(57)【要約】      （修正有）【課題】放電空間における不純物ガスの悪影響を防止するとともに、薄型化可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】一方の面に表示部を構成する構造部分を形成したガラス板８Ａ，８Ｂを、表示部形成面を対向させて配置し、一方のガラス板８Ａに設けられた貫通孔７上に金属プレート３を配置し、全体を真空環境下で加熱して、ガラス板８Ａ，８Ｂの外周部間と、金属プレート３とガラス板８Ａ間とを封着して真空密閉パネル１を形成する工程と、金属プレート３を含むガラス板上を封止フランジで覆って排気する工程と、金属プレート３にピンホール６を形成したのち、封止フランジ内に放電ガスを充填してピンホール６から真空密閉パネル１内に導入する工程と、ピンホール６をシール材を溶融して封止する工程とを順次実施する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイパネルを構成する２枚のガラス板の外周部間といずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔上に配置された金属プレートとガラス板間とを封着するとともに前記２枚のガラス板間の空間を排気して真空密閉パネルを形成したのち、前記金属プレートにピンホールを形成して、該ピンホールから上記真空密閉パネル内に放電ガスを導入したのち、前記ピンホールを封止することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
プラズマディスプレイパネルを構成する２枚のガラス板のいずれか一方の側にゲッタを配置したものを真空環境下に置いて前記２枚のガラス板間の空間を排気したのち、放電ガス雰囲気中に置いて前記２枚のガラス板間の空間に放電ガスを導入してから、前記２枚のガラス板の外周部間を封着することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
プラズマディスプレイパネルを構成する２枚のガラス板のいずれか一方に設けられた貫通孔上に金属プレートを配置し、該金属プレートにガラス管を接続して、前記２枚のガラス板の外周部間と前記金属プレートとガラス板間と前記ガラス管と金属プレート間とを封着するとともに、前記２枚のガラス板間の空間を排気して真空密閉パネルを形成したのち、前記金属プレートにピンホールを形成し、前記ガラス管から前記ピンホールを経て前記真空密閉パネル内に放電ガスを導入したのち、前記ガラス管をチップオフすることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記貫通孔内又は前記ガラス管内又は前記２枚のガラス板間にゲッタを配置することを特徴とする請求項１又は３記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
プラズマディスプレイパネルを構成する２枚のガラス板のいずれか一方に設けられた貫通孔にガラス管を接続して、前記２枚のガラス板の外周部間と前記ガラス管とガラス板管とを封着して封着パネルを形成したのち、該ガラス管内にテープゲッタを配置し、前記ガラス管を経て前記封着パネル内を排気したのち、前記ガラス管を経て前記封着パネル内に放電ガスを導入してから、前記ガラス管をチップオフすることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの前記表示部形成面を対向させて配置し、いずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔上に金属プレートを配置したものを真空環境下に置いて排気したのち加熱して、前記２枚のガラス板の外周部間と前記金属プレートとガラス板間とをそれぞれ封止材によって封着して真空密閉パネルを形成する工程と、前記金属プレートを含むガラス板の外側を封止フランジによって部分的に密閉して真空環境下に置く工程と、前記金属プレートにピンホールを形成したのち、前記封止フランジ内に放電ガスを充填して前記ピンホールから真空密閉パネル内に放電ガスを導入する工程と、前記ピンホールを予めその周囲に配置されていた封止材によって封止する工程とを順次実施することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
前記貫通孔内にテープゲッタを配置することを特徴とする請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
前記貫通孔と対向するガラス板上にピル状ゲッタを配置することを特徴とする請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
前記ピンホールを、前記封止フランジに設けられた透明部から前記金属プレートにレーザ光を照射して形成することを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
前記ピンホールの直径が、０．２〜０．３ｍｍであることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの前記表示部形成面を対向させて配置し、いずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔上に金属プレートを配置するとともに、前記貫通孔と対向するガラス板にピル状ゲッタを配置したものを真空環境下に置いて、前記２枚のガラス板の外周部間を封止するための封止材と、前記金属プレートとガラス板間を封着するための封止材との、前記ガラス板又は金属プレートとの隙間から排気したのち、放電ガス雰囲気中に置いて、前記隙間から前記２枚のガラス板間の空間に放電ガスを導入する工程と、前記放電ガス導入後、全体を加熱して、それぞれの前記封止材によって、前記２枚のガラス板の外周部間と、前記金属プレートとガラス板間とを封着する工程とを順次実施することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１２】
一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの前記表示部形成面を対向させて配置するとともに、一方のガラス板上にピル状ゲッタを配置したものを真空環境下に置いて、前記２枚のガラス板の外周部間を封着するための封止材と前記ガラス板との隙間から排気したのち、放電ガス雰囲気中に置いて、前記隙間から前記２枚のガラス板間の空間に放電ガスを導入する工程と、前記放電ガス導入後、全体を加熱して、前記封止材によって前記２枚のガラス板の外周部間を封着する工程とを順次実施することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１３】
一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの前記表示部形成面を対向させて配置し、いずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔上に金属プレートを配置し、前記貫通孔と対向するガラス板上にピル状ゲッタを配置するとともに、前記金属プレートを含むガラス板の外側を耐熱型封止フランジによって部分的に密閉したものを真空環境下に置いて、前記２枚のガラス板の外周部間を封着するための第１の封止材と前記ガラス板との隙間から排気して、前記２枚のガラス板間の空間と前記耐熱型封止フランジ内とを真空にしたのち加熱して、前記第１の封止材によって前記２枚のガラス板の外周部間を封着する工程と、前記耐熱型封止フランジ内に放電ガスを充填して前記金属プレートとガラス板間を封着するための第２の封止材と前記金属プレート又はガラス板との隙間から前記２枚のガラス板間の空間に放電ガスを導入する工程と、前記放電ガス導入終了時、昇温して、前記第２の封止材によって前記金属プレートとガラス板間を封着する工程とを順次実施することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１４】
前記第２の封止材が、前記第１の封止材よりも高い軟化点を有することを特徴とする請求項１３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１５】
前記各封止材が、未軟化状態では、封着すべきガラス板又は金属プレートと接する面に、気体の流通路となる凹凸を有することを特徴とする請求項１１乃至１４のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】
前記ピル状ゲッタを、複数個、パネル中心に対して対称な位置に配置することを特徴とする請求項１１乃至１５のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１７】
一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの前記表示部形成面を対向させて配置し、いずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔上に金属プレートを配置するとともに、該金属プレート上に前記貫通孔と同軸にガラス管を配置したものを真空環境下に置いて排気したのち加熱して、前記２枚のガラス板の外周部間と、前記金属プレートとガラス板間と、前記ガラス管と金属プレート間とをそれぞれ封止材によって封着して真空密閉パネルを形成する工程と、前記金属プレートにピンホールを形成したのち、前記ガラス管から前記ピンホールを経て前記真空密閉パネル内に放電ガスを導入する工程と、該放電ガス導入終了時、前記ガラス管を加熱してチップオフする工程とを順次実施することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１８】
前記ガラス管内にテープゲッタを配置することを特徴とする請求項１７記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１９】
前記ピンホールを、前記貫通孔が設けられていない側のガラス板の外側からレーザ光を用いて形成することを特徴とする請求項１７又は１８記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２０】
前記レーザ光の波長が、１．０６±０．１μm であることを特徴とする請求項１９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２１】
前記ピンホールの半径をω（mm）としたとき、前記レーザ光のパルス出力が５８／（ω2 ）ジュール未満であることを特徴とする請求項１９又は２０記載のプラズマディスプレイパルスの製造方法。
【請求項２２】
前記ピンホールの半径が、０．１〜０．２mmであることを特徴とする請求項１９乃至２１のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２３】
一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの前記表示部形成面を対向させて配置するとともに、いずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔と同軸にガラス管を配置したものを加熱して、前記２枚のガラス板の外周部間と、前記ガラス管とガラス板間とをそれぞれ封止材によって封着して封着パネルを形成する工程と、該封着パネルの形成後、前記ガラス管内にテープゲッタを配置する工程と、前記ガラス管を経て前記封着パネル内を排気して真空にしたのち、前記ガラス管を経て封着パネル内に放電ガスを導入する工程と、該放電ガス導入終了時、前記ガラス管を加熱してチップオフする工程とを順次実施することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２４】
アナログ映像信号をフォーマット変換してディジタル画像情報を出力するアナログインタフェースと、プラズマディスプレイパネルと前記ディジタル画像情報を信号処理して前記プラズマディスプレイパネルを駆動するための信号を出力するディジタル信号処理・制御回路と電源用回路とを含むプラズマディスプレイパネルモジュールとからなるプラズマ表示装置であって、
前記プラズマディスプレイパネルが、請求項１〜２３のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法によって製造されたものであることを特徴とするプラズマ表示装置。
【請求項２５】
アナログ映像信号をフォーマット変換してディジタル画像情報を出力するアナログインタフェースを製造する工程と、プラズマディスプレイパネルを製造する工程と、前記プラズマディスプレイパネルと前記ディジタル画像情報に応じて前記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路と電源用回路とによって、プラズマディスプレイパネルモジュールを製造する工程と、前記アナログインタフェースと前記プラズマディスプレイパネルモジュールとを電気的に接続する工程とを備えるプラズマ表示装置の製造方法であって、
前記プラズマディスプレイパネルを製造する工程において、請求項１〜２３のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法を実行することを特徴とするプラズマ表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、排気管が不要、又は排気管をなるべく短くすることが可能な、プラズマディスプレイパネルの製造方法、並びにプラズマ表示装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ表示装置は、従来、広く用いられている陰極線管（ＣＲＴ）表示装置や、液晶表示装置等と比較して、薄型で大画面構成が比較的容易であるとともに、応答速度が速い等の利点を有しているため、近年において、テレビ受信機やその他のディスプレイ装置として、広く用いられようとしている。
【０００３】
プラズマ表示装置において表示部として用いられるプラズマディスプレイパネルには、複数の画素を構成する各放電セルにおいて、電極が放電空間に露出していて直流放電の状態で動作させるＤＣ型のものと、電極が誘電体層で被覆されていて交流放電の状態で動作させるＡＣ型のものとがあるが、構造が比較的簡単であって大画面構成に適しているＡＣ型が一般的であって、多く用いられている。
プラズマディスプレイパネルは、互いに平行な走査電極と維持電極とからなる電極対を複数配置した前面基板と、前記電極対に交差するように複数のデータ電極を配置した背面基板とを対向して配置し、各電極の交差部ごとに隔壁で隔離して形成された空間を放電セルとして、この放電セル内でプラズマ放電を起こさせることによって、可視的表示を行わせるようになっている。
【０００４】
図１４は、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示したものであって、３電極ＡＣ型プラズマディスプレイパネルの場合を例示している。図示のプラズマディスプレイパネル７０は、前面基板７１と、背面基板７２とを対向して配置するとともに、両基板７１，７２間に放電ガス空間７３を形成した基本的構成を有している。
【０００５】
前面基板７１は、ガラス等の透明板からなる第１の絶縁基板７４と、絶縁基板７４の内面に、Ｈで示す水平方向に沿って平行に形成された、透明電極７５Ａ及び透明電極７５Ａの一部に形成された低抵抗層であるバス電極７５Ｂとからなる走査電極７５と、透明電極７６Ａ及び透明電極７６Ａの一部に形成された低抵抗層であるバス電極７６Ｂとからなる維持電極７６と、走査電極７５及び維持電極７６を被覆する透明誘電体層７７と、透明誘電体層７７を放電から保護するための保護膜７８とからなっている。
【０００６】
また、背面基板７２は、ガラス等の透明板からなる第２の絶縁基板８１と、絶縁基板８１の内面に、Ｖで示す垂直方向に沿って形成されたデータ電極８３と、データ電極８３を覆う白色誘電体層８４と、放電用ガスが充填されて前述の放電ガス空間７３を確保するとともに、個々の放電セルを区切るように垂直方向Ｖに沿って形成された隔壁８５と、隔壁８５の底面及び壁面を覆う、Ｒ（赤色），Ｇ（緑色）及びＢ（青色）の蛍光体が放電セルごとに塗り分けられた蛍光体層８６とからなっている。
【０００７】
従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法においては、前面基板及び背面基板を構成するそれぞれのガラス板上に、それぞれ電極，隔壁等を形成したのち、それぞれの形成面を対向させて、周囲を封止する封着が行われるが、このとき、円筒状のカラス製排気管も、プレスフリットを介して、前面基板の一方の側に、シールする形で取り付けられる。
次に、封着ずみのパネルを排気炉内に装入して、パネルの排気管と排気炉の真空系とを接続し、真空加熱によってパネル内の真空引きを行う。そして、排気炉内のパネル温度が常温付近まで冷却されたのち、排気管を介して放電ガスを封入する。その後、ガラス製排気管をバーナ等によって局所加熱溶融して、パネルと排気炉真空系とを切り離すことによって、プラズマディスプレイパネルが完成する。このような排気管構成は、国内外を問わず各プラズマディスプレイパネルメーカにおいて一般的に用いられている。
【０００８】
しかしながら、ガラス製排気管を加熱溶融して封止する際には、排気管を構成するガラス自体に含まれているガス成分が放出されてパネルの密封部内に残留するため、パネル内に導入されている放電ガスの純度を低下させて、放電特性を悪化させるとともに、パネルの寿命を短縮することになるという問題がある。
【０００９】
これに対して、特許文献１においては、排気管の材質を金属製として、排気工程終了時、排気管の肉薄部を圧切して封止することによって、ガラス排気管を溶融封止する場合のように、放出されたガスがパネル内に残留することを防止する技術が開示されている。
図１５は、金属排気管を使用した従来のプラズマディスプレイパネルの構造を示したものである。同図において、１５は封着パネルであって、例えば背面基板と前面基板とを構成する第１のガラス板１７と第２のガラス板１８とを、その外周をシール部１９で封着したものからなっている。１６は金属排気管であって、第１のガラス板１７に設けられた貫通孔７の部分に、シール部４によって、ガラス板１７と垂直方向に接続されている。
【００１０】
図１５に示されたプラズマディスプレイパネルの製造方法としては、大気圧環境下で封着パネル１５を完成し、金属排気管を排気・ガス導入装置に接続して、排気を行って封着パネル１５の内部を真空にしたのち放電ガスを導入し、最後に金属排気管１６を圧切封止することによって完成するようになっている。
この従来例の場合の金属製排気管は、パネル面から垂直方向に突起状に伸びる形状であるため、パネルの薄型化を図る上で障害となる恐れがある。
【００１１】
【特許文献１】特開２００２−３２４５０３号公報（〔００６３〕〜〔００６９〕及び図５〜図７等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
一般に、プラズマディスプレイパネルの排気管は、ガラス製であって、パネルの薄型化のために、極力、短く形成される傾向がある。しかしながら、ガラス製排気管を単純に短くすると、溶融するガラス管から、放電特性に悪影響を及ぼす恐れのある不純物ガスが発生して、十分に希釈及び冷却されることなく、溶融部分から最短距離にある放電セル内に滞留して、その放電特性を、画面内の他の部分と比較して不均一にすることが予測される。また、放電電圧の局所的異常が生じることも経験的に確認されており、従って、ガラス製排気管を単純に短くすることは困難である。
【００１３】
これに対して、金属排気管の場合は、溶融させることなく圧切によって、プラズマディスプレイパネルを真空系から切り離すので、不純ガス発生の問題はなくなるが、この場合も、単純に短くすると、圧切時の排気管の変形に基づいて、パネルにシールされている部分に応力が残留して、熱的に脆弱なものとなる恐れがある。さらにこれらのリスクを認めたとしても、排気管の突起をなくすことはできない。
【００１４】
この発明は上述の事情に鑑みてなされたものであって、プラズマディスプレイパネルにおいて、排気及びガス導入のためのガラス製排気管の、加熱封止時における高温に基づく不純物ガスの発生の問題を解決するとともに、排気管の突起を少なくしてプラズマディスプレイパネルの薄型化を可能にする、プラズマディスプレイパネルの製造方法、並びにプラズマ表示装置及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、プラズマディスプレイパネルを構成する２枚のガラス板の外周部間といずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔上に配置された金属プレートとガラス板間とを封着するとともに上記２枚のガラス板間の空間を排気して真空密閉パネルを形成したのち、上記金属プレートにピンホールを形成して、該ピンホールから上記真空密閉パネル内に放電ガスを導入したのち、上記ピンホールを封止することを特徴としている。
【００１６】
また、請求項２記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、プラズマディスプレイパネルを構成する２枚のガラス板のいずれか一方の側にゲッタを配置したものを真空環境下に置いて上記２枚のガラス板間の空間を排気したのち、放電ガス雰囲気中に置いて上記２枚のガラス板間の空間に放電ガスを導入してから、上記２枚のガラス板の外周部間を封着することを特徴としている。
【００１７】
また、請求項３記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、プラズマディスプレイパネルを構成する２枚のガラス板のいずれか一方に設けられた貫通孔上に金属プレートを配置し、該金属プレートにガラス管を接続して、上記２枚のガラス板の外周部間と上記金属プレートとガラス板間と上記ガラス管と金属プレート間とを封着するとともに、上記２枚のガラス板間の空間を排気して真空密閉パネルを形成したのち、上記金属プレートにピンホールを形成し、上記ガラス管から上記ピンホールを経て上記真空密閉パネル内に放電ガスを導入したのち、上記ガラス管をチップオフすることを特徴としている。
【００１８】
また、請求項４記載の発明は、請求項１又は３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記貫通孔内又は上記ガラス管内又は上記２枚のガラス板間にゲッタを配置することを特徴としている。
【００１９】
また、請求項５記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、プラズマディスプレイパネルを構成する２枚のガラス板のいずれか一方に設けられた貫通孔にガラス管を接続して、上記２枚のガラス板の外周部間と上記ガラス管とガラス板管とを封着して封着パネルを形成したのち、該ガラス管内にテープゲッタを配置し、上記ガラス管を経て上記封着パネル内を排気したのち、上記ガラス管を経て上記封着パネル内に放電ガスを導入してから、上記ガラス管をチップオフすることを特徴としている。
【００２０】
また、請求項６記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの上記表示部形成面を対向させて配置し、いずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔上に金属プレートを配置したものを真空環境下に置いて排気したのち加熱して、上記２枚のガラス板の外周部間と上記金属プレートとガラス板間とをそれぞれ封止材によって封着して真空密閉パネルを形成する工程と、上記金属プレートを含むガラス板の外側を封止フランジによって部分的に密閉して真空環境下に置く工程と、上記金属プレートにピンホールを形成したのち、上記封止フランジ内に放電ガスを充填して上記ピンホールから真空密閉パネル内に放電ガスを導入する工程と、上記ピンホールを予めその周囲に配置されていた封止材によって封止する工程とを順次実施することを特徴としている。
【００２１】
また、請求項７記載の発明は、請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記貫通孔内にテープゲッタを配置することを特徴としている。
【００２２】
また、請求項８記載の発明は、請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記貫通孔と対向するガラス板上にピル状ゲッタを配置することを特徴としている。
【００２３】
また、請求項９記載の発明は、請求項６乃至８のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記ピンホールを、上記封止フランジに設けられた透明部から上記金属プレートにレーザ光を照射して形成することを特徴としている。
【００２４】
また、請求項１０記載の発明は、請求項６乃至９のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記ピンホールの直径が、０．２〜０．３ｍｍであることを特徴としている。
【００２５】
また、請求項１１記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの上記表示部形成面を対向させて配置し、いずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔上に金属プレートを配置するとともに、上記貫通孔と対向するガラス板にピル状ゲッタを配置したものを真空環境下に置いて、上記２枚のガラス板の外周部間を封止するための封止材と、上記金属プレートとガラス板間を封着するための封止材との、上記ガラス板又は金属プレートとの隙間から排気したのち、放電ガス雰囲気中に置いて、上記隙間から上記２枚のガラス板間の空間に放電ガスを導入する工程と、上記放電ガス導入後、全体を加熱して、それぞれの上記封止材によって、上記２枚のガラス板の外周部間と、上記金属プレートとガラス板間とを封着する工程とを順次実施することを特徴としている。
【００２６】
また、請求項１２記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの上記表示部形成面を対向させて配置するとともに、一方のガラス板上にピル状ゲッタを配置したものを真空環境下に置いて、上記２枚のガラス板の外周部間を封着するための封止材と上記ガラス板との隙間から排気したのち、放電ガス雰囲気中に置いて、上記隙間から上記２枚のガラス板間の空間に放電ガスを導入する工程と、上記放電ガス導入後、全体を加熱して、上記封止材によって上記２枚のガラス板の外周部間を封着する工程とを順次実施することを特徴としている。
【００２７】
また、請求項１３記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの上記表示部形成面を対向させて配置し、いずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔上に金属プレートを配置し、上記貫通孔と対向するガラス板上にピル状ゲッタを配置するとともに、上記金属プレートを含むガラス板の外側を耐熱型封止フランジによって部分的に密閉したものを真空環境下に置いて、上記２枚のガラス板の外周部間を封着するための第１の封止材と上記ガラス板との隙間から排気して、上記２枚のガラス板間の空間と上記耐熱型封止フランジ内とを真空にしたのち加熱して、上記第１の封止材によって上記２枚のガラス板の外周部間を封着する工程と、上記耐熱型封止フランジ内に放電ガスを充填して上記金属プレートとガラス板間を封着するための第２の封止材と上記金属プレート又はガラス板との隙間から上記２枚のガラス板間の空間に放電ガスを導入する工程と、上記放電ガス導入終了時、昇温して、上記第２の封止材によって上記金属プレートとガラス板間を封着する工程とを順次実施することを特徴としている。
【００２８】
また、請求項１４記載の発明は、請求項１３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第２の封止材が、上記第１の封止材よりも高い軟化点を有することを特徴としている。
【００２９】
また、請求項１５記載の発明は、請求項１１乃至１４のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記各封止材が、未軟化状態では、封着すべきガラス板又は金属プレートと接する面に、気体の流通路となる凹凸を有することを特徴としている。
【００３０】
また、請求項１６記載の発明は、請求項１１乃至１５のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記ピル状ゲッタを、複数個、パネル中心に対して対称な位置に配置することを特徴としている。
【００３１】
また、請求項１７記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの上記表示部形成面を対向させて配置し、いずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔上に金属プレートを配置するとともに、該金属プレート上に上記貫通孔と同軸にガラス管を配置したものを真空環境下に置いて排気したのち加熱して、上記２枚のガラス板の外周部間と、上記金属プレートとガラス板間と、上記ガラス管と金属プレート間とをそれぞれ封止材によって封着して真空密閉パネルを形成する工程と、上記金属プレートにピンホールを形成したのち、上記ガラス管から上記ピンホールを経て上記真空密閉パネル内に放電ガスを導入する工程と、該放電ガス導入終了時、上記ガラス管を加熱してチップオフする工程とを順次実施することを特徴としている。
【００３２】
また、請求項１８記載の発明は、請求項１７記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記ガラス管内にテープゲッタを配置することを特徴としている。
【００３３】
また、請求項１９記載の発明は、請求項１７又は１８記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記ピンホールを、上記貫通孔が設けられていない側のガラス板の外側からレーザ光を用いて形成することを特徴としている。
【００３４】
また、請求項２０記載の発明は、請求項１９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記レーザ光の波長が、１．０６±０．１μm であることを特徴としている。
【００３５】
また、請求項２１記載の発明は、請求項１９又は２０記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記ピンホールの半径をω（mm）としたとき、上記レーザ光のパルス出力が５８／（ω2 ）ジュール未満であることを特徴としている。
【００３６】
また、請求項２２記載の発明は、請求項１９乃至２１のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記ピンホールの半径が、０．１〜０．２mmであることを特徴としている。
【００３７】
また、請求項２３記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、一方の面にそれぞれ表示部を構成する構造部分を形成した２枚のガラス板を、それぞれの上記表示部形成面を対向させて配置するとともに、いずれか一方のガラス板に設けられた貫通孔と同軸にガラス管を配置したものを加熱して、上記２枚のガラス板の外周部間と、上記ガラス管とガラス板間とをそれぞれ封止材によって封着して封着パネルを形成する工程と、該封着パネルの形成後、上記ガラス管内にテープゲッタを配置する工程と、上記ガラス管を経て上記封着パネル内を排気して真空にしたのち、上記ガラス管を経て封着パネル内に放電ガスを導入する工程と、該放電ガス導入終了時、上記ガラス管を加熱してチップオフする工程とを順次実施することを特徴としている。
【００３８】
また、請求項２４記載の発明は、プラズマ表示装置に係り、アナログ映像信号をフォーマット変換してディジタル画像情報を出力するアナログインタフェースと、プラズマディスプレイパネルと上記ディジタル画像情報を信号処理して上記プラズマディスプレイパネルを駆動するための信号を出力するディジタル信号処理・制御回路と電源用回路とを含むプラズマディスプレイパネルモジュールとからなるプラズマ表示装置であって、
上記プラズマディスプレイパネルが、請求項１〜２３のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法によって製造されたものであることを特徴としている。
【００３９】
また、請求項２５記載の発明は、プラズマ表示装置の製造方法に係り、アナログ映像信号をフォーマット変換してディジタル画像情報を出力するアナログインタフェースを製造する工程と、プラズマディスプレイパネルを製造する工程と、上記プラズマディスプレイパネルと上記ディジタル画像情報に応じて上記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路と電源用回路とによって、プラズマディスプレイパネルモジュールを製造する工程と、上記アナログインタフェースと上記プラズマディスプレイパネルモジュールとを電気的に接続する工程とを備えるプラズマ表示装置の製造方法であって、
上記プラズマディスプレイパネルを製造する工程において、請求項１〜２３のいずれか一記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法を実行することを特徴としている。
【発明の効果】
【００４０】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、プラズマディスプレイパネルの放電ガス導入部を、排気部よりも小さい孔にすることによって、シールフリット又は排気管を溶融封止する際に発生する不純物ガスを希釈しながらパネル内に拡散させるようにするとともに、放電ガス導入部近傍にゲッタ（テープゲッタを含む）を配置して、不純物ガスを吸着するようにしたので、パネル内に拡散する不純物ガスの総量を減少させることができ、従って、パネル各部における表示むらを少なくしてプラズマディスプレイパネルの性能を向上し、その寿命を延長することが可能になるとともに、パネル面の突起を少なくできるので、プラズマディスプレイパネルの薄型化が可能になる。
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの別の製造方法によれば、プラズマディスプレイパネルの前面基板と背面基板を構成する２枚のガラス板の外周部間等を封着する際に、封止用シールフリットの面と封着すべきガラス板等との隙間から排気と放電ガスの導入とを行うとともに、放電ガスとして低純度のものを使用し、２枚のガラス板間にピル状ゲッタを配置して封着後に放電ガスの純化を行うようにしたので、プラズマディスプレイパネルの製造工程を単純化するとともに、導入する放電ガスの純化のためのガス純化装置を簡易化して、プラズマディスプレイパネルの量産化に対応することができるようになる。
【００４１】
本発明のプラズマ表示装置は、アナログ映像信号をフォーマット変換してディジタル画像情報を出力するアナログインタフェースと、プラズマディスプレイパネルと、アナログインタフェースからのディジタル画像情報を信号処理してプラズマディスプレイパネルを駆動するための信号を出力するディジタル信号処理・制御回路と、電源用回路とを含むプラズマディスプレイパネルモジュールとから構成されているが、プラズマディスプレイパネルが、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によって製造されているので、パネル各部の表示性能が均一化され、かつ、長寿命であるとともに、パネル面の突起が少ないので、プラズマディスプレイパネルを薄型化することができる。
【００４２】
本発明のプラズマ表示装置の製造方法では、アナログ映像信号をフォーマット変換してディジタル画像情報を出力するアナログインタフェースを製造する工程と、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によってプラズマディスプレイパネルを製造する工程と、このプラズマディスプレイパネルと、アナログインタフェースからのディジタル画像情報に応じてプラズマディスプレイパネルを駆動する回路と、電源用回路とによって、プラズマディスプレイパネルモジュールを製造する工程と、アナログインタフェースとプラズマディスプレイパネルモジュールとを電気的に接続して、プラズマ表示装置を製造する工程とを備えているので、パネル各部の表示性能が均一化され、かつ、長寿命であるとともに、パネル面の突起が少ないので、薄型化されたプラズマディスプレイパネルを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法では、電極及び隔壁を形成した２枚のガラス基板を、両基板面に形成された電極及び隔壁等の構造部を内側にして組み立てた状態で、基板外周部をシールして２枚の基板を封着した構造を有しているが、放電ガスがまだ封入されていず、かつ貫通孔を金属プレートで密閉した状態の真空密閉パネルを形成したのち、一方のガラス基板上の金属プレートを配置した部分を、一部が光透過機能を持つ封止フランジを、Ｏ−リングを介して大気側側面から装着して仮にシールし、排気装置を用いて密閉された封止フランジ内部を真空引きする。その後、封止フランジ外からピンホール形成用レーザ光を用いて金属プレート中央部にピンホールを設けて、これから真空密閉パネル内に放電ガスを導入する。さらにその後、金属プレート中央部のピンホールを、その周囲に配置されているシールフリットを封止用レーザ光で溶融することによって、放電ガスが封入された状態で封止したのち、封止フランジを取り外す。シールフリットは、ピンホール形成前に金属プレート上に予めセットされるが、ピンホール形成用レーザ光を遮らないように配置されている。封止用レーザ光は、ピンホール形成用レーザ光を、そのビーム径を拡げてパワー密度を下げた状態で使用する。
【００４４】
本発明に係るプラズマ表示装置は、アナログ映像信号をフォーマット変換してディジタル画像情報を出力するアナログインタフェースと、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法で製造されたプラズマディスプレイパネルと、アナログインタフェースからのディジタル画像情報を信号処理してプラズマディスプレイパネルを駆動するための信号を出力するディジタル信号処理・制御回路と、電源用回路とを含むプラズマディスプレイパネルモジュールとから構成されている。
【００４５】
本発明に係るプラズマ表示装置の製造方法では、アナログ映像信号をフォーマット変換してディジタル画像情報を出力するアナログインタフェースを製造する工程と、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によってプラズマディスプレイパネルを製造する工程と、このプラズマディスプレイパネルと、アナログインタフェースからのディジタル画像情報に応じてプラズマディスプレイパネルを駆動する回路と、電源用回路とによって、プラズマディスプレイパネルモジュールを製造する工程と、アナログインタフェースとプラズマディスプレイパネルモジュールとを電気的に接続して、プラズマ表示装置を製造する工程とを備えている。
【実施例１】
【００４６】
図１は、本発明の第１実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図、図２は、本実施例のプラズマディスプレイパネルの製造方法の概略を示す図、図３は、本実施例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を示す第１の部分拡大図、図４は、本実施例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を示す第２の部分拡大図である。
図１において、（ａ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｂ）は上面図を示す。
この例のプラズマディスプレイパネルは、図１に示すように、真空密閉パネル１と、放電ガス２と、金属プレート３と、シール部４と、シール部５と、ピンホール６と、貫通孔７とを備えている。金属プレート３は、ガラス板と同じ熱膨張係数を持つ金属材料（例えば商品名４・２・６合金）を用いることが望ましい。
【００４７】
真空密閉パネル１は、図１（ａ）にその断面図を示すように、例えば前面基板と背面基板とを構成する第１のガラス板８Ａと第２のガラス板８Ｂとを、その外周部をシール部９で封着するとともに、その内部を真空状態に保ったものからなっている。放電ガス２は、プラズマディスプレイパネルの動作時に電極間の電圧によって放電状態となって、紫外線を発生してプラズマディスプレイパネル内部の蛍光体を励起する。金属プレート３は、貫通孔７を覆ってプラズマディスプレイパネルを密閉状態に保つ。シール部４は、金属プレート３の外周部に配置されたシールフリットを溶融して封着することによって形成され、金属プレート３を真空密閉パネル１に対して気密状態にシールする。シール部５は、金属プレート３に設けられたピンホール６の周囲に配置されたシールフリットを溶融して封着することによって形成され、ピンホール６を気密状態にシールする。ピンホール６は、金属プレート３の中央部分に形成され、放電ガス２を導入する際の通路となる。貫通孔７は、ガラス板８Ａに設けられ、真空密閉パネル１の排気時と放電ガスの導入時とに、外部との通路となる。
【００４８】
例えば、蛍光表示管や真空マイクロ素子等のように内部が真空である場合には、金属プレート３とシール部４とによって、パネルを真空中で封着して真空密閉パネルを形成すればよく、このタイプの表示パネルの排気管レスはすでに確立されている。
この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法においては、その内部を一旦真空状態にしてから放電ガスを封入するため、排気工程が終了して真空状態になった真空密閉パネル１に対する放電ガス導入工程が必要となるが、この例においては、このような工程を、真空密閉パネル１の貫通孔７を塞ぐ金属プレート３の中央部にピンホール６を設けて、この部分から放電ガス２を導入し、放電ガス２の導入終了後に、ピンホール６をシール部５によって再び塞ぐことによって実現している。なお、ピンホール６を塞ぐためには、シールフリットに代えて、金属ロウ材を使用してもよい。
【００４９】
以下、図１乃至図４を参照して、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を詳細に説明する。
最初、真空密閉パネル１の製造工程について説明する。まず、第１のガラス板８Ａと第２のガラス板８Ｂ上に、それぞれ背面基板と前面基板を構成するための電極や隔壁等の構造部分を形成する。この場合は、貫通孔７は、通常は第１のガラス板８Ａに設けられる。以下においては、第１のガラス板８Ａと第２のガラス板８Ｂとの関係がこのようなものである場合について説明する。
【００５０】
このようにして形成されたガラス板８Ａ，８Ｂの、電極や隔壁等の表示のための構造部分が形成された側を対向させて重ね合わせて配置し、さらに、第１のガラス板８Ａの貫通孔７が配置されている部分の上に金属プレート３を重ね合わせて配置したものに対して、任意の方法で、２枚のガラス板８Ａ，８Ｂ間の空間を真空状態に排気するとともに、それぞれシールフリットを用いて、ガラス板８Ａ，８Ｂの外周部間を封着し、金属プレート３とガラス板８Ａ間を封着する処理を行って、真空密閉パネル１を作成する。
【００５１】
図１において（ｂ）は、このようにして形成された真空密閉パネル１を、第１のガラス板８Ａの側から見た場合の上面図を示したものである。ただし、金属プレート３とシール部４とは省略して示されている。
図中、２１は、参考のため示されたシャットオフ電極であって、使用状態でのガラス板の破断を検出する機能を有している。また、２２は各放電セルにおける維持電極に接続される共通電極を示し、２３は、プラズマディスプレイパネルの表示部を構成する各放電セルに対応して設けられたカラーフィルタである。
図１（ｂ）に示されるように、貫通孔７は、表示部とシール部９との中間における、透明部分に設けられている。
【００５２】
次に、排気処理について説明する。基本的には、真空密閉パネル内部はすでに真空状態になっているので、排気は不要であるが、放電ガスを導入する際には、ガス導入部を一時的に真空環境下におく必要があり、以下においては、この処理を排気と呼ぶこととする。
【００５３】
以下、図２を参照して、この例における排気工程について説明する。まず、金属プレート３の貫通孔７に対応する部分の、ピンホール６を設ける予定位置の周囲に、シール部５を形成すべきシールフリット５Ａを、例えば円筒状に配置する。
次に、図２に示すように、貫通孔７が設けられたガラス板８の表面上に、金属プレート３を囲むように封止フランジ２５を設置する。封止フランジ２５は、その下面にＯ−リング２６を有するとともに、その上面は、ガラス板等のような光透過部２７で構成されている。
封止フランジ７を接続管２８を介して排気・ガス導入装置（不図示）に接続し、排気を行って封止フランジ２５の内部を真空にする。この際Ｏ−リング２６は、封止フランジ２５の内部に、外気が侵入するのを防止する役目を果たす。
【００５４】
次に、図３を参照して、この例における放電ガス導入工程について説明する。図３においては、真空密閉パネル１の第１のガラス板８Ａと、ガラス板８Ａに設けられた貫通孔７の上に、シール部４で固定された金属プレート３と、金属プレート３上に配置されたシール部５を形成すべきシールフリット５Ａと、金属プレート３にピンホール６を形成するためのレーザ光１０とが示されている。
まず、封止フランジ２５の上面の光透過部２７の部分を介して、レーザ装置（不図示）から、シールフリット５Ａが照射されないように十分に収束されたレーザ光１０を照射して、金属プレート３の中央部にピンホール６を形成する。
【００５５】
金属プレート３にピンホール６が形成された状態で、接続管２８を経て、排気・ガス導入装置から封止フランジ２５内に放電ガスを導入すると、放電ガスがピンホール６と貫通孔７を経て真空密閉パネル１の内部に拡散するので、所定の圧力に達するまで放電ガスの導入を続ける。
この際における、ピンホール６の大きさは、直径０．２〜０．３ｍｍとすることが適当である。一般には、ピンホールにおける気体の流通時のコンダクタンスは、分子流域圧力よりも粘性流域圧力の方が大きいので、真空からある程度の圧力に到達するまでの時間は十分短いため、ピンホールの大きさが特に問題となることはない。
【００５６】
次に、図４を参照して、この例における封止工程について説明する。図４においては、図３におけると同じものを同じ番号で示し、５は封着状態のシール部、１１は、シールフリット５Ａを溶融するために用いられるレーザ光である。
前工程において放電ガス２の導入が終了したとき、封止フランジ２５の上面の光透過部２７の部分を介してレーザ光１１を照射する。この場合のレーザ光１１は、ビーム径を拡げてパワー密度を下げた状態とし、シールフリット５Ａの全体を加熱することによって、溶融したシールフリットによって形成されるシール部５が、ピンホール６を確実に封止するようにする。
ピンホール６が封止されたとき、レーザ光の照射を停止して加熱を止めて、シール部５の凝固を待つ。その後、排気・ガス導入装置から大気を導入して封止フランジ２５内の圧力を大気圧まで上昇させたのち、真空密閉パネル１から封止フランジ２５を取り外す。
【００５７】
このような各工程を経て、排気管レスのプラズマディスプレイパネルが完成する。なお、シール部５を形成するために、シールフリット５Ａの代わりに、ハンダ等の金属ロウ材を用いてもよく、必ずしもガラス材でなくてもよい。
【００５８】
このようにこの例のプラズマディスプレイパネルでは、パネル面に設けられた貫通孔を金属プレート３によってシールするとともに内部を真空状態にした真空密閉パネルに対して、金属プレートにピンホールを設けてこの部分から放電ガスを導入したのち、ピンホールをシールして密閉状態に保つようにしたので、プラズマディスプレイパネルに排気管を設ける必要がなく、従って、ガラス排気管の場合に生じる不純物ガスの悪影響を除去するとともに、プラズマディスプレイパネルを薄型化することが可能となる。
【実施例２】
【００５９】
図５は、本発明の第２実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｂ）は上面図である。
この例のプラズマディスプレイパネルは、図５に示すように、真空密閉パネル１と、放電ガス２と、金属プレート３と、シール部４と、シール部５と、ピンホール６と、貫通孔７と、テープゲッタ１２とを備えている。
【００６０】
この例のプラズマディスプレイパネルは、テープゲッタ１２を有する以外は、図１に示された第１実施例のプラズマディスプレイパネルと同様である。
テープゲッタ１２は、ガラス板８Ａに設けられた貫通孔７の内面に予め貼り付けられていて、真空密閉パネル１の密閉された内部空間において、放電ガス以外の不純物ガスを吸着する作用を行う。
【００６１】
以下、図５を参照して、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を説明する。なお、図５（ｂ）において、金属プレート３等は、省略して示されている。
最初、真空密閉パネル１となるべきガラス板８Ａ，８Ｂを組み立てる際に、ガラス板８Ａに設けられた貫通孔７の内面に、テープゲッタ１２を予め貼り付けておく。以後、第１実施例の場合と同様にして、真空密閉パネル１を作製する。
以後の排気工程と、放電ガス導入工程と、封止工程とは、第１実施例の場合と同様にして行われる。
【００６２】
この例の場合の、テープゲッタ１２は、封止工程において発生する放電ガス以外の不純物ガスをトラップ（吸着）する役目を持っている。
すなわち、ピンホール６をシールするために、シールフリットを加熱溶融してシール部５を形成する際には、シールフリットに含まれているバインダ等から、放電ガス以外の不純物ガスが発生して、真空密閉パネル１内に拡散し、これによって、特に貫通孔７の近傍の放電セルにおける放電特性が局部的に悪化して、プラズマディスプレイパネル表示面内の表示特性が不均一となる現象が発生するが、この例のように、不純物ガスの通路にあたる貫通孔７の内面にテープゲッタ１２を配置しておくことによって、このような不純物ガスをトラップして、表示特性の悪化を防止することができる。
【００６３】
この例の場合も、シール部５を形成するシールフリットの代わりに、金属ロウ材を用いてもよい。ただし、金属ロウ材は、還元性雰囲気下でないと、金属プレート３に対してシールされない。そのためロウ付けは、一般に高温水素炉を用いて行われるが、水素は放電ガス成分ではないので、この例の場合は使用することができない。そのため、還元剤としてグリースを用いる手法もあるが、グリースは封止工程で気化して不純物ガスを発生するので、上述のようにテープゲッタによって吸着することが必要となる。
【００６４】
このように、この例のプラズマディスプレイパネルでは、貫通孔の部分に、テープゲッタ１２を配置するようにしたので、封止工程で発生する不純物ガスを吸着して、プラズマディスプレイパネルの表示特性の悪化を防止することができるとともに、ピンホールをシールするために金属ロウ材を用いることが可能になるため、プラズマディスプレイパネルの製作を容易にして，コスト低減に寄与することができる。
【実施例３】
【００６５】
図６は、本発明の第３実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｂ）は上面図である。
この例のプラズマディスプレイパネルは、図６に示すように、真空密閉パネル１と、放電ガス２と、金属プレート３と、シール部４と、シール部５と、ピンホール６と、貫通孔７と、ピル状ゲッタ部材１３とを備えている。
【００６６】
この例のプラズマディスプレイパネルは、ピル状ゲッタ部材１３を有する以外は、図１に示された第１実施例のプラズマディスプレイパネルと同様である。
ゲッタ部材１３はピル（錠剤）状をなし、真空密閉パネル１の貫通孔７の部分に対応する、対極側のガラス板８Ｂに埋め込む形で、予め配置されていて、真空密閉パネル１の密閉された内部空間における、放電ガス以外の不純物ガスを吸着する作用を行う。
【００６７】
以下、図６を参照して、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を説明する。なお、図６（ｂ）において、金属プレート３等は、省略して示されている。
最初、真空密閉パネル１となるべきガラス板８Ａ，８Ｂを組み立てる際に、真空密閉パネル１の貫通孔７の部分に対応する対極側ガラス板８Ｂの面に、ピル状ゲッタ部材１３を予め配置しておいて、以後、第１実施例の場合と同様にして、真空密閉パネル１を作製する。
以後の排気工程と、放電ガス導入工程と、封止工程とは、第１実施例の場合と同様にして行われる。
【００６８】
この例の場合のピル状ゲッタ部材１３は、第２実施例の場合のテープゲッタ１２と同様に、封止工程において発生する放電ガス以外の不純物ガスを吸着する役目を持っている。  第２実施例の場合のテープゲッタ１２は、真空密閉パネルの製作時にもガスを吸着するとともに総吸着量が比較的少ないため、封止完了後の不純物ガスの純化能力が劣っているが、この例の場合のピル状ゲッタ部材１３は吸着量が大きいので、封止完了後も吸着能力を維持し続けることができる。
ただし、ピル状ゲッタ部材１３は吸着力が強いので、ゲッタ部材１３が配置されている部分と、それ以外の部分との不純物ガス濃度が異なることになって、ゲッタ部材１３の近傍と離れた部分との放電特性が変化する恐れがある。そのため、ゲッタ部材１３は、ガス吸着能力を均等にするために、貫通孔７の直下だけでなく、パネルの４隅に設けるか、又は複数のゲッタ部材をパネル中心に対して対称な位置に配置することが望ましい。
【００６９】
このように、この例のプラズマディスプレイパネルでは、真空密閉パネル内に、ガス吸着力の強いピル状ゲッタ部材１３を配置したので、封止工程で発生する不純物ガスをより強力に吸着して、プラズマディスプレイパネルの表示特性の悪化を防止するとともに、封止完了後も、不純物ガスを吸着し続けるので、プラズマディスプレイパネルの寿命を延長することができる。
【実施例４】
【００７０】
図７は、本発明の第４実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｂ）は上面図である。
この例のプラズマディスプレイパネルは、図７に示すように、放電ガス２と、金属プレート３と、シール部４と、貫通孔７と、ガラス板８Ａ，８Ｂと、シール部９と、ピル状ゲッタ部材１３とを備えている。
【００７１】
この例のプラズマディスプレイパネルは、ピンホールを形成しないとともに、ピンホールを溶封するためのシール部を有しない点以外は、図６に示された第３実施例のプラズマディスプレイパネルと同様であるが、製造方法が異なっている。なお、ピル状ゲッタ部材１３は、少なくとも１個必要であるが、パネル中心に対して対称に２個以上設けることが望ましい。
【００７２】
以下、図７を参照して、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を説明する。
なお、図７（ｂ）において、金属プレート３等は省略して示されている。
最初、前面基板と背面基板となる２枚のガラス板８Ａ，８Ｂを対向して配置し、ガラス板８Ａの貫通孔７の部分の上部に、金属プレート３を配置して仮組み立てを行う。この際、ガラス板８Ａ，８Ｂのいずれか一方の外周部に貼り合わせ用シールフリットを予め塗布し、ガラス板８Ａ上の、金属プレート３の外周部に対応する部分にシールフリットを予め塗布しておくとともに、貫通孔７の部分に対応する対極側ガラス板８Ｂの面に、ピル状ゲッタ部材１３を予め配置しておく。
仮組み立てを終了した部品を真空封着炉（不図示）に装入して、常温から真空排気を開始するとともに、加熱を行う。排気終了時、２枚のガラス板８Ａ，８Ｂを貼り合わせるためのシールフリットの融点より低い温度に３０分前後保ったのち、真空封着炉内に放電ガスを充填して、２枚のガラス板８Ａ，８Ｂ間の空間に放電ガス２を導入する。放電ガスの導入終了時、真空封着炉の温度を上げて、金属プレート３の外周部のシールフリットを溶融して、シール部４を形成して金属プレート３をガラス板８Ａの上面に封着するとともに、ガラス板貼り合わせ用シールフリットを溶融して、シール部９を形成してガラス板８Ａ，８Ｂの外周部間の封着を行ってプラズマディスプレイパネルを完成する。
【００７３】
この場合の排気と放電ガスの導入は、いずれか一方のガラス板の外周部に塗布されたシールフリットの面とこれに接する他方のガラス板との隙間と、ガラス板８Ａ上に塗布されたシールフリットの面と金属プレート３との隙間から行われるので、シールフリットの部分からの排気と放電ガスの導入を容易にするために、シールフリットは未軟化の状態では、封着すべきガラス板又は金属プレートと接する面に、気体の流通路となる凹凸が形成されているようにする。
このような凹凸は、例えば、最初平坦に塗布したシールフリットの面に、断続的にシールフリットをさらに塗布して部分的な盛り上がりを作って形成してもよい。または、シールフリットを塗布する代わりに、プレスして凹凸を形成した所要の形状のプレスフリットを、所要の位置に配置して、上述の排気と放電ガスの導入および封着の処理を行うようにしてもよい。
【００７４】
この場合の放電ガス２は、真空封着炉に充填するため大量に使用するので、回収を繰り返したものを使用することになる。
回収された大量の放電ガスの純度を十分上げるためには、放電ガス純化装置として大規模な設備を必要とし、その占有面積も大きなものとなって、コスト的に負担が大きく、実際上、困難であって、量産目的のためには、低純度の放電ガスを使用せざるを得ない。
【００７５】
しかしながら、この例の場合は、ガラス板８Ａ，８Ｂによって密閉されたパネルの内部に、ピル型ゲッタ部材１３を設けているので、プラズマディスプレイパネルの製作後に、パネル内部で不純物ガスを吸着して放電ガスの純度を向上させることができる。
そこで、製作後の放電ガスの純度向上によって、放電ガスの純度が許容範囲内になることを見極めた上で、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を適用することによって、簡易化してコストを低減した放電ガス純化装置を用いて、プラズマディスプレイパネルを量産することが可能となる。
【００７６】
なお、この例のプラズマディスプレイパネルにおいて、テープゲッタを使用することは適当ではない。なぜならば、テープゲッタは不純物ガスの吸着量が少ないため、大量に使用しなければならないが、そのためには、ある程度厚みを持たせるとともに、広い面積のものとする必要があり、そのため、パネル内部にテープゲッタを収容するための、テープゲッタの厚み相当の深さを持つ大きな溝を作らなければならず、これはプラズマディスプレイパネルの構造上、困難なためである。
【００７７】
このように、この例のプラズマディスプレイパネルでは、パネル内部にピル型ゲッタ部材１３を配置したので、低純度の放電ガスを繰り返し使用して、プラズマディスプレイパネルを製造しても、製作後に放電ガスの純度を許容範囲内に達するまで向上させることができるので、簡易な放電ガス純化装置を用いてプラズマディスプレイパネルを量産することができ、コスト低減に寄与することができる。
【実施例５】
【００７８】
図８は、本発明の第５実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｂ）は上面図である。
この例のプラズマディスプレイパネルは、図８に示すように、放電ガス２と、ガラス板８Ａ，８Ｂと、シール部９と、ピル状ゲッタ部材１３とを備えている。
【００７９】
この例のプラズマディスプレイパネルは、ガラス板８Ａに貫通孔７を有せず、金属プレート３及びシール部４を備えない点以外は、図７に示された第４実施例のプラズマディスプレイパネルと同様である。なお、ピル状ゲッタ部材１３は、少なくとも１個必要であるが、パネル中心に対して対称に２個以上設けることが望ましい。
【００８０】
以下、図８を参照して、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を説明する。
最初、前面基板と背面基板となる２枚のガラス板８Ａ，８Ｂを対向して配置して、仮組み立てを行う。この際、ガラス板８Ａ，８Ｂのいずれか一方の外周部に貼り合わせ用シールフリットを予め塗布し、貫通孔７の部分に対応する対極側ガラス板８Ｂの面に、ピル状ゲッタ部材１３を予め配置しておく。
仮組み立てを終了した部品を真空封着炉（不図示）に装入して、常温から真空排気を開始するとともに、加熱を行う。排気終了時、２枚のガラス板８Ａ，８Ｂを貼り合わせるためのシールフリットの融点より低い温度に３０分前後保ったのち、真空封着炉内に放電ガスを充填して、２枚のガラス板８Ａ，８Ｂ間に放電ガス２を導入する。放電ガスの導入終了時、真空封着炉の温度を上げて、ガラス板貼り合わせ用シールフリットを溶融して、シール部９を形成してガラス板８Ａ，８Ｂの封着を行って、プラズマディスプレイパネルを完成する。
【００８１】
この場合の排気と放電ガスの導入は、いずれか一方のガラス板の外周部に塗布されたシールフリットの面とこれに接する他方のガラス板との隙間から行われるので、シールフリットの部分からの排気と放電ガスの導入を容易にするために、シールフリットは未軟化状態では、封着すべきガラス板と接する面に、気体の流通路となる凹凸が形成されているようにする。
なお、このような凹凸の形成方法は、第４実施例の場合に説明したのと同様である。
【００８２】
この例の場合も、放電ガス２としては、真空封着炉に充填するため大量に使用するので、回収を繰り返したものを使用する。
しかしながら、この例の場合は、ガラス板８Ａ，８Ｂによって密閉されたパネルの内部に、ピル型ゲッタ部材１３を設けているので、第４実施例の場合と同様に、プラズマディスプレイパネルの製作後に、パネル内部で不純物ガスを吸着して放電ガスの純度を向上させることができ、簡易化してコストを低減した放電ガス純化装置を用いて、プラズマディスプレイパネルを量産することが可能である。
なお、この例の場合も、第４実施例の場合と同様に、テープゲッタを使用することは適当ではない。
【００８３】
このように、この例のプラズマディスプレイパネルでは、パネル内部にピル型ゲッタ部材１３を配置したので、低純度の放電ガスを繰り返し使用して、プラズマディスプレイパネルを製造しても、製作後に放電ガスの純度を許容範囲内に達するまで向上させることができるので、簡易な放電ガス純化装置を用いてプラズマディスプレイパネルを量産することができ、コスト低減に寄与することができるとともに、第４実施例の場合よりも構造が簡単なので、プラズマディスプレイパネルの、より低コスト化を実現することが可能である。
【実施例６】
【００８４】
図９は、本発明の第６実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｂ）は上面図である。
この例のプラズマディスプレイパネルは、図９に示すように、放電ガス２と、金属プレート３と、シール部４Ｂと、貫通孔７と、金属プレート８Ａ，８Ｂと、シール部９と、ピル状ゲッタ部材１３ととを備えている。
【００８５】
この例のプラズマディスプレイパネルは、ピンホールを形成しないとともに、ピンホールを溶封するためのシール部を有しない点は、図７に示された第４実施例のプラズマディスプレイパネルと同様であが、製造方法が異なっている。また、シール部４Ｂを形成するためのシールフリットは、シール部９を形成するためのシールフリットよりも軟化点が高いものを使用する。なお、ピル状ゲッタ部材１３は、少なくとも１個必要であるが、パネル中心に対して対称に２個以上設けることが望ましい。
【００８６】
以下、図９を参照して、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を説明する。なお、図９（ｂ）において、金属プレート３等は省略して示されている。
最初、前面基板と背面基板となる２枚のガラス板８Ａ，８Ｂを対向させて配置し、ガラス板８Ａの貫通孔７の部分の上部に金属プレート３を配置するとともに、ガラス板８Ａ上に、金属プレート３を覆うように、耐熱型の封止フランジ（不図示）を載置し、封止フランジの接続管をガス導入装置に接続して仮組み立てを行う。この際、ガラス板８Ａ，８Ｂのいずれか一方の外周部に貼り合わせ用のシールフリットを予め塗布し、ガラス板８Ａ上の、金属プレートの外周部に対応する位置にガラス板貼り合わせ用シールフリットよりも軟化点が高い別のシールフリットを予め塗布しておくとともに、貫通孔７の部分に対応する対極側ガラス板８Ａの面にピル状ゲッタ部材１３を予め配置しておく。
【００８７】
仮組み立てを終了した部品を真空封着炉（不図示）に装入して、常温から真空排気を開始するとともに、加熱を行う。排気終了時、ガラス板８Ａ，８Ｂを貼り合わせるためのシールフリットの融点より低い温度に３０分前後保ったのち、真空封着炉内の温度を上げてガラス板８Ａ，８Ｂを貼り合わせるためのシールフリットを溶融してシール部９を形成して、ガラス板８Ａ，８Ｂの外周部間を封着する。
次にガス導入装置から接続管を介して封止フランジ内に放電ガスを充填して、貫通孔７からパネル内部に放電ガスを導入する。放電ガスの充填終了時、真空封着炉内の温度をさらに上げて、金属プレート３の外周部のシールフリットを溶融してシール部４Ｂを形成して、金属プレート３をガラス板８Ａに封着する。冷却後、封止フランジ内の気圧を上げて封止フランジを取り外し、真空封着炉から取り出すことによって、プラズマディスプレイパネルが完成する。
【００８８】
この場合の排気と放電ガスの導入は、いずれか一方のガラス板の外周部に塗布されたシールフリットの面とこれに接する他方のガラス板との隙間と、ガラス板８Ａ上に塗布されたシールフリットの面と金属プレート３との隙間から行われるので、シールフリットの部分からの排気と放電ガスの導入を容易にするために、シールフリットは未軟化の状態では、ガラス板又は金属プレートと接する面に、気体の流通路となる凹凸が形成されているようにする。
なお、このような凹凸の形成方法は、第４実施例の場合に説明したのと同様である。
【００８９】
この例の場合は、使用する放電ガスは、封止フランジに充填するだけの量があればよいため、第４実施例及び第５実施例の場合のように大量の放電ガスを必要としないので、小容量の安価な放電ガス純化装置を用いて、プラズマディスプレイパネルを量産することが可能である。
また、この例の場合は、パネル内に封入される放電ガスの純度を上げることが容易なので、ゲッタ部材を小型化することが可能であり、場合によっては、ピル状ゲッタ部材に代えてテープゲッタを使用し、またはゲッタを省略することも可能である。
【００９０】
このようにこの例のプラズマディスプレイパネルでは、パネル内部にピル型ゲッタ部材１３を配置したので、低純度の放電ガスを繰り返し使用して、プラズマディスプレイパネルを製造しても、製作後に放電ガスの純度を許容範囲内に達するまで向上させることができるので、簡易な放電ガス純化装置を用いてプラズマディスプレイパネルを量産することができ、製造設備のコスト低減に寄与することができるとともに、放電ガス導入時、封止フランジを用いるため、放電ガスの使用量が少ないので、比較的純度の高い放電ガスを用いることによって、ゲッタ部材を小型化して、製品のコストダウンを図ることができる。
【実施例７】
【００９１】
図１０は、本発明の第７実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｂ）は上面図である。
この例のプラズマディスプレイパネルは、図１０に示すように、真空密閉パネル１と、放電ガス２と、金属プレート３と、シール部４と、ピンホール６と、貫通孔７と、ガラス管１４とを備えている。
【００９２】
この例のプラズマディスプレイパネルは、金属プレートにピンホールを設けて放電ガスの導入と封止とを行う代わりに、金属プレート３上に、ガラス管１４を取り付けて、この部分で放電ガスの導入と封止とを行うようにした点が、上述の各実施例と異なっている。
【００９３】
以下、図１０を参照して、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を説明する。なお、図１０（ｂ）において、金属プレート３及びガラス管１４等は省略して示されている。
最初、真空密閉パネル１の製造方法について説明する。背面基板と前面基板を形成すべき２枚のガラス板８Ａ，８Ｂの、電極や隔壁等の表示のための構造部分が形成された側を対向させて重ね合わせて配置し、さらに、ガラス板８Ａに設けられた貫通孔７を塞ぐように金属プレート３を配置するとともに、金属プレート３上に、貫通孔７の中心軸とその軸を合わせるように垂直にガラス管１４を配置したものに対して、任意の方法で、２枚のガラス板８Ａ，８Ｂ間の空間を真空状態に排気するとともに、それぞれ予め配置されているシールフリットを用いて、ガラス板８Ａ，８Ｂの外周部間を封着し、金属プレート３の外周部とガラス板８Ａ間を封着するとともに、ガラス管１４の基部を金属プレート３に封着して真空密閉パネル１を形成する。
【００９４】
次に、ガラス管１４を排気・ガス導入装置に接続して、まず、ガラス管１４内を排気する。このとき、真空密閉パネル１の金属プレート３が配置されていない側のガラス板８Ｂの外部から、ガラス板８Ａ，８Ｂを透して、肉眼で金属プレート３を確認することができるので、狭ビームのレーザ光を用いて、ガラス板８Ｂの外側から貫通孔７を経て金属プレート３にピンホール６を形成する。ピンホール６が形成されたら、排気・ガス導入装置からガラス管１４を経て真空密閉パネル１内に放電ガス２を導入して、所定の圧力に達したとき、ハンドバーナ等を使用して、ガラス管１４の側面を加熱してチップオフすることによって、プラズマディスプレイパネルが完成する。
【００９５】
ガラス管１４をチップオフする際には、ガラス管１４から大量の不純物ガスが発生するが、金属プレート３に設けられたピンホール６は半径が０．１〜０．２ｍｍであって極めて小さいため、たとえ不純物ガスがパネル内に流入しても、放電ガス２によって十分に希釈されるので、貫通孔７の近傍の放電セルにおける、局所的放電異常の発生は少ない。
【００９６】
このように、この例のプラズマディスプレイパネルでは、真空密閉パネルの一方のガラス板に設けられた貫通孔を封止する金属プレートにガラス管１４を接続し、ガラス管１４から金属プレートに設けられたピンホールを経て、パネル内に放電ガスを導入するようにしたので、ガラス管１４をチップオフする際に発生する不純物ガスの影響を少なくすることができ、不純物ガスに基づくプラズマディスプレイパネルの性能低下を防止することができる。
【００９７】
なお、真空密閉パネル１の表示面となるべきガラス板８Ｂの外側からレーザ光を照射してピンホールを形成する際には、表示面を形成するガラス板における損傷の発生について考慮する必要があるので、以下、この点について検討する。
プラズマディスプレイパネルのガラス基板は、表示素子としての光吸収損失が十分小さいものが使用されているが、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法のように、レーザ光によって高出力密度のエネルギーを投入する場合には、クラックの発生等に注意しなければならない。ガラスの熱伝導速度と比較して極めて速い、ｍｓオーダーの瞬間加熱を行った場合、断熱効果によって瞬時に溶融と冷却が行われて、激しい歪みを発生するものと考えられる。そこで、レーザ光の照射によって溶融しないことが、この例の製造方法の制限事項となる。
【００９８】
以下、この場合に使用可能な、レーザ光のパルス出力について簡単に見積もりを行う。  いま、ガラス基板の熱伝導度＝０．６５ｋcal ／ｍ・ｈ・℃（０℃）として
１Ｊのパルスエネルギーの基板吸収熱量＝（投入エネルギー）・（基板吸収率）
＝１Ｊ・０．２０３
＝４．８４×１０-2cal             …（１）
ガラスの比熱γ＝０．１８cal ／ｇ・℃としたとき
レーザ光が通る微小エリアの１℃あたりの熱量ｑ／℃は
ｑ／℃＝（比熱）×（体積）×（比重）
＝（０．１８cal ／ｇ・℃）×（９．７９２×１０-5cc）×（２．５０ｇ／cc）
＝３．９６×１０-5cal ／℃                                      …（２）
１Ｊのパルスエネルギーの基板吸収による微小エリアの温度上昇ΔＴは
ΔＴ＝（吸収熱量）／（１℃あたりの熱量）
＝（４．８４×１０-2cal ）／（３．９６×１０-5cal ／℃）
＝１２２２℃                                                        …（３）
【００９９】
ガラス基板の軟化点Ｍｐ＝７４０℃から、基板は瞬時に軟化点を超えるため、瞬間的に溶融し、固体化すると予測される。
この場合、軟化点以内に温度上昇を抑えるためには、パワー密度を０．５８Ｊ／パルス（ビーム半径ω＝０．１mm）に抑える必要がある。又は、基板内でのビーム半径を０．１７mmに拡大すれば、瞬時の温度上昇ΔＴは基板軟化点７４０℃を超えることはない。
これを一般化すれば、レーザ光の波長１．０６μm のとき、基板内のビーム半径ω（mm）とパルス出力Ｐとの間には、
Ｐ＜５８／（ω2 ）（Ｊ／パルス）                                    …（４）
の制限が存在することが予測できる。
いま、ω＝０．１mmとすると、Ｐ＜０．５８Ｊとなる。この例の場合、目的とするピンホール６は、ω＝０．１〜０．２mmを設計値としているので、パルス出力は１Ｊもあれば十分である。
【０１００】
ガラスの光損失は可視域の方が少ないが、現状で知られている、可視域で集光性がよくて１Ｊ前後のパルス出力が得られる光源としては、非線形光学素子を用いた１．０６μm ／２＝０．５３μm （緑域）のものがあるが、基本波（１．０６μm ）に比べて、非線形光学素子のばらつき（位相整合温度依存性，位相整合角依存性，基本波モード依存性，基本波偏光依存性，基本波パワー密度依存性，吸湿性による非線形光学素子結晶劣化）があり、出力の安定度が劣るので、レーザ光の波長は、１．０６±０．１μm を選択することが望ましい。
【０１０１】
ピンホール６の設計値の下限は、レーザ光のモードに関係する。シングルモードを選択すれば、穴径の精度は上がるが、パルス出力が１Ｊのシングルモードのレーザを選択しようとすると、高価な半導体レーザ励起固体レーザを選択しなければならず、安価なランプ励起固体レーザを使用することはできない。しかしながら、マルチモードのレーザを選択すれば、安価なランプ励起固体レーザを使用することができる。この場合は加工精度から、ビーム半径ωの下限は０．１mmとなるが、この例の場合、これで十分、目的を達成することができる。
【０１０２】
また、穴径の上限は、
(1) 平均出力２０Ｗ機（標準機）での対応が、ω＝０．２mmで限界であること
(2) 特殊仕様で平均出力を上げれば穴径を大きくできるが、穴径が大き過ぎると穴を開けた際に、金属がスパッタされて放電セル内の異物として問題になり得ること
等の問題から、穴径の上限はω＝０．２ｍｍとすることが好適である。
【実施例８】
【０１０３】
図１１は、本発明の第８実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｂ）は上面図である。
この例のプラズマディスプレイパネルは、図１１に示すように、真空密閉パネル１と、放電ガス２と、金属プレート３と、シール部４と、ピンホール６と、貫通孔７と、テープゲッタ１２と、ガラス管１４とを備えている。
【０１０４】
この例のプラズマディスプレイパネルは、ガラス管１４の内部にテープゲッタ１２が配置されている以外は、図１０に示された第７実施例の場合と同様である。
【０１０５】
以下、図１１を参照して、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を説明する。なお、図１１（ｂ）において、金属プレート３及びガラス管１４等は省略して示されている。
最初、第７実施例の場合と同様にして、背面基板と前面基板を形成すべき２枚のガラス板８Ａ，８Ｂの、電極や隔壁等の表示のための構造部分が形成された側を対向させて重ね合わせて封着し、さらに、ガラス板８Ａに設けられた貫通孔７を塞ぐように金属プレート３を封着し、金属プレート３上に、貫通孔７の中心軸とその軸を合わせるように垂直にガラス管１４を封着した真空密閉パネル１を形成する。
【０１０６】
次に、ガラス管１４内にテープゲッタ１２を配置したのち、実施例７の場合と同様に、ガラス管１４を排気・ガス導入装置に接続して、ガラス排気管１４内を排気し、真空密閉パネル１のガラス板８Ｂの外側から狭ビームのレーザ光を用いて、貫通孔７を経て金属プレート３にピンホール６を形成し、排気・ガス導入装置からピンホール６を経て真空密閉パネル１内に放電ガス２を導入して、所定の圧力に達したとき、ガラス管１４をチップオフすることによって、プラズマディスプレイパネルが完成する。
【０１０７】
ガラス管１４をチップオフする際には、ガラス管１４から大量の不純物ガスが発生するが、金属プレート３に設けられたピンホール６は非常に小さいため、たとえ不純物ガスがパネル内に流入しても、放電ガス２によって十分に希釈されるだけでなく、ガラス管１４内には、テープゲッタ１２が配置されているので、パネル内における、不純物ガスの量をより少なくすることができる。
【０１０８】
このように、この例のプラズマディスプレイパネルでは、ガラス管１４の内部にテープゲッタ１２を配置して、ガラス排気管１４をチップオフする際に発生する不純物ガスを吸着するようにしたので、その悪影響を第７実施例の場合よりさらに低減することができ、プラズマディスプレイパネルの表示特性の悪化を確実に防止することができる。
【実施例９】
【０１０９】
図１２は、本発明の第９実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）はＸ−Ｘ’断面図、（ｂ）は上面図である。
この例のプラズマディスプレイパネルは、図１２に示すように、放電ガス２と、シール部４と、ピンホール６と、貫通孔７と、テープゲッタ１２と、ガラス管１４と、封着パネル１５とを備えている。
【０１１０】
この例のプラズマディスプレイパネルは、図１１に示された第８実施例の場合と比較して、金属プレート３が省略されている以外は同様であるが、製造工程が異なっている。
【０１１１】
以下、図１２を参照して、この例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を説明する。なお、図１２（ｂ）において、ガラス管１４等は省略して示されている。
最初、背面基板と前面基板を形成すべきガラス板８Ａ，８Ｂの一方の外周にシールフリットを塗布し、ガラス板８Ａ，８Ｂを対向して配置するとともに、ガラス板８Ａに設けられた貫通孔７の中心軸とその軸を合わせるように、垂直にガラス管１４を配置する。さらに、ガラス管１４の基部を囲むようにその外部にシールフリットを配置した後、この状態で封着炉内に装入し加熱して、ガラス板８Ａ，８Ｂ間のシールフリットを溶解して、シール部９を形成してガラス板８Ａ，８Ｂ間を封着するとともに、ガラス管１４の周辺のシールフリットを溶解して、シール部４を形成してガラス管１４をガラス板８Ａに封着して、封着パネル１５を形成する。
【０１１２】
次に、ガラス管１４内に、テープゲッタ１２を挿入する。その後、ガラス管１４を排気・ガス導入装置に接続し、封着パネル１５をベーキングしながらガラス管１４を経て排気して封着パネル１５内部を真空にしたのち、ガラス管１４を経て封着パネル１５内に放電ガス２を導入する。放電ガス２が所定の圧力に達したとき、ハンドバーナ等を使用して、ガラス管１４の側面を加熱してチップオフすることによって、プラズマディスプレイパネルが完成する。
【０１１３】
このように、この例のプラズマディスプレイパネルでは、第１実施例から第４実施例、及び第６実施例から第８実施例の場合に示された金属プレート３を使用せずに、ガラス管１４を接続し、封着パネルを形成してから、ガラス管１４を介して排気するので、真空封着炉によって真空封着を行う際のシール材からの不純物ガスの発生を考慮する必要がないとともに、ガラス管１４をチップオフする際に発生する不純物ガスは、テープゲッタ１２によって吸着して除去することができるので、不純物ガスに基づく悪影響を排除することができる。また、このような不純物ガス除去効果の程度に応じて、ガラス管１４を短縮することができる。
【実施例１０】
【０１１４】
図１３は、本発明の第１０実施例である、プラズマ表示装置の概略の構成を示すブロック図である。
この例のプラズマ表示装置３０は、図１３に示すように、アナログインタフェース４０と、プラズマディスプレイパネルモジュール５０とから概略構成されている。プラズマディスプレイパネルモジュール５０は、プラズマディスプレイパネル７０を含んでいる。
【０１１５】
アナログインタフェース４０は、クロマ・デコーダを備えたＹ／Ｃ分離回路４１と、アナログディジタル（Ａ／Ｄ）変換回路４２と、ＰＬＬ回路を備えた同期信号制御回路４３と、画像フォーマット変換回路４４と、逆γ（ガンマ）変換回路４５と、システム・コントロール回路４６と、ＰＬＥ制御回路４７とから構成されている。
アナログインタフェース４０は、概略的には、受信したアナログ映像信号をディジタル信号に変換したのち、これをプラズマディスプレイパネルモジュール５０に供給する機能を有している。
【０１１６】
入力アナログ映像信号は、Ｙ／Ｃ分離回路４１において、ＲＧＢの各色の輝度信号に分解されたのち、Ａ／Ｄ変換回路４２においてディジタル信号に変換される。
その後、プラズマディスプレイパネルモジュール５０の画素構成と映像信号の画素構成とが異なる場合には、画像フォーマット変換回路４４において、必要な画像フォーマットの変換の処理が行われる。
【０１１７】
プラズマディスプレイパネルにおける、入力信号に対する表示輝度の特性は線型特性を有しているが、通常の映像信号はＣＲＴ（陰極線管）の特性に合わせて、予め補正（γ変換）が施されている。
そこで、Ａ／Ｄ変換回路４２において、映像信号のＡ／Ｄ変換を行ったのち、逆γ変換回路４５において、映像信号に対して逆γ変換を施して、線形特性に復元されたディジタル映像信号を生成して、ＲＧＢ映像信号としてプラズマディスプレイパネルモジュール５０に出力する。
【０１１８】
アナログ映像信号には、Ａ／Ｄ変換用のサンプリングクロック信号およびデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路４３に内蔵されているＰＬＬ回路が、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック信号およびデータクロック信号を生成して、プラズマディスプレイパネルモジュール５０に出力する。
【０１１９】
アナログインタフェース４０のＰＬＥ制御回路４７は、プラズマディスプレイパネルの輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を超える場合には、表示輝度を低下させるように制御する。また、システム・コントロール回路４６は、プラズマディスプレイパネルモジュール５０に対して、各種制御信号を出力する。
【０１２０】
プラズマディスプレイパネルモジュール５０は、さらに、ディジタル信号処理・制御回路５１と、パネル部５２と、ＤＣ／ＤＣコンバータを内蔵するモジュール内電源回路５３とから構成されている。
ディジタル信号処理・制御回路５１は、入力インタフェース信号処理回路５４と、フレームメモリ５５と、メモリ制御回路５６と、ドライバ制御回路５７とを含んでいる。
【０１２１】
例えば、入力インタフェース信号処理回路５４に入力された映像信号の平均輝度レベルは、入力インタフェース信号処理回路５４内の入力信号平均輝度レベル演算回路（不図示）によって計算されて、例えば５ビットデータとして出力される。
また、ＰＬＥ制御回路４７は、平均輝度レベルに応じてＰＬＥ制御データを設定して、入力インタフェース信号処理回路５４内の輝度レベル制御回路（不図示）に供給する。
【０１２２】
ディジタル信号処理・制御回路５１では、入力インタフェース信号処理回路５４において、これらの各種信号の処理を行ったのち、各種制御信号をパネル部５２に送信する。これと同時に、メモリ制御回路５６はメモリ制御信号を、ドライバ制御回路５７はドライバ制御信号を、それぞれパネル部５２に送出する。
【０１２３】
パネル部５２は、前述した各実施例のプラズマディスプレイパネルの製造方法によって製作されたプラズマディスプレイパネル７０と、プラズマディスプレイパネル７０の走査電極を駆動する走査ドライバ５８と、プラズマディスプレイパネル７０のデータ電極を駆動するデータドライバ５９と、プラズマディスプレイパネル７０および走査ドライバ５８にパルス電圧を供給する高圧パルス回路６０と、高圧パルス回路６０からの余剰電力を回収する電力回収回路６１とから構成されている。
【０１２４】
プラズマディスプレイパネル７０は、例えば１３６５個×７６８個に配列された画素を有するものとして構成されている。プラズマディスプレイパネル７０においては、走査ドライバ５８が走査電極を制御し、データドライバ５９がデータ電極を制御することによって、複数の画素のうちの所定の画素の点灯または非点灯が制御されて、所望の画像表示が行われる。
なお、ロジック用電源（不図示）が、ディジタル信号処理・制御回路５１およびパネル部５２にロジック用電力を供給している。さらに、モジュール内電源回路５３は、表示用電源から直流電力を供給されて、その電圧を所定の電圧に変換したのち、パネル部５２に供給する。
【０１２５】
次に、図１３に示されたプラズマ表示装置の製造方法を概略的に説明する。
まず、前述のプラズマディスプレイパネルの製造方法によって製作したプラズマディスプレイパネル７０と、走査ドライバ５８と、データドライバ５９と、高圧パルス回路６０と、電力回収回路６１とを基板上に配置して、パネル部５２を作成する。さらに、パネル部５２とは別個に、ディジタル信号処理・制御回路５１を作成する。
【０１２６】
このようにして作成されたパネル部５２およびディジタル信号処理・制御回路５１とモジュール内電源回路５３とを、一つのモジュールとして組み立てて、プラズマディスプレイパネルモジュール５０を作成する。
さらに、プラズマディスプレイパネルモジュール５０とは別個に、アナログインタフェース４０を作成する。
【０１２７】
このようにして、アナログインタフェース４０と、プラズマディスプレイパネルモジュール５０とをそれぞれ別個に作成したのち、双方を電気的に接続することによって、図１３に示されたようなプラズマ表示装置３０が完成する。
【０１２８】
このように、プラズマディスプレイパネル７０をモジュール化することによって、プラズマ表示装置３０を形成する他の構成部品とは、それぞれ別個独立に製作することが可能になる。
従って、例えば、プラズマ表示装置３０において、プラズマディスプレイパネル７０が故障した場合には、プラズマディスプレイパネルモジュール５０ごと、交換することによって、補修の簡素化および補修期間の短縮を図ることができる。
【０１２９】
以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られたものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば、第１〜第３実施例および第７，第８実施例において、真空密閉パネル１を形成する際の排気を、第４〜第６実施例の場合と同様に、２枚のガラス板の外周部間又は金属プレートとガラス板間又はガラス管と金属プレート間等に配置されたシールフリットの面と、それが接するガラス板又は金属プレートとの隙間から行うようにしてもよく、この場合は、排気を容易に容易にするために、シールフリットは未軟化状態では、封着すべきガラス板又は金属プレートと接する面に、気体の流通路となる凹凸が形成されているようにする。なお、このような凹凸の形成方法は、第４実施例の場合に説明したのと同様である。また、各実施例において、第１のガラス板８Ａと第２のガラス板８Ｂとは、いずれが前面基板となり背面基板となるものであってもよいが、通常は、プラズマディスプレイパネルを極力薄型にするために突起物を背面側にすることが望ましいので、第１のガラス板８Ａと第２のガラス板８Ｂが、それぞれ背面基板と前面基板に対応するようにすることが好適であり、この場合は、貫通孔７は、第１のガラス板８Ａに設けられるが、必ずしもこれに限るものでなく、逆の関係であってもよい。
また、実施例１〜３，６の場合に、封止フランジとして、半導体製造工程において、半導体ウェハの吸着等に用いられている静電チャックを利用することも可能である。静電チャックは、その内部に設けた金属電極に交流電圧を印加して、被吸着物と静電チャック表面に正・負の電荷を発生させ、この間に働く静電引力（ジャンセン・ラーベック力）によって被吸着物を固定するものである。静電チャックの吸引力を上げるため、ガラス基板外面に導電性薄膜を設けてもよい。静電チャックには、静電チャック内部の電極と被吸着物とに電位差を与えて使用する単極型と、静電チャック内部の２つ以上の電極に電位差を与えて使用する双極型とがあるが、いずれの型であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１３０】
この発明の製造方法によるプラズマディスプレイパネルは、テレビジョン装置の表示器用として好適なものであるが、これに限るものではなく、他の用途の各種表示装置、特に大型の直視型ディスプレイ用としても好適なものである。
【図面の簡単な説明】
【０１３１】
【図１】本発明の第１実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。
【図２】同実施例のプラズマディスプレイパネルの製造方法の概略を示す図である。
【図３】同実施例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を示す第１の部分拡大図である。
【図４】同実施例のプラズマディスプレイパネルの製造方法を示す第２の部分拡大図である。
【図５】本発明の第２実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。
【図６】本発明の第３実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図である。
【図７】本発明の第４実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。
【図８】本発明の第５実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。
【図９】本発明の第６実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。
【図１０】本発明の第７実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。
【図１１】本発明の第８実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。
【図１２】本発明の第９実施例である、プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図であって、（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。
【図１３】本発明の第１０実施例である、プラズマ表示装置の概略の構成を示すブロック図である。
【図１４】プラズマディスプレイパネルの概略の構成を示す図である。
【図１５】金属排気管を使用した従来のプラズマディスプレイパネルの構成を示す図である。
【符号の説明】
【０１３２】
１    真空密閉パネル
２    放電ガス
３    金属プレート
４，４Ｂ    シール部
５    シール部
６    ピンホール
７    貫通孔
８Ａ    ガラス板
８Ｂ    ガラス板
９    シール部
１０    レーザ光
１１    レーザ光
１２    テープゲッタ
１３    ピル状ゲッタ部材
１４    ガラス管
１５    封着パネル
【図１】
2005116299.tif 000003
【図２】
2005116299.tif 000004
【図３】
2005116299.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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