(57)【要約】【課題】  装置の長寿命化、メンテナンス作業の低減、コンパクト化、製造コストの低減などを図ることのできる流体搬送装置を提供する。【解決手段】  本発明の流体搬送装置１００は、流路を構成する筒状の隔壁部１１１を備えた隔壁体１１０と、隔壁部の外側に構成されたステータ構造１２０と、隔壁部の内側に配置され、ステータ構造によって軸線周りに回転駆動される中空筒状のロータ１３０と、ロータに固定され、ロータの軸線方向に流体を推進する流体推進手段１４０とを有し、隔壁体には、隔壁部の軸線方向一側に接続され、隔壁部よりも外周側に拡大した外側拡大部１１２と、隔壁部の軸線方向他側に接続された、ステータ構造の挿通可能な端部１１３とが設けられていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を構成する筒状の隔壁部を備えた隔壁体と、前記隔壁部の外側に構成されたステータ構造と、前記隔壁部の内側に配置され、前記ステータ構造によって軸線周りに回転駆動される中空筒状のロータと、前記ロータに固定され、前記ロータの軸線方向に流体を推進する流体推進手段とを有し、
前記隔壁体には、前記隔壁部の軸線方向一側に接続され、前記隔壁部よりも外周側に拡大した外側拡大部と、前記隔壁部の軸線方向他側に接続された、前記ステータ構造の挿通可能な端部とが設けられていることを特徴とする流体搬送装置。
【請求項２】
前記ステータ構造が前記外側拡大部の径方向範囲内に収容されていることを特徴とする請求項１に記載の流体搬送装置。
【請求項３】
前記外側拡大部の内部には、前記隔壁部の内部断面よりも拡大された内側拡大断面部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の流体搬送装置。
【請求項４】
前記流体推進手段が前記内側拡大断面部に収容されていることを特徴とする請求項３に記載の流体搬送装置。
【請求項５】
前記隔壁部に対して前記ロータを回転可能に軸支する軸受部が前記隔壁部の内側に設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の流体搬送装置。
【請求項６】
前記軸受部は、前記隔壁部に対して前記ロータを軸線方向にも支持していることを特徴とする請求項５に記載の流体搬送装置。
【請求項７】
前記軸受部はすべり軸受であることを特徴とする請求項５又は６に記載の流体搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体搬送装置に係り、特に、小型化可能な流体搬送装置の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来における流体を搬送するためのポンプ構造としては、モータの中空回転軸の内部を流体が通過可能となるように構成し、この中空回転軸に羽根を取り付けることにより、モータの駆動によって流体が搬送されるように構成されたものが知られている。
【０００３】
例えば、モータの中空回転軸に羽根を取り付け、この中空回転軸とモータのケーシングとの間にシール部材を設けることにより、ポンプ前後の流路からの流体の侵入を防止したポンプ構造が知られている（例えば、以下の特許文献１参照）。
【０００４】
また、配管の途中に大径部を設け、この大径部の内側に配管を介して対向する界磁巻線を巻回してなる中空回転軸を設け、この中空回転軸の内側にはプロペラなどの羽根を取り付け、上記大径部の外側に固定子巻線を巻回してなるポンプ構造も知られている（例えば、以下の特許文献２参照）。
【０００５】
さらに、モータの中空回転軸に羽根を取り付け、この中空回転軸を前後の配管に対して回転自在にシールしたポンプ構造が知られている（例えば、以下の特許文献３参照）。
【特許文献１】特開昭５９−９０９７５号公報
【特許文献２】特開昭５３−１１５９０２号公報
【特許文献３】特開昭５１−４０６０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のように中空回転軸と他の部材との間にシールが施されてなる従来のポンプ構造では、シール構造により中空回転軸の回転抵抗が増大して駆動負荷が大きくなるとともに、シール構造の摩耗によるシール機能の低下が発生しやすいことから、装置寿命が短くなったり、頻繁にメンテナンスが必要になったりするなどの問題点がある。
【０００７】
また、上記のように中空回転軸を備えたモータを構成すると、上述の大径部を備えた配管を有するポンプ構造のように外径が大きくなり、装置が大型化するという問題点がある。
【０００８】
さらに、通常のポンプ構造では回転軸の軸受部分の摩耗によって装置寿命が左右されるため、比較的長寿命と言われる玉軸受を用いても、近年の要求水準（例えば５万時間）を満足することが難しいという問題点がある。特に、上記のように中空回転軸を有するポンプ構造では中空回転軸の軸径が大きくなることにより、軸受部の摺動距離も増大するため、通常のポンプの場合よりも軸受寿命が低下する。
【０００９】
そのうえ、従来のポンプ構造は一般に多数の部品が複雑に組み合わされてなるため、特にポンプを小型化したときに部品加工や組立作業が困難となり、製造コストが高くなるという問題点がある。
【００１０】
そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、従来のポンプ構造に用いられるシール構造を不要とすることにより、シール性の低下を防止しつつ装置の長寿命化やメンテナンス作業の低減を図ることのできる流体搬送装置を提供することにある。また、装置を小径化可能でコンパクトに構成することのできる流体搬送装置の構造を提供することにある。さらに、部品点数の削減や構造の簡易化を図ることによって小型化したときでも製造を容易にし製造コストを低減できる流体搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記問題点を解決するために、本発明の流体搬送装置は、流路を構成する筒状の隔壁部を備えた隔壁体と、前記隔壁部の外側に構成されたステータ構造と、前記隔壁部の内側に配置され、前記ステータ構造によって軸線周りに回転駆動される中空筒状のロータと、前記ロータに固定され、前記ロータの軸線方向に流体を推進する流体推進手段とを有する。
【００１２】
特に、前記隔壁体には、前記隔壁部の軸線方向一側に接続され、前記隔壁部よりも外周側に拡大した外側拡大部と、前記隔壁部の軸線方向他側に接続された、前記ステータ構造の挿通可能な端部とが設けられていることを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、流路を構成する筒状の隔壁部の外周側にステータ構造が配置され、その内側にロータが配置された隔壁部が設けられていることにより、シール構造を設けなくても流路を密閉することができるため、シール構造に起因する装置寿命の短縮やメンテナンス作業の増大を回避することができる。また、隔壁体には上記隔壁部の軸線方向一側に外側拡大部が接続され、上記隔壁部の軸線方向他側にはステータ構造の挿通可能な端部が設けられていることにより、ステータ構造を端部側から挿入することによって簡単に部品の位置決めや組立を行うことが可能になるので、装置を小型化した場合でも部品点数の削減や組立作業の容易化によって製造コストを低減できる。さらに、外側拡大部を設けることによって後述する理由により装置全体の強度を高めることができるため、特に隔壁部の肉厚を薄く構成できるためにモータ構造の駆動ロスを低減することができる。
【００１４】
なお、隔壁体において隔壁部の軸線方向両側に設けられた外側拡大部と端部に適宜の接続構造を設けることによって配管や他の機器などにも容易に接続することが可能になる。
【００１５】
本発明において、前記ステータ構造が前記外側拡大部の径方向範囲内に収容されていることが好ましい。これによれば、外側拡大部の径方向範囲内にステータ構造が収容されていることにより、装置を軸線方向に見たときの外形変化が少なくなるように構成することが可能になることなどから、装置全体をコンパクトに構成することができる。
【００１６】
本発明において、前記外側拡大部の内部には、前記隔壁部の内部断面よりも拡大された内側拡大断面部が設けられていることが好ましい。これによれば、内側拡大断面部が設けられていることによってロータや流体推進手段などのような隔壁体の内側に配置される各部品を容易に挿入することができるようになるため、装置を小型化した場合でも組立が容易になる。また、外側拡大部の内部に内側拡大断面部が設けられることによりスペース効率が高められるので、装置のコンパクト化を阻害しないという利点がある。
【００１７】
本発明において、前記流体推進手段が前記内側拡大断面部に収容されていることが好ましい。外側拡大部の内部に内側拡大断面部を設け、ここに流体推進手段を収容することによって、スペース効率が高められ、装置のコンパクト化がさらに容易になる。また、装置の外形に影響を与えずに流体推進手段を大型化することができるので、装置の小型化と流体の推進効率の向上とを両立できる。
【００１８】
本発明において、前記隔壁部に対して前記ロータを回転可能に軸支する軸受部が前記隔壁部の内側に設けられていることが好ましい。これによれば、隔壁部の内側に軸受部が設けられていることにより、軸受部が流体内に浸漬されるため、ロータや隔壁部の摺動面に常に流体が介在することになることから、摺動摩耗が低減されるので、当該軸受部の長寿命化を図ることができる。
【００１９】
本発明において、前記軸受部は、前記隔壁部に対して前記ロータを軸線方向にも支持していることが好ましい。軸受部によってロータを軸支するだけでなく、ロータを軸線方向にも支持することによって、ロータの回転抵抗の低減や支持構造の簡易化を図ることができる。
【００２０】
本発明において、前記軸受部はすべり軸受であることが望ましい。すべり軸受によって軸受部を簡易に構成でき、故障なども少なくメンテナンス作業も低減できる。さらに、軸受部において相互に摺接する一対の摺動面の少なくとも一方に微細な凹凸（溝やリブなども含む。）を形成することにより、動圧効果を生じさせることができるので、さらに摺動抵抗を低減させることができることから、軸受部のさらなる長寿命化を図ることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、流体搬送装置の長寿命化、コンパクト化、製造コストの低減などを図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図示例と共に説明する。図１は、本発明に係る第１実施形態の流体搬送装置１００の全体構成を示す、上流側斜め方向から見た分解斜視図（ａ）及び下流側斜め方向から見た分解斜視図（ｂ）、図２は第１実施形態の流体搬送装置１００の縦断面図である。この流体搬送装置１００は、隔壁体１１０と、ステータ１２０と、ロータ１３０とを有する。
【００２３】
隔壁体１１０は、軸線方向中央に設けられた隔壁部１１１と、隔壁部１１１の軸線方向一側（図示例では上流側）に接続された外側拡大部１１２と、隔壁部１１１の軸線方向他側（図示例では下流側）に接続された端部１１３とが一体的に構成されている。隔壁体１１０は例えばステンレス鋼などの非磁性金属材料や合成樹脂などで構成することができる。隔壁部１１１は円筒状に構成され、軸線方向に亘って同一の断面形状を備えている。換言すれば、本実施形態においては、隔壁体１１０の軸線方向中央部において軸線方向に亘って同一の断面形状を備えている部分を隔壁部１１１としている。ただし、本発明では隔壁部が軸線方向に同一の断面形状を有していなくても構わない。
【００２４】
外側拡大部１１２は、隔壁部１１１に対して外周側に拡大された外形を有する。そして、この外側拡大部１１２と隔壁部１１１との間に外側段差１１４が形成されている。また、外側拡大部１１２の内部には隔壁部１１１の内部と連通する内側拡大断面部１１７が設けられ、この内側拡大断面部１１７は隔壁体１１０の端部において開口している。この内側拡大断面部１１７は、隔壁部１１１の内部空間の断面よりも拡大された断面を有している。外側拡大部１１２には、その外周面に形成された雄ネジなどで構成される接続構造１１８が形成されている。内側拡大断面部１１７と隔壁部１１１の内部空間との境界部には内側段差１１５が形成されている。また、外側拡大部１１２の端部開口には、整流板１０４が取り付けられている。この整流板１０４は、その開口部１０４ａによって上流側からの流体の流れが後述する流体推進手段１４０の中心部に制限されるようにするものである。
【００２５】
端部１１３は、上記ステータ１２０が挿通可能な外形を有している。より具体的には、端部１１３は隔壁部１１１とほぼ同様の外形を有する。端部１１３は隔壁部１１１よりも厚く形成され、これにより端部１１３と隔壁部１１１との境界部の内面上に内側段差１１６が形成されている。端部１１３には、その内周面に形成された雌ネジなどで構成される接続構造１１９が形成されている。
【００２６】
ステータ１２０には、ステータコア１２１と、このステータコア１２１に巻回されたステータコイル１２２とが軸線周りに環状に配設されている。ステータコイル１２２からは端子１２３が導出され、この端子１２３は回路基板１０２に実装される。図示例の回路基板１０２は穴開き円盤状に構成されている。この回路基板１０２にはホール素子などで構成されるセンサ１０５が実装されている。上記のステータ１２０、回路基板１０２、センサ１０５は端子１２３を介して一体的に接続され、上記本発明のステータ構造を構成する。
【００２７】
ステータ１２０の外周には筒状（図示例では円筒状）のハウジング１０１が配置され、このハウジング１０１の一端は、上記隔壁体１１０の外側拡大部１１２に固定されている。上記のステータ構造は、外側拡大部１１２の径方向範囲内に配置されるように構成されている。すなわち、ステータ構造の外形は、外側拡大部１１２の外形よりも外周側に突出しないように構成されている。一方、外側拡大部１１２とは反対側にあるハウジング１０１の他端には端板１０３が取り付けられている。この端板１０３には上記端部１１３を通過させるための中心孔が形成されている。端板１０３の内縁部１０３ａは、上記隔壁体１１０の端部１１３の外周面に当接している。この内縁部１０３ａは軸線方向に突出し、隔壁体１１０の端部１１３の外周面を周囲から支持するように構成されている。なお、本実施形態では内縁部１０３ａと端部１１３とは単に当接しているが、両者が相互に接着、溶着、溶接などによって適宜に固定されていても構わない。
【００２８】
ロータ１３０は全体として中空筒状に構成されている。このロータ１３０には、円筒状のヨーク１３１と、このヨーク１３１の外面上に固定された被動磁石１３２とが設けられている。この被動磁石１３２は、上記の隔壁部１１１を介して上記のステータ１２０と径方向に対峙するように配置されている。被動磁石１３２は、ステータ１２０の駆動構成に応じた態様で着磁されているか、或いは、ヨーク１３１上に複数配設されている。例えば、ステータ１２０が９スロットを有するとき、被動磁石１３２が６〜１２極のマグネットで構成される場合がある。
【００２９】
また、ヨーク１３１には、被動磁石１３２とは別体に構成された検出用磁石１３３が固定されている。この検出用磁石１３３は、上記センサ１０５によって検出される磁界分布を与えるためのものである。上記ステータ構造は、検出用磁石１３３の形成磁界に応じたセンサ１０５の出力信号に基づいて制御され、ロータ１３０を回転駆動するようになっている。なお、検出用磁石１３３は被動磁石１３２と一体に構成されていてもよい。ただし、このようにすると、ロータ１３０において一体化された磁石がステータ１２０に対して軸線方向に非対称となるので、ロータ１３０に対して軸線方向に電磁力が加わることになるため、ロータ１３０の軸線方向の回転抵抗が増大する。したがって、駆動ロスを低減するためには、本実施形態のように検出用磁石１３３を被動磁石１３２と別体に構成することが望ましい。
【００３０】
ヨーク１３１の端部外周面上にはストッパ１３４，１３５が固定され、これらのストッパ１３４，１３５は、ヨーク１３１の端部外周面上に径方向の段差を形成している。ストッパ１３４，１３５としては、ヨーク１３１とは別体に構成されたものをヨーク１３１に固定してもよく、また、ヨーク１３１と一体に構成されたものであってもよい。
【００３１】
ヨーク１３１の端部（図示例では上流側端部）には流体推進手段１４０が固定されている。この流体推進手段１４０は、上記外側拡大部１１２の内部に構成された内側拡大断面部１１７内に収容されている。流体推進手段１４０は、ヨーク１３１の端部に固定される有蓋筒状の基部１４１と、この基部１４１の端面上に形成された羽根１４２とを有している。ロータ１３０が軸線周りに回転するとき、流体推進手段１４０もまた回転し、羽根１４２によって流体に軸線方向に推進力が与えられる。この推進力は、図示例の場合、隔壁体１１０の外側拡大部１１２から端部１１３へ向かう方向の流れを生じさせる。より具体的には、整流板１０４の開口部１０４ａから流体推進手段１４０の中心部に流体が流れ込み、羽根１４２によって流体が外周側に押し出される。この流体は、流体推進手段１４０の基部１４１に形成された開口部１４１ａ及びヨーク１３１の端部に形成された開口部１３１ａを通してロータ１３０の内部に導入され、ロータ１３０の内部を軸線方向に進んでいく。
【００３２】
隔壁体１１０とロータ１３０との間には円環状の軸受部が構成されている。この軸受部は、ロータ１３０を隔壁体１１０の内面に対して回転可能に軸支するものである。軸受部は、隔壁部１１１の両端部或いはその両側にそれぞれ設けられていることが好ましい。本実施形態の場合、この軸受部には、リング状の軸受部材１５１，１５２が配置されている。本実施形態の軸受部は、上記軸受部材１５１，１５２を介したすべり軸受構造を有する。より具体的に述べると、この軸受部では、軸受部材１５１，１５２は隔壁体１１０の内面に固定され、軸受部材１５１，１５２とロータ１３０（より詳細にはヨーク１３１）とが摺接するように構成されている。
【００３３】
また、上記軸受部においては、軸受部材１５１，１５２がストッパ１３４，１３５により構成される段差面に対しても軸線方向に摺接している。これによって、軸受部材１５１，１５２は、ロータ１３０をラジアル方向にもスラスト方向にも同時に支持していることになる。
【００３４】
なお、軸受部材１５１は、上記隔壁体１１０の内部に形成された内側段差１１５にて位置決めされ、接着や圧入固定などによって適宜に固定されている。また、軸受部材１５２は、上記隔壁体１１０の内部に形成された内側段差１１６にて位置決めされ、接着や圧入固定などによって適宜に固定されている。
【００３５】
上記軸受部の摺接面の少なくとも一方には微細な凹凸（溝やリブなども含む。）を形成することが好ましい。これにより、摺接面間に介在する流体による動圧効果が生じ、摺接面の摺動による摩耗を低減することができる。また、ヨーク１３１の摺接面となる部分に孔を形成することによっても上記と同様の動圧効果を生じさせることができる。このような動圧軸受構造を採用することによって、軸受部の摩耗を低減することができるので、装置全体の長寿命化を容易に達成することができるようになる。
【００３６】
以上説明した本実施形態によれば、以下の効果が奏される。まず、隔壁体１１０には、ステータ１２０とロータ１３０との間に介在する隔壁部１１１の軸線方向一側に外側拡大部１１２が設けられ、隔壁部１１１の軸線方向他側にステータ１２０を挿通可能な端部１１３が設けられているため、隔壁体１１０にステータ１２０を装着する場合には、ステータ１２０を端部１１３側から隔壁部１１１に挿通するようにすればよく（すなわち、隔壁体１１０の外側に配置される各部品を全て図２の右側から挿通させていくだけでよく）、きわめて簡単に組立を行うことができる。また、ステータ構造を構成する部品を全て隔壁体１１０の端部１１３側から挿通させることによって装着することができるので、部品の位置決めが容易になるという利点もある。例えば、ステータ１２０の軸線方向の装着位置を段差面１１４から突出させた位置決め突起１１４ａ（図示点線）によって規制する構造も考えられる。特に、装置を小型化した場合に上記構造による組立作業の容易化は顕著な効果を示す。
【００３７】
また、隔壁体１１０に外側拡大部１１２が設けられていることにより、外側拡大部１１２の肉厚を充分に確保し、この外側拡大部１１２に対して他の部品などを支持固定することにより、装置全体の強度（剛性）を高めることができるという利点もある。より具体的には、本実施形態の場合、外側拡大部１１２の肉厚部分にハウジング１０１が固定され、このハウジング１０１に取り付けられた端板１０３によって隔壁体１１０の端部１１３が支持されているため、装置全体の強度が高められる。したがって、例えば、外側拡大部１１２と端部１１３との間に構成される隔壁部１１１を薄肉に構成することも可能になるため、ステータ１２０とロータ１３０の間隔を小さくすることができ、ステータ１２０によるロータ１３０の駆動効率を高めることができる。
【００３８】
本実施形態のステータ１２０は、上記外側拡大部１１２の径方向範囲内に収容されているので、装置全体を軸線方向に見たときに外形変化の少ない形状とすることができるため、外側拡大部１１２による上記効果を確保しつつ全体をコンパクトに構成することができる。換言すれば、上記の外側拡大部１１２の外形を、ステータ１２０の径方向範囲を越えるように構成することによって、装置全体の強度を確保しつつ、装置外形を軸線方向に変化の少ない形状とすることができる。ここで、外側拡大部１１２の外径と、ステータ１２０の外径とがほとんど等しいことが好ましい。より具体的には、ステータ１２０の外側にハウジング１０１を隣接配置（接触）させたときに、外側拡大部１１２の外径と、ハウジング１０１の外径とが一致することが望ましい。
【００３９】
また、本実施形態では、隔壁部１１１と端部１１３との境界部に内部段差１１６が設けられているため、この内部段差１１６によってロータ１３０の位置決めを行うことができる。より具体的には、内部段差１１６に軸受部材１５２が当接し、この軸受部材１５２にストッパ１３５によって構成される段差面が当接することによってロータ１３０の軸線方向の位置が定まる。また、組立に際しては、隔壁体１１０の内側に配置される各部品を内側拡大断面部１１７側から順に隔壁体１１０の内部に導入していけばよいので、内部に配置される各部品をきわめて容易に組み立てることができる。このとき、外側拡大部１１２には拡大された内径を有する内側拡大断面部１１７が設けられているため、上記各部品を容易に挿入することができると言う利点もある。この利点は、特に装置を小型化した場合に顕著な効果を示す。
【００４０】
さらに、本実施形態では、外側拡大部１１２の内部に構成された内側拡大断面部１１７内に流体推進手段１４０が収容されているので、装置の外形を拡大しなくても流体推進手段１４０を大径化することができるため、装置のコンパクト化と流体推進力の増大とを両立することができる。
【００４１】
本実施形態では、上記軸受部が隔壁部１１１の内部に配置されているので、軸受部が流体に浸漬されることとなり、その結果、軸受部の摺動面間に常に流体が介在することになるため、摺動抵抗が低減され、軸受部の摩耗が低減される。したがって、軸受部の長寿命化を図ることができる。この効果は、上述のように動圧軸受構造を採用することによってさらに顕著なものとなる。
【００４２】
次に、図３を参照して、本発明に係る第２実施形態の流体搬送装置１００′について説明する。この実施形態では、先に説明した上記第１実施形態の流体搬送装置１００と同一の部分には同一符号を付し、それらの説明は省略する。
【００４３】
この実施形態では、ロータ１３０′に設けられたヨーク１３１′の上流側端部がそのまま開放されて端部開口１３１ａ′となっている。また、この端部開口１３１ａ′の下流側に側面開口１３１ｂ′が形成されている。この側面開口１３１ｂ′は、ロータ１３０′の内部と外部との間の流体の流通を確保するためのものである。これによって、軸受部に接する流体の入れ替えを促進することができ、軸受部にて生じた塵埃を適宜に排出することができるため、異常摩耗などの不具合を低減できる。
【００４４】
また、この実施形態の流体推進手段１４０′は、上記ヨーク１３１′の端部開口１３１ａ′に装着された筒状の基部１４１′と、この基部１４１′の内部に設けられたプロペラ状の羽根１４２′とを有する。ロータ１３０′が回転するとき、この流体推進手段１４０′はその羽根１４２′によって軸流を生み出し、直接流体を軸線方向に推進させることができる。
【００４５】
次に、図４を参照して、本発明に係る第３実施形態の流体搬送装置１００″について説明する。この実施形態でも、先に説明した第１実施形態又は第２実施形態と同一の部分には同一符号を付し、それらの説明は省略する。
【００４６】
この実施形態の流体推進手段１４０″はロータ１３０′の内部に配置されている。この流体推進手段１４０″は、ロータ１３０′の内面（より具体的にはヨーク１３１′の内面）に固定されている。流体推進手段１４０″は、ロータ１３０′の軸線上において当該軸線方向に沿って伸びる軸部１４１″と、この軸部１４１″を中心として螺旋状に構成されたスクリュウ羽根１４２″とを有する。スクリュウ羽根１４２″はロータ１３０′の上記内面に固定されている。
【００４７】
本実施形態では、流体推進手段１４０″がロータ１３０′の内部に収容されているので、隔壁体１１０の内部に配置される構成部分をさらにコンパクトに構成することができ、装置全体もさらに小型化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】第１実施形態の斜め前方から見た分解斜視図（ａ）及び斜め後方から見た分解斜視図（ｂ）。
【図２】第１実施形態の拡大縦断面図。
【図３】第２実施形態の拡大縦断面図。
【図４】第３実施形態の拡大縦断面図。
【符号の説明】
【００４９】
１００，１００′，１００″…流体搬送装置、１１０…隔壁体、１１１…隔壁部、１１２…外側拡大部、１１３…端部、１１７…内側拡大断面部、１２０…ステータ、１２１…ステータコア、１２２…ステータコイル、１２３…端子、１３０…ロータ、１３１…ヨーク、１３２…被動磁石、１３３…検出用磁石、１４０…流体推進手段、１４１…基部、１４２…羽根、１５１，１５２…軸受部材
【図１】
2005113758.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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