(57)【要約】      （修正有）【課題】電子銃の長さ又はその機械的―Ｓに影響を与えることなく、パラメータ（Ｖd、バイアス、集束）が主レンズに導入される変更により調整される電子銃。【解決手段】直列型電子銃用の主電子レンズに関し、第一の、集束電極（Ｇ８）と、第二の、加速電圧（Ｇ９）とを含み、それらは光学板（１，２）を各々備え、各光学板は、中央開口（４，７）と、２つの外側開口（３，５及び６，８）とを備える。第一光学板（１）は第一電極（Ｇ８）の開口（９）から第一距離（Ｌ１）に取り付けられ、第二光学板（２）は第二電極（Ｇ９）の開口（１０）から第二距離（Ｌ２）に取り付けられている。第一及び第二距離の比率（Ｌ１/Ｌ２）は次式によって決定される。Ｌ１/Ｌ２＝Ａ１１（δＶｄ）２＋Ａ１δＶｄ＋Ａ０＋Ｃ０×Ｂｉａｓ ここで、Ａ１１、Ａ１、Ａ０及びＣ０は定数であり、δＶｄは、望ましい集束電圧における変動値であり、Ｂｉａｓは、望ましいバイアスである。【選択図】  図２
2005327724.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
集束のための第一電極と、加速のための第二電圧とを含み、
前記第一電極は、水平方向に細長い形状の開口を有し、且つ、第一光学板を有し、
前記第二電極は、水平方向に細長い形状の開口を有し、且つ、第二光学板を有し、
前記第一光学板は、水平方向と平行な方向に位置する、中央開口と、２つの外側開口とを有し、
前記第二光学板は、水平方向と平行な方向に位置する、中央開口と、２つの外側開口とを有し、
前記第一光学板は、前記第一電極の前記開口から第一距離で取り付けられ、
前記第二光学板は、前記第二電極の前記開口から第二距離で取り付けられている、
ことを特徴とする直線型電子銃用の主電子レンズであって、
前記第一距離及び第二距離の比率は
−  Ｌ１／Ｌ２＝Ａ１１（δＶｄ）２＋Ａ１δＶｄ＋Ａ０＋Ｃ０×Ｂｉａｓ、
の以下の式によって決定され、
ここで、
−  Ａ１１、Ａ１、Ａ０及びＣ０は定数であり、
−  δは、システムが有するのが望ましい集束電圧における変動であり、
−  Ｂｉａｓは、システムが有するのが望ましいバイアスである、
ことを特徴とする主電子レンズ。
【請求項２】
前記第一距離及び前記第二距離の比率は、０．８〜０．９５の間であることを特徴とする請求項１に記載の主電子レンズ。
【請求項３】
前記第一光学板及び前記第二光学板の前記中央開口は、前記水平方向に対し直交する垂直方向に概ね細長い形状を有し、且つ、前記第一光学板及び前記第二光学板の前記外側開口は前記水平方向に概ね細長い形状を有するので、前記中央開口及び前記外側開口の垂直方向寸法における許容変動値は
−  δΦＶｉｎ＝δΦＶｏｕｔ＝Ｂ１×Ｂｉａｓ、
の式によって決定され、
ここで、
−  Ｂ１は、定数であり、
−  Ｂｉａｓは、システムが有するのが望ましいバイアスである、
ことを特徴とする請求項１及び２に記載の主電子レンズ。
【請求項４】
前記垂直方向における前記中央開口の寸法は３ｍｍ〜８ｍｍの間にあり、且つ、−０．５ｍｍ〜０．５ｍｍの間の、前記寸法の許容変動値を備え、前記水平方向における前記外側開口の寸法も３ｍｍ〜８ｍｍの間にあり、且つ、−０．５ｍｍから０．５ｍｍの間の、前記寸法の許容変動値を有することを特徴とする請求項３に記載の主電子レンズ。
【請求項５】
前記定数Ｂ１は、１２１×１０−５の値を有することを特徴とする請求項３に記載の主電子レンズ。
【請求項６】
前記定数Ａ０、Ａ１、Ａ１１及びＣ０は、
−  Ａ０＝８７６．４８×１０−３、
−  Ａ１＝１６０．０１×１０−６、
−  Ａ１１＝１７４．５２×１０−９、
−  Ｃ０＝−３６×１０−６、
であることを特徴とする請求項１に記載の主電子レンズ。
【請求項７】
前記第一電極の前記第一光学板の電圧は、７０００ボルト〜９０００ボルトの間の基準値を有することを特徴とする上記請求項のうちいずれか１項に記載の主電子レンズ。
【請求項８】
前記バイアス電圧は、−５００ボルト〜＋５００ボルトの間の公称値を有することを特徴とする上記請求項のうちいずれか１項に記載の主電子レンズ。
【請求項９】
前記集束点の変更は、前記第二電極の前記開口からの前記第二光学板の前記第二距離を変更することによって得られることを特徴とする上記請求項のうちいずれか１項に記載の主電子レンズ。
【請求項１０】
前記集束点の変更は、
δＣＳ＝±Ｄ１（βＬ２）
の方程式に従って、前記第二距離（Ｌ２）の前記変更に比例し、
ここで、
βは、前記第二距離の前記変更の比率であり、
Ｄ１は、１０の値の係数であること、
を特徴とする請求項９に記載の主電子レンズ。
【請求項１１】
前記第二距離の前記変更の前記比率は、−１５％〜＋１５％の間であることを特徴とする請求項１０に記載の主電子レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は色陰極線管用の直列型電子銃に関し、より詳細には、電子銃の主出力レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１に示されるような色彩陰極線管用の電子銃は、主として以下の構成を含む。
【０００３】
３つの陰極。各陰極は電子ビームを放射する。
【０００４】
陰極から放射される電子に基づいて、電極Ｇ２と共に、ＺＺ'軸に沿う電子ビームの形成を開始する電極Ｇ１。電極Ｇ２は、そのように形成されたビームを「クロスオーバー」と呼ばれる焦点に集束する。
【０００５】
電子を加速するために用いられる電極Ｇ３。
【０００６】
電極Ｇ３と電極Ｇ５の電極Ｇ４に面する部分と共に、電子ビームを予備集束するための電子レンズを構成する電極Ｇ４。
【０００７】
四極レンズを構成する電極Ｇ５，Ｇ６，Ｇ７であり、四極効果をビーム内に導入するこでで、垂直面の電子ビームに圧縮力を及ぼし、水平面の電子ビームに歪みを及ぼす。
【０００８】
最後に、電極Ｇ８，Ｇ９で形成される出力レンズであり、出力レンズは、電子ビームをスクリーン上に集束するために用いられる。電極Ｇ８は陰極線管のスクリーン上でビームの集束を遂行するのに対し、電極Ｇ９は電子を加速するために用いられる。
【０００９】
図２ａ乃至２ｃは、電子銃用の主出力レンズを詳細に示す。
【００１０】
３つの陰極が整列する色彩電子銃において、電極Ｇ８，Ｇ９は、細長い形状であり且つ３つのビームの全体的な処理を許容する開口９，１０を各々有し、１つ且つ同一の平面（例えば、テレビジョンセットにおける適用の脈絡において）内に実質的に位置する。従って、これらの電極の開口９，１０は水平方向に細長い。
【００１１】
電極Ｇ８，Ｇ９は、３つの開口（３〜５及び６〜８）を備え且つ水平方向に整列する光学金属板１，２を各々有する。各開口は１つの電子ビームを処理するために用いられる。中央開口（光学板１の場合は４、光学板２の場合は７）は水平方向に細長い概ね円形状を有する。外側の或いは横の開口（光学板１の場合は３，５、光学板２の場合は６，８）は水平方向に細長い概ね円形状を有する。これらの開口の特定形状の目的はレンズの光学特性を修正するためである。そのような出力レンズの記述は、例えば、米国特許第５，１４２，１８９号に見られる。
【００１２】
電子銃は、特に、以下の特性によって特徴付けられる。
【００１３】
電極Ｇ８に印加される集束電圧Ｖｄ。この電圧は電子ビームをスクリーン上に集束することを可能にし、特に、ビームの偏向がないときに、それらをスクリーンの中央に集束することを可能にする。
【００１４】
電極Ｇ９に印加されるアノード電圧（図３を参照）。この電極は電極が加速されることを許容する。ＭＤＦ（変調、ダイナミックフォーカス）銃の場合、集束電圧は動的であり、電極Ｇ８に印加される可変電圧Ｖｄを有する。この場合、バイアスはＶｄとＶｆとの間の差（バイアス＝Ｖｄ−Ｖｆ）と定義される。
【００１５】
３つの電子ビームのスクリーン中央への集束。即ち、スクリーン上への中央ビームに対する外側ビーム（又は横ビーム）の着地。
【００１６】
一般的に、これらの３つのパラメータ（Ｖｄ、バイアス、集束）の間の相互作用は極めて強い。なぜならば、設計に対する幾何学的な変更による、これらの３つの特性の１つへの如何なる変更も他の２つに対する強い効果を有するからであり、その結果、所望の解決策(solution)を得ることができない。加えて、電圧Ｖｄは銃の長さによって修正可能である。３つのビームのスクリーン中央への集束は機械的−Ｓ、即ち、電極Ｇ８，Ｇ９内の光学板１，２内の中央開口の中心と横開口の１つの中心との間の距離を変更することによって調整可能である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、電子銃の長さ又はその機械的―Ｓに影響を与えることなく、上述のパラメータ（Ｖｄ、バイアス、集束）を主レンズに導入される変更によって調整されることを許容する。
【００１８】
本発明はＭＤＦ銃及び非ＭＤＦ銃に適用可能である。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
従って、本発明は直列型電子銃用の主電子レンズに関し、第一の、集束第一電極と、第二の、加速電圧とを含み、第一電極は水平方向に細長い形状の開口を有し、且つ、第一光学板を有し、第二電極は水平方向に細長い形状の開口を有し、且つ、第二光学板を有する。第一光学板は、水平方向と平行な方向に位置する、中央開口と、２つの外側開口とを有し、第二光学板は、水平方向と平行な方向に位置する、中央開口と、２つの外側開口とを有する。第一光学板は、第一電極の開口から第一距離で取り付けられ、第二光学板は、第二電極の開口から第二距離で取り付けられている。第一距離及び第二距離の比率（Ｌ１/Ｌ２）は以下の式によって決定される。
【００２０】
【数１】
2005327724.tif 000003
【００２１】
ここで、
−  Ａ１１、Ａ１、Ａ０及びＣ０は定数であり、
−  δは、システムが有するのが望ましい集束電圧における変動であり、
−  Ｂｉａｓは、システムが有するのが望ましいバイアスである。
【００２２】
有利に、第一距離及び第二距離の比率は、０．８〜０．９５の間（０．８≦Ｌ１/Ｌ２≦０．９５）である。
【００２３】
第一光学板及び第二光学板の中央開口は、水平方向に対し直交する垂直方向に概ね細長い形状を有し、且つ、第一光学板及び第二光学板の外側開口は水平方向に概ね細長い形状を有するので、中央開口及び外側開口の垂直方向寸法における許容変動値（δΦＶｉｎ、δΦＶｏｕｔ）は、以下の式によって決定される。
【００２４】
【数２】
2005327724.tif 000004
【００２５】
ここで、
−  Ｂ１は、定数であり、
−  Ｂｉａｓは、システムが有するのが望ましいバイアスである。
【００２６】
有利に、垂直方向における中央開口の寸法（Φｉｎ）は３ｍｍ〜８ｍｍの間にあり、且つ、−０．５ｍｍ〜０．５ｍｍの間（−０．５≦δΦｉｎ≦０．５ｍｍ）の、寸法の許容変動値（δΦｉｎ）を有し、水平方向における外側開口の寸法（Φｏｕｔ）も３ｍｍ〜８ｍｍの間にあり、且つ、−０．５ｍｍから０．５ｍｍの間（−０．５≦δΦｏｕｔ≦０．５ｍｍ）の、寸法の許容変動値（δΦｏｕｔ）を有する。
【００２７】
定数Ｂ１は１２１×１０−５の値を有し、定数Ａ０、Ａ１、Ａ１１及びＣ０は以下の値を有するのが好ましい。
【００２８】
【数３】
2005327724.tif 000005
【００２９】
有利に、第一電極の第一光学板の電圧（Ｖｄ）は７０００ボルト〜９０００ボルトの間の基準値を有する。
【００３０】
有利に、バイアス電圧は−５００ボルト〜＋５００ボルトの間の公称値を有する。
【００３１】
集束点（ＣＳ）の変更は、第二電極の開口からの第二光学板の第二距離（Ｌ２）を変更することによって得られるようにされる。
【００３２】
集束点の変更は、以下の方程式に従って、第二距離（Ｌ２）の変更に比例する。
【００３３】
【数４】
2005327724.tif 000006
【００３４】
ここで、βは、第二距離の前記変更の比率であり、Ｄ１は、１０の値の係数である。
【００３５】
本発明の多様な目的及び機能は、以下の記述及び添付の図面からより明瞭になるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
従って、本発明は電子銃の主出力レンズに関し、主レンズ内の開口の垂直方向の大きさを調整することによって所望の電圧Ｖｄ及び所望のバイアスの最適な調整を許容し、部材（Ｌ１、Ｌ２、図２ａ）の端部に対する光学板の各位置の比率を変更することによって、それは３つの電子ビームの集束を保持する。
【００３７】
図２ａは電子銃用の主レンズを示している。これレンズは、背中合わせで置かれ且つ相互に面する２つの開口９，１０を有する２つの電極Ｇ８及びＧ９を含む。各開口９，１０は、丸みＲ（図２ｃを参照）を有する２つの半楕円部１３，１５によって延長された２つの長方形開口１４（図２ｃを参照）から成る。
【００３８】
電極Ｇ８は高さＬ１を有し、電極Ｇ９は高さＬ２を有する。
【００３９】
２つの電極９，１０は水平方向に極めて細長い。それらは高さＰ１，Ｐ２の２つの同一の材料の折返部１１，１２を含む。
【００４０】
加えて、電極Ｇ８，Ｇ９は、各々、光学板１，２を有する。各光学板は、３つの開口３，４，５（光学板１の場合）及び６，７，８（光学板２の場合）を各々有する。これらの開口は水平方向に沿って一列に位置している。
【００４１】
光学板１は電極Ｇ８の開口９の端部から距離Ｌ１に位置し、光学板２は電極Ｇ９の端部から距離Ｌ２に位置している。距離Ｌ１及びＬ２は、２つの電極Ｇ８，Ｇ９内部の２つの光学板１，２を移動することによって調整可能であるのに対し、２つの距離ＬｔｏｔａｌＡ及びＬｔｏｔａｌＢを一定に保つ。
【００４２】
光学板１，２内の中央開口４，７は概ね楕円形状であり、同一の寸法を有する。
【００４３】
図２ｂに示されるように、同一の光学板の外側開口３，５，６，８は概ね楕円形状を有し、内部水平方向直径ΦＶｉｎ、外側水平方向直径ΦＶｏｕｔ及び垂直方向直径ΦＶｏｕｔを有する。これらの外側開口３，５，６，８は中央開口４，７に対し対称であり、同一の寸法を有する。
【００４４】
電極Ｇ８はダイナミック電圧Ｖｄ（図３）に接続され、電極Ｇ９は電子の最終加速のための電圧（アノード）に接続されている。
【００４５】
本発明によれば、Ｖｄ及びバイアスのパラメータは光学板１，２を調整することによって調整される。
【００４６】
第一の調整は、０．８０〜０．９５の間で変化するＬ１のＬ２に対する比率に作用し、集束値（Ｖｄ）を調整することを可能にするのと同時に、３つのビームがスクリーンの中心に集束する条件を順守する。
【００４７】
第二の調整は、外側開口と中央開口との垂直方向直径に関し、これらの直径は図２ｂにおいてΦＶｉｎ及びΦＶｏｕｔで表わされており、スクリーン中心におけるバイアスが調整されることを許容する。
【００４８】
よって、本発明は、解決策（Ｖｄ、バイアス）及びスクリーンの中心での３つのビームの集束値を独立して調整可能にしている。
【００４９】
ΦＶｉｎ及びΦＶｏｕｔによるバイアスの調整と、Ｌ１/Ｌ２による（Ｖｄ、バイアスの）対の調整調整とは以下の多項式モデルを通じてリンクされている。即ち、
【００５０】
バイアス調整のために、
【００５１】
【数５】
2005327724.tif 000007
【００５２】
この式において、
−  係数Ｂ１の値は−１２１×１０−５である。
−  δΦＶｏｕｔは、基準値に対する外側開口の垂直方向の大きさにおける変動値である。
−  δΦＶｉｎは、基準値に対する中央開口の垂直方向の大きさにおける変動値である。
【００５３】
対のパラメータＶｄ及びバイアスを調整するために、以下の式がある。
【００５４】
【数６】
2005327724.tif 000008
【００５５】
ここで、係数Ａ１１，Ａ１，Ａ０，Ｃ０の値は以下のテーブルで与えられている。
【００５６】
【表１】
2005327724.tif 000009
【００５７】
また、上記の式において、
−  δＶｄは、基準値（δＶｄ＝Ｖｄ，ｒｅｆ−Ｖｄ，ｆｉｎａｌ）に対する焦点における変動値。
−  バイアスは、スクリーンの中心において望まれるバイアスである。
【００５８】
これらの方程式は良好な相関係数（Ｒ２＝０．９９）を有する。これらの方程式は図４及び５に示される図表から決定された。
【００５９】
一般的に、外側開口ΦＶｏｕｔと中央開口ΦＶｉｎとの直径における変動値は以下の範囲にあると考えられ得る。
●  ３ｍｍ<ΦＶｏｕｔ<８ｍｍのために−０．５ｍｍ<δΦＶｏｕｔ<０．５ｍｍ
●  ３ｍｍ<ΦＶｉｎ<８ｍｍのために−０．５<ｍｍ<δΦＶｉｎ<０．５ｍｍ
【００６０】
電極Ｇ８，Ｇ９内の光学板１，２の位置は以下のようであると考えられ得る。
●  ８≦Ｌ１／Ｌ２≦０．９５
【００６１】
対応する以下の集束値のために、
●  ７０００Ｖ<初期値Ｖｄ<９０００Ｖであり且つ方程式Ｖｄ（所望値）＝Ｖｄ（初期値）＋δＶｄを伴って−５００Ｖ<δＶｄ<５００Ｖ
【００６２】
バイアス変動値のために、
●  −５００Ｖ<バイアス<５００Ｖ
【００６３】
本発明は、電子銃の集束を調整することを可能にする。
【００６４】
単一の一致地点の代わりに３つの打撃地点がスクリーン中心で観察されるように、静集中は、実際には、最も離間した２つの陰極の画像間におけるスクリーン上の位置の変動であることが第一に指摘されなければならない。静集中の値（ＣＳ）は実験で容易に計測され、そのやり方はスクリーン中央に着地する最も離間した２つのビームの距離を決定することから成る。実際上は、スクリーン中心におけるＸＹ平面内で、青色ビームの直交座標を赤色ビームの直交座標から減じるために、青色ビームの直交座標を記録すれば十分である。静集中（ＣＳ）は、スクリーンの水平（Ｘ）軸上だけで計算される寸法である。電子銃のＹ軸に沿って直面し得る変動は、実際上、電子銃全体のグリッドの整列の劣悪さ及び／又は組み立ての欠陥に関連する問題であろう。
【００６５】
静集中（ＣＳ）は以下のように表現され得る。
【００６６】
【数７】
2005327724.tif 000010
【００６７】
ここで、
ＣＳは、スクリーンの中心における２つの外側ビームの静集中である。
【００６８】
Ｘｃｅｎｔｒｅ，ＢＬＵＥは、水平軸（Ｘ）に沿ったスクリーンの中心における外側ビームの位置であり、電子銃の青色陰極を表わしている。
【００６９】
Ｘｃｅｎｔｒｅ，ＲＥＤは、水平軸（Ｘ）に沿ったスクリーンの中心における外側ビームの位置であり、電子銃の赤色陰極を表わしている。
【００７０】
集束は以下に依存する。
−  各電極を通じた外側ビームの通路。
−  機械的−Ｓ（電子銃の主たる中心軸に対する外側開口の距離）の選択。
−  さらには、外側電子ビームをスクリーンの中心に位置付けるために、「等ポテンシャル」磁力線が貫通することを許容する各電子光学レンズの固有な特性。
【００７１】
磁力線は、それらの形状及びグリッド開口を通じた貫通の故に、スクリーンの中心における極めて僅かな集束欠陥を修正可能である。外側ビームによって見られる静電界は中心ビームによって感知される静電界と必ずしも同一ではない。外側ビームの軌道はグリッド上に余り良く集中せず、中心ビームに対するそれらの傾斜は、外側ビームを、磁力線内における変動に対してより敏感にする。距離Ｌ２の増大による電子銃の軸に沿った電極Ｇ９の光学板２の位置の変化は、磁力線の移動を引き起こす。よって、図６において、Ａのような磁力線はＢのような磁力線の方向に移動し、従って、磁界の僅かに異なる湾曲があり、それは２つの軌道の間に異なる傾斜を引き起こす。その効果は±１の静集中調整の問題を修正すのに十分である。
【００７２】
従って、静集中を修正するために、δＬ２＝±βＬ２の量によって距離を変更するようにされている。
【００７３】
静集中ＣＳは、距離Ｌ２の一次関数として以下によって表現される。
【００７４】
【数８】
2005327724.tif 000011
【００７５】
従って、集束修正は以下のように記載され得る。
【００７６】
【数９】
2005327724.tif 000012
【００７７】
これらの方程式において、Ｄ１及びＤ０は以下の値を有する。即ち、
【００７８】
Ｄ１＝−１０であり、Ｄ２＝４０である。
【００７９】
しかしながら、前述のように、バイアスは比率Ｌ１／Ｌ２に比例する。従って、Ｌ２の変更はバイアスの変更を引き起こす。これは次の理由による。即ち、
【００８０】
【数１０】
2005327724.tif 000013
【００８１】
従って、バイアスの変更は以下の方程式によって与えられる。
【００８２】
【数１１】
2005327724.tif 000014
【００８３】
これは、前述の通り、光学板１，２内の開口の垂直方向寸法を変更することによって修正されなければならない（δΦＶｉｎ＝δΦＶｏｕｔ＝Ｂ１×Ｂａｉｓ）。
【００８４】
これらの方程式において、係数Ｅ１及びＤ０は以下の値を有する。
【００８５】
【数１２】
2005327724.tif 000015
【００８６】
従って、以下の値の距離Ｌ２における変動のために、
【００８７】
【数１３】
2005327724.tif 000016
【００８８】
静集中欠陥δＣＳは以下の限界間で修正される。
【００８９】
【数１４】
2005327724.tif 000017
【００９０】
この結果、以下のバイアス変動が得られる。
【００９１】
【数１５】
2005327724.tif 000018
【００９２】
ここで、−１５％≦β≦＋１５である。
【００９３】
変更δＬ２＝±βＬ２は、以下の値によって静集中を修正することを可能とする。
【００９４】
【数１６】
2005327724.tif 000019
【００９５】
これは、値δＢｉａｓ＝±Ｅ１（βＬ２）を有するバイアス内の変動を引き起こす。
【００９６】
例えば、
【００９７】
【数１７】
2005327724.tif 000020
【００９８】
上記のように、このバイアス変動は光学板１，２内の開口の垂直方向に沿った大きさを変更することによって修正されなければならならない（δΦＶｉｎ＝δΦＶｏｕｔ＝Ｂ１×Ｂｉａｓ）。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】本発明を適用する電子銃の一例を示す概略図である。
【図２】ａは、電子銃の主レンズを通じた詳細を示す断面図であり、ｂ及びｃは、ａの電極Ｇ８を示す頂面図であり、光学板１内の開口と開口９とが多様な楕円形状に定められることを許容する。
【図３】電子銃の上部を示す概略図であり、多様な印加される電圧が定められることを許容する。
【図４】修正されることが望ましい焦点の関数としての比率Ｌ１／Ｌ２を示す図表であり、この図表は３つのバイアス値０，２００及び−２００ボルトのために示されている。
【図５】中央開口の垂直楕円率の関数としてのスクリーンの中心におけるバイアス内の変動を描写する曲線を示す図表である。
【図６】電磁線Ａ及びＢの異なる曲線を示す概略図である。
【符号の説明】
【０１００】
Ｋ  陰極線管
Ｇ１  電極
Ｇ２  電極
Ｇ３  電極
Ｇ４  電極
Ｇ５  電極
Ｇ６  電極
Ｇ７  電極
Ｇ８  電極
Ｇ９  電極
Ｖｄ  集束電圧
ＺＺ'  軸
１    光学金属板
２    光学金属板
３    開口
４    開口
５    開口
６    開口
７    開口
８    開口
９    開口
１０  開口
１１  折返部
１２  折返部
１３  半楕円部
１４  長方形開口
１５  半楕円部
【図１】
2005327724.tif 000021
【図２】
2005327724.tif 000022
【図３】
2005327724.tif 000023
【図４】
2005327724.tif 000024
【図５】
2005327724.tif 000025
【図６】
2005327724.tif 000026