(57)【要約】【課題】  有機ＥＬパネルの検査において、検査駆動信号の印加に伴って有機ＥＬパネルに対する損傷の発生を低減すること。【解決手段】  有機ＥＬパネルの検査装置は、有機ＥＬパネルを駆動して得られる電気的信号から有機ＥＬパネル中の各画素を検査する検査装置であって、有機ＥＬパネルに印加する検査駆動信号を監視する駆動監視部４を備える構成とする。駆動回路３は有機ＥＬパネル２に印加する検査駆動信号のシーケンスを監視する。駆動回路３が有機ＥＬパネル２に対して検査駆動信号の印加を開始する際には、有機ＥＬパネル２に対して印加するクロック信号、出力用電源電圧、有機ＥＬ素子のカソード電圧について、この順のシーケンスで印加しているかを監視する。逆に、検査駆動信号の印加を終了する際には、有機ＥＬパネルに対して印加するクロック信号、出力用電源電圧、有機ＥＬ素子のカソード電圧について、逆順のシーケンスで印加しているかを監視する。【選択図】図１
2005203235.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬパネルを駆動して得られる電気的信号から有機ＥＬパネル中の各画素を検査する検査方法であって、
有機ＥＬパネルに対して検査駆動信号の印加をクロック信号、出力用電源電圧、有機ＥＬ素子のカソード電圧のシーケンス順で開始し、逆のシーケンス順で終了することを特徴とする有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項２】
前記電気的信号は有機ＥＬ素子のカソード電流であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項３】
有機ＥＬパネルを駆動して得られる電気的信号から有機ＥＬパネル中の各画素を検査する検査装置であって、
有機ＥＬパネルに印加する検査駆動信号を監視する駆動監視部を備えることを特徴とする有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項４】
前記駆動監視部は、クロック信号、出力用電源電圧、有機ＥＬ素子のカソード電圧の順について、
当該順のシーケンスにより検査駆動信号の印加開始を監視し、
当該順と逆順のシーケンスにより検査駆動信号の印加終了を監視することを特徴とする請求項３に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項５】
前記駆動監視部は、検査中におけるクロック信号の停止を監視することを特徴とする請求項３に記載の有機ＥＬパネルの検査装置。
【請求項６】
前記駆動監視部は、検査駆動信号の過電流を検出することを特徴とする請求項３に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は有機ＥＬディスプレイなどに使われる有機ＥＬパネルの検査方法及び検査装置に関し、特に、電流駆動される有機ＥＬに用いるＴＦＴアレイの検査に好適な検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶用ＴＦＴアレイ検査では、所定の電圧パターンのスキャン信号とデータ信号を印加して、そのときの液晶用電極の電位を測定し、異常電位を示す液晶用電極を検出して欠陥検査を行う。液晶用ＴＦＴアレイ検査では、このデータラインにある電圧を印加して、液晶用電極の電位の異常値を測定することによって欠陥の検出を行っている。
【０００３】
ＴＦＴアレイ検査では、表示装置を駆動してその表示画面を目視検査する方式、ＴＦＴアレイに流れる電流を検出する方式、電子線方式や光学方式により電圧を検出する方式等が知られている。
【０００４】
電子線や光をＴＦＴ基板に照射することにより得られるＴＦＴ基板の電位状態を測定し、ＴＦＴ基板の異常電位のピクセルを検出することによってＴＦＴアレイの欠陥を検出する装置の内、電子線を用いるものとしては例えば特許文献１，２があり、光を用いるものとしては例えば特許文献３，４がある。
【０００５】
一方、ＴＦＴアレイが有機ＥＬ用アレイの場合には、液晶用ＴＦＴアレイの場合とは異なる。液晶用ＴＦＴアレイは液晶に一定電圧を印加する電圧駆動型であるのに対して、有機ＥＬ用アレイの場合は電流駆動型であり駆動状態が異なる。この有機ＥＬ用アレイを駆動する有機ＥＬ用駆動回路として、電流プログラム方式、電圧プログラム方式、時分割方式、インバータ方式などの駆動方式があることが知られている（非特許文献１）。この有機ＥＬパネルを目視検査や駆動電流により検査することは、例えば特許文献５に記載されている。
【特許文献１】特開２０００−３１４２号公報
【特許文献２】特開平１１−２６５６７８号公報
【特許文献３】特許第３１９９４８１号
【特許文献４】特許第３２７５１０３号
【特許文献５】特開２００３−３３７５４７号公報
【非特許文献１】NIKKEI  MICRODEVICE  JULY  2003  ７月１日号  p111-p118  日経ＢＰ社
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
液晶パネルは液晶に一定電圧を印加する電圧駆動型であるのに対して有機ＥＬパネルは電流駆動型であるため、有機ＥＬパネルの検査は有機ＥＬ素子が形成された状態の有機ＥＬパネルを駆動し、駆動時に流れる電流を検出することによって行う。
【０００７】
有機ＥＬパネルの駆動は、データライン，スキャン信号ライン，出力用電源ライン、及び有機素子のカソードラインに対して各駆動電流を印加することにより行う。データライン及びスキャン信号ラインは、水平駆動回路及び垂直駆動回路の出力を有機ＥＬパネルに印加するラインであり、有機ＥＬ駆動用のＴＦＴを選択する。また、出力用電源ライン及び有機素子のカソードラインは有機ＥＬパネルに対して駆動電流を供給する。
【０００８】
通常、有機ＥＬパネルを駆動して検査を行う場合、検査駆動信号の監視は行われていない。有機ＥＬパネルは電流駆動であるため、有機ＥＬ素子に印加する電圧状態によっては有機ＥＬ素子にダメージを与えるおそれがある。
【０００９】
そこで、本発明は、有機ＥＬパネルの検査において、検査駆動信号の印加に伴って有機ＥＬパネルに対する損傷の発生を低減することを目的とする。  
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、有機ＥＬパネルを検査する際に印加する検査駆動信号を監視することにより、検査駆動信号の印加に伴う有機ＥＬパネルへの損傷を低減するものである。
【００１１】
本発明は、有機ＥＬパネルの検査方法の形態及び有機ＥＬパネルの検査装置の形態とすることができる。
【００１２】
有機ＥＬパネルの検査方法の形態は、有機ＥＬパネルを駆動して得られる電気的信号から有機ＥＬパネル中の各画素を検査する検査方法であって、検査駆動信号を印加する順序を所定のシーケンスで行うものであり、有機ＥＬパネルに対する検査駆動信号の印加を開始する時には、クロック信号、出力用電源電圧、有機ＥＬ素子のカソード電圧のシーケンス順で行い、有機ＥＬパネルに対する検査駆動信号の印加を終了する時には、開始時と逆順として、有機ＥＬ素子のカソード電圧、出力用電源電圧、クロック信号のシーケンス順で行う。
【００１３】
検査駆動信号を所定のシーケンスに従って印加することにより、有機ＥＬ素子に対する損傷の発生を低減することができる。ここで、検査を行う電気的信号は有機ＥＬ素子のカソード電流とすることができる。
【００１４】
有機ＥＬパネルの検査装置の形態は、有機ＥＬパネルを駆動して得られる電気的信号から有機ＥＬパネル中の各画素を検査する検査装置であって、有機ＥＬパネルに印加する検査駆動信号を監視する駆動監視部を備える構成とする。
【００１５】
駆動監視部の一態様は、駆動回路が有機ＥＬパネルに印加する検査駆動信号のシーケンスを監視するものである。駆動回路が有機ＥＬパネルに対して検査駆動信号の印加を開始する際には、有機ＥＬパネルに対して印加するクロック信号、出力用電源電圧、有機ＥＬ素子のカソード電圧について、この順のシーケンスで印加しているかを監視する。
【００１６】
また、駆動回路が有機ＥＬパネルに対して検査駆動信号の印加を終了する際には、有機ＥＬパネルに対して印加するクロック信号、出力用電源電圧、有機ＥＬ素子のカソード電圧について、この印加時とは逆順のシーケンスで印加しているかを監視する。駆動監視部が、この監視において、例えばクロック信号を確認しない場合には、出力用電源電圧及び有機ＥＬ素子のカソード電圧の印加を行わない。また、クロック信号を確認した後、出力用電源電圧を確認しない場合には、有機ＥＬ素子のカソード電圧の印加を行わない。
【００１７】
また、駆動監視部の他の態様は、検査中におけるクロック信号の停止を監視し、出力用電源電圧や有機ＥＬ素子のカソード電圧が印加されている状態において、クロック信号が停止していないかを監視する。この監視において、クロック信号の停止を検出した場合には、出力用電源電圧及び有機ＥＬ素子のカソード電圧の印加を停止する。
【００１８】
また、駆動監視部の別の態様は、検査駆動信号に過電流が流れていないかを監視する。この監視において、過電流を検出した場合には、クロック信号、出力用電源電圧及び有機ＥＬ素子のカソード電圧の印加を停止する。過電流の検出は有機ＥＬ素子のカソード電流の監視により行うことができる。
【発明の効果】
【００１９】
有機ＥＬパネルの検査において、検査駆動信号の印加に伴って有機ＥＬパネルに対する損傷の発生を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図を用いて発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００２１】
図３は、有機ＥＬパネルの駆動回路の構成例である。有機ＥＬパネルの駆動回路には、この構成例を改良した電流プログラム方式、電圧プログラム方式、時分割方式、インバータ方式などの駆動方式があるが、図３の構成例はこれらの代表例として示している。
【００２２】
なお、図３の構成では、ＴＦＴアレイには有機ＥＬパネル駆動用ＴＦＴの出力用電源ライン１２、有機ＥＬ素子カソードライン１３の他、スキャン信号ライン１４、データライン１１の２種類の信号・制御ラインが存在する。他の駆動方式では、これらの信号・制御ラインの動作及び本数は異なるものの、輝度信号のデータラインと、各ＴＦＴセルのタイミングを制御するスキャン信号ラインの構成については同様である。
【００２３】
有機ＥＬパネル駆動回路は、液晶用ＴＦＴアレイ用の駆動回路と同様に、スキャン信号ライン１４からスキャン信号のパルスが印加された時に、データラインの電圧に応じた電圧が有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ２１（Ｑ２）を制御する回路２０の中で保持され、それに応じた電圧が有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ２１のゲート電極に印加される。なお、データ信号と、Ｑ２に印加されるデータと、Ｑ２に保持される電圧とは一致しない場合もある。
【００２４】
有機ＥＬは電流駆動素子（流した電流量によって発光を制御）であり、有機ＥＬディスプレイはゲート電極の電圧により有機ＥＬ素子２３に流す電流を制御する。そのため、有機ＥＬ層を形成する前の段階では、有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ２１に電流を流すことはできないため、有機ＥＬパネルの検査を行うことはできない。これに対して、液晶用ＴＦＴアレイの場合には液晶を実装の有無にかかわらず電気的な動作は変わらないため、液晶用ＴＦＴアレイは液晶を作製する工程の前において検査を行うことができる。
【００２５】
一般的には、有機ＥＬ駆動用ＴＦＴアレイでは、図３に示すように、データライン１１，スキャン信号ライン１４，出力用電源ライン１２（Ｖddライン）、及び有機ＥＬ素子のカソードライン１３の入力ラインを備え、有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ２１（Ｑ2）によって有機ＥＬ用電極２２（例えば、ＩＴＯ電極）に流す電流を制御する構成となる。なお、有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ２１はＦＥＴにより構成することができる。
【００２６】
この構成のもっとも単純な回路構成を図４に示す。以下、この図４を例にして有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ回路の動作を説明する。
【００２７】
データライン１１は有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ２１（Ｑ２）を制御する回路２０のＴＦＴ２０ａのソース（またはドレイン）に接続されており、スキャン信号ライン１４上のスキャン信号のパルスが印加された瞬間に、そのときのデータ信号電圧が保持コンデンサ２０ｂに保持される。この保持コンデンサ２０ｂは有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ２１のゲート電極に接続されている。有機ＥＬが形成された回路では、有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ２１に流れる電流はこの保持コンデンサ２０ｂの電圧で制御される。
【００２８】
ここで、有機ＥＬ素子２３が形成されていない状態では、有機ＥＬ用電極２３はオープン状態になっている。この状況において、有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ２１がオン状態では、有機ＥＬ用電極２２には無条件に出力用電源ライン１２の電圧Ｖddと等しい電圧が印加され、また、有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ２１がオフ状態であっても、有機ＥＬ駆動用ＴＦＴ２１のソース・ドレイン間のわずかなリーク電流のため、有機ＥＬ用電極２２の電位は最終的にはデータ信号電圧にかかわらず出力用電源ラインの電圧Ｖddに等しくなる。このため、例えば、制御回路２０のＦＥＴ２０ａが動作不良であったり、またデータ信号が正常に印加されていなかった場合でも、その動作不良状態が有機ＥＬ用電極１０の電位に反映されにくい。そのため、有機ＥＬパネルの場合には、液晶パネルの検査とは相違し、有機ＥＬ素子が形成されていない状態では電圧測定によって検査を行うことができない。
【００２９】
そこで、有機ＥＬ素子２３に流れる電流を測定することにより有機ＥＬパネルの検査を行う。有機ＥＬ素子２３に流れる電流は有機ＥＬ素子のカソード電流により測定することができる。
【００３０】
図１は、本発明の有機ＥＬパネル検査装置の概略を説明するための図である。
【００３１】
有機ＥＬパネルの駆動は、信号線（データライン）を駆動する水平駆動回路５、及び走査線（スキャン信号ライン）を駆動する垂直駆動回路７により行われる。水平駆動回路５の一駆動方式としてシフトレジスタ６を用いるものが知られている。シフトレジスタ６は、クロック信号ライン１０のクロック信号に基づいて各ビットから各データライン１１に順次信号を出力する。
【００３２】
有機ＥＬパネル２の各画素には、有機ＥＬ素子２ａ、有機ＥＬ用電極２ｂ、及び有機ＥＬ素子を駆動するＴＦＴ２ｃ，２ｄが設けられる。各ＴＦＴ２ｃは水平駆動回路５及び垂直駆動回路７により駆動され、当該水平駆動回路５及び垂直駆動回路７は駆動回路３により駆動制御される。
【００３３】
水平駆動回路５はシフトレジスタ６を備え、各シフトレジスタ信号は水平駆動回路５が備えるＴＦＴ（図示していない）を順次駆動する。このＴＦＴには表示信号（図示していない）が入力されている。ＴＦＴは、シフトレジスタ信号が入力した時点で入力している表示信号を、データライン１１を介して有機ＥＬパネル１２のＴＦＴ２ｃに供給する。一方、有機ＥＬパネル１２には垂直駆動回路７からスキャンライン１４を介してスキャン信号が供給される。これにより、有機ＥＬパネル１２が備える画素の内でデータライン１１からの表示信号とスキャンライン１４からのスキャン信号とが交差する画素のＴＦＴ２ｃが駆動される。
【００３４】
また、各画素には、有機ＥＬ素子２ａ及び有機ＥＬ用電極２ｂが配置される。有機ＥＬ素子２ａのアイノードはＴＦＴ２ｄ及び有機ＥＬ用電極２ｂを介して出力用電源ライン１２に接続され、有機ＥＬ素子２ａのカイノードは有機ＥＬ素子カソードライン１３に接続される。出力用電源ライン１２には駆動回路３から高電位が印加され、有機ＥＬ素子カソードライン１３には駆動回路３から低位電位（０電位あるいは低電圧）が接続される。ＴＦＴ２ｄのゲート電極にはＴＦＴ２ｃが接続され、表示信号とスキャン信号で選択されたＴＦＴ２ｃによって駆動し、有機ＥＬ素子２ａに表示信号に応じた駆動電流を流し、有機ＥＬ素子２ａを発光させる。
【００３５】
有機ＥＬパネル検査装置１は測定部８を備え、有機ＥＬ素子２ａのカソードを流れる有機ＥＬ素子カソード電流を測定して、有機ＥＬパネルの駆動検査を行う。
【００３６】
本発明の有機ＥＬパネル検査装置１は、有機ＥＬパネル２に供給する検査駆動信号を監視する駆動監視部４を備える。駆動監視部４は、例えば、水平駆動回路５に供給するクロック信号、有機ＥＬ素子の陽極側に印加する出力用電源電圧、有機ＥＬ素子のカソード側に印加する有機ＥＬ素子カソード電圧を監視し、有機ＥＬパネルの駆動状態を監視する。
【００３７】
駆動監視部４による監視は種々の態様とすることができる。  
【００３８】
第１の態様は、有機ＥＬパネル１２に対する検査駆動信号の印加において、印加を開始する際及び／又は印加を終了する際の検査駆動信号のシーケンス順を監視し、所定のシーケンス順でない場合には正状態でないと判断し、有機ＥＬパネルの駆動を行わない。このシーケンス順は、クロック信号、出力用電源電圧、及び有機ＥＬ素子のカソード電圧の各検査駆動信号の印加において、検査駆動信号の印加開始時には、クロック信号、出力用電源電圧、有機ＥＬ素子のカソード電圧の順とし、検査駆動信号の印加終了時には印加開始時と逆のシーケンス順の有機ＥＬ素子のカソード電圧、出力用電源電圧、クロック信号の順とする。
【００３９】
図２は、検査駆動信号の印加開始時における各信号のシーケンスを説明するための図である。
【００４０】
図２（ａ）はクロック信号を示し、図２（ｂ）は出力用電源電圧を示し、図２（ｃ）は有機ＥＬ素子のカソード電圧を示している。検査駆動信号の印加開始時には、クロック信号し、出力用電源電圧、有機ＥＬ素子のカソード電圧の順のシーケンスに従って検査駆動信号の印加が行われる。
【００４１】
駆動監視部４では、例えば検査駆動信号の印加開始時において、クロック信号が確認されない場合には、有機ＥＬパネル２に対して出力用電源電圧及び有機ＥＬ素子のカソード電圧の印加を行わない。また、クロック信号を確認した後、出力用電源電圧が確認されない場合には有機ＥＬパネル２に対して有機ＥＬ素子のカソード電圧の印加を行わない。
【００４２】
また、駆動監視部の第２の態様は、正常なシーケンスにより駆動が行われている状態において、クロック信号が停止したことを確認した場合には駆動を停止する処理を行う。
【００４３】
また、駆動監視部の第３の態様は、有機ＥＬパネルへの過電流を検出する。過電流を検出した場合には、検査駆動信号の供給を停止する。
【００４４】
過電流の検出は、有機ＥＬ素子のカソード電流の他、クロック信号ライン１０や出力用電源電圧ライン１２に流れる電流を監視することにより行うこともできる。
【００４５】
本発明の実施形態によれば、駆動信号のシーケンスの誤りによる有機ＥＬパネルの破壊を防ぐことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
電流プログラム方式、電圧プログラム方式、時分割方式、インバータ方式などの各駆動方式による有機ＥＬ駆動用ＴＦＴアレイに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の有機ＥＬパネル検査装置の概略を説明するための図である。
【図２】検査駆動信号の印加開始時における各信号のシーケンスを説明するための図である。
【図３】有機ＥＬパネルの駆動回路の構成例である。
【図４】有機ＥＬパネルの駆動回路の回路構成例である。
【符号の説明】
【００４８】
１…有機ＥＬパネル検査装置、２…有機ＥＬパネル、３…駆動回路、４…駆動監視部、５…水平駆動回路、６…シフトレジスタ、７…垂直駆動回路、８…測定部、１０…クロック信号ライン、１１…データライン、１２…出力用電源ライン、１３…有機ＥＬ素子カソードライン、１４…スキャン信号ライン、２０…制御回路、２０ａ…ＴＦＴ、２０ｂ…コンデンサ、２１…ＴＦＴ、２２…有機ＥＬ電極、２３…有機ＥＬ素子。  
【図１】
2005203235.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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