(57)【要約】【課題】  加工前の砥石の配置およびギア歯に対応する砥石部の凹凸の位相のズレを正確に計測でき、的確にツルーイングが行えるようにする。【解決手段】  砥石を保持器１に固定した後、位置測定器２にて砥石の配置および砥石部の凹凸の位相ズレを測定する。その後、砥石を加工機３に搬送し、加工気にてワイヤ放電加工を行う。このとき、保持器１に位置決め部を設けると共に、位置測定器２および加工機３に同一構成の位置決め部材２ｂ、６３ａを設けておくことで、位置測定器２にて測定された配置および位相ズレが加工機３に搬送した後にも適用可能なようにする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物（２０、３０）を固定し、前記被加工物に対してツルーイングを行うツルーイング装置であって、
固定された前記被加工物の位置測定を行うことで、所定の基準位置に対しての前記被加工物の配置および基準位相からの位相ズレを測定する位置測定器（２）と、
前記位置測定器にて測定された前記被加工物の配置および前記位相ズレとに基づいて、前記被加工物を加工することによりツルーイングを行う加工機（３）とを備えていることを特徴とするツルーイング装置。
【請求項２】
前記被加工物を固定して搬送する保持器（１、４０、５０）を有し、
前記位置測定器と前記加工機とが別体で構成され、前記保持器にて、前記被加工物が前記位置測定器から前記加工機に搬送できるように構成されており、
前記保持器には、第１位置決め手段（４２ａ、４２ｂ、５２ａ、５２ｂ）が備えられ、
前記位置測定器および前記加工機には、前記第１位置決め手段と対応する位置決め第２位置決め手段（２ｂ、６３ａ）が備えられており、
前記保持器を前記位置測定器に搬送した際には、前記第１位置決め手段および前記位置測定器に備えられた前記第２位置決め手段により、前記保持器が前記位置測定器における所定位置に配置されるようにされていると共に、
前記保持器を前記加工機に搬送した際には、前記第１位置決め手段および前記加工機に備えられた前記第２位置決め手段により、前記保持器が前記位置測定器における所定位置に配置されるようにされており、
前記位置測定器にて測定された前記被加工物の配置および前記位相ズレと、前記保持器を前記加工機に搬送したときにおける前記被加工物の配置および前記位相ズレとが一致するようになっていることを特徴とする請求項１に記載のツルーイング装置。
【請求項３】
被加工物（２０、３０）を固定したのち、前記被加工物に対してツルーイングを行うツルーイング方法であって、
固定された前記被加工物の位置測定を行うことで、所定の基準位置に対しての前記被加工物の配置および基準位相からの位相ズレを測定する工程と、
前記測定された前記被加工物の配置および前記位相ズレとに基づいて、前記被加工物を加工することによりツルーイングを行う工程とを有することを特徴とするツルーイング方法。
【請求項４】
前記被加工物を保持器（１、４０、５０）に固定して搬送し、
前記位置測定肯定と前記加工工程とを位置測定器（２）および加工機（３）にてそれぞれ行うようにし、
前記保持器に第１位置決め手段（４２ａ、４２ｂ、５２ａ、５２ｂ）を備えると共に、
前記位置測定器および前記加工機に、前記第１位置決め手段と対応する位置決め第２位置決め手段（２ｂ、６３ａ）を備えておき、
前記保持器を前記位置測定器に搬送した際には、前記第１位置決め手段および前記位置測定器に備えられた前記第２位置決め手段により、前記保持器を前記位置測定器の所定位置に配置すると共に、
前記保持器を前記加工機に搬送した際には、前記第１位置決め手段および前記加工機に備えられた前記第２位置決め手段により、前記保持器を前記位置測定器の所定位置に配置し、
前記位置測定器にて測定された前記被加工物の配置および前記位相ズレを、前記保持器を前記加工機に搬送した後にも適用することを特徴とする請求項３に記載のツルーイング方法。
【請求項５】
被加工物（２０、３０）を保持器（１、４０、５０）に固定したのち、前記被加工物に対してツルーイングを行うツルーイング方法であって、
固定された前記被加工物の位置測定を行うことで、所定の基準位置に対しての前記被加工物の配置および基準位相からの位相ズレを測定する工程と、
前記測定された前記被加工物の配置および前記位相ズレとに基づいて、前記被加工物を加工することによりツルーイングを行う工程と、
前記被加工物を前記保持器から一旦取り外したのち、固定される場所を代えて再度前記保持器に固定する工程と、
固定された前記被加工物の位置測定を再度行うことで、所定の基準位置に対しての前記被加工物の配置および基準位相からの位相ズレを測定する工程と、
前記再度測定された前記被加工物の配置および前記位相ズレとに基づいて、前記被加工物の未加工部を加工することによりツルーイングを行う工程と、を有することを特徴とするツルーイング方法。
【請求項６】
請求項３ないし５のいずれか１つに記載のツルーイング方法を用いて、トロコイドポンプ（１０）におけるアウターギア（１２）とインナーギア（１３）における歯部（１２ａ、１３ａ）の曲面加工に用いられるギア加工用砥石（２０、３０）の砥石部（２３、３２）のツルーイングを行うことを特徴とするギア加工用砥石のツルーイング方法。
【請求項７】
砥石部（２３、３２）有する砥石の前記砥石部（２３、３２）を加工することにより、ギア加工用砥石（２０、３０）を形成するギア加工用砥石製造装置であって、
固定された前記砥石の位置測定を行うことで、所定の基準位置に対しての前記砥石部（２３、３２）の配置および基準位相からの位相ズレを測定する位置測定器（２）と、
前記位置測定器にて測定された前記砥石部（２３、３２）の配置および前記位相ズレとに基づいて、前記砥石部（２３、３２）を加工することによりツルーイングを行う加工機（３）とを備えていることを特徴とするギア加工用砥石製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ギア加工用砥石のツルーイング装置およびツルーイング方法に関するもので、例えば、内接歯車型の回転ポンプの１つであるトロコイドポンプのアウターギアやインナーギアの曲面加工に使用されるギア加工用砥石に適用すると好適である。
【背景技術】
【０００２】
従来、アンチロックブレーキシステム（以下、ＡＢＳという）では、ポンプとしてピストン型ポンプが用いられてきたが、ＡＢＳの作動時の静粛性の向上を図るために、トロコイドポンプを採用することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−２０１９７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述のようなＡＢＳ用のトロコイドポンプの製造に関しては、曲面形状の高精度加工が要求されるが、本発明者らが検討したところ、加工精度と加工コストの双方について鑑みると、ギア加工用砥石を用いて曲面加工を行うことが好ましいという結論に至った。
【０００４】
しかしながら、トロコイドポンプに用いられるアウターギア又はインナーギアの曲面加工に用いられるということから、ギア加工用砥石は、ダイヤモンドの砥粒をボンド材内に含有させ、それを焼結させることによって製造され、高価なものとなっている。従って、ギア加工用砥石が磨耗する度にその砥石を新しい物に交換したのでは、コスト高になってしまう。このため、本発明者らは、砥石が磨耗した場合には、その砥石をツルーイングし、再度曲面加工に用いられないかということを研究した。その結果、以下のような問題が発生するということが分かった。
【０００５】
（１）ギア加工用砥石は、台金と砥石部とから構成されている。このうち砥石部がダイヤモンドとボンド材とを焼結したものであり、この砥石部をツルーイングすることでギア加工用砥石の修復が成される。このとき、ツルーイングによる砥石部の取り代（切り取られる部分）は、２０μｍ程度と少ないため、加工前の砥石の配置およびギア歯に対応する砥石部の凹凸の位相のズレの計測を正確に把握できないと、ツルーイング後の砥石に局部的に取り残し又は取り過ぎによる精度不良が発生してしまう。
【０００６】
（２）アウターギア加工用砥石では、砥石台金の軸の外形が小径（例えばφ＝６ｍｍ）と小さく、砥石全体の外径との差が少ない。このため、砥石部のうちツルーイング可能な領域のみ、つまりツルーイングの保持器とオーバラップしていない領域のみをツルーイングしたのち、一旦保持器から砥石を外し、保持器による砥石の保持場所を代え、１度目のツルーイングで加工できなかった部分を２度目のツルーイングで加工するという作業が行われる。このため、上述のように加工前の砥石の配置およびギア歯に対応する砥石部の凹凸の位相のズレの計測を正確に把握できないと、１回目と2回目のツルーイングによる加工部のつなぎ目に数十μｍオーダの大きな段差が生じてしまう。
【０００７】
（３）ギア加工用砥石のツルーイングを行うために、加工前の砥石の配置およびギア歯に対応する砥石部の凹凸の位相のズレの計測を正確に把握しなければならないが、それらを把握するのに時間がかかり、その後ツルーイングを実施するのであれば、さらにその分の時間がかかることになる。このため、ツルーイングを行う時間の短縮化が課題となる。
【０００８】
本発明は上記点に鑑みて、上記問題の少なくとも１つを解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、固定された被加工物の位置測定を行うことで、所定の基準位置に対しての被加工物の配置および基準位相からの位相ズレを測定する位置測定器（２）と、位置測定器にて測定された被加工物の配置および位相ズレとに基づいて、被加工物を加工することによりツルーイングを行う加工機（３）とを備えていることを特徴としている。
【００１０】
このように、位置測定器にて測定された被加工物の配置および位相ズレとに基づいて、被加工物を加工することによりツルーイングを行うことができる。これにより、ツルーイング後の被加工物を用いて、つまり、これらを再利用することができ、コスト削減を図ることが可能となる。
【００１１】
請求項２に記載の発明では、被加工物を固定して搬送する保持器（１、４０、５０）を有し、位置測定器と加工機とが別体で構成され、保持器にて、被加工物が位置測定器から加工機に搬送できるように構成されており、保持器には、第１位置決め手段（４２ａ、４２ｂ、５２ａ、５２ｂ）が備えられ、位置測定器および加工機には、位置決め手段と対応する位置決め第２位置決め手段（２ｂ、６３ａ）が備えられており、保持器を位置測定器に搬送した際には、第１位置決め手段および位置測定器に備えられた第２位置決め手段により、保持器が位置測定器における所定位置に配置されるようにされていると共に、保持器を加工機に搬送した際には、第１位置決め手段および加工機に備えられた第２位置決め手段により、保持器が位置測定器における所定位置に配置されるようにされており、位置測定器にて測定された被加工物の配置および位相ズレと、保持器を加工機に搬送したときにおける被加工物の配置および位相ズレとが一致するようになっていることを特徴としている。
【００１２】
このように位置測定器と加工機とを別々の構成とし、被加工物の位置測定とツルーイングとが別々の装置で行えるようにすることができる。これにより、位置測定器によって位置測定を行いつつ、加工機でツルーイングを行うことが可能となる。したがって、一旦、位置測定器によって位置測定が完了したら保持器を加工機に移し、ツルーイングを行っている間に次の保持器に取り付けられた被加工物の位置測定を位置測定器によって行うという同時作業を行うことが可能となり、ツルーイングに必要とされる時間の短縮化を図ることが可能となる。
【００１３】
請求項３および４に記載の発明は、請求項１および２に記載のツルーイング装置を方法として記載したものである。これらにより、請求項１または２に記載の発明と同様の効果を得ることができる。
【００１４】
請求項５に記載の発明では、固定された被加工物の位置測定を行うことで、所定の基準位置に対しての被加工物の配置および基準位相からの位相ズレを測定する工程と、測定された被加工物の配置および位相ズレとに基づいて、被加工物を加工することによりツルーイングを行う工程と、被加工物を保持器から一旦取り外したのち、固定される場所を代えて再度保持器に固定する工程と、固定された被加工物の位置測定を再度行うことで、所定の基準位置に対しての被加工物の配置および基準位相からの位相ズレを測定する工程と、再度測定された被加工物の配置および位相ズレとに基づいて、被加工物の未加工部を加工することによりツルーイングを行う工程と、を有することを特徴としている。
【００１５】
このように、一旦被加工物を保持器から取り外して、再度保持器に取り付けるようにすることで、未加工部を加工することも可能となる。
【００１６】
これら請求項３ないし５に記載のツルーイング方法は、トロコイドポンプ（１０）におけるアウターギア（１２）とインナーギア（１３）における歯部（１２ａ、１３ａ）の曲面加工に用いられるギア加工用砥石（２０、３０）の砥石部（２３、３２）のツルーイングを行うのに好適である。
【００１７】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（第１実施形態）
本発明の一実施形態を適用したギア加工用砥石のツルーイング装置について説明する。      
【００１９】
図１は、本実施形態のツルーイング装置の概略構成を示している。
【００２０】
図１に示されるツルーイング装置は、トロコイドポンプの曲面加工に用いられるギア加工用砥石のツルーイングを行うものである。まず、このトロコイドポンプの概略について説明する。
【００２１】
図２（ａ）に、トロコイドポンプ１０の概略構成を示し、図２（ｂ）、（ｃ）にそれぞれトロコイドポンプ１０に備えられるアウターギア１１およびインナーギア１２の正面図を示す。
【００２２】
図２（ａ）に示されるように、トロコイドポンプ１０は、中空形状のケーシング１１の中空部内に、アウターギア１２及びインナーギア１３がそれぞれの中心軸が偏心した状態で組付けられて構成される。図２（ｂ）に示されるように、アウターギア１２にはその内周に内歯部１２ａが備えられ、図２（ｃ）に示されるように、インナーギア１３にはその外周に外歯部１３ａが備えられている。これらアウターギア１２とインナーギア１３とが互いの歯部１２ａ、１３ａによって噛み合わさり、複数の空隙部１４を形成している。そして、ケーシング１１のうちアウターギア１２およびインナーギア１３の端面側には、複数の空隙部１４のうち紙面左側に位置するものと連通する吸入口１５と、紙面右側に位置するものと連通する吐出口１６とが設けられている。
【００２３】
さらに、インナーギア１３の中心孔１３ｂに駆動軸１７が嵌入されている。この駆動軸１７の回転により、インナーギア１３が自身の中心軸を中心として回転され、アウターギア１２が自身の中心軸を軸として回転させられるようになっている。これにより、アウターギア１２とインナーギア１３との間の空隙部１４が大小変化させられ、吸入口１５から流体が吸入され、吐出口１６から流体が吐出されるようになっている。
【００２４】
ギア加工用砥石は、このように構成されるトロコイドポンプ１０のアウターギア１２およびインナーギア１３の曲面加工に用いられる。具体的には、ギア加工用砥石には、アウターギアの曲面加工を行うアウターギア加工用砥石とインナーギアの曲面加工を行うインナーギア加工用砥石とがある。これら各砥石の斜視図を図３（ａ）、（ｂ）に示す。
【００２５】
図３（ａ）に示されるように、アウターギア加工用砥石２０は、ネジ部２１を備えた台金２２と、台金２２の先端部の外周に砥石部２３とを備えた構成となっている。砥石部２３の外周は、アウターギア１２の内歯部１２ａの曲線形状に近く、かつ、内歯部１２ａよりも若干小さい歯車形状を成している。この砥石部２３がアウターギア１２の内歯部１２ａに接したままの状態が保たれるように、アウターギア加工用砥石２０をアウターギア１２の内歯部１２ａに沿って回転させることにより、内歯部１２ａの表面の曲面加工が成されるようになっている。
【００２６】
また、図３（ｂ）に示されるように、インナーギア加工用砥石３０は、環状の台金３１と、台金３１の内周に設けられた砥石部３２とを備えた構成となっている。砥石部３２の内周は、インナーギア１３の外歯部１３ａの曲線形状に近く、かつ、外歯部１３ａより若干大きい歯車形状を成している。この砥石部３２がインナーギア１３の外歯部１３ａに接したままの状態が保たれるように、インナーギア加工用砥石３０をインナーギア１３の外歯部１３ａに沿って回転させることにより、外歯部１３ａの表面の曲面加工が成されるようになっている。
【００２７】
これら種類の異なる砥石２０、３０のいずれに対しても、本実施形態のツルーイング装置によりツルーイングが行えるようになっている。
【００２８】
続いて、図１に戻って本実施形態におけるツルーイング装置について説明する。ツルーイング装置は、ギア加工用砥石を固定する保持器１、位置測定器２および加工機３を有した構成となっている。
【００２９】
図１の破線矢印に示されるように、保持器１は、位置測定器２と加工機３との間におけるギア加工用砥石２０、３０の搬送に用いられるものである。
【００３０】
保持器１は、インナーギア加工用砥石３０に適用されるもの（以下、インナー用保持器４０という）とアウターギア加工用砥石２０に適用されるもの（以下、アウター用保持器５０という）とがあり、本実施形態では、これら双方を備えている。インナー用保持器４０とアウター用保持器５０はそれぞれ異なる形態のもので構成されている。図４（ａ）、（ｂ）に、各砥石２０、３０に適用される保持器の斜視図を示す。
【００３１】
図４（ａ）に示されるように、インナー用保持器４０は、保持部４１と位置決め部４２を有して構成されている。
【００３２】
保持部４１は、インナーギア加工用砥石３０を保持するためのものである。この保持部４１には、保持部４１の外形を構成する基台４１ａと、インナーギア加工用砥石３０を収容する基台４１ａに設けられた円形状の２つの穴部４１ｂと、２つの穴部４１ｂ内に収容されたインナーギア加工用砥石３０を固定するためのホルダ４１ｃとが備えた構成となっている。基台４１ａのうち両穴部４１ｂの中央位置には雌ネジ穴（図示せず）が形成されている。また、基台４１ａのうち穴部４１ｂの底に位置する部位には、穴部４１ｂの中心部側に突出したつば部（図示せず）が形成されており、インナーギア加工用砥石３０が穴部４１ｂ内に挿入されときにつば部によって受け止められ、穴部４１ｂ内に保持されるようになっている。なお、つば部の突出量は小さいものであり、例えばインナーギア加工用砥石３０における砥石部３２を覆わない程度とされ、砥石部３２のうちツルーイングされる領域（以下、取り代という）がつば部から露出するようになっている。
【００３３】
ホルダ４１ｃは、穴部４１ｂ外周に沿う２つの円弧状部を棒状部によってつなぎ合わせた形状をしており、棒状部の中央位置には穴が形成された構成となっている。そして、棒状部に形成された穴を通じて、ネジを基台４１ａの雌ネジ穴に締めることにより、ホルダ４１ｃが基台４１ａに組みつけられるようになっている。これにより、図４中に示したように穴部４１ｂ内にインナーギア加工用砥石３０が固定された状態とされる。
【００３４】
また、位置決め部４２は、保持部における基台４１ａよりも高くされた板状部材で構成され、その裏面には円筒形状のザグリ（円形凹部）４２ａが形成されていると共に、ザグリ４２ａの四方を囲むように立方体状のザグリ（正方形凹部）が形成された構成となっている。これらザグリ４２ａ、４２ｂがインナー用保持器４０における位置決め手段を構成している。
【００３５】
一方、図４（ｂ）に示されるように、アウター用保持器５０も、保持部５１と位置決め部５２を有して構成されている。
【００３６】
保持部５１は、アウターギア加工用砥石２０を保持するためのものである。この保持部５１には、保持部５１の外形を構成する基台５１ａと、アウターギア加工用砥石２０を固定するアーム部５１ｂとが備えられている。アーム部５１ｂは、基台５１ａに形成されたアーム部固定用の４つのスリットのそれぞれと対応する位置において、基台５１ａに固定されている。アーム部５１ｂの先端位置にはアウターギア加工用砥石２０の台金２２が嵌入される穴（図示せず）が形成されており、この穴に台金２０をはめ込むことによりアウターギア加工用砥石２０が保持部５１に固定されるようになっている。
【００３７】
また、位置決め部５２は、インナー用保持器４０における位置決め部４２と同様の構成となっており、保持部における基台５１ａよりも高くされた板状部材で構成され、その裏面には円筒形状のザグリ（円形凹部）５２ａが形成されていると共に、ザグリ５２ａの四方を囲むように立方体状のザグリ（正方形凹部）が形成された構成となっている。これらザグリ５２ａ、５２ｂがアウター用保持器５０における位置決め手段を構成している。
【００３８】
位置測定器２は、位置測定器２は、ギア加工用砥石２０、３０の配置および各ギア１２、１３の歯部１２ａ、１３ａに対応する砥石部２３、３２の凹凸の位相のズレの計測を行うものである。この位置測定器２は、図１に示されるように、台座２ａと台座２ａに固定された位置決め部材２ｂおよび台座２ａの上方に配置されたＣＣＤカメラ２ｃ、さらには図示しないマイクロコンピュータを有した構成となっている。
【００３９】
台座２ａは、図４（ａ）、（ｂ）に示したインナー用保持器４０またはアウター用保持器５０を搭載するためのものである。
【００４０】
位置決め部材２ｂは、インナー用保持器４０およびアウター用保持器５０における位置決めを行うためのものである。この位置決め部材２ｂの拡大図を図４（ｃ）に示す。この図に示されるように、位置決め部材２ｂには円筒形状の突起部２ｄが形成されていると共に、突起部２ｄの四方を囲むように立方体状の突起部２ｅが形成された構成となっている。これら突起部２ｄおよび突起部２ｅの形状は、インナー用保持器４０およびアウター用保持器５０に形成されたザグリ４２ａ、４２ｂ、５２ａ、５２ｂと対応しており、各ザグリ４２ａ、４２ｂ、５２ａ、５２ｂ内に各突起部２ｄ、２ｅが嵌め込まれるようになっている。
【００４１】
このように各ザグリ４２ａ、４２ｂ、５２ａ、５２ｂ内に各突起部２ｄ、２ｅが嵌め込まれると、位置決め部材２ｂに対して所望の位置にインナー用保持器４０およびアウター用保持器５０が固定されるようになっている。
【００４２】
また、ＣＣＤカメラ２ｃは、インナー用保持器４０またはアウター用保持器５０が位置決め部材２ｂによって台座２ａ上に固定されたときに、インナー用保持器４０に固定されたインナーギア加工用砥石３０もしくはアウター用保持器５０に固定されたアウターギア加工用砥石２０の映像を取り込むものである。このＣＣＤカメラ２ｃが取り込んだ映像が図示しないマイクロコンピュータに入力されるようになっており、マイクロコンピュータにて各砥石２０、３０の配置および各砥石部２３、３２の凹凸の位相のズレの計測が行われるようになっている。具体的には、マイクロコンピュータには、インナーギア加工用砥石３０やアウターギア加工用砥石２０が台座２ａに搭載されたときの基準位置および基準位相が設定されており、その基準位置からの座標や、基準位相からの凹凸の位相ズレが測定できるようになっている。これにより、各砥石部２３、３２における取り代の位置が正確に測定されることになる。
【００４３】
加工機３は、位置測定器２によって計測されたギア加工用砥石２０、３０の配置および砥石部２３、３２の凹凸の位相のズレに基づいて、ギア加工用砥石２０、３０における砥石部２３、３２の加工を行うものである。すなわち、位置測定器２による測定が終わると、保持器１が加工機３側に搬送され、この加工機３によって砥石部２３、３２のツルーイングが成される。
【００４４】
加工機３の概略構成を図５に示す。この図は、アウター用保持器５０によりアウターギア加工用砥石２０を保持している状態で、砥石部２３をツルーイングしている状態を示したものである。
【００４５】
この図に示されるように、加工機３は、加工電源６０、ワイヤ電極６１、ワイヤ電極ガイド６２ａ、６２ｂおよびテーブル６３を有した構成となっている。加工電源６０はワイヤ電極６１に対して加工用の電力供給を行うものであり、ワイヤ電極６１に−端子、アウター用保持器５０もしくはインナー用保持器４０に＋端子が接続された状態となっている。
【００４６】
ワイヤ電極６１は、一般的なワイヤ放電加工に用いられるものであり、アウター用保持器５０に固定されたアウターギア加工用砥石２０の砥石部２３、もしくは、インナー用保持器４０に固定されたインナーギア加工用砥石３０の砥石部３２をツルーイングする場所に引き延ばされた状態とされている。具体的には、ツルーイングが行われる場所において、ワイヤ電極６１は、アウターギア加工用砥石２０の台金２２の軸方向、もしくは、インナーギア加工用砥石３０の台金３１の中心軸方向と一致する方向に引き延ばされた状態とされている。
【００４７】
電極ガイド６２ａ、６２ｂは、ワイヤ電極６１が真っ直ぐに保持されるように支持するためのものである。電極ガイド６２ａのうちの一方からは、例えば純水などで構成される加工液６４が噴出させられるようになっている。
【００４８】
テーブル６３は、インナーギア加工用砥石３０を固定したインナー用保持器４０およびアウターギア加工用砥石２０を固定したアウター用保持器５０を搭載するためのものである。このテーブル６３は、ワイヤ電極６１と垂直なＸ−Ｙ平面におけるＸ−Ｙ軸上において走査可能とされているものであり、このテーブル６３を走査することにより、インナーギア加工用砥石３０やアウターギア加工用砥石２０とワイヤ電極６１との距離を調整できるようになっている。
【００４９】
このテーブル６３には、インナー用保持器４０およびアウター用保持器５０における位置決めを行うための位置決め部材６３ａが備えられている。この位置決め部材６３ａは、位置測定器２における位置決め部材２ｂと同様の構成とされ、円筒形状の突起部６３ｂが形成されていると共に、突起部６３ｂの四方を囲むように立方体状の突起部６３ｃが形成された構成となっている。このため、インナー用保持器４０およびアウター用保持器５０に形成された各ザグリ４２ａ、４２ｂ、５２ａ、５２ｂ内に各突起部６３ｂ、６３ｃが嵌め込まれるようになっている。
【００５０】
このように各ザグリ５２ａ、５２ｂ内に各突起部６３ｂ、６３ｃが嵌め込まれると、位置決め部材６３ａに対して所望の位置にインナー用保持器４０およびアウター用保持器５０が固定されるようになっている。このとき、上述した位置測定器２における位置決め部材２ｂと加工機３における位置決め部材６３ａは、それぞれ対応した位置に設定されるようになっている。このため、位置測定器２により検出された各砥石２０、３０の配置および砥石部２３、３２の凹凸の位相ズレが、そのまま加工機３に保持器１を移動させた後にも適用できるようになっている。
【００５１】
このように構成された加工機３によれば、ワイヤ電極６１がＧＮＤ電位に固定され、アウター用保持器５０もしくはインナー用保持器４０に保持された各砥石２０、３０が電源電位に固定される。このため、ワイヤ電極６１と各砥石２０、３０との間に電位差が発生する。そして、ワイヤ電極６１と各砥石２０、３０における砥石部２３、３２との間が所定距離（例えば２０μｍ以下）に保たれるように、サーボ制御によりテーブル６３が走査される。これにより、放電ギャップが一定とされた状態でワイヤ電極６１と砥石部２３、３２との間に放電が発生し、砥石部２３、３２における取り代が除去されるツルーイングが成される。
【００５２】
以上のようにして、本実施形態におけるツルーイング装置が構成されている。続いて、位置測定器２による位置測定および加工機３によるワイヤ放電加工の詳細について図６を参照して説明する。
【００５３】
図６（ａ）は、アウターギア加工用砥石２０をツルーイングする際における位置測定器２による位置測定工程および加工機３によるワイヤ放電加工工程の様子を示したものであり、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示した各工程におけるアウターギア加工用砥石２０の上面図を示したものである。
【００５４】
まず、アウターギア加工用砥石２０がアウター用保持器５０のアーム部５１ｂに固定されと、その状態でアウター用保持器５０が位置測定器２に搬送される。そして、位置決め部５２の各ザグリ５２ａ、５２ｂ内に位置決め部材２ｂにおける突起部２ｄ、２ｅが嵌め込まれる。続いて、ＣＣＤカメラ２ｃにてアウターギア加工用砥石２０の映像を取り込み、マイクロコンピュータにてアウターギア加工用砥石２０の中心位置および砥石部２０ｂの凹凸の位相ズレが測定される。
【００５５】
このとき、アウターギア加工用砥石２０はアウターギア１２の内歯部１２ａの曲面加工により磨耗した状態となっているが、砥石部２３のうち軸方向の中間位置によって曲面加工が行われるため、軸方向両端位置はほとんど磨耗していない状態となる。このため、アウターギア加工用砥石２０の上面形状は、アウターギア加工用砥石２０が製造されたときと変わらない形状、もしくは、前回のツルーイング時の形状のままの状態となっている。      
【００５６】
したがって、仮に砥石部２３の磨耗度合いが場所ごとに異なっていても、砥石部２３の凹凸の位相ズレを的確に測定することが可能となる。
【００５７】
続いて、アウターギア加工用砥石２０と共にアウター用保持器５０を加工機３内に搬送する。そして、位置決め部５２の各ザグリ５２ａ、５２ｂ内に位置決め部材６３ａにおける突起部６３ｂ、６３ｂが嵌め込まれる。続いて、位置測定器２での測定結果に基づいてテーブル６３が走査され、砥石部２３の取り代が取り除かれ、砥石部２３の側壁に新たな曲面が形成される。
【００５８】
このとき、テーブル６３の走査速度、つまりアウターギア加工用砥石２０の移動速度は一定となっていてもよいが、本実施形態では、以下の考えに基づいて行っている。
【００５９】
図７は、ツルーイング前の砥石部２３の凹凸の拡大図、図８は、ワイヤ加工放電による砥石部２３の除去量とワイヤ電極６１の移動方向との関係を示した図である。
【００６０】
図７に示されるように、砥石部２３の磨耗度合いは場所によって異なっており、ツルーイングによって砥石部２３を除去される部分の厚みも場所によって異なる。また、砥石部２３の凹凸に合わせてテーブル６３を走査することで、砥石部２３とワイヤ電極６１との間の距離が所定値に保たれるようにすることになるが、砥石部２３に凹凸が形成されていることから必ずしも砥石部２３およびワイヤ電極６１の相対移動距離に対する砥石部２３の除去量が一定ではない。
【００６１】
具体的には、図８（ａ）に示されるように、砥石部２３の加工面と砥石部２３およびワイヤ電極６１の相対移動方向とが一致している場合における除去断面積をＳ０とすると、図８（ｂ）、（ｃ）に示すように、砥石部２３の凸部を加工するときにはＳ０よりも除去断面積が小さいＳ１１、凹部を加工するときにはＳ０よりも除去面積が大きいＳ１２となる。このため、これらすべての場合に相対移動速度を同等にしたのでは移動速度の最適化が行えない。したがって、本実施形態では、断面積の大きさが大きくなるほど除去速度が遅くなるように、相対移動速度を調整して放電加工を行うようにしている。
【００６２】
このようにして、図６（ｂ）に示されるように、砥石部２３のうちアーム部５１ｂによって隠れていない部分がワイヤ放電加工によりツルーイングされる。続いて、アウターギア加工用砥石２０がアウター用保持器５０のアーム部５１ｂから取り外され、アウターギア加工用砥石２０を１８０度回転させられる。これにより、先程加工できなかった未加工部がアーム５１ｂによって隠れない場所に移動させられる。
【００６３】
この後、再度、アウター用保持器５０が位置測定器２に搬送され、アウターギア加工用砥石２０の位置測定が行われたのち、さらに加工機３に搬送され、未加工部のワイヤ放電加工が成される。これによりアウターギア加工用砥石２０のツルーイングが完了する。
【００６４】
なお、ここではアウターギア加工用砥石２０のツルーイングを例に挙げて説明したが、インナーギア加工用砥石３０も上記と同様に位置測定およびワイヤ放電加工が行われることで、ツルーイングが成される。この場合、アウターギア加工用砥石２０のように未加工部ができないため、インナーギア加工用砥石３０をインナー用保持器４０から一旦取り外す必要もなく、容易にツルーイングを行うことができる。
【００６５】
以上説明したように、アウターギア加工用砥石２０およびインナーギア加工用砥石３０をツルーイングすることが可能である。このため、ツルーイング後のアウターギア加工用砥石２０およびインナーギア加工用砥石３０を用いて、つまり、これらを再利用して、アウターギア１２およびインナーギア１３の曲面加工を行うことができる。このため、これら各砥石２０、３０を新しいものに代えるよりも資源の再利用を図ることが可能になると共に、コスト削減を図ることが可能となる。
【００６６】
また、本実施形態では、位置測定器２と加工機３とを別々の構成とし、各砥石２０、３０の位置測定とワイヤ放電加工とが別々の装置で行えるようになっている。このため、位置測定器２によって位置測定を行いつつ、加工機３でワイヤ放電加工を行うことが可能となる。したがって、一旦、位置測定器２によって位置測定が完了したら保持器１を加工機３に移し、ワイヤ放電加工を行っている間に次の保持器１に取り付けられた砥石２０、３０の位置測定を位置測定器２によって行うという同時作業を行うことが可能となり、ツルーイングに必要とされる時間の短縮化を図ることが可能となる。
【００６７】
さらに、上記のように正確にアウターギア加工用砥石２０の配置および砥石部２３の凹凸の位相ズレを検出することができるため、アウターギア加工用砥石２０をアウター用保持器５０から一旦取り外したのち、再度、取り付けてツルーイングを行っても、それによるズレが発生しても問題なく上記配置および位相ズレを再度測定することができる。このため、未加工部を加工したときに生じる段差が非常に小さいものとなるようにすることが可能となる。
【００６８】
（他の実施形態）
上記実施形態では、位置測定器２と加工機３とを別々の構成としたが、一つの機器によって構成することも可能である。
【００６９】
また、上記実施形態では、被加工物としてギア加工用砥石を例に挙げて説明したが、その他のツルーイングに用いる場合にも適用可能である。
【００７０】
さらにツルーイング以外に、トロコイド形状の砥石歯車台金の製作にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の第１実施形態におけるギア加工用砥石のツルーイング装置の概略構成を示す図である。
【図２】（ａ）は、トロコイドポンプの概略構成を示した図、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれトロコイドポンプに備えられるアウターギアおよびインナーギアの正面図である。
【図３】（ａ）は、アウターギア加工用砥石の斜視図、（ｂ）は、インナーギア加工用砥石の斜視図である。
【図４】（ａ）は、インナー用保持器の斜視図、（ｂ）は、アウター用保持器の斜視図、（ｃ）は、位置測定器および加工機に供えられた位置決め部材の斜視図である。
【図５】図１に示したツルーイング装置における加工機の概略構成を示した図である。
【図６】（ａ）は、位置測定器による位置測定工程および加工機によるワイヤ放電加工工程の様子を示した図であり、（ｂ）は、（ａ）に示した各工程におけるアウターギア加工用砥石の上面図である。
【図７】ツルーイング前の砥石部の凹凸の拡大図である。
【図８】ワイヤ放電加工による砥石部の除去量とワイヤ電極の移動方向との関係を示した図である。
【符号の説明】
【００７２】
１…保持器、２…位置測定器、２ｂ…位置決め部材、２ｃ…ＣＣＤカメラ、２ｄ、２ｅ…突起部、３…加工機、１０…トロコイドポンプ、１２…アウターギア、１３…インナーギア、２０…アウターギア加工用砥石、２３…砥石部、３０…インナーギア加工用砥石、３２…砥石部、４０…インナー用保持器、４２ａ、４２ｂ…ザグリ、５０…アウター用保持器、５１ａ…アーム部、５２ａ、５２ｂ…ザグリ、６１…ワイヤ電極、６３…テーブル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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