(57)【要約】【課題】  亜鉛微粒子分散耐食性被膜を表面に有する希土類系永久磁石の安定かつ簡易な製造方法、こうして製造される耐食性希土類系永久磁石、各種形状の薄型ワークに対する塗膜形成に適したディップスピンコーティング法およびワークの塗膜形成方法を提供すること。【解決手段】  本発明の耐食性希土類系永久磁石の製造方法は、アルキルシリケートの加水分解重合反応物と平均粒径が１μｍ〜５０μｍの亜鉛微粒子を含有したｐＨが６〜８で粘度が１０００ｃＰ以下の水系処理液を、希土類系永久磁石の表面に塗布した後、２５０℃〜４００℃にて熱処理を行うことで亜鉛微粒子分散耐食性被膜とすることを特徴とする。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルキルシリケートの加水分解重合反応物と平均粒径が１μｍ〜５０μｍの亜鉛微粒子を含有したｐＨが６〜８で粘度が１０００ｃＰ以下の水系処理液を、希土類系永久磁石の表面に塗布した後、２５０℃〜４００℃にて熱処理を行うことで亜鉛微粒子分散耐食性被膜とすることを特徴とする耐食性希土類系永久磁石の製造方法。
【請求項２】
亜鉛微粒子が鱗片状のものであることを特徴とする請求項１記載の製造方法。
【請求項３】
水系処理液中における出発原料としてのアルキルシリケートと亜鉛微粒子の合計配合割合が４０重量％〜９０重量％（アルキルシリケートはＳｉＯ2換算）であることを特徴とする請求項１または２記載の製造方法。
【請求項４】
水系処理液中における出発原料としてのアルキルシリケートと亜鉛微粒子の混合比率が１：１〜１：１９（重量比：アルキルシリケートはＳｉＯ2換算）であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の製造方法。
【請求項５】
水系処理液中に有機分散剤を添加することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の製造方法。
【請求項６】
亜鉛微粒子分散耐食性被膜の膜厚が１μｍ〜５０μｍであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の製造方法。
【請求項７】
亜鉛微粒子分散耐食性被膜中に他の無機質微粒子をさらに分散させることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の製造方法。
【請求項８】
水系処理液の希土類系永久磁石の表面への塗布をディップスピンコーティング法で行うことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の製造方法。
【請求項９】
粘度が３００ｃＰ〜６００ｃＰの水系処理液を用いて行うことを特徴とする請求項８記載の製造方法。
【請求項１０】
鉛直方向の中心軸を回転軸として回転可能な回転台座の略外周端部上に、複数個の希土類系永久磁石を保持し、希土類系永久磁石が保持された回転台座を水系処理液槽に浸漬することで希土類系永久磁石に水系処理液を浸漬塗装した後、液中から取り出し、回転台座を回転させて希土類系永久磁石に余分に付着した水系処理液を遠心振り切りすることでディップスピンコーティングを行うことを特徴とする請求項８または９記載の製造方法。
【請求項１１】
複数個の希土類系永久磁石を回転台座の略外周端部上に略環状に保持することを特徴とする請求項１０記載の製造方法。
【請求項１２】
希土類系永久磁石が薄型磁石であることを特徴とする請求項１０または１１記載の製造方法。
【請求項１３】
薄型磁石をその最も広い面が回転台座の放射状方向に対して略平行になるように保持することを特徴とする請求項１２記載の製造方法。
【請求項１４】
回転台座の略外周端部上に装着した際、複数個の薄型磁石を個々の磁石が離間した状態でその最も広い面が回転台座の放射状方向に対して略平行になるように略環状にセットすることができる塗装治具を用いて行うことを特徴とする請求項１３記載の製造方法。
【請求項１５】
薄型磁石が平板状、リング状、弓形状のいずれかの形状であることを特徴とする請求項１２記載の製造方法。
【請求項１６】
ディップスピンコーティングを行った後、薄型磁石がセットされたままの塗装治具を回転台座から取り外し、任意の場所で塗装治具にセットされたままの薄型磁石を熱処理することを特徴とする請求項１４記載の製造方法。
【請求項１７】
アルキルシリケートを出発原料とした被膜成分中に平均粒径が１μｍ〜５０μｍの亜鉛微粒子を分散させた耐食性被膜を表面に有することを特徴とする希土類系永久磁石。
【請求項１８】
耐食性被膜の亜鉛微粒子含有量が５０重量％〜９５重量％であることを特徴とする請求項１７記載の希土類系永久磁石。
【請求項１９】
磁石本体表面から内部に亜鉛が拡散していることを特徴とする請求項１７または１８記載の希土類系永久磁石。
【請求項２０】
請求項１記載の製造方法により製造されたことを特徴とする請求項１７乃至１９のいずれかに記載の希土類系永久磁石。
【請求項２１】
鉛直方向の中心軸を回転軸として回転可能な回転台座の略外周端部上に、複数個のワークを保持し、ワークが保持された回転台座を塗料槽に浸漬することでワークに塗料を浸漬塗装した後、液中から取り出し、回転台座を回転させてワークに余分に付着した塗料を遠心振り切りすることを特徴とするワークのディップスピンコーティング法。
【請求項２２】
鉛直方向の中心軸を回転軸として回転可能な回転台座の略外周端部上に装着した際、複数個のワークを個々のワークが離間した状態で略環状にセットすることができる塗装治具を用い、ワークがセットされた塗装治具を装着した回転台座を塗料槽に浸漬することでワークに塗料を浸漬塗装した後、液中から取り出し、回転台座を回転させてワークに余分に付着した塗料を遠心振り切りし、ワークがセットされたままの塗装治具を回転台座から取り外し、任意の場所で塗装治具にセットされたままのワークを所望により乾燥処理して行うことを特徴とするワークの塗膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、亜鉛微粒子分散耐食性被膜を表面に有する希土類系永久磁石の安定かつ簡易な製造方法、こうして製造される耐食性希土類系永久磁石、各種形状の薄型ワークに対する塗膜形成に適したディップスピンコーティング法およびワークの塗膜形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石に代表されるＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石やＳｍ−Ｆｅ−Ｎ系永久磁石に代表されるＲ−Ｆｅ−Ｎ系永久磁石などの希土類系永久磁石は、資源的に豊富で安価な材料が用いられ、かつ、高い磁気特性を有していることから、特にＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石は今日様々な分野で使用されている。
しかしながら、希土類系永久磁石は反応性の高い希土類元素：Ｒを含むため、大気中で酸化腐食されやすく、何の表面処理をも行わずに使用した場合には、わずかな酸やアルカリや水分などの存在によって表面から腐食が進行して錆が発生し、それに伴って、磁石特性の劣化やばらつきを招く。さらに、錆が発生した磁石を磁気回路などの装置に組み込んだ場合、錆が飛散して周辺部品を汚染する恐れがある。
希土類系永久磁石に耐食性を付与する方法には数多くの方法があるが、その一つとして、珪素化合物を出発原料とした耐食性被膜を希土類系永久磁石の表面に形成する方法がある。近年、このような耐食性被膜の更なる性能向上を目的として種々の研究がなされている。
例えば、下記の特許文献１においては、亜鉛微粒子を分散させたアルカリ珪酸塩水溶液からなる処理液を、希土類系永久磁石の表面に塗布した後、熱処理を行うことで亜鉛微粒子分散耐食性被膜とする方法が提案されている。この方法は、アルカリ珪酸塩を出発原料とした被膜の耐食作用と電位的に卑な亜鉛微粒子の犠牲防食作用を利用したものであり、希土類系永久磁石に高い耐食性を付与することができる方法として期待される。しかしながら、この方法においては、亜鉛微粒子分散耐食性被膜を形成するための処理液中に亜鉛微粒子を均一に分散させておくためには処理液をアルカリ性にしておかなければならないため、処理液を希土類系永久磁石の表面に塗布した際、磁石の表面において磁石を構成する金属の水酸化物が生成し、このような金属水酸化物からなる層で磁石の表面が覆われてしまうことに起因して、密着性に優れた亜鉛微粒子分散耐食性被膜が形成されにくいといった問題や、アルカリ珪酸塩を出発原料とした被膜は柔軟性に劣るためにクラックが生じやすいといった問題や、廃液処理が面倒であるといった問題などがある。
また、下記の特許文献２においては、珪素有機化合物と平均粒径が１ｎｍ〜１００ｎｍの無機質微粒子を含有した処理液を、希土類系永久磁石の表面に塗布した後、熱処理を行うことで無機質微粒子分散耐食性被膜とする方法が提案されている。この方法は、珪素有機化合物を出発原料とした薄くて緻密な耐食性被膜を希土類系永久磁石の表面に形成するためのものであり、特定の平均粒径を有する無機質微粒子を被膜成分中に分散させることで、被膜生成過程における被膜内部応力を緩和してクラックなどの物理的欠陥が発生することを防止するものである。この方法も希土類系永久磁石に高い耐食性を付与することができる方法として期待される。しかしながら、ナノメーターオーダーの無機質微粒子は水に均一に分散させることが困難なことなどを考慮すれば、処理液の調製においては、低級アルコールなどの有機溶媒を主体としてそこにわずかな水を添加し、酸性条件下で珪素有機化合物を加水分解重合反応させてゾル液とするとともに無機質微粒子を分散させる必要があり、従って、調製された処理液は酸性であるため、処理液を希土類系永久磁石の表面に塗布した際、磁石の腐食を招くといった問題や、有機溶媒が揮発することで処理液組成が変動しやすく、また、環境に悪影響を与えるといった問題や、廃液処理が面倒であるといった問題などがある。
【特許文献１】特開２０００−１８２８１３号公報
【特許文献２】特開２００１−１４３９４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
そこで本発明は、亜鉛微粒子分散耐食性被膜を表面に有する希土類系永久磁石の安定かつ簡易な製造方法、こうして製造される耐食性希土類系永久磁石、各種形状の薄型ワークに対する塗膜形成に適したディップスピンコーティング法およびワークの塗膜形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の点に鑑みてなされた本発明の耐食性希土類系永久磁石の製造方法は、請求項１記載の通り、アルキルシリケートの加水分解重合反応物と平均粒径が１μｍ〜５０μｍの亜鉛微粒子を含有したｐＨが６〜８で粘度が１０００ｃＰ以下の水系処理液を、希土類系永久磁石の表面に塗布した後、２５０℃〜４００℃にて熱処理を行うことで亜鉛微粒子分散耐食性被膜とすることを特徴とする。
また、請求項２記載の製造方法は、請求項１記載の製造方法において、亜鉛微粒子が鱗片状のものであることを特徴とする。
また、請求項３記載の製造方法は、請求項１または２記載の製造方法において、水系処理液中における出発原料としてのアルキルシリケートと亜鉛微粒子の合計配合割合が４０重量％〜９０重量％（アルキルシリケートはＳｉＯ2換算）であることを特徴とする。
また、請求項４記載の製造方法は、請求項１乃至３のいずれかに記載の製造方法において、水系処理液中における出発原料としてのアルキルシリケートと亜鉛微粒子の混合比率が１：１〜１：１９（重量比：アルキルシリケートはＳｉＯ2換算）であることを特徴とする。
また、請求項５記載の製造方法は、請求項１乃至４のいずれかに記載の製造方法において、水系処理液中に有機分散剤を添加することを特徴とする。
また、請求項６記載の製造方法は、請求項１乃至５のいずれかに記載の製造方法において、亜鉛微粒子分散耐食性被膜の膜厚が１μｍ〜５０μｍであることを特徴とする。
また、請求項７記載の製造方法は、請求項１乃至６のいずれかに記載の製造方法において、亜鉛微粒子分散耐食性被膜中に他の無機質微粒子をさらに分散させることを特徴とする。
また、請求項８記載の製造方法は、請求項１乃至７のいずれかに記載の製造方法において、水系処理液の希土類系永久磁石の表面への塗布をディップスピンコーティング法で行うことを特徴とする。
また、請求項９記載の製造方法は、請求項８記載の製造方法において、粘度が３００ｃＰ〜６００ｃＰの水系処理液を用いて行うことを特徴とする。
また、請求項１０記載の製造方法は、請求項８または９記載の製造方法において、鉛直方向の中心軸を回転軸として回転可能な回転台座の略外周端部上に、複数個の希土類系永久磁石を保持し、希土類系永久磁石が保持された回転台座を水系処理液槽に浸漬することで希土類系永久磁石に水系処理液を浸漬塗装した後、液中から取り出し、回転台座を回転させて希土類系永久磁石に余分に付着した水系処理液を遠心振り切りすることでディップスピンコーティングを行うことを特徴とする。
また、請求項１１記載の製造方法は、請求項１０記載の製造方法において、複数個の希土類系永久磁石を回転台座の略外周端部上に略環状に保持することを特徴とする。
また、請求項１２記載の製造方法は、請求項１０または１１記載の製造方法において、希土類系永久磁石が薄型磁石であることを特徴とする。
また、請求項１３記載の製造方法は、請求項１２記載の製造方法において、薄型磁石をその最も広い面が回転台座の放射状方向に対して略平行になるように保持することを特徴とする。
また、請求項１４記載の製造方法は、請求項１３記載の製造方法において、回転台座の略外周端部上に装着した際、複数個の薄型磁石を個々の磁石が離間した状態でその最も広い面が回転台座の放射状方向に対して略平行になるように略環状にセットすることができる塗装治具を用いて行うことを特徴とする。
また、請求項１５記載の製造方法は、請求項１２記載の製造方法において、薄型磁石が平板状、リング状、弓形状のいずれかの形状であることを特徴とする。
また、請求項１６記載の製造方法は、請求項１４記載の製造方法において、ディップスピンコーティングを行った後、薄型磁石がセットされたままの塗装治具を回転台座から取り外し、任意の場所で塗装治具にセットされたままの薄型磁石を熱処理することを特徴とする。
また、本発明の希土類系永久磁石は、請求項１７記載の通り、アルキルシリケートを出発原料とした被膜成分中に平均粒径が１μｍ〜５０μｍの亜鉛微粒子を分散させた耐食性被膜を表面に有することを特徴とする。
また、請求項１８記載の希土類系永久磁石は、請求項１７記載の希土類系永久磁石において、耐食性被膜の亜鉛微粒子含有量が５０重量％〜９５重量％であることを特徴とする。
また、請求項１９記載の希土類系永久磁石は、請求項１７または１８記載の希土類系永久磁石において、磁石本体表面から内部に亜鉛が拡散していることを特徴とする。
また、請求項２０記載の希土類系永久磁石は、請求項１７乃至１９のいずれかに記載の希土類系永久磁石において、請求項１記載の製造方法により製造されたことを特徴とする。
また、本発明のワークのディップスピンコーティング法は、請求項２１記載の通り、鉛直方向の中心軸を回転軸として回転可能な回転台座の略外周端部上に、複数個のワークを保持し、ワークが保持された回転台座を塗料槽に浸漬することでワークに塗料を浸漬塗装した後、液中から取り出し、回転台座を回転させてワークに余分に付着した塗料を遠心振り切りすることを特徴とする。
また、本発明のワークの塗膜形成方法は、請求項２２記載の通り、鉛直方向の中心軸を回転軸として回転可能な回転台座の略外周端部上に装着した際、複数個のワークを個々のワークが離間した状態で略環状にセットすることができる塗装治具を用い、ワークがセットされた塗装治具を装着した回転台座を塗料槽に浸漬することでワークに塗料を浸漬塗装した後、液中から取り出し、回転台座を回転させてワークに余分に付着した塗料を遠心振り切りし、ワークがセットされたままの塗装治具を回転台座から取り外し、任意の場所で塗装治具にセットされたままのワークを所望により乾燥処理して行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、亜鉛微粒子分散耐食性被膜を表面に有する希土類系永久磁石の安定かつ簡易な製造方法、こうして製造される耐食性希土類系永久磁石、各種形状の薄型ワークに対する塗膜形成に適したディップスピンコーティング法およびワークの塗膜形成方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明において、亜鉛微粒子分散耐食性被膜は、アルキルシリケートの加水分解重合反応物と平均粒径が１μｍ〜５０μｍの亜鉛微粒子を含有したｐＨが６〜８で粘度が１０００ｃＰ以下の水系処理液を、希土類系永久磁石の表面に塗布した後、２５０℃〜４００℃にて熱処理を行うことで形成される。このようにして形成された亜鉛微粒子分散耐食性被膜は、希土類系永久磁石に高い耐食性を付与するものであるとともに、磁石本体表面から内部に亜鉛が拡散していることで密着性に優れる。
【０００７】
ここで、アルキルシリケートとしては、一般式：ＳｉnＯ(n-1)（ＯＲ）(2n+2)で示されるものが用いられる。式中、Ｒはアルキル基であり、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などの炭素数１〜４の低級アルキル基が例示されるが、中でも、安価であることに加えて毒性がなく取り扱い性に優れたエチル基（エチルシリケート）が好適である。また、ｎは１以上の整数であるが、緻密な被膜を形成するためにはｎは１０以下の整数であることが望ましい。
【０００８】
また、亜鉛微粒子は、平均粒径が１μｍ〜５０μｍのものが用いられる。これは、平均粒径が１μｍよりも小さいと、水系処理液中で亜鉛微粒子が二次凝集を起こす恐れがある一方、平均粒径が５０μｍよりも大きいと、水系処理液中で亜鉛微粒子が沈降する恐れがあり、いずれの場合においても保存安定性に優れた亜鉛微粒子が均一に分散した水系処理液を調製することが困難になる恐れがあるからである。なお、亜鉛微粒子の平均粒径は、２μｍ〜３０μｍが望ましく、５μｍ〜２０μｍがより望ましい。亜鉛微粒子はいかなる形状のものであってもよいが、亜鉛微粒子分散耐食性被膜にピンホールが極力発生しないようにするためには、亜鉛微粒子は被膜成分中に高密度に積層充填されることが有利であり、また、磁石本体表面から内部に亜鉛を拡散させるためには磁石本体に対する亜鉛微粒子の接触面積は広いことが有利である。従って、かかる観点からは、亜鉛微粒子は鱗片状のものが望ましい。亜鉛微粒子が鱗片状のものである場合、亜鉛微粒子の平均粒径とは平均長径を意味するものとする。
【０００９】
水系処理液中における出発原料としてのアルキルシリケートと亜鉛微粒子の合計配合割合は、４０重量％〜９０重量％（アルキルシリケートはＳｉＯ2換算）とすることが望ましく、６０重量％〜８０重量％とすることがより望ましい。合計配合割合が４０重量％未満であると、十分な特性を発揮する膜厚を有する亜鉛微粒子分散耐食性被膜を得るためには製造工程回数を必要以上に増やさなければならなくなる恐れがある一方、９０重量％を超えると、水系処理液の保存安定性に影響を及ぼす恐れがあるからである。
【００１０】
水系処理液中における出発原料としてのアルキルシリケートと亜鉛微粒子の混合比率は、形成される亜鉛微粒子分散耐食性被膜の亜鉛微粒子含有量が５０重量％〜９５重量％になるように、１：１〜１：１９（重量比：アルキルシリケートはＳｉＯ2換算）とすることが望ましく、１：３〜１：１０とすることがより望ましい。形成される亜鉛微粒子分散耐食性被膜の亜鉛微粒子含有量が５０重量％より少ないと、被膜成分中に亜鉛微粒子を分散させることの効果が十分に発揮されない恐れがある一方、９５重量％より多いと、アルキルシリケートを出発原料とする耐食性被膜としての本来的な特性が十分に発揮されない恐れがあるからである。
【００１１】
希土類系永久磁石の表面に塗布する水系処理液のｐＨを６〜８と規定するのは、ｐＨが６より小さいと、上記の特許文献２に記載したように希土類系永久磁石の腐食を招く恐れがある一方、ｐＨが８より大きいと、上記の特許文献１に記載したように密着性に優れた亜鉛微粒子分散耐食性被膜が形成されない恐れがあるからである。
【００１２】
希土類系永久磁石の表面に塗布する水系処理液の粘度を１０００ｃＰ以下と規定するのは、水系処理液の粘度が１０００ｃＰを超えると、膜厚が均一な亜鉛微粒子分散耐食性被膜を形成することが困難になる恐れがあるからである。
【００１３】
均質性に優れた水系処理液の調製は、例えば、酸性条件下（ｐＨ３〜４程度）または塩基性条件下（ｐＨ１０〜１２程度）でアルキルシリケートを加水分解重合反応させた水溶液に平均粒径が１μｍ〜５０μｍの亜鉛微粒子を添加した後、ｐＨを６〜８に調整するとともに粘度を１００ｃＰ以下に維持または調整することで行うことが望ましい（粘度は５０ｃＰ以下がより望ましく２５ｃＰ以下がさらに望ましい）。なお、酸性条件下でアルキルシリケートを加水分解重合反応させた場合、ｐＨの調整は、例えば、水酸化ナトリウムなどを用いて行えばよい。また、塩基性条件下でアルキルシリケートを加水分解重合反応させた場合、ｐＨの調整は、例えば、塩酸などを用いて行えばよい。
【００１４】
水系処理液の調製の段階でアルキルシリケートを加水分解重合反応させておくのは、形成される被膜を緻密なものにするためである。アルキルシリケートの加水分解重合反応は、用いるアルキルシリケートの全てを加水分解重合反応させる必要は必ずしもなく、その一部を加水分解重合反応させるような態様であってもよい。加水分解重合反応の程度は、酸や塩基の添加量や加水分解重合反応を起こすに際して使用する媒体としての水の量にて調整することができる。アルキルシリケートの加水分解重合反応の程度が高いと、水溶液の粘度が１００ｃＰを超える場合がある。いったん粘度が１００ｃＰを超えた場合であっても加温水を添加するなどすれば粘度の低下を図ることも可能ではあるが、水系処理液のより優れた均質性を確保するためには、加水分解重合反応時に水溶液の粘度が１００ｃＰを超えそうな場合には、適宜、水を添加するなどしてその粘度が１００ｃＰを越えないようにすることが望ましい。なお、所望する膜厚の被膜が形成されやすくすることを目的として水系処理液の表面張力を適度なものにしたい場合などには、例えば、水系処理液中にセルロース系の増粘剤（ヒドロキシエチルセルロース、メチルセルロース、メチルヒドロキシプロピルセルロース、エチルヒドロキシエチルセルロース、メチルエチルセルロースなどが例示される水溶性セルロースエーテルなど）などを添加することで、その粘度を調整することができる。形成される被膜の膜厚を厚くすることなどを目的として水系処理液の粘度を１００ｃＰ以上にしたい場合には、いったん調製した水系処理液中に増粘剤を添加して粘度を高めることによって行うことが望ましい。
【００１５】
アルキルシリケートを加水分解重合反応させた水溶液に亜鉛微粒子を添加するに際しては、有機分散剤を用いて、水系処理液中で亜鉛微粒子が均一に分散するようにすることが望ましい。水系処理液中への有機分散剤の添加は、例えば、有機分散剤を添加した水に亜鉛微粒子を投入することで亜鉛微粒子が均一に分散した亜鉛微粒子分散水系媒体を調製し、この亜鉛微粒子分散水系媒体とアルキルシリケートを加水分解重合反応させた水溶液を混合することで行えばよい。なお、有機分散媒としては、アニオン性分散媒（脂肪族系多価カルボン酸、ポリエーテルポリエステルカルボン酸塩、高分子ポリエステル酸ポリアミン塩、高分子量ポリカルボン酸長鎖アミン塩など）、非イオン性分散媒（ポリオキシエチレンアルキルエーテルやソルビタンエステルなどのカルボン酸塩やスルフォン酸塩やアンモニウム塩など）、高分子分散媒（水溶性エポキシのカルボン酸塩やスルフォン酸塩やアンモニウム塩など、スチレン−アクリル酸共重合物、ニカワなど）などが亜鉛微粒子との親和性やコストの点から好適に使用される。
【００１６】
なお、希土類系永久磁石の表面に塗布する水系処理液の粘度は、十分な特性を発揮する膜厚を有する亜鉛微粒子分散耐食性被膜を必要以上の製造工程回数を繰り返すことなく形成するためには、５ｃＰ以上であることが望ましい。
【００１７】
希土類系永久磁石の表面に水系処理液を塗布するに際しては、ディップコーティング法、スプレー法、スピンコーティング法、ディップスピンコーティング法などを採用することができる。なお、希土類系永久磁石の表面に形成される亜鉛微粒子分散耐食性被膜との密着性の向上を図るため、水系処理液を塗布する前に磁石に対してサンドブラスト処理や酸洗処理を施してもよい。
【００１８】
水系処理液の希土類系永久磁石の表面への塗布は、より均一な水系処理液の塗膜が形成されるようにするためには、ディップスピンコーティング法で行うことが望ましい。とりわけ、鉛直方向の中心軸を回転軸として回転可能な回転台座の略外周端部上に、複数個の希土類系永久磁石を保持し、希土類系永久磁石が保持された回転台座を水系処理液槽に浸漬することで希土類系永久磁石に水系処理液を浸漬塗装した後、液中から取り出し、回転台座を回転させて希土類系永久磁石に余分に付着した水系処理液を遠心振り切りすることでディップスピンコーティングを行うことが望ましい。
【００１９】
薄型ワークの表面に、膜厚が例えば１０μｍ程度の薄い塗膜を形成する方法として、ワークを塗料槽に浸漬することでワークに塗料を浸漬塗装した後、液中から取り出し、高速回転させて余分に付着した塗料を振り切ることによるディップスピンコーティング法が採用されることがある。これまでに知られている薄型ワークのディップスピンコーティング法としては、例えば、特開平７−２０１０８８号公報に光ディスクの保護膜塗布方法として提案されているものがある。この方法は、水平主軸に複数個の基板を一定間隔に垂直にセットし、主軸を中心に低速回転させながら基板の中心部以外を保護膜材料に浸漬して該材料を塗布した後、該材料から引き上げ、最後に高速回転させて該材料を振り切ることによるものである。また、特開平３−８６２７１号公報においては、ハンガーを用いて被塗物の塗布面（平面）をほぼ水平に保持した状態で、ハンガーと被塗物を含む全体の重心を通る鉛直線を回転軸として回転させて塗料を遠心振り切りする工程を含むことを特徴とするディップスピンコーティング法が提案されている。また、特開２０００−１６４５５６号公報においては、複数の溝を有する一対の保持部材を溝を有する側を対向させ、この対向する溝でウエハの周辺を保持するようにしたウエハキャリアを用い、キャリアをその溝が略回転加速度方向に向くように回転させてキャリアに保持した複数個のウエハ上の液体を遠心振り切り乾燥する方法が提案されている。
【００２０】
大量の薄型ワークに対してディップスピンコーティング法を採用する場合、ワークの形状にとらわれることなく、全てのワークに対して膜厚のばらつきを生じさせないで均一な塗装ができることが望ましい。しかしながら、この点に鑑みれば、上記の特許文献に記載のいずれの方法も多かれ少なかれ欠点を有する。具体的には、特開平７−２０１０８８号公報に記載の方法では、ワークをその中心部で保持しなければならないので、リング状ワークにしか適用することができないといった欠点がある。また、この方法では、リング状ワークの内周面に水平主軸を当接させ、両者間に発生する摩擦力でワーク自体を回転させるため、ワークと主軸との間に発生する摩擦力にばらつきがあると、ワークの回転速度がばらつくので、全てのワークに対して均一な塗装ができない恐れがあるといった欠点や、ワークを高速回転させることが困難であるため、粘性が高い塗料（例えば粘度が５００ｃＰを超えるようなもの）をワークに塗装する場合には、余分に付着した塗料を十分に振り切ることができない恐れがあるといった欠点がある。また、特開平３−８６２７１号公報に記載の方法では、ワークの平面をほぼ水平に保持するので、上面と下面との間で塗料の付着量に差異が生じる恐れがあるといった欠点がある。また、特開２０００−１６４５５６号公報に記載の方法では、ワークの一方の平面が回転軸に対向して保持されるので、保持位置によってワークごとにその回転速度が異なることから、全てのワークに対して均一な塗装ができない恐れがあるといった欠点がある。
【００２１】
しかしながら、本発明において提案するディップスピンコーティング法によれば、大量の薄型ワークに対しても膜厚のばらつきを生じさせないで均一な塗膜形成ができる。
【００２２】
以下、本発明において提案するディップスピンコーティング法を、必要に応じて図面を参照しながら説明するが、本発明において提案するディップスピンコーティング法は以下の記載に何ら限定して解釈されるものではない。本発明において提案するディップスピンコーティング法は、ワークの形状にとらわれることなく、あらゆる形状のワークの塗装に適用することができるが、とりわけ平板状やリング状や弓形状などの薄型ワークの塗装に好適であるので、以下の説明においては、本発明の方法を平板状ワークとリング状ワークの塗装に適用する場合を例にとる。
【００２３】
図１は、本発明において提案するディップスピンコーティング法の一例の概略工程図である。その工程を順を追って説明すると、（ａ）まず、鉛直方向の中心軸１を回転軸として回転可能な回転台座２の略外周端部上に、複数個の平板状ワークＸを、その個々の最も広い面（平面）が放射状方向に略平行になるように略環状に保持する。（ｂ）次に、エアシリンダ３により塗料槽４を上昇させてワークＸが保持された回転台座２を塗料槽４に浸漬することでワークＸに塗料を浸漬塗装する。（ｃ）次に、エアシリンダ３により塗料槽４を下降させて回転台座２を液中から取り出す。（ｄ）最後に、回転台座２をモータ５により中心軸１を回転軸として回転させて（少なくとも１回は回転方向を逆転することが望ましい）、ワークＸの平面に余分に付着した塗料を遠心振り切りする。この方法によれば、粘性が比較的高い塗料（例えば粘度が２００ｃＰを超えるようなもの）であっても、回転台座２の大きさを調整したり回転速度を制御したりすることで、ワークＸの平面への塗料の付着量を自在に調整することができることから、形成される塗膜の膜厚も自在に調整することができる。
【００２４】
なお、回転台座２の台座面は、塗料溜りができたりしないように、メッシュ状であることが望ましい。
【００２５】
図２（ａ）は、回転台座２の略外周端部上に、複数個の平板状ワークＸを、その個々の平面が放射状方向に略平行になるように略環状に保持した状態の一例の概略部分斜視図である。図２（ｂ）は、ワークＸを保持した回転台座２をその上方から見た図である。ワークＸは、回転台座２に敷設された２本の保持部材（断面が半円の棒状のものが望ましい）１１上に載置される。ワークＸは、図１に示したように、回転台座２上に直に載置してもよいが、このような載置方法を採用することで、ワークＸの下面に生じる載置跡を極小化することができる（図２（ｃ）参照）。
【００２６】
個々の平板状ワークＸは、保持部材１１に対して鉛直方向に設けられたスペーサ１２によって離間した状態で保持される。なお、スペーサ１２はワークＸの横転を防止する機能も併せ持つ。隣接するスペーサ１２とスペーサ１２の間隔は、ワークＸの厚みよりも広いことが望ましい。常にワークＸの両面にスペーサ１２が当接していると、その当接跡が顕著になるからである。また、スペーサ１２の断面は円形であることが望ましい。回転台座２を回転させることによってワークＸの平面に生じる当接跡を極小化することができるからである。
【００２７】
工程（ｄ）において、回転台座２をモータ５により中心軸１を回転軸として回転させて平板状ワークＸの平面に余分に付着した塗料を遠心振り切りする際、ワークＸは、遠心力により放射状方向に飛び出そうとするが、図略の構成によって回転台座２に固定され、水平方向に配置された遠心飛び出し規制棒１３は、ワークＸの外側側面に当接してワークＸの放射状方向への飛び出しを規制する働きを有する。また、遠心飛び出し規制棒１３に対して回転軸方向に設けられたスペーサ１４は、遠心振り切り中のワークＸの動きを規制する働きを有する。
【００２８】
図３（ａ）は、回転台座２の略外周端部上に、複数個のリング状ワークＹを、その個々の平面が放射状方向に略平行になるように略環状に保持した状態の一例の概略部分斜視図である。ワークＹは、図略の構成によって回転台座２に固定された水平吊掛部材１５に、そのリング部にて吊り掛けられて保持される。水平吊掛部材１５は、断面が円形の棒状のものが望ましい。また、水平吊掛部材１５のワークＹが吊り掛けられる部分は、例えばＶ字型に切り欠いておくことが望ましい（図３（ｂ）参照）。水平吊掛部材１５をこのような構成とすることで、ワークＹのリング部に生じる吊掛跡を極小化することができる。
【００２９】
複数個の薄型ワークにディップスピン塗装を行うに際しては、図１〜図３に示したように、薄型ワークの１個１個を直接的に回転台座に保持させてもよいが、回転台座の略外周端部上に装着した際、複数個の薄型ワークを個々のワークが離間した状態でその最も広い面が回転台座の放射状方向に対して略平行になるように略環状にセットすることができる塗装治具を用いてもよい。
【００３０】
図４は、回転台座の略外周端部上に装着した際、複数個の平板状ワークを個々のワークが離間した状態でその平面が回転台座の放射状方向に対して略平行になるように略環状にセットすることができる塗装治具の一例の概略斜視図である。この塗装治具Ｚは、複数個の平板状ワークＸを個々のワークが離間した状態でその平面が鉛直方向に略平行になるように保持するための、水平方向に平行配置された、２本の、スペーサ２２付き保持棒２１と、ワークＸがセットされた治具を回転台座の略外周端部上に装着して回転台座を回転させた際に、ワークＸの外側側面に当接して遠心力による放射状方向へのワークＸの飛び出しを規制するための、水平方向に平行配置された、スペーサ２４付き遠心飛び出し規制棒２３を少なくとも有してなるが、保持棒２１の上方に、治具を上下反転させた際に、複数個のワークＸを個々のワークが離間した状態でその平面が鉛直方向に略平行になるように、かつ、ワークＸの上部が保持棒２１と空間を存するように保持するための、保持棒２１に平行配置された、２本の、スペーサ２６付き棒状部材２５をさらに有してなる。ワークＸを上段にて保持するための保持棒２１は、治具を上下反転させた際に、棒状部材２５として機能する。
【００３１】
図５は、複数個の薄型ワークＸをセットした塗装治具Ｚの概略正面図（ａ）とＤ−Ｄ断面図（ｂ）である。
【００３２】
保持棒２１と棒状部材２５は、断面が円形であることが望ましい。薄型ワークＸの下面に生じる載置跡を極小化することができるからである。また、遠心飛び出し規制棒２３も、断面が円形であることが望ましい。薄型ワークＸの外側側面に生じる当接跡を極小化することができるからである。また、スペーサ２２とスペーサ２４とスペーサ２６も、断面が円形であることが望ましい。薄型ワークＸの平面に生じる当接跡を極小化することができるからである。なお、保持棒２１と棒状部材２５は、必ずしも２本必要であるわけではなく、１本であってもよい。
【００３３】
図４に示した塗装治具Ｚは、例えば、次のようにして用いられる。図６は、自体公知の着脱自在な装着手段により、複数個の平板状ワークＸをセットした塗装治具Ｚを、回転台座２の略外周端部上に装着した状態の一例の概略部分平面図である。図１に示した概略工程図に従って、エアシリンダ２により塗料槽４を上昇させてワークＸをセットした塗装治具Ｚを装着した回転台座２を塗料槽４に浸漬することでワークＸに塗料を浸漬塗装する。次に、エアシリンダ３により塗料槽４を下降させて回転台座２を液中から取り出す。最後に、回転台座２をモータ５により中心軸１を回転軸として回転させてワークＸの平面に余分に付着した塗料を遠心振り切りすることでディップスピン塗装を完了する。任意時間経過後、ワークＸがセットされたままの塗装治具Ｚを回転台座２から取り外し、任意の場所で塗装治具ＺにセットされたままのワークＸを所望により乾燥処理（自然乾燥または加熱乾燥）する。その後、ワークＸがセットされたままの塗装治具Ｚを上下反転させて再び回転台座２に装着し、ディップスピン塗装を前記と同様の工程にて再び行う。このようにすれば、１回目の塗装と２回目の塗装とでは、ワークＸに生じる載置跡や当接跡の位置が変わるので、２回目の塗装により、１回目の塗装でワークＸに生じた載置跡や当接跡にも塗装が行われることから、ワークＸに対してより均一な塗装を行うことができる。その後、ワークＸがセットされたままの塗装治具Ｚを回転台座２から取り外し、任意の場所で塗装治具ＺにセットされたままのワークＸを所望により乾燥処理（自然乾燥または加熱乾燥）すれば、大量のワークに対しても膜厚のばらつきを生じさせないで均一な塗膜形成を効率よく行うことができる。
【００３４】
なお、水系処理液の希土類系永久磁石の表面への塗布をディップスピンコーティング法で行う場合、粘度が３００ｃＰ〜６００ｃＰの水系処理液を用いることで、より均一な塗膜形成を行うことができる。このような粘度の水系処理液は、上述したように、いったん調製した水系処理液中にセルロース系の増粘剤などを添加することで粘度を高めたものであることが望ましい（増粘剤は水系処理液中に１重量％〜２重量％含まれるように添加することが望ましい）。
【００３５】
表面に水系処理液の塗膜が形成された希土類系永久磁石の熱処理は、２５０℃〜４００℃にて行う。このような温度条件にて熱処理を行うと、水系処理液中に含まれる亜鉛微粒子の一部が、被膜生成過程において、磁石本体表面から内部に適度に拡散することで、密着性に優れた亜鉛微粒子分散耐食性被膜が形成される。熱処理の温度が２５０℃よりも低いと、このような亜鉛の拡散が十分に起こらないばかりか、水が十分に蒸発せずに希土類系永久磁石の表面に残存することで、その後において磁石の腐食を招く恐れがある一方、４００℃よりも高いと、亜鉛の拡散が必要以上に起こることで磁石特性に悪影響を及ぼす恐れがある。熱処理の時間は、例えば、１０分〜１２０分が望ましい。なお、水系処理液を表面に塗布した希土類系永久磁石をいったん１００℃〜１７０℃で仮乾燥してから熱処理を行うことで、より均質な亜鉛微粒子分散耐食性被膜を形成することができる。
【００３６】
亜鉛微粒子分散耐食性被膜は、その膜厚が１μｍ〜５０μｍとなるように形成することが望ましく、５μｍ〜１５μｍとなるように形成することがより望ましい。膜厚が１μｍ未満であると、亜鉛微粒子分散耐食性被膜としての特性が十分に発揮されない恐れがある一方、膜厚が５０μｍを超えると、希土類系永久磁石の有効体積が十分に確保することができなくなる恐れがあるからである。
【００３７】
なお、亜鉛微粒子分散耐食性被膜中に他の無機質微粒子をさらに分散させてもよい。無機質微粒子としては、例えば、アルミニウム、錫、マンガン、マグネシウム、チタン、ニッケルなどの亜鉛と同様に電位的に卑な金属の微粒子が挙げられる。例えば、亜鉛微粒子とともにアルミニウム微粒子を分散させることで、亜鉛微粒子の腐食による白錆（塩基性炭酸亜鉛）の生成を効果的に防止することができる。また、被膜に発生しうるピンホールをより低減化し、被膜の耐食性をより高めるために、被膜中に亜鉛微粒子とともにＡｌ2Ｏ3やＴｉＯ2やＳｉＯ2やマイカなどの酸化物微粒子を分散させてもよい。亜鉛微粒子とともに他の無機質微粒子を分散させる場合、形成される耐食性被膜の亜鉛微粒子と他の無機質微粒子の合計含有量は、９５重量％以下であることが望ましい。
【００３８】
希土類系永久磁石としては、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石に代表されるＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石やＳｍ−Ｆｅ−Ｎ系永久磁石に代表されるＲ−Ｆｅ−Ｎ系永久磁石などの公知の希土類系永久磁石が挙げられる。中でも、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石は、特に磁気特性が高く、量産性や経済性に優れている点において望ましいものである。希土類系永久磁石は、焼結磁石であってもよいしボンド磁石であってもよい。
希土類系永久磁石における希土類元素（Ｒ）は、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｔｂ、Ｓｍのうち少なくとも１種、あるいはさらに、Ｌａ、Ｃｅ、Ｇｄ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｙのうち少なくとも１種を含むものが望ましい。
また、通常はＲのうち１種をもって足りるが、実用上は２種以上の混合物（ミッシュメタルやジジムなど）を入手上の便宜などの理由によって使用することもできる。
さらに、Ａｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｂｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｂ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｚｒ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｈｆ、Ｇａのうち少なくとも１種を添加することで、保磁力や減磁曲線の角型性の改善、製造性の改善、低価格化を図ることが可能となる。また、Ｆｅの一部をＣｏで置換することによって、得られる磁石の磁気特性を損なうことなしに温度特性を改善することができる。
【実施例】
【００３９】
以下、本発明を実施例と比較例によってさらに詳細に説明するが、本発明はこれに限定して解釈されるものではない。
【００４０】
実施例１：
出発原料として、電解鉄、フェロボロン、ＲとしてのＮｄを所要の磁石組成に配合し、溶解鋳造後、機械的粉砕法にて粗粉砕してから微粉砕することで粒度が３μｍ〜１０μｍの微粉末を得、これを１０ｋＯｅの磁界中で成形してからアルゴン雰囲気中で１１００℃×１時間の焼結を行った後、得られた焼結体に対して６００℃×２時間の時効処理を行い、１５Ｎｄ−７Ｂ−７８Ｆｅの組成を有する磁石体から切り出した３６ｍｍ×３２ｍｍ×３ｍｍ寸法の平板状焼結磁石試験片を用いて以下の実験を行った。
【００４１】
Ａ．  エチルシリケート４０（エチルシリケートをＳｉＯ2換算で４０重量％含有する無色透明液体）に水を添加し、１Ｎ塩酸でｐＨを３に調整することでエチルシリケートを加水分解重合反応させ、出発原料としてのエチルシリケートを２０重量％（ＳｉＯ2換算）含有する水溶液を調製した。この水溶液と、有機分散剤（商品名ソルスパースＳ２００００：アビシア社製）と平均長径が２０μｍの鱗片状亜鉛微粒子（概寸法２０μｍ×２０μｍ×１μｍ）を水に添加して調製した亜鉛微粒子分散水系媒体を混合し、よく攪拌して１Ｎ水酸化ナトリウムでｐＨを７に調整し、出発原料としてのエチルシリケートと亜鉛微粒子の合計配合割合が７０重量％（エチルシリケートはＳｉＯ2換算）で、出発原料としてのエチルシリケートと亜鉛微粒子と有機分散剤の混合比率が、９．９：９０：０．１（重量比：エチルシリケートはＳｉＯ2換算）である粘度が１５ｃＰの水系処理液を得た。
Ｂ．  エタノールにて超音波洗浄（脱脂処理）してから１５分間自然乾燥させた試験片を上記の水系処理液に浸漬した。水系処理液から取り出した試験片を遠心乾燥機に収容し、３００ｒｐｍにて３０秒間振り切りすることで試験片の表面に付着している余分な水系処理液を除去した後、１００℃×５分間大気中にて仮乾燥した。こうして表面に塗布した水系処理液を仮乾燥させた試験片を再度水系処理液に浸漬した。水系処理液から取り出した試験片の表面に付着している余分な水系処理液を上記と同様にして除去した後、表面に水系処理液の塗膜が形成された試験片に対して３２０℃×１０分間大気中にて熱処理を行い、試験片の表面に亜鉛微粒子含有量が９０重量％の亜鉛微粒子分散耐食性被膜を形成した。形成された亜鉛微粒子分散耐食性被膜の膜厚は約１０μｍであった（断面観察より）。
Ｃ．  こうして製造された亜鉛微粒子分散耐食性被膜を表面に有する試験片１０個に対して３５℃の５％塩水を５００時間噴霧するという耐食性試験を行ったが、試験後において外観変化（発錆）を来したものはなかった。
【００４２】
実施例２：
実施例１と同様にして調製した出発原料としてのエチルシリケートを２０重量％（ＳｉＯ2換算）含有するｐＨが３の水溶液と、有機分散剤（商品名ソルスパースＳ２００００：アビシア社製）と平均長径が２０μｍの鱗片状亜鉛微粒子（概寸法２０μｍ×２０μｍ×１μｍ）と平均粒径が３μｍの粒状アルミニウム微粒子を水に添加して調製した亜鉛・アルミニウム微粒子分散水系媒体を混合し、よく攪拌して１Ｎ水酸化ナトリウムでｐＨを７に調整し、出発原料としてのエチルシリケートと亜鉛微粒子とアルミニウム微粒子の合計配合割合が７０重量％（エチルシリケートはＳｉＯ2換算）で、出発原料としてのエチルシリケートと亜鉛微粒子とアルミニウム微粒子と有機分散剤の混合比率が、９．９：６０：３０：０．１（重量比：エチルシリケートはＳｉＯ2換算）である粘度が１３ｃＰの水系処理液を得た。この水系処理液を用いて実施例１と同様の試験片の表面に実施例１と同様にして亜鉛微粒子含有量が６０重量％でアルミニウム微粒子含有量が３０重量％の亜鉛・アルミニウム微粒子分散耐食性被膜を形成した。形成された亜鉛・アルミニウム微粒子分散耐食性被膜の膜厚は約１０μｍであった（断面観察より）。こうして製造された亜鉛・アルミニウム微粒子分散耐食性被膜を表面に有する試験片１０個に対して実施例１と同様の耐食性試験を行ったが、試験後において外観変化（発錆）を来したものはなかった。
【００４３】
実施例３：
実施例１と同様にして調製した出発原料としてのエチルシリケートを２０重量％（ＳｉＯ2換算）含有するｐＨが３の水溶液と、有機分散剤（商品名ソルスパースＳ２００００：アビシア社製）と平均長径が２０μｍの鱗片状亜鉛微粒子（概寸法２０μｍ×２０μｍ×１μｍ）と平均粒径が３μｍの粒状アルミニウム微粒子と平均粒径が３μｍの粒状錫微粒子を水に添加して調製した亜鉛・アルミニウム・錫微粒子分散水系媒体を混合し、よく攪拌して１Ｎ水酸化ナトリウムでｐＨを７に調整し、出発原料としてのエチルシリケートと亜鉛微粒子とアルミニウム微粒子と錫微粒子の合計配合割合が７０重量％（エチルシリケートはＳｉＯ2換算）で、出発原料としてのエチルシリケートと亜鉛微粒子とアルミニウム微粒子と錫微粒子と有機分散剤の混合比率が、９．９：５５：２５：１０：０．１（重量比：エチルシリケートはＳｉＯ2換算）である粘度が１８ｃＰの水系処理液を得た。この水系処理液を用いて実施例１と同様の試験片の表面に実施例１と同様にして亜鉛微粒子含有量が５５重量％でアルミニウム微粒子含有量が２５重量％で錫微粒子含有量が１０重量％の亜鉛・アルミニウム・錫微粒子分散耐食性被膜を形成した。形成された亜鉛・アルミニウム・錫微粒子分散耐食性被膜の膜厚は約１０μｍであった（断面観察より）。こうして製造された亜鉛・アルミニウム・錫微粒子分散耐食性被膜を表面に有する試験片１０個に対して実施例１と同様の耐食性試験を行ったが、試験後において外観変化（発錆）を来したものはなかった。
【００４４】
比較例１：
Ａ．  ＳｉＯ2／Ｎａ2Ｏが４．０でｐＨが１２のアルカリ珪酸ナトリウム水溶液を調製した。この水溶液と、有機分散剤（商品名ソルスパースＳ２００００：アビシア社製）と平均長径が２０μｍの鱗片状亜鉛微粒子（概寸法２０μｍ×２０μｍ×１μｍ）を水に添加して調製した亜鉛微粒子分散水系媒体を混合し、よく攪拌して、出発原料としてのアルカリ珪酸ナトリウムと亜鉛微粒子の合計配合割合が７０重量％（アルカリ珪酸ナトリウムはＳｉＯ2換算）で、出発原料としてのアルカリ珪酸ナトリウムと亜鉛微粒子と有機分散剤の混合比率が、９．９：９０：０．１（重量比：アルカリ珪酸ナトリウムはＳｉＯ2換算）である処理液を得た。
Ｂ．  エタノールにて超音波洗浄（脱脂処理）してから１５分間自然乾燥させた実施例１と同様の試験片を上記の処理液に浸漬した。処理液から取り出した試験片を遠心乾燥機に収容し、３００ｒｐｍにて３０秒間振り切りすることで試験片の表面に付着している余分な処理液を除去した後、１００℃×５分間大気中にて仮乾燥した。こうして表面に塗布した処理液を仮乾燥させた試験片を再度処理液に浸漬した。処理液から取り出した試験片の表面に付着している余分な処理液を上記と同様にして除去した後、表面に処理液の塗膜が形成された試験片に対して１５０℃×３０分間大気中にて熱処理を行い、試験片の表面に亜鉛微粒子含有量が９０重量％の亜鉛微粒子分散耐食性被膜を形成した。形成された亜鉛微粒子分散耐食性被膜の膜厚は約１０μｍであった（断面観察より）。
Ｃ．  こうして製造された亜鉛微粒子分散耐食性被膜を表面に有する試験片１０個に対して３５℃の５％塩水を５００時間噴霧するという耐食性試験を行ったところ、２００時間経過時点において外観変化（発錆）を来したものが７個存在した。
【００４５】
実施例４：
急冷合金法で作製した、Ｎｄ：１２原子％、Ｆｅ：７７原子％、Ｂ：６原子％、Ｃｏ：５原子％の組成からなる平均長径１５０μｍの合金粉末にエポキシ樹脂を２ｗｔ％加えて混練し、６８６Ｎ／ｍｍ2の圧力で圧縮成形した後、１５０℃で１時間キュアすることによって作製した、外径３０ｍｍ×内径２８ｍｍ×長さ４ｍｍのリング状ボンド磁石試験片を用いて実施例１と同様の実験を行い、試験片の表面に亜鉛微粒子含有量が９０重量％の亜鉛微粒子分散耐食性被膜を形成した。形成された亜鉛微粒子分散耐食性被膜の膜厚は約１０μｍであった（断面観察より）。また、ＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザー：島津製作所社製ＥＰＭ８１０）を用いて亜鉛微粒子分散耐食性被膜を表面に有する試験片の表面付近の断面観察を行った。その２次電子像を図７に亜鉛Ｘ線像を図８に鉄Ｘ線像を図９に示す。図７〜図９より、試験片本体表面から内部に亜鉛が拡散していることが判明した。なお、亜鉛の拡散による試験片本体の磁気特性の劣化は認められなかった。こうして製造された亜鉛微粒子分散耐食性被膜を表面に有する試験片１０個に対して３５℃の５％塩水を５００時間噴霧するという耐食性試験を行ったが、試験後において外観変化（発錆）を来したものはなかった。
【００４６】
実施例５：
実施例１で調製した水系処理液に、増粘剤としてヒドロキシエチルセルロースをその濃度が１重量％となるように添加し、粘度を４５０ｃＰに調整した。エタノールにて超音波洗浄（脱脂処理）してから１５分間乾燥させた実施例１と同様の多数の試験片を、図４に示した塗装治具にセットし、試験片をセットした塗装治具を図６のようにして回転台座の略外周端部上に装着し、図１のようにして前記の処理液を用いたディップスピンコーティングを行った（遠心振り切りは３００ｒｐｍで３０秒間）。その後、試験片がセットされたままの塗装治具を回転台座から取り外し、試験片を塗装治具にセットしたまま１３０℃×１０分間大気中にて仮乾燥し、続いて、表面に水系処理液の塗膜が形成された試験片に対して３５０℃×３０分間大気中にて熱処理を行った。次に、試験片がセットされたままの塗装治具を上下反転させて再び回転台座に装着し、前記と同様の工程でディップスピンコーティングと仮乾燥と熱処理を行うことで、試験片の表面に亜鉛微粒子含有量が９０重量％の亜鉛微粒子分散耐食性被膜を形成した。形成された亜鉛微粒子分散耐食性被膜の膜厚は１０μｍであった（断面観察より）。こうして製造された亜鉛微粒子分散耐食性被膜を表面に有する試験片１０個に対して実施例１と同様の耐食性試験を行ったが、試験後において外観変化（発錆）を来したものはなかった。
【００４７】
実施例６：
実施例２で調製した水系処理液に、増粘剤としてヒドロキシエチルセルロースをその濃度が１重量％となるように添加し、粘度を４４０ｃＰに調整した。この処理液を用いて、エタノールにて超音波洗浄（脱脂処理）してから１５分間乾燥させた実施例１と同様の試験片の表面に、実施例５と同様にして、亜鉛微粒子含有量が６０重量％でアルミニウム微粒子含有量が３０重量％の亜鉛・アルミニウム微粒子分散耐食性被膜を形成した。形成された亜鉛・アルミニウム微粒子分散耐食性被膜の膜厚は１０μｍであった（断面観察より）。こうして製造された亜鉛・アルミニウム微粒子分散耐食性被膜を表面に有する試験片１０個に対して実施例１と同様の耐食性試験を行ったが、試験後において外観変化（発錆）を来したものはなかった。
【００４８】
実施例７：
実施例３で調製した水系処理液に、増粘剤としてヒドロキシエチルセルロースをその濃度が１重量％となるように添加し、粘度を４６０ｃＰに調整した。この処理液を用いて、エタノールにて超音波洗浄（脱脂処理）してから１５分間乾燥させた実施例１と同様の試験片の表面に、実施例５と同様にして、亜鉛微粒子含有量が５５重量％でアルミニウム微粒子含有量が２５重量％で錫微粒子含有量が１０重量％の亜鉛・アルミニウム・錫微粒子分散耐食性被膜を形成した。形成された亜鉛・アルミニウム・錫微粒子分散耐食性被膜の膜厚は１０μｍであった（断面観察より）。こうして製造された亜鉛・アルミニウム・錫微粒子分散耐食性被膜を表面に有する試験片１０個に対して実施例１と同様の耐食性試験を行ったが、試験後において外観変化（発錆）を来したものはなかった。
【００４９】
実施例８：
実施例１と同様にして調製した出発原料としてのエチルシリケートを２０重量％（ＳｉＯ2換算）含有するｐＨが３の水溶液と、有機分散剤（商品名ソルスパースＳ２００００：アビシア社製）と平均長径が２０μｍの鱗片状亜鉛微粒子（概寸法２０μｍ×２０μｍ×１μｍ）と平均粒径が３μｍの粒状アルミニウム微粒子と平均粒径が３μｍの粒状錫微粒子と平均粒径が１μｍのアルミナ微粒子を水に添加して調製した亜鉛・アルミニウム・錫・アルミナ微粒子分散水系媒体を混合し、よく攪拌して１Ｎ水酸化ナトリウムでｐＨを７に調整し、出発原料としてのエチルシリケートと亜鉛微粒子とアルミニウム微粒子と錫微粒子とアルミナ微粒子の合計配合割合が７０重量％（エチルシリケートはＳｉＯ2換算）で、出発原料としてのエチルシリケートと亜鉛微粒子とアルミニウム微粒子と錫微粒子とアルミナ微粒子と有機分散剤の配合比率が、９．９：５５：２５：８：２：０．１（重量比：エチルシリケートはＳｉＯ2換算）である粘度が１６ｃＰの水系処理液を得た。この水系処理液に、増粘剤としてヒドロキシエチルセルロースをその濃度が１重量％となるように添加し、粘度を４６５ｃＰに調整した。この処理液を用いて、エタノールにて超音波洗浄（脱脂処理）してから１５分間乾燥させた実施例１と同様の試験片の表面に、実施例５と同様にして、亜鉛微粒子含有量が５５重量％でアルミニウム微粒子含有量が２５重量％で錫微粒子含有量が８重量％でアルミナ微粒子含有量が２重量％の亜鉛・アルミニウム・錫・アルミナ微粒子分散耐食性被膜を形成した。形成された亜鉛・アルミニウム・錫・アルミナ微粒子分散耐食性被膜の膜厚は１０μｍであった（断面観察より）。こうして製造された亜鉛・アルミニウム・錫・アルミナ微粒子分散耐食性被膜を表面に有する試験片１０個に対して実施例１と同様の耐食性試験を行ったが、試験後において外観変化（発錆）を来したものはなかった。
【００５０】
比較例２：
比較例１で調製した処理液に、増粘剤としてヒドロキシエチルセルロースをその濃度が１重量％となるように添加し、粘度を４２０ｃＰに調整した。この処理液を用いて、エタノールにて超音波洗浄（脱脂処理）してから１５分間乾燥させた実施例１と同様の試験片の表面に、仮乾燥条件と熱処理条件を比較例１と同様にしたこと以外は実施例５と同様にして、亜鉛微粒子含有量が９０重量％の亜鉛微粒子分散耐食性被膜を形成した。形成された亜鉛微粒子分散耐食性被膜の膜厚は１０μｍであった（断面観察より）。こうして製造された亜鉛微粒子分散耐食性被膜を表面に有する試験片１０個に対して実施例１と同様の耐食性試験を行ったところ、２００時間経過時点において外観変化（発錆）を来したものが６個存在した。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、亜鉛微粒子分散耐食性被膜を表面に有する希土類系永久磁石の安定かつ簡易な製造方法、こうして製造される耐食性希土類系永久磁石、各種形状の薄型ワークに対する塗膜形成に適したディップスピンコーティング法およびワークの塗膜形成方法を提供することができる点において産業上の利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明のワークのディップスピン塗装方法の一例の概略工程図。
【図２】本発明の回転台座の略外周端部上に複数個の平板状ワークを保持した状態の一例の概略図。
【図３】本発明の回転台座の略外周端部上に複数個のリング状ワークを保持した状態の一例の概略図。
【図４】本発明の塗装治具の一例の概略斜視図。
【図５】本発明の複数個の平板状ワークをセットした塗装治具の概略図。
【図６】本発明の複数個の平板状ワークをセットした塗装治具を回転台座の略外周端部上に装着した状態の一例の概略図。
【図７】実施例４におけるＥＰＭＡ２次電子像。
【図８】同、亜鉛Ｘ線像。
【図９】同、鉄Ｘ線像。
【符号の説明】
【００５３】
１  中心軸（回転軸）
２  回転台座
３  エアシリンダ
４  塗料槽
５  モータ
１１  保持部材
１２  スペーサ
１３  遠心飛び出し規制棒
１４  スペーサ
１５  水平吊掛部材
２１  保持棒
２２  スペーサ
２３  遠心飛び出し規制棒
２４  スペーサ
２５  棒状部材
２６  スペーサ
Ｘ  薄型ワーク（平板状ワーク）
Ｙ  薄型ワーク（リング状ワーク）
Ｚ  塗装治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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