(57)【要約】【課題】シールド性能の向上を図りながら低コスト化が図られる磁気シールドルーム用遮蔽構造を提供する。【解決手段】非磁性枠部材３０に磁気シールド用板材１０を配設して構成されてなる磁気シールドルームにおける磁気シールドルーム用遮蔽構造Ｋであって、前記板材１０は高導電率材からなる平板１０ａと高透磁率材からなる平板１０ｂとを組み合わせてなるものとされ、同板材１０，１０間の隙間を同板材１０，１０間に遮蔽板２０を橋架して塞ぐことにより遮蔽してなるものである。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性枠部材に磁気シールド用板材を配設して構成されてなる磁気シールドルームにおける磁気シールドルーム用遮蔽構造であって、
前記板材は高導電率材からなる平板と高透磁率材からなる平板とを組み合わせてなるものとされ、同板材間の隙間を同板材間に遮蔽板を橋架して塞ぐことにより遮蔽してなることを特徴とする磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項２】
枠部材に非磁性取付部材が設けられ、その取付部材に遮蔽板が非磁性留め部材により取り付けられてなることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項３】
遮蔽板に留め部材用の孔が所定間隔で単列形成されてなることを特徴とする請求項２記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項４】
遮蔽板に留め部材用の孔が所定間隔で並列形成されてなることを特徴とする請求項２記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項５】
遮蔽板に留め部材用の孔が所定間隔でちどり形成されてなることを特徴とする請求項２記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項６】
枠部材に磁気シールド用板材を仮留めする仮留め手段が配設されてなることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造を備えてなることを特徴とする磁気シールドルーム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気シールドルーム用遮蔽構造に関する。さらに詳しくは、シールド性能の向上を図りながら低コスト化が図られる磁気シールドルーム用遮蔽構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、脳磁計測や心磁計測のように微弱な磁気を測定・検出する場合や、半導体製造において微細な回路パターンを電子線で描画する場合には、測定磁気や電子線が外部から磁気的な影響を受けるのを防止する必要があり、その手段として磁気シールドルームが用いられている。
【０００３】
この磁気シールドルームは、角形アルミ管などの非磁性枠部材を箱型体に骨組みするとともに、この箱型体の全外周面にパーマロイなどの高透磁率合金からなる所要数の板材を隙間なく取り付けて壁面としてなるのとされ、地磁気や外部変動磁界の磁束を高透磁率板材の壁に集中して流すことにより、磁束（磁気）が室内へ漏洩するのを防止している（例えば、特開２００２−２９４９０１号公報参照）。
【０００４】
従来の磁気シールドルームにおいては、前述した如く、パーマロイなどの高透磁率合金からなる所要数の板材を隙間なく取り付けて壁面を形成しているため、磁気シールドルームが高コストなものとなって、その普及を阻害しているという問題がある。
【０００５】
なお、特開２００２−２５７９１４号公報には、パーマロイなどの高透磁率合金の使用を削減しながらシールド性能の向上を図るものとして、磁気シールドルームと、この磁気シールドルームの近傍に配置された磁気シールド用コイル手段と、前記磁気シールドルームの遠方に配置されたフラックスゲート磁束計手段とを有し、前記フラックスゲート磁束計手段の測定出力に基づいて前記磁気シールド用コイル手段の発生磁界を開ループで調節するアクティブ磁気シールドが提案されている。
【０００６】
しかしながら、前記提案のアクティブ磁気シールドにおいては、コイル手段で発生する磁界が磁気シールドルーム内へ回り込み、それがため特定の周波数帯においては所望の磁気遮蔽効果が得られないという問題がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、シールド性能の向上を図りながら低コスト化が図られる磁気シールドルーム用遮蔽構造を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造は、非磁性枠部材に磁気シールド用板材を配設して構成されてなる磁気シールドルームにおける磁気シールドルーム用遮蔽構造であって、前記板材は高導電率材からなる平板と高透磁率材からなる平板とを組み合わせてなるものとされ、同板材間の隙間を同板材間に遮蔽板を橋架して塞ぐことにより遮蔽してなることを特徴とする。
【０００９】
本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造においては、枠部材に非磁性取付部材が設けられ、その取付部材に遮蔽板が非磁性留め部材により取り付けられてなるのが好ましい。
【００１０】
また、本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造においては、遮蔽板に留め部材用の孔が所定間隔で例えば単列形成されていたり、並列形成されていたり、ちどり形成されていてもよい。
【００１１】
さらに、本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造においては、枠部材に磁気シールド用板材を仮留めする仮留め手段が配設されてなるのが好ましい。
【００１２】
しかして、本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造は磁気シールドルームに備えられる。
【００１３】
【作用】
本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造は、前記の如く構成されているので、磁気シールドルームにおけるシールド性能の向上を図りながらその低コスト化が図られる。また、磁気シールドルームの低コスト化が図られるので、その普及が促進される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【００１５】
実施形態１
本発明の実施形態１にかかる磁気シールドルーム用遮蔽構造（以下、単に遮蔽構造という）が適用された磁気シールドルームの一壁面の分解斜視図を図１に示す。この遮蔽構造Ｋは、図１および図２に示すように、非磁性枠部材３０に板材１０をその端縁部が隣接する板材１０と所定の隙間を設けて配設されてなるものに、板材１０，１０に遮蔽板２０を橋架してその隙間を塞ぐことにより遮蔽してなるものである。
【００１６】
板材１０は、図２（ａ）に示すように、高導電率材からなる平板１０ａと高透磁率材からなる平板１０ｂとを接着や圧着などにより組み合わせてなる長方形状平板、あるいは同図（ｂ）に示すように、高導電率材からなる平板１０ａと高透磁率材からなる平板１０ｂと高導電率材からなる平板１０ｃとを接着や圧着などにより組み合わせてなる長方形状平板とされ、本実施形態においては、１面に４枚の板材１０、１０、…が、その端縁部を同一平面内で相互に突合わせた状態で配設されている。また、板材１０、１０は、その突合わせ部１１に所定の隙間、具体的には、後述する遮蔽板２０を枠部材３０に取り付ける非磁性留め部材、例えば木ねじ４１を通すことができる程度の隙間が生じるように配設される。なお、非磁性留め部材は木ねじに限定されるものではなく、例えばタップねじ、釘などとすることもできる。
【００１７】
高導電率材としては、例えば銅や銅合金またはアルミ合金などを用いることができ、また高透磁率材としては、例えばＦｅ−４５Ｎｉ合金、８０Ｎｉ−Ｍｏ−Ｆｅ合金、７８Ｎｉ−Ｍｏ−Ｃｕ−Ｆｅ合金、７０Ｎｉ−１０Ｃｕ−１２Ｍｎ−Ｆｅ合金などを用いることができる。
【００１８】
遮蔽板２０は、板材１０と同様の高透磁率合金からなる所定幅、具体的には板材１０、１０間に橋架されてその隙間を塞ぐ幅を有する長方形状平板とされる。また、その長手方向中央にはねじ挿通用透孔２１、２１、…が所定間隔で単列に設けられている。この場合、遮蔽板２０も板材１０と同様に、高導電率材からなる平板と高透磁率材からなる平板とを接着や圧着などにより組み合わせてなるものとされてもよい。また、透孔２１、２１…は並列に設けられてもよく、あるいはちどりに設けられてもよい。
【００１９】
非磁性枠部材３０は、例えば角形アルミ管、角形真鍮管、角形ジュラルミン管、角形非磁性ステンレス管などとされ、板材１０が配設される面の軸方向中央に凹溝３１が形成されるとともに、この凹溝３１に前記木ねじ４１がねじ込まれる木製の固定部材（取付部材）３２が埋め込まれている。また、板材１０が当接する個所には、板材１０を仮留めするための両面テープ（仮留め手段）３３、３３が貼り付けられている。なお、固定部材３２は木製に限定されるものではなく、木ねじ４１などにより遮蔽板２０の取付がなし得る各種非磁性材とすることができ、例えば所定の弾力性を有する合成樹脂とすることもできる。
【００２０】
次に、図３を参照しながら、かかる構成とされている遮蔽構造Ｋの施工について説明する。
【００２１】
（１）板材１０、１０を隙間１１が枠部材３０の前記固定部材３２軸方向中央と一致するようにして仮留めする。この仮留めは、板材１０、１０を枠部材３０に貼り付けられた両面テープ３３、３３に軽く押し付けてなされる。
【００２２】
（２）遮蔽板２０をねじ挿通用透孔２１、２１、…が隙間１１と一致するようにして仮留めする。
【００２３】
（３）ねじ挿通用透孔２１から隙間１１へ挿通させた木ねじ４１を枠部材３０の前記固定部材３２にねじ込む。この作業は、遮蔽板２０に設けられた全てのねじ挿通用透孔２１、２１、…についてなされる。これにより、遮蔽板２０が枠部材３０に取り付けられるとともに、板材１０の端部が遮蔽板２０により枠部材３０に押し付けられて板材１０が枠部材３０に固定される。なお、図３中、符号４２は非磁性座金を示す。
【００２４】
このように、この実施形態１によれば、板材１０を高導電率材からなる平板１０ａと高透磁率材からなる平板１０ｂとを接着や圧着などにより組み合わせてなる長方形状平板、あるいは同図（ｂ）に示すように、高導電率材からなる平板１０ａと高透磁率材からなる平板１０ｂと、高導電率材からなる平板１０ｃと接着や圧着などにより組み合わせてなる長方形状平板としているので、磁力線が疎密となる変動磁界（実際の磁界はこれに該当する。）により誘起される電流を高導電率材からなる平板１０ａ，１０ｃにより低抵抗で流し、この結果誘起される磁力線が高透磁率材からなる平板１０ｂによって、低磁気抵抗で流れることになる。その結果、外部からの変動磁界による磁力線の疎密が素早く緩和され、磁気シールドルーム内部への磁気漏洩を軽減することができる。したがって、高価な高透磁率材の使用量を低減しながらシールド性能を向上させることができる。
【００２５】
実施形態２
本発明の実施形態２にかかる磁気シールドルーム用遮蔽構造（以下、単に遮蔽構造という）の要部断面図を図４に示す。この遮蔽構造Ｋ１は、実施形態１の遮蔽構造Ｋを改変してなるものであり、具体的には、内面および外面の両方に板材１０が配設される形式の磁気シールドルームに適用できるように、非磁性枠部材３０を改変してなるものである。
【００２６】
この枠部材３０Ａは、実施形態１の枠部材３０において、凹溝３１が形成されている面と対向する面の軸方向中央に凹溝３１Ａを形成するとともに、この凹溝３１Ａに固定部材３２Ａを埋め込む一方、その板材１０が当接する個所に両面テープ３３Ａ、３３Ａが貼り付けられてなるものとされる。
【００２７】
なお、板材１０および遮蔽板２０などの個々の構成は、実施形態１と同様とされている。
【００２８】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではなく種々改変が可能である。例えば、実施形態においては、枠部材は角形アルミ管などとされているが、枠部材はこれに限定されるものではなく、木製とされてもよい。この場合には、枠部材に固定部材を埋め込む必要がなくなり施工性がより向上する。
【００２９】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造によれば、磁気シールドルームにおけるシールド性能の向上を図りながらその低コスト化が図られるという優れた効果が得られる。また、磁気シールドルームの低コスト化が図られるので、その普及が促進されるという効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１にかかる磁気シールドルーム用遮蔽構造が適用された磁気シールドルームの一壁面の構成要素を分解して示す斜視図である。
【図２】同実施形態に用いられている板材の断面図である。
【図３】同要部断面図である。
【図４】本発明の実施形態２にかかる磁気シールドルーム用遮蔽構造の要部断面図である。
【符号の説明】
１０    板材
１０ａ  高導電率材からなる平板
１０ｂ  高透磁率材からなる平板
１１    隙間
２０    遮蔽板
３０    非磁性枠部材
３２    非磁性固定部材（非磁性取付部材）
３３    両面テープ（仮留め手段）
Ｋ    遮蔽構造
【図１】
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【図２】
2005017006.tif 000004
【図３】
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【図４】
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