(57)【要約】 【課題】成形型の凹部の配列の精度の評価を迅速に行うことができる成形型の製造方法、成形型の製造装置、プログラム、レンズアレイの小レンズの配列の精度の評価を迅速に行うことができるレンズアレイの評価方法、プログラム及びレンズアレイの評価装置を提供すること。【解決手段】実測中心取得手段５２４Ｂにより、座標値取得手段５２４Ａで取得された座標値に基づいて、成形型の凹部の加工中心の座標値を取得する。算出手段５２４Ｃで、実測中心取得手段５２４Ｂで取得した各凹部の中心間の距離を算出する。凹部の設計上の中心間の距離も算出する。実測中心取得手段５２４Ｂで取得した全ての凹部の加工中心間の距離と、これに対応する設計上の全ての凹部の中心間の距離との差を算出する。判定手段５２４Ｄでは、前記算出手段５２４Ｃで算出された前記差が所定値以下であるかどうかを判定する。【選択図】 図１３
2005335277.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズアレイを成形するための成形型であり、成形面にレンズアレイのマトリクス状に配置された小レンズに対応した複数の凹部が形成された成形型の製造方法であって、
成形型に加工された各凹部の表面形状を把握し、レンズアレイの小レンズの光学中心に対応する中心を検出して、基準位置に対する前記中心の位置を取得する実測中心取得手順と、
成形型の設計情報から、前記基準位置に対する設計上のレンズアレイの小レンズの光学中心に対応する中心の位置を取得する設計中心取得手順と、
前記実測中心取得手順で、取得した全ての凹部の中心間の距離を算出する第一算出手順と、
前記設計中心取得手順で、取得した全ての凹部の中心間の距離を算出する第二算出手順と、
前記第一算出手順で算出した算出値と、この算出値に対応する第二算出手順で算出した算出値との差を求める第三算出手順と、
前記第三算出手順で算出した差が所定値以下であるか否かを判定する判定手順とを備えることを特徴とする成形型の製造方法。
【請求項２】
レンズアレイを成形するための成形型であり、成形面にレンズアレイのマトリクス状に配置された小レンズに対応した複数の凹部が形成された成形型の製造装置であって、
成形型に加工された各凹部の表面形状を把握し、レンズアレイの小レンズの光学中心に対応する中心を検出して、基準位置に対する前記中心の位置を取得する実測中心取得手段と、
成形型の設計情報から、前記基準位置に対する設計上のレンズアレイの小レンズの光学中心に対応する中心の位置を取得する設計中心取得手段と、
前記実測中心取得手段で、取得した全ての凹部の中心間の距離を第一算出値として算出するとともに、前記設計中心取得手段で、取得した全ての凹部の中心間の距離を第二算出値として算出し、
前記第一算出値と、この第一算出値に対応する第二算出値との差を求める算出手段と、
前記算出手段で算出した前記差が、所定値以下であるか否かを判定する判定手段とを備えることを特徴とする成形型の製造装置。
【請求項３】
請求項２に記載の成形型の製造装置において、
前記成形型の凹部の配列に応じて、前記算出手段で算出した前記差を表示するとともに、前記判定手段での判定結果を表示する表示部を備えることを特徴とする成形型の製造装置。
【請求項４】
レンズアレイを成形するための成形型であり、成形面にレンズアレイのマトリクス状に配置された小レンズに対応した複数の凹部が形成された成形型を製造するためのプログラムであって、
請求項１に記載の製造方法をコンピュータにより実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項５】
マトリクス状に配置された複数の小レンズを備えたレンズアレイの評価方法であって、
前記各小レンズの表面形状を把握し、小レンズの光学中心を検出し、基準位置に対する前記光学中心の位置を取得する実測光学中心取得手順と、
レンズアレイの設計情報から、前記基準位置に対する設計上のレンズアレイの小レンズの光学中心の位置を取得する設計光学中心取得手順と、
前記実測光学中心取得手順で、取得した全ての小レンズの光学中心間の距離を算出する第一算出手順と、
前記設計光学中心取得手順で、取得した全ての小レンズの光学中心間の距離を算出する第二算出手順と、
前記第一算出手順で算出した算出値と、この算出値に対応する第二算出手順で算出した算出値との差を求める第三算出手順と、
前記第三算出手順で算出した前記差が所定値以下であるか否かを判定する判定手順とを備えることを特徴とするレンズアレイの評価方法。
【請求項６】
マトリクス状に配置された複数の小レンズを備えたレンズアレイを評価するためのプログラムであって、請求項５に記載の評価方法をコンピュータにより実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項７】
マトリクス状に配置された小レンズを有するレンズアレイを評価するレンズアレイの評価装置であって、
各小レンズの表面形状を把握し、小レンズの光学中心を検出して、基準位置に対する前記光学中心の位置を取得する実測中心取得手段と、
レンズアレイの設計情報から、前記基準位置に対する設計上のレンズアレイの小レンズの光学中心の位置を取得する設計中心取得手段と、
前記実測中心取得手段で、取得した全ての小レンズの光学中心間の距離を第一算出値として算出するとともに、前記設計光学中心取得手段で、取得した全ての小レンズの光学中心間の距離を第二算出値として算出し、
前記第一算出値と、この第一算出値に対応する第二算出値との差を求める算出手段と、
前記算出手段で算出した前記差が、所定値以下であるか否かを判定する判定手段とを備えることを特徴とするレンズアレイの評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成形型の製造方法、成形型の製造装置、プログラム、レンズアレイの評価方法、レンズアレイを評価するためのプログラム及びレンズアレイの評価装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、プロジェクタや、レーザプリンタ等の光学機器には、小レンズがマトリクス状に配置されたレンズアレイが用いられている。
このレンズアレイを製造する際には、レンズアレイの形状に応じた成形型を用いてレンズアレイの原料となる溶融光学材料をプレス加工している。
このようなレンズアレイにおいて、所望の光学特性を得るためには、各小レンズの光学中心が高精度に配列していなければならない。そのため、レンズアレイを製造するための成形型の各小レンズに対応する凹部を精度よく配列させる必要があり、従来から、製造された成形型の凹部の配列の精度を評価している。
このような成形型の凹部の配列を評価する方法としては、例えば、凹部の中心（小レンズの光学中心に該当する位置）を実測して、座標値（Ｘ軸座標値、Ｙ軸座標値）を検出し、設計上の凹部の中心の座標値（Ｘ軸座標値、Ｙ軸座標値）とのずれを検出する方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２５４４７９号公報（第６〜７頁、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような方法は、実測した凹部の中心の座標値と、設計上の凹部の中心の座標値とを直接比較する方法であるため、すべての凹部における、Ｘ軸座標値、Ｙ軸座標値をそれぞれ比較しなければならない。そのため、ずれが許容範囲内であるかどうかを迅速に判断しにくく、評価に手間を要するという問題がある。
なお、レンズアレイの小レンズの配列の精度を評価する際にも、同様の方法で、評価しているため、レンズアレイの評価においても、同様の問題が生じている。
【０００５】
本発明の目的は、成形型の凹部の配列の精度の評価を迅速に行うことができる成形型の製造方法、成形型の製造装置、プログラム、さらには、レンズアレイの小レンズの配列の精度の評価を迅速に行うことができるレンズアレイの評価方法、レンズアレイを評価するためのプログラム、及びレンズアレイの評価装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の成形型の製造方法は、レンズアレイを成形するための成形型であり、成形面にレンズアレイのマトリクス状に配置された小レンズに対応した複数の凹部が形成された成形型の製造方法であって、成形型に加工された各凹部の表面形状を把握し、レンズアレイの小レンズの光学中心に対応する中心を検出して、基準位置に対する前記中心の位置を取得する実測中心取得手順と、成形型の設計情報から、前記基準位置に対する設計上のレンズアレイの小レンズの光学中心に対応する中心の位置を取得する設計中心取得手順と、前記実測中心取得手順で、取得した全ての凹部の中心間の距離を算出する第一算出手順と、前記設計中心取得手順で、取得した全ての凹部の中心間の距離を算出する第二算出手順と、前記第一算出手順で算出した算出値と、この算出値に対応する第二算出手順で算出した算出値との差を求める第三算出手順と、前記第三算出手順で算出した差が所定値以下であるか否かを判定する判定手順とを備えることを特徴とする。
【０００７】
ここで、基準位置は、凹部の中心と異なる点であればよく、特に限定されないが、例えば、成形型のレンズアレイの小レンズの光学中心に対応する中心を検出する製造装置の機械座標の原点とすることができる。
本発明の製造方法は以下のようにして、行われる。
例えば、実測中心取得手順で取得した１つ目の凹部の中心の座標が、（Ｘｎ１、Ｙｎ1）であり、２つめの凹部の中心の座標が（Ｘｎ２、Ｙｎ２）であったとする。
第一算出手順では、１つ目の凹部の中心と、二つ目の凹部の中心との距離を求め、その距離Ｍは以下の式（１）のようになる。
【０００８】
【数１】
2005335277.tif 000003
【０００９】
また、設計中心取得手順で取得した１つ目の凹部の中心の設計上の座標が（Ｘｄ１、Ｙｄ１）、２つめの凹部の中心の設計上の座標が（Ｘｄ２、Ｙｄ２）であったとする。
第二算出手順では、設計上の１つ目の凹部の中心と、二つ目の凹部の中心との距離を求め、その距離Ｌは以下の式（２）のようになる。
【００１０】
【数２】
2005335277.tif 000004
【００１１】
第三算出手順では、距離Ｍと、距離Ｌの差の絶対値を求め、判定手順では、前記絶対値が所定値以下であるかどうかを判定する。所定値を超える場合には、一つ目の凹部の中心又は２つめの凹部の中心の位置がずれていることがわかる。
以上のような手順で、３つめの凹部の中心及び２つめの凹部の中心間の距離、３つめの凹部の中心及び１つめの凹部の中心間の距離を、順次求めていき、全ての凹部の中心間の距離について評価を行う。
【００１２】
このような本発明によれば、加工された凹部の表面形状から把握された（すなわち、実測した）凹部の中心間の距離と、設計上の凹部の中心間の距離とを比較しており、この差に基づいて、凹部の配列の精度を評価しているので、従来のように、全ての凹部の中心の実測上の座標（Ｘ座標値、Ｙ座標値）と、設計上の座標（Ｘ座標値、Ｙ座標値）とをそれぞれ比較する場合に比べ、評価を迅速に行うことができる。
また、本発明では、全ての各凹部の中心間の実測上の距離及び設計上の距離を算出しており、全ての各凹部の中心間の実測上の距離及び設計上の距離を比較しているため、例えば、１番目の凹部の中心が大きくずれている場合には、１番目の凹部の中心と、他の凹部の中心との実測上の距離と設計上の距離との差が所定値よりも大きくなる傾向を示すこととなる。この傾向に基づいて、１番目の凹部の中心がずれていることを容易に把握することができ、より迅速に評価を行うことができる。
ここで、前記基準位置を成形型のレンズアレイの小レンズの光学中心に対応する中心を検出する製造装置の機械座標の原点とした場合、この原点から成形型の各凹部の中心までの実測上の距離と、設計上の距離とを比較することによっても、凹部の加工中心のずれを検出することは可能である。しかしながら、製造装置に成形型を精度よく取り付けることは困難であるため、製造装置の原点から各凹部の中心までの実測上の距離に、成形型の取り付けに伴って発生するずれが誤差として影響する。そのため、凹部の配列の高精度な評価を行うことが困難となる。
本発明によれば、各凹部の中心間の距離で、凹部の配列の評価を行うため、このような誤差が実測上の距離に影響することが無く、より高精度な評価が可能である。
【００１３】
本発明の成形型の製造装置は、レンズアレイを成形するための成形型であり、成形面にレンズアレイのマトリクス状に配置された小レンズに対応した複数の凹部が形成された成形型の製造装置であって、成形型に加工された各凹部の表面形状を把握し、レンズアレイの小レンズの光学中心に対応する中心を検出して、基準位置に対する前記中心の位置を取得する実測中心取得手段と、成形型の設計情報から、前記基準位置に対する設計上のレンズアレイの小レンズの光学中心に対応する中心の位置を取得する設計中心取得手段と、前記実測中心取得手段で、取得した全ての凹部の中心間の距離を第一算出値として算出するとともに、前記設計中心取得手段で、取得した全ての凹部の中心間の距離を第二算出値として算出し、前記第一算出値と、この第一算出値に対応する第二算出値との差を求める算出手段と、前記算出手段で算出した前記差が、所定値以下であるか否かを判定する判定手段とを備えることを特徴とする。
このような本発明の製造装置では、上述した製造方法を実施することができるので、製造方法と同様の効果を奏することができる。すなわち、加工された凹部の表面形状から把握された凹部の実測上の中心間の距離と、設計上の凹部の中心間の距離とを比較しており、この差に基づいて、凹部の配列の精度を評価しているので、評価を迅速に行うことができる。
また、本発明では、全ての各凹部の中心間の実測上の距離（第一算出値）及び設計上の距離（第二算出値）を算出しており、全ての各凹部の中心間の実測上の距離及び設計上の距離を比較しているため、例えば、１番目の凹部の中心が大きくずれている場合には、１番目の凹部の中心と、他の凹部の中心との実測上の距離と設計上の距離との差（第三算出値）が所定値よりも大きくなる傾向を示すこととなる。この傾向に基づいて、１番目の凹部の中心がずれていることを容易に把握することができ、より迅速に評価を行うことができる。
さらに、前記基準位置を成形型のレンズアレイの小レンズの光学中心に対応する中心を検出する製造装置の機械座標の原点とした場合、この原点から成形型の各凹部の中心までの実測上の距離と、設計上の距離とを比較することによっても、凹部の加工中心のずれを検出することは可能である。しかしながら、製造装置に成形型を精度よく取り付けることは困難であるため、製造装置の原点から各凹部の中心までの実測上の距離に、成形型の取り付けに伴って発生するずれが誤差として影響する。そのため、凹部の配列の高精度な評価を行うことが困難となる。
本発明によれば、各凹部の中心間の距離で凹部の配列の評価を行うため、このような誤差が実測上の距離に影響することが無く、より高精度な評価が可能である。
【００１４】
この際、本発明では、前記成形型の凹部の配列に応じて、前記算出手段で算出した前記差を表示するとともに、前記判定手段での判定結果を表示する表示部を備えることが好ましい。
このような本発明によれば、判定結果を表示部に表示することで、作業者は、表示部の表示に基づいて、成形型の評価を行うことができ、作業者にとって使い勝手のよいものとなる。
【００１５】
また、本発明は、上述した成形型の製造方法としてだけでなく、プログラムとしても成立しうるものである。すなわち、本発明のプログラムは、レンズアレイを成形するための成形型であり、成形面にレンズアレイのマトリクス状に配置された小レンズに対応した複数の凹部が形成された成形型を製造するためのプログラムであって、上述した製造方法をコンピュータにより実行させることを特徴とする。
このような本発明によれば、本発明のプログラムを汎用のコンピュータにインストールすることにより上述した成形型の製造方法をコンピュータに実行させることができるため、本発明の利用促進を大幅に図ることができる。
【００１６】
本発明のレンズアレイの評価方法は、前記各小レンズの表面形状を把握し、小レンズの光学中心を検出し、基準位置に対する前記光学中心の位置を取得する実測光学中心取得手順と、レンズアレイの設計情報から、前記基準位置に対する設計上のレンズアレイの小レンズの光学中心の位置を取得する設計光学中心取得手順と、前記実測光学中心取得手順で、取得した全ての小レンズの光学中心間の距離を算出する第一算出手順と、前記設計光学中心取得手順で、取得した全ての小レンズの光学中心間の距離を算出する第二算出手順と、前記第一算出手順で算出した算出値と、この算出値に対応する第二算出手順で算出した算出値との差を求める第三算出手順と、前記第三算出手順で算出した前記差が所定値以下であるか否かを判定する判定手順とを備えることを特徴とする。
ここで、基準位置とは、小レンズの光学中心と異なる点であればよく、特に限定されないが、例えば、レンズアレイの小レンズの光学中心を検出する装置の機械座標の原点である。
このような本発明によれば、成形型の製造方法と同様の効果を奏することができる。すなわち、レンズアレイの小レンズの表面形状から把握される光学中心間の実測上の距離と、小レンズの光学中心間の設計上の距離とを比較しており、この差に基づいて、レンズアレイの小レンズの配列の精度を評価しているので、評価を迅速に行うことができる。
また、本発明では、全ての各小レンズの光学中心間の実測上の距離及び設計上の距離を算出し、全ての各小レンズの光学中心間の実測上の距離及び設計上の距離を比較しているため、例えば、１番目の小レンズの光学中心が大きくずれている場合には、１番目の小レンズの光学中心と、他の小レンズの光学中心との距離の実測上の距離と設計上の距離との差が所定値よりも大きくなる傾向を示すこととなる。この傾向に基づいて、１番目の小レンズの光学中心がずれていることを容易に把握することができ、より迅速に評価を行うことができる。
さらに、前記基準位置をレンズアレイの小レンズの光学中心を検出する製造装置の機械座標の原点とした場合、この原点からレンズアレイの各小レンズの光学中心までの実測上の距離と、設計上の距離とを比較することによっても、小レンズの光学中心のずれを検出することは可能である。しかしながら、製造装置にレンズアレイを精度よく取り付けることは困難であるため、製造装置の原点から各小レンズの光学中心までの実測上の距離に、レンズアレイの取り付けに伴って発生するずれが誤差として影響する。そのため、レンズアレイの配列の高精度な評価を行うことが困難となる。
本発明によれば、各レンズアレイの光学中心間の距離でレンズアレイの配列の評価を行うため、このような誤差が実測上の距離に影響することが無く、より高精度な評価が可能である。
【００１７】
さらに、本発明のプログラムは、マトリクス状に配置された複数の小レンズを備えたレンズアレイを評価するためのプログラムであって、上述した評価方法をコンピュータにより実行させることを特徴とする。
このような本発明によれば、汎用のコンピュータにインストールすることにより上述したレンズアレイの評価方法をコンピュータに実行させることができるため、本発明の利用促進を大幅に図ることができる。
【００１８】
本発明のレンズアレイの評価装置は、マトリクス状に配置された小レンズを有するレンズアレイを評価するレンズアレイの評価装置であって、各小レンズの表面形状を把握し、小レンズの光学中心を検出して、基準位置に対する前記光学中心の位置を取得する実測中心取得手段と、レンズアレイの設計情報から、前記基準位置に対する設計上のレンズアレイの小レンズの光学中心の位置を取得する設計中心取得手段と、前記実測中心取得手段で、取得した全ての小レンズの光学中心間の距離を第一算出値として算出するとともに、前記設計光学中心取得手段で、取得した全ての小レンズの光学中心間の距離を第二算出値として算出し、前記第一算出値と、この第一算出値に対応する第二算出値との差を求める算出手段と、前記算出手段で算出した前記差が、所定値以下であるか否かを判定する判定手段とを備えることを特徴とする。
このような本発明の評価装置は、前述したレンズアレイの評価方法に使用でき、評価方法と同様の効果を奏することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
[１．レンズアレイの構造及び製造方法]
図１には、レンズアレイ１が示されている。具体的に、図１（Ａ）はレンズアレイ１を正面から見た図であり、図１（Ｂ）はレンズアレイ１を側方から見た図であり、図１（Ｃ）はレンズアレイ１を図１（Ｂ）とは異なる側方から見た図である。
このレンズアレイ１は、プロジェクタや、レーザプリンタ等の光学機器に搭載されるものであり、ベース部１１と、レンズ部１２とを備える。
ベース部１１は、矩形形状の板状体として形成され、一方の面にレンズ部１２が形成されている。また、ベース部１１の他方の面は、略平坦となっている。
レンズ部１２は、ベース部１１の一方の面の略中央部分に膨出するように形成され、光束を複数の部分光束に分割する複数の小レンズ１２１で構成されている。
これら複数の小レンズ１２１は、マトリクス状（行を横一並びの要素、列を縦一並びの要素とすると例えば、６行×４列）に配列形成されている。
なお、小レンズ１２１は、球面形状のものであってもよく、また、非球面形状のものであってもよい。
【００２０】
以上のレンズアレイ１は、図２に示すように、レンズアレイ１の溶融光学材料である溶融ガラスの塊１０を成形型２でプレス成形することにより製造される。
成形型２は、固定型２１と、固定型２１に対して進退自在に構成される可動型２２とを備える。
固定型２１は、略矩形形状の板体であり、レンズアレイ１の略平坦な面を成形する成形面２１１を備える。
可動型２２は、略矩形状であるが、成形面２２１にレンズアレイ１の小レンズ１２１に対応した複数の凹部２２２がマトリクス状に配置されている。
【００２１】
[２．成形型２の製造]
[２-１.加工機３の構造]
以上のような成形型２の可動型２２は、図３に示すような、加工機３を使用して製造される。
この加工機３は、成形型２の可動型２２の母型２３を保持する保持部３１と、母型２３の表面に凹部２２２を形成する加工部３２とを備える。
ここで母型２３とは、可動型２２の成形面２２１に凹部２２２が形成されていない状態のものをいう。
加工機３の保持部３１は、加工部３２側に向かって延びる円柱状に形成されており、加工部３２側の円形状の面３１１（図５参照）に母型２３が取り付けられた治具４が取り付けられる。
この保持部３１は、その基端側（面３１１と反対側）に駆動部３３が設けられ、Ｚ軸に沿って進退可能となっており、加工部３２のディスク型砥石３２１に対して進退する構成となっている。また、この保持部３１は、保持部３１の円形状の面３１１の中心を通る中心軸を回転軸３１２として、矢印Ｒ１方向或いは反矢印Ｒ１方向に回転可能に構成されている。なお、保持部３１の回転軸３１２は、Ｚ軸と平行である。
【００２２】
加工部３２は、工具としてのディスク型砥石３２１と、このディスク型砥石３２１が先端に取り付けられる砥石軸３２２と、軸受け部３２３とを備え、加工部３２端部にはこの砥石軸３２２を回転させる図示しないモーター部を備える。
なお、本実施形態の加工部３２はディスク型砥石３２１を備え、母型２３の表面を研削加工し、凹部２２２を形成するものであるが、これに限らず、例えば、図４に示すように、ディスク型砥石３２１に換えて、切削工具３２１’を備える加工部３２’としてもよい。この切削工具３２１’は、平面略円形状の円盤部３２１Ａ’と、この円盤部３２１Ａ’に設けられ、外方に突出した切削部３２１Ｂ’とを備える。このような切削工具３２１’を使用することで、母型２３表面に切削により凹部２２２を形成することが可能となる。
また、軸受け部３２３にバイト台を固定し凹部２２２を切削加工するようにしてもよい。
砥石軸３２２は、保持部３１の進退方向に対して直交する２方向、すなわち、Ｙ軸方向、Ｘ軸方向に移動可能となっている。また、砥石軸３２２の軸方向とＹ軸方向とは平行である。
従って、このような砥石軸３２２に取り付けられたディスク型砥石３２１は、Ｙ軸方向、Ｘ軸方向に移動可能であるとともに、砥石軸３２２の回転に伴って矢印Ｒ２方向或いは反矢印Ｒ２方向（Ｙ軸に沿った軸を回転軸とした回転方向）に回転可能となっている。
このような加工機３では、保持部３１により母型２３を回転させるとともに、母型２３をＺ軸方向に沿って移動させる。さらに、ディスク型砥石３２１を回転させながら、母型２３の表面に当接させ、ディスク型砥石３２１をＹ軸方向、Ｘ軸方向に移動させる。すなわち、保持部３１は、ディスク型砥石３２１に対して、３次元的に位置決め可能な軸構成とされ、ディスク型砥石３２１は、保持部３１に対して三次元的に位置決めしながら移動することとなる。このようにして、母型２３に凹部２２２が形成される。
なお、研削を行う際には、ディスク型砥石３２１と母型２３の表面との間には図示しない研削液が供給される。
このような加工機３によりマトリクス状に形成される凹部２２２の配列方向は、Ｘ軸方向と、Ｙ軸方向に沿ったものとなる。
【００２３】
[２-２.治具の構造]
図３及び図５〜図８に、母型２３を加工機３の保持部３１に取り付けるための治具４を示す。図５は、図３を図面手前側（駆動部４５Ｙ側）の側方から見た側面図である。また、図６は、前記治具４を図３の下方側から見た側面図である。図７は、治具４の円盤部４４の分解斜視図であり、図８は、治具４の平面図である。
この治具４は、保持部３１の面３１１に固定されるとともに、基部４１が取り付けられる基部取り付け板４０と、この基部取り付け板４０に取り付けられる基部４１と、基部４１上をＹ軸方向に沿って摺動するＹステージ（第一ステージ）４２と、Ｙステージ４２上をＸ軸方向に沿って摺動するＸステージ（第二ステージ）４３と、Ｘステージ４３上に固定された取り付け部としての円盤部４４と、Ｙステージ４２を駆動させる駆動部４５Ｙと、Ｘステージ４３を駆動させる駆動部４５Ｘとを備える。
【００２４】
基部取り付け板４０は、Ｚ軸方向から見て平面略円形形状であり、この基部取り付け板４０の保持部３１の面３１１側と反対側の面には、基部４１がねじで固定される。
基部４１は、平面略矩形形状であり、基部４１のＹステージ４２側の面には、Ｙ軸方向に沿って延びるとともに、保持部３１側に窪んだ溝部４１１が形成されている。この基部４１の側面は、図３のＸ軸又はＹ軸に略平行な面となっている。
Ｙステージ４２も基部４１と同様、Ｚ軸方向から見て平面略矩形形状である。このＹステージ４２は、基部４１上に設置される平面矩形形状の第一部材４２Ａと、この第一部材４２Ａ上に設置される平面矩形形状の第二部材４２Ｂとを備えている。なお、第一部材４２Ａと第二部材４２Ｂとはねじで固定され一体化されている。
このＹステージ４２の第一部材４２Ａの基部４１側の面には、Ｙ軸方向に沿って延びるとともに、基部４１側に突出したレール部４２１が形成されている。このレール部４２１は、前記基部４１の溝部４１１に嵌め込まれ、溝部４１１内を摺動する。また、Ｙステージ４２の第二部材４２ＢのＸステージ４３側の面には、Ｘ軸方向に延びる溝部４２２が形成されている。このＹステージ４２の側面は、図３のＸ軸又はＹ軸に略平行な面となっている。
【００２５】
Ｘステージ４３もＹステージ４２及び基部４１と同様、Ｚ軸方向から見て平面矩形形状となっている。このＸステージ４３のＹステージ４２側の面には、Ｘ軸方向に沿って延びるとともに、Ｙステージ４３側に突出したレール部４３１が形成されている。このレール部４３１は、Ｙステージ４２の溝部４２２に嵌め込まれ、溝部４２２内を摺動する。このＸステージ４３の側面は、図３のＸ軸又はＹ軸に略平行な面となっている。
図６に示すように、このようなＸステージ４３の摺動方向に沿った一方の側面４３Ａ（図３における下側の面）には、固定部材であるねじ４７が取り付けられている。Ｘステージ４３に取り付けられるねじ４７は、側面４３Ａに形成されるとともに、Ｘステージ４３のＹ軸方向に沿って延びるねじ孔４３Ａ１（図５参照）に挿入される。このねじ４７は、Ｘステージ４３の位置決めを行う位置決め板４８をＸステージ４３の側面４３Ａに当接させるためのものである。位置決め板４８は、Ｙステージ４２の第二部材４２ＢのＸステージ４３の摺動方向に沿った側面４２Ｂ１に固定され、先端がＸステージ４３の前記側面４３Ａにまで突出している。この位置決め板４８の前記先端には、Ｘステージ４３の摺動方向に沿った長孔４８１が形成されており、ねじ４７は、この長孔４８１を介して、前記ねじ孔４３Ａ１に挿入される。これにより、Ｙステージ４２の第二部材４２Ｂに固定されている位置決め板４８が、Ｘステージ４３の側面４３Ａに面状に当接することとなり、Ｘステージ４３がＹステージ４２に固定されることとなる。
【００２６】
なお、Ｙステージ４２も同様に、ねじ４７及び位置決め板４８により位置決めされており、図６に示すように、ねじ４７は、Ｙステージ４２の第一部材４２Ａの摺動方向に沿った一方の側面に形成されたねじ孔４２Ａ１に挿入されている。位置決め板４８は、基部４１のＹステージ４２の摺動方向に沿った側面に固定されており、先端がＹステージ４２の第一部材４２Ａの摺動方向に沿った一方の側面にまで突出している。位置決め板４８には、Ｙステージ４２の摺動方向に沿った長孔４８１が形成されており、ねじ４７は、この長孔４８１を介して、前記ねじ孔４２Ａ１に挿入される。これにより、基部４１に固定されている位置決め板４８が、Ｙステージ４２の第一部材４２Ａの一方の側面に面状に押し当てられることとなり、Ｙステージ４２が基部４１に固定されることとなる。
【００２７】
円盤部４４は、Ｚ軸方向から見て平面正円形状となっている。この円盤部４４は、図７にも示すように、円柱形状の高さ調整部４４０Ａと、この円柱形状の高さ調整部４４０Ａに取り付けられる本体部４４０Ｂとを有する。
高さ調整部４４０Ａは、Ｘステージ４３上に固定されており、Ｘステージ４３と反対側の表面の円形面には、一対のピン４４０Ａ１が立設されている。
また、この高さ調整部４４０Ａの側面である円柱面には、平坦な基準面４４０Ａ２が形成されている。この基準面４４０Ａ２は、前記円柱面に４個、等間隔で形成されており、基準面４４０Ａ２は、Ｘステージ４３及びＹステージ４２の側面と略平行になっている。すなわち、基準面４４０Ａ２は、Ｘ軸又はＹ軸と平行な面となっている。
本体部４４０Ｂは、円柱形状であり、対向する円形面を貫通する孔４４０Ｂ１が形成されている。この孔４４０Ｂ１内に、一対のピン４４０Ａ１が挿入される。
【００２８】
また、本体部４４０Ｂの対向する一対の円形面のうち、母型２３が取り付けられる側の一方の円形面（母型取り付け面）には、母型２３側に向かって立ち上がった段部４４０Ｂ２が形成されている。この段部４４０Ｂ２は平面略扇形形状であり、母型２３側に向かって立ち上がった段差面がなす角度は略９０°となっている。この段部４４０Ｂ２の段差面は、母型２３を本体部４４０Ｂの円形面の平面中心に設置した際に、母型２３の外周縁のうちの直交する２辺に沿うように形成されている。
このような本体部４４０Ｂの前記一方の円形面には、図８にも示すように、母型２３を固定するための母型固定部材４４１が取り付けられる。この母型固定部材４４１は、前記段部４４０Ｂ２に沿って配置され、本体部４４０Ｂに固定された第一固定部材４４１Ａ、第二固定部材４４１Ｂと、母型２３の直交する側面を前記第一固定部材４４１Ａ及び第二固定部材４４１Ｂに当接させて固定するための第三固定部材４４１Ｃとを備える。
第三固定部材４４１Ｃは、周囲にねじが刻設されたねじ部４４１Ｃ１と、ねじ部４４１Ｃ１の先端に取り付けられた固定部材本体４４１Ｃ２と、ねじ部４４１Ｃ１が螺合する螺合部４４１Ｃ３とを備える。固定部材本体４４１Ｃ２の先端は、略直角に切りかかれており、ねじ部４４１Ｃ１を螺合部４４１Ｃ３に螺合することで、切り欠き部分４４１Ｃ４が母型２３の角部に当接する。これにより、母型２３は第三固定部材４４１Ｃと、第一固定部材４４１Ａ、第二固定部材４４１Ｂとにより、挟持されることとなる。
なお、螺合部４４１Ｃ３は、円盤部４４の本体部４４０Ｂに固定されている。
このような母型固定部材４４１により固定される母型２３の表面のうち、レンズアレイ１を成形する部分の外形中心位置Ｐ１と、円盤部４４の母型２３が取り付けられる円形状の平面の中心位置とは一致している。
【００２９】
図３、図５及び図６、図８に示すように、駆動部４５Ｙは、Ｙステージ４２を基部４１上で摺動させるためのものであり、基部４１のＹステージ４２の摺動方向に沿った側面に取り付けられたブロック４１２に固定されている。
この駆動部４５Ｙは、いわゆるマイクロメータヘッドと呼ばれるものであり、Ｙステージ４２の摺動方向に沿った側面に固定されたブロック４２３の度当たり部４２３Ａに当接するスピンドル４５１と、このスピンドル４５１と一体回転可能に設けられたシンブル４５２と、スピンドル４５１が挿通されるスリーブ４５３とを備えている。
このスリーブ４５３の内周には雌ねじ（図示略）が設けられており、この雌ねじは、スピンドル４５１と螺合されている。従って、スピンドル４５１は螺合回転によってＹ軸方向に沿って進退する。スリーブ４５３の外表面には図示しないが主尺目盛が設けられている。
シンブル４５２は、スリーブ４５３の外側を筒状に覆う円筒形状である。シンブル４５２とスピンドル４５１とは一体回転する構成となっている。このようなシンブル４５２の一端側外表面には円周を等分する副尺目盛（図示略）が設けられている。
このような駆動部４５Ｙでは、シンブル４５２を回転させることにより、スピンドル４５１が進退する。このスピンドル４５１の先端は、Ｙステージ４２に固定されたブロック４２３の半球状の度当たり部４２３Ａに当接しており、スピンドル４５１が進退することで、Ｙステージ４２がＹ軸方向に沿って摺動する。
なお、Ｙステージ４２は、スピンドル４５１の延出方向と反対方向に図示しないばね等の付勢手段により付勢されている。
【００３０】
駆動部４５Ｘは、駆動部４５Ｙと同様の構成である。この駆動部４５Ｘは、Ｙステージ４２の摺動方向に直交する側面に固定されたブロック４２４に取り付けられている。また、この駆動部４５Ｘのスピンドル４５１は、Ｘ軸方向に進退可能となっており、Ｘステージ４３の摺動方向に沿った側面に固定されたブロック４３２の半球状の度当たり４３２Ａに当接する。
なお、Ｘステージ４３は、駆動部４５Ｘのスピンドル４５１の延出方向と反対方向に図示しないばね等の付勢手段により付勢されている。
【００３１】
[３．成形型の製造方法]
[３-１.成形型の加工]
次に、図９、図１０をも参照して、以上のような加工機３と、治具４とを用いた成形型２の可動型２２の製造方法について説明する。
はじめに、加工機３の保持部３１に母型２３を取り付ける（処理Ｓ１）。
具体的には、図１０のフローチャートを参照して説明する。
まず、加工機３の保持部３１に治具４の基部取り付け板４０を取り付ける（処理Ｓ1-1）。
次に、基部取り付け板４０に、基部４１、Ｙステージ４２、Ｘステージ４３を取り付け、仮止めする（処理Ｓ1-2）。
その後、基部４１、Ｙステージ４２、Ｘステージ４３の傾きを調べる。（処理Ｓ1-3）
基部４１、Ｙステージ４２、Ｘステージ４３の側面であって、図３の上方側に位置する面（Ｘ軸に略平行な面）に、ダイアルゲージ等を接触させ、この状態でダイアルゲージ等をＸ軸方向に動かし、目盛りの変動を見る。基部４１、Ｙステージ４２、Ｘステージ４３が傾いて取り付けられている場合には、ダイアルゲージ等の目盛りの振れが大きいため、基部４１、Ｙステージ４２、Ｘステージ４３の傾きを修正する（処理Ｓ1-4）。
その後、基部４１、Ｙステージ４２、Ｘステージ４３をねじで固定し、本固定する（処理Ｓ1-5）。
さらに、その後、Ｘステージ４３上に円盤部４４の高さ調整部４４０Ａを仮固定する（処理Ｓ1-6）。次に、高さ調整部４４０Ａの傾きを調べる（処理Ｓ1-7）。円盤部４４の高さ調整部４４０Ａの基準面４４０Ａ２のうち図３の上方側に位置する面にダイアルゲージ等を当接させ、ダイアルゲージ等をＸ軸方向に動かし、目盛りの変動を見る。円盤部４４の高さ調整部４４０Ａが傾いて取り付けられている場合には、ダイアルゲージ等の目盛りの振れが大きいため、円盤部４４の高さ調整部４４０Ａの傾きを修正する（処理Ｓ1-8）。
その後、高さ調整部４４０ＡをＸステージ４３にねじで本固定する（処理Ｓ1-9）。
さらに、母型２３が取り付けられた円盤部４４の本体部４４０Ｂを高さ調整部４４０Ａに取り付ける（処理Ｓ1-10）。具体的には、高さ調整部４４０Ａのピン４４０Ａ１を本体部４４０Ｂの孔４４０Ｂ１に挿入し、さらに、図示しないねじで固定する。
なお、円盤部４４の本体部４４０Ｂには母型２３を以下のようにして固定しておく。
まず、円盤部４４の本体部４４０Ｂの段部４４０Ｂ２に沿って第一固定部材４４１Ａ、第二固定部材４４１Ｂを固定する。次に、母型２３の直交する側面を前記第一固定部材４４１Ａ及び第二固定部材４４１Ｂに当接させて第三固定部材４４１Ｃにより固定する。その後、母型２３をねじで本体部４４０Ｂに固定する。
これにより、本体部４４０Ｂの平面中心と、母型２３の外形中心位置Ｐ１とが一致することとなる。
【００３２】
なお、円盤部４４の本体部４４０Ｂの孔４４０Ｂ１の位置と、高さ調整部４４０Ａのピン４４０Ａ１の位置とが正確に形成されているか否かを確認するために、母型２３を本体部４４０Ｂに取り付ける前段で、本体部４４０Ｂを高さ調整部４４０Ａに取り付け、本体部４４０Ｂの段部４４０Ｂ２の直交する段差面にそれぞれダイアルゲージ等の測定機器を当てて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に摺動させ、目盛の振れを確認してもよい。円盤部４４の本体部４４０Ｂの孔４４０Ｂ１の位置と、高さ調整部４４０Ａのピン４４０Ａ１の位置とが正確に形成されている場合には、段部４４０Ｂ２の一方の段差面がＸ軸に平行になり、前記一方の側面に直交する他方の段差面がＹ軸と平行になるため、ダイアルゲージ等の測定機器の目盛りは一定となる。
一方、円盤部４４の本体部４４０Ｂの孔４４０Ｂ１の位置と、高さ調整部４４０Ａのピン４４０Ａ１の位置とがずれているような場合には、ダイアルゲージ等の測定機器の目盛りが大きく振れることとなる。このような場合には、本体部４４０Ｂ又は高さ調整部４４０Ａを加工し、修正する。
【００３３】
次に、母型２３が保持部３１の基準位置に取り付けられているかどうか、すなわち、保持部３１の回転軸３１２と、治具４に取り付けられた母型２３の表面のうち、レンズアレイ１を成形する部分の外形中心位置Ｐ１とが一致しているかどうかを確認する（図８参照）。この位置が、保持部３１に対する母型２３の原点位置となる（処理Ｓ２、原点出し工程）。
具体的には、円盤部４４の本体部４４０Ｂの側面にダイアルゲージ等の測定機器を当接させる。その後、保持部３１を回転駆動する。保持部３１の回転軸３１２と、母型２３の表面の外形中心位置Ｐ１とがずれている場合には、ダイアルゲージ等の測定機器が示す値が大きく変動することとなる。この場合には、治具４のＸステージ４３及び／又はＹステージ４２を摺動させて、位置合わせを行い、ねじ４７により、位置決め板４８をＸステージ４３又は、Ｙステージ４２に当接させることより、Ｘステージ４３及びＹステージ４２を固定する。
なお、保持部３１の回転軸３１２と、母型２３の表面の外形中心位置Ｐ１とが略一致している場合には、ダイアルゲージ等の示す値は略一定となる。
そして、このような原点出しが終わった後、Ｘステージ４３、Ｙステージ４２を駆動させる駆動部４５Ｘ，４５Ｙの目盛を読み、記録しておく。ここで、例えば、駆動部４５Ｘの目盛が７．３０８ｍｍ（＝Ｘ0）、駆動部４５Ｙの目盛が７．２０２（＝Ｙ0）を示していたとすると、これらの値が原点位置の値となる。
また、円盤部４４の基準面４４０Ａ２にダイアルゲージ等の測定機器を当てて、円盤部４４のＸ軸上の位置、Ｙ軸上の位置を測定しておく。
【００３４】
次に、Ｘステージ４３、Ｙステージ４２を駆動させて、図１１に示すように、保持部３１の回転軸３１２と、一つ目の凹部２２２の加工中心（中心）となる設計上の位置Ｐ２、すなわち、母型２３の表面のレンズアレイ１の小レンズ１２１の光学中心に対応する設計上の位置Ｐ２とを合わせる（処理Ｓ３、調整工程）。
ここでは、保持部３１の回転軸３１２と、原点位置にある母型２３の一つ目の凹部２２２の加工中心となる設計上の位置Ｐ２との位置関係に基づいて、母型２３を移動する。
【００３５】
この調整工程が終わった後、Ｘステージ４３、Ｙステージ４２を駆動させる駆動部４５Ｘ，４５Ｙの目盛を読み、記録しておく。ここで、例えば、駆動部４５Ｘの目盛は、２．２０８ｍｍ（＝Ｘ1）、駆動部４５Ｙの目盛は、０．２０２ｍｍ（＝Ｙ1）となる。
次に、駆動部４５Ｘ，４５Ｙの目盛の変動量（Ｘ1−Ｘ0，Ｙ1−Ｙ0）から、母型２３の移動量Ｗを算出する（処理Ｓ４、算出工程）。調整工程では、保持部３１の回転軸３１２と、原点位置にある母型２３の一つ目の凹部２２２の加工中心となる設計上の位置Ｐ２との位置関係に基づいて、母型２３を移動しているため、この算出工程では、前記位置関係に基づく、母型２３の設計上の移動量を算出することとなる。
移動量を算出する式（３）は以下のようである。
【００３６】
【数３】
2005335277.tif 000005
【００３７】
ここでは、Ｗ＝８．６６０８ｍｍとなる
さらに、母型２３が固定されている治具４の円盤部４４の基準面４４０Ａ２にダイアルゲージ等の測定機器を当てて、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の移動量を測定し、この測定結果から、円盤部４４の移動量（実測値）を求める（処理Ｓ５、実測工程）。ここで、例えば、実測値は、８．６６１ｍｍである。
なお、円盤部４４は、Ｘステージ４３、Ｙステージ４２の駆動に伴って移動しており、この円盤部４４の移動量は、母型２３の移動量と等しい。
次に、実測工程により得られた移動量（実測値）と、算出工程で算出された移動量（算出値）とを比較する（処理Ｓ６、比較判定工程）。
実測工程により得られた移動量（実測値）と、算出工程で算出された移動量（算出値）との差が、所定値以下、例えば、０．０１ｍｍ以下であるか否かを判定する。
ここで、所定値以下であれば、凹部２２２の形成を行う。ここでは、粗研削を行う（処理Ｓ７、粗研削工程）。
【００３８】
実測値と算出値との差が、所定の範囲値を超える場合には、凹部２２２の形成を行わず、再度、Ｘステージ４３、Ｙステージ４２を駆動させて、保持部３１の回転軸３１２と、一つ目の凹部２２２の加工中心となる設計上の位置Ｐ２、すなわち、母型２３の表面のレンズアレイ１の小レンズ１２１の光学中心に対応する設計上の位置Ｐ２とを合わせ（処理Ｓ３、調整工程）、再度、円盤部４４の移動量（母型２３の移動量）を算出し（処理Ｓ４）、円盤部４４の移動量（母型２３の移動量）を実測し（処理Ｓ５）、算出値と実測値とを比較する（処理Ｓ６）。算出値と実測値とが所定値以下におさまるまで、この作業を繰り返す。
【００３９】
次に、二つ目の凹部２２２を形成するために、Ｘステージ４３、Ｙステージ４２を駆動させて、保持部３１の回転軸３１２と、二つ目の凹部２２２の加工中心となる設計上の位置、すなわち、母型２３の表面のレンズアレイ１の小レンズ１２１の光学中心に対応する設計上の位置とを合わせる（処理Ｓ３、調整工程）。
そして、算出工程（処理Ｓ４）、実測工程（処理Ｓ５）、比較判定工程（処理Ｓ６）を再度行い、実測値と算出値との差が所定の範囲内となったら、粗研削を行い二つ目の凹部２２２を形成する（処理Ｓ７）。
このような工程を２４番目の凹部２２２が形成されるまで、繰り返す（処理Ｓ８）。
【００４０】
次に、凹部２２２の仕上げ研削を行う（仕上げ研削工程）。
ここでも、粗研削を行った際と同じく、調整工程（処理Ｓ９）、算出工程（処理Ｓ１０）、実測工程（処理Ｓ１１）、比較判定工程（処理Ｓ１２）を行い、実測値と、算出値との差が所定値以下であれば、凹部２２２の仕上げ研削を行う（処理Ｓ１３）。実測値と、算出値との差が所定の範囲以下でない場合には、再度、調整工程（処理Ｓ９）、算出工程（処理Ｓ１０）、実測工程（処理Ｓ１１）、比較判定工程（処理Ｓ１２）を繰り返し、所定の範囲内になるまで前記工程を繰り返す。このような作業を２４番目の凹部２２２が仕上げ研削されるまで行う（処理Ｓ１４）。
その後、このようして仕上げ研削された成形型２の可動型２２の凹部２２２の表面粗さ、形状精度等を測定する（処理Ｓ１５）。
ここで、測定結果と、可動型２２の設計寸法とを比較して、その差が所定値以下であるかどうかを判断する（処理Ｓ１６、表面粗さ、形状精度判断工程）。
測定結果と、設計寸法との差が、所定値を超える場合には、再度、調整工程（処理Ｓ９）、算出工程（処理Ｓ１０）、実測工程（処理Ｓ１１）、比較判定工程（処理Ｓ１２）を行って、仕上げ研削（処理Ｓ１３）を行う。これを測定値と設計寸法との差が所定値以下となるまで繰り返す。
【００４１】
[３-２．成形型の評価]
次に、成形型２の可動型２２の凹部２２２の配列精度を、図１２に示す製造装置５を用いて、評価する（処理Ｓ１７）。
ここでは、凹部２２２の配列精度、すなわち、可動型２２のレンズアレイ１の小レンズ１２１の光学中心に対応する位置（凹部２２２の加工中心）の配列精度を評価する。
製造装置５は、装置本体５１と、演算処理装置５２とを備える。
装置本体５１は、定盤５１１と、この定盤５１１上に設置されたテーブル５１２と、このテーブル５１２上に設置された架台５１３と、架台５１３上に設置されたレーザ測長光学系５１４と、測定手段５１５とを備える。
定盤５１１上には、被測定物となる成形型２の可動型２２を設置するための設置台５１１Ａが設けられている。
【００４２】
テーブル５１２は、Ｘ軸方向に沿って摺動するＸテーブル５１２Ｘと、Ｙ軸方向に沿って摺動するＹテーブル５１２Ｙとを備える。
架台５１３上には、垂直方向に上下するＺ軸移動手段５１６が設けられており、このＺ軸移動手段５１６の先端には、プローブ５１７が取り付けられている。Ｘテーブル５１２Ｘ、Ｙテーブル５１２Ｙ、及びＺ軸移動手段５１６を駆動することで、プローブ５１７は、成形型２の凹部２２２の内面形状に沿って追従しながら駆動することとなる。なお、このプローブ５１７は、例えば、成形型２の凹部２２２に対して、原子間力の作用する領域まで接近し、原子間力を常に一定に保ちながら最大６０゜までの傾斜面の測定することが可能となっている。
【００４３】
また、この架台５１３上には、Ｘ参照ミラー５１８Ｘ、Ｙ参照ミラー５１８Ｙが設置されている。Ｘ参照ミラー５１８Ｘ、Ｙ参照ミラー５１８Ｙは、支持部材５１８Ａにより支持されている。
さらに、架台５１３上には、支持体（図示略）が設置され、この支持体には、Ｚ参照ミラー５１８Ｚが設置されている。
レーザ測長光学系５１４は、既知の光干渉法により、Ｚ参照ミラー５１８Ｚ、Ｙ参照ミラー５１８Ｙ、Ｘ参照ミラー５１８Ｘを基準としたプローブ５１７のＸ座標値、Ｙ座標値、Ｚ座標値を測長するものである。
【００４４】
このレーザ測長光学系５１４は、図示しないが、光源となる発信周波数安定化Ｈｅ−Ｎｅゼーマンレーザと、この光源からのレーザを成形型２、各参照ミラー５１８Ｘ，５１８Ｙ，５１８Ｚまで導く、ミラー、プリズム等とを備える。
光源からは、測定光と、参照光とが射出され、測定光は、成形型２まで導かれ、参照光は各参照ミラー５１８Ｘ，５１８Ｙ，５１８Ｚに導かれる。成形型２及び各参照ミラー５１８Ｘ，５１８Ｙ，５１８Ｚで反射された測定光、参照光は、測定手段５１５に導入される。この測定手段５１５は、パルスカウンタであり、測定光、参照光の周波数の差が数値に変換される。この数値は、後述する演算処理装置５２に出力され、演算処理装置５２において、この数値に基づいて、Ｘ座標値、Ｙ座標値、Ｚ座標値が算出される。これらのＸ座標値、Ｙ座標値、Ｚ座標値は、製造装置５の機械原点を基準位置とした座標値である。
【００４５】
演算処理装置５２は、図１３に示すように、データ等の入出力の制御を行う入出力部５２１と、演算処理装置本体５２２とを有する。
入出力部５２１には、キーボードや、マウス等データの入力を行う入力手段５２０Ａと、演算処理装置本体５２２からのデータを出力するディスプレイ等の表示部５２０Ｂとが接続されている。
【００４６】
演算処理装置本体５２２は、記憶部５２３と、演算処理部５２４とを備えている。
演算処理部５２４は、ＣＰＵを備えており、該ＣＰＵを制御するマルチタスク機能を具備するＯＳ（Operating System）上に展開されるプログラムとしての座標値取得手段５２４Ａと、実測中心取得手段５２４Ｂと、算出手段５２４Ｃと、判定手段５２４Ｄとを備える。
座標値取得手段５２４Ａは、入出力部５２１を介して入力される測定手段５１５からの数値に基づいて、Ｘ座標値、Ｙ座標値、Ｚ座標値を算出するものである。
実測中心取得手段５２４Ｂは、前記座標値取得手段５２４Ａで取得された座標値に基づいて、製造装置５の機械原点である基準位置に対する凹部２２２の加工中心、すなわち、レンズアレイ１の小レンズ１２１の光軸に対応する位置の座標値を取得するものである。
【００４７】
算出手段５２４Ｃは、実測中心取得手段５２４Ｂで取得した各凹部２２２の中心間の距離を算出する。例えば、実測中心取得手段５２４Ｂで取得した１番目の凹部２２２の加工中心の座標が、（Ｘｎ１、Ｙｎ1）であり、２番目の凹部２２２の加工中心の座標が（Ｘｎ２、Ｙｎ２）であったとすると、１番目の凹部２２２の加工中心と、２番目の凹部２２２の加工中心との間の距離Ｍ（第一算出値）は、以下の式（４）で示される。
【数４】
2005335277.tif 000006
【００４８】
次に、１番目の凹部２２２の中心と、３番目の凹部２２２の中心との距離を算出し、さらに、２番目の凹部２２２と３番目の凹部２２２の中心の距離を算出する。このような計算を全ての各凹部２２２間で行い、距離Ｍを順次算出していく。
【００４９】
さらに、この算出手段５２４Ｃでは、凹部２２２の設計上の中心間の距離も算出する。例えば、１番目の凹部２２２の中心の設計上の座標が（Ｘｄ１、Ｙｄ１）、２番目の凹部の中心の設計上の座標が（Ｘｄ２、Ｙｄ２）であったとすると、距離Ｌ（第二算出値）は以下の式（５）で示される。
【００５０】
【数５】
2005335277.tif 000007
【００５１】
このような計算を全ての各凹部２２２間で行い、距離Ｌを順次算出していく。
また、この算出手段５２４Ｃでは、さらに、実測中心取得手段５２４Ｂで取得した全ての凹部２２２の加工中心間の距離Ｍと、これに対応する設計上の全ての凹部２２２の中心間の距離Ｌとの差の絶対値を算出する。
【００５２】
判定手段５２４Ｄは、前記算出手段５２４Ｃで算出された前記差の絶対値が所定値以下であるかどうかを判定するものである。例えば、前記絶対値が、１０μｍ以下であるかどうかを判定する。
また、この判定手段５２４Ｄは、後述する絶対値記憶手段５２３Ｆで生成されたテーブルＴ５を表示部５２０Ｂに出力させる機能も有しており、出力する際に、色記憶手段５２３Ｇの色設定テーブルＴ６を参照し、前記絶対値が所定値を超える数値が入力されたテーブルＴ５のセル領域を他のセル領域とは異なる色で出力させる。すなわち、この判定手段５２４Ｄでの判定結果が、入出力部５２１を介して表示部５２０Ｂに出力され、表示されることとなる。
【００５３】
記憶部５２３は、実測座標値記憶手段５２３Ａと、実測中心記憶手段５２３Ｂと、設計中心記憶手段５２３Ｃと、実測中心間距離記憶手段５２３Ｄと、設計中心間距離記憶手段５２３Ｅと、絶対値記憶手段５２３Ｆと、色記憶手段５２３Ｇを備える。
実測座標値記憶手段５２３Ａは、演算処理装置本体５２２の座標値取得手段５２４Ａで取得した凹部２２２のＸ座標値、Ｙ座標値、Ｚ座標値を記憶する。この実測座標値記憶手段５２３Ａには、凹部２２２の中心が検出されるまでの間、凹部２２２の座標値が記憶されていればよく、１番目の凹部２２２の測定が終了し、１番目の凹部２２２の加工中心の座標値が検出された後に、次に、測定する２番目の凹部２２２の座標値が上書きされるような構造であってもよい。
【００５４】
実測中心記憶手段５２３Ｂは、演算処理装置本体５２２の実測中心取得手段５２４Ｂで取得した凹部２２２の加工中心のＸ座標値、Ｙ座標値を記憶するものである。例えば、図１４に示すテーブルＴ１を生成する。このテーブルＴ１には、各凹部２２２の番号が１〜２４と、Ｘ座標値、Ｙ座標値とが関連づけられて記憶されている。
なお、各凹部２２２には、図１５に示すように番号が付されている。
【００５５】
設計中心記憶手段５２３Ｃは、成形型２の可動型２２の設計情報に基づいて、凹部２２２の設計上の加工中心のＸ座標値、Ｙ座標値（設計値）を記憶するものであり、図１６に示すように、実測中心記憶手段５２３Ｂに記憶されたテーブルＴ１と同様のテーブルＴ２を生成する。
なお、凹部２２２の設計上の加工中心のＸ座標値、Ｙ座標値は、入力手段５２０Ａから入出力部５２１を介して、演算処理装置本体５２２に入力されることとなる。従って、本実施形態では、入出力部５２１及び設計中心記憶手段５２３Ｃが本発明の設計中心取得手段に該当する。
【００５６】
実測中心間距離記憶手段５２３Ｄは、算出手段５２４Ｃによって算出された各凹部２２２の実測に基づく加工中心間の距離Ｍ（第一算出値）を記憶するものである。ここでは、図１７に示すようなテーブルＴ３を生成する。
このテーブルＴ３は、マトリクス状に区切られており、一番左側の列及び最上段の行に記入された１〜２４の番号は各凹部２２２の番号を示す。そして、例えば、一番左側の列の２番と、最上段の行の１番とが交差するセルに記載された数値は、２番の凹部２２２の加工中心と、１番の凹部２２２の加工中心との距離を示す値である。
【００５７】
設計中心間距離記憶手段５２３Ｅは、算出手段５２４Ｃによって、算出された各凹部２２２の設計上の加工中心間の距離Ｌ（第二算出値）を記憶するものである。ここでは、図１８に示すように、実測中心間距離記憶手段５２３Ｄに記憶されたテーブルＴ３と同様のテーブルＴ４が生成される。
【００５８】
絶対値記憶手段５２３Ｆは、演算処理装置本体５２２の算出手段５２４Ｃで算出された絶対値を記憶するものである。図１９に示すようなテーブルＴ５が生成され、絶対値が記憶される。このテーブルＴ５において、一番左側の列及び最上段の行に記入された１〜２４の番号は各凹部２２２の番号を示す。そして、例えば、一番左側の列の２番と、最上段の行の１番とが交差するセルに記載された数値（０．２）は、実測上の１番の凹部２２２の加工中心及び２番の凹部２２２の加工中心間の距離Ｍと、設計上の１番の凹部２２２の加工中心及び２番の凹部２２２の加工中心の間の距離Ｌとの差の絶対値である。
【００５９】
色記憶手段５２３Ｇは、図２０に示すように、色設定テーブルＴ６を備えている。この色設定テーブルＴ６には、絶対値記憶手段５２３Ｆで生成されたテーブルＴ５のセル内の数値と、この数値に対応するセル領域の色とが記憶されており、例えば、セル内の数値が１０（μｍ）以下の場合には、セル領域の色が白、セル内の数値が１０（μｍ）を超える場合には、赤と設定されている。
【００６０】
以上のような製造装置５を用いた成形型２の評価方法について説明する。ここでは、図２１のフローチャートを参照して説明する。
なお、ここでは、成形型２の凹部２２２は、１番から順に測定するが、これに限られるものではなく、測定の順番は任意である。
まず、製造装置５の設置台５１１Ａ上に成形型２を設置する。次に、製造装置５のプローブ５１７を１番の凹部２２２の形状に沿って追従させて駆動する。このとき、測定手段５１５からは、所定の信号が演算処理装置５２に送られ、演算処理装置５２の演算処理部５２４の座標値取得手段５２４Ａは、Ｘ座標値、Ｙ座標値、Ｚ座標値を算出して、凹部２２２の形状を把握する。そして、この座標値を、記憶部５２３の実測座標値記憶手段５２３Ａに記憶する。
【００６１】
次に、プローブ５１７の駆動が終了すると、演算処理装置５２の演算処理部５２４の実測中心取得手段５２４Ｂが、前記実測座標値記憶手段５２３Ａに記憶された座標値を読み出し、この座標値のなかから、凹部２２２の加工中心に該当する座標値を選択し、取得する（処理Ｓ17-1、実測中心取得手順）。そして、この凹部２２２の加工中心の座標値を、実測中心記憶手段５２３Ｂに記憶する。なお、本実施形態では、成形型２の凹部２２２の加工中心の配列精度の評価を目的としているため、実測中心記憶手段５２３Ｂには、各凹部２２２の加工中心のＸ座標値、Ｙ座標値のみが記憶されればよい。
その後、算出手段５２４Ｃにより、実測中心記憶手段５２３Ｂに記憶された各凹部２２２の加工中心のＸ座標値、Ｙ座標値を読み出す。そして、全ての各凹部２２２の加工中心間の距離を算出し（処理Ｓ17-2、第一算出手順）、算出結果を実測中心間距離記憶手段５２３Ｄに記憶する。
【００６２】
一方、入力手段５２０Ａに設計上の各凹部２２２の加工中心のＸ座標値、Ｙ座標値を入力し、この値を設計中心記憶手段５２３Ｃに記憶する（処理Ｓ17-3、設計中心取得手順）。
そして、算出手段５２４Ｃで、設計中心記憶手段５２３Ｃに記憶された座標値を読み出し、凹部２２２の設計上の中心間の距離を算出し（処理Ｓ17-4、第二算出手順）、この算出値を設計中心間距離記憶手段５２３Ｅに記憶する。
その後、算出手段５２４Ｃにより、実測中心間距離記憶手段５２３Ｄに記憶された算出値（第一算出値）と、設計中心間距離記憶手段５２３Ｅに記憶された算出値（第二算出値）とを読み出し、これらの算出値の値の差の絶対値を算出する（処理Ｓ17-5、第三算出手順）。そして、これを、絶対値記憶手段５２３Ｆに記憶する。
【００６３】
判定手段５２４Ｄでは、絶対値記憶手段５２３Ｆに記憶された算出値を読み出し、この値が所定値以下であるかを判定する（処理Ｓ17-6、判定手順）。さらに、判定手段５２４Ｄでは、絶対値記憶手段５２３Ｆで生成されたテーブルＴ５を表示部５２０Ｂに出力する。この時、色記憶手段５２３Ｇの色設定テーブルＴ６を参照し、前記絶対値が所定値を超える数値が入力されたセル領域を例えば、赤色で表示し、他のセル領域を白色で表示する。
【００６４】
作業者は、表示部５２０Ｂに表示されたテーブルＴ５を参照し、例えば、一番左側の列の２番と、最上段の行の１番とが交差するセル領域が赤色になっている場合には、１番の凹部２２２の加工中心と、２番の凹部２２２の加工中心との間の距離が異常となっていることがわかる。そこで、１番の凹部２２２、２番の凹部２２２の加工中心の実測上の座標値と、設計上の座標値とを参照し、凹部２２２の形状を補正する。
また、例えば、１番の凹部２２２の加工中心と、他の全ての凹部２２２の加工中心における前記絶対値が所定値を超えるような傾向を示している場合には、１番の凹部２２２の加工中心がずれていると考えられる。従って、この場合は、１番の凹部２２２の加工中心の実測した座標値と、設計上の座標値とを参照し、凹部２２２の形状を補正する。
補正は、具体的には、処理Ｓ９〜処理Ｓ１６を再度行い、その後、再び、処理１７（処理Ｓ17-1〜処理Ｓ17-6）を行う。絶対値記憶手段５２３Ｆに記憶される数値が所定値以下となるまで、処理Ｓ９〜処理Ｓ１７の作業を繰り返す。
【００６５】
[３-３．成形型の表面処理及び検査]
以上のような凹部２２２の中心の位置精度の評価が終了したら、可動型２２の凹部２２２が形成された面（成形面）の表面処理を行う（処理Ｓ１８）。
その後、最後に、可動型２２の検査を行う。
可動型２２と、固定型２１とにより、成形型２を組み立てる（処理Ｓ１９）（図２参照）。そして、可動型２２と、固定型２１との間にレンズアレイ１の原料となる溶融ガラス１０を注入して、プレス成形する（処理Ｓ２０）。
【００６６】
次に、このようにして製造されたレンズアレイ１の小レンズ１２１の光軸位置（光学中心）の配列精度を確認する（処理Ｓ２１）。
ここでも、前述した製造装置５を使用して、可動型２２の凹部２２２の配列精度を評価した場合と同様の方法で、小レンズ１２１の光軸位置（光学中心）の配列精度を評価する。すなわち、製造装置５は、本発明のレンズアレイの評価装置を兼ねる。
製造装置５の演算処理部５２４の実測中心取得手段５２４Ｂは、座標値取得手段５２４Ａで取得された座標値に基づいて、小レンズ１２１の光学中心の座標値を取得することとなる。
算出手段５２４Ｃでは、実測中心取得手段５２４Ｂで取得した各小レンズ１２１の光学中心間の距離（第一算出値）を算出する。また、小レンズ１２１の設計上の中心間の距離（第二算出値）も算出する。さらに、この第一算出値と第二算出値との差を算出する。
記憶部５２３の実測座標値記憶手段５２３Ａでは、演算処理装置本体５２２の座標値取得手段５２４Ａで取得した小レンズ１２１の光学中心のＸ座標値、Ｙ座標値、Ｚ座標値を記憶する。
実測中心記憶手段５２３Ｂでは、実測中心取得手段５２４Ｂで取得した小レンズ１２１の光学中心のＸ座標値、Ｙ座標値を記憶する。
設計中心記憶手段５２３Ｃには、レンズアレイ１の設計情報に基づく、小レンズ１２１の設計上の光学中心のＸ座標値、Ｙ座標値が記憶される。
実測中心間距離記憶手段５２３Ｄは、実測中心取得手段５２４Ｂで取得した各小レンズの光学中心間の距離の算出値を記憶する。
また、設計中心間距離記憶手段５２３Ｅでは、各小レンズ１２１の設計上の光学中心間の距離の算出値を記憶する。
【００６７】
具体的には、次のようして評価を行う。
まず、製造装置５の設置台５１１Ａ上にレンズアレイ１を設置する。次に、製造装置５のプローブ５１７を１番のレンズアレイ１の小レンズ１２１の形状に沿って追従させて駆動する。このとき、測定手段５１５からは、所定の信号が演算処理装置５２に送られ、演算処理装置５２の演算処理部５２４の座標値取得手段５２４Ａでは、Ｘ座標値、Ｙ座標値、Ｚ座標値を算出する。そして、この座標値は、記憶部５２３の実測座標値記憶手段５２３Ａに記憶される。
次に、プローブ５１７の駆動が終了すると、演算処理装置５２の演算処理部５２４の実測中心取得手段５２４Ｂが、前記実測座標値記憶手段５２３Ａに記憶された座標値を読み出し、この座標値のなかから、小レンズ１２１の光学中心に該当する座標値を選択し、取得する（実測光学中心取得手順）。この小レンズ１２１の光学中心の座標値は、実測中心記憶手段５２３Ｂに記憶される。
【００６８】
その後、算出手段５２４Ｃにより、実測中心記憶手段５２３Ｂに記憶された各小レンズ１２１の光軸位置のＸ座標値、Ｙ座標値を読み出す。そして、各小レンズ１２１の光学中心間の距離（第一算出値）を算出し（第一算出手順）、算出結果を実測中心間距離記憶手段５２３Ｄに記憶する。
一方、入力手段５２０Ａに設計上の小レンズ１２１の光学中心のＸ座標値、Ｙ座標値を入力し、この値を設計中心記憶手段５２３Ｃに記憶する（設計中心取得手順）。
そして、算出手段５２４Ｃで、設計中心記憶手段５２３Ｃに記憶された座標値から、小レンズ１２１の設計上の光学中心間の距離（第二算出値）を算出し（第二算出手順）、この算出値を設計中心間距離記憶手段５２３Ｅに記憶させる。
【００６９】
その後、算出手段５２４Ｃにより、実測中心間距離記憶手段５２３Ｄに記憶された算出値と、設計中心間距離記憶手段５２３Ｅに記憶された算出値とを読み出し、これらの算出値の値の差の絶対値を算出する（第三算出手順）。そして、これを、絶対値記憶手段５２３Ｆに記憶させる。
判定手段５２４Ｄでは、絶対値記憶手段５２３Ｆに記憶された算出値を読み出し、この値が所定値以下であるかを判定する（判定手順）。さらに、判定手段５２４Ｄでは、絶対値記憶手段５２３Ｆで生成されたテーブル（テーブルＴ５と同様のテーブル）を表示部５２０Ｂに出力させる。この時、色記憶手段５２３Ｇの色設定テーブルＴ６を参照し、前記絶対値が所定値を超える数値が入力されたセル領域を例えば、赤色で表示し、他のセル領域を白色で表示する。
【００７０】
作業者は、表示部５２０Ｂに表示されたテーブルを参照し、セル領域が赤色になっている番号の凹部２２２を確認する。そして、この凹部２２２の実測上の座標値、設計上の座標値を確認し、可動型２２の凹部２２２の補正を行う（処理Ｓ９〜処理Ｓ１６）。
そして、再度、製造装置５を用いて、可動型２２の凹部２２２の評価を行い、処理Ｓ１７〜処理Ｓ２１を繰り返す。
表示部５２０Ｂに表示されたテーブルの全てのセル領域が白色の場合、すなわち、前記絶対値が所定値以下である場合には、可動型２２の製造が完了する。
【００７１】
[４.実施形態の効果]
従って、本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）凹部２２２の中心の配列を評価する際に、成形型２の凹部２２２の加工中心を実測し、全ての各加工中心間の距離を算出している。一方で、成形型２の凹部２２２の設計上の加工中心の座標値を取得して、設計上の凹部２２２の加工中心間の距離を算出している。そして、これらの距離の差を求め、この差が所定値以下であるかどうかを判断し、凹部２２２の配列の精度を評価しているので、評価を迅速に行うことができる。
例えば、１番の番号の凹部２２２と、２番の番号の凹部２２２の加工中心間の実測上の距離と、設計上の距離との差が所定値を超える場合には、１番の凹部２２２の座標値、２番の凹部２２２の座標値を見直して、修正すればよく、従来のように、全ての凹部２２２の加工中心の実測上の座標値（Ｘ座標値、Ｙ座標値）と、設計上の座標値（Ｘ座標値、Ｙ座標値）とをそれぞれ比較する場合に比べ、評価を迅速に行うことができる。
なお、レンズアレイ１の小レンズ１２１の評価を行う際も同様であり、評価を迅速に行うことができる。
【００７２】
（２）さらに、本実施形態では、全ての各凹部２２２の加工中心間の実測上の距離及び設計上の距離を算出しており、全ての各凹部２２２の加工中心間の実測上の距離及び設計上の距離を比較しているため、例えば、一番の凹部２２２の加工中心が大きくずれている場合には、一番の凹部２２２の加工中心と、他の凹部２２２の加工中心との実測上の距離と設計上の距離との差が所定値よりも大きくなる傾向を示すこととなる。そのため、一番目の凹部２２２の加工中心がずれていることを容易に把握することができ、より迅速に評価を行うことができる。
レンズアレイ１の小レンズ１２１の評価を行う際も同様の効果を奏する。
【００７３】
（３）製造装置５の原点から成形型２の各凹部２２２の中心までの実測上の距離と、設計上の距離とを比較することによっても、凹部２２２の加工中心のずれを検出することは可能である。しかしながら、製造装置５に成形型２を精度よく取り付けることは困難であるため、製造装置５の原点から各凹部２２２の中心までの実測上の距離に、成形型２の取り付けに伴って発生するずれが誤差として影響する。そのため、凹部２２２の配列の高精度な評価を行うことが困難となる。
これに対し、本実施形態では、各凹部２２２の中心間の実測上の距離で凹部２２２の配列の評価を行うため、成形型２の取り付けによる誤差が実測上の距離に影響することが無く、より高精度な評価が可能である。
レンズアレイ１の小レンズ１２１の評価を行う際も同様の効果を奏する。
【００７４】
（４）本実施形態では、絶対値記憶手段５２３Ｆで生成されたテーブルＴ５を表示部５２０Ｂに出力しているので、作業者は、表示部５２０Ｂに表示されたテーブルＴ５の数値を見ることで、凹部２２２の配列の精度、小レンズ１２１の配列精度を評価することができる。
また、製造装置５は、判定手段５２４Ｄを備えており、この判定手段５２４Ｄでは、絶対値記憶手段５２３Ｆに記憶された算出値を読み出し、この値が所定値以下であるかを判定している。そして、判定手段５２４Ｄは、色記憶手段５２３Ｇの色設定テーブルＴ６を参照し、前記絶対値が所定値を超える数値が入力されたセル領域を例えば、赤色で表示し、他のセル領域を白色で表示しているので、作業者は、表示部５２０Ｂの表示を見るだけで、即座に、どの凹部２２２、或いは、どの小レンズ１２１が異常であるかを判断し、成形型２の評価を行うことができ、作業者にとって使い勝手のよいものとなる。
【００７５】
（５）本実施形態では、製造装置５の装置本体５１のプローブ５１７は、最大６０゜までの傾斜面の測定することが可能となっているので、凹部２２２や小レンズ１２１の表面の曲率半径が小さいような場合であっても、凹部２２２の中心、小レンズ１２１の光学中心の座標値を正確に検出することができる。
【００７６】
（６）また、本実施形態では、成形型２の凹部２２２の配列精度の評価を行った後、この成形型２を用いて、レンズアレイ１を製造し、レンズアレイ１の小レンズ１２１の配列精度の評価を行っている。そして、この小レンズ１２１の配列精度の評価結果に基づき、凹部２２２の加工中心の補正を行っている。
従って、凹部２２２の配列精度の評価を行った後、例えば、可動型２２の表面に製造番号等を刻印し、凹部２２２の加工中心がずれてしまったような場合であっても、小レンズ１２１の光学中心の配列精度を評価することで、凹部２２２の加工中心のずれを検出することができ、より正確に凹部２２２が形成された可動型２２を製造することができる。
【００７７】
[５．変形例]
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、判定手段５２４Ｄでは、絶対値記憶手段５２３Ｆで生成されたテーブルＴ５を表示部５２０Ｂに出力させ、色記憶手段５２３Ｇの色設定テーブルＴ６を参照し、前記絶対値が所定値を超える数値が入力されたセル領域を例えば、赤色で表示し、他のセル領域を白色で表示していたが、これに限らず、すべてのセル領域を同じ色で示しても良い。この場合には、作業者が表示部５２０Ｂに表示されたテーブルを見て、絶対値が所定値を超えているかどうか判断すればよい。この場合には、色記憶手段５２３Ｇが不要となるので、製造装置５の構造の簡略化を図ることができる。
【００７８】
さらに、前記実施形態では、製造装置５の装置本体５１のプローブ５１７は、最大６０゜までの傾斜面を測定することが可能であるとしたが、これに限らず、測定できる傾斜面の角度は６０°未満であってもよく、また、６０°を超えるものであってもよい。
また、凹部２２２の加工中心や小レンズ１２１の光学中心を検出する装置本体５１の構造は、前述したような構造に限らず、任意である。但し、加工中心や、光学中心を正確に検出する必要があるため、測定誤差が０．０５μｍ以下であるものが好ましい。
【００７９】
さらに、前記実施形態では、第一算出手順、第二算出手順において、凹部２２２の加工中心のＸ座標値、Ｙ座標値に基づいて、各凹部２２２の加工中心間の距離を算出していたが、これに限らず、Ｘ座標値、Ｙ座標値、Ｚ座標値に基づいて、凹部２２２の加工中心間の距離を算出してもよい。ただし、このようにすることで、座標値の数が増えるので、算出手順に手間を要することとなる。前記実施形態では、Ｘ座標値、Ｙ座標値の２つの座標値に基づいて、距離の算出を行っているので、算出手順に手間を要しない。
【００８０】
また、前記実施形態では、凹部２２２を加工する際に、算出工程、実測工程、比較判別工程を行ったが、算出工程、実測工程、比較判別工程を省略してもよい。このようにすることで、凹部２２２の加工を簡略化することができる。
さらに、前記実施形態では、凹部２２２を保持部３１に取り付ける際に、Ｘステージ４３、Ｙステージ４２を備えた治具４を使用したが、これに限らず、他の構造の治具を使用してもよく、治具の構造は任意である。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明は、成形型の製造及びレンズアレイの小レンズの評価に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の第一実施形態にかかるレンズアレイを示す図。
【図２】前記レンズアレイの成形型を示す断面図。
【図３】成形型を製造するための加工機及び治具を示す斜視図。
【図４】前記加工機の変形例を示す模式図。
【図５】前記成形型の母型を加工機に取り付けるための治具を示す側面図。
【図６】図５とは異なる方向から治具を見た側面図。
【図７】前記治具の円盤部を示す斜視図。
【図８】前記治具を示す平面図。
【図９】成形型の製造方法を示すフローチャート。
【図１０】成形型の製造方法を示すフローチャート。
【図１１】前記治具の図８とは異なる状態を示す平面図。
【図１２】成形型の凹部の加工中心の配列精度、レンズアレイの小レンズの光学中心の配列精度を評価する装置を示す模式図。
【図１３】前記装置を示すブロック図。
【図１４】実測中心記憶手段に記憶されたテーブルを示す図。
【図１５】各凹部に付された番号を示す図。
【図１６】設計中心記憶手段に記憶されたテーブルを示す図。
【図１７】実測中心間距離記憶手段により記憶されたテーブルを示す図。
【図１８】設計中心間距離記憶手段に記憶されたテーブルを示す図。
【図１９】絶対値記憶手段に記憶されたテーブルを示す図。
【図２０】色記憶手段に記憶された色設定テーブルを示す図。
【図２１】成形型の評価方法を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００８３】
１…レンズアレイ、２…成形型、５…製造装置、１２１…小レンズ、２２２…凹部、４４１…母型固定部材、５２０Ｂ…表示部、５２１…入出力部（設計中心取得手段）、５２３Ｃ…設計中心記憶手段（設計中心取得手段）、５２４Ｂ…実測中心取得手段、５２４Ｃ…算出手段、５２４Ｄ…判定手段、Ｌ…距離（第二算出値）、Ｍ…距離（第一算出値）
【図１】
2005335277.tif 000008
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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