(57)【要約】 【構成】  自動倉庫１０２の棚にトレイを積層保管し、スタッカークレーン１０４で積層保管装置に移し替え、所望のトレイをコンベヤ４へ切り出して、ステーション６で搬送物をトレイから取り出し、コンベヤ１０で処理装置へ搬入する。【効果】  自動倉庫ではトレイを積層保管できるので効率的で、しかも処理装置へは所望の搬送物を枚葉搬送できる。【選択図】    図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
トレイを積層した状態で保管するための棚と、前記トレイを積層して保管するための積層保管装置と、前記棚と積層保管装置との間でトレイを積層した状態で搬送する搬送手段と、前記積層保管装置とトレイに搬送物を出し入れするためのステーションとを接続するコンベヤとを備えて、前記積層保管装置を、コンベヤとの間でトレイを１枚ずつやり取りすると共に、該コンベヤの搬送面よりも高い位置にトレイを積層保管するようにした搬送システム。
【請求項２】
前記トレイの底部に開口を設けて、前記ステーションでは、該開口を介して搬送物の底面に搬送力を加えて、トレイから搬送物を出し入れするようにしたことを特徴とする、請求項１の搬送システム。  
【請求項３】
前記コンベヤの少なくとも一部を平面視で前記棚と重ねて配置すると共に、前記棚と積層保管装置と搬送手段とステーションと前記コンベヤ中の平面視で棚と重なる部分を、クリーンルーム用の自動倉庫とし、かつ前記ステーションと自動倉庫外の処理装置とを接続する搬送路を局所的にクリーンに保つための手段を設けたことを特徴とする、請求項１または２の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はトレイを用いた搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板等の大形化に伴い、基板をカセットに複数枚収容して搬送するのは無理になりつつある。そこで発明者は、基板を１枚ずつトレイに収容して搬送することを検討したが、基板を収容したトレイを１枚ずつ保管すると保管効率が低下する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の基本的課題は、トレイを積層保管できるようにして保管効率を増すと共に、トレイを１枚ずつ搬送でき、しかもトレイからの搬送物の出し入れができる、搬送システムを提供することにある。  
請求項２の発明での追加の課題は、フォークやロボットのハンドなどを用いずに、トレイから搬送物を出し入れできるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、搬送システムをクリーンルーム内に設置する場合において、局所的に高クリーン度を実現すれば良いようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明の搬送システムは、トレイを積層した状態で保管するための棚と、前記トレイを積層して保管するための積層保管装置と、前記棚と積層保管装置との間でトレイを積層した状態で搬送する搬送手段と、前記積層保管装置とトレイに搬送物を出し入れするためのステーションとを接続するコンベヤとを備えて、前記積層保管装置を、コンベヤとの間でトレイを１枚ずつやり取りすると共に、該コンベヤの搬送面よりも高い位置にトレイを積層保管するようにしたものである。なお積層保管装置では、積層したトレイを保持するためのチャックと、目的のトレイよりも下段のトレイを退避させるための退避手段とを備えて、積層保管したトレイ中の所望のトレイをコンベヤへ取り出せるようにすることが好ましい。
【０００５】
好ましくは、前記トレイの底部に開口を設けて、前記ステーションでは、該開口を介して搬送物の底面に搬送力を加えて、トレイから搬送物を出し入れする。
【０００６】
また好ましくは、前記コンベヤの少なくとも一部を平面視で前記棚と重ねて配置すると共に、前記棚と積層保管装置と搬送手段とステーションと前記コンベヤ中の平面視で棚と重なる部分を、クリーンルーム用の自動倉庫とし、かつ前記ステーションと自動倉庫外の処理装置とを接続する搬送路、例えばステーションと処理装置間のコンベヤ、を局所的にクリーンに保つための手段を設ける。
【発明の効果】
【０００７】
この発明の搬送システムでは、積層保管装置と棚との間では、トレイを複数積層した状態で搬送して保管し、棚の保管効率や搬送手段の効率を向上させる。また積層保管装置とステーションとの間では、トレイをコンベヤで１枚ずつ搬送し、ステーションでトレイから搬送物を取り出し、処理装置へ搬送物を１枚ずつ供給する。なお積層保管装置を、積層したトレイを保持するためのチャックと、目的のトレイよりも下段のトレイを退避させるための退避手段とを備えて、積層保管したトレイ中の所望のトレイをコンベヤへ取り出せるようにすると、積層保管装置のチャックでトレイを積層して支持し、退避手段で不要なトレイを退避させて、目的のトレイのみを取り出すことができる。このため、積層保管装置で、棚に収容するために任意に積層されたトレイの中から、所望のトレイのみを取り出して、必要な搬送物を処理装置などに供給できる。従って、所望のトレイを一番下にする等の、トレイの積層順序を変更するための装置を設けたり、移載装置によりトレイの積層順序を変更して移載装置に負担をかける必要がない。
【０００８】
請求項２の発明では、ステーションでは、トレイの底部の開口を介して、搬送物の底面をローラコンベヤなどのコンベヤで搬送したり、気体を吹き付けて浮上搬送したりすることができる。このため大きな搬送物を、大きなロボットのハンドなどで移載する必要がない。
【０００９】
請求項３の発明では、搬送システムをクリーンルーム内に配置する場合において、棚と積層保管装置と搬送手段とステーションと前記コンベヤ中の平面視で棚と重なる部分を、クリーンルーム用の自動倉庫とするので、自動倉庫内を局所的にクリーンにすると、他の部分のクリーン度は低くても良い。またステーションと処理装置とを接続する搬送路を局所的にクリーンにするので、他の部分を高クリーン度に保つ必要がない。これらのため、クリーンルーム全体を高クリーンにする必要が無く、トレイの搬送や積層したトレイの保管に必要な部分のみを高クリーンにすることができる。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
トレイと積層保管装置、ステーション
図１〜図１０に、実施例の搬送システムから、自動倉庫に対応する部分を除いたものを示す。これらの図ではトレイや積層保管装置の変形例も示すが、特に指摘した点以外は、変形例も実施例と同様とする。これらの図において、２はトレイを用いた搬送システムで、４，４は左右一対のコンベヤで、ローラコンベヤでもベルトコンベヤ等でも良いが、ここではローラコンベヤとし、搬送方向の左右一対のコンベヤを双方とも駆動ローラを用いたコンベヤとするが、片側にのみ駆動ローラを配置し、他側に従動ローラを配置しても良い。コンベヤ４の搬送路内に、ステーション６，６と積層保管装置１２とがあり、他に分岐用のコンベヤ２４へとトレイを分岐させるための分岐台２０とがある。
【００１２】
搬送する物品の種類は任意であるが、ここでは１辺が１〜３ｍ角程度の液晶基板を想定し、その厚さは数ｍｍ程度で、質量は例えば１０ｋｇ程度である。大きく重くかつ脆弱な液晶基板を搬送物とし、塵芥の付着を防止しながら搬送することが重要である。
【００１３】
ステーション６には、コンベヤ４と同様の左右一対のコンベヤ７，７があり、左右のコンベヤ７，７間にローラコンベヤ付のリフター８がある。そしてリフター８を上昇させて、そのローラコンベヤでトレイの底面を介して搬送物を搬出入することにより、トレイからの物品の出し入れができる。１０はトレイから取り出した搬送物を、枚葉単位でその底面を支持して搬送するためのコンベヤで、例えばローラコンベヤなどとし、処理装置にトレイから取り出した搬送物を搬出入するためのコンベヤである。なお、処理装置には、検査装置などを含むものとする。
【００１４】
積層保管装置１２には、左右一対のコンベヤ１４，１４を設け、シリンダ１５などによりコンベヤ１４，１４を幅方向（搬送方向に直角な方向）に移動させて待避できるようにする。１６はチャックで、積層保管したトレイの例えば最下段のトレイでの積層支持部をチャックし、１８はリフターで、コンベヤ１４よりも低い位置で待機して、トレイの昇降を行う。なおチャック１６は昇降自在で高さ位置が可変のチャックでも、あるいは高さ位置が固定のチャックでも良い。
【００１５】
分岐台２０にはコンベヤ４，４の他に分岐搬送用のコンベヤ２２，２２を設け、分岐台２０の外側には分岐搬送用のコンベヤ２４，２４が設けてある。
【００１６】
トレイの構造
図２，図３に移り、トレイ３０の構造を説明する。トレイ３０は上面に蓋などがなく、上面が開放しており、載置部３１に載置した搬送物は露出して、載置部３１の底面には開口３２が複数設けてある。載置部３１の外側の４周は、壁３６や脱落防止壁３９などにより載置部から区画されて、載置部３１の外側に一対の搬送支持部３４と積層支持部３５とが設けてある。搬送支持部３４や積層支持部３５は、載置部３１の外側４周に突き出したフランジ状の部材で、その底面は例えば平坦である。また実施例では搬送支持部３４と積層支持部３５とを同じ高さに配置したが、これらの高さを違えても良く、また支持部３４，３５には適宜に切れ目などを設けても良い。壁３６には突起３７などを設け、壁３６の底面に設けた図示しない嵌合孔などに嵌合して、トレイ３０を積層できるようにする。３８はフォーク挿入口で、脱落防止壁３９よりもトレイの上端をこの部分で低くし、搬送物の移載用のフォークやスカラアームなどを挿入できるようにする。しかしながらフォーク挿入口３８を設けず、この部分を脱落防止壁３９と同じ高さに揃えても良い。４０は載置部３１に設けた突起で、その上面でガラス基板４２などの搬送物を支持する。
【００１７】
図３は、トレイ３０を複数積層して保管する状態を示し、搬送支持部３４は載置部３１よりも平面視で外側にあるため、搬送支持部３４の底面にコンベヤなどから付着した塵芥は、載置部３１内には落下しがたい。また積層支持部３５側では、壁３６と下壁４１とにより、載置部３１と分離されるので、積層支持部３５からの塵芥は、載置部３１には侵入しない。さらにフォーク挿入口３８を設けたので、図３のように積層保管した状態から、任意のトレイを選び出して、収納しているガラス基板を取り出したり、ガラス基板をトレイ内に載置したりすることができる。
【００１８】
ステーションでの動作
図４により、ステーション６でのガラス基板４２の出し入れを説明する。トレイ３０がステーション６に到着すると、ステーション内のローラコンベヤ付のリフターが上昇し、ローラ４４が開口３２を通ってガラス基板４２の底面に接触する。そしてガラス基板を脱落防止壁３９よりも高く持ち上げた状態で、ローラ４４を駆動すると、コンベヤ１０側のローラ４５へ受け渡すことができる。またコンベヤ１０側からガラス基板をトレイ３０内へ受け渡す際には、ローラコンベヤ付のリフターを上昇させて、例えばローラ４４とローラ４５との搬送面の高さを同一に揃え、コンベヤ１０からステーション６へとガラス基板を搬入する。この時も搬送面は、脱落防止壁３９よりも高くする。なお、ステーション６でのトレイ３０からガラス基板４２の取り出しに、ステーション内のローラコンベヤ付のリフターを用いたが、ローラコンベヤの代わりに、例えばエア噴出手段を用いて、エアの力によりガラス基板４２を浮上させると共に、目的の方向に移動させるようにしても良い。
【００１９】
積層保管装置の動作
図５，図６に積層保管装置１２の動作を示す。５０は支柱で、チャック駆動部５２は、支柱５０に沿って昇降自在でも、高さ位置が固定でも良い。チャック駆動部５２の高さ位置を固定の場合、トレイの高さ方向の厚さをコンベヤ１４の高さ方向の厚さよりも大きくし、積層したトレイの上下の搬送支持部の間にコンベヤ１４のローラを収めることができるようにする。チャック１６は、チャック駆動部５２により水平面内で回動する、あるいは進退するなどにより、積層支持部３５の底面を支持した状態と支持しない状態との間で切り替え自在である。図６に示すように、例えばチャック１６上に複数のトレイからなるトレイ群６０が積層保管され、リフター１８上にも１枚あるいは複数枚のトレイ群６１が載置されているものとする。前記のように、コンベヤ１４，１４はシリンダ１５などの進退手段により、搬送支持部３４の底面を支持した状態と、トレイ３０とは干渉しない状態との間で移動できる。積層保管するトレイは、ガラス基板などの搬送物を載置した状態でも、空の状態でも良いが、搬送物を載置した状態での保管が特に意味がある。
【００２０】
チャック駆動部５２が昇降しないものとして説明する。図６のトレイ群６０の下側に、新たに到着したトレイを１枚重ねたいとする。この場合、リフター１８を上昇させ、トレイ群６１の上面でコンベヤ１４，１４上のトレイの底面を支持し、次いでシリンダ１５によりコンベヤ１４，１４を待避させる。リフター１８をさらに上昇させ、トレイ群６０の最下段のトレイの底面を、リフター１８で上昇中のトレイ群の最上段のトレイの上面で支持する。トレイ群６０をリフター１８で支持すると、チャック１６を退避させ、リフター１８をトレイ１段分上昇させて、目的のトレイの積層支持部をチャック１６で支持する。次いでリフター１８を下降させると、１トレイ新たに積層することができる。
【００２１】
所望のトレイがチャック１６でチャックできる位置まで、リフター１８でトレイ群６１を上昇させると、トレイ群６１中の所望の位置のトレイをチャック１６でチャックできる。トレイ群６０から任意の位置のトレイを取り出す場合、コンベヤ１４，１４を待避させて、リフター１８を上昇させ、トレイ群６０とトレイ群６１とを合体し、この後リフター１８を操作して、目的のトレイの１段上のトレイをチャック１６で支持する。この後リフター１８を下降させ、目的のトレイの搬送支持部の底面がコンベヤ１４の搬送面よりやや高い位置で下降を停止させ、シリンダ１５によりコンベヤ１４を前進させる。次いでリフター１８を再度下降させ、目的のトレイのみをコンベヤ１４，１４上に載置する。このように、チャック１６の高さを固定するには、コンベヤ１４の高さ方向の厚さを、トレイ３０を積層した際の搬送支持部３４，３４間の間隔よりも薄くする必要がある。
【００２２】
以上のようにして、
・  コンベヤ１４，１４上のトレイを、トレイ群６０の最下段に追加する、
・  トレイ群６０，６１を合体させる、
・  トレイ群６０中の任意のトレイをコンベヤ１４，１４上に載置する、などの動作ができる。またトレイ群６１から任意のトレイをコンベヤ４上へ送り出す場合、リフター１８を上昇させて、トレイ群６０，６１を合体し、目的のトレイの１段上のトレイをチャック１６でチャックした後、リフター１８を下降させて、目的のトレイをチャック群６１の最上段からコンベヤ１４へと移し替えればよい。
【００２３】
チャック駆動部５２が昇降自在な場合、動作はより簡単になり、トレイを積層した際に搬送支持部と搬送支持部との高さ方向の隙間が、コンベヤ１４の高さ方向の厚さよりも大きいとの制限が不要になる。トレイ群６０の底部に１トレイ追加する場合、コンベヤ１４上に目的のトレイを載置し、チャック１６を下降して、トレイ群６０を目的のトレイの上部に積み重ねる。次いでチャック１６を退避させ、目的のトレイの積層支持部をチャック１６で支持して、チャック１６を上昇させればよい。トレイ群６０やトレイ群６１から任意のトレイを取り出す場合、コンベヤ１４，１４を待避させ、リフター１８を上昇させて、トレイ群６０，６１を合体させる。次いでチャック１６を掴み替えて、目的のトレイをチャックし、目的のトレイよりも下のトレイ群をリフター１８で下降させる。この後コンベヤ１４をトレイを支持できる位置へ前進させ、チャック１６を下降させて目的のトレイをコンベヤ１４上に移し替える。その後チャック１６を上昇させて、目的のトレイよりも上のトレイをチャックして上昇させればよい。
【００２４】
なおチャック１６を用いずに、任意のトレイを取り出せる積層保管装置も可能である。この場合例えば、トレイの搬送支持部と搬送支持部の間隔は、コンベヤ１４の高さ方向の厚さよりも大きなものとし、積層保管するトレイ群はトレイ群６１のみである。トレイ群６１から所望のトレイを取り出す場合、目的のトレイよりも上部のトレイをコンベヤ１４へ移載して、積層保管装置１２の片側へと搬出する。次に目的のトレイをコンベヤ１４へ移し替え、積層保管装置１２の他側へと搬出する。目的のトレイよりも上側のトレイを、コンベヤ１４上へと移し戻し、リフター１８を上昇させて、リフター１８へ移し替える。しかしながらこのようにすると、目的のトレイを取り出すために積層保管装置１２の両側のコンベヤを使用せねばならないため、他の搬送作業の妨げとなり、かつトレイの移し替えやコンベヤ１４の移動回数も多く、効率的ではない。
【００２５】
図５，図６の実施例では、コンベヤ１４の搬送面の下側をトレイのバッファに利用し、このためリフター１８が必要であった。リフター１８を設けない変形例を図７に示す。なおこの場合、チャック駆動部７２は支柱７０に沿って昇降自在とする。図７，図８の積層保管装置７４は、左右のコンベヤ４をトレイのバッファとして利用し、他の点では図５，図６の積層保管装置１２と同様である。
【００２６】
チャック１６でチャックしたトレイ群６０から所望のトレイを切り出す場合、チャック１６を下降させ、コンベヤ１４上へトレイ群６０を移し替える。そして目的のトレイをチャック１６でチャックし直し、それよりも下側のトレイ群６１を図８のように左右いずれかのコンベヤ４上へと搬出する。その後チャック１６を下降して、トレイ群をコンベヤ１４へ移し替え、目的のトレイよりも上部のトレイをチャック１６でチャックし、上昇させる。このようにして目的のトレイを切り出し、他側のコンベヤ（例えば図８の右側）へと搬出する。例えばこれと同時に、図８の左側のトレイ群６１をコンベヤ１４上に搬入して、チャック１６を昇降させ、トレイ群６０と一体にする。トレイ群６０に新たなトレイを１枚追加する場合、コンベヤ１４上へ新たなトレイを搬入し、チャック１６を下降させて、新たなトレイとトレイ群６０を積層し、チャック１６で新たなトレイを支持するとよい。
【００２７】
図９，図１０に、トレイの変形例９０を示す。この変形例では、積層支持部９５を例えば搬送支持部３４の上側に配置し、他の点では図２のトレイ３０と同様である。実施例では液晶用の大型ガラス基板の搬送を例にしたが、搬送物はこれに限るものではない。
【００２８】
システム構成 
図１１に、図１〜図１０に記載のトレイと、積層保管装置並びにステーションに、自動倉庫等を組み合わせた搬送システムの全体構成を示す。なお図１〜図１０と同じ符号は同じものを表し、図１１では図５，図６の積層保管装置１２を用いるように示しているが、図７，図８の積層保管装置７４を用いても良い。
【００２９】
１００は長距離コンベヤで、トレイを複数積層して搬送し、前記のコンベヤ４に接続されている。１０２は自動倉庫で、コンベヤ４や積層保管装置１２，ステーション６などの上部に棚１０６を設けて、トレイを複数積層して保管する。１０４はスタッカークレーンで、搬送手段の例であり、棚１０６と積層保管装置１２との間でトレイを積層して搬送し、積層保管装置１２は自動倉庫１０２のステーションでもある。自動倉庫１０２は、積層保管装置１２，ステーション６、棚１０６、コンベヤ４の棚１０６の下部の部分、スタッカークレーン１０４を備えている。なお積層保管装置１２以外のステーションを自動倉庫１０２に設ける場合、そのステーションにもトレイを積層して搬出入する。また搬送手段は、スタッカークレーンに限らず、積層保管装置１２と棚１０６の間で、トレイを積層して搬送できるものであればよい。
【００３０】
ステーション６では、前記のようにローラコンベヤなどを用いてガラス基板などの搬送物をトレイから取り出し、前記のコンベヤ１０などにより、処理装置ＥＱ１〜ＥＱ８などに搬出入する。搬出入先は処理装置に限らず検査装置などでも良い。また必要であれば、トレイ１枚単位で、搬送物をトレイから出さずに搬送する、長距離コンベヤ１０８などを設けても良い。そしてコンベヤ４でのトレイの搬送単位は、トレイを積層した状態とトレイ１枚単位の２種類である。さらに必要であれば、長距離コンベヤ１００とコンベヤ４との間に、段ばらし装置１０９や段積み装置１１０などを設けても良い。これらの装置１０９，１１０も積層保管装置の一種ではあるが、積層保管したトレイから任意のトレイを取り出すことができない点が、積層保管装置１２と異なる。
【００３１】
搬送システムの全体は、液晶ディスプレイ製造用や半導体製造用などのクリーンルームに収容され、クリーンルーム全体ではなく必要な部分のみを局所的に高クリーンにするため、自動倉庫１０２はクリーンルーム対応のものとする。例えば自動倉庫１０２を天井と壁とで囲って周囲と分離し、自動倉庫１０２内に図示しないＦＦＵ（フィルターファンユニット）を設けて、自動倉庫１０２の天井や棚１０６にクリーンエアを供給し、棚１０６やコンベヤ４中の自動倉庫１０２内の部分、ステーション６，積層保管装置１２及びスタッカークレーン１０４を、高クリーンな環境に保つ。またステーション６と処理装置ＥＱ１〜ＥＱ８などの搬出入先とを接続するコンベヤ１０や、コンベヤ４中の自動倉庫１０２外の部分を、及び長距離コンベヤ１００，１０８を局所的に高クリーンに保つ。このため例えば、これらのコンベヤの上部をフード１１２や壁などで覆って、周囲の空気の流れ込みを遮断もしくは少なくし、かつフード１１２などにＦＦＵ１１４を設けて、コンベヤに下向きにクリーンエアを供給する。なお、本実施例では、自動倉庫１０２に搬出入する搬送物をトレイごと搬送する手段として、長距離コンベヤ１００，１０８等のコンベヤを用いているが、トレイを収納する物品収納庫を高クリーンな環境に保つための手段、例えばＦＦＵを備えた搬送車等を用いても良い。
【００３２】
実施例の動作を示す。長距離コンベヤ１００で積層されて搬送されて来たトレイは、例えばコンベヤ４に入り、積層保管装置１２からスタッカークレーン１０４を介して棚１０６に積層保管する。処理の順番が来ると、棚１０６から積層保管装置１２に出庫し、積層保管装置１２で所望のトレイのみを取り出してステーション６へ供給し、ガラス基板等の搬送物のみを取り出し、コンベア１０から処理装置へ供給する。積層保管装置１２は、スタッカークレーン１０４を介して自動倉庫の棚１０６へと積層したトレイを搬入するためのステーションとなり、棚１０６へトレイを積層して保管する際にその順序を整えたり、棚１０６から任意に積層されたトレイから所望のトレイを取り出してステーション６へ供給するためなどに用いる。積層保管装置１２の作業量が多い場合、段ばらし装置１０９を設けて、長距離コンベヤ１００から積層して供給されるトレイを、トレイ１枚ずつに分けて、積層を解除すると良い。処理装置ＥＱ１〜ＥＱ８などに、トレイ中のガラス基板を供給すると、空のトレイが発生する。このような空のトレイは積層保管装置１２で積層し、棚１０６にストックしても良い。あるいは積層保管装置１２や段積み装置１１０で積層し、長距離コンベヤ１００へ搬出しても良い。
【００３３】
処理装置ＥＱ５〜ＥＱ８などから処理済みの搬送物が搬出されると、ステーション６でトレイに移載し、次の処理装置のステーションへ搬送する、積層保管装置１２で適宜に積層して、自動倉庫の棚１０６に保管する、あるいは長距離コンベヤ１００へ搬出する、などを行う。
【００３４】
本実施例は、棚１０６を設けて、トレイを積層した状態で収納することで、トレイを効率よく収納することができる。そして、積層保管装置１２と棚１０６との間を、トレイを積層状態で運ぶことにより、トレイを１枚１枚搬送した場合に比し、スタッカークレーンの搬送回数を減らすことができる。また、コンベヤ４より高速搬送できるスタッカークレーン１０４により、棚１０６と積層保管装置１２との間を搬送するため、搬送効率がよい。また、積層保管装置１２を所望のトレイのみを取り出し可能とすることで、任意に積層されたトレイの中から、所望のトレイを取り出すことができ、処理装置に所望のトレイを供給できるように、所望のトレイをトレイ１番下にしたり、処理する順番となるように下から順に積層したりする等のトレイの積層順番を変更するための装置を設けたり、スタッカークレーンによりトレイの積層順番を変更させることで、スタッカークレーンに負荷をかけたりすることがない。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】実施例の搬送システムから自動倉庫を除いたレイアウトを示す平面図
【図２】実施例のトレイの平面図
【図３】実施例でトレイを上下に積層した状態を示す側面図
【図４】実施例での、ステーションでのトレイからのガラス基板の出し入れを模式的に示す平面図
【図５】実施例でのトレイ積層保管装置と周囲のコンベヤの平面図
【図６】実施例でのトレイ積層保管装置と周囲のコンベヤの側面図
【図７】変形例でのトレイ積層保管装置と周囲のコンベヤの平面図
【図８】変形例でのトレイ積層保管装置と周囲のコンベヤの側面図
【図９】変形例のトレイの平面図
【図１０】変形例のトレイの側面図
【図１１】実施例の搬送システムのレイアウトを示す平面図
【符号の説明】
【００３６】
４              コンベヤ
６              ステーション
７              コンベヤ
８              ローラコンベヤ付きリフター
１０            コンベヤ
１２，７４      積層保管装置
１４            コンベヤ
１５            シリンダ
１６            チャック
１８            リフター
２０            転換台
２２，２４      コンベヤ
３０，９０      トレイ
３１            載置部
３２            開口
３４            搬送支持部
３５，９５      積層支持部
３６            壁
３７            突起
３８            フォーク挿入口
３９            脱落防止壁
４０            突起
４１            下壁
４２            ガラス基板
４４，４５      ローラ
５０，７０      支柱
５２，７２      チャック駆動部
６０，６１      トレイ群
１００          長距離コンベヤ
１０２          自動倉庫
１０４          スタッカークレーン
１０６          棚
１０８          長距離コンベヤ
１０９          段ばらし装置
１１０          段積み装置
１１２          フード
１１４          ＦＦＵ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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