(57)【要約】【課題】スパッタイオンポンプを用いる際に荷電ビーム装置の性能低下を招くノイズ電流を効果的に防止する方法を提供する。【解決手段】荷電ビーム装置搭載の真空室１と連通するポンプケース２と、このケース２内で互いに対向する一対のカソード５ａ、５ｂと、この両カソード５ａ、５ｂ間に配置されたアノード６とにより構成されるスパッタイオンポンプのノイズ電流を防止するため、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極間に電位差を与える外部電源７の正負電極のいずれかと真空室１とを別々の接地アース回路１ａ及び７ｂにより接地電位とし、また、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６のうち接地電位とした電極をポンプケース２と導通させた状態で、真空室１とポンプケース２との接続部分に電気絶縁体２０を介在させる。【選択図】図２
2005071966.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電ビーム装置搭載の真空室と連通するポンプケースと、該ケース内で互いに対向する一対のカソードと、該両カソード間に配置されたアノードとにより構成されるスパッタイオンポンプのノイズ電流を防止する方法において、前記カソード及びアノードの両電極間に電位差を与える外部電源の正負電極のいずれかと前記真空室とを別々に接地電位とし、前記カソード及びアノードのうち接地電位とした電極を前記ポンプケースと導通させた状態で、前記真空室と前記ポンプケースとの接続部分に電気絶縁体を介在させることを特徴とするスパッタイオンポンプ起因のノイズ電流防止方法。
【請求項２】
荷電ビーム装置搭載の真空室と連通するポンプケースと、該ケース内で互いに対向する一対のカソードと、該両カソード間に配置されたアノードとにより構成されるスパッタイオンポンプのノイズ電流を防止する方法において、前記カソード及びアノードの両電極間に電位差を与える外部電源の正負電極のいずれかと前記真空室とを別々に接地電位とし、前記真空室と前記ポンプケースとを導通させた状態で、前記カソード及びアノードの両電極を前記ポンプケースに対して絶縁することを特徴とするスパッタイオンポンプ起因のノイズ電流防止方法。
【請求項３】
荷電ビーム装置搭載の真空室と連通するポンプケースと、該ケース内で互いに対向する一対のカソードと、該両カソード間に配置されたアノードとにより構成されるスパッタイオンポンプのノイズ電流を防止する方法において、前記カソード及びアノードの両電極間に電位差を与える外部電源の正負電極のいずれかを前記ポンプケースと導通させると共に１Ω以上の電気抵抗を介在させて接地電位と接続したことを特徴とするスパッタイオンポンプ起因のノイズ電流防止方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超高真空排気用のスパッタイオンポンプのポンプ構造に起因するノイズ電流の防止方法に関し、特に、電子顕微鏡や電子ビーム描画装置など、超高真空環境が必要な荷電ビーム装置をスパッタイオンポンプ真空系内に内包する際のノイズ電流の防止方法に関する。このように設計された真空系において、スパッタイオンポンプに起因するノイズ電流の有無は、荷電ビーム装置が所期通りの性能を維持しているか否かにより検証できることになる。
【背景技術】
【０００２】
スパッタイオンポンプは、ポンプケース内で対向する一対のカソードと、カソードそれぞれと非接触状態で両カソード間に配置されたアノードとに対して、強力磁場のもとで発生するぺニング放電を利用するものである。即ち、カソード及びアノード間に発生するガス分子を、スパッタ作用（イオン化された気体分子の埋め込み）とゲッタ作用（スパッタ粒子により形成された蒸着層への収着）とにより排気することにより、機械的振動を発生せずに、１０-4〜１０-9Ｐａ範囲のいわゆる高真空乃至超高真空領域への到達を可能としたものである。
【０００３】
この圧力領域での作動が適するものに、電子顕微鏡や電子ビームまたはイオンビーム描画装置がある。電子顕微鏡や電子ビーム描画装置による精密分析や微小線幅作成には、高密度で集中化された電子線が不可欠であり、これを得るため、高真空環境の安定的維持や、電子線性能に影響しないような真空ポンプの作動がとりわけ重要である。
【０００４】
このような電子ビーム装置の排気にスパッタイオンポンプを用いる際は、ぺニング放電の安定性が電子線性能への重大な影響要因であり、異常放電に対する対策が要望されるところである。即ち、スパッタイオンポンプ内での異常放電は、電子線空間に大きな影響を与え、電子線を偏向したり歪めたりして所望の電子線を得ることが困難になる。
【０００５】
ところで、特許文献１に示すように、スパッタイオンポンプの電気的安定性を保つため、ポンプケース内のカソード及びアノードの両電極のいずれかを接地電位とするものが知られている。また、特許文献１、２及び３に示すものは、スパッタイオンポンプと排気される真空室とがフランジで連結されていて、電気的に接続している。即ち、電気回路として一体化していることになる。そして、システム全体の安定化を実現するために、上記のスパッタイオンポンプを用いた荷電ビーム装置本体側においてもアース回路を設けることが重要であり、従来のシステムは、図１（ａ）及び図１（ｂ）のように、スパッタイオンポンプ側及び荷電ビーム装置側の双方にアース回路を設けて構成される。
【０００６】
例えば、図１（ａ）に示すものは、図外の荷電ビーム装置を収容する真空室１とスパッタイオンポンプのポンプケース２とをフランジ部３を介した配管４により連通したシステムである。ポンプケース２内には、対向配置された一対の平板状カソード５ａ、５ｂと、これらに対して非接触を保った状態で配置された円筒状アノード６とによりスパッタイオンポンプ構造が構成されている。そして、負極Ｎ側を接地した外部電源７の正極Ｐ側よりアノード６に結線８が接続され、また、接地電位の負極Ｎ側よりカソード５ｂに結線９が接続される。ポンプケース２には導電性材質を用いているため、これにより、カソード５ａはカソード５ｂと同電位となり、即ち、外部電源７により、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極間に電位差が生じる。このとき、０Ｖのカソード５ａ、５ｂに対するアノード６の電位を５〜７．５ｋＶ程度とするのが通常である。そして、外部電源７とは別に真空室１が接地電位とされている。
【０００７】
図１（ａ）に示すシステムが負極Ｎ側を接地電位とするのに対して、図１（ｂ）のシステムは、正極Ｐ側を接地電位とするものである。図１（ａ）と異なるのは、外部電源７の正負両極の設定を逆転していることであり、これに伴い、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６に変更が加えられている。即ち、正極Ｐ側を接地した外部電源７の負極Ｎ側よりカソード５ａに結線９が接続され、また、接地電位の正極Ｐ側よりアノード６に結線８が接続される。一方、カソード５ａとカソード５ｂとは、結線１０により同電位に設定されるが、ポンプケース２には絶縁体１１を介して固定される。即ち、外部電源７により、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極間には、０Ｖ（アノード６）に対して−５〜−７．５ｋＶ程度（カソード５ａ、５ｂ）の電位差が生じる。尚、図１（ａ）及び図１（ｂ）のいずれの場合も、電源ケース７ａは安全のため、接地アース回路７ｂにより常に接地電位に接続されている。
【特許文献１】特開平６-３４９４４２号公報（図１）
【特許文献２】特開昭５１-９７３６６号公報（第３４１頁、第１図）
【特許文献３】特公平５-７７１４２号公報（第１３７頁、第６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すシステムは双方とも、接続部分（フランジ３や接続配管４）に金属製材質を用いるのが一般的であるため、真空室１側のアース回路１ａとスパッタイオンポンプ側のアース回路７ｂとは電気的に連結し、回路を形成し得る構造となっている。
【０００９】
これは、ノイズ電流への対策が不充分であることを意味している。即ち、ノイズ電流を引き起こすのは、ポンプケース２内でのぺニング放電空間内にダストが落下してきたり、収着された気体が局所的に高濃度となり突発的なガス放出を発生させたり、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極の微小振動や微小変位によるぺニング放電の不安定化に伴い異常放電が生じたり、など種々の要因が考えられるが、システムのアース回路が導通していると、システム全体にノイズ電流が伝播し、接地アースによる除去が困難になる。
【００１０】
例えば、電子ビーム描画装置にノイズ電流が流れると、異常な偏向磁場が発生して電子線の軌跡に変動を与えることがあり、描画精度の悪化を招くおそれがある。
【００１１】
本発明は、上記問題点に鑑み、スパッタイオンポンプを用いる際に荷電ビーム装置の性能低下を招く重要因子として懸念されるノイズ電流を効果的に防止する方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決する本発明は、荷電ビーム装置搭載の真空室と連通するポンプケースと、このケース内で互いに対向する一対のカソードと、この両カソード間に配置されたアノードとにより構成されるスパッタイオンポンプのノイズ電流を防止するための３種類の方法から成る。
【００１３】
即ち、第１の防止方法は、カソード及びアノードの両電極間に電位差を与える外部電源の正負電極のいずれかと真空室とを別々に接地電位とし、また、カソード及びアノードのうち接地電位とした電極をポンプケースと導通させた状態で、真空室とポンプケースとの接続部分に電気絶縁体を介在させるものである。
【００１４】
これによれば、カソード及びアノードのうち接地電位とした一方の電極がポンプケースと導通するため、この一方の電極とポンプケースとは同電位の状態で電気的孤立系を形成し、接続部分の電気絶縁体により、荷電ビーム装置搭載の真空室の電位系とも電気的に干渉することなく、それぞれ独立の孤立系として並存する。また、このとき、接地電位でない他方の電極は、荷電ビーム装置を搭載した真空室とは電気的に独立しているため、やはり真空室側の電位系とは干渉しない。したがって、真空室側系の接地アース回路とポンプケース側系の接地アース回路とが互いに電気的に断絶し、これにより、ノイズ電流の除去が可能となり、このノイズ電流がシステム内で伝播することを有効に防止することができる。
【００１５】
また、ノイズ電流を防止する第２の方法は、カソード及びアノードの両電極間に電位差を与える外部電源の正負電極のいずれかと真空室とを別々に接地電位とし、真空室とポンプケースとを導通させた状態で、カソード及びアノードの両電極をポンプケースに対して電気的に絶縁するものである。
【００１６】
これによれば、カソード及びアノードの両電極をポンプケースに対して絶縁し、ポンプケースと真空室とを導通するため、真空室とポンプケースとが同電位の状態で電気的孤立系を形成する。また、外部電源を通じてカソード及びアノードの両電極は別の電気的孤立系を形成する。そして、真空室及びポンプケース側の系と、カソード及びアノードの両電極側の系とは、電気的に干渉することなく、それぞれ独立の孤立系として並存する。したがって、真空室側系の接地アース回路と両電極側系に属する外部電源の接地アース回路との間が互いに電気的に断絶する。このため、上記した第１の方法と同様に、ノイズ電流の除去が可能となり、このノイズ電流がシステム内で伝播することを有効に防止することができる。
【００１７】
そして、ノイズ電流を防止する第３の方法は、カソード及びアノードの両電極間に電位差を与える外部電源の正負電極のいずれかを前記ポンプケースと導通させると共に１Ω以上の電気抵抗を介在させて接地電位とするものである。
【００１８】
これによれば、上記した第１の方法のように真空室とポンプケースとの接続部分を電気的に絶縁することや、第２の方法のようにカソード及びアノード両電極の双方ともポンプケースに対して電気的に絶縁することを要しない。即ち、真空室及びポンプケースの両者が同じ電位系となる場合も、ポンプケース側の接地アース回路に設けた比較的大きな抵抗が電気的障壁となる。このため、ノイズ電流が流れることがあっても、そのノイズ電流値をごく僅かなものに抑制することができ、したがって、ノイズ電流がシステム内で伝播することを有効に防止し得るのである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のノイズ電流防止方法によれば、真空室側の接地アース回路とスパッタイオンポンプ側に属する外部電源の接地アース回路とが互いに断絶し、電気的に直結することなく、別々の回路として機能する。したがって、システム内をノイズ電流が伝播することが効果的に防止され、このようなスパッタイオンポンプを真空系に用いた電子ビーム描画装置や電子顕微鏡などの荷電ビーム装置は十分なノイズ電流対策が施され、このノイズ電流に起因する性能低下を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図２（ａ）及び図２（ｂ）は、本発明の第１方法を示すイオンポンプシステムの概略図である。
【００２１】
図２（ａ）に示すものは、第１方法の第１態様であり、図１（ａ）同様に、図外の荷電ビーム装置を収容する真空室１とスパッタイオンポンプのポンプケース２とをフランジ部３を介した配管４により連通したシステムであり、ポンプケース２内には、対向配置された一対の平板状カソード５ａ、５ｂと、これらに対して非接触を保った状態で配置された円筒状アノード６とによりスパッタイオンポンプ構造が構成されている。そして、負極Ｎ側を接地した外部電源７の正極Ｐ側よりアノード６に結線８が接続され、また、接地電位の負極Ｎ側よりカソード５ｂに結線９が接続されるのも図１（ａ）に示すシステムと同様である。さらに、外部電源７により、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極間に電位差が生じ、通常、０Ｖのカソード５ａ、５ｂに対してアノード６に５〜７．５ｋＶ程度の電位差が保たれるのも、電源ケース７ａが安全のため接地アース回路７ｂにより常に接地電位に接続されるのも同様である。
【００２２】
しかし、真空室１及びポンプケース２の接続部分たるフランジ部３に、絶縁部材２０を介在し、両者間を電気的に絶縁する。これにより、ポンプケース２とこれに導通するカソード５ａ、５ｂとは、同じ接地電位で電気的孤立系２１を形成し、真空室１の電位系２２とは電気的に干渉することなく、それぞれ独立の孤立系として並存する。なお、アノード６は、真空室１とは電気的に孤立されているため、やはり真空室１側の電位系２２に干渉されない。したがって、真空室１側系２２の接地アース回路１ａとポンプケース２側系２１に属する外部電源７の接地アース回路７ｂとの間が互いに電気的に断絶し、ノイズ電流を除去することが可能となり、これにより、このノイズ電流がシステム内で伝播することを有効に防止することができる。
【００２３】
これに対し、図２（ｂ）に示すものは、第１方法の第２態様であり、図２（ａ）とは、外部電源７の正負両極の設定を逆転していることで異なり、これに伴い、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６に変更が加えられている。即ち、正極Ｐ側を接地した外部電源７の負極Ｎ側よりカソード５ａに結線９が接続され、また、接地電位の正極Ｐ側よりアノード６に結線８が接続される。また、カソード５ａとカソード５ｂとは、結線１０により同電位に設定されるが、ポンプケース２には絶縁体１１を介して固定される。即ち、外部電源７により、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極間に電位差が生じ、通常、０Ｖのアノード６に対してカソード５ａ、５ｂに−５〜−７．５ｋＶ程度の電位差が保たれる。
【００２４】
そして、真空室１及びポンプケース２の接続部分たるフランジ部３に、絶縁部材２０を介在し、両者間を電気的に絶縁する。これにより、ポンプケース２とこれに導通するアノード６は、同じ接地電位で電気的孤立系２１を形成し、真空室１の電位系２２とは電気的に干渉することなく、それぞれ独立の孤立系として並存する。なお、カソード５ａ、５ｂは、真空室１とは電気的に孤立されているため、やはり真空室１側の電位系２２に干渉されない。したがって、真空室１側系２２の接地アース回路１ａとポンプケース２側系２１に属する外部電源７の接地アース回路７ｂとの間が互いに電気的に断絶し、ノイズ電流を除去することが可能となり、これにより、このノイズ電流がシステム内で伝播することを有効に防止することができる。
【００２５】
なお、図２（ａ）及び図２（ｂ）において、フランジ部３に用いた絶縁部材２０は、例えば、コバールガラスなどの絶縁性ガラスや絶縁性セラミックスを利用した真空配管を用いることで形成することができる。
【００２６】
また、図２（ｃ）に示すように、フランジ３、３間に、ゴムなどの絶縁材質で形成され、内部に中空貫通部２３がある絶縁ユニット２４を用い、フランジ３側に設けた絶縁部分３ａと絶縁ユニット２４との間を固定ボルト２５で固定することにより、絶縁部材２０を形成することができる。
【００２７】
さらに、図２（ｄ）に示すように、フランジ３、３間に、ゴムなどの絶縁材質の真空シール部材、例えばＯ-リング２６を介在させて、両者間を接続するようにしても、絶縁部材２０の形成が可能である。このとき、Ｏ-リング２６を挟むフランジ３、３側の押圧部材３ｂ、３ｂの接続には、アルミナ製ボルト（図示せず）など絶縁材質の固定部材を用いる必要がある。
【００２８】
次に、図３（ａ）及び図３（ｂ）は、本発明の第２方法を示すイオンポンプシステムの概略図である。
【００２９】
図３（ａ）に示すものは、第２方法の第１態様であり、図２（ａ）同様に、図外の荷電ビーム装置を収容する真空室１とスパッタイオンポンプのポンプケース２とをフランジ部３を介した配管４により連通したシステムであり、ポンプケース２内には、対向配置された一対の平板状カソード５ａ、５ｂと、これらに対して非接触を保った状態で配置された円筒状アノード６とによりスパッタイオンポンプ構造が構成されている。しかし、負極Ｎ側を接地した外部電源７の正極Ｐ側よりアノード６に接続された結線８はポンプケース２と導通しない。また、カソード５ａとカソード５ｂとは、結線１０により同電位に設定されるが、ポンプケース２には絶縁体１１を介して固定されるため、ポンプケース２と導通せず、接地電位の負極Ｎ側と接続する結線９により同じく接地電位に設定されている。なお、上記の第１の方法の場合と同様に、電源ケース７ａは安全のため接地アース回路７ｂにより常に接地電位に接続される。そして、外部電源７により、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極間に電位差が生じ、通常、０Ｖのカソード５ａ、５ｂに対してアノード６に５〜７．５ｋＶ程度の電位差が保たれる。
【００３０】
これにより、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極をポンプケース２に対して絶縁し、ポンプケース２と真空室１とを導通するため、真空室１とポンプケース２とが同電位の電気的孤立系３１を形成する。また、外部電源７を通じてカソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極は別の電気的孤立系３２を形成する。そして、真空室１及びポンプケース２側の系３１と、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極側の系３２とは、電気的に干渉することなく、それぞれ独立の孤立系として並存する。したがって、真空室１側系３１の接地アース回路１ａと両電極側系３２に属する外部電源７の接地アース回路７ｂとの間が互いに電気的に断絶する。このため、ノイズ電流の除去が可能となり、このノイズ電流がシステム内で伝播することを有効に防止することができる。
【００３１】
これに対し、図３（ｂ）に示すものは、第２方法の第２態様であり、図３（ａ）とは、外部電源７の正負両極の設定を逆転していることで異なり、これに伴い、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６に変更が加えられている。即ち、正極Ｐ側を接地した外部電源７の負極Ｎ側よりカソード５ａに結線９が接続され、また、接地電位の正極Ｐ側よりアノード６に結線８が接続される。また、カソード５ａとカソード５ｂとは、結線１０により同電位に設定される。即ち、外部電源７により、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極間に電位差が生じ、通常、０Ｖのアノード６に対してカソード５ａ、５ｂに−５〜−７．５ｋＶ程度の電位差が保たれる。
【００３２】
これにより、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極をポンプケース２に対して絶縁し、ポンプケース２と真空室１とを導通するため、真空室１とポンプケース２とが同電位の電気的孤立系３１を形成し、また、外部電源７を通じてカソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極は別の電気的孤立系３２を形成するのは、図３（ａ）に示すものと同様である。そして、真空室１及びポンプケース２側の系３１と、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極側の系３２とは、電気的に干渉することなく、それぞれ独立の孤立系として並存する。したがって、真空室１側系３１の接地アース回路１ａと両電極側系３２に属する外部電源７の接地アース回路７ｂとの間が互いに電気的に断絶し、このため、ノイズ電流の除去が可能となり、このノイズ電流がシステム内で伝播することを有効に防止することができる。
【００３３】
そして、図４（ａ）及び図４（ｂ）に、本発明の第３方法のイオンポンプシステム概略図を示す。
【００３４】
図４（ａ）に示すものは、第３方法の第１態様であり、図１（ａ）同様に、図外の荷電ビーム装置を収容する真空室１とスパッタイオンポンプのポンプケース２とをフランジ部３を介した配管４により連通したシステムであり、ポンプケース２内には、対向配置された一対の平板状カソード５ａ、５ｂと、これらに対して非接触を保った状態で配置された円筒状アノード６とによりスパッタイオンポンプ構造が構成されている。そして、負極Ｎ側を接地した外部電源７の正極Ｐ側よりアノード６に結線８が接続され、また、接地電位の負極Ｎ側よりカソード５ｂに結線９が接続されるのも図１（ａ）に示すシステムと同様である。さらに、外部電源７により、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極間に電位差が生じ、通常、０Ｖのカソード５ａ、５ｂに対してアノード６に５〜７．５ｋＶ程度の電位差が保たれるのも、電源ケース７ａが安全のため接地アース回路７ｂにより常に接地電位に接続されるのも同様である。
【００３５】
しかし、負極Ｎ側の結線９との接続箇所以降に設けた１Ω以上の電気抵抗４０が、電源ケース７ａ内に収容されている。これにより、真空室１とポンプケース２とが金属製フランジ３及び金属製配管４により接続されて両者が同じ電位系となる場合も、電源ケース７ａ内の抵抗４０が電気的障壁となる。このため、ノイズ電流が流れることがあっても、そのノイズ電流値をごく僅かなものに抑制することができ、したがって、ノイズ電流がシステム内で伝播することを有効に防止し得るのである。
【００３６】
これに対し、図４（ｂ）に示すものは、第３方法の第２態様であり、図４（ａ）とは、外部電源７の正負両極の設定を逆転していることで異なり、これに伴い、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６に変更が加えられている。即ち、正極Ｐ側を接地した外部電源７の負極Ｎ側よりカソード５ａに結線９が接続され、また、接地電位の正極Ｐ側よりアノード６に結線８が接続される。また、カソード５ａとカソード５ｂとは、結線１０により同電位に設定されるが、ポンプケース２には絶縁体１１を介して固定される。即ち、外部電源７により、カソード５ａ、５ｂ及びアノード６の両電極間に電位差が生じ、通常、０Ｖのアノード６に対してカソード５ａ、５ｂに−５〜−７．５ｋＶ程度の電位差が保たれる。
【００３７】
しかし、負極Ｐ側の結線８との接続箇所以降に設けた１Ω以上の電気抵抗４０が、電源ケース７ａ内に収容されている。これにより、真空室１とポンプケース２とが金属製フランジ３及び金属製配管４により接続されて両者が同じ電位系となる場合も、電源ケース７ａ内の抵抗４０が電気的障壁となる。このため、ノイズ電流が流れることがあっても、そのノイズ電流値をごく僅かなものに抑制することができ、したがって、ノイズ電流がシステム内で伝播することを有効に防止し得るのである。
【００３８】
なお、本第３方法において、ノイズ電流の電流値を抑止する抵抗４０を、負極Ｎ側の結線９との接続箇所以降（図４（ａ）参照）、または、負極Ｐ側の結線８との接続箇所以降（図４（ｂ）参照）の、いずれの場合も電源ケース７ａ内に収容して設けたが、抵抗４０の設置場所は、接地アース回路構成部分内であれば良く、例えば、図４（ｃ）に示すように、電源ケース７ａ外部で接地直前の接地アース回路７ｂに設けるものとしても良い。
【実施例１】
【００３９】
図２乃至図４に示すシステム中の真空室１内に電子ビーム描画装置を搭載し、スパッタイオンポンプを真空系内に組み込んで、パターン回路に電子ビーム描画を行ったところ、振幅０．０１μＡ程度に抑制されたノイズ電流が観測され（図５（ａ）参照）、ほぼ直線状の描画形成が確認された（図５（ｂ）参照）。
【００４０】
図１に示すシステムを用いた場合の振幅振幅１μＡ程度のノイズ電流（図６（ａ）参照）及び変動幅２０ｎｍ程度の電子ビーム描画（図６（ｂ）参照）と比較すると、ノイズ電流の軽減と、これに伴う高精細描画とが得られたことが明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、スパッタイオンポンプによる荷電ビーム干渉防止に利用でき、このため、電子顕微鏡、電子ビーム描画装置や電子銃搭載装置など広く荷電ビーム装置に対して活用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】（ａ）従来のスパッタイオンポンプシステム（カソード接地）                    （ｂ）従来のスパッタイオンポンプシステム（アノード接地）
【図２】（ａ）本発明の第１方法によるスパッタイオンポンプシステム（カソード接              地）                                                                  （ｂ）本発明の第１方法によるスパッタイオンポンプシステム（アノード接              地）                                                                  （ｃ）絶縁部分の要部拡大図                                                  （ｄ）絶縁部分の要部拡大図
【図３】（ａ）本発明の第２方法によるスパッタイオンポンプシステム（カソード接              地）                                                                  （ｂ）本発明の第２方法によるスパッタイオンポンプシステム（アノード接              地）
【図４】（ａ）本発明の第３方法によるスパッタイオンポンプシステム（カソード接              地）                                                                  （ｂ）本発明の第３方法によるスパッタイオンポンプシステム（アノード接              地）                                                                  （ｃ）本発明の第３方法による別の態様
【図５】（ａ）本発明により観測されたノイズ電流チャート図                            （ｂ）本発明により得られた電子ビーム描画例
【図６】（ａ）従来例により観測されたノイズ電流チャート図                            （ｂ）従来例により得られた電子ビーム描画例
【符号の説明】
【００４３】
１          真空室
１ａ        接地アース回路
２          ポンプケース
３          フランジ
４          配管
５ａ  ５ｂ  平板状カソード
６          円筒状アノード
７          外部電源
７ｂ        接地アース回路
Ｐ          正極
Ｎ          負極
１１        絶縁体
２０        電気絶縁体
２４        絶縁体ユニット
２６        絶縁性Ｏ-リング
４０        電気抵抗
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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