(57)【要約】【課題】  インクパック内の液状体の温度を制御することができるインクパック、インク温度調整装置、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】  液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドに供給されることとなる吐出用液状体（インク）を収容する可撓性の袋からなるインク袋部１０１と、インク袋１０１に収容されている吐出用液状体の温度を調整する温度調整手段とを有することを特徴とする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドに供給されることとなる吐出用液状体を収容する可撓性の袋からなるインク袋部と、
前記インク袋に収容されている吐出用液状体の温度を調整する温度調整手段とを有することを特徴とするインクパック。
【請求項２】
前記温度調整手段は、温度調整用の液状体を収容する少なくとも１つの可撓性の袋からなる温度調整用袋部からなり、
前記温度調整用袋部とインク袋部とは、密着部位を有して積層構造をなしていることを特徴とする請求項１に記載のインクパック。
【請求項３】
前記インク袋部は、少なくとも２つの前記温度調整用袋部によって挟まれていることを特徴とする請求項２に記載のインクパック。
【請求項４】
前記温度調整用袋部は、温度調整用の液状体が該温度調整用袋部に入いるときの入口となる入口部と、温度調整用の液状体が該温度調整用袋部から出るときの出口となる出口部とを有することを特徴とする請求項２又は３に記載のインクパック。
【請求項５】
前記インク袋部と温度調整用袋部とは、分離可能に取り付けられていることを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載のインクパック。
【請求項６】
前記インク袋部と温度調整用袋部とは、一体として形成されていることを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載のインクパック。
【請求項７】
前記インク袋部は、ガスバリア層を有する可撓性の袋からなることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のインクパック。
【請求項８】
前記インク袋部は、吐出用液状体が該インク袋部に入るときの入口となる入口部と、収容している吐出用液状体が該インク袋部から出るときの出口となる出口部とを有することを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のインクパック。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載のインクパックと、
前記温度調整手段の構成要素となる温度調整用の液状体について加熱又は冷却する温度調整装置と、
前記温度調整装置とインクパックとの間で前記温度調整用の液状体を循環させる管路とを有することを特徴とするインク温度調整装置。
【請求項１０】
前記インクパックに収容されている吐出用液状体の温度を検出する温度検出手段と、
前記温度検出手段の検出値に基づいて、前記温度調整装置における加熱又は冷却量と前記温度調整用の液状体の循環量とのうちの少なくとも一方を制御する温度制御手段とを有することを特徴とする請求項９に記載のインク温度調整装置。
【請求項１１】
前記インクパックの入口部と補充用管路を介して接続されているタンクであって吐出用液状体を収容するタンクと、
前記タンクに収容されている吐出用液状体を加圧して該吐出用液状体を前記インクパックへ移動させる加圧手段と、
前記インクパックに収容されている吐出用液状体の残量を検出する残量検出手段と、
前記残量検出手段の検出結果に基づいて前記加圧手段の加圧値を制御する制御手段とを有することを特徴とする請求項９又は１０に記載のインク温度調整装置。
【請求項１２】
請求項９から１１のいずれか一項に記載のインク温度調整装置を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクパック、インク温度調整装置、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、（インクジェットプリンタ又はインクジェットプロッタなどの）液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して、基板上の所望位置に所定量の液状体（インク）を配置する液滴吐出装置が考え出されている。液滴吐出装置は、インク供給源からチューブを介して液滴吐出ヘッドにインクを供給する構成が採られている。従来のインク供給源としては、ハードケースを必要とせずに、流通のためのケース収容時にデットスペースが生じ難いインク袋（インクパック）が考え出されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−９４６８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、近年においては、粘度の低いインクのみならず、潤滑油又は樹脂などを分散又は溶解した粘度の高いインクをも液滴吐出ヘッドから良好に吐出できる液滴吐出装置の実現が望まれている。一般に、常温では粘度の高いインクでも、加熱することにより粘度が下がる。
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載されている従来のインクパックでは、そのインクパックに収容しているインクの温度を制御することができないので、そのインクの粘度を調整することができない。したがって、従来のインクパックを備えた液滴吐出装置は、室温などにおいて粘度の高いインクを良好に吐出することができないという問題点がある。
また、液滴吐出装置で用いられるインクのなかには、高温又は低温を嫌うものがあり、保存する際に一定温度を維持しなければならないものがある。したがって、従来のインクパックのみでは、かかる高温又は低温を嫌うインクを保存できない場合が多々生じるという問題点もある。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、インクパック内の液状体（インク）の温度を制御することができるインクパック、インク温度調整装置、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、液滴吐出ヘッドから液状体が良好に吐出できるように、その液状体の温度を制御することができるインクパック、インク温度調整装置、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、液状体を良好に保存できるインクパック、インク温度調整装置、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のインクパックは、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドに供給されることとなる吐出用液状体（インク）を収容する可撓性の袋からなるインク袋部と、前記インク袋に収容されている吐出用液状体の温度を調整する温度調整手段とを有することを特徴とする。
本発明によれば、インク袋内の吐出用液状体の温度を調整できるので、例えば常温では高粘度の吐出用液状体について加熱して低粘度にすることができる。この低粘度となった吐出用液状体はチューブなどを介して液滴吐出ヘッドに送られることで、その液滴吐出ヘッドから良好に吐出されることとなる。また、本発明のインクパックは、吐出用液状体を外気に触れさせずに、温度調整して液滴吐出ヘッドに供給できるので、吐出用液状体に気泡が混入することなどによる液滴吐出ヘッドでの吐出不良を回避することができる。また本発明のインクパックは、高温又は低温を嫌う吐出用液状体について所望の温度を維持させることができるので、かかる吐出用液状体を高いエネルギー効率（電力効率）ですなわち低コストで良好に保存することができる。ここで、吐出用液状体の保存時と吐出時とでインクパック内での温度を変更してもよい。
【０００７】
また、本発明のインクパックは、前記温度調整手段が温度調整用の液状体を収容する少なくとも１つの可撓性の袋からなる温度調整用袋部からなり、前記温度調整用袋部とインク袋部とは、密着部位を有して積層構造をなしていることが好ましい。
本発明によれば、例えば外部の温度調整装置で温度調整用の液状体を加熱又は冷却し、その温度調整用の液状体を温度調整装置と温度調整用袋部との間で循環させることによりインク袋部内の吐出用液状体の温度を調整することができる。ここで、温度調整用袋部とインク袋部とは、積層されているので、広い面積に渡って良好に密着することができる。したがって、本発明のインクパックは、吐出用液状体の温度について精密にかつ高いエネルギー効率で調整することができる。また、本発明のインクパックは、温度調整用袋部とインク袋部とが可撓性の袋で構成されているので、充填されている吐出用液状体が減った場合でも温度調整用袋部とインク袋部とが良好に密着できて温調性能を維持でき、取扱いもし易く、収納もし易いものとなる。
【０００８】
また、本発明のインクパックは、前記インク袋部が少なくとも２つの前記温度調整用袋部によって挟まれていることが好ましい。
本発明によれば、簡便な構成としながら、インク袋部の露出面の大部分について温度調整用袋部で覆うことができ、吐出用液状体の温度を精密にかつ高いエネルギー効率で調整できるインクパックを低コストで提供することが可能となる。
【０００９】
また、本発明のインクパックは、前記温度調整用袋部が、温度調整用の液状体が該温度調整用袋部に入いるときの入口となる入口部と、温度調整用の液状体が該温度調整用袋部から出るときの出口となる出口部とを有することが好ましい。
本発明によれば、例えば外部の温度調整装置の流出口と温度調整用袋部の入口部とが管路で接続され、外部の温度調整装置の流入口と温度調整用袋部の出口部とが他の管路で接続されることにより、温度調整用の液状体を温度調整装置と温度調整用袋部との間で循環させることができる。したがって、本発明のインクパックによれば、簡素な構造としながら、吐出用液状体の温度を精密にかつ高いエネルギー効率で調整することができる。
【００１０】
また、本発明のインクパックは、前記インク袋部と温度調整用袋部とが分離可能に取り付けられていることが好ましい。
本発明によれば、例えばインク袋部に充填されていた吐出用液状体の全部又は大部分を吐出して残りが無くなった場合、インク袋部のみについて、吐出用液状体が充填されている新たなインク袋部に取り替えることができる。したがって、本発明は、温度調整用袋部などを繰り返し使用することができ、吐出用液状体の温度が調整可能であってコストパフォーマンスの高いインクパックを提供することができる。
【００１１】
また、本発明のインクパックは、前記インク袋部と温度調整用袋部とが一体として形成されていることが好ましい。
本発明によれば、インク袋部と温度調整用袋部との密着性を簡便に高めることができ、製造し易くエネルギー効率の高いインクパックを提供することができる。ここで、インク袋部に充填されていた吐出用液状体の全部又は大部分を吐出した場合は、そのインクパックを使い捨てとしてもよいが、そのインク袋部に新たな吐出用液状体を充填して再度そのインクパックを使用することとしてもよい。
【００１２】
また、本発明のインクパックは、前記インク袋部がガスバリア層を有する可撓性の袋からなることが好ましい。
本発明によれば、インク袋部内の吐出用液状体に空気などが侵入することをガスバリア層で回避することができる。したがって、本発明のインクパックを用いた液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッド内の吐出用液状体に気泡が含まず、その液滴吐出ヘッド内で吐出用液状体を良好に加圧でき、良好にその吐出用液状体を吐出することができる。
【００１３】
また、本発明のインクパックは、前記インク袋部が、吐出用液状体が該インク袋部に入るときの入口となる入口部と、収容している吐出用液状体が該インク袋部から出るときの出口となる出口部とを有することが好ましい。
本発明によれば、インク袋部の入口部から吐出用液状体をそのインク袋部に充填でき、インク袋部の出口部から吐出用液状体を液滴吐出ヘッドに向けて流出させることができる。したがって、吐出用液状体が液滴吐出装置で吐出されてインク袋部内の残量が減った場合、出口部から新たな吐出用液状体をインク袋部に充填することができる。そこで、本発明は、１つのインクパックを長期間にわたって使用でき、そのインクパックの容量を超えた量の吐出用液状体について温度調整することができる。
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明のインク温度調整装置は、前記インクパックと、前記温度調整手段の構成要素となる温度調整用の液状体について加熱又は冷却する温度調整装置と、前記温度調整装置とインクパックとの間で前記温度調整用の液状体を循環させる管路とを有することを特徴とする。
本発明によれば、例えば温度調整用袋部に流入する温度調整用の液状体を温度調整装置で所望の温度にすることができる。したがって、簡便な構成としながら、インク袋内の吐出用液状体の温度を高精度にかつ高いエネルギー効率で調整することができる。
【００１５】
また、本発明のインク温度調整装置は、前記インクパックに収容されている吐出用液状体の温度を検出する温度検出手段と、前記温度検出手段の検出値に基づいて、前記温度調整装置における加熱又は冷却量と前記温度調整用の液状体の循環量とのうちの少なくとも一方を制御する温度制御手段とを有することが好ましい。
本発明によれば、インク袋内の吐出用液状体の温度についてフィードバック制御することができ、より高精度にその温度を制御することができる。
【００１６】
また、本発明のインク温度調整装置は、前記インクパックの入口部と補充用管路を介して接続されているタンクであって吐出用液状体を収容するタンクと、前記タンクに収容されている吐出用液状体を加圧して該吐出用液状体を前記インクパックへ移動させる加圧手段と、前記インクパックに収容されている吐出用液状体の残量を検出する残量検出手段と、前記残量検出手段の検出結果に基づいて前記加圧手段の加圧値を制御する制御手段とを有することが好ましい。
本発明によれば、インクパックにおける吐出用液状体の残量が少なくなったときに、タンク内の吐出用液状体をインクパックへ充填することができる。したがって、インクパックにおける吐出用液状体の残量を常に一定の範囲内に維持することもでき、より高精度に吐出用液状体の温度を制御することができる。ここで、タンク内の吐出用液状体については温度制御しなくてもよいので、高いエネルギー効率で吐出用液状体の温度制御をすることができる。
【００１７】
上記目的を達成するために、本発明の液滴吐出装置は、前記インク温度調整装置を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、常温では高粘度の吐出用液状体についても良好に吐出できる液滴吐出装置を低コストで提供することができる。
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、前記液滴吐出装置を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする。
本発明によれば、常温では高粘度の吐出用液状体を液滴吐出方式で基板に塗布することなどにより、有機ＥＬ装置、液晶表示装置又はプラズマ表示装置などの電気光学装置を製造することができる。そこで、本発明の製造方法は、高品位な画像が表示できるなど高性能な電気光学装置を低コストで製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態に係るインクパック及びインク温度調整装置について、図面を参照して説明する。実施形態に係るインクパック及びインク温度調整装置は、液滴吐出装置に用いられ、液滴吐出装置の構成要素としてもよい。
【００２０】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るインクパックとインク温度調整装置とを示す模式断面図である。本実施形態のインクパック１００は、インク袋部１０１と、２つの温度調整用袋部２１０，２２０とを有して構成されている。本実施形態のインク温度調整装置は、上記インクパック１００と、温度調整装置３００と、管路３１０，３１１とを有して構成されている。
【００２１】
インク袋部１０１は、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドに供給されることとなる吐出用液状体（以下、インクという。）を収容する可撓性の袋からなる。すなわち、インク袋部１０１に充填されているインクは、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドから吐出されるインクである。また、インク袋部１０１は、そのインク袋部１０１内に収容しているインクを液滴吐出装置に向けて出すときの出口となる出口部１０２を備えている。出口部１０２は、供給パイプ５０が取り付けられる。これにより、インク袋部１０１内のインクは、供給パイプ５０を介して液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドに送られる。
【００２２】
温度調整用袋部２１０，２２０は、インク袋１０１に収容されているインクの温度を調整する温度調整手段をなすものである。そして、温度調整用袋２１０，２２０は、温度調整用の液状体を収容する可撓性の袋からなる。温度調整用袋部２１０，２２０は、それぞれ１つづつの袋で形成して合わせて２つの袋としてもよく、内部が流通している１つの袋として形成してもよい。また、温度調整用袋部２１０，２２０は、３つ以上の袋で形成してもよい。
【００２３】
温度調整用の液状体としては、例えば、水、シリコンオイル、エタノール、アルコールなどを用いることができる。温度調整用の液状体は、熱伝導率が大きく、熱安定性に優れている液体が好ましい。特に水は利便性に優れていると共に冷却能力が高いという利点がある。また、流路における抵抗を軽減するために低粘性の液体を採用することが好ましく、このような低粘性流体という面でも水は好適である。また、温度調整用の液状体としては、シリコンジェルのような粘度が高いものを用いる手法もある。上記のシリコン系だけでなく、ビフェニルジフェニルエーテル系、アルキルベンゼン系、アルキルビフェニル系、トリアリールジメタン系、アルキルナフタレン系、水素化テルフェニル系、ジアリールアルカン系などの有機熱媒体として一般的に使用されているものを温度調整用の液状体として挙げることもできる。また、フッ素系の各液体も適用可能である。その中からインクパック及びインク温度調整装置の各部の構成、要求性能、環境保全性などを加味して選定される。
【００２４】
インク袋部１０１及び温度調整用袋部２１０，２２０は、それぞれ平べったい形状をしている。インク袋部１０１は温度調整用袋２１０の上面に配置されている。インク袋部１０１の上面には温度調整用袋２２０が配置されている。したがって、インク袋部１０１は温度調整用袋２１０と温度調整用袋２２０とで挟まれており、インク袋部１０１と温度調整用袋２１０，２２０とは密着部位を有して積層構造をなしている。
【００２５】
また、温度調整用袋部２１０，２２０は、それぞれ温度調整用の液状体がその袋内に入いるときの入口となる入口部２１１，２２１と、温度調整用の液状体がその袋内から出るときの出口となる出口部２１２，２２２とを備えている。入口部２１１，２２１は、ゴムチューブなどからなる管路３１０，３１１の一端に接続されている。その管路３１０，３１１の他端は温度調整装置３００の流出口３０１に接続されている。出口部２１２，２２２は、ゴムチューブなどからなる管路３２０，３２１の一端に接続されている。その管路３２０，３２１の他端は温度調整装置３００の流入口３０２に接続されている。温度調整装置３００は、流入口３０２から流入してきた温度調整用の液状体について加熱又は冷却して所望の温度として、流出口３０１から流出させるものである。
【００２６】
このような構成により、温度調整用袋部２１０，２２０内の温度調整用の液状体は、管路３１０，３１１，３２０，３２１を介して温度調整用袋部２１０，２２０内と温度調整装置３００内との間で循環し、温度調整装置３００によって所望の温度に調整される。温度調整装置３００における温度調整用の液状体の温度調整は、例えば、温度調整装置３００内に流入してきた温度調整用の液状体の温度を検出し、その検出値と所望温度とを比較し、その比較結果に基づいて行ってもよい。また、温度調整装置３００における温度調整は、インク袋部１０１内のインクの温度を直接検出し、その検出値と所望温度とを比較しその比較結果に基づいて行ってもよい。すなわち、温度調整装置３００は、上記検出値に基づいて、インクに対する加熱又は冷却量とインクの循環量とのうちの少なくとも一方を制御する温度制御手段を有することが好ましい。
【００２７】
そして、温度調整用袋部２１０，２２０とインク袋部１０１とは積層されているので、温度調整用袋部２１０，２２０とインク袋部１０１とは広い面積に渡って良好に密着している。これにより、温度調整用袋部２１０，２２０における温度調整用の液状体の熱がインク袋部１０１内のインクに効率よく伝達され、そのインクの温度を温度調整用の液状体の温度にほとんど一致させることができる。
【００２８】
したがって、本実施形態のインクパック１００及びインク温度調整装置は、インク袋部１０１内のインクの温度について、精密にかつ高いエネルギー効率で調整することができる。また、本実施形態のインクパック１００は、インク袋部１０１と温度調整用袋部２１０，２２０とが可撓性の袋で構成されているので、充填されているインクが液滴吐出装置に送られ、インク袋部１０１内の残量が減った場合でも、インク袋部１０１と温度調整用袋部２１０，２２０とが良好に密着できて温調性能を維持できる。インク袋部１０１内で所望の温度とされたインクは、供給パイプ５０を介して液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドに送られる。これにより、例えば常温では高粘度のインクについてインクパック１００で加熱して低粘度にすることができ、その低粘度の状態で良好に液滴吐出ヘッドから吐出することができる。
【００２９】
また、本実施形態のインクパック１００は、インクを外気に触れさせずに、温度調整して液滴吐出ヘッドに供給できるので、そのインクに気泡が混入することなどによる液滴吐出ヘッドでの吐出不良を回避することができる。また本実施形態のインクパック１００は高温又は低温を嫌うインクについて所望の温度を維持させることができるので、かかるインクを高いエネルギー効率（電力効率）で、すなわち低コストで良好に保存することができる。インクの保存時と吐出時とでインクパック１００内でのインクの温度を変えてもよい。
【００３０】
また、本実施形態のインクパック１００は、インク袋部１０１と温度調整用袋部２１０，２２０とが可撓性の袋であるので、人手などにより取扱いし易く、収納もし易いものとなる。インクパック１００の入口部２１１，２２１及び出口部２１２，２２２と管路３１０，３１１，３２０，３２１とは、それぞれ着脱可能に接続されることとしてもよい。また、インクパック１００の出口部１０２と供給パイプ５０とは着脱可能に接続されることとしてもよい。このようにすると、インクパック１００の収納時においては、インクパック１００の入口部２１１，２２１及び出口部２１２，２２２から管路３１０，３１１，３２０，３２１を取り外し、さらに出口部１０２から供給パイプ５０を取り外すことにより、そのインクパック１００をよりコンパクトに収納することができる。
【００３１】
また、本実施形態のインクパック１００は、インク袋部１０１と温度調整用袋部２１０，２２０とが分離可能に取り付けられていることとしてもよい。このようにすると、インク袋部１０１に充填されていたインクの大部分が吐出されて残りが無くなった場合、インク袋部１０１のみについて、インクが充填されている新たなインク袋部１０１に取り替えることができる。したがって、本実施形態のインクパック１００は、温度調整用袋部２１０，２２０などを繰り返し使用することができ、インクの温度が調整可能であってコストパフォーマンスの高いインクパックを提供することができる。
【００３２】
また、本発明のインクパック１００は、インク袋部１０１と温度調整用袋部２１０，２２０とが一体として形成されていることとしてもよい。このようにすると、インク袋部１０１と温度調整用袋部２１０，２２０との密着性を簡便に高めることができ、製造し易くエネルギー効率の高いインクパック１００を提供することができる。ここで、インク袋部１０１に充填されていたインクの大部分が吐出された場合は、そのインクパック１００を使い捨てとしてもよいが、出口部１０２などからインク袋部１０１に新たなインクを充填して再度そのインクパック１００を使用することとしてもよい。
【００３３】
次に、インク袋部１０１の具体的な構成材料例について図２を参照して説明する。図２は本実施形態のインクパック１００におけるインク袋部１０１及び温度調整用袋部２１０，２２０を示す部分断面図である。インク袋部１０１は、内側から、ポリエンレン系材料層１４１、ガスバリア層１４２及び滑り止め層１４３とを積層して構成されている。ポリエンレン系材料層１４１は、ポリエンレン系材料などからなり、耐熱性及び耐水性の高いものが好ましい。ガスバリア層１４２は、ガスバリア性を備えた材料からなり、例えばアルミニウム、エチレンビニルアルコール（ＥＶＣ）で構成する。滑り止め層１４３は、人手などでインク袋部１０１を把持したときの滑り止めとして機能し、例えばナイロンなどで構成する。温度調整用袋部２１０，２２０の構成材料２１４，２２４は、温度調整用の液状体に対して耐性があるものであればよく、熱伝導率の高い材料を用いてもよい。温度調整用袋部２１０，２２０の構成材料２１４，２２４の厚さは例えば数μｍ〜数百μｍとすることができ、非常に薄くして熱伝搬特性を高めてもよい。
【００３４】
このような構成により、本実施形態のインクパック１００によれば、インク袋部１０１内のインクに空気などが侵入することをガスバリア層１４２で回避することができる。したがって、本実施形態のインクパック１００を用いた液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッド内のインクに気泡が含むことを回避できるので、その液滴吐出ヘッド内でインクを良好に加圧でき、そのインクを良好に吐出することができる。
【００３５】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るインクパック及びインク温度調整装置について、図３を参照して説明する。図３は、本発明の第２実施形態に係るインクパック１００’とインク温度調整装置とを示す模式図である。ここで、第１実施形態の構成要素と同一のものには同一符号を付けている。
【００３６】
本実施形態のインクパック１００’では、インク袋部１０１において、インクが該インク袋部１０１に入るときの入口となる入口部１０３を備えている点が第１実施形態のインクパック１００と異なる。
【００３７】
本実施形態のインク温度調整装置は、上記インクパック１００’と、温度調整装置３００と、管路３１０，３１１と、タンク４００と、補充用管路４０２と、加圧手段４０３と、残量検出手段４０４と、制御手段４０５とを有して構成されている。タンク４００は、インクを収容するタンクであり、そのインクを外気に触れさせることなく収容するものが好ましい。タンク４０１の出口部４０１は、補充用管路４０２を介してインクパック１００’におけるインク袋部１０１の入口部１０３と接続されている。例えば、インクパック１００’のインク容量を１００ｍｌとした場合、タンクのインク容量は１０００ｍｌ位にすることが好ましい。
【００３８】
加圧手段４０３は、タンク４００に収容されているインクに対して加圧して、そのインクをインクパック１００’のインク袋部１０１へ移動させるものである。残量検出手段４０４は、インクパック１００’のインク袋部１０１に収容されているインクの残量を検出するものである。制御手段４０５は、残量検出手段４０４の検出結果に基づいて加圧手段４０３の加圧値を制御するものである。したがって、制御手段４０５は、インク袋部１０１内の残量に基づいて、タンク４００からインク袋部１０１へのインク供給量を制御することができる。
【００３９】
これらにより、本実施形態のインクパック１００’及びインク温度調整装置は、インクパック１００’におけるインク残量が少なくなったときに、タンク４００内のインクをインクパック１００’へ自動的に充填することができる。したがって、インクパック１００’におけるインク残量を常に一定の範囲内に維持することもでき、より高精度にインクの温度を制御することができる。ここで、タンク４００内の比較的大容量のインクについては温度制御しなくてもよいので、高いエネルギー効率でインクの温度制御をすることができる。
【００４０】
（液滴吐出装置）
次に、上記実施形態のインクパック１００，１００’及びインク温度調整装置が適用される液滴吐出装置について、図４を参照して説明する。図４は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置を示す概略斜視図である。本実施形態の液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１０、Ｘ方向駆動軸４、Ｙ方向駆動モータ３、Ｙ方向ガイド軸５、制御装置６、ステージ７、クリーニング機構部８及び基台９を有している。また、本実施形態の液滴吐出装置１は、図１から図３に示すインクパック１００（１００’）及びインク温度調整装置も備えていることとする。
【００４１】
液滴吐出ヘッド１０は、インクが充填されているインクパック１００からから供給パイプ５０（液供給路）を介して供給されたインクをそのノズル開口（インクジェットノズル）から吐出するものである。ここで、インクパック１００内のインクは上記のように温度調整されているので、液滴吐出ヘッド１０はそのインクを良好に吐出することができる。
【００４２】
ステージ７は、液滴吐出装置１から吐出されたインクが着弾する基板Ｗを載置するためのものであり、この基板Ｗを所定の基準位置に固定する機構を有している。Ｘ方向駆動軸４は、ボールねじなどから構成され、端部にはＸ方向駆動モータ２が接続されている。Ｘ方向駆動モータ２は、ステッピングモータなどであり、制御装置６からＸ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｘ方向駆動軸４を回転させる。Ｘ方向駆動軸４が回転すると液滴吐出ヘッド１０がＸ方向駆動軸４上をＸ方向に移動する。Ｙ方向ガイド軸５もボールねじなどから構成されているが、基台９上に所定位置に配置されている。このＹ方向ガイド軸５上にステージ７が配置されている。ステージ７はＹ方向駆動モータ３を備えている。Ｙ方向駆動モータ３は、ステッピングモータなどであり、制御装置６からＹ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸５を回転させる。Ｙ方向ガイド軸５が回転すると、ステージ７がＹ方向に移動する。
【００４３】
このようにして液滴吐出装置１は、Ｘ軸方向の駆動とＹ軸方向の駆動とを行うことにより液滴吐出ヘッド１０を基板Ｗ上の任意の場所に移動させることができる。また、液滴吐出装置１に備えられている制御装置６は、液滴吐出装置１全体の動作を制御するものである。すなわち、制御装置６は、液滴吐出ヘッド１０にインクの吐出制御用の信号を供給するとともに、Ｘ方向駆動モータ２及びＹ方向駆動モータ３に液滴吐出ヘッド１０とステージ７との位置関係を制御する信号を供給する。また、液滴吐出装置１に備えられているクリーニング機構部８は、液滴吐出ヘッド１０をクリーニングする機構である。このクリーニング機構部８は、Ｙ方向の駆動モータ（図示せず）を備えている。この駆動モータの駆動により、クリーニング機構部８はＹ方向ガイド軸５に沿って移動する。このようなクリーニング機構部８の移動も制御装置６によって制御される。
【００４４】
これらにより、本実施形態の液滴吐出装置１は、例えば、常温では高粘度のインクについても、インクパック１０１で加熱することなどにより低粘度にして液滴吐出ヘッド１０に供給でき、そのインクを良好に吐出することができる。また、本実施形態の液滴吐出装置１は、インクを外気に触れさせずに、温度調整して液滴吐出ヘッド１０に供給できるので、インクに気泡が混入することなどによる液滴吐出ヘッド１０での吐出不良を回避することができる。
【００４５】
（有機ＥＬ装置の製造方法）
上記実施形態の液滴吐出装置を用いて製造される有機ＥＬ装置の構造および製造方法について、図５から図１７を参照して説明する。図５から図１７は、有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置の製造プロセスとその構造を表す断面図である。この製造プロセスは、バンク部形成工程と、プラズマ処理工程と、正孔注入／輸送層形成工程および発光層形成工程からなる発光素子形成工程と、対向電極形成工程と、封止工程とを具備して構成されている。
【００４６】
バンク部形成工程では、基板５０１に予め形成した回路素子部５０２上および電極５１１（画素電極ともいう）上の所定の位置に、無機物バンク層５１２ａと有機物バンク層５１２ｂを積層することにより、開口部５１２ｇを有するバンク部５１２を形成する。このように、バンク部形成工程には、電極５１１の一部に、無機物バンク層５１２ａを形成する工程と、無機物バンク層の上に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程が含まれる。
【００４７】
まず無機物バンク層５１２ａを形成する工程では、図５に示すように、回路素子部５０２の第２層間絶縁膜５４４ｂ上および画素電極５１１上に、無機物バンク層５１２ａを形成する。無機物バンク層５１２ａを、例えばＣＶＤ法、コート法、スパッタ法、蒸着法等によって第２層間絶縁膜５４４ｂおよび画素電極５１１の全面にＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機物膜を形成する。
【００４８】
次にこの無機物膜をエッチング等によりパターニングして、電極５１１の電極面５１１ａの形成位置に対応する下部開口部５１２ｃを設ける。このとき、無機物バンク層５１２ａを電極５１１の周縁部と重なるように形成しておく必要がある。このように、電極５１１の周縁部（一部）と無機物バンク層５１２ａとが重なるように無機物バンク層５１２ａを形成することにより、発光層５１０ｂ（図１４から図１７参照）の発光領域を制御することができる。
【００４９】
次に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程では、図６に示すように、無機物バンク層５１２ａ上に有機物バンク層５１２ｂを形成する。有機物バンク層５１２ｂをフォトリソグラフィー技術等によりエッチングして、有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄを形成する。上部開口部５１２ｄは、電極面５１１ａおよび下部開口部５１２ｃに対応する位置に設けられる。
【００５０】
上部開口部５１２ｄは、図６に示すように、下部開口部５１２ｃより広く、電極面５１１ａより狭く形成することが好ましい。これにより、無機物バンク層５１２ａの下部開口部５１２ｃを囲む第１積層部５１２ｅが、有機物バンク層５１２ｂよりも電極５１１の中央側に延出された形になる。このようにして、上部開口部５１２ｄ、下部開口部５１２ｃを連通させることにより、無機物バンク層５１２ａおよび有機物バンク層５１２ｂを貫通する開口部５１２ｇが形成される。
【００５１】
次にプラズマ処理工程では、バンク部５１２の表面と画素電極の表面５１１ａに、親液性を示す領域と、撥液性を示す領域を形成する。このプラズマ処理工程は、予備加熱工程と、バンク部５１２の上面（５１２ｆ）および開口部５１２ｇの壁面並びに画素電極５１１の電極面５１１ａを、親液性を有するように加工する親液化工程と、有機物バンク層５１２ｂの上面５１２ｆおよび上部開口部５１２ｄの壁面を、撥液性を有するように加工する撥液化工程と、冷却工程とに大別される。
【００５２】
まず、予備加熱工程では、バンク部５１２を含む基板５０１を所定の温度まで加熱する。加熱は、例えば基板５０１を載せるステージにヒータを取り付け、このヒータで当該ステージごと基板５０１を加熱することにより行う。具体的には、基板５０１の予備加熱温度を、例えば７０〜８０℃の範囲とすることが好ましい。
【００５３】
次に、親液化工程では、大気雰囲気中で酸素を処理ガスとするプラズマ処理（Ｏ2プラズマ処理）を行う。このＯ2プラズマ処理により、図７に示すように、画素電極５１１の電極面５１１ａ、無機物バンク層５１２ａの第１積層部５１２ｅおよび有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄの壁面ならびに上面５１２ｆが親液処理される。この親液処理により、これらの各面に水酸基が導入されて親液性が付与される。図７では、親液処理された部分を一点鎖線で示している。
【００５４】
次に、撥液化工程では、大気雰囲気中で４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理（ＣＦ4プラズマ処理）を行う。ＣＦ4プラズマ処理により、図８に示すように、上部開口部５１２ｄ壁面および有機物バンク層の上面５１２ｆが撥液処理される。この撥液処理により、これらの各面にフッ素基が導入されて撥液性が付与される。図８では、撥液性を示す領域を二点鎖線で示している。
【００５５】
次に、冷却工程では、プラズマ処理のために加熱された基板５０１を室温、またはインクジェット工程（機能液滴吐出工程）の管理温度まで冷却する。プラズマ処理後の基板５０１を室温、または所定の温度（例えばインクジェット工程を行う管理温度）まで冷却することにより、次の正孔注入／輸送層形成工程を一定の温度で行うことができる。
【００５６】
次に、発光素子形成工程では、画素電極５１１上に正孔注入／輸送層および発光層を形成することにより発光素子を形成する。発光素子形成工程には、４つの工程が含まれる。即ち、正孔注入／輸送層を形成するための第１組成物を各画素電極上に吐出する第１機能液滴吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて画素電極上に正孔注入／輸送層を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、発光層を形成するための第２組成物を正孔注入／輸送層の上に吐出する第２機能液滴吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて正孔注入／輸送層上に発光層を形成する発光層形成工程とが含まれる。
【００５７】
まず、第１機能液滴吐出工程では、液滴吐出法により、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を電極面５１１ａ上に吐出する。すなわち、この吐出は、図１から図４に示す本実施形態の液滴吐出装置１を用いて行う。
液滴吐出装置１を用いて第１組成物（インク）を電極面５１１ａ上に吐出することにより、その第１組成物を電極面５１１ａ上の所望位置に所望量だけ精密にかつ迅速に塗布することができる。
そして、この第１機能液滴吐出工程以降は水および酸素の無い窒素雰囲気又はアルゴン雰囲気等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。なお、画素電極上にのみ正孔注入／輸送層を形成する場合は、有機物バンク層に隣接して形成される正孔注入／輸送層は形成されない。
【００５８】
図９に示すように、液滴吐出ヘッドＨ（液滴吐出ヘッド１０）に正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を充填し、液滴吐出ヘッドＨの吐出ノズルを下部開口部５１２ｃ内に位置する電極面５１１ａに対向させ、液滴吐出ヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当たりの液量が制御された第１組成物滴５１０ｃを電極面５１１ａ上に吐出する。ここで、液滴吐出ヘッドＨおよび基板５０１等は上記雰囲気のチャンバ内に収容されている。
【００５９】
ここで用いる第１組成物としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)等の混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることができる。極性溶媒としては、例えば、イソプロピルアルコール(IPA)、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチルピロリドン(NMP)、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン(DMI)およびその誘導体、カルビト−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグリコールエーテル類等を挙げることができる。なお、正孔注入／輸送層形成材料は、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１０ｂに対して同じ材料を用いても良く、発光層毎に変えても良い。
【００６０】
図９に示すように、吐出された第１組成物滴５１０ｃは、親液処理された電極面５１１ａおよび第１積層部５１２ｅ上に広がり、下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。電極面５１１ａ上に吐出する第１組成物量は、下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄの大きさ、形成しようとする正孔注入／輸送層の厚さ、第１組成物中の正孔注入／輸送層形成材料の濃度等により決定される。また、第１組成物滴５１０ｃは１回のみならず、数回に分けて同一の電極面５１１ａ上に吐出しても良い。
【００６１】
次に正孔注入／輸送層形成工程では、図１０に示すように、吐出後の第１組成物を乾燥処理および熱処理して第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させることにより、電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層５１０ａを形成する。乾燥処理を行うと、第１組成物滴５１０ｃに含まれる極性溶媒の蒸発が、主に無機物バンク層５１２ａおよび有機物バンク層５１２ｂに近いところで起き、極性溶媒の蒸発に併せて正孔注入／輸送層形成材料が濃縮されて析出する。
【００６２】
これにより図１０に示すように、乾燥処理によって電極面５１１ａ上でも極性溶媒の蒸発が起き、これにより電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層形成材料からなる平坦部５１０ａが形成される。電極面５１１ａ上では極性溶媒の蒸発速度がほぼ均一であるため、正孔注入／輸送層の形成材料が電極面５１１ａ上で均一に濃縮され、これにより均一な厚さの平坦部５１０ａが形成される。
【００６３】
次に第２機能液滴吐出工程では、機能液滴吐出法により、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。すなわち上記液滴吐出装置１を用いて、第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。これにより、第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上の所望位置に所望量だけ精密にかつ迅速に塗布することができる。
この第２機能液滴吐出工程では、正孔注入／輸送層５１０ａの再溶解を防止するために発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層５１０ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
【００６４】
しかしその一方で正孔注入／輸送層５１０ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層５１０ａと発光層５１０ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層５１０ｂを均一に塗布できないおそれがある。そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層５１０ａの表面の親和性を高めるために、発光層を形成する前に表面改質工程を行うことが好ましい。
【００６５】
そこでまず、表面改質工程について説明する。表面改質工程は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質用溶媒を、機能液滴吐出法、スピンコート法またはディップ法により正孔注入／輸送層５１０ａ上に塗布した後に乾燥することにより行う。
【００６６】
例えば、機能液滴吐出法による塗布は、図１１に示すように、液滴吐出ヘッドＨに、表面改質用溶媒を充填し、液滴吐出ヘッドＨの吐出ノズルを基板（すなわち、正孔注入／輸送層５１０ａが形成された基板）に対向させ、液滴吐出ヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルから表面改質用溶媒５１０ｄを正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出することにより行う。すなわち上記液滴吐出装置１を用いて、表面改質用溶媒５１０ｄを正孔注入／輸送層５１０ａ上に、精密にかつ迅速に塗布することができる。そして、図１２に示すように、表面改質用溶媒５１０ｄを乾燥させる。
【００６７】
次に第２機能液滴吐出工程では、機能液滴吐出法により、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。
図１３に示すように、液滴吐出ヘッドＨに、青色（Ｂ）発光層形成材料を含有する第２組成物を充填し、液滴吐出ヘッドＨの吐出ノズルを下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に位置する正孔注入／輸送層５１０ａに対向させ、液滴吐出ヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当たりの液量が制御された第２組成物滴５１０ｅとして吐出し、この第２組成物滴５１０ｅを正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。
【００６８】
発光層形成材料としては、ポリフルオレン系高分子誘導体や、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、あるいは上記高分子に有機ＥＬ材料をドープして用いる事ができる。例えば、ルブレン、ペリレン、９，１０-ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等をドープすることにより用いることができる。
【００６９】
非極性溶媒としては、正孔注入／輸送層５１０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。このような非極性溶媒を発光層５１０ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層５１０ａを再溶解させることなく第２組成物を塗布できる。
【００７０】
図１３に示すように、吐出された第２組成物５１０ｅは、正孔注入／輸送層５１０ａ上に広がって下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。第２組成物５１０ｅは１回のみならず、数回に分けて同一の正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても良い。この場合、各回における第２組成物の量は同一でも良く、各回毎に第２組成物量を変えても良い。
【００７１】
次に発光層形成工程では、第２組成物を吐出した後に乾燥処理および熱処理を施して、正孔注入／輸送層５１０ａ上に発光層５１０ｂを形成する。乾燥処理は、吐出後の第２組成物を乾燥処理することにより第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発して、図１４に示すような青色（Ｂ）発光層５１０ｂを形成する。
【００７２】
続けて、図１５に示すように、青色（Ｂ）発光層５１０ｂの場合と同様にして、赤色（Ｒ）発光層５１０ｂを形成し、最後に緑色（Ｇ）発光層５１０ｂを形成する。なお、発光層５１０ｂの形成順序は、前述の順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。
【００７３】
次に対向電極形成工程では、図１６に示すように、発光層５１０ｂおよび有機物バンク層５１２ｂの全面に陰極５０３（対向電極）を形成する。なお，陰極５０３は複数の材料を積層して形成しても良い。例えば、発光層に近い側には仕事関数が小さい材料を形成することが好ましく、例えばＣａ、Ｂａ等を用いることが可能であり、また材料によっては下層にＬｉＦ等を薄く形成した方が良い場合もある。また、上部側（封止側）には下部側よりも仕事関数が高いものが好ましい。これらの陰極（陰極層）５０３は、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法で形成することが、発光層５１０ｂの熱による損傷を防止できる点で好ましい。
【００７４】
また、フッ化リチウムは、発光層５１０ｂ上のみに形成しても良く、更に青色（Ｂ）発光層５１０ｂ上のみに形成しても良い。この場合、他の赤色（Ｒ）発光層および緑色（Ｇ）発光層５１０ｂ、５１０ｂには、ＬｉＦからなる上部陰極層５０３ｂが接することとなる。また陰極５０３の上部には、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等により形成したＡｌ膜、Ａｇ膜等を用いることが好ましい。また、陰極５０３上に、酸化防止のためにＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を設けても良い。
【００７５】
最後に、図１７に示す封止工程では、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気中で、有機ＥＬ素子５０４上に封止用基板５０５を積層する。封止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極５０３にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部分から水や酸素等が陰極５０３に侵入して陰極５０３が酸化されるおそれがあるので好ましくない。そして最後に、フレキシブル基板の配線に陰極５０３を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部５０２の配線を接続することにより、本実施形態の有機ＥＬ装置５００が得られる。
【００７６】
なお、画素電極５１１および陰極（対向電極）５０３の形成において、液滴吐出ヘッドＨによる液滴吐出方式を採用してもよい。すなわち、液状体の電極材料を液滴吐出ヘッドＨにそれぞれ導入し、これを液滴吐出ヘッドＨから吐出して、画素電極５１１および陰極５０３をそれぞれ形成する（乾燥工程を含む）。これにより、上記液滴吐出装置１を用いて、画素電極５１１および陰極（対向電極）５０３を精密にかつ迅速に形成することができる。
【００７７】
これらにより、本実施形態の製造方法によれば、有機ＥＬ装置における第１組成物５１０ｃ、表面改質用溶媒５１０ｄ及び第２組成物５１０ｅを、上記液滴吐出装置１を用いて
精密にかつ迅速に吐出することができるので、高品位な画像が表示できる高性能な有機ＥＬ装置を低コストで製造することができる。
【００７８】
上記本実施形態の製造方法は、電子放出装置、ＰＤＰ装置、液晶表示装置および電気泳動表示装置の製造等に適用することができる。電子放出装置の製造方法では、液滴吐出ヘッド１０（液滴吐出ヘッドＨ）にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、液滴吐出ヘッド１０を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、電極上に多数の蛍光体を形成する。なお、電子放出装置は、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を含む上位の概念である。
【００７９】
ＰＤＰ装置の製造方法では、液滴吐出ヘッド１０にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、液滴吐出ヘッド１０を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。電気泳動表示装置の製造方法では液滴吐出ヘッド１０に各色の泳動体材料を導入し、液滴吐出ヘッド１０を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそれぞれ泳動体を形成する。なお、帯電粒子と染料とから成る泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが、好ましい。
【００８０】
また上記本実施形態の液滴吐出装置１を用いた製造方法は、スペーサ、金属配線、レンズ、レジストおよび光拡散体などの形成にも、適用可能である。スペーサの形成方法は、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するものである。そして、スペーサの形成方法では、スペーサを構成する粒子材料を液中に分散させ液状に調整した材料を、液滴吐出ヘッド１０に導入し、液滴吐出ヘッド１０を主走査および副走査し、粒子材料を選択的に吐出して少なくとも一方の基板上にスペーサを形成する。例えば、液晶表示装置や電気泳動表示装置における２枚の基板間のセルギャップを構成する場合に有用であり、その他この種の微小なギャップを必要とする半導体製造技術に適用できる。
【００８１】
金属配線の形成方法では、液滴吐出ヘッド１０に液状金属材料を導入し、液滴吐出ヘッド１０を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記の有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用することができる。また、この種のフラットディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できる。
【００８２】
レンズの形成方法では、液滴吐出ヘッド１０にレンズ材料を導入し、液滴吐出ヘッド１０を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記のＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスとして適用可能である。また、各種の光デバイスに適用可能である。
【００８３】
レジスト形成方法では、液滴吐出ヘッド１０にレジスト材料を導入し液滴吐出ヘッド１０を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置おけるバンクの形成は元より、半導体製造技術の主体を為すフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【００８４】
光拡散体形成方法では、基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、液滴吐出ヘッド１０に光拡散材料を導入し、液滴吐出ヘッド１０を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種の光デバイスに適用可能である。
【００８５】
（電子機器）
次に、上記実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法を用いて製造された有機ＥＬ装置を備えた電子機器について説明する。
図１８（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１８（ａ）において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は上記実施形態の有機ＥＬ装置からなる表示部を示している。図１８（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１８（ｂ）において、符号１１００は時計本体を示し、符号１１０１は上記実施形態の有機ＥＬ装置からなる表示部を示している。図１８（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１８（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は上記実施形態の有機ＥＬ装置からなる表示部を示している。
【００８６】
図１８に示す電子機器は、上記実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造されているので高品質な画像を表示できるなど高性能としながら、低価格で提供することができる。
【００８７】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の第１実施形態に係るインクパックを示す模式断面図である。
【図２】同上のインクパックの部分断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係るとインク温度調整装置を示す模式図である。
【図４】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置を示す概略斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法における無機物バンク部形成工程の断面図である。
【図６】同上の製造方法における有機物バンク部形成工程の断面図である。
【図７】同上の製造方法におけるプラズマ処理工程（親水化）の断面図である。
【図８】同上の製造方法におけるプラズマ処理工程（撥水化）の断面図である。
【図９】同上の製造方法における正孔注入層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
【図１０】同上の製造方法における正孔注入層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図１１】同上の製造方法における表面改質工程（液滴吐出）の断面図である。
【図１２】同上の製造方法における表面改質工程（乾燥）の断面図である。
【図１３】同上の製造方法におけるＢ発光層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
【図１４】同上の製造方法におけるＢ発光層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図１５】同上の製造方法におけるＲ・Ｇ・Ｂ発光層形成工程の断面図である。
【図１６】同上の製造方法における対向電極形成工程の断面図である。
【図１７】同上の製造方法における封止工程の断面図である。
【図１８】同上の製造方法を用いて製造された電子機器を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８９】
１００，１００’…インクパック、１０１…インク袋部、１０２…出口部、１０３…入口部、２１０，２２０…温度調整用袋部、２１１，２２１…入口部、２１２，２２２…出口部、３００…温度調整装置、３１０，３１１，３２０，３２１…管路、４００…タンク、４０２…補充用管路、４０３…加圧手段、４０４…残量検出手段、４０５…制御手段
【図１】
2005211749.tif 000003
【図２】
2005211749.tif 000004
【図３】
2005211749.tif 000005
【図４】
2005211749.tif 000006
【図５】
2005211749.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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