(57)【要約】【課題】カード状シートを吸引保持した吸引ヘッドから、吸引テーブルにカード状シートを受け渡す際に、しわ、たわみなどのない状態でカード状シートを受け渡すことが可能なカード状シートの受け渡し方法および受け渡し装置を提供する。【解決手段】周辺領域が吸着面１１となるように構成され、吸着面１１からカード状シート１の周辺領域１ａを真空吸引することによりカード状シート１を保持する吸引機能と、吸着面１１からカード状シート１の周辺領域１ａに気体をブローしてカード状シート１を解放するブロー機能とを備えた吸引ヘッド１０を用い、カード状シート１の周辺領域１ａを真空吸引してカード状シート１を保持し、カード状シート１を吸引テーブル２０に受け渡す際に、吸引ヘッド１０の吸引ＯＦＦと、ブローＯＮとのタイミングを、吸引テーブル２０の吸引ＯＮのタイミングよりも早くなるようにしてカード状シート１の受け渡しを行う。【選択図】図１
2005306582.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空吸引することによりカード状シートを吸引保持した吸引ヘッドから、真空吸引することによりカード状シートを吸引保持する吸引テーブルにカード状シートを受け渡すためのカード状シートの受け渡し方法であって、
周辺領域が吸着面となるように構成され、吸着面からカード状シートの周辺領域を真空吸引することによりカード状シートを保持する吸引機能と、吸着面からカード状シートの周辺領域に気体をブローしてカード状シートを解放するブロー機能とを備えた吸引ヘッドを用い、カード状シートの周辺領域を真空吸引してカード状シートを保持するとともに、カード状シートを吸引テーブルに受け渡す際には、吸引ヘッドの吸引ＯＦＦと、ブローＯＮとのタイミングを、吸引テーブルの吸引ＯＮのタイミングよりも早くなるようにしたこと
を特徴とするカード状シートの受け渡し方法。
【請求項２】
吸引ヘッドから気体をブローしてカード状シートを解放する場合において、吸引ヘッドの中央領域からも気体をブローするようにしたことを特徴とする請求項１記載のカード状シートの受け渡し方法。
【請求項３】
前記カード状シートが、シート表面の周辺領域以外の領域に未乾燥状態の電極パターンが印刷されたカード状印刷シートであることを特徴とする請求項１または２記載のカード状シートの受け渡し方法。
【請求項４】
前記吸引ヘッドの下死点からの上昇タイミングが、前記吸引テーブルの吸引孔からの吸引ＯＮのタイミングより後になるように構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のカード状シートの受け渡し方法。
【請求項５】
(ａ)カード状シートの中央領域に対応するヘッド中央領域がカード状シートに当接しないように構成され、カード状シートの周辺領域に対応するヘッド周辺領域が吸着面としてカード状シートに当接するように構成され、かつ、ヘッド周辺領域には、真空吸引してカード状シートを保持する吸引手段および気体をブローしてカード状シートを解放するブロー手段が配設された構造を有する吸引ヘッドと、
(ｂ)前記吸引ヘッドにより保持された前記カード状シートを受け取る吸引テーブルであって、真空吸引することによりカード状シートを保持する吸引手段を備えた吸引テーブルと
を具備し、かつ、
前記吸引ヘッドの前記ヘッド周辺領域の吸引ＯＦＦと、ブローＯＮのタイミングが、前記吸引テーブルの吸引ＯＮのタイミングよりも早くなるように構成されていること
を特徴とするカード状シートの受け渡し装置。
【請求項６】
前記カード状シートが、シート表面の周辺領域以外の領域に未乾燥状態の電極パターンが印刷されたカード状印刷シートであることを特徴とする請求項５記載のカード状シートの受け渡し装置。
【請求項７】
前記ヘッド中央領域は、カード状シートの中央領域に当接しないように、凹状にくぼんだ構造とされていることを特徴とする請求項５または６記載のカード状シートの受け渡し装置。
【請求項８】
前記吸引ヘッドの、カード状シートとの接触部分が弾性材料を用いて形成されていることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載のカード状シートの受け渡し装置。
【請求項９】
前記吸引ヘッドの中央領域にも、気体をブローするブロー手段が配設されていることを特徴とする請求項５〜８のいずれかに記載のカード状シートの受け渡し装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、カード状シートを吸引保持した吸引ヘッドから、真空吸引することによりカード状シートを吸引保持する吸引テーブルにカード状シートを受け渡すためのカード状シートの受け渡し方法および、それに用いられるカード状シートの受け渡し装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
代表的な積層セラミック電子部品の１つである積層セラミックコンデンサは、例えば、図８に示すように、セラミック素子５１中に、複数の内部電極５２ａ，５２ｂがセラミック層５３を介して積層され、かつ、セラミック層５３を介して互いに対向する内部電極５２ａ，５２ｂが交互にセラミック素子５１の逆側の端面５４ａ，５４ｂに引き出されて、該端面に形成された外部電極５５ａ，５５ｂに接続された構造を有している。
【０００３】
そして、このような構造を有する積層セラミックコンデンサは、通常、導電ペーストを印刷、塗布して表面に内部電極パターンを形成したセラミックグリーンシートを積層するとともにその上下両面側に、内部電極が形成されていないセラミックグリーンシート（ダミーシート）を積層、圧着し、個々の素子への分割（カット）、焼成を行った後、焼成後の積層体（セラミック素子）の両端部に外部電極を形成する工程を経て製造されている。
【０００４】
ところで、上述のようにして積層されるセラミックグリーンシートとしては、通常、内部電極パターンが印刷された長尺シートを所定の寸法に切断することにより得られる、カード状のセラミックグリーンシート（カード状シート）が用いられている。
【０００５】
そして、このようなカード状印刷シートを搬送する（受け渡す）方法として、例えば、図９に示すような方法が知られている（特許文献１参照）。
この方法においては、図９に示すように、シート搬送機６１を用いて供給台６２に積み重ねてあるグリーンシート（カード状シート）６５を、所定の移し替え位置に停止している吸引テーブル（保持テーブル）６３に受け渡すようにしている。具体的には、シート搬送機６１を供給台６２の上方に移動させ、吸引ヘッド６４の吸着面がグリーンシート６５の上面に接する位置または近傍まで吸引ヘッド６４を下降させる。そして、吸着面に負圧を作用させて吸引ヘッド６４にグリーンシート６５を保持する。
次いで、吸引ヘッド６４を上昇させてからシート搬送機６１を吸引テーブル（保持テーブル）６３の上方まで移動させた後、吸引ヘッド６４を下降させ、吸着面における負圧の作用を解除することにより、グリーンシート６５を吸引テーブル（保持テーブル）６３上に受け渡す。
なお、吸引テーブル（保持テーブル）６３は、吸着面に負圧を作用させる（真空吸引する）ことによりグリーンシート６５を確実に保持できるように構成されている。
【０００６】
上記特許文献１の方法では、吸引保持機能を備えた吸引ヘッド６４から、吸引保持機能を備えた吸引テーブル６３に、カード状シート（グリーンシート）６５を受け渡すようにしているが、吸引ヘッド６４から吸引テーブル６３にカード状シート６５を受け渡す際の、吸引テーブル６３の吸引をＯＮにするタイミングと、吸引ヘッド６４の吸引をＯＦＦにするタイミングについては必ずしも明瞭に記載されていない。しかし、吸引テーブル６３の吸引をＯＮにするタイミングと、吸引ヘッド６４の吸引をＯＦＦにするタイミングについては、カード状シート６５の受け渡しが確実に完了するように、吸引ヘッド６４の吸引がＯＦＦになる前に、吸引テーブル６３の吸引をＯＮにするのが一般的である。
【０００７】
ところで、中央領域に未乾燥の内部電極パターンが形成されたカード状シートを吸引ヘッドで吸引して搬送する場合、中央領域の内部電極パターンに吸引ヘッドが接触しないようにするために、例えば、図１０に示すように、中央に凹部７１が形成された吸引ヘッド６４を用いてカード状シート６５を保持することが必要になる。
【０００８】
しかし、中央に凹部７１が形成された吸引ヘッド６４を用いてカード状シート６５を吸引保持した場合、カード状シート６５の中央部は吸引ヘッド６４により吸引保持されないため、図１０に示すように、カード状シート６５の中央部にたわみが生じる。そして、その状態で、図１１および図１２に示すように、吸引ヘッド６４から吸引テーブル６３にカード状シート６５を受け渡した場合、カード状シート６５がたわんだ状態のまま吸引テーブル６３に受け渡され、吸引保持されることになるため、カード状シート６５にしわ６６が発生し、カード状シート６５を積み重ねる際に積層ずれなどの原因になるという問題点がある。
【特許文献１】特開平９−１５３４３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、カード状シートの周辺領域のみを吸引保持した吸引ヘッドから、吸引テーブルにカード状シートを受け渡す際に、しわやたわみなどのない状態でカード状シートを受け渡すことが可能なカード状シートの受け渡し方法および受け渡し装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本願発明（請求項１）のカード状シートの受け渡し方法は、
真空吸引することによりカード状シートを吸引保持した吸引ヘッドから、真空吸引することによりカード状シートを吸引保持する吸引テーブルにカード状シートを受け渡すためのカード状シートの受け渡し方法であって、
周辺領域が吸着面となるように構成され、吸着面からカード状シートの周辺領域を真空吸引することによりカード状シートを保持する吸引機能と、吸着面からカード状シートの周辺領域に気体をブローしてカード状シートを解放するブロー機能とを備えた吸引ヘッドを用い、カード状シートの周辺領域を真空吸引してカード状シートを保持するとともに、カード状シートを吸引テーブルに受け渡す際には、吸引ヘッドの吸引ＯＦＦと、ブローＯＮとのタイミングを、吸引テーブルの吸引ＯＮのタイミングよりも早くなるようにしたこと
を特徴としている。
【００１１】
また、請求項２のカード状シートの受け渡し方法は、吸引ヘッドから気体をブローしてカード状シートを解放する場合において、吸引ヘッドの中央領域からも気体をブローするようにしたことを特徴としている。
【００１２】
また、請求項３のカード状シートの受け渡し方法は、前記カード状シートが、シート表面の周辺領域以外の領域に未乾燥状態の電極パターンが印刷されたカード状印刷シートであることを特徴としている。
【００１３】
また、請求項４のカード状シートの受け渡し方法は、前記吸引ヘッドの下死点からの上昇タイミングが、前記吸引テーブルの吸引孔からの吸引ＯＮのタイミングより後になるように構成されていることを特徴としている。
【００１４】
また、本願発明（請求項５）のカード状シートの受け渡し装置は、
(ａ)カード状シートの中央領域に対応するヘッド中央領域がカード状シートに当接しないように構成され、カード状シートの周辺領域に対応するヘッド周辺領域が吸着面としてカード状シートに当接するように構成され、かつ、ヘッド周辺領域には、真空吸引してカード状シートを保持する吸引手段および気体をブローしてカード状シートを解放するブロー手段が配設された構造を有する吸引ヘッドと、
(ｂ)前記吸引ヘッドにより保持された前記カード状シートを受け取る吸引テーブルであって、真空吸引することによりカード状シートを保持する吸引手段を備えた吸引テーブルと
を具備し、かつ、
前記吸引ヘッドの前記ヘッド周辺領域の吸引ＯＦＦと、ブローＯＮのタイミングが、前記吸引テーブルの吸引ＯＮのタイミングよりも早くなるように構成されていること
を特徴としている。
【００１５】
また、請求項６のカード状シートの受け渡し装置は、前記カード状シートが、シート表面の周辺領域以外の領域に未乾燥状態の電極パターンが印刷されたカード状印刷シートであることを特徴としている。
【００１６】
また、請求項７のカード状シートの受け渡し装置は、前記ヘッド中央領域は、カード状シートの中央領域に当接しないように、凹状にくぼんだ構造とされていることを特徴としている。
【００１７】
また、請求項８のカード状シートの受け渡し装置は、前記吸引ヘッドの、カード状シートとの接触部分が弾性材料を用いて形成されていることを特徴としている。
【００１８】
また、請求項９のカード状シートの受け渡し装置は、前記吸引ヘッドの中央領域にも、気体をブローするブロー手段が配設されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１９】
本願発明（請求項１）のカード状シートの受け渡し方法は、周辺領域が吸着面となるように構成され、吸着面からカード状シートの周辺領域を真空吸引することによりカード状シートを保持する吸引機能と、吸着面からカード状シートの周辺領域に気体をブローすることによりカード状シートを解放するブロー機能とを備えた吸引ヘッドを用い、カード状シートの周辺領域を真空吸引してカード状シートを保持し、カード状シートを吸引テーブルに受け渡す際に、吸引ヘッドの吸引ＯＦＦと、ブローＯＮとのタイミングを、吸引テーブルの吸引ＯＮのタイミングよりも早くなるようにしてカード状シートの受け渡しを行うようにしているので、カード状シートの中央領域（吸引保持が行われず、たわみが生じる領域）に生じたたわみを除去した後、吸引テーブルに吸引保持することが可能になり、カード状シートにしわを発生させることなく、吸引ヘッドから吸引テーブルにカード状シートを確実に受け渡すことが可能になる。
【００２０】
すなわち、カード状シートを吸引テーブルに受け渡す際に、吸引テーブルの真空吸引を開始する前に、吸引ヘッドの真空吸引を停止するとともに、ブローを開始して、吸引ヘッドからカード状シートを解放することにより、カード状シートのたわみが除去される時間を確保することが可能になり、その後に、吸引テーブルの真空吸引を開始することにより、カード状シートにしわを発生させることなく、確実にカード状シートを吸引テーブルに受け渡すことが可能になる。
【００２１】
また、請求項２のカード状シートの受け渡し方法のように、吸引ヘッドから気体をブローしてカード状シートを解放する場合において、吸引ヘッドの中央領域からも気体をブローするようにした場合、カード状シートにほぼ全体に気体を吹き付けることが可能になり、たわみや、たわみの偏りを解消して、より確実に、カード状シートにしわを発生させることなく、吸引ヘッドから吸引テーブルへの受け渡しを行うことが可能になる。
【００２２】
また、請求項３のカード状シートの受け渡し方法のように、カード状シートが、シート表面の周辺領域以外の領域に未乾燥状態の電極パターンが印刷されたカード状印刷シートである場合、ヘッドの中央領域が吸着面である場合には、ヘッドに未乾燥の内部電極パターンが付着して、内部電極パターンが損なわれることになるが、本願発明のカード状シートの受け渡し方法のように、周辺領域が吸着面となるように構成され、吸着面からカード状シートの周辺領域を真空吸引することによりカード状シートの周辺領域のみを保持する吸引機能を備えた吸引ヘッドを用いることにより、内部電極パターンに接触することなく、カード状シートを吸引保持することが可能になる。したがって、内部電極パターンを損なうことなく、しかも、カード状シートにしわを発生させることなく、吸引ヘッドから吸引テーブルへの受け渡しを確実に行うことが可能になる。
【００２３】
また、請求項４のカード状シートの受け渡し方法のように、吸引ヘッドの下死点からの上昇タイミングを、吸引テーブルの吸引孔からの吸引ＯＮのタイミングより後になるようにした場合、吸引ヘッドが上昇する際に、カード状シートが吸引ヘッドに同伴してしまうことを防止して、確実に吸引テーブルに保持させることが可能になる。
【００２４】
また、本願発明（請求項５）のカード状シートの受け渡し装置は、(ａ)ヘッド中央領域がカード状シートに当接せず、カード状シートの周辺領域に対応するヘッド周辺領域が、吸着面としてカード状シートに当接するように構成され、かつ、ヘッド周辺領域には、カード状シートを保持する吸引手段および気体をブローすることによりカード状シートを解放するブロー手段が配設された構造を有する吸引ヘッドと、(ｂ)真空吸引してカード状シートを保持する吸引手段を備えた吸引テーブルとを具備し、かつ、吸引ヘッドの吸引ＯＦＦと、ブローＯＮのタイミングが、吸引テーブルの吸引ＯＮのタイミングよりも早くなるようにしているので、吸引保持が行われない、カード状シートの中央領域に生じるたわみを除去した後、吸引テーブルに吸引保持することが可能になり、カード状シートにしわを発生させることなく、吸引ヘッドから吸引テーブルにカード状シートを確実に受け渡すことが可能になる。
【００２５】
また、請求項６のカード状シートの受け渡し装置のように、カード状シートが、シート表面の周辺領域以外の領域に未乾燥状態の電極パターンが印刷されたカード状印刷シートである場合、ヘッドの中央領域が吸着面である場合には、ヘッドに未乾燥の内部電極パターンが付着して、内部電極パターンが損なわれることになるが、本願発明のカード状シートの受け渡し装置のように、周辺領域が吸着面となるように構成され、吸着面からカード状シートの周辺領域を真空吸引することによりカード状シートの周辺領域のみを保持する吸引機能を備えた吸引ヘッドを用いることにより、内部電極パターンに接触することなく、カード状シートを吸引保持することが可能になる。したがって、内部電極パターンを損なうことなく、しかも、カード状シートにしわを発生させることなく、吸引ヘッドから吸引テーブルへの受け渡しを確実に行うことが可能になる。
【００２６】
また、請求項７のカード状シートの受け渡し装置のように、ヘッド中央領域が、凹状にくぼんだ構造とすることにより、ヘッド中央領域を確実にカード状シートの中央領域に当接しないようにすることが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
【００２７】
また、請求項８のカード状シートの受け渡し装置のように、吸引ヘッドの、カード状シートとの接触部分を、弾性材料を用いて形成することにより、吸引ヘッドが下死点まで移動したときに、吸引ヘッドと吸引テーブルの間にカード状シートが挟まれても、カード状シートが傷つくことを防止して、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
なお、接触部分を構成する弾性材料としては、樹脂、ゴムなど種々の材料を用いることが可能である。
【００２８】
また、請求項９のカード状シートの受け渡し装置のように、吸引ヘッドの中央領域にも、気体をブローするブロー手段を配設するようにした場合、カード状シートにほぼ全体に気体を吹き付けることが可能になり、たわみや、たわみの偏りを解消して、より確実に、カード状シートにしわを発生させることなく、吸引ヘッドから吸引テーブルへの受け渡しを行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例１】
【００３０】
図１は本願発明の一実施例（実施例１）にかかるカード状シートの受け渡し装置の構成を模式的に示す断面図である。また、図２はこの実施例のカード状シートの受け渡し装置を構成する吸引ヘッドの吸着面の構成などを示す図、図３は吸引テーブルの上面の構成などを示す図である。
【００３１】
この実施例１のカード状シートの受け渡し装置は、長尺シートに内部電極パターンを印刷し、所定の寸法に切断することにより形成されたカード状シートを、吸引ヘッドにより吸引保持し、内部電極パターンの乾燥工程に搬送するための吸引テーブルに受け渡すために用いられる、吸引ヘッドから吸引テーブルへのカード状シートの受け渡し装置である。
【００３２】
このカード状シートの受け渡し装置は、図１〜３に示すように、中央領域１ｂの表面に未乾燥状態の内部電極パターン２が配設されたカード状シート１を吸引保持して搬送する吸引ヘッド１０と、吸引ヘッド１０に吸引保持されたカード状シート１が受け渡される吸引テーブル２０を備えている。
【００３３】
吸引ヘッド１０は、周辺領域（ヘッド周辺領域）１１がカード状シート１の、内部電極パターン２が配設されていない周辺領域１ａに当接する吸着面とされており、吸着面（ヘッド周辺領域）１１には、真空吸引してカード状シート１を吸引保持するとともに、気体をブローして、吸引保持していたカード状シート１を吸引ヘッド１０から確実に解放できるようにするための複数の吸引・ブロー孔１２が配設されており、この吸引・ブロー孔１２がカード状シートの吸引手段、ブロー手段として機能するように構成されている。
【００３４】
そして、吸引ヘッド１０の下面側の中央領域（ヘッド中央領域）１３には、凹部１４が形成されており、吸引ヘッド１０が下降した場合にも、カード状シート１の中央領域１ｂに形成された未乾燥状態の内部電極パターン２と接触しないように構成されている。
また、ヘッド中央領域１３には、気体をブローしてカード状シート１を解放するための複数のブロー孔（ブロー手段）１５が配設されている。
【００３５】
また、吸引ヘッド１０に吸引保持されたカード状シート１が受け渡される吸引テーブル２０には、真空吸引することによりカード状シート１を吸引保持する複数の吸引孔（吸引手段）２１が配設されている。
【００３６】
そして、この実施例１のカード状シートの受け渡し装置においては、吸引ヘッド１０の吸引ＯＦＦと、ブローＯＮのタイミングが、吸引テーブル２０の吸引ＯＮのタイミングよりも早くなるように構成されている。
【００３７】
さらに、この実施例１のカード状シートの受け渡し装置においては、吸引ヘッド１０が下死点まで下降した後、上昇するタイミングが、吸引テーブル２０の吸引がＯＮになるタイミングより後になるように構成されている。
【００３８】
次に、上述のようにして構成されたカード状シートの受け渡し装置を用いてカード状シートの受け渡しを行う方法について説明する。
【００３９】
まず、吸引ヘッド１０により、カード状シート１を吸引保持する。例えば、吸引機能およびブロー機能を備えた供給テーブル（図示せず）から、吸引ヘッド１０によりカード状シートを保持する場合、まず、吸引ヘッド１０もしくは供給テーブルをカード状シート１の受け取り位置まで移動させた後、吸引ヘッドを下降させ（もしくは供給テーブルを上昇させ）、吸引ヘッド１０が下死点に到達した時点で吸引ヘッド１０の吸引をＯＮにした後、供給テーブルの吸引をＯＦＦにし、同時に供給テーブルのブローをＯＮにしてカード状シート１を供給テーブルから吸引ヘッド１０に受け渡す。
【００４０】
次いで、吸引ヘッド１０を上昇させ、カード状シート１を吸引テーブル２０に受け渡す領域まで移動させる。なお、吸引ヘッド１０の搬送には、モーターとボールネジの組合せやエアシリンダーなどを用いる種々の方法を適用することが可能である。
そして、吸引ヘッド１０を下降させ、カード状シート１の吸引テーブル２０への受け渡しを行う。
【００４１】
以下、カード状シート１の受け渡しのタイミングについて、図４〜７を参照しつつ説明する。
なお、図４〜６は、カード状シート１の受け渡しの各工程を示す図、図７は、吸引ヘッド１０から吸引テーブル２０に、カード状シート１を受け渡す際のタイミングチャートを示す図である。
【００４２】
(１)まず、図４に示すように、カード状シート１を吸引保持した吸引ヘッド１０を、吸引テーブル２０に向かって下降させる。このとき、中央領域に凹部１４が形成された吸引ヘッド１０を用いてカード状シート１を吸引保持しているので、図４に示すように、カード状シート１の中央部には、いくらかたわみが生じている。
なお、本願発明のカード状シートの受け渡し装置においては、吸引ヘッド１０が下降して下死点に達したときに、吸引ヘッド１０が吸引テーブル２０と接するように構成することも可能であり、また、吸引ヘッド１０が吸引テーブル２０と接しないように構成することも可能である。
すなわち、カード状シート１に損傷を与えないようにするためには、吸引ヘッド１０が吸引テーブル２０に接しないようにすることが望ましいが、吸引ヘッド２０のカード状シート１との接触部分を弾性体で構成したような場合には、カード状シートが損傷することを防止できるので、吸引ヘッド１０が吸引テーブル２０と接するように構成することも可能である。
【００４３】
(２)それから、吸引ヘッド１０が下死点に到達する直前に、図５に示すように、カード状シート１を保持していた吸引ヘッド１０の吸引をＯＦＦにし、吸引・ブロー孔１２およびブロー孔１５からのブローをＯＮにすることにより、吸引ヘッド１０からカード状シート１を剥離して解放する。
このようにして、吸引ヘッド１０が下死点に到達する前に、吸引ヘッド１０からカード状シート１が剥離、解放されるため、下面の中央領域が凹状の吸引ヘッド１０で吸引保持され、中央領域１ｂがたわんだ状態のカード状シート１は、短時間ではあるが、応力から解放された自由な状態になるため、たわみが除去される。
なお、この実施例１では、上述のように、吸引ヘッド１０の吸引をＯＦＦにし、ブローをＯＮにするにあたって、吸引ヘッド１０の吸着面１１に形成された吸引・ブロー孔１２、および、ヘッド中央領域１３に配設されたブロー孔１５から同時にブローを行うようにしているので、カード状シート１のほぼ全体に気体をブローすること可能になり、たわんだカード状シート１をより確実に伸ばして平坦にすることが可能になる。
なお、吸引ヘッド１０の吸引のＯＦＦと、ブローのＯＮのタイミング調整は、例えば、吸引ヘッド１０の上下死点を確認するためのセンサの位置調整や、吸引ヘッド１０の下降時からのタイマ設定などの方法により行うことが可能である。
【００４４】
(３)吸引ヘッド１０が下死点に到達した後、図６に示すように、吸引テーブル２０の吸引がＯＮになり、カード状シート１は、たわみが解消された状態で下面全体が吸引テーブル２０に吸引保持され、平坦な状態で安定して保持される。
一方、吸引ヘッド１０はブロー孔１５からのブローをＯＦＦにした後上昇し、次のカード状シートを供給テーブル上から吸引保持するため、所定の位置に戻される。
以上により、吸引ヘッド１０から吸引テーブル２０ヘのカード状シート１の受け渡しが完了し、吸引テーブル２０に受け渡されたカード状シート１は、吸引テーブル２０に保持された状態で次工程（この実施例では乾燥工程）に搬送されることになる。
【００４５】
なお、上記実施例１の構成の場合、吸引ヘッド１０からのブロー時間、および、吸引ヘッド１０の下死点滞留時間については、できるだけ短くすることが望ましいが、吸引ヘッド１０が上昇する段階で、吸引テーブル２０の吸引がＯＮになっていない場合、吸引ヘッド１０が上昇すると同時にカード状シート１も同伴してしまうことがある。したがって、吸引ヘッド１０の上昇は、吸引テーブル２０がカード状シート１を吸引保持した後に行うことが望ましい。
【００４６】
上述のように、この実施例のカード状シートの受け渡し装置（カード状シートの受け渡し方法）においては、カード状シート１の周辺領域１ａのみを真空吸引してカード状シート１を吸引保持する吸引ヘッド１０を用い、カード状シート１を吸引テーブル２０に受け渡す際に、吸引ヘッド１０の真空吸引ＯＦＦと、ブローＯＮのタイミングを、吸引テーブル２０の吸引ＯＮのタイミングよりも早くなるようにしているので、吸引ヘッド１０が下死点に到達する前に、吸引ヘッド１０からカード状シート１を解放して、カード状シート１の中央領域１ｂのたわみを除去した後、吸引テーブル２０に吸引保持させることが可能になる。したがって、カード状シート１にしわを発生させることなく、吸引ヘッド１０から吸引テーブル２０にカード状シート１を確実に受け渡すことが可能になる。
【００４７】
なお、この実施例１のカード状シートの受け渡し装置（カード状シートの受け渡し方法）においては、カード状シート１を吸引テーブル２０に受け渡す際に、吸引ヘッド１０の吸引ＯＦＦと、ブローＯＮのタイミングを、吸引テーブル２０の吸引ＯＮのタイミングよりも早くなるようにしているため、カード状シートが自由な状態になるタイミングが生じ、たわみが除去される一方、位置精度がいくらか低下することになるが、後工程がカード状シート１の乾燥工程であることから、多少の位置ずれ（例えば、±０．５〜１．０mm程度の位置ずれ）が問題になるようなことはない。すなわち、本願発明は、内部電極パターンが未乾燥状態で、かつ、受け渡しの位置精度としてそれほど高い位置精度が要求されないような場合の、カード状シートの受け渡し方法及び装置として特に有意義である。
【００４８】
なお、積層セラミック電子部品の製造工程などでセラミックグリーンシートを積層する場合には、高い位置精度が要求されるが、そのような場合には、通常、内部電極パターンの乾燥が終了しているので、内部電極パターンの配設されている中央領域を含むカード状シートの全面を吸引して、位置ずれが生じないように、カード状シートを確実に保持できるように構成することが可能である。
【００４９】
本願発明は、上記実施例に限定されるものではなく、吸引ヘッドおよび吸引テーブルの具体的な構成、カード状シートの種類、内部電極パターンの具体的な配設位置、吸引ヘッドの中央領域に形成する凹部の形状などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
上述のように、本願発明によれば、例えば、中央領域に未乾燥状態の内部電極パターンが印刷されたようなカード状印刷シートを、しわを発生させることなく、かつ、内部電極パターンを損傷することなく、吸引ヘッドから吸引テーブルに確実に受け渡すことが可能になる。
【００５１】
したがって、本願発明は、例えば、長尺シートに内部電極パターンを印刷し、所定の寸法に切断することにより形成されたカード状シートを、吸引ヘッドにより吸引保持し、内部電極パターンの乾燥工程に搬送するための吸引テーブルに受け渡すような工程を備えた、積層セラミック電子部品の製造工程などに広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本願発明の一実施例（実施例１）にかかるカード状シートの受け渡し装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図２】本願発明の一実施例（実施例１）のカード状シートの受け渡し装置を構成する吸引ヘッドの吸着面の構成などを示す図である。
【図３】本願発明の一実施例（実施例１）のカード状シートの受け渡し装置を構成する吸引テーブルの上面の構成などを示す図である。
【図４】カード状シートの受け渡しの一工程を示す図である。
【図５】カード状シートの受け渡しの他の一工程を示す図である。
【図６】カード状シートの受け渡しのさらに他の一工程を示す図である。
【図７】吸引ヘッドから吸引テーブルに、カード状シートを受け渡す際のタイミングチャートを示す図である。
【図８】従来の代表的な積層セラミック電子部品の１つである積層セラミックコンデンサを示す断面図である。
【図９】カード状印刷シートを搬送する方法を示す図である。
【図１０】従来のシート搬送機の吸引ヘッドを用いてカード状シートを保持している状態を示す図である。
【図１１】従来のシート搬送機を用いてシートを搬送する際に、カード状シートの中央部にしわが生じている状態を示す図である。
【図１２】従来のシート搬送機を用いてシートを搬送する際に、カード状シートにしわが発生している状態を示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
１        カード状シート
１ａ      周辺領域
１ｂ      中央領域
２        内部電極パターン
１０      吸引ヘッド
１１      周辺領域（ヘッド周辺領域、吸着面）
１２      吸引・ブロー孔
１３      中央領域（ヘッド中央領域）
１４      凹部
１５      ブロー孔（ブロー手段）
２０      吸引テーブル
２１      吸引孔（吸引手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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