(57)【要約】      （修正有）【課題】遠心バレルなどの湿式研磨加工おいて、加工容器内に投入する研磨材および研磨液の容量管理を容易にする。【解決手段】研磨粒子を主成分とし、他の成分として研磨補助材、及び／又は崩壊材、及び／又は賦形材、及び／又は結合材を配合して、タブレット形態に成形した研磨材であり、更に研磨加工容器内に投入する被研磨材の質量又は数量から算出した個数のタブレット型研磨材を、加工容器内又は研磨液を構成する液体内に投入する工程を設けた研磨方法である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨粒子を主成分とし、他の成分として研磨補助材及び／又は崩壊材及び／又は賦形材及び／又は結合材を配合して、タブレット形態に成形したことを特徴とする研磨材。
【請求項２】
該崩壊材、該賦形材及び該結合材に、水溶性又は油溶性の崩壊材、賦形材及び結合材を使用したことを特徴とする請求項１記載の研磨材。
【請求項３】
加工容器内に少なくとも被研磨材と、研磨材又は研磨材を配合した研磨液とを投入し、該加工容器を自公転させて、該加工容器内部の該被研磨材の外形形状を研磨加工する研磨方法において、該加工容器内に投入する該被研磨材の質量又は数量から算出した個数のタブレット型研磨材を、該加工容器内又は該研磨液を構成する液体内に投入する工程を設けたことを特徴とする研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨材及びその研磨材を用いた研磨方法に関し、特に電子部品に使用される素子類を研磨する研磨材及びそれを用いた研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば電子部品の一つである水晶振動子に使用される水晶素板では、水晶素板の特性を良くするため（特にクリスタルインピーダンス値を低くするため）に、水晶素板の外形形状をベベリング形状に加工するための研磨加工が行われている。
【０００３】
この水晶素板の研磨方法としては、従来では以下ような工程により行われていた。即ち、両端を閉口した径寸法より長さ寸法が長い円筒形の加工容器を複数搭載した研磨装置において、この加工容器内には少なくとも水晶素板と、粉末状又は粒状の研磨材又は液体にこの研磨材を配合した研磨液が投入されており、この加工容器を装置設置面と平行の公転軸で公転させ、更に加工容器自体も両端部の断面の中心を貫く中心軸、又は両端断面を斜めに貫く軸を公転軸と平行に自転させることで、加工容器内部に投入した水晶素板を、研磨材及び加工容器内壁と水晶素板との摩擦運動により、水晶素板外形をベベリング形状に加工する遠心バレル装置が使用されている。
【０００４】
また、最近では加工容器の自公転軸を研磨装置設置面に対し垂直方向に設けた、所謂縦型バレル研磨装置も使用されている。
【０００５】
これら研磨装置を用いた水晶素板研磨加工に用いられる研磨材には、粉末状のグリーンカーボンなどが用いられており、このような研磨材を加工容器内に投入する方法としては、研磨対象の水晶素板の枚数（枚数から質量を導き出すことは可能）から研磨材の使用量を算出し、計量容器などで算出した量の粉末状研磨材を取り、加工容器内に投入する方法が用いられている。
【０００６】
前述のような研磨材及び研磨方法については、以下のような文献が開示されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−２７７３８２号公報
【特許文献２】
特開２０００−３５４９４７号公報
【特許文献３】
特開平１１−１１４８０８号公報
【０００８】
尚、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、最近の電子素子の研磨加工においては、被研磨材が小さくなる傾向があり、特に水晶素板の研磨加工にはその傾向が顕著である。そのため研磨加工に用いる研磨材と被研磨材との僅かな混合比率の違いにより、被研磨材の加工量に大きな違いが生じ、因って被研磨材の特性にバラツキが生じてしまうので、研磨材の投入量の管理が厳しくなっている。
【００１０】
しかし、前記従来技術で開示した研磨材においては、形態が粉末状又は粒状のため、計量容器などでの投入では厳密な研磨材の容量管理が難しい。又秤量してからの投入においても、研磨材形態が粉末状のため、秤量時の風や振動による影響や、外部からの様々な影響（容器投入時の事故による質量変化や異物の混入など）を受けやすい。
【００１１】
又、遠心バレルなどでの湿式研磨加工おいて、加工容器内に投入した低濃度の研磨液（水などの冷却材に研磨材を配合したもの）を頻繁に交換し研磨加工を行う場合では、交換の都度に粉末状又は粒状の研磨材を秤量し冷却材に分散させ研磨液を作成する作業が非常に煩雑であり、研磨加工工程に費やす時間が増加してしまう。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は前述した問題点を解決するために成されたものであり、研磨粒子を主成分とし、他の成分として研磨補助材、及び／又は崩壊材、及び／又は賦形材、及び／又は結合材を配合して、タブレット形態に成形したことを特徴とする研磨材である。
【００１３】
また、上記崩壊材、賦形材及び結合材に、水溶性又は油溶性の崩壊材、賦形材及び結合材を使用したことを特徴とする上記研磨材でもある。
【００１４】
更に、加工容器内に少なくとも被研磨材と、研磨材又は研磨材を配合した研磨液とを投入し、この加工容器を自公転させて加工容器内部の被研磨材の外形形状を研磨加工する研磨方法において、加工容器内に投入する被研磨材の質量又は数量から算出した個数のタブレット型研磨材を、加工容器内又は研磨液を構成する液体内に投入する工程を設けたことを特徴とする研磨方法である。
【００１５】
従って、本発明における研磨材及びそれを用いた研磨方法では、研磨材形態をタブレット型にすることで、被研磨材の量に対応する量の研磨材を、定量的且つ容易に使用できる作用を成す。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明による研磨材及びそれを用いた研磨方法の一実施形態を図面を参照しながら説明する。
図１は本発明に係わるタブレット型研磨材の外形形状を示す斜視図である。図２は本発明に係わる研磨に使用する研磨装置の一形態を示す略構造図である。図３は本発明に係わる研磨材及び図２に開示した研磨装置を使用した水晶素板の研磨方法を示すブロック図である。尚、各図では、説明を明りょうにするため構造体の一部を図示せず、また寸法も一部誇張して図示している。
【００１７】
即ち、図１には研磨粒子としてグリーンカーボンを主成分とし、他の成分として加工容器と水晶素板との貼り付きを防止するための樹脂ボールと、これらの成分間を結合する水溶性のでんぷんのりとを配合し、打錠機により圧縮成型し、円形タブレット型の研磨材１０を形成している。尚、本実施例では研磨粒子としてグリーンカーボンを使用しているが、酸化アルミニウムや酸化シリコンなどの他の研磨粒子を使用、又は複数種類混合して使用しても良い。又、研磨補助材及び結合材についても上記物質に限定するものではない。更に、本実施例ではタブレット型研磨材の外形形状として円形のものを開示しているが、他の形状（例えば楕円形、多角形など）でも良い。
【００１８】
この研磨材１０に含有する研磨粒子の量は、水晶素板の数量に対応する最小公約量とすることで、研磨加工する水晶素板の量が増えた場合でも、増えた量に対応する数のタブレット型研磨材を使用することで容易に対応できる。
【００１９】
又、このタブレット型研磨材を湿式研磨加工で使用する場合では、上記研磨材の含有物の他に、液体中で容易に研磨材が分解するように界面活性剤などの崩壊材を含有させ研磨材を成形することもある。このことにより液中に研磨粒子を素早く分散させることができ、研磨粒子の効果を早く作用させることができる。
【００２０】
上述したような研磨材を用いた水晶素板の湿式研磨方法として、縦型遠心バレル研磨機を用いた研磨方法を図２及び図３に例示して説明する。
まず、縦型遠心バレル研磨機２０の容器２１の中に、所望の数量の水晶素板２２を投入する。
【００２１】
次に、別容器２３内に研磨加工中に発生する熱を吸収排熱するための冷却材として水２４を入れ、その水の中に上述したようなタブレット型研磨材１０を、水晶素板２２の数量に対応する個数投入し、研磨液２５を作成する。このときタブレット型研磨材１０に崩壊材が含有している場合では、水中で研磨材は自然に分散するが、水中への分散が弱い場合は、外部より器具などを用いて撹拌し研磨粒子の分散を促しても良い。尚、図２ではタブレット型研磨材１０の水２４への投入を明りょうにするため、タブレット型研磨材１０の形状を崩壊前のままの形状で記載してある。
【００２２】
上記のように本実施例では、研磨材と冷却材の水との混合を加工容器とは別の容器内で行っているが、これらの混合工程を水晶素板が入っている加工容器内で行っても良く、先に加工容器内で研磨材と冷却材との混合を行い、その後そこへ水晶素板を投入しても良い。更に冷却材として油脂系の液体を使用しても良く、その際は研磨材に含有させる崩壊材や結合材などは油溶性のものを用いる。
【００２３】
次に、この研磨液２５を加工容器２１の中に入れ水晶素板２２と混ぜ合わせる。その後加工容器２１に蓋（図示せず）をして研磨装置２０に搭載した駆動機構により加工容器２１を自公転させ水晶素板２２と研磨粒子及び加工容器内壁とを摩擦させ水晶素板の外形形状をベベリング形状に研磨加工する。
【００２４】
次に、一定時間研磨した後、加工容器２１の自公転運動を停止し、加工容器２１内より水晶素板２２及び使用後の研磨液２５を排出し、この排出した水晶素板２２と使用後の研磨液２５を分離し、分離した水晶素板２２は加工容器内に再度戻し、そこへ上記方法で作成した新しい研磨液を投入し更に研磨加工を続ける。この工程を水晶素板２２が所望のべべリング形状に加工されるまで繰り返す。
【００２５】
尚、上記実施例としては縦型遠心バレル研磨機２０を使用した例を開示したが、他の型式のバレル研磨機でも本発明は適用できる。又、実施例では湿式研磨加工を例示したが、被研磨材が入っている加工容器内へ直接本発明に係わるタブレット型研磨材を投入し且つ冷却材などの液体を投入しないで加工研磨をする乾式研磨加工においても、本発明は適用できる。
【００２６】
又、本発明では水晶振動子に使用される水晶素板のバレル研磨加工を主に例示しているが、本発明は、水晶素板の研磨加工に限定するものではなく、他の電子部品や電子素子又は機械部品等のバレル研磨加工に使用される研磨材及びその研磨材を使用した研磨方法にも適用できる。
【００２７】
【発明の効果】以上詳述の通り、本発明に関わる研磨材及びそれを使用した研磨方法より、被研磨材の量に対応する量の研磨材を、定量的且つ精確に、更に容易に使用でき、因って被研磨材の研磨加工量のバラツキが非常に小さく、又、研磨工程に費やす時間を大幅に短縮できる効果を成す。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に係わるタブレット型研磨材の外形形状を示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明に係わる研磨加工に使用する研磨装置の一形態を示す略構造図である。
【図３】図３は、本発明に係わる研磨材及び図２に開示した研磨装置を使用した水晶素板の研磨方法を示すブロック図である。
【符号の説明】
１０，タブレット型研磨材
２１，加工容器
２２，水晶素板
２４，水
２５，研磨液
【図１】
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【図２】
2005021996.tif 000004
【図３】
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