(57)【要約】【課題】  有機ＥＬパネルの検査において、Ｒ画素、Ｇ画素及びＢ画素の画素検査に要する処理時間を短縮すること。【解決手段】  有機ＥＬパネル２の各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、有機ＥＬパネル２のＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素に対して各画素の実行時期を順次ずらしてパイプライン的に並行駆動する駆動信号を形成する駆動信号形成部４と、各画素の駆動により得られる電気的信号を測定する測定部８を備える。駆動信号形成部４により有機ＥＬパネルをパイプライン的に駆動する他、各画素を任意の順序で駆動して有機ＥＬパネルのＲ画素、Ｇ画素及びＢ画素の画素検査を処理時間で行う。【選択図】図１１
2005202154.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬパネルを駆動して得られる電気的信号から有機ＥＬパネル中の各画素を検査する検査方法であって、
有機ＥＬパネルの各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素を実行時期を順次ずらしてパイプライン的に並行駆動させ、当該駆動で得られる電気的信号を測定して各画素を検査することを特徴とする有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項２】
前記パイプライン的駆動は、先に表示する画素の駆動終了を次に表示する画素の駆動開始と同時又は遅延して行うことを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項３】
有機ＥＬパネルを駆動して得られる電気的信号から有機ＥＬパネル中の各画素を検査する検査方法であって、
有機ＥＬパネルの各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素の実行時期を任意に設定して駆動させ、当該駆動で得られる電気的信号を測定して各画素を検査することを特徴とする有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項４】
前記電気的信号は有機ＥＬ素子のカソード電流であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一つに記載の有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項５】
有機ＥＬパネルを駆動して得られる電気的信号から有機ＥＬパネル中の各画素を検査する検査装置であって、
有機ＥＬパネルの各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、有機ＥＬパネルのＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素に対して各画素を実行時期を順次ずらしてパイプライン的に並行駆動させる駆動信号を形成する駆動信号形成部と、
各画素の駆動により得られる電気的信号を測定する測定部を備えることを特徴とする、有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項６】
前記駆動信号形成部は、先に表示する画素の駆動信号の立ち下がりを次に表示する画素の駆動信号の立ち上がりと同時又は遅延させることを特徴とする請求項５に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項７】
有機ＥＬパネルを駆動して得られる電気的信号から有機ＥＬパネル中の各画素を検査する検査装置であって、
有機ＥＬパネルの各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素の実行時期の順序を任意に設定して駆動させる駆動信号を形成する駆動信号形成部と、
各画素の駆動により得られる電気的信号を測定する測定部を備えることを特徴とする、有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項８】
前記駆動信号形成部は、駆動信号を出力用電源ラインを介して、当該駆動信号に対応するＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の有機ＥＬ素子のアノード側に供給することを特徴とする請求項５乃至７の何れか一つに記載の有機ＥＬパネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は有機ＥＬディスプレイなどに使われる有機ＥＬパネルの検査方法及び検査装置に関し、特に、電流駆動される有機ＥＬに用いるＴＦＴアレイの検査に好適な検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶用ＴＦＴアレイ検査では、所定の電圧パターンのスキャン信号とデータ信号を印加して、そのときの液晶用電極の電位を測定し、異常電位を示す液晶用電極を検出して欠陥検査を行う。液晶用ＴＦＴアレイ検査では、このデータラインにある電圧を印加して、液晶用電極の電位の異常値を測定することによって欠陥の検出を行っている。
【０００３】
ＴＦＴアレイ検査では、表示装置を駆動してその表示画面を目視検査する方式、ＴＦＴアレイに流れる電流を検出する方式、電子線方式や光学方式により電圧を検出する方式等が知られている。
【０００４】
電子線や光をＴＦＴ基板に照射することにより得られるＴＦＴ基板の電位状態を測定し、ＴＦＴ基板の異常電位のピクセルを検出することによってＴＦＴアレイの欠陥を検出する装置の内、電子線を用いるものとしては例えば特許文献１，２があり、光を用いるものとしては例えば特許文献３，４がある。
【０００５】
一方、ＴＦＴアレイが有機ＥＬ用アレイの場合には、液晶用ＴＦＴアレイの場合とは異なる。液晶用ＴＦＴアレイは液晶に一定電圧を印加する電圧駆動型であるのに対して、有機ＥＬ用アレイの場合は電流駆動型であり駆動状態が異なる。この有機ＥＬ用アレイを駆動する有機ＥＬ用駆動回路として、電流プログラム方式、電圧プログラム方式、時分割方式、インバータ方式などの駆動方式があることが知られている（非特許文献１）。この有機ＥＬパネルを目視検査や駆動電流により検査することは、例えば特許文献５に記載されている。
【特許文献１】特開２０００−３１４２号公報
【特許文献２】特開平１１−２６５６７８号公報
【特許文献３】特許第３１９９４８１号
【特許文献４】特許第３２７５１０３号
【特許文献５】特開２００３−３３７５４７号公報
【非特許文献１】NIKKEI  MICRODEVICE  JULY  2003  ７月１日号  p111-p118  日経ＢＰ社
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
有機ＥＬパネルの検査において、有機ＥＬパネルに流れる電流値を測定して検査を行う場合には、有機ＥＬパネルのＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素に対してそれぞれ表示信号を供給して個別に表示させて流れる電流を測定する他、１クロック中にＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素をそれぞれオン−オフ動作させて流れる電流を測定することが行われる。
【０００７】
Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の各画素を個別に表示させることによる検査や、１クロック中にＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素をそれぞれオン−オフ動作さることによる検査は、検査時間が長くかかるという問題がある。
【０００８】
図１２は、１クロック中にＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素をオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。図１２（ａ）はクロック信号を示し、図１２（ｂ）〜（ｄ）は、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画像信号を示している。Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を駆動する駆動信号は、図１２（ｅ）に示すようにクロック信号を単位として形成される。図１２（ｆ）は各画素を流れるパネル電流値を示し、クロック信号毎に各画素に流れる電流が測定される。
【０００９】
図１２（ｅ）においてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を駆動する各駆動信号はオン動作とオフ動作により行われる。図１（ｂ）及び図４（ｂ）は、１クロック中にＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素をオン−オフ動作させた場合の処理状態を示している。このように各駆動信号のオン動作及びオフ動作はそれぞれ１クロック信号内で行われるため、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の画素検査を一つの処理単位とすると、Ｒ，Ｇ，Ｂの画素の検査を行うには３クロック分の時間を要することになる。
【００１０】
有機ＥＬパネルの検査に要する時間は、有機ＥＬパネルの大きさや画像数に依存するため、パネルの大きさや画像数が増加するに伴って長時間化することになる。有機ＥＬパネルの検査効率を高めるには、Ｒ画素、Ｇ画素及びＢ画素の画素検査に要する処理時間を短縮することが求められる。
【００１１】
そこで、本発明は、有機ＥＬパネルの検査において、Ｒ画素、Ｇ画素及びＢ画素の画素検査に要する処理時間を短縮することを目的とする。  
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、Ｒ画素、Ｇ画素及びＢ画素の画素検査に要する処理時間を短縮するために、有機ＥＬパネルをパイプライン的に駆動する第１の態様、及び各画素を任意の順序で駆動する第２の態様とすることができる。また、本発明は有機ＥＬパネルの検査方法の形態及び有機ＥＬパネルの検査装置の形態とすることができる。
【００１３】
本発明の有機ＥＬパネルの検査方法の形態は、有機ＥＬパネルを駆動して得られる電気的信号から有機ＥＬパネル中の各画素を検査する検査方法である。
【００１４】
有機ＥＬパネルの検査方法の第１の態様は、有機ＥＬパネルの各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素を実行時期を順次ずらしてパイプライン的に並行駆動させ、この駆動で得られる電気的信号を測定して各画素を検査する。
【００１５】
第１の態様では、有機ＥＬパネルのＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させることで、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素の実行時期を順次ずらした駆動を可能とし、この各画素の順次実行時期をずらした駆動動作によってパイプライン的な並行動作を行う。
【００１６】
パイプライン的駆動において実行時期を順次ずらして行う駆動は、例えば、先に表示する画素の駆動終了時期を次に表示する画素の駆動開始時期と同時又は遅延させることで行うことができる。
【００１７】
有機ＥＬパネルの検査方法の第２の態様は、有機ＥＬパネルの各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素の実行時期の順序を任意に設定し、この駆動で得られる電気的信号を測定して各画素を検査する。
【００１８】
第２の態様では、有機ＥＬパネルのＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させることで、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素の実行時期の順序を任意に設定可能とする。
【００１９】
本発明の有機ＥＬパネルの検査方法の形態において、第１の態様のパイプライン的な駆動と、第２の態様の各画素の任意の順序による駆動とを組み合わせる態様としてもよい。また、本発明の有機ＥＬパネルの検査方法において、電気的信号は有機ＥＬ素子のカソード電流とすることができる。
【００２０】
本発明の有機ＥＬパネルの検査装置の形態は、有機ＥＬパネルを駆動して得られる電気的信号から有機ＥＬパネル中の各画素を検査する検査装置である。
【００２１】
有機ＥＬパネルの検査装置の第１の態様は、有機ＥＬパネルの各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、有機ＥＬパネルのＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素に対して各画素の実行時期を順次ずらしてパイプライン的に並行駆動する駆動信号を形成する駆動信号形成部と、各画素の駆動により得られる電気的信号を測定する測定部を備える構成とする。
【００２２】
第１の態様では、有機ＥＬパネルのＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させることで、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素の実行時期を順次ずらした駆動を可能とし、この各画素の順次実行時期をずらした駆動動作によってパイプライン的な並行動作を行う。
【００２３】
駆動信号形成部は、例えば、先に表示する画素の駆動終了時期を次に表示する画素の駆動開始時期と同時又は遅延させることで行うことにより、パイプライン的駆動において実行時期を順次ずらした駆動信号を形成することができる。
【００２４】
有機ＥＬパネルの検査装置の第２の態様は、有機ＥＬパネルの各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素の実行時期の順序を任意に設定して駆動させる駆動信号を形成する駆動信号形成部と、各画素の駆動により得られる電気的信号を測定する測定部を備える構成とする。
【００２５】
第２の態様の駆動信号形成部は、有機ＥＬパネルのＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させることで、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素の実行時期の順序を任意に設定可能な駆動信号を形成する。
【００２６】
本発明の有機ＥＬパネルの検査装置の形態において、駆動信号形成部は、第１の態様のパイプライン的な駆動と、第２の態様の各画素の任意の順序による駆動とを組み合わせる態様としてもよい。また、本発明の有機ＥＬパネル検査装置において、電気的信号は有機ＥＬ素子のカソード電流とすることができる。
【００２７】
駆動信号形成部で形成した駆動信号は、出力用電源ラインを介して、当該駆動信号に対応するＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の有機ＥＬ素子のアノード側に供給する。
【発明の効果】
【００２８】
有機ＥＬパネルの検査において、Ｒ画素、Ｇ画素及びＢ画素の画素検査に要する処理時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図を用いて発明を実施するための最良の形態を説明する。本発明の有機ＥＬパネルをパイプライン的に駆動する第１の態様について図１〜図６を用いて説明し、本発明の各画素を任意の順序で駆動する第２の態様について図７〜図１０を用いて説明し、本発明を適用する有機ＥＬパネル検査装置の概略構成について図１１を用いて説明する。
【００３０】
はじめにパイプライン的に駆動する第１の態様について説明する。第１の態様では、有機ＥＬパネルの各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素を実行時期を順次ずらしてパイプライン的に並行駆動させ、この並列駆動で得られる電気的信号を測定して各画素を検査するものである。
【００３１】
なお、以下では、図１〜図３を用いて第１の例を説明し、図４〜図６を用いて第２の例を説明する。
【００３２】
第１の例は、先に表示する画素の駆動終了を次に表示する画素の駆動開始と同時に行うことによって、パイプライン的な駆動を行う例である。
【００３３】
図１（ａ）において、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素のオン動作とオフ動作を独立して動作させ、一つの画素のオン動作時に他の画素のオフ動作を行うことにより各画素の実行時期を順次ずらして並行駆動を行わせる。Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の駆動は、Ｒ画素のオン動作とオフ動作、Ｇ画素のオン動作とオフ動作、及びＢ画素のオン動作とオフ動作を含む。図１（ａ）では、処理１，２，３，４，…によるＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の動作を丸で囲った符号１，２，３，４，…で示している。
【００３４】
処理１については、Ｒ画素をオン動作させた後、Ｒ画素のオフ動作とＧ画素のオン動作とを同時に行い、Ｇ画素のオフ動作とＢ画素のオン動作とを同時に行い、次の処理２におけるＲ画素のオン動作と共にＢ画素のオフ動作を同時に行う。これにより、処理１のＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素を実行時期を順次ずらしてパイプライン的に並行駆動させることができる。処理２，３，４，…についても同様とすることができる。
【００３５】
図１（ｂ）は各画素のオン−オフ動作をシーケンシャルに行う従来の駆動状態を示している。この場合には、各画素のオン−オフ動作はオーバーラップすることなく順次行われるために処理時間が長くなるが、第１の例によれば、２つの画素のオン動作及びオフ動作を同時に行うことにより処理時間を短縮することができる。
【００３６】
図２，３は、この例におけるＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素のオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。
【００３７】
図２（ａ）はクロック信号を示し、図２（ｂ）〜（ｄ）は、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画像信号を示している。Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を駆動する駆動信号は、図２（ｅ）〜図２（ｇ）に示すように、１クロック信号内において、駆動信号Ｒのオフ動作（立ち下がり時）と駆動信号Ｇのオン動作（立ち上がり時）を合わせ、駆動信号Ｇのオフ動作（立ち下がり時）と駆動信号Ｂのオン動作（立ち上がり時）を合わせ、駆動信号Ｂのオフ動作（立ち下がり時）と次のクロック信号における駆動信号Ｒのオン動作（立ち上がり時）を合わせる。
【００３８】
図２（ｈ）は、有機ＥＬパネルのパネル電流の状態を示しており、１クロック信号においてＲ，Ｇ，Ｂの各画素のパネル電流を測定することができる。測定部はパネル電流を駆動信号と同期することにより、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素のパネル電流を区分することができる。
【００３９】
また、図３の信号例は、１クロック信号内に、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素の駆動信号と無駆動信号を含む例である。図３の信号例においても図２の例と同様に、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を駆動する駆動信号は、図３（ｅ）〜図３（ｇ）に示すように、１クロック信号内において、駆動信号Ｒのオフ動作（立ち下がり時）と駆動信号Ｇのオン動作（立ち上がり時）を合わせ、駆動信号Ｇのオフ動作（立ち下がり時）と駆動信号Ｂのオン動作（立ち上がり時）を合わせ、駆動信号Ｂのオフ動作（立ち下がり時）と次のクロック信号における駆動信号Ｒのオン動作（立ち上がり時）を合わせる。
【００４０】
上記したように、Ｒ，Ｇ，Ｂの各駆動信号のオン動作及びオフ動作は１クロック信号内で行われるため、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の画素検査を一つの処理単位とすると、Ｒ，Ｇ，Ｂの画素の検査を行うには１クロック分の時間ですむことになる。
【００４１】
第２の例は、先に表示する画素の駆動終了を次に表示する画素の駆動開始よりも遅延させることによって、パイプライン的な駆動を行う例である。
【００４２】
図４（ａ）において、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素のオン動作とオフ動作を独立して動作させ、一つの画素のオフ動作時を次に表示する画素のオン動作よりも遅延させることにより各画素の実行時期を順次ずらして並行駆動を行わせる。Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の駆動は、Ｒ画素のオン動作とオフ動作、Ｇ画素のオン動作とオフ動作、及びＢ画素のオン動作とオフ動作を含む。図２（ａ）では、処理１，２，３，４，…によるＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各動作を丸で囲った符号１，２，３，４，…で示している。
【００４３】
処理１については、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素のオン動作を順次ずらせて行うと共に、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素のオフ動作についても順次ずらせて行い、Ｒ画素のオフ動作をＧ画素のオン動作よりも遅延させ、Ｇ画素のオフ動作をＢ画素のオン動作よりも遅延させて行う。また、処理２，３，４，…についても同様にして、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素のオン動作を順次ずらせて行うと共に、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素のオフ動作についても順次ずらせて行い、Ｒ画素のオフ動作をＧ画素のオン動作よりも遅延させ、Ｇ画素のオフ動作をＢ画素のオン動作よりも遅延させて行う。
【００４４】
これにより、各処理においてＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素を実行時期を順次ずらしてパイプライン的に並行駆動させることができる。
【００４５】
図４（ｂ）は各画素のオン−オフ動作をシーケンシャルに行う従来の駆動状態を示している。この場合には、各画素のオン−オフ動作はオーバーラップすることなく順次行われるために処理時間が長くなるが、第２の例によれば、一つの画素のオフ動作時を次に表示する画素のオン動作よりも遅延させることにより処理時間を短縮することができる。
【００４６】
図５は、この例におけるＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素のオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。
【００４７】
図５（ａ）はクロック信号を示し、図５（ｂ）〜（ｄ）は、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画像信号を示している。Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を駆動する駆動信号は、図５（ｅ）〜図５（ｇ）に示すように、１クロック信号内において、駆動信号Ｒのオフ動作（立ち下がり時）を駆動信号Ｇのオン動作（立ち上がり時）よりも遅延させ、駆動信号Ｇのオフ動作（立ち下がり時）を駆動信号Ｂのオン動作（立ち上がり時）よりも遅延させ、駆動信号Ｂのオフ動作（立ち下がり時）と次のクロック信号における駆動信号Ｒのオン動作（立ち上がり時）を合わせる。
【００４８】
図５（ｈ）は、有機ＥＬパネルのパネル電流の状態を示しており、１クロック信号においてＲ，Ｇ，Ｂの各画素のパネル電流を測定することができる。測定部はパネル電流を駆動信号と同期することにより、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素のパネル電流を区分することができる。この例では、パネル電流中には、２つの画素に流れる電流が加算された時間帯（例えば、Ｇ画素に流れる電流とＲ画素に流れる電流が加算される時間帯、及びＧ画素に流れる電流とＢ画素に流れる電流が加算される時間帯値）が発生するが、単独の画素に流れる電流の時間帯（例えば、Ｒ画素に流れる電流の時間帯、及びＢ画素に流れる電流の時間帯）も存在するため、加算された電流値から単独の電流値を減算することで各画素に流れる電流値を求めることができる。
【００４９】
なお、図４，５に示す例では、各処理間においてオーバーラップする部分を設けない構成とし、駆動信号Ｂのオフ動作と次の処理における駆動信号Ｒのオン動作とを同時に行っているが、各処理間においてもーバーラップさせる構成とし、駆動信号Ｂのオフ動作を次の処理の駆動信号Ｒのオン動作よりも遅延させることもできる。図６はこの各処理間においてもオーバーラップさせる構成について、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素のオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。
【００５０】
図６の信号例において、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を駆動する駆動信号は、図６（ｅ）〜図６（ｇ）に示すように、１クロック信号内において、駆動信号Ｒのオフ動作（立ち下がり時）を駆動信号Ｇのオン動作（立ち上がり時）よりも遅延させ、駆動信号Ｇのオフ動作（立ち下がり時）を駆動信号Ｂのオン動作（立ち上がり時）よりも遅延させ、駆動信号Ｂのオフ動作（立ち下がり時）を次の駆動信号Ｒのオン動作（立ち上がり時）よりも遅延させる。
【００５１】
図６（ｈ）は、有機ＥＬパネルのパネル電流の状態を示しており、１クロック信号においてＲ，Ｇ，Ｂの各画素のパネル電流を測定することができる。この例では、パネル電流中には、２つの画素に流れる電流が加算された時間帯（例えば、Ｇ画素に流れる電流とＲ画素に流れる電流が加算される時間帯、Ｇ画素に流れる電流とＢ画素に流れる電流が加算される時間帯値、及びＲ画素に流れる電流とＢ画素に流れる電流が加算される時間帯値、及びＲ画素に流れる電流とＧ画素に流れる電流が加算される時間帯値）が発生するが、測定部はパネル電流を駆動信号と同期してこれらの加算された電流値を測定し、測定値を演算することで各画素に流れる電流値を求めることができる。
【００５２】
上記したように、Ｒ，Ｇ，Ｂの各駆動信号のオン動作及びオフ動作は１クロック信号内で行われるため、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の画素検査を一つの処理単位とすると、Ｒ，Ｇ，Ｂの画素の検査を行うには１クロック分の時間ですむことになる。
【００５３】
次に、各画素を任意の順序で駆動する第２の態様について図７〜図１０を用いて説明する。
【００５４】
第２の態様では、有機ＥＬパネルの各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素を実行時期の順序を任意に設定して駆動させ、この駆動で得られる電気的信号を測定して各画素を検査するものである。
【００５５】
図７は、本発明の第２の態様による画素の実行時期の順序例の任意設定を説明するための図である。ここで、有機ＥＬパネルにはＲ，Ｇ，Ｂの順で画素が行方向に配列されているものとする。
【００５６】
図７（ａ）に示す例は行方向で往復させる駆動例である。図７（ａ）の例では、第１行について右方向に順に画素を駆動し、右端部に到達した後は第２行について左方向に順に画素を駆動する。各画素を駆動する順序は右方向と左方向では反転させ、右方向ではＲ，Ｇ，Ｂの順に駆動し、左方向ではＢ，Ｇ，Ｒの順となる。  
【００５７】
なお、上記例では、パネルの端部で往復させる例を示しているが、任意の位置で往復させることもできる。例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂの３画素を単位として往復させて列方向に駆動することもできる。
【００５８】
図８は行方向で往復させる駆動させる場合のＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素のオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。
【００５９】
図８中の符号Ａで示す時点は有機ＥＬパネルの端部に対応しており、ここを境にして駆動信号Ｒ，Ｇ，Ｂ（図８（ｅ）〜図８（ｇ）の駆動順が逆順とすることにより、図７（ａ）に示すように行方向に往復させることができる。
【００６０】
図７（ｂ）に示す例は行方向に配列されるＲ，Ｇ，Ｂの３画素を単位とし、駆動順を反転させて次の行の３画素を駆動することを繰り返して列方向の駆動を行う例である。
【００６１】
図７（ｂ）の例では、第１行について右方向に順に３画素を駆動し、３画素目に到達した後は第２行の右端から左方向に順に画素を駆動する。各画素を駆動する順序は右方向と左方向では逆となり、右方向ではＲ，Ｇ，Ｂの順に駆動し、左方向ではＢ，Ｇ，Ｒの順となる。
【００６２】
図９は図７（ｂ）の駆動例の場合のＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素のオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。
【００６３】
図９において、各クロックの境界の前後では、同じ画素（例えば、Ｂ画素又はＲ画素）の駆動信号が連続する。なお、この時点では列方向で移動があるため次の列の画素が駆動される。
【００６４】
図７（ｃ）に示す例は画素単位で列方向に駆動する例である。図ではＲ画素の列、Ｇ画素の列、Ｇ画素の列、…を順次駆動する例を示している。なお、各列の駆動順は行方向に順にＲ，Ｇ，Ｂ，…とすることも、Ｒ画素のみＢ画素のみといったように一種類の画素のみを駆動した後、次の一種類の画素のみを駆動するようにしてもよい。
【００６５】
また、図１０の駆動信号（（ｅ），（ｆ），（ｇ））に示すように任意の順とすることもできる。なお、図１０の例ではクロック信号の境界で同じ画素とする例を示している。
【００６６】
次に、本発明の有機ＥＬパネル検査装置の構成例について図１１を用いて説明する。
【００６７】
有機ＥＬパネルは電流駆動型であり、ここでは有機ＥＬ素子が形成された状態の有機ＥＬパネルを駆動し、駆動時に流れる電流を検出することによって有機ＥＬパネルの検査を行う。
【００６８】
有機ＥＬパネルの駆動は、データライン，スキャン信号ライン，出力用電源ライン、及び有機素子のカソードラインに対して各電圧を印加することにより行う。データライン及びスキャン信号ラインは、水平駆動回路及び垂直駆動回路の出力を有機ＥＬパネルに印加するラインであり、有機ＥＬ駆動用のＴＦＴを選択する。また、出力用電源ライン及び有機素子のカソードラインは有機ＥＬパネルに対して駆動電圧を印加する。
【００６９】
図１１は、本発明の有機ＥＬパネル検査装置の概略を説明するための図である。
【００７０】
有機ＥＬパネルの駆動は、信号線（データライン１２）を駆動する水平駆動回路５、及び走査線（スキャン信号ライン１４）を駆動する垂直駆動回路７により行われる。水平駆動回路５の一駆動方式としてシフトレジスタ６を用いるものが知られている。シフトレジスタ６は、クロック信号ライン１０のクロック信号に基づいて各ビットから各データライン１２に順次信号を出力する。
【００７１】
有機ＥＬパネル２のＲ，Ｇ，Ｂの各画素には、有機ＥＬ素子２ａ、有機ＥＬ用電極２ｂ、及び有機ＥＬ素子を駆動するＴＦＴ２ｃ，２ｄが設けられる。各ＴＦＴ２ｃは水平駆動回路５及び垂直駆動回路７により駆動され、当該水平駆動回路５及び垂直駆動回路７は駆動回路３により駆動制御される。なお、図１１では一画素のみ示している。
【００７２】
水平駆動回路５はシフトレジスタ６を備え、各シフトレジスタ信号は水平駆動回路５が備えるＴＦＴ（図示していない）を順次駆動する。このＴＦＴには表示信号（図示していない）が入力されている。ＴＦＴは、シフトレジスタ信号が入力した時点で入力している表示信号を、データライン１２を介して有機ＥＬパネル２のＴＦＴ２ｃに供給する。一方、有機ＥＬパネル２には垂直駆動回路７からスキャン信号ライン１４を介してスキャン信号が供給される。これにより、有機ＥＬパネル２が備える画素の内でデータライン１２からの表示信号とスキャン信号ライン１４からのスキャン信号とが交差する画素のＴＦＴ２ｃが駆動される。
【００７３】
また、各画素には、有機ＥＬ素子２ａ及び有機ＥＬ用電極２ｂが配置される。有機ＥＬ素子２ａのアイノードはＴＦＴ２ｄ及び有機ＥＬ用電極２ｂを介して出力用電源ライン１１に接続され、有機ＥＬ素子２ａのカイノードは有機ＥＬ素子カソードライン１３に接続される。出力用電源ライン１１には駆動回路３から高電位が印加され、有機ＥＬ素子カソードライン１３には駆動回路３から低位電位（０電位あるいは低電圧）が接続される。なお、出力用電源ライン１１は、Ｒ画素、Ｇ画素，Ｂ画素に電圧を印加するためのライン１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂを備えるものとする。
【００７４】
ＴＦＴ２ｄのゲート電極にはＴＦＴ２ｃが接続され、表示信号とスキャン信号で選択されたＴＦＴ２ｃによって駆動し、有機ＥＬ素子２ａに表示信号に応じた駆動電流を流し、有機ＥＬ素子２ａを発光させる。有機ＥＬパネル検査装置１は測定部８を備え、有機ＥＬ素子２ａのカソードを流れる有機ＥＬ素子カソード電流を測定して、有機ＥＬパネルの駆動検査を行う。
【００７５】
本発明の有機ＥＬパネル検査装置１は、Ｒ，Ｇ，Ｂの各出力用電源ライン１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂに対して各駆動信号（駆動信号Ｒ，駆動信号Ｇ，駆動信号Ｂ）を供給するための駆動信号形成部４を備える。
【００７６】
駆動信号形成部４は、駆動回路３からの画像信号Ｒ，Ｇ，Ｂ（例えば、図２（ｂ）〜（ｄ））に基づいて、駆動信号Ｒ，駆動信号Ｇ，駆動信号Ｂ（例えば、図２（ｅ）〜（ｇ））を形成する。駆動信号形成部４は、有機ＥＬパネルの各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させる駆動信号を形成するものであり、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素に対して各画素を実行時期を順次ずらしてパイプライン的に並行駆動させる駆動信号を形成する他、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素の実行時期の順序を任意に設定して駆動させる駆動信号を形成する。形成する信号のタイミングはクロック信号に基づいて設定することができる。
【００７７】
この駆動信号形成部４の画素信号の組み合わせ行うタイミングは測定部８に送られ、測定したパネル電流から各画素に対応する電流を区分して取り出す際に用いることができる。
【００７８】
本発明の第２の態様によれば、有機ＥＬパネルのＲ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素のオン動作とオフ動作とを独立して動作させ、Ｒ画素，Ｇ画素，Ｂ画素の各画素の実行時期の順序を任意に設定可能とすることにより、有機ＥＬパネル中の所望とする領域のみを検査することができ、また、Ｒ画素、Ｇ画素、あるいはＢ画素の特定の画素のみを検査することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
電流プログラム方式、電圧プログラム方式、時分割方式、インバータ方式などの各駆動方式による有機ＥＬ駆動用ＴＦＴアレイに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の第１の態様の第１例を説明するための図である。
【図２】本発明の第１の態様の第１例の各画素のオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。
【図３】本発明の第１の態様の第１例の各画素のオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。
【図４】本発明の第１の態様の第２例を説明するための図である。
【図５】本発明の第１の態様の第２例の各画素のオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。
【図６】本発明の第１の態様の第２例の各画素のオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。
【図７】本発明の第２の態様による画素の実行時期の順序例の任意設定を説明するための図である。
【図８】本発明の第２の態様の各画素のオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。
【図９】本発明の第２の態様の各画素のオン−オフ動作を説明するための他の信号の概略図である。
【図１０】本発明の第２の態様の各画素のオン−オフ動作を説明するための別の信号の概略図である。
【図１１】本発明の有機ＥＬパネル検査装置の概略を説明するための図である。
【図１２】１クロック中にＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素をオン−オフ動作を説明するための信号の概略図である。
【符号の説明】
【００８１】
１…有機ＥＬパネル検査装置、２…有機ＥＬパネル、２ａ…有機ＥＬ素子、２ｂ…有機ＥＬ電極、２ｃ，２ｄ…ＴＦＴ、３…駆動回路、４…駆動信号形成部、５…水平駆動回路、６…シフトレジスタ、７…垂直駆動回路、８…測定部、１０…クロック信号ライン、１１，１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ…出力用電源ライン、１２…データライン、１３…有機ＥＬ素子カソードライン、１４…スキャン信号ライン。  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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