(57)【要約】【課題】半田厚み不良を発生させることなく太陽電池素子の電極表面に均一に半田層を形成することができる太陽電池素子の製造装置を提供する。【解決手段】表面に電極が形成された複数の太陽電池素子をウェハーキャリアに収容し、このウェハーキャリアを半田融液を保持した溶融半田槽に浸漬して前記電極の表面に半田層を形成する太陽電池素子の製造装置であって、前記半田融液を前記溶融半田槽の内部で強制的に対流させる対流手段と、一つ以上の孔を有する板状の整流板とを具備し、前記整流板は前記溶融半田槽に浸漬された前記ウェハーキャリアの下方に、この溶融半田槽の底部との間に間隙を有するように配設され、前記対流手段は前記間隙に向けて半田融液を対流させるように配置してなる。【選択図】図１
2005136110.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に電極が形成された複数の太陽電池素子をウェハーキャリアに収容し、このウェハーキャリアを半田融液を保持した溶融半田槽に浸漬して前記電極の表面に半田層を形成する太陽電池素子の製造装置であって、前記半田融液を前記溶融半田槽の内部で強制的に対流させる対流手段と、一つ以上の孔を有する板状の整流板とを具備し、前記整流板は前記溶融半田槽に浸漬された前記ウェハーキャリアの下方に、この溶融半田槽の底部との間に間隙を有するように配設され、前記対流手段は前記間隙に向けて半田融液を対流させるように配置してなる太陽電池素子の製造装置。
【請求項２】
前記整流板は、前記溶融半田槽を上下に二分割してなる請求項１に記載の太陽電池素子の製造装置。
【請求項３】
前記対流手段は、前記間隙の側方に配置されるとともに、前記整流板には複数の孔が形成され、前記対流手段によって対流させた前記半田融液の上流側から下流側に向かうに連れて、これらの孔による単位面積当たりの開口率を次第に減少させてなる請求項１または２に記載の太陽電池素子の製造装置。
【請求項４】
前記整流板は、前記対流手段によって対流させた前記半田融液の上流側から下流側に向かうにつれて、その下面が前記溶融半田槽の底面に近付くようにしてなる請求項３に記載の太陽電池素子の製造装置。
【請求項５】
前記整流板は、その上面を略水平としてなる請求項１から４のいずれかに記載の太陽電池素子の製造装置。
【請求項６】
前記溶融半田槽の外側に設けられ、その内部にこの溶融半田槽を収めてなる外側溶融半田槽と、これらの溶融半田槽間で半田融液が移動可能な連通部と、を備え、前記対流手段は、前記外側溶融半田槽から前記溶融半田槽へ向けて半田融液を対流させるべく前記連通部に備えられるとともに、前記外側溶融半田槽には、半田溶融用のヒータが備えられてなる請求項１から５のいずれかに記載の太陽電池素子の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池素子の製造装置に関し、特に太陽電池素子を半田融液に浸漬してその電極の表面に半田層を形成する太陽電池素子の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池素子では長期信頼性を確保するとともに複数の太陽電池素子同士をインナーリードで接続するために、その電極の表面に半田層を形成するのが一般的である。
【０００３】
太陽電池素子の電極表面に半田層を形成する場合、太陽電池素子を半田融液に浸漬することによって電極の表面に半田層を形成する。この場合、電極表面の酸化物を除去して半田と電極の合金を形成しやすくしたり、空気との間に膜を形成することによって太陽電池素子を加熱したときに電極の表面が酸化されるのを防止したり、界面張力を減らして半田の濡れを促進したりするために、電極の表面にはフラックスを塗布する。そのフラックスを活性化させるために、約１００℃で加熱した後に半田融液に浸漬する。
【０００４】
また、複数の太陽電池素子の電極に同時に半田層を形成するためには、複数の太陽電池素子をウェハーキャリアに収容し、このウェハーキャリアごと半田融液の中に浸漬する方法が一般的である（特許文献１参照）。
【０００５】
図８および図９は従来の太陽電池素子の電極表面に半田層を形成する際に使用するウェハーキャリアの構造を示す図である。図８は太陽電池素子を収容したウェハーキャリアを側面からみた図、図９は図８中のＡ−Ａ’間の断面図を示す。図８および図９中の１は太陽電池素子、２はウェハーキャリアを示す。
【０００６】
図８および図９に示すように、ウェハーキャリア２の側壁部２ａに設けた多数のスリットＳ部分に複数の太陽電池素子１を縦方向に挿着して、ウェハーキャリア２をアーム（不図示）で保持して半田融液の中に浸漬して引き上げることによって太陽電池素子１の電極表面（不図示）に半田層（不図示）を形成する。
【特許文献１】特開２００２−３１９６１６号公報参照
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載された方法によれば、複数枚の太陽電池素子１を一度に半田融液に浸漬させるため、半田融液の温度が低下し半田の粘度が高くなる。このような状態で太陽電池素子１を半田融液から引き出すと、電極上に形成された半田上にボール状のもの（半田玉）が生ずる。この半田玉は後工程での歩留まり低下を招くため、半田層形成後に半田ごてなどにより修正作業が必要となる。
【０００８】
また、半田融液の液温の違いにより太陽電池素子１の電極に形成される半田層に局部的に厚い部分が発生したり、半田が電極間でブリッジするという問題が発生し、後工程での割れや外観不良を引き起こす原因になるという問題があった。
【０００９】
このような半田玉を発生させないようにするには、下がった温度が回復するまで太陽電池素子１を半田融液に浸漬させたままにしておくことが必要であるが、半田の熱伝導率は小さいため浸漬させたままの放置では回復までに時間がかかり、太陽電池素子１の電極材料が半田の中に溶け込むいわゆる半田食われが発生し、電極強度の低下を招くという問題が発生する。
【００１０】
この問題を回避するため、太陽電池素子１を半田融液に浸漬する前に、フラックスを乾燥する温度を高くして太陽電池素子１とウェハーキャリア２を半田融液の温度以上に加熱しておくことが考えられる。この方法では、太陽電池素子１とウェハーキャリア２を半田融液に浸漬しても半田融液の温度が下がることはない。しかし、このようにするとフラックスの活性が失われて半田の濡れ性が低下し、半田が被着しないという問題を生じることがある。
【００１１】
本発明はこのような従来の問題に鑑みてなされたものであり、半田厚み不良を発生させることなく太陽電池素子の電極表面に均一に半田層を形成することができる太陽電池素子の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１にかかる太陽電池素子の製造装置は、表面に電極が形成された複数の太陽電池素子をウェハーキャリアに収容し、このウェハーキャリアを半田融液を保持した溶融半田槽に浸漬して前記電極の表面に半田層を形成する太陽電池素子の製造装置であって、前記半田融液を前記溶融半田槽の内部で強制的に対流させる対流手段と、一つ以上の孔を有する板状の整流板とを具備し、前記整流板は前記溶融半田槽に浸漬された前記ウェハーキャリアの下方に、この溶融半田槽の底部との間に間隙を有するように配設され、前記対流手段は前記間隙に向けて半田融液を対流させるように配置してなる。
【００１３】
このような構成にしたので、対流手段によって強制的に対流させられた半田融液が、整流板の孔を抜けるときに、より均一な対流となってウェハーキャリアの方向に向けて流れるので、ウェハーキャリアを浸漬することによって半田融液の温度が下がり温度分布にばらつきが出ていた太陽電池素子の電極近傍における半田融液の温度分布が均一となる。
【００１４】
本発明の請求項２にかかる太陽電池素子の製造装置は、請求項１に記載の太陽電池素子の製造装置において、前記整流板は、前記溶融半田槽を上下に二分割してなるようにしたので、対流手段によって強制的に対流された半田融液のうち、ウェハーキャリアに到達する分は全て、この整流板に設けられた孔を通過したものとなる。したがって、ウェハーキャリアに到達する半田融液の均一性がより一層向上する。
【００１５】
本発明の請求項３にかかる太陽電池素子の製造装置は、請求項１または２に記載の太陽電池素子の製造装置において、前記対流手段は、前記間隙の側方に配置されるとともに、前記整流板には複数の孔が形成され、前記対流手段によって対流させた前記半田融液の上流側から下流側に向かうに連れて、これらの孔による単位面積当たりの開口率を次第に減少させてなる。
【００１６】
対流手段によって強制的に対流させられた半田融液には圧力がかかっているので、整流板の孔から上部に抜ける。このとき半田融液は上方向に向かう速度成分と下流方向へ向かう速度成分の二つを有し、下流側に向かって斜め上方向に流れるので、下流側に向けて半田融液の対流が収束し、均一性が損なわれる傾向がある。ここで本発明の請求項３の構成によれば、整流板に設けられた孔の開口率が上流から下流にかけて減少しているので、開口率を全面で均一にした場合と比べると、整流板の上流側から流入する半田融液の量が多く、下流側から流入する半田融液の量が少なくなる。この結果、整流板の上方において下流側に向けて半田融液の対流が収束したとしても、整流板の下流側から流入する半田融液の量は少ないので、整流板の上方において、半田融液の対流の均一性が損なわれる影響を抑えることができる。
【００１７】
本発明の請求項４にかかる太陽電池素子の製造装置は、請求項３に記載の太陽電池素子の製造装置において、前記整流板は、前記対流手段によって対流させた前記半田融液の上流側から下流側に向かうにつれて、その下面が前記溶融半田槽の底面に近付くようにしてなる。この構成では、整流板は半田融液の対流方向に対して、斜めに配置されていることとなる。したがって、水平方向に対流するように導入された半田融液は、整流板の下面に当たり、その一部は孔を抜けて上方に導出され、下方から上方に向かう流れを作る。残りの半田融液はさらに下流方向に流れながら、再度、整流板に設けられた孔を抜けて上方に導出される。このように半田融液の上流側から下流側に向かうに連れて、整流板の下面が溶融半田槽の底面に近付き、このような繰り返しが整流板の下面において次々と発生し、半田融液は下方から上方へとより均一な対流となる。
【００１８】
また、半田融液は整流板に設けられた孔の壁面に衝突して向きを変えるので、下流方向へ向かう速度成分が少なくなる。その結果、孔を抜けた半田融液は、上方へ向かう速度成分が主体的となるので、下流側に向いた半田融液の対流の収束が少なくなり、整流板の上方における半田融液の対流の均一性が向上する。
【００１９】
さらに、半田融液の上流側から下流側に向かうに連れて、整流板の下面が溶融半田槽の底面に近付いているので、半田融液の圧力は高くなる。ここで、整流板に設けられた孔の開口率が上流から下流にかけて減少しているので、上流では圧力が低いが開口率が大きい、下流では開口率が低いが圧力が高い、という相補的な作用効果が得られ、整流板の上流から下流まで半田融液の抜けが均一となる。その結果、整流板の上方において、より均一な半田融液の対流が得られる。
【００２０】
本発明の請求項５にかかる太陽電池素子の製造装置は、請求項１から４のいずれかに記載の太陽電池素子の製造装置において、前記整流板は、その上面を略水平としてなるようにしたので、この整流板の上に、ウェハーキャリアを載置することが可能となる。
【００２１】
本発明の請求項６にかかる太陽電池素子の製造装置は、請求項１から５のいずれかに記載の太陽電池素子の製造装置において、前記溶融半田槽の外側に設けられ、その内部にこの溶融半田槽を収めてなる外側溶融半田槽と、これらの溶融半田槽間で半田融液が移動可能な連通部と、を備え、前記対流手段は、前記外側溶融半田槽から前記溶融半田槽へ向けて半田融液を対流させるべく前記連通部に備えられるとともに、前記外側溶融半田槽には、半田溶融用のヒータが備えられてなるようにしたので、外側溶融半田槽において、ヒータによって高温となった半田融液を対流手段によって前記溶融半田槽に供給するので、ウェハーキャリアの浸漬によって、下がった半田融液の温度を速やかに回復することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の請求項１にかかる太陽電池素子の製造装置によれば、対流手段によって強制的に対流させられた半田融液が、整流板の孔を抜けるときに、より均一な対流となってウェハーキャリアの方向に向けて流れるので、ウェハーキャリアを浸漬することによって半田融液の温度が下がり、温度分布にばらつきが出ていた太陽電池素子の電極近傍における半田融液の温度分布が均一となる。その結果、太陽電池素子の電極に形成される半田の厚みが均一となる。
【００２３】
本発明の請求項２にかかる太陽電池素子の製造装置によれば、対流手段によって強制的に対流された半田融液のうち、ウェハーキャリアに到達する分は全て、この整流板に設けられた孔を通過したものとなる。したがって、ウェハーキャリアに到達する半田融液の均一性がより一層向上する。その結果、太陽電池素子の電極に形成される半田の厚みがより均一となる。
【００２４】
本発明の請求項３にかかる太陽電池素子の製造装置によれば、半田融液の対流の均一性が損なわれる影響を抑え、半田融液はウェハーキャリア近傍において、より均一な流束を得ることができるので、半田融液の温度分布がより均一となり、電極の半田厚みの均一性がさらに向上する。
【００２５】
本発明の請求項４にかかる太陽電池素子の製造装置によれば、半田融液は下方から上方へとより均一な対流となるので、ウェハーキャリア近傍において、温度分布がより均一となり、電極の半田厚みの均一性がさらに向上する。
【００２６】
本発明の請求項５にかかる太陽電池素子の製造装置によれば、整流板の上に、ウェハーキャリアを載置することが可能となるので、安定して確実に本発明の効果を奏しつつ、太陽電池素子の電極に半田を形成することができる。また、ウェハーキャリア内部に収容した太陽電池素子１が割れるなどのダメージを受けることも少なくなる。
【００２７】
本発明の請求項６にかかる太陽電池素子の製造装置によれば、外側溶融半田槽において、ヒータによって高温となった半田融液を対流手段によって前記溶融半田槽に供給するので、ウェハーキャリアの浸漬によって、下がった半田融液の温度を速やかに回復することができ、太陽電池素子を半田融液に浸漬する時間を短くすることができる。これにより、太陽電池素子の電極材料が半田の中に溶け込んで電極の強度低下を招く半田食われの現象を抑えることができる。
【００２８】
このように本発明によれば、半田融液は、特に整流板の上方において、より均一な流束となり、対流の均一性が高まるので、半田の厚さのムラを防止できる。また、溶融半田槽内の半田融液の温度分布がより均一となるため、半田層形成の仕上がりが向上し、後の修正作業が不要となる。
【００２９】
さらに、半田融液の温度分布が均一となり、半田融液の場所による温度のムラを減少させて効率的にヒータによる加熱を利用できるので、太陽電池素子を半田融液に浸漬する時間を短くすることができる。これにより、太陽電池素子の電極材料が半田の中に溶け込んで電極の強度低下を招く半田食われの現象を抑えることができる。
【００３０】
さらに、半田融液の流れが悪くなりにくいため、半田玉が発生することがなく、後工程での歩留まり低下を招いたり、半田浸漬後に半田ごてなどにより修正作業が必要となったりすることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００３２】
図１は、本発明にかかる太陽電池素子の製造装置の例を示す図であり、（ａ）は、本発明にかかる太陽電池素子の製造装置の構造を示す図、（ｂ）は、（ａ）のＸ−Ｘ方向から見た断面図である。そして、１は太陽電池素子、２はウェハーキャリア、３は押さえバー、４はアーム、５は外側溶融半田槽、６は半田融液、７は内側の溶融半田槽、８は整流板、９は対流手段の一例である羽根車、１０はヒータ、１２は連通部を示す。
【００３３】
図１（ａ）に示すように、外側溶融半田槽５は、その内側に溶融半田槽７が設けられており、いずれの槽にも半田融液６が入っていて、内側の溶融半田槽７から外側溶融半田槽５へ、もしくは外側溶融半田槽５から内側の溶融半田槽７へ、連通部１２を経由して、半田融液６が相互に移動可能となっている。そして、この連通部１２には半田融液６を強制的に対流させるための対流手段である羽根車９が設けられている。この羽根車９を回転させることによって、外側溶融半田槽５内の半田融液６を内側の溶融半田槽７へと導入し、内側の溶融半田槽７の内部で半田融液６の対流を強制的に起こさせる。余剰な半田融液６は、内側の溶融半田槽７の上部からオーバーフローして、外側溶融半田槽５へと循環する仕組みとなっている。また、外側溶融半田槽５には半田を溶融するためのヒータが設けられており、このヒータに通電することで、半田を溶融した状態で保持することができる。
【００３４】
この太陽電池素子の製造装置は、内側の溶融半田槽７に、表面に電極が形成された複数の太陽電池素子が収容されたウェハーキャリア２を内側の溶融半田槽７内の半田融液６に対して、上方より浸漬することによって、これらの電極の表面に半田層を形成する。このウェハーキャリア２はアーム４で保持されるとともに、太陽電池素子１を半田融液６に浸漬したときに、密度差から浮力が生じ、太陽電池素子１がウェハーキャリア２から外れて欠けたりすることを防止するため、押さえバー３が設けられている。
【００３５】
次に本発明の太陽電池素子の製造装置における特徴部分について説明する。本発明の太陽電池素子の製造装置は、溶融半田槽７にウェハーキャリア２を浸漬したとき、その下方に整流板８が溶融半田槽７の底部との間に間隙１１を有するように配設されている。そして、対流手段である羽根車９によって押し出された半田融液６の対流は、この間隙１１に向けて押し出されるような構成となっている。この構成によれば、対流手段である羽根車９によって押し出された半田融液６は圧力を有しているため、整流板８の孔を抜けて、上方へと導出される。このときに、その対流がより均一な分布となってウェハーキャリア２の方向に向けて流れるので、ウェハーキャリア２を浸漬することによって半田融液６の温度が下がり、温度分布にばらつきが出ていた太陽電池素子１の電極近傍における半田融液６の温度分布が均一となる。その結果、太陽電池素子１の電極に形成される半田の厚みが均一となる。
【００３６】
この整流板８は、図１（ａ）に示すように、溶融半田槽７を上下に二分割してなるように配設することが望ましい。このようにすれば、分割された上下の領域において、半田融液６は整流板８に設けられた孔を通してのみ、相互に移動できるようになる。したがって、羽根車９によって強制的に対流された半田融液６のうち、ウェハーキャリア２に到達する分は全て、この整流板８に設けられた孔を通過したものとなる。したがって、ウェハーキャリア２に到達する半田融液６の均一性が向上するので、太陽電池素子１の電極に形成される半田の厚みがより均一となる。
【００３７】
このような整流板８は、図１（ｂ）に示すように、例えばステンレスなどの金属板に多数の孔１４を開けたパンチングメタル状の形状を有するものを使用することができる。また、この整流板８の厚さは０．５ｍｍ〜２００ｍｍの範囲とすることが望ましい。この範囲より小さいときには、整流板８が半田融液６の対流によって、変形したり破損したする恐れがあり、この範囲よりも大きいときには、整流板８が重くなって取り扱いが不便となったり、半田融液６が孔１４を抜けにくくなったりするからである。この整流板８の厚みは５ｍｍ〜２００ｍｍの範囲とすればより望ましい。５ｍｍを超える厚みとすることにより、整流板８を通過する際に半田融液６の速度成分として、上方向に向かう速度成分を主体的にすることが可能になる。
【００３８】
整流板８に設ける孔１４の寸法は、直径１ｍｍ〜５０ｍｍの範囲とすることが望ましい。この範囲よりも小さいときには、半田融液６が孔１４を抜けにくくなり、この範囲よりも大きいときには、半田融液６の流れを均一化する効果に乏しくなるからである。
【００３９】
また、図１（ｂ）に示すように、整流板８に複数の孔１４を形成し、対流手段によって対流させた半田融液６の上流側から下流側に向かうに連れて、これらの孔１４による単位面積当たりの開口率を次第に減少させるようにすることが望ましい。その理由について、図２を用いて説明する。図２では簡単にするため、図１（ａ）において、内側の溶融半田槽７と対流手段である羽根車９の部分を抜き出している。図２（ａ）は整流板８ａに設けた複数の孔による単位面積当たりの開口率を一定とした場合、図２（ｂ）は整流板８ｂに設けた複数の孔による単位面積当たりの開口率を半田融液６の上流側から下流側に向かうに連れて、次第に減少させるようにした場合を示す。なお、参考のため図７に整流板を設けない本発明の範囲外の例を示す。
【００４０】
まず図２（ａ）の場合、羽根車９によって強制的に対流させられた半田融液６には圧力がかかっているので、整流板８ａの孔から上部に抜ける。この上部に抜けた半田融液６は上方向に向かう速度成分と下流方向へ向かう速度成分の二つを有しており、対流ｆ１、対流ｆ２のように下流側に向かって斜め上方向に対流が生ずる。その結果、対流ｆ３のように、溶融半田槽７の下流側に向けて半田融液６の対流が収束し、整流板８ａの上方の領域において、均一性が損なわれる。そして、対流ｆ４、対流ｆ５のように半田融液６の表層部や溶融半田槽７の内壁に沿って逆方向に向かう対流が生ずる恐れがある。このように半田表層では対流手段（羽根車９）の方向に向いた対流ｆ４となり、半田深層では、対流手段（羽根車９）から出て行く方向の対流ｆ１、ｆ２となった場合、ウェハーキャリア２にセットされた太陽電池素子１に対して、半田融液６から力が加わって、上部は羽根車９側に、下部は羽根車９と反対側に倒れようとする力が働く。そして、ウェハーキャリア２に近くなった電極部では半田融液６が滞留して、半田が厚く形成される恐れがある。この半田が厚い部分は後工程での歩留まり低下を招くため、半田後に半田ごてなどにより修正作業が必要となる。また、内側の溶融半田槽内が均一に対流しないため、内側の溶融半田槽内の温度にばらつきが生じ、半田玉などが生じると、半田層の形成仕上がりが悪くなり、半田ごてなどにより修正作業が必要となる場合がある。
【００４１】
これに対して、図２（ｂ）に示す本発明の請求項３の構成によれば、整流板８ｂに設けられた孔の開口率が上流から下流にかけて減少しているので、開口率を全面で均一にした場合と比べると、整流板８ｂの上流側から流入する半田融液６の量を多く、下流側から流入する半田融液６の量を少なくすることができる。この結果、下流側ほど整流板８ｂに設けられた孔から上部に抜ける半田融液６の量が少なくなるので、トータルで見ると、半田融液６の対流はより均一な流束となって、上方へ向かうようになる。この結果、半田融液６はウェハーキャリア２の近傍において、より均一な流束を得ることができ、半田融液６の温度分布がより均一となり、図２（ａ）の時と比べて、ウェハーキャリア２内の太陽電池素子１にかかる力は小さくなるので、太陽電池素子１の電極の半田厚みの均一性が向上する。
【００４２】
なお、図２（ａ）の場合（整流板８ａに設けた複数の孔による単位面積当たりの開口率が一定）は、図２（ｂ）の場合（整流板８ｂに設けた複数の孔による単位面積当たりの開口率を半田融液６の上流側から下流側に向かうに連れて次第に減少させる）より、半田融液６の対流が不均一となっているが、図７に示した整流板８を設けない本発明の範囲外の場合と比較すると、明らかに半田融液６は整流板８の孔を通過することによって、均一性が向上する本発明の効果が得られている。
【００４３】
整流板８の開口率については、図１（ｂ）に示すように孔の存在密度を変えるほか、図３（ａ）に示すように孔の径を変化させてもよく、必要とする開口率を得ることができる。また、存在密度および径の双方を同時に変えてもよく、所望の開口率の整流板８を極めて簡便に得ることができる。さらに、図３（ｂ）に示すようにスリット形状の孔１４ａを設けてもよく、このスリットの幅を変えるだけで簡便に所望の開口率を有する整流板８を得ることができる。なお、このスリット形状の孔１４ａを設ける場合には、その長手方向が半田融液６の対流方向に対して、ほぼ垂直になるようにすることが望ましい。
【００４４】
なお、整流板８の開口率は、単位面積当たり１０％から８０％の範囲で変化させることが望ましい。この範囲より小さいと整流板８から上方へ抜ける半田融液６が少なくなりすぎて、対流が十分に均一とならない。また、この範囲よりも大きいと整流板８を通過する半田融液６が多すぎて、通過前の半田融液６の有していた下流方向に向かう速度成分を十分に減少させることができない恐れがある。より望ましい範囲としては、３０％から６０％である。
【００４５】
図４および図５に、本発明の太陽電池素子の製造装置にかかる整流板の別の実施形態について説明する。
【００４６】
図４は、整流板８の下面を、対流手段によって対流させた前記半田融液の上流側から下流側に向かうにつれて溶融半田槽の底面に近付けた場合を示す図である。この場合、整流板８は半田融液６の対流方向に対して、斜めに配置されている。したがって、水平方向に対流するように導入された半田融液６は、整流板８の下面に当たり、その一部は整流板８に設けられた孔１４を抜けて上方に導出され、下方から上方に向かう流れを作る。残りの半田融液６はさらに下流方向に流れながら、再度、整流板８に設けられた孔１４を抜けて上方に導出される。このように上流側から下流側に向かうに連れて、整流板８の下面が溶融半田槽７の底面に近付き、このような繰り返しが整流板８の下面において次々と発生し、整流板８の孔１４を通過した半田融液６は、より均一な対流となって下方から上方へと向かうようになる。
【００４７】
また、このとき半田融液６は整流板８に設けられた孔１４の壁面に衝突して向きを変えるので、下流方向へ向かう速度成分が少なくなる。その結果、孔１４を抜けた半田融液６は、上方へ向かう速度成分が主体的となるので、下流側に向いた半田融液６の対流の収束が少なくなり、半田融液６の対流の均一性が向上する。
【００４８】
さらに、上流側から下流側に向かうに連れて、整流板８の下面が溶融半田槽７の底面に近付いているので、半田融液６は圧縮を受けその圧力は高くなる。ここで、整流板８に設けられた孔１４の開口率が上流から下流にかけて減少しているので、上流では圧力が低いが開口率が大きい、下流では開口率が低いが圧力が高い、という相補的な作用効果が得られる。この結果、整流板８の孔１４に対し、上流部から下流部まで半田融液６の抜けが均一となる。その結果、半田融液６の温度分布がより均一となり、電極の半田厚みの均一性が向上する。なお、整流板８に設ける孔１４は、鉛直方向に向けて形成しておくことがより望ましい。
【００４９】
また図５は、整流板８の下面を、対流手段によって対流させた半田融液６の上流側から下流側に向かうにつれて溶融半田槽７の底面に近付けた本発明にかかる太陽電池素子の製造装置の他の例を示した図である。このように、整流板８の上面を略水平にしておくことにより、太陽電池素子１を収容したウェハーキャリア２をその上面に載置することが可能となる。このようにすれば、ウェハーキャリア２の位置が確定し、変位しないので、安定して確実に本発明の効果を奏しつつ、ウェハーキャリア２に収納した太陽電池素子１の電極に半田を形成することができる。またウェハーキャリア２が動かないので内部に収容した太陽電池素子１が割れるなどのダメージを受けることがない。
【００５０】
さらに、本発明の太陽電池素子の製造装置では、図１に示したように、外側溶融半田槽５に、半田を溶融するためのヒータ１０を備えるようにすることが望ましい。このようにすれば、外側溶融半田槽５の半田融液６は、内側の溶融半田槽７よりも高温となり、この高温となった半田融液６を羽根車９によって、内側の溶融半田槽７に供給するので、ウェハーキャリア２を浸漬することによって下がった半田融液６の温度を速やかに回復することができる。したがって、太陽電池素子１を半田融液６に浸漬する時間を短くすることができ、太陽電池素子１の電極材料が半田融液６の中に溶け込んで電極の強度低下を招く半田食われの現象を抑えることができる。このヒータ１０としては、半田融液６によるダメージを抑えるため、例えばテフロン（Ｒ）（デュポンの登録商標）などを被覆したヒーターを用いることが望ましい。また、外側溶融半田槽５の内壁の裏側、あるいは外側溶融半田槽５の外側に設けて、半田融液６を間接的に加熱するようにしてもよい。このように半田融液６に直接接触しない箇所にヒータを設ければ、ヒータに対するダメージが少なく、長寿命とすることができる。
【００５１】
なお、本発明の実施形態は上述の例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることはもちろんである。
【００５２】
例えば、上述の説明では、半田融液６を強制的に対流させる対流手段として、羽根車９によって説明したが、これに限るものではなく、羽根車９の代わりに、ポンプなどを用いて半田融液６を対流させても構わない。
【００５３】
さらに、整流板８として、金属板に孔を開けた場合によって説明したが、これに限るものではなく、例えば、ステンレスメッシュなどにメッキなどで目張りをして必要な開口率を有する整流板を得ることもできる。
【００５４】
また、図５において、整流板８の上面を略水平としたときに、ウェハーキャリア２を載置できる点について述べたが、このとき整流板８の上面にウェハーキャリア２と嵌合あるいは係合して固定するための機構を設けてもよい。このようにすれば、さらに確実にウェハーキャリア２を動かないように固定できるので、安定した状態で電極に半田を形成することができ、またウェハーキャリア２が動かないので内部に収容した太陽電池素子１が割れるなどのダメージを受けることがない。
【００５５】
さらに、上述の説明では、外側溶融半田槽５の内部に溶融半田槽７を設けた例によって説明したが、これに限るものではなく、前記溶融半田槽と、この溶融半田槽とは別に第２の溶融半田槽と、これらの溶融半田槽間で半田融液が移動可能な連通部とを備え、前記対流手段は、前記第２の溶融半田槽から前記溶融半田槽へ向けて半田融液を対流させるべく前記連通部に備えられるとともに、前記溶融半田槽から第２の溶融半田槽へと半田融液を循環させる循環手段が備えられてなるようにしても構わない。具体的には、図６に示すように、溶融半田槽１７とは別に第２の溶融半田槽１５と、これらの溶融半田槽間で半田融液６が移動可能な連通部２２とを備え、対流手段の羽根車９は、第２の溶融半田槽１５から溶融半田槽１７へ向けて半田融液６を対流させるために、連通部２２に取り付けられ、溶融半田槽１７から第２の溶融半田槽１５へと半田融液６を循環させて戻してやる循環手段１３が設けられている。このように、２つの溶融半田槽を別々の槽によって構成してやれば、半田融液６の量が多くなり、ウェハーキャリア２を浸漬させても半田融液６の温度が下がりにくい。ただし、この場合、半田融液６の量が多いため、ヒータ２０の容量は大きいものを選定してやることが望ましい。
【００５６】
また、例えばウェハーキャリアの形状はこれに限定されるものではないし、半田の種類はＳｎ−Ｐｂの共晶半田であってもいいし、Ｓｎ−Ａｇ系、Ｓｎ−Ｃｕ系、Ｓｎ−Ｚｎ系、Ｓｎ−Ｓｂ系、Ｓｎ−Ｉｎ系、Ｓｎ−Ｂｉ系などの鉛を含有しないいわゆる鉛フリー半田を使用しても同様の効果を得ることができる。特に、高い融点を有するＢｉ系などの鉛フリー半田は、ウェハーキャリアを浸漬するなどして半田融液の温度が下がると悪影響を被りやすく、本発明の太陽電池素子の製造装置を用いれば、このような悪影響を回避することができるので、好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】（ａ）は、本発明にかかる太陽電池素子の製造装置の一例を示す図であり、（ｂ）は、（ａ）のＸ−Ｘ方向から見た断面図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、本発明の太陽電池素子の製造装置にかかる整流板の作用を示す図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、本発明の太陽電池素子の製造装置にかかる整流板の一実施例であり、図１（ａ）のＸ−Ｘ方向から見た断面図である。
【図４】本発明の太陽電池素子の製造装置の一例を示す図である。
【図５】本発明の太陽電池素子の製造装置の一例を示す図である。
【図６】本発明の太陽電池素子の製造装置の一例を示す図である。
【図７】本発明の範囲外の太陽電池素子の製造装置の例を示す図である。
【図８】太陽電池素子の電極表面に半田層を形成する際に使用するウェハーキャリアの構造を示す図であり、太陽電池素子を収容したときの側面図である。
【図９】図８中のＡ−Ａ’間の断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１：太陽電池素子
２：ウェハーキャリア
２ａ：側壁部
３：押さえバー
４：アーム
４：半田融液
５：外側溶融半田槽
６：半田融液
７：（内側の）溶融半田槽
８、８ａ、８ｂ：整流板
９：羽根車
１０：ヒータ
１１：間隙
１２：連通部
１３：循環手段
１４：孔
１５：第２の溶融半田槽
１７：溶融半田槽
２０：ヒータ
２２：連通部
ｆ１〜ｆ５：対流
Ｓ：スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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