(57)【要約】【課題】ＦＥＤなどのメタルバック層を形成する場合の生産効率を向上させることができるメタルバック層の形成装置を提供する。【解決手段】メタルバック層の形成装置１は、ベースフィルム２６ｂ上に少なくとも金属膜２６ａが形成された転写フィルムＦの巻回体から、この転写フィルムＦを一端部側より引き出すフィルム引出しローラ２と、巻回体より引き出された転写フィルムＦを下流側に搬送するターンローラ９などのフィルム搬送機構と、この搬送された転写フィルムＦを、フェースプレート２７に設けられた蛍光体スクリーン２２に押圧しつつ加熱して金属膜２６ａを転写させる転写ローラ１２と、転写処理を終えた転写フィルムＦよりべースフィルム２６ｂを剥離させつつ巻き取りを行うフィルム巻取りローラ１８とを備える。【選択図】図１
2005203149.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフィルム上に少なくとも金属膜が形成された転写フィルムの巻回体から、該転写フィルムを一端部側より引き出すフィルム引出機構と、
前記フィルム引出機構によって一端部側より引き出された前記転写フィルムを下流側に搬送するフィルム搬送機構と、
前記フィルム搬送機構によって搬送された前記転写フィルムを、フェースプレートに設けられた蛍光面に押圧しつつ加熱して、前記金属膜を接着剤層を介して転写する転写機構と、
前記転写機構により前記金属膜が転写された転写フィルムより、前記べースフィルムを剥離させつつ巻き取るフィルム巻取機構と
を具備することを特徴とするメタルバック層の形成装置。
【請求項２】
前記転写機構の前段に、前記転写フィルムの前記金属膜上に接着剤を塗布する接着剤塗布機構と、前記接着剤塗布機構によって塗布された接着剤を乾燥させる接着剤乾燥機構とをさらに具備することを特徴とする請求項１記載のメタルバック層の形成装置。
【請求項３】
前記フィルム引出機構の近傍の下流側位置および前記転写機構の設置位置の近傍に、前記転写フィルム上に発生し得るシワを除去するシワ除去機構をさらに備えることを特徴とする請求項１または２記載のメタルバック層の形成装置。
【請求項４】
前記フィルム引出機構の近傍の下流側位置と、前記接着剤塗布機構の下流側における前記転写フィルムの接着剤塗布面と反対側のベースフィルム表面側、および前記転写機構の設置位置の近傍に、前記転写フィルムに帯電した静電気を除去する静電気除去機構をさらに備えることを特徴とする請求項２または３記載のメタルバック層の形成装置。
【請求項５】
前記フィルム搬送機構による前記転写フィルムの搬送速度は、毎分０．１ｍ〜毎分１０ｍの範囲内で調整可能であるとともに、接着剤塗布時間を１秒単位で設定可能であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載のメタルバック層の形成装置。
【請求項６】
前記転写機構は、前記転写フィルムへの押圧力が３００〜１５００ｋｇ／ｃｍ2の範囲で、かつ加熱温度が１５０℃〜２４０℃の範囲に設定されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載のメタルバック層の形成装置。
【請求項７】
前記フィルム搬送機構によって搬送される前記転写フィルムを挟んで前記転写機構と対向する位置に設けられ、前記蛍光面が形成されたフェースプレートを載置しつつ前記転写フィルムの搬送方向と平行にスライド可能なスライドテーブルを備え、前記スライドテーブルの移動速度が、毎分０．５ｍ〜毎分１０ｍの範囲にあることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載のメタルバック層の形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メタルバック付き蛍光面を形成するための装置に係り、さらに詳細には、フィールドエミッションディスプレイ（以下、「ＦＥＤ」と称する）などの平面型画像表示装置において、蛍光面にメタルバック層を形成するためのメタルバック層の形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、陰極線管（ＣＲＴ）やＦＥＤなどの画像表示装置の蛍光面では、蛍光体層の内面（フェースプレートと反対側の面）にＡｌ等の金属膜が形成されたメタルバック方式の構造が広く採用されている。
【０００３】
このメタルバック方式は、電子源から放出される電子により励起された蛍光体層から金属膜（メタルバック層）側へ発せられた光を反射し、より効率よくフェースプレート前面に発光エネルギを送ることや、また、蛍光面に導電性を付与しこれを電極としても機能させることを目的とするものである。ここで、簡便なメタルバック層の形成方法として、離型剤を施したフィルム上に金属蒸着膜を形成しておき、この金属膜を接着剤を用いて蛍光体層の上に転写する転写方式が提案されている。（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このような転写方式では、フェースプレート周辺部の非表示領域に、マスキングテープを貼着するなどの方法でマスキングを施した後、転写フィルムを加熱しつつ押圧するホットスタンプ法による転写が行われる。そして、このホットスタンプ法では、所定の寸法に裁断されたベースフィルムに金属膜を形成して転写フィルムを作製し、この転写フィルムの金属膜に接着剤を専用の塗布装置で塗布して、さらにこれを乾燥させる方式が多用されている。
【特許文献１】特開昭６３−１０２１３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上述した転写方式では、多大な労力と時間を要し、生産効率の点で課題を抱えていた。
【０００６】
また、接着剤を塗布する際に転写フィルムにシワが発生した場合、そのシワの発生部分に接着剤の塗布ムラが生じてしまう。この場合、その後の転写工程において、接着剤の塗布ムラがそのままメタルバック層のムラとして現れるため、均質なメタルバック層を形成することができないという問題があった。
【０００７】
そこで、転写フィルムにシワが発生しないように、接着剤の塗布工程において、転写フィルムを緊張させる工夫などが必要となるが、例えばマスキングテープなどを使用して、フィルムエッジを引っ張りながら転写フィルムを固定する方法などを採用した場合、作業者の熟練度に応じて緊張作業にばらつきが生じ、転写フィルムにおいて一定以上の品質を確保することが困難であった。そして、転写フィルムのシワの発生を回避しないまま仮に転写を実施した場合、メタルバック層におけるシワの発生部分に亀裂が生じたり、またメタルバック層を正しく形成できないなどの不良か発生し、歩留まりを低下させる要因となった。
【０００８】
また、処理対象の転写フィルムが初期状態でロールシート状である場合、ロールからの転写フィルムの引き出し時、あるいは転写ローラによる加熱押圧時に、静電気が発生する場合が多いが、転写フィルムに静電気が帯電すると、周辺雰囲気中の異物を転写フィルムに付着させてしまうこともあり、その異物が原因で接着剤の塗布ムラや金属膜の転写不良が発生してしまうという問題もあった。
【０００９】
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、メタルバック層を形成する工程での生産効率を向上させることができるメタルバック層の形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明に係るメタルバック層の形成装置は、ベースフィルム上に少なくとも金属膜が形成された転写フィルムの巻回体から、該転写フィルムを一端部側より引き出すフィルム引出機構と、前記フィルム引出機構によって一端部側より引き出された前記転写フィルムを下流側に搬送するフィルム搬送機構と、前記フィルム搬送機構によって搬送された前記転写フィルムを、フェースプレートに設けられた蛍光面に押圧しつつ加熱して、前記金属膜を接着剤層を介して転写する転写機構と、前記転写機構により前記金属膜が転写された転写フィルムより、前記べースフィルムを剥離させつつ巻き取るフィルム巻取機構とを具備することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明のメタルバック層の形成装置は、前記転写機構の前段に、前記転写フィルムの前記金属膜上に接着剤を塗布する接着剤塗布機構と、前記接着剤塗布機構によって塗布された接着剤を乾燥させる接着剤乾燥機構とをさらに具備することができる。また、前記フィルム引出機構の近傍の下流側位置および前記転写機構の設置位置の近傍に、前記転写フィルム上に発生し得るシワを除去するシワ除去機構をさらに備えることができる。さらに、前記フィルム引出機構の近傍の下流側位置と、前記接着剤塗布機構の下流側における前記転写フィルムの接着剤塗布面と反対側のベースフィルム表面側、および前記転写機構の設置位置の近傍に、前記転写フィルムに帯電した静電気を除去する静電気除去機構をさらに備えることができる。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、フェースプレートの蛍光体層に対し転写フィルム上の金属膜および接着剤層を転写することで実現されるメタルバック層の形成工程をほぼ自動化でき、生産効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づき説明する。
【００１４】
図１は、本発明の実施形態に係るメタルバック層の形成装置を概略的に示す図、図２は、ＦＥＤの非表示領域にマスキングを施すとともに蛍光面（蛍光体スクリーン）上に転写フィルムを配置した状態を模式的に示す断面図、図３は、メタルバック付き蛍光面を備えたＦＥＤの断面図である。
【００１５】
これらの図に示すように、メタルバック層の形成装置１は、例えばＦＥＤ２１のメタルバック層２９を形成するためのものであって、長尺に形成された転写フィルムＦを搬送しつつ転写を行う装置である。このメタルバック層の形成装置１は、転写フィルムＦを搬送するための各種ローラに駆動力を付与するモータを備え、搬送中の転写フィルムＦに張力を与えるバックテンション機能を有する。
【００１６】
図２では、蛍光体スクリーン２２上に転写フィルムＦを配置した状態を示している。同図において、符号２７はフェースプレート、２２は蛍光体スクリーン、２３は周辺ブラックマトリクス、２４は外枠部、２５はマスキングテープをそれぞれ示す。また、符号Ｆは、転写フィルムを示し、２６ｂは転写フィルムＦのベースフィルム、２６ａは金属膜を示している。転写フィルムＦの離型剤層およびフィルム接着剤層は、その図示を省略している。
【００１７】
メタルバック層の形成装置１は、フィルム引出しローラ２、上流側に配置されるフィルムシワ除去ローラ３および下流側に配置されるフィルムシワ除去ローラ５、接着剤塗布装置６、送風機７と乾燥機８、転写フィルムＦの搬送方向を折り返すターンローラ９、静電気除去装置１０、１１、１９、メタルバック層に転写フィルムＦを加熱しつつ押圧するゴム製の転写ローラ１２、スライドテーブル１４、上流側に配置されるフィルム押えローラ１５と下流側に配置されるフィルム押えローラ１６、テンションローラ１７、およびフィルム巻取りローラ１８から主に構成されている。
【００１８】
フィルム引出しローラ２は、ベースフィルム２６ｂ上に剥離層を介して金属膜２６ａが形成された転写フィルムＦをロール状に巻回した巻回体から、該転写フィルムＦを一端部側より引き出すローラである。フィルムシワ除去ローラ３、５は、搬送中の転写フィルムＦをその幅方向に引っ張り、シワを除去するローラ、例えばエキスパンダロールなどである。ここで、フィルムシワ除去ローラ３は、フィルム引出しローラ２の近傍の下流側位置に設けられ、またフィルムシワ除去ローラ５は、転写ローラ１２の設置位置周縁に設けられている。
【００１９】
接着剤塗布装置６は、転写フィルムＦの金属膜に接着剤を塗布するための装置であって、バーコータローラ６ａなどを有する。送風機７は、接着剤を塗布された転写フィルムＦに、常温（２０℃）の風を吹き付ける。乾燥機８は、接着剤を塗布された転写フィルムＦに、温風を吹き付け乾燥させる。ターンローラ９は、転写フィルムＦの搬送方向を反転させる（折り返す）。このターンローラ９を含む各種ローラは、フィルム引出しローラ２によって一端部側より引き出された転写フィルムＦを、下流側に搬送する。静電気除去装置１０、１１は、搬送中の転写フィルムＦに発生し得る静電気を非接触で除去する。ここで、静電気除去装置１０は、フィルム引出しローラ２の近傍の下流側位置に設けられ、静電気除去装置１９は、接着剤塗布装置６の下流側で転写フィルムＦの接着剤塗布面と反対側のベースフィルム表面側に設けられている。また、静電気除去装置１１は、転写ローラ１２の設置位置周縁に設けられている。
【００２０】
転写ローラ１２は、フェースプレート２７の蛍光面（蛍光体スクリーン）２２に転写フィルムＦを加熱しつつ押圧するゴム製のローラである。スライドテーブル１４は、転写フィルムＦを挟んで転写ローラ１２と対向する位置に設けられ、蛍光体スクリーン２２が形成されたフェースプレート２７が載置される。さらに、スライドテーブル１４は、転写ローラ１２による転写フィルムＦの押圧時の支持台として機能し、転写フィルムＦの順搬送方向およびその逆方向に移動可能である。フィルム押えローラ１５、１６は、搬送中の転写フィルムＦを搬送ガイド側（図示せず）に押圧することで、転写フィルムＦの厚さ方向の搬送位置を規制する。テンションローラ１７は、搬送中の転写フィルムＦに所定のテンション（張力）を付与する。フィルム巻取りローラ１８は、転写処理の施された転写フィルムＦからべースフィルム２６ｂを剥離させつつ、その搬送方向の先端側から順次巻き取りを行う。
【００２１】
ここで、本実施形態において作製されるＦＥＤ２１の概略的構成について説明する。
【００２２】
このＦＥＤ２１はメタルバック付き蛍光面を備えており、メタルバック付き蛍光面を形成するには、まずフェースプレート２７の内面に、黒色顔料からなる例えばストライプ状の光吸収層（遮光層）を、フォトリソ法により形成する。次いで、ＺｎＳ系、Ｙ2Ｏ3 系、Ｙ2Ｏ2Ｓ系等、各色の蛍光体を含むスラリを塗布して乾燥し、フォトリソ法を用いてパターニングを行う。こうして、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の蛍光体層を光吸収層のパターンの間に形成し、蛍光体スクリーン２２を形成する。なお、各色の蛍光体層の形成をスプレー法や印刷法で行うこともできる。また、フェースプレート２７の内面において、このような蛍光体スクリーン２２の周りの非表示領域に、黒色顔料からなる周辺ブラックマトリクス２３と、銀ペースト膜からなる外枠部２４とをそれぞれ形成する。
【００２３】
次に、周辺ブラックマトリクス２３および外枠部２４が形成された非表示領域に、マスキングテープ２５を蛍光体スクリーン２２の外周縁部を覆うように貼付ける。次いで、このようにマスキングされた蛍光体スクリーン２２上に、ポリエステル樹脂等からなるベースフィルム２６ｂ上に離型剤層、Ａｌ等の金属膜２６ａおよびフィルム接着剤層が順に積層された転写フィルムＦを配置し、金属膜２６ａを転写する。
【００２４】
転写フィルムの離型剤としては、酢酸セルロース、ワックス、脂肪酸、脂肪酸アミド、脂肪酸エステル、ロジン、アクリル樹脂、シリコーン、フッ素樹脂等が挙げられ、これらの中から、ベースフィルムおよび後述する保護膜等との間の剥離性に応じて、適宜選択して使用される。また、フィルム接着剤としては、酢酸ビニル樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、スチレン−アクリル酸樹脂、エチレン−酢酸ビニル−アクリル酸三元重合体樹脂等が使用される。さらに、離型剤層と金属膜との間に、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、光硬化性樹脂等をベースとし柔軟剤が配合された保護膜を設けることもできる。
【００２５】
次に、本実施形態のメタルバック層の形成装置１により、転写フィルムＦを蛍光体スクリーン２２上から非表示領域のマスキングテープ２５に跨がるように配置し、金属膜２６ａを転写してメタルバック層を形成する方法について説明を行う。
【００２６】
まず、ベースフィルム２６ｂ上に離型剤層を介して金属膜２６ａが形成された転写フィルムＦが、フィルム引出しローラ２にロール状に巻回されており、このフィルム引出しローラ２から引き出された転写フィルムＦに対し、除電効果のある風を非接触式の静電気除去装置１０、１１、１９から吹き付けて、転写フィルムＦに帯電している静電気を除去し、または低減させる。ここで、静電気が転写フィルムＦに帯電した場合の弊害としては、周辺の浮遊物（塵など）を転写フィルムＦに吸い寄せてしまい、その後の接着剤塗布の際に付着物が接着剤塗布むらを誘発し、接着剤層に欠陥を生じさせ、正常な接着剤層が得られないことが挙げられる。このような弊害が静電気除去装置１０、１１、１９により抑制される。
【００２７】
帯電した静電気が除去された転写フィルムＦは、フィルムシワ除去ローラ３、５と摺動することで、そのフィルム表面のシワが取り除かれる。フィルムシワ除去ローラ３を通過した転写フィルムＦの金属膜２６ａが形成されている面に、接着剤塗布装置６により接着剤が塗布される。接着剤塗布装置６による塗布方法としては、本実施形態のバーコータローラ６ａを介した塗布方法の他、グラビアロールを用いた塗布方法などを採用することができる。こうして接着剤塗布装置６により転写フィルムＦの金属膜２６ａの上に形成されたの接着剤を、送風機７および乾燥機８により乾燥させる。このとき、乾燥機８からは、熱風が吹き出される。そして、送風機７の風速を低くし、乾燥機８の風速を高めに設定することが望ましい。
【００２８】
また転写フィルムＦの接着剤塗布面と反対側のベースフィルム側に、静電気除去装置１９から除電効果のある風を吹き付けることにより、接着剤乾燥過程で周辺の浮遊物（塵など）を転写フィルムＦの接着剤塗布面に吸い寄せてしまうのを防ぎ、付着物起因の接着剤塗布むらの発生を抑制することができる。
【００２９】
なお、転写フィルムＦの引き出しから接着剤塗布、乾燥までの一連の工程は、連動しており、転写フィルムＦの搬送速度は、毎分０．１ｍ単位で設定可能であり、毎分０．１ｍ〜毎分１０ｍの範囲に調整することができる。また、接着剤塗布時間は、１秒単位で設定可能である。そして、転写フィルムＦに対する接着剤の塗布長さは、転写フィルムＦの搬送速度と接着剤塗布時間との関係式（接着剤塗布長さ＝［フィルム搬送速度］×［接着剤塗布時間］）から、接着剤塗布時間を任意の値に設定することで調整することができる。
【００３０】
次に、光吸収層（遮光層）および赤、青、緑の蛍光体層がストライプ状に配列された蛍光体スクリーン２２を有するフェースプレート２７を、蛍光体スクリーン２２面を上にするようにしてスライドテーブル１４上に載置する。フェースプレート２７の内面において、このような蛍光体スクリーン２２の周りの非表示領域には、黒色顔料からなる周辺ブラックマトリクス２３と、銀ペースト膜からなる外枠部２４が形成されている。この周辺ブラックマトリクス２３および外枠部２４が形成された非表示領域に対し、蛍光体スクリーン２２の外周縁部を覆うようにマスキングテープ２５を貼付ける。なお、このスライドテーブル１４には、フェースプレート２７の位置ずれ防止機構が装備されており、フェースプレート２７のサイズによりその位置を変更できる構造となっている。
【００３１】
次に、こうして金属膜２６ａの上に接着剤層が形成された転写フィルムＦを、スライドテーブル１４上の所定位置まで搬送させ、フィルム押えローラ１５を下方に下げる。このとき、転写フィルムＦの向きは、フィルム押えローラ１５、１６により床面に対して水平になっている。この後、転写ローラ１２により転写フィルムＦを加熱しながら蛍光体スクリーン２２面に押圧した後、転写フィルムＦのベースフィルム２６ｂを剥ぎ取る。
【００３２】
ここで、転写ローラ１２としては、鉄製などの金属製の芯材の外周面に、天然ゴムやシリコーンゴムの被覆層を形成したゴムローラなどが適用される。ゴム被覆層の硬度は、７０〜１００度とし、厚さは５〜３０ｍｍとすることが望ましい。さらに、この転写ローラ１２を、押圧部であるゴム層表面の温度が、１５０℃から２４０℃になるように加熱し、押圧しながら毎分１．０ｍから毎分８．０ｍの速度で転写フィルムＦにおけるベースフィルム２６ｂの表面上を移動させ、金属膜２６ａを接着させる。なお、押圧力は３００ｋｇｆ／ｃｍ2から１５００ｋｇｆ／ｃｍ2の範囲（例えば５００ｋｇｆ／ｃｍ2）とすることが好ましい。
【００３３】
転写ローラ１２の表面温度と押圧力および押圧速度についての前記範囲は、転写ローラ１２が接することにより、転写フィルムＦが十分に加熱された状態で押圧されるために必要かつ十分な条件であり、この範囲を外れると、図２に示した蛍光体スクリーン２２と金属膜２６ａとの間の密着性が不足し、金属膜２６ａの転写不良が生じたりベーキング後に亀裂が発生するおそれがある。すなわち、転写ローラ１２の表面温度が高すぎると、ゴムが熱により損傷して押圧機能を果たさなくなり、また押圧速度が遅すぎると、ベースフィルム２６ｂが加熱され過ぎて軟化または溶融し、剥ぎ取りの際に切れてしまうため好ましくない。また、転写ローラ１２の表面温度が低すぎたり、あるいは押圧速度が速やすぎると、フィルム接着剤の加熱が不十分となり、金属膜２６ａの接着が不十分となって部分的に転写不良が生じたりまた歩留りが低下するため、好ましくない。
【００３４】
さらに、転写ローラ１２は、ローラ本体が上下に移動する昇降機構を備えており、押圧値が、０〜１５００ｋｇｆ／ｃｍ2の範囲で調整可能である。また、スライドテーブル１４は、前述したように転写フィルムＦの搬送方向における前後方向に移動するスライド機構を備えており、スライドテーブル１４の移動速度、つまり転写速度は、毎分０．１ｍ〜毎分１０．０ｍの範囲でとし、かつ毎分０．１ｍ単位で設定値を任意に設定変更できる。
【００３５】
転写フィルムＦに、仮に、シワが多数存在した状態で転写を強行すると、メタルバック層に亀裂やシワ状の欠陥が発生し、正常なメタルバックが施されず、所定の機能が著しく損なわれる。しかしながら、本実施形態のメタルバック層の形成装置１では、転写ローラ１２により加熱しながら押圧する際、フィルムシワ除去ローラ３、５の作用により転写フィルムＦのシワを除去することが可能であり、その結果得られるメタルバック層２９の品質が良好となる。
【００３６】
また、転写フィルムＦのベースフィルム２６ｂを剥離する際に、剥離面に向かって静電気除去装置１１から除電効果のある風を吹き当てることにより、静電気の発生が抑制される。このとき、静電気の発生を放置すると、周辺の浮遊物等を転写されたメタルバック層に付着させてしまうおそれがあり、そのまま次のプレス過程に進んでしまうと、メタルバック層に亀裂や穴開き等の欠陥を発生させ、所定の機能を著しく損なうことになる。
【００３７】
転写処理が終了した転写フィルムＦのベースフィルム２６ｂは、転写終了後、搬送方向の後部で接着剤塗布作業が行われるのと連動してフィルム押えローラ１６を通過するとともに、さらにテンションローラ１７を通過して、フィルム巻取りローラ１８により巻き取られて行く。このフィルム巻取りローラ１８は、モータなどの駆動機能を備えており、待機時にはフィルムが搬送されないように張力を保持するバックテンション機能を有する。
【００３８】
本実施形態においては、こうして転写フィルムＦを蛍光体スクリーン２２上に配置した後、転写ローラ１２により加熱しながら押圧してフィルム接着剤層を蛍光体スクリーン２２の上面に接着する。こうして、フェースプレート２７の蛍光体スクリーン２２上にマスキングテープ２５の上からＡｌ等の金属膜２６ａを転写した後、上面に形成された金属膜２６ａごとマスキングテープ２５を剥ぎ取り、マスキングテープ２５の非形成領域にのみ金属膜２６ａを残留させる。
【００３９】
接着剤の塗布やその乾燥作業を効率良く行え、また、転写フィルム上に生じるおそれのあるシワの発生を抑制し、さらにまた、静電気による転写フィルム上への異物の付着を低減することで、メタルバック層を形成する工程における生産性の向上を図ることができる。
【００４０】
さらにプレス工程で、転写された金属膜２６ａをプレスローラ等により加熱しながら押圧することができる。次いで、フェースプレート２７ごと４５０℃程度の温度に焼成（ベーキング）して有機分を分解および除去する。こうして蛍光体スクリーン２２とメタルバック層２９との密着性に優れたメタルバック付き蛍光面が得られる。
【００４１】
次に、こうして形成されたメタルバック付き蛍光面をアノード電極とするＦＥＤ２１について、図３に基づいて説明する。
【００４２】
このＦＥＤ２１では、前記実施形態で形成されたメタルバック付き蛍光面を有するフェースプレート２７と、マトリックス状に配列された電子放出素子２８ａを有するリアプレート２８とが、数ｍｍ程度の狭い間隙を介して対向配置され、フェースプレート２７とリアプレート２８との間に、５〜１５ｋＶの高電圧が印加されるように構成されている。なお、図中符号２２は、ストライプ状の光吸収層および蛍光体層を有する蛍光体スクリーンを示し、２９はメタルバック層を示す。また、符号３１は支持枠（側壁）を示す。
【００４３】
フェースプレート２７とリアプレート２８との間隙が極めて狭く、これらの間で放電（絶縁破壊）が起こり易いが、このＦＥＤ２１では、凹凸や亀裂、シワなどがなく平滑で平坦なメタルバック層２９を有しており、メタルバック層２９と下層の蛍光体スクリーン２２との間の密着性が高い。さらに、高輝度で色純度が高く信頼性に優れた表示を実現することができる。
【実施例】
【００４４】
次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。ここで、メタルバック層の形成には、上述した図１に示すメタルバック層の形成装置１を用いた。
【００４５】
まず、フェースプレート２７の内面に黒色顔料からなるストライプ状の光吸収層（遮光層）を、フォトリソ法により形成した後、ＺｎＳ系、Ｙ2Ｏ3 系、Ｙ2Ｏ2Ｓ系など各色の蛍光体を含むスラリを塗布して乾燥させ、フォトリソ法を用いてパターニングを行った。そして、遮光部との間に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の蛍光体層をストライプ状にそれぞれが隣り合うように形成し、蛍光体スクリーン２２を作成した。また、フェースプレート２７の内面において、このような蛍光体スクリーンの周りの非表示領域に、黒色顔料からなる周辺ブラックマトリクス２３および銀ペースト膜からなる外枠部２４を順に形成した。
【００４６】
次に、図２に示した転写フィルムＦ、すなわちフィルム厚さ２０μｍのポリエステル製ベースフィルム２６ｂ上に０．５μｍ厚さの離型剤層を形成し、その上にＡｌを蒸着して厚さ５０ｎｍの金属膜（Ａｌ膜）２６ａが形成されたロール状の転写フィルムＦを、図１に示したメタルバック層の形成装置１の最上流側のフィルム引出しローラ２に取りつけた。次に、この転写フィルムＦを、フィルムシワ除去ローラ３、５、ターンローラ９、フィルム押えローラ１５、１６、テンションローラ１７を経て、最下流側のフィルム巻取りローラ１８まで通し、上記テンションローラ１７を通じてテンション（張力）をかけた。続いて、この転写フィルムＦの金属膜（Ａｌ膜）２６ａ上に、トルエン９０部、酢酸ビニル１０部から成る樹脂組成物を、接着剤塗布装置６のバーコータローラ６ａを通じて塗布した。この後、塗布された接着剤に対し送風機７から常温（２０℃）の風を送風し、さらに乾燥機８から温風（温度８０℃）を送風して接着剤膜を形成した。
【００４７】
次いで、この転写フィルムＦをスライドテーブル１４まで搬送し、このスライドテーブル１４に載置されたフェースプレート２７の内面の蛍光体スクリーン（蛍光体層）２２に接するように配置した。この後、ゴム硬度が８０度、表面温度を２００℃に加熱したゴム製の転写ローラ１２により、毎分５．４ｍの速度、および５００ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で押圧および圧着し、次いでベースフィルム２６ｂを剥離した。こうして、フェースプレート２７の蛍光体スクリーン２２の上にメタルバック層（Ａｌ膜層）２９を形成した。
【００４８】
次に、ゴム硬度８０度、表面温度を１７５℃に加熱したゴム製のプレスローラ（図示せず）により、毎分１．０ｍの速度、および９００ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で押圧し、フェースプレート２７の内面の蛍光体層２２の上に転写されたメタルバック層（Ａｌ膜層）２９を密着させた。さらに、こうして、メタルバック層（Ａｌ膜層）２９が転写により形成されたフェースプレート２７を、４５０℃で加熱（ベーキング）して有機分を分解して除去し、メタルバック付き蛍光面を形成した。その後、こうして形成されたメタルバック付き蛍光面を有するフェースプレート２７を使用し、常法によりＦＥＤ２１を作製した。
【００４９】
つまり、基板上に表面伝導型電子放出素子をマトリクス状に多数形成した電子発生源を、ガラス基板に固定し、リアプレート２８を作製した。次いで、このリアプレート２８と前記フェースプレート２７とを、支持枠２６およびスペーサを介して対向配置し、フリットガラスにより封着した。その後、封止および排気など、必要な処理を施し１０型カラーＦＥＤを作製した。このように作製したＦＥＤ２１について、電子線加速電圧５ｋＶで１０００時間駆動試験を行ったところ、放電現象が発生しなかった。
【００５０】
以上、本発明を実施の形態（および実施例）により具体的に説明したが、本発明はこの実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【００５１】
例えば、予め金属膜２６ａの上に接着剤層を形成しておき、このように接着剤層が形成された転写フィルムＦを巻回層間に剥離紙を挟み込むなどの方法で巻回し、引出しローラ２より引き出しながら、蛍光体スクリーン上に転写するように構成することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明によれば、フェースプレートの蛍光体層に対し、転写フィルム上の金属膜および接着剤層を転写することで実現されるメタルバック層の形成工程をほぼ自動化することができ、生産効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態に係るメタルバック層の形成装置を概略的に示す図。
【図２】ＦＥＤの非表示領域にマスキングを施すとともに蛍光体スクリーン上に転写フィルムを配置した状態を模式的に示す断面図。
【図３】図１に示すメタルバック層の形成装置により形成されたメタルバック付き蛍光面を備えたＦＥＤの断面図。
【符号の説明】
【００５４】
１…メタルバック層の形成装置、２…フィルム引出しローラ、６…接着剤塗布装置、７…送風機、８…乾燥機、９…ターンローラ、１０，１１，１９…静電気除去装置、１２…転写ローラ、１４…スライドテーブル、２１…ＦＥＤ、２２…蛍光体スクリーン、２９…メタルバック層、２６ａ…金属膜、２６ｂ…ベースフィルム、２７…フェースプレート。
【図１】
2005203149.tif 000003
【図２】
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【図３】
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