(57)【要約】【課題】長尺の振動板を使用して物体を浮揚状態で搬送する際、振動板の長さを長くしても振動板の撓みを抑制して物体を安定した浮揚状態で搬送する。【解決手段】物体浮揚搬送装置11は複数の音波浮揚ユニット12ａ，12ｂを備え、各音波浮揚ユニット12ａ，12ｂは振動板15を励振手段で励振させて、振動板15からの音波の放射圧により物体16を浮揚状態で搬送する。支持プレート14上には、振動板15の励振時に振動板15から発する音波を反射させる音波反射手段28が設けられている。音波反射手段28は反射面31ａを備えた反射板31を備え、前記音波を振動板15に向けて反射させて振動板15の撓みを抑制可能な位置に設けられている。反射板３１は振動板１５の中央と対向する位置に設けられ、反射面31ａが両音波浮揚ユニット12ａ，12ｂを構成する複数の振動板15と直交するように設けられている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺の振動板を励振手段で励振させて、振動板からの音波の放射圧により物体を浮揚させる音波浮揚装置であって、
前記音波を反射させる反射面を備えた音波反射手段が、前記音波を前記振動板に向けて反射させて前記振動板の撓みを抑制可能な位置に設けられている音波浮揚装置。
【請求項２】
前記音波反射手段は、前記反射面が前記振動板に対して、振動板を励振させる振動子が対応する面と反対側の面に対向するように設けられている請求項１に記載の音波浮揚装置。
【請求項３】
長尺の振動板を励振手段で励振させて、振動板からの音波の放射圧により物体を浮揚状態で搬送する音波浮揚搬送装置が直列に複数配置され、前記音波浮揚搬送装置間で物体を浮揚状態で移載可能な音波浮揚装置であって、
前記音波を反射させる反射面を備えた音波反射手段が、少なくとも前記音波浮揚搬送装置間の物体の移載箇所と対応する位置に設けられている音波浮揚装置。
【請求項４】
前記音波反射手段は、前記振動板の中間部にも設けられている請求項３に記載の音波浮揚装置。
【請求項５】
前記反射面は前記振動板の長さ方向に、前記振動板から発する音波の波長の１波長以上の長さを有する請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の音波浮揚装置。
【請求項６】
前記反射面は高さ調整可能に設けられている請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の音波浮揚装置。
【請求項７】
前記音波反射手段は、前記反射面と前記振動板とのギャップを保つギャップ保持手段を備えている請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の音波浮揚装置。
【請求項８】
前記ギャップ保持手段は、前記反射面を備えた反射部材が可撓性の板材で形成されることにより構成されている請求項７に記載の音波浮揚装置。
【請求項９】
前記反射部材は前記振動板より弾性率が小さな材質で形成されている請求項８に記載の音波浮揚装置。
【請求項１０】
前記ギャップ保持手段は、前記振動板と前記反射面とのギャップを保つために前記反射面を備えた反射部材が傾動可能に構成されている請求項７〜請求項９のいずれか一項に記載の音波浮揚装置。
【請求項１１】
前記ギャップ保持手段は、前記反射面を有する反射部材を備え、前記反射部材は支柱に支持されており、前記支柱は前記振動板と前記反射面とのギャップを保つために傾動可能に構成されている請求項７〜請求項９のいずれか一項に記載の音波浮揚装置。
【請求項１２】
前記ギャップ保持手段は、前記反射面を備えた反射部材の支持部を弾性部材を介して支持するように構成されている請求項７に記載の音波浮揚装置。
【請求項１３】
前記音波反射手段は前記反射面に作用する圧力が所定圧力以上になったか否かを検出可能な圧力検出手段を備えている請求項１〜請求項１２のいずれか一項に記載の音波浮揚装置。
【請求項１４】
前記圧力検出手段は前記反射面に作用する圧力変化を連続的に検出可能に構成されている請求項１３に記載の音波浮揚装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音波の放射圧を用いて物体を浮揚状態に保持あるいは浮揚状態で搬送する音波浮揚装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶やＰＤＰ（プラズマディスプレイ）などのガラス基板が大型化しており、１５００×１８００ｍｍ以上の基板サイズになってきている。そして、基板の撓み防止やゴミの付着防止のため、物体を浮揚させる装置が求められている。
【０００３】
物体を空中に浮揚させる物体浮揚装置として、音波の放射圧を用いる装置が提案されている。そして、長尺の平板状の振動体を使用し、振動体の振動による音波の放射圧により物体を浮揚させ、前記振動体で進行波を発生させて浮揚した物体を移動させる物体浮揚搬送装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。物体の搬送距離を長くするため、長尺の振動板を使用すると、撓みが大きくなり、振動板の端部と中央付近で高さが変化し、物体を安定した浮揚状態で搬送するのが困難になる。特許文献１に開示された物体浮揚搬送装置では、この不都合を解消するため、振動板の中間部において、振動板の下面と当接して該振動板の撓みを抑制する撓み防止部材を設けている。
【特許文献１】特開２００２−１３７８１７号公報（明細書の段落［００１５］，［００１８］，［００２１］、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、特許文献１に記載の物体浮揚搬送装置では、長尺の振動板の撓みが大きくなるのを振動板の下面に当接する撓み防止部材で抑制する構成のため、振動板の振動に伴って振動板が撓み防止部材に繰り返し当接するため振動板又は撓み防止部材が摩耗するという問題がある。また、摩耗を押さえるために振動の小さい位置で当接するようにすると、撓み防止部材の配置に制限があった。
【０００５】
一方、物体を搬送する距離が短い場合は、短い振動板を使用した物体浮揚搬送装置で搬送が可能であるが、物体を搬送する距離が長い場合は複数の物体浮揚搬送装置を直列に配置して物体を搬送する必要がある。しかし、複数の物体浮揚搬送装置を直列に配置して物体を搬送する場合は、浮揚状態の物体が一方の物体浮揚搬送装置の振動板上から他方の物体浮揚搬送装置の振動板上へ乗り移るのを円滑に行うために、両物体浮揚搬送装置のアライメントの調整を精度良く行う必要がある。また、幅の広い物体を搬送する場合は、複数の物体浮揚搬送装置を並列に配置して物体の浮揚搬送を行う場合もあるが、その場合も各物体浮揚搬送装置のアライメントの調整を精度良く行う必要がある。そして、使用する物体浮揚搬送装置の数が多くなるほどその調整に手間がかかる。また、構成部材が増加するので装置が高価になる。
【０００６】
本発明は前記の問題点に鑑みてなされたものであって、その第１の目的は、長尺の振動板を使用して物体を浮揚状態で搬送する際、振動板の長さを長くしても振動板の撓みを抑制して物体を安定した浮揚状態で搬送することができる音波浮揚装置を提供することにある。また、第２の目的は、長尺の振動板を備える音波浮揚搬送装置を複数使用して物体を浮揚状態で搬送する際、隣接する音波浮揚搬送装置間で物体を安定した浮揚状態で移載可能な音波浮揚装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記第１の目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、長尺の振動板を励振手段で励振させて、振動板からの音波の放射圧により物体を浮揚させる音波浮揚装置である。そして、前記音波を反射させる反射面を備えた音波反射手段が、前記音波を前記振動板に向けて反射させて前記振動板の撓みを抑制可能な位置に設けられている。ここで、「長尺の振動板」とは、励振時の振動波長の１０波長以上の長さを有する振動板を意味する。
【０００８】
この発明では、振動板の振動により振動板から発した音波が、音波反射手段の反射面で振動板に向けて反射される。そして、反射面から反射された音波の放射圧によって振動板の撓みが防止される。従って、従来の撓み防止装置と異なり、振動板の撓みを非接触状態で防止することができ、長尺の振動板を使用して物体を浮揚状態で搬送する際、振動板の長さを長くしても振動板の撓みを抑制して物体を安定した浮揚状態で搬送することができる。また、振動板が長くなると、浮揚すべき物体がない状態で振動板が励振された際、振動板が物体浮揚に用いる周波数である基本周波数とは異なる周波数で大きく振動する可能性がある。しかし、前記反射面を設けることにより、前記異常な振動を防止することができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記音波反射手段は、前記反射面が前記振動板に対して、振動板を励振させる振動子が対応する面と反対側の面に対向するように設けられている。この発明では、物体は従来の音波浮揚装置と異なり、振動板を励振させる振動子と対応する面から放射される音波の放射圧によって浮揚される。従来の音波浮揚装置では、物体は振動板を励振させる振動子と対応する面と反対側において浮揚される。そして、振動子は一般にホーンを介して振動板に固定されており、物体を搬送する振動板の配置される位置は、最低でも振動子及びホーンの長さの合計より高い位置となる。しかし、この発明では、物体は振動子と対応する面側において浮揚されるため、振動板の位置を従来より低くすることも可能になる。
【００１０】
第２の目的を達成するため、請求項３に記載の発明では、長尺の振動板を励振手段で励振させて、振動板からの音波の放射圧により物体を浮揚状態で搬送する音波浮揚搬送装置が直列に複数配置され、前記音波浮揚搬送装置間で物体を浮揚状態で移載可能な音波浮揚装置である。そして、前記音波を反射させる反射面を備えた音波反射手段が、少なくとも前記音波浮揚搬送装置間の物体の移載箇所と対応する位置に設けられている。
【００１１】
複数の音波浮揚搬送装置を直列に配置して物体を搬送する場合は、浮揚状態の物体が一方の音波浮揚搬送装置の振動板上から他方の音波浮揚搬送装置の振動板上へ乗り移るのを（移載するのを）円滑に行うために、両音波浮揚搬送装置のアライメントの調整を精度良く行う必要がある。この発明では、前記両音波浮揚搬送装置間の乗り継ぎ部となる箇所（移載箇所）に対応する位置に音波反射手段が設けられているため、両音波浮揚搬送装置の振動板の励振状態においてその端部の振幅を同じ状態に保持することができる。従って、隣接する音波浮揚搬送装置間におけるアライメント調整が容易になる。
【００１２】
請求項４に記載の発明では、請求項３に記載の発明において、前記音波反射手段は、前記振動板の中間部にも設けられている。この発明では、請求項１及び請求項３に記載の発明の作用効果を奏する。
【００１３】
請求項５に記載の発明では、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記反射面は前記振動板の長さ方向に、前記振動板から発する音波の波長の１波長以上の長さを有する。従って、この発明では、反射面の位置が振動板の長手方向においてどの位置に配置されても、反射面から音波の腹の部分が必ず反射される状態となる。反射面から音波の節の部分やその近傍の部分のみが反射された場合には、振動板に対して作用する圧力が小さいが、腹の部分が反射された場合には、反射波が振動板に対して大きな圧力を作用させる。その結果、反射面の長さが１波長より短い場合に比較して、音波反射手段の配設位置の自由度が高くなる。
【００１４】
請求項６に記載の発明では、請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の発明において、前記反射面は高さ調整可能に設けられている。この発明では、反射面の高さ即ち、振動板との距離を調整することにより振動板の撓み量を調整することができる。
【００１５】
請求項７に記載の発明では、請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の発明において、前記音波反射手段は、前記反射面と前記振動板とのギャップを保つギャップ保持手段を備えている。音波反射手段の配置間隔（設置ピッチ）が大きい場合（例えば、振動板の振動波長の１０波長以上の場合）、振動板が大きく撓んだ時に振動板が前記反射面に接触する可能性がある。しかし、この発明では、反射面と前記振動板とのギャップを保つギャップ保持手段を備えているため、振動板が反射面に近づくように撓んでも、振動板と反射面とのギャップが保持され、振動板と反射面との接触が防止される。
【００１６】
請求項８に記載の発明では、請求項７に記載の発明において、前記ギャップ保持手段は、前記反射面を備えた反射部材が可撓性の板材で形成されることにより構成されている。従って、この発明では、振動板が撓むと反射部材もそれに対応して撓むことにより、振動板と反射面とのギャップが保持される。
【００１７】
請求項９に記載の発明では、請求項８に記載の発明において、前記反射部材は前記振動板より弾性率が小さな材質で形成されている。この発明では、振動板の撓みに対応して振動板とのギャップを保持する状態に撓む反射部材の形成が容易になる。
【００１８】
請求項１０に記載の発明では、請求項７〜請求項９のいずれか一項に記載の発明において、前記ギャップ保持手段は、前記振動板と前記反射面とのギャップを保つために前記反射面を備えた反射部材が傾動可能に構成されている。この発明では、振動板が撓むと反射部材がそれに対応して傾動することにより、振動板と反射面とのギャップが保持される。このとき、反射部材の傾動に加えて、反射部材が撓む構成であれば、ギャップがより確実に保持される。
【００１９】
請求項１１に記載の発明では、請求項７〜請求項９のいずれか一項に記載の発明において、前記反射部材は支柱に支持されており、前記支柱は前記振動板と前記反射面とのギャップを保つために傾動可能に構成されている。この発明では、振動板が撓むと支柱が傾動することにより、振動板と反射面とのギャップが保持される。このとき、支柱の傾動に加えて、反射部材が撓む構成であれば、ギャップがより確実に保持される。
【００２０】
請求項１２に記載の発明では、請求項７に記載の発明において、前記ギャップ保持手段は、前記反射面を備えた反射部材の支持部を弾性部材を介して支持するように構成されている。ここで、「弾性部材」とは、例えば、ばね、ゴム等を意味する。この発明では、振動板から反射面に対して大きな力が作用した場合、弾性部材により衝撃が吸収される。
【００２１】
請求項１３に記載の発明では、請求項１〜請求項１２のいずれか一項に記載の発明において、前記音波反射手段は前記反射面に作用する圧力が所定圧力以上になったか否かを検出可能な圧力検出手段を備えている。この発明では、音波浮揚装置の物体に対する浮揚力が所定の値を超えたことを検出できる。従って、所定圧力を適正な圧力に設定することにより、例えば異常発生の検出に利用できる。
【００２２】
請求項１４に記載の発明では、請求項１３に記載の発明において、前記圧力検出手段は前記反射面に作用する圧力変化を連続的に検出可能に構成されている。この発明では、音波浮揚装置の物体に対する実際の浮揚力を常にモニタすることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、長尺の振動板を使用して物体を浮揚状態で搬送する際、振動板の長さを長くしても振動板の撓みを抑制して物体を安定した浮揚状態で搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
（第１の実施形態）
以下、本発明を具体化した第１の実施形態を図１〜図３に従って説明する。図１（ａ）は音波浮揚装置の模式斜視図、（ｂ）は音波浮揚ユニットの模式側面図、図２（ａ）は音波反射手段の模式斜視図、（ｂ）は振動子の固定状態を示す模式図、図３（ａ），（ｂ）は作用を示す模式図である。
【００２５】
図１（ａ），（ｂ）に示すように、音波浮揚装置としての物体浮揚搬送装置１１は、複数（この実施形態では２基）の音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂを備えている。音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂは、支柱１３に支持された支持プレート１４上に設けられている。各音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂは、励振手段で励振される振動板１５を備えている。振動板１５は、浮揚状態で搬送すべき物体１６の幅より狭い幅の矩形平板状に形成されるとともに互いに平行に配設され、浮揚状態で搬送すべき物体１６を共同して浮揚保持可能になっている。物体１６は、例えば液晶パネルのガラス基板のように薄い板状の物体である。振動板１５は長尺に形成されている。長尺とは振動板１５が振動する際の波長の１０倍以上の長さを意味する。
【００２６】
各振動板１５は、２個の支持部としてのホーン１７ａ，１７ｂで支持されている。ホーン１７ａ，１７ｂは偏平なほぼ直方体状に形成され、その先端においてねじ１８により各振動板１５に対して締結されている。ホーン１７ａ，１７ｂは各振動板１５に対してその長手方向端部近傍において長手方向と直交する状態で取付けられている。振動板１５の両端部は自由端になっている。
【００２７】
各ホーン１７ａ，１７ｂは振動板１５が締結される面の反対側の面において振動子１９に固定されている。ホーン１７ａ，１７ｂの先端面は振動子１９の軸方向と直交する平面に形成され、ホーン１７ａ，１７ｂ及び振動子１９の中心軸が鉛直方向に延びる状態で配置されている。
【００２８】
振動子１９には所謂ランジュバン形振動子が使用され、一対のリング状のピエゾ素子２０ａ，２０ｂと、ピエゾ素子２０ａ，２０ｂ間に配置されたリング状の電極板２１と、ピエゾ素子２０ａ，２０ｂの外側面と当接する位置に配置された金属ブロック２２ａ，２２ｂとを、図示しないボルトによって締め付け固定することにより構成されている。ボルトは金属ブロック２２ａに形成された図示しないねじ穴に、金属ブロック２２ｂ側から螺合されている。両金属ブロック２２ａ，２２ｂはボルトを介して互いに導通された状態となっている。金属ブロック２２ａの上端にはフランジ２３（図１（ｂ）に図示）が形成され、金属ブロック２２ａは支持プレート１４に形成された孔に嵌合された状態でボルト２４により該支持プレート１４に固定されている。なお、支持プレート１４とフランジ２３との間には必要に応じてシム２３ａ（図２（ｂ）に図示）が介装される。
【００２９】
振動板１５の第１端部に締結されたホーン１７ａを励振させる振動子１９は発振器２６に接続されている。電極板２１は配線２５ａを介して発振器２６と接続され、発振器２６の接地端子が配線２５ｂを介して金属ブロック２２ｂに接続されている。振動板１５の第２端部に締結されたホーン１７ｂを励振させる振動子１９は発振器２６に接続されず、抵抗Ｒ及びコイルＬからなるエネルギー変換手段としての負荷回路２７に接続されている。振動子１９と負荷回路２７とを接続する配線の途中にスイッチ２７ａが設けられている。
【００３０】
ホーン１７ａ，１７ｂ、振動子１９、発振器２６及び負荷回路２７により各振動板１５を励振させる励振手段が構成されている。発振器２６及びスイッチ２７ａは、図示しない制御装置からの制御信号により例えば縞状モードで駆動される。この実施形態では、スイッチ２７ａのオン状態で振動板１５が進行波を発生するように励振され、スイッチ２７ａのオフ状態で振動板１５が定在波を発生するように励振される。なお、図１（ａ）においては、図示の都合上、第２端部側の振動子１９及び負荷回路２７、フランジ２３、ボルト２４の図示を省略している。
【００３１】
支持プレート１４上には、振動板１５の励振時に振動板１５から発する音波を反射させる音波反射手段２８が設けられている。図２（ａ）に示すように、音波反射手段２８は、ベースプレート２９と、支持部としての支柱３０と、反射面３１ａを備えた反射部材としての反射板３１とを備え、前記音波を振動板１５に向けて反射させて振動板１５の撓みを抑制可能な位置に設けられている。この実施形態では反射板３１が振動板１５の中央と対向する位置に設けられている。反射板３１は矩形状に形成され、反射面３１ａが両音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂを構成する複数の振動板１５と直交するように設けられている。
【００３２】
反射板３１は上面の幅方向の両側が円弧状に面取りされている。ただし面取りは図２（ａ）を除いて図示を省略する。反射面３１ａは、振動板１５の長さ方向に、振動板１５から発する音波の波長の１波長以上の長さを有するのが好ましく、この実施形態では前記長さ、即ち幅がほぼ１００ｍｍに形成されている。
【００３３】
前記反射面３１ａは高さ調整可能に設けられている。この実施形態では、図２（ａ）に示すように、支柱３０は下側部３０ａと、上側部３０ｂとで構成され、下側部３０ａはその両端に雄ねじ部３０ｃが形成されている。上側部３０ｂの下端には雄ねじ部３０ｃと螺合する雌ねじ部が形成され、ベースプレート２９にも雄ねじ部３０ｃと螺合する雌ねじ部が形成されている。両雄ねじ部３０ｃはねじの向きが互いに逆向きに形成され、下側部３０ａを一方向に回転させることにより両雄ねじ部３０ｃが雌ねじ部に螺入され、他方向に回転させることにより両雄ねじ部３０ｃと雌ねじ部との螺合量が減少するようになっている。従って、反射板３１を振動板１５と直交する状態で下側部３０ａを回転させることにより、反射板３１の高さ、即ち反射面３１ａの高さが調整されるようになっている。
【００３４】
次に前記のように構成された装置の作用を説明する。
ホーン１７ａ，１７ｂの締結された振動子１９が所定の共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ前後）で励振され、ホーン１７ａ，１７ｂを介して振動板１５が励振されて撓み振動を行う。振動板１５から発生（放射）された音波の放射圧によって、物体１６は振動板１５の表面から浮揚する。
【００３５】
振動板１５の振動はホーン１７ｂから負荷回路２７に接続された振動子１９に伝達され、負荷回路２７に接続された振動子１９を構成するピエゾ素子２０ａ，２０ｂにより機械エネルギーである振動のエネルギーが電気エネルギーに変換される。スイッチ２７ａがオン状態の時に振動板１５を励振させると、この電気エネルギーが負荷回路２７の抵抗Ｒでジュール熱に変換されて放散される。そのため、各振動板１５に生じる振動の波が一方向へ進む進行波（この実施の形態ではホーン１７ａ側からホーン１７ｂ側へ進む進行波）となり、物体１６は振動板１５の第１端部側から第２端部側へ浮揚状態で搬送される。また、スイッチ２７ａがオフ状態の時に振動板１５を励振させると、振動板１５に定在波が発生し、物体１６は一定位置に浮揚状態で保持される。
【００３６】
１台の物体浮揚搬送装置１１で物体１６の搬送距離を長くするには、各振動板１５を長く（長尺に）する必要がある。しかし、従来装置のように振動板１５を２箇所で支持して振動させる構成では、撓み防止装置がないと図１（ｂ）に鎖線で示すように振動板が大きく撓み、物体１６を安定した状態で搬送するのが難しい。しかし、この実施形態では振動板１５の振動により振動板１５から発した音波が、反射板３１の反射面３１ａで振動板１５に向けて反射される。そして、反射面３１ａから反射された音波の放射圧によって振動板１５の撓みが非接触状態で防止される。
【００３７】
また、振動板１５が長くなると、浮揚すべき物体１６がない状態で振動板１５が励振された際、振動板１５が物体１６の浮揚に用いる周波数である基本周波数とは異なる周波数で大きく振動する可能性がある。しかし、反射面３１ａを設けることにより、前記異常な振動が生じるのを防止することができる。
【００３８】
反射面３１ａから反射される音波の放射圧が振動板１５に有効に作用して前記効果を奏するためには、反射面３１ａから音波の腹の部分が反射される必要がある。反射面３１ａの幅が前記波長の半波長程度の場合は、図３（ｂ）に示すように、反射面３１ａの中央が音波の腹の部分と対向する位置に配置する必要がある。振動板１５から定在波のみ放射される場合は、反射面３１ａから音波の腹の部分が反射されるが、進行波が放射される場合は反射面３１ａから音波の腹の部分が反射されない状態になる場合もある。
【００３９】
しかし、この実施形態では、反射面３１ａの振動板１５の長手方向に対応する長さが振動板１５から発する音波の波長の１波長以上有る。従って、反射面３１ａの位置が振動板１５の長手方向においてどの位置と対向する場合でも、音波が定在波、進行波のいずれであっても、反射面３１ａから音波の腹の部分が必ず反射される状態となる。
【００４０】
この実施形態では、幅の広い物体１６を搬送するため、支持プレート１４上に２基の音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂが併設されており、両音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂで共同して物体１６を浮揚状態で搬送する。その際、物体１６を安定した状態で浮揚搬送するには、両音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂの振動板１５が物体１６を水平状態に浮揚させて搬送するように、両音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂのアライメントの調整を行う必要がある。
【００４１】
この実施形態ではアライメント調整は、支持プレート１４上に両音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂを仮固定し、音波反射手段２８を反射板３１が両振動板１５と直交する状態で両振動板１５のほぼ中央と対応する位置に固定する。そして、金属ブロック２２ａを固定するボルト２４を弛めて、振動子１９が上下方向へ移動可能な状態で振動板１５を励振させる。そして、両音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂの振動板１５により物体１６が水平状態で所望の浮揚距離で浮揚されるように反射面３１ａの高さ調整を行う。その状態で、支持プレート１４の上面とフランジ２３との間にシムを介装した後、ボルト２４を締め付けて金属ブロック２２ａ、即ち振動子１９を固定する。従って、音波反射手段２８がない状態で各音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂを交互にシム調整を行う場合に比較して、アライメント調整を精度良く行うのが簡単になる。
【００４２】
この実施の形態では以下の効果を有する。
（１）  長尺の振動板１５を励振手段で励振させて、振動板１５からの音波の放射圧により物体１６を浮揚させる音波浮揚装置において、前記音波を反射させる反射面３１ａを備えた音波反射手段２８が、音波を振動板１５に向けて反射させて振動板１５の撓みを抑制可能な位置に設けられている。従って、従来の撓み防止装置と異なり、振動板１５の撓みを非接触状態で抑制することができ、長尺の振動板１５を使用して物体１６を浮揚状態で搬送する際、振動板１５の長さを長くしても振動板１５の撓みを抑制して物体１６を安定した浮揚状態で搬送することができる。励振時における振動板１５の撓みを非接触状態で防止するため、支持部と振動板１５との衝突の繰り返しによる異音の発生を防止できる。また、発塵を防止できるため、クリーンルーム等で使用するのに適している。また、浮揚すべき物体１６がない状態で振動板１５が物体１６の浮揚に用いる周波数である基本周波数とは異なる周波数で大きく振動する異常な振動を防止することができる。また、従来は、短い振動板を備えた物体浮揚搬送装置を２台使用して搬送する距離でも、振動板１５を長くすることにより、１台の物体浮揚搬送装置１１で搬送することが可能となる。
【００４３】
（２）  振動板１５の励振時の撓み量を少なくできるため、振動板１５とホーン１７ａ，１７ｂとの接合部に作用する応力を緩和でき、安定した動作が可能となる。
（３）  反射面３１ａが振動板１５のほぼ中央と対応する位置に配置されているため、振動板１５の撓みを効率よく防止することができる。
【００４４】
（４）  反射面３１ａは振動板１５の長さ方向に、振動板１５から発する音波の波長の１波長以上の長さを有する。従って、反射面３１ａの位置が振動板１５の長手方向においてどの位置に配置されても、反射面３１ａから音波の腹の部分が必ず反射される状態となり、反射面３１ａの長さが１波長より短い場合に比較して、音波反射手段２８の配設位置の自由度が高くなる。
【００４５】
（５）  反射面３１ａは高さ調整可能に設けられている。従って、反射面３１ａの高さ即ち、反射面３１ａと振動板１５との距離を調整することにより振動板１５の撓み量を調整することができる。また、振動板１５がほぼ水平となるように反射面３１ａの高さ調整を行うことにより、物体１６の浮揚距離をほぼ一定にできる。また、振動板１５の励振時の撓み量を小さくできる。
【００４６】
（６）  複数（この実施形態では２個）の振動板１５が平行に設けられ、それらの振動板１５が共同で物体１６を浮揚保持するため、幅の広い（例えば、幅が１ｍ以上）物体１６でも、安定した浮揚状態で搬送することができる。
【００４７】
（７）  音波反射手段２８の反射面３１ａが複数の振動板１５と交差（この実施形態では直交）するように設けられているため、各振動板１５を励振状態でアライメント調整を行うことにより、精度の良いアライメント調整を簡単に行うことができる。
【００４８】
（８）  振動板１５から進行波を発生させて物体１６を浮揚状態で搬送する構成のため、浮揚状態の物体１６に推力を付与させる推進力付与手段を別に設ける必要がなく、構成が簡単になる。
【００４９】
（９）  振動板１５から進行波を発生させる状態と、定在波を発生する状態とに切換可能に構成されている。従って、振動板１５から定在波を発生する状態に切り換えることにより、物体１６を浮揚状態で一定位置に保持することができる。
【００５０】
（１０）  反射板３１は上面の幅方向の両側が円弧状に面取りされている。従って、振動板１５が反射面３１ａと接触している非励振状態から振動板１５の励振開始時に、振動板１５と反射面３１ａとの衝突による異音の発生を抑制することができる。
【００５１】
（第２の実施形態）
次に第２の実施形態を図４（ａ），（ｂ）に従って説明する。この実施形態の音波浮揚装置は、長尺の振動板１５を励振手段で励振させて、振動板１５からの音波の放射圧により物体１６を浮揚状態で搬送する音波浮揚搬送装置が直列に複数配置され、前記音波浮揚搬送装置間で物体１６を浮揚状態で移載可能な音波浮揚装置である。そして、反射面３１ａを備えた音波反射手段２８が、少なくとも前記音波浮揚搬送装置間の物体１６の移載箇所と対応する位置に設けられている。前記第１の実施形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略する。図４（ａ）は物体浮揚搬送装置の模式側面図、（ｂ）は（ａ）の部分詳細図である。なお、支柱３０の雄ねじ部３０ｃ等の図示を省略している。
【００５２】
図４（ａ）に示すように、音波浮揚装置としての物体浮揚搬送装置４１は、音波浮揚搬送装置４２が直列に複数（この実施形態では２台）配置されている。各音波浮揚搬送装置４２は第１の実施形態の物体浮揚搬送装置１１と同じに構成されている。つまり、各音波浮揚搬送装置４２は複数の音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂが平行に配置されている。音波浮揚ユニット１２ｂは音波浮揚ユニット１２ａに対して図４（ａ）における裏面側に配置されている。音波反射手段２８は、音波浮揚搬送装置４２間の物体１６の移載箇所と対応する位置と、各音波浮揚搬送装置４２の振動板１５のほぼ中央と対応する位置とに設けられている。
【００５３】
各音波反射手段２８は、それぞれ平行に配置された両音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂの振動板１５に共用されるように構成されている。
物体１６の移載箇所と対応する位置に配置された音波反射手段２８の反射板３１の上面には、図４（ｂ）に示すように、各振動板１５から放射された音波の一部を反射板３１の幅方向の中央上方に向けて効率よく反射するように凹部３１ｂが形成されている。即ち、反射面３１ａは平面ではなく、一部に凹面を備えている。
【００５４】
直列に配置された各の振動板１５の間隔は、物体１６の移載箇所と対応する位置に配置された反射面３１ａから反射された音波が振動板１５の隙間から上方へ進み易くなるように設定されている。
【００５５】
この実施形態の物体浮揚搬送装置４１において各音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂのアライメント調整を行う場合は、２台ある音波浮揚搬送装置４２の内の一方（例えば、図４（ａ）における左側）の音波浮揚搬送装置４２のアライメント調整が先ず行われる。具体的には、前記第１の実施形態の場合と同様に、振動子１９が上下方向へ移動可能な状態で振動板１５を励振させ、両音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂの振動板１５により物体１６が水平状態で所望の浮揚距離で浮揚されるように反射面３１ａの高さ調整を行う。
【００５６】
次に他方の音波浮揚搬送装置４２のアライメント調整が行われる。この調整は、当該音波浮揚搬送装置４２の音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂの振動子１９が上下方向へ移動可能な状態で振動板１５が励振される。そして、両音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂの振動板１５により物体１６が水平状態で所望の浮揚距離で浮揚されるように、振動板１５の中央に配置された音波反射手段２８の反射面３１ａの高さ調整が行われる。また、移載箇所と対応する位置に配置された音波反射手段２８の反射面３１ａの高さ調整が行われる。両音波反射手段２８の反射面３１ａの高さ調整が行われた状態で、支持プレート１４の上面とフランジ２３との間にシムを介装した後、ボルト２４が締め付けられて金属ブロック２２ａ、即ち振動子１９が固定される。
【００５７】
従って、両音波浮揚搬送装置４２間の物体１６の移載箇所と対応する位置に音波反射手段２８がない状態で、各音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂのアライメント調整を行う場合に比較して、アライメント調整を精度良く行うのが簡単になる。
【００５８】
次に前記のように構成された装置の作用を説明する。
この実施形態の物体浮揚搬送装置４１は、２基の音波浮揚搬送装置４２が同時に駆動され、各音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂの振動板１５が同じ振動状態となるように、ホーン１７ａに締結された振動子１９が所定の共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ前後）で励振される。そして、負荷回路２７の作用により各振動板１５に生じる振動の波が一方向へ進む進行波（この実施形態ではホーン１７ａ側からホーン１７ｂ側へ進む進行波）となり、物体１６は振動板１５の一端側から他端側へ浮揚状態で搬送される。
【００５９】
両音波浮揚搬送装置４２間の物体１６の移載箇所と対応する位置に反射面３１ａが配置されているため、振動板１５から放射された音波の一部が反射面３１ａで反射されて、振動板１５の間から上方へ放射される。従って、反射面３１ａが存在しない場合に比較して、物体１６が一方の振動板１５から他方の振動板１５へと移載される物体１６に作用する浮揚力が増大するため、物体１６の端部が振動板１５の端部と干渉せずに一方の振動板１５から他方の振動板１５への移載（乗継ぎ）が円滑に行われる。
【００６０】
この実施形態では前記第１の実施形態の（１）〜（１０）と同様な効果を有する他に、次の効果を有する。
（１１）  物体１６の浮揚搬送距離を長くするため、複数の音波浮揚搬送装置４２を直列に配置して物体浮揚搬送装置４１が構成されているが、音波浮揚搬送装置４２間の物体１６の移載箇所と対応する位置に反射面３１ａが配置されている。従って、振動子１９が上下方向に移動可能な状態で両音波浮揚搬送装置４２の振動板１５の励振状態において、反射面３１ａの作用により両振動板１５の端部の振幅を同じ状態に保持することができる。この状態を利用することにより、隣接する音波浮揚搬送装置４２の各音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂのアライメント調整が容易になる。
【００６１】
（１２）  直列に配置された複数の音波浮揚搬送装置４２の物体１６の移載箇所と対応する位置に反射面３１ａが配置され、反射面３１ａで反射した音波が振動板１５の間から上方へ放射される。従って、移載箇所において移載される物体１６に作用する浮揚力が増大するため、物体１６の端部が振動板１５の端部と干渉せずに一方の振動板１５から他方の振動板１５への移載（乗継ぎ）が円滑に行われる。
【００６２】
（第３の実施形態）
次に第３の実施形態を図５（ａ），（ｂ）に従って説明する。この実施形態では、反射板３１の反射面３１ａと振動板１５とのギャップを保つギャップ保持手段を備えている点が前記第１の実施形態と異なっている。第１の実施形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略し、異なる点について説明する。図５（ａ）は音波浮揚装置としての物体浮揚搬送装置の模式側面図、図５（ｂ）は作用を説明する部分模式側面図である。
【００６３】
振動板１５が長くなり、音波反射手段２８の配置間隔（設置ピッチ）が大きい場合、振動板１５が大きく撓んだ時に振動板１５が反射面３１ａに接触する可能性がある。ここで、「配置間隔（設置ピッチ）が大きい」とは、前記ピッチが振動板１５の振動波長の１０波長以上の場合を意味する。この実施形態では、振動板１５が反射面３１ａに近づくように撓んでも、振動板１５と反射面３１ａとのギャップを保持するギャップ保持手段が設けられている。
【００６４】
図５（ａ），（ｂ）に示すように、物体浮揚搬送装置１１は、２個のホーン１７ａ，１７ｂ間に複数（例えば２個）の音波反射手段２８が設けられている。支柱３０は、両端にねじ部が形成され、下端がベースプレート２９に螺着されている。反射部材としての反射板３１は下面にナット３１ｃが固着され、ナット３１ｃが支柱３０の上端に螺着されて支柱３０に固定されている。反射板３１は可撓性の板材で構成されている。反射板３１は、振動板１５より弾性率が小さな材質で形成されている。例えば、振動板１５の材質にアルミニウム合金が用いられ、反射板３１の材質に樹脂が用いられている。反射板３１は弾性変形する範囲で使用される。反射板３１が可撓性の板材で構成されることにより、ギャップ保持手段が構成されている。反射板３１は直径が振動板１５の幅より小さな（例えば、８割程度の）円形に形成されている。反射板３１は上側の周縁部が円弧状に面取りされている。
【００６５】
図５（ａ）に実線で示すように、物体１６が反射板３１の中心と対応する位置に存在する状態では、振動板１５の励振時に振動板１５から発する音波が、反射板３１に対してほぼ均等に放射される。そして、振動板１５と反射板３１との間隔（ギャップ）も確実に保持される。この状態から物体１６が反射板３１の中心と対応する位置から外れた位置へ移動して、図５（ｂ）に示すように、両反射板３１の間に移動した状態では、反射板３１に対する振動板１５の撓み量が振動板１５の長手方向において不均等になり、物体１６側の方が撓み量が大きくなる。この状態において、反射板３１が剛体で可撓性を有しない場合は、振動板１５が反射板３１の物体１６に近い側の端部上面、即ち反射面３１ａの端部と接触する状態となる。しかし、この実施形態では反射板３１が可撓性を有するように構成されているため、振動板１５が反射面３１ａに近づくように撓むと、振動板１５から発する音波の作用により反射板３１が撓む。従って、振動板１５が反射面３１ａに近づくように撓んでも、振動板１５と反射面３１ａとのギャップが保持され、振動板１５と反射面３１ａとの接触が防止される。反射板３１の撓み量は支柱３０と対応する部分で零、支柱３０を挟んで物体１６側の撓みが反対側の撓みより大きくなる。なお、撓み量はｍｍ以下である。
【００６６】
この実施形態では、前記第１の実施形態の（１），（２），（４）〜（６），（８）〜（１０）と同様な効果を有する他に、次の効果を有する。
（１３）  音波反射手段２８は、反射面３１ａと振動板１５とのギャップを保つギャップ保持手段を備えている。従って、振動板１５が反射面３１ａに近づくように撓んでも、振動板１５と反射面３１ａとのギャップが保持され、振動板１５と反射面３１ａとの接触が防止される。その結果、振動板１５と反射板３１との接触による発塵や異音の発生を防止できる。
【００６７】
（１４）  前記ギャップ保持手段は、反射板３１（反射部材）が可撓性の板材で構成されている。従って、振動板１５が撓むと反射板３１もそれに対応して撓むという簡単な構成で振動板１５と反射面３１ａとのギャップを保持することができる。
【００６８】
（１５）  反射板３１は振動板１５より弾性率が小さな材質で形成されている。従って、振動板１５の撓みに対応して振動板１５とのギャップを保持する状態に撓む反射板３１の形成が容易になる。
【００６９】
（１６）  反射板３１は樹脂製のため振動板１５の撓みに対応して振動板１５とのギャップを保持する状態に撓む反射板３１の材料を入手し易く、また他の材料に比較して軽量化が容易になる。
【００７０】
（第４の実施形態）
次に第４の実施形態を図６に従って説明する。この実施形態では、振動板１５の振動子１９と対応する側で物体１６を浮揚させる点が第１の実施形態と大きく異なっている。また、それに対応して音波反射手段２８の反射面３１ａの位置が振動板１５の下方となっている点が前記第１の実施形態と異なっている。第１の実施形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略する。図６は音波浮揚装置としての物体浮揚搬送装置の模式側面図である。
【００７１】
図６に示すように、物体浮揚搬送装置５１は支持プレート１４に対してホーン１７ａ，１７ｂが下側に、振動子１９が上側に配置される状態で振動子１９が支持プレート１４に固定されている。振動板１５はホーン１７ａ，１７ｂの下端に固定されている。
【００７２】
音波反射手段２８は振動板１５の下方において振動板１５のほぼ中央と対応する位置に配置されている。即ち、音波反射手段２８は、反射面３１ａが振動板１５に対して振動板１５を励振させる振動子１９と対応する面と反対側の面と対向するように設けられている。
【００７３】
この実施形態では、物体１６は従来の音波浮揚装置と異なり、振動板１５を励振させる振動子１９と対応する面から放射される音波の放射圧によって浮揚され、浮揚状態で搬送される。従って、その搬送範囲は両ホーン１７ａ，１７ｂの間の範囲となる。
【００７４】
この実施の形態では、前記第１の実施形態の（１）〜（１０）と同様な効果を有する他に、次の効果を有する。
（１７）  第１の実施形態のように、振動子１９が振動板１５の下方に配置された構成では、振動板１５が配置される位置は、最低でも振動子１９及びホーン１７ａ，１７ｂの長さ（高さ）の合計より高い位置となる。しかし、この実施形態の構成では、振動板１５の位置は振動板１５の下方に音波反射手段２８を配設するスペースがあればよい。従って、振動子１９が振動板１５より下方に配置される構成に比較して、振動板１５の位置を低くすることができる。
【００７５】
実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば次のように構成してもよい。
○  ギャップ保持手段は、反射板３１を可撓性にする構成に限らない。例えば、反射板３１が剛体で形成され、反射板３１を支持する支柱３０が、振動板１５と反射面３１ａとのギャップを保つために傾動可能に構成されていてもよい。支柱３０を傾動位置と垂直位置とに保持する構成としては、図７（ａ），（ｂ）に示すように、支柱３０の下端に円板状の係止部３８を突設し、二つ割りに形成されたベースプレート２９ａ，２９ｂに係止部３８と係合可能な規制溝３９を形成する。規制溝３９は、下側が水平に形成されるとともに上側が支柱３０に近づくに従って下側との距離が拡がる斜状に形成されている。そして、反射面３１ａに対して垂直方向からほぼ均等に振動板１５から発する音波を受ける状態では、支柱３０がベースプレート２９ａ，２９ｂに対して垂直状態に保持され、図７（ａ）の状態となる。反射面３１ａに対して振動板１５から発する音波が不均等に作用する場合は、作用力が強い方が下方に移動するように支柱３０が傾動して傾動位置に保持され、図７（ｂ）の状態となる。支柱３０が傾動すると、反射板３１は支柱３０を挟んだ片側が低くなるが、他方の側は高くなる。従って、傾動量は、支柱３０の傾動に伴って反射板３１の高くなった部分が振動板１５と接触しない値に設定されている。この場合、物体１６が支柱３０の間に存在し、図７（ｂ）に示すように、振動板１５が撓んで反射板３１に対して傾斜した状態で近づくと、支柱３０が傾動することにより、振動板１５と反射面３１ａとのギャップが保持される。
【００７６】
○  支柱３０を傾動位置と垂直位置とに保持させる構成として、係止部３８と前記規制溝３９との組み合わせに代えて、支柱３０の下端に雄ねじ部を形成するとともに、ベースプレート２９に支柱３０の雄ねじ部が螺合される雌ねじ部をバックラッシが大きな状態で形成してもよい。この場合、バックラッシの隙間により支柱３０の傾斜角度が規制される。
【００７７】
○  支柱３０を傾動させて反射面３１ａを傾斜させる構成は、前記の構成に限らず、支柱３０全体をゴム等の弾性部材で形成したり、支柱３０の一部、例えば上端部、中間部、下端部等を弾性部材で形成したりしてもよい。この場合、規制溝３９やねじのバックラッシを利用する構成に比較して、構造が簡単になる。
【００７８】
○  支柱３０を傾動可能にする構成に加えて、第３の実施形態のように反射部材（反射板３１）を可撓性に構成してもよい。この場合、振動板１５と反射面３１ａとのギャップがより確実に保持される。
【００７９】
○  ギャップ保持手段は、支柱３０が傾動せずに反射板３１を傾動可能な構成にしてもよい。例えば、反射板３１を単純な１枚構造ではなく、図８（ａ）に示すように、可撓性を有さない材質製の２枚の板材３１ｄの間にゴム製の板材３１ｅを介在させた構成や、図８（ｂ）に示すように、可撓性を有さない材質製の２枚の板材３１ｄの間にゴム製の柱状材３１ｆを介在させた構成としてもよい。これらの構成では、支柱３０は常に垂直状態に保持され、反射面３１ａに対して垂直方向からほぼ均等に振動板１５から発する音波を受ける状態では、反射面３１ａは水平状態に保持される。また、反射面３１ａに対して振動板１５から発する音波が不均等に作用する場合は、作用力が強い方が下方に移動するよう上側の板材３１ｄが傾動して反射面３１ａが振動板１５の対向する部分と平行になり、振動板１５と反射面３１ａとが接触しない値にギャップが保持される。
【００８０】
○  反射板３１を傾動可能な構成とするギャップ保持手段は、支柱３０を設けずに、反射板３１（反射部材）を直接ゴム製の板材３１ｅやブロックを介してベースプレート２９や支持プレート１４上に支持したり、ゴム製の柱状材３１ｆを介してベースプレート２９や支持プレート１４上に支持したりする構成としてもよい。
【００８１】
○  反射板３１を可撓性とする場合、反射板３１の厚さは一定に限らず、例えば、支柱３０から離れるに従って薄くなるように形成してもよい。
○  ギャップ保持手段は、第１の実施形態の構成に限らず、第２の実施形態のように、凹部３１ｂを備えた反射板３１に適用したり、第４の実施形態のように、振動板１５の振動子１９と対応する側で物体１６を浮揚させる構成の物体浮揚搬送装置５１に適用してもよい。
【００８２】
○  音波反射手段２８は、反射面３１ａに作用する圧力が所定圧力以上になったか否かを検出可能な圧力検出手段を備えていてもよい。圧力検出手段として、反射面３１ａに作用する圧力を連続的に検出可能な圧力センサを備えていてもよい。たとえば、図９（ａ）に示すように、支柱３０の下端とベースプレート２９との間に圧力検出手段としてロードセル３２を設ける。この場合、ロードセル３２の出力信号により、反射面３１ａに作用する圧力を連続的に検出することが可能になり、音波浮揚装置の物体１６に対する実際の浮揚力を常にモニタすることができる。従って、発振器２６からは正常に励振電圧が出力されているにも拘わらず、振動板１５の振動状態に異常がある場合などの検出が可能になる。
【００８３】
○  反射面３１ａに作用する圧力が所定圧力以上になったか否かを検出可能な圧力検出手段として、前記圧力が所定圧力以上になったか否かのみを検出可能な圧力検出手段を設けてもよい。例えば、図９（ｂ）に示すように、支柱３０を中空に構成し、反射板３１には支柱３０の中空部３３と対応する位置に孔３４を形成する。また、ベースプレート２９には対向する中空部３３と対応する位置に圧力スイッチ３５を設ける。この場合、振動板１５から放射される音波の放射圧が所定の圧力を超えると圧力スイッチ３５が作動される。この構成でも、音波浮揚装置の物体１６に対する浮揚力が所定の値を超えたことを検出できる。従って、所定圧力を適正な圧力に設定することにより、例えば異常発生の検出に利用できる。
【００８４】
○  振動板１５が複数平行に配置された場合、音波反射手段２８として反射板３１が複数の振動板１５で共用される構成に限らず、各振動板１５毎に独立した音波反射手段２８を設けてもよい。その際、反射板３１の形状は四角形に限らず、反射面３１ａから反射された音波の圧力が振動板１５に有効に作用する必要な面積を備えていれば、任意の形状にしてもよい。反射板３１の形状を円形にすると、反射面３１ａの振動板１５への投影像は常に同じ形状になり、反射面３１ａの高さ調整のために反射板３１を回動させる構成を採用しても、反射面３１ａから反射される音波の状態に影響を与えない。従って、支柱３０に雄ねじ部３０ｃを２箇所設けて、反射板３１を回動させずに支柱３０の一部を回動させて高さ調整する構成に代えて、図１０（ａ）に示すように、支柱３０に雄ねじ部を１箇所設けた構成を採用できる。この場合、高さ調整のための構造が簡単になる。また、この場合も反射面３１ａの端部を円弧状に面取りしてもよい。
【００８５】
○  反射板３１の高さ調整を手動操作で行う構成に代えて、電気シリンダ、リニアアクチュエータ等に反射板３１を支持して自動的に高さ調整可能な構成としてもよい。
○  音波反射手段２８は、反射板３１の高さ調整が不能であってもよい。
【００８６】
○  音波反射手段２８として、反射板３１の支持部としての支柱３０が弾性部材を介して支持された構成としてもよい。例えば、図１０（ｂ）に示すように、ベースプレート２９に支持筒３６を設け、支持筒３６に支柱３０の下部が摺動可能に挿通された状態で支承するとともに、弾性部材としてばね３７を設ける。弾性部材としてゴムを使用してもよい。この場合、振動板１５から反射面３１ａに対して大きな力が作用した場合、弾性部材により衝撃が吸収される。
【００８７】
○  振動子１９を支持プレート１４に固定する場合、シム２３ａを設けずに、支持プレート１４とフランジ２３との間にゴムやばね等の弾性手段を介在させて、振動子１９が弾性手段の弾性範囲内で上下方向に移動可能に固定してもよい。この場合、複数の音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂのアライメント調整を行う際に、シム２３ａ調整を行う必要がなく、アライメント調整作業がより簡単になる。
【００８８】
○  振動板１５の撓み抑制用の音波反射手段２８の配設位置は、振動板１５のほぼ中央と対応する位置に限らない。また、１個の振動板１５に対して複数の音波反射手段２８を配置してもよい。複数配置する場合、振動板１５の中央に対して対称な位置に配置するのが好ましい。
【００８９】
○  音波浮揚搬送装置４２が直列に複数配置された構成において、音波浮揚搬送装置４２間の物体１６の移載箇所と対応する位置に設けられる音波反射手段２８は、反射板３１に凹部３１ｂを備えずに、図１１に示すように、反射面３１ａが平面であってもよい。反射面３１ａが平面でも反射面３１ａで反射した音波の一部が隣接する振動板１５の間から上方へ進み、移載途中の物体１６に放射圧が作用する。しかし、凹部３１ｂがあった方が効果が大きくなる。
【００９０】
○  音波浮揚搬送装置４２が直列に複数配置された構成において、音波浮揚搬送装置４２間の物体１６の移載箇所と対応する位置に設けられる音波反射手段２８は、反射面３１ａから反射する音波を物体１６の揚力を高めるためでなく、隣接する振動板１５の端部のアライメント調整を簡単にするために設けてもよい。例えば、隣接する振動板１５の端部間の隙間を小さくして、音波が上方へ進み難くする。
【００９１】
○  音波浮揚搬送装置４２が直列に複数配置された構成において、音波反射手段２８を音波浮揚搬送装置４２の物体１６の移載箇所と対応する位置にのみ設けてもよい。即ち、各音波浮揚ユニット１２ａ，１２ｂの振動板１５の中間部には音波反射手段２８を設けない。この場合でも物体１６の移載（乗継ぎ）を円滑に行うことができる。振動板１５の撓み抑制は他の方法で行う。
【００９２】
○  物体１６を進行波により浮揚状態で搬送する構成において、励振手段として進行波を発生する状態と、定在波を発生する状態とに切換え可能な構成に代えて、進行波のみ発生可能な構成とし、物体１６の移動を停止する際は振動板１５の励振を停止する構成としてもよい。
【００９３】
○  進行波を利用して物体１６を浮揚状態で搬送する構成において、各振動板１５の両端に設けられた振動子１９をそれぞれ発振器２６と負荷回路２７とに選択的に接続可能に構成する。この場合、発振器２６に接続された状態と、負荷回路２７に接続された状態との切換を行うことにより、物体１６の搬送方向を選択することができる。また、前記接続状態の切替を速く行うことにより、物体１６をほぼ一定位置に浮揚状態で保持することができる。
【００９４】
○  物体１６を浮揚状態で搬送する構成として、振動板１５で進行波を発生させる構成に代えて、振動板１５で定在波を発生させて物体１６を浮揚状態に保持し、その状態の物体１６に推進力を付与する推進力付与手段を設けてもよい。推進力付与手段としては、例えば物体１６に圧縮気体を吹き付けるノズルがある。この場合、進行波を発生させる構成に比較して、励振手段の構成が簡単になる。定在波を発生させる構成の場合、振動板１５の両側に振動子１９を設ける構成に代えて、振動板１５の一端にのみ振動子１９を設け、他端はホーンで支持する構成としてもよい。この場合、構造がより簡単になる。
【００９５】
○  振動板１５の数は２個に限らず、幅が広い物体１６を浮揚させる場合、振動板１５の間にさらに振動板を平行に配置してもよい。間に配置する振動板は必ずしも進行波を発生する構成とする必要はなく、定在波を発生する構成としてもよい。この場合、物体１６の重さによる物体１６自身の撓みが抑制され、物体１６を円滑に浮揚状態で搬送できる。
【００９６】
○  音波浮揚装置は、物体を完全に音波の放射圧だけで浮揚保持する構成に限らない。例えば、液晶パネルのガラス基板の場合、厚さが１ｍｍ以下で、幅が１ｍ以上の大きさのものを搬送する場合等において、幅方向両端をローラで支承するとともに、中央の弛みを防止して水平状態に保持するのに音波の放射圧を利用する音波浮揚装置に適用してもよい。
【００９７】
○  音波浮揚装置は、物体を水平状態で浮揚保持する構成に限らない。例えば、図１２に示すように、台車５２上に、物体１６の下端を移動可能に支承する支承部（ローラ）５３と、支承部５３に支承された物体１６に振動板１５の音波の放射圧を付与して、物体１６を非接触状態で傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置５４とを設けてもよい。物体浮揚装置５４を構成する振動子１９は、台車５２上に固定されたフレーム５５に固定され、音波反射手段２８もフレーム５５に支持されている。この場合、下端が支承部５３に支承されているため、厳密には浮揚状態ではないが、振動板１５に対しては物体１６は浮揚状態に保持されている。
【００９８】
○  音波浮揚装置は空気中に限らず水中での物体の浮揚搬送に使用してもよい。この場合、第４の実施形態のように、振動子１９が振動板１５の上方に設けられる構成であれば、振動子１９の防水処理が簡単になる。
【００９９】
○  音波浮揚装置として、振動板１５から発する音波の放射圧を物体の浮揚と、振動板１５の撓み抑制とに利用する構成に代えて、振動板１５から発する音波の放射圧を物体の浮揚と、音波浮揚装置自身の浮揚の両方に利用してもよい。例えば、第４の実施形態のように、振動板１５の上側に振動子１９が設けられた構成の音波浮揚装置において、振動板１５に定在波を発生する構成にするとともに、床面を音波反射手段２８とする。そして、振動子１９や発振器２６等が支持される支持プレート１４を支柱１３で支持せずにフリーの状態とする。この構成では、振動板１５の上面に物体１６が載置された状態で振動板１５が励振されると、振動板１５から放射される音波（定在波）の放射圧によって物体１６が振動板１５に対して浮揚状態で保持される。また、振動板１５の下方に放射される音波が床面で反射して振動板１５に押圧作用を与えるため、振動板１５が床面に対して非接触の状態に保持され、音波浮揚装置自身が床面から浮揚した状態に保持される。従って、音波浮揚装置に横方向への力を加えると、物体１６を浮揚状態で保持した音波浮揚装置を小さな力で移動させることができる。
【０１００】
○  複数の振動板１５で物体１６を浮揚保持する構成に代えて、１個の振動板で物体１６を浮揚保持する構成としてもよい。例えば、幅が狭い物体１６を浮揚搬送する場合は、振動板１５を１個としても安定して搬送できる。
【０１０１】
○  複数の振動子１９で発振器２６を共通にしてもよい。
○  ホーン１７ａ，１７ｂの形状は扁平な直方体状に限らず、円柱状やほぼ円錐台状等先端側が細くなった形状としてもよい。
【０１０２】
○  浮揚保持する物体１６の形状は四角形に限らず、三角形や他の多角形あるいは円形等任意の形状としてよい。
○  振動板１５のホーン１７ａ，１７ｂへの固定はねじ１８による締結に限らず、接着剤を使用したり、ロウ付けや溶接で固着したりしてもよい。
【０１０３】
○  振動子１９はランジュバン形振動子に限らず他の振動子を使用してもよい。
以下の技術的思想（発明）は前記実施形態から把握できる。
（１）  請求項１〜請求項１４のいずれか一項に記載の発明において、前記振動板は進行波を発生するように励振される。
【０１０４】
（２）  請求項１〜請求項１４のいずれか一項に記載の発明において、音波浮揚装置は前記振動板から定在波を発生するように構成され、浮揚状態の物体に推進力を与える推進力付与手段を備えている。
【０１０５】
（３）  請求項１〜請求項１４及び前記技術的思想（１），（２）のいずれか一項に記載の発明において、前記振動板は複数平行に設けられており、前記反射面は前記複数の振動板と交差するように設けられている。
【０１０６】
（４）  長尺の振動板を励振手段で励振させて、振動板からの音波の放射圧により物体を浮揚させる音波浮揚装置であって、前記振動板から発する音波の放射圧を前記振動板の上側に位置する物体の浮揚に利用するとともに、音波浮揚装置自身の浮揚に利用する音波浮揚装置。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】（ａ）は第１の実施形態の物体浮揚搬送装置の模式斜視図、（ｂ）は音波浮揚ユニットの模式側面図。
【図２】（ａ）は音波反射手段の模式斜視図、（ｂ）は振動子の固定状態を示す模式図。
【図３】（ａ），（ｂ）は作用を示す模式図。
【図４】（ａ）は第２の実施形態の物体浮揚搬送装置の模式側面図、（ｂ）は（ａ）の部分詳細図。
【図５】（ａ）は第３の実施形態の物体浮揚搬送装置の模式側面図、（ｂ）は作用を説明する部分模式側面図。
【図６】第４の実施形態の物体浮揚搬送装置の模式側面図。
【図７】（ａ），（ｂ）は別の実施形態のギャップ保持手段の模式側面図。
【図８】（ａ），（ｂ）は別の実施形態のギャップ保持手段の模式側面図。
【図９】（ａ），（ｂ）は圧力検出手段を備えた別の実施形態の音波反射手段の模式側面図。
【図１０】（ａ）は別の実施形態の音波反射手段の模式斜視図、（ｂ）は別の実施形態の音波反射手段の模式側面図。
【図１１】別の実施形態の音波反射手段の模式側面図。
【図１２】別の実施形態の物体浮揚搬送装置の模式斜視図。
【符号の説明】
【０１０８】
１１，４１，５１…音波浮揚装置としての物体浮揚搬送装置、１５…振動板、１６…物体、１７ａ，１７ｂ…励振手段を構成するホーン、１９…同じく振動子、２６…同じく発振器、２７…同じく負荷回路、２８…音波反射手段、３０…支柱、３１…反射部材としての反射板、３１ａ…反射面、３１ｄ，３１ｅ…ギャップ保持手段を構成する板材、３２…圧力検出手段としてのロードセル、３５…同じく圧力スイッチ、３７…弾性部材としてのばね、４２…音波浮揚搬送装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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