(57)【要約】【課題】  除染対象物表面の凝縮状態を精度良く知ることができる過酸化水素ガスの凝縮検出装置、凝縮管理システム、及び凝縮管理方法を提供する。【解決手段】  投光装置４の照射方向に対して面方向がほぼ直交し、その表面に過酸化水素ガスＸが凝縮することとなる複数のガラス板５からなる凝縮形成部３を具備し、アイソレータ装置２内に設置される凝縮検出装置１にあって、凝縮形成部３を、多数の空気導入孔１１が形成された通気性筐体２１内に収納した。さらに、通気性筐体２１に排出口２２を形成し、かつ排出口２２に、過酸化水素ガスＸを含む空気を吸引する送風ファン２５を設けた。これにより、通気性筐体２１内に一方向流が形成されることとなる。また、この凝縮検出装置１をアイソレータ装置２内に複数設置し、多点について測定できる凝縮管理システムとした。また、かかるシステムにあって、各凝縮検出装置１の空気の一方向流の流速を適宜変更する凝縮管理方法が提案される。【選択図】  図３
2005291868.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に光を照射する投光部を備えた投光装置と、
受光部を具備し、該受光部が投光装置の照射方向と対向する位置に配設された、受光量とほぼ比例する電圧出力を発生する受光装置と、
投光装置の投光部と、受光装置の受光部との間で、投光装置の照射方向に対して面方向がほぼ直交し、その表面に過酸化水素ガスが凝縮することとなる単数又は複数の透明板からなる凝縮形成部と
を備え、過酸化水素ガスが内在する密閉室内に設置される過酸化水素ガスの凝縮センサーにおいて、
少なくとも前記凝縮形成部が、筐壁に複数の空気導入孔が形成された通気性筐体内に収納されると共に、該通気性筐体に、前記密閉室内と連通する排出口を形成し、かつ前記空気導入孔から過酸化水素ガスを含む密閉室内空気を当該筐体内に導入する空気吸入装置を設け、空気導入孔から通気性筐体内に導入した空気を前記排出口から排出することにより通気性筐体内に一方向流を形成してなることを特徴とする過酸化水素ガスの凝縮検出装置。
【請求項２】
凝縮形成部が、
複数の透明板からなると共に、各透明板間の間隙と周囲雰囲気とを連通する連通開口部が形成され、各透明板間の間隙に、該連通開口部を介して一方向流を形成してなることを特徴とする請求項１記載の過酸化水素ガスの凝縮検出装置。
【請求項３】
各透明板間の間隙に、連通開口部を介して形成した一方向流の流速が、0.1ｍ/ｓから0.3ｍ/ｓまでの範囲内にあることを特徴とする請求項２記載の過酸化水素ガスの凝縮検出装置。
【請求項４】
各透明板間の間隙に、連通開口部を介して形成した一方向流の流速が、0.15ｍ/ｓであることを特徴とする請求項３記載の過酸化水素ガスの凝縮検出装置。
【請求項５】
連通開口部を、各透明板間の間隙に形成した一方向流の流れ方向に対向するようにして、凝縮形成部を通気性筐体内に配設してなることを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれかに記載の過酸化水素ガスの凝縮検出装置。
【請求項６】
通気性筐体の筐壁に、当該通気性筐体内と密閉室内とを連通する外筒を設けて排出口とすると共に、
空気吸入装置が、
前記外筒内に配設されたファンと、該ファンの駆動源となる駆動装置とからなり、駆動装置を駆動させてファンを回動させると、空気導入孔から過酸化水素ガスを含む密閉室内空気が当該筐体内に導入され、通気性筐体内の空気が、外筒を介して密閉室内へ排出されるものであることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の過酸化水素ガスの凝縮検出装置。
【請求項７】
投光装置を通気性筐体外に設置すると共に、通気性筐体の筐壁に、投光部が発する光を凝縮形成部へ照射する、所定長さの光ファイバーケーブルを貫設してなることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の過酸化水素ガスの凝縮検出装置。
【請求項８】
過酸化水素ガスが内在する密閉室内に、請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の過酸化水素ガスの凝縮検出装置を複数設置してなることを特徴とする過酸化水素ガスの凝縮管理システム。
【請求項９】
請求項８記載の過酸化水素ガスの凝縮管理システムにあって、
各凝縮検出装置における各透明板間の間隙に、連通開口部を介して形成した一方向流の流速を、夫々独立して変更することを特徴とする過酸化水素ガスの凝縮管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アイソレータ装置等の密閉室内に設置され、当該密閉室内の過酸化水素ガスの凝縮状態を調べる凝縮検出装置、凝縮管理システム、及び凝縮管理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明者は、既に、一方向に光を照射する投光部を備えた投光装置と、投光装置の照射方向と対向する位置に配設される受光部を備えた受光装置と、投光装置の投光部と、受光装置の受光部との間で、投光装置の照射方向に対して面方向がほぼ直交し、その表面に過酸化水素ガスが凝縮することとなる単数又は複数の透明板からなる凝縮形成部とを備えた過酸化水素ガスの凝縮センサーを提案している（特許文献１参照）。この凝縮センサーは、過酸化水素ガスが内在する密閉室内に設置され、透明板上に過酸化水素ガスが凝縮することにより変化する受光量に基づいて、当該密閉室内の過酸化水素ガスの凝縮状況を推定するものである。
【０００３】
【特許文献１】ＰＣＴ  ＷＯ  ０３／０９５９９４  Ａ１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、測定対象の密閉室があまりに広くなると、室内環境にバラツキが生じ、凝縮センサーの周囲の環境と、密閉室内における凝縮状態を知りたい箇所との間に環境差が生じる場合がある。したがって、凝縮センサーにより得られた凝縮状況が、必ずしも所望箇所の凝縮状況を示唆しているものとはいえず、凝縮センサーの測定精度が鈍る場合があった。
【０００５】
そこで、本発明は、従来構成に比して、密閉室内の過酸化水素ガスの凝縮状況を高精度に推定することができる過酸化水素ガスの凝縮検出装置を提供すると共に、これに付随して、凝縮管理システム、及び凝縮管理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、一方向に光を照射する投光部を備えた投光装置と、受光部を具備し、該受光部が投光装置の照射方向と対向する位置に配設された、受光量とほぼ比例する電圧出力を発生する受光装置と、投光装置の投光部と、受光装置の受光部との間で、投光装置の照射方向に対して面方向がほぼ直交し、その表面に過酸化水素ガスが凝縮することとなる単数又は複数の透明板からなる凝縮形成部とを備え、過酸化水素ガスが内在する密閉室内に設置される過酸化水素ガスの凝縮センサーにおいて、少なくとも前記凝縮形成部が、筐壁に複数の空気導入孔が形成された通気性筐体内に収納されると共に、該通気性筐体に、前記密閉室内と連通する排出口を形成し、かつ前記空気導入孔から過酸化水素ガスを含む密閉室内空気を当該筐体内に導入する空気吸入装置を設け、空気導入孔から通気性筐体内に導入した空気を前記排出口から排出することにより通気性筐体内に一方向流を形成してなることを特徴とする過酸化水素ガスの凝縮検出装置である。
【０００７】
このように、過酸化水素ガスが凝縮することとなる凝縮形成部を通気性筐体内に収納し、通気性筐体内に一方向流を形成する構成とすることにより、凝縮形成部の周囲に、過酸化水素ガスを含む空気が一方向に流れることとなって、測定環境が安定し、測定精度が向上することとなる。また、密閉室内の過酸化水素ガスを含む空気が、凝縮形成部に強制的に送り込まれることとなり、密閉室内の環境と、凝縮形成部周囲の環境とを可及的に近似させることができる。これにより、凝縮検出装置により得られた凝縮に関する情報の信頼性が高まることとなり、精度良く密閉室内の過酸化水素ガスの凝縮状況を推定することが可能となる。
【０００８】
また、凝縮形成部が、複数の透明板からなると共に、各透明板間の間隙と周囲雰囲気とを連通する連通開口部が形成され、各透明板間の間隙に、該連通開口部を介して一方向流を形成してなる構成が提案される。
【０００９】
このように、透明板上に、過酸化水素ガスを含む空気が一方向に流れる構成とすることにより、整一に凝縮液層が形成されることとなり、測定環境が安定し、測定精度が向上することとなる。
【００１０】
ここで、各透明板間の間隙に、連通開口部を介して形成される一方向流は、その流速が0.1ｍ/ｓから0.3ｍ/ｓまでの範囲内にある構成が望ましい。特に、流速が0.15ｍ/ｓである構成が好適である。
【００１１】
かかる構成とすることにより、透明板に、凝縮液層が安定して形成されることとなる。
【００１２】
また、連通開口部を、各透明板間の間隙に形成した一方向流の流れ方向に対向するようにして、凝縮形成部を通気性筐体内に配設してなる構成が提案される。
【００１３】
かかる構成とすることにより、通気性筐体内に形成される空気の流れ方向と、透明板間に形成される空気の流れ方向とを一致させることができ、通気性筐体内での乱流の発生を抑制することが可能となる。
【００１４】
また、通気性筐体の筐壁に、当該通気性筐体内と密閉室内とを連通する外筒を設けて排出口とすると共に、空気吸入装置が、前記外筒内に配設されたファンと、該ファンの駆動源となる駆動装置とからなり、駆動装置を駆動させてファンを回動させると、空気導入孔から過酸化水素ガスを含む密閉室内空気が当該筐体内に導入され、通気性筐体内の空気が、外筒を介して密閉室内へ排出されるものである構成が提案される。
【００１５】
かかる構成にあって、空気吸入装置のファンが駆動装置を駆動源として回動すると、密閉室内の空気が空気導入孔から通気性筐体内に導入されると共に、外筒を介して密閉室内へ排出されることとなる。これにより、密閉室内の過酸化水素ガスを含む空気が、凝縮形成部に強制的に送り込まれ、通気性筐体内に一方向流が形成されることとなり、測定環境が安定する。
【００１６】
また、投光装置を通気性筐体外に設置すると共に、通気性筐体の筐壁に、投光部が発する光を凝縮形成部へ照射する、所定長さの光ファイバーケーブルを貫設してなる構成としても良い。
【００１７】
かかる構成とすることにより、投光装置が発する熱によって凝縮形成部が受ける影響を、抑制することができる。したがって、通気性筐体内の測定環境はより一層安定し、測定精度が向上することとなる。
【００１８】
また、これまでに述べた凝縮検出装置を、過酸化水素ガスが内在する密閉室内に複数設置してなる過酸化水素ガスの凝縮管理システムが提案される。
【００１９】
かかる構成とすることにより、密閉室内の複数箇所の凝縮状況を知得できることとなり、より一層詳細な密閉室内の過酸化水素ガスの凝縮状況が得られ、信頼性の高い推定が可能となる。
【００２０】
また、前記過酸化水素ガスの凝縮管理システムにあって、各凝縮検出装置における各透明板間の間隙に、連通開口部を介して形成した一方向流の流速を、夫々独立して変更することを特徴とする過酸化水素ガスの凝縮管理方法が提案される。
【００２１】
かかる構成とすることにより、密閉室内が均一な環境でなくても、各凝縮検出装置ごとに最適な凝縮環境を形成することができ、信頼性の高い推定が可能となる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の凝縮検出装置は、少なくとも凝縮形成部が通気性筐体内に収納されると共に、該通気性筐体に排出口を形成し、かつ空気吸入装置を設けた構成としたため、通気性筐体の空気導入孔から導入された過酸化水素ガスを含む空気が排出口から排出されて、通気性筐体内に一方向流が形成されることとなり、通気性筐体内を安定した測定環境とすることができ、測定精度を向上させることが可能となる。また、密閉室内の過酸化水素ガスを含む空気が、凝縮形成部に強制的に送り込まれるため、密閉室内の環境と、凝縮形成部周囲の環境とを可及的に近似させることができ、凝縮検出装置により得られた凝縮に関する情報の信頼性を高め、密閉室内の過酸化水素ガスの凝縮状況を精度良く推定できるようになる優れた効果がある。これにより、凝縮検出装置で得られた情報から、同じ密閉空間に内在する物体表面上のガスの凝縮状態を精度良く推定することが可能となる。
【００２３】
また、凝縮形成部が、複数の透明板からなると共に、各透明板間の間隙と周囲雰囲気とを連通する連通開口部が形成され、各透明板間の間隙に一方向流を形成した構成とした場合は、透明板上に凝縮液層が安定して形成されることとなり、測定環境が安定し、測定精度が向上する効果がある。
【００２４】
また、各透明板間の間隙に形成される一方向流の流速を、0.1ｍ/ｓから0.3ｍ/ｓまでの範囲内とした構成とした場合は、凝縮液層が透明板に安定して形成されることとなり、測定精度が向上する効果がある。
【００２５】
さらに、一方向流の流速を、0.15ｍ/ｓとした場合は、より一層凝縮液層が透明板に安定して形成されることとなり、測定精度がさらに向上する効果がある。
【００２６】
また、連通開口部を、各透明板間の間隙に形成した一方向流の流れ方向に対向する構成とした場合は、通気性筐体内に形成される空気の流れ方向と、透明板間に形成される空気の流れ方向とが一致し、通気性筐体内での乱流の発生を抑制することでき、測定精度を向上させることができる利点がある。
【００２７】
また、通気性筐体の筐壁に外筒を貫設し、空気吸入装置を、外筒内に配設されたファンと、該ファンの駆動源となる駆動装置とで構成とした場合は、過酸化水素ガスを含む密閉室内の空気が空気導入孔から通気性筐体内に導入されると共に、外筒を通って通気性筐体外に排出されることとなり、通気性筐体内に一方向流が形成されて、測定環境が安定する利点がある。また、密閉室内の環境と、凝縮形成部周囲の環境とを可及的に近似させることができ、検出装置としての有用性を向上させることができる。
【００２８】
また、投光装置を通気性筐体外に設置すると共に、通気性筐体の筐壁に、投光部が発する光を凝縮形成部へ照射する、所定長さの光ファイバーケーブルを貫設してなる構成とした場合は、投光装置の発熱の影響を排除することができ、通気性筐体内の測定環境をより一層安定化させ、測定精度を向上させることができる利点がある。
【００２９】
さらに、本発明にかかる凝縮管理システムは、過酸化水素ガスが内在する密閉室内に、これまでに述べた凝縮検出装置を複数設置した構成としたため、密閉室内の複数箇所の凝縮状況を知得できることとなり、より一層詳細な密閉室内の過酸化水素ガスの凝縮状況が得られ、信頼性の高い推定ができる効果がある。
【００３０】
また、本発明にかかる凝縮管理方法は、前記凝縮管理システムにあって、各凝縮検出装置に形成した一方向流の流速を、夫々独立して変更する構成としたため、密閉室内が均一な環境でなくても、各凝縮検出装置ごとに最適な凝縮環境を形成することができ、信頼性の高い推定ができる優れた効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
<第一実施形態例>
本発明の過酸化水素ガスＸの凝縮検出装置１を、添付図面に従って説明する。
凝縮検出装置１は、投光装置４（図２参照）、受光装置７（図２参照）、その間にある凝縮形成部３（図２参照）、及び後述の通気性筐体２１とで構成され、かかる通気性筐体２１に投光装置４、受光装置７、及び凝縮形成部３が収納されていることを特徴としている。なお、投光装置４、受光装置７、及び凝縮形成部３により、従来技術である凝縮センサーが構成される。
【００３２】
そして、この通気性筐体２１が、図１に示されるように、除染対象物Ｙ（例えば、薬剤又は薬剤と接する容器等）が内在するアイソレータ装置２内に設置される。ここで、このアイソレータ装置２は、公知のものが好適に採用され、除染用の過酸化水素ガスＸが室内に投入されて、室内にある除染対象物Ｙが除染されることとなる。なお、本実施形態例にかかるアイソレータ装置２により、本発明にかかる密閉室が構成される。
【００３３】
凝縮検出装置１について、さらに詳述する。
図２に示されるように、投光装置４の一側面に備えられた投光部９からは、レーザー光Ｌが一方向に照射される。また、この投光装置４には、配線ケーブル１７ａを介して電源供給装置１５（図１参照）が接続され、この電源供給装置１５に備えられた操作盤（図示省略）を操作することにより所望のタイミングでレーザー光Ｌが発振する構成としている。ここで、この電源供給装置１５は、アイソレータ装置２外に配設される（図１参照）。なお、かかる投光装置４から照射されるレーザー光Ｌは、半導体レーザー光であるが、他の種類のレーザー光源、又は他の光源を用いることも勿論可能である。また、レーザー光Ｌの波長は適宜選択可能であるが、本実施形態例にあっては、近赤外領域の波長を採用している。
【００３４】
一方、受光装置７は一側面に受光部８を備え、前記投光装置４から照射されるレーザー光Ｌと対向する位置に受光部８が位置するように設置される。そして、かかる受光装置７は、この受光部８で受光したレーザー光Ｌの受光量とほぼ比例する電圧出力を発生し、配線ケーブル１７ｂを介して接続された出力装置１６（図１参照）の測定値表示部（図示省略）にその測定値を表示する。ここで、この出力装置１６は、アイソレータ装置２外に配設される（図１参照）。
【００３５】
なお、投光装置４及び受光装置７は、公知のものが採用される。また、投光装置４の電源供給装置１５と受光装置７の出力装置１６とは一体型の構成であっても良い。これら投光装置４と受光装置７は公知技術のため詳細については省略する。
【００３６】
また、図２に示されるように、凝縮形成部３は、長方形状のガラス板５（図４参照）を８枚備えている。さらに詳述すると、これらのガラス板５は、上下面が開口し、両側の内側面１０，１０にスリット６ａが形成された箱状の保持具６により保持されている。そして、前記スリット６ａにガラス板５が挿入されることにより、ガラス板５の面方向とレーザー光Ｌの照射方向とがほぼ垂直となるように、各ガラス板５がそれぞれ間隔を置いて互いに平行に列設される。さらに、ガラス板５間には、各ガラス板５間の間隙と周囲雰囲気とを連通する連通開口部２０が形成され、鉛直方向に空間が連通している構成となっている。そして、この凝縮形成部３が、ガラス板５の板面でレーザー光Ｌを受光し得るように配設されている。
【００３７】
ここで、凝縮検出装置１の作動態様を説明する。
まず、過酸化水素ガスＸの投入前に、非凝縮状態でのレーザー光Ｌの受光量（以下、基準受光量という）を測定しておく。これは、凝縮状態で測定した受光量と比較するためである。
【００３８】
そして次に、除染対象物Ｙと凝縮検出装置１とが内在するアイソレータ装置２内部に、過酸化水素ガスＸを投入開始し、滅菌を開始する。そして、これと共に、連続的に又は間欠的に、投光装置４からレーザー光Ｌを照射して、出力装置１６で表示される測定値に基づいて受光量をモニタリングする。
【００３９】
さらに過酸化水素ガスＸを投入し続けると、アイソレータ装置２内部が飽和状態となり、前記凝縮形成部３の各ガラス板５上に過酸化水素ガスＸが凝縮し始める。
【００４０】
ここで、かかる状況での受光量は、ガラス板５上に形成された凝縮膜が原因となってレーザー光Ｌが散乱・吸収されて、前記基準受光量よりも減少することとなる。すなわち、出力装置１６で表示される透過光出力が減少することとなる。
【００４１】
そしてさらに、過酸化水素ガスＸを投入し続けると、ガラス板５上に凝縮膜の膜厚が増大して透過光出力は更に減少していくこととなる。
【００４２】
このように、受光装置７で受光する受光量をガス投入前からモニタリングしていくことにより、凝縮形成部３における凝縮の有無、すなわち凝縮開始時を知ることができると共に、その後の過酸化水素ガスＸの凝縮過程（特に、膜厚の変化）を知ることが可能となる。したがって、密閉空間内に凝縮検出装置１を設置し、該密閉空間にガスＸを投入し、該凝縮検出装置１の受光装置によって検出される受光量の経時変化に基づいて、ガラス板５表面における投入ガスＸの凝縮膜の有無を検出することにより、密閉空間における凝縮膜を管理することができる。
【００４３】
次に、本発明の要部について説明する。
本発明は、図１〜３に示されるように、上述した投光装置４、受光装置７、及び凝縮形成部３が、多数の空気導入孔１１が形成された通気性筐体２１に収納されていることを特徴としている。具体的には、通気性筐体２１の箱部３０の底面３０ａに、投光装置４、受光装置７、及び凝縮形成部３が上述の位置関係で固定されている。また、この通気性筐体２１は、図３に示されるように、箱部３０の下面からＬ字状に下方に突成された脚部２８，２８を備えており、アイソレータ装置２の床面Ｇに載置される。さらに、通気性筐体２１の側面には、配線ケーブル１７ａ，１７ｂが挿通されるケーブル孔１９，１９が開口している。
【００４４】
なお、本実施形態例にあっては、通気性筐体２１を、いわゆるＳＵＳパンチング板を筐体状に成形加工して構成した。したがって、通気性筐体２１の筐壁２１ａには、アイソレータ装置２の室内と通気性筐体２１内とを連通させる空気導入孔１１がほぼ全域に形成されることとなる。
【００４５】
さらに、通気性筐体２１の筐壁２１ａのうち、天井部１２には、通気性筐体２１内とアイソレータ装置２内とを連通する連通口２２ａが形成されている。この連通口２２ａは、前記空気導入孔１１より径大としている。そして、この連通口２２ａに、その内空部と通気性筐体２１内とが連通するように、ほぼ同じ径の外筒２４の一端が固着されて、排気孔２２を構成している。このように、連通開口部２０を、通気性筐体２１内に形成された一方向流の流れ方向に対向させる、換言すればガラス板５の板面と流れ方向とが沿う構成とすることにより、ガラス板５の間隙に安定して空気が流れることとなる。
【００４６】
そして、この外筒２４内に、送風ファン２５が配設される。具体的には、送風ファン２５は、外筒２４内に配設されたファン２３と、ファン２３を回動させるための駆動源となるモータ２６とで構成されている。
【００４７】
かかる構成にあって、モータ２６を駆動させると、外筒２４内でファン２３が回動し、過酸化水素ガスＸを含むアイソレータ装置２内の空気が、空気導入孔１１を介して通気性筐体２１内に導入される。さらに、通気性筐体２１内に導入された空気は、外筒２４内に吸引されて、排気孔２２を介して、アイソレータ装置２内に放出されることとなる。すなわち、通気性筐体２１内とアイソレータ装置２の室内との間を過酸化水素ガスＸが循環することとなる。
【００４８】
かかる構成とすると、通気性筐体２１内に、過酸化水素ガスＸを含む空気の一方向流が形成されると共に、さらに、各透明板５間の間隙に、連通開口部２０を介して一方向流が形成されることとなる。これにより、測定環境が安定し、測定精度が向上することとなる。また、アイソレータ装置２内の過酸化水素ガスＸを含む空気が、凝縮形成部３に強制的に送り込まれることとなり、アイソレータ装置２内の環境と、凝縮形成部３周囲の環境とを可及的に近似させることができる。これにより、凝縮検出装置１により得られた凝縮に関する情報の信頼性が高まることとなり、精度良くアイソレータ装置２内の過酸化水素ガスＸの凝縮状況を推定することが可能となる。
【００４９】
ここで、前記モータ２６の回転数を、外部に設置された当該モータ２６に接続される制御盤（図示省略）により変更し、通気性筐体２１内に形成される一方向流の流速を変更する構成が提案される。
【００５０】
かかる構成にあっては、流速を0.1ｍ/ｓから0.3ｍ/ｓまでの範囲とすると、安定して測定することができ、特に流速を0.15ｍ/ｓとする構成が好適である。
【００５１】
なお、この流速が得られるモータ２６の回転数は、凝縮検出装置１をアイソレータ装置２内に設置する前に確認しておくことが望ましい。具体的には、凝縮検出装置１をアイソレータ装置２内に設置する前に、凝縮形成部３の連通開口部２０の近傍位置に市販の流速計を設置し、流速と回転数とを事前に確認しておく。そして、流速計を撤去した後、凝縮検出装置１をアイソレータ装置２内に設置し、所定の流速が得られる回転数にモータ２６をセットする。
【００５２】
また、前記構成の保持具６に代えて、連通開口部２０が水平方向に形成されるような構成としても良い。さらに、かかる場合は、通気性筐体２１の側面にファン２３を具備する外筒２４を設ける構成が好適である。かかる構成とすることにより、通気性筐体２１内に形成される過酸化水素ガスＸを含む空気の流れと、各透明板５間の間隙に形成される空気の流れとを一致させることができる。なお、望ましくは、上記空気の流れは、アイソレータ装置２の気流方向とする構成が良い。
【００５３】
なお、本実施形態例にかかるモータ２６により、本発明にかかる駆動装置が構成され、モータ２６とファン２３とにより、本発明にかかる空気吸入装置が構成される。
【００５４】
<第二実施形態例>
また、他の実施形態例が提案される。なお、第一実施形態例と共通する構成については、説明を省略する。
第二実施形態例にかかる凝縮検出装置１’の構成は、図５に示されるように、投光装置４を通気性筐体２１の外に設置すると共に、この投光装置４の光源を発光ダイオード３４としている。さらに、通気性筐体２１の筐壁２１ａのうち、投光装置４に近い側面にファイバーケーブル孔３３を形成し、所定長さのグラスファイバーケーブル３１を貫設している。さらに詳述すると、投光装置４の発光ダイオード３４と、凝縮形成部３との間に、所定長さのグラスファイバーケーブル３１が介在している。このグラスファイバーケーブル３１は、発光ダイオード３４から発せられた照射光を凝縮形成部３のガラス板５面まで導くものであって、その受光端３５が発光ダイオード３４に対向して位置し、他側の照射端３２が凝縮形成部３のガラス板５に対向して位置している。そして、照射端３２から照射された照射光が、ガラス板５に照射されることとなる。なお、本実施形態例にかかるグラスファイバーケーブル３１により、本発明にかかる光ファイバーケーブルが構成される。かかる構成は、レーザーＬを用いた構成としても勿論良い。
【００５５】
なお、第二実施形態例のように、通気性筐体２１には、少なくとも凝縮形成部３が収納されていれば良く、受光装置７も適宜の構成で通気性筐体２１の外に設置しても良い。
【００５６】
また、第一、第二実施形態例にあって、通気性筐体２１は、任意の径の穴を開けたＳＵＳ板により構成しても良い。
【００５７】
また、ガラス板５の枚数（単数又は複数）、板厚、ガラス板５の間隔は、除染対象物Ｙの形状に合わせて適宜変更され得る。また、板形状は上述の長方形状に限られることなく正方形状、丸形状、台形状等任意に変更することができる。またガラス板５に代えて他の透明樹脂材料からなる透明板を用いても良い。
【００５８】
なお、本発明にかかる凝縮検出装置１，１’を、無菌パスボックス内や無菌室内等に設置し、かかる内部の過酸化水素ガスＸの凝縮状態を検出する構成としても良い。
【００５９】
さらにここで、過酸化水素ガスＸが内在する密閉室に、上記凝縮検出装置１を複数設置し、各凝縮検出装置１が検出した測定データに基づいて密閉室内の除染をコントロールする凝縮管理システムが提案される。かかる構成にあって、各凝縮検出装置１の各透明板５間で計測される流速を、適宜独立して変更する凝縮管理方法が提案される。かかる構成とすることにより、密閉室の各位置で、最適な凝縮状況を測定でき、装置１の有用性をより一層高めることが可能となる。
【００６０】
また、過酸化水素ガスＸに限定されず、他のガスの凝縮状態を検出するようにしても勿論良い。
【００６１】
なお、除染とは、化学Ｔ期除染、無菌、殺菌、滅菌等が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】凝縮検出装置１の一部切欠平面図である。
【図２】通気性筐体２１の部分拡大横断面図である。
【図３】通気性筐体２１の一部切欠側面図である。
【図４】凝縮形成部３の正面図である。
【図５】第二実施形態例にかかる凝縮検出装置１’の通気性筐体２１の部分拡大横断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１，１’  凝縮検出装置
２  アイソレータ装置
３  凝縮形成部
４  投光装置
５  ガラス板（透明板）
７  受光装置
８  受光部
９  投光部
１１  空気導入孔
２０  連通開口部
２１  通気性筐体
２１ａ  筐壁
２２  排出口
２３  ファン
２４  外筒
２５  送風ファン（空気吸入装置）
２６  モータ（駆動装置）
３１  グラスファイバーケーブル
３４  発光ダイオード
Ｘ  過酸化水素ガス
【図１】
2005291868.tif 000003
【図２】
2005291868.tif 000004
【図３】
2005291868.tif 000005
【図４】
2005291868.tif 000006
【図５】
2005291868.tif 000007