＲ2乃至Ｒ11が水素であり、Ｒ1がメチル基、Ｒ12がエチル基、Ｒ13がメチル基、及びＲ14がメチル基である下記式（２）で表される化合物は、ｉ線（３６５ｎｍ）を含む、可視領域に近い紫外線（目安として３３０〜３７０ｎｍ）の照射によって効率よくラジカルを発生させ、感光性着色組成物に高感度を与える。
【０１０１】
【化４】
2005202252.tif 000005
【０１０２】
３３０〜３７０ｎｍの範囲の紫外線照射で感度の高い開始剤は、一般的に３９０〜４３０ｎｍ付近にも吸収帯を有することが多く、開始剤自体が強く黄色に着色している場合が多い。しかしながら、式（２）の化合物は、３３０〜３７０ｎｍの範囲の紫外線照射で感度が高いにもかかわらず、例えば、開始剤を溶剤に１％程度溶解させた溶液は、目視によって確認できるものの非常に薄い黄色であり、開始剤自体の透明性が高い。しかも、高感度であるために少量の添加で充分な重合開始能を発現させるので、感光性着色組成物及び得られる着色層の色への影響が少ない。
【０１０３】
また、緑色及び青色の感光性着色組成物に用いられる顔料や染料等の着色剤は、可視領域に近い領域の紫外線に吸収を有していることが多く、これらの着色剤を含有する着色組成物の塗膜を透過する光の量は少なくなる。そのため、緑色及び青色の感光性着色組成物に可視領域に近い領域の紫外線を照射する場合には、感度が不十分であることが多い。これに対し、上記式（２）の化合物は、可視領域に近い領域の紫外線に対して感度が高いため、緑色及び青色の感光性着色組成物に式（２）の化合物を開始剤として配合することにより、可視領域に近い領域の紫外線照射時に高い感度が得られ、塗膜の底部においても、また、着色剤濃度が高い場合にも十分に硬化反応が進行する。これは、他の開始剤、例えばカラーフィルター用途でよく用いられるイルガキュア９０７（チバ  スペシャルティ  ケミカルズ製）等に比べて、（２）の化合物は、３３３ｎｍ、３６５ｎｍといった３３０〜３７０ｎｍの吸収強度が大きく、かつ重合開始反応に関する量子収率が高いために、３３０〜３７０ｎｍの光を効率良く利用して反応を進めることができるためと考えられる。
式（２）の光重合開始剤としては、例えば、ＣＧＩ２４２（チバ  スペシャルティ  ケミカルズ）等の市販品を用いることができる。
【０１０４】
本発明においては、上記式（１）で表される化合物と共に、光が照射されることにより開裂や水素引き抜き反応を起こし、ラジカル重合反応を誘起する作用を有するその他の光重合開始剤を、本発明野効果を損なわない範囲で組み合わせて用いてもよい。また、２種以上の開始剤を組み合わせて用いる場合は、各開始剤に大きな反応阻害を与えない程度に露光波長に対する吸収を持つものを使用することが好ましい。
【０１０５】
その他の光重合開始剤としては、ラジカル重合開始剤を用いることができ、例えば、紫外線のエネルギーによりフリーラジカルを発生する化合物であって、ベンゾイン、ベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体又はそれらのエステル等の誘導体；キサントン並びにチオキサントン誘導体；クロロスルフォニル、クロロメチル多核芳香族化合物、クロロメチル複素環式化合物、クロロメチルベンゾフェノン類等の含ハロゲン化合物；トリアジン類；フルオレノン類；ハロアルカン類；光還元性色素と還元剤とのレドックスカップル類；有機硫黄化合物；過酸化物等が挙げられる。好ましくは、ケトン系及びビイミダゾール系化合物等が挙げられ、具体的には、イルガキュアー１８４、イルガキュアー３６９、イルガキュアー６５１、イルガキュアー９０７（以上、チバ  スペシャルティ  ケミカルズ製）、ダロキュアー（メルク製）、アデカ１７１７（旭電化工業製）、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，５，４’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール（黒金化成製）等の市販品が挙げられる。その他の光重合開始剤は、１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。また、露光波長に吸収を持たない開始剤を用いる場合には、露光波長に吸収を有する化合物を増感剤として使用する必要がある。
【０１０６】
式（１）で表される化合物群から選ばれる光重合開始剤の配合量は、固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物中の全固形分１００重量部に対して、通常０．５〜４０重量部、好ましくは１〜２０重量部である。
【０１０７】
本発明に用いる着色剤としては、顔料及び染料等を用いることができる。顔料としては、有機顔料、無機顔料、体質顔料等を用いることができる。
【０１０８】
有機顔料の具体例としては、カラーインデックス（Ｃ.Ｉ.；The Society of Dyers and Colourists 社発行）においてピグメント（Pigment）に分類されている化合物、すなわち、下記のようなカラーインデックス（Ｃ.Ｉ.）番号が付されているものがある。例えば、イエロー系ピグメントとして、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １２、Ｃ.Ｉ. Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １７、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ２０、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ２４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ３１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ５５、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ６０、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ６１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ６５、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ７１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ７３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ７４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ８１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ８３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ９３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ９５、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ９７、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ９８、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １００、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １０１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １０４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １０６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １０８、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １０９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １１０、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １１３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １１４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １１６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １１７、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １１９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １２０、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １２６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １２７、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １２８、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １２９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３８、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５２、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５５、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １６６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １６８、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １７５、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８０、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５等が挙げられる。
【０１０９】
オレンジ系ピグメントとしては、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ １、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ５、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ １３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ １４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ １６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ １７、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ２４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ３４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ３６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ３８、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ４０、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ４３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ４６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ４９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ５１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ６１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ６３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ６４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ７１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ７３等が挙げられる。
【０１１０】
レッド系ピグメントとしては、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ５、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ７、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ８、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １０、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １２、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １５、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １８、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ８１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １２２、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２０９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４等が挙げられる。
【０１１１】
ブルー系ピグメントとしては、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ ６０等が挙げられる。
【０１１２】
グリーン系ピグメントとしては、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ７、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６等が挙げられる。
【０１１３】
また、バイオレット系ピグメントとしては、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ １、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ １９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ３２、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ３６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ３８、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３：１９等が挙げられる。
【０１１４】
また、前記無機顔料又は体質顔料の具体例としては、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄(III)）、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。
【０１１５】
また、耐熱性を向上させるために剛直な化学構造を有するものを使用することができる。剛直な構造を有するものとしては、例えば、臭素化率の高いフタロシアニン骨格を有するものが挙げられる。具体的には、モナストラルグリーン６ＹＣ、９ＹＣ等（アビシア（株）製）の高輝度Ｇ顔料や、中心金属が銅以外の金属、例えば、Ｍｇ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｖ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｇｅ、Ｓｎ等の異種金属フタロシアニン顔料からなる高色純度Ｇ顔料を用いることができる。
【０１１６】
着色剤が顔料の場合、その粒径は、０．５μｍ以下、好ましくは０．３μｍ以下、さらに好ましくは０．１μｍ以下であることが好ましい。顔料の粒径が０．５μｍより大きい場合は、分散性が悪いため凝集しやすく、且つパターンサイズ及び膜厚に対して顔料粒子が大きいため、顔料粒子表面の乱反射等や、受光部に到達する光強度の画素間におけるバラつきにより、電気信号のノイズが発生する可能性が高くなる。
ここでいう粒径は、実際の顔料の一次粒径であり、マイクロトラック  ＵＰＡ（Ｌｅｅｄ＆Ｎｏｒｔｈｒｕｐ製）を用いて動的散乱によって、その最大径と最小径を求めた。
【０１１７】
また、染料としては、例えば、酸性染料、塩基性染料、直接染料、硫化染料、建染染料、ナフトール染料、反応染料、分散染料等が挙げられる。
【０１１８】
酸性染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｒｅｄ ６、Ｃ．Ｉ．ＡｃｉｄＲｅｄ １１、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｒｅｄ ２６、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｒｅｄ ６０、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｒｅｄ ８８、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｒｅｄ １１１、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｒｅｄ １８６、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｒｅｄ ２１５、Ｃ．Ｉ．ＡｃｉｄＧｒｅｅｎ ２５、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｇｒｅｅｎ ２７、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ ２２、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ ２５、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ ４０、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ ７８、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ ９２、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ １１３、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ １２９、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ １６７、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｂｌｕｅ ２３０、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｙｅｌｌｏｗ １７、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｙｅｌｌｏｗ ２３、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｙｅｌｌｏｗ ２５、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｙｅｌｌｏｗ ３６、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｙｅｌｌｏｗ ３８、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｙｅｌｌｏｗ ４２、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｙｅｌｌｏｗ ４４、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｙｅｌｌｏｗ ７２、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄ Ｙｅｌｌｏｗ ７８などが挙げられる。
【０１１９】
塩基性染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｒｅｄ １、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｒｅｄ ２、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｒｅｄ １３、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｒｅｄ １４、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｒｅｄ ２２、Ｃ．Ｉ．ＢａｓｉｃＲｅｄ ２７、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｒｅｄ ２９、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｒｅｄ ３９、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｇｒｅｅｎ ３、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｇｒｅｅｎ ４ 、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｂｌｕｅ ３、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｂｌｕｅ ９、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｂｌｕｅ ４１、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｂｌｕｅ６６、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｖｉｏｌｅｔ １、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｖｉｏｌｅｔ ３、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｖｉｏｌｅｔ １８、Ｃ．Ｉ．ＢａｓｉｃＶｉｏｌｅｔ ３９、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｙｅｌｌｏｗ １１、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｙｅｌｌｏｗ ２３、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｙｅｌｌｏｗ ２５、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｙｅｌｌｏｗ ２８、Ｃ．Ｉ．Ｂａｓｉｃ Ｙｅｌｌｏｗ ４１などが挙げられる。
【０１２０】
直接染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ２３、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ３１、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ７５、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ７６、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ７９、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ８０、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ８１、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ８３、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ８４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ １４９、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ２２４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｇｒｅｅｎ ２６、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｇｒｅｅｎ ２８、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｂｌｕｅ ７１、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｂｌｕｅ ７８、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｂｌｕｅ ９８、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｂｌｕｅ１０６、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｂｌｕｅ １０８、Ｃ．Ｉ．ＤｉｒｅｃｔＢｌｕｅ １９２、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｂｌｕｅ ２０１、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｖｉｏｌｅｔ ５１、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｙｅｌｌｏｗ ２６、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｙｅｌｌｏｗ ２７、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｙｅｌｌｏｗ ２８、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｙｅｌｌｏｗ ３３、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｙｅｌｌｏｗ ４４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｙｅｌｌｏｗ ５０、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｙｅｌｌｏｗ ８６、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｙｅｌｌｏｗ１４２、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｏｒａｎｇｅ ２６、Ｃ．Ｉ．ＤｉｒｅｃｔＯｒａｎｇｅ ２９、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｏｒａｎｇｅ ３４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｏｒａｎｇｅ ３７、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｒｅｃｔ Ｏｒａｎｇｅ ７２などが挙げられる。
【０１２１】
硫化染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｒｅｄ ５、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｒｅｄ ６、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｒｅｄ ７、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｇｒｅｅｎ ２、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｇｒｅｅｎ ３、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｇｒｅｅｎ ６、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｂｌｕｅ２、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｂｌｕｅ ３、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｂｌｕｅ ７、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｂｌｕｅ ９、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｂｌｕｅ １３、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｂｌｕｅ １５、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｖｉｏｌｅｔ ２、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｖｉｏｌｅｔ ３、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｖｉｏｌｅｔ ４、Ｃ．Ｉ．Ｓｕｌｐｈｕｒ Ｙｅｌｌｏｗ ４などが挙げられる。
【０１２２】
建染染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｒｅｄ １３、Ｃ．Ｉ．ＶａｔＲｅｄ ２１、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｒｅｄ ２３、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｒｅｄ ２８、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｒｅｄ ２９、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｒｅｄ ４８、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｇｒｅｅｎ ３、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｇｒｅｅｎ ５、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｇｒｅｅｎ ８、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｂｌｕｅ ６、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｂｌｕｅ １４、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｂｌｕｅ ２６、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｂｌｕｅ ３０、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｖｉｏｌｅｔ １、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｖｉｏｌｅｔ ３、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｖｉｏｌｅｔ ９、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｖｉｏｌｅｔ １３、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｖｉｏｌｅｔ １５、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｖｉｏｌｅｔ １６、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｙｅｌｌｏｗ ２、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｙｅｌｌｏｗ １２、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｙｅｌｌｏｗ ２０、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｙｅｌｌｏｗ ３３、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｏｒａｎｇｅ ２、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｏｒａｎｇｅ ５、Ｃ．Ｉ．ＶａｔＯｒａｎｇｅ １１、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｏｒａｎｇｅ １５、Ｃ．Ｉ．ＶａｔＯｒａｎｇｅ １８、Ｃ．Ｉ．Ｖａｔ Ｏｒａｎｇｅ ２０などが挙げられる。
【０１２３】
ナフトール染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ２、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ３、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ４、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ５、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ７、Ｃ．Ｉ．ＡｚｏｉｃＣｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ８、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ９、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ ＣｏｕｐｌｉｎｇＣｏｍｐｏｎｅｎｔ １０、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ １１、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ １３、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ３２、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ３７、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ４１、Ｃ．Ｉ．Ａｚｏｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ ４８などが挙げられる。
【０１２４】
反応染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｒｅｄ ８、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｒｅｄ ２２、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｒｅｄ ４６、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｒｅｄ １２０、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｂｌｕｅ １、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｂｌｕｅ ２、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｂｌｕｅ ７、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｂｌｕｅ １９、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｖｉｏｌｅｔ ２、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｖｉｏｌｅｔ４、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｙｅｌｌｏｗ １、Ｃ．Ｉ．ＲｅａｃｔｉｖｅＹｅｌｌｏｗ ２、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｙｅｌｌｏｗ ４、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｙｅｌｌｏｗ １４、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｙｅｌｌｏｗ １６、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｏｒａｎｇｅ １、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｏｒａｎｇｅ ４、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｏｒａｎｇｅ ７、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｏｒａｎｇｅ １３、Ｃ．Ｉ．ＲｅａｃｔｉｖｅＯｒａｎｇｅ １６、Ｃ．Ｉ．Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｏｒａｎｇｅ ２０などが挙げられる。
【０１２５】
分散染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ ４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ １１、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ ５４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ ５５、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ５８、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ ６５、Ｃ．Ｉ．ＤｉｓｐｅｒｓｅＲｅｄ ７３、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ ５４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ １２７、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ １４１、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ １２９、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ１９６、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ ２１０、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ ２２９、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ ３５４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｒｅｄ ３５６、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｂｌｕｅ ３、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｂｌｕｅ ２４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｂｌｕｅ ７９、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｂｌｕｅ ８２、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｂｌｕｅ ８７、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｂｌｕｅ １０６、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｂｌｕｅ １２５、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｂｌｕｅ １６５、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｂｌｕｅ １８３、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｖｉｏｌｅｔ １、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｖｉｏｌｅｔ ６、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｖｉｏｌｅｔ １２、Ｃ．Ｉ．ＤｉｓｐｅｒｓｅＶｉｏｌｅｔ ２６、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｖｉｏｌｅｔ ２７、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｖｉｏｌｅｔ ２８、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｙｅｌｌｏｗ ３、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｙｅｌｌｏｗ ４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｙｅｌｌｏｗ ５、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｙｅｌｌｏｗ ７、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｙｅｌｌｏｗ ２３、Ｃ．Ｉ．ＤｉｓｐｅｒｓｅＹｅｌｌｏｗ ３３、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｙｅｌｌｏｗ ４２、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｙｅｌｌｏｗ ６０、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｙｅｌｌｏｗ ６４、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｏｒａｎｇｅ １３、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｏｒａｎｇｅ ２９、Ｃ．Ｉ．Ｄｉｓｐｅｒｓｅ Ｏｒａｎｇｅ３０などが挙げられる。
【０１２６】
染料の有機溶剤への溶解性を上げるため、例えば酸性染料、塩基性染料等にｎ−プロピルアミン、エチルヘキシルプロピオン酸アミン等の１級アミン以上のアミンを反応させてアミン塩染料としたり、酸性染料、塩基性染料等のスルホン酸基に上記のような１級アミン以上のアミンを反応させてスルホンアミド基含有染料等にすることもできる。
【０１２７】
上記着色剤のうち、カラーフィルターの緑色画素を形成するために好ましく用いられる着色剤としては、例えば、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ７、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６のグリーン系ピグメントが挙げられ、これらから１種又は２種を選んで用いることができる。また、上記グリーン系ピグメントの１種又は２種を、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １２、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ８３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３８、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８０、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５等のイエロー系ピグメント１種類以上と組み合わせることもできる。
【０１２８】
青色画素を形成するために好ましく用いられる着色剤としては、例えば、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：４、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ ６０等のブルー系ピグメントが挙げられ、これらから１種又は２種以上を選んで用いることができる。また、上記ブルー系ピグメントの１種又は２種以上をＣ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３：１９等のバイオレット系ピグメントと組み合わせることもできる。
【０１２９】
赤色画素を形成するために好ましく用いられる着色剤としては、例えば、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ３、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ８１、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １２２、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２０９、Ｃ.Ｉ.Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４等のレッド系ピグメントが挙げられ、これらから１種又は２種以上を選んで用いることができる。
【０１３０】
本発明において、着色剤は、単独で又は２種以上を混合して使用することができる。
着色剤の配合量は、固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物の全固形分１００重量部に対して、通常は３〜８０重量部、好ましくは５〜７０重量部、さらに好ましくは１０〜４０重量部である。着色剤の配合量が３重量部未満である場合、必要とする吸収分光特性を得ることが難しくなる。また、８０重量部を超える場合には、着色剤の配合量に対して硬化成分の配合量が相対的に少なくなりすぎるため、目標とするパターン形状を形成させることが難しくなる。
【０１３１】
本発明に用いる有機溶剤としては、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、Ｎ−プロピルアルコール、ｉ−プロピルアルコールなどのアルコール系溶剤；メトキシアルコール、エトキシアルコールなどのセロソルブ系溶剤；メトキシエトキシエタノール、エトキシエトキシエタノールなどのカルビトール系溶剤；酢酸エチル、酢酸ブチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチルなどのエステル系溶剤；アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶剤；メトキシエチルアセテート、メトキシプロピルアセテート、メトキシブチルアセテート、エトキシエチルアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのセロソルブアセテート系溶剤；メトキシエトキシエチルアセテート、エトキシエトキシエチルアセテートなどのカルビトールアセテート系溶剤；ジエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル系溶剤；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドンなどの非プロトン性アミド溶剤；γ−ブチロラクトンなどのラクトン系溶剤；ベンゼン、トルエン、キシレン、ナフタレンなどの不飽和炭化水素系溶剤；Ｎ−ヘプタン、Ｎ−ヘキサン、Ｎ−オクタンなどの飽和炭化水素系溶剤などの有機溶剤が挙げられる。これらの溶剤の中では、メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのセロソルブアセテート系溶剤；メトキシエトキシエチルアセテート、エトキシエトキシエチルアセテートなどのカルビトールアセテート系溶剤；エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテルなどのエーテル系溶剤；メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチルなどのエステル系溶剤が好適に用いられる。更に好ましくは、ＭＢＡ（酢酸−３−メトキシブチル、ＣＨ3ＣＨ（ＯＣＨ3）ＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣＨ3）、ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ＣＨ3ＯＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）ＯＣＯＣＨ3）、ＤＭＤＧ（ジエチレングリコールジメチルエーテル、Ｈ3ＣＯＣ2Ｈ4ＯＣＨ3）、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル又はこれらを混合したものを使用することができる。
【０１３２】
これらの溶剤は単独もしくは２種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、溶剤を用いて感光性着色組成物の固形分濃度を５〜７０重量％となるように調節する。
【０１３３】
本発明に係る感光性着色組成物には、さらに必要に応じて、増感剤、界面活性剤、分散剤、紫外線遮断剤、紫外線吸収剤、表面調整剤（レベリング剤）、或いは、その他の成分を配合しても良い。
【０１３４】
分散剤は、着色剤を良好に分散させるために必要に応じて配合される。具体例には、ノナンアミド、デカンアミド、ドデカンアミド、Ｎ−ドデシルヘキサデカンアミド、Ｎ−オクタデシルプロピオアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルドデカンアミド及びＮ，Ｎ−ジヘキシルアセトアミド等のアミド化合物、ジエチルアミン、ジヘプチルアミン、ジブチルヘキサデシルアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−テトラメチルメタンアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン及びトリオクチルアミン等のアミン化合物、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−（テトラヒドロキシエチル）−１，２−ジアミノエタン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'−トリ（ヒドロキシエチル）−１，２−ジアミノエタン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−テトラ（ヒドロキシエチルポリオキシエチレン）−１、２−ジアミノエタン、１，４−ビス（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン及び１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン等のヒドロキシ基を有するアミン等を例示することができ、その他にニペコタミド、イソニペコタミド、ニコチン酸アミド等の化合物を挙げることができる。
【０１３５】
さらに、ポリアクリル酸エステル等の不飽和カルボン酸エステルの（共）重合体類；ポリアクリル酸等の不飽和カルボン酸の（共）重合体の（部分）アミン塩、（部分）アンモニウム塩や（部分）アルキルアミン塩類；水酸基含有ポリアクリル酸エステル等の水酸基含有不飽和カルボン酸エステルの（共）重合体やそれらの変性物；ポリウレタン類；不飽和ポリアミド類；ポリシロキサン類；長鎖ポリアミノアミドリン酸塩類；ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離カルボキシル基含有ポリエステルとの反応により得られるアミドやそれらの塩類等を挙げることができる。
【０１３６】
また、分散剤の市販品として、シゲノックス−１０５（商品名、ハッコールケミカル社製）、Disperbyk−１０１、同−１３０、同−１４０、同−１６０、同−１６１、同−１６２、同−１６３、同−１６４、同−１６５、同−１６６、同−１７０、同−１７１、同−１８２、同−２０００、同−２００１（以上、ビックケミー・ジャパン（株）製）、ＥＦＫＡ−４７、同−４７ＥＡ、同−４８、同−４９、同−１００、同−４００、同−４５０（以上、EFKA CHEMICALS社製）、ソルスパース 12000 、同13240、同13940、同17000、同20000、同24000ＧＲ、同24000ＳＣ、同27000、同28000、同33500（以上、ゼネカ（株）製）、アジスパーＰＢ７１１、同８２１、同８２２（以上、味の素ファインテクノ（株）製）等を挙げることができる。
【０１３７】
さらに、各種界面活性剤を組み合わせて使用すると分散安定性を向上させることができる。界面活性剤としては、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンｎ−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンｎ−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類；ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類；ソルビタン脂肪酸エステル類；脂肪酸変性ポリエステル類；３級アミン変性ポリウレタン類；ポリエチレンイミン類を挙げることができる。
【０１３８】
界面活性剤の商品名としては、ＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄社化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファック（大日本インキ化学工業（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）等を挙げることができる。
【０１３９】
増感剤は、画像を露光する光源に応じて、感度を向上させるために配合する。例えば、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチルアミノプロピオフェノン、４−ジメチルアミノベンゾフェノン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、２−エチルヘキシル−１，４−ジメチルアミノベンゾエート等が挙げられる。
【０１４０】
本発明の固体撮像素子カラーフィルター用感光性着色組成物は、例えば、前記反応性モノマー、光重合開始剤、及び着色剤、さらに必要に応じてバインダー樹脂等その他の成分を直接有機溶剤に混合し、ニーダー、ロールミル、アトライタ、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散方法によって固形成分を溶解又は分散させることにより製造することができる。
【０１４１】
しかしながら、上記の方法では多量の着色剤を溶剤中に十分に分散させることができない場合がある。そこで、予め、着色剤及び必要に応じて分散剤を溶剤に混合し、分散させた着色剤分散液を準備し、一方、反応性モノマー、及び光重合開始剤、さらに必要に応じてバインダー樹脂等その他の成分を溶剤と混合、分散又は溶解したクリアレジスト液を調製することが好ましい。そして、得られた着色剤分散液とクリアレジスト液を混合し、必要に応じて分散処理を行うことによって、着色剤分散性に優れた感光性着色組成物が容易に得られる。
【０１４２】
着色剤分散液を予め調製しない場合には、溶剤に先ず、着色剤、必要に応じて分散剤を投入し充分に混合、攪拌して着色剤を分散させた後、反応性モノマー、光重合開始剤を含む残りの成分を追加して混合することにより、着色剤の分散工程においてその他の配合成分により着色剤分散性が阻害されずに済むだけでなく、安定性にも優れる。
【０１４３】
本発明に係る固体撮像素子カラーフィルターは、基板上に少なくとも着色層を備えてなり、該着色層を本発明の感光性着色組成物を用いて形成することができる。
【０１４４】
固体撮像素子カラーフィルターの製造方法の一例として、まず、シリコーンウェハー１、該シリコーンウェハー１上に形成された信号転送部２、及び該信号転送部２の相互間のシリコーンウェハー１表面に形成された受光部３等から構成される撮像素子基板を準備する。この撮像素子基板の表面には樹脂からなる平坦化膜４を全面に設ける。
【０１４５】
次に、この平坦化膜４上に本発明の感光性着色組成物をスピンコーター、ロールコーター、カーテンコーター等の任意の塗工方法により塗布して塗膜を形成し、乾燥する。乾燥後、塗膜に光線を所定のパターン状に照射することにより照射部の塗膜を選択的に硬化させる。
【０１４６】
露光工程においては、半導体製造用ステッパーを用いてレンズによりマスクパターンを縮小投影させ、塗膜の表面に光線を照射することによって、塗膜の所定位置を選択的に露光、硬化させることができる。露光に用いる光線としては、可視及び非可視領域の波長の紫外線、電磁波及び放射線の中から、光硬化性を有する成分の反応を引き起こす波長を有するものを適宜選んで用いる。
硬化に必要な照射エネルギーは、通常の１，０００〜６，０００ｍJ／ｃｍ2程度と比較して非常に低く、５０〜３，０００ｍJ／ｃｍ2程度でよい。また、酸素が存在する空気中で露光を行う場合でも重合反応を進行させることができるので、窒素等の不活性ガスでパージを行ったり、感光性着色組成物の塗膜表面を酸素遮断膜で被覆する必要がない。
【０１４７】
特に、前記式（２）で表される化合物を開始剤として用いる場合には、可視領域に近い紫外線、例えば、ｉ線（３６５ｎｍ）等の３３０〜３７０ｎｍ程度の波長を有する光線が好ましく用いられ、高い感度が得られる。式（２）の化合物は透明性が高いため、得られる着色層の色も良好である。さらに、この照射波長では十分な感度が得られにくい色、例えば、青色、緑色の着色組成物でも、式（２）の化合物を用いることにより高い感度が得られる。
【０１４８】
感光性着色組成物がアルカリ現像性を有する場合はアルカリ溶液、アルカリ現像性を有さない場合は溶剤や界面活性剤溶液等その他の現像液を用いて、浸漬法、スプレー法等により未露光部分を溶解して現像を行い、所定パターンの着色塗膜を得る。現像後、通常は加熱してポストベークすることにより、着色層５を形成することができる。着色層は、通常０．２〜１．６μｍ程度の厚さに形成する。着色層の膜厚を０．２μｍ未満とする場合、目標とする分光特性を達成するためには、感光性着色組成物中の着色剤濃度を高くする必要があるので、相対的に硬化成分の濃度が低くなってしまう。その結果、目標とするパターン形状を形成することが困難となる。また、着色層の膜厚を１．６μｍより大きくする場合には、感光性着色組成物をウェハ上に塗工する際、特に塗工方法がスピンコーターの場合にウェハ上での塗膜の膜厚分布が大きくなるため、目標のパターン高さをウェハ全面で得ることができず、厚みにムラのある着色層になる恐れがある。
【０１４９】
このようにして得られた着色層は、露光時に感度が高く、また、酸素による反応阻害も起こりにくいため、塗膜の照射部では表面から深い位置まで重合が十分に進行し硬化する。従って、塗膜の硬化部分が微細な着色パターンであっても、下地に対する密着性が高く、且つ、表面形状がシャープなため、現像後に正確に残る。本発明の感光性着色組成物を用いることによって、具体的には、パターン形状が一画素につき１０μｍ角以下であり、膜厚が０．２μｍ以上且つ１．６μｍ以下の画素部を形成することができる。
従って、固体撮像素子カラーフィルターに求められる非常に正確な画素パターンも、本発明の感光性着色組成物を用いて形成することができる。また、本発明の感光性着色組成物は、感光性着色組成物中の着色剤濃度が高い場合や硬化成分の濃度が低い場合でも、非常に正確な画素パターンを形成することが可能であるため、固体撮像素子カラーフィルターの薄膜化に伴う着色層の薄膜化にも十分対応することができる。
【０１５０】
次に、該着色層５の上に樹脂からなる平坦化膜６を形成し、さらに、受光部３及び着色層５の真上の位置にレンズ７を設けることにより、固体撮像素子カラーフィルターを得ることができる。
このようにして得られた固体撮像素子カラーフィルターは、特に、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の固体撮像素子に好適に用いることができる。
【実施例】
【０１５１】
以下、実施例において本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１５２】
＜ブルー分散液＞
青色顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６、リオノールブルーＥＳ、東洋インキ製造製）に対して顔料分散剤（アジスパーＰＢ８２１、味の素ファインテクノ製）を３０重量％添加して得られる混合物４０重量部と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６０重量部とを混合し分散した。
【０１５３】
＜バイオレット分散液＞
紫色顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３、ホスタパームバイオレットＲＬ、クラリアント製）に対して顔料分散剤（アジスパーＰＢ８２１、味の素ファインテクノ製）を４０重量％添加して得られる混合物４０重量部と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６０重量部とを混合し分散した。
【０１５４】
上記で得られた分散液を用いて、下記の組成の青着色樹脂組成物を調製した。
＜青色樹脂組成物＞
ブルー分散液                                                ２５重量部
バイオレット分散液                                          １０重量部
エピコート１５７Ｓ７０  （ジャパンエポキシレジン製）      １．５重量部
メガファックＲ−０８ＭＨ（大日本インキ化学工業製）      ０．０４重量部
メトキシプロピルアセテート                                  ３５重量部
３−メトキシブチルアセテート                                  ７重量部
多官能アクリレートモノマー（サートマーＳＲ３９９、日本化薬製）
３．４重量部
スチレン／ベンジルメタクリレート／アクリル酸／２−ヒドロキシメチルアクリレート／２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート共重合体（酸価：７０ｍｇＫＯＨ／ｇ）
１８重量部
【０１５５】
（実施例１）
上記青着色樹脂組成物１９．４ｇに、光重合開始剤として前記式（２）の化合物（商品名ＣＧＩ２４２、チバ  スペシャルティ  ケミカルズ製）を０．６ｇ添加し、感光性青色組成物（１）とした。
【０１５６】
（実施例２）
上記青色樹脂組成物１９．４ｇに、光重合開始剤として前記式（２）の化合物（商品名ＣＧＩ２４２、チバ  スペシャルティ  ケミカルズ製）０．５ｇ、及び光増感剤として、４，４’−ジメチルアミノベンゾフェノン０．１ｇを添加し、感光性青色組成物（２）とした。
【０１５７】
（比較例１）
上記青色樹脂組成物１９．４ｇに、光重合開始剤として２−メチル−１［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モリフォリノプロパン−１−オン（商品名イルガキュアー９０７、チバ  スペシャルティ  ケミカルズ製）０．５ｇ、及び光増感剤として４，４’−ジメチルアミノベンゾフェノン０．１ｇを添加し、感光性青色組成物（Ｃ１）とした。
【０１５８】
（解像度）
得られた感光性樹脂組成物をガラス基板上に乾燥時膜厚が１μｍとなるようにスピン塗工し、８０℃で２分間加熱し、感光性樹脂組成物の塗膜を形成した。該塗膜に１μｍ、３μｍ、５μｍの各線幅の線状パターンを形成するマスクを密着させ、マスク側からｉ線（３６５±１０ｎｍ）を表１に記載の露光量で選択的に露光した。露光後、有機アルカリ系現像液（商品名：ＮＭＤ−３、東京応化製）を５０％に希釈した溶液を、塗膜をスピンテーブルで回転させながら、１５秒間吹き付けて現像し、その後、純水を３０秒吹き付けて洗浄し、２００℃で１０分間加熱した。該塗膜のパターン（１、３、５μｍ）を光学顕微鏡で観察し、パターンが形成されている線幅のうち最小値を解像度とした。
【０１５９】
【表１】
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【０１６０】
本発明の感光性着色組成物１及び２（実施例１及び２）は、３００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で十分硬化し、且つ高い解像度を有していた。一方、感光性着色組成物Ｃ１（比較例１）は、３００ｍＪ／ｃｍ２の露光量では十分に硬化せず、塗膜の照射部が現像時に剥離したことから密着性が不十分であることが確認された。そこで、露光量を２０００ｍＪ／ｃｍ２としたところ、この感光性着色組成物Ｃ１は硬化し、パターンを形成することができたが、感度に大きな差が認められた。
【０１６１】
（ウエハ上へのパターン形成試験）
また、固体撮像素子を形成したシリコーンウェハー上にアクリル系透明薄膜を塗布した基材（３μｍ毎に受光部が設けられている）に、感光性着色組成物１及び２（実施例１及び２）を各々用いて上記同様、塗膜を形成した。該塗膜を受光部の位置に合わせてパターン状に露光し、現像した結果、非常に微細な３μｍドットパターンを正確に形成することができた。また、それよりもサイズか大きいＬＣＤ用３０μｍパターンも問題なく作製することができた。
一方、同様に感光性着色組成物Ｃ１（比較例１）を露光量２００ｍＪ／ｃｍ２で露光したところ硬化が不十分であり、塗膜の照射部が現像時に基材から完全に剥離した。また、感光性着色組成物Ｃ１（比較例１）を露光量２０００ｍＪ／ｃｍ２で露光したところ、ＬＣＤ用３０μｍパターンは形成できたが、固体撮像素子の受光部に合わせた微細な３μｍドットパターンの形成においては、やはり硬化不十分であり、パターンの一部が現像時に剥離した。
【図面の簡単な説明】
【０１６２】
【図１】固体撮像素子カラーフィルターの一例についての模式的断面図である。
【符号の説明】
【０１６３】
１…シリコーンウェハー
２…信号転送部
３…受光部（光電変換部）
４…平坦化膜
５…着色層
６…平坦化膜
７…レンズ
【図１】
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