(57)【要約】【課題】  隙間および高さの微調整装置の部品点数を少なくし、調整が容易に行なうことができる、安価な搬送装置を提供する。【解決手段】筐体１と、筐体１の内壁に固定の固定側ベース２と、固定側ベース２に取付けられた直動軸受けレール４と、直動軸受けレール４をスライドする直動軸受けスライド部５と、筺体１と固定側ベース２と直動軸受けレール４と固定子８から成る固定側ユニットを直列に連結して拡張可能とする搬送装置において、筐体１と固定側ベース２の間にプレート１４が設けられ、プレート１４と固定側ベース２間に筐体１と固定側ベース２間に設けた隙間調整装置を、固定側ベース２に設けられた貫通穴および雌ネジ部と、プレート１４に設けられた雌ネジ部および突き当て部と、固定側ベース２の貫通穴を介してプレート１４の雌ネジ部と螺合するための調整ボルトと、固定側ベース２の雌ネジ部を介して突き当て部に突き当てられる隙間調整用スタッドボルトとから構成した。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部環境から内部を気密保護するボックス形状の筐体と、
前記筐体の内壁に固定された長板の固定側ベースと、
前記固定側ベースに取り付けられた直動軸受けレールと、
前記直動軸受けレールをスライドする直動軸受けスライド部と、前記直動軸受けスライド部に固定された可動側ベースと、
前記固定側ベースに取り付けられた固定子および前記可動側ベースに取り付けられた可動子から構成されるリニアモータと、
から構成される搬送装置であって、
前記筺体と、前記固定側ベースと、前記直動軸受けレールと、前記固定子から構成される固定側ユニットを直列に連結し、拡張可能な搬送装置において、
前記筐体と前記固定側ベースの間にプレートが設けられ、
前記プレートと前記固定側ベース間には前記筐体と前記固定側ベース間の隙間を調整するための隙間調整装置が設けられ、
前記隙間調整装置は、前記固定側ベースに設けられた貫通穴および雌ネジ部と、
前記プレートに設けられた雌ネジ部および突き当て部と、
前記固定側ベースの貫通穴を介して前記プレートの雌ネジ部と螺合するための調整ボルトと、
前記固定側ベースの雌ネジ部を介して前記突き当て部に突き当てられる隙間調整用スタッドボルトから構成されることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記固定側ベースに前記筐体に対する前記固定側ベースの高さを微調整するための高さ調整装置が設けられ、
前記高さ調整装置は、前記固定側ベース上端に設けられた雌ネジ部を有する調整用ブロックと、前記プレートの上面部に設けられた突き当て部と、前記調整用ブロックの雌ネジ部を介して前記突き当て部に突き当てられる隙間調整用スタッドボルトから構成されることを特徴とする請求項１記載のウェハ搬送装置。
【請求項３】
前記２本の直動軸受けレールがそれぞれ固定側ベースに設けられた段差に突き当てられて固定され、連結される側の前記直動軸受けレールが、前記固定側ベース端部より長く突き出し、連結側の前記直動軸受けレールが前記固定側ベースより短く、前記固定側ベース端部に連結用穴が設けられ、前記連結用穴にピンを挿入して連結されることを特徴とする請求項１又は２記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の固定側ユニットが直列で接続可能である搬送装置に関し、特にウェハ搬送装置同士の接続構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の固定側ユニットが直列で接続可能となったウェハ搬送装置自体は周知である。図９〜図１１は、このような複数の固定側ユニットの直列接続可能な従来のウェハ搬送装置を示している。図９は正断面図、図１０は図９におけるＢ方向矢視図、図１１は図９におけるＡ−Ａ断面図である。
図９において、筺体１は外部環境から粉塵等が入り込むのを防ぐ目的のもので、内部を気密保護するボックス形状をしている。その筐体１の内壁には、固定側ベース２が固定ボルト３により内壁に密着して固定されている。固定側ベース２には、直動軸受けレール４が２本互いに平行に紙面に対して垂直方向に取り付けられている（図１１参照）。この直動軸受けレール４上には、Ｘ方向にスライドする直動軸受けスライド部５がありそして、直動軸受けスライド部５に可動側ベース６が取り付けられている。
リニアモータ７は固定子８と可動子９から構成され、固定子８が固定側ベース２に、可動子９が可動側ベース６にそれぞれ取り付けられている。固定子８にはマグネットが装備され、可動子９にはコイルが装備されている。そこで可動子９のコイルに図示しない電源から駆動電流が流れコイルが励磁されると、可動子９には紙面に対して垂直方向（すなわち、図１１でのＸ方向）への駆動力が印加さ
れ、可動側ベース６が同方向へ駆動される。
可動側ベース６にはウェハ１０を搬送するウェハ搬送ロボット１１が搭載されている。筐体１には、処理前のウェハ１０が置いてあるロードポート１２と、ウェハ１０に所定の製造プロセスを行うプロセス室１３が取り付けられている。ロードポート１２とプロセス室１３はＸ方向（図１１）に複数設置されていて、ウェハ搬送ロボット１１は、リニアモータ７によりＸ方向へ移動して所望のロードポート１２のウェハ１０を受け取り、プロセス室１３へ搬送する。そしてプロセス室１３で処理を終えたウェハ１０はウェハ搬送ロボット１１によってロードポート１２へ搬送される。
【０００３】
ところが従来技術では、筐体、固定側ベース、直動軸受けレール、リニアモータ固定子、ロードポート、プロセス室から構成される固定側ユニットをＸ方向に直列接続し、搬送ロボットによるウェハ搬送を拡張しようとした際に、固定側ベースが筐体の内面に固定ボルトにより密着して取り付けられているため、接続部における直動軸受けレールの直進性を維持する固定側ベースの微調整装置がなく、固定側ユニットの拡張が困難であるという問題があった。
通常、直動レールの直進性は高精度な連結が必要で、連結部での変動が数十μm以下でなければ、直動軸受けの寿命や精度が極端に悪化する恐れがある。
そこでこれらの課題を解決するために、筐体に対する固定側ベースの微調整装置を設けることによって、接続部における直動軸受けレールの直進性を維持し、固定側ユニットの拡張を可能としたウェハ搬送装置が開発されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３４５３６５号公報
【０００５】
特許文献１記載のウェハ移載装置は、多数の処理工程を必要とするウェハに対応できるようにするため、ウェハ移載装置を複数台、直列で接続するもので、具体的には、各装置ユニットを構成するチャンバの内壁面に、前記ウェハ移載ロボットを水平移動させるリニアモータのレールが水平に取付けられ、チャンバの開口には、チャンバどうしを気密を保持して接続するための接続部が設けられ、各装置ユニットは、それらのチャンバが接続部を介して接続されることにより互いに接続されて、各チャンバの内壁面のレールは、レール位置を微調整する微調整装置により、真直性を保持して接続するものである。
図１２は、特許文献１記載のウェハ移載装置の１実施例を示している。
図１２に示されるように、チャンバの正面壁３１の内側には、５０および６０を介してその長手方向に沿ってベースプレート４４が縦方向に配置されていて、このベースプレート４４にリニアモータの二次側固定子４５が縦方向に取付けられている。ベースプレート４４には、また一対のガイドレール４６が相上下して水平に取付けられていて、各ガイドレール４６に装着されたガイドブロック４２には、ウェハ移載ロボットＲを固定するロボットベース４１が取付けられている。そして、前記ロボットベース４１において、リニアモータの二次側固定子４５と相対向する部分には、リニアモータの一次側移動子４３が取付けられている。この結果、リニアモータを駆動させることにより、ウェハ移載ロボットＲが一対のガイドレール４６にガイドされ、チャンバの長手方向に沿って往復直線移動する。
そして、チャンバにおける一方の側面壁には、増設ユニットのチャンバを接続させるための接続部が設けられている。既設側の標準ユニットにおける接続部の構成は、増設ユニットにおける接続部の構成と同一である。
【０００６】
そこで、増設ユニットの接続部について説明する。
チャンバ３０の正面壁３１の内側には、ベースプレート４４がこの正面壁３１に略平行となって縦方向に取付けられている。このベースプレート４４は、その厚み方向（チャンバ３０の幅方向）の取付位置を微調整するための取付位置調整装置５０と、その高さ方向の位置を調整するための高さ調整装置６０とによって支持されている。取付位置調整装置５０は、チャンバ３０の長手方向の両端部に配設されており、高さ調整装置６０は、両接続部における接続部材６１の内側に配設されている。
【０００７】
取付位置調整装置５０は次のように構成されている。
チャンバ３０の正面壁３１の内側に固着されたベースブラケット５１に、横断面略二等辺三角形状の三角ベース５２が取付けられていて、その斜辺部５２ａ、５２ｂの側に、２本の固定ボルト５５によってベースプレート４４が縦方向に固定されている。そして、この三角ベース５２の各斜辺部５２ａ、５２ｂとベースプレート４４との間に形成された上下の隙間部分には、この隙間部分を形成する角度に対応する角度を備えた三角形状の各くさび部材５３ａ、５３ｂが斜辺部５２ａ、５２ｂ及びベースプレート４４の背面部に当接しながら上下移動可能にして装着されている。そして、各くさび部材５３ａ、５３ｂの上下には、それらを別々に上下移動させてベースプレート４４の取付位置を微調整するための各調整ボルト５６ａ、５６ｂが、それぞれボルト挿通ブラケット５７ａ、５７ｂによって取付けられている。
作業者はベースプレート４４を固定するための各固定ボルト５５を仮締めさせた状態で、各調整ボルト５６ａ、５６ｂの締付量を調整しながら各くさび部材５３ａ、５３ｂを上下移動させることにより、ベースプレート４４の取付位置、及び取付角度を微調整することができる。
【０００８】
高さ調整装置６０は次のように構成されている。
チャンバの両側面部には、ウェハ移載ロボットＲを走行させるための走行用開口孔が設けられていて、この走行用開口孔の開口縁に沿って、断面略Ｌ字状の接続部材６１が固着されている。この接続部材６１の内側にブラケット６２が固着されていて、このブラケット６２の先端部にその高さ方向に沿って高さ調整ボルト６３が螺合されている。この高さ調整ボルト６３はベースプレート４４の直下に配置されていて、ベースプレート４４を常に押し上げている。したがって、高さ調整ボルト６３の螺合の深さを変えることによってベースプレート４４の押し上げ量、すなわち高さを調整することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このように筺体に対する固定側ベースの微調整装置を設けることによって、接続部における直動軸受けレールの直動性を維持し、固定側ユニットの拡張が可能となった。
しかしながら、見て判るように、この調整装置５０は部品構成が複雑で、しかも調整装置５０を用いた調整作業では調整ボルト５６ａは上方向から、調整ボルト５６ｂは下方向から調整し、固定ボルト５５は横方向からと３方向から調整を行うこととなり調整作業がとても煩雑であった。また、特許文献１の図６記載の別の実施例においては調整作業はチャンバの正面壁３１とベースブラケット５１の裏側の間の隙間で押しボルトを調整することが必要で、一層使い勝手の悪いものとなっていた。
また調整装置６０にあっては、高さ調整ボルト６３がベースプレート４４の直下に配置されているので、その調整作業は、元々チャンバ３０の底部近傍に設けられているベースプレート４４の下とチャンバ３０の底部との狭いスペースで行われることとなり、同じく調整作業がとても煩雑で、一層使い勝手の悪いものとなっていた。
そこで本発明は、これらの課題を解決するためになされたもので、隙間調整装置および高さ微調整装置の部品点数を少なくし、調整が一方向から容易に行なうことができる、安価な搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記問題を解決するため、請求項１に記載の搬送装置は、外部環境から内部を気密保護するボックス形状の筐体と、前記筐体の内壁に固定された長板の固定側ベースと、前記固定側ベースに取り付けられた直動軸受けレールと、前記直動軸受けレールをスライドする直動軸受けスライド部と、前記直動軸受けスライド部に固定された可動側ベースと、前記固定側ベースに取り付けられた固定子および前記可動側ベースに取り付けられた可動子から構成されるリニアモータと、から構成される搬送装置であって、前記筺体と、前記固定側ベースと、前記直動軸受けレールと、前記固定子から構成される固定側ユニットを直列に連結し、拡張可能な搬送装置において、前記筐体と前記固定側ベースの間にプレートが設けられ、
前記プレートと前記固定側ベース間には前記筐体と前記固定側ベース間の隙間を調整するための隙間調整装置が設けられ、前記隙間調整装置は、前記固定側ベースに設けられた貫通穴および雌ネジ部と、 前記プレートに設けられた雌ネジ部および突き当て部と、前記固定側ベースの貫通穴を介して前記プレートの雌ネジ部と螺合するための調整ボルトと、前記固定側ベースの雌ネジ部を介して前記突き当て部に突き当てられる隙間調整用スタッドボルトから構成されることを特徴とする。
請求項２記載の発明は、請求項１又は２記載の搬送装置において、前記固定側ベースに前記筐体に対する前記固定側ベースの高さを微調整するための高さ調整装置が設けられ、前記高さ調整装置は、前記固定側ベース上端に設けられた雌ネジ部を有する調整用ブロックと、前記プレートの上面部に設けられた突き当て部と、前記調整用ブロックの雌ネジ部を介して前記突き当て部に突き当てられる隙間調整用スタッドボルトから構成されることを特徴とする。
請求項３記載の発明は、請求項１記載のウェハ搬送装置において、前記２本の直動軸受けレールがそれぞれ固定側ベースに設けられた段差に突き当てられて固定され、連結される側の前記直動軸受けレールが、前記固定側ベース端部より長く突き出し、連結側の前記直動軸受けレールが前記固定側ベースより短く、前記固定側ベース端部に連結用穴が設けられ、前記連結用穴にピンを挿入して連結されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の発明によれば、筐体の内壁にプレートを固定し、プレートに雌ネジと突き当て部を有し、固定側ベースに、雌ネジに挿入される調整ボルトと、突き当て部に突き当てられる隙間調整用スタッドボルトにより、内壁と固定側ベースの隙間を調整するので、調整ボルトと隙間調整用スタッドボルトを一方向からだけで調整できるようになるため、特許文献１記載の搬送装置と比べて、連結部における直動軸受けレールの水平方向の直進性を調整することが簡単にできるようになり、しかも部品点数が少なくなるので、コスト安の搬送装置が得られる。
請求項２記載の発明によれば、筐体の内壁にプレートを固定し、プレートの上面部に突き当て部を有し、固定側ベース上端に調整用ブロックを有し、調整用ブロックに高さ調整用スタッドボルトが装備され、突き当て部に高さ調整用スタッドボルトを突き当てるようにするので、プレートの上面から調整作業を行うため、広いスペース側から行えるようになり、特許文献１記載の搬送装置と比べて、連結部における直動軸受けレールの高さ方向直進性を調整することが簡単に行えるようになる。
請求項３記載の発明によれば、左右の直動軸受けレールがそれぞれ固定側ベースに設けられた段差に突き当てられて固定され、連結される側の直動軸受けレールが、固定側ベース端部より長く突き出し、連結側の直動軸受けレールが固定側ベースより短く、固定側ベース端部に連結用穴が設けられ、前記連結用穴にピンを挿入して連結されるので、特許文献１記載の搬送装置と比べて、連結部のレールの直進性をより高精度に維持した状態で、安易な組付け作業により、連結部剛性の高い直動軸受けレールの連結が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の最良の形態を図に基づいて説明する。
図１〜図６は、本発明の第一の実施例を示す図で、図１は正断面図，図２は図１におけるＢ方向矢視図、図３は図１におけるＡ−Ａ断面図、図４はＣ部拡大図、図５は図４におけるＦ−Ｆ断面図、図６はＤ部拡大図、図７は図６におけるＧ−Ｇ断面図、図８はＥ部鳥瞰図である。なお、本発明の構成要素が従来と同じ構成要素については、同一符号を付してその説明を省略し、異なる点のみ説明する。
図１において、筐体１の内壁には、プレート１４が紙面に垂直方向、すなわちＸ方向（図３）に複数取り付けられている。このプレート１４には、調整ボルト３が挿入される雌ネジ１４１（図５）と、スタッドボルト１５の突き当て部１４２（図５）が設けられており、固定側ベース２には貫通穴２Ａと雌ネジ２Ｂが設けられている。固定側ベース２の貫通穴２Ａには、調整ボルト３（図５）が挿入されて、雌ネジ１４１にねじこまれる。また、調整ボルト３の両脇にスタッドボルト（図５）が２本装備され、プレート１４に突き当てられている。スタッドボルト１５をねじこんで、突き出し量ｈ１を調整することで、筐体１に対する固定側ベース２の隙間を任意に微調整できる。上記により直動軸受けレール４の連結部での紙面の左右方向、すなわちＹ方向（図１）の直進性のずれを容易に微調整することが可能である。
また、調整ボルト３により上記の隙間を維持したまま、固定側ベース２を筐体１の内壁に強固に固定可能である。
固定側ベース２の上端には調整用ブロック１６（図６）が取り付けられている。
調整用ブロック１６には雌ネジ１６１が設けられ、雌ネジ１６１の内部に、高さ調整用スタッドボルト１７が装備される。また、プレート１４の上端部には突き当て部１４３が設けられ、その突き当て部に高さ調整用スタッドボルト１７が突き当てられている。高さ調整用スタッドボルト１７の突き出し量ｈ２を微調整することで、筐体１に対する固定側ベース２の水平高さを任意に微調整できる。上記により直動軸受けレール４の連結部での紙面の上下方向、すなわちＺ方向（図１）の直進性のずれを容易に微調整することが可能である。
【００１３】
固定側ベース２には２箇所の段差１８（図８）を設けて、この段差１８に直動軸受けレール４がそれぞれ突き当てられており、直動軸受けレール４どうしの間隔ｈ３が高精度に保たれている。
また増設される側の直動レール４は固定側ベース２の端部より短く、増設する側の直動軸受けレール４'は、固定側ベース２より長く突き出しており、連結部の段差１８に沿って直動軸受けレール４を挿入しながら連結され、連結部での間隔ｈ３を高精度に維持した状態で連結される。
また、固定側ベース２の接続部端面には、連結用穴１９が設けられており、連結用ピン２０を挿入して連結され、安易な組付け作業で、連結部剛性の高い直動軸受けレール４の連結が可能である。
【００１４】
以上のように、請求項１記載の発明によれば、筐体の内壁にプレートを固定し、プレートに雌ネジと突き当て部を有し、固定側ベースに、雌ネジに挿入される調整ボルトと、突き当て部に突き当てられる隙間調整用スタッドボルトにより、内壁と固定側ベースの隙間を調整するので、調整ボルトと隙間調整用スタッドボルトを一方向からだけで調整できるようになるため、特許文献１記載の搬送装置と比べて、連結部における直動軸受けレールの水平方向の直進性を調整することが簡単にできるようになり、しかも部品点数が少なくなるので、コスト安の搬送装置が得られる。
請求項２記載の発明によれば、筐体の内壁にプレートを固定し、プレートの上面部に突き当て部を有し、固定側ベース上端に調整用ブロックを有し、調整用ブロックに高さ調整用スタッドボルトが装備され、突き当て部に高さ調整用スタッドボルトを突き当てるようにするので、プレートの上面から調整作業を行うため、広いスペース側から行えるようになるので、特許文献１記載の搬送装置と比べて、連結部における直動軸受けレールの高さ方向直進性を調整することが簡単に行えるようになる。
請求項３記載の発明によれば、左右の直動軸受けレールがそれぞれ固定側ベースに設けられた段差に突き当てられて固定され、連結される側の直動軸受けレールが、固定側ベース端部より長く突き出し、連結側の直動軸受けレールが固定側ベースより短く、固定側ベース端部に連結用穴が設けられ、前記連結用穴にピンを挿入して連結されることにより、連結部のレールの直進性を高精度に維持した状態で、安易な組付け作業により、連結部剛性の高い直動軸受けレールの連結が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第一の実施例を示すウェハ搬送装置の正断面図である。
【図２】図１におけるＢ方向矢視図である。
【図３】図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【図４】図１におけるＣ部の拡大図である。
【図５】図４におけるＦ−Ｆ断面図である。
【図６】Ｄ部の拡大図である。
【図７】図６におけるＧ−Ｇ断面図である。
【図８】Ｅ部の鳥瞰図である。
【図９】従来のウェハ搬送装置の正断面図である。
【図１０】図９におけるＢ方向矢視図である。
【図１１】図９におけるＡ−Ａ断面図である。
【図１２】特許文献１記載のウェハ移載装置の１実施例を示している。
【符号の説明】
【００１６】
１  筐体
２  固定側ベース
２Ａ  貫通穴
２Ｂ  雌ネジ
３  調整ボルト
４  直動軸受けレール
４'  増設側直動軸受けレール
５  直動軸受けスライド部
６  可動側ベース
７  リニアモータ
８  固定子
９  可動子
１０  ウェハ
１１  ウェハ搬送ロボット
１２  ロードポート
１３  プロセス室
１４  プレート
１４１  雌ネジ
１４２、１４３  突き当て部
１５  スタッドボルト
１６  調整用ブロック
１６１  雌ネジ
１７  高さ調整用スタッドボルト
１８  段差
１９  連結用穴
２０  連結用ピン
【図１】
2005116730.tif 000003
【図２】
2005116730.tif 000004
【図３】
2005116730.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2005116730.tif 000012
【図１１】
2005116730.tif 000013
【図１２】
2005116730.tif 000014