(57)【要約】【課題】  小径の線状体に対しても、周方向全体から均一に電子線を照射できると共にメンテナンスを容易に実施できる取出窓を有する電子線照射装置を提供する。【解決手段】  電線２に電子線１を照射する電子線照射装置であって、電線２を位置させる中心部分に対して周方向全域から電子線１を放出する陰極１２，引出電極１３等を内装する真空チャンバ１１を有する本体部１０と、本体部１０の真空チャンバ１１の内部と前記中心部分とを仕切るように真空チャンバ１１に着脱可能に取り付けられて周方向にわたって開口部２２ａを有する筒型をなす取出窓保持体２２と、取出窓保持体２２の開口部２２ａを覆うように取出窓保持体２２に設けられる薄膜状の取出窓２４と、取出窓２４を取出窓保持２２に着脱可能に取り付ける押さえ枠２５及びボルト２６等とを備えている。【選択図】        図１
2005255497.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
線状体に電子線を照射する電子線照射装置であって、
前記線状体を位置させる中心部分に対して周方向全域から電子線を放出する電子線放出手段を内装する真空チャンバを有する本体部と、
前記本体部の前記真空チャンバの内部と前記中心部分とを仕切るように当該真空チャンバに着脱可能に取り付けられて周方向にわたって開口部を有する筒型をなす窓枠体と、
前記窓枠体の前記開口部を覆うように当該窓枠体に設けられる薄膜状の取出窓と、
前記取出窓を前記窓枠体に着脱可能に取り付ける取出窓固定手段と
を備えていることを特徴とする電子線照射装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記窓枠体の軸方向一方側の端部に取り付けられて当該窓枠体の当該端部と前記真空チャンバとの間を着脱可能に仕切るフランジ板を備えている
ことを特徴とする電子線照射装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
前記窓枠体の軸方向他方側の端部側の外周面が前記真空チャンバに着脱可能に嵌合する
ことを特徴とする電子線照射装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかにおいて、
下記の式（１）で求められる、前記窓枠体の周面上の任意の位置の軸心に沿う線Ｌにおける値Ｃが、略同一値となるように当該窓枠体の前記開口部の形状が設定されている
ことを特徴とする電子線照射装置。
Ｃ＝Ａｔ／（Ａｔ＋Ｂｔ）・・・（１）
ただし、Ａｔは前記線Ｌの前記開口部に当たる部分の長さの合計長さ、Ｂｔは前記線Ｌの前記開口部以外の部分（非開口部分）の長さの合計長さである。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかにおいて、
前記取出窓が、前記窓枠体を外周面側から覆うように設けられ、
前記取出窓固定手段が、前記窓枠体の外周面側から前記取出窓を着脱可能に固定する
ことを特徴とする電子線照射装置。
【請求項６】
請求項１から請求項４のいずれかにおいて、
前記窓枠体が、
軸方向に沿って複数に分割可能な保持体と、
前記保持体の開口部に径方向外側から着脱可能に取り付けられて前記取出窓を径方向内側に着脱可能に保持すると共に、圧力差による当該取出窓の損傷を防ぐように当該取出窓をサポートする台座と
を備え、
前記取出窓固定手段が、前記窓枠体の内周面側から前記取出窓を着脱可能に固定する
ことを特徴とする電子線照射装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記台座が、
前記保持体の開口部に径方向外側から着脱可能に取り付けられて前記取出窓を径方向内側に着脱可能に保持するフレーム部と、
前記フレーム部の内側部分を前記軸方向に所定の間隔ごとに仕切るように当該フレーム部の内側部分に複数設けられて前記取出窓をサポートする桟と
を備えていることを特徴とする電子線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線照射装置に関し、特に、線状物の周方向全体にわたって電子線を均一に照射する場合に利用すると有効なものである。
【背景技術】
【０００２】
樹脂等のような有機材料で被覆されている電線や光ファイバにおいては、被覆材を架橋や硬化させて耐熱性の向上等の各種機能の向上を図っている。このような被覆材の架橋や硬化を行うにあたっては、一般に、当該被覆材に電子線を照射する電子線照射装置が適用されている。
【０００３】
この電子線照射装置は、例えば、図１２に示すように、本体部１１０の真空チャンバ１１１に内装されたリニア状の陰極１１２から電子線１をリニア状に発生・加速させて、隔壁となるチタン製の薄膜状の取出窓１１４を介して電子線１を大気環境の外側に送り出し、図示しない電線走行移動装置により一定速度で走行移動させている電線２の被覆材に対して電子線１をリニア状に照射することができるようになっている（リニア型）。
【０００４】
なお、例えば、図１３に示すように、本体部２１０の真空チャンバ２１１に内装されたスポット状の陰極２１２から電子線１をスポット状に発生・加速させて、当該電子線１を走査磁石２１５により掃引して擬似的にリニア状としてから、取出窓１１４を介して大気環境の外側に送り出すことにより、電子線１をリニア状に照射することができるようにした電子線照射装置もある（スポット掃引型）。なお、図１２，１３中、１１３は引出電極である。
【０００５】
このような従来の電子線照射装置において、前記取出窓１１４は、例えば、図１４に示すように、シール材１１６を介して取付板１１７により取り付けられてボルト１１８等により機械的に真空チャンバ１１１，２１１に固定されている。
【０００６】
ところで、電子線１を大気中に出射すると、当該電子線１は、気体と相互作用して、そのエネルギの一部損失及び散乱によるビーム拡がりを生じてしまい、電線２に対する照射効果が低減してしまうので、電線２の走行移動に支障を生じない程度に、電線２に対して取出窓１１４をできるだけ接近させる必要がある。
【０００７】
また、上述したような従来の電子線照射装置においては、図１５（ａ）に示すように、電線２の被覆材２ａの表面と取出窓１１４との相対関係(距離ｄ、相対角度θ)が、当該被覆材２ａの表面位置によって異なることから、当該被覆材２ａ全体に対して均一に電子線１を照射して一様な線量付与を行うことができないため、例えば、前記取出窓１１４との間で電線２を挟むように、反射板３１９を設置したり（図１５（ｂ）参照）、別の電子線照射装置を設置したり（図１５（ｃ）参照）することが考えられるが、それでも電子線１の均一な照射を確実に行うことは難しい。
【０００８】
このため、例えば、下記特許文献１等においては、被照射物である気体に対して周囲の複数の方向から多角的に電子線を照射することにより、気体に対して同一条件で電子線を照射することを提案している。
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−２９４８９７号公報
【特許文献２】特開２００３−１２１５９６号公報
【特許文献３】特開２００３−０７５５９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、前述したような特許文献１等に記載された電子線照射装置において、電線や光ファイバ等のような小径の線状体に対して電子線を照射しようとすると、多角形に限界があるため、前述した図１５で説明した場合と同様な理由により、均一に電子線１を照射して一様な線量付与を確実に行うことが難しい。
【００１１】
さらに、電線や光ファイバ等のような小径（１〜１０ｍｍ程度）の線状体に対して周方向全体から電子線を照射する場合に、線状体に対して取出窓をできるだけ接近させようとすると、取出窓の周方向のサイズが非常に小さくなり、使用による酸化劣化に伴う取出窓の交換作業等のメンテナンスが非常に難しくなってしまう。
【００１２】
このようなことから、本発明は、電線や光ファイバ等のような小径の線状体に対しても、周方向全体から均一に電子線を照射できると共にメンテナンスを容易に実施できる取出窓を有する電子線照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前述した課題を解決するための、第一番目の発明に係る電子線照射装置は、線状体に電子線を照射する電子線照射装置であって、前記線状体を位置させる中心部分に対して周方向全域から電子線を放出する電子線放出手段を内装する真空チャンバを有する本体部と、前記本体部の前記真空チャンバの内部と前記中心部分とを仕切るように当該真空チャンバに着脱可能に取り付けられて周方向にわたって開口部を有する筒型をなす窓枠体と、前記窓枠体の前記開口部を覆うように当該窓枠体に設けられる薄膜状の取出窓と、前記取出窓を前記窓枠体に着脱可能に取り付ける取出窓固定手段とを備えていることを特徴とする。
【００１４】
第二番目の発明に係る電子線照射装置は、第一番目の発明において、前記窓枠体の軸方向一方側の端部に取り付けられて当該窓枠体の当該端部と前記真空チャンバとの間を着脱可能に仕切るフランジ板を備えていることを特徴とする。
【００１５】
第三番目の発明に係る電子線照射装置は、第一番目又は第二番目の発明において、前記窓枠体の軸方向他方側の端部側の外周面が前記真空チャンバに着脱可能に嵌合することを特徴とする。
【００１６】
第四番目の発明に係る電子線照射装置は、第一番目から第三番目の発明のいずれかにおいて、下記の式（１）で求められる、前記窓枠体の周面上の任意の位置の軸心に沿う線Ｌにおける値Ｃが、略同一値となるように当該窓枠体の前記開口部の形状が設定されていることを特徴とする。
【００１７】
Ｃ＝Ａｔ／（Ａｔ＋Ｂｔ）・・・（１）
ただし、Ａｔは前記線Ｌの前記開口部に当たる部分の長さの合計長さ、Ｂｔは前記線Ｌの前記開口部以外の部分（非開口部分）の長さの合計長さである。
【００１８】
第五番目の発明に係る電子線照射装置は、第一番目から第四番目の発明のいずれかにおいて、前記取出窓が、前記窓枠体を外周面側から覆うように設けられ、前記取出窓固定手段が、前記窓枠体の外周面側から前記取出窓を着脱可能に固定することを特徴とする。
【００１９】
第六番目の発明に係る電子線照射装置は、第一番目から第四番目の発明のいずれかにおいて、前記窓枠体が、軸方向に沿って複数に分割可能な保持体と、前記保持体の開口部に径方向外側から着脱可能に取り付けられて前記取出窓を径方向内側に着脱可能に保持すると共に、圧力差による当該取出窓の損傷を防ぐように当該取出窓をサポートする台座とを備え、前記取出窓固定手段が、前記窓枠体の内周面側から前記取出窓を着脱可能に固定することを特徴とする。
【００２０】
第七番目の発明に係る電子線照射装置は、第六番目の発明において、前記台座が、前記保持体の開口部に径方向外側から着脱可能に取り付けられて前記取出窓を径方向内側に着脱可能に保持するフレーム部と、前記フレーム部の内側部分を前記軸方向に所定の間隔ごとに仕切るように当該フレーム部の内側部分に複数設けられて前記取出窓をサポートする桟とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
第一番目の発明に係る電子線照射装置によれば、真空チャンバに着脱可能に取り付けられて周方向にわたって開口部を有する筒型をなす窓枠体に取出窓を着脱可能に設けたので、電線や光ファイバ等のような小径の線状体に対しても、周方向全体から均一に電子線を照射できると共に取出窓の交換等のメンテナンスを容易に実施することができる。
【００２２】
第二番目の発明に係る電子線照射装置によれば、フランジ板により、窓枠体の端部と真空チャンバとの間を着脱可能に仕切ることができるので、シール性能を維持しながら真空チャンバに対する窓枠体の着脱性を高めることができる。
【００２３】
第三番目の発明に係る電子線照射装置によれば、窓枠体の軸方向他方側の端部側の外周面が真空チャンバに着脱可能に嵌合するので、真空チャンバに対する窓枠体の位置決めを容易に行うことができ、メンテナンスの容易化をさらに図ることができる。
【００２４】
第四番目の発明に係る電子線照射装置によれば、窓枠体の開口部の形状が前述した関係を有するので、線状体に対して周方向に均一に電子線を照射することが確実にできる。
【００２５】
第五番目の発明に係る電子線照射装置によれば、窓枠体を外周面側から覆うように取出窓を設け、取出窓固定手段で窓枠体の外周面側から取出窓を着脱可能に固定するので、真空チャンバから窓枠体と取り外したときの窓枠体に対する取出窓の着脱を容易に行うことができ、メンテナンスの容易化をさらに図ることができる。
【００２６】
第六番目の発明に係る電子線照射装置によれば、圧力差による取出窓の損傷を防ぐように台座で取出窓をサポートしながらも、取出窓の着脱を容易に行うことができるので、メンテナンスの容易化を図りながらも、非常に薄い取出窓を利用することができ、取出窓の透過に伴う電子線の損失エネルギを極力小さくして、電子線の照射効率をさらに向上させることができる。
【００２７】
第七番目の発明に係る電子線照射装置によれば、前述した第六番目の発明による効果を簡単かつ確実に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明に係る電子線照射装置の実施形態を図面に基づいて以下に説明するが、以下の実施形態は本発明を限定するものではない。
【００２９】
［第一番目の実施の形態］
本発明に係る電子線照射装置の第一番目の実施形態を図１〜４に基づいて説明する。図１は、電子線照射装置の要部の概略構造図、図２は、取出窓保持体の一部抽出図、図３は、図１の矢線 III部の抽出拡大図、図４は、図１の矢線IV部の抽出拡大図である。
【００３０】
図１に示すように、本体部１０の環状をなす真空チャンバ１１には、電子線放出手段である陰極１２及び引出電極１３等が内装されており、図示しない加速電源による陰極１２と真空チャンバ１１との間への加速電圧の印加及び図示しない引出電源による陰極１２と引出電極１３との間への引出電圧の印加により、真空チャンバ１１の軸心上（線状体を位置させる中心部分）に対して周方向全域から電子線１を照射することができるようになっている。
【００３１】
前記真空チャンバ１１の一方（図１中、上側）の端面部の内径側には、環状をなすシール材１４が当該真空チャンバ１１の端面部の内径側の周縁端に沿って設けられている。真空チャンバ１１の一方の端面部上には、環状をなすフランジ板２１が載置されている。フランジ板２１には、円筒型をなす窓枠体である取出窓保持体２２の軸方向一方側（図１中、上側）の端部が当該フランジ板２１と同軸をなすようにして一体的に取り付けられている。つまり、フランジ板２１は、真空チャンバ１１と取出窓保持体２２との間を着脱可能に仕切って真空シールすることができるようになっているのである。
【００３２】
図２に示すように、前記取出窓保持体２２は、その周面に菱形形状の開口部２２ａが周方向全体にわたって複数形成されている。この開口部２２ａの形状は、当該取出窓保持体２２の周面上の任意の位置の軸心に沿う線Ｌにおける、下記の式（１）で求められる値Ｃが、略同一となるように設定されている。
【００３３】
Ｃ＝Ａｔ／（Ａｔ＋Ｂｔ）・・・（１）
ただし、Ａｔは前記線Ｌの開口部２２ａに当たる部分の長さＡｐの合計長さ、Ｂｔは前記線Ｌの開口部２２ａ以外の部分（非開口部分）の長さＢｐの合計長さである。
【００３４】
図１，３に示すように、前記取出窓保持体２２の外周面の周縁端沿いには、シール材２３が設けられている。この取出窓保持体２２の外周面には、隔壁となるチタン製の薄膜状の取出窓２４が当該取出窓保持体２２のすべての前記開口部２２ａを覆うようにして巻き付けられている。この取出窓２４の周縁端は、押さえ枠２５により取出窓保持体２２の外周面に押え付けられている。
【００３５】
上記押さえ枠２５は、当該押さえ枠２５側から螺合する複数のボルト２６により当該取出窓保持体２２に対して固定されている。これらボルト２６は、当該ボルト２６の螺合する取出窓保持体２２の非貫通のタップ穴との間のわずかな隙間までも完全に真空排気できるように、空気抜き用の貫通穴が設けられている。なお、本実施形態では、上記押さえ枠２５、ボルト２６等により、取出窓固定手段を構成している。
【００３６】
図１，４に示すように、前記真空チャンバ１１の他方側（図１中、下側）の端面側の内径側周縁は、面取りされている。前記取出窓保持体２２の軸方向他方側（図１中、下側）の端部側の外周面は、真空チャンバ１１の他方側の端面側の内周面に着脱可能に嵌合している。真空チャンバ１１の前記面取り部分と取出窓保持体２２の外周面との間には、環状をなすシール材１５及び押さえ板１６が配設されている。
【００３７】
上記シール材１５及び上記押さえ板１６は、真空チャンバ１１の他方の端面に配設された環状をなす取付フランジ１７により、当該真空チャンバ１１の前記面取り部分と取出窓保持体２２の外周面との間を真空シールするように保持されている。この取付フランジ１７は、真空チャンバ１１に螺合するボルト１８により固定されている。
【００３８】
このような本実施形態に係る電子線照射装置においては、取出窓保持体２２及び取出窓２３を冷却装置（図示省略）等で冷却しながら、真空チャンバ１１内を真空排気装置（図示省略）等で真空環境とし、真空チャンバ１１の大気環境の軸心部分（取出窓保持体２２の軸心部分）に電線走行移動装置（図示省略）により電線２を一定速度で走行移動させると共に、真空チャンバ１１内の陰極１２から電子線１を発生・加速させて、取出窓保持体２２のすべての開口部２２ａから取出窓２４を介して電子線１を取出窓保持体２２の大気環境の軸心部分（真空チャンバ１１の軸心部分）、すなわち、本体部１０の線条体を位置させる中心部分に送り出すと、当該部分に位置された線条体である電線２に対して電子線１が周方向全体にわたって均一に照射され、電線２の被覆材全体に対して電子線１の照射をムラなく行うことができる。
【００３９】
つまり、前述した関係式（１）を満たす形状の開口部２２ａを形成した円筒型の取出窓保持体２２で薄膜状の取出窓２４を保持することにより、高真空環境でも薄膜状の取出窓２４に亀裂等の損傷を生じさせることなく、軸方向に対する電子線１の照射量を周方向全体にわたって均一にすることができるようにしたのである。
【００４０】
このようにして電線２の被覆材に対する電子線１の照射を行い、前記取出窓２４が酸化等により劣化したら（約１０００〜３０００時間使用後）、前記ボルト１８を真空チャンバ１１から取り外し、取付フランジ１７と共に押さえ板１６及びシール材１５を真空チャンバ１１の前記面取り部分と取出窓保持体２２の外周面との間から取り外した後、前記フランジ板２１を真空チャンバ１１から引き離すと、取出窓２４が取出窓保持体２２等と共に真空チャンバ１１から取り出される。
【００４１】
続いて、前記ボルト２６を押さえ枠２５及び取出窓保持体２２から取り外し、押さえ枠２５を取出窓保持体２２から外し、取出窓２４を取出窓保持体２２から取り除いて、新たな取出窓２４を取出窓保持体２２に巻き付けた後、当該取出窓２４を押さえ枠２５及びボルト２６を介して取出窓保持体２２に固定することにより、取出窓２４を容易に交換することができる。
【００４２】
そして、取出窓保持体２２の他端側を真空チャンバ１１の他端側に嵌合させるように当該取出窓保持体２２を当該真空チャンバ１１に挿入し、フランジ板２１を真空チャンバ１１の一方の端面上に載置した後、真空チャンバ１１の前記面取り部分と取出窓保持体２２の外周面との間にシール材１５及び押さえ板１６を配設し、取付フランジ１７を介してボルト１８を真空チャンバ１１に螺合することにより、取出窓２４の交換作業が終了する。
【００４３】
つまり、取出窓２４を取出窓保持体２２等と共にユニット化することにより、取出窓２４を真空チャンバ１１に対して容易に着脱できるようにしたのである。
【００４４】
したがって、本実施形態に係る電子線照射装置によれば、電線２や光ファイバ等のような小径の線状体であっても、当該線状体に対して取出窓２４を極力接近させながらも周方向全体から均一に電子線１を照射することができると共に取出窓２４の交換作業等のメンテナンスを容易に実施することができる。
【００４５】
また、取出窓保持体２２の他端側の外周面が真空チャンバ１１の他端側の内周面に嵌合するので、真空チャンバ１１に対する取出窓保持体２２の位置決めを容易に行うことができ、メンテナンス際の着脱作業の容易化をさらに図ることができる。
【００４６】
また、取出窓保持体２２の外周面に取出窓２４を巻き付けて取出窓保持体２２の外周面側から押さえ枠２５及びボルト２６を介して取り付けるようにしたので、取出窓２４の着脱作業を取出窓保持体２２の外側で行うことができ、取出窓２４の交換作業の容易化をさらに図ることができる。
【００４７】
また、図５に示すように、真空チャンバ１１の一方の端面部上にフランジ板２１と嵌合する段部を形成すると、真空チャンバ１１に対する取出窓保持体２２の位置決めをさらに容易に行うことができ、メンテナンス際の着脱作業のさらなる容易化を図ることができる。
【００４８】
また、前記取出窓２３の周縁端部分以外の、前記取出窓保持体２２の前記非開口部分と接する部分も必要に応じてシール材を介して適宜固定するとよい。
【００４９】
なお、本実施形態では、高電圧印加部を目視する位置に突起物を生じさせないように前記ボルト２６及びザグリのタップ穴を適用したが（図３参照）、コロナリングの併用等を行う場合には、このような構成としなくてもよい。
【００５０】
また、取出窓保持体２２の開口部２２ａの形状は菱形に限らず、前述した式（１）の関係を満たす条件に形成された開口部の形状であればよく、例えば、図６に示すように、軸方向及び周方向にわたって複数形成されて前記式（１）を満たすように軸方向の位置を互いにずらした長方形状の開口部２２ｂを有する取出窓保持体２２とすることも可能である。
【００５１】
［第二番目の実施の形態］
本発明に係る電子線照射装置の第二番目の実施形態を図７〜１１に基づいて説明する。図７は、取出窓保持体の概略構造図、図８は、取出窓台座の概略構造図、図９は、取出窓保持体に取出窓台座を取り付けた状態の概略構造図、図１０は、図９のＸ−Ｘ線断面矢線視図、図１１は、図１０のXI−XI線断面矢線視図である。なお、前述した第一番目の実施形態の場合と同様な部分については、前述した第一番目の実施形態の説明で用いた符号と同一の符号を用いることにより、前述した第一番目の実施形態での説明と重複する説明を省略する。
【００５２】
図７〜１１に示すように、Ｚ字状をなす取出窓保持体３２は、軸方向一方側の辺部をフランジ板２１の内周縁に沿って一体的に取り付けできるように円弧状に湾曲すると共に、当該フランジ板２１の内周縁に沿って円筒形状を形成するように複数（本実施形態では２つ）配設されている。つまり、上記取出窓保持体３２は、軸方向に沿って複数に分割可能となっているのである。
【００５３】
前記取出窓保持体３２の開口部３２ａの形状は、当該取出窓保持体３２の周面上の任意の位置の軸心に沿う線Ｌにおける、前述した式（１）で求められる値Ｃが、略同一となるように設定されている。
【００５４】
前記取出窓保持体３２の前記開口部３２ａ沿いには、シール材２３が配設されると共に、ボルト用のタップ穴３２ｂが所定の間隔ごとに複数形成されている。取出窓保持体３２の湾曲径方向外側面の前記タップ穴３２ｂ周縁沿いには、Ｏリング３７がそれぞれ配設される。
【００５５】
前記取出窓保持体３２の前記開口部３２ａには、当該取出窓保持体３２の湾曲径方向外側から当該開口部３２ａに着脱可能に取り付けられるように当該開口部３２ａの形状に相応する直角三角形状をなすと共に円弧状に湾曲する取出窓台座４０がそれぞれ配設される。
【００５６】
上記取出窓台座４０は、前記取出窓保持体３２の湾曲径方向外側から前記開口部３２ａに着脱可能に嵌合すると共に前記タップ穴３２ｂと対応するボルト２６用の穴４１ａを形成された直角三角形状のフレーム部４１と、当該フレーム部４１の内側部分を当該取出窓保持体３２の軸方向に所定の間隔ごとに仕切るように当該フレーム部４１の内側に複数の設けられた桟４２とを備えている。
【００５７】
前記取出窓台座４０のフレーム部４１の湾曲径方向内側面の内縁端沿いには、シール材３３が配設されている。取出窓台座４０の湾曲径方向内側面は、隔壁となるチタン製の薄膜状の取出窓３４で覆われている。取出窓３４の周縁端は、押さえ枠２５により取出窓台座４０のフレーム部４１に湾曲径方向内側から押え付けられている。押さえ枠２５は、当該押さえ枠２５側から螺合する複数のボルト３８により当該取出窓台座４０に対して固定されている。
【００５８】
つまり、取出窓保持体３２は、フレーム部４１が取出窓３４を湾曲径方向内側に着脱可能に保持すると共に、桟４２が圧力差による取出窓３２の損傷を防ぐように当該取出窓３２をサポートするようになっているのである。このような本実施形態では、取出窓保持体３２、シール材２３、ボルト２６、Ｏリング３７、台座４０等により窓枠体を構成し、押さえ枠２５、ボルト３８等により取出窓固定手段を構成している。
【００５９】
このような本実施形態に係る電子線照射装置においては、前述した第一番目の実施形態の場合と同様に操作することにより、電子線１を電線２の周方向全体にわたって均一に照射して、電線２の被覆材全体に対して電子線１の照射をムラなく行うことができる。
【００６０】
このとき、取出窓台座４０の桟４２が取出窓３４をサポートするため、非常に薄い取出窓３４であっても（例えば１０μｍ程度）、圧力差による取出窓３４の損傷を防止することができる。
【００６１】
また、前記取出窓３４が酸化等により劣化したら（約１０００〜３０００時間使用後）、前述した第一番目の実施形態の場合と同様にして、前記フランジ板２１を真空チャンバ１１から引き離し、取出窓３４を取出窓保持体３２及び取出窓台座４０等と共に真空チャンバ１１から取り出す。
【００６２】
続いて、前記ボルト２６を取出窓保持体３２及び取出窓台座４０の湾曲径方向外側から取り外して、取出窓台座４０を取出窓保持体３２に対して湾曲径方向外側から取り外した後、前記ボルト３８を押さえ枠２５及び取出窓台座４０の湾曲径方向内側から取り外して、押さえ枠２５を取出窓台座４０に対して湾曲径方向内側から外し、取出窓３４を取出窓台座４０の湾曲径方向内側から取り除いて、取出窓台座４０の湾曲径方向内側面を新たな取出窓３４で覆った後、当該取出窓３４を押さえ枠２５及びボルト３８を介して取出窓台座４０に湾曲径方向内側から固定し、当該取出窓台座４０を取出窓保持体３２の開口部３２ａに対して湾曲径方向外側から嵌合してボルト２６で固定することにより、取出窓３４を容易に交換することができる。
【００６３】
そして、前述した第一番目の実施形態の場合と同様にして、取出窓保持体３２等の真空チャンバ１１への挿入等を行うことにより、取出窓３４の交換作業が終了する。
【００６４】
つまり、本実施形態では、桟４２を有する取出窓台座４０の湾曲径方向内側に対して取出窓２４の着脱作業を行うようにすると共に、取出窓保持体３２の湾曲径方向外側に対して取出窓台座４０の着脱作業を行うようにしたのである。
【００６５】
このため、非常に薄い取出窓３４（例えば１０μｍ程度）であっても、圧力差による取出窓３４の損傷を防止しながらも当該取出窓３４の着脱作業の容易化を図ることができる。
【００６６】
したがって、本実施形態に係る電子線照射装置によれば、前述した第一番目の実施形態の場合と同様な効果を得ることができるのはもちろんのこと、前述した第一番目の実施形態の場合よりも、厚さの薄い取出窓３４を適用することができるので、取出窓３４の透過に伴う電子線１の損失エネルギを極力小さくすることができ、電子線１の照射効率をさらに向上させることができる。
【００６７】
［他の実施形態］
なお、前述した各実施形態では、電線２に対して周方向全体から均一に電子線１を照射する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、光ファイバに対して周方向全体から均一に電子線を照射する場合はもちろんのこと、例えば、線状をなす食品（例えば麺類等）や医療器具（例えばチューブ等）等の殺菌や滅菌を行う場合であっても、前述した各実施形態の場合と同様にして適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明に係る電子線照射装置は、電線や光ファイバ等の線状物の周方向全体にわたって電子線を均一に照射する場合に適用することができ、産業上、極めて有益である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明に係る電子線照射装置の第一番目の実施形態の要部の概略構造図である。
【図２】本発明に係る電子線照射装置の第一番目の実施形態の取出窓保持体の一部抽出図である。
【図３】図１の矢線 III部の抽出拡大図である。
【図４】図１の矢線IV部の抽出拡大図である。
【図５】本発明に係る電子線照射装置の第一番目の実施形態の他の形態の要部の概略構造図である。
【図６】本発明に係る電子線照射装置の第一番目の実施形態の他の形態の取出窓保持体の一部抽出図である。
【図７】本発明に係る電子線照射装置の第二番目の実施形態の取出窓保持体の概略構造図である。
【図８】本発明に係る電子線照射装置の第二番目の実施形態の取出窓台座の概略構造図である。
【図９】図７の取出窓保持体に図８の取出窓台座を取り付けた状態の概略構造図である。
【図１０】図９のＸ−Ｘ線断面矢線視図である。
【図１１】図１０のXI−XI線断面矢線視図である。
【図１２】従来の電子線照射装置の一例の要部の概略構造図である。
【図１３】従来の電子線照射装置の他の例の要部の概略構造図である。
【図１４】従来の電子線照射装置の取出窓の取り付け構造の一例の説明図である。
【図１５】従来の電子線照射装置による電子線照射の説明図である。
【符号の説明】
【００７０】
１  電子線
２  電線
１０  本体部
１１  真空チャンバ
１２  陰極
１３  引出電極
１４，１５  シール材
１６  押さえ板
１７  取付フランジ
１８  ボルト
２１  フランジ板
２２，３２  取出窓保持体
２２ａ，２２ｂ，３２ａ  開口部
２３，３３  シール材
２４  取出窓
２５  押さえ枠
２６，３８  ボルト
３７  Ｏリング
４０  取出窓台座
４１  フレーム部
４２  桟
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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