(57)【要約】【課題】高記録密度を保持してピット信号のプッシュプル信号量を増加させ、大容量で且つ再生特性に優れた光学記録再生媒体を提供する。【解決手段】螺旋状記録トラックにピット及びグルーブが設けられた光学記録再生媒体であって、少なくともピットが設けられるピット領域のトラックピッチを、記録領域の少なくとも内周部におけるグルーブのトラックピッチに比して大として構成する。【選択図】      図１
2005032317.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録トラックにピット及びグルーブが設けられた光学記録再生媒体であって、
少なくとも上記ピットが設けられるピット領域のトラックピッチが、記録領域の少なくとも内周部における上記グルーブのトラックピッチに比して大とされて成る
ことを特徴とする光学記録再生媒体。
【請求項２】
記録情報を再生する再生用光の波長λが６５０ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．６０±０．０５、トラックピッチが７４０ｎｍ±３０ｎｍとされて成り、
上記ピット領域のトラックピッチと、上記記録領域の上記内周部におけるトラックピッチとの比が１．０１６以上１．０４５以下とされて成る
ことを特徴とする請求項１記載の光学記録再生媒体。
【請求項３】
上記記録領域の外周部のトラックピッチが、外周側に向けて徐々に大となるように変化されて成る
ことを特徴とする請求項１記載の光学記録再生媒体。
【請求項４】
上記記録領域の外周部のトラックピッチが、外周側に向けて徐々に大となるように変化されて成る
ことを特徴とする請求項２記載の光学記録再生媒体。
【請求項５】
上記ピット領域に隣接する領域において、上記記録トラックと直交する方向に５μｍ以下の範囲でトラックピッチが変化されて成る
ことを特徴とする請求項１記載の光学記録再生媒体。
【請求項６】
上記ピット領域に隣接する領域において、上記記録トラックと直交する方向に５μｍ以下の範囲でトラックピッチが変化されて成る
ことを特徴とする請求項２記載の光学記録再生媒体。
【請求項７】
上記ピット領域に隣接する領域において、上記記録トラックと直交する方向に５μｍ以下の範囲でトラックピッチが変化されて成る
ことを特徴とする請求項３記載の光学記録再生媒体。
【請求項８】
上記ピット領域に隣接する領域において、上記記録トラックと直交する方向に５μｍ以下の範囲でトラックピッチが変化されて成る
ことを特徴とする請求項４記載の光学記録再生媒体。
【請求項９】
記録トラックにピット及びグルーブが設けられた光学記録再生媒体を作製するための光学記録再生媒体製造用スタンパであって、
上記光学記録再生媒体は、少なくとも上記ピットが設けられるピット領域のトラックピッチが、記録領域の少なくとも内周部における上記グルーブのトラックピッチに比して大とされて成る
ことを特徴とする光学記録再生媒体製造用スタンパ。
【請求項１０】
上記光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λが６５０ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．６０±０．０５とされ、トラックピッチが７４０ｎｍ±３０ｎｍとされて成り、
上記光学記録再生媒体の上記ピット領域のトラックピッチと、上記記録領域の上記内周部におけるトラックピッチとの比が１．０１６以上１．０４５以下とされて成る
ことを特徴とする請求項９記載の光学記録再生媒体製造用スタンパ。
【請求項１１】
上記光学記録再生媒体の上記記録領域の外周部のトラックピッチが、外周側に向けて徐々に大となるように変化されて成る
ことを特徴とする請求項９記載の光学記録再生媒体製造用スタンパ。
【請求項１２】
上記ピット領域に隣接する領域において、上記記録トラックと直交する方向に５μｍ以下の範囲でトラックピッチが変化されて成る
ことを特徴とする請求項９記載の光学記録再生媒体製造用スタンパ。
【請求項１３】
記録トラックにピット及びグルーブが設けられた光学記録再生媒体を作製するための光学記録再生媒体製造用原盤の光学記録方法であって、
上記光学記録再生媒体の少なくとも上記ピットが設けられるピット領域のトラックピッチを、記録領域の少なくとも内周部における上記グルーブのトラックピッチに比して大とする
ことを特徴とする光学記録方法。
【請求項１４】
上記光学記録再生媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λが６５０ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．６０±０．０５、トラックピッチが７４０ｎｍ±３０ｎｍとされて成り、
上記光学記録再生媒体の上記ピット領域のトラックピッチと、上記記録領域の上記内周部におけるトラックピッチとの比を１．０１６以上１．０４５以下とする
ことを特徴とする請求項１３記載の光学記録方法。
【請求項１５】
上記光学記録再生媒体の上記記録領域の外周部のトラックピッチを、外周側に向けて徐々に大となるように変化させる
ことを特徴とする請求項１３記載の光学記録方法。
【請求項１６】
上記ピット領域に隣接する領域において、上記記録トラックと直交する方向に５μｍ以下の範囲でトラックピッチが変化されて成る
ことを特徴とする請求項１３記載の光学記録方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｌｅ  Ｄｉｓｃ）等の高密度の光学記録再生媒体及び光学記録再生媒体製造用スタンパ、光学記録方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、高密度光学記録再生媒体として、各種光ディスクや光磁気ディスク等のＤＶＤ−Ｒ（ＤＶＤ−Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ；書き込み可能型）、ＤＶＤ−ＲＷ（ＤＶＤ−Ｒｅｗｒｉｔａｂｌｅ；書き換え型）などが開発され、その実用化にあたり記録再生特性、信頼性の向上が望まれている。
【０００３】
従来技術として、ＤＶＤ−ＲＷのフォーマットを例にして説明すると、ＤＶＤ−ＲＷにおいては、例えばディスク自体の情報としてＴＯＣ（Ｔａｂｌｅ  ｏｆ  Ｃｏｎｔｅｎｔｓ）情報或いは所定周期のパルス信号等の情報が記録されるいわゆるＲＥピット（Ｒｅａｄａｂｌｅ  Ｅｍｂｏｓｓｅｄ  Ｐｉｔ）、コピープロテクト情報等が記録されるいわゆるＵＲＥピット（Ｕｎｒｅａｄａｂｌｅ  Ｅｍｂｏｓｓｅｄ  Ｐｉｔ）が形成されるピット領域と、例えばウォブルグルーブとされるグルーブが形成される記録領域とが設けられる。
【０００４】
このように、ＤＶＤ−ＲＷの光ディスクには、２種類のピットが形成されたピット領域とウォブルグルーブが形成された記録領域とが混在する複雑なフォーマットとされ、多くの規格や特性を満足しなければならない。例えば、ＲＥピットでは、ジッター８．０％以下の再生特性と充分なプッシュプル信号量（０．２２以上）を得なければならない。また、記録領域においてもウォブルグルーブの記録再生特性（記録ジッター８．０％以下）とウォブルグルーブの充分なプッシュプル信号量（０．２２以上）を得なければならない。
【０００５】
例えばＤＶＤ−ＲＷの規格には、ピットのプッシュプル信号量とディスク状媒体の半径２５ｍｍの位置におけるウォブルグルーブのプッシュプル信号量の比（｜ＥＰＰｒ１｜）を３ｄＢ以下とする条件があり、ピットのプッシュプル信号量を安定的に大きくする必要がある。
【０００６】
これに対し、再生用光の波長が０．７８±０．０１μｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．４５±０．０１とされるＭＤ（Ｍｉｎｉ  Ｄｉｓｃ）等を対象とする光ディスクにおいて、ピットの再生特性を向上させるために、ピットのトラックピッチをグルーブのトラックピッチに対し１．１３倍程度とする構成が提案されている（例えば特許文献１参照。）。
【０００７】
しかしながら、上述したようにＤＶＤ等のＭＤよりも高密度の光学記録再生媒体において、ピットのトラックピッチを単にグルーブのトラックピッチに対し大とすると、記録容量が低下してしまうという問題がある。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−６３７４７号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述したように比較的高密度の光学記録再生媒体において、記録密度を低下させることなくピット信号のプッシュプル信号量を増加させ、大容量で且つ再生特性に優れた光学記録再生媒体を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述の問題を解決するために本発明は、記録トラックにピット及びグルーブが設けられた光学記録再生媒体であって、少なくともピットが設けられるピット領域のトラックピッチを、記録領域の少なくとも内周部におけるグルーブのトラックピッチに比して大として構成する。
【００１１】
また本発明は、上述の光学記録再生媒体において、記録情報を再生する再生用光の波長λを６５０ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡを０．６０±０．０５、トラックピッチを７４０ｎｍ±３０ｎｍとし、ピット領域のトラックピッチと、記録領域の内周部におけるトラックピッチとの比を１．０１６以上１．０４５以下として構成する。
【００１２】
また更に本発明は、上述の各構成において、記録領域の外周部のトラックピッチを、外周側に向けて徐々に大となるように変化させる構成とする。
【００１３】
また本発明による光学記録再生媒体製造用スタンパは、上述の各構成による光学記録再生媒体を製造する構成とする。
更にまた本発明による光学記録方法は、上述の各構成による光学記録再生媒体を製造する方法とする。
【００１４】
上述したように本発明による光学記録再生媒体は、少なくともピット領域のトラックピッチを少なくとも記録領域の内周部のトラックピッチに比して大とすることにより、プッシュプル信号量を安定的に、規格値以上とすることができる。特に本発明においては、記録領域の少なくとも内周側に比して大とすることから、中周側から外周側、ないしは外周側においてトラックピッチをピット領域と同等程度とすることにより、この領域におけるトラックピッチの狭小化すなわち高密度化による記録再生特性の低下を回避することができる。
【００１５】
また、本発明構成による光学記録再生媒体において、記録情報を再生する再生用光の波長λが６５０ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．６０±０．０５、トラックピッチが７４０ｎｍ±３０ｎｍとするいわゆるＤＶＤ−ＲＷ型構成の光学記録再生媒体とする場合に、ピット領域のトラックピッチと、記録領域の内周部におけるトラックピッチとの比を１．０１６以上１．０４５以下として構成することによって、確実にピットのプッシュプル信号量を規格値を満足し、また上述のＲＥピット及びＵＲＥピットと記録領域内周部のグルーブとのプッシュプル信号振幅比ＥＰＰｒ１及びＥＰＰｒ２を確実に規格値を満足する値に保持することができた。
【００１６】
また更に本発明の各構成による光学記録再生媒体において、記録領域の外周部のトラックピッチを、外周側に向けて徐々に大となるように変化させる構成とすることによって、外周部におけるプッシュプル信号量の減少を抑制することができた。
【００１７】
すなわち、従来の光学記録再生媒体においては、成形の転写性や基板の複屈折、更には記録膜成膜時の制御性などの影響により、外周部のプッシュプル信号量が減少し、外周部のプッシュプル信号量が規格値より小さくなることがあった。しかしながら、上述したように記録領域の外周部において外周側に向けてトラックピッチを徐々に大とすることによって、外周部におけるプッシュプル信号量を規格値以上に確実に保持することができる。
【００１８】
従って、このような本発明によれば、高密度光学記録再生媒体である例えばＤＶＤ−ＲＷ、またはこれと同様のフォーマットを有する光学記録再生媒体に適用することによって、内周側から外周側にわたり安定した均一なプッシュプル信号量が得られ、これにより信頼性の高いトラッキングサーボが可能となって、記録再生特性に優れた高密度の光学記録再生媒体を提供することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１は、本発明の一実施の形態に係る光学記録再生媒体の要部の略線的拡大断面図である。この例においては、ＤＶＤ−ＲＷ型の光学記録再生媒体に適用した場合を示す。ＰＣ（ポリカーボネート）等より成る基板１上に、例えば第１の誘電体層２、相変化材料等より成る記録層３、第２の誘電体層４、Ａｌ合金等より成る反射層５、紫外線硬化型樹脂等より成る保護層６が積層されて成る。基板１にはピット領域として第１及び第２のピット領域１１及び１２、また記録領域１３が設けられ、それぞれ例えばＲＥピットを構成する第１のピット１５、ＵＲＥピット等を構成する第２のピット１６、ウォブルグルーブ等より成るグルーブ１７が表面に設けられて成る。記録領域の外周側は記録領域外周部１４として示す。
【００２１】
本発明においては、少なくとも第１及び第２のピット領域１１及び１２における記録トラックのトラックピッチＴｐ１を、少なくとも記録領域１３の内周部、この例においては内周部及び中周部のトラックピッチＴｐ２に比して大として構成する。
ここで記録トラックは連続的に設けられるものが望ましく、例えば螺旋状記録トラックとすることにより、ピット及びグルーブを連続的な一本の記録トラックとして設けることができる。
【００２２】
更に本発明は、この構成において、記録情報を再生する再生用光の波長λを６５０ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡを０．６０±０．０５、トラックピッチを７４０ｎｍ±３０ｎｍとし、ピット領域のトラックピッチと、記録領域の内周部におけるトラックピッチとの比を１．０１６以上１．０４５以下として構成する。
このようにトラックピッチの比を選定することによって、後段の実施例において詳細に説明するように、ＤＶＤ−ＲＷ型構成の光学記録再生媒体におけるプッシュプル信号量の規格を満足する特性の良好な光学記録再生媒体を実現することができた。
【００２３】
また更に、上述の各構成において、記録領域外周部１４のトラックピッチＴｐ３を、外周側に向けて徐々に大となるように変化させる構成とすることによって、同様に後段の実施例において詳細に説明するように、ピット部から記録領域の全領域にわたって、プッシュプル信号量の低下を抑制し、特性の良好な光学記録再生媒体を得ることができた。
さらに上述の各構成において、ピット領域１１、１２に隣接する領域、この場合記録領域１３において、記録トラックと直交する方向、すなわち半径方向に５μｍ以下の範囲でトラックピッチが変化する遷移領域１３Ａを設ける構成とすることにより、トラックピッチを緩やかに変化させてトラッキング特性等への影響を回避し、確実に良好な記録再生特性を実現できる。
【００２４】
図２に本発明構成による光学記録再生媒体製造用スタンパの一例の略線的平面構成図を示す。図２においては、第１のピット領域１１、第２のピット領域１２にＲＥピットを構成する第１のピット１５、ＵＲＥピット等を構成する第２のピット１６が形成され、記録領域１３及び記録領域外周部１４において、ウォブルグルーブとされるグルーブ１７が形成される。
この例では、第１のピット領域１１の内周側にグルーブ領域１０が設けられて記録領域１３と同様にグルーブ１７が形成され、またグルーブ１７の間のランド部に、例えばデータ記録時の高精度位置決め情報等の取得のためのランドプリピット（ＬＰＰ）１８が設けられる場合を示す。各ピット及びグルーブはそれぞれ基板に凹凸を転写する凹凸パターンである。
このスタンパにおいても、ピット領域１１及び１２におけるトラックピッチＴｐ１を、記録領域１３の内周部のトラックピッチＴｐ２に比して大として構成する。また、記録領域外周部１４においては、外周側に向かって徐々にトラックピッチＴｐ３が大となる構成とする。
また、ピット領域１１及び１２に隣接する領域、図示の例では記録領域１３の内周部と、グルーブ領域１０とにおいて、記録トラックと直交する方向に５μｍ以下程度の範囲でトラックピッチが徐々に変化する遷移領域１３Ａを設ける構成としてもよい。
【００２５】
次に、上述の本発明構成による光学記録再生媒体を作製する光学記録方法の一実施の形態について、光学的記録装置の概略構成を示す図３を参照して詳細に説明する。
光学記録再生媒体の製造プロセスにおいて、上述の図２に示すような本発明構成の凹凸パターンをディスク基板の表面に転写するためのスタンパを形成するに際し、ガラス等よりなる原盤用基板上にフォトレジスト等の感光層を塗布した後、図３に示す光学記録装置によって所望の凹凸パターンに対応するパターンの潜像を露光することができる。
【００２６】
すなわち図３に示すように、光源２０から出射されたレーザビームをビームスプリッター２１により第１及び第２の露光ビームに分割し、第２の露光ビームを更にビームスプリッター２２により２つ露光ビームに分割し、一方のビームを受光素子２３によって検出して、図示しないが電気的制御手段等にフィードバックして、光源２０の出力を精度良く制御することができる。
ここで例えば第１の露光ビームにより図２に示すＬＰＰ１８の露光を行い、第２の露光ビームにより第１及び第２のピット１５及び１６、グルーブ１７のパターン露光を行う場合を以下に説明する。
【００２７】
なお上記光源２０としては、特に限定されるものではなく、適宜選択して使用されれば良いがＫｒレーザ（波長λ＝３５１ｎｍ）等の記録用レーザ光を発振するレーザ源を使用することができる。
【００２８】
光源２０より出射されたレーザビームは、平行ビームのまま直進して上記ビームスプリッター２１，２２で反射され、第１及び第２の変調光学系２４及び２５に導かれる。第１の変調光学系２４において、集光レンズ２６を用いて音響光学変調器２７（ＡＯＭ１：Ａｃｏｕｓｔｏ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）に集光し、この音響光学変調器２７により強度変調され発散した第１の露光ビームは、レンズ２９によって平行ビームとなる。同様に第２の変調光学系２５において、集光レンズ３０を用いて音響光学変調器３１（ＡＯＭ２）に集光し、この音響光学変調器３１により強度変調され発散した第２の露光ビームは、レンズ３３によって平行ビームになる。そして、第１及び第２の変調光学系２４及び２５から出射された第１及び第２の露光ビームは、それぞれミラー３５及び３４によって反射され、進行方向が９０°曲げられた上で、移動光学テーブル４０上に水平且つ平行に導かれる。
【００２９】
ここで、第１の変調光学系２４から出射される第１の露光ビームは、１／２波長板３６を介して移動光学テーブル４０上に導かれ、偏光ビームスプリッタ５３（ＰＢＳ）に入射する。また、第２の変調光学系２５から出射され、移動光学テーブル４０上に導かれた第２の露光ビームは、偏向光学系４１によって光学偏向が施された上でミラー５２によって反射されて進行方向が９０°曲げられた上でＰＢＳ５３に入射する。
【００３０】
偏向光学系４１は、ウォブルグルーブのウォブルに対応するように、第２の露光ビームに対して光学偏向を施すためのものである。すなわち、第２の変調光学系２５から出射され偏向光学系４１に入射した第２の露光ビームは、ウェッジプリズム４７を介して音響光学偏向器４８（ＡＯＤ：Ａｃｏｕｓｔｏ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ）に入射し、この音響光学偏向器４８によって、所望する露光パターンに対応するように光学偏向が施される。ここで、音響光学偏向器４８に使用される音響光学素子としては、例えば、酸化テルル（ＴｅＯ２）からなる音響光学素子が好適である。そして、音響光学偏向器４８によって光学偏向が施された第２の露光ビームは、ウエッジプリズム４９を介して偏向光学系４１から出射される。
【００３１】
なお、ウェッジプリズム４７，４９は、音響光学偏向器４８の音響光学素子の格子面に対してブラッグ条件を満たすように第２の露光ビームが入射するようにするとともに、音響光学偏向器４８によって第２の露光ビームに対して光学偏向を施したとしてもビーム水平高さが変わらないよう配置される。
【００３２】
音響光学偏向器４８には、当該音響光学偏向器４８を駆動するための駆動用ドライバ５０が取り付けられており、当該駆動用ドライバ５０には、電圧制御発振器（ＶＣＯ：Ｖｏｌｔａｇｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ）５１からの高周波信号が、アドレス情報を含む制御信号により位相変調され供給される。そして、フォトレジスト等の感光層６２の露光時には、所望する露光パターンに応じた信号が、電圧制御発振器５１から駆動用ドライバ５０に入力され、当該信号に応じて駆動用ドライバ５０によって音響光学偏向器４８が駆動され、これにより、第２の露光ビームに対して光学偏向が施される。
【００３３】
そして、このように偏向光学系４１によって、所望のウォブル情報に対応するように光学偏向が施された第２の露光ビームは、ミラー５２によって反射されて進行方向が９０°曲げられた上でＰＢＳ５３に入射する。
【００３４】
ここで、ＰＢＳ５３は、Ｓ偏光を反射し、Ｐ偏光を透過するようになされている。そして、第１の変調光学系２４から出射された第１の露光ビームを１／２波長板３６を透過させて偏光方向を９０°回転させることによりＰ偏光となっておりＰＢＳ５３を透過し、Ｓ偏光の第２の露光ビームはＰＢＳ５３を反射するようになされる。
【００３５】
そして、進行方向が同一方向となるように再合成されてＰＢＳ５３から出射した第１及び第２の露光ビームは、拡大レンズ５４によって所定のビーム径とされた上でミラー５５によって反射されて対物レンズ５６へと導かれ、当該対物レンズ５６によって感光層６２上に集光される。これにより、感光層６２が露光され、所望のパターンの潜像が形成されることとなる。
【００３６】
このとき、感光層６２が塗布されているガラス等よりなる原盤用の基板６１は、図中矢印ａに示すように回転駆動装置（図示せず）によって回転駆動されるとともに、移動光学テーブル４０によって平行移動され、第１及び第２の露光ビームの照射軌跡に応じた潜像が、感光層６２の全面にわたって形成されることとなる。
【００３７】
尚、上述の光学記録装置には、移動光学テーブル４０の位置を検出できる位置センサ４５が備えられて成り、所望の半径位置より露光を開始し、所望の半径位置まで露光を終了することができる。またレーザスケール４４によりレーザの波長（例えば７８０ｎｍ）を基準にして、送りサーボ４３による送り制御を行い、エアスライダ４２を駆動して、移動光学テーブル４０の送りピッチを瞬時に変更することができ、トラックピッチを精度良く制御することができる。
【００３８】
また、第１の露光ビームと第２の露光ビームはＰＢＳ５３によって光軸方向となるように合成されるので、このＰＢＳ５３の角度を変えることにより感光層６２上に半径方向に所定の間隔をもって配置することができ、図２に示すようにランド（ピットとピットの間、またはグルーブとグルーブの間）にピットを配置するように調整することができる。
【００３９】
このような光学記録装置を用いて、感光層表面に対して所望の凹凸パターン、すなわち第１及び第２の各ピット、グルーブに対応する潜像を、ピット領域を記録領域の少なくとも内周部のトラックピッチより大とした、本発明構成の光学記録再生媒体を製造する光学記録再生媒体製造用スタンパに対応するパターン露光を行うことができる。
【００４０】
すなわち、上記の装置を用いて、例えばＤＶＤ−ＲＷフォーマットに対応させた場合ＲＥピット、ＵＲＥピットとグルーブを螺旋状の記録トラック上に、ピット部とグルーブ部のトラックピッチを異ならせて、さらに記録領域のグルーブ部においてもトラックピッチを徐々に変化させる光学記録方法を実現できる。
【００４１】
次に、この後光学記録再生媒体製造用スタンパを作製する工程を図４Ａ〜Ｆの製造工程図を参照して説明する。
【００４２】
先ず、図４Ａに示すように、上述の光学記録装置により所定の凹凸パターンに対応する露光を行った後、原盤用の基板６１を感光層６２が上部になるように現像機（図示せず）のターンテーブルに載置して、この基板６１を水平面に対して回転させる。この後、現像液を滴下して、感光層６２を現像処理する。これにより図４Ｂに示すように、信号形成面に記録信号に基づく凹凸パターン６３が形成された光ディスク原盤、いわゆるガラス原盤が作製される。
【００４３】
次いでこの光ディスク原盤の凹凸パターン上に無電界メツキ法等によりニツケル皮膜でなる導電化膜層（図示せず）を形成する。導電化膜層が形成された光デイスク原盤を電鋳装置に取り付け、電気メツキ法により導電化膜層上に  ３００±５〔μｍ〕程度の厚さになるようにニツケル等より成るメツキ層６４ａを形成する。続いて図４Ｃに示すように、メツキ層６４ａ付き基板６１からメツキ層６４ａをカッター等で剥離し、その信号形成面のフオトレジスト等の感光層をアセトン等を用いて洗浄し、スタンパ６４、いわゆるマスタースタンパを作製する。
【００４４】
なお、同様に電気メッキ法等によりスタンパ６４の凹凸パターンが転写された第２のスタンパ、いわゆるマザースタンパ６５、また更にこのマザースタンパ６５の凹凸パターンが転写された第３のスタンパ、いわゆるサンスタンパ６６を形成することができる。各スタンパ共に、本発明構成による光学記録再生媒体製造用スタンパとして用いることができることはいうまでもない。
【００４５】
そしてこのスタンパを用いて、ＰＣ等の光透過性樹脂の成形を行い、微小な凹凸（信号に相当するピツトやグルーブパタ−ン）が転写された基板を形成し、この上に色素材料または相変化材料、光磁気膜等の記録膜、保護膜等を順次成膜する。
【００４６】
このようにして本発明構成による光学記録再生媒体、光学記録再生媒体製造用スタンパを得ることができる。次に、具体的に本発明構成のスタンパ及び光学記録再生媒体を製造した実施例について説明する。
【００４７】
〔実施例〕
本実施例及び比較例においては、本発明をＤＶＤ−ＲＷ型構成の光学記録再生媒体、すなわち記録情報を再生する再生用光の波長λを６５０ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡを０．６０±０．０５、トラックピッチを７４０ｎｍ±３０ｎｍとする光学記録再生媒体に適用した場合で、すなわち図１に一例を説明したように、第１及び第２の各ピット領域と記録領域の内周部とにおいてトラックピッチが異なる評価用の光学記録再生媒体を作製した。
【００４８】
以下の各例においては、光学記録装置における光源の波長λを３５０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡを０．９にした。第１及び第２の変調光学系における音響光学素子は酸化テルル（ＴｅＯ２）を用いた。各音響光学素子に供給されるのはＬＰＰを形成する場合はアドレスピット信号、またＲＥピット、ＵＲＥピットを形成する場合はＥＦＭ＋（８−１６変調）信号であり、グルーブを形成する場合は一定レベルのＤＣ信号である。ＬＰＰのアドレス信号やＥＦＭ＋信号によって、レーザ光が強度変調（ＯＮ／ＯＦＦ）される。
【００４９】
また各例ともに、内周側のグルーブ領域、第１及び第２のピット領域と記録領域の記録トラックは１つの螺旋状に形成した。
ピット領域と記録領域のトラックピッチを変更する記録方法は、線速０．８７２５ｍ／ｓになるようにターンテーブルの回転数を制御しながら、移動光学テーブルの送りピッチを変化させてトラックピッチを制御した。
【００５０】
また各例ともに、トラックピッチを変化させてレーザ光を照射して所望のパターンの露光を行った後、現像処理により凹凸パターンを作製して光ディスク原盤を作製し、この原盤からスタンパを作製して光学記録再生媒体用の基板を形成し、この上にＤＶＤ−ＲＷ型構成の各記録層等を成膜して本発明構成の光学記録再生媒体を作製した。
【００５１】
この成膜工程としては、例えば所望の凹凸パターンが転写形成された基板１の凹凸パターンが形成された面上に、ＺｎＳ−ＳｉＯ２等からなる第１の誘電体層２と、ＧｅＳｂＴｅ合金等からなる相変化材料より成る記録層３と、ＺｎＳ−ＳｉＯ２等からなる第２の誘電体層４とＡｌＣｕ合金等からなる反射層５をスパッタリングによって順次成膜する。その後、反射層５上に紫外線硬化樹脂をスピンコート法により塗布し、当該紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させることにより、保護層６を形成した。
【００５２】
〔１〕実施例１
各ピット領域と記録領域のトラックピッチを変更する記録方法は、線速０．８７２５ｍ／ｓになるようにターンテーブルの回転数を制御しながら、移動光学テーブルの送りピッチを以下のように変化させた。
【００５３】
（１）グルーブ領域（ピット領域の内周側）
半径２１．９〜２３．８０ｍｍ：０．７３５μｍ
（２）第１及び第２のピット領域
半径２３．８０〜２３．９４ｍｍ：０．７６０μｍ
（３）記録領域内周部から中周部
半径２３．９４〜５０．０ｍｍ：０．７３５μｍ
【００５４】
（４）記録領域外周部
半径５０．０〜５１．０ｍｍ：０．７３８μｍ
半径５１．０〜５２．０ｍｍ：０．７４１μｍ
半径５２．０〜５３．０ｍｍ：０．７４４μｍ
半径５３．０〜５４．０ｍｍ：０．７４７μｍ
半径５４．０〜５５．０ｍｍ：０．７５０μｍ
半径５５．０〜５６．０ｍｍ：０．７５３μｍ
半径５６．０〜５７．０ｍｍ：０．７５６μｍ
半径５７．０〜５８．６ｍｍ：０．７６０μｍ
【００５５】
なお、上述のピット領域に隣接する数トラック分の領域、すなわち半径方向に５μｍ程度の範囲は、トラックピッチが徐々に変化する遷移領域とした。
また上述したように、記録領域外周部においては、徐々に送りピッチを変えて露光し、トラックピッチが外周側に向かって徐々に大となるように露光を行った。この実施例１においては、トラックピッチの変化量はほぼ２．６ｎｍ／ｍｍである。
以上の工程により、本発明構成によるＤＶＤ−ＲＷ相変化型光学記録再生媒体の実施例１による光学記録再生媒体が完成する。
【００５６】
〔２〕実施例２
上述の実施例１と同様の光学条件により、トラックピッチのみを以下のように変化させて光学記録を行って光ディスク原盤を作製し、その後同様の工程によりスタンパ、光学記録再生媒体用基板、更に光学記録再生媒体を作製した。
【００５７】
（１）グルーブ領域（ピット領域の内周側）
半径２１．９〜２３．８０ｍｍ：０．７３８μｍ
（２）第１及び第２のピット領域
半径２３．８０〜２３．９４ｍｍ：０．７５０μｍ
（３）記録領域内周部から中周部
半径２３．９４〜５０．０ｍｍ：０．７３８μｍ
（４）記録領域外周部
半径５０．０〜５５．０ｍｍ：０．７３８〜０．７５３μｍ
半径５５．０〜５７．０ｍｍ：０．７５３〜０．７５６μｍ
半径５７．０〜５８．５ｍｍ：０．７５６〜０．７６０μｍ
【００５８】
すなわちこの場合の記録領域外周部におけるトラックピッチの変化量は２．６ｎｍ／ｍｍである。
このようにトラックピッチを変化させて光学記録を行い光学記録再生媒体を作製した。
【００５９】
〔３〕実施例３
上述の実施例１と同様の光学条件により、トラックピッチのみを以下のように変化させて光学記録を行って光ディスク原盤を作製し、その後同様の工程によりスタンパ、光学記録再生媒体用基板、更に光学記録再生媒体を作製した。
【００６０】
（１）グルーブ領域（ピット領域の内周側）
半径２１．９〜２３．８０ｍｍ：０．７３２μｍ
（２）第１及び第２のピット領域
半径２３．８０〜２３．９４ｍｍ：０．７６５μｍ
（３）記録領域内周部から中周部
半径２３．９４〜５０．０ｍｍ：０．７３２μｍ
（４）記録領域外周部
半径５０．０〜５５．０ｍｍ：０．７３２〜０．７４７μｍ
半径５５．０〜５７．０ｍｍ：０．７４７〜０．７５７μｍ
半径５７．０〜５８．５ｍｍ：０．７５７〜０．７６２μｍ
【００６１】
すなわちこの場合の記録領域外周部におけるトラックピッチの変化量は３．５ｎｍ／ｍｍである。
このようにトラックピッチを変化させて光学記録を行い光学記録再生媒体を作製した。
【００６２】
〔４〕比較例１
次に、光学条件を上述の各例と同様として、トラックピッチをグルーブ領域から記録領域外周部にかけて均一に０．７４μｍとして光学記録を行い、同様に光学記録再生媒体を作製した。
【００６３】
以上の実施例１〜３、比較例１における光学記録再生媒体に対する評価を行った。評価機として、再生用光の波長λが６６０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．６０の光ピックアップを有する光学記録再生装置を用いて、以上のように作製した各光学記録再生媒体についてピットの信号特性、ウォブルグルーブの信号特性を評価した。トラッキングはプッシュプル信号を用いて行った。
【００６４】
ピットの信号特性は、実施例１〜３、比較例１における光学記録再生媒体共に、安定なトラッキングおよびピットの信号の安定な再生を行うことができ、良好な再生特性を得ることができた。ジッターは実施例１〜３の光学記録再生媒体が７．０％、比較例１の光学記録再生媒体が６．９％であった。
【００６５】
また実施例１〜３、比較例１のすべての光学記録再生媒体においてウォブル信号を安定に再生することができた。更に、ウォブルグルーブの記録再生のジッターは、実施例１〜３における光学記録再生媒体が６．８〜７．２％、比較例１における光学記録再生媒体が６．９〜７．１％であった。
【００６６】
次に、実施例１〜３、比較例１による媒体において、各領域のプッシュプル信号量を測定した。また、第１のピット、すなわちＲＥピットとグルーブとのプッシュプル信号の比である信号特性ＥＰＰｒ１、ＵＲＥピットとグルーブとのプッシュプル信号の比である信号特性ＥＰＰｒ２を測定した。この結果を以下の表１〜４にそれぞれ示す。
【００６７】
【表１】
2005032317.tif 000003
【００６８】
【表２】
2005032317.tif 000004
【００６９】
【表３】
2005032317.tif 000005
【００７０】
【表４】
2005032317.tif 000006
【００７１】
トラックピッチが均一とされた比較例１における光学記録再生媒体では、ＲＥピットのプッシュプル信号量が小さく、ＥＰＰｒ１が３．１であり規格外である。また、成形の転写性や複屈折などや記録膜成膜などの影響で外周部のプッシュプル信号量が減少し、記録領域外周部の半径５８．５ｍｍでは０．２０で規格外となってしまう。
【００７２】
しかしながら、トラックピッチを適切に変化させた本発明構成による実施例１〜３の光学記録再生媒体では、ＥＰＰｒ１が３ｄＢ未満、外周部のプッシュプル信号量も０．２２以上となり、記録領域におけるプッシュプル信号量は充分に規格を満たしている。
【００７３】
このように、トラックピッチを全面にわたり同一とする光学記録再生媒体では、サーボ信号やピットの信号特性をＤＶＤ−ＲＷの規格を充たすことは難しかった。特にＥＰＰｒ１や外周部のプッシュプル信号量はＤＶＤ−ＲＷ規格を充たすことは難しかった。
これに対し本発明においては、トラックピッチを適切に変化させ、ＥＰＰｒ１や外周部のプッシュプル信号量がＤＶＤ−ＲＷ規格を容易に充たすことが可能となることがわかる。
【００７４】
また上述の実施例１〜３においては、ピット領域のトラックピッチＴｐ１と記録領域内周部のトラックピッチＴｐ２の比Ｔｐ１／Ｔｐ２は、
７５０／７３８≦Ｔｐ１／Ｔｐ２≦７６５／７３２
すなわち、
１．０１６≦Ｔｐ１／Ｔｐ２≦１．０４５
とするときに、良好なプッシュプル信号量、ＥＰＰｒ１特性が得られることがわかる。したがって、本発明においては、トラックピッチの比を上記の範囲に選定するものである。
【００７５】
また更に、記録領域の外周部のトラックピッチを、外周側に向けて徐々に大となるように変化させる構成とすることによって、実質的に成膜プロセスや基板転写成形時の不都合により比較的記録再生特性に劣る外周部においてトラックピッチを内周側または中周側に比して大とし、これにより良好なプッシュプル信号特性を保持することができる。
【００７６】
なお、各実施例ともに、記録領域の外周部として、半径５０．０ｍｍから最外周部にかけてトラックピッチを変化させている。この領域は、記録領域がほぼ半径２４．０ｍｍからとすると、全体の１／４程度の領域となる。すなわち、記録領域において、半径方向に３／４程度をピット領域に比してトラックピッチを小とし、外周側１／４程度の領域において、トラックピッチを徐々に大とすることにより、記録再生特性の劣化を回避することができることがわかる。
【００７７】
なお、この変化量としては、上記実施例１〜３においては２．６ｎｍ／ｍｍ〜３．５ｎｍ／ｍｍであったが、好ましくは５ｎｍ／ｍｍ以下程度に抑えることにより、急激なトラックピッチ変化によるトラッキング特性への影響を回避し、良好な記録再生特性を保持することができる。
【００７８】
同様に、上述の各実施例１〜３においては、ピット領域、すなわち第１及び第２のピット領域に隣接する領域において、記録トラックと直交する方向、すなわち半径方向に５μｍ以下の幅で、特に上記の例においては内周側のグルーブ領域と記録領域の内周部とにおいて、トラックピッチを変化させる領域を設けて、トラックピッチが緩やかに変化する構成とした。これにより、同様に急激なトラックピッチ変化によるトラッキング特性への影響を回避して、良好な記録再生特性を実現できた。
【００７９】
尚、上述の各例においては、本発明をＤＶＤ−ＲＷ型構成の光学記録再生媒体に適用した場合を説明したが、本発明はその他の光学記録再生媒体、すなわちピットとグルーブが連続的な記録トラックに形成され、例えばほぼ１つの螺旋状につながっているＭＤや、ＤＶＤ＋ＲＷ（商品名）４．７ＧＢ等の光学記録再生媒体、またＤＶＤ−ＲＷと同様のピット領域が設けられるＤＶＤ＋ＲＷ、ＤＶＤ−Ｒ等の各種の光学記録再生媒体、及びその製造用のスタンパ、光学記録方法に適用することができることはいうまでもない。
【００８０】
【発明の効果】
上述したように本発明によれば、少なくともピット領域のトラックピッチを少なくとも記録領域の内周部のトラックピッチに比して大とすることにより、プッシュプル信号量を安定的に、規格値以上とすることができる。
【００８１】
また、本発明構成による光学記録再生媒体において、記録情報を再生する再生用光の波長λが６５０ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．６０±０．０５、トラックピッチが７４０ｎｍ±３０ｎｍとして、ピット領域のトラックピッチと、記録領域の内周部におけるトラックピッチとの比を１．０１６以上１．０４５以下として構成することによって、確実にピットのプッシュプル信号量を規格値を満足し、またピットと記録領域のグルーブのプッシュプル信号振幅比を確実に規格値を満足することができた。
【００８２】
また更に、上述の各本発明構成の光学記録再生媒体において、記録領域の外周部のトラックピッチを、外周側に向けて徐々に大となるように変化させる構成とすることによって、良好なプッシュプル信号特性を保持することができる。
【００８３】
更に、上述の各本発明構成の光学記録再生媒体において、ピット領域に隣接する領域において、記録トラックと直交する方向に幅５μｍ以下の範囲でトラックピッチを変化させることにより、同様に良好なプッシュプル信号特性を得ることができる。
【００８４】
また更に本発明による光学記録再生媒体製造用スタンパ及び光学記録方法によれば、上述の各構成による本発明光学記録再生媒体を製造することができ、信号再生特性の良好な高密度光学記録再生媒体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光学記録再生媒体の一例の要部の略線的拡大断面図である。
【図２】本発明による光学記録再生媒体製造用スタンパの一例の略線的拡大平面構成図である。
【図３】光学記録装置の概略構成図である。
【図４】光学記録再生媒体製造用スタンパの製造工程図である。
【符号の説明】
１  基板、２  第１の誘電体層、３  記録層、４  第２の誘電体層、５  反射層、６  保護層、１０  グルーブ領域、１１  第１のピット領域、１２  第２のピット領域、１３  記録領域、１３Ａ  遷移領域、１４  記録領域外周部、１５第１のピット、１６  第２のピット、１７  グルーブ、１８  ランドプリピット、２０  光源、２１  ビームスプリッター、２２  ビームスプリッター、２３受光素子、２４  第１の変調光学系、２５  第２の変調光学系、２６  レンズ、２７  音響高額変調器（ＡＯＭ１）、２８  ドライバ、２９  レンズ、３０  レンズ、３１  音響光学変調器（ＡＯＭ２）、３２  ドライバ、３３  レンズ、３４  ミラー、３５  ミラー、３６  １／２波長板、４０  移動光学テーブル、４１  偏向光学系、４２  エアスライダ、      ４３送りサーボ、４４  レーザスケール、４５  位置センサ、４７  ウェッジプリズム、４８  音響光学偏向器（ＡＯＤ）、４９  ウェッジプリズム、５０  ドライバ、５１  電圧制御発振器、５２  ミラー、５３  偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）、５４  拡大レンズ、５５  ミラー、５６  対物レンズ、６１  基板、６２  感光層、６３  凹凸パターン、６４ａ  メッキ層、６４  スタンパ、６５  マザースタンパ、６６  サンスタンパ
【図１】
2005032317.tif 000007
【図２】
2005032317.tif 000008
【図３】
2005032317.tif 000009
【図４】
2005032317.tif 000010