(57)【要約】【課題】コンパクトで液圧測定装置を含めての設置スペースが少なくて済み、精確な液圧測定が可能で、誤操作のおそれのない液圧調整用のレギュレータを提供することを課題とする。【解決手段】内部を貫通するメイン流路２と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口３と出口側接続口４とを反対方向に向けて突設したベース１を設け、前記ベース１にレギュレータ部５と液圧測定部６とを設置して成る。前記液圧測定部６は、出口側に配置されることが好ましい【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部を貫通するメイン流路と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口と出口側接続口とを反対方向に向けて突設したベースを設け、前記ベースにレギュレータ部と液圧測定部とを設置して成るレギュレータ。
【請求項２】
前記液圧測定部が、出口側に配置された請求項１に記載のレギュレータ。
【請求項３】
内部を貫通するメイン流路と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口と出口側接続口とを反対方向に向けて突設したベースを設け、前記ベースにレギュレータ部を設けると共に、液圧測定部を接続するための、前記メイン流路に連通するポートを設けて成るレギュレータ。
【請求項４】
前記液圧測定部は、チューブを介して前記ポートに接続される請求項３に記載のレギュレータ。
【請求項５】
前記液圧測定部がプレッシャーゲージである請求項１又は３に記載のレギュレータ。
【請求項６】
前記液圧測定部が液圧センサーである請求項１又は３に記載のレギュレータ。
【請求項７】
前記メイン流路からの前記液圧測定部への流路を前記メイン流路よりも細径にした請求項１乃至６のいずれかに記載のレギュレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレギュレータ、より詳細には、例えば半導体製造過程において用いられる薬液を、タンクから供出して送液ラインを介して送るに際し、その送液圧を所定のものとするために当該ラインに組み込まれるレギュレータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記レギュレータは、通例、送液ラインにインライン接続され、マニュアル操作又はエアオペレート等の機械操作によって液圧を調整するものであるが、その操作に当たっては、液圧を確認する必要がある。そのため、レギュレータと共に、その上流側又は下流側に液圧ゲージ、あるいは、液圧センサー等の液圧測定装置が付設される。
【０００３】
上記従来のレギュレータの場合は、それ自体インライン接続するためにラインに対する継手が必要となるだけでなく、更に液圧ゲージ又は液圧センサーをインライン接続するための継手も必要となり、その分のスペースが必要となる。
【０００４】
また、液圧測定装置は、レギュレータの上流側又は下流側の、レギュレータから少し離れた位置に設置されるため、その間の圧力損失の影響を受け、レギュレータの位置において精確な液圧測定を行なうことは期待できない。
【０００５】
更に、同じラインにレギュレータと液圧測定装置がそれぞれ複数並設されている場合、その組み合わせを誤認して、他の組の液圧測定装置に基いてレギュレータを誤操作してしまうおそれもある。
【０００６】
【特許文献１】特許第３３２３５１３号公報
【特許文献２】特開平８−１９２０９１号公報
【特許文献３】実開平３−９７６３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記従来のレギュレータにおける問題点を解決するためになされたもので、コンパクトで液圧測定装置を含めての設置スペースが少なくて済み、精確な液圧測定が可能で、誤操作のおそれのない液圧調整用のレギュレータを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、内部を貫通するメイン流路と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口と出口側接続口とを反対方向に向けて突設したベースを設け、前記ベースにレギュレータ部と液圧測定部とを設置して成るレギュレータ、を以て上記課題を解決した。前記液圧測定部は、出口側に配置されることが好ましい。
【０００９】
本発明はまた、内部を貫通するメイン流路と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口と出口側接続口とを反対方向に向けて突設したベースを設け、前記ベースにレギュレータ部を設けると共に、液圧測定部を接続するための、前記ベースのメイン流路に連通するポートを設けて成るレギュレータ、を以て上記課題を解決した。
【００１０】
前記液圧測定部としては、プレッシャーゲージ、あるいは、液圧センサーが用いられる。好ましくは、前記メイン流路からの前記液圧測定部への流路は、前記メイン流路よりも細径にされる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係るレギュレータにおいては、液圧測定部又は液圧測定部ポートがレギュレータ部と共通のベースに一体化されるため、コンパクトで設置スペースが少なくて済み、インライン接続において接続の手間が減り、しかも、液圧測定部又は液圧測定部接続ポートがレギュレータ部の直近に配置されるため、圧力損失の影響を受けることなく精確で適切な測定が可能となり、また、レギュレータ部を誤操作するおそれがないといった効果がある。
【００１２】
請求項３に記載の発明においては、上記効果の外に、液圧測定部を邪魔にならない任意の位置に配置し得るという効果があり、また、請求項７に記載の発明においては、液圧測定部が、ウォーターハンマーや脈動等の衝撃から保護される効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の好ましい実施の形態につき、添付図面に依拠して説明する。本発明に係るレギュレータの第１は、内部を貫通するメイン流路２と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口３と出口側接続口４とを反対方向に向けて突設したベース１を設け、ベース１にレギュレータ部と液圧測定部とを設置して成る。
【００１４】
図１及び図２に示す実施形態は、液圧測定部としてプレッシャーゲージ６を用いたものである。この場合は、メイン流路２からベース１の上面に抜ける分岐路７が形成され、この分岐路７上に、中央部に上方に突出する受口９を備えたゲージ設置台８が固定される。
【００１５】
好ましくは分岐路７は、メイン流路２よりも細径とされる。これは、メイン流路２に生ずる所謂ウォーターハンマーや脈動等の衝撃から、プレッシャーゲージ６等の液圧測定手段を保護するためである。
【００１６】
プレッシャーゲージ６は、ブルドン管式丸形指示圧力計等の一般的なものでよく、その下部に、受口９と同じサイズの圧力導入部１０を備えている。プレッシャーゲージ６は、この圧力導入部１０を受口９に突合わせ接合することにより、ベース１上に固定される。受口９と圧力導入部１０の接合は、例えば溶着又は接着による。プレッシャーゲージ６は、レギュレータ５の上流側（入口側）に配置してもよいが、好ましくは、下流側（出口側）に配置する。
【００１７】
図示したレギュレータ５は、そのローレットを形成したキャップ状ハンドル１１を手動操作によって回転させることによって、メイン流路２を流れる液圧を調整するタイプのものであるが、これをエアオペレート等の機械操作によって行なうようにすることもできる。
【００１８】
レギュレータ５による液圧調整は、プレッシャーゲージ６の目盛を確認しながら行なうが、プレッシャーゲージ６はレギュレータ５に隣接しているため、その確認は容易であり、且つ、他のレギュレータ５のプレッシャーゲージ６と誤認するおそれはない。
【００１９】
図３乃至図５に示す実施形態は、液圧測定部として、液圧センサー２１を用いたものである。この場合は、分岐路７上に、接液する隔膜２２を介して圧力センサー２３を配置した計測部を備えたセンサーケース２４が固定される。この場合も上記と同じ理由で、分岐路７の径をメイン流路２の径よりも細くすることが好ましい。
【００２０】
圧力センサー２３からの液圧に対応する信号は、コード２５を介してセンサーケース２４外のモニター（図示していない）に送られ、デジタル表示される。レギュレータ５による液圧調整は、モニターを参照しながら、上記実施形態の場合と同様にして行なう。
【００２１】
本発明に係る液圧調整用レギュレータの第２は、内部を貫通するメイン流路２と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口３と出口側接続口４とを反対方向に向けて突設したベース１を設け、ベース１にレギュレータ５を設けると共に、液圧測定部を接続するための、メイン流路２に連通するポート２７を設けて成る。
【００２２】
図６及び図７はその一実施形態を示すもので、ベース１の側面に、そのメイン流路２に連通するポート２７が突設される。液圧測定部としては、プレッシャーゲージ６又は液圧センサー２１が用いられる。
【００２３】
この場合、プレシャーゲージ６及び液圧センサー２１は、チューブ２８を延ばすことにより、レギュレータ５から離れた邪魔にならない任意の場所に配置することができる。プレッシャーゲージ６及び液圧センサー２１は、チューブ２８を介してメイン流路２内の液圧を測定して表示する。
【００２４】
図８に示す実施形態は、チューブ２８を用いることなく、プレッシャーゲージ６又は液圧センサー２１を直接ポート２７に接続するようにしたものである。この構成は、レギュレータ５の周囲に十分スペースがある場合に採用される。
【００２５】
図６乃至図８に示す実施形態においても、ウォーターハンマーや脈動等の衝撃からプレッシャーゲージ６や液圧センサー２１を保護するため、ポート２７内の流路及びチューブ２８の径をメイン流路２よりも細くすることが好ましい。
【００２６】
この発明をある程度詳細にその最も好ましい実施形態について説明してきたが、この発明の精神と範囲に反することなしに広範に異なる実施形態を構成することができることは明白なので、この発明は添付請求の範囲において限定した以外はその特定の実施形態に制約されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態の正面図である。
【図２】図１に示す実施形態の正面縦断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態の正面図である。
【図４】図３に示す実施形態の正面縦断面図である。
【図５】図３に示す実施形態の平面図である。
【図６】本発明の更に他の実施形態の平面図である。
【図７】図６に示す実施形態の正面図である。
【図８】本発明の更に他の実施形態の平面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１    ベース
２    メイン流路
３    入口側接続口
４    出口側接続口
５    レギュレータ
６    プレッシャーゲージ
７    分岐路
８    ゲージ設置台
９    受口
１０    圧力導入部
１１    キャップ状ハンドル
２１    液圧センサー
２２    隔膜
２３    圧力センサー
２４    センサーケース
２５    コード
２７    ポート
２８    チューブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005276101.tif 000008
【図７】
2005276101.tif 000009
【図８】
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