(57)【要約】【課題】本発明の課題は、量産性に優れるとともに、光導波路に損傷を与えることがなく、かつ、維持費、運転費が安価となる光導波路型光部品の製造方法及び製造装置を提供することにある。【解決手段】光導波路コアとクラッドとで光感受性が異なる石英系光導波路に水素又は重水素を拡散させ、この石英系光導波路に、エキシマランプの如き紫外光領域で単色発光する非干渉性光源からの光を照射して石英系光導波路の屈折率を連続的に変化させる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光導波路コア及びクラッドを有しこれら光導波路コアとクラッドとで光感受性が異なる石英系光導波路に水素又は重水素を拡散させる第１の工程と、
前記石英系光導波路に紫外光領域で単色発光する非干渉性光源からの光を照射して該石英系光導波路の屈折率を連続的に変化させる第２工程と、を有することを特徴とする光導波路型光部品の製造方法。
【請求項２】
前記紫外光領域で単色発光する非干渉性光源は、エキシマランプであることを特徴とする請求項１記載の光導波路型光部品の製造方法。
【請求項３】
前記紫外光域で単色発光する非干渉性光源からの光は、波長が１５０ｎｍ乃至２８０ｎｍの範囲にあることを特徴とする請求項１、または、請求項２記載の光導波路型光部品の製造方法。
【請求項４】
前記紫外光域で単色発光する非干渉性光源からの光は、波長が１７２ｎｍであることを特徴とする請求項３記載の光導波路型光部品の製造方法。
【請求項５】
前記紫外光域で単色発光する非干渉性光源からの光は、波長が２２２ｎｍであることを特徴とする請求項３記載の光導波路型光部品の製造方法。
【請求項６】
光導波路コアの光感受性がクラッドの光感受性よりも小さい石英系光導波路を用いることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一に記載の光導波路型光部品の製造方法。
【請求項７】
光導波路コア及びクラッドを有しこれら光導波路コアとクラッドとで光感受性が異なる石英系光導波路に紫外光領域の単色光を照射する非干渉性光源と、
前記石英系光導波路における屈折率変化量を判別する判別手段と、
前記判別手段による判別結果に基づいて、前記非干渉性光源の点灯及び消灯を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする光導波路型光部品の製造装置。
【請求項８】
前記判別手段は、前記非干渉性光源による単色光の照射時間をカウントするタイマであることを特徴とする請求項７記載の光導波路型光部品の製造装置。
【請求項９】
前記判別手段は、前記非干渉性光源による単色光の照射量を測定する光量計であることを特徴とする請求項７記載の光導波路型光部品の製造装置。
【請求項１０】
前記判別手段は、中心波長を測定する光ファイバグレーティングであることを特徴とする請求項７記載の光導波路型光部品の製造装置。
【請求項１１】
前記石英系光導波路と前記非干渉性光源との間において該石英系光導波路における光の伝搬方向に沿う方向に移動操作可能となされた強度変調マスクと、
前記強度変調マスクの移動の開始及び停止、移動速度を制御する制御部と、を備えていることを特徴とする請求項７乃至請求項１０のいずれか一に記載の光導波路型光部品の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光導波路中を伝搬する光のモードフィールドを光の損失を抑えながら変化させることができるモードフィールド変換器として使用できる光導波路型光部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバなどを用いて構成される光導波路は、特定の経路に沿って光を伝搬させることができるため、光通信やレーザ発振など、様々な分野で使用されている。
【０００３】
このような光導波路中における伝搬モードの強度分布は、光導波路の構造によって異なり、この強度分布のことをモードフィールドと呼んでいる。構造が異なりモードフィールドが異なる光部品同士を結合するときには、モードフィールドの不整合により生じる接続損失が問題となる。
【０００４】
例えば、光ファイバと平面型光導波路との結合や、これら光導波路とレーザダイオードとの結合など、異なる光部品同士の結合においてのみならず、光ファイバ同士や平面型光導波路同士の結合においても光導波路の構造が異なる場合には、モードフィールドが異なるため、接続時に損失が発生する。
【０００５】
このような接続損失の問題を解決するために、従来、様々な構成を有するモードフィールド変換器が提案されている。このモードフィールド変換器は、結合される二つの光導波路の間に介在され、一方の光導波路からの出射光が入射されてこの入射光のモードフィールドを徐々に変化させ、他方の光導波路に適合するモードフィールドとして、他方の光導波路に入射させるものである。このモードフィールド変換器中においては、モードフィールドが徐々に変化されるため、光の損失が生じない。
【０００６】
従来のモードフィールド変換器としては、石英系光導波路を加熱して拡散させることにより光導波路コアの径をテーパ状に拡大させたものが提案されている。また、従来のモードフィールド変換器としては、石英系光導波路を延伸することにより光導波路コアの径をテーパ状に縮小させたものも提案されている。
【０００７】
さらに、従来のモードフィールド変換器としては、特許文献１乃至特許文献３に記載されているように、光導波路の屈折率を光の伝搬方向に沿って連続的に変化させたものが提案されている。このようなモードフィールド変換器においては、光導波路の構造が光の伝搬方向に沿って徐々に変化されていることで、光の損失を生じることなく、モードフィールドを変化させることができる。
【０００８】
そして、このような屈折率が連続的に変化している光導波路の製造は、レーザ光源からのレーザ光を石英系光導波路に照射し、屈折率変化を生じさせることによって行われている。
【０００９】
【特許文献１】
特開平７−２０９５３８号公報
【００１０】
【特許文献２】
特開平８−４３６５０号公報
【００１１】
【特許文献３】
特開平１０−２０１３７号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述のようなモードフィールド変換器の製造に用いられるレーザ光源から発せられる光は、照射強度は強いが、ビーム径は数ｍｍ角と小さい。したがって、数ｃｍにも亘るような長い光導波路や、複数の光導波路について、一括処理して屈折率変化を生じさせることは困難であった。
【００１３】
また、波長２００ｎｍ以下の光は、空気中の酸素に吸収されやすく、空気中を伝搬させると光出力が減衰してしまい、強いパワーの光を光導波路に照射するのが困難である。そのため、レーザ光源から光導波路に至る光路を窒素雰囲気など吸収の少ない気体に置換する必要があり、使用しにくかった。
【００１４】
さらに、レーザ光のようなパワーの強い光を長時間に亘って光導波路に照射すると、光導波路の表面の損傷につながり、光導波路の物理的強度を劣化させる原因となっていた。特に、光導波路として光ファイバを用いる場合や、光源としてパルスレーザを用いる場合には、光導波路の強度劣化の問題は深刻であった。
【００１５】
そして、レーザ光源は値段も高く、装置も大がかりとなり、電力やガスを多く使用することから、維持費、運転費が高価となるという問題もあった。
【００１６】
そこで、本発明は、前記問題に鑑みてなされたもので、その目的としては、量産性に優れるとともに、光導波路に損傷を与えることがなく、かつ、維持費、運転費が安価となる光導波路型光部品の製造方法及び製造装置を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、前記目的を達成するため、光導波路コア及びクラッドを有しこれら光導波路コアとクラッドとで光感受性が異なる石英系光導波路に水素又は重水素を拡散させる第１の工程と、前記石英系光導波路に紫外光領域で単色発光する非干渉性光源からの光を照射して該石英系光導波路の屈折率を連続的に変化させる第２工程とを有することを要旨とする。
【００１８】
請求項２記載の発明は、前記目的を達成するため、前記光導波路型光部品の製造方法において、前記紫外光領域で単色発光する非干渉性光源は、エキシマランプであることを要旨とする。
【００１９】
請求項３記載の発明は、前記目的を達成するため、前記光導波路型光部品の製造方法において、前記紫外光域で単色発光する非干渉性光源からの光は、波長が１５０ｎｍ乃至２８０ｎｍの範囲にあることを要旨とする。
【００２０】
請求項４記載の発明は、前記目的を達成するために、前記光導波路型光部品の製造方法において、前記紫外光域で単色発光する非干渉性光源からの光は、波長が１７２ｎｍであることを要旨とする。
【００２１】
請求項５記載の発明は、前記目的を達成するため、前記光導波路型光部品の製造方法において、前記紫外光域で単色発光する非干渉性光源からの光は、波長が２２２ｎｍであることを要旨とする。
【００２２】
請求項６記載の発明は、前記目的を達成するため、前記光導波路型光部品の製造方法において、光導波路コアの光感受性がクラッドの光感受性よりも小さい石英系光導波路を用いることを要旨とする。
【００２３】
請求項７記載の発明は、前記目的を達成するため、光導波路コア及びクラッドを有しこれら光導波路コアとクラッドとで光感受性が異なる石英系光導波路に紫外光領域の単色光を照射する非干渉性光源と、前記石英系光導波路における屈折率変化量を判別する判別手段と、前記判別手段による判別結果に基づいて前記非干渉性光源の点灯及び消灯を制御する制御部とを備えたことを要旨とする。
【００２４】
請求項８記載の発明は、前記目的を達成するため、前記判別手段は、前記非干渉性光源による単色光の照射時間をカウントするタイマであることを要旨とする。
【００２５】
請求項９記載の発明は、前記目的を達成するため、前記判別手段は、前記非干渉性光源による単色光の照射量を測定する光量計であることを要旨とする。
【００２６】
請求項１０記載の発明は、前記目的を達成するため、前記判別手段は、中心波長を測定する光ファイバグレーティングであることを要旨とする。
【００２７】
請求項１１記載の発明は、前記目的を達成するため、前記石英系光導波路と前記非干渉性光源との間において該石英系光導波路における光の伝搬方向に沿う方向に移動操作可能となされた強度変調マスクと、前記強度変調マスクの移動の開始及び停止、移動速度を制御する制御部とを備えていることを要旨とする。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２９】
（１）光導波路型光部品の製造方法の実施の形態
本発明は、光導波路コア及びクラッドを有しこれら光導波路コアとクラッドとで異なる光感受性をもつ光導波路を用いて、この光導波路内における光の伝搬方向に沿って連続的に屈折率が変化する特性を有する光導波路型光部品の製造方法を提供するものである。このような光導波路型光部品は、例えば、モードフィールド変換器として使用することができる。
【００３０】
光導波路の屈折率を連続的に変化させるには、この光導波路として石英系光導波路を用い、この光導波路に対し、紫外光領域で単色発光する非干渉性光源から発光された紫外光を照射する。紫外光の照射により、光感受性をもつ領域の屈折率が変化するので、その特性を光導波路内における光の伝搬方向に沿って連続的に変化させることができるのである。
【００３１】
以下、その詳細を順を追って説明する。
【００３２】
まず、紫外光領域で単色発光する非干渉性光源としては、エキシマランプを使用することができる。
【００３３】
エキシマとは、基底状態では安定で分子を作らない閉核原子または分子が励起されることにより、他の基底状態の原子または分子と強い結合力を示し分子化したもののことである。このエキシマ状態から基底状態に遷移する際に、そのエネルギー差に相当する光が発せられる。このときにレーザ発振するものはエキシマレーザと呼ぱれ、発振波長が２４８ｎｍのフッ化クリプトン（ＫｒＦ）レーザ、３０８ｎｍの塩化キセノン（ＸｅＣｌ）レーザ、１９３．２ｎｍのフッ化アルゴン（ＡｒＦ）レーザなどが実用化されている。なお、これらエキシマレーザは、パルス発振を行う。
【００３４】
一方、このようなエキシマレーザとほぼ同様の原理を用いて、レーザ発振ではなく、ランプとして発光するものがエキシマランプである。使用するガスの種類を変更することにより、〔表１〕に示すように、様々な波長で発光するエキシマランプを作製することができる。このエキシマランプは、エキシマレーザとは異なり、発する光は、非干渉性光（インコヒーレント光）である。
【００３５】
【表１】
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これらエキシマランプのなかでも、キセノン（Ｘｅ）を用い波長１７２ｎｍで発光するものや、塩化クリプトン（ＫｒＣｌ）を用い波長２２２ｎｍで発光するものなどは、すでに広く実用化され、液晶用パネルなどの洗浄用に利用されており、特性の安定したランプを安価に入手することが容易である。
【００３６】
そして、本発明者らは、これらエキシマランプからの光を光導波路に照射すると、特定の条件を満たす光導波路においては、屈折率が変化するという知見を得た。
【００３７】
エキシマランプを用いて光導波路の屈折率を変化させることができれば、充分な長さを有する光導波路について、一括的な処理によって、屈折率を変化させることができる。すなわち、エキシマランプは、エキシマレーザと異なり、放電管の長さを長くするだけで、容易に照射面積を広くすることができるので、一本のエキシマランプを用いて、例えば、５００ｍｍ×８０ｍｍ以上の範囲に光を照射することも容易であるからである。
【００３８】
さらに、エキシマランプを複数本並べることにより、照射面積をより広くすることができる。したがって、数多くの光導波路について一度に屈折率を変化させる処理を行うことも可能であり、良好な量産性を実現することができる。
【００３９】
また、エキシマランプからの光強度密度は、エキシマレーザからの光強度密度に比較して、１０００分の１程度である。したがって、エキシマランプを用いた場合には、光導波路に光を照射する際に問題となる光導波路の損傷が発生しない。
【００４０】
そして、エキシマランプは、単色発光、すなわち、発光波長帯域が数ｎｍから数十ｎｍと細いスペクトル線幅での発光をするため、光エネルギーが熱エネルギーなどに変化することが抑えられ、効率よく光導波路の屈折率変化を生じさせることができる。なお、エネルギー効率を良好とするためには、紫外光領域において単色発光するエキシマランプを使用することが望ましい。
【００４１】
さらに、エキシマランプは、レーザ光源においては必要な保守点検が不要であることも、製造工程上において有利である。さらに、エキシマランプの大きさは、例えば、５０ｍｍ×１８ｍｍφ程度とすることができるため、他の装置に組み込んで使用することも容易である。
【００４２】
また、エキシマランプは、レーザ光源に比較して安価であり、小さい消費電力でも発光することから、レーザ光源を用いた装置に比較して、装置費用及び維持費、運転費が安価な装置を構成することができる。
【００４３】
ところで、エキシマランプからの光エネルギーを効率よく光導波路の屈折率変化に結びつけるためには、光導波路において、エキシマランプからの光の波長帯域における吸収を大きくするための増感物質が添加されている必要がある。
【００４４】
石英系の光導波路に添加されてこの光導波路の光感受性を増大させる増感物質としては、例えば、ゲルマニュウム（Ｇｅ）、リン（Ｐ）、ボロン（Ｂ）などが挙げられる。また、紫外光帯域における光感受性を大きくするためには、石英系光導波路中に水素または重水素を拡散する方法も有効である。エキシマランプにより紫外光を照射する場合においても、光導波路中に水素または重水素を拡散させてから行った方が、短時間でより大きな屈折率変化が得られる。
【００４５】
そして、本発明においては、光導波路コアとクラッドとで、光感受性が異なる必要がある。そのため、光感受性の小さい領域も必要となる。石英ガラスの屈折率を上昇させるが紫外光に対する光感受性を小さくする添加物としては、アルミニュウムなどがあり、また、石英ガラスの屈折率を低下させる添加物（減感物質）としては、フッ素などが挙げられる。
【００４６】
これら光感受性を大きくする添加物、光感受性を小さくする添加物、あるいは、屈折率を低下させる添加物を組み合わせて光導波路を作製しておき、エキシマランプからの光の如き非干渉性の紫外光を照射することにより、光導波路内の屈折率を変化させ、この光導波路におけるモードフィールドを変化させることができる。そして、紫外光の照射量を光導波路における光の伝搬方向（長手方向）に沿って変化させることで、モードフィールドが連続的に変化する光導波路を作製することができる。このようにモードフィールドが連続的に変化する光導波路は、モードフィールド変換器として使用することができる。
【００４７】
このように光導波路の屈折率を変化させるのに好適な紫外光の波長は、添加する増感物質にも依るが、２８０ｎｍ以下である。波長が２８０ｎｍ以上の光を照射しても、光感受性が非常に小さいので、所望の屈折率変化を得ることは困難である。一方、波長が１５０ｎｍ以下の光を照射した場合には、増感物質を添加していない純粋な石英での吸収が非常に大きく、光が光導波路を透過しない。したがって、照射する光の波長は、１５０ｎｍ以上である必要がある。
【００４８】
したがって、屈折率を変化させるために用いるエキシマランプとしては、例えば、前記〔表１〕に示したエキシマランプのうち、発光波長が１５０ｎｍ乃至２８０ｎｍの範囲であるものを使用することができる。
【００４９】
そして、前述したように、発光波長が２２２ｎｍ及び１７２ｎｍのエキシマランプは、液晶用パネルなどの洗浄用に利用されているため、特性の安定したランプを容易に入手することができる。特に、発光波長が１７２ｎｍのエキシマランプを用いることで、発光波長が２２２ｎｍのエキシマランプを用いる場合に比較して、効率よく光導波路の屈折率を変化させることができるため、発光波長が１７２ｎｍのエキシマランプを使用することが望ましい。
【００５０】
（２）光導波路型光部品の製造装置の実施の形態
前述のようなエキシマランプからの光を照射することによる光導波路の屈折率変化は、エキシマランプからの光の照射時間、照射強度、照射距離を制御することにより、容易に調整できる。したがって、これらのパラメータを制御することにより、所望の屈折率変化量を容易に実現することが可能となる。そして、このようなパラメータを制御する機能を有する光導波路型光部品の製造装置を構成することにより、本発明に係る光導波路型光部品の製造方法を容易に実施することができる。
【００５１】
モードフィールド変換器として使用できるように光導波路の屈折率を変化させるには、エキシマランプからの光の照射強度あるいは照射時間を制御することにより、光導波路における光の伝搬方向（長手方向）に沿った屈折率変化が連続的なものとなるように制御する必要がある。
【００５２】
図１は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第１の実施の形態の要部を示す側面図である。
【００５３】
この光導波路型光部品の製造装置においては、図１に示すように、エキシマランプからの光１に強度変化があることを利用し、光導波路１０１の屈折率を連続的に変化させるように構成されている。このような光１の強度の変化は、光導波路とエキシマランプとの間の距離を調整することにより生じさせることができる。すなわち、この製造装置においては、強い光を照射する部分においては、光導波路とエキシマランプとの間の距離が短く、弱い光を照射する部分においては、光導波路とエキシマランプとの間の距離が長くなっており、これら光導波路とエキシマランプとの間の距離が光導波路の長手方向について連続的に変化するように、エキシマランプが設定されている。
【００５４】
このような状態において、所定時間に亘って紫外光の照射を行うことにより、光導波路の屈折率は、光導波路の長手方向について連続的に変化しているものとなる。
【００５５】
図２は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第２の実施の形態の要部を示す側面図である。
【００５６】
また、光導波路型光部品の製造装置においては、図２に示すように、発光する光１が均一な強度で光導波路に到達するようにエキシマランプを設置してもよい。そして、この実施の形態においては、紫外光の透過率が位置により異なる強度変調マスク２を、エキシマランプと光導波路１０１との間に挿入し、光導波路１０１に照射される紫外光の量を、場所により異なるものとしている。
【００５７】
このような状態において、所定時間に亘って紫外光の照射を行うことにより、光導波路の屈折率は、光導波路の長手方向について連続的に変化しているものとなる。
【００５８】
図３は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第３の実施の形態の要部を示す側面図である。
【００５９】
この実施の形態においては、エキシマランプは、発光する光１が均一な強度で光導波路に到達するように設置されている。そして、この実施の形態においては、図３に示すように、エキシマランプからの光１の照射中に、強度変調マスク２を、移動速度ｖにて光導波路１０１の長手方向に移動させる。この実施の形態においては、光導波路１０１に照射される紫外光の量が場所により異なるので、光導波路１０１の屈折率は、場所によって異なるものとなる。
【００６０】
この実施の形態における強度変調マスク２は、紫外光の透過率が位置によって異なる必要はなく、位置に依らず均一な紫外光透過率を有するものを使用することができる。また、この実施の形態における強度変調マスク２は、紫外光を全く透過させない遮光板であってもよい。
【００６１】
この実施の形態においては、強度変調マスク２の移動速度ｖを時間の関数として制御することにより、光導波路に照射される紫外光の量を場所に応じて任意の量とすることができる。
【００６２】
図４は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第４の実施の形態の要部を示す側面図である。
【００６３】
この実施の形態における製造装置は、図４に示すように、前記図１または図２により示した製造装置に対し、制御部３を設けたものである。
【００６４】
図５は、移動操作される部材が存在しない構成における制御部の動作を示すメインフローチャートである。
【００６５】
図１及び図２に示したような移動操作される部材が存在しない構成においては、制御部３は、図５に示すように、ステップｓｔ１で処理を開始すると、ステップｓｔ２においてエキシマランプを点灯させ、ステップｓｔ３に進んでエキシマランプを消灯させるか否かを判別する処理Ａを行う。そして、処理Ａが完了したならば、ステップｓｔ４に進み、エキシマランプを消灯させ、ステップｓｔ５に進んで処理を終了する。
【００６６】
図６は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第４の実施の形態における制御部３の動作を示すフローチャートである。
【００６７】
この実施の形態において、制御部３は、図４に示すように、判別手段となるタイマ４より時間情報を取得し、この時間情報及び予め設定されている照射時間に関する情報に基づいて、ランプ駆動部５を介して、エキシマランプ６の点灯及び消灯を制御する。すなわち、制御部３は、図６に示すように、ステップｓｔ６で処理Ａを開始すると、ステップｓｔ７に進み、タイマ４によりカウントされるエキシマランプ６を点灯してからの経過時間が予め設定された照射時間に達したか否かを判定する。制御部３は、エキシマランプ６を点灯させた後の経過時間が予め設定された照射時間に達したならば、ステップｓｔ８に進み、処理Ａを完了する。
【００６８】
なお、予め設定する照射時間は、所望の屈折率変化を得るのに必要な時間を、予め実験により見積もっておく。
【００６９】
図７は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第５の実施の形態の要部を示す側面図である。
【００７０】
この実施の形態における製造装置は、図７に示すように、前記図１または図２により示した製造装置に対し、制御部３を設けたものである。
【００７１】
図１及び図２に示したような移動操作される部材が存在しない構成においては、制御部３は、図５に示すように、ステップｓｔ１で処理を開始すると、ステップｓｔ２においてエキシマランプを点灯させ、ステップｓｔ３に進んでエキシマランプを消灯させるか否かを判別する処理Ａを行う。そして、処理Ａが完了したならば、ステップｓｔ４に進み、エキシマランプを消灯させ、ステップｓｔ５に進んで処理を終了する。
【００７２】
図８は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第５の実施の形態における制御部３の動作を示すフローチャートである。
【００７３】
この実施の形態において、制御部３は、図７に示すように、エキシマランプ６により照射される光１の光量を測定する判別手段となる光量計７より光量情報（積算光量）を取得し、この光量情報及び予め設定されている照射光量（積算光量）に関する情報に基づいて、ランプ駆動部５を介して、エキシマランプ６の点灯及び消灯を制御する。すなわち、制御部３は、図８に示すように、ステップｓｔ９で処理Ａを開始すると、ステップｓｔ１０に進み、光量計７より測定されるエキシマランプ６を点灯してからの積算光量が予め設定された照射光量（積算光量）に達したか否かを判定する。制御部３は、エキシマランプ６を点灯させた後の積算光量が予め設定された照射光量（積算光量）に達したならば、ステップｓｔ１１に進み、処理Ａを完了する。
【００７４】
なお、予め設定する照射光量（積算光量）は、所望の屈折率変化を得るのに必要な光量を、予め実験により見積もっておく。
【００７５】
図９は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第６の実施の形態の要部を示す側面図である。
【００７６】
この実施の形態における製造装置は、図９に示すように、前記図１または図２により示した製造装置に対し、制御部３を設けたものである。
【００７７】
図１及び図２に示したような移動操作される部材が存在しない構成においては、制御部３は、図５に示すように、ステップｓｔ１で処理を開始すると、ステップｓｔ２においてエキシマランプを点灯させ、ステップｓｔ３に進んでエキシマランプを消灯させるか否かを判別する処理Ａを行う。そして、処理Ａが完了したならば、ステップｓｔ４に進み、エキシマランプを消灯させ、ステップｓｔ５に進んで処理を終了する。
【００７８】
この実施の形態において、制御部３は、図９に示すように、判別手段となる光ファイバグレーティング８により光導波路１０１の屈折率変化の情報を取得し、この屈折率変化の情報及び予め設定されている屈折率変化に関する情報に基づいて、ランプ駆動部５を介して、エキシマランプ６の点灯及び消灯を制御する。
【００７９】
光ファイバグレーティング８は、処理を行う光導波路１０１と同じ光感受性をもつ光ファイバを用いて作製された光ファイバグレーティングか、光導波路１０１との屈折率の違いが予め実験などにより分かっている光ファイバを用いて作製された光ファイバグレーティングを用いる。このような光ファイバグレーティング８をエキシマランプ６からの光の照射位置に設置しておくことにより、エキシマランプ６からの光の照射中の光ファイバグレーティング８の中心波長変動に基づいて、光導波路１０１の屈折率変化を測定することができる。
【００８０】
この光ファイバグレーティング８は、光ファイバ９を介して中心波長測定部１０に接続されている。この中心波長測定部１０は、制御部３に接続されたコンピュータ装置１１に接続されている。コンピュータ装置１１は、測定された中心波長に基づいて、光導波路１０１の屈折率の変化量を算出し、制御部３に送る。
【００８１】
したがって、制御部３においては、光導波路１０１において所望の屈折率変化が得られた時点で、エキシマランプ６を消灯することが可能となる。この実施の形態においては、エキシマランプ６の点灯中における光導波路１０１の屈折率の変化量をリアルタイムで測定できるという利点がある。
【００８２】
図１０は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第６の実施の形態における制御部３の動作を示すフローチャートである。
【００８３】
すなわち、制御部３は、図１０に示すように、ステップｓｔ１２で処理Ａを開始すると、ステップｓｔ１３に進み、光ファイバグレーティング８により測定される光導波路１０１の屈折率変化が予め設定された屈折率変化量に達したか否かを判定する。制御部３は、光導波路１０１の屈折率変化が予め設定された屈折率変化量に達したならば、ステップｓｔ１４に進み、処理Ａを完了する。
【００８４】
図１１は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第７の実施の形態の要部を示す側面図である。
【００８５】
この実施の形態における製造装置は、図１１に示すように、前記図３により示した製造装置に対し、制御部３，１３を設けたものである。
【００８６】
図１２は、移動操作される部材が存在する構成における制御部の動作を示すメインフローチャートである。
【００８７】
図３に示したような移動操作される部材が存在する構成においては、制御部３は、図１２に示すように、ステップｓｔ１５で処理を開始すると、ステップｓｔ１６において強度変調マスクを原点位置とし、ステップｓｔ１７においてエキシマランプを点灯させ、ステップｓｔ１８に進んで強度変調マスクの移動操作が完了しエキシマランプを消灯させるか否かを判別する処理Ｂを行う。そして、処理Ｂが完了したならば、ステップｓｔ２０に進み、エキシマランプを消灯させ、ステップｓｔ２１に進んで処理を終了する。
【００８８】
図１３は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第７の実施の形態における制御部３，１３の動作を示すフローチャートである。
【００８９】
この実施の形態において、制御部３，１３は、図１１に示すように、タイマ４より時間情報を取得し、この時間情報及び予め設定されている強度変調マスク２の移動時間に関する情報に基づいて、ランプ駆動部５を介して、エキシマランプ６の点灯及び消灯を制御するとともに、強度変調マスク駆動部１２を介して、強度変調マスク２の速度ｖを調整し、さらに強度変調マスク２を停止させる。これら制御部３，１３は、コンピュータ装置１１に接続されており、タイマ４もコンピュータ装置１１に接続されている。すなわち、制御部３，１３は、図１３に示すように、ステップｓｔ２２で処理Ｂを開始すると、ステップｓｔ２３に進み、タイマ４によりエキシマランプ６を点灯してからの経過時間をカウントしつつ、ステップｓｔ２４に進み、強度変調マスク２を所定速度ｖで移動させる。そして、ステップｓｔ２５に進み、タイマ４によりカウントされるエキシマランプ６を点灯してからの経過時間が予め設定された照射時間に達したか否かを判定する。その際に、強度変調マスク２の速度ｖが、時間の関数として予め与えられている場合には、タイマ４によりカウントされるエキシマランプ６を点灯してからの経過時間をもとに制御部１３より強度変調マスク駆動部１２へ信号を送り、速度ｖを制御する（ステップｓｔ２４）。制御部３，１３は、エキシマランプ６を点灯させた後の経過時間が予め設定された照射時間に達したならば、ステップｓｔ２６に進み、処理Ｂを完了する。
【００９０】
なお、予め設定する照射時間は、所望の屈折率変化を得るのに必要な時間を、予め実験により見積もっておく。
【００９１】
図１４は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第８の実施の形態の要部を示す側面図である。
【００９２】
この実施の形態における製造装置は、図１４に示すように、前記図３により示した製造装置に対し、制御部３，１３を設けたものである。
【００９３】
図３に示したような移動操作される部材が存在する構成においては、制御部３は、図１２に示すように、ステップｓｔ１５で処理を開始すると、ステップｓｔ１６において強度変調マスクを原点位置とし、ステップｓｔ１７においてエキシマランプを点灯させ、ステップｓｔ１８に進んで強度変調マスクの移動操作が完了しエキシマランプを消灯させるか否かを判別する処理Ｂを行う。そして、処理Ｂが完了したならば、ステップｓｔ２０に進み、エキシマランプを消灯させ、ステップｓｔ２１に進んで処理を終了する。
【００９４】
図１５は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第８の実施の形態における制御部３，１３の動作を示すフローチャートである。
【００９５】
この実施の形態において、制御部３，１３は、図１４に示すように、エキシマランプ６により照射される光１の光量を測定する光量計７より光量情報（積算光量）を取得し、この光量情報及び予め設定されている照射光量（積算光量）に関する情報に基づいて、ランプ駆動部５を介して、エキシマランプ６の点灯及び消灯を制御するとともに、強度変調マスク駆動部１２を介して、強度変調マスク２の速度ｖを調整し、さらに強度変調マスク２を停止させる。これら制御部３，１３は、コンピュータ装置１１に接続されており、光量計７も制御部１４を介してコンピュータ装置１１に接続されている。すなわち、制御部３，１３は、図１５に示すように、ステップｓｔ２７で処理Ｂを開始すると、ステップｓｔ２８に進み、光量計７により測定されるエキシマランプ６を点灯してからの積算光量を測定しつつ、ステップｓｔ２９に進み、強度変調マスク２を所定速度ｖで移動させる。そして、ステップｓｔ３０に進み、光量計７により測定されるエキシマランプ６を点灯してからの積算光量が予め設定された照射光量（積算光量）に達したか否かを判定する。その際に、強度変調マスク２の速度ｖが、時間の関数として予め与えられている場合には、光量計７により測定されるエキシマランプ６を点灯してからの積算光量をもとに制御部１３より強度変調マスク駆動部１２へ信号を送り、速度ｖを制御する（ステップｓｔ２９）。制御部３，１３は、エキシマランプ６を点灯させた後の積算光量が予め設定された照射光量（積算光量）に達したならば、ステップｓｔ３１に進み、処理Ｂを完了する。
【００９６】
なお、予め設定する照射光量（積算光量）は、所望の屈折率変化を得るのに必要な光量を、予め実験により見積もっておく。
【００９７】
図１６は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第９の実施の形態の要部を示す側面図である。
【００９８】
この実施の形態における製造装置は、図１６に示すように、前記図３により示した製造装置に対し、制御部３，１３を設けたものである。
【００９９】
図３に示したような移動操作される部材が存在する構成においては、制御部３は、図１２に示すように、ステップｓｔ１５で処理を開始すると、ステップｓｔ１６において強度変調マスクを原点位置とし、ステップｓｔ１７においてエキシマランプを点灯させ、ステップｓｔ１８に進んで強度変調マスクの移動操作が完了しエキシマランプを消灯させるか否かを判別する処理Ｂを行う。そして、処理Ｂが完了したならば、ステップｓｔ２０に進み、エキシマランプを消灯させ、ステップｓｔ２１に進んで処理を終了する。
【０１００】
この実施の形態において、制御部３，１３は、図１６に示すように、光ファイバグレーティング８により光導波路１０１の屈折率変化の情報を取得し、この屈折率変化の情報及び予め設定されている屈折率変化に関する情報に基づいて、ランプ駆動部５を介して、エキシマランプ６の点灯及び消灯を制御するとともに、強度変調マスク駆動部１２を介して、強度変調マスク２の速度ｖを調整し、さらに強度変調マスク２を停止させる。光ファイバグレーティング８については、前述した第６の実施の形態におけるものと同様のものである。これら制御部３，１３は、コンピュータ装置１１に接続されており、光ファイバグレーティング８も、光ファイバ９及び中心波長測定部１０を介してコンピュータ装置１１に接続されている。
【０１０１】
図１７は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第９の実施の形態における制御部３，１３の動作を示すフローチャートである。
【０１０２】
すなわち、制御部３，１３は、図１７に示すように、ステップｓｔ３２で処理Ｂを開始すると、ステップｓｔ３３に進み、光ファイバグレーティング８により測定される中心波長ｗを測定しつつ、ステップｓｔ３４に進み、強度変調マスク２を所定速度ｖで移動させる。そして、ステップｓｔ３５に進み、光導波路１０１の屈折率変化が予め設定された屈折率変化量に達したか否かを判定する。その際に、強度変調マスク２の速度ｖが、時間の関数として予め与えられている場合には、光ファイバグレーティング８により測定される中心波長ｗをもとに制御部１３より強度変調マスク駆動部１２へ信号を送り、速度ｖを制御する（ステップｓｔ３４）。制御部３，１３は、光導波路１０１の屈折率変化が予め設定された屈折率変化量に達したならば、ステップｓｔ３６に進み、処理Ｂを完了する。
【０１０３】
図１８は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第１０の実施の形態の要部を示す側面図である。
【０１０４】
この実施の形態における製造装置は、図１８に示すように、前記図３により示した製造装置に対し、制御部３，１３を設けたものである。
【０１０５】
図３に示したような移動操作される部材が存在する構成においては、制御部３は、図１２に示すように、ステップｓｔ１５で処理を開始すると、ステップｓｔ１６において強度変調マスクを原点位置とし、ステップｓｔ１７においてエキシマランプを点灯させ、ステップｓｔ１８に進んで強度変調マスクの移動操作が完了しエキシマランプを消灯させるか否かを判別する処理Ｂを行う。そして、処理Ｂが完了したならば、ステップｓｔ２０に進み、エキシマランプを消灯させ、ステップｓｔ２１に進んで処理を終了する。
【０１０６】
図１９は、本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第１０の実施の形態における制御部３，１３の動作を示すフローチャートである。
【０１０７】
この実施の形態において、制御部３，１３は、図１８に示すように、強度変調マスク位置算定部１５により、強度変調マスク２の位置に関する情報を取得し、この強度変調マスク２の位置情報及び予め設定されている強度変調マスク２の位置に基づいて、ランプ駆動部５を介して、エキシマランプ６の点灯及び消灯を制御するとともに、強度変調マスク駆動部１２を介して、強度変調マスク２の速度ｖを調整し、さらに強度変調マスク２を停止させる。これら制御部３，１３は、コンピュータ装置１１に接続されており、強度変調マスク位置算定部１５もコンピュータ装置１１に接続されている。すなわち、制御部３，１３は、図１９に示すように、ステップｓｔ３７で処理Ｂを開始すると、ステップｓｔ３７に進み、強度変調マスク位置算定部１５による強度変調マスク２の位置に関する情報を取得しつつ、ステップｓｔ３９に進み、強度変調マスク２を所定速度ｖで移動させる。そして、ステップｓｔ４０に進み、強度変調マスク位置算定部１５により取得される強度変調マスク２の位置が予め設定されている強度変調マスク２の位置に達したか否かを判定する。その際に、強度変調マスク２の速度ｖが、時間の関数として予め与えられている場合には、強度変調マスク位置算定部１５により取得される強度変調マスク２の位置をもとに制御部１３より強度変調マスク駆動部１２へ信号を送り、速度ｖを制御する（ステップｓｔ３９）。制御部３，１３は、強度変調マスク２の位置が予め設定されている強度変調マスク２の位置に達したならば、ステップｓｔ４１に進み、処理Ｂを完了する。
【０１０８】
なお、予め設定する強度変調マスク２の位置は、所望の屈折率変化を得るのに対応する強度変調マスク２の位置を、予め実験により見積もっておく。
【０１０９】
（３）製造された光導波路型光部品
図２０は、本発明に係る光導波路型光部品の製造方法によって製造された光導波路型光部品の第１の例を示すグラフである。
【０１１０】
図２１は、本発明に係る光導波路型光部品の製造方法によって製造された光導波路型光部品の第２の例を示すグラフである。
【０１１１】
前述のような本発明に係る光導波路型光部品の製造方法によって製造された光導波路型光部品の例を図２０及び図２１に示す。
【０１１２】
図２０に示す光導波路型光部品は、光導波路コア部分において光感受性を有する光導波路に紫外光を照射し、光導波路コア部分の屈折率を長手方向に変化させたものである。（ａ）は、屈折率が光導波路の長手方向に変化している様子を示し、（ｂ）は、紫外光照射前の屈折率分布を、（ｃ）は、紫外光照射後の屈折率上昇端での屈折率分布を示している。また、（ｄ）は、（ｂ）に対応するモードフィールドを、（ｅ）は、（ｃ）に対応するモードフィールドを示している。
【０１１３】
光導波路コア部分に光感受性をもつ光導波路に紫外光を照射することにより、光導波路コア部分の屈折率が上昇し、その結果、光導波路中のモードフィールドが細くなっていることがわかる。
【０１１４】
一方、図２１に示す光導波路型光部品は、光導波路の光導波路コアの周囲のクラッド部分において光感受性を有する光導波路に紫外光を照射し、クラッド部分の屈折率を光導波路の長手方向に変化させたものである。ここでは、光導波路コアには光感受性が無い場合を想定している。図２０と同様に、（ａ）は、屈折率が光導波路の長手方向に変化している様子を示し、（ｂ）は、紫外光照射前の屈折率分布を、（ｃ）は、紫外光照射後の屈折率上昇端での屈折率分布を示している。また、（ｄ）は、（ｂ）に対応するモードフィールドを、（ｅ）は、（ｃ）に対応するモードフィールドを示している。
【０１１５】
光導波路コアに光感受性があった場合とは逆に、クラッドにおいて光感受性を有する場合には、紫外光を照射し屈折率が上昇するにしたがい、モードフィールドが太くなっていることがわかる。
【０１１６】
図２０及び図２１に示した光導波路型光学部品では、クラッド、または、光導波路コアに光感受性が全くない場合を想定しているが、光導波路コア及びクラッドにおいて光感受性に差があれば、同様の効果が得られる。
【０１１７】
以上の結果より、光導波路コアとクラッドの光感受性が異なる光導波路に紫外光を照射し屈折率を変化させることにより、モードフィールド変換器として使用できる光導波路型光学部品が製造できることが確認された。また、クラッドの光感受性が光導波路コアより大きい光導波路では、紫外光を照射し屈折率変化させたときのモードフィールドの変化が大きいため、モードフィールド変換器としてより望ましい特性を有している。
【０１１８】
〔実験例１〕
この実験例１においては、光導波路として、約８．５ｗｔ％のゲルマニュウムが添加され、光導波路コア直径が約４μｍ、光導波路コアとクラッドの比屈折率差が０．８５％である光ファイバを用いた。
【０１１９】
この実験例１は、光導波路コアのみに光感受性がある場合に相当する。この光ファイバを５５°Ｃ、１００気圧の水素雰囲気中に１週間放置し、光ファイバ光導波路コアまで水素を拡散させた後、エキシマランプを照射した。照射したエキシマランプは、発光波長が１７２ｎｍのものを用いた。エキシマランプの照射は、前記図３に示した方法により、２０ｍｍに亘って屈折率が連続的に変化するように調整した。なお、エキシマランプの最長照射位置での露光時間は、２時間となるようにした。
【０１２０】
その後、光ファイバ中から完全に水素が抜けるまで放置し、エキシマランプを２時間照射した部分と照射していない部分の屈折率分布及びモードフィールドを測定した。
【０１２１】
図２２は、実験例１において屈折率変化を測定した結果を示すグラフである。
【０１２２】
図２３は、実験例１において波長１５５０ｎｍでのモードフィールドを測定した結果を示すグラフである。
【０１２３】
なお、図２２に示す屈折率は、クラッド部の屈折率を基準とした屈折率で示してある。
【０１２４】
これら図２２及び図２３に示す結果より、エキシマランプを照射することにより、２０ｍｍに亘る連続的屈折率変化部の両端で、光導波路コア部の屈折率が０．００５程度変化し、モードフィールドも変化していることが確認できた。
【０１２５】
〔実験例２〕
この実験例２においては、光導波路として、光導波路コアに約３．０ｗｔ％のアルミニュウムが添加されており、光導波路コア近傍の半径１８μｍのクラッドには、約５ｗｔ％のゲルマニュウムとそのゲルマニュウムによる屈折率上昇を打ち消すだけのフッ素を添加した光ファイバを用いた。
【０１２６】
光導波路コア直径は約５μｍであり、光導波路コアとクラッドの比屈折率差は０．５５％であった。アルミニュウム添加領域は、ゲルマニュウム添加領域に比ベて光感受性が小さいため、この実験例２は、クラッドの光感受性が光導波路コアよりも大きい場合に相当する。この光ファイバを５５°Ｃ、１００気圧の水素雰囲気中に１週間放置し、光ファイバ光導波路コアまで水素を拡散させた後、エキシマランプを照射した。照射したエキシマランプは、発光波長が１７２ｎｍのものを用いた。エキシマランプの照射は、前記図３に示した方法で２０ｍｍに亘って屈折率変化が連続的に変化するように調整した。なお、エキシマランプの最長照射位置での露光時間は、２時間となるようにした。
【０１２７】
その後、光ファイバ中から完全に水素が抜けるまで放置し、エキシマランプを２時間照射した部分と照射していない部分の屈折率分布およびモードフィールドを測定した。
【０１２８】
図２４は、実験例２において屈折率変化を測定した結果を示すグラフである。
【０１２９】
図２５は、実験例２において波長１５５０ｎｍでのモードフィールドを測定した結果を示すグラフである。
【０１３０】
なお、図２４の屈折率は、クラッド部の屈折率を基準とした屈折率で示してある。
【０１３１】
これら図２４及び図２５に示す結果より、エキシマランプを照射することにより、２０ｍｍに亘る連続的屈折率変化部の両端で、光導波路コア部の屈折率が０．００３程度変化し、モードフィールドも変化していることが確認できた。
【０１３２】
【発明の効果】
請求項１記載の本発明によれば、光導波路コアとクラッドとで光感受性が異なる石英系光導波路に水素又は重水素を拡散させ、この石英系光導波路に紫外光領域で単色発光する非干渉性光源、例えば、エキシマランプからの光を照射して該石英系光導波路の屈折率を連続的に変化させることができるので、光導波路に損傷を与えることなく、モードフィールド変換器として使用できる光導波路型光学部品を大量に、かつ、安価に作製することが可能となる。
【０１３３】
請求項２記載の本発明によれば、非干渉性光源としてエキシマランプを使用するので、光源の入手が容易であり、かつ、安価である。
【０１３４】
請求項３記載の本発明によれば、非干渉性光源からの光の波長が１５０ｎｍ乃至２８０ｎｍの範囲にあるので、光導波路の屈折率変化を効率よく生じさせることができる。
【０１３５】
請求項４記載の本発明によれば、非干渉性光源からの光の波長が１７２ｎｍであるので、特に入手の容易なエキシマランプを光源として使用することができる。
【０１３６】
請求項５記載の本発明によれば、非干渉性光源からの光の波長が２２２ｎｍであるので、特に入手の容易なエキシマランプを光源として使用することができる。
【０１３７】
請求項６記載の本発明によれば、光導波路コアの光感受性がクラッドの光感受性よりも小さい石英系光導波路を用いるので、モードフィールドを拡げる作用を有するモードフィールド変換器として使用できる光導波路型光学部品を作製することができる。
【０１３８】
請求項７記載の本発明によれば、制御部が非干渉性光源の点灯及び消灯を制御するので、安定した特性の光導波路型光学部品を大量に、かつ、安価に作製することが可能である。
【０１３９】
請求項８記載の本発明によれば、判別手段として、非干渉性光源による単色光の照射時間をカウントするタイマを使用するので、装置構成が簡単でありながら、安定した特性の光導波路型光学部品を大量に、かつ、安価に作製することが可能である。
【０１４０】
請求項９記載の本発明によれば、判別手段として、非干渉性光源による単色光の照射量を測定する光量計を使用するので、装置構成が簡単でありながら、安定した特性の光導波路型光学部品を大量に、かつ、安価に作製することが可能である。
【０１４１】
請求項１０記載の本発明によれば、判別手段として、中心波長を測定する光ファイバグレーティングを使用するので、特性を高精度に制御された光導波路型光学部品を大量に、かつ、安価に作製することが可能である。
【０１４２】
請求項１１記載の本発明によれば、石英系光導波路と非干渉性光源との間において石英系光導波路における光の伝搬方向に沿う方向に移動操作可能となされた強度変調マスクを備えているので、光導波路上の場所による単色光の照射量の制御を容易、かつ、高精度に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第１の実施の形態の要部を示す側面図である。
【図２】本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第２の実施の形態の要部を示す側面図である。
【図３】本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第３の実施の形態の要部を示す側面図である。
【図４】本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第４の実施の形態の要部を示す側面図である。
【図５】前記光導波路型光部品の製造装置であって移動操作される部材が存在しない構成における制御部の動作を示すメインフローチャートである。
【図６】前記光導波路型光部品の製造装置の第４の実施の形態における制御部の動作を示すフローチャートである。
【図７】本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第５の実施の形態の要部を示す側面図である。
【図８】前記光導波路型光部品の製造装置の第５の実施の形態における制御部の動作を示すフローチャートである。
【図９】本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第６の実施の形態の要部を示す側面図である。
【図１０】前記光導波路型光部品の製造装置の第６の実施の形態における制御部の動作を示すフローチャートである。
【図１１】本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第７の実施の形態の要部を示す側面図である。
【図１２】前記光導波路型光部品の製造装置であって移動操作される部材が存在する構成における制御部の動作を示すメインフローチャートである。
【図１３】前記光導波路型光部品の製造装置の第７の実施の形態における制御部の動作を示すフローチャートである。
【図１４】本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第８の実施の形態の要部を示す側面図である。
【図１５】前記光導波路型光部品の製造装置の第８の実施の形態における制御部の動作を示すフローチャートである。
【図１６】本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第９の実施の形態の要部を示す側面図である。
【図１７】前記光導波路型光部品の製造装置の第９の実施の形態における制御部の動作を示すフローチャートである。
【図１８】本発明に係る光導波路型光部品の製造装置の第１０の実施の形態の要部を示す側面図である。
【図１９】前記光導波路型光部品の製造装置の第１０の実施の形態における制御部の動作を示すフローチャートである。
【図２０】本発明に係る光導波路型光部品の製造方法によって製造された光導波路型光部品の第１の例を示すグラフである。
【図２１】本発明に係る光導波路型光部品の製造方法によって製造された光導波路型光部品の第２の例を示すグラフである。
【図２２】実験例１において屈折率変化を測定した結果を示すグラフである。
【図２３】実験例１において波長１５５０ｎｍでのモードフィールドを測定した結果を示すグラフである。
【図２４】実験例２において屈折率変化を測定した結果を示すグラフである。
【図２５】実験例２において波長１５５０ｎｍでのモードフィールドを測定した結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１  エキシマランプからの光
２  強度変調マスク
３  制御部
４  タイマ
７  光量計
８  光ファイバグレーティング
１１  コンピュータ装置
１０１  光導波路
【図１】
2005031359.tif 000004
【図２】
2005031359.tif 000005
【図３】
2005031359.tif 000006
【図４】
2005031359.tif 000007
【図５】
2005031359.tif 000008
【図６】
2005031359.tif 000009
【図７】
2005031359.tif 000010
【図８】
2005031359.tif 000011
【図９】
2005031359.tif 000012
【図１０】
2005031359.tif 000013
【図１１】
2005031359.tif 000014
【図１２】
2005031359.tif 000015
【図１３】
2005031359.tif 000016
【図１４】
2005031359.tif 000017
【図１５】
2005031359.tif 000018
【図１６】
2005031359.tif 000019
【図１７】
2005031359.tif 000020
【図１８】
2005031359.tif 000021
【図１９】
2005031359.tif 000022
【図２０】
2005031359.tif 000023
【図２１】
2005031359.tif 000024
【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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