(57)【要約】【課題】素子抵抗値の低減化、及びチャンネル間における抵抗値のばらつきの低減化を図る。【解決手段】再生用磁気ヘッドと、記録用磁気ヘッドとが積層された構成の複合型磁気ヘッド１０、及びこれを具備するマルチトラック磁気ヘッドにおいて、磁気抵抗効果素子と接続されて引き出される引き出し導線ＬMRと、記録用磁気ヘッドを構成するコイルから引き出される引き出し導線ＬINDとを有し、引き出し導線ＬMRが、引き出し導線ＬIND形成側において増厚された構成を有するものとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号磁界を磁気抵抗効果素子によって検出する再生用磁気ヘッドと、
当該再生用磁気ヘッド上に、磁気信号を記録するための記録用磁気ヘッドとが積層された構成の複合型磁気ヘッドであって、
前記磁気抵抗効果素子と接続されて引き出される引き出し導線ＬMRと、
前記記録用磁気ヘッドを構成するコイルから引き出される引き出し導線ＬINDとを有し、
前記引き出し導線ＬMRが、前記引き出し導線ＬIND形成側において、増厚されてなる構成を有していることを特徴とする複合型磁気ヘッド。
【請求項２】
前記記録用磁気ヘッドを構成する前記コイルから引き出される引き出し導線ＬINDを構成する往路用導線と復路用導線とが、絶縁膜を介して積層されてなることを特徴とする請求項１に記載の複合型磁気ヘッド。
【請求項３】
信号磁界を、磁気抵抗効果素子によって検出する再生用磁気ヘッドと、
当該再生用磁気ヘッド上に、磁気信号を記録するための記録用磁気ヘッドとが積層されてなり、
前記磁気抵抗効果素子と接続されて引き出される引き出し導線ＬMRと、
前記記録用磁気ヘッドを構成するコイルから引き出される複数の引き出し導線ＬINDとを有する複合型磁気ヘッドの製造方法であって、
前記引き出し導線ＬMRを、
前記記録用磁気ヘッドを構成するコイル、及び前記コイルから引き出される引き出し導線ＬINDの形成工程と同時に増厚することを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法。
【請求項４】
信号磁界を、磁気抵抗効果素子によって検出する再生用磁気ヘッドと、
当該再生用磁気ヘッド上に、磁気信号を記録するための記録用磁気ヘッドとが積層された構成の複合型磁気ヘッドが、
複数配列されてなるマルチチャンネル磁気ヘッドであって、
前記磁気抵抗効果素子と接続されて引き出される複数の引き出し導線ＬMRと、
前記記録用磁気ヘッドを構成するコイルから引き出される複数の引き出し導線ＬINDとを有し、
前記引き出し導線ＬMRが、前記引き出し導線ＬIND形成側において、増厚されてなることを特徴とするマルチチャンネル磁気ヘッド。
【請求項５】
前記記録用磁気ヘッドを構成する前記コイルから引き出される複数の引き出し導線ＬINDを構成する、それぞれの往路用導線と復路用導線とが、絶縁膜を介して積層されてなることを特徴とする請求項４に記載のマルチチャンネル磁気ヘッド。
【請求項６】
信号磁界を、磁気抵抗効果素子によって検出する再生用磁気ヘッドと、
当該再生用磁気ヘッド上に、磁気信号を記録するための記録用磁気ヘッドとが積層されてなり、
前記磁気抵抗効果素子と接続されて引き出される複数の引き出し導線ＬMRと、
前記記録用磁気ヘッドを構成するコイルから引き出される複数の引き出し導線ＬINDとを有する複合型磁気ヘッドが複数配列されてなるマルチチャンネル磁気ヘッドの製造方法であって、
前記引き出し導線ＬMRを、
前記記録用磁気ヘッドを構成するコイル、及び前記コイルから引き出される複数の引き出し導線ＬINDの形成工程と同時に増厚することを特徴とするマルチチャンネル磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気抵抗効果素子によって検出する再生用磁気ヘッドと、磁気信号を記録するための記録用磁気ヘッドとが積層された構成の複合型磁気ヘッド、この複合型磁気ヘッドが複数配列されてなる構成のマルチチャンネル磁気ヘッド、及びこれらの製造方法に係る。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気記録の分野においては、益々高密度記録化への要求が高まってきており、狭トラック化、低インダクタンス化、及び高速転送速度の面で、従来のバルク型磁気ヘッドに比べ、有利な薄膜磁気ヘッドの利用が拡大しており、今後もその応用範囲はますます広がると考えられている。
【０００３】
薄膜磁気ヘッドは、半導体集積回路と同様に、蒸着、スパッタ等の成膜技術、写真製版、エッチング等のフォトリソグラフィー技術を用いて製造することができるものであるため、量産性に優れ、高精度な磁気ヘッドをウエハー上に一括して生産できるという利点を有しており、現在においては、ハードディスドライブや、テープストリーマー等の高密度記録に対応した再生システムにおいて主流となっている。
【０００４】
ハードディスクドライブにおいては、再生用磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果型ヘッド(以下ＭＲヘッドと略す)を搭載することが一般的に行われており、今後のテープシステムやフロッピー(登録商標)ディスク等のシステムにおいても波及していくと考えられている。
ＭＲヘッドは、従来公知の一般的な磁気誘導型のヘッド（巻線を用いたヘッド）に比べ、高い出力を得ることが可能であり、インダクタンスの影響が無いことから、高周波での信号転送が可能であり、高密度記録再生システムにおいて必須のデバイスである。
【０００５】
ところでＭＲヘッドにおいては、素子抵抗に加えて、ＭＲ素子と接続されて引き出される引き出し導線の抵抗を加えたものが、再生用磁気ヘッド全体の抵抗となる。
すなわち、この引き出し導線の抵抗ノイズが増加すると、Ｓ／Ｎの劣化、及び全体の抵抗増加によるアンプとのインピーダンス不整合（周波数特性劣化）を生じさせ、磁気ヘッドの特性劣化の原因となるため、低減化を図ることが必要であると言える。
【０００６】
かかる引き出し導線の抵抗ノイズの低減化に関し、従来においては、引き出し導線を幅広にして往復の引き出し導線を絶縁体を介して積層させた構成のマルチトラック磁気ヘッド（例えば、特許文献１参照。）や、ＭＲヘッドの引き出し導線を後方において増厚した構成の複合型磁気ヘッド（例えば、特許文献２、３参照）についての提案がなされている。
【０００７】
【特許文献１】特許第２５０９９６８号明細書
【特許文献２】特開平６−１６８４２１号公報
【特許文献３】特開平１１−２９６８０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特に、複数の磁気ヘッドを配列してマルチチャンネル磁気ヘッドを構成する場合を考えると、それぞれの磁気ヘッドを構成する引き出し導線の長さがチャンネルレイアウトにより異なる状況が想定される。
すなわち、全ての引き出し導線の長さが同一でない限り、素子抵抗にバラツキが生じることになるという不都合が生じるのである。
【０００９】
さらに、マルチチャンネル磁気ヘッドにおいては、チャンネル間ピッチが固定されているが、記録密度の向上のためにはこのピッチが小さくなる傾向にあり、ピッチが小さくなると、これに対応して引き出し導線のサイズも小さくすることが必要となるが、引き出し導線の断面積が小さくなるということは素子抵抗の増加の原因となり、複数の磁気ヘッドそれぞれの素子抵抗差が大きくなる。
【００１０】
また、再生用磁気ヘッドと、記録用磁気ヘッドとを組み合わせた構成の複合型磁気ヘッドを複数配列させたマルチチャンネル磁気ヘッドにおいては、記録用磁気ヘッドを構成するコイルに電流を流す際に導線に発生する磁界が、再生用磁気ヘッドの再生能力に悪影響を及ぼすクロストークが起こるおそれもある。
【００１１】
そこで本発明においては上述した問題に鑑み、再生用磁気ヘッドと記録用磁気ヘッドとが積層された構成の複合型磁気ヘッドについて、これを特にマルチチャンネル磁気ヘッドに適用した場合を考えて、複合型磁気ヘッドの低抵抗化を図って素子抵抗のバラツキを抑制することとし、さらには記録用磁気ヘッドを構成するコイルに電流を流す際に生じる磁界の再生用磁気ヘッドに対する悪影響を回避することとし、このような構成の磁気ヘッドを簡易な工程によって作製することを目的とした。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明においては、信号磁界を磁気抵抗効果素子によって検出する再生用磁気ヘッドと、磁気信号を記録するための記録用磁気ヘッドとが積層された構成を有し、磁気抵抗効果素子と接続されて引き出される引き出し導線ＬMRと、記録用磁気ヘッドを構成するコイルから引き出される引き出し導線ＬINDとを有し、引き出し導線ＬMRが、引き出し導線ＬIND形成側において増厚されてなる構成を有している複合型磁気ヘッド、およびこのような構成を有する複合型磁気ヘッドが複数配列されてなるマルチチャンネル磁気ヘッドを提供する。
【００１３】
また、本発明方法においては、信号磁界を磁気抵抗効果素子によって検出する再生用磁気ヘッドと、磁気信号を記録するための記録用磁気ヘッドとが積層されてなり、磁気抵抗効果素子と接続されて引き出される引き出し導線ＬMRと、記録用磁気ヘッドを構成するコイルから引き出される複数の引き出し導線ＬINDとを有する複合型磁気ヘッド、およびこのような構成を有する複合型磁気ヘッドが複数配列されてなるマルチチャンネル磁気ヘッドを製造する際に、前記引き出し導線ＬMRを、記録用磁気ヘッドを構成するコイル、及びこのコイルから引き出される引き出し導線ＬINDの形成工程と同時に増厚するものとする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、磁気抵抗効果素子にセンス電流を供給する引き出し導線ＬMRを増厚したことにより比抵抗を減少させ、磁気抵抗効果素子全体の抵抗値を減少させることができ、抵抗ノイズの低減化が図られ、Ｓ／Ｎの劣化を回避することができた。
また、これにより、マルチチャンネル磁気ヘッドにおいて、チャンネル間の引き出し導線間の抵抗値、すなわち素子抵抗値のばらつきを低減化させることができた。
【００１５】
また、本発明方法により、磁気抵抗効果素子と接続されて引き出される引き出し導線ＬMRを、記録用磁気ヘッドを構成するコイル、及びこのコイルから引き出される引き出し導線ＬINDの形成工程と同時に増厚するようにしたことにより、工程の簡易化、及びコストの低減化を図ることができた。
【００１６】
また、磁気抵抗効果素子へセンス電流を供給する引き出し導線ＬMR上に、絶縁膜にて分離した記録用磁気ヘッドの引き出し導線を積層形成させたことにより、単一チャンネル当たりの引き出し導体面積を減少させることができた。
【００１７】
また、記録用磁気ヘッドを構成するコイルに電流を流す引き出し導線ＬINDの往路と復路とを積層させた構成としたことにより、これらに電流を流すことによるクロストークが再生用磁気ヘッドに及ぼす影響の低減化を図ることができた。
また、記録用磁気ヘッドを構成するコイルに電流を流す引き出し導線の往路と復路とを積層させたことにより、記録用磁気ヘッドのインダクタンスを小さくすることができ、高周波での記録特性の向上が図られた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の複合型磁気ヘッド、マルチチャンネル磁気ヘッド、及びこれらの製造方法についての具体的な実施形態を、図を参照して説明するが、本発明は以下の例に限定されるものではない。
【００１９】
図１に、本発明の複合型磁気ヘッドを具備するマルチチャンネル磁気ヘッドの要部の概略斜視図を示す。
このマルチチャンネル磁気ヘッド１００は、リニアテープシステムに対応するものであり、基板（図示せず）上に複数の複合型磁気ヘッド１０が配列されてなる構成を有している。
【００２０】
図２に、本発明の複合型磁気ヘッドの要部の概略断面図を示す。
なお、図２は、複合型磁気ヘッド１０の媒体対向面（浮上面）から奥行き方向の断面図を示したものとする。
複合型磁気ヘッド１０は、信号磁界を磁気抵抗効果素子によって検出する再生用磁気ヘッド１１と、磁気信号を記録するための記録用磁気ヘッド１２とが積層されてなる構成を有している。
この複合型磁気ヘッド１０においては、非磁性基板上に下地絶縁膜（図示せず）が形成されてなり、その上に下層シールド１３が形成され、下層シールド１３上には、第１ギャップ膜１４を介して、磁気抵抗効果素子１５が形成された構成を有している。
【００２１】
磁気抵抗効果素子１５は、例えば、図３に媒体摺動面側における要部の概略断面図を示すように、下地層１０１上に、ＭＲ層１０２と、非磁性導電層１０３と、軟磁性層１０４とが積層された構成を有しているものとする。
ＭＲ層１０２は、例えば１０〜２０ｎｍの膜厚のＮｉＦｅ合金、ＮｉＣｏＦｅ合金よりなり、非磁性導電層１０３は、例えば１０〜１５ｎｍの膜厚のＴａ、Ｎｂ、Ｔｉ、Ｗ等の金属膜よりなり、軟磁性層１０４は、例えば２０〜３０ｎｍの膜厚のＮｉＦｅＲｈ、ＮｉＦｅＲｕ、ＮｉＦｅＮｂ等よりなるものとすることができる。
【００２２】
また、磁気抵抗効果素子１５の動作の安定化を図るために、ＭＲ層の長手方向の両端部には、バイアス磁界を印加するための一対の永久磁石層１０５ａ、１０５ｂが設けられている。そしてこれら一対の永久磁石層に挟み込まれた部分の幅が、磁気抵抗効果素子１５のトラック幅Ｔｗとなる。
【００２３】
磁気抵抗効果素子１５には、ＭＲ層にセンス電流を供給するための一対の電極層１０６ａ、１０６ｂが、その一端部側をそれぞれ一対の永久磁石層１０５ａ、１０５ｂに接続するようにして設けられている。
そして、電極層１０６ａ、１０６ｂの他端部側は、外部回路と接続される引き出し導線ＬMRが接続されている。
【００２４】
電極層１０６ａ、１０６ｂ上には、図２に示すように、第２ギャップ膜１６を介して、上層シールド１７、下層コア２３が形成されてなり、さらに両ヘッド間を絶縁するための絶縁層を介して、コイル２４、上層コア２５を具備する記録用磁気ヘッド１２が積層されている。
なお、記録用磁気ヘッド１２を構成するコイル２４に電流を流す引き出し導線においては、往路用導線２４ａと復路用導線２４ｂとは、絶縁膜２６を介して積層されている。
【００２５】
次に、複合型磁気ヘッド１０を構成する磁気抵抗効果素子１５と接続されて引き出される引き出し導線ＬMRについて説明する。
本発明においては、図１に概略的に示すように、磁気抵抗効果素子１５と接続されて引き出される引き出し導線ＬMRが増厚されているものとし、これにより導線ＬMRの低抵抗化が図られている（図中増厚部分５０）。
【００２６】
図４に、引き出し導線ＬMRの増厚部分５０の一例の、拡大概略図を示す。
図に示すように、引き出し導線ＬMRは、上層シールド１７と同時に形成される補助層２７、及び下層コア２３と同時に形成されてなる補助層３３、及び絶縁物４０を介して、増厚部分５０が積層形成されてなる構成を有している。
なお、この引き出し導線ＬMRの増厚部分５０は、図２に示す複合型磁気ヘッド１０の記録用磁気ヘッド１２を構成するコイル２４、及びこのコイルから引き出される引き出し導線ＬINDの形成工程と同一工程において形成されたものとする。
そして、この引き出し導線ＬMRは端部に端子パッド３０が設けられており、外部端子と接続されている。
【００２７】
図５（ａ）に、複合型磁気ヘッド１０を上面から見た状態の概略平面図を示し、図５（ｂ）に、図５（ａ）中の破線Ａで切断したときの磁気抵抗効果素子と接続する引き出し導線ＬMRと、記録用磁気ヘッドコイルと接続する引き出し導線ＬINDの構成状態を模式的に表した概略断面構成図を示す。
【００２８】
引き出し導線ＬMRは、記録用磁気ヘッドを構成するコイル２４、及びコイルから引き出される複数の引き出し導線ＬINDの形成工程と同時に増厚部分５０の形成を行うため、  図５（ａ）、（ｂ）に示すように、引き出し導線ＬMRは、引き出し導線ＬIND側において、増厚されている構成を有している。
【００２９】
また、図５（ｂ）に示すように、記録用磁気ヘッドを構成するコイルに電流を流す引き出し導線ＬINDにおいては、往路用導線と復路用導線とが絶縁膜２６を介して積層された構成を有している。
【００３０】
図６に示すように、一般的に、循環電流の一部をなす実電流の破片Ｉ・ｄｌ（Ａ・ｍ）があると、その周囲で時計方向に磁界Ｈ（Ａ・ｍ）が生じることが知られている。
この磁界Ｈの強さは、電流破片の延長線上では０となり、破片に垂直な方向で最も強くなる。そしてその強度は破片からの距離ｒ（ｍ）の２乗に反比例し、Ｉ・ｄｌに比例することが知られている。
【００３１】
上述したことを考慮して、記録用磁気ヘッドを構成するコイルに電流を流す引き出し導線ＬINDにおいて、往路用導線と復路用導線とが並列に配置された場合と、絶縁レジストを介して積層された場合とを比較する。
図７（ａ）に、コイル引き出し導線ＬINDの往路用導線と復路用導線とが並列に配置された場合の磁界Ｈの模式的概略図を示し、図７（ｂ）にコイル引き出し導線ＬINDの往路用導線と復路用導線とが積層された場合の磁界Ｈの模式的概略図を示す。なお、図中矢印は磁界Ｈの方向を示す。
図７（ａ）、（ｂ）から明らかなように、コイル引き出し導線ＬINDの往路用導線と復路用導線とを積層させ、電流中心が近くなるような状態とすることにより、磁界Ｈを交錯させ、ほとんどの磁界をキャンセルさせることができる。
これにより、記録用磁気ヘッドのコイルから再生用磁気ヘッドへ、余計な磁界が及ぶような状態を回避することができ、ＭＲ動作の安定化を図ることができるのである。
【００３２】
なお、再生用磁気ヘッドに流す電流に関しては、記録用磁気ヘッドのコイルに流す電流と比較して１／５〜１／１０程度であるので、ＭＲ動作を不安定化させるような磁場の発生は考慮しなくてよいものとする。
【００３３】
次に、本発明のマルチチャンネル磁気ヘッドの製造方法に関し説明する。
先ず、マルチチャンネル磁気ヘッドを構成する複合型磁気ヘッド１０を作製する。
図２に示した下層シールド１３を形成し、続いて第１ギャップ膜１４を介して磁気抵抗効果素子１５を形成しトラック幅Ｔｗを決定する。
続いて、磁気抵抗効果素子１５に接続孔を設け、センス電流を流すための引き出し導線ＬMRを接続形成する。
次に、第２ギャップ１６を介して、例えばパーマロイ（Ｆｅ20Ｎｉ80）よりなる上層シールド１７及びＨｉ−Ｂｓ（Ｆｅ55Ｎｉ45）よりなる下層コア２３を連続成膜する。
なお、この工程と同時に、図４に示した補助層２７、及び３３も形成する。
上記工程により再生用磁気ヘッド１１が完成され、その後、アルミナで埋め込み、研磨して表面を平坦化させる。
次に、記録用磁気ヘッドのコイル２４を構成する第１コイル（復路用導線２４ｂ）を形成する。なお、この工程と同時に、図４に示した増厚部分５０を例えばＣｕにより形成する。
続いて、絶縁膜２６を介して第２コイル（往路用導線２４ａ）を形成する。
次に、例えばＨｉ−Ｂｓ（Ｆｅ55Ｎｉ45）よりなる上層コア２５を形成し、記録用磁気ヘッド１２が完成される。
【００３４】
上述のようにして作製した複合型磁気ヘッド１０の増厚された引き出し導線の端部に、それぞれ、例えばＣｕを用いて端子を形成し、アルミナで埋め込み、ワイヤボンディング用のＡｕメッキを行う。そして複数の複合型磁気ヘッド１０を配列してマルチチャンネル磁気ヘッド１００が作製される。
【実施例】
【００３５】
〔実施例〕
ＭＲ素子のサイズが２μｍであり、厚さ０．６μｍの引き出し導線ＬMRを３．５μｍ増厚させた再生用磁気ヘッドを具備する複合型磁気ヘッドを１６個搭載した第１のマルチチャンネル磁気ヘッドを用意した。
ＭＲ素子のサイズが３μｍであり、厚さ０．６μｍの引き出し導線ＬMRを３．５μｍ増厚させた再生用磁気ヘッドを具備する複合型磁気ヘッドを１６個搭載した第２のマルチチャンネル磁気ヘッドを用意した。
ＭＲ素子のサイズが４μｍであり、厚さ０．６μｍの引き出し導線ＬMRを３．５μｍ増厚させた再生用磁気ヘッドを具備する複合型磁気ヘッドを１６個搭載した第３のマルチチャンネル磁気ヘッドを用意した。
上記第１のマルチチャンネル磁気ヘッドを１つ、第２のマルチチャンネル磁気ヘッドを二つ、及び第３のマルチチャンネル磁気ヘッドを１つ、組み合わせて一単位とし、これを２６単位、単一のウェハー上に搭載して実施例のサンプルとした。
【００３６】
〔比較例〕
ＭＲ素子のサイズが２μｍであり、厚さ０．６μｍの引き出し導線ＬMRが引き出されてなる再生用磁気ヘッドを具備する複合型磁気ヘッドを１６個搭載した第４のマルチチャンネル磁気ヘッドを用意した。
ＭＲ素子のサイズが３μｍであり、厚さ０．６μｍの引き出し導線ＬMRが引き出されてなる再生用磁気ヘッドを具備する複合型磁気ヘッドを１６個搭載した第５のマルチチャンネル磁気ヘッドを用意した。
ＭＲ素子のサイズが４μｍであり、厚さ０．６μｍの引き出し導線ＬMRが引き出されてなる再生用磁気ヘッドを具備する複合型磁気ヘッドを１６個搭載した第６のマルチチャンネル磁気ヘッドを用意した。
上記第４のマルチチャンネル磁気ヘッドを１つ、第５のマルチチャンネル磁気ヘッドを二つ、及び第６のマルチチャンネル磁気ヘッドを１つ、組み合わせて一単位とし、これを２６単位、単一のウェハー上に搭載して比較例のサンプルとした。
【００３７】
(素子抵抗)
図８に、上記実施例のサンプルの、第１〜第３のマルチチャンネル磁気ヘッドを構成する１６個の複合型磁気ヘッドにおける、素子抵抗値を示した。
【００３８】
上記比較例における、第４のマルチチャンネル磁気ヘッドを構成するＭＲ素子のサイズが２μｍの複合型磁気ヘッドの、平均素子抵抗値は４７Ωであった。
上記比較例における、第５のマルチチャンネル磁気ヘッドを構成するＭＲ素子のサイズが３μｍの複合型磁気ヘッドの、平均素子抵抗値は６１Ωであった。
上記比較例における、第５のマルチチャンネル磁気ヘッドを構成するＭＲ素子のサイズが４μｍの複合型磁気ヘッドの、平均素子抵抗値は７５Ωであった。
【００３９】
上記実施例のサンプルと、上記比較例のサンプルの、素子抵抗値を比較すると、引き出し導線ＬMRを増厚させたことにより、効果的に低減化されたことが明らかになった。
また、同一サイズのＭＲ素子同士の素子抵抗値の差を極めて小さくすることができ、抵抗値のばらつきが効果的に抑制できたことが分かった。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明のマルチチャンネル磁気ヘッドの概略斜視図を示す。
【図２】本発明の複合型磁気ヘッドの概略断面図を示す。
【図３】磁気抵抗効果素子の媒体摺動面から見た概略構成図を示す。
【図４】引き出し導線ＬMRの増厚部分の一例の概略構成図を示す。
【図５】（ａ）複合型磁気ヘッドを上面から見た状態の概略平面図を示す。（ｂ）引き出し導線ＬMRと、引き出し導線ＬINDの形成状態の模式図を示す。
【図６】循環電流と、周囲の磁界の状態図を示す。
【図７】（ａ）引き出し導線ＬINDの往路用導線と復路用導線とが並列に配置された場合の磁界Ｈの模式的概略図を示す。（ｂ）引き出し導線ＬINDの往路用導線と復路用導線とが積層された場合の磁界Ｈの模式的概略図を示す。
【図８】再生用磁気ヘッドの素子抵抗値を示す。
【符号の説明】
【００４１】
１０……複合型磁気ヘッド、１１……再生用磁気ヘッド、１２……記録用磁気ヘッド、１３……下層シールド、１４……第１ギャップ膜、１５……磁気抵抗効果素子、１６……第２ギャップ膜、１７……上層シールド、２３……下層コア、２４……コイル、２４ａ……往路用導線、２４ｂ……復路用導線、２５……上層コア、２６……絶縁膜、２７……補助層、３０……端子パッド、３３……補助層、４０……絶縁物、５０……引き出し導線の増厚部分、１００……マルチチャンネル磁気ヘッド、１０１……下地層、１０２……ＭＲ層、１０３……非磁性導電層、１０４……軟磁性層、１０５ａ，１０５ｂ……永久磁石層、１０６ａ，１０６ｂ……電極層、ＬMR，ＬIND……引き出し導線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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