(57)【要約】    【課題】  ＬＳＩ検査仕様書作成、異機種間のテストプログラム仕様の確認、テスト時間を最短にするプログラミング記述の検討を正確かつ迅速に行うことを目的とする。    【解決手段】  テストプログラムから抽出したスペックファイル１から、検査仕様書１３に記述する各テスト項目１１毎のスペックファイル情報を抽出することにより、テストプログラムの検査仕様書１３を自動的で正確かつ迅速に作成することができる。また、異なるプログラミング言語で記述され、同一のＬＳＩを検査する複数のテストプログラムそれぞれのスペックファイルを比較することにより、各テストプログラム間に差異があるかどうかを正確かつ迅速に確認することができる。さらに、テストプログラムの各テスト項目毎のスペックファイル情報を抽出して、ＬＳＩ検査装置のスペック変更量が最小となるテスト順番を検討することにより、テスト時間を最短にするプログラミング記述の検討を正確かつ迅速に行うことができる。【選択図】    図１
2005189130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＳＩ検査装置を制御するために使用するテストプログラムから検査仕様書を自動的に作成する検査仕様書自動作成プログラムであって、
前記検査仕様書に記述する必要のある項目と前記検査仕様書のフォーマット情報を有するデータベースを備え、
前記テストプログラムからＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報ファイルを抽出するステップと、
前記データベースを用いて抽出した前記ハードウェア設定情報ファイルから、該当する検査項目を実施するために必要のあるハードウェア設定項目と一致する前記ハードウェア設定情報のみを取捨選択するステップと、
前記検査仕様書のフォーマット情報に沿って前記検査仕様書に記述する必要のある項目毎のハードウェア設定情報を記述して検査仕様書を作成するステップと
を有することを特徴とする検査仕様書自動作成プログラム。
【請求項２】
前記検査仕様書に記述する必要のある項目を読み出す場合に、ＬＳＩ検査装置の機種を認識してそれに対応する項目を読み出すことを特徴とする請求項１記載の検査仕様書自動作成プログラム。
【請求項３】
前記テストプログラムが手動で作成または修正されたものであることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の検査仕様書自動作成プログラム。
【請求項４】
異なるプログラミング言語で記述され、同一のＬＳＩを検査する複数のテストプログラムの機能が一致することを検証するテストプログラム検証プログラムであって、
前記各テストプログラムからそれぞれのハードウェア設定情報ファイルを抽出するステップと、
前記データベースを用いて抽出した前記ハードウェア設定情報ファイルから、比較対照となる検査項目を実施するために必要のあるハードウェア設定項目と一致する前記ハードウェア設定情報のみを取捨選択するステップと、
取捨選択した前記ハードウェア設定情報を比較して一致、不一致を検証するステップと、
一致した場合は一致することを出力し、一致しなかった場合は不一致箇所をファイル出力するステップと
を有することを特徴とするテストプログラム検証プログラム。
【請求項５】
ＬＳＩ検査装置を制御するために使用するテストプログラムのハードウェア設定情報ファイルを抽出するステップと、
前記データベースを用いて抽出した前記ハードウェア設定情報ファイルから、各検査項目を実施するために必要のあるハードウェア設定項目と一致する前記ハードウェア設定情報のみを取捨選択するステップと、
前記各検査項目の順番の全組み合わせを検出するステップと、
各順番の組み合わせ毎に検査項目間の前記ハードウェア設定情報の差分を算出するステップと、
各順番の組み合わせ毎に前記ハードウェア設定情報の差分の合計を算出するステップと、
前記ハードウェア設定情報の差分の合計が最小となる順番の組み合わせを出力するステップと
を有し、前記ＬＳＩ検査装置のハードウェア設定変更量が最小となることにより検査時間が最短と成るテスト項目の順番を検討することを特徴とするテスト順番最適化プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩを検査するテストプログラムとその検査仕様書の作成ならびに検証、および最適化に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体は、近年、高集積化、システムＬＳＩ化が進み、その検査には膨大な検査項目と複雑な検査手法が必要となっており、テストプログラム開発自動化の取り組みが行われている。この時、テストプログラム開発が完全に自動化されている場合は、テストプログラム生成時にＬＳＩ検査仕様書も合わせて生成されることが多くなっている。しかしながら、現実にはロジック、メモリ、アナログ、高速Ｉ／Ｆなど全回路のテストプログラムを完全に自動では開発できず、多くの場合、生成したテストプログラムに対して手修正や、最初から人手で作成する必要があった。このため、膨大かつ複雑なテスト項目についてテストプログラムを熟読して各検査項目のＬＳＩ検査装置への設定情報を漏れ・ミスなく読み取り、ＬＳＩ検査仕様書に漏れ、ミスなく正確に反映させることが困難となってきている。
【０００３】
また、生産能力を上げるために、同一ＬＳＩを検査するテストプログラムを、一方のＬＳＩ検査装置から、別のプログラミング言語を使用するＬＳＩ検査装置用のテストプログラムに変換した場合に、各ＬＳＩ検査装置のテストプログラムの検査仕様が同一であることを漏れなくチェックすることは極めて困難である。
【０００４】
また、テストプログラムを手動で開発または修正した場合に、テスト時間が最短になるプログラミング記述にするのは困難である。
そこで従来は、ＬＳＩ検査に用いるテストプログラムの検査条件を知る方法として、テストプログラムを実行するＬＳＩ検査装置のハードウェアに設定されている値から読み出す機能と、検査条件を抽出する対象ハードウェアを選択し、選択されたハードウェアの設定値のみ出力する機能を有する「半導体検査プログラムの検査条件抽出プログラム」を用いて、ＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報ファイル（以下、スペックファイルと称す）をファイル出力させることで、テストプログラム自体を目視で解読する場合よりもテストプログラムの検証精度向上とＬＳＩ検査仕様書の作成工数削減を実現していた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特願２００２−３４８２５４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
以上のように、従来の手法では、「半導体検査プログラムの検査条件抽出プログラム」を用いる事でテストプログラム検証精度向上とＬＳＩ検査仕様書の作成工数削減を実現していたが、最終的にはスペックファイルを用いて膨大な検査項目の検査条件を目視で行うため、漏れ、ミス、工数が発生しており、テストプログラムの検証精度やＬＳＩ検査仕様書の作成工数が依然として大きくなるという問題点があった。また、スペックファイルの情報を利用しても、テスターハードウェアの全ての情報が含まれているため、各テスト項目に必要なハードウェア設定項目について情報を取捨選択して、テスト時間が最短になるプログラミング記述を行うことは困難であるという問題点があった。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題点を解決するもので、ＬＳＩ検査仕様書作成、異機種間のテストプログラム仕様の確認、テスト時間を最短にするプログラミング記述の検討を正確かつ迅速に行うことができる検査仕様書自動作成プログラムならびにテストプログラム検証プログラムおよびテスト順番最適化プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この目的を達成するために、本発明の請求項１記載の検査仕様書自動作成プログラムは、ＬＳＩ検査装置を制御するために使用するテストプログラムから検査仕様書を自動的に作成する検査仕様書自動作成プログラムであって、前記検査仕様書に記述する必要のある項目と前記検査仕様書のフォーマット情報を有するデータベースを備え、前記テストプログラムからＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報ファイルを抽出して、前記データベースを用いて抽出した前記ハードウェア設定情報ファイルから、該当する検査項目を実施するために必要のあるハードウェア設定項目と一致する前記ハードウェア設定情報のみを取捨選択するステップと、前記検査仕様書のフォーマット情報に沿って前記検査仕様書に記述する必要のある項目毎のハードウェア設定情報を記述して検査仕様書を作成するステップとを有することを特徴とする。
【０００８】
請求項２記載の検査仕様書自動作成プログラムは、請求項１記載の検査仕様書自動作成プログラムにおいて、前記検査仕様書に記述する必要のある項目を読み出す場合に、ＬＳＩ検査装置の機種を認識してそれに対応する項目を読み出すことを特徴とする。
【０００９】
請求項３記載の検査仕様書自動作成プログラムは、請求項１または請求項２のいずれかに記載の検査仕様書自動作成プログラムにおいて、前記テストプログラムが手動で作成または修正されたものであることを特徴とする。
【００１０】
請求項４記載のテストプログラム検証プログラムは、異なるプログラミング言語で記述され、同一のＬＳＩを検査する複数のテストプログラムの機能が一致することを検証するテストプログラム検証プログラムであって、前記各テストプログラムからそれぞれのハードウェア設定情報ファイルを抽出するステップと、前記データベースを用いて抽出した前記ハードウェア設定情報ファイルから、比較対照となる検査項目を実施するために必要のあるハードウェア設定項目と一致する前記ハードウェア設定情報のみを取捨選択するステップと、前記各テストプログラム毎のハードウェア設定情報を比較して一致不一致を検証するステップと、一致した場合は一致することを出力し、一致しなかった場合は不一致箇所をファイル出力するステップとを有することを特徴とする。
【００１１】
請求項５記載のテスト順番最適化プログラムは、ＬＳＩ検査装置を制御するために使用するテストプログラムのハードウェア設定情報ファイルを抽出するステップと、前記ハードウェア設定情報ファイルから各テスト項目毎のハードウェア設定情報を読み出すステップと、前記データベースを用いて抽出した前記ハードウェア設定情報ファイルから、各検査項目を実施するために必要のあるハードウェア設定項目と一致する前記ハードウェア設定情報のみを取捨選択するステップと、前記各テスト項目の順番の全ての組み合わせを検出するステップと、各順番の組み合わせ毎に各テスト項目間のハードウェア設定情報の差分を算出するステップと、各順番の組み合わせ毎に前記ハードウェア設定情報の差分の合計を算出するステップと、前記ハードウェア設定情報の差分の合計が最小となる順番の組み合わせを出力するステップとを有し、前記ＬＳＩ検査装置のハードウェア設定変更量が最小となることにより検査時間が最短と成るテスト項目の順番を検討することを特徴とする。
【００１２】
以上により、ＬＳＩ検査仕様書作成、異機種間のテストプログラム仕様の確認、テスト時間を最短にするプログラミング記述の検討を正確かつ迅速に行うことができる検査仕様書自動作成プログラムならびにテストプログラム検証プログラムおよびテスト順番最適化プログラムを提供することができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、テストプログラムから抽出したスペックファイルから、検査仕様書に記述する各テスト項目のスペックファイル情報を抽出し、データベースを用いて抽出した情報を取捨選択することで、テストプログラムの検査仕様書を自動的で正確かつ迅速に作成することができる。また、異なるプログラミング言語で記述され、同一のＬＳＩを検査する複数のテストプログラムからそれぞれのスペックファイル情報を抽出し、データベースを用いて抽出した情報を取捨選択することで、各テスト項目を検査するために必要な情報のみを比較することができ、各テストプログラム間に差異があるかどうかを正確かつ迅速に確認することができる。さらに、テストプログラムの各テスト項目のスペックファイル情報を抽出し、データベースを用いて抽出した情報を取捨選択することで、各テスト項目を検査するために必要な情報のみを用いて、ＬＳＩ検査装置のスペック変更量が最小となるテスト順番と、ハードウェア設定情報を得ることができ、テスト時間を最短にするテストプログラミング記述の検討を正確かつ迅速に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１について、図１を参照しながら説明する。実施の形態１は、スペックファイルと本プログラムのデータベースを用いて、ＬＳＩ検査仕様書を自動生成する実施の形態である。
【００１５】
図１は本発明の実施の形態１におけるＬＳＩ検査仕様書を作成する概念図である。
図１において、１はスペックファイルであり、カテゴリ番号２、テスト番号３、Ｐ検、Ｆ検、Ｓ検の各検査工程におけるテスト対象ピン４、電圧／電流の印加ユニット５、電圧／電流の印加方法６、電圧／電流の印加ユニット５の印加レンジ７、Ｐ検、Ｆ検、Ｓ検の各検査工程におけるＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ判定値８、該当テスト項目実施時に不要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報９が記述されている。１０は本プログラムのデータベースであり、ＬＳＩ検査装置の機種毎のテスト番号またはカテゴリ番号１１、テスト項目名１２、該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定項目１３、出力フォーマット情報１４が記述されている。１５は該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報のみについて、ハードウェア設定情報を取捨選択したスペックファイルである。また、１６はＬＳＩ検査仕様書である。
【００１６】
以下、実施の形態１の動作仕様について説明する。
まず、本プログラムでスペックファイル１を抽出して、カテゴリ番号２、テスト番号３、Ｐ検、Ｆ検、Ｓ検の各検査工程におけるテスト対象ピン４、電圧／電流の印加ユニット５、電圧／電流の印加方法６、電圧／電流の印加ユニットの印加レンジ７、Ｐ検、Ｆ検、Ｓ検の各検査工程におけるＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ判定値８、該当テスト項目実施時に不要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報９などの情報を得る。このスペックファイル１には、該当テスト項目実施時に不要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報９も含まれている。次に、スペックファイル１のカテゴリ番号２、テスト番号３を検索キーワードとして、データベース１０内のテスト番号またはカテゴリ番号１１と一致する部分を検索し、該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定項目１３を用いて、スペックファイル１から該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定項目のみ取捨選択し、取捨選択後のスペックファイル１５を作成する。そして取捨選択後のスペックファイル１５と本プログラムのデータベース１０から適合したテスト項目に該当するテスト項目名１１とテスト項目毎のＬＳＩ検査仕様書の出力フォーマット情報１２を用いて、ＬＳＩ検査仕様書１３を生成する。
【００１７】
以上により、ＬＳＩテストプログラムからＬＳＩ検査仕様書の作成を正確かつ迅速に行うことができる。
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２について、図２を参照しながら説明する。実施の形態２は、同一のＬＳＩを検査するために開発したＬＳＩテストプログラムを、異なるプログラミング言語を用いるＬＳＩ検査装置のＬＳＩテストプログラムに変換する場合に、マスターとなるテストプログラムと変換後のＬＳＩテストプログラムについて同一の検査条件が設定されて同一の機能を有することを、各スペックファイルと本プログラムのデータベースを用いて検証する実施の形態である。
【００１８】
図２は本発明の実施の形態２におけるＬＳＩテストプログラムの検証を説明する概念図である。
図２において、１７はＬＳＩ検査装置（１）のスペックファイルであり、カテゴリ番号２、テスト番号３、ＬＳＩ検査装置(１)の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報１９とＬＳＩ検査装置(１)の該当テスト項目実施時に不要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報２０が記述されている。１８はＬＳＩ検査装置（２）のスペックファイルであり、カテゴリ番号２、テスト番号３、ＬＳＩ検査装置(２)の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報２１とＬＳＩ検査装置(２)の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報２２が記述されている。１０は本プログラムのデータベースであり、テスト番号またはカテゴリ番号１１、テスト項目名１２、該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定項目１３、出力フォーマット情報１４が記述されている。
２３は該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置(１)のハードウェア設定情報のみについて設定情報を抽出したスペックファイル、２４は該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置(２)のハードウェア設定情報のみについて設定情報を抽出したスペックファイルである。
２５はテスト項目毎のハードウェア設定相違箇所出力結果であり、テスト項目名１２、テスト番号３、ＬＳＩ検査装置（１）とＬＳＩ検査装置（２）の差異部分２６が出力される。
【００１９】
以下、実施の形態２の動作仕様について説明する。
まず、本プログラムでＬＳＩ検査装置(１)のテストプログラムから、カテゴリ番号２、テスト番号３、ＬＳＩ検査装置(１)の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報１９、ＬＳＩ検査装置(１)の該当テスト項目実施時に不要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報２０を抽出し、ＬＳＩ検査装置（１）のスペックファイル１７を作成する。また、ＬＳＩ検査装置(２)のテストプログラムから、カテゴリ番号２、テスト番号３、ＬＳＩ検査装置(２)の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報２１、ＬＳＩ検査装置(２)の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報２２を抽出し、ＬＳＩ検査装置（２）のスペックファイル１８を作成する。次に、本プログラムのデータベース１０のテスト番号またはカテゴリ番号１１とＬＳＩ検査装置（１）のスペックファイル１７、ＬＳＩ検査装置（２）のスペックファイル１８に記載のカテゴリ番号２、テスト番号３の情報を用いて、一致検索を行う。一致したカテゴリ番号２またはテスト番号３を元にデータベース１０から該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定項目１３を取り出し、これを用いてスペックファイル１７、スペックファイル１８から情報を取捨選択し、ＬＳＩ検査装置(１)の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報１９、ＬＳＩ検査装置(２)の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報２１を抽出して、取捨選択後のＬＳＩ検査装置(１)のスペックファイル２３、取捨選択後のＬＳＩ検査装置(２)のスペックファイル２４を作成する。次に、比較対象となる項目について、取捨選択後のＬＳＩ検査装置(１)のスペックファイルと取捨選択後のＬＳＩ検査装置(２)のスペックファイルの差分をチェックし、差異が有る場合は本プログラムのデータベース１０から適合したテスト項目名１１と出力フォーマット情報１４を呼び出して、相違箇所をファイル出力する。差異が無い場合はファイル出力せずに一致することのみを知らせる。
【００２０】
以上により、各ＬＳＩ検査装置毎のテストプログラムからスペックファイルを抽出し、それぞれの検査条件を比較することにより、異機種間のテストプログラム仕様の確認を正確かつ迅速に行うことができる。
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３について、図３を参照しながら説明する。実施の形態３は検査ハードウェア設定情報を抽出したスペックファイルと、本プログラムのデータベースを用いて、テスト項目毎にテスト実行順番を最適化することでテスト時間を最短にするプログラミング記述を可能にする実施の形態である。
【００２１】
図３は本発明の実施の形態３におけるテスト時間を最短にするプログラミング記述の検討を説明する概念図である。
図３において、２７はテスト番号Ｔ２９０１のスペックファイル、２８はテスト番号Ｔ２９０２のスペックファイルであり、２９はテスト番号Ｔ２９０３のスペックファイルであり、それぞれカテゴリ番号２、テスト番号３、該当テスト項目実施時に不要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報９、該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定項目１３が記述されている。３１は取捨選択後のスペックファイル(Ａ)、３２は取捨選択後のスペックファイル(Ｂ)、３３は取捨選択後のスペックファイル(Ｃ)であり、それぞれカテゴリ番号２、テスト番号３、該当テスト実行時に必要なハードウェア設定項目１３が記述されている。また、１０は本プログラムのデータベースであり、テスト番号またはカテゴリ番号１１、テスト項目名１２、該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定項目１３、出力フォーマット１４で記述されている。
また、３３はテスト実行順番算出時の組み合わせ、３４はＬＳＩ検査装置のハードウェア設定差分情報、３５はＬＳＩ検査装置のハードウェア設定差分量である。３６は最短時間のテスト実行順番とハードウェア設定情報の出力ファイルであり、テスト項目名１２、最短時間のテスト実行順番３７、対象テスト項目を検査するために最低限必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定項目情報３８が記述されている。
以下、実施の形態３の動作仕様について説明する。
【００２２】
まず、本プログラムを用いて、テストプログラムから各テスト番号のカテゴリ番号２、テスト番号３、該当テスト項目実施時に不要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報９、該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定項目１３を抽出したスペックファイル２７、２８、２９を作成する。次に本プログラムのデータベース１０のテスト番号またはカテゴリ番号１１と各スペックファイル２７、２８、２９のカテゴリ番号２またはテスト番号３と比較照合して同一テスト項目毎にグループ分けし、データベース９の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定項目１３を用いて、必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報のみ取捨選択して、取捨選択後のスペックファイル(Ａ)３０、取捨選択後のスペックファイル(Ｂ)３１、取捨選択後のスペックファイル(Ｃ)３２を作成する。取捨選択後のスペックファイルを並び替えて、各テスト実行順番毎のスペックファイル情報の差分から、ＬＳＩ検査装置のハードウェア設定差分情報３４を抽出する。そしてＬＳＩ検査装置のハードウェア設定差分情報３４からＬＳＩ検査装置のハードウェア設定差分量３５を算出する。そして差分量３５をソートして、差分量３５が最小になるテスト実行順番を検出する。そして、本プログラムのデータベース１０の出力フォーマット１４に基づいて、テスト番号またはカテゴリ番号１１、テスト項目名１２、テスト実行順番３２、各テスト実行間のＬＳＩ検査装置のハードウェア設定差分情報３４を出力する。
【００２３】
以上により、テストプログラムを手修正した場合でも、同一テスト項目毎にグループ分けして、再度、ＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報が最小になるテスト実行順番と必要最小限のＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報を得ることができ、テスト時間を最短にするテストプログラミング記述の検討を正確かつ迅速に行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明の検査仕様書自動作成プログラムならびにテストプログラム検証プログラムおよびテスト順番最適化プログラムは、テストプログラムの検査仕様書を自動的で正確かつ迅速に作成することができ、各テストプログラム間に差異があるかどうかを正確かつ迅速に確認することができ、テスト時間を最短にするテストプログラミング記述の検討を正確かつ迅速に行うことが可能であり、検査仕様書自動作成プログラムならびにテストプログラム検証プログラムおよびテスト順番最適化プログラム等に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態１におけるＬＳＩ検査仕様書を作成する概念図
【図２】本発明の実施の形態２におけるＬＳＩテストプログラムの検証を説明する概念図
【図３】本発明の実施の形態３におけるテスト時間を最短にするプログラミング記述の検討を説明する概念図
【符号の説明】
【００２６】
１  スペックファイル
２  カテゴリ番号
３  テスト番号
４  テスト対象ピン
５  印加ユニット
６  印加方法
７  印加レンジ
８  ＰＡＳＳ／ＦＡＩＬ判定値
９  該当テスト項目実施時に不要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報
１０  データベース
１１  テスト番号またはカテゴリ番号
１２  テスト項目名
１３  該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定項目
１４  出力フォーマット情報
１５  取捨選択後のスペックファイル
１６  ＬＳＩ検査仕様書
１７  ＬＳＩ検査装置(１)のスペックファイル
１８  ＬＳＩ検査装置(２)のスペックファイル
１９  ＬＳＩ検査装置(１)の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報
２０  ＬＳＩ検査装置(１)の該当テスト項目実施時に不要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報
２１  ＬＳＩ検査装置(２)の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報
２２  ＬＳＩ検査装置(２)の該当テスト項目実施時に必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報
２３  取捨選択後のＬＳＩ検査装置(１)のスペックファイル
２４  取捨選択後のＬＳＩ検査装置(２)のスペックファイル
２５  テスト項目毎のハードウェア設定相違箇所出力結果
２６  ＬＳＩ検査装置（１）とＬＳＩ検査装置（２）のハードウェア設定差異部分
２７  スペックファイル(Ａ)
２８  スペックファイル(Ｂ)
２９  スペックファイル(Ｃ)
３０  取捨選択後のスペックファイル(Ａ)
３１  取捨選択後のスペックファイル(Ｂ)
３２  取捨選択後のスペックファイル(Ｃ)
３３  テスト実行順番算出時の組み合わせ
３４  ＬＳＩ検査装置のハードウェア設定差分情報
３５  ＬＳＩ検査装置のハードウェア設定差分量
３６  最短時間のテスト実行順番とハードウェア設定情報の出力ファイル
３７  最短時間のテスト実行順番
３８  対象テスト項目を検査するために最低限必要なＬＳＩ検査装置のハードウェア設定情報
【図１】
2005189130.tif 000003
【図２】
2005189130.tif 000004
【図３】
2005189130.tif 000005