(57)【要約】【課題】非磁性材料もしくは磁気損失の大きな低透磁率材料を用いるために積層型のコモンモードノイズフィルタでは結合係数が低下してしまうという課題を有していた。【解決手段】主成分としてＦｅとＣｏとＺｎの組成比がＦｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＺｎＯ換算で３９．５：５３．０：７．５モル％、３９．５：４８．０：１２．５モル％、２０．０：６７．５：１２．５モル％、２０．０：５５．０：２５．０モル％で囲まれた組成１００重量部に対して酸化銅を８〜１４重量部を添加した組成を有する磁性フェライトとすることにより高周波帯域で低損失な低温焼結性を有する磁性フェライトおよびそれを用いたコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスを実現することができる。【選択図】図１
2005306696.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主成分としてＦｅとＣｏとＺｎの組成比がＦｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＺｎＯ換算で３９．５：５３．０：７．５モル％、３９．５：４８．０：１２．５モル％、２０．０：６７．５：１２．５モル％、２０．０：５５．０：２５．０モル％で囲まれた範囲の組成１００重量部に対して酸化銅を６〜１４重量部添加した組成からなる磁性フェライト。
【請求項２】
絶縁性を有した第１の磁性体層の上にほぼ並行に配置された２本の電極パターンから構成される渦巻き状の第１のコイル層を設け、この第１のコイル層の上に第２の磁性体層を設け、この第２の磁性体層の上にほぼ並行に配置された２本の電極パターンから構成される渦巻き状の第２のコイル層を設け、前記第１のコイル層と第２のコイル層を第２の磁性体層に設けたビアを介して接続することにより２本の螺旋状のコイルを設け、この第２のコイル層の上に第３の磁性体層を設けたコモンモードノイズフィルタであって、前記第２の磁性体層を請求項１に記載の磁性フェライトで構成したコモンモードノイズフィルタ。
【請求項３】
第２の磁性体層の透磁率を第１、第３の磁性体層の透磁率よりも小さくした請求項２に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項４】
第２の磁性体層の厚みを５０μｍ以下の厚みとした請求項２に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項５】
電極パターンの間隔を３０μｍ以下とした請求項２に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項６】
少なくとも１つの断面において、第２の磁性体層が第１または第３の磁性体層にて被覆された構成とした請求項２に記載のコモンモードノイズフィルタ。
【請求項７】
絶縁性を有した第１の磁性体層の上にほぼ並行に配置された２本の電極パターンから構成される渦巻き状の第１のコイル層を設け、この第１のコイル層の上に第２の磁性体層を設け、この第２の磁性体層の上にほぼ並行に配置された２本の電極パターンから構成される渦巻き状の第２のコイル層を設け、前記第１のコイル層と第２のコイル層を第２の磁性体層に設けたビアを介して接続することにより２本の螺旋状のコイルを設け、この第２のコイル層の上に第３の磁性体層を設けたチップトランスであって、前記第２の磁性体層を請求項１に記載の磁性フェライトで構成したチップトランス。
【請求項８】
第２の磁性体層の透磁率を第１の磁性体層の透磁率よりも小さくした請求項７に記載のチップトランス。
【請求項９】
第２の磁性体層の厚みを５０μｍ以下の厚みとした請求項７に記載のチップトランス。
【請求項１０】
電極パターンの間隔を３０μｍ以下とした請求項７に記載のチップトランス。
【請求項１１】
少なくとも１つの断面において、第２の磁性体層が第１または第３の磁性体層にて被覆された構成とした請求項７に記載のチップトランス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は各種電子機器に用いられる磁性フェライトおよびそれを用いたコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化、高周波化に伴い、高周波帯域で用いる小型の電子部品の需要が高まっており、この要望に応えるために積層構造の電子部品が実用化されてきている。特にインダクタンス部品やノイズ対策部品においても小型で高周波帯域で用いるコイルを内蔵した積層構造の積層電子部品が多く用いられており、このようなコイルを内蔵した積層構造の積層電子部品の一例として、コモンモードノイズフィルタやチップトランスのような２つ以上のコイルを内蔵する積層電子部品がある。この従来の積層型のコモンモードノイズフィルタの構成は内蔵する二つ以上のコイル間の磁束を鎖交させるために磁性体である第一の絶縁体層と、非磁性体もしくは低透磁率の絶縁性を有した第２の磁性体層を組み合わせた構成のものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような積層構造のコイル部品に用いられるＧＨｚの高周波帯域で用いる磁性材料としては前記ＺｎＣｕフェライトあるいはＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ−Ｃｏフェライトでは損失特性の観点から不十分であり、これらに代わる磁性フェライトとして六方晶フェライトが考えられている。しかしながら、この六方晶フェライトの焼成温度は銀の融点よりも高温であり、このままでは銀電極と同時焼成は困難であり、積層構造のコイル部品を実現することは困難である。
【０００４】
これに対して、この六方晶フェライトの低温焼結を実現するための添加物として酸化銅と酸化ビスマスを添加した磁性材料が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００３−３１４１６号公報
【特許文献２】特開２００２−２６０９１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の構成ではガラスセラミックやＺｎＣｕフェライトのような非磁性材料を用いるためにコイルから発生する磁束の一部が二つのコイル間で鎖交しないことから積層電子部品の結合係数が低くなる、あるいは第２の絶縁体層にＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ−Ｃｏフェライトを用いたときにはこの磁性材料の磁気損失に起因して積層電子部品のディファレンシャルインピーダンスが増大して結合係数が低下してしまうという課題を有していた。
【０００６】
また、低温焼結のために添加物を加えた六方晶系フェライトを用いて銀電極などと同時焼成した場合、六方晶フェライトの結晶内部に銀電極が拡散し、導体抵抗の増大、マイグレーションの誘発といった課題を有していた。特にこの問題は電極のパターンがファインになるに従って重要な問題となってくる。
【０００７】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、銀電極と同時焼結できる高周波帯域で磁気損失の小さな磁性フェライトを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記従来の課題を解決するために、本発明は主成分としてＦｅとＣｏとＺｎの組成比がＦｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＺｎＯ換算で３９．５：５３．０：７．５モル％、３９．５：４８．０：１２．５モル％、２０．０：６７．５：１２．５モル％、２０．０：５５．０：２５．０モル％で囲まれた組成に酸化銅を８〜１４ｗｔ％添加した組成からなる磁性フェライトとするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の磁性フェライトおよびそれを用いたコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスは、銀電極と同時焼結できる高周波帯域で低損失の磁性フェライトを実現するとともに、これを積層電子部品に用いることにより二つのコイル間で結合係数の大きい高周波用のコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における磁性フェライトについて、図面を参照しながら説明する。
【００１１】
図１は本発明の実施の形態１における磁性フェライトの周波数特性を示した特性図であり、図２は本発明の実施の形態１における磁性フェライトの酸化銅の添加量と焼成収縮率の関係を示した図である。また図３は本発明の磁性フェライトの組成域を示す組成図である。
【００１２】
以上のような特性を有する磁性フェライトについて、以下にその製造方法を説明しながら材料組成について詳細に説明する。
【００１３】
まず、本発明の磁性フェライトの出発原料である市販の酸化鉄と炭酸コバルト及び酸化亜鉛をＦｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＺｎＯ換算で、Ｆｅ2Ｏ3＝３０．０モル％、ＣｏＯ＝５７．５モル％、ＺｎＯ＝１２．５モル％の組成比となるように配合し、これに純水を適量加えてボールミルを用いて混合した後、乾燥して混合粉を得る。この混合粉を８００℃で仮焼した後、遊星ボールミルを用いて粉砕して磁性粉末（以後仮焼粉と記す）を得る。得られた仮焼粉の主要結晶相はＸ線回折の結果からスピネル型結晶構造であり、その平均粒径は０．８μｍであった。
【００１４】
次に、この仮焼粉１００重量部に対して酸化銅の粉末を８重量部混合し、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）水溶液を適量添加して混練することにより平均粒径３００μｍφ程度の造粒粉を作製する。その後この造粒粉をリング形状に成形し、９００℃で焼成し、トロイダル状のスピネル結晶構造を有する磁性フェライトを得る（発明品１）。
【００１５】
また、比較のために出発原料である市販の酸化鉄と酸化ニッケルと酸化亜鉛と酸化銅及び炭酸コバルトをＦｅ2Ｏ3，ＮｉＯ，ＺｎＯ，ＣｕＯ，ＣｏＯ換算で、Ｆｅ2Ｏ3＝４６．０モル％、ＮｉＯ＝３８．５モル％、ＣｕＯ＝１３．５モル％、ＺｎＯ＝１モル％、ＣｏＯ＝１モル％の組成比となるように配合し、同様なプロセスを経てトロイダル状のスピネル結晶構造を有する磁性フェライトを作製した（従来品１）。
【００１６】
さらに、市販の酸化鉄と炭酸バリウムと炭酸コバルトと酸化銅と酸化ビスマスを４６．０モル％、ＮｉＯ＝３８．５モル％、ＣｕＯ＝１３．５モル％、ＺｎＯ＝１モル％、ＣｏＯ＝１モル％の組成比となるように配合し、同様なプロセスを経てトロイダル状の六方晶結晶構造を有する磁性フェライトを作製した（従来品２）。
【００１７】
発明品１、従来品１，２ともに９００℃焼成で寸法が１５％以上収縮しており、十分に焼結していることが分かった。
【００１８】
このようにして得られたそれぞれのトロイダル状の磁性フェライトの複素透磁率の周波数特性を図１に示す。なお、複素透磁率はネットワークアナライザーＨＰ８７５３Ｃ（アジレント・テクノロジー（株）製）を用いて同軸管法より求めた。
【００１９】
図１に示すように、従来品１と従来品２は６００ＭＨｚ以上でμ”が増大するのに対し、本発明品はμ’が１ＧＨｚまで約２．５であり、かつμ”は約０．２以下である。すなわち、本発明品は従来品１、従来品２と比較して１ＧＨｚまで低損失な磁性フェライトであり、これが銀電極と同時焼結ができる９００℃前後の焼成温度で得られることが分かる。
【００２０】
次に、本発明の実施の形態１における発明品１に示した磁性フェライトの酸化銅の添加量と焼成収縮率の関係を図２に示す。
【００２１】
図２に示すように、６重量部以上の酸化銅の添加量で焼成収縮率が１５％以上になり、十分に焼結が進んでいることがわかる。また、１６重量部以上の酸化銅の添加量では、１ＧＨｚでのμ”が増大してしまっていることから酸化銅の添加量は６から１４重量部の範囲内であることが望ましい。
【００２２】
次に、本発明の実施の形態１における磁性フェライトの仮焼粉の組成を酸化鉄粉と炭酸コバルト粉及び酸化亜鉛粉をＦｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＺｎＯ換算で（表１）に示した組成比とし、これらの仮焼粉に対して８重量部の酸化銅を添加して、前記と同様なプロセスを経て、トロイダル状の磁性フェライトを作成した（実施例１〜実施例７）。
【００２３】
得られたそれぞれのトロイダル状の磁性フェライトの１ＧＨｚでの複素透磁率μ’とμ”を（表１）に本発明の組成比外である比較例１〜比較例８と比較して示す。
【００２４】
【表１】
2005306696.tif 000003
【００２５】
（表１）の結果より、Ｆｅ成分が少なくなると、比較例７，８のようにμ’が小さくなってしまうため、必要以上にＦｅ成分を少なくするのは望ましくない。
【００２６】
また、Ｚｎ成分が少なくなると、比較例３，６のようにμ’が小さくなってしまうため、必要以上にＺｎ成分を少なくするのは望ましくない。Ｚｎ成分が多くなると、比較例２，４，５のようにμ”が大きくなり低損失が要求される用途には不適切となる。
【００２７】
また、実施例５，７のようにＦｅ成分が少ない場合は、Ｚｎ成分が、比較的多くなってもμ”は増大しなかった。
【００２８】
また、比較例１のように、Ｆｅ成分が多い組成では、μ’の温度変化が大きくなってしまい、優れた温度特性を要求する用途には不適切となる。
【００２９】
以上の結果から、図３の斜線で示す組成範囲において１ＧＨｚでのμ’が１．５以上であり、μ”が０．１以下であるＧＨｚ帯域で有効な特性を有する磁性フェライトを実現でき、この組成範囲を超えても実用的に有用な効果は現れないことが分かる。
【００３０】
また、得られた本発明の磁性フェライトはＸ線回折による解析結果から、若干のＣｏＯ等の異相が認められるものの、スピネル型結晶構造が主要相であった。この結晶構造の同定にはＸ線回折装置ＲＩＮＴ−２０００（理学電機（株）製）を用いた。
【００３１】
以上説明してきたように、得られた磁性粉はＸ線回折による解析結果から、若干のＺｎＦｅ2Ｏ3，ＺｎＣｏ2Ｏ4等の異相が認められるものの、スピネル型結晶構造が主要相であり、その平均粒子径は０．５〜１．０μｍであった。この平均粒子径が上記範囲外である場合には、緻密な磁性フェライトを得ることが困難になる。この平均粒子径はレーザー回折式粒度分布測定装置ＳＡＬＤ２１００（島津製作所製）で測定したＸ50の値で示した。
【００３２】
また、出発原料として用いる炭酸コバルトは仮焼する過程で酸化物に変化することからＣｏＯ，Ｃｏ3Ｏ4のような価数の異なる酸化コバルトを出発原料として用いても同様の効果が得られる。
【００３３】
また、仮焼温度は８００〜１０００℃前後でＺｎＦｅ2Ｏ4，ＺｎＣｏ2Ｏ4等が仮焼粉に含有していない温度以上を選択することが望ましい。仮焼の途中過程で出発原料である酸化鉄と炭酸コバルト及び酸化亜鉛から生じるＺｎＣｏ2Ｏ4，ＺｎＦｅ2Ｏ4等が多量に仮焼粉に含有している場合、特に成形体のサイズが大きいほど焼成の過程で亀裂が生じる可能性があるためである。
【００３４】
また、焼成温度は８５０〜９３０℃で磁性フェライトが緻密になる温度を選択することが望ましい。銀電極との同時焼成を行うため、９３０℃以上の焼成温度は好ましくない。さらに、焼結の進行は磁性フェライトの組成や仮焼粉の粒径に依存するため、用いる仮焼粉により若干の調整を行う必要が生じる。
【００３５】
また、酸化銅の添加は出発原料である酸化鉄、酸化亜鉛、炭酸コバルトに加えて仮焼しても良く、酸化銅を添加せずに酸化鉄、酸化亜鉛、炭酸コバルトから得られる仮焼粉に対して酸化銅を添加した場合と同様な焼成温度で同様な磁気特性が得られる。
【００３６】
以上のように、本実施の形態１では主要相がスピネル型結晶構造を有し、ＦｅとＣｏとＺｎの組成比がＦｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＺｎＯ換算で３９．５：５３：７．５モル％と、３９．５：４８：１２．５モル％と、２０：６７．５：１２．５モル％と、２０：５５：２５モル％で囲まれた範囲の組成１００重量部に対して酸化銅を６〜１４重量部添加されている組成を有する磁性フェライトであり、酸化銅の添加により９００℃焼成が可能な１ＧＨｚまで磁気損失の小さい磁性フェライトを実現することができる。またこの磁性フェライトは９００℃の焼成により最適の磁気特性を示すことから銀あるいは銅などの高導電率を有する電極材料との同時焼結が可能なことから内部にコイル導体を内蔵した積層電子部品も用いる磁性フェライトとして有用である。
【００３７】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２におけるコモンモードノイズフィルタについて、図面を参照しながら説明する。
【００３８】
図４（ａ）は本発明の実施の形態２におけるコモンモードノイズフィルタの構造を説明するための分解斜視図であり、図４（ｂ）はその等価回路を示す回路図である。図４（ｃ）はその外観斜視図である。
【００３９】
図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）において、３はＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライトなどによる絶縁性を有した磁性体層である。この磁性体層３の上に二つのコイルパターン２−１、２−２よりなるコイル層７が積層されている。このコイル層７に用いるコイルパターン２−１、２−２は銀などの高導電率を有する電極材料が好ましい。さらにこのコイル層７の上に絶縁性を有する磁性体層１が積層されている。この磁性体層１には本発明の磁性フェライトを用いる構成としている。
【００４０】
また、この磁性体層１の上には二つのコイルパターン２−１、２−２からなるコイル層８が積層されており、この二つのコイルパターン２−１、２−２は磁性体層１に設けたビア５によって接続されている。このコイルパターン２−１、２−２は磁性体層１に設けたビア５を介して接続された２本のコイルが並行に配置された２条渦巻きの螺旋状のコイルとして形成している。これらのコイルを含む接続回路は図４（ｂ）に示すような等価回路を構成するように配置されている。さらにこのコイルパターン２−１、２−２の両端には引出電極部２−１ａ、２−１ｂ、２−２ａ、２−２ｂが接続されている。
【００４１】
次に、このコイル層８の上には絶縁性を有する磁性体層３が積層されている。
【００４２】
このような積層構造のコモンモードノイズフィルタはセラミックグリーンシート成型法と印刷技術により積層成型体とすることができ、コイルパターン２−１、２−２が溶融しない温度（９００℃前後）で焼成した後、引出電極２−１ａ、２−１ｂ、２−２ａ、２−２ｂのいずれか一つとそれぞれ電気的に接続している外部電極６を形成することにより、図４（ｃ）に示すようなチップ状のコモンモードノイズフィルタ４が実現できる。
【００４３】
以上説明してきたように、コイルパターン２−１とコイルパターン２−２が並行して配置された２条渦巻の螺旋状の構成のコモンモードノイズフィルタにおいて、コイル層７とコイル層８の間に高周波数帯域においても低損失な磁気特性を有する磁性体層１となる本発明の磁性フェライトを介在させることによって、コイルパターン２−１とコイルパターン２−２の磁束が効率よく鎖交することによりコイル層７とコイル層８の磁気結合が強くなり、コモンモードノイズフィルタとしての結合係数が向上する。
【００４４】
また、並行して配置されたコイルパターン２−１とコイルパターン２−２の間での磁気結合をより高めるために磁性体層１は磁性体層３よりも透磁率を低くすることが好ましい。
【００４５】
また、コイルパターン２−１、コイルパターン２−２の片面のみに磁性体層１が接していることが好ましい。コイルパターン２−１、コイルパターン２−２の両面に磁性体層１が接している場合には、並行して配置されたコイルパターン２−１、２−２間で磁束が鎖交しなくなることから磁気結合が劣化するので好ましくないからである。
【００４６】
次に、このコモンモードノイズフィルタの積層構造について製造方法を説明しながら詳細に説明する。
【００４７】
まず始めに、本発明の磁性フェライトの出発原料である酸化鉄と酸化コバルトと酸化亜鉛を用いてＦｅ2Ｏ3：ＣｏＯ：ＺｎＯ＝３８：５０：１２モル％の組成比になるように配合し、これに純水を適量加えてボールミルを用いて混合した後、１２０℃で乾燥させて混合粉を得る。
【００４８】
この混合粉を８００℃で仮焼した後、遊星ボールミルを用いて最大粒径が８μｍ以下になるまで粉砕してフェライト仮焼粉を得る。このフェライト仮焼粉にＣｕＯの粉末を１０ｗｔ％加え、さらにブチラール樹脂と酢酸ブチルを適量加えてボールミルを用いて十分に分散させてセラミックスラリーを得る。このセラミックスラリーをドクターブレード法により約５０μｍの磁性体層１に用いるフェライトグリーンシートを得た。
【００４９】
一方、磁性体層３となるフェライトの出発原料である酸化鉄と酸化ニッケルと酸化亜鉛と酸化銅をＦｅ2Ｏ3：ＮｉＯ：ＺｎＯ：ＣｕＯ＝４８：２１：２１：１０モル％の組成比になるように配合し、前記フェライトグリーンシートと同様なプロセスを経て磁性体層３に用いるフェライトグリーンシートを得た。その後、それぞれのフェライトグリーンシートを多数個取りとするために５ｃｍ□に切断した。
【００５０】
次に、５ｃｍ□に切断された磁性体層３に用いるフェライトグリーンシートを複数枚積層して厚み４００μｍとし、さらにこの上にＡｇを主成分とする線幅３０μｍ、線間幅２５μｍの並列する２本の電極パターンから構成されるコイルパターン２−１、２−２として印刷形成した。
【００５１】
その後、このコイルパターン２−１、コイルパターン２−２の上に層間のコイルパターン２−１、コイルパターン２−２を接続するビア５を形成した磁性体層１に用いるフェライトグリーンシートを積層した後、さらにこの上にＡｇを主成分とする線幅３０μｍ、線間幅２５μｍの並列する２本の電極パターンから構成される上層のコイルパターン２−１、コイルパターン２−２として印刷形成し、フェライトグリーンシートのビア５を介して接続された２本の螺旋状のコイルを形成した。
【００５２】
この２本の螺旋状のコイルはコイルパターン２−１とコイルパターン２−２が磁性体層３の上面にほぼ並行な渦巻き状に設けられるとともに、さらに磁性体層１を挟むようにして磁性体層１の上部に設けられたコイルパターン２−１とコイルパターン２−２は磁性体層１に設けられたビア５を介して接続されてほぼ並行な渦巻き状に設けられた構成となっている。
【００５３】
次に、この上に磁性体層３に用いるフェライトグリーンシートを複数枚積層して厚み約１ｍｍの積層成形品を得た。
【００５４】
その後、この積層成形品を１２８個のコモンモードノイズフィルタの個片に切断した後９３０℃−２時間で焼成し、その後端面部に表出した引出電極部２−１ａ、２−１ｂ、２−２ａ、２−２ｂにＡｇあるいはＣｕの外部電極６を厚膜プロセスあるいはめっきプロセスにより形成することにより図４（ｃ）に示すような１．２×１．０×０．８ｍｍの１２８個のコモンモードノイズフィルタを得ることができた（発明品２）。
【００５５】
また、比較のためにＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ−Ｃｏフェライトを磁性体層に用いて同様なプロセスを経て得たコモンモードノイズフィルタ（従来品３）を作製した。これらのコモンモードノイズフィルタの電気特性を評価した。
【００５６】
その結果、従来品３、発明品２ともにコモンモードインピーダンスが９０Ωであったが、従来品３の結合係数が０．９０であるのに対して、発明品２では結合係数が０．９３と良好であった。
【００５７】
なお、磁性体層１に用いるフェライトグリーンシートは薄いほど結合係数の大きなコモンモードノイズフィルタが得られるが、特に焼結後の厚さを５０μｍ以下にすることが望ましく、このような構成とすることにより結合係数が０．９３以上の優れたコモンモードノイズフィルタを得ることができた。
【００５８】
また、コモンモードノイズフィルタのコイルパターン２−１、コイルパターン２−２は所望するインダクタンス特性やクロストーク特性によってさまざまな形態を取ることができるが、磁性体層１が２つのコイルで形成するコイルパターン２−１、コイルパターン２−２に接触している限り、いずれの場合も同様な効果を得ることができ、特に２つのコイルパターン２−１、コイルパターン２−２間が狭くなるほど効果は大きくなる。
【００５９】
これらを検討した結果、電極パターンの間隔は３０μｍ以下にすることにより二つのコイル間で鎖交する磁束を増大させる効果があることが分かった。
【００６０】
以上のように、本実施の形態２では内蔵する２つのコイルを形成するコイルパターン２−１、コイルパターン２−２の間の少なくとも一部に１ＧＨｚまで低損失な磁性フェライトである磁性体層１が介在することにより、磁気損失を増大させることなくコイル間で鎖交する磁束を増大させることにより、結合係数の大きなコモンモードノイズフィルタを実現し、コモンモードノイズフィルタとしてコモンモードノイズを効率良く除去することが可能となる。
【００６１】
また、このような構成を有するコモンモードノイズフィルタとすることにより、小型でＧＨｚ帯域で優れた特性を有する積層電子部品を実現できる。
【００６２】
さらに、このコモンモードノイズフィルタを内蔵した複合部品とすることにより、高密度の積層セラミック電子部品、積層モジュール部品あるいは他のコンデンサ素子あるいは抵抗素子などとの複合部品化された積層電子部品として有用である。
【００６３】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３におけるチップトランスについて、図面を参照しながら説明する。
【００６４】
図５（ａ）は本発明の実施の形態３におけるチップトランスの構造を説明するための分解斜視図であり、図５（ｂ）はその等価回路を示す回路図であり、図５（ｃ）はその外観斜視図である。
【００６５】
また、図６は本実施の形態３における他の例であるチップトランスの断面構造図である。
【００６６】
次に、図５（ａ）〜図５（ｃ）を用いて本発明の実施の形態３における積層型のチップトランスの例を示す。
【００６７】
図５（ａ）に示す本発明による積層型のチップトランスは、絶縁性を有する磁性体層３０で挟まれた一次コイル２１（引出電極部２１ａ、引出電極部２１ｂを含む）と２次コイル２２（引出電極部２２ａ、引出電極部２２ｂ）を形成したコイル層７とコイル層８の間に絶縁性を有する磁性体層１０が介在するとともにビア５を介してコイル層７とコイル層８がそれぞれ一次コイル２１、二次コイル２２として接続された電極構造を有しており、特に銀を主成分とする２本の並列する電極パターンから構成される螺旋状の一次コイル２１、二次コイル２２を形成することを特徴としている。その結果として、それぞれの一次コイル２１、二次コイル２２の近傍に周回する磁束を断ち切り、２つのコイル間２１，２２の磁気的な結合を強化することができる。
【００６８】
このことは実施の形態２とおなじ作用を発揮するものであり、特に異なっている点は、図５（ｂ）の等価回路に示したように入出力端子の組み合わせが異なっているだけである。
【００６９】
以上説明してきたような構成を有するチップトランスの外観を図５（ｃ）に示す。１１はチップトランスであり、１２は４個の外部電極であり、図５（ａ）に示す引出電極部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂのいずれか一つとそれぞれ電気的に接続している。
【００７０】
以上の構成を有するチップトランスの特性を評価した結果、従来の磁性フェライトであるＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ−Ｃｏフェライトを用いたチップトランス（従来品４）の結合係数が０．９であるのに対して、磁性体層１０に本発明のＣｏ−Ｚｎ−Ｃｕフェライトを用いたチップトランス（発明品３）の結合係数は０．９３と良好であった。
【００７１】
以上のように、本実施の形態３では、内蔵する２つのコイルを形成する一次コイル２１、二次コイル２２の間の少なくとも一部に１ＧＨｚまで低損失な磁性フェライトが介在し、この磁性フェライトが磁気損失を増大させることなく二つのコイル間で鎖交する磁束を増大させることにより、結合係数の大きな積層型のチップトランスを実現し、トランスとして高効率なエネルギーの授受が可能となる。
【００７２】
また、全てのコイルの電極パターンの形成方法はスクリーン印刷でもよく、さらにファインパターンを形成するためにはめっき転写、凹版転写工法が有効であり、これらの技術と組み合わせることにより直流抵抗の小さな小型のチップトランスを実現することができる。
【００７３】
次に、本実施の形態３における他の例のチップトランスについて説明する。
【００７４】
図６において、少なくとも一面の断面構造において、絶縁性を有する磁性体層３が絶縁性を有する磁性体層１を被覆した構造であることが異なっている。この構成は透磁率の高い磁性体層３がコイルの電極パターンの外周部を周回するように被覆することにより磁束密度が高まることによって、さらに磁気特性を向上したチップトランスを実現することができる。
【００７５】
なお、このような構成はコモンモードノイズフィルタの構成においても同様の効果を確認している。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
以上のように、本発明にかかる磁性フェライトおよびコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスは、低抵抗な銀電極と同時焼成ができる高周波帯域で、低損失な磁性フェライトを実現することにより、これをコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスの磁性材料として用いることによって大きな結合係数を有する各種コモンモードノイズフィルタ並びにチップトランスが実現可能となり、各種電子機器に用いられるコモンモードノイズフィルタ並びにチップトランス等の用途に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の実施の形態１における磁性フェライトの周波数特性を示す特性図
【図２】同磁性フェライトの酸化銅の添加量と９００℃焼成による焼成収縮率の関係を示す特性図
【図３】同磁性フェライトの組成域を示す組成図
【図４】（ａ）本発明の実施の形態２におけるコモンモードノイズフィルタの分解斜視図、（ｂ）同等価回路図、（ｃ）同外観斜視図
【図５】（ａ）本発明の実施の形態３におけるチップトランスの分解斜視図、（ｂ）同等価回路図、（ｃ）同外観斜視図
【図６】同他の例のチップトランスの構造断面図
【符号の説明】
【００７８】
１  磁性体層（第２）
２−１  コイルパターン
２−２  コイルパターン
２−１ａ，２−１ｂ  引出電極部
２−２ａ，２−２ｂ  引出電極部
３  磁性体層（第１）
４  コモンモードノイズフィルタ
５  ビア
５ａ  ビア電極
６  外部電極
７  コイル層（第１）
８  コイル層（第２）
１０  磁性体層（第２）
１１  チップトランス
１２  外部電極
２１  一次コイル
２１ａ，２１ｂ  引出電極部
２２  二次コイル
２２ａ，２２ｂ  引出電極部
３０  磁性体層（第１）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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