(57)【要約】【課題】アライメント機構の構成の問題を解決しながらも、記録装置の記録位置精度の向上を図ること。【解決手段】被記録部材に記録を行うためのヘッドと、ヘッドの回転角度を補正する第１角度補正手段と、被記録部材を固定する固定手段と、固定手段の回転角度を補正する第２角度補正手段と、固定手段を搭載した水平面内を移動可能なステージとを備えた記録装置において、ヘッドは透過部分を有し、透過部分に設けられた複数の第１アライメントマークと、被記録部材又は固定手段に設けられた複数の第２アライメントマークと、ヘッド上方に配置された撮像手段と、撮像手段を鉛直方向及び水平方向に移動させるための移動手段と、撮像手段が捕らえた第１アライメントマーク及び第２アライメントマークの情報から第１角度補正手段及び第２角度補正手段を補正する制御手段を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被記録部材に記録を行なうためのヘッドと、前記ヘッドの回転角度を補正する第１角度補正手段と、前記被記録部材を固定する固定手段と、前記固定手段の回転角度を補正する第２角度補正手段と、前記固定手段を搭載した水平面内を移動可能なステージとを備えた記録装置において、前記ヘッドは透過部分を有し、前記透過部分に設けられた複数の第１アライメントマークと、前記被記録部材又は前記固定手段に設けられた複数の第２アライメントマークと、前記ヘッド上方に配置された撮像手段と、前記撮像手段を鉛直方向及び水平方向に移動させるための移動手段と、前記撮像手段が捕らえた前記第１アライメントマーク及び前記第２アライメントマークの情報から前記第１角度補正手段及び前記第２角度補正手段を補正する制御手段を有することを特徴とする記録装置におけるアライメント機構。
【請求項２】
被記録部材に記録を行うためのヘッドと、前記ヘッドの回転角度を補正する第１角度補正手段と、前記被記録部材を固定する固定手段と、前記固定手段の回転角度を補正する第２角度補正手段と、前記固定手段を搭載した水平面内を移動可能なステージとを備えた記録装置において、前記ヘッドは透過部分を有し、前記透過部分に設けられた複数の第１アライメントマークと、前記被記録部材又は前記固定手段に設けられた複数の第２アライメントマークと、前記ヘッド上方に配置された撮像手段と、前記撮像手段の撮像位置を前記第１アライメントマークの位置へと導く光学手段と、前記撮像手段が捕らえた前記第１アライメントマーク及び前記第２アライメントマークの情報から前記第１角度補正手段及び前記第２角度補正手段を補正する制御手段を有することを特徴とする記録装置におけるアライメント機構。
【請求項３】
前記第１アライメントマーク同士を結んだ直線が前記ヘッドのアライメント後に前記ステージの走査方向と一致するように前記第１アライメントマークは前記ヘッドに複数設けられ、前記第２アライメントマーク同士を結んだ直線が前記被記録部材のアライメント後に前記ステージの走査方向と一致するように前記第２アライメントマークは前記被記録部材又は前記固定手段に複数設けられ、前記第１アライメントマーク同士の間隔と前記第２アライメントマーク同士の間隔が略一致していることを特徴とする請求項１又は２記載の記録装置におけるアライメント機構。
【請求項４】
前記撮像手段の光路中にシャッターを有することを特徴とする請求項２記載の記録装置におけるアライメント機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出して被記録部材に記録を行うインクジェット記録装置におけるアライメント機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被記録部材に記録を行う１つの方法として、ヘッドに設けられたノズルから液滴を吐出させて記録を行うインクジェット方式がある。この方式を採用したものでは、カラー画像を紙に印刷するためのプリンタが最も良く知られている。
【０００３】
しかしながら、インクジェット方式は、微小な液滴を所定の場所に着弾させることができるという利点から、プリンタだけでなく、カラーフィルタ製造装置・ＤＮＡチップ製造装置等の製造装置にも適用されている。図７にＤＮＡチップ製造装置の一例を示す。
【０００４】
定盤４０上には高精度に位置決め可能なＹ軸ステージ３４及びガイドレール３５ａ，３５ｂが平行に固定されている。Ｙ軸ステージ３４及びガイドレール３５ａ，３５ｂの可動部分には高精度に位置決め可能なＸ軸ステージ３３が精度良く取り付けられている。Ｘ軸ステージ３３の可動部分には基板θステージ３２が固定されており、更に基板θステージ３２の上面にはチャック３１が固定されている。
【０００５】
チャック３１は図示しないポンプとチューブで繋がれており、ポンプが空気を吸引することで、被記録部材であるガラス基板２０はチャック３１に吸着される。これにより、チャック３１及びガラス基板２０はＸＹ方向に高精度に位置決め可能で、且つ、Ｚ軸回りの角度（θ方向）の補正も可能な構成となる。又、Ｘ軸ステージ３３の可動部分にはヘッドアライメントカメラ１０１が取り付けられている。よって、ヘッドアライメントカメラ１０１の撮像位置は、チャック３１のＸＹ平面内の動きに追従してくるが、チャック３１の回転の動きには影響されない。
【０００６】
定盤４０上に支柱４２ａ，４２ｂが固定されており、支柱４２ａ，４２ｂにはそれぞれブリッジ４１ａ，４１ｂが固定されている。ブリッジ４１ａ，４１ｂはステー１０３で固定されており、支柱４２ａ，４２ｂとブリッジ４１ａ，４１ｂの構造物の強度を保っている。このステー１０３には基板アライメントカメラ１０２が取り付けられている。更に、ブリッジ４１ａ，４１ｂの間にはヘッドθステージ３０が固定されており、ヘッドθステージ３０にはヘッド１０が固定されている。これにより、ヘッド１０はθ方向の角度補正が可能な構成となる。
【０００７】
ＤＮＡチップ製造装置のように、ガラス基板２０への描画精度が必要とされる場合、装置の組み立て誤差やヘッド１０及びガラス基板２０を固定する位置・傾きの誤差による描画精度の低下を防ぐことを目的としてアライメントを行う。
【０００８】
アライメントの方法について図８を用いて説明する。
【０００９】
図８はヘッド１０・ガラス基板２０・ヘッドアライメントカメラ１０１・基板アライメントカメラ１０２の相対関係を示す図である。ヘッド１０の下面にはヘッドアライメントマーク１１ａ，１１ｂが設けられている。又、ガラス基板２０の表面には基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂが設けられている。
【００１０】
先ず、ヘッドアライメントカメラ１０１をヘッドアライメントマーク１１ａの下に移動させ、ヘッドアライメントマーク１１ａの位置を読み込む。同様に、ヘッドアライメントマーク１１ｂの下にヘッドアライメントカメラ１０１を移動させ、ヘッドアライメントマーク１１ｂの位置を読み込む。ヘッドアライメントマーク１１ａ，１１ｂの位置からヘッド１０の傾きを算出し、その角度だけヘッド１０を補正する。再度、補正後にヘッドアライメントマーク１１ａ，１１ｂの位置を読み込み、補正後のヘッド１０の傾き・位置を記憶しておく。
【００１１】
次に、基板アライメントカメラ１０２の下に基板アライメントマーク２１ａを移動させ、基板アライメントマーク２１ａの位置を読み込む。同様に、基板アライメントマーク２１ｂを基板アライメントカメラ１０２の下に移動させて、基板アライメントマーク２１ｂの位置を読み込む。基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂの位置からガラス基板２０の傾きを算出し、その角度だけガラス基板２０を補正する。再度、補正後に基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂの位置を読み込み、ガラス基板２０の傾き・位置を記憶しておく。補正後の、ヘッド１０・ガラス基板20の位置から、両者の相対関係を把握し、描画開始位置を決定する。
【００１２】
上記従来例の構成では、次のような問題がある。ヘッドアライメントカメラで撮像した画像を装置外部の画像処理系に取り込む場合、ヘッドアライメントカメラと画像処理系とを繋ぐケーブルが必要である。又、撮像部分に照明をあてるため、ヘッドアライメントカメラと光源をライトガイドで繋ぐ必要がある。ヘッドアライメントカメラはＸ軸ステージ・Ｙ軸ステージによってＸＹ平面内を移動するため、Ｘ軸ステージ及びＹ軸ステージの走査距離に従って長いケーブル・ライトガイドが必要となる。更に、ヘッドアライメントカメラの移動に伴ってケーブル・ライトガイドが屈曲を繰り返すため、耐久性の面でも問題が生じる。
【００１３】
これまで、カラーフィルタ製造装置等のアライメント方法として、様々な提案がなされており、基板アライメントカメラのみでアライメントを行う方法もある。
【００１４】
例えば、特許文献１に記載されている提案では、液滴の着弾位置と参照マークの位置を基板アライメントカメラで比較することにより、ステージ補正を行っている。同様に、特許文献２に記載されている提案では、ガラス基板の替わりとなるブランクに液滴を吐出し、それを基板アライメントカメラで撮影した時の吐出データと、ガラス基板のアライメントマークの位置から、チャックの位置・ヘッドの角度・ガラス基板の角度を補正している。更に、特許文献３に記載されている提案では、ガラス基板の描画領域外に配置された位置合わせ部を基板アライメントカメラで検出する  ことで、インクノズルと描画するべき開口部との位置決めを行っている。
【００１５】
【特許文献１】特表平０９−５１１５８５号公報
【特許文献２】特開２００１−２８６８１２号公報
【特許文献３】特登録０２５９７６２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２の提案では、次のような問題が生じる。被記録部材に記録を行う時の描画精度に係る最も大きな要因は、ヘッド自体の吐出性能であり、１回毎の吐出でも描画位置にバラツキが生じてしまう。よって、チャックの高精度位置決めが実現できるとしても、描画されたドットを基準にしては、チャックの位置やヘッドの回転を補正する際にヘッドの吐出性能による誤差が上積みされ、理想値からのズレが補正前よりも大きくなってしまう可能性がある。
【００１７】
又、特許文献３の提案では、次のような問題が生じる。カラーフィルタ製造装置とは異なり、ＤＮＡチップ製造装置ではガラス基板に描画を行うための液滴の種類や描画パターンは様々な組み合わせが考えられ、その度にヘッドを交換する必要がある。よって、ヘッドを交換すれば、その度に固定位置に誤差が生じてしまうため、ガラス基板のアライメントだけでなく、ヘッドのアライメントも必要である。ここでのアライメントとは、ガラス基板及びヘッドの角度補正と、ガラス基板とヘッドの相対的な位置合わせがある。ガラス基板及びヘッドの角度補正において、描画位置の誤差を最小限にするためには、ガラス基板の描画される方向とヘッドのノズル列を一致させるのではなく、ガラス基板の描画される方向及びヘッドのノズル列をそれぞれステージの走査方向に一致させる必要がある。
【００１８】
本発明の目的は、以上のような問題点に鑑み、アライメント機構の構成の問題を解決しながらも、記録装置の記録位置精度の向上を図ることができるアライメント機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、被記録部材に記録を行なうためのヘッドと、前記ヘッドの回転角度を補正する第１角度補正手段と、前記被記録部材を固定する固定手段と、前記固定手段の回転角度を補正する第２角度補正手段と、前記固定手段を搭載した水平面内を移動可能なステージとを備えた記録装置において、前記ヘッドは透過部分を有し、前記透過部分に設けられた複数の第１アライメントマークと、前記被記録部材又は前記固定手段に設けられた複数の第２アライメントマークと、前記ヘッド上方に配置された撮像手段と、前記撮像手段を鉛直方向及び水平方向に移動させるための移動手段と、前記撮像手段が捕らえた前記第１アライメントマーク及び前記第２アライメントマークの情報から前記第１角度補正手段及び前記第２角度補正手段を補正する制御手段を有することを特徴とする。
【００２０】
請求項２記載の発明は、被記録部材に記録を行なうためのヘッドと、前記ヘッドの回転角度を補正する第１角度補正手段と、前記被記録部材を固定する固定手段と、前記固定手段の回転角度を補正する第２角度補正手段と、前記固定手段を搭載した水平面内を移動可能なステージとを備えた記録装置において、前記ヘッドは透過部分を有し、前記透過部分に設けられた複数の第１アライメントマークと、前記被記録部材又は前記固定手段に設けられた複数の第２アライメントマークと、前記ヘッド上方に配置された撮像手段と、前記撮像手段の撮像位置を前記第１アライメントマークの位置へと導く光学手段と、前記撮像手段が捕らえた前記第１アライメントマーク及び前記第２アライメントマークの情報から前記第１角度補正手段及び前記第２角度補正手段を補正する制御手段を有することを特徴とする。
【００２１】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明において、前記第１アライメントマーク同士を結んだ直線が前記ヘッドのアライメント後に前記ステージの走査方向と一致するように前記第１アライメントマークは前記ヘッドに複数設けられ、前記第２アライメントマーク同士を結んだ直線が前記被記録部材のアライメント後に前記ステージの走査方向と一致するように前記第２アライメントマークは前記被記録部材又は前記固定手段に複数設けられ、前記第１アライメントマーク同士の間隔と前記第２アライメントマーク同士の間隔が略一致していることを特徴とする。
【００２２】
請求項４記載の発明は、請求項２記載の発明において、前記撮像手段の光路中にシャッターを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、アライメントカメラが１台だけでも、ステージの動作と組み合わせることで、ヘッド・被記録部材のアライメントを精度良く行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２５】
＜実施の形態１＞
図１は本発明の実施の形態１に係るＤＮＡチップ製造装置の概略構成を示す斜視図である。
【００２６】
描画系の構成については、従来例と同一であるため、従来例と同一の番号を付してその説明は省略する。アライメント系の構成については、ヘッド１０上方にアライメントカメラ１を配置する。アライメントのためのカメラは、アライメントカメラ１のみである。アライメントカメラ１はカメラＺステージ２に固定されており、カメラＺステージ２はブリッジ４１ａ，４１ｂ間に渡されたカメラＸステージ３に固定されている。
【００２７】
図２は本発明に係るヘッドの構成を示す斜視図である。
【００２８】
ヘッド１０は、ノズルプレート１２・インク収納部１３・ヘッドフレーム１４から構成されている。インク収納部１３は、ヘッドフレーム１４の内側の部分であり、透過性の材料から作られている。インク収納部１３は、図示しない複数の液室に分かれており、多種類のインクを混色させることなく保管することができる。インク収納部１３の液室に保管されていたインクは、図示しないインク流路によって、インク収納部１３下面に取り付けられたノズルプレート１２へ導かれる。ノズルプレート１２に電圧を掛けることによって、インクはヘッド１０下方へ吐出される。
【００２９】
ヘッド１０下面にはヘッドアライメントマーク１１ａも設けられている。ヘッドアライメントマーク１１ａが設けられている位置は、インク収納部１３下面で、且つ、ノズルプレート１２が取り付けられていない位置であるため、ヘッド１０上方からヘッドアライメントマーク１１ａを観察することが可能である。ヘッドアライメントマーク１１ａのノズルプレート１２を挟んだ反対側には、図示しない同様のヘッドアライメントマーク１１ｂが設けられている。
【００３０】
図３は本発明に係るアライメント系の位置関係を示す斜視図である。
【００３１】
被記録部材であるガラス基板２０には基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂが設けられている。基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂ間の距離は、ヘッドアライメントマーク１１ａ，１１ｂ間の距離と同じである。又、ヘッドアライメントマーク１１ａ，１１ｂを結ぶ直線、及び、基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂを結ぶ直線はＸ軸ステージ３３の走査方向と一致するように配置されている。図３に示す構成により、ヘッド１０上方に配置されたアライメントカメラ１は、ヘッド１０下面に設けられたヘッドアライメントマーク１１ａ，１１ｂ及びヘッド下方に存在する基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂの観察が可能となる。
【００３２】
ここで、被記録部材の材料をガラスとしたが、インクを受容可能であり、且つ、製造されたＤＮＡチップの検査も可能であるプラスチック・フィルム・セラミック等でも良い。
【００３３】
図６に基づいて、詳細なアライメント方法を説明する。
【００３４】
図中では、ヘッドアライメントマーク１１ａ，１１ｂを「〇」で、基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂを「＋」で示す。先ず、図６（ａ）に示すように、ステージの走査方向に対して、ヘッド１０及びガラス基板２０が傾いて固定されたとする。ここで、ステージの走査方向は図中のＸＹ方向である。アライメントカメラ１のＸＹ平面内の位置はヘッドアライメントマーク１１ａを捕らえる位置に固定する。その後、アライメントカメラ１の焦点がガラス基板２０表面となるように、ヘッドアライメントカメラ１の高さをカメラＺステージ２で調整する。そして、アライメントカメラ１で基板アライメントマーク２１ｂを捕らえることができるように、ガラス基板２０を移動させる。この時点で、アライメントカメラ１が捕らえた画像の中で、基板アライメントマーク２１ｂがどの位置にいるのかを記憶させる。
【００３５】
次に、図６（ｂ）に示すように、アライメントカメラ１で基板アライメントマーク２１ａを捕らえられるように、ガラス基板をＸ方向のみに移動させる。ここで、アライメントカメラ１が捕らえた画像の中で、基板アライメントマーク２１ａがどの位置にいるのかを記憶させる。先に記憶した基板アライメントマーク２１ｂの画像情報と基板アライメントマーク２１ａの画像情報及びステージの移動量からガラス基板２０のＸ方向からの傾きを算出し、その傾き分だけガラス基板２０の角度を補正する。
【００３６】
このとき、画像情報及びステージ移動量から、基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂ間の距離も算出しておく。これで、ガラス基板２０の基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂが示す方向とステージのＸ方向が一致したことになる。この状態で再度基板アライメントマーク２１ａの画像を読み込み、アライメントカメラ１の高さをカメラＺステージ２で変えて焦点をヘッドアライメントマーク１１ａに合わせて画像を読み込む。基板アライメントマーク２１ｂの画像情報とヘッドアライメントマーク１１ａの画像情報から２つのマークのずれ量を算出し、基板アライメントマーク２１ｂとヘッドアライメントマーク１１ａがＸＹ平面内で同じ位置に来るように、ガラス基板２０の位置を補正する。その上で、アライメントカメラ１がヘッドアライメントマーク１１ｂを捕らえる位置に、カメラＸステージ３でアライメントカメラ１を移動させる。この時点が、図６（ｃ）に示す状態である。
【００３７】
ここで、ヘッドアライメントマーク１１ｂの画像を読み込み、アライメントカメラ１の高さをカメラＺステージ２で変えて焦点を基板アライメントマーク２１ｂに合わせて画像を読み込む。そして、基板アライメントマーク２１ｂの画像情報・ヘッドアライメントマーク１１ｂの画像情報・先ほど算出した基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂ間の距離からヘッド１０の傾きを算出し、その傾きだけヘッド１０の角度を補正する。これで、ヘッド１０のヘッドアライメントマーク１１ａ，１１ｂが示す方向とステージのＸ方向が一致したことになる。最後に、再度、アライメントカメラ１の高さをカメラＺステージ２で変えて基板アライメントマーク２１ｂとヘッドアライメントマーク１１ｂの画像を読み込み、画像情報から２つのマークのずれ量を算出し、基板アライメントマーク２１ｂとヘッドアライメントマーク１１ｂがＸＹ平面内で同じ位置に来るように、ガラス基板２０の位置を補正する。この位置をヘッド１０とガラス基板２０の相対位置関係の基準とすることができる。
【００３８】
＜実施の形態２＞
本発明の実施の形態２について説明する。
【００３９】
図４及び図５は本発明の実施の形態２に係るＤＮＡチップ製造装置の特徴を示す斜視図である。実施の形態１と異なる部分は図４及び図５に示すカメラの構成であり、その他の部分は図１に示す実施の形態１と同一である。実施の形態１と同一部分については同一符号を付してその説明は省略する。
【００４０】
図４にカメラ系の概観を示す。
【００４１】
ブリッジ４１ａ，４１ｂの間にカメラ系固定板４が固定されている。カメラ系固定板４にはカメラＺステージ２が取り付けられており、カメラＺステージ２の可動部分にアライメントカメラ１が固定されている。アライメントカメラ１は、ヘッド１０上方に配置されている。アライメントカメラ１とヘッド１０の間には、鏡筒５が固定されている。
【００４２】
図５に鏡筒５の構成の詳細を示す。
【００４３】
鏡筒５は、ケース６・ハーフミラー７・ミラー８ａ，８ｂ，８ｃから構成されており、ケース６はカメラ系固定板４の固定部４ａ，４ｂ，４ｃに固定されている。ヘッド１０のヘッドアライメントマーク１１ａの画像は、ミラー８ａで反射し、更にミラー８ｂで反射し、ハーフミラー７は透過してアライメントカメラ１に取り込まれる。又、図示しないヘッドアライメントマーク１１ｂがミラー８ｃの直下にある。ヘッドアライメントマーク１１ｂの画像は、ミラー８ｂで反射し、更にハーフミラー７で反射してアライメントカメラ１に取り込まれる。これにより、カメラＺステージ２でアライメントカメラ１の高さ調整をすることによって、ヘッドアライメントマーク１１ａ，１１ｂと、ヘッド１０下方に移動してきたガラス基板２０の基板アライメントマーク２１ａ，２１ｂとを、アライメントカメラ１で選択的に観察することができる。
【００４４】
又、ミラー８ａと８ｂの間、及び、ハーフミラー７とミラー８ｃの間には図示しないシャッターが組み込まれている。このシャッターを開閉することで、ヘッドアライメントマーク１１ａか１１ｂ、又は、基板アライメントマーク２１ａか２１ｂの画像を選択的にアライメントカメラ１に取り込むことができる。
【００４５】
上記構成によれば、アライメントカメラ１を水平方向に移動させることなく、実施の形態１で説明した方法と同様の工程で、ヘッド１０及びガラス基板２０のアライメントを行うことができる。
【００４６】
本実施の形態において、アライメントカメラ１の撮像位置を、ヘッドアライメントマーク１１ａ，１１ｂの位置へと導く手段としてミラー８ａ，８ｂ，８ｃとハーフミラー７を使用したが、プリズム・光ファイバー等の光学手段でも良い。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、液滴を吐出して被記録部材に記録を行うインクジェット記録装置におけるアライメント機構に対する利用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態１に係るアライメント機構を適用した記録装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るヘッドの構成を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係るアライメント機構の詳細を説明する斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係るアライメント機構の構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係るアライメント機構の詳細を説明する斜視図である。
【図６】本発明の実施り形態に係るアライメント機構の動作を説明する説明図である。
【図７】従来例のアライメント機構を適用した記録装置の斜視図である。
【図８】従来例のアライメント機構の詳細を説明する斜視図である。
【符号の説明】
【００４９】
１    アライメントカメラ
２    カメラＺステージ
３    カメラＸステージ
４    カメラ系固定板
５    鏡筒
６    ケース部
７    ハーフミラー
８ａ〜８ｃ  ミラー
１０  ヘッド
１１ａ，１１ｂ  ヘッドアライメントマーク
１２  ノズルプレート
１３  インク収納部
１４  ヘッドフレーム
２０  ガラス基板
２１ａ，２１ｂ  基板アライメントマーク
３０  ヘッドθステージ
３１  チャック
３２  基板θステージ
３３  Ｘ軸ステージ
３４    Ｙ軸ステージ
３５ａ，３５ｂ  ガイドレール
４０  定盤
４１ａ，４１ｂ  ブリッジ
４２ａ，４２ｂ  支柱
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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