(57)【要約】【課題】メインマストに偏荷重のかかるのを防止するようにしたスタッカークレーンにおける移載機の支持装置を提供すること。【解決手段】走行台車１上に樹立したメインマスト２に、カセットＫを載置、支持するようにした昇降台４を昇降可能に配設し、かつ昇降台４に移載用アーム６が突出するようにした移載機５を搭載するとともに、ストッカー９の棚への受け渡し時に、移載用アーム６の先端をストッカー９の棚側にて支持するようにする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行台車上に樹立したメインマストに、カセットを載置、支持するようにした昇降台を昇降可能に配設し、かつ該昇降台に移載用アームが突出するようにした移載機を搭載するとともに、ストッカー棚への受け渡し時に、移載用アーム先端をストッカー棚側にて支持するようにしたことを特徴とするスタッカークレーンにおける移載機の支持装置。
【請求項２】
移載用アーム先端のストッカー棚側での支持を、移載用アーム先端に突設した移動車輪を、ストッカー棚側に配設したガイドレールにて支持するようにしたことを特徴とする請求項１記載のスタッカークレーンにおける移載機の支持装置。
【請求項３】
移載用アーム先端に突設した移動車輪に、吸塵機能を持たせるようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載のスタッカークレーンにおける移載機の支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スタッカークレーンにおける移載機の支持装置に関し、特に、スタッカークレーンにおけるメインマストに配設された移載機にて大重量のカセット等を支持し、かつこれをストッカー側の棚への受け渡しして移載する場合、メインマストにかかる荷重の一部をストッカー側にて支持することでメインマストにかかる曲げモーメントを分散し、該メインマストにかかる偏荷重を小さくしてメインマストの曲がり、破損を防止するようにしたスタッカークレーンにおける移載機の支持装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶製造工場などにおいては、ガラス薄板等の薄い基板（以下、「基板」と称する。）の複数枚をカセット内に重積するようにして収納し、このカセット毎、加工工程に応じて配設した搬送ラインに沿ってスタッカークレーンを搬送し、各加工ステーションのスタッカー位置で、カセットを搬送ラインのスタッカークレーンにより移載し、それぞれ必要な加工を施したのち、再び次の加工ステーションのスタッカー位置へ搬送するようにして、メインマストに昇降可能に配設した移載機を用いてカセットの出し入れを行って移載している。
このカセットの搬送、受け渡しには、例えば、搬送台車の上部にメインマストを樹立したスタッカークレーンを用いて行う方法が提案されている。
【０００３】
ところで、従来によるスタッカークレーンは、下部位置に配設したレール等に沿って走行可能とした走行台車に、所要長、特に限定されるものではないが、例えば、８ｍ〜１０ｍ程度の長さを有するメインマストを樹立し、かつ該メインマストに昇降可能とした昇降台を備え、該昇降台には搬送ライン、加工ステーションのストッカー間のカセットの受け渡しを行うようにしている。特に近年、ストッカーが高くなるに応じて、このメインマストの高さも増す傾向にある。
また、このスタッカークレーンにおいては、収納する基板の大きさも大きくなり、かつ所要枚数の基板を重積したカセットの総重量は、５００Ｋｇ〜１０００Ｋｇにもなり、この重量大なるカセットを乗せた昇降台をメインマストの比較的上部の位置まで上昇させた状態で、ストッカーの高い位置にある棚への出し入れを行う際、特に移載機の移載アームを伸ばすようにこの荷重全体を該アームにて支持すると、メインマストに偏荷重がかかるものとなる。
【０００４】
このため、重量大なるカセットを高い位置で支持するようにしたスタッカークレーンにおいては、メインマストにかかる偏荷重にて座屈、損壊しないようにして、かつ安全に運用するために、必要以上に頑丈に制作しているので、スタッカークレーン全体の構成及び重量が大きくなるという問題があった。
また、スタッカークレーンが大きくなると、設備全体も大型化し、設備投資が嵩み、不経済であるとともに、これを駆動させる動力費も大になるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来のスタッカークレーンの有する問題点に鑑み、メインマストに案内されて昇降する移載機に備えた移載用アームの先端を、カセットのストッカー棚への移載時に、該アーム先端にかかる荷重をストッカー棚側にて支持するようにして移載用アームにかかる荷重を少なくし、メインマストに偏荷重のかかるのを防止するようにしたスタッカークレーンにおける移載機の支持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明のスタッカークレーンにおける移載機の支持装置は、走行台車上に樹立したメインマストに、カセットを載置、支持するようにした昇降台を昇降可能に配設し、かつ該昇降台に移載用アームを突出するようにした移載機を搭載するとともに、ストッカー棚への受け渡し時に、移載用アーム先端をストッカー棚側にて支持するようにしたことを特徴とする。
【０００７】
この場合において、移載用アーム先端のストッカー棚側での支持を、移載用アーム先端に突設した移動車輪を、ストッカー棚側に配設したガイドレールにて支持するようにすることができる。
【０００８】
また、この場合において、移載用アーム先端に突設した移動車輪に、吸塵機能を持たせるようにすることができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のスタッカークレーンにおける移載機の支持装置は、走行台車上に樹立したメインマストに、カセットを載置、支持するようにした昇降台を昇降可能に配設し、かつ該昇降台に移載用アームが突出する移載機を搭載するとともに、ストッカー棚への受け渡し時に、移載用アーム先端をストッカー棚側にて支持するようにしているから、カセット移載時におけるメインマストにかかる曲げモーメントを分散することができるので、メインマストを必要以上に頑丈にしなくても安全に移載作業が行えると共に、スタッカークレーンを小型化、簡易化することができる。
【００１０】
また、移載用アーム先端のストッカー棚側での支持を、移載用アーム先端に突設した移動車輪を、ストッカー棚側に配設したガイドレールにて支持するようにすることにより、該アームが伸張すると自動的にガイドレールにて支持されるようになるので、安全性が向上する。
【００１１】
また、移載用アーム先端に突設した移動車輪に、吸塵機能を持たせるようにすることにより、移載作業時に発生する微粉塵を吸引除去することができ、ストッカー内のクリーン度を保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明のスタッカークレーンにおける移載機の支持装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１〜図２に、本発明のスタッカークレーンにおける移載機の支持装置の第１実施例を示す。
このスタッカークレーンにおける移載機の支持装置は、液晶製造工場などの床面等に配設したガイドレールＧに沿って走行可能とした走行台車１の上部に、所要長、特に限定されるものではないが、例えば、８ｍ〜１０ｍ程度の長さを有するメインマスト２を、直接或いはピンヒンジ３を介して取り付け、このメインマスト２に昇降台４を昇降可能に取り付けるとともに、該昇降台４に出没する移載用アーム６を備えた移載機５を搭載し、かつ移載用アームの先端を、該アームの伸張時、ストッカー側の棚にて支持できるようにする。
【００１４】
この走行台車１は、その下部に複数の走行車輪Ｗとガイド車輪Ｗ１、Ｗ２を備える。これは、特に限定されるものではないが、例えば、図１、２に示すように、走行台車１の前後位置において、ガイドレールＧの頂面にて走行台車１の全荷重を支持するようにした複数の走行車輪Ｗを転動可能にして支持し、ガイド車輪Ｗ１、Ｗ２にてガイドレールＧの両側面を挟むようし、これにより、走行台車１が搬送行路となるように配設したガイドレールＧに沿って安全に、かつ高速で走行できるようにする。
なお、ガイドレールＧの頂面にて支持され、走行台車全体の荷重を走行可能に支持する走行車輪Ｗ、Ｗのうち、いずれか１つ或いはその複数を駆動装置としての電動モータＭにて回転駆動するようにして、走行台車１をガイドレールＧに沿って走行するようにする。
【００１５】
また、走行台車１の上部に取り付けるメインマスト２は、特に限定されるものではないが、例えば、図２に示すように、フレーム状のものとすることも、或いは１本柱の形状とすることもできる。これは移載するカセット全体の荷重などにより適宜設定するようにする。
なお、メインマスト２の下端と走行台車１の上端との間に配設するピンヒンジ３を介して走行台車１とメインマスト２とを接合し、これによりメインマスト２が走行台車１の走行する前後進方向に対して揺動可能に取り付けるようにする。
なお、走行台車１とメインマスト２とを、図１に示すように、ピンヒンジ３を介して連結する場合、この走行台車１の走行方向の前後位置に、揺動を吸収或いは停止させるためのスプリングダンパーＤとストッパーＳとを組にして取り付けるようにする。
【００１６】
また、この走行台車１の走行時、メインマスト２が安定するように、メインマスト２の上部にも補助ガイドレールＧ１を、走行台車の走行方向に沿ってガイドレールＧと上下に平行して配設し、この補助ガイドレールＧ１の両側から挟持するように、ガイド車輪Ｗ３、Ｗ４を配設し、必要に応じてこのいずれか１方或いは双方を補助駆動装置の電動モータｍにて駆動するようにする。
【００１７】
また、メインマスト２には、従来と同じように昇降台４を昇降可能にして配設するが、この昇降台４には移載機５を搭載し、この移載機５に出没及び／又は旋回可能としたフォーク形状等、カセットの移載を容易に行える形状とした移載用アーム６を備える。
この移載用アーム６を、移載機５に対して出没及び／又は旋回するようにすることにより、カセットＫを移載用アーム６から多段式としたストッカー９の棚９１、９２、９３、９ｎのいずれかへ、或いは反対にストッカーのいずれかの棚からこの移載用アーム６へと簡易に、確実に移載できるようにする。
【００１８】
この移載用アーム６は、特に限定されるものではないが、例えば、複数のアーム片６ａ、６ａをそれぞれ出没できるように互いに積み重ねてスライドするようにし、これにより縮小時にはコンパクトとなり、また反対に伸張時には必要な長さを得るようにするとともに、最先端となるアームの先端両側には、アーム及びアーム上に載置したカセットの荷重、少なくともアーム先端部分にかかる荷重を支持するための移動車輪７、７を突設する。
【００１９】
また、この移動車輪７には、図２（Ｃ）に示すように、吸塵機能を持たせる。これは特に限定されるものではないが、例えば、移動車輪７を覆うようにしてカバー７ｃを取り付けて、ストッカー９の多段式の棚の内側にそれぞれ取り付けたガイドレール８、８に沿って移動する際、移動車輪７、ガイドレール８間、その他で発生する微粉塵等がストッカー９内に飛散しないようにする。
なお、この微粉塵を筺形をした移載用アーム６内に吸引し、微粉塵を除去した後、再び空気のみを排出するようにすることもできる。これは、特に限定されるものではないが、例えば、移載用アーム６に吸引ファン６ｆと高性能フイルタ６ｈ（ＨＥＰＡ）とを取り付け、これにより吸引ファン６ｆを駆動することでカバー７ｃ内の空気を吸引し、高性能フイルタ６ｈにて濾過するようにする。
【００２０】
また、ストッカー９側には、この移動車輪７をスライド可能に支持するためのガイドレール８を取り付ける。このガイドレール８は、前記移動車輪７をスライド可能に支持するものであればその構造は限定されるものではない。
なお、このストッカー９は、複数の棚を多段式にして備えるとともに、走行する走行台車１の走行方向に沿って、かつ図２に示すように、その片側、或いは図３に示すように、両側に配置することができる。
【００２１】
次に、本発明の作用について説明する。
図２において、スタッカークレーンの走行台車１が電動モータＭの駆動により、ガイドレールＧに支持された走行車輪Ｗ及びその両側面を挟持したガイド車輪Ｗ１、Ｗ２により、また、上部の補助ガイドレールＧ１、ガイド車輪Ｗ３、Ｗ４にて支持されつつ、右側或いは左側のストッカー９に向かって安定して走行する。この走行台車１の走行にて、メインマスト２も安定追従して走行移動する。
そして、所定のストッカー位置に到達すると、走行台車１はあらかじめ定められた定位置で停止する。この場合、メインマスト２の昇降台４に備えられた移載機５の移載用アーム６上には所定のカセットＫが載置されており、走行台車１の走行移動にて搬送されるとともに、必要に応じて移載時間を短縮するために、走行台車１の走行時、共に昇降台４を昇降させ、所定のストッカー棚の高さ位置に一致させるようにする。
【００２２】
このカセットＫを移載機上に載置した状態で走行台車１が走行する時、この走行時のメインマスト２にかかる曲げモーメントは、図１（Ｂ）に示すように、メインマスト２のほぼ中央部に最大のモーメントが、メインマスト２の上下両端部には最小のモーメントが、それぞれ作用するようになっている。
【００２３】
このようにして、走行台車１が定位置に停止して、所定のストッカー９の棚、例えば、中段の棚９２にカセットＫを移載する場合、移載機５の各アーム６ａをスライドさせて移載用アーム６を伸張させる。
この移載用アーム６が伸張して先端のアーム６ａが、ストッカー９の棚９２の位置に達すると、該アーム先端両側に突設した移動車輪７が、棚９２の内側に突設したガイドレール８上に支持されるようになる。これによりアーム６ａにかかっていた荷重は、該移動車輪７、ガイドレール８を経て棚９２を介してストッカー９にて支持されるようになる。
【００２４】
この状態で、さらに移載用アーム６が伸張すると、移動車輪７はガイドレール８上を転動するようになって、アームは棚の最奥の定位置まで押し込められるようになる。この場合、ガイドレール８上を転動する移動車輪７の摩擦等により、微粉塵が発生するようになる。この発生微粉塵は、移載用アーム６内に取り付けた吸引ファン６ｆを駆動することで、移動車輪７を覆うカバー７ｃ内より発生した微粉塵と共にカバー７ｃ内の空気を吸引し、高性能フイルタ６ｈで濾過された後、ストッカー内に排出され、このようにして発生粉塵も除去することができ、ストッカー内のクリーン度を保持することができる。
なお、カセット移載時におけるメインマスト２にかかる曲げモーメントは、図２（Ｂ）に示すように、昇降台４を挟んで、その上部位置ではストッカー側にモーメントがかかり、また昇降台４の下部位置では、反対に反ストッカー側にモーメントが分散してかかるようになり、メインマストへの偏荷重モーメントを防止することができる。  
【００２５】
以上、本発明のスタッカークレーンにおける移載機の支持装置について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明のスタッカークレーンにおける移載機の支持装置は、走行台車のメインマストに昇降可能に取り付けた移載機の移載用アーム先端を、ストッカー側へのカセットの移載時、ストッカーの棚側にてスライド可能にして支持し、アーム及びメインマストにかかる偏荷重を防止するという特性を有していることから、メインマストの高い位置で、かつ大重量物を支持して移載するスタッカークレーンの用途に好適に用いることができるほか、例えば、荷物の上げ下げを行う扛上装置の用途にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明のスタッカークレーンにおける移載機の支持装置の第１実施例を示し、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は走行時のスタッカークレーンのメインマストにかかる曲げモーメントを示す説明図である。
【図２】（Ａ）は正面図、（Ｂ）は移載時のスタッカークレーンのメインマストにかかる曲げモーメントを示す説明図、（Ｃ）は移載用アーム部の吸塵部分の説明図である。
【図３】本発明のスタッカークレーンにおける移載機の支持装置の異なる実施例を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１    走行台車
２    メインマスト
３    ピンヒンジ
４    昇降台
５    移載機
６    移載用アーム
６ｆ  吸引ファン
６ｈ  高性能フイルタ
７    移動車輪
７ｃ  カバー
８    ガイドレール
９    ストッカー
Ｇ    ガイドレール
Ｇ１  補助ガイドレール
Ｋ    カセット
Ｗ    走行車輪
Ｗ１  ガイド車輪
Ｗ２  ガイド車輪
Ｗ３  ガイド車輪
Ｗ４  ガイド車輪
【図１】
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【図２】
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【図３】
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