(57)【要約】【課題】  バーンイン試験中の異常の発生を保守管理者にタイムリーに伝達して、異常に直ちに対応できるようにし、また、遠隔地にいても保守管理者がバーンイン装置の稼動状況等を把握したり起動できるようにすること。【解決手段】  バーンイン槽１に異常が発生すると制御ＰＣ７からメールサーバ２０を介して保守・管理者３０に、異常の発生を通知するメールを送信する。このメールを受信した保守管理者は、異常に対応可能であれば、対応可能であることを伝える対応可能確認メールを制御ＰＣ７に返信する。制御ＰＣ７は、上記対応可能確認メールを受信すると、保守管理者に上記対応可能確認メールがあった旨のメールを送信する。対応可能確認メールを送信した保守管理者は、バーンイン装置が設置された場所に行きバーンイン槽の異常を修復する。また、保守管理者はメールでバーンイン槽の稼動状況を確認したり、バーンイン槽を起動させることもできる。【選択図】          図１
2005069974.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号発生器が出力する信号をバーンイン槽内に収納された被試験対象の半導体装置に入力し、半導体装置のバーンインを行うバーンイン装置の異常通知方法であって、
バーンイン槽に異常が発生したとき、バーンイン装置は、異常の発生したバーンイン槽の運転を停止させるとともに、保守・管理者のメールアドレスを格納したファイルを参照して、メールサーバを介して対応する保守・管理者に、異常が発生したバーンイン槽の番号および異常内容をメールで通知し、
上記メールを送信した保守・管理者から、対応可能である旨の応答のメールが送信されるまで、所定時間毎に繰り返し上記メールを送信する
ことを特徴とするバーンイン装置における異常通知方法。
【請求項２】
バーンイン装置の保守・管理者からバーンイン槽の状態を確認するメールが送信されたとき、バーンイン槽の状態をメールで該保守管理者に通知し、バーンイン槽を起動させるメールが送信されたとき、メールで指定されたバーンイン槽を起動させるとともに、上記保守・管理者および他の保守・管理者に、指定されたバーンイン槽が起動したことをメールで通知し、
バーンイン試験が正常終了したとき、上記メールを配送した保守・管理者に正常終了したこと通知するメールを送信する
ことを特徴とする請求項１のバーンイン装置の異常通知方法。
【請求項３】
信号発生器が出力する信号をバーンイン槽内に収納された被試験対象の半導体装置に入力し、半導体装置のバーンインを行うバーンイン装置であって、
上記バーンイン装置は、バーンイン槽の異常を検出する異常検出手段と、通信手段と、上記通信手段と通信回線を介して接続されるとともに、メールサーバと通信回線を介して接続されメール送信機能を備えた管理装置とを備え、
バーンイン槽に異常が発生したとき、上記異常検出手段は、異常が発生したバーンイン槽の運転を停止させ、上記通信手段は異常が発生したバーンイン槽の番号および異常内容を上記管理装置に通知し、
上記管理装置は、バーンイン装置の保守・管理者のメールアドレスを格納したファイルを参照して、対応する保守・管理者に、異常が発生したバーンイン槽の番号および異常内容をメールで通知し、上記異常に対応可能である旨の応答のメールが送信されるまで、所定時間毎に繰り返し、上記保守・管理者にメールを送信する
ことを特徴とするバーンイン装置。
【請求項４】
上記管理装置は、バーンイン装置の保守・管理者からバーンイン槽の状態を確認するメールが送信されたとき、バーンイン槽の状態を、メールで該保守管理者に通知し、バーンイン槽を起動させるメールが配送されたとき、メールで指定されたバーンイン槽を起動させるとともに、上記保守・管理者および他の保守・管理者に、指定されたバーンイン槽が起動したことをメールで通知し、
バーンイン試験が正常終了したとき、上記メールを配送した保守・管理者に正常終了したこと通知するメールを送信する手段を備えた
ことを特徴とする請求項３のバーンイン装置。
【請求項５】
信号発生器が出力する信号をバーンイン槽内に収納された被試験対象の半導体装置に入力し、半導体装置のバーンインを行うバーンイン装置を管理するコンピュータで実行される異常通知プログラムであって、
上記プログラムは、バーンイン槽に異常が発生したとき、保守・管理者のメールアドレスを格納したファイルを参照して、対応する保守・管理者に、異常が発生したバーンイン槽の番号および異常内容をメールで通知する処理と、
上記メールを送信した保守・管理者から、対応可能である旨の応答のメールが送信されるまで、所定時間毎に繰り返し上記メールを送信する処理と、
保守管理者の内の少なくとも一人から、対応可能である旨のメールを受信したとき、上記異常を通知するメールを送信した保守管理者に、対応可能である旨のメールを受信したことをメールで通知する処理をコンピュータに実行させる
ことを特徴とするバーンイン装置における異常通知プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は不良な半導体をスクリーニングするためのバーンイン装置における異常通知方法およびバーンイン装置に関し、さらに詳細には、バーンイン試験中に異常が発生した場合、保守管理者に異常の発生をタイムリーに通知することができるバーンイン装置の異常通知方法およびバーンイン装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の出荷試験等に際し、バーンイン槽内に半導体装置を収納し、半導体装置に信号発生器からバーンイン信号を入力し、バーンインを行うことにより、不良品をスクリーニングすることが行われている。
図９（ａ）に上記バーンイン装置の概略構成を示し、図９（ｂ）にバーンインカードの構成例を示す。
バーンイン装置は、例えば同図（ａ）に示すようにバーンイン槽１０１と、ＩＣテスタ等から構成される特性モニタ部１０２と、バーンイン槽１０１内の温度を制御する温度制御装置１１０と、バーンインの開始／終了を制御するバーンインコントロール部１０４から構成される。
被試験対象となるＬＳＩ等の半導体素子は、図９（ｂ）に示すように、バーンインカード１０３に設けられたＩＣソケット１０３ａに装着される。
半導体素子（以下ＩＣともいう）１０３ｂが装着されたバーンインカード１０３は、バーンイン槽１０１内に収納され、バーンイン槽内に設けられたコネクタＣに装着される。    
【０００３】
バーンイン槽１０３内には槽内の温度を測定する温度センサ１０１ａが設けられ、温度センサ１０１ａによりバーンイン槽１０１内の温度を検出し、温度制御装置１１０の温度検出部１１０ａに送る。温度制御部１１０ｂは図示しないヒータ等を制御し、温度検出部１１１から入力されるバーンイン槽１０１内の温度が所定の値になるように制御する。
上記バーンイン槽１０１内を上記温度制御装置１１０により所定の温度に保持し、特性モニタ部１０２からコネクタ１０１ｂを介してバーンインカード１０３に装着された半導体素子１０３ｂにバーンイン信号を入力し、半導体素子１０３ｂのバーンイン加速試験を行う。
図１０にＤＲＡＭ、ＳＲＡＭ等の汎用メモリをバーンインする際のバーンイン信号の一例を示す。同図に示すように、バーンイン信号は、クロックＣＬＫ、行アドレスストローブＲＡＳ（以下単にＲＡＳという）、列アドレスストローブＣＡＳ（以下単にＣＡＳという）、ライトイネーブルＷＥと、データＤＩＮ、行アドレスＡＤ（Ｒ），列アドレスＡＤ（Ｃ）からなり、アドレスはインクリメントされ、メモリの各セルにデータを書き込む処理を行う。
特性モニタ部１０２は、上記バーンイン信号を被試験対象の各ＩＣに印加し、各ＩＣ１０４ｂが正常に動作するかを調べ、不良ＩＣのスクリーニングを行う。
【０００４】
上記バーンイン装置は高温の温度条件で、一定時間、半導体デバイスの試験を行うものであり、バーンイン試験中に異常が発生し、槽内の温度が異常上昇したり異常電流が流れたりすると、半導体デバイスが破壊したり、最悪な場合には火災が発生する可能性もある。
このため、通常、バーンイン装置に、温度センサや、煙感知器などを設けて、異常温度、発煙などを感知したり、半導体デバイスに流れる電流などを監視し、異常発生時にはバーンイン装置を緊急停止させるとともに、警報を発するようにしている（例えば、特許文献１、特許文献２等参照）。
【特許文献１】特開平２−６６４７２号公報
【特許文献２】特開平１１−２１１７９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、通常、バーンイン試験中の異常に対応するため、バーンイン装置に異常検知装置を設け、バーンイン試験中に異常が発生するとバーンイン装置を緊急停止させるとともに、警報を発するようにしていた。また、バーンイン装置の保守管理者は、バーンイン試験中、所定時間毎に巡回して異常の有無の確認等をしていた。
しかし、バーンイン試験は、複数台のバーンイン槽を同時に稼動させて、昼夜に渡って長時間行われるものであり、休日や夜間などには、異常が発生しても迅速な対応をすることができない場合もある。バーンイン試験中に異常が発生した際、迅速な対応ができないと、バーンイン試験が中断されてしまうばかりか、被試験対象である半導体デバイスが破壊したり、最悪の場合は火災等が発生する場合もあり得る。
また、バーンイン試験は、上記のように昼夜に渡って長時間行われ、バーンイン装置が設置された場所に、夜間、休日を問わず保守管理者が常駐することが困難な場合が多い。  従来のバーンイン装置では、装置が設置された場所に行かなければバーンイン装置の稼動状況等を把握することはできず、夜間、休日などに保守管理者が遠隔地にいる場合に、バーンイン装置の稼動状況などを確認したり、バーンイン装置を起動させたりすることはできなかった。
本発明は上記事情を考慮してなされたものであり、本発明の目的は、バーンイン試験中に異常が発生した際、バーンイン装置の保守管理者に異常の発生をタイムリーに伝達して、異常に直ちに対応できるようにするとともに、遠隔地にいても保守管理者がバーンイン装置の稼動状況等を把握することができ、また、必要に応じてバーンイン試験を起動できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明においては、以下のようにして前記課題を解決する。
（１）バーンイン槽に異常が発生したとき、異常の発生したバーンイン槽の運転を停止させるとともに、上記バーンイン装置を管理する管理装置から、異常に対応可能な保守・管理者に、異常が発生したバーンイン槽の番号および異常内容を含む異常通知メールを送信する。
このメールを受信した保守管理者は、異常内容、状況などから異常に対応可能であるか否かを判断して、対応可能であれば、対応可能であることを伝える対応可能確認メールを上記管理装置に返信する。そして、バーンイン装置が設置された場所に行き、異常が発生したバーンイン槽の異常を修復する。
上記管理装置は、上記対応可能確認メールを受信すると、異常通知メールを送信した保守管理者に上記対応可能確認メールを送信する。また、異常通知メールを送信した保守管理者から対応可能確認メールが送信されない場合には、対応可能確認メールが返信されるまで、所定時間毎に繰り返し異常通知メールを送信する。
（２）バーンイン装置の保守・管理者からバーンイン槽の状態を確認するメールが送信されたとき、バーンイン槽の状態をメールで該保守管理者に通知し、バーンイン装置を起動させるメールが配送されたとき、メールで指定されたバーンイン槽を起動させるとともに、上記保守・管理者および他の保守・管理者に、指定されたバーンイン槽が起動したことをメールで通知する。さらに、バーンイン試験が正常終了したとき、上記メールを配送した保守・管理者に正常終了したこと通知するメールを送信する
【発明の効果】
【０００７】
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）バーンイン試験中に異常が発生した場合、保守管理者に異常が発生したことをメールで通知するようにしたので、夜間や休日など、バーンイン装置の保守管理者がバーンイン装置を巡回点検することができない場合であっても、直ちに異常が発生したことを保守管理者に通知することができ、異常を迅速に対応することができる。
このため、保守管理者をバーンイン装置の近くに常駐させる必要がなくなり、保守管理者の負担を軽減することができる。
（２）バーンイン槽の状態をメールで該保守管理者に通知し、また、メールで指定されたバーンイン槽を起動させるとともに、バーンイン試験が正常終了したとき、上記メールを配送した保守・管理者に正常終了したこと通知することで、バーンイン装置の保守管理者は、遠隔地にいても、バーンイン槽の稼動状態を確認したり、バーンイン試験を起動させたり、あるいは、バーンイン試験が正常終了したことを確認することができる。このため、上記（１）と同様、保守管理者の負担を軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１は本発明の実施例のバーンイン装置および異常の発生を通知するためのシステムの全体構成を示す図である。
同図において、１０はバーンイン装置であり、バーンイン装置１０は、複数のバーンイン槽１と、これらを制御するコントロールユニット３、バーンイン装置全体を制御、管理するための制御用コンピュータ７（以下制御ＰＣ７という）を備える。なお、同図ではバーンイン槽そのものは図示しておらず、同図のゾーン１Ａ、１Ｂが各バーンイン槽に対応している。
各バーンイン槽１の背面にはバックボード２が設けられ、バックボード２には被試験対象となる半導体デバイスに印加するバーンイン信号を発生する信号発生器、温度制御装置などが設けられている。バックボード２には、コントロールユニット３が接続されており、コントロールユニット３により、被試験対象である半導体デバイスに印加される電圧、電流などがモニタされるとともに、バーンイン槽内の温度、バーンイン時間等が制御される。
【０００９】
コントロールユニット３には、異常検出部４が設けられ、バーンイン槽内に設けられた前記温度検出器や、発煙を検知する発煙センサ、送風ファンの風量を検出する風量センサ等の各種センサの出力が上記異常検出部４に送られる。
異常検出部４は、上記各種センサの出力からバーンイン槽内の異常温度上昇、発煙、ファンの停止などを検出するとともに、被試験対象である半導体デバイスに印加される電圧、電流、波形を監視する。
バーンイン試験中に上記異常検出部４により異常の発生が検知されると、コントロールユニット３は、異常の発生したバーンイン槽１の異常個所を示すＬＥＤ（図示せず）を点灯させるとともに、半導体デバイスへの信号の印加を停止し、さらに、電源をオフにして、異常が発生したバーンイン槽を緊急停止させる。
【００１０】
上記コントロールユニット３にはＬＡＮアダプタ５が設けられ、上記コントロールユニット３は、ＬＡＮアダプタ５およびＬＡＮケーブルを介してハブ６に接続される。また、ハブ６には、前記制御ＰＣ７が接続され、上記コントロールユニット３、制御ＰＣ７でＬＡＮを構成している。
上記制御ＰＣ７は、各バーンイン槽の起動、停止の制御、温度設定、バーンイン時間の設定など、バーンイン装置全体の制御、管理を行う。
また、制御ＰＣ７は、ハブ６を介してメールサーバ２０に接続され、また、バーンイン装置１０の保守・管理者のメールアドレスを格納したファイル７ａを備える。
そして、上記メールサーバを介して、バーンイン装置の保守管理者からのメールを受信したり、上記ファイル７ａを参照して保守管理者のメールアドレスへメールを送信し、以下のように、バーンイン槽の起動停止、バーンイン槽の異常の通知等を行う。
【００１１】
（１）バーンイン槽のメールによる起動および正常終了の通知。
保守管理者から装置の状態の問い合わせメールが送信されると、装置の状態（ｓｔａｔｕｓ）を、問い合わせのあった保守管理者にメールで通知する。そして、当該保守管理者から、メールでバーンイン槽の起動指令が通知されると、指令されたバーンイン槽を起動させる。
さらに、バーンイン試験が正常終了すると、上記メールアドレスを格納したファイル７ａを参照して、当該バーンイン槽の保守管理者のメールアドレス読み出し、バーンイン試験が正常終了したことをメールで通知する。
（２）バーンイン試験中に異常が発生した場合の異常通知。
各バーンイン装置の異常を検出する異常検知部４から、異常の発生が通知されると、上記メールアドレスを格納したファイル７ａを参照して、異常に対応できる複数の保守管理者のメールアドレス読み出し、該メールアドレスに、上記メールサーバ２０を介して異常発生を通知する異常通知メールを送る。
バーンイン装置の保守管理者３０は、携帯電話、パソコンなどで、上記メールを受信すると、上記異常に対応可能であれば、対応可能である旨のメールをメールサーバ２０を介して制御ＰＣ７に送る。また、異常に対応可能である旨のメールが保守管理者３０から送られてこない場合には、制御ＰＣ７は所定時間毎に上記異常通知メールを繰り返し発信する。
上記異常に対応可能な保守管理者は、バーンイン装置が設置された現場に行き、バーンイン装置の不具合を点検して、異常個所を修復したり、異常な半導体デバイスが搭載されたバーンインカードを除去するなどして、必要に応じて装置を再起動させる。
【００１２】
図２は、上記メールによりバーンイン槽を起動させる場合およびバーンイン試験の正常終了の通知する場合に、制御ＰＣ７と保守管理者３０の間で送受されるメールのタイムチャートである。なお、ここでは保守管理者はＡ，Ｂ，Ｃの３人であるとする。
同図に示すように、例えば保守管理者Ａは、バーンイン槽の状態（ｓｔａｔｕｓ）を、個人所有の携帯電話や企業内に設置されたパソコンなどから、メールで問い合わせる。このメールはメールサーバ２０を介して制御ＰＣ７に送られる。
制御ＰＣ７は、上記問い合わせに応じて、バーンイン槽の稼動状態などのｓｔａｔｕｓをメールサーバ２０を介して、メールで保守管理者Ａに送る。
保守管理者Ａは、制御ＰＣ７から送られたｓｔａｔｕｓを確認のうえ、例えばバーンイン槽の１号機の起動をメールで指令する。
これに応じて、制御ＰＣ７は、１号機を起動させる。そして、１号機が正常起動すると、１号機が正常起動したことを１号機の保守管理者Ａ，Ｂ，Ｃにメールで通知する。
同様に、例えば保守管理者Ｂが、バーンイン槽の状態（ｓｔａｔｕｓ）を確認した後、例えばバーンイン槽の２号機の起動をメールで指令すると、制御ＰＣ７は２号機を起動させ、正常起動したことを２号機の保守管理者Ａ，Ｂ，Ｃにメールで通知する。
また、１号機、２号機によるバーンイン試験が正常終了すると、制御ＰＣ７は、上記保守管理者Ａ，Ｂ，Ｃにバーンイン試験が正常終了したことをメールで通知する。
【００１３】
図３は、上記の場合のメールの送受信と、メッセージの一例を示す図であり、同図は、保守管理者Ａ，Ｂ，Ｃが個人の携帯電話でメールを送受し、保守管理者Ｄ，Ｅが事務所などに設置されたパソコンでメールを送受信する場合を示している。
同図（ａ）は、保守管理者Ａが１号機のバーンイン槽を起動させる際に、保守管理者の携帯電話、パソコンなどから送信されるメールと、その際のメッセージの内容の一例を示し、同図（ｂ）は、バーンイン槽が正常起動した場合に制御ＰＣ７から送信されるメールと、その際のメッセージの一例を示し、また、同図（ｃ）は、バーンイン試験が正常終了した場合に、制御ＰＣ７から送られるメールと、その際のメッセージの一例を示す。
同図に示すように、上記メッセージのコードとしては、例えばメッセージを送信した日付と時間を用いる。例えば、送信日時が２００３年７月１８日１３時２５分の場合、メッセージコードは０３０７１８１３５２となる。
そして、携帯電話、パソコンなどから保守管理者Ａが起動指令を送る場合、メッセージの内容は、同図（ａ）に示すように、上記「メッセージコード」と、「起動コード」と、「メッセージの送信者」、「対象なる装置番号」となる。例えば、保守管理者Ａが、１号機のバーンイン槽を起動させる場合、メッセージの内容は、メッセージコード＝０３０７１８１３２５、起動コード＝Ｓ（スタート）、保守管理者名＝Ａ、装置番号＝０１となる。
上記起動指令に対してバーンイン槽が正常起動すると、制御ＰＣ７から、保守管理者に上記メールの内容を送信する。例えば、Ａさんが起動した場合、メッセージの内容は、同図（ｂ）に示すようになる。
さらに、バーンイン試験が正常終了すると、保守管理者にバーンイン試験が正常終了したことが通知される。
メッセージの内容は、同図（ｃ）に示すように上記「メッセージコード」と、「内容」（通知内容）と、「装置」（対象なる装置番号）となる。例えば、１号機のバーンイン槽によるバーンイン試験が正常終了した場合、メッセージの内容は、メッセージコード＝０３０７１８１３２５、内容＝ＥＮＤ（正常終了）、装置番号＝０１となる。
【００１４】
図４は、前記バーンイン試験中に異常が発生した場合に、制御ＰＣ７と保守管理者３０の間で送受されるメールのタイムチャートである。
同図に示すように、バーンイン槽に異常が発生すると、制御ＰＣ７は、メールサーバ２０を介して、メールで保守管理者Ａ，Ｂ，Ｃにバーンイン槽に異常が発生したことを通知する。これに対し、保守管理者Ａ，Ｂ，Ｃから対応可能であるという対応可能確認メールが送られてこない場合、所定時間間隔で、上記異常通知メールを繰り返し送信する。
上記異常通知メールに対して、例えば保守管理者Ｂが対応が可能であるという対応可能確認メールを送信し、保守管理者Ａ，Ｃが対応できないという対応不可確認メールを送信すると、制御ＰＣ７は、保守管理者Ａ，Ｂ，Ｃに、保守管理者Ｂから、対応可能確認メールがあったことを伝える応答確認メールを送信する。
上記応答確認メールを送信する前に、例えば保守管理者Ａからも対応可能である旨の対応可能確認メールが送信された場合、最も早く対応可能確認メールを送信した保守管理者Ｂが対応可能である旨の応答確認メールを送信する。なお、この場合、保守管理者Ａ，Ｂの両者が対応可能である旨の応答確認メールを送信するようにしてもよく、この場合には、保守管理者Ａ，Ｂが協議して、どちらが対応するかを決めるなど、適宜、対応者を決定する。
【００１５】
上記対応可能確認メールを送信した保守管理者Ｂは、バーンイン槽が設置されている現場に行き、前記したようにバーンイン装置の不具合を点検して、異常個所を修復する。
バーンイン槽の異常が修復されると、制御ＰＣ７は、保守管理者Ａ，Ｂ，Ｃに対して、異常修復済みのメールを送信する。
なお、上記では、保守管理者Ａ，Ｂ，Ｃに応答確認メール、異常修復済みメールを送信するようにしているが、対応可能確認メールを送信した保守管理者Ｂ以外の保守管理者に応答確認メール、異常修復済みメールを送信するようにしてもよい。
【００１６】
図５、図６は、上記の場合のメールの送受信と、メッセージの一例を示す図であり、同図は、図３と同様、保守管理者Ａ，Ｂ，Ｃが個人の携帯電話でメールを送受し、保守管理者Ｄ，Ｅが事務所などに設置されたパソコンでメールを送受信する場合を示している。
図５（ａ）は、異常が発生した場合に、制御ＰＣ７から各保守管理者に送信されるメッセージの一例を示し、同図（ｂ）は、保守管理者Ａが対応が可能である場合に送信される対応可能確認メールのメッセージの一例を示し、図６（ｃ）は、保守管理者Ａが対応が可能であるという対応確認メールが送信した場合に、制御ＰＣ７から各保守管理者に送られるメールのメッセージの一例を示し、図６（ｄ）は誰も対応できない場合のメッセージの一例を示す図である。
上記メッセージのコードとしては、図３と同様、例えばメッセージを送信した日付と時間を用いる。
バーンイン槽に異常が発生した場合、制御ＰＣ７は、すべての保守管理者に、上記「メッセージコード」と、「異常の内容」、「異常が発生した装置の番号」からなるメッセージを送信する。例えば１号機に電源１の電流エラーが生じた場合、上記メッセージは、メッセージコード＝０３０７１８１３２５、内容＝ＥＲＲ（エラー発生）、内容＝ＶＳ１Ｃ（電源１電流エラー）、装置番号＝０１となる。
なお、上記エラーコードは、例えば以下の通りである。
・ＶＳ１Ｃ：電源１電流エラー
・ＶＳ２Ｃ：電源２電流エラー
・ＶＳ３Ｃ：電源３電流エラー
・ＶＳ１Ｖ：電源１電圧エラー
・ＶＳ２Ｖ：電源２電圧エラー
・ＶＳ１Ｖ：電源３電圧エラー
・ＴＭＰＵ：温度上限エラー
・ＴＭＰＤ：温度下限エラー
・ＳＭＯＫ：発煙エラー
【００１７】
上記メールに対して、保守管理者Ａが対応が可能である場合、保守管理者Ａは、制御ＰＣ７に対して対応可能確認メールを返信する。このメッセージは、上記「メッセージコード」と、「対応の可否」、「対応するものの名前」からなる。
例えば、保守管理者Ａが対応可能である場合、上記メッセージは、図５（ｂ）に示すように、メッセージコード＝０３０７１８１３２５、１（対応可能）、Ａ（保守管理者Ａ）なる。なお、「対応の可否」は、例えば、１：対応可能、２：対応できません、３：対応完了、である。
また、保守管理者Ｂ−Ｅが対応できない場合には、保守管理者Ｂ−Ｅは、図５（ｂ）に示すようにメッセージコード＝０３０７１８１３２５、２（対応できない）、Ｘ（保守管理者Ｂ−Ｅ）のメッセージを返信する。  
上記対応確認メールが送られてくると、制御ＰＣ７は、図６（ｃ）に示すように保守管理者Ａ〜Ｅに対して、上記保守管理者Ａが送信した対応可能確認メールを送信し、他の保守管理者に保守管理者Ａが対応することを知らせる。
また、保守管理者Ａ〜Ｅの誰からも対応可能確認メールが送信されない場合には、図６（ｄ）に示すように、所定時間間隔で、前記した異常通知メールを、対応不可確認メールを送信した保守管理者（あるいは異常通知メールを送信した保守管理者全員）に繰り返し送信する。
その際、保守管理者Ａ，Ｂ，Ｃから対応できないという対応不可の返信メールがあった場合、図６（ｄ）に示すように、異常通知メッセージに、返信のあった保守管理者のリストを付け加える。
【００１８】
図７、図８は、上記異常発生時におけるバーンイン槽、制御ＰＣ７の動作と保守管理者の対応を示すフローチャートである。
図７において、バーンイン試験を開始した後、バーンイン槽に異常が発生すると（ステップＳ２) 、制御ＰＣ７に異常の発生を通知する（ステップＳ２) 。また、バーンイン槽では、バーンイン槽異常個所の該当ＬＥＤを点灯させ（ステップＳ３) 、半導体デバイスへの信号の印加を停止し（ステップＳ４) 、さらに、半導体デバイス印加用電源を停止させる（ステップＳ５) 。また、バーンイン槽内のヒータ電源をオフにして温度の印加を停止させ（ステップＳ６) 、全体の電源をオフにして（ステップＳ７) 、異常が発生したバーンイン槽を緊急停止させる。
一方、制御ＰＣ７では、バーンイン槽から送られてくる異常情報を受信すると（ステップＴ１) 、送信メールアドレスを格納したファイル７ａを参照して、上記異常に対応可能な保守管理者のメールアドレスを読み出す（ステップＴ２）。そして、該当する保守管理者に異常通知メールを送信する（ステップＴ３）。この異常通知メールは、メールサーバ２０を介して、前記したように保守管理者の携帯電話、パソコンに送信される。
【００１９】
上記異常通知メールを受信した保守管理者は、異常の内容、状況などから対応可能であるか否かを判断し（図８のステップＵ１，Ｕ２）、対応可能であれば、メールサーバ２０を介して制御ＰＣ７に、対応可能である旨の対応可能確認メールを送信する（ステップＵ３）。
また、対応できない場合には、対応不可確認メールを送信する（ステップＵ４）。そして、他の保守管理者の対応可能確認メールを受信できれば、対応可能確認メールを送信した保守管理者に異常への対応を任せる。また、誰も対応可能確認メール送信しない場合には、再度、異常通知メールを受信することになる（ステップＵ６→Ｕ１）。
制御ＰＣ７では、対応可能確認メールが保守管理者から送られてくると、対応確認メールがあったことを伝える確認応答メールを保守管理者に送信する（図７のステップＴ４，Ｔ６、図８のＵ５）。また、例えば３０分経過しても対応可能確認メールが受信されない場合には、再度、異常通知メールを保守管理者に通知する（ステップＴ５→ステップＴ３）。
対応可能確認メールを送信した保守管理者は、前記したように、バーンイン槽が設置されている現場に行き、前記したようにバーンイン装置の不具合を点検して、異常個所を修復する（図７のステップＴ７、図８のステップＵ７）。
上記修復作業が終わると、修復作業をした保守管理者は、異常修復済みメールを制御ＰＣ７に送信する。この異常修復済みメールは、前記したように保守管理者に送られ、携帯電話、パソコンなどで受信される（図７のステップＴ８→ステップＴ９）。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施例のシステムの全体構成を示す図である。
【図２】バーンイン槽の起動、正常終了を通知する場合に送受されるメールのタイムチャートである。
【図３】バーンイン槽の起動、正常終了を通知する場合のメッセージの一例を説明する図である。
【図４】バーンイン試験中に異常が発生した場合に送受されるメールのタイムチャートである
【図５】バーンイン試験中に異常が発生した場合のメッセージの一例を示す図（１）である。
【図６】バーンイン試験中に異常が発生した場合のメッセージの一例を示す図（２）である。
【図７】異常発生時におけるバーンイン槽、制御ＰＣ７の動作と保守管理者の対応を示すフローチャート（１）である。
【図８】異常発生時におけるバーンイン槽、制御ＰＣ７の動作と保守管理者の対応を示すフローチャート（２）である。
【図９】バーンイン装置の概略構成を示す図である。
【図１０】汎用メモリをバーンインする際のバーンイン信号の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００２１】
１    バーンイン槽
２    バックボード
３    コントロールユニット
４    異常検出部
５    ＬＡＮアダプタ
６    ハブ
７    制御ＰＣ
１０  バーンイン装置
２０  メールサーバ
３０  保守管理者
【図１】
2005069974.tif 000003
【図２】
2005069974.tif 000004
【図３】
2005069974.tif 000005
【図４】
2005069974.tif 000006
【図５】
2005069974.tif 000007
【図６】
2005069974.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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