(57)【要約】【課題】  検査対象物の形状検査の精度を向上させ、かつ作業効率の向上を図ることができる外観検査装置および外観検査方法を提供する。【解決手段】  検査対象物Ｍの表面上に縞状の光パターンＰを照射する照射手段２と、検査対象物Ｍの表面で反射した前記光パターンＰを受光して画像情報３ａに変換する撮影手段３と、該撮影手段３から得た画像情報３ａに基づいて、検査対象物Ｍの一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出する第１算出手段４００と、該第１演算手段４００から得た前記形状情報に基づいて前記断面形状の正確さを表現する一または複数の検査項目に関する検査情報を算出する第２算出手段４０１と、該第２算出手段４０１から得た検査情報を、予め設定された判定基準値と比較することにより検査対象物Ｍの良否を判定する判定手段４０３とを備える。【選択図】  図１
2005227201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の表面上に照射光を照射する照射手段と、
検査対象物の表面で反射した前記照射光を受光して画像情報に変換する撮影手段と、
該撮影手段から得た画像情報に基づいて、検査対象物の一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出する第１算出手段と、
該第１演算手段から得た前記形状情報に基づいて前記断面形状の正確さを表現する一または複数の検査項目に関する検査情報を算出する第２算出手段と、
該第２算出手段から得た前記検査情報を、予め設定された判定基準値と比較することにより、検査対象物の良否を判定する判定手段とを備える、外観検査装置。
【請求項２】
前記第１算出手段が、位相シフト法を用いて前記検査対象物の一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出するように構成されている、請求項１記載の外観検査装置。
【請求項３】
複数の検査項目を記憶する記憶手段を備えており、
該記憶手段に記憶されている複数の検査項目のうちから検査対象物の形状に応じた検査項目を選択する選択手段をさらに備える、請求項１または２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記選択手段が、検査対象物が円錐状または球状に形成されている場合、前記検査項目として、少なくとも真円度、面積変化量、重心座標移動量、形状相似度を選択するように構成されている、請求項３記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記選択手段が、検査対象物が角錐状であって底面が小判状若しくは矩形状に形成されている場合、または、検査対象物が六面体状であって底面が矩形状かつ両側面が台形状に形成されている場合、前記検査項目として、少なくとも面積変化量、重心座標移動量、形状相似度を選択するように構成されている、請求項３記載の外観検査装置。
【請求項６】
検査対象物の形状に応じた前記各検査項目ごとに、良品の判定基準値として第１上下閾値を設定するとともに、不良品の判定基準値として前記第１上閾値を超える第２上閾値と前記第１下閾値を下回る第２下閾値とを設定する設定手段をさらに備えており、
前記判定手段は、前記第２算出手段から得た各検査項目に対応する検査情報が良品の前記第１上下閾値の間にあるときに検査対象物を良品であると判定し、該検査情報が不良品の前記第２上閾値以上であるときまたは前記第２下閾値以下であるときに検査対象物が不良品であると判定し、該検査情報が良品の前記第１上閾値と不良品の第２上閾値との間にあるときまたは良品の前記第１下閾値と不良品の前記第２下閾値との間にあるときに良否の判定が難しく詳細検査が必要な限度品であると判定するように構成されている、請求項１乃至５記載の外観検査装置。
【請求項７】
前記設定手段は、この外観検査装置によって計測された少なくとも良見本、不良見本、および、良否の判定が難しい限度見本の形状情報に基づいて算出された、前記各検査項目に対応する良品に関する前記第１上下閾値と不良品に関する前記第２上下閾値とを、前記判定基準値として設定しうるように構成されている、請求項６記載の外観検査装置。
【請求項８】
前記設定手段は、検査対象物の形状に応じて、前記各検査項目の優先順位と、該各検査項目の判定結果に対応する点数とをさらに設定しうるように構成されており、
検査対象物に対する各検査項目の判定結果に基づいて前記点数をそれぞれ算出するとともにこれらの点数の合計値を算出する第３算出手段をさらに備えており、
前記判定手段が、第３算出手段によって算出された合計値が予め設定された第１設定値以上のときに検査対象物が良品であると判定し、この合計値が予め設定された第２設定値以下のときに検査対象物が不良品であると判定し、この合計値が前記第１および第２設定値の間にあるときに良否の判定が難しく詳細検査が必要な限度品であると判定するように構成されている、請求項６記載の外観検査装置。
【請求項９】
前記判定手段から得られる検査対象物の良否に関する情報を表示する表示手段をさらに備える、請求項１乃至８のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項１０】
前記表示手段は、前記判定手段が検査対象物を詳細検査する必要があると判定したときに、検査対象物を詳細検査する必要がある旨表示するように構成されている、請求項９記載の外観検査装置。
【請求項１１】
検査対象物の形状に応じた検査項目を選択し、
検査対象物の形状に応じた前記各検査項目ごとに、良品の判定基準値として第１上下閾値を設定するとともに、不良品の判定基準値として前記第１上閾値を超える第２上閾値と前記第１下閾値を下回る第２下閾値とを設定し、
検査対象物の表面上に照射光を照射し、
検査対象物の表面で反射した前記照射光を受光して画像情報に変換し、
該画像情報に基づいて、検査対象物の一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出するとともに、該形状情報に基づいて前記断面形状の正確さを表現する一または複数の検査項目に関する検査情報を算出し、
該検査情報を前記判定基準値と比較し、該検査情報が良品の前記第１上下閾値の間にあるとき検査対象物を良品であると判定し、該検査情報が不良品の前記第２上閾値以上であるときまたは前記第２下閾値以下であるときに検査対象物が不良品であると判定し、該検査情報が良品の前記第１上閾値と不良品の前記第２上閾値との間にあるときまたは良品の前記第１下閾値と不良品の前記第２下閾値との間にあるときに良否の判定が難しく詳細検査が必要な限度品であると判定する、外観検査方法。
【請求項１２】
検査対象物を詳細検査する必要があると判定されたとき、検査対象物の形状をさらに目視による詳細検査をして良品であるか否かを判定する、請求項１１記載の外観検査方法。
【請求項１３】
検査対象物を詳細検査する必要があると判定されたとき、検査対象物の形状をさらに高分解能を有する外観検査装置を用いて詳細検査をして検査対象物が良品であるか否かを判定する、請求項１１記載の外観検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位相シフト法を用いた外観検査装置および外観検査方法に関し、特に自動車部品、半導体電子部品その他の電子部品が実装されたプリント基板、または、プリント基板上に印刷されたクリームはんだやリフロー後のはんだなどの良否を判定する外観検査装置および外観検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、画像処理技術を用いてプリント基板上に印刷されたクリームはんだなどの良否を判定する外観検査装置が種々提案されている。
【０００３】
例えば特許文献１に開示された外観検査装置は、複数色の照射光を使用し、検査対象物の形状の変化を色で識別している。また特許文献２に開示された外観検査装置は、照射角度の異なる複数の照射光を使用し、検査対象物の形状を認識している。具体的には、これらの装置は、複数の照射光を検査対象物の表面上の別個の部位にそれぞれ照射し、それぞれの反射光を受光し画像処理することにより、検査対象物の形状を算出している。このようにこれらの装置は検査対象物の所定の部位の形状しか認識していないので、検査対象物の形状に関する情報に曖昧な部分を多く含むことになる。その結果、検査対象物の形状を正確に認識することが難しい。
【０００４】
またこれらの装置では、検査対象物の形状を正確に認識していないにも拘わらず、良品か不良品かの判定のみであるため、検査時の不良品の流出を恐れ、適正以上に判定条件を厳しく設定している場合が多い。そのためこれらの装置では、良品を不良品と判定する虚報が多くなり、不良判定品の目視による再検査の頻度が増える。
【特許文献１】特開平９−８９７９７号公報（第４頁）
【特許文献２】特開２０００−３０４５２０号公報（第２−３頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、検査対象物の形状検査の精度を向上させ、かつ作業効率の向上を図ることができる外観検査装置および外観検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る外観検査装置は、検査対象物の表面上に照射光を照射する照射手段と、検査対象物の表面で反射した前記照射光を受光して画像情報に変換する撮影手段と、該撮影手段から得た画像情報に基づいて、検査対象物の一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出する第１算出手段と、該第１演算手段から得た前記形状情報に基づいて前記断面形状の正確さを表現する一または複数の検査項目に関する検査情報を算出する第２算出手段と、該第２算出手段から得た前記検査情報を、予め設定された判定基準値と比較することにより、検査対象物の良否を判定する判定手段とを備える。
【０００７】
この構成では、検査対象物の３次元形状を２次元形状（所定高さ位置における断面形状）に置き換えることにより、検査対象物の形状を簡単且つ正確に算出することを可能にしている。そしてこのような正確な形状情報に基づいて前記断面形状の正確さを表現する一または複数の検査項目に関する検査情報を算出し、この検査情報に基づいて検査対象物の良否を判定している。これにより、検査対象物の良否判定を精度良く実施することができる。その結果、良品を不良品と判定する虚報が少なくなり、不良判定品の目視などによる再検査の頻度が減少する。
【０００８】
また２次元形状は３次元形状に比べて形状が簡単なので、３次元形状の検査に比べて適用可能な検査項目の種類も多い。従って、１つの２次元形状に対して複数の検査項目について検査することが可能となり、検査精度を向上させることが可能となる。
【０００９】
以上により、検査対象物の形状検査の精度を向上させ、かつ作業効率の向上を図ることが可能となる。
【００１０】
なお、上述した一または複数の高さ位置は、検査対象物の形状に応じて適宜設定される。例えば、検査対象物が複雑な形状をなす場合には、比較的多く（例えば、５つ）の高さ位置における断面形状の形状情報を算出し、検査対象物が簡単な形状をなす場合には、比較的少ない（例えば１つの）高さ位置における断面形状の形状情報を算出すればよい。また、上述した検査項目の数については検査対象物の形状に応じて適宜設定される。
【００１１】
前記第１算出手段が、位相シフト法を用いて前記検査対象物の一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出するように構成されることが望ましい。これにより、上述した検査対象物の一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を正確に算出することが可能となる。ここで、位相シフト法とは、縞状の光パターンの位相を一周期分（−π〜π）だけ変化させながら複数枚の光パターンの画像を撮影し、得られた複数の画像から位相分布を求める公知の方法である。
【００１２】
本発明に係る外観検査装置は、複数の検査項目を記憶する記憶手段を備えており、該記憶手段に記憶されている複数の検査項目のうちから検査対象物の形状に応じた検査項目を選択する選択手段をさらに備えることが望ましい。
【００１３】
この構成では、検査対象物の形状に応じた検査項目を選択することができるので、検査対象物の良否を適切に判定することが可能となる。その結果、検査対象物の形状検査の精度を向上させることが可能となる。
【００１４】
前記選択手段は、例えば検査対象物が円錐状または球状に形成されている場合、前記検査項目として、少なくとも真円度、面積変化量、重心座標移動量、形状相似度を選択するように構成されることが好ましい。また前記選択手段は、例えば検査対象物が角錐状であって底面が小判状若しくは矩形状に形成されている場合、または、検査対象物が六面体状であって底面が矩形状かつ両側面が台形状に形成されている場合、前記検査項目として、少なくとも面積変化量、重心座標移動量、形状相似度を選択するように構成されることが望ましい。このように検査対象物の形状に応じた検査項目を選択することにより、検査対象物の良否判定の精度を向上させることが可能となる。その結果、良品を不良品と判定する虚報が少なくなり、不良判定品の目視などによる再検査の頻度が減少する。これにより、検査対象物の形状検査の精度を向上させ、かつ作業効率の向上を図ることが可能となる。
【００１５】
本発明に係る外観検査装置は、検査対象物の形状に応じた前記各検査項目ごとに、良品の判定基準値として第１上下閾値を設定するとともに、不良品の判定基準値として前記第１上閾値を超える第２上閾値と前記第１下閾値を下回る第２下閾値とを設定する設定手段をさらに備えており、前記判定手段は、前記第２算出手段から得た各検査項目に対応する検査情報が良品の前記第１上下閾値の間にあるときに検査対象物を良品であると判定し、該検査情報が不良品の前記第２上閾値以上であるときまたは前記第２下閾値以下であるときに検査対象物が不良品であると判定し、該検査情報が良品の前記第１上閾値と不良品の第２上閾値との間にあるときまたは良品の前記第１下閾値と不良品の前記第２下閾値との間にあるときに良否の判定が難しく詳細検査が必要な限度品であると判定するように構成されることが望ましい。
【００１６】
この構成では、良品の判定基準値（第１上下閾値）だけでなく、不良品の判定基準値を設け、しかもこの判定基準値として前記第１上閾値を超える第２上閾値と前記第１下閾値を下回る第２下閾値とを設定している。このように良品および不良品の各判定基準値に差を設けることにより、検査対象物が良品か不良品かの判定だけでなく、良否の判定が難しい限度品の判定も行うことができる。これにより、従来の良品か不良品かの２者択一の判定のような、検査時の不良品の流出を恐れるあまり適正以上に判定基準値を厳しく設定するというようなことが回避される。その結果、良品を不良品と判定する虚報を従来に比べて少なくすることが可能となる。またこの場合、従来のように良品以外の全ての検査対象物を再検査（詳細検査）する必要がない。すなわち、限度品だけを再検査すればよい。その結果、再検査の頻度が減少する。以上により、検査対象物の形状検査の精度を向上させ、かつ作業効率の向上を図ることが可能となる。
【００１７】
前記設定手段は、この外観検査装置によって計測された少なくとも良見本、不良見本、および、良否の判定が難しい限度見本の各形状情報に基づいて算出された、前記各検査項目に対応する良品に関する前記第１上下閾値と不良品に関する前記第２上下閾値とを、前記判定基準値として設定しうるように構成されることが望ましい。
【００１８】
この構成では、目視検査などで良品、不良品または限度品と判定された各見本の形状情報を用いて判定基準値を定めるので、形状検査の精度を目視検査などと同等以上の高い精度まで向上させることが可能となる。その結果、上記同様、検査対象物の形状検査の精度を向上させ、かつ作業効率の向上を図ることが可能となる。
【００１９】
前記設定手段は、前記各検査項目の優先順位と、該各検査項目の判定結果に対応する点数とをさらに設定しうるように構成されており、検査対象物に対する各検査項目の判定結果に基づいて前記点数をそれぞれ算出するとともにこれらの点数の合計値を算出する第３算出手段をさらに備えており、前記判定手段が、第３算出手段によって算出された合計値が予め設定された第１設定値以上のときに検査対象物が良品であると判定し、この合計値が予め設定された第２設定値以下のときに検査対象物が不良品であると判定し、この合計値が前記第１および第２設定値の間にあるときに良否の判定が難しく詳細検査が必要な限度品であると判定するように構成されることが望ましい。
【００２０】
この構成では、上記同様、検査対象物が良品、不良品、および限度品のいずれに該当するかを容易に判定することができる。その結果、上記と同様の理由により、検査対象物の形状検査の精度を向上させ、かつ作業効率の向上を図ることが可能となる。
【００２１】
また各検査項目の点数によって詳細検査が必要な検査項目を判別することができる。これにより、限度品と判定された検査対象物を全ての検査項目について再検査（詳細検査）する必要がなくなる。その結果、検査対象物の形状検査の作業効率を向上させることができる。
【００２２】
本発明に係る外観検査装置は、前記判定手段から得られる検査対象物の良否に関する情報を表示する表示手段をさらに備えることが望ましい。これにより、検査対象物の良否に関する情報をユーザに容易に与えることが可能となる。この情報に基づいてユーザは検査対象物を簡単に選別することが可能となる。その結果、検査対象物の形状検査の作業効率の向上を図ることができる。
【００２３】
前記表示手段は、前記判定手段が検査対象物を詳細検査する必要があると判定したときに、検査対象物を詳細検査する必要がある旨表示するように構成されることが望ましい。これにより、検査対象物を詳細検査する必要があるか否かの情報をユーザに与えることができる。この情報に基づいてユーザは詳細検査が必要な検査対象物を簡単に選別することが可能となる。その結果、検査対象物の形状検査の作業効率が向上する。
【００２４】
本発明に係る外観検査方法は、検査対象物の形状に応じた検査項目を選択し、検査対象物の形状に応じた前記各検査項目ごとに、良品の判定基準値として第１上下閾値を設定するとともに、不良品の判定基準値として前記第１上閾値を超える第２上閾値と前記第１下閾値を下回る第２下閾値とを設定し、検査対象物の表面上に照射光を照射し、検査対象物の表面で反射した前記照射光を受光して画像情報に変換し、該画像情報に基づいて、検査対象物の一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出するとともに、該形状情報に基づいて前記断面形状の正確さを表現する一または複数の検査項目に関する検査情報を算出し、該検査情報を前記判定基準値と比較し、該検査情報が良品の前記第１上下閾値の間にあるとき検査対象物を良品であると判定し、該検査情報が不良品の前記第２上閾値以上であるときまたは前記第２下閾値以下であるときに検査対象物が不良品であると判定し、該検査情報が良品の前記第１上閾値と不良品の前記第２上閾値との間にあるときまたは良品の前記第１下閾値と不良品の前記第２下閾値との間にあるときに良否の判定が難しく詳細検査が必要な限度品であると判定する。
【００２５】
この構成によれば、上記のとおり、良品および不良品の各判定基準値に差を設けることにより、検査対象物が良品か不良品かの判定だけでなく、良否の判定が難しい限度品の判定も行うことができる。その結果、上記と同様の理由により、検査対象物の形状検査の精度を向上させ、かつ作業効率の向上を図ることが可能となる。
【００２６】
また本発明に係る外観検査方法において、検査対象物を詳細検査する必要があると判定されたとき、検査対象物の形状をさらに目視による詳細検査をして良品であるか否かを判定することが望ましい。または検査対象物を詳細検査する必要があると判定されたとき、検査対象物の形状をさらに高分解能を有する外観検査装置を用いて詳細検査をして検査対象物が良品であるか否かを判定してもよい。このように限度品と判定された検査対象物を目視検査などでさらに詳細検査することにより、限度品の中から良品を抽出することができる。その結果、検査対象物の形状検査の精度を向上させることが可能となる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、検査対象物の形状検査の精度を向上させ、かつ作業効率の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態に係る外観検査装置の構成の一例を示すブロック図である。この外観検査装置１は、縞状の光パターンＰを検査対象物Ｍの表面上に照射する照射装置２と、検査対象物Ｍの表面で反射した前記光パターンＰを受光して画像情報３ａに変換する撮影装置３と、この撮影装置３から受け取った画像情報３ａに基づいて検査対象物Ｍの良否を判定する演算処理装置４と、検査対象物Ｍと光パターンＰとの相対位置を変化させる変位装置５とを備える。
【００３０】
この変位装置５は、上面に検査対象物Ｍを載置するテーブル６と、このテーブル６を一方向（図１の矢符Ｘ方向）に所定速度で直線移動させる駆動機構７と、この駆動機構７を駆動させるモータ８と、このモータ８に電源を供給し駆動させるモータ駆動装置９とを備える。
【００３１】
前記テーブル６はリニアガイド（図示せず）によって水平に支持されたスライダなどからなる。前記駆動機構７はモータ８の回転動作をテーブル６の直線移動に変えるためのものであり、ボールねじまたはベルトなどからなる。テーブル６は、駆動機構７を介してモータ８に連結されている。その結果、モータ８の駆動によりテーブル６に載置された検査対象物Ｍを一方向（図１の矢符Ｘ方向）に直線移動させることが可能となる。なお、モータ８として位置決めが容易なサーボモータなどを使用することが望ましい。その他モータ８としてリニアモータを用いてもよい。これにより、テーブル６を直接直線移動させることができるので、前記駆動機構７を設けなくて良い。その結果、設備が簡素化される。
【００３２】
前記照射装置２は格子投影器であり、テーブル６の表面の法線方向に対して検査対象物Ｍの移動方向に所定の角度だけ傾斜させた方向（図１の矢符Ｌ方向）、すなわち、検査対象物Ｍの移動方向側の斜め上方から検査対象物Ｍの表面上に光パターンＰを照射するように配置される。
【００３３】
この光パターンＰとして例えばレーザ干渉縞などが用いられる。照射装置２がテーブル６上に光パターンＰを照射すると、テーブル６上に全体が楕円形状の縞状の光パターンＰが形成される。またこの光パターンＰは、図示されていないが位相シフト法による演算を簡易にするため一周期で光の強度が正弦波状に変化するように設定されている。
【００３４】
なお、ここでは、光パターンＰの形状を楕円形状にしているがこれに限定するものではない。例えば、矩形状であっても構わない。これにより、光パターンＰを照射する範囲を拡大することができる。またここではこの光パターンＰの周期（縞の間隔）を略同一としているが、複数の周期を有する光パターンＰを用いても構わない。これにより、検査対象物Ｍの形状変化が大きい場合であってもその形状を精度良く求めることが可能となる。具体的には、例えば、検査対象物Ｍの形状変化が緩やかな場合には１つの周期の光パターンＰを使用し、検査対象物Ｍの形状変化が急激である場合（例えば、段差がある場合）には複数（例えば２つ）の周期の光パターンＰを使用する。
【００３５】
前記撮影装置３は、テーブル６の上方に、テーブル６に対向して配置される。この撮影装置３は、検査対象物Ｍが所定の撮影範囲の真下にきたときに、検査対象物Ｍの表面上に形成される光パターンＰを撮影するように構成されている。そのため、撮影装置３は、検査対象物Ｍの移動に同期して撮影を行うことができるように構成されている。詳細は後述する。このような撮影装置３として、例えばＣＭＯＳ（相補性金属酸化膜半導体）イメージセンサが用いられる。
【００３６】
前記演算処理装置４は、入力部４０、演算部４１、記憶部４２、および出力部４３を備えており、これらはそれぞれ通信可能に接続されている。この演算処理装置４は、例えばキーボードなどのようなユーザによる外部入力を受け付ける設定装置１０と、演算処理結果を画面上に表示する表示部１１と、撮影装置３の撮影画像取込開始信号１２ａを出力するカウント比較装置１２と、テーブル６の位置を決める位置決め装置１３とにそれぞれ通信可能に接続されている。また、上述したモータ８にはテーブル６の現在位置を計測するための位置センサ１３ａが取り付けられており、この位置センサ１３ａは位置決め装置１３に通信可能に接続されている。
【００３７】
前記入力部４０は、撮影装置３およびカウント比較装置１２にそれぞれ通信可能に接続されており、撮影装置３からの画像情報３ａ、および、カウント比較装置１２からの画像取込開始情報１２ａが入力されるように構成されている。またこの入力部４０は設定装置１０に通信可能に接続されており、ユーザによる設定装置１０からの外部入力を受け付け可能に構成されている。またこの入力部４０には、論理回路からなる演算処理テーブル４０ａが組み込まれている。この演算処理テーブル４０ａは撮影装置３からの画像情報３ａに基づいて検査対象物Ｍの各部位の高さ情報を得るべく演算する機能などを備える。さらに入力部４０は、演算処理テーブル４０ａで得られた高さ情報を演算部４１に出力可能に接続されている。なお、ここでは、入力部４０が演算処理テーブル４０ａを備えるが、演算処理テーブル４０ａを記憶部４２に設けてもよい。
【００３８】
前記演算部４１はマイクロプロセッサを主体に構成されており、記憶部４２はリードオンリーメモリ（ＲＯＭ）およびランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）などを含み、演算部４１の動作手順を規定するプログラム、または、演算部４１によって処理されるべきデータを記憶する。
【００３９】
この演算部４１は、検査対象物Ｍの移動と撮影装置３の撮影とを同期させるために予め記憶部４２に記憶されたテーブル６の移動位置および移動速度に関する情報４３ａを、出力部４３を介して位置決め装置１３に送信するように構成されている。この位置決め装置１３は、受信したテーブル６の移動位置および移動速度に関する情報４３ａを、モータ駆動装置９に送信するように構成されている。これによりモータ駆動装置９の駆動は、テーブル６を前記受信した移動位置まで前記受信した移動速度で走行させるべく、制御される。
【００４０】
この演算部４１は、検査対象物Ｍの移動と撮影装置３の撮影とを同期させるため、前記記憶部４２に予め記憶された画像取込開始位置情報１２ｂを出力部４３を通じてカウント比較装置１２に送信するように構成されている。このカウント比較装置１２は、画像取込開始位置情報１２ｂと、位置センサ１３ａから位置決め装置１３を介して送信された移動中のテーブル６の現在位置情報１３ｂとを比較し、テーブル６の現在位置情報１３ｂが画像取込開始位置情報１２ｂと一致したときに前記入力部４０に画像取込開始情報１２ａを出力するように構成されている。そして入力部４０は、この画像取込開始情報１２ａに基づいて撮影装置３からの画像情報３ａを取込開始するようになっている。これにより、検査対象物Ｍの移動と撮影装置３の撮影とを同期させることが可能となる。その結果、検査対象物Ｍの表面上の所定部位と撮影した画像情報３ａとの対応付けがなされる。なお、この画像情報３ａの平面的な位置情報は、撮影装置３の画素数および画像情報３ａを取り込む順番などにより一意に設定されるものであり、記憶部４２に予め記憶されている。
【００４１】
以上により演算部４１は、画像情報３ａの平面的な位置情報と、この画像情報３ａにそれぞれ対応する前記演算処理テーブル４０ａによって算出された高さ情報とに基づいて、検査対象物Ｍの全体形状を算出することが可能となる。
【００４２】
またこの演算部４１は、以下に詳述する、第１算出手段４００、第２算出手段４０１および判定手段４０２をさらに備える。
（１）第１算出手段
第１算出手段４００は、上述した画像情報３ａに基づいて算出された検査対象物Ｍの全体形状から、検査対象物Ｍの一または複数の高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出するものである。ここで、一または複数の高さ位置は、設定装置１０を用いて検査対象物Ｍの形状に応じて予め設定され、記憶部４２内に記憶される。例えば、検査対象物Ｍが複雑な形状をなす場合には、比較的多い（例えば、５つの）高さ位置における断面形状の形状情報を算出する必要があるが、検査対象物Ｍが簡単な形状をなす場合には、比較的少ない（例えば１つの）高さ位置における断面形状の形状情報を算出すればよい。
【００４３】
具体的に、検査対象物Ｍが円錐状に形成されている場合を一例として図２に基づいて説明する。
【００４４】
図２は、検査対象物の５つの高さ位置における断面形状に関する形状情報について説明するための図であり、（Ａ−０）は外観図を示し、（Ａ−１〜Ａ−６）は検査対象物の底側から上方（撮影装置３側）に５つの各高さ位置までの矢符Ａ視側面形状を示し、（Ｂ−１〜Ｂ−６）は（Ａ−１〜６）にそれぞれ示した矢符Ａ視側面形状の上端に対応する矢符Ｂ視断面形状を示している。図２（Ｂ−２〜６）にそれぞれ示した各高さ位置における水平断面が検査対象となる。以下、これらの断面をそれぞれ断面１〜５と称する。
【００４５】
第１算出手段４００は、上述した画像情報３ａに基づいて算出された検査対象物Ｍの全体形状から、断面１〜５のそれぞれに関する形状情報、具体的には輪郭の位置情報をそれぞれ算出する。
【００４６】
なお、検査対象物Ｍとして、図３（ａ）に示すような円錐状のものに限定するものではなく、図３（ｂ）に示すような底部が円柱状であって上部が半球状（以下、単に球状と称する）のもの、図３（ｃ）、（ｄ）にそれぞれ示すような角錐状であって底面が矩形状若しくは小判状（以下、単に角錐状と称する）のもの、または、図３（ｅ）に示すような六面体状であって底面が矩形状かつ両側面が台形状に形成されたもののうち両側の三角柱状のもの（以下、単に六面体状と称する）などを用いることができる。
（２）第２算出手段
第２算出手段４０１は、前記第１演算手段４００から得た形状情報に基づいて、断面形状の正確さを表現する一または複数の検査項目に関する検査情報を算出するものである。
【００４７】
上述の断面形状の正確さを表現する一または複数の検査項目は、検査対象物Ｍの形状に応じて予め設定され、記憶部４２に記憶される。例えば、検査対象物Ｍの形状が円錐状または球状（図３（ａ）、（ｂ））である場合、前記検査項目として、少なくとも真円度、面積変化量、重心座標移動量、形状相似度が採用される。また検査対象物Ｍの形状が角錐状である場合（図３（ｃ）、（ｄ））、または、六面体状（図３（ｅ））である場合、前記検査項目として、少なくとも面積変化量、重心座標移動量、形状相似度が採用される。もちろんこれらの検査項目に限定されるものではない。
【００４８】
以上のように検査項目は検査対象物Ｍの形状に応じて異なる。従って、想定されうる全ての検査項目を記憶部４２に予め記憶させておくことが望ましい。さらに前記演算部４１が、この記憶部４２に記憶された検査項目の中から検査対象物Ｍの形状に応じた検査項目を選択する選択手段４０３をさらに備えることが望ましい。これにより、検査対象物Ｍの形状に応じた検査項目を選択することができるので、検査対象物Ｍの良否を適切に判定することが可能となる。その結果、検査対象物Ｍの形状検査の精度を向上させることが可能となる。
【００４９】
具体的には、この選択手段４０３は、ユーザが前記設定装置１０から入力した検査対象物Ｍの形状情報に基づいて、検査項目を自動的に選択するように構成されてもよい。またこれに代えてこの選択手段４０３が、撮影装置３によって撮影された検査対象物Ｍの画像情報３ａから得られた形状と、予め記憶部４２に記憶された各検査項目に対応する形状とを比較して、検査対象物Ｍの形状に対応した検査項目を自動的に選択するように構成されてもよい。もちろん選択手段４０３として、例えば機械式スイッチ、または、表示部１１の画面上に表示される論理スイッチのようなものを用いても構わない。この場合、ユーザが検査対象物Ｍの形状に応じて手動で検査項目を選択する。
【００５０】
そしてこれらの検査項目に関する検査情報は、以下のように算出される。
（ａ）真円度に関する検査情報
まず検査対象物Ｍの前記断面１〜５に関する形状情報に基づいて各断面１〜５の真円度をそれぞれ算出する。次いでこれらの真円度から真円度が１である場合を１００％として真円度の割合（％）をさらにそれぞれ算出する。以上のようにして「真円度に関する検査情報」を算出する。もちろん真円度を割合（％）を算出することなく、算出された真円度を、そのまま「真円度に関する検査情報」として用いても構わない。
（ｂ）面積変化量に関する検査情報
検査対象物Ｍの前記断面１〜５に関する形状情報に基づいて前記断面１および２の面積を算出し、断面１の面積から断面２の面積を引いて面積変化量を算出する。同様に、断面２および３、断面３および４、並びに断面４および５に関する面積変化量をそれぞれ算出する。以上のようにして「面積変化量に関する検査情報」を算出する。
（ｃ）重心座標移動量に関する検査情報
検査対象物Ｍの前記断面１〜５に関する形状情報に基づいて断面１〜５の各重心を算出し、この重心を外観検査装置１の座標に変換して重心座標を算出する。断面１および２にそれぞれ対応する重心座標より、重心座標のずれを算出する。同様に、断面２および３、断面３および４、並びに断面４および５に関する重心座標のずれをそれぞれ算出する。以上のようにして「重心座標移動量に関する検査情報」を算出する。
（ｄ）形状相似度に関する検査情報
検査対象物Ｍの前記断面１〜５に関する形状情報に基づいて、断面２の輪郭を、断面２の内接円が断面１の内接円に略一致するように縮尺を変更し、断面１の輪郭を基準として断面２の輪郭の径方向への飛び出し量またはへこみ量を算出する。同様に、断面２および３、断面３および４、並びに断面４および５に関する飛び出し量またはへこみ量をそれぞれ算出する。以上のようにして「形状相似度に関する検査情報」を算出する。
（３）判定手段
前記判定手段４０２は、この第２算出手段４０１から得た前記検査情報を、記憶部４２に予め設定された判定基準値と比較することにより、検査対象物Ｍの良否を判定するものである。
【００５１】
ここで、判定基準値は設定装置１０によって設定され、記憶部４２に記憶される。より具体的には、予めユーザが用意した、検査対象物Ｍの形状に応じた前記各検査項目（例えば、真円度）に対応する「良品」および「不良品」に関する各上下閾値（以下、それぞれを第１上下閾値および第２上下閾値という）を、設定装置１０からそれぞれ入力する。すると演算部４１は、これらの各上下閾値を判定基準値として記憶部４２に記憶する。ところで、前記第２上閾値は前記第１上閾値よりも大きな値に設定され、前記第２下閾値は前記第１閾値よりも小さな値に設定される。すなわち第１および第２上閾値の間に差が設けられ、第１および第２下閾値の間に差が設けられる。このように各閾値に差を設けることにより、「良品」であるか、「不良品」」であるか、あるいは後述の「上限限度品」若しくは「下限限度品」であるかの判定を可能にしている。
【００５２】
またこの方法に代えて以下のように判定基準値を設定してもよい。まず、予め目視検査などで選別した、各種の検査対象物Ｍの形状に対応した「良品」見本、「不良品」見本、並びに、良品と不良品との判定が難しい「上限限度品」および「下限限度品」の各見本を、それぞれ複数個準備する。これらを順次テーブル６上に置き、撮影装置３で撮影を開始する。撮影された画像情報３ａに基づいて上記各検査項目に対応する検査情報をそれぞれ算出する。これらの検査情報に基づいて、「良品」に関する第１上下閾値および「不良品」に関する第２上下閾値をそれぞれ算出する。これら第１および第２上下閾値を判定基準値として設定し、記憶部４２に記憶する。そのため、この場合には、前記設定装置１０に代えて判定基準値を設定するための設定手段を、演算部４１内に別個に設ける。以上の方法では、前記見本から直接判定基準値が算出されるので、判定基準値の精度を目視検査などと同等以上の高精度にすることが可能となる。これに伴い、検査対象物Ｍの形状検査の精度も向上する。
【００５３】
この判定手段４０２はこれらの判定基準値を用いて検査対象物Ｍの良否を判定する。具体的には、この判定手段４０２は、前記第２算出手段４０１から得た各検査項目に対応する検査情報に基づいて、各検査項目に対応するそれぞれの検査情報が「良品」の前記第１上下閾値の間にあるとき検査対象物Ｍを「良品」であると判定し、前記それぞれの検査情報が「不良品」の前記第２上閾値以上であるときまたは前記第２下閾値以下であるとき検査対象物Ｍが「不良品」であると判定し、前記それぞれの検査情報が「良品」の前記第１上閾値と「不良品」の前記第２上閾値との間にあるときまたは「良品」の前記第１下閾値と「不良品」の前記第２下閾値との間にあるとき良否の判定が難しく詳細検査が必要な「上限限度品」若しくは「下限限度品」であると判定する。そして検査対象物Ｍが詳細検査が必要な「上限限度品」若しくは「下限限度品」であると判定された場合、検査対象物Ｍは目視検査などでさらに詳細に検査される。もちろん、この詳細検査を、別体の高解像度の外観検査装置を用いて自動的に実施しても構わない。これにより省力化を図ることが可能となる。
【００５４】
以上により、「良品」を「不良品」と判定する虚報を従来に比べて少なくすることが可能となる。またこの場合、「上限限度品」若しくは「下限限度品」だけを再検査すればよいので、再検査の頻度が減少する。その結果、検査対象物の形状検査の精度を向上させ、かつ作業効率の向上を図ることが可能となる。
【００５５】
前記表示部１１は、前記判定手段４０２から得られる検査対象物Ｍの良否に関する情報を表示するように構成される。さらにこの表示部１１は、判定手段４０２が検査対象物Ｍを詳細検査する必要があると判定したときに、検査対象物Ｍを詳細検査する必要がある旨表示するように構成されてもよい。これにより、検査対象物Ｍの良否に関する情報、または、検査対象物Ｍを詳細検査する必要があるか否かの情報を、ユーザに容易に与えることが可能となる。これらの情報に基づいてユーザは検査対象物Ｍを「良品」、「不良品」、「限度品」に簡単に選別することが可能となる。その結果、検査対象物Ｍの形状検査の作業効率の向上を図ることができる。
【００５６】
また以上のように構成される外観検査装置１の変形例として以下に詳述するものを挙げることができる。なお、上述した実施形態と同等の部品には同一番号を付し、詳細な説明を省略する。
【００５７】
この外観検査装置１では、上述した設定装置１０が、検査対象物Ｍの形状に応じて、前記各検査項目の優先順位と、この各検査項目の判定結果に対応する「点数」とをさらに設定し得るように構成される。なお、この「点数」は、各検査項目の判定結果（上述した「良品」、「不良品」、「上限限度品」若しくは「下限限度品」のいずれに該当するか）に基づいて検査対象物Ｍの形状ごとに設定される。
【００５８】
上述した演算部４１内に、検査対象物Ｍの各検査項目に対する判定結果に基づいて各検査項目の「点数」をそれぞれ算出し、これらの「点数」を合計して合計値Ｈを算出する第３算出手段４０４がさらに設けられる。
【００５９】
上述した判定手段４０２は、前記合計値Ｈが第１設定値Ｈ１以上のときに検査対象物Ｍが「良品」であると判定し、この合計値Ｈが第２設定値Ｈ２以下のときに検査対象物Ｍが「不良品」であると判定し、この合計値Ｈが前記第１設定値Ｈ１および第２設定値Ｈ２の間にあるときに良否の判定が難しく詳細検査が必要な「上限限度品」若しくは「下限限度品」であると判定するように構成される。なお、上記第１設定値Ｈ１は、検査対象物Ｍの各検査項目に対する判定結果が「良品」である場合の各「点数」を合計した値である。また第２設定値Ｈ２は、検査対象物Ｍの各検査項目に対する判定結果が「不良品」である場合の各「点数」を合計した値である。詳細は後述する。
【００６０】
その他の構成は上述した実施形態と同等である。
【００６１】
以上のように構成される外観検査装置１の処理フローについて図４を用いて説明する。図４は、本発明の実施形態に係る外観検査装置の処理フロー図の一例を示す。
【００６２】
図示していないが、まず撮影装置３が検査対象物Ｍを撮影する。この撮影装置３から入力部４０に入力された画像情報３ａに基づいて演算処理テーブル４０ａが検査対象物Ｍの所定部位の高さ情報を算出する。演算部４１が、記憶部４２に予め記憶されている画像情報３ａの平面的な位置情報と、この画像情報３ａに対応する高さ情報とに基づいて、検査対象物Ｍの全体形状を算出する。この検査対象物Ｍの全体形状から検査対象物Ｍの一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出する。
【００６３】
その後、この形状情報に基づいて検査対象物Ｍの真円度、面積変化量、重心座標移動量および形状相似度に関する検査情報をそれぞれ算出する（ステップＳ１〜Ｓ４）。その後、ステップＳ１において算出された真円度に関する検査情報に基づいて、検査対象物Ｍが「良品」（図４中の「良」に対応する。以下「良」という）であるか、「不良品」（図４中の「不良」に対応する。以下「不良」という）であるか、「上限限度品」若しくは「下限限度品」（図４中の「詳細検査」に対応する。以下「詳細検査」という）であるかを判定する（ステップＳ５）。
【００６４】
ステップＳ５において検査対象物Ｍが「良」または「詳細検査」に該当すると判定された場合、面積変化量に関する検査情報に基づいて、検査対象物Ｍが「良」、「不良」または「詳細検査」のいずれに該当するかを判定する（ステップＳ６）。
【００６５】
ステップＳ６において検査対象物Ｍが「良」または「詳細検査」に該当すると判定された場合、重心座標移動量に関する検査情報に基づいて、検査対象物Ｍが「良」、「不良」または「詳細検査」のいずれに該当するかを判定する（ステップＳ７）。
【００６６】
ステップＳ７において検査対象物Ｍが「良」または「詳細検査」に該当すると判定された場合、形状相似度に関する検査情報に基づいて、検査対象物Ｍが「良」、「不良」または「詳細検査」のいずれに該当するかを判定する（ステップＳ８）。
【００６７】
ステップＳ５〜Ｓ８の各ステップにおいて、検査対象物Ｍが「不良」に該当すると判定された場合、総合判定として「不合格」にする（ステップＳ９）。すなわち、この検査対象物Ｍは「不良品」であると判定される。
【００６８】
ステップＳ８において検査対象物Ｍが「良」または「詳細検査」に該当すると判定された場合、ステップＳ５〜Ｓ８のうちいずれかのステップにおいて「詳細検査」に該当すると判定されていたか否かを、すなわち「詳細検査」が必要か否かを判定する（ステップＳ１０）。
【００６９】
ステップＳ１０において「詳細検査」が必要でないと判定された場合、すなわち検査対象物Ｍが「良品」であると判定された場合、総合判定として「合格」にする（ステップＳ１１）。
【００７０】
ステップＳ１０において「詳細検査」が必要であると判定された場合、検査対象物Ｍに対して詳細検査を実施する（ステップＳ１２）。この場合、上述した検査項目について詳細検査を実施する。この詳細検査結果が「不良」に該当するか否かを判定する（ステップＳ１３）。そして詳細検査の結果、検査対象物Ｍが「良」に該当すると判定された場合、総合判定として「合格」にする（ステップＳ１１）。詳細検査の結果、検査対象物Ｍが「不良」に該当すると判定された場合、総合判定として「不合格」にする（ステップＳ９）。
【００７１】
これら一連のステップが検査対象物Ｍに対して順次繰り返し実行される。以上のようにして検査対象品Ｍの形状検査を実施する。
【００７２】
また図４に示した外観検査装置１の処理フローに代えて、以下に述べるような処理フローを用いても良い。以下、詳細に説明する。
【００７３】
図５は、本発明の変形例に係る外観検査装置の処理フロー図の一例を示す。まず、設定装置１０を用いて、検査項目の優先順位と、各検査項目の判定結果に対応する「点数」とを設定する（ステップＳ２０）。ここでは、検査項目の優先順位を、重要度の高い方から真円度、面積変化量、重心座標移動量、形状相似度としている。各検査項目ごとに、その判定結果が「良」に該当する場合の「点数」、「不良」に該当する場合の「点数」、および「詳細検査」に該当する場合の「点数」をそれぞれ設定している。例えば真円度に対する判定結果が「良」に該当する場合「点数」をａ１とし、「詳細検査」に該当する場合「点数」をａ２とし、「不良」に該当する場合「点数」をａ３としている。他の検査項目に対しても同様である。なお、これらは検査対象物Ｍの形状に応じて適宜設定され得る。
【００７４】
その後、上記同様、図示していないが、まず撮影装置３が検査対象物Ｍを撮影する。この撮影装置３から入力部４０に入力された画像情報３ａに基づいて演算処理テーブル４０ａが検査対象物Ｍの所定部位の高さ情報を算出する。演算部４１が、記憶部４２に予め記憶されている画像情報３ａの平面的な位置情報と、この画像情報３ａに対応する高さ情報とに基づいて、検査対象物Ｍの全体形状を算出する。この検査対象物Ｍの全体形状から検査対象物Ｍの一または複数の所定高さ位置における断面形状に関する形状情報を算出する。
【００７５】
その後、この検査対象物Ｍの形状情報に基づいて検査対象物Ｍの真円度に関する検査情報をそれぞれ算出する（ステップＳ２１）。この算出結果に基づいて判定結果が「良」に該当するとき点数ａ＝ａ１、「詳細検査」に該当するときａ＝ａ２、「不良」に該当するときａ＝ａ３と設定する（ステップＳ２２）。次に前記検査対象物Ｍの形状情報に基づいて検査対象物Ｍの面積変化量に関する検査情報をそれぞれ算出する（ステップＳ２３）。この算出結果に基づいて判定結果が「良」に該当するとき点数ｂ＝ｂ１、「詳細検査」に該当するときｂ＝ｂ２、「不良」に該当するときｂ＝ｂ３と設定する（ステップＳ２４）。次に前記検査対象物Ｍの形状情報に基づいて検査対象物Ｍの重心座標移動量に関する検査情報をそれぞれ算出する（ステップＳ２５）。この算出結果に基づいて判定結果が「良」に該当するとき点数ｃ＝ｃ１、「詳細検査」に該当するときｃ＝ｃ２、「不良」に該当するときｃ＝ｃ３と設定する（ステップＳ２６）。次に前記検査対象物Ｍの形状情報に基づいて検査対象物Ｍの形状相似度に関する検査情報をそれぞれ算出する（ステップＳ２７）。この算出結果に基づいて判定結果が「良」に該当するとき点数ｄ＝ｄ１、「詳細検査」に該当するときｄ＝ｄ２、「不良」に該当するときｄ＝ｄ３と設定する（ステップＳ２８）。
【００７６】
以上のように設定あるいは算出された各検査項目に対する「点数（ａ〜ｄ）」を合計して合計値Ｈ（＝ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ）を算出する（ステップＳ２９）。この合計値Ｈが上述した第１設定値Ｈ１以上であるか、第２設定値Ｈ２以下であるか、または第１設定値Ｈ１と第２設定値Ｈ２との間であるかを判定する（ステップＳ３０）。この合計値Ｈが上述した第１設定値Ｈ１以上である場合、総合判定として「合格」にする（ステップＳ３１）。また合計値Ｈが上述した第２設定値Ｈ２以下である場合、総合判定として「不合格」にする（ステップＳ３２）。合計値Ｈが第１設定値Ｈ１と第２設定値Ｈ２との間である場合、真円度に関する点数ａがａ２であるか否かを判定する（ステップＳ３３）。
【００７７】
ステップＳ３３において真円度に関する点数ａがａ２である場合、検査対象物Ｍの真円度について詳細検査を実施する（ステップＳ３４）。この詳細検査結果が「不良」に該当するか否かを判定する（ステップＳ３５）。そして詳細検査の結果、検査対象物Ｍが「不良」に該当すると判定された場合、総合判定として「不合格」にする（ステップＳ３２）。詳細検査の結果、検査対象物Ｍが「良」に該当すると判定された場合、または、真円度に関する点数ａがａ２でない場合には、面積変化量に関する点数ｂがｂ２であるか否かを判定する（ステップＳ３６）。
【００７８】
ステップＳ３６において面積変化量に関する点数ｂがｂ２である場合、検査対象物Ｍの面積変化量について詳細検査を実施する（ステップＳ３７）。この詳細検査結果が「不良」に該当するか否かを判定する（ステップＳ３８）。詳細検査の結果、検査対象物Ｍが「不良」に該当すると判定された場合、総合判定として「不合格」にする（ステップＳ３２）。そして詳細検査の結果、検査対象物Ｍが「良」に該当すると判定された場合、または、面積変化量に関する点数ｂがｂ２でない場合には、重心座標移動量に関する点数ｃがｃ２であるか否かを判定する（ステップＳ３９）。
【００７９】
ステップＳ３９において重心座標移動量に関する点数ｃがｃ２である場合、検査対象物Ｍの重心座標移動量について詳細検査を実施する（ステップＳ４０）。この詳細検査結果が「不良」に該当するか否かを判定する（ステップＳ４１）。詳細検査の結果、検査対象物Ｍが「不良」に該当すると判定された場合、総合判定として「不合格」にする（ステップＳ３２）。そして詳細検査の結果、検査対象物Ｍが「良」に該当すると判定された場合、または、重心座標移動量に関する点数ｃがｃ２でない場合には、形状相似度に関する点数ｄがｄ２であるか否かを判定する（ステップＳ４２）。
【００８０】
ステップＳ４２において形状相似度に関する点数ｄがｄ２である場合、検査対象物Ｍの形状相似度について詳細検査を実施する（ステップＳ４３）。この詳細検査結果が「不良」に該当するか否かを判定する（ステップＳ４４）。詳細検査の結果、検査対象物Ｍが「不良」に該当すると判定された場合、総合判定として「不合格」にする（ステップＳ３２）。そして詳細検査の結果、検査対象物Ｍが「良」に該当すると判定された場合、総合判定として「合格」にする（ステップＳ３１）。
【００８１】
以上のようにすることにより、検査対象物Ｍを詳細検査する必要があると判定された場合であっても、必要な検査項目についてのみ詳細検査を行えば良いので、作業効率を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の実施の形態に係る外観検査装置の構成の一例を示すブロック図である。
【図２】検査対象物の５つの所定高さ位置における断面形状に関する形状情報について説明するための図であり、（Ａ−０）は外観図を示し、（Ａ−１〜Ａ−６）は検査対象物の底側から上方に５つの各高さ位置までの矢符Ａ視側面形状を示し、（Ｂ−１〜Ｂ−６）は（Ａ−１〜６）にそれぞれ示した矢符Ａ視側面形状の上端に対応する矢符Ｂ視断面形状を示す。
【図３】検査対象物の外観図を示しており、（ａ）円錐状に形成された検査対象物、（ｂ）は底部が円柱状であって上部が半球状に形成された検査対象物、（ｃ）、（ｄ）は角錐状であって底面が矩形状若しくは小判状に形成された検査対象物、（ｅ）は六面体状であって底面が矩形状かつ両側面が台形状に形成された検査対象物をそれぞれ示している。
【図４】本発明の一実施形態に係る外観検査装置の処理フロー図の別の一例を示す。
【図５】本発明の変形例に係る外観検査装置の処理フロー図の一例を示す。
【符号の説明】
【００８３】
１    外観検査装置
２    照射装置
３    撮影装置
４    演算処理装置
５    変位装置
６    テーブル
７    駆動機構
８    モータ
９    モータ駆動装置
１０    設定装置
１１    表示部
１２    カウント比較装置
１３    位置決め装置
１３ａ  位置センサ
４０    入力部
４０ａ  演算処理テーブル
４１    演算部
４００    第１算出手段
４０１    第２算出手段
４０２    判定手段
４０３    選択手段
４０４    第３算出手段
４２    記憶部
４３    出力部
Ｍ    検査対象物
Ｐ    光パターン
【図１】
2005227201.tif 000003
【図２】
2005227201.tif 000004
【図３】
2005227201.tif 000005
【図４】
2005227201.tif 000006
【図５】
2005227201.tif 000007