(57)【要約】【課題】  メインテナンスも容易で且つ合理的に軽量化を図り、ある程度嵩高になっても運搬時に工場の搬入口や橋脚の天井部と干渉し道路運送法に違反することなく円滑に搬入・選出することのできるクリーン熱処理システムを提供する。【解決手段】  クリーン熱処理システムは、ワークを垂直方向に載置して清浄空間内で加熱する熱処理装置１と、同じくワークを清浄空間内で冷却する冷却装置２と、前記熱処理装置１や冷却装置２等の水平搬送部とワークの受け渡しが可能であり、かつその熱処理装置および冷却装置の垂直方向の任意の載置位置に対してワークを出し入れ可能な外部に対して区画された清浄空間４内に設置する搬送ロボットＰと、を備える。更に、清浄空間４は、必要な隔壁と、その天井部に載置され柔軟材で形成されたドームと、そのドームと該清浄空間とのあいだに設けられたエア吹出しパネルと、そのドームとは別置きされたクリーンエア発生器とのあいだにエアを圧送可能に連結するダクトと、を含む構成とする。【選択図】図２
2005101098.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを略水平状態で外部から搬入し、または外部へ搬出するための開口を有する少なくとも一つの水平搬送部と、
ワークを垂直方向に所定間隔で載置して清浄空間内で加熱する熱処理装置と、その少なくとも一つの水平搬送部に対してワークを受け渡し可能であるとともに、その熱処理装置の垂直方向の任意の載置位置に対してワークを出し入れ可能な搬送ロボットと、
を備えたクリーン熱処理システムであって、
その搬送ロボットは外部に対して区画された清浄空間内に設置され、
その清浄空間は、必要な隔壁と、その天井部に載置され柔軟材で形成されたドームと、そのドームと該清浄空間とのあいだに設けられたエア吹出しパネルと、そのドームとは別置きされたクリーンエア発生器と、そのドームとクリーンエア発生器とのあいだにエアを圧送可能に連結するダクトと、を含む構成により形成されることを特徴とする、クリーン熱処理システム。
【請求項２】
ワークを垂直方向に所定間隔で載置して清浄空間内で加熱する熱処理装置と、ワークを垂直方向に所定間隔で載置して清浄空間内で冷却する冷却装置と、
その熱処理装置および冷却装置の垂直方向の任意の載置位置に対してワークを出し入れ可能な搬送ロボットと、  
を備えたクリーン熱処理システムであって、
その搬送ロボットは外部に対して区画された清浄空間内に設置され、
その清浄空間は、必要な隔壁と、その天井部に載置され柔軟材で形成されたドームと、そのドームと該清浄空間とのあいだに設けられたエア吹出しパネルと、そのドームとは別置きされたクリーンエア発生器と、
そのドームとクリーンエア発生器とのあいだにエアを圧送可能に連結するダクトと、を含む構成により形成されることを特徴とするクリーン熱処理システム。
【請求項３】
ワークを略水平状態で外部から搬入し、または外部へ搬出するための開口を有する少なくとも一つの水平搬送部と、  
ワークを垂直方向に所定間隔で載置して清浄空間内で加熱する熱処理装置と、
ワークを垂直方向に所定間隔で載置して清浄空間内で冷却する冷却装置と、
その少なくとも一つの水平搬送部とワークの受け渡しが可能であり、かつその熱処理装置および冷却装置の垂直方向の任意の載置位置に対してワークを出し入れ可能な搬送ロボットと、
を備えたクリーン熱処理システムであって、
その搬送ロボットは外部に対して区画された清浄空間内に設置され、
その清浄空間は、必要な隔壁と、その天井部に載置され柔軟材で形成されたドームと、そのドームと該清浄空間とのあいだに設けられたエア吹出しパネルと、そのドームと、そのドームとは別置きされたクリーンエア発生器とのあいだにエアを圧送可能に連結するダクトと、を含む構成により形成されることを特徴とするクリーン熱処理システム。
【請求項４】
前記水平搬送部の少なくとも一つは外部に対して区画された他の清浄空間内に設置され、
当該他の清浄空間は、必要な他の隔壁と、その天井部に載置され柔軟材で形成された他のドームと、当該他のドームと当該他の清浄空間とのあいだに設けられた他のエア吹出しパネルと、
当該他のドームとは別置きされた他のクリーンエア発生器と、
当該他のドームと当該他のクリーンエア発生器とのあいだにエアを圧送可能に連結する他のダクトと、
を含む構成により形成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のクリーン熱処理システム。
【請求項５】
前記水平搬送部の少なくとも一つは、前記冷却装置と同一床面上の下方に配設されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のクリーン熱処理システム。
【請求項６】
前記各クリーンエア発生器は、前記熱処理装置の天井部に搭載されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のクリーン熱処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等、フラットパネルディスプレイの製造に使用されるガラス基板等を含む板状ワークのクリーン熱処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等のラットパネルディスプレイ或いは半導体等の製造装置には、製造作業工程途中で加熱処理や冷却処理しなければならないものも多い。係る処理装置では、不純物の付着や混入を防止するため内部に清浄空間を有するクリーンな処理システムが使用される
また、これら処理システムの全体がクリーンルーム内に設置される。例えば、図５に示すように、従来の半導体や液晶パネル等の製造装置におけるクリーン熱処理システム１０では、殆どの場合、区画１０ａの内部に半導体ウエハや液晶パネルのワークＷを搬送するロボットＰを設置し、該区画１０ａの天井部に清浄化機器（ファンフィルターユニット）１１、１１が複数個設置され、クリーンエアを供給するようになっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、ディスプレイパネル用部材（ワーク）は、作成面積が大きくなる傾向にある。熱処理システム装置はそれ自体コストがかかるのでなるべくクリーンルーム内のワーク設置面積は増やさず、大容量処理能力を確保する必要がある。そのためにはワークは垂直方向に多段積みして熱処理することが特に好ましい。即ち、処理容量を増やすと装置の高さが高くなり、図６に示すように、搬送時道路運送時やクリーンルーム内への搬入時に高架橋梁や建て屋の間口等による高さ制限に抵触する場合もある。更に、環境負荷を低減するためにも構成部材（フレーム等）を軽量化することが望まれる。また、装置のメインテナンス容易性を確保するためにも簡潔な構造とすることが好ましい。更に、クリーンエア圧送時のロスを極力少なくすることが望ましい。
【０００４】
本発明は、上記するように、クリーンエア熱処理システムの機器類を大型化することなく、処理機能を強化し、メインテナンスも容易で且つ合理的に軽量化を図り、ある程度嵩高になっても運搬時に工場や橋脚の天井部と干渉し道路運送法に違反することなく円滑に搬入・選出することのできるクリーン熱処理システムを提供して上記課題を解決しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載のの発明は、ワークを略水平状態で外部から搬入し、または外部へ搬出するための開口を有する少なくとも一つの水平搬送部と、
ワークを垂直方向に所定間隔で載置して清浄空間内で加熱する熱処理装置と、その少なくとも一つの水平搬送部に対してワークを受け渡し可能であるとともに、その熱処理装置の垂直方向の任意の載置位置に対してワークを出し入れ可能な搬送ロボットと、を備えたクリーン熱処理システムであって、
その搬送ロボットは外部に対して区画された清浄空間内に設置され、
その清浄空間は、必要な隔壁と、その天井部に載置され柔軟材で形成されたドームと、そのドームと該清浄空間とのあいだに設けられたエア吹出しパネルと、そのドームとは別置きされたクリーンエア発生器と、そのドームとクリーンエア発生器とのあいだにエアを圧送可能に連結するダクトと、を含む構成により形成されることを特徴とするものである。
【０００６】
また、請求項２に記載の発明は、ワークを垂直方向に所定間隔で載置して清浄空間内で加熱する熱処理装置と、ワークを垂直方向に所定間隔で載置して清浄空間内で冷却する冷却装置と、
その熱処理装置および冷却装置の垂直方向の任意の載置位置に対してワークを出し入れ可能な搬送ロボットと、を備えたクリーン熱処理システムであって、
その搬送ロボットは外部に対して区画された清浄空間内に設置され、
その清浄空間は、必要な隔壁と、その天井部に載置され柔軟材で形成されたドームと、そのドームと該清浄空間とのあいだに設けられたエア吹出しパネルと、そのドームとは別置きされたクリーンエア発生器と、
そのドームとクリーンエア発生器とのあいだにエアを圧送可能に連結するダクトと、を含む構成により形成されることを特徴とするものである。
【０００７】
更に、請求項３に記載の発明は、ワークを略水平状態で外部から搬入し、または外部へ搬出するための開口を有する少なくとも一つの水平搬送部と、  
ワークを垂直方向に所定間隔で載置して清浄空間内で加熱する熱処理装置と、
ワークを垂直方向に所定間隔で載置して清浄空間内で冷却する冷却装置と、
その少なくとも一つの水平搬送部とワークの受け渡しが可能であり、かつその熱処理装置および冷却装置の垂直方向の任意の載置位置に対してワークを出し入れ可能な搬送ロボットと、を備えたクリーン熱処理システムであって、
その搬送ロボットは外部に対して区画された清浄空間内に設置され、
その清浄空間は、必要な隔壁と、その天井部に載置され柔軟材で形成されたドームと、そのドームと該清浄空間とのあいだに設けられたエア吹出しパネルと、そのドームと、そのドームとは別置きされたクリーンエア発生器とのあいだにエアを圧送可能に連結するダクトと、を含む構成により形成されることを特徴とするものである。
【０００８】
また、請求項４に記載の発明は、前記水平搬送部の少なくとも一つは外部に対して区画された他の清浄空間内に設置され、
当該他の清浄空間は、必要な画へ効きと、その天井部に載置され柔軟材で形成された他のドームと、当該他のドームと当該他の清浄空間とのあいだに設けられた他のエア吹出しパネルと、
当該他のドームとは別置きされた他のクリーンエア発生器と、
当該他のドームと当該他のクリーンエア発生器とのあいだにエアを圧送可能に連結する他のダクトと、
を含む構成により形成されることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、前記水平搬送部の少なくとも一つは、前記冷却装置と同一床面上の下方に配設されていることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、前記各クリーンエア発生器は、前記熱処理装置の天井部に搭載されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
この発明のクリーン熱処理システムによれば、クリーンルーム内部の設置床面積を増やすことなく、ワークの処理能力を確保することができる。また、天井部に空気清浄化機器類を設置する必要がなく、その分輸送時の高さを抑えるることができる。熱処理装置の外郭フレームが軽量化（簡素化）でき且つ天井部の構成部材（取付部材）を外す必要が無くなるため、高所作業が不要となる。更に、清浄化機器類のメインテナンスが容易となる。そしてまた、構成部材の取り外し作業が必要でなくないため、解体梱包、復元の工数が削減出来る、等の優れた効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明のクリーン熱処理システムの組立てた状態の正面外観図、図２は平面外観図、図３は側面外観図である。
【００１３】
このクリーン熱処理システムは、加熱処理する熱処理装置１と、搬入・冷却部（室）２と、搬出部（室）３と、ロボットＰにより前記熱処理装置１や搬入・冷却部２及び搬出部３へワークを搬入・搬出する清浄空間（ロボット設置エリア）４と、を備えている。前記搬入・冷却部（室）２及び搬出部（室）３には、ワークを略水平状態で外部から搬入し、または外部へ搬出するための開口を有する少なくとも一つの水平搬送部（図示省略）が設けられる。
【００１４】
前記熱処理装置１は、清浄な熱風を循環させて加熱する加熱空間と、その加熱空間内に配設され、板状ワークを略水平姿勢で垂直方向に所定の間隔で多段に支持する熱処理棚と、ロボットＰによりこの熱処理装置１から出し入れするワークの加熱加熱空間内垂直位置に合わせて搬入出開口位置が調整可能なシャッタ装置と、を備える。かかる構成の主な目的は、熱処理装置１の設置床面積を最小にしつつ、処理能力を最大限に確保することである。該熱処理装置１の高さは、諸国制約条件の範囲内で、最終的には他の区画とのバランスを考慮してできるだけ高くなるように決められる。なお、該熱処理装置１は内部の熱風循環経路にクリーンフィルタが（一側面に）設置されている。また、前記ワークの搬入・冷却部２も、後述するように、ワークを垂直方向に所定間隔で載置して清浄空間内で冷却する。
【００１５】
前記熱処理装置１へのワークの出し入れは、アームの回転昇降伸縮機能を有する搬送ロボットＰにより、シャッタ装置の搬入出開口を通して行われ、当該ロボットによる搬送は本願発明にかかるクリーンエア供給ユニットを備えた区画（ロボット搬送エリア）内で行われる。この区画の高さは、熱処理装置１の熱処理棚の最上段にワークを出し入れするときに必要とされる搬送ロボットの到達高さに関係する。同様に、冷却棚の最上段にワークを出し入れするときに必要とされる搬送ロボットの到達高さにも関係する（下記）。このとき、装置の高さが高くなることは避けられないが、本願発明に係るクリーンエア供給ユニットは、クリーン熱処理システムの運搬・搬送時の高さによる干渉の問題を解消するために有効に機能する。
【００１６】
ロボットＰにより処理されるワークの供給、あるいは冷却され処理済みのワークの排出は、クリーンルーム側から系（クリーン熱処理システム）内にワークをを一枚ずつ取り込む搬入機構、或いは系（クリーン熱処理システム）内からクリーンルーム側にワークを一枚ずつ排出する搬出機構を介して行われ、当該搬入機構或いは搬出機構による搬送は、本願発明の一部を構成するクリーンエア供給ユニット（後述）を備えた区画（ワーク搬送部）を通して行われる場合がある。相当上方向からワークを搬入あるいは搬出する必要がある場合には、この区画（ワーク搬送部）に対しても本願発明が有効である。
【００１７】
前記熱処理装置１から取り出された熱いワークの冷却は、ワークの前記搬入・冷却部２内で行われるが、この内部空間は、清浄な冷風を供給して冷却する冷却空間と、その冷却空間内に配設され、板状ワークを略水平姿勢で垂直方向に所定の間隔で多段に支持する冷却棚で行われ、当該冷却は、クリーンフィルタを介してワーク側方よりエアが平行な向きに流される（サイドフロー）。ワーク冷却エリアとなるワークの前記搬入・冷却部（室）２は、クリーン処理システムの設置床面積節約の必要と、搬送ロボットの効率的動作を確保する必要から、ワーク搬入エリアと同じ床面積上に三次元的に区画して配置される。或いは、上記に代えて、ワーク冷却エリアがワーク搬出エリアと同一床面積上に３次元的に区画して配置される場合もある（以下、説明省略）。
【００１８】
前記ロボット設置部（設置エリア）４は、少なくとも一つの水平搬送部とワークの受け渡しが可能であり、前記熱処理装置１および搬入・冷却部２の垂直方向の任意の載置位置に対してワークを出し入れ可能な搬送ロボットが配置されている。ワークを搬送・搬入する搬送ロボットＰは、外部に対して区画された前記ロボット設置部４（清浄空間）内に設置される。
【００１９】
更に、該清浄空間であるロボット設置部４および搬入・冷却部（室）２や搬出部（室）３には、必要な隔壁が設けられるが、清浄空間（ロボット設置部）４と搬出部３の天井部に柔軟材で製作したドーム（５ａ、５ｂ）が配設される。そして、ロボット設置部４や搬出部３等の内部空間と、これらドームとの間の天井部にエア吹出しパネル（８ａ、８ｂ）が設けられる。なお、搬入・冷却部２にもドームおよびエア吹出しパネルが設けられることもある。
【００２０】
クリーンエア供給ユニットは、前記各区画の天井部にその柔軟材で形成されるドーム（５ａ、５ｂ、）と、これとは別置きのクリーンエア発生装置（６ａ、６ｂ）と、これら両者の間にエアを圧送可能に連結されるダクト（７ａ、７ｂ）およびエア吹き出しパネル（８ａ、８ｂ）とから構成される。このクリーンエア発生装置（６ａ、６ｂ）は、クリーンエアの供給が必要な区画の天井部に隣接して熱処理装置１の天井部に設置するのが望ましい。システム全体の高さのバランスからそうすることが可能であり、これによって設置床面積が節約できるほか、ダクト（７ａ、７ｂ）の長さも最小限に短くすることが出来、エアを効率よく圧送することができる。
【００２１】
図４は、この発明のクリーン熱処理システムを工場から出荷し、トラックに積載して運搬する状態を示す。この場合、ドーム（５ａ、５ｂ）は収縮し萎んだ状態となっており、天井部に空気清浄化機器類を設置する必要がないために、輸送時の高さを抑え、工場の搬入口や橋脚の天井と干渉することがなく道路運送法等に違反することもなくなる。
【００２２】
尚、上記発明を実施するための最良の形態においては、ドーム（５ａ、５ｂ）や前記クリーンエア発生装置（６ａ、６ｂ）とこれらドームとを連結するダクト（７ａ、７ｂ）をビニール等軟質の合成樹脂材で製作する場合について示したが、耐熱性を考慮すれば、更に高温に耐え得るようにするために、前記クリーンエア発生装置６ａ等とドーム５ａ等を連結するダクト７ａ等は、金属製の蛇腹式のダクトを用いても良い。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明は、クリーンな環境下で搬送し、加熱処理し、冷却する作業を行うクリーンオーブンを使用する液晶パネルや半導体等の電子部品を製造する産業の分野に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明のクリーン熱処理システムの組立てた状態の正面外観図である。
【図２】本発明のクリーン熱処理システムの組立てた状態の平面外観図である。
【図３】本発明のクリーン熱処理システムの組立てた状態の側面外観図である。
【図４】本発明のクリーン熱処理システムを工場から出荷し、トラックに積載して運搬する状態を示す図である。
【図５】天井部に空気清浄化装置を載置した従来のクリーン熱処理システムの一部と、クリーンルーム内への設置状況を示す簡略図である。
【図６】天井部に空気清浄化装置を載置した従来のクリーン熱処理システムをトラック等で運搬する場合、この空気清浄化装置が工場の搬入口天井部に干渉する状態を示す図である。
【符号の説明】
【００２５】
１    熱処理装置
２    搬入・冷却部（室）
３    搬出部（室）
４    清浄空間（ロボット設置エリア）
５ａ  ドーム
５ｂ  ドーム      
６ａ  クリーンエア発生装置
６ｂ  クリーンエア発生装
７ａ  ダクト
７ｂ  ダクト
８ａ  エア吹き出しパネル
８ｂ  エア吹き出しパネル
Ｐ    搬送ロボット
【図１】
2005101098.tif 000003
【図２】
2005101098.tif 000004
【図３】
2005101098.tif 000005
【図４】
2005101098.tif 000006
【図５】
2005101098.tif 000007
【図６】
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