(57)【要約】【課題】被めっき部品や通電媒介物の撹拌を効果的に行い、被めっき部品に均一なめっきを施すことが可能なめっき方法およびめっき装置を提供する。【解決手段】容器１４に所定の運動を与え、容器１４内の被めっき部品１０および通電用メディア１９に、一方向に流動する正方向流動と、逆方向に流動する逆方向流動を繰り返して行わせつつ、陰極用電極１７に通電することによりめっきを行う。  また、容器の正方向回転運動と逆方向回転運動の間に、容器の回転を一旦停止させる工程を設ける。  容器の回転運動を一旦停止させた後、停止前の容器の回転運動により被めっき部品および通電用メディアが流動している間に、容器に逆方向の回転運動を与える。  また、容器が移動した軌跡が略円形となるような運動が一方向及びその逆方向に繰り返して与えられることにより、被めっき部品および通電用メディアに、正方向流動と、逆方向流動を繰り返して行わせる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
陰極を備えた容器内に被めっき部品と通電用メディアを収容し、前記容器に所定の運動を与えることにより、めっき液中で前記容器内の被めっき部品および通電用メディアに、一方向に流動する正方向流動と、逆方向に流動する逆方向流動を繰り返して行わせつつ、前記容器内の陰極に通電することにより被めっき部品にめっきを施すことを特徴とするめっき方法。
【請求項２】
前記容器に、一方向に回転させる正方向回転運動と、逆方向に回転させる逆方向回転運動を繰り返して与えることにより、前記被めっき部品および通電用メディアに正方向流動と、逆方向流動を繰り返して行わせるようにしたことを特徴とする請求項１記載のめっき方法。
【請求項３】
前記容器の正方向回転運動と逆方向回転運動の間に、容器の回転を一旦停止させる工程を設けたことを特徴とする請求項２記載のめっき方法。
【請求項４】
容器の回転運動を一旦停止させた後、停止前の容器の回転運動により被めっき部品および通電用メディアが流動している間に、容器に逆方向の回転運動を与えることを特徴とする請求項３記載のめっき方法。
【請求項５】
前記容器が、底壁の略中心部において容器保持部材により支持されているとともに、前記容器保持部材に接続された駆動手段により、前記容器保持部材を介して前記容器に駆動力が伝達され、容器自体は回転せず、容器が移動した軌跡が略円形となるような運動が一方向及びその逆方向に繰り返して前記容器に与えられるように構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のめっき方法。
【請求項６】
被めっき部品および通電用メディアを収容する容器と、
前記容器に、一方向に回転させる正方向回転運動と、逆方向に回転させる逆方向回転運動を繰り返して与える駆動手段と、
前記容器が浸漬されるめっき液を収容するめっき槽と
を具備することを特徴とするめっき装置。
【請求項７】
前記容器が、底壁の略中心部において容器保持部材により支持されているとともに、前記容器保持部材に接続された駆動手段により、前記容器保持部材を介して前記容器に駆動力が伝達され、容器自体は回転せず、前記容器が移動した軌跡が略円形となるような正方向回転運動及び逆方向回転運動を行うように構成されていることを特徴とする請求項６記載のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、めっき方法およびめっき装置に関し、詳しくは、例えば、チップ型の積層セラミックコンデンサなどのように、セラミック素子（チップ）の表面に外部電極が形成された電子部品にめっきを施して、外部電極の表面にめっき膜を形成する場合などに用いられるめっき方法およびめっき装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
チップ型の電子部品の代表的なものの１つに、図２(ａ)，(ｂ)に示すような積層セラミックコンデンサがある。この積層セラミックコンデンサは、複数の内部電極３がセラミック層２を介して互いに対向するように配設され、かつ、その一端側が交互に異なる側の端面に引き出されたセラミック素子１の両端側に、内部電極３と導通するように一対の外部電極４が配設された構造を有している。なお、外部電極４はＡｇ粉末を導電成分とする導電性ペーストを塗布、乾燥、焼成することにより形成されており、外部電極４の表面にはＡｇ電極のはんだくわれを防止するためのＮｉめっき膜５およびはんだ付け性を向上させるためのＳｎめっき膜６が形成されている。
【０００３】
この積層セラミックコンデンサのように、外部電極にめっき膜を形成する方法としては、例えば、図３(ａ)，(ｂ)に示すようなめっき装置を用いて外部電極にめっき膜を形成する方法が知られている。
この方法に用いられるめっき装置は、偏心モーター５１、偏心モーター５１に偏心荷重を付加するための偏心荷重５２、偏心モーター５１を支持するモーター支持枠部材５３、振動受板５４、および振動受板５４を支持するバネ５５とを備えた振動発生手段５６と、被めっき部品１０と、通電媒介物としての通電用メディア（金属球メディア）１９が収容される、少なくとも一部がめっき液を通過させるような材料で構成された容器５７と、下端側が容器５７を保持するとともに、上端側が振動発生手段５６に接続された棒状の容器保持部材５８とを備えており、容器５７の内底面には、陰極（図示せず）が配設されている。
【０００４】
そして、このめっき方法においては、被めっき部品を十分に撹拌できるように、図３(ａ)，(ｂ)に示すように、被めっき部品１０および通電用メディア（通電用メディア）１９とともに、撹拌用メディア（絶縁物粒体）２０を容器５７に添加して、容器を振動させながらめっきを行うように構成されている。（特許文献１）。
【０００５】
このめっき装置においては、上述のように、被めっき部品１０および通電用メディア１９を容器に添加するとともに、撹拌用メディア（絶縁物粒体）２０を容器５７に添加するようにしており、被めっき物を効果的に撹拌することが可能になる。
【０００６】
しかしながら、絶縁物粒体２０の大きさや量によっては、絶縁物粒体２０が被めっき部品１０や通電用メディア１９とともに一塊りになって流動したり、絶縁物粒体２０自身が滞留して被めっき部品１０および通電用メディア１９の流動を妨げたりする場合があり、被めっき部品１０どうしや被めっき部品１０と通電用メディア１９の合着（くっつき）が発生する場合がある。
【０００７】
また、被めっき部品１０および通電用メディア１９の流動が妨げられると、容器５７の内部で被めっき部品１０と通電用メディア１９の接触状態にばらつきが生じ、外部電極への通電が不均一になり、めっき膜の膜厚にばらつきが発生する。
そのため、被めっき部品１０および通電用メディア１９の大きさや量によって絶縁物粒体２０の大きさや量を適宜設定しなければならず、工程が複雑化し、生産性が低下するという問題点がある。
【０００８】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、被めっき部品や通電用メディアの撹拌を効果的に行うことが可能で、被めっき部品に均一なめっきを施すことが可能なめっき方法およびめっき装置を提供することを目的とする。
【特許文献１】特開平５−７０９９９号公報
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本願発明（請求項１）のめっき方法は、
陰極を備えた容器内に被めっき部品と通電用メディアを収容し、前記容器に所定の運動を与えることにより、めっき液中で前記容器内の被めっき部品および通電用メディアに、一方向に流動する正方向流動と、逆方向に流動する逆方向流動を繰り返して行わせつつ、前記容器内の陰極に通電することにより被めっき部品にめっきを施すことを特徴としている。
【００１０】
また、請求項２のめっき方法は、前記容器に、一方向に回転させる正方向回転運動と、逆方向に回転させる逆方向回転運動を繰り返して与えることにより、前記被めっき部品および通電用メディアに正方向流動と、逆方向流動を繰り返して行わせるようにしたことを特徴としている。
【００１１】
また、請求項３のめっき方法は、前記容器の正方向回転運動と逆方向回転運動の間に、容器の回転を一旦停止させる工程を設けたことを特徴としている。
【００１２】
また、請求項４のめっき方法は、容器の回転運動を一旦停止させた後、停止前の容器の回転運動により被めっき部品および通電用メディアが流動している間に、容器に逆方向の回転運動を与えることを特徴としている。
【００１３】
また、請求項５のめっき方法は、前記容器が、底壁の略中心部において容器保持部材により支持されているとともに、前記容器保持部材に接続された駆動手段により、前記容器保持部材を介して前記容器に駆動力が伝達され、容器自体は回転せず、容器が移動した軌跡が略円形となるような運動が一方向及びその逆方向に繰り返して前記容器に与えられるように構成されていることを特徴としている。
【００１４】
また、本願発明（請求項６）のめっき装置は、
被めっき部品および通電用メディアを収容する容器と、
前記容器に、一方向に回転させる正方向回転運動と、逆方向に回転させる逆方向回転運動を繰り返して与える駆動手段と、
前記容器が浸漬されるめっき液を収容するめっき槽と
を具備することを特徴としている。
【００１５】
また、請求項７のめっき装置は、前記容器が、底壁の略中心部において容器保持部材により支持されているとともに、前記容器保持部材に接続された駆動手段により、前記容器保持部材を介して前記容器に駆動力が伝達され、容器自体は回転せず、前記容器が移動した軌跡が略円形となるような正方向回転運動及び逆方向回転運動を行うように構成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１６】
本願発明（請求項１）のめっき方法では、容器に所定の運動を与え、容器内の被めっき部品および通電用メディアに、一方向に流動する正方向流動と、逆方向に流動する逆方向流動を繰り返して行わせつつ、陰極に通電することによりめっきを行うようにしているので、容器内で被めっき部品と通電用メディアを確実に撹拌し、流動させることが可能になり、被めっき部品及び通電用メディアの滞留を抑制、防止することが可能になる。したがって、被めっき部品どうしあるいは被めっき部品および通電用メディアの合着（くっつき）の発生を防止することが可能になるとともに、被めっき部品と通電用メディアの接触状態を均一に保って、被めっき部品に膜厚が均一なめっき膜を形成することが可能になる。
【００１７】
なお、本願発明のめっき方法においては、被めっき部品と通電用メディアだけではなく、撹拌用メディア（絶縁物粒体）を容器に添加してめっきを行うことも可能であり、その場合にはさらに撹拌効果を向上させることが可能になる。
また、容器の具体的な形状や構成には特に制約はなく、容器が備えている陰極（電極）の配設態様にも特別の制約はない。
【００１８】
また、請求項２のめっき方法のように、容器に、一方向に回転させる正方向回転運動と、逆方向に回転させる逆方向回転運動を繰り返して与えることにより、被めっき部品および通電用メディアに正方向流動と、逆方向流動を繰り返して行わせるようにした場合、容器内で被めっき部品と通電用メディアをより確実に撹拌することが可能になり、本願発明を実効あらしめることができる。
【００１９】
また、請求項３のめっき方法のように、容器の正方向回転運動と逆方向回転運動の間に、容器の回転を一旦停止させる工程を設けるようにした場合、回転方向を切り換える際の撹拌効率を大きくして本願発明をより実効あらしめることができる。
【００２０】
また、請求項４のめっき方法のように、容器の回転運動を一旦停止させた後、停止前の容器の回転運動により被めっき部品および通電用メディアが流動している間に、容器に逆方向の回転運動を与えるようにした場合、被めっき部品および通電用メディアの流動が停止する前に、回転方向が切り換えられるので、被めっき部品および通電用メディアの流動を途切れさせることなく、より確実な撹拌を行うことが可能になり、本願発明をより実効あらしめることができる。
【００２１】
また、請求項５のめっき方法のように、容器の底壁の略中心部において容器を支持する容器保持部材に接続された駆動手段により、容器保持部材を介して容器に駆動力を伝達し、容器自体を回転させず、容器が移動した軌跡が略円形となるような運動を一方向及びその逆方向に繰り返して容器に与えるようにした場合、複雑な構造の設備を必要とせず、被めっき部品と通電用メディアに効率よく正方向流動と逆方向流動を繰り返して行わせることが可能になり、本願発明をより実効あらしめることができる。
なお、本願発明に用いられる駆動手段としては、例えば、偏心モーター、偏心加重、バネなどを組み合わせることにより、偏心振動エネルギーを発生させ、この偏心振動エネルギーを上述の容器に伝達して、容器を偏心させることにより、容器に、容器自体は回転せず、容器が移動した軌跡が略円形となるような運動を与えるようにした駆動手段などが例示される。
【００２２】
また、本願発明（請求項６）のめっき装置は、被めっき部品および通電用メディアを収容する容器と、容器に、一方向に回転させる正方向回転運動と、逆方向に回転させる逆方向回転運動を繰り返して与える駆動手段と、容器が浸漬されるめっき液を収容するめっき槽とを備えているので、容器内の被めっき部品および通電用メディアに、一方向に流動する正方向流動と、逆方向に流動する逆方向流動を繰り返して行わせつつ、陰極に通電することによりめっきを行うめっき方法を確実に実施することが可能になり、被めっき部品に安定して、均一なめっきを行うことができる。
【００２３】
また、請求項７のめっき装置のように、容器の底壁の略中心部において容器を支持する容器保持部材に接続された駆動手段により、容器保持部材を介して容器に駆動力を伝達し、容器自体を回転させず、容器が移動した軌跡が略円形となるような運動を一方向及びその逆方向に繰り返して容器に与えるようにした場合、複雑な構造の設備を必要とせず、被めっき部品と通電用メディアに効率よく正方向流動と逆方向流動を繰り返して行わせることが可能になり、本願発明をより実効あらしめることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本願発明の実施例を示してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。
なお、以下の実施例では、図２(ａ)，(ｂ)に示すように、積層セラミックコンデンサを製造する場合において、複数の内部電極３がセラミック層２を介して互いに対向するように配設され、かつ、その一端側が交互に異なる側の端面に引き出されたセラミック素子（電子部品素子）１の両端部に、Ａｇを導電成分とする導電性ペーストを塗布、乾燥、焼成することにより形成した外部電極４の表面に、Ｎｉめっき膜５を形成したものを被めっき部品とし、そのＮｉめっき膜５上にＳｎめっきを施して、Ｓｎめっき膜６を形成する場合を例にとって説明する。
【実施例１】
【００２５】
＜めっき装置の構成＞
図１は本願発明の一実施例にかかるめっき装置の構成を示す図である。
このめっき装置は、偏心振動エネルギーを発生させる駆動手段１３と、被めっき部品１０と、通電用の媒体として機能する通電用メディア（金属球メディア）１９、および撹拌用メディア２０を収容する、少なくとも一部がめっき液を通過させるような材料（この実施例１では底部１６の一部が金網）で構成された容器１４と、下端側が容器１４を保持するとともに、上端側が駆動手段１３に接続された容器保持部材１５と、容器１４の底部１６に配設された陰極用電極１７と、陽極用電極２７と、めっき液を収容するめっき槽１８とを備えている。
【００２６】
駆動手段１３は、偏心モーター１１、偏心モーター１１に偏心荷重を付加するための偏心荷重２１、偏心モーター１１を支持するモーター支持枠部材２２、振動受板２３、および振動受板２３を支持するバネ１２などから構成されている。そして、この駆動手段１３は、容器保持部材１５を介して容器１４に偏心振動エネルギーを伝達し、容器１４自体を回転させずに、容器１４が移動した軌跡が略円形となるような運動を、一方向及びその逆方向に繰り返して容器１４に与えることができるように構成されている。
【００２７】
なお、この駆動手段１３によれば、偏心モーター１１による偏心振動エネルギーは、振動受板２３を介して容器保持部材１５に伝達され、さらに容器１４に伝達される。このとき、振動受板２３を支持するバネ１２によりかかる偏心振動エネルギーがいくらか吸収され、駆動手段１３の駆動状態がある程度緩和される結果、容器１４に対して、安定した駆動力を与えることが可能になる。
【００２８】
また、容器１４は平面形状が円形で上面側が開口した形状を有している。また、容器保持部材１５は、軸方向に直交する方向の断面形状が略円形で、下端側が容器１４の底部１６の略中央に接続されて容器１４を保持するとともに、駆動手段１３から容器に振動を伝達する機能を果たすように構成されている。
また、陰極用電極１７は平面形状が略円形で、周方向に複数個配設されている。また、陰極用電極１７には給電線が接続されており、外部電源に接続されている。
【００２９】
＜めっき処理及び評価＞
上記のように構成されためっき装置を用い、以下の方法で、図２に示すように被めっき部品（セラミック素子１の両端部に外部電極４を形成し、該外部電極４の表面にＮｉめっき膜５を形成したセラミック素子）１０にめっきを施し、Ｎｉめっき膜５上にＳｎめっき膜６を形成した。
なお、容器の容積、被めっき部品の寸法および容器への投入量、通電用メディアの直径および容器への投入量、撹拌用メディアの直径および容器への投入量、撹拌条件などの条件は以下の通りである。
(１)容器の容積            ：１３００ｃｍ3
(２)被めっき部品
寸法：長さＬ＝１mm、幅Ｗ＝０．５mm、高さＴ＝０．５mm
投入量                ：  １０万個
(３)通電用メディア（スチールボール）
直径                  ：０．５mm
投入量                ：  ５０ｃｃ
(４)撹拌用メディア（シリコーンゴムコート鉄球）
直径                  ：１０mm
投入量                ：５０ｃｃ
(５)撹拌条件
（実施例）
容器の回転方向を正回転→停止→逆回転の順に切り換えて回転させて、被めっき部品、通電用メディアおよび撹拌用メディアに正方向流動と、逆方向流動を与え、これを繰り返して、全工程で１２０分のＳｎめっきを行った。
なお、１回の正回転及び逆回転の時間（＝１回の通電時間）はそれぞれ５秒，１０秒，１５秒，２０秒とした。また、１回の停止時間は１秒とした。
また、比較のため、以下の条件でも撹拌してＳｎめっきを行った。
（比較例１）（従来例）
回転方向を正回転のみで連続回転（停止及び逆回転なし）とし、陰極に連続的に通電して、全工程で１００分のＳｎめっきを行った。
（比較例２）
回転方向を正回転→停止→正回転の順に切り換えて回転させ、これを繰り返して、全工程で１２０分のＳｎめっきを行った。
なお、１回の正回転の時間（＝１回の通電時間）はそれぞれ５秒，１０秒，１５秒，２０秒とした。また、１回の停止時間は１秒とした。
【００３０】
上記の条件でめっきを行うことにより形成されたＳｎめっき膜の膜厚（ｎ＝２０）を測定するとともに、Ｓｎめっき膜の膜厚の平均値から、下記の式でＣＶ値を算出した。
ＣＶ値（％）＝(Ｓｎめっき膜厚の標準偏差／Ｓｎめっき膜厚平均値）×１００
さらに、合着（くっつき）の発生した被めっき部品の量（Ｘ）と、めっきに供した被めっき部品の全体量（Ｙ）から、以下の式により、合着（くっつき）の発生率を求めた（ｎ＝１０万個）。
合着（くっつき）の発生率（％）＝Ｘ／Ｙ×１００
【００３１】
上記のようにして求めた、Ｓｎめっき膜の膜厚、ＣＶ値、合着（くっつき）の発生率を表１に示す。
【００３２】
【表１】
2005146396.tif 000003
【００３３】
表１に示すように、容器の回転方向（すなわち被めっき部品の回転方向）が正回転のみ（比較例１）の場合に比べ、正回転→停止→逆回転の順に回転方向を切り換え、被めっき部品、通電用メディアおよび撹拌用メディアに、正方向流動と逆方向流動を繰り返して行わせつつ、容器内の陰極に通電することによりめっきを行うようにした本願発明の実施例では、被めっき部品の合着（くっつき）の発生率が大幅に減少した。特に、１回の正回転及び逆回転の時間（＝１回の通電時間）が１０秒以下の条件では、被めっき部品の合着（くっつき）の発生が認められず、また、膜厚ばらつきを示すＣＶ値にも大幅な改善が認められている。
【００３４】
このように、被めっき部品の合着（くっつき）の発生率およびめっき膜の膜厚ばらつきに関し、本願発明の実施例で良好な結果が得られているのは、回転方向を切り換えることにより、(ａ)多数個の通電用メディア中における被めっき部品の分散性が向上し、被めっき部品が並んで流動する（並走する）確率が減少すること、(ｂ)被めっき部品と、その近傍に存在する通電用メディアとの接触確率が増大すること、(ｃ)特に、めっき工程においてめっき金属の析出時間を細かく区切る（切り換え時間を短くする）ようにした場合、被めっき部品が並走した場合にも、被めっき部品間で共析する可能性が低くなること、などによるものと考えられる。
なお、回転方向を正回転→停止→正回転とした比較例２の場合にも、比較例１の従来例に比べて被めっき部品の合着（くっつき）の発生率，膜厚ばらつきがともに低減される傾向は認められるが、その程度は、回転方向を正回転→停止→逆回転の順に切り換えるようにした本願発明の実施例の場合に比べて小さい。
また、上記実施例では、被めっき部品の寸法が、長さＬ＝１mm、幅Ｗ＝０．５mm、高さＴ＝０．５mmである場合を例にとって説明したが、長さＬ＝０．６mm、幅Ｗ＝０．３mm、高さＴ＝０．３mmの被めっき部品にめっきを行う場合にも同様の効果が得られることが確認されている。
【実施例２】
【００３５】
上記実施例１の場合と同様に、容器の回転方向を正回転→停止→逆回転の順に切り換えて回転させて、被めっき部品、通電用メディアおよび撹拌用メディアに正方向流動と、逆方向流動を与え、これを繰り返して、全工程で１２０分のＳｎめっきを行った。
ただし、この実施例２では、１回の正回転及び逆回転の時間（＝１回の通電時間）をそれぞれ５秒一定とし、停止時間を０秒，１秒，２秒，３秒とした。その他の条件は上記実施例１の場合と同一とした。
そして、被めっき部品の合着（くっつき）の発生率、ＣＶ値およびＳｎめっき膜の膜厚のばらつきを調べた。
その結果を表２に示す。
【００３６】
【表２】
2005146396.tif 000004
【００３７】
表２に示すように、正回転と逆回転の間の停止時間が１秒以下の場合には、被めっき部品の合着（くっつき）の発生率が低く、めっき膜厚のばらつきも小さくなっており、特に好ましい結果が得られることがわかる。
【００３８】
これは、回転方向を切り換える際の停止時間を１秒以下にした場合には、被めっき部品、通電用メディアおよび撹拌用メディアの流動が停止する前に、回転方向が切り換えられるので、安定で確実な撹拌を行うことが可能になり、 (ａ)多数個の通電用メディア中における被めっき部品の分散性が向上し、被めっき部品が並んで流動する（並走する）確率が減少すること、(ｂ)被めっき部品の近傍に存在する通電用メディアとの接触確率が増大すること、(ｃ)めっき工程においてめっき金属の析出を細かく区切る（１回の正回転及び逆回転の時間（＝１回の通電時間）をそれぞれ５秒一定としている）ことにより、被めっき部品が並走した場合にも、被めっき部品間で共析する可能性が低くなること、などによるものと考えられる。
【００３９】
なお、正回転と逆回転の間の停止時間が２秒、３秒である場合には、被めっき部品の合着（くっつき）の発生率およびめっき膜厚のばらつきがいくらか増大しているが、被メッキ物の寸法条件や、回転速度、回転時間などのめっき条件によっては停止時間がある程度長くなっても良好な結果が得られる場合があり、そのような場合には停止時間を長くする条件を選択する場合もありうる。
【００４０】
上記実施例１及び２では、セラミック素子１の両端部に形成された外部電極４の表面にＮｉめっき膜５を形成した状態のものを被めっき部品とし、Ｎｉめっき膜５上にＳｎめっきを施す場合を例にとって説明したが、めっきすべき対象となる金属の種類（実施例１，２ではＮｉ）や、めっきすべき金属（この実施例１，２ではＳｎ）の種類には、特に制約はなく、例えば、Ａｇ電極上にＮｉめっきを施す場合、Ｎｉめっき膜上にはんだめっきを施す場合など、種々の条件下でめっきを行う場合に広く本願発明を適用することが可能である。
【００４１】
なお、上記実施例では、被めっき部品および通電用メディアとともに、撹拌用メディアを容器に投入して、めっき液中で被めっき部品および通電用メディアとともに撹拌用メディアに、正方向流動と逆方向流動を繰り返して行わせつつ、被めっき部品にめっき膜を形成するようにしているが、撹拌用メディアを添加することなくめっきを行うことも可能であり、その場合にも上記実施例１および２と同様の作用効果を得ることができる。
【００４２】
また、上記実施例では、上面が開口した容器に被めっき部品および通電用メディアを入れて正方向流動と逆方向流動を行わせつつ、被めっき部品にめっきを行うようにした場合を例にとって説明したが、回転可能なバレルに被めっき部品および通電用メディアを入れ、バレルを回転させながらめっきを行うバレルめっきにも本願発明を適用することが可能であり、その場合にも上記実施例の場合と同様の効果を得ることができる。
【００４３】
また、本願発明は、その他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、駆動手段の具体的な構成、容器の具体的な形状や陰極用電極の配設態様、容器保持部材の形状や構造、めっき槽の構成などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本願発明のめっき装置を用いることにより、容器内で被めっき部品と通電用メディアを確実に撹拌して流動させることが可能になり、被めっき部品及び通電用メディアの滞留を抑制、防止することが可能になる。したがって、被めっき部品どうしあるいは被めっき部品と通電用メディアの合着（くっつき）の発生を抑制、防止することが可能になるとともに、被めっき部品と通電用メディアの接触状態を均一に保って、被めっき部品に膜厚が均一なめっき膜を形成することが可能になる。したがって、本願発明は、めっき膜を備えた外部電極を有する電子部品の製造技術などの分野に広く用いることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本願発明の一実施例にかかるめっき装置の概略構成を示す図である。
【図２】被めっき部品である積層セラミックコンデンサを示す図であって、(ａ)は断面図、(ｂ)は斜視図である。
【図３】(ａ)は従来のめっき装置を示す図、(ｂ)はその要部を拡大して示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１      セラミック素子
２      セラミック層
３      内部電極
４      外部電極
５      Ｎｉめっき膜
６      Ｓｎめっき膜
１０    被めっき部品
１１    偏心モーター
１２    バネ
１３    駆動手段
１４    容器
１５    容器保持部材
１６    容器の底部
１７    陰極用電極
１８    めっき槽
１９    通電用メディア（金属球メディア）
２０    撹拌用メディア
２１    偏心荷重
２２    モーター支持枠部材
２３    振動受板
２７    陽極用電極
【図１】
2005146396.tif 000005
【図２】
2005146396.tif 000006
【図３】
2005146396.tif 000007