(57)【要約】      （修正有）【課題】テープ基板の両面に加工ができ、乾燥等によって撓んだり反ったりすることがない安定した品質のテープ基板が得られる、テープ基板の搬送装置及び搬送方法を提供する。【解決手段】テープ基板２０の搬送装置は、テープ基板２０を挟むグリッパ３４を有し、テープ基板２０の幅方向の端部の外側に配置され、掛け渡された部分を支持して、搬送経路の一部である第１の区間と、搬送経路から外れた第２の区間とを循環軌跡を描きながら移動する複数のサポータ３０を有する。第１の区間において、サポータ３０の移動する力の一部をグリッパ３４が閉じる力に変換する第１のガイド部６０と、テープ基板２０を挟んだ状態を維持する力を付与する第２のガイド部６２とを有する。グリッパ３４は、第１の区間ではテープ基板２０を挟むように閉じ、第２の区間ではテープ基板２０を解放するように開く。【選択図】図２
2005101127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送出器と受入器の間に、掛け渡されて搬送されるテープ基板の搬送装置であって、
前記テープ基板を挟むグリッパを有し、前記テープ基板の幅方向の端部の外側に配置され、前記テープ基板の掛け渡された部分を支持して、前記テープ基板の搬送経路の一部である第１の区間と、前記搬送経路から外れた第２の区間とを循環軌跡を描きながら移動する複数のサポータと、
前記第１の区間で、前記サポータの移動する力の一部を、前記グリッパが閉じる力に変換する第１のガイド部と、
前記第１の区間で、前記グリッパに前記テープ基板を挟んだ状態を維持する力を付与する第２のガイド部と、
を有し、
前記グリッパは、前記第１の区間では前記テープ基板を挟むように閉じ、前記第２の区間では前記テープ基板を解放するように開くテープ基板の搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載のテープ基板の搬送装置において、
前記サポータは、弾性を有する材料からなるテープ基板の搬送装置。
【請求項３】
請求項１に記載のテープ基板の搬送装置において、
前記グリッパの前記テープ基板に接触する部分は、摩擦係数の大きい材料からなるテープ基板の搬送装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載のテープ基板の搬送装置において、
前記グリッパを介して前記テープ基板の幅方向に張力を与える張力付与手段をさらに有し、
前記張力付与手段は、前記サポータに、前記テープ基板の幅方向の離れる方向に移動させる力を加えるテープ基板の搬送装置。
【請求項５】
テープ基板を、送出器と受入器の間に掛け渡すこと、及び、
前記テープ基板を、前記送出器から前記受入器へ送り出すこと、
を含み、
グリッパを有するサポータが、前記テープ基板の搬送経路の一部である第１の区間と、前記搬送経路から外れた第２の区間とを循環軌跡を描きながら移動し、
前記サポータが前記第２の区間から前記第１の区間に入るときに、前記サポータの移動する力の一部を、前記グリッパが閉じる力に変換し、前記変換された力によって、前記テープ基板の掛け渡された部分であって幅方向の端部を挟むように前記グリッパを作動させ、
前記第１の区間で、前記テープ基板の挟み込み状態を維持する力を前記グリッパに付与し、前記グリッパによって前記テープ基板を挟んで支持し、
前記サポータが前記第１の区間から前記第２の区間に入るときに、前記テープ基板の挟み込み状態を維持する前記力を解除することで、前記グリッパによる前記テープ基板の支持を解除するテープ基板の搬送方法。
【請求項６】
請求項５に記載のテープ基板の搬送方法において、
前記グリッパが前記テープ基板を挟んで支持している間に、前記サポータに、前記テープ基板から幅方向に離れる方向の力を付与することをさらに含むテープ基板の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ基板の搬送装置及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
テープ状であり、かつ長尺のフレキシブルフィルムからなる基板、すなわちテープ基板を、巻き出しリール側から繰り出して加工した後、巻き取りリールに巻き取る搬送に関しては、テープ基板上に形成されたガイド穴（スプロケットホール）に、通常、巻き取り側に設けられたスプロケットローラー歯を噛み合わせて、搬送するものがあった。
【０００３】
また、巻き出し側から巻き取り側に至る経路の途中の加工工程においては、テープ基板の下側にローラを設け、テープ基板の位置を規制して、テープ基板がそのローラ上を移動するようになっていた。
【０００４】
しかしながら、スプロケットローラー歯を使用した従来のテープ基板の搬送装置では、加工工程中のテープ基板は押えやガイド等がないフリーの状態であり、例えば、テープ基板にフォトレジスト等の薬液を塗布して乾燥させる場合に、テープ基板が撓んだり、反ったりすることがあり、テープ基板の品質の低下を招いていた。また、テープ基板がローラ上を移動するものがあったが、ローラとの接触により、ごみが付着してテープ基板の品質が低下したり、ローラと接する面にフォトレジスト液の塗布等の加工ができないといった課題があった。
【０００５】
本発明は上記の課題を解決するものであり、その目的は、テープ基板の両面に加工ができ、乾燥等によってテープ基板が撓んだり、反ったりすることがない安定した品質のテープ基板が得られる、テープ基板の搬送装置及び搬送方法を提供するものである。
【特許文献１】特開平５−１０２２４６号公報（図４）
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明に係るテープ基板の搬送装置は、
送出器と受入器の間に、掛け渡されて搬送されるテープ基板の搬送装置であって、
前記テープ基板を挟むグリッパを有し、前記テープ基板の幅方向の端部の外側に配置され、前記テープ基板の掛け渡された部分を支持して、前記テープ基板の搬送経路の一部である第１の区間と、前記搬送経路から外れた第２の区間とを循環軌跡を描きながら移動する複数のサポータと、
前記第１の区間で前記サポータの移動する力の一部を、前記グリッパが閉じる力に変換する第１のガイド部と、
前記第１の区間で前記グリッパに前記テープ基板を挟んだ状態を維持する力を付与する第２のガイド部と、
を有し、
前記グリッパは、前記第１の区間では前記テープ基板を挟むように閉じ、前記第２の区間では前記テープ基板を解放するように開く。本発明によれば、サポータにグリッパを有し、第１、第２のガイド部によりテープ基板の幅方向の端部をグリッパで挟みながら、サポータがテープ基板の搬送経路を移動する。また、サポータは、テープ基板を挟んで移動する区間と開放して移動する区間を有し、これらの区間が循環軌跡を描いている。これによって、テープ基板が撓んだり、反ったりすることがなく安定した品質のテープ基板が得られる。また、テープ基板の搬送経路内に、テープ基板の位置を規制するローラ等が必要ない。したがって、テープ基板がローラ等と接して発生していたごみが発生せず、テープ基板に付着することがない。また、従来ローラと接していた面にも加工ができることになる。
（２）このテープ基板の搬送装置において、
前記サポータは、弾性を有する材料からなっていてもよい。
（３）このテープ基板の搬送装置において、
前記グリッパの前記テープ基板に接触する部分は、摩擦係数の大きい材料からなっていてもよい。
（４）このテープ基板の搬送装置において、
前記グリッパを介して前記テープ基板の幅方向に張力を与える張力付与手段をさらに有し、
前記張力付与手段は、前記サポータに、前記テープ基板の幅方向の離れる方向に移動させる力を加えてもよい。これによれば、テープ基板の幅方向に張力を与えることができ、テープ基板が加工中に撓んだり、反ったりすることがない。したがって、テープ基板の品質が安定することになる。
（５）本発明に係るテープ基板の搬送方法は、
テープ基板を、送出器と受入器の間に掛け渡すこと、及び、
前記テープ基板を、前記送出器から前記受入器へ送り出すこと、
を含み、
グリッパを有するサポータが、前記テープ基板の搬送経路の一部である第１の区間と、前記搬送経路から外れた第２の区間とを循環軌跡を描きながら移動し、
前記サポータが前記第２の区間から前記第１の区間に入るときに、前記サポータの移動する力の一部を、前記グリッパが閉じる力に変換し、前記変換された力によって、前記テープ基板の掛け渡された部分であって幅方向の端部を挟むように前記グリッパを作動させ、
前記第１の区間で、前記テープ基板の挟み込み状態を維持する力を前記グリッパに付与し、前記グリッパによって前記テープ基板を挟んで支持し、
前記サポータが前記第１の区間から前記第２の区間に入るときに、前記テープ基板の挟み込み状態を維持する前記力を解除することで、前記グリッパによる前記テープ基板の支持を解除する。本発明によれば、サポータにグリッパを有し、サポータの移動する力の一部でグリッパを作動させて、テープ基板の幅方向の端部を挟みながら、サポータがテープ基板の搬送経路を移動する。また、サポータはテープ基板を挟んで移動する区間と開放して移動する区間を有し、これらの区間が循環軌跡を描いている。これによって、テープ基板が撓んだり、反ったりすることがなく安定した品質のテープ基板が得られる。また、テープ基板の搬送経路内に、テープ基板の位置を規制するローラ等が必要ない。したがって、テープ基板がローラ等と接して発生するごみが、テープ基板に付着することがない。また、従来ローラと接していた面にも加工ができることになる。
（６）このテープ基板の搬送方法において、
前記グリッパが前記テープ基板を挟んで支持している間に、前記サポータに、前記テープ基板から幅方向に離れる方向の力を付与することをさらに含んでもよい。これによれば、テープ基板の幅方向に張力を与えることができ、テープ基板が加工中に撓んだり、反ったりすることがない。したがって、テープ基板の品質が安定することになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施の形態に係るテープ基板の搬送装置を説明する図であり、図２は、本発明の実施の形態に係るテープ基板の搬送装置の部分斜視図である。また、図３は、本実施の形態に係るテープ基板の搬送装置の部分平面図である。図４は、図３のIV−IV線断面図であり、複数のサポータ３０の一部を省略した図である。
【０００８】
テープ基板２０は、送出器１２に巻かれて送り出され、搬送装置１０を通過して受入器１４に巻き取られる。搬送装置１０は、例えば加工装置内に設置されて、加工工程中のテープ基板２０を搬送する。搬送装置１０は、テープ基板２０の幅方向に対称の構成となっている。送出器１２及び受入器１４は、例えばリールであってもよい。
【０００９】
テープ基板２０は、長尺のテープ状のフレキシブル基板である。テープ基板２０は、例えば基材２２上に銅箔等の金属箔をラミネート等により形成して、フォトレジスト液の塗布や露光、現像、エッチング等の工程を経て、配線パターン等が設けられて回路基板等になる。基材２２は、例えばポリイミド樹脂等の材料からなる。テープ基板２０は、第１の部分２４と第２の部分２６を有する。第１の部分２４は、所望の加工工程、例えばフォトレジスト液を塗布する工程で、フォトレジスト液が塗布される領域である。第２の部分２６は、例えばガイド穴（スプロケットホール）を有する領域で、加工工程で加工がされない領域である。
【００１０】
サポータ３０は、基台部３２及びグリッパ３４を有する。サポータ３０は、例えばプラスチック等の材料からなり、金型を用いた成型等で、基台部３２やグリッパ３４等が一体的に作製される。サポータ３０は、連結部材５０（例えばベルト）に複数が連結されて、テープ基板２０の幅方向の両端部の外側に配置される。また、図４に示すように、複数のサポータ３０は、そのうちの一部がテープ基板２０の搬送経路中にあって、循環軌跡５４を描くように配置される。循環軌跡５４は、図４に示す例では、テープ基板２０の第１、第２の部分２４、２６の面に対してほぼ直角に位置する平面上に描かれるが、第１、第２の部分２４、２６の面とほぼ同一平面で描かれるようになっていてもよい。
【００１１】
基台部３２は、固定部３８とテンションピン４２を含む。固定部３８は、例えばスリット４０を有し、嵌合等の固定方法で、連結部材５０に固定される。テンションピン４２は、固定部３８から突出した軸であってもよい。テンションピン４２は、張力付与手段５２と接触して、テープ基板２０に張力を与えてもよい。張力付与手段５２は、テープ基板２０の幅方向の外側に、テープ基板２０の搬送経路に沿って設けられてもよい。張力付与手段５２は、第２のガイド部６２が設けられる位置とほぼ同じ位置から設けられてもよい。張力付与手段５２は、テンションピン４２を介して、サポータ３０をテープ基板２０の幅方向の離れる方向、すなわち、外側に移動させるような力を付与する形状をなす。図２に示す例では、棒状の屈曲した形状をなす。張力付与手段５２は、テンションピン４２が最初に当接する部分から、徐々にテープ基板２０の幅方向の離れる方向に延びて張力を与え、屈曲して、張力を保持するようにテープ基板２０の幅方向の端部と平行して設けられている。テンションピン４２の断面形状は、例えば円形状であってもよい。こうすることで、張力付与手段５２に接触して移動するときに、接触抵抗を小さくすることができ、移動がスムースに行われる。なお、本実施の形態では、テープ基板２０の幅方向に張力を与える手段として、テンションピン４２と棒状の張力付与手段５２を用いたが、サポータ３０に、テープ基板２０の幅方向の離れる方向に力を加える構造であれば、本実施の形態に限定されない。
【００１２】
グリッパ３４は、開閉する一対の掴み部である。グリッパ３４は、基台部３２に薄肉部４４を介して連結していてもよい。薄肉部４４を有することで、グリッパ３４が可動となり、開閉可能となる。グリッパ３４は、規制されないときは開いた状態である。グリッパ３４の断面形状は、例えば半円形状である。こうすることで、例えばグリッパ３４と接触する第１、第２のガイド部６０、６２を棒状にした場合に、点接触して摺動抵抗が小さくなり、スムースに移動することができる。第１、第２のガイド部６０、６２との接触抵抗が小さくなる形状であれば、半円形状でなくてもよい。また、図２に示す例では、基台部３２とグリッパ３４等は一体成型であるが、グリッパ３４を別体として、基台部３２に回動可能に支持して、グリッパ３４の間に弾性体を挟んで、常時は開く方向に力を加える構造でもよい。こうすることで、安定した開閉が実施できる。
【００１３】
第１、第２のガイド部６０、６２は、図２に示す例では、テープ基板２０の厚み方向の両側と幅方向の両側に、テープ基板２０の幅方向の端部の外側に対称に設けられている。第１のガイド部６０は、グリッパ３４に接触して、サポータ３０の移動する力の一部を、グリッパ３４が閉じる力に変換する機能を持つ。一対の第１のガイド部６０は、例えばテープ基板２０の搬送方向の上流側に口を開くようなテーパ形状をなす。第１のガイド部６０は、徐々にグリッパ３４を閉じさせ、テープ基板２０の第２の部分２６を挟ませる。第２のガイド部６２は、第１のガイド部６０と連結している。第２のガイド部６２は、グリッパ３４が閉じて、テープ基板２０を挟んだ状態を維持する力を付与する機能を持つ。第２のガイド部６２は、テープ基板２０の搬送経路に対し、概略平行に配置されている。第１、第２のガイド部６０、６２は、例えば棒状であってもよい。また、第１、第２のガイド部６０、６２は、棒状に限らず、サポータ３０が移動する力を、グリッパ３４が閉じる方向の力に変換する形状や機構であってもよい。
【００１４】
本実施の形態によれば、テープ基板２０の加工工程が実施されない第２の部分２６を、サポータ３０のグリッパ３４が挟んで移動することにより、テープ基板２０が搬送される。したがって、加工工程中のテープ基板２０の下側にローラ等が必要なく、テープ基板２０の裏面、すなわち、従来ローラ等と接触していた面にも加工ができる。また、グリッパ３４がテープ基板２０を挟み、張力を与えることにより、乾燥工程等でテープ基板２０が撓んだり、反ったりすることを防止できる。
【００１５】
次に、本発明の実施の形態に係るテープ基板の搬送方法について、図４及び図５を参照しながら説明する。図５（Ａ）〜図５（Ｄ）は、本発明の実施の形態に係るグリッパ３４の動作を説明する図である。テープ基板２０は、送出器１２と受入器１４に掛け渡され、図４に示す例では、図中左から右へ移動する。移動させる力を付与する手段は、受入器１４や受入器１４側に設けられた駆動手段（図示せず）等であってもよい。
【００１６】
サポータ３０は、循環軌跡５４を描いて、テープ基板２０の搬送経路に移動し、第１のガイド部６０に接触する。一対の第１のガイド部６０は、グリッパ３４の開きよりも搬送方向上流側が大きく開いているため、図５（Ａ）に示すように、グリッパ３４は、第１のガイド部６０の内側に入るような位置関係になる。次いで、図５（Ｂ）に示すように、第１のガイド部５０間の寸法が小さくなるにしたがって、徐々にグリッパ３４の開き角を狭めるように作動させる。次いで、図５（Ｃ）に示すように、第１のガイド部６０の終端、すなわち第２のガイド部６２との境界で、グリッパ３４がテープ基板２０を挟む。サポータ３０は、テープ基板２０の幅方向の両側に設けられており、ほぼ同時にグリッパ３４がテープ基板２０の第２の部分２６を挟む。このとき、さらに若干第１のガイド部６０間の寸法を小さくとれば、グリッパ３４が確実にテープ基板２０を挟むことになる。また、サポータ３０が弾性を有する材料からなっていれば、サポータ３０の第１のガイド部６０と接する部分が若干撓むことになる。サポータ３０は、連結部材５０に固定されているため、次のサポータ３０が移動して、第１のガイド部６０によってテープ基板２０を挟む。この繰り返しにより、テープ基板２０は、次々とサポータ３０に挟まれる。
【００１７】
次いで、サポータ３０が、第２のガイド部６２へ移動して、グリッパ３４がテープ基板２０を挟んだまま、第２のガイド部６２を移動する。第２のガイド部６２は、テープ基板２０の挟み込み状態を維持する力をグリッパ３４に付与している。このため、グリッパ３４は、テープ基板２０を挟んで支持する状態を保って移動する。この工程の間に、図５（Ｃ）に示すように、サポータ３０のテンションピン４２が張力付与手段５２と接触してもよい。サポータ３０の移動により、張力付与手段５２にテンションピン４２がガイドされて、テープ基板２０の幅方向の離れる方向に移動するような力が付与されて、テープ基板２０に張力が与えられてもよい。
【００１８】
次いで、図５（Ｄ）に示すように、サポータ３０が、第２のガイド部６２から外れると、テープ基板２０の挟み込み状態を維持する力が解除される。これにより、グリッパ３４が開き、テープ基板２０を支持する力が解除され、テープ基板２０を解放する。グリッパ３４は、弾性力により当初の形状に戻る。サポータ３０は、グリッパ３４を開いたまま連結部材５０で再度第１のガイド部６０に接触する位置まで、循環軌跡５４を描いて移動する。この連続的な繰り返しによりテープ基板２０が移動し、搬送される。
【００１９】
本実施の形態によれば、テープ基板２０の加工工程が実施されない第２の部分２６を、サポータ３０のグリッパ３４が挟んで移動することにより、テープ基板２０が搬送される。したがって、加工工程中のテープ基板２０の下側にローラ等が必要なく、テープ基板２０の裏面、すなわち従来ローラ等と接触していた面にも加工ができる。また、グリッパ３４がテープ基板２０を挟んで移動することにより、乾燥工程等でテープ基板２０が撓んだり、反ったりすることを防止できる。
【００２０】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態に係るテープ基板の搬送装置を説明する図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るテープ基板の搬送装置の部分斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るテープ基板の搬送装置の部分平面図である
【図４】図３のIV−IV線断面図である。
【図５】図５（Ａ）〜図５（Ｄ）は、本発明の実施の形態に係るグリッパの動作を説明する図である。
【符号の説明】
【００２２】
１０…搬送装置  １２…送出器  １４…受入器  ２０…テープ基板  ２２…基材  ２４…第１の部分  ２６…第２の部分  ３０…サポータ  ３２…基台部  ３４…グリッパ  ３８…固定部  ４０…スリット  ４２…テンションピン  ４４…薄肉部  ５０…連結部材  ５２…張力付与手段  ５４…循環軌跡  ６０…第１のガイド部  ６２…第２のガイド部
【図１】
2005101127.tif 000003
【図２】
2005101127.tif 000004
【図３】
2005101127.tif 000005
【図４】
2005101127.tif 000006
【図５】
2005101127.tif 000007