(57)【要約】【課題】  従来のマイクロ波デバイスの調整方法では、一旦室温に戻さなければ調整できず、調整作業に大変時間がかかるという問題点があり、マイクロ波デバイスを冷却したままで調整可能とし、調整作業にかかる時間を大幅に短縮することができるマイクロ波デバイスの調整用具及び超伝導回路装置を提供する。【解決手段】  マイクロ波デバイス１が搭載されたチャンバ４に冠する板状の蓋（第１の蓋）５ｂに、マイクロ波デバイス１上に設けられた複数のトリミングロッド（調整部）１１の分布範囲をカバーする大きさの穴５２を設け、穴５２を覆う板状の移動蓋（第２の蓋）６が蓋５ｂの上に搭載され、移動蓋６に調整ドライバ（調整手段）５０が取り付けられ、更に、移動蓋６を蓋５ｂ上で移動させる移動機構を備えたマイクロ波デバイスの調整用具及び超伝導回路装置としている。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
動作時の電気的特性を調整するネジ状の調整部を備えたマイクロ波デバイスが格納され、極低温状態に冷却された容器の開口部に冠されて前記容器を密閉する蓋と、
前記調整部を調整するドライバ状の調整手段とを備えたマイクロ波デバイスの調整用具であって、
前記調整手段が、前記蓋に当該蓋を貫通して取り付けられ、前記蓋が前記容器に冠された状態で前記容器内に格納されたマイクロ波デバイスの調整部を調整する調整手段であることを特徴とするマイクロ波デバイスの調整用具。
【請求項２】
極低温状態に冷却される容器と、
動作時の電気的特性を調整するネジ状の調整部を備え、前記容器内に格納されたマイクロ波デバイスと、
前記容器の開口部に冠されて前記容器を密閉する蓋と、
前記蓋に前記蓋を貫通して取り付けられ、前記蓋が前記容器に冠された状態で前記容器内に格納されたマイクロ波デバイスの調整部を調整するドライバ状の調整手段とを備えたことを特徴とする超伝導回路装置。
【請求項３】
動作時の電気的特性を調整するネジ状の調整部を備えたマイクロ波デバイスが格納され、極低温状態に冷却された容器の開口部に冠されて前記開口部に密着し、前記開口部に冠された場合に前記マイクロ波デバイスの調整部を覆う位置に穴を備えた第１の蓋と、前記第１の蓋上に搭載されて前記穴を覆う第２の蓋とを備えたマイクロ波デバイスの調整用具であって、
前記第２の蓋に当該蓋を貫通して取り付けられ、前記第１の蓋が前記容器に冠された状態で前記穴を介して前記容器内に格納されたマイクロ波デバイスの調整部を調整するドライバ状の調整手段と、
前記第２の蓋を前記第１の蓋上で移動させる移動機構とを備えたことを特徴とするマイクロ波デバイスの調整用具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、極低温状態において動作する電子回路の電気的特性を調整する調整用具及び超伝導回路装置に係り、特に極低温状態及び減圧状態を保持したまま電子回路の電気的特性を調整でき、調整作業の効率化を図ることができるマイクロ波デバイスの調整用具及び超伝導回路装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、移動無線システムにおいて熱雑音特性の改善や高温超電導デバイス使用の目的で、極低温冷凍機によって極低温にまで冷却した状態で動作するシステムが必要となってきている。このようなシステムに搭載される電子デバイスは、極低温状態において、安定した電気的特性で動作することが必要である。
【０００３】
例えば、フィルタ回路では、誘電率や基板厚のわずかの違いによりフィルタ特性のばらつきが生じる。しかし、微小な電子デバイスの作成段階において規格内の電気的特性が得られるようにするには、製造時のプロセスマージンが非常に厳しいものとなり、歩留まりの低下を招く。そのため、電子デバイスの作成後に電気的特性を調整する技術が必要となっている。
【０００４】
ところで、マイクロ波帯のような高周波領域で扱われる電子デバイス（マイクロ波デバイス）では、周波数特性を調整する調整部を設けて、電気的特性が規格内になるよう調整部を調整し、製品の歩留まりを向上させることが行われている。
【０００５】
例えば、常温で動作する高周波モジュール（特にフィルタ回路）では、伝送線路上に可変コンデンサを設け、周波数特性等の電気的特性を調整する方法がある。可変コンデンサは、ギャップ間隔の変化による容量変化を利用したものである。そこで、このような調整方法を極低温で動作するマイクロ波デバイスにも適用する試みが為されている。
【０００６】
ここで、極低温で動作するマイクロ波デバイスの電気的特性の調整方法について説明する。図８は、従来の電子デバイスの電気的特性の概略構成及び調整方法を示す説明図である。
図８に示すように、極低温で動作させるマイクロ波デバイスを搭載した超伝導回路装置は、マイクロ波デバイス１と、コールドステージ２と、チャンバ４と、蓋５′と、入力用ＲＦコネクタ４１と、出力用ＲＦコネクタ４２とから構成されている。
【０００７】
極低温で動作するマイクロ波デバイス１は、チャンバ４内に設けられたコールドステージ２上に密着して取り付けられており、コールドステージ２は、冷凍機８に接続されて極低温まで冷却される構造となっている。
【０００８】
また、マイクロ波デバイス１を収納する容器であるチャンバ４は蓋５′によって密閉される構造であり、真空排気装置９によってチャンバ４内が減圧され真空に近い状態になっている。このようにチャンバ４内を真空に近い状態にすることにより、外気の熱がチャンバ４内部に伝導するのを防ぐものである。
【０００９】
そして、マイクロ波デバイス１には、調整部としての可変コンデンサ（以下、「トリミングロッド」と称する）１１が調整箇所毎に設けられており、トリミングロッド１１を調整することにより、マイクロ波デバイス１の電気的な特性が所望の範囲になるように調整可能としている。
【００１０】
従来の超伝導回路装置に搭載されているマイクロ波デバイスの調整方法は、まず、（１）室温でトリミングロッド１１を調節してから、（２）真空排気装置９により容器内を真空に近い状態にし、（３）極低温状態でのマイクロ波デバイス１の電気的特性を確認し、規格外であれば、（４）常温常圧に戻し、（５）蓋５′を開けて、規格内になるように再びトリミングロッド１１を調整する。この作業を極低温状態で所望の電気特性になるまでくり返し行って調整するようになっていた。
【００１１】
尚、従来の超伝導回路装置の電気的特性を良好にするための技術としては、収納ケース内に超伝導回路を均一に押さえて収納する手段を設けることで、回路付近の金属製の障害物による電気的特性の影響をなくし、安定した電気的特性が得られるものがあった（特許文献１参照）。
【００１２】
【特許文献１】特開２００３−１０１０８８号公報（第２−５頁、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、従来のマイクロ波デバイスの調整方法では、極低温における電気的特性が規格外だと、常温常圧に戻してからトリミングロッドを調整し、その後再度減圧・冷却して特性を確認するため、冷却したり室温に戻したりするのを何度も繰り返さなければならず、調整作業に大変時間がかかるという問題点があった。
【００１４】
本発明は上記実情に鑑みて為されたもので、マイクロ波デバイスを冷却した状態で調整可能とし、調整作業にかかる時間を大幅に短縮することができるマイクロ波デバイスの調整用具及び超伝導回路装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、動作時の電気的特性を調整するネジ状の調整部を備えたマイクロ波デバイスが格納され、極低温状態に冷却された容器の開口部に冠されて容器を密閉する蓋と、調整部を調整するドライバ状の調整手段とを備えたマイクロ波デバイスの調整用具であって、調整手段が、蓋を貫通して当該蓋に取り付けられ、蓋が容器に冠された状態で容器内に格納されたマイクロ波デバイスの調整部を調整する調整手段であるマイクロ波デバイスの調整用具としており、容器内を極低温状態に保持したままマイクロ波デバイスの電気的特性の調整作業を行うことができ、調整作業に要する時間を短縮し、作業効率を向上させることができる。
【００１６】
また、本発明は、極低温状態に冷却される容器と、動作時の電気的特性を調整するネジ状の調整部を備え、容器内に格納されたマイクロ波デバイスと、容器の開口部に冠されて容器を密閉する蓋と、蓋に当該蓋を貫通して取り付けられ、蓋が容器に冠された状態で容器内に格納されたマイクロ波デバイスの調整部を調整するドライバ状の調整手段とを備えた超伝導回路装置としており、容器内を極低温状態に保持したままマイクロ波デバイスの電気的特性の調整作業を行うことができ、調整作業に要する時間を短縮し、作業効率を向上させることができる。
【００１７】
本発明は、動作時の電気的特性を調整するネジ状の調整部を備えたマイクロ波デバイスが格納され、極低温状態に冷却された容器の開口部に冠されて開口部に密着し、開口部に冠された場合にマイクロ波デバイスの調整部を覆う位置に穴を備えた第１の蓋と、第１の蓋上に搭載されて当該穴を覆う第２の蓋とを備えたマイクロ波デバイスの調整用具であって、第２の蓋に当該蓋を貫通して取り付けられ、第１の蓋が前記容器に冠された状態で穴を介して容器内に格納されたマイクロ波デバイスの調整部を調整するドライバ状の調整手段と、第２の蓋を第１の蓋上で移動させる移動機構とを備えたマイクロ波デバイスの調整用具としており、第１の蓋と第２の蓋を組み合わせることにより容器を密閉して、容器内を極低温状態に保持したままマイクロ波デバイスの電気的特性の調整作業を行うことができ、特に、調整手段がマイクロ波デバイスの調整部の真上にくるように第２の蓋を移動して調整部を調整することで、広範囲の調整部を短時間で調整でき、調整作業の効率を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、マイクロデバイスの調整部を調整する調整手段を、マイクロ波デバイスが格納された容器に冠される蓋に当該蓋を貫通して取り付け、蓋が容器に冠された状態で容器内に格納されたマイクロ波デバイスの調整部を調整するマイクロ波デバイスの調整用具としているので、容器内を極低温状態に保持したままマイクロ波デバイスの電気的特性の調整作業を行うことができ、調整作業に要する時間を短縮し、作業効率を向上させることができ、更に、極低温で動作するマイクロ波デバイスの設計・製造・調整に要する時間を短縮して、マイクロ波デバイスの製品コストを低減することができる効果がある。
【００１９】
本発明によれば、極低温状態に冷却される容器と、動作時の電気的特性を調整するネジ状の調整部を備え、容器内に格納されたマイクロ波デバイスと、容器の開口部に冠されて容器を密閉する蓋と、蓋に当該蓋を貫通して取り付けられ、蓋が容器に冠された状態で容器内に格納されたマイクロ波デバイスの調整部を調整するドライバ状の調整手段とを備えた超伝導回路装置としているので、容器内を極低温状態に保持したままマイクロ波デバイスの電気的特性の調整作業を行うことができ、調整作業に要する時間を短縮し、作業効率を向上させることができ、更に、極低温で動作するマイクロ波デバイスを搭載する超伝導回路装置の設計・製造・調整に要する時間を短縮して、超伝導回路装置の製品コストを低減することができる効果がある。
【００２０】
本発明によれば、マイクロ波デバイスが格納された容器の開口部に冠されて開口部に密着し、開口部に冠された場合にマイクロ波デバイスの調整部を覆う位置に穴を備えた第１の蓋と、第１の蓋上に搭載されて当該穴を覆う第２の蓋とを備えたマイクロ波デバイスの調整用具であって、第２の蓋に、当該蓋を貫通して、第１の蓋が前記容器に冠された状態で穴を介して容器内に格納されたマイクロ波デバイスの調整部を調整するドライバ状の調整手段を設け、第２の蓋を第１の蓋上で移動させる移動機構とを備えたマイクロ波デバイスの調整用具としているので、第１の蓋と第２の蓋を組み合わせることにより容器を密閉して、容器内を極低温状態に保持したままマイクロ波デバイスの電気的特性の調整作業を行うことができ、特に、調整手段がマイクロ波デバイスの調整部の真上にくるように第２の蓋を移動して調整部を調整することで、広範囲の調整部を短時間で調整でき、調整作業の効率を向上させることができ、更に、極低温で動作するマイクロ波デバイスの設計・製造・調整に要する時間を短縮して、マイクロ波デバイスの製品コストを低減することができる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
本発明に係るマイクロ波デバイスの調整用具は、極低温状態において動作するマイクロ波デバイスが格納される密閉可能な容器の蓋に貫通孔を設け、貫通孔に蓋の外部から操作可能なドライバを挿入し、当該ドライバがマイクロ波デバイスに取り付けられた調整部を調整可能に可動的に取り付けられているものであり、容器の蓋を開けることなく容器内を減圧状態且つ冷却状態に保ったままマイクロ波デバイスの電気的特性を調整することができ、マイクロ波デバイスの電気的特性の調整作業を効率的に行うことができるものである。
【００２２】
また、本発明に係る超伝導回路装置は、電気的特性を調整する調整部を備えたマイクロ波デバイスが密閉可能な容器内に格納され、マイクロ波デバイスの調整部が、容器の蓋に設けられた貫通孔から挿入され、当該蓋に取り付けられたドライバによって調整可能な超伝導回路装置であり、マイクロ波デバイスの電気的特性の調整作業を効率的に行うことができるものである。
【００２３】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る超伝導回路装置の模式断面説明図である。
図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る超伝導回路装置は、マイクロ波デバイス１と、コールドステージ２と、チャンバ４と、蓋５ａと、入力用ＲＦコネクタ４１と、出力用ＲＦコネクタ４２とから構成されている。
【００２４】
上記構成部分の内、コールドステージ２と、入力用ＲＦコネクタ４１と、出力用ＲＦコネクタ４２は、図８に示した従来の超伝導回路装置と同様の構成及び動作であり、コールドステージは冷凍機８で冷却されるものである。入力用ＲＦコネクタ４１及び出力用ＲＦコネクタ４２は、いずれも高真空部品であり、チャンバ内の真空度を損なわないものである。
【００２５】
また、マイクロ波デバイス１には、には、電気的特性を調整する調整部として、図８のマイクロ波デバイスと同様のネジ部を備えたトリミングロッド１１が設けられている。図１では上面に設けられている。尚、本発明のマイクロ波デバイスでは、トリミングロッド１１の取り付け位置についても最適化を図っており、これについては後述する。
【００２６】
そして、第１のマイクロ波デバイス調整用具及び超伝導回路装置の特徴として、チャンバ４の開口部に冠される蓋５ａが略ドーム状に形成され、ドームの頂上部分に、円筒状のシャフト５１が取り付けられている。シャフト５１は、蓋５ａに対する取り付け角度が直角から一定の範囲内で可変であり、且つ円周方向に回転可能に取り付けられている。更に、シャフト５１の円筒内部には貫通孔が設けられ、該貫通孔をトリミングロッド１１を調整する調整手段としての調整ドライバ５０が上下可動に取り付けられている。
【００２７】
そして、図１に示した超伝導回路装置の内、蓋５ａ、シャフト５１、調整ドライバ５０から構成される部分が、第１の実施の形態に係るマイクロ波デバイスの調整用具（第１の調整用具）となっている。
【００２８】
シャフト５１と蓋５ａとの接続部分、また、調整ドライバ５０が貫通しているシャフト５１の貫通孔内壁と調整ドライバ５０との隙間は伸縮可能な部材（例えばゴム）で埋められ、調整ドライバ５０が軸方向に可動で、また、軸と直交方向に回転可能で、且つチャンバ内の密閉性を損なわないように構成されている。
【００２９】
そして、チャンバ４に蓋５ａを冠するとほぼ密閉状態となり、チャンバ４に従来と同様の真空排気装置９を接続して排気することにより、内部を真空に近い状態に減圧可能となっている。
【００３０】
調整ドライバ５０は、先端部がトリミングロッド１１のネジ部の溝に差し込み可能な形状となっており、ネジ部を回転させてマイクロ波デバイス１の電気的特性を調整するものである。調整ドライバ５０の長さは、トリミングロッド１１に十分届く長さであり、操作者はシャフト５１の外部から調整ドライバ５０を操作してトリミングロッド１１を調整するものである。
【００３１】
そして、シャフト５１が蓋５ａの頂上部分に取り付け角度可変且つ回転可能に取り付けられていることにより、調整ドライバ５０の先端は、一定範囲内のトリミングロッド１１のネジ部に届いて当該範囲内にある複数個のトリミングロッド１１の調節を可能とするものである。
【００３２】
更に、蓋５ａは透明アクリルや耐圧ガラス等の透明の部材で形成されており、操作者が調整すべきトリミングロッド１１の位置を容易に目視できるようになっている。または、蓋５ａの側面または頂上部分を窓状に一部切り欠き、当該切り欠き部に透明部材をはめ込んだ窓を設けてもよい。透明部材の色は無色が適当であるが、トリミングロッド１１のネジ部がよく見える色であれば薄い色付きの透明な部材であっても構わない。
また、蓋５ａそのものを透明な部材で形成しなくても、蓋５ａ又はチャンバ４の一部を切り欠いて、透明な部材から成る窓を設けるようにしてもよい。
【００３３】
このように、第１の調整用具及び超伝導回路装置では、蓋５ａにシャフト５１を設け、シャフト５１に調整ドライバ５０を取り付けたことによって、極低温で特性をチェックした際に規格外であった場合にも、常温に戻したり蓋５ａを開けたりすることなくトリミングロッド１１の再調整を行うことができるものであり、マイクロ波デバイス１の電気的特性の調整操作を効率的に行うことができるものである。
尚、より広い範囲のトリミングロッド１１の調整を行うためには、蓋５ａのドームの高さを高くし、調整用ドライバ５０の軸の長さを長くすればよい。
【００３４】
また、調整ドライバ５０の先端の形状は、調整しようとするトリミングロッド１１のネジ部に嵌合する大きさ及び形状としている。例えば、一般的なプラスドライバやマイナスドライバの形の他、星形形状等であっても構わない。
【００３５】
更に、予め種々の大きさ及び形状の先端部を用意しておき、調整ドライバ５０の軸部にトリミングロッド１１のネジ部の頭の大きさ及び形状に応じた先端部を付け替えるようにしてもよい。その場合、付け替え可能な先端部を、例えば鉛筆のキャップのように一端が開口した円筒状に形成し、他端にトリミングロッド１１と嵌合するドライバ部を備え、ドライバ部に向かって徐々に細くなるよう形成すれば、付け替え可能な先端部は摩擦によって調整ドライバ５０の軸部にはまって固定可能となるものである。
【００３６】
次に、マイクロ波デバイス１に設けられたトリミングロッド１１の構成について、図２を用いて説明する。図２（ａ）（ｂ）は、本発明の超伝導回路装置に用いられているトリミングロッドの模式断面説明図である。
図２に示すように、トリミングロッド１１は、円柱状に形成された誘電体１２の一端にネジ部１３が設けられ、ネジ部１３が、その外側に設けられたハウジング１４の内部の空洞をハウジング１４の長さ方向に沿って（図２では上下に）移動可能な構成となっている。
【００３７】
そして、このトリミングロッド１１を共振器上に配置すると、空間の静電容量が変化し、共振器の見かけ上の長さや共振器間の結合係数が変化する。これにより、マイクロ波デバイス１の電気的特性を調節することができるものである。
【００３８】
そして、本装置では、トリミングロッド１１をヘアピン型共振器上に配置する際には、最も電界強度が強い端部（開放端側）に配置し、共振周波数が最も大きく変化するようにして、調整の効果が最大になるようにしている。
【００３９】
本発明の第１の実施の形態に係るマイクロ波デバイスの調整用具によれば、マイクロ波デバイスが格納されるチャンバ４に冠される略ドーム型の蓋５ａの頂上部分に円周方向に回転可能で自在に傾きを変えられるシャフト５１を設け、シャフト５１にトリミングロッド１１に届く長さの軸を備えた調整ドライバ５０を取り付けた調整用具としているので、極低温・減圧状態を保ったまま何度でもトリミングロッド１１の再調整を行うことができ、マイクロ波デバイス１の電気的特性の調整操作を効率的に行うことができる効果がある。
【００４０】
また、本発明の第１の実施の形態に係る超伝導回路装置によれば、マイクロ波デバイス１を搭載したチャンバ４に、略ドーム型の蓋５ａの頂上部分に円周方向に回転可能で自在に傾きを変えられるシャフト５１を設け、シャフト５１にトリミングロッド１１に届く長さの軸を備えた調整ドライバ５０を取り付けた調整用具を冠した超伝導回路装置としているので、極低温・減圧状態を保ったまま何度でもトリミングロッド１１の再調整を行うことができ、搭載しているマイクロ波デバイス１の電気的特性の調整操作を効率的に行うことができる効果がある。
【００４１】
また、第１のマイクロ波デバイスの調整用具及び超伝導回路装置によれば、蓋５ａの素材を透明な部材としているので、又は蓋５ａ或いはチャンバ４に透明な部材から成る窓を設けた構成としているので、トリミングロッド１１の調整操作を行う操作者は、マイクロ波デバイス１上のトリミングロッド１１をはっきりと目視することができ、位置を確認しやすくして調整操作を容易にし、作業効率を一層向上させることができる効果がある。
【００４２】
また、第１のマイクロ波デバイスの調整用具及び超伝導回路装置によれば、蓋５ａとシャフト５１との間の接続部、及びシャフト５１と調整ドライバ５０との間の接続部にゴムのような伸縮可能な部材を用いているので、これらの接続部における密閉性を保持することができ、チャンバ内の減圧状態及び極低温状態を保つことができる効果がある。
【００４３】
更に、第１のマイクロ波デバイスの調整用具によれば、調整ドライバ５０の先端の形状を様々に形成したり、調整ドライバ５０を軸方向に可変としていることにより、トリミングロッド１１のネジ部の形状やチャンバ４の開口面からトリミングロッド１１までの長さが変わっても対応することができ、多様なマイクロ波デバイス１の調整を行うことができ、マイクロ波デバイスの調整用具の製造コスト及び超伝導回路装置の価格を一層低減できる効果がある。
【００４４】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るマイクロ波デバイスの調整用具及び超伝導回路装置について説明する。
第１の調整用具及び超伝導回路装置では、蓋の１点から挿入された調整用ドライバをシャフトを支点として回転させてある程度の範囲内にある複数のトリミングロッドを調整するものであったが、第２の調整用具及び超伝導回路装置は、段数の多いフィルタ（例えば１０段以上）を想定して、より広範囲のトリミングロッドを調整可能とするものである。
【００４５】
第２の実施の形態に係るマイクロ波デバイスの調整用具（第２の調整用具）及び超伝導回路装置（第２の超伝導回路装置）の基本的な構成について図３及び図８を用いて説明する。図３は、本発明の第２の実施の形態に係るマイクロ波デバイスの調整用具の基本構成を示す模式説明図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は模式断面説明図である。
【００４６】
第２の実施の形態に係るマイクロ波デバイスの調整用具は、図８に示したようなマイクロ波デバイスが収納されるチャンバ４の開口部に冠されるものであり（チャンバは図示省略）、チャンバ４の開口部を覆う板上の蓋に調整すべきトリミングロッドの分布範囲をカバーする大きさの穴を開け、当該穴を覆う大きさで、且つ蓋上の平面を前後左右に移動可能な移動蓋を設け、当該移動蓋に調整用ドライバを設けたものであり、移動蓋が移動することにより、穴の下に設置されているトリミングロッドを調整用ドライバで調整可能としている。
【００４７】
第２の調整用具について図３を用いて説明する。
図３（ａ）に示すように、第２の調整用具は、主として、マイクロ波デバイスが収納されるチャンバ（図示せず）の開口部に冠されて密閉可能な蓋５ｂと、蓋５ｂの上に重ねて設けられた移動蓋６とから構成されている。尚、蓋５ｂは請求項３における「第１の蓋」に相当し、移動蓋６は請求項３における「第２の蓋」に相当している。また、蓋５ｂ及び移動蓋６を組み合わせたものは請求項１及び請求項２における「蓋」に相当している。
【００４８】
更に、蓋５ｂのほぼ中央には、穴５２が穿孔されている。穴５２は、蓋５ｂをチャンバ（図示省略）上に冠した場合に、マイクロ波デバイス（図示省略）のトリミングロッドが設置されている分布範囲をカバーする大きさに形成されている。つまり、穴５２の大きさは、容器内に設置されるマイクロ波デバイスの調整部分より広い大きさとなっている。
【００４９】
また、移動蓋６のほぼ中央には貫通孔が設けられ、当該貫通孔をトリミングロッドを調整する調整ドライバ５０が貫通して取り付けられている。貫通孔の内壁には、従来と同様に機密性を保持するゴムのような伸縮可能な部材が取り付けられて、調整ドライバ５０が軸方向に移動可能で、軸に直交する方向に回転可能となり、且つチャンバ内の密閉性を損なわないようになっている。
【００５０】
そして、移動蓋６は、蓋５ｂ上でＸ方向及びＹ方向にそれぞれ独立して移動可能となっている。移動蓋６を移動させる機構については後述する。
移動蓋６の移動可能範囲（可動範囲）は、穴５２の中心からＸ方向及びＹ方向に±５センチメートル程度であり、可動範囲を最大限に移動した場合でも移動蓋６で穴５２の開口部を完全に覆うことができる可動範囲であり、移動蓋６全体の大きさは穴５２を十分覆うことができる大きさとしている。
【００５１】
更に、穴５２の周囲には、ゴム製のＯリング５３が取り付けられている。Ｏリング５３を設けたことにより、移動蓋６を移動させるときには容易に移動し、図３（ｂ）に示すように、チャンバ内を減圧した場合には、穴５２の周囲における蓋５ｂと移動蓋６との間の密閉性を十分良くすることができ、チャンバ内の減圧状態を保持できるものである。
【００５２】
また、蓋５ｂと移動蓋６とは板状の透明アクリル板又は強化ガラス板等で形成されており、第１の調整用具と同様に操作者が調整すべきトリミングロッド１１を容易に目視できるようにしている。また、特に、互いに接する面は平滑な平面に形成され、移動蓋６が蓋５ｂ上を移動する際の摩擦を小さくし、且つ減圧状態にした場合に十分密着してチャンバ内の密閉性を損なわないようにしている。
【００５３】
そして、図３（ｂ）に示すように、操作者は、移動蓋６をトリミングロッドの真上に調整ドライバ５０が来るように移動蓋６を移動して、調整ドライバ５０の先端部でマイクロ波デバイスのトリミングロッドの調整を行うようになっている。
【００５４】
尚、第２の調整用具では、移動蓋６がトリミングロッド１１の真上に移動可能であるため、第１の調整用具のように調整ドライバ５０の角度を可変にするシャフトは設けておらず、移動蓋６の面に対して垂直に取り付けられている。しかし、第１の調整用具のようにシャフトを設ければ、穴５２の真下から幾分外側にあるトリミングロッド１１にも到達でき、より広範囲のトリミングロッド１１の調整が可能となるため、より多段のフィルタの調整に有効である。また、穴５２を幾分小さくすることができ、容器内の密閉性を向上させることができる。
【００５５】
次に、第２のマイクロ波デバイスの調整用具及び超伝導回路装置について図４を用いて具体的に説明する。図４は、第２の実施の形態に係る超伝導回路装置（又はマイクロ波デバイスの調整用具）の上面図である。尚、第２の超伝導回路装置ではチャンバの大きさに比べて蓋５ｂが大きいので、図４ではチャンバは蓋５ｂの後方に隠れ、図示されていないが、図８に示した従来のチャンバ４と同様のものである。
また、図４に示した部分が、第２のマイクロ波デバイスの調整用具に相当する部分となっているので、まず第２の調整用具について説明する。
【００５６】
図４に示すように、第２のマイクロ波デバイスの調整用具は、主として、マイクロ波デバイスが収納されたチャンバの上部開口部に冠された蓋５ｂと、蓋５ｂの上部に搭載された移動蓋６と、蓋５ｂの４辺に固定された固定支え板２５、２６、２７、２８と、各固定支え板２５、２６、２７、２８より蓋５ｂの内側に設けられ、移動蓋６の４辺を押す可動支え板２１、２２、２３、２４とから構成されている。
【００５７】
そして、図３を用いて説明したように、蓋５ｂのほぼ中心部には穴５２が穿孔され、更に穴５２の周囲にはゴム製のＯリング５３が設けられている。
また、移動蓋６のほぼ中心部には調整ドライバ５０が上下可動及び軸に直交する方向に回転可能に取り付けられている。尚、第１の調整用具と同様に、第２の調整用具においてもドライバ５０の先端の形状や大きさは任意の形状に形成可能であり、また、付け替え可能な先端部としてもよい。
【００５８】
更に、第２の調整用具の特徴として、移動蓋６をＸ方向及びＹ方向に独立して移動させる移動機構が設けられている。
移動蓋６をＸ方向に移動させる移動機構は、蓋５ｂの２辺に固定されているＸ軸固定支え板２５、２６と、固定支え板２５を貫通する複数の操作軸２０ａと、操作軸２０ａの移動蓋６側の先端に固定されているＸ軸可動支え板２１と、固定支え板２６を貫通する複数の操作軸２０ｂと、操作軸２０ｂの移動蓋６側の先端に固定されているＸ軸可動支え板２２とから構成されている。
【００５９】
Ｘ軸固定支え板２５には操作軸２０ａの径より大きい貫通孔が設けられており、当該貫通孔内部を操作軸２０ａが貫通し、Ｘ軸方向（図４では右又は左）に自由に移動可能となっている。同様に、Ｘ軸固定支え板２６にも貫通孔が設けられ、操作軸２０ｂが貫通してＸ方向に自由に移動可能となっている。
【００６０】
移動蓋６をＹ方向に移動させる移動機構は、Ｘ方向の移動機構と同様に、蓋５ｂの２辺に固定されているＹ軸固定支え板２７、２８と、Ｙ軸固定支え板２７を貫通する複数の操作軸２０ｃと、操作軸２０ｃの移動蓋６側の先端に固定されているＹ軸可動支え板２３と、Ｙ軸固定支え板２８を貫通する複数の操作軸２０ｄと、操作軸２０ｄの移動蓋６側の先端に固定されているＹ軸可動支え板２４とから構成されている。
そして、操作軸２０ｃ又は２０ｄは、Ｙ軸固定支え板２７又は２８の貫通孔を貫通し、Ｙ方向に自由に移動可能となっている。
【００６１】
従って、移動蓋６は、蓋５ｂの上面に接し、４枚の可動支え板２２、２３、２４、２５によって四方から挟まれて保持された状態となっている。また、ここでは、移動蓋６は取り外し可能としている。
【００６２】
次に、移動蓋６の移動方法について説明する。
例えば、操作者が操作軸２０ａを蓋５ｂの外側から押すと、操作軸２０ａの動きに応じてＸ軸可動支え板２１がＸ軸の正の方向（図４では右）に移動し、それに伴って、移動蓋６が蓋５ｂ上を右又は左に摺動して移動する。そして、移動蓋６の移動に応じてＸ軸可動支え板２２も右に移動する。つまり、Ｘ方向の移動については、正の方向に動かすときには操作軸２０ａを押し、負の方向に動かすときには操作軸２０ｂを押すことにより、移動蓋６を移動させ、これに伴って対向する操作軸２０ｂ又は２０ａを連動して移動させるものである。
図４の例では、操作軸２０ｂを押して移動蓋６をＸ軸の負の方向に移動させた状態を示している。
【００６３】
Ｙ方向の移動についても同様であり、操作者が操作軸２０ｃを押すとＹ軸可動支え板２３がＹ軸の正の方向に移動し、操作軸２０ｄを押すとＹ軸可動支え板２４がＹ軸の負の方向に移動して、それぞれの方向に移動蓋６及び対向する操作軸２０を移動させるものである。
【００６４】
次に、第２の超伝導回路装置及びその電気的特性の調整方法について図５を用いて説明する。図５は、図４のＡ−Ａ′の断面を示す模式説明図である。
図５に示すように、第２の超伝導回路装置は、チャンバ４と、チャンバ４内に設けられたコールドステージ２と、コールドステージ２上に搭載されたマイクロ波デバイス１と、チャンバ４に設けられた入力用ＲＦコネクタ４１及び出力用ＲＦコネクタ４２と、図４を用いて説明した第２の調整用具とから構成されている。また、マイクロ波デバイス１の上面には、複数のトリミングロッド１１が設けられている。
【００６５】
これらの構成部分の内、蓋部分に相当する第２の調整用具を除くチャンバ４内の構成は、図８に示した従来の超伝導回路装置と同様となっており、チャンバ４内はコールドステージ２は冷凍機８によって極低温状態に冷却され、真空排気装置９によって真空に近い状態に減圧されるものである。
【００６６】
また、第２の調整用具は、移動蓋６が蓋５ｂに設けられた穴５２を完全に覆うものであり、更に蓋５ｂの穴５２の周囲にＯリング５３が設けられているので、第２の調整用具をチャンバ４の開口部に冠すると、チャンバ４内はほぼ密閉状態となり、真空排気装置９で排気した場合に真空に近い状態に減圧可能となっている。
【００６７】
第２の超伝導回路装置における電気的特性の調整方法について説明する。
まず、調整ドライバ５０の先端部の高さを調整する。調整ドライバ５０は、移動蓋６に対して軸方向に可動的に取り付けられているので、チャンバ４の開口部に蓋５ｂを含む第２の調整用具を冠した場合に、コールドステージ２上のマイクロ波デバイス１のトリミングロッド１１にぶつからない程度の長さとしておく。
【００６８】
そして、常温常圧で特性調整済みのマイクロ波デバイス１を搭載したチャンバ４に第２の調整用具を冠し、コールドステージを冷却してチャンバ４内を真空にした後、極低温状態におけるマイクロ波デバイス１の電気的特性を調べる。
マイクロ波デバイス１の電気的特性（フィルタ回路の場合は周波数特性）の検査は、入力用ＲＦコネクタ４１出力用ＲＦコネクタ４２との間で測定されるものである。
【００６９】
そして、電気的特性の測定結果が規格外であった場合には、操作者は、調整ドライバ５０の先端部がトリミングロッド１１の真上に来るように、操作軸２０を動かして移動蓋６の位置を合わせ、真上に来たら調整ドライバ５０を押し込んで高さ方向を合わせ、先端をトリミングロッド１１のネジ部に嵌合させて所望の方向にネジ部を回転させる。一つのトリミングロッド１１について調整が終わると、ネジ部トリミングロッド１１から調整ドライバ５０を抜き、次のトリミングロッド１１の位置に移動蓋６を移動させる。この操作を調整が必要なトリミングロッド１１毎に行うものである。
【００７０】
このように、第２の超伝導回路装置では、トリミングロッド１１の調整の際に蓋５ｂを開ける必要がないので、チャンバ４内の真空状態及び極低温状態を保ったまま、トリミングロッド１１を調整することができるものであり、超伝導回路装置の調整作業に要する時間を大幅に短縮することができるものである。
【００７１】
そして、必要なトリミングロッド１１の調整を行ったら、再度マイクロ波デバイス１の電気的特性を測定し、規格内に入るまで調整を繰り返す。このようにして第２の超伝導回路装置におけるマイクロ波デバイス１の電気的特性の調整が行われるものである。
【００７２】
そして、調整が終わったら、調整ドライバ５０から移動蓋６のみを取り外し、調整ドライバ５０を動かないように固定して、製品用の蓋を冠し、再度冷却・排気を行って特性をチェックし、規格内であることを確認して、製品出荷可能となるものである。
尚、ここでは移動蓋６を取り外し可能なものとしているが、取り外さない構造としても構わず、この場合には、移動蓋６及び調整ドライバ５０を付けたまま調整ドライバ５０を固定して製品用の蓋を冠するようになっている。
【００７３】
本発明の第２の実施の形態に係るマイクロ波デバイスの調整用具によれば、マイクロ波デバイス１が搭載されたチャンバ４に冠する板状の蓋５ｂに、マイクロ波デバイス１上に設けられた複数のトリミングロッド１１の分布範囲をカバーする大きさの穴５２を設け、穴５２を覆う板状の移動蓋６が蓋５ｂの上に搭載され、調整ドライバ５０が軸方向に可動的に移動蓋６に取り付けられ、更に、移動蓋６を蓋５ｂ上でＸ方向とＹ方向にそれぞれ独立して移動させる移動機構を備えた調整用具としているので、調整ドライバ５０がトリミングロッド１１の真上に位置するよう移動蓋６を移動してから高さを合わせて、調整ドライバ５０でトリミングロッド１１を調整することができ、チャンバ４に蓋をしたままの状態で、チャンバ４内の減圧・極低温状態を保持したままマイクロ波デバイス１の電気的特性を調整することができ、マイクロ波デバイスの電気的特性の調整作業を短時間で効率的に行うことができる効果がある。
【００７４】
また、第２の実施の形態に係る超伝導回路装置によれば、板状の蓋５ｂに、マイクロ波デバイス１上に設けられた複数のトリミングロッド１１の分布範囲をカバーする大きさの穴５２を設け、穴５２を覆う板状の移動蓋６を蓋５ｂの上に設け、調整ドライバ５０が軸方向に可動的に移動蓋６に取り付けられ、更に、移動蓋６を蓋５ｂ上でＸ方向とＹ方向にそれぞれ独立して移動させる移動機構を備えた調整用具をマイクロ波デバイス１が搭載されたチャンバ４に冠した超伝導回路装置としているので、チャンバ４内の減圧・極低温状態を保持したままでマイクロ波デバイス１の電気的特性を調整することができ、調整作業を短時間で効率的に行うことができる効果がある。
【００７５】
また、第２の調整用具によれば、蓋５ｂ及び移動蓋６を板状に形成しているので、チャンバ４に冠した場合に超伝導回路装置の小型化・薄型化・軽量化を図ることができ、特に高さ方向に突出していないので、近い距離から調整ドライバ５０でトリミングロッド１１を調整することができ、第１の調整用具に比べて調整の精度を向上させることができる効果がある。
【００７６】
更に、第２の調整用具によれば、蓋５ｂの穴５２の周囲にＯリング５３を設けているので、移動蓋６の移動時には移動蓋６を蓋５ｂ上で移動しやすくすると共に、減圧時には、穴５２の周囲の蓋５ｂと移動蓋６との隙間を無くし、密閉性を向上させ、チャンバ４内の減圧状態（真空度）及び低温状態を維持できる効果がある。
【００７７】
また、上述した第１及び第２の調整用具及び超伝導回路装置では、調整ドライバ５０自体の長さは不変であり、蓋５ａ又は蓋５ｂへの押し込み具合で高さ方向の調節を行うものであったが、調整ドライバ５０自体の長さを変える構成としてもよい。
【００７８】
このような例について図６を用いて説明する。図６は、調整ドライバ５０の長さを変える構成とした第２の調整用具及び超伝導回路装置を示す説明図である。
図６（ａ）に示すように、この調整用具及び超伝導回路装置では、調整ドライバ５０に長さ調節の構成を備えている。これにより、予め調整ドライバ５０の長さをある程度調節しておき、チャンバ４に冠してから上述したようにトリミングロッド１１に応じて高さ方向を合わせるようにするものである。
【００７９】
また、図６（ｂ）に示すように、調整ドライバ５０の長さを調節する構成としては、細円柱状の軸５０ａに円筒状の先端部５０ｂをはめ込んで、適当なところで摩擦やネジで留めるものや、逆に、円筒状の軸５０ａ′の内部に細円柱状の先端部５０ｂ′をはめ込んで留めるものや、板状又は柱状の軸５０ｃと先端部５０ｄとを一部重ね合わせて、一方をスライドさせて適当なところでネジで留めるもの等が考えられる。
【００８０】
このように、調整ドライバ５０の長さを調節可能とすることにより、より多様なマイクロ波デバイスの調整が可能となるものである。
【００８１】
更に、第２のマイクロ波デバイスの調整用具及び超伝導回路装置では、移動蓋６を移動する移動機構の操作軸２０を操作者が手で押して移動蓋６を移動するようにしていたが、より細かい調節を可能とするために、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれにローレットハンドルを設けてもよい。図７は、ローレットハンドルを備えた第２の調整用具及び超伝導回路装置を示す説明図である。
【００８２】
図７に示すように、Ｘ方向の移動用として、操作軸２０ａの位置を調節するローレットハンドル２９を備え、Ｙ方向の移動用として、操作軸２０ｃの位置を調節するローレットハンドル３０を備えている。
【００８３】
このように、移動蓋６をＸ方向に移動させる移動機構と、移動蓋６をＹ方向に移動させる移動機構のそれぞれにローレットハンドルを設けたマイクロ波デバイスの調整用具及び超伝導回路装置としているので、移動蓋６の移動量を微調節することができ、電気的特性の調整精度を向上させることができる効果がある。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明は、極低温状態及び減圧状態を保持したままマイクロ波デバイスの電気的特性を調整でき、調整作業の効率化を図ることができるマイクロ波デバイスの調整用具及び超伝導回路装置に適している。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る超伝導回路装置の模式断面説明図である。
【図２】（ａ）（ｂ）は、本発明の超伝導回路装置に用いられているトリミングロッドの模式断面説明図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係るマイクロ波デバイスの調整用具の基本構成を示す模式説明図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は模式断面説明図である。
【図４】第２の実施の形態に係る超伝導回路装置（又はマイクロ波デバイスの調整用具）の上面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ′の断面を示す模式説明図である。
【図６】調整ドライバ５０の長さを変える構成とした第２の調整用具及び超伝導回路装置を示す説明図である。
【図７】ローレットハンドルを備えた第２の調整用具及び超伝導回路装置を示す説明図である。
【図８】従来の電子デバイスの電気的特性の概略構成及び調整方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【００８６】
１…マイクロ波デバイス、  ２…コールドステージ、  ４…チャンバ、  ５…蓋、  ６…移動蓋、  ８…冷凍機、  ９…真空排気装置、  １０…、  １１…トリミングロッド、  １２…誘電体、  １３…ネジ部、  １４…ハウジング、  １５…、  １６…、  １７…、  １８…、  １９…、  ２０…操作軸、  ２１、２２…Ｘ軸可動支え板、、  ２３、２４…Ｙ軸可動支え板、  ２５、２６…Ｘ軸固定支え板、  ２７、２８…Ｙ軸固定支え板、  ２９、３０…ローレットハンドル、  ４１…入力用ＲＦコネクタ、  ４２…出力用ＲＦコネクタ、  ５０…調整ドライバ、  ５１…シャフト、  ５２…穴、  ５３…Ｏリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005209911.tif 000009
【図８】
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