(57)【要約】      （修正有）【課題】設計上の印刷はんだ量を表す形状データと測定された外観画像データを重ね表示し、どの位置の印刷はんだが、何の検査で、否と判定されたかを識別可能に表示することによって、虚報等のトラブル検討をしやすくすることである。【解決手段】評価対象データ生成部３ｂが、前記測定データを基にはんだ量を表す複数種類の評価対象データを生成し、判定手段４が設計による許容値を基に前記評価対象データの良否を判定する。一方、立体画像データ生成手段７が前記測定データを基に印刷はんだの立体的な外観画像データを生成するとともに、設計に基づく立体的な設計画像データであって、前記判定手段が否と判定した場合は、否と判定された評価対象の種類毎に異なる表示色の設計画像データとして生成し、それら前記外観画像データ及び設計画像データを表示手段８に重ねて表示する構成とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象であるプリント基板上の印刷はんだの設計上の形状を表す設計情報を記憶する設計情報記憶手段（５）と、検査対象の前記プリント基板からの位置に応じた光を受光部で受光して変位量を測定する測定手段（２）と、測定手段が出力する前記測定データを基に印刷はんだされたはんだ量を表す複数種類の評価対象データを生成する評価対象データ生成部（３ｂ）と、前記設計情報記憶手段からの設計情報を基に前記評価対象データの良否を判定する判定手段（４）と、前記設計情報に基づき印刷はんだされるはんだ量を表す立体的な設計画像データを生成するとともに、前記測定データを基に印刷はんだされた前記プリント基板の表面の立体的な外観画像データを生成し、さらに前記判定手段が否と判定した場合は、前記設計画像データ又は前記外観画像データのいずれかを、否と判定された評価対象の種類毎に異なる表示の画像データとして生成する立体画像データ生成手段（７）と、前記外観画像データ及び設計画像データを重ねて表示する表示手段（８）と、を備えた印刷はんだ検査装置。
【請求項２】
前記否と判定された評価対象の種類毎に異なる表示は、前記種類毎に異なる色であって、予め前記評価対象データの種類と表示色を組み合わせて、かつその組み合わせに優先順位を付して記憶する順位記憶手段（６）を備え、
前記立体画像データ生成手段は、前記設計画像データのうち、前記判定手段が否と判定した箇所を含む所定範囲について、前記順位記憶手段を参照してその否と判定された評価対象の種類のうち前記優先順位の高い順に、その種類に対応づけられた表示色の設計画像データとして生成する請求項１に記載の印刷はんだ検査装置。
【請求項３】
前記設計情報に、許容値と許容値を算定したときの前記プリント板上の印刷はんだの形状における算定基準位置となる位置情報を含み、
前記判定手段は、前記許容値と前記評価対象データとを比較して良否判定を行い、
前記立体画像生成手段は、前記位置情報を受けて、前記設計画像データ或いは外観画像データの前記算定基準位置に該当する位置に識別可能にマーカ情報を付すことによって、前記表示手段に前記設計画像データと外観画像データを重ねて表示したとき、前記算定基準位置を視認可能にすることを特徴とする請求項１又は２に記載の印刷はんだ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品等を表面実装するためのプリント基板上に、はんだ印刷装置等でクリーム状はんだが印刷されたときの印刷はんだ形成状態を測定し、その印刷はんだの形状の検査に用いられる検査装置に関する
【０００２】
特に、本発明は、印刷はんだ検査の検査結果に疑問がある場合、プリント基板の印刷はんだの設計上の形状、及び検査の判定基準、及び実際に印刷はんだされたときの印刷はんだ箇所の外観画像等を比較し、検討することがある。本発明は、それらのデータを表示画面で観測しながら検討しやすくした技術に係る。
【背景技術】
【０００３】
印刷はんだ検査装置においては、基板（以下、プリント基板を単に「基板」と言う。）に、光を照射して受光した受光量（輝度とも言われ、光の強さ示す。）を測定して、基板の表面の印刷はんだ箇所の変位（高さを含む）を表す測定データを得る。さらに、はんだ印刷されたときの印刷はんだ量を表す要素となる画像データ（種類としては、面積、体積、高さ、幅或いはその他の形状データ等がある。以下、これらの一部又は全部を「評価対象データ」という。）に変換して、その画像データを判定の基準となる許容値と比較して判定する検査装置及び方法においては、基板の印刷はんだ箇所のパターン形状、印刷はんだ状態、測定条件、雑音、上記のデータを変換する条件等及びそれらの組み合わせからして上記評価対象データの正確な生成は難関であり、この評価対象データを判断する判定手段が、良品の印刷はんだ形成状態を誤って不良品と判定した結果を出力する（以下、誤った判定結果を「虚報」と言う。）場合がある。
【０００４】
したがって、どうしても判定の結果とプリント板に実際に印刷はんだされたはんだの外観形状を示すの実物の画像データ（以下、「外観画像データ」と言う。）とを比較して解析して原因をみつける必要がある。
【０００５】
そこで、これまでは、プリント基板上の設計された印刷箇所を示す配置図、その印刷箇所におけるはんだ量を表す外観画像データを同時に表示画面に並列に出力して、操作者が比較できるようにしていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、これまでの従来技術において、操作者は、良否判定結果を知って、表示されている外観画像データから、虚報かどうか等を検討していた。つまり、良否判定結果と外観画像データの関係を頭に入れながら、表示画面を見ながら検討する必要があった。したがって、上記のように多くの種類（上記の面積、体積、高さ、幅或いはその他の形状データ等。）の評価対象データについて判定すれば、検査品質を上げることができるが、虚報等のトラブルが生じたとき、それを分析検討するのは、検査の種類が多くなればなるほど、検査労力及び時間ロスが大きくなるし、検討ミスが起きやすくなる欠点があった。
【０００７】
一方、良否判定は、設計上の許容値（許容値も、例えば、上記の種類、面積、体積、高さ、幅或いはその他の形状データ等に対応してある。）と評価対象データとを比較して、判定される。許容値は設計上の計算値であるが、計算するときの基板上に基準位置を設けて計算している。例えば、ある印刷はんだ箇所における印刷はんだ量の面積の許容値は、「その周囲の印刷はんだされていない箇所の平均高さから所定高さだけ高いところにおける面積」として求められる。少なくとも前記所定高さが算出基準となる。
【０００８】
したがって、表示画面を観察しながら虚報等の調査検討をするにあたっては、上記算出基準となる位置も、頭に入れて検討する必要があった。これも、上記のように、検査の種類が多くなればなるほど、検査労力及び時間ロスが大きくなる原因になり、そして、検討ミスの要因になりかねなかった。
【０００９】
本発明の目的は、印刷はんだされる設計上の印刷はんだ量を表す形状データ（以下、「設計画像データ」と言う。）と測定された外観画像データを重ね表示し、かつ検査の種類によって、良否判定の結果を識別可能に表示することによって、虚報等のトラブル検討をしやすくできる技術の提供である。また、併せて、上記算出基準の位置を視覚認識可能に表示することによって、よりトラブル検討をしやすくすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、検査対象であるプリント基板上の印刷はんだの設計上の形状を表す設計情報を記憶する設計情報記憶手段（５）と、検査対象の前記プリント基板からの位置に応じた光を受光部で受光して変位量を測定する測定手段（２）と、測定手段が出力する前記測定データを基に印刷はんだされたはんだ量を表す複数種類の評価対象データを生成する評価対象データ生成部（３ｂ）と、前記設計情報記憶手段からの設計情報を基に前記評価対象データの良否を判定する判定手段（４）と、前記設計情報に基づき印刷はんだされるはんだ量を表す立体的な設計画像データを生成するとともに、前記測定データを基に印刷はんだされた前記プリント基板の表面の立体的な外観画像データを生成し、さらに前記判定手段が否と判定した場合は、前記設計画像データ又は前記外観画像データのいずれかを、否と判定された評価対象の種類毎に異なる表示の画像データとして生成する立体画像データ生成手段（７）と、前記外観画像データ及び設計画像データを重ねて表示する表示手段（８）と、を備えた。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記否と判定された評価対象の種類毎に異なる表示は、前記種類毎に異なる色であって、予め前記評価対象データの種類と表示色を組み合わせて、かつその組み合わせに優先順位を付して記憶する順位記憶手段（６）を備え、
前記立体画像データ生成手段は、前記設計画像データのうち、前記判定手段が否と判定した箇所を含む所定範囲について、前記順位記憶手段を参照してその否と判定された評価対象の種類のうち前記優先順位の高い順に、その種類に対応づけられた表示色の設計画像データとして生成する構成とした。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、前記設計情報に、許容値と許容値を算定したときの前記プリント板上の印刷はんだの形状における算定基準位置となる位置情報を含み、
前記判定手段は、前記許容値と前記評価対象データとを比較して良否判定を行い、
前記立体画像生成手段は、前記位置情報を受けて、前記設計画像データ或いは外観画像データの前記算定基準位置に該当する位置に識別可能にマーカ情報を付すことによって、前記表示手段に前記設計画像データと外観画像データを重ねて表示したとき、前記算定基準位置を視認可能にする構成とした。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に記載の発明は、設計情報に基づく印刷はんだされるはんだ量を表す立体的な設計画像データと、実際に印刷はんだされた基板の表面の立体的な外観画像データとを重ね表示し、かつ、判定手段で否と判定された評価対象の種類毎に異なる表示色の外観画像データとして生成する構成としたことから、操作者は、表示画面からどの印刷はんだ箇所がどのような判定結果かを、認識しやすい効果がある。強いては、効率よく、かつミスを防止して検討できる効果がある。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、虚報等の検討を行うための、検査の種類及びその色を優先的に選択表示できる構成としたので、表示画面上、検討要因の重要なものから選択的に識別して検討できる。
【００１５】
請求項３の発明は、許容値を算定したときの寸法的な算出基準位置（マーク）を表示する構成としたことから、虚報等の検討と行う操作者に対して、検討を外観画像のどこに注視して検討すればよいかを示唆できる効果がある。強いては、的確な検討を促すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の形態を図１〜図６を用いて説明する。図１は、本発明の印刷はんだ検査装置の構成を示す機能ブロック図である。図２〜図６は、表示例を示す図である。
【００１７】
図１において、測定手段２は、例えばレーザ変位計であって、センサ部２ａ及び測定処理部２ｂからなる。センサ部２ａは、基板１に対して走査してＸ軸、Ｙ軸の各方向に、レーザを照射可能なレーザ光源及び基板１からの反射光を受光する受光手段を備える。受光手段は、はんだ面からは、位置に対応した受光量（光の強さ）を得る。そして、測定部２は、この位置、受光量を基に、特に印刷はんだがされた印刷はんだ箇所の変位、つまり高さ（Ｚ軸方向）を位置と対応づけて測定する。レーザ変位計としての詳細の動作説明は省くが、原理としては、同一出願人が出願している特開平３−２９１５１２号公報のものがある。
【００１８】
測定処理部２ｂは、検査対象である基板１を設計したときの印刷はんだ箇所或いはレジスト箇所等の配置を含む配置図が後記する基板情報記憶手段５に記憶されているので、それを受けて配置図にしたがってセンサ部２ａに対して走査測定を行わせ、前記センサ部２ａが印刷はんだ箇所の位置に対応して、検出した上記の変位量及び／又は受光量（光の強さ）を測定データとして出力している。
【００１９】
基板情報記憶手段５は、検査対象の基板１を設計したときの設計情報であって、設計上の印刷はんだ箇所等を示す配置図、それに設計上算出された印刷はんだされたときの形状データを含む設計情報、その形状データに基づいて算出された許容値、及びその算出にあたって前記形状データのどこを基準として算出したかを示す寸法的な算出基準位置情報を記憶している。これらは、基板情報入力部９ａから予め入力される。配置図は、検査対象とする基板１の設計されたときの配置図であって、例えば、印刷はんだ箇所、印刷はんだののらないレジスト箇所及び位置の基準となる認識マーク等の基板１上の配置情報（図２の「プリント基板の配置図」を参照。）等である。基板１は、複数種類のものがあるので、それらを特定できる基板識別情報と、縦、幅の寸法が記載されたリストが用意されて、電源オン時に表示され（ライブラリー表示画面：不図示）、いずれかの基板１を選択できるようにされている。
【００２０】
また、基板１を検査して良否判定を行うための許容値をデータとして、検査対象とする基板１に対応して記憶している。これらの許容値は、良否判定の種類（或いは検査項目の種類）、例えば、印刷はんだ箇所の面積、体積、高さ、印刷はんだの高さムラ（バラツキ）、印刷はんだ箇所の設計位置に対するずれ、及び印刷はんだのニジミカスレ、印刷はんだの消失、及び印刷はんだのブリッジ（設計上、はんだ箇所とはんだ箇所を結ぶパターンが無いのに、あたかもあったかのように印刷はんだされてしまうこと）の各種類（項目）を判定するために、それぞれの項目について算出されて、各基板１のはんだ箇所毎に準備されている。言い換えるならこれらの許容値は、はんだ箇所の印刷はんだを量的（画像的）に認識しやすい情報であって、良否判定の基準となるデータである。
【００２１】
また、許容値に上限、下限の範囲があるもの、下限か上限かいずれか一方の範囲だけのもの、範囲がないもの等がある。したがって、例えば、面積、体積や高さ等の量的な項目は下限と上限の範囲があり、高さムラ、ずれやシジミかすれ等は、一方の範囲だけ、消失、ブリッジ等は、有無だけということもできる。
【００２２】
また、算出基準位置情報は、上記、許容値の算出にあたって前記形状データのどこを基準として算出したかを示す寸法的な算出基準位置を指示するための情報であって、例えば、図６は、ある箇所における印刷はんだの面積を判定したときの外観画像と設計画像を表示したものであって、そのときに判定に用いた許容値の面積は、設計画像の横に点線マークで示された算出基準位置における面積であること示している。図２の算出基準位置（マーク）も同様である。
【００２３】
画像データ生成手段３は、測定データ記憶部３ａ、評価対象データ生成部３ｂ、を含む。測定データ記憶手段３ａは、測定手段２が測定した基板１のはんだ箇所の位置とその位置における受光量或いは変位量等の測定値を受けて、所定のパラメータをしきい値として２値化して測定データとして記憶する。測定データは、印刷はんだ箇所に対応して、高さとドットからなる変位データを含む（表示されるとつながれて線となる。）。
【００２４】
評価対象データ生成部３ｂは、その測定データから各はんだ箇所の印刷はんだ量を表す評価対象データに加工処理する。評価対象データとしては、印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となるデータであって、上記許容値と同様に、それぞれの印刷はんだ箇所の面積、体積、高さ、印刷はんだの高さムラ（バラツキ）、印刷はんだ箇所の設計位置に対するずれ、及び印刷はんだのニジミカスレ、印刷はんだの消失、及び印刷はんだのブリッジ等がある。なお、基板１を判定するには上記のデータの全てを必要とするとは限らないが、少なくとも複数は不可欠である。判定にあたって、検査しようとする基板１の評価対象データとして何を判定するか、或いはどのデータの組み合わせで判定するかは、基板１の種類、内容によって異なることがある。
【００２５】
なお、評価対象データ生成部３ｂは、例えば、先ず、各印刷はんだ箇所毎に、周囲の高さから基板１表面の基準高さを求める。そして、基板情報記憶手段５に記憶されている算出基準位置情報における算出基準位置を基準高さとして、その基準高さにおける断面積を印刷はんだの面積として求め、さらにその面積を印刷はんだの高さだけ積分して体積とする。印刷はんだの高さは平均の高さである。これら印刷はんだの面積、体積、平均高さ、さらには印刷はんだ箇所が、評価対象データとなる（印刷はんだされた箇所のデータは、ずれの判定対象である）。
【００２６】
判定手段４は、上記画像データ生成手段３が出力する評価対象データを受けて、これと上記基板情報記憶手段５からの許容値と比較して各はんだ箇所の良否を判定する。判定する評価対象データの種類としては、上記したように、印刷はんだ箇所の面積、体積、高さ、高さムラ、ずれ、ニジミカスレ、消失、ブリッジ等の一部又は全部がある。各印刷はんだ箇所毎の判定結果、及びそれに伴う数値情報を検査結果として出力する。また、判定手段４は、許容値に範囲がある場合は、評価対象データと許容値とを比較し、評価対象データが許容値の範囲外にあって否（ＮＧ）と判定したとき、評価対象データが許容値の範囲を下回る方向において否なのか、上回る方向に否なのか、否の方向も結果として出力する。例えば、評価対象データが、印刷はんだ量の面積であった場合に、その面積が狭く、許容値の範囲を下回った場合は、判定が否で「面積小」という結果を出力する。面積が大きすぎて許容値の範囲を超えている場合は、判定が否で「面積大」という結果を出力するようにしてもよい。少なくとも表示手段８には、図２に示すように少なくとも良、否（ＯＫ、ＮＧ）の判定結果を表示している。
【００２７】
順位記憶手段６は、評価対象データの種類毎、表示色、優先順位を対応させて記憶している。図３にその記憶内容を表示させた例を示す。優先順位の高い順から各種の色
を揃えて、それに評価対象データの種類及び判定が否だった場合の方向を対応付けて記憶している。この優先順位は、優先順位指示部９ｂから図３の選択キーをクリックする事によって、変更可能である。
【００２８】
立体画像データ生成手段７は、実際に印刷はんだされた印刷はんだ箇所の外観画像を示す外観画像データ生成部７ａと、その設計上のデータである設計画像データを生成する設計画像データ生成部７ｂ及び判定手段４で否と判定された印刷はんだ箇所に判定の種類に応じて識別表示するための順位判定部７ｃで構成される。
【００２９】
外観画像データ生成部７ａは、測定手段２が出力する基板１における印刷はんだ箇所の位置に対応した変位量及び受光量等の測定データを基に、印刷はんだがされた外観形状を把握できる画像を表示するための外観画像データを生成して出力している。例えば、図４，５，６の上部の明るい部分が外観画像データである（下側の、黒い部分は、設計画像データによるものである。これらの図は、重ね表示されている。）。このように外観画像データは、いわゆる立体的な３Ｄ画像データと言われるものである。この外観画像データは、虚報が発生していないかどうか観察するとき、あるいは発生した箇所を調査するときに、印刷はんだがされた外観形状を表示画面から把握するために用いられる。
【００３０】
この外観画像データは、基板１の全体外観を表すものであって、部分的に例えば、虚報がでることが予想される印刷はんだ箇所等を表すものとすることもできる。また、外観を観察したい視認方向を変えて表示できるようにすることもできる。例えば、外観画像データが３Ｄ画像データである場合は、画像表示箇所指定部９ｃから指定された印刷はんだ箇所の測定データを記憶手段３ａから読み出して、ある方向からの３次元座標上に３Ｄ画像データを生成し、さらに方向が指定されれば、その方向へ３次元座標を回転させることによって３Ｄ画像データを回転させる。３Ｄ画像データの作成や、その表示については、一般的なソフトが普及しており、詳細説明は省略する。
【００３１】
設計画像データ生成部７ｂは、外観画像データと同じ手法で生成されるが、基板情報記憶手段５に記憶されている基板１の設計上の配置図における、印刷はんだ箇所の面積、位置等を基に、理論的に計算した立体的な設計画像データを生成する（図２の「設計画像」を参照。）。そのとき、判定手段４が判定結果を「否」としたときは、設計画像の色が順位判定部７ｃで通知された色の設計画像データにするとともに、（図２のＡ（薄い）がＮＧの箇所、Ｂ（濃い）がＯＫの箇所）基板情報記憶手段５に、その判定の種類に算出基準位置情報があればその情報に基づく算出基準位置の設計画像データを他の色と区別できる色のデータにする（表示されたとき、算出基準位置マークとして用いられる）。なお、この算出基準位置マークを外観画像データに付してもよい。
【００３２】
したがって、表示手段８に表示されたときは、設計画像データは、否（ＮＧ）と判定された箇所については、全体として順位判定部７ｃから通知された色で、算出基準位置マークは、他の色で表示される。当然ながら判定手段４で良（ＯＫ）と判定された色は、順位判定部７ｃで指定されることなく、固定の特定の色（順位記憶手段６にない色が好ましい。）で生成される。
【００３３】
なお、設計画像データ生成部７ｂが生成する設計画像データの範囲、方向は、前記外観画像データと同様に、画像表示箇所指定部９ｂから指定された印刷はんだ箇所の範囲及び方向である（つまり、表示されたとき設計画像と外観画像は同一はんだ箇所の位置で、同一方向から見た画像となる。）。したがって、設計画像データ生成部７ｂは、画像表示箇所指定部９ｃから指定された印刷はんだ箇所の範囲の測定データを測定データ記憶手段３ａから読み出して生成する。また、立体的な設計画像データは、面がなく（或いは透し）立体的な枠組みだけで、色はその枠組みに塗られるようにしてもよい。
【００３４】
順位判定部７ｃは、判定手段４の判定が否であった場合にその判定した印刷はんだ箇所、判定の種類及び判定結果（許容値の範囲に対する否の方向を含めてもよい。）を受けて、それらの情報を基に順位記憶手段６を参照し、否とされた印刷はんだ箇所と表示すべき順位と色を決定して、設計画像データ生成部７ｂに通知する。この通知を受けた画像データ生成部７ｂの動作は上記の通りである。
【００３５】
表示部８は、表示制御部を有し、その表示制御部が、各種の表示フォーマット（例えば、図２を参照）を記憶しておき、そのフォーマットに判定手段４からの判定結果、数値情報、基板記憶手段５からの印刷はんだ箇所の配置図、及び立体画像データ生成手段７からの画像データを割り付けて、表示する。表示制御部は、立体画像データ生成手段７からの外観画像データ、設計画像データさらに算出基準位置のマークを、重ねて表示する。
【００３６】
図４〜図６が表示手段８に表示された表示例である。図４は、評価対象データが「面積」であって、判定が「否」で、「面積小」とされた例、図５は、「位置ずれ」について「否」と判定された例、図６は、面積の判定について許容値の算出基準位置を説明するための図である。図４〜図６は、書面上は白黒の画像であるが実際はカラー画像である。図４の円筒（立体枠）、図５の楕円の筒（立体枠）、図６の四角い筒（立体枠）はいずれも設計画像データに基づく設計画像であり、その上に、或いは内部に見える薄い画像が外観画像データである。図４〜図５は、書面からは見にくいが、設計画像からはみ出た外観画像部分を例えば、緑色とし、設計画像内に収まっている外観画像部分をピンク等に色分け表示している。ここで外観画像は、前記順位判定部７ｃによって判定された色で識別して表示している。
【００３７】
また、図６からすると、実際に印刷はんだされたはんだ量を示す外観画像が、設計画像との右側にずれて、その一部が（図６の楕円の筒の右側）が、設計画像を越えているのが分かる。また図６のように算出基準位置マークがあれば、どこで判定がされているか一目瞭然である（設計画像を薄く或いは透しできるようにすれば、より明確である。）。
【００３８】
操作手段９は、基板情報入力部９ａ、優先順位指示部９ｂ、及び画像表示箇所指定手段９ｃ等があり、それぞれに実行する操作キー及びそのキーの処理手段を有する。          
【００３９】
基板情報入力部９ａは、検査対象となる基板１の配置図を含み上記した設計画像データを生成するための設計値を含む設計情報、上記の許容値、上記の算出基準位置情報を予め入力するためのもの、かつ検査対象とする基板１を選定し、それらに係る設計情報、算出基準位置、許容値を選定して入力させるための操作手段である。
【００４０】
以下、上記説明の構成による一連の主な動作を説明する（フロー不図示）。一部、上記説明と重なるところがある。
【００４１】
予め、操作手段９の基板情報入力部９ａから設計情報、許容値及び算出基準位置情報等の設計に係わる情報が基盤情報記憶手段５に記憶されているものとする。
ステップＳ１：測定対象とする基板１を測定台へセットし、操作手段９を操作して基板１に関するリストを表示手段８の画面に出力させて、該当する検査対象の基板を選択して、測定・検査をスタートさせる。
ステップＳ２：測定手段２ｂが測定し、変位データとして測定データ記憶部３ａに記憶する。
【００４２】
ステップＳ３：評価対象データ生成部３ｂは、（１）各印刷はんだ箇所毎に、周囲の高さから基板１表面の基準高さを求め、（２）その基準高さから一定の高さ（算出基準位置）での断面積を印刷はんだの面積として求め、さらにその面積を印刷はんだの高さだけ積分して体積とする。印刷はんだの高さは平均の高さである。これら印刷はんだの面積、体積、平均高さ、さらには印刷はんだ箇所は、評価対象データとして判定手段４へ送付する。
【００４３】
ステップＳ４：判定手段４は許容値と比較し、良否判定する。
ステップＳ５：判定において、例えば、面積の判定と体積判定が否とされ、いずれも「面積大」、「体積小」とされたものとする。順位判定部７ｃは、順位記憶手段６を参照し該当する色と順位を選択する。例えば面積大が薄青色で順位１、体積小が赤色で順位４位と決定する。
【００４４】
ステップＳ６：設計画像データ生成部７ｂが、画像表示箇所指定部９ｃで指定された範囲、方向において、設計情報を基に設計画像データを生成し、かつ、判定で面積大とされた判定箇所の設計画像データを薄青色とするとともに、さらに上記面積を求めたときの算出基準位置マークを入れた設計画像データを生成して表示手段８へ送付する。優先順位指示部９ｂで順位４の体積小が選択されたときは、赤色とする。
【００４５】
ステップＳ７：外観画像データ生成部７ａが、やはり画像表示箇所指定部９ｃで指定された範囲、方向において、測定データ記憶部３ａの変位データを基に外観画像データを生成して表示手段へ送付する。
ステップＳ８：表示手段８は、設計画像データに基づく設計画像と、外観画像データに基づく外観画像とを重ね表示する。
【００４６】
ステップＳ９：操作者は、表示手段８に表示された画像を見て、薄青色及び算出基準位置マークに着眼すれば、「面積大」と判定された箇所がどこにあって、その面積がどの高さの断面積で判定されたかを知りながら、現物に近い外観画像と設計画像とを比較検討できる。
優先順位指示部９ｂで図３の表示画面を出して選択キーをクリックして順位４の体積小が選択されたときは、ステップＳ５において、設計画像データ生成部７ｂが、画像表示箇所指定部９ｃで指定された範囲、方向において、設計情報を基に設計画像データを生成し、かつ、判定で体積小とされた判定箇所の設計画像データを赤色とする。この場合は、操作者は、赤色の箇所が体積小と判定された箇所として注視して検討できる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の機能ブロックを説明するための図である。
【図２】判定結果、配置図、設計画像の表示例を示す図である。
【図３】否と判定されたときの優先順位、色、判定の種類を表示した例を示す図である。
【図４】「面積小」と判定されたときの設計画像及び外観画像の表示例を示す図である。
【図５】「位置ずれ」が否と判定されたときの設計画像及び外観画像の表示例を示す図である。
【図６】「面積小」と判定されたときの設計画像、算出基準位置マーク及び外観画像の表示例を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  基板、  ２  測定手段、  ２ａ  センサ部、  ２ｂ  測定処理部、
３  画像データ生成手段、  ４  判定手段、  ５  基板情報記憶手段
６  順位記憶手段、  ７  立体画像データ生成手段、  ８  表示手段、
９  操作手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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