(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイパネルにおいて、工数の削減を図るとともに、低消費電力で低コスト化が可能な構成を提供することを目的とする。【解決手段】放電空間１６が形成されるように前面板２と背面板１０とを対向配置し、前面板２には走査電極４と維持電極５とを備える表示電極６と表示電極６の間の非放電部に遮光部７とを設け、背面板１０には放電により発光する蛍光体層１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂを設け、表示電極６を透明電極４ａ、５ａとバス電極４ｂ、５ｂとで構成し、バス電極４ｂ、５ｂを複数の電極層で構成するとともに電極層の少なくとも１層が抵抗率と膜厚との積が２Ωｃｍ2以下の黒色層であり、遮光部が抵抗率が１×１０6Ωｃｍ以上の黒色層である構成としている。【選択図】図１
2005203359.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、前面側の基板には走査電極と維持電極とを備える表示電極と当該表示電極の間の非放電部に遮光部とを設け、背面側の基板には放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルであって、前記表示電極を透明電極とバス電極とで構成し、前記バス電極を複数の電極層で構成するとともに前記電極層の少なくとも１層が抵抗率と膜厚との積が２Ωｃｍ2以下の黒色層であり、前記遮光部が抵抗率が１×１０6Ωｃｍ以上の黒色層であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、前面側の基板には走査電極と維持電極とを備える表示電極と当該表示電極の間の非放電部に遮光部とを設け、背面側の基板には放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルであって、前記表示電極を透明電極とバス電極とで構成し、前記バス電極を複数の電極層で構成するとともに前記電極層の少なくとも１層が抵抗率と膜厚との積が２Ωｃｍ2以下の黒色層であり、前記遮光部が抵抗率が１×１０5Ωｃｍ以上の黒色層であり、前記表示電極と前記遮光部とが電気的に絶縁されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
黒色層が少なくとも黒色顔料と導電材料とを含むことを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
導電材料が酸化ルテニウムもしくはルテニウムを含んだ酸化物であることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
導電材料が金属導電材料からなることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
金属導電材料がＡｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｕのうちの少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大画面で、薄型、軽量のディスプレイ装置として知られるプラズマディスプレイ装置のプラズマディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと呼ぶ）は、ガス放電により紫外線を発生させ、この紫外線で蛍光体を励起して発光させることにより画像表示を行っている。
【０００３】
ＰＤＰには、大別して、駆動形式としてのＡＣ型とＤＣ型とがあり、放電形式では面放電型と対向放電型とがある。しかしながら、高精細化、大画面化の容易性、および構造の簡素性、製造の簡便性などの面から現状では３電極構造で面放電のＡＣ型ＰＤＰが主流である。
【０００４】
ＡＣ型ＰＤＰは前面板と背面板とにより構成されている。前面板はガラスなどの基板上に走査電極と維持電極とからなる表示電極と、表示電極間の遮光部とそれらを覆う誘電体層と、さらにそれを覆う保護層とを形成している。また、背面板はガラスなどの基板上に前面板の表示電極に対して直交する複数のアドレス電極と、それを覆う誘電体層と、誘電体層上に隔壁とを形成している。前面板と背面板とを対向配置させることによって、表示電極とデータ電極との交差部に放電セルを形成し、且つ放電セル内に蛍光体層を設けている。
【０００５】
また、表示電極は透明電極とバス電極とを備え、バス電極は外光反射を抑制するための黒色電極と金属を主成分とする低抵抗の金属電極とを備えている。
【０００６】
ＰＤＰは、液晶パネルに比べて高速の表示が可能であること、視野角が広いこと、大型化が容易であること、自発光型であるため表示品質が高いことなどの理由から、フラットパネルディスプレイの中で最近特に注目を集め、多くの人が集まる場所での表示装置や家庭で大画面の映像を楽しむための表示装置として各種の用途に使用されている。
【０００７】
ここで、上述の、表示電極間の遮光部と表示電極を構成する黒色電極との構成として、電極群を基板に形成した複数の層で構成するとともに、その複数の層のうち１層を他の層よりシート抵抗の高い黒色層で黒色電極を構成し、この黒色層で遮光部も一体的に構成する例が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−８３５４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このように黒色層を遮光部と共用する場合、黒色層の抵抗が小さいと遮光部で静電容量が増大し消費電力が増加する。一方、逆に黒色層の抵抗が大きいと表示電極を形成する透明電極との電気抵抗が増大し、表示特性を損ねるといった課題がある。
【０００９】
本発明は、これらの課題を解決して、製造の工数を削減するとともに良好な画像表示を実現できるＰＤＰを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的を達成するために、本発明のＰＤＰは、少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、前面側の基板には走査電極と維持電極とを備える表示電極と当該表示電極の間の非放電部に遮光部とを設け、背面側の基板には放電により発光する蛍光体層を設けたＰＤＰであって、表示電極を透明電極とバス電極とで構成し、バス電極を複数の電極層で構成するとともに電極層の少なくとも１層が抵抗率と膜厚との積が２Ωｃｍ2以下の黒色層であり、遮光部が抵抗率が１×１０6Ωｃｍ以上の黒色層である構成としている。
【００１１】
このような構成とすることによって、バス電極の黒色層での電圧降下による放電不具合の影響と遮光部による電圧波形の干渉による放電不具合とを排除し、ＰＤＰ製造の工数を削減するとともに良好な画像表示を実現できるＰＤＰを提供することができる。
【００１２】
また、本発明のＰＤＰは、少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、前面側の基板には走査電極と維持電極とを備える表示電極と当該表示電極の間の非放電部に遮光部とを設け、背面側の基板には放電により発光する蛍光体層を設けたＰＤＰであって、表示電極を透明電極とバス電極とで構成し、バス電極を複数の電極層で構成するとともに電極層の少なくとも１層が抵抗率と膜厚との積が２Ωｃｍ2以下の黒色層であり、遮光部が抵抗率が１×１０5Ωｃｍ以上の黒色層であり、表示電極と遮光部とが電気的に絶縁された構成としている。
【００１３】
このような構成とすることにより、バス電極の黒色層での電圧降下による放電不具合の影響と遮光部による電圧波形の干渉による放電不具合とを排除し、ＰＤＰ製造の工数を削減するとともに良好な画像表示を実現できるＰＤＰを提供することができる。
【００１４】
さらに、黒色層が少なくとも黒色顔料と導電材料とを含むことが望ましく、黒色顔料によって遮光目的の黒色層を容易に実現することができる。
【００１５】
さらに、導電材料が酸化ルテニウムもしくはルテニウムを含んだ酸化物であることが望ましく、ルテニウムの黒色によってさらに遮光目的の黒色を実現することができる。
【００１６】
さらに、導電材料が、金属導電材料からなることが望ましく、体積抵抗率が調整された黒色層を容易に実現することができる。
【００１７】
さらに、金属導電材料が、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｕのうちの少なくとも一種を含むことが望ましく、体積抵抗率が調整された黒色層を容易に実現することができるとともに、ガラス基板の黄変などに対しても有効である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、バス電極の黒色層での電圧降下による放電不具合の影響と遮光部による電圧波形の干渉による放電不具合とを排除し、ＰＤＰ製造の工数を削減するとともに良好な画像表示を実現できるＰＤＰを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態におけるＰＤＰについて図面を用いて説明する。
【００２０】
（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの主要構成を示す断面斜視図である。図１において、ＰＤＰ１は、放電空間１６が形成されるように互いに対向配置した前面板２と背面板１０とで構成される。前面板２は、ガラス基板３上に走査電極４と維持電極５とからなる表示電極６を、面放電ギャップが形成されるようにストライプ状に配列して形成する。走査電極４と維持電極５はそれぞれ透明電極４ａ、５ａとバス電極４ｂ、５ｂとにより構成されている。
【００２１】
透明電極４ａ、５ａはガラス基板３上に電子ビーム蒸着法などによって形成された、例えばＩＴＯ膜などである。ガラス基板上３にベタ膜としてのＩＴＯ膜を形成した後に、レジストを塗布してパターニングし、ＩＴＯ膜をエッチングして透明電極４ａ、５ａを形成する。なお、透明電極４ａ、５ａの材料としてはＳｎＯ2なども用いることができる。
【００２２】
バス電極４ｂ、５ｂ複数の電極層で形成されており、そのうちの少なくとも１層が遮光部７を形成する材料と共通材料の黒色材料で形成された黒色層であり、材料としては黒色顔料（Ｃｒ−Ｃｏ−Ｍｎ系やＣｒ−Ｆｅ−Ｃｏ系の黒色酸化物など）とガラスフリット（ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系やＢｉ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系など）と導電材料との混合物である。この材料に、光重合開始剤、光硬化性モノマー、有機溶剤などを含ませた感光性黒色ペーストを用い、スクリーン印刷法などによって黒色層を形成する。さらに、電極層はこの黒色層の上に導電性電極層を設けている。具体的には導電性の電極層材料としては次のような材料を用いている。すなわち、Ａｇ材料などを含有する導電性材料と、ガラスフリット（ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系やＢｉ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系など）、重合開始剤、光硬化性モノマー、有機溶剤などを含む感光性Ａｇペーストである。このような感光性Ａｇペーストをスクリーン印刷法などで黒色層の上に成膜し、その後、フォトリソグラフィ法によってパターニングして導電性電極層を形成している。
【００２３】
一方、遮光部７は前述のようにバス電極４ｂ、５ｂを構成する黒色層と共通材料の黒色材料であるため、透明電極４ａ、５ａ上に黒色層を形成する際に、同時に形成することが可能であり、ＰＤＰ製造の工数を削減し、材料の利用効率を向上させること可能となる。すなわち、非放電部となる表示電極６間と表示電極６上に、黒色層の材料であり遮光部７の材料である黒色材料を成膜し、それぞれバス電極４ｂ、５ｂのパターンと遮光部７のパターンに合わせてパターニングし、バス電極４ｂ、５ｂの黒色層と遮光部７とを同時に形成することができる。なお、黒色層というのは、真黒の黒色だけでなく、灰色などの黒っぽい色であってもよい。
【００２４】
次に、以上のようにして形成した表示電極６と遮光部７とを誘電体層８で被覆する。誘電体層８は、鉛系のガラス材料を含むペーストを、例えばスクリーン印刷などで塗布、乾燥した後、焼成することによって形成する。その後、誘電体層８を保護層９で被覆して前面板２が完成する。保護層９は、例えばＭｇＯからなるものであり、蒸着やスパッタなどの成膜プロセスにより形成する。
【００２５】
一方、背面板１０は、ガラス基板１１上にアドレス電極１２をストライプ状などに形成する。具体的には、ガラス基板１１上にアドレス電極１２の材料となる感光性Ａｇペーストなどをスクリーン印刷法などにより形成し、その後、フォトリソグラフィ法などによってパターニングして焼成することで形成することができる。
【００２６】
次に、以上のようにして形成したアドレス電極１２を誘電体層１３により被覆する。誘電体層１３は、例えば鉛系のガラス材料を含むペーストをスクリーン印刷などで塗布、乾燥した後、焼成することによって形成する。また、ペーストをスクリーン印刷する代わりに、成型されたフィルム状の誘電体層の前駆体をラミネートして焼成することによって形成してもよい。
【００２７】
次に、隔壁１４をストライプ状などに形成する。隔壁１４はＡｌ2Ｏ3などの骨材とガラスフリットとを主剤とする感光性ペーストを印刷法やダイコート法などにより成膜し、フォトリソグラフィ法によりパターニングして焼成することで形成することができる。また、鉛系のガラス材料を含むペーストをスクリーン印刷法などにより所定のピッチで繰り返し塗布、乾燥した後、焼成することによって形成してもよい。ここで、隔壁１４の間隙の寸法は、例えば３２インチ〜５０インチのＨＤ−ＴＶの場合、１３０μｍ〜２４０μｍ程度である。
【００２８】
隔壁１４と隔壁１４との間の溝には、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各蛍光体粒子により構成される蛍光体層１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂを形成する。各色の蛍光体層１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂは各色の蛍光体粒子と有機バインダとからなるペースト状の蛍光体インキを塗布、乾燥し、これを４００℃〜５９０℃の温度で焼成して有機バインダを焼失させることによって、各蛍光体粒子を結着させて形成する。
【００２９】
以上のようにして作製した前面板２と背面板１０とを、前面板２の表示電極６と背面板１０のアドレス電極１２とがほぼ直交するように重ね合わせるとともに、周縁に封着用ガラスなどの封着部材を介挿し、これを、例えば４５０℃程度で１０分〜２０分間焼成して形成した気密シール層（図示せず）により封着する。そして、一旦、放電空間１６内を高真空（例えば、１．１×１０-4Ｐａ）に排気した後、放電ガスとして、例えばＮｅ−Ｘｅ５％の放電ガスを６６．５ｋＰａ（５００Ｔｏｒｒ）の圧力で封入し、ＰＤＰ１を作製する。
【００３０】
以上の構成により、図１に示すように、放電空間１６の表示電極６とアドレス電極１２との交差部が放電セル１７（単位発光領域）として動作する。
【００３１】
なお、本実施の形態では、黒色層の材料としては前述のように、黒色顔料、導電材料、フリットガラスであり、導電材料として酸化ルテニウムを用い、黒色層の抵抗率を酸化ルテニウムの添加量により調整してもよい。また、導電材料として金属導電材料を用い、金属導電材料（例えば、銀粉末）の添加量により黒色層の抵抗率を調整してもよい。
【００３２】
次に、表示電極６および遮光部７の構造およびその電気的特性についてより詳細に説明する。
【００３３】
図２は本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの表示電極６と遮光部７との構成を示す断面図である。図２に示すように、ガラス基板３上には表示電極６としての走査電極４と維持電極５と遮光部７とが設けられている。走査電極４と維持電極５とが一対となって表示電極６を形成し、それぞれの表示電極６間の非放電部となる領域に遮光部７が設けられている。走査電極４と維持電極５とは、ガラス基板３上に形成したＳｎＯ2やＩＴＯからなる透明電極４ａ、５ａと、透明電極４ａ、５ａの遮光部７側に設けられたバス電極４ｂ、５ｂとにより形成されている。バス電極４ｂ、５ｂは黒色層１８ａと黒色層１８ａ上に形成された導電性電極１９との２層の電極層によってされている。
【００３４】
バス電極４ｂ、５ｂの黒色層１８ａは遮光部７の黒色層１８ｂと同一材料であり、黒色層１８ａと黒色層１８ｂとが接続されて形成されている。すなわち隣接する表示電極６が黒色層１８ａと遮光部７の黒色層１８ｂとにより接続されている。
【００３５】
ここで、本発明の実施の形態では、バス電極４ｂ、５ｂを構成する黒色層１８ａは抵抗率と膜厚との積が２Ωｃｍ2以下となるようにし、黒色層１８ｂにより構成される遮光部７の抵抗率が１×１０6Ωｃｍ以上となるように構成している。
【００３６】
このように、隣接する表示電極６間が遮光部７によって電気的に接続されている場合には、遮光部７の黒色層１８ｂの抵抗率が１０6Ωｃｍ未満の低抵抗率であれば、例えば一方の表示電極６を流れる電流の一部が遮光部７を通って隣接する別の表示電極６へと漏れる。そのため、一方の表示電極６の電圧波形が隣接する別の表示電極６の電圧波形に干渉し、所望の電圧波形を放電セルに供給できなくなる。しかしながら、本発明の実施の形態では黒色層材料の抵抗率を１０6Ωｃｍ以上の高抵抗率にしているため、黒色層１８ｂの抵抗値が十分高くなってこれらの現象が実用上問題とならないレベルとすることができる。
【００３７】
一方、遮光部７と同一材料である黒色層１８ａの抵抗率が高抵抗率になると導電性電極１９から透明電極４ａ、５ａに電流が流れるときの黒色層１８ａでの電圧降下により、放電に必要な電圧が放電セルに供給されないといった現象が発生する。この現象は黒色層１８ａの抵抗率と膜厚との積が０．５Ωｃｍ2以上のとき起きはじめ、２Ωｃｍ2以上になると顕著となるが、本実施の形態では、抵抗率と膜厚との積を２Ωｃｍ2以下とすることによりこの現象が実用上問題とならないレベルとすることができる。
【００３８】
なお、電気抵抗は、一般には抵抗率やシート抵抗で定義されるが、黒色層１８ａについて抵抗率と膜厚との積で定義したのは以下の理由による。
【００３９】
黒色電極の抵抗値と抵抗率との間には下記の関係式が成り立つ。
【００４０】
Ｒ＝ρ×ｔ／Ｓ
ここで、Ｒは抵抗値、ρは抵抗率、ｔは膜厚、Ｓは面積である。
【００４１】
このように、抵抗率は抵抗値・膜厚・電極面積から算出することはできるが、以下のような理由で見かけ上の同一材料で形成した遮光部７の黒色層１８ｂよりもその抵抗率が小さくなる。すなわち、黒色層１８ａと導電性電極１９とは印刷法など厚膜プロセスで形成することから、その膜厚が一定ではなく、局所的に黒色層１８ａの膜厚の小さいところが発生しその部分が低抵抗となる。また、導電性電極１９を構成する導電性材料が黒色層１８ａに拡散し黒色層１８ａの抵抗率が低下する。さらには、バス電極４ｂ、５ｂを露光現像してパターニングする際に、現像時の黒色層１８ａのオーバーエッチングによって導電性電極１９下部の黒色層１８ａが失われ、透明電極４ａと導電性電極１９とが直接接触するなどが考えられる。
【００４２】
電圧−電流特性の測定から抵抗値Ｒを求め、外観測定から電極面積Ｓを測定することが可能であるが、上記の理由から黒色電極の膜厚や抵抗率を正確に測定することは非常に困難である。そこで、本発明では、後述する測定法によって、抵抗値Ｒと電極面積Ｓとの積から容易に算出される抵抗率と膜厚との積で黒色層１８ａの電気的特性を規定するようにしている。
【００４３】
（第２の実施の形態）
図３は本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの表示電極６と遮光部７との構成を示す断面図である。本発明の第２の実施の形態が第１の実施の形態と異なるのは、図３に示すように表示電極６と遮光部７との間にスリット２０を設け、両者を電気的に絶縁した構造とし、遮光部７の抵抗率を１×１０5Ωｃｍ以上としていることであり、他の構成は第１の実施の形態と同じである。
【００４４】
なお、スリット２０はバス電極４ｂ、５ｂの黒色層１８ａと遮光部７の黒色層１８ｂとを一体で形成した後に、パターニングによって形成している。
【００４５】
このように、本発明の第２の実施の形態によれば、遮光部７と表示電極６とが電気的に絶縁されているため、一方の表示電極６の電圧波形が隣接する別の表示電極６に干渉することがなく、遮光部７を構成する黒色層１８ｂおよびバス電極４ｂ、５ｂを形成する黒色層１８ａの材料としては、より低抵抗の材料を選択することが可能となる。
【００４６】
しかし、遮光部７の黒色層１８ｂの抵抗値が低抵抗になると、遮光部７を介した表示電極６間（図３のＡ部）の静電容量が増加することから、パネル駆動時の電力消費が増大するという問題が発生する。このため、黒色層１８ｂの抵抗率をむやみに低下させることはできず、静電容量・消費電力を抑制するためにはある程度の絶縁性を保持させておく必要がある。具体的な黒色層１８ｂの抵抗率は、パネルの構造、ガラス基板や誘電体などの材料によって変動するが、１×１０5Ωｃｍ以上とすることによって消費電力の増加を抑制することができる。
【００４７】
ここで、本発明における黒色層１８ａと黒色層１８ｂの抵抗率と膜厚との積の測定方法、あるいは抵抗率の測定方法について詳述する。
【００４８】
まず、図４を用いてバス電極４ｂ、５ｂの黒色層１８ａの抵抗率と膜厚との積の測定方法について述べる。図４は黒色層の抵抗率と膜厚との積を求める方法のフローを示す図である。
【００４９】
まず、測定用試料の作製方法を説明する。ガラス基板３１上に透明電極ベタ膜３２を形成する。このとき透明電極のパターニングを行う必要はない（図４（Ａ））。引き続き、透明電極ベタ膜３２上に感光性黒色ペーストを印刷法などの手法で塗布した後、乾燥を行い、黒色層乾燥ベタ膜３３を形成する（図４（Ｂ））。次に、黒色層乾燥ベタ膜３３上に感光性導電性ペーストを印刷法などの手法で塗布した後、乾燥を行い、導電層乾燥ベタ膜３４を形成する（図４（Ｃ））。このようにして形成された黒色層乾燥ベタ膜３３と導電層乾燥ベタ膜３４を、形状が１００μｍ（Ｗ）×２０ｍｍ（Ｌ）でそれぞれ１００μｍの間隔（Ｇ）に形成されるように露光マスク３５を用いて露光する（図４（Ｄ））。その後、現像し焼成することによって、ガラス基板３１上の透明電極ベタ膜３２にストライプ状の黒色層３８と導電性電極３９との２層からなる電極パターンが形成される（図４（Ｅ））。
【００５０】
図４（Ｅ）に示すように、互いに隣接する電極パターン間の抵抗値（Ｒ）を、探針３６Ａ、３６Ｂを用いて抵抗測定装置３７により計測する。ここで、試料の線幅（Ｗ）および長さ（Ｌ）は測長機で、黒色層３８の膜厚（ｄ）は電極破断面を走査型電子顕微鏡などで観察して測定し、測定結果を
ρ×ｔ＝Ｒ×Ｗ×Ｌ
に代入して抵抗率ρと膜厚ｔとの積を算出する。なお、黒色層３８の膜厚は一般に均一ではないので、ここでは黒色層３８の平均膜厚を黒色層３８の膜厚とする。このような算出方法では実際には透明電極ベタ膜３２の抵抗も含まれるが、黒色層３８の抵抗よりも透明電極ベタ膜３２の抵抗が十分小さいため無視することができる。
【００５１】
次に、図５を用いて遮光部７の黒色層１８ｂの抵抗率の測定方法について述べる。図５は遮光部の黒色層の抵抗率を求める方法のフローを示す図である。
【００５２】
まず、ガラス基板４１上に感光性黒色ペーストを印刷法などの手法で塗布して乾燥を行い、黒色層ベタ膜４２を形成する（図５（Ａ））。引き続き、黒色層ベタ膜４２の全面を露光する。その後、感光性導電性ペーストを印刷法などの手法で塗布して乾燥を行い、導電層乾燥ベタ膜４３を形成する（図５（Ｂ））。このようにして形成された黒色層ベタ膜４２、導電層乾燥ベタ膜４３を、形状が１００μｍ（Ｗ２）×２０ｍｍ（Ｌ２）であって、それぞれの５ｍｍの間隔（Ｇ２）をあけて形成されるように露光マスク４４を用いて露光する（図５（Ｃ））。その後、現像し焼成することによってガラス基板４１上の黒色層ベタ膜４２上に導電性電極４７が形成される（図５（Ｄ））。
【００５３】
図５（Ｄ）に示すように、お互いに隣接する導電性電極４７間の抵抗値（Ｒ２）を探針４５Ａ、４５Ｂを用いて抵抗測定装置４６により計測する。また、試料の長さ（Ｌ２）、間隔（Ｇ２）は測長機で、遮光部の膜厚（ｄ２）は触針式粗さ計を用いて測定する。測定結果を
ρ２＝Ｒ２×ｄ２×Ｌ２／Ｇ２
に代入して計算することにより遮光部の黒色層の抵抗率ρ２を求めることができる。
【００５４】
なお、このような測定方法では、実際には導電性電極４７下部の黒色層ベタ膜４２部分の抵抗成分も含まれることになるが、Ｇ２をＷ２よりも十分大きくとることにより無視することができる。
【００５５】
表１は本発明の第２の実施の形態、すなわち遮光部７の黒色層１８ｂと表示電極６との間にスリット２０を設けて、遮光部７と表示電極６とを電気的に絶縁したＰＤＰについて、黒色層１８ａ、１８ｂの特性を変え、非点灯時の消費電力および表示特性を比較して示したものである。
【００５６】
【表１】
2005203359.tif 000003
【００５７】
表１において、黒色層１８ａ、１８ｂの導電材料としては、Ｎｏ．２〜Ｎｏ．５はいずれもルテニウム系酸化物であり、ルテニウム系酸化物の含有量を変化させることで抵抗率を変化させた。また、Ｎｏ．１はルテニウム系酸化物に銀粉末を添加したものであり、Ｎｏ．６は導電材料を含まないものである。一方、Ｎｏ．７は従来例であって、遮光部とバス電極の黒色層とをそれぞれ別個の黒色電極材料および遮光部材料を用いて作製している。
【００５８】
ここで、非点灯時の消費電力は画面全体を黒表示としたときの消費電力であり、従来例Ｎｏ．７との比較で示し、また、表示特性は従来例であるＮｏ．７が完全点灯したときの電圧でそれぞれのＰＤＰを駆動させたときに点灯するかどうかで示している。
【００５９】
表１に示すように、抵抗率が２×１０4Ωｃｍより低抵抗の遮光部を有するパネルＮｏ．１、Ｎｏ．２は、非点灯時の消費電力が従来例のＮｏ．７よりも大きく、遮光部の抵抗率の低下ともに非点灯時の消費電力が増大した。また、遮光部の抵抗率が１×１０5Ωｃｍより高抵抗になると、非点灯時の消費電力はほぼ一定となった。
【００６０】
一方、バス電極の黒色層の抵抗率と膜厚との積が０．５Ωｃｍ2より高抵抗になると、画面の一部で放電空間に印加される電圧が不足して輝度が若干低下する現象がみられた。この現象は黒色層の抵抗率と膜厚との積が２Ωｃｍ2以上になるＮｏ．５、Ｎｏ．６でさらに顕著となり、画面全域に非点灯部あるいは輝度低下部が広がった。
【００６１】
一方、本発明であるＮｏ．３およびＮｏ．４は、非点灯時の消費電力および表示特性のいずれにおいても良好な結果を示した。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
以上説明したように本発明によれば、ＰＤＰ製造の工数を削減するとともに良好な画像表示を実現できるＰＤＰを提供でき、大画面表示装置などに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの主要構成を示す断面斜視図
【図２】同ＰＤＰの表示電極と遮光部との構成を示す断面図
【図３】本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの表示電極と遮光部との構成を示す断面図
【図４】バス電極の黒色層の抵抗率と膜厚との積を求める方法のフローを示す図
【図５】遮光部の黒色層の抵抗率を求める方法のフローを示す図
【符号の説明】
【００６４】
１    ＰＤＰ
２    前面板
３，１１    ガラス基板
４    走査電極
５    維持電極
４ａ，５ａ    透明電極
４ｂ，５ｂ    バス電極
６    表示電極
７    遮光部
８，１３    誘電体層
９    保護層
１０    背面板
１２    アドレス電極
１４    隔壁
１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ    蛍光体層
１６    放電空間
１７    放電セル
１８ａ，１８ｂ    黒色層
１９    導電性電極
２０    スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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