(57)【要約】【課題】  ダイアフラム弁体を弁座へ当接させる荷重を小さくし、かつウォーターハンマーを防ぐダイアフラム弁を提供すること。【解決手段】    ボディ１０上面の開口部分にダイアフラム弁体２０によって気密な空間が形成され、そのダイアフラム弁体が付勢部材３３の付勢力によって弁座１３に押し付けられて閉弁する一方、アクチュエータ３１によってダイアフラム弁体が弁座から離間して開弁するものであって、ダイアフラム弁体２０は、弁座１３に当接する弁体部２１と、弁体部２１から外側に広がった膜部２２と、膜部周縁に形成された固定部２３とを有し、弁体部２１に形成された膜部２２の付け根２５の位置が弁座１３の径の内側にあり、湾曲し広がった膜部２２周縁の固定部２３が閉弁時にその付け根よりも高い位置で固定されたダイアフラム弁１。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボディに形成された第１流路と第２流路とが開口したボディ上面の開口部分にダイアフラム弁体によって気密な空間が形成され、そのダイアフラム弁体が付勢部材の付勢力によって弁座に押し付けられて閉弁する一方、アクチュエータによってダイアフラム弁体が弁座から離間することによって開弁するようにしたダイアフラム弁において、
前記ダイアフラム弁体は、弁座に当接する弁体部と、弁体部から外側に広がった膜部と、膜部周縁に形成された固定部とを有し、弁体部に形成された膜部の付け根の位置が前記弁座の径よりも内側にあって、湾曲して広がった膜部周縁の固定部が閉弁時にはその付け根よりも高い位置で固定されたものであることを特徴とするダイアフラム弁。
【請求項２】
請求項１に記載のダイアフラム弁において、
前記ダイアフラム弁体は、薄肉の膜部と厚肉の固定部とが上面を面一にして形成され、その固定部の上下を挟み込んで固定する上下の固定面のうち、上の固定面は膜部にまで形成されたものであることを特徴とするダイアフラム弁。
【請求項３】
請求項２に記載のダイアフラム弁において、
前記ダイアフラム弁体が弁座から離間する場合に前記膜部が添って当たるように、当該膜部の上方に前記上の固定面から連続した傾斜を有するガイド面が形成されたものであることを特徴とするダイアフラム弁。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載するダイアフラム弁のいずれか１つにおいて、
流体の受圧面積が前記膜部と前記弁体部とで等しいか、もしくは前記膜部よりも前記弁体部のほうが大きいことを特徴とするダイアフラム弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置の薬液などを制御するためのダイアフラム弁であって、特に閉弁状態を維持するための荷重を小さくし、かつウォーターハンマーの発生を防ぐダイアフラム弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置の薬液を制御するための薬液弁には、従来例えば、図４に示すようなダイアフラム弁が使用されている。このダイアフラム弁１００は、ボディ１１０に第１流路１１１及び第２流路１１２が形成され、左右にポートを有してボディ上方にその流路が開口している。第２流路１１２は弁座１１３内側の弁孔１１４に連通し、第１流路１１１は反対に弁座１１３の外側に連通している。こうして第１流路１１１及び第２流路１１２の一端が開口したボディ１１０の上面には、ダイアフラム弁体１１５が取り付けられている。ダイアフラム弁体１１５は周縁部分が挟み込まれ、第１流路１１１と第２流路１１２との開口部分に気密な空間を形成している。
【０００３】
ダイアフラム弁体１１５は、弁座１１３に当接・離間する弁体部１１７と、その側面部分から張り出した膜部１１８とから構成され、膜部１１８の周縁に形成された環状の固定部１１９によって、ボディ１１０とシリンダ１２０とで挟み込まれている。そして、シリンダ１２０内には、上下方向に摺動可能なピストンロッド１２１が挿入され、その下端部にはダイアフラム弁体１１５の弁体部１１７が固定されている。シリンダ１２０の上部にはカバー１２２が取り付けられ、そのカバー１２２内に装填されたスプリング１２３によってピストンロッド１２１が下方に付勢されている。そして、シリンダ１２０には、ピストンロッド１２１をスプリング１２３の付勢力に抗して加圧するためのエアを供給する操作ポート１２５が形成されている。
【０００４】
そこで、このダイアフラム弁１００では、通常、スプリング１２３によってピストンロッド１２１が下方に付勢され、それによってダイアフラム弁体１１５の弁体部１１７が弁座１１３に押し付けられて閉弁している。
一方、ボディ１１０の操作ポート１２５から圧縮エアが供給されると、下方から加圧されたピストンロッド１２１がスプリング１２３の付勢力に抗して上昇する。そのため、下端の弁体部１１７も上昇して弁座１１３から離間して第１流路１１１と第２流路１１２とを連通した開弁状態になる。
そして、操作ポート１２５から供給した圧縮エアを排出すれば、スプリング１２３に付勢されたピストンロッド１２１が下降し、再び図示するような閉弁状態に戻る。
【特許文献１】特開２００３−２４７６５０号公報（第２−３頁、図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のダイアフラム弁１００は、前述したように、スプリング１２３の付勢力だけで弁体部１１７を弁座１１３に押し付けて閉弁状態を維持しているが、この閉弁状態を維持させるスプリング１２３の荷重が大きくなってしまっていた。そのため、弁座１１３を構成するボディ１１０やダイアフラム弁体１１５はフッ素樹脂によって形成されているが、これが過大な荷重によって押し付けられるため、当接部分に変形が生じて寿命を短くしてしまっていた。つまり、弁座１１３とダイアフラム弁体１１５の当接部分、すなわちシール部分に変形が生じると、気密な状態で接触できなくなって流体の漏れが生じることになる。そこで、ダイアフラム弁１００では、スプリング１２３の付勢力を抑えて、ダイアフラム弁体１２５を弁座１１３へ当接させるための荷重を小さくすることが要求される。
【０００６】
また、一般的に流体制御弁において問題となるウォーターハンマーの発生という視点から従来のダイアフラム弁１００を検討する。
まず、ウォーターハンマーについて説明する。
流体制御弁において、その急激なピストンストロークによる閉弁動作により出力側流路の流体はその慣性力により閉弁後においてもなおも流れ出そうとする。そのため、出力側流路の流体が負圧となり、流体が逆流してダイアフラム弁体を押し上げて振動させ衝撃音を発生させる。この現象をウォーターハンマーという。そして、このウォーターハンマーは配管等を振動させて、結果的にパイロット弁自体または弁周辺の配管部材の破損等を引き起こすおそれがある。
【０００７】
そこで、従来のダイアフラム弁１００において検討する。
第２流路１１２側から流体を供給すると、図８に示すように流体はダイアフラム弁体１１５に当たって第１流路１１１側へ流れるので、ピストンロッド１２１がスプリング１２３の付勢力により下降する際には、弁体部１１７および膜部１１８は第２流路１１２側から供給された流体の圧力を受ける。ピストンロッド１２１が下降するに従い、図９に示すようにダイアフラム弁体１１５と弁座１１３の間隔が狭まるので、第２流路１１２側から供給された流体は弁体部１１７に当たりやすくなるのに対して膜部１１８に当たり難くなる。そのため、弁体部１１７が受ける流体圧は増加するのに対して膜部１１８が受ける流体圧は減少する。ここで、相対的に弁体部１１７よりも膜部１１８の受圧面積のほうが大きいため、膜部１１８が受ける流体圧が減少するとダイアフラム弁体１１５全体として受ける力が大幅に減少し、ダイアフラム弁体１１５と一体のピストンロッド１２１はスプリング１２３の付勢力により急激に下降する傾向にある。そして、この傾向は閉弁位置に近づくにつれて増幅し、図１０に示すようにダイアフラム弁体１１５は急激に弁座１１３に当接し閉弁状態となるが、第１流路１１１側の流体はその慣性力により閉弁後においてもなおも流れ出そうとする。
【０００８】
従って、第１流路１１１側の流体が負圧となり、第１流路１１１側の流体が逆流してダイアフラム弁体１１５を持ち上げ、ウォーターハンマーが発生する。そして、このウォーターハンマーは配管等を振動させて、結果的にダイアフラム弁１００自体または弁周辺の配管部材の破損等を引き起こすおそれがある。
仮にエア調整機構（不図示）を用いて操作ポート１２５から供給した圧縮エアを排出する量を絞ったとしても、加圧室１３４のエアの圧力変化よりも流体圧の変化ほうが、ダイアフラム弁の閉弁動作に与える影響が大きい。そのため、ダイアフラム弁体１１５は急激に弁座１１３に当接し閉弁状態となってしまう。
【０００９】
そこで本発明は、係る課題を解決すべく、ダイアフラム弁体を弁座へ当接させる荷重を小さくし、かつウォーターハンマーの発生を防ぐダイアフラム弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のダイアフラム弁は、ボディに形成された入力側流路と出力側流路とが開口したボディ上面の開口部分にダイアフラム弁体によって気密な空間が形成され、そのダイアフラム弁体が付勢部材の付勢力によって弁座に押し付けられて閉弁する一方、アクチュエータによってダイアフラム弁体が弁座から離間することによって開弁するようにしたものであって、前記ダイアフラム弁体は、弁座に当接する弁体部と、弁体部から外側に広がった膜部と、膜部周縁に形成された固定部とを有し、弁体部に形成された膜部の付け根の位置が前記弁座の径よりも内側にあって、湾曲して広がった膜部周縁の固定部が閉弁時にはその付け根よりも高い位置で固定されたものであることを特徴とする。
【００１１】
そして、本発明のダイアフラム弁は、前記ダイアフラム弁体が、薄肉の膜部と厚肉の固定部とが上面を面一にして形成され、その固定部の上下を挟み込んで固定する上下の固定面のうち、上の固定面は膜部にまで形成されたものであることが望ましい。
また、本発明のダイアフラム弁は、前記ダイアフラム弁体が弁座から離間する場合に前記膜部が添って当たるように、当該膜部の上方に前記上の固定面から連続した傾斜を有するガイド面が形成されたものであることが望ましい。
更に、本発明のダイアフラム弁は、流体の受圧面積が前記膜部と前記弁体部とで等しいか、もしくは前記膜部よりも前記弁体部のほうが大きいことが望ましい。
【００１２】
こうした構成からなる本発明のダイアフラム弁は、通常、付勢部材の付勢力によってダイアフラム弁体が弁座に押し付けられて弁が閉じている。そのため、入力側流路から流入した流体の流れは遮断され、二次側の出力側流路にも流れは生じない。このとき入力側流路からの流体圧力や出力側流路内の流体による背圧が、ダイアフラム弁体を開弁させようとする上方に向けてかかっており、それを押さえ付けるようにして付勢部材の付勢力が下向きに作用している。そこで、付勢部材の付勢力に抗してアクチュエータがダイアフラム弁体を押し上げられると、ダイアフラム弁体が弁座から離間して弁が開き、入力側流路から出力側流路へと流体が流れる。
開弁時のダイアフラム弁体は、弁体部が上昇して弁座から離間し、その弁体部の上昇に伴って膜部も撓む。その際、ダイアフラム弁体は、固定部から膜部にかけて上の固定面によって支えられ、また、その膜部がガイド面に添うようにして当たる。
【発明の効果】
【００１３】
よって、本発明は、ダイアフラム弁体が、弁座に当接する弁体部と、弁体部から外側に広がった膜部と、膜部周縁に形成された固定部とを有し、弁体部に対する膜部の付け根が弁座の径よりも内側にあって、湾曲して広がった膜部周縁の固定部がその付け根よりも高い位置で固定した構成としたので、先ず、弁体部から固定部までの距離が短くなって流体圧力が作用するダイアフラム弁体全体の外径寸法を小さくすることができた。そのため、ダイアフラム弁体に対してこれを持ち上げる方向に作用する流体の受圧面積を小さくすることができ、閉弁のためにダイアフラム弁体を弁座に当接させる付勢部材による荷重を小さくすることができた。また、閉弁状態に戻る際に閉弁直前時においてもピストンロッドはゆっくりと下降するので、ウォーターハンマーの発生を防止することができた。
【００１４】
そして、本発明では、弁体部に対する膜部の付け根が弁座の径よりも内側にし、ダイアフラム弁体の受圧面積を小さくして前記効果を奏する一方、湾曲して広がった膜部周縁の固定部が弁体部との付け根よりも高い位置で固定されているので、弁を開閉させる際、弁体部のストロークに対して膜部が無理なく変形することができる。
また、本発明では、ダイアフラム弁体は、断面積の大きく変化する固定部から膜部への変化部分が上の固定面によって支えられているため、弁の開閉に伴って膜部が変形する際、当該部分の変形を抑えてそこにかかる応力集中を小さくしている。更に、膜部はガイド面に添うようにして当たって支えられるため、これによっても膜部が変形する際、固定部から膜部への変化部分の変形を抑えてそこにかかる応力集中を小さくしている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本発明に係るダイアフラム弁の一実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。図１及び図２は、本実施形態のダイアフラム弁を示した断面図であり、図１に閉弁時の状態を示し、図２には開弁時の状態を示している。そして、この図１及び図２に示したダイアフラム弁１は、薬液を制御するために半導体製造装置に組み込まれた薬液弁である。
【００１６】
ダイアフラム弁１は、ボディ１０に第１流路１１及び第２流路１２が形成され、左右にポート１１ａとポート１２ａが設けられている。そして、ボディ１０の上面中央には弁座１３が形成され、弁座１３内の弁孔１４には第２流路１２が接続され、弁座１３の周りに形成された環状の溝部１５には第１流路１１が接続されている。こうして第１流路１１と第２流路１２とは、共にボディ１０の上面開口部に連通し、その開口部はダイアフラム弁体２０によって塞がれている。特に、ダイアフラム弁体２０は周縁部分が固定され、これにより第１流路１１から第２流路１２を接続する気密な空間が形成されている。
【００１７】
ダイアフラム弁体２０は、弁座１３に対して当接・離間する弁体部２１と、そこから外側に張り出した膜部２２と、膜部２２の周縁に形成された環状の固定部２３とを有して形成されたものである。そして、図１に示す閉弁時の形状がほぼ通常状態で、その固定部２３がボディ１０とシリンダ３０とによって挟み込まれ、膜部２２が図示するように湾曲し、弁体部２１が弁座１３に当接している。このダイアフラム弁体２０は、ボディ１０と同様にフッ素樹脂によって形成されたものであり、当接・離間する弁体部２１と弁座１３が同じフッ素樹脂である。
シリンダ３０内にはピストンロッド３１が摺動可能に挿入され、その下端がダイアフラム弁体２０の弁体部２１に差し込まれて一体になっている。つまり、このダイアフラム弁１は、ピストンロッド３１の上下動によってダイアフラム弁体２０の弁体部２１が弁座１３に対して当接・離間するように構成されている。
【００１８】
シリンダ３０の上部開口にはカバー３２が取り付けられ、このカバー３２によってシリンダ３０内にできた閉空間にスプリング３３が装填され、ピストンロッド３１のピストン部３１ａがこのスプリング３３によって上方から付勢されるようになっている。従って、このダイアフラム弁１は、ピストンロッド３１にスプリング３３の付勢力が常に下方に作用し、図１に示すように弁体部２１が弁座１３に対して当接するように構成されたノーマルクローズタイプの弁である。一方、ピストンロッド３１のピストン部３１ａ下方には加圧室３４が形成され、その加圧室３４内に圧縮エアを供給する操作ポート３５がシリンダ３０に形成されている。また、シリンダ３０には、スプリング３３が装填されたピストン部３１ａ上方の空間に連通する呼吸ポート３６が形成されている。
【００１９】
このような構成のダイアフラム弁１は、弁体部２１、膜部２２および固定部２３から構成されたダイアフラム弁体２０に特徴を有する。ここで、図３は、ダイアフラム弁体２０の一部周辺を拡大して示した断面図である。
先ず、弁体部２１から径方向に広がるように張り出した膜部２２は、その弁体部２１側の付け根２５がダイアフラム弁体２０の中心線（ピストンロッド３１の軸芯）Ｌに近いところに位置するよう形成されている。すなわち、中心線Ｌから付け根２５までの距離ａが、その中心線Ｌから弁座１３までの距離ｂより短くなるように形成され、付け根２５の位置が弁座１３の位置よりも中心線Ｌ側にくるように設定されている。この点を図４に示した従来例と比較すると、従来のダイアフラム弁体１１５は、固定部１１９の固定位置に最も近い弁体部１１７の側面に膜部１１８の付け根があったが、本実施形態では固定部２３からより遠い位置に付け根２５の位置が設けられている。
【００２０】
膜部２２は、その付け根２５部分が弁体部２１の傾斜部分において起立し、そこから上向きに広がり、途中で横向きになるように湾曲した断面形状で形成されている。従って、膜部２２外周の固定部２３は、図１に示すような閉弁時には付け根２５よりも高い位置にあって、ボディ１０とシリンダ３０とに挟み込まれている。この点を本実施形態のダイアフラム弁体２０と従来のダイアフラム弁体１１５とを比較すると、膜部２２，１１８だけの寸法を見た場合、両者はそれほど異なるものではないが、湾曲している分、本実施形態の固定部２３の径のほうが従来例の固定部１１９の径よりも小さくなっている。従って、固定部２３をまでの距離は膜部２２が撓んでいる分短くなり、ボディ１０においては第１流路１１が開口している溝部１５外周までの距離ｃが従来例のものよりも短く形成されている。
【００２１】
続いて本実施形態では、ダイアフラム弁体２０の固定部分などにも特徴を有している。ダイアフラム弁体２０は、固定部２３がボディ１０とシリンダ３０とに挟み込まれているが、下側のボディ１０は、固定部２３の肉厚部分までしか固定面１７が当てられていないが、上側のシリンダ３０は、膜部２２部分にまで固定面３７が延びて当てられている。すなわち、断面積が大きく変化する固定部２３と膜部２２との変化部分を、その膜部２２が変形する方向で支えるようにしている。更に、シリンダ３０には固定面３７から内側に上方に凹んだガイド３８が形成されている。ガイド３８には、固定面３７から緩やかなテーパが形成され、図２に示したようにダイアフラム弁１が開いた時に膜部２２が変形する方向で支えられるようになっている。
【００２２】
次に、こうした構成のダイアフラム弁１について、その作用を説明する。ダイアフラム弁１は、通常、ピストンロッド３１がスプリング３３によって下方に付勢され、そのピストンロッド３１下端に固定されたダイアフラム弁体２０の弁体部２１が、図１に示すように弁座１３に対して押し付けられている。こうした閉弁状態のダイアフラム弁１はダイアフラム弁体２０によって遮断され、第１流路１１に流入した流体が第２流路１２へ、または第２流路１２に流入した流体が第１流路１１へ流れることはない。
【００２３】
そこで、ボディ１０の操作ポート３５から圧縮エアが供給されると、ピストン部３１ａが下方から加圧され、スプリング３３の付勢力に抗してピストンロッド３１が上昇する。そのため、ピストンロッド３１と一体の弁体部２１も上昇して図２に示すように弁座１３から離間し、第１流路１１と第２流路１２とが連通した開弁状態となる。流体を第１流路１１から供給すれば溝部１５、弁孔１４を経由して第２流路１２へと流れ、流体を第２流路１２から供給すれば弁孔１４、溝部１５を経由して第１流路１１へと流れる。
そして、操作ポート３５から加圧室３４に供給された圧縮エアを排出すれば、スプリング３３に付勢されたピストンロッド３１が下降し、再び図１に示すような閉弁状態に戻って流体の流れが遮断される。
【００２４】
図１に示すダイアフラム弁１の閉弁時、流体を第１流路１１から供給するとダイアフラム弁体２０の膜部２２に開弁方向に流体圧がかかる。また、二次側の第２流路１２内も流れの止められた流体が充填し、ダイアフラム弁体２０の弁体部２１に対して開弁方向に背圧がかかっている。
しかし、本実施形態のダイアフラム弁１では、膜部２２の付け根２５が中心線Ｌからａの距離にあって、距離ｂの弁座１３よりも中心線側にある。そのため、膜部２２は、弁の開閉に必要なストローク分の径方向寸法を得ながら溝部１５外周までの距離ｃを短くすることができた。その結果、溝部１５に充填され、閉弁時にダイアフラム弁体２０を開弁方向に押し上げようとする膜部２２にかかる流体の受圧面積が小さくなって押し上げ力を低下させることができ、そのため閉弁させるためのスプリング３３の付勢力を小さくすることができた。
【００２５】
また、流体を第２流路１２から弁孔１４、溝部１５を経由して第１流路１１へと流す際には、図５に示すように弁体部２１および膜部２２は第２流路１２側から供給された流体の圧力を受ける。
そして、図２に示す開弁状態から図１に示す閉弁状態へ切り替えるときには、スプリング３３の付勢力によりピストンロッド３１が下降するに従い、ダイアフラム弁体２０と弁座１３の間隔が狭まるので、図６に示すように第２流路１２側から供給された流体は弁体部２１に当たりやすくなるのに対して膜部２２に当たり難くなる。そのため、弁体部２１が受ける流体圧は増加するのに対して膜部２２が受ける流体圧は減少する。
【００２６】
しかし、膜部２２と弁体部２１の受圧面積は等しいか、もしくは膜部２２よりも弁体部２１の受圧面積のほうが大きいため、膜部２２が受ける流体圧が減少してもダイアフラム弁体２０全体として受ける力が大幅には減少せず、流体圧変化よりも加圧室の圧力変化の方がバルブの閉弁動作に与える影響は相対的に大きくなる。そのため、供給ポートからエアを徐々に排出することによりダイアフラム弁体２０と一体のピストンロッド３１をスプリング３３の付勢力に対抗してゆっくり下降させることができる。そして、閉弁位置に近づいてもピストンロッド３１はスプリング３３の付勢力に対抗したままゆっくり下降し続けて、ダイアフラム弁体２０はゆっくりと弁座１３に当接して図７に示すような閉弁状態となる。従って、第１流路１１側の流体が負圧とならず、ウォーターハンマーは発生しない。
【００２７】
更に、本実施形態のダイアフラム弁１は、固定面３７が膜部２２にまで延長して当てられ、膜部２２の当該部分にかかる下方からの流体圧を支えている。そのため、ダイアフラム弁体２０自身の受圧面積は、膜部２２にまで延長された固定面３７の分だけ小さくなり、この点でも閉弁させるためのスプリング３３の付勢力を小さくすることができた。また、より確実に閉弁状態に戻る際にピストンロッド２１はゆっくりと下降することとなった。
従って、ダイアフラム弁体２０の弁体部２１を弁座１３に押し付ける荷重が小さくなり、共にフッ素樹脂からなる弁体部２１と弁座１３との変形を抑え、寿命を伸ばすことができるようになった。また、より確実にウォーターハンマーの発生を防ぐことができた。
【００２８】
また、ダイアフラム弁体２０は、付け根２５が上向きであり、閉弁時には固定部２３がその付け根２５よりも高い位置にあるため、上方に湾曲した膜部２２が開閉動作の際に下向きに撓んでしまうことはない。そして、膜部２２をこうした形状にしたことにより、弁の開閉に応じて変形して弁体２１のストロークに十分対応することができる。
更に、開弁時に膜部２２と固定部２３との変化部分がシリンダの固定面３７に支えられているので、断面積の大きく変化する当該部分に応力が集中することがなく、破損による寿命を伸ばすことができた。更に、膜部２２は緩やかなテーパの形成されたガイド３８に添って当たるため、同様に膜部２２と固定部２３との変化部分に大きな変形が生じさせないようにしたので、この点でも応力の集中を回避して寿命を伸ばすことが可能になった。
【００２９】
以上、本発明のダイアフラム弁の一実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、前記実施形態では、スプリング３３の付勢力に抗してダイアフラム弁体２０に開弁動作をさせるアクチュエータとしてエアシリンダを採用したが、この他にもソレノイドを利用するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係るダイアフラム弁の一実施形態を示した閉弁状態の断面図である。
【図２】本発明に係るダイアフラム弁の一実施形態を示した開弁状態の断面図である。
【図３】ダイアフラム弁体を示した拡大断面図である。
【図４】従来のダイアフラム弁を示した断面図である。
【図５】本発明に係るダイアフラム弁が開弁状態のときにダイアフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。
【図６】本発明に係るダイアフラム弁が開弁状態から閉弁状態へ移行するときにダイアフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。
【図７】本発明に係るダイアフラム弁が閉弁状態になったときにダイアフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。
【図８】従来のダイアフラム弁が開弁状態のときにダイアフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。
【図９】従来のダイアフラム弁が開弁状態から閉弁状態へ移行するときにダイアフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。
【図１０】従来のダイアフラム弁が閉弁状態になったときにダイアフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１    ダイアフラム弁
１０  ボディ
１３  弁座
２０  ダイアフラム弁体
２１  弁体部
２２  膜部
２３  固定部
３０  シリンダ
３１  ピストンロッド
３３  スプリング
３５  操作ポート
【図１】
2005155895.tif 000003
【図２】
2005155895.tif 000004
【図３】
2005155895.tif 000005
【図４】
2005155895.tif 000006
【図５】
2005155895.tif 000007
【図６】
2005155895.tif 000008
【図７】
2005155895.tif 000009
【図８】
2005155895.tif 000010
【図９】
2005155895.tif 000011
【図１０】
2005155895.tif 000012