(57)【要約】【課題】  ＴＦＴアレイ検査装置において、異常があるＴＦＴアレイのみへの検査信号を停止させ、また、ＴＦＴアレイ検査装置の検査効率を向上させること。【解決手段】  ＴＦＴアレイ検査装置１は、基板１０上に形成されたＴＦＴアレイ１１を検査する。基板１０上に配列される複数のＴＦＴアレイ１１に入力する検査信号を管理する信号パターン管理手段３と、検査信号の入力により各ＴＦＴアレイから得られる検出信号を各ＴＦＴアレイ毎に監視し、その監視結果に基づいて検査信号のＴＦＴアレイへの入力をＴＦＴアレイ毎に個別に制御する信号監視制御手段６とを備える。ＴＦＴアレイ毎に検査信号の供給・停止を可能とし、これにより、異常があるＴＦＴアレイのみへの検査信号を停止させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成されたＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置であって、
基板上に配列される複数のＴＦＴアレイに入力する検査信号を管理する信号パターン管理手段と、
前記検査信号の入力により前記各ＴＦＴアレイから得られる検出信号を各ＴＦＴアレイ毎に監視し、当該監視結果に基づいて前記検査信号のＴＦＴアレイへの入力をＴＦＴアレイ毎に個別に制御する信号監視制御手段とを備えたことを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項２】
前記信号監視制御手段は、検出信号と前記検査信号のパターンに対応するしきい値とを比較することにより検出信号を監視することを特徴とする、請求項１に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項３】
前記検査信号を各ＴＦＴアレイに送信する配線上にスイッチ手段を備え、前記信号監視制御手段は当該スイッチ手段を個別に開閉制御することを特徴とする、請求項１に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項４】
前記信号パターン管理手段は、予め定められた信号パターンからの選択、及び／又は信号パターンの形成により、発生する検査信号の信号パターンを設定することを特徴とする、請求項１に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＦＴアレイ検査装置に関し、ＴＦＴアレイ基板上に設けられた複数のＴＦＴアレイのパネルの欠陥検査を行う検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置等を駆動するＴＦＴ（薄膜トランジスタ）アレイは、マトリックス状に配列された複数の画素電極とこれらの画素電極と対向して配列された対向電極とを備え、この電極間に液晶を介在させることにより液晶表示装置が構成される。このような液晶表示装置の検査として、通常、各過程での光学的検査、基板完成段階の電気的検査、ドライバなどの実装部材を取り付ける前のパネル部分の点灯検査、電気的検査等が行われる。
【０００３】
ＴＦＴアレイは、一枚のＴＦＴアレイ基板に複数パネル分形成され、各ＴＦＴアレイは、行方向及び列方向に設けられたゲート配線とソース配線の交差部に形成され、ゲート配線及びソース配線が接続されている。また、ＴＦＴアレイは画素電極とも接続されている。
【０００４】
また、ＴＦＴアレイ基板には、検査用の配線がゲート配線及びソース配線に対してそれぞれ設けられ、これらの検査用配線を介してＴＦＴアレイに所定の検査信号を印加することにより、短絡や断線等の欠陥検査が行われている。（特許文献１参照）。
【０００５】
ＴＦＴアレイ検査において、印加した検査信号に応じてＴＦＴアレイから得られる検出信号を用いるものが知られている。
【０００６】
図９は、従来のＴＦＴアレイ検査装置を説明するための概略図である。図９において、ＴＦＴアレイ基板１０には複数のＴＦＴアレイ１１ａ〜１１ｆのパネルが形成されている。ＴＦＴアレイ検査装置２０は、ＴＦＴアレイ基板１０上に形成した共通配線を介して各ＴＦＴアレイ１１ａ〜１１ｆに検査信号を供給し、各ＴＦＴアレイ１１ａ〜１１ｆで得られる信号を共通配線を介して検出し、ＴＦＴアレイの短絡、断線等の欠陥検査を行っている。
【特許文献１】特開２００２−３４１３７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来のＴＦＴアレイ検査装置では、ＴＦＴアレイ基板上に形成される複数のＴＦＴアレイの内のいずれか１つのＴＦＴアレイにおいても検出信号に異常が認められる場合には、ＴＦＴアレイ基板上の全てのＴＦＴアレイに対して検査信号の供給を停止している。
【０００８】
図９（ｂ）は、ＴＦＴアレイ基板１０上に形成された複数のＴＦＴアレイ１１ａ〜１１ｆの内、一例としてＴＦＴアレイ１１ｃに欠陥が含まれている場合を示している。ＴＦＴアレイ検査装置２０は、ＴＦＴアレイ１１ａ〜１１ｆに検査信号を送り、各ＴＦＴアレイからの検出信号に基づいて欠陥検査を行う。なお、このとき、各ＴＦＴアレイからの検出信号を個別に取得して欠陥検査を行うことも、各ＴＦＴアレイからの検出信号を一括して取得して欠陥検査を行うこともできる。ＴＦＴアレイ検査装置２０は欠陥検査によりＴＦＴアレイに異常が発見された場合には、全てのＴＦＴアレイ１１ａ〜１１ｆへの検査信号の送信を停止する。
【０００９】
これは、例えば、何れか１つでもＴＦＴアレイに短絡欠陥がある場合には過電流が流れるおそれがあり、少なくともそのＴＦＴアレイへの検査信号の供給を停止して過電流の発生を防ぐ必要がある。このとき、従来のＴＦＴアレイ検査装置では、全ＴＦＴアレイの各配線は共通する検査用配線を介して接続されているため、ＴＦＴアレイ基板上のＴＦＴアレイの１つでも異常が検出された場合には、全ＴＦＴアレイの検査が停止することになる。
【００１０】
したがって、複数のＴＦＴアレイの内１つでも不良なＴＦＴアレイが検出されると、全てのＴＦＴアレイを廃棄しなければならず、その他の異常のないＴＦＴアレイが無駄になるという問題がある。また、異常が発見されたＴＦＴアレイについてもレーザー等により修正が可能である場合もあり、修正後のＴＦＴアレイのみの検査が可能であれば、欠陥を含むＴＦＴアレイについても破棄することなく無駄なく活用することができる。
【００１１】
そこで、本発明は上記課題を解決し、ＴＦＴアレイ検査装置において、異常があるＴＦＴアレイのみへの検査信号を停止させることを目的とし、これによって、ＴＦＴアレイ検査装置の検査効率を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、ＴＦＴアレイ毎に検査信号の供給・停止を可能とするものであり、これにより、異常があるＴＦＴアレイのみへの検査信号を停止させることができる。
【００１３】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置は、基板上に形成されたＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置であって、基板上に配列される複数のＴＦＴアレイに入力する検査信号を管理する信号パターン管理手段と、検査信号の入力により各ＴＦＴアレイから得られる検出信号を各ＴＦＴアレイ毎に監視し、その監視結果に基づいて検査信号のＴＦＴアレイへの入力をＴＦＴアレイ毎に個別に制御する信号監視制御手段とを備える。
【００１４】
信号パターン管理手段は、ＴＦＴアレイを検査するための検査信号を管理し、ＴＦＴアレイに対して検査信号を送る。信号パターン管理手段が行う管理は、予め用意しておいた検査信号から検査目的に応じたパターンの検査信号を選びだす選択処理、用意しておいた検査信号を編集して所望の検査信号とする編集処理、新たに検査信号を形成する形成処理等を含む。
【００１５】
信号パターンは、ＴＦＴアレイのゲートやソース等について短絡や断線等の異常を検査するために、ゲート電極、ソース電極、共通電極等の各電極に印加する信号のパターンであり、検査目的に応じて設定する。ＴＦＴアレイに印加する検査信号は、信号パターン管理手段で設定した信号パターンに基づいて信号発生手段で発生させることができる。
【００１６】
ＴＦＴアレイは、正常であれば印加された信号パターンに応じた所定パターンの電圧変化を所定の電圧範囲で示す。信号監視制御手段は、ＴＦＴアレイから得られる検出信号のパターンや電圧状態を監視することにより、ＴＦＴアレイが正常であるか異常であるかを検査する。
【００１７】
ここで、信号監視制御手段は、検査目的に応じて設定したしきい値を用いて検出信号を監視する。このしきい値は検査信号のパターンに対応して予め設定しておき、検査の際に信号パターン管理手段が設定する検査信号のパターンに対応して選択することができる。また、検査信号を編集、あるいは新たに形成した場合には、しきい値も検査処理の信号パターンに対応して定めることができる。
【００１８】
信号パターン管理部、あるいは信号パターン管理部に応じて検査信号を発生する信号発生部と、各ＴＦＴアレイとの間を接続する配線上には各配線毎にスイッチ手段を設け、このスイッチ手段の開閉制御は、信号監視制御手段により個別に行うことができる。
【００１９】
スイッチ手段の開閉制御を個別に行う構成とし、この開閉制御を信号監視制御手段の各ＴＦＴアレイ毎の監視結果に基づいて行うことにより、異常なＴＦＴアレイへの検査信号を停止し、正常なＴＦＴアレイへの検査信号の送信についてはそのまま継続することができる。
【００２０】
また、本発明のＴＦＴアレイ検査装置によれば、信号監視制御手段により所望のＴＦＴアレイへのみ検査信号を送信することもできる。
【００２１】
また、本発明のＴＦＴアレイ検査装置によれば、スイッチ手段の開制御して電圧が出力されている信号部分を所望のタイミングで停止させ、信号パターン管理手段に依ることなく検査信号を編集することもできる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置によれば、ＴＦＴアレイ検査装置において、異常があるＴＦＴアレイのみへの検査信号を停止させることができる。また、ＴＦＴアレイ検査装置の検査効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の形態について図を用いて説明する。
【００２４】
図１は、本発明の第１の形態を説明するための概略図である。図１において、ＴＦＴアレイ基板１０には図９と同様に複数のＴＦＴアレイ１１（１１ａ〜１１ｆ）のパネルが形成されている。ＴＦＴアレイ基板１０には、各ＴＦＴアレイ１１に検査信号を送るための検査信号用配線１２、各ＴＦＴアレイ１１からの出力信号を検出するための出力信号用配線１３が設け、ＴＦＴアレイ毎に検査信号を送信し、また、ＴＦＴアレイ毎の出力信号を検出することができる。
【００２５】
ＴＦＴアレイ検査装置１は、ＴＦＴアレイに検査信号を送る構成と、ＴＦＴアレイの出力信号を管理する構成とを備える。
【００２６】
ＴＦＴアレイに検査信号を送る構成として、信号パターン管理部２、信号発生部３、記録部４及び表示部５を備える。信号パターン管理部２は、ＴＦＴアレイに印加する検査信号のパターンを管理する部分であり、予め記録部４に記録しておいた信号パターンの中から検査目的に応じた信号パターンを選択する他、信号パターンを編集あるいは形成することができる。
【００２７】
信号パターンの編集は、記録部４に記録しておいた既存の信号パターンを読み出し、信号の立ち上がりあるいは立ち下がりのタイミングを変更すことにより、新たな信号パターンを設定する。また、信号パターンの形成では新たな信号パターンを設定する。編集あるいは形成したし信号パターンは、記録部４に記録することができる。信号パターン管理部２で処理する信号は、表示部５に表示することができる。
【００２８】
ＴＦＴアレイの出力信号を管理する構成として、信号監視制御部６、記録部７、しきい値テーブル８、表示手段９、スイッチ手段１５（１５ａ〜１５ｆ）を備える。信号監視制御部６は、ＴＦＴアレイを監視する部分であり、ＴＦＴアレイの出力信号を監視して異常であるか正常であるかを監視し、異常である場合には異常と判定したＴＦＴアレイへの検査信号の送信を停止する。検査信号の送信停止は、検査信号用配線１２に設けたスイッチ手段１５の内で異常を検出したＴＦＴアレイに対応するスイッチ手段１５に対して制御用信号配線１４を介して制御信号を送り開閉制御することで行う。
【００２９】
また、検査信号を開閉制御するスイッチ手段１５はＴＦＴアレイ基板１０上に設ける構成とすることもでき、この場合にはＴＦＴアレイ基板１０にも制御信号用配線１４を設ける。
【００３０】
ＴＦＴアレイの出力信号が異常であるか否かの判定は、出力信号をしきい値と比較することで行う。比較に用いるしきい値は、検査に用いた信号パターンに対応して予めしきい値テーブル８等に設定されており、例えば信号パターン管理部２から検査に用いた信号パターンの情報を取得し、この信号パターンに対応するしきい値をしきい値テーブル８から読み出すことで比較することができる。なお、出力信号や監視結果は、記録部７に記録する他、表示手段９に表示することができる。
【００３１】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置の動作例を図２のフローチャート、及び図３の動作図を用いて説明する。なお、ここで示す動作例は、信号パターンを選択する場合である。
【００３２】
信号パターン管理部２は、検査目的に応じて用いる信号パターンを選択し（ステップＳ１）、当該信号パターンを信号発生部３に送る（ステップＳ２）。信号発生部３は、送られた信号パターンに基づいて検査信号を発生し、検査用信号配線１２を介してＴＦＴアレイ１１に送る（ステップＳ３）。
【００３３】
ＴＦＴアレイ１１は、検査信号が印加されると、正常である場合には所定パターンの信号を出力し、短絡や断線等の異常がある場合にはその異常に応じた信号を出力する。
【００３４】
信号監視制御部６は出力信号をしきい値と比較することにより監視を行って異常判定を行う。このしきい値は、しきい値テーブル等から読み出すことにより検査信号に応じた値を用いることができる（ステップＳ４）。
【００３５】
出力信号がしきい値を越えている場合には（ステップＳ５）、ＴＦＴアレイに異常があると判定して、しきい値を越えたＴＦＴアレイへの検査信号の送信を停止する。これにより、異常が検出されたＴＦＴアレイへの検査信号の送信は停止するが、異常が検出されないＴＦＴアレイについては、引き続き検査信号の送信が継続される。なお、出力信号がしきい値を越えるの意味は、しきい値が上限値として設定されている場合には、出力信号の信号値がしきい値で設定される電圧値を上回る場合を意味し、しきい値が下限値として設定されている場合には、出力信号の信号値がしきい値で設定される電圧値を下回る場合を意味するものとする（ステップＳ６）。ステップＳ５において、出力信号がしきい値を越えていない場合には、検査信号の送信を停止することなく送信を継続する。
【００３６】
信号監視制御部６は、モニタ状況を表示部５に表示する他、記録部７に記録する（ステップＳ７）。
【００３７】
検査内容を変更する場合には、信号パターン管理部２は信号パターンを変更し、前記ステップＳ１〜ステップＳ７の工程を繰り返す（ステップＳ８）。ステップＳ１〜ステップＳ８の工程は検査終了まで繰り返す（ステップＳ９）。
【００３８】
図３は、ＴＦＴアレイ検査装置の動作における信号の流れを示し、選択した信号パターンによりＴＦＴアレイを検査する場合について示している。
【００３９】
信号パターン管理部２において、例えばゲート線の断線を検査内容として選択すると、記録部に記録される信号パターンの中から選択したゲート線の断線に対応した信号パターンを抽出し信号発生部３に送る。また、信号パターン管理部２は、選択した信号パターンに関する情報（ここでは、対応する番号Ｎｏ．４）を信号監視制御部６に送り、しきい値テーブルから対応するしきい値を読み出す。ここでは、例えば、出力線１に対するしきい値Ｖ４１と出力線２に対するしきい値Ｖ４２を読み出し、信号監視制御部６に送る。
【００４０】
信号発生部３は、送られた信号パターンに基づいて検査信号を発生してＴＦＴアレイ基板１０のＴＦＴアレイに送信する。ＴＦＴアレイは、検査信号及びＴＦＴアレイの状態に応じた出力信号を出力する。
【００４１】
信号監視制御部６は、ＴＦＴアレイの出力信号を検出し、比較手段６ａにおいてしきい値との比較を行う。スイッチ制御手段６ｂは、比較結果に基づいてスイッチ手段１５の開閉を制御する。比較結果により、ＴＦＴアレイに異常が検出された場合には、そのＴＦＴアレイに検査信号を送る検査用信号配線に設けられたスイッチ手段１５を制御して、検査信号の送信を停止する。ＴＦＴアレイに異常が検出されないその他のＴＦＴアレイについては、検査信号の送信を継続する。
【００４２】
図４は、ＴＦＴアレイ１１ａ〜１１ｆの内ＴＦＴアレイ１１ｃに異常が検出された状態を一点鎖線で示している。信号監視制御部６は、ＴＦＴアレイ１１ｃに検査信号を送る検査信号用配線１２に設けられたスイッチ手段１５ｃに制御信号を送り、スイッチ手段１５ｃを制御して検査信号の送信を停止する。
【００４３】
次に、本発明のＴＦＴアレイ検査装置の他の動作例について、図５のフローチャート、及び図６の動作図を用いて説明する。ここで説明する動作例は、信号パターンを形成あるいは編集する場合である。
【００４４】
信号パターン管理部２は、検査目的に応じて用いる信号パターンを、編集、あるいは形成すると共に（ステップＳ１１）スイッチ、信号パターンに対するしきい値を設定し、記録部４に記録する。また、しきい値を信号監視制御部６に送りしきい値テーブル８に記録する（ステップＳ１２）。
【００４５】
信号パターン管理部２において、信号パターンを選択し（ステップＳ１３）、選択した信号パターンを記録部４から読み出し、当該信号パターンを信号発生部３に送る（ステップＳ１４）。信号パターン管理部２は、信号監視制御部６に信号パターンあるいはしきい値を知らせる（ステップＳ１５）。
【００４６】
信号発生部３は、送られた信号パターンに基づいて検査信号を発生し、検査用信号配線１２を介してＴＦＴアレイ１１に送る（ステップＳ１６）。
【００４７】
ＴＦＴアレイ１１は、検査信号が印加されると、正常である場合には所定パターンの信号を出力し、短絡や断線等の異常がある場合にはその異常に応じた信号を出力する。
【００４８】
信号監視制御部６は、信号パターン管理部２から送られた信号パターンあるいはしきい値の情報に基づいて、しきい値を設定する。信号パターンが送られた場合には、この信号パターンに対応するしきい値をしきい値テーブル８から読み出して設定する。信号監視制御部６は、出力信号をしきい値と比較することにより監視を行って異常判定を行う（ステップＳ１７）。
【００４９】
出力信号がしきい値を越えている場合には（ステップＳ１８）、ＴＦＴアレイに異常があると判定して、しきい値を越えたＴＦＴアレイへの検査信号の送信を停止する。これにより、異常が検出されたＴＦＴアレイへの検査信号の送信は停止するが、異常が検出されないＴＦＴアレイについては、引き続き検査信号の送信が継続される。なお、出力信号がしきい値を越えるの意味は、しきい値が上限値として設定されている場合には、出力信号の信号値がしきい値で設定される電圧値を上回る場合を意味し、しきい値が下限値として設定されている場合には、出力信号の信号値がしきい値で設定される電圧値を下回る場合を意味するものとする（ステップＳ１９）。ステップＳ１８において、出力信号がしきい値を越えていない場合には、検査信号の送信を停止することなく送信を継続する。
【００５０】
信号監視制御部６は、モニタ状況を表示部５に表示する他、記録部７に記録する（ステップＳ２０）。
【００５１】
検査内容を変更する場合には、信号パターン管理部２は信号パターンを選択し（ステップＳ２１）、前記ステップＳ１３〜ステップＳ２０の工程を繰り返す（ステップＳ２１）。ステップＳ１３〜ステップＳ２１の工程は検査終了まで繰り返す（ステップＳ２２）。
【００５２】
図６は、ＴＦＴアレイ検査装置の他の動作における信号の流れを示し、形成あるいは編集した信号パターンによりＴＦＴアレイを検査する場合について示している。
【００５３】
信号パターン管理部２において、新たな検査内容に対応する信号パターン及びしきい値を形成あるいは編集すると、この信号パターンを信号発生部３に送る。また、信号パターン管理部２は、しきい値を信号監視制御部６に送り、しきい値テーブル８に記録する。ここでは、例えば、出力線１に対するしきい値Ｖｎ１と出力線２に対するしきい値Ｖｎ２を設定し、しきい値テーブル８に記録する。このしきい値は信号監視制御部６に設定の比較部６ａに比較値として設定される。
【００５４】
信号発生部３は、送られた信号パターンに基づいて検査信号を発生してＴＦＴアレイ基板１０のＴＦＴアレイに送信する。ＴＦＴアレイは、検査信号及びＴＦＴアレイの状態に応じた出力信号を出力する。
【００５５】
信号監視制御部６は、ＴＦＴアレイの出力信号を検出し、比較手段６ａにおいてしきい値との比較を行う。スイッチ制御手段６ｂは、比較結果に基づいてスイッチ手段１５の開閉を制御する。比較結果により、ＴＦＴアレイに異常が検出された場合には、そのＴＦＴアレイに検査信号を送る検査用信号配線に設けられたスイッチ手段１５を制御して、検査信号の送信を停止する。ＴＦＴアレイに異常が検出されないその他のＴＦＴアレイについては、検査信号の送信を継続する。
【００５６】
次に、本発明の第２の形態について、図７の概略図及び図８の動作図を用いて説明する。第１の形態は、しきい値テーブルをＴＦＴアレイの出力信号を管理する構成側である信号監視制御部に設けた形態であるのに対して、第２の形態は、しきい値テーブルをＴＦＴアレイに検査信号を送る構成である信号パターン管理部に設けた形態である。
【００５７】
図７の概略図において、図１の概略図と相違する構成はしきい値テーブル８の設定構成であり、その他の構成は共通しているため、ここでは、共通する構成の説明は省略する。      
【００５８】
信号監視制御部６は、検査動作において、信号パターン管理部２から信号パターンに対応するしきい値の情報を受けて設定し、ＴＦＴアレイ１１の出力信号と比較する。
【００５９】
図８は、ＴＦＴアレイ検査装置の第２の形態の動作における信号の流れを示している。
【００６０】
信号パターン管理部２において、検査内容を選択すると、選択した検査内容に応じた信号パターンを信号発生部３に送り、しきい値を信号監視制御部６に送る。信号監視制御部６はしきい値を比較部６ａに比較値として設定される。
【００６１】
信号発生部３は、送られた信号パターンに基づいて検査信号を発生してＴＦＴアレイ基板１０のＴＦＴアレイに送信する。ＴＦＴアレイは、検査信号及びＴＦＴアレイの状態に応じた出力信号を出力する。
【００６２】
信号監視制御部６は、ＴＦＴアレイの出力信号を検出し、比較手段６ａにおいてしきい値との比較を行う。スイッチ制御手段６ｂは、比較結果に基づいてスイッチ手段１５の開閉を制御する。比較結果により、ＴＦＴアレイに異常が検出された場合には、そのＴＦＴアレイに検査信号を送る検査用信号配線に設けられたスイッチ手段１５を制御して、検査信号の送信を停止する。ＴＦＴアレイに異常が検出されないその他のＴＦＴアレイについては、検査信号の送信を継続する。
【００６３】
上記各形態によれば、異常があるＴＦＴアレイのみへの検査信号を停止させることができる。また、他の異常が検出されないＴＦＴアレイについては検査をそのまま継続させることができるため、ＴＦＴアレイ検査装置の検査効率を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
液晶表示装置に限らず、共通する基板に形成される複数の半導体素子の検査に適応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１の形態を説明するための概略図である。
【図２】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の動作例を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の動作例を説明するための動作図である。
【図４】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の動作例を説明するための概略図である。
【図５】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の他の動作例を説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の他の動作における信号の流れを示す図である。
【図７】本発明の第２の形態を説明するための概略図である。
【図８】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の第２の形態の動作例を説明するための動作図である。
【図９】従来のＴＦＴアレイ検査装置を説明するための概略図である。
【符号の説明】
【００６６】
１…ＴＦＴアレイ検査装置、２…信号パターン管理部、３…信号発生部、４…記録部、５…表示部、６…信号監視制御部、７…記録部、８…しきい値テーブル、９…表示部、１０…ＴＦＴアレイ基板、１１，１１ａ〜１１ｆ…ＴＦＴアレイ、１２…検査信号用配線、１３…出力信号用配線、１４…制御信号用配線、１５，１５ａ〜１５ｆ…スイッチ手段、
２０…ＴＦＴアレイ検査装置
【図１】
2005069858.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005069858.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005069858.tif 000007
【図６】
2005069858.tif 000008
【図７】
2005069858.tif 000009
【図８】
2005069858.tif 000010
【図９】
2005069858.tif 000011