(57)【要約】【課題】  内部素子の表面の一部を露出させた合成樹脂モールドパッケージを高い歩留まりで製造する。【解決手段】  絶縁基板２並びにその上に形成された薄膜電極４，５及び絶縁保護膜６からなる内部素子の表面の露出させるべき部分を被覆剤４２により被覆し、内部素子の裏面にダイパッド部８を接合し、かくして得られた構造体を下型４６及び上型４８からなる成形用型内に配置した後に、成形用型内にピン５０を挿入し、その先端をダイパッド部８に当接させ被覆剤４２の表面を上型４８の内面に押圧する状態を維持し、その後に成形用型内に合成樹脂５２を注入し硬化させて得られた樹脂封止体を成形用型から取り出して、樹脂封止体から被覆剤４２を除去する。【選択図】  図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部素子をその表面の少なくとも一部を露出させるようにして合成樹脂により封止して合成樹脂モールドパッケージを製造する方法であって、
前記内部素子の表面の露出させるべき部分を被覆剤により被覆する被覆工程と、
前記内部素子の裏面にダイパッド部を接合する接合工程と、
前記被覆工程及び接合工程を経て得られた構造体を成形用型内に配置する配置工程と、
前記配置工程の後に、前記成形用型内にピンを挿入し、その先端を前記ダイパッド部に当接させ、前記被覆剤の表面を前記成形用型の内面に押圧する状態を維持する押圧工程と、
前記押圧工程の後に、前記成形用型内に合成樹脂を注入し硬化させる注入硬化工程と、
前記注入硬化工程を経て得られた樹脂封止体を前記成形用型から取り出す取り出し工程と、
前記樹脂封止体から前記被覆剤を除去する除去工程と、
を含んでなることを特徴とする合成樹脂モールドパッケージの製造方法。
【請求項２】
前記被覆剤はフォトレジストであり、前記除去工程において溶剤に浸漬することで前記樹脂封止体から前記被覆剤を除去することを特徴とする、請求項１に記載の合成樹脂モールドパッケージの製造方法。
【請求項３】
前記内部素子は絶縁基板の表面上に導電性薄膜を形成してなるものであり、該導電性薄膜は前記内部素子の表面の露出させるべき部分からそれ以外の部分にわたって延びており且つ前記露出させるべき部分以外の部分に形成された電極パッド部を有することを特徴とする、請求項１〜２のいずれかに記載の合成樹脂モールドパッケージの製造方法。
【請求項４】
前記導電性薄膜は前記露出させるべき部分において絶縁保護膜により覆われていることを特徴とする、請求項３に記載の合成樹脂モールドパッケージの製造方法。
【請求項５】
前記導電性薄膜は静電容量を形成するように配置された１対の薄膜電極からなることを特徴とする、請求項３〜４のいずれかに記載の合成樹脂モールドパッケージの製造方法。
【請求項６】
前記絶縁基板の比誘電率は５以下であることを特徴とする、請求項５に記載の合成樹脂モールドパッケージの製造方法。
【請求項７】
前記接合工程において前記ダイパッド部はリード部と接続されてリードフレームを構成しており、前記接合工程の後であって前記配置工程の前において前記電極パッド部と前記リード部とを電気的に接続し、前記リードフレームを前記取り出し工程の後に切断して前記ダイパッド部を前記リード部から分離せしめることを特徴とする、請求項３〜６のいずれかに記載の合成樹脂モールドパッケージの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、合成樹脂モールドパッケージの製造方法に関するものであり、特に該パッケージの合成樹脂モールドにより封止される内部素子の表面の一部を露出させた合成樹脂モールドパッケージの製造方法に関するものである。
【０００２】
このような合成樹脂モールドパッケージは、例えば自動車等の内燃エンジンの燃料として使用されるガソリン中のエタノールやメタノール等のアルコールの濃度を測定するアルコール濃度センサの製造に適用することができる。
【背景技術】
【０００３】
自動車の内燃エンジンでは、燃料として化石燃料の一種であるガソリンが使用されている。
【０００４】
しかるに、将来において化石燃料の産出量が減少するおそれがあること及び地球温暖化防止のため炭酸ガス排出量の削減が要請されることから、内燃エンジンの燃料としてガソリン中に植物由来の燃料であるアルコール例えばエタノールまたはメタノールを混合することが検討されている。
【０００５】
このアルコール混合ガソリンの場合には、ガソリンとアルコールとで理論空燃比が大きく異なることから、ガソリンに対し混合されるアルコールの割合（アルコール濃度）に応じて理想的な比率にて空気を混合して（即ち空燃比を最適化して）燃焼させることが、内燃エンジンの出力効率を向上させて燃費を向上させ且つ排気ガス中の不完全燃焼生成物である炭化水素（ＨＣ）や一酸化炭素（ＣＯ）などの量を低減するためには、必要である。
【０００６】
そのために、燃料であるガソリン中のアルコールの濃度を測定し、その測定結果に基づきエンジン制御を行うことが好ましい。即ち、内燃エンジンに実際に供給されるガソリン中のアルコールの濃度を測定し、その測定結果に応じて内燃エンジンの燃焼条件を適宜設定することで、実際に燃焼に供されるガソリン中のアルコールの濃度に応じた好適な燃焼状態（即ち、内燃エンジンの出力トルクを高め、排気ガス中の不完全燃焼生成物の量を低減する燃焼状態）を実現することが望ましい。
【０００７】
このようなガソリン中のアルコールの濃度の測定及びその測定結果に基づく内燃エンジン制御の技術は、例えば特開平４−３５０５５０号公報（特許文献１）、特開平５−２８８７０７号公報（特許文献２）及び特開平６−２７０７３号公報（特許文献３）に開示されている。
【０００８】
これら公報に開示されているアルコール濃度測定用のセンサは静電容量型のセンサであり、容量を形成する１対の電極の間に被測定液体であるガソリンを介在させ、この１対の電極間の容量値がガソリン中のアルコール濃度に応じて異なることを利用してアルコール濃度の測定を行っている。
【０００９】
特許文献１の装置では、小型化及び高性能化に有利なアルコール濃度センサとして、絶縁基体の表面に互いに離間させて１対の電極を形成したものを使用している。
【特許文献１】特開平４−３５０５５０号公報
【特許文献２】特開平５−２８８７０７号公報
【特許文献３】特開平６−２７０７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記特許文献１に記載のアルコール濃度センサでは、基板上に形成された電極の大部分を覆うように絶縁層を形成している。しかしながら、基板の表面の電極パッドの形成された部分さらには裏面及び側端面等については被覆などの対処はなされていない。
【００１１】
アルコール濃度センサを小型化する上で、その取り扱い性を高め、強度を増大させ、耐久性を向上させることが要望される。特に、アルコール含有ガソリンの浸入による基板に対する電極の密着性低下に基づく電極剥離を回避することが極めて望ましい。そのためには、電極の形成された基板を合成樹脂モールドで封止してモールドパッケージとすることが好ましい。而して、アルコール濃度センサの場合には、基板上に形成された電極を被測定液体であるアルコール含有ガソリンと接触または近接させるために、電極の形成された基板表面を露出させるようにして樹脂による部分的封止を行うことが必要となる。このような部分的封止のモールドパッケージの製造は、露出面に樹脂が残留して不良品となりやすく、これを防止して高い歩留まりで製造することは困難である。
【００１２】
このような困難性は、アルコール濃度センサの場合に限らず、封止される各種の内部素子の表面の少なくとも一部を露出させた合成樹脂モールドパッケージを製造しようとする場合には、同様に生ずることである。
【００１３】
本発明は、以上のようなアルコール濃度センサ等の内部素子の表面の一部を露出させた合成樹脂モールドパッケージを高い歩留まりで製造することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明によれば、上記目的を達成するものとして、
内部素子をその表面の少なくとも一部を露出させるようにして合成樹脂により封止して合成樹脂モールドパッケージを製造する方法であって、
前記内部素子の表面の露出させるべき部分を被覆剤により被覆する被覆工程と、
前記内部素子の裏面にダイパッド部を接合する接合工程と、
前記被覆工程及び接合工程を経て得られた構造体を成形用型内に配置する配置工程と、
前記配置工程の後に、前記成形用型内にピンを挿入し、その先端を前記ダイパッド部に当接させ、前記被覆剤の表面を前記成形用型の内面に押圧する状態を維持する押圧工程と、
前記押圧工程の後に、前記成形用型内に合成樹脂を注入し硬化させる注入硬化工程と、
前記注入硬化工程を経て得られた樹脂封止体を前記成形用型から取り出す取り出し工程と、
前記樹脂封止体から前記被覆剤を除去する除去工程と、
を含んでなることを特徴とする合成樹脂モールドパッケージの製造方法、
が提供される。
【００１５】
本発明の一態様においては、前記被覆剤はフォトレジストであり、前記除去工程において溶剤に浸漬することで前記樹脂封止体から前記被覆剤を除去する。本発明の一態様においては、前記内部素子は絶縁基板の表面上に導電性薄膜を形成してなるものであり、該導電性薄膜は前記内部素子の表面の露出させるべき部分からそれ以外の部分にわたって延びており且つ前記露出させるべき部分以外の部分に形成された電極パッド部を有する。本発明の一態様においては、前記導電性薄膜は前記露出させるべき部分において絶縁保護膜により覆われている。本発明の一態様においては、前記導電性薄膜は静電容量を形成するように配置された１対の薄膜電極からなる。本発明の一態様においては、前記絶縁基板の比誘電率は５以下である。本発明の一態様においては、前記接合工程において前記ダイパッド部はリード部と接続されてリードフレームを構成しており、前記接合工程の後であって前記配置工程の前において前記電極パッド部と前記リード部とを電気的に接続し、前記リードフレームを前記取り出し工程の後に切断して前記ダイパッド部を前記リード部から分離せしめる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の合成樹脂モールドパッケージの製造方法によれば、内部素子の表面の露出させるべき部分を被覆剤により被覆し、内部素子の裏面にダイパッド部を接合し、かくして得られた構造体を成形用型内に配置した後に、成形用型内にピンを挿入し、その先端をダイパッド部に当接させ被覆剤の表面を成形用型の内面に押圧する状態を維持し、その後に成形用型内に合成樹脂を注入し硬化させて得られた樹脂封止体を成形用型から取り出して、樹脂封止体から被覆剤を除去するようにしたことで、内部素子の表面の一部を露出させた合成樹脂モールドパッケージを高い歩留まりで製造することが容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。以下に示す実施形態は合成樹脂モールドパッケージとしてアルコール濃度センサに係るものを採用したものであるが、本発明の合成樹脂モールドパッケージはこれに限定されるものではなく、種々の用途に使用される内部素子にも適用することができる。
【００１８】
先ず、本実施形態で製造されるアルコール濃度センサの一実施形態につき説明する。図１はアルコール濃度センサの一実施形態を示す斜視図であり、図２はその模式的断面図であり、図３は本実施形態のアルコール濃度センサの絶縁基板及び薄膜電極を示す模式的斜視図である。
【００１９】
本実施形態において、絶縁基板２の一方の主面（表面）上には、１対の薄膜電極４，５と該薄膜電極を覆うように形成された絶縁保護膜６が形成されている。
【００２０】
絶縁基板２は、比誘電率が５以下の材料からなり、厚さが例えば２００〜１０００μｍである。比誘電率が５以下の絶縁基板２の材料としては、例えばパイレックス（登録商標）ガラス、溶融石英、さらには、テフロン（登録商標）、ナイロン、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリメタクリル酸メタル、ベークライトなどの合成樹脂が例示される。比誘電率が５以下の材料からなる絶縁基板２を使用することの意義については後述する。
【００２１】
薄膜電極４，５は、アルミニウム、金、銀、銅、チタン、ニッケル、クロムさらにはこれらを含む合金等の耐食性の高い導電体からなり、厚さが例えば０．０１〜０．８μｍである。薄膜電極４，５は、図示されているように、櫛形で互いに櫛歯が入り組んでいるパターン状に形成及び配置されている。或いは、薄膜電極４，５は、上記特許文献１に記載のように、二重渦巻き状のものであってもよい。特許文献１に記載されているように、このような同一平面上の一対のパターン状薄膜電極とすることで、絶縁基板が反ったりして変形した場合にも、電極間距離が殆ど変化しないので、容量安定性が良好である。薄膜電極４，５は、例えば、スパッタリングにより絶縁基板２の表面上に導電膜を成膜し、該導電膜をフォトリソグラフィーにより所定のパターンに形成することで、得ることができる。薄膜電極４，５は、それらの端部に、後述する外部取り出し電極との接続のためのパッド部４ａ，５ａを備えている。
【００２２】
絶縁保護膜６は、薄膜電極４，５を被測定液体であるアルコール含有ガソリンによる化学的損傷から保護し且つ薄膜電極４，５間のアルコール含有ガソリン特にそれに含まれる水分などの導電性不純物を介しての電気的導通を阻止するものであり、その材料としては例えばＳｉＯ２、Ｓｉ３Ｎ４、Ａｌ２Ｏ３等の絶縁体が例示される。但し、絶縁保護膜６は、薄膜電極パッド部４ａ，５ａ上には形成されていない。絶縁保護膜６の厚さは、例えば０．４〜１μｍである。絶縁保護膜６は、厚すぎると、アルコール含有ガソリンの比誘電率の検知感度が低下するので、この観点からはできるだけ薄い方が好ましい。一方、絶縁保護膜６は、薄すぎると、ピンホールが形成されて所期の効果を得にくくなることがあるので、この観点からはできるだけ厚い方が好ましい。絶縁保護膜６の材料としては、絶縁基板２と同様に比誘電率５以下の材料からなることが好ましい。比誘電率が５以下の絶縁材料からなる絶縁保護膜６を使用することの意義については後述する。絶縁保護膜６は、例えば、スパッタリングにより形成することができる。尚、アルコール含有ガソリンに殆ど導電性不純物が含まれない場合には、絶縁保護膜６を使用しなくてもよい。また、絶縁保護膜６の厚さが薄膜電極４，５間の対向距離に対して十分に小さい場合（例えば１／５以下の場合）には、アルコール含有ガソリンの比誘電率の検知感度に対する絶縁保護膜６の比誘電率の影響はそれほど大きくないので、５を越える比誘電率の材料を用いて絶縁保護膜６を形成してもよい。
【００２３】
絶縁基板２は、その裏面が接合剤によりリードフレームのダイパッド部８に接合されている。一方、薄膜電極のパッド部４ａ，５ａは、それぞれボンディングワイヤ１２によりリードフレームのリード部（外部取り出し電極）１０，１１と接続されている。外部取り出し電極１０，１１の薄膜電極との接続端部（即ちボンディングワイヤ１２が接続されている端部）と絶縁基板２の一部とダイパッド部８とボンディングワイヤ１２とが、樹脂モールド１４により封止されている。樹脂モールド１４は絶縁基板２の薄膜電極４，５の形成された表面を露出させており、これにより薄膜電極４，５は絶縁保護膜６を介して被測定液体であるアルコール含有ガソリンと近接して位置することができる。
【００２４】
次に、本発明による合成樹脂モールドパッケージの製造方法の実施形態としての上記アルコール濃度センサの製造方法の一例を図４〜図１２を参照しながら説明する。図４〜図６及び図８〜図１２は工程説明のための断面図であり、図７は工程説明のための平面図である。尚、図４〜図６及び図８〜図１２は、図７のＡ−Ａ’断面に対応する断面図である。
【００２５】
先ず、図４に示されるように、上記絶縁基板２の表面上に導電性薄膜たる上記薄膜電極４，５及び上記絶縁保護膜６を形成する。尚、図４〜図６及び図８〜図１２では、簡単化のために薄膜電極４，５及び絶縁保護膜６を一体的に表示している。これにより、本発明でいう内部素子が形成される。薄膜電極４，５は、内部素子の表面の露出させるべき部分からそれ以外の部分にわたって延びており、露出させるべき部分以外の部分に形成された上記電極パッド部４ａ，５ａを有する。薄膜電極４，５は露出させるべき部分において絶縁保護膜６により覆われている。
【００２６】
次に、被覆工程を行う。ここでは、図５に示されるように、内部素子の表面の露出させるべき部分を被覆剤４２により被覆する。被覆剤としては、容易に平坦な表面及び所定パターンに形成できることからフォトレジストが好適である。
【００２７】
次に、接合工程を行う。ここでは、図６に示されるように、内部素子の裏面（即ち絶縁基板２の裏面）に接合剤によりダイパッド部８を接合する。この工程において、図７に示されるように、ダイパッド部８はリード部１０，１１その他と接続されてリードフレーム４４を構成している。
【００２８】
尚、この接合工程の後に、図７に示されるように、絶縁基板２上に形成された上記薄膜電極パッド部４ａ，５ａと上記リード部１０，１１とを上記ボンディングワイヤ１２により電気的に接続する。
【００２９】
次に、配置工程を行う。ここでは、図８に示されるように、被覆工程及び接合工程を経て得られた構造体を、成形用型内に配置する。成形用型は下型４６及び上型４８を有しており、下型４６の上面及び上型４８の下面が成形面とされている。下型４６には、上下方向に貫通するピン挿入孔４６ａが形成されている。
【００３０】
次に、押圧工程を行う。ここでは、図９に示されるように、ピン挿入孔４６ａを介して成形用型内にピン５０を挿入し、その先端をダイパッド部８に当接させ、被覆剤４２の表面（上面）を成形用型の内面即ち上型４８の下面たる成形面に押圧し、この押圧状態を維持する。
【００３１】
次に、注入硬化工程を行う。ここでは、図１０に示されるように、成形用型内に合成樹脂５２を注入し硬化させる。硬化した合成樹脂５２により上記樹脂モールド１４が形成され、樹脂モールドで内部素子を封止してなる樹脂封止体が形成される。被覆剤４２の表面と上型４８の下面とが密着しているので、これらの間に合成樹脂５２が入り込むことはない。
【００３２】
次に、取り出し工程を行う。ここでは、図１１に示されるように、成形用型を開き上記樹脂封止体を成形用型から取り出す。
【００３３】
尚、この取り出し工程の後に、図７に示されるように、樹脂モールド１４の外に位置するリードフレーム４４の部分を、リード部１０，１１を除いて全て切断により除去する。これにより、ダイパッド部８がリード部１０，１１から分離される。
【００３４】
次に、除去工程を行う。ここでは、図１２に示されるように、リードフレーム４４の不要部分の切除された樹脂封止体から上記被覆剤４２を除去する。この除去工程では、樹脂封止体をアセトン等の有機溶剤に浸漬することで該樹脂封止体からフォトレジスト等の被覆剤を除去することができる。
【００３５】
以上のような製造方法では、被覆剤により被覆された内部素子の表面部分における合成樹脂５２の残留は実質上ないので、高い歩留まりが得られる。
【００３６】
図１３は以上のようなアルコール濃度センサを用いたアルコール濃度測定装置の一実施形態の構成概略図である。この装置は、発信回路２２と、その出力信号の周波数即ち発信回路の発信周波数に基づきアルコール濃度を算出する演算部としてのマイコン（マイクロコンピュータ）２６とを備えている。発信回路２２の入力ＶＤＤは例えば５Ｖであり、その出力ＯＵＴは、抵抗素子ＥＲ１，ＥＲ２の抵抗値Ｒ１，Ｒ２及び容量素子ＥＣの容量値Ｃにより決まる。容量素子ＥＣは、図１〜１２に関し説明したアルコール濃度センサの薄膜電極４，５により構成される。容量素子ＥＣの容量値Ｃは、１対の薄膜電極４，５の間に介在する物質の比誘電率による影響を受ける。本実施形態においては、１対の薄膜電極４，５間に電圧を印加した場合において、これらの間に形成される電気力線は、一部がアルコール含有ガソリンを経ており、他の一部が絶縁基板２を経ている。
【００３７】
発信回路２２の出力信号のパルス幅Ｔ（即ち発信周波数ｆの逆数）は、Ｃ，Ｒ１，Ｒ２と、
１／Ｔ＝ｆ＝１．４４／［Ｃ（Ｒ１＋２・Ｒ２）］
の関係を持つ。
【００３８】
ここで、ガソリン中のアルコール濃度（例えばエタノール濃度）をαとし、絶縁基板２の比誘電率をεｓｕｂとし、ガソリンの比誘電率をεｒ［ｇ］とし、アルコール（例えばエタノール）の比誘電率をεｒ［ａ］とし、真空の誘電率をε０とし、容量素子ＥＣが平行平板であると仮定した時の電極面積及び電極間距離をＳ及びｄとすれば、絶縁保護膜６のない場合には、
Ｃ＝ε０（Ｓ／ｄ）（εｒ［ｇ］（１−α）＋εｒ［ａ］α＋εｓｕｂ）
となる。従って、アルコール濃度０の場合の静電容量値をＣ［ｇ］とし、アルコール濃度１の場合の静電容量値をＣ［ａ］とすると、これら２つの場合の間での静電容量値の変化率は、
（Ｃ［ａ］−Ｃ［ｇ］）／Ｃ［ｇ］＝（εｒ［ａ］−εｒ［ｇ］）／（εｒ［ｇ］＋εｓｕｂ）
となる。この式から、絶縁基板２の材料として低い比誘電率を持つものを使用することで、容量素子ＥＣの静電容量値の変化率が向上することが分かる。
【００３９】
絶縁保護膜６が存在する場合には、これらの関係は更に複雑になるが、絶縁基板２の場合と同様に低い比誘電率を持つ絶縁保護膜６を使用することで、容量素子ＥＣの静電容量値の変化率が向上する。
【００４０】
図１４に、アルコールとしてエタノールを使用した場合の、エタノール濃度変化に対する発信回路２２の出力信号の発信周波数ｆの変化率（エタノール濃度０の場合を基準とする変化率）の特性の一例を示す。この例では、絶縁基板２として、厚さ２５０μｍのものを用い、比誘電率４．８４のパイレックス（登録商標）ガラス（ホウケイ酸ガラス）を用いたもの（本発明実施形態）と、比誘電率９．３４〜１１．５４のアルミナを用いたもの（比較例）との比較を示す。尚、薄膜電極４，５の厚さは０．４μｍで、薄膜電極４，５間の対向距離は１０μｍとした。また、絶縁保護膜６は、比誘電率４で厚さ０．４μｍ（薄膜電極４，５間の対向距離の１／２５）のものを使用した。
【００４１】
図１４から、本発明実施形態のものでは、エタノール濃度５％以下における発信回路２２の発信周波数の変化率が大きく、この変化率の値によりエタノール濃度を感度よく測定することができることが分かる。
【００４２】
発信回路２２の出力は、マイコン２６に入力され、ここで、メモリに記憶されているエタノール濃度０の場合の発信周波数を基準とする発信周波数変化率を算出し、メモリに記憶されている検量線を参照してエタノール濃度へと換算される。検量線は、図１４の本発明実施形態に示される如きものを、予めエタノール濃度既知のガソリンにつき測定により得て、これをメモリに記憶しておく。尚、検量線としては、発信周波数を図１４に示されるような変化率ではなく周波数値そのもので表したものを使用してもよい。この場合には、マイコン２６における発信周波数変化率の算出が不要となる。
【００４３】
このようにして得られたエタノール濃度値を示す信号が不図示のＤ／Ａコンバータを介して、図１３に示される出力バッファ回路２８へと出力され、ここからアナログ出力として不図示の自動車のエンジンの燃焼制御などを行うメインコンピュータ（ＥＣＵ）へと出力される。ＥＣＵでは、入力されるエタノール濃度値信号に応じて内燃エンジンの燃焼条件を適宜設定することで、実際に燃焼に供されるガソリン中のアルコールの濃度に応じた好適な燃焼状態（即ち、内燃エンジンの出力トルクを高め、排気ガス中の不完全燃焼生成物の量を低減する燃焼状態）を実現することが可能となる。
【００４４】
一方、エタノール濃度値信号は、必要に応じてデジタル出力として取り出して、表示、警報その他の動作を行う機器へと入力することができる。
【００４５】
図１５には、ガソリン流通経路に設置されたアルコール濃度センサが示されている。アルコール含有ガソリンの燃料タンクから内燃エンジンへの供給経路を構成する燃料タンク側パイプ３２と内燃エンジン側パイプ３４との間に、測定部ハウジング本体３０及び測定部ハウジング蓋体３１からなる測定部ハウジングを設置する。蓋体３１は本体３０に適合され、蓋体３１の内側にアルコール濃度センサ２０が取り付けられる。該センサの外部取り出し電極１０，１１は、蓋体３１の外側へと延出しており、該蓋体３１の外面に取り付けられる不図示の回路基板と接続される。回路基板には発信回路２２さらには必要に応じてマイコン２６及び出力バッファ回路２８等が形成され若しくは搭載されている。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明により製造されるアルコール濃度センサの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１のアルコール濃度センサの模式的断面図である。
【図３】図１のアルコール濃度センサの絶縁基板及び薄膜電極を示す模式的斜視図である。
【図４】アルコール濃度センサの製造工程の説明のための断面図である。
【図５】アルコール濃度センサの製造工程の説明のための断面図である。
【図６】アルコール濃度センサの製造工程の説明のための断面図である。
【図７】アルコール濃度センサの製造工程の説明のための平面図である。
【図８】アルコール濃度センサの製造工程の説明のための断面図である。
【図９】アルコール濃度センサの製造工程の説明のための断面図である。
【図１０】アルコール濃度センサの製造工程の説明のための断面図である。
【図１１】アルコール濃度センサの製造工程の説明のための断面図である。
【図１２】アルコール濃度センサの製造工程の説明のための断面図である。
【図１３】アルコール濃度測定装置の一実施形態の構成概略図である。
【図１４】エタノール濃度変化に対する発信回路の発信周波数の変化率の特性の一例を示すグラフである。
【図１５】ガソリン流通経路におけるアルコール濃度センサの設置形態の一例を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
２  絶縁基板
４，５  薄膜電極
４ａ，５ａ  薄膜電極のパッド部
６  絶縁保護膜
８  リードフレームのダイパッド部
１０，１１  リードフレームのリード部（外部取り出し電極）
１２  ボンディングワイヤ
１４  樹脂モールド
２０  アルコール濃度センサ
２２  発信回路
２６  マイコン
２８  出力バッファ回路
ＶＤＤ  発信回路の入力
ＯＵＴ  発信回路の出力
ＥＲ１，ＥＲ２  抵抗素子
ＥＣ  容量素子
３０  測定部ハウジング本体
３１  測定部ハウジング蓋体
３２  燃料タンク側パイプ
３４  内燃エンジン側パイプ
４２  被覆剤
４４  リードフレーム
４６  成形用下型
４６ａ  ピン挿入孔
４８  成形用上型
５０  ピン
５２  合成樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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