(57)【要約】【課題】合成樹脂シート上でのガスバリア性薄膜の十分な密着性を実現し、電子デバイスを対象とする分野において、高いガスバリア性および耐久性を有し、フレキシブルなガスバリア性シートを提供することを課題とする。また、このようなガスバリア性シート等を構成するのに適した接着性改善シートを提供することをも課題とする。【解決手段】合成樹脂シート２の片面もしくは両面に接着性改善層３を介して無機化合物薄膜４が積層された積層構造中の接着性改善層３を、（１）アミノ基、イソシアネート基、ニトロ基、もしくはニトリル基等の官能基を含有する低分子化合物、（２）尿素結合もしくはウレタン結合を含有する高分子化合物、または（３）これら（１）、（２）の混合物を用いて構成することにより、課題を解決することができた。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
合成樹脂シートの表面に接着性改善層およびガスバリア性の無機化合物薄膜が順に積層された積層構造を有しており、前記接着性改善層は、アミノ基、イソシアネート基、ニトロ基、もしくはニトリル基を含有する低分子化合物から構成された薄膜であることを特徴とするガスバリア性シート。
【請求項２】
合成樹脂シートの表面に接着性改善層およびガスバリア性の無機化合物薄膜が順に積層された積層構造を有しており、前記接着性改善層は、尿素結合、もしくはウレタン結合で示される結合を有する高分子化合物から構成された薄膜であることを特徴とするガスバリア性シート。
【請求項３】
合成樹脂シートの表面に接着性改善層およびガスバリア性の無機化合物薄膜が順に積層された積層構造を有しており、前記接着性改善層は、アミノ基、イソシアネート基、ニトロ基、もしくはニトリル基を含有する低分子化合物と、アミド結合、尿素結合、イミド結合、もしくはウレタン結合で示される結合を有する高分子化合物とから構成された薄膜であることを特徴とするガスバリア性シート。
【請求項４】
前記合成樹脂シートは、ガラス転移点が１５０℃以上の樹脂で構成されたものであることを特徴とする請求項１〜請求項３いずれか記載のガスバリア性シート。
【請求項５】
前記合成樹脂シートがポリカーボネート、ポリエーテルサルフォン、ポリアクリレート、ポリアリレート、環状オレフィンポリマーのいずれかであることを特徴とする請求項４記載のガスバリア性シート。
【請求項６】
前記無機化合物薄膜が金属酸化物、金属窒化物、もしくはこれらの混合物で構成されていることを特徴とする請求項１〜請求項５いずれか記載のガスバリア性シート。
【請求項７】
前記無機化合物薄膜がＳｉＯｘ、ＡｌＯｘ、ＳｉＯｘＮｙ、ＳｉＮｘ、ＳｉＯｘＮｙＣｚ、ＳｉＮｘＣｙ、ＡｌＯｘＮｙ、ＡｌＮｘ、ＡｌＯｘＮｙＣｚ、もしくはＡｌＮｘＣｙから選ばれたものであることを特徴とする請求項６記載のガスバリア性シート。
【請求項８】
請求項１〜請求項５いずれか記載のガスバリア性シートからガスバリア性の無機化合物薄膜を除いた積層構造を有することを特徴とする接着性改善シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は合成樹脂シートを基材とし、ガスバリア性層である無機化合物薄膜との密着性が接着性改善層の介在により改善されたガスバリア性シートに関する。また、本発明はそのような接着性改善層が合成樹脂シートの表面に積層された接着性改善シートに関するものでもある。
【背景技術】
【０００２】
従来から食品や医薬品を長期に渡って安定的に保存する目的で、酸素ガスおよび水蒸気等に対するバリア性を備えたガスバリア性シートが包装用として使用されてきたが、最近では、包装用以外にも、種々の電子デバイスを対象としたガスバリア性シートの需要が増している。一例として、フレキシブルディスプレイのような画像表示装置において、ガラス基板に替えて、プラスチックシートベースのガスバリア性シートが使用され始めている。
【０００３】
従来の包装用のガスバリア性シートのガスバリア性は、酸素透過率が０．１ｃｃ／ｍ2／ｄａｙ以上、水蒸気透過率が０．１ｇ／ｍ2／ｄａｙ以上であるが、電子デバイスを対象とする場合には、包装用以上に高いガスバリア性が要求される。また、これらガスバリア性シートを用いて電子デバイスを製造する際には、加工工程における高温に耐えるための高い耐熱性と、アライメント（見当合せ）を行なうため、線膨張係数が低いことが望まれ、さらに、種々の薬品処理を受ける際の耐薬品性が必要とされ、得られた電子デバイスも、高温度下や高湿度下において高いガスバリア性を維持する耐久性が要求される。
【０００４】
そこで、電子デバイス用途向けとしては、基材として耐熱性のものを選択し、耐熱性の基材の上に酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の無機酸化物の薄膜を積層した構成のものが好ましいと考えられたが、例えば、ガラス転移点が高く線膨張係数の低い合成樹脂シートを基材とすると、基材自体が硬く脆い欠点を有し、また、このような構成のガスバリア性シートにおいてもなお、基材と無機酸化物の薄膜との密着性が不十分であったり、薄膜が一定の密度で成長しているためにガスバリア性も十分でないという問題があった。
【０００５】
基材の硬く脆い欠点を有機層の被覆により解決しようとして、ウェットコーティングにより有機層を設けると、設けた有機層の膜厚が厚いために、有機層自体の熱膨張の影響が無視できなくなり、好ましくない。そこで、ドライコーティングにより有機層を設ける試みが行なわれており、例えば、樹脂フィルム基材と、金属又は金属化合物からなるガスバリア性薄膜との間に、蒸着合成法によるポリアミド膜を積層してガスバリア性積層体の密着性を改善しようととする試みがなされている。（特許文献１）。
また、同様な層構成で、ポリアミド膜をポリイミド膜としたガスバリア性積層体も提案されている。（特許文献１）。
【特許文献１】特開平１０−６４３２号公報。
【特許文献２】特開平１０−６４３３号公報。
【０００６】
しかしながら、特許文献１および特許文献２に記載されたガスバリア積層体は、包装用途であれば十分な密着性を有するものの、電子デバイスを対象とする場合には、密着性、ガスバリア性、および耐久性が十分とは言えない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、ガスバリア性薄膜と基材である合成樹脂シートとの十分な密着性を実現し、電子デバイスを対象とする分野において、シート全体としてはフレキシブルでありながら、高いガスバリア性および耐久性を有するガスバリア性シートを提供することを課題とする。また、このようなガスバリア性シート等を構成するのに適したフレキシブルな接着性改善シートを提供することも課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
発明者の検討により、合成樹脂シートのガスバリア性の薄膜を積層する側に、（１）アミノ基、イソシアネート基、ニトロ基、もしくはニトリル基等の官能基を含有する低分子化合物、（２）尿素結合もしくはウレタン結合を含有する高分子化合物、または（３）これら（１）、（２）の混合物を用いて接着性改善層を構成することにより、課題を解決することができた。
【０００９】
課題を解決する第１の発明は、合成樹脂シートの表面に接着性改善層およびガスバリア性の無機化合物薄膜が順に積層された積層構造を有しており、前記接着性改善層は、アミノ基、イソシアネート基、ニトロ基、もしくはニトリル基を含有する低分子化合物から構成された薄膜であることを特徴とするガスバリア性シートに関するものである。
【００１０】
また、第２の発明は、合成樹脂シートの表面に接着性改善層およびガスバリア性の無機化合物薄膜が順に積層された積層構造を有しており、前記接着性改善層は、尿素結合、もしくはウレタン結合等で示される結合を有する高分子化合物から構成された薄膜であることを特徴とするガスバリア性シートに関するものである。
【００１１】
第３の発明は、合成樹脂シートの表面に接着性改善層およびガスバリア性の無機化合物薄膜が順に積層された積層構造を有しており、前記接着性改善層は、アミノ基、イソシアネート基、ニトロ基、もしくはニトリル基を含有する低分子化合物と、アミド結合、尿素結合、イミド結合、もしくはウレタン結合で示される結合を有する高分子化合物とから構成された薄膜であることを特徴とするガスバリア性シートに関するものである。
【００１２】
第４の発明は、第１〜第３いずれかの発明において、前記合成樹脂シートは、ガラス転移点が１５０℃以上の樹脂で構成されたものであることを特徴とするガスバリア性シートに関するものである。
【００１３】
第５の発明は、第４の発明において、前記合成樹脂シートがポリカーボネート、ポリエーテルサルフォン、ポリアクリレート、ポリアリレート、環状オレフィンポリマーのいずれかであることを特徴とするガスバリア性シートに関するものである。
【００１４】
第６の発明は、第１〜第５いずれかの発明において、前記無機化合物薄膜が金属酸化物、金属窒化物、もしくはこれらの混合物で構成されていることを特徴とするガスバリア性シートに関するものである。
【００１５】
第７の発明は、第６の発明において、前記無機化合物薄膜がＳｉＯｘ、ＡｌＯｘ、ＳｉＯｘＮｙ、ＳｉＮｘ、ＳｉＯｘＮｙＣｚ、ＳｉＮｘＣｙ、ＡｌＯｘＮｙ、ＡｌＮｘ、ＡｌＯｘＮｙＣｚ、もしくはＡｌＮｘＣｙから選ばれたものであることを特徴とするガスバリア性シートに関するものである。
【００１６】
第８の発明は、第１〜第５いずれかの発明のガスバリア性シートからガスバリア性の無機化合物薄膜を除いた積層構造を有することを特徴とする接着性改善シートに関するものである。
【発明の効果】
【００１７】
第１の発明によれば、合成樹脂シートと無機化合物薄膜との間に、特定の官能基を有する低分子化合物から構成された接着性改善層が積層されているので、ガスバリア性層である無機化合物薄膜と基材である透明合成樹脂シートとの密着性、全体のガスバリア性、および耐久性が優れており、かつシート全体がフレキシブルなガスバリア性シートを提供することができる。
【００１８】
第２の発明によれば、合成樹脂シートと無機化合物薄膜との間に、特定の結合を有する高分子化合物から構成された接着性改善層が積層されているので、ガスバリア性層である無機化合物薄膜と基材である透明合成樹脂シートとの密着性、全体のガスバリア性、および耐久性が優れており、かつシート全体がフレキシブルなガスバリア性シートを提供することができる。
【００１９】
第３の発明によれば、合成樹脂シートと無機化合物薄膜との間に、アミノ基、イソシアネート基、ニトロ基、もしくはニトリル基を含有する低分子化合物と、アミド結合、尿素結合、イミド結合、もしくはウレタン結合で示される結合を有する高分子化合物とから構成された接着性改善層が積層されているので、ガスバリア性層である無機化合物薄膜と基材である透明合成樹脂シートとの密着性、全体のガスバリア性、および耐久性が優れており、かつシート全体がフレキシブルなガスバリア性シートを提供することができる。
【００２０】
第４の発明によれば、第１〜第３いずれかの発明の効果に加えて、合成樹脂シートのガラス転移点を規定したので、耐熱性の優れたガスバリア性シートを提供することができる。
【００２１】
第５の発明によれば、第４の発明の効果に加えて、基材である透明合成樹脂シートとして特定の素材からなるものを選択したので、基材の入手および取り扱いが容易なガスバリア性シートを提供することができる。
【００２２】
第６の発明によれば、第１〜第５いずれかの発明の効果に加えて、無機化合物薄膜が金属酸化物、金属窒化物、もしくはこれらの混合物で構成されているので、ガスバリア性層の耐熱性が高いガスバリア性シートを提供することができる。
【００２３】
第７の発明によれば、第６の発明の効果に加えて、具体的に特定された素材で無機化合物薄膜が構成されているので、透明性のあるガスバリア性層を有するガスバリア性シートを提供することができる。
【００２４】
第８の発明によれば、第１〜第５いずれかの発明のガスバリア性シートからガスバリア性の無機化合物薄膜を除いた積層構造、即ち、合成樹脂シートの表面に接着性改善層が積層された積層構造を有することにより、接着性改善層側に積層する無機化合物薄膜等との親和性および耐湿熱性が高く、シート全体としてフレキシブルな接着性改善シートを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は本発明のガスバリア性シートの積層構造を示す図である。図１（ａ）に示すように本発明のガスバリア性シート１は、基本的には合成樹脂シート２、接着性改善層３、および無機化合物薄膜４とが、記載順に積層された積層構造を有するものである。あるいは本発明のガスバリア性シート１は、図１（ｂ）に示すように、合成樹脂シート２の図中の上面に接着性改善層３ａおよび無機化合物薄膜４ａがこの順に積層されると共に、合成樹脂シート２の図中の下面に接着性改善層３ｂおよび無機化合物薄膜４ｂがこの順に積層された積層構造を有するものであってもよい。
【００２６】
上記における合成樹脂シート２としては、汎用性のプラスチックシートから選択して使用することができるが、特に、素材の合成樹脂としては、耐熱性の高いものが好ましく、ガラス転移点があるものについては、ガラス転移点が１２０℃以上のものを用いることが好ましい。ガラス転移点が１２０℃未満のものでは、本発明におけるような、接着性改善層およびガスバリア性の無機化合物薄膜を形成するために必要な熱負荷に耐える耐熱性が十分でない場合があり、必ずしも十分な性能を持ったものが得られないことがあるからである。素材の合成樹脂のガラス転移点が１２０℃以上の透明合成樹脂シートとしては、具体的には、ポリカーボネート、ポリエーテルサルフォン、ポリ（メタ）アクリレート、ポリアリレート、環状オレフィンポリマー等からなるシートが好ましく、これらは、入手および取り扱いが容易である利点を有する。なお、合成樹脂シートのガラス転移点は高いほどより好ましく、制限するものではないが、現状、入手し得る範囲では４００℃未満である。これら以外にも合成樹脂シート２としては、ポリアミド、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、シンジオタクティック・ポリスチレン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマー、フッ素樹脂、ポリエーテルニトリル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリサルホン、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、もしくは熱可塑性ポリイミド等からなるシートを挙げることができる。合成樹脂シート２の厚みは用途に合せて適宜に選択するので一律には決まらないが、５μｍ〜５００μｍ程度である。
【００２７】
接着性改善層３は、合成樹脂シート２と無機化合物薄膜４との親和性を向上させる機能を有する有機物の層であり、窒素原子を構造中に有する化合物から構成されたものであることが好ましく、窒素原子を構造中に有する化合物として具体的には、（１）アミノ基、イソシアネート基、ニトロ基、もしくはニトリル基等の窒素原子を有する官能基を構造中に持つ低分子化合物、または（２）尿素結合、もしくはウレタン結合等で示される結合を有する高分子化合物を挙げることができ、これらの化合物を（１）または（２）の群内から複数種選択して使用してもよく、あるいは、（１）および（２）の群にまたがって、複数種選択して使用してもよい。これらの化合物は、いずれも極性基を有しており、極性基の存在が密着性の向上に寄与するものと考えられる。ただ、極性基の中でも水酸基等の酸素原子を有するものは、密着性の向上効果が見られるものの、その極性により蒸気圧が高くなり、成膜に困難が生じ、密着性と成膜作業の容易さを考慮すると、ジアミンのような窒素原子を含むものがより好ましい。また、これらにおいて、耐熱性向上に寄与する芳香族環を有していることが好ましい。
【００２８】
接着性改善層３を構成する素材の内で、ガスバリア性シート１の合成樹脂シート２と無機化合物薄膜４との密着性が高く、得られるガスバリア性シート１の耐久性を優れたものとすることが可能な素材としては、下記の「化１」に示すように、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル（略称；ＯＤＡ、以降の（  ）内は略称である。）、４，４’−ジアミノジフェニルメタン（ＭＤＡ）、もしくは２，２’−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン（ＢＡＰＰ）等のジアミン化合物、もしくは４，４’−メチレンジフェニルジイソシアネート（ＭＤＩ）のジイソシアネート化合物を挙げることができる。成膜後のシートのフレキシビリティーの点で、結晶化しやすい単分子膜よりも重合したポリマーの膜の方が好ましく、この点で、ＢＡＰＰを用いることがより好ましく、ＢＡＰＰと蒸着重合したものはより一層好ましい。なお、下記の「化１」に示す以外の素材であっても、構造中に芳香族環および極性の官能基を有し、平衡蒸気圧が１０-3ｔｏｒｒとなる温度が６０℃〜５００℃の範囲であり、しかもその温度で熱分解しないものであれば、原則的に使用することができる。
【化１】
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【００２９】
本発明における合成樹脂シート２および接着性改善層３の積層シートは、接着性改善層側に積層する無機化合物薄膜等との親和性が高く、しかも耐湿熱性が高い特徴を有しているので、ガスバリア性シートを製造するのに適する以外に、種々の素材の層を蒸着等の真空成膜により形成する際に用いるのに適しており、例えば、フレキシブル薄膜電池、もしくはフレキシブル半導体等の用途に用いるのに適している。
【００３０】
上記の素材を用いて接着性改善層３を形成するには、原則的にはウェットコーティング法もしくはドライコーティング法のいずれを利用して行なってもよいが、ウェットコーティング法を利用する場合、上記の素材のうちの低分子化合物は、層３形成後に結晶化し、透明性を損なうことがあり、また、上記の素材のうちの高分子化合物は溶剤に不溶になることが多く、これらの問題点を解消する意味で、化学的気相成長法もしくは物理的気相成長法等のドライコーティングを利用することがより好ましい。ドライコーティング法を利用すると、真空中での成膜により純粋な膜が形成され、また親和性を阻害する水の混入を防止することができる。
【００３１】
無機化合物薄膜４は、金属酸化物、金属窒化物、もしくはこれらの混合物で構成されたものであることが好ましい。具体的に無機化合物薄膜４を構成する素材としては、一般的に真空成膜される材料であれば原則的に使用可能であり、中でもセラミック材料を用いると、透明性を活かした透明性ガスバリア膜としての薄膜を形成することができる。セラミック材料としては、ＳｉＯｘ、ＡｌＯｘ、ＳｉＯｘＮｙ、ＳｉＮｘ、ＳｉＯｘＮｙＣｚ、ＳｉＮｘＣｙ、ＡｌＯｘＮｙ、ＡｌＮｘ、ＡｌＯｘＮｙＣｚ、およびＡｌＮｘＣｙ等を例示することができる。本発明においては、セラミック材料として窒素原子を含んだ材料を選択して構成された無機化合物薄膜４は、有機物の層である接着性改善層３との親和性が高く、より好ましいが、ＳｉＯｘもしくはＡｌＯｘ等の比較的よく使用される素材で構成された無機化合物薄膜４であっても、有機物の層である接着性改善層３との間の実用上支障のない親和性を有するので、十分使用し得る。
【００３２】
このような無機化合物薄膜４は、抵抗加熱蒸着法、誘導加熱蒸着法、ＥＢ蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、熱ＣＶＤ法、もしくはプラズマＣＶＤ法等の真空成膜法等の真空成膜法により形成することができ、１０ｎｍ〜１０００ｎｍ、好ましくは２０〜５００ｎｍの範囲で厚みを適宜設定することができる。ガスバリア性シート１の用途にもよるが、一例としてフレキシブルディスプレイのような画像表示装置の基材として利用されるガスバリアシート１の場合、１０ｎｍ〜１０００ｎｍが好ましく、より好ましくは、２０ｎｍ〜５００ｎｍの範囲で適宜設定することができる。無機化合物薄膜４の厚みが下限未満であると、高いバリア性（酸素透過率が０．１ｃｃ／ｍ2／ｄａｙ未満、水蒸気透過率が０．１ｇ／ｍ2／ｄａｙ未満）を発現できない。また、無機化合物薄膜４の厚みが上限を超えると、応力により、基材である合成樹脂シート２の変形の問題が生じ、また無機化合物薄膜４の成膜に要する時間が長くなり好ましくない。
【実施例１】
【００３３】
有機物の層の形成
基材シートとしてポリエーテルサルフォンシート（住友ベークライト（株）製、厚み；１００μｍ、大きさ；１５ｃｍ×  １５ｃｍ）を準備し、蒸着装置のチャンバー内の上部に基材シートを装着した。次いで、チャンバー内を油回転ポンプおよびターボ分子ポンプにより、到達真空度５×１０-4Ｐａまで減圧した。この蒸着装置は、チャンバーとともに、電源、排気弁、排気装置を備えている。有機物としてはＯＤＡ（和歌山精化工業（株）製、純度；９９．９９％以上）を用い、抵抗加熱用るつぼに投入した。このるつぼを温度；１８０℃に加熱し、基材シート上に厚み１０ｎｍの有機物の層を形成し、基材シート／有機物の層の積層シートを得た。
【００３４】
無機化合物層の形成
スパッタ装置のチャンバー内の上部電極に、上記で得られた、シート／有機物の層の積層シートを装着した。次いで、チャンバー内を油回転ポンプおよびターボ分子ポンプにより、到達真空度５×１０-5Ｐａまで減圧した。このスパッタ装置は、チャンバーとともに、電源、排気弁、排気装置、ガス導入口、ガス供給源を備えている。また、タ−ゲットとしてＳｉ（９９．９９％以上）を用い、酸素ガス（太陽東洋酸素（株）製（純度９９．９９９９％以上））、アルゴンガス（太陽東洋酸素（株）製（純度９９．９９９％以上））を準備した。
【００３５】
次に、放電電圧（投入電力；４kＷ）を印加した。印加後、電極近傍に設けられたガス導入口からチャンバー内に、アルゴン（毎分の導入量；１００ｓｃｃｍ）および酸素（毎分の導入量；２ｓｃｃｍ）を導入し、排気装置とチャンバーとの間にある排気弁の開閉度を制御することにより、成膜チャンバー内圧力を０．２５Ｐａに保ち、シート／有機物の層の積層シートの有機物の層上に、厚みが１００ｎｍの珪素酸化膜からなるバリア層を形成し、ガスバリア性シートを得た。ここで、導入量の単位「ｓｃｃｍ」とはｓｔａｎｄａｒｄ  ｃｕｂｉｃ  ｃｅｎｔｉｍｅｔｅｒ  ｐｅｒ  ｍｉｎｕｔｅの略である。
【００３６】
得られたガスバリア性シートのガスバリア性を測定したところ、酸素透過率は０．０７ｃｃ／ｍ2／ｄａｙ、水蒸気透過率は０．０８ｇ／ｍ2／ｄａｙであり、優れたガスバリア性を備えていることが確認された。また、得られたガスバリア性シートを温度；６５℃、相対湿度；９０％ＲＨの環境試験機（湿熱オーブン）内に５００時間保管した後にガスバリア性を測定したところ、酸素透過率は０．０８ｃｃ／ｍ2／ｄａｙ、水蒸気透過率は０．０９ｇ／ｍ2／ｄａｙであり、ガスバリア性に関して、優れた耐候性を備えていることが確認された。
【００３７】
以降の実施例および比較例も含め、ガスバリア性の測定は次のように行なった。まず、酸素透過率の測定は、酸素ガス透過率測定装置（ＭＯＣＯＮ社製、ＯＸ−ＴＲＡＮ  ２／２０）を用い、温度；２３℃、湿度；５０％ＲＨの条件で測定した。また、水蒸気透過率の測定は、水蒸気透過率測定装置（ＭＯＣＯＮ社製、ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ  ３／３１）を用いて、温度；３７．８℃、湿度；１００％ＲＨの条件で測定した。
【実施例２】
【００３８】
有機物としてＢＡＰＰ（和歌山精化工業（株）製、純度；９９．９９％以上）を用いた他は、実施例１におけるのと同様にして、ガスバリア性シートを得た。このガスバリア性シートの酸素透過率は０．０６ｃｃ／ｍ2／ｄａｙ、水蒸気透過率は０．０７ｇ／ｍ2／ｄａｙであり、優れたガスバリア性を備えていることが確認された。
【実施例３】
【００３９】
有機物としてＢＡＰＰ（和歌山精化工業（株）製、純度；９９．９９％以上）とＭＤＩ（関東化学（株）製、純度；９９．９９％以上）を用い、前者の蒸発温度を２００℃、および後者の蒸発温度を１３０℃と設定して共蒸着を行った他は、実施例１におけるのと同様にして、ガスバリア性シートを得た。このガスバリア性シートの酸素透過率は０．０６ｃｃ／ｍ2／ｄａｙ、水蒸気透過率は０．０６ｇ／ｍ2／ｄａｙであり、優れたガスバリア性を備えていることが確認された。
【実施例４】
【００４０】
基材シートとしてプラズマ処理済みのポリカーボネートシートを用いた他は、実施例１におけるのと同様にして、ガスバリア性シートを得た。このガスバリア性シートの酸素透過率は０．０１ｃｃ／ｍ2／ｄａｙ、水蒸気透過率は０．０３ｇ／ｍ2／ｄａｙであり、優れたガスバリア性を備えていることが確認された。
【００４１】
＜比較例１＞
有機物の層を形成しないほかは、実施例４におけるのと同様にして、ガスバリア性シートを得た。このガスバリア性シートの酸素透過率は５００ｃｃ／ｍ2／ｄａｙ、水蒸気透過率は１０ｇ／ｍ2／ｄａｙであり、各実施例で得られたガスバリア性シートにくらべ、ガスバリア性が明らかに劣るものであった。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明のガスバリア性シートを示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１……ガスバリア性シート
２……合成樹脂シート
３……接着性改善層
４……無機化合物薄膜
【図１】
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