(57)【要約】【課題】  研磨による形状転写の加工手法であって、加工時間が極めて短縮化され、効率的な加工を行うことでき、形状転写性能を向上した形状転写加工装置を提供する。【解決手段】  この形状転写加工装置は、好ましくは円筒内面に研磨紙３１を備える円筒容器１６と、この円筒容器に対して円周方向の運動を与える駆動装置（２４，２５等）と、円筒容器の円筒内面に沿って置かれ、水晶振動子母材３６が整列配置された取付けシート３７と、取付けシートを介して水晶振動子母材を研磨紙の研磨面に押し付ける弾性体３３を備えた転圧板３２とを備えている。【選択図】      図２
2005335019.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒形状または円筒の一部の形状を有し、円筒内面に研磨材を備える容器と、
前記容器に対して円周方向の運動を与える駆動装置と、
前記容器の前記円筒内面に沿って置かれ、かつ加工対象物が整列配置された取付けシートと、
前記取付けシートを介して前記加工対象物を前記研磨材の研磨面に押し付ける押付け手段と、
を備えることを特徴とする形状転写加工装置。
【請求項２】
前記取付けシートは、一方の粘着面に多数の前記加工対象物を整列配置して固定する粘着シートを含むことを特徴とする請求項１記載の形状転写加工装置。
【請求項３】
前記押付け手段は、押付け面に弾性体を備えた弾性転圧板であることを特徴とする請求項１記載の形状転写加工装置。
【請求項４】
前記押付け手段は、押付け面に弾性体を備えた弾性転圧板であり、前記粘着シートの他方の粘着面が前記弾性体の表面に粘着されることを特徴とする請求項２記載の形状転写加工装置。
【請求項５】
前記粘着シートは複数のスリットが平行に形成された整列シートを備え、この整列シートは前記粘着シートの前記一方の粘着面に粘着され、多数の前記加工対象物は前記複数のスリットに沿って整列配置されることを特徴とする請求項２または４記載の形状転写加工装置。
【請求項６】
多数の前記加工対象物が固定される前記粘着シートは、最初に一体の加工対象物基材が粘着力で前記粘着シートに固定され、その後に前記加工対象物基材を切断加工して多数の前記加工対象物が分離形成されることにより、形成されることを特徴とする請求項２記載の形状転写加工装置。
【請求項７】
前記粘着シートは、粘着状態で、相対的に、平面方向には高い粘着力を有し、シート剥がし方向には弱い粘着力を有することを特徴とする請求項２または６記載の形状転写加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は形状転写加工装置に関し、特に、多数の小型加工物の凸面加工において加工時間を大幅に短縮しかつ形状転写性能を高めるのに適した形状転写加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、例えば水晶振動子は、情報通信やコンピュータの関連機器の多様化に伴って高安定でかつ高信頼性のものが要求されつつある。そのため、高いＱ値を維持したまま小型化を達成することが要求され、これを満たすため、エネルギ閉じ込めモードが用いられる。エネルギ閉じ込めモードを実現するには、薄板状の直方体形状の水晶振動子片における相対的に大きな面積部分の表面をコンベックス型（凸型）に加工する必要がある。
【０００３】
従来、水晶振動子片の製作では、複数の水晶振動子母材を、多数の遊離砥粒と共に、または多数の遊離砥粒および固定砥粒の両方と共に、混合状態で円筒状または樽状の容器に封入し、いわゆるバレル研磨を行いながら当該容器の内面形状を多数の水晶振動子母材の各々の表面に転写する粗加工と、人手による個別のラッピング(lapping)加工処理とが主に行われていた。
【０００４】
ここで、従来のパレル研磨装置またはこれに関連する他の研磨装置を開示する先行技術文献として下記の特許文献１〜４を挙げる。
【０００５】
特許文献１は、バレル研磨機およびその研磨法に関し、バレルの外部底面部および側面部に巻線した鉄心を設置し、交流によって回転磁場および変動磁場を発生させ、磁性メディアに電磁力を与え、部品との相対運動により研磨を行う構成を開示する。
【０００６】
特許文献２は、磁気バレル研磨装置に関し、バレルの下方にメインコイルとサブコイルを所定位相関係にて固定し、合成磁界を回転させ、部品との相対運動により研磨を行う構成を開示する。
【０００７】
特許文献３は、電磁バレル研磨装置に関し、ドーナツ型バレル中央に円筒体を設け、その内周に沿って所定の電気角で内部磁界発生器を配し、他方、その外周に沿って同様に外部磁界発生器を配し、円筒体内の回転磁界によって部品との相対運動により研磨を行う構成を開示する。
【０００８】
特許文献４は、べべリング加工筒および加工方法に関し、べべリング加工筒の内部壁に固定砥粒の研磨加工砥粒を配置した構成を開示する。加工面には電着、メタルボンド、レジンボンド等を用いて研磨砥粒を固定し、加工容器の回転速度を高速化することにより加工能率と加工精度を向上させる。
【０００９】
従来のバレル研磨装置は、いずれも、一般的に、加工時間が１００時間以上または２００時間以上と長くなり、十分に効率的な加工装置と言えなかった。さらに加工性能、すなわち容器の内面形状から水晶振動子母材への形状転写の性能が十分なものとは言えなかった。また従来のバレル研磨装置では、薄板直方体形状の水晶振動子片の長辺の方向にのみコンべックス形状が生じる構成が主であった。
【００１０】
【特許文献１】特開平８−４７８５３号公報
【特許文献２】特開平１０−４４０２１号公報
【特許文献３】特開２００１−１９８７９２号公報
【特許文献４】特開２００２−２２４９４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の課題は、研磨による形状転写の加工手法において、加工時間が極めて短縮化されて効率的な加工を行うことを可能とし、かつ良好な形状転写性能を発揮させようとするものである。
【００１２】
本発明の目的は、研磨による形状転写の加工手法であって、加工時間が極めて短縮化され、効率的な加工を行うことでき、形状転写性能を向上した形状転写加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る形状転写加工装置は上記目的を達成するために次のように構成される。
【００１４】
第１の形状転写加工装置（請求項１に対応）は、好ましくは円筒形状または円筒の一部の形状を有しておリ、かつ円筒内面に研磨材を備える容器と、この容器に対して円周方向の運動を与える駆動装置と、容器の円筒内面に沿って置かれ、加工対象物（試料片）が整列配置された取付けシートと、取付けシートを介して加工対象物を研磨材の研磨面に押し付ける押付け部材と、を備えて構成される。
【００１５】
上記の形状転写加工装置では、形状転写の加工を行う加工対象物を取付けシートに整列して配置固定し、押付け部材の作用を利用して当該取付けシートを、容器の円筒内面に設けた研磨材の研磨面に押し付け、結果的に加工対象物の所定表面を研磨材の研磨面に制御可能な状態で押し付け、表面の加工を行う。加工対象物を取付けシートに固定し、押付け部材で押し付けて加工対象物の表面加工を行うため、最適な一定の押付け力で加工対象物を研磨面に直接的に接触させ、かつ研磨方向を制御しながら、形状転写加工を行うことが可能となる。
【００１６】
第２の形状転写加工装置（請求項２に対応）は、上記第１の装置構成において、好ましくは、上記取付けシートが、一方の粘着面に多数の加工対象物を整列配置して固定する粘着シートであることでを特徴づけられる。加工対象物は水晶振動子片であり、相対的にサイズの小さい小片であるので、取付けシートに多数の加工対象物の整列固定させるため、粘着シートを使用する。当該粘着シートは、粘着面の面方向には強い接着固定力を有しておリ、かつ剥がし方向には容易に剥がし作用を生じさせるという特性を有している。
【００１７】
第３の形状転写加工装置（請求項３に対応）は、上記第１の装置構成において、好ましくは、上記押付け部材は、押付け面に弾性体を備えた弾性転圧板であることで特徴づけられる。この構成によれば、押付け部材によって取付けシートに整列配置された多数の加工対象物を研磨面に押し付けるとき、所要の弾性力で押し付けことができ、加工対象物の加工状態に応じて最適な加工を施すことが可能となる。転圧板に弾性を持たせ、未研磨の加工対象物に沈み込み作用を生じさせることにより、縁部分からの研磨を優先的に開始することができる。また加工対象物の被加工面の研磨が進行するにつれ、加工対象物を押出し、その被加工面を研磨面の曲面形状に一致整合させ、研磨作業に要する時間を短縮することができる。
【００１８】
第４の形状転写加工装置（請求項４に対応）は、上記の装置構成において、好ましくは、押付け部材は、押付け面に弾性体を備えた弾性転圧板であり、粘着シートの他方の粘着面が弾性体の表面に粘着されることで特徴づけられる。この構成によれば、両面に粘着層を有する粘着シートを取付けシートとして利用することにより、弾性転圧板に対する粘着シートの取付け構造を容易に実現することができる。
【００１９】
第５の形状転写加工装置（請求項５に対応）は、上記の装置構成において、好ましくは、粘着シートは複数のスリットが平行に形成された整列シートを備え、この整列シートは粘着シートの一方の粘着面に粘着され、多数の加工対象物は複数のスリットに沿って整列配置されることで特徴づけられる。整列シートを利用すれば、多数の加工対象物を粘着シートに整列配置するとき、容易に整列配置を行うことができ、かつ研磨加工の際には、加工対象物のみを研磨面に接触させ、粘着シートの粘着面が研磨面に接触するのを防止することができる。
【００２０】
第６の形状転写加工装置（請求項６に対応）は、上記の装置構成において、好ましくは、多数の加工対象物が固定される粘着シートは、最初に一体の加工対象物基材が粘着力で当該粘着シートに固定され、その後に加工対象物基材を切断加工して多数の加工対象物が分離形成されることにより、形成されることで特徴づけられる。
【００２１】
第７の形状転写加工装置（請求項７に対応）は、上記の装置構成において、好ましくは、上記粘着シートは、粘着状態で、相対的に、平面方向には高い粘着力を有し、シート剥がし方向には弱い粘着力を有することで特徴づけられる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、形状転写の加工手法において、研磨面に対して加工対象物を押し付ける構造を採用したため、加工時間を極めて短縮化することができ、効率的な加工を行うことできる。また多数の加工対象物を取付けシートに整列配置で固定するようにしたため、取付けシートの向きを研磨面運動方向に対して変えることにより、研磨方向を自在に制御することができる。さらに弾性転圧板の押し付け作用を利用するように構成したため、形状転写性能を向上し、加工対象物に望ましいコンベックス形状を作ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、本発明の好適な実施形態（実施例）を添付図面に基づいて説明する。
【００２４】
図１〜図６に基づいて本発明に係る形状転写加工装置の代表的な実施形態を説明する。図１は装置の外観を示す斜視図、図２は装置の要部構成を示す円筒容器の端面図、図３は装置の要部構成を示す円筒容器の側面図、図４は取付けシートの正面図、図５は取付けシートの断面図、図６は固定状態の取付けシートの拡大断面図である。
【００２５】
基台１１が水平に配置され、さらにこの基台１１の上に水平かつ平行な２本の支持ロッド１２，１３が回転自在に設けられている。基台１１に固定された１４は、支持ロッド１２，１３のそれぞれの両端部を支持し、各支持ロッドを回転自在に支承する軸受部材である。支持ロッド１２，１３の上に支持リング部材１５を介して円筒容器１６が置かれている。支持リング部材１５は、支持ロッド１２，１３のそれぞれで軸方向にて例えば２箇所に固定されている。支持リング部材１５は例えばゴム等で作られる。
【００２６】
支持ロッド１２，１３上で支持リング部材１５に接触するように置かれた円筒容器１６は、その中心軸１６−１が水平になるように配置されている。円筒容器１６は、支持ロッド１２，１３および支持リング部材１５の回転に関連して、その中心軸１６−１の周りに自在に回転されるように設けられている。
【００２７】
円筒容器１６は、円周部を形成する円筒壁部１６ａから成り、両側の端面壁の部分は開放されている。円筒容器１６は、内部が端面部分を介して開放された円筒形状を有している。円筒容器１６には、後述するように、円筒壁部１６ａの内面には研磨紙３１による研磨面が設けられ、内部に転圧板３２が配置される。円筒容器１６の材質には例えばプラスチック材が使用される。しかし、円筒容器１６の材質はこれに限定されず、必要に応じて任意の材質を用いることができる。
【００２８】
円筒容器１６の外側にはこの円筒容器１６を回転させるための電動式の回転駆動機構２１が設けられる。回転駆動機構２１は、機構的に、基台１１に固定された支持ブラケット２２と、この支持ブラケット２２に軸部２３ａで揺動自在に取り付けられたアーム２３を備える。アーム２３には回転駆動部が設けられる。回転駆動部は、アーム２３のほぼ中央部に取り付けられたモータ２４と、アーム２３の先端部に回転自在に取り付けられたローラ２５と、モータ２４の回転軸に固定されたプーリ２６およびローラ２５の軸に固定されたプーリ２７と、２つのプーリ２６，２７の間に掛渡されたタイミングベルト２８とから構成される。アーム２３では、自身の重量とモータ２４等の重量とによって、その先端部が下方に移動するような作用が生じており、その結果、ローラ２５が円筒容器１６の円筒壁部１６ａの外面に押し付けられ接触するようになっている。ローラ２５の軸は円筒容器１６の中心軸に平行になっている。またローラ２５は大きな摩擦力を生じるゴム等の部材で作られている。
【００２９】
ローラ２５が円筒容器１６に押し付けられ接触した状態で、モータ２４を動作させると、円筒容器１６は、モータ２４の回転動作の方向に対応してその中心軸の周りに、すなわち円周方向（矢印１７）に回転させられる。円筒容器１６の回転速度および回転方向は任意に設定することができる。
【００３０】
円筒容器１６の円筒壁部１６ａの内面には、好ましくはその全面に、研磨紙３１が貼り付けられている。この研磨紙３１には、例えば粒径が９μｍの市販の研磨紙が使用される。研磨紙３１の内面側には粒状の研磨材が存在する。円筒容器１６の円筒内面に研磨紙３１を貼り付けることにより円筒容器１６の円筒内面に研磨面が形成されることになる。
【００３１】
また円筒容器１６の内部には、前述した転圧板３２が設けられている。転圧板３２は、図２等に示されるごとく、円筒容器１６の円筒壁部１６ａの湾曲内面の曲面に一致する曲面を有する円筒の一部の形状を有している。転圧板３２は、図２で示す通り、端部側から見ると半円形状に類似した形状を有し、かつその長さは例えば円筒容器１６の軸方向の長さと同等である。また転圧板３２の湾曲表面には弾性体３３が取り付けられている。弾性体３３は一定の厚みを有する板状弾性部材を、転圧板３２の湾曲表面に沿って湾曲させて貼り付けたものである。弾性体３３は、所要の弾性を有するゴム、所要の硬さを有するスポンジ、またはこれらに類似する部材もしくは構造物等の弾性材が使用される。転圧板３２に固定された弾性体３３は、加工対象物に対して形状転写の研磨加工を行う際、加工対象物に対する研磨をその縁（エッジまたは角部）の部分から開始し、さらに加工対象物の被加工面を凸形状に仕上げるための押出し作用を行わせる機能を有している。
【００３２】
転圧板３２の両側端部のそれぞれには錘支持棒３４が設けられ、この錘支持棒３４には錘３５が取り付けられている。この錘３５は、両側端部で同じ重さに調整されている。当該錘３５は、転造圧力を適宜な圧力に調整するための錘である。錘３５によって転圧板３２は円筒容器１６の下半分の内面部分に押し付けられることになる。上記のごとく、円筒容器１６はその中心軸周りに回転させられるが、その際においても転圧板３２は常に円筒容器１６の下半分の内面に押し付けられる。
【００３３】
加工対象物は多数の水晶振動子母材（水晶素材片）３６である。多数の水晶振動子母材３６は取付けシート３７に整列配置されている。取付けシート３７は、転圧板３２の弾性体３３と研磨紙３１との間に位置している。
【００３４】
図４は平面になるように延ばした取付けシート３７の正面図を示し、図５は図４におけるＡ−Ａ線断面図を示す。取付けシート３７は、両面に粘着性を有する粘着シート３８と整列シート３９から成る。整列シート３９には、多数の水晶振動子母材３６を方向を揃えて固定するための、水晶振動子母材３６の大きさに合わせたスリット３９ａが平行に複数本形成されている。なおスリット３９ａから露出した粘着シート３８の粘着面には一定間隔で水晶振動子母材３６が固定されている。図４では、説明の便宜上、一部の水晶振動子母材３６のみが示されている。整列シート３９は粘着シート３８の一方の面の粘着面に張り合わされる。多数の水晶振動子母材３６は、整列シート３９の複数のスリット３９ａに沿ってそこに露出した粘着シート３８の粘着部に固定され、配列される。このようにして多数の水晶振動子母材３６を整列配列された取付けシート３７は、他方の粘着面を利用して、転圧板３２の弾性体３３に表面に固定される。
【００３５】
図６は、転圧板３２の弾性体３３の表面に固定された状態の取付けシート３７の変形状態と、その一部を拡大した状態を示している。取付けシート３７は弾性体３３の湾曲面に沿って湾曲され、側に位置する多数の水晶振動子母材３６は、外側に突出し、研磨紙３１の研磨面に接触する。
【００３６】
取付けシート３７において、整列シート３９は、粘着シート３７における水晶振動子母材３６が固定される以外の箇所の粘着部を覆うことにより、粘着シート３８が研磨紙３１に張り付くのを防止する働きがある。また粘着シート３８は、水晶振動子母材３６の固定、および完成した水晶振動子片の取外しが自在に行えるように、その粘着強度が調整されている。取付けシート３７の粘着シート３８によれば、相対的に、その平面方向には高い粘着力を有し、剥がし方向には弱い粘着力を有するという特性を有している。かかる粘着シート３８を利用することにより、水晶振動子母材３６の形状転写の加工に関して一方向のみの凸型加工が可能になる。また転圧板３２に対する取付けシート３７の取付け角度を９０°ずらせば、直交する方向での研磨が可能になる。さらに水晶振動子母材３６における軸に対して任意の角度だけずれた加工も可能になる。
【００３７】
上記構成を有する形状転写加工装置によれば、加工対象である多数の水晶振動子母材３６を取付けシート３７に取り付け、完成した取付けシート３７を粘着シート３８の他面を利用して弾性体３３の表面に固定する。このように準備した転圧板３２を円筒容器１６にセットし、研磨加工の準備が完了する。
【００３８】
次に前述した電動式の回転駆動機構２１によって回転容器１６の回転を開始する。転圧板３２は、弾性体３３を介して、取付シート３７に取り付けた多数の水晶振動子母材３６を適切な圧力で研磨紙３１の研磨面に押し付ける。研磨の開始の時点では、図７に示すごとく、転圧板３２の弾性体３３の沈み込み作用（矢印４１で示す作用）により、水晶振動子母材（水晶片）３６は、その縁部３６ａが研磨紙３１に接触することによって研磨が開始される。研磨が進行した段階では、図８に示すごとく、転圧板３２の弾性体３３がその弾性によって押出し作用を生じ（矢印４２で示す作用）、その結果、水晶振動子母材（水晶片）３６の被加工面３６ｂは円筒容器１６の内面形状に従って研磨紙３１により凸型形状の転写加工が行われる。なお図７および図８では、説明の便宜上、１つの水晶振動子母材３６のみを示し、取付けシート３７や円筒容器１６等の図示は省略している。
【００３９】
なお図１に示されるごとく、上記のモータ２４に対しては、電力を供給する電源１８およびモータ動作を制御する制御装置１９が付設される。制御装置１９によってモータ２４の回転方向および回転速度等が任意に制御される。
【００４０】
上記の形状転写加工装置によれば、円筒容器１６の円筒壁部１６ａの内面に研磨紙３１を貼り付け、円筒容器１６の円周方向１７の回転により確実かつ正確な相対運動を生じさせ、かつ弾性体３３を介して転圧板３２で水晶振動子母材３６を最適な圧力で研磨紙３１に押し付けるようにしたため、研磨加工を高い精度で確実に行うことができ、加工時間を大幅に短縮でき（一例として２時間程度）、形状転写性能を向上することができる。また形状転写性能を向上することができるので、水晶振動子の電気的な性能（スプリアス）を向上することができる。
【００４１】
上記の実施形態では、円筒容器１６の円筒壁部１６ａの内面に市販の研磨紙３１を貼り付けることによりシート状研磨材を円筒容器１６に固定するようにしたが、シート状研磨材はこれに限定されない。例えば、円筒容器１６の円筒壁部の内面にシート状の研磨構造物を設けることもできる。さらに円筒容器１６の円筒壁部１６ａの内面に研磨加工作用を有する多数の微細凹凸を形成するようにしてもよい。
【００４２】
取付けシート３７において、水晶振動子母材３６のサイズが小さいときには整列シート３９は必要であるが、そのサイズが相対的に大きい場合には不要の場合もあり得る。
【００４３】
上記実施形態では、容器として円筒容器を用いたが、容器はこれに限定されない。円筒容器の下半分の形状を有する容器を使用し、回転運動ではなく揺動運動を与える个とによって同様な作用・効果を生じさせることもできる。
【００４４】
なお上記の形状転写加工装置を利用した試験結果として、例えばＡＴカットの水晶振動子母材であってそのサイズが例えば３．２×１．４×０．１ｍｍのものを、荷重：２ｋｇ、研磨紙：ＳＣ＃１０００、円筒容器の回転数：４０ｒｐｍ、弾性体：ＮＲゴム（自然ゴム）の加工条件で形状転写の加工を行ったところ、ほぼ２時間の加工時間で完全に形状転写を行うことができる。
【００４５】
次に図９〜図１１を参照して転圧板およびその支持構造の他の変形例を説明する。
【００４６】
図９は第１の変形例を示す。４１は転圧板である。転圧板４１は円筒の一部の形状を有し、両端部のそれぞれを２本の平行な支持棒４２で支持されている。転圧板４１と支持棒４２とはネジ止めで結合される。支持棒４２の外側は、両側のそれぞれで、２本の支持棒４２に対して１つの連結具４３を結合し、この連結具４３に対して上下方向に配置した支持軸４４を設け、連結具４３を支持軸４４に挿通させている。両側の支持軸４４に対して連結具４３は上下方向４５に自由に移動させることができる。
【００４７】
上記の支持構造によれば、転圧板４１の位置を円筒容器に対して自由に設定できかつ加工中に移動しないように支持棒４２と支持軸４４で水平方向位置を固定する。上下方向の動きは自由であり、両側に錘を載せて加工圧力を調整することができる。
【００４８】
図１０は第２の変形例を示す。図１０において、図９で説明した要素と同一の要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。支持構造で相違する点は、４本の支持棒４２のそれぞれに対してクランプ部４６と支持軸４７が設けられ、各クランプ部４６は対応する各支持軸４７に挿通させている。この構成では、４本の支持棒４２のそれぞれの高さ位置を調整することができ、これにより転圧板４１の円筒容器に対する角度を調整することができる。その他の構成、作用、効果は上記の第１変形例と同じである。
【００４９】
図１１は、前述した転圧板４１を円筒容器１６に対して装着した側面図を示している。図１１において、上記実施形態等で説明した要素と実質的に同一の要素には同一の符号を付している。
【００５０】
なお、多数の水晶振動子母材３６が固定される粘着シートは、最初に一体の加工対象物基材を粘着力で粘着シートに固定し、その後に加工対象物基材を切断加工して多数の水晶振動子母材等を分離形成することにより、形成することも可能である。
【００５１】
以上の実施形態で説明された構成、形状、大きさおよび配置関係については本発明が理解・実施できる程度に概略的に示したものにすぎず、また数値および各構成の組成（材質）については例示にすぎない。従って本発明は、説明された実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、情報通信やコンピュータに関連する機器の水晶振動子として高安定および高信頼性を有する水晶振動子の製作に利用される。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明に係る形状転写加工装置の代表的実施形態を示し、装置の外観を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係る形状転写加工装置の要部構成を概念的に説明するための端面図である。
【図３】本実施形態に係る形状転写加工装置の円筒容器およびその周辺部分の側面図である。
【図４】取付けシートの平面図である。
【図５】図４におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図６】転圧板に付設された取付けシートの使用状態、および取付けシートの要部拡大断面をそれぞれ示す図である。
【図７】本実施形態に係る形状転写加工装置の研磨開始時における弾性体の作用状態を示す要部断面図である。
【図８】本実施形態に係る形状転写加工装置の研磨進行時における弾性体の作用状態を示す要部断面図である。
【図９】転圧板の具体的構成の第１例を示す斜視図である。
【図１０】転圧板の具体的構成の第２例を示す斜視図である。
【図１１】具体的な構成を有する転圧板を円筒容器に装着したときの状態を示す端面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１１      基台
１２      支持ロッド
１３      支持ロッド
１６      円筒容器
２３      アーム
２４      モータ
２５      ローラ
３１      研磨紙
３２      転圧板
３３      弾性体
３４      錘支持体
３５      錘
３６      水晶振動子母材
３７      取付けシート
３８      粘着シート
３９      整列シート
【図１】
2005335019.tif 000003
【図２】
2005335019.tif 000004
【図３】
2005335019.tif 000005
【図４】
2005335019.tif 000006
【図５】
2005335019.tif 000007
【図６】
2005335019.tif 000008
【図７】
2005335019.tif 000009
【図８】
2005335019.tif 000010
【図９】
2005335019.tif 000011
【図１０】
2005335019.tif 000012
【図１１】
2005335019.tif 000013