(57)【要約】【課題】  ガラス板などの小片の板状物を、この板状物を整列保持する粘着テープから信頼性よく分離する分離装置の提供。【解決手段】  ２枚の長尺な粘着テープ１１で多数枚の矩形の板状物であるガラス板１を微小間隙ｇで平行に整列させて保持した角棒状の板状物整列体１０を鉛直に配置し、一対の粘着テープ１１の上部をそれぞれの剥離部材２０で互いに反対の折り返し方向に屈曲させることで、最上段の水平なガラス板１の両端面から粘着テープ１１を剥がすと共に、この水平なガラス板１を一対の仮保持部材のゴムローラ３０で挟持して仮保持し、水平なまま上昇させて吸着部材４０で真空吸着させる。【選択図】図１
2005247494.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着テープで多数の板状物を微小間隙で略平行に整列させて保持した板状物整列体の前記粘着テープより板状物を１枚ずつ分離する装置であって、
前記板状物整列体の最前列の板状物より板状物整列方向に延在する粘着テープを板状物整列方向と離反する方向に屈曲させ、この屈曲する粘着テープから板状物を剥離させる剥離部材と、
前記粘着テープから剥離する板状物を板状物整列方向に真空吸引して保持する吸着部材と、
を具備したことを特徴とする板状物分離装置。
【請求項２】
前記剥離部材と吸着部材の間に配置され、剥離部材で屈曲する粘着テープから剥離される板状物を仮保持して吸着部材に受け渡す仮保持部材を有することを特徴とする請求項１記載の板状物分離装置。
【請求項３】
前記板状物整列体が、一対の粘着テープで多数の各板状物の両端面を保持して成り、一対の粘着テープをそれぞれに剥離部材で屈曲させることを特徴とする請求項１または２に記載の板状物分離装置。
【請求項４】
前記板状物整列体を最前列の板状物を最上段にして略鉛直に配置し、最上段の板状物から上方に一対の粘着テープを延在させてそれぞれの剥離部材で屈曲させると共に、最上段の板状物の真上に前記吸着部材を上下動可能に配備したことを特徴とする請求項３記載の板状物分離装置。
【請求項５】
前記板状物が矩形のガラス板で、前記吸着部材で前記ガラス板の周縁部のみを吸着させたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の板状物分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着テープに直立状態で整列保持された複数の板状物を粘着テープから１枚ずつ分離する板状物分離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学電子部品のカバーガラスなどに使用される薄い小片のガラス板は、大量生産されてトレーなどの整列治具に整列収納されて、各種の製造組立工程に送られる。例えば、前記カバーガラスに使用されるガラス板は４ｍｍ角、厚さ０．５ｍｍの小片で、これの多数枚をトレーに適度な隙間を持たせて整列させている。このガラス板の製造方法は、粘着シート上に貼り付けた１枚の大面積のガラス原板を小片のガラス板毎に切断して粘着シート上に整列させる方法や、複数枚の大面積のガラス原板をワックスを介して積層したガラス原板積層体を小片のガラス板サイズで格子状に裁断して、複数枚のガラス板がワックスを介して積層一体化された角棒状のガラス板積層体を製造し、このガラス板積層体から各ガラス板間のワックスを除去して、個々の小片のガラス板を得る方法が知られている。
【０００３】
この後者製造方法で小片のガラス板を製造する場合、ワックスを除去したときに複数のガラス板がばらばらに分散しないように、予め複数のガラス板を粘着テープで整列保持させることが行われている。この場合、所定枚数のガラス板をワックスを介して積層一体化した角棒状のガラス板積層体の対向する二側面に一対の長尺な粘着テープを貼り付け、各ガラス板の対向二辺の両端面に粘着テープを貼着して、各ガラス板間のワックスを除去するようにしている。ワックスを除去すると、所定枚数のガラス板が微小間隙で平行に対向した状態で粘着テープに整列保持されたガラス板整列体が得られる。このガラス板整列体の状態で各ガラス板の端面検査などが行われてから、製造組立工程において必要に応じ粘着テープから板ガラスが１枚ずつ分離される。このような粘着テープから板ガラスを分離する装置は、例えば図９に示す分離装置（例えば、特許文献１参照）と、図１０に示す分離装置（例えば、特許文献２参照）が公知である。
【０００４】
図９の分離装置は、水平な１枚の長尺な粘着テープ２上に直立状態で多数枚の同一サイズの矩形のガラス板１を微小間隙ｇで平行に対向させて整列保持したガラス板整列体３を使用する。このガラス板整列体３の前身は、例えば前述した角棒状のガラス板積層体の対向する二側面に一対の長尺な粘着テープを貼り付けたもので、ガラス板積層体からワックスを除去し、一対の粘着テープの一方を剥離すると図９のガラス板整列体３となる。図９の分離装置は、ガラス板整列体３を粘着テープ２を下にして水平な台上に設置し、粘着テープ２上に直立する最前列のガラス板１からチャック４で順に粘着テープ２より分離する。チャック４は、図９の鎖線で示す最前列の板ガラス１の上端部両端面を把持すると、そのまま図９で右方向に傾動してガラス板１を粘着テープ２上で前傾させ、ガラス板１の下端面を粘着テープ２から剥がす。チャック４はガラス板１を前傾させると、図９の矢印で示す前傾方向に上昇して、粘着テープ２からガラス板１を分離する。
【０００５】
図１０の分離装置は、上記と同様なガラス板整列体３を使用する。このガラス板整列体３の粘着テープ２を水平な剥離板５の上面に載せ、粘着テープ２の先端側を剥離板５の先端部で剥離板５の下面へと折り返し、剥離板５の上面で粘着テープ２が図１０で右方向に移動するように粘着テープ先端側にフォワードテンションを掛け、粘着テープ後端側にバックテンションを掛ける。粘着テープ２が剥離板５の先端部で下方に折り返すときに、最前列のガラス板１から順に粘着テープ２より分離する。最前列の鉛直姿勢にあるガラス板１が粘着テープ２の折り返しの屈曲部分で徐々に前傾し、ほぼ水平姿勢となる時点で粘着テープ２から分離する。この分離したガラス板１は、水平姿勢のまま下方の図示しない整列治具やシュートなどへと自然落下して取り出される。
【特許文献１】特許第３１７０８９２号公報
【特許文献２】特開２００３−２４６４４１号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図９の分離装置は、チャック４でガラス板１を把持し、次にガラス板１を前傾させ、更に前傾させたガラス板１を前傾方向に引き上げる３段階の動作で、１枚のガラス板１を粘着テープ２から分離させるため、１枚を分離させるに要するタクトタイムが約３秒と長くなる問題がある。また、ガラス板１が薄くなるほどチャック４で正確に把持することが難しく、かつ、チャック４で把持されるガラス板１の両端面が損傷を受ける可能性が高くなる問題があった。
【０００７】
また、図１０の分離装置は、ガラス板１の表裏両面や端面が損傷を受ける可能性が低く、粘着テープ２の単純な送り動作でガラス板１を連続的に分離することができてタクトタイムを約０．５秒程度まで短くすることができる。しかし、ガラス板１が薄くなり、縦横サイズが小さくなるほど、安定した動作を継続させることが難しくなり、タクトタイムの短縮が難しい。すなわち、図１０において、水平な剥離板５上を粘着テープ２が前進して剥離板５の先端部で下方に折り返す際に、水平な粘着テープ２上に鉛直に直立したガラス板１は徐々に前傾しながら粘着テープ２から分離するが、ガラス板１の板厚が小さくなるほど粘着テープ２上で直立する姿勢や、この直立姿勢から略水平姿勢へと前傾するときの姿勢が不安定になり、粘着テープ２から分離して自然落下するときの姿勢にばらつきが生じることがある。例えば、カメラ付き携帯電話のカメラのカバーガラスに使用されるガラス板は、３ｍｍ角で板厚が０．３ｍｍ程度などと薄板小形化される傾向にあり、このように薄板小形化されたガラス板を図１０の分離装置で確実に信頼性よく分離することが難しくなっている。
【０００８】
本発明の目的は、ガラス板などの小片の板状物を粘着テープから確実に信頼性よく分離する板状物分離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記目的を達成するため、粘着テープで多数の板状物を微小間隙で略平行に整列させて保持した板状物整列体において、その粘着テープより板状物を１枚ずつ分離する装置であって、板状物整列体の最前列の板状物より板状物整列方向に延在する粘着テープを板状物整列方向と離反する方向に屈曲させて、屈曲する粘着テープから板状物を剥離させる剥離部材と、粘着テープから剥離する板状物を板状物整列方向に真空吸引して保持する吸着部材とを具備したことを特徴とする（請求項１）。
【００１０】
ここで、板状物とは、光学電子部品のカバーガラスのような矩形のガラス板や、他の光学系のガラス板、ガラス以外のセラミック板、金属板などの薄板が適用でき、形状も矩形以外の多角形なども可能である。同一サイズの多数枚の板状物を１枚又は数枚の粘着テープで整列保持した板状物整列体は、板状物を量産する製造過程で得られたものが適用でき、この板状物整列体を図１０の分離装置と同様な要領で粘着テープを剥離部材で折り返し方向に屈曲させて、最前列の板状物から順に粘着テープより剥がし、この剥がし動作と併行して吸着部材で粘着テープから剥がれる板状物を真空吸着する。吸着部材は、粘着テープに保持された最前列の板状物の前面に対して平行に接近し離反する真空吸着ノズルが適用できる。この吸着部材は、粘着テープから剥がれつつある最前列の板状物に向けて前進して板状物の前面を真空吸着し、そのまま後退して板状物を粘着テープに整列保持されたときの姿勢を保持して粘着テープから積極的に分離させる。そのため、粘着テープから剥がれ、分離するときの板状物の姿勢が常に安定して、確実で信頼性の高い板状物分離動作が可能となる。
【００１１】
本発明においては、剥離部材で屈曲する粘着テープから剥離される板状物を仮保持して吸着部材に受け渡す仮保持部材を剥離部材と吸着部材の間に配置した構成とすることができる（請求項２）。
【００１２】
ここでの仮保持部材は、粘着テープから剥がれつつある最前列の板状物のみを仮保持するもの、或いは、最前列の板状物とその後続の１枚又は数枚の板状物を段階的に仮保持するものが適用できる。このような仮保持部材は、板状物の粘着テープで保持されていない両端面を挟持して板状物整列方向に移送する一対のゴムローラやゴムベルトが、板状物を損傷することなく確実に吸着部材に受け渡すことから好適である。
【００１３】
また、本発明においては、板状物整列体が、一対の粘着テープの間に多数の板状物の両端面を保持して成り、一対の粘着テープをそれぞれに剥離部材で互いに反対方向に屈曲させることができる（請求項３）。
【００１４】
すなわち、板状物整列体に使用する粘着テープの枚数は、板状物の形状や厚さに応じて選択が可能であり、薄くて小形の板状物をより安定した姿勢で整列保持させるには１枚よりも２枚一組の粘着テープを使用することが望ましい。また、板状物整列体の前身が、例えば多数の板状物をワックスを介して積層した角棒状の板状物積層体である場合、この板状物積層体の対向二側面に一対の粘着テープを貼り付けてワックス除去や板状物端面検査を行ってから、粘着テープより板状物を１枚ずつ分離することになる。そこで、板状物整列体に使用する粘着テープが１枚の場合は、２枚の粘着テープを使用した板状物積層体から１枚の粘着テープを剥がす必要があるが、板状物整列体に使用する粘着テープを２枚にすると、２枚の粘着テープを使用した板状物積層体の２枚の粘着テープをそのまま残して使用することができ、板状物積層体から粘着テープを剥がす手間が省ける。
【００１５】
また、一対の平行な粘着テープの間に多数の板状物の両端面を保持して整列させた板状物整列体を水平、或いは、鉛直に保持した状態で、一対の粘着テープをそれぞれに剥離部材で互いに反対方向に屈曲させると、板状物が一対の粘着テープより同時に剥がれる。板状物は一対の粘着テープで両端面が保持された姿勢のまま一対の粘着テープから同時に剥がれるので、剥がれるまで姿勢が傾くことなく安定し、この安定した姿勢で吸着部材に吸着され、又は、安定した姿勢のまま仮保持部材で仮保持されて吸着部材に受け渡される。
【００１６】
また、本発明においては、一対の粘着テープを使用した板状物整列体を最前列の板状物を最上段にして略鉛直に配置し、最上段の板状物から上方に一対の粘着テープを延在させてそれぞれの剥離部材で屈曲させると共に、最上段の板状物の真上に吸着部材を上下動可能に配備した構成とすることができる（請求項４）。
【００１７】
この場合、一対の粘着テープを使用した板状物整列体を略鉛直に配置することで、分離装置の設置面積の縮小化が図れ、他の整列治具などの周辺設備との配備がし易くなる。また、鉛直に配置した板状物整列体においては、最上段の板状物から上方に延在する一対の粘着テープの上部を分離部材に引掛け、粘着テープに上方にフォワードテンションを掛けて粘着テープで板状物整列体を分離部材から吊り下げ、最下段の板状物から下方に延在する一対の粘着テープの下部に下方にバックテンションを掛けるようにして、水平な板状物を一対の粘着テープで上昇させながら、一対の粘着テープの上部をそれぞれの剥離で屈曲させて最上段の板状物から順に分離させる。このようにすると、最上段の板状物が所定の高さまで水平な姿勢のまま上昇した時点で板状物の両端面から一対の粘着テープが剥がれ、この剥がれのタイミングで吸着部材が下降して水平な板状物を吸着するので、板状物が安定した水平姿勢のまま粘着テープから分離される。仮に吸着部材が最上段の板状物を正常に吸着しないことがあっても、最上段の水平な板状物が次段の水平な板状物上に載り、そのまま上昇して最終的に吸着部材で吸着される。
【００１８】
また、本発明においては、板状物が矩形のガラス板で、吸着部材で矩形のガラス板の周縁部のみを吸着させることができる（請求項５）。
【００１９】
ここでの板状物は光学電子部品のカバーガラスのような矩形のガラス板で、この種のガラス板は表裏両面の４周縁部を除く中央部の品質（透光性など）が重要視される。このガラス板の端面を粘着テープで保持し、この端面を粘着テープから剥がし、粘着テープから剥がされたガラス板の表面又は裏面のいずれかの周縁部のみを吸着部材で吸着することで、ガラス板の周縁部を除く中央部が外部部材との接触から保護されて、矩形ガラス板の中央部の品質低下が防止される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、多数の板状物を微小間隙で平行に対向させて整列保持する粘着テープを剥離部材で折り返し方向に屈曲させて板状物の端面を粘着テープから剥がしながら、板状物の前面を吸着部材で真空吸着して粘着テープから分離するため、粘着テープから剥がれて分離するときの板状物の姿勢が粘着テープで保持されたときの姿勢のまま安定して、板状物が薄い小片であっても粘着テープから確実性、信頼性よく分離することができる優れた効果がある。また、この板状物分離の動作が安定することで、粘着テープを剥離部材で連続的に屈曲させながら複数の板状物を連続して粘着テープから分離することができ、１枚の板状物の分離に要するタクトタイムの短縮が容易となり、作業能率に優れた板状物分離装置が提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図８を参照して説明する。
【００２２】
図１の（Ａ）は分離装置要部の側面図であり、（Ｂ）は正面図である。この分離装置で使用する板状物整列体１０は、２枚の長尺な粘着テープ１１で多数枚の矩形の板状物であるガラス板１を微小間隙ｇで平行に整列させて保持した上下に長い角棒状のものである。ガラス板１は、例えば光学電子部品のカバーガラスに使用されるもので、厚さ０．３〜０．５ｍｍの３〜４ｍｍ角の矩形板である。複数全てのガラス板１の縦横サイズが同一であり、各々の対向二辺の両端面が一対の粘着テープ１１に貼り付けてある。一対の粘着テープ１１の幅はガラス板１の幅の約半分で、ガラス板１の一端面の中央部分に貼り付く。一対の平行な粘着テープ１１の間に各ガラス板１がほぼ０．３ｍｍの微小間隙ｇをもって平行に整列される。板状物整列体１０の各ガラス板１の厚さは同一であるが、ガラス板製造内容によっては複数段階で相違することもある。
【００２３】
図１（Ａ）（Ｂ）に示す分離装置は、角棒状の板状物整列体１０を略鉛直に保持して、上下に整列されるガラス板１の最上段のものから順番に一対の各粘着テープ１１より分離するもので、板状物整列体１０を鉛直に吊り下げて支持する機能、及び、一対の粘着テープ１１を同時に折り返し方向に屈曲させる機能を有する一対の剥離部材２０と、最上段のガラス板１を仮保持して真上に上昇させる一対の仮保持部材３０と、最上段のガラス板１の真上で上下動する吸着部材４０を備える。
【００２４】
図１（Ｂ）に示される一対の剥離部材２０は、上端部がアール状に屈曲したくさび状のものであるが、小径の丸棒ローラでもよい。一対の各剥離部材２０は、鉛直な角棒状板状物整列体１０の一対の粘着テープ１１の在る二側面に沿って平行に配置され、図示しないシリンダなどで定ストローク上下動する。仮保持部材３０は弾性のゴムローラや無端ゴムベルトなどで、例えば図１（Ａ）に示すような一対のゴムローラ３０ａ、３０ｂである。各ゴムローラ３０ａ、３０ｂは、鉛直な板状物整列体１０の粘着テープ１１の無い二側面に沿う所定の高さ位置に軸心を水平にして配置される。吸着部材４０は下向きの角型真空吸着ノズルで、例えば図５と図６に示すような水平なターンテーブル４１の下面周辺部の４５°間隔の複数箇所に設置される。ターンテーブル４１は吸着部材４０の配列ピッチで間欠回転して、複数の吸着部材４０を所定のガラス板分離ポジションＰ１に順に間欠送りする。ターンテーブル４１の周辺のガラス板分離ポジションＰ１と１８０°反対のガラス板受渡ポジションＰ２に、吸着部材４０からガラス板１を１枚ずつ受け取る回転体６０と、回転体６０からガラス板１を受け取って縦（鉛直姿勢）に整列収納するトレー７０が配備される。このような回転体６０とトレー７０は、前述した特許文献２に開示されているものがそのまま適用でき、詳細は後述する。
【００２５】
板状物整列体１０は、例えば図２（Ａ）に示すような前身構造を有する。この前身の板状物整列体１０は、上下多段に整列されたガラス板１の最上段と最下段のものは板厚が大きなダミーガラス板１’にしてある。このダミーガラス板１’を含む各ガラス板１がほぼ同一の微小間隙ｇで平行に対向して一対の粘着テープ１１で整列保持される。各板ガラス１の間の微小間隙ｇは、当該間隙に充填されていたワックスを除去して形成される。板状物整列体１０は、ワックス除去の後で各ガラス板１の端面の目視検査などが行われてから、図２（Ａ）に示すようにガラス板分離ポジションＰ１に運ばれて、ガラス板分離をするために鉛直な姿勢でセットされる。図２（Ａ）（Ｂ）は板ガラス分離前のもので、上下のダミーガラス板１’はガラス板１の保護に用いられ、ガラス板１を粘着テープ１から分離するのと同様にして粘着テープ１１から分離される。
【００２６】
定位置のガラス板分離ポジションＰ１に一対の剥離部材２０と、この剥離部材２０と連動する一対の送りローラ機構２１が上下揺動可能に配置され、同ポジションＰ１の所定の高さ位置に一対の仮保持部材３０である円形のゴムローラ３０ａ、３０ｂが配置され、この一対のゴムローラ３０ａ、３０ｂの間の真上に吸着部材４０が上下動可能に配置される。
【００２７】
図２（Ａ）に示す板状物整列体１０は、ガラス板分離ポジションＰ１に次の要領でセットされる。角棒状の板状物整列体１０の両端から延在させた一対の粘着テープ１１の両端部をチャック１２、１３で挟持し、両チャック１２、１３を互いに反対方向に引っ張った状態で板状物整列体１０を鉛直に立て、上部のチャック１２を一対の送りローラ機構２１の中間位置にセットし、板状物整列体１０の上部を一対の剥離部材２０の間にセットして、上部のチャック１２から板状物整列体１０を鉛直に吊り下げる。一対の送りローラ機構２１のそれぞれは定位置の第１送りローラ２２と、この第１送りローラ２２に対して接近離反の動作をする第２送りローラ２３を有する。図２（Ａ）の実線で示すように板状物整列体１０が鉛直にセットされると、図２（Ａ）の鎖線で示すように、上部のチャック１２から上方に延在する一対の粘着テープ１１を互いに反対方向に拡げて、離反状態にある第１送りローラ２２と第２送りローラ２３の間に通す。この後、剥離部材２０と送りローラ機構２１、さらに、図２（Ａ）に示すバックテンション機構５０が作動して、ガラス板分離可能な状態にセットされる。
【００２８】
図２（Ａ）の状態で、バックテンション機構５０が作動して鉛直な板状物整列体１０から下方に延在する一対の粘着テープ１１の下部に重りなどのバックテンション付与手段５１が連結され、粘着テープ１１に真下方向にバックテンションが掛けられる。その一方で図２（Ｂ）に示すように、一対の送りローラ機構２１が作動し、第２送りローラ２３が第１送りローラ２２に接近して両ローラ２２、２３で一対の粘着テープ１１をそれぞれに挟持した状態で回転し、粘着テープ１１に斜め下方に送りを掛けると共に、剥離部材２０が定位置まで上昇して一対の粘着テープ１１の上部を扱きながら互いに反対方向に屈曲させる。図２（Ｂ）の状態で一対の送りローラ機構２１が回転動作することで、一対の粘着テープ１１に図２（Ｂ）の矢印で示す上方向にフォワードテンションが掛けられ、各粘着テープ１１が鉛直に張設された状態でガラス板１と共に剥離部材２０に向って上昇を開始し、剥離部材２０の上端部を互いに反対方向に屈曲することでガラス板１’、１の分離動作が開始される。
【００２９】
図２（Ｂ）は鉛直の板状物整列体１０の上部の水平なダミーガラス板１’が一対の剥離部材２０の上端部まで上昇したときのもので、一対の剥離部材２０の上端部で一対の粘着テープ１１が互いに反対の折り返し方向に屈曲することで、矩形のダミーガラス板１’の対向二辺の端面から粘着テープ１１が剥がれ始める。この剥がれ動作と併行して一対のゴムローラ３０ａ、３０ｂが図１（Ａ）の矢印方向に回転して、ダミーガラス板１’の粘着テープの無い対向二辺の端面に当接してダミーガラス板１’を水平姿勢のまま仮保持し、そのまま少し上昇させて粘着テープ１１から分離させる。この分離のタイミングで吸着部材４０が下降して、ゴムローラ３０ａ、３０ｂで仮保持された水平なダミーガラス板１’の上面を真空吸着し、吸着したまま吸着部材４０が元の高さまで上昇して、ダミーガラス板１’の粘着テープ１１からの分離が行われる。同時に板状物整列体１０の上下多段に整列されたガラス板１の最上段の１枚が粘着テープ１１の屈曲部分に達して、ダミーガラス板１’と同様に分離される。この最上段のガラス板１の分離の様子を図３に示す。
【００３０】
図３は、図１（Ａ）のガラス板分離動作部分の左半分と図１（Ｂ）のガラス板分離動作部分の右半分を合成したもので、最上段の１枚のガラス板１が粘着テープ１１の折り返し方向の屈曲部分に達すると、水平なガラス板１の対向する二辺の端面が粘着テープ１１から徐々に剥がれ、この動作と併行して残りの対向する二辺の端面にゴムローラ３０ａ、３０ｂの外周が弾性接触して仮保持し、そのままゴムローラ３０ａ、３０ｂの回転で最上段のガラス板１が水平姿勢のまま少し上昇して、ガラス板１が一対の粘着テープ１１から同時に分離する。この分離のタイミングで真上から吸着部材４０が下降して最上段のガラス板１の上面を真空吸着し、そのまま上昇して最上段の１枚のガラス板１を粘着テープ１１から引き離す。吸着部材４０が１枚のガラス板１を吸着して上昇すると、ターンテーブル４１が１ピッチ回転して、次の吸着部材４０がガラス板分離ポジションＰ１に間欠送りされる。
【００３１】
吸着部材４０で１枚ずつ吸着されるガラス板１が光学電子部品のカバーガラスの場合、吸着部材４０は図３に示すような角型真空吸着ノズルが適用される。この吸着部材４０は下端面がガラス板１と同サイズの矩形で、この下端面の４辺の周縁部を除く中央部が凹面４２で、周縁部のみに真空吸引穴４３を有する。図３で最上段の１枚のガラス板１が吸着部材４０で吸着されるとき、図４のガラス板上面の図４の鎖線から外側の周縁部１ｅのみが吸着部材４０で吸着されて、ガラス板上面の周縁部１ｅを除く中央部１ｓが吸着部材４０と接触しないようにしてある。なお、ガラス板１の周縁部１ｅの幅は０．５ｍｍ程度であり、この周縁部１ｅを利用して光学電子部品の投受光窓に取付けられ、また、ガラス板１の中央部１ｓは光学電子部品の投受光路を構成するために高品質（透光性など）が要求される。
【００３２】
図３で最上段のガラス板１の上面の周縁部１ｅのみを吸着部材４０で吸着することで、上面の中央部１ｓの高品質が保障される。また、図３で最上段のガラス板１の下面は、次段のガラス板１と微小間隙ｇで平行に対向して、微小間隙ｇを縮めることなく最上段のガラス板１が安定した水平姿勢のまま吸着部材４０で吸着されて上昇するので、下面の中央部の品質も保障されて、ガラス板１が高品質のまま粘着テープ１１から分離される。
【００３３】
ガラス板分離ポジションＰ１の吸着部材４０が１枚のガラス板１を水平姿勢のまま吸着して上昇すると、図５で示すようにターンテーブル４１が１ピッチ間欠回転する。このターンテーブル４１が４ピッチまで間欠回転すると、ガラス板分離ポジションＰ１でガラス板１を吸着保持した吸着部材４０がガラス板受渡ポジションＰ２に送られ、このポジションＰ２で真空吸引が解除されて１枚の水平なガラス板１が回転体６０へと落下する。
【００３４】
回転体６０は、例えば図７（Ａ）（Ｂ）に示すような截頭円錐形状の円盤で、その回転軸６１の軸心を水平面に対して４５°傾斜させて配置される。回転体６０の截頭円錐形状の傾斜面６２は、その最高位置で水平となり、最低位置で鉛直となる。この傾斜面６２の４５°間隔の計８箇所に、吸着ヘッド部６３が設けられる。各吸着ヘッド部６３は、図８の断面図で示すような凹所で、１枚のガラス板１の周縁部のみを真空吸着する吸引穴６４を有する。回転体６０はターンテーブル４１と同期して４５°ずつ間欠回転して、吸着ヘッド部６３をガラス板受渡ポジションＰ２に間欠送りする。
【００３５】
ターンテーブル４１が１ピッチ間欠回転して１つの吸着部材４０がガラス板受渡ポジションＰ２に移動すると、吸着部材４０から１枚のガラス板１が水平姿勢のまま回転体６０の最高位置にある吸着ヘッド部６３に落下し、吸着ヘッド部６３に真空吸着される。この回転体６０が１ピッチ間欠回転する毎に最高位置の水平な吸着ヘッド部６３が段階的に傾斜し、４ピッチ間欠回転したところで鉛直な最低位置に移動し、ガラス板１が鉛直姿勢になる。最高位置の水平な吸着ヘッド６３が最低位置に移動するまでに、吸着ヘッド６３に吸着されたガラス板１の板厚など検査が行われ、吸着ヘッド部６３が最低位置に移動した時点で板厚検査などの検査結果に基づいてガラス板１の真空吸引が解除され、鉛直姿勢のガラス板１が真下のトレー７０へと落下する。トレー７０は回転体６０の間欠回転と同期して定ピッチずつ図５で左方向に移動して、多数枚のガラス板１を鉛直姿勢のまま所定間隔で並列に整列させて収納する。
【００３６】
なお、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、板状物は薄いガラス板以外の厚いセラミック板などでもよく、この板状物の形状、材質の変更に応じて粘着テープの数が適宜に決められ、粘着テープから板状物を１枚ずつ分離するときの板状物整列体の姿勢が鉛直姿勢や水平姿勢と適宜に選択できる。また、粘着テープとして、紫外線の照射によって粘着力が低下するものを使用して、粘着テープを屈曲させて板状物を分離させる際に粘着テープの屈曲部分に紫外線照射ランプで紫外線を照射させて、板状物が分離し易いようにすることも有効である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】（Ａ）は本発明の実施の形態を示す板状物分離装置の要部の側面図、（Ｂ）は要部の正面図である。
【図２】（Ａ）は図１（Ｂ）に示す板状物整列体１０を所定の分離ポジションＰ１にセットする際の正面図、（Ｂ）はセット後の正面図である。
【図３】図１（Ａ）と図１（Ｂ）の要部の左右半分ずつを合成した部分拡大図である。
【図４】板状物の一例であるガラス板の平面図である。
【図５】図１の板状物分離装置に連接したターンテーブルと回転体の正面図である。
【図６】図５のターンテーブルの下面図である。
【図７】（Ａ）は図５の回転体の正面図、（Ｂ）は断面図である。
【図８】図７Ｔ−Ｔ線に沿う拡大断面図である。
【図９】従来の板状物分離装置の概要を示す側面図である。
【図１０】他の従来の板状物分離装置の概要を示す側面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１    板状物、ガラス板
１’    ダミーガラス板
１０    板状物整列体
１１    粘着テープ
１２    チャック
２０    剥離部材
２１    送りローラ機構
２２、２３    送りローラ
３０    仮保持部材、ゴムローラ
４０    吸着部材
４１    ターンテーブル
５０    バックテンション機構
６０    回転体
７０    トレー
Ｐ１    ガラス板分離ポジション
Ｐ２    ガラス板受渡ポジション
【図１】
2005247494.tif 000003
【図２】
2005247494.tif 000004
【図３】
2005247494.tif 000005
【図４】
2005247494.tif 000006
【図５】
2005247494.tif 000007
【図６】
2005247494.tif 000008
【図７】
2005247494.tif 000009
【図８】
2005247494.tif 000010
【図９】
2005247494.tif 000011
【図１０】
2005247494.tif 000012