(57)【要約】【課題】  接点合金の耐電圧特性と接触抵抗特性に優れた真空バルブを提供する。【解決手段】  真空バルブの接点を、Ｃｕ−Ｃｒ系接点材料から成るものとし、接点を、常温から１５００℃までを、１０〜３００℃／秒の範囲で選択した一定の昇温速度で加熱する過程で、接点から放出される窒素ガスの累積量をＷ１とし、接点を、常温から少なくとも２６００℃までを、１０〜３００℃／秒の範囲で選択した前記昇温速度と同じ一定の昇温速度で加熱する過程で、接点から放出される窒素ガスの累積量をＷ２とするとき、Ｗ２中に占めるＷ１の比率（Ｗ１／Ｗ２の比率）を、重量比で、０．６以下で、０．０１以上とする。これにより、接点合金の耐電圧特性と接触抵抗特性に優れた真空バルブを提供できる。【選択図】  なし  【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内において、互いに接離可能に対向して設けられ、それぞれが通電軸に装着される一対の接点を有する真空バルブにおいて、
前記接点は、Ｃｕ−Ｃｒ系接点材料から成り、
前記接点を、常温から１５００℃までを、１０〜３００℃／秒の範囲で選択した一定の昇温速度で加熱する過程で、前記接点から放出される窒素ガスの累積量をＷ１とし、
前記接点を、常温から少なくとも２６００℃までを、１０〜３００℃／秒の範囲で選択した前記昇温速度と同じ一定の昇温速度で加熱する過程で、前記接点から放出される窒素ガスの累積量をＷ２とするとき、
前記Ｗ２中に占める前記Ｗ１の比率、すなわちＷ１／Ｗ２の比率が、重量比で、０．６以下で、０．０１以上である事を特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
前記接点中のＣｕ相中には、０．３５重量％以下（ゼロを含む）のＣｒを含有した事を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項３】
前記接点は、Ｃｕを３０〜８０重量％含有するとともに、残部の耐弧性成分が、０．１〜１５０μｍの平均粒子直径を持つＣｒで構成された事を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項４】
前記接点における耐弧性成分は、Ｃｒの一部が、Ｃｒに対して５０重量％以下のＷ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂの内の少なくとも１つで置換されたものである事を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項５】
前記接点には、０．５重量％以下（ゼロを含む）のＦｅを含有した事を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項６】
前記接点には、０．３重量％以下（ゼロを含む）のＡｌを含有した事を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項７】
前記接点には、０．３重量％以下（ゼロを含む）のＳｉを含有した事を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項８】
前記接点には、補助成分として、Ｂｉ、Ｔｅの少なくとも１つを５重量％以下含有する事を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項９】
前記接点には、補助成分として、Ｓｂを０．５重量％以下含有する事を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項１０】
前記接点は、少なくとも２０％ＩＡＣＳの導電率を持つ合金である事を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項１１】
前記通電軸は、少なくとも７０％ＩＡＣＳの導電率を持つものである事を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項１２】
前記接点の背面にコイル電極が装着され、前記コイル電極は、少なくとも７０％ＩＡＣＳの導電率を持つものである事を特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、優れた耐電圧特性と接触抵抗特性とを有する接点を搭載した真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に真空遮断器において、真空中でのアークの拡散性を利用して高真空中で電流遮断を行わせる真空バルブの接点は、対向する固定、可動の２つの接点から構成されている。
【０００３】
図５に示す如く、絶縁容器１０１の両端開口部を蓋体１０２ａ、１０２ｂにより閉塞した真空容器１０３内に、一対の接点１０４、１０５を対向させて設けると共に、これらを前記蓋体１０２ａ、１０２ｂを貫通させて真空容器１０３内に挿入された通電軸１０６、１０７の端部にそれぞれ装着し、その一方の通電軸１０７を図示しない操作機構により軸方向に移動可能として、前記一方の接点（以下固定接点）１０４に対して、他方の接点（以下可動接点）１０５を接触または開離出来るようにしてある。
【０００４】
この場合、蓋体１０２ｂと通電軸１０７との間には、真空容器１０３内を真空気密に保持しかつ通電軸１０７の軸方向への移動を可能とするベローズ１０８が設けられる。なお図中１０９は、前記各接点１０４、１０５および通電軸１０６、１０７を包囲する如く設けられたアークシールドである。
【０００５】
上記真空遮断器は、通常両接点１０４、１０５が接触し通電状態となる。この状態からの動作により通電軸１０７が図中矢印Ｍ方向に移動すると、可動接点１０５が固定接点１０４から開離し、両接点間にはアークが発生する。このアークは陰極例えば可動接点１０５側からの金属蒸気の発生により維持され、電流がゼロ点（零点）に達すると金属蒸気の発生が止まってアークが維持できなくなり、遮断が完了する。
【０００６】
ところで、上記両接点１０４、１０５間に発生するアークは、遮断電流が大きいとアーク自身により生じた磁場と外部回路の作る磁場との相互作用により著しく不安定な状態となる。その結果アークは接点面上を移動し（接点が電極に取り付けられ一体化している時には、アークは電極面上にも移動している場合もある）、接点の端部或いは周辺部に片寄り、その部分を局部的に過熱し、多量の金属蒸気を放出させて、真空容器１０３内の真空度を低下させる。その結果、真空遮断器の遮断性能は低下する。これらは金属組織などで代表される接点の状態に依存する事が多い。
【０００７】
図６は、一対の接点４１、５１を対向させて設けると共に接点４１の背面には平板型電極４０、接点５１の背面には平板型電極５０をそれぞれ装着した真空バルブである。また接点４１の背面にはコイル電極４０、接点５１の背面にはコイル電極５０をそれぞれ装着してもよい。
【０００８】
一般に真空遮断器では、大電流断性能、耐電圧性能、耐溶着性能の基本的３要件の他に接触抵抗特性の安定性などが重要な要件となっている。
【０００９】
しかしながら、これらの要件の中には相反するものがある関係上、単一の金属種によって総ての要件を満足させる事は不可能である。この為実用されている多くの接点材料に於いては、不足する性能を相互に補うような２種以上の元素を組合せる事によって、例えば大電流用、高耐圧用などのように特定の用途に合った接点材料の選択採用が行われ、それなりに優れた特性を持つ真空バルブが開発されているが、それでも一部の機能を犠牲にして対応している製品が多い。さらに強まる要求を充分満足する真空バルブは未だ得られていないのが実情である。
【００１０】
特許文献１には、高耐電圧性を目的とした接点として、Ｃｕを６５〜８０ｗｔ％含有させたＣｕ−Ｃｒ合金が示されている。
【００１１】
特許文献２には、高耐電圧性を目的とした接点として、Ｂｉを０．５％含有させたＣｕ−Ｃｒ合金が示されている。
【００１２】
特許文献３のＣｕ−Ｃｒ接点では、大電流遮断性に優れ、耐電圧性に優れたＣｕ−Ｃｒ接点が示されている。
【００１３】
特許文献４、特許文献５には、遮断性能に優れかつ耐電圧性にすぐれた接点として、ＣｕとＣｒとＭｏとＮｂからなる接点が示されている。
【００１４】
特許文献６には、耐溶着性とさい断電流特性と機械加工性の向上を目的とした接点として、Ｔｅを４％以下含有させたＣｕ−Ｃｒ合金が示されている。
【００１５】
特許文献７には、再点弧特性を安定化させて電流遮断特性の向上を目的とした接点として、所定温度までの加熱過程で放出されるガス累積量を８０容積％以下に抑制したＣｕ−Ｃｒ合金が示されている。
【００１６】
特許文献８には、再点弧特性を安定化させて電流遮断特性を向上させる事を目的とした接点として、接点に含有される質量数が３９以上である気体分子の総量を所定量内に抑制したＣｕ−Ｃｒ合金が示されている。
【特許文献１】特公昭６１−０３１１７２号公報
【特許文献２】特公昭６１−０４１０９１号公報
【特許文献３】特公昭６３−０３６０８９号公報
【特許文献４】特公平０１−０５７４５６号公報
【特許文献５】特公平０１−０５７４５７号公報
【特許文献６】特公平０４−００１４４８号公報
【特許文献７】特開２００２−２７９８６４号公報
【特許文献８】特開２００２−２７９８６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
特許文献１のＣｕ−Ｃｒ合金の製造方法によるＣｕ−Ｃｒ接点は、活性度の高いＣｒによるガスの強力なゲッタ作用によって、耐電圧特性を発揮する。Ｃｒ自体とＣｕとの高温度での蒸気圧特性がほぼ近似していることで、遮断した後でも接点表面は比較的平滑な損傷特性を示し、安定した接触抵抗特性を発揮している。この様にＣｒ成分の効果を示しているが、しかし近年の過酷な電気的特性の過酷化した要求に対して重要な耐電圧特性と接触抵抗特性の安定化の為の窒素ガス量の影響とその値の最適化についての示唆は示されていない。
【００１８】
特許文献２には、高耐圧大電流化の為に０．５％以下のＢｉの添加が示唆されているが、窒素ガスに対して所定条件を与えなければ、十分な耐電圧特性と接触抵抗特性との安定化は得られない。
【００１９】
特許文献３では、Ｃｕ−Ｃｒ合金に於けるＴａ量の最適化が図られたが、窒素ガスに対して所定条件を与えなければ、十分な耐電圧特性と接触抵抗特性との安定化は得られず、耐電圧特性と接触抵抗特性の安定化との関係は不明である。
【００２０】
特許文献４、特許文献５では、遮断特性に対するＭｏ添加量の効果を明確化したが、窒素ガスに対して所定条件を与えなければ、十分な耐電圧特性と接触抵抗特性との安定化は得られず、耐電圧特性と接触抵抗特性の安定化との関係は不明である。
【００２１】
特許文献６には、耐溶着性などの向上の為に４％以下のＴｅの添加が示唆されているが、窒素ガスに対して所定条件を与えなければ、十分な耐電圧特性と接触抵抗特性との安定化は得らない。
【００２２】
特許文献７では、所定温度までの加熱過程で放出されるガス累積量に注目しているのみで、耐電圧特性と接触抵抗特性の安定化に対する窒素ガスの重要性が示唆されていない。
【００２３】
特許文献８には、再点弧特性を安定化させて電流遮断特性を向上させる為に、接点に含有される質量数とガス総量に注目しているのみで、耐電圧特性と接触抵抗特性の安定化に対して窒素ガスに対する定量化が成されていない。窒素ガスに対して所定条件を与えなければ、十分な耐電圧特性と接触抵抗特性との安定化は得らない。
【００２４】
さらに、次のような問題がある。
【００２５】
（１）接点の表面状態の問題として、近年では一層の大電流遮断やより高電圧が印加される可能性のある回路への適応が日常的に行われる結果、接点として加工した新品時の表面状態、電流遮断後の接点表面の損傷状態などによっては、定常電流を次に開閉する時、接触抵抗の異常上昇を引き起こす原因となったり、耐電圧不良を示す原因となったりしている。この様に、定常電流の開閉や大電流遮断を受け、接点の表面自体はその都度変化する為、接点の表面状態の事前管理のみでは、完全には耐電圧特性の低下の抑制と、接触抵抗特性の不安定性の抑制が出来ない。
【００２６】
（２）接点素材自体の問題として、原料の選択、原料からのまたは製造過程からの不純物の混入、焼結条件や雰囲気の管理など、合金中のＣｒ量の変動、Ｃｒ粒子の粒度分布、Ｃｒ粒子の偏析の程度、合金中に存在する空孔の程度などに十分に配慮しながらＣｕ−Ｃｒ接点素材を製造（焼結工程など）したり、接点素材から接点片へと加工に配慮しながら接点製品を製造したりしているが、上述した近年の適応状況では、耐電圧特性と安定した接触抵抗特性に対して未だ十分ではなく、接点素材に対して新たな視点での改良の必要性が示唆される。
【００２７】
本発明は、従来のこのような点に鑑みて為されたもので、接点合金の耐電圧特性と接触抵抗特性に優れた真空バルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
上記目的を達成するために、本発明は、真空容器内において、互いに接離可能に対向して設けられ、それぞれが通電軸に装着される一対の接点を有する真空バルブにおいて、
接点は、Ｃｕ−Ｃｒ系接点材料から成り、
接点を、常温から１５００℃までを、１０〜３００℃／秒の範囲で選択した一定の昇温速度で加熱する過程で、接点から放出される窒素ガスの累積量をＷ１とし、
接点を、常温から少なくとも２６００℃までを、１０〜３００℃／秒の範囲で選択した前記昇温速度と同じ一定の昇温速度で加熱する過程で、接点から放出される窒素ガスの累積量をＷ２とするとき、
Ｗ２中に占めるＷ１の比率、すなわちＷ１／Ｗ２の比率が、重量比で、０．６以下で、０．０１以上である事を特徴とする。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、耐電圧特性と接触抵抗特性とを両立させた真空バルブを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態について、詳細に説明する。
【００３１】
本発明者らは、遮断実験の観察から、新たな視点として、昇温過程での窒素ガスの放出挙動と耐電圧特性との関係に注目し、本発明の完成に至った。
【００３２】
本発明の第１の実施形態は、真空容器内において、互いに接離可能に対向して設けられ、それぞれが通電軸に装着される一対の接点を有する真空バルブにおいて、接点は、Ｃｕ−Ｃｒ系接点材料から成り、接点を、常温から１５００℃までを、１０〜３００℃／秒の範囲で選択した一定の昇温速度で加熱する過程で、前記接点から放出される窒素ガスの累積量をＷ１とし、接点を、常温から少なくとも２６００℃までを、１０〜３００℃／秒の範囲で選択した前記昇温速度と同じ一定の昇温速度で加熱する過程で、接点から放出される窒素ガスの累積量をＷ２とするとき、Ｗ２中に占めるＷ１の比率、すなわちＷ１／Ｗ２の比率が、重量比で、０．６以下で、０．０１以上である事を特徴とする真空バルブである。
【００３３】
すなわち、本発明では、接点のＷ１／Ｗ２の比率を０．６倍以下（好ましくは０．５倍以下）で、０．０１倍以上とする事が重要である。
【００３４】
電流を遮断した時、電極空間に放出されたガスが所定量以上となると、耐電圧特性の低下を招き好ましくない為である（ここでの所定量以上とは、放出ガス累積量が０．６倍を越えて残存している状態を指す）。
【００３５】
なお、Ｗ１／Ｗ２の比率が所定量の０．６倍を越す接点では、特に小電流での耐電圧値が低く、耐電圧値のばらつきが大きい。大電流を遮断した時にも遮断不能を起こす傾向も大きい。一方、Ｗ１／Ｗ２の比率が０．０１倍未満の接点では、高い温度でも分解し難い化合物が少量存在する事を意味する。この様な分解し難い化合物が存在する場合では、遮断器では、遮断毎の性能（遮断成功の電流値）は一定ではなく、遮断時の接点への入力エネルギーは一定ではない。電気的、熱的入力エネルギーの変動による接点温度の変動によって、接点からの窒素ガスの放出も安定せずバラバラとなり、耐電圧特性は不安定となり好ましくない為である。
【００３６】
なお、Ｗ１／Ｗ２の比率を所定量の０．６倍以下〜０．０１倍以上とする手段は、原料粉に前処理を与える条件、接点製造時の条件に配慮して接点素材を製造する。真空バルブとして組立て中の製造条件、真空バルブとして組立てた後の接点面に対して真空排気しながら加熱処理を与える。これらの諸条件は「作用」の項で後述する。
【００３７】
なお、室温からＷ１およびＷ２までの昇温速度を１０〜３００℃／秒の範囲で選択し、かつ一定の速度で昇温させる事が重要である。昇温速度が１０℃／秒以下では、測定時間が必要以上に長く要する以外に、その分だけ被測定合金の蒸発損失が大きくかつ被測定合金を支える容器との反応も進行し、真値が得られにくい。また昇温速度が３００℃／秒より速いと、放出する窒素ガス量と、放出瞬時の被測定合金の温度との間に時間的ズレを生じ、真値が得られにくい。そこで本発明でのＷ１／Ｗ２の比率の決定では、１０〜３００℃／秒の範囲での昇温速度を選択した時の値に限定する。
【００３８】
本発明の第２の実施形態は、第１の実施形態の真空バルブにおいて、接点中のＣｕ相中には、０．３５重量％以下（ゼロを含む）のＣｒを含有した事を特徴とする真空バルブである。
【００３９】
すなわち、Ｃｕ相中に固溶するＣｒが０．３５重量％を越えて存在したＣｕＣｒ合金では、
接触抵抗値にハラツキが発生するので、本発明の接点への適応は好ましくない。
【００４０】
本発明の第３の実施形態は、第１の実施形態の真空バルブにおいて、接点は、Ｃｕを３０〜８０重量％含有するとともに、残部の耐弧性成分が、０．１〜１５０μｍの平均粒子直径を持つＣｒで構成された事を特徴とする真空バルブである。
【００４１】
すなわち、接点のＷ１／Ｗ２の比率を０．６倍以下に制御したとしても、接点中の高導電性成分としてのＣｕが３０重量％未満では、遮断特性が大幅に低下する。また高導電性成分としてのＣｕが８０重量％より大の時は、耐電圧特性が低下し好ましくない。
【００４２】
また、耐弧性成分の平均粒子直径は、０．１〜１５０μｍの範囲のＣｒ粒子が少なくとも７５容積％を占める時、安定した耐電圧特性を発揮する。しかし、接点のＷ１／Ｗ２の比率を０．６倍以下に制御したとしても、Ｃｒ粒子の平均粒子径が０．１μｍ未満では、Ｃｕ−Ｃｒ合金中のＣｒ粒子の分布は、十分には分散出来ず凝集部分が存在すると共に、Ｃｕ−Ｃｒ接点素材中の窒素ガスを低減化出来ず、いずれも耐電圧特性を低下させている。１５０μｍを越えると、仕上げ加工した接点表面には、Ｃｒ粒子とＣｕ相界面に引っかき状の傷を残し平滑で均一な状態が得難く、耐電圧特性の低下のみならず接触抵抗値に大きなバラツキを示し好ましくない。接点中のＣｕ量が３０重量％未満のＣｕ−Ｃｒに適応すると接触抵抗特性が低下する。８０重量％を越えるＣｕ−Ｃｒに適応すると耐電圧特性が低下する。
【００４３】
本発明の第４の実施形態は、第１の実施形態の真空バルブにおいて、接点における耐弧性成分は、Ｃｒの一部が、Ｃｒに対して５０重量％以下のＷ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂの内の少なくとも１つで置換されたものである事を特徴とする真空バルブである。
【００４４】
すなわち、Ｃｒの一部を、Ｃｒに対して５０重量％以下のＷ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂの１つで置換をする事によって、Ｃｕ−Ｃｒ接点素材全体の機械的強度を大とし、Ｃｒ粒子の脱落が引き金となって引き起こされる耐電圧特性の低下を軽減化する。また遮断による接点面の荒れを軽減し接触抵抗特性の安定化に寄与する。５０重量％を越えると優れた遮断特性を発揮しているＣｒの効果が失われてしまい、本発明技術を適応するには好ましくない。
【００４５】
本発明の第５の実施形態は、第１の実施形態の真空バルブにおいて、接点には、０．５重量％以下（ゼロを含む）のＦｅを含有した事を特徴とする真空バルブである。
【００４６】
すなわち、Ｆｅの存在による素材自体の機械的特性の改善と、所定温度までの加熱過程で放出される窒素ガスの放出特性の制御との相乗的な寄与によって、一層の耐電圧特性と接触抵抗特性の安定化を得る。Ｆｅ量が０．５重量％を越えて存在するＣｕ−Ｃｒでは耐電圧特性と接触抵抗特性にバラツキが発生する。
【００４７】
本発明の第６の実施形態は、第１の実施形態の真空バルブにおいて、接点には、０．３重量％以下（ゼロを含む）のＡｌを含有した事を特徴とする真空バルブである。
【００４８】
すなわち、本発明においてＡｌの存在は、Ａｌの存在による素材自体の機械的特性の改善と、所定温度までの加熱過程で放出される窒素ガスの放出特性の制御との相乗的な寄与によって、一層の耐電圧特性と接触抵抗特性の安定化を得る。Ａｌ量が０．３重量％を越えて存在するＣｕ−Ｃｒでは耐電圧特性と接触抵抗特性にバラツキが発生する。
【００４９】
本発明の第７の実施形態は、第１の実施形態の真空バルブにおいて、接点には、０．３重量％以下（ゼロを含む）のＳｉを含有した事を特徴とする真空バルブである。
【００５０】
すなわち本発明においてＳｉの存在は、Ｓｉの存在による素材自体の機械的特性の改善と、所定温度までの加熱過程で放出される窒素ガスの放出特性の制御との相乗的な寄与によって、一層の耐電圧特性と接触抵抗特性の安定化を得る。Ｓｉ量が０．３重量％を越えて存在するＣｕ−Ｃｒでは耐電圧特性と接触抵抗特性にバラツキが発生する。
【００５１】
本発明の第８の実施形態は、第１の実施形態の真空バルブにおいて、接点には、補助成分として、Ｂｉ、Ｔｅの少なくとも１つを５重量％以下含有する事を特徴とする真空バルブである。
【００５２】
すなわち本発明において、Ｂｉ、Ｔｅの少なくとも１つの５重量％以下の存在は素材自体の耐溶着性の改善による電流遮断後の接点表面状態の改善と、所定温度までの加熱過程で放出される窒素ガスの放出特性の制御との相乗的な寄与によって、耐電圧特性の維持と一層の接触抵抗特性の安定化を得る。しかし、接点のＷ１／Ｗ２の比率を０．６倍以下に制御したとしても、５重量％を越すＢｉ、Ｔｅの存在は、耐電圧特性の低下とバラツキ幅を増加させて好ましく無い。
【００５３】
本発明の第９の実施形態は、第１の実施形態の真空バルブにおいて、接点には、補助成分として、Ｓｂを０．５重量％以下含有する事を特徴とする真空バルブである。
【００５４】
すなわち本発明において、Ｓｂの０．５重量％以下の存在は，素材自体の耐溶着性の改善による電流遮断後の接点表面状態の改善と、所定温度までの加熱過程で放出される窒素ガスの放出特性の制御との相乗的な寄与によって、耐電圧特性の維持と一層の接触抵抗特性の安定化を得る。しかし、接点のＷ１／Ｗ２の比率を０．６倍以下に制御したとしても、０．５重量％を越すＳｂの存在は、耐電圧特性の低下とバラツキ幅を増加させて好ましく無い。
【００５５】
本発明の第１０の実施形態は、第１の実施形態の真空バルブにおいて、接点は、少なくとも２０％ＩＡＣＳの導電率を持つ合金である事を特徴とする真空バルブである。
【００５６】
すなわち本発明において、接点のＷ１／Ｗ２の比率を０．６倍以下に制御したとしても、接点合金の導電率が２０％ＩＡＣＳ未満では、電流の開閉や遮断時の過度の昇温により接触抵抗の増加を招き好ましくない。
【００５７】
本発明の第１１の実施形態は、第１の実施形態の真空バルブにおいて、通電軸は、少なくとも７０％ＩＡＣＳの導電率を持つものである事を特徴とする真空バルブである。    
【００５８】
すなわち本発明において、接点のＷ１／Ｗ２の比率を０．６倍以下に制御したとしても、通電軸の導電率が７０％ＩＡＣＳ未満では、電流の開閉や遮断時の過度の昇温により接触抵抗の増加を招き好ましくない。
【００５９】
本発明の第１２の実施形態は、第１の実施形態の真空バルブにおいて、接点の背面にコイル電極が装着され、コイル電極は、少なくとも７０％ＩＡＣＳの導電率を持つものである事を特徴とする真空バルブである。
【００６０】
すなわち本発明において、接点のＷ１／Ｗ２の比率を０．６倍以下に制御したとしても、コイル電極の導電率が２０％ＩＡＣＳ未満では、電流の開閉や遮断時の過度の昇温が原因となって、接触抵抗の増加を招き好ましくない。
【００６１】
＜実施形態の作用＞
次に、これら本発明の実施形態の作用について説明する。
【００６２】
（特許文献７との差異）
前記した特許文献７（特開２００２−２７９８６４号公報）では、所定温度までの加熱過程で放出されるガスに注目している点では同じである。しかしこの特許文献７では、真空遮断器の総合的特性を示すのに重要な指針の１つである遮断特性との関わりが深いとされるガス総量を対象とし、真空遮断器の遮断特性の改善に大きく寄与している。しかし遮断特性との関わりのみで、耐電圧特性に関わりの強いガスの種類として窒素ガスを特定する示唆はない。一方の本発明での観察では、窒素ガスの放出挙動が耐電圧特性との相関性を見出している。
【００６３】
（本発明に於ける内蔵ガスの重要性）
真空遮断バルブに於いて、電流を遮断した直後の接点表面は主としてアーク熱によって極めて高温度になり、アーク点の周辺の微少領域では溶融が起こる。このアーク点周辺の表面部からは、ガスがバルブ空間に放出される。同時にその内部からもガスがバルブ空間に放出される。これらのガスが電極間に所定時間以上停滞したり、特に未だ十分に電極が開極していない短間隙の時点で所定量以上存在したりすると、真空の持つ、優れた絶縁性は破壊され、耐電圧特性の低下を招く。
【００６４】
従って、電極間の絶縁耐力を維持し耐電圧特性の優れた真空遮断器とするには、電極間に停滞しているガスを電極間以外の空間に速やかに拡散除去させる事が重要である。これらのガスは、接点やシールドなどの構成部材表面に単に吸着している吸着ガスと、接点材料自体に内蔵している内蔵ガスとが供給源となる。
【００６５】
前者の吸着ガスの除去は、接点をその溶融温度以下の温度であらかじめ熱処理を行ったり、真空バルブとして組立てる際の加熱排気工程を十分に行ったりする事で絶対量を少なくする事は容易である。これに対して後者の内蔵ガスの除去については、極く表面層を除いた内部に存在するガスの除去は極めて困難である。従って、接点内部から放出されるガスの源となる接点材料自体に内蔵している内蔵ガスの絶対量をあらかじめ極少にしておく事が特に重要である。
【００６６】
（窒素ガスの重要性）
すなわち発明者らの研究によれば、常温から１５００℃までの加熱過程で放出される窒素ガスの累積量Ｗ１が大である接点では、遮断の初期過程の真空度が十分に回復しない時点すなわち絶縁が十分に回復しない段階で、電極間に多量のガス放出がなされる結果、耐電圧性が低下し、真空遮断器として好ましくない。従って、耐電圧特性の向上を図るのには、比較的低い温度領域すなわち常温から１５００℃までの加熱過程で放出される窒素ガスの累積放出量Ｗ１と、常温から少なくとも２６００℃までの加熱過程で放出される窒素ガスの累積放出量Ｗ２とを比較した時、Ｗ１の比率が大の場合、耐電圧特性の低下に対する影響度が大きい傾向にあった。
【００６７】
（供試接点の選出と窒素ガス量の確認）
窒素ガス量測定片として、焼結直後の接点素材或いはこれに再加熱を与えて採取した。必要により前記耐電圧特性の評価に供した接点片の一部分からも測定片を切り出し参考とした。
【００６８】
接点素材中に含有されるガスのうちで、常温から１５００℃までの加熱過程で、前記接点から放出される窒素ガス累積量をＷ１、常温から少なくとも２６００℃までの加熱過程で、前記接点から放出される窒素ガス累積量をＷ２とする。Ｗ１／Ｗ２の比率に幅広く変化を持たせた接点は、単に温度や時間を調整した程度の真空中での再加熱では得られるものではなく、接点素材の選択、焼結時の条件、焼結後の再加熱処理条件を制御しながら製造する。その中から適宜選出した。
【００６９】
すなわち、原料の前処理時点や接点の製造時点での加熱条件（加熱速度、冷却速度、加熱温度と時間、加熱途中での保持温度と時間）と、雰囲気（真空雰囲気の場合は真空度、窒素、水素、アルゴン雰囲気の場合は露点）を調節したり、雰囲気中で加熱処理したりした後、真空雰囲気中で再加熱する場合或いはその逆など、複数の熱処理を組み合わせながら接点素材中の窒素ガス量を微調整する。例えば、保持温度として加熱途中の１０８０℃から１５００℃、この温度での保持時間として少なくとも５分以上の保持が調整に良い。
【００７０】
この様にして得た測定片を十分洗浄しかつ乾燥した後、所定の温度で所定時間加熱保持中に接点から放出される窒素ガス累積量Ｗ１、Ｗ２を確認した。
【００７１】
（Ｗ１の測定を１５００℃までとした理由）
ここで、前記Ｗ１、Ｗ２の測定に於いて、本発明での測定の区切りの温度として、特に１５００℃の温度に注目する理由は下記による。
【００７２】
接点表面に吸着している気体分子を確実かつ効率的に捕捉すると共に、溶融に達した時点、分解温度に達した時点で、多量にガスが放出される性質を利用し、ガスを確実かつ効率的に捕捉し測定精度に配慮する理由で１５００℃を選択した。すなわち、（１）Ｃｕ−Ｃｒ接点の昇温過程でのガス放出は、５００℃前後で接点表面に単に吸着している水分の完全な放出が見られる事、（２）接点中のＣｕ相が溶融温度（１０５０〜１０８０℃）に達した時点で多量のガス放出が見られる事、（３）窒化Ｃｒ（ＣｒＮ）は１４５０℃で分解を開始する事などから、水分が完全に放出する５００℃、Ｃｕ相が溶融する１０５０〜１０８０℃、窒化Ｃｒ（ＣｒＮ）の分解開始温度１４５０℃のいずれよりも高い温度として１５００℃を選択した。特に重要な前記内蔵ガスは、（２）（３）によって捕捉される。
【００７３】
発明者の別の観察によれば、Ｗ１の値は開極の直後から比較的短時間内でのガス放出（１）（２）（３）の合計に相当する。Ｗ２の値は開極から比較的長時間後の総ガス放出、（１）（２）（３）の他に１８７５℃近傍のＣｒの溶融に伴い放出される窒素ガス、その他の窒素系ガスの合計に相当する。従ってＷ１の値が大である場合は、開極直後の電極間の絶縁回復が遅れ、耐電圧性を低下させる。その事から接点中の特にＷ１の値が所定量以上存在する事は好ましくない。
【００７４】
（Ｗ２の測定を２６００℃までとした理由）
１８７５℃近傍のＣｒの溶融に伴い放出される窒素ガスや接点中に内蔵されるその他の窒素ガスの多くを確実に捕捉する為に２６００℃までの加熱温度の選択が好ましい。２６００℃までの加熱温度の選択によって測定値はバラツキが少なくなり安定化する。
【００７５】
（Ｗ１／Ｗ２の比率の調整手段の具体例）
本発明の趣旨は、所定の温度で所定時間加熱保持中に接点から放出される窒素ガス量に注目している。
【００７６】
そこで本発明の実施例、比較例では、例えば１０６０℃の加熱処理によって製造したＣｕ−Ｃｒ合金に対して、常温から１５００℃までの加熱過程で放出される放出ガス累積量Ｗ１と、常温から少なくとも２６００℃で加熱する過程で放出される放出ガス累積量Ｗ２とを質量分析計で測定し、これらの素材の中から幅広くＷ１／Ｗ２の比率が変化した接点を選出した。
【００７７】
Ｗ１／Ｗ２の比率は、原料粉の選択（純度など）と、原料、接点素材のいずれか又は両者に対して、加熱処理条件の選択（雰囲気として真空、窒素、水素、アルゴンの選択）、加熱処理雰囲気の選択（真空度の調整、露点の調整）を調整する。
【００７８】
Ｗ１／Ｗ２の比率が０．６以下の接点を得る１つの条件は、たとえば、原料Ｃｒ粉を使用前（焼結前）に、例えば１×１０-1Ｐａ．よりも高真空中で少なくとも１２００℃で加熱し、このようにして得たＣｒを原料として使用してＣｕＣｒ合金を製造する。ここで真空度及び加熱温度、時間を変化させれば、更に大きくＷ１／Ｗ２の比率を調整できる。
【００７９】
同じく、Ｗ１／Ｗ２の比率が０．６以下の接点を得る１つの条件は、たとえば、原料Ｃｒ粉を焼結前（焼結前）に、例えば１×１０-2Ｐａ．よりも高真空中で少なくとも１５００℃以上で加熱する。必要により前記処理の前にマイナス７０℃程度の露点を持つ水素中で少なくとも５００℃で加熱処理を追加すると、更に容易にＷ１／Ｗ２の比率を調整出来る。このようにして得たＣｒを原料として使用してＣｕＣｒ合金を製造する。ここで露点及び加熱温度、時間を変化させれば、更に大きくＷ１／Ｗ２の比率を調整できる。
【００８０】
Ｗ１／Ｗ２の比率が０．６以上の接点を得る１つの条件は、たとえば、原料粉を微量の窒素を流した水素気流中で３００〜１２００℃で加熱したり、原料粉を微量の窒素を導入した真空雰囲気中で３００〜１２００℃で加熱したり、あらかじめ水蒸気処理をした原料粉を真空雰囲気中で３００〜１２００℃、或いは水素気流中で３００〜１２００℃で加熱する事によって調節する。このようにして得たＣｒを原料としてＣｕＣｒ合金を製造する。ここで露点及び加熱温度、時間を変化させれば、更に大きくＷ１／Ｗ２の比率を調整出来る。
【００８１】
同じく、Ｗ１／Ｗ２の比率を０．６以上の接点を得る１つの条件は、得られた接点素材に対して、例えば１×１０-2Ｐａ．よりも低真空中（例えば１×１０0Ｐａ．）で、１００〜４００℃程度で再加熱する。ここで真空度及び加熱温度、時間を変化させれば、更に大きくＷ１／Ｗ２の比率を調整できる。この場合、Ｗ１／Ｗ２の比率が０．６以上でかつＷ２の値が１００ｐｐｍ以上となり耐電圧特性が低下する。
【実施例】
【００８２】
真空バルブの再点弧特性、遮断特性の安定化には、一般に接点材料の組成、成分量の変動、粒度、粒度分布、偏析の程度、合金中に存在する空孔の程度などに依存するが、特に耐電圧特性のより一層の安定化には、上記に加えて接点からの窒素ガス放出挙動すなわち加熱過程での前記接点から放出される窒素ガス累積量が関与する。特に常温から１５００℃までの加熱過程で放出される窒素ガス累積量Ｗ１と、常温から少なくとも２６００℃まで加熱する過程で放出される窒素ガス累積量Ｗ２との、相互の関係が極めて重要である事が分かった。
【００８３】
以下に本発明を、実施例と比較例とで詳細に説明する。評価条件と評価結果を図１〜図４に示す。
【００８４】
（１）耐電圧特性
耐電圧特性の評価は、直径３０ｍｍ、厚さ５ｍｍの円板状接点片を、実験用着脱式の真空遮断装置に装着した両端に、０〜１２０ＫＶのインパルス電圧を１０回印加し、絶縁破壊を示したときの電圧値を調査した。また１０回印加したうち９５ＫＶ以下の絶縁破壊回数も参考とした。絶縁破壊電圧値が９５ＫＶで絶縁破壊回数がゼロの場合が「合格」の目安である。
【００８５】
インパルス耐圧（ｋＶ）とこれに対する評価は、次のとおり。
【００８６】
１０５以上〜１２０・・・・・・Ａ「合格」
９５以上〜１０５未満・・・・Ｂ「合格」
８０以上〜９５未満・・・・・Ｃ「不合格」
５０以上〜８０未満・・・・・Ｄ「不合格」
５０以下・・・・・・・・・・Ｅ「不合格」
（２）接触抵抗特性
先端が曲率半径５Ｒの銅電極と、各接点片とを接触させ、その間に１０Ｋｇの荷重、測定電流直流１０Ａを与えた時の接触抵抗（μΩ）を求めた。
【００８７】
図中の数値は、比較例２の測定値を１．０とした時の相対値で示した。
【００８８】
（３）アークの拡がり状況
評価の参考として一部の接点については、前記真空遮断装置に装着し、接点電極表面のベーキング、電流、電圧エージング、開極速度条件を一定同一とした後、７．２ｋＶ、５０Ｈｚで８ｋＡ〜１０ｋＡ程度の小電流を遮断させた時の接点表面の被アーク部分の面積を測定しアークの拡がり状況について、接点表面積と遮断後の被アーク部分の面積とを、３本の真空バルブについて比較した。
【００８９】
接点面の状況とこれに対する評価は次のとおり。
【００９０】
接点面の５０％以上が被アーク部分の場合・・・Ａ
同上１０％以上〜５０％未満の場合・・・・・・Ｂ
同上１０％以下〜０の場合・・・・・・・・・・Ｃ
（４）供試接点の選出と窒素ガス量の確認
窒素ガス量測定片として、焼結直後の接点素材或いはこれに再加熱を与えて採取した。必要により前記耐電圧特性の評価に供した接点片の一部分からも測定片を切り出し参考とした。
【００９１】
接点素材中に含有されるガスのうちで、常温から１５００℃までの加熱過程で、前記接点から放出される窒素ガス累積量をＷ１、常温から少なくとも２６００℃までの加熱過程で、前記接点から放出される窒素ガス累積量をＷ２とする。Ｗ１／Ｗ２の比率に幅広く変化を持たせた接点は、単に温度や時間を調整した程度の真空中での再加熱では得られるものではなく、接点素材の選択、焼結時の条件、焼結後の再加熱処理条件を制御しながら製造する。その中から適宜選出した。
【００９２】
すなわち、原料の前処理時点や接点の製造時点での加熱条件（加熱速度、冷却速度、加熱温度と時間、加熱途中での保持温度と時間）と、雰囲気（真空雰囲気の場合は真空度、窒素雰囲気の場合は露点）を調節したり、雰囲気中で加熱処理したりした後、真空雰囲気中で再加熱する場合或いはその逆など、複数の熱処理を組み合わせながら接点素材中の窒素ガス量を微調整する。例えば保持温度として加熱途中の１０８０℃から１５００℃、この温度での保持時間として少なくとも５分以上の保持が調整に良い。
【００９３】
この様にして得た測定片を十分洗浄しかつ乾燥した後、所定の温度で所定時間加熱保持中に接点から放出される窒素ガス累積量Ｗ１、Ｗ２を確認した。
【００９４】
（５）Ｗ１／Ｗ２の比率の調整
本発明の趣旨は、所定の温度で所定時間加熱保持中に接点から放出される窒素ガス量に注目している。
【００９５】
そこで本発明の実施例、比較例では、例えば１０６０℃の加熱処理によって製造した７５％Ｃｕ−Ｃｒ合金に対して、常温から１５００℃までの加熱過程で放出される窒素ガス累積量Ｗ１と、常温から少なくとも２６００℃で加熱する過程で放出される窒素ガス累積量Ｗ２とを測定し、これらの素材の中から幅広くＷ１／Ｗ２の比率が変化した接点を選出した。
【００９６】
Ｗ１／Ｗ２の比率は、加熱処理の雰囲気として真空、窒素、水素、アルゴンなどの選択およびこれらの組み合わせ、加熱処理温度、時間、原料粉の純度などを調節する。
【００９７】
Ｗ１／Ｗ２の比率を０．６以下とするには、原料Ｃｒ粉を使用前に例えば１×１０-1Ｐａ．よりも高真空中で少なくとも１２００℃で加熱し、このようにして得たＣｒを原料としてＣｕＣｒ合金を製造する。
【００９８】
必要により前記処理の前にマイナス７０℃程度の露点を持つ水素中で少なくとも５００℃で加熱処理を与えると、更に容易に調整出来る。このようにして得たＣｒを原料としてＣｕＣｒ合金を製造する。
【００９９】
Ｗ１／Ｗ２の比率を０．５以下とするには、原料Ｃｒ粉を使用前に例えば１×１０-2Ｐａ．よりも高真空中で少なくとも１５００℃以上で加熱する。必要により前記処理の前にマイナス７０℃程度の露点を持つ水素中で少なくとも５００℃で加熱処理を与えると、更に容易に調整出来る。
【０１００】
Ｗ１／Ｗ２比を０．６以上とするには、原料粉を微量の窒素を流した水素気流中で３００〜１２００℃で加熱したり、原料粉を微量の窒素を導入した真空雰囲気中で３００〜１２００℃で加熱したりする事によって調節する。このようにして得たＣｒを原料としてＣｕＣｒ合金を製造する。
【０１０１】
なお、Ｗ１、Ｗ２の計測は１０〜３００℃／秒の昇温速度の範囲で行う必要がある。１０℃／秒未満の測定では、計測時間が必要以上に長くなるのみならず被測定体の蒸発損失があり、測定系の汚染なども伴い好ましくない。３００℃／秒を越えての測定では、加熱温度が被測定体に十分に伝わらない内に行われ、低めの測定値を示す。
【０１０２】
（実施例１〜２、比較例１〜３）
素材の中からＷ１／Ｗ２の比率が、０．８〜０．９と０．６〜０．８（比較例１〜２）、０．５〜０．６と０．２〜０．０１（実施例１〜２）、および０．０１未満（比較例３）の範囲にある素材を選出し試験に供した（比較例１〜３、実施例１〜２）。接点素材は７０％Ｃｕ−Ｃｒに一定とした。
【０１０３】
耐電圧特性、使用前の比較例２の接点の接触抵抗値を標準とした時の各接点の接触抵抗値との相対値を調査すると共に、参考にアークの広がり状況も調査した。その条件と結果を図１、図３に示す。
【０１０４】
その結果、Ｗ１／Ｗ２の比率が０．６〜０．０１（実施例１〜２）では、耐電圧特性は評価Ａ、評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）以上の耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が０．９〜１．２倍、使用後が１．６〜１．７倍と１．６〜１．９倍を示し、基準とする比較例２とほぼ同程度の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする比較例２では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例１〜２では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１０５】
これに対して、Ｗ１／Ｗ２の比率が０．８〜０．９（比較例１）および０．６〜０．８（比較例２）では、耐電圧特性は評価Ｃ、評価Ｂ〜Ｃを示し、基準とする接点（比較例２）以下の耐電圧特性である。比較例１の接触抵抗特性（相対値）は、使用前が０．９〜１．２倍、使用後が１．５〜１．７倍を示し、基準とする接点（比較例２）とほぼ同程度の接触抵抗特性であり良好である。しかし、評価したバルブ３本中３本ともアークの広がり性は評価Ｃである。なお、比較例２のアークの広がり性は、評価したバルブ３本中１本が評価Ｃ、全体として評価Ａ〜Ｃである。
【０１０６】
Ｗ１／Ｗ２の比率が０．０１以下（比較例３）では、耐電圧特性は評価Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）と同等の耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）は、使用後の値が上昇する傾向にあるが、使用前が０．９〜１．２倍、使用後が１．５〜２．６倍を示し、基準とする接点（比較例２）とほぼ同程度の接触抵抗特性であり良好である。しかし、評価したバルブ３本中１本にアークの広がり性が評価Ｃを示し好ましくない。
【０１０７】
比較例１〜２では、接点素材中に含有されるＷ１／Ｗ２の比率が増加する場合に明らかに耐電圧特性が悪化する傾向にある事を示唆している。
【０１０８】
以上により、本発明技術を適応する接点素材中に含有されるＷ１／Ｗ２の比率は、０．６〜０．０１倍の範囲の接点を使用するのが好ましい。
【０１０９】
（実施例３〜５、比較例４〜５）
前記実施例１〜２、比較例１〜３では、接点中のＣｕの量を７０％に一定とした場合の、耐電圧特性、接触抵抗特性（相対値）、アークの広がり性に及ぼす接点素材中に含有されるＷ１／Ｗ２の比率の影響を調査したが、本発明の接点材料を搭載した真空バルブでは、導電成分Ｃｕの量は７０％に限る事なく、その効果を発揮する。
【０１１０】
すなわち、接点合金中のＣｕ量を１５％とした１５％Ｃｕ−Ｃｒ（比較例４）、３０％とした３０％Ｃｕ−Ｃｒ（実施例３）、６０％とした６０％Ｃｕ−Ｃｒ（実施例４）、８０％とした８０％Ｃｕ−Ｃｒ（実施例５）、９８％とした９８％Ｃｕ−Ｃｒ（比較例５）を製造した上で、これらの接点材料の中から接点合金中のＷ１／Ｗ２の比率が０．５５〜０．６倍の範囲内にある接点材料を選択し、前記評価を実施した。
【０１１１】
その結果、接点中の導電成分Ｃｕの量が３０％（実施例３）の場合では、耐電圧特性は評価Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．２〜１．５倍、使用後が１．５〜２．５倍を示し，基準とする接点（比較例２）と同程度の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例３では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１１２】
接点中の導電成分Ｃｕの量が６０％（実施例４）の場合では、耐電圧特性は評価Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して同等以上の耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．１〜１．３倍、使用後が１．３〜１．８倍を示し，基準とする接点（比較例２）と同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例４では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１１３】
接点中の導電成分Ｃｕの量が８０％（実施例５）の場合では、耐電圧特性は評価Ａを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して同等以上の好ましい耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が０．９〜１．０倍、使用後が１．２〜１．７倍を示し基準とする接点（比較例２）と同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例５では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１１４】
これに対して、接点中の導電成分Ｃｕの量が１５％（比較例４）の場合では、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して同等以上の耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）は使用前が１．８〜１０．５倍、使用後が３．５〜１７．７倍を示した。基準とする接点（比較例２）と比較して特に遮断後の値が１０倍を越し、好ましくない。接点素材自体の低い導電率に原因している。参考として観察したアークの広がり性は、基準とする接点（比較例２）が評価Ａ〜Ｃであるのに対して比較例４では、評価Ａを示し特に良好である。
【０１１５】
なお、接点中の導電成分Ｃｕの量が９８％（比較例５）の場合では、耐電圧特性は評価Ｃ〜Ｅを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して大幅に低下した耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）は、使用前が０．７〜１．０倍、使用後が１．０〜１．６倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して良好である。しかし、参考として観察したアークの広がり性は、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して比較例５では、評価したバルブ３本中１本が評価Ｃ、全体として評価Ｂ〜Ｃを示し好ましくない。
【０１１６】
（実施例６〜７、比較例６）
前記実施例３〜５、比較例４〜５では、Ｃｕ中に固溶するＣｒの量を０．０１％に一定とした場合の、耐電圧特性、接触抵抗特性（相対値）、アークの広がり性に及ぼす接点素材中のＣｕ量の影響を調査したが、本発明の接点材料を搭載した真空バルブでは、Ｃｕ中に固溶するＣｒの量は０．０１％に限る事なく、その効果を発揮する。
【０１１７】
すなわち、接点合金中のＣｕ量を７５％に一定とした場合、Ｃｕ中に固溶するＣｒの量を０．００５％以下（実施例６）、０．３５％（実施例７）とした接点を製造した上で、これらの接点材料の中から接点合金中のＷ１／Ｗ２の比率が０．５５〜０．６倍の範囲内にある接点材料を選択し、前記評価を実施した。
【０１１８】
Ｃｕ中に固溶するＣｒの量が０．００５％以下の接点（実施例６）では、耐電圧特性は評価Ａを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が０．９〜１．１倍、使用後が１．１〜１．２倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して使用前は同程度の接触抵抗特性であるが、特に使用後では改善されいずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例６では、評価Ａを示し良好である。
【０１１９】
Ｃｕ中に固溶するＣｒの量が０．３５％の接点（実施例７）でも、耐電圧特性は評価Ａを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が０．９〜１．２倍、使用後が１．６〜１．７倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して使用前、使用後とも同程度の接触抵抗特性である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例７では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１２０】
これに対して、Ｃｕ中に存在するＣｒの量が０．５％の接点（比較例６）では、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．０〜４．６倍、使用後が１．６〜５．１倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して使用前、使用後ともバラツキ幅は増加しているものの許容の範囲であって合格である。しかし、参考として観察したアークの広がり性に於いて、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、比較例６では、評価したバルブ３本の内の一部に評価Ｃが見られ、全体として評価Ｂ〜Ｃを示し好ましくない。接点素材中に含有される導電成分中に固溶する耐弧成分（Ｃｒ）の量を、安定して０．５重量％以上とする事は、製造コストが高く供給性に難があり製造技術的観点から、本発明の好ましい範囲から除外する（比較例６）。
【０１２１】
以上により、Ｗ１／Ｗ２の比率を前記所定範囲内とした上で、本発明技術を適応する接点素材中に含有される導電成分Ｃｕ中に固溶する耐弧成分（Ｃｒ）の量は、０．３５重量％以下の範囲の接点を使用するのが好ましい。
【０１２２】
（実施例８〜１１、比較例７）
前記実施例１〜７、比較例１〜６では、接点素材中に含有される耐弧成分の種類としてＣｒを選択した接点について、Ｗ１／Ｗ２の比率の耐電圧特性、接触抵抗特性に及ぼす影響を示したが、本発明技術は接点を構成する耐弧成分の種類は前記Ｃｒに限る事なくその効果を発揮する。
【０１２３】
すなわち、接点を構成する耐弧成分の種類が、ＣｒＷ合金（Ｃｒ：Ｗ＝９９：１、実施例８）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が０．９〜１．２倍、使用後が１．６〜１．９倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して使用前は同程度の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例８では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１２４】
ＣｒＷ合金（Ｃｒ：Ｗ＝９５：５、実施例９）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．０〜１．４倍、使用後が１．６〜２．０倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して使用前は同程度の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例９では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１２５】
ＣｒＷ合金（Ｃｒ：Ｗ＝７０：３０、実施例１０）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．３〜２．９倍、使用後が１．５〜３．８倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して使用前は同程度の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例１０では、評価Ｂを示し良好である。
【０１２６】
ＣｒＷ合金（Ｃｒ：Ｗ＝５０：５０、実施例１１）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．８〜３．３倍、使用後が２．２〜５．２倍を示し，基準とする接点（比較例２）と比較して合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例１１では、評価Ｂを示し良好である。
【０１２７】
これに対して、ＣｒＷ合金（Ｃｒ：Ｗ＝１０：９０、実施例８）と置換した時には、耐電圧特性は評価Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。しかし、接触抵抗特性（相対値）は使用前が２．８〜４．１倍で良好であるが、使用後が３．４〜２１．７倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して、特に使用後が、バラツキ幅が著しく増加し、許容の範囲外であって不合格である。しかも、参考として観察したアークの広がり性に於いて、評価Ｂ〜Ｃであり、評価したバルブ３本の内の一部に評価Ｃが見られ好ましくない。また、他の特性としてＷ比率の増加によって真空バルブとしての遮断特性が大幅に低下する。
【０１２８】
（実施例１２〜１３、比較例８）
前記実施例８〜１１、比較例７では、接点素材中に含有される耐弧成分の種類として、Ｃｒに代替してＣｒＷを選択した接点について、Ｗ１／Ｗ２の比率の耐電圧特性、接触抵抗特性に及ぼす影響を示したが、本発明技術は接点を構成する耐弧成分の種類は前記ＣｒＷに限る事なくその効果を発揮する。
【０１２９】
すなわち、接点を構成する耐弧成分の種類が、ＣｒＭｏ合金（Ｃｒ：Ｍｏ＝９９：１、実施例１２）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が０．８〜１．２倍、使用後が１．６〜１．９倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して使用前は同程度の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例１２では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１３０】
ＣｒＭｏ合金（Ｃｒ：Ｍｏ＝５０：５０、実施例１３）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．８〜３．０倍、使用後が２．０〜４．８倍を示し，基準とする接点（比較例２）と比較して合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例１３では、評価Ｂを示し良好である。
【０１３１】
これに対して、ＣｒＭｏ合金（Ｃｒ：Ｍｏ＝１０：９０、比較例８）と置換した時には、耐電圧特性は評価Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。しかし、接触抵抗特性（相対値）は使用前が２．８〜４．１倍で良好であるが、使用後が３．７〜１７．４倍を示し，基準とする接点（比較例２）と比較して、特に使用後がバラツキ幅が著しく増加し、許容の範囲外であって不合格である。しかも、参考として観察したアークの広がり性に於いて、評価Ｂ〜Ｃであり、評価したバルブ３本の内の一部に評価Ｃが見られ好ましくない。また、他の特性としてＭｏ比率の増加によって真空バルブとしての遮断特性が大幅に低下する。
【０１３２】
（実施例１４〜１６、比較例９）
前記実施例８〜１３、比較例７〜８では、接点素材中に含有される耐弧成分の種類として、Ｃｒに代替してＣｒＷまたはＣｒＭｏを選択した接点について、Ｗ１／Ｗ２の比率の耐電圧特性、接触抵抗特性に及ぼす影響を示したが、本発明技術は接点を構成する耐弧成分の種類は前記ＣｒＷまたはＣｒＭｏに限る事なくその効果を発揮する。
【０１３３】
すなわち、接点を構成する耐弧成分の種類が、ＣｒＴｉ合金（Ｃｒ：Ｔｉ＝９５：５、実施例１４）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．１〜１．７倍、使用後が１．９〜２．５倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して使用前は同程度の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例１４では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１３４】
ＣｒＴａ合金（Ｃｒ：Ｔａ＝９０：１０、実施例１５）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．６〜３．５倍、使用後が２．５〜４．３倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して使用前は同程度の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例１５では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１３５】
これに対して、ＣｒＴａ合金（Ｃｒ：Ｔａ＝１０：９０、比較例９）と置換した時には、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。しかし、接触抵抗特性（相対値）は使用前が３．２〜５．１倍で良好であるが、使用後が３．５〜１６．９倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して、特に使用後が、バラツキ幅が著しく増加し、許容の範囲外であって不合格である。しかも、参考として観察したアークの広がり性に於いて、評価Ｂ〜Ｃであり、評価したバルブ３本の内の一部に評価Ｃが見られ好ましくない。また、他の特性としてＴａ比率の増加によって真空バルブとしての遮断特性が大幅に低下する。
【０１３６】
ＣｒＮｂ合金（Ｃｒ：Ｎｂ＝６０：４０、実施例１６）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．６〜３．０倍、使用後が１．７〜４．５倍を示し，基準とする接点（比較例２）と比較して合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例１６では、評価Ｂを示し良好である。
【０１３７】
以上により、Ｗ１／Ｗ２の比率を前記所定範囲内とした上で、本発明技術を適応する接点素材中の耐弧成分の種類は、Ｗ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂを複合化した接点を使用する事が出来る。
【０１３８】
（実施例１７〜１９、比較例１０）
前記実施例１〜１６、比較例１〜９では、接点素材中に含有される耐弧成分の平均粒子直径として、６０〜８０μｍを選択した接点について、Ｗ１／Ｗ２の比率の耐電圧特性、接触抵抗特性に及ぼす影響を示したが、本発明技術は接点を構成する耐弧成分の平均粒子直径は前記６０〜８０μｍに限る事なくその効果を発揮する。
【０１３９】
すなわち、接点を構成する耐弧成分の平均粒子直径を０．１〜３μｍ（実施例１７）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が０．９〜１．２倍、使用後が１．６〜１．７倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例１７では、評価Ａを示し良好である。
【０１４０】
耐弧成分の平均粒子直径を１０〜４０μｍ（実施例１８）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が０．９〜１．１倍、使用後が１．６〜１．７倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例１８では、評価Ａを示し良好である。
【０１４１】
耐弧成分の平均粒子直径を１１０〜１５０μｍ（実施例１９）と置換しても、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が３．３〜３．７倍、使用後が３．５〜３．９倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例９では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１４２】
なお、接点合金中の耐弧成分の平均粒子直径が２５０μｍ以上（比較例１０）とした時には、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性であるが、接触抵抗特性（相対値）は使用前が大幅に大きい９．６〜３５．９倍に増加（特性劣化）し、使用後が１０．６〜４２．５倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して、特に著しく増加し、許容の範囲外であって不合格である。しかも、参考として観察したアークの広がり性に於いて、評価したバルブ３本とも評価Ｃで好ましくない。特に接触抵抗値の増加とばらつきが大である。粗大の耐弧成分Ｃｒの混在による組織の不均一さに起因している。
【０１４３】
（実施例２０〜２４、比較例１１）
前記実施例１〜１９、比較例１〜１０では、Ｃｕを主体とした導電成分と、Ｃｒを主体とした耐弧成分とによって構成した接点素材について、Ｗ１／Ｗ２の比率の耐電圧特性、接触抵抗特性に及ぼす影響を示したが、本発明技術は接点を構成する成分として、導電成分、耐弧成分に限る事なくその効果を発揮する。
【０１４４】
すなわち、補助成分として０．１％のＦｅ（実施例２０）と置換したＣｕ−Ｃｒ−Ｆｅでも、耐電圧特性は評価Ａを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．０〜１．３倍、使用後が１．６〜１．８倍を示し，基準とする接点（比較例２）と比較して同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例２０では、評価Ａを示し良好である。
【０１４５】
補助成分として０．５％のＦｅ（実施例２１）と置換したＣｕ−Ｃｒ−Ｆｅでも、耐電圧特性は評価Ａを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．３〜１．７倍、使用後が２．１〜２．５倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例２１では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１４６】
なお、補助成分として５％のＦｅ（比較例１１）とした時には、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性であるが、接触抵抗特性（相対値）は使用前が大幅に大きい３．９〜１１．４倍に増加（特性劣化）し、使用後は４．９〜１６．４倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して、許容の範囲外であって不合格である。しかも、参考として観察したアークの広がり性に於いて、評価したバルブ３本総てに評価Ｃが見られ好ましくない。特に接触抵抗値の増加とばらつきが大である。Ｆｅの混在による組織の不均一さに起因している。
【０１４７】
補助成分として０．０１％のＡｌ（実施例２２）と置換したＣｕ−Ｃｒ−Ａｌでも、耐電圧特性は評価Ａを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．３〜１．７倍、使用後が１．９〜２．５倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例２２では、評価Ａを示し良好である。  
【０１４８】
補助成分として０．３％のＡｌ（実施例２３）と置換したＣｕ−Ｃｒ−Ａｌでも、耐電圧特性は評価Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が３．４〜６．８倍に増加（特性劣化）し、使用後は４．２〜７．７倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して、許容の範囲であって合格である。しかも、参考として観察したアークの広がり性に於いて、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、評価したバルブ３本総てが評価Ｂで好ましい。
【０１４９】
補助成分として０．３％のＳｉ（実施例２４）と置換したＣｕ−Ｃｒ−Ｓｉでも、耐電圧特性は評価Ａ〜Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．３〜１．６倍、使用後が１．９〜２．５倍を示し、基準とする接点（比較例２）と比較して同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例２４では、評価Ａを示し良好である。
【０１５０】
（実施例２５〜２８、比較例１２〜１３）
前記実施例２０〜２４、比較例１１では、Ｃｕを主体とした導電成分と、Ｃｒを主体とした耐弧成分とに於いて、補助成分としてＦｅ、Ａｌ、Ｓｉなどによって構成した接点素材について、Ｗ１／Ｗ２の比率の耐電圧特性、接触抵抗特性に及ぼす影響を示したが、本発明技術は接点を構成する補助成分として、これらＦｅ、Ａｌ、Ｓｉに限る事なくその効果を発揮する。
【０１５１】
すなわち、補助成分として０．１％のＢｉ（実施例２５）と置換したＣｕ−Ｃｒ−Ｂｉでも、耐電圧特性は評価Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が１．５〜２．０倍、使用後が１．６〜２．４倍を示し，基準とする接点（比較例２）と比較して同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例２５では、評価Ｂを示し良好である。
【０１５２】
補助成分として５％のＢｉ（実施例２６）と置換したＣｕ−Ｃｒ−Ｂｉでも、耐電圧特性は評価Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が４．４〜４．９倍、使用後が５．１〜６．３倍を示し，基準とする接点（比較例２）と比較して同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例２６では、評価Ａ〜Ｂを示し良好である。
【０１５３】
なお、補助成分として１０％のＢｉ（比較例１２）としたＣｕ−Ｃｒ−Ｂｉでは、耐電圧特性は評価Ｃを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性であるが、接触抵抗特性（相対値）は使用前が大幅に大きい３．２〜１２．７倍に増加（特性劣化）し、使用後は１６．７〜２１．４倍を示し、基準とする（比較例２）と比較して、著しく低下し不合格である。ただし、参考として観察したアークの広がり性は、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるが、評価した比較例１２のバルブは３本総て評価Ａを示した。このように、比較例１２では、アークの広がり性は良好であったが、接点表面に、多量のＢｉの堆積によって、耐電圧特性、接触抵抗特性共に大幅に低下している。
【０１５４】
前記実施例２５〜２６、比較例１２では、Ｃｕを主体とした導電成分と、Ｃｒを主体とした耐弧成分とに於いて、補助成分としてＢｉによって構成した接点素材について、Ｗ１／Ｗ２の比率の耐電圧特性、接触抵抗特性に及ぼす影響を示したが、本発明技術は接点を構成する補助成分は、Ｂｉに限る事なくその効果を発揮する。
【０１５５】
すなわち、補助成分として５％のＴｅ（実施例２７）と置換したＣｕ−Ｃｒ−Ｔｅでも、耐電圧特性は評価Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が４．１〜４．６倍、使用後が４．７〜６．０倍を示し、基準とする（比較例２）と比較して同等の接触抵抗特性でありいずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例２７では、評価Ｂを示し良好である。
【０１５６】
補助成分として０．５％のＳｂ（実施例２８）と置換したＣｕ−Ｃｒ−Ｓｂでも、耐電圧特性は評価Ｂを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して良好な耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が３．０〜４．１倍、使用後が３．１〜４．８倍を示し，基準とする接点（比較例２）と比較して同等の接触抵抗特性であり、いずれも合格である。参考として観察したアークの広がり性も、基準とする接点（比較例２）では、評価Ａ〜Ｃであるのに対して、実施例２８では、評価Ｂを示し良好である。
【０１５７】
なお、補助成分として１．２％のＳｂ（比較例１３）とした時には、耐電圧特性は評価Ｃを示し、基準とする接点（比較例２）の特性Ｂ〜Ｃと比較して好ましくない耐電圧特性である。接触抵抗特性（相対値）も使用前が３．１〜９．９倍に増加（特性劣化）し、使用後は６．２〜１３．２倍を示し，基準とする接点（比較例２）と比較して、許容の範囲外であって不合格である。ただし、参考として観察したアークの広がり性は、基準とする接点（比較例２）が評価Ｂ〜Ｃであるが、評価した比較例１３のバルブは３本総て評価Ｂを示し許容の範囲である。このように、比較例１３では、アークの広がり性は良好であったが、接点表面に、多量のＳｂの堆積とＳｂ成分の偏析による組織の不均一さとによって、耐電圧特性、接触抵抗特性は共に大幅に低下している。
【０１５８】
（変形例）
次に、上記実施例の変形例について説明する。
【０１５９】
＜変形例１＞
前記接点は、Ｗ１／Ｗ２の比率を前記所定範囲内とした上で、少なくとも２０％ＩＡＣＳの導電率を持つ合金である事が好ましい。導電率が２０％ＩＡＣＳ未満の場合では耐電圧特性には変化は見られていないが、接触抵抗特性の低下が認められる。
【０１６０】
＜変形例２＞
前記接点についてのＷ１／Ｗ２の比率を前記所定範囲内とした上で、真空遮断器を構成する真空バルブの通電軸は、少なくとも７０％ＩＡＣＳの導電率を持つ事が好ましい。導電率が７０％ＩＡＣＳ未満の場合でも耐電圧特性には変化は見られていないが、通電軸に温度上昇が認められる。
【０１６１】
＜変形例３＞
前記接点についてのＷ１／Ｗ２の比率を前記所定範囲内とした上で、真空遮断器を構成する真空バルブのコイル電極は、少なくとも７０％ＩＡＣＳの導電率を持つ事が好ましい。導電率が７０％ＩＡＣＳ未満の場合でも耐電圧特性には変化は見られていないが、通電軸に温度上昇が認められる。
【図面の簡単な説明】
【０１６２】
【図１】本発明に係る真空バルブの実施例１〜１３、比較例１〜８の評価条件を示す表図。
【図２】本発明に係る真空バルブの実施例１４〜２８、比較例９〜１３の評価条件を示す表図。
【図３】本発明に係る真空バルブの実施例１〜１３、比較例１〜８の評価結果を示す表図。
【図４】本発明に係る真空バルブの実施例１４〜２８、比較例９〜１３の評価結果を示す表図。
【図５】本発明が適用される代表的な真空バルブの構成例を示す断面図。
【図６】本発明が適用される代表的な真空バルブの他の構成例を示す断面図。
【符号の説明】
【０１６３】
４０…平板型電極またはコイル電極（接点４１の背面）
４１…固定接点
５０…平板型電極またはコイル電極（接点５１の背面）
５１…可動接点
１０１  …絶縁容器
１０２ａ、１０２ｂ…蓋体
１０３…真空容器
１０４…固定接点
１０５…可動接点
１０６…固定通電軸
１０７…可動通電軸
１０８…ベロ−ズ
１０９…アークシールド
Ｍ…通電軸１０７の移動方向
【図１】
2005310608.tif 000002
【図２】
2005310608.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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