(57)【要約】【課題】  小形化でき簡単な構造のポンプを提供することである。【解決手段】  中空なケース１内に摺動自在に挿入されケース１内に空間Ａを区画する永久磁石で形成されるピストン２を、コイルＬ１，Ｌ２で移動させ空間Ａを交互に膨張および収縮させることによる空間Ａの容積変化を利用して、空間Ａ内に導かれる流体を吐出する。したがって、従来のポンプのようにモータ等の回転運動を直線運動に変換する運動変換機構が不要となり、ポンプを小形化することが可能となる。また、上記した運動変換機構が不要となるので、構造を簡単にすることができる。【選択図】      図１
2005226593.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空なケース内に摺動自在に挿入されケース内に空間を区画するピストンを磁界発生手段で移動させ空間の容積変化を利用して流体を吐出することを特徴とするポンプ。
【請求項２】
中空なケースに設けられその内外を連通する一対の通路と、各通路の途中にそれぞれ設けた逆止弁と、ピストンを互いに対向する方向に吸引する一対の磁界発生手段とを備えた請求項１に記載のポンプ。
【請求項３】
中空なケースに設けられその内外を連通する一対の通路と、各通路の途中にそれぞれ設けた逆止弁と、ピストンを吸引する磁界発生手段と、ピストンを磁界発生手段がピストンを吸引する方向とは対向する方向に附勢する附勢手段とを備えた請求項１に記載のポンプ。
【請求項４】
筒状のケースを閉塞する一対の隔壁部材と、各隔壁部材にそれぞれ設けた逆止弁と、上記各隔壁部材の間のケース内に摺動自在に挿入されるピストンと、ピストンに設けた逆止弁とを備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のポンプ。
【請求項５】
各隔壁部材に孔を設け、当該孔に挿入されるとともにピストンに結合されるか摺動自在に挿通される軸を設けたことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のポンプ。
【請求項６】
ピストンが永久磁石で形成されるか永久磁石を備えたことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のポンプ。
【請求項７】
中空なケース内に空間を区画し磁性体もしくは永久磁石を備えた弾性膜もしくはベローズを磁界発生手段で移動させ空間の容積変化を利用して流体を吐出することを特徴とするポンプ。
【請求項８】
中空なケースに設けられその内外を連通する一対の通路と、各通路の途中にそれぞれ設けた逆止弁と、弾性膜もしくはベローズを互いに対向する方向に吸引する一対の磁界発生手段とを備えた請求項７に記載のポンプ。
【請求項９】
筒状のケースを閉塞する一対の隔壁部材と、各隔壁部材にそれぞれ設けた逆止弁と、上記各隔壁部材の間のケース内に設けた弾性膜もしくはベローズと、弾性膜もしくはベローズに設けた逆止弁とを備えたことを特徴とする請求項７または８に記載のポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般にいわゆる容積式ポンプにあっては、シリンダ内のピストンを往復動させてシリンダ内容積を変化させてシリンダ内に閉じ込められた流体を押し出すものが知られている。そして、ピストンの駆動にあたっては、モータや原動機の回転運動を直線運動に変換して、伝達することにより行われている（たとえば、非特許文献１参照）。
【非特許文献１】社団法人日本油空圧学会，新版油空圧便覧，第１版，株式会社オーム社，１９８９年２月２５日，ｐ２２８−２３９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来のポンプにあっては、ピストンの駆動に際し、上記したようにモータ等の回転運動を直線運動に変換する機構が必要であるので、構造が複雑となり必然的にポンプが大型になってしまう。
【０００４】
そこで、本発明は、上記の不具合を勘案して創案されたものであって、その目的とするところは、小形化でき簡単な構造のポンプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記した目的を達成するため、本発明は、中空なケース内に摺動自在に挿入されケース内に空間を区画するピストンを磁界発生手段で移動させ空間の容積変化を利用して流体を吐出することを特徴とする。
【０００６】
また、中空なケース内に空間を区画し磁性体もしくは永久磁石を備えた弾性膜もしくはベローズを磁界発生手段で移動させ空間の容積変化を利用して流体を吐出することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、従来のポンプのようにモータ等の回転運動を直線運動に変換する運動変換機構が不要となり、ポンプを小形化することが可能となる。また、上記した運動変換機構が不要となるので、構造を簡単にすることができ、ポンプ製造コストが低減される。
【０００８】
さらに、磁界発生手段により運動変換機構を介さず直接ピストン、弾性膜、ベローズを駆動することができるので、動力ロスが少なくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図に示した実施の形態に基づき、本発明を説明する。図1は、本発明の第１の実施の形態におけるポンプを概念的に示した図である。図２は、第２の実施の形態におけるポンプを概念的に示した図である。図３は、第３の実施の形態におけるポンプの縦断面図である。図４は、第４の実施の形態におけるポンプを概念的に示した図である。図５は、第５の実施の形態におけるポンプを概念的に示した図である。図６は、第６の実施の形態におけるポンプを概念的に示した図である。
【００１０】
図１に示すように、第１の本実施の形態におけるポンプは、ケース１と、ピストン２と、ケース１の外周側に形成した磁界発生手段たるコイルＬ１，Ｌ２と、ケース１内外を連通する通路３，４と、各通路３，４の途中にそれぞれ設けられた逆止弁Ｖ１，Ｖ２とで構成されている。
【００１１】
以下、詳細に説明すると、ケース１は、中空に形成されるとともに、非磁性体で形成されており、その図１中右端の右端壁１ａには孔１ｂが設けられている。また、ケース１の図１中左端の左端壁１ｃには、上記通路３，４が設けられ、さらに、通路３の途中には、ケース１の内方から外方へ向う流体の流れのみを許容する逆止弁Ｖ１が設けられ、他方の通路４の途中にはケース１の外方から内方へ向う流体の流れのみを許容する逆止弁Ｖ２が設けられている。なお、通路３は、ポンプの吐出口とされ、他方の通路４は、吸入口とされる。
【００１２】
また、ピストン２は、永久磁石で形成され、図１中左右端に磁極が出現するように配置され、ケース１の内周に摺動自在に挿入されている。したがって、ケース１内には、ピストン２により空間Ａが区画されている。なお、図示はしないが、ピストン２の外周側にＯリング等のシール部材を設けるとしてもよい。
【００１３】
そして、ケース１の外周側の右端側と左端側には、それぞれコイルＬ１，Ｌ２が設けられている。
【００１４】
第１の実施の形態におけるポンプは、上述したように構成され、つづいて、その作用について説明する。まず、コイルＬ２に上記ピストン２を吸引するように通電すると、ピストン２は、ケース１内を摺動して図１中右端側に移動する。すると、空間Ａは、膨張して容積が大きくなる。それに伴い、吸入口としての通路４から空間Ａ内に流体が流入することとなる。このとき、ケース１には孔１ｂが設けられているので、ピストン２の図１中右方は開放された空間となるので、この空間にある気体等の流体が圧縮されることによるピストン２の移動を妨げることはない。つづいて、コイルＬ２への通電を停止して、反対に、コイルＬ１にピストン２を吸引するように通電すると、こんどは、ピストン２は、コイルＬ１に吸引されてケース１内を摺動して図１中左端側に移動する。すると、空間Ａは、収縮して容積が小さくなる。それに伴い、吐出口としての通路３から空間Ａからケース１外方に流体が流出することとなる。そして、このポンプの吐出量は、コイルＬ１，Ｌ２への電流制御により制御することができる。
【００１５】
したがって、上記動作によりポンプ機能を果たすことができ、従来のポンプのようにモータ等の回転運動を直線運動に変換する運動変換機構が不要となり、ポンプを小形化することが可能となる。また、上記した運動変換機構が不要となるので、構造を簡単にすることができ、ポンプ製造コストが低減される。
【００１６】
さらに、磁界発生手段たるコイルＬ１，Ｌ２により運動変換機構を介さず直接ピストン２を駆動することができるので、動力ロスが少なくなる。
【００１７】
なお、本実施の形態においては、ピストン２を永久磁石としているが、ピストン２の一部を永久磁石としてもよく、また、ピストン２を磁性体で形成してもよいが、永久磁石を使用する方がコイルＬ１，Ｌ２への電流が小さくてすむという利点がある。さらに、ケース１を非磁性体としているが、ケース１の左端壁１ｃおよび右端壁１ａを磁性体として、コイルＬ１，Ｌ２への通電により上記左端壁１ｃおよび右端壁１ａを交互に励磁してピストン２を吸引するとしてもよい。
【００１８】
つぎに、図２に示す、第２の実施の形態におけるポンプについて説明する。なお、説明が重複するので、上記した実施の形態と同一の部材については同一の符号を付するのみとして、その詳しい説明を省略することとする。第２の実施の形態におけるポンプは、第１の実施の形態におけるポンプのコイルＬ１を廃して、ピストン２を図２中左方に附勢する付勢手段たる附勢バネＳをケース１内に設けたものである。
【００１９】
附勢バネＳは、ピストン２とケース１の図２中右端壁１ａとの間に介装され、上述のように、ピストン２をケース１の左端壁１ｃ側に向けて附勢している。
【００２０】
このように構成された第２の実施の形態におけるポンプにあっては、コイルＬ２に上記ピストン２を吸引するように通電すると、ピストン２は、附勢バネＳの付勢力に抗してケース１内を摺動して図２中右端側に移動する。すると、ケース１の左端壁１ｃとピストン２との間には空間が出現し、当該空間は膨張して容積が大きくなる。それに伴い、吸入口としての通路４から当該空間内に流体が流入することとなる。このとき、やはり、ケース１には孔１ｂが設けられているので、ピストン２の図２中右方は開放された空間となるので、この空間にある気体等の流体が圧縮されることによるピストン２の移動を妨げることはない。つづいて、コイルＬ２への通電を停止すると、ピストン２は、附勢バネＳの付勢力によりケース１内を摺動して図２中左端側に移動する。すると、空間は、収縮して容積が小さくなる。それに伴い、吐出口としての通路３から当該空間からケース１外方に流体が流出することとなる。そして、このポンプの吐出量は、コイルＬ２への電流制御により制御することができる。
【００２１】
したがって、第２の実施の形態のポンプにあっても、第１の実施の形態と同様に、上記動作によりポンプ機能を果たすことができ、従来のポンプのようにモータ等の回転運動を直線運動に変換する運動変換機構が不要となり、ポンプを小形化することが可能となる。また、上記した運動変換機構が不要となるので、構造を簡単にすることができ、ポンプ製造コストが低減される。
【００２２】
さらに、磁界発生手段たるコイルＬ２により運動変換機構を介さず直接ピストン２を駆動することができるので、動力ロスが少なくなる。
【００２３】
なお、本実施の形態においては、ピストン２を永久磁石としているが、ピストン２の一部を永久磁石としてもよく、また、コイルＬ１，Ｌ２への電流が大きくなるがピストン２を磁性体で形成してもよい。
【００２４】
さらに、本実施の形態においては、コイルＬ１を廃して附勢バネＳを設けるとしているが、ピストン２を永久磁石とするか、その一部を永久磁石とする限りにおいては、付勢バネＳをも廃して、コイルＬ１への通電方向を交互に切換えることによって、すなわち、ピストン２の吸引と反発を繰り返すことにより、ピストン２をケース１内で移動させるとしてもよい。
【００２５】
また、さらに、付勢手段を付勢バネＳとしているが、たとえば、孔１ｂを設けずに、ピストン２と右端壁１ａとの間に気体を充填しておいて、積極的にピストン２に気体を圧縮させることにより気体を付勢手段として利用してもよい。
【００２６】
つぎに、図３に示す第３の実施の形態について説明する。第３の実施の形態におけるポンプは、筒状のケース１０と、ケース１０内を閉塞する一対の隔壁部材１１，１２と、各隔壁部材１１，１２にそれぞれ設けた逆止弁Ｖ３，Ｖ４と、上記各隔壁部材１１，１２の間のケース１０内に摺動自在に挿入されるピストン１５と、ピストン１５に設けた逆止弁Ｖ５と、ピストン１５に結合された軸１６とで構成されている。
【００２７】
詳細に説明すると、ケース１０は、非磁性体であって筒状に形成されている。また、隔壁部材１１，１２は、いずれも、円板状に形成された隔壁部材本体２０と、隔壁部材本体２０に結合された円板２５とで構成されており、隔壁部材本体２０には、通路２１が設けられ、円板２５には、通路２１に連通する十字形の孔２６が設けられている。また、上記通路２１は、途中から各径するよう勾配する勾配面２２が形成され、この勾配面２２に着座する球状の弁体２３が設けられ、この弁体２３は、勾配面２２と円板２５との間を移動可能なようになっている。
【００２８】
したがって、たとえば、流体が通路２１を図３中左方から右方へ流れるときには、弁体２３は、流体により円板２５に押し付けられ、勾配面２２から離座して円板２５の孔２６の中心側の４つの角部２７に当接する。ここで、弁体２３を傷めないように、上記角部２７に面取りを施しておくとよい。
【００２９】
すると、弁体２３は、上記孔２６の全体をラップすることはないので、流体は孔２６を通過することができる。
【００３０】
また、逆に、流体が図３中右方から左方へ流れるときには、流体が円板２５の孔２６を通過すると、弁体２３を通路２１側へ押し付けるので、弁体２３は勾配面２２に着座して通路２１を閉じる。したがって、流体は通路２１を通過することができない。
【００３１】
すなわち、上記弁体２３と勾配面２２と孔２６は、逆止弁として作用することとなり、本実施の形態においては、逆止弁Ｖ３，Ｖ４は、上記弁体２３と勾配面２２と孔２６とで構成されている。なお、孔２６の形状は、たとえば、弁体の直径より幅が小さく長さが大きい長孔形状としてもよく、流体が図３中右方から左方へ流れるときに孔２６の全体をラップできず、かつ、弁体２３が通過できない形状とすればよい。
【００３２】
さらに、上記隔壁部材本体２０と円板２５の軸心部には、孔２４，２７が設けられており、この孔２４，２８内には、軸１６が摺動自在に挿入されている。また、軸１６には、その中央部に大径な大径部１７が設けられており、また、軸１６は非磁性体で形成されている。
【００３３】
そして、上記のように構成された隔壁部材１１，１２は、それぞれケース１０に設けた凹部１０ａ，１０ｂに係止され、ケース１０内での移動が防止されている。なお、隔壁部材１１，１２の固定に当たり上記のように凹部で係止するのであれば、具体的に、たとえば、ケース１０内に隔壁部材１１，１２を挿入することができるように、ケース１０を凹部１０ａの左端と凹部１０ｂの右端で縦に分断し３分割して、隔壁部材１１，１２をそれぞれ凹部１０ａ，１０ｂに収めた後に分割したものを接合すればよい。また、隔壁部材１１，１２の固定方法としては、他の方法を利用してもよく、たとえば、ケース１０の両端側から内周に螺子溝を設けておき、隔壁部材１１，１２を螺着するとしたり、スナップリングで固定したりしてもよい。
【００３４】
また、ピストン１５は、ケース１０内の隔壁部材１１と隔壁部材１２との間に摺動自在に挿入されており、このピストン１５により、ケース１０内が空間Ｂと空間Ｃとに区画されている。そして、ピストン１５は、有底筒状のピストン本体３０と、ピストン本体３０に内設される永久磁石３１と、ピストン本体３０の図３中左端側に結合され永久磁石３１の脱落を防止する円板３２と、ピストン本体３０の図３中右端側に結合される円板３３とで構成され、円板３２には孔３４が設けられ、ピストン本体３０には孔３４に連通する通路３５が設けられ、円板３３には通路３５に連通する十字形の孔３７が設けられている。
【００３５】
そして、上記通路３５は、途中から各径するよう勾配する勾配面３６が形成され、この勾配面３６に着座する球状の弁体４０が設けられ、この弁体４０は、勾配面３６と円板３３との間を移動可能なようになっている。
【００３６】
したがって、たとえば、上記した逆止弁Ｖ３，Ｖ４と同様に、流体が通路３５を図３中左方から右方へ流れるときには、その流れを許容し、逆向きに流体が流れる場合には、弁体４０が勾配面３６に着座して通路３５を閉じるので、上記弁体４０と勾配面３６と孔３７は逆止弁として作用し、逆止弁Ｖ５は、上記弁体４０と勾配面３６と孔３７とで構成されている。
【００３７】
また、ピストン本体３０の底部には、孔４１が設けられ、この孔４１には軸１６に設けた大径部１７が挿入され、さらに、ピストン本体３０に内設される永久磁石３１は、円筒状に形成され、図３中左右端に磁極が出現するように配置されるとともに、軸心部には上記大径部１７が挿入され、円板３２，３３の軸心部にも孔４２，４３が設けられ、この孔４２，４３の径は、軸１６が挿入されるとともに、円板３２，３３によって軸１６の大径部１７を左右両端から挟持できるように、軸１６の大径部１７以外の直径より大きく、かつ、大径部１７の直径より小さく設定されている。なお、本実施の形態においては、大径部１７以外の軸１６の直径と略同じに設定してある。すなわち、軸１６は、円板３２，３３に挟持されることでピストン１５に結合されている。なお、軸１６とピストン１５との結合については、上記した以外の手段、たとえば、螺合等を利用してもよい。
【００３８】
また、本実施の形態においても、ピストン１５の外周、具体的には、ピストン本体３０の外周に、ピストン１５とケース１０との間をシールするＯリング等のシール部材を設けるとしてもよい。
【００３９】
さらに、ケース１０の外周側であって、隔壁部材１１，１２の設けられている位置の近傍にコイルＬ３，Ｌ４が設けられている。コイルＬ３，Ｌ４が設けられる位置は、後述するように、ピストン１５を吸引してポンプとしての機能を果たせる限りにおいて他の位置に設けられるとされてもよい。
【００４０】
上述したように、第３の実施の形態におけるポンプは構成され、つづいて、その作用について説明する。まず、コイルＬ４に上記ピストン１５の永久磁石３１を吸引するように通電すると、ピストン１５は、軸１６とともにケース１０内を摺動して図３中右端側に移動する。
【００４１】
すると、空間Ｂは、膨張して容積が大きくなるとともに、空間Ｃは収縮して容積が小さくなる。それに伴い、隔壁部材１１に設けた通路２１から空間Ｂ内に流体が流入し、空間Ｃ内の流体は、ピストン１５により押し出され、隔壁部材１２に設けた通路２１からケース１０の外方へ流出することとなる。つづいて、コイルＬ４への通電を停止して、反対に、コイルＬ３にピストン１５の永久磁石３１を吸引するように通電すると、こんどは、ピストン１５は、コイルＬ３に吸引されて軸１６とともに、ケース１０内を摺動して図３中左端側に移動する。すると、空間Ｂは収縮して容積が小さくなり、空間Ｃは膨張して容積が大きくなる。それに伴い、空間Ｂ内の流体はピストン１５の通路３５を介して空間Ｃに移動する。そして、さらに、コイルＬ３への通電を停止し、コイルＬ４へ通電すると、空間Ｂには新たな流体が流入し、空間Ｃ内の流体はケース１０の外方へ流出する。このポンプの吐出量は、コイルＬ３，Ｌ４への電流制御により制御することができる。また、軸１６は、ピストン１５がケース１０内を移動する際には、ガイドとして機能し、ピストン１５は滑らかに移動することが可能である。
【００４２】
したがって、上記動作によりポンプ機能を果たすことができ、従来のポンプのようにモータ等の回転運動を直線運動に変換する運動変換機構が不要となるばかりでなく、ケースが筒状でよく、かつ、ケースの両端が吸入口と吐出口として機能するので、ポンプをより一層小形化することが可能となる。また、上記した運動変換機構が不要となるので、構造を簡単にすることができ、ポンプ製造コストが低減される。
【００４３】
さらに、磁界発生手段たるコイルＬ３，Ｌ４により運動変換機構を介さず直接ピストン１５を駆動することができるので、動力ロスが少なくなる。
【００４４】
さらに、本実施の形態においては、ケース１０が筒状でよく、管路を閉じたまま非接触でピストン１５を駆動できるので、このポンプを管路の任意の位置に可動部分に特別シールを設けることなく設置することができる。したがって、可動部分からの流体漏れ等の心配もない。また、流体漏れの心配がないので、流体をクリーンな状態に保つことが可能であり、たとえば、医療用にも使用することができる。
【００４５】
さらには、軸１６は、隔壁部材１１，１２に摺動自在に挿入されており、ピストン１５がケース１０内を移動する際には、ガイドとして機能するので、ピストン１５の滑らかな移動を実現することができ、軸１６のガイド機能によりピストン１５がケース１０の内周をかじることが防止され、ポンプの損傷が防止される。
【００４６】
なお、上記したところでは、軸１６がピストン１５に結合されるとともに、隔壁部材１１，１２に摺動自在に挿入されているが、反対に隔壁部材１１，１２に結合され、ピストン１５に軸１６が摺動自在に挿入されるとしてもよい。
【００４７】
また、本実施の形態においては、ピストン１５に永久磁石３１を内接するとしているが、ピストン１５自体を永久磁石で形成してもよい。この場合、逆止弁ＢＶ５の弁体４０は非磁性体で形成することが望ましい。さらに、ピストン１５を磁性体で形成し、永久磁石３１を省略するとしてもよいが、永久磁石を使用する方がコイルＬ３，Ｌ４への電流が小さくてすむという利点がある。さらに、隔壁部材１１，１２を磁性体として、コイルＬ３，Ｌ４への通電により上記隔壁部材１１，１２を交互に励磁してピストン１５を吸引するとしてもよい。
【００４８】
また、第２の実施の形態と同様に、どちらか一方のコイル、たとえば、コイルＬ３を廃して空間Ｂ内に附勢バネ等の付勢手段を設けるとしてもよく、さらに、コイルを１つだけ設けて電流を流す方向を変えてやるとしてもよい。
【００４９】
またさらに、逆止弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５を上記のように構成しているが、必ずしも上記のような構成とする必要はなく、他の構成、たとえば、リーフバルブを用いても良い。
【００５０】
つづいて、図４に示す第４の実施の形態について説明する。第４の実施の形態におけるポンプは、第１の実施の形態におけるポンプのピストン２の代わりにゴム等で形成される弾性膜５０を設けてケース１内に空間Ａを区画し、この弾性膜５０に永久磁石５１を固着したものである。
【００５１】
この第４の実施の形態では、コイルＬ２で永久磁石５１を吸引すると、弾性膜５０が図４中右方に撓んで空間Ａが膨張し、反対にコイルＬ１で永久磁石５１を吸引すると、弾性膜５０が図４中左方に撓んで空間Ａが収縮する。すなわち、第１の実施の形態と同様の効果を奏することが可能である。
【００５２】
また、第５の実施の形態におけるポンプでは、図５に示すように、第１の実施の形態におけるポンプのピストン２の代わりにゴム等で形成されるベローズ５２を設けてケース１内に空間Ａを区画し、このベローズ５２に永久磁石５３を固着したものである。
【００５３】
この第４の実施の形態では、コイルＬ２で永久磁石５３を吸引すると、ベローズ５２が図５中右方に縮まって空間Ａが膨張し、反対にコイルＬ１で永久磁石５３を吸引すると、ベローズ５２が図５中左方に伸長して空間Ａが収縮する。すなわち、第１の実施の形態と同様の効果を奏することが可能である。
【００５４】
なお、上記第４、第５の実施の形態におけるポンプにあっても、コイルを１つのみ使用してもよいことは無論である。
【００５５】
最後に、図６に示す第６の実施の形態について説明する。第６の実施の形態におけるポンプは、中空なケース６０と、ケース６０の両端側を閉塞する隔壁部材６１，６２と、隔壁部材６１，６２にそれぞれ設けた通路６３，６４と、各通路６３，６４にそれぞれ設けた逆止弁Ｖ６，Ｖ７と、ケース６０内を空間Ｄと空間Ｅとに区画する弾性膜６５と、弾性膜６５に形成した逆止弁Ｖ８と、弾性膜６５に固着した永久磁石６８と、コイルＬ５，Ｌ６とで構成されている。
【００５６】
なお、逆止弁Ｖ８は、弾性膜６５に設けた孔６６と、弾性膜６５と一体的に形成され孔６６を空間Ｅ側から覆う弁体６７とで構成され、空間Ｄから空間Ｅに向う流体の流れのみを許容する。なお、ケース６０側に通路を設け、その途中に逆止弁Ｖ８を設けて構わないし、弾性膜６５の中心部を貫通するように永久磁石６８が設けられるのであれば、永久磁石６８に通路を設けて通路の途中や出口端に逆止弁Ｖ８を設けるとしてもよい。ただし、永久磁石に６８に逆止弁Ｖ８を設ける場合にあっては、弁体は非磁性体で形成されることが望ましい。
【００５７】
そして、この第６の実施の形態におけるポンプにあっては、コイルＬ６に通電し、永久磁石６８を吸引すると、弾性膜６５が図６中右方に撓んで空間Ｄが膨張し、反対に空間Ｅが収縮し、空間Ｅ内の流体は通路６４を介してケース６０の外方に押し出されるとともに、空間Ｄの膨張により空間Ｄ内には、通路６３を介して流体が流入する。逆に、コイルＬ５で永久磁石６８を吸引すると、弾性膜６５が図６中左方に撓んで空間Ｄが収縮し、空間Ｅが膨張する。すると、空間Ｄ内の流体が逆止弁Ｖ８を通過して空間Ｅに流入する。さらに、コイルＬ５への通電を停止し、コイルＬ６で永久磁石６８を吸引すると、空間Ｅ内の流体がケース６０の外方へ流出し、他方、空間Ｄ内には通路６３を介して新たな流体が流入する。すなわち、第３の実施の形態と同様の効果を奏することが可能である。
【００５８】
また、本実施の形態におけるポンプでは、弾性膜６５を使用しているが、第５の実施の形態と同様にベローズを使用するとしても差し支えない。
【００５９】
以上で、本発明の実施の形態についての説明を終えるが、本発明の範囲は図示されまたは説明された詳細そのものには限定されないことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるポンプを概念的に示した図である。
【図２】第２の実施の形態におけるポンプを概念的に示した図である。
【図３】第３の実施の形態におけるポンプの縦断面図である。
【図４】第４の実施の形態におけるポンプを概念的に示した図である。
【図５】第５の実施の形態におけるポンプを概念的に示した図である。
【図６】第６の実施の形態におけるポンプを概念的に示した図である。
【符号の説明】
【００６１】
１，１０，６０  ケース
２，１５  ピストン
３，４，２１，３５，６３，６４  通路
１１，１２，６１，６２  隔壁部材
１６  軸
３１，５１，５３，６８  永久磁石
５０，６５  弾性膜
５２  ベローズ
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ  空間
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６  磁界発生手段たるコイル
Ｓ  付勢手段たる附勢バネ
Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６，Ｖ７，Ｖ８  逆止弁
【図１】
2005226593.tif 000003
【図２】
2005226593.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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