(57)【要約】      （修正有）【課題】使用寿命を延長し、消耗材にかかる支出を抑えることのできるウエハ保持装置を提供する。【解決手段】ウエハ保持装置は、ウエハ台座１１０、支持台座１２０およびホルダーリング１３０を含む。支持台座１２０は、ウェハの端縁を支持するのに用いられ、少なくとも、支持台座本体１２１と、座金１２３と、少なくとも１個の固定部材１２２とを含んでなり、座金１２３は固定部材１２２により支持台座本体１２１の上に固定され、座金１２３は少なくとも１個の開口１２４を備え、固定部材１２２は端部１２５を備えており、端部１２５が開口１２４に収容される。ホルダーリング１３０は支持台座１２０の上に設けられる。【選択図】図２
2005203724.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ台座、
支持台座本体と、座金と、少なくとも１個の固定部材とを少なくとも含んでなり、前記座金は前記固定部材により前記支持台座本体の上に固定され、前記座金は少なくとも１個の開口を備え、前記固定部材は端部を備えており、前記端部が前記開口に収容される支持台座、および
前記支持台座の上に設けられるホルダーリング、
を少なくとも含むウエハ保持装置。
【請求項２】
前記ホルダーリングはフィッティング部を有しており、前記フィッティング部は前記ホルダーリング表面であって前記固定部材に対応する位置に設けられる請求項１記載のウエハ保持装置。
【請求項３】
前記フィッティング部は凹溝である請求項２記載のウエハ保持装置。
【請求項４】
前記フィッティング部は凹溝であり、かつ、前記端部は前記座金表面から突出し、該突出する高さは前記凹溝の深さよりも小さい請求項２記載のウエハ保持装置。
【請求項５】
前記固定部材はボルトである請求項１記載のウエハ保持装置。
【請求項６】
前記ボルトはプロウボルト（plow bolt）である請求項５記載のウエハ保持装置。
【請求項７】
前記開口は錐形開口である請求項１記載のウエハ保持装置。
【請求項８】
前記ホルダーリングの組成にはステンレスが含まれる請求項１記載のウエハ保持装置。
【請求項９】
前記ホルダーリングの組成には非磁性材料が含まれる請求項１記載のウエハ保持装置。
【請求項１０】
前記座金と前記支持台座本体との間に設けられる１個の熱検出素子をさらに含む請求項１記載のウエハ保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ保持装置に関し、特に、気相成長設備に使用可能なウエハ保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在ある気相堆積設備、例えば、物理気相堆積設備は、プラズマを利用し金属ターゲットに対して衝突を行うことで、金属材料をウエハ上にスパッタしている。ところが、堆積の過程で、金属パーティクルは、ウエハ表面に堆積するのみならず、物理気相堆積設備のその他の部品上にも堆積してしまい、例えば、ウエハ保持装置のホルダーリング（shield ring）などは、金属パーティクルの汚染を極めて受け易い部品である。よって、一定の期間が経過する毎にホルダーリングをクリーニングして、物理気相堆積のクオリティを維持する必要がある。
【０００３】
ホルダーリングは、化学溶剤およびサンドブラストを利用する方式でクリーニングされるのが通常である。サンドブラストは、ガスにより砂をホルダーリング表面に高速で吹き付けることにより、ホルダーリング表面の汚染物を削ぎ落とすというものである。しかし、汚染物除去の過程において、ホルダーリング自身の材料もダメージを受けてしまう。よって、数回のサンドブラストクリーニングを経ると、ホルダーリングの比較的薄い部分が摩滅してしまうことが多く、ホルダーリングは使用に耐えられないものとなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、本発明は、上記の問題を解決できるウエハ保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
すなわち、本発明は、ウエハ台座、支持台座本体と、座金と、少なくとも１個の固定部材とを少なくとも含んでなり、前記座金は前記固定部材により前記支持台座本体の上に固定され、前記座金は少なくとも１個の開口を備え、前記固定部材は端部を備えており、前記端部が前記開口に収容される支持台座、および前記支持台座の上に設けられるホルダーリング、を少なくとも含むウエハ保持装置に関する。
【０００６】
前記ホルダーリングはフィッティング部を有しており、前記フィッティング部は前記ホルダーリング表面であって前記固定部材に対応する位置に設けられることが好ましい。
【０００７】
前記フィッティング部は凹溝であることが好ましい。
前記フィッティング部は凹溝であり、かつ、前記端部は前記座金表面から突出し、該突出する高さが前記凹溝の深さよりも小さいことが好ましい。
【０００８】
前記固定部材はボルトであることが好ましい。
前記ボルトはプロウボルト（plow bolt）であることが好ましい。
前記開口は錐形開口であることが好ましい。
【０００９】
前記ホルダーリングの組成にはステンレスが含まれることが好ましい。
前記ホルダーリングの組成には非磁性材料が含まれることが好ましい。
前記座金と前記支持台座本体との間に設けられる１個の熱検出素子をさらに含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のホルダーリングの設計によれば、そのクリーニング、例えば、化学溶剤およびサンドブラストの方式によるクリーニング過程においてホルダーリング材料が受けるダメージに起因する装置使用寿命の短縮を低減または回避することができる。
さらに、本発明のホルダーリングの設計は、その使用寿命を延長させ得るので、設備消耗材の支出を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
使用寿命を延長し、消耗材にかかる支出を抑えると云う目的をウエハ台座、支持台座およびホルダーリングを含む構造により実現した。
【実施例】
【００１２】
本発明を以下のとおりに説明し、添付の特許請求の範囲にて限定する。本発明はウエハ保持装置にかかわるものである。その一実施形態が図１に示してある。当該実施形態において、これはウエハの保持に用いられる。一実施形態において、本発明のウエハ保持装置１００は、少なくともウエハ台座１１０を含んでいる。また、一実施形態において、本発明のウエハ保持装置１００は、少なくとも支持台座１２０およびホルダーリング１３０を含んでいる。さらに、一実施形態においては、本発明のウエハ保持装置１００は少なくとも圧接リング１４０、圧接リング支持モジュール１５０およびアウターシールド１６０を含んでいる。支持台座１２０はウエハ台座１１０の端縁を支持するのに用いられる。
【００１３】
一実施形態において、ホルダーリング１３０は、前記支持台座１２０上に設けられて、パーティクルを遮る作用またはその他必要な作用をするものとして用いられる。ホルダーリングは、支持台座１２０に支持されていてもよい。一実施形態において、圧接リング１４０はホルダーリング１３０上に設けられて、パーティクルを遮るものとして用いられ得る。圧接リング支持モジュール１５０は、圧接リング１４０の下に設けられて圧接リング１４０を支持する。アウターシールド１６０は圧接リング１４０および圧接リング支持モジュール１５０の外側に設けられて、パーティクルを遮るのに用いられ得る。
【００１４】
図２（ａ）を参照されたい。ここには本発明の一実施形態によるウエハ台座１１０、支持台座１２０およびホルダーリング１３０の詳細な構造が示してある。一実施形態において、支持台座１２０は、少なくとも、支持台座本体１２１、座金１２３および１個または複数個の固定部材１２２を具備している。一実施形態において、座金１２３は、固定部材１２３により支持台座本体１２１に固定される。
【００１５】
図２（ｂ）を参照されたい。ここには本発明の一実施形態による座金１２３および固定部材１２２の詳細な構造が示してある。一実施形態において、固定部材１２２はボルトとすることができる。また、一実施形態において、固定部材１２２はプロウボルト（plow bolt）であり得る。
【００１６】
一実施形態において、座金１２３には開口１２４が形成されている。一実施形態において、座金１２３の開口１２４は錐形を呈するものである。
一実施形態において、固定部材１２２を座金１２３に固定すると、その端部１２５は完全に開口１２４中に収容されることとなる（図２ｃに示すとおり）。
一実施形態において、図２（ｄ）に示すように、端部１２５の一部は座金１２３表面から突出していてもよい。一実施形態において、その突出する高さｄは１ミリメートルよりも小さい。
【００１７】
ここで、再び図２（ａ）を参照されたい。一実施形態において、このウエハ保持装置は、熱検出素子（図示せず）をさらに含んでいてもよく、これは座金１２３と支持台座１２１との間に設けられて、物理気相堆積時の反応温度を検知するために用いられ得る。
【００１８】
図３（ａ）を参照されたい。ここには本発明の一実施形態によるホルダーリング１３０を図２（ａ）における方向Ａから観察した図が示してある。図３（ａ）に示すように、ホルダーリング１３０の一端には少なくともフィッティング部１３１が備えられている。一実施形態において、ホルダーリング１３０の、このフィッティング部１３１における厚さは４ミリメートル以上である。一実施形態において、ホルダーリング１３０の一端には、少なくともスリット１３２が備えられている。一実施形態において、フィッティング部１３１は、ホルダーリング１３０の一端の表面であって固定部材１２２に対応する位置に設けられる。一実施形態において、スリット１３２とフィッティング部１３１とは互いに連接している。
【００１９】
一実施形態において、図３（ａ）の部分Ｂを拡大した図３（ｂ）に示すとおりに、フィッティング部１３１は凹溝であり、前記固定部材１２２の前記座金１２３表面から突出した端部１２５を収容させることができる。
このようであると、フィッティング部１３１は、比較的回数の多いサンドブラストクリーニング工程に耐えることができ、摩滅には至らないようになる。
【００２０】
一実施形態において、本発明のホルダーリング１３０を組成する材料は、ステンレスを含んでいてもよい。一実施形態において、本発明のホルダーリング１３０を組成する材料は、非磁性材料を含んでいてもよい。
【００２１】
図４を参照されたい。ウエハ２００がウエハ台座１１０の上に載置されると、ウエハ台座１１０はウエハ２００を支持する。ウエハ台座１１０は、支持台座１２０の上に位置していると共に、一部が支持台座１２０に支持されている。ホルダーリング１３０は前記支持台座１２０の上に設けられて、パーティクルを遮るのに用いられる。圧接リング支持モジュール１５０は圧接リング１４０の下に設けられ、圧接リング１４０支持する。アウターシールド１６０は圧接リング１４０および圧接リング支持モジュール１５０の外側に設けられて、パーティクルを遮るものとして用いられてもよい。物理気相堆積を実行する時は、上述のウエハ２００を前記ウエハ台座１１０の上に載置して、蒸着の方式またはスパッタの方式によって堆積を行う。
【００２２】
本発明のウエハ保持装置１００は、そのホルダーリング１３０が比較的回数の多いサンドブラストクリーニング工程に耐え得るので、その使用寿命が比較的長くなる。しかも、ホルダーリング１３０というものは高価な消耗材であるので、本発明によればコストを有効に低減でき、製造競争力が高まる。
【００２３】
本発明を上述のように開示したが、これは本発明を限定するものではない。例えば、図示した幾何形状は楕円または円には限られず、任意の好適な幾何形状であってもよく、それは使用者のニーズによって決まるものであり、また、図示したサイズは、例示的なものであって、説明の便宜を図るために示しただけであり、また、使用される場は堆積設備だけには限られず、その他の材料加工設備などでも本発明を採用でき、また、各構成部材の材料も選択可能である。当該技術に熟知する者であれば、本発明の精神および範囲を逸脱しない限りにおいて、いくらかの変更と修飾は可能であるため、本発明の保護範囲は添付の特許請求の範囲で限定されたものを基準とする。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態によるウエハ保持装置の外部構造を示す断面図である。
【図２】図２（ａ）は、本発明の一実施形態によるウエハ保持装置の主要構造を示す斜視図、（ｂ）は座金および固定部材の構造を示す斜視図、（ｃ）は固定部材端部が座金の開口に完全に収容されている状態を示す断面図、（ｄ）は固定部材端部が座金の開口から突出している状態を示す断面図である。
【図３】図３（ａ）は、図２（ａ）における方向Ａから観察した底面図、（ｂ）は、図３（ａ）における部分Ｂの拡大斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態によるウエハ保持装置がウエハを保持する様子を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１００      ウエハ保持装置
１１０      ウエハ台座
１２０      支持台座
１２１      支持台座本体
１２２      固定部材
１２３      座金
１２４      開口
１２５      端部
１３０      ホルダーリング
１３１      フィッティング部
１３２      スリット
１４０      圧接リング
１５０      圧接リング支持モジュール
１６０      アウターシールド
２００      ウエハ
【図１】
2005203724.tif 000003
【図２】
2005203724.tif 000004
【図３】
2005203724.tif 000005
【図４】
2005203724.tif 000006