(57)【要約】      （修正有）【課題】比較的簡単な構造で振動部材の振動特性に影響をほとんど与えることなく支持することができ、小型化が容易な複合材料振動装置を提供する。【解決手段】第１の音響インピーダンス値Ｚ1を有する材料からなり、振動発生源となる振動部材と、第１の音響インピーダンス値Ｚ1よりも低い第２の音響インピーダンス値Ｚ2を有する、シクロアルカンを有するエポキシ樹脂、及び硬化剤を少なくとも含む樹脂組成物からなり、かつ前記振動部材に連結された反射層と、前記第２の音響インピーダンス値Ｚ2よりも大きな第３の音響インピーダンス値Ｚ3を有する材料からなり、前記反射層の前記振動部材が連結されている側とは反対側に連結された保持部材とを備え、反射層と保持部材との界面において振動部材から反射層に伝播してきた振動が反射されるように構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の音響インピーダンス値Ｚ1を有する材料からなり、振動発生源となる振動部材と、
第１の音響インピーダンス値Ｚ1よりも低い第２の音響インピーダンス値Ｚ2を有する材料からなり、前記振動部材に連結された反射層と、
前記第２の音響インピーダンス値Ｚ2よりも大きな第３の音響インピーダンス値Ｚ3を有する材料からなり、前記反射層の前記振動部材が連結されている側とは反対側に連結された保持部材とを備え、
反射層と保持部材との界面において振動部材から反射層に伝播してきた振動が反射されるように構成されている複合材料振動装置であって、
前記反射層を構成する材料は、エポキシ樹脂及び硬化剤を含み、
エポキシ樹脂及び前記硬化剤のうち少なくとも一方が、シクロアルカンを有することを特徴とする、複合材料振動装置。
【請求項２】
前記反射層は、５ＭＨｚでの音速が２５００ｍ／ｓ以下であることを特徴とする、請求項１に記載の複合材料振動装置。
【請求項３】
前記反射層は、５ＭＨｚでの固有音響インピーダンスが２．９×１０6Ｎ・ｓ・ｍ-3以下であることを特徴とする、請求項１または２に記載の複合材料振動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音響インピーダンスが異なる複数の材料部分が結合された複合材料振動装置に関し、例えば、圧電素子などの振動部材に連結された反射層として、低音速の樹脂組成物を用いた複合材料振動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電共振子や圧電フィルタを構成する圧電共振部品として、圧電振動素子の上下にケース基板を積層した構造のものが広く用いられている。この場合、圧電素子の圧電振動部の振動を妨げないための空間を積層体内に形成しなければならない。従って、積層されるケース基板の圧電素子側の面に空洞を形成するための凹部を形成する方法、あるいは圧電素子にケース基板を積層するにあたり、空洞を形成するために接着剤塗布エリアを空洞を除いた領域とする方法などが用いられていた。
【０００３】
上記のように、従来の積層型の圧電共振部品では、圧電振動部の振動を妨げないための空洞を形成しなければならず、そのため小型化が困難であった。また、コストを削減することが困難であった。
【０００４】
他方、空洞を有しない積層構造のバルク型音波フィルタが開示されている（特許文献１参照）。図３に示すように、バルク型音波フィルタ２１１では、基板２１２上に多数の膜を積層することにより圧電フィルタが構成されている。
【０００５】
すなわち、この積層構造中には、圧電層２１３が形成されており、圧電層２１３の上面及び下面に電極２１４、２１５が積層されて、圧電共振子が構成されている。
【０００６】
上記圧電共振子の下面には、シリコンやポリシリコンなどの膜を積層することにより、上層２１６、中層２１７及び下層２１８からなる積層構造の音響ミラー２１９が構成されている。また、圧電共振子の上面にも、同様の積層構造を有する音響ミラー２２０が積層されており、該音響ミラー２２０上に保護膜としてのパッシベーション膜２２１が形成されている。
【０００７】
上記音響ミラー２１９では、中層２１７の音響インピーダンスが、上層２１６及び下層２１８の音響インピーダンスよりも高くされている。音響ミラー２２０においても、同様に中層の音響インピーダンスが、上層及び下層の音響インピーダンスよりも高くされている。
【０００８】
上記バルク型音波フィルタ２１１では、音響ミラー２１９、２２０を圧電共振子部分に積層することにより、圧電共振子から伝播してきた振動が圧電共振子側に反射される。従って、圧電共振子部分の共振特性に影響を与えることなく、基板２１２を用いて機械的に保持することができる。
【特許文献１】特開平１０−２７０９７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図３に示したバルク型音波フィルタ２１１では、音響ミラー２１９、２２０は、圧電共振子側から伝播してきた振動を反射させるように構成されているが、各音響ミラー２１９、２２０は、それぞれ、中層の上下に上層及び下層を積層してなり、中層の音響インピーダンスが上層及び下層の音響インピーダンスより高くされている。従って、音響ミラー２１９、２２０として多数の材料層を積層しなければならず、空洞の形成は省略し得るものの、バルク型音波フィルタ２１１では、多数の材料層を積層しなければならないため、小型化、特に低背化が困難であった。また、製造工程も煩雑であった。
【００１０】
さらに、上記バルク型音波フィルタ２１１では、圧電共振子の側方振動が伝播するが、交互に伝播してきた振動が、圧電共振子の側方部分においてダンピングされ、従って圧電共振子部分の側方が固定されていることにより圧電共振子の共振特性が保持構造により劣化するという問題もあった。
【００１１】
本発明の目的は、上述従来技術の欠点を解消し、比較的簡単な構造で振動部材の振動特性に影響をほとんど与えることなく支持することができ、小型化が容易な複合材料振動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明の複合材料振動装置は、第１の音響インピーダンス値Ｚ1を有する材料からなり、振動発生源となる振動部材と、第１の音響インピーダンス値Ｚ1よりも低い第２の音響インピーダンス値Ｚ2を有する材料からなり、前記振動部材に連結された反射層と、前記第２の音響インピーダンス値Ｚ2よりも大きな第３の音響インピーダンス値Ｚ3を有する材料からなり、前記反射層の前記振動部材が連結されている側とは反対側に連結された保持部材とを備え、反射層と保持部材との界面において振動部材から反射層に伝播してきた振動が反射されるように構成されている複合材料振動装置であって、前記反射層を構成する材料は、エポキシ樹脂及び硬化剤を含み、エポキシ樹脂及び前記硬化剤のうち少なくとも一方が、シクロアルカンを有することを特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明の複合材料振動装置は、好ましくは、前記反射層における５ＭＨｚでの音速が２５００ｍ／ｓ以下であることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の複合材料振動装置は、好ましくは、反射層は、５ＭＨｚにおける固有音響インピーダンスが２．９×１０6Ｎ・ｓ・ｍ-3以下とされる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の複合材料振動装置を用いれば、樹脂を硬化することのみで反射層の形成が可能となり、複数の材料層を積層する必要がなくなるため、製造工程が簡略化できる。また、前記反射層に用いられる樹脂は、接着性も有していることから、複合材料振動装置の低背化、小型化、低コスト化が可能となる。さらに、本発明の複合材料振動装置の反射層は低音速なので、前記複合材料振動装置の電気特性が向上する。
【００１６】
反射層における５ＭＨｚにおける音速が２５００ｍ／ｓ以下である場合には、電気特性に優れた複合材料振動装置を得ることができる。
【００１７】
また、上記反射層の５ＭＨｚにおける固有音響インピーダンスが２．９×１０6Ｎ・ｓ・ｍ-3以下である場合においても、本発明に従って、より一層電気特性に優れた複合材料振動装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の複合材料振動装置について説明する。
【００１９】
図１は、本発明の第１の実施例に係る複合材料振動装置の分解斜視図であり、図２は外観を示す斜視図である。
【００２０】
本実施例の複合材料振動装置１では、振動部材としての圧電共振子２が用いられている。圧電共振子２は、矩形板状の形状を有するチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスからなるセラミック板を用いて構成されている。該セラミック板は、厚み方向に分極処理されている。また、セラミック板の上面中央には、励振電極１１が形成されている。図１では図示されていないが、下面中央にも、励振電極が形成されている。励振電極１１及び下面の励振電極は、セラミック板の端面に至るように形成され、それぞれ、外部電極１４、１５に電気的に接続されている。
【００２１】
励振電極１１と下面の励振電極との間に交流電圧を印加することにより、圧電共振子２は厚み縦振動モードで励振される。なお、セラミック板の音響インピーダンス値Ｚ1は、１８．８×１０6Ｎ・ｓ・ｍ-3である。
【００２２】
圧電共振子２の上面及び下面には、第１、第２の反射層３、４が積層されている。反射層３、４の外側面には、すなわち、圧電共振子２が連結されている面とは反対側の面には、第１、第２の保持部材５、６が積層されている。反射層３，４を構成している材料は、使用前は液状であり、乾燥、加熱、光の照射や化学反応などにより固体化する接着性材料である。
【００２３】
例えば、反射層を形成する際には、振動部材と保持部材との間に液状の反射層を構成するための樹脂組成物を塗布し、該樹脂組成物を加熱もしくは光の照射により硬化させる方法を用いることができる。また、反射層を構成する材料からなる半硬化状態の樹脂シートを用意し、振動部材と保持部材との間に該半硬化状態の樹脂シートを挿入し、該樹脂シートを加熱あるいは光の照射等により硬化させてもよい。
【００２４】
より具体的には、本実施例の一例では、反射層３、４は、エポキシ樹脂及び硬化剤を少なくとも含み、エポキシ樹脂及び硬化剤のうち少なくとも一方がシクロアルカンを有する樹脂組成物を硬化させたものであり、その音響インピーダンス値Ｚ2は２．９×１０6Ｎ・ｓ・ｍ-3以下である。さらに前記反射層３、４は、５ＭＨｚでの音速が２５００ｍ／ｓ以下であることが望ましい。これにより、電気特性に優れた複合材料振動装置を得ることができる。
【００２５】
保持部材５、６は、本実施例では、矩形板状の形状を有するセラミック板により構成されており、その音響インピーダンス値Ｚ3は１８．８×１０6Ｎ・ｓ・ｍ-3である。下方の保持部材６の上面には、一対の容量電極１２、１３が形成されている。容量電極１２、１３と保持部材６を介して対向するように、保持部材６の下面中央に容量電極（図示せず）が形成されている。容量電極１２、１３及び下面の容量電極により、保持部材６にコンデンサが構成されている。
【００２６】
図１に示されている各部材を積層して形成した積層体の一方の端面に、図２に示されている外部電極１４が形成されている。また、積層体の他方端面にも外部電極１５が形成されている。外部電極１４、１５は、それぞれ、圧電共振子２の励振電極１１及び下面の励振電極に電気的に接続されている。
【００２７】
また、外部電極１４、１５は、それぞれ、容量電極１２、１３に電気的に接続されている。したがって、外部電極１４、１５と保持部材６の下面に形成された容量電極と外部と電気的に接続することにより、３端子型の容量内蔵型圧電発振子として複合材料振動装置１が動作する。
【００２８】
本実施例の複合材料振動装置１では、振動部材としての圧電共振子２の上面及び下面に第１、第２の反射層３、４が連結されており、各反射層３、４の圧電共振子２に連結されている側とは反対側の面に保持部材５、６が連結されている。したがって、圧電共振子２の振動を妨げないための空洞は形成されていない。よって、空洞を形成する必要がないため、低背化、小型化、低コスト化が可能となる。
【００２９】
本発明において、反射層を構成するのに用いられるエポキシ樹脂は、シクロアルカンを有するものであってもよく、シクロアルカンを有しないものであってもよい。シクロアルカンを有しないエポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂などの適宜のエポキシ樹脂が挙げられる。また、シクロアルカンを有するエポキシ樹脂としては、例えば水添型の適宜のエポキシ樹脂を好適に用いることができ、水添テトラグリシジルメタキシレンジアミン型エポキシ樹脂を好適に用いることができる。なお、シクロアルカンを有しないエポキシ樹脂を用いる場合には、後述の硬化剤がシクロアルカンを有することが必要であり、シクロアルカンを有するエポキシ樹脂を用いる場合には、硬化剤はシクロアルカンを有していなくともよい。
【００３０】
また、前記エポキシ樹脂は１種類で用いても良く、また２種類以上を混合して用いても良い。
【００３１】
本発明の反射層に用いられる硬化剤としては、エポキシ樹脂を硬化させる硬化剤として用いられている従来より公知のエポキシ樹脂硬化剤を適宜用いることができる。このような硬化剤としては、例えば、アミン類、脂肪族ポリアミン類、変性脂肪族ポリアミン類、酸無水物、フェノール、イミダゾール類、エポキシアダクトイミダゾール、アミンアダクト、ジアミノジフェニルスルフォン等が挙げられる。上記硬化剤は、シクロアルカンを有していてもよく、シクロアルカンを有していなくともよい。もっとも、本発明においては、エポキシ樹脂及び硬化剤の少なくとも一方がシクロアルカンを有する必要がある。シクロアルカンを有する硬化剤としては、例えば、４−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸などが挙げられる。さらに、前記硬化剤は１種類で用いても良く、また２種類以上を混合して用いても良い。
【００３２】
さらには、これら本発明の反射層を構成する材料の他に、用途にあわせて硬化性、密着性、チクソトロピック性等を付与するため、例えば、溶融シリカ、破砕シリカ、微粉シリカ、タルク、ガラスなど無機充填剤及びそれらの疎水化、親水化など表面処理を施した無機充填剤、ライフ安定剤、カップリング剤、レベリング剤、希釈剤、難燃剤、潤滑剤、レオロジーコントロール剤、沈降防止剤、密着性付与剤、顔料、分散剤、消泡剤などを添加してもよい。
【００３３】
以下、本発明における実験例について説明する。
【００３４】
（１）実験例１
（ａ）樹脂硬化物の作製
まず、反射層に用いられる樹脂組成物の出発原料として、エポキシ樹脂１〜４、及び硬化剤１を準備した。ここで、エポキシ樹脂１はＰ−アミノフェノール型エポキシ樹脂（エポキシ当量＝９７ｇ／ｅｑ）であり、エポキシ樹脂２はテトラグリシジルアミノジフェニルメタン型エポキシ樹脂（エポキシ当量＝１２０ｇ／ｅｑ）、エポキシ樹脂３はテトラグリシジルメタキシレンジアミン型エポキシ樹脂（エポキシ当量＝１００ｇ／ｅｑ）、エポキシ樹脂４はシクロアルカンを有する水添テトラグリシジルメタキシレンジアミン型エポキシ樹脂（エポキシ当量＝１０５ｇ／ｅｑ）、硬化剤１はポリオキシプロピレンジアミン（平均分子量＝２３０、活性水素当量＝６０ｇ／ｅｑ）を用いた。
【００３５】
次に、これら原料を表１に示す組成の樹脂組成物が得られるように秤量し、プラネタリーミキサーを用いて攪拌及び真空攪拌を行い、表１に示す試料番号１〜３の樹脂組成物を得た。その後、フッ素樹脂製金型内に前記樹脂組成物を流し込み、真空脱泡した後、オーブン内にて１５０℃、１時間静置し、目的とする樹脂硬化物を得た。
【００３６】
【表１】
2005176323.tif 000003
【００３７】
（ｂ）複合材料振動装置の作製
図１及び図２に示すように、音響インピーダンス値１８．８×１０6Ｎ・ｓ・ｍ-3のセラミックを用いた圧電共振子２に試料番号１〜３の硬化前の樹脂組成物を塗布し、音響インピーダンス値１８．８×１０6Ｎ・ｓ・ｍ-3のセラミックで構成された保持部材５、６と貼り合わせ、オーブン内にて１５０℃、１時間静置し、樹脂組成物を硬化させた。前記樹脂組成物を塗布する際、硬化後の樹脂硬化物（反射層）の厚みが、圧電共振子の発振波長（λ）に対して４分の１（λ／４）となるように塗布厚を調整した。次に、図１及び図２に示す外部電極１４、１５を形成して目的とする複合材料振動装置を得た。
【００３８】
（ｃ）樹脂硬化物の特性評価
（ａ）で作製した樹脂硬化物について、音速、密度、及び音響インピーダンスを評価した。
【００３９】
ここで、音速（ｍ／ｓ）については、超音波粘性弾性測定装置（ＲＡＭ−１００００／ＲＩＴＥＣ社製）を用いて、５ＭＨｚにおける値（縦波）を以下の式１から算出した。ここで、式１のＬは樹脂硬化物の厚み（ｍ）、ｔは超音波が伝播するまでの時間（ｓ）を示す。
【００４０】
式１：音速＝Ｌ／ｔ
【００４１】
また、密度（１０3・ｋｇ／ｍ3）は、樹脂硬化物の重量（ｋｇ）と体積（ｍ3）から算出した。音響インピーダンス（１０6Ｎ・ｓ・ｍ-3）は、５ＭＨｚにおける値（縦波）について、前記密度と音速の測定値を用いて以下の式２から算出した。
【００４２】
式２：音響インピーダンス＝密度×音速
【００４３】
（ｄ）複合材料振動装置の電気特性の評価
（ｂ）で作製した複合材料振動装置について、電気特性を測定した。前記電気特性は、位相の最大値を測定した。前記位相の最大値が大きいものが電気特性が優れているといえる。表１においては、位相の最大値が７８ｄｅｇ以上となる場合を○、７８ｄｅｇ未満を×と表記した。
【００４４】
前記（ｃ）と（ｄ）の評価結果を表１に示す。ここで、表１において、＊印を付したものは本発明の範囲外のものであり、それ以外は本発明の範囲内のものである。
【００４５】
表１から明らかなように、シクロアルカンを有するエポキシ樹脂を含有する試料番号１については、音速が低い値となり、かつ電気特性も良好であった。一方、熱硬化性樹脂としてシクロアルカンを有するエポキシ樹脂を含有しない試料番号２は、試料番号１と比較して、音速が増加し、また電気特性も悪くなることが分かった。同様に、熱硬化性樹脂としてシクロアルカンを有するエポキシ樹脂を含有しない試料番号３は、試料番号１と比較して、音速が増加し、また電気特性も悪くなることが分かった。
【００４６】
（２）実験例２
（ｅ）樹脂硬化物と複合材料振動装置の作製
まず、反射層に用いられる樹脂組成物の出発原料として、実施例１と同様のエポキシ樹脂１〜４を準備した。また、硬化剤２として２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾールを準備した。
【００４７】
次に、これら原料を表２に示す組成の樹脂組成物が得られるように秤量し、プラネタリーミキサーを用いて攪拌及び真空攪拌を行い、表２に示す試料番号４〜６の樹脂組成物を得た。その後、（ａ）と同様に、目的とする樹脂硬化物を得た。
【００４８】
【表２】
2005176323.tif 000004
【００４９】
また、表２に示す試料番号４〜６の硬化前の樹脂組成物を用いて、（ｂ）と同様にして、目的とする複合材料振動装置を得た。
【００５０】
（ｆ）樹脂硬化物の特性と、複合材料振動装置の電気特性の評価
（ｅ）で作製した樹脂硬化物について、（ｃ）と同様に音速、密度、及び音響インピーダンスを評価した。
【００５１】
また、（ｅ）で作製した複合材料振動装置についても、（ｄ）と同様に電気特性を測定
した。
【００５２】
前記樹脂硬化物と複合材料振動装置の評価結果を表２に示す。ここで、表２において、＊印を付したものは本発明の範囲外のものであり、それ以外は本発明の範囲内のものであ
る。
【００５３】
表２から明らかなように、シクロアルカンを有するエポキシ樹脂を含有する試料番号４については、音速が低い値となり、かつ電気特性も良好であった。同様に、シクロアルカンを有するエポキシ樹脂を一部含有する試料番号５は、試料番号４と同様に、音速が低い値となり、かつ電気特性も良好であった。一方、シクロアルカンを有するエポキシ樹脂を含有しない試料番号６は、音速が増加し、また電気特性も悪くなることが分かった。
【００５４】
（３）実験例３
（ｇ）樹脂硬化物と複合材料振動装置の作製
まず、反射層に用いられる樹脂組成物の出発原料として、実施例１と同様のエポキシ樹脂３及び４を準備した。また、エポキシ樹脂５としてビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（エポキシ当量＝１８９ｇ／ｅｑ）、エポキシ樹脂６としてシクロアルカンを有する水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（エポキシ当量＝２４８ｇ／ｅｑ）、硬化剤３として２−エチル−４−メチルイミダゾールをそれぞれ準備した。
【００５５】
次に、これら原料を表３に示す組成の樹脂組成物が得られるように秤量し、プラネタリーミキサーを用いて攪拌及び真空攪拌を行い、表３に示す試料番号７〜１０の樹脂組成物を得た。その後、（ａ）と同様に、目的とする樹脂硬化物を得た。
【００５６】
【表３】
2005176323.tif 000005
【００５７】
また、表３に示す試料番号７〜１０の硬化前の樹脂組成物を用いて、（ｂ）と同様にして、目的とする複合材料振動装置を得た。
【００５８】
（ｈ）樹脂硬化物の特性と、複合材料振動装置の電気特性の評価
（ｇ）で作製した樹脂硬化物について、（ｃ）と同様に音速、密度、及び音響インピーダンスを評価した。
【００５９】
また、（ｇ）で作製した複合材料振動装置についても、（ｄ）と同様に電気特性を測定した。
【００６０】
前記樹脂硬化物と複合材料振動装置の評価結果を表３に示す。ここで、表３において、＊印を付したものは本発明の範囲外のものであり、それ以外は本発明の範囲内のものである。
【００６１】
表３から明らかなように、シクロアルカンを有するエポキシ樹脂を含有する試料番号７、８については、音速が低い値となり、かつ電気特性も良好であった。一方、シクロアルカンを有するエポキシ樹脂を含有しない試料番号９は、音速が増加し、また電気特性も悪くなることが分かった。また、試料番号９と同様にシクロアルカンを有するエポキシ樹脂を含有しない試料番号１０は、音速が増加し、また電気特性も悪くなることが分かった。
【００６２】
（４）実験例４
（ｉ）樹脂硬化物の作製
試料番号１１〜１４において、下記の表４に示すエポキシ樹脂３またはエポキシ樹脂４と、硬化剤４または硬化剤５とを用い、下記の表４に示す組成となるように秤量し、実施例１の（ａ）と同様にして樹脂硬化物を得た。
【００６３】
なお、エポキシ樹脂３及びエポキシ樹脂４は、実施例１で用いたエポキシ樹脂３及びエポキシ樹脂４と同じである。すなわち、エポキシ樹脂３は、テトラグリシジルメタキシレンジアミン型エポキシ樹脂であり、シクロアルカンを有しない。エポキシ樹脂４は、水添テトラグリシジルメタキシレンジアミン型エポキシ樹脂であり、シクロアルカンを有する。
【００６４】
また、硬化剤４は、シクロアルカンを有する４−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸であり、硬化剤５はシクロアルカンを有さないメチルテトラヒドロ無水フタル酸である。
【００６５】
（ｊ）複合材料振動装置の作製
上記試料番号１１〜１４の樹脂組成物を用いたことを除いては、実施例と１同様にして複合材料振動装置を作製した。
【００６６】
（ｋ）樹脂硬化物及び複合材料振動装置の評価
実施例１と同様にして、樹脂硬化物の特性評価及び複合材料振動装置の電気特性の評価を行った。結果を下記の表４に併せて示す。
【００６７】
【表４】
2005176323.tif 000006
【００６８】
表４から明らかなように、シクロアルカンを有する硬化剤４を用いた試料番号１１、及びシクロアルカンを有するエポキシ樹脂４を用いた試料番号１２，１３では、音速がシクロアルカンを有しないエポキシ樹脂３及びシクロアルカンを有しない硬化剤５を用いた試料番号１４の場合に比べて音速が低く、電気特性も良好であった。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の複合材料振動装置の分解斜視図である。
【図２】本発明の複合材料振動装置の外観を示す斜視図である。
【図３】従来の複合材料振動装置としてのバルク型音波フィルタを示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１…複合材料振動装置
２…圧電共振子
３，４…反射層
５，６…保持部材
１１…励振電極
１２，１３…容量電極
１４，１５…外部電極
【図１】
2005176323.tif 000007
【図２】
2005176323.tif 000008
【図３】
2005176323.tif 000009