(57)【要約】【課題】  フィルタにより捕集される粉塵が湿り気を帯びている場合にも、フィルタを損傷することなく目詰まり等を解消するよう粉塵を取り除き、フィルタの長寿命化と良好な粉塵除去能力の維持とを達成することが可能な粉塵の除去方法および除去装置を提供する。【解決手段】  含塵気体中から粉塵を濾過捕集するためのフィルタ３を用い、前記フィルタ３の外表面にはブラシ４による毛羽立ち防止のためのコーティングがなされ、前記フィルタ３の外側から内側に前記含塵気体を貫流させて粉塵を濾過捕集し、前記フィルタ３の外周側表面にブラシ４を摺接させて、前記フィルタ３により捕集された粉塵を取り除くものである。【選択図】  図１
2005305340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
含塵気体中から粉塵を濾過捕集するためのフィルタを用いた粉塵の除去方法であって、
前記フィルタの外表面にはブラシによる毛羽立ち防止のためのコーティングがなされ、
前記フィルタの外側から内側に前記含塵気体を貫流させて粉塵を濾過捕集し、
前記フィルタの外周側表面にブラシを摺接させて、前記フィルタに捕集された粉塵を取り除く
ことを特徴とする粉塵の除去方法。
【請求項２】
ブラシを回転させて粉塵を取り除くことを特徴とする請求項１記載の粉塵の除去方法。
【請求項３】
フィルタを回転させて粉塵を取り除くことを特徴とする請求項１記載の粉塵の除去方法。
【請求項４】
圧損値信号によりフィルタの回転を制御することを特徴とする請求項３記載の粉塵の除去方法。
【請求項５】
含塵気体中から粉塵を濾過捕集するためのフィルタを備えてなる粉塵の除去装置であって、
前記フィルタが略筒状とされるとともにその外表面にはブラシによる毛羽立ち防止のためのコーティングがなされ、その外側から内側に前記含塵気体を貫流させて粉塵を濾過捕集するものとされ、前記フィルタの外周側表面と摺接して、前記フィルタに捕集された粉塵を取り除くブラシが設けられてなることを特徴とする粉塵の除去装置。
【請求項６】
コーティングが無数の微細孔を有し、かつブラシと前記コーティングとが静電気的に中立、または同極性である材質とされてなることを特徴とする請求項５記載の粉塵の除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程や廃棄物処理工程等において発生する有害な粉塵を分離して除去する粉塵の除去方法および除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子製造工程等に用いられる粉塵除去装置として、粉塵を含む気流中に筒状のフィルタを配置し、その外側から内側に含塵気体を貫流させて粉塵を濾過するとともに、目詰まり等を解消するためにフィルタから粉塵を取り除く際には、前記フィルタを回転させて、その遠心力により粉塵をフィルタから取り除くようにした粉塵除去装置が知られている（特許文献１）。
【０００３】
特許文献１の粉塵除去装置は、従来、この種の粉塵除去装置が、筒状フィルタの内側から外側に含塵気体を貫流して粉塵を濾過し、フィルタの内側にて捕集された粉塵をブラシにより取り除くもの（特許文献２、特許文献３）としていたため、ブラシによる摩擦でフィルタの寿命が短かった点を改良しようとするものである。
【０００４】
ところが、前記特許文献１の粉塵除去方法は、粉塵が、水分、油分、粘性粉塵などの湿り気を帯びている場合に、遠心力のみでは粉塵を十分に取り除くことができない。そしてこのような場合には、圧損が増大する等して良好な粉塵除去処理が行えなくなる、といった問題がある。
【特許文献１】特開平１１−５７３６５号公報
【特許文献２】特許第２８５０１６９号公報
【特許文献３】特許第２８１９２５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、フィルタにより捕集される粉塵が湿り気を帯びている場合にも、フィルタを損傷することなく目詰まり等を解消するよう粉塵を取り除き、フィルタの長寿命化と良好な粉塵除去能力の維持とを達成することが可能な粉塵の除去方法および除去装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の粉塵の除去方法は、含塵気体中から粉塵を濾過捕集するためのフィルタを用いた粉塵の除去方法であって、前記フィルタの外表面にはブラシによる毛羽立ち防止のためのコーティングがなされ、前記フィルタの外側から内側に前記含塵気体を貫流させて粉塵を濾過捕集し、前記フィルタの外周側表面にブラシを摺接させて、前記フィルタに捕集された粉塵を取り除くことを特徴とする。
【０００７】
本発明の粉塵の除去方法においては、ブラシを回転させて粉塵を取り除いてもよく、あるフィルタを回転させて粉塵を取り除いてもよい。後者の場合、圧損値信号によりフィルタの回転を制御するのが好ましい。
【０００８】
本発明の粉塵の除去装置は、含塵気体中から粉塵を濾過捕集するためのフィルタを備えてなる粉塵の除去装置であって、前記フィルタが略筒状とされるとともにその外表面にはブラシによる毛羽立ち防止のためのコーティングがなされ、その外側から内側に前記含塵気体を貫流させて粉塵を濾過捕集するものとされ、前記フィルタの外周側表面と摺接して、前記フィルタに捕集された粉塵を取り除くブラシが設けられてなることを特徴とする。
【０００９】
本発明の粉塵の除去装置においては、コーティングが無数の微細孔を有し、かつブラシと前記コーティングとが静電気的に中立、または同極性である材質とされてなるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、前記の如く構成されているので、フィルタにより捕集される粉塵が湿り気を帯びている場合にも、フィルタを損傷することなく目詰まり等を解消するよう粉塵を取り除き、フィルタの長寿命化と良好な粉塵除去能力の維持とを達成できるという優れた効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【００１２】
実施形態１
図１に、本発明の実施形態１に係る粉塵の除去方法に適用された粉塵の除去装置（以下、単に除去装置という）を示し、この除去装置１は、例えば半導体製造工程において気体中の粉塵を除去するために用いられるものとされ、含塵気体を取り入れるための気体取入口１１および除塵された気体を送出するための気体送出口１２を有する気密容器からなるケーシング２と、このケーシング２に収納され、前記ケーシング２内部に取り入れられた気体中の粉塵を濾過捕集するフィルタ３と、フィルタ３の濾過捕集機能を再生するようフィルタ３から粉塵を掻き落とす再生処理を行うためのブラシ４と、ブラシ４を駆動するモータ５とを主要構成要素として備えてなる。
【００１３】
ケーシング２およびフィルタ３は略同軸心に配される円筒状部材とされる。ケーシング２の上面に設けられた気体取入口１１からケーシング２内部に取り入れられた含塵気体は、ケーシング２内部でフィルタ３の外側から内側に貫流され、これにより気体中から粉塵が濾過捕集される。濾過済み気体は、フィルタ３の内部からケーシング２下部に設けられた気体送出口１２を通して外部に送出される。
【００１４】
フィルタ３は、フェルト、または高分子繊維が混織されたフェルトからなり、その粉塵捕集面である外周面には、無数の微細孔を有する例えばＰＴＦＥ（四フッ化エチレン）の薄膜からなるコーティング(毛羽立ち防止コーティングが施されるものとされる。なお、図示はされていないが、フィルタ３は網状の保持部材によりその形状が変化しないよう内面からサポートされている。
【００１５】
ブラシ４は、例えばポリプロピレン（ＰＰ）から形成されており、ギアヘッド２１およびカップリング２２を介して、モータ５により回転駆動されるハンガーアーム２３に設けられるものとされる。なお、ブラシ４の材質はＰＰに限定されるものではなく、粉塵除去が可能な適宜材質とできる。
【００１６】
ハンガーアーム２３は、略コの字形に形成された細長い板状の部材とされ、コの字の２本の横線に相当するブラシ取付部２３ａ（図には一方のブラシ取付部のみが示されている）と、コの字の１本の縦線に相当するカップリング取付部２３ｂとから構成されている。
【００１７】
２本のブラシ取付部２３ａは、フィルタ３を間に挟んで、その内側のブラシ取付面２３ｃをフィルタ３の外周面と常時対向させるように配され、ブラシ４は、その先端をフィルタ３の外周面と摺接させるようブラシ取付面２３ｃに取り付けられるものとされる。
【００１８】
また、ブラシ取付部２４ａの先端部分は、フィルタ３に遊嵌されるセットリング２５に締結され、その開度が規定されるものとされる。
【００１９】
しかして、ブラシ４は、モータ５により常時回転駆動されており、フィルタ３の外周面と摺接して、フィルタ３の再生処理を行うものとされる。ここで、前記したように、フィルタ３の粉塵捕集面である外周面にはＰＴＦＥからなるコーティングが施されているため、ブラシ４により摩擦されてもフィルタ３表面を毛羽立てる等の損傷を与えることがない。また、ブラシ４により間断なくフィルタ３の再生処理が行われるため、濾過捕集された粉塵が湿り気を帯びているような場合にも、粉塵がフィルタ３に固着してしまうことがなく、フィルタ３の目詰まりによる圧損増大を抑えて、良好な濾過機能を長期間に亘って維持することが可能となる。
【００２０】
また、コーティングの微細孔の径は、粉塵の粒径に対して十分に小さくすることが可能であり、フィルタ３内部への粉塵の侵入を最小限に抑えることが可能である。これにより、圧損増大を抑えて、良好な濾過機能を長期間に亘って維持することが可能となる。
【００２１】
また、ブラシ４をＰＴＦＥと同様の負電荷の担体であるポリプロピレンから形成することによって、互いに摩擦し合っても静電気を発生することがなく、粉塵のフィルタ３からの掻き落としが容易となる。したがって、フィルタ３の目詰まりによる圧損増大を抑えて、良好な濾過機能を長期間に亘って維持することが可能となる。
【００２２】
実施形態２
図２に、実施形態２の粉塵の除去装置１Ａを示す。実施形態２は実施形態１を改変したものであり、同図に示すように、ブラシ４Ａをケーシング２Ａに固定して設ける一方で、フィルタ３Ａをモータ５Ａにより回転駆動し、これにより、その粉塵捕集面である外周面をブラシ４Ａと摺接させて、フィルタ３Ａの再生処理を行うものとされる。
【００２３】
ここで、実施形態２においては、フィルタ３Ａの内外の差圧を計測する差圧計（不図示である）が設けられており、その計測値に基づく圧損値信号が制御装置３０に入力される。制御装置３０は、入力された圧損値信号を参照して、フィルタ３Ａにおける圧損が所定レベル以上に達したときにモータ５Ａを起動し、フィルタ３Ａの再生処理を実行する一方で、圧損が所定レベル以下に減衰したときにはモータ５Ａを停止し、再生処理の実行を停止するよう制御するものとされる。
【００２４】
この構成によって、常時の再生処理が不要であるような運転条件においては圧損が増大したときにのみ再生処理を実行するようにして、ランニングコストの削減を図ることが可能である。また、フィルタ３Ａの再生処理を、その回転による遠心力を利用して実行することも可能となる。したがって、よりいっそうの再生効果が期待できる。
【００２５】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明かかる実施形態のみに限定されるものではなく、種々改変が可能である。例えば、実施形態２ではモータ駆動とされているが、手動駆動とされてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明によれば、粉塵が湿気を帯びているような場合にも、フィルタを損傷することなく粉塵をフィルタから取り除いて、良好な濾過機能を発揮させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態１に係る粉塵の除去方法に適用される粉塵の除去装置の構成を示す一部断面図である。
【図２】本発明の実施形態２に係る粉塵の除去方法に適用される粉塵の除去装置の構成を示す一部断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１    粉塵の除去装置
２    ケーシング
３    フィルタ
４    ブラシ
５    モータ
１１    気体取入口
１２    気体送出口
２３    ハンガーアーム
３０    制御装置
【図１】
2005305340.tif 000003
【図２】
2005305340.tif 000004