(57)【要約】【課題】ヘッドの移動に伴って引き回される機能液供給チューブに無理な力が加わることがない、配管配線サポート機構およびこれを備えた機能液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。【解決手段】機能液供給チューブ８１を略中間部で吊設保持する、配管配線サポート機構３０２であって、機能液供給チューブ８１を、機能液滴吐出ヘッド２３１の移動領域の上方で吊設保持するホルダヘッド３２２と、ホルダヘッド３２２を支持するサポートスタンド３２１と、を備え、ホルダヘッド３２２は、機能液滴吐出ヘッド２３１の移動に伴って引き回される機能液供給チューブ８１に応動するように、サポートスタンド３２１に応動自在に支持されている。【選択図】  図１
2005021843.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の端部を機能液滴の吐出に伴って移動する機能液滴吐出ヘッドに接続し、他方の端部を前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液送液装置に接続した可撓性を有する機能液供給チューブを、前記機能液滴吐出ヘッド側の固定部位と前記機能液送液装置側の固定部位との略中間部で吊設保持する、配管配線サポート機構であって、
前記機能液供給チューブを、前記機能液滴吐出ヘッドの移動領域の上方で吊設保持するホルダヘッドと、
前記ホルダヘッドを支持するサポートスタンドと、を備え、
前記ホルダヘッドは、前記機能液滴吐出ヘッドの移動に伴って引き回される前記機能液供給チューブに応動するように、前記サポートスタンドに応動自在に支持されていることを特徴とする配管配線サポート機構。
【請求項２】
前記ホルダヘッドは、前記機能液滴吐出ヘッドの移動方向に略直交する方向に延在し、かつ前記サポートスタンドに対し前記ホルダヘッドは、前記機能液滴吐出ヘッドの移動方向に略直交する水平軸廻りに回転自在に支持されていることを特徴とする請求項１に記載の配管配線サポート機構。
【請求項３】
前記ホルダヘッドは、前記機能液滴吐出ヘッドの移動方向に略直交する方向に延在し、前記サポートスタンドに対し前記ホルダヘッドは、一方の端部を鉛直軸廻りに回動自在に支持されていることを特徴とする請求項１に記載の配管配線サポート機構。
【請求項４】
前記ホルダヘッドは、前記サポートスタンドに応動自在に支持されているヘッド本体と、前記機能液供給チューブを形状保持状態で前記ヘッド本体との間に担持する担持部材と、を有していることを特徴とする請求項１、２又は３に記載の配管配線サポート機構。
【請求項５】
前記担持部材は、前記ヘッド本体の下側に取り付けられ、かつ前記機能液供給チューブを担持するチューブ担持溝を有し、前記チューブ担持溝の両溝端部は面取りされていることを特徴とする請求項４に記載の配管配線サポート機構。
【請求項６】
一方の端部を機能液滴吐出に伴って移動する前記機能液滴吐出ヘッドに接続し、他方の端部を前記機能液滴吐出ヘッドを駆動するヘッドドライバに接続した可撓性を有する駆動ケーブルを、更に備え、
前記ホルダヘッドは、前記駆動ケーブルの、前記機能液滴吐出ヘッド側の固定部位と前記ヘッドドライバ側の固定部位との略中間部を、吊設保持していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の配管配線サポート機構。
【請求項７】
前記ホルダヘッドは、フレキシブルフラットケーブルを構成した前記駆動ケーブルを、複数本吊設しており、
複数本の前記駆動ケーブルは重ね合わせた状態で前記ホルダヘッドに保持されていることを特徴とする請求項６に記載の配管配線サポート機構。
【請求項８】
前記ホルダヘッドは、前記移動領域の中間位置に配設されることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の配管配線サポート機構。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の配管配線サポート機構を備えたことを特徴とする機能液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記機能液滴吐出ヘッドを移動させる移動テーブルと、
前記移動テーブルを内包するように支持するフレームとを、更に備え、
前記サポートスタンドは、前記フレームに支持されていることを特徴とする請求項９に記載の機能液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載の機能液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項９又は１０に記載の機能液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、機能液送液装置から機能液滴吐出ヘッドに到る機能液供給チューブをその略中間部で吊設保持する配管配線サポート機構およびこれを備えた機能液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器、に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、機能液滴吐出装置の一種であるインクジェット記録装置において、可動側の機能液滴吐出ヘッドと、固定側の機能液タンクとを接続する機能液供給チューブや、可動側の機能液滴吐出ヘッドと、固定側のヘッドドライバとを接続する駆動ケーブル（フレキシブルフラットケーブル）は、機能液滴吐出ヘッド側の部分が機能液滴吐出ヘッドの移動に伴って移動するため、その移動の際に乱雑にならないように可撓性のベースに結束具等により束ねるようにして保持されると共に、全体をＵ字状のループ形状とし、機能液滴吐出ヘッドの移動に追従できるように構成されている（例えば、特許文献１参照）。この場合、可撓性のベースの一端がヘッドキャリッジに固定され他端はフレームに固定されていて、ケーブルベア（登録商標）様に機能する。このため、機能液滴吐出ヘッドの移動に伴う機能液供給チューブや駆動ケーブルはＵ字状を描いてこれに追従する。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−２００７６８号公報（第２頁、図２、図１５）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の構成では、Ｕ字状を為す機能液供給チューブや駆動ケーブルを、機能液滴吐出ヘッドを移動させる移動機構に添わせて設ける必要があり、その引廻しのために機能液供給チューブや駆動ケーブルの全長が長く問題がある。
また、機能液滴吐出ヘッドの移動に伴って機能液供給チューブの折り曲げ部分が連続的に移行するため、機能液供給チューブ内に脈動を生じて、圧力の変動により吐出が不安定となる問題がある。さらに、部分的に曲げ応力を繰り返し受けるため、機能液供給チューブが疲労し、機能液供給チューブの寿命が短くなる問題がある。
【０００５】
本発明は、ヘッドの移動に伴って引き回される機能液供給チューブに無理な力が加わることがなく、且つ機能液供給チューブの全長を比較的短くすることができる配管配線サポート機構およびこれを備えた機能液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の配管配線サポート機構は、一方の端部を機能液滴の吐出に伴って移動する機能液滴吐出ヘッドに接続し、他方の端部を機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液送液装置に接続した可撓性を有する機能液供給チューブを、機能液滴吐出ヘッド側の固定部位と機能液送液装置側の固定部位との略中間部で吊設保持する、配管配線サポート機構であって、機能液供給チューブを、機能液滴吐出ヘッドの移動領域の上方で吊設保持するホルダヘッドと、ホルダヘッドを支持するサポートスタンドと、を備え、ホルダヘッドは、機能液滴吐出ヘッドの移動に伴って引き回される機能液供給チューブに応動するように、サポートスタンドに応動自在に支持されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、可撓性を有する機能液供給チューブはその機能液滴吐出ヘッド側の固定部位と機能液送液装置側の固定部位との略中間部において、配管配線サポート機構によって機能液滴吐出ヘッドの移動領域の上方で吊設保持されており、機能液滴吐出ヘッドが移動すると、機能液供給チューブがホルダヘッドを基点として引き回される。その際、ホルダヘッドは応動自在となっているため、機能液供給チューブに加わる力は、ホルダヘッドを中心に機能液吐出滴ヘッド側および機能液送液装置側に作用する。このため、機能液供給チューブは、ホルダヘッドの部分を中心として弧を描くように湾曲する。すなわち、ホルダヘッドを固定した場合に比べ、機能液供給チューブの曲がりを大きな曲率半径とすることができる。このため、機能液供給チューブがホルダヘッドによって保持される部分にかかる応力（折り曲げストレスおよび引張りストレス）を分散することができる。また、引き回しにより生ずる湾曲部分は従来技術のように移動することがないため、機能液供給チューブ内の圧力変動を極力少なくすることができる。さらに、機能液供給チューブは、単純に中間部を吊り下げる構造をとるため、たるみはもたせるものの機能液滴吐出ヘッド側の固定部位と機能液送液装置側の固定部位とを略直線的に結ぶように配管することができ、機能液供給チューブの全長を比較的短くすることができる。
【０００８】
この場合、ホルダヘッドは、機能液滴吐出ヘッドの移動方向に略直交する方向に延在し、かつサポートスタンドに対しホルダヘッドは、機能液滴吐出ヘッドの移動方向に略直交する水平軸廻りに回転自在に支持されていることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、機能液供給チューブが引き回されると、これに加わる力により、ホルダヘッドは水平軸廻りに回転（回動）する。このため、機能液供給チューブの、ホルダヘッドによって支持される部分にかかる応力を分散することができる。
【００１０】
この場合、ホルダヘッドは、機能液滴吐出ヘッドの移動方向に略直交する方向に延在し、サポートスタンドに対しホルダヘッドは、一方の端部を鉛直軸廻りに回動自在に支持されていることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、機能液供給チューブが引き回されると、これに加わる力により、ホルダヘッドは鉛直軸廻りに回動する。このため、機能液供給チューブの、ホルダヘッドによって支持される部分にかかる応力を分散することができる。
【００１２】
この場合、ホルダヘッドは、サポートスタンドに応動自在に支持されているヘッド本体と、機能液供給チューブを形状保持状態でヘッド本体との間に担持する担持部材と、を有していることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、機能液供給チューブを交換する際に、担持部材をヘッド本体から取り外すことにより、容易に交換作業を行うことができる。また、機能液供給チューブは形状保持状態で担持部材とヘッド本体との間に担持されるため、機能液供給チューブにつぶれが生じることがない。
【００１４】
この場合、担持部材は、ヘッド本体の下側に取り付けられ、かつ機能液供給チューブを担持するチューブ担持溝を有し、チューブ担持溝の両溝端部は面取りされていることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、機能液供給チューブがホルダヘッドを基点として引き回される際に、機能液供給チューブとチューブ担持溝の両溝端部との接触部分において、機能液供給チューブの一部に応力が集中するのを回避することができる。これにより、機能液供給チューブの部分的疲労を防止することができる。
【００１６】
この場合、一方の端部を機能液滴吐出に伴って移動する機能液滴吐出ヘッドに接続し、他方の端部を機能液滴吐出ヘッドを駆動するヘッドドライバに接続した可撓性を有する駆動ケーブルを、更に備え、ホルダヘッドは、駆動ケーブルの、機能液滴吐出ヘッド側の固定部位とヘッドドライバ側の固定部位との略中間部を、吊設保持していることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、可撓性を有する駆動ケーブルはその機能液滴吐出ヘッド側の固定部位と機能液送液装置側の固定部位との略中間部において、配管配線サポート機構によって機能液滴吐出ヘッドの移動領域の上方で吊設保持されており、機能液滴吐出ヘッドが移動すると、駆動ケーブルがホルダヘッドを基点として引き回される。その際、ホルダヘッドは応動自在となっているため、駆動ケーブルに加わる力は、ホルダヘッドを中心に機能液滴吐出ヘッド側およびヘッドドライバ側に作用する。このため、駆動ケーブルは、ホルダヘッドの部分を中心として弧を描くように湾曲する。すなわち、ホルダヘッドを固定した場合に比べ、駆動ケーブルの曲がりを大きな曲率半径とすることができる。このため、駆動ケーブルがホルダヘッドによって保持される部分にかかる応力（折り曲げストレスおよび引張りストレス）を分散することができる。また、駆動ケーブルは、単純に中間部を吊り下げる構造をとるため、たるみはもたせるものの機能液滴吐出ヘッド側の固定部位とヘッドドライバ側の固定部位とを略直線的に結ぶように配線することができ、駆動ケーブルの全長を比較的短くすることができる。これにより、駆動ケーブルに対する電気的ノイズの影響を極力少なくすることができる。
【００１８】
この場合、ホルダヘッドは、フレキシブルフラットケーブルを構成した駆動ケーブルを、複数本吊設しており、フレキシブルフラットケーブルは重ね合わせた状態でホルダヘッドに保持されていることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、機能液供給チューブと駆動ケーブルとをコンパクトに、そろえて保持することができる。
【００２０】
この場合、ホルダヘッドは、上記の移動領域の中間位置に配設されることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、機能液供給チューブや駆動ケーブルの全長を最短にすることができる。また、機能液供給チューブや駆動ケーブルにかかる応力を分散しやすくなる。
【００２２】
本発明の機能液滴吐出装置は、上記の配管配線サポート機構を備えたことを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、機能液供給チューブや駆動ケーブルの寿命が延びて交換回数を減らすことができると共に、機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を安定させることができる。また、機能液供給チューブを短くすることができるため、機能液の初回充填量を削減することができる。したがって、装置の信頼性を向上させることができる。
【００２４】
この場合、機能液滴吐出ヘッドを移動させる移動テーブルと、移動テーブルを内包するように支持するフレームとを、更に備え、サポートスタンドは、フレームに支持されていることが、好ましい。
【００２５】
この構成によれば、配管配線サポート機構をフレームの上側空間に設置することができ、省スペース化することができる。
【００２６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の機能液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２７】
また、本発明の電気光学装置は、上記の機能液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２８】
これらの構成によれば、信頼性を有する機能液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）やＳＥＤ（Ｓｕｒｆａｃｅ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−Ｅｍｉｔｔｅｒ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２９】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３０】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の配管配線サポート機構を適用して構成した機能液滴吐出装置について説明する。本実施形態の機能液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置の製造ラインに組み込まれるものであり、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成するものである。
【００３２】
機能液滴吐出装置１は、搭載した機能液滴吐出ヘッド２３１により、ワーク（基板）Ｗ上に、機能液（発光材料）を吐出して有機ＥＬ装置のＥＬ発光層および正孔注入層を形成する。この機能液滴吐出ヘッド２３１の吐出動作を含む一連の製造工程は、外気の影響を排除するために、ドライエアーの雰囲気に維持するチャンバ装置１１の内部で行うようにしている。機能液滴吐出装置１は、機能液滴吐出ヘッド２３１を搭載した描画装置２と、機能液滴吐出ヘッド２３１の保守等に用いる各種の装置から成るメンテナンス装置３と、これら装置をドライエアーの雰囲気に維持する上記のチャンバ装置１１を備えている。メンテナンス装置３は、機能液滴吐出ヘッド２３１の保守を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド２３１から適切に機能液が吐出されているか否かの検査を行い、機能液滴吐出ヘッド２３１による機能液の吐出を安定させるためのものである。
【００３３】
図１に示すように、メンテナンス装置３は、機能液滴吐出ヘッド２３１から予備吐出された機能液を受けるためのフラッシングユニット４と、液滴吐出ヘッド２３１の吸引を行う吸引ユニット５と、液滴吐出ヘッド２３１のノズル面１０８に付着する汚れを払拭するためのワイピングユニット６と、液滴吐出ヘッド２３１から吐出される機能液の吐出状態を検査するための吐出検査ユニット８と、液滴吐出ヘッド２３１から吐出された機能液の重量を測定する重量測定ユニット７とを、備えており、これら各ユニットは、吸着テーブル２５１の左側に集約的に配設されている。なお、上記フラッシングユニット４は、試験用に用いるものであり、実稼動時には、吸引ユニット５のキャップユニット５１が、フラッシングユニット４の機能液受を兼ねている。また、フラッシングを効率良く行うために、吸着テーブル２５１の前後には、描画時のフラッシングを受ける一対の描画時フラッシングボックス２５５が配設されている。
【００３４】
吸引ユニット５は、液滴吐出ヘッド２３１を吸引することにより、液滴吐出ヘッド２３１のノズル１０１から機能液を強制的に排出させるものである。例えば、交換した液滴吐出ヘッド２３１に新たに機能液の充填（初期充填）を行う場合や、液滴吐出ヘッド２３１内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に、吸引ユニット５は用いられる。また、吸引ユニット５は、吐出検査ユニット８における、吐出された機能液の受けとしても用いられる。このため、吐出検査ユニット８は、吸引ユニット５に併設するようにして設けられている（図１参照）。
【００３５】
図１に示すように描画装置２は、床上に設置した架台２１と、架台２１上に設置した石定盤２２と、石定盤２２上に設置したＸ軸テーブル２５およびこれに直交するＹ軸テーブル２６と、Ｙ軸テーブル２６を内包しＸ軸テーブル２５をまたいで設置されているＹ軸フレーム４１と、Ｙ軸フレーム４１上に設置される後述の配管配線サポート機構３０２、とを備えている。描画装置２には、この他にも、Ｙ軸テーブル２６に吊設されるメインキャリッジ２６１を介して支持されるヘッドユニット（機能液滴吐出ヘッド２３１）２３や、機能液滴吐出ヘッド２３１の位置認識を行うヘッド認識カメラ２８や、ワーク（基板）Ｗの位置認識を行うためのワーク認識カメラ２９、ワークＷに吐出した機能液滴の描画結果を観察するための描画観察カメラ３０等の各種の装置が備えられている。
【００３６】
また、機能液滴吐出装置１は、描画装置２に機能液を供給する機能液送液装置３１、および後述する吸着テーブル２５１に連なるワークＷ吸着用の真空ポンプ３３を備えている。そして、機能液滴吐出装置１には、機能液滴吐出ヘッド２３１を駆動するヘッドドライバ１３を有した制御装置１２が接続されており（図１参照）、制御装置１２により、機能液滴吐出装置１およびメンテナンス装置３の統括制御が行われている。
【００３７】
機能液送液装置３１は、３個の機能液滴吐出ヘッド２３１に、それぞれＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液を供給するものであり、ケース２１１内に、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液タンクを有している（図示省略）。また、ケース２１１の下側には、これらを支持する装置架台２１２が設けられており、装置架台２１２には、圧縮エアー供給装置３２が組み込まれている。なお、３個の機能液タンクから延びる３本の機能液供給チューブ８１と、圧縮エアー供給装置３２から延びるエアーチューブ（図示省略）と、ヘッドドライバ１３と後述の中継基板３０１とを結ぶメイン駆動ケーブル８３とは一箇所にまとめられ、チャンバ装置１１の背部にあるチューブ取り出し孔９１から機能液滴吐出装置１に取り込まれる（図６参照）。上記した機能液供給チューブ８１によって機能液滴吐出ヘッド２３１に機能液が供給され、機能液供給チューブ８２はその略中間部において配管配線サポート機構３０２によって吊設保持されている。
【００３８】
Ｘ軸テーブル２５は、石定盤２２上に直接設置されており、ワークＷをセットするための吸着テーブル２５１と、吸着テーブル２５１を支持するθテーブル２５２と、θテーブル２５２をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ（図示省略）と、θテーブル２５２および吸着テーブル２５１を介して、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダに併設したＸ軸リニアスケール（図示省略）と、を備えている。Ｘ軸テーブル２５では、Ｘ軸リニアモータの駆動により、θテーブル２５２とワークＷを吸着セットした吸着テーブル２５１とが、Ｘ軸エアースライダを案内にしてＸ軸方向に移動する。
【００３９】
なお、Ｘ軸リニアモータ、Ｘ軸スライダ、およびＸ軸リニアスケールは、Ｘ軸に対して平行に配設されており、Ｘ軸ボックス２５３内に収容されている（図２参照）。また、θテーブル２５２には、上記したヘッド認識カメラ２８が固定されており、吸着テーブル２５１に対して、ヘッドユニット２３の位置を補正可能となっている。
【００４０】
Ｙ軸テーブル２６は、石定盤２２に立設されたスタンド付のＹ軸フレーム４１に内包されており、Ｘ軸テーブル２５を跨ぎ、Ｘ軸テーブル２５に直交する方向に延在している。Ｙ軸テーブル２６は、ヘッドユニット２３を搭載したメインキャリッジ２６１と、Ｙ軸フレーム４１にスライド自在に支持され、メインキャリッジ２６１を支持するＹ軸スライダ（図示省略）と、Ｙ軸スライダを介して、ヘッドユニット２３をＹ軸方向に移動させるＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸スライダに併設したＹ軸リニアスケール（図示省略）と、を有している。
また、Ｙ軸フレーム４１には、Ｙ軸スライダの他に、スライダ（図示省略）がスライド自在に支持されており、スライダには、上記したワーク認識カメラ２９が固定されている。そして、Ｙ軸リニアモータの駆動により、ワーク認識カメラ２９もＹ軸方向へ移動するようになっている。なお、描画観察カメラ３０は、吐出処理されたワークＷに、機能液が適切に塗布（着弾）されているか否かの観察にも用いられる。
【００４１】
図１に示すホーム位置にある機能液滴吐出ヘッド２３１は、Ｙ軸テーブル２６を介してメンテナンス装置３の側に移動することにより、上記したメンテナンス処理を受けるようになっている。すなわち、機能液滴吐出ヘッド２３１がＹ軸方向の最左側に位置するワイピングユニット６の上側から、Ｙ軸方向の最右側に位置するホーム位置までが機能液滴吐出ヘッド２３１の移動領域である。
【００４２】
図４に示すように、ヘッドユニット２３は、メインキャリッジ２６１に搭載され、ヘッドユニット２３の高さを調整可能なヘッド昇降機構２４と、機能液滴吐出ヘッド２３１のあおりを調整できるあおり調整機構５１と、機能液滴吐出ヘッド２３１を搭載するサブキャリッジ２０１とを有している。サブキャリッジ２０１は、上下に対面する２枚のプレートである上ホルダプレート１４２および下ホルダプレート１４３と、それらを四隅で連結する４本の支柱部材１４４とから構成される。下ホルダプレート１４３には、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液に対応して３個の機能液滴吐出ヘッド２３１が搭載されており、これら機能液滴吐出ヘッド２３１は、横に並べた状態で相互に平行に配設されている。
【００４３】
機能液滴吐出ヘッド２３１は、吐出ヘッド本体１０７と、吐出ヘッド本体１０７に突設されノズル１０１を形成したノズル部１０５と、吐出ヘッド本体１０７から側方へ延びるヘッド基板１０３とを備え、ノズル部１０５に形成したノズル面１０８が下方に突出するように、下ホルダプレート１４３に取り付けられている（図４、図５参照）。ノズル部１０５のノズル面１０８には、２列のノズル列が形成され、この２つのノズル列に対応して、吐出ヘッド本体には一対の接続針１０６が形成されている。そして、各接続針１０６には、接続用アダプタ（図示省略）を介して、その直近で２分岐した機能液供給チューブ８１が接続されている（図６参照）。なお、機能液供給チューブ８１は、いわゆるシリコンチューブで構成されている。
【００４４】
ヘッド基板１０３には、一対のコネクタ１０４が設けられており、この一対のコネクタ１０４とＹ軸フレーム４１上に立設した中継基板３０１とが２本のフレキシブルフラットケーブル（駆動ケーブル）８２により接続されている。すなわち、中継基板３０１の入力側には制御装置１２のヘッドドライバ１３に接続した２本のメイン駆動ケーブル８３が接続され、出力側には、各ノズル列に対応する計６本のフレキシブルフラットケーブル８２が接続されている（図１参照）。これにより、中継基板を介してヘッドドライバ１３によって機能液滴吐出ヘッド２３１の駆動が制御されている。なお、各フレキシブルフラットケーブル８２は、機能液供給チューブ８１と同様に、配管配線サポート機構３０２によって、略中間部を吊設保持されている。
【００４５】
本実施形態の機能液滴吐出装置１では、機能液滴吐出ヘッド２３１の駆動（機能液滴の選択的吐出）に同期してワークＷが移動する構成であり、機能液滴吐出ヘッド２３１のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル２５のＸ軸方向への往復動作により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル２６により機能液滴吐出ヘッド２３１のＹ軸方向への往復動作により行われる。
【００４６】
第１実施形態の配管配線サポート機構３０２は、図１に示すように、Ｙ軸フレーム４１上の長手方向略中間位置（すなわち、機能液滴吐出ヘッド２３１のＹ軸方向における移動領域の中間位置）に立設され、３本の機能液供給チューブ８１と６本のフレキシブルフラットケーブル８２とを吊設保持している。上述したように、各機能液供給チューブ８１は、その機能液滴吐出ヘッド２３１側の固定部位となるチューブ支持具３１２と、機能液送液装置３１側の固定部位となる主チャンバ１１背面のチューブ取出し孔９１との略中間部を配管配線サポート機構３０２によって吊設保持されている（図６参照）。チューブ支持具３１２は、機能液供給チューブ８１を担持する凹部を有する形状に形成され、上ホルダプレート１４２の下側に吊設される。これにより３本の機能液供給チューブ８１は液滴吐出ヘッド２３１の手前で上ホルダプレート１４２に固定される。
【００４７】
図示しないが、同様に、フレキシブルフラットケーブル８２も上記のチューブ支持具３１２によって上ホルダプレート１４２に固定される。したがって、フレキシブルフラットケーブル８２は、機能液滴吐出ヘッド２３１側の固定部位となるチューブ支持具３１２と、制御装置１２側の固定部位となる中継基板３０１との略中間部で、配管配線サポート機構３０２によって吊設保持されている（図１ないし図２参照）。
【００４８】
配管配線サポート機構３０２は、Ｙ軸フレーム４１の上面に立設されるサポートスタンド３２１と、サポートスタンド３２１の先端部に回転（回動）自在に支持されるホルダヘッド３２２とを備えている。この場合、ホルダヘッド３２２は、Ｘ軸方向水平に延び、機能液滴吐出ヘッド２３１の移動領域（描画領域およびメンテナンス領域）の上側に臨んでいる（図２参照）。
【００４９】
サポートスタンド３２１は、ヘッド支軸３２５を回転自在に支持する軸受けブロック３２４と、軸受ブロック３２４を支持する「Ｌ」字状のスタンド本体３２３と、スタンド本体３２３をＹ軸フレーム４１上の取り付けベース３２９に固定する固定プレート３２７と、スタンド本体３２２から固定プレート３２２にわたって設けた略三角形リブ状の補強プレート３２８を１枚有している。
【００５０】
軸受ブロック３２４は、ホルダヘッドと同様にＸ軸方向に水平に延在しており、後部にスタンド本体への取り付け部を有するハウジング３１５と、ハウジング３１５内に装着した前後一対のボールベアリング（図示省略）と、ボールベアリングに回転自在に支持され、ホルダヘッド３２２に嵌合する円柱形状のヘッド支軸３２５とを有している。
【００５１】
図７および図８に示すように、ホルダヘッド３２２は、ヘッド支軸３２５の前半部に嵌合固定されるヘッド本体３３１と、ヘッド本体３３１の下面３４５にねじ止めされる担持部材３４１とを備え、ヘッド本体３３１と担持部材３４１とは、方形の同一の平面形状を有している。ヘッド本体３３１はステンレスの角棒材などから形成され、長手方向に延びる４つの角３３４が面取りされている。これにより、機能液供給チューブ８１およびフレキシブルフラットケーブル８２がヘッド本体３３１側に折り曲げられた際に、ヘッド本体３３１の角３３４との接触部においてうける応力の集中を回避することができる。また、ヘッド本体３３１の軸心には嵌入孔３３２が形成され、この嵌入孔３３２にヘッド支軸３２５が嵌入されかつねじ止めされている（図８（ｄ）参照）。さらに、ヘッド本体３３１の下面３４５の四隅には担持部材３４１のビス止め固定用の４つのねじ穴３３３が形成されている。
【００５２】
図７および図９に示すように、担持部材３４１は超高分子ポリエチレンなどの形材で形成され、断面方形の厚板状に形成されている。担持部材３４１は平面視長方形であり、その上面には機能液供給チューブ８１を載せこむチューブ担持溝３４２と、フレキシブルフラットケーブル８２を載せこむケーブル担持溝３４３と、が長手方向に並べて形成されている。チューブ担持溝３４２は、３本の機能液供給チューブ８１を横並びに担持するものであり、その両溝端部３４４が面取りされている。なお、この場合アール形状に面取りされていることがより好ましい。ケーブル担持溝３４３は、６枚のフレキシブルフラットケーブル８２を重ね合わせるように揃えて担持するものであり、同様にその両溝端部３４５も面取りされている。なお、担持部材３４１の四隅にはこれをヘッド本体３３１に固定するビス止め用の４つの貫通穴３４６を有している。
【００５３】
このように構成された担持部材を、機能液供給チューブ８１を挟み込むようにしてヘッド本体３３１の下面３４５にねじ止めすることにより、チューブ担持溝３４２とヘッド本体３３１の下面３４５との間に形成されるチューブ保持間隙３５２に機能液供給チューブ８１が保持される。この保持状態では、機能液供給チューブ８１は強く押し潰されることなく、形状保持状態で担持される。一方、チューブ保持間隙３５２には面取り部分である、両溝端部３４４と、角３３４とを有しており、これらは機能液供給チューブ８１がホルダヘッド３２２を基点として引き回され、弧を描いたときの接触部分となる。このため、上記の接触部分において、機能液供給チューブ８１に応力が集中するのを回避することができる。
【００５４】
同様にして、ケーブル担持溝３４３とヘッド本体３３１の下面３４５との間に形成されるケーブル保持間隙３５３にフレキシブルフラットケーブル８２が形状保持状態で担持される。また同様に、ケーブル保持間隙３５３には面取り部分である、両溝端部３４５と、角３３４とを有しており、これらはフレキシブルフラットケーブル８２がホルダヘッド３２２を基点として引き回され、弧を描いたときの接触部分となる。このため、上記の接触部分において、フレキシブルフラットケーブル８２に応力が集中するのを回避することができる。
【００５５】
以上が本発明の配管配線サポート機構の第１実施形態である。本実施形態によれば、機能液滴吐出ヘッド２３１の移動に伴いホルダヘッド３２２を基点として機能液供給チューブ８１およびフレキシブルフラットケーブル（駆動ケーブル）８２が引き回される。その際、ホルダヘッド３２２は水平軸廻りに回転（回動）自在となっているため、機能液供給チューブ８１に加わる力は、ホルダヘッド３２２を中心に機能液滴吐出ヘッド２３１側および機能液送液装置３１側に作用する。同様に、フレキシブルフラットケーブル（駆動ケーブル）８２に加わる力は、ホルダヘッド３２２を中心に機能液滴吐出ヘッド２３１側およびヘッドドライバ１３側に作用する。このため、機能液供給チューブ８１およびフレキシブルフラットケーブル（駆動ケーブル）８２は、ホルダヘッド３２２の部分を中心として弧を描くように湾曲する。すなわち、ホルダヘッド３２２を固定した場合に比べ、機能液供給チューブ８１およびフレキシブルフラットケーブル（駆動ケーブル）８２の曲がりを大きな曲率半径とすることができるため、応力を周囲に分散することができる。
【００５６】
また、機能液供給チューブ８１は形状保持状態で担持されるため、吐出駆動を安定させることができる。一方、ホルダヘッド３２２は機能液滴吐出ヘッド２３１の移動領域の中間位置に配設されるため、機能液供給チューブ８１を短くすることができる。これにより、機能液供給チューブ８１の全長を最短にすることができ、機能液の初回充填量を減らすことができる。また、フレキシブルフラットケーブル８２の全長も最短にすることができ、フレキシブルフラットケーブル８２に対する電気的ノイズの影響を極力少なくすることができる。
【００５７】
次に図１０を参照して、配管配線サポート機構の第２実施形態について、主に上記した第１実施形態と異なる部分を説明する。この第２実施形態の配管配線サポート機構３０２は、サポートスタンド３２１に対し、ホルダヘッド３２２が鉛直軸廻りに回動自在に支持されている。すなわち、スタンド本体３２３の上端部は「Ｌ」字状に折り曲げしており、この折り曲げ部分に回動支軸３６１を有する支持ブロック３６２が立設されている。一方、ホルダヘッド３２２のヘッド本体３３１は、サポートスタンド３２１側に延長しており、このホルダヘッド３２２の基端部が回動支軸３６１に回動自在に軸支されている。
【００５８】
第２実施形態によれば、機能液滴吐出ヘッド２３１の移動に伴いホルダヘッド３２２を基点として機能液供給チューブ８１およびフレキシブルフラットケーブル（駆動ケーブル）８２が引き回される。その際、ホルダヘッド３２２は鉛直軸廻りに回動自在となっているため、機能液供給チューブ８１に加わる力は、ホルダヘッド３２２を中心に機能液滴吐出ヘッド２３１側および機能液送液装置３１側に作用する。同様に、フレキシブルフラットケーブル（駆動ケーブル）８２に加わる力は、ホルダヘッド３２２を中心に機能液滴吐出ヘッド２３１側およびヘッドドライバ１３側に作用する。このため、機能液供給チューブ８１およびフレキシブルフラットケーブル（駆動ケーブル）８２は、ホルダヘッド３２２の部分を中心として弧を描くように湾曲する。すなわち、ホルダヘッド３２２を固定した場合に比べ、機能液供給チューブ８１およびフレキシブルフラットケーブル（駆動ケーブル）８２の曲がりを大きな曲率半径とすることができるため、応力を周囲に分散することができる。
【００５９】
次に、本実施形態の機能液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。
【００６０】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１）では、図１２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００６１】
続いて、バンク形成工程（Ｓ２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１２（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド２３１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００６２】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００６３】
次に、着色層形成工程（Ｓ３）では、図１２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド２３１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド２３１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００６４】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ４）に移り、図１２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、基板５０１を個々の有効画素領域毎に切断することによって、カラーフィルタ５００が得られる。
【００６５】
図１３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００６６】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００６７】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）などの透明導電材料により形成されている。
【００６８】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６９】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。
その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７０】
実施形態の機能液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド２３１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド２３１で行うことも可能である。
【００７１】
図１４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００７２】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００７３】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７４】
図１５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００７５】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００７６】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００７７】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００７８】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００７９】
次に、図１６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８０】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００８１】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００８２】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００８３】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００８４】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００８５】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００８６】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００８７】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
【００８８】
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いる。
【００８９】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。
また、第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層１２０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９０】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９１】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００９２】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１７〜図２５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００９３】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図１８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００９４】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド２３１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００９５】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した機能液滴吐出装置１の吸着テーブル２５１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【００９６】
図２０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド２３１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２１に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００９７】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００９８】
そして次に、図２２に示すように、各色のうちの何れか（図２２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００９９】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１００】
同様に、機能液滴吐出ヘッド２３１を用い、図２４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０１】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１０２】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２５に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１０３】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１０４】
次に、図２６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１０５】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１０６】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１０７】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０８】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した機能液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を機能液滴吐出装置１の吸着テーブル２５１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド２３１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１０９】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１０】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド２３１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１１】
次に、図２７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１１２】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した素子膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび素子膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。素子膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、素子膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１１３】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、所定のパターンで配置されている。
【０１１４】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、素子膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１５】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよびアノード電極８０９を、機能液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、機能液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１１６】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の配管配線サポート機構では、ヘッドの移動に伴って引き回される機能液供給チューブに無理な力が加わることがなく、且つ機能液供給チューブを比較的短くすることができる。また、本発明の配管配線サポート機構を備えた機能液滴吐出装置は、吐出が安定するだけでなく、チューブの交換頻度が少ないために、装置の信頼性を向上させることができる。
【０１１７】
また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、上記の液滴吐出装置を用いて製造されるため、作業効率が良く、効率的にこれらを製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の機能液滴吐出装置の平面図である。
【図２】本実施形態の機能液滴吐出装置の正面図である。
【図３】本実施形態の機能液滴吐出装置の右側面図である。
【図４】サブキャリッジの説明図であり、（ａ）は、サブキャリッジの正面図、（ｂ）は、サブキャリッジの側面図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図６】配管配線サポート機構の説明図である。
【図７】配管配線サポート機構の側面図である。
【図８】ヘッド本体の説明図であり、（ａ）はヘッド本体の下面図、（ｂ）はヘッド本体の右側面図、（ｃ）はヘッド本体の正面図、（ｄ）はヘッド本体の下面斜視図である。
【図９】担持部材の説明図であり、（ａ）は担持部材の上面図、（ｂ）は担持部材の正面図、（ｃ）は担持部材の上面斜視図である。
【図１０】第２実施形態の配管配線サポート機構の説明図であり、（ａ）は、第２実施形態の配管配線サポート機構の上面図であり、（ｂ）は、第２実施形態の配管配線サポート機構の側面図である。
【図１１】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１６】第２の実施形態における表示装置の要部断面図である。
【図１７】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１８】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２３】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２６】ＰＤＰ装置である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２７】ＦＥＤ装置である表示装置の要部断面図である。
【符号の説明】
１  機能液滴吐出装置、２６  Ｙ軸テーブル、３１  機能液送液装置、４１  Ｙ軸フレーム、８１  機能液供給チューブ、８２  駆動ケーブル（フレキシブルフラットケーブル）、２３１  機能液滴吐出ヘッド、３０２  配管配線サポート機構、３２１  サポートスタンド、３２２  ホルダヘッド、Ｗ  ワーク（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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