(57)【要約】【課題】部品数や工程数が少なく、量産性に優れる電子部品内蔵基板の製造方法を提供すること。【解決手段】  例えば、端子部を有する電子部品としてＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２を搭載用プリプレグ（第１絶縁性シート）に搭載し（ｂ）、この搭載用プリプレグ（第１絶縁性シート）をそのまま層間絶縁層として、当該層上に例えばビルドアップ工法により配線構造を形成する。【選択図】  図１
2005101075.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
端子部を有する電子部品を準備する工程と、
第１絶縁性シートを準備する工程と、
前記端子部が前記第１絶縁性シートに向き合うよう、前記電子部品を前記第１絶縁性シート上に搭載する工程と、
前記端子部の表面が露出するよう、前記第１絶縁性シートに開口部を形成する工程と、
前記端子部から前記第１絶縁性シート上部に延在する導電部材を形成する工程と、
を有することを特徴とする電子部品内蔵基板の製造方法。
【請求項２】
前記第１絶縁性シート上に搭載された電子部品を、第２絶縁性シートに埋め込む工程を有することを特徴とする請求項１に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
【請求項３】
前記第１絶縁性シート上に搭載された電子部品を、樹脂封止する工程を有することを特徴とする請求項１に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
【請求項４】
前記第１絶縁性シートは、プリプレグであることを特徴とする請求項１に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
【請求項５】
前記第１絶縁性シートは、感光性シートであることを特徴とする請求項１に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
【請求項６】
主表面に端子部を有し、第１の厚さを有する第１電子部品を準備する工程と、
主表面に端子部を有し、前記第１の厚さよりも厚い第２の厚さを有する第２電子部品を準備する工程と、
第１絶縁性シートを準備する工程と、
前記端子部が前記第１絶縁性シートに向き合うよう、前記第１及び第２電子部品を前記第１絶縁性シート上に搭載する工程と、
前記第１及び第２電子部品の前記端子部の表面が露出するよう、前記第１絶縁性シートに開口部を形成する工程と、
前記第１及び第２電子部品の前記端子部から前記第１絶縁性シート上部に延在する配線層を形成する工程と、
前記第１及び第２電子部品を樹脂で覆う工程と、
を有することを特徴とする電子部品内蔵基板の製造方法。
【請求項７】
前記第１及び第２電子部品を樹脂で覆う工程は、第２絶縁性シートを準備する工程と、前記第２絶縁性シートを前記第１及び第２電子部品に押圧し、前記第２絶縁性シート内に前記第１及び第２電子部品を埋め込む工程と、を有することを特徴とする請求項６に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
【請求項８】
前記第１及び第２電子部品を樹脂で覆う工程は、
前記第１及び第２電子部品上に液状樹脂を滴下する工程を含むことを特徴とする請求項６に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
【請求項９】
前記第１絶縁性シートに開口部を形成する工程は、前記第１絶縁性シートとして感光性シートを用い、当該感光性シートに直接、露光・現像を施して、前記第１及び第２電子部品の前記端子部の表面が露出する前記開口部を形成する工程を含むことを特徴とする請求項６に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、能動素子（例えば、電子回路を構成するトランジスタ）や、受動素子（例えばコンデンサ、抵抗）のような電子部品を内蔵した電子部品内蔵基板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品の高密度実装化に伴い、能動素子や、受動素子などの電子部品を基板に内蔵した電子部品内蔵基板が提案されてきている。
【０００３】
このような、電子部品を基板に内蔵する方式では、例えば、半導体チップと、抵抗あるいはコンデンサーなどのチップ部品とを一緒に内蔵する場合、各々の部品の厚みが異なるため、搭載層に厚み分のザグリを形成した後、（１）各部品を埋め込む、（２）厚みが同一になるように下部にスペーサーを用いる、等の対応が必要であった。
【０００４】
（１）及び（２）の方法では、ザグリ形成やスペーサーを搭載するため工程が増える及び部品数が増加するなどの問題があり、技術的に満足の行くものでは無かった。
【０００５】
これらの課題を改善するために、特開２００２−１１０７１４、特開２００２−２９０００６が提案されている。これら提案には、厚さが異なる複数の電子部品を樹脂封止し、電子部品内蔵基板を製造する方法が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−１１０７１４
【特許文献２】特開２００２−２９０００６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特開２００２−１１０７１４では絶縁性のダミーシート上に一旦、電子部品を搭載して樹脂封止を施し、その後、ダミーシートを剥がすといったもので、最終構造としては不要であるダミーシートが使用されている。
【０００７】
一方、特開２００２−２９０００６では、電子部品の電極上にボンディングワイヤを立設し、樹脂封止した後、樹脂層を研削してボンディングワイヤの表面を露出させると共に平坦化するといったもので、樹脂の特性や樹脂封止工程の仕方によっては、ボンディングワイヤが倒れたり、ボンディングワイヤの先端位置がずれたりして、ボンディングワイヤの先端が所定の位置に配置されるようにすることが困難になる共に、外部端子（ハンダボール）を配置する位置を精度よく設定することも困難となる。この特開２００２−２９０００６では、樹脂の特性や樹脂封止工程に制約を設けるものである。
【０００８】
このため、さらなる部品数や工程数の低減、量産性の向上が指摘されており、改善が望まれている。
【０００９】
本発明は、前記従来における諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明の目的は、部品数や工程数が少なく、量産性に優れる電子部品内蔵基板の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題は、以下の手段により解決される。
即ち、本発明の電子部品内蔵基板の製造方法は、
端子部を有する電子部品を準備する工程と、
第１絶縁性シートを準備する工程と、
前記端子部が前記第１絶縁性シートに向き合うよう、前記電子部品を前記第１絶縁性シート上に搭載する工程と、
前記端子部の表面が露出するよう、前記第１絶縁性シートに開口部を形成する工程と、
前記端子部から前記第１絶縁性シート上部に延在する導電部材を形成する工程と、
を有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の電子部品内蔵基板の製造方法では、電子部品を第１絶縁性シートに搭載し、この第１絶縁性シートを剥がすことなくそのまま使用し、例えばビルドアップ工法によって第１絶縁性シートを層間絶縁層として、端子部が露出する開口部を設けると共に前記開口部を通じて電子部品の端子部から第１絶縁性シート上に延在する導電部材（例えば配線層や外部端子）を設ける。このため、厚みの異なる電子部品を基板に内蔵させても、上述のようなダミーシートを用いたり、樹脂封止した後切削する方法に比べ、部品数や工程数の低減、量産性の向上が図れる。
【００１２】
本発明の電子部品内蔵基板の製造方法においては、電子部品を保護する工程として、前記第１絶縁性シート上に搭載された電子部品を、第２絶縁性シートに埋め込む工程を有してもよいし、前記第１絶縁性シート上に搭載された電子部品を、樹脂封止する工程を有してもよい。
【００１３】
本発明の電子部品内蔵基板の製造方法においては、前記第１絶縁シートとして、プリプレグを用いてもよいし、感光性シートを使用してもよい。
【００１４】
ここで、プリプレグとは、基材（例えば紙、ガラス布、ガラス不織布、合成樹脂など）に熱硬化性樹脂（例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂など）を含浸させて半硬化状態にさせたものである。
また、感光性シートとは、例えば、感光性の部位を有する熱可塑性樹脂（例えばポリアミド、ポリイミドなど）で構成されたシートや、当該熱可塑性樹脂のフィラー（例えばシリカ、炭酸カルシウムなど）含有物で構成されたシートが挙げられる。
【００１５】
より具体的には、本発明の電子部品内蔵基板の製造方法は、
主表面に端子部を有し、第１の厚さを有する第１電子部品を準備する工程と、
主表面に端子部を有し、前記第１の厚さよりも厚い第２の厚さを有する第２電子部品を準備する工程と、
第１絶縁性シートを準備する工程と、
前記端子部が前記第１絶縁性シートに向き合うよう、前記第１及び第２電子部品を前記第１絶縁性シート上に搭載する工程と、
前記第１及び第２電子部品の前記端子部の表面が露出するよう、前記第１絶縁性シートに開口部を形成する工程と、
前記第１及び第２電子部品の前記端子部から前記第１絶縁性シート上部に延在する配線層を形成する工程と、
前記第１及び第２電子部品を樹脂で覆う工程と、
を有することを特徴としている。
【００１６】
また、前記第１及び第２電子部品を樹脂で覆う工程は、第２絶縁性シートを準備する工程と、前記第２絶縁性シートを前記第１及び第２電子部品に押圧し、前記第２絶縁性シート内に前記第１及び第２電子部品を埋め込む工程と、を有してもよい。
【００１７】
また、前記第１及び第２電子部品を樹脂で覆う工程は、前記第１及び第２電子部品上に液状樹脂を滴下する工程を含んでいてもよい。
【００１８】
また、前記第１絶縁性シートに開口部を形成する工程は、前記第１絶縁性シートとして感光性シートを用い、当該感光性シートに直接、露光・現像を施して、前記第１及び第２電子部品の前記端子部の表面が露出する前記開口部を形成する工程を含んでいてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、部品数や工程数が少なく、量産性に優れる、といった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、実質的に同様の機能を有するものには、全図面通して同じ符号を付して説明し、場合によってはその説明を省略することがある。
【００２１】
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態に係る電子部品内蔵基板の製造方法を示す工程図である。
【００２２】
本実施形態は、まず、例えば、ガラス不織布にエポキシ樹脂を含浸させた半硬化状態で、電子部品を搭載するための搭載用プリプレグ１４（第１絶縁シート）と、半導体チップをパッケージングしたＷＣＳＰ１０（電子部品）と、コンデンサや抵抗などの直方体型のチップ部品１２（電子部品）と、を準備する（図１（ａ））。このＷＣＳＰ１０とチップ部品１２とは厚みが異なっており、本実施形態では、第１の厚みを有する第１電子部品がチップ部品１２に相当し、第１の厚さよりも厚い第２の厚さを有する第２電子部品がＷＣＳＰ１０に相当している。
【００２３】
ここで、ＷＣＳＰ（Ｗａｆｅｒ  Ｌｅｖｅｌ  Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅもしくは、Ｗａｆｅｒ  Ｌｅｖｅｌ  Ｃｈｉｐ  Ｓｃａｌｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）及びそのＭＣＰ（Ｍｕｌｔｉ  Ｃｈｉｐ  Ｐａｃｋａｇｅ）は、ウエハ状態でパッケージングを行った後、個片化して得られるチップサイズとほぼ等しい外形寸法を有するパッケージである。そして、ＷＣＳＰはパッケージ状態で完全良品であることが保証される。このようなＷＣＳＰは例えば特開平９−６４０４９号に開示されている。
【００２４】
次に、搭載用プリプレグ１４上に、厚みの異なるＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２を複数搭載する（図１（ｂ））。この際、電子部品としてのＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２は、その端子部１０ａ、１２ｂが搭載用プリプレグ１４に対面するように搭載用プリプレグ１４上に搭載する。ＷＣＳＰ１０の場合、端子部１０ａは集積回路が形成されたチップ主表面上に位置する。
【００２５】
この電子部品としてのＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２の固定方法には、接着剤を用いて固定する方法でもよいし、プリプレグの軟化温度以上に加熱した状態で電子部品を載せて固定する方法でもよいが、固定方法はこれらに限定されるものではない。
【００２６】
そして、ＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２を埋め込むための埋め込み用プリプレグ１６（第２絶縁シート）、及び埋め込み用プリプレグ１６表面を保護するための保護用プリプレグ１８を準備する（図１（ｃ））。
【００２７】
次に、ＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２を搭載した搭載用プリプレグ１４と、埋め込み用プリプレグ１６と、保護用プリプレグ１８と、を重ね合わせた後、例えば、埋め込み用プリプレグ１６の軟化点以上に加熱・加圧して、埋め込み用プリプレグ１６にＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２を埋め込んで保護すると共に、３つのプリプレグを積層する（図１（ｄ））。
【００２８】
その後、搭載用プリプレグ１４を層間絶縁層として、以下に示すようなビルドアップ工法を施す（図１（ｅ））。
【００２９】
まず、ＷＣＳＰ１０の端子１０ａ上に位置する搭載用プリプレグ１４及びチップ部品１２の端子１２ａ上に位置する搭載用プリプレグ１４に、レーザ（例えばＣＯ2レーザ、ＵＶ−ＹＡＧレーザ等）を照射して、ｖｉａ開口２０を形成すると共に、ＷＣＳＰ１０の端子１０ａ及びチップ部品１２の端子１２ａを露出する。
【００３０】
次に、ｖｉａ開口２０を含む搭載用プリプレグ１４の表面上にメッキ処理などにより導電層を形成する。続いて、この導電層上にフォトレジストを形成し、このフォトレジストを所定の形状に露光、現像し、このフォトレジストをマスクとして導電層をパターニングする。その後、フォトレジストを除去する。その結果、所定の形状にパターニングされた配線層２２を得る。この配線層２２の一端はＷＣＳＰ１０の端子１０ａ及びチップ部品１２の端子１２ａ上に位置しており、他端はＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２上から離れた搭載用プリプレグ１４の表面上に位置する。即ち、配線層２２は各電子部品の端子から搭載用プリプレグ１４上へと延在している。配線層２２の他端は、後述するハンダボール２４が形成されるランド部２２ａである。
【００３１】
次に、表面保護層となるソルダーレジスト膜２６を搭載用プリプレグ１４上全面に形成する。その後、搭載用プリプレグ１４上にフォトレジストを形成する。次に、このフォトレジストを露光、現像し、このフォトレジストをマスクとして、配線層２２のランド部２２ａ（他端）上に位置するソルダーレジスト膜２６をエッチング除去し、開口部２８を形成する。そして、この開口部２８内にハンダボール２４を設ける。
【００３２】
以上は、単層のビルドアップ工法の場合であり、多層構造が必要な場合、プリプレグ積層、ｖｉａ開口形成、配線層形成を繰り返し施せばよい。
【００３３】
なお、本実施形態では、ビルドアップ工法としてｖｉａ開口２０を形成した形態を説明したが、例えば、スルーホール（ｔｈ）や、インダクターを形成などを形成する形態でもよい。
【００３４】
以上のように、本実施形態によれば、所定の位置にＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２を搭載した搭載用プリプレグ１４（第１絶縁シート）を、そのまま層間絶縁層として使用し、当該搭載用プリプレグ１４上でビルドアップ工法により配線構造を形成しているので、部品数や工程を削減できる。
【００３５】
（第２の実施の形態）
図２は、第２の実施の形態に係る電子部品内蔵基板の製造方法を示す工程図である。
【００３６】
本実施形態では、埋め込み用プリプレグ１６を使用せず、搭載用プリプレグ１４上に、厚みの異なるＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２を複数搭載した後（図２（ｂ））、ＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２に、これらの裏面側から液状樹脂を滴下し加熱（キュア）を施し固化させて得られる封止樹脂２６により樹脂封止する（図２（ｃ））。そして、保護用プリプレグ１８を準備して（図２（ｄ））、必要に応じて封止樹脂２６表面を切削して平坦化した後、保護用プリプレグ１８を積層する（図２（ｅ））。そして、ビルドアップ工法を施す（図２（ｆ））。これ以外の工程は、上記第１の実施形態と同様なので、説明を省略する。
【００３７】
本実施形態では、電子部品としてのＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２を、単に滴下された液状樹脂を加熱により固化させて得られる封止樹脂２６により樹脂封止するので、第１の実施形態に比べ、加圧を施さずにＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２を保護することができ、電子部品としてのＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２に負担を掛けず電子部品内蔵基板を製造することができる。このため、信頼性が高い電子部品内蔵基板を得ることが可能となる。
【００３８】
（第３の実施の形態）
本実施形態は、搭載用プリプレグ１４として、絶縁性の感光性シートを用い、ビルドアップ工法におけるｖｉａ開口２０を形成する際に、以下に示すようにホトリソグラフィー法を適用する形態である（図１（ｅ）或いは図２（ｆ）参照）。これ以外は、上記第１或いは第２の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【００３９】
まず、図１（ｅ）或いは図２（ｆ）において、搭載用プリプレグ１４に直接、フォトマスクのパターンを露光して転写した後、現像を施し、ＷＣＳＰ１０の端子１０ａ上に位置する搭載用プリプレグ１４及びチップ部品１２の端子１２ａ上に位置する搭載用プリプレグ１４を除去してｖｉａ開口２０を形成すると共に、ＷＣＳＰ１０の端子１０ａ及びチップ部品１２の端子１２ａを露出する。
【００４０】
次に、ｖｉａ開口２０を含む搭載用プリプレグ１４の表面上にメッキ処理などにより導電層を形成する。続いて、この導電層上にフォトレジストを形成し、このフォトレジストを所定の形状に露光、現像し、このフォトレジストをマスクとして導電層をパターニングする。その後、フォトレジストを除去する。その結果、所定の形状にパターニングされた配線層２２を得る。この配線層２２の一端はＷＣＳＰ１０の端子１０ａ及びチップ部品１２の端子１２ａ上に位置しており、他端はＷＣＳＰ１０及びチップ部品１２上から離れた搭載用プリプレグ１４の表面上に位置する。即ち、配線層２２は各電子部品の端子から搭載用プリプレグ１４上へと延在している。配線層２２の他端は、後述するハンダボール２４が形成されるランド部２２ａである。
【００４１】
次に、表面保護層となるソルダーレジスト膜２６を搭載用プリプレグ１４上全面に形成する。その後、搭載用プリプレグ１４上にフォトレジストを形成する。次に、このフォトレジストを露光、現像し、このフォトレジストをマスクとして、配線層２２のランド部２２ａ（他端）上に位置するソルダーレジスト膜２６をエッチング除去し、開口部２８を形成する。そして、この開口部２８内にハンダボール２４を設ける。
【００４２】
以上は、単層のビルドアップ工法の場合であり、多層構造が必要な場合、プリプレグ積層、ｖｉａ開口形成、配線層形成を繰り返し施せばよい。なお、２層目以降のプリプレグ積層には、シート状部材の積層に代えて液状の感光性材料を用いた塗布形成も適用できる。
【００４３】
このように、本実施形態では、搭載用プリプレグ１４として、感光性の接着シートを用いることで、ｖｉａ開口２０を形成する際に、ホトリソグラフィー法が適用できるため、上記第１及び第２の実施形態に比べて、量産性の向上が図れる。
【００４４】
なお、上記何れの実施形態でも、外部端子にハンダボール２４を設けた形態を説明したが、通常のドーターボードやマザーボードと同様に、システム内の接続をコネクターやソケットなどで構成してもよい。
【００４５】
上記何れの実施形態でも、能動素子を含む電子部品としてＷＣＳＰ１０を内蔵させた形態を説明したが、この種の電子部品としては、複数のＷＣＳＰが積層されたＭＣＰ（Ｍｕｌｔｉ  Ｃｈｉｐ  Ｐａｋａｇｅ）を初め、ウェハ状態でパッケージされた装置や、ベアの半導体チップ、も適用できる。
【００４６】
上記何れの実施形態でも、コンデンサや抵抗などのチップ部品１２として直方体型の部品を用いた形態を説明したが、これに限られず、電子部品としてのチップ部品１２は、単一の面に外部端子があるものであれば適用できる。
【００４７】
上記何れの実施形態でも、厚みの異なる２つの電子部品を内蔵する形態を説明したが、これに限られず、内蔵させる電子部品の数、種類は適宜選択することができる。
【００４８】
上記何れの本実施形態でも、一層配線構造の形態を説明したが、多層配線構造としてもよい。
【００４９】
上記何れの実施形態では、絶縁性シートとして搭載用プリプレグ１４や感光性シートを用いた形態を説明したが、これらには、予め鋼箔層が形成されていてもよいし、電子部品が内蔵されていてもよい。
【００５０】
上記何れの実施の形態においても、限定的に解釈されるものではなく、本発明の要件を満足する範囲内で実現可能であることは、言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】第１の実施の形態に係る電子部品内蔵基板の製造方法を示す工程図である。
【図２】第２の実施の形態に係る電子部品内蔵基板の製造方法を示す工程図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０  ＷＣＳＰ（電子部品）
１２  チップ部品（電子部品）
１４  搭載用プリプレグ（第１絶縁シート）
１６  埋め込み用プリプレグ（第２絶縁シート）
１８  プリプレグ
２０  開口
２２  配線層
２４  ハンダボール
２６  封止樹脂
【図１】
2005101075.tif 000003
【図２】
2005101075.tif 000004