(57)【要約】【課題】基板処理装置において発生しうる異常に関して、固有的、経験的に見いだされた新たな情報をオペレータが直接装置に入力して記憶させ、かつ、標準的な情報との間に混乱が生じないようにする技術を提供する。【解決手段】この基板処理装置では、装置の異常に関する標準的な情報は、出荷時から固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…に持たせ、その内容は書き換え不可能な構成とする。一方、基板処理装置１の使用状況に応じて固有的、経験的に見いだした新たな情報は、オペレータが入力手段７ｆから直接入力することができる。そして、入力された新たな情報は、固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…とは別個の書き換え可能な可変情報ファイルＢ２０１，Ｂ２０２，…に持たせる。このため、装置の異常に関する標準的な情報と、新たに見いだした情報との間に混乱が生じることはない。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置のアラームシステムであって、
(a) 前記基板処理装置において発生しうる異常に関して、前記基板処理装置のユーザインターフェイスを構成する入力手段から書き換え不可能な固定情報と、前記入力手段から書き換え可能な可変情報とを記憶する記憶手段と、
(b) 前記基板処理装置において異常が発生すると、当該異常を検出して通知する通知手段と、
(c) 前記固定情報と前記可変情報とを表示する表示手段と、
(d) 前記通知手段からの通知に基づいて前記表示手段に前記固定情報および前記可変情報を表示させるとともに、前記入力手段から入力される情報に基づいて前記可変情報を書き換える制御手段と、
を備えたことを特徴とするアラームシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のアラームシステムであって、
前記表示手段は、前記固定情報と前記可変情報とを区別して表示することを特徴とするアラームシステム。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のアラームシステムであって、
前記表示手段は、前記固定情報と前記可変情報とを同時に表示することを特徴とするアラームシステム。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれかに記載のアラームシステムであって、
前記記憶手段は、前記固定情報と前記可変情報とを別個のファイルとして記憶することを特徴とするアラームシステム。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれかに記載のアラームシステムであって、
前記記憶手段は、前記固定情報と前記可変情報とをそれぞれ複数有しており、
前記通知手段は、発生した異常を識別するエラーコードを前記制御手段へ通知し、
前記制御手段は、前記エラーコードに基づいて、前記表示手段に表示させる前記固定情報および前記可変情報と、書き換える前記可変情報とを特定することを特徴とするアラームシステム。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれかに記載のアラームシステムを備えた基板処理装置。
【請求項７】
コンピュータによって実行されることにより、前記コンピュータを請求項１から請求項６までのいずれかに記載の制御手段として機能させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所定の処理を行う基板処理装置における、アラーム技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、基板処理装置の中には、装置において発生しうる種々の異常に対して、異常の詳細な内容や対処方法などを記したテキスト情報を、予め装置内に記憶しているものがある。そして、このような基板処理装置を扱うオペレータは、異常発生時にこれらの情報を読み出しつつ、装置の復旧作業を行うことができる。
【０００３】
このような従来の基板処理装置は、例えば、特許文献１や特許文献２に記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２２２００号公報
【特許文献２】特開平１１−１５５２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、装置の異常に関する情報としては、上述したように予め装置内に記憶されている標準的な情報のほか、装置を扱うオペレータにおいて固有的、経験的に見いだされる情報もある。たとえば、装置の現実の使用状況に応じた対処方法や、過去の対処実績などの情報である。しかしながら、従来の装置では、このような新たな情報を、オペレータが直接装置に入力し、標準的な情報と同じように装置内に記憶させておくことはできなかった。
【０００６】
一方、このような新たな情報を装置内に記憶させる場合には、誤った情報を入力してしまう可能性も否定できないことなどを考慮すると、予め装置内に記憶されている標準的な情報と明確に区別し、両情報の間に混乱が生じないようにする必要がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、基板処理装置において発生しうる異常に関して、固有的、経験的に見いだされた新たな情報をオペレータが直接装置に入力して記憶させ、かつ、標準的な情報との間に混乱が生じないようにする技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、基板処理装置のアラームシステムであって、(a) 前記基板処理装置において発生しうる異常に関して、前記基板処理装置のユーザインターフェイスを構成する入力手段から書き換え不可能な固定情報と、前記入力手段から書き換え可能な可変情報とを記憶する記憶手段と、(b) 前記基板処理装置において異常が発生すると、当該異常を検出して通知する通知手段と、(c) 前記固定情報と前記可変情報とを表示する表示手段と、(d) 前記通知手段からの通知に基づいて前記表示手段に前記固定情報および前記可変情報を表示させるとともに、前記入力手段から入力される情報に基づいて前記可変情報を書き換える制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載のアラームシステムであって、前記表示手段は、前記固定情報と前記可変情報とを区別して表示することを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載のアラームシステムであって、前記表示手段は、前記固定情報と前記可変情報とを同時に表示することを特徴とする。
【００１１】
請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３までのいずれかに記載のアラームシステムであって、前記記憶手段は、前記固定情報と前記可変情報とを別個のファイルとして記憶することを特徴とする。
【００１２】
請求項５に係る発明は、請求項１から請求項４までのいずれかに記載のアラームシステムであって、前記記憶手段は、前記固定情報と前記可変情報とをそれぞれ複数有しており、前記通知手段は、発生した異常を識別するエラーコードを前記制御手段へ通知し、前記制御手段は、前記エラーコードに基づいて、前記表示手段に表示させる前記固定情報および前記可変情報と、書き換える前記可変情報とを特定することを特徴とする。
【００１３】
請求項６に係る発明は、請求項１から請求項５までのいずれかに記載のアラームシステムを備えた基板処理装置である。
【００１４】
請求項７に係る発明は、コンピュータによって実行されることにより、前記コンピュータを請求項１から請求項６までのいずれかに記載の制御手段として機能させることを特徴とするプログラムである。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１から請求項７に記載の発明によれば、基板処理装置の異常に関する標準的な情報は、固定情報として記憶手段に記憶させることができる。一方、経験的、固有的に見いだされた新たな情報は、オペレータが入力手段から入力し、可変情報として記憶手段に記憶させることができる。このため、基板処理装置の異常に関する標準的な情報と、新たな情報との間に混乱が生じることはない。
【００１６】
特に、請求項２に記載の発明によれば、オペレータは、表示された情報が標準的な情報であるか、装置固有の情報であるかを区別して認識することができる。したがって、異常が発生した際の復旧作業効率が向上する。
【００１７】
特に、請求項３に記載の発明によれば、オペレータは、基板処理装置の異常に関する標準的な情報と、新たな情報とを、一度に視認することができる。したがって、異常が発生した際の復旧作業の効率が向上する。
【００１８】
特に、請求項４に記載の発明によれば、基板処理装置の異常に関する標準的な情報と、新たな情報とを、明確に区別して管理することができる。
【００１９】
特に、請求項５に記載の発明によれば、発生する異常ごとに、標準的な情報と新たな情報とを記憶することができる。また、異常が発生した際には、発生した異常に応じた情報を利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
【００２１】
＜１．基板処理装置の概略構成について＞
図１は、本発明に係る基板処理装置１の概略構成を示す図である。基板処理装置１は、基板に対してレジスト塗布や現像等の処理を行う、いわゆるコータ／デベロッパ装置である。基板処理装置１は、別体の露光装置２等と接続され、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像等の複数の処理を連続して行うことができる。
【００２２】
基板処理装置１は、複数の処理ユニットを連結して一体としたものである。各処理ユニットは、それぞれ基板に所定の処理を行う処理部として機能する。具体的に、この基板処理装置１には、洗浄ユニット２０、脱水ベークユニット３０、レジスト塗布ユニット４０、プリベークユニット５０、現像ユニット６０、ポストベークユニット７０、空冷ユニット８０が含まれている。
【００２３】
また、基板処理装置１は、基板の搬出入を行うインデクサ部１０を備える。インデクサ部１０には、基板を収納したカセット１１を複数個セットすることができる。この基板処理装置１はユニカセット方式を採用しており、あるカセット１１から取り出した基板は、各処理ユニットに搬送されて処理を受けた後、同じカセット１１に収納される。カセット１１と洗浄ユニット２０または空冷ユニット８０との間の搬送は、インデクサロボット１２により行う。インデクサロボット１２は、基板を保持しつつ旋回可能なアームを備え、カセット１１の列に沿って移動可能となっている。
【００２４】
以下、この基板処理装置１が備える処理ユニット２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０について、順に概略を説明する。
【００２５】
洗浄ユニット２０は、連続枚葉式の処理ユニットであり、搬入部２１、洗浄部２２、液滴除去部２３、および搬出部２４を備える。搬入部２１から搬出部２４までの基板の搬送は、図示しないコンベアにより行う。コンベアには、発塵性の低いローラコンベアが採用される。洗浄部２２では、基板に対してブラシ、超音波、高圧スプレー等による洗浄が行われる。洗浄液としては純水または薬液が使用される。
【００２６】
脱水ベークユニット３０は、２つの処理室群３１，３２を備える。処理室群３１，３２は、それぞれ静止式の複数の処理室を多段に積み上げて構成される。処理室群３１，３２に含まれる複数の処理室としては、たとえば、冷却室、密着強化室、加熱室、バッファ室などがある。このほか、処理室群３１には、搬入室と搬出室とが含まれており、搬入室には、洗浄ユニット２０から基板を搬送するためのコンベアが、搬出室には、レジスト塗布ユニット４０へ基板を搬送するためのコンベアが、それぞれ連結する。また、処理室群３１と処理室群３２との間には、旋回ロボット３３が配置されている。旋回ロボット３３は、基板を保持しつつ旋回および昇降を行い、上記複数の処理室の間で基板の搬送を行う。この脱水ベークユニット３０では、洗浄ユニット２０から搬送された基板を旋回ロボット３３により各処理室に移動させ、熱処理を行う。
【００２７】
レジスト塗布ユニット４０は、枚葉式の処理ユニットであり、搬入部４１、スピンコータ部４２、乾燥部４３、エッジリンス部４４、および搬出部４５を備える。上記各処理部４１〜４５の間の基板の搬送は、スライダ４６により行う。スライダ４６は、その上に基板を載置しつつスライド移動を行い、隣接する上記各処理部の間で基板を順送り搬送する。このレジスト塗布ユニット４０では、脱水ベークユニット３０から搬送された基板を搬入部４１に受け入れ、各処理部へ搬送しつつ基板にレジスト塗布処理を行い、搬出部４５からプリベークユニット５０へ搬送する。
【００２８】
プリベークユニット５０は、２つの処理室群５１，５２を備える。処理室群５１，５２は、それぞれ静止式の複数の処理室を多段に積み上げて構成される。処理室群５１，５２に含まれる複数の処理室としては、たとえば、冷却室、加熱室などがある。このほか、処理室群５１には、搬入室が含まれており、搬入室には、レジスト塗布ユニット４０から基板を搬送するためのコンベアが連結する。また、処理室群５１と処理室群５２との間には、旋回ロボット５３が配置されている。旋回ロボット５３は、基板を保持しつつ旋回および昇降を行い、上記複数の処理室の間で基板の搬送を行う。このプリベークユニット５０では、レジスト塗布ユニット４０から搬送された基板を旋回ロボット５３により各処理室に移動させ、熱処理を行う。
【００２９】
現像ユニット６０は、連続枚葉式の処理ユニットであり、搬入部６１、現像部６２、水洗部６３、乾燥部６４、および搬出部６５を備える。搬入部６１から搬出部６５までの基板の搬送は、図示しないコンベアにより行う。この現像ユニット６０では、露光処理後の基板を搬入部６１に受け入れ、現像部６２，水洗部６３，乾燥部６４へ搬送しつつ基板に現像処理を行い、搬出部６５からポストベークユニット７０へ搬送する。
【００３０】
ポストベークユニット７０は、２つの処理室群７１，７２を備える。処理室群７１，７２は、それぞれ静止式の複数の処理室を多段に積み上げて構成される。処理室群７１，７２に含まれる処理室としては、たとえば、冷却室、加熱室、バッファ室等がある。このほか、処理室群７２には、搬入室と搬出室とが含まれており、搬入室には、現像ユニット６０から基板を搬送するためのコンベアが、搬出室には空冷ユニット８０へ基板を搬送するためのコンベアが、それぞれ連結する。また、処理室群７１と処理室群７２との間には、旋回ロボット７３が配置されている。旋回ロボット７３は、基板を保持しつつ旋回および昇降を行い、上記複数の処理室の間で基板の搬送を行う。このポストベークユニット７０では、現像ユニット６０から搬送された基板を旋回ロボット７３により各処理室に移動させ、熱処理を行う。
【００３１】
空冷ユニット８０は、基板を空冷するための処理ユニットであり、基板を搬送するコンベアを備える。この空冷ユニット８０では、ポストベークユニット７０から搬送された基板をコンベアで搬送しつつ空冷し、インデクサ部１０へ搬送する。
【００３２】
基板処理装置１は、さらにインターフェイス部９０を備える。インターフェイス部９０は、基板処理装置１と露光装置２との間で基板の受け渡しを順序よく行うための部位である。インターフェイス部９０は、基板を搬送する搬送ロボットや、タクトタイムを調節するバッファ（カセット等）を備える。
【００３３】
基板処理装置１は、以上の構成により、インデクサ部１０→洗浄ユニット２０→脱水ベークユニット３０→レジスト塗布ユニット４０→プリベークユニット５０→インターフェイス部９０→露光装置２→インターフェイス部９０→現像ユニット６０→ポストベークユニット７０→空冷ユニット８０→インデクサ部１０の順に基板を搬送し、基板に対して一連のフォトリソグラフィ処理を行う。
【００３４】
＜２．アラームシステムについて＞
次に、この基板処理装置１のアラームシステムについて説明する。図２は、この基板処理装置１の電気的構成のうち、アラームシステムを構成する部分を概念的に示したブロック図である。
【００３５】
基板処理装置１の複数の処理ユニット２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０には、それぞれ複数のセンサ５が設けられている。複数のセンサ５は、それぞれ処理ユニット内の所定の位置に配置され、それぞれ所定の対象を検出する。具体的には、センサ５は、それぞれ駆動箇所の動作位置や、薬液の供給量や、処理ユニット内の気圧などを検出している。各センサ５は、これらの対象について常時検出動作を行い、検出信号を後述するシーケンサ６へ送信する。検出対象の状態が正常であるときの検出信号（以下、正常信号という。）と、異常であるときの検出信号（以下、異常信号という。）とは、異なる信号となる。
【００３６】
複数の処理ユニット２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０には、それぞれシーケンサ６が設けられている。シーケンサ６は、同じ処理ユニット内に設けられた複数のセンサ５と電気的に接続されており、それらのセンサ５からの検出信号を受信することができる。シーケンサ６は、各センサ５から検出信号を受信すると、その検出信号が「正常信号」であるか「異常信号」であるかの２値的判断を行うように回路設計されている。そして、「異常信号」と判断した場合には、その信号に基づいて定まる新たな電気信号を出力するように回路設計されている。この新たな電気信号は、その異常信号に対する識別番号（コード）を示すことになるため、以下ではエラーコードという。シーケンサ６から出力されたエラーコードは、後述するコンピュータ７へ送られる。
【００３７】
すなわち、センサ５とシーケンサ６は、処理ユニットの各部において異常が発生すると当該異常を検出・識別してコンピュータ７へ通知する通知手段として機能することになる。
【００３８】
基板処理装置１は、各処理ユニットに共通の１つのコンピュータ７を備える。コンピュータ７は、ＣＰＵ７ａ、ＲＯＭ７ｂ、ＲＡＭ７ｃ、ハードディスク７ｄ等を備えて構成される。これらのうち、ＣＰＵ７ａは本発明の制御手段として、ハードディスク７ｄは本発明の記憶手段として、それぞれ機能する部分である。ハードディスク７ｄには、アラームシステムに関与するファイルとして、アラームプログラム９０１と、アラーム定義ファイル９０２と、固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…と、可変情報ファイルＢ２０１，Ｂ２０２，…とが記憶されている。
【００３９】
コンピュータ７と各シーケンサ６とは、ＬＡＮ等のネットワークを介して通信可能に接続されている。たとえば、図２に示したように、複数のシーケンサ６とコンピュータ７とを共通のバスケーブル８に接続し、そのバスケーブル８経由でデータを送受信し得る構成となっている。また、コンピュータ７は、情報をＣＲＴディスプレイ等の画面に表示する表示手段７ｅと、情報をキーボードやマウス等により操作入力する入力手段７ｆとを備えている。
【００４０】
ここで、上記ハードディスク７ｄに記憶されるアラームプログラム９０１、アラーム定義ファイル９０２、固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…、可変情報ファイルＢ２０１，Ｂ２０２，…について、以下に説明する。
【００４１】
アラームプログラム９０１は、シーケンサ６や入力手段７ｆから入力される信号を受け、それらの信号に基づいて関連するファイルを更新したり、所定の情報を表示手段７ｅへ表示したりするべく、ＣＰＵ７ａを動作させるプログラムである。
【００４２】
アラーム定義ファイル９０２は、図３に示したように、処理ユニットとエラーコードの組み合わせごとに、アラームの内容を規定したものである。つまり、このアラーム定義ファイル９０２では、処理ユニットとエラーコードの組み合わせごとに１つのアラームが規定されている。エラーコードは、シーケンサ６から受信した電気信号に基づいて一意に定まる番号であり、処理ユニットは、送信元のシーケンサ６が属する処理ユニットを指す。アラーム定義ファイル９０２で規定するアラームの内容は、異常の発生箇所（処理ユニット内の発生箇所）、アラーム名、危険度などである。また、アラーム定義ファイル９０２では、処理ユニットとエラーコードの組み合わせごとに、対応する固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…と可変情報ファイルＢ２０１，Ｂ２０２，…とを指定している。なお、各処理ユニットからコンピュータ７へ、エラーコードとは別個のいくつかの信号を送信するようにしてもよい。そして、アラームの内容のうち、たとえば危険度については、エラーコードとは別個の信号に基づいて規定するようにしてもよい。
【００４３】
複数の固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…は、それぞれ上記アラーム定義ファイル９０２の指定に対応するファイルである。固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…は、図４に示したように、異常に関する標準的な情報（標準的な対処方法など）を、テキストデータとして含むファイルである。固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…は、読み込み専用のファイルとなっており、入力手段７ｆからの操作入力により内容を書き換えることは不可能になっている。
【００４４】
複数の可変情報ファイルＢ２０１，Ｂ２０２，…は、それぞれ上記アラーム定義ファイル９０２の指定に対応するファイルである。可変情報ファイルＢ２０１，Ｂ２０２，…は、図５に示したように、異常に関して新たに見いだした情報を、追加的に持たせるためのファイルである。可変情報ファイルＢ２０１，Ｂ２０２，…は、読み書き自在のファイルとなっており、入力手段７ｆからの操作入力により、内容を書き換えることが可能となっている。
【００４５】
基板処理装置１のアラームシステムは、上記のようにセンサ５、シーケンサ６、コンピュータ７等を互いに電気的に接続して構成される。このようなアラームシステムは、基板処理装置１の一部として機能するシステムであってもよいが、基板処理装置１に接続して使用する別体のシステムであってもよい。
【００４６】
＜３．アラーム動作について＞
基板処理装置１は、以上の構成を利用してアラーム動作を行う。以下では、この基板処理装置１のアラーム動作について、図６のフローチャートを参照しつつ説明する。図６では、破線より左側には処理ユニットにおける動作を、右側にはコンピュータ７における動作を、それぞれ示している。なお、コンピュータ７における動作は、アラームプログラム９０１に従ってＣＰＵ７ａが動作することにより実現する。
【００４７】
コンピュータ７は、図７に示すような第１ウインドウ２１０を、予め表示手段７ｅに表示する（ステップＳ０）。この第１ウインドウ２１０は、発生した異常に対するアラームの主要部分を表示するためのウインドウである。アラームの主要部分とは、たとえば発生日時、処理ユニット、発生箇所、エラーコード、アラーム名、危険度などの情報である。第１ウインドウ２１０は、これらの情報をテーブル形式で表示するものであり、１つのアラームに関する主要部分を１つの行（レコード）に表示する。したがって、異常が未発生のときには、ウインドウ２１０には１行の情報も表示されておらず、フレームのみが表示されている。なお、この第１ウインドウ２１０は、表示手段７ｅの画面に常時表示されていてもよいが、異常が未発生の時には他のウインドウに隠れている状態であってもよい。
【００４８】
基板処理装置１が基板処理の動作を開始すると、複数のセンサ５は、それぞれの対象について検出動作を行い（ステップＳ１）、検出信号をシーケンサ６へ送信する（ステップＳ２）。以後、センサ５は、この検出動作（ステップＳ１）と検出信号の送信（ステップＳ２）とを、繰り返す。
【００４９】
シーケンサ６は、センサから送信された検出信号を受信する（ステップＳ３）。シーケンサ６は受信した検出信号が正常信号か異常信号かを判断し（ステップＳ４）、異常信号である場合には、その異常信号に対応するエラーコードをコンピュータ７へ送信する（ステップＳ５）。
【００５０】
コンピュータ７は、シーケンサ６から送信されたエラーコードを受信する（ステップＳ６）。次に、コンピュータ７は、受信したエラーコードと、その送信元のシーケンサ６が属する処理ユニットとを、アラーム定義ファイル９０２に照らし合わせ、発生させるべきアラームを特定する（ステップＳ７）。
【００５１】
そして、コンピュータ７は、特定したアラームの主要部分を、第１ウインドウ２１０に表示する（ステップＳ８）。主要部分の内容は上述したとおりであるが、発生日時の欄にはエラーコードを受信した日時が、処理ユニットの欄には送信元のシーケンサ６が属する処理ユニットが、それぞれ表示されることとなる。また、発生箇所、アラーム名、危険度の各情報は、アラーム定義ファイル９０２に一意に定められているため、その情報が表示されることとなる。なお、各処理ユニットからコンピュータ７へ、エラーコードとは別個のいくつかの信号を送信するようにしてもよい。そして、主要部分の内容のうち、たとえば危険度の欄については、エラーコードとは別個の信号の内容をそのまま表示するようにしてもよい。このように、コンピュータ７がエラーコードを受信するたびに、第１ウインドウ２１０には１行の情報が追加表示される。
【００５２】
基板処理装置１において異常が発生したときには、関連する複数の箇所で同時に異常信号が発生する場合もあり、そのときには第１ウインドウ２１０に、一度に複数行の情報が追加表示される。そして、基板処理の続行を妨げる異常が発生している限り、基板処理装置１は基板処理の動作を停止し、オペレータによる復旧作業を待つ。
【００５３】
基板処理装置１のオペレータは、表示手段７ｅの第１ウインドウ２１０に１行または複数行の情報が表示されているのを見て、異常が発生したことを認識する。そして、特定のアラームについてさらに詳細な情報を取得したい場合には、そのアラームに係る行を選択する（ステップＳ９）。この選択動作は、たとえば、第１ウインドウ２１０において、そのアラームの主要部分が表示されている行をダブルクリックすることにより、受け付けるようにすればよい。
【００５４】
アラームの選択を受け付けると、コンピュータ７は、図８に示すような第２ウインドウ２２０を、表示手段７ｅに表示する（ステップＳ１０）。この第２ウインドウ２２０は、発生した異常ごとに、アラームの詳細部分を表示するウインドウである。この第２ウインドウ２２０は、フレーム以外の実質部分が上下に２分割されている。第２ウインドウ２２０の上半分は、入力手段７ｆからの操作入力により表示内容を書き換えることができない固定表示部分２２１である。固定表示部分２２１には、アラーム定義ファイル９０２の指定に従い、上記ステップＳ９で選択したアラームの固定情報ファイルの内容が表示される。一方、第２ウインドウ２２０の下半分は、入力手段７ｆからの操作入力により表示内容を書き換えることができる可変表示部分２２２である。可変表示部分２２２には、アラーム定義ファイル９０２の指定に従い、上記ステップＳ９で選択したアラームの可変情報ファイルの内容が表示される。
【００５５】
オペレータは、この第２ウインドウ２２０に表示されたアラームの詳細部分を参照しつつ、復旧作業を行う。つまり、第２ウインドウ２２０に表示された情報は、オペレータによる復旧作業を知識面で支援する。
【００５６】
さらに、オペレータは、復旧作業中に新たな情報を見いだした場合には、その情報を可変表示部分２２２に追加することができる（ステップＳ１１）。この新たな情報の追加は、具体的には、入力手段７ｆからの操作入力により受け付けるようにする。また、この操作入力に際しては、第２ウインドウ２２０の可変表示部分２２２にカーソルを合わせて、直接入力できるようにしてもよく、入力用のウインドウを別途表示させるようにしてもよい。
【００５７】
追加した新たな情報は、対応する可変情報ファイルＢ２０１，Ｂ２０２，…に保存される。そして、その新たな情報は、次回、同一のアラームについて第２ウインドウ２２０を表示させたときには、可変表示部分２２２に表示されることになる。すなわち、復旧作業中に見いだした新たな情報を、次回の復旧作業時に表示させ、利用することが可能となる。
【００５８】
この基板処理装置では、装置の異常に関する標準的な情報は、出荷時から固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…に持たせ、その内容は書き換え不可能な構成とする。一方、基板処理装置１の使用状況に応じて固有的、経験的に見いだした新たな情報は、オペレータが入力手段７ｆから直接入力することができる。そして、入力された新たな情報は、固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…とは別個の書き換え可能な可変情報ファイルＢ２０１，Ｂ２０２，…に持たせることができる。このため、装置の異常に関する標準的な情報と、新たに見いだした情報との間に混乱が生じることはない。
【００５９】
また、この基板処理装置１では、これらの情報を表示する際にも、両情報を視覚的に区別して表示している。このため、オペレータは、表示された情報が標準的な情報であるか、装置固有の情報であるかを認識することができ、復旧作業の効率が向上する。上記の例では、標準的な情報と新たに見いだした情報とを、第２ウインドウ２２０の上下に分けて表示したが、表示上の区別の仕方は、これに限られるものではない。たとえば、第２ウインドウ２２０の左右に分けて表示してもよく、表示色や文字修飾の相違により区別して表示してもよい。
【００６０】
さらに、この基板処理装置１では、この標準的な情報と、新たに見いだした情報とを、第２ウインドウ２２０に同時に表示させている。このため、オペレータは、両情報を一度に視認することができ、復旧作業の効率がさらに向上する。
【００６１】
＜４．その他＞
固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…と可変情報ファイルＢ２０１，Ｂ２０２，…の内容は、必ずしもテキストデータでなくてもよい。たとえば、復旧作業に役立つ画像やプログラムを含めるようにしてもよい。
【００６２】
複数の固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…の内容は、１つのファイルに持たせるようにしてもよい。同様に、複数の可変情報ファイルＢ２０１，Ｂ２０２，…の内容も、１つのファイルに持たせるようにしてもよい。
【００６３】
固定情報ファイルＡ２０１，Ａ２０２，…の内容は、基板処理装置１のユーザインターフェイスとしての入力手段７ｆからは書き換え不可能な構成であればよい。したがって、たとえば管理者パスワードを入力すれば、物理的に同一のキーボードから内容を書き換えることができるものであってもよい。
【００６４】
本発明に係る基板処理装置の処理ユニットの種類や数は、上記の例に限定するものではない。また、インデクサ部１０やインターフェイス部９０もそれぞれ処理ユニットとみなし、他の処理ユニットと同様に複数のセンサ５とシーケンサ６とを配置する構成としてもよい。
【００６５】
また、上記したコータ／デベロッパ装置に限らず、本発明は基板に所定の処理を行う基板処理装置一般に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明に係る基板処理装置の概略構成を示した図である。
【図２】基板処理装置の電気的構成のうち、アラームシステムを構成する部分を概念的に示したブロック図である。
【図３】アラーム定義ファイルの例を示した図である。
【図４】固定情報ファイルの例を示した図である。
【図５】可変情報ファイルの例を示した図である。
【図６】アラーム動作を示したフローチャートである。
【図７】第１ウインドウの例を示した図である。
【図８】第２ウインドウの例を示した図である。
【符号の説明】
【００６７】
１    基板処理装置
５    センサ
６    シーケンサ
７    コンピュータ
７ａ    ＣＰＵ
７ｄ    ハードディスク
７ｅ    表示手段
２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０    処理ユニット
２１０    第１ウインドウ
２２０    第２ウインドウ
２２１    固定表示部分
２２２    可変表示部分
９０１    アラームプログラム
９０２    アラーム定義ファイル
Ａ２０１，Ａ２０２，…    固定情報ファイル
Ｂ２０１，Ｂ２０２，…    可変情報ファイル
【図１】
2005259792.tif 000003
【図２】
2005259792.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2005259792.tif 000007
【図６】
2005259792.tif 000008
【図７】
2005259792.tif 000009
【図８】
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