(57)【要約】      （修正有）【課題】低電圧駆動が可能であり、かつ、高速動作が可能なサンプルホールド回路を提供することを目的とする。【解決手段】入力電圧Ｖinに応じて電荷が充電されるキャパシタＣ１と、サンプルホールド信号ＳＨと、反転サンプルホールド信号ＳＨＢとにより差動動作して、出力電流を生成する差動回路と、差動回路の出力電流を入力電流として第１の出力電流及び第２の出力電流を生成する第１のカレントミラー回路と、第１のカレントミラー回路で生成された第１の出力電流を入力電流として出力電流を生成する第２のカレントミラー回路と、入力電圧とキャパシタの充電電圧との差に応じた電流によりキャパシタを充放電する充放電回路と、ＳＨＢの入力端と第１のカレントミラー回路から第１の出力電流が出力される出力端との間に接続され、ＳＨＢに応じて第１のカレントミラー回路から出力される第１の出力電流を制御する第１の結合回路Ｃ３とを有する。【選択図】図１
2005078670.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルホールド信号に応じて入力電圧をサンプルホールドするサンプルホールド回路において、
前記入力電圧に応じて電荷が充電されるキャパシタと、
前記サンプルホールド信号と、前記サンプルホールド信号を反転させた反転サンプルホールド信号とにより差動動作して、出力電流を生成する差動回路と、
前記差動回路の出力電流を入力電流として第１の出力電流及び第２の出力電流を生成する第１のカレントミラー回路と、
前記第１のカレントミラー回路で生成された第１の出力電流を入力電流として出力電流を生成する第２のカレントミラー回路と、
前記入力電圧と前記キャパシタの充電電圧との差に応じた電流により前記キャパシタを充放電する充放電回路と、
前記反転サンプルホールド信号の入力端と前記第１のカレントミラー回路から第１の出力電流が出力される出力端との間に接続され、前記反転サンプルホールド信号に応じて前記第１のカレントミラー回路から出力され、前記第２のカレントミラー回路に供給される前記第１の出力電流を制御する第１の結合回路とを有することを特徴とするサンプルホールド回路。
【請求項２】
前記反転サンプルホールド信号に応じて前記第２のカレントミラー回路の共通ベース電位を制御する第２の結合回路とを有することを特徴とする請求項１記載のサンプルホールド回路。
【請求項３】
前記サンプルホールド信号に応じて前記第１のカレントミラー回路の電流入力端を制御する第３の結合回路を有することを特徴とする請求項１又は２記載のサンプルホールド回路。
【請求項４】
前記第１の結合回路は、前記反転サンプルホールド信号の入力端と前記第１のカレントミラー回路から第１の出力電流が出力される出力端との間に直列に接続されたキャパシタから構成されたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項記載のサンプルホールド回路。
【請求項５】
前記第２の結合回路は、前記反転サンプルホールド信号の入力端と前記第２のカレントミラー回路の共通ベースとの間に直列に接続されたキャパシタから構成されたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項記載のサンプルホールド回路。
【請求項６】
前記第３の結合回路は、前記サンプルホールド信号の入力端と前記第１のカレントミラー回路の電流入力端との間に直列に接続されたキャパシタから構成されたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項記載のサンプルホールド回路。
【請求項７】
前記第２のカレントミラー回路は、共通ベースの寄生容量を充電する充電回路を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項記載のサンプルホールド回路。
【請求項８】
前記第２のカレントミラー回路の共通ベースをバッファするトランジスタを有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項記載のサンプルホールド回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はサンプルホールド回路に係り、特に、入力信号をサンプルホールド信号に応じてキャパシタにサンプルホールドするサンプルホールド回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
図５は従来のサンプルホールド回路の一例の回路構成図を示す。
【０００３】
従来のサンプルホールド回路１は、入力電圧ＶinをホールドするためのホールドコンデンサＣ１、ホールドコンデンサＣ１を入力電圧Ｖinに応じて充放電させるためのボルテージフォロワ回路を構成するトランジスタＱ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４、抵抗Ｒ１、Ｒ２、トランジスタＱ２、Ｑ４をオン／オフさせるためのスイッチ回路を構成するトランジスタＱ５、Ｑ６、Ｑ７、抵抗Ｒ３から構成される。
【０００４】
ボルテージフォロワ回路の入力、トランジスタＱ３のベースには、入力端子Ｔinが接続されており、入力電圧Ｖinが印加される。ボルテージフォロワ回路は、動作状態のとき、入力端子Ｔinに入力した信号を出力端子Ｔoutに出力する。
【０００５】
ボルテージフォロワ回路の出力端子Ｔoutは、ホールドコンデンサＣ１に接続されている。このため、出力端子Ｔoutに応じた信号で、ホールドコンデンサＣ１が充放電される。
【０００６】
トランジスタＱ５は、ベースが、サンプルホールド信号ＳＨが供給される端子Ｔshに接続され、コレクタが電流供給回路を構成する抵抗Ｒ２とトランジスタＱ２のエミッタとの接続点に接続され、エミッタがトランジスタＱ７のコレクタに接続されている。また、トランジスタＱ６は、ベースが、反転サンプルホールド信号ＳＨＢが供給される端子Ｔshbに接続され、コレクタが電流供給回路を構成するトランジスタＱ３、Ｑ４のエミッタに接続され、エミッタがトランジスタＱ７のコレクタに接続されている。
【０００７】
トランジスタＱ７は、ベースが、定電圧Ｖ１が印加される端子Ｔv1に接続され、コレクタがトランジスタＱ５、Ｑ６のエミッタに接続され、エミッタが抵抗Ｒ３を介して接地されている。トランジスタＱ７は抵抗Ｒ３とともに、電流源として働き、トランジスタＱ５、Ｑ６のエミッタから電流を引き込む。
【０００８】
次に図５に示すサンプルホールド回路の動作を説明する。
【０００９】
サンプル時には端子Ｔshに供給されるサンプルホールド信号ＳＨはローレベルとなる。サンプルホールド信号ＳＨがローレベルのときは、端子shbに供給される反転サンプルホールド信号ＳＨＢはハイレベルになる。サンプルホールド信号ＳＨがローレベル、反転サンプルホールド信号ＳＨＢがハイレベルのときには、トランジスタＱ５がオフし、トランジスタＱ６はオンする。トランジスタＱ６がオンすると、トランジスタＱ３、Ｑ４のエミッタから電流が引き込まれ、トランジスタＱ３、Ｑ４が動作状態となる。
【００１０】
トランジスタＱ３、Ｑ４が動作状態になると、ボルテージフォロワ回路が動作状態となる。これによって、ホールドコンデンサＣ１は、入力電圧Ｖinに応じて充電される。
【００１１】
ホールド時には端子Ｔshに供給されるサンプルホールド信号ＳＨはハイレベルとなる。サンプルホールド信号ＳＨがハイレベルのときは、端子shbに供給される反転サンプルホールド信号ＳＨＢはローレベルになる。サンプルホールド信号ＳＨがハイレベル、反転サンプルホールド信号ＳＨＢがローレベルのときには、トランジスタＱ５がオンし、トランジスタＱ６はオフする。トランジスタＱ５がオンすると、抵抗Ｒ２とトランジスタＱ２のエミッタとの接続点から電流が引き込まれる。これにより、トランジスタＱ２が充分にオフ状態となる。このとき、トランジスタＱ６もオフ状態であるので、ボルテージフォロワ回路は非動作状態となり、ホールドコンデンサＣ１の充電電荷はホールドされ、出力端子ＴoutにはホールドコンデンサＣ１の充電電圧が出力される。
【００１２】
このとき、図５に示すサンプルホールド回路１は、電源電圧Ｖccと接地との間に４段のトランジスタが縦列に接続される構成となっている。このため、入力電圧Ｖinのダイナミックレンジを十分大きく取るには、電源電圧Ｖccを高くとる必要があった。
【００１３】
しかし、近年、省電力化のため、電源電圧Ｖccの低電圧化が要求されており、図５に示すような回路構成では、入力電圧Ｖinのダイナミックレンジを十分に大きくとることができなかった。
【００１４】
図６は従来のサンプリングホールド回路の他の一例の回路構成図を示す。同図中、図５と同一構成部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００１５】
サンプルホールド回路２１は、トランジスタＱ５、Ｑ６を電流源にして折り返すことにより、縦続３段のトランジスタで構成し、入力電圧Ｖinのダイナミックレンジを拡大した構成とされている。
【００１６】
トランジスタＱ８は、ＰＮＰトランジスタから構成されており、ベースには定電圧Ｖ２が印加される端子Ｔv2が接続され、エミッタには電源電圧Ｖccが印加される電源端子Ｔvccに接続され、コレクタにはトランジスタＱ９、Ｑ10のエミッタに接続されており、駆動電流源として作用する。トランジスタＱ８で生成された電流は、そのコレクタからトランジスタＱ９、Ｑ10のエミッタに供給される。
【００１７】
トランジスタＱ９は、ＰＮＰトランジスタから構成されており、ベースにはサンプルホールド信号ＳＨが供給される端子Ｔshに接続され、コレクタにはトランジスタＱ11のコレクタ及びベース、並びに、トランジスタＱ５のベースに接続されている。トランジスタＱ９のコレクタ電流は、カレントミラー回路を構成するトランジスタＱ11、Ｑ５に供給される。トランジスタＱ11及びトランジスタＱ５から構成されるカレントミラー回路は、トランジスタＱ９のコレクタ電流に応じた電流をトランジスタＱ５のコレクタから引き込む。
【００１８】
トランジスタＱ10は、ＰＮＰトランジスタから構成されており、ベースには反転サンプルホールド信号ＳＨＢが供給される端子Ｔshbに接続され、コレクタにはトランジスタＱ12のコレクタ及びベース、並びに、トランジスタＱ６のベースに接続されている。トランジスタＱ10のコレクタ電流は、カレントミラー回路を構成するトランジスタＱ12及びトランジスタＱ６に供給される。カレントミラー回路を構成するトランジスタＱ12、Ｑ６は、トランジスタＱ10のコレクタ電流に応じた電流をトランジスタＱ６のコレクタから引き込む。
【００１９】
以上のようにトランジスタＱ５、Ｑ６をトランジスタＱ11、Ｑ12とともに電流源として、折り返し、トランジスタＱ９、Ｑ10のコレクタ電流により動作を制御することにより、電源電圧Ｖccと接地との間には、３段のトランジスタを縦列に接続すればよいので、電源電圧Ｖccの低電圧化が可能となる。
【００２０】
しかし、図６に示すような構成では、サンプルホールド信号ＳＨ、反転サンプルホールド信号ＳＨＢにより駆動されるトランジスタＱ９、Ｑ10がＰＮＰトランジスタで構成される。ＰＮＰトランジスタは、一般にＮＰＮトランジスタなどに比べて周波数特性が悪いため、サンプルホールド信号ＳＨ、反転サンプルホールド信号ＳＨＢに対する応答が鈍く、高速で動作させることができない。また、このような構成では、電流源による制御となるため、トランジスタＱ６、Ｑ11、Ｑ12のコレクタ容量をチャージアップするまでの期間遅れが伴う。
【００２１】
図６に示すサンプルホールド回路２１で高速動作を可能とするために、サンプルホールド信号ＳＨ、反転サンプルホールド信号ＳＨＢを用いて高速動作を可能とした回路が提案されている。
【００２２】
図７は従来のサンプルホールド回路の他の一例の変形例の回路構成図を示す。同図中、図６と同一構成部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
本変形例のサンプルホールド回路３１は、サンプルホールド信号ＳＨを、コンデンサＣ２を介してトランジスタＱ12、Ｑ６から構成されるカレントミラー回路のベースに供給し、反転サンプルホールド信号ＳＨＢを、コンデンサＣ12を介してトランジスタＱ11、Ｑ５から構成されるカレントミラー回路のベースに供給した構成とされている。図７に示すような構成とすることにより、サンプルホールド信号ＳＨ及び反転サンプルホールド回路ＳＨＢが反転するときに、その高周波成分により、トランジスタＱ12、Ｑ６から構成されるカレントミラー回路又はトランジスタＱ11、Ｑ５から構成されるカレントミラー回路に動作電流が供給され、その応答性を向上させている（例えば、特許文献１参照）。
【００２３】
【特許文献１】特開平１０−１２５０８８号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２４】
しかるに、図７に示すようなサンプルホールド回路では、サンプルホールド信号ＳＨに応じて電流を引き込むカレントミラー回路及び反転サンプルホールド信号ＳＨＢに応じて電流を引き込む２系統のカレントミラー回路が必要であり、回路構成が複雑になるなどの問題点があった。
【００２５】
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、簡単な回路構成で、低電圧駆動が可能であり、かつ、高速動作が可能なサンプルホールド回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
本発明は、サンプルホールド信号（ＳＨ）に応じて入力電圧（Ｖin）をサンプルホールドするサンプルホールド回路（１００）において、
前記入力電圧（Ｖin）に応じて電荷が充電されるキャパシタ（Ｃ１）と、
前記サンプルホールド信号（ＳＨ）と、前記サンプルホールド信号（ＳＨ）を反転させた反転サンプルホールド信号（ＳＨＢ）とにより差動動作して、出力電流を生成する差動回路（Ｑ８、Ｑ９、Ｑ10）と、
前記差動回路（Ｑ８、Ｑ９、Ｑ10）の出力電流を入力電流として第１の出力電流及び第２の出力電流を生成する第１のカレントミラー回路（Ｑ６、Ｑ12、Ｑ13）と、
前記第１のカレントミラー回路（Ｑ６、Ｑ12、Ｑ13）で生成された第１の出力電流を入力電流として出力電流を生成する第２のカレントミラー回路（Ｑ１、Ｑ２、Ｑ14）と、
前記入力電圧（Ｖin）と前記キャパシタ（Ｃ１）の充電電圧との差に応じた電流により前記キャパシタ（Ｃ１）を充放電するボルテージフォロワ回路（Ｑ３、Ｑ４）と、
前記反転サンプルホールド信号（ＳＨＢ）の入力端と前記第１のカレントミラー回路（Ｑ６、Ｑ12、Ｑ13）から第１の出力電流が出力される出力端との間に接続され、前記反転サンプルホールド信号（ＳＨＢ）に応じて前記第１のカレントミラー回路（Ｑ６、Ｑ12、Ｑ13）から出力され、第２のカレントミラー回路（Ｑ１、Ｑ２、Ｑ14）に供給されるの第１の出力電流を制御する第１の結合回路（Ｃ３）とを有することを特徴とする。
【００２７】
また、本発明は、前記反転サンプルホールド信号（ＳＨＢ）に応じて前記第２のカレントミラー回路（Ｑ２、Ｑ14）の共通ベース電位を制御する第２の結合回路（Ｃ４）を有することを特徴とする。
【００２８】
さらに、本発明は、前記サンプルホールド信号（ＳＨ）に応じて前記第１のカレントミラー回路（Ｑ６、Ｑ12、Ｑ13）の電流入力端を制御する第３の結合回路（Ｃ２）を有することを特徴とする。
【００２９】
また、本発明は、前記第２のカレントミラー回路（Ｑ２、Ｑ14）は、共通ベースの寄生容量を充電する充電回路（Ｒ31）を有することを特徴とする。
【００３０】
さらに、本発明は、前記第２のカレントミラー回路（Ｑ２、Ｑ14）の共通ベースをバッファするトランジスタ（Ｑ31）を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００３１】
上述の如く、本発明によれば、反転サンプルホールド信号（ＳＨＢ）の入力端と第１のカレントミラー回路（Ｑ６、Ｑ12、Ｑ13）から第１の出力電流が出力される出力端との間に第１の結合回路（Ｃ３）を接続することにより、反転サンプルホールド信号（ＳＨＢ）の高周波成分を通過させることにより第１のカレントミラー回路（Ｑ６、Ｑ12、Ｑ13）から出力される第１の出力電流を制御することにより、第１のカレントミラー回路（Ｑ６、Ｑ12、Ｑ13）から出力される第１の出力電流により駆動される第２のカレントミラー回路の切れを高速に行える。よって、サンプル／ホールドの切換を高速に行えるため、サンプルホールド回路を高速動作させることができ、高周波のクロックでサンプルホールド動作を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
〔第１実施例〕
図１は本発明の第１実施例の回路構成図を示す。同図中、図７と同一構成部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００３３】
本実施例のサンプルホールド回路１００は、トランジスタＱ１、Ｑ２及びトランジスタＱ６を電流源として用いている。トランジスタＱ１、Ｑ２は、ＰＮＰトランジスタＱ14とともにカレントミラー回路を構成することにより、電流源とされている。また、トランジスタＱ６は、トランジスタＱ12とともにカレントミラー回路を構成することにより、電流源とされている。
【００３４】
トランジスタＱ１、Ｑ２、Ｑ14から構成されるカレントミラー回路は、トランジスタＱ６、Ｑ12とともにカレントミラー回路を構成するＮＰＮトランジスタＱ13からの電流により駆動される。トランジスタＱ６、Ｑ12、Ｑ13から構成されるカレントミラー回路は、トランジスタＱ10のコレクタ電流により駆動される。
【００３５】
本実施例では、図７に示すサンプルホールド回路３１と同様にサンプルホールド信号ＳＨが反転したときに、サンプルホールド信号ＳＨの高周波成分がコンデンサＣ２を通して、トランジスタＱ12、Ｑ13、Ｑ６から構成される電流源のベースを駆動することで高速で起動させることができる。
【００３６】
これに加えて、本実施例では、トランジスタＱ13のコレクタと、トランジスタＱ14のコレクタ及びベース並びにトランジスタＱ２のベースとの接続点は、コンデンサＣ３を介して反転サンプルホールド信号ＳＨＢが供給される端子Ｔshbに接続されており、これにより、反転サンプルホールド信号ＳＨＢが反転したとき、反転サンプルホールド信号ＳＨＢの高周波成分がコンデンサＣ３を通過して、トランジスタＱ１、Ｑ２、Ｑ14が高速で起動させることができるる。
【００３７】
なお、このとき、トランジスタＱ10は、トランジスタＱ９とともに差動回路を構成しており、トランジスタＱ10がオフ時には、トランジスタＱ９にトランジスタＱ８からの電流が流れる構成とされている。これにより、トランジスタＱ８は、常時、駆動電流を流し続けることができるため、高速動作が可能となる。
【００３８】
サンプルホールド回路１００の構成の場合、トランジスタＱ１、Ｑ２、Ｑ14の共通ベースなどには寄生容量が付与しており、トランジスタＱ13がオフした後も、寄生容量をチャージアップするためにトランジスタＱ１、Ｑ２、Ｑ14に電流が継続して流れる。すなわち、トランジスタＱ１、Ｑ２、Ｑ14の切れが悪くなる。トランジスタＱ２の切れが悪くなると、入力電圧Ｖinのサンプル期間が終了したにもかかわらず、ホールドコンデンサＣ１が充電され、ドループが発生することになる。これを改良するためにトランジスタＱ１、Ｑ２、Ｑ14の切れを良くする必要がある。トランジスタＱ１、Ｑ２、Ｑ14の切れを良くするために改良を施した実施例を以下に示す。
【００３９】
〔第２実施例〕
図２は本発明の第２実施例の回路構成図を示す。同図中、図１と同一構成部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００４０】
本実施例のサンプルホールド回路２００の電流供給回路２１１は、トランジスタＱ３のコレクタを直接電源端子Ｔvccに接続した構成とされている。カレントミラー回路を構成するトランジスタが、トランジスタＱ２、Ｑ14の２つに低減するため、そのベースに寄生する寄生容量も低減し、トランジスタＱ13の切断時の応答性を向上させることができる。
【００４１】
〔第３実施例〕
図３は本発明の第３実施例の回路構成図を示す。同図中、図２と同一構成部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００４２】
本実施例のサンプルホールド回路３００は、トランジスタＱ14、Ｑ２から構成されるカレントミラー回路の寄生容量による回路の切れを、さらに、向上させるために、トランジスタＱ２、Ｑ14のベースを、抵抗Ｒ31を介して電源端子Ｔvccに接続した構成とされている。トランジスタＱ２、Ｑ14のベースを、抵抗Ｒ31を介して電源端子Ｔvccに接続することにより、トランジスタＱ２、Ｑ14のベースに寄生する寄生容量を常時チャージアップさせることができる。
【００４３】
よって、寄生容量の影響を低減でき、トランジスタＱ２、Ｑ14の切れを良くすることができる。また、本実施例では、トランジスタＱ13のコレクタと、トランジスタＱ２及びトランジスタＱ14のベースとをトランジスタＱ31を介して接続している。これにより、トランジスタＱ２、Ｑ14の共通ベースに付く容量に、トランジスタＱ13、トランジスタＱ14のコレクタ容量を含めずに済むため、寄生容量を下げる効果がある。
【００４４】
さらに、本実施例では、トランジスタＱ２、Ｑ14のベースを、コンデンサＣ４を介して反転サンプルホールド信号ＳＨＢが供給される端子Ｔshbに接続した構成とされている。本実施例によれば、反転サンプルホールド信号ＳＨＢが反転したときに、反転サンプルホールド信号ＳＨＢの高周波成分により、トランジスタＱ２、Ｑ14のベース電位を上昇させることができるため、トランジスタＱ２、Ｑ14から構成されるカレントミラー回路の切れを良くすることができる。
【００４５】
なお、このとき、トランジスタＱ14、Ｑ２のベース−エミッタ間電圧Ｖbeは、負の温度特性を有する。したがって、抵抗Ｒ31は、負の温度特性を持たせることが望ましい。抵抗Ｒ31に負の温度特性を持たせるためには、例えば、ポリシリコン抵抗などで構成すればよい。抵抗Ｒ31に負の温度特性を持たせることにより温度に応じてトランジスタＱ２、Ｑ14のベース−エミッタ間電圧Ｖbeが低下した場合でも、抵抗Ｒ31の抵抗値も温度に応じて低減するため、トランジスタＱ２、Q14のベース電位の変動により、寄生容量のチャージアップが影響を受けないようにすることができる。
【００４６】
〔第４実施例〕
図４は本発明の第４実施例の回路構成図を示す。同図中、図３と同一構成部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００４７】
本実施例のサンプルホールド回路４００は、トランジスタＱ14のエミッタと電源端子Ｔvccとの間に抵抗Ｒ41を接続し、トランジスタＱ２のエミッタと電源端子Ｔvccとの間に抵抗Ｒ42を接続した構成とされている。なお、抵抗Ｒ41、Ｒ42は、正の温度特性を有する。  本実施例によれば、正の温度特性を有する抵抗Ｒ41、42をトランジスタＱ14、Ｑ２のエミッタと電源端子Ｔvccとの間に接続することにより、トランジスタＱ14、Ｑ２のベース−エミッタ間電圧Ｖbeの負の温度特性を打ち消すことができる。これによって、トランジスタＱ２、Q14のベース電位の変動により、寄生容量のチャージアップが影響を受けないようにすることができ、よって、トランジスタＱ２、Ｑ14の切れをさらに良くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１実施例の回路構成図である。
【図２】本発明の第２実施例の回路構成図である。
【図３】本発明の第３実施例の回路構成図である。
【図４】本発明の第４実施例の回路構成図である。
【図５】従来のサンプルホールド回路の一例の回路構成図である。
【図６】従来のサンプルホールド回路の他の一例の回路構成図である。
【図７】従来のサンプルホールド回路の他の一例の変形例の回路構成図である。
【符号の説明】
【００４９】
１００、２００、３００、４００  サンプルホールド回路
Ｑ１〜Ｑ14、Ｑ21、Ｑ31  トランジスタ、Ｃ1、Ｃ2、Ｃ3、Ｃ4  コンデンサ
Ｒ21、Ｒ31、Ｒ41、Ｒ42  抵抗
【図１】
2005078670.tif 000003
【図２】
2005078670.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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