(57)【要約】 【構成】  処理装置１２のロードポート１４両側に、コンベヤシステム４と同じ高さレベルにバッファ１６を設け、搬送装置１８でコンベヤとバッファ間のカセット搬送と、カセットの向きの転換とを行う。ホイスト形のローダ３０でバッファ１６とロードポート１４間の移載を行う。【効果】  処理装置の効率とコンベヤの効率とを高め、さらにコンベヤと処理装置との間でカセットの向きを転換できる。  【選択図】    図１
2005136294.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンベヤと、複数のロードポートを一列に配置した設備との間で物品を移載するための装置において、
コンベヤとロードポート間で物品を移載する途中で物品を仮置きするバッファを設け、ロードポートとバッファとの間で物品を移載するために、物品を鉛直方向に移載する巻き上げ装置と、巻き上げ装置を少なくともロードポートの列と平行に移動させるためのローダとを設けると共に、バッファとコンベヤ間で物品を移載するための移載手段と、前記物品の向きをコンベヤとロードポート間の搬送の間に転換するための転換手段を設けたことを特徴とする移載装置。
【請求項２】
前記バッファを前記コンベヤとほぼ同じ高さレベルで、かつ平面視で前記ロードポートの列とほぼ同じ延長線上に、かつロードポートと上下方向に重ならないように設けると共に、
物品の底部を支持するための昇降自在な台と前記転換手段とを備えた台車で、バッファとコンベヤ間を走行するものを設けて、コンベヤとバッファ間で物品を搬送すると共に物品の向きを転換するようにしたことを特徴とする、請求項１の移載装置。
【請求項３】
前記巻き上げ装置を水平面内でＸＹ双方向に移動させるように前記ローダを構成すると共に、前記バッファを前記コンベヤから見てロードポートの列の反対側に設けて、巻き上げ装置で、コンベヤとバッファ間、及びバッファとロードポート間の物品の移載を行うようにしたことを特徴とする、請求項１の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、クリーンルームなどでの物品の移載に関し、特に処理装置や検査装置などの設備のロードポートと、コンベヤ間の移載に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームで半導体基板や液晶基板などをカセットなどの単位で搬送する場合、コンベヤでカセットを搬送し、ローダでコンベヤからカセットをピックアップしてロードポートに荷下ろしすることが行われている。ここで、ロードポートでカセットから物品を出し入れする際の向きと、コンベヤでカセットを搬送する際の向きとが異なることがある。例えばコンベヤでカセットを搬送するには所定の向きが必要で、ロードポートではこれと異なる向きでないとカセットの開閉ができないような場合である。このような場合、カセットをトレイに載せて搬送し、コンベヤとロードポート間の向きの転換を不要にしても良いが、別途にトレイを設けるのは不便である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、低コストで、バッファを備え、かつコンベヤとロードポート間で物品の向きの転換ができる移載装置を提供することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、コンベヤと物品をやり取りする際にコンベヤを拘束する時間が短く、かつ特に低コストな移載装置を提供することにある。
請求項３の発明での追加の課題は、バッファを多数設けることができ、かつ作業をローダに集中できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明の移載装置は、コンベヤと、複数のロードポートを一列に配置した設備との間で物品を移載するための装置において、コンベヤとロードポート間で物品を移載する途中で物品を必要に応じて仮置きするバッファを設け、ロードポートとバッファとの間で物品を移載するために、物品を鉛直方向に移載する巻き上げ装置と、巻き上げ装置を少なくともロードポートの列と平行に移動させるためのローダとを設けると共に、バッファとコンベヤ間で物品を移載するための移載手段と、前記物品の向きをコンベヤとロードポート間の搬送の間に転換するための転換手段を設けたことを特徴とする。
【０００５】
好ましくは、前記バッファを前記コンベヤとほぼ同じ高さレベルで、かつ平面視で前記ロードポートの列とほぼ同じ延長線上にかつロードポートと上下方向に重ならないように設けると共に、物品の底部を支持するための昇降自在な台と前記転換手段とを備えた台車で、バッファとコンベヤ間を走行するものを設けて、コンベヤとバッファ間で物品を搬送すると共に物品の向きを転換する。
【０００６】
また好ましくは、前記巻き上げ装置を水平面内でＸＹ双方向に移動させるように前記ローダを構成すると共に、前記バッファを前記コンベヤから見てロードポートの列の反対側に設けて、巻き上げ装置で、コンベヤとバッファ間、及びバッファとロードポート間の物品の移載を行う。
【発明の効果】
【０００７】
この発明の移載装置では、ローダでロードポートの列に沿って巻き上げ装置を移載自在にして、バッファとロードポート間の移載を行うので、１台のローダで複数のロードポートに対応できる。またバッファを設けるので、設備の稼働率を高めることができ、かつコンベヤでの搬送上のゆとりも大きくできる。さらに物品の向きを転換できるので、コンベヤでの搬送時の向きとロードポートで必要な向きとが異なっていても、トレイなどが必要にならない。
【０００８】
ここでバッファをコンベヤとほぼ同じ高さレベルに配置し、物品の底部を支持する昇降自在な台を備えた台車をコンベヤとバッファ間を走行させて物品を搬送すると、巻き上げ装置とコンベヤの間で直接物品をやり取りする場合よりも、コンベヤを拘束する時間を短くでき、コンベヤの搬送効率を高めることができる。さらにバッファを平面視でロードポートの列と同じ延長線上に設けると、ローダは平面内で一方向に移動できればよい。また物品の向きの転換は台車で行う。このようにして、コンベヤとバッファとの間の物品のやり取りと物品の向きの転換を台車で行い、ローダでは、巻き上げ装置の往復運動と、巻き上げ装置での物品の昇降とを行い、台車とローダとで作業の分担を最適化する。
【０００９】
ローダを水平面内でＸＹ双方向に移動できるようにすると、コンベヤから見てロードポートの列の反対側に、バッファを設けることができる。このため例えばロードポートと同じ数のバッファを例えば１：１に対応させて設けることができ、またロードポートの列の左右にバッファ用のスペースを必要としない。さらにコンベヤとバッファ間、バッファとロードポート間の移載作業をローダに集約できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図５に、実施例とその変形を示し、図１〜図４に最初の実施例を示す。２は移載装置で、ここではクリーンルーム内で半導体カセット８などの物品を、処理装置１２や検査装置などのロードポート１４と、コンベヤシステム４との間で移載する。コンベヤシステム４はいわゆる工程内コンベヤ（ベイ内コンベヤ）で、複数の処理装置１２に対してカセット８を搬送し、例えば一対のローラコンベヤ５，６で構成され、これらは共に動力コンベヤとしても良く、あるいは一方を動力コンベヤ、他方をフリーローラのコンベヤとしても良い。７はローラコンベヤ６に設けた空隙で、カセット８の底部を支持して搬送するための搬送台２０を通すための隙間である。
【００１２】
カセット８にはその前面に蓋９が設けられ、ロードポート１４で蓋９を開くことにより、半導体基板の出し入れが行える。またカセット８の頂部にはフランジ１０を設けて、巻き上げ装置３２のチャック部３４で把持できるようにする。そしてカセット８は、例えば搬送の都合上、コンベヤシステム４では進行方向前面に蓋９が位置し、ロードポート１４では処理装置１２側に蓋９が位置する必要があるので、コンベヤシステム４とロードポート１４との間で、向きの９０°転換を行う。さらにロードポート１４は、処理装置１２の前面などに複数１列に配置し、平面視でその左右例えば両側にバッファ１６を設け、例えば一方をコンベヤシステム４からの搬入用、他方をコンベヤシステム４への搬出用とする。なお図２に示すように、コンベヤシステム４とバッファ１６とは高い位置にあり、これに対してロードポート１４は低い位置にある。
【００１３】
搬送装置１８の構造を図３に示すと、２０は前記の搬送台で、その上部にはカセット８の底面の係合くぼみと係合する例えば３個の係合突起２３が設けてある。搬送台２０は昇降駆動部２４により昇降自在で、昇降ストロークは搬送台２０の底部がローラコンベヤ６の上部を干渉せずに通過できる高さ（高位置）と、突起２３がローラコンベヤ６の底部と干渉せずに通過できる高さ（低位置）の２種類である。搬送台２０の走行経路は図１に示すように、コンベヤシステム４内とバッファ１６内とを結ぶ直線状で、コンベヤシステム４とバッファ１６とで、カセット８の底面を支持する高さはほぼ同一にしてある。そしてコンベヤシステム４から搬送台２０へのカセット８の移載開始前にコンベヤシステム４は停止し、搬送台２０がコンベヤシステム４から抜け出してバッファ１６内に入り、コンベヤシステム４上のカセット８と干渉しない位置に移動すると、コンベヤシステム４を再起動する。この結果、コンベヤシステム４を停止させる時間（拘束時間）を短くできる。
【００１４】
ターンテーブル２５は、例えば昇降駆動部２４と搬送台２０とをコンベヤシステム４内での向きと、バッファ１６内での向きとの間で、９０°転換する。なお昇降駆動部２４やターンテーブル２５などの構成は任意で、昇降駆動部の上側にターンテーブルを設けて、ターンテーブルと搬送台を昇降させるようにしても良い。２６は走行台車で、ベース２７に設けた走行レールに沿って走行し、走行経路２２はベース２７の上部に設けた開口である。
【００１５】
図１，図２に戻り、３０はローダで、巻き上げ装置３２をコンベヤシステム４での搬送方向、言い換えるとロードポート１４の配列方向と平行に往復動させ、巻き上げ装置３２はベルトやロープなどの吊持材３５を用いてチャック部３４を昇降させる。このようにローダ３０の動作は、巻き上げ装置３２を水平方向に往復動させて、左右のバッファ１６やロードポート１４に対してカセット８を移載できる位置へと移動させることと、巻き上げ装置３２により、バッファ１６やロードポート１４に対してカセット８を移載することの２つである。また搬送装置１８の作業は、コンベヤシステム４とバッファ１６間でカセット８の移載を行うこと、並びにこの間にカセット８の向きを９０°転換することの２つである。４０は移載装置２の支柱で、４２はフレームであり、ここに移載装置２は、ローダ３０とバッファ１６，１６並びに搬送装置１８，１８を含み、コンベヤシステム４やロードポート１４を含まないものとする。なお、本実施例では、移載装置２は、支柱４０で支持するようになっているが、処理装置の側方にメンテナンス用の空間を形成できるように、天井から吊すようにしても良い。
【００１６】
図４に、実施例での１カセット分の移載操作を示す。コンベヤを停止させ、搬送装置の搬送台を上昇させて、カセットをコンベヤから搬送台へ移載し、搬送台の上昇が完了すると、搬送台を旋回させるのと同時にコンベヤシステム内からバッファ内へと搬送台を水平移動させる。搬送台がコンベヤシステムから抜け出すとコンベヤを再起動できるので、バッファとの移載の際にコンベヤを停止させる時間を短くできる。搬送台がバッファ上に達すると、搬送台を下降させてバッファへカセットを移載し、この時カセットの向きの９０°転換は完了しているものとする。次いで搬送台は低い位置で、ローラコンベヤの底部を潜るようにして、コンベヤシステム内に復帰する。バッファからロードポートへのカセットの移載が必要になるまで待ち、移載が必要になると、巻き上げ装置をバッファ上へと水平移動させて、カセットをピックアップし、次いで巻き上げ装置の水平移動とチャック部の下降とを同時に行って、ロードポートへカセットを荷下ろしする。この時、カセットはロードポートに対して正しい向きで荷下ろしされる。
【００１７】
次にロードポートからコンベヤへのカセットの搬出を示す。この場合、用いるバッファは、搬入に用いたバッファとは別のバッファとし、カセットがロードポートから搬出可能になると、巻き上げ装置を水平移動させると共にチャック部を下降させて、カセットをピックアップし、チャック部の上昇と巻き上げ装置の水平移動を同時に行って、バッファへカセットを荷下ろしする。次いで搬送台を上昇させてカセットの底部を支持し、コンベヤシステム内への水平移動と搬送台の旋回とを同時に行い、コンベヤへカセットを移載する。この際にコンベヤを停止させるのは、カセットがコンベヤと干渉する位置に達した後、コンベヤ上に移載されるまでの時間で、比較的短い時間で良い。
【００１８】
なお、図１で搬送台の走行経路を延長して、コンベヤシステム４の左右両側に搬送できるようにした走行経路５０を設けると、追加のバッファ５１をコンベヤシステム４から見てバッファ１６の反対側に増設できる。また追加のバッファ５１，５１間を接続するコンベヤ５２を、ロードポート１４の列のコンベヤシステム４から見た反対側に設けると、コンベヤ５２上にカセットを載置することにより、バッファ能力をさらに増すことができる。
【００１９】
また図１で、Ｌ字状の走行経路５４を設けて、搬送台の走行方向が途中で９０°変化するようにすると、走行台車のターンテーブルが不要になる。この場合は、Ｌ字状の走行経路５４を用いて向きの転換手段を実現したことになる。さらにＬ字状の走行経路５４内の、コンベヤシステム４の搬送方向と平行な部分を利用して、搬送台をコンベヤの搬送速度とほぼ同じ速度で移動させながらカセットを移載すると、カセットの移載時にコンベヤを停止させる必要が無くなる。
【００２０】
図５に第２の実施例を示し、特に指摘した点以外は図１〜図４の実施例と同様である。この実施例ではローダ６０がＹ方向（コンベヤシステム４の搬送方向と直角な方向）に移動自在で、ローダ６０に対して巻き上げ装置３２がＸ方向（ロードポート１４ａ〜１４ｃの配列方向）に平行な方向に移動自在とする。またチャック部３４’に、チャックしたカセットの向きを９０°転換する機構を設ける。なおカセットの向きの転換機構を、巻き上げ装置３２に設けて、チャック部ごと向きを転換しても良い。コンベヤシステム４から見て、ロードポート１４ａ〜１４ｃの反対側には、バッファ６２ａ〜６２ｃを設け、例えばバッファとロードポートを１：１に対応させる。このように、コンベヤシステム４を挟んでバッファとロードポートを反対側に設けることで、ロードポートが連続するような場合であっても、充分な数のバッファを確保することができる。特に、バッファとロードポートを１：１にすることで、バッファとロードポートとの間でローダ６０をＸ方向に移動させることなくカセットを移載でき、移載効率が良い。
【００２１】
なおバッファ６２ａ〜６２ｃの高さ位置は、ロードポート１４ａ〜１４ｃと揃えても、あるいはコンベヤシステム４と揃えても、またこれらの中間の高さでも良い。さらにバッファ６２ａ〜６２ｃに、ターンテーブル６４を設けて、バッファ側でカセットの向きを転換しても良い。バッファ６２ａ〜６２ｃでカセットの向きを転換する場合、図５の姿勢Ａと姿勢Ｂの間で向きを転換すればよい。これに対してロードポート上でカセットの向きを転換すると、蓋の角が処理装置１２に衝突する恐れがある。
【００２２】
図５の変形例では、ロードポート１４ａ〜１４ｃと１：１に対応させてバッファ６２ａ〜６２ｃを設けることができ、ロードポート１４ａ〜１４ｃの左右にバッファを設けるスペースがない場合にも対応できる。またターンテーブル６４を設ける場合の向きの転換を除いて、カセットの搬送作業をローダ６０に集約できる。
【００２３】
実施例では、クリーンルームでの半導体基板などを収容したカセットの移載を例にしたが、これに限るものではなく、コンベヤとロードポートとの間で物品の向きを転換しながら移載する用途一般に適用できる。処理装置１２は設備の例で、検査装置その他の装置でも良い。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施例の移載装置の要部平面図
【図２】実施例の移載装置の要部側面図
【図３】実施例で用いた払い出し装置の断面図
【図４】実施例での１カセット分の搬送アルゴリズムを示すフローチャート
【図５】第２の実施例の移載装置の要部平面図
【符号の説明】
【００２５】
２          移載装置
４          コンベヤシステム
５，６      ローラコンベヤ
７          空隙
８          カセット
９          蓋
１０        フランジ
１２        処理装置
１４        ロードポート
１６        バッファ
１８        搬送装置
２０        搬送台
２２        走行経路
２３        係合突起
２４        昇降駆動部
２５        ターンテーブル
２６        走行台車
２７        ベース
３０，６０  ローダ
３２        巻き上げ装置
３４        チャック部
３５        吊持材
４０        支柱
４２        フレーム
５０，５４  走行経路
５１        バッファ
５２        コンベヤ
６２ａ〜ｃ  バッファ
６４        ターンテーブル
【図１】
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【図２】
2005136294.tif 000004
【図３】
2005136294.tif 000005
【図４】
2005136294.tif 000006
【図５】
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