(57)【要約】      （修正有）【課題】特に、大型サイズのセラミックグリーンシートを用いて、セラミック積層体を積層精度良く、かつ高い生産効率で製造する方法を提供する。【解決手段】少なくとも電極パターンを有するセラミックグリーンシートを含む複数のセラミックグリーンシートを積層してなるセラミック積層体の製造において、表面に電極パターンを有する所定サイズのセラミックグリーンシート片の複数が、基材上に水平方向の相互の間に所定幅の間隙をおいて設けられてなる積層シートの複数を形成し、さらに該複数の積層シートを順次積層して複数の積層体を同時に得る。【選択図】図１Ａ
2005259964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも電極パターンを有するセラミックグリーンシートを含む複数のセラミックグリーンシートを積層してなるセラミック積層体の製造方法であって、
表面に電極パターンを有する所定サイズのセラミックグリーンシート片の複数が、基材上に水平方向の相互の間に所定幅の間隙をおいて設けられてなる積層シートの複数を形成する積層シート形成工程；および
該複数の積層シートを順次積層して複数の積層体を同時に得る積層工程を少なくとも含むことを特徴とするセラミック積層体の製造方法。
【請求項２】
少なくとも電極パターンを有するセラミックグリーンシートを含む複数のセラミックグリーンシートを積層してなる積層型電子部品の製造方法であって、
表面に電極パターンを有する所定サイズのセラミックグリーンシート片の複数が、基材上に水平方向の相互の間に所定幅の間隙をおいて設けられてなる積層シートの複数を形成する積層シート形成工程；
該複数の積層シートを順次積層して複数の積層体を同時に得る積層工程；
該複数の積層体をそれぞれ積層方向にプレスするプレス工程；および
該プレスされた複数の積層体のそれぞれを個々の前記積層型電子部品に分離する分離工程を少なくとも含むことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
【請求項３】
前記積層シート形成工程が、前記基材上の、表面に複数の電極パターンを有するセラミックグリーンシート連続体の一部を前記所定幅と同一の幅で、その下にある基材を残して切断、除去する工程を含む請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記セラミックグリーンシート連続体の一部の切断、除去のうち、少なくとも前記セラミックグリーンシート連続体の長手方向に沿った一部の除去を連続的に行う請求項３記載の製造方法。
【請求項５】
前記セラミックグリーンシート連続体の一部の切断と除去とを、前記所定幅と同一の間隔を有する二枚のブレードの間に粘着性材料を保持してなる分割手段を前記セラミックグリーンシート連続体に当接させることにより同時に行う請求項４記載の製造方法。
【請求項６】
前記セラミックグリーンシート片の所定サイズが、該シート片が正方形の場合、その正方形の一片が、製造すべき積層型電子部品の長手方向寸法の１００倍以内、好ましくは８０倍以内である請求項１〜５のいずれかに記載の製造方法。
【請求項７】
セラミックグリーンシートの分割装置であって、基材上のセラミックグリーンシートの一部を所定幅で該基材を残して切り出す切断手段と、該セラミックグリーンシートの所定幅で切り出された部分を接着、吸引または分解により、該切り出しと同時に除去する除去手段とを少なくとも有するセラミックグリーンシートの分割装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、特にセラミックシートを積層して形成される積層チップコンデンサをはじめとする積層型電子部品用のセラミック積層体の製造方法に関するものであり、より詳細には、セラミックグリーンシートを精度良く、かつ高い生産効率で積層する方法に関する。かかる積層型電子部品の例としては、積層型セラミックコンデンサ以外に、積層型セラミックインダクタや、これらを内蔵するＬＣ複合部品あるいはＥＭＣ関連部品等がある。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話等の電子機器の小型化および急速な普及に伴って、それらに用いられる電子部品に対しても、より高密度な実装の実現とその高性能化が求められている。受動素子として用いられる積層型電子部品においても、このような要求に応えるために、さらなる小型化、高機能化が求められている。
【０００３】
従来、積層型チップコンデンサのような内部電極を有するセラミック積層型電子部品の製造に際しては、いわゆる金属セラミック一体焼成法が用いられている。この方法では、未焼成のセラミックグリーンシート上に、金属粉末と有機結合材とからなる導電性ペーストを例えばマトリックス状にパターン印刷して複数の内部電極を形成し、次いで、内部電極が形成されたセラミックグリーンシートを複数枚積層した後、その上下に内部電極の印刷されていないセラミックグリーンシートを数積層してセラミック積層体を得ている。その後、こうして得られたセラミック積層体を厚さ方向に加圧してセラミック層同士を密着させ、さらにこの積層体を個々のチップに切断した後、焼成して焼結体を得、得られた焼結体の外表面に外部電極を形成してセラミック積層型電子部品を得る。
【０００４】
上記製造に用いるセラミックグリーンシートの連続的形成方法の一例として、ロール状に巻いた長尺のＰＥＴフィルム上に縦横方向（以下、水平方向ともいう）に内部電極をパターン印刷した後、所定のサイズに切断して個々のセラミックシートを得る方法があり、かかる形成方法によれば高い生産効率でセラミックグリーシートを連続的に形成することができる。こうしたセラミックグリーシートの連続的形成においては、生産性向上のため、内部電極の印刷されたセラミックシート一枚あたりの製品取り個数アップが求められるために、近年シートのサイズが大型化している。
【０００５】
しかし、このようにして得られた例えば１６０ｍｍ角（□１６０）の大型サイズのセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成し、この積層体を切断、焼成していわゆる１００５、０６０３、０４０２等の極小サイズのチップを形成する場合、上記の積層工程での加熱圧着（以下、仮圧着ともいう）の際のグリーンセラミックの加熱による軟化や加圧による流動的変形の影響が大きくなり、積層精度の悪化や容量の低下が問題となる。かかる変形は内部電極の連続的な積層ズレを引き起こし、製品コンデンサの容量の低下や積層後の切断工程での内部電極露出による製品不良発生の原因となる。この変形による積層ズレは、積層体の中心部におけるよりも周辺部に近づくにつれて大きくなる傾向があり、またシートのサイズが大きくなるにつれて積層ズレの発生する範囲も広くなる。
【０００６】
かかる問題を解消すべく、特許文献１はマザー積層体を作り、該マザー積層体を中間的寸法の中間積層体に分割した後にプレスすることでセラミックグリーンシートの流動を抑制し、内部電極回路要素の変形、位置ずれや積層体自体の変形を抑制することを開示している。しかし、特許文献１に記載の発明は、既に形成した積層体の本プレス工程でのプレスによる変形を抑制することに関するものであり、特許文献１は積層工程（仮圧着工程）での積層体の変形の問題については何ら言及してはいない。すなわち、特許文献１に記載の製造方法においては、大型サイズのグリーンシートをそのサイズのまま積層することになるので、本発明が解消しようとする積層ズレの問題を未解決のまま内包していると言える。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−１００６５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、上述したセラミックグリーシートの連続的形成方法をその高い生産性を維持しながら有効に利用しつつ、上記の積層ズレの問題を引き起こすことなく、極小サイズのチップ部品を高い生産効率で製造し得る方法の開発が強く望まれていた。
【０００９】
本発明者らは上記の問題を解決すべく鋭意研究を行った結果、以下のような実験結果を得た。
図１Ａ〜１Ｃは、上述の従来法に従い１６０ｍｍ角の、表面に内部電極のパターン印刷されたセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成し、この積層体を切断、焼成していわゆる１００５サイズのコンデンサチップを形成する場合の、積層工程での内部電極の積層ズレの発生状態を説明する模式図である。この場合の積層数は２０層であり、各積層ステップは積層すべき電極パターン付グリーンシートを位置合わせして載置し、９０℃の加熱下で１５０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で１秒間仮圧着することにより行った。このようにして得られた積層体の内部電極の積層ズレを観察するために、図１Ａ右図に矢印で示すように、この１６０ｍｍ角の積層体から、その一側面からそれぞれ２５ｍｍ（測定箇所１）、８０ｍｍ（測定箇所２）および１１５ｍｍ（測定箇所３）離れ、該側面に平行な面が長手方向中心面となるように、１００５（１ｍｍ×０．５ｍｍ）チップサイズの積層体小片を、図１Ａ左図に複数の長方形で概念的に示すように切り出した。次いで、図１Ａ左図に示すように各積層体小片をその短手方向に沿って切断（図中に「断面」として表示）したとき、図１Ｂに示すようにその断面に現れた各電極層のうち最上層と最下層との両端部でのずれａおよびｂの平均値（ａ＋ｂ）／２を「重なりずれ」として求めた。さらに、図１Ｃに示すように、各測定箇所について、その断面のグリーンシート上における図１Ａ右図矢印方向の位置を横軸に、重なりずれを縦軸にとってグラフを作成してそれらの関係を検討した。
【００１０】
図１Ｃから明らかなように、重なりずれはグリーンシートの周辺部では周縁に近づくに従い大きくなっている。これは周縁に近づくほどシートの流動的な変形が累積し、重なりずれを大きくしていることによるものと考えられる。一方、中心部ではズレは小さく、グリーンシートの一端から計って約４０〜１２０ｍｍの範囲、すなわち中心部の略８０ｍｍ角の範囲では重なりずれはほぼ１０μｍ以内となっていることが判る。
【００１１】
この重なりずれ１０μｍ以内という値は、１００５サイズのチップ部品として十分な精度であり、上記の実験結果によれば、製造した１６０ｍｍ角積層体のうち１００５サイズのチップ部品として特に高い精度で有効に利用できるのは中心部の略８０ｍｍ角の部分であることが判る。本発明者らは、上記実験と同様にして種々のサイズのセラミックグリーンシート積層体を製造し、検討した結果、積層ズレ抑制の観点からは、積層すべきセラミックシートのサイズとしては、正方形シートを使用する場合、一般的にはその正方形の一片が、製造すべきチップ部品の長手方向寸法の１００倍以内であることが好ましく、８０倍以内であることがより好ましいことを見出した。従って、例えば１００５サイズのチップ部品を積層精度良く製造しようとすれば、好ましくは１００ｍｍ角、より好ましくは８０ｍｍ角のサイズのグリーンシートを積層することが必要になる。
【００１２】
ところが、例えば１００５サイズのチップ部品を製造するために、８０ｍｍ角の形状、サイズのグリーンシートを積層しようとする場合、単に８０ｍｍ角のグリーンシートを順次積層していけば積層ズレは効果的に抑制することはできるが、生産効率は著しく低いものになる。すなわち、１６０ｍｍ角のグリーンシートを積層していく場合と、８０ｍｍ角のグリーンシートを積層していく場合とでは、一回の積層工程による生産量が、後者は前者の約１／４になってしまう。これでは上述したグリーンシートの連続的形成方法の高い生産性に対し，それに続く積層工程が律速段階になり、電子部品の生産効率は著しく低下してしまう。
【００１３】
本発明者らは、さらにこの点についても鋭意検討した結果、上述したグリーンシートの連続的形成方法等を用いて形成した大型サイズのセラミックグリーンシートをそのまま積層するのではなく、積層しても許容限度以上の積層ズレを生じないような所定のサイズに分割した後に、かかる所定サイズのグリーンシートの積層を複数の積層体について同時に並行して行うことにより、上記のセラミックグリーシートの連続的形成方法の高い生産性を有効に維持しながら、上記の積層ズレの問題を引き起こすことなく極小サイズのチップ部品を高い生産効率で製造し得ることを見出し、本発明に至ったものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために、本発明は、少なくとも電極パターンを有するセラミックグリーンシートを含む複数のセラミックグリーンシートを積層してなるセラミック積層体の製造方法であって、表面に電極パターンを有する所定サイズのセラミックグリーンシート片の複数が、基材上に水平方向の相互の間に所定幅の間隙をおいて設けられてなる積層シートの複数を形成する積層シート形成工程；および該複数の積層シートを順次積層して複数の積層体を同時に得る積層工程を少なくとも含むことを最も主要な特徴としている。
【００１５】
また、本発明は上記のセラミック積層体の製造方法を包含する積層型電子部品の製造方法であって、表面に電極パターンを有する所定サイズのセラミックグリーンシート片の複数が、基材上に水平方向の相互の間に所定幅の間隙をおいて設けられてなる積層シートの複数を形成する積層シート形成工程；該複数の積層シートを順次積層して複数の積層体を同時に得る積層工程；該複数の積層体をそれぞれ積層方向にプレスするプレス工程；および該プレスされた複数の積層体のそれぞれを個々の前記積層型電子部品に分離する分離工程を少なくとも含むことを特徴とする積層型電子部品の製造方法をさらなる特徴としている。
【００１６】
加えて、本発明は上記の各製造方法に適用可能なセラミックグリーンシートの分割装置であって、基材上のセラミックグリーンシートの一部を所定幅で該基材を残して切り出す切断手段と、該セラミックグリーンシートの所定幅で切り出された部分を接着、吸引または分解により、該切り出しと同時に除去する除去手段とを少なくとも有するセラミックグリーンシートの分割装置をさらなる特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、上述した連続的形成方法を用いて形成した大型のセラミックグリーンシートを用いて積層セラミック電子部品を製造する場合においても、積層に先立ち該シートを、積層しても許容限度以上の積層ズレを生じないような所定のサイズに分割した後に、かかる所定サイズを有するグリーンシートの積層を複数の積層体について同時に並行して行うので、セラミックグリーシートの連続的形成方法の高い生産性を阻害することなく有効に利用しつつ、上記の積層ズレの問題を引き起こすことなく、極小サイズのチップ部品を高い生産効率で製造することができる。
【００１８】
さらに、本発明によれば、積層工程に付する前にあらかじめグリーンシートを所定のサイズに分割しているため、積層工程後にさらに積層体を最終プレス工程等に付した場合にも、該プレスによる内部電極層の変形や位置ズレを効果的に抑制しつつ極小サイズのチップ部品を高い生産効率で製造することができる。
【００１９】
また、現存の大型サイズセラミックグリーンシート製造用の塗布装置、印刷装置や、シート積層用の積層装置をそのまま使えるために新たに多大な設備投資を必要とすることなく極小サイズのチップ部品を高い生産効率で製造し得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図２Ａ〜２Ｈは本発明に係る積層体の製造工程の一例を模式的に示す概略的平面図ならびに側面図であり、各図中の上方の図は平面図、下方の図は側面図を示すものである。本実施形態は以下の各工程からなる。
（１）基材１を用意し（図２Ａ）、該基材１上に、セラミックペースト２をコーター３等を用いて塗布してセラミックグリーンシート連続体４とし（図２Ｂ）、該連続体４の上に金属粉末のペーストをスクリーン印刷５等によって印刷して内部電極回路要素パターン６を形成する（図２Ｃ）。
（２）このようにして内部電極回路要素パターン６を形成したセラミックグリーンシート連続体４を、基材表面方向に沿って複数の例えば長方形のセラミックグリーンシート８に分割する（図２Ｄ）。この分割は、具体的には、図２Ｄに示すように、得ようとする該複数のシート８相互間に所定幅の間隙（以下、必要に応じ分割シロという）９が存在するように、該基材１上の該グリーンシート連続体４の一部を例えば長手方向、短手方向に一定幅ｄで該基材１のみを残すように切断、除去することによって形成する。この分割シロは、後の積層工程における熱圧着による積層体の変形（積層体の全長の拡大）を見越した変形シロとも言うべきものであり、これが小さすぎるとシート片相互の接触による不良品の発生等の問題が生じるおそれがあり、一方大きすぎるとシート当たりの製品取り個数の減少や設計容量の低下等の問題が生じるおそれがある。かかる観点からは、分割シロ幅は３ｍｍ程度であることが好ましい。
（３）このようにしてその上面に、内部電極回路要素パターン６を有する複数のセラミックグリーンシート８を形成した基材１を、セラミックグリーンシート８と共に所定箇所で切断して、所定サイズのセラミックグリーンシート片８ａをそれぞれ所定数有する積層シート１０の複数を形成する（図２Ｅ）。
（４）このようにして得られた積層シート１０を位置合わせ用マーク７等を利用して位置合わせをしながら順次積層し、ヒーター１１等を用いて熱圧着（図２Ｆ）した後、上方に位置する積層シート１０の基材１を剥離する（図２Ｇ）工程を必要回数繰り返すことで前記所定数のセラミックシート積層体１２を同時に得る（図２Ｈ）。こうして得られた積層体１２は、図示はしないが、その後必要に応じ積層方向に最終プレスし、次いで所定の寸法のチップに切断した後、所定の温度で焼成し、得られた焼結体の内部電極と電気的接続する外部電極を焼結体端面に形成して積層型電子部品を得る。
【００２１】
なお、上記実施形態においては長尺のセラミックグリーンシート連続体を分割して複数のセラミックグリーンシート片を形成しているが、本発明においては、基材上にセラミックペーストをスクリーン印刷するなどして、最初から分割されたパターンの複数のセラミックグリーンシート片を形成し、それら各シート片上に内部電極回路要素パターンを形成しても良く、かかる方法も本発明の範囲内に包含される。
【００２２】
以下、本発明を実施例に基づき図面を参照しつつさらに詳細に説明する。
【実施例】
【００２３】
本実施例においては、いわゆるロール・ツー・ロール方式の連続的形成方法により得られたセラミックグリーンシート連続体としての長尺セラミックグリーンシートを用いて積層体を製造した。
【００２４】
図３Ａ〜３Ｃは、そのような長尺グリーンシートの表面に内部電極パターンを形成したグリーンシート連続体を、上記実施形態において説明したように複数のグリーンシートに分割し、さらに基材をグリーンシートと共に切断して複数の積層シートを作製する工程の詳細を概略的に示す平面図であり、左右に連続する部分は省略し、連続シートの一部のみを示してある。また、図２Ａ〜２Ｈに示す要素と同一の要素については同一の参照符号を用いて示している。
【００２５】
本実施例ではまず、図３Ａに示すように、ＰＥＴフィルムからなる基材１上に、チタン酸バリウムからなる誘電体セラミック粉末と有機バインダーとを混合して得たセラミックペーストをドクターブレード法によって塗布して幅１６０ｍｍのセラミックグリーンシート連続体４を形成し、次いでこの連続体４の表面に銀−パラジウムペーストをスクリーン印刷法によって印刷して内部電極パターン６を形成すると共に、位置合わせ用マーク７を付した。その際、内部電極パターン６の印刷は、後の分割シロ形成工程（図３Ｂ）およびシート切断工程（図３Ｃ）を経て、連続体の１６０ｍｍ長さ当たり（すなわち１６０ｍｍ角の正方形の領域１つにつき）４枚の略８０ｍｍ角の内部電極パターン６付きのグリーンシート片８ａが得られるように、一組４つの各内部電極パターン６間に長手、短手方向にそれぞれ分割シロ９ａ、９ｂを見越した間隔１３を空けておく。
【００２６】
このようにして内部電極パターン６を形成したグリーンシート連続体４を、基材表面方向に沿って、連続体４の長手方向に長い複数の長方形のセラミックグリーンシート８に分割する。ただし、後の切断工程における切断箇所に相当する、各４つの内部電極パターン６の組同士の間には分割シロは設けなくてよい。
【００２７】
図４Ａは、この分割工程に適用できる本発明に係るセラミックグリーンシートの分割装置の一例を示す模式的側面図である。
【００２８】
この分割装置は、その中央部に設けられた分割作業を行うための長尺の分割ステージ１５ならびに分割ステージ１５の前後に設けられたシート繰出しリール１６およびシート巻取りリール１７を有している。本分割装置を用いた前記グリーンシート連続体４の分割は、図３Ａに示した、基材１上にグリーンシート連続体４、内部電極パターン６および位置合わせ用マーク７を形成した長尺の部材をロール状に巻いたものを、このシート繰出しリール１６として使用し、その部材の先端をシート巻取りリール１７に掛け渡して巻き取ることにより行うことになる。なお、図４Ａ中では説明の便宜上、基材１のみを示し、その上のグリーンシート連続体４、内部電極パターン６等は省略している。
【００２９】
この分割ステージ１５は、さらに、そのシート繰出しリール１６側に位置する前半部に長手方向分割ユニット１８を、シート巻取りリール１７側に位置する後半部に短手方向分割ユニット１９をそれぞれ有してなる。この長手方向分割ユニット１８は、前記グリーンシート連続体４の長手方向の分割シロ９ａ（図３Ｂ参照）を形成するユニットであり、グリーンシート連続体４の位置を検出するための位置検出センサー２０、分割ステージ１５上を左から右方向へ移動するグリーンシート連続体４に当接しつつ切断を行うためのローラーカッター２３ａ、ならびにローラーカッター２３ａと前記グリーンシート連続体４との間に挟まれつつ移動する粘着テープ２４を供給、巻取りする粘着テープ繰出しリール２１ａおよび巻取りリール２２ａを有している。また短手方向分割ユニット１９は、前記グリーンシート連続体４の短手方向（幅方向）の分割シロ９ｂ（図３Ｂ参照）を形成するユニットであり、長手方向分割ユニット１８と同様にグリーンシート連続体４に当接しつつ切断を行うためのローラーカッター２３ｂ、ならびにローラーカッター２３ｂと前記グリーンシート連続体４との間に挟まれつつ移動する粘着テープ２４を供給、巻取りする粘着テープ繰出しリール２１ｂおよび巻取りリール２２ｂを有しているが、長手方向分割ユニット１８は、ローラーカッター２３ａの回転軸がグリーンシート連続体４の移動方向と直角の方向を向くよう設けられているのに対して、短手方向分割ユニット１９は、ローラーカッター２３ｂの回転軸がグリーンシート連続体４の移動方向と同一の方向を向くよう設けられている点において異なっている。そのため、図４Ａ中では粘着テープ巻取りリール２２ｂは粘着テープ繰出しリール２１ｂの背後にあって図面には現れていない。
【００３０】
この分割装置の特徴部分であるローラーカッターの構造について、図面を参照しながらさらに説明すると、図４Ｂはグリーンシート連続体４の移動方向手前から見たローラーカッター２３ａ、粘着テープ２４、グリーンシート連続体４および基材１の相互の関係を示す模式的部分断面図であり、ローラーカッター２３ａについては連続体４の移動方向手前から見た側面を、粘着テープ２４、グリーンシート連続体４および基材１については幅方向に切った断面を示している。
【００３１】
図４Ｂに示すように、ローラーカッター２３ａは、ある直径を有するローラーの両側面（両端面）に該直径より大きな直径のディスク形状のカッターをそれぞれ設けたような形状を有しており、この２枚のディスク形状カッターのブレード２５ａ、２５ｂ同士の間隔は図２Ｄに関連して前述した分割シロ９の幅ｄと同じに設定されている。さらに、このローラーカッター２３ａの幅ｄを有するローラー外周部分２６の、連続体４に対向する部分には、粘着テープ繰出しリール２１ａと巻取りリール２２ａとの間に掛け渡した粘着テープ２４がその粘着面を外側に向けて当接しており、さらにその接着面は基材１上の連続体４の表面に当接しており、不図示の押圧機構によってローラーカッター２３ａは基材１に向けて押圧されている。従って、この場合、ローラーカッター２３ａのディスク形状カッターのブレード２５ａ、２５ｂ周縁とローラー外周部分２６との段差の大きさｇは、原則的には粘着テープ２４の厚さと連続体４の厚さとを合計した値に設定することが好ましい。ただしｇの値は、ローラーカッター２３ａの材質、基材１への押圧機構、押圧力、連続体４の組成等を考慮して適宜調整することができる。
【００３２】
しかして、この２枚のディスク形状のカッターのブレード２５ａ、２５ｂが、分割ステージ１５上を移動する基材１上のグリーンシート連続体４に押し付けられた状態で、ローラーカッター２３ａを回転機構（図示せず）を用いてグリーンシート連続体４の移動速度と同調して回転させることで、２枚のカッターにより連続体４が基材１上で間隔ｄの２本の平行線状にその厚さ全体に亘って切断され、図３Ｂに示すように、グリーンシート連続体４の短手方向中央位置にその長手方向に沿って連続した幅ｄの分割シロ９ａを形成することができる。この切断は、位置検出センサー２０を用いて連続体４に付した位置合わせ用マーク７を検出し、必要な位置制御を行うことで高い位置精度をもって行うことができる。
【００３３】
その際、２枚のディスク形状のカッターにより、基体１を残してｄの幅で切断されたグリーンシート連続体４の一部である長尺の帯状部分は、それが当接している粘着テープ２４と、ローラーカッター２３ａのローラー外周部分２６の押圧力により接着し、粘着テープ２４の移動と共に連続的に剥離除去され、粘着テープ２４と共に粘着テープ巻取りリール２２ａに巻き取られる。この場合、グリーンシート連続体４と粘着テープ２４とは不図示の速度調整機構により、同一の移動速度となるように調整されている。
【００３４】
以上、長手方向分割ユニット１８を例にとって、連続体４の長手方向の分割について詳細に説明したが、短手方向分割ユニット１９による連続体４の短手方向の分割についても同様にして行うことができる。ただし、長手方向分割に関しては、連続体４の長手方向の移動を利用できるため、長手方向分割ユニット１８は固定しておいても長手方向分割シロ９ａを連続的に形成することができるが、短手方向分割に関しては、連続体４の短手方向の移動は無いため、短手方向に連続的に分割シロ９ｂを形成するためには、短手方向分割ユニット１９を連続体４の短手方向にそって移動させてやる必要がある。その場合、連続体４の長手方向の移動による影響を避けるためには、短手方向分割ユニット１９の移動中だけ連続体４の移動を停止するか、あるいは短手方向分割ユニット１９を連続体４の短手方向に移動させると同時に、連続体４の長手方向へも、連続体４と同一の移動速度で移動させてやれば良い。かかる移動は当業者であれば常法に従い、電動機や油圧、水圧等用い、既知の機構を利用して自由に行うことができる。
【００３５】
上記の分割装置によれば、カッターによるスリット状の切断と、これと併行した粘着テープによる切断シートの除去により、基材に傷等を付けることなくグリ−ンシートのみをきれいにかつ迅速に除去することができ、切断屑等によるその後の積層工程における不良品の発生等を有効に防止することができる。
【００３６】
なお、上記装置において、ローラーカッター２３ａの材料としては金属、合金、セラミック、プラスチック等種々の材料を利用することができるが、ローラー外周部分２６の押圧力を向上させ、粘着テープ２４を連続体４の表面に効果的に接着させるという観点からは、ローラー外周部分２６の表面を弾性プラスチックやゴム等の弾性体で構成することも好ましいものである。
【００３７】
次いで、このようにしてその上面に複数のセラミックグリーンシート８を形成した基材１を、位置合わせ用マーク７を利用して位置合わせを行いながら所定の切断線１４に沿って常法によりセラミックグリーンシート８と共に切断し、一組４枚のセラミックグリーンシート片８ａを有する複数の積層シート１０を得る（図３Ｃ）。
【００３８】
その後、このようにして得られた複数の積層シート１０を位置合わせしながら順次積層、加熱、圧着してセラミックシート積層体を得る。
【００３９】
こうして得られた積層体は、図示はしないが、その後必要に応じ積層方向に最終プレスし、次いで所定の寸法のチップに切断した後、所定の温度で焼成し、得られた焼結体の内部電極と電気的接続する外部電極を焼結体端面に形成して積層型電子部品を得る。
【００４０】
なお、上記実施例においては切断されたグリーンシート連続体を粘着テープを用いて除去しているが、本発明はかかる実施例にのみ限定されるものではなく、他の粘着性材料を用いた接着、真空吸着等による吸引、エッチングやレーザー照射による分解等により切断片を除去しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１Ａ】従来法により大型セラミックグリーンシートを積層して積層体を形成する際の、内部電極の積層ズレの測定方法を説明する模式図である。
【図１Ｂ】従来法により大型セラミックグリーンシートを積層して積層体を形成する際の、内部電極の積層ズレの評価方法を説明する模式図である。
【図１Ｃ】従来法により大型セラミックグリーンシートを積層して積層体を形成する際の、内部電極の積層ズレとシート上における位置との関係を説明するグラフである。
【図２Ａ】本発明の一実施形態に係るセラミック積層体の製造方法のうちの基材準備工程を示す概略図である。
【図２Ｂ】本発明の一実施形態に係るセラミック積層体の製造方法のうちのセラミック塗布工程を示す概略図である。
【図２Ｃ】本発明の一実施形態に係るセラミック積層体の製造方法のうちの電極印刷工程を示す概略図である。
【図２Ｄ】本発明の一実施形態に係るセラミック積層体の製造方法のうちのシート分割工程を示す概略図である。
【図２Ｅ】本発明の一実施形態に係るセラミック積層体の製造方法のうちのシート切断工程を示す概略図である。
【図２Ｆ】本発明の一実施形態に係るセラミック積層体の製造方法のうちの熱圧着工程を示す概略図である。
【図２Ｇ】本発明の一実施形態に係るセラミック積層体の製造方法のうちの基材剥離工程を示す概略図である。
【図２Ｈ】本発明の一実施形態に係るセラミック積層体の製造方法により製造されたセラミック積層体を示す概略図である。
【図３Ａ】本発明の一実施例に係るセラミック積層体の製造方法における内部電極パターンおよび位置合わせマークの形成された状態のセラミックグリーンシート連続体を示す概略平面図である。
【図３Ｂ】本発明の一実施例に係るセラミック積層体の製造方法における分割された状態のセラミックグリーンシート連続体（セラミックグリーンシート）を示す概略平面図である。
【図３Ｃ】本発明の一実施例に係るセラミック積層体の製造方法における切断された状態のセラミックグリーンシート連続体（積層シート）を示す概略平面図である。
【図４Ａ】本発明に係るセラミックグリーンシートの分割装置の一例を示す模式的側面図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示す分割装置のローラーカッターと、セラミックグリーンおよび基材との接触状態を示す模式的部分断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１    基材
４    セラミックグリーンシート連続体
６    内部電極回路要素パターン
８    セラミックグリーンシート
８ａ  セラミックグリーンシート片
９    間隙
１０  積層シート
１２  積層体
【図１Ａ】
2005259964.tif 000003
【図１Ｂ】
2005259964.tif 000004
【図１Ｃ】
2005259964.tif 000005
【図２Ａ】
2005259964.tif 000006
【図２Ｂ】
2005259964.tif 000007
【図２Ｃ】
2005259964.tif 000008
【図２Ｄ】
2005259964.tif 000009
【図２Ｅ】
2005259964.tif 000010
【図２Ｆ】
2005259964.tif 000011
【図２Ｇ】
2005259964.tif 000012
【図２Ｈ】
2005259964.tif 000013
【図３Ａ】
2005259964.tif 000014
【図３Ｂ】
2005259964.tif 000015
【図３Ｃ】
2005259964.tif 000016
【図４Ａ】
2005259964.tif 000017
【図４Ｂ】
2005259964.tif 000018