(57)【要約】  【課題】機械的な駆動機構を用いることなく、試験対象の撮像素子に照射する光の性質を設定できる光照射装置および撮像素子の試験装置を提供する。  【解決手段】複数の光源２０には、何種類かの異なる色の光を放射する光源が含まれており、各色の光の強さは、所定の試験内容に応じてそれぞれ制御される。この複数の光源２０と、光ファイバ束３０の入力端３１における複数の束とは一対一に対応しており、光源２０からの放射光は、入力端３１の対応する束にそれぞれ入射される。光ファイバ束３０では、入力端３１の各束の光ファイバが出力端３２において分散して配置されているため、入力端３１に入射された複数の光源２０からの光は、光ファイバ束３０の出力端３１において混ざり合った状態で出射される。試験対象の撮像素子５１には、この出力端３２からの光が光学系４０を介して照射される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像素子に試験用の光を照射する光照射装置であって、
それぞれ異なる色の光を放射する複数の光源と、
入力端において複数に束ねられ、出力端において１つに束ねられた複数の光ファイバを含み、上記複数の光源から上記入力端の複数の束にそれぞれ異なる色の光が入射され、上記入力端の各束に入射された光が上記出力端において混ざり合うように、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置された光ファイバ束と、
入力される制御信号に応じて、上記複数の光源で放射される光の強さをそれぞれ制御する光源制御部と、
を有する光照射装置。
【請求項２】
上記複数の光源は、同一種類の色を有する複数の光を放射する光源群を含み、
上記光源群で放射される複数の光が、上記入力端のそれぞれ別の束に入射されている、
請求項１に記載の光照射装置。
【請求項３】
上記光源制御部は、上記光源群で放射される複数の光の強さを全て一律に制御するか、または、該複数の光を複数のグループに分けて、各グループを独立に制御する、
請求項２に記載の光照射装置。
【請求項４】
上記光源群に含まれる光源の少なくとも一部は、同一種類の色の光を放射する光源をそれぞれ異なる数ずつ含んだ複数の光源のグループにグループ分けされており、
上記光源制御部は、上記光源群内の上記グループごとに独立に放射光の強さを制御する、
請求項３に記載の光照射装置。
【請求項５】
上記光源のグループに含まれる光源の数は、２のべき乗に比例した数である、
請求項４に記載の光照射装置。
【請求項６】
上記光源は、発光ダイオードを含み、
上記光源制御部は、上記発光ダイオードに流れる電流を制御する、
請求項１に記載の光照射装置。
【請求項７】
上記光源群は、同一種類の色を有する光を放射する発光ダイオードが複数直列に接続された発光ダイオード直列回路を１つまたは複数含み、
上記光源制御部は、上記発光ダイオード直列回路に流れる電流を制御する、
請求項２乃至５の何れか１つに記載の光照射装置。
【請求項８】
試験対象の撮像素子に光を照射する光照射部と、所定の試験内容に基づいて、上記光照射部の照射光の強度および／または分光組成を制御し、該制御した照射光に応じて上記撮像素子から出力される信号を取得する処理を行う試験処理部とを有する、撮像素子の試験装置であって、
上記光照射部は、
それぞれ異なる色の光を放射する複数の光源と、
入力端において複数に束ねられ、出力端において１つに束ねられた複数の光ファイバを含み、上記複数の光源から上記入力端の複数の束にそれぞれ異なる色の光が入射され、上記入力端の各束に入射された光が上記出力端において混ざり合うように、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置された光ファイバ束と、
上記試験処理部の指示に従って、上記複数の光源で放射される光の強さをそれぞれ制御する光源制御部と、を有する、
撮像素子の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＣＤ（charge coupled device）センサやＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）センサ等の撮像素子に試験用の光を照射する光照射装置、ならびに撮像素子の試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサ等の撮像素子の製造工程には、一般に、撮像素子の光電変換特性を試験する工程が設けられている。
この試験工程では、撮像素子の受光面に種々の条件の光を照射し、これに応じた撮像素子の出力信号を取得して、撮像素子が要求される範囲の特性をもっているかどうかの試験が行われる。
【０００３】
従来、この試験工程において撮像素子に照射する光は、ハロゲンランプ等の白色の光源から放射される光をＮＤ（neutral density）フィルタやカラーフィルタ等の光学フィルタに通すことによって作られている。ＮＤ（neutral density）フィルタは、入射光の分光組成を変えずにその強度を減衰させる機能を有し、カラーフィルタは、入射光から特定の分光組成の光を選択する機能を有するフィルタである。通常は、こうした光学フィルタを複数種類用意しておき、駆動機構を用いて機械的に切り替えることにより、試験条件に合った光が作られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、光学フィルタを機械的に切り替えて試験用の光を作る従来の方法では、光強度や分光組成などの試験条件が使用する光学フィルタによって固定されてしまい、照射光の性質を細かく調節することができないという問題がある。
そのため、所望の試験条件を設定するためには、試験条件に合った光学フィルタを特別に容易する必要があり、コストがかかる。また、試験装置において自動的に切り替えることが可能な光学フィルタの数には制限があるため、試験する項目が多い場合は、光学フィルタを人手で切り替えなくてはならず、試験の効率が良くない。
【０００５】
更に、機械的な駆動機構を必要とするため、装置が大型化し、重量が増えるという問題や、部品の磨耗等による故障が避けられないという問題がある。
【０００６】
また、撮像素子の試験工程には、数十ヘルツ程度の周波数で明滅する蛍光灯などの光を模擬する試験を含む場合がある。しかしながら、従来の方法では、シャッタを使って機械的に光を遮断することしかできないため、あまり高い周波数で光を明滅させることができない。すなわち、照射光の性質を動的に変化させる試験の性能が良くないという問題がある。
【０００７】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、機械的な駆動機構を用いることなく、試験対象の撮像素子に種々の条件の光を照射することができる光照射装置を提供すること、ならびに、そのような光照射装置を有する撮像素子の試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の発明は、撮像素子に試験用の光を照射する光照射装置であって、それぞれ異なる色の光を発生する複数の光源と、光ファイバ束と、光源制御部とを有する。
上記光ファイバ束は、入力端において複数に束ねられ、出力端において１つに束ねられた複数の光ファイバを含み、上記複数の光源から上記入力端の複数の束にそれぞれ異なる色の光が入射される。また、上記入力端の各束に入射された光が上記出力端において混ざり合うように、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置される。
上記光源制御部は、入力される制御信号に応じて、上記複数の光源で発生する光の強さをそれぞれ制御する。
【０００９】
上記第１の発明によれば、上記光ファイバ束の入力端における複数の束に上記複数の光源からそれぞれ異なる色の光が入射されると、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置されているため、上記光ファイバ束の出力端からは、異なる色の入射光が混ざり合った状態で出射される。上記光源制御部において、上記複数の光源で放射される光の強さがそれぞれ制御されると、これに応じて、上記出力端において混ざり合う異なる色の光の強さがそれぞれ設定されるため、結果として、上記出力端から出射される光の性質（光の強度や分光組成など）が設定される。
【００１０】
上記第１の発明において、上記複数の光源は、同一種類の色を有する複数の光を放射する光源群を含んでも良く、上記光源群で放射される複数の光が、上記入力端のそれぞれ別の束に入射されても良い。
同一種類の色を有する光を上記入力端の複数の束に入射すると、これを１つ束のみに入射する場合に比べて、上記出力端における光の分散性が良くなる。その結果、異なる種類の色の光が、上記出力端においてより均一に混ざり合う。
【００１１】
また、上記光源制御部は、上記光源群で放射される複数の光の強さを一律に制御しても良いし、あるいは、該複数の光を複数のグループに分けて、各グループを独立に制御しても良い。
一律に制御する場合、上記光源群の各光源の制御のために必要な回路を共通化することが可能になり、回路が単純になる。グループごとに独立に制御する場合は、一律に制御する場合に比べて、上記光源群で放射される全体の光の強さを細かく制御することが可能になる。
この場合、上記光源群に含まれる光源の少なくとも一部は、同一種類の色の光を放射する光源をそれぞれ異なる数ずつ含んだ複数の光源のグループにグループ分けされていても良く、上記光源制御部は、上記光源群内の上記グループごとに独立に放射光の強さを制御しても良い。更に、上記光源のグループに含まれる光源の数は、２のべき乗に比例した数でも良い。
【００１２】
好適には、上記光源は発光ダイオードを含み、上記光源制御部は上記発光ダイオードに流れる電流を制御する。
【００１３】
また好適には、上記光源群は、同一種類の色を有する光を放射する発光ダイオードが複数直列に接続された発光ダイオード直列回路を１つまたは複数含み、上記光源制御部は、上記発光ダイオード直列回路に流れる電流を制御する。
【００１４】
本発明の第２の発明は、撮像素子の試験装置であって、試験対象の撮像素子に光を照射する光照射部と、所定の試験内容に基づいて、上記光照射部の照射光の強度および／または分光組成を制御し、該制御した照射光に応じて上記撮像素子から出力される信号を取得する処理を行う試験処理部とを有する。上記光照射部は、それぞれ異なる色の光を放射する複数の光源と、入力端において複数に束ねられ、出力端において１つに束ねられた複数の光ファイバを含み、上記複数の光源から上記入力端の複数の束にそれぞれ異なる色の光が入射され、上記入力端の各束に入射された光が上記出力端において混ざり合うように、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置された光ファイバ束と、上記試験処理部の指示に従って、上記複数の光源で放射される光の強さをそれぞれ制御する光源制御部とを有する。
【００１５】
上記第２の発明によれば、上記光ファイバ束の入力端における複数の束に上記複数の光源からそれぞれ異なる色の光が入射されると、上記入力端の各束の光ファイバが上記出力端において分散して配置されているため、上記光ファイバ束の出力端からは、異なる色の入射光が混ざり合った状態で出射される。上記所定の試験内容に応じた上記試験処理部からの指示に従って、上記複数の光源で放射される光の強さがそれぞれ制御されると、これに応じて、上記出力端において混ざり合う異なる色の光の強さがそれぞれ設定され、その結果、上記試験処理部の指示に応じた性質（光の強度や分光組成など）を有する光が上記撮像素子に照射される。この照射光に応じて上記撮像素子から出力される信号が、上記試験処理部に取得される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、機械的な駆動機構を用いることなく、試験対象の撮像素子に照射する光の強度や分光組成などの性質を連続的に細かく設定することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の２つ実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１８】
＜第１の実施形態＞
【００１９】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る撮像素子の試験装置の構成例を示す図である。
図１に示す撮像素子の試験装置は、光源制御部１０と、複数の光源２０と、光ファイバ束３０と、光学系４０と、試験テーブル部５０と、試験処理部６０と、レンズ７０とを有する。
【００２０】
なお、光源制御部１０は、本発明の光源制御部の一実施形態である。
複数の光源２０は、本発明の複数の光源の一実施形態である。
光ファイバ束３０は、本発明の光ファイバ束の一実施形態である。
【００２１】
光源制御部１０は、試験処理部６０から入力される制御信号Ｓｃｏｎｔに応じて、複数の光源２０で放射される光の強さをそれぞれ制御する。
【００２２】
複数の光源２０は、何種類かの異なる色の光を放射する光源を含んでおり、光源制御部１０の制御に応じて、それぞれの放射光の強さを変化させる。
複数の光源２０には、例えば発光ダイオードが用いられる。
【００２３】
図２は、光源制御部１０の詳細な構成の一例を示す図である。
図２に示す光源制御部１０は、トランジスタＱ１〜Ｑ１０，Ｑ２０と、抵抗Ｒ１〜Ｒ１０と、電流計Ｍ１〜Ｍ１０，Ｍ２０と、駆動信号出力部１１とを有する。
【００２４】
また、図２の例において、複数の光源２０は、５つの発光ダイオードが直列接続された光源群２０−１〜２０−１０を有する。
【００２５】
可変抵抗Ｒｉ（ｉは１から１０までの整数を示す）、トランジスタＱｉ、光源群２０−ｉ、および電流計Ｍｉは、互いに直列に接続されている。この直列回路の一方の端は、グランド線Ｇに接続されており、他方の端は、電流計Ｍ２０とトランジスタＱ２０との直列回路を介して、電源線Ｖｃｃに接続されている。
【００２６】
可変抵抗Ｒｉは、光源群２０−ｉの発光強度を手動で変化させるための抵抗である。
トランジスタＱｉは、光源群２０−ｉの発光強度を駆動信号Ｓｉに応じて変化させる。
電流計Ｍｉは、光源群２０−ｉの発光ダイオードに流れる電流を観測するための測定器である。
【００２７】
トランジスタＱ２０は、全ての光源群（２０−１〜２０−１０）を駆動信号Ｓ２０に応じてオンオフさせるためのスイッチである。トランジスタＱ２０は、例えば、所定の周波数で明滅する光を生成するために用いられる。
電流計２０は、全ての光源群（２０−１〜２０−１０）に流れる合計の電流を観測するための測定器である。
【００２８】
なお、図２の例において、光源群２０−１，２０−２は青色、光源群２０−３，２０−４は水色、光源群２０−５，２０−６は緑色、光源群２０−７，２０−８は黄色、光源群２０−９，２０−１０は赤色の発光ダイオードでそれぞれ構成されている。
【００２９】
駆動信号出力部１１は、試験処理部６０からの制御信号Ｓｃｏｎｔに応じて、トランジスタＱ１〜Ｑ１０，Ｑ２０のベースに入力する駆動信号Ｓ１〜Ｓ１０，Ｓ２０を生成する。
【００３０】
図１の説明に戻る。
光ファイバ束３０は、入力端３１において複数に束ねられ、出力端３２において１つに束ねられた、複数の光ファイバを含んでいる。入力端３１の複数の束には、それぞれ、複数の光源２０からの光がレンズ７０を介して入射される。すなわち、図２に示す光源群２０−１〜２０−１０における１つの発光ダイオードの放射光が、入力端３１の１つの束にそれぞれ入射される。
【００３１】
また、光ファイバ束２０では、入力端３１の各束に入射された光が出力端において混ざり合うように、入力端３１の各束の光ファイバが出力端において分散して配置されている。
【００３２】
光学系４０は、光ファイバ束３０の出力端３２から出射される光を試験対象の撮像素子５１に導く。
【００３３】
光学系４０は、例えば図１に示すように、レンズ４１〜４３を有する。
レンズ４１は、光ファイバ束２０の出力端３２から出射された光を収束して、レンズ４２に入射する。
レンズ４２は、照度分布を均一化するためのレンズであり、例えば単レンズを縦横にマトリクス状に配列したフライアイレンズが用いられる。
レンズ４３は、レンズ４２において照度分布が均一化された光を更に収束して、試験対象の撮像素子５１に照射する。
【００３４】
試験テーブル部５１は、光学系４１からの光の照射位置に対して試験対象の撮像素子５１の受光面を適切な位置に保持する。また、撮像素子５１の信号入出力ピンと電気的に接触する図示しないプローブを含んでおり、このプローブを介して、試験処理部６０と撮像素子５１とを電気的に接続する。
【００３５】
試験処理部６０は、所定の試験内容に基づいて、複数の光源２０から放射される光の強さをそれぞれ指示する制御信号Ｓｃｏｎｔを生成し、光源制御部１０に入力する。また、この光源２０からの光に応じて試験対象の撮像素子５１から出力される信号（撮像画像信号など）を、試験テーブル部５１経由で取得する。試験処理部６０は、撮像素子５１から取得した信号に基づいて、撮像素子５１が要求された特性を有しているか否か等の評価を行う。
【００３６】
次に、上述した構成を有する撮像素子の試験装置の動作を説明する。
【００３７】
まず、試験テーブル部５１に試験対象の撮像素子５１を配置し、試験処理部６０から試験内容に応じた制御信号Ｓｃｏｎｔを出力する。
【００３８】
光源制御部１０は、制御信号Ｓｃｏｎｔに応じて、複数の光源２０における光の強さをそれぞれ制御する。
すなわち、駆動信号出力部１１が、制御信号Ｓｃｏｎｔに応じた駆動信号Ｓ１〜Ｓ１０を出力し、これに応じて、光源群２０−１〜２０−１０のそれぞれに流れる電流が設定される。光源群２０−１〜２０−１０の各発光ダイオードは、この設定電流に応じた強度を有する光を放射する。
したがって、光ファイバ束３０の入力端３１には、制御信号Ｓｃｏｎｔに応じた強度を有する複数色の光が入射される。
【００３９】
光ファイバ束３０の入力端３１の各束に入射される光は、それぞれの束を構成する光ファイバを通って、出力端３１から出射される。
光ファイバ束３０では、入力端３１の各束の光ファイバが出力端３１において分散して配置されているため、各束に入射される光源２０からの光は、出力端３１において互いに混ざりあった状態になる。すなわち、光ファイバ束３０は、複数の光源２０から放射される光を混合する。
【００４０】
このようにして複数色の光を混合した光は、光学系４０において照度分布を均一化されて収束され、試験対象の撮像素子５１の受光面に照射される。
この照射光に応じて撮像素子５１から出力される信号は、試験テーブル部５０を介して試験処理部６０に入力される。
試験処理部６０は、撮像素子５１からの出力信号を取得し、この取得した信号に基づいて、撮像素子５１が要求された特性を有しているか否か等の評価を行う。
【００４１】
以上説明したように、本実施形態の複数の光源２０には、何種類かの異なる色の光を放射する光源が含まれており、各色の光の強さは、所定の試験内容に応じてそれぞれ制御される。この複数の光源２０と、光ファイバ束３０の入力端３１における複数の束とは一対一に対応しており、光源２０からの放射光は、入力端３１の対応する束にそれぞれ入射される。光ファイバ束３０では、入力端３１の各束の光ファイバが出力端３２において分散して配置されているため、入力端３１に入射された複数の光源２０からの光は、光ファイバ束３０の出力端３１において混ざり合った状態で出射される。試験対象の撮像素子５１には、この出力端３２からの光が光学系４０を介して照射される。
このように、複数の光源２０における各色の放射光の強さを試験内容に応じて制御することによって、試験対象の撮像素子５１に照射する光に含まれる異なる色の光の強さをそれぞれ設定することが可能になることから、試験対象の撮像素子５１に照射する光の強度や分光組成などの性質を、機械的な駆動機構を用いることなく、試験内容に応じて自由に設定することが可能になる。
したがって、機械的な駆動機構を用いる場合に比べて装置を小型化、軽量化することが可能になるとともに、部品の磨耗等による故障がなくなるため、信頼性が向上する。
【００４２】
また、放射光の強さを駆動信号に応じて連続的に変化させることが可能な発光ダイオードなどの発光素子を光源２０として用いることにより、試験対象の撮像素子５１に照射する光に含まれる異なる色の光の強さをそれぞれ連続的に変化させることが可能になり、その結果、試験対象の撮像素子５１に照射する光の強度や分光組成などの性質を連続的に変化させることが可能になる。
したがって、試験対象の撮像素子に照射する光の性質を連続的に調節することが可能になる。
これにより、試験条件に合った光学フィルタを特別に容易する必要がなくなるため、コストの削減を図ることができるとともに、光学フィルタを人手で切り替える等の作業が不要になるため、試験の効率を向上させることができる
【００４３】
また、光源２０に供給する駆動信号を制御することにより、試験対象の撮像素子５１に照射する光の強度や分光組成等の性質を変化させることができるため、機械的な方法によりこれらの性質を変化させる従来の方法に比べて、変化のスピードを高速化することができる。すなわち、照射光の性質を動的に変化させる試験（照射光を明滅させる試験など）の性能を、従来の方法に比べて向上させることができる。
【００４４】
しかも、本実施形態によれば、同一種類の色の光を放射する光源２０が光源群（２０−１〜２０−１０）を形成しており、各光源群から放射される複数の光が、入力端３１のそれぞれ別の束に入射される。そのため、１種類の色の光を入力端３１の１つ束のみに入射する場合に比べて、出力端３２における光の分散性が良くなる。その結果、異なる種類の色の光を、出力端３２においてより均一に混ぜ合わせることができる。
【００４５】
また、本実施形態によれば、１つの光源群を構成する５つの発光ダイオードの放射光が一律に制御されるため、これらを別々に制御する場合に比べて制御回路を簡易化することができる。
【００４６】
＜第２の実施形態＞
次に、第２の実施形態を述べる。
【００４７】
図３は、発光ダイオードに流れる電流と発光強度との関係の一例を示す図である。
図３に示すように、発光ダイオードは、しきい電流ＩＬより電流が小さい場合に、ほとんど発光が起こらない性質がある。このしきい電流ＩＬは、個体毎のばらつきが大きいため、図２に示すように複数の発光ダイオードを直列接続した場合、直列接続された発光ダイオードの全体の発光強度は、各発光ダイオードのしきい電流ＩＬ付近において不連続に変化する。すなわち、微小な発光強度の設定精度が悪くなるという問題がある。
【００４８】
図４は、このような発光強度の設定精度の悪化を改善した、本実施形態に係る光源群２０Ａ−１〜２０Ａ−１０の構成の一例を示す図である。その他の試験装置の構成については、図１および図２に示す構成と同様である。
【００４９】
図４に示す光源群２０Ａ−１〜２０Ａ−１０は、それぞれ、図２に示す光源群２０−１〜２０−１０を置き換えたものである。
光源群２０Ａ−１は、直列接続された４つの青色発光ダイオードを含む。
光源群２０Ａ−２は、直列接続された４つの水色発光ダイオードを含む。
光源群２０Ａ−３は、直列接続された４つの緑色発光ダイオードを含む。
光源群２０Ａ−４は、直列接続された４つの黄色発光ダイオードを含む。
光源群２０Ａ−５は、直列接続された４つの赤色発光ダイオードを含む。
光源群２０Ａ−６は、１つの白色発光ダイオードを含む。
光源群２０Ａ−７は、直列接続された２つの白色発光ダイオードを含む。
光源群２０Ａ−８は、直列接続された４つの白色発光ダイオードを含む。
光源群２０Ａ−９は、直列接続された８つの白色発光ダイオードを含む。
光源群２０Ａ−１０は、直列接続された１５の白色発光ダイオードを含む。
【００５０】
図４に示す光源の構成によると、白色光を発生する光源が、５つの光源群（２０Ａ−６〜２０Ａ−１０）にグループ分けされており、この各グループが、駆動信号Ｓ５〜Ｓ１０に応じて独立に制御される。そのため、白色光の強度を、発光ダイオードのしきい電流付近の微小な強度に設定する場合には、光源群２０Ａ−６の１つの白色発光ダイオードのみを発光させれば良いため、しきい電流のばらつきによる上述した設定精度の悪化は起こらない。
【００５１】
また、設定する白色光の強度に応じて、光源群２０Ａ−６〜２０Ａ−１０から適切な光源を選択し発光させることにより、白色光の強度の微妙な調節は、光源群２０Ａ−６の１つの白色発光ダイオードの電流を調節することにより行うことが可能である。例えば、白色発光ダイオードの６個分から７個分の範囲の光強度を設定する場合、トランジスタＱ７およびＱ８をオン、トランジスタＱ９およびＱ１０をオフさせた状態で、トランジスタＱ６の電流を調節すれば良い。
このように、本実施形態によれば、複数の発光ダイオードに流れる電流を一律に制御する方法に比べて、発光強度のより微妙な調節が可能になる。
【００５２】
しかも、光源群２０Ａ−６〜２０Ａ−９に含まれる発光ダイオードの数が２のべき乗に比例した数になっているため、白色光の強度として試験処理部６０から２進数のデータが与えられる場合に、トランジスタＱ７〜Ｑ１０のオンとオフの状態を、データの各桁のビット値に対応付けて設定し易くなる。
【００５３】
以上、本発明の好ましい２つの実施形態について述べたが、本発明はこれらの形態にのみ限定されるものではない。
【００５４】
例えば、上述した実施形態では、光源２０と光ファイバ束３０の入力端３１との間にレンズ７０を設けているが、本発明はこれに限定されない。
光源２０から放射される光の指向性が鋭い場合には、例えば図５（Ａ）に示すように、光源２０の光線を入力端３１に直接入射しても良い。
また、内面に鏡面を持つ円筒状のミラー７１（図５（Ｃ））や、球体レンズ７２（図５（Ｄ））などを用いて、光源２０の放射光を入力端３１に集めることも可能である。
【００５５】
上述した実施形態では、光源として発光ダイオードを用いているが、これに限定されず、駆動信号に応じて発光強度を連続的に可変することが可能な他の種々の発光素子を用いても良い。
【００５６】
上述した実施形態において示した回路や、光源の種類、個数、光学系の構成、配置などは、何れも説明上の一例に過ぎず、任意に変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】第１の実施形態に係る撮像素子の試験装置の構成例を示す図である。
【図２】光源制御部および光源群の構成の一例を示す図である。
【図３】発光ダイオードに流れる電流と発光強度との関係の一例を示す図である。
【図４】第２の実施形態に係る光源群の構成の一例を示す図である
【図５】光源と光ファイバ束との間に挿入される光学系の例を示す図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０…光源制御部、１１…駆動信号出力部、２０…光源、２０−１〜２０−１０，２０Ａ−１〜２０Ａ−１０…光源群、３０…光ファイバ束、４０…光学系、５０…試験テーブル部、６０…試験処理部、７０…レンズ、Ｑ１〜Ｑ１０，Ｑ２０…トランジスタ、Ｒ１〜Ｒ１０…可変抵抗、Ｍ１〜Ｍ１０，Ｍ２０…電流計
【図１】
2005259426.tif 000003
【図２】
2005259426.tif 000004
【図３】
2005259426.tif 000005
【図４】
2005259426.tif 000006
【図５】
2005259426.tif 000007