(57)【要約】【課題】  Ｘ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置及びそれに使われる固体試料を提供する。【解決手段】  Ｘ線発生装置、前記Ｘ線発生装置から放出されたＸ線を単色化するモノクロメータ、前記モノクロメータによって単色化されたＸ線が照射されるメインチャンバー、前記モノクロメータのエネルギー分解能を測定するために、前記メインチャンバー内の前記単色化されたＸ線が照射される位置に備わった固体試料及び前記単色化されたＸ線が照射される時に現れる前記固体試料の変化を測定して分析処理できるように備わった設備を含むことを特徴とするＸ線モノクロメータエネルギー分解能測定装置である。また、固体試料を構成する複数の原子間に少なくとも二つの原子を含む分子、例えば、前記固体試料の構成と関係ないＮ2が存在することを特徴とする固体試料である。【選択図】      図３
2005017300.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線発生装置と、
前記Ｘ線発生装置から放出されたＸ線を単色化するモノクロメータと、
前記モノクロメータによって単色化されたＸ線が照射されるメインチャンバーと、
前記モノクロメータのエネルギー分解能を測定するために、前記メインチャンバー内の前記単色化されたＸ線が照射される位置に備わった固体試料と、
前記単色化されたＸ線が照射される時に現れる前記固体試料の変化を測定して分析処理できるように備わった設備と、を含むことを特徴とするＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置。
【請求項２】
一側に前記固体試料が装着され、他の一側に前記設備が連結されるホルダーが前記メインチャンバー内に備わったことを特徴とする請求項１に記載のＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置。
【請求項３】
前記固体試料は、前記メインチャンバーの底部に備わったことを特徴とする請求項１に記載のＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置。
【請求項４】
前記設備は、前記固体試料に順次に連結された電流増幅器、電圧−周波数コンバータ、カウンター、データ分析及び処理装置であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置。
【請求項５】
前記設備は、前記固体試料に順次に連結された電流増幅器、電圧−周波数コンバータ、カウンター、データ分析及び処理装置であることを特徴とする請求項２に記載のＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置。
【請求項６】
前記固体試料は、Ｎ2がトラップされた窒化物であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置。
【請求項７】
前記窒化物は、ＳｉＯＮ、ポア構造を有する窒化された誘電物質、炭素ナノチューブ構造を有する窒化物または多孔性シリコンを含む窒化物であることを特徴とする請求項６に記載のＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置。
【請求項８】
複数の原子よりなる固体試料において、
前記複数の原子間に少なくとも二つの原子を含む分子が存在することを特徴とする固体試料。
【請求項９】
前記複数の原子よりなるリングが存在し、前記分子は前記リング内にトラップされていることを特徴とする請求項８に記載の固体試料。
【請求項１０】
前記複数の原子は、Ｓｉ、Ｏ及びＮであることを特徴とする請求項８に記載の固体試料。
【請求項１１】
前記複数の原子は、Ｓｉ、Ｏ及びＮであることを特徴とする請求項９に記載の固体試料。
【請求項１２】
前記分子は、Ｎ2またはＮ2+であることを特徴とする請求項８に記載の固体試料。
【請求項１３】
前記分子は、Ｎ2またはＮ2+であることを特徴とする請求項９に記載の固体試料。
【請求項１４】
前記複数の原子のうち一つはＮであることを特徴とする請求項８に記載の固体試料。
【請求項１５】
前記複数の原子のうち残りは誘電物質、炭素ナノチューブ構造を有する物質または多孔性物質を構成する原子であることを特徴とする請求項１４に記載の固体試料。
【請求項１６】
前記分子は、Ｎ2であることを特徴とする請求項１４に記載の固体試料。
【請求項１７】
前記分子は、Ｎ2であることを特徴とする請求項１５に記載の固体試料。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はエネルギー分解能測定装置及びそれに使われる試料に係り、さらに詳細にはＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置及びそれに使われる固体試料に関する。
【背景技術】
【０００２】
ナノ技術が発展するにつれてＸ線を利用した物質の構造分析に対する重要性が高まっているが、特に固体及びナノ分子に対する構造分析はさらに重要になっている。
Ｘ線を利用した物質の構造分析は、主にＸ線吸収分光法（Ｘ−ｒａｙ  Ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ：ＸＡＳ）やＸ線光電子分光法（Ｘ−ｒａｙ  Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ：ＸＰＳ）を利用してなされる。前記ＸＡＳやＸＰＳは、分析対象物質のエネルギーレベルに関する情報、特に化学結合と関連したエネルギーレベルに関する情報を提供する。
【０００３】
前記ＸＡＳやＸＰＳでは、主にソフトＸ線が使われる。前記ＸＡＳやＸＰＳを利用して物質の分子構造を正確に究明するために、まず分子構造を究明しようとする物質に照射されるＸ線のエネルギー分解能が測定される。以後、これに基づいて正確なエネルギー較正を実施する。
【０００４】
一方、前記ＸＡＳやＸＰＳで、Ｘ線発生源から発生したＸ線はモノクロメータに入射される。前記モノクロメータでは、入射されたＸ線のうち物質分析に適したエネルギーを有するＸ線が選別される。これにより、選別されたＸ線が、分析しようとする物質が準備されたチャンバーに照射される。
したがって、前記ＸＡＳやＸＰＳでのエネルギー分解能の測定及びエネルギー較正は、すなわちモノクロメータに対するエネルギー分解能の測定及びエネルギー較正を意味する。
【０００５】
前記ＸＡＳやＸＰＳでは、外部環境の変化や機械の使用条件の変化によって初期設定されたエネルギー分解能やエネルギー較正が少しずつ変わりうる。したがって、モノクロメータに対するエネルギー分解能の測定及びエネルギー較正は、周期的に実施してその性能を一定に維持することが重要である。
【０００６】
図１は、従来技術によるＸ線モノクロメータのエネルギー分解能の測定装置（以下、従来の装置という）の構成を示す図面である。
図１を参照すれば、従来の装置は、Ｘ線発生装置１０、Ｘ線発生装置１０から放出されたＸ線１４のうち物質分析に適したエネルギーを有するＸ線１６を選択して放出するモノクロメータ１２、モノクロメータ１２から放出されるＸ線１６のエネルギー分解能を測定するための試料として使われるガスセル２２、分析のためのサンプル物質２６が位置するメインチャンバー２４、ガスセル２２に窒素ガス（Ｎ2）を供給するガス供給源４６、ガスセル２２とメインチャンバー２４とから測定されたデータを分析して処理するための付属設備３２，３４，３６，３８，４０を含む。ガスセル２２のモノクロメータ１２と対向する側には、第１ゲート弁１８が備わっている。第１ゲート弁１８には、１００ｎｍ〜１５０ｎｍの厚さのＡｌ薄膜２０が内在されている。
【０００７】
Ｘ線チューブＢＬ内の圧力は１０-9〜１０-10ｔｏｒｒ（１．３３×１０-7〜１．３３×１０-8Ｐａ）である一方、ガスセル２２の圧力は約１００ｍｔｏｒｒ（１３．３Ｐａ）であって、Ｘ線チューブＢＬの圧力に比べて相対的に高いため、Ｘ線が通過するためにＸ線チューブＢＬとガスセル２２間に隔膜が必要である。Ａｌ薄膜２０は、このような隔膜として使われる。
【０００８】
次いで、ガスセル２２とメインチャンバー２４とは弁３０を介して結合されている。メインチャンバー２４内にはサンプル物質２６が装着されるサンプルホルダー２８が設けられているので、サンプルホルダー２８はメインチャンバー２４の一側を通じて付属設備のうち一つである第１電流増幅器３２に連結される。第１電流増幅器３２は、サンプルホルダー２８を通じて流入される、サンプル物質２６から発生した電流を増幅させる。第１電流増幅器３２で増幅されたサンプル電流は、電圧−周波数コンバータ３４を経る間に周波数に転換され、転換された周波数はカウンター３６で読出された後、データ分析及び処理装置３８で分析されかつ処理される。
【０００９】
Ｎ2が充填されたガスセル２２にＡｌ薄膜２０を通じてＸ線１６が照射されるにつれてガスセル２２内にＮ2イオンが発生し、これに起因して電流が発生する。ガスセル２２から発生した電流はＸ線１６に関する情報、すなわちモノクロメータ１２のエネルギー分解能に関する情報を有している。ガスセル２２から発生した電流は、ガスセル２２に連結された第２電流増幅器４０によって増幅された後、電圧−周波数コンバータ３４に流入されて周波数に変換される。変換された周波数は、カウンター３６に読出された後、データ分析及び処理装置３８で処理されかつ分析される。前記分析を通じてモノクロメータ１２のエネルギー分解能が測定され、エネルギー較正がなされる。
【００１０】
ガスセル２２とガス供給源４６間にはＮ2供給ライン４４が備わっており、ガスセル２２とＮ2供給ライン４４との連結部分に弁４２が装着されている。また、Ｎ2供給ライン４４とガス供給源４６とが連結される部分にも弁４８が装着されている。
【００１１】
一方、ガスセル２２にＸ線１６が照射される場合、ガスセル２２を満たしたＮ2の１ｓエネルギーレベルの電子は、４００.８０ｅＶのエネルギーを吸収してπ*レベルに転移される。この結果、外部から４００.８０ｅＶに当たる吸収ピークが観察される。
【００１２】
図２は、このような吸収ピークを示すグラフである。図２で、Ｇ１は光子エネルギー、すなわち、ガスセル２２に照射されるＸ線１６のエネルギーによるガスセル２２内のＮ2のイオン化程度を示す第１グラフである。そして、Ｐ１は４００.８０ｅＶに当たる第１吸収ピークを表す。
【００１３】
Ｎ2の前記π*レベルは、数個の副エネルギーレベルを有する。したがって、前記１ｓレベルの電子が前記π*レベルに転移される過程で、前記電子は前記副エネルギーレベルにも転移されうる。これにより、外部では第１吸収ピークＰ１以外に第２ないし第５吸収ピークＰ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５が観察される。
第１ないし第５吸収ピークＰ１〜Ｐ５を参照すれば、第１吸収ピークＰ１は、前記転移が前記π*レベルの最も低いレベルにエネルギーが転移される時に現れるものであることが分かる。
【００１４】
図２で、ＧＰ１ないしＧＰ５はそれぞれ、第１ないし第５吸収ピークに対応する第１ないし第５ボイト分布曲線である。ボイト分布曲線は、モノクロメータのガウス分布と観測された遷移線のローレンツ分布のコンボリューションである。前記ボイト分布曲線の自然ローレンツ幅（１３２ｍｅＶ）をデコンボリューションすることで、ガウス幅が求められる。モノクロメータのエネルギー分解能は、エネルギーを前記ガウス幅で割ることで求められる。
一方、エネルギー較正は、第１吸収ピークＰ１が観察された位置を基準としてなされる。
【００１５】
前述した従来の装置の場合、ガスセル２２は、１０，０００ｅＶ程度の高いエネルギー分解能を測定でき、ガスの種類を変えることで、他のエネルギー領域でもエネルギー分解能を測定できる長所を有している。
【００１６】
しかし、従来の装置は、次のような問題点を有している。
第一に、前述したように、ガスセル２２とＸ線チューブＢＬとは両者の圧力差のために、薄いＡｌ薄膜２０で隔離される。Ａｌ薄膜２０は、１００ｎｍ〜１５０ｎｍ程度と非常に薄いために、破裂し易く、したがって、真空事故の危険性が高い。
【００１７】
第二に、Ｘ線チューブＢＬとメインチャンバー２４間にガスセル２２が装着される空間をはじめとして、ガスセル２２を装着するのに使われる部品、例えば第１ゲート弁１８の空間のために、Ｘ線１６の進行方向に５０ｃｍ以上の空間を確保しなければならない。
【００１８】
第三に、ガスセル２２とＸ線チューブＢＬ間の圧力が異なるため、ガスセル２２をＸ線チューブＢＬとメインチャンバー２４間に脱着するためには必ず真空作業が必要であるが、これは時間的な効率を低下させる。また、ガスセル２２の脱着による面倒さが増加する。
【００１９】
第四に、ガスセル２２を脱着する過程で、Ａｌ薄膜２０が空気中に露出される危険性があり、それにより、Ａｌ薄膜２０の寿命が短くなりうる。
【００２０】
第五に、ガスセル２２に充填されるガスの純度及び圧力を正常に維持するためのガス供給ライン４４の管理が持続的になされなければならないだけでなく、経済的な側面でＡｌ薄膜２０、ガス供給ライン４４の圧力を維持するための部品を設けるための別途の予算が必要になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
本発明が解決しようとする技術的課題は、前述した従来技術の問題点を改善するためのものであって、１００ｅＶ〜１，０００ｅＶ程度のＸ線に対するエネルギー分解能を簡単に測定でき、装置の構成も単純化できるＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置を提供することである。
【００２２】
本発明が解決しようとする他の技術的課題は、前記エネルギー分解能測定装置に使われる固体試料を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
前記課題を達成するために本発明は、Ｘ線発生装置、前記Ｘ線発生装置から放出されたＸ線を単色化するモノクロメータ、前記モノクロメータによって単色化されたＸ線が照射されるメインチャンバー、前記モノクロメータのエネルギー分解能を測定するために前記メインチャンバー内の前記単色化されたＸ線が照射される位置に備わった固体試料及び前記単色化されたＸ線が照射される時に現れる前記固体試料の変化を測定して分析処理できるように備わった設備を含むことを特徴とするＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置を提供する。
【００２４】
一側に前記固体試料が装着され、他側に前記設備が連結されるホルダーが前記メインチャンバー内に備わっている。そして、前記固体試料は、前記メインチャンバーの底部に備わりうる。
【００２５】
また、前記設備は、前記固体試料に順次に連結された電流増幅器、電圧−周波数コンバータ、カウンター、データ分析及び処理装置である。
【００２６】
前記固体試料は、Ｎ2がトラップされた窒化物であって、シリコンオキシナイトライド（ＳｉＯＮ）であることが望ましいが、ポア構造を有する窒化された誘電物質、炭素ナノチューブ構造を有する窒化物または多孔性シリコンを含む窒化物となりうる。
【００２７】
前記他の課題を達成するために本発明は、複数の原子よりなる固体試料において、前記複数の原子間に少なくとも二つの原子を含む分子が存在することを特徴とする固体試料を提供する。
【００２８】
前記固体試料内に前記複数の原子よりなるリングが存在し、前記分子は前記リング内にトラップされている。そして、前記複数の原子は、シリコン（Ｓｉ）、酸素（Ｏ）及び窒素（Ｎ）であり、前記分子はＮ2またはＮ2+である。
【００２９】
前記複数の原子のうち一つはＮであり、残りは誘電物質、炭素ナノチューブ構造を有する物質、多孔性物質を構成する原子である。この時、前記分子はＮ2である。
【００３０】
このような本発明を利用すれば、エネルギー分解能測定装置の構成を単純化でき、体積も減らすことができる。そして、装置構成にかかるコストも減少できる。また、エネルギー分解能の測定のための試料の脱着が簡単で、それによる時間的な効率性を向上しうる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明のＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置（以下、本発明の装置という）は、圧力調整が不要なＮがトラップされた固体試料を使用する。したがって、本発明の装置は、従来の装置を構成する、Ｎ2が含まれたガスセル、ガスセルにＮ2を供給するためのガス供給源、ガスセルとガス供給源とを連結するガス供給ラインをはじめとして、ガスセルとＸ線チューブ間の圧力差のため、両者を隔離させるために準備されたＡｌ薄膜及びガス供給ラインとガスセルとを連結する弁が不要である。つまり、本発明の装置構成は、従来の装置に比べて非常に簡単なものとなる。
【００３２】
また、前記固体試料は、構造分析のための物質が装着されるホルダーに単純に装着させれば良く、必要な測定を行った後には、前記ホルダーでそのまま分離させて保管すれば良い。この保管には、特別の注意が不要である。したがって、本発明の装置は、従来の装置よりエネルギー分解能の測定用試料の脱着に関連する操作の時間的な効率が大きく向上し、測定後の試料管理も非常に容易になる。
【００３３】
また、本発明の装置は、前記のように従来の装置より構成が簡単であるだけでなく、前記固体試料はその体積が非常に小さいため、本発明の装置は、Ｘ線が放出される方向に少なくとも５０ｃｍ以上の空間が必要な従来の装置より、体積をさらに小さくでき、したがって、空間をさらに効率的に活用することができる。また、１００ｅＶ〜１，０００ｅＶ（最大５，０００ｅＶ）程度のＸ線を利用するビームラインの性能を、従来より簡単にチェックできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の実施例によるＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置（本発明の装置）及びそれに使われるエネルギー分解能測定用の固体試料を、添付された図面を参照して詳細に説明する。ここで、図面に示された層の厚さや領域は、明細書の明確性のために誇張されて示されている。また、従来の装置に使われた部材と同じ部材については、従来の装置の説明に使用した参照番号（符号）をそのまま使用する。
【００３５】
本発明の装置は、１００ｅＶ〜１，０００ｅＶ（最大５，０００ｅＶ）程度のＸ線を利用するビームラインの性能を簡単にチェックできる固体試料を備えて装置の全体構成を単純化したことに特徴がある。
【００３６】
具体的に、図３を参照すれば、本発明の装置は、Ｘ線発生装置１０、Ｘ線発生装置１０から放出されたＸ線１４のうち物質分析に適したエネルギーを有するＸ線１６を選別する、すなわち単色化するモノクロメータ１２、モノクロメータ１２によって単色化されたＸ線１６に対するエネルギー分解能測定用の固体試料５４、固体試料５４を含むメインチャンバー５０、ビームラインとメインチャンバー５０とを分離する第２ゲート弁５２、固体試料５４にＸ線１６が照射された後、固体試料５４と関連したデータを測定し、これを処理して分析するための設備５８，６０，６２，６４を含む。設備５８，６０，６２，６４は、メインチャンバー５０の外部に備わっている。
【００３７】
メインチャンバー５０は、所定の圧力、例えば１０-9〜１０-10ｔｏｒｒ（１．３３×１０-7〜１．３３×１０-8Ｐａ）程度の圧力に維持される。固体試料５４は、メインチャンバー５０内のホルダー５６に装着されている。ホルダー５６は、設備５８，６０，６２，６４のうち固体試料５４から発生した電流を増幅させるために備わった電流増幅器５８に連結されている。電流増幅器５８に電圧−周波数コンバータ６０、カウンター６２、データ分析及び処理装置６４が順次に連結されている。電圧−周波数コンバータ６０は、電流増幅器５８から出力された電流を周波数に転換させる。カウンター６２は、転換された周波数をカウントする。例えば所定のデータ処理及び分析プログラムが内在されたコンピュータを備えるデータ分析及び処理装置６４は、カウンター６２でカウントされた結果に基づいて固体試料５４から測定されたデータを分析して処理する。
【００３８】
図４及び図５は、データ分析及び処理装置６４を通じて得た結果を示すグラフであって、モノクロメータ１２によって単色化されたＸ線１６に対する固体試料５４の吸収ピークを示す。Ｘ線１６に対するエネルギー分解能とその正確度は、このような吸収ピークを分析して測定できる。
【００３９】
すなわち、図４の第２グラフＧ２と図２の第１グラフＧ１とを比較すれば、第２グラフＧ２の形態が第１グラフＧ１と似ていることが分かるが、これは固体試料５４にＮ2が含まれており（後述する）、第２グラフＧ２は固体試料５４に含まれたＮにＸ線１６が照射されて得られた結果であるので、当然の結果である。
【００４０】
図４で、Ｐ１’ないしＰ５’は、第２グラフＧ２に現れた５個の吸収ピークを表す。これら５個の吸収ピークＰ１’〜Ｐ５’は、図２に示された第１グラフＧ１に現れる第１ないし第５吸収ピークＰ１〜Ｐ５と対応するものである。したがって、一番目の吸収ピークＰ１’を、ガスセルが使われた従来の場合と同様にエネルギーを４００.８０ｅＶに較正するのに利用できる。また、各吸収ピークが分離されるため、各吸収ピークをガウス分布曲線とローレンツ分布曲線とに分離してモノクロメータ１２のエネルギー分解能を測定できる。
【００４１】
すなわち、第２グラフＧ２に現れる前記５個の吸収ピークＰ１’〜Ｐ５’それぞれに対する５個のボイト分布曲線（図示せず）を求められるが、前記５個のボイト分布曲線は、図２に示された第１ないし第５ボイト分布曲線ＧＰ１〜ＧＰ５に対応する。前記５個のボイト分布曲線の幅を求めてモノクロメータ１２のエネルギー分解能とその正確度とを測定できる。
【００４２】
一方、図５の第３グラフＧ３は、図４の第２グラフＧ２を得た後、図３に示した本発明の装置で、固体試料５４を分離した後、６ヶ月が経過した時点で前記本発明の装置に再び装着して得た結果であるが、第２及び第３グラフＧ２，Ｇ３を比較すれば、二つのグラフの形態が同等であることが分かる。
【００４３】
前記６ヶ月間、固体試料５４は、一般的な状態で管理された。すなわち、空気と遮断させたり、特別な条件下に保管したりせず、普通の環境に露出された状態で保管した。
【００４４】
このように、図３に示した本発明の装置に使われたエネルギー分解能測定用の固体試料５４を６ヶ月間、一般的な状態で保管したにも拘わらず、固体試料５４から得られた結果が同じであるという事実は、固体試料５４の寿命が半永久的であるということを意味し、エネルギー較正に使用できることを意味する。
【００４５】
次いで、このような固体試料５４について説明する。
固体試料５４を形成する複数の原子間には分子が存在する。前記分子は少なくとも二つの原子を含む。前記複数の原子は、リング状に存在でき、前記リングに前記分子が存在できる。
【００４６】
例えば、固体試料５４は、Ｓｉ−Ｏ−Ｎ結合がリンクされた色々なサイズのリングを含みうるが、このようなリングはＮ2またはＮ2+が存在するＳｉＯＮで構成されていることが望ましい。
【００４７】
このように、前記リングには分子形態の窒素が存在するため、固体試料５４にＸ線１６が照射されて得られた結果を表す第２グラフＧ２は、Ｎ2ガスが充填されたガスセル（図１の２２）を含む従来の装置から得られた結果を表す図２の第１グラフＧ１と類似した形態になる。
【００４８】
固体試料５４として使われる前記ＳｉＯＮは、次の工程で形成される。
まず、基板上にシリコン酸化膜（ＳｉＯ2）を所定の厚さ、例えば１５〜４０Å（１．５〜４．０ｎｍ）に形成する。次いで、Ｎ2を含む所定の混合ガス、例えばＮ2とＨｅとが同じ割合で混合されたガスのプラズマ雰囲気下で、当該シリコン酸化膜に４００ＷのＲＦパワーを加える。この結果、前記シリコン酸化膜が窒化されて非晶質のＳｉＯＮが形成される。このようなプラズマを利用した窒化過程で、Ｎ2が分子形態で最終結果物、すなわちＳｉＯＮにトラップされるのは、Ｎ2が三重結合を有する非常に安定した分子であることに起因すると考えられる。
【００４９】
一方、固体試料５４は、前記ＳｉＯＮで構成されることが望ましいが、窒素が分子形態でトラップされる他の物質、例えば誘電率が低く、ポア構造の窒化された誘電物質、炭素ナノチューブ構造を有する窒化された物質または窒化された多孔性物質（例えば、窒化されたポーラスシリコン）で構成されたものであってもよい。
【００５０】
以上の説明で多くの事項が具体的に記載されているが、それらは発明の範囲を限定するものではなく、望ましい実施例を示す一例として解釈されなければならない。例えば、当業者ならば、前記固体試料を、Ｎ2のように明確に区分されうる吸収ピークを表す他のガス分子を含む固体試料に代替することができ、それにより、新しい設備をさらに備えるか、または図３に示した構成要素のうち少なくとも何れか一つを除去することもできる。また、前記固体試料を、メインチャンバーの底部に位置させ、前記固体試料の状態変化を測定、分析及び処理するための設備は、前記メインチャンバーの底部を通じて前記固体試料と直接連結されるようにしてもよい。したがって、本発明の範囲は、説明された実施例によって決定されず、特許請求の範囲に記載された技術的思想によって決定されなければならない。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
Ｘ線やその他の電磁波を利用した試料分析装置に使用されうる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】従来技術によるＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置の構成を示す図面である。
【図２】図１に示したＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置のガスセルを利用して測定した吸収ピークを示すグラフである。
【図３】本発明の実施例によるＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置の構成を示す図面である。
【図４】図３に示したＸ線モノクロメータのエネルギー分解能測定装置で測定された吸収ピークを示すグラフである。
【図５】図４の結果を得た後、６ヶ月が経過した時点で測定した結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５３】
１０    Ｘ線発生装置
１２    モノクロメータ
１４，１６  Ｘ線
５０    メインチャンバー
５２    第２ゲート弁
５４    固体試料
５６    ホルダー
５８，６０，６２，６４  設備
ＢＬ    Ｘ線チューブ
【図１】
2005017300.tif 000003
【図２】
2005017300.tif 000004
【図３】
2005017300.tif 000005
【図４】
2005017300.tif 000006
【図５】
2005017300.tif 000007