(57)【要約】【課題】  ガラス、ウエハの切断に応用され長い使用寿命と良好な切削品質を有する切削工具の提供。【解決手段】  本発明の切削工具は厚さを有するディスク形工具であり、前後の二つの円形環面を包含し、該環面の外周エッジが外向きに内凹切面に接続され、この内凹切面が相互に交叉し切削環端を形成し、該切削環端がガラス、ウエハ等に対する切削を行い、これにより切削工具が比較的長い使用寿命と良好な切削品質を有するものとされる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス又はウエハ用切削工具において、切削工具を包含し、該切削工具は厚さを有するディスク形工具であり、前後の二つの円形環面を包含し、この環面の外周エッジが外向きに内凹切面に接続され、この内凹切面が相互に交叉し切削環端を形成し、該切削環端がガラス、ウエハ等に対する切削に供されることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具。
【請求項２】
請求項１記載のガラス又はウエハ用切削工具において、切削工具が工具軸の挿通に供される軸孔を具えたことを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具。
【請求項３】
請求項１記載のガラス又はウエハ用切削工具において、内凹切面が曲率半径Ｒを具えたことを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具。
【請求項４】
請求項３記載のガラス又はウエハ用切削工具において、曲率半径Ｒが２〜２００ｍｍの間であることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具。
【請求項５】
請求項１記載のガラス又はウエハ用切削工具において、切削環端に規則性或いは不規則性の端面が設けられたことを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具。
【請求項６】
請求項５記載のガラス又はウエハ用切削工具において、前記端面が複数の凹部と凸部を包含することを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具。
【請求項７】
請求項６記載のガラス又はウエハ用切削工具において、前記端面が凹部と凸部が連続して交錯するよう組み合わされてなることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具。
【請求項８】
請求項６記載のガラス又はウエハ用切削工具において、前記端面が二つの凹部と一つの凸部が連続して交錯するよう組み合わされてなることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具。
【請求項９】
請求項６記載のガラス又はウエハ用切削工具において、前記凸部が平面凸部、三角形面凸部より選択されることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具。
【請求項１０】
請求項６記載のガラス又はウエハ用切削工具において、前記凹部がＵ行凹部、Ｖ型凹部より選択されることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具。
【請求項１１】
請求項２記載のガラス又はウエハ用切削工具において、切削工具が工具軸と一体成形されことを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一種の工具構造に係り、更に詳しくは、ガラス、ウエハの切削に応用され、その内凹曲率により切削品質と使用寿命を増すことができる切削工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に二酸化シリコンで形成されたガラス又はウエハは、その切削操作が特性の工具で行なわれ、ウエハの生産過程は高価であるため、切削時には切削により発生する損耗を防止して生産コストの増加を防止する必要があり、且つ切削により形成されるウエハ或いはガラス表面のクラック面積は制御が必要な重要な因子であり、なぜなら、過大なクラック面積は周囲のウエハ或いはガラスを利用不能とし、切削による損耗を形成し、且つ切削時に発生する縦方向クラックは、切削工具と非常に関係があるためである。
【０００３】
周知のガラス又はウエハ用切削工具は、ガラスに切削線を形成するのに用いられ、その後、切削線に沿ってガラスが切断される。このような切削工具に関係する技術には例えば特許文献１に記載のものがある。図６、７は周知の技術のこのような切削工具９０を示し、この切削工具９０はディスク状を呈し、軸孔９１と前後の二つの円形環面９２、９３を包含し、前、後環面９２、９３の外周エッジがそれぞれθ角度の径方向外向き面取りされて前、後環面９２、９３が合わさって２θ角度をなす切削環端９４と該切削環端９４の前後の二つの切面９５、９６が形成され、この切削環端９４に固定ピッチで且つ相互に交替する凹、凸部９７、９８が設けられ、ガラスに対する切削に便利とされている。
【０００４】
前述の切削工具９０の切削環端９４は比較的大きな２θ角度及び共同で２θ角度をなす二つの径方向平面切面を有し、この比較的大きな角度により切削工具９０の使用寿命が延長されるが、却って切削時にガラスの水平亀裂の問題を発生し、なぜなら材料がこの平面切面に押圧される問題が大きくなるためであり、このため切削品質不良の欠点を形成し、この欠点がウエハの切削に出現するならば、その形成する損失は更に厳重となる。このため周知のガラス又はウエハ用切削工具は最も良好な設計と良好な切削方式の解決手段ではなく、更なる研究、開発の必要がある。前述のガラス又はウエハ用切削工具におけるその切面角度が形成する使用寿命と切削品質が衝突する欠点及びその構造設計が未だ理想的なものでない事実を鑑み、比較的長い使用寿命を有すると共に切削品質が良好である切削工具が必要とされている。
【０００５】
【特許文献１】台湾特許公告第３０８５８１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、一種のガラス又はウエハ用切削工具を提供することにあり、それは切削工具が内凹曲率を具備し、これにより切削工具が比較的長い使用寿命を有し、ならびに切削時に材料に発生する押圧の現象を緩和し、これにより良好な切削品質を獲得できるものとする。
【０００７】
本発明の別の目的は、一種のガラス又はウエハ用切削工具を提供することにあり、それは切削工具が内凹曲率を具備し、これにより切削時の横方向圧力を低減して水平クラック程度を減少し、その使用寿命と切削品質のいずれもが考慮されたものとする。
【０００８】
上述の目的を達成するために採用する技術手段として、本発明は切削工具を具え、該切削工具は厚さを有するディスク形工具であり、それは前後の二つの円形環面を包含し、該環面の外周エッジが外向きに内凹切面に接続され、該内凹曲率が曲率半径Ｒを具え、該曲率半径Ｒは２〜２００ｍｍの間とされ、この環面外周エッジに接続された内凹切面が相互に交叉し切削環端を形成し、該切削環端がガラス、ウエハ等に対する切削に供される。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明は、ガラス又はウエハ用切削工具において、切削工具を包含し、該切削工具は厚さを有するディスク形工具であり、前後の二つの円形環面を包含し、この環面の外周エッジが外向きに内凹切面に接続され、この内凹切面が相互に交叉し切削環端を形成し、該切削環端がガラス、ウエハ等に対する切削に供されることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具としている。
請求項２の発明は、請求項１記載のガラス又はウエハ用切削工具において、切削工具が工具軸の挿通に供される軸孔を具えたことを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具としている。
請求項３の発明は、請求項１記載のガラス又はウエハ用切削工具において、内凹切面が曲率半径Ｒを具えたことを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具としている。
請求項４の発明は、請求項３記載のガラス又はウエハ用切削工具において、曲率半径Ｒが２〜２００ｍｍの間であることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具としている。
請求項５の発明は、請求項１記載のガラス又はウエハ用切削工具において、切削環端に規則性或いは不規則性の端面が設けられたことを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具としている。
請求項６の発明は、請求項５記載のガラス又はウエハ用切削工具において、前記端面が複数の凹部と凸部を包含することを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具としている。
請求項７の発明は、請求項６記載のガラス又はウエハ用切削工具において、前記端面が凹部と凸部が連続して交錯するよう組み合わされてなることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具としている。
請求項８の発明は、請求項６記載のガラス又はウエハ用切削工具において、前記端面が二つの凹部と一つの凸部が連続して交錯するよう組み合わされてなることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具としている。
請求項９の発明は、請求項６記載のガラス又はウエハ用切削工具において、前記凸部が平面凸部、三角形面凸部より選択されることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具としている。
請求項１０の発明は、請求項６記載のガラス又はウエハ用切削工具において、前記凹部がＵ行凹部、Ｖ型凹部より選択されることを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具としている。
請求項１１の発明は、請求項２記載のガラス又はウエハ用切削工具において、切削工具が工具軸と一体成形されことを特徴とする、ガラス又はウエハ用切削工具としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は周知の技術のガラス又はウエハ用切削工具が切削時に形成する縦方向及び横方向の破壊面を形成する問題を解決する。切削工具の角度が大きくなるとその使用寿命は延長するが切削時の材料押圧の問題が大きくなり水平クラックが形成され、生産コストをアップさせる。ゆえに本発明は内凹曲率を具えた切削工具を提供し、切削材料押圧の問題を軽減し、横方向の圧力を同じ角度の周知の切削工具に較べて小さくし、水平クラックの程度を減らし、これにより良好な切削品質を獲得する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１、図２を参照されたい。本発明のガラス又はウエハ用切削工具は、切削工具１０を具え、該切削工具１０は厚さＴを具えたディスク工具であり、それは軸孔１２及び前、後円形環面１４、１６を包含する。該軸孔１２は工具軸（図示せず）の挿通に供され、且つ工具軸はまた切削工具１０と一体成形可能である。該前、後環面１４、１６の外周エッジ１４１、１６１は外向きに内凹切面１８、２０に接続され、該内凹切面１８、２０は内凹曲率半径Ｒを具え、該内凹曲率半径Ｒは２〜２００ｍｍの間とされ、さらに、該内凹切面１８、２０は相互に交叉して切削環端２２を形成し、この切削環端２２がガラス、ウエハに対して切削を行なう。
【００１２】
図３に示されるように、本発明が切削環端２２により切削する時、該内凹切面１８、２０は内凹状の円弧斜面を具えるため、切削時に材料が内凹切面１８、２０に押圧される現象が軽減され、その横方向の圧力は周知の技術のθ角度を具えた平面型切面より小さく、大幅に切削時の材料押圧による水平クラックの拡張程度を減らすことができ、これにより良好で、精密な切削品質を獲得できる。これにより、本発明は周知の同じ角度のガラス又はウエハ用切削工具に近い寿命を有するが、小角度の切削工具の長所を有し、切削工具の使用寿命を延長すると共に切削品質を向上することができる。
【００１３】
図３を参照されたい。その切削環端２２には更に規則的或いは不規則な端面２２１が設けられ、該端面２２１は複数の凹部２２２と凸部２２３を包含する。図４に示されるように、該端面２２１は凹部２２２と凸部２２３が連続交錯するよう組み合わされたものとされるか、或いは図５に示されるように、二つの凹部２２２と一つの凸部２２３の連続交錯組合せとされ、そのうち該凹部２２２と凸部２２３は不特定形状に設置可能で（例えば平面凸部、三角形面凸部、Ｕ行凹部、Ｖ形凹部等）、切削環端２２の切削力を増す。
【００１４】
ゆえに、本発明のガラス又はウエハ用切削工具は上述の構造設計により、該内凹切面が切削時の材料の押圧現象を軽減し、その横方向の圧力を周知の技術のθ角度を具えた平面型切面より小さくし、大幅に切削時の材料押圧による水平クラックの拡張程度を減らすことができ、これにより良好で、精密な切削品質を獲得でき、且つ、周知の同じ角度のガラス又はウエハ用切削工具に近い寿命を有すると共に、切削品質を向上することができる。
【００１５】
以上の実施例は本発明の実施範囲を限定するものではなく、本発明に基づきなしうる細部の修飾或いは改変は、いずれも本発明の請求範囲に属するものとする。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の正面図である。
【図２】本発明の平面図である。
【図３】本発明の切削環端構造表示図である。
【図４】本発明の切削環端組合せ構造表示図である。
【図５】本発明の別の切削環端組合せ構造表示図である。
【図６】周知の構造の正面図である。
【図７】周知の構造の平面図である。
【符号の説明】
【００１７】
９０  切削工具
９１  軸孔
９２、９３  環面
９４  切削環端
９５、９６  切面
９７  凹部
９８  凸部
１０  切削工具
１２  軸孔
１４、１６  環面
１４１、１６１  外周エッジ
１８、２０  内凹切面
２２  切削環端
２２１  端面
２２２  凹部
２２３  凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005335385.tif 000007
【図６】
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【図７】
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