(57)【要約】      （修正有）【課題】犠牲層の除去プロセスによる電極面の被害を防ぎ、高い画像表示品質を提供する。【解決手段】干渉式変調ピクセルでミラー部２５０を稼動させるためのスペース（犠牲層２２５）をエッチングで除去する時の保護層２２０を底電極２０５の上に被覆する。このため、該保護層は、底電極と上端電極の間の犠牲層がエッチングされる間、底電極の表面を保護する。その結果、底電極と上端電極の間の距離が維持され、それにより所望の波長の光だけが干渉式変調ピクセルにより反映されることを確保する。【選択図】図２Ｃ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な基板上に第１の電極層を、該第１の電極層の最上部の層が絶縁層となるように形成し、
該絶縁層上に保護層を形成し、
該保護層上に犠牲層を形成し、
前記犠牲層，前記保護層，及び前記第１の電極層内に、第１の開口部を少なくとも２つ形成することで、前記第１の電極層から作られる第１の電極の境界を規定し、
前記犠牲層上及び前記第１の開口部内に写真感光材を被覆し、
該写真感光材を型取りすることで、前記第１の開口部内に支持材を形成し、
前記犠牲層及び前記支持材上に第２の電極層を形成し、
該第２の電極層から作られる第２の電極を規定するための第２の開口部を、該第２の電極層内に、前記第１の開口部の２つに直角に配置されるように少なくとも２つ形成し、
前記犠牲層を除去すること
を特徴とする干渉式変調ピクセルの製造方法。
【請求項２】
前記絶縁層は、酸化シリコン或いは窒化ケイ素を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記保護層は、シリコンを含まないことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記保護層は、金属酸化物を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記保護層は、酸化アルミニウム、酸化チタン或いは酸化タンタルを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記犠牲層は、金属、ポリシリコン或いはアモルファスシリコンを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項７】
第１の電極と、
該第１の電極の上方に位置し、該第１の電極に対して平行とされた、可動な第２の電極と、
前記第１の電極及び前記第２の電極の内側に空胴を形成するための、前記第１の電極と前記第２の電極との間の２つの支持材と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間の犠牲層が除去される場合に前記第１の電極を保護するための、前記第１の電極の空胴側の面上の保護層と、
を含むことを特徴とする干渉式変調ピクセル。
【請求項８】
前記保護層は、シリコンを含まないことを特徴とする請求項７記載の干渉式変調ピクセル。
【請求項９】
前記保護層は、金属酸化物を含むことを特徴とする請求項７記載の干渉式変調ピクセル。
【請求項１０】
前記保護層は、酸化アルミニウム、酸化チタン或いは酸化タンタルを含むことを特徴とする請求項７記載の干渉式変調ピクセル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面のパネルディスプレー及びその製造法に関する。より詳しくは、本発明は、干渉式の変調ピクセル及びその製造法に関する。
【背景技術】
【０００２】
平面ディスプレイは、軽量で小さいがために、ポータブルな及びスペース制限のあるディスプレイ市場での人気が非常に高い。今日までに、液晶表示装置（ＬＣＤ）、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）及びプラズマ表示パネル（ＰＤＰ）に加えて、光学干渉ディスプレイのモジュールが研究されてきた。
【０００３】
光学干渉ディスプレイの干渉方式による変調ピクセルの特徴としては、低い電力消費、短い応答時間、及び双安定状態、が挙げられる。したがって、光学干渉ディスプレイは、特に、例えば携帯電話、携帯情報端末（ＰＤＡ）、及びポータブル・コンピューターのようなポータブル製品における平面ディスプレイのパネルに適用することができる。
【０００４】
米国特許第５，８３５，２５５号は、可視光線のためのモジュレータ配列を開示している。そして、当該モジュレータ配列の干渉法による変調ピクセルは、平面ディスプレイパネル内で使用することができる。図１Ａは、当該先行技術における一の干渉型変調ピクセルを示す横断面図である。全ての干渉型変調ピクセル１００は、底電極１０２と上端電極１０４とを備えている。当該底電極１０２及び上端電極１０４は、支持材１０６によって分離され、これにより空胴１０８を形成する。底電極１０２と上端電極１０４との間の距離（換言すると空胴１０８の深さ）Ｄは、通常は１μｍ未満である。底電極１０２は、光を入射する電極であって、様々な波長の吸収率に基づいて、可視光線を部分的に吸収する。上端電極１０４は、光を反射する電極であって、電圧が印加されると曲がる性質を有する。
【０００５】
この干渉型の変調ピクセル１００のための入射光源として、通常は白色光が用いられ、該白色光は、可視光線スペクトルにおける様々な（λで表わされた）波長の光の混合物に相当するものである。該入射光が底電極１０２を通って光り、空胴１０８に入る場合には、下記の公式１．１に対応する波長（λ１）を備えた可視光線だけが、反射して戻る。
２Ｄ＝Ｎλ１                                          ・・・（式１．１）
（Ｎは自然数）
【０００６】
ここで、空胴深さの２倍（２Ｄ）の値が、入射光のある一の波長λ１に任意の自然数（Ｎ）を掛けた値と等しい場合には、強め合う干渉が起こり、また、波長λ１の光は反射して戻る。したがって、入射光の方向からパネルを見る観察者は、彼に向けて反映されたある波長λ１の光を観察するであろう。ここでの表示装置１００は、「開いた」状態、すなわち「明るい」状態である。
【０００７】
図１Ｂは、図１Ａの干渉式変調ピクセル１００に電圧が印加された後の状態を示す横断面図である。電圧供給下においては、上端電極１０４は、静電気引力によって底電極１０２の方向に曲げられる。この時点では、各壁１０２，１０４間の距離（空胴１０８の深さ）は、ｄとなり、零に等しいかもしれない。ゆえに、公式１．１中のＤは、ｄに置き換えられ、また、公式１．１を満たす別のある波長λ２を備えた可視光線だけが、強め合う干渉を引き起こし、上端電極１０２を介して反射する。しかしながら、干渉式変調ピクセル１００においては、底電極１０２は、波長λ２の光に関しては高い吸収率を備えるように設計されている。したがって、波長λ２の入射可視光線は吸収されてしまい、また、他の波長を備えた光は、弱め合う干渉によって廃棄される。そのため、すべての波長の入射可視光線はフィルターされてしまい、また、上端電極１０４が曲げられる場合には、観察者は、反射されたいかなる可視光線も見ることができない。この時点での干渉式変調ピクセル１００は、「閉じた」状態、すなわち「暗い」状態である。
【０００８】
上記のように、電圧供給下においては、上端電極１０４は静電引力によって底電極１０２側に曲げられて、干渉式変調ピクセル１００が「開いた」状態から「閉じた」状態に切り替えられる。干渉式変調ピクセル１００が「閉じた」状態から「開いた」状態に切り替えられる際には、上端電極１０４を曲げるための電圧が除去されて、また上端電極１０４は、弾力的に元の状態、すなわち図１Ａに示すような「開いた」状態に戻る。
【０００９】
上述を考慮すると、干渉式変調ピクセル１００は、反射プレートを有する光学部品の薄膜干渉法則と、微小な電気機械的システム（ＭＥＭＳ：microelectromechanical  system）プロセスと、を組み合わせることにより得られる。ＭＥＭＳプロセスにおいて、空胴１０８は、底電極１０２と上端電極１０４の間の犠牲層のエッチングにより形成される。犠牲層として使用される材料は、通常は、金属、ポリシリコン、或いはアモルファス・シリコンである。シリコンベースの材料は、金属材料と比較して安く、製造工程を高める場合にはしばしば好まれる。しかしながら、犠牲層を除去するために使用される腐食液が、適切に選択的なエッチングをしない場合には、底電極１０２の表面は、空胴深さＤ及び底電極の光学薄膜に悪影響を及ぼすような被害を受ける。すなわち、反映された波長λ１は、意図されるものとは異なってしまい、光学干渉ディスプレイの色の均一性にダメージを与える。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
一の形態において、本発明は、底電極の上面を保護するために、底電極に保護層が形成される干渉式変調ピクセル及びその製造方法を提供する。
【００１１】
別の形態では、本発明は、底電極の光学薄膜の品質を安定させるために、底電極に保護層が形成される干渉式変調ピクセル及びその製造方法を提供する。
【００１２】
さらに別の形態では、本発明は、光学干渉式平面ディスプレイの画像表示品質を向上させる、干渉式変調ピクセル及びその製造法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の前述及び他の形態に従って、本発明は、干渉式の変調ピクセルを製造する方法を提供する。透明な基板上には、第１の電極層、保護層、及び犠牲層が連続するように形成され、ここでは第１の電極層の最上部の層が絶縁層となる。第１の電極の境界を区分して明定するために、前記犠牲層，前記保護層，及び前記第１の電極層内に、第１の開口部が少なくとも２つ形成される。前記犠牲層上及び前記第１の開口部内には写真感光材が形成され、この写真感光材は、その後、第１の開口部の中に支持材を残すために、部分的に除去される。前記犠牲層及び前記支持材の上には、第２の電極層が形成される。その後、第２の電極の境界を区分して明定するために、第２の電極層内に、第２の開口部が少なくとも２つ形成される。当該２つの第２の開口部は、前記２つの第１の開口部に対して直角に交差するように形成される。その後、犠牲層は除去される。
【００１４】
上記において、保護層は、シリコンを含んでおらず、好ましくは、酸化アルミニウム、酸化チタン或いは酸化タンタルのような金属酸化物を含む。
【００１５】
本発明の前述及び他の形態に従って、本発明は、干渉式の変調ピクセルを提供する。この干渉式変調ピクセルは、第１の電極と、該第１の電極の上方に配置された可動な第２の電極と、前記第１の電極及び前記第２の電極の内側に空胴を形成するための、前記第１の電極と前記第２の電極との間の２つの支持材と、底電極の空胴側の面上の保護層と、を備える。上記において、保護層は、シリコンを含んでおらず、好ましくは、酸化アルミニウム、酸化チタンあるいは酸化タンタルのような金属酸化物を含む。
【００１６】
上述した本発明の好ましい実施形態に鑑みると、シリコンを含まない保護層は、前記犠牲層を絶縁層から分離するために、底電極の絶縁層を被覆するものであり、また犠牲層及び絶縁層の双方はシリコンベースである。従って、底電極の表面は腐食液による被害を受けることが無く、また、それ故に底電極の構造体は、無傷の状態が保たれ、光学干渉ディスプレイに高い画像表示品質を提供する。上述した概要記載と下記の詳細な記載の双方は、例を挙げることによりなされ、かつ、請求項に規定された発明のさらなる説明を提供するように意図されることが理解されるべきである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明は、犠牲層の除去プロセスの間に生じる底電極表面の被害を解消する、干渉式変調ピクセル及びその製造法を提供するものである。本発明の好ましい実施形態では、底電極は保護層によって覆われる。したがって、底電極の表面は、犠牲層を除去するために用いられる腐食液による被害を受けることが無く、また、底電極の構造体は、光学干渉式の表示装置に高い画像表示品質を提供できるように、無傷の状態が保たれる。
【００１８】
本発明の好ましい実施形態について、添付図面に示す例を参照して詳細に説明する。添付図面は、本発明をより良く理解するために含まれており、本明細書に組み込まれ、その一部を構成する。該図面は、本発明の実施形態を例証し、記述と共に、本発明の原理について説明する役割を担う。図２Ａ乃至２Ｄは、本発明の好ましい実施形態に従って、干渉式変調ピクセルを製造する工程を示す横断面図である。
【００１９】
図２Ａにおいて、透明な基板２００上には、透明な導電層２０５と、光吸収層２１０と、絶縁層２１５と、保護層２２０と、犠牲層２２５と、が順次形成される。
【００２０】
透明な導電層２０５は、好ましくは、インジウム酸化スズ（ＩＴＯ）、インジウム酸化亜鉛（ＩＺＯ）、酸化亜鉛あるいはインジウム酸化物で作られている。光吸収層２１０は、アルミニウム、銀あるいはクロムのような金属で作ることができる。絶縁層２１５は、好ましくは、酸化ケイ素（シリコン酸化物）または窒化ケイ素で構成する。犠牲層２２５がアモルファスシリコンまたはポリシリコンで構成される場合には、保護層２２０は、酸化アルミニウム、酸化チタンあるいは酸化タンタルなどの金属酸化物のような非シリコン材料であることが好ましい。
【００２１】
図２Ｂにおいて、少なくとも２つの第１の開口部２３０は、底電極を規定するために、写真平版（photolithography）やエッチングなどのプロセスによって、犠牲層２２５、保護層２２０、絶縁層２１５、光吸収層２１０、及び透明な導電層２０５の中に形成される。第１の開口部２３０は、実質的には、当該図の表面に対して垂直方向に設けられるものである。該開口部２３０は、チャネルにたとえることができ、当該図においては当該チャネルの断面だけが見えている。干渉式変調ピクセルの底電極は、２つの第１の開口部２３０の間に位置し、透明な導電層２０５、光吸収層２１０、及び絶縁層２１５を積み重ねることにより形成される。
【００２２】
その後、犠牲層２２５上及び第１の開口部２３０内に、写真感光材２３５が被覆される。写真感光材２３５には、向光性（positive）のフォトレジスト、背光性（negative）のフォトレジスト、あるいは、ポリイミド、アクリル樹脂、またはエポキシ樹脂のような、様々な種類の感光性樹脂が含まれる。
【００２３】
図２Ｃにおいて、第１の開口部２３０内の支持材２４０は、写真感光材２３５の露光および現像によって形成される。反射導電層２５０は、犠牲層２２５及び支持材２４０上に形成される。その後、反射導電層２５０内には、写真平版（photolithography）やエッチングなどのプロセスによって、少なくとも２つの第２の開口部（図２Ｃ中には示されない）が形成され、これにより２つの第２の開口部の間に上端電極が区画して規定される。第２の開口部の配置は、当該図の表面に対して平行に設けられる。この上端電極は、反射導電層２５０から形成され、光を反射する電極である。上端電極は、上下に移動するように曲げることができる。反射導電層２５０として使用される材料は、底電極からの入射光を反映できるような反射性を有するものでなければならない。この反射導電層２５０は、好ましくは金属を含む。
【００２４】
図２Ｄにおいて、犠牲層２２５は、リモート・プラズマエッチングのような、構造的なリリース・エッチング・プロセスによって除去されるリモート・プラズマの先駆物質（precursor）は、フッ素ベース或いは塩素ベースの腐食液が含まれ、例えば、キセノン二弗化物、四弗化炭素、三塩化硼素、三弗化窒素、六弗化硫黄、或いはそれらの組み合わせが挙げられる。
【００２５】
上述した本発明の好ましい実施形態に照らせば、非シリコンの保護層は、底電極の絶縁層をカバーして、共にシリコンベースである絶縁層から犠牲層を分離する。したがって、保護層に対する犠牲層のエッチング選択比は、絶縁層に対するそれよりも遙かに大きい。それ故に、底電極の表面は腐食液による被害を受けることが無く、またその結果、底電極の構造体は無傷の状態が保たれ、光学干渉式ディスプレイについての高い画像表示品質を提供できる。本発明の精神と範囲を逸脱することなく、本発明の構成の種々の変更や変形が可能であることは、当該技術に精通している人々に明白であろう。上記に鑑みて、本発明は、規定された発明の種々の変更例や変形例をも対象とし、それらは請求項及びそれらの等価物の範囲内にあることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１Ａ】先行技術における干渉式変調ピクセルを示す横断面図である。
【図１Ｂ】図１Ａの干渉型変調ピクセル１００に電圧が印加された後の状態を示す横断面図である。
【図２Ａ】本発明の好適な実施形態に基づいて干渉式変調ピクセルを製造する過程を示す横断面図である。
【図２Ｂ】本発明の好適な実施形態に基づいて干渉式変調ピクセルを製造する過程を示す横断面図である。
【図２Ｃ】本発明の好適な実施形態に基づいて干渉式変調ピクセルを製造する過程を示す横断面図である。
【図２Ｄ】本発明の好適な実施形態に基づいて干渉式変調ピクセルを製造する過程を示す横断面図である。
【符号の説明】
【００２７】
２００  基板
２０５  導電層
２１０  光吸収層
２１５  絶縁層
２２０  保護層
２２５  犠牲層
２３０  第１の開口部
２３５  写真感光材
２４０  支持材
２５０  反射導電層
【図１Ａ】
2005078067.tif 000003
【図１Ｂ】
2005078067.tif 000004
【図２Ａ】
2005078067.tif 000005
【図２Ｂ】
2005078067.tif 000006
【図２Ｃ】
2005078067.tif 000007
【図２Ｄ】
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