(57)【要約】【課題】ＣａＦ２材料の表面からクロムをエッチングする一方で、ＣａＦ２材料の表面上の微細な仕上を維持させる方法を提供する。【解決手段】第一の量のクロムを第一のクロムエッチング剤を使用してエッチングして、かつ第一の量を上回る第二の量のクロムを第二のクロムの選択エッチング剤を使用してエッチングして、そうしてＣａＦ２物に低いマイクロラフネスを維持させる。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＣａＦ２物上に堆積されたクロムのエッチング方法において、第一の量のクロムを第一のクロムエッチング剤を使用してエッチングして、かつ
第一の量を上回る第二の量のクロムを、第二のクロムの選択エッチング剤を使用してエッチングして、そうしてＣａＦ２物に低いマイクロラフネスを維持させることを特徴とする方法。
【請求項２】
フェリシアン化カリウム（Ｋ３Ｆｅ（ＣＮ）６）を第二のクロムエッチング剤の少なくとも一部に使用することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
アルカリ性エッチング剤を第二のクロムエッチング剤の少なくとも一部に使用することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
エッチングが、ほぼ数オングストローム以下の低いマイクロラフネスを生じさせることを特徴とする、請求項１記載の方法。
【請求項５】
パターン形成された光学素子、レチクル、マスク、回折格子、視野絞り、及びビームスプリッタの少なくとも１つをＣａＦ２物として使用することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
１５７ｎｍのリソグラフィツールにおいて使用されるように構成された光学素子をＣａＦ２物として使用することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
クロムの全厚を、実質的に第一の量及び第二の量の組合せとして規定することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
第一のクロムエッチング剤を使用してクロム上の材料をエッチングすることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
酸化クロムをクロム上の材料としてエッチングすることを特徴とする、請求項８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）物からのクロムのエッチング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、クロムをＣａＦ２材料の表面上に堆積させ、かつエッチングして該ＣａＦ２材料の表面上にパターンを形成する。例えば、ＣａＦ２材料の一製造会社は、ドイツのＳＣＨＯＴＴ  Ｌｉｔｈｏｔｅｃ  ＡＧ社である。高品質の、低いマイクロラフネス仕上のＣａＦ２材料からクロムをエッチングすることは、閾量を超えて表面を損傷させることがある。これは、ＣａＦ２材料を再加工又は再研磨できず、それというのも、更にそのような引き続いての処理がパターン形成された表面を損傷させるか又は破壊するであろうからである。このように、損傷の閾量は、所定量の吸収及び／又は散乱だけで光がＣａＦ２材料を透過することを可能にする量と定められる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
一例においては、ＣａＦ２材料を１５７ナノメートル（ｎｍ）のリソグラフィツールの光学素子として使用できる。しかしながら、損傷のレベルが十分重度であれば（例えば、数オングストロームの深みよりもより大きければ）、該光学素子を使用できない。それというのも、おそらくこの波長の光を適切に透過させないであろう（例えば、過剰の光が吸収及び／又は散乱されるであろう）からである。
【０００４】
従って、必要とされていることは、ＣａＦ２材料の表面からクロムをエッチングするが、その一方でＣａＦ２材料の表面上の微細な仕上を維持させる方法である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の態様は、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）物の表面からクロムを取り除くにあたり、第一の量のクロムを第一のクロムエッチング剤中でエッチングして、かつ第一の量を上回る第二の量のクロムを第二のクロムの選択エッチング剤中でエッチングして、そうしてＣａＦ２物にマイクロラフネスを維持させる方法を提供する。
【０００６】
本発明の更なる態様、特徴、及び利点並びに本発明の多様な態様の構造及び操作を付属の図面を参照して以下詳細に説明する。
【０００７】
本文中に導入され、かつ本明細書の一部を形成する付属の図面は、本発明を説明し、かつ詳細な説明と一緒に更に本発明の原理を説明する役目及び当業者が本発明を実施して利用することを可能にする役目を果たす。
【０００８】
この図面は、本発明の態様による方法を説明するフローチャートを示す。
【０００９】
概要
特定の構成及び段取を論じているが、これは説明を目的としてなされているにすぎないということを理解すべきである。当業者は、他の構成及び段取を本発明の精神及び範囲を逸脱することなく使用してよいことを認識するであろう。当業者にとって本発明を多様な他の用途にも利用してよいことは明白であろう。
【００１０】
本発明の態様は、ＣａＦ２材料の表面からクロムをエッチングするが、一方で該表面の微細な仕上の品質を維持させる二段階の方法を提供する。第一の段階の間に、エッチングを第一のエッチング剤を使用して実施する。第二の段階の間に、選択エッチングを第二のエッチング剤を使用して実施する。
【００１１】
図面は、本発明の態様による方法１００を説明するフローチャートを示す。場合により、調製段階を方法１００を開始する前に実施してよい。
【００１２】
段階１０２においては、クロムを、第一の量のクロム（及び場合によりクロム上の他の材料、例えば酸化クロム）をエッチングするのに相当する第一の時間で、第一のクロムエッチング剤を使用してエッチングする。第一のクロムエッチング剤は、硝酸セリウムアンモニウム（（ＮＨ４）２Ｃｅ（ＮＯ３）６）を含むクロムエッチング剤であってよく、かつ酸を使用してよい。酸の例は、硝酸（ＨＮＯ３）又は酢酸（Ｃ２Ｈ４Ｏ２）であってよい。
【００１３】
好適なエッチング時間はクロムの厚さによって決定されるものであり、該エッチング時間は当業者にとっては明白であろう。全てのエッチング時間は、本発明の範囲内で検討される。
【００１４】
一例においては、第一の時間量は、クロムの全厚の幾らかの部分（例えば、約半分）をエッチングするのに必要な時間である。また他の所定のエッチング量は、本発明の範囲内で検討される。
【００１５】
段階１０２の後に、他の調製段階、例えば洗浄段階及び乾燥段階があってよいことを認識すべきである。
【００１６】
段階１０４においては、クロムを、第一の量のクロムを上回る第二の量のクロムをエッチングするのに相当する第二の時間で、クロムの選択エッチング剤であってよい第二のクロムエッチング剤を使用してエッチングする。第二のクロムエッチング剤は、比較的遅いエッチング速度、場合により第一のクロムエッチング剤よりも遅いエッチング速度を有してよい。第二のクロムエッチング剤は、アルカリ性クロムエッチング剤であってよい。例えば、第二のクロムエッチング剤はフェリシアン化カリウム（Ｋ３Ｆｅ（ＣＮ）６）を含んでよい。また第二のクロムエッチング剤は、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）及び水（Ｈ２Ｏ）をも含んでよい。
【００１７】
好適なエッチング時間はクロムの厚さによって決定されるものであり、該エッチング時間は当業者にとっては明白であろう。全てのエッチング時間は、本発明の範囲内で検討される。
【００１８】
一例においては、第二の時間量はクロムの幾らかの部分、おそらくは残留部分をエッチングするのに必要な時間である。また他のエッチング量は本発明の範囲内で検討され、該エッチング量は部分的に、第一のエッチング量に基づいていてよい。
【００１９】
段階１０４の後に、他の調製段階、例えば洗浄段階及び乾燥段階があってよいことを認識すべきである。
【００２０】
このように、クロムをエッチングする際、表面をマスク、レチクル、回折格子、視野絞り、ビームスプリッタ、又は任意の他のパターン形成された光学素子として機能するように構成してよい。例えば、ＣａＦ２物は望遠鏡、赤外（ＩＲ）光学系、リソグラフィツール、例えば１５７ｎｍのリソグラフィツール、又は任意の他の波長のリソグラフィツール若しくは光学システムの、パターン形成された光学素子であってよい。
【００２１】
上記の二段階のクロムエッチング方法１００を使用することは、ＣａＦ２のエッチングされた表面がそのマイクロラフネス仕上を維持することをもたらす。例えば、数ミクロン以下の低いマイクロラフネス仕上を達成できる。
【００２２】
本発明の多様な態様を上記したが、それらを一例として述べたにすぎず、かつ限定ではないということを理解すべきである。当業者にとって、形態及び詳細の多様な変更を本発明の精神及び範囲を逸脱することなく実施してよいことは明白であろう。このように、本発明の幅及び範囲はいかなる上記の典型的な態様によっても限定されるべきではないが、以下の特許請求の範囲及びそれらに相当するものにのみ従って定義されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、本発明の態様による方法を説明するフローチャートを示す。
【符号の説明】
【００２４】
１００  クロムエッチング方法  １０２  第一の量のクロムのエッチング  １０４  第二の量のクロムのエッチング
【図１】
2005120477.tif 000002