(57)【要約】 【課題】  画素領域端部の着色インクの濡れ広がり不足を解消させ、均一な膜を形成するカラーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】  基板上の所定の領域にカラーフィルタを構成する機能材料を吐出する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、前記機能材料を吐出する工程の前に、前記基板上の所定の領域に前記機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を吐出する工程を有する。【選択図】        図８ 
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の所定の領域にカラーフィルタを構成する機能材料を吐出する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、前記機能材料を吐出する工程の前に、前記基板上の所定の領域に前記機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を吐出する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
基板上の所定の領域にカラーフィルタを構成する機能材料を吐出する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、前記機能材料を吐出する工程の後に、前記基板上の所定の領域に前記機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を吐出する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。  
【請求項３】
前記液体を前記基板上の所定の領域の端部に吐出することを特徴とする請求項１又は２に記載のカラーフィルタの製造方法。  
【請求項４】
前記液体は、前記機能材料の溶媒であることを特徴とする請求項１又は２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
複数の吐出ヘッドを備えるカラーフィルタ製造装置であって、前記複数の吐出ヘッドは、機能材料を充填させた第１の吐出ヘッドと、前記機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を充填させた第２の吐出ヘッドと、を備えることを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。  
【請求項７】
請求項６に記載のカラーフィルタを備えることを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項７に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ製造装置、電気光学装置、並びに電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ノートパソコン、携帯電話機、電子手帳等の電子機器において、情報を表示する手段として表示装置が広く利用されている。最近では、一方の基板にカラーフィルタを配置してフルカラー表示を可能とした液晶表示装置が主流となっている。このカラーフィルタの製造方法は、着色部の材料や製造プロセスによりいくつかに分類されるが、インクジェット法を用いて、着色インクをノズルから吐出させることにより、基板上に多数のカラーフィルタを形成するインクジェット方式が提案されている。インクジェット法は、被膜形成領域に液滴を吐出し、吐出した液滴を被膜形成領域の全体に濡れ広がらせた後に、乾燥させて被膜を形成する方法である。インクジェット法を用いた膜形成方法として、例えば、マトリクス型の表示装置におけるマトリクス状に配置された発光部を形成する方法や、カラーフィルタ基板のフィルタエレメントを形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。上述した液晶表示装置の画素領域は、一般に長方形状に形成されている。この場合、画素領域の内部に対して、複数の液滴をマトリクス状に吐出することになる。
【特許文献１】特開２００３−１２７３４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、通常、液滴は画素領域の周縁部に吐出することが困難であり、画素領域の中央よりの位置に吐出することになる。すると、液滴の端部から画素領域の角部までの距離が長いため、吐出された液滴が画素領域の端部まで濡れ広がるのに時間を要するという問題がある。また、画素領域に吐出された液滴の表面張力により、画素領域の端部にまで液滴が濡れ広がりにくいという問題がある。これに伴って、カラーフィルタ基板の製造効率が低下することになる。そして、吐出された液滴が画素領域の全体に濡れ広がる前に乾燥が開始されると、カラーフィルタを画素領域内に均一に形成することが困難になる。
【０００４】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、均一な膜を形成することが可能であり、また生産性を向上することが可能な、カラーフィルタの形成方法の提供を目的とする。
また、本発明の他の目的は、表示品質に優れた電気光学装置及び電子機器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するために、基板上の所定の領域にカラーフィルタを構成する機能材料を吐出する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、前記機能材料を吐出する工程の前に、前記基板上の所定の領域に前記機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を吐出する工程を有することを特徴とする。
このような構成によれば、まず、基板上の所定の領域に液体を吐出する。この吐出された液体は、機能材料と比較して表面張力又は粘度が小さいため、機能材料は基板上の上記領域の全体に濡れ広がる。続けて、この機能材料が吐出された直後の上記領域に機能材料を吐出する。その結果、既に基板上の上記領域の全体には上記液体が濡れ広がっているため、吐出される機能材料についても上記領域の全体に濡れ広がることになり、均一な膜を形成することが可能となる。
【０００６】
また、本願発明のカラーフィルタの製造方法においては、基板上の所定の領域にカラーフィルタを構成する機能材料を吐出する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、前記機能材料を吐出する工程の後に、前記基板上の所定の領域に前記機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を吐出する工程を有することを特徴とする。
このような構成によれば、先に基板上の所定の領域に上記機能材料を吐出し、この所定の領域に機能材料の濡れ広がり不足が生じる場合であっても、この後、機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を吐出するので、上記機能材料は、所定の領域の全体に濡れ広がることになり、均一な膜を形成することが可能となる。
【０００７】
また、本願発明のカラーフィルタの製造方法においては、前記液体を前記基板上の所定の領域の端部に吐出することを特徴とする。
このような構成によれば、一般的に、液状の材料が濡れ広がりにくいとされている所定の領域の端部にのみ機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を吐出することができる。そのため、先に吐出した上記液体上に、機能材料を吐出することになるので、昨日材料は所定の領域の全体に濡れ広がることになる。その結果、均一な膜を形成することが可能となる。また、上記液体は、上記領域の端部にのみ吐出すれば良いので、上記領域の全体に吐出する場合と比較して、液体の吐出量を少なくすることができる。従って、上記液体の消費量を抑えることができ、経済的に効率が良い。
【０００８】
また、本願発明のカラーフィルタの製造方法においては、前記液体は、前記機能材料の溶媒であることを特徴とする請求項１又は２に記載のカラーフィルタの製造方法。
このような構成によれば、上記液体は、溶質を含まないため、機能材料に比べて粘度が低いことになるので、所定の領域の端部に生じる濡れ広がり不足を防止することが可能となる。また、上記液体は、機能材料の溶媒であるためなじみが良く、これらを同時に扱った場合でも意図しない化学反応が起こる恐れもない。
【０００９】
また、本願発明のカラーフィルタ製造装置は、複数の吐出ヘッドを備えるカラーフィルタ製造装置であって、前記複数の第１の吐出ヘッドは、機能材料を充填させた吐出ヘッドと、前記機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を充填させた第２の吐出ヘッドと、を備えることを特徴とする。
このような構成によれば、まず、第１の吐出ヘッドは、基板上の所定の領域に液体を吐出する。この吐出された液体は、機能材料と比較して表面張力又は粘度が小さいため、機能材料は基板上の所定の領域の全体に濡れ広がる。続けて、第２の吐出ヘッドは、この機能材料が吐出された直後の上記領域に機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を吐出する。その結果、既に基板上の上記領域の全体には機能材料が濡れ広がっているため、吐出される液体についても上記領域の全体に濡れ広がり、均一な膜を形成することが可能となる。また、第２の吐出ヘッドが先に基板上の所定の領域に機能材料を吐出する場合、所定の領域に機能材料の濡れ広がり不足が生じる場合があるが、第１の吐出ヘッドが機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を吐出するので、上記機能材料は、所定の領域の全体に濡れ広がることになり、均一な膜を形成することが可能となる。
【００１０】
また、カラーフィルタは、上述したカラーフィルタの製造方法により製造することを特徴とする。また、電気光学装置は、カラーフィルタを備えることを特徴とする。例えば、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ型表示装置等を挙げることができる。また、電子機器は、電気光学装置を備えることを特徴とする。
これらの発明によれば、表示品質に優れた電気光学装置又は電子機器を提供することができる。    
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
[第１の実施の形態]
本発明の第１の実施形態であるカラーフィルタ製造装置及びカラーフィルタの製造方法を、図面を参照して詳細に説明する。
[カラーフィルタ製造装置]
図１は、本実施の形態のカラーフィルタ製造装置２０の概略斜視図である。図１に示すように、カラーフィルタ製造装置２０は、キャリッジ２２と、キャリッジ２２をＸ軸方向に駆動させるＸ軸方向ガイド軸２と、Ｘ軸方向ガイド軸２を回転させるＸ軸方向駆動モータ３と、を備えている。また、カラーフィルタ製造装置２０は、基板１１を載置するための載置台４と、載置台４をＹ軸方向に駆動させるＹ軸方向ガイド軸５と、Ｙ軸方向ガイド軸５を回転させるＹ方向駆動モータ６と、Ｘ軸方向ガイド軸２とＹ軸方向ガイド軸５とが、各々所定の位置に固定される基台７を備え、その基台７の下部には制御装置８を備えている。さらに、カラーフィルタ製造装置２０は、クリーニング機構部１４とヒータ１５とを備えている。
【００１３】
Ｘ軸方向駆動モータ３は、制御装置８からの信号に応じて、Ｘ軸方向及びＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿ってキャリッジ２２を移動させる。さらに、Ｘ軸方向駆動モータ３は、Ｚ軸に平行な軸を中心としてキャリッジ２２を回転させる機能も有する。Ｙ方向駆動モータ６は、制御装置８からの信号に応じて、Ｙ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って載置台４を移動させる。さらに、上述したように、Ｙ方向駆動モータ６は、Ｚ軸に平行な軸を中心としてキャリッジ２２を回転させる機能も有する。
【００１４】
なお、本実施の形態において、Ｘ軸方向は副走査方向と表記し、Ｙ軸方向は主走査方向と表記することもある。また、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の仮想的な原点は、カラーフィルタ製造装置２０の基準部分に固定されている。また、Ｚ軸方向は、鉛直方向（重力加速度の方向）に平行な方向である。
【００１５】
載置台４は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。載置台４は、所定の材料を吐出すべき被吐出部を有する基板１１をその平面上に固定、又は保持できるように構成されている。また、載置台４は、上記Ｙ軸方向ガイド軸５上に固定され、Ｙ軸方向ガイド軸５には、Ｙ方向駆動モータ６が接続されている。Ｙ方向駆動モータ６は、ステッピングモータ等であり、制御装置８からＹ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｙ軸方向ガイド軸５が回転する。そして、Ｙ軸方向ガイド軸５が回転すると、それに伴って載置台４がＹ軸方向に移動する。
【００１６】
キャリッジ２２は、上述したように、Ｘ軸方向ガイド軸２上に固定され、Ｘ軸方向ガイド軸２にはＸ軸方向駆動モータ３が接続されている。Ｘ軸方向駆動モータ３は、ステッピングモータ等であり、制御装置８からＸ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｘ軸方向ガイド軸２が回転する。そして、Ｘ軸方向ガイド軸２が回転する、それに伴って、キャリッジ２２がＸ軸方向に移動する。このようにして、インクの吐出は、載置台４上に載置された基板１１に対して、載置台４をＸ軸方向に、キャリッジ２２をＹ軸方向に相対的に走査させることによって行われる。なお、載置台４を静止させて、キャリッジ２２のみをＸ軸方向に移動させても良く、また、キャリッジ２２を静止させて、載置台４のみをＹ軸方向に移動させても良い。すなわち、ここで、「相対移動」又は「相対走査」とは、載置台４側と、キャリッジ２２側の少なくとも一方を他方に対して移動させることを含む。なお、キャリッジ２２の詳細については後述する。
【００１７】
制御装置８は、着色インク１６（機能材料）及び分散媒１７（機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体）を吐出すべき相対位置、吐出量等を算出し、この算出した吐出データに基づいて、インクジェットヘッド群２６及び載置台４に対して吐出データを出力する。なお、制御装置８の詳細については後述する。
【００１８】
（ヘッドの構成）
図２は、ヘッド２４の構成を模式的に示したものであり、基板１１側から観察した図である。図２に示すように、キャリッジ２２は、ほぼ同じ構成を有する複数のヘッド２４を搭載している。キャリッジ２２はＹ軸方向に配置された１２個のヘッド２４を２列搭載している。そして、この各列の１２個のヘッド２４は、４組のヘッド群２６（ヘッド群２６Ａ、ヘッド群２６Ｒ、ヘッド群２６Ｇ及びヘッド群２６Ｂ）に分類されている。すなわち、この４組の各ヘッド群２６は、着色インク１６を分散又は溶解させるために使用する分散媒１７のみがヘッド２４に充填されているヘッド群２６Ａ（第１の吐出ヘッド）と、赤色の着色インク１６Ｒがヘッド２４に充填されているヘッド群２６Ｒ（第２の吐出ヘッド）と、緑色の着色インク１６Ｇがヘッド２４に充填されているヘッド群２６Ｇ（第２の吐出ヘッド）と、青色の着色インク１６Ｂがヘッド２４に充填されているヘッド群２６Ｂ（第２の吐出ヘッド）に分類されている。本実施の形態において、分散媒１７のみが充填されているヘッド群２６Ａは、上述したいずれかのヘッド群２６Ｒ、Ｇ及びＢが基板上の画素領域（所定の領域）に着色インク１６Ｒ、Ｇ及びＢを吐出する前に、全ての画素領域に対して分散媒１７を吐出する。
【００１９】
また、上述したように、各ヘッド群２６は３個のヘッド２４を備えている。この３個のヘッド２４はヘッド２４の長手方向に位置をずらして配置されている。なお、この各ヘッド群２６を構成する３個のヘッド２４を、Ｙ軸方向の上面から順番にヘッド２４ａ、ヘッド２４ｂ及びヘッド２４ｃと呼ぶ。ヘッド群２６Ａのヘッド２４ａと、ヘッド群２６Ｒのヘッド２４ａと、ヘッド群２６Ｇのヘッド２４ａと、ヘッド群２６Ｂのヘッド２４ａはＸ座標上の同じ位置に配置されている。同様にして、各ヘッド群２６のヘッド２４ｂ及びヘッド２４ｃについてもＸ座標上の同じ位置に配置されている。
【００２０】
このような構成によれば、ヘッド群２６Ａから分散媒１７が吐出された直後の画素領域に対して、各ヘッド群２６から着色インク１６Ｒ、Ｇ及びＢを吐出することができる。その結果、先に画素領域に吐出された分散媒が揮発する前に各着色インク１６Ｒ、Ｇ及びＢを吐出することができる。
【００２１】
また、このような構成によれば、まず、最初に基板上に吐出される分散媒１６は、着色インク１６を含有していないので、着色インク１６を含有している分散媒１７と比較して粘度が低い。そのため、最初に基板上に吐出される分散媒１７は、基板上の画素領域の全体に濡れ広がる。その直後に、既に分散媒１７が全体に濡れ広がっている画素領域に対して、着色インク１６Ｒ、Ｇ及びＢのいずれかのインクを吐出することになる。従って、上記着色インク１６についても、画素領域の全体に濡れ広がる。その結果、基板上の画素領域の端部の濡れ広がり不足によるムラの発生を防止することができ、均一な膜を形成することが可能となる。
【００２２】
ここで、ヘッド群２６Ａに充填される分散媒１７としては、ブチルカルビトールアセテート（ＢＣＴＡＣ）等を使用することが好ましい。さらに、上記した分散媒１７以外の高沸点溶媒の例としては、例えば、式 R1-O(CH2CH2O)2-R2（但し、R1及びR2は相互に独立に炭素数４〜１０のアルキル基を示す。）で表されるジエチレングリコールジアルキルエーテル系溶媒；式 R3-O(CH2CH2O)3-R4（但し、R3及びR4は相互に独立に炭素数１〜１０のアルキル基を示す。）で表されるトリエチレングリコールジアルキルエーテル系溶媒；式 R5-O(CH2CH2O)i -R6 （但し、R5及びR6は相互に独立に炭素数１〜１０のアルキル基を示し、ｉは４〜３０の整数である。）で表されるポリエチレングリコールジアルキルエーテル系溶媒；式 R7-OCH(CH3)CH2O-R8 （但し、R7及びR8は相互に独立に炭素数４〜１０のアルキル基を示す。）で表されるプロピレングリコールジアルキルエーテル系溶媒；グリセリントリアセテート、マレイン酸ジ−ｎ−ブチル、フマル酸ジ−ｎ−ブチル、安息香酸ｎ−ブチル、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジ−ｎ−プロピル、フタル酸ジ−ｉ−プロピル、フタル酸ジ−ｎ−ブチル、サリチル酸ｉ−アミル等のエステル系溶媒等を挙げることができる。なお、着色インク１６の有機溶剤は、１気圧における沸点が２５０℃以上の溶媒（以下、高沸点溶媒という）からなる。
【００２３】
また、本発明においては、沸点が２５０℃未満の有機溶剤（以下、低沸点溶媒という）を高沸点溶媒と併用することもできる。低沸点溶媒としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のエチレングリコールモノアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールモノメチルエーテル等のジエチレングリコールモノアルキルエーテル類；ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル等の他のエーテル類；１−オクタノール等のアルコール類；メチルエチルケトン等のケトン類；カプロン酸等のカルボン酸類；２−ヒドロキシプロピオン酸メチルの乳酸アルキルエステル類；２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル等の他のエステル類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類等を挙げることができる。低沸点溶媒の使用割合は、高沸点溶媒と低沸点溶媒との合計に対して、通常、２０重量％以下、好ましくは５重量％以下である。
【００２４】
また、ヘッド２４に充填される着色インク１６Ｒ、着色インク１６Ｇ及び着色インク１６Ｂには、所定量の分散媒１７が配合され、この配合された分散媒１７に上記インクが分散又は溶解されている。インクジェットノズルからノズルを閉塞することなくインクの液滴を吐出することを可能とするためには、上記吐出されるインクの粘度を低く設定する必要があるからである。着色インク１６としては、顔料、バインダー樹脂及び高沸点溶媒（有機溶剤）を必須成分とし、場合により多官能性単量体、光重合開始剤あるいは他の添加剤をさらに含有するものが好ましい。  
【００２５】
顔料としては、色調が特に限定されるものではなく、得られるカラーフィルタの用途に応じて適宜選定され、顔料、染料あるいは天然色素のいずれでもよいが、特に有機顔料又は無機顔料が用いられる。
【００２６】
有機顔料としては、例えば、カラーインデックス（C.I.；The Society ofDyers and Colourists 社発行） においてピグメント（Pigment）に分類されている化合物、具体的には、C.I.ピグメントイエロー１、３、１２等、C.I.ピグメントオレンジ１、５、１３等、C.I.ピグメントレッド１、２、３等、C.I.ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４等がよい。これらの有機顔料は、単独で又は２種以上を混合して使用することができる。
【００２７】
また、無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄(III)）、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。
【００２８】
またバインダー樹脂としては、カルボキシル基を含有するポリマーであって、特に、１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体（以下、単に「カルボキシル基含有不飽和単量体」という。）と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体（以下、「他の不飽和単量体（ｂ１）」という。）との共重合体（以下、「カルボキシル基含有共重合体（Ｂ１）」という。）が好ましい。前記カルボキシル基含有不飽和単量体としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等を挙げることができる。
さらに、他の不飽和単量体（ｂ１）としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、メトキシスチレン、ビニルベンジルメチルエーテル等の芳香族ビニル化合物；メチルアクリレート、メチルメタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類等を挙げることができる。
またカルボキシル基含有共重合体（Ｂ１）としては、アクリル酸及び／又はメタクリル酸とスチレン、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー及びポリメチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる少なくとも１種との共重合体が好ましい。
【００２９】
また、分散液１７の表面張力としては、０．０２Ｎ／ｍ以上０．０７Ｎ／ｍ以下の範囲とするのが好ましい。インクジェット方式にて液状体を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ／ｍ未満であると、インク組成物のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じ易くなり、０．０７Ｎ／ｍを超えると、ノズル先端でのメニスカスの形状が安定しないため、吐出量、吐出タイミングの制御が困難になるからである。
【００３０】
表面張力を調整するため、上記分散液１７には、基板１１との接触角を不当に低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加することができる。ノニオン系表面張力調節剤は、液体の基板への濡れ性を良好化し、膜のレベリング性を改良し、塗膜のぶつぶつの発生、ゆず肌の発生などの防止に役立つものである。
前記分散液１７は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトン等の有機化合物を含んでいても差し支えない。
【００３１】
上記分散液１７の粘度は１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であるのが好ましい。インクジェット方式にて吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合にはノズル周辺部がインクの流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓより大きい場合は、ノズル孔での目詰まり頻度が高くなり円滑な液滴の吐出が困難となるからである。
【００３２】
なお、ヘッド群２６Ａに充填させる分散媒１７とヘッド群２６Ｒ、Ｇ及びＢのそれぞれに充填させる分散媒１７は、同種の分散媒を使用しても良いし、異種の分散媒を使用しても良い。
【００３３】
図３はヘッド２４の底面を示したものである。それぞれのヘッド２４の底面の形状は、２つの長辺と２つの短辺とを有する多角形から構成されている。なお、ヘッド２４の底面の長手方向がＸ軸方向に対応し、短手方向がＹ軸方向に対応している。また、ヘッド２４の底面は載置台４側を向いている。
【００３４】
ヘッド２４の底面には、インクの吐出口として複数のノズル２８が形成されている。なお、本実施の形態では、１８０個のノズル２８が一定間隔ＨＸＰで配置されている。各ノズル２８はＸ軸方向に沿って千鳥状に配列され、ノズル列１Ａ及びノズル列１Ｂが構成されている。そして、各ノズル列１Ａ、１Ｂには、９０個のノズル２８が一定間隔ＬＰＮで配列されている。但し、各ノズル列１Ａ、１Ｂの両端における数個のノズル２８はインクが吐出されない「休止ノズル」に設定され、他のノズルはインクが吐出される「吐出ノズル」に設定されている。これらの各ノズル２８には、後述するようにそれぞれに独立して圧電素子３８が設けられている。この結果、各ノズル２８は、独立して吐出動作を行うことができる。すなわち、圧電素子３８に供給される電気信号の種類に応じて、各ノズル２８について液滴の吐出量、吐出時間等を制御することができる。
【００３５】
図４（ａ）はヘッド２４の吐出部の構成を示す斜視図である。ヘッド２４の吐出部はノズルプレート４２と振動板４０とを備え、これらは複数の隔壁３６を介して接合されている。そして、この複数の隔壁３６により複数のキャビティ３４と液溜まり４４が形成される。この複数のキャビティ３４と液溜まり４４のそれぞれは供給口３３を介して連通されている。さらに液溜まり４４は孔４６に連通されており、この孔４６から着色インク１６が供給されることにより、液溜まり４４及びキャビティ３４に着色インク１６が充填される。また、ノズルプレート４２には、キャビティ３４から上記着色インク１６を吐出させるためのノズル２８が形成されている。
【００３６】
図４（ｂ）は、図４（ａ）に示すヘッド２４のＢ−Ｂにおける断面図である。圧電素子３８は、ピエゾ素子３８Ｃを一対の電極３８Ａと電極３８Ｂとで狭持して構成されている。制御装置８は、この一対の電極３８Ａと電極３８に対して所定の電圧を印加する。電圧を印加された圧電素子３８は、圧電効果により圧電素子３８と振動板４０とが一体となり機械振動する。これにより、キャビティ３４内の内圧が変化し、供給口３３から液状の材料３０が液溜まり４４、キャビティ３４へと供給される。このような状態から圧電素子３８に印加されている電圧を解除すると、圧電素子３８と振動板４０とは元の状態に戻るため、キャビティ３４内の内圧はさらに変化し、キャビティ３４内に充填されたインクがノズル２８から基板に対して吐出される。なお、ピエゾ素子の代わりに、電気熱変換素子を採用することも可能である。
【００３７】
（制御部）
図５は、制御装置の構成を示すブロック図である。制御装置８は、入力バッファメモリ２００を備えている。入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置からインクの吐出データを受け取る。この吐出データは、基板上の全ての被吐出領域の相対位置を表すデータと、全ての被吐出領域にインクを所定の厚さにまで塗布するのに必要となる相対走査の回数を示すデータと、オンノズルとして機能するノズルを指定するデータと、オフノズルとして機能するノズルを指定するデータとを含んで構成されている。そして、入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶手段２０２に格納する。なお図５では、記憶手段２０２はＲＡＭである。
【００３８】
処理部２０４は、記憶手段２０２内の吐出データに基づいて、被吐出領域に対するノズルの相対位置を示すデータを走査駆動部２０６に与える。走査駆動部２０６は、このデータと、図６に示す吐出周期ＥＰとに応じた駆動信号を、図５に示すＸ軸方向駆動モータ３及びＹ方向駆動モータ６に与える。この結果、被吐出領域に対してヘッド２４が相対走査する。一方、処理部２０４は、記憶手段２０２に記憶された吐出データと、吐出周期ＥＰとに基づいて、吐出タイミングごとのノズルのオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８に与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、インクの吐出に必要な吐出信号ＥＳをヘッド２４に与える。この結果、ヘッド２４における対応するノズルからインクが液滴として吐出される。
【００３９】
図６（ａ）はヘッド駆動部の構成を示すブロック図であり、図６（ｂ）はヘッド駆動部における各種信号のタイミングチャートである。図６（ａ）に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有する。各アナログスイッチＡＳは、ヘッドにおける各圧電素子３８に対応して設けられている。また駆動信号生成部２０３は、駆動信号ＤＳを生成して、各アナログスイッチＡＳに供給するようになっている。図６（ｂ）に示すように、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｗを含む。この吐出波形Ｗは、ノズルから１つの液滴を吐出するために、圧電素子３８における一対の電極間に印加すべき駆動電圧波形に対応する。
【００４０】
なお、ヘッドから吐出される液滴の体積は、吐出波形Ｗによって制御される。そこで、所定体積の液滴を吐出しうる吐出波形Ｗのデータを駆動信号生成部に入力し、駆動信号生成部がそのデータから駆動信号ＤＳを生成するようになっている。しかしながら、必要な液滴の体積を駆動信号生成部に入力し、駆動信号生成部がそのデータから吐出波形Ｗを求めて、駆動信号ＤＳを自動生成するようにしてもよい。この場合、駆動信号生成部には、あらかじめ液滴の体積と吐出波形Ｗとの相関テーブルを入力しておく。このような構成によれば、駆動信号生成部に入力するデータ量を低減することができる。
【００４１】
一方、図６（ａ）に示す各アナログスイッチＡＳには、各ノズルのオン・オフを制御する複数の選択信号ＳＣ（ＳＣ１、ＳＣ２…）が供給される。図６（ｂ）に示すように、各選択信号ＳＣは、吐出周期ＥＰごとにハイレベル及びローレベルのどちらかの状態を取り得る。そして、図６（ａ）に示す各アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、圧電素子３８における一方の電極に対し、吐出信号ＥＳ（ＥＳ１、ＥＳ２…）を供給する。図６（ｂ）に示すように、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを供給する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、吐出信号ＥＳとして基準電位Ｌを供給する。そして、図６（ａ）に示すように、圧電素子３８における他方の電極には基準電位Ｌが与えられているため、圧電素子３８における一方の電極に駆動信号ＤＳが与えられると、その圧電素子３８に対応するノズルからインクが吐出される。
【００４２】
[カラーフィルタの構造]
図７（ａ）は、カラーフィルタの構造を示す断面図である。カラーフィルタの基体５０Ａは、光透過性を有する支持基板５４と、複数の支持基板５４上に形成されたブラックマトリクス５６と、複数のブラックマトリクス５０上に形成されたバンク５８と、を備えている。画素領域は、上記ブラックマトリクス５０によって区画された領域に形成されている。このブラックマトリクス５０によって区画され形成された画素領域は、所定パターンの被吐出部１８Ｒ、被吐出部１８Ｇ及び被吐出部１８Ｂから構成されている。なお、被吐出部１８Ｒは、赤の波長域の光線のみを通過させるフィルタ層が形成される領域であり、被吐出部１８Ｇは、緑の波長域の光線のみを通過させるフィルタ層が形成される領域であり、被吐出部１８Ｂは、青の波長域の光線のみを通過させるフィルタ層が形成される領域である。
【００４３】
図７（ｂ）は、カラーフィルタの構造を示す平面図である。基体５０は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な仮想平面状上に位置している。また、画素領域は、長辺と短辺とで構成される多角形であり、画素領域の長手方向がＸ軸に対応し、短手方向がＹ軸に対応している。なお、Ｘ軸方向及びＹ軸方向は互いに直交する。支持基板５４上に形成された複数の被吐出部１８Ｒ、被吐出部１８Ｇ及び被吐出部１８Ｂは、マトリクス状に周期的に配列されている。具体的には、被吐出部１８Ｒ、被吐出部１８Ｇ及び被吐出部１８ＢがそれぞれＸ軸方向に沿って一列に配置され、さらに、Ｙ軸方向に一定間隔をおいてこの順番で周期的に配置されている。このときの被吐出部１８Ｒ同士の間隔はＹ軸方向に沿った一定の間隔ＬＲＹである。被吐出部１８Ｇ及び被吐出部１８Ｂについても同様にＹ軸方向に沿った一定の間隔ＬＲＹ、ＬＢＹをおいて配置されている。
【００４４】
[カラーフィルタの形成方法]
次に、本実施の形態のカラーフィルタ、ブラックマトリクス５０、及びバンク５８の形成方法の一例について説明する。
【００４５】
まず、支持基板５４上に黒色樹脂からなるブラックマトリクス５０を形成する。具体的には、支持基板５４の前面に、スピンコート法等により、カーボン粒子等を含有する黒色顔料、アクリル系等の樹脂のモノマー、重合開始材を主成分としたネガ型のレジストを塗布した後、レジストを仮焼成する。次に、ブラックマトリクス５０のパターンが形成されたフォトマスクを用いて所定の位置のレジストを露光する。露光されたレジストは、モノマーの重合反応が進行して、溶剤に不溶な樹脂となる。最後に、レジストの現像を行うことにより、露光されて不要となった部分のみが残存し、所定のパターンのブラックマトリクス５０を形成することができる。
【００４６】
また、クロム等の金属や金属化合物からなる所定のパターンのブラックマトリクス５０は、例えば、以下のようにして形成することができる。まず、支持基板５４の全面にクロム等の金属や金属化合物をスパッタリング法等により成膜した後、フォトリソグラフィ法により所定のパターンを形成することにより、所定のパターンのブラックマトリクス５０を形成することができる。
【００４７】
次に、上記方法によって形成されたブラックマトリクス５０上にバンク５８を形成する。バンク５８は、スピンコート法等により、支持基板５４の全面に感光性を有するバンク５８用のレジストを塗布し、黒色樹脂からなるブラックマトリクス５０を形成した場合と同様の方法により、露光、現像し、所定のパターンのバンク５８を形成する。
【００４８】
次に、カラーフィルタ製造装置２０を用いてカラーフィルタを形成する。なお、本実施の形態において、上記カラーフィルタ製造装置２０はインクジェット方式を採用している。
【００４９】
図８（ａ）は、基板上の被吐出部１８に分散媒１７を吐出している工程を示す図である。図に示すように、まず、制御装置８は、カラーフィルタ製造装置２０に搭載されているキャリッジ２２のヘッド２４底面を支持基板５４に対向させる。そして、キャリッジ２２を支持基板５４に対して相対移動させながら、ヘッド２４Ａのノズル２８から支持基板５４上の画素領域に対して分散媒１７を吐出させる。このときに、被吐出部１８のＸ軸方向とヘッド２４のノズル２８とを略並行になるように設定し、このノズル２８が目的の被吐出部１８の上方に到達したときに順次、ヘッド２４Ａのノズル２８から分散媒１７を吐出させる。
【００５０】
具体的には、キャリッジ２２は、画素領域の短辺方向、すなわち、Ｙ軸方向に向かって走査を開始する。この走査によって、ヘッド群２６Ａのノズル２８列１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂがこの順番で、分散媒１７を吐出する被吐出部１８Ｒに進入する。そして、ノズル２８列１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂが被吐出部１８Ｒの上方に到達したときに順次、分散媒１７を吐出する。続けて、ヘッド群２６は、分散媒１７を吐出した被吐出部１８ＲのＹ軸方向（主走査方向）に隣接する被吐出部１８Ｇに進入し、分散媒１７を吐出する。続いて被吐出部１８ＧのＹ軸方向に隣接する被吐出部１８Ｂ・・・と順次進入し、分散媒１７を吐出する。このようにヘッド群２６Ａは、他のヘッド群２６Ｒ、Ｇ及びＢのように特定の被吐出部１８に対してのみに分散媒１７を吐出するのではなく、全ての被吐出部１８に対して分散媒１７を吐出する。
【００５１】
このような動作をＹ軸の走査方向に配置されている全ての被吐出部１８Ｒ、Ｇ及びＢに対して行い、分散媒１７を吐出する。Ｙ軸方向の走査が終了すると、制御装置８は、ヘッド群２６ＡをＸ軸方向に相対移動させる。そして、ヘッド群２６ＡがＸ軸方向に隣接する被吐出部１８Ｒに移動すると、再び、Ｙ軸方向の走査を開始し、まだ分散媒１７が吐出されていない全ての被吐出部１８Ｒ、Ｇ及びＢに対して、上述したような方法を繰り返すことにより分散媒１７を吐出させる。
【００５２】
なお、被吐出部１８Ｒ、Ｇ及びＢを形成する画素領域の周囲に沿って、隔壁３６として機能するバンク５８が形成されているが、被吐出部１８Ｒ、Ｇ及びＢに吐出される着色インク１６Ｒ、Ｇ及びＢの中央部がバンク５８の最高部より高くなるように、かつ、隣接する画素領域には着色インク１６が漏出しないように、分散媒１７の吐出を行うことが好ましい。
【００５３】
図８（ｂ）は、分散媒の吐出工程後に、機能材料を吐出する工程を示す図である。図に示すように、次いで、ヘッド群２６Ａが被吐出部１８Ｒを通過した後に、続けてヘッド群２６Ｒが被吐出部１８Ｒに進入する。制御装置８は、被吐出部１８Ｒとヘッド群Ｒ２６が対応するので、かかる被吐出部１８Ｒに対して着色インク１６Ｒを吐出させるように駆動信号ＤＳを各圧電素子３８に供給する。
ヘッド群２６Ｒは、上述したように、ヘッド群２６Ｒのノズル２８列１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂがこの順番で、分散媒１７を吐出する被吐出部１８Ｒに進入する。そして、ノズル２８列１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂが被吐出部１８Ｒの上方に到達したときに順次、着色インク１６Ｒを吐出する。続けて、ヘッド群２６Ｒは、着色インク１６Ｒを吐出した被吐出部１８ＲのＹ軸方向に隣接する被吐出部１８Ｇに進入する。この場合には、ヘッド群２６Ｒと被吐出部１８Ｇとは対応しないため、吐出動作を行わず、被吐出部１８ＧのＹ軸方向に隣接する被吐出部１８Ｂ・・・と順次進入し、対応する被吐出部１８Ｒに着色インク１６Ｒを吐出する。
【００５４】
このような動作をＹ軸の走査方向に配置されている全ての被吐出部１８Ｒに対して行い、着色インク１６Ｒを吐出する。Ｙ軸方向の走査が終了すると、制御装置８は、ヘッド群２６ＲをＸ軸方向に相対移動させる。そして、ヘッド群２６ＲがＸ軸方向に隣接する被吐出部１８Ｒに移動すると、再び、Ｙ軸方向の走査を開始し、まだ着色インク１６が吐出されていない全ての被吐出部１８Ｒに対して、上述したような方法を繰り返すことにより分散媒１７を吐出させる。
同様にして、ヘッド群２６Ｇ及びヘッド群２６Ｂについても、対応する被吐出部１８に対して着色インク１６を吐出する。
【００５５】
次いで、乾燥工程として、支持基板５４を１００℃の乾燥炉に１０分間送入して分散媒１７を揮発させる。乾燥温度は３０℃〜２００℃の範囲であれば良く、乾燥時間は２分程度、あるいはそれ以上行えば良い。
【００５６】
図８（ｃ）は、着色インクを吐出した後の乾燥工程を示す図である。この図に示すように、被吐出部１８Ｒ、Ｇ及びＢに形成した着色部を１５０℃〜２７０℃程度に加熱するなどして、着色部Ｒ、Ｇ、Ｂを本焼成（本硬化）することにより、所定のパターンの着色部Ｒ、Ｇ、Ｂからカラーフィルタを形成する。
【００５７】
本実施の形態によれば、まず、分散媒１７が基板上の画素領域に吐出される。この分散媒１７は、分散媒１７に分散又は溶解させた着色インク１６と比較して粘度が低い。そのため、この分散媒１７は基板との接触角も低く、基板上の画素領域の全体に濡れ広がる。そして、この分散媒１７が吐出された直後の基板上の画素領域に、分散媒１７に分散又は溶解させた着色インク１６が吐出される。その結果、基板上の画素領域の全体には既に分散媒１７が濡れ広がっているため、分散媒１７に分散又は溶解させた着色インク１６についても画素領域の全体に濡れ広がることになり、均一な膜を形成することが可能となる。
【００５８】
上述の説明においては、ヘッド群２６Ａに充填された分散媒１７を画素領域の全体に吐出する場合について説明したが、以下においては、上記分散媒１７を画素領域の端部に吐出する場合について説明する。なお、分散媒１７を画素領域の端部に吐出する工程以外は、上述したカラーフィルタの製造方法と同様なので、かかる工程については省略する。
【００５９】
図９は、画素領域の端部に液体を吐出した場合の説明図である。ヘッド群２６Ａは、分散媒１７を吐出する被吐出部１８Ｒ上をＹ軸方向に沿って走査する。そして、ヘッド群２６Ａのノズル２８列１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂがこの順番で、被吐出部１８Ｒに進入する。このときに、制御装置８は、この被吐出部１８Ｒの端部の位置と重なるヘッド群２６Ａのノズル２８列を選択し、被吐出部１８Ｒの端部に分散媒１７を吐出させる。
【００６０】
例えば、まず、ヘッド群２６Ａのヘッド２４ａのノズル２８列１Ａが被吐出部１８Ｒに進入した場合、制御装置８は、このノズル２８列１Ａに配置されているノズル２８のうち、被吐出部１８Ｒの端部の位置と重なるノズル２８を選択する。本実施の形態においては、ノズル２８列１Ａのノズル２８１及びノズル２８２が、丁度被吐出部１８Ｒの端部の位置と重なる。従って、制御装置８は、ノズル２８１から分散媒１７Ｌ１及びノズル２８２から分散媒１７Ｌ２を吐出させるための駆動信号ＤＳを、ノズル２８１及びノズル２８２に対応する圧電素子３８に対して供給する。その結果、ノズル２８列１Ａのノズル２８１から被吐出部１８Ｒの端部に分散媒１７Ｌ１が、ノズル２８２から分散媒１７Ｌ２が吐出される。
【００６１】
続いて、ヘッド２４ａのノズル２８列１Ｂが被吐出部１８Ｒに進入する。この場合、制御装置８は、ノズル２８列１Ｂのノズル２８２が被吐出部１８Ｒの端部の位置と重なるため、このノズル２８列１Ｂのノズル２８２を選択する。そして、制御装置８は、ノズル２８列１Ｂのノズル２８２から分散媒１７Ｌ３を吐出させるための駆動信号ＤＳをノズル２８２に対応する圧電素子３８に対して供給する。その結果、ノズル２８列１Ｂのノズル２８２から被吐出部１８Ｒの端部に分散媒１７Ｌ３が吐出される。
同様にして、その他のヘッド２４のノズル２８に対しても上述したような方法により、被吐出部１８の端部の位置に対応するノズル２８を選択し、分散媒１７を被吐出部１８の端部に吐出する。
【００６２】
一方、制御装置８は、被吐出部１８Ｒの端部の領域に属さない位置に対応するノズル２８に対して、分散媒１７を吐出させないための駆動信号ＤＳを供給する。例えば、ノズル２８列１Ａが被吐出部１８Ｒに進入した場合、このノズル２８列１Ａのノズル２８２は、被吐出部１８Ｒの端部の領域には属さないため、分散媒１７を吐出させない駆動信号ＤＳをノズル２８１に対応する圧電素子３８に対して供給する。その結果、この圧電素子３８に対応するノズル２８１からは分散媒１７が吐出されない。続いて、このノズル２８列１Ａは走査方向の被吐出部１８Ｒに隣接する被吐出部１８Ｇに進入し、上述した吐出動作を繰り返す。
同様にして、その他のヘッド２４のノズル２８に対しても上述したような方法により、ノズル２８が被吐出部１８の端部の領域に属さない場合には、分散媒１７を吐出せずに、隣接する被吐出部１８に進入する。
【００６３】
このような構成によれば、一般的に、液状の材料が濡れ広がりにくいとされている画素領域の端部にのみ分散媒１７を吐出することができる。そのため、分散媒１７が既に吐出された画素上に吐出される着色インク１６は、画素領域の端部の濡れ広がり不足を生じさせることなく、画素領域の全体に濡れ広がることになる。その結果、均一な膜を形成することが可能となる。また、分散媒１７は、画素領域の端部にのみ吐出すれば良いので、画素領域の全体に吐出する場合と比較して、消費量を抑えることができ経済的に効率が良い。
【００６４】
［電気光学装置］
上記のように形成したカラーフィルタにより、電気光学装置が構成される。そこで、電気光学装置の一例である液晶表示装置の概略構成につき、図１０及び図１１を用いて説明する。なお本明細書では、液晶表示装置の各構成部材における液晶層側を内側と呼ぶことにする。
【００６５】
図１０は液晶表示装置の分解斜視図であり、図１１は図１０のＡ−Ａ線における側面断面図である。図１０に示すように、液晶表示装置１は、第１の基板７０及び第２の上基板８０により液晶層２を挟持して構成されている。この液晶層２にはネマチック液晶等が採用され、液晶表示装置１の動作モードとしてツイステッドネマチック（ＴＮ）モードが採用されている。なお上記以外の液晶材料を採用することも可能であり、また上記以外の動作モードを採用することも可能である。なお以下には、スイッチング素子としてＴＦＤ素子を用いたアクティブマトリクス型の液晶表示装置を例にして説明するが、これ以外のアクティブマトリクス型の液晶表示装置やパッシブマトリクス型の液晶表示装置に本発明を適用することも可能である。
【００６６】
図１０に示すように、液晶表示装置１では、ガラス等の透明材料からなる第１の基板７０及び第２の基板８０が対向配置されている。
第２の基板８０の内側には、複数のデータ線８１が形成されている。そのデータ線８１の側方には、ＩＴＯ等の透明導電性材料からなる複数の画素電極８２が、マトリクス状に配置されている。なお、各画素電極８２の形成領域により画素領域が構成されている。この画素電極８２は、ＴＦＤ素子８３を介して各データ線８１に接続されている。このＴＦＤ素子８３は、基板表面に形成されたＴａを主成分とする第１導電膜と、その第１導電膜の表面に形成されたＴａ２Ｏ３を主成分とする絶縁膜と、その絶縁膜の表面に形成されたＣｒを主成分とする第２導電膜とによって構成されている（いわゆるＭＩＭ構造）。そして、第１導電膜がデータ線８１に接続され、第２導電膜が画素電極８２に接続されている。これによりＴＦＤ素子８３は、画素電極８２への通電を制御するスイッチング素子として機能する。
【００６７】
一方、第１の基板７０の内側には、上記のようにカラーフィルタ膜７２が形成されている。カラーフィルタ膜７２は、平面視略矩形状のカラーフィルタ７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂによって構成されている。各カラーフィルタ７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂは、それぞれ異なる色光のみを透過する顔料等によって構成され、各画素領域に対応してマトリクス状に配置されている。また、隣接する画素領域からの光洩れを防止するため、各カラーフィルタの周縁部には遮光膜７７が形成されている。この遮光膜７７は、光吸収性を有する黒色の金属クロム等により、額縁状に形成されている。さらに、カラーフィルタ膜２２及び遮光膜７７を覆うように、透明な絶縁膜７９が形成されている。
【００６８】
その絶縁膜７９の内側には、複数の走査線が形成されている。この走査線は、ＩＴＯ等の透明導電材料によって略帯状に形成され、第２の基板８０のデータ線８１と交差する方向に延在している。そして走査線は、その延在方向に配列された前記カラーフィルタ７２Ｒ、７２Ｇ、７２Ｂを覆うように形成され、対向電極として機能するようになっている。そして、走査線に走査信号が供給され、データ線８１にデータ信号が供給されると、対向する画素電極８２及び対向電極８６により、液晶層に電界が印加されるようになっている。
【００６９】
また、図１１に示すように、画素電極８２及び対向電極８６を覆うように、配向膜７４、８４が形成されている。この配向膜７４、８４は、電界無印加時における液晶分子の配向状態を制御するものであり、ポリイミド等の有機高分子材料によって構成され、その表面にラビング処理が施されている。これにより電界無印加時には、配向膜７４、８４の表面付近における液晶分子が、その長軸方向をラビング処理方向に一致させて、配向膜７４，８４と略平行に配向されるようになっている。なお、配向膜７４の表面付近における液晶分子の配向方向と、配向膜８４の表面付近における液晶分子の配向方向とが、所定角度だけずれるように、各配向膜７４、８４に対してラビング処理が施されている。これにより、液晶層２を構成する液晶分子は、液晶層２の厚さ方向に沿ってらせん状に積層されるようになっている。
【００７０】
また、両基板７０，８０は、熱硬化型や紫外線硬化型などの接着剤からなるシール材３によって周縁部が接合されている。そして、両基板７０、８０とシール材３とによって囲まれた空間に、液晶層２が封止されている。なお、液晶層２の厚さ（セルギャップ）は、両基板の間に配置されたスペーサ粒子５によって規制されている。
一方、第１の基板７０及び第２の基板８０の外側には、偏光板（不図示）が配置されている。各偏光板は、相互の偏光軸（透過軸）が所定角度だけずれた状態で配置されている。また入射側偏光板の外側には、バックライト（不図示）が配置されている。
【００７１】
そして、バックライトから照射された光は、入射側偏光板の偏光軸に沿った直線偏光に変換されて、第１の基板７０から液晶層２に入射する。この直線偏光は、電界無印加状態の液晶層２を透過する過程で、液晶分子のねじれ方向に沿って所定角度だけ旋回し、出射側偏光板を透過する。これにより、電界無印加時には白表示が行われる（ノーマリーホワイトモード）。一方、液晶層２に電界を印加すると、電界方向に沿って配向膜７４，８４と垂直に液晶分子が再配向する。この場合、液晶層２に入射した直線偏光は旋回しないので、出射側偏光板を透過しない。これにより、電界無印加時には黒表示が行われる。なお、印加する電界の強さによって階調表示を行うことも可能である。
液晶表示装置１は、以上のように構成されている。
【００７２】
［電子機器］
図１２は、本発明に係る電子機器の一例を示す斜視図である。この図に示す携帯電話１３００は、上述した電気光学装置を小サイズの表示部１３０１として備え、複数の操作ボタン１３０２、受話口１３０３、及び送話口１３０４を備えて構成されている。
上述した電気光学装置は、上記携帯電話に限らず、電子ブック、パーソナルコンピュータ、ディジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型あるいはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等々の画像表示手段として好適に用いることができ、いずれの場合にも表示品質に優れた電子機器を提供することができる。
【００７３】
なお、本発明の技術範囲は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、各実施形態で挙げた具体的な材料や構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。例えば、上述した実施の形態では、被吐出領域の長辺方向とノズル列とが略平行になるようにヘッドを配置し、被吐出領域の短辺方向に沿ってヘッドを移動させることにより、被吐出領域に液滴を吐出する方法について説明した。これに対して、長方形状の被吐出領域の短辺方向とノズル列とが略平行になるようにヘッドを配置し、被吐出領域の長辺方向に沿ってヘッドを移動させることにより、被吐出領域に液滴を吐出する方法を使用して、本発明の膜形成方法を実施することも可能である。また、上述した実施の形態では、機能材料を吐出する前に、基板上の所定の領域に機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を吐出する方法について説明した。これに対して、機能材料を吐出した後に、基板上の所定の領域に機能材料より表面張力又は粘度が小さい液体を吐出して、本発明のカラーフィルタの製造方法を実施することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】図１は、膜製造装置の全体構成の説明図である。
【図２】図２は、キャリッジを載置台側から観察した底面図である。
【図３】図３は、ヘッドの底面構成図である。
【図４】図４（ａ）は、ヘッドの吐出部の構成を示す斜視図である。図４（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線における側面断面図である。
【図５】図５は、制御部の構成を示すブロック図である。
【図６】図６（ａ）は、ヘッド駆動部の構成を示すブロック図である。図６（ｂ）は、ヘッド駆動部における各種信号のタイミングチャートである。
【図７】図７（ａ）は、カラーフィルタの断面図である。図７（ｂ）は、カラーフィルタの平面図である。
【図８】図８は、カラーフィルタの形成工程を示す図である。
【図９】図９は、画素領域の端部に液体を吐出した場合の説明図である。
【図１０】図１０は、液晶表示の分解斜視図である。
【図１１】図１１は、液晶表示装置の側面断面図である
【図１２】図１２は、電子機器の一例を示す電話の斜視図である。
【符号の説明】
【００７５】
２…Ｘ軸方向ガイド軸、  ３…Ｘ軸方向駆動モータ、  ４…載置台、  ５…Ｙ軸方向ガイド軸、  ６…Ｙ方向駆動モータ、  ７…基台、  ８…制御装置、  １１…基板、  １４…クリーニング機構部、  １５…ヒータ、  １６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂ…着色インク、  １７…分散媒、  １８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ…被吐出部、  ２０…カラーフィルタ製造装置、  ２２…キャリッジ、  ２４ａ、２４ｂ、２４ｃ…ヘッド、  ２６Ａ、１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂ…ヘッド群、  ２８…ノズル、  ３０…液状の材料、  ３３…供給口、  ３４…キャビティ、  ３６…隔壁、  ３８…圧電素子、  ４０…振動板、  ４２…ノズルプレート、  ４４…液溜まり、  ４６…孔、  ５０…ブラックマトリクス、  ５４…支持基板、  ５８…バンク、  ７０…基板、  ７２…カラーフィルタ膜、  ７４、８４…配向膜、  ７７…遮光膜、  ７９…絶縁膜、  ８０…第２の上基板、８１…データ線、  ８２…画素電極、  ８３…ＴＦＤ素子、  ８６…対向電極、  １３００…携帯電話、  １３０１…表示部、  １３０２…操作ボタン、  １３０３…受話口、  １３０４…送話口
【図１】
2005227684.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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