(57)【要約】【課題】  圧電アクチュエータの各表面電極に対する各配線パターンの電気的接合性を向上する。【解決手段】 一つの圧電アクチェータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第１素材シート、及び第２素材シートに複数個の駆動電極、コモン電極を形成し、同じく絶縁シートの複数個を並べて一体化した第３素材シートに複数個の表面電極２６，２７を形成する。各素材シートを積層し、焼成して一体化する。複数個の表面電極２６，２７に、それらの相互間を接続する細幅の電極パターンを介して通電し電気メッキにより電気メッキ層２６’，２７’を形成する。積層した素材シートから圧電アクチュエータを切り離す際に、細幅の電極パターンを除去する。電気メッキ層２６’，２７’を施した表面電極２６，２７に、フレキシブルフラットケーブルの配線パターンが接続される。【選択図】  図１９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極間に圧電シートを挟んで積層して構成され、表面に、前記電極に電気的に接続された表面電極を備え、その表面電極に、外部機器に対する接続用の配線パターンが電気的に接続される圧電アクチュエータであって、
前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体の、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層が形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
前記圧電シートに絶縁シートがさらに積層され、その絶縁シート上に前記表面電極が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記電極と前記表面電極とは、前記圧電シート及び絶縁シートの積層方向に形成された側面電極により電気的に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
前記配線パターンは、前記圧電アクチュエータに重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルに設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】
前記圧電シートを挟む前記電極のうち一方は、複数個の駆動電極であり、他方は駆動電極の複数個に共通のコモン電極であって、前記表面電極は、前記各駆動電極及びコモン電極にそれぞれ対応して、前記圧電アクチュエータの表面に配列して設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
【請求項６】
複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとの駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極を圧電シートを挟んで積層しかつ前記駆動電極及びコモン電極に電気的に接続された表面電極を表面に備えた圧電アクチェータと、前記表面電極に電気的に接続された、外部機器に対する接続用の配線パターンとからなり、前記圧電アクチェータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層してなるインクジェットプリンタヘッドであって、
前記圧電アクチェータにおける前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体の、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層が形成されていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項７】
前記圧電アクチェータは、前記圧電シートの前記キャビティプレートとは反対側に絶縁シートがさらに積層して構成され、その絶縁シート上に前記表面電極が形成されていることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項８】
前記圧力室は２列に形成され、前記駆動電極に対応する前記表面電極及び前記コモン電極に対応する前記表面電極は２列に形成されていることを特徴とする請求項６または７に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項９】
前記配線パターンは、前記圧電アクチュエータの前記キャビティプレートとは反対側の面に重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルに設けられていることを特徴とする請求項６から９のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項１０】
電極間に圧電シートを挟んで積層して構成され、表面に、前記電極に電気的に接続された表面電極を備え、その表面電極に、外部機器に対する接続用の配線パターンが電気的に接続される圧電アクチュエータの製造方法において、
前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した後、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層を電気メッキにより形成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１１】
複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成し、前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して前記電気メッキを行い、その後、前記細幅の電極パターンを除去することを特徴とする請求項１０に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１２】
前記電極のうち一方としての複数個の駆動電極を形成した圧電シートと、前記電極の他方としての、駆動電極の複数個に共通のコモン電極を形成した圧電シートと、前記表面電極を形成した絶縁シートとを積層し、焼成して一体化することを特徴とする請求項１０または１１に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１３】
電極間に圧電シートを挟んで積層して構成され、表面に、前記電極に電気的に接続された表面電極を備え、その表面電極に、外部機器に対する接続用の配線パターンが電気的に接続される圧電アクチュエータの製造方法において、
一つの圧電アクチェータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第１素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に複数個の駆動電極を形成する工程と、
同じく一つの圧電アクチェータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第２素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に前記駆動電極の複数個に対応するコモン電極を形成する工程と、
一つの圧電アクチェータを構成する絶縁シートの複数個を並べて一体化した第３素材シートにおける表面のうち前記各絶縁シートの箇所に前記各駆動電極の各々に対応する表面電極を形成する工程と、
複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成する工程と、
前記第１素材シート及び第２素材シートの少なくとも一枚ずつを交互に積層し、これに前記第３素材シートを積層して積層体を形成する工程と、
前記駆動電極及びコモン電極の各一端部を、前記積層体の積層方向に延びる側面電極によって前記表面電極に電気的に接続する工程と、
前記積層体を焼成する工程と、
前記焼成工程の後、前記配線パターンが電気的に接続される前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して金属メッキ層を電気メッキにより形成する工程と、
前記金属メッキ層を形成した後、前記積層体を前記各圧電アクチェータ間の境界線に沿って前記各圧電アクチュエータごとに切断するとともに、該切断動作にともない前記細幅の電極パターンを除去する工程と
からなることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１４】
複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとの駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極を圧電シートを挟んで積層しかつ前記駆動電極及びコモン電極に電気的に接続された表面電極を表面に備えた圧電アクチェータと、前記表面電極に電気的に接続された、外部機器に対する接続用の配線パターンとからなり、前記圧電アクチェータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層するインクジェットプリンタヘッドの製造方法であって、
前記圧電アクチェータにおける前記駆動電極、コモン電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体を形成した後、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層を形成することを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項１５】
複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成し、前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して前記電気メッキを行い、その後、前記細幅の電極パターンを除去することを特徴とする請求項１４に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記駆動電極を形成した圧電シートと、前記コモン電極を形成した圧電シートと、前記表面電極を形成した絶縁シートとを積層し、焼成して一体化することを特徴とする請求項１０または１１に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項１７】
複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとの駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極を圧電シートを挟んで積層しかつ前記駆動電極及びコモン電極に電気的に接続された表面電極を表面に備えた圧電アクチェータと、前記表面電極に電気的に接続された、外部機器に対する接続用の配線パターンとからなるインクジェットプリンタヘッドの製造方法であって、
一つの圧電アクチェータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第１素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に複数個の駆動電極を形成する工程と、
同じく一つの圧電アクチェータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第２素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に前記駆動電極の複数個に対応するコモン電極を形成する工程と、
一つの圧電アクチェータを構成する絶縁シートの複数個を並べて一体化した第３素材シートにおける表面のうち前記各絶縁シートの箇所に前記各駆動電極の各々に対応する表面電極を形成する工程と、
複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成する工程と、
前記第１素材シート及び第２素材シートの少なくとも一枚ずつを交互に積層し、これに前記第３素材シートを積層して積層体を形成する工程と、
前記駆動電極及びコモン電極の各一端部を、前記積層体の積層方向に延びる側面電極によって前記表面電極に電気的に接続する工程と、
前記積層体を焼成する工程と、
前記焼成工程の後、前記配線パターンが電気的に接続される前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して金属メッキ層を電気メッキにより形成する工程と、
前記金属メッキ層を形成した後、前記積層体を前記各圧電アクチェータ間の境界線に沿って前記各圧電アクチュエータごとに切断するとともに、該切断動作にともない前記細幅の電極パターンを除去する工程と
前記圧電アクチェータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層する工程と
からなることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電アクチェータ、これを用いたインクジェットプリンタヘッド、及びこれらを製造する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
先行技術としての米国特許第５，４０２，１５９号明細書は、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとに形成された駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極により圧電シートを挟んで積層したプレート型の圧電アクチェータとからなり、この圧電アクチェータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層してなる圧電式インクジェットプリンタヘッドを提案している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−４９９９９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この先行技術の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいては、前記米国特許第５，４０２，１５９号明細書におけるＦＩＧ．１５に記載されているように、前記圧電アクチェータにおける表裏両表面と直交する側面に、少なくとも前記各駆動電極に電気的に導通する側面電極を形成して、前記各駆動電極を、この各側面電極を介して外部に接続するように構成している。
【０００５】
本発明は、外部接続のための配線パターンと圧電アクチェータの表面電極との電気的接合性を向上した圧電アクチェータ、これを用いたインクジェットプリンタヘッド、及びこれらを製造する方法を提供することを技術的課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本請求項１にかかる発明の圧電アクチェータは、電極間に圧電シートを挟んで積層して構成され、表面に、前記電極に電気的に接続された表面電極を備え、その表面電極に、外部機器に対する接続用の配線パターンが電気的に接続される圧電アクチュエータであって、前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体の、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層が形成されている。
【０００７】
この圧電アクチュエータを使用するインクジェットプリンタヘッドとしては、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ごとの駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極を圧電シートを挟んで積層しかつ前記駆動電極及びコモン電極に電気的に接続された表面電極を表面に備えた圧電アクチェータと、前記表面電極に電気的に接続された、外部機器に対する接続用の配線パターンとからなり、前記圧電アクチェータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層してなるインクジェットプリンタヘッドが好適である。
【０００８】
上記構成において、前記圧電アクチュエータは、好ましくは前記圧電シートに絶縁シートがさらに積層され、その絶縁シート上に前記表面電極が形成されている。さらに、好ましくは前記電極と前記表面電極とは、前記圧電シート及び絶縁シートの積層方向に形成された側面電極により電気的に接続されている。
【０００９】
また、好ましくは前記配線パターンは、前記圧電アクチュエータに重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルに設けられている。
【００１０】
また、好ましくは、前記圧電シートを挟む前記電極のうち一方は、複数個の駆動電極であり、他方は駆動電極の複数個に共通のコモン電極であって、前記表面電極は、前記各駆動電極及びコモン電極にそれぞれ対応して、前記圧電アクチュエータの表面に配列して設けられている。
クチェータにおける前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体の、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層が形成されている。
【００１１】
前記圧電アクチュエータの製造方法としては、前記電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した後、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層を電気メッキにより形成する。
【００１２】
さらに、好ましくは複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成し、前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して前記電気メッキを行い、その後、前記細幅の電極パターンを除去する。
【００１３】
また、前記圧電アクチュエータそのものは、前記電極のうち一方としての複数個の駆動電極を形成した圧電シートと、前記電極の他方としての、駆動電極の複数個に共通のコモン電極を形成した圧電シートと、前記表面電極を形成した絶縁シートとを積層し、焼成して一体化する。
【００１４】
さらに具体的には、一つの圧電アクチェータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第１素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に複数個の駆動電極を形成する工程と、同じく一つの圧電アクチェータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第２素材シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に前記駆動電極の複数個に対応するコモン電極を形成する工程と、一つの圧電アクチェータを構成する絶縁シートの複数個を並べて一体化した第３素材シートにおける表面のうち前記各絶縁シートの箇所に前記各駆動電極の各々に対応する表面電極を形成する工程と、複数の前記表面電極の相互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを形成する工程と、前記第１素材シート及び第２素材シートの少なくとも一枚ずつを交互に積層し、これに前記第３素材シートを積層して積層体を形成する工程と、前記駆動電極及びコモン電極の各一端部を、前記積層体の積層方向に延びる側面電極によって前記表面電極に電気的に接続する工程と、前記積層体を焼成する工程と、前記焼成工程の後、前記配線パターンが電気的に接続される前記表面電極に、前記細幅の電極パターンを介して通電して金属メッキ層を電気メッキにより形成する工程と、前記金属メッキ層を形成した後、前記積層体を前記各圧電アクチェータ間の境界線に沿って前記各圧電アクチュエータごとに切断するとともに、該切断動作にともない前記細幅の電極パターンを除去する工程とからなる。
【００１５】
そして、インクジェットプリンタヘッドとしては、上記圧電アクチュエータを、前記キャビティープレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように積層することで製造される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の圧電アクチェータ及びインクジェットプリンタヘッドは、以上のように、電極、圧電シート及び表面電極を焼成して一体化した積層体の、前記配線パターンが電気的に接続される表面電極上に、金属メッキ層を形成するので、各配線パターンの、前記各表面電極に対する電気的接合性を大幅に向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。
【００１８】
図１〜図７は、圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。
【００１９】
この図において、符号１０は、金属板製のキャビティープレートを、符号２０は、このキャビティープレート１０に対して積層されるプレート型の圧電アクチェータを、そして、符号４０は、外部機器との接続のために前記圧電アクチェータ２０に対して重ね接合されるフレキシブルフラットケーブルを各々示す。
【００２０】
前記キャビティープレート１０は、図５及び図６に示すように構成されている。
【００２１】
すなわち、ノズルプレート１１、二枚のマニホールドプレート１２、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の五枚の薄い金属板を積層した構造である。
【００２２】
前記ノズルプレート１１には、微小径のインク噴出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１１における長手方向の中心線１１ａに沿って、微小ピッチＰの間隔で多数個穿設されている。前記二枚のマニホールドプレート１２には、インク通路１２ａが、前記ノズル１５の列の両側に沿って延びるように穿設され、このインク通路１２ａは、この両マニホールドプレート１２に対する前記ノズルプレート１１及び前記スペーサプレート１３の積層により密閉される構造になっている。
【００２３】
また、前記ベースプレート１４には、その長手中心線１４ａに対して直交する方向に延びる細幅の圧力室１６の多数個が穿設されている。この各圧力室１６は、その先端１６ａが前記長手中心線１４ａ上に位置し、これから一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に設けられている。この各圧力室１６の先端１６ａは、前記ノズルプレート１１におけるノズル１５に、前記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１２に穿設されている微小径の貫通孔１７を介して連通している一方、前記各圧力室１６の他端１６ｂは、前記スペーサプレート１３に穿設した貫通孔１８を介して、前記両マニホールドプレート１２におけるインク通路１２ａに連通している。
【００２４】
これにより、前記スペーサプレート１３及び前記ベースプレート１４の一端部に穿設の供給孔１９ａ，１９ｂから前記インク通路１２ａ内に流入したインクは、このインク通路１２ａから前記各圧力室１６内に前記各貫通孔１８を通って分配されたのち、この各圧力室１６内から前記貫通孔１７を通って、当該圧力室１６に対応するノズル１５に至るという構成になっている。
【００２５】
一方、前記圧電アクチェータ２０は、図７に示すように、二枚の圧電シート２１，２２と、一枚の絶縁シート２３とを積層した構造で、前記各圧電シート２１，２２のうち最下段の圧電シート２１の上面には、前記キャビティープレート１０における各圧力室１６の箇所ごとに細幅の駆動電極２４が、当該駆動電極２４の一端部２４ａが前記圧電アクチェータ２０における表裏両積層面２０ａ，２０ｂと直交する左右両側面２０ｃに露出するように形成されている。
【００２６】
次段の圧電シート２２の上面には、複数個の圧力室１６の複数個に対して共通のコモン電極２５が、当該コモン電極２５の一端部２５ａが前記圧電アクチェータ２０における左右両側面２０ｃに露出するように形成されている。
【００２７】
前記最上段の絶縁シート２３の上面には、前記各駆動電極２４の各々に対する表面電極２６と、前記コモン電極２５に対する表面電極２７とが、前記圧電アクチェータ２０における左右両側面２０ｃに沿って並ぶように設けられている。
【００２８】
なお、符号２８及び２９は、捨てパターンの電極である。
【００２９】
そして、前記圧電アクチェータ２０における表裏両表面２０ａ，２０ｂと直交する左右両側面２０ｃには、前記各駆動電極２４の一端部２４ａの部位に、第１の凹み溝３０が、前記コモン電極２５の一端部２５ａの部位の部位に、第２の凹み溝３１が各々積層方向に延びるように設けられ、この各第１の凹み溝３０内には、前記各駆動電極２４とその各々の表面電極２６とを電気的に接続する側面電極３２が、前記第２の凹み溝３１内には、前記コモン電極２５と表面電極２７とを電気的に接続する側面電極３３が各々形成されている。
【００３０】
なお、図示の形態は、圧電アクチェータ２０として、駆動電極２４を設けた圧電シート２１と、コモン電極２５を設けた圧電シート２２とを一つの対として、これを一対だけ積層した場合であったが、本発明においては、これに限らず、駆動電極２４を設けた圧電シート２１と、コモン電極２５を設けた圧電シート２２とからなる対を複数対積層したものに構成しても良い。
【００３１】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチェータ２０は、前記キャビティープレート１０に対して、当該圧電アクチェータ２０における各駆動電極２４が前記キャビティープレート１０における各圧力室１６の各々に対応するように積層される。また、この圧電アクチェータ２０における上側の表面２０ａには、前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル４０における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極２６，２７に電気的に接合される。
【００３２】
この構成において、前記圧電アクチェータ２０における各駆動電極２４のうち任意の駆動電極２４と、コモン電極２５との間に電圧を印加することにより、圧電シート２１，２２のうち前記電圧を印加した駆動電極２４の部分に圧電による積層方向の歪みが発生し、この歪みにて前記各駆動電極２４に対応する圧力室１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６内のインクが、ノズル１５から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる。
【００３３】
前記構成の圧電アクチェータ２０においては、その側面２０ｃにおける各側面電極３２，３３は、当該側面２０ｃに設けた凹み溝３０，３１内に形成されていることにより、各側面電極３２，３３を、側面２０ｃから突出しないようにできるか、或いは、側面２０ｃからの突出を小さくすることができる。その結果、圧電アクチェータ２０の製造中とか、この圧電アクチェータ２０の組み立て中に、その各側面電極３２，３３にハンドラー又は治具等が接触することに起因して、前記各側面電極３２，３３を損傷することを確実に低減できる。
【００３４】
そして、前記した構成の圧電アクチェータ２０は、以下に述べるような方法で製造される。
【００３５】
図８〜図１３は、第１の製造方法を示す。
【００３６】
この図８において、符号２１０は、前記一つの圧電アクチェータ２０における圧電シート２１の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第１素材シート（セラミックグリーンシート）を示し、この第１素材シート２１０の表面のうち各圧電シート２１の箇所に、複数個の駆動電極２４と、捨てパターンの電極２８とを、この材料である導電性ペーストをスクリーン印刷したのち乾燥することで形成する。
【００３７】
また、符号２２０は、同じく前記一つの圧電アクチェータ２０における圧電シート２２の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第２素材シート（セラミックグリーンシート）を示し、この第２素材シート２２０の表面のうち各圧電シート２２の箇所に、コモン電極２５と、捨てパターンの電極２９とを、その材料である導電性ペーストをスクリーン印刷したのち乾燥することで形成する。
【００３８】
更にまた、符号２３０は、前記一つの圧電アクチェータ２０における絶縁シート２３の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第３素材シート（セラミックグリーンシート）を示し、この第３素材シート２３０の表面のうち各絶縁シート２３の箇所に、表面電極２６，２７を、その材料である導電性ペーストをスクリーン印刷したのち乾燥することで形成する。
【００３９】
なお、これら各素材シート２１０，２２０，２３０の周囲には、余白部が一体的に設けられている。
【００４０】
次いで、前記第１素材シート２１０，第２素材シート２２０及び第３素材シート２３０を、図９及び図１０に示すように、その順番で積層したのち、積層方向にプレスすることで一体化して、一枚の積層体Ａにする。
【００４１】
次いで、この積層体Ａのうち各圧電シート２１，２２及び且つ絶縁シート２３間の境界線Ａ１，Ａ２上で、且つ、前記各表面電極２６，２７の箇所の各々に、貫通孔（スルーホール）３００，３１０を穿設して、この貫通孔３００，３１０内に、前記各駆動電極２４の一端部２４ａ及びコモン電極２５の一端部２５ａを露出する。
【００４２】
なお、これらの貫通孔３００，３１０は、ポンチによる打ち抜きにて穿設する。また、これらの貫通孔３００，３１０は、前記第１、第２及び第３素材シート２１０，２２０，２３０を積層する前において、これらの各々に予め穿設しておくようにしても良い。
【００４３】
次いで、前記積層体Ａを、高い温度で焼成したのち、高速回転するダイシングカッター（図示せず）にて各境界線Ａ１，Ａ２に沿って切断することにより、図１１及び図１２に示すように、各圧電アクチェータ２０ごとに分割する。
【００４４】
この切断により圧電アクチェータ２０の左右両側面２０ｃには、前記貫通孔２００，３１０による凹み溝３０，３１が積層方向に延びるように設けられる。
【００４５】
次いで、前記圧電アクチェータ２０の左右両側面２０ｃにおける各凹み溝３０３１内に、図１３に示すように、側面電極３２，３３を形成することにより、図１２に示す構造の圧電アクチェータ２０の完成品にできる。
【００４６】
なお、前記側面電極３２，３３は、各凹み溝３０，３１内に対する金属の真空蒸着又はスパッタリング、或いは導電性ペーストの塗布等にて形成することはいうまでもない。
【００４７】
次に、図１４〜図１６は、第２の形態による製造方法を示す。
【００４８】
この製造方法は、前記積層体Ａに穿設した各貫通孔３００，３１０内に、図１４に示すように、導電性ペースト３２′，３３′を充填して乾燥し、次いで、前記積層体Ａを、高い温度で焼成したのち、各境界線Ａ１，Ａ２に沿って各圧電アクチェータ２０ごとに切断するとき、前記各貫通孔３００，３１０内における前記導電性ペースト３２′，３３′を左右二つ割りに切断するものである。
【００４９】
これにより、図１５及び図１６に示すように、圧電アクチェータ２０の側面２０ｃにおける各側面電極３２，３３を、側面２０ｃに設けた凹み溝３０，３１内に形成することができる。
【００５０】
この方法によると、前記第１の製造方法にように、各側面電極３２，３３を、切断後における各圧電アクチェータごとに形成する場合よりも低コストを図ることができる。
【００５１】
更にまた、図１７〜図１９は、第３の形態による製造方法を示す。
【００５２】
この製造方法は、前記第３素材シート２３０の表面に、図１７に示すように、各表面電極２６，２７を、導電性ペーストのスクリーン印刷にて形成するとき同時に、この各表面電極２６，２７の相互間を電気的に接続する細幅Ｗ０の電極パターン３４０，３５０を、各境界線Ａ１，Ａ２に沿って延びるように形成し、この第３素材シート２３０を、前記第１及び第２素材シート２１０，２２０に対して積層して一体化する。
【００５３】
次いで、貫通孔３００，３１０を穿設し、この貫通孔３００，３１０内に、図１８に示すように、導電性ペースト３２′，３３′を充填して乾燥したのち、前記積層体Ａを、高い温度で焼成する。
【００５４】
次いで、前記積層体Ａを、メッキ液中に浸漬し、この状態で各表面電極２６，２７に、細幅の電極パターン３４０，３５０を介して通電して電気メッキを行うことにより、図１９に示すように、前記各表面電極２６，２７の表面に、金属メッキ層２６′，２７′を形成する。
【００５５】
この金属メッキ層２６′，２７′は、例えば、ニッケルメッキ層を下地としてその上に金メッキ層を形成するもので、この金属メッキ層２６′，２７′の形成により、前記フレキシブルフラットケーブル４０における各配線パターンの、前記各表面電極２６，２７に対する電気的接合性を大幅に向上できる。
【００５６】
次いで、前記積層体Ａを、高速回転するダイシングカッター（図示せず）にて各境界線Ａ１，Ａ２に沿って各圧電アクチェータ２０ごとに切断する際して、この切断を行う前記ダイシングカッターの切削幅Ｗ１を、前記電気メッキのために形成した前記電極パターン３４０，３５０の幅寸法Ｗ０よりも大きくする。
【００５７】
これにより、積層体Ａを各圧電アクチェータ２０ごとに切断すると同時に、前記電極パターン３４０，３５０を除去することができるから、各表面電極２６，２７及び各側面電極３２，３３の相互間を電気的に独立化できるのである。
【００５８】
なお、この第３の実施の形態による製造方法においては、各側面電極３２，３３を、貫通孔３００，３１０内への導電性ペーストの充填にて形成することに代えて、前記第１の実施の形態による製造方法と同様に、各圧電アクチェータ２０ごとに切断したあとで、凹み溝３０，３１内に金属の真空蒸着等にて形成するようにしても良いことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視図である。
【図２】前記図１においてキャビティープレートと圧電アクチェータとの一端部を示す拡大斜視図である。
【図３】前記図２のIII −III 視拡大断面図である。
【図４】前記図３においてキャビティープレートと圧電アクチェータとを積層した状態の拡大断面図である。
【図５】前記キャビティープレートの分解斜視図である。
【図６】前記キャビティープレートの部分的拡大斜視図である。
【図７】前記圧電アクチェータの分解斜視図である。
【図８】第１の製造方法における各素材シートを示す斜視図である。
【図９】前記各素材シートの積層体を示す斜視図である。
【図１０】前記図９のＸ−Ｘ視拡大断面図である。
【図１１】前記図９の積層体から分割した圧電アクチェータを示す斜視図である。
【図１２】前記図１１のXII −XII 視断面図である。
【図１３】前記圧電アクチェータに側面電極を形成したときの断面図である。
【図１４】第２の製造方法における積層体を示す断面図である。
【図１５】前記図１４の積層体から分割した圧電アクチェータを示す斜視図である。
【図１６】前記図１５のXVI −XVI 視断面図である。
【図１７】第３の製造方法における積層体を示す斜視図である。
【図１８】前記図１７のXVIII −XVIII 視断面図である。
【図１９】前記第３の製造方法において金属メッキ層を形成した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０ キャビティープレート
１５ ノズル
１６ 圧力室
２０ 圧電アクチェータ
２１，２２ 圧電シート
２３ 絶縁シート
２４ 駆動電極
２５ コモン電極
２６，２７ 表面電極
２６′，２７′ 金属メッキ層
３２，３３ 側面電極
３２′，３３′ 導電性ペースト
４０ フレキシブルフラットケーブル
２１０ 第１素材シート
２２０ 第２素材シート
２３０ 第３素材シート
Ａ 積層体
Ａ１，Ａ２ 境界線
３００，３１０ 貫通孔
３４０，３５０ 細幅の電極パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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