(57)【要約】【課題】  正確な詰まり／劣化判断に寄与する水質改質システムを提供する。【解決手段】  水質改質システム２１は、水使用機器（機器）２２に供給する給水の水質を改質するためのシステムであり、給水を流す給水ライン２３と、給水中の不純物を除去する逆浸透膜部２４と、逆浸透膜部２４の逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化の判断及び他の制御を行う制御部２８とを備えて構成されている。【選択図】    図１
2005288220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機器に供給するための給水の水質を改質する水質改質システムであって、
前記給水を流す給水ラインと、
該給水ラインに接続され、前記給水中の不純物を除去する逆浸透膜部と、
前記逆浸透膜部の上流側及び下流側に接続される各種測定機器からの検知信号に基づいて透過流束を演算するとともに、該演算した透過流束と初期透過流束との比較を行って、前記逆浸透膜部の詰まり／劣化の判断を行う詰まり／劣化判断処理手段と、
を備えて構成する
ことを特徴とする水質改質システム。
【請求項２】
機器に供給するための給水の水質を改質する水質改質システムであって、
前記給水を流す給水ラインと、
該給水ラインに接続され、前記給水中の不純物を除去する逆浸透膜部と、
前記逆浸透膜部の上流側及び下流側に接続される圧力センサからの検知信号に基づいて圧力差を求めるとともに、該求めた圧力差と初期圧力差との比較を行って、前記逆浸透膜部の詰まり／劣化の判断を行う詰まり／劣化判断処理手段と、
を備えて構成する
ことを特徴とする水質改質システム。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の水質改質システムにおいて、
前記詰まり／劣化の判断は、前記逆浸透膜部の下流側の前記給水の水質情報、又は、前記逆浸透膜部の上流側及び下流側の前記給水の水質情報をも用いて判断する
ことを特徴とする水質改質システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水使用機器や熱機器等の機器に供給するための給水の水質を改質する水質改質システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の水質改質システムとしては、純水を製造する純水製造装置（例えば特許文献１参照）を含むシステムが知られている。純水製造装置は、一般に逆浸透膜を利用したものが多く用いられている。逆浸透膜を利用したものは、逆浸透膜の、溶媒は通すが溶質は透過させないという性質を利用して、被処理水の浸透圧より高い圧力をかけて、溶媒としての水だけを選択的に透過採取するようにしたものである。
【特許文献１】特開平５−２２０４８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記逆浸透膜は、水温変動による粘性があるために濾過処理水量が大きく変化してしまうことから、次のような問題点を有している。すなわち、上記逆浸透膜にあっては、目詰まり／劣化の発生があることから、そのままにしておくと流量低下の原因が水温変動によるものなのか目詰まり／劣化よるものなのかが正確に判断できないという問題点を有している。
【０００４】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、正確な詰まり／劣化判断に寄与する水質改質システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するためになされた請求項１記載の本発明の水質改質システムは、機器に供給するための給水の水質を改質する水質改質システムであって、前記給水を流す給水ラインと、該給水ラインに接続され、前記給水中の不純物を除去する逆浸透膜部と、前記逆浸透膜部の上流側及び下流側に接続される各種測定機器からの検知信号に基づいて透過流束を演算するとともに、該演算した透過流束と初期透過流束との比較を行って、前記逆浸透膜部の詰まり／劣化の判断を行う詰まり／劣化判断処理手段と、を備えて構成することを特徴としている。
【０００６】
このような特徴を有する本発明によれば、給水ラインを流れる給水が例えばポンプにより送り出されて逆浸透膜部に供給される。上記ポンプは例えばインバータ制御されてその流量が調整される。逆浸透膜部に供給された給水は、その中に含まれる不純物が捕捉される。これにより、不純物を除去した給水（透過水）が生成される。一方、本発明によれば、詰まり／劣化判断処理手段が備えられ、その詰まり／劣化判断処理手段で透過流束を求める演算が行われる。また、詰まり／劣化判断処理手段では演算した透過流束と初期透過流束との比較が行われ、逆浸透膜部の詰まり／劣化の判断がなされる。本発明が適用される機器としては、水使用機器や熱機器等が挙げられる。水使用機器としては、半導体製造で用いられる部品洗浄装置、医療現場で用いられる医療器具洗浄装置などの各種洗浄装置等が挙げられ、熱機器としては、蒸気ボイラ、温水ボイラ、クーリングタワー、給湯器等が挙げられる。
【０００７】
上記課題を解決するためになされた請求項２記載の本発明の水質改質システムは、機器に供給するための給水の水質を改質する水質改質システムであって、前記給水を流す給水ラインと、該給水ラインに接続され、前記給水中の不純物を除去する逆浸透膜部と、前記逆浸透膜部の上流側及び下流側に接続される圧力センサからの検知信号に基づいて圧力差を求めるとともに、該求めた圧力差と初期圧力差との比較を行って、前記逆浸透膜部の詰まり／劣化の判断を行う詰まり／劣化判断処理手段と、を備えて構成することを特徴としている。
【０００８】
このような特徴を有する本発明によれば、給水ラインを流れる給水が例えばポンプにより送り出されて逆浸透膜部に供給される。逆浸透膜部に供給された給水は、その中に含まれる不純物が捕捉される。これにより、不純物を除去した給水（透過水）が生成される。一方、本発明によれば、詰まり／劣化判断処理手段が備えられ、その詰まり／劣化判断処理手段で逆浸透膜部の上下流の圧力差を求める演算が行われる。また、詰まり／劣化判断処理手段では演算した圧力差と初期圧力差との比較が行われ、逆浸透膜部の詰まり／劣化の判断がなされる。本発明が適用される機器としては、水使用機器や熱機器等が挙げられる。水使用機器としては、半導体製造で用いられる部品洗浄装置、医療現場で用いられる医療器具洗浄装置などの各種洗浄装置等が挙げられ、熱機器としては、蒸気ボイラ、温水ボイラ、クーリングタワー、給湯器等が挙げられる。
【０００９】
請求項３記載の本発明の水質改質システムは、請求項１又は請求項２に記載の水質改質システムにおいて、前記詰まり／劣化の判断は、前記逆浸透膜部の下流側の前記給水の水質情報、又は、前記逆浸透膜部の上流側及び下流側の前記給水の水質情報をも用いて判断することを特徴としている。
【００１０】
このような特徴を有する本発明によれば、詰まり／劣化の判断に給水の水質情報が用いられる。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１、２に記載された本発明によれば、正確な詰まり／劣化判断に寄与する水質改質システムを提供することができるという効果を奏する。また、請求項３に記載された本発明によれば、より確実且つ正確に詰まり／劣化判断をすることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながら説明する。
図１（ａ）は本発明の水質改質システムの第一実施形態を示す構成図、（ｂ）は圧力センサに関する補足説明図である。また、図２は本発明の水質改質システムの第二実施形態を示す構成図、図３はポンプの制御に係る説明図、図４は制御部の一処理（第一、第二実施形態の運転制御）を示すフローチャート、図５は制御部の一処理（第一、第二実施形態の詰まり／劣化判断）を示すフローチャート、図６は本発明の水質改質システムの第三実施形態を示す構成図、図７は本発明の水質改質システムの第四実施形態を示す構成図、図８は制御部の一処理（第三、第四実施形態の詰まり／劣化判断）を示すフローチャートである。
【００１３】
図１において、引用符号２１で示される本発明の水質改質システムは、水使用機器（機器）２２に供給する給水の水質を改質するためのシステムであって、給水を流す給水ライン２３と、給水中の不純物を除去する逆浸透膜部２４と、給水を逆浸透膜部２４に対して供給するポンプ２５と、逆浸透膜部２４の上流側及び下流側に接続される各種測定機器２６と、ポンプ２５の回転数を出力周波数に応じて可変させるインバータ２７と、インバータ２７への指令信号の出力、逆浸透膜部２４の後述する逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化の判断、及び他の制御を行う制御部２８とを備えて構成されている。以下、各構成について説明する。
【００１４】
給水ライン２３は、水の供給源２９と水使用機器２２との間にのびる、給水を流すためのラインであって、その中間には、逆浸透膜部２４と、ポンプ２５と、各種測定機器２６としての流量センサ２６ａ、温度センサ２６ｂ、圧力センサ２６ｃ、及び電気伝導度計２６ｄとが各々接続されている。供給源２９には、水道水、工業用水、地下水等の水源から供給される被処理水が貯留されている。その被処理水は、本発明の水質改質システム２１により水質が改質され、水使用機器２２に供給されるようになっている。
【００１５】
水使用機器２２としては、半導体製造で用いられる部品洗浄装置、医療現場で用いられる医療器具洗浄装置などの各種洗浄装置等が挙げられる。尚、供給源２９とポンプ２５との間には、ゴミ等を除去するためのプレフィルタ（図示省略）が備えられている。
【００１６】
逆浸透膜部２４は、給水中の不純物を除去するために、分子量が数十程度のものをろ別可能な逆浸透膜（ＲＯ膜）を多数有する筒状の逆浸透膜モジュール（図示省略）を備えて構成されている。上記逆浸透膜は、例えばポリアミド系複合合成膜を用いて形成されている。上記逆浸透膜は、各社から市販されており、容易に入手することができる。
【００１７】
逆浸透膜部２４の一端には、ポンプ２５から送り出された給水が流入するようになっている。流入した給水は、逆浸透膜部２４の内部において、上記逆浸透膜モジュールにより不純物が捕捉されるようになっている。逆浸透膜部２４の他端からは、透過水と濃縮水とが流出するようになっている。その透過水は、給水ライン２３を流れて、給水として水使用機器２２に供給されるようになっている。一方、濃縮水は、その一部が排水ライン３０側へ流れるとともに、残りが循環水ライン３１を流れてポンプ２５の上流側に供給されるようになっている。
【００１８】
ポンプ２５は、上記プレフィルタの下流側の給水ライン２３を流れる、ゴミ等が除去された給水を逆浸透膜部２４に供給するためのものであって、その回転数は、ポンプ２５に接続されるインバータ２７から出力される出力周波数に応じて可変するように構成されている（定流量制御がなされる。定流量制御については後述する）。インバータ２７は、制御部２８に接続されている。また、インバータ２７は、制御部２８からの指令信号により作動するように構成されている。
【００１９】
流量センサ２６ａは、給水量を検知して流量検知信号を制御部２８に出力するものであって、バルーンＡで示される位置、すなわち逆浸透膜部２４の下流側の給水ライン２３に接続されている。流量センサ２６ａからの流量検知信号は、上記指令信号の生成及び上記詰まり／劣化の判断に用いられるようになっている。
【００２０】
逆浸透膜部２４の上流側の給水ライン２３、逆浸透膜部２４の下流側の給水ライン２３、排水ライン３０に接続されるバルーンＢは、温度センサ２６ｂの位置を示している。温度センサ２６ｂは、これら三つの位置のいずれかに接続されており、給水の温度を検知して温度検知信号を制御部２８に出力するように構成されている。温度センサ２６ｂからの温度検知信号は、主に、上記詰まり／劣化の判断に用いられるようになっている。
【００２１】
逆浸透膜部２４の上流側の給水ライン２３に接続されるバルーンＣは、圧力センサ（運転圧力センサ）２６ｃの位置を示している。圧力センサ２６ｃは、給水の圧力を検知して圧力検知信号を制御部２８に出力するように構成されている。尚、圧力センサ２６ｃは上記位置に限らないものとする。すなわち、図１（ｂ）に示されるように、上記給水の圧力を検知する圧力センサ２６ｃと、逆浸透膜部２４を通過した濃縮水の圧力を検知する圧力センサ２６ｃ′（バルーンＣ′参照）とを設けてもよいものとする。そして、これらから出力される圧力検知信号に基づいて、制御部２８で平均圧力［（給水の圧力＋濃縮水の圧力）／２］を求めて利用してもよいものとする。また他には、逆浸透膜部２４を通過した透過水の圧力を検知する圧力センサ２６ｃ″（バルーンＣ″参照）を、上記圧力センサ２６ｃ及び圧力センサ２６ｃ′の他に更に設けるようにしてもよいものとする。そして、上記平均圧力から透過水の圧力を差し引いて、逆浸透膜部２４の上記逆浸透膜の有効圧力［｛（給水の圧力＋濃縮水の圧力）／２｝−透過水の圧力］を求め、これを利用してもよいものとする。さらに他には、上記圧力センサ２６ｃ及び圧力センサ２６ｃ″を設け、給水の圧力から透過水の圧力を差し引いて逆浸透膜部２４の上記逆浸透膜の有効圧力［給水の圧力−透過水の圧力］を求め、これを利用してもよいものとする。圧力センサ２６ｃ（２６ｃ′、２６ｃ″）からの圧力検知信号は、主に、上記詰まり／劣化の判断に用いられるようになっている。
【００２２】
ここで補足説明をすると、温度センサ２６ｂ及び圧力センサ２６ｃは、流量センサ２６ａに異常があった場合に、その流量センサ２６ａに代わってバックアップ対応をする重要な役割を有している（これについては後述する）。
【００２３】
電気伝導度計２６ｄは、逆浸透膜部２４を通過した透過水の電気伝導度を検知してその検知信号を制御部２８に出力するものであって、バルーンＤで示される位置、すなわち逆浸透膜部２４の下流側の給水ライン２３に接続されている。電気伝導度計２６ｄからの検知信号は、上記詰まり／劣化の判断に用いられるようになっている。電気伝導度計２６ｄの設置は任意であるが、本例のように設置した場合には、イオン除去率の変化を検知することができるようになるため、上記詰まり／劣化の判断がより正確になるという利点を有している。尚、電気伝導度計２６ｄに替えて、水質情報を制御部２８に出力することが可能な測定機器を逆浸透膜部２４の下流側、又は、逆浸透膜部２４の上流及び下流側に設けることでもよいものとする。
【００２４】
制御部２８は、所謂マイクロコンピュータであって、具体的には、特に図示しないが、ＣＰＵとＲＯＭとＲＡＭとインターフェースとを備えて構成されている。上記ＲＯＭには、プログラムや固定データ等が格納されている。上記ＣＰＵは、中央演算処理装置であり、上記ＲＯＭに予め格納された制御プログラムに従って作動するようになっている。上記ＲＡＭは、上記ＣＰＵの処理の過程で利用する各種のデータを格納するデータエリアと、処理の際に使用するワークエリア等とを有している。その他、各種の設定値情報等が格納される電気的消去／書き換え可能な読み出し専用のメモリも備えられている。
【００２５】
上記インターフェースには、流量センサ２６ａ、温度センサ２６ｂ、圧力センサ２６ｃ、電気伝導度計２６ｄ、インバータ２７がそれぞれ接続されている。また、上記インターフェースには、異常を通報するための通報手段３２や、警報を発する警報手段（図示省略）も接続されている。
【００２６】
次に、図２を参照しながら本発明の水質改質システムの第二実施形態を説明する。尚、上記と同じ構成部材については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２７】
図２において、引用符号４１で示される本発明の水質改質システムは、水使用機器や熱機器等の機器４２に供給する給水の水質を改質するためのシステムであって、給水を流す給水ライン２３と、給水中の不純物を除去する逆浸透膜部２４と、給水を逆浸透膜部２４に対して供給するポンプ２５と、ポンプ２５の回転数を出力周波数に応じて可変させるインバータ２７と、インバータ２７への指令信号の出力、逆浸透膜部２４の詰まり／劣化の判断、及び他の制御を行う制御部２８と、バルーンＡのいずれかの位置に接続される流量センサ２６ａと、バルーンＢのいずれかの位置に接続される温度センサ２６ｂと、バルーンＣの位置、又は図１（ｂ）のバルーンＣ〜Ｃ″のいずれかの位置に接続される圧力センサ２６ｃと、バルーンＤの位置に接続される電気伝導度計２６ｄと、逆浸透膜部２４の下流側に接続されて給水中の溶存気体を除去する溶存気体除去処理部４３とを備えて構成されている。本発明の水質改質システム４１は、図１の形態に対して、溶存気体除去処理部４３を増やした構成になっている。
【００２８】
溶存気体除去処理部４３は、上述の如く、給水に含まれる溶存気体を除去することができるように構成されている。もう少し詳しく説明（図示省略）すると、例えば、気体濾過膜を複数備えた筒状の部材となる脱気モジュールと、水封式真空ポンプと、脱気モジュール及び水封式真空ポンプを繋ぐ真空ラインと、逆浸透膜部２４から回収した上記濃縮水を貯留する封水タンクと、水封式真空ポンプ及び封水タンクを繋ぐ封水循環ラインとを備えて構成されている。
【００２９】
上記脱気モジュールには、給水ライン２３が接続されている。また、上記真空ラインが接続されている。上記水封式真空ポンプは、各脱気モジュールから溶存気体を吸引するためのものであって、上記真空ラインと上記封水循環ラインとが接続されている。上記封水循環ラインは、上記封水タンクから上記水封式真空ポンプに封水を供給するとともに、吸引した気体と封水との混合流体を上記封水タンクに排出することができるように構成されている。
【００３０】
尚、流量センサ２６ａは、ここでは溶存気体を除去した後の給水量を検知して流量検知信号を制御部２８に出力するように構成されている（逆浸透膜部２４と溶存気体除去処理部４３との間に接続してもよいものとする）。
【００３１】
機器４２としては、上述の如く、水使用機器や熱機器等が挙げられる。水使用機器としては、半導体製造で用いられる部品洗浄装置、医療現場で用いられる医療器具洗浄装置などの各種洗浄装置等が挙げられ、熱機器としては、蒸気ボイラ、温水ボイラ、クーリングタワー、給湯器等が挙げられる。
【００３２】
続いて、図３を参照しながら上記定流量制御（インバータ２７によるＰＩＤフィードバック制御）について説明する。本制御は、インバータ２７のＰＩＤ制御機能（Ｐ制御：比例制御、Ｉ制御：積分制御、Ｄ制御：微分制御）を使用し、実処理水量が目標値となるようにインバータ周波数を制御する機能である。上記逆浸透膜は、水温変動による粘性のために処理水量が大きく変化する。水温が低くなるほど処理水量は低下するため、冬場など水温が低下してしまうと、処理水量は定格時（２５℃）の場合と比べ低くなる。処理水量と操作圧力はほぼ比例関係があり、水温による低下分に応じて圧力を上げることで定格処理水量を得ることが可能になる。本発明は、設定した目標処理水量となるようにＰＩＤ制御にて周波数を可変することで、常に理想的な運転を行い省エネを図っている。
【００３３】
ＰＩＤ制御は、図３に示されるように、流量センサ２６ａからの流量検知信号を受けて制御部２８が指令信号をインバータ２７に出力する。インバータ２７は、その指令信号をフィードバック値として目標値と比較を行い、その間に偏差があると、偏差をゼロにするように動作する。
【００３４】
ところで、常に理想的な運転を行うために、制御部２８は次のような制御を行っている。図４において、制御部２８は通常の制御を行いつつ（ステップＳ１）、流量センサ２６ａの異常有無を監視する（ステップＳ２）。その監視は流量センサ２６ａからの信号有無で判断する。流量センサ２６ａからの信号があれば、断線等の異常がないものと判断（ステップＳ２でＮ）し、通常制御を続ける。一方、流量センサ２６ａからの信号が途絶えた場合には、断線等の異常があるものと判断（ステップＳ２でＹ）し、ステップＳ３の処理に移行する。この時、異常があった旨を上記通報手段３２を介して通報する（この時点で通報することにより復旧の作業が早まる）。ステップＳ３の処理では、温度センサ２６ｂからの温度検知信号に基づき（又は圧力センサ２６ｃ及び温度センサ２６ｂからの圧力検知信号及び温度検知信号に基づき）予め定めた、例えば温度に対応する電流値（又は温度及び圧力に対応する電流値）を指令信号として出力する。これは、流量センサ２６ａの故障等の異常時におけるバックアップ制御である。
【００３５】
制御部２８は、逆浸透膜部２４の上記濾過部材の詰まり／劣化を判断するために、次のような制御も行っている。図５において、流量センサ２６ａからの流量検知信号、温度センサ２６ｂからの温度検知信号、圧力センサ２６ｃからの圧力検知信号に基づいて運転中の給水に関する透過流束を演算により求める（ステップＳ１１）。演算して求められた透過流束は、予め演算されて記憶された初期透過流束と比較される。そして、初期透過流束に対して許容値を超えるひらきがでた場合には、上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化が生じたと判断（ステップＳ１２でＹ）してステップＳ１３の処理に移行する。ステップＳ１３の処理では、上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化が生じた旨を上記通報手段３２を介して通報する（及び／又は警報する）。一方、上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化が生じてない場合には（ステップＳ１２でＮ）、再度ステップＳ１１の処理を実行する。
【００３６】
尚、ステップＳ１２の処理において、上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化が生じたと判断する場合には、電気伝導度計２６ｄ（一例であるものとする。水質情報を出力可能な他の測定機器を用いてもよいものとする）からの検知信号に基づく水質情報も判断に用いるものとする。制御部２８が行う上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化の判断は、例えば、上記逆浸透膜（ＲＯ膜）に対する洗浄のタイミングを予知する際に有用になる。制御部２８は、特許請求の範囲に記載した詰まり／劣化判断処理手段に相当するものであり、流量センサ２６ａ、温度センサ２６ｂ、圧力センサ２６ｃ、電気伝導度計２６ｄは、詰まり／劣化判断処理手段に関係する各種測定機器である。
【００３７】
図６を参照しながら本発明の水質改質システムの第三実施形態を説明する。尚、上記と基本的に同じ構成部材については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００３８】
図６において、引用符号５１で示される本発明の水質改質システムは、水使用機器や熱機器等の機器４２に供給する給水の水質を改質するためのシステムであって、給水を流す給水ライン２３と、給水中の不純物を除去する逆浸透膜部２４と、給水を逆浸透膜部２４に対して供給するポンプ２５と、逆浸透膜部２４の下流側に接続される定流量弁５２と、逆浸透膜部２４の詰まり／劣化の判断、及び他の制御を行う制御部２８と、制御部２８に接続される通報手段３２と、バルーンＣとＣ″、バルーンＣ〜Ｃ″のいずれかの位置に接続されるとともに制御部２８に接続される圧力センサ２６ｃと、バルーンＤの位置に接続されるとともに制御部２８に接続される電気伝導度計２６ｄとを備えて構成されている。
【００３９】
図６の水質改質システム５１は、図１の水質改質システム２１と異なり、ポンプ２５のインバータ制御ではなく、定流量弁５２による定流量制御の構成となっている。定流量弁５２は既知のものを用いており、ここでは説明を省略する。
【００４０】
続いて、図７を参照しながら本発明の水質改質システムの第四実施形態を説明する。尚、上記と基本的に同じ構成部材については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４１】
図７において、引用符号６１で示される本発明の水質改質システムは、水使用機器や熱機器等の機器４２に供給する給水の水質を改質するためのシステムであって、給水を流す給水ライン２３と、給水中の不純物を除去する逆浸透膜部２４と、給水を逆浸透膜部２４に対して供給するポンプ２５と、逆浸透膜部２４の下流側に接続されて給水中の溶存気体を除去する溶存気体除去処理部４３と、溶存気体除去処理部４３の下流側に接続される定流量弁５２と、逆浸透膜部２４の詰まり／劣化の判断、及び他の制御を行う制御部２８と、制御部２８に接続される通報手段３２と、バルーンＣとＣ″、バルーンＣ〜Ｃ″のいずれかの位置に接続されるとともに制御部２８に接続される圧力センサ２６ｃと、バルーンＤの位置に接続されるとともに制御部２８に接続される電気伝導度計２６ｄとを備えて構成されている。
【００４２】
図７の水質改質システム６１は、図６の水質改質システム５１に対して、溶存気体除去処理部４３を増やした構成になっている。
【００４３】
制御部２８は、逆浸透膜部２４の上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化を判断するために、次のような制御を行っている。図８において、圧力センサ２６ｃと圧力センサ２６ｃ″からの圧力検知信号に基づいて、又は圧力センサ２６ｃ〜圧力センサ２６ｃ″からの圧力検知信号に基づいて逆浸透膜部２４の上下流の圧力差を求める演算を行う（ステップＳ２１）。求められた圧力差は、予め演算されて記憶された初期圧力差と比較される。そして、初期圧力差に対して許容値を超えるひらきがでた場合には、上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化が生じたと判断（ステップＳ２２でＹ）してステップＳ２３の処理に移行する。ステップＳ２３の処理では、上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化が生じた旨を上記通報手段３２を介して通報する（及び／又は警報する）。一方、上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化が生じてない場合には（ステップＳ２２でＮ）、再度ステップＳ２１の処理を実行する。尚、ステップＳ２２の処理において、上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化が生じたと判断する場合には、電気伝導度計２６ｄ（一例であるものとする。水質情報を出力可能な他の測定機器を用いてもよいものとする）からの検知信号に基づく水質情報も判断に用いるものとする。制御部２８が行う上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化の判断は、例えば、上記逆浸透膜（ＲＯ膜）に対する洗浄のタイミングを予知する際に有用になる。
【００４４】
以上、図１ないし図８を参照しながら説明してきたように、本発明の水質改質システム２１（４１、５１、６１）は、逆浸透膜部２４の上記逆浸透膜（ＲＯ膜）の詰まり／劣化を正確に判断することができる。また、水質改質システム２１（４１）は、インバータ２７のＰＩＤ制御機能を使用して、実処理水量が目標値となるようにインバータ周波数を制御することから、省エネ運転に寄与することができる。
【００４５】
その他、本発明は本発明の主旨を変えない範囲で種々変更実施可能なことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】（ａ）は本発明の水質改質システムの第一実施形態を示す構成図、（ｂ）は圧力センサに関する補足説明図である。
【図２】本発明の水質改質システムの第二実施形態を示す構成図である。
【図３】ポンプの制御に係る説明図である。
【図４】制御部の一処理（第一、第二実施形態の運転制御）を示すフローチャートである。
【図５】制御部の一処理（第一、第二実施形態の詰まり／劣化判断）を示すフローチャートである。
【図６】本発明の水質改質システムの第三実施形態を示す構成図である。
【図７】本発明の水質改質システムの第四実施形態を示す構成図である。
【図８】制御部の一処理（第三、第四実施形態の詰まり／劣化判断）を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４７】
２１  水質改質システム
２２  水使用機器（機器）
２３  給水ライン
２４  逆浸透膜部
２５  ポンプ
２６  各種測定機器
２６ａ  流量センサ
２６ｂ  温度センサ
２６ｃ  圧力センサ
２６ｄ  電気伝導度計
２７  インバータ
２８  制御部（詰まり／劣化判断処理手段）
２９  供給源
３０  排水ライン
３１  循環水ライン
３２  通報手段
４１  水質改質システム
４２  機器
４３  溶存気体除去処理部
５１  水質改質システム
５２  定流量弁
６１  水質改質システム
【図１】
2005288220.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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