(57)【要約】【課題】人が侵入できない搬送エリアにおいて、全ての製造装置に対して自動搬送を可能にして、人手搬送を排除でき、搬送時間の短縮、搬送人員の低減を図ることができる搬送技術を提供する。【解決手段】複数の製造装置１（１ａ，１ｂ）と、これらの製造装置１間で被搬送体を搬送する搬送車３と、この搬送車３の駆動を制御する搬送コントローラ４と、搬送車３を駆動させるために搬送コントローラ４に指示する装置端末５あるいはコントローラ端末６などを有する搬送システムであって、オフライン装置の製造装置１ｂは、オンライン接続されていないので、搬送コントローラ４が、装置端末５あるいはコントローラ端末６からの指示を受けて製造装置１ｂの稼働状態を認識し、搬送車３を駆動させて製造装置１ｂに対して被搬送体を自動的に搬送するようになっている。【選択図】        図２
2005031872.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送を制御する制御手段と、
前記制御手段にオンライン接続されていない第１の製造装置に被搬送体を搬送する搬送車と、
前記搬送車を駆動させるために前記制御手段に指示する指示手段とを有し、
前記制御手段は前記指示手段からの指示を受けて前記搬送車を駆動させ、前記搬送車は前記第１の製造装置に対して前記被搬送体を自動的に搬送することを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
請求項１記載の搬送システムにおいて、
前記搬送車は、前記制御手段の制御により前記制御手段にオンライン接続されている第２の製造装置に前記被搬送体を搬送するものであり、
前記第１の製造装置および前記第２の製造装置に対して、人手搬送を介さず、システムの切り替えや停止を伴わずに、前記被搬送体を自動的に搬送することを特徴とする搬送システム。
【請求項３】
請求項２記載の搬送システムにおいて、
前記搬送車は、ＲＧＶであることを特徴とする搬送システム。
【請求項４】
請求項２記載の搬送システムにおいて、
前記搬送車は、ＡＧＶであることを特徴とする搬送システム。
【請求項５】
請求項２記載の搬送システムにおいて、
前記搬送車は、ＯＨＴであることを特徴とする搬送システム。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の搬送システムを用いた半導体製造システムであって、
前記制御手段と前記搬送車と前記指示手段とを有する前記搬送システムと、
前記搬送車により搬送および受け渡しを行う半導体ウェハに対して処理または検査を行う複数の製造装置とを有することを特徴とする半導体製造システム。
【請求項７】
請求項６記載の半導体製造システムにおいて、
前記複数の製造装置は、処理装置、検査装置、ストッカを含むことを特徴とする半導体製造システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送技術に関し、特にホストシステムにオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現する搬送システム、およびそれを用いた半導体製造システムに適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本発明者が検討したところによれば、従来の搬送システムに関しては、以下のような技術が考えられる。
【０００３】
たとえば、従来、製造工程内の自動搬送システムでは、搬送先または搬送元にあたる製造装置がオンラインでホストシステムに接続されていることが必要である。このホストシステムは、製造装置の稼働状態および製造装置のポートの状態を把握し、搬送システムに対して搬送指示を出す。
【０００４】
このシステムでは、仮に同一エリアにホストシステムとオンライン接続されていない製造装置（オフライン装置）がある場合は、その装置を対象とした自動搬送ができないため、その装置に関しては人手による搬送（マニュアル搬送）を実施する必要がある。
【０００５】
なお、このような搬送システムに関しては、たとえば特許文献１〜３に記載される技術などが挙げられる。特許文献１には、自動化されていない装置を集めて配置し、人手で装置コードを入力することにより搬送指示を可能にする技術が開示されている。また、特許文献２には、自動倉庫において、オフライン制御指示に基づいて搬送車を制御する技術が開示されている。さらに、特許文献３には、オンライン処理とオフライン処理を切り替える技術が開示されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開平９−６４０９号公報
【０００７】
【特許文献２】
特開平５−６９９０５号公報
【０００８】
【特許文献３】
特開平９−１８１１４３号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記のような搬送システムの技術について、本発明者が検討した結果、以下のようなことが明らかとなった。
【００１０】
たとえば、搬送車と人が混在可能なエリア（低速走行の搬送車による搬送エリアなど）では前述のような運用が可能であるが、たとえば高速走行する搬送車の場合、安全上の問題から搬送車と人の混在ができないことになり、オフライン装置に対する運搬ができなくなってしまう。あるいは、オフライン装置に対して人手搬送しようとすると、自動搬送システムを停止させなければならない。
【００１１】
このように、自動搬送と人手搬送との混在を実現することは運用上の弊害があり、今後、ますます搬送時間の短縮や搬送の高速化が要求されてくる中で大きな障害となっている。このため、オンライン装置とオフライン装置が混在した製造エリアにおいて、運用を停止することのない自動搬送の運用を実現することが望まれている。
【００１２】
なお、前記特許文献１の技術では、▲１▼オフラインの装置を集めて配置しないといけないため、オフライン装置を設置するためのまとまったエリアが必要となり、レイアウト上の制約が発生する。また、▲２▼オフライン装置への製品の搬送が直接できず、一旦、ストッカなどの受け渡し装置を経由してオフライン装置へ搬送することが必要になってしまう。このため、オフライン装置に対する搬送時間の増大や仕掛かり増加を招き、スループット・ＴＡＴなどの生産効率の低下につながる。
【００１３】
さらに、前記特許文献１の技術では、▲３▼オンライン装置に挟まれた立ち上げ中のオフライン装置、あるいは通常はオンラインだが一時的にオフラインに切り替えて処理が必要なオフライン装置（ＱＣチェックや実験などのために一時的にオフラインに切り替えて処理が必要な装置など）に対して自動搬送ができない。また、▲３▼のケースでは、一時的に人手搬送をしなければならないほか、搬送エリアに人のアクセスができない高速走行の搬送システムの場合、その装置の周りのオンライン装置に対する自動搬送も継続することができなくなってしまう。
【００１４】
また、前記特許文献２の技術では、無人搬送車とホストシステムとの間がオフラインの状態でも無人搬送ができることを開示したものであり、搬送車がオンラインの状態で、搬送先（搬送元）の装置がオンライン・オフラインの混在する状態の問題を解決するものではない。
【００１５】
また、前記特許文献３の技術では、設備内部の搬送を想定した設備内部におけるオンライン・オフラインの搬送方式について開示したものであり、装置間の搬送における問題を解決するものではない。
【００１６】
そこで、本発明の目的は、人が侵入できない搬送エリアにおいて、全ての製造装置に対して自動搬送を可能にして、人手搬送を排除でき、搬送時間の短縮、搬送人員の低減を図ることができる搬送技術を提供することにある。
【００１７】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１９】
本発明は、搬送を制御する制御手段と、この制御手段にオンライン接続されていない製造装置（オフライン装置）に被搬送体を搬送する搬送車と、この搬送車を駆動させるために制御手段に指示する指示手段とを有する搬送システムにおいて、制御手段は指示手段からの指示を受けて搬送車を駆動させ、搬送車はオフライン装置に対して被搬送体を自動的に搬送するものである。よって、オフライン装置に対して自動搬送を実現し、搬送車とオフライン装置の間は、制御手段を介したオンラインによる接続は必要なく、人による指示手段の操作で搬送システムに対して搬送指示を出すことができる。
【００２０】
さらに、本発明の搬送システムにおいて、搬送車は、制御手段の制御により制御手段にオンライン接続されている製造装置（オンライン装置）に被搬送体を搬送するものであり、オフライン装置およびオンライン装置に対して、人手搬送を介さず、システムの切り替えや停止を伴わずに、被搬送体を自動的に搬送するものである。よって、オンライン装置とオフライン装置の混在したエリアで、オンライン装置への自動搬送とオフライン装置への自動搬送を、搬送システムの停止を伴わずに混用することができる。
【００２１】
また、本発明は、前記搬送システムを用いた半導体製造システムに適用され、制御手段と搬送車と指示手段とを有する搬送システムと、搬送車により搬送および受け渡しを行う半導体ウェハに対して処理または検査を行う複数の製造装置とを有するものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００２３】
まず、図１により、本発明の一実施の形態の搬送システムの構成の一例を説明する。図１は、搬送システムの構成図を示す。
【００２４】
本実施の形態の搬送システムは、複数の製造装置１と、これらの製造装置１間を結ぶ軌道２と、この軌道２に沿って駆動して製造装置１間で被搬送体を搬送する搬送車３と、この搬送車３の駆動を制御する搬送コントローラ４（制御手段：図２に図示）と、搬送車３を駆動させるために搬送コントローラ４に指示する装置端末５あるいはコントローラ端末６（指示手段：図２に図示）などを有して構成される。
【００２５】
複数の製造装置１には、オンライン装置の製造装置１ａと、オフライン装置の製造装置１ｂとが混在して配置されている。オンライン装置の製造装置１ａは、後述するシステムのネットワークにオンライン接続されている装置である。一方、オフライン装置の製造装置１ｂは、オンライン接続されていない装置である。このオンライン接続とは、ネットワークを通じて電気的に接続され、このネットワークを通じて接続された互いの装置、コントローラやホストシステムが相互に通信が可能な状態であることを意味する。
【００２６】
次に、図２により、本実施の形態の搬送システムを含む製造システムの構成の一例を説明する。図２は、前記図１の搬送システムに対応する製造システムの構成図を示す。
【００２７】
本実施の形態の製造システムは、前述した複数の製造装置１と、これらの製造装置１の稼働を制御する設備コントローラ７と、前述した搬送車３と、この搬送車３の駆動を制御する搬送コントローラ４と、設備コントローラ７および搬送コントローラ４を含めて全体的に制御するホストシステム８などを有し、これらがネットワークを通じて電気的に接続されて構成されている。
【００２８】
また、この製造システムにおいては、複数の製造装置１の近傍に、各製造装置１の稼働を指示するための装置端末５が配置されている。これらの各装置端末５は、ネットワークを通じて電気的に接続され、搬送車３を駆動させるために搬送コントローラ４に指示する機能も持っている。また、搬送コントローラ４の近傍にも、ネットワークを通じて電気的に接続されたコントローラ端末６が配置され、このコントローラ端末６からも搬送車３を駆動させるための指示を出すことが可能となっている。
【００２９】
このような搬送システムを含む製造システムにおいて、前述したように、複数の製造装置１のうち、製造装置１ａはオンライン接続されているので、この製造装置１ａの稼働状態と搬送車３の駆動状態とを搬送コントローラ４が認識し、これらの状態に対応して搬送コントローラ４が搬送車３を駆動させる。よって、オンライン接続の製造装置１ａに対しては、搬送コントローラ４の制御により、搬送車３は製造装置１ａに被搬送体を自動的に搬送することができる。
【００３０】
一方、製造装置１ｂは、オンライン接続されていないので、この製造装置１ｂの稼働状態を搬送コントローラ４が直接認識することができない。そこで、搬送コントローラ４は、装置端末５あるいはコントローラ端末６からの指示を受けて製造装置１ｂの稼働状態を認識して搬送車３を駆動させる。このように、オフライン接続の製造装置１ｂに対しては、装置端末５あるいはコントローラ端末６からの指示を受けてから、搬送コントローラ４の制御により、搬送車３が製造装置１ｂに対して被搬送体を自動的に搬送する方法が採られている。
【００３１】
これにより、オンライン装置の製造装置１ａとオフライン装置の製造装置１ｂが混在する製造システムにおいては、オンライン装置の製造装置１ａおよびオフライン装置の製造装置１ｂに対して、人手搬送を介さず、システムの切り替えや停止を伴わずに、被搬送体を自動的に搬送することが可能となる。
【００３２】
このような搬送システムを含む製造システムは、これに限定されるものではないが、たとえば一例として、半導体製造ラインの半導体製造システムに用いられる。
【００３３】
この半導体製造システムには、前述した搬送車３と搬送コントローラ４と装置端末５あるいはコントローラ端末６とを有する搬送システムと、搬送車３により搬送および受け渡しを行う半導体ウェハ（被搬送体）に対して処理または検査を行う複数の製造装置１（１ａ，１ｂ）などを有して構成される。
【００３４】
このような半導体製造ラインでは、特に限定されるものではないが、各製造装置１がベイと呼ばれる装置群に分けられ、ベイ単位でクリーンルーム内に配置される。そのため、半導体ウェハの搬送システムにおいても、これに応じて、ベイ内搬送、ベイ間搬送、あるいはこれらを横断する搬送に分けることができる。
【００３５】
これらの搬送においては、たとえば、有軌道上を自動走行するＲＧＶ（Ｒａｉｌ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）と呼ばれる搬送車、無軌道上を自動走行するＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）と呼ばれる搬送車、あるいは天井搬送方式のＯＨＴ（Ｏｖｅｒ−ｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）と呼ばれる搬送車などが用いられる。
【００３６】
各製造装置１には、半導体ウェハに対して各処理を行う、熱処理装置、イオン注入装置、エッチング装置、成膜装置、洗浄装置、フォトレジスト塗布装置、露光装置などの各種処理装置や、各処理後の検査を行う各種検査装置などがある。さらに、これらの処理装置、検査装置の所定のまとまりに対して、装置間を効率良く搬送し、また次の装置に対する処理待ちなどを考慮して、半導体ウェハを一時的に保管するストッカなども製造装置１の一つとして配置されている。
【００３７】
たとえば、前述した図１は、ベイ内搬送を想定したものであり、また後述する図３はベイ間搬送を想定した図である。
【００３８】
続いて、図３により、本実施の形態において、ベイ間搬送を想定した搬送システムの構成の一例を説明する。図３は、ベイ間搬送を想定した搬送システムの構成図を示す。ただし、図３では、各ベイの製造装置は代表的に１台ずつ図示しているが、実際には図１のようにそれぞれが複数台の製造装置の集まりとなっている。
【００３９】
図３に示すように、ベイ間搬送においても、前述したベイ内搬送と同様に、ベイ間のエリアには、軌道２と搬送車３などを有する搬送システムと、各種処理装置や各種検査装置、さらにストッカなどを含めた製造装置１（１ａ，１ｂ）とが配置されている。
【００４０】
次に、本実施の形態において、ベイ内搬送、ベイ間搬送、あるいはこれらを横断する搬送の動作の一例を説明する。ベイ内搬送、ベイ間搬送、あるいはこれらを横断する搬送においても、搬送エリアがベイ内、ベイ間、あるいは両エリアというように異なるだけで、搬送動作は同様である。
【００４１】
たとえば、搬送車３は、ストッカから、このストッカに保管されている半導体ウェハ（ロット単位、あるいは複数ロット）の格納されているカセット（以下ウェハカセットと呼ぶ）を受け取り、軌道２上を走行して、半導体ウェハに対して所定の処理を行う第１処理装置まで移動し、この第１処理装置の第１ポートに半導体ウェハを渡す。そして、この第１処理装置では、半導体ウェハに対して所定の処理を行い、処理が終了したらウェハカセットを第２ポートに移す。
【００４２】
さらに、搬送車３は、第１処理装置の第２ポートから、ウェハカセットを受け取り、軌道２上を走行して、半導体ウェハに対して所定の処理を行う第２処理装置まで移動し、この第２処理装置の第１ポートにウェハカセットを渡す。そして、この第２処理装置では、半導体ウェハに対して所定の処理を行い、処理が終了したらウェハカセットを第２ポートに移す。
【００４３】
この際に、第２処理装置で半導体ウェハに対する処理が終了していないときは、第１処理装置の第２ポートから受け取ったウェハカセットを、一時的にストッカに保管する。そして、第２処理装置で処理が終了したら、前述のように、ストッカから半導体ウェハを受け取り、第２処理装置の第１ポートにウェハカセットを渡して、この第２処理装置で所定の処理を行う。
【００４４】
以降同様に、第３処理装置、第４処理装置、・・・、の各種処理装置においても、処理装置から次の処理装置へ、処理装置からストッカを介して次の処理装置へ、あるいは後述する検査装置を介して、順に半導体ウェハに対する所定の処理を行い、最終的に処理が終了したウェハカセットは、処理終了済みの半導体ウェハカセットを保管するストッカに渡される。
【００４５】
また、所定の処理が終了した半導体ウェハ、あるいは最終的な処理が終了した半導体ウェハに対する各種検査装置においても、前述した各種処理装置への搬送と同様にして、搬送車３と各種検査装置との間でウェハカセットの受け渡しが行われ、各種検査が実行される。
【００４６】
続いて、オフライン装置の製造装置１ｂに対する自動搬送の動作の一例を説明する。
【００４７】
たとえば、高速なＲＧＶを用いたシステムでは、安全確保のため、ＲＧＶの稼働中の搬送エリアへの人のアクセスは許されない。この搬送エリア内に１台でもオフライン装置が存在した場合、従来は、仮に人手搬送によって被搬送体を運搬する際は、ＲＧＶの運行を停止させ、搬送エリア内に人が入る必要がある。あるいは、ＲＧＶの運行範囲をオフライン装置の手前までに制限し、それ以降の装置（オンライン装置を含む）に対する自動搬送を全て停止する必要がある。
【００４８】
そこで、本実施の形態においては、前記図１に示すように、搬送エリアの中央部にあるオフライン装置の製造装置１ｂに対して自動搬送する場合、たとえば以下の手順で搬送を実現する。
【００４９】
（１）作業者は、ネットワークに接続された最寄りの製造装置１の装置端末５あるいは搬送コントローラ４のコントローラ端末６を使用して、ホストシステム８または搬送コントローラ４に対して、たとえばストッカからオフライン装置の製造装置１ｂの第１ポートに対してウェハカセットを搬送せよ、などの指示を出す。
【００５０】
（２）作業者から指示を受けたホストシステム４または搬送コントローラ４は、搬送車３（ＲＧＶなど）に、ストッカからオフライン装置の製造装置１ｂの第１ポートに対してウェハカセットを搬送せよ、と搬送指示を出す。
【００５１】
（３）指示を受けた搬送車は、オンライン状態のストッカからウェハカセットを受け取り、オフライン装置の製造装置１ｂの第１ポートに向けて搬送を開始する。
【００５２】
（４）オフライン装置の製造装置１ｂの第１ポートに到着した搬送車３は、第１ポートに設置された通信手段を通じて、ウェハカセットの受け渡しの確認を行う（一例として、直径３００ｍｍの半導体ウェハの製造ラインでは、ＳＥＭＩ−Ｅ８４規格に準拠した通信が一般的である）。
【００５３】
（５）ウェハカセットの受け渡しが完了し、第１ポートとの通信が全て正常完了した搬送車３は、搬送完了をオンライン接続された搬送コントローラ４に報告する。搬送コントローラ４は、ホストシステム８に搬送完了を報告する。
【００５４】
（６）なお、第１ポートとの通信でエラーが発生した場合（通信ができない、ポートがレディ状態でない）は、搬送車３はエラーメッセージをオンラインで搬送コントローラ４に送信することができる。
【００５５】
このような半導体製造システムでは、ホストシステム８がオフライン接続の製造装置１ｂの状態およびポートの状態を把握することはできないので、作業者が製造装置１の装置端末５、搬送コントローラ４のコントローラ端末６などで、このオフライン接続の製造装置１ｂの状態およびポートの状態を確認することによって、各端末５，６から搬送車３に対して搬送指示を出すことができる。これにより、オンライン接続の製造装置１ａと同様の搬送を実現できる。
【００５６】
従って、本実施の形態によれば、搬送システム、この搬送システムを含む製造システム、および搬送システムを用いた半導体製造システムとして、以下のような効果を得ることができる。
【００５７】
（１）同一の搬送エリア内の全ての製造装置１についてオンライン接続を行う必要がない。この結果、同一の搬送エリア内の全ての製造装置１についてオンライン接続を行う必要がなく、オフライン接続の製造装置１ｂが混在した状態でも自動搬送システムを稼働させることができる。たとえば、工場立ち上げ初期において、自動搬送を適用する期間を大幅に短縮することができる。
【００５８】
（２）製造装置１の状態のチェックや実験などのために、一時的にオフラインに切り替えて処理が必要なオフライン接続の製造装置１ｂに対しても、被搬送体の自動搬送を継続することができる。この結果、オンライン接続の製造装置１ａが集中して配置された製造エリアにおいて、オフライン接続の製造装置１ｂに対しても被搬送体の自動搬送を継続することができる。
【００５９】
（３）オンライン接続の製造装置１ａとオフライン接続の製造装置１ｂを混在させたライン構築が可能となる。この結果、オフライン接続の製造装置１ｂを集中して配置するレイアウト上の制約を排除できるため、クリーンルームのスペース効率の向上、用役費用の低減、作業効率の向上を図ることができる。
【００６０】
（４）一時的なオフライン状態の製造装置１ｂへも被搬送体の自動搬送が可能なため、周囲の製造装置１も含めた搬送時間の短縮、スループットの向上を図ることができる。この結果、人が侵入できない搬送エリアにおいて、全ての製造装置１に対して自動搬送が可能となり、人手搬送を排除でき、搬送時間の短縮、搬送人員の低減を図ることができる。
【００６１】
（５）人による被搬送体のマニュアル搬送を排除し、完全自動搬送によるライン運用が可能になる。この結果、人手搬送を介する必要性がないため、人と搬送車３の混在を前提とした搬送システムの安全機能の制約、搬送能力の制約を排除することができ、高速な搬送システムの運用が容易になる。
【００６２】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００６３】
たとえば、本実施の形態の搬送システムにおいては、以下のような変形例または応用例が考えられる。
【００６４】
（１）搬送システムと人が混在する運用形態を前提としたラインについても応用が可能である。たとえば、天井搬送のＯＨＴの場合、オンライン接続の製造装置はＯＨＴの自動搬送で、オフライン接続の製造装置は人による搬送形態を採る例が一般的であるが、この場合でも、本発明によりオフライン装置に対する自動搬送を適用できるため、搬送人員の抑制、搬送時間の短縮の効果が得られる。
【００６５】
（２）１つのベイだけではなく、複数のベイにまたがり、広域エリアで搬送をする搬送システムについても応用可能である。
【００６６】
（３）処理装置がオフラインの場合だけではなく、検査装置やストッカがオフラインの場合についても応用可能である。
【００６７】
（４）ベイ内搬送、ベイ間搬送に限らず、フロア間搬送などについても応用することができる。
【００６８】
以上の説明では、主として本発明者によってなされた発明をその属する技術分野である半導体製造ラインの半導体製造システムに用いた搬送システムに適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、半導体製造ライン以外における搬送システム、たとえば液晶ディスプレイの製造ラインなどにも適用することができる。
【００６９】
特に、各種製造ラインにおいて、以下のような搬送システムに適用して好適である。
【００７０】
（１）搬送エリアに人の侵入が許されない高速自動搬送システム（ＲＧＶ、ＡＧＶなど）。
【００７１】
（２）広域をカバーするベイ内搬送システム（ＯＨＴなど）。特に人が侵入できる運用がなされるＯＨＴのような搬送システムにおいて、できるだけ多くの製造装置に対して自動搬送を可能にすることによって、人手搬送を削減することができる。
【００７２】
（３）自動化率の高い製造、生産ラインにおける自動搬送システム。一時的にしろ、搬送人員の確保が困難なラインで効果がある。
【００７３】
（４）新製品・新プロセスの立ち上げが頻繁に発生するような先端生産ライン、あるいは開発試作ラインにおける自動搬送システム。設備の入れ替えや実験などのため、オフライン運用が必要になる頻度の高いラインで有効である。
【００７４】
（５）液晶工場など、半導体以外で自動化の進んだ生産ライン用途の自動搬送システム。
【００７５】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００７６】
（１）搬送を制御する制御手段にオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現することで、人が侵入できない搬送エリアにおいて、全ての製造装置に対して自動搬送が可能となるので、人手搬送を排除でき、搬送時間の短縮、搬送人員の低減を図ることが可能となる。
【００７７】
（２）搬送を制御する制御手段にオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現することで、オフライン装置を集中して配置するレイアウト上の制約を排除できるため、クリーンルームのスペース効率の向上、用役費用の低減、作業効率の向上を図ることが可能となる。
【００７８】
（３）搬送を制御する制御手段にオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現することで、同一の搬送エリア内の全ての製造装置についてオンライン接続を行う必要がなく、オフライン接続の製造装置が混在した状態でも自動搬送システムの稼働を開始することが可能となり、たとえば工場立ち上げ初期において自動搬送を適用する期間を大幅に短縮することが可能となる。
【００７９】
（４）搬送を制御する制御手段にオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現することで、オンライン接続の製造装置が集中して配置された製造エリアにおいて、装置状態のチェックや実験などのために一時的にオフラインに切り替えて処理が必要なオフライン装置に対しても、被搬送体の自動搬送を継続することが可能となる。
【００８０】
（５）搬送を制御する制御手段にオンライン接続されていない製造装置に対して自動搬送を実現することで、人手搬送を介する必要性がないため、人と搬送車の混在を前提とした搬送システムの安全機能の制約、搬送能力の制約を排除することができ、高速な搬送システムの運用を容易に実現することが可能となる。
【００８１】
（６）前記（１）〜（５）により、半導体製造ラインや、その他の各種製造ラインにおいて、製造ラインの搬送時間の短縮、搬送人員の負荷低減を図ることが可能となる。
【００８２】
（７）前記（１）〜（５）により、半導体製造ラインや、その他の各種製造ラインにおいて、製造ライン全体のＴＡＴ短縮、スループット向上の効果を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の搬送システム（ベイ内搬送）を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施の形態の搬送システムを含む製造システムを示す構成図である。
【図３】本発明の一実施の形態において、ベイ間搬送を想定した搬送システムを示す構成図である。
【符号の説明】
１，１ａ，１ｂ  製造装置
２  軌道
３  搬送車
４  搬送コントローラ
５  装置端末
６  コントローラ端末
７  設備コントローラ
８  ホストシステム
【図１】
2005031872.tif 000003
【図２】
2005031872.tif 000004
【図３】
2005031872.tif 000005