(57)【要約】【課題】透明部材の全てを洗浄することと測色計測する際に残った洗浄液体で測色対象液体の濃度変化を防ぐ目的でその洗浄液体の全てをブロー可能な塗布液供給装置およびノズルを提供する。【解決手段】液体測色装置の液体収容部に接続されるノズルであって、該ノズルは、液体収容部に測色対象液体を送り込む機能と、洗浄液体を送り込む機能と、液体収容部内部を乾燥させるためのエアーブロー機能を兼ね備えたことを特徴とする液体測色装置用ノズル、および、測色対象液体を収容する液体収容部と、該測色対象液体を測色する測色部を含む液体測色装置であって、前記液体収容部に接続するノズルが、上記の様な液体測色装置用ノズルであることを特徴とする液体測色装置を提供する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体測色装置の液体収容部に接続されるノズルであって、該ノズルは、液体収容部に測色対象液体を送り込む機能と、洗浄液体を送り込む機能と、液体収容部内部を乾燥させるためのエアーブロー機能を兼ね備えたことを特徴とする液体測色装置用ノズル。
【請求項２】
請求項１記載の液体測色装置用ノズルにおいて、ノズル内部に液溜まりと複数流路を備えていることを特徴とする液体測色装置用ノズル。
【請求項３】
請求項１または２記載の液体測色装置用ノズルにおいて、液体収容部に測色対象液体を送り込む機能が、常圧で送り込む機能であることを特徴とする液体測色装置用ノズル。
【請求項４】
有機溶剤および水に耐性を付与したことを特徴とする請求項１または２または３記載の液体測色装置用ノズル。
【請求項５】
測色対象液体を収容する液体収容部と、該測色対象液体を測色する測色部を含む液体測色装置であって、前記液体収容部に接続するノズルが、請求項１乃至４の何れかに記載の液体測色装置用ノズルであることを特徴とする液体測色装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインキ等の測定対象液体に光を照射して光学特性を測定する光学測定用の装置に付随する測色対象液体の送り込みと
測色毎の測色対象液体の混合を防止するための洗浄液を送り込む機能を有したノズルと
測色対象液体を毎回正確に測定するために洗浄液を乾燥させるエアーブローを送り込む機能を兼ね備えたノズルを有する液体測色装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
塗料、インキ、プラスチックなどの着色液体の製造や、調整中または稼動中の印刷機等においては、製造ないし調整時における着色液体の光学特性、または印刷機に供給される着色液体（インキ）の光学特性を分析する技術が特許文献１および特許文献２に開示されている。
【０００３】
また、別の方法として特許文献３の方法があるが、この方法では測色対象液体を収容する液体収容部と、互いに対向するように配置された一対の透明部材の形状が異なるため使用することが不可能である。
【特許文献１】特開平８−３１３３５２号公報である。
【０００４】
【特許文献２】実開昭５１−１３７３９０号公報である。
【０００５】
【特許文献３】特開２００１−２１５７１号公報である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この様な液体測色装置では、測色対象液体に光を照射し、透過光を積分球により集光した後に導光路を介して分光器に導き、分光器によって測色対象液体の透過率を測定する液体測色装置であって、液体収容部と、移動手段と、位置検出手段と光源と遮光体とを備えていた。
【０００７】
この場合の液体収容部は、お互いに対向するように配置された一対の透明部材を備え、内部に被測色着色液体を収容するものであった。
【０００８】
また、移動手段は、測色対象液体の液体収容部内部への注入、およびこの注入された測色対象液体の測定のために各透明部材のうちの何れか一方を、一対の透明部材の対向する方向に沿って任意位置に移動させる。位置検出手段は、前記移動手段によって移動された透明部材の位置を検出するものであった。
【０００９】
調整手段は、一対の透明部材の平行度および表面間距離を調整するものであった。
【００１０】
光源は、積分球を介して調整手段によって調整された一対の透明部材のうちの一方に向けて照射するものであった。
【００１１】
なお、その透過測定に必要な最低限の測色対象液体を流入することで測色対象液体を収容する液体収容部内部と、互いに対向するように配置された一対の透明部材の表面への測色対象液体による汚れが最小限にとどめられる。
【００１２】
この場合、測色対象液体を収容する液体収容部内部と、互いに対向するように配置された一対の透明部材表面に付着した測色対象液体を洗浄する際に重要なことは、次測定時に残色しないように洗浄することでありそのためには細部に渡って洗浄する必要がある。
【００１３】
そこで本願発明では、測色対象液体を収容する液体収容部内面と互いに対向するように配置された一対の透明部材表面と、着色液体を流入したノズル内部を同時に洗浄し、前記ノズルに付着した着色液体を洗浄すると共に測色対象液体を収容する液体収容部と、互いに対向するように配置された一対の透明部材の全てを洗浄することと測色計測する際に残った洗浄液体で測色対象液体の濃度変化を防ぐ目的でその洗浄液体の全てをブロー（乾燥）することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明はかかる課題を解決するものであり、請求項１記載の発明においては、液体測色装置の液体収容部に接続されるノズルであって、該ノズルは、液体収容部に測色対象液体を送り込む機能と、洗浄液体を送り込む機能と、液体収容部内部を乾燥させるためのエアーブロー機能を兼ね備えたことを特徴とする液体測色装置用ノズルを提供するものである。
【００１５】
請求項２記載の発明においては、請求項１記載の液体測色装置用ノズルにおいて、ノズル内部に液溜まりと複数流路を備えていることを特徴とする液体測色装置用ノズルを提供するものである。
【００１６】
請求項３記載の発明においては、請求項１または２記載の液体測色装置用ノズルにおいて、液体収容部に測色対象液体を送り込む機能が、常圧で送り込む機能であることを特徴とする液体測色装置用ノズルを提供するものである。
【００１７】
請求項４記載の発明においては、有機溶剤および水に耐性を付与したことを特徴とする請求項１または２または３記載の液体測色装置用ノズルを提供するものである。
【００１８】
請求項５記載の発明においては、測色対象液体を収容する液体収容部と、該測色対象液体を測色する測色部を含む液体測色装置であって、前記液体収容部に接続するノズルが、請求項１乃至４の何れかに記載の液体測色装置用ノズルであることを特徴とする液体測色装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００１９】
本来であれば被測色着色液体の供給と洗浄液の供給とブロー（圧空）の供給をそれぞれ個別機構で行うところであるが、本発明においてはそれらの役割を一つのノズルで行うことで測定条件を安定することができる。
【００２０】
つまり、洗浄効率やブロー（圧空）効率を向上させるためには、互いに対向するように配置された一対の透明部材並びに、着色液体収容部に対して断面積の大きな吐出口が必要であるが、それでは被測色着色液体も多量に流入されてしまい着色液体収容部の内部並びに、互いに対向するように配置された一対の透明部材に過剰な測色対象液体が流れ込んでしまい着色汚れの原因となってしまう。
【００２１】
しかし、本ノズルでは被測色着色液体を流入する際にはノズルの複数吐出口の中央部か
らのみの吐出する構造のため小さい断面積から必要最少量を互いに対向するように配置された一対の透明部材の隙間に流入することができる。
【００２２】
一方、洗浄やブロー（圧空）の際は複数の吐出口全てから流入できるので大きな断面積を有することができるためそれぞれの役割効果を高めている
また、余分な機構を持たない事から複雑な構造の必要が無いため、着色汚れの付着個所を最小限にとどめる事が出きる。
【００２３】
また、着色液体の光学特性を測定するための液体を必要最低量に抑えることが出きることから、互いに対向するように配置された一対の透明部材の着色汚れを未然に防ぎ測定精度の安定性と信頼性が向上する。
【００２４】
また、測色対象液体の使用量が少ないことで、測定後の洗浄液体使用量も軽減され、更に複数の吐出口を供えていることで洗浄液体吐出断面積も拡大され洗浄効果が高くなる。
【００２５】
また、ノズルに撥水發油処理を施すことで更に、着色汚れの防止と洗浄効率の向上と乾燥圧空エアーブローの効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２７】
図１は本発明における、測色液体に光を照射し、透過光を積分球により集光した後に導光路を介して分光器に導き、前記分光器によって前記測色液体の透過率を算出する測色部を備えた液体測色装置において、互いに対向するように配置された一対の透明部材と、前記一対の透明部材を平行で、例えば数ミクロンから数十ミクロンの様な隙間を形成できる機構とその内部に測色対象液体を収容する液体収容部と、
液体収容部に被測色液体を送り込む機能と、流路を複数備えた洗浄液体を送り込む機能と
同透明部材並びに内部に測色対象液体を収容する液体収容部の内部を乾燥させるためのブロー機能を兼ね備えたノズルを有することを特徴とする液体測色装置の一部を示す説明図である。
【００２８】
装置構成を以下部分毎に説明する。
【００２９】
第一の部分としては、ミクロン単位で制御可能なサーボモータ（１）とそのサーボモータの回転軸を伝達する送りネジ（２）と水平運動を垂直運動に変換する上下ステージ（３）と上下ステージの上面部に平行硝子（４）を固定する移動ベース（５）から構成されサーボモータ（１）の回転によって平行硝子（４）並びに移動ベース（５）が上下ステージの作用によって例えばサーボモータ（１）が正回転の場合は上昇し、逆回転の場合は下降することを示す
また、上下ステージ（３）の移動位置検出には一般的なレーザー測長計（１４）を使用している。
【００３０】
しかし、この他の検出方法として接触式のリミットスイッチやリニアスケールやサーボモータ内臓のエンコーダなども代用出きる。
【００３１】
第二の部分としては、測色対象液体を液体収容部（７）に収容するためのノズル（８）と収容された測色対象液体を数ミクロンから数十ミクロンの厚みにするための平行硝子（６）と同平行硝子（４）と収容された測色対象液体と洗浄液体と乾燥圧空エアーを外部へ漏らさないためのシール材（９）と収容された測色対象液体と洗浄液体と乾燥圧空エアー
を外部へ排出する廃液口（１０）から構成される事を示す。
【００３２】
第三の部分としては、測色対象液体を数ミクロンから数十ミクロンの薄膜にした後に平行硝子（４）、（６）に垂直方向に光を照射するための光源（１１）と、測色対象液体を透過した光源（１１）からの光を集光する積分球（１２）と集光した光を分光するための分光センサー（１３）から構成されることを示す。
【００３３】
図２はノズル詳細（１５）の三断面図とそれらを供給する供給部（１６）の側面図と断面図である。
【００３４】
ノズル詳細（１５）は、必要最小量の測色対象液体を送り込む機能と、前記測色対象液体を洗浄するための洗浄液体を前記一対の透明部材に付着した着色液体を効率良く洗浄するために複数の流路を備え、前記一対の透明部材に付着した洗浄液と内部に測色対象液体を収容する液体収容部内面に付着した洗浄液体とを乾燥させるための乾燥圧空エアーブロー機能と、を有するノズルとなっていることに特徴がある。
【００３５】
必要最小量の測色対象液体を送り込む機能とは、前記ノズルの構成は互いに対向するように配置された一対の透明部材を備え、内部に測色対象液体を収容する液体収容部に、必要最小量の測色対象液体を送り込む機能である。
【００３６】
供給部（１６）は、前記測色対象液体と、前記一対の透明部材に付着した洗浄液と、内部に測色対象液体を収容する液体収容部内部に付着した洗浄液とを乾燥させるためのブローを供給する構成であることを示す
ノズル詳細（１５）は複数の吐出口（Ａ）と必要最低量の測色対象液体を流入するために設置された液溜まり（Ｄ）から構成されており、（Ｄ）は底部が両側より低い中央液溜まり（Ｂ）を有している。
【００３７】
ノズルへの測色対象液体または洗浄液体または乾燥圧空エアーブローは、供給部（１６）の供給管（Ｃ）より送り込まれる。
【００３８】
ノズル詳細（１５）と供給部（１６）は液溜まり（Ｄ）と中央液溜まり（Ｂ）と供給部（１６）の供給管（Ｃ）の中心が一致しており測色対象液体を常圧で供給管（Ｃ）より垂れ流し状態で供給するとノズル詳細（１５）の中央液溜まり（Ｂ）に滞留した測色対象液体がノズル詳細（１５）の中心部より流れ出す。
【００３９】
なお、ここでの常圧とは、中央液溜まり（Ｂ）に滞留した測色対象液体が順調に流れる状態の圧力をいい、液体により着色汚れが発生する様な高圧を排除する意味である。
【００４０】
また、高圧大流量の洗浄液を流入することでノズル詳細（１５）に設けられた複数の吐出口より同時に洗浄液体が吐出されることによって平行硝子（４）と（６）の隙間部および表面部と着色液体収容部内部を均等に洗浄することが出来るようにしている。
【００４１】
更に、乾燥圧空エアーブローに関して前記洗浄と同様に高圧大流量の乾燥圧空エアーを流入することで平行硝子の隙間および表面と着色液体収容部内面の乾燥も同時に行うことが出来る。
【００４２】
前記ノズルは撥水發油性を高める事を目的にテフロンコーティングやその他撥水撥油を目的としたコーティングを施してあることを特徴とする。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
基板上にレジスト液などの各種薬液を塗布液として塗布する装置などとして利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本ノズルを組み込んだ測色装置測定部の構成図の断面図である。
【図２】ノズル詳細（１５）の三断面図とそれらを供給する供給部（１６）の側面図と断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
（１）  サーボモータ
（２）  送りネジ
（３）  上下ステージ
（４）  平行硝子
（５）  移動ベース
（６）  平行硝子
（７）  液体収容部
（８）  ノズル
（９）  シール材
（１０）廃液口
（１１）光源
（１２）積分球
（１３）分光センサー
（１４）レーザー測長計
（１５）ノズル詳細
（１６）供給部
（Ａ）  吐出口
（Ｂ）  液溜まり中央
（Ｃ）  供給管
（Ｄ）  液溜まり
【図１】
2005069912.tif 000003
【図２】
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