(57)【要約】【課題】  接続信頼性を向上することができ、製造時間の短縮を図ることのできる半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】  半導体装置の製造方法は、半導体チップ１とインターポーザ（基板）３の間にシート状の熱硬化前アンダーフィル樹脂９を挟み込んで熱を加え、熱硬化前アンダーフィル樹脂９を溶かして熱硬化させ、熱硬化後のアンダーフィル樹脂８により半導体チップ１及びインターポーザ（基板）３を封止する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面と該第１の面に対向し複数の接続端子を介して半導体チップを搭載する第２の面とを有する基板を備えた半導体装置の製造方法であって、
前記第２の面と前記半導体チップとを前記複数の接続端子を介して接合した後、接合された前記第２の面と前記半導体チップとの間に設けられたシート状の硬化性樹脂を硬化することにより、該第２の面と該半導体チップとの間を封止することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記基板の前記第１の面には複数の外部端子が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
複数の外部端子が設けられる第１の面と該第１の面と並行であって電気的に接続のための複数の接続端子を介して半導体チップを搭載する第２の面とを有する基板を備えた半導体装置の製造方法であって、
前記第２の面と前記半導体チップとを前記複数の接続端子を介して接合した後、接合された前記第２の面と前記半導体チップとの間に設けられたシート状の硬化性樹脂を硬化することにより、該第２の面と該半導体チップとの間を封止することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
第１の面と該第１の面に対向し複数の接続端子を介して半導体チップを搭載する第２の面とを有する基板を備えた半導体装置の製造方法であって、
前記第２の面と前記半導体チップの間に該半導体チップよりも小さい硬化性樹脂を配置し、該硬化性樹脂を硬化することにより該第２の面と該半導体チップとの間を封止することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
第１の面と該第１の面に対向し複数の接続端子を介して半導体チップを搭載する第２の面とを有する基板を備えた半導体装置の製造方法であって、
前記半導体チップと前記接続端子と前記基板の前記第２の面とにより囲まれた空間内に収まる形状を備えた硬化性樹脂を該空間内の該第２の面上に配置し、該第２の面と該半導体チップとの間を該硬化性樹脂によって封止することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
第１の面と、該第１の面に対向しかつ第１の領域及び該第１の領域を囲む第２の領域を有する第２の面とを有する基板を準備する工程と、
前記第２の面の前記第２の領域に複数の接続端子を設ける工程と、
前記第２の面の前記第１の領域にシート状の硬化性樹脂を配置する工程と、
前記第２の面の前記第１の領域を覆うように、前記複数の接続端子を介して該第２の面上に半導体チップを配置する工程と、
前記硬化性樹脂を硬化させることにより、前記基板の前記第２の面と前記半導体チップとの間を封止する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記半導体チップは、前記第２の面の前記第１の領域を完全に覆うことを特徴とする請求項６に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
第１の面と該第１の面と並行であって電気的な接続のための複数の接続端子を介して半導体チップを搭載する第２の面とを有する基板を備えた半導体装置の製造方法であって、
前記第２の面上にシート状の硬化性樹脂を配置する工程と、
前記第２の面上に前記シート状の硬化性樹脂を挟むように前記半導体チップを配置し、該第２の面と該半導体チップとを前記複数の接続端子を介して接合する工程と、
前記接合する工程の後に、前記シート状の硬化性樹脂を硬化することにより該第２の面と該半導体チップとの間を封止する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記基板の前記第１の面には複数の外部端子が設けられていることを特徴とする請求項８に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
前記シート状の硬化性樹脂は、前記接続端子の厚みに応じたシート厚を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１つに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
前記シート状の硬化性樹脂は複数の開口部を有するシート状の硬化性樹脂であって、該複数の開口部が前記複数の接続端子各々に位置するように該シート状の硬化性樹脂を配置することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
前記硬化性樹脂は熱硬化性樹脂であり、前記封止工程は加熱処理を含むことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１つに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
前記シート状の硬化性樹脂は、固形状であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１つに記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップを搭載する半導体装置の製造方法に係り、詳細には、例えばＣＳＰパッケージ（Chip Size(Scale) Package）構造を有する半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置のパッケージの小型化と接続端子数の増加により接続端子間隔が狭くなり、従来の半田付けによる技術では困難になりつつある。そこで、裸の半導体装置を回路基板に直付けして実装面積の小型化と効率的使用を図ろうとする方法が考えられている。
【０００３】
従来のこの種の半導体装置は、半導体チップをインターポーザ（基板）上に接続し、外部環境から半導体チップを保護するために半導体チップとインターポーザとの隙間に液状樹脂を充填後、熱硬化（キュア）を行って樹脂封止をしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１０６３５７号公報（第３頁、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような従来のＣＳＰパッケージ構造の製造方法にあっては、液状樹脂を充填する場合、半導体チップとインターポーザとの隙間が小さい（１００μｍ）ため内部に大きいボイドや未充填が発生してしまうという問題点があった。
【０００６】
また、液状樹脂を充填後、熱硬化を行って樹脂封止するため、上記ボイド等の発生を避けるためには液状樹脂をゆっくり充填しなければならず、また液状樹脂の熱硬化に多大な時間がかかるという問題点があった。
【０００７】
このように、ボイドや未充填が発生することによる接続信頼性の低下、液状樹脂を充填・硬化のための製造時間の増大という問題点があった。
【０００８】
本発明は、接続信頼性を向上することができ、製造時間の短縮を図ることのできる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による半導体装置の製造方法は、第１の面と該第１の面に対向し複数の接続端子を介して半導体チップを搭載する第２の面とを有する基板を備えた半導体装置の製造方法であって、前記第２の面と前記半導体チップとを前記複数の接続端子を介して接合した後、接合された前記第２の面と前記半導体チップとの間に設けられたシート状の硬化性樹脂を硬化することにより、該第２の面と該半導体チップとの間を封止することを特徴とする。
【００１０】
また別の発明による半導体装置の製造方法は、複数の外部端子が設けられる第１の面と該第１の面と並行であって電気的に接続のための複数の接続端子を介して半導体チップを搭載する第２の面とを有する基板を備えた半導体装置の製造方法であって、前記第２の面と前記半導体チップとを前記複数の接続端子を介して接合した後、接合された前記第２の面と前記半導体チップとの間に設けられたシート状の硬化性樹脂を硬化することにより、該第２の面と該半導体チップとの間を封止することを特徴とする。
【００１１】
また別の発明による半導体装置の製造方法は、第１の面と該第１の面に対向し複数の接続端子を介して半導体チップを搭載する第２の面とを有する基板を備えた半導体装置の製造方法であって、前記第２の面と前記半導体チップの間に該半導体チップよりも小さい硬化性樹脂を配置し、該硬化性樹脂を硬化することにより該第２の面と該半導体チップとの間を封止することを特徴とする。
【００１２】
また別の発明による半導体装置の製造方法は、第１の面と該第１の面に対向し複数の接続端子を介して半導体チップを搭載する第２の面とを有する基板を備えた半導体装置の製造方法であって、前記半導体チップと前記接続端子と前記基板の前記第２の面とにより囲まれた空間内に収まる形状を備えた硬化性樹脂を該空間内の該第２の面上に配置し、該第２の面と該半導体チップとの間を該硬化性樹脂によって封止することを特徴とする。
【００１３】
また別の発明による半導体装置の製造方法は、第１の面と、該第１の面に対向しかつ第１の領域及び該第１の領域を囲む第２の領域を有する第２の面とを有する基板を準備する工程と、前記第２の面の前記第２の領域に複数の接続端子を設ける工程と、前記第２の面の前記第１の領域にシート状の硬化性樹脂を配置する工程と、前記第２の面の前記第１の領域を覆うように、前記複数の接続端子を介して該第２の面上に半導体チップを配置する工程と、前記硬化性樹脂を硬化させることにより、前記基板の前記第２の面と前記半導体チップとの間を封止する工程とを有することを特徴とする。
【００１４】
更に別の発明による半導体装置の製造方法は、第１の面と該第１の面と並行であって電気的な接続のための複数の接続端子を介して半導体チップを搭載する第２の面とを有する基板を備えた半導体装置の製造方法であって、前記第２の面上にシート状の硬化性樹脂を配置する工程と、前記第２の面上に前記シート状の硬化性樹脂を挟むように前記半導体チップを配置し、該第２の面と該半導体チップとを前記複数の接続端子を介して接合する工程と、前記接合する工程の後に、前記シート状の硬化性樹脂を硬化することにより該第２の面と該半導体チップとの間を封止する工程とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る半導体装置の製造方法では、まず、前記基板上にシート状の硬化性樹脂を載置し、半導体装置を熱硬化性樹脂を挟み込むようにして接続端子に接合すると同時に、熱硬化性樹脂により半導体装置を基板上に樹脂封止するようにしたので、未充填や内部ボイドの発生を完全に防止することができ、大幅な製造時間の短縮を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体装置として半導体チップを接続するＣＳＰパッケージの半導体装置に適用することができる。
【００１７】
図１及び図２は本発明の第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法のＣＳＰパッケージ構造を示した図であり、図１はその完成品断面、図２はその製造方法を示す断面図である。
【００１８】
図１において、１は半導体チップ（半導体装置）、２は半導体チップと基板とを電気的に接続する内部接続端子、３は多層基板からなるインターポーザ（基板）、４は多層基板に開孔されたヴィアホール、５はヴィアホール４に充填されたメタルプラグ、６はメタルプラグ５等を電気的に接続する上層配線、７は半田ボールからなる外部端子、８は熱硬化後のアンダーフィル樹脂（硬化性樹脂、熱硬化性樹脂）である。また、半導体チップ１、内部接続端子２及びインターポーザ３の厚みは、それぞれ３５０μｍ、１００μｍ及び４００μｍである。
【００１９】
すなわち、本半導体装置は、半導体チップ１の下面１ａとインターポーザ（基板）３が導電性の内部接続端子２で接続されるとともに、半導体チップ１の下面１ａとインターポーザ（基板）３の隙間は熱硬化性アンダーフィル樹脂８で封止され、インターポーザ（基板）３の下面には外部端子（半田ボール）７が配置された構造となっている。
【００２０】
特に、本半導体装置は、インターポーザ（基板）３上に、内部接続端子２の厚み（１００μｍ）に対応した板厚１００μｍ程度のシート状の熱硬化前アンダーフィル樹脂９（図２）を上記内部接続端子２が配置されない部分に載置し、その上に半導体チップ１を圧着し、熱硬化させた構成となっている。
【００２１】
上記熱硬化前アンダーフィル樹脂９は、半導体チップ１及び内部接続端子２の形状、及び内部接続端子２の厚みに合わせてあらかじめ用意したシート状の熱硬化樹脂であり、熱硬化前には固形又は半固形状態にある。したがって、インターポーザ（基板）３上に、容易にシート状の熱硬化前アンダーフィル樹脂９を搭載することができる。
【００２２】
また、上記熱硬化前アンダーフィル樹脂９は、熱硬化（１００〜２００℃）により完全かつ強固に固形化して熱硬化後アンダーフィル樹脂８となり、半導体チップ１及びインターポーザ（基板）３とを接着・封止する。
【００２３】
以下、上述のように構成されたＣＳＰパッケージ構造の製造方法を説明する。図２は上記ＣＳＰパッケージ構造の製造方法を説明するための図である。
【００２４】
まず、半導体チップ１の入出力端子に内部接続端子２を取り付ける。この内部接続端子２としては、例えば金バンプ、金スタッドバンプ又は半田バンプがある。また、内部接続端子２とインターポーザ（基板）３を接続する方法として、導電性接着剤（例えば、銅ペースト、銀ペースト等）、Ａｕ−Ａｕ接合又は半田接合があり従来公知の方法が適用できる。
【００２５】
そして、内部接続端子２が取り付けられたインターポーザ（基板）３と半導体チップ１とを接合させる際、あらかじめその間にシート状の熱硬化前アンダーフィル樹脂９を挟み込む。具体的には、熱硬化前アンダーフィル樹脂９は、半導体チップ１及び内部接続端子２の形状、及び内部接続端子２の厚みに合わせて形成されたシート状の熱硬化樹脂であるから、図２に示すように、内部接続端子２が取り付けられたインターポーザ（基板）３上に精度よく載置することができる。この状態で、半導体チップ１を内部接続端子２及び熱硬化前アンダーフィル樹脂９上に載せ、位置決めした後圧着させる。
【００２６】
その後、この半導体装置に熱（１００〜２００℃）を加え、熱硬化前アンダーフィル樹脂９を溶かして熱硬化させ、熱硬化後のアンダーフィル樹脂８により半導体チップ１及びインターポーザ（基板）３を封止する。
【００２７】
以上説明したように、第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法は、半導体チップ１とインターポーザ（基板）３の間にシート状の熱硬化前アンダーフィル樹脂９を挟み込んで熱を加え、熱硬化前アンダーフィル樹脂９を溶かして熱硬化させ、熱硬化後のアンダーフィル樹脂８により半導体チップ１及びインターポーザ（基板）３を封止するようにしたので、従来ディスペンス工程で発生していた未充填や内部ボイドの発生を完全に防止することができる。
【００２８】
また、従来例のように液状樹脂を充填するものでは液状樹脂をゆっくり充填しなければならず、その後液状樹脂を熱硬化させるために２〜３時間という多大な時間を要していたが、本実施形態では熱硬化前アンダーフィル樹脂９を熱硬化させる時間はわずか数１０秒で済むため大幅な製造時間の短縮を図ることが可能になる。
【００２９】
図３は本発明の第２の実施形態に係る半導体装置のＣＳＰパッケージ構造を示す図である。なお、本実施形態に係る半導体装置の説明にあたり前記図１及び図２の半導体装置と同一構成部分には同一符号を付している。
【００３０】
図３（ａ）（ｂ）において、１は半導体チップ、２は半導体チップと基板とを電気的に接続する内部接続端子、３は多層基板からなるインターポーザ（基板）、４は多層基板に開孔されたヴィアホール、５はメタルプラグ、６は上層配線、７は外部端子（半田ボール）、１０は熱硬化前アンダーフィル樹脂である。
【００３１】
上記熱硬化前アンダーフィル樹脂１０は、内部接続端子２の厚み（高さ）に対応したシート状の熱硬化樹脂であり、熱硬化前アンダーフィル樹脂１０は、図３（ｂ）に示すように内部接続端子２の位置に端子形状に相似したニゲ穴１０ａを設けた構成となっている。また、上記熱硬化前アンダーフィル樹脂１０は、熱硬化（１００〜２００℃）により完全かつ強固に固形化して熱硬化後アンダーフィル樹脂となり、半導体チップ１及びインターポーザ（基板）３とを接着・封止することができる。
【００３２】
以下、上述のように構成されたＣＳＰパッケージ構造の製造方法を説明する。まず、半導体チップ１の入出力端子に内部接続端子２を取り付ける。
【００３３】
そして、内部接続端子２が取り付けられたインターポーザ（基板）３上に、内部接続端子２形状に対応したニゲ穴１０ａを有する熱硬化前アンダーフィル樹脂１０（図３（ｂ）参照）を載置する。このニゲ穴１０ａは、内部接続端子２の端子形状及び配置位置に対応して形成されているが、内部接続端子２の大きさよりも所定の余裕をもって形成されている。これにより、熱硬化前アンダーフィル樹脂１０の搭載が容易になるとともに、封止樹脂の過不足が生じた時に、このニゲ穴１０ａ部分に樹脂が逃げる又は該ニゲ穴１０ａ部分が広がることになって樹脂の量が調整され、半導体チップ１とインターポーザ（基板）３とを適切に圧着させることが可能になる。
【００３４】
その後、この半導体装置に熱（１００〜２００℃）を加え、熱硬化前アンダーフィル樹脂１０を溶かして熱硬化させ、熱硬化後のアンダーフィル樹脂８により半導体チップ１及びインターポーザ（基板）３を封止する。
【００３５】
以上説明したように、第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法は、熱硬化前アンダーフィル樹脂１０の内部接続端子２の位置にニゲ穴１０ａを設けているので、樹脂量の微調整が可能になり、封止の過不足を防ぐことができる。
【００３６】
図４は本発明の第３の実施形態に係る半導体装置のＣＳＰパッケージ構造を示す図である。なお、本実施形態に係る半導体装置の説明にあたり前記図３の半導体装置と同一構成部分には同一符号を付している。
【００３７】
図４（ａ）（ｂ）において、１は半導体チップ、２は半導体チップと基板とを電気的に接続する内部接続端子、３は多層基板からなるインターポーザ（基板）、４は多層基板に開孔されたヴィアホール、５はメタルプラグ、６は上層配線、７は外部端子（半田ボール）、１１は熱硬化前アンダーフィル樹脂、１２は樹脂の流れ出しを防止するガードリングである。
【００３８】
上記熱硬化前アンダーフィル樹脂１１は、内部接続端子２の厚み（高さ）に対応したシート状の熱硬化樹脂であり、熱硬化前アンダーフィル樹脂１１は、図４（ｂ）に示すように内部接続端子２の位置に端子形状に相似したニゲ穴１１ａを設けた構成となっている。
【００３９】
上記ガードリング１２は、熱硬化前アンダーフィル樹脂１１を熱により溶かした際の樹脂もれを防止するガードリングであり、ポリイミドテープ、ガラス等の絶縁体あるいは３００℃程度まで使用可能な金属等からなり、熱硬化前アンダーフィル樹脂１１の外周を取り囲むように形成されている。
【００４０】
以下、上述のように構成されたＣＳＰパッケージ構造の製造方法を説明する。まず、半導体チップ１の入出力端子に内部接続端子２を取り付ける。
【００４１】
そして、内部接続端子２が取り付けられたインターポーザ（基板）３上に、内部接続端子２形状に対応したニゲ穴１１ａを有する熱硬化前アンダーフィル樹脂１１（図４（ｂ）参照）を載置する。このニゲ穴１１ａは、前記図３の熱硬化前アンダーフィル樹脂１０と同様に、内部接続端子２の端子形状及び配置位置に対応して形成されており、内部接続端子２の大きさよりも所定の余裕をもって形成されている。また、この熱硬化前アンダーフィル樹脂１１の外周には、ガードリング１２が設けられている。
【００４２】
その後、この半導体装置に熱（１００〜２００℃）を加え、熱硬化前アンダーフィル樹脂１１を溶かして熱硬化させ、熱硬化後のアンダーフィル樹脂８により半導体チップ１及びインターポーザ（基板）３を封止する。このとき、熱硬化前アンダーフィル樹脂１１にガードリング１２が設けているので、熱硬化前アンダーフィル樹脂１１を溶かした際に、樹脂がインターポーザ（基板）３上に流れ出すことを防止することができる。また、このガードリング１２は、組立て後取り除くことが可能である。
【００４３】
以上説明したように、第３の実施形態に係る半導体装置の製造方法は、熱硬化前アンダーフィル樹脂１１の外周に、ガードリング１２を設けているので、樹脂が溶けた際の流れ出しを防ぐ効果を得ることができる。
【００４４】
図５は本発明の第４の実施形態に係る半導体装置のＣＳＰパッケージ構造を示す図である。なお、本実施形態に係る半導体装置の説明にあたり前記図４の半導体装置と同一構成部分には同一符号を付している。
【００４５】
図５において、１は半導体チップ、２は半導体チップと基板とを電気的に接続する内部接続端子、３は多層基板からなるインターポーザ（基板）、４は多層基板に開孔されたヴィアホール、５はメタルプラグ、６は上層配線、７は外部端子（半田ボール）、１３は熱硬化前アンダーフィル樹脂、１２は樹脂の流れ出しを防止するガードリングである。
【００４６】
上記熱硬化前アンダーフィル樹脂１３は、内部接続端子２の厚み（高さ）に対応したシート状の熱硬化樹脂であり、熱硬化前アンダーフィル樹脂１３は、内部接続端子２の位置に端子形状に相似したニゲ穴１３ａが開孔されるとともに、位置合わせ用の凹部１３ｂが形成されている。
【００４７】
また、上記凹部１３ｂと対向するインターポーザ（基板）３上には、凹部１３ｂに嵌まって凹部１３ｂとの間で位置決めを行うための凸状の突起１４（凸部）が設けられている。
【００４８】
以下、上述のように構成されたＣＳＰパッケージ構造の製造方法を説明する。まず、半導体チップ１の入出力端子に内部接続端子２を取り付ける。
【００４９】
そして、熱硬化前アンダーフィル樹脂１３に形成された位置合わせ用の凹部１３ｂとインターポーザ（基板）３上に形成された凸状の突起１４により位置決めを行いながら、内部接続端子２が取り付けられたインターポーザ（基板）３上に、熱硬化前アンダーフィル樹脂１３を載置する。
【００５０】
位置決めにより正確に熱硬化前アンダーフィル樹脂１３が搭載されると、この半導体装置に熱（１００〜２００℃）を加え、熱硬化前アンダーフィル樹脂１３を溶かして熱硬化させ、熱硬化後のアンダーフィル樹脂８により半導体チップ１及びインターポーザ（基板）３を封止する。また、第３の実施形態と同様に、熱硬化前アンダーフィル樹脂１３の周囲にはガードリング１２が設置されているので、熱硬化前アンダーフィル樹脂１３を溶かした際に、樹脂がインターポーザ（基板）３上に流れ出すことを防止することができる。
【００５１】
以上説明したように、第４の実施形態に係る半導体装置の製造方法は、熱硬化前アンダーフィル樹脂１３に、位置合わせ用の凹部１３ｂを形成し、凹部１３ｂと対向するインターポーザ（基板）３上には、凹部１３ｂとの間で位置決めを行うための凸状の突起１４を設けているので、熱硬化前アンダーフィル樹脂１３を搭載する際の位置合わせ精度を向上させることができる。
【００５２】
なお、上記各実施形態では、硬化性樹脂として、熱硬化性アンダーフィル樹脂を用いているが、シート状の硬化性樹脂であればどのような樹脂でもよい。すなわち、半導体装置を基板上に接合する際、挟み込むことが可能な硬化性樹脂であればよく、どのような種類のものでもよい。さらに、熱硬化性樹脂には限定されず、例えばＵＶ硬化型樹脂でもよい。
【００５３】
また、上記各実施形態では、半導体チップを接合する基板に、多層基板からなるインターポーザ（基板）を用いているが、勿論、多層基板には限定されず、例えば両面プリント基板でも同様の方法で実装が可能である。
【００５４】
また、上記各実施形態では、半導体装置として、ＣＳＰパッケージ（Chip Size(Scale) Package）に適用した例を説明したが、半導体装置を基板上に接合する実装方法であればどのような装置でもよい。また、半導体装置や端子の形状、種類はどのようなものにも適用できることは言うまでもない。
【００５５】
さらに、上記各実施形態に係る半導体装置の製造方法において、その製造プロセス、チップ基板や他の半導体素子パッケージの種類、接続端子等の個数、パッケージ周囲の配置状態等は上記各実施形態に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明を適用した第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法のＣＳＰパッケージ構造を示す完成品断面図である。
【図２】上記半導体装置の製造方法のＣＳＰパッケージ構造を示す断面図である。
【図３】本発明を適用した第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法のＣＳＰパッケージ構造を示す断面図である。
【図４】本発明を適用した第３の実施形態に係る半導体装置の製造方法のＣＳＰパッケージ構造を示す断面図である。
【図５】本発明を適用した第４の実施形態に係る半導体装置の製造方法のＣＳＰパッケージ構造を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  半導体チップ（半導体装置）、  ２  内部接続端子、  ３  インターポーザ（基板）、  ４  ヴィアホール、  ５  メタルプラグ、  ６  上層配線、  ７  外部端子、  ８  熱硬化後のアンダーフィル樹脂、  ９，１０，１１，１３  熱硬化前アンダーフィル樹脂、  １０ａ，１１ａ  ニゲ穴、  １２  ガードリング、  １３ｂ  凹部、  １４  突起（凸部）。
【図１】
2005012239.tif 000003
【図２】
2005012239.tif 000004
【図３】
2005012239.tif 000005
【図４】
2005012239.tif 000006
【図５】
2005012239.tif 000007