(57)【要約】【課題】  複数枚のパネル（例えば液晶表示パネル）を一度に吸着して搬送し得るパネル搬送用吸着保持具において、パネル搬送中に各パネルの間隔を適宜調整可能とする。【解決手段】  グリップ１１０を有する支持アーム１２０と、支持アーム１２０に支持されその各々がパイプ１４１，１４２を介して負圧源に接続される複数の吸着ヘッド１３０ａ〜１３０ｆと、各吸着ヘッド内の圧力を負圧源による負圧と大気圧とに選択的に切り換える切換弁１５１とを含み、トレイ内に少なくとも一列状態に並べられている複数枚のパネルを一度に吸着して搬送するためのパネル搬送用吸着保持具１００において、各吸着ヘッド１３０ａ〜１３０ｆを移動手段を介して支持アーム１２０にそれらの間の間隔を調整し得るように移動可能に支持させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリップを有する支持アームと、上記支持アームに支持されその各々がパイプを介して負圧源に接続される複数の吸着ヘッドと、上記各吸着ヘッド内の圧力を上記負圧源による負圧と大気圧とに選択的に切り換える切換弁とを含み、トレイ内に少なくとも一列状態に並べられている複数枚のパネルを一度に吸着して搬送するためのパネル搬送用吸着保持具において、
上記各吸着ヘッドが移動手段を介して上記支持アームにそれらの間の間隔を調整し得るように移動可能に支持されていることを特徴とするパネル搬送用吸着保持具。
【請求項２】
上記移動手段が上記トレイ内に収納されている上記各パネルの配列方向と平行に上記支持アーム側に設けられたガイド手段と、上記各吸着ヘッド側に設けられ上記ガイド手段に沿って摺動可能な移動台とを備えている請求項１に記載のパネル搬送用吸着保持具。
【請求項３】
上記各吸着ヘッドの間にはそれらの最小間隔を規定するストッパ手段が設けられている請求項１または２に記載のパネル搬送用吸着保持具。
【請求項４】
上記ストッパ手段は隣接する２つの上記吸着ヘッドのうちの少なくとも一方の吸着ヘッド側において他方の吸着ヘッドに当接するように突出量可変に螺着されたボルトからなる請求項３に記載のパネル搬送用吸着保持具。
【請求項５】
上記支持アームと上記各吸着ヘッドとの間には、上記各吸着ヘッドを上記トレイ内に配列されている上記各パネルと対応する吸着位置に位置決めする位置決め手段が設けられている請求項１ないし４のいずれか１項に記載のパネル搬送用吸着保持具。
【請求項６】
上記位置決め手段が上記支持アームと上記吸着ヘッドのいずれか一方に形成された係合溝と、そのいずれか他方にバネ付勢された状態で設けられ所定のクリック力にて上記係合溝に離脱可能に係合する係合凸部とを含むクリック係合手段からなる請求項５に記載のパネル搬送用吸着保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はパネル搬送用吸着保持具に関し、さらに詳しく言えば、液晶表示パネルなどの平らな面を有する複数枚のパネルを一度に吸着して搬送するためのパネル搬送用吸着保持具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被搬送パネルが例えば液晶表示パネルであるとして説明すると、その製造工程のひとつとして、液晶表示パネルにＣＯＦ（ｃｈｉｐ  ｏｎ  ｆｉｌｍ）などのフレキシブル基板を接続するため、パネル端子部にあらかじめ異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼着する工程がある。
【０００３】
通常、異方性導電フィルムはメーカからリールに巻かれたテープ状として供給されるため、量産工程においては図５に示すように複数枚の液晶表示パネル１をそのパネル端子部１ａ側を揃えて一列状態に並べたうえで、その各パネル端子部１ａに対し一括して異方性導電フィルムを貼り付けるようにしている。
【０００４】
ところで、液晶表示パネル１は図６に示すようにその多数枚がトレイＴに収納された状態でこのＡＣＦ貼着工程に運ばれてくる。トレイＴ内は液晶表示パネル１同士が接触して破損しないように縦・横の各中仕切Ｔｓによって格子状に区画されているため、このままでは異方性導電フィルムを貼着できない。
【０００５】
そこで、トレイＴの各収納区画内から液晶表示パネル１を取り出して図７に示すように作業テーブルＷＴ上に一列状態に並べてその各パネル端子部１ａにテープ状とした異方性導電フィルム１ｂを一括して貼り付けるようにしているが、トレイＴから液晶表示パネル１を１枚ずつ取り出していたのでは作業効率が悪い。
【０００６】
この点を解決するため、本出願人はトレイＴから複数枚の液晶表示パネル１を例えば一列単位で取り出すことができるようにしたパネル搬送用吸着保持具を特許文献１として提案している。その構成を図８により説明する。
【０００７】
このパネル搬送用吸着保持具１０は所定長さのグリップ１１を有し、グリップ１１の一端には支持アーム１２がほぼＴ字状となるように取り付けられている。支持アーム１２にはトレイＴの各収納区画に対応する間隔をもって複数（この例では６つ）の吸着ヘッド１３が支持されている。
【０００８】
各吸着ヘッド１３はパイプ材を介して図示しない真空ポンプなどの負圧源に接続されるが、この例ではそのパイプ材として１本の幹パイプ１４と２本の枝パイプ１５ａ，１５ｂとが用いられている。
【０００９】
すなわち、幹パイプ１４はグリップ１１に沿って配管されその一端は上記負圧源に接続され、幹パイプ１４の他端側から枝パイプ１５ａ，１５ｂが２股に分岐され、その一方の枝パイプ１５ａは図８において左側の３つの吸着ヘッド１３に接続され、他方の枝パイプ１５ａは右側の３つの吸着ヘッド１３に接続されている。
【００１０】
幹パイプ１４には負圧ボタン１６ａと脱圧ボタン１６ｂとを有する切換弁１６が設けられている。負圧ボタン１６ａを押すと各吸着ヘッド１３が負圧源と接続され、脱圧ボタン１６ｂを押すと各吸着ヘッド１３が負圧源と切り離されて大気圧となる。
【００１１】
したがって、このパネル搬送用吸着保持具１０によれば、負圧ボタン１６ａを押すことによりトレイＴからその一列に含まれる例えば６枚の液晶表示パネル１を同時に吸着保持することができ、作業テーブルＷＴ上にまで運んだのち脱圧ボタン１６ｂを押すことにより作業テーブルＷＴ上に６枚の液晶表示パネル１を並べて載置することができる。
【００１２】
【特許文献１】特開２０００−１０８０６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上記したように、特許文献１に記載の発明によれば、確かにトレイＴから複数枚の液晶表示パネル１を同時に取り出して作業テーブルＷＴ上に移し替えることができるため、その取り出し作業性は大幅に改善されるが、なおも解決すべき余地が残されている。
【００１４】
すなわち、各液晶表示パネル１はトレイＴの各収納区画内に収納されていたそのままの間隔で作業テーブルＷＴ上に移し替えられるため、この状態で異方性導電フィルム１ｂを貼り付けるとその間隔分が無駄になる。
【００１５】
そこで、各液晶表示パネル１を作業テーブルＷＴ上に移し替えたのち、その間の隙間を埋めるように各液晶表示パネル１を詰めて並べるようにしているが、さらなる生産コストを削減するうえでこの点の作業改善が求められている。
【００１６】
したがって、本発明が解決しようとする課題は、トレイ内に少なくとも一列状態に並べられている液晶表示パネルなどの平らな面を有する複数枚のパネルを一度に吸着して搬送し得るパネル搬送用吸着保持具において、パネル搬送中に各パネルの間隔を適宜調整できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するため、本発明は、グリップを有する支持アームと、上記支持アームに支持されその各々がパイプを介して負圧源に接続される複数の吸着ヘッドと、上記各吸着ヘッド内の圧力を上記負圧源による負圧と大気圧とに選択的に切り換える切換弁とを含み、トレイ内に少なくとも一列状態に並べられている複数枚のパネルを一度に吸着して搬送するためのパネル搬送用吸着保持具において、上記各吸着ヘッドが移動手段を介して上記支持アームにそれらの間の間隔を調整し得るように移動可能に支持されていることを特徴としている。
【００１８】
本発明において、上記移動手段は付け替え位置が数箇所に決められている移動手段であってもよいが、リニア的な微調整を可能とするうえで、上記移動手段が上記トレイ内に収納されている上記各パネルの配列方向と平行に上記支持アーム側に設けられたガイド手段と、上記各吸着ヘッド側に設けられ上記ガイド手段に沿って摺動可能な移動台とを備えていることが好ましい。上記ガイド手段にはガイドレールもしくはガイド溝のいずれも含まれる。
【００１９】
上記パネル間の間隔が調整可能であるにしても、上記パネル同士の衝撃的なぶつかりによる破損などを防止するうえで、上記各吸着ヘッドの間にはそれらの最小間隔を規定するストッパ手段が設けられていることが好ましい。
【００２０】
本発明において、上記ストッパ手段は隣接する２つの上記吸着ヘッドのうちの少なくとも一方の吸着ヘッド側において他方の吸着ヘッドに当接するように突出量可変に螺着されたボルトからなることが好ましく、この構成によれば特殊部品を必要としないため安価に済ませることができる。
【００２１】
また、上記各吸着ヘッドを初期間隔（初期位置）に容易に戻すことができるようにするため、上記支持アームと上記各吸着ヘッドとの間には、上記各吸着ヘッドを上記トレイ内に配列されている上記各パネルと対応する吸着位置に位置決めする位置決め手段が設けられていることが好ましい。
【００２２】
本発明において、上記各吸着ヘッドを容易に移動可能とするため、上記位置決め手段が上記支持アームと上記吸着ヘッドのいずれか一方に形成された係合溝と、そのいずれか他方にバネ付勢された状態で設けられ所定のクリック力にて上記係合溝に離脱可能に係合する係合凸部とを含むクリック係合手段からなることか好ましい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、各吸着ヘッドが移動手段を介して支持アームにそれらの間の間隔を調整可能であるため、トレイ内に少なくとも一列状態に並べられている複数枚のパネルを一度に吸着して搬送する際に各パネルの間隔を適宜調整することができる。
【００２４】
特に、搬送するパネルが液晶表示パネルである場合には、その各パネル端子部に異方性導電フィルムを無駄なく一括して貼り付けできるように、作業テーブル上に降ろす前に液晶表示パネルの間隔を詰めることができるため作業性がさらに向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
次に、図１ないし図４により本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図１は本発明によるパネル搬送用吸着保持具を示す平面図，図２は図１のＡ−Ａ線断面図，図３は好ましい実施形態を示す要部拡大平面図，図４は図３のＢ−Ｂ線断面図である。
【００２６】
図１を参照して、このパネル搬送用吸着保持具１００はグリップ１１０と、グリップ１１０の一端に取り付けられた支持アーム１２０とを備えている。この例において、グリップ１１０は先の図８で説明した従来例と同じく板材が用いられているが円筒体や角柱体であってもよい。支持アーム１２０は使い勝手上グリップ１１０に対してＴ字状に取り付けられることが好ましい。グリップ１１０および支持アーム１２０は容易に変形しないならばその材質は任意に選択されてよい。
【００２７】
この例でのパネル搬送用吸着保持具１００は、先の図６で説明したトレイＴに収納されている液晶表示パネル１を横一例単位で取り出すことを意図しており、それゆえ支持アーム１２０はトレイＴの横幅に対応する長さを有している。なお、トレイＴ内の横一列には６枚の液晶表示パネル１が含まれており、各液晶表示パネル１はパネル端子部１ａの方向を揃えて各収納区画に収納されている。
【００２８】
支持アーム１２０には６つの吸着ヘッド１３０ａ〜１３０ｆが設けられている。各吸着ヘッド１３０ａ〜１３０ｆは同一構成であるため、特に個別的に説明する必要がない場合には吸着ヘッドの総称として参照符号１３０を用いる。
【００２９】
各吸着ヘッド１３０は支持アーム１２０の長さ方向に沿って横一例に並べられているが、各吸着ヘッド１３０を移動可能とするため、支持アーム１２０はそのガイド手段としてのガイドレール１２１を備えている。この例において、支持アーム１２０にはガイドレール１２１と平行に矩形状の開口部１２２が形成されており、開口部１２２内に各吸着ヘッド１３０が配置されているが開口部１２２は任意的な構成要素である。
【００３０】
図２を参照して、吸着ヘッド１３０はガイドレール１２１に沿って摺動する移動台１３１を備えている。移動台１３１にはガイドレール１２１に嵌合するガイド溝１３１ａが形成されているが、容易に脱落しないようにガイドレール１２１の側面とガイド溝１３１ａの内側面とを逆テーパ面とすることが好ましい。変形例として、支持アーム１２０側にガイド溝を形成し、移動台１３１側にそのガイド溝内を摺動するガイド突起を形成するようにしてもよい。
【００３１】
移動台１３１にはステー１３２を介して継ぎ手管１３３が上記開口部１２２を貫通するように保持されている。継ぎ手管１３３の下端には吸着カップ１３４が支持されている。吸着カップ１３４は好ましくはゴム弾性体からなり、液晶表示パネル１の表示部上に気密的に接触する。
【００３２】
再び図１を参照して、グリップ１１０には幹パイプ１４１が配管されており、その一端は図示いない真空ポンプなどの負圧源に接続される。幹パイプ１４１の他端は切換弁１５１を介して分配器１５２に至り、分配器１５２から６本の枝パイプ１４２が分岐されている。各枝パイプ１４２は各吸着ヘッド１３０の継ぎ手管１３３に連結される。各吸着ヘッド１３０が移動可能であるため、その動きに追随し得るように枝パイプ１４２は蛇腹管などの軟質で可撓性を有するパイプ材であることが好ましい。
【００３３】
切換弁１５１は上記従来例で用いられている切換弁と同じであってよい。すなわち、切換弁１５１は連通ステージを選択する負圧ボタン１５１ａと遮断ステージを選択する脱圧ボタン１５１ｂとを備え、負圧ボタン１５１ａを押すことにより各吸着ヘッド１３０が負圧源と連通され、脱圧ボタン１５１ｂを押すことにより各吸着ヘッド１３０が負圧源と遮断され大気に開放される。
【００３４】
次に図６，図７を併せて参照して、このパネル搬送用吸着保持具１００の使用例について説明する。各吸着ヘッド１３０の間隔をトレイＴの各収納区画の間隔（初期間隔）に合わせたうえで、各吸着ヘッド１３０の吸着カップ１３４を各収納区画内の液晶表示パネル１の表示部上に接触させ負圧ボタン１５１ａを押す。これにより、トレイＴ内の横一列分の６枚の液晶表示パネル１が同時に各吸着ヘッド１３０に吸い付けられる。
【００３５】
そして、トレイＴからパネル搬送用吸着保持具１００を持ち上げ、各液晶表示パネル１がほぼ隙間なく並ぶように各吸着ヘッド１３０の間隔を調整したのち、図７に示す作業テーブルＷＴに搬送し脱圧ボタン１５１ｂを押して各液晶表示パネル１を作業テーブルＷＴ上にリリースする。
【００３６】
これによれば、従来のように作業テーブルＷＴ上で各液晶表示パネル１の間隔を詰める作業を行うことなく、リリースされた状態のまま各パネル端子部１ａに対して異方性導電フィルム１ｂを一括して貼り付けることができる。
【００３７】
なお、各吸着ヘッド１３０の間隔を調整する際、いずれかひとつの吸着ヘッド１３０を基準にして間隔調整することが好ましい。例えば、図１において右端に配置されている吸着ヘッド１３０ａを基準にして他の吸着ヘッド１３０ｂ〜１３０ｆを順次吸着ヘッド１３０ａ側に寄せるようにする。この場合、基準となる吸着ヘッド１３０ａは支持アーム１２０に対して固定であってもよい。
【００３８】
本発明によれば、上記したように各吸着ヘッド１３０の間隔を任意に調整することができるが、注意を怠ると液晶表示パネル１同士が衝撃的にぶつかり合って最悪の場合破損してしまう懸念がある。
【００３９】
これを防止するため、図３に示すように各吸着ヘッド１３０の間に最小間隔を規定するストッパ手段１６０を設けることが好ましい。ここで、各吸着ヘッド１３０の最小間隔とは、吸着保持された液晶表示パネル１の間にほとんど隙間を生じさせないときの間隔である。
【００４０】
上記ストッパ手段１６０としては、近傍の物体を非接触で検出することができる近接スイッチを用いることができるが、装置の簡素化および入手容易性の観点からしてボルト１６１を用いることが好ましい。ボルト１６１は隣接する２つの吸着ヘッドのうちの少なくとも一方の吸着ヘッド側において他方の吸着ヘッドに当接するように突出量可変に螺着される。
【００４１】
図３の例で言えば、隣接する２つの吸着ヘッド１３０ａと１３０ｂのうち、ボルト１６１はその一方の吸着ヘッド１３０ｂ側に突出量可変に螺着される。また、隣接する２つの吸着ヘッド１３０ｂと１３０ｃのうち、ボルト１６１はその一方の吸着ヘッド１３０ｃ側に突出量可変に螺着される。他の吸着ヘッド１３０ｄ〜１３０ｆにも同様にしてボルト１６１が螺着される。
【００４２】
これによれば、ボルト１６１を回してその突出量を調整することにより各吸着ヘッド１３０の最小間隔を容易に設定することができる。変形例として、ボルト１６１は例えば偶数番目の吸着ヘッド１３０ｂ，１３０ｄ，１３０ｆに設けられてもよい。
【００４３】
その場合、ボルト１６１は吸着ヘッド１３０ｂ，１３０ｄについてはその両側にそれぞれ設けられ、左端の吸着ヘッド１３０ｆにはその右側にのみ設けられる。この例では移動台１３１にボルト１６１を設けているがステー１３２に設けてもよい。
【００４４】
なお、上記ストッパ手段１６０として近接スイッチを用いる場合、突出量可変のボルト１６１の先端部に近接スイッチを設置し、ボルト１６１の先端部に対応する他方にその近接スイッチの感応物質を設置すればよい。
【００４５】
各吸着ヘッド１３０は液晶表示パネル１を作業テーブルＷＴ上にリリースしたのち、トレイＴ内の次の横一例分の取り出しに備えて上記初期間隔（初期位置）に戻されるが、本発明の好ましい態様によれば、その初期間隔への戻し作業を容易とするため支持アーム２０と上記各吸着ヘッド１３０との間に位置決め手段が設けられる。
【００４６】
図４を参照して、その位置決め手段の一例として好ましく採用されるクリック係合手段１７０について説明する。このクリック係合手段１７０を組み込むため、支持アーム１２０側には係合溝１７１が形成される。係合溝１７１は半球凹部であることが好ましいが、円錐状の凹部であってもよい。
【００４７】
これに対して、各吸着ヘッド１３０の移動台１３１の底面側には縦穴１３１ｂが穿設され、縦穴１３１ｂ内に係合球１７２がバネ１７３にて付勢された状態で収納される。係合球１７２にはその一部分が係合溝１７１に係合する大きさの球体が用いられる。係合球１７２に代えて一部分が係合溝１７１に係合する係合凸部（例えば爪状のもの）が用いられてもよい。また、係合力はバネ１７３によってその強弱を調整できる。
【００４８】
このクリック係合手段１７０によれば、移動台１３１に横向きの力を加えることにより係合球１７２が係合溝１７１から離脱するため各吸着ヘッド１３０の間隔を任意に調整することができる。また、その後各吸着ヘッド１３０を初期間隔にまで戻すには係合球１７２が係合溝１７１に係合するまで移動台１３１をスライドさせればよいため作業性が改善される。なお、係合溝１７１を移動台１３１側に形成し、係合球１７２およびバネ１７３を支持アーム１２０側に設けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明のパネル搬送用吸着保持具は液晶表示パネルの搬送に好適であるが、このほかにベアボード回路基板や半導体の製造に用いられるウェハー基板，通常のガラス基板などの搬送にも利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明によるパネル搬送用吸着保持具の一例を示す平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】本発明の好ましい実施形態を示す要部拡大平面図。
【図４】図３のＢ−Ｂ線断面図。
【図５】複数枚の液晶表示パネルをパネル端子部を揃えて一列に配置する状態を示す斜視図。
【図６】トレイ内に液晶表示パネルが収納されている状態を示す模式的な平面図。
【図７】複数枚の液晶表示パネルを作業テーブルに一列に配置した状態を示す模式的な平面図。
【図８】従来のパネル搬送用吸着保持具を示す斜視図。
【符号の説明】
【００５１】
１００  パネル搬送用吸着保持具
１１０  グリップ
１２０  支持アーム
１２１  ガイドレール
１３０（１３０ａ〜１３０ｆ）  吸着ヘッド
１３１  移動台
１３３  継ぎ手管
１３４  吸着カップ
１４１  幹パイプ
１４２  枝パイプ
１５１  切換弁
１５２  分配器
１６０  ストッパ手段
１６１  ボルト
１７０  クリック係合手段
１７１  係合溝
１７２  係合球
【図１】
2005335039.tif 000003
【図２】
2005335039.tif 000004
【図３】
2005335039.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005335039.tif 000007
【図６】
2005335039.tif 000008
【図７】
2005335039.tif 000009
【図８】
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