(57)【要約】【課題】  スクリーン版製造時における作業性の悪化を抑制するとともに、印刷用スクリーンメッシュの接着不良を防止することができるスクリーン版の製造方法を提供する。【解決手段】  まず、メッシュ母材Ｍ２を紗張りする。次に、紗張りされたメッシュ母材Ｍ２をフレーム６０に接着固定してめっきを施す。続いて、メッシュ母材Ｍ１を紗張りする。次に、紗張りされたメッシュ母材Ｍ１に、めっきが施された印刷用スクリーンメッシュ３０を接着して固定する。次に、メッシュ母材Ｍ１を印刷用スクリーンメッシュ３０に接着された接着領域２４の内側にて切断し、当該接着領域２４の内側の領域を削除する。次に、メッシュ母材Ｍ１を版枠１０に接着して固定する。続いて、印刷用スクリーンメッシュ３０に施されためっきを除去する。これらにより、版枠１０と、支持用スクリーンメッシュ２０と、印刷用スクリーンメッシュ３０とを備えたスクリーン版１が得られる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
版枠と、前記版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、前記支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えるスクリーン版の製造方法であって、
張力を付与して前記印刷用スクリーンメッシュにめっきを施す工程と、
前記支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、
紗張りされた前記メッシュ母材に、めっきが施された前記印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、
前記印刷用スクリーンメッシュが固定された前記メッシュ母材を、前記印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、前記接着領域の内側の領域を除去する工程と、
紗張りされた前記メッシュ母材を前記版枠に接着して固定する工程と、
めっきが施された前記印刷用スクリーンメッシュを前記メッシュ母材に固定した後、前記印刷用スクリーンメッシュに施されためっきを剥離する工程と、を備えることを特徴とするスクリーン版の製造方法。
【請求項２】
版枠と、前記版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、前記支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えるスクリーン版の製造方法であって、
張力を付与して前記印刷用スクリーンメッシュにめっきを施す工程と、
前記支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、
紗張りされた前記メッシュ母材に、めっきが施された前記印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、
前記印刷用スクリーンメッシュが固定された前記メッシュ母材を、前記印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、前記接着領域の内側の領域を除去する工程と、
前記接着領域の内側の領域を除去した後、紗張りされた前記メッシュ母材を前記版枠に接着して固定する工程と、
前記メッシュ母材を前記版枠に固定した後、前記印刷用スクリーンメッシュに施されためっきを剥離する工程と、を備えることを特徴とするスクリーン版の製造方法。
【請求項３】
張力を付与して前記印刷用スクリーンメッシュにめっきを施す前記工程は、
前記印刷用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、
紗張りされた前記印刷用スクリーンメッシュを構成するための前記メッシュ母材をフレームに接着して固定する工程と、
前記フレームに固定された前記メッシュ母材にめっきを施す工程と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン版の製造方法。
【請求項４】
前記印刷用スクリーンメッシュに電解めっきを施すことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のスクリーン版の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン版の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷に用いられるスクリーン版として、支持用スクリーンメッシュと、印刷用スクリーンメッシュとを組み合わせたコンビネーション張りスクリーン版が知られている（例えば、特許文献１参照）。この種のスクリーン版は、張力が付与された状態で支持体スクリーンメッシュを版枠材に固定し、固定された支持体スクリーンメッシュの中央部に印刷用スクリーンメッシュを接着した後、支持体スクリーンメッシュの接着部より内側部分を切り抜くことにより製造される。
【特許文献１】特許第３４６２１２５号明細書（特開２００１−１８５４９号公報）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、電子部品の小型化などに伴って、スクリーン印刷における印刷パターンの微細化が要求されている。微細なパターンを印刷するためには、印刷用スクリーンメッシュを構成するメッシュ線の線径を細くする必要がある。印刷用スクリーンメッシュとしての性能を維持しつつメッシュ線の線径を細くするためにはメッシュ線の硬度を高くする必要がある。
【０００４】
通常、印刷用スクリーンメッシュは、メッシュ母材のロール原反から切り出すことにより形成される。このため、硬度の高い極細のメッシュ線で織られたメッシュ母材から印刷用スクリーンメッシュを形成する場合、メッシュ線の硬度が高いことから、形成された印刷用スクリーンメッシュに巻きぐせがついてしまう。印刷用スクリーンメッシュに巻きぐせがついていると、支持体スクリーンメッシュへの接着が困難となる。また、印刷用スクリーンメッシュの位置ずれや端部の折れなどが発生して作業性が悪化するおそれがある。さらに、接着部が浮き上がった状態で接着された場合、接着強度が低下して破れが生じるおそれがある。
【０００５】
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、スクリーン版製造時における作業性の悪化を抑制するとともに、印刷用スクリーンメッシュの接着不良を防止することができるスクリーン版の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係るスクリーン版の製造方法は、版枠と、版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えるスクリーン版の製造方法であって、張力を付与して印刷用スクリーンメッシュにめっきを施す工程と、支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、紗張りされたメッシュ母材に、めっきが施された印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、印刷用スクリーンメッシュが固定されたメッシュ母材を、印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、接着領域の内側の領域を除去する工程と、紗張りされたメッシュ母材を版枠に接着して固定する工程と、めっきが施された印刷用スクリーンメッシュをメッシュ母材に固定した後、印刷用スクリーンメッシュに施されためっきを剥離する工程と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明に係るスクリーン版の製造方法は、版枠と、前記版枠に固定された樹脂製の支持用スクリーンメッシュと、前記支持用スクリーンメッシュに固定された印刷用スクリーンメッシュとを備えるスクリーン版の製造方法であって、張力を付与して印刷用スクリーンメッシュにめっきを施す工程と、支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、紗張りされたメッシュ母材に、めっきが施された印刷用スクリーンメッシュを接着して固定する工程と、印刷用スクリーンメッシュが固定されたメッシュ母材を、印刷用スクリーンメッシュに接着された接着領域の内側にて切断し、接着領域の内側の領域を除去する工程と、接着領域の内側の領域を除去した後、紗張りされたメッシュ母材を版枠に接着して固定する工程と、メッシュ母材を版枠に固定した後、印刷用スクリーンメッシュに施されためっきを剥離する工程とを備えることを特徴とする。
【０００８】
これら、本発明に係るスクリーン版の製造方法それぞれによれば、張力が付与された状態で印刷用スクリーンメッシュにめっきが施されることにより、巻きぐせが矯正され、印刷用スクリーンメッシュが平坦化される。この結果、めっきが施された印刷用スクリーンメッシュをメッシュ母材に接着して固定する際に、位置ずれや端部の折れなどが発生することを抑制することができる。また、その後の工程で、印刷用スクリーンメッシュに施されためっきが剥離されるので、印刷用スクリーンメッシュを構成するメッシュ線の線径が細くなり、微細パターンの印刷が可能となる。
【０００９】
本発明に係るスクリーン版の製造方法において、張力を付与して印刷用スクリーンメッシュにめっきを施す上記工程は、印刷用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材を紗張りする工程と、紗張りされた印刷用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材をフレームに接着して固定する工程と、フレームに固定されたメッシュ母材にめっきを施す工程とを有することが好ましい。
【００１０】
この場合、紗張りされフレームに固定された状態で印刷用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材にめっきが施されることによって、当該メッシュ母材の巻きぐせが矯正される。その結果、平坦な印刷用スクリーンメッシュを容易に得ることができる。
【００１１】
本発明に係るスクリーン版の製造方法では、印刷用スクリーンメッシュにめっきを施す工程において電解めっきが好適に用いられる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、スクリーン版製造時における作業性の悪化を抑制するとともに、印刷用スクリーンメッシュの接着不良を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。図中、同一又は相当部分には同一符号を用いることとする。
【００１４】
（第１実施形態）
まず、図１及び図２に基づいて、第１実施形態に係るスクリーン版１の構成を説明する。図１は、第１実施形態に係るスクリーン版１を示す概略平面図である。図２は、図１におけるＩＩ−ＩＩ方向の断面構成を示す模式図である。
【００１５】
スクリーン版１は、版枠１０と、支持用スクリーンメッシュ２０と、印刷用スクリーンメッシュ３０とを備える。スクリーン版１は、例えば、積層型チップコンデンサの製造工程においてグリーンシートに電極パターンを印刷するために用いられる。
【００１６】
版枠１０は、Ｘ軸方向でみて互いに対向する２辺、及びＹ軸方向でみて互いに対向する２辺を備えた枠体である。版枠１０は、例えば、アルミニウムまたは軽合金等の軽量金属材料により構成することができる。
【００１７】
支持用スクリーンメッシュ２０はシート状であり、その形状が矩形となっている。支持用スクリーンメッシュ２０のほぼ中央には、矩形形状を呈した開口２２が形成されている。支持用スクリーンメッシュ２０は、所定の張力が付与された状態で、その外縁が全周にわたって版枠１０に固定されている。支持用スクリーンメッシュ２０の版枠１０への固定は、例えば、エポキシ樹脂等の接着剤４０を用いて、支持用スクリーンメッシュ２０と版枠１０とを接着することにより実現できる。支持用スクリーンメッシュ２０は、その内縁に、印刷用スクリーンメッシュ３０に接着される接着領域２４を含んでいる。
【００１８】
支持用スクリーンメッシュ２０は合成樹脂材料により構成することができる。例えば、支持用スクリーンメッシュ２０は、ポリエステル等の合成樹脂繊維を縦糸及び横糸として織られたメッシュ（網）であり、例えば２５０メッシュ（＃２５０）程度のものである。
【００１９】
印刷用スクリーンメッシュ３０はシート状であり、その形状が矩形となっている。印刷用スクリーンメッシュ３０は、その外縁に、支持用スクリーンメッシュ２０に接着される接着領域３２を含んでいる。印刷用スクリーンメッシュ３０は、支持用スクリーンメッシュ２０の開口２２を覆うように、その外縁（支持用スクリーンメッシュ２０に接着される接着領域３２）が全周にわたって支持用スクリーンメッシュ２０に固定されている。印刷用スクリーンメッシュ３０の支持用スクリーンメッシュ２０への固定は、例えば、エポキシ樹脂等の接着剤５０を用いて、印刷用スクリーンメッシュ３０と支持用スクリーンメッシュ２０とを接着することにより実現できる。
【００２０】
印刷用スクリーンメッシュ３０は、金属材料により構成されている。例えば、印刷用スクリーンメッシュ３０は、ステンレス鋼等の金属でなる極細線を縦糸及び横糸として織られたメッシュであり、例えば３６０メッシュ〜３８０メッシュ（＃３６０〜＃３８０）程度のものが用いられる。
【００２１】
印刷用スクリーンメッシュ３０は、支持用スクリーンメッシュ２０に接着される接着領域３２の内側に、パターン形成領域３４を含んでいる。このパターン形成領域３４には、メッシュの開口が乳剤等の目止め剤で塞がれた部分と塞がれていない部分とによって、所定の印刷パターンが形成されている。
【００２２】
次に、図３〜図１４を参照して、第１実施形態に係るスクリーン版１の製造過程について説明する。図３〜図１４は、第１実施形態に係るスクリーン版１の製造過程を説明するための模式図である。
【００２３】
工程（１）
まず、印刷用スクリーンメッシュ３０を構成するためのメッシュ母材Ｍ２をロール原反から切り出し、メッシュ母材Ｍ２に張力Ｆ１を付与する（図３及び４参照）。張力付与手段としては紗張り機を用い、紗張り機のクランプＣ１〜Ｃ４によりメッシュ母材Ｍ２を引っ張ればよい。具体的には、１組のクランプＣ１，Ｃ２によりメッシュ母材Ｍ２のＸ軸方向の両端部をクランプし、もう１組のクランプＣ３，Ｃ４によりメッシュ母材Ｍ２のＹ軸方向の両端部をクランプする。そして、これらのクランプＣ１〜Ｃ４に対し、メッシュ母材Ｍ２を伸張させる向きに、引っ張り力ＴＳ１を加える。１組のクランプＣ１，Ｃ２に加えられる引っ張り力は、Ｘ軸上でメッシュ母材Ｍ２を伸張させる向きであり、もう１組のクランプＣ３，Ｃ４に加えられる引っ張り力ＴＳ１は、Ｙ軸上でメッシュ母材Ｍ２を伸張させる向きである。これにより、メッシュ母材Ｍ２に張力Ｆ１が付与されることとなる。
【００２４】
工程（２）
次に、紗張りされたメッシュ母材Ｍ２をフレーム６０に固定する（図５参照）。フレーム６０は矩形の枠体である。これにより、メッシュ母材Ｍ２に付与された張力Ｆ１がほぼ保持される。メッシュ母材Ｍ２をフレーム６０に固定するには、接着剤６２を用いて、メッシュ母材Ｍ２をフレーム６０に接着すればよい。
【００２５】
続いて、フレーム６０の外側において、当該フレーム６０に沿ってメッシュ母材Ｍ２を切断する（図６参照）。これにより、その外縁がフレーム６０に固定されたメッシュ母材Ｍ２が形成されることとなる。
【００２６】
工程（３）
続いて、フレーム６０に固定されたメッシュ母材Ｍ２にめっきを施す。本実施形態では、電気メッキ法によってメッシュ母材Ｍ２にめっき層３６を形成した。めっき層３６の材料としては、ニッケル（Ｎｉ）が好ましい。めっき層３６の厚みは、例えば１μｍ以上に設定することが好ましく、３μｍ以上がさらに好ましい。なお、めっき層の材料は、Ｎｉ以外にも、銅（Ｃｕ）、クロム（Ｃｒ）、コバルト（Ｃｏ）などの金属材料を用いることができる。また、めっき方法が電気メッキ法に限られないことはいうまでもない。
【００２７】
工程（４）
次に、めっきが施されたメッシュ母材Ｍ２を接着領域の内側にて切断する（図７参照）。これにより、所定の大きさに切断された印刷用スクリーンメッシュ３０が得られる。印刷用スクリーンメッシュを切断する大きさは、例えば、電極パターンが印刷されるグリーンシートの大きさなどに応じて設定される。張力Ｆ１が付与され巻きぐせが矯正された状態でめっきが施されることにより、フレーム６０から切り離され張力Ｆ１が取り去られた場合にも、矯正された巻きぐせが戻ることなく、平坦な印刷用スクリーンメッシュ３０を得ることができる。
【００２８】
工程（５）
続いて、上述した合成樹脂材料（例えば、ポリエステル等）からなるメッシュ母材Ｍ１を紗張りする（図８及び９参照）。メッシュ母材Ｍ１の紗張りは、紗張り機を用い、クランプＣ１〜Ｃ４によりメッシュ母材Ｍ１を引っ張ることにより行われる。具体的には、１組のクランプＣ１，Ｃ２によりメッシュ母材Ｍ１のＸ軸方向の両端部をクランプし、もう１組のクランプＣ３，Ｃ４によりメッシュ母材Ｍ１のＹ軸方向の両端部をクランプする。そして、これらのクランプＣ１〜Ｃ４に対し、メッシュ母材Ｍ１を伸張させる向きに、引っ張り力ＴＳ２を加える。１組のクランプＣ１，Ｃ２に加えられる引っ張り力は、Ｘ軸上でメッシュ母材Ｍ１を伸張させる向きであり、もう１組のクランプＣ３，Ｃ４に加えられる引っ張り力ＴＳ２は、Ｙ軸上でメッシュ母材Ｍ１を伸張させる向きである。これにより、メッシュ母材Ｍ１に張力Ｆ２が付与されることとなる。
【００２９】
工程（６）
次に、紗張りされたメッシュ母材Ｍ１に、めっきが施された上記印刷用スクリーンメッシュ３０を固定する（図１０及び図１１参照）。この工程では、まず、メッシュ母材Ｍ１の面内の領域Ｐ１に印刷用スクリーンメッシュ３０を重ね合わせる。領域Ｐ１は、矩形状であり、メッシュ母材Ｍ１のほぼ中央に設定されている。領域Ｐ１は、印刷用スクリーンメッシュ３０よりもやや小さい。メッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１に印刷用スクリーンメッシュ３０を重ね合わせるには、台板ＢＰ上に印刷用スクリーンメッシュ３０を載置した後に、この台板ＢＰをメッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１に向かって上昇させ、台板ＢＰ上の印刷用スクリーンメッシュ３０をメッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１に当接させればよい。
【００３０】
続いて、メッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１の周縁に印刷用スクリーンメッシュ３０を接着する。詳しくは、印刷用スクリーンメッシュ３０は、メッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１を覆うように、その周縁の全周がメッシュ母材Ｍ１の領域Ｐ１の周縁に接着される。接着に当っては、例えば、メッシュ母材Ｍ１上から領域Ｐ１の周縁に接着剤５０を塗布する。そして、この接着剤５０を、重ね合わされたメッシュ母材Ｍ１及び印刷用スクリーンメッシュ３０の間に浸透させ、接着剤５０を硬化させればよい。接着の後、台板ＢＰを下降させ、印刷用スクリーンメッシュ３０から台板ＢＰを離す。
【００３１】
工程（７）
次に、メッシュ母材Ｍ１のうち、上述の領域Ｐ１の部分（図中、一点鎖線にて表した部分）を除去する（図１２参照）。この工程では、メッシュ母材Ｍ１を印刷用スクリーンメッシュ３０に接着された接着領域２４の内側にて切断し、当該接着領域２４の内側の領域、すなわち領域Ｐ１を除去する。本実施形態では、接着領域２４の内側において、当該接着領域２４に沿ってメッシュ母材Ｍ１を切断する。これにより、上述した開口２２が形成される。
【００３２】
工程（８）
次に、紗張りされたメッシュ母材Ｍ１を版枠１０に固定する（図１３参照）。メッシュ母材Ｍ１を版枠１０に固定するには、接着剤４０を用いて、メッシュ母材Ｍ１を版枠１０に接着すればよい。版枠１０は、台板（図示せず）に載置されている。
【００３３】
続いて、版枠１０の外側において、当該版枠１０に沿ってメッシュ母材Ｍ１を切断する（図１４参照）。これにより、その外縁が版枠１０に固定された支持用スクリーンメッシュ２０が形成されることとなる。
【００３４】
工程（９）
次に、印刷用スクリーンメッシュ３０に施されためっきを剥離する。めっきの剥離剤としては、例えば硝酸などが用いられる。硝酸の濃度、温度及び剥離時間などを調節することにより印刷用スクリーンメッシュ３０に施されためっきのみを剥離する。
【００３５】
これらの工程（１）〜（９）により、上述した構成のスクリーン版１が得られることとなる。
【００３６】
なお、各工程の順序は本実施形態に限られない。例えば、版枠を取付ける工程（８）を、上記工程（５）、工程（６）又は工程（９）の次に実施してもよい。また、めっきを剥離する工程（９）を、上記工程（７）に続いて実施してもよい。
【００３７】
以上のように、第１実施形態によれば、紗張りされフレーム６０に固定された状態でメッシュ母材Ｍ２にめっきが施されることにより、巻きぐせが矯正され、メッシュ母材Ｍ２が平坦化される。この結果、めっきが施された印刷用スクリーンメッシュ３０をメッシュ母材Ｍ１に接着して固定する際に、位置ずれや端部の折れなどが発生することを抑制することができる。これにより、スクリーン版製造時における作業性の悪化を抑制するとともに、印刷用スクリーンメッシュ３０の接着不良を防止することが可能となる。
【００３８】
また、その後の工程（９）で、印刷用スクリーンメッシュ３０に施されためっきが剥離されるので、印刷用スクリーンメッシュ３０を構成するメッシュ線の線径が細くなり、微細パターンの印刷が可能となる。
【００３９】
（第２実施形態）
図１５及び図１６に基づいて、第２実施形態に係るスクリーン版２の構成を説明する。図１５は、第２実施形態に係るスクリーン版２を示す概略平面図である。図１６は、図１５におけるＸＶＩ−ＸＶＩ方向の断面構成を示す模式図である。
【００４０】
スクリーン版１は、印刷用スクリーンメッシュ３０及び版枠１０それぞれが支持用スクリーンメッシュ２０の同一面に接着固定されている。一方、スクリーン版２は、印刷用スクリーンメッシュ３０及び版枠１０それぞれが支持用スクリーンメッシュ２０の異なる面に接着固定されている。その他の構成については同一であるので、ここでは説明を省略する。
【００４１】
次に、図１７〜図２０を参照して、スクリーン版２の製造過程について説明する。図１７〜図２０は、第２実施形態に係るスクリーン版２の製造過程を説明するための模式図である。
【００４２】
工程（１）〜（５）については、上述の第１実施形態における工程（１）〜（５）と同じであるので、ここでは説明を省略する。
【００４３】
工程（６）
この工程では、紗張りされたメッシュ母材Ｍ１を版枠１０に固定する（図１７参照）。メッシュ母材Ｍ１と版枠１０とを固定する方法は、第１実施形態の工程（８）において説明した固定方法と同じである。
【００４４】
続いて、版枠１０の外側において、当該版枠１０に沿ってメッシュ母材Ｍ１を切断する（図１８参照）。これにより、その外縁が版枠１０に固定されたメッシュ母材Ｍ１が形成されることとなる。
【００４５】
工程（７）
次に、版枠１０に固定されたメッシュ母材Ｍ１に、めっきが施された印刷用スクリーンメッシュ３０を固定する（図１９及び図２０参照）。その際、印刷用スクリーンメッシュ３０を版枠１０が固定されている面と異なる面に固定する。支持用スクリーンメッシュ２０と印刷用スクリーンメッシュ３０とを固定する方法は、第１実施形態の工程（６）において説明した固定方法と同じであるので、ここでは説明を省略する。
【００４６】
工程（８）は、第１実施形態の工程（７）において説明した除去方法と同じであるので、説明を省略する。
【００４７】
工程（９）は、第１実施形態における工程（９）と同じであり、ここでの説明を省略する。これらの工程（１）〜（９）により、図１５及び図１６に示された構成のスクリーン版２が得られることとなる。
【００４８】
なお、各工程の順序は本実施形態に限られない。例えば、版枠を取付ける工程（６）を、上記工程（７）、工程（８）又は工程（９）の次に実施してもよい。また、めっきを剥離する工程（９）を、上記工程（７）に続いて実施してもよい。
【００４９】
第２実施形態においても、メッシュ母材Ｍ２の巻きぐせが矯正され、平坦化される。この結果、めっきが施された印刷用スクリーンメッシュ３０をメッシュ母材Ｍ１に接着して固定する際に、位置ずれや端部の折れなどが発生することを抑制することができる。これにより、スクリーン版製造時における作業性の悪化を抑制するとともに、印刷用スクリーンメッシュ３０の接着不良を防止することが可能となる。
【００５０】
また、その後の工程（９）で、印刷用スクリーンメッシュ３０に施されためっきが剥離されるので、印刷用スクリーンメッシュ３０を構成するメッシュ線の線径が細くなり、微細パターンの印刷が可能となる。
【００５１】
以上、本発明者らによってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、版枠１０、支持用スクリーンメッシュ２０、印刷用スクリーンメッシュ３０、開口２２等の形状も上述した実施形態に限られるものではない。
【００５２】
また、本実施形態では、スクリーン版１は、積層型チップコンデンサの製造工程においてグリーンシートに電極パターンを印刷するためのものであったが、本発明に係るスクリーン版は、他の電子部品の電極印刷を始めとして、様々なスクリーン版に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】第１実施形態に係るスクリーン版を示す概略平面図である。
【図２】図１におけるII−II方向の断面構成を示す模式図である。
【図３】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図４】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図５】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図６】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図７】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図８】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図９】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１０】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１１】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１２】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１３】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１４】第１実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１５】第２実施形態に係るスクリーン版を示す概略平面図である。
【図１６】図１５におけるＸＶＩ−ＸＶＩ方向の断面構成を示す模式図である。
【図１７】第２実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１８】第２実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図１９】第２実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【図２０】第２実施形態に係るスクリーン版の製造過程を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００５４】
１…スクリーン版、１０…版枠、２０…支持用スクリーンメッシュ、２４…接着領域、３０…印刷用スクリーンメッシュ、３２…接着領域、４０…接着剤、５０…接着剤、６０…フレーム、Ｍ１…支持用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材、Ｍ２…印刷用スクリーンメッシュを構成するためのメッシュ母材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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