(57)【要約】【課題】  ハウジングを構成する材料の種類によらず、ハウジングとメタルダイアフラムとの間のシール構造を実現できる圧力センサを提供する。【解決手段】  ハウジング３０の一面３０ｂに環状の溝（Ｏリング溝）４４を形成し、この溝４４内にＯリング４５を配置した構造とする。このような構造により、メタルダイアフラム３４とハウジング３０との間のシール性を確保することが可能となる。そして、Ｏリング４５によるシール構造であることから、ハウジング３０を構成する材料の種類が変わったとしても、メタルダイアフラム３４とハウジング３０との間のシール性を確保することができる。従って、ハウジング３０を構成する材料の種類によらず、ハウジング３０とメタルダイアフラム３４との間のシール構造を実現できる圧力センサとすることができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のケース（１０）と第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）を備え、
前記ケーシング（１００）内に圧力検出用のセンシング部（２０）を設けてなる圧力センサにおいて、
前記第１のケース（１０）のうち前記第２のケース（３０）に組み付けられる側の先端面（１０ａ）には、メタルダイアフラム（３４）が配置されると共に、そのメタルダイアフラム（３４）および第１ケース（１０）によって囲まれる部分を圧力検出室（４０）として、該圧力検出室（４０）内に前記センシング部（２０）が配置された構成とされており、
前記第２のケース（３０）のうち前記第１のケース（１０）が組み付けられる一面（３０ｂ）には、前記圧力検出室（４０）を囲むように環状の溝（４４）が備えられていると共に、この溝（４４）内に収容された弾性材からなるシール部材（４５）が備えられており、
前記シール部材（４５）により、前記メタルダイアフラム（３４）と前記第２のケース（３０）との間のシール性が確保されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
第１のケース（１０）と第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）を備え、
前記ケーシング（１００）内に圧力検出用のセンシング部（２０）を設けてなる圧力センサにおいて、
前記第１のケース（１０）のうち前記第２のケース（３０）に組み付けられる側の先端面（１０ａ）には、メタルダイアフラム（３４）が配置されると共に、そのメタルダイアフラム（３４）および第１ケース（１０）によって囲まれる部分を圧力検出室（４０）として、該圧力検出室（４０）内に前記センシング部（２０）が配置された構成とされており、
前記第２のケース（３０）のうち前記第１のケース（１０）が組み付けられる一面（３０ｂ）と前記メタルダイアフラム（３４）との間に、前記圧力検出室（４０）を囲むようにパッキン（５２）が備えられており、
前記パッキン（５２）により、前記メタルダイアフラム（３４）と前記第２のケース（３０）との間のシール性が確保されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項３】
第１のケース（１０）と第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）を備え、
前記ケーシング（１００）内に圧力検出用のセンシング部（２０）を設けてなる圧力センサにおいて、
前記第１のケース（１０）のうち前記第２のケース（３０）に組み付けられる側の先端面（１０ａ）には、メタルダイアフラム（３４）が配置されると共に、そのメタルダイアフラム（３４）および第１ケース（１０）によって囲まれる部分を圧力検出室（４０）として、該圧力検出室（４０）内に前記センシング部（２０）が配置された構成とされており、
前記メタルダイアフラム（３４）の外周には弾性材料からなるシール部材（６０）がインサート成型されており、このシール部材（６０）が前記第２のケース（３０）のうち前記第１のケース（１０）が組み付けられる一面（３０ｂ）と前記第１ケース（１０）間において前記圧力検出室（４０）を囲むように配置され、前記メタルダイアフラム（３４）と前記第２のケース（３０）との間のシール性が確保されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項４】
第１のケース（１０）と第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）を備え、
前記ケーシング（１００）内に圧力検出用のセンシング部（２０）を設けてなる圧力センサにおいて、
前記第１のケース（１０）のうち前記第２のケース（３０）に組み付けられる側の先端面（１０ａ）には、メタルダイアフラム（３４）が配置されると共に、そのメタルダイアフラム（３４）および第１ケース（１０）によって囲まれる部分を圧力検出室（４０）として、該圧力検出室（４０）内に前記センシング部（２０）が配置された構成とされており、
前記メタルダイアフラム（３４）の外周には、前記第２のケース（３０）のうち前記第１のケース（１０）が組み付けられる一面（３０ｂ）側に突出する突起部（３４ａ）が前記圧力検出室（４０）を囲むように備えられ、前記突起部（３４ａ）が前記一面（３０ｂ）に接することで、前記メタルダイアフラム（３４）と前記第２のケース（３０）との間のシール性が確保されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項５】
前記第１のケース（１０）と前記メタルダイアフラム（３４）との間のうち、前記圧力検出室（４０）の外周位置には、Ｏリング（４３）もしくはオイルシール（７０）が設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１のケースと第２のケースとをかしめ固定によって一体に組み付け、その内部に圧力検出用のセンシング部を設けてなる圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、第１のケースと第２のケースとをかしめ固定によって一体に組み付け、その内部に圧力検出用のセンシング部を設けてなる圧力センサが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
この圧力センサの断面図を図１０に示すと共に、図１０の部分拡大図を図１１に示す。図１０、図１１に示される圧力センサは、第１のケースとしてのコネクタケースＪ１と測定媒体を導入するための第２のケースとしてのハウジングＪ２とを備えて構成されるダイアフラムシールタイプの圧力センサである。すなわち、両ケースＪ１、Ｊ２の間にメタルダイアフラムＪ３を介在させた状態でハウジングＪ２の収容凹部Ｊ４内にコネクタケースＪ１が挿入されたのち、ハウジングＪ２の収容凹部Ｊ４の入り口側をかしめて圧力センサの組み付けが成されることで、内部に圧力検出室Ｊ５が区画形成され、この圧力検出室Ｊ５内にセンシング部としてのセンサ素子Ｊ６などが設けられた構造となっている。
【０００４】
そして、圧力検出室Ｊ５は、コネクタケースＪ１とハウジングＪ２との間に介在するＯリングＪ７によってシールされており、圧力検出室Ｊ５の内部には、たとえばオイルなどの圧力伝達部材Ｊ８が封入されている。また、メタルダイアフラムＪ３における圧力検出室Ｊ５とは反対側の面に、ハウジングＪ２に導入された測定媒体による圧力が印加され、この測定圧力は、メタルダイアフラムＪ３から圧力伝達部材Ｊ８を介してセンサ素子Ｊ６へ印加され、検出が行われるようになっている。
【０００５】
ここで、このような構造の圧力センサでは、測定媒体がハウジングＪ２とメタルダイアフラムＪ３との間から漏れ出すことを防止するために、これらの間のシールを確保しなければならない。このため、上記特許文献１に示される圧力センサでは、メタルダイアフラムＪ３の外周部分にハウジングＪ２と同種の金属で構成されたリングウェルドＪ９を接続し、このリングウェルドＪ９とハウジングＪ２との接触部分Ｊ１０の一部を溶接した構造としている。
【特許文献１】特開平７−２４３９２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したハウジングＪ２は、例えばステンレス（ＳＵＳ）によって構成されるが、これらの材質によると、組付け相手側との材質の違いによって、例えばアルミニウム（Ａｌ）などの場合、異種金属接触による電池腐食が生じることが確認された。この場合、ハウジングＪ２の材質を例えば相手側と同質のアルミニウム（Ａｌ）とすることで、上記腐食を防止することが考えられる。
【０００７】
しかしながら、上記ようにリングウェルドＪ９とハウジングＪ２との溶接によってハウジングＪ２とメタルダイアフラムＪ３との間のシール構造を実現する場合、ハウジングＪ２の材質を変更すると、リングウェルドＪ９と異種金属となり、異種金属間の溶接が不可能であることからシール構造を実現できなくなるという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記点に鑑み、ハウジングを構成する材料の種類によらず、ハウジングとメタルダイアフラムとの間のシール構造を実現できる圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、第１のケース（１０）と第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）を備え、ケーシング（１００）内に圧力検出用のセンシング部（２０）を設けてなる圧力センサにおいて、第１のケース（１０）のうち第２のケース（３０）に組み付けられる側の先端面（１０ａ）には、メタルダイアフラム（３４）が配置されると共に、そのメタルダイアフラム（３４）および第１ケース（１０）によって囲まれる部分を圧力検出室（４０）として、該圧力検出室（４０）内にセンシング部（２０）が配置された構成とされており、第２のケース（３０）のうち第１のケース（１０）が組み付けられる一面（３０ｂ）には、圧力検出室（４０）を囲むように環状の溝（４４）が備えられていると共に、この溝（４４）内に収容された弾性材からなるシール部材（４５）が備えられており、シール部材（４５）により、メタルダイアフラム（３４）と第２のケース（３０）との間のシール性が確保されていることを特徴としている。
【００１０】
このような構成によれば、メタルダイアフラム（３４）と第２のケース（３０）との間のシール性の確保が弾性材料で構成されたシール部材（４５）によって行われる。このため、第２のケース（３０）を構成する材料の種類が変わったとしても、メタルダイアフラム（３４）と第２のケース（３０）との間のシール性を確保することができる。従って、第２のケース（３０）を構成する材料の種類によらず、第２のケース（３０）とメタルダイアフラム（３４）との間のシール構造を実現できる圧力センサとすることができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明では、第１のケース（１０）のうち第２のケース（３０）に組み付けられる側の先端面（１０ａ）には、メタルダイアフラム（３４）が配置されると共に、そのメタルダイアフラム（３４）および第１ケース（１０）によって囲まれる部分を圧力検出室（４０）として、該圧力検出室（４０）内にセンシング部（２０）が配置された構成とされており、第２のケース（３０）のうち第１のケース（１０）が組み付けられる一面（３０ｂ）とメタルダイアフラム（３４）との間に、圧力検出室（４０）を囲むようにパッキン（５２）が備えられており、パッキン（５２）により、メタルダイアフラム（３４）と第２のケース（３０）との間のシール性が確保されていることを特徴としている。
【００１２】
このような構成としても、請求項１と同様の効果を得ることができる。
【００１３】
請求項３に記載の発明では、第１のケース（１０）のうち第２のケース（３０）に組み付けられる側の先端面（１０ａ）には、メタルダイアフラム（３４）が配置されると共に、そのメタルダイアフラム（３４）および第１ケース（１０）によって囲まれる部分を圧力検出室（４０）として、該圧力検出室（４０）内にセンシング部（２０）が配置された構成とされており、メタルダイアフラム（３４）の外周には弾性材料からなるシール部材（６０）がインサート成型されており、このシール部材（６０）が第２のケース（３０）のうち第１のケース（１０）が組み付けられる一面（３０ｂ）と第１ケース（１０）間において圧力検出室（４０）を囲むように配置され、メタルダイアフラム（３４）と第２のケース（３０）との間のシール性が確保されていることを特徴としている。
【００１４】
このような構成としても、請求項１と同様の効果を得ることができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明では、第１のケース（１０）のうち第２のケース（３０）に組み付けられる側の先端面（１０ａ）には、メタルダイアフラム（３４）が配置されると共に、そのメタルダイアフラム（３４）および第１ケース（１０）によって囲まれる部分を圧力検出室（４０）として、該圧力検出室（４０）内にセンシング部（２０）が配置された構成とされており、メタルダイアフラム（３４）の外周には、第２のケース（３０）のうち第１のケース（１０）が組み付けられる一面（３０ｂ）側に突出する突起部（３４ａ）が圧力検出室（４０）を囲むように備えられ、突起部（３４ａ）が一面（３０ｂ）に接することで、メタルダイアフラム（３４）と第２のケース（３０）との間のシール性が確保されていることを特徴としている。
【００１６】
このような構成としても、請求項１と同様の効果を得ることができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明では、第１のケース（１０）とメタルダイアフラム（３４）との間のうち、圧力検出室（４０）の外周位置には、Ｏリング（４３）もしくはオイルシール（７０）が設けられていることを特徴としている。このように、例えばＯリング（４３）もしくはオイルシール（７０）により、圧力検出室（４０）を閉塞することができる。
【００１８】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【００２０】
（第１実施形態）
以下、本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図１に、本実施形態における圧力センサＳ１の断面図を示すと共に、図２に図１の部分拡大図を示し、これらの図に基づいて説明する。なお、この圧力センサＳ１は、例えば、自動車に搭載され自動車のエアコンの冷媒配管内の冷媒圧力を検出するものに適用される。
【００２１】
図１に示されるように、第１のケースとしてのコネクタケース１０は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では略円柱状をなしている。この樹脂ケースとしてのコネクタケース１０の一端部（図１中、下方側の端部）には、凹部１１が形成されている。
【００２２】
この凹部１１の底面には、圧力検出用のセンシング部としてのセンサ素子２０が配設されている。
【００２３】
センサ素子２０は、その表面に受圧面としてのダイアフラムを有し、このダイアフラムの表面に形成されたゲージ抵抗により、ダイアフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイアフラム式のものである。
【００２４】
そして、センサ素子２０は、ガラス等よりなる台座２１に陽極接合等により一体化されており、この台座２１を凹部１１の底面に接着することで、センサ素子２０はコネクタケース１０に搭載されている。
【００２５】
また、コネクタケース１０には、センサ素子２０と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル１２が貫通している。
【００２６】
本実施形態では、ターミナル１２は黄銅（真鍮）にメッキ処理（例えばＮｉメッキ）を施した材料よりなり、インサートモールドによりコネクタケース１０と一体に成形されることによってコネクタケース１０内にて保持されている。
【００２７】
各ターミナル１２の一端側（図１中、下方端側）の端部は、センサ素子２０の搭載領域の周囲において凹部１１の底面から突出して配置されている。一方、各ターミナル１２の他端側（図１中、上方端側）の端部は、コネクタケース１０の他端側の開口部１５内に露出している。
【００２８】
この凹部１１内に突出する各ターミナル１２の一端部とセンサ素子２０とは、金やアルミニウム等のボンディングワイヤ１３により結線され電気的に接続されている。
【００２９】
また、凹部１１内にはシリコン系樹脂等からなるシール剤１４が設けられており、このシール剤１４によって、凹部１１に突出するターミナル１２の根元部とコネクタケース１０との隙間が封止されている。
【００３０】
また、一方、図１において、コネクタケース１０の他端部（図１中、上方側の端部）側は開口部１５となっており、この開口部１５は、ターミナル１２の他端側を例えばワイヤハーネス等の外部配線部材（図示せず）を介して上記外部回路（車両のＥＣＵ等）に電気的に接続するためのコネクタ部となっている。
【００３１】
つまり、開口部１５内に露出する各ターミナル１２の他端側は、このコネクタ部によって外部と電気的に接続が可能となっている。こうして、センサ素子２０と外部との間の信号の伝達は、ボンディングワイヤ１３およびターミナル１２を介して行われるようになっている。
【００３２】
また、図１に示されるように、コネクタケース１０の一端部には、第２のケースとしてのハウジング３０が組み付けられている。具体的には、ハウジング３０には収容凹部３０ａが形成されており、この収容凹部３０ａ内にコネクタケース１０の一端側が挿入されることで、コネクタケース１０にハウジング３０が組みつけられた構成となっている。
【００３３】
これにより、第１のケースとしてのコネクタケース１０と第２のケースとしてのハウジング３０とが一体に組み付けられてなるケーシング１００が構成されており、このケーシング１００内にセンサ素子２０が設けられた形となっている。
【００３４】
このハウジング３０は、例えばアルミニウム（Ａｌ）等の金属材料よりなるものであり、測定対象物からの測定圧力が導入される圧力導入孔３１と、圧力センサＳ１を測定対象物に固定するためのネジ部３２とを有する。上述したように、測定対象物としては、たとえば自動車エアコンの冷媒配管などであり、測定圧力は、その冷媒配管内の冷媒圧力などである。
【００３５】
さらに、コネクタケース１０の先端面１０ａとハウジング３０における収容凹部３０ａのうちコネクタケース１０の先端面１０ａと対向する一面３０ｂとの間に、薄い金属（たとえばＳＵＳ等）製のメタルダイアフラム３４が挟み込まれている。
【００３６】
そして、図１に示されるように、ハウジング３０のうち収容凹部３０ａ側の端部がコネクタケース１０の一端部にかしめられることで、かしめ部３６が形成され、それによって、ハウジング３０とコネクタケース１０とが固定され一体化されている。
【００３７】
こうして組み合わせられたコネクタケース１０とハウジング３０とにおいて、コネクタケース１０の凹部１１とハウジング３０のダイアフラム３４との間で、圧力検出室４０が構成されている。
【００３８】
この圧力検出室４０には圧力伝達媒体であり封入液であるオイル（フッ素オイル等）４１が充填され封入されている。このオイル４１の封入により、凹部１１にはセンサ素子２０及びワイヤ１３等の電気接続部分を覆うようにオイル４１が充填され、さらに、オイル４１はダイアフラム３４により覆われて封止された形となる。
【００３９】
このような圧力検出室４０を構成することにより、圧力導入孔３１から導入された圧力は、メタルダイアフラム３４、オイル４１を介して、圧力検出室４０内のセンサ素子２０、ボンディングワイヤ１３、ターミナル１２に印加されることになる。
【００４０】
また、本実施形態の圧力センサにおいては、図２に示されるように、コネクタケース１０の先端面１０ａには、圧力検出室４０の外周を囲むように、環状の溝（Ｏリング溝）４２が形成され、この溝４２内には、圧力検出室４０を気密封止するためのＯリング４３が配設されている。さらに、ハウジング３０の一面３０ｂには、環状の溝４２と対向するように環状の溝（Ｏリング溝）４４が形成され、この溝４４内には、メタルダイアフラム３４とハウジング３０との間のシール性を確保するためのＯリング４５が配設されている。
【００４１】
これらＯリング４３、４５は例えばシリコンゴム等の弾性材料よりなり、コネクタケース１０とハウジング３０とにより挟まれて押圧されている。こうして、メタルダイアフラム３４とＯリング４３とにより圧力検出室４０が封止され閉塞されると共に、メタルダイアフラム３４とＯリング４５により圧力導入孔３１を通じて測定対象となる流体が導入される背室が閉塞される。
【００４２】
次に、上記圧力センサＳ１の製造方法について図１を参照して説明する。
【００４３】
まず、ターミナル１２がインサート成形されたコネクタケース１０を用意する。シリコン系樹脂等よりなる接着剤を用いて、コネクタケース１０の凹部１１内へセンサ素子２０を台座２１を介し接着固定する。
【００４４】
そして、凹部１１内へシール剤１４を注入し、シール剤１４を、凹部１１の底面まで行き渡らせる。ここで、シール剤１４がセンサ素子２０の表面に付着しないように、注入量を調整する。
【００４５】
続いて、注入したシール剤１４を硬化させる。そして、ワイヤボンディングを行って、各ターミナル１２の一端部とセンサ素子２０とをボンディングワイヤ１３で結線し、電気的に接続する。
【００４６】
そして、センサ素子２０側を上にしてコネクタケース１０を配置し、コネクタケース１０の上方から、ディスペンサ等によりフッ素オイル等よりなるオイル４１を、凹部１１へ一定量注入する。
【００４７】
続いて、メタルダイアフラム３４をコネクタケース１０の先端面１０ａ側に配置したのち、メタルダイアフラム３４の上にＯリング４５をＯリング４３と対向する位置に配置する。そして、ハウジング３０を用意し、このハウジング３０を上から水平を保ったまま、コネクタケース１０に嵌合するように降ろす。この状態のものを真空室に入れて真空引きを行い圧力検出室４０内の余分な空気を除去する。
【００４８】
その後、コネクタケース１０の先端面とハウジング３０の一面３０ｂとが十分接するまで押さえることによって、メタルダイアフラム３４とＯリング４３によってシールされた圧力検出室４０が形成されると共に、メタルダイアフラム３４とＯリング４５によってメタルダイアフラム３４とハウジング３０との間のシール構造が構成される。
【００４９】
次に、ハウジング３０の端部をコネクタケース１０の一端側にかしめることにより、かしめ部３６を形成する。こうして、ハウジング３０とコネクタケース１０とを一体化することにより、かしめ部３６によるコネクタケース１０とハウジング３０との組み付け固定がなされる。また、かしめ部３６により、コネクタケース１０をハウジング３０の収容凹部３０ａ内に挿入する方向への押圧力が加えられ、上記圧力検出室４０の閉塞とメタルダイアフラム３４およびハウジング３０との間のシール構造が維持される。このようにして、図１に示される圧力センサＳ１が完成する。
【００５０】
かかる圧力センサＳ１の基本的な圧力検出動作について述べる。
【００５１】
圧力センサＳ１は、たとえば、ハウジング３０のネジ部３２を介して、車両におけるエアコンの冷媒配管系の適所に取り付けられる。そして、該配管内の圧力がハウジング３０の圧力導入孔３１より圧力センサＳ１内に導入される。
【００５２】
すると、導入された圧力がメタルダイアフラム３４から圧力検出室４０内のオイル４１を介して、センサ素子２０の表面すなわち受圧面に印加される。そして、印加された圧力に応じた電気信号がセンサ信号として、センサ素子２０から出力される。
【００５３】
このセンサ信号は、センサ素子２０からワイヤ１３、ターミナル１２を介して、上記外部回路へ伝達され、冷媒配管の冷媒圧力が検出される。このようにして、圧力センサＳ１における圧力検出が行われる。
【００５４】
以上説明したように、本実施形態の圧力センサでは、ハウジング３０の一面３０ｂに環状の溝（Ｏリング溝）４４を形成し、この溝４４内にＯリング４５を配置した構造としている。このような構造により、メタルダイアフラム３４とハウジング３０との間のシール性を確保することが可能となる。
【００５５】
そして、Ｏリング４５によるシール構造であることから、ハウジング３０を構成する材料の種類が変わったとしても、メタルダイアフラム３４とハウジング３０との間のシール性を確保することができる。従って、ハウジング３０を構成する材料の種類によらず、ハウジング３０とメタルダイアフラム３４との間のシール構造を実現できる圧力センサとすることができる。
【００５６】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、上記第１実施形態とは異なるシール構造により、メタルダイアフラム３４とハウジング３０との間のシール性を確保するものである。図３は、本実施形態に係る圧力センサの部分拡大断面図である。なお、本実施形態の圧力センサは、第１実施形態と比べてメタルダイアフラム３４近傍の構造が異なる以外は第１実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。
【００５７】
図３に示されるように、メタルダイアフラム３４の外周において、メタルダイアフラム３４の表裏面には、例えばゴムで構成された断面矩形状を成すパッキン５１、５２が備えられている。図４は、これらメタルダイアフラム３４およびパッキン５１、５２のみを図示したものであり、パッキン５１、５２は、図４に示されるように、予めメタルダイアフラム３４に接着されている。
【００５８】
そして、コネクタケース１０の先端面には、パッキン５１の位置決めをするためのストッパ部１０ｂが形成され、ハウジング３０の一面３０ｂにも、パッキン５２の位置決めをするためのストッパ部３０ｃが形成された構造となっている。
【００５９】
このような構成によっても、パッキン５１によって圧力検出室４０の閉塞が行えると共に、パッキン５２によってメタルダイアフラム３４およびハウジング３０との間のシール構造が実現できる。これにより、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６０】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、上記第１実施形態とは異なるシール構造により、メタルダイアフラム３４とハウジング３０との間のシール性を確保するものである。図５は、本実施形態に係る圧力センサの部分拡大断面図である。なお、本実施形態の圧力センサは、第１実施形態と比べてメタルダイアフラム３４近傍の構造が異なる以外は第１実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。
【００６１】
図５に示されるように、メタルダイアフラム３４の外周には、例えばゴムで構成された断面円形状を成すシール部材６０が形成されている。このシール部材６０は、メタルダイアフラム３４の表裏面にわたって形成されいる。図６は、これらメタルダイアフラム３４およびシール部材６０のみを図示したものであり、シール部材６０は、図６に示されるように、予めメタルダイアフラム３４にインサート成型されている。
【００６２】
そして、コネクタケース１０の先端面およびハウジング３０の一面３０ｂには、シール部材６０の位置決めをするためのストッパ部１０ｂ、３０ｃが形成された構造となっている。
【００６３】
このような構成によっても、シール部材６０によって圧力検出室４０の閉塞が行えると共に、メタルダイアフラム３４およびハウジング３０との間のシール構造が実現できる。これにより、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６４】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、上記第１実施形態に対して、圧力検出室４０の閉塞をＯリング以外のもので行ったものである。図７は、本実施形態に係る圧力センサの部分拡大断面図である。なお、本実施形態の圧力センサは、その他の部分については、第１実施形態と同様である。
【００６５】
この図に示されるように、図１に示したＯリング４３に代えてオイルシール７０が溝４２内に充填された構造となっている。このように、圧力検出室４０の閉塞をオイルシール７０によって行っても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６６】
（第５実施形態）
本発明の第５実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、上記第１実施形態とは異なるシール構造により、メタルダイアフラム３４とハウジング３０との間のシール性を確保するものである。図８は、本実施形態に係る圧力センサの部分拡大断面図である。なお、本実施形態の圧力センサは、第４実施形態と比べてメタルダイアフラム３４近傍の構造が異なる以外は第４実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。
【００６７】
図８に示されるように、メタルダイアフラム３４の外周には、ハウジング３０の一面３０ｂ側に向けて突出する突起部３４ａが形成されている。図９は、メタルダイアフラム３４のみを図示したものであり、この図に示されるように、予めメタルダイアフラム３４を成型する際に突起部３４ａが備えられた形状としている。
【００６８】
このような構成によれば、コネクタケース１０とハウジング３０との間にメタルダイアフラム３４を挟み込む際に、突起部３４ａがハウジング３０の一面３０ｂに食い込み、メタルダイアフラム３４およびハウジング３０との間のシール構造が実現できる。これにより、第４実施形態と同様の効果を得ることができる。
（他の実施形態）
上記各実施形態において、圧力検出室４０には、オイル４１が封入されていなくてもよい。つまり、メタルダイアフラム３４を介して圧力検出室４０内のセンサ素子２０に測定圧力が印加されればよく、圧力検出室４０内の圧力伝達媒体としては気体等であっても構わない。
【００６９】
また、第１のケース１０や第２のケース３０の材質などについても、それぞれ樹脂や金属というように限定されるものではなく、適宜変更可能である。
【００７０】
また、センサ素子２０は、上記したダイアフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイヤフラム式のものに限定されるものではない。
【００７１】
上記第４実施形態では、オイルシール７０と第１実施形態で示したＯリング４５との組み合わせを例に挙げて説明したが、オイルシール７０と第２実施形態で示したパッキン５２との組み合わせとすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧力センサの全体概略を示す断面図である。
【図２】上記第１実施形態に係る圧力センサの部分拡大図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る圧力センサの断面図である。
【図４】上記第２実施形態に係る圧力センサのメタルダイアフラムおよびパッキンの拡大図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る圧力センサの断面図である。
【図６】上記第３実施形態に係る圧力センサのメタルダイアフラムおよびシール部材の拡大図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係る圧力センサの断面図である。
【図８】上記第５実施形態に係る圧力センサの断面図である。
【図９】本発明の第５実施形態に係る圧力センサのメタルダイアフラムの拡大図である。
【図１０】従来の圧力センサの断面図である。
【図１１】上記従来の圧力センサの部分拡大図である。
【符号の説明】
【００７３】
１０…第１のケースとしてのコネクタケース、
２０…センシング部としてのセンサ素子、３０…第２のケースとしてのハウジング、
３４…メタルダイアフラム、３６…かしめ部、４２、４４…溝、４３、４５…Ｏリング、
５１、５２…パッキン、６０…シール部材、７０…オイルシール、１００…ケーシング。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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