(57)【要約】  【課題】  高発光効率のプラズマディスプレイ部材ならびにプラズマディスプレイを提供する。  【解決手段】第１の電極としてバス電極が形成された前面基板、ならびに第２の電極としてのアドレス電極、隔壁、および蛍光体層が形成された背面基板からなるプラズマディスプレイ部材であって、隔壁の表面および／または内部に第３の電極が形成されていることを特徴とするプラズマディスプレイ部材、およびそれを用いたプラズマディスプレイである。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の電極としてバス電極が形成された前面基板、ならびに第２の電極としてのアドレス電極、隔壁、および蛍光体層が形成された背面基板からなるプラズマディスプレイ部材であって、隔壁の表面および／または内部に第３の電極が形成されていることを特徴とするプラズマディスプレイ部材。
【請求項２】
バス電極がパターン化された誘電体で覆われていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項３】
バス電極を覆う誘電体が、バス電極を覆う略ストライプ状の主パターンと交差する方向にある補助パターンからなることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項４】
第１の電極がバス電極と、放電領域に対応する領域の全面に存在する平面電極からなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項５】
隔壁の表面および／または内部に形成された第３の電極が、互いに向き合う方向に張り出した補助電極を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項６】
隔壁の表面および／または内部に形成された第３の電極が、主放電用の電極であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項７】
第４の電極として主放電用の電極が背面基板側に形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項８】
第４の電極である主放電用の電極が、第２の電極であるアドレス電極の上に形成された誘電体層を挟んで、該アドレス電極と略垂直方向にストライプ状に配されていることを特徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項９】
隔壁が、第２の電極であるアドレス電極と略平行方向にある主隔壁と主隔壁に交差する方向にある補助隔壁からなり、補助隔壁の表面および／または内部に第３の電極が形成されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項１０】
第３の電極が、隔壁の内部および片側面のみに配されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項１１】
第１の電極、および第３の電極の一部あるいは全てが、ガラス軟化点４００〜６５０℃のガラスで覆われていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項１２】
隔壁が反射率の異なる２層以上の層で形成されていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項１３】
反射率の低い層が表示面側にあることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項１４】
隔壁が誘電率の異なる２層以上の複数層で形成されていることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項１５】
誘電率の高い層が電極近傍にあることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項１６】
隔壁表面の一部あるいは全てが絶縁性の材料で被覆されていることを特徴とする請求項１〜１５のいずれかに記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項１７】
蛍光体の一部あるいは全てが絶縁性の材料で被覆されていることを特徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項１８】
絶縁性の材料がＭｇＯ、ＭｇＧｄ２Ｏ４、ＢａＧｄ２Ｏ４、Ｓｒ０．６Ｃａ０．４Ｇｄ２Ｏ４、Ｂａ０．６Ｓｒ０．４Ｇｄ２Ｏ４、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、および低軟化点ガラスの群から選ばれる少なくとも１種以上を含むことを特徴とする請求項１６または１７に記載のプラズマディスプレイ部材。
【請求項１９】
請求項１〜１８のいずれかに記載のプラズマディスプレイ部材を用いたプラズマディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイ部材およびプラズマディスプレイに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」とする）は液晶パネルに比べて高速の表示が可能であり、かつ大型化が容易であることから、ＯＡ機器および広報表示装置などの分野に利用されている。また、高品位テレビジョン、ホームシアター用途への進展が非常に期待されている。
【０００３】
ＰＤＰは、前面基板と背面基板との間に備えられた放電空間内で対向するアノードおよびカソード電極間にプラズマ放電を生じさせ、放電空間内に封入されているＸｅ−Ｎｅ混合ガスなどの放電ガスから発生した１４７ｎｍ、１７２ｎｍといった非常に波長が短い紫外線を、放電空間内に設けた蛍光体に照射することにより表示を行うものである。また、放電の広がりを一定領域に抑え、表示を規定のセル内で行わせると同時に、かつ均一な放電空間を確保するために隔壁（障壁、リブともいう）が設けられている。隔壁の形状は、一般にはおよそ幅２０〜１２０μｍ、高さ５０〜２５０μｍのストライプ状や格子状のものなどがある。
【０００４】
ＡＣ型ＰＤＰは、一般に図１０に示すような構造をしている。すなわち前面基板に透明電極、バス電極、透明誘電体層、保護膜が形成されている。１つの透明電極とバス電極は積層され電気的に導通している。この１つの透明電極およびバス電極（走査電極）とその隣に位置する透明電極とバス電極（維持電極）に交流のパルス電圧を印加することで、これらの透明電極間の（放電）ギャップから放電を開始し、保護膜表面での面放電が維持されて表示発光動作を行っている。精細度、隣接セルとの放電干渉といったことから、放電電極の間隔、すなわち放電ギャップをあまり大きくとることができないので、微少領域での放電になりやすく、しかも面放電であるので紫外線の発生効率の高い陽光柱は生成されず、放電モードは負グローに制約され、紫外線生成効率が低い、つまり、発光効率も低くなりやすい。特に、ハイビジョン用途など高精細ＰＤＰにおいては、放電部位と隔壁、蛍光体の距離が相対的に短くなり、イオンや電子などの荷電粒子が拡散しやすいため、より一層放電がシュリンクしやすい。さらに、放電形態が面放電であるので、発生した紫外線は蛍光体が形成されていない前面基板の方向にも照射しており、そのほとんどが前面基板で吸収されてしまっており表示に利用されていない。すなわち、ＰＤＰの主な課題は高発光効率化であった。
【０００５】
発光効率を向上させるために、例えばメタル隔壁を用いる技術が提案されている（特許文献１参照）。これは、対向放電とすることで放電路を長くし、絶縁したひとつ、または複数のシート状金属板の積み重ねで隔壁を形成することで、陽光柱形成時の荷電粒子の隔壁拡散を抑制させて放電効率を大きくするといったものである。しかし、構造がより複雑化するためパネル作製プロセスが多く、生産安定性や部材コストに懸念がある。
【０００６】
また、放電路を長くすると放電開始電圧が上昇することが知られている。そのため、例えば種火放電を導入し、種火放電により生ずる荷電（プライミング）粒子を引き金として主放電の放電開始電圧を下げることができることが知られている（例えば特許文献２〜５）。
【特許文献１】特開平１１−３１２４７０号公報（第６頁〜第９頁）
【特許文献２】特開２００２−５６７７９号公報（第３頁〜第６頁）
【特許文献３】特開２００２−１１００５１号公報（第３頁〜第６頁）
【特許文献４】特開平９−２４５６２７号公報（第５頁〜第７頁）
【特許文献５】特開平８−１３７４３１号公報（第４頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記従来技術の問題点に着目し、高発光効率のＰＤＰ部材ならびにＰＤＰを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明は以下の構成を有する。すなわち本発明は、第１の電極としてバス電極が形成された前面基板、ならびに第２の電極としてのアドレス電極、隔壁、および蛍光体層が形成された背面基板からなるプラズマディスプレイ部材であって、隔壁の表面および／または内部に第３の電極が形成されていることを特徴とするプラズマディスプレイ部材、およびそれを用いたプラズマディスプレイである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、高発光効率なプラズマディスプレイ部材とプラズマディスプレイを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
発明者らは、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）を高発光効率化できるＰＤＰ部材のパネル構造について鋭意検討を行った結果、従来のパネル構造とは異なる、以下に述べる新規な構造によって達成されることを見出した。以下に、本発明の実施態様について説明する。
【００１１】
本発明の第一の実施態様を図１に示す。前面基板には、１対の略平行にはしる透明電極とライン抵抗を下げるためのバス電極からなる第１の電極が形成されている。この第１の電極上には、透明誘電体層が形成され、さらにその上に保護膜としてＭｇＯが形成されている。透明誘電体は電荷を蓄積するために、保護膜は耐スパッタ性および高い２次電子放出係数のため放電の維持にとって有用である。背面基板には、第２の電極が第１の電極と略垂直方向に形成されている。この第２の電極上に誘電体層が形成され、その上に放電セルを仕切るための隔壁が設けられている。隔壁パターンとしては、ストライプ状ではなく格子状、ワッフル状などが好適である。特に、第２の電極と略平行方向にある隔壁（主隔壁）と主隔壁に交差する方向にある隔壁（補助隔壁）からなる格子状であることが好ましい。また、主隔壁は補助隔壁より０．００５〜０．２ｍｍ程度高いことが好ましい。これにより、パネル封着時の真空排気の効率を良くすることができる。補助隔壁の内部には、第３の電極が形成されている。第３の電極は、補助隔壁の表面および／または内部に配してもよい。また、第３の電極は、補助隔壁の内部および片側面に配することも好ましい。なぜならば、隣接の非放電（非表示）セルへの放電干渉の抑制や、放電開始電圧の低減、放電面積増加による輝度向上に効果があるからである。尚、片側面とは、放電（表示）する放電空間に面している面を指し、隔壁の頂部、底部以外の面である。
【００１２】
本発明の第一の実施態様では、１対の第３の電極ａとｂを走査電極と維持電極として交流のパルス電圧を印加し、その間で主放電を行う。主放電は、放電セルの長手方向である第３の電極ａとｂの間で行う対向放電であるので、放電ギャップは放電セルの間隔と同程度にすることができる。例えば、ＶＧＡクラスで０．５ｍｍ程度、ＸＧＡクラスで０．３ｍｍ程度である。図１０に示すような従来の面放電型の電極間距離に比べて、放電ギャップは３〜５倍程度にもなる。すなわち、放電のモードが陽光柱により近くなり、紫外線発生効率を高く、すなわち発光効率を高くすることができる。第１の電極ａとｂもまた交流のパルス電圧を印加し、第３の電極で行う主放電を誘発する種火放電を行う。第２の電極はアドレス（データ）電極である。第１の電極間の種火放電により生ずる荷電（プライミング）粒子が引き金となり、第３の電極間で行われる主放電の放電開始電圧を下げることができる。また、放電の統計遅れを抑制することができ、放電遅れによる書き込み不良、すなわち不灯セルがなくなり画質劣化の少ないＰＤＰを実現できる。この種火放電の効果は、第３の電極間の主放電だけでなく、アドレス電極である第２の電極と走査または維持電極である第３の電極との間の放電に関しても同様である。
【００１３】
また、第１の電極と第３の電極の間で種火放電を行い、主放電を従来の面放電と同様に第１の電極間で行ってもよい。主放電の電極間距離は短いが、種火放電の効果は得ることができる。
【００１４】
本発明の第二の実施態様を図２に示す。第二の実施態様は、図１における第１の電極が略平行にはしる１対の透明電極およびバス電極から、１本の透明電極とライン抵抗を下げるためのバス電極に変わったこと以外の構造は同じである。バス電極は、図２のように透明電極の両端にあってもよいし、片端にあってもよい。
【００１５】
本発明の第二の実施態様では、第３の電極ａとｂを走査電極と維持電極として交流のパルス電圧を印加し、その間で主放電を行う。第一の実施態様と同様、第３の電極ａとｂの電極間距離（放電ギャップ）が長い対向放電であり、図１０に示すような従来の面放電型と比べて、放電効率、すなわち発光効率を向上させることができる。第２の電極は、アドレス（データ）電極である。第１の電極は、第一の実施態様と同様に種火放電用であるが、種火放電は第１の電極と第３の電極との間で行う。すなわち、第３の電極は主放電用電極と種火放電用電極の２つの役割を持つ。第一の実施態様と同様に、主放電の放電開始電圧の低下や放電の統計遅れの抑制に効果がある。この効果は、第３の電極間の主放電だけでなく、アドレス電極である第２の電極と走査または維持電極である第３の電極との間の放電に関しても同様である。
【００１６】
本発明の第三の実施態様について図３に示す。第三の実施態様は、図２における第１の電極が１本の透明電極とライン抵抗を下げるためのバス電極から、放電領域に面した一面に一様にある透明平面電極とその透明電極上のバス電極に変わったこと以外の構造は第二の実施態様と同様である。バス電極は、図３のように略ストライプ状であっても略格子状であってもよい。略格子状であると、不要電磁輻射（ＥＭＩ）の吸収フィルターとしての機能も持たせることも可能である。また、透明電極が平面電極であるので、透明電極のパターン形成プロセスを削減することができる。透明電極がＩＴＯの場合、パターン形成のときに必要とされた（１）ＩＴＯスパッタ、（２）レジスト塗布、（３）露光、（４）現像、（５）ＩＴＯエッチング、（６）レジスト剥離といった６工程のうち（２）〜（６）の工程が不要となり、（１）ＩＴＯスパッタのみでよい。
【００１７】
第三の実施態様では、第３の電極ａとｂを走査電極と維持電極として交流のパルス電圧を印加し、その間で主放電を行う。第一、第二の実施態様と同様、第３の電極ａとｂの電極間距離（放電ギャップ）が長い対向放電であり、図１０に示すような従来の面放電型と比べて、放電効率、すなわち発光効率を向上させることができる。第２の電極は、アドレス（データ）電極である。第１の電極は、第二の実施態様と同様に種火放電用であり、種火放電を第１の電極と第３の電極との間で行う。すなわち、第３の電極は主放電用電極と種火放電用電極の２つの役割を持つ。第一、二の実施態様と同様に、主放電の放電開始電圧の低下や放電の統計遅れの抑制に効果がある。この効果は、第３の電極間の主放電だけでなく、アドレス電極である第２の電極と走査または維持電極である第３の電極との間の放電に関しても同様である。
【００１８】
本発明の第四の実施態様について図４に示す。第四の実施態様は、第３の電極が互いに向き合う方向に張り出した補助電極を有すること以外は第二の実施態様と同様の構造である。ただし、第１の電極は第一、第二、第三の実施態様における構造のうち、どれであってもよい。図４には第二の実施態様で示した第１の電極が１本の透明電極とライン抵抗を下げるためのバス電極からなる場合を示してある。また、第３の電極から張り出す補助電極は、隔壁の内部および片側面に配することも好ましい。なぜならば、隣接の非放電（非表示）セルへの放電干渉の抑制や、放電開始電圧の低減、放電面積増加による輝度向上に効果があるからである。尚、片側面とは、放電（表示）する放電空間に面している面を指し、隔壁の頂部、底部以外の面である。片側面にある電極は、補助隔壁の表面および／または内部に形成された第３の電極と補助電極のいずれか、または双方でもよい。
【００１９】
第四の実施態様では、第３の電極ａとｂを走査電極と維持電極として交流のパルス電圧を印加し、その間で主放電を行う。第一、第二、第三の実施態様と同様、第３の電極ａとｂの電極間距離（放電ギャップ）が長い対向放電であり、図１０に示すような従来の面放電型と比べて、放電効率、すなわち発光効率を向上させることができる。第２の電極は、アドレス（データ）電極である。第１の電極は、第二の実施態様と同様に種火放電用であり、種火放電を第１の電極と第３の電極との間で行う。すなわち、第３の電極は主放電用電極と種火放電用電極の２つの役割を持つ。さらに、補助電極を設けることで、第３の電極の間隔が部分的に小さくなり、この間でトリガーとしての放電を生じやすくすることができる。すなわち、補助電極は、種火放電とともに主放電の放電開始電圧の低下や放電の統計遅れの抑制に効果がある。種火放電の効果は、第３の電極間の主放電だけでなく、アドレス電極である第２の電極と走査または維持電極である第３の電極との間の放電に関しても同様である。
【００２０】
放電開始電圧の低減効果、放電の安定性から、補助電極間のギャップは０．０５〜０．８ｍｍであることが好ましい。より好ましくは０．０６〜０．３ｍｍであり、さらに好ましくは０．０７〜０．１５ｍｍである。補助電極間のギャップが０．０５ｍｍよりも小さい場合、電極間ギャップでの絶縁破壊が生じやすくなり、０．８ｍｍよりも大きい場合、放電開始電圧の低減効果が得にくくなる。
【００２１】
また、補助電極は、単純なスリットを入れた構造の他に、図５に示すように片側にテーパーしてもよい。すなわち、隣接する放電セル側をテーパーすることによって、隣接の非放電セル（非表示セル）の誤放電を抑えることができる。また、電極間間隔の加工精度の均一性といった点からは、平行なスリット形状が好ましい。
【００２２】
本発明の第五の実施態様について図６に示す。第五の実施態様では、隔壁の下に形成された誘電体層と第２の電極の間に、第４の電極と、第２の電極と絶縁するための誘電体層が形成されていること以外は、第二の実施態様と同様の構造である。また、図７のように第１の電極は第三の実施態様における構造でもよい。第４の電極は、第３の電極と略平行に、ストライプ状に放電セルの中央付近をはしっている。また、第４の電極は下層にある誘電体層によって、第２の電極と絶縁されていなければならない。
【００２３】
本発明の第五の実施態様では、第１の電極と第４の電極を走査電極と維持電極として交流のパルス電圧を印加し、その間で主放電を行う。主放電は、放電セルの高さ方向である第１の電極と第４の電極の間で行う対向放電であるので、放電ギャップは放電セルの高さ間隔と同程度にすることができる。図１０に示すような従来の面放電型の電極間距離に比べて、放電ギャップは１．５〜３倍程度になる。すなわち、放電のモードが陽光柱により近くなり、紫外線発生効率を高く、すなわち発光効率を高くすることができる。第２の電極はアドレス（データ）電極である。第３の電極は、種火放電用であり、第１の電極と第３の電極との間で行う。すなわち、第１の電極は主放電用電極と種火放電用電極の２つの役割を持つ。種火放電は、主放電の放電開始電圧の低下や放電の統計遅れの抑制に効果がある。種火放電の効果は、第３の電極間の主放電だけでなく、アドレス電極である第２の電極と走査または維持電極である第３の電極との間の放電に関しても同様である。また、第五の実施態様では、第１の電極をセル開口部全体に形成することができるため、主放電用電極である第１の電極と第４の電極の電極面積を大きくとることができ、放電電流が増加するので輝度を向上させることができる。また、第４の電極は、第２の電極と略垂直に交差していることが好ましい。これにより、第４の電極は、アドレス（データ）電極である第２の電極との重なりを少なくし、第４の電極の放電面と、第２の電極のアドレス面をそれぞれ確保できる。放電面が少ないと効率的な放電が行えず、アドレス面が少ないとアドレスできなくなる。
【００２４】
また、高精細化にともない、セルピッチが小さくなるにつれて、放電空間が狭くなり発光効率は低下する傾向にある。従来の面放電型では、セル開口部の中央に約０．０８ｍｍ程度の放電ギャップ（スリット）を持つために、セルピッチの減少にともないセル開口部に占める電極の割合が減少していき、発光効率が減少することが一因となっている。しかし、本発明の第五の実施態様では、セル開口部に放電ギャップ（スリット）がなく、セル開口部全面に電極を持つ。そのため、セルピッチが減少しても発光効率低下の影響は、従来の面放電型と比較して少ない。すなわち、高精細ＰＤＰに適している。
【００２５】
本発明の第六の実施態様について図８に示す。第六の実施態様では、前面板において、１対のバス電極が形成され、そのバス電極がパターン化された誘電体によって覆われていること以外は第一の実施態様と同様の構造である。
【００２６】
本発明の第六の実施態様では、第３の電極ａとｂを走査電極と維持電極として交流のパルス電圧を印加し、その間で主放電を行う。第一の実施態様と同様、第３の電極ａとｂの電極間距離（放電ギャップ）が長い対向放電であり、図１０に示すような従来の面放電型と比べて、放電効率、すなわち発光効率を向上させることができる。第２の電極は、アドレス（データ）電極である。第１の電極は、第一の実施態様と同様に種火放電用であるが、種火放電は第１の電極と第３の電極との間で行う。すなわち、第３の電極は主放電用電極と種火放電用電極の２つの役割を持つ。第一の実施態様と同様に、主放電の放電開始電圧の低下や放電の統計遅れの抑制に効果がある。この効果は、第３の電極間の主放電だけでなく、アドレス電極である第２の電極と走査または維持電極である第３の電極との間の放電に関しても同様である。
【００２７】
また、図１０では透明誘電体がベタ膜として形成されているが、第六の実施態様ではバス電極を覆うパターン化された誘電体のみで覆われているため、開口部に誘電体を形成しなくてもよい。従って、これまで誘電体に１０％程度吸収されていた可視光を活用できるようになるため、発光効率を向上させることができる。
【００２８】
さらに、ＩＴＯを形成する必要がないため、ＩＴＯスパッタ／レジスト塗布／露光／現像／エッチングといった工程を省くことができ、コスト削減にもつながる。
【００２９】
本発明の第七の実施態様について図９に示す。第七の実施態様では、前面板においては、バス電極を覆う誘電体が、バス電極を覆う略ストライプ状の主パターンと主パターンと交差する方向にある補助パターンからなること以外は、第六の実施態様と同様の構造である。主パターンは、補助パターンより０．００５〜０．２ｍｍ程度低いことが好ましい。これにより、パネル封着時の真空排気の効率を良くすることができる。背面板においては、内部に維持電極が配されている補助隔壁に加えて、補助隔壁と交差しており前面板に形成されているバス電極と略平行に形成された主隔壁が形成され、主隔壁と補助隔壁の高さが同じである格子状隔壁パターンからなる。
【００３０】
本発明の第七の実施態様では、第３の電極ａとｂを走査電極と維持電極として交流のパルス電圧を印加し、その間で主放電を行う。第一の実施態様と同様、第３の電極ａとｂの電極間距離（放電ギャップ）が長い対向放電であり、図１０に示すような従来の面放電型と比べて、放電効率、すなわち発光効率を向上させることができる。第２の電極は、アドレス（データ）電極である。第１の電極は、第一の実施態様と同様に種火放電用であるが、種火放電は第１の電極と第３の電極との間で行う。すなわち、第３の電極は主放電用電極と種火放電用電極の２つの役割を持つ。第一の実施態様と同様に、主放電の放電開始電圧の低下や放電の統計遅れの抑制に効果がある。この効果は、第３の電極間の主放電だけでなく、アドレス電極である第２の電極と走査または維持電極である第３の電極との間の放電に関しても同様である。
【００３１】
また、図１０では透明誘電体がベタ膜として形成されているが、第七の実施態様ではバス電極を覆うパターン化された誘電体のみで覆われているため、開口部に誘電体を形成しなくてもよい。従って、これまで誘電体に１０％程度吸収されていた可視光を活用できるようになるため、発光効率を向上させることができる。
【００３２】
また、蛍光体ペーストをディスペンサー法等を用いてセル内に塗布する場合、隔壁頂部に蛍光体ペーストが付着してしまうという問題点があったが、主隔壁と補助隔壁の高さが同じであるため、粘着テープ等による蛍光体ペースト頂部付着除去作業が行いやすい。すなわち、放電面から蛍光体が取り除かれるため、放電安定化に好適である。
【００３３】
次に、本発明の第一の実施態様から第七の実施態様までに共通した、隔壁または電極に好適な形態について述べる。第１の電極と第３の電極の一部あるいは全てが、ガラス軟化点４００〜６５０℃の低軟化点ガラスで覆われていることが好ましい。４００〜６５０℃のガラスを用いることによって、緻密性がよく、気泡の少ない層で電極を覆うことができる。これにより、絶縁破壊を少なくし、安定な放電を行うことができる。ガラス軟化点が４００℃より低いと有機物の分解前にガラスが軟化するため逆に気泡を形成する要因となる。６５０℃より高いと焼結不足となりやすく絶縁破壊が起こりやすくなる。例えば、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３系の低軟化点ガラスを好ましく用いることができる。焼成時の形状保持性からガラス以外に、ＳＩＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、高軟化点ガラス（軟化点７００℃以上）などの材料をフィラー成分として含んでもよい。フィラーの含有量は、低軟化点ガラスの軟化点、被覆層の厚み、焼成温度にもよるが、好ましくは低軟化点ガラス１００重量部に対してフィラー１〜４０重量部である。より好ましくは２〜２０重量部である。
【００３４】
また、隔壁が反射率の異なる２層以上の複数層で構成されることが好ましい。特に、反射率の低い層が表示面側にあることが好ましい。反射率の高い層が表示面の反対側にあることによって蛍光体からでる可視光を表示面側に戻すことができ、発光効率を向上させることができる。また、反射率層の低い層が表示面側にあることによって、外光の映り込みによるコントラスト低下を抑制し、プラズマディスプレイの画質を向上させることができる。例えば、隔壁に内蔵した電極より下の隔壁層の反射率が５０％以上、内蔵した電極より上の隔壁層の反射率が５０％未満とすることができる。より好ましくは隔壁に内蔵した電極より下の隔壁層の反射率が６０％以上で、下の隔壁層の反射率が４０％未満である。ここで、反射率とは波長５５０ｎｍの反射率のことを指す。測定方法としては、焼成後厚み３０μｍのベタ膜を作製し、分光測色計（例えばミノルタＣＭ−２００２）によって測定することができる。
【００３５】
また、隔壁が誘電率の異なる２層以上の複数層で構成されることが好ましい。誘電率が高い層に電気力線が集中するため、放電させたい隔壁の一部の誘電率を高くすると、効率的に放電を起こすことができる。誘電率の差が、３以上が好ましく、より好ましくは５以上である。従って、誘電率の高い層が電極近傍にあることが好ましい。電極近傍に効率よく電気力線を集中させ、放電を起こしやすくすることができる。電極近傍の層とは、電極の一部または全部と接する隔壁層のことである。
【００３６】
また、隔壁表面の一部あるいは全てが絶縁性の材料で被覆されていることが好ましい。絶縁性の材料で被覆することで、電極の絶縁破壊を抑制し、より信頼性の高いＰＤＰを作製できるからである。絶縁性の材料で被覆しないと、電極の絶縁破壊が生じやすい傾向にあり、過電流による駆動回路の破壊が起こりやすくなる傾向にある。
【００３７】
蛍光体の一部あるいは全てが絶縁性の材料で被覆されていることが好ましい。放電による蛍光体の輝度低下、色度変化などを少なくできるのでより長寿命なディスプレイを提供できるからである。
【００３８】
絶縁性の材料としては、ＭｇＯ、ＭｇＧｄ２Ｏ４、ＢａＧｄ２Ｏ４、Ｓｒ０．６Ｃａ０．４Ｇｄ２Ｏ４、Ｂａ０．６Ｓｒ０．４Ｇｄ２Ｏ４、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、前述の低軟化点ガラスの群から選ばれる少なくとも１種以上を含むのが好ましい。好ましくはＭｇＯを７０％以上含むことである。さらに好ましくはＭｇＯを９０％以上含むことである。ＭｇＯは放電による耐スパッタ性に優れると同時に２次電子放出係数が高いので、放電開始電圧の低減や、放電の安定性を高めることが出来るからである。さらに、できるだけＰＤＰの励起紫外線の透過性が良好である材料が好ましい。例えば、ＭｇＦ２、ＣａＦ２、ＢａＦ２などのフッ化物などが挙げられる。好ましくは、ＭｇＯとＭｇＦ２の混合材料が好ましく用いることができる。
【００３９】
次に、本発明のプラズマディスプレイ用部材ならびにプラズマディスプレイの作製手順を説明する。ここでは、ＡＣ型プラズマディスプレイを例にその作製手順を説明するが、必ずしもこの構造に限定されるものではない。特に、背面基板側に隔壁がある場合の他に、前面基板側に隔壁の一部を形成してもよいし、前面基板側に蛍光体を塗布してもよい。
【００４０】
はじめに背面基板の作製方法を説明する。基板は、ソーダガラスの他にＰＤＰ用の耐熱ガラスである旭硝子製の“ＰＤ２００”や日本電気硝子製の“ＰＰ８”を用いることができる。
【００４１】
ガラス基板上に銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属により、アドレス（データ）電極として第２の電極を放電セルのピッチにてストライプ状に形成する。形成する方法としては、これらの金属の粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷する方法や、有機バインダーとして感光性有機成分を用いた感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光し、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに通常４００〜６００℃に加熱・焼成して電極パターンを形成する感光性ペースト法を用いることができる。また、ガラス基板上にクロムやアルミニウムを蒸着した後に、レジストを塗布し、レジストをパターン露光・現像した後にエッチングにより不要な部分を取り除くエッチング法を用いることができる。
【００４２】
さらに、第２の電極上に誘電体層を設けることが好ましい。誘電体層を設けることによって、放電の安定性向上や、誘電体層の上層に形成する隔壁の倒れや剥がれを抑止することができる。形成する方法としては、ガラスやフィラーなどの無機粉末と有機バインダーを主成分とする誘電体ペーストをスクリーン印刷で全面印刷する方法などがある。この誘電体層は高反射率層であることが好ましい。具体的には、５５０ｎｍの可視光の反射率が５０％以上あることが好ましく、さらに好ましくは６０％以上である。続いて、アドレス（データ）電極である第２の電極と誘電体層を形成した基板上に、隔壁と、隔壁の表面および／または内部に第３の電極を形成する工程について説明する。まず、第３の電極を形成する高さまでの下層の隔壁を形成する。隔壁の形成方法としては、サンドブラスト法、型転写法、フォトリソグラフィー法等が挙げられる。本発明に使用する隔壁の材料としては特に限定されず、公知の材料を適用することができる。隔壁パターンは特に限定されないが、格子状、ワッフル状などが好ましい。
【００４３】
次に、第３の電極を下層の隔壁の上に形成する。第３の電極の作製方法としては、アドレス（データ）電極である第２の電極の作製法で述べた方法と同様の公知材料、方法を用いることができる。作製方法としては、特にフォトリソグラフィー法が好ましい。例えば、フォトリソグラフィー法の場合、隔壁ペーストして感光性ガラスペーストを用いることができる。感光性ガラスペーストは、例えば感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうち少なくとも１種類から選ばれる感光性成分を含有し、さらに必要に応じて、バインダー、光重合開始剤、紫外線吸光剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤、可塑剤、増粘剤、酸化防止剤、分散剤、有機あるいは無機の沈殿防止剤やレベリング剤等の添加成分と、低融点ガラスと、フィラーとして高融点ガラスを少なくとも各１種類ずつ含む。これら各種成分を所定の組成になるよう調合した後、３本ローラーや混練機で均質に混合分散し、感光性ガラスペーストを作製することができる。ペースト粘度は、ガラス粉末、増粘剤、有機溶媒、可塑剤および沈殿防止剤等の添加割合によって適宜調整される。隔壁の表面に第３の電極を形成する場合は、後述の絶縁性材料の被覆工程や蛍光体の形成を行うが、隔壁の内部に第３の電極を形成する場合は、続いて下層の隔壁の電極上に形成された上にさらに上層の隔壁を形成する。
【００４４】
また、上層の隔壁を形成した後に、パネル化後の真空排気の効率をよくするために、全面基板とのクリアランスを確保するためのクリアランス用隔壁をさらに設けることが好ましい。ただし、第七の実施態様のように、主隔壁と補助隔壁の高さが同じものを作製したい場合は必要ない。
【００４５】
このように下層の隔壁、第３の電極、上層の隔壁、クリアランス用の隔壁の順に形成することで第３の電極を隔壁の内部に形成することができる。アスペクト比の高い隔壁を形成する場合の加工精度、均一性といった点から、隔壁の形成方法としては、サンドブラスト法やフォトリソグラフィー法が好ましい。特に、フォトリソグラフィー法がより好ましい。
【００４６】
フォトリソグラフィー法で隔壁と第３の電極を作製する場合、上述のように下層の隔壁、第３の電極、上層の隔壁、クリアランス用の隔壁を順次形成してもよいが、下層の隔壁ペーストを塗布／乾燥／露光した後、現像してパターン形成せずに、続けて第３の電極パターンを、下層の隔壁ペースト塗布膜の上に塗布／乾燥／露光／現像により形成する。このとき、隔壁ペーストと比較して電極ペーストは現像時間が非常にはやいので、隔壁ペーストの現像がほとんど進まないうちに、第３の電極パターンを形成することができる。さらに第３の電極パターンが形成された下層の隔壁ペースト塗布膜の上に、上層の隔壁ペーストを塗布／乾燥／露光した後、クリアランス用の隔壁ペーストを塗布／乾燥／露光する。最後に、下層、上層、クリアランス用の隔壁塗布膜を一括現像してもよい。この方法では、下層、上層、クリアランス用の隔壁を順次作製する方法と比較して、プロセスを削減することができる。
【００４７】
次に、隔壁の表面に第３の電極を形成した場合や隔壁の片側面に第３の電極や補助電極を形成した場合では、放電空間に晒される電極の表面を絶縁性の材料で被覆することが好ましい。被覆の方法は特に限定されず公知の方法が適用できる。例えば、薄膜状態での膜の均一性の観点からはスパッタ法、真空蒸着法が好適である。低コストといった観点からは絶縁性の材料とバインダーを含む絶縁性ペーストを塗布する、スクリーン印刷法、ディスペンサー法、感光性ペースト法が好ましい。被覆層の厚みは特に限定されないが、０．０００５〜０．０５ｍｍが好ましい。より好ましくは、０．００２〜０．０２ｍｍである。０００５ｍｍよりも薄い場合は電気的絶縁の機能が発現しにくいからである。また、０．０５ｍｍよりも厚い場合は、放電セルの放電空間が狭く成りすぎて輝度が低下する傾向にあるからである。例えば、低軟化点ガラスで被覆する場合、低軟化点ガラスフリット、有機バインダー（エチルセルロース系やアクリル系樹脂など）、溶媒（例えば、テルピネオールなど）を３本ロール等で混練したペーストを用いることが出来る。各組成は、被覆層の厚み、塗布条件などにより適宜調整できる。
【００４８】
樹脂成分除去のための焼成は、使用する樹脂が十分に脱バインダーする温度で行うのがよい。樹脂にセルロース系樹脂を用いた場合では、例えば４５０〜６５０℃である。アクリル系樹脂を用いた場合では、４３０〜６５０℃である。焼成温度が低すぎると樹脂成分が残存しやすく、高すぎるとガラス基板に歪みが導入され割れが生じてしまう。
【００４９】
第２の電極、隔壁、第３の電極を形成したガラス基板上に、蛍光体ペーストを用いて蛍光体を形成する。感光性蛍光体ペーストを用いたフォトリソグラフィー法、ディスペンサー法、スクリーン印刷法等によって形成できる。蛍光体の厚みも特に限定されるものではないが、０．０１〜０．０３ｍｍ、より好ましくは０．０１５〜０．０２５ｍｍである。
【００５０】
隔壁上の放電面に蛍光体付着が少ないという点で、スクリーン印刷法や感光性蛍光体ペーストを用いたフォトリソグラフィー法が好ましい。プロセス数が少ないという点からいってスクリーン印刷法が特に好ましい。ただし、第七の実施態様においては、放電面に付着した蛍光体を粘着テープ等を用いて蛍光体の頂部除去を行うとことができるためディスペンサー法も好ましく用いることができる。
【００５１】
蛍光体粉末は特に限定されないが、発光強度、色度、色バランス、寿命などの観点から、以下の蛍光体が好適である。青色は２価のユーロピウムを賦活したアルミン酸塩蛍光体（例えば、ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ）やＣａＭｇＳｉ２Ｏ６である。緑色では、パネル輝度の点からＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ、ＹＢＯ３：Ｔｂ、ＢａＭｇ２Ａｌ１４Ｏ２４：Ｅｕ，Ｍｎ、ＢａＡｌ１２Ｏ１９：Ｍｎ、ＢａＭｇＡｌ１４Ｏ２３：Ｍｎが好適である。さらに好ましくはＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎである。赤色では、同様に（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ、Ｙ２Ｏ３：Ｅｕ、ＹＰＶＯ：Ｅｕ、ＹＶＯ４：Ｅｕが好ましい。さらに好ましくは（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕである。
【００５２】
蛍光体を形成した後に、絶縁性の材料で蛍光体の一部あるいは全てを被覆するのが好ましい。被覆の方法などは、前述の隔壁への被覆のところで記したものと同様であるが、蛍光体を被覆する層の焼成温度は、蛍光体の劣化を最小限にするために５５０℃以下であることが好ましい。より好ましくは５１０℃以下である。
【００５３】
続いて、前面基板の作製方法を説明する。基板は、ソーダガラスの他にＰＤＰ用の耐熱ガラスである旭硝子製の“ＰＤ２００”や日本電気硝子製の“ＰＰ８”を用いることができる。
【００５４】
まず、ガラス基板上に、ＩＴＯをスパッタし、フォトエッチング法によりパターン形成する。第１の電極で平面透明電極を用いる場合は、フォトエッチング法によるパターン形成は不要で、スパッタのみでよい。第六、第七の実施態様の場合はＩＴＯ電極は形成する必要はない。次いで、黒色電極用の黒色電極ペーストを印刷する。黒色電極ペーストは、有機バインダー、黒色顔料、導電性粉末と、フォトリソグラフィー法で用いる場合は感光性成分が主成分となる。黒色顔料としては、金属酸化物が好ましく用いられる。金属酸化物としては、チタンブラックや、銅、鉄、マンガンの酸化物やそれらの複合酸化物、コバルト酸化物などがあるが、ガラスと混合して焼成したときに退色が少ない点でコバルト酸化物が優れている。導電性粉末としては、金属粉末または金属酸化物粉末が挙げられる。金属粉末としては電極材料として通常用いられる金、銀、銅、ニッケルなどを特に制限無く用いることが出来る。この黒色電極は抵抗率が大きいので、抵抗率の小さい電極も作製してバス電極を形成するため、導電性の高い電極用ペースト（例えばＡｇを主成分とするもの）を、黒電極ペーストの印刷面上に印刷する。この導電性ペーストとしては、第２の電極で用いた電極ペーストも好適に用いることができる。そして、一括露光／現像してバス電極パターンを作製する。導電性を確実に確保するため、現像前に導電性の高い電極ペーストを再び印刷し、再露光後一括現像してもよい。バス電極パターンの形成後、焼成する。その後、コントラスト向上のため、ブラックストライプやブラックマトリクスを形成するのが好ましい。
【００５５】
次に、第一から第五の実施態様におけるベタ膜としての透明誘電体の形成方法について述べる。透明誘電体ペーストは、有機バインダー、有機溶剤、ガラスが主成分であるが、適宜可塑剤などの添加物を加えてもよい。ガラスとしては、ＰｂＯ、Ｂ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＣａＯ等を含むものが好ましい。また、フィラーを添加することもできる。塗布方法としては、スクリーン印刷、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーター等の方法を用いることができる。厚みは、０．０１〜０．０３ｍｍが好ましい。
【００５６】
次に第六の実施態様におけるストライプ状のパターン化された誘電体層の形成方法について述べる。パターン形成方法は、感光性ガラスペースト法が好ましい。
【００５７】
感光性ガラスペーストは、例えば感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうち少なくとも１種類から選ばれる感光性成分を含有し、さらに必要に応じて、バインダー、光重合開始剤、紫外線吸光剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤、可塑剤、増粘剤、酸化防止剤、分散剤、有機あるいは無機の沈殿防止剤やレベリング剤等の添加成分と、低融点ガラスを含む。低融点ガラスは、開口率を高く保つため、可視光に対して透明であることが好ましい。また、高融点ガラスや酸化物等からなるフィラーを含んでもよいが、屈折率の違いや気泡をかみやすく、光を散乱しやすくなるので透明性を確保するためには低融点ガラスのみが好ましい。これら各種成分を所定の組成になるよう調合した後、３本ローラーや混練機で均質に混合分散し、感光性ガラスペーストを作製することができる。ペースト粘度は、ガラス粉末、増粘剤、有機溶媒、可塑剤および沈殿防止剤等の添加割合によって適宜調整される。
【００５８】
感光性ガラスペースト法によるパターン形成は、背面板における隔壁の形成方法と同様にできる。
【００５９】
また、第七の実施態様における高さの異なる主パターンと補助パターンからなる格子状誘電体パターンの形成方法もまた、感光性ガラスペースト法が好ましい。感光性ガラスペーストは第六の実施態様で用いる感光性ガラスペーストと同じものを用いることができる。
【００６０】
感光性ガラスペースト法によるパターン形成は、背面板における隔壁の形成方法と同様にできる。例えば、まず感光性ガラスペーストを塗布し主パターン用の露光を行い、ついで感光性ガラスペーストをその上に塗布し、補助パターン用の露光を行う。次に一括現像し、焼成することで、高さの異なる主パターンと補助パターンからなる格子状誘電体パターンを形成することができる。
【００６１】
さらに、保護膜を形成する。保護膜としてはＭｇＯ、ＭｇＧｄ２Ｏ４、ＢａＧｄ２Ｏ４、Ｓｒ０．６Ｃａ０．４Ｇｄ２Ｏ４、Ｂａ０．６Ｓｒ０．４Ｇｄ２Ｏ４、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、前述の低軟化点ガラスの群から少なくとも１種類用いるのがよいが、特にＭｇＯが好ましい。保護膜の作製方法であるが、ＥＢ蒸着やイオンプレーティング法など公知の技術が好適である。
【００６２】
プラズマディスプレイパネルの製造方法について説明する。本発明の背面板と前面板を封着後、２枚の基板間隔に形成された空間を加熱しながら真空排気を行った後に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入して封止する。放電電圧と輝度の両面からはＸｅ５〜１５％−Ｎｅ bal.混合ガスが好ましい。紫外線の発生効率を大きくするために、さらにＸｅを３０％程度まで高くしてもよい。
【００６３】
最後に、駆動回路を装着し、エージングすることによって、ＰＤＰを作製できる。
【実施例】
【００６４】
以下、本発明を実施例を用いて、具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定はされない。まず、相対発光効率の測定法について、具体的に説明する。
【００６５】
（相対発光効率の測定）
発光効率は次のように求めた。まず、作製したＰＤＰの輝度Ｂ（ｃｄ／ｍ２）を色彩計ミノルタ製“ＣＳ−１０００”を用いて測定した。この時のＰＤＰに印加されている電力はデジタルパワーメータ（横河電機株式会社製、２５３２）により測定した。次に、パネルのＶ−Ｉ曲線を求め、パネルにかかる無効電力を得た。次に、放電が開始してからの電力から放電に関わらない無効電力をのぞき、放電に要する電力を算出し、Ｗ（Ｗ）とした。発光効率ηは次式により求めた。
η＝πＢ・Ｓ／Ｗ
ただし、Ｓは作製したＰＤＰの表示部の面積（ｍ２）である。比較例１の発光効率を１００とした時の発光効率を相対発光効率とした。
【００６６】
実施例１
プラズマディスプレイを以下の手順にて作製した。まず、背面基板を作製した。旭硝子社製“ＰＤ２００”ガラス基板（１３インチ）上に、感光性銀ペーストを用いたフォトリソグラフィー法によりアドレス電極である第２の電極パターンを形成した。第２の電極の幅は１５０μｍ、ピッチ３６０μｍ、焼成後の厚みは４μｍとした。次いで、第２の電極が形成されたガラス基板上に誘電体層をスクリーン印刷法により２０μｍの厚みで形成した。しかる後、あらかじめ作製しておいた感光性ガラスペーストをスリットダイコータを用いて第２の電極パターンおよび誘電体層が形成されたガラス基板上に均一に塗布した。塗布膜厚みは、焼成後に５０μｍになるように調整した。その後、８０℃で１時間保持して乾燥した。続いて、ネガ型クロムマスクを用いて、上面から超高圧水銀灯で紫外線露光した。次に、３５℃に保持したモノエタノールアミンの０．３重量％水溶液により現像、水洗浄し、光硬化していないスペース部分を除去した後、５９０℃で焼成して主隔壁と補助隔壁からなる下層の隔壁部分の（格子状の）隔壁を形成した。主隔壁の幅は頂部６０μｍ、底部１２０μｍ、ピッチは３６０μｍとした。補助隔壁の幅は、頂部８０μｍ、底部１５０μ、ピッチは１．０８ｍｍ（放電セル幅：７４０μｍ、非放電セル幅：３４０μｍ）とした。
【００６７】
感光性ガラスペーストの組成は次のものを用いた。ガラス粉末６０重量部、バインダー（メタクリル酸メチルとメタクリル酸の共重合体（平均分子量２５０００、酸価１０２）１０重量部、感光性モノマー（テトラプロピレングリコールジアクリレート）１０重量部、光重合開始剤（チバガイギー社製、“イルガキュア”３６９）、γ−ブチロラクトン１７重量部。ガラス粉末は、ガラス転移点４９５℃、軟化点５３０℃、熱膨張係数７５×１０−７／℃、密度２．５４ｇ／ｃｍ３なるものを用いた。
ペーストは、これらの成分からなる混合物を３本ローラー混練機で混練して作製した。
【００６８】
続いて主隔壁と補助隔壁の下層部分の上面に、感光性銀ペーストを印刷した。乾燥後にネガ型クロムマスクを用いて、上面から超高圧水銀灯で紫外線露光した。３５℃に保持したモノエタノールアミンの０．３重量％水溶液により現像、水洗浄し、光硬化していないスペース部分を除去した後、５９０℃で焼成して電極パターンを形成した。第３の電極パターンは格子状隔壁の補助隔壁となる隔壁上にストライプ状の第３の電極パターンを形成した。
【００６９】
感光性銀ペーストは、バインダー樹脂１２重量部、架橋剤６重量部、重合禁止剤３重量部とジプロピレングリコールモノメチルエーテル２０重量部を５０℃に加熱しながら溶解し、続いて、銀微粒子１５０重量部および低融点ガラス粉末５重量部）を添加し、混練機を用いて混練して作製した。バインダー樹脂は、アクリル系ポリマー（スチレン／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体のカルボキシル基に対して０．４当量のグリシジルメタクリレートを付加反応したもの。重量平均分子量４３０００、酸価９５）４０％γ−ブチロラクトン溶液として用いた。架橋剤はトリメチロールプロパントリアクリレート（日本化薬（株）製、“ＴＰＡ３３０”、３官能）を用いた。重合禁止剤は、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−１−ブタノンを用いた。銀粒子は平均粒子径１．５μｍ、比表面積０．８０ｍ２／ｇのものを用いた。低融点ガラスはガラス転移点４６０℃、軟化点４９５℃のものを用いた。
【００７０】
次に、第２の電極パターン、誘電体、下層の隔壁、第３の電極パターンが形成されたガラス基板上に感光性ガラスペーストをスリットダイコータを用いて塗布・乾燥した。
続いて、ネガ型クロムマスクを用いて、上面から超高圧水銀灯で紫外線露光した。次に、３５℃に保持したモノエタノールアミンの０．５重量％水溶液により現像、水洗浄し、光硬化していないスペース部分を除去した後、焼成して表示電極パターンが隔壁の内部に配されるように上層の隔壁を形成した。上層の隔壁の高さは、３０μｍとした。上層の隔壁は、下層の隔壁と同様に主隔壁と補助隔壁からなる格子状の隔壁パターンとした。さらに、感光性ガラスペーストをスクリーン印刷法を用いて塗布した後、乾燥した。同様に露光現像を行い、主隔壁の上にのみ、高さ２０μｍのストライプ上の隔壁パターンを形成して、パネル化時の真空排気コンダクタンスを向上させるようにした。そして、蛍光体粉末と有機バインダーを含む蛍光体ペーストをディスペンサーを用いて厚さ２０μｍになるように塗布した後、５００℃で焼成して蛍光体を形成した。このようにしてＰＤＰ部材を作製した。次に、“ＰＤ２００”ガラス基板上に、５００ｎｍ厚のＭｇＯ膜を電子ビーム蒸着法により形成した。
【００７１】
次に、前面基板を作製した。“ＰＤ２００”ガラス基板上に、第１の電極としてＩＴＯ電極を平面電極として形成した後、感光性銀ペーストを用いたフォトリソグラフィー法によりバス電極パターンを形成した。バス電極の厚みは６μｍ、幅は９０μｍとした。しかる後、透明誘電体層をスクリーン印刷法により３０μｍの厚みで形成した。さらに、５００ｎｍ厚のＭｇＯ膜を電子ビーム蒸着法により形成して、前面板を得た。前面板の画素ピッチは１．０８ｍｍとした。
【００７２】
このように作製した背面基板と前面基板をＰｂＯを主成分とする封着フリットペーストを用いて４５０℃で封着した。封着したパネル内部を３５０℃に加熱しながら真空排気を行い、室温に冷却した後、Ｘｅ５％−Ｎｅ ｂａｌ．の混合ガスの封入を行い、封止して１０時間のエージング処理を行いＰＤＰを完成した。ＰＤＰを作製して駆動したところ、問題なく点灯できた。駆動電圧２００Ｖにおける相対発光効率は２１０％となった。すなわち、比較例１に示した従来の構造のＰＤＰよりも高発光効率となった。
【００７３】
比較例１
旭硝子社製“ＰＤ２００”ガラス基板（４２インチ）上に、感光性銀ペーストを用いたフォトリソグラフィー法によりアドレス電極パターンを形成した。アドレス電極の幅は、１５０μｍ、ピッチ３６０μｍ、焼成後の厚みは４μｍとした。次いで、アドレス電極が形成されたガラス基板上に誘電体層をスクリーン印刷法により２０μｍの厚みで形成した。しかる後、感光性ガラスペーストを作製し、アドレス電極パターン、誘電体層の形成されたガラス基板上に、スクリーン印刷法により均一に塗布および乾燥した。塗布膜にピンホールなどの発生を回避するために塗布・乾燥を数回以上繰り返し行い、膜厚みの調整を行った。その後、８０℃で１時間保持して乾燥した。続いて、ネガ型クロムマスクを用いて、上面から超高圧水銀灯で紫外線露光した。次に、３５℃に保持したモノエタノールアミンの０．５重量％水溶液により現像、水洗浄し、光硬化していないスペース部分を除去して背面板用ガラス基板上にストライプ状の隔壁ガラスパターンを形成した。隔壁の幅は頂部６０μｍ、底部１２０μｍ、ピッチは３６０μｍとした。次に、蛍光体をディスペンサー法にて厚さ２０μｍに形成し、焼成して背面板を作製した。
【００７４】
次に、“ＰＤ２００”ガラス基板上に、フォトエッチング法によりＩＴＯ電極（放電セルの電極間隔を１００μｍ、非放電セルの電極間隔を３４０μｍ、ＩＴＯ電極幅３２０μｍ）を形成した後、感光性銀ペーストを用いたフォトリソグラフィー法によりバス電極パターンを形成した。バス電極の厚みは６μｍ、幅は９０μｍとした。しかる後、透明誘電体層をスクリーン印刷法により３０μｍの厚みで形成した。さらに、５００ｎｍ厚のＭｇＯ膜を電子ビーム蒸着法により形成して、前面板を得た。前面板の画素ピッチは１．０８ｍｍとした。
【００７５】
このように作製した前面基板と背面基板をＰｂＯを主成分とする封着フリットペーストを用いて４５０℃で封着した。その後、封着したパネル内部を３５０℃に加熱しながら真空排気を行い、室温に冷却した後、Ｘｅ５％−Ｎｅ ｂａｌ．の混合ガスの封入を行い、封止して１０時間のエージング処理を行いＰＤＰを完成した。同様にＰＤＰを作製して駆動したところ、問題なく画像表示できた。このＰＤＰにおける駆動電圧２００Ｖにおける発光効率を１００とした。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】第３の電極が隔壁に内蔵されたプラズマディスプレイパネルの斜視図である（蛍光体は省略）。
【図２】第３の電極が隔壁に内蔵され、第１の電極が１本にパターン化された透明電極を持つプラズマディスプレイの断面図である（蛍光体は省略）。
【図３】第３の電極が隔壁に内蔵され、第１の電極が平面透明電極を持つプラズマディスプレイの断面図である（蛍光体は省略）。
【図４】第３の電極が隔壁に内蔵され、第１の電極にパターン化された透明電極を持ち、第３の電極から張り出した補助電極が主隔壁に内蔵されたプラズマディスプレイの断面図である（蛍光体は省略）。
【図５】第３の電極とテーパーされた補助電極パターンの平面図である。
【図６】第３の電極が隔壁に内蔵され、第１の電極がパターン化された透明電極を持ち、第４の電極が誘電体層を挟んで第２の電極の上層にあるプラズマディスプレイの断面図である（蛍光体は省略）。
【図７】第３の電極が隔壁に内蔵され、第１の電極が平面透明電極を持ち、第４の電極が絶縁体層を挟んで第２の電極の上層にあるプラズマディスプレイの断面図である（蛍光体は省略）。
【図８】第３の電極が隔壁に内蔵され、第１の電極にバス電極を持ち、バス電極が誘電体パターンで覆われたプラズマディスプレイの断面図である（蛍光体は省略）。
【図９】第３の電極が隔壁に内蔵され、第１の電極にバス電極を持ち、バス電極を覆う誘電体が格子状パターンであるプラズマディスプレイの断面図である（蛍光体は省略）。
【図１０】ストライプ状隔壁を持つ面放電型プラズマディスプレイパネルの斜視図である（蛍光体は省略）。
【符号の説明】
【００７７】
１：前面基板
２：背面基板
３：ガラス基板
４：第１の電極
５：第１の電極ａ
６：第１の電極ｂ
７：透明電極
８：バス電極
９：透明誘電体
１０：保護膜
１１：補助隔壁
１２：主隔壁
１３：第３の電極
１４：第３の電極ａ
１５：第３の電極ｂ
１６：誘電体
１７：第２の電極
１８：ガラス基板
１９：補助電極
２０：第４の電極
２１：誘電体
２２：走査電極
２３：維持電極
２４：ストライプ状隔壁
２５：誘電体（主）パターン
２６：誘電体（補助）パターン
【図１】
2005209636.tif 000003
【図２】
2005209636.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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