(57)【要約】【課題】集積回路の製造において改善されたエッチング処理のモニタリング技術。【解決手段】エッチング処理をモニタリングする方法および装置である。エッチング処理の間に実施されたインサイチューモニタリング（例えば、分光、干渉計測、散乱計測、反射率計測など）と組合せて、エッチング処理に対してエクスサイチューで提供された測定情報（例えば、限界寸法（ＣＤ）、層の厚さなど）を用いて、エッチング処理がモニタリングされても良い。インサイチューモニタリングと組合せてエクスサイチュー測定情報を使って、例えば、エッチング処理の終点、基板上に形成された外観のエッチング深度プロフィール、集積回路製造プロセスの欠陥検出などをモニタリングしても良い。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチング処理をモニタリングする方法であって、
（ａ）基板のエッチング前測定を実施してエッチング前測定情報を生成し、
（ｂ）前記エッチング前測定情報と一緒に前記基板をエッチングリアクタに設け、
（ｃ）エッチング処理を使って前記エッチングリアクタ内の前記基板をエッチングし、エッチング処理モニタリングと組合せて前記エッチング前測定情報を使用してエッチング処理終点をモニタリングし、
（ｄ）前記エッチング処理が前記エッチング処理終点に到達したことを識別する前記エッチング処理モニタリングに基づいて、前記エッチング処理を終了することを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法において、
前記エッチング前測定情報の中の異常値を除去するために異常値フィルタを適用することをさらに有することを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項３】
請求項１記載の方法において、
工程（ｄ）の前記エッチング処理モニタリングが、前記エッチング処理の所定のエッチング深度を達成することをさらに有することを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項４】
請求項１記載の方法において、
工程（ｄ）の前記エッチング処理モニタリングが、前記エッチング処理の間に形成された構造物の所定の外観寸法を達成することをさらに有することを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項５】
請求項１記載の方法において、
前記エッチング前測定情報が、材料層の膜厚測定と限界寸法（ＣＤ）測定とのうち少なくとも１つからなるようにしていることを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項６】
請求項１記載の方法において、
前記エッチング前測定情報が光学計測を用いて実施されることを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項７】
請求項６記載の方法において、
前記光学計測が、干渉計測、散乱計測、反射率測定、および偏光解析から構成されたグループから選択される１つまたはそれより多くのものからなることを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項８】
請求項１記載の方法において、
前記エッチング処理モニタリングが光学計測を用いて実施されることを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項９】
請求項８記載の方法において、
前記光学計測が、干渉計測、散乱計測、反射率測定、および偏光分析から構成されたグループから選択される１つまたはそれより多くのものからなることを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項１０】
請求項１記載の方法において、
前記エッチング処理モニタリングが、鉛直方向エッチング速度と水平方向エッチング速度との相関関係を使用することをさらに有することを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項１１】
請求項１記載の方法において、
前記エッチング処理モニタリングが、
放射線を前記基板に向け、
前記基板から反射された放射線の一部分を捕捉し、
干渉計測の測定技術を使用して層の厚さを測定することをさらに有することを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の方法において、
前記放射線が前記基板に対してほぼ鉛直に向けられることを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項１３】
請求項１１記載の方法において、
前記基板に向けられた前記放射線のスペクトルが、約２００〜８００ｎｍの範囲の波長からなることを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項１４】
請求項１１記載の方法において、
前記放射線の強度が約１０Ｈｚの周波数で変調されることを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項１５】
請求項１記載の方法において、
前記エッチング処理モニタリングが、
前記基板に放射線を向け、
前記基板から反射された放射線の一部分を捕捉し、
前記基板から反射された前記放射線のスペクトル内における波長の強度を測定することを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項１６】
請求項１５記載の方法において、
前記エッチング処理モニタリングが、前記スペクトルの最小値におけるスペクトル位置と、前記基板に形成された構造物の幅との相関関係を使用することをさらに有することを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項１７】
請求項１記載の方法において、
前記エッチング前測定が、エッチングリアクタを備えた処理システムに結合された計測モジュールと、前記処理システムから除去された計測モジュールとのうちの１つによって提供されることを特徴とするエッチング処理のモニタリング方法。
【請求項１８】
マスクトリミング処理の終点をモニタリングする方法であって、
（ａ）上部にマスクを有する基板のエッチング前測定を実施して、そのようなマスクのエッチング前測定情報を生成し、
（ｂ）前記エッチング前測定情報と一緒に前記基板をエッチングリアクタに提供し、
（ｃ）エッチング処理を用いて前記マスクをトリミングし、エッチング処理モニタリングと組合せて前記エッチング前測定情報を使用してトリミング処理をモニタリングし、
（ｄ）前記マスクが所定の寸法までトリミングされたことを前記エッチング処理モニタリングが示す時に、前記トリミング処理を終了することを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項１９】
請求項１８記載の方法において、
前記エッチング前測定情報の中の異常値を除去するために、異常値フィルタを適用することをさらに有することを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項２０】
請求項１８記載の方法において、
前記マスクがフォトレジストのパターニングされたマスクであることを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項２１】
請求項１８記載の方法において、
前記マスクが、プラズマ処理を用いてトリミングされることを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項２２】
請求項１８記載の方法において、
前記エッチング前測定情報が、前記マスクの限界寸法（ＣＤ）測定値を有することを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項２３】
請求項１８記載の方法において、
前記エッチング前測定情報が光学計測を用いて実施されることを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項２４】
請求項２３記載の方法において、
前記光学計測が、干渉計測、散乱計測、反射率測定、偏光分析から構成されるグループから選択された１つまたはそれより多くのものからなることを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項２５】
請求項１８記載の方法において、
前記エッチング処理モニタリングが光学計測を用いて実施されることを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項２６】
請求項２５記載の方法において、
前記光学計測が、干渉計測、散乱計測、反射率測定、および偏光分析から構成されるグループから選択された１つまたはそれより多くのものからなることを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項２７】
請求項１８記載の方法において、
前記エッチング処理モニタリングが、鉛直方向エッチング速度と水平方向エッチング速度との相関関係を用いることをさらに有することを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項２８】
請求項１８記載の方法において、
前記エッチング処理モニタリングが、
放射線を前記基板に向け、
前記基板から反射された放射線の一部分を捕捉し、
干渉計測の測定技術を用いて層の厚さを測定することをさらに有することを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項２９】
請求項２８記載の方法において、
前記放射線が、前記基板に対してほぼ鉛直に向けられることを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項３０】
請求項２８記載の方法において、
前記基板に向けられた前記放射線のスペクトルが、約２００〜８００ｎｍの範囲内の波長からなることを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項３１】
請求項２８記載の方法において、
前記放射線の強度が約１０Ｈｚの周波数で変調されることを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項３２】
請求項１８記載の方法において、
前記エッチ処理モニタリングが、
放射線を前記基板に向け、
前記基板から反射された放射線の一部分を捕捉し、
前記基板から反射された前記放射線のスペクトルにおける波長の強度を測定することを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項３３】
請求項３２記載の方法において、
前記エッチング処理モニタリングが、前記スペクトルの最小値におけるスペクトル位置と、前記基板に形成された構造物の幅との相関関係を使用することをさらに有することを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項３４】
請求項１８記載の方法において、
前記エッチング前測定が、前記エッチングリアクタを備えた処理システムに結合された計測モジュールと、前記処理システムから除去された計測モジュールとによって提供されることを特徴とするマスクトリミング処理終点のモニタリング方法。
【請求項３５】
エッチング処理をモニタリングするシステムであって、
エッチング処理を実施する少なくとも１つのリアクタと、
前記少なくとも1つのエッチングリアクタにエッチング前測定情報を提供する少なくとも１つの計測モジュールと、
少なくとも１つの基板ロボットとを備え、
前記少なくとも１つのリアクタが、前記エッチングリアクタ内のエッチング処理終点をモニタリングするためのエッチング処理測定モジュールを備えていることを特徴とするエッチング処理のモニタリングシステム。
【請求項３６】
請求項３５に記載のシステムにおいて、
前記少なくとも１つのエッチングリアクタがプラズマリアクタであることを特徴とするエッチング処理のモニタリングシステム。
【請求項３７】
請求項３５に記載のシステムにおいて、
前記少なくとも１つの計測モジュールが、非破壊性の光学測定技術を使用していることを特徴とするエッチング処理のモニタリングシステム。
【請求項３８】
請求項３５に記載のシステムにおいて、
前記エッチング処理測定ツールが干渉計測の測定技術を使用していることを特徴とするエッチング処理のモニタリングシステム。
【請求項３９】
請求項３５に記載のシステムにおいて、
前記エッチング処理測定ツールが、前記基板上の領域を照射する放射線源と、干渉計測計とをさらに備えることを特徴とするエッチング処理のモニタリングシステム。
【請求項４０】
請求項３５に記載のシステムにおいて、
前記放射線源が、前記基板に対してほぼ鉛直な放射線を提供することを特徴とするエッチング処理のモニタリングシステム。
【請求項４１】
請求項３５に記載のシステムにおいて、
前記放射線源が、約２００〜８００ｎｍの範囲の波長で放射線を提供することを特徴とするエッチング処理のモニタリングシステム。
【請求項４２】
請求項３９に記載のシステムにおいて、
前記放射線減が、約１０Ｈｚの周波数で前記放射線の強度を変調することを特徴とするエッチング処理のモニタリングシステム。
【請求項４３】
インサイチュー計測ツールであって、
ウエハ処理を実施する少なくとも１つのプラズマリアクタと、
前記少なくとも１つのプラズマリアクタに結合され、基板上の層の膜厚と限界寸法とのうち少なくとも１つを測定する少なくとも１つの測定モジュールと、
前記少なくとも１つのプラズマリアクタに結合され、前記少なくとも１つのプラズマリアクタの範囲内でプラズマ状態をモニタリングする少なくとも1つのプラズマ状態モニタリングモジュールとを備えることを特徴とするインサイチュー計測ツール。
【請求項４４】
請求項４３記載のツールにおいて、
前記膜厚測定モジュールが干渉計測の測定技術を使用していることを特徴とするインサイチュー計測ツール。
【請求項４５】
請求項４３記載のツールにおいて、
前記限界寸法測定モジュールが非破壊的な光学測定技術を使用していることを特徴とするインサイチュー計測ツール。
【請求項４６】
請求項４３記載のツールにおいて、
前記プラズマ状態モニタリングモジュールが、光学的電磁気放射の測定技術を使用していることを特徴とするインサイチュー計測ツール。
【請求項４７】
請求項４３記載のツールにおいて、
前記プラズマリアクタがプラズマエッチングリアクタであることを特徴とするインサイチュー計測ツール。
【請求項４８】
半導体ウエハ処理システムにおけるインサイチュー計測ツールによって捕捉されたデータを処理する方法であって、
前記インサイチュー計測ツールによって捕捉された信号強度対時間を示すデータを検査し、
前記データに基づいて、前記データの少なくとも一部分に対して離散フーリエ変換を実施するための時間窓を選択することを特徴とする捕捉データの処理方法。
【請求項４９】
請求項４８記載の方法において、
信号強度対時間を示す前記データがピーク・トゥ・ピーク期間を減少させる場合には前記時間窓を小さくし、
信号強度対時間を示す前記データがピーク・トゥ・ピーク期間を増大させる場合には前記時間窓を大きくすることを特徴とする捕捉データの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般的に半導体基板処理システムに関する。さらに詳細には、本発明はエッチング処理をモニタリングする装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
動作速度を高速化するために、集積された超小型電子回路内のデバイス（例えば、トランジスタ、コンデンサなど）はこれまでにも増して小型化された。そのようなデバイスを製造する１つの方法は、基板上に形成した材料層に、パターニングされたマスク（例えば、フォトレジストマスク）を形成し、次に、そのパターニングされたマスクをエッチングマスクとして用いて材料層をエッチングすることである。一般に、エッチングマスクは、下層の材料層に形成された（つまり、エッチングされた）構造物の模造である。そのようなものとして、エッチングマスクは、下の層に形成される構造物と同一の形状寸法を有する。
【０００３】
一般に、エッチングマスクの要素の最小幅、例えばライン、コラム、開口、ライン間スペースなどが測定される。そのような最小幅は「限界寸法」すなわちＣＤとして知られている。進化した超大規模集積（ＵＬＳＩ）回路では、限界寸法は、一般に、約２０〜２００ｎｍのサブミクロン寸法である。これに加え、エッチングされる材料層の膜厚の測定は確認されている。エッチング処理方法のパラメータは、エッチングされる材料層の膜厚測定のみならず、ウエハ上に形成されパターニングされたマスクの限界寸法測定の統計的に生成された結果を用いて一般に選択される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
パターンニングされたマスクを用いて材料層をエッチングする場合には、正確なエッチング処理のモニタリングが重要である。特に、エッチング処理の製造変数は、基板のグループ（すなわち、バッチ）内で基板に形成されたデバイスの寸法に対して幅広い統計的分布（すなわち、大きなσ（σは標準偏差））を発生させるだけでなく、その製造変数で形成されたデバイスの寸法正確度を減少させることもある。
【０００５】
したがって、集積回路の製造において改善されたエッチング処理のモニタリング技術が必要である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、エッチング処理をモニタリングする方法およびシステムに関する。エッチング処理の間に実施されたインサイチュー（in-site）モニタリング（例えば、分光、干渉計測、散乱計測、反射率測定など）と組合せてエッチング処理に対してエクスサイチュー（ex-situ）で提供された測定情報（例えば、限界寸法（ＣＤ）、層の膜厚など）を使用して、エッチング処理がモニタリングされても良い。インサイチューモニタリングと組み合わせてエクスサイチュー測定情報を使って、例えば、エッチング処理の終点、基板上に形成された外観のエッチング深度プロフィール、および、集積回路製造プロセスの欠陥検出などをモニタリングしても良い。
【０００７】
エクスサイチュー測定情報は、エッチング処理の前後で実施される。エクスサイチュー測定情報は、エッチングリアクタに提供され、エッチング処理中にインサイチューモニタリングと組合わせて使用される。エクスサイチュー測定は、エッチングリアクタに一体形成された測定機器（例えば、同じエッチングシステムのモジュール）を用いて実施されても良いし、あるいはまた、エッチングリアクタに一体形成されていない測定機器（例えば、スタンドアロン型機器）から提供されても良い。
【０００８】
本発明の技術は、添付図面と併せて後述される説明を考慮することにより、容易に理解可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
理解を容易にするために、可能な場合には、図面に共通する同一の要素を示すように同一の参照符号が使用されている。
【００１０】
しかしながら、添付図面は本発明の典型的な実施の形態のみを示しており、それ故に、本発明が他の同等に効果的な実施の形態を与えるために、本発明の請求の範囲を限定して考慮されるべきではないことに注意するべきである。
【００１１】
本発明は、エッチング処理をモニタリングする方法およびシステムである。エッチング処理中に実行されインサイチューモニタリング（例えば、分光、干渉計測、散乱測定、反射率測定など）と組合せてエッチング処理に対してエクスサイチューで設けられた測定情報（例えば、限界寸法（ＣＤ）、層層など）を用いて、エッチング処理がモニタリングされる。インサイチューモニタリングと組合せてエクスサイチュー測定情報は、例えば、エッチング処理の終点、基板上に形成された外観のエッチング深度プロフィール、集積回路製造プロセスの欠陥検出などをモニタリングするために使用されても良い。集積回路製造プロセスの欠陥検出には、例えば、そのような処理を停止できるようにエッチングされる外観の限界寸法（ＣＤ）がいつ所定範囲の範囲外であるかを決定するために、エッチング処理をモニタリングすることが含まれる。
【００１２】
エクスサイチュー測定情報は、エッチング処理の前および／または後に実行される。エクスサイチュー測定情報は、エッチングリアクタに提供され、エッチング処理中にインサイチューモニタリングと組合せて使用される。エクスサイチュー測定は、エッチングリアクタと一体形成された測定機器（例えば、同じエッチングシステムのモジュール）を使用して、または代わりに、エッチングリアクタと一体形成されていない測定機器（例えば、スタンドアロン型の機器）を使用して実施されても良い。インサイチューモニタリングは、エッチングリアクタに結合された測定機器を使用して実施されても良い。
【００１３】
図１は、本発明によるエッチング処理をモニタリングする方法のフロー図をシーケンス（手順）１０として示す。シーケンス１０は一連の処理ステップを含み、その一連の処理ステップは当該方法を達成するためにテスト基板および製品基板で実施されても良い。
【００１４】
シーケンス１０は、ステップ１１から開始し、ステップ１２へ進む。ステップ１２では、測定情報がエッチング処理にエクスサイチューで提供される。一実施の形態では、エクスサイチュー測定情報が、例えばパターニングされたマスクの高さのみならず、限界寸法（ＣＤ）情報、すなわち構造物の幅を有している。一般に、エクスサイチュー測定情報は、１バッチの基板の各々について提供される。そのようなエクスサイチュー測定は、エッチングリアクタと一体形成された測定機器（例えば、同じエッチングシステムのモジュール）を使用して実施されても良いし、または代わりに、エッチングリアクタに一体形成されていない測定機器（例えば、スタンドアロン型の機器）から提供されても良い。
【００１５】
１つの典型的な実施の形態では、そのようなエクスサイチュー測定情報は、カリフォルニア州サンタクララのApplied Materials（アプライド  マテリアルズ）社から利用可能なCENTURA（登録商標）処理システムのTRANSFORMA（登録商標）計測モジュールを使用して決定される。TRANSFORMA（登録商標）計測モジュールは、１つまたはそれより多くの非破壊的な光学測定技術、例えば分光法、干渉分光法、散乱測定、および、反射率測定などを使用しても良い。測定されたパラメータには、パターニング誘電体またはブランケット誘電体と導電膜との何れか一方の膜厚のみならず、基板に製造された構造物の形状寸法および形状プロフィールが含まれる。構造物の限界寸法の測定は、一般に、基板の複数の領域、例えば、統計的に顕著に多くの領域（例えば５〜９以上の領域）で実施され、それから、そのような基板に対して平均される。
【００１６】
あるいは、測定情報は、エッチングリアクタに一体形成されていない測定機器（例えばスタンドアロン型の機器）からエッチングリアクタに提供されても良い。そのようなスタンドアロン型の機器は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、光学計測、表面プロファイリングなどを使用して測定情報を提供しても良い。
【００１７】
エクスサイチュー測定情報には、製造される構造物の形状寸法およびプロフィールに関する情報が含まれても良い。さらに、ブランケット膜またはパターニング膜（例えば誘電体膜および導電膜）の膜厚は、基板に形成された形状的構造に渡って膜厚の均一性に対してマッピング情報（例えば、基板上の位置）と一緒に提供される。
【００１８】
エクスサイチュー測定は、次の処理のパラメータを設定するために使用されるので、測定データに何らかの異常があると、処理パラメータが正確に確立されず、その結果、正確に処理された基板にならない。この異常さは、局所的なウエハ表面状態または欠陥によって、粗悪なフォトレジストパターニングエラーまたは測定エラーの結果であることがある。不正確な測定データを使用して処理パラメータが確立させられるのを回避するために、選択的な異常値フィルタを使用して正確でない何らかのエクスサイチューデータ測定を、データセットから除去することが可能になる。ステップ１３（このステップが任意であることを表すために仮想線で示されている）では、異常値フィルタがエクスサイチュー測定データに適用されて、異常値である何らかのデータポイントが除去される。さらに、異常値フィルタが、平均値、最大値、最小値、標準偏差、適合度などのような測定結果を検査して、基板が良好なフォトレジストパターニングを受けたかを決定するようにしている。ステップ１４は、基板が「良好なパターニング基準」に合格したか否かを問い合わせ、ステップ１５で記述されているようなエッチング処理を基板は受けるべきである。その結果がステップ１４にて「良好」なパターニング基準に合格しない場合には、基板はエッチング処理を受けず、再測定、再審査、またはやり直し用のシステムによってマーキングされる。
【００１９】
ステップ１５ではエッチング処理が実施される。エッチング処理が実施されるエッチングリアクタには、エッチング処理に関連した測定基準をリアルタイムで測定するように構成されたインサイチューモニタリング装置が含まれる。エッチング処理中に、リアルタイムでインサイチューモニタリングを実施することにより、例えば、エッチング速度とは無関係なそのようなエッチング処理の終点を決定することが向上される。加えて、そのようなインサイチューモニタリングは、基板のインサイチューマッピングを使用して識別された要素に対して特定の限界寸法情報を提供するだけでなく、エッチング処理に対して欠陥検出の決定（例えば、所定範囲の外でエッチング処理の範囲内の非均一性）を提供しても良い。
【００２０】
１つの典型的な実施の形態では、インサイチュー測定ツールは、カリフォルニア州サンタクララのApplied Materials（アプライド  マテリアルズ）社から利用可能なEyeD（登録商標）計測モジュールであって良い。図１Ａに示すように、EyeD（登録商標）チャンバモジュール５０は２つの部品から構成されている。その１つは、構造物の膜厚および／または幅を測定する干渉測定組立部品および／または分光測定組立部品である。他方は、チャンバのプラズマ状態をモニタリングする光学電磁放射（ＯＥＳ）モニタ組立部品である。
【００２１】
干渉測定組立部品および／または分光測定組立部品は、例えば、干渉モニタリング技術（例えば、時間領域内の干渉縞のカウント、周波数領域内の位置の測定など）を実施して、基板上に形成されている構造物のエッチング深度プロフィールをリアルタイムで測定するように構成されても良い。ウエハ７５から反射された光７２が、ビーム形成光学系７４によって収集され、信号ケーブル７３によって信号が分光計５９に送信される。分光計５９とプロセッサ６０とによってこの信号が分析される。分析結果は、制御装置６１を介して反応チャンバを制御する制御命令を生成するために使用される。その組立部品がエッチング処理の終点を制御するために使用される場合には、それは「干渉終点」（ＩＥＰ）と呼ばれる。広帯域光源５８、例えば、水銀ランプ、重水素ランプ、またはキセノンランプからの外部光を利用して、光ファイバケーブル５４を介してウエハに光を供給するようにすることもある。そのような光源は、プラズマに加えてまたはプラズマの代わりに、光源として使用されても良い。EyeD（登録商標）による膜厚測定および膜厚制御（または終点）の詳細は、2002年７月２日付けで発行され同一出願人による米国特許第6,413,867号の「Film Thickness Control Using Spectral Interferometry」（スペクトル干渉分光を使った膜厚制御）と、2002年11月1日付けで出願された米国特許出願番号10/286,402の「Interferometric Endpoint Determination In A Substrate Etching Process」（基板のエッチング処理における干渉終点の決定）とに開示されている。また、その組立部品は、構造物の幅を測定するために１つまたはそれより多くの非破壊的な光学測定技術を、例えば、分光法、分散計測法、反射率測定法などを使用して、構造物の幅を測定することができる。図１Ｂに示すように、ウエハ７５の表面および界面から反射された光７２が、窓７１を通過し、ビーム形成光学系７４と信号ケーブル７３とによって集められる。信号を分光計５９とプロセッサ６０（図１Ａ）とによって分析して構造物の幅を決定する。構造物の幅を決定する方法の詳細は以下に記述される。図１Ａおよび図１Ｂの画像は、正確な縮尺率で描かれたものではなく、例示目的で簡略化されている。本発明を最良に理解するために、図３Ａおよび図３Ｂを同時に参照する。
【００２２】
他のEyeD（登録商標）チャンバモジュールは、チャンバのプラズマ状態をモニタリングする光学電磁放射（ＯＥＳ）モニタ組立部品である。ＯＥＳモニタは、チャンバのマッチングの度合いと、処理のソースおよび／またはシステム欠陥とを決定するために使用可能である。プラズマ７６から放たれるＯＥＳ信号は、信号収集装置５５によって集められ、信号ケーブル５６によって送信される。その信号が分光計５９とプロセッサ６０とによって分析される。この分析結果を使って、制御コマンドを生成可能であるとともに制御装置６１を介して反応チャンバを制御可能である。その出願の詳細は、2003年7月25日付けで出願された同一出願人による米国特許出願番号10/628,001の「Method For Automatic Determination Of Semiconductor Plasma Chamber Matching And Source Of Fault By Comprehensive Plasma Monitoring」（半導体プラズマチャンバのマッチングと広範囲プラズマのモニタリングによる欠陥ソースとを自動的に決定する方法）に開示されている。
【００２３】
図１のステップ１６では、シーケンス１０は、そのような基板のバッチから全ての基板が処理されたか否かを問い合わせる。ステップ１６の問い合わせが否定的に返答される場合には、シーケンス１０はステップ１２へ進む。ステップ１６の問い合わせが肯定的に返答される場合には、シーケンス１０はステップ１８へ進む。ステップ１８にてシーケンス１０は終了する。
【００２４】
１つの例示的なエッチング処理では、フォトレジストのトリミング処理の終点が、トリミング処理中に実行されるインサイチューモニタリングと組合せて、エクスサイチューの限界寸法（ＣＤ）測定情報を使用してモニタリングされる。一実施の形態では、インサイチューモニタリングは、トリミング処理の鉛直方向エッチング速度と水平方向エッチング速度との相関関係に関連した測定基準を使用している。他の実施の形態では、インサイチューモニタリングは、基板から反射された放射光のスペクトルの最小部分のスペクトル位置と、パターニングされたマスクの構造物の幅との相関関係に関連した測定基準を使用している。
【００２５】
トリミング処理を容易にするのに適した処理システムには、パターニングされたマスクの構造物の限界寸法（ＣＤ）（例えば幅）を測定するための計測モジュールと、エッチング処理（例えばトリミング処理）を実施するためのエッチングリアクタとが含まれる。エッチングリアクタには、エッチング中の構造物に関連した計測（例えば、基板から反射された放射線のスペクトル強度、または、鉛直方向エッチング速度と水平方向エッチング速度との相関関係）をモニタリングするためのインサイチューモジュールが含まれる。
【００２６】
図２Ａおよび図２Ｂは、マスクトリミング処理の終点をモニタリングするための１つの典型的なエッチング処理のフロー図をシーケンス１００として示している。シーケンス１００には、検査基板および製品基板で実施される一連の処理ステップが含まれている。
【００２７】
図３Ａおよび図３Ｂは、本発明の方法を使用してトリミングされたマスクを備えた基板の概略的な断面図を示す。図３Ａおよび図３Ｂの画像は正確な縮尺率で図示されたものではなく、例示的な目的のために簡略化されている。本発明を最良に理解するために、図２Ａ、図２Ｂ、図３Ａ、および図３Ｂを同時に参照する。
【００２８】
シーケンス１００は、ステップ１０１にて開始し、ステップ１０２へ進む。ステップ１０２では、層２０２とパターニングされたマスク２１０とが、基板２００（例えば、シリコンウエハ）に例示的に形成されている（図３Ａ）。便宜上、ここでは、同一の概略的な断面図と、それぞれの参照符号とが、検査基板または製品基板２００のいずれかに関連しても良い。
【００２９】
層２０２は、パターニングされていない（図示された）またはパターニングされた単一材料膜（例えば、誘電体膜、金属膜、または、集積回路で使用される他の膜）または多層膜積層体を備えても良い。後続のエッチング処理中に、パターニングされたマスク２１０をエッチングマスクとして使って層２０２がエッチングされても良い。層２０２は、任意の従来の薄膜形成技術、例えば、原子層蒸着（ＡＬＤ）、物理的蒸着（ＰＶＤ）、化学的蒸着（ＣＶＤ）、プラズマ強化ＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）などを使用して形成可能であり、その技術は、例えばCENTURA（登録商標）またはENDURA（登録商標）のそれぞれの処理リアクタ、または、カリフォルニア州サンタクララのApplied Materials Inc.（アプライド  マテリアルズ社）から利用可能な他の処理システムを使用して実施される。
【００３０】
パターニングされたマスク２１０は、一般に、フォトレジストマスクの形態、αカーボン（すなわち、アモルファスカーボン）マスク、ハードマスク、および、Advanced Patterning Film（登録商標）（ＡＰＦ）などであっても良く、Advanced Patterning Film（登録商標）は、カリフォルニア州サンタクララのApplied Materials（アプライド  マテリアルズ）社から利用可能なものである。１つの典型的な実施の形態では、パターニングされたマスク２１０はフォトレジストマスクである。例示的に、図３Ａを参照すると、パターニングされたマスク２１０は高さ２１４を有し、それには幅２０６，２１８を備えた構造物２２０，２３０（例えば線、壁、コラムなど）がそれぞれ含まれる。幅２０６は、幅２１８より狭く、または、パターニングされたマスク２１０の他の構造物の幅よりも狭い。最小幅（すなわち、限界寸法またはＣＤ）を有する構造物２２０は、一般に、パターニングされたマスクで製造する最も困難な構造物である。
【００３１】
フォトレジストマスク２１０は、形成されるデバイスの外観のパターンがフォトレジストの層に光学的に移動されたリソグラフィー処理を使用して製造されても良い。その後、フォトレジストが現像され、フォトレジストの露出していない部分が除去され、残りのフォトレジスト部分が、パターニングされたマスク２１０を形成する。パターニングされたマスク２１０がフォトレジストマスクである場合には、層２０２は任意の反射防止膜（ＡＲＣ）をさらに備えても良い。パターニングされたマスクの構造物のサイズが減少するにつれ、パターン転送処理における不正確性が、光反射のようなリソグラフィー処理に固有の光学限界から生じることもある。ＡＲＣが、フォトレジストを露光するのに使われた光の反射を制御することにより、リソグラフィー処理の解像度を強化する。１つの典型的な実施の形態では、リソグラフィー処理が、約８０ｎｍ〜約１２０ｎｍの最小幅２０６を有する構造物２２０を形成する。パターニングされたマスク２１０を形成するプロセスは、例えば、同一出願人による2002年8月12日付けで出願された米国特許出願号10/218,244に記載されており、その出願は参照として本願明細書に組み込まれている。
【００３２】
ステップ１０４では、基板２００が検査され、パターニングされたマスク２１０の基板に対して形状寸法が測定される。一実施の形態では、測定される寸法は、限界寸法、つまり、パターニングされたマスク２１０の高さ２１４だけでなく構造物２２０の幅２０６を有している。一般に、幅２０６と高さ２１４とは、１バッチの検査基板における各検査基板２００上で測定される。そのような測定は、エッチングリアクタに対してエクスサイチュー測定ツールを用いて実施されても良い。１つの典型的な実施の形態では、そのような光学測定ツールは、カリフォルニア州サンタクララのApplied Materials（アプライド  マテリアルズ）社から利用可能なCENTURA（登録商標）処理システムのTRANSFORMA（商標登録）計測モジュールである。TRANSFORMA（登録商標）計測モジュールは、１つまたはそれより多くの非破壊的な光学測定技術、例えば分光法、干渉分光法、分散計測法、反射率測定法、偏光解析法などを使用しても良い。
【００３３】
測定パラメータには、パターニングまたはブランケット誘電体膜と導電膜との何れかの膜厚だけでなく、基板上に製造された構造物の寸法寸法およびプロフィールが含まれる。一般に、構造物２２０の限界寸法の測定は、基板２００の複数の領域、たとえば、統計的に顕著な数の領域（例えば５〜９以上の領域）において実施され、その後に、その基板に対して平均される。
【００３４】
リソグラフィー処理の光学的限界により、フォトレジストがパターニングされたマスク２１０は一般に下層、例えば、層２０２でエッチングされる外観を拡大した画像である構造物（例えば、構造物２２０，２３０など）である。そのようなものとして、リソグラフィー処理の後に、フォトレジストマスク２１０をトリミングして、マスクがエッチングマスクとして使用される前に、そのような構造物の幅を減少するべきである。
【００３５】
ステップ１０５では、異常値フィルタを高さおよび幅の値を任意に適用して、異常値であるこれらのデータポイントがデータセットから除去されるようにしてもよい。そのような異常値は、粗悪な局所的なウエハの表面状態または欠陥によってもたらされる。除去されない場合には、異常値により基板処理パラメータが不正確に確立されてしまう可能性がある。
【００３６】
ステップ１０６において、パターニングされたマスク２１０をトリミングして、構造物２２０，２３０の幅を所定の値まで減少する。図３Ｂで例示的に示すように、ステップ１０６では、構造物２２０が所定の幅２１６までトリミングされる。これと同時に、ステップ１０６では、幅２０６と同じ比率でパターニングされたマスク２１０の他の構造物の幅（例えば、構造物２３０の幅２１８）が減少される。トリミング処理は一般に等方性エッチング処理（例えば、等方性プラズマエッチング処理）であり、この等方性エッチング処理は、高い側方エッチング速度と、下層２０２の材料上でパターニングされたマスク２１０（例えばフォトレジスト）の材料に対しての高い選択性とを有する。典型的に、トリミング処理を使用することで、パターニングされたマスク２１０（すなわち、構造物２２０，２３０など）の外観の幅が約３５〜８０％の範囲内で減少されても良い。パターニングされたマスク２１０の幅と高さを知ることにより、この方法は、等方性エッチングが実行される「トリミング時間」を確立する。「トリミング時間」の値によって、将来発生するトリミングの量が確立される。
【００３７】
ステップ１０６は、エッチングリアクタを使って、例えばCENTURA（登録商標）システムのDecoupled Plasma Source（DPS II）（分断されたプラズマ源）モジュールを使って実施されても良い。そのDPS IIモジュール（図１０を参照して以下説明）は、誘導源（すなわちアンテナ）を使用して高密度のプラズマを生成する。
【００３８】
１つの典型的な実施の形態では、フォトレジストマスク２１０は、流速２〜２００sccmで臭化水素（ＨＢｒ）、流速５〜１００sccm（例えば、ＨＢｒ：Ｏ2の流速が１：１０〜１０：１の範囲内）で酸素（Ｏ2）、および、流速１０〜２００sccmでアルゴン（Ａｒ）をそれぞれ提供し、約２００〜１０００Ｗで誘導結合したアンテナに電力を供給し、０〜３００Ｗで陰極バイアス電力を付加し、２〜３０mTorrの処理チャンバ内の圧力でウエハのペデスタル温度をセ氏０〜８０温度に維持することにより、DPS IIモジュールを使用して、フォトレジストマスク２１０がトリミングされる。１つの実例となる処理は、流速６０sccmで臭化水素（ＨＢｒ）、流速２８sccmで酸素（Ｏ2）（すなわち、ＨＢｒ：Ｏ2の流速は約２：１）、流速６０sccmでアルゴンをそれぞれ提供し、誘導結合したアンテナに電力の６００Ｗと陰極バイアス電力の１００Ｗとを付加し、４mTorrの圧力でウエハのペデスタル温度をセ氏５０度に維持する。
【００３９】
一実施の形態では、エッチングリアクタは、さらに、エッチング処理された基板上の構造物の高さ（例えば、構造物２２０の高さ２１４）に対応する測定規準をリアルタイムで測定するように構成されたインサイチュー測定ツールを備えている。トリミング処理中に、インサイチュー測定ツールは、紫外線および遠紫外線の範囲内の波長、例えば約２００〜８００ｎｍの波長を有する放射線（つまり入射放射線）を作り出す広帯域放射源を使用して、基板２００を照射する。一般に、そのような放射線は基板２００に対してほぼ垂直に向けられ、約１ｍｍ未満の形状寸法を有する領域を照射する。さらに詳細には、インサイチュー測定ツールは、幅２０６のような限界寸法を有する構造物（例えば構造物２２０）によって占められる基板２００の領域を照射する。
【００４０】
測定正確度（測定精度）を増大するために、放射線は任意に偏光されても良いだけでなく、入射放射線の強度は任意に変調されても良いし、および／またはパルスにされても良い。変調の入射放射線の周波数は約１０Ｈｚである。チョッパーを使って入射放射線はパルスにされても良い。一実施の形態では、構造物２２０の側壁に対してほぼ直交する方向（矢印２０９で示す）へ直線的に偏光された入射放射線を用いて結果が得られる。一般に、インサイチュー測定ツールは、干渉計および／または分光計の測定を実施するように構成されても良い（図１０を参照して以下説明）。１つの典型的な実施の形態では、そのようなインサイチュー測定ツールは、カリフォルニア州サンタクララのApplied Materials（アプライド  マテリアルズ）社から利用可能なEyeD（登録商標）である。
【００４１】
入射放射線（光線Ｒ１）は、構造物２２０を照射するためにインサイチュー測定ツールにより放射された時に、一部分で表面２２１から反射されて戻り（光線Ｒ３）、一部分で構造物２２０内へ伝播される（光線Ｒ５）。さらに、光線Ｒ５は、一部分で構造物の下の表面２０５を通って層２０２内に伝播し（光線Ｒ６）当該層内に吸収され、一部分で構造物２２０の材料内に捕捉され（光線Ｒ７）吸収され（例えばフォトレジスト）、一部分で反射されて戻る（光線Ｒ４）。これに対して、構造物２２０の付近の領域２０３を照射する入射放射線（光線Ｒ２）が、一部分で層２０２内に伝播されても良いし（光線Ｒ８）、当該層において一部分が層２０２から反射されて戻った状態で（光線Ｒ９）吸収される。
【００４２】
シーケンス１００は、パターニングされたマスク２１０の構造物２２０の高さを測定するために、干渉計による測定技術（例えば、時間領域内の干渉縞のカウント、周波数領域内の縞の位置の測定など）を実施するように構成されたインサイチュー測定ツールを使用する。１つの特定の実施の形態では、インサイチュー測定ツールは、トリミング処理中に光線Ｒ９，Ｒ４，Ｒ３によって形成された干渉パターンを使用して測定し、構造物の事前に選択した高さ（例えば、開始高さ２１４）に対して構造物２２０の高さ２１５の変化を決定する。また、これらの測定では、入射放射線の一部分は規準放射として使用されても良い。一実施の形態では、干渉計による測定は、放射線のスペクトルのうち少なくとも１つの波長を用いて実施される。
【００４３】
１つの典型的な実施の形態では、インサイチュー測定ツールは、トリミング処理が進行するにつれ、パターニングされたマスク２１０の構造物２２０の中間高さ（つまり、高さ２１５）をリアルタイムで周期的に測定する（例えば、１００ミリ秒毎に行われる測定）。トリミング処理および測定は、中間幅２０７が所定の幅２１６と等しくまたはそれよりも短くなるまで続く。高さ２１５と幅２０７を測定する際に正確度を高めるために、これらの測定は、数個の検査基板２００を使用して繰り返されても良いし、その後に、統計的に処理されても良い（例えば平均される）。
【００４４】
ステップ１０８では、トリミング処理の鉛直方向エッチング速度と水平方向エッチング速度との相関関係が定義される。そのような相関関係は、ステップ１０６中に実施された測定の結果を用いて定義される。トリミング処理中に水平方向トリム（つまりエッチング）速度は鉛直方向トリム速度と比例することが発見されている。そのようなものとして、トリミング処理の方法は、水平方向エッチング速度と鉛直方向エッチング速度との間で関連される一定の釣合によって特徴付けられても良い。ここでは、「水平方向トリム速度」および「鉛直方向トリム速度」という用語は、トリミング処理中に、パターニングされたマスク２１０の構造物を側方エッチングする速度、および、構造物の高さを減少させる速度にそれぞれ関連する。
【００４５】
図３Ｂを参照すると、水平方向トリム速度は、特に、幅２０６を減少させる速度に関連し、鉛直方向トリム速度は、構造物２２０の高さ２１４を減少させる速度に関連する。トリミング処理中に、トリミングされパターニングされたマスク２１０の構造物２２０の鉛直方向寸法（すなわち、高さ２１５）に対してインサイチュー測定の結果を用いて、そのような構造物の幅（すなわち、幅２０７）が計算されても良い。シーケンス１００は、トリミング処理における終点の閉鎖ループ制御のために、前にトリミングされた高さ２１４と開始幅２０６とを有する構造物２２０において算出された対象高さ２２４と所定の幅２１６との相関関係を使用する。そのようなものとして、構造物２２０は、所定の幅２１６まで制御可能にトリミングされても良い。
【００４６】
ステップ１１０では、パターニングされたマスク２１０（例えば、フォトレジストマスク）を備えた一バッチの製品基板が準備される。トリミング処理の前に、構造物２２０の幅２０６および高さ２１４が製品基板毎に測定される。１つの典型的な実施の形態では、これらの測定は、検査基板に関してステップ１０４で上述されたものと同じ測定ツール（例えば、TRANSFORMA（登録商標）計測モジュール）と同じ計測方法とを使用して実施される。
【００４７】
ステップ１１２では、構造物２２０の対象高さ２２４が、トリミングされる構造物の開始幅２０６（ステップ１１０で測定）と、トリミング処理の鉛直方向トリム速度と、トリミングされた構造物の所定の（対象）幅２１６との間で定義された相関関係を使用して、製品基板毎に計算される。
【００４８】
ステップ１１４では、製品基板のパターニングされたマスク２１０は、マスク２１０の構造物の高さをリアルタイムで測定するようにされたインサイチュー測定ツールを備えたエッチングリアクタを使用してトリミングされる。トリミング処理中に、インサイチュー測定ツールが、トリミングされパターニングされたマスク２１０（例えば、フォトレジストマスク）の構造物の中間高さ（すなわち、高さ２１５）をリアルタイムで測定し、これらの測定結果を、エッチングリアクタのプロセッサ（または制御装置）に伝える。１つの典型的な実施の形態では、トリミング処理は、ステップ１０６に関して上述されたインサイチュー測定ツールを備えたDPS IIモジュールを使用して実施される。
【００４９】
ステップ１１６では、シーケンス１００は、上述のステップ１１２で算出された対象高さ２２４まで構造物２２０の高さ（すなわち、中間高さ２１５）がトリミングされたか否かを問い合わせる。ステップ１１６の問い合わせが否定的に返答された場合には、シーケンス１００はステップ１１４へ進み、トリミング処理と構造物２２０の中間高さ２１５におけるリアルタイムでのインサイチュー測定とを続けるようにする。ステップ１１６の問い合わせが肯定的に返答された場合には、シーケンス１００は選択的なステップ１１８へ進む。
【００５０】
ステップ１１８において、トリミングされパターニングされたマスク２１０をエッチングマスクとして使用して、層２０２がインサイチューでエッチングされても良い。ステップ１２０で、シーケンス１００は、そのような基板のバッチから全ての製品基板が処理されたか否かを問い合わせる。ステップ１２０の問い合わせが否定的に返答された場合、シーケンス１００はステップ１１０へ進む。ステップ１２０の問い合わせが肯定的に返答された場合には、シーケンス１００はステップ１２２へ進む。ステップ１２２でシーケンス１００が終了する。
【００５１】
図４は、ステップ１０６の間に検査基板２００で実施された測定の典型的な結果を表すグラフ３００を示す。さらに詳細には、グラフ３００は、トリミング処理中の構造物の高さ（ｘ軸３０４）に対して、パターニングされたマスク２１０の構造物（例えば、構造物２２０）の幅（ｙ軸３０２）を示している。グラフ３００では、角度３１４は、水平方向トリム速度と鉛直方向トリム速度との間の比率に対応している。測定値３０８，３０６は、トリミングされる構造物２２０の幅２０６と高さ２１４とにそれぞれ関連する。したがって、測定値３１２，３１０は、トリミングされた構造物２２０の所定の幅２１６と対象高さ２２４とにそれぞれ対応する。ステップ１０８では、グラフ３００（簡略化のために線形グラフで示す）を使用して、対象高さ２２４が、矢印３１６を使って示されるように計算されても良い。
【００５２】
図５Ａおよび図５Ｂは、本発明によるマスクのトリミング処理の終点を検出する方法の他の実施の形態のフロー図をシーケンス４００として示す。シーケンス４００には、当該方法を達成するために検査基板と製品基板とで実施される一連の処理ステップが含まれている。図２Ａ、図２Ｂ、図５Ａ、および図５Ｂでは、同一の参照符号を使って類似の処理ステップを示す。本発明を最良に理解するために、図５Ａ、図５Ｂ、図３Ａ、および図３Ｂを同時に参照する。
【００５３】
シーケンス４００はステップ４０１から始まり、ステップ１０２を実施し、ステップ４０２へ進む。ステップ４０２では、検査基板２００が、シーケンス１００のステップ１０４に関して上述されたインサイチュー光学測定ツールを備えたエッチングリアクタ（例えば、CENTURA（登録商標）システムのDPS IIモジュール）へ移送される。シーケンス４００は、インサイチュー測定ツールを使用して、分光計による測定を実施する。ステップ４０２は、例えば、ステップ１０６に関して上述されたトリミング処理を使用して、パターニングされたマスク２１０をトリミングするだけでなく、同時に、基板２００から反射された放射線の一部分におけるスペクトル強度の測定を実施する。ここでは、「スペクトル強度」という用語は、放射線のスペクトル中における放射線エネルギーの分布を記述するために使用されている。
【００５４】
一実施の形態では、インサイチュー測定ツールは、構造物２２０によって占められる基板２００上の領域から反射された放射線の一部分を使用して、これらの測定を実施する。トリミング処理は、トリミングされている構造物２２０の中間幅２０７を測定するために、周期的に（例えば、１００ミリ秒毎に）終了される。これらの測定は、例えば、シーケンス１００のステップ１０４に関して上述されたEyeD（登録商標）計測モジュールを使用して、インサイチューで実施されても良い。
【００５５】
基板２２１，２０５と領域２０３とから反射されて戻った放射線（つまり、光線Ｒ３，Ｒ４，Ｒ９）のスペクトル強度は、トリミング処理中に著しく変化しない。しかしながら、構造物２２０は、構造物の中間幅２０７と一致する波長を有する放射線（つまり、光線Ｒ７）を選択的に捕捉しそれを吸収する。さらに詳細には、幅Ｄを有し屈折率Ｎの材料から形成された構造物２２０が、λD＝ＮｘＤに比例する波長λMINを有する放射線を選択的に捕捉しそれを吸収する。構造物２２０内で波長λMINを有する放射線を捕捉することは、構造物の範囲内の共鳴現象と、放射線の全ての内部反射とに関連していると考えられている。
【００５６】
パターニングされたマスク２１０における照射された構造物（例えば、構造物２２０）の幅を測定するために、シーケンス４００は、分光測定技術（すなわち、波長に対して放射線の強度の測定）を実行するように調整されたインサイチュー測定ツールを使用する。１つの特定な実施の形態では、トリミング処理中に、インサイチュー測定ツールが、事前に選択された規準波長に対して基板２００から反射された放射線のスペクトルにおける最小のスペクトル位置λMINを規定する。
【００５７】
入射放射線の一部分（光線Ｒ７）を選択的に捕捉した結果として、構造物２２０によって占められる領域から反射された放射線（光線Ｒ３，Ｒ４，Ｒ９）が、波長λMINにて低いスペクトル強度（すなわち、そのように反射された放射線のスペクトルにおける最小値）を有する。トリミング処理が進行し構造物２２０の幅Ｄが減少するにつれ、これまでよりも短い波長が構造物２２０の中で捕捉され構造物２２０によって吸収される。そのようなものとして、トリミング処理中に、反射された放射線のスペクトルにおける最小値のスペクトル位置（すなわち波長λMIN）が、より短い波長の方向へ変わる。
【００５８】
一実施の形態では、トリミング処理中に、インサイチュー測定ツールが、反射された放射線のスペクトル中における最小値λMINのスペクトル位置をリアルタイムで測定するだけでなく、構造物２２０の中間幅２０７をリアルタイムで測定する。トリミング処理とインサイチュー測定とは、中間幅２０７が、所定の（対象）幅２１６と等しくなるまでまたはそれより小さくなるまで続く。幅２０７を測定する正確性を増大させるために、幾つかの検査基板２００を使用してこれらの測定が繰り返されても良いし、その後に、統計的に処理されても良い（例えば、平均される）。
【００５９】
ステップ４０４では、ステップ４０２中で実施された測定の結果を用いて、反射された放射線のスペクトル中における最小値λMINのスペクトル位置と、構造物２２０の中間幅２０７との相関関係が定義される。そのような相関関係によって、開始幅２０６がリアルタイムで計算可能になるだけでなく、トリミング処理中に実施された最小値λMINのスペクトル位置におけるインサイチュー測定の結果を用いて構造物２２０の対象幅２１６が検出可能になる。
【００６０】
ステップ４０６では、反射された放射線のスペクトルのうち最小値λMINのスペクトル位置をリアルタイムで測定するように適合されたインサイチュー測定ツールを備えるエッチングリアクタを使用して、一バッチのそのような基板のうち製品基板のパターニングされたマスク２１０がトリミングされる。１つの典型的な実施の形態では、ステップ４０６は、ステップ４０２に関して上述されたインサイチュー測定ツールを備えたDPS IIモジュールを使用する。このインサイチュー測定ツールは、トリミングされパターニングされたマスク２１０（例えば、フォトレジストマスク）の構造物２２０によって占められる領域を製品基板上で照射するように調整されている。トリミング処理中に、インサイチュー測定ツールが、最小値λMINのスペクトル位置をリアルタイムで測定し、これらの測定の結果をエッチングリアクタのプロセッサ（または制御装置）に伝える。
【００６１】
ステップ４０８では、シーケンス４００は、構造物２２０の幅（すなわち、中間幅２０７）が、上述のステップ４０４で算出された対象幅２１６までトリミングされたか否かを問い合わせる。ステップ４０８の問い合わせが否定的な返答である場合には、シーケンス４００は、ステップ４０６へ進み、トリミングされている構造物２２０の中間幅２０７のトリミング処理と、リアルタイムでインサイチュー測定とを続けるようにする。ステップ４０８の問い合わせが肯定的に返答された場合には、シーケンス４００は選択的なステップ１１８へ進む。
【００６２】
ステップ１１８では、層２０２は、トリミングされパターニングされたマスク２１０をエッチングマスクとして使用して、インサイチューでエッチングされても良い。ステップ１２０では、シーケンス４００は、一バッチのそのような基板から全ての製品基板が処理されたか否かを問い合わせる。ステップ１２０の問い合わせが否定的に返答された場合には、シーケンス４００はステップ４０６へ進む。ステップ１２０の問い合わせが肯定的に返答された場合には、シーケンス４００はステップ１２２へ進む。ステップ１２２においてシーケンス４００が終了する。
【００６３】
図６Ａおよび図６Ｂは、トリミング処理中に基板２００から反射された放射線のスペクトル強度における変化の一例を表す一連のグラフを示している。第１のグラフ５１０は、波長（ｘ軸５０４）に対して入射放射線の強度（ｙ軸５０２）を示す。第２のグラフ５２０は、トリミング処理中において、波長（ｘ軸５１４）に対して構造物２２０により占められた基板２００の領域から反射された放射線の強度（ｙ軸５２２）の変化を示す。図６Ｂを参照すると、トリミング処理の開始前にモーメントＴ１で、反射された放射線のスペクトル強度は、構造物２２０の開始幅２０６に対応するスペクトル位置（すなわち、波長λMIN）５１１を有する最小値５１８を含む。トリミング処理が続くにつれ（破線で示す）、モーメントＴ２で、構造物２２０の幅が中間幅２０７まで減少し、最小値５１８のスペクトル位置が、波長５１よりも短い波長５１３へ変化する。モーメントＴ３で、構造物２２０が対象幅５１６までトリミングされる時に、最小値５１８のスペクトル位置が波長５１５まで減少する。
【００６４】
図７は、ステップ４０２の間において、検査基板２００で実施された測定の典型的な結果を表すグラフ６００を示す。さらに詳細には、グラフ６００は、そのような構造物によって占められる基板２００の領域から反射された放射線のスペクトルのうち最小値のスペクトル位置（すなわち、波長λMIN）（ｘ軸６０４）に対して、パターニングされたマスク２１０の構造物の幅（ｙ軸６０２）を示している。グラフ６００では、測定値６０８，６０６は、波長５１１と構造物２２０の開始幅２０６とに関連しており、測定値６１２、６１０は、波長５１５と構造物２２０の対象幅２１６とにそれぞれ対応している（波長５１１，波長５１５は図５Ｂに関して上述されている）。ステップ４０８では、グラフ６００（簡略化のため線形グラフで示す）を用いて、対象幅２１６が、矢印６１６を使って示されるように計算されても良い。
【００６５】
図８Ａおよび図８Ｂは、材料層内でエッチングされている外観をモニタリングするための１つの典型的なエッチング処理のフロー図をシーケンス６５０として示している。シーケンス６５０には、検査基板と製品基板とに実施されることがある一連の処理ステップが含まれている。
【００６６】
図９Ａおよび図９Ｂは、本発明の方法を用いて材料層内でエッチングされている外観を有する基板の概略的な断面図を示す。図９Ａおよび図９Ｂの画像は、正確な縮尺率で描かれているものではなく、例示的な目的のために簡略化されている。本発明を最良に理解するために、図８Ａ、図８Ｂ、図９Ａ、および図９Ｂを同時に参照する。
【００６７】
シーケンス６５０は、ステップ６５１で開始し、ステップ６５２へ進む。ステップ６５２では、層２０２と、パターニングされたマスク２１０とが、基板２００（例えば、シリコンウエハ）上に例示的に形成される（図９Ａ）。便宜上、ここでは、同一の概略的な断面図と、それぞれの参照符号とが、検査基板または製品基板２００に関連しても良い。
【００６８】
層２０２は、パターニングされていない（図示）またはパターニングされた単一の材料膜（例えば、誘電体膜、金属膜、または、集積回路で使用される他の膜）または多層膜積層体を有しても良い。次のエッチング処理中に、パターニングされたマスク２１０をエッチングマスクとして使用して、層２０２がエッチングされても良い。例えば、カリフォルニア州サンタクララのApplied Materials（アプライド  マテリアルズ）社から利用可能なCENTURA（登録商標）、ENDURA（登録商標）、または、他の処理システムを使用して実施される従来の薄膜形成技術を用いて、例えば、原子層蒸着（ＡＬＤ）、物理的蒸着（ＰＶＤ）、化学的蒸着（ＣＶＤ）、およびプラズマ強化CVD（ＰＥＣＶＤ）などを用いて、層２０２は形成可能である。
【００６９】
一般に、パターニングされたマスク２１０は、フォトレジストマスク、αカーボン（すなわち、アモルファスカーボン）マスク、ハードマスク、および、カリフォルニア州サンタクララのApplied Materials（アプライド  マテリアルズ）社から利用可能なAdvanced Patterning Film（登録商標）（ＡＰＦ）などの形態であってよい。１つの典型的な実施の形態では、パターニングされたマスク２１０はフォトレジストマスクである。例示的に図９Ａを参照すると、パターニングされたマスク２１０は、そこで規定された幅２０６の構造物２５０を画定する開口を有している。
【００７０】
フォトレジストマスク２１０は、形成されるデバイスの外観のパターンがフォトレジストの層内に選択的に移動されるリソグラフィー処理を使用して製造されても良い。その後、フォトレジストが現像され、フォトレジストの露出されていない部分が除去され、残ったフォトレジストが、パターニングされたマスク２１０を形成する。パターニングされたマスク２１０がフォトレジストマスクである時には、層２０２はさらに任意の反射防止膜（ＡＲＣ）を備えても良い。パターニングされたマスクの構造物のサイズが減少されるのにつれ、光反射のようなリソグラフィー処理に固有の光学限界からパターン転送処理の不正確性が生じることもある。フォトレジストを露出するために使用された光の反射を制御することにより、ＡＲＣがリソグラフィー処理の解像度を高める。１つの典型的な実施の形態では、リソグラフィー処理は、約８０ｎｍ〜約１２０ｎｍの最小幅２０６を有する構造物２２０を形成する。パターニングされたマスク２１０を形成するプロセスは、例えば、2002年8月12日付けで出願された同一出願人による米国特許出願番号10/218,244に記載されており、それは参照として本明細書に組み込まれている。
【００７１】
ステップ６５４では、基板２００が検査され、パターニングされたマスク２１０の構造物の形状寸法が測定される。一実施の形態において、測定寸法には、限界寸法、すなわち、パターニングされたマスク２１０の構造物２５０の幅２０６だけでなく、エッチングされている層２０２の膜厚が含まれる。一般に、幅２０６は、一バッチの検査基板２００のうちそれぞれの検査基板２００で測定される。そのような測定は、エッチング処理に対してエクスサイチュー測定ツールを使用して実施されても良い。一実施の形態では、そのような光学測定ツールは、カリフォルニア州サンタクララのApplied Materials（アプライド  マテリアルズ）社から利用可能なCENTURA（登録商標）処理システムのTRANSFORMA（登録商標）計測モジュールである。TRANSFORMA（登録商標）計測モジュールは、1つまたはそれより多くの非破壊的な光学測定技術、例えば分光法、干渉測定法、散乱測定法、反射率測定法、偏光解析法などを使用しても良い。測定されたパラメータには、基板に製造された構造物の形状寸法およびプロフィールだけでなく、パターニングまたはブランケットの誘電体膜および導電膜のいずれかの厚さが含まれる。構造物２５０の限界寸法の測定は、一般に、基板２００の複数の領域、例えば、統計的に著しい数の領域（例えば５〜９以上の領域）の中で実施され、その後に、そのような基板に対して平均される。
【００７２】
ステップ６５６では、材料層が所定の深さまでエッチングされる。図９Ｂに例示的に示すように、ステップ６５６は材料層２０２を所定の深さ２７５までエッチングする。一般に、エッチング処理は、高い鉛直方向エッチング速度と、マスク２１０の材料に渡って材料層２０２（例えば、シリコン酸化物）の材料に対して高い選択性とを有する異方性エッチング処理（例えば、異方性プラズマエッチング処理）である。
【００７３】
ステップ６５６は、エッチングリアクタを使用して、例えばCENTURA（登録商標）システムにおける分断されたプラズマ源（DPS II）モジュールを使用して実施されても良い。DPS IIモジュール（図１０を参照して以下説明）は、誘導源（すなわちアンテナ）を使用して高密度プラズマを生成する。
【００７４】
一実施の形態では、流速２〜２００sccmで四フッ化炭素（ＣＦ4）と流速１０〜２００sccmでアルゴン（Ａｒ）とを準備すること、約２００〜１０００Ｗの電力を誘電結合されたアンテナに供給（印加）すること、０〜３００Ｗの陰極バイアス電力を付加すること、および、処理チャンバ内の２〜３０mTorrの圧力でウエハのペデスタル温度をセ氏０〜８０度に維持することによりDPS IIモジュールを使用して、二酸化シリコンからなる材料層２０２がエッチングされる。１つの例示的なプロセスは、流速６０sccmで四フッ化炭素（ＣＦ4）と流速６０sccmでアルゴン（Ａｒ）とを準備し、誘導結合されたアンテナに電力の６００Ｗを付加し、陰極バイアス電力の１００Ｗを付加し、４mTorrの圧力でウエハのペデスタル温度をセ氏５０度に維持する。
【００７５】
１つの実施の形態では、エッチングリアクタは、さらに、エッチングされている材料層のエッチング深度（例えば、エッチング深度２７５）に対応する測定規準をリアルタイムで測定するように構成されたインサイチュー測定ツールを備えている。エッチング処理中に、インサイチュー測定ツールは、紫外線および遠紫外線の波長、例えば約２００〜８００ｎｍを有する放射線（つまり入射放射線）を作り出すために広帯域放射線源を使って、基板２００を照射できる。一般に、そのような放射線は基板２００に対してほぼ鉛直に向けられ、約１ｍｍ未満の形状寸法を有する領域を照射する。さらに詳細には、インサイチュー測定ツールは、幅２０６のような限界寸法を有する構造物（例えば構造物２５０）によって占められた基板２００の領域を照射する。EyeD（登録商標）による膜厚測定および制御（または終点）についての詳細は、2002年7月2日付けで出願され同一出願による米国特許出願番号6,413,867の「Film Thickness Control Using Spectral Interferometry」と、2002年11月1日付けで出願された米国特許出願番号10/286,402の「Interferometric Endpoint Determination In A Substrate Etching Process」とに開示されている。
【００７６】
上述の文献で説明されているように、エッチング深度とエッチング処理の終点とは、ウエハ（または基板）の表面からの反射光線の建設的または破壊的な干渉縞（強度最大または強度最小）をカウントすることで決定可能である。１つの典型的な干渉縞のトレンド信号グラフが図９Ｃで示される。ピーク３０１からピーク３０２まで（または底部から底部まで）の期間ｔ1はピーク３０２からピーク３０３までの期間ｔ2と等しい。ｔ1（またはｔ2）中にエッチングされた材料の厚さはλ／２と等しい（λは、モニタリングされた波長）。等しい期間は、安定したエッチング速度を示し、また、ピーク３０１，３０２，３０３における一定のピーク強度Ｉ1は一定の信号強度を示す。その後、強度対時間グラフを周波数対時間グラフに変換するために離散フーリエ変換（ＤＦＴ）を使用して、図９Ｃに示す時間Ｔ3からＴ4の信号が処理される。強度対時間グラフが正弦波形である場合には、変換された強度対周波数グラフは、図９Ｄに示すように、ｆ1で鉛直線Ｃ1になる。図９Ｃの強度グラフが正弦波形でない場合には、変換されたグラフは、図９Ｄの曲線Ｃ２のようになり、その曲線のピークがｆ1になる。ｆ1はｔ1の逆数であり（１／ｔ1）、それは、モニタリングされた波長の半分のエッチング時間である（λ／２）。強度対時間曲線は幅広対時間であるので、Ｔ3およびＴ4を決定するためにピーク３０１，３０２の場所を正確に決定することは容易でない。Ｔ3およびＴ4を正確に決定できない場合には、ｔ1（エッチング時間）の値を正確に計算できない。それに対し、離散フーリエ変換された強度対時間の曲線はより狭く、ｔ1の逆数であるｆ1（１／ｔ1）を正確に決定するためにグラフのはるかに正確なピーク３０８を生み出すことができる。期間ｔ1が期間ｔ2と等しいので、時間Ｔ3から（Ｔ4よりも上の）Ｔ5までに選択される時間分はやはり１つのピーク周波数ｆ1しか生じない。
【００７７】
しかしながら、多くの場合、干渉のトレンド信号グラフは、図９Ｃで示されるものほど理想的にならない。干渉縞強度対時間の非理想的なグラフの１例が図９Ｅで示される。ピーク３０４からピーク３０５までの期間ｔ7は、ピーク３０５からピーク３０６までの期間ｔ8よりも長い。減少する期間は、おらくエッチング負荷効果により、エッチ速度の増加を表す。また、ピーク３０４，３０５，３０６，３０７のピーク強度Ｉ3，Ｉ4，Ｉ5，Ｉ6はエッチング時間と共に減少し、それは、反射された信号が時間と共に減少することを示す。コンタクト、ビア、およびトレンチのエッチングの間では、減少する信号に伴って時間と共にエッチング速度の増加が観察される。図９Ｆは、時間Ｔ10と時間Ｔ11との間で図９ＥのグラフにおけるＤＦＴ処理した部分を示している。Ｔ10とＴ11の間の期間ｔ6が全ての強度サイクル（ピーク・トゥ・ピーク）よりも短いので、図９Ｄに示すように、ＤＦＴは周波数の最大値をもたらすことがなかった。ＤＦＴが時間Ｔ10と時間Ｔ12との間での信号に実施される場合には、結果として生じる強度対周波数グラフは、期間ｔ7の正確な測定を提供する最大値ｆ2（１／ｔ7）をもたらす。しかしながら、ＤＦＴが時間Ｔ10と時間Ｔ13との間での信号に実施された場合には、結果として生じる強度対周波数グラフは特異な最大値をもたらさないが、図９Ｈに示すようなデュアルピークと双対曲線との組合せた結果をもたらす。そのため、ＤＦＴを実施する適切な時間窓を選択することが重要である。図９Ｅに示す強度曲線に対して、ＤＦＴを実施してエッチング時間を正確に決定する適合可能な時間窓のサイズを使用することが重要となる。エッチング速度の増大を伴うプロセスに対して、ＤＦＴ用の時間窓が時間と共に減少することを必要とする。同様に、エッチング速度の減少を伴うプロセスに対して、ＤＦＴ用の時間窓が時間と共に増加することを必要とする。
【００７８】
１つの典型的な実施の形態では、インサイチュー測定ツールが、エッチング処理中に材料層２０２内でエッチングされている構造物２５０の中間エッチング深度（つまり、エッチング深度２６５）を周期的にリアルタイムで測定する（例えば、１００ミリ秒毎の測定）。エッチング処理および測定は、中間深度が所定の深度２７５に等しくなるまで続く。
【００７９】
ステップ６５８では、エッチング処理の鉛直方向エッチング速度が定義される。そのようなエッチング速度は、ステップ６５６の間に実施された測定の結果を用いて定義される。エッチング深度とエッチング速度とは、ある時系列における特定の波長（λ）の反射縞を追跡することにより測定されても良い。例えば、反射パターンが、ある波サイクルに達する時に、エッチング深度は波長（λ／２）の半分に等しい。エッチング速度は、継続期間によりエッチング深度を分割することによって計算可能である。
【００８０】
ステップ６６０では、パターニングされたマスク２１０（例えば、フォトレジストマスク）を有する一バッチの製品基板が準備される。エッチング処理の前に、幅２０６と層２０２の厚さとが製品基板で測定される。１つの典型的な実施の形態では、これらの測定は、検査基板に関してステップ６５４で上述されたものと同一の測定ツール（例えば、TRANSFORMA（登録商標）計測モジュール）および同一の計測方法を用いて実施される。
【００８１】
ステップ６６２では、エッチングされる構造物の開始幅２０６（ステップ６６０で測定）と、エッチング処理における鉛直方向エッチング速度と、エッチングされた構造物の所定の（対象）エッチング深度２７５との間で規定された相関関係（ステップ１０８）を用いて、構造物２５０の対象エッチング速度が各製品基板に対して測定される。
【００８２】
ステップ６６４では、構造物２５０のエッチング深度プロフィールをリアルタイムで測定するように適合されたインサイチュー測定ツールを備えたエッチングリアクタを用いて、構造物２５０は、製品基板の材料層２０２の中に形成される。エッチング処理の間に、インサイチュー測定ツールが、エッチングされている構造物２５０の中間深度（つまり、高さ２７５）をリアルタイムで測定し、これらの測定結果をエッチングリアクタのプロセッサ（または制御装置）に伝える。１つの典型的な実施の形態では、ステップ６５６に関して上述されたインサイチュー測定ツールを備えたDPS IIモジュールを使用して、エッチング処理が実施される。
【００８３】
ステップ６６６では、シーケンス６５０は、構造物２５０のエッチング深度（つまり、中間深度２６５）が、上述のステップ６６２で算出された対象深度２７５までエッチングされたか否かを問い合わせる。ステップ６６６の問い合わせが否定的に返答された場合には、シーケンス６５０はステップ６６４へ進み、エッチング処理と構造物２５０の中間高さ２７５におけるインサイチュー測定とを続ける。ステップ６６６の問い合わせが肯定的に返答された場合には、シーケンス６５０はステップ６６８へ進む。
【００８４】
ステップ６６８では、シーケンス６５０は、一バッチのそのような基板から全ての製品基板が処理されたか否かを問い合わせる。ステップ６６８への問い合わせが否定的に返答された場合には、シーケンス６５０はステップ６６０へ進む。ステップ６６８の問い合わせが肯定的に返答された場合には、シーケンス６５０はステップ６７０へ進む。ステップ６７０で、シーケンス６５０は終了する。
【００８５】
図１０は、本発明を実施するために例示的に使用されることもある典型的なDecoupled Plasma Source（分断されたプラズマ源）（ＤＰＳ）IIのエッチングリアクタ１０００を示す概略図である。DPS IIリアクタ１０００は、カリフォルニア州サンタクララのApplied Materials  Ｉｎｃ．（アプライド  マテリアルズ社）から利用可能なCENTURA（登録商標）集積半導体ウエハ処理システムの処理モジュールである。ここで示したリアクタ１０００の特定な実施の形態は、例示的な目的のために提供されたものであり、本発明の特許範囲を制限するために使用されるべきではない。
【００８６】
一般に、リアクタ１０００は、導電性本体（壁）１０３０内の基板ペデスタル１０１６と制御装置１０４０とを有するチャンバ１０１０を提供されている。
【００８７】
チャンバ１０１０は、ほぼ平坦な誘電性の天井１０２０を備えている。チャンバ１０１０の他の変形は、他のタイプの天井、例えばドーム状の天井を有しても良い。天井１０２０の上方には、選択的に制御されることもある１つまたはそれより多くのコイル要素（２つの同軸要素１０１２ａ，１０１２ｂを示す）を備えたアンテナ１０１２が配置されている。アンテナ１０１２は、第１の整合回路（matching network）１０１９を介して、プラズマ電源１０１８に結合されている。一般に、プラズマ電源１０１８は、５０ｋＨｚ〜１３．５６ＭＨｚの範囲内の調整可能な周波数で３０００Ｗまで生成可能である。
【００８８】
基板ペデスタル（陰極）１０１６は、第２の整合回路１０２４を介して、バイアス電源１０２２に結合されている。一般に、バイアス電源１０２２は、連続的またはパルス的な電力を生成できる約１３．５６ＭＨｚの周波数で５００Ｗまでの電源である。他の実施の形態では電源１０２２は直流電源またはパルス的な直流電源であっても良い。
【００８９】
制御装置１０４０は、中央処理ユニット（ＣＰＵ）１０４４、メモリ１０４２、および、ＣＰＵ１０４４のための支持回路１０４６からなり、処理チャンバ１０１０の構成要素と、そのようなものとしてさらに詳細に後述されるようなエッチング処理との制御を容易にする。
【００９０】
エッチャントガスおよびパッシベーションガスが、ガスパネル１０３８から処理チャンバ１０１０に供給される。一般に、エッチャントガスは、基板ペデスタル１０１６に設置された１つまたはそれより多くの注入口１０２６（図中では２つの注入口）を介して供給される。パッシベーションガスは、ガスパネル１０３８から、複数の注入口１０２８（例えば、開口および注入器など）を介して供給される。注入口１０２８（図中では２つの注入口）は、一般に、基板ペデスタル１０１６の周囲に、エッチングされている半導体ウエハ１０１４とほぼ同一面にほぼ等間隔で設置されている。注入口１０２８の形態および位置は、ウエハ１０１４の周辺領域（すなわち、端部に近い環状領域）においてパッシベーションガスの制御された高濃度を提供するように選択されている。
【００９１】
エッチャントガスとパッシベーションガスとは、別個のガス管（管１０３７，１０３９のそれぞれ）を使用して処理チャンバ１０１０に送られ、チャンバの反応容積１０５３の中へ拡散されるまで混合しない。図示した実施の形態では、エッチャントガスは、環状ガス流路１０２７を用いて注入口１０２６に供給され、同様に、パッシベーションガスは、環状ガス流路１０２９を用いて注入口１０２８に供給される。ガス流路１０２７，１０２９は、壁１０３０に形成されても良いし、または、当該壁１０３０に接続されるガスリング（図示のとおり）に形成されても良い。処理チャンバ１０１０内において、エッチャントガスとパッシベーションガスとがガス状混合物１０５０を形成する。
【００９２】
エッチング処理中に、プラズマ源１０１８からの電力をアンテナ１０１２に適用することで、ガス状混合物１０５０がプラズマ１０５５内で点火される。
【００９３】
チャンバ１０１０内のガス圧力が、スロットル弁１０６３と真空ポンプ１０３６とによって制御される。壁１０３０の温度は、壁１０３０を通る液体含有管（図示せず）を使って制御されても良い。一般に、チャンバの壁１０３０は、金属（例えば、アルミニウム（Ａｌ）、およびステンレス鋼など）から形成され、電気接地１０３４に接続されている。
【００９４】
作動中、ウエハ１０１４の温度が、基板ペデスタル１０１６の温度を安定させることで制御される。一実施の形態では、ガス源１０４８からのバックサイドガス（例えば、ヘリウム（Ｈｅ））が、ウエハ１０１４の下のペデスタル表面に形成された流路にガス管１０４９を介して供給される。バックサイドガスは、ペデスタル１０１６とウエハ１０１４との間で熱移動を容易にするために使用される。処理中に、ペデスタル１０１６は、埋め込まれた抵抗ヒータ１０３２によって、安定状態の温度まで加熱されても良いし、それから、ヘリウムガスがウエハ１０１４の均一な加熱を容易にする。そのような熱的制御を使用して、ウエハ１０１４がセ氏約０〜３５０度の温度で維持されても良い。
【００９５】
一実施の形態では、基板ペデスタル１０１６は、静電チャック１０６０、端部リング１０１５、抵抗ヒータ１０３２、ヒートシンク１０６６、および装着組立部品１００６を備えている。静電チャック１０６０は、少なくとも１つのクランプ電極１０８０からなり、チャック電源１０７６によって制御される。抵抗ヒータ１０３２は、一般に、少なくとも１つの加熱要素１０８２からなり、ヒータ電源１０７８によって調整される。他の実施の形態では、基板ペデスタル１０１６は、サセプタのクランプリング、メカニカルチャック、および、同様の基板保持機構を備えても良い。
【００９６】
作動中、リフト機構１０６２を使用して、ウエハ１０１４を基板支持部１０１６から上昇させ、または、基板を基板支持部上に降下させる。一般に、リフト機構１０６２は、各々のガイド孔１０８８を通る複数のリフトピン１０７２（図中では1本）からなる。また、処理チャンバ１０１０は、プロセス制御、内部診断、および終点検出などの従来システムからなる。そのようなシステムは支持システム１００７として集合的に図示されている。
【００９７】
遠隔プラズマ源を備えるチャンバおよび電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）プラズマチャンバなどを含めて、エッチングチャンバの他の形態が本発明を実施するために使用されても良いことは当業者によって理解される。
【００９８】
処理チャンバ１０１０の制御を容易にするために、制御装置１０４０は、様々なチャンバおよびサブプロセッサを制御するために産業的な背景において使用可能な汎用コンピュータプロセッサの形態の１つであっても良い。ＣＰＵ１０４４におけるメモリまたはコンピュータ読み取り可能媒体１０４２は、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読み取り専用メモリ（ＲＯＭ）、フロッピーディスク、ハードディスク、または、局部的または遠隔的なデジタル記憶装置の他の形態などのような１つまたはそれより多くの読み取り可能なメモリであっても良い。支持回路１０４６は、従来の方法でプロセッサをサポートするために、ＣＰＵ１０４４に接続されている。これらの回路には、キャッシュ、電源、クロック回路、入力／出力回路、およびサブシステムなどが含まれる。本発明の方法は、概して、メモリ１０４２内にソフトウェアルーチンとして記憶される。あるいはまた、そのようなソフトウェアルーチンは、ＣＰＵ１０４４によって制御されているハードウェアから遠隔に設置されている第２のＣＰＵ（図示せず）によって記憶および／または実行されても良い。
【００９９】
ＣＤと膜厚とを計測する機能を備えたエクスサイチュー測定ツールに一体形成されたエッチングシステムの一例は、Applied Materials（アプライド  マテリアルズ）のTRANSFORMA  system（トランスフォーマシステム）８００（図１１）である。Applied MaterialsのTRANSFORMA システムを記述する詳細な情報は、同一出願人による2003年5月1日付けで出願された米国特許出願番号10/428,145の「Method and Apparatus for Controlling Etch Processes During Fabrication of Semiconductor Devices」に開示されている。複数の処理チャンバ８０２を装着するためのCENTURA（登録商標）処理システムのようなシステムは、チャンバまたは「主フレーム」８０１、例えば、DPS II（登録商標）シリコンエッチングチャンバのような従来のエッチングリアクタと、「ロードロック」とも呼ばれる１つまたはそれより多くの転送チャンバ８０３とを備えている。本発明における一実施の形態では、４つのエッチング処理チャンバ８０２が主フレーム８０１に装着されている。１つの典型的な実施の形態では、３つのエッチング処理チャンバ８０２がエッチング用に使用され、１つは後のエッチング洗浄用に（つまり、エッチング後にウエハからフォトレジストポリマーおよび他の残余物を除去するために）選択的に使用される。ロボット８０４が、処理チャンバ８０２と転送チャンバ８０３との間でウエハを移動するために、主フレーム８０１内に設けられている。転送チャンバ８０３は、制御された環境を維持する「ミニ環境」としても周知の工場接触面８０５に接続されている。計測（または測定）ツール８０６は、ロードロック領域８０５の中で高速データ捕捉機能および分析機能を伴って集積可能であり、システム８００に入る各ウエハの膜厚がエッチング処理の前後で測定可能である。また、測定ツール８０６は、処理システム８００内の異なる場所に配置可能である。本発明の概念が成膜プロセスにも適用されるので、１つまたはそれより多くの処理チャンバ８０２は成膜チャンバであることがある。
【０１００】
本発明が、好ましい外観を達成するためにパラメータを調整する他のエッチング処理を使って、本発明の趣旨から逸脱せずに本明細書で開示された技術を利用することにより実施されても良いことは当業者によって理解される。
【０１０１】
本発明が、好ましい外観を達成するために処理パラメータを調整する他の半導体ウエハ処理システムを使って、本発明の趣旨から逸脱せずに本明細書で開示された技術を利用することにより実施されても良いことは当業者によって理解される。
【０１０２】
前述の説明が、パターニングされたマスクのトリミング処理中における終点検出に関連しているが、集積回路で使用されている他のデバイスおよび構造物の製造が本発明によって利益を得ることできる。
【０１０３】
前述の説明が本発明の例示的な実施の形態に向けられたが、本発明の他の実施形態およびさらなる実施形態は、本発明の基本的な請求の範囲から逸脱せずになされたものであり、その請求の範囲は請求項により規定される。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明によるエッチング処理をモニタリングする方法を示すフロー図である。
【図１Ａ】干渉的および／または分光的な測定組立部品と、光学的電磁放射（ＯＥＳ）モニタリング組立部品とを備えたインサイチュー測定ツールを示す。
【図１Ｂ】処理チャンバの概略図であって、処理チャンバ内部のウエハから光捕捉装置への反射光の通路を示すものである。
【図２Ａ】本発明の一実施の形態によるマスクトリミング処理をモニタリングする方法を示すフロー図である。
【図２Ｂ】本発明の一実施の形態によるマスクトリミング処理をモニタリングする方法を示すフロー図である。
【図３Ａ】トリミングされパターニングされたマスクを有する基板の概略的な断面図である。
【図３Ｂ】トリミングされパターニングされたマスクを有する基板の概略的な断面図である。
【図４】マスクトリミング処理の間において鉛直方向エッチング速度と水平方向エッチング速度との相関関係を表すグラフである。
【図５Ａ】本発明の他の実施の形態によるマスクトリミング処理をモニタリングする方法を示すフロー図である。
【図５Ｂ】本発明の他の実施の形態によるマスクトリミング処理をモニタリングする方法を示すフロー図である。
【図６Ａ】マスクトリミング処理の間において基板から反射された放射線のスペクトル強度の変化を表す一連のグラフである。
【図６Ｂ】マスクトリミング処理の間において基板から反射された放射線のスペクトル強度の変化を表す一連のグラフである。
【図７】反射された放射線のスペクトルにおける最小値のスペクトル位置と、トリミングされパターニングされたマスクの外観の幅との相関関係を示すグラフである。
【図８Ａ】本発明の他の実施の形態による材料層のエッチング処理をモニタリングする方法を示すフロー図である。
【図８Ｂ】本発明の他の実施の形態による材料層のエッチング処理をモニタリングする方法を示すフロー図である。
【図９Ａ】エッチングされている材料層を備えた基板における一連の概略的な断面図である。
【図９Ｂ】エッチングされている材料層を備えた基板における一連の概略的な断面図である。
【図９Ｃ】安定した強度の期間における干渉縞の強度対時間を示すグラフである。
【図９Ｄ】干渉縞の強度対周波数を示すグラフである。
【図９Ｅ】減少する強度の期間における干渉縞の強度対周波数を示すグラフである。
【図９Ｆ】図９Ｅの時間Ｔ10から時間Ｔ11における干渉縞の強度対周波数を示すグラフである。
【図９Ｇ】図９Ｅの時間Ｔ10から時間Ｔ12における干渉縞の強度対周波数を示すグラフである。
【図９Ｈ】図９Ｅの時間Ｔ10から時間Ｔ13における干渉縞の強度対周波数を示すグラフである。
【図１０】本発明の一部分を実施する際に使用されるタイプのインサイチューモニタリングモジュールを含んだ典型的なエッチングリアクタを示す概略図である。
【図１１】本発明の一部分を実施する際に使用されるタイプの典型的な処理システムを示す概略図である。
【符号の説明】
【０１０５】
５０  EyeDチャンバモジュール
５１  チャンバ
５４  光ファイバケーブル
５５  信号収集装置
５６  信号ケーブル
５８  光源
５９  分光計
６０  プロセッサ
６１  制御装置
７１  窓
７２  光
７３  信号ケーブル
７４  ビーム形成光学系
７５  ウエハ
７６  プラズマ
【図１】
2005012218.tif 000003
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
2005012218.tif 000018
【図９Ｂ】
2005012218.tif 000019
【図９Ｃ】
2005012218.tif 000020
【図９Ｄ】
2005012218.tif 000021
【図９Ｅ】
2005012218.tif 000022
【図９Ｆ】
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【図９Ｇ】
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【図９Ｈ】
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【図１０】
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【図１１】
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【外国語明細書】
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