(57)【要約】【課題】被加工物の全域で渦巻き状のマークが発生することなく、形状精度の良好な加工を行う。【解決手段】加工装置は、回転する工具１を回転する軸対称形状の被加工物２に押し当てた状態で被加工物２に対して走査させる。工具２を回転させる工具スピンドル３と、被加工物２を回転させる被加工物スピンドル４と、工具１と被加工物２との接触圧力を加える加圧手段７と、工具１と被加工物２とを相対的に移動させる軸移動手段５，６と、被加工物２の加工域全面において被加工物２が一回転する間に工具１と被加工物２とが相対的に移動する距離が単位時間内に工具１によって被加工物２内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％になるように工具スピンドル３、被加工物スピンドル４、加圧手段７または軸移動手段５，６の少なくとも一つを制御する数値制御装置９とを具備する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する工具を回転する軸対称形状の被加工物に押し当てた状態で被加工物に対して工具を被加工物面上で走査させて加工する方法において、
前記被加工物の加工域全面において被加工物が１回転する間に工具と被加工物とが相対的に移動する距離が単位時間内に工具によって被加工物内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％であることを特徴とする加工方法。
【請求項２】
回転する工具を回転する軸対称形状の被加工物に押し当てた状態で被加工物に対して工具を被加工物面上で走査させて加工する方法において、
前記被加工物の加工域全面において被加工物が１回転する間に工具と被加工物が相対的に移動する距離が単位時間内に工具によって被加工物内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％になるように工具が被加工物面上に滞留する時間、被加工物の回転数、工具の回転数、工具と被加工物の接触圧力の少なくとも１つを制御することを特徴とする加工方法。
【請求項３】
工具が被加工物面上に滞留する時間、被加工物の回転数、工具の回転数、工具と被加工物の接触圧力の少なくとも１つを制御する際に、前記被加工物の回転数が工具の回転数よりも加工域全面において常に大きいことを特徴とする請求項２に記載の加工方法。
【請求項４】
回転する工具を回転する軸対称形状の被加工物に押し当てた状態で被加工物に対して走査させる加工装置において、
前記工具を回転させる工具スピンドルと、
前記被加工物を回転させる被加工物スピンドルと、
工具と被加工物との接触圧力を加える加圧手段と、
工具と被加工物とを相対的に移動させる軸移動手段と、
被加工物の加工域全面において被加工物が一回転する間に工具と被加工物とが相対的に移動する距離が単位時間内に工具によって被加工物内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％になるように前記工具スピンドル、被加工物スピンドル、加圧手段または軸移動手段の少なくとも一つを制御する数値制御装置と、
を具備することを特徴とする加工装置。
【請求項５】
前記被加工物の形状を測定する形状測定機と、形状測定機の測定結果に基づいて所望の目標形状までの修正量を算出する測定用制御装置とを内部に具備することを特徴とする請求項４に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ、ミラー、プリズムなどの光学素子の光学面またはこれらをプレス成形するための金型の成形面を加工する際に、工具が被加工物面上に滞留する時間を制御しながら研削加工する加工方法及び加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学素子等の研削や研磨においては、母性原理に則った加工機だけでなく、圧力制御に則った加工機を用いて加工を行うことが従来より提案されている。
【０００３】
図９は、このような加工を行うため、特開２０００−２９６４６４号公報に記載された研削研磨装置である。
【０００４】
図９に示すように、被加工物１０１が取り付けられる被加工物軸１０２が圧力制御可能なように加圧装置１０５を介してＸＹテーブル１０６に支持されている。被加工物１０１に対して加工を行う工具１１１は、Ｚテーブル１０７と、Ａ軸１０８及びＢ軸１０９の２つの揺動軸とに取り付けられている。工具１１１の回転は工具用モータ１１０により行われる。
【０００５】
この装置は、被加工物軸１０２の規定位置に測定用反射板１０３を設け、その位置をＸＹテーブル１０６から支持ポストを介して設置した高精度レーザ変位計１０４により加工中の移動距離を測定するようになっている。すなわち、被加工物１０１の加工が進行すると、被加工物１０１の裏面がＸＹテーブル１０６の基準位置から相対的に浮き上がることを利用するものであり、その移動量をリアルタイムに測定し、測定したデータを基に予め設定した必要加工量に達するまで工具１１１を被加工物１０１上に滞留させて形状誤差を小さくするように制御している。
【特許文献１】特開２０００−２９６４６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図９に示す加工装置では、以下の問題点を有している。
【０００７】
第１に、工具１１１と被加工物１０１の滞留時間による制御を行っているため、送り速度は被加工物１０１の中心へ向かうほど速くなる。しかし、加工量の設定が小さいと、被加工物１０１が１回転する前に必要除去量に達して送りを進行させてしまう場合がある。この場合には、渦巻き状（螺旋状）のマーク（中心付近で加工したエリアと加工しないエリアが存在している状態）が発生し、均一な加工を行うことができない。
【０００８】
第２に、高精度レーザ変位計１０４が計測したＺ方向移動距離をフィードバックする際に、ノイズが大きいために誤差が発生する。このノイズは加工時における加工機の振動や空気の揺らぎ等によるレーザの不安定性に起因するものである。加工時における振動の発生は、仕上げ研磨のように数ｎｍレベルの加工を行う場合には、非常に小さいが、サブミクロンオーダの研磨加工や、数〜数十μｍのオーダーの研削加工では大きいため、加工中に発生する振動でＺ方向移動距離の計測データにバラツキや誤差が発生する。この誤差が含まれたデータからノイズ成分除去したデータによってフィードバックを行うと誤差が含まれているため、正確なフィードバックを行うことが困難となる。
【０００９】
本発明は、このような従来の問題点を考慮してなされたものであり、加工量の設定の大小に関わらず被加工物の全域で渦巻き状のマークが発生することなく、しかも加工後のデータを正確にフィードバックすることによって形状精度の良好な加工を行うことができる加工方法及び加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１記載の発明は、回転する工具を回転する軸対称形状の被加工物に押し当てた状態で被加工物に対して工具を被加工物面上で走査させて加工する方法において、前記被加工物の加工域全面において被加工物が１回転する間に工具と被加工物とが相対的に移動する距離が単位時間内に工具によって被加工物内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％であることを特徴とする。
【００１１】
請求項１記載の発明では、被加工物の加工域全面において被加工物が１回転する間に工具と被加工物が相対的に移動する距離が、単位時間内に工具によって被加工物内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％としていることにより、被加工物の中心付近に渦巻き状のマークを形成することがなく、形状精度の良好な加工を行うことができる。
【００１２】
請求項２記載の発明は、回転する工具を回転する軸対称形状の被加工物に押し当てた状態で被加工物に対して工具を被加工物面上で走査させて加工する方法において、前記被加工物の加工域全面において被加工物が１回転する間に工具と被加工物が相対的に移動する距離が単位時間内に工具によって被加工物内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％になるように工具が被加工物面上に滞留する時間、被加工物の回転数、工具の回転数、工具と被加工物の接触圧力の少なくとも１つを制御することを特徴とする。
【００１３】
請求項２記載の発明では、工具が被加工物面上に滞留する時間、被加工物の回転数、工具の回転数、工具と被加工物の接触圧力の少なくとも１つを制御するため、単位時間内に工具によって被加工物内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％とする制御を容易に行うことができる。
【００１４】
請求項３記載の発明は、請求項２に記載の加工方法であって、工具が被加工物面上に滞留する時間、被加工物の回転数、工具の回転数、工具と被加工物の接触圧力の少なくとも１つを制御する際に、前記被加工物の回転数が工具の回転数よりも加工域全面において常に大きいことを特徴とする。
【００１５】
請求項３記載の発明では、被加工物の回転数を工具の回転数よりも大きく設定することによって円周方向の加工痕を形成するため、良好な品質の加工面を得ることができる。
【００１６】
請求項４記載の発明は、回転する工具を回転する軸対称形状の被加工物に押し当てた状態で被加工物に対して走査させる加工装置において、前記工具を回転させる工具スピンドルと、前記被加工物を回転させる被加工物スピンドルと、工具と被加工物との接触圧力を加える加圧手段と、工具と被加工物とを相対的に移動させる軸移動手段と、被加工物の加工域全面において被加工物が一回転する間に工具と被加工物とが相対的に移動する距離が単位時間内に工具によって被加工物内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％になるように前記工具スピンドル、被加工物スピンドル、加圧手段または軸移動手段の少なくとも一つを制御する数値制御装置と、を具備することを特徴とする。
【００１７】
請求項４記載の発明では、数値制御装置が工具スピンドル、被加工物スピンドル、加圧手段または軸移動手段の少なくとも一つを制御することにより、被加工物の加工域全面において被加工物が一回転する間に工具と被加工物とが相対的に移動する距離が単位時間内に工具によって被加工物内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％になるため、被加工物の中心付近に渦巻き状のマークを形成することがなく、形状精度の良好な加工を行うことができる。
【００１８】
請求項５記載の発明は、請求項４に記載の加工装置であって、前記被加工物の形状を測定する形状測定機と、形状測定機の測定結果に基づいて所望の目標形状までの修正量を算出する測定用制御装置とを内部に具備することを特徴とする。
【００１９】
請求項５記載の発明では、形状測定機及び測定用制御装置を内部に備えているため、機外の測定機を使用する必要がなく、機外の測定機を使用する際に発生していた被加工物の脱着誤差及び脱着時間と調整作業、さらに機外測定する際の調整作業を排除することができ、加工から補正加工ヘ移行する時間を短縮することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の加工方法によれば、被加工物の加工域全面にて被加工物が１回転する間に工具と被加工物が相対的に移動する距離が、単位時間内に工具によって被加工物内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％なので、被加工物中心付近に渦巻きを形成しない加工面を得ることができる。
【００２１】
本発明の加工装置によれば、数値制御装置が工具スピンドル、被加工物スピンドル、加圧手段または軸移動手段の少なくとも一つを制御することにより、被加工物の加工域全面において被加工物が一回転する間に工具と被加工物とが相対的に移動する距離が単位時間内に工具によって被加工物内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％になるため、被加工物の中心付近に渦巻き状のマークを形成することがなく、形状精度や粗さなど加工面品質の良好な加工を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
【００２３】
［実施の形態１］
図１は本発明の実施の形態にかかる加工装置を示す正面図であり、回転する被加工物２を回転する工具１によって研削している状態を示している。
【００２４】
被加工物２は被加工物スピンドル４の右端に取り付けられる。被加工物スピンドル４はその回転軸Ａと同一方向に移動可能なステージ８に一体的に取り付けられている。ステージ８の基端面８ａには、加圧手段としてのシリンダ７の先端が接触しており、シリンダ７で設定した圧力で被加工物２に対する加工可能となっている。シリンダ７は被加工物スピンドル４の回転軸Ａと同一方向に移動可能なＺ方向移動手段６のベース１１に取り付けられている。シリンダ７は加圧手段としての一例であり、ばねやボイスコイルモータなどの他の加圧手段を用いても良い。
【００２５】
工具１は略円柱形状で、円柱の円筒部分が曲面となっているいわゆる樽型であり、工具スピンドル３の下端に取り付けられる。工具スピンドル３の回転軸Ｂは、Ｚ軸に直交する方向（鉛直方向）と一致している。工具スピンドル３は工具スピンドルフランジ１２を介してＺ軸と工具スピンドル３の回転軸３にそれぞれ直交する方向（水平方向）に移動可能なＸ方向移動手投５に取り付けられている。
【００２６】
Ｘ軸移動手段５及びＺ軸移動手段６は、共に図示しないガイドレールとボールねじ及びモータにより構成されている。モータにはエンコーダが付属しており、位置制御はエンコーダによって行うことが可能となっている。
【００２７】
Ｘ軸移動手段５とＺ軸移動手段６とを同期して移動させることにより、工具１と被加工物２とを相対的に移動させることが可能となる。従って、Ｘ軸移動手段５とＺ軸移動手段６とによって軸移動手段が構成される。なお、工具スピンドル３及び被加工物スピンドル４は、図示する構成でなくてもよく、相対的に相互に直交するＸＺ方向に移動可能であれば良い。さらに、工具スピンドル３は被加工物スピンドル４の回転軸に対して傾斜して保持されていても良い。
【００２８】
工具１と被加工物２を接触させる際、工具１と被加工物２を接触した位置から、さらにＺ軸移動手段６を移動させることが可能である。この場合のシリンダ７の最大押し込み量はシリンダ７のストロークに依存し、且つ押し込み量域内は常に工具１と被加工物２の接触圧は一定とすることが可能である。
【００２９】
Ｘ方向移動手段５、Ｚ方向移動手段６、工具スピンドル３、被加工物スピンドル４及びシリンダ７は数値制御装置９によって同期制御が可能となっている。この制御装置はいわゆるＮＣであり、プログラムによって微小線分送りが可能で、各位置における送り速度、スピンドル回転数、シリンダ圧力等を制御することが可能となっている。
【００３０】
なお、上記構成では圧力制御による加工機で研削を行うことになり、従来の母性原理による超精密加工機と比較して高精度な位置決め装置を使用しなくて良いため、装置コストを低減することが可能である。
【００３１】
次に、上記構成の加工装置を用いた研削加工方法について説明する。
【００３２】
まず、工具１を工具スピンドル３に取り付けた状態で工具１のバランスを調整する。次に、被加工物２の取り付け位置を被加工物スピンドル４に対して調整する。工具スピンドル３と被加工物スピンドル４とを回転させ、工具１の先端曲率半径と被加工物２の所望の形状曲線とに基づいて作成されたＮＣデータに沿うようにＸ方向移動手段５及びＺ方向移動手段８を移動させることによって被加工物２の外周から中心に向けて工具１を送り、所望の形状に研削加工する。
【００３３】
この際の加工プログラムは予め加工前の被加工物２の断面データから必要除去量を算出しておき、これを滞留時間で制御できるようにしておく。滞留時間は加工プログラム上では送り速度に換算して設定を行う。
【００３４】
被加工物２の中心付近で渦巻き状のマークが発生しないように加工を行う方法について、図２〜図５を参照して説明する。この概要は、送り速度を被加工物２が１回転する間の移動量が単位加工痕の直径の０．１から５０％になるように設定するものであり、これにより、中心部に加工エリアと未加工エリアとが混在する渦巻きマークを解消することが可能になる。
【００３５】
図２は被加工物２の円周上の単位加工痕２２の断面図であり、この単位加工痕２２の直径をｄとする。図３は、被加工物２が１回転する間に工具１が被加工物２上を加工痕径ｄの５０％ずつ進行した状態を示している。この場合、加工後の面は、図４に示すように単位加工痕の深さに対して削られない領域を小さく設定することができる。被加工物２に発生するうねりは、この削られない領域からも形成されるため、この領域を小さくすることは加工面の品質を向上させることにつながる。
【００３６】
図５は、被加工物２が１回転する間に工具１が被加工物２上を加工痕径ｄの１０５％ずつ進行した様子を示している。このように、工具１の送り速度を上述した数値よりも速く設定すると、被加工物２面内において工具１によって削られない領域が発生し、渦巻き状のマークが残存する。
【００３７】
送り速度を被加工物２が１回転する間の移動量が単位加工痕径の０．１から５０％になるように設定した理由は以下の通りである。
【００３８】
すなわち、送り速度が被加工物２が１回転する間の移動量が単位加工痕径の５０％を超えると切り残し部分が大きくなる。この切り残しは加工面の粗さにつながる。従って、切り残しが小さければ小さいほど粗さが向上することになるため、送り速度を被加工物２が１回転する間の移動量が単位加工痕の直径の５０％以下とするものである。
【００３９】
一方、送り速度を被加工物２が１回転する間の移動量が単位加工痕径の５０％以下で限りなく小さくすると、加工時間が長くなるばかりでなく、加工点での過剰な熱の発生や工具１として砥石を使用した場合の目詰まりが発生する。この目詰まりは、形状修正時に形状誤差のバラツキの原因となり、精密な形状精度を実現することができなくなる。このため、送り速度は被加工物２が１回転する間の移動量が単位加工痕の直径の０．１％以上とするものである。
【００４０】
このように送り速度を被加工物２が１回転する間の移動量が単位加工痕の直径の０．１から５０％とすることにより、品質の良好な加工面とすることができる。
【００４１】
ここで、上述のように常に被加工物２の１回転間の移動量が単位加工痕の直径の０．１から５０％になるような送り速度を設定し、且つ被加工物２の単位軌跡長さ当たりの工具滞留時間を一定にする、という条件を設定する。これにより、加工域全面で同じ加工痕径が形成されることになり、中心部に渦巻き状マークを形成しないばかりでなく、加工面全域で同一の面粗さとすることが可能となる。
【００４２】
次に、この加工について説明する。
【００４３】
中心部の渦巻き状のマークを抑制するためには、加工痕径及び単位軌跡長さ当たりの工具１の滞留時間が被加工物２の表面のどの位置でも同じであることが必要と考えられる。このために、円周方向で必要な条件は、次の条件である。
【００４４】
（１）加工痕径の形成要素である工具スピンドル３の回転数と工具１と被加工物２との接触圧が被加工物２の表面のどの位置でも同じであること。
（２）被加工物２の円周方向で単位軌跡長さ当たりの工具１の滞留時間が同じであり、且つ径方向で加工痕の重なり率が同じであること。
【００４５】
上記条件（２）については、被加工物２が１周する時間をＴ、被加工物軸の回転数をωwork、被加工物２の中心からの位置をｘ、単位軌跡長さあたりの滞留時間をｔ、被加工物２が１周する時間で常に進む距離をＤ、送り速度をＦとした場合、以下の関係式が成立する。
【００４６】
被加工物が１周する時間Ｔは、Ｔ＝１／ωwork
【００４７】
被加工物２の中心の位置ｘにおける円周方向の長さ＝２πｘ
【００４８】
単位軌跡長さ当たりの滞留時間ｔは、ｔ＝Ｔ／２πｘ＝１／２πｘ・ωwork
【００４９】
これらの関係式から、被加工物軸の回転数ωworkは単位長さあたりの滞留時間を定数として、以下のｘに依存する関数と考えることができる。
【００５０】
ωwork＝１／２πx・ｔ  
【００５１】
また、径方向では、被加工物２が１周する時間で常に一定距離Ｄだけ進む、と考えると径方向での加工痕の重なり率が同じとなるため、
【００５２】
F＝D／Ｔ＝Ｄ・ωwork
【００５３】
上記から送り速度Ｆも以下のｘに依存する関数と考えることができる。
【００５４】
Ｆ＝Ｄ／２πｘ・ｔ
【００５５】
具体杓には、工具１として直径（φ）１２ｍｍのレジンボンド砥石、被加工物２を凸の曲率（Ｒ）３０ｍｍで加工径（φ）２０ｍｍのガラスとした場合、被加工物スピンドル４の回転数を外周で２０ｒｐｍ、中心で１５００ｒｐｍとなるように変化させ、工具スヒンドル３の回転数を１０００ｒｐｍ、送り速度を外周でＦ１、中心から０．１ｍｍの位置でＦ９５と変化させて加工すると、表面粗さが約５０ｎｍの良好な加工面を得ることが可能となる。
【００５６】
また、円周方向の速度が送り速度と同じになるように設定すると、被加工物２の円周方向の面粗さと被加工物２の径方向の面粗さを均一にすることが可能となる。因みに、上述した形態の場合、定数としていた２つのパラメータは、単位長さ当たりの滞留時間ｔは、０．０５ｓｅｃ／ｍｍ、被加工物２が１周する時間で進む距離Ｄは、０．０５ｍｍ／回転である。
【００５７】
なお、この実施の形態では単位加工痕の形状及び単位加工痕の直径ｄが被加工物２の加工中に一定としているが、これに限らず、工具１の回転数、工具１と被加工物２の接触圧力などを加工中に制御することによって単位加工痕の形状及び単位加工痕の直径ｄを任意に制御しながら、且つ被加工物２の加工域全面において、被加工物２が１回転する間に工具１と被加工物２とが相対的に移動する距離が、単位時間内に工具１によって被加工物２内に形成される単位加工痕の直径の０．１から５０％になるように加工を行っても同様の効果を得ることが可能である。
【００５８】
（実施の形態２）
この実施の形態２では、その構成が実施の形態１と同様であり、実施の形態１と異なる加工方法についてのみ説明する。
【００５９】
この実施の形態では、加工前には予め加工前の被加工物２の断面データから必要除去量を算出しておく。これを滞留時間で制御できるようにプログラムを設定するが、この際に被加工物スピンドル４の回転数を工具スピンドル３の回転数よりも大きく設定する。この被加工物スピンドル４の回転数は、中心付近で必要になる送り速度が、被加工物２の１回転間の工具１の移動量が単位加工痕の直径の０．１から５０％を維持できるように設定する。
【００６０】
具体的には、工具１として直径（φ）１２ｍｍレジンボンド砥石、被加工物２を凸の曲率（Ｒ）３０ｍｍで加工径（φ）２０ｍｍのガラスとした場合、被加工物スピンドル４の回転数１０００ｒｐｍ、工具スピンドル３の回転数５００ｒｐｍ、送り速度を外周でＦｌ、中心から０．１ｍｍの位置でＦ９５と変化させて加工すると、表面粗さ約５０ｎｍの良好な加工面を得ることが可能となる。ここで、渦巻き状のマークの発生を回避できるのは、以下の手段による。
【００６１】
すなわち、上記条件での単位加工痕径は直径（φ）０．２ｍｍである。この５０％、すなわち０．１ｍｍをｘ軸移動手段５により工具１を送る時間は、被加工物２が１回転する時間以上であれば良い。すなわち、送りの最大速度Ｆは、次のような計算により、１００（ｍｍ／ｍｉｎ）以下となる。
【００６２】
Ｆ＝０．１（ｍｍ）／０．００１（ｍｉｎ）＝１００（ｍｍ／ｍｉｎ）
【００６３】
この場合、中心から０．１ｍｍの位置でＦ９５であるので、中心での渦巻き状のマークの発生を抑制することができる。
【００６４】
この実施の形態のように、被加工物２を工具１よりも速く回転させることにより、以下のような効果がある。これを図１、図６及び図７を用いて説明する。
【００６５】
この実施の形態における加工は、図１のＸ軸方向に向かって回転する工具１が被加工物２の面上をシリンダ７で制御された接触圧力によって加工を進行させるものである。工具１の周速方向は被加工物２の周速方向に対して直交している。通常、このような加工を行う場合、図６に示すような放射状のマークが形成される。
【００６６】
これに対し、この実施の形態のように被加工物２の回転数を工具１の回転数よりも大きく設定すると、中心部以外の領域において相対的に工具１が被加工物２に対して停止することになり、工具１の砥粒の軌跡が被加工物２の円周上に示されるようになる。図７は、この軌跡を示し、被加工物２の周速方向と工具１の周速方向が平行になっていることと等価となり、加工面の品質が向上する。
【００６７】
（実施の形態３）
図８は、実施の形態３の加工装置の平面図であり、被加工物２を測定機１０によって測定している状態を示している。この実施の形態の基本的な部分は実施の形態１と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。
【００６８】
Ｘ軸移動手段５には、工具スピンドル３を搭載した工具スピンドルフランジ１２と、形状測定機１０を搭載したフランジが取り付けられている。
【００６９】
形状測定機１０は自重傾斜式プローブを有した機上測定機であり、被加工物２の加工断面を高精度プローブにより測定可能となっている。この形状測定機１０は、先端のプローブが被加工物２と接触しながら測定を行うため、実際の形状を測定することができる。さらに、プローブと被加工物２との接触荷重を９０ｍｇｆ以下と小さい値に設定できるため、被加工物２が非常に柔軟なものであっても高精度に滑走できる。形状測定機１０の精度は、５０ｎｍ（３δ）以下であるので、補正へのフィードバック時の誤差が低減できる。
【００７０】
加工は、予め測定した加工結果から必要除去量を算出しておき、それを滞留時間制御によって加工を行う。加工が終了すると、形状測定機１０によって被加工物２の断面形状の測定を行い、解析等の処理を終了した後、次回の必要除去量を算出する。これら一連の処理は測定用制御装置である測定用ＰＣ１３によって行う。
【００７１】
以上の構成では、機外の測定機を使用する際に発生していた被加工物２の脱着誤差、及び脱着時間と調整作業、さらには機外測定する際の調整作業を排除することができ、加工から補正加工ヘ移行する時間を短縮することが可能となる。
【００７２】
また、形状測定機１０の周辺に、被加工物２の測定面をエアで洗浄可能なブロー部を有することによって加工中での測定が可能となる。これにより、設定加工量と実加工量の差を即座にフィードバックし、その比率を測定時移行の必要除去加工量にフィードバックすることができる。このように加工中に補正を行うことができることにより、形状補正を常に行うことができるため、形状精度が向上する。従って、補正加工の回数低減が可能になり、加工後に行っていた測定を加工中に行うので測定時間の短縮を行うことができるメリットがある。
【００７３】
この実施の形態では、工具スピンドル３を１つ付加した例を示したが、これに限らず、工具スピンドル３を複数設置することにより、粒度の異なる工具１をセットし、粗研削から仕上げ研削、場合によっては研磨までの加工が被加工物２の脱着なしに行うことが可能となる。これによって加工の総時間の短縮を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】実施の形態１及び２に用いる加工装置の正面図である。
【図２】単位加工痕の断面図である。
【図３】単位加工痕の直径が間隔ｄ／２で進行した場合の断面図である。
【図４】単位加工痕の直径が間隔ｄ／２で進行した場合の加工面の断面図である。
【図５】単位加工痕の直径が間隔１．０５×ｄで進行した場合の加工面の断面図である。
【図６】放射状の研削マークの模式図である。
【図７】円周状の研削マークの模式図である。
【図８】実施の形態３に用いる加工装置の平面図である。
【図９】従来の加工装置の斜視図である。
【符号の説明】
【００７５】
１  工具
２  被加工物
３  工具スピンドル
４  被加工物スピンドル
５  Ｘ方向移動手段
６  Ｚ方向移動手段
７  シリンダ
８  ステージ
９  数値制御装置
１０  形状測定機
１１  Ｚベース
１３  測定用ＰＣ
【図１】
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【図２】
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【図３】
2005305621.tif 000005
【図４】
2005305621.tif 000006
【図５】
2005305621.tif 000007
【図６】
2005305621.tif 000008
【図７】
2005305621.tif 000009
【図８】
2005305621.tif 000010
【図９】
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