(57)【要約】【課題】本発明は磁気ディスク用サスペンションのロール・ピッチ角測定方法及び装置に関し、正確で安定したロール・ピッチ角測定方法及び装置を提供することを目的としている。【解決手段】サスペンション１をＸＹステージ１２上に固定し、ステージ１２或いはレーザ変位計７を移動させる移動手段と、前記移動手段によりステージ１２或いはレーザ変位計７を移動させながら、ＸＹステージ座標データをＸＹ座標、レーザ変位計測定値データをＺ座標として得るデータ取得手段と、ＸＹＺ座標を測定し、３箇所以上の座標測定から、ロール角、ピッチ角を算出する演算手段１０と、レーザ変位計７でヘッド上をスキャンして、同時に得られるＸＹステージ座標データ、レーザ変位計変位データ、レーザ照射時における、返光が有るか無いかを示すデータの３個のデータを１セット或いは関連付けして記憶領域１４に格納する格納手段と、により構成される。【選択図】      図５
2005018906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスク用サスペンションをＸＹステージ上に固定し、ステージ或いはレーザ変位計を移動させながら、レーザ変位計データ出力周期に同期し、ＸＹステージ座標データをＸＹ座標、レーザ変位計測定値データをＺ座標として得て、ＸＹＺ座標を測定し、２箇所以上の座標測定から回帰平面法によって、サスペンション捩れに基づくロール角、ピッチ角を算出する磁気ディスク用サスペンションのロール・ピッチ角測定方法において、
レーザ変位計でサスペンションヘッド上をスキャンし（ステップ１）、
同時に得られるＸＹステージ座標データと、レーザ変位計変位データと、レーザ変位計レーザ光がサスペンション上に照射され、返光が有るか無いかを示すステータスデータの３個のデータを１セット或いは関連付けして記憶領域或いは記録媒体に格納する（ステップ２）
ようにしたことを特徴とする磁気ディスク用サスペンションのロール・ピッチ角測定方法。
【請求項２】
磁気ディスク用サスペンションをＸＹステージ上に固定し、ステージ或いはレーザ変位計を移動させる移動手段と、
前記移動手段によりステージ或いはレーザ変位計を移動させながら、レーザ変位計データ出力周期に同期し、ＸＹステージ座標データをＸＹ座標、レーザ変位計測定値データをＺ座標として得るデータ取得手段と、
ＸＹＺ座標を測定し、３箇所以上の座標測定から回帰平面法によって、ロール角、ピッチ角を算出する演算手段と、
レーザ変位計でサスペンションヘッド上をスキャンして、同時に得られるＸＹステージ座標データ、レーザ変位計変位データ、レーザ変位計レーザ光がサスペンション上に照射され、返光が有るか無いかを示すステータスデータの３個のデータを１セット或いは関連付けして記憶領域に格納する格納手段と、
により構成される磁気ディスク用サスペンションのロール・ピッチ角測定装置。
【請求項３】
前記記憶領域から記憶したデータを読み出し、レーザ返光ステータスデータのオン／オフを確認することにより、ステータスデータのオンとオフが切り替わる箇所をサスペンション外形と認識することを特徴とする請求項１記載の磁気ディスク用サスペンションのロール・ピッチ角測定方法。
【請求項４】
サスペンション外形位置のＸＹ座標を基準にして、測定ポイントに相当するＸＹ座標を格納したデータ内から探し出し、本来測定すべき座標を求めることを特徴とする請求項３記載の磁気ディスク用サスペンションのロール・ピッチ角測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ディスク用サスペンションのロール・ピッチ角測定方法に関する。近年、ハードディスク装置（ＨＤＤ）の容量が増大するにつれて、ハードディスク装置の構成要素であるサスペンションの形状誤差が非常に大事になってきている。具体的には、サスペンションの先端部に取り付けられるデータ書込み／読み出し用の磁気ディスクヘッドの形状誤差が特に問題となっている。従って、ハードディスク装置に取り付ける際に、所定の形状の基準値を満たさないものは、排除する必要がある。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク用サスペンションの捩れ、即ちロール及びピッチ角を測定する方法に、三角測量式レーザ変位計と、３軸（ＸＹＺ）ステージで構成される３次元測定を応用した方式がある。図６は、サスペンションのロール、ピッチの説明図である。図において、１はサスペンション、２はサスペンション基準面、３はサスペンション１の先端部に取り付けられるヘッド、４はヘッド３のロール・ピッチ角測定面である。図のＸ軸方向を考えると、このＸ軸方向に対して回転する現象がロール、Ｘ軸と９０度直交するＹ軸に対して回転する現象がピッチ、ＸＹ軸と９０度直交するＺ軸に対して回転する現象がヨーである。ロール、ピッチ、ヨーは、自動車の走行性能を判断する際にも使用される。
【０００３】
前述した方式の中でも、量産工場においてサスペンションを全数検査するため、高速に測定を行なう方式がある（例えば特許文献１参照）。この特許文献１に記載されている方式は、サスペンションをＸＹステージ上に固定し、ステージを移動させながら、予め決められたＸＹ座標を通過した際に、三角測量方式のレーザ変位計測定データをＺ座標として、パソコンに取り込むことにより、ＸＹＺ座標を測定し、３箇所以上の座標測定から回帰平面法によってロール角、ピッチ角を測定するものである。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−７４６３０号公報（第７頁、図１５）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前述した特許文献１記載の発明は、従来の３次元測定機のように測定位置でＸＹＺステージを停止させ、データを取得する方法と比較して、高速にデータ取得を行なえるという利点がある。しかしながら、複数のサスペンションを同一治具上に搭載し、測定を行なう量産工場での適用を考えると、レーザ変位計と個々のサスペンションとの相対距離が全て一定であることが稀であるような場合、前記特許文献１に記載の手法であるところの、三角測量方式レーザ変位計の測定値データをＺ座標として代表させる方式では、従来の３次元測定機では起きることのない、以下に示すような問題が発生する。
【０００６】
図７はレーザ入射角の影響の説明図である。図において、７はレーザ変位計、１はレーザ光が入射されるサスペンションである。（ａ）は通常状態を、（ｂ）はズレ状態をそれぞれ示す。（ａ）に示す状態では、レーザ変位計７とサスペンション１間の距離Ｈで、サスペンション１に対して入射角θで入射し、反射する。ここで、高さＨ方向の距離がΔＨだけ移動したものとする。レーザ光のサスペンション１への入射点は、軸８の真下の点からΔＬだけずれる。このΔＬはレーザ入射角に起因する位置ズレで、次式で表わされる。
【０００７】
ΔＬ＝ΔＨｔａｎθ
この結果、下記に示すような問題が発生する。
１．  サスペンション上のスライダーＡＢＳ面（ラップ研磨された面、図８参照）等の狭いエリアを測定する場合には、位置ズレにより、測定ポイントが本来測定するエリアから逸脱する。図８はサスペンション１の表面を示す。ヘッド３の拡大図を下に示す。スライダーＡＢＳ面は、例えば１．２ｍｍ×１ｍｍの矩形状をなしている。
【０００８】
レーザ変位計で測定を行なう４点ａ〜ｄの内、点ａは□０．１ｍｍ程度しか測定可能範囲がないため、矢印で示すような測定位置ズレが生じ、測定エリアから外れると、測定されたロール・ピッチ角度に大きな影響が発生する。
２．  スライダーのように狭いエリアでなくても、サスペンション単体（通常は金属表面）の測定において、図９の形状をしたサスペンションで外形近傍に測定ポイント（○で示す）を設定した場合には、測定するエリアから逸脱する可能性がある。図９はサスペンション裏面を示している。
【０００９】
測定を行なう４点ａ〜ｄがサスペンション外形際に設定されている場合、仮に矢印のような測定位置ズレが生じ、レーザ変位計のレーザスポットがサスペンションから外れると、測定されるロール・ピッチ角度に大きな影響が発生する。
【００１０】
以上の問題は、たとえ画像認識によりＸＹ平面方向の位置ズレ検出・補正を行なったとしても、レーザ変位計とサスペンション間基準距離Ｈとの差がある場合には、必ず発生する。従って、前記特許文献１記載の手法では、測定対象のサスペンションについて、本来測定しなければならない座標と実際に測定される座標がずれる可能性が非常に高い。そのため、測定されたロール・ピッチ角度の信頼性は大きく失われることになる。
【００１１】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、正確で安定したサスペンションロール・ピッチ角測定方法及び装置を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
（１）請求項１記載の発明は、以下の通りである。図１は本発明方法の原理を示すフローチャートである。本発明は、磁気ディスク用サスペンションをＸＹステージ上に固定し、ステージ或いはレーザ変位計を移動させながら、レーザ変位計データ出力周期に同期し、ＸＹステージ座標データをＸＹ座標、レーザ変位計測定値データをＺ座標として得て、ＸＹＺ座標を測定し、２箇所以上の座標測定から回帰平面法によって、サスペンション捩れに基づくロール角、ピッチ角を算出する磁気ディスク用サスペンションのロール・ピッチ角測定方法において、レーザ変位計でサスペンションヘッド上をスキャンし（ステップ１）、同時に得られるＸＹステージ座標データと、レーザ変位計変位データと、レーザ変位計レーザ光がサスペンション上に照射され、返光が有るか無いかを示すステータスデータの３個のデータを１セット或いは関連付けして記憶領域或いは記録媒体に格納する（ステップ２）ようにしたことを特徴とする。
【００１３】
このように構成すれば、ＸＹステージデータと、レーザ変位計データと、サスペンションの外形を示すステータスデータの３個のデータを１セットとして格納するようにしているので、ステータスデータから面のあるサスペンション部分が認識でき、その面についてレーザ変位計を照射することにより、Ｚ座標を算出することができる。このように、本発明によれば、測定ポイントのＸＹＺ座標値を正確に算出することができる結果、正確で安定したサスペンションロール・ピッチ角測定方法を提供することができる。
（２）請求項２記載の発明は、磁気ディスク用サスペンションをＸＹステージ上に固定し、ステージ或いはレーザ変位計を移動させる移動手段と、前記移動手段によりステージ或いはレーザ変位計を移動させながら、レーザ変位計データ出力周期に同期し、ＸＹステージ座標データをＸＹ座標、レーザ変位計測定値データをＺ座標として得るデータ取得手段と、ＸＹＺ座標を測定し、３箇所以上の座標測定から回帰平面法によって、ロール角、ピッチ角を算出する演算手段と、レーザ変位計でサスペンションヘッド上をスキャンして、同時に得られるＸＹステージ座標データ、レーザ変位計変位データ、レーザ変位計レーザ光がサスペンション上に照射され、返光が有るか無いかを示すステータスデータの３個のデータを１セット或いは関連付けして記憶領域に格納する格納手段と、により構成されることを特徴とする。
【００１４】
このように構成すれば、ＸＹステージデータと、レーザ変位計データと、サスペンションの外形を示すステータスデータの３個のデータを１セットとして格納するようにしているので、ステータスデータから面のあるサスペンション部分が認識でき、その面についてレーザ変位計を照射することにより、Ｚ座標を算出することができる。このように、本発明によれば、測定ポイントのＸＹＺ座標値を正確に算出することができる結果、正確で安定したサスペンションロール・ピッチ角測定装置を提供することができる。
（３）請求項３記載の発明は、前記記憶領域から記憶したデータを読み出し、レーザ返光ステータスデータのオン／オフを確認することにより、ステータスデータのオンとオフが切り替わる箇所をサスペンション外形と認識することを特徴とする。
【００１５】
このように構成すれば、サスペンション外形を正確に認識できるので、測定ポイントを外形エッジから所定距離離れた面上の点に設定することができ、面のＸＹＺ座標値を正確に測定することができる。
（４）請求項４記載の発明は、サスペンション外形位置のＸＹ座標を基準にして、測定ポイントに相当するＸＹ座標を格納したデータ内から探し出し、本来測定すべき座標を求めることを特徴とする。
【００１６】
このように構成すれば、サスペンションの外形位置のＸＹ座標を基準とし、その基準位置から測定ポイントをＸＹ座標を格納したデータ内から探し出して本来測定すべき座標とすることができ、ロール・ピッチ角測定の精度を上げることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態例を詳細に説明する。
【００１８】
図２は格納データアドレスとサスペンション外形位置との対応例を示す図である。３ａはサスペンションヘッド部３の外形である。図に示すような場合を例にとる。サスペンション１個につき、ロール・ピッチ角を決定する座標（測定座標）がＰ１〜Ｐ４までの４点ある場合、Ｐ１，Ｐ２及びＰ３，Ｐ４を通る２本の破線Ｌ１，Ｌ２上をレーザ変位計のレーザスポットが通過するように、サスペンション或いはレーザ変位計を移動させる。
【００１９】
本発明では、以下の手順で、４点の測定座標Ｐ１（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１）〜Ｐ４（Ｘ４，Ｙ４，Ｚ４）を決定する。
（ｉ）データの格納
レーザ変位計のレーザスポットが破線（ライン）Ｌ１上を移動中に一定間隔で得られる下記３つのデータをパソコン等のメモリに全て格納する。この時、上記３点データが１セットで格納されているものとする。
▲１▼ＸＹステージ座標データ：測定対象であるサスペンション及びレーザ変位計レーザスポット照射位置のＸＹ平面における位置座標データ。これらデータは、例えばステージに設けられたエンコーダ等の測長器の出力データとして得られる。
▲２▼レーザ変位計変位データ：レーザ変位計で測定されたＺ軸方向のデータ（Ｚ座標データ）
▲３▼レーザ変位計レーザ光がサスペンション上に照射されて返光が有るか無いかを示すステータスデータ
図３は測定格納データの例を示す図である。図はラインＬ１の走査に基づくデータの組を示している。メモリアドレスに対して、Ｘ座標（ｍｍ）と、Ｙ座標（ｍｍ）と、レーザ変位計変位データ（ｍｍ）と、変位計ステータスデータとから構成されている。即ち、Ｘ軸座標値と、Ｙ軸座標値と、変位計変位データ（Ｚ座標値）と、ステータスデータとを１つのデータセットとして格納している。このうち、ステータスデータは、“０”の場合がサスペンション無し、“１”の場合がサスペンション上測定中を示している。ラインＬ１では、Ｙ方向のデータは変化しないので、どの点のＹ座標も同じ値（１０ｍｍ）である。
【００２０】
図２に示すＬ１上の点Ｎ１１，Ｎ１２，Ｎ１３，Ｎ１４，Ｎ１５，Ｎ１６と、図３に示すＮ１１，Ｎ１２，Ｎ１３，Ｎ１４，Ｎ１５，Ｎ１６とはそれぞれ対応している。例えば、アドレス０〜Ｎ１１までの間、Ｎ１１〜Ｎ１２の間（以下同様）もデータが存在するが、ここでは特に説明していない。Ｎ１１の点では、ステータスデータが“０”から“１”に変化している。この点が図２内のＮ１１であることが分かる。
【００２１】
また、Ｎ１２の点では、ステータスデータが“１”から“０”に変化し、ヘッド面が無くなっていることが分かる。この点は、図２のＮ１２に相当している。また、Ｎ１３の点では、ステータスデータが“０”から“１”に変化し、再びヘッド面が存在するようになったことが分かる。この点が図２のＮ１３に相当している。
【００２２】
また、測定ポイントＰ１がＮ１３からＸ軸方向に０．１ｍｍの位置に設定されている場合は、この位置（Ａ点）のデータが正確な座標データとなる。この例では、Ｐ１のＸＹＺは（１．８６，１０，０．０５５１）となる。測定ポイントＰ２がＰ１からＸ軸方向に０．８ｍｍの位置に設定されている場合は、この位置（Ｂ点）のデータが正確なＰ２座標データとなる。この例では、Ｐ２のＸＹＺは（２．６６，１０，０．０４４９）となる。
【００２３】
次に、Ｎ１４の点では、ステータスデータが“１”から“０”へ変化し、ヘッド面が無くなっていることが分かる。この点は、図２のＮ１４に相当している。また、Ｎ１５の点では、ステータスデータが“０”から“１”に変化し、ヘッド面が存在するようになったことが分かる。この点は、図２のＮ１５に相当している。また、Ｎ１６の点では、ステータスデータが“１”から“０”に変化し、ヘッド面が無くなっていることが分かる。この点は、図２のＮ１６に相当している。そして、メモリアドレスＥＮＤが最終測定データとなる。
（ｉｉ）サスペンション外形位置の確認
データを図３に示すように格納した場合、格納した順（メモリアドレス０〜ＥＮＤ）にメモリからデータを引き出しながら、レーザ返光ステータスデータのオン／オフ（図３では“１”又は“０”）確認を行なう。ステータスデータのオンとオフが切り替わる場所がサスペンション外形となることが分かる。図２に示す例の場合、ラインＬ１にＮ１１〜Ｎ１６までの６箇所の切り替え、ラインＬ２にＮ２１〜Ｎ２６までの６箇所の切り替えがあることになる。
（ｉｉｉ）測定座標の決定
（ｉＩ）項の結果からサスペンション外形位置のＸＹ座標はメモリアドレスＮ１１〜Ｎ１６におけるＸＹ座標値となる。そのサスペンション外形位置のＸＹ座標を基準にして、測定ポイント（Ｐ１，Ｐ２）に対応するＸＹ座標値（Ｘ１，Ｙ１）、（Ｘ２，Ｙ２）をメモリ内から探し出す。その時のレーザ変位計の変位データが本来測定すべきＺ座標値Ｚ１，Ｚ２であるので、Ｚ座標データとして採用すると、本来測定される座標Ｐ１（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１）とＰ２（Ｘ２，Ｙ２，Ｚ２）が求められる。
【００２４】
ラインＬ２のデータについても同様にして求め、Ｐ３（Ｘ３，Ｙ３，Ｚ３）とＰ４（Ｘ４，Ｙ４，Ｚ４）を求めると、４点全ての座標が得られることになる。
（ｉｖ）ロール・ピッチ角の算出
全ての座標が決定したら、回帰平面法等を用いて平面を決定し、ロール・ピッチ角度を算出する。次に、回帰平面法について説明する。回帰平面式の計算は、応答変量Ｚに対して２つの説明変量をＸ，Ｙとする以下のような線形な回帰分析式で表わされる。
【００２５】
Ｚ＝ａＸ＋ｂＹ＋ｃ＋ε        （１）
ここで、ａ：Ｘ軸方向の傾斜（ロール方向の傾斜に相当）
ｂ：Ｙ軸方向の傾斜（ピッチ方向の傾斜に相当）
ｃ：Ｚ軸と（１）式が交わる点（Ｘ＝Ｙ＝０）のＺ値
ε：誤差
測定点がｎ個の場合、（１）式の誤差が最も小さくなるように最小二乗法を適用する。つまり、各データ点（Ｘｉ，Ｙｉ，Ｚｉ）から（１）式で表現される平面にＺ軸に垂直な距離の平方和Ｓが最も小さくなるようにａ，ｂ，ｃを決定する。平方和Ｓは次式で表わされる。
【００２６】
【数１】
2005018906.tif 000003
【００２７】
つまり、（２）式をそれぞれａ，ｂ，ｃで偏微分した式を＝０とおいた式を解くことになる。
【００２８】
∂Ｓ／∂ａ＝０，∂Ｓ／∂ｂ＝０，∂Ｓ／∂ｃ＝０    （３）
（３）式を解いて、ａ，ｂを求めると、
ａ＝（Ｓｘｚ・Ｓｙ２−ＳｘｙＳｙｚ）／｛（Ｓｘ２Ｓｙ２−（Ｓｘｙ）２）｝  （３）
ｂ＝（Ｓｙｘ・Ｓｘ２−ＳｘｙＳｘｚ）／｛（Ｓｘ２Ｓｙ２−（Ｓｘｙ）２）｝  （４）
ここで、
【００２９】
【数２】
2005018906.tif 000004
【００３０】
従って、ロール方向傾斜ａ、及びピッチ方向傾斜ｂから、それぞれロール角θｒとピッチ角θｐは次式のように求まる。
【００３１】
θｒ＝Ｔａｎ−１（ａ）      （５）
θｐ＝Ｔａｎ−１（ｂ）      （６）
以上、説明したように、本発明によれば、従来例と異なり、レーザ変位計のレーザ光がサスペンション上に照射されているかいないかをデータで確認しながら、サスペンション外形を基準とすることで、測定座標を決定し、ロール・ピッチ角度を算出している。このため、たとえレーザ変位計とサスペンションの相対距離Ｈが変化して、三角測量方式のレーザ変位計に起因する測定位置ずれが生じても、正確にロール・ピッチ角度決定することがてきる。
【００３２】
また、ＣＣＤカメラ等の画像認識システムを使用しなくても、サスペンションの位置ズレを検出できるため、システムの簡素化も図ることができる。
【００３３】
このように、本発明によれば、ＸＹステージデータと、レーザ変位計データと、サスペンションの外形を示すステータスデータの３個のデータを１セットとして格納するようにしているので、ステータスデータから面のあるサスペンション部分が認識でき、その面についてレーザ変位計を照射することにより、Ｚ座標を算出することができる。このように、本発明によれば、測定ポイントのＸＹＺ座標値を正確に算出することができる結果、正確で安定したサスペンションロール・ピッチ角測定方法及び装置を提供することができる。
【００３４】
また、本発明によれば、ステータスデータに基づいてサスペンション外形を正確に認識できるので、測定ポイントを外形エッジから所定距離離れた点に設定することができ、面のＸＹＺ座標値を正確に測定することができる。
【００３５】
更に、本発明によれば、サスペンションの外形位置のＸＹ座標を基準とし、その基準位置から測定ポイントをＸＹ座標を格納したデータ内から探し出して本来測定すべき座標とすることができ、ロール・ピッチ角測定の精度を上げることができる。
【００３６】
上述の実施の形態例では、サスペンションが１個の場合について説明したが、複数のサスペンションを測定する場合にも、本発明を適用することができる。図４は複数配置時のサスペンション配置例を示す図である。冶具２０に、複数のサスペンション１が同じ配置で一定間隔で取り付けられている。そのＡ−Ａ断面は図に示すようになっており、サスペンションのヘッドは冶具２０より浮いた状態となっている。
【００３７】
このように複数のサスペンションを一度に測定する場合、冶具２０へのサスペンション１の取り付けは、各サスペンション同士が干渉しないように慎重に取り付ける必要がある。一般に、冶具の取り付けは、サスペンションの一端（サスペンション基準面）を冶具で上下を挟むようにして取り付ける方法が用いられる。そして、測定にあたっては、冶具２０をＸＹステージに取り付け、ステージを移動させるようにする。或いは、レーザ変位計を移動させるようにしてもよい。
【００３８】
図５は本発明装置の構成例を示す図である。この装置は、測定するサスペンション１を測定冶具１１に固定し、それを更にＸＹステージ１２上に搭載する。サスペンション１のＺ方向変位を測定するレーザ変位計７は、該レーザ変位計７とサスペンション１との距離がレーザ変位計７の測定範囲内に調整するためのＺステージ１３に固定されている。
【００３９】
ＸＹステージ１２及びＺステージ１３はパソコン（ＰＣ）１０により制御され、その座標データ（エンコーダデータ）は、バッファメモリ１４に入力される。レーザ変位計７の変位データ、及びレーザがサスペンション１に照射され、測定しているかいないかのステータスデータもバッファメモリ１４に入力される。ここで、バッファメモリ１４は、ＸＹステージ１２、Ｚステージ１３及びレーザ変位計７とパソコン１０とのインタフェース整合器としても機能している。
【００４０】
測定時には、パソコン１０からＸＹステージ１２に制御信号を送り、レーザ変位計７のレーザスポットが測定対象であるサスペンション１の指定箇所に照射されるようにステージが移動する。その際、パソコン１０は、バッファメモリ１４の既存データをクリアするための制御信号を送り、データをクリアした後、ステージ移動して測定している間、レーザ変位計７が一定時間毎に送り出してくる変位データ及びステータスデータに同期してＸＹステージ１２のエンコーダデータを取り込むようにバッファメモリ１４に制御信号を送り、ＸＹステージ１２が移動を完了したことを確認すると、測定完了の制御信号をバッファメモリ１４に対して送り、１ライン分の測定データ取得が完了することになる。
【００４１】
パソコン１０からバッファメモリ１４に対して制御信号を送り、蓄えられたデータをパソコン１０内部に引き出す形をとり、前述した手順で、サスペンション測定位置座標データを決定し、パソコン１０上のメモリにデータを格納していく。
【００４２】
以上の動作を複数回繰り返し行ない、サスペンション１上の予め決められた測定座標データを全てパソコン１０上のメモリ上に格納した後に、回帰平面等の手法を用いて、測定しようとするサスペンション１のロール角、ピッチ角をパソコン１０により演算して算出する。算出された結果は、パソコン１０のディスプレイやプリンタによって出力される。オペレータは、この出力されたロール角及びピッチ角が所定の閾値を超えていない場合には、検査合格とし、ロール角及びピッチ角が所定の閾値を超えている場合には、不合格と判定する。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００４４】
（１）請求項１記載の発明によれば、ＸＹステージデータと、レーザ変位計データと、サスペンションの外形を示すステータスデータの３個のデータを１セットとして格納するようにしているので、ステータスデータから面のあるサスペンション部分が認識でき、その面についてレーザ変位計を照射することにより、Ｚ座標を算出することができる。このように、本発明によれば、測定ポイントのＸＹＺ座標値を正確に算出することができる結果、正確で安定したサスペンションロール・ピッチ角測定方法を提供することができる。
【００４５】
（２）請求項２記載の発明によれば、ＸＹステージデータと、レーザ変位計データと、サスペンションの外形を示すステータスデータの３個のデータを１セットとして格納するようにしているので、ステータスデータから面のあるサスペンション部分が認識でき、その面についてレーザ変位計を照射することにより、Ｚ座標を算出することができる。このように、本発明によれば、測定ポイントのＸＹＺ座標値を正確に算出することができる結果、正確で安定したサスペンションロール・ピッチ角測定装置を提供することができる。
【００４６】
（３）請求項３記載の発明によれば、サスペンション外形を正確に認識できるので、測定ポイントを外形エッジから所定距離離れた点に設定することができ、面のＸＹＺ座標値を正確に測定することができる。
【００４７】
（４）請求項４記載の発明によれば、サスペンションの外形位置のＸＹ座標を基準とし、その基準位置から測定ポイントをＸＹ座標を格納したデータ内から探し出して本来測定すべき座標とすることができ、ロール・ピッチ角測定の精度を上げることができる。
【００４８】
このように、本発明によれば、正確で安定した磁気ディスク用サスペンションのロール・ピッチ角測定方法及び装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法の原理を示すフローチャートである。
【図２】格納データアドレスとサスペンション外形位置との対応例を示す図である。
【図３】測定格納データ例を示す図である。
【図４】複数配置時のサスペンション配置例を示す図である。
【図５】本発明装置の構成例を示す図である。
【図６】サスペンションのロール，ピッチの説明図である。
【図７】レーザ入射角の影響の説明図である。
【図８】スライダーＡＢＳ面の測定不具合例を示す図である。
【図９】サスペンション面の測定不具合例を示す図である。
【符号の説明】
１    サスペンション
７    レーザ変位計
１０  パソコン
１１  測定冶具
１２  ＸＹステージ
１３  Ｚステージ
１４  バッファメモリ
【図１】
2005018906.tif 000005
【図２】
2005018906.tif 000006
【図３】
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【図４】
2005018906.tif 000008
【図５】
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【図６】
2005018906.tif 000010
【図７】
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【図８】
2005018906.tif 000012
【図９】
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