(57)【要約】【課題】簡易な構造で自在に設置可能であり、かつ比較的汚れた環境下に設置しても高い清浄度の環境を得ることが可能なクリーンベンチを提供する。【解決手段】開口１３からは筐体１１の内部に向けて略立方体の作業空間１５が区画されている。また、下部開口１４からは筐体１１の内部に向けて略立方体の下部空間１７が区画されている。作業空間１５の前面側には、開口１３を覆う前面カバー１８が形成されている。前面カバー１８は、例えば透明な樹脂シートからなり、横断棒１９によって開口１３から作業空間１５内に張り出すように断面くの字形状に屈曲した形態に保たれる。なお、こうした前面カバー１８は、横断棒１９を形成せずに硬質なガラス板等を用いて、開口１３から作業空間１５内に張り出すように形成しても良い。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体の中央に区画され内部が除塵された雰囲気に保たれる作業空間と、前記作業空間の上部に配置され作業空間の上部から除塵された空気を作業空間に送り込む除塵ユニットと、前記作業空間の前面に形成され作業空間の下部に一定の隙間を開け、中央部が前記作業空間内に張り出すように屈曲しつつ前面を覆う前面カバーと、前記作業空間の下部に区画され作業空間の空気が流入する整流空間と、前記整流空間と前記除塵ユニットとの間で空気を流通可能に連結する還流ダクトと、外気を整流空間または還流ダクトに導入する吸気部とを備えたことを特徴とするクリーンベンチ。
【請求項２】
前記前面カバーの先端側には、前記隙間の間隔を調節可能なスカート部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンベンチ。
【請求項３】
前記作業空間の前面側開口の下端縁には前記筐体の前面から斜め下方に向けて突出する庇板を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のクリーンベンチ。
【請求項４】
前記整流空間の前面側には、前記整流空間と区画され、前面側が開放された下部空間が形成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のクリーンベンチ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、区画された空間内を清浄な環境に保つクリーンベンチに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体等を製造するクリーンルームでは、ＨＥＰＡフィルター等を備えた空気浄化装置を通して清浄化された、極めて塵の少ない空気を通気口から送り出すことで、クリーンルーム内を高度な清浄環境に保っている。こうしたクリーンルームの設置は、建築物全体や仕切られたフロアに除塵装置やダクトを設計、設置していく大規模な工事を伴う。
【０００３】
このような大規模な設置工事を行わずに、限定された範囲を簡易的に清浄環境に保つ手段として、例えば、通常の環境の室内に設置して使用するクリーンベンチが知られている。こうしたクリーンベンチは、例えば幅１ｍ、高さ２ｍほどの大きさのベンチ内に除塵フィルタなどを収納したクリーンユニットを備え、除塵した空気をクリーンベンチの浄化エリア内に送り込んで、この浄化エリア内だけを清浄に保つものである。（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１４１２７３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したようなクリーンベンチは、ある程度清浄な環境に設置しなければ、クリーンベンチの浄化エリア内は十分な清浄環境が得られないという課題があった。例えば、従来のクリーンベンチを製造現場などミストが多い環境に設置して使用すると、浄化エリア内は所定の清浄レベルに達しないことも多い。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構造で自在に設置可能であり、かつ比較的汚れた環境下に設置しても高い清浄度の環境を得ることが可能なクリーンベンチを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明によれば、筐体の中央に区画され内部が除塵された雰囲気に保たれる作業空間と、前記作業空間の上部に配置され作業空間の上部から除塵された空気を作業空間に送り込む除塵ユニットと、前記作業空間の前面に形成され作業空間の下部に一定の隙間を開け、中央部が前記作業空間内に張り出すように屈曲しつつ前面を覆う前面カバーと、前記作業空間の下部に区画され作業空間の空気が流入する整流空間と、前記整流空間と前記除塵ユニットとの間で空気を流通可能に連結する還流ダクトと、外気を整流空間または還流ダクトに導入する吸気部とを備えたことを特徴とするクリーンベンチが提供される。
【０００８】
このようなクリーンベンチによれば、簡易な構成でありながら、作業空間内を高い清浄度に維持することが可能なクリーンベンチを実現することができる。また、作業空間の下部に一定の隙間を開けた状態においても作業空間内を高い清浄度に維持できるので、作業性の極めて高いクリーンベンチを実現することができる。そして、前記作業空間の前面を覆う前面カバーを中央部が前記作業空間内に張り出すように屈曲させることで、クリーンベンチで作業を行う作業者は、前面カバーの屈曲部分から作業空間全体を見下ろすように観察することができる。このため、作業者は作業空間を容易に観察して効率的に作業を行うことが可能になる。
【０００９】
前記前面カバーの先端側には、前記隙間の間隔を調節可能なスカート部が形成されていればよい。こうしたスカート部によって隙間の間隔を自在に調節することができ、クリーンベンチで作業を行う作業者の腕部を作業空間内に挿入することが可能になるとともに、作業時の隙間の間隔を最小限にとどめて外気の作業空間内への侵入を抑えることができる。また、スカート部を柔軟な材料で形成すれば、隙間を閉じつつ作業者が腕部だけを作業空間内に挿入して作業を行うことができる。
【００１０】
前記作業空間の前面側開口の下端縁には前記筐体の前面から斜め下方に向けて突出する庇板を更に備えていてもよい。こうした庇板は隙間から流出する空気の流れを形成し、隙間から外気が多量に侵入することを防止して作業空間の清浄度を維持する。
【００１１】
前記整流空間の前面側には、前記整流空間と区画され、前面側が開放された下部空間が形成されているのが好ましい。こうした下部空間は、クリーンベンチの前面に座って作業を行う作業者の脚部を収容して、クリーンベンチの作業者の作業性を高める役割を果たす。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明のクリーンベンチの外観斜視図であり、図２はその断面図である。クリーンベンチ１は、樹脂や金属で形成された、例えば幅１ｍ、高さ２ｍほど筐体１１を備えている。筐体１１は、両側の側壁１１Ａ，１１Ａと、天井板１１Ｂと、側壁１１Ａ，１１Ａの前面上部ならびに天井板１１Ｂに接続された前面壁１１Ｃと、背面板１１Ｄとからなる箱型に形成され、その前面側Ｆの中ほどに開口１３が形成されている。また、筐体１１において、開口１３の下側には、下部開口１４が形成されている。筐体１１の開口１３の上部には、クリーンベンチ１のメインスイッチなどが収まったスイッチ盤２が設けられている。
【００１３】
開口１３からは筐体１１の内部に向けて略立方体の作業空間１５が区画されている。また、下部開口１４からは筐体１１の内部に向けて略立方体の下部空間１７が区画されている。作業空間１５の前面側には、開口１３を覆う前面カバー１８が形成されている。前面カバー１８は、例えば透明な樹脂シートあるいは樹脂パネルからなり、横断棒１９によって開口１３から作業空間１５内に張り出すように断面くの字形状に屈曲した形態に保たれる。なお、こうした前面カバー１８は、横断棒１９を形成せずに硬質なガラス板等を用いて、開口１３から作業空間１５内に張り出すように形成しても良い。
【００１４】
前面カバー１８の下端と開口１３の下端縁との間には、一定間隔の隙間２１が形成されている。この隙間２１は作業空間１５内と外気との間で空気の流通を可能にする。前面カバー１８の下端側には、隙間２１の間隔を調節可能なスカート部１８ａが形成されている。こうした前面カバー１８のスカート部１８ａを上昇させて隙間２１の間隔を広げることによって、クリーンベンチ１で作業を行う作業者Ｐの腕部を作業空間１５内に挿入することが可能になるとともに、作業時の隙間２１の高さを最小限にとどめることができる。
【００１５】
開口１３の下端縁には筐体１１の前面側から斜め下方に向けて突出するように庇板２２が形成されている。庇板２２は隙間２１から流出する空気の流れを整流する。これにより隙間２１付近で乱気流の発生が抑えられ、隙間２１から外気が侵入しにくくなる。
【００１６】
作業空間１５の下面には、多数の通気孔２３ａが形成された金属板、パンチングメタルなどからなる通気板２３が取り付けられている。そして、作業空間１５の下側には、この通気板２３を介して整流空間２４が区画されている。通気板２３は、作業空間１５に各種基材や装置を載置する底板であるとともに、作業空間１５と整流空間２４との間で空気の流通を可能にする。こうした通気板２３は、作業空間１５の隙間２１から背面側Ｂに向けて後退した位置に形成されている。通気板２３を隙間２１から後退させて形成することによって、隙間２１から通気板２３を介して整流空間２４に向けて多量の外気がダイレクトに侵入するのを防止する。
【００１７】
下部開口１４から奥に向けて広がる下部空間１７は、例えば、クリーンベンチ１の前面に座って作業を行う作業者Ｐの脚部を収容して、作業性を高める役割を果たす。こうした下部空間１７の奥側に、整流空間２４に面して形成され作業空間１５の下方に吸気部２５を形成すると、吸気部２５の外部は作業空間１５の隙間から排出されて流下した空気により、一般的な外気よりは清浄な空気となっている。そこで、整流空間２４内への塵の吸入が少ないと考えられる。
【００１８】
こうした吸気部２５には、第２補助フィルタ２６が取り付けられている。第２補助フィルタ２６は、外気に含まれる比較的粒径の大きい塵を捕獲して、一定レベルのクリーン度を満たした空気を整流空間２４内に導入する役割を果たす。このような第２補助フィルタ２６で、比較的粒径の大きい塵を取り除いた外気を整流空間２４内に導入することによって、後述する除塵ユニット３２の第１補助フィルタ３４の通気性を高め、寿命を延ばすことができる。第２補助フィルタ２６は、例えば、５μｍ以上の大きな塵の侵入を防止できるように、３００メッシュ以上、具体的には３００〜６００メッシュのフィルタを積層したものを使用すればよい。なお、本実施形態では整流空間２４に面して吸気部２５を形成したが、還流ダクト３０に面して背面板１１Ｄや天井板１１Ｂに設けてもよく、限定されるものではない。
【００１９】
通気板２３の底面側には、整流空間２４内に垂れ下がる整流板２７が形成されている。整流板２７は、例えばゴム板や樹脂板あるいは樹脂フィルムで形成されればよく、１枚〜複数枚設置されればよい。
【００２０】
作業空間１５の上部には、天板１２を介して除塵空間３１が区画されている。作業空間１５と除塵空間３１とを仕切る天板１２には多数の通気孔１２ａが形成されており、こうした天板１２を介して作業空間１５と除塵空間３１とは空気の流通が可能にされる。
【００２１】
筐体１１の背面側Ｂには、この除塵空間３１と整流空間２４との間で空気の流通を可能にする還流ダクト３０、筐体１１の背面板１１Ｄと側壁１１Ａ，１１Ａと天井板１１Ｂと作業空間１５の背板３７とに囲まれた形で形成されている。このような構成によって、除塵空間３１から作業空間１５を経て整流空間２４に達し、更に還流ダクト３０から除塵空間３１に戻る一連の空気の流通路が形成される。還流ダクト３０は、例えばその奥行きＤ１が、前述した整流板２７の先端と整流空間２４の底面２４ａとの間隔Ｄ２とほぼ同一なサイズに形成されるのが好ましい。Ｄ１とＤ２のサイズをほぼ同じにすることにより、移動する気流の速度がほぼ同じになり、空気の循環を安定化できるからである。
【００２２】
除塵空間３１には除塵ユニット３２が設置されている。除塵ユニット３２は、天板１２に形成された多数の通気孔１２ａを覆うように設置されており、例えばゴムパッキン等で天板１２に密着している。
【００２３】
除塵ユニット３２は、主除塵フィルタ３３、第１補助フィルタ３４、およびファン３５を備えてなる。第１補助フィルタ３４は、比較的粒径の大きい塵を捕獲して、一定レベルのクリーン度を満たした空気を主除塵フィルタ３３に導入する。こうした第１補助フィルタ３４は、例えば１立方フィート中に５万個の塵を９千個程度まで低減すればよい。第１補助フィルタ３４で比較的粒径の大きい塵を捕獲するプレフィルターの役割を果たすことによって、後述する主除塵フィルタ３３の目詰まりを軽減して主除塵フィルタ３３の寿命を延ばすことが可能になる。
【００２４】
主除塵フィルタ３３は、グラスウールを主材としたペーパー状のフィルタ、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  ）フィルタが好適に採用される。ＨＥＰＡフィルタは集塵効果を高めるために、広い表面積のものが屈曲されて収められており、慣性、拡散、衝突のフィルタ３作用により１μｍ以下の非常に微細な塵も捕捉することができる。
【００２５】
ファン３５は除塵空間３１内の空気を第１補助フィルタ３４から引き込んで主除塵フィルタ３３に送り込む役割を果たす。このような構成の除塵ユニット３２の下面からは、例えば１立方フィート中に微細な塵が１０個以下の清浄な空気が送り出され、天板１２を介した作業空間１５内は、クリーン度の目安であるクラス１０規格を満たした空間に保たれる。なお、主除塵フィルタ３３に用いられるフィルタ材は、前述したＨＥＰＡフィルタ以外にも、例えば、ＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ  Ｌｏｗ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ）フィルタなど、更に高性能な除塵性を発揮するフィルタを用いても良い。
【００２６】
作業空間１５の背面側Ｂには、作業空間１５と還流ダクト３０とを区画する背板３７が取り付けられている。この背板３７は例えば、透明な樹脂板で構成されていれば良い。そして還流ダクト３０のうち作業空間１５の上部に隣接する部分には、照明装置３８が設置されている。また、背板３７の底部側には、作業空間１５の底部から下方に向けて吊下するように仕切板３７Ａが形成され、この仕切板３７Ａの下端が後述する整流板２７の下端と略同一な高さにされている。
【００２７】
こうした照明装置３８は、透明な樹脂板で構成された背板３７を介して作業空間１５を明るく照明する。照明装置３８を還流ダクト３０内に設置して背板３７を介して作業空間１５を照明することによって、作業空間１５内に照明装置を設置した場合に生じる清浄な空気の乱流や塵の侵入を防止することが可能になる。
【００２８】
以上のような構成のクリーンベンチ１の空気の流れと、作用を詳述する。除塵空間３１内の空気は、ファン３５の回転によって除塵ユニット３２に導入され、第１補助フィルタ３４で１立方フィート中に９千個程度まで塵を除去される。第１補助フィルタ３４を経た空気は、続いて主除塵フィルタ３３に導入され、ここで１立方フィート中に１０個程度まで塵を除去される。
【００２９】
こうして、除塵ユニット３２からは１立方フィート中に１０個程度まで塵を除去された極めて清浄な空気が天板１２を介して作業空間１５に向けて送り出される。作業空間１５では、天板１２から通気板２３に向けて清浄な空気の流れが形成され、作業空間１５内は清浄度がクラス１０を満たす極めて塵の少ない環境に保たれる。なお、クリーンベンチ１の作業空間１５をクラス１０にするためには、運転開始後に直ちにクラス１０環境になるわけではなく、所定時間空気の循環、除塵を行った後に達成できるものである。また、作業空間１５をクラス１０にした後は、空気の循環、除塵を継続する限りクラス１０を保持できる。また、外気が、例えば０．５μｍの塵が多数存在する一般の環境においては、換気回数を多くしたほうが好ましい。例えば、６００回／１ｈ以上、好ましくは１０００回／１ｈ以上であると清浄度を保つのに効果がある。
【００３０】
こうした作業空間１５の開口１３を覆う前面カバー１８は、作業空間１５内に張り出すように断面くの字形状に屈曲した形態に保たれているので、クリーンベンチ１で作業を行う作業者Ｐは、前面カバー１８の屈曲部分から作業空間１５全体を見下ろすように観察することができる。このため、作業者Ｐは作業空間１５を容易に観察して効率的に作業を行うことが可能になる。
【００３１】
天板１２からの清浄な気流は、前面カバー１８の屈曲形状によって一旦、面密度が高くなるので風速が高まる。屈曲形状の頂点を回り込んだ清浄な空気流は、作業空間１５の下部の開口１３へ流れるようにすることができ、開口１３からの外気の侵入を少なくすることができる。前面カバー１８の屈曲形状により、清浄な空気流を作業空間１５に合わせて最適化することにより、作業空間１５内の清浄度を良好に維持することができる。また、開口１３の下端縁から斜め下方に向けて突出する庇板２２は、隙間２１から流出する空気の流れを整流し、隙間２１から外気が流出することによる乱流の発生を抑える。そこで、乱流による隙間２１から作業空間１５への外気の侵入を抑えることができる。
【００３２】
このように、屈曲した前面カバー１８と庇板２２によって、作業者Ｐが作業空間１５内で作業を行うための隙間２１が形成されていても、作業空間１５内は極めて清浄な環境に保たれる。また、通気板２３を作業空間１５の隙間２１から背面側Ｂに向けて後退した位置に形成することで、隙間２１から通気板２３を介して整流空間２４に向けて多量の外気がダイレクトに侵入して作業空間１５内の清浄度が低下するのを防止する。
【００３３】
作業空間１５内の空気は通気板２３を介して整流空間２４内に導入される。整流空間２４内に導入された空気は、整流板２７によって整流空間２４の底面付近まで下げられた後、還流ダクト３０から除塵空間３１に還流される。作業空間１５から流れ出た空気をこうした整流板２７で整流空間２４の底面付近まで下げることによって、整流空間２４の下部にある吸気部２５から第２補助フィルタ２６を介して除塵された外気を整流空間２４内の底部側に導入するための気流を形成することができる。
【００３４】
また、作業空間１５の隙間２１から外気が一部侵入することもあるが、侵入した外気を一旦整流空間２４の底面付近まで下げることによって、作業空間１５内の清浄度を効率よく上げることが可能になる。更に、整流板２７の先端と整流空間２４の底面との間隔Ｄ２と還流ダクト３０の直径Ｄ１とを同一なサイズに形成すれば、作業空間１５から流れ出て整流板２７を通過する空気と、吸気部２５から第２補助フィルタ２６を経て導入される外気とを同等の速度で還流ダクト３０に向けて送り出すことが可能になり、クリーンベンチ１内の循環を安定化させることができる。
【００３５】
こうして、整流空間２４から流れ出た空気は還流ダクト３０を介して再び除塵空間３１に導入される。このように、クリーンベンチ１内の空気は、適度に外気を導入しつつその殆どを還流する。これにより、除塵ユニット３２を動作させると作業空間１５内を短時間で極めて高い清浄度の環境にすることができる。
【００３６】
【実施例】
本出願人は、上述したような構成のクリーンベンチの機能を検証した。検証にあたって上述した実施形態と同様の構成のクリーンベンチを準備した。まず、本発明のクリーンベンチの浄化性能を検証するために、外気の塵の数をパーティクルカウンターを用いて測定した。その結果、０．５μｍ平均の塵が２００００〜２５０００（パーティクル／１立方フィート）存在することがわかった。
【００３７】
次に、図３に示すように、クリーンベンチ１の作業空間１５内に１２箇所の測定点Ａ〜Ｍを設定し、それぞれの測定点における塵の数をパーティクルカウンターを用いて測定した。検証に用いたクリーンベンチ１のサイズは、高さ２．０ｍ，幅１．３ｍ，奥行き０．８ｍであり、作業空間１５は高さ０．６ｍ，幅１．２ｍ，奥行き０．５ｍである。作業空間１５の底部から整流空間２４に向けて２枚の整流板２７を吊下して設け、図２に示すＤ１＝Ｄ２を２０ｃｍとした。除塵ユニット３２では第１補助フィルタ３４には３００メッシュのフィルタを使用し、第２補助フィルタ２６には３００メッシュのフィルタを使用した。また、換気回数は１８００回／ｈとした。
【００３８】
測定点ＡおよびＣは通気板２３の両側端から１０ｃｍ，前端から１５ｃｍの位置で通気板２３上に測定点を設定した。測定点ＤおよびＦは通気板２３の両側端から１０ｃｍ，後端から１０ｃｍの位置で通気板２３上に測定点を設定した。測定点ＢおよびＥは通気板２３上で測定点Ａ−Ｃの中間点，測定点Ｄ−Ｆの中間点にそれぞれ設定した。また、測定点Ｇ〜Ｍは、測定点Ａ〜Ｆのそれぞれの測定点から２５ｃｍ高い位置（通気板２３上面から２５ｃｍ高い位置）にそれぞれ設定した。
【００３９】
これらの測定点Ａ〜Ｍで０．５μｍ平均の塵の数をパーティクルカウンターを用いてカウントした。以下、表１に測定点Ａ〜Ｍにおける０．５μｍ平均の塵の数を測定した結果を示す。
【００４０】
【表１】
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【００４１】
表１〜１２に示す各測定点Ａ〜Ｍでの塵の数の測定結果から、本発明のクリーンベンチは、作業空間１５の全域にわたって、クリーンルームの規格レベルでクラス１０を充分に満たす極めて高清浄な環境を実現していることを示している。本発明のクリーンベンチによれば、簡易な構造で極めて高清浄な環境を得ることができることが実証された。
【００４２】
続いて、本発明のクリーンベンチにおける前面カバー１８の下端と開口１３の下端縁との隙間２１のサイズと作業空間１５の清浄度との関係を検証した。検証にあたって上述した実施形態と同様の構成のクリーンベンチを準備し、隙間２１の間隔ｔをそれぞれ０ｃｍ，１５ｃｍ，２０ｃｍ，２３ｃｍ，３３ｃｍに設定して、前述した測定点Ｂの位置で作業空間１５の清浄度を測定した。測定は、上述したそれぞれのサイズの隙間２１での測定点Ｂの位置における粒径が０．５μｍ平均の塵の数（１立方フィートあたりのパーティクル数：パーティクル／１ＣＦ）をパーティクルカウンターを用いてカウントした。
【００４３】
図４にそれぞれの隙間の間隔ｔでの塵の数を測定した結果を折れ線グラフで示す。図４に示す測定結果によれば、隙間を２３ｃｍ程度開けても塵の数は最大でも平均０．６７個程度であり、作業空間１５内はクリーンルームの規格レベルでクラス１０を満たす極めて高清浄な環境を実現していることを示している。隙間を２３ｃｍ程度開けることができれば、作業者は腕部を作業空間１５内に挿入して自在に作業することができ、高い清浄度と極めて操作性の良いクリーンベンチが得られることが実証された。
【００４４】
更に、本発明のクリーンベンチにおける整流空間２４内に形成された整流板２７（図２参照）の機能を検証した。検証にあたって上述した実施形態と同様の構成のクリーンベンチを準備し、整流板２７を設けた場合と、整流板２７を撤去した場合での、測定点Ｂの位置における作業空間１５の清浄度を測定した。
【００４５】
図５，６に整流板２７を設けた場合と整流板２７を撤去した場合での、測定点Ｂの位置における粒径が０．５μｍ平均の塵の数の平均（１立方フィートあたりのパーティクル数：パーティクル／１ＣＦ）を棒グラフで示す。図５，６によれば、整流板２７を設けた場合は、作業空間１５内の塵の数の平均は最大でも９個以下であることは明らかで、これは、クリーンルームの規格レベルでクラス１０を満たす極めて高清浄な環境を実現していることを示している。
【００４６】
一方、整流板２７を設けない場合でも、作業空間１５内の塵の数の平均は９個以内であることは明らかで、クラス１０を達成しているが、整流板２７がある場合に比べて塵の検出頻度が増えている。以上の結果より、本発明のクリーンベンチの整流板２７は、作業空間１５内の清浄度の向上に効果があることが検証された。
【００４７】
なお、上述した実施形態においては、前面カバー１８を作業空間１５内に向けて屈曲させているが、もちろんこれに限定されるものではなく、作業空間の前面側の開口を覆う平板状の前面カバーであってもよい。また、上述した実施形態においては、除塵ユニット３２の主除塵フィルタ３３による除塵の前段階として第１および第２の補助フィルタを用いているが、もちろんこれに限定されるものではなく、各フィルタの除塵性能に応じて補助フィルタの有無および数は適宜選択されれば良い。
【００４８】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明のクリーンベンチによれば、簡易な構成でありながら、作業空間内を高い清浄度に維持することが可能なクリーンベンチを実現することができる。また、作業空間の下部に一定の隙間を開けた状態においても作業空間内を高い清浄度に維持できるので、作業性の極めて高いクリーンベンチを実現することができる。
【００４９】
そして、前記作業空間の前面を覆う前面カバーを中央部が前記作業空間内に張り出すように屈曲させることで、清浄な気流の風速が一旦高められ、屈曲形状の頂点を回り込んだ清浄な空気流を作業空間の下部の開口へ流れるようにすることができる。これにより開口からの外気の侵入を少なくすることができる。また、前面カバーの屈曲形状により、クリーンベンチで作業を行う作業者は、前面カバーの屈曲部分から作業空間全体を見下ろすように観察することができるため、作業者は作業空間を容易に観察して効率的に作業を行うことも可能になる。
【００５０】
前記前面カバーの先端側には、前記隙間の間隔を調節可能な回動部が形成されていればよい。こうした回動部によって隙間の間隔を自在に調節することができ、クリーンベンチで作業を行う作業者の腕部を作業空間内に挿入することが可能になるとともに、作業時の隙間の間隔を最小限にとどめて外気の作業空間内への侵入を抑えることができる。
【００５１】
前記作業空間の底面には、作業空間の前面より下方に傾斜して突出する庇板を更に備えていてもよい。こうした庇板は隙間から流出する空気の流れを形成し、隙間から外気が多量に侵入することを防止して作業空間の清浄度を維持する。
【００５２】
前記整流空間の前面側には、前記整流空間と区画され、前面側が開放された下部空間が形成されているのが好ましい。こうした下部空間は、クリーンベンチの前面に座って作業を行う作業者の脚部を収容して、クリーンベンチの作業者の作業性を高める役割を果たす。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明のクリーンベンチを示す外観斜視図である。
【図２】図２は、図１のクリーンベンチを示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の検証にあたっての測定点を示す説明図である。
【図４】図４は、本発明の検証結果を示すグラフである。
【図５】図５は、本発明の検証結果を示すグラフである。
【図６】図６は、本発明の検証結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１  クリーンベンチ
１１  筐体
１３  開口
１５  作業空間
１７  下部空間
１８  前面カバー
１８ａ  スカート部
２２  庇板
２４  整流空間
２５  吸気部
２６  第２補助フィルタ
２７  整流板
３０  還流ダクト
３２  除塵ユニット
３３  主除塵フィルタ
３４  第１補助フィルタ
３７  背板
３８  照明装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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