(57)【要約】【課題】安価に入手でき、且つ電界電子放出特性に優れた電界電子放出素子を提供する。【解決手段】エミッタ部と、アノード部を有する電界電子放出素子であって、エミッタ部に黒鉛粒子を含み、該黒鉛粒子は複数の扁平状の粒子の配向面が非平行となるように集合又は結合してなる電界電子放出素子である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
エミッタ部と、アノード部を有する電界電子放出素子であって、エミッタ部に黒鉛粒子を含み、該黒鉛粒子は複数の扁平状の粒子の配向面が非平行となるように集合又は結合してなる電界電子放出素子。
【請求項２】
黒鉛粒子の広角X線回折で測定される結晶の層間距離ｄ（００２）が３．４０Å以下、結晶のｃ軸方向の結晶子サイズＬｃ（００２）が３００Å以上である請求項１記載の電界電子放出素子。
【請求項３】
黒鉛粒子のアスペクト比が１０以下である請求項１又は２記載の電界電子放出素子。
【請求項４】
レーザー回折式粒度分布計で測定される黒鉛粒子の平均粒径が０．１〜１００μｍである請求項１〜３いずれか１項に記載の電界電子放出素子。
【請求項５】
請求項１〜４いずれかに１項に記載の電界電子放出素子を使用してなる画像表示装置。
【請求項６】
黒鉛粒子を含んでなるエミッタ部とアノード部を有する電界電子放出素子に使用される電界電子放出素子エミッタ部用黒鉛粒子であって、該黒鉛粒子が、複数の扁平状の粒子の配向面が非平行となるように集合又は結合してなる電界電子放出素子エミッタ部用黒鉛粒子。
【請求項７】
広角X線回折で測定される結晶の層間距離ｄ（００２）が３．４０Å以下、結晶のｃ軸方向の結晶子サイズＬｃ（００２）が３００Å以上、アスペクト比が１０以下、レーザー回折粒度分布計で測定される平均粒径が０．１〜１００μｍである請求項６記載の電界電子放出素子エミッタ部用黒鉛粒子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電界電子放出素子、電界電子放出素子エミッタ部用黒鉛粒子及び画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ディスプレイ装置の薄型化や画像の高輝度化等が要求され、陽極と陰極の間に強電界をかけて電子を放出させる電界放出型電子放出素子が注目されている。この電界電子放出素子は、消費電力の低減のため、駆動電圧の低下、エミッタ部からの放出電子量の増大等が求められている。特に最近では、エミッタ部にカーボンナノチューブなどの炭素材料を使用した電界放出素子が盛んに研究されている。カーボンナノチューブは高いアスペクト比を持つため電界が集中し易く、低電位で電子放出を行わせることができると期待されている。
【０００３】
カーボンナノチューブ等の炭素材料は、デバイスの所望の位置に配置されるが、その方法として樹脂や溶剤とともに混合したペーストを基板に塗布し、熱処理する方法や、触媒金属を基板上に形成し、原料ガスを供給することで触媒微粒子を核としてカーボンナノチューブを成長させる方法がある。
【０００４】
例えば、特許文献１には、エミッタ部にカーボンナノチューブを用いた電子線素子が開示されている。特許文献２にはカーボンナノチューブをレジスト材料とともに混合して作製した懸濁液を基板に塗布する方法が開示されている。また、特許文献３には、細孔内にカーボンナノチューブを成長した電界電子放出素子が開示されている。
【０００５】
しかしながら、従来のカーボンナノチューブをエミッタ部に使用した電界電子放出素子の電子放出特性は充分ではなく、より低電圧で電子を放出することが必要である。さらには、従来のカーボンナノチューブはかさ密度が小さいため、高密度のエミッタ部を得ることは困難であり、その結果、作製する電界電子放出素子の輝度やエミッタ部の面内バラツキが大きいという問題があるばかりでなく、コストが高いという問題がある。
【特許文献１】特開平９−２２１３０９号公報
【特許文献２】特開２０００−９０８０９号公報
【特許文献３】特開平１０−１２１２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような事情に鑑み、安価に入手でき、且つ電界電子放出特性に優れた材料が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、（１）エミッタ部と、アノード部を有する電界電子放出素子であって、エミッタ部に黒鉛粒子を含み、該黒鉛粒子は複数の扁平状の粒子の配向面が非平行となるように集合又は結合してなる電界電子放出素子に関する。
【０００８】
また、本発明は、（２）黒鉛粒子の広角X線回折で測定される結晶の層間距離ｄ（００２）が３．４０Å以下、結晶のｃ軸方向の結晶子サイズＬｃ（００２）が３００Å以上である前記（１）記載の電界電子放出素子に関する。
【０００９】
また、本発明は、（３）黒鉛粒子のアスペクト比が１０以下である前記（１）又は（２）記載の電界電子放出素子に関する。
【００１０】
また、本発明は、（４）レーザー回折式粒度分布計で測定される黒鉛粒子の平均粒径が０．１〜１００μｍである前記（１）〜（３）いずれかに記載の電界電子放出素子に関する。
【００１１】
また、本発明は、（５）前記（１）〜（４）いずれかに記載の電界電子放出素子を使用してなる画像表示装置に関する。
【００１２】
また、本発明は、（６）黒鉛粒子を含んでなるエミッタ部とアノード部を有する電界電子放出素子に使用される電界電子放出素子エミッタ部用黒鉛粒子であって、該黒鉛粒子が、複数の扁平状の粒子の配向面が非平行となるように集合又は結合してなる電界電子放出素子エミッタ部用黒鉛粒子に関する。
【００１３】
また、本発明は、（７）広角X線回折で測定される結晶の層間距離ｄ（００２）が３．４０Å以下、結晶のｃ軸方向の結晶子サイズＬｃ（００２）が３００Å以上、アスペクト比が１０以下、レーザー回折粒度分布計で測定される平均粒径が０．１〜１００μｍである前記（６）記載の電界電子放出素子エミッタ部用黒鉛粒子に関する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の請求項１〜４記載の電界電子放出素子は、電子放出特性に優れる。また、請求項５記載の画像表示装置は、低電圧で駆動し、消費電力が小さい。さらに、請求項６及び７記載の黒鉛粒子は、電子放出特性に優れた電界電子放出素子に好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明は、エミッタ部と、アノード部を有する電界電子放出素子であって、エミッタ部に黒鉛粒子を含み、該黒鉛粒子は複数の扁平状の粒子の配向面が非平行となるように集合又は結合してなる電界電子放出素子であることを特徴とする。
【００１６】
この黒鉛粒子をエミッタ部に使用することで電界電子放出特性に優れた電界電子放出素子を作製することができる。
【００１７】
本発明において、扁平状の粒子とは、長軸と短軸とを有する形状の粒子のことである。長軸と短軸とを有する形状としては、例えば、鱗状、鱗片状、塊状、疑球状等の形状が挙げられる。黒鉛粒子において、複数の扁平状の粒子の配向面が非平行とは、それぞれの粒子における扁平した面、換言すれば最も平らに近い面を配向面として、複数の扁平状の粒子がそれぞれの配向面を一定の方向にそろうことなく集合又は結合している状態をいう。
【００１８】
この黒鉛粒子において扁平状の粒子は集合又は結合しているが、結合とは互いの粒子が、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、ピッチ、タール等の炭素化可能なバインダを炭素化した炭素質を介して、化学的に結合している状態をいい、集合とは互いの粒子が化学的に結合してはないが、その形状等に起因して、その集合体としての形状を保っている状態をいう。機械的な強度の面からは、結合しているものが好ましい。また、前記の炭素化可能なバインダを炭素化した炭素質は、黒鉛であることが好ましい。
【００１９】
１つの黒鉛粒子において、扁平状の粒子の集合又は結合する数としては、３個以上であることが好ましい。個々の扁平状の粒子の大きさとしては、粒径で０．１〜１００μmであることが好ましく、これらが集合又は結合した黒鉛粒子の平均粒径の２／３以下であることが好ましい。また、個々の扁平状の粒子のアスペクト比は１００以下が好ましく、５０以下がより好ましく、２０以下がさらに好ましい。個々の扁平状の粒子のアスペクト比の好ましい下限としては１．２である。
【００２０】
このような黒鉛粒子を電界電子放出素子のエミッタ部に使用すると、基板上に黒鉛結晶が配向し難く、その結果、電子を放出しやすくすると考えられる。なお、図１に本発明の電界電子放出素子に使用する黒鉛粒子の一例の粒子構造の走査型電子顕微鏡写真を示す。図１において、細かな複数の扁平状の粒子が、それらの粒子の配向面を非平行にして結合し、黒鉛粒子を形成している様子が観察できる。
【００２１】
本発明の電界電子放出素子に使用する黒鉛粒子は、広角Ｘ線回折で測定される結晶の層間距離ｄ（００２）が３．４０Å以下であることが好ましく、３．３８Å以下であればより好ましく、３．３７Å以下であればさらに好ましく、３．３６Å以下であれば特に好ましい。ｄ（００２）が３．４０Å以下であると電子を放出させることができる電界値を小さくすることができる傾向があり、電子放出特性に優れた電界電子放出素子を作製することが可能となる。黒鉛粒子のｄ（００２）が３．４０Åを超えると電子放出特性が低下する傾向がある。ｃ軸方向の結晶子サイズＬｃ（００２）は３００Å以上が好ましく、５００Å以上であればより好ましく、８００Å以上であればさらに好ましく、１０００Å以上であれば特に好ましい。結晶の層間距離ｄ（００２）が小さくなるか、ｃ軸方向の結晶子サイズＬｃ（００２）が大きくなると、電子放出に必要な電界値を低くすることができる傾向があり、好ましい。
【００２２】
ｄ（００２）、Ｌｃ（００２）の測定は、例えば、炭素粉末を広角X線回折装置を使用し、学振法によって測定できる。
【００２３】
本発明の電界電子放出素子に使用する黒鉛粒子は、アスペクト比が１０以下であることが好ましく、アスペクト比は５以下であればより好ましく、１．０５〜３であればさらに好ましく、１．１〜２であれば特に好ましい。アスペクト比が１０を超えると、粒子が基板上に配向しやすくなり、電子が放出し難くなる傾向がある。なお、アスペクト比は、黒鉛粒子の長軸方向の長さをＡ、短軸方向の長さをＢとしたとき、Ａ／Ｂで表される。本発明におけるアスペクト比は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で黒鉛粒子を拡大し、任意に１０個の黒鉛粒子を選択し、色々な方向から粒子を観察して粒子の三次元的な特徴を考慮した上で黒鉛粒子の長軸方向の長さをＡ、短軸方向の長さをＢとしたときのＡ／Ｂを算出し、その平均値をとったものである。例えば、黒鉛粒子が、鱗状、板状、ブロック状等のように薄く平たく、厚さ方向を有する場合には、短軸Ｂは粒子の厚みとなる。また、棒状、針状等のような粒子の場合、長軸Ａは粒子の長さであり、短軸Ｂは棒状（又は針状等）粒子の太さとなる。また、粒子を機械的な力を加え形状を変化させたような場合は、色々な方向から粒子を観察して粒子の三次元的な特徴を考慮し近似的に粒子の形状を判断した上でＡ及びＢの値を決定する。
【００２４】
本発明の電界電子放出素子に使用する黒鉛粒子のかさ密度は０．１〜１．５ｇ／ｃｃであることが好ましい。０．１〜１．２ｇ／ｃｃであればより好ましく、０．２〜１．０ｇ／ｃｃであればさらに好ましく、０．３〜０．８ｇ／ｃｃであれば特に好ましい。黒鉛粒子のかさ密度が０．１ｇ／ｃｃ未満であると、作製する電界電子放出素子のエミッタ部の密度が低くなり、その結果、輝度が低下したり、耐久寿命が低下する傾向がある。また、この黒鉛粒子は、例えば、接着剤と溶剤を含む塗料を作製し、基板に塗布してエミッタ部を作製することができるが、黒鉛粒子のかさ密度が０．１ｇ／ｃｃ未満であると、基板との密着強度が低下する傾向がある。また、黒鉛粒子と基板との密着強度を向上させる方法として作製する塗料に含む接着剤の量を多くすることが可能であるが、接着剤量を多くしすぎると、黒鉛粒子の表面の電子放出部を接着剤が覆う傾向があり、その結果電子放出特性が低下する傾向がある。また、かさ密度が１．５ｇ／ｃｃを超えても電子放出特性が低下する傾向がある。
【００２５】
かさ密度の測定は、例えば、ＪＩＳ−Ｋ−１４６９に規定されるように、黒鉛粒子１００ｃｍ３を、質量既知の１００ｃｍ３メスシリンダーを斜めにして、さじで徐々に入れ、その質量を１０ｍｇの桁まではかり、メスシリンダーにゴム栓をした後、ゴム板上で約５ｃｍの高さから５０回自然落下させ、圧縮された黒鉛粒子の体積を読み、黒鉛粒子の重量から式（１）より算出することができる。
【数１】
2005209552.tif 000002
【００２６】
Ｄ：かさ密度（ｇ／ｃｍ３）
ｍ：黒鉛粒子の質量（ｇ）
Ｖ：５０回落下後の黒鉛粒子の体積（ｃｍ３）
本発明の電界電子放出素子に使用する黒鉛粒子の真比重は、２．１９以上が好ましく、２．２０以上であればより好ましく、２．２１以上であればさらに好ましく、２．２２以上あれば特に好ましく、２．２３以上であれば最も好ましい。黒鉛粒子の真比重が２．１９未満であると作製する電界電子放出素子の電子放出特性が低下する傾向がある。真比重の上限としては２．２６以下であることが好ましい。真比重の測定は、例えばブタノール置換法により測定することができる。
【００２７】
本発明の電界電子放出素子に使用する黒鉛粒子中に含まれる金属不純物量としては、２０００００ｐｐｍ以下が好ましく、１０００００ｐｐｍ以下がより好ましく、さらには１００００ｐｐｍ以下が好ましく、１０００ｐｐｍ以下であればより好ましく、１００ｐｐｍ以下であればさらに好ましく、１０ｐｐｍ以下であれば特に好ましく、５ｐｐｍ以下であれば最も好ましい。金属不純物量が２０００００ｐｐｍを超えると電子放出特性が低下する傾向がある。
【００２８】
黒鉛粒子中の金属不純物量は、例えば、黒鉛粒子を酸素を含む電気炉中で５００〜１０００℃程度で灰化した後の残渣重量から灰分値として算出する方法等によって測定することができる。
【００２９】
また、本発明の電界電子放出素子に使用する黒鉛粒子の比表面積が１〜１００ｍ２／ｇであることが好ましく、１〜５０ｍ２／ｇであればより好ましく、２〜４０ｍ２／ｇであればさらに好ましく、２〜３０ｍ２／ｇであれば特に好ましい。比表面積が１ｍ２／ｇ未満であると黒鉛粒子から電子が放出しにくくなり作製する電界電子放出素子の電子放出特性が低下する傾向がある。比表面積が１００ｍ２／ｇを超えると、例えば、接着剤と溶剤を含む塗料を作製し、基板に塗布してエミッタ部を作製するとき、基板との密着強度が低下する傾向がある。また、黒鉛粒子と基板との密着強度を向上させる方法として作製する塗料に含む接着剤の量を多くすることが可能であるが、接着剤量を多くしすぎると、黒鉛粒子の表面の電子放出部を接着剤が覆う傾向があり、その結果電子放出特性が低下する傾向がある。
【００３０】
比表面積は、例えば、窒素ガス吸着によるＢＥＴ法により測定することができる。
【００３１】
また、本発明は、レーザー回折式粒度分布測定で測定される黒鉛粒子の平均粒径が０．１〜１００μｍであることが好ましい。１〜５０μｍであればより好ましく、３〜３０μｍであればさらに好ましく、５〜３０μｍであれば特に好ましい。
【００３２】
また、本発明の電界電子放出素子に使用する黒鉛粒子の累積９０％粒径は、１５０μｍ以下が好ましく、１００μｍ以下であればより好ましく、８０μｍ以下であればさらに好ましく、３０μｍ以下であれば特に好ましい。黒鉛粒子の平均粒径が１００μｍを超えるか、累積９０％粒径が１５０μｍを超えると、エミッタ部の表面で凹凸ができやすく、その結果、電子放出性能のバラツキが生じやすくなる傾向がある。黒鉛粒子の平均粒径が０．１μｍ未満であると、接着剤と溶剤を含む塗料を作製し、基板に塗布してエミッタ部を作製するとき、基板との密着強度が低下する傾向がある。
【００３３】
前記、平均粒径及び累積９０％粒径は、例えば、レーザー回折式粒度分布計により測定することができる。
【００３４】
また、本発明の電界電子放出素子に使用する黒鉛粒子は、粒子内部に細孔を有していることが好ましい。粒子内部の細孔の有無は、例えば、粒子の断面を走査型電子顕微鏡で観察することにより確認することができる。
【００３５】
また、本発明の電界電子放出素子に使用する黒鉛粒子は、水銀圧入法により測定した１０２〜１０６Åの範囲の細孔体積が０．２〜５ｃｃ／ｇであることが好ましく、０．３〜４ｃｃ／ｇであればより好ましく、０．６〜３ｃｃ／ｇであればさらに好ましく、０．８〜２ｃｃ／ｇであれば特に好ましい。
【００３６】
１０２〜１０６Åの範囲の細孔体積が０．２ｃｃ／ｇ未満であると作製する電界電子放出素子の電子放出特性が低下する傾向がある。また、５ｃｃ／ｇを超えると、黒鉛粒子と基板との密着強度が低下する傾向があり、その結果作製する電界電子放出素子の寿命が低下する傾向がある。
【００３７】
このような構成の黒鉛粒子をエミッタ部に使用することで、電子放出特性に優れた電界電子放出素子を作製することができる。
【００３８】
また、本発明の黒鉛粒子は、単独で電界電子放出素子エミッタ部に使用することができるが、例えば、カーボンファイバー等の他の炭素材料と複合又は混合しても使用することができる。ここで、他の炭素材料としてカーボンファイバーを使用する場合、黒鉛粒子とカーボンファイバーが複合している状態とは、例えば、黒鉛粒子とカーボンファイバーが化学的に結合している状態、黒鉛粒子の一部としてカーボンファイバーが一体化している状態、黒鉛粒子の形状に起因してカーボンファイバーが物理的に結合している状態等が挙げられる。カーボンファイバーの形状としては繊維状であることが好ましいが、電界を集中しやすい形状をとるものであれば好ましく、例えば、針状、棒状、ウィスカー状、中空状等の形状が挙げられる。
【００３９】
本発明の電界電子放出素子のエミッタ部は、アノード部とともに構成されることが必要とされ、エミッタ部とアノード部は互いに対向して配置されていることが好ましい。
【００４０】
本発明の電界電子放出素子に使用する黒鉛粒子は、基板上に配置することが、均一な電子放出面を形成することができ好ましい。基板上に配置した後の黒鉛粒子は、見かけ密度が０．１〜１．５ｇ／ｃｃであることが好ましい。０．１〜１．２ｇ／ｃｃであればより好ましく、０．２〜１．０ｇ／ｃｃであればさらに好ましく、０．３〜０．８ｇ／ｃｃであれば特に好ましい。基板上の黒鉛粒子の見かけ密度が０．１ｇ／ｃｃ未満であると、作製する電界電子放出素子のエミッタ部の密度が低くなり、その結果、輝度が低下したり、耐久寿命が低下する傾向がある。この黒鉛粒子を基板上に配置する方法としては、例えば、スプレイ堆積法、スクリーン印刷法、電気泳動法等によって配置することができる。黒鉛粒子は単独で基板上に配置してもよく、溶剤等とともに塗料状で使用してもよい。また、接着剤とともに基板上に固定してもよい。また、黒鉛粒子と溶剤等と接着剤とを混合して使用してもよい。固定後は、例えば熱処理等により揮発成分を除去することが好ましい。
【００４１】
ここで、基板上に配置した黒鉛粒子の見かけ密度は、例えば、基板上に配置した黒鉛粒子の重量及び体積の測定値から算出することができる。
【００４２】
基板上の黒鉛粒子の見かけ密度は、例えば、黒鉛粒子と接着剤と溶剤を混合した塗料の固形分濃度を調整して基板に塗布乾燥することで適宜調整可能である。また、基板表面の黒鉛粒子を圧縮することでも適宜調整することが可能である。使用する接着剤としては、高真空化、高電圧化で使用可能であることが好ましく、例えば、銀ペースト、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等の熱硬化性樹脂、ゴム、熱可塑性樹脂などが挙げられる。また、溶剤としては、例えば、水、有機溶剤等、使用する接着剤や使用条件に応じて適宜選択可能である。
【００４３】
基板上に黒鉛粒子を配置した後の黒鉛粒子の表面をＸ線回折で測定したときの（００２）面と（１１０）面の回折強度比（００２）／（１１０）は５００以下であることが好ましく、４００以下であればより好ましく、３００以下であればさらに好ましく、２００以下であれば特に好ましい。回折強度比（００２）／（１１０）が５００を超えると、作製する電界電子放出素子の電子放出特性が低下する傾向がある。回折強度比（００２）／（１１０）の下限としては１０以上であることが好ましい。
【００４４】
黒鉛粒子を配置する基板としては、例えば、ガラスを使用することができる。ガラスを使用する場合は、導電性の点から表面にＰｔ等の導電材料を付していることが好ましい。
【００４５】
上記、本発明の電界電子放出素子は、従来の電界電子放出素子に比べ、耐熱性、耐アーク性に優れる。また、エミッタ部の電子放出の閾値電圧を引き下げることが可能であり、低い電圧で駆動し且つ長寿命の画像表示装置を作製することが可能である。画像表示装置としては、エッミタ部とアノード部を有してなる電界電子放出素子中に蛍光体を存在させ画像を表示させる電界放出ディスプレイ等が挙げられる。
【実施例】
【００４６】
以下、本発明の実施例を説明する。
【００４７】
（実施例１）
本発明になる電界電子放出素子は、図２に示す構成にてその性能を評価した。ガラス製の基板１の表面にＰt製の素子電極２を配置し、その上部にエミッタ部３として黒鉛粒子Ａ（日立化成工業（株）製  黒鉛粒子サンプル）を配置した。配置した黒鉛粒子の厚みは１００μｍ、直径１mmの円形、見かけ密度を０．８ｇ／ｃｃとした。次いで、エミッタ部に対向するようにアノード部４を配置した。エミッタ部表面とアノード部の距離は０．５ｍｍとした。得られた電界電子放出素子を、真空ポンプ８により真空度１０−５Ｐａにした真空槽７内で、エミッタ部とアノード部間に電圧を印加するための電源６により０〜１０Ｖ／μｍの電界をかけ電子放出電流をエミッタ部（黒鉛粒子）とアノード部間を流れる電流を測定するための電流計５によって測定した。黒鉛粒子Ａの物性値及び電子放出開始電界値を表１に示す。また、図３に電界値と電子放出電流値の関係を示す。
【００４８】
（比較例１）
エミッタ部として、メソフェーズ球状炭素粒子を２８００℃で黒鉛化処理をした球状黒鉛粒子を使用した以外は、実施例１と同様の方法で電界電子放出素子を作製し、実施例１と同様の方法で電子放出開始電界値を測定した。表１に黒鉛粒子の物性値及び電子放出開始電界値を示す。また、図３に電界値と電子放出電流値の関係を示す。
【００４９】
（比較例２）
中国産天然黒鉛をジェットミルで粉砕して作製した黒鉛粒子をエミッタ部に使用した以外は、実施例１と同様の方法で電界電子放出素子を作製し、実施例１と同様の方法で電子放出開始電界値を測定した。表１に黒鉛粒子の物性値及び電子放出開始電界値を示す。また、図３に電界値と電子放出電流値の関係を示す。
【表１】
2005209552.tif 000003
【００５０】
表１に示されるように、本発明の黒鉛粒子をエミッタ部に使用した電界電子放出素子は、低い駆動電圧で良好な電子放出特性を示すことが示された。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の電界電子放出素子のエミッタ部に使用した黒鉛粒子の走査型電子顕微鏡写真の１例である。
【図２】本発明の実施例で、電子放出特性の測定に用いた電界電子放出素子の概略図である。
【図３】実施例１、比較例１及び２で作製した電界電子放出素子の電界値と電子放出電流値の関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５２】
１  基板
２  素子電極
３  エミッタ部（黒鉛粒子）
４  アノード部
５  エミッタ部（黒鉛粒子）とアノード部間を流れる電流を測定するための電流計
６  エミッタ部（黒鉛粒子）とアノード部間に電圧を印加するための電源
７  真空槽
８  真空ポンプ
【図１】
2005209552.tif 000004
【図２】
2005209552.tif 000005
【図３】
2005209552.tif 000006