(57)【要約】【課題】  粘着テープの離型ライナーをスムーズに行うことを可能にした粘着テープの貼付方法及び貼付装置を提供する。【解決手段】  物品２表面に離型ライナー６から離型された粘着テープ４を貼り付ける粘着テープの貼付方法であって、離型ライナー６と粘着テープ４の離型部位を温度制御が可能な任意の加温手段によって室温（２０℃）〜８０℃に加温することによって、粘着テープ４の離型ライナー６からの離型を容易にすることを特徴とする。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品表面に離型ライナーから離型された粘着テープを貼り付ける粘着テープの貼付方法であって、
前記離型ライナーと前記粘着テープの離型部位を加温することによって、前記粘着テープの前記離型ライナーからの離型を容易にすることを特徴とする粘着テープの貼付方法。
【請求項２】
前記離型ライナーと前記粘着テープの離型部位を室温（２０℃）〜８０℃の温度範囲で加温することを特徴とする請求項１に記載の粘着テープの貼付方法。
【請求項３】
物品表面に粘着テープを貼り付ける粘着テープの貼付装置であって、
物品を載置するチャックテーブルと、
前記チャックテーブル上に載置された前記物品に粘着テープを供給するテープ供給部と、
前記粘着テープを離型ライナーから離型する離型機構部と、
前記離型機構部で離型された離型ライナーを巻き取るライナー巻き取り部と、
前記テープ供給部から供給される前記粘着テープを前記物品上に貼り付ける貼付機構部と、を備えてなり、
前記離型機構部に、前記粘着テープと前記離型ライナーとの離型部位を加温する加温手段が設けられていることを特徴とする粘着テープの貼付装置。
【請求項４】
前記加温手段が、温度制御可能であることを特徴とする請求項３に記載の粘着テープの貼付装置。
【請求項５】
前記加温手段が、室温（２０℃）〜８０℃の温度範囲で温度制御が可能である請求項４に記載の粘着テープの貼付装置。
【請求項６】
前記加温手段が、ヒータが組み込まれたローラである請求項４又は５に記載の粘着テープの貼付装置。
【請求項７】
前記加温手段が、ヒータが組み込まれたプレートである請求項４又は５に記載の粘着テープの貼付装置。
【請求項８】
前記物品が、半導体ウエハである請求項３乃至７のいずれかに記載の粘着テープの貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着テープの貼付方法及び貼付装置に関し、特に、半導体ウエハ、リードフレーム、各種プリント基板等の物品上への粘着テープの貼付方法及び貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウエハ（以下、ウエハという。）の薄型加工方法には、研削方法、研磨方法（ＣＭＰ）、およびエッチング方法といった機械的及び化学的方法がある。これらの方法は、配線パターンが形成されたウエハ表面にパターン保護用の粘着テープを貼り付けた後、ウエハの裏面を加工する方法として一般的に使用されている。
【０００３】
そして、ウエハの裏面を加工するバックグラインド装置では、ウエハの表面をチャックテーブルで吸着保持してウエハの裏面を砥石で研削する。このため、裏面加工に際して、ウエハの表面側に形成されている回路が破損したり汚れたりするおそれがあるため、ウエハ表面にパターン保護用の粘着テープを貼り付けて加工する。
【０００４】
そして、この粘着テープの構成は、粘着剤表面にカバーフィルムとしての離型ライナーが設けられている。この離型ライナー表面には、粘着剤との離形性を良くするために離型層等を形成するなどの離型処理をしているのが一般的である（例えば、特許文献１参照）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、この粘着テープは、ウエハ表面に形成されているパターン面に直接貼り付けられるため、離型ライナー表面に離型処理のために塗布された離型処理剤等が粘着剤側に転写して、その結果、ウエハパターン面を汚染するおそれがある。
【０００６】
そこで、離型処理をしない離型ライナーを用いた粘着テープが使用されつつある（例えば、特許文献２）。ところが、離型処理していない離型ライナーの場合、粘着剤とライナーとの離型がスムーズにできず、装置で安定して自動処理運転できないといった問題がある。また、離型ライナーの離型が重く、困難であり、離型処理がしてある離型ライナーの場合と比べて、粘着剤表面が荒れてウエハ表面の貼付性が低下したり、粘着テープが伸びたり切れたりする。さらに、大きな静電気が発生するといった問題もある。
【特許文献１】特開平９−１２３３６０号公報
【特許文献２】特開２００２−５９５１５号公報  そのため、粘着剤と離型ライナーとの離型が重い粘着テープでも、粘着剤と離型ライナーとの離型を軽い力でスムーズにする粘着テープの貼付装置が望まれている。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、粘着テープの離型ライナーをスムーズに行うことを可能にした粘着テープの貼付方法及び貼付装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る粘着テープの貼付方法は、物品表面に離型ライナーから離型された粘着テープを貼り付ける粘着テープの貼付方法であって、離型ライナーと粘着テープの離型部位を加温することによって、粘着テープの離型ライナーからの離型を容易にすることを特徴とするものである。
【０００９】
離型ライナーと粘着テープの離型部位を加温することによって、粘着テープの離型テープからの離型を容易にすることが可能となり、離型処理がされていない粘着テープであっても、粘着剤表面を荒らすこともなく、また粘着テープが伸びたりすることもなく、そのため粘着剤の粘着力が劣化することがない。また、粘着テープを離型ライナーか容易に離型することが可能であるため、大きな静電気が発生することもなく、粘着テープをスムーズに物品表面に貼り付けることが可能となる。
【００１０】
また、本発明に係る粘着テープの貼付方法は、離型ライナーと粘着テープの離型部位を室温（２０℃）〜８０℃の温度範囲で加温することが好ましい。
【００１１】
離型ライナーと粘着テープの離型部位を室温（２０℃）〜８０℃の温度範囲、好ましくは４０℃〜６０℃、さらに好ましくは５０℃に加温することによって、粘着テープの粘着力を低下させることなく、粘着テープと離型ライナーの離型を容易に行うことが可能となる。
【００１２】
また、本発明の粘着テープの貼付装置は、物品表面に粘着テープを貼り付ける粘着テープの貼付装置であって、物品を載置するチャックテーブルと、チャックテーブル上に載置された物品に粘着テープを供給するテープ供給部と、粘着テープを離型ライナーから離型する離型機構部と、離型機構部で離型された離型ライナーを巻き取るライナー巻き取り部と、テープ供給部から供給される粘着テープを物品上に貼り付ける貼付機構部と、を備えてなり、離型機構部に、粘着テープと離型ライナーとの離型部位を加温する加温手段が設けられていることを特徴とするものである。
【００１３】
このような構成によると、物品への粘着テープの貼付作業を連続かつ安定して行うことができる。
【００１４】
また、本発明の貼付装置は、加温手段が、温度制御可能であることが好ましい。加えて、この加温手段が、室温（２０℃）〜８０℃の温度範囲、好ましくは４０℃〜６０℃、さらに好ましくは５０℃に温度制御が可能であることが好ましい。
【００１５】
このような構成によると、粘着テープの粘着力を低下させることなく、粘着テープと離型ライナーの離型を容易に行うことが可能となる。
【００１６】
また、本発明に係る粘着テープの貼付装置は、加温手段が、ヒータが組み込まれたローラであるもの、また、加温手段が、ヒータが組み込まれたプレートであるものが好ましい。
【００１７】
このような構成によると、粘着テープと離型ライナーとの離型部位を効率的に加温することが可能となり、粘着テープと離型ライナーとをスムーズに離型することが可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、粘着テープと離型ライナーとの離型部位を加温することにより、粘着テープの離型ライナーを軽い力で離型することができる。したがって、粘着剤表面に離型処理を施していない離型ライナーの場合や、幅広の粘着テープの場合でも軽い力で離型ライナーを離型することができるようになり、粘着テープの連続貼付運転を安定して行うことができる。さらに、離型ライナーの離型により、粘着テープを伸ばすことなく、粘着剤表面の荒れを防止することと静電気の発生を最小限に抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態の一例を説明する。
【００２０】
図１に示すように、本実施形態例に係る粘着テープ貼付装置１は、粘着テープが貼り付けられる物品であるウエハ２を収納するウエハ収納部１１ａ、１１ｂと、ウエハ収納部１１ａ、１１ｂからウエハ２を搬送するロボットアーム１２と、ロボットアーム１２により搬送されるウエハ２を載置し、位置決めするアライメントステージ１４と、位置決めされたウエハ２を保持するチャックテーブル３と、チャックテーブル３上に載置されたウエハ２に粘着テープ４を供給するテープ供給部５と、粘着テープ４を離型ライナー６から離型する離型機構部７と、離型機構部７で離型された離型ライナー６を巻き取るライナー巻き取り部８と、テープ供給部５から供給される粘着テープ４をウエハ２上に貼り付ける貼付機構部９と、ウエハ２に貼り付けられた粘着シート４をウエハ２の外周に沿って切り抜く粘着テープ切抜き手段１０と、不要となった粘着テープ４を巻き取る不要テープ巻き取り部１５を主要部として構成されている。
【００２１】
図２に示すように、ウエハ収納部１１ａ，１１ｂは、ウエハ２を多段に収納、載置できるようになっている。このとき、ウエハ２はパターン面を上向きにした水平姿勢を保っている。
【００２２】
ロボットアーム１２は、図示しない駆動機構によって旋回するように構成されている。そして、その先端に馬蹄形をしたウエハ保持部１７を備えている。このウエハ保持部１７には図示しない吸着孔が設けられており、ウエハ２を裏面から真空吸着するようになっている。
【００２３】
つまり、ロボットアーム１２は、ウエハカセット１１ａ，１１ｂに多段に収納されたウエハ２同士の間隙をウエハ保持部１７が進退してウエハ２を裏面から吸着保持するとともに、吸着保持したウエハ２を後述するアライメントステージ１４、チャックテーブル３、およびウエハカセット１１ａ，１１ｂの順に搬送するようになっている。
【００２４】
アライメントステージ１４は、載置されたウエハ２をオリエンテーションフラットなどに基づいて位置合わせを行うようになっている。
【００２５】
チャックテーブル３は、移載されたウエハ２のオリエンテーションフラットなどを基準に位置合わせを行うとともに、ウエハ２の裏面全体を覆って真空吸着するようになっている。つまりチャックテーブル３は、その外周領域および中央に吸着孔が設けられている。
【００２６】
また、チャックテーブル３には、後述する粘着テープ切抜き手段１０の刃先２０が挿入され、ウエハ２の外周縁に沿って粘着テープ４を切断するための溝が設けられている。溝は、サイズの異なったウエハ２の外径に応じたものが複数本設けられている。また、溝の粘着テープ切抜き手段１０の刃先２０が挿入される初期位置は、チャックテーブル３の径方向に設けられた幅広の溝となっており、複数本の溝の全てとつながっている。
【００２７】
テープ供給部５は、図３に示すように、テープボビン２１から繰り出された離型ライナー６つきの粘着テープ４をガイドローラ群７ａ，７ｂ、７ｃ、７ｄで構成される離型機構部７に巻回案内する。なお、テープ供給部５は図示しない装置本体の縦壁に軸支されブレーキ機構などを介して回転規制されている。
【００２８】
離型機構部７を構成するガイドローラ群７ａ，７ｂ、７ｃ、７ｄのうち、粘着テープ４と離型ライナー６との離型部位にあたるガイドローラ７ｄは、室温（２０℃）〜８０℃の温度範囲で温度制御ができるようになっている。図５に示すように、ガイドローラ７ｄは、両軸端に設けられた断熱プレート４２と、この断熱プレートに固定され、丸棒形状のヒータ３５が内蔵されたシャフト３６に挿入されるフランジ４３と、ヒータ３５が内臓されているシャフト３６の温度を測定するセンサー４１と、シャフト３６と離型ライナー６と接するローラ面３８と、シャフト３６とローラ面３８との間に挿入されているカラー体と、ローラ面３８をシャフト３６を軸心として回転させるベアリング４０と、で構成されている。
【００２９】
離型ライナー巻き取り部８は、モータなどの駆動機構に連動連結された回収ボビン２２と、図示しない装置本体の縦壁に軸支されたガイドローラ群８ａ，８ｂで構成されている。
【００３０】
テープ貼付機構部９は、図４に示すように、そのフレーム２３がテープ走行方向にスライド可能となるように装置本体のレール２４に把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレーム２３には貼付ローラ２５が回転可能に軸支されているとともに、この貼付ローラ２５が図示しないシリンダなどによって上下揺動駆動するようになっている。つまり、貼付ローラ２５が粘着テープ４の表面を押圧して転動しながらウエハ２の表面に粘着テープ４を貼り付けてゆくようになっている。
【００３１】
粘着テープ切抜き手段１０は、図２に示すように、ボール軸２５に昇降可能に取り付けられたカッターユニット２６と、カッターユニット２６を昇降移動させる昇降駆動部２７と、この昇降駆動部２７を制御する図示しない制御部と、で構成されている。
【００３２】
カッターユニット２６は、昇降駆動部２７に片持ち支持されたアーム２８と、アーム２８の先端上部に取り付けられたモータ２９と、下方に向かってアーム２８を貫通するモータ２９の回転軸に一端が連結されて旋回可能となる下向きに取り付けられたカッターの刃先２０とから構成されている。
【００３３】
昇降駆動部２７は、ボール軸２５に沿って昇降移動するようになっている。なお、ボール軸２５の底部には、図示しないが昇降駆動部２７の最下方の位置（高さ）を規制するためのストッパーが設けられている。
【００３４】
モータ２９は、回転軸を介して回転力を刃先２０に伝達し、この刃先２０を旋回させるようになっている。
【００３５】
不要テープ剥離機構部３０は、図４に示すように、そのフレーム３１がテープ走行方向にスライド可能となるように装置本体のレール２４に把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレーム３１には剥離ローラ３２が回転可能に軸支されているとともに、この剥離ローラ３２が図示しないシリンダなどによって上下揺動駆動するようになっている。剥離ローラ３２はウエハ２の外周縁に沿って切断された後の不要な粘着テープ４をウエハ２から剥離するためのものである。
【００３６】
不要テープ巻き取り部１５は、装置１の縦壁に回収ボビン３３が軸支され、モータなどの駆動部に連動連結されている。つまり、テープ供給部５から所定量の粘着テープ４が繰り出されてウエハ２上に供給されるとともに、駆動部が作動することにより切断後の不要な粘着テープ４が回収ボビン３３に巻き取られるようになっている。
【００３７】
次に、粘着テープ４をウエハ２の表面に貼り付ける一巡の動作について図を参照しながら説明する。ウエハ２を多段に収納したウエハ収納部１１ａ，１１ｂの取り出し対象のウエハ２をロボットアーム１２によって取り出す。このとき、ロボットアーム１２のウエハ保持部１７がウエハ収納部１１ａ，１１ｂ内のウエハ２同士の隙間に挿入される。ロボットアーム１２は、そのウエハ保持部１７でウエハ２を裏面から吸着保持して取り出し、ウエハ２をアライメントステージ１４に移載する。
【００３８】
アライメントステージ１４に載置されたウエハ２は、オリエンテーションフラットやノッチなどに基づいてウエハ２の位置合わせが行なわれる。位置合わせ後、ウエハ２はロボットアーム１２によって裏面を吸着保持されてチャックテーブル３に移載される。
【００３９】
チャックテーブル３に載置されたウエハ２は、位置合わせが行なわれ、吸着保持される。このとき、粘着テープ４の貼付機構部９とテープ剥離機構部３０とは初期位置に、およびカッターユニット２６は上方の待機位置にそれぞれ位置する。
【００４０】
ウエハ２の位置合わせが済むと、粘着テープ４の貼付機構部９の貼付ローラ２５が揺動降下し、この貼付ローラ２５が粘着テープ４を押圧しながらウエハ２上をテープ走行方向とは逆方向に転動し、粘着テープ４をウエハ２の表面全体に均一に貼り付ける。粘着テープ４の貼付機構部９が終了位置に達すると貼付ローラ２５が上昇する。
【００４１】
次に、カッターユニット２６が粘着テープ切断位置に降下し、刃先２０が粘着テープ４に突き刺さり貫通する。このとき、粘着テープ４を貫通した刃先２０は、所定の位置（高さ）で停止させられる。所定の位置で停止した刃先２０は、チャックテーブル３に設けられた溝に沿って移動する。つまり、ウエハ２の外周縁に沿って粘着テープ４を切断してゆく。このとき、貼付機構部９と不要テープ剥離機構部３０によって、粘着テープ４にテンションがかけられている。
【００４２】
粘着テープ４を切断した後、カッターユニット２６は、上昇して待機位置に戻る。
【００４３】
次に、不要テープ剥離機構部３０が、ウエハ２上をテープ走行方向とは逆方向へ移動しながらウエハ２上で切断された不要な粘着テープ４を巻き上げて剥離する。
【００４４】
不要テープ剥離機構部３０が剥離作業の終了位置に達すると、不要テープ剥離機構部３０と貼付機構部９とがテープ走行方向に移動して、初期位置に復帰する。このとき、不要な粘着テープ４は、巻き取りローラ１６によって回収ボビン３３に巻き取られる。これとともに、一定量の離型ライナー６とともに粘着テープ４がテープ供給部５から繰り出される。
【００４５】
テープ供給部５から供給された離型ライナー６付の粘着テープ４は、離型機構部７を通過する際に、ガイドローラ７ｃ、７ｄ間で、離型ライナー６と粘着テープ４とに分離される。このとき、ガイドローラ７ｄが、室温（２０℃）〜８０℃、好ましくは５０℃に加温されているため、離型ライナー６の粘着テープ４からの離型が軽い力で容易に行われる。このため、離型ライナー６に離型処理等を施していないものであっても、軽い力で粘着テープ４から離型ライナー６を離型することが可能となり、粘着テープの貼付を安定して連続処理することが可能となる。また、このように軽い力で離型ライナー６を離型することができるため、粘着テープ４を伸ばすことなく、粘着剤表面の荒れを防止することができるため、粘着テープ４の粘着性を劣化させることがなく、加えて、静電気の発生を抑制することが可能となるため、安定した粘着テープの貼付処理を確実に連続して行うことができる。
【００４６】
なお、本発明は、以上の実施形態例に限定されるものではなく、例えば、以下のように実施することも可能である。
【００４７】
前述の実施形態例では、粘着テープからの離型ライナーの離型を不要テープ巻き取り後に行う場合を例にあげたが、離型ライナーの離型は、そのタイミングで行う場合にも適用できる。
【００４８】
また、連続状の粘着テープの場合に限らず、ラベル状の粘着テープが離型ライナー上に配置された粘着テープ類であっても良い。
【００４９】
さらに、粘着テープと離型ライナーの離型部位を加温する加温手段に、丸棒状のヒータの場合を例にあげたが、加温手段は、離型部位を加温できるものであれば、前述の丸棒状のヒータに限らず、例えば、プレート状のヒータであっても良い。また、加温手段としては、これらヒータのように、直接離型ライナーに接触して、加温するタイプのもののほか、例えば、熱風当を当てるなどの間接的な方法であっても良い。
【００５０】
また、物品としては、ウエハを例にしたが、リードフレーム上に粘着テープを貼り付ける場合、あるいは、プリント基板等にも適用することが可能である。なお、物品をリードフレームやプリント基板等とする場合には、チャックテーブルの形状をそれぞれリードフレームやプリント基板の形状に合わせて変更することで可能となる。
【００５１】
以上のように、本発明によると、ウエハ表面上に粘着テープを貼り付ける際に、粘着テープと離型ライナーとの離型部位を加温することによって、粘着テープの離型ライナーからの離型を容易なものとすることが可能となり、このため、安定した粘着テープの貼付処理を確実に連続して行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に係る粘着テープの貼付装置の実施形態の一例の斜視概略図である。
【図２】本発明に係る粘着テープの貼付装置の実施形態の一例の要部の斜視概略図である。
【図３】本発明に係る粘着テープの貼付装置の実施形態の一例の要部の斜視概略図である。
【図４】粘着テープの貼付処理の一連の動作を説明するための図である。
【図５】本発明に係る粘着テープの貼付装置の実施形態の一例の加温手段の一例を示す断面概略図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  粘着テープ貼付装置
２  ウエハ
３  チャックテーブル
４  粘着テープ
５  テープ供給部
６  離型ライナー
７  離型機構部
８  離型ライナー巻き取り部
９  貼付機構部
１０  粘着テープ切抜き手段
１１ａ，１１ｂ  ウエハ収納部
１４  アライメントステージ
１５  不要テープ巻き取り部
１６  巻き取りローラ
１７  ウエハ保持部
２０  刃先
２１  テープボビン
２２  回収ボビン
２３  フレーム
２４  レール
２５  ボール軸
２６  カッターユニット
２７  昇降駆動部
３０  不要テープ剥離機構部
３１  フレーム
３２  剥離ローラ
３３  回収ボビン
【図１】
2005089609.tif 000003
【図２】
2005089609.tif 000004
【図３】
2005089609.tif 000005
【図４】
2005089609.tif 000006
【図５】
2005089609.tif 000007