(57)【要約】【課題】  磁気転写用マスタ担体を用いて磁気記録媒体を繰り返しプリフォーマットしても、磁気転写用マスタ担体が変形しないようにする。【解決手段】  複数のプリフォーマット情報書込領域にプリフォーマット情報が書き込まれ、各プリフォーマット情報書込領域間にデータ領域が形成される磁気記録媒体に密着され、転写用磁界が印加されたときプリフォーマット情報を前記プリフォーマット情報書込領域に磁気転写する磁気転写用マスタ担体において、前記データ領域と対面する領域２２に前記転写用磁界の吸い込みが所定量以下となる凹凸形状２６を形成し、前記密着時に凹凸形状２６で前記磁気記録媒体の前記データ領域を支持する構成とする。【選択図】  図２
2005032372.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプリフォーマット情報書込領域にプリフォーマット情報が書き込まれ、各プリフォーマット情報書込領域間にデータ領域が形成される磁気記録媒体に密着され、転写用磁界が印加されたときプリフォーマット情報を前記プリフォーマット情報書込領域に磁気転写する磁気転写用マスタ担体において、〔データ領域信号長／プリフォーマット情報書込領域信号長〕＜１の範囲にあり、前記データ領域と対面する領域に前記転写用磁界の吸い込みが所定量以下となる凹凸形状を形成し、前記密着時に該凹凸形状で前記磁気記録媒体の前記データ領域を支持する構成としたことを特徴とする磁気転写用マスタ担体。
【請求項２】
前記所定量は、前記転写用磁界の吸い込みによって前記データ領域に書き込まれる磁気信号の検出レベルが所定値以下となる量であることを特徴とする請求項１に記載の磁気転写用マスタ担体。
【請求項３】
前記所定値は、前記プリフォーマット情報書込領域に転写された前記プリフォーマット情報の磁気信号の検出レベルに対して弁別可能なレベル差を有する値であることを特徴とする請求項２に記載の磁気転写用マスタ担体。
【請求項４】
複数のプリフォーマット情報書込領域にプリフォーマット情報が書き込まれ、各プリフォーマット情報書込領域間にデータ領域が形成される磁気記録媒体に密着され、転写用磁界が印加されたときプリフォーマット情報を対応する第１凹凸形状によって前記プリフォーマット情報書込領域に磁気転写する磁気転写用マスタ担体において、前記データ領域と対面する領域に第２の凹凸形状を形成して前記密着時に該第２の凹凸形状で前記磁気記録媒体の前記データ領域を支持する構成にすると共に、前記第１の凹凸形状と前記第２の凹凸形状とが
０．００５≦（ｄ２／ｄ１）・（Ｌ２／Ｌ１）≦０．５
ここで、Ｌ１：第１の凹凸形状の凸部最短長寸法
ｄ１：第１の凹凸形状の深さ寸法
Ｌ２：第２の凹凸形状の凸部最短長寸法
ｄ２：第２の凹凸形状の深さ寸法
を満たす関係としたことを特徴とする磁気転写用マスタ担体。
【請求項５】
表面にスパッタカーボンまたはダイヤモンドライクカーボンを主成分とする硬質保護層を設けたことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の磁気転写用マスタ担体。
【請求項６】
最表面に前記磁気記録媒体で使用される潤滑剤と同じ潤滑剤の層が形成されることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の磁気転写用マスタ担体。
【請求項７】
前記データ領域に対面する領域に設けられた前記凹凸形状が前記磁気記録媒体のガードバンドに対面する領域にも設けられることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の磁気転写用マスタ担体。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれかの磁気転写用マスタ担体を用いて前記プリフォーマット情報が転写されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はハードディスクやフレキシブルディスク等の磁気記録媒体をプリフォーマットする磁気転写用マスタ担体に係り、特に、磁気記録媒体の表面全面で信号抜けを起こすことなく多数の磁気記録媒体に対して磁気転写を繰り返すことができる磁気転写用マスタ担体とこの磁気転写用マスタ担体によりプリフォーマットされた磁気記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
高密度磁気記録媒体であるハードディスクやフレキシブルディスク等の磁気ディスクを製造し出荷する場合、磁気ディスクをプリフォーマットする必要がある。プリフォーマットとは、トラックのアドレス情報やトラック位置決め用サーボ情報等（以下、プリフォーマット情報という。）を磁気ディスク表面の所定箇所に書き込む処理であり、プリフォーマット情報は、図８に示す磁気ディスク１の表面に放射状に設けた複数のプリフォーマット情報書込領域２に書き込まれる。尚、プリフォーマット情報書込領域はプリサーボ部とも云われる。
【０００３】
プリフォーマット情報を磁気ディスク１の表面に書き込む場合、従来は、磁気ディスク１のトラック方向３に磁気ヘッドを走査しながらデジタル信号でなるプリフォーマット情報を１ビットづつ書き込んでいた。
【０００４】
しかし、この書込には時間がかかると共に、磁気ヘッドの位置決め精度の誤差が大きいという問題がある。このため近年では、下記特許文献１，２，３に記載されているように、磁性体でなる磁気転写用マスタ担体５（図８）のプリフォーマット情報形成領域６（磁気ディスク１のプリフォーマット情報書込領域２に対応）にプリフォーマット情報に対応した凹凸形状を形成しておき、この磁気転写用マスタ担体５を磁気ディスク１に密着させ（図８で、軸Ａを中心として磁気転写用マスタ担体５を矢印Ｂ方向に磁気ディスク１に重ね合わせる。図８では、磁気ディスク１及び磁気転写用マスタ担体５はいずれも密着させる面側を表示している。）て転写用磁界を印加することで、凹凸形状に対応する磁化情報（プリフォーマット情報）を磁気ディスク１の領域２に転写する様にしている。
【０００５】
尚、説明の都合上、領域２にプリフォーマット情報を転写すると述べたが、プリフォーマット情報を磁気ディスク１に書き込む前に磁気ディスク１側にプリフォーマット情報書込領域２を設けるのではなく、プリフォーマット情報が書き込まれたとき、プリフォーマット情報が書き込まれた領域がプリフォーマット情報書込領域２となり、この領域２間がデータ領域４となる。
【特許文献１】特開昭６３―１８３６２３号公報
【特許文献２】特開平１０―４０５４４号公報
【特許文献３】特開平１０―２６９５６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図９は、図８に示す磁気転写用マスタ担体５の表面のうち、破線で囲ったＣ部分の拡大表面模式図である。磁気転写用マスタ担体５のプリフォーマット情報形成領域６には、プリフォーマット情報に対応する凹凸形状８が形成されており、この領域６に挟まれた領域７、即ち、磁気ディスク１のプリフォーマット情報書込領域２間のデータ領域４に対応する領域７は、図示の例では全凹形状となっている。
【０００７】
即ち、磁気転写用マスタ担体５を磁気ディスク１に密着させてプリフォーマット情報を転写するに際して、両者は、領域６で接触し、領域７では離間した状態となる。
【０００８】
ディスク全面に対して領域６（領域２）の占める割合は１０％程度であるため、磁気転写用マスタ担体５を磁気ディスク１に密着させたときの密着荷重は、この１０％の領域に集中することになる。このため、１枚の磁気転写用マスタ担体５で多数枚の磁気ディスク１にプリフォーマット情報の転写を繰り返すと、剛体でなる磁気転写用マスタ担体５でも若干の湾曲が生じてしまい、磁気転写用マスタ担体５の領域６が磁気ディスク１から浮いた箇所で磁気転写不良が発生し、プリフォーマット情報の信号抜けが生じてしまうという問題がある。
【０００９】
更に、磁気転写時に印加する転写用磁界によって、磁気ディスク１のデータ領域４にランダムなノイズ信号が書き込まれてしまうという問題もある。磁気ディスク１をプリフォーマットした後は、トラック方向に磁気ヘッドを走査して磁気を検出する検査を行うが、理想的なプリフォーマット後には、図１０に実線で示す様に、プリフォーマット情報書込領域２の走査時には所定振幅の信号１０が検出されるのに対してデータ領域４の走査時には信号“０”が検出される。しかし、データ領域４に図１０に点線で示すランダムなノイズ信号が書き込まれると、プリフォーマット情報書込領域２とデータ領域４の境目が不明瞭となり、検査不良になってしまう。
【００１０】
そこで、領域７を全凸形状にすると、今度は、磁気転写用マスタ担体５を磁気ディスク１に密着させるときの両者間の空気を逃がす隙間がなくなり、両者間にエア溜まりが生じてしまう。このエア溜まりは、面積的に平方センチメートルオーダで発生し、広い面積での磁気転写不良すなわち信号抜けが発生してしまう。
【００１１】
これに対し、領域７を領域６と同様の凹凸形状とすることで、領域７を全凸形状または全凹形状とすることによる不具合を回避することができる。しかし、今度は、磁気ディスク１のデータ領域４にも領域７の凹凸形状に応じたデータが書き込まれてしまうため、図１０で説明したと同様に、プリフォーマット情報書込領域２とデータ領域４との境目が検出できなくなってしまうという問題がある。
【００１２】
本発明の目的は、磁気転写用マスタ担体で磁気転写を繰り返しても信号抜けが生じることが無く、しかも、プリフォーマット後の検査でデータ領域をプリフォーマット情報書込領域と容易に識別できる磁気転写用マスタ担体とこの磁気転写用マスタ担体によってプリフォーマットされた磁気記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の磁気転写用マスタ担体は、複数のプリフォーマット情報書込領域にプリフォーマット情報が書き込まれ、各プリフォーマット情報書込領域間にデータ領域が形成される磁気記録媒体に密着され、転写用磁界が印加されたときプリフォーマット情報を前記プリフォーマット情報書込領域に磁気転写する磁気転写用マスタ担体において、〔データ領域信号長／プリサーボ領域信号長〕＜１の範囲にあり、前記データ領域と対面する領域に前記転写用磁界の吸い込みが所定量以下となる凹凸形状を形成し、前記密着時に該凹凸形状で前記磁気記録媒体の前記データ領域を支持する構成としたことを特徴とする。
【００１４】
この構成により、磁気記録媒体が磁気転写用マスタ担体に密着されたときデータ領域が磁気転写用マスタ担体から浮いてしまうことがなくなるため、磁気転写が繰り返されても磁気転写用マスタ担体が変形することがなくなる。また、データ領域に対面する凹凸形状による隙間からエアーが抜けるため、密着時にエアー溜まりが生じることもない。更に、データ領域と凹凸形状とが密着するため、データ領域に書き込まれるノイズを低レベルにすることができる。
【００１５】
本発明の磁気転写用マスタ担体の前記所定量は、前記転写用磁界の吸い込みによって前記データ領域に書き込まれる磁気信号の検出レベルが所定値以下となる量であることを特徴とする。
【００１６】
この構成により、データ領域とプリフォーマット情報書込領域（プリサーボ部）の各磁気信号の区別が容易となる。また、データ部に記録する信号をプリサーボ部と同様なビット長に設定すると、サーボ信号においてはデータ部を信号部と誤検出する可能性が高い。加えて、長ビット長信号を記録すると、プリサーボ部よりもデータ部出力が高くなり、誤検出の割合が高くなる。よって、データ部に記録する信号はプリサーボ部のものよりも短く、〔データ部信号長／プリサーボ部信号長〕＜１の範囲にある必要がある。
【００１７】
本発明の磁気転写用マスタ担体の前記所定値は、前記プリフォーマット情報書込領域に転写された前記プリフォーマット情報の磁気信号の検出レベルに対して弁別可能なレベル差を有する値であることを特徴とする。
【００１８】
この構成により、プリフォーマット情報書込領域に書き込まれたプリフォーマット情報とデータ領域の信号とを容易に弁別可能となる。
【００１９】
本発明の磁気転写用マスタ担体は、複数のプリフォーマット情報書込領域にプリフォーマット情報が書き込まれ、各プリフォーマット情報書込領域間にデータ領域が形成される磁気記録媒体に密着され、転写用磁界が印加されたときプリフォーマット情報を対応する第１凹凸形状によって前記プリフォーマット情報書込領域に磁気転写する磁気転写用マスタ担体において、前記データ領域と対面する領域に第２の凹凸形状を形成して前記密着時に該第２の凹凸形状で前記磁気記録媒体の前記データ領域を支持する構成にすると共に、前記第１の凹凸形状と前記第２の凹凸形状とが
０．００５≦（ｄ２／ｄ１）・（Ｌ２／Ｌ１）≦０．５
ここで、Ｌ１：第１の凹凸形状の凸部最短長寸法
ｄ１：第１の凹凸形状の深さ寸法
Ｌ２：第２の凹凸形状の凸部最短長寸法
ｄ２：第２の凹凸形状の深さ寸法
を満たす関係としたことを特徴とする。
【００２０】
この構成により、磁気記録媒体が磁気転写用マスタ担体に密着されたときデータ領域が磁気転写用マスタ担体から浮いてしまうことがなくなるため、磁気転写が繰り返されても磁気転写用マスタ担体が変形することがなくなる。また、データ領域に対面する第２の凹凸形状による隙間からエアーが抜けるため、密着時にエアー溜まりが生じることもない。更に、データ領域と第２の凹凸形状とが密着するため、データ領域に書き込まれるノイズを低レベルにすることができる。
【００２１】
本発明の磁気転写用マスタ担体は、表面にスパッタカーボンまたはダイヤモンドライクカーボンを主成分とする硬質保護層を設けたことを特徴とする。
【００２２】
この構成により、表面のキズや摩耗を抑制することができる。
【００２３】
本発明の磁気転写用マスタ担体は、最表面に前記磁気記録媒体で使用される潤滑剤と同じ潤滑剤の層が形成されることを特徴とする。
【００２４】
この構成により、磁気記録媒体との接触過程で生じるずれを補正する際の摩擦による傷の発生などが更に抑制され、耐久性をより向上させることができる。
【００２５】
本発明の磁気転写用マスタ担体は、前記データ領域に対面する領域に設けられた前記凹凸形状が前記磁気記録媒体のガードバンドに対面する領域にも設けられることを特徴とする。
【００２６】
この構成により、転写時の密着性と平面性を更に高めることができる。
【００２７】
本発明の磁気記録媒体は、上記のいずれかの磁気転写用マスタ担体を用いて前記プリフォーマット情報が転写されたことを特徴とする。
【００２８】
この構成により、高精度のプリフォーマット情報が書き込まれた磁気記録媒体が提供できる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、磁気記録媒体が磁気転写用マスタ担体に密着されたときデータ領域が磁気転写用マスタ担体から浮いてしまうことがなくなるため、磁気転写が繰り返されても磁気転写用マスタ担体が変形することがなくなる。また、データ領域に対面する凹凸形状による隙間からエアーが抜けるため、密着時にエアー溜まりが生じることもない。更に、データ領域と凹凸形状とが密着するため、データ領域に書き込まれるノイズを低レベルにすることができる。
【００３０】
このため、１枚の磁気転写用マスタ担体でプリフォーマットできる磁気記録媒体の数を増やすことができ、磁気記録媒体を低コストで製造可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００３２】
図１は、本発明の一実施形態に係る磁気転写用マスタ担体の表面模式図である。この磁気転写用マスタ担体２０は円盤状に形成され、その表面側（磁気ディスク１と密着する面側）には、磁気ディスク１のプリフォーマット情報書込領域２に対応する複数本のプリフォーマット情報形成領域２１が放射状に設けられており、このプリフォーマット情報形成領域２１に、従来と同様に、プリフォーマット情報に対応した凹凸形状が形成される。領域２１間は、磁気ディスク１（図８）のデータ領域４に対面する領域２２となる。また、磁気転写用マスタ担体２０の表面には、軟磁性層が設けられる。
【００３３】
磁気転写用マスタ担体２０の基板としては、ニッケル，シリコン，石英板，ガラス，アルミニウム，セラミックス，合成樹脂等が用いられる。表面に設ける軟磁性層の磁性材料としては、Ｃｏ，Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ，ＣｏＮｉＺｒ，ＣｏＮｂＴａＺｒ等），Ｆｅ，Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ，ＦｅＣｏＮｉ，ＦｅＮｉＭｏ，ＦｅＡｌＳｉ，ＦｅＡｌ，ＦｅＴａＮ），Ｎｉ，Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）を用いる。特に、ＦｅＣｏ，ＦｅＣｏＮｉを用いるのが好ましい。
【００３４】
なお、軟磁性層の代わりに、半硬質磁性の層を設けてもよい。軟磁性もしくは半硬質磁性等の保磁力の小さい磁性層を磁気転写用マスタ担体２０の表面に設けることで、より良好な磁気転写を行うことが可能となる。
【００３５】
磁気転写用マスタ担体２０の表面に配される磁性層は、磁気転写用マスタ担体２０の基板が有する飽和磁化よりも高い飽和磁化値を有する材料とするのが好ましい。
【００３６】
図２は、図１の円弧線II―IIに沿う磁気転写用マスタ担体２０の断面模式図である。本実施形態の磁気転写用マスタ担体２０では、プリフォーマット情報形成領域２１にプリフォーマット情報に応じた凹凸形状２５を設ける他に、領域２１に挟まれた領域２２の全域表面にも凹凸形状２６を設ける。尚、図２では、磁気転写用マスタ担体２０の表面に設けた磁性層の断面図示は省略している。
【００３７】
磁気ディスク１のデータ領域４に対面する磁気転写用マスタ担体２０の領域２２に設ける凹凸形状２６は、プリフォーマット情報形成領域２１に設ける凹凸形状よりも小さい形状とし、両凹凸形状２５，２６の表面は同一面としている。
【００３８】
プリフォーマット情報に対応する凹凸形状２５の凸部最短長寸法をＬ１、凹凸形状２５の深さ寸法をｄ１とし、凹凸形状２６の凸部最短長寸法をＬ２、凹凸形状２６の深さ寸法をｄ２としたとき、本実施形態における磁気転写用マスタ担体２０では、凹凸形状２５，２６の寸法が
【００３９】
０．００５≦（ｄ２／ｄ１）・（Ｌ２／Ｌ１）≦０．５      （１）
を満たすようにする。
【００４０】
磁気転写用マスタ担体２０の凹凸形状２５，２６は、スタンパー法、フォトリソグラフィー法等を用いて形成することができる。凹凸形状２５はプリフォーマット情報に応じた凹凸パターンであるが、データ領域４（領域２２）に対応する微小な凹凸形状２６は、単なる凹凸の繰り返しでもよく、また、ランダムな凹凸パターンでもよい。凹凸形状２５，２６が形成された磁気転写用マスタ担体２０の原盤表面に軟磁性層（あるいは半硬質磁性層）を形成し、磁気転写用マスタ担体２０とする。
【００４１】
プリフォーマット情報に対応する凹凸形状２５の凸部の高さ（凹凸パターンの深さ）は、５０〜８００ｎｍの範囲が好ましく、より好ましくは８０〜６００ｎｍがよい。凹凸形状２５がサンプルサーボ信号である場合は、円周方向よりも半径方向に長い矩形状の凸部となる。具体的には、半径方向の長さは０．０５〜２０μｍ、円周方向は０．０５〜５μｍが好ましく、この範囲で半径方向の方が長い形状となる値を選ぶことがサーボ信号の情報を担持するパターンとして好ましい。凹凸形状２５の大きさは上記の様に磁気転写に適した大きさに形成されるが、微小な凹凸形状２６の大きさは、凹凸形状２５の寸法に対して上記の（１）式の関係となるように形成される。
【００４２】
磁気転写用マスタ担体２０の表面に軟磁性層あるいは半硬質磁性層の形成するには、磁性材料を真空蒸着法，スパッタリング法，イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などを用いて行う。プリフォーマット情報に対応する凹凸形状２５の凸部表面に設ける軟磁性層の厚みは、５０〜５００ｎｍの範囲が良好な磁気転写のために好ましく、さらに好ましくは８０〜３００ｎｍとする。
【００４３】
尚、凹凸形状２５，２６の各凸部表面の軟磁性層（あるいは半硬質磁性層）の上に、５〜３０ｎｍのスパッタカーボンやダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）を主成分とする硬質保護膜を設けるのが好ましい。更に、潤滑剤層を設けても良い。この潤滑剤は、磁気ディスク１で使用される潤滑剤とするのがよい。潤滑剤を設けることにより、磁気ディスク１との接触過程で生じるずれを補正する際の、摩擦による傷の発生などを抑制し、耐久性をより向上させることができる。また、表面の磁性層と保護膜の間に、Ｓｉ等の密着強化層を設けてもよい。
【００４４】
次に、上述した実施形態でなる磁気転写用マスタ担体を用いて磁気ディスク１にプリフォーマット情報を転写する方法を説明する。
【００４５】
磁気転写用マスタ担体２０のスレーブ媒体となる磁気ディスク１は、両面または片面に磁気記録層が形成されたハードディスク，フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体である。ここでは、片面に磁気記録層が形成された例を説明するが、両面でも磁気転写は同様に行うことができる。
【００４６】
図３は、本実施形態に係る磁気転写用マスタ担体２０の表面要部断面図である。上述したように、磁気転写用マスタ担体２０の表面には、プリフォーマット情報に対応した凹凸形状２５と、これに連続する微小な凹凸形状２６が形成され、夫々の凹凸形状２５，２６の表面側には磁性層２０ａが形成される。
【００４７】
図４は、プリフォーマットを行う磁気ディスク１の要部断面図である。磁気ディスク１の表面には磁気記録面１ａが形成されており、これに初期直流磁化Ｈinを印加することで、磁気記録面１ａは一方向に磁化される。
【００４８】
図５は、本実施形態に係る磁気転写用マスタ担体２０の表面に図４に示す磁気ディスク１を密着させた状態を示し、この密着した状態で、図４で述べた初期直流磁化Ｈinの方向（トラック方向）と略反対方向に転写用磁界Ｈduを印加する。
【００４９】
これにより、磁気ディスク１の磁気記録面１ａにおける磁化方向のうち、磁気転写用マスタ担体２０の凹凸形状の凸凸間に接する部分の磁化方向が転写用磁界Ｈdu方向（初期磁化Ｈinと逆方向）となり、図６に示す様に、磁気ディスク１のプリフォーマット情報書込領域２の磁気記録面１ａの磁化方向は、凹凸形状２５に応じた磁化方向、即ち、プリフォーマット情報に応じた磁化方向となる。
【００５０】
この磁気転写において、微小な凹凸形状２６に接した磁気ディスク１のデータ領域４においても、磁気記録面１ａの磁化方向は凹凸形状２６に応じたパターンとなる。しかし、本実施形態では、上記（１）式を満たす微小な凹凸形状２６としたため、凹凸形状２６の様に微小ビット，浅パターンのサブミクロン微細信号を磁気ディスク１の磁気記録面１ａに記録するのに十分な磁界吸い込みが磁気転写時に発生せず、このため、データ領域４には実質的に信号が記録されることはない。
【００５１】
従って、プリフォーマット後に磁気ヘッドで磁気ディスク１をトラック方向に走査して得られる信号は、図７に示す様に、プリフォーマット情報書込領域２とデータ領域４との境目がはっきり弁別できるレベル差のある信号となる。
【００５２】
このように、本実施形態に係る磁気転写用マスタ担体２０では、磁気転写時に磁気ディスク１と磁気転写用マスタ担体２０を密着したとき、ディスク全面で平均的に密着できるため、磁気転写を繰り返しても磁気転写用マスタ担体２０が変形することがなく、更に、エアー抜けの隙間が凹凸形状２６で確保されるため密着時にエアー溜まりが生じずに、信号抜けが生じることがなくなる。
【００５３】
また、データ領域４には磁気転写時に微小な凹凸形状２６が接触するため、データ領域４に図１０に点線で示すノイズ信号が書き込まれることがなくなり、データ領域４のノイズレベルを低減可能となる。
【００５４】
尚、上述した実施形態では、磁気転写用マスタ担体２０のうち、磁気ディスク１のデータ領域４に接する領域２２に微小な凹凸形状を設ける例について述べたが、他の領域にも微小な凹凸形状を設けることが可能である。例えば、磁気ディスク１の半径方向の適宜箇所には、トラック間にガードバンドが設けられるが、磁気転写用マスタ担体２０のうちこのガードバンドに対応する領域に微小凹凸形状を設けることで、磁気転写用マスタ担体２０と磁気ディスク１との密着時の平面度を更に保つことが可能になると共に、ガードバンドのノイズ低減を図ることができる。
【実施例１】
【００５５】
以下、具体的実施例とその評価結果を示す。
【００５６】
中心から半径方向２０ｍｍ〜４０ｍｍの位置までの半径域に、角度１０度毎かつ１度幅にプリサーボ信号部を形成した。プリサーボ部パターンはビット長０．１μｍ，トラック幅１．０μｍ，トラックピッチ１．１μｍ，溝深さ０．１μｍである放射状ラインである。
【００５７】
データ部パターンはプリサーボパターン角度領域以外に形成し、ビット長０．０５μｍ，トラック幅１．０μｍ，トラックピッチ１．１μｍ，溝深さ０．０５μｍの放射パターンである。尚、この等のパラメータ値を持つ実施例を実施例１とし、他のパラメータ値を持つ実施例を実施例２，３，…し、各実施例の比較結果を後述の表１に示す。
【００５８】
マスター担体の作成には、スタンパー作成法を用いた。スタンパーはＮｉ製であり、磁気吸い込み効果を上げる軟磁性層の役目を果たす。Ｎｉ製マスタ担体上に軟磁性層ＦｅＣｏ３０ａｔ％層を２５℃で作成した。Ａｒスパッタ圧は０．１５Ｐａ（１．０８ｍＴｏｒｒ）とした。投入電力は２．８０Ｗ／ｃｍ2とした。
【００５９】
真空製膜装置（芝浦メカトロニクス：Ｓ―５０Ｓスパッタ装置）において、室温にて１．３３×１０-5Ｐａ（１．０×１０-7Ｔｏｒｒ）まで減圧した後に、アルゴンを導入して０．４Ｐａ（３．０ｍＴｏｒｒ）とした条件下で、ガラス板を２００℃に加熱し、ＣｒＴｉ３０ｎｍ，ＣｏＣｒＰｔ３０ｎｍ，Ｍｓ：５．７Ｔ（４５００ガウス），保磁力Ｈｃ：１９９ｋＡ／ｍ（２５００エルステッド）の３．５インチ型の円盤状磁気記録媒体を作成し、面内スレーブ媒体として使用した。
【００６０】
次の表１は、上述したビット長等の各パラメータ値を持つ各実施例の比較結果を示す表である。
【００６１】
【表１】
2005032372.tif 000003
この表１における評価は次の様にして行っている。
【００６２】
〔電磁変換特性評価方法〕
スレーブ媒体を磁気変換特性測定装置（協同電子製ＳＳ―６０）に設置し（ヘッド：再生ヘッドギャップ０．１１μｍ，再生トラック幅０．３１μｍ，記録ヘッドギャップ０．１９μｍ，記録トラック幅０．４０μｍであるＧＭＲヘッド）、半径４０ｍｍでの線速度を１０ｍ／ｓｅｃに設定する。
【００６３】
その後、２０，３０，４０ｍｍの各半径位置で、プリサーボ部，データ部での平均出力（ＴＡＡ）を測定する（プリサーボ部：ＴＡＡ―ｐｒｅ、データ部：ＴＡＡ―ｄａｔａ）。全ての半径位置で〔ＴＡＡ―ｄａｔａ／ＴＡＡ―ｐｒｅ〕が０．３５未満であれば“○”、０．３５以上０．４未満であれば“△”、０．４以上であれば“×”と判断した。
【００６４】
〔マスタ担体・スレーブ媒体耐久性評価方法〕
マスタ担体とスレーブ媒体間の接触圧力は４．９×１０-3Ｐａ（５．０ｋｇｆ／ｃｍ2）とし、未接触・隔離状態、および、１００００接触・剥離を繰り返した後、磁気転写により信号記録を行う。転写済み媒体を電子変換特性と同条件で、２０〜４０ｍｍの半径範囲を測定ピッチ１μｍでプリサーボ部、データ部の各信号出力を測定する。接触・剥離処理実施の出力が、処理前を基準としたときの９０％以上であれば“○”、９０％未満７５％以上であれば“△”、７５％未満であれば“×”と判断した。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明に係る磁気転写用マスタ担体はスレーブ担体に対して繰り返し磁気転写を行っても変形することがなく、信号抜けが発生することが防止されるため、磁気ディスクをプリフォーマットする磁気転写用マスタ担体として有用である。また、磁気ディスクを大量且つ精度良くプリフォーマットするのに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気転写用マスタ担体の表面模式図である。
【図２】図１に示す円弧線II―IIの断面模式図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る磁気転写用マスタ担体の要部断面図である。
【図４】図３に示す磁気転写用マスタ担体でプリフォーマットされる磁気ディスク（スレーブ担体）の要部断面図である。
【図５】図３の磁気転写用マスタ担体と図４の磁気ディスクを密着させて磁気転写を行うときの説明図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る磁気転写用マスタ担体でプリフォーマットされた後の磁気ディスクの要部断面図である。
【図７】図６に示す磁気ディスクを走査して得られた検査信号の波形図である。
【図８】磁気転写用マスタ担体とスレーブ担体である磁気ディスクの説明図である。
【図９】図８に示す点線領域Ｃの拡大表面模式図である。
【図１０】プリフォーマット後の磁気ディスクを走査して得られる検査信号の波形図である。
【符号の説明】
【００６７】
１  磁気ディスク（スレーブ媒体）
１ａ  磁気記録層
２  プリフォーマット情報書込領域（プリサーボ部）
３  トラック方向
４  データ領域
５，２０  磁気転写用マスタ担体
２０ａ  表面の磁性層
６，２１  プリフォーマット情報形成領域
７，２２  磁気ディスク１のデータ領域に対応する領域
２５  プリフォーマット情報に応じた凹凸形状（第１の凹凸形状）
２６  微小な凹凸形状（第２の凹凸形状）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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