(57)【要約】【課題】レチクル配膳前に、露光装置のレチクル収納状態を収集し、レチクルの使用限度を考慮して、適時に必要な配膳をする。【解決手段】製造ロットを半導体基板露光装置７ａ，７ｂに仕掛ける際に、半導体基板露光装置７ａ，７ｂからホストコンピュータ１が収集したレチクル収納情報と、レチクルに設定した使用限度回数を元に、レチクル配膳を効率的に実施するため、通信回線６を介してホストコンピュータ１に接続されている半導体基板露光装置７ａ，７ｂと、前記通信回線６を介してホストコンピュータ１に接続されている出力端末８と、通信回線９を介してホストコンピュータ１に接続されているレチクル収納棚１０ａ，１０ｂとを備え、半導体基板露光装置７ａ，７ｂへレチクルを投入する前に空き棚を確保し、使用限度回数を超えていないものを選択することによって、レチクルの配膳を効率的に行うことを可能にする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホストコンピュータと、通信回線を介してホストコンピュータに接続されている出力端末と、通信回線を介してホストコンピュータに接続されているレチクル収納棚と、通信回線を介してホストコンピュータに接続されている半導体基板露光装置を有する半導体生産ラインにおいて、
露光装置のレチクル収納情報管理部と、レチクル使用限度管理部と、レチクル所在管理部と、レチクル出庫指示部とを備えたことを特徴とするレチクル配膳システム。
【請求項２】
ホストコンピュータと、通信回線を介してホストコンピュータに接続されている出力端末と、通信回線を介してホストコンピュータに接続されているレチクル収納棚と、通信回線を介してホストコンピュータに接続されている半導体基板露光装置を有する半導体生産ラインに用いられるレチクル配膳方法において、
露光装置のレチクル収納情報管理手順と、レチクル使用限度管理手順と、レチクル所在管理手順と、レチクル出庫指示手順とを備えたことを特徴とするレチクル配膳方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置におけるレチクルの配膳システム、およびその配膳方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体製造装置におけるレチクルの配膳方法としては、特許文献１に記載されているようなものがある。
【０００３】
特許文献１に記載された技術は、図８に示すように、製造ロットの各作業工程で作業開始及び作業完了時に入出力端末ｃ１，ｃ２，・・・，ｃｎよりホストコンピュータａに報告し、そのタイミングにおいて、製造ロットの露光装置への予想到達時間とレチクルの露光装置への予想到達時間との比較を行い、レチクルをレチクル収納棚ｅ１，ｅ２から出庫するか否かを判断していた。そして、出庫する場合、レチクル出庫指示を収納棚ｅ１，ｅ２に伝達し、レチクルを収納棚ｅ１，ｅ２から出庫させ露光装置へ配膳していた。
【特許文献１】特開平６−２６８０４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のレチクル配膳方法では、製造ロットの露光装置への予想到達時間と、レチクルの露光装置への予想到達時間との比較を行って、レチクルを出庫するか否か判断していたが、露光装置にレチクルを配膳しても、露光装置にレチクルを収納できる棚は１０数スロットしかなく、当面使用する予定のないレチクルが棚を占拠していて空き棚がない場合があった。
【０００５】
また、レチクルは定期的な洗浄が必要であり、使用限度回数を超えていたりして、レチクルが使用できず、不要なレチクル配膳を行っている場合があった。
【０００６】
さらに、近年、多品種少量生産が進んでおり、多層配線化によるレチクル枚数増加の傾向もあって、レチクル配膳頻度が増加しているため、効率的に配膳し、オペレータの負担を減らさなければならないという課題があった。
【０００７】
本発明は、前記従来の課題を解決し、レチクル配膳前に、露光装置のレチクル収納状態を収集し、レチクルの使用限度を考慮して、適時に必要な配膳をすることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、ホストコンピュータと、通信回線を介してホストコンピュータに接続されている出力端末と、通信回線を介してホストコンピュータに接続されているレチクル収納棚と、通信回線を介してホストコンピュータに接続されている半導体基板露光装置を有する半導体生産ラインにおいて、露光装置のレチクル収納情報管理手段とレチクル使用限度管理手段とレチクル所在管理手段とレチクル出庫指示手段からなり、本構成によってレチクル配膳前に、露光装置のレチクル収納状態を収集し、レチクルの使用限度を考慮して、適時に必要な配膳をすることが可能になる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のレチクル配膳システムおよび配膳方法によると、レチクルの配膳の無駄を減らすことが可能となり、露光装置稼働率を高めることができる。また、オペレータの工数も削減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１１】
図１は本発明の実施形態におけるレチクル配膳システムの概略を示す構成図であり、生産ライン全体を管理するホストコンピュータ１は、内部に露光装置のレチクル収納情報管理部２と、レチクル使用限度管理部３と、レチクル所在管理部４と、レチクル出庫指示部５とを具備している。
【００１２】
ホストコンピュータ１は、通信回線６を介して複数の半導体基板露光装置７ａ，７ｂと出力端末８に接続され、また、通信回線９を介して複数のレチクル収納棚１０ａ，１０ｂに接続されている。
【００１３】
前記露光装置のレチクル収納情報管理部２は、半導体基板露光装置７ａ，７ｂの棚ごとにレチクル情報を収集し、レチクル名とスロット番号により管理する。
【００１４】
前記レチクル使用限度管理部３は、あらかじめレチクルの種類，使用方法などで決められている使用限度回数をレチクルごとに設定しておく。レチクルが使用されるたびに使用回数を増加させ、レチクルを洗浄すると、使用回数をゼロにリセットするようデータを更新する。
【００１５】
前記レチクル所在管理部４は、レチクル収納棚１０ａ，１０ｂにレチクルを入出庫するたびに、ホストコンピュータ１に報告される情報を元にして、レチクルの所在場所情報を更新する。
【００１６】
前記レチクル出庫指示部５は、半導体基板露光装置７ａ，７ｂからレチクルを出庫させたいとき、出力端末８にレチクル名，スロット番号を表示する機能と、レチクル収納棚１０ａ，１０ｂに出庫させたいレチクルを直接指示する機能を持つ。
【００１７】
なお、図１における通信回線６,９は、有線に限定されず、無線であってもよい。
【００１８】
図２は本実施形態におけるレチクル配膳システムのフローチャートである。
【００１９】
まず、製造ロットを露光装置７ａあるいは７ｂへ仕掛けるか否かを判定する(Ｓ１０１)。仕掛けることが決定した時点で、半導体基板露光装置７ａあるいは７ｂから通信回線６を介して報告されたレチクル収納情報をホストコンピュータ１が収集する(Ｓ１０２)。図３は収集したレチクル収納情報の例である。収集したレチクル収納情報より、半導体基板露光装置７ａあるいは７ｂにレチクルを収納可能な空き棚があるか否か、ホストコンピュータ１が判断する(Ｓ１０３)。図３の例ではスロットＮｏ．２が空き棚となる。
【００２０】
もし、空き棚がない場合は、半導体基板露光装置７ａあるいは７ｂに収納されているレチクルのうち、使用する予定のないものを出庫する(Ｓ１０４)。
【００２１】
半導体基板露光装置７ａあるいは７ｂにレチクル収納可能な空き棚を確保した後、製造ロットを半導体基板露光装置７ａあるいは７ｂにおいて処理するのに必要な対応レチクルの複数候補の中から、レチクルの使用限度を考慮して選択する(Ｓ１０５)。
【００２２】
選択されたレチクルは、レチクル収納棚１０ａ，１０ｂから通信回線９を介してホストコンピュータ１へ報告されたレチクル所在情報を元に、ホストコンピュータ１が所在位置を確認する(Ｓ１０６)。図４は収集したレチクル所在情報の例である。
【００２３】
所在位置を確認した後、ホストコンピュータ１から通信回線９を介してレチクル収納棚１０ａあるいは１０ｂへ出庫指示を送信する(Ｓ１０７)。出庫指示に従って、レチクルをレチクル収納棚１０ａあるいは１０ｂから出庫し、半導体基板露光装置７ａあるいは７ｂに投入する(Ｓ１０８)。
【００２４】
なお、出庫作業はオペレータの手作業でなくてもよく、出庫指示を受けて、レチクル収納棚が自動的に行ってもよい。
【００２５】
図５は図２のステップにおけるＳ１０４に対応し、レチクルの使用予定を判定するフローチャートである。
【００２６】
まず、Ｎ個の露光装置のスロット１から判定を開始する(Ｓ２０１)。露光装置のスロットＮに存在するレチクルを、現在の仕掛かり製品ロットが使用せず(Ｓ２０２のＹ)、かつ仕掛かり予定の製品ロットも使用しない場合(Ｓ２０３のＹ)、スロットＮのレチクルを出庫指示する(Ｓ２０４)。出庫指示は、図１の出力端末８に表示されるため(Ｓ２０５)、指示に従って、レチクルを出庫する(Ｓ２０６)。
【００２７】
スロットＮのレチクルが使用されるなら、次のスロットＮ＋１で判定を行う(Ｓ２０７)。判定を露光装置の最終レチクル収納スロットまで行うか、出庫するレチクルが決まるまで繰り返す(Ｓ２０８)。なお、出庫作業はオペレータの手作業でなくてもよく、露光装置が自動的に行ってもよい。
【００２８】
図６は図２のＳ１０５に対応し、使用可能な複数の対応レチクル候補の中から使用限度を考慮して選択するフローチャートである。
【００２９】
まず、対応レチクルの１番目から判定を開始する(Ｓ３０１)。対応レチクルのＮ番目のデータをホストコンピュータから参照する(Ｓ３０２)。図７はホストコンピュータが管理しているレチクルデータの例である。レチクルの現在の使用回数が、設定してある使用限度回数より少なければ(Ｓ３０３のＹ)、使用レチクルとして選択する(Ｓ３０４)。使用回数が使用限度回数を超えていれば(Ｓ３０３のＮ)、次の対応レチクル候補Ｎ＋１番目で判定を行う(Ｓ３０５)。判定を最終候補まで行うか、使用するレチクルを選択するまで繰り返す(Ｓ３０６)。
【００３０】
なお、図７において、使用限度回数を設定しているが、レチクルは定期的に洗浄しなければならないものであり、使用限度回数を洗浄警告回数としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明は、コンピュータを使用した半導体製造装置におけるレチクルの配膳システム、およびその配膳方法に適用され、特に、レチクルの配膳の無駄を減らし、露光装置稼働率を高め、オペレータの工数を削減することが要求されるレチクルの配膳システムに用いて有効である。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施形態を説明するためのレチクル配膳システムの概略構成図
【図２】本実施形態におけるレチクル配膳システムの処理のフローチャート
【図３】本実施形態におけるレチクル配膳システムの露光装置から収集されるレチクル収納情報の例を示す説明図
【図４】本実施形態におけるレチクル配膳システムのレチクル所在情報の例を示す説明図
【図５】本実施形態におけるレチクル配膳システムの露光装置に収納されているレチクルのうち、使用する予定のないものを出庫する処理のフローチャート
【図６】本実施形態におけるレチクル配膳システムの製造ロットに対応するレチクルのうち、使用限度を考慮して選択する処理のフローチャート
【図７】本実施形態におけるレチクル配膳システムのホストコンピュータが管理しているレチクルデータの例の説明図
【図８】従来のレチクル配膳システムの概略構成図
【符号の説明】
【００３３】
１  ホストコンピュータ
２  露光装置のレチクル収納情報管理部
３  レチクル使用限度管理部
４  レチクル所在管理部
５  レチクル出庫指示部
６    ホストコンピュータと半導体基板露光装置と出力端末を接続する通信回線
７ａ，７ｂ  半導体基板露光装置
８ａ  出力端末
９ａ  ホストコンピュータとレチクル収納棚を接続する通信回線
１０ａ，１０ｂ  レチクル収納棚
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005209780.tif 000009
【図８】
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