(57)【要約】【課題】絶縁基板の導体パターン,ないし導体パターンに搭載した半導体素子の金属表面に生成した酸化皮膜を除去する前処理を必要とせずに、リードフレームの超音波接合の過程で酸化皮膜を積極的に破壊して高い接合強度が確保できるようにする。【解決手段】絶縁基板２ａに導体パターン２ｂを形成した回路基板，ないしは該回路基板に搭載した半導体素子に超音波接合するリードフレーム４において、リードフレームの接合脚部４ａの接合面に、突起高さが少なくとも接合相手側の導体パターン２ａの表面に生成した酸化皮膜６の膜厚以上である突起４ｂを形成し、この突起を相手側部材の接合に押し当てた状態でボンディングツール８により超音波振動を印加して接合する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に形成した導体パターン，ないしは前記絶縁基板に搭載した半導体素子に接続導体として接合するリードフレームの接合端面に、突起高さが少なくとも接合相手側の表面に生成した酸化皮膜の膜厚以上である突起を設け、前記導体パターンないしは半導体素子と超音波接合したことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置において、前記リードフレームに設けた突起が角錐，角柱状の突起であることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電力変換装置に適用するＩＧＢＴモジュールなどの電力用半導体装置を対象に、そのパッケージ内部において絶縁基板に形成した導体パターン,もしくは導体パターンに搭載した半導体素子と、これらの配線導体として使用する超音波接合用リードフレームとの接合構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年になり、頭記の電力用半導体装置は小形化，高密度化が進み、これに合わせてパッケージ内部の配線構造について、在来から用いられていたワイヤボンディングに替えてリードフレームが採用されようになっている（例えば、特許文献１参照）。また、そのリードフレームの接合についても、ロー付け法に替えて超音波接合を採用した配線構造が知られている（例えば、特許文献２参照）。
図３（ａ），（ｂ）は内部配線の接続導体にリードフレームを用いた電力用半導体装置のモデル図であり、図において、１は放熱用金属ベース板、２は絶縁基板（セラミック基板）２ａの表，裏両面に銅箔を直接接合して導体パターン２ｂ，２ｃを形成し、前記金属ベース板１にマウントした回路基板（Direct Bonding Copper基板）、３は回路基板２に搭載した電力用の半導体チップ、４が内部配線用のリードフレームである。ここで、リードフレーム４は帯状の銅板（タフピッチ銅，無酸素銅，リン青銅）を図示のような逆Ｕ字形に曲げ加工した形状になり、その両端に形成した接合脚部４ａが相手側部材の電極面に超音波接合されている。なお、金属同士の超音波接合法は周知の技術であり、ここではその説明を省略する。
【特許文献１】特開２００２−４３５０８号公報
【特許文献２】特開平１１−１９５７２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、前記のように回路基板２の導体パターン２ｂ，あるいは該回路基板２に搭載した半導体素子３の電極面（相手側接合面）にリードフレーム４の接合脚部（接合面）４ａを直接重ね合わせて超音波接合した配線構造では、超音波接合部における接合強度の信頼性面で次記のような問題点がある。
すなわち、図４（ａ）は回路基板の導体パターン２ｂにリードフレーム４を超音波接合する前の状態、図４（ｂ）は超音波接合した後の状態を表す図である。まず、図４（ａ）の超音波接合前の状態でリードフレーム４，導体パターン２ｂの表面をミクロ的に見ると、金属表面には埃，油分，水分からなる吸着層が付着しており、さらにその下の表面が大気雰囲気中で生成した酸化皮膜５，６で覆われている。なお、この酸化皮膜の膜厚は金属材質，加工時の加熱条件などにより異なり、通常はｎｍ〜数十ｎｍ程度までばらつきがある。
【０００４】
ここで、図４（ｂ）のように回路基板２の導体パターン２ｂの上にリードフレーム４の接合脚部４ａを重ね合わせ、その上から超音波ボンディングツール８により加圧と超音波振動を印加して被接合界面を摺動することにより、リードフレーム４，導体パターン２ｂの接合面に塑性流動が生じて凝着するようになるわけであるが、金属表面に形成されている酸化皮膜５，６の膜厚が厚く、またこの膜厚に対してボンディングツール８に加える静圧（セラミック基板は材質的に脆弱であるため、ボンディングツールを介して基板に加える静圧荷重には制限がある），超音波振動のエネルギーが低いと、酸化皮膜５，６が破壊されず、導体パターン２ｂ，リードフレーム４の金属組成（銅の真性面）が未接触のまま、図４（ｂ）の符号７で表すように酸化皮膜同士が凝着して固相結合した状態になる。
しかも、図４（ｂ）のような接合状態のままでは、半導体装置の実使用時に加わるヒートサイクルなどによってリードフレーム４の接合面に応力が繰り返し加わると、図５（ａ）で示すように酸化皮膜結合部７の層内に凝集破壊が生じてクラック９が発生し、これが原因で図５（ｂ）のようにリードフレーム４が導体パターン２ｂから剥離して回路が不導通となるトラブルを引き起す。さらに、酸化皮膜は電気抵抗が大きいことから、酸化皮膜結合の状態でその膜厚が厚いと、リードフレーム／導体パターン間の導電性が大きく低下する問題もある。
【０００５】
そこで、従来はリードフレームを超音波接合する際の前処理として、回路基板２の導体パターン２ｂ，リードフレーム４の接合面にプラズマエッチング処理，不活性ガスによる還元処理，あるいは酸を用いたウエット処理などを施して酸化皮膜５，６を除去することが行われているが、このような前処理を施すことは半導体装置の製造工程が増して製品がコスト高になる。
本発明は上記の点に鑑みなされたものであり、その目的は前記課題を解決し、リードフレームの接合に際して、接合部品の金属表面に生成した酸化皮膜を除去する前処理を必要とせずに、超音波接合の過程で酸化皮膜を積極的に破壊して高い接合強度が確保できるように改良した超音波接合用リードフレームを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明によれば、絶縁基板上に形成した導体パターン，ないしは前記絶縁基板に搭載した半導体素子に接合するリードフレームについて、そのリードフレームの接合端面に、突起高さが少なくとも接合相手側の表面に生成した酸化皮膜の膜厚以上である突起を設けた上で、該接合面を前記導体パターンないしは半導体素子と超音波接合する(請求項１)ものとし、具体的には前記突起を角錐状，あるいは角柱状の突起とする（請求項２）。
【発明の効果】
【０００７】
上記構造のリードフレームを採用してその接合端面を相手側部材の接合面に重ね合わせ、超音波ボンディングツールを介して加圧力と超音波振動を印加すると、リードフレームの接合面にあらかじめ形成した突起が相手側部材の表面を摺動して酸化皮膜を分断破壊し、その下の真性面と直接接触し合うようになる。また、この状態からさらに超音波振動を継続して加えると、突起部分を含めてリードフレームの接合面に塑性流動が生じ、これにより金属真性面同士の凝着部分が拡大してリードフレームと相手側部材との間が酸化皮膜の影響を受けることなく十分な接合強度をもって超音波接合されるようになる。したがって、従来のように酸化皮膜を除去する前処理工程を行うことなしに高い接合強度を確保して半導体装置の内部配線の信頼性向上が図れる。
なお、前記の酸化皮膜破壊用の突起は、リードフレームと超音波接合する相手側部材の接合面に形成することも考えられるが、一般的に回路基板の導体パターンに使用する銅箔材料はリードフレームの銅材に比べて硬度が低いために、リードフレームの接合面に形成されている酸化皮膜の破壊効果が小さくなるほか、回路基板の導体パターンに突起を形成することは加工性，生産性にも問題があって実用的でない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態を図１，図２に示す実施例に基づいて説明する。なお、実施例の図中で図３〜図５に対応する部位には同じ符号を付してその説明は省略する。
すなわち、図１に示す実施例においては、リードフレーム４の接合端面（接合脚部４ａの下面）には、微小な角錐状突起７ｂが多数分散形成されている。この突起７ｂは、その突起高さを少なくとも回路基板２側の酸化皮膜６の膜厚以上とし、例えば機械的切削加工，エッチング加工，レーザー加工，あるいはスタンピングプレス加工などの手法により形成することができる。なお、突起７ｂの高さは加工性を考慮して５０μｍ程度とするのがよく、リードフレームを打抜き加工する際に突起を同時にプレス成形することもできる。
そして、上記のように接合面に突起４ｂを形成したリードフレーム４を用いて回路基板の導体パターンに超音波接合するに際しては、従来のように表面に自然生成した酸化皮膜を除去する前処理を施すことなしに、図１（ｂ）のように回路基板の導体パターン２ｂの上にリードフレーム４の接合脚部４ａを重ね合わせ、その上に超音波ボンディングツール８を押し当てて静圧荷重，超音波振動を印加する。これにより、前記突起４ｂが導体パターン２ｂの表面を覆っている酸化皮膜６の上を摺動して酸化皮膜６を破壊し、また、リードフレーム４の接合面を覆っている酸化皮膜も破壊されて導体パターン（銅箔）２ｂの真性面と直接接触するようになる。なお、この場合にセラミック絶縁基板２ａの脆弱性を考慮してボンディングツール８に加える垂直方向の荷重が小さくても、その荷重が突起３ｂの部分に集中するので、酸化皮膜６は容易に破壊される。また、この際に同時にリードフレーム側の自然酸化膜も破壊される。さらに、超音波振動を継続して印加すると、図１（ｃ）で表すように接合面に塑性流動が生じて前記突起３ｂは導体パターン２ｂの金属組成と融合して結合し、またリードフレーム４の前後端側にはすべりによる塑性流動部４−１が生じて導体パターン２ｂと凝着範囲が拡大する。この結果、リードフレーム４と導体パターン２ｂとの間が高い接合強度で超音波接合される。この場合に、リードフレーム４の材質は導体パターン２と同材質であってもよく、また所定の形状に成形する加工性，およびヒートサイクルなどによるストレスを吸収する撓み性を持たせるために焼き鈍し処理して所望の硬度に調整するのがよい。
【０００９】
次に、本発明の応用実施例を図２（ａ），（ｂ）に示す。すなわち、図２（ａ）はリードフレーム４の接合面に角柱状突起４ｃを分散形成した例であり、図２（ｂ）では突起としてリードフレーム４の接合面に球面状突起４ｄを形成している。なお、図２（ｂ）では球面状突起４ｄが一つであるが、複数の球面状突起を形成してもよい。
これにより、図２（ａ），（ｂ）のいずれの実施例でも、リードフレーム４を導体パターン２ｂ（図１参照）に超音波接合する過程では、前記の角柱状突起４ｃ，球面状突起４ｄの先端面に加圧荷重が集中するので、導体パターン２ｂの酸化皮膜を効果的に破壊して図１の実施例と同様な効果を奏することができる。
なお、図示実施例ではリードフレーム４と回路基板の導体パターン２ｂとの超音波接合について述べたが、回路基板上に搭載した半導体チップとリードフレームを超音波接合する場合でも同様に実施できることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明実施例の説明図で、（ａ）はリードフレームの要部拡大側面図、（ｂ），（ｃ）はそれぞれ超音波接合時における初期，終了の状態を表す図
【図２】本発明の他の実施例によるリードフレームの構造図で、（ａ），（ｂ）はそれぞれ接合面に角柱状突起，球面状突起を形成した要部拡大側面図
【図３】内部配線にリードフレームを用いた半導体装置の構成図で、（ａ），（ｂ）はそれぞれ側面図，および平面図
【図４】従来のリードフレームを用いた超音波接合の説明図で、（ａ），（ｂ）はそれぞれ接合前，および接合後の状態を表す図
【図５】従来のリードフレームでその接合部に発生する凝集破壊の説明図で、（ａ）はクラックの発生，（ｂ）はリードフレームが剥離した状態を表す図
【符号の説明】
【００１１】
２    回路基板
２ａ  絶縁基板
２ｂ  導体パターン（銅箔）
３    半導体チップ
４    リードフレーム
４ａ  接合脚部
４ｂ  角錐状突起
４ｃ  角柱状突起
４ｄ  球面状突起
５，６  酸化皮膜
７    酸化皮膜結合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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