(57)【要約】【課題】電子部品をはんだを用いて内蔵した電子部品内蔵モジュールの製造方法に関するものであり、製品出荷後に起こるはんだショート不良を防止するものである。【解決手段】絶縁樹脂１２による電子部品１０ａ、１０ｂを封止後に熱処理工程を設けたことにより内蔵しているはんだの再溶融によるはんだショート不良を予め抽出し不良品をスクリーニングすることができる。  さらに、熱処理工程の前に吸湿工程を設けることにより、より確実に熱処理によるはんだショート不良のスクリーニングを行うことができるという効果を奏するものである。【選択図】図１
2005109135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線基板上にはんだを用いて電子部品を実装する実装工程と、前記配線基板の電子部品を実装した面を絶縁樹脂で封止する封止工程とを備えた電子部品内蔵モジュールの製造方法であって、前記封止工程後はんだの融点以上の温度で処理する熱処理工程を設けた電子部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項２】
複数個のパターンが配置された集合基板上にはんだを用いて電子部品を実装する実装工程と、前記集合基板の電子部品を実装した面を絶縁樹脂で封止する封止工程と、絶縁樹脂で封止した集合基板の前記絶縁樹脂部の所定の位置に切り込みを入れる切り込み工程と、前記絶縁樹脂の表面に導電性膜を形成する成膜工程と、前記集合基板を個別に分割する分割工程とを備えた電子部品内蔵モジュールの製造方法であって、前記封止工程以後にはんだの融点以上の温度で処理する熱処理工程を設けた電子部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項３】
熱処理工程の前に吸湿工程を設けた請求項１または請求項２に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項４】
切り込み部は集合基板の内部に形成したグランドパターンを切り込むように形成する構成とした請求項２に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項５】
導電性膜は集合基板の内層のグランドパターンと電気的に接続するように形成する請求項４に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項６】
集合基板内の個別の電子部品内蔵モジュールの４辺全てに前記導電性膜とグランドラインの接続点を設ける請求項５に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項７】
導電性膜は金属めっき膜、導電性樹脂膜、金属薄膜の少なくとも１つ以上の膜で形成する請求項２に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法。
【請求項８】
導電性膜を５０μｍ以下の厚みで形成する請求項７に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品内蔵モジュールの製造方法に関し、特に配線基板の上部に電子部品が配置され、これを絶縁樹脂で覆った電子部品内蔵モジュールの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の電子部品内蔵モジュールは、図５に示されるような構成を有していた。
【０００３】
図５は従来の電子部品内蔵モジュールの構造図である。
【０００４】
図５において、電子部品内蔵モジュール１０１は基板１０２の上面に各種電子部品１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃを実装したものである。この各種電子部品１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃは基板１０２の表面に形成した電極パターン上にダイボンドやワイヤボンドなどの手段あるいははんだで接続される。基板１０２の側面の四隅には基板１０２の下面に連なるスルーホール電極１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃ、１０７ｄが形成されるとともに、その内の一つのスルーホール電極１０７ａがグランド接続用端子として構成されている。このスルーホール電極１０７ａは、電子部品内蔵モジュール１０１がマザーボード（図示せず）に実装された時に、マザーボードのグランドラインと導通するものである。また、上記基板１０２の上面には、前述の電極パターンの他にスルーホール電極１０７ａと導通する接地用電極パターン１０６が形成されている。
【０００５】
そして、各種電子部品１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃが実装された基板１０２の上面は、エポキシ樹脂からなる封止体１０８によって封止されている。
【０００６】
その後、封止体１０８の全表面にニッケルめっき層１２０を形成し、封止体１０８から露出している接地用電極パターン１０６の一端部１０９にも、このニッケルめっき層１２０は付着形成されている。その結果、ニッケルめっき層１２０は、接地用電極パターン１０６及びスルーホール電極１０７ａと導通し、マザーボードのグランドラインに接地されることになるため、外部の電磁界ノイズから電子部品１０３ａ〜１０３ｃをシールドすることができる。さらに、ニッケルめっき層１２０のめっき厚を従来の金属キャップからなるシールドカバーと同程度の厚さで形成した場合に所望のシールド効果を得ることができていた。
【０００７】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３が知られている。
【特許文献１】特開平１１−１６３５８３号公報
【特許文献２】特開２００１−２４３１２号公報
【特許文献３】特開２００１−１６８４９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記従来の構成では、内蔵する電子部品をワイヤボンドで実装する場合にはワイヤで接続するために電極のスペースが必要となり、電子部品内蔵モジュールとしては小型化することは困難である。
【０００９】
また、抵抗、コンデンサ、コイル等のチップ部品をワイヤボンド実装するためにはチップ部品の電極材料の変更等が必要となり、通常のチップ部品をワイヤボンド実装することは非常に困難である。
【００１０】
また、内蔵する電子部品をはんだで実装した電子部品内蔵モジュールをマザーボードにはんだを用いて熱処理により実装する場合、電子部品内蔵モジュールの電子部品を実装しているはんだが電子部品内蔵モジュールの内部で再溶融するため、溶融したはんだが電極外へ流出してはんだショート不良を引き起こす恐れを有していた。
【００１１】
また、接地用電極パターンは基板上の一部分にしか形成されていないために、封止体上のニッケルめっき層との接続部分が非常に小さく、電子部品内蔵モジュール全体が完全に電磁界シールドされていないという問題点を有していた。
【００１２】
また、基板の上面に端子用の電極が形成されており、この端子用の電極上に直接封止体が形成されているため、この部分において、封止体と基板との密着強度が極端に低くなり、封止体と基板が剥がれるという問題点を有していた。
【００１３】
また、ニッケルめっき層は、電磁界シールド効果を得るために、従来の金属キャップと同程度の厚み、例えば１００μｍ以上の厚みが必要であるが、ニッケルめっき層が厚い場合、吸湿工程後の熱処理工程時に水分の蒸発に伴う応力によりめっき層が剥離するという問題点を有していた。
【００１４】
また、基板の側面の四隅にスルーホール電極を形成しているためスルーホール電極上に封止体が飛び出した形状となるため、封止体が基板から剥がれやすい構造となっているという問題点を有していた。
【００１５】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、マザーボード実装する際にもはんだショート不良を起こさない高い信頼性を有する電子部品内蔵モジュールを提供するとともに、安定した電磁界シールド特性を実現することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する。
【００１７】
本発明の請求項１に記載の発明は、特に、配線基板上にはんだを用いて電子部品を実装する実装工程と、前記配線基板の電子部品を実装した面を絶縁樹脂で封止する封止工程とを備えた電子部品内蔵モジュールの製造方法であって、前記封止工程後はんだの融点以上の温度で処理する熱処理工程を設けた電子部品内蔵モジュールの製造方法であり、これにより、内蔵しているはんだの再溶融によるはんだショート不良を予め抽出することができ、不良品をスクリーニングすることができるという作用効果が得られる。
【００１８】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、複数個のパターンが配置された集合基板上にはんだを用いて電子部品を実装する実装工程と、前記集合基板の電子部品を実装した面を絶縁樹脂で封止する封止工程と、絶縁樹脂で封止した集合基板の前記絶縁樹脂部の所定の位置に切り込みを入れる切り込み工程と、前記絶縁樹脂の表面に導電性膜を形成する成膜工程と、前記集合基板を個別に分割する分割工程とを備えた電子部品内蔵モジュールの製造方法であって、前記封止工程以後にはんだの融点以上の温度で処理する熱処理工程を設けた電子部品内蔵モジュールの製造方法であり、これにより、内蔵しているはんだの再溶融によるはんだショート不良を、集合基板全体で同時に抽出することができ、集合基板全体で一括して不良品をスクリーニングすることができるという作用効果が得られる。
【００１９】
本発明の請求項３に記載の発明は、特に、熱処理工程の前に吸湿工程を設けた請求項１または請求項２に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法であり、これにより、より確実に熱処理によるはんだショート不良のスクリーニングを行うことができるという作用効果が得られる。
【００２０】
本発明の請求項４に記載の発明は、特に、切り込み部は集合基板の内部に形成したグランドパターンを切り込むように形成する請求項２に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法であり、これにより、絶縁樹脂の表面の導電性膜を基板の内部に形成したグランドラインと導通させることができるため、基板の上面部の周辺部にグランドラインを形成しなくても良いため、絶縁樹脂と基板との密着強度を強固に保つことができるという作用効果が得られる。
【００２１】
本発明の請求項５に記載の発明は、特に、導電性膜は集合基板の内層のグランドパターンと電気的に接続するように形成する請求項４に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法であり、これにより、絶縁樹脂の表面の導電性膜を基板の内部に形成したグランドラインと導通させることができるため、基板の上面部の周辺部にグランドラインを形成しなくても良いため、絶縁樹脂と基板との密着強度を強固に保つことができるという作用効果が得られる。
【００２２】
本発明の請求項６に記載の発明は、特に、集合基板内の個別の電子部品内蔵モジュールの４辺全てに前記導電性膜とグランドラインの接続点を設ける請求項５に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法であり、これにより、電子部品内蔵モジュールの電磁界シールド特性を良好なものとすることができるという作用効果が得られる。
【００２３】
本発明の請求項７に記載の発明は、特に、導電性膜は金属めっき膜、導電性樹脂膜、金属薄膜の少なくとも１つ以上の膜で形成する請求項２に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法であり、これにより、導電性膜と基板内層のグランドラインとを確実に導通させることができるという作用効果が得られる。
【００２４】
本発明の請求項８に記載の発明は、特に、導電性膜を５０μｍ以下の厚みで形成する請求項７に記載の電子部品内蔵モジュールの製造方法であり、これにより、吸湿工程後の熱処理工程における導電性膜の剥がれを防止することができるという作用効果が得られる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の電子部品内蔵モジュールの製造方法は絶縁樹脂による封止後に熱処理工程を設けたことにより内蔵しているはんだの再溶融によるはんだショート不良を予め抽出し不良品をスクリーニングすることができる。
【００２６】
さらに、熱処理工程の前に吸湿工程を設けることにより、より確実に熱処理によるはんだショート不良のスクリーニングを行うことができるという効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（実施の形態１）
以下、実施の形態１を用いて本発明の特に請求項１に記載の発明について説明する。
【００２８】
図１（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施の形態１における電子部品内蔵モジュールの製造工程図である。
【００２９】
図１（ａ）において配線基板２は表面の電極３やグランドパターン５、回路パターン６やインナービア７、裏面に電極８、そして表裏面にソルダーレジスト４、９が形成された多層配線基板である。
【００３０】
表面の電極３、裏面の電極８及び内層パターン５、６は電気導電性を有する物質からなり、例えば、Ｃｕ箔や導電性樹脂組成物からなる。本発明においてはＣｕ箔を用いている。
【００３１】
インナービア７は、例えば、熱硬化性の導電性物質からなる。熱硬化性の導電性物質としては、例えば、金属粒子と熱硬化性樹脂とを混合した導電性樹脂組成物を用いることができる。金属粒子としては、Ａｕ、ＡｇまたはＣｕなどを用いることができる。Ａｕ、ＡｇまたはＣｕは導電性が高いために好ましく、Ｃｕは導電性が高く、マイグレーションも少なく、また、低コストであるため特に好ましい。熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂またはシアネート樹脂を用いることができる。エポキシ樹脂は耐熱性が高いために特に好ましい。
【００３２】
また、表層のソルダーレジスト４は図１（ｂ）に示すフィレット構造を有する電子部品１０ａを実装する部分については、電極３の間にソルダーレジスト未形成部４０を設けている。更に、配線基板２の表層の外周部にも同様にソルダーレジスト未形成部４１を設けている。
【００３３】
図１（ｂ）は電子部品の実装工程である。
【００３４】
配線基板２上の所定の位置にスクリーン印刷法等を用いてはんだ１１を塗布した後、電子部品１０ａ、１０ｂを所定の位置へ装着し、熱処理工程により配線基板２上への電子部品１０ａ、１０ｂの実装を完了する。電子部品１０ａ、１０ｂは、例えば、能動部品および受動部品からなる。能動部品としては例えば、トランジスタ、ＩＣ、ＬＳＩなどの半導体素子が用いられる。受動部品としては抵抗、コンデンサまたはインダクタなどのチップ状部品や振動子、フィルタ等が用いられる。
【００３５】
また、はんだ１１にはＰｂ−Ｓｎ系の共晶はんだやＰｂフリーはんだ（例えばＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ系、Ａｕ−Ｓｎ系またはＳｎ−Ｚｎ系）を用いることができるが、何れの場合も融点が２３０℃以下であって非耐熱性部品であっても使用することが可能である。
【００３６】
また、電子部品１０ａ、１０ｂを実装するためのはんだ１１と電子部品内蔵モジュール１をマザーボードへ実装するためのはんだ（図示せず）は同一材料であってもかまわないし、異なる材料を用いてもかまわない。
【００３７】
しかしながら、近年の環境問題への配慮を考えるとＰｂフリーはんだを用いる方が望ましい。
【００３８】
また、電子部品１０ａ、１０ｂをはんだ１１で実装した後には必ずフラックス洗浄（図示せず）を行わなければならない。フラックスが残ったままの状態では、後の絶縁樹脂１２の塗布の際に配線基板２との密着強度が劣化するためである。
【００３９】
ただし、実装後はんだ１１がフィレット構造を有する電子部品１０ａに対しては、配線基板２上にソルダーレジスト未形成部４０を必ず設けておくことが重要である。このソルダーレジスト未形成部４０を電子部品１０ａの下部に設けることで、電子部品１０ａと配線基板２との間に空間を形成することができ、この空間の存在により図１（ｃ）の封止工程で示す絶縁樹脂１２による封止の際に電子部品１０ａと配線基板２の間に良好に絶縁樹脂１２を充填することが可能となる。
【００４０】
この絶縁樹脂１２を完全に電子部品１０ａと配線基板２の間に充填することは非常に重要である。ソルダーレジスト未形成部４０が無い場合、配線基板２上のソルダーレジスト４と電子部品１０ａ間には１０μｍ以下の微少空間ができ、この微少空間に完全に絶縁樹脂１２を充填することは非常に困難であり、絶縁樹脂１２で封止した後に、電子部品１０ａと絶縁樹脂１２間には微少空間が形成されたままになる。
【００４１】
そして、この微少空間を有したままの電子部品内蔵モジュール１をマザーボード（図示せず）へはんだを用いて実装した場合、熱処理により電子部品内蔵モジュール１内のはんだが再溶融するとともに、溶融したはんだが微少空間へ流出してはんだショート不良を引き起こすことになる。
【００４２】
以上の理由で電子部品１０ａと配線基板２の間には絶縁樹脂１２を完全に充填しなければならず、そのための空間の確保としてソルダーレジスト未形成部４０は非常に重要な役割を果たしている。
【００４３】
また、実装後にフィレット構造を有しない電子部品１０ｂに対しては、電子部品１０ａのようにフィレット構造がないため、電子部品１０ｂと配線基板２間の空間を確保することは比較的容易である。
【００４４】
そのため、ソルダーレジスト４に未形成部を設けなくても、電子部品１０ｂとソルダーレジスト４の間に絶縁樹脂１２を充填することは容易である。ただし、当然はんだ１１の量によって、電子部品１０ｂとソルダーレジスト４との間隔は変化するので、この間隔が十分形成されるように、はんだ１１の量を決定する必要がある。特に、電子部品１０ｂとソルダーレジスト４との間隔は２０μｍ以上が望ましい。
【００４５】
なお、電子部品１０ｂの下部にもソルダーレジスト未形成部４０を設けても何ら問題はない。特に、はんだ１１の量が少ない時には、配線基板２と電子部品１０ｂとの間隔を広くすることが可能となるため、絶縁樹脂１２の充填を確実に行うことができるという利点が生まれる。
【００４６】
その後、絶縁樹脂１２を電子部品１０ａ、１０ｂを完全に覆うように塗布する。塗布工程については、スクリーン印刷法、トランスファモールド工法、シート状絶縁樹脂を用いたプレス工法、ディスペンサを用いたポッティング工法等が使用可能である。また、スクリーン印刷法を用いる場合には、真空チャンバー内で印刷を行う真空印刷工法を用いると、確実に電子部品１０ａ、１０ｂと配線基板２の間に絶縁樹脂１２を充填することができる。
【００４７】
また、配線基板２の上層の外周部にレジスト未形成部４１を設けることで、絶縁樹脂１２と配線基板２との密着強度を強固に保つことができる。絶縁樹脂１２が配線基板２から剥離する時は、必ず電子部品内蔵モジュール１の外周部分から剥がれるため、この外周部分の密着強度を強固に保つことは重要である。ソルダーレジスト４は撥水、撥油性の強い材料であるため、絶縁樹脂１２とソルダーレジスト４との密着強度は比較的弱い状態である。
【００４８】
そのため、絶縁樹脂１２とソルダーレジスト４は、ねじれや曲げ等の外部応力がかかった場合、外周部から剥離しやすいのであるが、外周部分にソルダーレジスト未形成部４１を設けることで、絶縁樹脂１２は配線基板２の基材部分と直接密着するため、強い密着力を得ることができる。従ってねじれや曲げ等の外部応力がかかった場合でも、絶縁樹脂１２が配線基板２からの剥離を防止することができるものである。
【００４９】
なお、絶縁樹脂１２と配線基板２との密着強度を上げる方法として、配線基板２の表面のプラズマ洗浄法がある。この工法により、配線基板２と絶縁樹脂１２は化学結合を伴って、更に強固に密着させることが可能となる。
【００５０】
また、絶縁樹脂１２は無機フィラーと熱硬化性樹脂とを含む混合物からなる。無機フィラーには例えば、Ａｌ2Ｏ3、ＭｇＯ、ＢＮ、ＡｌＮ、ＳｉＯ2およびＢａＴｉＯ3などを用いることができる。熱硬化性樹脂には、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、またはシアネート樹脂が好ましい。エポキシ樹脂は、耐熱性が高いために特に好ましい。
【００５１】
以上の工程により作成した電子部品内蔵モジュール１に対して、熱処理を行う。熱処理条件は通常温度のプロファイルで個々に条件を設定するが本発明の実施の形態１においてプリヒート温度を１５０℃、９０±３０秒、ピーク温度２３０℃３０秒で実施した。この熱処理工程を実施することで電子部品内蔵モジュール１を実際にマザーボードへ実装する際に受ける熱履歴を予め与え、絶縁樹脂１２の充填状態が完全でない場合に起こる、はんだ流出によるショート不良を市場に出る前に抽出してスクリーニングすることが可能となる。
【００５２】
電子部品内蔵モジュール１の製造工程において絶縁樹脂１２を配線基板２上に塗布する際に、電子部品１０ａ、１０ｂと配線基板２との間にも確実に絶縁樹脂１２を充填しなければならないが、絶縁樹脂１２の塗布工程後に電子部品１０ａ、１０ｂと配線基板２との間に絶縁樹脂１２が確実に充填されているかどうかということを検査することは非常に困難である。
【００５３】
しかしながら、確実に充填できていなければ、マザーボードへの実装の際に、はんだ流出不良を引き起こす原因となる。
【００５４】
そこで、予め熱処理工程を製造工程内に設けることで、絶縁樹脂１２の充填不足によるはんだショート不良を、市場に出る前に抽出することができるものである。
【００５５】
そして、一旦熱処理を通してはんだショート不良が発生しなかった電子部品内蔵モジュール１については、再度熱処理工程を通してもはんだショート不良は発生しない。
【００５６】
これは、絶縁樹脂１２の充填が確実にできているからである。
【００５７】
また、この良品となった電子部品内蔵モジュール１は、複数回の熱処理工程を実施しても特性に何ら影響を与えるものではない。
【００５８】
発明者らの実験では、１０回繰り返し熱処理工程を行っても特性への影響は全くなかった。
【００５９】
以上の工程により、製品出荷後に出荷先でマザーボードへ実装する際に起こる、はんだショート不良を出荷前に抽出することができ、出荷先での製品不良を防止することが可能となる。
【００６０】
（実施の形態２）
以下、実施の形態２を用いて、本発明の特に請求項２に記載の発明について説明する。
【００６１】
なお、実施の形態１と同様の構成を有するものについては、同一符号を付与しその説明を省略する。
【００６２】
図２（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施の形態２における電子部品内蔵モジュールの製造工程図である。
【００６３】
図２（ｃ）において絶縁樹脂１２を塗布した封止工程の後、熱処理工程の前に吸湿工程を設けている。熱処理工程の前に吸湿工程を設けることで熱処理時の水分の蒸発による応力により、はんだショート不良を顕著に抽出することが可能となるとともに、実際の使用状態に近い状態ではんだショート不良を抽出することが可能となる。
【００６４】
吸湿条件は、例えば、Ｔｈｅ  ＪＥＤＥＣ（Joint Electron Device Engineering Council）Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎによる規格「ＩＰＣ／ＪＥＤＥＣ  Ｊ−ＳＴＤ−０２０Ｂ」で定められている吸湿リフロー試験に準じて行うことが最も一般的である。この規格中、ＬＥＶＥＬ３（３０℃／６０％ＲＨ  １９２時間）条件に準じて吸湿工程を行うことで、熱処理によるはんだショート不良を十分抽出することが可能である。なお、ＬＥＶＥＬ３以上の条件で吸湿工程を実施しても構わない。
【００６５】
（実施の形態３）
以下、実施の形態３を用いて、本発明の特に請求項３に記載の発明について説明する。
【００６６】
なお、実施の形態１と同様の構成を有するものについては同一符号を付与しその説明を省略する。
【００６７】
図３（ａ）〜（ｆ）は本発明の実施の形態３における電子部品内蔵モジュールの製造工程図である。
【００６８】
図３（ａ）は複数個のパターンが配置された集合基板２２である。図３（ｂ）の実装工程はこの集合基板２２上の所定の位置にスクリーン印刷法等を用いてはんだ１１を塗布した後、電子部品１０ａ、１０ｂを所定の位置へ装着し、熱処理工程により配線基板２上への電子部品１０ａ、１０ｂの実装を完了する。電子部品１０ａ、１０ｂの実装完了後、フラックス洗浄を行い、図３（ｃ）の封止工程で絶縁樹脂１２を用いて電子部品１０ａ、１０ｂを完全に覆うように塗布する。
【００６９】
次に図３（ｄ）の切り込み工程により絶縁樹脂１２側から集合基板２２の内層に形成したグランドパターン５を切り込むように所定の位置に切り込み部１３を形成する。
【００７０】
特に、この切り込み部１３は集合基板２２のグランドパターン５より深く形成している。
【００７１】
本実施の形態３では４層配線基板における切り込み状態を示しており、表層から２層目に形成したグランドパターン５を切断するように切り込み部１３を形成している。この２層目にグランドパターン５を形成することで、絶縁樹脂１２と集合基板２２との密着を強固に保つためのソルダーレジスト未形成部４１を集合基板２２の表層部の外周部分に形成することが可能となる。
【００７２】
また、４層より層数の多い基板の場合は、特に２層目に限定してグランドパターン５を形成する必要は無く、内層部であるなら任意の層に形成しても良い。
【００７３】
また、切り込み部１３の作成方法は、ダイシング、レーザー加工、超音波加工、ＮＣ加工等用いることが可能であるが、加工精度及び加工の容易さからダイシングによる加工が簡便である。
【００７４】
次に図３（ｅ）の導電性膜形成工程により、絶縁樹脂１２の上面及び切り込み部１３の内部に導電性膜１４を形成する。この時、集合基板２２の内層に形成しているグランドパターン５と、４辺全域で導電性膜１４が接続していることが望ましい。こうすることにより、導電性膜１４による電磁界シールド特性を確実に得ることができるのである。
【００７５】
また、グランドパターン５と導電性膜１４の接続点については電子部品内蔵モジュール１の側面４辺全てで行うことが最も良好な電磁界シールド特性を得ることができるのであるが、仮に途中いくつかの未接続点があるからと言って、電磁界シールド特性が得られないと言うものではない。ただし、未接続点がある場合においても、側面４辺における何れかの点で接続していることが望ましい。側面４辺における接続ではなく３辺以下の接続となると、電磁界シールド特性は接続辺が少なくなるほど劣化していく。
【００７６】
また、導電性膜１４は金属めっき膜、導電性樹脂膜、金属薄膜の少なくとも１つ以上の膜から形成されており、金属めっき膜の場合、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｚｎ、Ｔｉ、Ａｌ等の材料を少なくとも１種類以上用いて形成している。
【００７７】
導電性樹脂膜の場合、例えば、熱硬化性の導電性物質からなる。熱硬化性の導電性物質としては、例えば、金属粒子と熱硬化性樹脂とを混合した導電性樹脂組成物を用いることができる。金属粒子としては、Ａｕ、ＡｇまたはＣｕなどを用いることができる。Ａｕ、ＡｇまたはＣｕは導電性が高いために好ましく、Ｃｕは導電性が高くマイグレーションも少なく、また、低コストであるため特に好ましい。熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂またはシアネート樹脂を用いることができる。エポキシ樹脂は耐熱性が高いために特に好ましい。金属薄膜の場合、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｚｎ、Ｔｉ、Ａｌ等の材料を少なくとも１種類以上用いて形成している。
【００７８】
また、導電性膜１４は、その膜厚が５０μｍ以下であることが重要である。５０μｍ以上の膜厚を有する場合、絶縁樹脂１２に水分が吸湿した状態で熱処理すると、水分の蒸発に伴う応力により導電性膜１４が剥離を生じることとなる。５０μｍ以下の場合、膜厚は非常に薄いため形成されている導電性膜には微少のピンホールを有している。
【００７９】
そのため、熱処理による水分の蒸発に対して、このピンホールから蒸発するため導電性膜１４の剥離は生じない。この現象は、導電性膜が薄ければ薄いほど良く、導電性膜１４は通常１０μｍ程度としている。
【００８０】
なお、導電性膜１４は薄い膜厚となっているが、グランドパターン５と側面４辺で接続しているため、十分電磁界シールド効果を得ることができる。
【００８１】
次に図３（ｆ）の個片分割工程で集合基板２２を個片分割し電子部品内蔵モジュール１とする。この分割方法としては、ダイシング、レーザー加工、超音波加工、ＮＣ加工等用いることが可能であるが、加工精度及び加工の容易さから、ダイシングによる加工が簡便である。また、分割する方向は、導電性膜１４を形成した絶縁樹脂１２塗布面側から行っても良いし、裏面側から行っても良い。ただし切断する際には、導電性膜１４とグランドパターン５との接続点を断線しないように注意を払うことは当然のことである。
【００８２】
その後、熱処理工程を行い、実施の形態１と同様に、はんだショート不良の製品出荷前のスクリーニングを行う。
【００８３】
また、この熱処理工程は個片分割後だけでなく、絶縁樹脂１２の塗布後であれば、その後の工程中何れのタイミングで行っても構わない。重要なことは、絶縁樹脂１２が電子部品１０ａ、１０ｂと集合基板２２との間に確実に充填されていることで、この充填状態を確認することが非常に困難であるため熱処理により絶縁樹脂１２の充填状態を確認し、はんだショート不良を抽出する。
【００８４】
すなわち、絶縁樹脂１２の塗布後であれば、どのタイミングで行っても良いのである。
【００８５】
なお、個片切断前に行うと集合基板２２の状態で一括して処理ができるので、作業を簡便化することができるという利点がある。
【００８６】
（実施の形態４）
以下、実施の形態４を用いて、本発明の特に請求項４に記載の発明について説明する。
【００８７】
なお、実施の形態３と同様の構成を有するものについては、同一符号を付与しその説明を省略する。
【００８８】
図４（ａ）〜（ｆ）は本発明の実施の形態４における電子部品内蔵モジュールの製造工程図である。
【００８９】
図４（ｃ）の絶縁樹脂１２塗布の後、図４（ｄ）の切り込み工程図、図４（ｅ）の導電性膜形成工程、図４（ｆ）の個片分割工程の後、熱処理工程の前に吸湿工程を設けている。熱処理工程前に吸湿工程を設けることで、熱処理時の水分の蒸発による応力により、はんだショート不良を顕著に抽出することが可能となるとともに、実際の使用状態に近い状態ではんだショート不良を抽出することが可能となる。
【００９０】
吸湿条件は、例えば、実施の形態２と同様に「ＩＰＣ／ＪＥＤＥＣ  Ｊ−ＳＴＤ−０２０Ｂ」で定められている吸湿リフロー試験に準じて行うことが最も一般的である。この規格中、ＬＥＶＥＬ３（３０℃／６０％ＲＨ  １９２時間）条件に準じて吸湿工程を行うことで、熱処理によるはんだショート不良を十分抽出することが可能である。
【００９１】
なお、ＬＥＶＥＬ３以上の条件で吸湿工程を実施しても構わない。
【００９２】
また、吸湿工程は必ず熱処理工程の直前に行わなければならないが、この吸湿及び熱処理のタイミングは、個片分割後だけでなく、絶縁樹脂１２の塗布後であれば、その後の工程中何れのタイミングで行っても構わない。重要なことは、絶縁樹脂１２が電子部品１０ａ、１０ｂと集合基板２２との間に確実に充填されていることで、この充填状態を確認することは困難であるので、熱処理をもって絶縁樹脂１２の充填状態を確認し、はんだショート不良を抽出するのであるため、絶縁樹脂１２の塗布後であれば、どのタイミングで行っても良いのである。なお、個片切断前に行うと集合基板２２の状態で一括して処理ができるので、作業を簡便化することができるという利点がある。
【産業上の利用可能性】
【００９３】
本発明にかかる電子部品内蔵モジュールの製造方法では製品出荷後に出荷先におけるはんだショート不良を未然に防止することが可能となるため、安心してはんだを用いて電子部品を内蔵することが可能となるため、導通抵抗の低抵抗化が可能であるとともに、実装工程を簡略化して低コスト化することが可能であるという効果を有し、マザーボードへ実装して動作するモジュール形態等に有用である。
【００９４】
本発明にかかる電子部品内蔵モジュールの製造方法は絶縁樹脂による封止後に熱処理工程を設けたことにより、内蔵しているはんだの再溶融によるはんだショート不良を予め抽出することができ、不良品をスクリーニングすることができる。
【００９５】
さらに、熱処理工程の前に吸湿工程を設けることにより、より確実に熱処理によるはんだショート不良のスクリーニングを行うことができるという効果を有し、特に、配線基板の上部に電子部品が配置され、これを絶縁樹脂で覆った電子部品内蔵モジュール等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】（ａ）〜（ｃ）本発明の実施の形態１における電子部品内蔵モジュールの製造工程図
【図２】（ａ）〜（ｃ）本発明の実施の形態２における電子部品内蔵モジュールの製造工程図
【図３】（ａ）〜（ｆ）本発明の実施の形態３における電子部品内蔵モジュールの製造工程図
【図４】（ａ）〜（ｆ）本発明の実施の形態４における電子部品内蔵モジュールの製造工程図
【図５】従来の電子部品内蔵モジュールの構造図
【符号の説明】
【００９７】
１  電子部品内蔵モジュール
２  配線基板
３  電極
４  ソルダーレジスト
５  グランドパターン
６  回路パターン
７  インナービア
８  電極
９  ソルダーレジスト
１０ａ  電子部品
１０ｂ  電子部品
１１  はんだ
１２  絶縁樹脂
１３  切り込み部
１４  導電性膜
２２  集合基板
４０  ソルダーレジスト未形成部
４１  ソルダーレジスト未形成部
【図１】
2005109135.tif 000003
【図２】
2005109135.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005109135.tif 000006
【図５】
2005109135.tif 000007