(57)【要約】【課題】      プローブシートと第１の接続部材とを接着しても、プローブシートが第１の接続部材から容易に剥がれるようにすることにある。【解決手段】  プローブ装置は、プローブホルダと、左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる複数の第１の配線を有するプローブシートであってプローブホルダの下側の前部に配置されたプローブシートと、プローブシートより後方側にあってプローブホルダの下側に配置されたガラス基板であって駆動用集積回路が配置されており、また集積回路から前方側及び後方側に複数の第２の配線及び複数の第３の配線を有するガラス基板とを含む。ガラス基板は、第２の配線が第１の配線に電気的に接続された状態にプローブシートに組み合わされている。【選択図】          図６
2005189026.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブホルダと、
左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる複数の第１の配線を有するプローブシートであって、前記プローブホルダの下側の前部に配置されたプローブシートと、
前記プローブシートより後方側にあって前記プローブホルダの下側に配置されたガラス基板であって、駆動用集積回路が配置されており、また前記集積回路から前方側及び後方側に伸びる複数の第２の配線及び複数の第３の配線を有するガラス基板とを含み、
前記ガラス基板は、前記第２の配線が前記第１の配線に電気的に接続された状態に前記プローブシートに組み合わされている、プローブ装置。
【請求項２】
さらに、前記プローブホルダが取り外し可能に組み付けられたプローブベースと、
前記ガラス基板より後方側にあって前記プローブホルダの下側に配置された接続シートであって、左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる複数の第４の配線を有する接続シートと、
前記プローブホルダより後方側にあって前記プローブベースの下側に配置された板状又はシート状の配線部材であって、左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる複数の第５の配線を有する配線部材とを含み、
前記接続シートは、前記第４の配線がその前端部において前記第３の配線にまた後端部において前記第５の配線に電気的に接続された状態に前記ガラス基板及び前記プローブホルダに組み合わされている、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項３】
前記接続シートの後端部は、前記プローブホルダの後端部を経て前記プローブホルダの上側に折り曲げられている、請求項２に記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記ガラス基板と前記プローブシートとは厚さ方向にのみ導電性を有する異方導電性シートにより接着されており、また前記ガラス基板と前記接続シートとは厚さ方向にのみ導電性を有する異方導電性シートにより接着されている、請求項１から３のいずれか１項に記載のプローブ装置。
【請求項５】
さらに、前記ガラス基板を前記プローブホルダに組み付ける取付部材を含み、該取付部材は前記集積回路を受け入れる凹所を有する、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブ装置。
【請求項６】
さらに、前記プローブホルダの下側に取り付けられた取付部材と、
前記集積回路を受け入れる凹所を形成するフレームであって前記取付部材の前記ガラス基板側に取り付けられたフレームとを含み、
前記取付部材は前記凹所内の集積回路を前記ガラス基板に向けて押圧している、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブ装置。
【請求項７】
前記凹所の水平断面形状は前記ガラス基板側の箇所ほど小さい、請求項６に記載のプローブ装置。
【請求項８】
前記第２及び第３の配線のそれぞれは、これに設けられた突起電極を介して前記集積回路の電極に接続されている、請求項６又は７に記載のプローブ装置。
【請求項９】
前記第２及び第３の配線のそれぞれは、これに片持ち梁状に設けられた接触子と、該接触子に設けられた突起電極とを介して前記集積回路の電極に接続されている、請求項６又は７に記載のプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル、集積回路等の平板状被検査体の検査に用いるプローブ装置に関する。
【０００２】
［用語の定義］
本発明においては、被検査体と平行な面内における一方向及び他方向をそれぞれ前後方向及び左右方向といい、被検査体に垂直な方向を上下方向といい、針先側及びこれと反対側をそれぞれ前方及び後方といい、被検査体と平行な面を水平面という。
【背景技術】
【０００３】
集積回路、液晶表示パネル等の平板状被検査体は、一般に、プローブカードやプローブユニット等のプローブ装置を用いて検査される。
【０００４】
液晶表示パネルのような表示用基板の通電試験に用いられるプローブ装置の１つとして特許文献１に記載されたものがある。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１４１７４７
【０００６】
特許文献１に記載のプローブ装置は、左右方向に間隔をおいて前後方向に平行に伸びる複数の配線をフォトリソグラフィー技術により電気絶縁性フィルムの一方の面に形成し、各配線の前端部に突起電極を形成して、各配線の一部をプローブ（プローブ要素）として利用するプローブシートを用いている。
【０００７】
プローブシートは、プローブホルダの下側に装着されてプローブブロックに組み立てられている。プローブホルダは、プローブベースに対し前後方向に移動させることによりプローブベースの先端部下側に着脱可能とされており、またねじ部材によりプローブベースに取り外し可能に組み付けられている。
【０００８】
プローブシートの各配線は、プローブホルダの下側に配置された第１及び第２の接続シートの配線を介して、プローブベースの下側に配置された配線部材の配線に電気的に接続されている。
【０００９】
第１の接続シートは、表示用基板の駆動に用いられる集積回路を電気絶縁シートに取り付け、集積回路から前方へ伸びる複数の配線と集積回路から後方へ伸びる複数の配線とをポリイミドのような電気絶縁シートに形成したタブ（ＴＡＢ）であり、また前端部においてプローブシートの後端部に接着されている。
【００１０】
通電試験時（検査時）、プローブシートの各配線の先端部に設けられた突起電極が表示用基板の電極に押圧された状態で、検査用の信号が配線部材、第２の接続シート及び第１の接続シートを介して集積回路に供給される。
【００１１】
これにより、表示用基板は、駆動信号が集積回路から第１の接続シート及びプローブシートを介して入力信号により特定される電極に供給されることにより、動作する。
【００１２】
しかし、上記の従来装置では、プローブ、特に突起電極の摩耗や破損によりプローブシートの交換を時々行わなければならないにもかかわらず、第１の接続シートとしてタブ（ＴＡＢ）を用い、しかもタブの前端部をプローブシートに接着している。
【００１３】
このため、プローブシートの交換時に、プローブシートを第１の接続シートから剥がす必要があり、その際に第１の接続シートの配線を損傷することが多く、その結果第１の接続シート自体も交換しなければならない。
【００１４】
上記課題を解決すべくプローブシートと第１の接続シートとを接着しないようにすると、プローブシートと第１の接続シートとの位置関係がプローブ装置の繰り返し使用にともなってずれてしまい、その結果プローブシートの配線と第１の接続シートの配線とが電気的に遮断状態となってしまう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明の目的は、プローブシートと第１の接続部材とを接着しても、プローブシートが第１の接続部材から容易に剥がれるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係るプローブ装置は、プローブホルダと、左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる複数の第１の配線を有するプローブシートであって前記プローブホルダの下側の前部に配置されたプローブシートと、前記プローブシートより後方側にあって前記プローブホルダの下側に配置されたガラス基板であって駆動用集積回路が配置されており、また前記集積回路から前方側及び後方側に複数の第２の配線及び複数の第３の配線を有するガラス基板とを含む。前記ガラス基板は、前記第２の配線が前記第１の配線に電気的に接続された状態に前記プローブシートに組み合わされている。
【発明の効果】
【００１７】
ガラス基板のガラスに対する配線の付着力は、タブの電気絶縁シートに対する配線の付着力より大きい。このため、プローブシートとガラス基板を接着しても、プローブシートの交換時、ガラス基板の配線を損傷することなく、プローブシートをガラス基板から容易に剥がすことができ、ガラス基板を再度使用することができる。
【００１８】
プローブ装置は、さらに、前記プローブホルダが取り外し可能に組み付けられたプローブベースと、前記ガラス基板より後方側にあって前記プローブホルダの下側に配置された接続シートであって左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる複数の第４の配線を有する接続シートと、前記プローブホルダより後方側にあって前記プローブベースの下側に配置された板状又はシート状の配線部材であって左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる複数の第５の配線を有する配線部材とを含み、前記接続シートは、前記第４の配線がその前端部において前記第３の配線にまた後端部において前記第５の配線に電気的に接続された状態に前記ガラス基板及び前記プローブホルダに組み合わされていてもよい。
【００１９】
前記接続シートの後端部は、前記プローブホルダの後端部を経て前記プローブホルダの上側に折り曲げられていてもよい。そのようにすれば、プローブホルダをプローブベースに対して着脱する際に接続シート又は配線部材の配線の損傷度合いが、接続シート及び配線部材の一方に突起電極を設けた場合の損傷度合いより、小さくなる。
【００２０】
前記ガラス基板と前記プローブシートとは厚さ方向にのみ導電性を有する異方導電性シートにより接着されていてもよいし、前記ガラス基板と前記接続シートとは厚さ方向にのみ導電性を有する異方導電性シートにより接着されていてもよい。そのようにすれば、プローブシートの交換時、異方導電性シートをプローブシートと共にガラス基板から剥がし、新たなプローブシートを新たな異方導電性シートによりガラス基板に接着することができるから、ガラス基板の配線とプローブシートの配線とを電気的に正確に接続することができる。また、接続シートの交換時、異方導電性シートを接続シートと共にガラス基板から剥がし、新たな接続シートを新たな異方導電性シートによりガラス基板に接着することができるから、ガラス基板の配線と接続シートの配線とを電気的に正確に接続することができる。
【００２１】
プローブ装置は、さらに、前記ガラス基板を前記プローブホルダに組み付ける取付部材を含み、該取付部材は前記集積回路を受け入れる凹所を有することができる。そのようにすれば、ガラス基板における集積回路の位置が安定する。
【００２２】
プローブ装置は、さらに、前記プローブホルダの下側に取り付けられた取付部材と、前記集積回路を受け入れる凹所を形成するフレームであって前記取付部材の前記ガラス基板側に取り付けられたフレームとを含み、前記取付部材は前記凹所内の集積回路を前記ガラス基板に向けて押圧していてもよい。そのようにすれは、集積回路の交換作用が容易になる。
【００２３】
前記凹所の水平断面形状は、前記ガラス基板側の箇所ほど小さくてもよい。そのようにすれば、集積回路を凹所に落とし込むだけで、ガラス基板の配線に対する集積回路の位置決めが行われる。
【００２４】
前記第２及び第３の配線のそれぞれは、これに設けられた突起電極を介して前記集積回路の電極に接続されていてもよいし、これに片持ち梁状に設けられた接触子と、該接触子に設けられた突起電極とを介して前記集積回路の電極に接続されていてもよい。そのようにすれば、第２及び第３の配線と集積回路の電極との接続状態が安定する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１から図８を参照するに、プローブ装置１０は、一部を図４に示す液晶パネル１２の検査装置、特に点灯すなわち通電検査装置に用いられる。液晶パネル１２は、長方形の形状を有しており、また複数の電極１４を長方形の少なくとも１つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。
【００２６】
プローブ装置１０は、複数のプローブブロック１６と、これらのプローブブロック１６が着脱可能に取り付けられたプローブベース１８とを含む。プローブブロック１６は、左右方向に間隔をおいている。
【００２７】
各プローブブロック１６は、図示の例では、プローブシート２０と、プローブシート２０に接続されたシート状のガラス基板２２と、ガラス基板２２に接続された接続シート２４と、複数のプローブブロック１６で共通となるようにプローブベース１８の下側に配置された配線部材２６と、プローブシート２０、ガラス基板２２及び接続シート２４が装着されたプローブホルダ２８とを含む。
【００２８】
プローブシート２０は、複数の配線（図示せず）を印刷配線技術によりポリイミドのような電気絶縁性フィルム３０の上面に、左右方向に間隔をおいて互いに並列的に前後方向へ伸びる状態に、形成している。プローブシート２０は、平面的に見て矩形の形状を有する。
【００２９】
プローブシート２０の各配線は、電気絶縁性フィルム３０の前端から後端まで伸びており、また液晶パネル１２の電極１４に対応されている。プローブシート２０の配線の配列ピッチは、液晶パネル１２の電極１４の配列ピッチと同じである。
【００３０】
プローブシート２０は、また、突起電極３２を各配線の前端部に有する。各突起電極３２は、ニッケルのような導電性金属材料から形成されており、また半球状、円錐状又は角錐状の形状を有する。しかし、突起電極３２は、短い円柱状、短い多角柱状、直方体状、リング状等、他の形状を有していてもよい。
【００３１】
プローブシート２０は、さらに、隣り合う配線の間を伸びるスリット（図示せず）を前端部、特に突起電極３２の形成位置に対応する箇所に有する。各スリットは、電気絶縁性フィルム３０を貫通している。そのようなスリットは、レーザ加工、エッチング加工等の適宜な加工技術により電気絶縁性フィルム３０に形成される。
【００３２】
プローブシート２０の各配線の前端部、その前端部に対応するフィルム３０の部位及び突起電極３２は、プローブ要素として作用する。したがって、プローブシート２０の前端部、特に突起電極３２及びスリットが形成された領域は、プローブ領域として作用する。フィルム３０の少なくとも前端部は、透明又は半透明とすることができる。
【００３３】
ガラス基板２２は、複数の配線３４及び３６を印刷配線技術によりガラス板３８の上面に形成しており、また配線３４，３６に電気的に接続された駆動用集積回路４０をガラス板３８の上面に有する。配線３４は、互いに左右方向に間隔をおいて集積回路４０から前方へ伸びている。配線３６は、互いに左右方向に間隔をおいて集積回路４０から後方へ伸びている。
【００３４】
ガラス基板２２の各配線３４は、プローブシート２０の配線に対応されており、プローブシート２０の対応する配線に電気的に接続されている。集積回路４０は、液晶パネル１２の駆動に用いられ、駆動用制御信号を配線３６から受けて、駆動信号を配線３４に出力する。
【００３５】
接続シート２４は、複数の配線（図示せず）を印刷配線技術によりポリイミドのような電気絶縁性フィルム４２の一方の面に形成したフラットケーブル（ＦＰＣ）である。接続シート２４の各配線は、ガラス基板２２の配線３６に一対一の形に対応されており、対応する配線３６に電気的に接続されている。
【００３６】
プローブホルダ２８は、ほぼ水平の板状部４４と、その前端から下方へ伸びる板状の取付部４６とにより、逆Ｌ字状の形状をしており、また電気絶縁材料により形成されている。板状部４４及び取付部４６の下面は、いずれも平坦面とされている。
【００３７】
板状部４４の後端上部には、上方及び後方に開口するＬ字状の断面形状を有する段部４８が形成されている。この段部４８には、円形の断面形状を有する棒状の弾性体５０が配置されている。弾性体５０は、シリコーンゴムのようなゴムで形成することができる。
【００３８】
配線部材２６は、図示の例では、ポリイミドのような電気絶縁性基板５２の下面に複数の配線５４（図３参照）を形成した板状の配線部材である。配線５４は、左右方向に間隔をおいて前後方向に伸びており、また接続シート２４の配線３６に個々に対応されている。
【００３９】
配線部材２６は、矩形の形状を有しており、また矩形の１つの辺に配置された全てのプローブブロック１６にわたる大きさを有している。配線部材２６は、ゴム板のようなスペーサ５５を先端部上面に配置した状態で、ねじのような適宜な手段によりプローブベース１８の下側に取り付けられている。
【００４０】
配線部材２６の配線５４は、プローブ装置１０が検査装置に適用された状態において信号発生器（図示せず）に接続される。配線部材２６として、板状の部材を用いる代わりに、フラットケーブル（ＦＰＣ）のようなシート状の部材を用いてもよい。
【００４１】
プローブシート２０は、その前端部が取付部４６の前方へ突出しかつ配線が下側となる状態に、フィルム３０において取付部４６の下面に接着剤のような適宜な手段により装着されている。
【００４２】
ガラス基板２２は、配線３４，３６及び集積回路３８が上側となる状態に、取付部材５６により板状部４６の下面に取り付けられている。取付部材５６は、集積回路４０を受け入れるべく下方に開放する凹所５８を有しており、またねじや接着剤のような適宜な手段により板状部４６の下面に取り付けられている。集積回路４０が凹所５８に受け入れていると、ガラス基板２２における集積回路４０の位置が安定する。
【００４３】
接続シート２４は、これの配線が下側となる状態に、フィルム４２において板状部４４の下面に接着のような適宜な手段により装着されている。接続シート２４の後端部は、板状部４６の後端及び弾性体４８を経て上側に折り返されている。接続シート２４の各配線は、折り返された箇所において配線部材２６の対応する配線５４に電気的に接続されている。
【００４４】
プローブシート２０の後端部とガラス基板２２の前端部、ガラス基板２２の後端部と接続シート２４の前端部とは、それぞれ、厚さ方向にのみ導電性を有する異方導電性シート６０及び６０により接着されている。これにより、プローブシート２０の配線とガラス基板２２の配線３４、及び、ガラス基板２２の配線３６と接続シート２４の配線とは、電気的に接続されている。
【００４５】
集積回路４０は、異方導電性シート６０により、ガラス基板２２の上面に接着されている。このため、集積回路４０の出力側及び入力側電極は、それぞれ、ガラス基板２２の配線３４及び３６に電気的に接続されている。
【００４６】
ガラス基板２２は、配線３４及び３６がそれぞれプローブシート２０及び接続シート２４の配線と一致するように、図９に示す位置合わせマーク６２を利用して取付部材５４に取り付けることができる。
【００４７】
プローブホルダ２８は、また、左右方向の中央を前後方向へ伸びる凸部６４を板状部４４の上面に備えていると共に、上方及び後方に開口する溝６６を凸部６４に備えており、さらに上下方向へ伸びる棒状のストッパ６８を凸部６６の前端部上面に有している。凸部６４は直方体状の形状をしており、また溝６６は凸字状（逆Ｔ字状）の断面形状をしている。
【００４８】
プローブベース１８は、一対のガイド７０をプローブブロック１６毎に前部下面に取り付けていると共に、１以上のプランジャ７２をプローブブロック１６毎に一方のガイド７０に設けている。両ガイド７０は、プローブホルダ２８の凸部６４を受け入れる凹所を形成するように、左右方向へ間隔をおいて前後方向へ平行に伸びている。
【００４９】
プランジャ７２は、止め具、ボール、及び、止め具とボールとの間にあってボールを止め具と反対の側に押す弾性体を中空のシリンダ内に配置した市販のものであり、プローブホルダ２８の凸部６４を他方のガイド７０に向けて付勢するように、一方のガイド７０に組み付けられている。
【００５０】
プローブホルダ２８をプローブベース１８の下側に解除可能に組み付ける組み付け手段は、プローブベース１８を厚さ方向に移動可能に貫通する第１のねじ部材７４と、プローブベース１８の上側にあって第１のねじ部材７４に螺合された第２のねじ部材７６と、第１のねじ部材７４の上部が貫通するキャップ７８とを備える。
【００５１】
第１のねじ部材７４は、フランジ状の頭部７４ａを下端に有しており、また下端部をプローブホルダ２８の溝６６に該溝６６の長手方向へ相対的に移動可能に受け入れられている。第２のねじ部材７６は、第１のねじ部材７４に形成されたねじ穴に上方から螺合されている。
【００５２】
第１のねじ部材７４の長手方向中間部には、止めリング８０が組み付けられている。止めリング８０とキャップ７８との間には、弾性部材８２が第１のねじ部材７４を常時下方へ付勢するように配置されている。弾性部材８２は、図示の例では圧縮コイルばねであるが、ゴムのような他の部材であってもよい。
【００５３】
第１のねじ部材７４が弾性部材８２により常時下方へ付勢されているため、プローブベース１８の下面と第１のねじ部材７４の頭部７４ａとの間隔は、第１のねじ部材７４に対する第２のねじ部材７６のねじ込み量を調整することにより、調整することができる。プローブホルダ２８の溝６６の上面を形成している部位６４ａは、プローブベース１８と第１のねじ部材７４の頭部７４ａとに挟まれている。
【００５４】
接続シート２４の後端部は、プローブホルダ２８の上側に折り返されて、弾性体５０によって配線部材６２に押圧されている。これにより、接続シート２４の対応する配線４２と配線部材６２の各配線５４とは、電気的に接続されている。
【００５５】
プローブ装置１０は、また、プローブベース１８に連結されたアーム８４と、アーム８４の前端部に配置されてプローブシート２０の前端部を下方へ押する押圧機構８６と、押圧機構８６がプローブシート２０を押圧している状態に解除可能にアーム８４を維持するねじ部材８８とをプローブブロック１６毎に含む。
【００５６】
各アーム８４は、前部及び後部によりほぼへ字状の形をしており、また左右方向へ伸びる枢軸９０により、後部がプローブベース１８の上側となりかつ前部がプローブホルダ２８及びプローブベース１８の前側を斜め下方へ伸びる状態に後部においてプローブベース１８に結合されている。
【００５７】
アーム８４は、第２のねじ部材７６を操作する六角レンチのような工具を通す穴９２と、ねじ部材８８が貫通する穴９４とを後部に有する。ねじ部材８８は、プローブベース１８に形成されたねじ穴９６に螺合されている。
【００５８】
押圧機構８６は、アーム８４の先端部下側に配置された逆Ｌ字状のベース部材１００と、ベース部材１００の下端縁に配置された弾性体１０２と、アーム８４の前端部を上下方向に貫通してベース部材１００に螺合する１以上の調整ねじ１０４と、調整ねじ１０４を間にして左右方向に間隔をおいて上下方向へ伸びる複数のガイドピン１０６とを備える。
【００５９】
ベース部材１００及び弾性体１０２は、左右方向へ伸びている。ベース部材１００は、調整ねじ１０４及びガイドピン１０６によりアーム８４の前端部に上下方向へ移動可能に組み付けられている。弾性体１０２は、ベース部材１００の下面に配置されている。
【００６０】
ガイドピン１０６は、アーム８４及びベース部材１００のいずれか一方に支持されていると共にアーム８４及びベース部材１００の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れられている。
【００６１】
プローブベース１８の前端面は、複数のプローブブロック１６のストッパ６８が共に当接するストッパ面１８ａとして作用するように、平坦面とされている。
【００６２】
検査時、プローブ装置１０と液晶パネル１２とは、相寄る方向へ相対的に移動される。これにより、先ず各突起電極３２が液晶パネル１２の電極１４に接触され、次いでオーバードライブがプローブシート２０の先端部すなわちプローブ領域に作用する。その状態で各配線に通電されて、液晶パネル１２の検査が行われる。
【００６３】
上記の結果、プローブシート２０の前端部は、弾性体１０２の力に抗して弾性変形する。プローブシート２０の前端部は、プローブ装置１０と液晶パネル１２との相対的な押圧が解除されることにより、元の形状に戻る。
【００６４】
プローブシート２０の突起電極３２が液晶パネル１２の電極１４に押圧されたとき、アーム８４及び押圧機構８６は、プローブシート２０の前端部がその後方の部位に対し大きく曲げられることを防止する。また、プローブシート２０の突起電極３２が液晶パネル１２の電極１４に押圧されたとき、弾性体１０２が弾性変形するから、突起電極３２と電極１４との間の接触圧（針圧）が大きくなる。
【００６５】
プローブシート２０のプローブ領域が弾性変形するとき、各プローブ領域はスリットにより独立して変形する。この際、各プローブは、弾性体１０２の対応する箇所を圧縮変形させつつ、弾性変形するから、プローブ要素の左右方向への変位を、隣り合うプローブ要素の先端が切り離されていないことと相まって、弾性体１０２により阻止される。
【００６６】
プローブシート２０のフィルム２８がポリイミドのような透明材料製又は他のフィルムのような半透明材料製であると、液晶パネル１２の電極１４とプローブシート２０の突起電極３２とを接触させるとき、プローブシート２０の配線と液晶パネル１２の電極１４との位置関係を、取付部４６より前方に突出するプローブシート２０の前端部を通して確認することができる。
【００６７】
プローブブロック１６をプローブベース１８に組み付けるとき、図２に示すように、ねじ部材８８がプローブベース１８から外されてアーム８４が立ち上げられていると共に、ねじ部材７６が緩められてねじ部材７４が下方へ移動されている。
【００６８】
この状態でストッパ６８がプローブベース１８の前端面すなわちストッパ面１８ａに当接するまで、プローブブロック１６の凸部６４を前方から両ガイド７０の間に差し込まれる。これにより、プローブブロック１６は図２に示すようにプローブベース１８に配置される。
【００６９】
前後方向におけるプローブブロック１６の位置決めは、ストッパ６８がプローブベース１８のストッパ面１８ａに当接することにより行われる。左右方向におけるプローブブロック１６の位置決めは、凸部６４がプランジャ７２によりそれと反対側のガイド７０に押し当てられることにより行われる。このため、プローブブロック１６の位置決めをワンタッチで行うことができる。
【００７０】
プローブブロック１６をプローブベース１８に装着するとき、第１のねじ部材７４が弾性部材８２により押し下げられているから、溝６６の上面を形成している部位５４ａはプローブベース１８と第１のねじ部材７４の頭部７４ａとの間に確実に受け入れられる。
【００７１】
プローブブロック１６がプローブベース１８に上記のように装着された状態において、第２のねじ部材７６が第２のねじ部材７４に強く螺合されて、溝６６の上面を形成している部位６４ａがプローブベース１８とねじ部材７４の頭部７４ａとの間に強く挟み込まれる。これにより、プローブブロック１６は、図６に示すようにプローブベース１８に移動不能に及び解除可能に強く組み付けられる。
【００７２】
次いで、アーム８４が所定の位置に変位され、ねじ部材８８がプローブベース１８のねじ穴９６に螺合される。これにより、アーム８４及び押圧機構８６が所定の位置に維持される。この状態において、押圧機構８６の弾性体１０２は、プローブシート２０の先端部に当接している。
【００７３】
その後、押圧機構８６によるプローブシート２０の押圧力が調整ねじ１０４により調整される。
【００７４】
プローブブロック１６をプローブベース１８から外すときは、ねじ部材８８をプローブベース１８から外してアーム８４を上げ、ねじ部材７６を緩めてプローブホルダ２８の部位６４ａをねじ部材７４の頭部７４ａとプローブベース１８とによる挟持から解除し、その後プローブブロック１６を前方へ引き出せばよい。
【００７５】
プローブブロックを交換するときは、プローブベース１８に組み付けられているプローブブロックを上記のように取り外し、次いで新たなプローブブロックをプローブベース１８に上記のように組み付ければよい。
【００７６】
上記のようにプローブ装置１０によれば、第１及び第２のねじ部材７４，７６の締め緩めをすると共に、プローブブロック１６をプローブベース１８に対し前後方向へ移動させることにより、プローブブロック１６をプローブベース１８に対し着脱することができるから、プローブベース１８へのプローブブロック１６の着脱作業が容易になる。
【００７７】
また、プローブブロック１６の凸部６４をプローブベース１８のガイド７０の間に差し込むだけで、左右方向及び前後方向におけるプローブブロック１６の位置決めが行われるから、プローブブロック１６の交換作業がより容易になる。
【００７８】
さらに、アーム８４を上げた状態で、プローブベース１８に対するプローブブロック１６の着脱作業を行うことができるから、アーム８４及び押圧機構８６はプローブホルダ１６の着脱の妨げにならない。
【００７９】
さらにまた、接続シート２４の後端部がプローブホルダ２８の後端部を経てプローブホルダ２８の上側に折り曲げられているから、プローブホルダ２８をプローブベース１８に対して着脱する際に接続シート２４又は配線部材２６の配線の損傷度合いが、接続シート２４及び配線部材２６の一方に突起電極を設けた場合の損傷度合いより、小さくなる。
【００８０】
プローブシート２０を交換するとき、プローブブロック１６をプローブベース１８から外した状態で、プローブシート２０を取付部４６及びガラス基板２２から剥がし、新たなプローブシート２０を取付部４６及びガラス基板２２に装着すればよい。
【００８１】
ガラス基板２２のガラス板３８に対する配線３４，３６の付着力は、タブの電気絶縁シートに対する配線の付着力より大きいから、プローブシート２０とガラス基板２２を接着しても、プローブシート２０の交換時、ガラス基板２２の配線３４を損傷することなく、プローブシート２０をガラス基板２２から容易に剥がすことができ、ガラス基板２２を再度使用することができる。
【００８２】
ガラス基板２２とプローブシート２０とが、及び、ガラス基板２２と接続シート２４とが異方導電性シート６０により接着されているから、プローブシート２０の交換時、異方導電性シート６０をプローブシート２０と共にガラス基板２２から剥がし、新たなプローブシートを新たな異方導電性シートによりガラス基板２２に接着することにより、ガラス基板２２の配線３４とプローブシート２０の配線とを電気的に正確に接続することができる。また、接続シート２４の交換時、異方導電性シート６０を接続シート２４と共にガラス基板２２から剥がし、新たな接続シート２４を新たな異方導電性シート６０によりガラス基板２２に接着することにより、ガラス基板２２の配線３６と接続シート２４の配線とを電気的に正確に接続することができる。
【００８３】
図１０を参照するに、プローブ装置１０は、取付部材５６の代わりに、プローブホルダ２８の下側に取り付けられた取付部材１１０と、集積回路４０を受け入れる凹所１１２を形成するフレーム１１４とを含む。フレーム１１４は、取付部材１１０のガラス基板２２側に取り付けられている。取付部材１１０は、凹所１１２内の集積回路４０をガラス基板２２に向けて押圧している。
【００８４】
図１０に示す実施例においては、集積回路４０は、バンプ電極のような複数の電極１１６，１１８を有しており、電極１１６及び１１８をそれぞれガラス基板２２の配線３４及び３６に押圧されている。
【００８５】
凹所１１２の水平断面形状は、ガラス基板２２側の箇所ほど小さい。このため、集積回路４０を凹所１１２に落とし込むだけで、ガラス基板２２の配線３４及び３６に対する集積回路４０の位置決めが行われ、集積回路４０の交換作用が容易になる。
【００８６】
図１１に示すように、集積回路４０の電極１１６及び１１８を、それぞれ、ガラス基板２２の配線３４及び３６に設けられた突起電極１２０及び１２２を介して、ガラス基板２２の配線３４及び３６に電気的に接続してもよい。
【００８７】
また、図１２に示すように、集積回路４０の電極１１６及び１１８を、それぞれ、ガラス基板２２の配線３４及び３６に片持ち梁状に設けられた接触子１２４及び１２６と、接触子１２４及び１２６に設けられた突起電極１２８及び１３０とを介して、ガラス基板２２の配線３４及び３６に電気的に接続してもよい。
【００８８】
図１１及び図１２のいずれに示す実施例においても、ガラス基板２２の配線３４及び３６と集積回路４０の電極１１６及び１１８とが電気的に確実に接続される。
【００８９】
本発明は、液晶パネルの検査装置に用いるプローブ装置のみならず、集積回路のような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブ装置にも適用することができる。
【００９０】
本発明は、水平に配置された被検査体用のプローブ装置のみならず、斜めに傾斜された被検査体用のプローブ装置にも適用することができる。本発明においては、被検査体と平行な面内における一方向及び他方向をそれぞれ前後方向及び左右方向といい、被検査体に垂直な方向を上下方向というから、後者の場合、上下方向は斜めの方向となる。
【００９１】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明に係るプローブ装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１に示すプローブ装置のアームを上げた状態を示す斜視図である。
【図３】図１に示すプローブ装置を下方から見た斜視図である。
【図４】図１に示すプローブ装置におけるプローブブロックと、液晶パネルと、配線部材との関係を示す斜視図である。
【図５】図１に示すプローブ装置におけるプローブブロックの一実施例を示す斜視図である。
【図６】図１に示すプローブ装置の縦断面図である。
【図７】図１に示すプローブ装置におけるプローブブロック受け入れ箇所の一実施例を示す斜視図である。
【図８】図７における８−８線に沿って得た断面図である。
【図９】図１に示すプローブ装置におけるガラス基板の一実施例を示す平面図である。
【図１０】集積回路用取付部材の他の実施例を示す断面図である。
【図１１】集積回路用取付部材のさらに他の実施例を示す断面図である。
【図１２】集積回路用取付部剤のさらに他の実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００９３】
１０  プローブ装置
１２  液晶パネル
１４  液晶パネルの電極
１６  プローブブロック
１８  プローブベース
２０  プローブシート
２２  ガラス基板
２４  接続シート
２６  配線部材
２８  プローブホルダ
３２  突起電極
３４，３６  ガラス基板の配線
３８  ガラス板
４０  集積回路
５４  配線部材の配線
５６，１１０  取付部材
５８，１１２  凹所
６０  異方導電性シート
６２  位置合わせマーク
１１４  フレーム
１１６，１１８  集積回路の電極
１２０，１２２  突起電極
１２４，１２６  接触子
１２８，１３０  突起電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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