(57)【要約】【課題】  高い接続信頼性を得ることができる鉛フリー半田合金、並びに、接続信頼性の高い半導体装置を提供する。【解決手段】  半導体チップ１の集積回路面に形成された内部電極９と、パッケージ基板２の上面に形成されたボンディングパッド１０とが、半田バンプ１１を介して接続されることにより、半導体チップ１はパッケージ基板２上に実装される。半田バンプ１１は、Ａｇ：０〜１．０質量％、Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、残部はＳｎから成る半田合金により形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ａｇ：１．０質量％以下、Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、
残部はＳｎから成る半田合金。
【請求項２】
Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、
残部はＳｎから成る半田合金。
【請求項３】
Ａｇ：１．０質量％以下、Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、
残部はＳｎから成る半田合金で形成されたバンプを備える半導体装置。
【請求項４】
Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、
残部はＳｎから成る半田合金で形成されたバンプを備える半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は鉛フリー半田、並びに鉛フリー半田で形成されたバンプを備える半導体装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の組立技術の１つとして、フリップチップボンディングが知られている。このボンディング方法は、半導体素子（半導体チップ）の下面に設けられた電極と、配線基板（パッケージ基板）上面に設けられた接続パッドとを密着させ、熱および圧力を加えて接合する方式である。その際、半導体チップの電極上およびパッケージ基板の接続パッド上には、予め半田バンプが形成されている。
【０００３】
従来、半田バンプに使用される半田としては、Ｓｎ（錫）−Ｐｂ（鉛）共晶半田が使用されていた。しかし近年では、電子部品を廃棄処理する際の環境への悪影響を抑制するために、半田合金としてＰｂを含まない、いわゆる鉛フリー半田が広く使用されている。
【０００４】
半田バンプに使用される鉛フリー半田としては、従来、Ａｇ（銀）：３〜４質量％、Ｃｕ（銅）：０．５〜１．０質量％、残部はＳｎからなる半田合金が一般的であった。また、原材料価格的に高価なＡｇをさほど使用せず（２質量％以下）、接合信頼性、耐落下衝撃性に優れた半田バンプ用の半田合金も提案されている（例えば特許文献１）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２３９７８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年の半導体装置の小型化、高集積化に伴い、半導体チップの電極の狭ピッチ化に進んでいる。それに伴い、当該電極上に形成される半田バンプの体積も、急速に小さくなっている。鉛フリー半田は比較的延性が悪く、小さい半田バンプではその影響が顕著に現れる。そのため、従来評価されてきた半田合金の組成では、充分な接続信頼性を得ることが困難になってきている。
【０００７】
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、高い接続信頼性を得ることができる鉛フリー半田合金、並びに、接続信頼性の高い半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の局面によれば、半田合金は、Ａｇ：１．０質量％以下、Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、残部はＳｎから成る。
【０００９】
第２の局面によれば、半田合金は、Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、残部はＳｎから成る。
【００１０】
第３の局面によれば、半導体装置は、Ａｇ：１．０質量％以下、Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、残部はＳｎから成る半田合金で形成されたバンプを備える。
【００１１】
第４の局面によれば、半導体装置は、Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、残部はＳｎから成る半田合金で形成されたバンプを備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の半田合金によれば、高い接続信頼性が得られる。また半導体装置が、当該半田合金により形成されたバンプを備えることで、動作信頼性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明者は、接続信頼性の高い半田合金の組成を得るための実験を行なった。図１は本発明の実施の形態に係る半導体装置を示す図であり、実験では、この構成の半導体装置について、温度変化の繰返しに対する耐久試験（温度サイクル試験）が行われた。以下、その実験について説明する。
【００１４】
まず、図１の半導体装置の構成について説明する。当該半導体装置は、ボールグリッドアレイ構造により構成されており、半導体チップ１と、半導体チップ１を実装する基板（パッケージ基板）２とを備えている。半導体チップ１は、フェイスダウン方式によりパッケージ基板２に装着されており、集積回路面を当該パッケージ基板２に向けて搭載される。即ち、半導体チップ１の集積回路面に形成された内部電極９と、パッケージ基板２の上面に形成されたボンディングパッド１０とが、半田バンプ１１を介して電気的且つ機械的に接続される。
【００１５】
上で述べたように、半導体チップ１の電極の狭ピッチ化が進むと、従来の半田バンプでは、充分な接続信頼性を得ることが困難になる。また通常、半導体装置内部の半導体チップ１とパッケージ基板２の間には比較的大きな応力がかかるので、当該半導体チップ１とパッケージ基板２との間の半田バンプ１１は、特に高い接続信頼性を得ることができるものである必要性が高い。
【００１６】
半導体チップ１とパッケージ基板２との間隙には、アンダーフィル樹脂３が設けられている。アンダーフィル樹脂３によって、半田バンプ１１の接合部分にかかる外部からの応力を緩和させることができ、半導体チップ１とパッケージ基板２との接続信頼を高めている。パッケージ基板２上面には、スティフナー（補強材）４が接着テープ５を介して設けられている。スティフナー４は、応力の発生を抑制するためにパッケージ基板２と線膨張率が近いものが望ましく、例えば銅で構成される。また接着テープ５は、例えば接着性の高いエポキシ系の樹脂により形成される。
【００１７】
さらに、半導体装置の放熱性向上と半導体チップ１の保護を目的として、ヒートスプレッダ７が放熱樹脂８を介して半導体チップ１上に搭載される。ヒートスプレッダ７は接着テープ６を介してスティフナー４にも固定される。接着テープ６は、例えば接着性の高いエポキシ系の樹脂により形成される。放熱樹脂８は、ヒートスプレッダ７と半導体チップ１とが熱的に接続するよう、例えば熱伝導性の高い銀ペーストにより形成される。
【００１８】
そして、パッケージ基板２の裏面においては、複数個の外部電極１２が配置されており、この複数個の外部電極１２のそれぞれには、この半導体装置をマザーボード等に実装させるための半田ボール１３が形成されている。
【００１９】
実験では、図１の構成を有する半導体装置のサンプルについて、半田バンプ１１の組成を変化させて、温度サイクル試験を行なった。熱サイクル試験としては、半導体装置単体での試験と、半導体装置をマザーボード基板に実装した状態での試験を行なった。また、半田バンプ１１は、Ａｇ，Ｃｕ、Ｓｎから成る鉛フリー半田を使用した。
【００２０】
その結果、半田バンプ１１として、Ａｇ：０〜１．０質量％、Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、残部はＳｎから成る半田合金を使用した場合に、特に良好な結果が得られた。具体的には、半導体装置単体での温度サイクル試験において、低温−５５℃、高温１２５℃のサイクルを１０００サイクル経ても、この組成の半田バンプ１１を有する半導体装置では、全サンプルについて当該半田バンプ１１における接続不良は生じなかった。また、半導体装置単体をマザーボード基板に実装した状態での温度サイクル試験では、低温０℃、高温１００℃のサイクルを５０００サイクル経ても、この組成の半田バンプ１１を有する半導体装置では、全サンプルについて半田バンプ１１における接続不良は生じなかった。なお、「Ａｇ：０質量％」とは、Ａｇを含んでいない（ＣｕとＳｎのみから成る）ことを指している。
【００２１】
つまり、上記実験により、Ａｇ：０〜１．０質量％、Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、残部はＳｎから成る半田合金を半田バンプとして使用することによって、高い接続信頼性が得られることが分かった。即ち、図１に示す半導体装置において、半田バンプ１１として、この組成の鉛フリー半田を使用すると半導体装置の動作信頼性が向上する。
【００２２】
半田ボール１３に関しては、一般的に、外部電極１２のピッチは半田バンプ１１よりも広いので半田ボール１３の堆積を確保することが可能であり、また半導体装置の実装時に半田ボール１３にかかる応力は比較的小さいので、従来の半田合金（例えばＡｇ：３〜４質量％、Ｃｕ：０．５〜１．０質量％、残部Ｓｎ）を使用しても充分な接続信頼性を得ることができる。もちろん、さらに高い接続信頼性を得る目的で、半田バンプ１１と同様にＡｇ：０〜１．０質量％、Ｃｕ：０．２〜１．０質量％を含み、残部はＳｎから成る半田合金を使用してもよい。
【００２３】
なお、本実施の形態においては、図１のようにスティフナー４およびヒートスプレッダ７を有する半導体装置について説明したが、本発明の適用はこの構成に限定されるものではない。例えば、図１の構成に対し、ヒートスプレッダ７を有しないタイプ（図２）、スティフナー４を有しないタイプ（図３）、スティフナー４およびヒートスプレッダ７を有しないタイプ（図４）、スティフナー４およびヒートスプレッダ７に代えて上面をモールド樹脂１４で覆ったタイプ（図５）の半導体装置に対しても適用可能である。その場合にも、本発明に係るＡｇ：０〜１．０質量％、Ｃｕ：０．２〜１．０質量％、残部はＳｎの半田合金による半田バンプ１１および半田ボール１３を使用することにより高い接続信頼性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施の形態に係る半導体装置を示す図である。
【図２】実施の形態の変形例を示す図である。
【図３】実施の形態の変形例を示す図である。
【図４】実施の形態の変形例を示す図である。
【図５】実施の形態の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  半導体チップ、２  パッケージ基板、３  アンダーフィル樹脂、４  スティフナー、５，６  接着テープ、７  ヒートスプレッダ、８  放熱樹脂、９  内部電極、１０  ボンディングパッド、１１  半田バンプ、１２  外部電極、１３  半田ボール、１４  モールド樹脂。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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