(57)【要約】【課題】  電気回路の電源から発生した電力を、この電源から一定の距離だけ離れた負荷に供給するために設ける伝送線路、特に、磁気ヘッドの電気回路に用いられる差動伝送線路において、高周波伝送損失を低減した伝送線路を提供する。また、この伝送線路を用いた伝送線路一体型磁気ヘッドサスペンションおよび高速データレートを実現する磁気記録再生装置を提供する。【解決手段】  磁気ヘッドの差動伝送線路の金属導体にグルーブおよび（もしくはスリットもしくはピットもしくはホール）を形成する。これにより、磁気ヘッドの電気回路に用いる差動伝送線路に特有の渦電流損失を低減し、また表皮効果による高周波損失を低減して、高周波における伝送効率を改善することができる。この伝送線路を用いて、高周波伝送特性に優れた伝送線路一体型磁気ヘッドサスペンション、そして更に、高いデータレートを実現する磁気ディスク装置を提供することが可能となる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体と、磁気記録ヘッド及び再生ヘッドを備える磁気ヘッドと、リード/ライトＩＣと、前記磁気記録得ヘッド及び再生ヘッドとリード/ライトＩＣとを接続する伝送線路とを備える磁気記録再生装置において、
前記伝送線路は、電流方向に沿って形成されたグルーブを有することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項２】
磁気記録媒体と、磁気記録ヘッド及び再生ヘッドを備える磁気ヘッドと、リード/ライトＩＣと、前記磁気記録得ヘッド及び再生ヘッドとリード/ライトＩＣとを接続する伝送線路とを備える磁気記録再生装置において、
前記伝送線路は、電流方向に沿って形成されたスリットを有することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項３】
磁気記録媒体と、磁気記録ヘッド及び再生ヘッドを備える磁気ヘッドと、リード/ライトＩＣと、前記磁気記録得ヘッド及び再生ヘッドとリード/ライトＩＣとを接続する伝送線路とを備える磁気記録再生装置において、
前記伝送線路は、導体を貫通しないピットを有することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項４】
磁気記録媒体と、磁気記録ヘッド及び再生ヘッドを備える磁気ヘッドと、リード/ライトＩＣと、前記磁気記録得ヘッド及び再生ヘッドとリード/ライトＩＣとを接続する伝送線路とを備える磁気記録再生装置において、
前記伝送線路は、導体を貫通するホールを有することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項５】
前記伝送線路は、電気回路の電源であるプリアンプから発生した電力を、前記プリアンプから一定の距離だけ離れた負荷である前記磁気ヘッドに供給するために設けられていることを特徴とする請求項１〜４に記載の磁気記録再生装置。
【請求項６】
前記伝送線路は、負荷に対して電流の往路となる伝送線路と復路となる伝送線路が対となった差動伝送線路であることを特徴とする請求項１〜４に記載の磁気記録再生装置。
【請求項７】
前記磁気ヘッド、及び伝送線路は、サスペンション上に形成されていることを特徴とする請求項１〜４に記載の磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、伝送線路一体型磁気ヘッドサスペンションを有する磁気記録再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１に典型的な磁気ヘッドの模式図を示す。図１(ａ)において、磁気ヘッドの機構部品や電気部品を支持するためのアーム１０の端に、サスペンション（板ばね）１１を介して、記録媒体上を浮上するためのスライダ１２が固定されている。磁気ヘッドの記録回路は、電源であるプリアンプ（リード／ライトＩＣ）１３、プリアンプ１３から一定の距離だけ離れた負荷に電流（電力）を供給するための伝送線路（この図ではＦＰＣ型伝送線路１４とＩＣＳ型伝送線路１６）、および負荷である記録ヘッド１７、から構成される。記録ヘッド１７はスライダ１２の先端に搭載されている。なお、図１(ａ)では、ＦＰＣとＩＣＳの２つの伝送線路（１４と１６）を、中継点１５にて中継しているが、中継の無い伝送線路が用いられることもある。
【０００３】
磁気ヘッドの伝送線路には、一般に、図１(ｂ)に示すＡ部拡大図のような差動伝送線路が用いられている。差動伝送線路とは、記録ヘッド１７に対して電流iの往路となる導体１８と、電流iの復路となる導体１９とが対となって形成されているものである。また、以上では、記録回路についてのみ説明したが、再生回路の差動伝送線路（導体２０および導体２１）についても、図示のように記録回路の伝送線路に併設して形成されている。
【０００４】
磁気ヘッドの記録回路の高周波性能を改善するために、記録回路の電源であるプリアンプ１３の高速スウィッチング（高周波）化、記録回路の負荷である記録ヘッド１７の低インピーダンス化、そして、プリアンプ13で発生した記録電流（電力）を記録ヘッド１７まで運ぶ伝送線路（１４と１６）の高効率化（低損失化）が従来から行われている。
【０００５】
本発明が対象とする伝送線路について、その高周波における損失の原因は、電流（電力）の反射、および表皮効果であることが一般に知られている。
【０００６】
まず、反射の低減方法について説明する。反射は特性インピーダンスの不連続部で生じるため、これを低減するには、伝送線路各部における特性インピーダンスを均一化すればよい。磁気ヘッドの伝送線路においては、例えば、文献１（特開平１０−５０７０２８号公報）がある。
【０００７】
以上は、伝送線路各部におけるインピーダンスの均一化についてであった。さらに、これを推し進めて、一般の電気回路でよく用いられているように、プリアンプ（電源）の出力インピーダンス、伝送線路内の各部分の特性インピーダンス、磁気ヘッド（負荷）のインピーダンスの３つの値を等しくすることで、回路全体におけるインピーダンスの不連続部分を無くし、伝送効率を高める方法も考えられる。しかし、磁気ヘッドの記録回路は、一般の電気回路と大きく異なり、プリアンプ、伝送線路、記録ヘッドの３つのインピーダンスを等しくすることができない。
【０００８】
何故なら、記録ヘッドのインピーダンスは、低周波領域において、例えば１０Ω２０ｎH程度であるが、高周波になるにつれて、抵抗分は増大し、インダクタンス分は減少するといった周波数依存性を示し、一定値をとらないためである。
【０００９】
そこで、以上のようなインピーダンス・ミスマッチ系の回路において良好な高周波性能を得るための、プリアンプ、伝送線路、記録ヘッドそれぞれのインピーダンス値の規定について文献２（特開２０００−２６８３３６号公報）がある。
【００１０】
また、インピーダンス・ミスマッチ系であっても、伝送線路長が短ければ、反射の影響を無視することができ、伝送損失を抑えることができるため、この点に関して、例えば文献３（特開平１１−１４９６２６号公報）、文献４（特開２０００−５７５０７号公報）がある。以上が反射の低減方法に関する従来技術である。
【００１１】
次に、表皮効果の低減方法について説明する。表皮効果とは、伝送線路に高周波の電流（電力）が伝播するときに、導体表面の電流密度が高まり、導体表面のインピーダンスが高まって高周波電流（電力）の伝送効率が低下するものである。これを抑えるために、導体の表皮面積の増大や、表皮部分の抵抗値の制御が行われている。磁気ヘッドの伝送線路においては、例えば、文献５（特開２００１−３４４７２２号公報）、文献６（特開２００１−１０１６４０号公報）、文献７（特開平１１−０５３７２６号公報）がある。
【００１２】
また、文献８（特開平８−２０３７３６号公報）及び文献９（特開平８−２０３７３９号公報）には、コイルにスリットや複数の穴を形成し、コイルの利用効率を改善することが開示されている。
【００１３】
文献９は、空芯コイル装置におけるコイルパターンの高周波損失を低減して、コイルの利用効率を改善するためのものである。ここで、コイルは電気回路において負荷に相当するものであり、したがって、本発明が対象とする伝送線路とは全く関係のないものである。
【００１４】
【特許文献１】特開平１０−５０７０２８号公報
【００１５】
【特許文献２】特開２０００−２６８３３６号公報
【特許文献３】特開平１１−１４９６２６号公報
【特許文献４】特開２０００−５７５０７号公報
【特許文献５】特開２００１−３４４７２２号公報
【特許文献６】特開２００１−１０１６４０号公報
【特許文献７】特開平１１−０５３７２６号公報
【特許文献８】特開平８−２０３７３６号公報
【特許文献９】特開平８−２０３７３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
さて、磁気ディスク装置において、高いデータレート（データ転送速度）を実現するためには、磁気ヘッドの記録回路の高周波（高速スウィッチング）性能が重要である。特に近年は、記録ヘッドの励磁電流の高速スウィッチング（高周波）化が急速に進んでおり、従来考慮することの無かった新たな高周波損失が発生する周波数領域に到達している。この新たな高周波損失は、磁気ヘッドの伝送線路が差動伝送線路であるが故に生じるものである。
【００１７】
すなわち、例えば、往路伝送線路導体を流れる電流のスウィッチング時には、その電流の周りに磁界が発生し、この磁界は隣接した復路伝送線路導体に鎖交し、そこには渦電流損失が発生し、よって伝送効率の低下が起こるものである。
【００１８】
磁気ヘッドの差動伝送線路における渦電流損失について、図２を用いて説明する。図２(ａ)は磁気ヘッドの記録回路における差動伝送線路の一部分を上面から見た図を表しており、図２(ｂ)は、図２(ａ)のＡ−Ａ'部の断面をプリアンプ側から見た図を表している。
【００１９】
記録ヘッドを励磁するための高周波の電流３０が、今、例えば、導体１８の中をプリアンプから記録ヘッドへと流れており、また、電流３０’が、導体１９の中を記録ヘッドからプリアンプへと流れているとする。導体１８を流れる電流３０から発生した磁界３２は隣接した導体１９に印加し、そこには渦電流３３が発生する。同様に、導体１９を流れる電流３０’から発生した磁界３２’は隣接した導体１８に印加し、そこには渦電流３３’が発生する。
【００２０】
渦電流３３が発生すると、導体１９の内側（導体１８に近い側）では、本来の電流３０’の方向と渦電流３３の方向が異なることから、電流密度が小さくなり、また、導体１９の外側（導体１８に遠い側）では、本来の電流３０’の方向と渦電流３３の方向が同じことから、電流密度は大きくなる。同様に、渦電流３３’が発生すると、導体１８の内側（導体１９に近い側）では、本来の電流３０の方向と渦電流３３’の方向が異なることから、電流密度が小さくなり、また、導体１８の外側（導体１９に遠い側）では、本来の電流３０の方向と渦電流３３’の方向が同じことから、電流密度は大きくなる。
【００２１】
さらに、電気回路が高周波で動作したときは、表皮効果によって伝送線路の導体表面を電流が流れる。したがって、高周波電流は差動伝送線路の導体の外側かつ表面といったごく限られた部分に集中して流れることとなる。これにより、伝送線路の伝送効率が低下し、磁気ヘッドの記録回路の高周波性能が損なわれることとなる。
【００２２】
以上は、記録回路の差動伝送線路について説明したが、再生回路の差動伝送線路においても記録回路と同様の問題が生じる。
【００２３】
この渦電流による損失および表皮効果による損失は、記録回路の電流スウィッチングが高速になるほど顕著になるため、高周波化を進展するためには、磁気ヘッドの差動伝送線路における渦電流損失および表皮効果損失の低減技術が必須となる。
【００２４】
本発明の目的は、磁気ヘッドにおいて用いられる差動伝送線路に特有の渦電流損失および表皮効果損失を低減して、高周波における伝送特性を改善し、この改良した伝送線路を用いて、高周波伝送特性に優れた伝送線路一体型磁気ヘッドサスペンション及び高いデータレートを実現する磁気ディスク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明は、電気回路の電源（プリアンプ）から発生した電流を負荷（記録ヘッド）に伝送するための伝送線路の高周波伝送効率に関し、磁気ヘッドの伝送線路の形態として特徴的な差動伝送線路においてその特有の問題を解決するために、以下の構成を有することを主な特徴とする。
【００２６】
即ち、磁気記録媒体と、磁気記録ヘッド及び再生ヘッドを備える磁気ヘッドと、リード/ライトＩＣと、前記磁気記録得ヘッド及び再生ヘッドとリード/ライトＩＣとを接続する伝送線路とを備える磁気記録再生装置において、前記伝送線路は、電流方向に沿って形成されたグルーブを有することを特徴とする。または、前記伝送線路は、電流方向に沿って形成されたスリットを有することを特徴とする。または、前記伝送線路は、導体を貫通しないピットを有することを特徴とする。または、前記伝送線路は、導体を貫通するホールを有することを特徴とする。
【００２７】
以上のように構成される磁気記録再生装置によれば、磁気ヘッド用伝送線路に発生する渦電流損失、表皮効果による損失等の高周波伝送損失を低減することができ、高いデータレート（データ転送速度）を実現する磁気ディスク装置の提供が可能となる。
【発明の効果】
【００２８】
以上説明したように、伝送線路の導体にグルーブもしくはスリットもしくはピットもしくはホールを形成することによって、磁気ヘッドの電気回路に用いる差動伝送線路に特有の渦電流損失を低減し、また表皮効果による高周波損失を低減して、高周波における伝送効率を改善することができる。
【００２９】
この改良した伝送線路を用いて、高周波伝送特性に優れた伝送線路一体型磁気ヘッドサスペンション、そして更に、高いデータレートを実現する磁気ディスク装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００３１】
図３は、本発明の第１の実施例を示すものである。図１に示した従来の磁気ヘッドと異なるところは、従来のFPCとICSの２つの伝送線路（１４と１６）の代わりに、図３(ａ)に示すように、新たに本発明が提供する伝送線路（６０と６２）を用いていることにある。伝送線路（６０と６２）の導体の構造は、例えば、図３(ｂ)に示すＡ部拡大図のように、記録および再生の各回路の差動伝送線路の導体の表面（および裏面）にグルーブ（溝）が形成されているものである。
【００３２】
次に図４を用いて、差動伝送線路の導体の表面（および裏面）にグルーブ（溝）を形成したときの現象、および形成することで得られる効果について説明する。
【００３３】
図４(ａ)は磁気ヘッドの記録回路における差動伝送線路の一部分を上面から見た図を表しており、図４(ｂ)は、図４(ａ)のＡ−Ａ'部の断面をプリアンプ側から見た図を表している。図２と比較して、本発明の第１の実施例（図４）が特徴的なところは、差動伝送線路の導体に、電流の方向に沿ったグルーブ４０および４０’を形成していることである。図２と同じ部分については、重複する説明を省略する。
【００３４】
導体６３を流れる電流３０から発生した磁界３２が、隣接した導体６４に印加したときに、導体６４に図２に示した渦電流３３が発生しようとするが、本発明の第１の実施例では、渦電流３３の経路がグルーブ４０によって分断されるので、伝送線路の導体の全幅にわたる渦電流は発生することなく、分断された各領域の全幅に応じた小さな渦電流４１が発生することになる。同様にして、導体６３にも小さな渦電流４１’が発生することになる。
【００３５】
図４の小さな渦電流４１および４１’は、分断された各領域において電流密度の非平衡分布をもたらすものの、図２の伝送線路導体の全幅にわたる大きな渦電流３３がもたらす電流密度の非平衡分布と比べれば、非平衡の程度が改善されている。すなわち、グルーブ４０および４０’の形成による伝送線路導体の幅方向の分断は、渦電流による高周波損失を軽減して高周波伝送効率を改善する効果がある。
【００３６】
さらに、電気回路が高周波動作したときは、表皮効果によって伝送線路の導体表面を電流が流れ、表面の電流密度が高まり、伝送効率が低下するが、この構造をとることで導体の表皮面積が増えるため、導体表面の電流密度の上昇を低減することができる。すなわち、グルーブ４０および４０’の形成により、渦電流損失の低減に加えて、表皮効果損失までも低減することが可能となる。
【００３７】
なお、本実施例ではグルーブの本数を導体の表裏の各面で３としたが、細いグルーブを多数設置することにより、導体の断面積を著しく削減することはなく、かつ表皮面積を増やすことが可能となる。
【実施例２】
【００３８】
図５は本発明の第２の実施例を示すものである。図５(ａ)は磁気ヘッドの記録回路における差動伝送線路の一部分を上面から見た図を表しており、図５(ｂ)は、図５(ａ)のＡ−Ａ'部の断面をプリアンプ側から見た図を表している。
【００３９】
図４と比較して、本発明の第２の実施例（図５）が特徴的なところは、差動伝送線路の導体にグルーブ（溝）４０および４０’を形成する代わりに、ピット（穴）５０および５０’を形成していることである。これ以外の構成は、図４に示した第１の実施例と全く同じであるため、同じ符号を付け、重複する説明を省略する。
【００４０】
第２の実施例は、伝送線路の導体にピットを設けることによって、導体の全幅にわたる大きな渦電流の発生を抑止し、電流密度の非平衡分布を緩和して、高周波伝送効率を改善するものである。また、この構造も導体の表皮面積を増やすことができるので、高周波において導体表面の電流密度の上昇を低減することができる。すなわち、ピット５０および５０’の形成により、渦電流損失の低減に加えて、表皮効果損失までも低減することが可能となる。
【００４１】
以上の実施例では、伝送線路の導体の表裏の両面に、グルーブもしくはピットを形成しているが、表裏のいずれかの面に形成した場合でも高周波損失低減の効果は得られる。
【００４２】
また、上記のグルーブもしくはピットは伝送線路の全長に設置しても良いが、伝送線路の一部に設置した場合においても高周波損失低減の効果は得られる。
【００４３】
また、グルーブもしくはピットの深さは、回路が使用する周波数における表皮深さ以上となるような適当な深さとすればよい。もちろん、伝送線路の導体を貫通する深さをもった構造（この場合は、スリットもしくはホールと呼ぶ）としても良い。
【００４４】
グルーブ（あるいはスリット）の幅は、導体の断面積を著しく削減することがない程度とする。例えば、伝送線路の導体部をスリットで３分割する場合、導体部の幅が２０μｍであるならば、スリット幅を１μｍ程度とすれば良い。望ましくは、１μｍより更に極細いスリットとし、これを多数形成すれば、より大きな効果が得られる。導体の断面積を著しく削減することはなく、かつ表皮面積を増やすことが可能となるからである。ピット（あるいはホール）の径についても、上記と同様に、導体の断面積を著しく削減することがない程度とすれば良い。
【００４５】
以上の実施例においては、伝送線路の金属導体の材料を一様なものとして説明したが、これに限る必要はない。例えば、導体の表面もしくは裏面に導電率の異なる他の金属を設置した２種類以上の金属材質からなる導体であったとしても、本実施例で述べたグルーブ、スリット、ピット、ホールの構造を作製することができ、同様の効果を得ることができる。
【００４６】
また、この実施例では磁気ヘッドの記録回路の差動伝送線路を例にして本発明の現象および効果を説明してきたが、再生回路の差動伝送線路に上記構造を形成したときも重要な効果をもたらす。このときは、記録回路と同様に、高周波の伝送効率の改善効果はもちろんのこと、その他に、記録回路伝送線路から発生する磁界が再生回路導体に鎖交することで発生する再生回路のノイズを抑制することが可能となる。
【実施例３】
【００４７】
本発明は、様々な形で種々の磁気ディスク装置（ハードディスクドライブ；ＨＤＤ）に応用することが可能である。例えば、図６には、本発明を応用したＨＤＤの実施例が記載されている。
【００４８】
記録再生制御回路ボード７１は、ＨＤＤ本体とホストコンピュータ（外部システム）間のインターフェースとなる部分であって、ＨＤＤ内部での信号処理や種々の制御機能を供給する役割を果たすものである。記録再生制御回路ボード７１は、コンピュータのバスと（通常はフレキシブルケーブルで）接続される外部インターフェース８４が備えられている。外部インターフェース８４は、ＨＤＤコントローラ８３および信号処理ＬＳＩ８２と接続されている。ＨＤＤコントローラ８３と信号処理ＬＳＩ８２とは、共同して、コンピュータシステムとＨＤＤ内に格納された情報間での論理インターフェースを構成するものである。これらの構成要素は、ＨＤＤで読み書きされるべき情報を処理し、ＨＤＤ内の種々の構成要素（例えば、ボイスコイルモータ７７、アーム１０、記録媒体７３の回転駆動等）を制御することによって、ＨＤＤにおける記録再生動作を可能にするものである。
【００４９】
ヘッド・ディスク・アッセンブリ７０は、コネクタ８５−１、８５−２を介して記録再生制御回路ボード７１に接続されている。記録再生制御回路ボード７１からの信号は、コネクタを介してメイン・フレキシブル・パターンド・サーキット（メインＦＰＣ）７６に送られる。ヘッド・ディスクアッセンブリ７０は、キャッリッジ７５と、端部にスライダ１２が保持されたサスペンション１１を固定する複数のアーム１０を備えている。また、ヘッド・ディスク・アッセンブリ７０には、スピンドル７２と複数の磁気記録媒体（磁気ディスク）７３（図６では５枚）も備えられている。
【００５０】
ここで、スピンドル７２は、磁気ディスク７３を高速で回転駆動するもので、それによってスライダ１２は、ディスク上を飛行することが可能となる。磁気記録媒体７３の回転駆動に伴い、キャリッジ７５は、アーム１０をボイスコイルモータ７７を介して回転させ、それによってスライダ１２のディスク半径方向への移動を可能としている。磁気記録媒体７３の回転運動と上記ヘッドのディスク半径方向への運動とが組み合わされることにより、ＨＤＤの記録再生動作時に、スライダ１２が磁気記録媒体７３の全領域にアクセスすることが可能となっている。磁気ディスク７３が、ディスク両面に情報を記録することが可能であるのであれば、ディスク７３には、好ましくは、自己のディスクのみに属する複数のアーム/磁気ヘッドが組み合わされる（磁気ヘッド１本が磁気ディスク片面に対応するので図６では１０本）。
【００５１】
リード／ライトＩＣ１３は、信号処理ＬＳＩ８２から記録データ情報を受け取る。リード／ライトＩＣ １３は複数の伝送線路ＦＰＣ６０を介して複数のスライダ１２の端部に設けられた記録ヘッド１７（図６に記載なし）のそれぞれに接続されている。個々のスライダ１２の端部に設けられた記録ヘッド１７（図６に記載なし）は、対応する記録媒体７３に記録動作を行う。
【００５２】
複数の伝送線路ＦＰＣ６０の各々は、アーム１０のエッジに沿って配線されており、その後、サスペンション１１上の伝送線路ＩＣＳ６２（図６に記載なし）を通ってスライダ１２端部の記録ヘッド１７（図６に記載なし）に達している。記録電流が記録ヘッド１７（図６に記載なし）まで伝播したところで、磁気記録媒体７３への情報記録が行われる。
【００５３】
図６の伝送線路ＦＰＣ６０、および、サスペンション１１上の伝送線路ＩＣＳ６２（図６に記載なし）は、図３と図４もしくは図５において説明した高周波伝送損失を低減することのできる伝送線路である。この改良した伝送線路を用いることによって、記録再生の高周波特性を改善することができ、高いデータレート（データ転送速度）を実現する磁気ディスク装置ＨＤＤの提供が可能となるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】従来の磁気ヘッドの電気回路の構造の一例を説明するための概略図である。
【図２】従来の磁気ヘッドの伝送線路の一例を説明するための上面図(ａ)および断面図（ｂ）である。
【図３】本発明の第１の実施例である磁気ヘッドの電気回路の構造の一例を説明するための概略図である。
【図４】本発明の第１の実施例であるグルーブを施した伝送線路を説明するための上面図(ａ)および断面図（ｂ）である。
【図５】本発明の第２の実施例であるピットを施した伝送線路を説明するための上面図(ａ)および断面図（ｂ）である。
【図６】本発明の伝送線路を応用した高速データ転送が可能な磁気ディスク装置を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５５】
１３．プリアンプ（リード／ライトＩＣ）
６０．伝送線路（ＦＰＣ）
６２．伝送線路（ＩＣＳ）
１７．記録ヘッド
３０、３０’．電流
１８、１９、６３、６４．記録回路の伝送線路の金属導体
３２、３２’．磁界
３３、３３’、４１、４１’．渦電流
４０、４０’．グルーブ
５０、５０’．ピット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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