(57)【要約】【課題】基板等、板状ワークの現像処理を行う工程では、発泡し易い現像液では、泡が増大して製造に悪影響を及ぼす場合があるので、泡の増大を防ぐ装置を提供する。【解決手段】被剥離板を搬送する搬送手段と、被剥離板の上側から剥離液を散布する散布手段と、搬送手段の下側に設けた剥離液の廃液を受ける為の受け皿と、前記受け皿に存在する廃液を回収する回収手段とからなる現像処理装置において、傾斜板と前記傾斜板の下に傾斜方向が異なる傾斜板を設けた事で、製造時に発生する泡の増大を防いでいる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被剥離板を搬送する搬送手段と、被剥離板の上側から剥離液を散布する散布手段と、搬送手段の下側に設けた剥離液の廃液を受ける為の受け皿と、前記受け皿に存在する廃液を回収する回収手段とからなる現像処理装置において、前記受け皿の上側に傾斜板を設けた事を特徴とする現像処理装置。
【請求項２】
前記傾斜板の下に傾斜方向が異なる傾斜板を設けた事を特徴とする、請求項１に記載の現像処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタ、集積回路用リードフレーム、ブラウン管表示装置用シャドーマスク、積層基板等のフォトリソ現像処理装置及びエッチング処理装置に関するものである。本発明では、これら板状のワークを被剥離板と称する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶カラーフィルタのブラックマトリックス（以下、ＢＭ）製造工程では、現像およびエッチングレジスト除去の各工程を経て、ＢＭが形成される。すなわち、現像工程では、不要部分のレジストが剥離され、エッチング工程では、不要部分のクロムとエッチングで残されたＢＭを覆って残っているエッチングレジストが除去される。本発明では、これらを総称して剥離と称する。従来の剥離装置では、図３の様に被剥離板１をローラーコンベア２で搬送し、これより高い位置に設けたシャワー３から噴出される剥離液４で剥離を行い、廃液は受け皿５と、これに設けた排水口６にて回収する装置が知られている。（例えば、特許文献１参照）
【特許文献１】
特許公開２００２−３３４８６５号公報
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし従来の装置では、図４において剥離液が発泡し易い場合、剥離液４が被剥離板に散布された時の衝突で発泡し、更に製造時に発生する剥離液の廃液は、落下して受け皿５の底面と衝突する事で発泡する。発泡した廃液が排水口６に入ると、廃液の液体成分は排水口６に流れるが、泡７は流れずに排水口６に溜まる。溜まった泡７は製造時間と共に増大し、ローラーコンベア２より上方まで到達する。
増大した泡７がローラーコンベア２の上方まで到達すると、被剥離板１が持ち上げられることにより搬送不能となる。
更に、増大した泡７が被剥離板１の処理面から移動せずに付着していると、剥離処理後にその箇所が泡の跡として残るため、泡の部分と剥離液で濡れている部分とで剥離処理の不均一が発生して、ムラ欠陥となる。
増大した泡を除去するため、生産を停止させて現像装置の清掃を行う必要があり、Ｃ能（単位時間当りの生産数量。時間には運転時間・準備時間・停止時間を含む。）の低下を招いていた。
発泡防止の方法として、剥離液もしくはレジスト自体を難発泡性に変更する方法もあるが、難発泡性の剥離液もしくはレジストには発泡しにくくする材料が混入している為、剥離に必要不可欠な成分が薄まり、剥離する能力が下がって被剥離基板に未剥離箇所が発生する。
発泡しにくいレジストと剥離液の組み合わせが複数存在する場合、複数の材料を開発する必要がある。またこの場合、レジストの種類が変わる毎に剥離液の種類を交換する必要があり、歩留まり低下が生じる。
【０００４】
次に、被剥離板の装置通過の検知に、振り子センサを利用している場合について説明する。振り子センサとは、図１の１３に示す様に、搬送された被剥離板が接触して倒れることによりＯＮ／ＯＦＦするセンサである。接触部である振り子は、被剥離板との接触で被剥離板に傷が付かない様に非常に軽量に出来ている。このため増大した泡が振り子に付着した場合、泡の浮力により動作不能となりＯＮ／ＯＦＦしなくなる。よって、被剥離基板の正確な通過検出が不可能となる。
本発明は、かかる問題点に着目してなされたもので、製造時の泡の増大を防止する現像処理装置を提供する事を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明では、被剥離板を搬送する搬送手段と、被剥離板の上側から剥離液を散布する散布手段と、搬送手段の下側に設けた剥離液の廃液を受ける為の受け皿と、前記受け皿に存在する廃液を回収する回収手段とからなる現像処理装置において、傾斜板と前記傾斜板の下に傾斜方向が異なる傾斜板を設けた事で、製造時に発生する泡の増大を防いでいる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら説明する。なお、本発明になる装置の構成は、エッチングレジストの剥離にも適用ができるが、以下現像装置について説明する。
図１において、被剥離板１として、液晶カラーフィルタのブラックマトリックス（以下、ＢＭ）を用いた。被剥離板１には全面クロム蒸着が施されており、クロム蒸着の上にレジストが塗布されている。レジストはマイクロポジット（ＳＨＩＰＬＥＹ社製）、現像液はＩＴ−ＤＣ（ザ・インクテック社製）を使用した。
被剥離板１の搬送にはローラーコンベア２を用い、ローラーコンベア２により現像装置に被剥離板１が入ってくると、被剥離板１より高い位置に設けたアクアナイフ８から剥離液４が噴射され、剥離液４を被剥離板１全体に一度仮散布する。アクアナイフ８は被剥離板１に対して流れ方向と直角方向に均一な剥離液４の散布を行う事で、被剥離板の濡れ性を高められ、現像を行い易くする。アクアナイフ８を通過した被剥離板１は、被剥離板１より高い位置に設けたシャワー３で剥離液４を散布して、不要なレジストを完全に除去する。この時ＢＭの現像を終えた剥離液４は、廃液として傾斜板９と傾斜板１０および受け皿５と排水口６で構成された回収部に落ちる構成とする。図７は、本実施例を側面から見た断面図である。図中に示す矢印は、廃液の流れを示すものである。廃液はまず傾斜板９を伝って流れ、次に傾斜板１０を伝って流れて、受け皿に到達する。
図８は図７において、泡が増大した場合について示している。廃液の泡７は、製造時間と共に傾斜板１０の上部まで増大するが、全ての廃液が傾斜板９と傾斜板１０の間を流れて泡７を封じ込める構造とする。よって、傾斜板９の上まで泡７が来ることは無く、図のように傾斜板９の下までしか泡立たない。
【０００７】
図５は変形例で、排水口へ効率的かつスムーズに現像液を流し込むために、滞留防止板１１を傾斜板９の下部に設けた例である。
図６も変形例で、排水口６付近の泡立ちが激しい場合、吸引パイプ１２を設置し、吸引パイプ１２に取り付けた吸引装置（図示せず）により泡を吸引する。吸引装置としては、脱泡ポンプ（例：株式会社横田製作所  ＵＰＳＡ）や設置が容易な乾湿両用型掃除機（例えば、松下電器産業株式会社  ＭＣ−Ｇ６１０ＷＤ）が挙げられる。泡吸引パイプの吸いこみ口形状としては、
丸形状やスリット形状や網目が挙げられるが、泡の吸引状態により選定を行う。また、泡吸引パイプ１２の吸い込み口の向きは、廃液の液体成分の吸引を少なくかつ泡の吸引を多い向きにする。例えば、泡吸引パイプ１２を下向きにし、廃液の液面より高い位置に設置することにより、泡のみの吸引が可能となる。
【０００８】
【実施例】比較例
前記条件でカラーフィルターのＢＭ現像処理を行う場合、図１の様に、受け皿５に傾斜板９及び傾斜板１０を設けた場合と、図３の様に傾斜板を設けない場合で比較した。
処理速度は１５０枚／時間、ワークの基板サイズは７３０（横）×９２０（縦）×０．７（厚さ）ｍｍとした。傾斜板９の材質はＰＶＣで、サイズは１２００（縦）×７５０（横）×１０（厚さ）、傾斜角度は水平基準で２．５°とした。傾斜板１０も材質はＰＶＣで、サイズは６００（縦）×７５０（横）×１０（厚さ）とし、傾斜角度は水平基準で１０°とした。
図４の様に、受け皿５に傾斜を設けないで１００００枚現像処理した場合、泡が被剥離板の上まで増大して、泡に起因する欠陥が２６枚発生した。同じ条件で、図２の様に受け皿５に傾斜板９及び傾斜板１０を設けて１００００枚処理した場合、泡の増大が傾斜板９の下部で止まり、泡に起因する欠陥が発生しなかった。
図４の様に、受け皿５に傾斜を設けないで１８００枚現像処理した場合、泡面が搬送ラインの上まで泡が増大して、基板搬送不良が発生した。同じ条件で、図２の様に受け皿５に傾斜板９及び傾斜板１０を設けた場合は、泡の増大が傾斜板９の下部で止まり、被剥離板搬送不良は全く発生しなかった。
【０００９】
【発明の効果】
本発明により、現像処理槽の底部に傾きの方向が異なる傾斜板を２枚設ける事で、廃液が被剥離板から落下する距離を短くすることにより発泡を抑制する。
傾斜板の下での泡立ちが激しく、２枚の傾斜板の間から泡が噴出しそうになっても、現像液の全てが２枚の傾斜板の間を流れることにより泡が噴出せず、泡を封じ込められる。
傾斜板上にほぼ全ての現像液が流れることで廃液の流速が早くなり、傾斜板上に泡が発生しても押し流し、泡を排水口により早く送れる。
このように、製造時の泡の増大を防ぐことにより、生産歩留まりが向上すると共に、泡による搬送不良がなくなる。また、泡の清掃が不要となり、Ｃ能の向上も期待できる。更に、本発明を用いれば難発泡性剥離液もしくは難発泡性レジストの材料開発が不要となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の現像装置示す図である。
【図２】本発明の現像装置示す図である。
【図３】従来の現像装置示す図である。
【図４】従来の現像装置示す図である。
【図５】本発明を変形した現像装置示す図である。
【図６】本発明を変形した現像装置示す図である。
【図７】本発明の装置で消泡作用を説明した図である。
【図８】本発明の装置で消泡作用を説明した図である。
【符号の説明】
図１〜図８まで共通
１            被剥離板
２            ローラーコンベア
３            シャワー
４            剥離液
５            受け皿
６            排水口
７            泡
８            アクアナイフ
９            傾斜板
１０        傾斜板
１１        滞留防止板
１２        パイプ
１３        振り子センサー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005017467.tif 000007
【図６】
2005017467.tif 000008
【図７】
2005017467.tif 000009
【図８】
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