(57)【要約】【課題】  テープ状部材の表面にダメージを与えず、且つ異物除去力のあるテープ状部材の洗浄方法及び洗浄装置を提供する。【解決手段】  表面に長手方向に所定の間隔で微細な回路が形成されたテープ状部材を、長手方向かつ一定方向に連続的に移動させ、この移動経路上でテープ状部材をクリーニングするテープ状部材の洗浄方法であって、クリーニングを、洗浄液をエアー圧の力により微粒化してテープ状部材に対して噴霧することにより、洗浄液の微粒をテープ状部材に衝突させることにより行なう洗浄方法。【選択図】        図１
2005109112.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に長手方向に所定の間隔で微細な回路が形成されたテープ状部材を、長手方向かつ一定方向に連続的に移動させ、この移動経路上でテープ状部材をクリーニングするテープ状部材の洗浄方法であって、クリーニングを、洗浄液をエアー圧の力により微粒化してテープ状部材に対して噴霧することにより、洗浄液の微粒をテープ状部材に衝突させることにより行なうことを特徴とするテープ状部材の洗浄方法。
【請求項２】
クリーニングを、洗浄液をテープ状部材に噴霧衝突させた後に、該一定方向への移動経路上でテープ状部材に気体を吹き付けてテープ状部材に付着した洗浄液を液切りすることにより行なう請求項１記載の洗浄方法。
【請求項３】
該一定方向への移動中に、テープ状部材にテンションをかける請求項１又は２記載の洗浄方法。
【請求項４】
表面に長手方向に所定の間隔で微細な回路が形成されたテープ状部材と、表面に回路形成されていないスペーサーテープとを、別々に、長手方向に連続的に移動させ、移動中に各々をクリーニングした後に両者を重ねて１つのロール状物に巻き取るテープ状部材及びスペーサーテープの洗浄方法であって、テープ状部材とスペーサーテープとを、各々一定方向に移動する移動経路上でクリーニングし、クリーニングを、洗浄液をエアー圧の力により微粒化してテープ状部材及びスペーサーテープの各々に対して噴霧することにより、洗浄液の微粒をテープ状部材及びスペーサーテープの各々に衝突させ、次いでテープ状部材及びスペーサーテープの各々に気体を吹き付けてテープ状部材及びスペーサーテープに付着した洗浄液の液切りをすることにより行なう洗浄方法。
【請求項５】
テープ状部材及びスペーサーテープが各々クリーニング中に一定方向に移動している間、少なくとも一方にテンションをかける請求項４記載の洗浄方法。
【請求項６】
表面に長手方向に所定の間隔で微細な回路が形成されたテープ状部材を、長手方向に連続的に移動させる搬送装置、及び、洗浄液をエアー圧の力により微粒化して、移動経路上のテープ状部材に対して噴霧して洗浄液の微粒をテープ状部材に衝突させてクリーニングする噴霧装置を有するテープ状部材の洗浄装置であって、搬送装置が、クリーニング中のテープ状部材を一定方向に移動させるものである洗浄装置。
【請求項７】
該一定方向に移動しているテープ状部材に気体を吹き付けてテープ状部材に付着した洗浄液を液切りするエアーナイフを有する請求項６記載の洗浄装置。
【請求項８】
該一定方向への移動中に、テープ状部材にテンションをかける引張り手段を有する請求項６又は７記載の洗浄装置。
【請求項９】
表面に長手方向に所定の間隔で微細な回路が形成されたテープ状部材と、表面に回路形成されていないスペーサーテープとを、別々に、長手方向に連続的に移動させる搬送装置、移動経路上で、洗浄液をエアー圧の力により微粒化してテープ状部材及びスペーサーテープの各々に対して噴霧することにより、洗浄液の微粒をテープ状部材及びスペーサーテープの各々に衝突させる噴霧装置、移動経路上で、テープ状部材及びスペーサーテープの各々に気体を吹き付けてテープ状部材及びスペーサーテープに付着した洗浄液の液切りをするエアーナイフを有する洗浄装置であって、搬送装置が、テープ状部材及びスペーサーテープの各々を、噴霧装置及びエアーナイフによるクリーニングのテープ状部材及びスペーサーテープを、各々一定方向に移動させ、噴霧装置及びエアーナイフによるクリーニングの後、両者を重ねて１つのロール状物に巻き取る機構を有するものである洗浄装置。
【請求項１０】
該一定方向への移動中のテープ状部材及びスペーサーテープの少なくとも一方にテンションをかける引張り手段を有する請求項９記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は微細な回路が所定間隔で形成された長尺のテープ状部材を、連続的に移動させながら洗浄液を噴霧してクリーニングするテープ状部材の洗浄方法及び洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造等に用いられるテープ状部材として、ＣＯＦテープやＴＡＢテープ及びこれらを保護するためのスペーサーテープがある。これらＣＯＦテープやＴＡＢテープは例えば液晶表示パネルに組み込まれるため、小型、薄型化が要求される。また、ドライバＩＣの記録密度の増大によりリード数も増大し、リード線幅、間隔も非常に狭くなってきており、付着異物が歩留り低下、信頼性低下の大きな要因となってきている。これらの阻害要因を取り除くために繰出しリールからテープ状部材を繰出し移動経路上でテープ状部材をクリーニングした後に巻取りリールで巻き取る搬送装置が考案されてきた。クリーニング方法としてはドライ方式である圧縮エアーをノズルから吹き出し除去された異物を吸引する方法あるいは圧縮エアーに超音波を付与しテープ状部材に吹き出し除去された異物を吸引する方法等が採用されてきた（例えば、特許文献１参照。）。スペーサーテープには異物除去力が強い粘着ロールや回転ブラシが適用されることがあった。
【特許文献１】特開２００１−２３７２８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のエアーブローを主体としたドライ方式のクリーニング方法は、比較的簡単な構造で構成できるために、多用されてきた。しかし、この方法には、エアーの密度が低いために異物に対して弱い外力しか与えることができず、異物を充分に除去できないという弱点があった。また、除去能力が高い粘着ロールは処理後に粘着物が残るという弱点があった。同様に除去能力が高い回転ブラシはＴＡＢテープのインナーリードを変形させたりＣＯＦテープの配線パターンにダメージを与えたりする弱点があった。このためインナーリードの変形や配線パターンにダメージを与えないで、且つ異物除去力のあるテープ状部材の洗浄方法及び洗浄装置が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は上記課題を解決する為に提案されたものであり、下記のものに関する。
（１）表面に長手方向に所定の間隔で微細な回路が形成されたテープ状部材を、長手方向かつ一定方向に連続的に移動させ、この移動経路上でテープ状部材をクリーニングするテープ状部材の洗浄方法であって、クリーニングを、洗浄液をエアー圧の力により微粒化してテープ状部材に対して噴霧することにより、洗浄液の微粒をテープ状部材に衝突させることにより行なうことを特徴とするテープ状部材の洗浄方法。
【０００５】
（２）クリーニングを、洗浄液をテープ状部材に噴霧衝突させた後に、該一定方向への移動経路上でテープ状部材に気体を吹き付けてテープ状部材に付着した洗浄液を液切りすることにより行なう上記（１）に記載の洗浄方法。
（３）該一定方向への移動中に、テープ状部材にテンションをかける上記（１）又は（２）に記載の洗浄方法。
【０００６】
（４）表面に長手方向に所定の間隔で微細な回路が形成されたテープ状部材と、表面に回路形成されていないスペーサーテープとを、別々に、長手方向に連続的に移動させ、移動中に各々をクリーニングした後に両者を重ねて１つのロール状物に巻き取るテープ状部材及びスペーサーテープの洗浄方法であって、テープ状部材とスペーサーテープとを、各々一定方向に移動する移動経路上でクリーニングし、クリーニングを、洗浄液をエアー圧の力により微粒化してテープ状部材及びスペーサーテープの各々に対して噴霧することにより、洗浄液の微粒をテープ状部材及びスペーサーテープの各々に衝突させ、次いでテープ状部材及びスペーサーテープの各々に気体を吹き付けてテープ状部材及びスペーサーテープに付着した洗浄液の液切りをすることにより行なう洗浄方法。
（５）テープ状部材及びスペーサーテープが各々クリーニング中に一定方向に移動している間、少なくとも一方にテンションをかける上記（４）に記載の洗浄方法。
【０００７】
（６）表面に長手方向に所定の間隔で微細な回路が形成されたテープ状部材を、長手方向に連続的に移動させる搬送装置、及び、洗浄液をエアー圧の力により微粒化して、移動経路上のテープ状部材に対して噴霧して洗浄液の微粒をテープ状部材に衝突させてクリーニングする噴霧装置を有するテープ状部材の洗浄装置であって、搬送装置が、クリーニング中のテープ状部材を一定方向に移動させるものである洗浄装置。
【０００８】
（７）該一定方向に移動しているテープ状部材に気体を吹き付けてテープ状部材に付着した洗浄液を液切りするエアーナイフを有する上記（６）に記載の洗浄装置。
（８）該一定方向への移動中に、テープ状部材にテンションをかける引張り手段を有する上記（６）又は（７）に記載の洗浄装置。
【０００９】
（９）表面に長手方向に所定の間隔で微細な回路が形成されたテープ状部材と、表面に回路形成されていないスペーサーテープとを、別々に、長手方向に連続的に移動させる搬送装置、移動経路上で、洗浄液をエアー圧の力により微粒化してテープ状部材及びスペーサーテープの各々に対して噴霧することにより、洗浄液の微粒をテープ状部材及びスペーサーテープの各々に衝突させる噴霧装置、移動経路上で、テープ状部材及びスペーサーテープの各々に気体を吹き付けてテープ状部材及びスペーサーテープに付着した洗浄液の液切りをするエアーナイフを有する洗浄装置であって、搬送装置が、テープ状部材及びスペーサーテープの各々を、噴霧装置及びエアーナイフによるクリーニングのテープ状部材及びスペーサーテープを、各々一定方向に移動させ、噴霧装置及びエアーナイフによるクリーニングの後、両者を重ねて１つのロール状物に巻き取る機構を有するものである洗浄装置。
（１０）該一定方向への移動中のテープ状部材及びスペーサーテープの少なくとも一方にテンションをかける引張り手段を有する上記（９）に記載の洗浄装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のテープ状部材の洗浄方法及び洗浄装置によれば、テープ状部材の異物除去について従来のエアーブローを主体としたドライ方式では除去できなかった微細異物および密着力の強い異物まで除去することができるようになった。また、微細なインナーリード等の回路を表面に有するＣＯＦテープやＴＡＢテープにおいて、インナーリードの変形を生じさせずに異物を除去することができるので、ＣＯＦテープやＴＡＢテープにも適用することができるのが本発明の特徴である。
また、本発明のテープ状部材及びスペーサーテープの洗浄方法及び洗浄装置によれば、上記の効果に加え、両者を同時にクリーニングし、その後、直ちに重ねてロール状物とすることができるため、効率的であると共に、クリーニング後の清浄な状態のまま、実装好適に使用することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明でクリーニングされるテープ状部材は、表面に長手方向に所定の間隔で微細な回路が形成された長尺のテープであり、例えば、ＣＯＦテープ、ＴＡＢテープなどが挙げられる。このようなテープは、可撓性のあるプラスチックフィルム、例えばポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の片面又は両面に、銅、錫めっき等からなる微細な回路が、テープの長手方向に所定の間隔で複数形成されており、厚みは通常２５〜９０μｍ、幅は通常３５〜１０５ｍｍである。テープ状部材の両側縁部には、スプロケットホールが一定間隔で設けられていてもよい。スペーサーテープとしては、例えば、可撓性のあるプラスチックフィルム、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエーテルイミドフィルムなどが挙げられ、厚みは通常５０〜１００μｍであり、通常、重ね合わせるテープ状部材と同じ幅を有する。また、テープ状部材と同様のスプロケットホールが設けられていてもよい。
【００１２】
テープ状部材のクリーニングに用いられる搬送装置は、テープ状部材を長手方向に連続的に移動させるものであれば特に制限はなく、通常、ロール状のテープ状部材を繰り出す繰出しリール等の繰出し部と、クリーニング後のテープ状部材を巻き取る巻取りリール等の巻取り部を有するものが好適である。クリーニング時にテープ状部材を一定方向に移動させる方法としては、繰出し部と巻取り部のみを用いてその間の移動経路上でクリーニングを行なう方法がある。また、必要に応じて繰出し部と巻取り部との間に１又は２個以上のガイドローラーを配置してテープ状部材の移動方向を変化させ、繰出し部とガイドローラーとの間、又は巻取り部とガイドローラーとの間、又は２個のガイドローラーの間の一定方向への移動経路上でクリーニングを行なってもよい。ガイドローラーとしてスプロケットを用いてもよい。
【００１３】
また、繰出しリールや巻取りリールを用いずに、テープ状部材の製造工程に連結させ、製造後に直接クリーニングしてもよく、また、クリーニング後に巻き取らずに、直接半導体チップ搭載工程に送ってもよい。
【００１４】
テープ状部材及びスペーサーテープのクリーニングに用いられる搬送装置は、両者を別々に長手方向に連続的に移動させ、クリーニング時には各々一定方向に移動させ、クリーニングの後には両者を重ねて１つのロール状物に巻き取る機構を有するものであれば特に制限はない。例えば、ロール状のテープ状部材を繰り出す繰出しリール及びロール状のスペーサーテープを繰り出すスペーサーテープ繰出しリール等からなる繰出し部と、クリーニング後のテープ状部材とスペーサーテープとを重ねて１つのロール状物に巻き取る巻取りリール等の巻取り部を有するものが好適である。また、テープ状部材とスペーサーテープとがクリーニング前に重ねてロール状物とされている場合には、繰出し部として、繰出しリール１つからなるものを用いることができる。クリーニング時にテープ状部材及びスペーサーテープを各々一定方向に移動させる方法としては、２つの繰出し部と巻取り部のみを用いてその間の移動経路上でクリーニングを行なう方法がある。また、必要に応じて少なくとも一方の繰出し部と巻取り部との間に１又は２個以上のガイドローラーを配置してテープ状部材の移動方向を変化させ、繰出し部とガイドローラーとの間、又は巻取り部とガイドローラーとの間、又は２個のガイドローラーの間の一定方向への移動経路上でクリーニングを行なってもよい。ガイドローラーとしてスプロケットを用いてもよい。なお、繰出し部が繰出しリール１つからなる場合は、テープ状部材とスペーサーテープとを別々に移動させてクリーニングするために、少なくとも１個のガイドローラーが必要となる。
【００１５】
洗浄液をエアー圧の力により微粒化して噴霧する噴霧装置としては、加圧洗浄液と圧縮エアーを供給する加圧洗浄液供給部及び圧縮エアー供給部と、供給された加圧洗浄液と圧縮エアーを混合して噴出させる噴霧ノズル部からなるものが挙げられる。噴霧ノズル部は、通常、加圧洗浄液を吐出する洗浄液吐出口と、洗浄液吐出口付近に配置され、圧縮エアーを吐出する圧縮エアー吐出口を有する。洗浄液吐出口と圧縮エアー吐出口との配置には特に制限はなく、例えば、洗浄液吐出口と圧縮エアー吐出口とを吐出洗浄液と吐出エアーとが衝突する角度で隣接させて配置してもよいし、また、圧縮エアー吐出口内に、圧縮エアー吐出口内径よりも外形の小さい洗浄液吐出口を配置してもよい。後者の場合、圧縮エアー吐出口先端により小径の吐出口を有するキャップを取り付けて、噴霧効果を高めてもよい。
【００１６】
洗浄液の噴霧後にテープ状部材及びスペーサーテープに気体を吹き付けて付着した洗浄液の液切りを行なう装置としては、例えば、小径孔から気体を吹き付ける装置があるが、液切りを均一に行なうことができる点でエアーナイフが好適である。
【００１７】
また、テープ状部材やスペーサーテープが一定方向に移動してクリーニングされる際には、テンションをかけることが好ましい。テンションをかけることにより、クリーニング時の噴霧あるいは液切り時の気体吹きつけによるテープ状部材やスペーサーテープのぶれを防止する効果がある。テンションの程度は、重しリールを用いる場合には重しリールの重量として２００ｇ〜６００ｇとすることが好ましく、３００ｇ〜４００ｇとすることがより好ましい。
【００１８】
図１に、本発明の洗浄方法に用いられる洗浄装置のクリーニング機構部の一態様を示す。クリーニング機構部６ａの上下には、ガイドローラー１ａ、１ｂが配置され、テープ状部材７はガイドローラー１ａ、１ｂ間で一定方向に連続的に移動し、クリーニング機構部６ａにおいてクリーニングされる。クリーニング機構部６ａは、移動するテープ状部材７の両側に配置された噴霧ノズル部２ａ、２ｂ、噴霧ノズル部２ａ、２ｂよりもテープ状部材７の移動方向前方で両側に配置されたエアーナイフ３ａ、３ｂ、これら部材を設置し各々の部位に分ける筐体Ａ、筐体Ａの上部及び下部に設けられた排気部５ａ、５ｂから構成されている。あるいは必要に応じて熱風を吹付けるエアーナイフ４ａ、４ｂを、エアーナイフ３ａ、３ｂよりもテープ状部材７の移動方向前方に追加しても良い。この中でガイドローラー１ａ、１ｂは図１に示すように筐体の出入り口付近に配置されているが、必要に応じてその他の箇所に配置してもよい。ガイドローラーとしては、スプロケットやロール等を使用することができる。
【００１９】
筐体Ａは必須ではないが、クリーニング機構部を６ａを筐体Ａでカバーすることにより、噴霧された洗浄液及び液切り用の気体の拡散を防ぐことができる。また、筐体Ａは、区分けされていなくてもよいが、区分けすることにより、噴霧された洗浄液の微粒が液切り部に飛散することを防ぐことができ、液切りを効率的に行なうことができる。
筐体Ａを設けた場合には、筐体Ａ内の雰囲気を排気部５ａ、５ｂから排気ダクト（図示せず）を経て排気ファン（図示せず）によって排気することにより、筐体Ａ内の噴霧された洗浄液の微粒や液切りに用いた気体を周囲に拡散させることなく、効率的に排出することができる。
【００２０】
図１ではクリーニング機構は縦型搬送で図示されているが、テープ状部材製造ライン等の装置に組み込む場合は装置に合わせて横に搬送しても良い。搬送速度は一般的には０．５〜１５ｍ／分の範囲が使用されるが、スプロケットやロールの回転数を任意に制御することにより変更できる。
【００２１】
図２は、テープ状部材とスペーサーテープ（以下単に、両者をテープと呼ぶことがある）とを同時にクリーニングして１つのロール状物に巻き取るための装置の一態様を示す。図２に示すように、必要に応じて繰出し部９や巻取り部１０を配置し、テープ状部材７搬送クリーニング用とスペーサーテープ８搬送クリーニング用の２系統で同時に洗浄し同時搬送する構成にすることもできる。重ねてロール状物とされたテープ状部材７及びスペーサーテープ８は、繰出し部９から連続的に繰り出され、テープ状部材７はガイドローラー１ｄ、１ｃ、１ｂ、１ａを経て巻取り部１０に至り、ガイドローラー１ｂ、１ａ間で一定方向に移動する際にクリーニング機構部６ａでクリーニングされる。一方、スペーサーテープ８は、ガイドローラー１ｇ、１ｆ、１ｅを経て巻取り部１０に至り、ガイドローラー１ｆ、１ｅ間で一定方向に移動する際にクリーニング機構部６ｂでクリーニングされる。クリーニング機構部６ｂは、クリーニング機構部６ａと同様の構成である。ガイドローラー１ｄ、１ｃ間には、クリーニング中のテープ状部材７にテンションをかけるための重しリール１１が配置されている。なお、この場合、少なくともガイドローラー１ｃ、１ｂは、スプロケットではなくロールとする。
【００２２】
噴霧ノズル部は、洗浄液をエアー圧の力により噴きつけるがテープ状部材又はテープ状部材及びスペーサーテープの片面または対向するように両面に配置することもできる。洗浄液を噴きつける時の圧力は洗浄液圧及びエアー圧とも４．９×１０4〜６８．６×１０4Ｐａ（０．５〜７ｋｇ／ｃｍ2）の範囲にすることが好ましく、２９．４×１０4〜４９．０×１０4Ｐａ（３〜５ｋｇ／ｃｍ2）の範囲とすることがより好ましい。４．９×１０4Ｐａ（０．５ｋｇ／ｃｍ2）未満ではノズルから噴射されるスプレーが微細なミストにならずに洗浄力が著しく低下する恐れがあり、逆に６８．６×１０4Ｐａ（７ｋｇ／ｃｍ2）を超えると、使用するエアー量が極端に多くなると同時に、これらミストを排出するために排気量も増やさなければならず経済的でない。洗浄液圧とエアー圧は同程度に設定するとバランスがとりやすい。噴霧ノズル部とテープとの距離は１０〜１００ｍｍの範囲が好ましく、２０〜５０ｍｍの範囲がより好ましい。１０ｍｍ未満ではスプレー幅が著しく狭くなり、その結果必要なノズル数が増加しエアー使用量が増えるために経済的に不利であるし、テープのばたつきによりテープとノズルが接触してテープにダメージを与える恐れがあり好ましくない。逆に１００ｍｍを超えるとテープに対してスプレー圧が低下し、これに比例して異物除去力も低下する恐れがある。テープに対してのノズル角度は打力から考慮すると直角方向が好ましいが、ミストがテープの進行方向（図１、図２では上部）に移動しないように、直角方向から１０〜４５度程テープの進行方向後方（図１、図２では下向き）に傾けることもできる。いずれにしろテープに対して任意に角度調整できる構造にすることが好ましい。
【００２３】
洗浄液の種類としてはイオン交換樹脂で処理した後にフイルタを通過させた純水や電解水あるいは洗浄剤を添加した洗浄液を用いることができる。洗浄液の液温は常温で使用してもよいが洗浄効果を高めるために３０〜８０℃に加温してもよい。３０℃未満では常温の場合と洗浄力があまり変わらずに得られる効果が少ないが、逆に８０℃を超えると装置の構成材料において高い耐熱性材料を使用しなければならず装置価格が高くなる恐れがあるし操作も複雑化する恐れがあるので好ましくない。
【００２４】
洗浄後は洗浄液の液切りを行う必要があるが、このためにエアーを所定の圧力で吹付けるエアーナイフをテープの両面に対向するように配置することが好ましい。エアーナイフのスリット幅は０．１〜１ｍｍの範囲が好ましく、０．１５〜０．３ｍｍの範囲がより好ましい。０．１ｍｍ未満では圧力損失が大きくなり、吹き出すエアー量が低下し液切りの効果が低下する恐れがある。逆に１ｍｍを超えるとテープ表面に吹付けられるエアーの圧力が低下し液切性が低下する恐れがある。エアー圧力は４．９×１０4〜４９×１０4（０．５〜５ｋｇ／ｃｍ2）の範囲が好ましい。４．９×１０4Ｐａ（０．５ｋｇ／ｃｍ2）未満では液切性が低下する恐れがあるし、４９×１０4Ｐａ（５ｋｇ／ｃｍ2）を超えるとエアー量が増大し、且つ排気量も増やさなければならず経済的でない。エアーナイフとテープとの距離は３〜２０ｍｍの範囲が好ましく、５〜１０ｍｍの範囲がより好ましい。３ｍｍ未満ではテープとエアーナイフが接触してテープにダメージを与える恐れがあるし、逆に２０ｍｍを超えるとテープに吹付けるエアー圧が低下し液切りの効果が低下する恐れがある。テープに対してエアーナイフを取り付ける角度は直角方向でもよいが吹飛ばした飛沫が再付着する恐れを少なくするために直角方向から１０〜４５度程テープの進行方向後方（図１、図２では下向き）に取り付けることもできる。いずれにしろ任意の角度に調節できる構造にすることが好ましい。
【００２５】
液切りだけでもテープ表面を乾燥状態にすることができるが、より乾燥状態を高めるためには、液切りの後に熱風処理を行うことが好ましい。熱風処理に使用するエアーナイフは液切りの時に使用したエアーナイフと同一仕様のものをテープに対向して両面に配置すれば良いが、この時のエアー圧及びテープとエアーナイフの距離及びエアーナイフの取付け角度も液切りの場合と同一条件で良い。エアーナイフを使用する以外にブロアを使用する方法もある。熱風を発生させ乾燥状態を高めるものであれば特に限定されない。熱風温度は４０〜１２０℃の範囲で行うことが好ましく、６０〜９０℃の範囲で行なうことがより好ましい。４０℃未満では乾燥効果が低下する恐れがあるし、１２０℃を超えると回路材料の銅箔やスズめっきを酸化させ変質させる恐れがある。
【００２６】
以上、噴霧ノズル部、エアーナイフで使用するガスはエアーを主体として記述してきたが、エアーの他にチッソガスを使用しても良い。全体の洗浄装置の構成としては図２に示すようにテープ状部材７とスペーサーテープ８を同時に洗浄できるように、図１のクリーニング機構部を２個並列に並べて洗浄することもできる。さらにはクリーニング機構部の前に繰出し部９を配置し、後に巻取り部１０を配置した構成にしても良い。このように従来のドライ方式では圧縮エアーを吹付けたり、エアーを吸引したり、圧縮エアーに超音波を付与したり、あるいはこれらを組合わせたりして行ってきたが、ドライ方式では除去できなかった異物が本発明を採用することにより容易に除去することができるようになった。しかも、このような洗浄力の高い洗浄装置の場合は微細なＴＡＢインナーリードを変形させ、このために採用できないことが一般的であったが本発明の場合は洗浄力が高く（異物除去性が高い）、しかも微細なＴＡＢインナーリードを変形させないというテープ状部材の洗浄装置として好適なものである。
【実施例１】
【００２７】
以下に本発明の実施例１を説明する。
図２に示した洗浄装置を用いた。長手方向に所定の間隔で微細な回路が形成された幅４８ｍｍのインナーリードを有するＴＡＢテープ（テープ状部材）７とこれを保護するスペーサーテープ８を、繰出し部９から移動速度３ｍ／分で連続的に移動させた。ＴＡＢテープ７は移動経由上で５００ｇの重量を有する重しリール１１でテンションを付与され、ガイドローラー１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄでガイドされながらクリーニング機構部６ａへ送りこまれる。クリーニング機構部では噴霧ノズル部２ａ、２ｂにおいて、洗浄液として常温のイオン交換水を０．１μｍフイルターで濾過した純水を圧力３９．２×１０4Ｐａ（４ｋｇ／ｃｍ2）で供給しこれにエアー圧３９．２×１０4Ｐａ（４ｋｇ／ｃｍ2）の力を加え、ノズル部内で微粒化させ噴霧することによりＴＡＢテープ７に衝突させてＴＡＢテープ７上に付着している異物を除去した。この時の噴霧ノズルは市販品の一般的なもの（スプレーイング社製、型式：ＳＵ１３）を使用した。噴霧ノズルはＴＡＢテープ７の両側に対向するように配置し、ＴＡＢテープ７との距離は３０ｍｍとし、ＴＡＢテープ７に対する角度は直角方向から３０度程下向になるように配置した。洗浄後は直ぐに液切りを行うために上部のエアーナイフ３ａ、３ｂ間へ移動させるが、エアーナイフ３ａ、３ｂは両面同時に液切りができるようにＴＡＢテープ７を挟んで対向するように配置してある。エアーナイフ３ａ、３ｂの仕様は、スリット幅０．１５ｍｍ、スリット部の長さは１００ｍｍとした。エアーナイフ３ａ、３ｂのエアー圧は左右で個別に調節できるようにしてあるが、左右とも１．５ｋｇ／ｃｍ2で充分な液切りがバランス良く行われた。エアーナイフ３ａ、３ｂとＴＡＢテープ７との距離は７ｍｍとし、取付け角度は直角方向から３０度程下向きになるようにした。この処理だけでほぼテープ表面は乾燥状態になるが、さらに高い乾燥状態にするために、上部の熱風を吹出す熱風エアーナイフ４ａ、４ｂ間へ移動させ、乾燥を追加した。この時の熱風の設定温度は９０℃にし、その他のエアーナイフの条件は液切りの時のエアーナイフ条件と同じにした。スペーサーテープ８も、ガイドローラー１ｅ、１ｆ、１ｇでガイドされながらクリーニング機構部６ｂへ送り込みＴＡＢテープ７と同様な処理を行った。クリーニング後、ＴＡＢテープ７とスペーサーテープ８を、巻取り部１０にて、重ねて巻き取った。
【００２８】
洗浄効果の評価は付着異物が洗浄することによりどの程度除去されているかで行った。その結果、洗浄する前にマークした５０個の異物は洗浄後に全て除去されており洗浄力が高いことを確認した。
【００２９】
比較例１
実施例１と同様の装置を用い、従来から一般的に行われてきたドライ方式の洗浄力の評価を行った。なお、洗浄液の噴霧は行なわなかった。圧縮エアーをエアーナイフから吹き出し、この時の衝撃力で異物を除去しようとするものであり、一般的なドライ方式の一例である。除去された異物は強力な排気により瞬時に移送されるので再付着することはない。この時のエアー圧は４９×１０4Ｐａ（５ｋｇ／ｃｍ2）に設定し、テープとエアーナイフの距離は最小の３ｍｍに設定した。エアーナイフの取付け角度は実施例１の場合と同じである。その結果、洗浄前にマークした５０個の異物のうち除去できたのは２１個であり４割程度の除去率であった。実施例１と比較例１から、洗浄液をエアー圧の力により噴霧ノズル内で微粒化しテープに対して噴霧する本発明の洗浄力の高さが実証された。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一態様の洗浄装置を示す正面図。
【図２】本発明の他の態様の洗浄装置を示す正面図（実施例１）。
【符号の説明】
【００３１】
１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ：ガイドローラー
２ａ、２ｂ：噴霧ノズル部
３ａ、３ｂ：エアーナイフ
４ａ、４ｂ：熱風エアーナイフ
５ａ、５ｂ：排気部
６ａ、６ｂ：クリーニング機構部
Ａ：筐体
７：テープ状部材（又はＴＡＢテープ）
８：スペーサーテープ
９：繰出し部
１０：巻取り部
１１：重しリール
【図１】
2005109112.tif 000003
【図２】
2005109112.tif 000004