(57)【要約】【課題】  ＬＳＩのマスクパターン等のパターンデータを作成する際のデータ処理時間を正確に予測する。【解決手段】  データ処理装置１は、データ入力部２とデータ展開・合成部６とを備え、データ入力部２でレイアウトデータＡ〜Ｃにそれぞれ格納された「単独図形」および「繰り返し図形」に関するデータを読み出し、データ展開・合成部６でそれらのデータを展開・合成することにより１つのパターンデータを作成する。データ処理装置１はさらに処理時間演算部４を備え、この処理時間演算部４は、上記「単独図形」および「繰り返し図形」に関するデータを変数とする重回帰式を用いて、レイアウトデータＡ〜Ｃのデータを展開・合成するデータ処理の処理時間を算出する。【選択図】  図１
2005227668.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レイアウトデータを基にして、パターンデータを作成するデータ処理におけるデータ処理時間の予測方法であって、
前記レイアウトデータから、前記データ処理時間を予測するための数値情報を読み込む工程と、
前記データ処理時間を予測するための重回帰式を読み込み、前記レイアウトデータから読み込まれた前記数値情報を、前記重回帰式に代入することによって前記データ処理時間を実質的に算出する工程とを含む、データ処理時間の予測方法。
【請求項２】
前記レイアウトデータは、単独図形のデータ、繰り返し図形のデータ、および該繰り返し図形の配置位置を示す座標データとを含む形式であり、
前記数値情報を読み込む工程は、前記単独図形の個数ＴS、展開した後の前記繰り返し図形の個数Ｔr、前記単独図形のデータのファイルサイズＳs、および、展開した後の前記繰り返し図形のデータのファイルサイズＳrを読み込むことを含み、
前記データ処理時間を実質的に算出する工程は、（ＴS／Ｓs）および（Ｔr／Ｓr）を変数とする前記重回帰式を用いることを含む、請求項１に記載のデータ処理時間の予測方法。
【請求項３】
過去に行われたデータ処理にかかった実際の時間を測定する工程と、
前記実際の時間のデータと、前記過去に行われた前記データ処理で使用された、前記データ処理の処理時間を予測するための前記数値情報とを用いて重回帰分析を行い、重回帰式を決定するのに必要な係数を再度求める工程とをさらに含む、請求項１または２に記載の、データ処理時間の予測方法。
【請求項４】
レイアウトデータを基にして、パターンデータを作成するデータ処理を行うデータ処理装置であって、
前記レイアウトデータが接続され、前記レイアウトデータから、前記データ処理におけるデータ処理時間を予測するための数値情報を読み込むデータ入力部と、
前記データ処理時間を予測するための重回帰式を予め記憶した記録手段と、
前記レイアウトデータから読み込んだ前記数値情報を、前記重回帰式に代入することによって前記データ処理時間を実質的に算出する処理時間演算部とを含むデータ処理装置。
【請求項５】
前記レイアウトデータは、単独図形のデータ、繰り返し図形のデータ、および該繰り返し図形の配置位置を示す座標データとを含む形式であり、
前記データ入力部は、前記単独図形の個数ＴS、展開した後の繰り返し図形の個数Ｔr、単独図形のデータのファイルサイズＳs、および、展開した後の繰り返し図形のデータのファイルサイズＳrを読み込み、
処理時間演算部は、（ＴS／Ｓs）および（Ｔr／Ｓr）を変数とする前記重回帰式を用いる、請求項４に記載のデータ処理装置。
【請求項６】
過去に行われたデータ処理にかかった実際の時間を測定し、前記実際の時間のデータを出力する測定部をさらに備え、
前記処理時間演算部は、前記実際の時間のデータと、前記過去に行われた前記データ処理で使用された、前記データ処理の処理時間を予測するための前記数値情報とを用いて重回帰分析を行い、重回帰式を決定するのに必要な係数を再度求める、請求項４または５に記載のデータ処理装置。
【請求項７】
予測した前記データ処理時間を表示する表示部をさらに備える、請求項４ないし６のいずれか１項に記載のデータ処理装置。
【請求項８】
コンピュータに、
パターンデータを作成するデータ処理時間を予測するための数値情報をレイアウトデータから読み込み、さらに前記データ処理時間を予測するための重回帰式を読み込み、前記レイアウトデータから読み込まれた前記数値情報を、前記重回帰式に代入することによって前記データ処理時間を実質的に算出する処理を実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、本発明は、ＬＳＩのマスクパターン等のパターンデータを展開・合成するデータ処理を行うデータ処理装置およびそのデータ処理時間の予測方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＳＩ等に形成される回路のパターンの微細化が進み、そのパターンデータのデータ量も増加の一途をたどっている。
【０００３】
通常、パターンデータを記録媒体に記録（保存）する場合、そのデータ量を小さくするため、所定の圧縮形式を用いて記録することが多い。例えば、全パターンのうち同一パターンを含む領域に対しては、その同一パターン（これを「繰り返し図形」という）を登録しておき、これを繰り返して利用することで実際の描画のときに必要なデータ量を圧縮するものがある。この場合、「繰り返し図形」の形状を示すデータと、その繰り返し図形の配置位置を示す「座標データ」とによって、上記同一パターンを含む領域のパターンを形成することができる。それ以外の領域のパターンは、固有の形状のパターン（これを「単独図形」という）として記録される。「繰り返し図形」の形状データと「座標データ」とで記録された領域のパターンは、「繰り返し図形」をその「座標データ」に基づいて展開して配置することによって形成される。
【０００４】
ＬＳＩのマスクパターン等の作成において、そのパターンデータは、例えばＣＰＵ部やメモリ部などのブロックごとに設計されることが多い。つまり、パターンデータは、ブロックごとに、異なるメーカーによって設計されたり、異なる圧縮形式でデータが登録されていたりすることもある。そうした場合であっても、ブロックごとに用意されたレイアウトデータを展開・合成することによって、最終的なパターンデータが作成されるのが一般的である。
【０００５】
ところで、データを展開・合成するためのデータ処理は、データの種類や形式によっては数時間から数十時間かかることがある。また、今後、回路のパターンの微細化などに起因して処理時間が例えば１００時間以上になるものが多く存在するようになると予想される。こうした長時間にわたるデータ処理においては、処理時間をより正確に予測することが作業計画を立てる上で重要である。
【０００６】
従来、こうした処理時間の予測には単純な比例計算式がよく使用されていた。例えば、所定サイズのデータを処理する場合、処理すべきデータの全サイズのうちの１割を処理した時間がＡ時間であったとき、残りの処理時間は、単純にサイズ比をベースとして予測され、Ａ時間の９倍であると予測される。
【０００７】
また、処理時間の予測方法の別の例として、過去に実行されたデータ処理の実行履歴をデータベース化し、そのデータベース内のデータに基づいてより正確な予測を行う技術が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。同文献によれば、例えば、１回のデータ処理で複数のデータ件数を処理するデータ処理において、各データ処理ごとのデータ処理件数とそのデータ処理にかかった総処理時間を予め登録し、１件当りのデータ処理時間を（処理時間の総和÷データ件数の総和）として算出し、これに今回のデータ処理のデータ件数を乗じることによって処理時間を予測する技術が提案されている。
【特許文献１】特開平９−３０５５５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の予測方法では、処理時間が正確に予測できないこともあった。すなわち、最初の例で言えば、全データ処理うち、最初に処理した１割の中に比較的時間のかかるデータ処理が集中していれば、算出される単位サイズ当りの処理時間は長くなり、その結果、全体の予測処理時間も長く見積もられる。逆に、単位サイズ当りの処理時間が短く見積もられると、全体の予測処理時間も短く見積もられてしまう。こうした予測方法では、一般に、データ処理の前半では予測される処理時間は大きくばらつき、後半となってようやくその予測精度が高まることが多い。しかし、作業計画を立てるに際して、データ処理の開始直後に正確な予測処理時間を得られることが望ましく、データ処理の後半となって精度が向上してもほとんど役にたたない。
【０００９】
そこで本発明の目的は、ＬＳＩのマスクパターン等のパターンデータを作成する際のデータ処理時間を正確に予測する、データ処理時間の予測方法およびデータ処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため本発明によるデータ処理時間の予測方法は、レイアウトデータを基にして、パターンデータを作成するデータ処理におけるデータ処理時間の予測方法であって、前記レイアウトデータから、前記データ処理時間を予測するための数値情報を読み込む工程と、前記データ処理時間を予測するための重回帰式を読み込み、前記レイアウトデータから読み込まれた前記数値情報を、前記重回帰式に代入することによって前記データ処理時間を実質的に算出する工程とを含む。
【００１１】
本発明によれば、データ処理時間を予測するために読み込まれた数値情報を、予め重回帰分析を行うことで作成した相関式（重回帰式）に代入することによりデータ処理時間を算出するものであるため、特に従来の単純な比例計算式を用いて予測するものに比べて、データ処理時間の予測精度が向上する。
【００１２】
ここで、上記数値情報を読み込む工程において、数値情報として読み込むデータは、単独図形の個数ＴS、展開した後の繰り返し図形の個数Ｔr、単独図形のデータのファイルサイズＳs、および、展開した後の繰り返し図形のデータのファイルサイズＳrであってもよく、この場合、前記重回帰式は、（ＴS／Ｓs）および（Ｔr／Ｓr）の変数として作成したものであってもよい。
【００１３】
また、上述した本発明によるデータ処理時間の予測方法は、過去に行われたデータ処理にかかった実際の時間を測定する工程と、前記実際の時間のデータと、前記過去に行われた前記データ処理で使用された、前記データ処理の処理時間を予測するための前記数値情報とを用いて重回帰分析を行い、重回帰式を決定するのに必要な係数を再度求める工程とをさらに含むものであってもよい。
【００１４】
このように、過去に行ったデータ処理にかかった実際の時間と、そのデータ処理で使用したレイアウトデータの数値情報を用いて、重回帰分析を行い重回帰式の係数を更新することにより、回帰係数の精度がより向上する。
【００１５】
また、本発明のデータ処理装置は、レイアウトデータを基にして、パターンデータを作成するデータ処理を行うデータ処理装置であって、
前記レイアウトデータが接続され、前記レイアウトデータから、前記データ処理におけるデータ処理時間を予測するための数値情報を読み込むデータ入力部と、前記データ処理時間を予測するための重回帰式を予め記憶した記録手段と、前記レイアウトデータから読み込んだ前記数値情報を、前記重回帰式に代入することによって前記データ処理時間を実質的に算出する処理時間演算部とを含む。このような構成のデータ処理装置によれば、上記本発明に夜データ処理時間の予測方法が良好に実施される。また、本データ処理装置は、予測したデータ処理時間を表示する表示部を備えているものであってもよい。
【００１６】
また、本発明のプログラムは、コンピュータに、パターンデータを作成するデータ処理時間を予測するための数値情報をレイアウトデータから読み込み、さらに、前記データ処理時間を予測するための重回帰式を読み込み、前記レイアウトデータから読み込まれた前記数値情報を、前記重回帰式に代入することによって前記データ処理時間を実質的に算出する処理を実行させるためのものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のデータ処理時間の予測方法およびデータ処理装置によれば、上述したように、重回帰式を用いてデータ処理時間を予測するものであるためデータ処理時間を正確に予測することができる。また、過去に行ったデータ処理で得られた情報を用い、重回帰分析を行って重回帰式の係数を更新するものとすれば、重回帰式の係数の精度がより向上するため、結果的に、より正確にデータ処理時間を予測できるものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態によるデータ処理装置の構成を示すブロック図である。
【００１９】
図１のデータ処理装置１は、例えばマスクに電子線を描画して回路のパターン（マスクパターン）を形成する電子線描画装置の一部として設けられるものであり、データを読み込むデータ入力部２と、データ入力部２に読み込まれたデータを展開・合成して電子線描画用の最終的な描画データを作成するデータ展開・合成部６と、同じくデータ入力部２に読み込まれたデータに基づいてデータ処理時間を予測する処理時間演算部４とを有している。なお、図示する状態は、データ入力部２に対して、例えばＣＰＵ部やメモリ部用の回路データとして用意された複数のレイアウトデータＡ、Ｂ、Ｃが接続された状態を示している。
【００２０】
レイアウトデータＡ〜Ｃはいずれも、「繰り返し図形」の形状データ、繰り返し図形を配置するための「座標データ」、および「単独図形」の形状データを含んでいる。また、レイアウトデータＡ〜Ｃは、展開した後の「繰り返し図形」の個数についての情報、「単独図形」の個数についての情報を含み、さらに、「繰り返し図形」および「単独図形」のそれぞれのデータ量（ファイルサイズ）の情報も含んでいる。なお、本実施形態では、３つのレイアウトデータＡ〜Ｃが接続されているが、接続されるレイアウトデータの数は特に限定されるものではなく、例えば１のレイアウトデータのみが接続されるものであってもよい。
【００２１】
なお、説明を簡単にするため、「繰り返し図形」および「単独図形」はいずれも略矩形の形状であるものとする。また、上述した、繰り返し図形または単独図形の「個数」とは、１つの略矩形の図形を１個として数えたときの個数である。
【００２２】
データ入力部２は、レイアウトデータＡ〜Ｃからデータを読み込む機能を備えている。また、仮にレイアウトデータＡ〜Ｃが、それぞれ異なるメーカーから納入されたもの、または、圧縮形式がそれぞれ異なるものであっても読み込むことができるように構成されている。
【００２３】
データ展開・合成部６は、データ入力部２からデータを読み込み、そのデータを展開・合成することによって最終的なパターンデータ（描画データ）を作成する機能を備えている。データ展開・合成部６には必要に応じて記録部６ａが接続されている。
【００２４】
記録部６ａには、例えば最終的なパターンの設計データ等が格納されている。この場合、データ処理装置１は、記録部６ａに格納されたこの設計データ等の情報に基づいて、各レイアウトデータＡ〜Ｃから読み込んだデータを互いに組み合わせて展開・合成するものであってもよい。
【００２５】
出力部５は、データ展開・合成部６によってデータ処理されて作成された最終的なパターンデータが出力される部分であり、例えば、電子線描画装置の描画駆動部（不図示）に接続されている。これにより、電子線描画装置（不図示）はそのパターンデータに基づいてマスクパターンを描画できるようになっている。
【００２６】
測定部８は、データ展開・合成部６に接続されており、本データ処理装置１によるデータ処理の時間を測定する機能を備えている。より詳細には、ある１回のデータ処理の開始から、データ展開・合成部６が最終的なパターンデータを作成するまでの時間（実際の処理時間）を測定し、その結果得られた時間のデータを記録部４ａ（詳細は後述する）に出力する機能を備えている。さらに、測定部８は、時間のデータとともに、データ処理に用いられた各レイアウトデータＡ〜Ｃのデータを読み込み、記録部４ａに出力する機能も備えている。
【００２７】
処理時間演算部４は、レイアウトデータＡ〜Ｃのデータに基づいて、データ処理装置１によるデータ処理の処理時間を予測する構成部であり、記録部４ａに対してデータの読み出しおよび書き込みが可能となっている。
【００２８】
表示部７は、処理時間演算部４に接続されており、例えばディスプレイ等で構成されている。これにより、処理時間演算部４で予測された処理時間が表示部７に表示されるようになっている。
【００２９】
記録部４ａには、処理時間を予測するための計算式、その計算式に使用する係数のデータ、さらに、必要に応じて、過去に行われたデータ処理の時間のデータと、そのデータ処理で使用したレイアウトデータ内の図形数等のデータが格納されている。この、「そのデータ処理で使用したレイアウトデータ内の図形数等のデータ」とは、具体的には、各レイアウトデータＡ〜Ｃの、「繰り返し図形」および「単独図形」に関する個数やデータ量（ファイルサイズ）の情報、および、測定部８から出力された実際の処理時間のデータである。
【００３０】
なお、本データ処理装置１は、上述した各構成要素を制御するための制御部（不図示）を有しており、この制御部（不図示）は、各構成要素に所定の処理を実行させるプログラムを備えている。
【００３１】
本データ処理装置１は、処理時間を予測するための計算式として重回帰式を用い、各レイアウトデータＡ〜Ｃごとのデータ処理に必要な時間を予測するものである。
【００３２】
以下、この重回帰式を利用した、データ処理時間の算出について詳細に説明する。
【００３３】
本データ処理装置１による各レイアウトデータＡ〜Ｃごとのデータ処理において、単位ファイルサイズ当りのデータ処理時間を、レイアウトデータＡ〜Ｃに対応させてそれぞれｔA0、ｔB0、ｔC0とする。
【００３４】
なお、ここで、「単位ファイルサイズ当り」の「ファイルサイズ」とは、各レイアウトデータＡ〜Ｃに格納された、「単独図形」のファイルサイズ（データ量）と「単独図形」のファイルサイズ（データ量）との合計である。
【００３５】
各レイアウトデータＡ〜Ｃに格納された、「単独図形」の個数をそれぞれＴSA、ＴSB、ＴSCとし、展開した後の「繰り返し図形」の個数をそれぞれＴrA、ＴrB、ＴrCとする。また、同じく、各レイアウトデータＡ〜Ｃに格納された、「単独図形」のファイルサイズをそれぞれＳSA、ＳSB、ＳSCとし、「繰り返し図形」のファイルサイズをそれぞれＳrA、ＳrB、ＳrCとする。そして、重回帰式の回帰係数をａ0、ａ1、ａ2とすると、単位ファイルサイズ当りのデータ処理時間ｔA0〜ｔC0は次式の関係で示される。
ｔA0＝ａ0＋ａ1×ＴSA／ＳSA＋ａ2×ＴrA／ＳrA・・・（１）
ｔB0＝ａ0＋ａ1×ＴSB／ＳSB＋ａ2×ＴrB／ＳrB・・・（２）
ｔC0＝ａ0＋ａ1×ＴSC／ＳSC＋ａ2×ＴrC／ＳrC・・・（３）
なお、回帰係数ａ0、ａ1、ａ2は、過去に実行されたデータ処理の実行履歴のデータを用い、予め重回帰分析を行って求められたものである。
【００３６】
以上より、レイアウトデータＡ〜Ｃに対するそれぞれのデータ処理に必要な時間ｔA、ｔB、ｔCは、
ｔA＝ｔA0×（ＳSA＋ＳrA）・・・（４）
ｔB＝ｔB0×（ＳSB＋ＳrB）・・・（５）
ｔC＝ｔC0×（ＳSC＋ＳrC）・・・（６）
となり、さらにレイアウトデータＡ〜Ｃに対するデータ処理に必要な総時間ｔは、
ｔ＝ｔA＋ｔB＋ｔC・・・（７）
となる。このようにして予測された総時間ｔは表示部７に表示される。なお、必要に応じて、総時間ｔの他に、各レイアウトデータＡ〜Ｃに対する全データ処理に必要な時間ｔA、ｔB、ｔCも表示するように構成してもよい。
【００３７】
再び図１を参照して、処理時間演算部４の機能について補足すると、処理時間演算部４は、上述した回帰係数ａ0〜ａ2を更新するために、「単独図形」の個数ＴSA〜ＴSC、「繰り返し図形」の個数ＴrA〜ＴrC、両図形のそれぞれのファイルサイズＳSA〜ＳSC、ＳrA〜ＳrC、および、測定部８から記録部４ａに出力された実際の処理時間を用いて重回帰分析を行って、新たな回帰係数ａ0’、ａ１’、ａ2’を算出し、記録部４ａに更新する機能も備えている。
【００３８】
上述のように構成されたデータ処理装置１の動作について、図２に示すフロー図を参照して以下に説明する。
（描画データの作成）
データ処理装置１が各レイアウトデータＡ〜Ｃのデータを展開・合成して最終的な描画データを作成するデータ処理動作は以下のように行われる。
【００３９】
まず、データ処理装置１によるデータ処理が開始されると、データ入力部２が各レイアウトデータＡ〜Ｃから、それぞれの「単独図形」、「繰り返し図形」等に関するデータを読み込む。また、データ処理が始まると同時に、測定部８がそのデータ処理にかかる時間の測定を開始する。
【００４０】
次いで、データ展開・合成部６が、データ入力部２からレイアウトデータＡ〜Ｃに読み込まれた上記データを読み込み、それらのデータと記録部６ａに格納された設計データ等とを照合しながら、データを展開・合成し、最終的な「描画データ」を作成する。このようにして作成された「描画データ」は、データ展開・合成部６から出力部５に出力される。
【００４１】
測定部８は、データ展開・合成部６が最終的な描画データを作成した時点で時間の測定を停止し、このデータ処理で実際にかかった時間を記録部４ａに出力する。
【００４２】
以上一連の工程により、レイアウトデータＡ〜Ｃのデータが合成・展開され、最終的な描画データが作成される。
（処理時間の予測および表示）
データ処理装置１がデータ処理時間を予測する動作は以下のように行われる。
【００４３】
まず、データ入力部２が、各レイアウトデータＡ〜Ｃから「単独図形」の個数ＴSA〜ＴSC、「繰り返し図形」の個数ＴrA〜ＴrC、および、両図形のそれぞれのファイルサイズＳSA〜ＳSC、ＳrA〜ＳrCを読み込む（図２の工程Ｓ１参照）。
【００４４】
次いで、処理時間演算部４が、データ入力部２に読み込まれた上記各データと、記録部４ａに格納されている数式（１）〜（３）とを読み込み、上記データを数式（１）〜（３）に代入することによって、各レイアウトデータＡ〜Ｃに対応したデータ処理における、単位ファイルサイズ当りの処理時間ｔA0〜ｔC0を算出する（Ｓ２）。
【００４５】
次いで、処理時間演算部４は、前工程（Ｓ２）で算出した単位ファイルサイズ当りの処理時間ｔA0〜ｔC0を、数式（４）〜（６）に代入することによって、各レイアウトデータＡ〜Ｃに対応したデータ処理に必要な時間ｔA〜ｔCを算出する（Ｓ３）。
【００４６】
処理時間演算部４は、こうして算出したデータ処理に必要な時間ｔA〜ｔCを上述した数式（７）に代入して、データ処理時間の総時間ｔを算出する（Ｓ４）。
【００４７】
次いで、こうして算出されたデータ処理時間の総時間ｔ（または、必要応じて各データ処理に必要な時間ｔA〜ｔC）が表示部７によって表示される（Ｓ５）。
【００４８】
以上一連の工程により、データ処理の処理時間が予測され、その予測された時間が表示部７に表示される。
（データベース構築および重回帰分析による係数の算出）
測定部８によって測定された実際の時間のデータは、回帰係数ａ0〜ａ2を更新するために利用される。以下、回帰係数ａ0〜ａ2を更新する動作について説明する。
【００４９】
測定部８は、上述したように、測定した時間のデータのみではなく、データ処理で用いたレイアウトデータＡ〜Ｃのデータ、より詳細には、上述した数式（１）〜（３）の変数として利用されるデータ（「単独図形」の数ＴSA〜ＴSC、「繰り返し図形」の数ＴrA〜ＴrC、「単独図形」のファイルサイズＳSA〜ＳSC、「繰り返し図形」のファイルサイズＳrA〜ＳrC）についても、記録部４ａに出力する。このようにして、ある１回のデータ処理において利用されたデータ（上記「単独図形」の数ＴSA〜ＴSC等）と、そのデータ処理にかかった実際の時間のデータとは、互いに関連付けられて記録部４ａ内に格納され、それらのデータからなるデータベースが構成される。
【００５０】
処理演算部４は、上述のように記録部４ａ内に構成されたデータベースのデータを用いて、再度、重回帰分析を行って数式（１）〜（３）の係数ａ0〜ａ2を算出し、その結果として得られた新たな係数を記録部４ａに更新する。
【００５１】
以上一連の工程によって、係数ａ0〜ａ2が更新される。係数ａ0〜ａ2の更新は、１回のデータ処理ごとに自動的に行われるものであってもよい。
【００５２】
以上説明した本データ処理装置１によれば、データ処理時間を予測する計算式に重回帰式を用いており、その回帰式の回帰係数ａ0〜ａ2が「単独図形」および「繰り返し図形」に関するデータに基づいて求められたものであるため、データ処理時間がより正確に予測される。また、通常、データ処理の速度はデータ処理の対象の属性によって異なることが多いため、本実施形態のように、レイアウトデータを「単独図形」と「繰り返し図形」とに分けて扱うことは、より正確な予測結果が得られる点で好ましい。さらに、測定部８を設け、ある１回のデータ処理にかかった実際の処理時間を測定し、そのデータに基づいて再度重回帰分析して回帰係数を更新する構成とすることにより、回帰係数の精度がより向上する。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の一実施形態によるデータ処理装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１のデータ処理装置による、データ処理の一例を説明するためのフロー図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  データ処理装置
２  データ入力部
４  処理時間演算部
４ａ  記録部
５  出力部
６  データ展開・合成部
６ａ  記録部
７  表示部
８  測定部
Ａ〜Ｃ  レイアウトデータ
【図１】
2005227668.tif 000003
【図２】
2005227668.tif 000004