(57)【要約】      （修正有）【課題】比強度及び比剛性に優れ撓みを低く抑えることができるローラシャフトを提供すること。【解決手段】炭素繊維複合材料により形成された断面円形状のパイプ２０と、前記パイプ２０の両端に取付けられた支持軸２１とから成るローラシャフト１であって、水平状態に支持された状態において（鉛直方向の最大撓みＬ）／（支持部相互間のスパンＳ）＝１／１００〜３０／１００ｍｍとしてある。ローラシャフトの外周面に耐酸性又は耐アルカリ性を有する樹脂を被覆してある。被覆するための樹脂は、塩化ビニル又は四フッ化エチレンである。【選択図】図１
2005291369.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭素繊維複合材料により形成された断面円形状のパイプと、前記パイプの両端に取付けられた支持軸とから成るローラシャフトであって、水平状態に支持された状態において（鉛直方向の最大撓み）／（支持部相互間のスパン）＝１／１００〜３０／１００ｍｍとしてあることを特徴とするコンベヤ用ローラシャフト。
【請求項２】
ローラシャフトの外周面に耐酸性又は耐アルカリ性を有する樹脂を被覆してあることを特徴とする請求項１記載のコンベヤ用ローラシャフト。
【請求項３】
樹脂は、塩化ビニル又は四フッ化エチレンであることを特徴とする請求項２記載のコンベヤ用ローラシャフト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、スパンに対する両端支持時の撓みが（鉛直方向の撓み／スパン＝１／１００〜３０／１００ｍｍ）であるコンベヤ用ローラシャフトに関するものである。
【０００２】
このコンベヤ用ローラシャフトは、搬送時において自重により撓んでしまってはならない被搬送物（例えば搬送しながら洗浄する液晶やプラズマの基板ガラス）に適している。
【背景技術】
【０００３】
近年、電子工業界では超ＬＳＩや液晶ディスプレイの製造を頂点とするデバイスの微細化要望がますます厳しくなり、これに対応して製品の表面状態からの影響を受けることが多くなり、超精密洗浄技術が必要となってきている。
【０００４】
液晶パネルの製造工程では、ガラス基板の洗浄が不可欠であり、一般的にはローラコンベヤで搬送しながら湿式法（例えば、電子回路のパターンを形成するための酸によるエッチング、純水によるシャワー洗浄等）で行うようにしている。
【０００５】
ところで、上記洗浄に用いられているコンベヤのローラシャフトは、搬送途中においてローラシャフトの自重による湾曲（撓み）に倣ってガラス基板が湾曲しないように、剛性が高いチタン製の丸棒が用いられてきた。これは、ガラス基板が湾曲して凹んだ部分に酸が溜まると、電子回路のパターンが適正にエッチングできず不良品になってしまうからである。
【０００６】
しかしながら、ガラス基板が１５００ｍｍ以上の幅になると、それに伴ってローラシャフトの支持スパンが大きくなってしまい、ステンレス製のローラシャフトではその重量により大きく撓んでしまう。したがって、ステンレス製のローラシャフトはガラス基板が１５００ｍｍ以上の幅の場合には採用できない。
【０００７】
そこで、わが社は、チタンよりも比重が小さいＦＲＰ製のパイプによりローラシャフトを形成し、これの外周面に耐酸性又は耐アルカリ性を有する樹脂（四フッ化エチレン、塩化ビニル）被覆して成るものを開発し特許出願した（例えば、特許文献１。）。  このローラシャフトは、軽量で、高剛性なので１５００ｍｍ程度の幅のガラス基板でも比較的小さな撓みの状態で搬送でき、その上、耐酸性又は耐アルカリ性を有するものとなった。
【０００８】
ところが、時代の要請によりガラス基板が１５００ｍｍを越える幅になると、重量による撓みが所望の範囲に入らないという事態も発生し、このような場合には本構成でも採用できなくなる。
【０００９】
なお、この種の業界に限らず、搬送時において自重により撓んでしまってはならない被搬送物を取り扱う業界では、比強度（強度／重量）及び比剛性（剛性／重量）にすぐれ撓みを低く抑えることができるローラシャフトが開発されることを待ち望んでいる。
【特許文献１】特開２００３−１０４５４６（図１及び図２参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで、この発明では、比強度及び比剛性に優れ撓みを低く抑えることができるローラシャフトを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
（請求項１記載の発明）
この発明のコンベヤ用ローラシャフトは、炭素繊維複合材料により形成された断面円形状のパイプと、前記パイプの両端に取付けられた支持軸とから成るローラシャフトであって、水平状態に支持された状態において（鉛直方向の最大撓み）／（支持部相互間のスパン）＝１／１００〜３０／１００ｍｍとしてある。
【００１２】
（請求項２記載の発明）
この発明のコンベヤ用ローラシャフトは、上記請求項１記載の発明に関し、ローラシャフトの外周面に耐酸性又は耐アルカリ性を有する樹脂を被覆してある。
【００１３】
（請求項３記載の発明）
この発明のコンベヤ用ローラシャフトは、上記請求項２記載の発明に関し、樹脂は、塩化ビニル又は四フッ化エチレンである。
【発明の効果】
【００１４】
この発明のコンベヤ用ローラシャフトでは、比強度及び比剛性に優れ撓みを低く抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下にこの発明のコンベヤ用ローラシャフトを実施するための最良の形態としての実施例について詳細に説明する。
【００１６】
図１はこの発明の実施例の液晶のガラス基板Ｇを洗浄するための装置のローラコンベヤＲＣの断面図、図２は前記ローラコンベヤＲＣのローラシャフト２が撓んだ状態を示す概念図を示している。
【００１７】
（ローラコンベヤＲＣの構成について）
ローラコンベヤＲＣは、図１に示すように、左右一対のフレーム１，１相互間に架設される態様で多数のローラシャフト２が低ピッチで平行に配置されており、各ローラシャフト２はそれぞれフレーム１，１に設けたベアリング３により回転自在に支持してあると共にその左右端にスプロケット４ａ，４ｂを取り付けてある。前記平行に配置されたローラシャフト２，２，２・・・は、一群のスプロケット４ａ，４ａ・・・とチェ−ン４０ａとを、一群のスプロケット４ｂ，４ｂ・・・とチェーン４０ｂとを、それぞれ歯合させることにより同期回転させ得るようにしてある。そして、このローラコンベヤＲＣでは、図１に示すように、モータ５の回転力をスプロケット５０，５１及びチェーン５２を介して一本のローラシャフト２に伝達できるようにしている。
【００１８】
以下にこのローラコンベヤＲＣの主要構成について詳述する。
（このローラシャフト２の構成について）
ローラシャフト２は、図１に示すように、炭素繊維複合材料により形成された断面円形状のパイプ２０と、前記パイプ２０の両端に取付けられた支持軸２１と、前記パイプ２０に長手方向に一定間隔で設けられた樹脂リング２２から成り、図２に示す水平状態に支持された状態においては（鉛直方向の最大撓みＬ）／（支持部相互間のスパンＳ）＝１／１００〜３０／１００ｍｍ、好ましくは１０／１００〜３０／１００ｍｍとなるようにしてある。前記パイプ２０の外周面には耐磨耗性、耐酸性及び耐アルカリ性を有する樹脂、具体的には塩化ビニル又は四フッ化エチレンをコーティングしてある。
【００１９】
ここで、上記炭素繊維複合材料より成るパイプ２０は、ポリアクリロニトルを原料とした炭素繊維より成る糸を平行に引きそろえたものや、炭素繊維より成る糸で形成した織物（シート状物）に、硬化剤を含むエポキシ等の熱硬化性樹脂を含浸させて成る１００μｍ厚み程度のシートを多数層重ね合わせて真直度の高い芯金に巻付け、加熱硬化させることにより製造されている。
【００２０】
炭素繊維複合材料を構成する繊維糸としては、トレカ糸（トレカ：登録商標）〔東レ株式会社製のＴタイプ、Ｍタイプ等〕が好適に用いられ、例えば、以下の特性のものが使用できる。
【００２１】
タイプＴ３００：〔フィラメント数１０００〜１２０００、引張強度：３５３０ＭＰａ、引張弾性率：２３０ＧＰａ、伸び：１．５％、繊度：６６〜８００ｔｅｘ（ｇ／１０００ｍ）、密度１．７６（ｇ／ｃｍ3 ）〕
タイプＭ４０Ｊ：〔フィラメント数６０００又は１２０００、引張強度：４４００ＭＰａ、引張弾性率：３７７ＧＰａ、伸び：１．２％、繊度：２２５又は４５０ｔｅｘ（ｇ／１０００ｍ）、密度１．７７（ｇ／ｃｍ3 ）〕
なお、前記ローラシャフト２は、硬質塩化ビニルのパイプで被覆するか、又は四フッ化エチレンのチューブで被覆することが、好ましい。
【００２２】
（このローラシャフト２の優れた点について）
Ａ．実際に、外径３０ｍｍ×内径２７ｍｍ×長さ２２００ｍｍのステンレスパイプとこの発明のパイプ２０とを比較すると以下のような結果になった。
【００２３】
ステンレスパイプ：自重２．３２１Ｋｇ、鉛直方向の最大撓み：１．１２ｍｍ
曲げ剛性：２８９×１０6 Ｋｇ／ｍｍ2 
このパイプ２０  ：自重０．５１１Ｋｇ、鉛直方向の最大撓み：０．２８ｍｍ
曲げ剛性：２４９×１０6 Ｋｇ／ｍｍ2 
この結果からも明らかなように、曲げ剛性がほとんど同じであり、鉛直方向の最大撓みはステンレスパイプに比べてパイプ２０は１／４程度となった。
【００２４】
つまり、このパイプ２０はステンレスパイプと比較して、比強度及び比剛性、並びに鉛直方向の最大撓みにおいて優れていることが判る。
【００２５】
したがって、これらの数値からしても本件のパイプ２０が非常に優れていることが明らかである。
【００２６】
Ｂ．ローラシャフト１全体に塩化ビニルや四フッ化エチレンをしてあるから、洗浄液によるローラシャフト１の腐食が防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】この発明の実施例の液晶のガラス基板を洗浄するための装置のローラコンベヤの断面図。
【図２】前記ローラコンベヤのローラシャフトが撓んだ状態を示す概念図。
【符号の説明】
【００２８】
ＲＣ      ローラコンベヤ
Ｓ        支持部相互間のスパン
Ｌ        鉛直方向の最大撓み
１        フレーム
２        ローラシャフト
２０      支持軸
２１      樹脂リング
【図１】
2005291369.tif 000003
【図２】
2005291369.tif 000004