(57)【要約】【課題】シート状の接着フィルムをそのまま使用できるのでロスが小さく、半導体チップから接着フィルムがはみ出さないようにマウントできる半導体装置の製造方法と、これに用いる半導体装置の製造装置および接着フィルムを提供する。【解決手段】支持フィルム１１上に設けられた接着フィルム１０に対して、接着フィルム１０側から支持フィルム１１の表面または途中の深さＤまでの切り込み１０ａを入れ、接着フィルム１０を所定サイズに切断する。次に、支持フィルム１１を引き延ばして、切断された個々の接着フィルム１０に分離し、切断された個々の接着フィルム１０に半導体チップ２１を貼り合わせ、半導体チップ２１を接着フィルム１０により基板２０上にマウントして、半導体装置を製造する。【選択図】図３
2005116545.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップを接着フィルムにより基板上にマウントする半導体装置の製造方法であって、
支持フィルム上に設けられた接着フィルムに対して、前記接着フィルム側から前記支持フィルムの表面または途中の深さまでの切り込みを入れ、前記接着フィルムを所定サイズに切断する工程と、
前記支持フィルムを引き延ばして、切断された個々の前記接着フィルムに分離する工程と、
切断された個々の前記接着フィルムに半導体チップを貼り合わせる工程と、
前記半導体チップを前記接着フィルムにより前記基板上にマウントする工程と
を有する半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記接着フィルムを所定サイズに切断する工程においては、一段刃で切断する
請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記接着フィルムを所定サイズに切断する工程においては、前記支持フィルムが吸収しない波長のレーザ光を前記接着フィルムに照射して切断する
請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記接着フィルムを所定サイズに切断する工程においては、前記支持フィルムを引き延ばす工程において前記接着フィルムが引き延ばされた後にも前記半導体チップのサイズを超えないようなサイズとして切断する
請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記支持フィルムを引き延ばす工程においては、前記接着フィルムが設けられた面の裏面側から前記支持フィルムに先端が丸められた突き上げ治具で突き上げて行う
請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記支持フィルムを引き延ばす工程においては、前記支持フィルムを支持リングに貼り合わせ、前記支持リングの中心から放射線方向に前記支持フィルムを引き延ばして行う
請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記接着フィルムを所定サイズに切断する工程において、前記半導体チップの幅より大きな幅を有するシート状の接着フィルムを供給して切断する
請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
半導体チップを接着フィルムにより基板上にマウントする半導体装置の製造装置であって、
所定サイズに切断された接着フィルムが設けられた支持フィルムを支持する支持部と、  前記接着フィルムが設けられた面の裏面側から、前記支持フィルムを引き延ばして切断された個々の前記接着フィルムに分離するように前記支持フィルムを突き上げるための先端が丸められた突き上げ治具と、
前記半導体チップを吸着して保持し、個々に分離された前記接着フィルムに前記半導体チップを貼り合わせ、前記接着フィルムを貼り合わせた半導体チップを吸着して保持し、前記基板上にマウントする吸着部と
を有する半導体装置の製造装置。
【請求項９】
半導体チップを基板上に接着する接着フィルムであって、
支持フィルム上に設けられており、
前記接着フィルム側から前記支持フィルムの表面または途中の深さまでの切り込みが入れられて、所定サイズに切断されている
接着フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置の製造方法、半導体装置の製造装置および接着フィルムに関し、特に、システムインパッケージ（ＳｉＰ）と呼ばれるパッケージ形態の半導体装置の製造方法と、それに用いる半導体装置の製造装置および接着フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
デジタルビデオカメラ、デジタル携帯電話、あるいはノートパソコンなど、携帯用電子機器の小型化、薄型化、軽量化に対する要求は強くなる一方であり、これに応えるために近年のＶＬＳＩなどの半導体装置においては３年で７割の縮小化を実現してきた一方で、このような半導体装置をプリント配線基板上に実装した電子回路装置としても、実装基板（プリント配線基板）上の部品の実装密度をいかに向上させるかが重要な課題として研究および開発がなされてきた。
【０００３】
例えば、半導体装置のパッケージ形態としては、ＤＩＰ（Dual Inline Package ）などのリード挿入型から表面実装型へと移行し、さらには半導体チップのパッド電極にはんだや金などからなるバンプ（突起電極）を設け、フェースダウンでバンプを介して配線基板に接続するフリップチップ実装法が開発された。
【０００４】
また、半導体チップ上において再配線層とも称せられる多層配線が形成された形態、さらには半導体チップ上に形成される再配線層を絶縁する絶縁層の層間にコイルなどの受動素子や他の半導体チップが埋め込まれてパッケージ化されたシステムインパッケージ（ＳｉＰ）と呼ばれる複雑な形態のパッケージへと開発が進んでいる。
【０００５】
上記のＳｉＰ形態である、半導体チップ上に形成される再配線層を絶縁する絶縁層の層間に他の半導体チップが埋め込まれてなる半導体装置を製造する方法として、基板となる半導体チップ（以下単に基板とも称する）上に他の半導体チップ（以下単に半導体チップとも称する）をダイボンディングし、これを被覆して再配線層を内蔵する樹脂層からなる絶縁層を形成する方法が広く知られている。
【０００６】
このような半導体装置の製造方法において、基板上に半導体チップをダイボンディングする方法として、半導体チップがダイシング前のウェハの状態で供給される場合には、ウェハの状態でウェハ裏面側から研削して薄型化し、ウェハの状態でダイアタッチフィルム（接着フィルム）をラミネートし、ダイシングにより個々の半導体チップに個片化し、得られた半導体チップをフェースアップあるいはフェースダウンで基板にマウントする方法が広く行われている。
【０００７】
一方、半導体チップが既に個片化された状態で供給される場合には、通常、４インチφのチップトレイで供給し、これをダイボンダによりフェースアップあるいはフェースダウンで基板にマウントしてＳｉＰへと組み込む。
ここで、ウェハ状態での多層化やＳｉＰを構成する樹脂などに起因する制約があるため、ＳｉＰに組み込む半導体チップとしては５０μｍ程度にまで薄型化が必要となってきており、個片化された半導体チップについても以下のような手順で薄型化を行う。
即ち、半導体チップを研削用の保護テープの中央部にハイトゲージ用のモニタウェハを貼り付け、その周辺に個片化した半導体チップを並べて貼り合わせ、モニタウェハの厚みをモニタしながら研削する。
【０００８】
研削して得られた薄型の半導体チップは、基板上へマウントするため転写シートなどに貼り直されてダイボンダへと供給される。
ここで、例えばダイボンダにおいて絶縁性ペーストを用いてフェースアップで貼り合わせようとする場合、ペーストを均一な膜厚とするためのスクラブ動作が必要となる。しかし、薄型の半導体チップでは強度が不足して割れてしまうおそれがあるのでスクラブできず、このため薄型の半導体チップはペーストによる貼り合わせはできない。
そのため、薄型の半導体チップは膜厚が均一なダイアタッチフィルムを用いて貼り合わせることになる。
【０００９】
ダイアタッチフィルムは、図１５の模式図に示すように、通常、ロールＲ1の状態で供給される。
これは、半導体チップの幅よりも広い幅Ｗ1を有するので、実際に使用する時には、図１６の模式図に示すように、半導体チップの幅Ｗ2に合わせてカットしたロールＲ2とし、さらに図１７の模式図に示すように、ロールＲ2からカッター１００で半導体チップサイズに切り出し、得られた所定サイズのダイアタッチフィルム１０１を半導体チップ１０２にコレット１０３を用いて貼り合わせる。
このようにしてダイアタッチフィルムを貼り合わせた半導体チップは、吸着コレット１０３により基板上へと搬送され、基板上にマウントされる。
【００１０】
しかし、上記のような方法においては、チップの幅に合わせてカットしたロールを準備しなければならず、サイズが異なる複数種類の半導体チップを取り扱う場合にはロスが大きくなってしまう。
さらに、カット後に精度良く半導体チップに貼り合わせることが困難であり、半導体チップからダイアタッチフィルムがはみ出しやすく、実際にはみ出してしまった場合、ダイアタッチフィルムがはみ出した部分においては感光性がなく、ヴィアホールの開口が不可能となるので、配線不良が生じるおそれがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
解決しようとする問題点は、個片化され、かつ薄型化された半導体チップを基板上にマウントする場合、ダイアタッチフィルム（接着フィルム）のロスが大きく、半導体チップからダイアタッチフィルムがはみ出して配線不良が発生しやすい点である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の半導体装置の製造方法は、半導体チップを接着フィルムにより基板上にマウントする半導体装置の製造方法であって、支持フィルム上に設けられた接着フィルムに対して、前記接着フィルム側から前記支持フィルムの表面または途中の深さまでの切り込みを入れ、前記接着フィルムを所定サイズに切断する工程と、前記支持フィルムを引き延ばして、切断された個々の前記接着フィルムに分離する工程と、切断された個々の前記接着フィルムに半導体チップを貼り合わせる工程と、前記半導体チップを前記接着フィルムにより前記基板上にマウントする工程とを有する。
【００１３】
上記の本発明の半導体装置の製造方法は、半導体チップを接着フィルムにより基板上にマウントする半導体装置の製造方法であって、まず、支持フィルム上に設けられた接着フィルムに対して、接着フィルム側から支持フィルムの表面または途中の深さまでの切り込みを入れ、接着フィルムを所定サイズに切断する。
次に、支持フィルムを引き延ばして、切断された個々の接着フィルムに分離し、切断された個々の接着フィルムに半導体チップを貼り合わせ、半導体チップを接着フィルムにより基板上にマウントする。
【００１４】
また、本発明の半導体装置の製造装置は、半導体チップを接着フィルムにより基板上にマウントする半導体装置の製造装置であって、所定サイズに切断された接着フィルムが設けられた支持フィルムを支持する支持部と、前記接着フィルムが設けられた面の裏面側から、前記支持フィルムを引き延ばして切断された個々の前記接着フィルムに分離するように前記支持フィルムを突き上げるための先端が丸められた突き上げ治具と、前記半導体チップを吸着して保持し、個々に分離された前記接着フィルムに前記半導体チップを貼り合わせ、前記接着フィルムを貼り合わせた半導体チップを吸着して保持し、前記基板上にマウントする吸着部とを有する。
【００１５】
上記の本発明の半導体装置の製造装置は、半導体チップを接着フィルムにより基板上にマウントする半導体装置の製造装置であって、支持部と、突き上げ治具と、吸着部とを有する。
支持部は、所定サイズに切断された接着フィルムが設けられた支持フィルムを支持する。
突き上げ治具は先端が丸められており、接着フィルムが設けられた面の裏面側から、支持フィルムを引き延ばして切断された個々の接着フィルムに分離するように支持フィルムを突き上げる。
また、吸着部は、半導体チップを吸着して保持し、個々に分離された接着フィルムに半導体チップを貼り合わせ、接着フィルムを貼り合わせた半導体チップを吸着して保持し、基板上にマウントする。
【００１６】
また、本発明の接着フィルムは、半導体チップを基板上に接着する接着フィルムであって、支持フィルム上に設けられており、前記接着フィルム側から前記支持フィルムの表面または途中の深さまでの切り込みが入れられて、所定サイズに切断されている。
【００１７】
上記の本発明の接着フィルムは、半導体チップを基板上に接着する接着フィルムであって、支持フィルム上に設けられている。
ここで、接着フィルム側から支持フィルムの表面または途中の深さまでの切り込みが入れられて、所定サイズに切断されている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の半導体装置の製造方法は、シート状の接着フィルムをそのまま使用できるのでロスは小さい。また、半導体チップから接着フィルムがはみ出さないようにマウントできるので配線不良の発生を抑制して製造できる。
【００１９】
本発明の半導体装置の製造装置は、本発明の半導体装置の製造方法を実現することができ、半導体チップに対応して切断されたシート状の接着フィルムを個々の接着フィルムに分離して、半導体チップを接着フィルムにより基板上にマウントすることができる。
【００２０】
本発明の接着フィルムは、本発明の半導体装置の製造方法において使用でき、半導体チップからはみ出さないようにして半導体チップを基板上に接着することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に、本発明に係る半導体装置の製造方法、半導体装置の製造装置および接着フィルムの実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２２】
第１実施形態
本実施形態に係る半導体装置は、基板となる半導体チップ（以下単に基板とも称する）上に他の半導体チップ（以下単に半導体チップとも称する）がダイボンディングされ、これを被覆して再配線層を内蔵する樹脂層からなる絶縁層が形成されているＳｉＰ形態の半導体装置である。
半導体チップおよび基板には、それぞれ所定の半導体素子や電子回路が設けられており、再配線層により互いに接続され、半導体チップおよび基板が集積されている。
【００２３】
上記の半導体チップは、個片化された状態で供給され、絶縁層中に埋め込まれるため５０μｍ程度の厚さにまで薄膜化れたものである。
この薄膜化は、例えば、半導体チップを研削用の保護テープの中央部にハイトゲージ用のモニタウェハを貼り付け、その周辺に個片化した半導体チップを並べて貼り合わせ、モニタウェハの厚みをモニタしながら研削して行う。
上記のように薄膜化された半導体チップは、ダイアタッチフィルム（接着フィルム）によりフェースアップで基板にマウントされ、ＳｉＰへと組み込まれる。
【００２４】
図１は上記のダイアタッチフィルムの供給時（使用前）における断面図である。
例えば、エポキシ樹脂などの接着性樹脂からなる膜厚１０〜５０μｍのダイアタッチフィルム１０は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などからなる膜厚５０μｍの支持フィルム１１と同じくＰＥＴなどからなる膜厚２０μｍのカバーフィルム１２に挟まれて供給される。
使用するときには、まずカバーフィルム１２をダイアタッチフィルム１０から剥離し、ダイアタッチフィルム１０上に接着対象となる半導体チップを貼り合わせた後、支持フィルム１１を剥離して、ダイアタッチフィルム１０により半導体チップを基板上に貼り合わせる。
【００２５】
次に、本実施形態に係る半導体チップを上記のダイアタッチフィルムにより基板上にマウントする半導体装置の製造方法について説明する。
まず、ダイアタッチフィルム１０上に設けられたカバーフィルム１２を剥離し、支持フィルム１１上に設けられたダイアタッチフィルム１０に対して切り込みを入れ、ダイアタッチフィルム１０を所定サイズに切断する。
【００２６】
ここで、ダイアタッチフィルムを切断するためには、例えば図２の模式図に示す構成の一段刃３０を用いる。これは、円盤形状の基体の外周縁に型抜き刃を設けた構成であり、図２は円盤の表面に対して垂直な面での断面図に相当する。
例えば、刃の長さＬは０．５μｍ程度であり、刃の先端角θは７〜１３°であり、ダイアタッチフィルムを切断したときにダイアタッチフィルムを構成する樹脂成分が接着しにくいように、表面にフッ素系被膜が形成されている。
【００２７】
ダイアタッチフィルム１０に切り込みを入れる際には、図３の模式図に示すように、支持フィルム１１上に設けられたダイアタッチフィルム１０に対して、一段刃３０を用いて、ダイアタッチフィルム１０側から支持フィルム１１の途中の深さ（Ｄ）までの切り込み１０ａを入れ、支持フィルム１１を完全に切断しないようにダイアタッチフィルム１０を切断する。支持フィルム１１に入れる切り込み１０ａの深さＤは、例えば１０μｍとする。
上記のようにダイアタッチフィルム１０に切り込みを入れる際には、例えば図４の平面図に示すように、半導体チップのサイズに対応するサイズで賽の目状に切り込み１０ａを入れる。
この方法では、上記のダイアタッチフィルムを所定サイズに切断する際に、半導体チップの幅より大きな幅を有するロールからシート状のダイアタッチフィルムを供給しても、所定サイズに切り出すことが可能となっており、任意サイズのダイアタッチフィルムを供給しても対応することができる。
【００２８】
このとき、後工程である支持フィルムを引き延ばす工程において接着フィルムが引き延ばされた後にも半導体チップのサイズを超えないようなサイズとして切断することが好ましい。即ち、切り出すダイアタッチフィルムのサイズは、それを用いて接着する半導体チップのサイズよりも小さめとする。
これは、後の工程で支持フィルムを引き延ばして個々のダイアタッチフィルムに分離するときに、ダイアタッチフィルム自体も引き延ばされてしまうので、この引き延ばされた状態でも半導体チップからはみ出さないようにするためである。具体的には、半導体チップの２辺のそれぞれに対して、それぞれの方向に５０μｍ程度小さく切り出すようにする。
【００２９】
次に、支持フィルム１１を引き延ばして、切断された個々の接着フィルム１０に分離する。
本実施形態においては、この工程を行うための半導体装置の製造装置として、図５の模式図に示すダイボンダーを用いる。
図５のダイボンダーは、半導体チップをダイアタッチフィルムにより基板上にマウントするための半導体装置の製造装置であり、ダイシングリングと称せられる支持リング（支持部）３１と、突き上げコレット（突き上げ治具）３２と、吸着コレット（吸着部）３３とを有する。
支持リング３１は、上記の工程で所定サイズに切断されたダイアタッチフィルム１０が設けられた支持フィルム１１を支持し、この状態でウェハチャックにセットされる。
突き上げコレット３２は、先端が丸められており、支持フィルム１１を引き延ばし、切り込み１０ａにおいて切断された個々のダイアタッチフィルム１０に分離するように、ダイアタッチフィルム１０が設けられた面の裏面側から支持フィルム１１を突き上げる。
突き上げコレット３２は、ダイボンダーに通常設けられている半導体チップを突き上げて支持フィルムから剥離するための突き上げニードルに代えて設けられたものであり、最小限の改造で既存の装置を利用することができる。この突き上げによるダイアタッチフィルム１０間の分離幅は５０〜１００μｍ程度とし、突き上げコレット３２の先端の曲率半径は半導体チップの大きさの１０倍程度とする。
吸着コレット３３は、内蔵する吸着孔３３ａにより吸引して、半導体チップ２１を吸着することができるが、これについては後述する。
【００３０】
上記のダイボンダーを用いて、突き上げコレット３２でダイアタッチフィルム１０が設けられた面の裏面側から支持フィルム１１を突き上げることにより、切り込み１０ａにおいて切断された個々の接着フィルムに分離するように、支持フィルム１１を引き延ばすことができる。
【００３１】
次に、切断された個々のダイアタッチフィルム１０に、厚みが例えば５０μｍ程度にまで薄型化された半導体チップ２１を貼り合わせ、さらに、半導体チップ２１をダイアタッチフィルム１０により基板２０上にマウントする。
この工程は、上記のダイボンダーの吸着コレット３３を用いる。
吸着コレット３３は、内蔵する吸着孔３３ａにより吸引して、半導体チップ２１を吸着して保持する機能を有し、図５の模式図に示すように、個々に分離されたダイアタッチフィルム１０に半導体チップ２１を貼り合わせ、さらに、図６の模式図に示すように、ダイアタッチフィルム１０を貼り合わせた半導体チップ２１を吸着して保持し、基板２０上にマウントする。
吸着コレット３３は不図示のパルスヒータを内蔵しており、例えばダイアタッチフィルム１０に半導体チップ２１を貼り合わせるときに６０〜８０℃の温度で３秒程度の加熱を行う。これにより、ダイアタッチフィルム１０にボイドが発生するのを防止できる。このとき吸着コレットに印加する加重は、例えば１チップあたり１Ｎとする。
ここで、ダイアタッチフィルム１０に半導体チップ２１を貼り合わせるには、ダイアタッチフィルム１０を切断したときの切り込み位置を突き上げコレットが突き上げる前に半導体チップの位置を画像処理し、得られたデータを用いて位置合わせを行い、貼り合わせる。
また、ダイアタッチフィルム１０を貼り合わせた半導体チップ２１を基板２０上にマウントするときにも、パルスヒータで６０〜８０℃の温度で３秒程度の加熱を行う。さらに、ポストベーク処理として、基板ごと１４０〜１６０℃の温度に加熱し、完全に接着させる。
【００３２】
以降の工程としては、例えば、ダイアタッチフィルム１０により基板２０上にダイボンディングされた半導体チップ２１を被覆して、半導体チップ２１と基板２０、さらにはコイルなどの受動素子を電気的に接続する再配線層と、これを内蔵する樹脂層からなる絶縁層を形成し、ＳｉＰ形態の半導体装置を製造する。
【００３３】
本実施形態の半導体装置の製造方法によれば、薄型化および個片化された半導体チップに対する、ダイアタッチフィルムの貼り合わせ工程および基板へのマウント工程を取り入れることで、任意の形状での個片チップに対するダイアタッチフィルムの貼り合わせが可能となる。
また、ダイアタッチフィルムをシート状でのカット方法を取り入れることで、通常のウェハに対応しているダイボンダーの突き上げニードル部分を変更するだけで対応することができる。
さらに、ダイアタッチフィルムと半導体チップのアライメントは、ダイボンダーを採用することで高い精度を達成でき、ダイアタッチフィルムの半導体チップからのはみ出しを最小限に抑制することができる。
このように、本実施形態の半導体装置の製造方法によれば、シート状の接着フィルムをそのまま使用できるのでロスは小さく、また、半導体チップから接着フィルムがはみ出さないようにマウントできるので配線不良の発生を抑制して製造できる。
【００３４】
本実施形態の半導体装置の製造装置によれば、本実施形態の半導体装置の製造方法を実現することができ、半導体チップに対応して切断されたシート状の接着フィルムを個々の接着フィルムに分離して、半導体チップを接着フィルムにより基板上にマウントすることができる。
【００３５】
本実施形態のダイアタッチフィルムは、本実施形態の半導体装置の製造方法において使用でき、半導体チップからはみ出さないようにして半導体チップを基板上に接着することができる。
【００３６】
第２実施形態
本実施形態に係る半導体装置の製造方法は、実質的に第１実施形態と同様であるが、ダイアタッチフィルムを個々の半導体チップに対応した所定のサイズに切断する工程において、円盤形状の基体の外周縁に型抜き刃を設けた一段刃３０を用いる代わりに、図７の模式図に示すように、支持フィルム１１上に設けられたダイアタッチフィルム１０に対して、レーザ光源３４から、ダイアタッチフィルム１０が吸収し、かつＰＥＴなどからなる支持フィルム１１が実質的に吸収しないような波長のレーザ光３５を照射する。例えば、ＹＡＧレーザやＣＯ2 レーザを用いることができる。レーザ光３５は支持フィルム１１を透過して吸収されないので、支持フィルム１１上に設けられたダイアタッチフィルム１０に対して、ダイアタッチフィルム１０側から支持フィルム１１の表面までの切り込みを入れ、ダイアタッチフィルム１０を所定サイズに切断することができる。
上記以外は実質的に第１実施形態と同様にして行うことができる。
【００３７】
本実施形態の半導体装置の製造方法によれば、第１実施形態と同様に、シート状の接着フィルムをそのまま使用できるのでロスは小さく、また、半導体チップから接着フィルムがはみ出さないようにマウントできるので配線不良の発生を抑制して製造できる。
【００３８】
第３実施形態
本実施形態に係る半導体装置の製造方法は、実質的に第１実施形態と同様であるが、支持フィルムを引き延ばして、切断された個々の接着フィルムに分離する工程において、図５のダイボンダーを用いず、下記のような方法により分離することが異なっている。
本実施形態に係る半導体装置の製造方法について、以下に説明する。
【００３９】
まず、図８の模式図に示すように、支持リング（ウェハリング）４０に支持フィルム（ＵＶシート）４１を貼り合わせ、ローリング転写方式などの手法により支持フィルム４１に支持フィルム１１付きのダイアタッチフィルム１０を転写して貼り合わせる。
【００４０】
次に、図９の模式図に示すように、ダイアタッチフィルム１０から支持フィルム１１を剥離する。これで、支持フィルム４１上にダイアタッチフィルム１０のみが存在する状態となる。
【００４１】
次に、トムソンバーにより、支持フィルム４１上に設けられたダイアタッチフィルム１０に対して、ダイアタッチフィルム１０側から支持フィルム４１の途中の深さまでの切り込みを入れ、ダイアタッチフィルム１０を所定サイズに切断する。
即ち、まず、図１０の模式図に示すように、一の方向に平行な切り込み１０ａを入れる。次に、図１１に示すように、切断方向を９０度回転させ、一の方向と略直交する他の方向に切り込み１０ａを入れ、矩形形状となるように切断する。
【００４２】
上記のダイアタッチフィルム１０の切断においては、支持フィルム４１を完全に切断することがないようにし、ダイアタッチフィルム１０のサイズは、第１実施形態と同様に、次の引き延ばし工程でサイズが大きくなるので、これを考慮して予め小さめに切断しておく。
【００４３】
次に、図１２の模式図に示すように、支持フィルムを支持リングに貼り合わせた後、エキスパンダーにより支持リング４０の中心から放射線方向に支持フィルム４１を引き延ばす。このとき、切断されたダイアタッチフィルム１０も同様に引き延ばされる。これに応じて、各ダイアタッチフィルム１０の間の間隔も引き延ばされ、個々のダイアタッチフィルム１０に分離される。
ここで、切断されているダイアタッチフィルム１０間の間隔が０．３ｍｍ以上となるように設定する。
【００４４】
次に、図１３の模式図に示すように、段積み自動供給可能なワッフルトレイ４２に乗せて予め薄型化された半導体チップ２１を供給し、不図示のコレットなどを用いて、半導体チップ２１を外形基準で個々に分離されたダイアタッチフィルム１０に貼り合わせる。外形基準とすることで、搭載精度は±１５μｍ程度となる。ここでは、チップの重心と角度を画像処理などで確認して、適切な方向に調節し、貼り合わせる。
半導体チップ２１のサイズは、例えば、３．５５ｍｍ×４．７ｍｍ、厚さ０．０２５ｍｍである。
【００４５】
次に、図１４の模式図に示すように、支持リング４０を保持して移動し、ヒータ４３を用いて、支持フィルム４１を介してダイアダッチフィルム１０を所定の温度および時間で加熱する。加熱が終了したら、そのままダイボンダーにセットして、ダイアダッチフィルム１０が貼り合わされた半導体チップ２１を支持フィルム４１から剥離し、基板上にダイボンディングする。
以降の工程は、第１実施形態と同様に行うことができる。
【００４６】
本実施形態の半導体装置の製造方法によれば、第１実施形態と同様に、シート状の接着フィルムをそのまま使用できるのでロスは小さく、また、半導体チップから接着フィルムがはみ出さないようにマウントできるので配線不良の発生を抑制して製造できる。
【００４７】
本発明は上記の説明に限定されない。
例えば、ＳｉＰ形態の半導体装置として、基板となる半導体チップ上に形成される樹脂層中に埋め込まれるのは、他の半導体チップに限らず、さらにコイルなどの受動素子や、その他の電子素子などが埋め込まれていてもよい。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の半導体装置の製造方法は、システムインパッケージ形態の半導体装置を製造するのに適用することができる。
また、本発明の半導体装置の製造装置は、本発明の半導体装置の製造方法を実施するためのシステムインパッケージ形態の半導体装置を製造する装置として適用できる。
また、本発明のダイアタッチフィルムは、本発明の半導体装置の製造方法を実施するための半導体チップを基板にダイボンディングするためのダイアタッチフィルムとして適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】図１は本発明の第１実施形態に係るダイアタッチフィルムの供給時（使用前）における断面図である。
【図２】図２は本発明の第１実施形態において一段刃の構成を示す模式図である。
【図３】図３は本発明の第１実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図４】図４は本発明の第１実施形態に係るダイアタッチフィルムに入れる切り込みを示す平面図である。
【図５】図５は本発明の第１実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図６】図６は本発明の第１実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図７】図７は本発明の第２実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図８】図８は本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図９】図９は本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図１０】図１０は本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図１１】図１１は本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図１２】図１２は本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図１３】図１３は本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図１４】図１４は本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【図１５】図１５は従来例のダイアタッチフィルムの構成を示す模式図である。
【図１６】図１６は従来例のダイアタッチフィルムの構成を示す模式図である。
【図１７】図１７は従来例に係る半導体装置の製造工程を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５０】
１０…ダイアタッチフィルム、１０ａ…切り込み、１１…支持フィルム、１２…カバーフィルム、２０…基板、２１…半導体チップ、３０…一段刃、３１…支持リング、３２…突き上げコレット、３３…吸着コレット、３３ａ…吸着孔、３４…レーザ光源、３５…レーザ光、４０…支持リング、４１…支持フィルム、４２…ワッフルトレイ、４３…ヒータ、１００…カッター、１０１…所定サイズのダイアタッチフィルム、１０２…半導体チップ、１０３…コレット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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