(57)【要約】【課題】  移動時に振動等が作用しても回転体が安易に回転して蓋体の施錠を解錠してしまうおそれが少なく、容器本体と蓋体の間のシール性を向上、維持させ、しかも、容器本体に収納された物品の汚染を防ぐことのできる収納容器を提供する。【解決手段】  複数枚の精密基板を収納する容器本体と、容器本体の開口正面を開閉する蓋体と、容器本体に嵌合された蓋体を施錠，解錠する施錠手段と、施錠手段を構成する回転リール３１の回転を規制する回転規制手段４０とを備える。回転規制手段４０を、回転リール３１の中心部から半径外方向に伸びる係合バー４１と、嵌合プレートの設置スペース１５に立設されて回転リール３１の施錠方向への回転時に係合バー４１に接触する第一の被係合ピン４４と、設置スペース１５に立設されて回転リール３１の解錠方向への回転時に係合バー４１に接触する第二の被係合ピン４４Ａとから構成する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体の開口面を蓋体により開閉する収納容器であって、回転体の一方向への回転に基づいて蓋体の周囲から容器本体の開口面内周部に引っかかる出没体を進出させ、回転体の他方向への回転に基づいて容器本体の開口面内周部に引っかかった出没体を蓋体内に後退させる施錠手段と、この施錠手段の回転体の回転を規制する回転規制手段とを含んでなることを特徴とする収納容器。
【請求項２】
施錠手段を、蓋体に支持されて外部からの操作で回転する回転体と、蓋体に支持され、回転体の回転に基づいて進退動する複数の進退動体と、蓋体の周囲に形成された開口と各進退動体とのいずれか一方に設けられ、進退動体の進退動作に基づいて蓋体の開口から出没する出没体とから構成した請求項１記載の収納容器。
【請求項３】
回転規制手段を、回転体に形成された係合体と、蓋体に設けられて回転体の一方向への回転時に係合体に接触する第一の被係合体と、蓋体に設けられて回転体の他方向への回転時に係合体に接触する第二の被係合体とから構成した請求項１又は２記載の収納容器。
【請求項４】
回転規制手段を、蓋体に支持されて回転体の外部操作時に回転体から離れ、回転体の非外部操作時に回転体に接触する回り止め押圧体と、回転体に形成される係合体と、回り止め押圧体に形成されて回転体の非外部操作時に係合体に引っかかる被係合体とから構成した請求項１又は２記載の収納容器。
【請求項５】
回転規制手段を、回転体をその回転時に容器本体方向に移動可能とし、回転体をその非回転時に反容器本体方向に押しやる弾性体と、蓋体に形成される係合体と、回転体に形成されて回転体の非外部操作時に係合体に引っかかる被係合体とから構成した請求項１又は２記載の収納容器。
【請求項６】
回転規制手段を、回転体に形成される係合体と、蓋体に形成されて係合体に引っかかる被係合体とから構成した請求項１又は２記載の収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハからなる基板等を収納、輸送、搬送、保管する際に使用される収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体部品の微細化や配線の狭ピッチ化が進んでいるが、この点に鑑み、精密基板収納容器には、内部に収納した半導体ウェーハからなる精密基板の汚染防止に資する高い密封性と取り扱いの自動化とが求められてきている。こうした業界のニーズに対応するため、精密基板を収納する容器本体の開口正面を開閉する蓋体を自動的に取り付け取り外しする輸送用の精密基板収納容器が提案されている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
この種の精密基板収納容器は、図示しないが、例えば複数枚の精密基板を上下方向に整列収納する容器本体と、この容器本体の開口正面を開閉する蓋体と、容器本体の開口正面に嵌合された蓋体を施錠，解錠する施錠機構とを備えている。
【０００４】
施錠機構は、図示しないが、蓋体内に軸支されて蓋体の外部からの操作キーの回転操作で回転する左右一対の回転リールと、蓋体内にスライド可能に支持されて各回転リールに回転可能に連結され、回転リールの回転に基づいて蓋体の内外方向にスライドする複数の進退動バーと、各進退動バーの先端部に一体形成され、進退動バーのスライドに基づいて蓋体周囲の開口から出没する係止爪とから構成されている。
【特許文献１】特開２０００‐５８６３３号公報
【特許文献２】特開２００３‐１７４０８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の精密基板収納容器は、以上のように構成され、蓋体に施錠機構の回転リールが単に軸支されているだけなので、輸送時の振動や衝撃により、回転リールが簡単に回転して施錠を解錠してしまうおそれがある。回転リールが回転して施錠を解錠すると、容器本体と蓋体との間のシール性が損なわれたり、終には容器本体から蓋体が外れ、収納状態の精密基板の汚染を招くこととなる。
【０００６】
本発明は上記に鑑みなされたもので、移動時に振動等が作用しても回転体が安易に回転して蓋体の施錠を解錠してしまうおそれが少なく、容器本体と蓋体との間のシール性を向上、維持させ、しかも、容器本体に収納された物品の汚染を防ぐことのできる収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明においては、上記課題を解決するため、容器本体の開口面を蓋体により開閉するものであって、
回転体の一方向への回転に基づいて蓋体の周囲から容器本体の開口面内周部に引っかかる出没体を進出させ、回転体の他方向への回転に基づいて容器本体の開口面内周部に引っかかった出没体を蓋体内に後退させる施錠手段と、この施錠手段の回転体の回転を規制する回転規制手段とを含んでなることを特徴としている。
【０００８】
なお、施錠手段を、蓋体に支持されて外部からの操作で回転する回転体と、蓋体に支持され、回転体の回転に基づいて進退動する複数の進退動体と、蓋体の周囲に形成された開口と各進退動体とのいずれか一方に設けられ、進退動体の進退動作に基づいて蓋体の開口から出没する出没体とから構成することができる。
【０００９】
また、回転規制手段を、回転体に形成された係合体と、蓋体に設けられて回転体の一方向への回転時に係合体に接触する第一の被係合体と、蓋体に設けられて回転体の他方向への回転時に係合体に接触する第二の被係合体とから構成することができる。
また、回転規制手段を、蓋体に支持されて回転体の外部操作時に回転体から離れ、回転体の非外部操作時に回転体に接触する回り止め押圧体と、回転体に形成される係合体と、回り止め押圧体に形成されて回転体の非外部操作時に係合体に引っかかる被係合体とから構成することができる。
【００１０】
また、回転規制手段を、回転体をその回転時に容器本体方向に移動可能とし、回転体をその非外部操作時に反容器本体方向に押しやる弾性体と、蓋体に形成される係合体と、回転体に形成されて回転体の非外部操作時に係合体に引っかかる被係合体とから構成することもできる。
また、回転規制手段を、回転体に形成される係合体と、蓋体に形成されて係合体に引っかかる被係合体とから構成することもできる。
【００１１】
また、蓋体を、容器本体の開口内に嵌め合わされる嵌合プレートと、この嵌合プレートに設置された施錠手段を覆うカバープレートとから構成し、嵌合プレートに施錠手段の回転体を支持する筒リブを設けてその周壁にはスリットを形成し、カバープレートに、回転体用の操作孔を設けることもできる。
また、蓋体を、容器本体の開口内に嵌め合わされ、施錠手段が設置される嵌合プレートとし、この嵌合プレートに施錠手段の回転体を支持する筒リブを設けることもできる。
【００１２】
また、回転規制手段を、蓋体を構成する嵌合プレートの筒リブに嵌められ、回転体の外部操作時には回転体から離れ、回転体の非外部操作時には回転体に接触する回り止め押圧体と、回転体に回り止め押圧体を押しやる弾性体と、回転体に形成される係合体と、回り止め押圧体に形成され、回転体の外部操作時には係合体に引っかからず、回転体の非外部操作時には係合体に引っかかる被係合体とから構成し、回り止め押圧体の一部を回転体から外部操作可能に露出させることもできる。
【００１３】
さらに、回転規制手段を、蓋体の嵌合プレートと回転体との間に介在され、回転体を蓋体のカバープレート方向（反容器本体方向）に押しやる弾性体と、カバープレートに形成される係合体と、回転体に形成され、回転体の外部操作時には係合体に引っかからず、回転体の非外部操作時には係合体に引っかかる被係合体とから構成することもできる。
【００１４】
ここで、特許請求の範囲における容器本体は、各種の精密基板（８インチや１２インチの半導体ウェーハ、マスクガラス、液晶ガラス、記憶ディスク等）や各種ワーク等からなる物品を収納、輸送、搬送、運搬、保管するフロントオープンボックスタイプでも良いし、通常は上下が開口し、外箱に収納された状態で使用され、各種の精密基板や物品の収納や取り出し時には倒して使用されるトップオープンボックスタイプでも良い。この容器本体は、透明、半透明、不透明のいずれでも良く、背面壁、側壁、天井等に透視窓を適宜設けることもできる。また、蓋体は、単数複数のプレートを使用して透明、半透明、不透明に構成することができる。
【００１５】
施錠手段の回転体は、中空で断面略凸字の円板形、中実で断面略凸字の円板形、断面略Ｕ字の有底円筒形、円板形、リング形等に形成することができる。出没体は、蓋体周囲の上下、前後、左右、四隅部等から出たり入ったりする構造に構成することができる。この施錠手段については、蓋体に支持されて蓋体の外部からの操作で回転する回転体と、蓋体にスライド可能に支持されて回転体に回転可能に接続され、この回転体の回転に基づいて蓋体の内部方向から外部方向に進退動する複数の進退動バーと、蓋体周囲の開口付近に回転可能に支持されて各進退動体の先端部に回転可能に連結され、進退動バーの進退動作に基づいて蓋体の開口から出没する係止ローラとから構成することができる。
【００１６】
また、施錠手段を、蓋体に支持されて蓋体の外部からの操作で回転する回転体と、蓋体に軸受を介しスライド可能に支持されて回転体に回転可能に直接間接に接続され、この回転体の回転に基づいて蓋体の内部方向から外部方向に進退動する複数の進退動シャフトと、各進退動シャフトに回転可能に支持され、進退動シャフトの進退動作に基づいて蓋体周囲の開口から出没するローラとから構成することができる。回転体と進退動シャフトとを間接的に接続する場合、例えば回転体と進退動シャフトとをクランク係止部等で連結することができる。
【００１７】
さらに、施錠手段を、塵埃の発生抑制を条件に、蓋体に支持されて蓋体の外部からの操作で回転する歯車と、蓋体にスライド可能に支持されて歯車に他の歯車を介して接続され、歯車の回転に基づいて蓋体の内部方向から外部方向に進退動する複数の進退動バーと、各進退動バーの先端部に形成され、進退動バーの進退動作に基づいて蓋体周囲の開口から出没する係止爪とから構成し、進退動バーの端部を他の歯車の中心部から偏位した箇所に回転可能に支持させることもできる。
【００１８】
回転規制手段の係合体、第一，第二の被係合体、被係合体の数は、１〜４個等、適宜増減することができる。係合体は、回転体の中心部付近、表面、裏面、又は周縁部等に、バー、ピン、あるいは突起物として形成することができる。また、蓋体や蓋体と回転体との間に介在する介在体にも形成することができる。第一，第二の被係合体、被係合体は、蓋体や蓋体と回転体との間に介在する介在体、回り止め押圧体や回転体の中心部付近、表面、裏面、又は周縁部等に、バー、ピン、あるいは突起物として形成することができる。
【００１９】
回転規制手段は、上記以外の他、蓋体に内蔵されて回転体を露出させたり、被覆する開閉可能なシャッター、蓋体から露出した回転体に蓋体の外側から嵌め入れられるエラストマーやゴム製の栓体等でも良い。また、弾性体として、バネ機能を有する各種のエラストマーやゴム、板バネやコイルバネ等からなる単数複数のバネ部材を使用することができる。
【００２０】
さらに、外部操作時（操作キー挿入時）とは、例えば自動又は手動用の操作キーが回転体に挿入され、回転体が回転可能な状態になる場合をいう。さらにまた、非外部操作時（操作キー非挿入時）とは、例えば自動又は手動用の操作キーが回転体に挿入されていない場合をいう。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、例え移動時に振動等の外力が作用しても、回転体が安易に回転して蓋体の施錠を解錠してしまうおそれが少なく、容器本体と蓋体との間のシール性を向上、維持させることができるという効果がある。そして、これを通じて容器本体に収納された物品の汚染を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における収納容器は、図１ないし図７等に示すように、例えば１２インチの半導体ウェーハからなる複数枚（例えば２５枚、２６枚）の精密基板を収納する容器本体１と、この容器本体１の開口正面を開閉する着脱自在の蓋体１０と、容器本体１の開口正面に嵌合された蓋体１０を蓋体開閉装置からの外部操作に基づいて施錠，解錠する左右一対の施錠手段３０と、各施錠手段３０の一部を構成する回転リール３１の回転を規制する左右一対の回転規制手段４０とを備え、薄板用収納・保管容器とも呼ばれる精密基板収納容器として使用される。
【００２３】
容器本体１は、図１に示すように、所定の樹脂を使用して透明のフロントオープンボックスタイプに成形され、両側壁の後部が内方向にそれぞれ部分的に傾斜して背面壁の面積が横長の正面の面積よりも小さく設定されており、複数枚の精密基板（図示せず）を上下方向に並べて整列収納するよう機能する。
【００２４】
容器本体１の内部両側には図示しないが、平面略く字形あるいは略半円弧形の支持板がそれぞれ一体的、着脱自在に配設され、この左右一対の支持板の対向面には、平面略く字形あるいは略半円弧形のティースが上下方向に所定のピッチでそれぞれ一体的に並設されており、この左右一対のティースが精密基板を略水平に支持する。
【００２５】
各ティースは、図示しないが、精密基板の周縁部に沿うよう平面略く字形あるいは略半円弧形に形成される平板と、この平板の湾曲形成された前部内側上に形成される前部中肉領域と、平板の前部外側上に形成されて前部中肉領域の外側、換言すれば、支持板寄りに位置する前部厚肉領域と、平板の後部に形成される後部中肉領域と、平板の後部上に形成されて後部中肉領域の前方に位置し、かつ支持板寄りに位置する後部厚肉領域とから形成され、前部中肉領域と前部厚肉領域との間に精密基板接触用の段差が形成されており、平坦な前部中肉領域と後部中肉領域とに精密基板が略水平に支持される。
【００２６】
容器本体１の底面の前部両側と後部中央には図示しないが、収納容器を搭載する加工装置に位置決めされる位置決め具がそれぞれ一体形成され、容器本体１の底面後部には、薄板で小型のボトムプレートが着脱自在に後方から装着されており、このボトムプレートに嵌められた単数複数の識別体が加工装置に識別されることにより、収納容器のタイプや精密基板の枚数等が把握されることとなる。
【００２７】
各位置決め具は、図示しないが、例えば断面略逆Ｍ字形、略逆Ｙ字形、あるいは凹んだ小判形等に形成される。ボトムプレートは、平面略凹字形、略Ｙ字形、又は多角形等に形成され、必要に応じて大小が変更される。
【００２８】
容器本体１の底面両側には図１に示すように、前後方向に伸びる断面略Ｌ字形のガイドレール２がそれぞれ張り出し形成され、この左右一対のガイドレール２が収納容器の搬送時の便宜を図る。容器本体１の天井中央部には、平面略矩形のロボティックフランジ３が一体的あるいは着脱自在に装着され、このロボティックフランジ３がＯＨＴと呼ばれる自動搬送機に保持されることにより、収納容器が工程内を搬送される。
【００２９】
容器本体１の開口正面の周縁部は、同図に示すように、断面略倒Ｌ字形に形成されることにより、外方向に張り出されてリム部４を形成し、このリム部４内の上下には、矩形を呈した蓋体施錠用の係止穴５がそれぞれ複数凹み形成される。容器本体１の両側壁には、肉厚の円板形又は倒Ｕ字形の搬送ハンドルがそれぞれ選択的に装着され、この搬送ハンドルが把持されることにより収納容器が搬送される。
【００３０】
なお、容器本体１、支持板、ティース、位置決め具、ボトムプレート、ガイドレール２、ロボティックフランジ３、及び搬送ハンドルは、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、又は環状オレフィン樹脂等を用いて成形される。これらの材料には、導電性付与剤等が適宜添加される。
【００３１】
蓋体１０は、図１ないし図５に示すように、容器本体１のリム部４内に着脱自在に嵌合される断面略皿形の嵌合プレート１１と、この嵌合プレート１１の表面にセットされた一対の施錠手段３０を着脱自在に被覆する左右一対のカバープレート２２とから構成される。嵌合プレート１１は、その四隅部が丸く面取りされた横長の正面略矩形に形成され、周壁が断面略Ｌ字形、略Ｈ字形、又は略Ｚ字形に形成されて剛性が確保されており、この周壁に嵌合されたエンドレスのシールガスケットが容器本体１のリム部４内に変形密嵌されることによりシール性が確保される。
【００３２】
シールガスケットは、図示しないが、例えば中空枠形の基材と、この基材から傾斜しながら突出して基材の周方向外側に伸びる先細りの屈曲片と、基材から突出して嵌合プレート１１の周壁に形成された嵌合保持溝に圧力作用状態で強く嵌め入れられる単数複数の嵌合リブとから形成され、蓋体１０により密封された収納容器の内外に圧力差が生じた場合には、収納容器の外部から内部に塵埃を含む気体が流入するのを規制し、収納容器の内部から外部に気体を流出させる一方向性シールとして機能する。
【００３３】
このようなシールガスケットは、例えばシリコーンゴム、フッ素ゴム、熱可塑性ポリエステル系エラストマー、熱可塑性ポリオレフィン系エラストマー等を使用して弾性変形可能に成形される。
【００３４】
嵌合プレート１１の周壁には、洗浄時に使用される複数の水切り孔が所定の間隔をおいて穿孔され、周壁の上下には、左右一対の開口１２が所定の間隔をおいて形成されており、各開口１２が容器本体１の係止穴５に対向する。嵌合プレート１１の左右両側の周壁内には、カバープレート２２用の取付穴１３が所定の間隔をおいて複数穿孔される。
【００３５】
嵌合プレート１１の表面中央部には図１に示すように、開閉把持用の膨出台座１４が正面略倒Ｈ字形に固定あるいは着脱自在に設けられ、この表面が平坦な膨出台座１４が嵌合プレート１１の左右両側の周壁との間に左右一対の設置スペース１５を凹んだ状態にそれぞれ区画形成しており、各設置スペース１５に施錠手段３０がセットされる。膨出台座１４は、その上下部の左右に蓋体１０の位置決め時に使用される位置決め穴１６がそれぞれ穿孔され、この上下一対の位置決め穴１６が蓋体１０の中心点を挟んで対角線上に配列される。
【００３６】
膨出台座１４の周囲には、カバープレート２２用の取付穴１３が所定の間隔をおいて複数穿孔されるが、この複数の取付穴１３は、設置スペース１５やその近傍部にも必要に応じ穿孔される。各設置スペース１５には、図２ないし図５に示すように、略中央部に位置して蓋体１０の厚さ方向に伸びる円筒リブ１７と、この円筒リブ１７の上下に位置する複数のカム１９とが配設される。
【００３７】
円筒リブ１７は、例えば９０°等の所定の角度で複数のスリット１８が軸方向に切り欠かれ、この複数本のスリット１８により周方向に湾曲した複数片に分割される。各カム１９は、間隔をおいて平行に相対向する左右一対のカムレール２０を備え、各カムレール２０の表面に、滑らかな凹凸面からなるカム面２１が形成される。嵌合プレート１１の裏面中央部には、図示しない弾性のフロントリテーナが装着され、このフロントリテーナが容器本体１の内部背面における弾性のリヤリテーナ（図示せず）との間に精密基板の前後部周縁を挟んで弾発的に支持する。
【００３８】
各カバープレート２２は、図１に示すように、設置スペース１５に略対応する形に屈曲して形成され、左右両側部等から複数の取付片２３がそれぞれ突出しており、各取付片２３が嵌合プレート１１の取付穴１３に嵌合することにより、嵌合プレート１１に強固にセットされる。このカバープレート２２は、操作用の取外し片が形成され、中央部付近に、施錠手段３０用の貫通操作孔２４が正面矩形に穿孔されており、この貫通操作孔２４が蓋体開閉装置の操作キー６０に貫通される。
【００３９】
カバープレート２２の裏面には図２や図３に示すように、設置スペース１５のカム１９に隙間をおいて対向するカム１９が配設され、このカム１９は、間隔をおいて平行に相対向する左右一対のカムレール２０から形成されており、各カムレール２０の表面に、滑らかな凹凸面からなるカム面２１が形成される。
なお、蓋体１０は、例えばポリカーボネート、フッ素含有ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、又はポリアセタール等を用いて成形される。
【００４０】
各施錠手段３０は、図２ないし図５に示すように、嵌合プレート１１の円筒リブ１７に嵌合支持されて外部からの操作キー６０の回転操作で回転する回転リール３１と、嵌合プレート１１とカバープレート２２のカム１９・１９間にスライド可能に挟持され、回転リール３１の回転に基づいて蓋体１０の内外方向に直線的にスライドする複数の進退動バー３４と、各進退動バー３４の先端部に形成され、進退動バー３４の進退動作に伴い蓋体周囲の開口１２から出没してリム部４の係止穴５に嵌合する係止爪３５とから構成される。
【００４１】
回転リール３１は、図３ないし図７に示すように、中空で断面略逆凸字の円板に形成され、表面の中心部に、貫通操作孔２４を貫通した操作キー６０に嵌合される操作穴３２が正面略矩形に形成されており、中心部と周縁部との間には、進退動バー３４用の一対の案内溝３３が所定の角度で半円弧形に湾曲形成される。このような構成の回転リール３１は、操作穴３２に操作キー６０が挿入され、時計方向あるいは反時計方向に９０°回転する。
【００４２】
なお、蓋体開閉装置の接続位置や寸法は、ＳＥＭＩ規格で容器のサイズ毎に規定されている。例えば、１２インチ（３００ｍｍ）の半導体ウェーハを整列収納する工程容器の蓋体１０を自動開閉するための装置インターフェイスの仕様に関しては、ＳＥＭＩ規格のＥ６２で標準化された蓋体開閉装置（図示せず）に対応可能に定められている。
【００４３】
各進退動バー３４は、図４や図５に示すように、一対のカムレール２０の幅に対応する略長方形の板形に形成され、長手方向の中心線が回転リール３１の中心部と一致するよう一対のカムレール２０に配置される。進退動バー３４は、その先端部に断面略Ｌ字形の係止爪３５が一体形成され、末端部にはピン３６が連結されており、このピン３６が回転リール３１の案内溝３３に直接的あるいは発塵防止用の回転ローラを介し間接的に嵌入される。
【００４４】
進退動バー３４の左右両側部には、複数の円柱突起３７が所定の間隔をおいて突出形成され、各円柱突起３７がカムレール２０のカム面２１に直接的あるいは発塵防止用の回転ローラを介し間接的に接触する。
【００４５】
なお、係止爪３５の先端の一部を厚さ方向に傾斜させてリム部４の係止穴５内に接触する接触面積が減少するようにすれば、係止爪３５の先端が係止穴５に嵌合する際、抵抗を低減することができる。また、施錠手段３０は、例えばポリカーボネート、フッ素含有ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、又はポリアセタール等を用いて成形される。
【００４６】
各回転規制手段４０は、図６や図７に示すように、各回転リール３１の裏面中心部から半径外方向に直線的に伸びる係合バー４１と、嵌合プレート１１の設置スペース１５に立設されて回転リール３１の施錠方向（一方向）への回転時に係合バー４１に接触する第一の被係合ピン４４と、嵌合プレート１１の設置スペース１５に立設されて回転リール３１の解錠方向（他方向）への回転時に係合バー４１に接触する第二の被係合ピン４４Ａとから構成される。
【００４７】
係合バー４１は、正面略Ｔ字形に形成され、先端部から直交して左右方向に伸びる短片４２の内側に、略半円形の窪み４３がそれぞれ凹み形成されており、この窪み４３が第一、第二の被係合ピン４４・４４Ａの周面に摩擦密嵌する。第一、第二の被係合ピン４４・４４Ａは、嵌合プレート１１の内面から開口側に突出する円柱形に成形され、係合バー４１の高さ位置よりも厚く高く、嵌合プレート１１の内寸厚さよりも薄く低く形成されるとともに、円筒リブ１７の周囲近傍に配設されており、係合バー４１との接触時に乗り越えられることがないようになっている。
【００４８】
上記において、複数枚の精密基板を整列収納した容器本体１のリム部４を蓋体１０により密封して閉じる場合には、蓋体開閉装置が容器本体１のリム部４に蓋体１０を押圧嵌合して各施錠手段３０の回転リール３１を図７の状態から９０°回転させる。
すると、各回転リール３１の回転に伴い、各進退動バー３４がカム１９のカム面２１に案内されつつ直線的にスライドし、各進退動バー３４の係止爪３５が嵌合プレート１１の開口１２から突出して容器本体１の係止穴５に嵌合係止（図５参照）し、この係止爪３５の嵌合係止により、容器本体１が蓋体１０により密封される（図１参照）。
【００４９】
各回転リール３１の回転の際、各係合バー４１が第二の被係合ピン４４Ａから揺動して第一の被係合ピン４４に接触するとともに、第一の被係合ピン４４の周面に係合バー４１の窪み４３が密嵌し、この密嵌により回転リール３１のそれ以上の回転が規制される（図６参照）。
【００５０】
これに対し、複数枚の精密基板を整列収納した容器本体１から蓋体１０を取り外す場合には、蓋体開閉装置が各施錠手段３０の回転リール３１を図６の状態から９０°回転させる。
すると、各回転リール３１の回転に伴い、各進退動バー３４がカム１９のカム面２１に案内されつつ直線的にスライドし、各進退動バー３４の係止爪３５が容器本体１の係止穴５から嵌合プレート１１の開口１２内に後退し（図４参照）、この後退により容器本体１から蓋体１０が取り外し可能となる。
【００５１】
各回転リール３１の回転の際、各係合バー４１が第一の被係合ピン４４から揺動して第二の被係合ピン４４Ａに接触するとともに、第二の被係合ピン４４Ａの周面に係合バー４１の窪み４３が密嵌し、この密嵌により回転リール３１のそれ以上の回転が規制される（図７参照）。
【００５２】
なお、回転リール３１の回転規制は収納容器や装置のばらつきを考慮し、所定の位置から±１０°の範囲でずれた場合でも、所定の位置に回転リール３１の回転位置を制御できることが好ましい。すなわち、係合バー４１の第一、第二の被係合ピン４４・４４Ａへの誘導角度を±１０°の範囲、好ましくは±５°とし、係合バー４１の窪み４３との密嵌位置を所定の位置となるよう設定すれば良い。
【００５３】
上記構成によれば、係合バー４１と第一、第二の被係合ピン４４・４４Ａとの接触嵌合作用により、回転リール３１の左右方向への回転が規制されるので、輸送時の振動や衝撃により、回転リール３１が誤作動して施錠を解錠してしまうおそれが全くない。したがって、回転リール３１の自由回転に伴い、容器本体１と蓋体１０との間のシール性が損なわれたり、容器本体１から蓋体１０が外れ、精密基板が汚染するのをきわめて有効に抑制防止することができる。
【００５４】
また、係合バー４１が第一、第二の被係合ピン４４・４４Ａを乗り越えて回転することがないので、回転リール３１の余剰回転を防ぐことができる。また、簡素な係合バー４１や第一、第二の被係合ピン４４・４４Ａだけを使用するので、製造コストの削減、構成の簡素化、軽量化を図ることができる。さらに、嵌合プレート１１にカバープレート２２をセットする際、螺子結合を用いるのではなく、取付穴１３に対するカバープレート２２の取付片２３の摩擦力を利用するので、カバープレート２２の取り外しが実に容易となり、洗浄や乾燥作業の円滑化、効率化、迅速化、容易化等を図ることができる。
【００５５】
次に、図８ないし図１２は本発明の第２の実施の形態を示すもので、この場合には、各回転規制手段４０を、嵌合プレート１１の円筒リブ１７内に嵌通され、回転リール３１の回転時（外部操作時、以下同じ）には回転リール３１の裏面から離れ、回転リール３１の非回転時（非外部操作時、以下同じ）には回転リール３１の裏面に接触する回り止め押圧体４５と、回転リール３１に回り止め押圧体４５を弾圧付勢する弾性体４８と、回転リール３１に形成される複数の係合突部４９と、回り止め押圧体４５に形成され、回転リール３１の回転時には係合突部４９と噛合せず、回転リール３１の非回転時には係合突部４９と噛合する一対の被係合突部５０とから構成するようにしている。
【００５６】
回転リール３１は、図８ないし図１０に示すように、断面略逆凸字の円板に形成され、中心部に、操作キー６０に貫通される操作穴３２が正面略矩形に貫通して穿孔される。回り止め押圧体４５は、図１０ないし図１２に示すように、表裏両面がそれぞれ平坦な円板に形成され、円筒リブ１７内にスライド可能に嵌入される。
【００５７】
回り止め押圧体４５の表面中心部には、柱形の嵌入部４６が突出形成され、この嵌入部４６が回転リール３１の中心部の操作穴３２に着脱自在に嵌入して露出し、操作キー６０に押圧操作される。この回り止め押圧体４５の周面からは円筒リブ１７のスリット１８を貫通する回転規制バー４７が半径外方向に直線的に突出し、この回転規制バー４７が円筒リブ１７に接触することにより、回り止め押圧体４５の回転が規制される。
【００５８】
弾性体４８は、例えばＳＵＳ等からなる金属製スプリング、樹脂製スプリング、弾性変形力の大きいポリオレフィン系熱可塑性エラストマーやポリエステル系熱可塑性エラストマー等からなる各種の熱可塑性エラストマー、発泡ポリオレフィン樹脂、ＮＢＲ、フッ素ゴム、ウレタンゴム等が使用され、円筒リブ１７に嵌入されて嵌合プレート１１と回り止め押圧体４５の裏面との間に介在される。
【００５９】
複数の係合突部４９は、回転リール３１の裏面に所定の角度（例えば、９０°等）で配列される。一対の被係合突部５０は、回り止め押圧体４５の表面に所定の角度（例えば、略１８０°や９０°等）で配列され、略一列に並ぶよう突出形成される。各被係合突部５０は、図１２に示すように、回り止め押圧体４５の径方向に伸びる棒形に形成される。
【００６０】
上記において、蓋体１０の施錠あるいは解錠のため、蓋体開閉装置の操作キー６０が回転リール３１の操作穴３２を貫通して回り止め押圧体４５の嵌入部４６を押圧操作すると、回り止め押圧体４５が弾性体４８を圧縮しながら嵌合プレート１１の設置スペース１５方向に移動し、回転リール３１と回り止め押圧体４５とが離れて回転リール３１の回転が確保される（図１１参照）。
【００６１】
蓋体１０の施錠あるいは解錠後、蓋体開閉装置の操作キー６０が回り止め押圧体４５の嵌入部４６から離れると、円筒リブ１７のガイド作用と圧縮していた弾性体４８の復帰作用により、回り止め押圧体４５が回転リール３１方向に移動し、回転リール３１と回り止め押圧体４５とが弾接するとともに、回転リール３１の係合突部４９と回り止め押圧体４５の被係合突部５０とが噛合し、回転リール３１の回転が規制される（図１０参照）。その他の部分については、上記実施の形態と同様であるので説明を省略する。
【００６２】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、弾性体４８の弾圧付勢作用により、回転リール３１の係合突部４９と回り止め押圧体４５の被係合突部５０とが強く噛合するので、これらが振動や衝撃で外れることがなく、これを通じて回転リール３１の安易な回転を有効に防ぐことができるのは明らかである。また、回転規制手段４０の種類の多様化を図ることもできる。
【００６３】
次に、図１３ないし図１６は本発明の第３の実施の形態を示すもので、この場合には、各回転規制手段４０を、蓋体１０の嵌合プレート１１と回転可能な回転リール３１とを接続し、回転リール３１を蓋体１０のカバープレート２２方向（反容器本体１方向）に弾圧付勢する弾性体４８と、カバープレート２２内に突出形成される一対の係合突部４９と、回転リール３１の表面に突出形成され、回転リール３１の回転時には係合突部４９と噛合せず、回転リール３１の非回転時には係合突部４９と噛合する一対の被係合突部５０とから構成するようにしている。
【００６４】
回転リール３１は、断面略逆ハット形に形成され、その表面外周に一対の被係合突部５０が所定の間隔で配設される。一対の係合突部４９と被係合突部５０とは、それぞれ平面略半円形の突起に形成される。その他の部分については、上記実施の形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、スリット１７や回り止め押圧体４５を省略して部品点数の削減を図ることができるのは明らかである。
【００６５】
次に、図１７は本発明の第４の実施の形態を示すもので、この場合には、回転プレート３１に略矩形を呈した一対の貫通口５１を所定の角度でそれぞれ穿孔して各貫通口５１内には半径外方向に伸びる略Ｊ字形の係合突部４９を一体形成し、嵌合プレート１１の設置スペース１５に、略へ字形を呈する一対の被係合突部５０をそれぞれ立設し、回転プレート３１が所定の回転角度で回転した場合に、係合突部４９の鉤部と各被係合突部５０とを嵌合させるようにしている。
【００６６】
係合突部４９と各被係合突部５０とは、上記形状に何ら限定されるものではなく、例えばし字形やＶ字形等、類似の形状に適宜変更して形成することができる。その他の部分については、上記実施の形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、回転プレート３１を所定の回転角度・位置でロックすることができるのは明白である。
【００６７】
なお、上記実施形態では水平方向のみに開口するフロントオープンボックスタイプの容器本体１を示したが、蓋体１０の取り外し時や精密基板の出し入れ時に上方に向けることもできる。また、支持板の代わりに支持枠を用意し、この支持枠に複数のティースを縦リブを介し上下方向に並設しても良い。また、支持枠の後部に、隣接するティース間に位置する断面略倒Ｕ字形、略倒Ｖ字形の保持溝を形成し、この保持溝に精密基板の両側部後方の周縁を支持させても良い。
【００６８】
また、各ティースを、精密基板の周縁部に沿うよう平面略く字形に形成される平板と、この平板の屈曲形成された前部内側上に形成される前部中肉リブと、平板の前部外側上に形成されて前部中肉リブの外側、換言すれば、支持枠寄りに位置する前部厚肉領域と、平板の後部に形成される後部中肉領域とから形成し、前部中肉リブと前部厚肉領域との間に段差を形成し、略平坦な前部中肉リブと後部中肉領域とに精密基板を略水平に支持させても良い。
【００６９】
また、容器本体１の底面ではなく、ボトムプレートに複数の位置決め具をそれぞれ設けることもできる。また、ボトムプレートを拡大形成してその両側部に容器本体１の両側壁に対向する対向壁を立て設け、各対向壁に把持用の搬送ハンドルを取り付けることもできる。また、ボトムプレートの後部に、容器本体１の背面側に位置する壁を立て設け、この壁に識別コード、ＩＣタグ、非接触型情報識別媒体等を貼着、嵌合、又は支持させることもできる。
【００７０】
また、容器本体１の開口正面の周縁部を断面略倒Ｌ字形に形成してその先端部を断面略Ｕ字形に形成し、これらの凹んだ内部空間を係止穴５として使用することも可能である。また、嵌合プレート１１の裏面周縁部にエンドレスの第一のシールガスケットを取り付けるとともに、嵌合プレート１１の周壁にエンドレスの第二のシールガスケットを取り付け、第一のシールガスケットの幅方向外側に第二のシールガスケットを位置させることも可能である。
【００７１】
また、嵌合プレート１１の表面中央部に、正面略矩形の膨出台座１４を固定あるいは着脱自在に設けることも可能である。また、施錠手段３０や回転規制手段４０を、底部の開口した容器本体１と、この容器本体１の開口面を開閉する蓋体１０と、容器本体１に収容されるカセットとを備え、ＳＭＩＦポッドと呼ばれるボトムオープンボックスタイプの蓋体１０にも利用することが可能である。
【００７２】
また、嵌合プレート１１の周壁近傍における取付穴１３近傍に、カム１９や進退動バー３４の円柱突起３７等を接近させれば、容器本体１に蓋体１０が嵌合された場合に、カバープレート２２の撓みを防止し、係止爪３５の嵌合係止を安定的に維持することが可能である。また、回転規制手段４０を、回転リール３１の表面側から外方向に伸びる係合バー４１と、カバープレート２２に設けられて回転リール３１の施錠方向への回転時に係合バー４１に接触する第一の被係合ピン４４と、カバープレート２２に立設されて回転リール３１の解錠方向への回転時に係合バー４１に接触する第二の被係合ピン４４Ａとから構成することも可能である。
【００７３】
また、少なくとも係合バー４１の短片４２に弾性を付与し、この短片４２の窪み４３を第一、第二の被係合ピン４４・４４Ａの周面に弾発的に嵌合させても良い。また、円筒リブ１７の端部のみを回転リール３１支持用の円筒として残部を角筒形に形成し、この角筒部分に回り止め押圧体４５をスライド可能に嵌入して回転規制バー４７を省略しても良い。さらに、係合体を平面略Ｊ字形、平面略Ｌ字形，横長の平面略Ｚ字形、平面略ν字形等に形成し、これに対応する形に第一、第二の被係合体を構成することもできる。さらにまた、係合突部４９や被係合突部５０を平面円形、楕円形、多角形等に形成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明に係る収納容器の実施形態を示す全体斜視説明図である。
【図２】本発明に係る収納容器の実施形態における蓋体や施錠手段を示す断面説明図である。
【図３】本発明に係る収納容器の実施形態における蓋体や施錠手段を示す断面分解説明図である。
【図４】本発明に係る収納容器の実施形態におけるカバープレートを取り外した解錠状態の蓋体を示す正面説明図である。
【図５】本発明に係る収納容器の実施形態におけるカバープレートを取り外した施錠状態の蓋体を示す正面説明図である。
【図６】本発明に係る収納容器の実施形態における回転リールが施錠方向に回転した状態を示す説明図である。
【図７】本発明に係る収納容器の実施形態における回転リールが解錠方向に回転した状態を示す説明図である。
【図８】本発明に係る収納容器の第２の実施形態における回転リールを示す表面説明図である。
【図９】本発明に係る収納容器の第２の実施形態における回転リールを示す裏面説明図である。
【図１０】本発明に係る収納容器の第２の実施形態における外部操作前の回転規制手段を示す断面説明図である。
【図１１】本発明に係る収納容器の第２の実施形態における外部操作時の回転規制手段を示す断面説明図である。
【図１２】本発明に係る収納容器の第２の実施形態における回転規制手段の回り止め押圧体等を示す平面説明図である。
【図１３】本発明に係る収納容器の第３の実施形態における回転リールを示す表面説明図である。
【図１４】本発明に係る収納容器の第３の実施形態における回転リールを示す裏面説明図である。
【図１５】本発明に係る収納容器の第３の実施形態における外部操作前の回転規制手段を示す断面説明図である。
【図１６】本発明に係る収納容器の第３の実施形態における外部操作時の回転規制手段を示す断面説明図である。
【図１７】本発明に係る収納容器の第４の実施形態における回転規制手段を示す説明図である。
【符号の説明】
【００７５】
１          容器本体
４          リム部
５          係止穴
１０        蓋体
１１        嵌合プレート
１２        開口
１５        設置スペース
１７        円筒リブ
１８        スリット
２１        カム面
２２        カバープレート
２４        貫通操作孔
３０        施錠手段
３１        回転リール（回転体）
３２        操作穴
３４        進退動バー（進退動体）
３５        係止爪（出没体）
４０        回転規制手段
４１        係合バー（係合体）
４２        短片
４３        窪み
４４        第一の被係合ピン（第一の被係合体）
４４Ａ      第二の被係合ピン（第二の被係合体）
４５        回り止め押圧体
４８        弾性体
４９        係合突部（係合体）
５０        被係合突部（被係合体）
６０        操作キー
【図１】
2005306411.tif 000003
【図２】
2005306411.tif 000004
【図３】
2005306411.tif 000005
【図４】
2005306411.tif 000006
【図５】
2005306411.tif 000007
【図６】
2005306411.tif 000008
【図７】
2005306411.tif 000009
【図８】
2005306411.tif 000010
【図９】
2005306411.tif 000011
【図１０】
2005306411.tif 000012
【図１１】
2005306411.tif 000013
【図１２】
2005306411.tif 000014
【図１３】
2005306411.tif 000015
【図１４】
2005306411.tif 000016
【図１５】
2005306411.tif 000017
【図１６】
2005306411.tif 000018
【図１７】
2005306411.tif 000019