(57)【要約】【課題】容器を少なくとも手作業により支持台上に載置する際に、その底面に設けられた凹部内にスムースに挿入し得る位置決め部材を提供する。【解決手段】搬送用容器１を少なくとも手作業により支持台１１に載置する際に用いられ且つ支持台１１側に設けられるとともに当該容器１の底面に形成された溝状の案内凹部３に挿脱自在な位置決め部材１４であって、柱状にされた胴体部１５の上部に尖り状のガイド部１６が形成されてなる位置決め部材本体１７の材質として、ステンレス鋼を用いるとともに、この位置決め部材本体１７の表面に、ポリフッ化エチレンとニッケルとを共析させてなる皮膜１８を形成したものである。【選択図】      図３
2005101241.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器を少なくとも手作業により支持台に載置する際に用いられ且つ支持台側に設けられるとともに容器の底面に形成された案内凹部に挿脱自在な位置決め部材であって、
柱状にされた胴体部の上部に尖り状のガイド部が形成されてなる位置決め部材本体の材質として、ステンレス鋼を用いるとともに、
この位置決め部材本体の表面に、ポリフッ化エチレンとニッケルとを共析させてなる皮膜を形成したことを特徴とする位置決め部材。
【請求項２】
ガイド部の外形が、円錐状または球面状であることを特徴とする請求項１に記載の位置決め部材。
【請求項３】
請求項１または２に記載の位置決め部材が設けられて、合成樹脂製の容器を支持する支持台であって、
容器底面の３箇所に設けられた凹状部に対応する位置にそれぞれ位置決め部材を配置したことを特徴とする容器の支持台。
【請求項４】
位置決め部材本体をアースさせたことを特徴とする請求項３に記載の容器の支持台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容器を所定位置に支持する際に用いられる位置決め部材およびこの位置決め部材を具備する容器の支持台に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、シリコンウエハなどの半導体基板を製造する場合、複数の製造工程を経ることになるが、製造途中の半導体基板については、塵埃を嫌うため、通常、搬送用容器に収納された状態で各製造工程間を搬送されることになる。
【０００３】
ところで、搬送用容器の搬送作業については、自動搬送車両が用いられて省力化が図られており、したがって工場内には、自動搬送車両同士間および他のハンドリング装置に対する搬送用容器の受渡し用の支持台が設けられている。
【０００４】
そして、この支持台には、容器の受け渡しを確実に行うために、容器の位置決め部材が具備されており、従来、この位置決め部材としては、容器の下面（底面）に形成された溝状の凹部に挿脱自在にされるとともにピン状の突起が用いられていた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−２２３５５２号（図１参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、搬送用容器の受け渡しについては、自動搬送装置に設けられた移載装置により自動的に行う場合と、作業員による手作業にて行う場合とがある。そして、支持台に設けられる位置決め部材の材質としては、ステンレス鋼が用いられて長寿命化が図られているが、作業員の手作業による場合には、位置決め部材の凹部への挿入をスムースに行わせるために、その材質としては、例えば表面が滑りやすい、ポリフッ化エチレンを用いることが考えられる。
【０００６】
搬送用容器の受け渡しを移載装置にて行う場合には、その凹部が位置決め部材上に正確に案内されるため、より耐久性を有するステンレン鋼を用いても支障はないが、作業員が行う場合には、正確な位置合わせを行うことができないため、どうしても位置決め部材が凹部側に接触する場合が多々あり、したがってポリフッ化エチレンを用いた場合には、磨耗に対する耐久性が低くなるとともに、磨耗により生じた塵埃が静電気により位置決め部材側に付着するため、空気清浄装置による完全な除去が難しいという問題がある。特に、シリコンウエハの製造システムにおいては、塵埃の発生を極力避ける必要がある。
【０００７】
そこで、本発明は、容器を少なくとも手作業により支持台上に載置する際に、その下面に設けられた凹部内にスムースに挿入し得るとともに塵埃の発生を抑制し得る位置決め部材およびこの位置決め部材が設けられた容器の支持台を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１に係る位置決め部材は、容器を少なくとも手作業により支持台に載置する際に用いられ且つ支持台側に設けられるとともに容器の下面に形成された案内凹部に挿脱自在な位置決め部材であって、
柱状にされた胴体部の上部に尖り状のガイド部が形成されてなる位置決め部材本体の材質として、ステンレス鋼を用いるとともに、
この位置決め部材本体の表面に、ポリフッ化エチレンとニッケルとを共析させてなる皮膜を形成したものである。
【０００９】
また、本発明の請求項２に係る位置決め部材は、請求項１に記載の位置決め部材におけるガイド部の外形を、円錐状または球面状としたものである。
さらに、本発明の請求項３に係る容器の支持台は、請求項１または２に記載の位置決め部材が設けられて、合成樹脂製の容器を支持する支持台であって、
容器下面の３箇所に設けられた凹状部に対応する位置にそれぞれ位置決め部材を配置したものである。
【００１０】
また、本発明の請求項４に係る容器の支持台は、請求項３に記載の支持台における位置決め部材本体をアースさせたものである。
【発明の効果】
【００１１】
上記位置決め部材および容器の支持台の構成によると、作業員が手作業により、容器を支持台に載置する場合には、容器側の案内凹部に位置決め部材が接触しながら挿入されることになるが、このとき、位置決め部材の表面には、ポリフッ化エチレンとニッケルとを共析させてなる皮膜が形成されているため、案内凹部への挿入がスムースに行われる。さらに、この皮膜はニッケルが共析されたものであることから、ポリフッ化エチレンだけの場合に比べて、耐磨耗強度が向上し長寿命化が図られている。
【００１２】
さらに、容器の位置決め動作時に、合成樹脂製の案内凹部と合成樹脂製の位置決め部材とが接触して静電気が発生することになるが、この静電気は、位置決め部材本体がステンレス鋼で形成されるとともにアースされているため、この静電気は外部に放電されて除去され、したがって塵埃が付着するのが防止されるので、空気中に漂っているまたは当該位置決め部材の案内凹部との接触により発生する塵埃は、工場内に設けられている空気清浄装置にスムースに吸引される。すなわち、工場内の清浄度を維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る位置決め部材および容器の支持台の実施の形態について説明する。
［実施の形態］
本実施の形態に係る位置決め部材および容器の支持台を、図１〜図３に基づき説明する。
【００１４】
本実施の形態にて説明する容器は、シリコンウエハの製造システムにおいて、シリコンウエハを密閉状態で所定の各製造工程間を搬送するために用いられる搬送用容器であって、円盤状のシリコンウエハを複数枚纏めて収納し搬送するためのものである。
【００１５】
そして、この製造システムにおける搬送用容器の搬送については、自動搬送車両が用いられて自動化が図られており、工場内の所定位置には、自動搬送車両との間で容器を受け渡すための容器の支持台が設けられるとともに、この支持台側には、容器の下面に設けられた被位置決め部と協働して容器の位置決めを行うための位置決め部材が設けられている。
【００１６】
以下、搬送用容器および位置決め部材について具体的に説明する。
図１および図２に示すように、この搬送用容器（以下、容器と称す）１は、天井走行式の自動搬送車両（図示せず；以下、搬送車両と称す）から垂下された保持具に係脱自在な円盤状の係合突部２が上面に設けられるとともに製造途中におけるシリコンウエハ（以下、物品ともいう）を収納して搬送するためのもので、合成樹脂、例えばポリカーボネイトにより形成されている。そして、この容器１の下面（底面）には、位置決め部材を挿入（案内）し得る被位置決め部である溝状の案内凹部３が等間隔（１２０度おきに）で且つ放射方向でもって３個（勿論、３個に限定されるものでもない）設けられている。なお、この案内凹部３は、具体的には、容器１の下面に設けられる取付台板４に形成されている。上記案内凹部３すなわち取付台板４についても、容器１と同じ合成樹脂、例えばポリカーボネイトが用いられている。
【００１７】
上記支持台１１は、例えば支柱部１２と、この支柱部１２に立設された馬蹄形状の取付部１３と、この取付部１３の上面に且つ例えば所定半径の円周上位置に１２０度間隔で立設された位置決め部材１４とから構成されている。勿論、この位置決め部材１４の位置すなわち配置間隔は、容器１側に設けられた案内凹部３の配置間隔に一致されている。
【００１８】
上記各位置決め部材１４は、図３に示すように、円柱状にされた胴体部１５の上部に先端が徐々に細くされたガイド部１６が形成されてなる位置決め部材本体１７の材質としてステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ４３０）が用いられるとともに、この位置決め部材本体１７の表面に、ポリフッ化エチレン（ＰＴＦＥ）とニッケルとを共析させてなる皮膜１８が形成されたものである。この皮膜１８の厚みは、５〜２０μｍの範囲であり（好ましくは、１０μｍ程度）、その成膜後に４００℃付近まで加熱されて熱処理が行われる。また、この位置決め部材本体１７には、アースが施されて、例えば当該位置決め部材１４の案内凹部３への挿入接触時に発生する静電気を逃がすようにされている。
【００１９】
さらに、上記ガイド部１６の表面形状としては、その頂部が少し切断された截頭円錐形状にされるとともにその表面は僅かに膨らむような球面状にされている（勿論、ガイド部の形状そのものを球面形状に構成してもよく、要するに、案内凹部内に案内しやすいような尖り状にされていればよい）。
【００２０】
次に、容器１の下面に設けられた溝状の案内凹部３について説明する。
この案内凹部３は、図２および図３に示すように、支持台１１側に設けられた３個の位置決め部材１４の位置に対応して設けられており、またこれら各案内凹部３における主たるガイド機構は、容器１の下面から「ハ」の字形状でもって突設して設けられた両側壁部３ａ，３ａと前後の端壁部３ｂ，３ｂとから構成されている。勿論、この案内凹部３の下端の開口幅Ｗは、位置決め部材１４の幅（直径である）Ｄよりも広くされるととも上端の開口幅については位置決め部材１４の幅よりも狭くされ、またその長さＬは、当該案内凹部３内に位置決め部材１４が例えば２個収まるような長さ（２×Ｄよりも長くされている）でもって設けられている。なお、図３においては、取付台板４から突設された案内凹部３については、簡略化して図示している。また、案内凹部３の外周寄り部分には、支持台１１側の位置決め部材１４が挿入されるのに対し、内周寄り部分には、当該支持台１１の位置決め部材１４が挿入された状態で、搬送車両に設けられた移載装置（または、ハンドリング装置）により保持する際の保持具２１側に設けられた位置決め部材２２を挿入し得るようにされている。
【００２１】
そして、上述したように、上記位置決め部材１４については、表面に皮膜１８が形成され、さらにこの皮膜１８自体が、ポリフッ化エチレンとニッケルとを共析［両成分の個溶体から各成分が析出した状態］させてなるものであるため、ポリフッ化エチレンの滑らかさにより位置決め部材１４の案内凹部３へのスムースな挿入が行われるとともに、ニッケルの強度により、優れた耐磨耗性が得られるものである。
【００２２】
上記構成において、容器１の受け渡し作業について説明する。
まず、搬送車両側に載置された容器１を支持台１１上に支持させる場合、搬送車両側の移載装置における保持具２１により、容器１を支持台１１の上面に、且つその下面の案内凹部３が支持台１１側に設けられた位置決め部材１４に対応するように位置に移動させ、そして保持具２１により容器１を支持台１１上に降ろすことにより、位置決め部材１４が案内凹部３に挿入されて、容器１が支持台１１上の所定位置に位置決めされる。一方、容器１を、例えば別の搬送車両にて搬送する場合には、当該搬送車両側の移載装置における保持具２１の先端部に設けられた位置決め部材２２を容器１の案内凹部３の内周寄り部分に挿入させて保持具２１を上昇させることにより、容器１が支持台１１から持ち上げられて、他の場所への搬送が行われる。
【００２３】
ところで、搬送車両側の移載装置により、自動的に、容器１を支持台１１上に載置する場合には、位置決め動作が非常に正確に行われるため、位置決め部材１４の案内凹部３内への挿入動作はスムースに行われる。
【００２４】
これに対し、作業員が手作業により、容器１を支持台１１に載置する場合には、移載装置における保持具にて自動的に載置動作を行うような精度でもって挿入することができないため、通常は、容器１の下面の案内凹部３を形成する左右の両側壁部３ａ，３ａ（または、端壁部３ｂ，３ｂ）に、位置決め部材１４のガイド部１６が接触しながら、当該位置決め部材１４が案内凹部３内に挿入されることになるが、このとき、位置決め部材１４の表面には、ポリフッ化エチレンとニッケルとを共析させてなる皮膜１８が形成されているため、案内凹部３はスムースに位置決め部材１４により案内される。さらに、この皮膜１８はニッケルが共析されたものであることから、ポリフッ化エチレンだけの場合に比べて、耐磨耗強度が向上し長寿命化が図られている。
【００２５】
そして、さらに容器１の位置決め動作時に、合成樹脂製の案内凹部３と合成樹脂製の位置決め部材１４とが接触して静電気が発生することになるが、この静電気は、位置決め部材本体１７がステンレス鋼で形成されるとともにアースされているため、外部に放電されて除去される。
【００２６】
静電気が除去されると、位置決め部材１４には、合成樹脂の塵埃が付着するのが防止されるため、空気中に漂っているまたは当該位置決め部材１４の案内凹部３との接触により発生する塵埃は、工場内に設けられている空気清浄装置によりスムースに吸引され、したがって工場内の清浄度を良好に維持することができる。
【００２７】
なお、上記実施の形態においては、容器としてシリコンウエハなどの半導体装置を収納するものについて説明したが、勿論、このような物品以外を収納する容器およびその支持台についても適用し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態に係る位置決め部材および容器の支持台の概略構成を示す斜視図である。
【図２】同容器の底面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ矢視図である。
【符号の説明】
【００２９】
１      搬送用容器
３      案内凹部
１１      支持台
１４      位置決め部材
１５      胴体部
１６      ガイド部
１７      位置決め部材本体
１８      皮膜
【図１】
2005101241.tif 000003
【図２】
2005101241.tif 000004
【図３】
2005101241.tif 000005