(57)【要約】【課題】  リソグラフィ装置内の可動対象の位置制御装置が外乱により影響されないように外乱に対する感度を下げる方法を提供する。【解決手段】  本発明に係る位置制御装置は、位置コントローラ（６）と、対象フィルタ（Ｈｏ）として表される対象と、位置フィードバック回路（２２）と加速度制御装置（３４）とを備える。加速度制御装置（３４）は、減算器（８）と、第１の回路分岐内の第１のフィルタ（Ｈｆ）と、第２の回路分岐内の第２のフィルタ（Ｈｓ）とを備える。位置コントローラから出力される信号（Ｆｐ）は減算器（８）に入力されるが、外乱力（Ｆｄ）は対象（Ｈｏ）に直接加わる。第１の位置コントローラ力（Ｆｐ）に関する第１の伝達関数（Ｇ１）は、外乱力（Ｆｄ）に関する第２の伝達関数（Ｇ２）とは異なる。第１の伝達関数（Ｇ１）は、加速度制御装置（３４）がない場合の位置コントローラ力（Ｆｐ）に関する伝達関数と同じである。【選択図】図３
2005101606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量（ｍ）をもつ少なくとも１個の可動対象を有し、特に基板テーブルまたはマスク・テーブルを有し、かつ前記可動対象の位置を制御するための位置制御装置を有し、該位置制御装置は位置コントローラ力（Ｆｐ）を出力する位置コントローラ（６）と前記可動対象の確定した実際の位置（２０）を前記位置コントローラ（６）の入力にフィードバックする位置フィードバック回路（２２）とを備えたリソグラフィ投影装置において、
前記位置制御装置が、さらに加速度制御装置（３４）を有し、該加速度制御装置は、
第１の加速度回路分岐を有し、該第１の加速度回路分岐は、前記位置コントローラ力（Ｆｐ）が入力する減算器（８）と、第１の利得（Ｋｆ）を有しかつ前記減算器（８）の出力が入力しかつ前記可動対象に作用する制御力（Ｆｃ）を出力する第１のフィルタ（Ｈｆ）とを有し、
第２の加速度回路分岐を有し、該第２の加速度回路分岐は、第２の利得（Ｋｓ）を有しかつ加速度制御信号を入力する第２のフィルタ（Ｈｓ）を有し、前記第２の加速度回路分岐の出力は前記減算器（８）に入力して前記第２の加速度回路分岐の出力を前記位置コントローラ力（Ｆｐ）から減算する、ことを特徴とするリソグラフィ投影装置。
【請求項２】
前記加速度制御装置は前記減算器（８）に入力する前記位置コントローラ力（Ｆｐ）に関する第１の伝達関数（Ｇ１）と、前記対象に直接加わる外乱力（Ｆｄ）に関する第２の伝達関数（Ｇ２）とを有し、前記第１の伝達関数（Ｇ１）は対象利得（Ｋｏ）と実質的に等しく、前記第２の伝達関数（Ｇ２）は前記対象利得（Ｋｏ）より一般に小さく、前記対象利得（Ｋｏ）は前記対象の質量の逆数(１／ｍ)と実質的に等しいことを特徴とする、請求項１記載のリソグラフィ投影装置。
【請求項３】
前記加速度制御装置（３４）は選択されたループ利得（Ｋ１）を有し、前記第１の伝達関数（Ｇ１）は
【数１】
2005101606.tif 000017
前記第２の伝達関数（Ｇ２）は
【数２】
2005101606.tif 000018
前記ループ利得（Ｋ１）は
【数３】
2005101606.tif 000019
であることを特徴とする、請求項２記載のリソグラフィ投影装置。
【請求項４】
前記第１の伝達関数（Ｇ１）は入力周波数の関数として実質的に変化せず、前記第２の伝達関数（Ｇ２）は入力周波数の関数として変化することを特徴とする、請求項２または３記載のリソグラフィ投影装置。
【請求項５】
前記第２の伝達関数（Ｇ２）は入力周波数が増加すると共に増加することを特徴とする、請求項４記載のリソグラフィ投影装置。
【請求項６】
前記ループ利得（Ｋｌ）は周波数に依存するループ・フィルタ（Ｈｌ（ｓ））で与えられ、前記第１のフィルタ（Ｈｆ（ｓ））の周波数依存性は
【数４】
2005101606.tif 000020
であり、前記第２のフィルタ（Ｈｓ（ｓ））の周波数依存性は
【数５】
2005101606.tif 000021
であることを特徴とする、請求項４または５記載のリソグラフィ投影装置。
【請求項７】
前記ループ・フィルタ（Ｈ１（ｓ））は２次の低域フィルタであることを特徴とする、請求項６記載のリソグラフィ投影装置。
【請求項８】
前記ループ・フィルタ（Ｈ１（ｓ））は積分器であることを特徴とする、請求項６記載のリソグラフィ投影装置。
【請求項９】
前記位置制御装置は離散時間装置であることを特徴とする、前記請求項のいずれかに記載のリソグラフィ投影装置。
【請求項１０】
１つ以上の遅れ、特にｚ-pに等しくかつ前記対象に直列のプロセス伝達関数遅れ（Ｄｐ）か、前記第２の加速度回路分岐内にあってｚ-qに等しくかつ前記第２のフィルタ（Ｈｓ）に直列の加速度測定遅れ（Ｄａ）か、またはその両方を含むことを特徴とする、請求項９記載のリソグラフィ投影装置。
【請求項１１】
【数６】
2005101606.tif 000022
および
【数７】
2005101606.tif 000023
であることを特徴とする、請求項１０記載のリソグラフィ投影装置。
【請求項１２】
位置コントローラ力（Ｆｐ）を出力する位置コントローラ（６）と、可動対象の確定した実際の位置（２０）を前記位置コントローラ（６）の入力にフィードバックする位置フィードバック回路（２２）とを有する前記可動対象の位置を制御する位置制御装置において、
前記位置制御装置が、さらに加速度制御装置（３４）を有し、該加速度制御装置は、
第１の加速度回路分岐を有し、該第１の加速度回路分岐は、前記位置コントローラ力（Ｆｐ）が入力する減算器（８）と、第１の利得（Ｋｆ）を有しかつ前記減算器（８）の出力が入力しかつ前記可動対象に作用する前記第１のフィルタ（Ｈｆ）の出力とを有し、
第２の加速度回路分岐を有し、該第２の加速度回路分岐は、第２の利得（Ｋｓ）を有しかつ加速度制御信号を入力する第２のフィルタ（Ｈｓ）を有し、前記第２の加速度回路分岐の出力は前記減算器（８）に入力して前記第２の加速度回路分岐の出力を前記位置コントローラ力（Ｆｐ）から減算する、ことを特徴とするリソグラフィ投影装置。
【請求項１３】
少なくとも１個の可動対象、特に基板やパターン形成手段やその両方、の位置を制御するステップを含むデバイス製作方法であって、位置を制御する前記ステップは、
前記可動対象に制御力（Ｆｃ）を加え、
前記可動対象の実際の位置（２０）を確定し、
前記位置（２０）を位置コントローラ（６）の入力にフィードバックする方法において、
第１の加速度回路分岐内に含まれる減算器（８）を用いて、前記位置コントローラ（６）が出力する位置コントローラ力（Ｆｐ）から、濾波された加速度制御信号を減算し、
前記第１の加速度回路分岐内に含まれる第１の利得（Ｋｆ）を有する第１のフィルタ（Ｈｆ）を用いて前記減算器（８）の出力を濾波し、
前記可動対象の加速度を確定し、
第２の加速度回路分岐内に含まれる第２の利得（Ｋｓ）を有する第２のフィルタ（Ｈｓ）を用いて加速度制御信号を濾波し、
前記第１の加速度回路分岐内に含まれる減算器（８）に前記第２の加速度回路分岐の出力を与える、ことを特徴とするデバイス製作方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、
質量を有する少なくとも１個の可動対象を有し、特に基板テーブルまたはマスク・テーブルを有し、
可動対象の位置を制御するための位置制御装置を有し、該位置制御装置は、位置コントローラ力を出力する位置コントローラと、対象の確定した実際の位置を位置コントローラの入力にフィードバックする位置フィードバック回路とを備えたリソグラフィ投射装置に関するものである。
【０００２】
リソグラフィ投射装置は一般に、マスク・テーブルや基板テーブルなどの１個以上の可動の対象を含む。以下に、任意の可動対象を含むリソグラフィ投射装置について詳細に説明する。
【背景技術】
【０００３】
以下に用いる「パターン形成手段」という用語は、基板の目標部分内に作成するパターンに対応するパターン断面を入射する放射線ビームに与えるための手段を指すものと広く解釈すべきであり、「光バルブ」という用語もこの文脈で用いてよい。一般にパターンは、集積回路またはその他のデバイス（以下を参照）などの目標部分内に作成されるデバイス内の特定の機能的な層に対応する。かかるパターン形成手段は次のものを含む。
【０００４】
マスクについて、マスクの概念はリソグラフィで公知であり、２進、交番位相シフト、減衰位相シフトなどのマスク・タイプや、種々のハイブリッド・マスク・タイプを含む。かかるマスクを放射線ビーム内に置くと、マスク上のパターンに従ってマスク上に衝突する放射線の選択的な透過（透過マスクの場合）または反射(反射マスクの場合)が起こる。マスクの場合の支持構造は一般にマスク・テーブルであり、これにより、入射する放射線ビーム内の望ましい位置にマスクを保持し、またマスクを必要に応じてビームに対して動かすことができる。
【０００５】
プログラム可能なミラー・アレイについて、かかるデバイスの一例は粘弾性制御層と反射面とを有するマトリクス・アドレス指定可能な表面である。かかる装置の基本的な原理は、（例えば）反射面のアドレス指定された領域は入射光を回折光として反射するが、アドレス指定されない領域は入射光を非回折光として反射する、ということである。適当なフィルタを用いることにより非回折光を濾波して反射ビームから除き、回折光だけを残す。これにより、ビームはマトリクス・アドレス指定可能な表面のアドレス指定パターンに従ってパターン形成される。プログラム可能なミラー・アレイの別の実施の形態では、微小ミラーのマトリクス配列を用いて、適当に局在化された電界を与えることによりまたは圧電作動手段を用いることにより、各微小ミラーを軸の回りに個別に傾けることができる。この場合もミラーはマトリクス・アドレス指定可能であり、アドレス指定されたミラーは入射する放射線ビームを、アドレス指定されないミラーとは異なる方向に反射する。このようにして、反射ビームはマトリクス・アドレス指定可能なミラーのアドレス指定パターンに従ってパターン形成される。必要なマトリクス・アドレス指定は適当な電子的手段を用いて行うことができる。上に述べた２つの場合において、パターン形成手段は１個以上のプログラム可能なミラー・アレイを備えてよい。ここに述べたミラー・アレイに関する他の情報は、例えば、米国特許ＵＳ第５，２９６，８９１号およびＵＳ第５，５２３，１９３号と、ＰＣＴ特許出願ＷＯ第９８／３８５９７号およびＷＯ第９８／３３０９６号から得られる。これらの文献を援用する。プログラム可能なミラー・アレイの場合は、支持構造は、例えば必要に応じて固定または可動のフレームまたはテーブルとして実現してよい。
【０００６】
プログラム可能なＬＣＤアレイについて、かかる構造の一例は米国特許ＵＳ第５，２２９，８７２号に与えられており、これを援用する。上と同様に、この場合の支持構造は、例えば必要に応じて固定または可動のフレームまたはテーブルとして実現してよい。
【０００７】
簡単のために、このテキストの以下の或る部分ではマスクとマスク・テーブルとを含む例について特に説明するが、そのような場合に説明する一般的な原理は上に述べたパターン形成手段の更に広い文脈で見るべきである。
【０００８】
リソグラフィ投射装置は、例えば集積回路（ＩＣ）の製作に用いることができる。この場合、パターン形成手段はＩＣの個々の層に対応する回路パターンを生成してよく、放射線感光材料（レジスト）の層で覆った基板（シリコン・ウェーハ）上の目標部分（例えば、１個以上のダイを含む）上にこのパターンを形成してよい。一般に、１個のウェーハは投影装置を介して一度に１箇所ずつ逐次照射される隣接の目標部分の全ネットワークを含む。
【０００９】
本装置では、マスク・テーブル上のマスクによるパターン形成を用いるとき、２つの異なる型のマシンを区別することができる。１つの型のリソグラフィ投影装置では、目標部分上に全マスク・パターンを一度に露光して各目標部分を照射する。かかる装置を一般にウェーハ・ステッパまたはステップ・アンド・リピート装置と呼ぶ。一般にステップ・アンド・スキャン装置と呼ぶ別の装置では、投射ビームの下で所定の基準方向（「走査」方向）にマスク・パターンを漸進的に走査し、他方でこの方向に平行にまたは逆平行に基板テーブルを同期的に走査して、各目標部分を照射する。一般に投射装置は拡大係数Ｍ(一般に１より大きい）を有するので、基板テーブルを走査する速度Ｖはマスク・テーブルを走査する速度のＭ倍である。ここに説明したリソグラフィ・デバイスに関する他の情報は、例えば米国特許ＵＳ第６，０４６，７９２号に見られる。これをここに援用する。
【００１０】
リソグラフィ投影装置を用いる製作工程では、放射線感光材料（レジスト）の層で少なくとも部分的に覆われている基板上にパターン（例えば、マスク内の）を形成する。このパターン形成ステップの前に、下塗り、レジスト被覆、ソフト・ベークなどの種々の処理を基板に行ってよい。露光の後で基板に対して、露光後ベーク（ＰＥＢ）、現像、ハード・ベーク、形成されたパターンの特徴の測定／検査などの他の処理を行ってよい。この一連の処理を、デバイス（例えばＩＣ）の個別の層のパターン形成の基本として用いる。次にこのパターン形成された層に、エッチング、イオン注入（ドーピング）、金属被覆、酸化、化学機械的研磨などの種々の処理（全て、個々の層を完成させるための処理）を行ってよい。
【００１１】
複数の層が必要な場合は、全工程またはその別形を、新しい層毎に繰り返さなければならない。最終的に、デバイスのアレイが基板(ウェーハ)の上にできる。次にダイシングまたはソーイングなどの技術によりこれらのデバイスを互いに分離し、個々のデバイスをキャリヤ上に取り付けたりピンに接続するなどの処理を行う。かかる工程に関する他の情報は、例えば、Peter van Zantの著書「マイクロチップ製作：  半導体処理の実際的ガイド(Microchip Fabrication: A Practical Guide to Semiconductor Processing)」、第３版、McGraw Hill Publishing Co., 1997, ISBN 0-07-067250-4、から得られる。これをここに援用する。
【００１２】
簡単のために、以後は投影装置を「レンズ」と呼ぶ。しかしこの用語は、例えば屈折光学機器、反射光学機器、反射屈折光学装置を含む種々の投影装置を含むものと広く解釈すべきである。また放射線装置は放射線の投射ビームの方向を決め、形を決め、制御するための、任意のこれらの設計方式に従って動作する構成要素も含んでよく、かかる構成要素も以後は、集合的にまたは単独に「レンズ」と呼ぶことにする。また、リソグラフィ装置は２個以上の基板テーブルおよび２個以上のマスク・テーブルまたはそのいずれかを有する種類のものでよい。かかる「多段」デバイスでは追加のテーブルを並列に用いてよく、または準備ステップを１個以上のテーブルで行い、１個以上の他のテーブルを露光に用いてよい。２段リソグラフィ装置は、例えば、ＵＳ第５，９６９，４４１号とＷＯ第９８/４０７９１号に記載されている。これらをここに援用する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
１個以上の可動マスク・テーブル、１個以上の可動基板テーブル、その他の可動テーブル、または一般にリソグラフィ投影装置の一部であるその他の可動対象の移動は、位置制御装置により制御してよい。例えば欧州特許第１，２６５，１０６号に開示されているように、或る対象の従来の位置制御装置は位置コントローラと位置フィードバック回路とを備える。望ましい位置が位置コントローラに与えられ、位置コントローラは対象の必要な移動を計算する。位置コントローラは必要な移動に対応する位置制御力を対象に加える。位置フィードバック回路により、位置コントローラは対象の実際の位置に関する情報を受ける。確定した実際の位置が望ましい位置から外れている場合は、位置コントローラは対象が望ましい位置に到達するまで位置制御力を変える。
【００１４】
計算された位置から実際の位置が外れるのは外力のためである。多段のリソグラフィ装置の場合は、例えば、１つの段を加速することにより空気圧が変動するとこれが他の段への外乱力になる。外力に対する位置制御装置の感度はできるだけ小さくすべきであるが、他の設計パラメータや要求のために外力に対する感度を減らす可能性が制限される。
【００１５】
本発明の１つの目的は、外力に対する対象の位置制御装置（特に、多段のリソグラフィ装置内の可動対象の位置制御装置、ただし、これに限定するわけではない）の感度を下げることである。
本発明の別の目的は、外力に対する対象の位置制御装置の感度を下げる対策を実現したときに、他の設計パラメータや要求に影響を与えないことである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上に示したリソグラフィ投影装置において、これらの目的は本発明により達成される。その特徴は、位置制御装置が、
位置コントローラ力が入力する減算器、第１の利得を有しかつ減算器の出力が入力しかつ対象に加える制御力を出力する第１のフィルタ、を有する第１の加速度回路分岐と、
第２の利得をもちかつ加速度制御信号が入力する第２のフィルタを有し、第２の回路分岐の出力が減算器に入力して位置コントローラ力から減算される、第２の加速度回路分岐と、
を備えた加速度制御装置を更に含むことである。
【００１７】
本発明に係る１個以上の位置制御装置を持つリソグラフィ装置は、第２の加速度回路分岐を介して加速度フィードバックまたは加速度誤差フィードフォワードを用いる点が優れている。対象に力を加えると対象は加速される。したがって、位置制御力の他に外力を対象に加えると、対象は位置制御装置が計算した通りには加速されない。対象の加速度または加速度誤差（すなわち、対象の実際の加速度と意図された加速度との差）のフィードバックを用いることにより、外乱力に起因する追加の加速度を補償し、または少なくとも減らすことができる。
【００１８】
しかし、加速度制御装置により利得が導入され、これがまた位置制御力に影響を与えることがある。しかし、加速度制御装置内に少なくとも２個のフィルタ（第１のフィルタと第２のフィルタ）を置くことにより、本発明に係る装置は、異なる入力ノードのところで装置に入力する力に関する特性が異なるように設計することができる。これにより、位置制御力への加速度制御装置の影響と、外乱力への加速度制御装置の影響とを区別することができる。
【００１９】
第１の加速度回路分岐内に含まれる第１の利得を有する第１のフィルタは、位置コントローラと対象との間に置いてよい。第２のフィルタは加速度フィードバック回路内（例えば、対象フィルタの出力すなわち実際の加速度と第１のフィルタの入力との間）に、または加速度フィードフォワード回路内（例えば、加速度誤差信号を入力とする）に置いてよい。どちらの場合も、第２のフィルタに入力する信号は実際の加速度から得られる信号であって、加速度制御信号と見なしてよい。このように位置コントローラ力は、対象に与えられる前に、しかし濾波された加速度信号が減算器で減算された後に、第１フィルタで濾波される。他方で外乱力は対象に直接加わるので、外乱力に関する装置の伝達関数は恐らく異なる。
【００２０】
位置コントローラ力に関する装置の伝達関数は、入力ノードである減算器８の入力から、出力である対象の加速度までの伝達関数であることに注意していただきたい。外乱力に関する伝達関数は、入力ノードである対象フィルタの入力から、出力である対象の加速度までの伝達関数である。
【００２１】
対象に力を加えると対象に加速度が生じる。加速度の大きさは対象に加えられる力の結果である。力は対象で濾波されると考えてよい。したがって装置を概略的に表現するとき、対象は対象利得を有する対象フィルタとして表してよい（以後はそのように表す）。
【００２２】
本発明に係る加速度制御装置を用いる位置制御装置の利点は、位置コントローラ力と外力とに関する伝達関数を区別することである。この区別により、外力の影響を減らしながら他の設計パラメータまたは要求への影響を最小にする装置設計が可能になる。
【００２３】
好ましくは加速度制御装置は、減算器に入力する位置コントローラ力に関する第１の伝達関数と、対象に直接加わる外乱力に関する第２の伝達関数とを有し、第１の伝達関数は対象利得と実質的に等しく、第２の伝達関数は対象利得より一般に小さく、対象利得は対象の質量の逆数と実質的に等しい。位置コントローラ力に関する加速度制御装置の伝達関数を対象利得と等しくすると、位置制御装置（特に位置コントローラ）は追加の加速度制御装置に適応する必要がない。加速度制御装置がない場合は、位置コントローラはすでに対象利得を経験しているので実質的に何も変わらない。しかし、加速度制御装置がない場合は外乱力はやはり対象利得を経験するが、外乱力に関する第２の伝達関数を対象利得より小さくした加速度制御装置の場合は経験する対象利得は更に小さい。したがって、外乱力による対象の加速は加速度制御装置がないときより小さい。
【００２４】
本発明の或る実施例では加速度制御装置は選択されたループ利得を有し、第１の伝達関数は
【数１】
2005101606.tif 000003
第２の伝達関数は
【数２】
2005101606.tif 000004
ループ利得は
【数３】
2005101606.tif 000005
である。ただし、ｍは対象の質量、Ｋｌはループ利得、Ｋｆは第１のフィルタの第１の利得、Ｋｓは第２のフィルタの第２の利得である。
【００２５】
第１の伝達関数Ｇ１と第２の伝達関数Ｇ２とを有する加速度制御装置を備える位置制御装置では、外乱力に起因する加速度を任意の選択されたレベルまで下げることができる。伝達関数Ｇ１とＧ２はそれぞれの力に対する加速度（伝達関数により影響される量、すなわち出力、は対象の加速度）の関係を示す。位置コントローラに関する伝達関数は対象利得に対して一定に保たれるが、外乱力に関する伝達関数はループ利得Ｋｌを選択することにより選択できる。任意のループ利得Ｋｌは、対応する第１の利得と第２の利得とを選択することにより実現される。しかし、フィルタ設計は得られる第１の利得と第２の利得とに（従って得られるループ利得に）制限を課すことがあることに注意すべきである。
【００２６】
当業者は、所定の伝達関数とループ利得から第１のフィルタと第２のフィルタの適当な特性を推定して、対応するフィルタを設計することができる。しかし完全には、適当な利得は次のように与えられる。すなわち、適当な第１の利得は
【数４】
2005101606.tif 000006
であり、適当な第２の利得は
【数５】
2005101606.tif 000007
である。
【００２７】
優れている点は、第１の伝達関数Ｇ１は入力周波数の関数として実質的に変化せず、第２の伝達関数Ｇ２は入力周波数の関数として変化することである。全ての環境下で装置の安定性を保つには、外乱力に関する第２の伝達関数は与えられる外乱力の周波数の関数として変化してよい。より高い周波数では、例えばダイナミックスおよび時間遅れまたはそのいずれかのために、対象利得Ｈｏは１／ｍから外れ始める。したがって不安定を避けるために、より高い周波数では利得Ｋｌを小さくするのがよい。なぜなら、ＫｌとＨｏとの積が１より小さい場合は、位相に無関係に安定性が保たれる。その結果、周波数が高くなるとＧ２は１／ｍまで大きくなる。
【００２８】
上に述べた装置の不安定性は特に高い周波数で起こり得るので、周波数が高くなるに従ってループ利得Ｋｌを減らし、その結果、入力周波数が高くなるに従って第２の伝達関数Ｇ２を大きくするのがよい。伝達関数が大きくなると元の対象利得に近づく。この場合、対象に与えられる或る周波数より上では加速度制御装置はどの力にも影響を与えない。
【００２９】
本発明の或る実施例では、第２の伝達関数Ｇ２は入力周波数の関数であり、ループ利得Ｋｌは周波数に依存するループ・フィルタＨｌ（ｓ）で与えられ、第１のフィルタＨｆの周波数依存性は
【数６】
2005101606.tif 000008
であり、第２のフィルタＨｓ（ｓ）の周波数依存性は
【数７】
2005101606.tif 000009
である。
【００３０】
周波数に依存する第２の伝達関数Ｇ２を得るには、ループ利得Ｋｌは周波数の関数、すなわちループ・フィルタＨｌ（ｓ）でよい。第１のフィルタと第２のフィルタとはループ・フィルタを用いて構築してよいので、第１のフィルタと第２のフィルタとは周波数の関数になる。適当なループ・フィルタは２次の低域フィルタ、すなわち積分器である。
第１のフィルタと第２のフィルタとは周波数に依存するが、第１の伝達関数はやはり対象の質量の逆数と実質的に等しいので、周波数には全く依存しないことに注意すべきである。
【００３１】
本発明の或る実施例では、位置制御装置は離散時間装置である。かかるディジタル装置は容易に設計することができるし、費用効果が高い。
別の実施例では、位置制御装置は少なくともプロセス伝達関数遅れ Ｄｐ＝ｚ-p  を対象利得に直列に有し、また加速度フィードバック回路内に加速度測定遅れ Ｄａ＝ｚ-q  を第２の利得に直列に有する。上に述べたように、位置制御装置は装置内のどこででも遅れを示す。遅れは、測定し、計算またはその他の方法で推定し、その後でモデル化して装置設計に含めることができる。
【００３２】
装置内に存在する２つの重要な遅れは、プロセス伝達関数遅れＤｐと加速度測定遅れＤａとである。プロセス伝達関数遅れＤｐは、位置コントローラが位置コントローラ力を出力した時刻と、この位置コントローラ力により対象が加速された時刻との間に起こる全遅れを表す。加速度測定遅れＤａは、対象の加速度の測定中に起こる全ての遅れを表す。
【００３３】
ディジタル装置では、２つの遅れＤｐとＤａとは Ｄｐ＝ｚ-p  と Ｄａ＝ｚ-q  とで表され、装置設計に導入される。この表現において、ｐとｑとは整数に限定されない。ディジタル装置設計にこれらの２つの遅れを導入すると、適当な第１のフィルタ
【数８】
2005101606.tif 000010
と、適当な第２のフィルタ
【数９】
2005101606.tif 000011
とが得られる。
【００３４】
遅れフィルタをディジタル位置制御装置と共に提示して説明したが、遅れフィルタは上に開示したアナログ位置制御装置内に同様に備えてよいことを理解すべきである。
等式で定式化したその特性で任意のフィルタを説明したが、当業者には本発明に係る位置制御装置内で所定の説明と式を用いてフィルタを実現できることが認識される。
本発明の別の形態では、リソグラフィ装置に関連して上に述べた位置制御装置がある。
【００３５】
本発明の別の形態では、少なくとも１個の可動対象（特に基板、パターン形成手段、またはその両方）の位置を制御するステップを含むデバイス製作方法を提供する。位置を制御するステップは、
可動対象に制御力（Ｆｃ）を加え、
可動対象の実際の位置を確定し、
位置を位置コントローラ（６）の入力にフィードバックし、その特徴は、
第１の加速度回路分岐内に含まれる減算器（８）を用いて、位置コントローラ力（Ｆｐ）から濾波された加速度制御信号を減算し、
第１の加速度回路分岐内に含まれる第１の利得（Ｋｆ）を有する第１のフィルタ（Ｈｆ）を用いて減算器（８）の出力を濾波し、
可動対象の加速度を確定し、
第２の加速度回路分岐内に含まれる第２の利得（Ｋｓ）を有する第２のフィルタ（Ｈｓ）を用いて加速度制御信号を濾波し、
第１の加速度回路分岐内に含まれる減算器（８）に第２の加速度回路分岐の出力を与える、
ことである。
【００３６】
このテキストでは本発明に係る装置をＩＣの製作に用いることについて特に述べるが、かかる装置は多くの可能な他の応用を有することを明確に理解すべきである。例えば、総合光学装置、磁気領域メモリの案内および検出パターン、液晶ディスプレイ・パネル、薄膜磁気ヘッドなどの製作にこれを用いてよい。当業者が認識するように、かかる別の応用の文脈では、このテキストで用いられる「網線」、「ウェーハ」、「ダイ」などの用語はより一般的な用語「マスク」、「基板」、「目標部分」でそれぞれ置き換えられると考えるべきである。
【００３７】
この明細書では、「放射線」および「ビーム」という用語は、紫外（ＵＶ）線（例えば、波長が３６５，２４８，１９３，１５７，１２６ｎｍ）や極紫外（ＥＵＶ）線（例えば、５−２０ｎｍの範囲の波長を有する）を含む全ての種類の電磁放射線と、イオン・ビームまたは電子ビームなどの粒子ビームとを含んで用いられる。
【実施例】
【００３８】
図１は本発明の特定の実施例に係るリソグラフィ投影装置１の略図を示す。この装置は、
放射線の投影ビームＰＢを与える放射線装置ＩＬ（この特定の場合は、放射線装置は放射線源ＬＡも含む）と、
マスクＭＡ（例えば、網線）を保持するためのマスク保持器を備えて、品目ＰＬに対してマスクを精密に位置決めするための第１の位置決め手段ＰＭに接続する第１の対象テーブル（マスク・テーブル）ＭＴと、
基板Ｗ（例えば、レジストを塗布したシリコン・ウェーハ）を保持するための基板保持器を有し、品目ＰＬに対して基板を精密に位置決めするための第２の位置決め手段ＰＷに接続する第２の対象テーブル（基板テーブル）ＷＴと、
基板Ｗの目標部分Ｃ（例えば、１個以上のダイを含む）上にマスクＭＡの照射された部分の像を形成する投射装置（レンズ）ＰＬと、
を備える。
【００３９】
ここに示したように、この装置は透過型（すなわち、透過マスクを有する）である。しかし一般に、例えば反射マスクを持つ反射型でもよい。またはこの装置は、上に述べたような種類のプログラム可能なミラー・アレイなどの、別の種類のパターン形成手段を用いてよい。
【００４０】
線源ＬＡは放射線のビームを作る。このビームを、直接にまたは例えばビーム拡大器などの調整手段を通した後で、照明装置（照明器）ＩＬに与える。照明器ＩＬは、ビーム内の強度分布の外径範囲および内径範囲（一般にそれぞれσアウタ(σ-outer)、σインナ(σ-inner)と呼ぶ）またはそのいずれかを設定するための調整手段を備えてよい。また一般に、積分器やコンデンサなどの種々の他の構成要素を備える。これにより、マスクＭＡ上に衝突するビームＰＢはその断面に望ましい均一性と強度分布とを有する。
【００４１】
図１において、線源ＬＡはリソグラフィ投影装置のハウジング内にあってよい（多くの場合のように、例えば線源ＬＡが水銀ランプのとき）が、リソグラフィ投影装置から離れていて、生成した放射線ビームを装置内に導いてもよい（例えば、適当な案内ミラーの助けで）。後者の方法は線源ＬＡがエクサイマ・レーザの場合に多い。本発明とクレームは両方の方法を含む。
【００４２】
次に、ビームＰＢはマスク・テーブルＭＴ上に保持されているマスクＭＡに当たる。ビームＰＢはマスクＭＡを通ると、ビームＰＢを基板Ｗの目標部分Ｃ上に収束させるためのレンズＰＬを通る。第２の位置決め手段ＰＷ（および干渉測定手段ＩＦ）の助けにより基板テーブルＷＴを精密に移動させることができる（例えばビームＰＢの光路内の種々の目標部分Ｃを位置決めする）。同様に、第１の位置決め手段ＰＭを用いてビームＰＢの光路に対してマスクＭＡを精密に位置決めすることができる（例えば、マスク・ライブラリからマスクＭＡを機械的に検索した後で、または走査中に）。一般に、対象テーブルＭＴ、ＷＴの移動はロング・ストローク・モジュール（粗位置決め）とショート・ストローク・モジュール（精位置決め）との助けにより実現される。これらは図１には明示されていない。しかしウェーハ・ステッパの場合は（ステップ・アンド・スキャン装置とは異なり）、マスク・テーブルＭＴを単にショート・ストローク・アクチュエータに接続してもよいし、固定してもよい。マスクＭＡと基板Ｗとは、マスク位置合わせマークＭ１、Ｍ２と基板位置合わせマークＰ１、Ｐ２とを用いて位置合わせをしてよい。
【００４３】
ここに示した装置は２つの異なるモードで用いることができる。
１．  ステップ・モードについて、マスク・テーブルＭＴを実質的に静止させて、全マスク像を目標部分Ｃの上に一度に（すなわち、一度の「フラッシュ」で）投射させる。次に基板テーブルＷＴをｘ方向およびｙ方向またはそのいずれかにシフトさせて、異なる目標部分ＣをビームＰＢにより照射する。
２．  走査モードについて、実質的に同じ方法が適用されるが、異なる点は所定の目標部分Ｃを一度の「フラッシュ」で露光せず、マスク・テーブルＭＴを所定の方向（いわゆる「走査方向」、例えばｙ方向）に速度ｖで移動して、投射ビームＰＢでマスク像の上を走査することである。したがって、基板テーブルＷＴを同じ方向または逆の方向に、同時に速度 Ｖ＝Ｍｖ で動かす。ただし、ＭはレンズＰＬの倍率で、一般に Ｍ＝１／４ または １／５ である。このようにして、解像度を下げずにかなり大きな目標部分Ｃを露光することができる。
【００４４】
位置決め手段ＰＭおよびＰＷは本発明に係る位置制御装置の実施例でよい。以下の図面とその説明はかかる位置制御装置に関して行う。理解しやすくするために、まず位置制御装置の構造と動作を、従来の位置制御装置と関連づけて説明する。その後で、本発明の実施例を示して説明する。
【００４５】
図２は、対象の位置を制御するために位置フィードバックを用いる従来の位置制御装置の実施例を示す。位置制御装置の外部で望ましい絶対位置を決定して、設定点入力２を介して位置制御装置に与える。望ましい絶対位置から制御対象の実際の絶対測定位置を減算して、対象の望ましい相対移動信号４を得る。次に、位置コントローラ入力を介して望ましい相対移動信号４を位置コントローラ６に与える。位置コントローラ６は当業者に周知のデバイスで、移動信号を制御信号に変換する機能を有する。位置コントローラ６は、例えばＰＩＤコントローラと、低域フィルタと、増幅器とで構成する。
【００４６】
位置コントローラ６からの制御信号出力は位置コントローラ力Ｆｐと呼んでよい。なぜなら、制御信号は力として対象に働くからである。位置コントローラ力Ｆｐにより、対象の質量ｍに依存して対象の加速度が生じる。図では対象を、対象利得Ｋｏを有する対象フィルタＨｏとして表す。対象の質量ｍ以外に摩擦などの他のパラメータも存在して対象利得Ｋｏで表されるが、簡単のために、対象利得Ｋｏは対象の質量だけに依存すると仮定する。
【００４７】
物理法則により、対象の速度は対象の加速度を積分器１４により時間で積分したものに等しい。同様に、速度信号１６を積分器１８で積分すると、確定した実際の位置信号２０が得られる。位置信号２０は位置フィードバック回路２２を介して位置制御装置の入力にフィードバックされる。
【００４８】
対象には、位置コントローラから出力される力Ｆｐだけでなく他の力も加わる。多段のリソグラフィ装置の場合、対象は１段でもよい。他の段で生じた空気圧の変化が段に外乱力を与えることがある。しかし全ての外力は、対象に予期しない変位を生じさせるので位置制御装置の外乱になる。
【００４９】
装置の物理的構成要素ではないので、図２では外乱力Ｆｄを点線で示す。しかし外乱力Ｆｄが装置内のどこに入ると考えられるかを示すために図２に含めて示す。なぜなら、これは本発明を理解する上で重要な要素だからである。
【００５０】
当業者は図２の位置制御装置の一般的な機能を容易に理解することができる。計算または測定により確定した実際の位置信号２０を設定点２の位置入力から減算器で減算して、望ましい移動信号４を得る。望ましい移動信号４に基づいて、位置コントローラ６は対象を望ましい位置まで動かす力を決定する。位置コントローラ６から出力された力Ｆｐは対象に与えられる。また、この場合に存在すると仮定された外乱力Ｆｄも対象に与えられる。１／ｍ（ｍは対象の質量）に等しい対象利得Ｋｏを有する対象フィルタＨｏで表される対象の質量に依存して、位置コントローラ６から与えられる力Ｆｐと外乱力Ｆｄとにより対象は加速される。
【００５１】
性質上、実際の位置信号２０は加速度信号１２を２回積分したものと等しい。略図では、この２回積分は積分器１４と１８で行う。加速度信号１２を知りたい場合は、これを直接測定してもよいし、または位置信号２０を時間に関して２回微分して得てもよい。確定した実際の位置信号２０は減算器にフィードバックされ、望ましい移動信号４が得られる。しかし外乱力Ｆｄのために、実際の移動は位置コントローラ６が与える力から得られるはずの望ましい移動とは異なることがある。したがって、外乱力Ｆｄを補償するために位置コントローラ６は位置コントローラ力Ｆｐを変える必要がある。
【００５２】
図２はフィードフォワード回路を全く含まないことに注意していただきたい。しかし、実際にはフィードフォワード回路が存在してよい。例えば、望ましい位置２は望ましい対象加速度に対応してよい。一般に望ましい対象加速度は処理されて（例えば、対象の質量が乗算されて）、位置コントローラ力Ｆｐに加算される。対象の特性の詳細に従って、他のフィードフォワード回路も存在してよい。
【００５３】
図３は、本発明に係る位置フィードバックと加速度フィードバックとを用いる位置制御装置の図である。この図は加速度制御装置３４を備える。加速度制御装置３４は第１および第２の加速度回路分岐を備える。第１の回路分岐は減算器８と、第１の利得Ｋｆを有する第１のフィルタＨｆとで構成する。第２の回路分岐は第２の利得Ｋｓを有する第２のフィルタＨｓで構成する。また加速度フィードバック信号２８が第２のフィルタＨｓに入力され、濾波された加速度フィードバック信号３２が第２のフィルタＨｓから出力され、位置コントローラ６から出力される位置コントローラ力Ｆｐから減算器８により減算される。対象に加わるのは位置コントローラ力Ｆｐではなく、制御力Ｆｃである。制御力Ｆｃは第１のフィルタＨｆから出力される。
【００５４】
加速度制御装置３４をよく理解するため、図３に係る位置制御装置の機能を説明する前に図４Ａ、図４Ｂ、図４Ｃを参照していただきたい。
【００５５】
図４Ａは、ループ利得Ｋｌと対象フィルタＨｏとで構成する加速度制御装置３６の一般的な基本概念を示す。図２に示す装置と比較すると、ループ利得Ｋｌとフィードバック回路３８とが追加されている。加速度と位置コントローラ力Ｆｐとの関係は利得Ｋｌ／（ｍ＋Ｋｌ）で表される。加速度と外乱力Ｆｄとの関係は利得１／（ｍ＋Ｋｌ）で表される。したがって位置コントローラ力Ｆｐは、加速度制御装置３６のない装置とは異なる加速度を生じる。詳しく述べると、Ｈｏ内の遅れすなわちダイナミックスを考慮して、高周波でのループ利得Ｋｌを小さくするためにＫｌを周波数依存にすると、位置コントローラ力Ｆｐと実際の加速度との関係も周波数に依存するようになる。したがって、元の対象利得１／ｍは周波数に依存する利得に置き換えられる。位置コントローラ６がこの周波数に依存する利得を補償することは困難である。このために位置コントローラ６を変更する必要がある。これは位置制御ループの安定性を考慮すると一般に非常に困難である。
【００５６】
図４Ｂと図４Ｃとは、減算器８と、第１の利得Ｋｆを有する第１のフィルタＨｆと、第２の利得Ｋｓを有する第２のフィルタＨｓとを有する本発明に係る加速度制御装置３４を示す。図４Ｂは、位置コントローラ力Ｆｐだけが入力である加速度制御装置３４を示す。図４Ｃは、同じであるが外乱力Ｆｄだけが入力である加速度制御装置３４を示す。図４Ｂと図４Ｃの両加速度制御装置の出力は対象の実際の加速度である。
【００５７】
位置コントローラ力Ｆｐから生成される加速度は、図２に示す装置内の位置コントローラ力Ｆｐから生成される加速度に比べたとき、加速度制御装置３４により変わって（すなわち、増加または減衰して）はならない。したがって、加速度制御装置３４の利得は減算器８に入力される位置コントローラ力Ｆｐに対して１／ｍと等しくなければならない。
【００５８】
加速度制御装置３４の利得は減算器８への入力に対して
【数１０】
2005101606.tif 000012
と等しく、また上に述べたように１／ｍと等しくなければならない。したがって、第１の利得Ｋｆと第２の利得Ｋｓに対する第１の制約は
【数１１】
2005101606.tif 000013
である。
【００５９】
次に図４Ｃにおいて、外乱力Ｆｄは、図４Ａで導入したループ利得と同等のループ利得Ｋｌで減衰するはずである。実際に、図４Ｃに示す加速度制御装置３４は図４Ａに示す回路と実質的に同じである。なぜなら、図４Ａの場合は第１のフィルタＨｆと第２のフィルタＨｓとを結合して１つのフィルタとして表しているからである。したがって、ループ利得Ｋｌは両フィルタを表してよく、したがって第１の利得Ｋｆに第２の利得Ｋｓを乗算したものに等しい。すなわち、
【数１２】
2005101606.tif 000014
である。これが第１の利得Ｋｆと第２の利得Ｋｓの第２の制約になる。
【００６０】
本発明に係る加速度制御装置３４を用いると、外乱力Ｆｄに起因する加速度は減衰するが位置コントローラ力に起因する加速度は変化しないことに注意していただきたい。
図４Ｂと図４Ｃとに関連して説明した２つの制約を結合して、第１のフィルタＨｆの望ましい第１の利得Ｋｆと第２のフィルタＨｓの望ましい第２の利得Ｋｓとを表す２つの式が得られる。すなわち、
【数１３】
2005101606.tif 000015
と、
【数１４】
2005101606.tif 000016
とである。
【００６１】
図５Ａは、上記の第１のフィルタＨｆ用として表されたフィルタ特性を有するフィルタの或る実施例を示す。このフィルタは、その特性が対象フィルタＨｏと同じ第１のフィルタＨｆ１と、ループ・フィルタＨ１に対応する第２のフィルタＨｆ２とを共にフィードフォワード分岐内に置いて構成する。
図５Ｂは、上記の第２のフィルタＨｓ用として表されたフィルタ特性を有するフィルタの或る実施例を示す。このフィルタは、その特性が対象フィルタＨｏと同じ第１のフィルタＨｓ１と、ループ・フィルタＨ１に対応する第２のフィルタＨｓ２とで構成する。第１のフィルタＨｓ１はフィードバック回路分岐内に置かれる。
【００６２】
その特性が対象フィルタＨｏと同じであるフィルタＨｆ１とＨｓ１の物理的な実施例はコンピュータで実現してよい。この意味は、図に示すフィルタは例えばプログラムされたコンピュータ・デバイスである信号処理デバイスで実現されて、入力信号を受け、フィルタの実現された特性（この場合は対象フィルタの特性と同じ）に従って信号を濾波し、その結果を出力する、ということである。また、装置内の他の部分も周知のコンピュータ・デバイスで物理的に実現し、または他の種類の信号処理プロセッサを用いて実現してよい。
【００６３】
図５Ｃは本発明に係る位置制御装置の或る実施例を示す。ここでは、図５Ａと図５Ｂで導入されたフィルタが、図３に示す加速度フィードバックを用いる位置制御装置で実現されている。図５Ｃで、望ましい位置信号は設定点２で装置に入力される。望ましい位置から実際の位置信号２０を減算して望ましい移動信号４を生成し、これを位置コントローラ６に入力する。濾波された加速度信号３２を位置コントローラ力Ｆｐから減算して第１のフィルタＨｆに入力する。ここで、第１のフィルタＨｆの出力は対象フィルタＨｏで表される対象に与えられる制御力Ｆｃである。実際の加速度を第２のフィルタＨｓに与え、上に述べたようにその出力を位置コントローラ力Ｆｐから減算する。実際の加速度信号１２から実際の位置信号２０を計算し、装置の入力ノード（すなわち、設定点２）に与えて、入力する望ましい位置から減算する。この場合も上に述べたように、通常、位置信号２０を測定して、これから実際の加速度を決定してよい。
【００６４】
図に示す位置制御装置では、対象に加えられた外乱力Ｆｄに起因する対象の全ての予期しない加速度は、加速度フィードバック装置３４により早い段階で補償される。
この位置制御装置では、明記されていないフィルタがまだ他に存在することに注意していただきたい。この時点ではループ・フィルタＨ１はまだ明記されていない。ループ・フィルタＨ１は外乱力Ｆｄだけに影響を与えて、任意の位置コントローラ力Ｆｐへの反応には影響を与えないように加速度制御装置は設計されている。したがって、ループ・フィルタＨ１は任意の適当なフィルタ特性に従って設計してよい。
【００６５】
本発明の或る実施例では、ループ・フィルタＨ１は周波数に依存するフィルタとして設計され、全ての低周波外乱力Ｆｄは抑えるが全ての高周波外乱力Ｆｄは変えない。かかる実施例では、ループ・フィルタＨ１は２次の低域フィルタすなわち積分器でよい。しかしループ・フィルタＨ１は周波数とは無関係でよく、この場合は単なる一定利得である。
【００６６】
図６は本発明の別の実施例を示す。本発明はディジタル離散時間装置として実現されている。しかし上記の装置と同様に、装置内には遅れが存在してよい。したがって図６では、位置制御装置内に２つの可能な遅れが含まれている。装置内の第１の遅れはプロセス伝達関数遅れ（すなわち位置コントローラ出力から対象の実際の加速度までの遅れ）でよい。第２の遅れは加速度測定遅れでよい。
【００６７】
プロセス伝達関数遅れは、遅れを含むように対象フィルタＨｏを修正して位置制御装置内に導入される。離散時間では遅れはｚ-pで表わされるので、対象フィルタＨｏはｚ-p／mになる。加速度測定遅れは、加速度制御装置３４のフィードバック分岐内に置かれた別個の遅れフィルタとして導入される。
【００６８】
加速度測定遅れフィルタＤａはｚ-qに等しい。フィルタを修正して追加すると位置制御装置全体の特性が修正される。詳しく述べると、第１の利得Ｇ１はこの場合はｚ-p／mに変わる。すなわち、遅れを含む対象利得と同じである。しかし基本的に、１つ以上の遅れを表すフィルタを備えるディジタル位置制御装置は図３、図４Ａ−４Ｃ、図５Ａ−５Ｃの位置制御装置と同様に機能する。したがって、ディジタル位置制御装置の詳細な説明は省略する。
【００６９】
図７Ａは図６に関して説明した実施例が達成した理論的な結果を、図７Ｂはその実際の結果を示す。図７Ａと図７Ｂのグラフはディジタルの実施例のプロセス感度を入力外乱力の周波数の関数として示す。横軸の周波数は対数目盛りである。図７Ａと図７Ｂに示すプロセス感度は位置ループ・プロセス感度（すなわち外乱力Ｆｄから測定された位置誤差４への伝達関数）である。
【００７０】
図７Ａは、本発明に係る加速度フィードバックがある場合とない場合の両方の理論的なプロセス感度を示す。ここで、従来のディジタル位置制御装置の理論的なプロセス感度を点線５２で示し、本発明に係る位置制御装置の理論的なプロセス感度を実線５４で示す。実際には、装置内に高次のダイナミックスが存在する。１ｋＨｚ付近の共振ピークはかかる高次のダイナミックスの結果である。かかる高次のダイナミックスは、かかる理論的結果を計算するのに用いられる理論モデル内に含まれている。
【００７１】
本発明に係る装置のプロセス感度は従来の装置のプロセス感度に比べて、特に低周波で、明らかに小さくなっている。１０Ｈｚの外乱力では、プロセス感度は約２０ｄＢ（１０倍）小さい。２００Ｈｚより高く１ｋＨｚより低い周波数ではプロセス感度はやや高くなり、１ｋＨｚより高い周波数ではプロセス感度は従来の装置の感度と実質的に同じである。
【００７２】
図７Ｂは、従来の装置については点線５６で、また本発明に係る装置については実線５８で示す。このグラフは測定データを表しており、装置の実際の位置ループ・プロセス感度を表す。従来の装置と本発明に係る装置のプロセス感度は、両方とも図７Ａに示す予測された理論的なプロセス感度と実質的に変わらない。１ｋＨｚより上では測定ノイズのために測定値は不正確になるので、理論的な結果と正しく比較することはできない。このように、本発明に係る装置は期待通りに機能する。
【００７３】
図８は本発明の別の実施例を示す。この場合も第１の実施例と同様に、位置コントローラ６は位置設定点２と実際の位置信号２０との差に反応する。位置コントローラ力Ｆｐに加えて、加速度設定点フィードフォワード信号Ａｆｆが存在する。加速度設定点フィードフォワード信号Ａｆｆは設定点加速度フィルタＨａが生成する。フィルタＨａへの入力は望ましい加速度すなわち設定点加速度Ａｓｐに等しい。一般に、設定点加速度フィルタＨａは対象利得の逆数を含み、その最も簡単な形式は対象の質量ｍに等しい。一般に、設定点加速度Ａｓｐは、設定点２に入力する設定点位置を時刻に関して２回微分したものと実質的に等しい。設定点加速度フィードフォワードの主な目的は、対象を加速させることにより、位置コントローラ６を反応させるために望ましい位置と実際の位置との不一致を生成することなく、その位置と望ましい位置とを一致させることである。したがって加速度フィードフォワードにより、位置コントローラ６への入力を与えなくても対象はその設定点位置に密接に追従することができる。
【００７４】
図に見られるように、加速度設定点フィードフォワード信号Ａｆｆは対象フィルタＨｏに直接入力するので、外乱力Ｆｄと同等のノードで装置に入る。図３に示す実施例では、加速度制御装置３４は加速度設定点フィードフォワード信号Ａｆｆの影響を小さくしようとする。加速度設定点フィードフォワード信号Ａｆｆの影響を小さくしてはならないことは明らかである。
【００７５】
または、加速度設定点フィードフォワード信号Ａｆｆを位置コントローラ力Ｆｐに加算してもよい。この場合、加速度制御装置３４は加速度設定点フィードフォワード信号Ａｆｆの影響を小さくしようとはしない。しかし加速度設定点フィードフォワード信号Ａｆｆは、対象フィルタＨｏ自体より複雑な動特性を有する加速度制御装置３４を通らなければならないので、設定点加速度フィルタＨａは一層複雑でなければならない。そのため、加速度設定点フィードフォワード信号Ａｆｆは図８に示したように対象に直接作用させた方がよい。
【００７６】
加速度フィードフォワードに起因する加速度に加速度制御装置３４が反応するという問題は、第２のフィルタＨｓを通して実際の加速度１２をフィードバックするのではなく、第２のフィルタＨｓを通して加速度誤差信号４４を与えることにより解決することができる。この場合は、加速度設定点フィードフォワード信号Ａｆｆに起因しない加速度だけを加速度制御装置３４にフィードバックする。加速度誤差信号４４は、設定点位置２と実際の位置２０との差から、図８に示す加速度誤差再構築フィルタＨｒにより生成する。加速度誤差再構築フィルタＨｒは一般に、その入力を時間に関して２回微分する二重微分器から成る。この再構築フィルタＨｒの出力は元の加速度測定信号１２と比べると符号が異なるので、第２のフィルタＨｓの出力は位置コントローラ力Ｆｐから減算するのではなく、これに加算する。しかし当業者が容易に理解するように、別のインバータで反転を行って再構築フィルタＨｒの出力の符号の違いを訂正し、次に減算器８を用いてこの信号を減算してよい。
【００７７】
本発明の特定の実施例について上に説明したが、認識されるように、本発明はこれまでの説明とは異なる方法で実施してよい。例えば、上に述べたように加速度ではなく実際の位置を測定し、加速度はこの測定位置から計算してよく、または加速度と位置の両方を測定して、そのための計算手段を全て省略してよい。また、対象フィルタＨｏ内の高次の影響（共振など）に対処するためにＨ１（ｓ）内に特定のフィルタ構成要素を含めてよい。
【００７８】
また、リソグラフィ投影装置に関連して本発明を説明したが、本発明は対象の位置を制御する任意の装置に用いてよいことを理解すべきである。したがって、上記の説明はいかなる点でも本発明を制限するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
本発明について、以下の略図を参照して詳細に説明する。対応する参照シンボルは対応する部分を示す。
【図１】本発明の或る実施例に係るリソグラフィ投影装置を示す。
【図２】位置フィードバックを用いる、従来の位置制御装置の略ブロック図である。
【図３】本発明に係る位置制御装置の或る実施例の略ブロック図である。
【図４】Ａは、従来の加速度制御装置の略ブロック図である。Ｂは、位置コントローラ力を入力とする、本発明に係る加速度制御装置の略ブロック図である。Ｃは、外乱力を入力とする、本発明に係る加速度制御装置の略ブロック図である。
【図５】Ａは、第１のフィルタの或る実施例の略ブロック図である。Ｂは、第２のフィルタの或る実施例の略ブロック図である。Ｃは、本発明に係る位置制御装置の或る実施例の略ブロック図である。
【図６】装置内に存在する可能性のある遅れを複数のフィルタが表す、本発明のディジタルの実施例の略ブロック図である。
【図７】図６のディジタルの実施例で達成されるプロセス感度を示すグラフである。
【図８】加速度設定点フィードフォワードを用いる、本発明の別の実施例の略ブロック図である。
【符号の説明】
【００８０】
６  位置コントローラ
８  減算器
２２  位置フィードバック回路
３４  加速度制御装置
Ｆｄ  外乱力
Ｆｐ  位置コントローラ力
Ｇ１  第１の伝達関数
Ｇ２  第２の伝達関数
Ｈｆ  第１のフィルタ
Ｈｏ  対象フィルタ
Ｈｓ  第２のフィルタ
【図１】
2005101606.tif 000024
【図２】
2005101606.tif 000025
【図３】
2005101606.tif 000026
【図４】
2005101606.tif 000027
【図５】
2005101606.tif 000028
【図６】
2005101606.tif 000029
【図７】
2005101606.tif 000030
【図８】
2005101606.tif 000031