(57)【要約】【課題】     本発明の目的は、圧電素板を導電性接着剤により支持して気密封止する小型の圧電振動子の製造方法を提供することである。【解決手段】     上記の目的を達成するために本発明は、多数個の凹型の圧電振動子容器が一体に形成されて成る第一の板に、多数個の圧電振動子の蓋が連続して形成されて成る第二の板を被せ、それぞれの圧電振動子を気密封止した後、夫々の圧電振動子に個割り切断することを特徴とし、また平板状の基板上に多数個の圧電振動子が連続して形成されて成る第三の板に、多数個のコの字状の蓋が連続して形成された第四の板を被せ、夫々の圧電振動子を気密封止した後、夫々の圧電振動子に個割り切断することを特徴として目的を達成するものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素板を圧電振動子容器の内部の絶縁基板上の導電性パッド上に接続電極を介在して導電性接着剤により支持し気密封止する構成の圧電振動子の製造方法において、
多数個の凹型の圧電振動子容器が一体に形成されて成る第一の板に、多数個の該圧電振動子の蓋が連続して形成されて成る第二の板を被せ、それぞれの該圧電振動子を気密封止した後、それぞれの該圧電振動子に個割り切断することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項２】
平板状の基板上に多数個の該圧電振動子が連続して形成されて成る第三の板に、多数個のコの字状の蓋が連続して形成された第四の板を被せ、それぞれの該圧電振動子を気密封止した後、それぞれの該圧電振動子に個割り切断することを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子の製造方法。
【請求項３】
多数個の凹型の圧電振動子容器が一体に形成されて成る第一の板、及び平板状の基板上に多数個の該圧電振動子が連続して形成されて成る第三の板と、多数個の該圧電振動子の蓋が連続して形成されて成る第二の板、及び多数個のコの字状の蓋が連続して形成された第四の板には、予め個割り切断のための切れ込みが入っていることを特徴とする請求項１、及び請求項２に記載の圧電振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電素板を導電性接着剤により支持して気密封止する小型の圧電振動子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、圧電振動子は圧電素板を圧電振動子内部において、例えば図７のように片持ち支持の状態で、支持構造を構成して気密封止したものが一般的となっている。これは、圧電素板を圧電振動子の絶縁基板上に形成される導電性パッドの上に両持ち支持の状態で支持すると、圧電素板の両端が固定されて、その周波数特性などの特性に悪影響を与えるおそれがあるからである。
【０００３】
一方、最近の傾向では通信分野の伝送系装置等を中核として、その搭載部品について非常に急激な市場からの小型化や低背化、更に加えて軽量化や低価格化の要求があるのが現状であるが、そのために先の圧電素板を圧電振動子の容器内部で片持ち支持の状態で支持構造を構成して気密封止した圧電振動子を製造することが一般となってきている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２４９５６０
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するには至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述のように圧電振動子の外形が小型化し、それにつれてその内容積が小さくなるにつれて、導電性接着剤で保持される側の圧電素板端に対向する圧電素板の開放端と圧電振動子の蓋の内側を含めた内壁との間隔もより小さくなり、その結果、圧電振動子を搭載する基板に変形が生じると、圧電素板が搭載される圧電振動子の容器も変形するために、圧電振動子の内部に搭載された前述の圧電素板の開放端が圧電振動子の内壁、特に圧電素板の下方の基板や、圧電素板の上方に搭載される蓋の内面に接触してしまうおそれがあるといった問題があった。
【０００７】
また、前述のように圧電振動子の外形が小型化し、それにつれてその内容積が小さくなり圧電振動子の容器、及び蓋も当然小型化し、その取り扱いが困難となり、多数の個割り切断した状態の圧電振動子の製作コストが高くなるといった問題があった。
【０００８】
ここで、導電性接着剤で保持される側の圧電素板端に対向する圧電素板の開放端が圧電振動子の内壁と接触すると、圧電素板にその接触の応力が発生してその結果、周波数ずれを起こす原因となるおそれがある。
【０００９】
また、多数の個割り切断した状態の小型の圧電振動子を製作すると、それぞれの圧電振動子を個別に取り扱うために、内部の圧電素板に異物などが付着しその結果、圧電振動子が発振不良を起こすおそれが高くなるといった問題があった。
【００１０】
前述の周波数ずれや、発振不良を起こす圧電振動子は当然製品とは成り得ず、その結果、製品の生産歩留まりを落とし、またその圧電振動子の信頼性をも落としめることとなる可能性がある為、従来から製造段階で圧電振動子の内部の圧電素板の開放端と、圧電振動子の内壁とのギャップを確実に取るために様々な工夫が成されて来ているのが現状である。
【００１１】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従がってその目的は、圧電素板を圧電振動子容器内部の絶縁基板上の導電性パッド上に接続電極を介在して導電性接着剤により支持し気密封止する構成の圧電振動子の製造方法において、小型の圧電振動子の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明は、多数個の凹型の圧電振動子容器が一体に形成されて成る第一の板に、多数個の圧電振動子の蓋が連続して形成されて成る第二の板を被せ、それぞれの圧電振動子を気密封止した後、それぞれの圧電振動子に個割り切断することを特徴とする。
【００１３】
また、平板状の基板上に多数個の圧電振動子が連続して形成されて成る第三の板に、多数個のコの字状の蓋が連続して形成された第四の板を被せ、それぞれの圧電振動子を気密封止した後、それぞれの圧電振動子に個割り切断することを特徴とする。
【００１４】
また、多数個の凹型の圧電振動子容器が一体に形成されて成る第一の板、及び平板状の基板上に多数個の圧電振動子が連続して形成されて成る第三の板と、多数個の圧電振動子の蓋が連続して形成されて成る第二の板、及び多数個のコの字状の蓋が連続して形成された第四の板には、予め個割り切断のための切れ込みが入っていることを特徴とする
【発明の効果】
【００１５】
本発明の圧電振動子の製造方法によれば、圧電振動子の生産歩留まりを著しく高めることが出来る。
【００１６】
また、本発明の圧電振動子の製造方法によれば、圧電振動子の容器を平板とすることが出来、その結果容器の製造コストを大幅に下げることが出来る。
【００１７】
また、本発明の圧電振動子の製造方法によれば、それぞれの圧電振動子を気密封止した後にそれぞれの圧電振動子にダイシングによって個割り切断するため、圧電振動子の個々の部品の積層ずれが減少して、寸法精度が良くなり、ここでも圧電振動子の生産歩留まりを著しく高めることが出来る。
【００１８】
また、本発明の圧電振動子の製造方法によれば、多数個の圧電振動子が連続して形成されて成る板と、多数個の圧電振動子の蓋が連続して形成されて成る板をまとめてそれぞれの圧電振動子として個別に気密封止まで行うので、異物の混入のおそれを大幅に減少することが出来る。
【００１９】
また、本発明の圧電振動子の製造方法によれば、多数個の圧電振動子の蓋が連続して形成されて成る板をまとめてそれぞれの圧電振動子として個別に気密封止するため、気密封止時に前記の板全体に荷重が掛かってその結果それぞれの圧電振動子の気密性が向上し、かつ前記の多数個の圧電振動子の蓋が連続して形成されて成る板のシール面が繋がっているため、シール面でのロウ材の濡れ性が良くなりここでも気密性がさらに安定して向上する効果を奏する。
【００２０】
また、本発明の圧電振動子の製造方法によれば、多数個の非常に小型の圧電振動子をまとめた板で取り扱うために、著しく作業性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【実施例１】
【００２２】
図１は本発明の多数個の凹型の圧電振動子容器８が一体に形成されて成る第一の板９に、多数個の圧電振動子７の蓋１０が連続して形成されて成る第二の板１１を被せる様子を示した概略の側面模式図である。
まず、多数個の凹型の圧電振動子容器８が一体に形成されて成る第一の板９を製作し、その後夫々の凹型の圧電振動子容器８に圧電素板１を載置し、次に多数個の圧電振動子７の蓋１０が連続して形成されて成る第二の板１１を被せ、夫々の圧電振動子７を気密封止した後、夫々の圧電振動子７に個割り切断する。本実施例１は第一の板９を形成する個々の圧電振動子７の容器２が例えばセラミックから成るような、凹型の形状をした圧電振動子７の場合を示している。個々の圧電振動子７の外形サイズが非常に小さく成って来ている昨今では、本発明のように一時に多数の圧電振動子７を取り扱うといった製造方法が、その取り扱いを容易にして圧電振動子７の個々の部品の積層ずれを減少し、その結果寸法精度が良くなり、圧電振動子７の生産歩留まりを高めることが出来る。なお、圧電素板１が水晶からなる場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。第一の板９、及び第二の板１１には予め夫々の圧電振動子７への個割り切断を容易にするために、切れ込みといったスクライブ線をいれている。
【００２３】
図２は本発明の多数個の凹型の圧電振動子容器８が一体に形成されて成る第一の板９に、多数個の圧電振動子７の蓋１０が連続して形成されて成る第二の板１１を被せる様子を示した概略の上面斜視図である。本２図に示すように、多数個の圧電振動子７が形成された一枚のシート状の板として取り扱うために、異物の混入に対する例えばエアーや窒素ガスの吹き付けといった異物の除去対策も、同時に多数個に対して一工程で行えるために作業効率が良くなる。図２の点線の丸内には多数個の圧電振動子７のうちのひとつの圧電振動子７の拡大図を示している。
【実施例２】
【００２４】
図３は本発明の平板状の基板１２上に多数個の圧電振動子７が連続して形成されて成る第三の板１３に、多数個のコの字状の蓋１４が連続して形成された第四の板１５を被せる様子を示した概略の側面模式図である。第三の板１３はセラミック板などで出来ている。また、コの字状の蓋１４が連続して形成された第四の板１５は、金属やセラミックから出来ている。本発明の圧電振動子７の製造方法によれば、多数個の圧電振動子７の蓋１４が連続して形成されて成る板をまとめてそれぞれの圧電振動子７として個別に気密封止するために、気密封止時に前記の板全体に荷重が掛かってそれぞれの圧電振動子７の気密性が向上し、かつ前記の多数個の圧電振動子７の蓋１４が連続して形成されて成る板の封止のためのシール面が繋がっているため、シール面のロウ材の濡れ性が良くなりここでも気密性がさらに安定して向上する効果を奏する。
【００２５】
図４は本発明の平板状の基板１２上に多数個の圧電振動子７が連続して形成されて成る第三の板１３に、多数個のコの字状の蓋１４が連続して形成された第四の板１５を被せる様子を示した概略の上面斜視図である。図４の点線の丸内には多数個の圧電振動子７のうちのひとつの圧電振動子７の拡大図を示している。第三の板１３、及び第四の板１５には予め夫々の圧電振動子７への個割り切断を容易にするために、切れ込みといったスクライブ線をいれている。
【００２６】
なお、図に示してはいないが図１にある様に多数個の凹型の圧電振動子容器８が一体に形成されて成る板に、図３にある様な多数個のコの字状の圧電振動子の蓋１４が連続して形成されて成る板を被せる場合においても、本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。また、本発明は圧電素板の支持形態が片持ち支持の場合に限らず、両持ち支持の場合でも構わない。
【００２７】
また、本発明において夫々の圧電振動子７における圧電素板１は、導電性パッド４上に導電性接着剤６を用いて載置されているが、導電性接着剤６を用いずに金（Au）バンプを用いて圧電素板１を圧電振動子７上に載置する場合においても本発明の技術的範囲に含まれる。
【００２８】
図５は従来のひとつの凹型の容器８を持つ圧電振動子７に、蓋１０を被せる様子を示した概略の上面斜視図である。
【００２９】
図６は従来のひとつの平板状の基板１２上に圧電素板１が搭載された圧電振動子７に、コの字状の蓋１４を被せる様子を示した概略の上面斜視図である。
【００３０】
図７は圧電素板１を圧電振動子容器２の内部の絶縁基板３上の導電性パッド４上に接続電極を介在して導電性接着剤６により片持ちで支持し気密封止する一般的な構成の圧電振動子７の概略の側面断面図である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の多数個の凹型の圧電振動子容器が一体に形成されて成る第一の板に、多数個の圧電振動子の蓋が連続して形成されて成る第二の板を被せる様子を示した概略の側面模式図である。
【図２】本発明の多数個の凹型の圧電振動子容器が一体に形成されて成る第一の板に、多数個の圧電振動子の蓋が連続して形成されて成る第二の板を被せる様子を示した概略の上面斜視図である。
【図３】本発明の平板状の基板上に多数個の圧電振動子が連続して形成されて成る第三の板に、多数個のコの字状の蓋が連続して形成された第四の板を被せる様子を示した概略の側面模式図である。
【図４】本発明の平板状の基板上に多数個の圧電振動子が連続して形成されて成る第三の板に、多数個のコの字状の蓋が連続して形成された第四の板を被せる様子を示した概略の上面斜視図である。
【図５】従来のひとつの凹型の容器を持つ圧電振動子に、蓋を被せる様子を示した概略の上面斜視図である。
【図６】従来のひとつの平板状の基板上に圧電素板が搭載された圧電振動子に、コの字状の蓋を被せる様子を示した概略の上面斜視図である。
【図７】圧電素板を圧電振動子容器の内部の絶縁基板上の導電性パッド上に接続電極を介在して導電性接着剤により支持し気密封止する一般的な構成の圧電振動子の概略の側面断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  圧電素板
２  圧電振動子容器
３  絶縁基板
４  導電性パッド
６  導電性接着剤
７  圧電振動子
８  凹型の圧電振動子容器
９  第一の板
１０  蓋
１１  第二の板
１２  平板状の基板
１３  第三の板
１４  コの字状の蓋
１５  第四の板
１６  切れ込み
【図１】
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【図２】
2005136816.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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