(57)【要約】【課題】  容器本体に対する蓋体の着脱を容易にし、且つ、容器本体に対する蓋体の係止及び解除作用を容易にして蓋体の開閉作業の効率化を図ったウェハ搬送容器の蓋体開閉機構を提供する。【解決手段】  複数枚のウェハＷを収納可能であって一端に開口部を有する略箱状の容器本体２と、該容器本体２の前記開口部に着脱自在に嵌合可能な蓋体３と、備えたウェハ搬送容器１において、前記蓋体３の外側部に位置決め用のガイドリブ１７を設け、前記装置本体２の外側部に前記ガイドリブ１７に係合して前記蓋体３を位置決めする位置決めリブ２２を設ける。【選択図】                  図７ 
2005162263.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚のウェハを収納可能であって一端に開口部を有する略箱状の容器本体と、該容器
本体の前記開口部に着脱自在に嵌合可能な蓋体とを、備えたウェハ搬送容器であって、
前記蓋体の外側部に位置決め用のガイドリブを設け、前記容器本体の外側部に前記ガイ
ドリブに係合して前記蓋体を位置決めする位置決めリブを設けたことを特徴とするウェハ
搬送容器の蓋体開閉機構。
【請求項２】
前記容器本体の外側部にはクランプ取付部が設けられ、該クランプ取付部には前記蓋体
に設けられた係止部に係脱する回動自在のクランプが着脱自在且つ回動自在に装着されて
いることを特徴とする請求項１に記載のウェハ搬送容器の蓋体開閉機構。
【請求項３】
前記クランプは前記ガイドリブが接触可能であると共に前記クランプと一体回動する接
触部を有し、前記蓋体を前記容器本体に閉塞する動作に連動して前記ガイドリブが前記接
触部を押圧回動させることにより前記クランプを前記係止部に係止させ、且つ、前記蓋体
を開放するために前記クランプを前記係止部から外す動作に連動して前記接触部が前記ガ
イドリブを押し出すことにより前記蓋体を前記容器本体から均一に離隔させるように設け
られていることを特徴とする請求項２に記載のウェハ搬送容器の蓋体開閉機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ、記憶ディスク及び液晶ガラス等のウェハを収納搬送する搬
送容器の蓋体開閉機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウェハの一例として例えば半導体ウェーハがあり、この半導体ウェーハを複数段
収納する搬送容器は、例えば上部が開口している箱状の容器本体を備えている。この容器
本体の内部の側壁に円弧状の湾曲し断面Ｖ字状の溝部を設け、この溝部の底部に断面Ｕ字
状の溝部を形成したものが複数並べて設けられている。この溝部に半導体ウェーハの下部
側外側縁を支持させて半導体ウェーハを収納するようになっている。
一方、前記容器本体の上部には蓋体を着脱自在に装着可能にしており、この蓋体の下部
側（裏面側）には、容器本体内に収納した半導体ウェーハの上部側外側縁に当着して保持
するウェハ押さえを有している。また、蓋体と容器本体との開閉は、蓋体に取り付けられ
た係止具の係脱により行われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、容器本体に対する半導体ウェーハの収納を自動的にするために、容器本体の開口
を横方向に向けたウェハ搬送容器も知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】ＷＯ９９／３９９９４号公報
【特許文献２】特開２０００−１５９２８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のウェハ搬送容器においては、蓋体を容器本体に装着するときに蓋
体をガイドするガイド部が蓋体及び容器本体にないため、蓋体を容器本体に接触させてか
ら蓋体を容器本体に嵌合した後係止具により蓋体を固定する必要があった。
【０００５】
また、蓋体と容器本体との位置決めは、蓋体裏面側のクッションとして機能しているウ
ェハ押さえを、規定位置のウェハに接触させて行うため蓋体取り付け作業に手間がかかる
という問題があった。そして、蓋体が容器本体と規定位置で接触しない場合には、ウェハ
押さえが規定位置のウェハに接触しない虞があった。
【０００６】
次に、蓋体を容器本体に係止する手段として、蓋体の４隅に係止具が設置されている構
造では（例えば特許文献１参照）、手動では１回の操作で開閉できないという問題があっ
た。また、蓋体を容器本体に対して開閉するとき、容器本体に装着されている係止具を弾
性変形させる構造（例えば、特許文献２参照）では、開閉作業に手間がかかるという問題
があった。
【０００７】
本発明は、容器本体に対する蓋体の着脱を容易にし、且つ、容器本体に対する蓋体の係
止及び解除作用を容易にして蓋体の開閉作業の効率化を図ったウェハ搬送容器の蓋体開閉
機構を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述事情に鑑みなされたものであって、請求項１に記載の発明は、複数枚の
ウェハを収納可能であって一端に開口部を有する略箱状の容器本体と、該容器本体の前記
開口部に着脱自在に嵌合可能な蓋体とを、備えたウェハ搬送容器であって、前記蓋体外側
部に位置決め用のガイドリブを設け、前記容器本体の外側部に前記ガイドリブに係合して
前記蓋体を位置決めする位置決めリブを設けたことを特徴としている。
【０００９】
このように構成された請求項１に記載の発明では、容器本体に対して蓋体を取り付ける
ために蓋体を容器本体に嵌合させていくと、蓋体のガイドリブが容器本体側面の位置決め
リブにより移動を規制されて位置決めされながら嵌合していく。
【００１０】
このため、蓋体は容器本体の開口部に対する縦方向及び横方向の相対位置を決めた状態
で容易に閉塞することができ、これにより蓋体閉塞後におけるウェハ押さえを容器本体内
の規定位置のウェハに容易に当着させることができて、蓋体開閉の作業効率を向上させる
ことができる。
【００１１】
また、請求項２に記載の発明は、前記容器本体の外側部にはクランプ取付部が設けられ
、該クランプ取付部には前記蓋体に設けられた係止部に係脱する回動自在のクランプが着
脱自在且つ回動自在に装着されていることを特徴としている。
【００１２】
このように構成された請求項２に記載の発明では、容器本体に対してクランプを回動自
在に容易に装着できると共に、クランプを回動自在にさせることで蓋体を容器本体にクラ
ンプする際にクランプを弾性変形させる必要がなくなって、蓋体のクランプを容易に行う
ことができる。
【００１３】
また、請求項３に記載の発明は、前記クランプは前記ガイドリブが接触可能であると共
に前記クランプと一体回動する接触部を有し、前記蓋体を前記容器本体に閉塞する動作に
連動して前記ガイドリブが前記接触部を押圧回動させることにより前記クランプを前記係
止部に係止させ、且つ、前記蓋体を開放するために前記クランプを前記係止部から外す動
作に連動して前記接触部が前記ガイドリブを押し出すことにより前記蓋体を前記容器本体
から均一に離隔させるように設けられていることを特徴としている。
【００１４】
このように構成された請求項３に記載の発明では、蓋体を容器本体に取り付けるために
容器本体に嵌合していくと、蓋体のガイドリブがクランプの接触部を押圧回動させていく
。このため、接触部と一体のクランプを蓋体の閉塞動作に連動して蓋体をクランプする方
向に回動させて蓋体を自動的にクランプすることができる。
【００１５】
すなわち、蓋体を閉塞することで蓋体をクランプするためのクランプ操作を作業者が行
うことなく前記閉塞動作に連動して行うことができると共に、クランプによる蓋体のクラ
ンプはクランプが回動自在であることから、クランプを弾性変形させることなく小さな操
作力で行うことができる。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１に係わる発明によれば、容器本体に対して蓋体を取り付けるために蓋体を容器
本体に嵌合させていくと、蓋体のガイドリブが容器本体側面の位置決めリブにより位置を
規制されて位置決めされながら嵌合していくので、蓋体は容器本体の開口部に対する縦方
向及び横方向の相対位置を決めた状態で容易に閉塞することができる。この結果、蓋体閉
塞後におけるウェハ押さえを容器本体内の規定位置のウェハに容易に当着させることがで
きて、蓋体開閉の作業効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１８】
図１はウェハ搬送容器１の分解斜視図を示しており、本実施例ではウェハとして半導体
ウェーハＷを例にして説明する。上記ウェハ搬送容器１は、複数枚の半導体ウェーハＷを
収納可能な容器本体２と、この容器本体２の開口部２ａを開閉するための蓋体３とを有し
ている。
【００１９】
容器本体２の左右の側板４，５の裏面側には、上記半導体ウェーハＷを保持するための
複数段のウェハ支持溝６がそれぞれ形成されている。
【００２０】
蓋体３の裏面側には、ウェハ押さえ７が装着されており、このウェハ押さえ７は容器本
体２内に収納されている半導体ウェーハＷの前縁部を押さえて保持する複数のウェハ支持
溝８を有していてクッション性を備えている。さらに、蓋体３の裏面側には、ウェハ搬送
容器１の気密性を保持するためのガスケット９が装着されている。
【００２１】
容器本体２の底板１１の裏面側には図示しない取付部が設けられており、この取付部を
ボトムプレート１０に設けられた複数の位置決めピン１２に装着することで容器本体２は
所定位置に正確に固定される。容器本体２の開口部２ａを横向きにして容器本体２を固定
することにより、図示しない自動機械を用いて蓋体３の開放作業、容器本体２に対する半
導体ウェーハＷの格納及び蓋体３の閉塞作業等を自動的に行わせることができる。
【００２２】
図２において、蓋体３の左右の側板（外側部）１４，１５の内側には後述するクランプ
が係止するための係止部１６がそれぞれ設けられている。
【００２３】
また、側板１５の外側には、容器本体２に対する蓋体３の位置決めを行うためのガイド
リブ１７が２本設けられており、他方の右側の側板１４にも同様の図示しないガイドリブ
１７が設けられている。上記ガイドリブ１７は、その先端部が後方を向くようにして延設
されていて、対向する両側縁１８は互いに平行に形成されている。
【００２４】
図３及び図５において、容器本体２の開口部２ａ近傍の外側部２１には、１対の位置決
めリブ２２が平行に設けられており、この位置決めリブ２２は容器本体２の奥行き方向に
沿ってそれぞれ配設されている。この位置決めリブ２２は、前記ガイドリブ１７を後述す
るようにして規制して位置決めを行うものである。このような位置決めリブ２２は、対向
する側の外側部２０にも同様に設けられている。
【００２５】
上記位置決めリブ２２の後方近傍には、前方視においてチャンネル状（コ字状）をなし
ているクランプ取付部２４が１対配置されており、このクランプ取付部２４の開口部は対
向して配置されている。このクランプ取付部２４は、左側の側板４の外側部２０にも同様
に設けられている。
【００２６】
上記クランプ取付部２４は、図４に示すクランプ２５を装着するためのものである。こ
のクランプ２５は図２に示す係止部１６に係止して蓋体３を容器本体２にクランプするも
のである。クランプ２５の基部は支軸２６に固定されており、この支軸２６には対をなす
接触部２７が２箇所にそれぞれ固定されている。
【００２７】
すなわち、クランプ２５は接触部２７を含んでいるものであって、実施例のように別個
に支軸２６に固定しなくても一体的に回動できるものであれば、クランプ２５及び接触部
２７を一体形成してもよい。
【００２８】
なお、上記容器本体２、蓋体３及びクランプ２５等の材料としては、ＰＣ（ポリカーボ
ネート）を使用しているが、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やＰＥＥＫ（ポリエ
ーテルエーテルケトン）を使用してもよい。
【００２９】
上記支軸２６は、図５及び図６によって後述するようにクランプ取付部２４に対して回
動自在に装着されている。上記の上下の接触部２７は、蓋体３を容器本体２に取り付ける
ときに蓋体３のガイドリブ１７（図２参照）が接触する位置にそれぞれ配設されている。
【００３０】
すなわち、ガイドリブ１７が接触部２７に接触してこれを押圧回動させることにより接
触部２７と一体のクランプ２５が係止方向に回動するようになっている。
【００３１】
図５に示す下側のクランプ取付部２４の一部を図６（ａ）に示し、クランプ取付部２４
を開口部側からみた図を図６（ｂ）に示す。クランプ取付部２４の両壁板２４ａ，２４ｂ
と底板２４ｃとで保持凹部（保持溝）２８が形成されている。なお、上側のクランプ取付
部２４も同様に保持凹部２８が形成されている。
【００３２】
この保持凹部２８にウェハ支持溝６を嵌合させることにより、支軸２６は回動自在に支
承されている。支軸２６をクランプ取付部２４に装着するには、支軸２６を上下のクラン
プ取付部２４の前側から単に落とし押し込むことで容易に着脱自在に装着することができ
る。
【００３３】
なお、クランプ取付部２４に装着されている支軸２６は、側板４，５に設けられたガス
ケット９により後部側を保持されている。そして、クランプ２５を回動自在にしたことに
より、容器本体２に対する蓋体３のクランプ動作を後述するようにして容易に行うことが
できる。
【００３４】
［作用］
次に、上述のように構成されたウェハ搬送容器の蓋体開閉機構の作用を説明する。最初
に容器本体２に対する蓋体３の取り付け（閉塞）作用について説明する。
【００３５】
図７及び図８において、容器本体２の開口部２ａに対して蓋体３が作業者の手操作によ
り矢印３０方向に移動されると、蓋体３の左右両側のガイドリブ１７が容器本体２の外側
部２０，２１により横方向への移動が規制される。また、ガイドリブ１７の側縁１８が、
図８に示すように位置決めリブ２２の側部によりガイドされて縦方向への移動が規制され
る。
【００３６】
すなわち、容器本体２の開口部２ａに対する横方向（Ｘ方向）と縦方向（Ｚ方向）への
移動とが、位置決めリブ２２及びこれを取り付け外側部２０，２１により予め規制される
ので、蓋体３の姿勢に特別な配慮をすることなく蓋体３を容器本体２の規定位置に容易に
取り付けることができる。
【００３７】
また、容器本体２に対して蓋体３を適正な姿勢で装着できることで、蓋体３のウェハ押
さえ７は、容器本体２内の規定位置の半導体ウェーハＷに正確且つ容易に当着することが
できる。そして、従来は作業者の勘に頼っていたウェハ押さえ７と半導体ウェーハＷとの
合わせの誤操作及びこれによるウェハ押さえ７の半導体ウェーハＷに対するミスキャッチ
等を確実に防止することができる。
【００３８】
図９及び図１０は、図７に示す蓋体３をさらに押し込んで取り付け終了直前の状態を示
している。蓋体３を図７の状態から押し込む（閉塞する）途中で、図１０に示すようにガ
イドリブ１７がクランプ２５の接触部２７に接触して接触部２７を押圧回動させる。
【００３９】
すなわち、蓋体３の閉塞動作に連動して接触部２７と一体のクランプ２５が図７及び図
８の状態から図９及び図１０に示す状態の係止方向に自動回動する。
【００４０】
そして、蓋体３を図１１に示すように容器本体２に対して完全に閉塞させると、クラン
プ２５は蓋体３の係止部１６に自動係止する。このように、容器本体２に対する蓋体３の
装着動作に連動してクランプ２５による蓋体３のクランプ動作を同時に行わせることがで
きる。
【００４１】
クランプ２５による蓋体３のクランプが容易に行うことができるのは、係止部１６に対
するクランプ２５のクランプ及びクランプ解除動作を、クランプ２５の回動動作により行
わせた結果生じたものであって、従来のウェハ搬送容器のように容器本体２と蓋体３との
係止具に弾性変形を生じる部品を使用していないためである。
【００４２】
上述した蓋体開閉機構の閉塞方法には３つの利点がある。
【００４３】
その１つは、容器本体２に対する蓋体３の閉塞時に、蓋体３と容器本体２との位置決め
とクランプ２５の係止方向への回動動作を同時に行うことができることである。２つ目の
利点は、ウェハ押さえ７と半導体ウェーハＷとの接触位置が自動的に決まることである。
３つ目の利点は、クランプ２５を変形させることなく容器本体２に取り付けるため蓋体３
の取付作業を容易に行うことができることである。
【００４４】
次に、容器本体２からの蓋体３の取り外し（開放）動作について説明する。
【００４５】
容器本体２から蓋体３を取り外す場合には、手操作によりクランプ２５を係止部１６か
ら外しながら容器本体２の外側（解除方向）へ回動させる。この際、クランプ２５が回動
しはじめると、クランプ２５の接触部２７に接触しているガイドリブ１７が前方に押し動
かされ、蓋体３が容器本体２から均一に浮かび上がって（離隔して）くる。このため、蓋
体３を容器本体２から容易に取り外すことができる。
【００４６】
上述した蓋体開閉機構の開放方法には２つの利点がある。その１つは、クランプ２５を
容器本体２の係止部１６から外しても、蓋体３のガイドリブ１７と容器本体２の位置決め
リブ２２とによって、蓋体３と容器本体２との相対位置が決まっているため、蓋体３を保
持する必要がないことである。２つ目の利点は、蓋体３が容器本体２から均一に浮かび上
がるため、半導体ウェーハＷとウェハ押さえ７との過剰な接触作用及びこれによる弊害を
避けることができることである。
【００４７】
また、係止部１６に対するクランプ２５の係止及び解除動作を小さい操作力によりでき
るので、本蓋体開閉機構を容器本体２に対して蓋体３の着脱を自動的に行う自動機械に適
用することが容易になる。そして、容器本体２に回動自在に設けたクランプ２５は、特別
の軸受等を別設することなくクランプ取付部２４に容易に装着することができる。
【００４８】
なお、前述した実施例では、蓋体３の側面にガイドリブ１７を配置し、容器本体２の側
面に位置決めリブ２２及びクランプ取付部２４をそれぞれ配置した例を説明したが、逆に
蓋体３の側面に位置決めリブ２２とクランプ取付部２４を配置し、容器本体２の側面にガ
イドリブ１７を配置しても同様の効果を得ることができる。ただ、容器本体２及び蓋体３
の金型構造とウェハ搬送容器１の使用状況を考慮すると、前述した実施例の方が好ましい
。
【００４９】
また、前述した実施例では、容器本体２の位置決めリブ２２を蓋体３のガイドリブ１７
の側縁１８間に配置したが、この位置決めリブ２２をガイドリブ１７の外側に位置させて
ガイドするようにしてもよい。
【００５０】
さらに、前述した実施例では、容器本体２の側面に位置決めリブ２２を配置したが、こ
の位置決めリブ２２の代わりにガイドリブ１７を位置決め規制可能な開口部又は切り欠き
等を配置したものであってもよい。
【００５１】
以上説明した発明を実施するための最良の形態のウェハ搬送容器の蓋体開閉機構は、複
数枚のウェハ（Ｗ）を収納可能であって一端に開口部（２ａ）を有する略箱状の容器本体
（２）と、該容器本体（２）のの前記開口部（２ａ）に着脱自在に嵌合可能な蓋体（３）
とを、備えたウェハ搬送容器（１）である。このウェハ搬送容器（１）は、前記蓋体（３
）の外側部（１４，１５）に位置決め用のガイドリブ（１７）を設け、前記容器本体（２
）の外側部（２０，２１）に前記ガイドリブ（１７）に係合して前記蓋体（３）を位置決
めする位置決めリブ（２２）を設けている。
【００５２】
この構成によれば、容器本体（２）に対して蓋体（３）を取り付けるために蓋体（３）
を容器本体（２）に嵌合させていくと、蓋体（３）のガイドリブ（１７）が容器本体（２
）の側面の位置決めリブ（２２）により移動を規制されて位置決めされながら嵌合してい
く。
【００５３】
このため、蓋体（３）は容器本体（２）の開口部（２ａ）に対する縦方向及び横方向の
相対位置を決めた状態で容易に閉塞することができ、これにより蓋体（３）の閉塞後にお
けるウェハ押さえ（７）を容器本体（２）内の規定位置のウェハ（Ｗ）に容易に当着させ
ることができて、蓋体開閉の作業効率を向上させることができる。
【００５４】
また、この発明を実施するための最良の形態のウェハ搬送容器の蓋体開閉機構は、前記
容器本体（２）の外側部（２０，２１）にはクランプ取付部（２４）が設けられ、該クラ
ンプ取付部（２４）には前記蓋体（３）に設けられた係止部（１６）に係脱する回動自在
のクランプ（２５）が着脱自在且つ回動自在に装着されている。
【００５５】
この構成によれば、容器本体（２）に対してクランプ（２５）を回動自在に容易に装着
できると共に、クランプ（２５）を回動自在にさせることで蓋体（３）を容器本体（２）
にクランプする際にクランプ（２５）を弾性変形させる必要がなくなって、蓋体（３）の
クランプを容易に行うことができる。
【００５６】
また、発明を実施するための最良の形態のウェハ搬送容器の蓋体開閉機構は、前記クラ
ンプ（２５）は前記ガイドリブ（１７）が接触可能であると共に前記クランプ（２５）と
一体回動する接触部（２７）を有し、前記蓋体（３）を前記容器本体（２）に閉塞する動
作に連動して前記ガイドリブ（１７）が前記接触部（２７）を押圧回動させることにより
前記クランプ（２５）を前記係止部（１６）に係止させ、且つ、前記蓋体（３）を開放す
るために前記クランプ（２５）を前記係止部（１６）から外す動作に連動して前記接触部
（２７）が前記ガイドリブ（１７）を押し出すことにより前記蓋体（３）を前記容器本体
（２）から均一に離隔させるように設けられている。
【００５７】
この構成によれば、蓋体（３）を容器本体（２）に取り付けるために容器本体（２）に
嵌合していくと、蓋体（３）のガイドリブ（１７）がクランプ（２５）の接触部（２７）
を押圧回動させていく。このため、接触部（２７）と一体のクランプ（２５）を蓋体（３
）の閉塞動作に連動して蓋体（３）をクランプする方向に回動させて蓋体（３）を自動的
にクランプすることができる。
【００５８】
すなわち、蓋体（３）を閉塞することで蓋体（３）をクランプするためのクランプ操作
を作業者が行うことなく前記閉塞動作に連動して行うことができると共に、クランプ（２
５）による蓋体（３）のクランプはクランプ（２５）が回動自在であることから、クラン
プを弾性変形させることなく小さな操作力で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施するための最良の形態に係わるウェハ搬送容器の分解斜視図である。
【図２】ウェハ搬送容器の蓋体の斜視図である。
【図３】ウェハ搬送容器の容器本体の斜視図である。
【図４】蓋体のクランプするクランプの斜視図である。
【図５】容器本体の位置決めリブ及びクランプ取付部の拡大斜視図である。
【図６】図（ａ）は、クランプ取付部及び支軸の一部を示す拡大斜視図、図（ｂ）はクランプ取付部の開口部を示す図である。
【図７】容器本体に対する蓋体の取り付け状態を示す作用図である。
【図８】図７の蓋体の取付位置におけるガイドリブ、位置決めリブ及びクランプ等の作用図である。
【図９】図７の蓋体がさらに容器本体に押し込まれた状態を示す作用図である。
【図１０】図９の蓋体の取付位置におけるガイドリブ、位置決めリブ及びクランプ等の作用図である。
【図１１】蓋体を容器本体に取り付け終了後のウェハ搬送容器の斜視図である。
【符号の説明】
【００６０】
Ｗ            半導体ウェーハ
１            ウェハ搬送容器
２            容器本体
２ａ          容器本体の開口部
３            蓋体
１４，１５    蓋体の側板（外側部）
１６          蓋体の係止部
１７          蓋体のガイドリブ
２０，２１    容器本体の外側部
２２          位置決めリブ
２４          クランプ取付部
２５          クランプ
２７          クランプの接触部
【図１】
2005162263.tif 000003
【図２】
2005162263.tif 000004
【図３】
2005162263.tif 000005
【図４】
2005162263.tif 000006
【図５】
2005162263.tif 000007
【図６】
2005162263.tif 000008
【図７】
2005162263.tif 000009
【図８】
2005162263.tif 000010
【図９】
2005162263.tif 000011
【図１０】
2005162263.tif 000012
【図１１】
2005162263.tif 000013