(57)【要約】【課題】  複数のインク（機能液）を使用している機能液滴吐出ヘッドに対する吸引を効率的に行うことができる機能液滴吐出ヘッドの吸引方法および吸引装置を備える液滴吐出装置を提供することである。【解決手段】  エジェクタ９６には、圧縮エア供給部９９９から開閉バルブ９７が開かれると圧縮空気が供給される。供給された圧縮空気によってチューブ９４ａに真空（負圧）が発生し、機能液回収タンク９２ａに対して機能液６１１ａを引っ張り込む力となる。この真空力により、連結されているチューブ９３ａ、排液連結流路８８８、開閉バルブ２０１ａ、排液チューブ９１ａ、吸引ユニット８３に備えられているキャップ８７および機能液吐出ヘッド５１１ａのノズル５２の順に機能液１１が吸引され、機能液吐出ヘッド５１１ａのノズル５２での機能液１１の詰りを解消する。【選択図】      図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数種の機能液と、
前記複数種の機能液を吐出する複数の機能液吐出ヘッドと、
前記複数の機能液吐出ヘッドに対応して設けられた複数のキャップと、
前記複数のキャップに連通した複数のチューブと、
前記複数のチューブ毎に配設された開閉バルブと、
前記開閉バルブの下流側で前記機能液の種類毎に少なくとも１つに連結された排液連結流路と、
前記排液連結流路毎の下流側に配設されたそれぞれ１つの開閉バルブと、
前記複数の機能液に対向して配設されている複数の機能液回収タンクと、
前記複数の機能液回収タンクの下流側に、前記キャップでの吸引力を発生する１つの吸引力発生部と
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記機能液吐出ヘッドに前記キャップを接触または近接させた状態で前記吸引力発生部を作動し、その吸引力により前記機能液吐出ヘッドから流体を吸引するキャッピング吸引動作を実行可能な液滴吐出装置であって、前記キャッピング吸引動作中に前記機能液吐出ヘッドに作用する吸引力が経時的に変化するように制御する吸引力制御部を設けた請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記吸引力発生部は、エジェクタで構成されている請求項１または２のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記吸引力制御部は、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を調節することにより、前記エジェクタの吸引力を制御する請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記吸引力制御部は、前記エジェクタに供給する作動流体の流路を複数に分岐させた分岐流路と、前記複数の分岐流路から選択した１つの分岐流路に作動流体を流すように流路を切り替える流路切り替え弁と、前記各分岐流路に設置され、作動流体の流量を前記各分岐流路間で互いに異なる流量に調整する調整弁と、前記流路切り替え弁を切り替えることにより、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を変化させる請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記キャッピング吸引動作によって吸引した前記機能液を貯留する機能液回収タンクを有し、前記吸引力発生部は、前記機能液回収タンクの内部を負圧にするように作動することにより、前記キャップでの吸引力を発生する請求項１〜５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記キャップへの吸引流路内の圧力を検出する圧力検出部をさらに備える請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
複数種の機能液と、
前記複数種の機能液を吐出する複数の機能液吐出ヘッドと、
前記複数の機能液吐出ヘッドに対応して設けられた複数のキャップと、
前記複数のキャップに連通した複数のチューブと、
前記複数のチューブ毎に配設された開閉バルブと、
前記開閉バルブの下流側で前記機能液の種類毎に少なくとも１つに連結された排液連結流路と、
前記排液連結流路毎の下流側に配設されている複数の機能液回収タンクと、
前記複数の機能液回収タンクの下流側に配設された開閉バルブと、
前記開閉バルブの下流側に前記キャップでの吸引力を発生する１つの吸引力発生部と
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
前記機能液回収タンク毎に連通して配設された大気開放バルブを開口して、前記キャップから前記機能液回収タンクまでの経路の圧力を大気圧にしてから、前記機能液吐出ヘッドと前記キャップとが離脱される請求項８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
複数種の機能液と、
前記複数種の機能液に対応して設けられた複数のタンクと、
前記複数のタンク毎に連通して配設された大気開放バルブと、
前記大気開放バルブを開口してから、キャップ吸引動作を行う制御部と
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液吐出ヘッドにキャップを密着させ、キャップを介して機能液滴吐出ヘッドを吸引する機能液滴吐出ヘッドの吸引方法および吸引装置、並びに液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタのインクジェット方式（液滴吐出方式）を応用して、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用する産業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）が提案されている。
【０００３】
従来、このようなインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）では、インクポンプに接続されたヘッドキャップ（キャップ）を印刷ヘッド（機能液滴吐出ヘッド）に密着させ、インクポンプを駆動することにより、ヘッドキャップを介して印刷ヘッドの全ノズルからインクの吸引が行われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、インクジェット式記録装置として、キャップ吸引に吸引ポンプを用いて、吸引する方法が行われている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、インクジェット式記録装置及び記録方法として、ノズル詰りに対して吸引による回復について示されている（例えば、特許文献３参照）。
【０００６】
また、特許文献４には、吐出部、吐出部を用いたインクジェットカートリッジ、インクジェットプリント装置および方法ならびにプリント物として、異なるインクに対して、インクが混合しないように吸引ポンプをそれぞれに配設することが示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−１２７４５４号公報（第２〜３頁、第７〜８頁、図４）
【特許文献２】特開２００１−３２２２９６号公報（第４頁、図２および図３）
【特許文献３】特開平１０−１５７１５１号公報（第１３〜１６頁、図９〜図１１）
【特許文献４】特開平８−２８１９６８号公報（第３１〜３３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１で示されたインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）においては、すべてのヘッドをすべてのキャップで同時吸引すると、初めにノズル詰りが解消したヘッドの流路抵抗が小さくなり、他のヘッドを吸引する吸引力が低下し、他のヘッドのノズル詰りを解消することができなくなる。
【０００９】
また、特許文献２および特許文献３で示されたインクジェット式記録装置およびインクジェット式記録装置及び記録方法においては、キャップ吸引に吸引ポンプを用いているが、ポンプを用いた吸引方法では気泡がポンプ内に混入してしまい、うまくインクを吸引できない。
【００１０】
また、特許文献４で示された吐出部、吐出部を用いたインクジェットカートリッジ、インクジェットプリント装置および方法ならびにプリント物においては、異なるインクに対して、異なるインクが混合しないように吸引ポンプを２台使用していて、それぞれのポンプを別々に制御しなければならず、装置として複雑になっていた。
【００１１】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、複数のインク（機能液）を使用している機能液吐出ヘッドに対する吸引を効率的に行うことができる機能液吐出ヘッドの吸引方法および吸引装置を備える液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために、本発明は、複数種の機能液と、前記複数種の機能液を吐出する複数の機能液吐出ヘッドと、前記複数の機能液吐出ヘッドに対応して設けられた複数のキャップと、前記複数のキャップに連通した複数のチューブと、前記複数のチューブ毎に配設された開閉バルブと、前記開閉バルブを前記機能液の種類毎に少なくとも１つに連結された排液連結流路と、前記排液連結流路毎の下流側に配設されたそれぞれ１つの開閉バルブと、前記複数の機能液に対向して配設されている複数の機能液回収タンクと、前記複数の機能液回収タンクの下流側に、前記キャップでの吸引力を発生する１つの吸引力発生部とを備えたことを要旨とする。
【００１３】
この発明によれば、複数種の機能液の種類毎に、機能液吐出ヘッド〜機能液回収タンクの流路をチューブと排液連結流路とで連結し、排液連結流路と機能液回収タンクとの間に１つの開閉バルブを配設し、機能液の種類毎に配設されている機能液回収タンクに連通されている。複数の機能液回収タンクの下流側には、１つの吸引力発生部が配設されている。従って、１つの吸引力発生部によってすべての機能液吐出ヘッドに対してキャップ吸引動作をするようにして、吸引を効率的に行うことができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００１４】
また、本発明では、前記機能液吐出ヘッドに前記キャップを接触または近接させた状態で前記吸引力発生部を作動し、その吸引力により前記機能液吐出ヘッドから流体を吸引するキャッピング吸引動作を実行可能な液滴吐出装置であって、前記キャッピング吸引動作中に前記機能液吐出ヘッドに作用する吸引力が経時的に変化するように制御する吸引力制御部を設けたことを要旨とする。
【００１５】
この発明によれば、機能液吐出ヘッドのノズル付近に発生している気泡あるいは固形状の詰ったものに対して、キャップ吸引動作における吸引する強さを変化させて吸引することにより気泡あるいは固形状の詰ったものを除去する。従って、機能液吐出ヘッドに対する吸引を効率的に行うことができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００１６】
また、本発明では、前記吸引力発生部は、エジェクタで構成されていることを要旨とする。
【００１７】
この発明によれば、吸引力発生部は、エジェクタで構成されているため、機械的に作動する部材が少ない。従って、故障の少ない液滴吐出装置を提供することができる。また、吸引した中に、機能液および気泡が混合しても故障することはない。
【００１８】
また、本発明では、前記吸引力制御部は、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を調節することにより、前記エジェクタの吸引力を制御することを要旨とする。
【００１９】
この発明によれば、吸引力制御部は、エジェクタに供給する作動流体の流量を調節することにより、エジェクタの吸引力を制御することができる。従って、吸引力を作動流体の流量で調節できるため、最適な強さで吸引することができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００２０】
また、本発明では、前記吸引力制御部は、前記エジェクタに供給する作動流体の流路を複数に分岐させた分岐流路と、前記複数の分岐流路から選択した１つの分岐流路に作動流体を流すように流路を切り替える流路切り替え弁と、前記各分岐流路に設置され、作動流体の流量を前記各分岐流路間で互いに異なる流量に調整する調整弁と、前記流路切り替え弁を切り替えることにより、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を変化させることを要旨とする。
【００２１】
この発明によれば、機能液吐出ヘッドのノズル付近に発生している気泡あるいは固形状の詰ったものに対して、キャップ吸引動作における吸引する強さを変化させて吸引することにより気泡あるいは固形状の詰ったものを除去する。従って、機能液吐出ヘッドに対する吸引を効率的に行うことができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００２２】
また、本発明では、前記キャッピング吸引動作によって吸引した前記機能液を貯留する機能液回収タンクを有し、前記吸引力発生部は、前記機能液回収タンクの内部を負圧にするように作動することにより、前記キャップでの吸引力を発生することを要旨とする。
【００２３】
この発明によれば、吸引力発生部によって機能液回収タンク内の圧力を負圧にすることによって、キャップでの吸引力を発生させることができ、また、吸引された機能液は機能液回収タンクに貯留することができる。従って、吸引力発生部は、直接的に機能液を吸引していないため、吸引された機能液は機能液回収タンクに貯留され、機能液に気泡等が混合した場合も安定して機能液を吸引することができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００２４】
また、本発明では、前記キャップへの吸引流路内の圧力を検出する圧力検出部をさらに備えることを要旨とする。
【００２５】
この発明によれば、キャップへの吸引流路内の圧力を検出する圧力検出部を備えることによって、吸引流路内の圧力を検出することができる。従って、キャップ吸引動作時に機能液吐出ヘッドのノズルの破損を防ぐことができ、吸引を効率的に行うことができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００２６】
また、本発明では、複数種の機能液と、前記複数種の機能液を吐出する複数の機能液吐出ヘッドと、前記複数の機能液吐出ヘッドに対応して設けられた複数のキャップと、前記複数のキャップに連通した複数のチューブと、前記複数のチューブ毎に配設された開閉バルブと、前記開閉バルブの下流側で前記機能液の種類毎に少なくとも１つに連結された排液連結流路と、前記排液連結流路毎の下流側に配設されている複数の機能液回収タンクと、前記複数の機能液回収タンクの下流側に配設された開閉バルブと、前記開閉バルブの下流側に前記キャップでの吸引力を発生する１つの吸引力発生部とを備えたことを要旨とする。
【００２７】
この発明によれば、複数種の機能液を複数の機能液吐出ヘッドで吐出している際に、機能液吐出ヘッドのノズルに詰りが生じた場合、キャップ吸引動作が実行される。機能液吐出ヘッドとキャップとが当接して、機能液吐出ヘッドのノズルの詰りを解消する。キャップには連通したチューブがそれぞれ配設され、機能液毎に排液連結流路によってチューブを少なくとも１つに連結し、下流側には機能液回収タンクが配設されている。さらに、機能液回収タンクの下流側には開閉バルブが配設され、複数の機能液回収タンクに対して１つの吸引力発生部と連結している。この１つの吸引力発生部によって、キャップでの吸引力を発生する。従って、簡単な構造でキャップでの吸引ができるため、小さな液滴吐出装置を提供することができる。
【００２８】
また、本発明では、前記機能液回収タンク毎に連通して配設された大気開放バルブを開口して、前記キャップから前記機能液回収タンクまでの経路の圧力を大気圧にしてから、前記機能液吐出ヘッドと前記キャップとが離脱されることを要旨とする。
【００２９】
この発明によれば、キャップ吸引動作が終了して、キャップと機能液吐出ヘッドとが離れる際に、機能液回収タンク毎に連通して配設された大気開放バルブを開口することによって、キャップから機能液回収タンクまでの経路の圧力を大気圧にする。従って、機能液吐出ヘッドのノズルに対して変形を防止することができ、安定した機能液を吐出することができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００３０】
また、本発明では、複数種の機能液と、前記複数種の機能液に対応して設けられた複数のタンクと、前記複数のタンク毎に連通して配設された大気開放バルブと、前記大気開放バルブを開口してから、キャップ吸引動作を行う制御部とを備えたことを要旨とする。
【００３１】
この発明によれば、キャップ吸引動作を行う際に、機能液が貯留されているタンクの内部圧力を、大気開放バルブによって大気圧にすることによって、機能液吐出ヘッドのノズルの変形を防止することができる。従って、機能液吐出ヘッドに対する吸引を効率的にすることができる液滴吐出装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
（実施例１）
【００３３】
以下、本発明の液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施例に基づいて詳細に説明する。
図１は液滴吐出装置１を示す斜視図である。液滴吐出装置１は、複数の種類（複数種）の機能液１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）をそれぞれ保持する複数のタンク部１２（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ）と、チューブ１３（１３ａ，１３ｂ，１３ｃ）と、チューブ１３を介してタンク部１２から機能液１１が供給される吐出走査部２とを備える。吐出走査部２は、複数の機能液吐出ヘッド５１（詳細は、図４に示す）を保持するキャリッジ３と、キャリッジ３の位置を制御する第２位置制御装置４と、被吐出部２１を有する基体１０Ａを保持するステージ５と、ステージ５の位置を制御する第１位置制御装置６と、制御部７と、メンテナンス装置８と、機能液回収装置９とを備えている。タンク部１２とキャリッジ３における複数の機能液吐出ヘッド５１とは、チューブ１３で連結されており、圧縮空気１４によってタンク部１２から複数の機能液吐出ヘッド５１のそれぞれに機能液１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）が供給される。
【００３４】
複数の機能液１１を、キャリッジ３に配設されている複数の機能液吐出ヘッド５１に分配するには、各機能液吐出ヘッド５１が被吐出部２１に対しの、機能液１１の吐出順番および吐出する面積によって決められる。機能液１１が吐出される面積が広い場合は、１つの機能液１１がより多くの機能液吐出ヘッド５１に供給されるようになる。また、キャリッジ３に対して、それぞれの機能液１１が分配される機能液吐出ヘッド５１の配列は、基体１０Ａの種類によっても異なる。
【００３５】
液滴吐出装置１は、基体としての基体１０Ａに対し、例えばインクや、目的とする材料を含む機能液１１をインクジェット方式（液滴吐出方式）により微小な液滴の状態で吐出して所定のパターンを形成（描画）する装置であり、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに用いることができるものである。液滴吐出装置１が対象とする基体１０Ａの素材は、特に限定されず、板状の部材であればいかなるものでもよいが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等を対象とすることができる。
【００３６】
また、本発明で対象とする基体１０Ａは、板状の部材に限らず、底面が平らな部材であればいかなるものでもよい。例えば、本発明は、レンズを基体とし、このレンズに液滴を吐出することにより光学薄膜等のコーティングを形成する液滴吐出装置などにも適用することができる。また、本発明は、比較的大型の基体１０Ａ（例えば、長さ、幅がそれぞれ数十ｃｍ〜数ｍ程度のもの）にも対応することができる比較的大型の液滴吐出装置１に特に好ましく適用することができる。
【００３７】
また、機能液１１は、特に限定されず、以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。例えば、液状の導電性薄膜材料の導電性の異なる複数の機能液１１である。また、電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料としての液状の蛍光材料の発光度合いの異なる複数の機能液１１である。また、有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料としての液状の発光材料の発光色または発光度合いの異なる複数の機能液１１である。また、電気泳動表示装置における泳動体を形成する特性の異なる複数の泳動体材料である。また、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置における蛍光体を形成するための特性が異なる複数の蛍光材料である。また、基体１０Ａの表面にバンク２２を形成するための特性が異なる複数のバンク材料である。また、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する特性が異なる複数の粒子材料である。また、マイクロレンズを形成するための特性が異なる複数のレンズ材料である。また、金属配線を形成するための特性が異なる複数の液状金属材料である。また、フォトリソとしての特性が異なる複数のレジスト材料である。また、光拡散体を形成するための特性が異なる複数の光拡散材料である。およびカラーフィルタ基板を形成するため特性が異なる複数の液状のカラーフィルタ材料である。
【００３８】
タンク部１２は、３個に限定されるものではなく、基体１０Ａの被吐出部２１に必要な種類の機能液１１に対応したタンク部１２を備えている。また、タンク部１２は、機能液１１のほかに洗浄液を備え、バルブ（図示せず）をタンク部１２と機能液吐出ヘッド５１との間に配設して、機能液１１の替わりに洗浄液をタンク部１２から機能液吐出ヘッド５１に供給し、チューブ１３および機能液吐出ヘッド５１の内部を洗浄するようになっている。
【００３９】
基体１０Ａに被吐出部２１を設ける方法は、基体１０Ａの１面に公知のスクリーン印刷技術またはパターニング技術を用いて、機能液１１が収まる複数の区画を製造する。複数の区画に分けている部位の内側部および基体１０Ａのある底面をバンク２２と呼ぶ。また、バンクを形成している境目を境界壁２５と表記する。基体１０Ａの材質はガラス、金属板、セラミックス、およびプラスチック等からなる。機能液１１を基体１０Ａに設けられている複数の区画に均一に塗布するには基体１０Ａの表面を親液化することが好ましい。このため、大気圧下の酸素プラズマ処理またはアルコール系の洗浄液等で処理する。基体１０Ａの表面は親液性を呈するようになる。また、基体１０Ａによっては、部分的に撥液性を持たせ機能液１１が付着することを防ぐために、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理等を施している。なお、基体１０Ａの材質およびバンク２２の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。なお、本明細書では、被吐出部２１を有する基体１０Ａを「受容基板」と表記することもある。
【００４０】
第２位置制御装置４は、制御部７からの信号に応じて、キャリッジ３をＸ軸方向、およびＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って相対位置を変更する。さらに、第２位置制御装置４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでキャリッジ３を回転する機能も有する。本実施例では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）にほぼ平行な方向である。第１位置制御装置６は、制御部７からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ５の相対位置を変更する。さらに、第１位置制御装置６は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ５を回転する機能も有する。なお、本明細書では、第２位置制御装置４および第１位置制御装置６を「走査部」と表記することもある。
【００４１】
ステージ５は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ５は、所定の機能液１１を塗布すべき被吐出部２１を有する基体１０Ａをその平面上に着脱可能に載置、または保持できるように構成されている。
【００４２】
本明細書におけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向は、キャリッジ３およびステージ５のどちらか一方が他方に対して相対位置を変更する方向に一致している。また、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向を規定するＸＹＺ座標系の仮想的な原点は、液滴吐出装置１の基準部分に固定されている。本明細書において、Ｘ座標、Ｙ座標、およびＺ座標とは、このようなＸＹＺ座標系における座標である。なお、上記の仮想的な原点は、ステージ５に固定されていてもよいし、キャリッジ３に固定されていてもよい。本明細書では、相対位置を変更する方向が、Ｙ軸方向とＸ軸方向のどちらでも成立する場合は、第１の方向および第１の方向と直交する第２の方向と表記する。
【００４３】
上述のように、キャリッジ３は第２位置制御装置４によってＸ軸方向に相対位置を変更させられる。一方、ステージ５は第１位置制御装置６によってＹ軸方向に相対位置を変更させられる。つまり、第２位置制御装置４および第１位置制御装置６によって、ステージ５に対する複数の機能液吐出ヘッド５１（図４に示す）の相対位置が変えられる。より具体的には、これらの動作によって、キャリッジ３、複数の機能液吐出ヘッド５１、またはノズル５２（図４に示す）は、ステージ５上で位置決め保持された被吐出部２１に対して、Ｚ軸方向に所定の距離を保ちながら、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に相対位置を変更、すなわち相対的に走査する。ここで、静止した被吐出部２１に対してキャリッジ３がＹ軸方向に相対位置を変更してもよい。そしてキャリッジ３がＹ軸方向に沿って所定の２点間の相対位置を変更する期間内に、静止した被吐出部２１に対してノズル５２から機能液１１を吐出してもよい。「相対位置を変更」または「相対走査」とは、機能液１１を吐出する側（ヘッド側）と、そこからの機能液１１の吐出物が着弾する側（被吐出部側）の少なくとも一方を他方に対して相対位置を変更することを含む。したがって、ステージ５が相対位置を変更している期間内に、機能液吐出ヘッド５１から被吐出部２１に対して機能液１１を吐出することを含む。
【００４４】
さらに、キャリッジ３、複数の機能液吐出ヘッド５１（図４に示す）またはノズル５２（図４に示す）が相対位置を変更するとは、ステージ５、基体１０Ａ、または被吐出部２１に対するこれらの相対位置が変わることである。このため、本明細書では、キャリッジ３、複数の機能液吐出ヘッド５１またはノズル５２が液滴吐出装置１に対して静止して、ステージ５のみが相対位置を変更する場合であっても、キャリッジ３、複数の機能液吐出ヘッド５１またはノズル５２が、ステージ５、基体１０Ａまたは被吐出部２１に対して相対位置を変更すると表記する。また、相対走査または相対位置を変更と、材料の吐出との組み合わせを指して「塗布走査」と表記することもある。
【００４５】
キャリッジ３およびステージ５は上記以外の平行相対位置を変更したりおよび回転の自由度をさらに有している。ただし、本実施例では、上記自由度以外の自由度に関する記載は説明を平易にする目的で省略されている。
【００４６】
制御部７は、機能液１１を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置（図２に示す）から受け取るように構成されている。制御部７の詳細な構成および機能は、図２において説明する。
【００４７】
メンテナンス装置８において、移動台８１上に吐出重量測定ユニット８２、吸引ユニット８３、定期フラッシングユニット８４および吐出検出ユニット８０とが配設されている。移動台８１は、吐出重量測定ユニット８２、吸引ユニット８３、定期フラッシングユニット８４および吐出検出ユニット８０のいずれかのユニットをキャリッジ３に対応するためにＹ軸方向に相対位置を変更して停止する。
【００４８】
吐出重量測定ユニット８２は複数の吐出重量測定部９９（図２に示す）を有し、所定時間内にキャリッジ３の複数の機能液吐出ヘッド５１から吐出された機能液１１の吐出重量を計測し、複数の機能液吐出ヘッド５１からの吐出量が適性か否かを判断するユニットである。
【００４９】
吸引ユニット８３は吐出重量測定ユニット８２で複数の機能液吐出ヘッド５１の吐出状況が正常でないと判断された場合、つまり複数の機能液吐出ヘッド５１のいずれかの機能液吐出ヘッド５１の吐出が少ないまたは無い場合は、吸引ユニット８３が移動台８１によってキャリッジ３の位置に相対位置を変更され、その後、キャリッジ３が吸引ユニット８３とがＺ軸方向に相対位置を変更して、複数の機能液吐出ヘッド５１と吸引ユニット８３が有する複数の吸引部３８（図５に示す）とが接触して吸引され、複数の機能液吐出ヘッド５１のノズル５２（図４に示す）を吸引する。この吸引によって機能液吐出ヘッド５１のノズル５２で生じている機能液１１の詰りを解消する。この吸引する動作のことを「キャッピング吸引動作」と表記する。また、このキャッピング吸引動作は、液滴吐出装置１に新しい機能液１１を充填する場合または、機能液１１を液滴吐出装置１から排出する場合または、液滴吐出装置１の機能液１１の流路を洗浄する場合にも行われる。
【００５０】
複数の機能液吐出ヘッド５１からの吐出停止時間が長くなると吐出方向が乱れたり、吐出量が多くなり過ぎたりまた吐出量が少なくなり過ぎたりする現象が起こり易くなり、機能液１１の吐出が不安定になる傾向にある。このため、定期フラッシングユニット８４は複数の機能液吐出ヘッド５１から定期的または随時に機能液１１を吐出させ機能液吐出ヘッド５１が適正に機能液１１を吐出することができる状態に維持する。
【００５１】
吐出検出ユニット８０は、複数の機能液吐出ヘッド５１が有する複数のノズル５２それぞれから機能液１１が吐出されているか否かを検出する。
【００５２】
機能液吐出ヘッド５１のメンテナンスを実行する場合は、第２位置制御装置４によってキャリッジ３はＸ軸方向にメンテナンス装置８上に相対位置を変更し、所望のユニットがキャリッジ３の位置にくるように移動台８１によって選択されて相対位置を変更されて成される。
【００５３】
機能液回収装置９は、吸引ユニット８３で回収された機能液１１は排液チューブ９１（９１ａ，９１ｂ，９１ｃ）を介して、複数の機能液回収タンク９２（９２ａ，９２ｂ，９２ｃ）に機能液１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）の種類ごとに回収して貯留するようになっている。機能液回収タンク９２に回収し貯留された機能液１１は気泡を取り除く処理等が施されて、再び機能液１１として液滴吐出装置１に供給される。
【００５４】
図２は、液滴吐出装置１の電気ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御部７としてのＣＰＵ（Central Processing Unit）１００と、ＲＯＭ（Read Only Memory）１０１と、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）１０２及びＲＡＭ（Random Access Memory）１０３とを備えている。また、ユーザインタフェイス（以降、ユーザＩ／Ｆという）１０４と、処理部１１０と、メンテナンス装置駆動制御部１１６と、タンク部１２と、ＰＣ（Personal Computer）等の外部情報処理装置１０８とを液滴吐出装置１と接続するＩ／Ｏポート１０７とを有し、これらはデータバス１０９を介してそれぞれ互いに電気的に接続されている。
【００５５】
ＣＰＵ１００がＲＯＭ１０１及びＥＥＰＲＯＭ１０２に記憶された制御プログラムや各種アプリケーションプログラムに基づいて各種動作を実行する。ＥＥＰＲＯＭ１０２は、制御プログラムや各種データを電気的に内容を書き換えることができるＲＯＭである。ＲＡＭ１０３は、処理中のデータやプログラムを格納しており、機能液吐出ヘッド５１と機能液吐出ヘッド５１に供給されている機能液１１の情報を格納しているヘッド位置バッファ１０３ａと機能液１１をどのように吐出するかを格納している吐出データバッファ１０３ｂを備えている。したがって、キャリッジ３に配設されている複数の機能液吐出ヘッド５１のそれぞれにどの種類の機能液１１が供給されているかが記憶されている。液滴吐出装置１の電源を切ると、ＲＡＭ１０３にあるメモリの内容は自動的に消去される。
【００５６】
制御部としてのＣＰＵ１００は、吐出データをＲＡＭ１０３の吐出データバッファ１０３ｂから読み出し処理部１１０に送り、処理部１１０は、送られた吐出データに基づいて被吐出部２１に対するノズル５２の相対位置を示すデータを走査駆動部１１１に与える。走査駆動部１１１はこのデータに応じた駆動信号を第２位置制御装置４としてのステージ制御部１１２および第１位置制御装置６としてのキャリッジ制御部１１３に与える。この結果、被吐出部２１に対して機能液吐出ヘッド５１が相対走査する。
【００５７】
一方、処理部１１０は、記憶部としてのＲＡＭ１０３に記憶された吐出データ１０３ｂに基づいて、吐出タイミング毎のノズル５２のオン・オフを指定する選択信号をヘッド駆動制御部１１４に与える。ヘッド駆動制御部１１４は、選択信号に基づいて、機能液１１の吐出に必要な吐出信号を機能液吐出ヘッド５１のピエゾ素子１２４ｃに与える。この結果、機能液吐出ヘッド５１のピエゾ素子１２４ｃに対応するノズル５２から、機能液１１が液滴として吐出される。もちろん、制御部７は専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。また、液滴吐出装置１の電源を切る場合は、ＲＡＭ１０３のデータは、ＥＥＰＲＯＭ１０２に自動的に保存され次回液滴吐出装置１を使用する際に読み出してデータを使うことができる。
【００５８】
メンテナンス装置駆動制御部１１６は少なくとも吐出検出ユニット８０と、吐出重量測定ユニット８２と、吸引ユニット８３とを駆動制御する機能を備えている。吐出検出ユニット８０は、機能液吐出ヘッド５１のノズル５２から吐出される機能液１１の吐出の有無を検出している。検出された結果は、メンテナンス装置駆動制御部１１６を介してその信号が制御部７に伝える。
【００５９】
吐出重量測定ユニット８２には、複数の吐出重量測定部９９が備えられており、各吐出重量測定部９９に吐出された機能液１１の重量を計測する。測定された機能液１１の重量データは制御部７に送られ、各機能液吐出ヘッド５１から吐出される機能液１１の量を制御するデータとして使用される。
【００６０】
吸引ユニット８３には、吸引部３８としてのキャップ８７（図５および図６に示す）を有し、キャリッジ３と吸引ユニット８３との相対位置の変更により、キャップ８７は機能液吐出ヘッド５１と機械的に当接して、機能液吐出ヘッド５１と吸引ユニット８３との密閉性を確保している。吸引ユニットで吸引されて回収された機能液１１は、排液チューブ９１を介して、機能液回収装置９に備えられている複数の機能液回収タンク９２（９２ａ，９２ｂ，９２ｃ）に機能液１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）の種類ごとに回収して貯留されるようになっている。吸引の方法については、図７で詳述する。
【００６１】
吸引ユニット８３は、数多くの開閉バルブ、調整弁、三方弁を備え、制御部７からメンテナンス装置駆動制御部１１６を介して、各開閉バルブ、各調整弁、各三方弁にバルブを開閉する信号が送られる。各開閉バルブ、各調整弁、各三方弁に備えられているアクチュエータがこの信号に基づいて作動し、各開閉バルブ、各調整弁、各三方弁の開閉を行う。本発明では、制御部７が各開閉バルブ、各調整弁、各三方弁の開閉を行うことを「開く」、「閉じる」、「開口する」、「閉口する」と表記する。また、吸引ユニット８３は、圧力検出部としての数多くの圧力センサ８８４を備え、各圧力センサ８８４によって計測されたそれぞれの箇所の圧力データは、メンテナンス装置駆動制御部１１６を介して制御部７に伝えられる。伝えられた圧力データは、記憶部としてＲＡＭ１０３またはＥＥＰＲＯＭ１０２に記憶され、制御部７によって随時使用される。
【００６２】
タンク部１２には、３個のタンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃが配設されていて、それぞれのタンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃには異なる機能液１１ａ，１１ｂ，１１ｃが貯留されている。各タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃには、パイプ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ（図７に示す）がタンクの内部と連通して配設され、パイプ１５ａ，１５ｂ，１５ｃには、開閉バルブ２０１ｇ，２０２ｇおよび２０３ｇがそれぞれに配設されている。開閉バルブ２０１ｇ，２０２ｇおよび２０３ｇは、制御部７からの信号により開閉される。開閉バルブ２０１ｇ，２０２ｇおよび２０３ｇが、制御部７からの信号により開かれると、開かれた開閉バルブに対応しているタンクに圧縮空気１４が供給される。この圧縮空気１４の圧力が機能液１１に作用し、タンクからチューブ１３に向けて、機能液１１が押し出されてヘッド５１に機能液１１が供給される。また、各機能液吐出ヘッド５１と各タンクとの間には、それぞれに開閉バルブ１９が配設され、各タンク内の圧力に異常が生じた場合に、機能液吐出ヘッド５１より上方に位置されている各タンクから機能液１１が垂れ流し状態になることを防ぐようになっている。
【００６３】
ユーザＩ／Ｆ１０４は、操作部１０５での操作に基づいて、機能液吐出情報１０６ａとヘッド位置情報１０６ｂとを表示部１０６に表示させる。また、制御部７によって表示部１０６に表示されているデータを取り込む際に、ユーザＩ／Ｆ１０４を介して取り込まれる。
【００６４】
図３（ａ）は、機能液吐出ヘッド５１全体の断面斜視図である。図３（ｂ）は、吐出部の詳細断面図である。それぞれの機能液吐出ヘッド５１は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれの機能液吐出ヘッド５１は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク部１２からチューブ１３を介して、孔１３１から供給される機能液１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００６５】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２と、によって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル５２に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル５２の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から機能液１１が供給される。
【００６６】
図３（ｂ）は、振動板１２６上にそれぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４ｃと、ピエゾ素子１２４ｃを挟む１対の電極１２４ａ，１２４ｂとを含む。この１対の電極１２４ａ，１２４ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル５２から機能液１１が吐出される。なお、ノズル５２からＺ軸方向に機能液１１が吐出されるように、ノズル５２の形状が調整されている。
【００６７】
ここで、本明細書において「機能液」とは、ノズルから吐出可能な粘度を有する材料をいう。この場合、材料が水性であると油性であることを問わない。ノズルから吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が混入していても全体として流動体であればよい。
【００６８】
処理部１１０（図２参照）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル５２から吐出される機能液１１の体積が、処理部１１０からの信号に応じてノズル５２毎に制御されてもよい。そのような場合には、ノズル５２のそれぞれから吐出される機能液１１の体積は、０ｐｌ〜４２ｐｌ（ピコリットル）の間で可変にしてもよい。また、処理部１１０は、後述するように、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル５２と、吐出動作を行わないノズル５２と、を設定することでもできる。
【００６９】
本明細書では、１つのノズル５２と、ノズル５２に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４と、を含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つの機能液吐出ヘッド５１は、ノズル５２の数と同じ数の吐出部１２７を有する。吐出部１２７は、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。
【００７０】
図４は、キャリッジ３をステージ５側から観察した平面図である。同図の紙面に垂直な方向がＺ軸方向である。また、紙面の左右方向がＸ軸方向であり、紙面の上下方向がＹ軸方向である。キャリッジ３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数の機能液吐出ヘッド５１を保持している。本実施例では、キャリッジ３に保持される機能液吐出ヘッド５１の数は１２個である。それぞれの機能液吐出ヘッド５１は、複数のノズル５２が設けられた底面を有している。それぞれの機能液吐出ヘッド５１のこの底面の形状は、２つの長辺と２つの短辺とを有する四角形である。キャリッジ３に保持された機能液吐出ヘッド５１の底面はステージ５側を向いており、さらに、機能液吐出ヘッド５１の長辺方向と短辺方向とは、それぞれＸ軸方向とＹ軸方向とにほぼ平行である。なお、機能液吐出ヘッド５１と吸引ユニット８３との相対位置関係の詳細は、図５および図６で詳述する。
【００７１】
本実施例では、複数のヘッド５１の内、ヘッド５１１ａ〜５１１ｄにはタンク１２ａより機能液１１ａが供給されている。同様に、ヘッド５１２ａ〜５１２ｄにはタンク１２ｂより機能液１１ｂが供給されている。また、ヘッド５１３ａ〜５１３ｄにはタンク１２ｃより機能液１１ｃが供給されている。
【００７２】
図５は、吸引ユニット８３を液滴吐出装置１の上方から観察した平面図である。吸引ユニット基体８５の上にキャリッジ３に配設されている複数の機能液吐出ヘッド５１の位置と、相対位置関係が同じになるように複数の吸引部３８が配設されている。吸引ユニット８３ａは、キャリッジ３に配設されている機能液吐出ヘッド５１１ａ〜５１１ｄと相対位置が同じになるように、吸引部３８が配設されている。それぞれの吸引部３８には、ゴム、プラスチック等の弾性体からなるキャップ８７が備えられ、キャップ８７に連通している排液チューブ９１ａがそれぞれに配設されている。同様に吸引ユニット８３ｂおよび吸引ユニット８３ｃにも複数の吸引部３８が配設されている。吸引ユニット８３ｂの複数の吸引部３８は、キャリッジ３に配設されている機能液吐出ヘッド５１２ａ〜５１２ｄのそれぞれに対応して配設され、それぞれの吸引部３８に備えられているキャップ８７には、排液チューブ９１ｂが連通して配設されている。吸引ユニット８３ｃの複数の吸引部３８は、キャリッジ３に配設されている機能液吐出ヘッド５１３ａ〜５１３ｄのそれぞれに対応して配設され、それぞれの吸引部３８に備えられているキャップ８７には、排液チューブ９１ｃが連通して配設されている。各排液チューブ９１ａ，９１ｂ，９１ｃは、吸引発生機構３９（図７に示す）に連結されている。
【００７３】
キャリッジ３に配設されている機能液吐出ヘッド５１に供給される機能液１１は、基体１０Ａの被吐出部２１への塗布する面積等により異なる。したがって、機能液吐出ヘッド５１と機能液吐出ヘッド５１に供給される機能液１１は、図４および図５に限定されるものではなく、機能液吐出ヘッド５１に供給される機能液１１の種類に応じて、吸引発生機構３９と各排液チューブ９１ａ，９１ｂ，９１ｃとの連結を変えることによって対応することができる。
【００７４】
図６は、キャリッジ３と吸引ユニット８３とが相対位置を変更して、機能液吐出ヘッド５１と吸引部３８のキャップ８７とが当接した場合の断面図である。移動台８１に載置されている吸引ユニット基体８５の上にキャリッジ３に配設されている複数の機能液吐出ヘッド５１の位置と、相対位置関係が同じになるように複数の吸引部３８が配設されている。吸引部３８は、機能液吐出ヘッド５１と圧接して密閉性を確保するためのキャップ８７と、キャップ８７を補強する受体８８と、受体８８を押圧するバネ８６と、バネ８６によってキャップ８７が飛び出さないように押さえる押エ蓋９０、押エ体８９および排液チューブ９１ａ，９１ｂ，９１ｃとを備えている。
【００７５】
キャリッジ３の複数の機能液吐出ヘッド５１に機能液１１の詰りが生じた場合に、制御部７によって吸引ユニット８３上にキャリッジ３の相対位置が変更される。吸引ユニット８３上にＺ方向の相対位置を変更されたキャリッジ３は、機能液吐出ヘッド５１がキャップ８７を押下し、バネ８６によって互いに密接する。排液チューブ９１ａ，９１ｂ，９１ｃは吸引装置としての吸引部３８（図７に示す）と連結し、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７とが密接した状態で吸引部３８が作動されると、吸引部３８の吸引力で機能液吐出ヘッド５１のノズル５２に生じた詰りを除去することができる。この場合、吸引された機能液１１は吸引部３８を介して各機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃに回収されリサイクルされる。また、吸引された量とほぼ同量の機能液１１ａ，１１ｂ，１１ｃがチューブ１３ａ，１３ｂ，１３ｃを介してタンク部１２のタンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃより機能液吐出ヘッド５１に供給され、空気が機能液吐出ヘッド５１内に侵入することを防止している。
【００７６】
図７は、機能液吐出ヘッド５１と当接されている吸引ユニット８３の吸引部３８との連結図である。図６で示したように、本実施例ではキャリッジ３に配設されている１２個の機能液吐出ヘッド５１が、それぞれに対応している吸引ユニット８３に備えられているキャップ８７と当接している。本実施例では、３種類の機能液１１ａ，１１ｂ，１１ｃがタンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃにそれぞれ収容され、各タンク１２ａ〜１２ｃから、チューブ１３ａ，１３ｂ，１３ｃによって各機能液吐出ヘッド５１にそれぞれの機能液１１が供給される。各タンク１２ａ〜１２ｃから各機能液吐出ヘッド５１にそれぞれの機能液１１が供給される方法は、圧縮空気１４がタンク１２ａ〜１２ｃに配設されているパイプ１５（１５ａ，１５ｂ，１５ｃ）からタンク１２ａ〜１２ｃ内に供給され、その圧縮空気の圧力により機能液１１ａ，１１ｂ，１１ｃがチューブ１３ａ，１３ｂ，１３ｃを介してキャリッジ３に配設されている機能液吐出ヘッド５１に供給される。また、各機能液吐出ヘッド５１と各タンク１２ａ〜１２ｃとの間には、開閉バルブ１９が配設され、各タンク側での圧力の異常が生じた場合に、開閉バルブ１９が閉じられて、各機能液吐出ヘッド５１から機能液１１が流失することを防止する。
【００７７】
本実施例では、キャリッジ３に配設されている機能液吐出ヘッド５１を説明するために、機能液１１ａが供給されている機能液吐出ヘッド５１を５１１ａ〜５１１ｄと表記し、機能液１１ｂが供給されている機能液吐出ヘッド５１を５１２ａ〜５１２ｄと表記し、機能液１１ｃが供給されている機能液吐出ヘッド５１を５１３ａ〜５１３ｄと表記する。
【００７８】
それぞれ機能液吐出ヘッド５１に対応する各吸引ユニット８３の構成は同じであるため、代表して機能液吐出ヘッド５１１ａについて述べる。機能液吐出ヘッド５１１ａと各吸引ユニット８３に備えられているキャップ８７とが、バネ８６（図６参照）の押圧力により当接して周りの大気から遮断されている。キャップ８７に連通されている排液チューブ９１ａには、圧力検出部としての圧力センサ８８４、開閉バルブ２０が備えられ、排液連結流路８８８を介して開閉バルブ２０１ｅに連結されている。開閉バルブ２０は、吸引ユニット８３のキャップ８７と対応して配設されている。
【００７９】
本実施例では、機能液吐出ヘッド５１１ａ〜５１１ｄに対応する開閉バルブを２０１ａ〜２０１ｄと表記し、機能液吐出ヘッド５１２ａ〜５１２ｄに対応する開閉バルブを２０２ａ〜２０２ｄと表記し、機能液吐出ヘッド５１３ａ〜５１３ｄに対応する開閉バルブを２０３ａ〜２０３ｄと表記する。開閉バルブ２０１ｅから出たチューブ９３ａは、機能液回収タンク９２ａの内部に連通している。また、機能液回収タンク９２ａの内部と外部とに連通しているチューブ９４ａが配設され、フィルタ９５ａを介してエジェクタ９６に連結されている。
【００８０】
エジェクタ９６には、圧縮エア供給部９９９から開閉バルブ９７が開かれると圧縮空気が供給される。供給された圧縮空気によってチューブ９４ａに真空（負圧）が発生し、機能液回収タンク９２ａに対して機能液６１１ａを引っ張り込む力となる。この真空力により、連結されているチューブ９３ａ、排液連結流路８８８、開閉バルブ２０１ａ、排液チューブ９１ａ、吸引ユニット８３に備えられているキャップ８７および機能液吐出ヘッド５１１ａのノズル５２の順に機能液１１が吸引され、機能液吐出ヘッド５１１ａのノズル５２での機能液１１の詰りを解消する。エジェクタ９６の構造は、図８で詳述する。
【００８１】
図７の機能液吐出ヘッド５１１ａ〜５１１ｄについて述べたが、機能液吐出ヘッド５１２ａ〜５１２ｄおよび機能液吐出ヘッド５１３ａ〜５１３ｄについては、機能液１１の種類が異なるだけで構成は同じであるため説明を省略する。
【００８２】
本実施例では、吐出検出ユニット８０において検出されている機能液１１が詰りを生じている機能液吐出ヘッド５１が、例えば機能液吐出ヘッド５１２ｃだとする。
【００８３】
制御部７は、吐出検出ユニット８０によって検出されている機能液吐出ヘッド５１２ｃの詰りデータに基づいて、機能液吐出ヘッド５１２ｃに対応する開閉バルブ２０２ｃを開口する。この場合、他の開閉バルブ（５１１ａ〜５１１ｄ，５１２ａ，５１２ｂ，５１２ｄ，および５１３ａ〜５１３ｄ）はすべて閉口している。さらに、制御部７は開閉バルブ２０２ｅを開口する。この場合、開閉バルブ２０１ｅ，２０３ｅは閉口している。この状態で、開閉バルブ９７を開口して圧縮エア供給部９９９より、圧縮空気がエジェクタ９６に供給されると、チューブ９４ｂに真空（負圧）が発生する。この負圧により、機能液回収タンク９２ｂの圧力が低下し、機能液吐出ヘッド５１２ａ〜５１２ｄに対応している開閉バルブ２０２ａ〜２０２ｄに対して負圧が加わる。開閉バルブ２０２ａ〜２０２ｄの中で、開閉バルブ２０２ｃだけが開口しているため、機能液吐出ヘッド５１２ｃに対して負圧が加わり、ノズル５２に対して機能液１１が吸引され、ノズル５２に生じている詰りを解消することができる。このように、キャリッジ３に配設されている複数の機能液吐出ヘッド５１に対して、吐出検出ユニット８０の機能液１１の詰りデータに基づいて、特定の機能液吐出ヘッド５１を吸引することができる。
【００８４】
また、本実施例では、例えば、機能液吐出ヘッド５１３ａ〜５１３ｄに対応する開閉バルブ２０３ａ〜２０３ｄをすべて開口し、開閉バルブ２０３ｅを開口して、圧縮エア供給部９９９より、圧縮空気がエジェクタ９６に供給されると、機能液吐出ヘッド５１３ａ〜５１３ｄのすべての機能液吐出ヘッド５１から機能液１１ｃを吸引し、機能液吐出ヘッド詰りを解消することができる。この場合、機能液吐出ヘッド５１３ａ〜５１３ｄから吸引された機能液１１ｃは、機能液回収タンク９２ｃに同一の機能液６１１ｃが貯留される。このことにより、機能液回収タンク９２ｃに貯留された機能液６１１ｃは、真空脱泡処理等が施されて再び機能液１１ｃとして利用される。
【００８５】
また、すべての開閉バルブを開口して、すべての機能液吐出ヘッド５１に対して吸引することもできる。この場合、本実施例によれば、各機能液１１ａ〜１１ｃのそれぞれに対応して機能液回収タンク９２ａ〜９２ｃが配設されているため、機能液１１間での混合を防ぐことができる。
【００８６】
タンク１２ａ〜１２ｃの中に機能液１１の代わりに洗浄液を投入すれば、タンク部１２〜機能液回収タンク９２までの機能液１１の流路を洗浄することができる。しかも、各流路での洗浄された液体は混合することがない。
【００８７】
なお、本実施例では、上述したようにタンク部１２にはタンクが１つ以上であればよい。また、機能液回収タンク９２もタンク部１２に対応した数量であればよく、機能液吐出ヘッド５１は１つ以上であれば同様に行うことができる。
【００８８】
図８は、エジェクタ９６の構造を示す断面図である。エジェクタ体９８には、圧縮エア供給部９９９から開閉バルブ９７（図７参照）を介して作動流体としての圧縮空気が供給される。エジェクタ体９８は圧縮エア供給部９９９と排気までが空洞として繋がっていて、この空洞の中央部付近には噴射部９６ａが配設され、他の空洞部と比較して著しく断面積が狭くなっている。圧縮エア供給部９９９から供給された圧縮空気は、この噴射部９６ａで急速に流れる速度を増して、ディフューザ９６ｂに流れ込む。この圧縮空気の高速な流れにより、拡散室９６ｃの圧力が低下する。拡散室９６ｃと連通するチューブ９４ａ，９４ｂおよび９４ｃが配設され、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂおよび９２ｃ（図７参照）にそれぞれが連結されていて、拡散室９６ｃの圧力低下により、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂおよび９２ｃの中の圧力が低下する。この機能液回収タンク９２ａ，９２ｂおよび９２ｃの内部の圧力低下により、各チューブを介して吸引ユニット８３により当接している機能液吐出ヘッド５１のノズル５２が吸引されて、機能液１１の詰りを解消することができる。
【００８９】
圧縮エア供給部９９９から供給される圧縮空気の圧力に比例して、噴射部９６ａを通過する圧縮空気の量が変化するため、拡散室９６ｃに発生する圧力の低下量も比例する。機能液回収タンク９２ａ，９２ｂおよび９２ｃの内部の圧力を高くする場合は、圧縮エア供給部９９９から供給される圧縮空気の圧力を上げればよい。
【００９０】
以上詳述したように本実施例によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）各吸引ユニット８３には１つの開閉バルブ２０１ａ〜２０１ｄ，２０２ａ〜２０２ｄ，２０３ａ〜２０３ｄを備え、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃと排液連結流路８８８との間に備えられている開閉バルブ２０１ｅ，２０２ｅ，２０３ｅとのバルブの開閉を組み合わせて使用することにより、機能液吐出ヘッド５１を１つだけ吸引することができる。このことにより、複数のインク（機能液１１）を使用している機能液吐出ヘッド５１に対する吸引を効率的に行うことができる機能液吐出ヘッド５１の吸引方法および吸引装置としての吸引部３８および吸引発生機構３９を備える液滴吐出装置１を提供することである。
【００９１】
（２）本実施例は、吸引する手段としてエジェクタ９６を使用することによって、機能液吐出ヘッド５１から機能液１１と気泡が混入しても、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂおよび９２ｃの中で、機能液１１は機能液回収タンク内に貯留され、気泡はチューブ９４ａ，９４ｂおよび９４ｃからエジェクタ９６に供給される圧縮空気と共に排気されるため、何ら問題なく機能液吐出ヘッド５１のノズル５２を吸引することができる。
【００９２】
（３）本実施例は、吸引する手段としてのエジェクタ９６を１つだけ使用して、キャリッジ３に配設されている機能液吐出ヘッド５１に対して、１つ以上の機能液吐出ヘッド５１の吸引をすることができる。このことにより、機能液１１を機能液吐出ヘッド５１から吸引するための制御を簡単にすることができる。
【００９３】
（４）液滴吐出装置１に供給されている機能液１１をそれぞれの機能液回収タンクに貯留することによって、再び機能液１１として液滴吐出装置１で使用することができるため、効率のよい液滴吐出装置１を供給することができる。
（実施例２）
【００９４】
以下に、本発明を具体化した実施例２を、図９に基づいて説明する。本実施例は、機能液吐出ヘッド５１に対して強弱をつけて吸引する方法が実施例１と異なる。これ以外の構成は、実施例１と共通しているため、ここではその説明を省略する。
図９は、機能液吐出ヘッド５１と当接されている吸引ユニット８３と吸引発生機構３９との連結図である。圧縮エア供給部９９９から供給される圧縮空気の流量を調節することにより、エジェクタ９６に発生する吸引力を制御する。圧縮エア供給部９９９から供給される作動流体としての圧縮空気の流路を２つに分岐させた分岐流路３４および３５と、分岐流路３４および３５のうちの１つに圧縮空気を流すように流路を切り替える三方弁（流路切り替え弁）３３と、分岐流路３４および３５にそれぞれ設置された調整弁３１および３２とを備えている。
【００９５】
本実施例では、吸引力制御部としての三方弁３３、調整弁３１および３２は、エジェクタ９６の近傍に設置され、メンテナンス装置駆動制御部１１６により駆動制御される。調整弁３１は、調整弁３２よりも、少ない流量レベルの仕様になっており、圧縮空気は、分岐流路３４を流れる場合は、分岐流路３５を流れる場合よりも流量が少なくなるように調整される。よって、圧縮空気が分岐流路３４を通過するように三方弁３３を切り替えると、エジェクタ９６に比較的少ない流量で圧縮空気が供給され、その結果、エジェクタ９６に発生する吸引力は比較的小さくなる。これに対し、圧縮空気が分岐流路３５を通過するように三方弁３３を切り替えると、エジェクタ９６に比較的多い流量で圧縮空気が供給され、その結果、エジェクタ９６に発生する吸引力は比較的大きくなる。
【００９６】
メンテナンス装置駆動制御部１１６は、エジェクタ９６に発生する吸引力を変化させるために、所定の期間は比較的弱い状態（圧縮空気を分岐流路３４に流す状態）にし、その後、三方弁３３を切り替えて、エジェクタ９６に発生する吸引力を所定の期間に比較的強い状態（圧縮空気を分岐流路３５に流す状態）にするように制御する。また、前記の比較的弱い状態と前記の比較的強い状態を交互に制御したりして、それぞれを組み合わせて制御する。このように制御することによって、各機能液吐出ヘッド５１のノズル５２で生じさせている詰りの原因物を振動させ、または姿勢を変化させて除去することができる。
【００９７】
前述したように、キャッピング吸引動作中に機能液吐出ヘッド５１に作用する吸引力が経時的に変化するように制御する。つまり、キャッピング吸引動作における吸引する強さを変化させて吸引することにより、機能液吐出ヘッド５１に対して機能液１１が吸引される流速が変化するので、機能液吐出ヘッド５１のノズル５２近傍で発生している詰りに対して、ノズル５２の詰まり解消を迅速に（短時間で）行うことができる。
【００９８】
また、調整弁３１，３２のそれぞれに配設されている吸引力制御部としてのツマミ３６，３７を回すことにより、圧縮空気の流量（または圧力）を調整可能になっている。キャッピング吸引動作では、機能液１１の粘度等の特性によって吸引力の好ましい大きさが異なるが、事前にツマミ３６，３７を調整することにより、機能液１１の特性に合わせて、第１段階の弱い吸引力の大きさと、第２段階の強い吸引力の大きさとをそれぞれ好ましいレベルに設定することができる。
なお、調整弁３１，３２としては、図示のようなマニュアル調整レギュレータに限らず、例えば電空レギュレータを用いることもでき、より細かな制御を行うことも可能である。
【００９９】
また、キャッピング吸引動作の継続時間や、吸引力、つまり三方弁３３の切り替えのタイミング等の吸引条件は、操作部１０５（図２参照）から入力して設定可能になっており、機能液１１の特性等に合わせて調整（変更）することができる。なお、メンテナンス装置駆動制御部１１６は、各圧力センサ８８４で検出した圧力に基づいて吸引条件を制御するようにしてもよい。
【０１００】
本実施例では、エジェクタ９６は、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂおよび９２ｃの連結上の下流側に設けられており、これらの内部を負圧にするように作動することにより、吸引ユニット８３での吸引力を発生するように構成されている。これにより、エジェクタ９６は、空気（気体）のみを吸引し、機能液１１（液体）を吸引しないで済むので、エジェクタ９６での吸引効率をさらに向上することができる。また、簡単な構造で、１台のエジェクタ９６により複数の機能液吐出ヘッド５１（複数の吸引ユニット８３）に対応することができる。
なお、本発明では、このような構成に限らず、エジェクタ９６等の吸引力発生部を機能液回収タンク９２ａ，９２ｂおよび９２ｃの連結上の上流側（機能液吐出ヘッド側）に設け、吸引力発生部が液体を吸引するように構成されていてもよい。
また、本実施例では、エジェクタ９６に供給する作動流体は、本実施例と異なり、液体であってもよい。
また、キャッピング吸引動作は、吸引ユニット８３を機能液吐出ヘッド５１に近接させた状態、すなわち、吸引ユニット８３を機能液吐出ヘッド５１に接触させない状態で行ってもよい。
【０１０１】
以上述べたように本実施例によれば、吸引方法が異なるものの、前記実施例１における効果（１）〜（４）が同様に得られる他、以下の効果を得ることができる。
（５）吸引力発生部としてエジェクタ９６を用いたことにより、次のような効果が得られる。まず、エジェクタ９６は、可動部を有さず小型であるので、装置の簡素化および小型化が図れる。また、キャッピング吸引動作において、機能液１１に先行して空気（気体）が吸引される場合であっても、高い吸引効率で吸引することができるので、吸引に要する時間をさらに短縮することができる。
（実施例３）
【０１０２】
以下に、本発明を具体化した実施例３を、図１０および図１１に基づいて説明する。本実施例は、キャッピング吸引動作後に機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃまたはタンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃの内部圧力を大気圧にする方法が実施例２と異なる。これ以外の構成は、実施例２と共通しているため、ここではその説明を省略する。
図１０は、機能液吐出ヘッド５１と当接されている吸引ユニット８３と吸引発生機構３９との連結図である。タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃのそれぞれに、大気開放バルブ２０１ｆ，２０２ｆ，２０３ｆと圧力検出部としての圧力センサ８８５ａ，８８５ｂ，８８５ｃとが備えられている。また、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃのそれぞれに、大気開放バルブ４０ａ，４０ｂ，４０ｃと圧力センサ８８３ａ，８８３ｂ，８８３ｃとが備えられている。また、エジェクタ９６と各機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃとの間に、開閉バルブ２０１ｅ，２０２ｅ，２０３ｅが配設されている。
【０１０３】
機能液吐出ヘッド５１に対して、吸引部３８と吸引発生機構３９とでキャッピング吸引動作を行う場合は、タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃの近傍に配設されている開閉バルブ２０１ｇ，２０２ｇ，２０３ｇを閉口にする。このとき、タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃに配設されている大気開放バルブを開口して、各タンク内の圧力を大気圧にする。タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃに配設されている圧力センサ８８５ａ，８８５ｂ，８８５ｃが各タンク内部の圧力を計測し、計測された圧力データは、メンテナンス装置駆動制御部１１６（図２参照）を介して、制御部７（図２参照）に送られ、キャッピング吸引動作を開始する。
【０１０４】
まず、制御部７は、キャップ８７毎に配設されている開閉バルブ２０１ａ〜２０１ｄ，２０２ａ〜２０２ｄ，２０３ａ〜２０３ｄをすべて開口する。次に、制御部７は、走査駆動部１１１とメンテナンス装置駆動制御部１１６とに信号を送り、キャリッジ３と吸引ユニット８３との相対位置を変更し、各機能液吐出ヘッド５１と各キャップ８７とを当接する。このとき、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７とで囲まれてできる空間に存在する大気は、圧縮されて機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７を圧迫する。特に、機能液吐出ヘッド５１に配設されているノズル５２は薄い金属板で出来ており、極わずかの変形によって、隔壁１２２（図３参照）が破損することがある。
【０１０５】
そこで、本実施例は、機能液吐出ヘッド５１側のタンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃに供給されていた圧縮空気１４を開閉バルブ２０１ｇ，２０２ｇ，２０３ｇの閉口によって遮断し、各タンク内に残存している圧力を大気開放バルブ２０１ｆ，２０２ｆ，２０３ｆを開口して、各タンク内にある各機能液１１に加わる圧力を大気圧にする。さらに、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃに配設されている大気開放バルブ４０ａ，４０ｂ，４０ｃを開口して、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃ内の圧力を大気圧にする。このことによって、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７とで囲まれてできる空間に存在する大気を圧縮することなく、機能液吐出ヘッド５１の破損を防止することができる。
【０１０６】
機能液吐出ヘッド５１に対して、吸引部３８と吸引発生機構３９とでキャッピング吸引動作を行う。機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃに配設されている大気開放バルブ４０ａ，４０ｂ，４０ｃを閉口して、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃを密閉状態にする。以降の吸引の方法は実施例２と同様に実行する。
【０１０７】
キャッピング吸引動作を終えると、キャリッジ３と吸引ユニット８３とが相対位置を変更して、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７とが離脱する。このときも、機能液吐出ヘッド５１のノズル５２を破損することがある。そこで、本実施例では、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７とが離脱前に、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃに配設されている大気開放バルブ４０ａ，４０ｂ，４０ｃを開口して機能液回収タンク内の圧力を大気圧にする。しかも、キャップ８７毎に配設されている開閉バルブ２０１ａ〜２０１ｄ，２０２ａ〜２０２ｄ，２０３ａ〜２０３ｄをすべて開口する。このことによって、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７との間に発生する圧力差を防いで、機能液吐出ヘッド５１のノズル５２の破損を防止することができる。
【０１０８】
図１１は、実施例３のキャッピング吸引動作を行う場合のフローチャートを示す。吐出検出ユニット８０により機能液１１の吐出が異常であることが検出されると、キャッピング吸引動作が制御部７によって開始される。ステップ（以下、Ｓと称する）１では、タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ用の開閉バルブ２０１ｇ，２０２ｇ，２０３ｇを閉じて、圧縮空気１４を遮断する。この状態では、タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃの内部は、圧縮空気１４の圧力が加わったままとなっている。Ｓ２では、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃに配設されている大気開放バルブ４０ａ，４０ｂ，４０ｃを開いて、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃ内の圧力を大気圧にする。Ｓ３では、キャリッジ３と吸引ユニット８３とが相対位置を変更し、キャリッジ３に配設されている複数の機能液吐出ヘッド５１と吸引ユニット８３に配設されているキャップ８７とが対向する位置になる。Ｓ４では、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７とが当接する直前に、タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃに配設されている大気開放バルブ２０１ｆ，２０２ｆ，２０３ｆを開き、タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃの内部圧力を大気圧にするとともに、各機能液吐出ヘッド５１と各タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃとの間に配設されている各開閉バルブ１９を開く。また、キャップ８７用の開閉バルブ２０１ａ〜２０１ｄ，２０２ａ〜２０２ｄ，２０３ａ〜２０３ｄもすべて開く。このことにより、機能液吐出ヘッド５１からの機能液１１が漏れ出る量を減ずることができる。
【０１０９】
Ｓ５では、キャリッジ３と吸引ユニット８３とがＺ軸方向に相対位置を変更し、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７とが当接する。Ｓ６では、Ｓ４で開かれた機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃに配設されている大気開放バルブ２０１ｆ，２０２ｆ，２０３ｆをすべて閉じる。Ｓ７では、吸引を必要としない機能液吐出ヘッド５１に対向するキャップ８７用の開閉バルブをすべて閉じる。Ｓ８では、吸引するエジェクタ９６用開閉バルブ２０１ｅ，２０２ｅ，２０３ｅの少なくとも１つを開く。Ｓ９では、三方弁３３の分岐流路３４を開けて、エジェクタ９６に弱い圧縮空気を流して、機能液吐出ヘッド５１のノズル５２に対して弱い吸引を行う。Ｓ１０では、三方弁３３の分岐流路３５を開けて、エジェクタ９６に強い圧縮空気を流して、機能液吐出ヘッド５１のノズル５２に対して強い吸引を行う。Ｓ１１では、Ｓ８で開口しているキャップ用開閉バルブに対向する機能液吐出ヘッド５１のノズル５２に対して機能液１１の吸引を行う。Ｓ１２では、キャップ用圧力センサ８８４が所定値になったか否かを判定する。ノズル５２が詰っている場合は、キャップ用圧力センサ８８４の圧力値が高く、ノズル５２の詰りが解消すると圧力値は低くなる。キャップ用圧力センサ８８４の圧力値が設定されている所定値になった場合は、Ｓ１３に進む。キャップ用圧力センサ８８４の圧力値が設定されている所定値になっていない場合は、Ｓ１１での吸引を続行する。Ｓ１３では、吸引するために開口しているエジェクタ用開閉バルブ２０１ｅ，２０２ｅ，２０３ｅの少なくとも１つを閉じる。
【０１１０】
Ｓ１４では、他の機能液ライン（機能液１１の種類毎に連結されている系列）に対して吸引をするか否かを判定する。吸引をする場合は、Ｓ８に戻り吸引が必要な機能液吐出ヘッド５１のノズル５２に対して吸引を行う。吸引を行わない場合は、Ｓ１５に進む。Ｓ１５では、三方弁３３をすべて閉じる。これにより圧縮エア供給部９９９からの圧縮空気が遮断される。この状態で、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃの内部圧力は、エジェクタ９６で吸引されていた圧力（負圧）になっている。Ｓ１６では、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃにそれぞれ配設されている大気開放バルブ４０ａ，４０ｂ，４０ｃを開いて、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃ内の圧力を大気圧にする。この場合、エジェクタ用開閉バルブ２０１ｅ，２０２ｅ，２０３ｅを開いてもよい。Ｓ１７では、キャップ用開閉バルブ２０１ａ〜２０１ｄ，２０２ａ〜２０２ｄ，２０３ａ〜２０３ｄをすべて開く。この状態で、キャップ８７から機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃに至るすべての経路の圧力は、大気圧となる。Ｓ４において、タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃの内部圧力は大気圧となっているので、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７との間の圧力は等しくなっている。
【０１１１】
Ｓ１８では、キャリッジ３と吸引ユニット８３との相対位置を変更する。Ｓ１９では、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７とが離れる。前述したように、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７との間の圧力は等しくなっているので、機能液吐出ヘッド５１のノズル５２を変形することなく離れることができる。Ｓ２０では、機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃにそれぞれ配設されている大気開放バルブ４０ａ，４０ｂ，４０ｃを閉じる。Ｓ２１では、タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ用の大気開放バルブ２０１ｆ，２０２ｆ，２０３ｆを閉じる。Ｓ２２では、タンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ用の開閉バルブ２０１ｇ，２０２ｇ，２０３ｇを開いて、圧縮空気１４をタンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ内に供給する。
【０１１２】
以上述べたように本実施例によれば、キャッピング吸引動作後に機能液回収タンク９２ａ，９２ｂ，９２ｃまたはタンク１２ａ，１２ｂ，１２ｃの内部圧力を大気圧にする方法が異なるものの、前記実施例１または２における効果（１）〜（５）が同様に得られる他、以下の効果を得ることができる。
（６）キャッピング吸引動作の中で、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７とが当接するときと、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７とが脱離するときに、機能液吐出ヘッド５１とキャップ８７のそれぞれの圧力を大気圧にすることによって、機能液吐出ヘッド５１のノズル５２の変形をなくし、安定したキャッピング吸引動作が行える液滴吐出装置１を供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】液滴吐出装置１を示す斜視図。
【図２】実施例１の液滴吐出装置１の電気ブロック図。
【図３】実施例１の（ａ）は、機能液吐出ヘッド５１全体の断面斜視図、（ｂ）は、吐出部の詳細断面図。
【図４】実施例１のキャリッジ３をステージ５側から観察した平面図。
【図５】実施例１の吸引ユニット８３を液滴吐出装置１の上方から観察した平面図。
【図６】実施例１のキャリッジ３と吸引ユニット８３とが相対位置を変更して、機能液吐出ヘッド５１と吸引部３８のキャップ８７とが当接した場合の断面図。
【図７】実施例１の機能液吐出ヘッド５１と当接されている吸引ユニット８３の吸引部３８との連結図。
【図８】実施例１のエジェクタ９６の構造を示す断面図。
【図９】実施例２の機能液吐出ヘッド５１と当接されている吸引ユニット８３と吸引発生機構３９との連結図。
【図１０】実施例３の機能液吐出ヘッド５１と当接されている吸引ユニット８３と吸引発生機構３９との連結図。
【図１１】実施例３のキャッピング吸引動作を行う場合のフローチャート。
【符号の説明】
【０１１４】
１…液滴吐出装置、２…吐出走査部、３…キャリッジ、４…第２位置制御装置、５…ステージ、６…第１位置制御装置、７…制御部、８…メンテナンス装置、９…機能液回収装置、１０Ａ…基体、１１，１１ａ〜ｃ…機能液、１２…タンク部、１２ａ〜ｃ…タンク、１３，１３ａ〜ｃ…チューブ、１４…圧縮空気、１５，１５ａ〜ｃ…パイプ、１９，２０…開閉バルブ、２１…被吐出部、２２…バンク、３１…吸引力制御部としての調整弁、３２…吸引力制御部としての調整弁、３３…吸引力制御部としての三方弁、３４…吸引力制御部としての分岐流路、３５…吸引力制御部としての分岐流路、３６…吸引力制御部としてのツマミ、３７…吸引力制御部としてのツマミ、３８…吸引部、３９…吸引発生機構、４０ａ〜ｃ…大気開放バルブ、５２…ノズル、８０…吐出検出ユニット、８１…移動台、８２…吐出重量測定ユニット、８３，８３ａ〜ｃ…吸引ユニット、８４…定期フラッシングユニット、８６…バネ、８７…キャップ、８８…受体、８９…押エ体、９０…押エ蓋、９１，９１ａ〜ｃ…排液チューブ、９２，９２ａ〜ｃ…機能液回収タンク、９３ａ〜ｃ，９４ａ〜ｃ…チューブ、９５ａ〜ｃ…フィルタ、９６…吸引力発生部としてのエジェクタ、９６ａ…噴射部、９６ｂ…ディフューザ、９６ｃ…拡散室、９７…開閉バルブ、９８…エジェクタ体、１００…制御部としてのＣＰＵ、１０１…制御部としてのＲＯＭ、１０２…制御部としてのＥＥＰＲＯＭ、１０３…制御部としてのＲＡＭ、１０３ａ…ヘッド位置バッファ、１０３ｂ…吐出データ、１０４…ユーザＩ／Ｆ、１０９…データバス、１１０…処理部、６１１ａ〜ｃ…機能液、１１１…走査駆動部、１１２…ステージ制御部、１１３…キャリッジ制御部、１１４…ヘッド駆動制御部、１１６…メンテナンス装置駆動制御部、１２０…キャビティ、１２２…隔壁、１２４…振動子、１２４ａ…電極、１２４ｃ…ピエゾ素子、１２６…振動板、１２７…吐出部、１２８…ノズルプレート、１３０…供給口、１３１…孔、２０１ａ〜ｇ…開閉バルブ、２０１ｆ…大気開放バルブ、２０２ａ〜ｇ…開閉バルブ、２０２ｆ…大気開放バルブ、２０３ａ〜ｇ…開閉バルブ、２０３ｆ…大気開放バルブ、５１１ａ〜ｄ，５１２ａ〜ｄ，５１３ａ〜ｄ…機能液吐出ヘッド、８８３ａ〜ｃ，８８４，８８５ａ〜ｃ…圧力センサ、８８８…排液連結流路、９９９…圧縮エア供給部。
【図１】
2005169235.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005169235.tif 000009
【図８】
2005169235.tif 000010
【図９】
2005169235.tif 000011
【図１０】
2005169235.tif 000012
【図１１】
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