(57)【要約】【課題】  主コンデンサ等からなる発熱物と熱交換された空気流が、吹き溜まり部ができることなく効率的にラジエターと熱交換されるような高電圧パルス発生装置を提供すること。【解決手段】  磁気パルス圧縮回路等が設置されたタンク２の側部に、主コンデンサＣ０等の発熱物４１、４２、およびファン２０、ラジエター２１が配置されていて、ファン２０、ラジエター２１を通過した空気流が、発熱物４１、４２に到達して熱交換し、その後、上記ファン２０、ラジエター２１へ帰還する循環路を、タンク２の側面側外表面と外カバー４の側面側内表面との間の空間によって構成する。【選択図】  図２
2005101062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主コンデンサと、スイッチと磁気圧縮回路もしくは磁気圧縮回路及び昇圧トランス回路を含み、主コンデンサが充電されたあとスイッチが動作して、主コンデンサの電荷が磁気圧縮回路に移行して高電圧パルスを発生する高電圧パルス発生装置であって、内部に絶縁性冷媒が保持されていて、かつ、磁気圧縮回路を構成する可飽和リアクトルからなる磁気スイッチ、コンデンサ または 可飽和リアクトルからなる磁気スイッチ、コンデンサ、トランスが前記絶縁性冷媒に浸されて内部に配置されているタンクと、タンク外部に配置された上記主コンデンサと上記スイッチとを有し、上記タンクと上記主コンデンサと上記スイッチとが板状の外カバーに覆われた高電圧パルス発生装置において、
上記高電圧パルス発生装置はさらに少なくとも上記主コンデンサを冷却するためのファン、ラジエターを備え、
上記板状の外カバー内部には、上記ファン、ラジエターを通過した空気流が、少なくとも上記主コンデンサに到達して熱交換し、その後、上記ファン、ラジエターへ帰還する循環路が設けられている
ことを特徴とする高電圧パルス発生装置。
【請求項２】
少なくとも上記主コンデンサは上記タンクの上部に配置されていて、
上記循環路は、上記タンクの上部に設けられた第１の仕切り板と、上記主コンデンサの上部に設けられた第２の仕切り板と、上記第２の仕切り板の上部に設けられた空間とによって構成されている
ことを特徴とする請求項１記載の高電圧パルス発生装置。
【請求項３】
少なくとも上記主コンデンサは上記タンクの側部に配置されていて、
上記循環路は、上記タンクの側面側外表面と上記外カバーの側面側内表面との間の空間によって構成されている
ことを特徴とする請求項１記載の高電圧パルス発生装置。
【請求項４】
上記循環路の流れをスムーズにするために、上記循環路に面する外カバー内部の角部に制風板が設けられている
ことを特徴とする請求項２もしくは３記載の高電圧パルス発生装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載された高電圧パルス発生装置を備えた放電励起ガスレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気パルス圧縮回路を有する高電圧パルス発生装置に関するものであり、さらに詳細には、この高電圧パルス発生装置の冷却に関するものである。本発明は放電励起ガスレーザ装置に適用することが可能である。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路の微細化、高集積化につれて、その製造用の投影露光装置においては解像力の向上が要請されている。このため、露光用光源から放出される露光光の短波長化が進められており、半導体露光用光源として、従来の水銀ランプから波長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザ装置が用いられている。さらに、次世代の半導体露光用光源として、波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザ装置及び波長１５７ｎｍのフッ素（Ｆ2）レーザ装置等の紫外線を放出するガスレーザ装置が有力である。
【０００３】
ＫｒＦエキシマレーザ装置においては、フッ素（Ｆ2）ガス、クリプトン（Ｋｒ）ガス及びバッファーガスとしてのネオン（Ｎｅ）等の希ガスからなる混合ガス、ＡｒＦエキシマレーザ装置においては、フッ素（Ｆ2）ガス、アルゴン（Ａｒ）ガス及びバッファーガスとしてのネオン（Ｎｅ）等の希ガスからなる混合ガス、フッ素（Ｆ2）レーザ装置においては、フッ素（Ｆ2）ガス及びバッファーガスとしてヘリウム（Ｈｅ）等の希ガスからなる混合ガスであるレーザガスが数百ｋＰａで封入されたレーザチャンバの内部で放電を発生させることにより、レーザ媒質であるレーザガスが励起される。
【０００４】
レーザチャンバ内部には、レーザガスを励起するための一対の主放電電極が、レーザ発振方向に垂直な方向に所定の距離だけ離間して対向配置されている。この一対の主放電電極には高電圧パルス発生装置より高電圧パルスが印加され、主放電電極間にかかる電圧がある値（ブレークダウン電圧）に到達すると、主放電電極間のレーザガスが絶縁破壊されて主放電が開始し、この主放電によりレーザ媒質が励起される。よって、このような露光用ガスレーザ装置は主放電の繰返しによるパルス発振を行い、放出するレーザ光はパルス光となる。現状、露光に用いられているレーザ装置のレーザパルスの繰返し周波数は２ｋＨｚ程度であるが、近年、スループットの増大、露光量のバラツキの減少のため、繰返し周波数４ｋＨｚ以上が要請されている。
【０００５】
図７、８に示す高電圧パルス発生装置は、可飽和リアクトルからなる３個の磁気スイッチＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３を用いた２段の磁気パルス圧縮回路からなる。磁気スイッチＳＲ１はＩＧＢＴ等の半導体スイッチング素子である固体スイッチＳＷでのスイッチングロスの低減用のものであり、磁気アシストとも呼ばれる。第１の磁気スイッチＳＲ２と第２の磁気スイッチＳＲ３により２段の磁気パルス圧縮回路を構成している。  
ここで、図７は磁気圧縮回路に加え昇圧トランスＴｒ１を含む回路、図８は昇圧トランスを含まず、昇圧トランスの代わりに主コンデンサＣ０の充電用のリアクトルＬ１を含む例である。  
以下に図７にしたがって、回路の構成と動作を説明する。なお、図８の回路は昇圧トランスにより昇圧される動作が無いだけで、他の動作は図７と同様なので、説明を省略する。
【０００６】
まず、高電圧電源CHの電圧が所定の値Ｖinに調整され、主コンデンサＣ０が充電される。このとき、固体スイッチＳＷはオフになっている。主コンデンサＣ０の充電が完了し、固体スイッチＳＷがオンとなったとき、固体スイッチＳＷ両端にかかる電圧は主に磁気スイッチＳＲ１の両端にかかる。磁気スイッチＳＲ１の両端にかかる主コンデンサＣ０の充電電圧Ｖ０の時間積分値が磁気スイッチＳＲ１の特性で決まる限界値に達すると、磁気スイッチＳＲ１が飽和して磁気スイッチが入り、主コンデンサＣ０、磁気スイッチＳＲ１、昇圧トランスＴｒ１の１次側、固体スイッチＳＷのループに電流が流れる。同時に、昇圧トランスＴｒ１の２次側、コンデンサＣ１のループに電流が流れ、主コンデンサＣ０に蓄えられた電荷が移行してコンデンサＣ１に充電される。
【０００７】
この後、コンデンサＣ１における電圧Ｖ１の時間積分値が磁気スイッチＳＲ２の特性で決まる限界値に達すると、磁気スイッチＳＲ２が飽和して磁気スイッチが入り、コンデンサＣ１、コンデンサＣ２、磁気スイッチＳＲ３のループに電流が流れ、コンデンサＣ１に蓄えられた電荷が移行してコンデンサＣ２に充電される。  
さらにこの後、コンデンサＣ２における電圧Ｖ２の時間積分値が磁気スイッチＳＲ３の特性で決まる限界値に達すると、磁気スイッチＳＲ３が飽和して磁気スイッチが入り、コンデンサＣ２、ピーキングコンデンサＣｐ、磁気スイッチＳＲ３のループに電流が流れ、コンデンサＣ２に蓄えられた電荷が移行してピーキングコンデンサＣｐが充電される。
【０００８】
予備電離のためのコロナ放電は、第１電極１１が挿入されている誘電体チューブ１２と第２電極１３とが接触している個所を基点として誘電体チューブ１２の外周面に発生するが、ピーキングコンデンサＣｐの充電が進むにつれてその電圧Ｖｐが上昇し、Ｖｐが所定の電圧になるとコロナ予備電離部の誘電体チューブ１２表面にコロナ放電が発生する。このコロナ放電によって誘電体チューブ１２の表面に紫外線６が発生し、主放電電極Ｅ１、Ｅ２間のレーザ媒質であるレーザガス２が予備電離される。なお、図7，図８に示すように、上記した第１電極１１、誘電体チューブ１２，第２電極１３とからなる予備電離手段、主放電電極Ｅ１、Ｅ２は、レーザガスが充填されたレーザチャンバ３内に設置されている。
【０００９】
ピーキングコンデンサＣｐの充電がさらに進むにつれて、ピーキングコンデンサＣｐの電圧Ｖｐが上昇し、この電圧Ｖｐがある値（ブレークダウン電圧）Ｖｂに達すると、主放電電極Ｅ１、Ｅ２間のレーザガスが絶縁破壊されて主放電が開始し、この主放電によりレーザ媒質が励起され、レーザ光が発生する。  
この後、主放電によりピーキングコンデンサＣｐの電圧が急速に低下し、やがて充電開始前の状態に戻る。
【００１０】
このような放電動作が固体スイッチＳＷのスイッチング動作によって繰り返し行なわれることにより、パルスレーザ発振が行われる。固体スイッチＳＷのスイッチング動作は例えば外部からのトリガ信号に基づき行われる。  
ここで、磁気スイッチＳＲ２、ＳＲ３及びコンデンサＣ１、Ｃ２で構成される各段の容量移行型回路のインダクタンスを後段に行くにつれて小さくなるように設定することにより、各段を流れる電流パルスのパルス幅が順次狭くなるようなパルス圧縮動作が行われ、主放電電極Ｅ１、Ｅ２間に短パルスの強い放電が実現される。
【００１１】
図５、図６に従来の高電圧パルス発生装置の構成例を示す（例えば、特許文献１参照）。図６は図５を太矢印方向から見た図である。  
ここで、図７における３個の磁気スイッチＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３、コンデンサＣ１，Ｃ２、トランスＴＲ１、図８における３個の磁気スイッチＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３、コンデンサＣ１，Ｃ２は、動作時の発熱量が大きいので冷却する必要がある。
【００１２】
通常これらは、絶縁性冷媒、例えば、絶縁オイルによって満たされたタンク２の中に設置される。上記した磁気スイッチＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３、コンデンサＣ１，Ｃ２、（トランスＴＲ１）等の磁気パルス圧縮回路等を構成する発熱体は、絶縁性冷媒と接触することにより、絶縁性冷媒との熱交換で冷却される。  
タンク２内には、図示を省略した絶縁性冷媒冷却用ラジエターが設置される。この絶縁性冷媒冷却用ラジエターは、上記発熱体との熱交換で加熱された絶縁性冷媒との間で熱交換を行い、絶縁性冷媒を冷却するためのものである。
【００１３】
すなわち、上記構成を取ることにより、発熱体周囲と絶縁性冷媒冷却用ラジエター周囲の温度差により絶縁性冷媒の自然対流が発生し、上記発熱体と絶縁性冷媒との間で熱交換が起こり、上記発熱体は冷却される。熱交換で加熱された絶縁性冷媒は、上記絶縁性冷媒冷却用ラジエターとの間の熱交換により冷却される。  
なお、冷却効率を向上させるために、絶縁性冷媒を強制対流させるためのファンをタンク２内に設置してもよい。
【００１４】
上記タンク２の上部に、固体スイッチＳＷ、主コンデンサＣ０や、図５、６には図示を省略した固体スイッチＳＷを駆動するための駆動回路基板、上記駆動回路に電力を供給する駆動回路用電源等が配置される。  
固体スイッチＳＷには数アンペアの電流が流れ、また、主コンデンサには４ｋＶ以上の高電圧が充電されるので、高熱が発生する。一方、駆動回路用電源も動作中発熱する。これらの固体スイッチＳＷ、主コンデンサＣ０、駆動回路基板、駆動回路用電源等からなる発熱物１は、図５，図６に示すように、例えばファン２０、ラジエター２１とからなる空冷手段により冷却される。
【００１５】
タンク２、発熱部１、空冷手段（ファン２０、ラジエター２１）は、外カバー４によって覆われる。外カバー４は、例えば、鉄等の板状の金属であり、タンク２に収容される磁気パルス発生回路等から放出される高周波ノイズが外部に漏洩することを防止する。  
ファン２０・ラジエター２１は、これらで発生する冷たい空気流が発熱部１に当るような位置に配置される。上記空気流が発熱部１と接触すると、空気流と発熱部１との間で熱交換が行われ、その結果発熱部１が冷却される。
【００１６】
固体スイッチＳＷ、主コンデンサＣ０、駆動回路基板、駆動回路用電源等からなる発熱物１との熱交換され加熱された上記空気流は、上記ラジエター２１に導かれる。そして、ラジエター２１との熱交換により、冷却される。ここで、ラジエター２１は、図５、図６においてはファン２０の下流に配置されているが、ファン１１の上流に配置されていても構わない。
【特許文献１】特開２００３−１２４５５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
上記したような冷却構造では、以下のような問題が発生する。まず、固体スイッチＳＷ、主コンデンサＣ０、駆動回路基板、駆動回路用電源等からなる発熱物と熱交換された空気流は、外カバー４と衝突し拡散する。拡散した温風の一部はラジエター２１へは到達しない。すなわち、上記発熱物１との熱交換により加熱された空気流は、必ずしも全てがラジエター２１と熱交換されるという訳ではない。
【００１８】
また、上記発熱部１との熱交換によって熱せられた空気の吹き溜まり部が、外カバー４内部に点在しやすく、外カバー内４空気と空冷手段との熱交換効率がよくない。例えば、固体スイッチＳＷは複数のスイッチで構成される。このように、発熱部１の個数が増加すると、発熱部１を通過する空気流の吹き溜まり部が存在しやすくなる。その結果、必ずしも全ての空気流を発熱部１に供給できるとは限らず、発熱部１を効果的に冷却することが困難になる。
【００１９】
さらに、熱交換後加熱された空気流の一部が吹き溜まり部に滞留する場合、吹き溜まり部が加熱してしまうという問題も発生する。
【００２０】
本発明は、以上のような事情に鑑み成されたものであり、その課題は、固体スイッチ、主コンデンサ、駆動回路基板、駆動回路用電源等からなる発熱物と熱交換された空気流が、吹き溜まり部ができることなく効率的にラジエターと熱交換されるような高電圧パルス発生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記課題を本発明においては、次のように解決する。  
（１）主コンデンサと、スイッチと磁気圧縮回路もしくは磁気圧縮回路及び昇圧トランス回路を含み、主コンデンサが充電されたあとスイッチが動作して、主コンデンサの電荷が磁気圧縮回路に移行して高電圧パルスを発生する高電圧パルス発生装置であって、内部に絶縁性冷媒が保持されていて、かつ、磁気圧縮回路を構成する可飽和リアクトルからなる磁気スイッチ、コンデンサ または 可飽和リアクトルからなる磁気スイッチ、コンデンサ、トランスが前記絶縁性冷媒に浸されて内部に配置されているタンクと、このタンク外部に配置された上記主コンデンサと上記スイッチとを有し、上記タンクと、上記主コンデンサと上記スイッチとが板状のカバーに覆われた高電圧パルス発生装置において、上記高電圧パルス発生装置はさらに少なくとも上記主コンデンサを冷却するためのファン、ラジエターを備え、上記板状の外カバー内部には、上記ファン、ラジエターを通過した空気流が、少なくとも上記主コンデンサに到達して熱交換し、その後、上記ファン、ラジエターへ帰還する循環路を設ける。
【００２２】
（２）（１）において、少なくとも上記主コンデンサは上記タンクの上部に配置されていて、上記循環路を、上記タンクの上部に設けられた第１の仕切り板と、上記主コンデンサの上部に設けられた第２の仕切り板と、上記第２の仕切り板の上部に設けられた空間とによって構成する。
【００２３】
（３）また、（１）において、少なくとも上記主コンデンサは上記タンクの側部に配置されていて、上記循環路を、上記タンクの側面側外表面と上記外カバーの側面側内表面との間の空間によって構成する。
【００２４】
（４）ここで、上記循環路の流れをスムーズにするために、（２）もしくは（３）において、外カバー内部の角部に制風板が設けてもよい。
【００２５】
（５）放電励起ガスレーザ装置において、上記（１）（２）（３）（４）の高電圧パルス発生装置を備える。
【発明の効果】
【００２６】
このような構造にすることにより、ファン、ラジエターから送出され、固体スイッチＳＷ、主コンデンサＣ０、駆動回路基板、駆動回路用電源等からなる発熱物と熱交換された空気流が、外カバー内部にて拡散することなく、循環流としてラジエター、ファンに到達するので、発熱部によって加熱された空気流とラジエター、ファン２０からなる空冷手段との熱交換効率が向上する。
【００２７】
また、循環流を形成したので、発熱部との温度交換によって熱せられた空気の吹き溜まり部ができることが無く、また、流れによどみが無くなり、ラジエターを通過した空気流全てを発熱部に導風することが容易となる。  
上記したように熱せられた空気の吹き溜まり部ができることが無いので、吹き溜まり部が加熱してしまうという問題も回避できる。
【００２８】
さらに、発熱部の個数が増加しても、それらを空気流が循環する循環路内に設置することにより、ラジエターを通過した空気流を発熱部全てに導風することが容易となる。  
特に、循環路をタンクの側面側外周部と外カバーの側面側内周部が作る空間として構成すると、高電圧パルス発生装置をコンパクトに構成することができる。
【００２９】
なお、循環路に面する外カバー内部の角部に制風板を設けることにより、循環する空気流の流れをよりスムーズとなる。
【００３０】
本発明は、特に繰返し周波数４ｋHz以上の放電励起ガスレーザ装置に搭載される高電圧パルス発生装置に有用である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施例を図を参照して説明する。
【実施例１】
【００３２】
図１は、本発明の高電圧パルス発生装置の実施例１を示す図である。図１において、図５、６と同じ符号のものは、同等の構成要素を表わす。
【００３３】
２はタンクであり、絶縁性冷媒、例えば、絶縁オイルによって満たされている。この絶縁オイル内に、磁気スイッチＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３、コンデンサＣ１，Ｃ２、（トランスＴＲ１）等の磁気パルス圧縮回路等を構成する発熱体が収容されている。タンク２に収容された磁気パルス圧縮回路は、ピーキングコンデンサＣｐ、レーザチャンバ３内の主放電電極Ｅ１、Ｅ２（図７，８参照）に接続される。
【００３４】
タンク２の上部には、ファン２０、ラジエター２１および発熱物１が配置されている。ここで、発熱物１は、固体スイッチＳＷ、主コンデンサＣ０、および、図１、２には図示を省略した固体スイッチＳＷを駆動するための駆動回路基板、上記駆動回路に電力を供給する駆動回路用電源等からなる。  
タンク２、ファン２０、ラジエター２１は、外カバー４によって包囲されている。外カバー４は、先に述べたように、例えば鉄製の板状の金属からなる。
【００３５】
本実施例は、ファン２０、ラジエター２１等からなる空冷手段から発生する上記冷却用の空気流が循環する風洞を設けたものである。  
タンク２の上面部には、タンク２を囲むように第１の仕切り板３１が設けられている。この第１の仕切り板３１、タンク２の上面部を覆う、例えば、板状の蓋部材３５によって、外カバー４内部の空間が２つに分割される。なお、上記第１の仕切り板３１は、タンク２の上面部の蓋部材３５の上部全てを覆ってもよい。
【００３６】
上記したファン２０、ラジエター２１および発熱物１は、上記分割された空間の内、タンク２上面側の空間内に設置される。ファン１、ラジエター２１、発熱物１は、ファン２０から送風される空気流の上流側にラジエター２１、下流側に発熱部１が配置される。    ここでラジエター２１は、ファン２０から送風される空気流の下流側にも設置可能である。しかしながら、特にラジエター２１をファン２０から送風される空気流の上流側に設置することにより、ファン２０の受ける熱の影響が小さくなるので、ファン２０の寿命が長寿命となる。
【００３７】
なお、ファン２０はクロスフローファンでもよいし、シロッコファンでもよい。
【００３８】
上記のように配置されたラジエター２１、ファン２０、発熱物１の上部には、第２の仕切り板３２が設けられる。この第２の仕切り板３２は、ラジエター２１、ファン２０、発熱物１の上部に上部空間５０を設けるように設置される。  
ここで、第２の仕切り板３２は、上部空間５０と、ラジエター２１、ファン２０、発熱物１とが配置される空間とを完全に仕切るものではない。ファン２０から送風され、ラジエター２１を経由した空気流が、発熱物１を通過後、外カバー４に沿って進み、上部空間５０を通過してファン２０へと至る循環流となるような風洞を構成するためのものである。  
この風洞は、第１の仕切り板３１、タンク２の上面部の蓋部材３５によって、タンク２の上面部より下に位置する空間とは仕切られているので、上記循環流がタンク２の上面部より下側に流れることはない。
【００３９】
このような構造にすることにより、発熱物１との熱交換によって熱せられた空気流が外カバー４に衝突後も、外カバー４内部にて拡散することなく、循環流としてラジエター２１、ファン２０に到達するので、発熱部１によって加熱された空気流（すなわち、外カバー４内空気）とラジエター２１、ファン２０からなる空冷手段との熱交換効率が向上する。
【００４０】
また、循環流を形成したので、発熱部１との温度交換によって熱せられた空気の吹き溜まり部ができることが殆ど無く、また、流れによどみが殆ど無くなり、ラジエターを通過した空気流全てを発熱部に導風することが容易となる。
【００４１】
さらに、発熱部１の個数が増加しても、それらを空気流が循環する風洞内に設置することにより、ラジエター２１を通過した空気流を全てを発熱部１全てに導風することが容易となる。
【実施例２】
【００４２】
図２、図３は、本発明の高電圧パルス発生装置の実施例２を示す図である。図３は、図２を矢印方向からみた断面図である。ここで、図５、６と同じ符号のものは、同等の構成要素を表わす。  
実施例２の高電圧パルス発生装置が実施例１のものと異なる点は、ファン２０、ラジエター２１、発熱部をタンク２の上面に配置するのではなく、タンク２の側面に配置した点にある。また、実施例２は、以下に示すように、発熱部が複数存在する例を示すものであるが、発熱部が単独の場合にも適用可能である。
【００４３】
実施例１と同様、タンク２には絶縁性冷媒、例えば、絶縁オイルによって満たされており、磁気パルス圧縮回路等を構成する発熱体がその中に収容されている。タンク２に収容された磁気パルス圧縮回路は、ピーキングコンデンサＣｐ、レーザチャンバ３内の主放電電極Ｅ１、Ｅ２（図７，８参照）に接続される。なお、タンク２の上面部を覆う蓋部材は、図２、３では省略されている。  
図２、図３に示すように、ラジエター２１、ファン２０、発熱物４１、発熱物４２は、タンク２の側面側に配置されている。  
ここで、発熱物４１は、例えば、固体スイッチＳＷ、主コンデンサＣ０であり、発熱物４２は固体スイッチＳＷを駆動するための駆動回路基板、上記駆動回路に電力を供給する駆動回路用電源等である。  
タンク２、ラジエター２１、ファン２０、発熱物４１、発熱物４２は、外カバー４で包囲される。外カバー４は、先に述べたように、例えば鉄製の板状の金属からなる。
【００４４】
本実施例においては、タンク２の側面側外周部と外カバー４の側面側内周部が作る空間が循環路となるように、ラジエター２１、ファン２０、発熱物４１，４２を配置するものである。ここで、上記タンク２の側面側外周部および外カバー４の側面側内周部は、図２において、紙面左右側のある面を示す。
【００４５】
ファン２０は、上記空間を循環するような方向に送風するように、上記空間に配置される。ファン２０から送風される空気流の上流側にラジエター２１、下流側に発熱物４１，４２の順に配置される。
【００４６】
実施例１の場合と同様、ここでラジエター２１は、ファン２０から送風される空気流の下流側にも設置可能である。しかしながら、特にラジエター２１をファン２０から送風される空気流の上流側に設置することにより、ファン２０の受ける熱の影響が小さくなるので、ファン２０の寿命が長寿命となる。
【００４７】
なお、ファン２０はクロスフローファンでもよいし、シロッコファンでもよい。
【００４８】
ここで、発熱物４２の位置は、図３に示す波線の位置でも構わない。また、発熱物４１、４２を配置する順序は逆でもよい。
【００４９】
このような構造にすることにより、発熱物１との熱交換によって熱せられた空気流が外カバー４に衝突後も、外カバー４内部にて拡散することなく、循環流としてファン２０、ラジエター２１に到達するので、発熱部４１，４２によって加熱された空気流（すなわち、外カバー４内空気）とファン２０，ラジエター２１からなる空冷手段との熱交換効率が向上する。
【００５０】
循環流を形成したので、発熱部４１、４２との温度交換によって熱せられた空気の吹き溜まり部ができることが無く、また、流れによどみが無くなり、ラジエターを通過した空気流全てを発熱部に導風することが容易となる。
【００５１】
また、発熱部の個数が増加しても（４１，４２）、それらを空気流が循環する循環路内に設置することにより、ラジエター２１を通過した空気流を発熱部全てに導風することが容易となる。
【００５２】
さらに、本実施例においては、タンク２の側面側外周部と外カバー４の側面側内周部が作る空間を空気流の循環路として構成したので、実施例１のように、循環のための上部空間を別途設ける必要が無く、コンパクトに構成することができる。
【００５３】
上記実施例１、実施例２において、タンク２からの放熱が大きい場合は、例えば図４に示すように、タンク２壁面に断熱材６０を設けてもよい。  
また、循環する空気流の流れをよりスムーズにするために、例えば図４に示すように、制風板３４、仕切り板３３を設けても良い。  
さらに、図１、２、３、４において矢印で示す空気流の流れの方向は、矢印と逆方向でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１の実施例を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図４】本発明の第１、第２の実施例の変形例を説明する図である。
【図５】従来の高電圧パルス発生装置の構成を示す図である。
【図６】従来の高電圧パルス発生装置の構成を示す図である。
【図７】高電圧パルス発生回路の構成例を示す図である。
【図８】高電圧パルス発生回路の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００５５】
１      発熱物
２      タンク
３      レーザチャンバ
４      外カバー
２０    ファン
２１    ラジエター
３１    仕切り板
３２    仕切り板
３３    仕切り板
３４    制風板
３５    蓋部材
４１    発熱物
４２    発熱物
５０    上部空間
６０    断熱材
ＳＲ１  磁気スイッチ
ＳＲ２  磁気スイッチ
ＳＲ３  磁気スイッチ
ＳＷ    固体スイッチ
Ｔｒ１  昇圧トランス
Ｌ１    リアクトル
ＣＨ    高電圧電源
Ｃ０    主コンデンサ
Ｃ１    コンデンサ
Ｃ２    コンデンサ
Ｃｐ    ピーキングコンデンサ
１１    第１電極
１２    誘電体チューブ
１３    第２電極
Ｅ１    主放電電極
Ｅ２    主放電電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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