(57)【要約】【課題】  表示パネルの電極のピッチが５０μｍ以下においてもリードパターン及びバンプの位置精度が良好で確実に検査することができる表示パネル検査用コンタクトプローブシートを提供する。【解決手段】  表示パネルの各電極に通電させて、所定の試験を行うために使用する表示パネル検査用コンタクトプローブシート１０であって、  前記コンタクトプローブシート１０は、可撓性基板１上に該可撓性基板１の一端側から他端側に向かって延びた複数のリードパターン２が形成され、前記リードパターン２のパターン付置ずれを抑制するダミーパターン５が形成されていることを特徴とする表示パネル検査用コンタクトプローブシート。【選択図】    図１
2005291911.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルの各電極に通電させて、所定の試験を行うために使用する表示パネル検査用コンタクトプローブシートであって、
前記コンタクトプローブシートは、可撓性基板上に該可撓性基板の一端側から他端側に向かって延びた複数のリードパターンが形成され、前記リードパターンのパターン付置ずれを抑制するダミーパターンが形成されていることを特徴とする表示パネル検査用コンタクトプローブシート。
【請求項２】
前記ダミーパターンは、前記各リードパターンの間に設けられていることを特徴とする請求項１記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシート。
【請求項３】
前記ダミーパターンは、線状のダミーパターン及び／又はリードパターンが形成されている領域外の空きスペースを埋めるダミーパターン（べタパターン）であることを特徴とする請求項１又は２記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシート。
【請求項４】
前記リードパターン及び前記ダミーパターンは、リソグラフィー法により形成されたものであることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシート。
【請求項５】
前記可撓性基板を挟んで前記リードパターンと反対側に電気的に接続されたバンプが形成されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシート。
【請求項６】
前記リードパターンのピッチが５０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシート。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートと、前記コンタクトプローブシートにおける少なくとも前記表示パネルの各電極に接続する側を載置し支持するための支持台と、前記支持台に載置された前記コンタクトプローブシートを狭持し固定するための抑え具と、を有することを特徴とする表示パネル検査用コンタクトプローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや有機ＥＬパネルのような高精細映像・画像表示パネルの点灯試験等を行うために用いられる表示パネル検査用コンタクトプローブシート等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル外周縁部に引き出されて形成されたドライバＩＣ等を搭載等するための多数の電極であってドライバＩＣ等の搭載等の前は液晶パネルの検査用電極として使用される液晶パネルの各電極に通電させて、所定の試験を行うために使用する液晶パネル検査用プローブ部材として、例えば、可撓性基板にリードパターンが形成され、前記リードパターンにおける前記液晶パネルの各電極に接続する側に、前記リードパターンと電気的に接続された、前記液晶パネルの各電極に接触するためのバンプ接点（半球面形状をした接点）が設けられているプローブ部材が提案されている。ここで、バンプ接点としては、半球面形状をしたニッケルのコアに金メッキを施したものが用いられている（特許文献１、２）。
【特許文献１】特開平８−２５４６７７号公報  段落［００２１］等
【特許文献２】特開平９−２４３６６６号公報  要約等
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、液晶パネルの点灯試験等を行うために用いられる液晶パネル検査用コンタクトプローブシートは、液晶パネルの電極と、検査装置とを接続するため、コンタクトプローブシートに形成されるリードパターンは、電極側から装置側に向かって直線状に延びており、半導体試験に使用されるコンタクトプローブシートとは異なり点対象に形成されていない。従って、リードパターンをフォトリソグラフィー法を利用してパターン形成する場合、パターンの位置ずれを予測することが難しく、リードパターンの所望の位置精度、及びリードパターン端部に形成されるパンプの所望の位置精度が得られないという問題が発生する。このリードパターンの位置精度、バンプの位置精度は、液晶パネルの電極のピッチが５０μｍ以下のように狭ピッチである表示パネルにおいて特にその重要性は大きい。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、表示パネルの電極のピッチが５０μｍ以下においてもリードパターン及びバンプの位置精度が良好で確実に検査することができる表示パネル検査用コンタクトプローブシートを提供することを目的とする。
【０００４】
以下、本発明を詳細に説明する。
（構成１）本発明の構成１に係る発明は、
表示パネルの各電極に通電させて、所定の試験を行うために使用する表示パネル検査用コンタクトプローブシートであって、
前記コンタクトプローブシートは、可撓性基板上に該可撓性基板の一端側から他端側に向かって延びた複数のリードパターンが形成され、前記リードパターンのパターン付置ずれを抑制するダミーパターンが形成されていることを特徴とする表示パネル検査用コンタクトプローブシートである。
上記構成１によれば、可撓性基板の一端側から他端側に向かって延びた複数のリードパターンとは別に、前記リードパターンのパターン付置ずれを抑制するダミーパターンが形成されているので、前記リードパターンをフォトリソグラフィー法でパターン形成してもリードパターンの位置ずれが抑制され、リードパターンの位置精度が良好となる。さらに、リードパターン端部の裏面に形成されるバンプの位置精度も良好となる。
【０００５】
（構成２）本発明の構成２に係る発明は、
上記ダミーパターンは、前記各リードパターンの間に設けられていることを特徴とする構成１記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートである。
上記構成２によれば、リードパターンをフォトリソグラフィー法で形成する場合のリードパターンの位置変化は、リードパターンが一端側から他端側に延びている方向よりも、その垂直方何の変化が大きいため、ダミーパターンを各リーパターンの間に設けることによつてその変化を最大限に抑制することができる。
【０００６】
（構成３）本発明の構成３に係る発明は、
上記ダミーパターンは、線状のダミーパターン及び／又はリードパターンが形成されている領域外の空きスペースを埋めるダミーパターンであることを特徴とする構成１又は２記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートである。
上記構成３によれば、ダミーパターンは、各リードパターン間に形成するリードパターンと同じ線状のダミーパターンや、リードパターン形成領域外の空きスペースを埋めるダミーパターン（パターニングされていない大面積のいわゆるべタダミーパターンや線状のダミーパターンなど）とすることにより、リードパターン、パンプの位置精度がさらに良好になる。ダミーパターンを、各リードパターン間、及びリードパターン形成領域外の双方に設けることにより、より一層リードパターン、バンプの位置精度が良好になる。
【０００７】
（構成４）本発明の構成４に係る発明は、
上記リードパターン及び前記ダミーパターンは、リソグラフィー法により形成されたものであることを特徴とする構成１乃至３の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートである。
上記構成４によれば、リードパターン及びダミーパターンは、リソグラフイー法により形成することにより、線幅を厳密に制御することが可能となり、リードパターン、バンプの位置精度が良好となる。
【０００８】
（構成５）本発明の構成５に係る発明は、
上記可撓性基板を挟んで前記リードパターンと反対側に電気的に接続されたバンプが形成されていることを特徴とする構成１乃至４の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートである。
バンプ接点は、例えばリードパターン上に重ねて形成することにより、リードパターンと同じ側に設けることも考えられる。しかし、この場合、バンプ接点の高さ等を制御するのが困難になり、バンプ接点の大きさにバラツキが生じてしまう。一方、本構成においては、可撓性基板を挟んで、リードパターンとバンプ接点とを反対側に形成することにより、バンプ接点を、高い精度で形成することができる。
【０００９】
（構成６）本発明の構成６に係る発明は、
上記リードパターンのピッチが、５０μｍ以下であることを特徴とする構成１乃至５の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートである。
上記構成５のように、表示パネルの各電極パターンの幅・ピッチの狭幅化・狭ピッチ化に対応してコンタクトプローブシート上に形成されたリードパターン（Ｌ＆Ｓパターン）のピッチが５０μｍ以下に狭ピッチ化した場合、リードパターンの位置精度、及び、バンプの位置精度の問題が深刻となるので、本発明のコンタクトプローブシートは、リードパターンのピッチが５０μｍ以下である表示パネル検査用コンタクトプローブシートに適している。
本発明のコンタクトプローブシートは、高精細映像・画像表示パネルの各電極パターンのピッチが５０μｍ以下の狭ピッチのものにおいて特に有効である。更には３０μｍ以下のピッチの表示パネルでは更に有効である。このような高精細映像・画像表示パネルとしては、液晶パネル、有機ＥＬパネル、プラズマディスプレイパネル等がある。本発明のコンタクトプローブシートは、半導体などの他の分野で用いられる電極材料に比べ電極材料が柔らかい、液晶ビューファインダー（例えば３．５インチで電極数約１０００個）、携帯テレビ（例えば３．５インチで電極数約１０００個）、携帯電話（例えば１．９インチで電極数約６００個）、携帯情報端末（ＰＤＡ）、デジタルカメラなどの製品に搭載される高精細映像・画像表示パネルとして特に有効である。
【００１０】
（構成６）本発明の構成６に係る発明は、
上記構成１乃至５の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートと、前記コンタクトプローブシートにおける少なくとも前記表示パネルの各電極に接続する側を載置し支持するための支持台と、を有することを特徴とする表示パネル検査用コンタクトプローブユニットである。
上記構成６によれば、表示パネルの電極のピッチが５０μｍ以下においてもリードパターン及びバンプの位置精度が良好で確実に検査することができる表示パネル検査用コンタクトプローブシートを具備した表示パネル検査用コンタクトプローブユニットを提供できる。
また、本発明の液晶パネル検査用コンタクトプローブユニットは、繰り返しコンタクトさせた場合であってもコンタクトプローブシートに位置ずれ等を生じさせず、確実且つ安定的な表示パネル検査用コンタクトプローブユニットを提供できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、表示パネルの電極のピッチが５０μｍ以下においてもリードパターン及びバンプの位置精度が良好で確実に検査することができる表示パネル検査用コンタクトプローブシートを提供できる。
また、本発明の表示パネル検査用コンタクトプローブシートに適した表示パネル検査用コンタクトプローブユニットを提供できる。
【００１２】
（発明の実施の形態）
以下、本発明を実施するための形態について説明する。
まず、本発明の液晶パネル検査用コンタクトプローブシートについて説明する。
本発明の液晶パネル検査用コンタクトプローブシート１０は、図１の一実施形態に示すように、可撓性基板１上に該可撓性基板１の一端側から他端側に向かって延びた複数のリードパターン２が形成され、前記リードパターン２のパターン付置ずれを抑制するダミーパターン５が形成されている（構成１）。
ここで、ダミーパターン５は、各リードパターン２の間に設けられた線状のダミーパターン５ａ、及び、リードパターン２が形成されている領域外に設けられたべタダミーパターン（パターニングされていない大面積のパターン）５ｂの双方が設けられている。
リードパターン２は、試験を行う測定機と表示パネルとを電気的に接続するための配線であり、リードパターン２の両端にはそれぞれバンプ接点が設けられている。バンプ接点３は、リードパターン２と接続された端子であり、液晶パネル検査用コンタクトプローブシート１０における、中継用フレキシブル基板接続側と、表示パネル接続側とに設けられている。表示パネル接続側のバンプ接点３は、リードパターン２と、表示パネルの各電極とを電気的に接続する。また、中継用フレキシブル基板接続側のバンプ接点３’は、リードパターン２と、上記測定機側の配線とを電気的に接続する。そして、バンプ接点３、３’は、可撓性基板１における、リードパターン２が形成されている面の反対側の面（可撓性基板１を挟んでリードパターン２と反対側）に形成することが好ましい（構成５）。バンプ接点３、３’は、可撓性基板１に設けられたスルーホールを介して、リードパターン２と接続される。尚、中継用フレキシブル基板は、測定機側の配線の一例である。
【００１３】
本発明においては、ダミーパターンは、図１（ｂ）に示す線状のドット状のダミーパターン５ｃなどとするとができる。
また、各リードパターン２の間の隙間が小さく、各リードパターン２の間に線状のダミーパターンが設けられない場合等は、図１（ｃ）に示すように、複数のリードパターン群２’の間にダミーパターン５を設けることができる。
【００１４】
本発明において、可撓性基板の材料としては、ポリイミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ＡＢＳ系樹脂、ポリカーポネート系樹脂、シリコーン系樹脂などが挙げられる。可撓性基板の厚さは任意に選択できるが、十分な機械的強度や可撓性を有するようにするため、通常、２μｍ〜５００μｍの範囲で設定する。
リードパターン、及びリードパターンとバンプ接点とを接続するための材料としては、導電性を有するものであれば特に限定されないが、公知の良導体金属が好ましい。例えば、銅、金、銀、白金、鉛、錫、ニッケル、鉄、コバルト、インジウム、ロジウム、クロム、タングステン、ルテニウムなどの単体金属、またはこれらを成分とする各種合金、などが挙げられる。
リードパターン及び／又はダミーパターンを形成する方法としては、リソグラフィー法が挙げられ、例えば、可撓性基板の全面に導電性材料層を形成し、目的のリードパターン及びダミーパターンの双方を残すように他の部分をエッチング等により除去する方法等が挙げられる。
リードパターンとバンプ接点とを連通させ電気的に接続するための可撓性基板に形成されるスルーホールの孔径は限定されないが、隣り合ったスルーホール同士が繋がらない程度まで大きくすることによって、導通部の電気抵抗を小さくできるので好ましい。スルーホールの実用的な孔径は、５μｍ〜２００μｍである。表示パネルの検査に使用するコンタクトプローブシートの場合、５μｍ〜２０μｍとすることが好ましい。スルーホールの形成方法としては、レーザー加工法、フォトリソグラフィー法、プラズマ加工法、パンチングなどの機械的加工、などの方法が挙げられる。これらの方法の中でも、エキシマレーザー、炭酸ガスレーザー、ＹＡＧレーザーなどによるレーザー加工は、スルーホールを任意の孔径や孔間ピッチにて微細加工が可能であり、バンプ接点のファインピッチ化に対応でき、好ましい方法である。
また、リードパターンとバンプ接点とを電気的に接続するため手段としては、スルーホール内に導電性物質を充填してなるもの、スルーホールメッキのように貫通孔の壁面に導電性物質の層を形成してなるものなどがある。形成方法としては、電気メッキ法や無電解メッキ法、ＣＶＤ法などの成膜方法、機械的に導電性物質をスルーホール内に嵌め込む方法、なとが挙げられる。これらの方法の中でもスルーホール内にリードパターンの一部を構成する材料を露出させ、この材料を負極として電気メッキによってスルーホール内に導電性物質を充填する方法が、確実な導通が得られ、かつ簡便であるので好ましい。
また、バンプ接点の形状は、可撓性基板面からの突出の有無を問わず、接触対象物の形状や材料に応じて、凸状、凹状、平坦パッド状、どのような形状であっても良いが、半球状に突起したものが最も有用である。ここでいう半球状とは完全な半球だけではなく、単調な曲面を持って突起した形状を含む。バンプ接点は複数としても良く、その個数、配置等は限定されない。
【００１５】
本発明においては、バンプ接点を、金属と炭素を含む材料で構成することにより、バンプ接点を構成する結晶の粒径が小さくなることで、バンプ接点表面の表面粗さを小さくすることができるので好ましい。これに加え、各金属結晶の粒界に炭素が集中することで硬度が高くなるか、または、金属の結晶の間に硬度が高い金属の炭化物が入りこみバンプ接点全体として硬度が高くなるので、コンタクトプローブシートの寿命が飛躍的に向上するので好ましい。
バンプ接点中に炭素を含有させる方法としては、メッキ溶液中にメッキ溶液に溶解する有機物質を入れ、メッキ条件を調整することによってできる。メッキ溶液中にいれる有機物質としては、メッキ溶液に溶解する有機物質であって、バンプ接点を電気メッキ法等で製造する際に、バンプ接点に炭素が取り込まれる作用を有する有機物質であれば良い。例えば、炭酸（Ｈ２ＣＯ３）、二酸化炭素（ＣＯ２）、サンカリン、ショ糖、ブドウ糖などであっても良い。
【００１６】
本発明においては、バンプ接点表面に、金メッキを形成することによって、金メッキはＮｉ等からなるコアバンプと比べ柔らかい材料であること、金メッキによってバンプ接点表面の表面粗さが若干粗れていても表示パネルのＩＴＯ電極にダメージと見なされる損傷を与える恐れが少ないことから、柔らかい金メッキによるバンプ接点表面の表面粗さの若干の粗れ、即ち金の電気伝導性（電気的接触性）及び柔らかい金メッキ表面の表面粗さの適度な粗れの相乗作用によって、１バンプ接点当たりの加重を従来の１／２〜１／３の加重で接触させたても、全電極の電気的コンタクトを確保でき、しかもＩＴＯ又はＩＺＯ等の電極にダメージと見なされる損傷を与えることがないので好ましい。
金メッキの条件、厚さ、表面粗さ等は、上記作用効果が効果的に得られるように調整する。
【００１７】
次に、本発明の表示パネル検査用コンタクトプローブシートの製造方法について、図２を参照して説明する。
（工程１）：まず、銅箔１１とポリイミドフィルム１２とを積層した構造のフィルム１３を張力が均一に係った状態で固定治具２０に固定する（図２（１））。
（工程２）：次に、銅箔１１を周知のリソグラフィー法でエッチングしてリードパターンを形成した後、液晶パネルの電極と接続する側に表示パネルの電極のピッチと同じピッチ（約４０μｍ）でエキシマレーザーにより、ポリイミドフィルム１２に直径約１０μｍのスルーホール１４を形成する。
また、液晶パネルの電極と接続する側とは反対側である、中継用フレキシブル基板と接続する側に、中継用フレキシブル基板の配線パターンと同じピッチ（約８０μｍ）でエキシマレーザーによりポリイミドフィルムに直径約１０μｍのスルーホール１４’を形成する（図２（２））。
（工程３）：次に、表面側の銅箔面（リードパターン側の面）がメッキされないように保護した後、銅箔１１（各リードパターン）の一部にそれぞれメッキ用電極を持続し、スルーホール内に露出した銅箔を負極として、ニッケルと炭素を含むニッケル合金の電気メッキを行う。
ニッケル合金をスルーホール内に析出させて充填し、さらに析出を継続して、ポリイミド面１２’から約１０μｍ突出した高さまで半球状に成長させて、バンプ接点３を形成した（図２（３））。尚、電気メッキの際に、メッキ液へ強度増強剤及び応力緩和剤を添加するとともに、メッキ条件並びに硬度増強剤及び応力緩和剤の量を調整することによって、バンプ接点３を構成する材料の結晶粒径を制御して、バンプ接点３表面の表面粗さを制御（鏡面化）した。
（工程４）：最後に、固定治具２０から積層構造フィルム１３を外して液晶パネル検査用コンタクトプローブシート１０を作製する（図２（４））。
【００１８】
次に、本発明の液晶パネル検査用コンタクトプローブユニットについて説明する。
本発明の液晶パネル検査用コンタクトプローブユニットは、図３の一実施形態に示すように、表示パネル検査用コンタクトプローブシート１０と、前記コンタクトプローブシート１０における少なくとも前記表示パネルの各電極に接続する側を載置し支持するための支持台（シートを固定させる筐体）３０と、を有する。
支持台おける少なくとも前記表示パネルの各電極に接続する側を載置し支持する面は、平坦（好ましくは±５μｍ程度）とすることが好ましい。支持台の材質はアルミニウム、ＳＵＳなどが好ましい。
表示パネル検査用コンタクトプローブシート１０と支持台３０との間には、弾性シート（好ましくはシリコンゴムシート）４０を介在させることが好ましい。弾性シートとプローブシートとの間は接着する必要はなくプローブシートの交換が容易である。
表示パネル検査用コンタクトプローブシートを、支持台上の所定位置に位置決め固定するためには、例えば、支持台上の所定位置に位置決め用のピンを設け、このピンに表示パネル検査用コンタクトプローブシートに設けた穴を通す手段が簡便でありしかも高位置精度が実現できる。プローブシートの交換も容易である。
また、表示パネル検査用コンタクトプローブシート及び支持台に、それぞれアライメントマークを設け、表示パネル検査用コンタクトプローブシートを、支持台上の所定位置に位置決め固定することもできる。
表示パネル検査用コンタクトプローブシート及び支持台には、それぞれ、表示パネル側のアライメントマークと位置あわせするためのアライメントマークを設けることができる。
支持台は、昇降機構及び加圧機構等で駆動することによって、表示パネルの検査を行う。
本発明の液晶パネル検査用コンタクトプローブユニットは、前記支持台に載置された前記コンタクトプローブシートを狭持し固定するための抑え具、を有することが好ましい。
これは、前記支持台に載置されたコンタクトプローブシートを抑え具により上方から狭持することによって、繰り返しコンタクトさせた場合であってもコンタクトプローブシートに位置ずれ等を生じさせず、確実且つ安定的な表示パネル検査用コンタクトプローブユニットを提供できるからである。
【００１９】
次に、本発明の実施例について説明する。
（実施例１）
上述の液晶パネル検査用コンタクトプローブシートの製造方法により、ポリイミドフィルムと鋼箔とを積層した構造の２層フィルム（ポリイミド膜厚１２．５μｍ、鋼箔厚５μｍ）を用い、銅からなるリードパターンのピッチが約４０μｍ、リードパターンの線幅が約２０μｍ、各リードパターン２の間に設けられた線状のダミーパターンの線幅が約１０μｍ、リードパターンの裏面に形成されたニッケルと炭素とを含むバンプ接点のバンプ径（直径）が約３０μｍ、高さが約１０μｍの液晶パネル検査用コンタクトプローブシートを作製した（図１参照）。なお、リードパターン２が形成されている領域外には、リードパターンのパターン付置ずれを防止する目的で、所定の箇所にべタパターン（パターニングされていない大面積のパターン）を設けた。その結果、表示パネルの各電極、中継用フレキシブル基板の各配線からのリードパターン２のパターン付置ずれ（最大値）、バンプの付置ずれ（最大値）は、±５μｍ以内に抑えられ、リードパターン、バンプの付置精度は良好であった。
上記で得られたコンタクトプローブシートをコンタクトプローブユニットを介して液晶パネル検査装置に装着し、有機ＥＬパネルの検査を行った。コンタクトプローブシートに形成されたバンプが、確実に有機ＥＬパネルの各電極に接触されており、検査不良は確認されなかった。
【００２０】
（実施例２）
実施例１における各リードパターン２の間に設けられた線状のダミーパターンの代わりに図２に示すように各リードパターン２の間に線状のドット状のダミーパターン（大きさ１０μｍ、各ドット間のピッチ１５μｍ）を設けたこと以外は実施例１と同様にして液晶パネル検査用コンタクトプローブシートを作製した。その結果、表示パネルの各電極、中継用フレキシブル基板の各配線からのリードパターン２のパターン付置ずれ（最大値）、バンプの付置ずれ（最大値）は、±５μｍ以内に抑えられ、リードパターン、バンプの付置精度は良好であった。
上記で得られたコンタクトプローブシートをコンタクトプローブユニットを介して液晶パネル検査装置に装着し、有機ＥＬパネルの検査を行った。コンタクトプローブシートに形成されたバンプが、確実に有機ＥＬパネルの各電極に接触されており、検査不良は確認されなかった。
【００２１】
（比較例）
実施例１においてダミーパターンを形成しなかったこと以外は実施例１と同様にして液晶パネル検査用コンタクトプローブシートを作製した。その結果、表示パネルの各電極、中継用フレキシブル基板の各配線からのリードパターン２のパターン付置ずれ（最大値）、バンプの付置ずれ（最大値）は、±３０μｍであった。
上記で得られたコンタクトプローブシートをコンタクトプローブユニットを介して液晶パネル検査装置に装着し、有機ＥＬパネルの検査を行った。コンタクトプローブシートに形成されたバンプのうち、確実に有機ＥＬパネルの各電極に接触されない接触不良が確認され、検査不良となった。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施の形態にかかる液晶パネル検査用コンタクトプローブシートを説明するための平面図である。
【図２】本発明の表示パネル検査用コンタクトプローブシートの一実施の形態にかかる製造方法について説明するための工程図である。
【図３】本発明の一実施の形態にかかる液晶パネル検査用コンタクトプローブユニットを説明するための部分断面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１    可撓性基板
２    リードパターン
３    バンプ接点
５    ダミーパターン
１０  表示パネル検査用コンタクトプローブシート
３０  支持台
４０  弾性シート
【図１】
2005291911.tif 000003
【図２】
2005291911.tif 000004
【図３】
2005291911.tif 000005