(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の引き出しを浮上した状態で行うことにより、基板の擦れを防止し、クリーン度を確保することができる基板収納装置を提供すること。【解決手段】カセット１に支持部材２を上下に複数段設置することにより複数の基板３を収納するようした基板収納装置において、カセット１を昇降させる昇降装置４と、カセット１の昇降により支持部材２間に挿入され、支持部材２に支持された基板３を浮上させる搬送用支持部材５と、浮上した基板３を保持し、カセット１の外に引き出す引出装置６と、引出装置６により引き出された基板３を浮上させて支持する浮上テーブル７とを備え、浮上テーブル７に移載機のハンド８が嵌合する空間部を設け、空間部にハンド８を配設する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセットに支持部材を上下に複数段設置することにより複数の基板を収納するようにした基板収納装置において、前記カセットを昇降させる昇降装置と、該カセットの昇降により支持部材間に挿入され、支持部材に支持された基板を浮上させる搬送用支持部材と、浮上した基板を保持し、カセットの外に引き出す引出装置とを備えたことを特徴とする基板収納装置。
【請求項２】
引出装置により引き出された基板を浮上させて支持する浮上テーブルを設けたことを特徴とする請求項１記載の基板収納装置。
【請求項３】
浮上テーブルに移載機のハンドが嵌合する空間部を設け、該空間部にハンドを配設したことを特徴とする請求項２記載の基板収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板収納装置に関し、特に、基板の引き出しを浮上した状態で行うことにより、基板の擦れを防止し、クリーン度を確保することができる基板収納装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、カセットに収納された基板は、上下に積み重ねた基板の隙間にロボットハンドを差し入れ、その後、基板をこのロボットハンドにより持ち上げて、カセット内から取り出す方式が採用されてきた。
【０００３】
しかし、基板が大きくなると、ロボットハンドの厚みが大きくなり、かつ、撓みも大きくなることから、カセット内に収納される基板同士の上下間隔が大きくなり、その結果、カセットの全高が非常に大きくなって、製造ライン建屋全体の高さも高くなるという問題がある。
【０００４】
そこで、本件出願人は、カセットに支持部材を上下に複数段設置することにより複数の基板を収納するようにした基板収納装置において、前記カセットを昇降させる昇降装置と、該カセットの昇降により支持部材間に挿入され、支持部材から基板を受け取ってカセットの外に送り出すテーブルローラとを備えた基板収納装置を提案している。
【０００５】
しかしながら、この基板収納装置では、クリーン度を必要とする基板に擦れを生じるおそれがあり、クリーン度の確保で対策が必要であった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記従来の基板収納装置が有する問題点に鑑み、基板の引き出しを浮上した状態で行うことにより、基板の擦れを防止し、クリーン度を確保することができる基板収納装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の基板収納装置は、カセットに支持部材を上下に複数段設置することにより複数の基板を収納するようにした基板収納装置において、前記カセットを昇降させる昇降装置と、該カセットの昇降により支持部材間に挿入され、支持部材に支持された基板を浮上させる搬送用支持部材と、浮上した基板を保持し、カセットの外に引き出す引出装置とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
この場合において、引出装置により引き出された基板を浮上させて支持する浮上テーブルを設けることができる。
【０００９】
また、浮上テーブルに移載機のハンドが嵌合する空間部を設け、該空間部にハンドを配設することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の基板収納装置によれば、カセットに支持部材を上下に複数段設置することにより複数の基板を収納するようにした基板収納装置において、前記カセットを昇降させる昇降装置と、該カセットの昇降により支持部材間に挿入され、支持部材に支持された基板を浮上させる搬送用支持部材と、浮上した基板を保持し、カセットの外に引き出す引出装置とを備えることから、基板の引き出しを浮上した状態で行うことができ、これにより、基板の擦れを防止し、クリーン度を確保することができる。
【００１１】
この場合、引出装置により引き出された基板を浮上させて支持する浮上テーブルを設けることにより、引き出し後の基板を浮上した状態で支持することができ、これにより、基板の擦れを防止し、クリーン度を確保することができる。
【００１２】
また、浮上テーブルに移載機のハンドが嵌合する空間部を設け、該空間部にハンドを配設することにより、浮上テーブルに移動した基板を、ハンドによって任意の場所に移載することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の基板収納装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１４】
図１〜図６に、本発明の基板収納装置の一実施例を示す。
この基板収納装置は、カセット１に支持部材２を上下に複数段設置することにより複数の基板３を収納するようになっている。
そして、この基板収納装置は、前記カセット１を昇降させる昇降装置４と、該カセット１の昇降により支持部材２間に挿入され、支持部材２に支持された基板３を浮上させる搬送用支持部材５と、浮上した基板３を保持し、カセット１の外に引き出す引出装置６と、該引出装置６により引き出された基板３を浮上させて支持する浮上テーブル７とを備え、該浮上テーブル７に移載機のハンド８が嵌合する空間部を設け、該空間部にハンド８を配設している。
【００１５】
カセット１は、例えば、前後が開放された枠体からなり、同一平面上に複数の並列する支持部材２を配設するとともに、これらの支持部材２を上下に複数段設置することにより複数の基板３を所定間隔を開けて収納するようになっている。
【００１６】
昇降装置４は、例えば、カセット１の下部４箇所を支持する複数基のシリンダーからなり、カセット１を少なくともその高さの範囲で昇降させることができる。
この昇降装置４は、台車により移動可能に設けられたベース９に固定されている。
【００１７】
搬送用支持部材５は、カセット１の昇降により支持部材２間に挿入される複数の棒状のものからなり、先端部から噴出するエアにより、支持部材２に支持された基板３を浮上させることができる。
搬送用支持部材５は、基板３を幅方向と長さ方向で略均等に支持できるように、複数の搬送用支持部材５が所定の配置でベース９に固定されている。
【００１８】
引出装置６は、基板３の先端部３ａを下から真空で吸着することにより保持する吸着パッド６１と、該吸着パッド６１を浮上テーブル７に沿って移動させる推進装置６２とを備えている。
吸着パッド６１は、基板３の幅方向に複数設けられており、推進装置６２は、これらの吸着パッド６１をシリンダー等により移動させることができる。
なお、吸着パッド６１の代わりに、基板３を挟んで保持するような掴み機構を設けることも可能である。
【００１９】
浮上テーブル７は、カセット１の前方に配設されており、その上面が、搬送用支持部材５の先端部と同じ高さになるように設置されている。
浮上テーブル７は、本実施例では、その上面からエアを噴出する７列のレール７１の集合体からなり、この７列のレール７１の間の空間にフォーク状の既成のハンド８が収納されている。
【００２０】
次に、本実施例の基板収納装置の作用を説明する。
図１において、カセット１には基板３が収納されており、カセット全体は、昇降装置４により昇降するように構成されている。
カセット１の下には、エアを噴出する搬送用支持部材５が設けられており、空気の圧力により基板２を浮上させることができる。
【００２１】
図２において、カセット１が下降し、基板２を搬送用支持部材５の上に降下させると、空気圧により最下層の基板２が浮上する。
基板３の先端部３ａの下には、引出装置６の吸着パッド６１が配設されており、基板先端部３ａの下面を吸着する。
【００２２】
図３において、吸着パッド６１は、推進装置６２によって製造装置１０側に移動する。
このとき、基板３は、浮上テーブル７の上で浮上状態を保ちながら移動する。そして、移動を終えた時点で、吸着パッド６１の真空を解除する。
【００２３】
図４において、浮上テーブル７の下方に設けられたハンド８が、図示省略する移載機により上昇して、基板３を浮上テーブル７より持ち上げる。
【００２４】
図５において、ハンド８は、移載機により、基板３を製造装置１０の基板置台１１の上に移動させた後、下降して基板３を基板置台１１のピン１２の上に載せる。
【００２５】
かくして、本実施例の基板収納装置は、カセット１に支持部材２を上下に複数段設置することにより複数の基板３を収納するようにした基板収納装置において、前記カセット１を昇降させる昇降装置４と、該カセット１の昇降により支持部材２間に挿入され、支持部材２に支持された基板３を浮上させる搬送用支持部材５と、浮上した基板３を保持し、カセット１の外に引き出す引出装置６とを備えることから、基板３の引き出しを浮上した状態で行うことができ、これにより、基板３の擦れを防止し、クリーン度を確保することができる。
この場合、引出装置６により引き出された基板３を浮上させて支持する浮上テーブル７を設けることにより、引き出し後の基板３を浮上した状態で支持することができ、これにより、基板３の擦れを防止し、クリーン度を確保することができる。
また、浮上テーブル７に移載機のハンド８が嵌合する空間部を設け、該空間部にハンド８を配設することにより、浮上テーブル７に移動した基板３を、ハンド８によって任意の場所に移載することができる。
【００２６】
以上、本発明の基板収納装置について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、実施例に記載した構成を適宜組み合わせる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明の基板収納装置は、基板の引き出しを浮上した状態で行うことにより、基板の擦れを防止し、クリーン度を確保するという特性を有していることから、例えば、大型基板を使用する液晶等の製造ラインに好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の基板収納装置の動作を示す第１工程図である。
【図２】同第２工程図である。
【図３】同第３工程図である。
【図４】同第４工程図である。
【図５】同第５工程図である。
【図６】同基板収納装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１    カセット
２    支持部材
３    基板
３ａ  先端部
４    昇降装置
５    搬送用支持部材
６    引出装置
６１  吸着パッド
６２  推進装置
７    浮上テーブル
７１  レール
８    ハンド
９    ベース
１０  製造装置
１１  基板置台
１２  ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2005255356.tif 000006
【図５】
2005255356.tif 000007
【図６】
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