(57)【要約】【課題】パッド部におけるディッシングを抑制しつつ、パッド部における密着不良の問題を解決する。【解決手段】絶縁領域１０２を覆うとともにＣｕパッド領域１０１上に開口部を有するＳｉＯＮ膜１０６を形成し、ＳｉＯＮ膜１０６の開口部にバリアメタル膜１２０を形成する。こうした構成を採用することにより、Ｃｕパッド領域１０１と絶縁領域１０２との界面の上部がＳｉＯＮ膜１０６によって覆われた構造とする。 【選択図】図６
2005109171.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部配線との電気的接続が行なわれる主表面を有するボンディングパッドを備える半導体装置であって、
前記ボンディングパッドは、
金属領域および絶縁領域を含むパッド部と、
前記パッド部の上に設けられ前記絶縁領域を覆うとともに前記金属領域上の少なくとも一部に開口部を有する絶縁膜とを備えることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置において、
前記絶縁膜の上部に設けられ、前記開口部を介して前記金属領域と電気的に接続する導電膜をさらに備えることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の半導体装置において、
前記パッド部中に複数の絶縁領域が島状に離間して設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかに記載の半導体装置において、
前記絶縁膜と前記パッド部との間に拡散防止膜を備え、前記導電膜は前記拡散防止膜に接して設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
半導体基板上に第一の絶縁膜を形成する工程と、
前記第一の絶縁膜を選択的に除去して凹部を形成する工程と、
前記凹部を埋め込むように金属膜を形成する工程と、
前記金属膜を研磨し、前記凹部の外部に形成された金属膜を除去する工程と、
前記第一の絶縁膜および前記金属膜の上に第二の絶縁膜を形成する工程と、
前記第二の絶縁膜を選択的に除去し前記金属膜の上部の少なくとも一部に開口部を形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の半導体装置の製造方法において、
前記金属膜の上部に開口部を形成する前記工程の後、前記開口部を介して前記金属膜と電気的に接続する導電膜を形成する工程をさらに含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載の半導体装置の製造方法において、
前記金属膜上に拡散防止膜を形成する工程をさらに含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボンディングパッドを備える半導体装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高密度実装が可能な半導体装置として、フリップチップ型半導体装置の重要性が高まっている。フリップチップ型半導体装置は、フリップチップ型半導体チップとそのチップを実装する多層配線基板から構成される。フリップチップ型半導体チップとは、半導体チップの表面に半田、金等の低融点金属からなる突起状のバンプを形成したものである。多層配線基板は、そのバンプ配列パターンと同一パターンの電極パッドを備える。
【０００３】
こうしたフリップチップ型のチップにバンプを形成する場合、半導体装置の使用熱サイクルに対する半田のクラック対策を目的として、電極パッド上にポリイミド膜を設け、その開口部に電極を形成し、この電極に半田ボールを圧着する技術（以下、UBM（Under Bump Metal））が広く採用されている。
【０００４】
また、パッド部におけるディッシング（研磨後に凸部と凸部ｔの間の膜厚が薄くなる現象）を防止するため、パッド内に島状、あるいはスリット状の絶縁部材からなる領域を設ける技術が知られている（特許文献１、２）。
【０００５】
図１は、こうした技術を用いた従来のバンプ構造を示す図である。図１（ａ）はバンプ部の上面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡＡ'断面図である。Ｃｕパッド領域（金属領域）１０１および絶縁領域１０２からなるパッド部１００の上面にＴｉＮ膜１０４が形成され、その上部にＳｉＯＮ膜１０６、ポリイミド膜１０８がこの順で形成されている。ＳｉＯＮ膜１０６およびポリイミド膜１０８には、ＴｉＮ膜１０４を底面とする開口部が設けられている。この開口部にＴｉＷおよびＣｕがこの順で積層した積層膜１１０、Ｎｉ膜１１２およびＣｕ膜１１４からなるバリアメタル膜１２０が形成されている。
【０００６】
図２および図３は、図１のバンプ構造の形成工程を示す図である。まず図２（ａ）に示すように、多層配線の最上層として、Ｃｕパッド領域１０１および絶縁領域１０２からなるパッド部１００をダマシン法により形成する。全面をＣｕパッド領域１０１により構成せず、絶縁領域１０２を設けることにより、パッド部におけるディッシングの発生を低減することができる。
【０００７】
次に、ＲＦエッチングによりＣｕパッド領域１０１表面のＣｕ酸化膜を除去した後、ＴｉＮ膜１０４をスパッタリング法により成膜する。このＴｉＮ膜１０４上にフォトレジストを塗布、露光した後、不要なＴｉＮ膜１０４をドライエッチングにより除去し、パッドおよびヒューズを形成する。図２（ｂ）はこの状態を示す。
【０００８】
つづいて、図２（ｃ）に示すように、ＴｉＮ膜１０４上にＳｉＯＮ膜１０６を形成した後、図２（ｄ）に示すようにパッドビア１０７を開口する。パッドビア１０７は、パッド部１００の形成領域のほぼ全体を露出するように形成される。
【０００９】
次に、ＴｉＮ膜１０４およびＳｉＯＮ膜１０６上にポリイミド膜１０８を塗布法により形成した後、露光を行い、パッド部１００上に開口部を設ける（図３（ｅ））。そして、図３（ｆ）に示すように、４００℃、１０分のキュアを行いポリイミド膜１０８’とする。その後、開口部に、スパッタリング法を用いてＴｉＷおよびＣｕがこの順で積層した積層膜１１０を形成した後、不要な積層膜１１０を除去する。この積層膜１１０上に選択めっき法によりＮｉ膜１１２およびＣｕ膜１１４を形成する（図４）。以上により、パッド部１００上にＴｉＮ膜１０４を介してバリアメタル膜１２０が形成されたバンプ構造が完成する。
【特許文献１】特開平１０−２２９０８５号公報  図２〜図５
【特許文献２】特開平１１−１５０１１４号公報  図３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところが、本発明者の検討によれば、上記プロセスではＴｉＮ膜１０４とバリアメタル膜１２０との間の界面の密着性が不充分となったり、図４に示すように剥離１３２が生じたりすることが確認された。すなわち、パッド部におけるディッシングを防止するためパッド内に絶縁部材からなる領域（絶縁領域１０２）を設ける構成を採用した場合、かかる構成に起因して、界面密着不良が生ずるという新たな課題が生じることとなる。
【００１１】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、パッド部におけるディッシングを抑制しつつ、パッド部における密着不良の問題を解決することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者は上述の課題を解決するため、界面密着性の低下の原因について鋭意検討した。その結果、当該界面でＣｕの吹き出し（以下、適宜「Ｃｕ異物」と称する）が発生することを発見し、このことが界面密着不良の原因となることを明らかにした。この点について図５を参照して説明する。上記プロセスでは、ポリイミド膜１０８を露光してバンプスルーホールを形成するが、その後、ポリイミドを固めるために４００℃の高温熱処理を行う（図５（ａ））。このとき、ＴｉＮ膜１０４のカバレッジが悪いところ、特に、Ｃｕパッド領域１０１と絶縁領域１０２の界面からＣｕが吹き出す（図５（ｂ）、図５（ｃ））。この吹き出しＣｕ異物上にソルダーバンプのバリアメタル膜１２０（Ｃｕ／TiW、Ni、Ｃｕ）を成膜すると、バリアメタル膜１２０とＴｉＮ膜１０４との間に吹き出しＣｕ異物が介在することとなって密着性が低下する。こうした場合、バリアメタル膜１２０上に半田ボールを圧着すると、ＴｉＮ膜１０４およびバリアメタル膜１２０の界面で剥がれが生じる。
【００１３】
本発明は、かかる新たな知見に基づいてなされたものであり、その解決手段として、Ｃｕ異物の発生を抑止する構成を採用することで、パッド部における密着性を改善するものである。
【００１４】
本発明によれば、外部配線との電気的接続が行なわれる主表面を有するボンディングパッドを備える半導体装置であって、前記ボンディングパッドは、金属領域および絶縁領域を含むパッド部と、前記パッド部の上に設けられ前記絶縁領域を覆うとともに前記金属領域上の少なくとも一部に開口部を有する絶縁膜とを備えることを特徴とする半導体装置が提供される。
【００１５】
また本発明によれば、半導体基板上に第一の絶縁膜を形成する工程と、第一の絶縁膜を選択的に除去して凹部を形成する工程と、凹部を埋め込むように金属膜を形成する工程と、金属膜を研磨し、凹部の外部に形成された金属膜を除去する工程と、第一の絶縁膜および金属膜の上に第二の絶縁膜を形成する工程と、第二の絶縁膜を選択的に除去し金属膜の上部の少なくとも一部に開口部を形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【００１６】
本発明によれば、パッド部が金属領域および絶縁領域を含むため、ディッシングを効果的に抑制することができうえに、絶縁領域を覆うとともに金属領域上に開口部を有する絶縁膜が形成されるため、前述したようなＣｕ異物の発生が効果的に抑制される。
【００１７】
本発明において、開口部を介して金属領域と電気的に接続する導電膜をさらに備える構成とすることもできる。こうすることにより、Ｃｕ異物の発生を抑制しつつパッド部との電気的接続が良好に実現される。
【００１８】
本発明において、絶縁領域の形態は特に制限されないが、たとえばパッド部中に島状に形成された態様とすることができる。パッド部中にこうした島状の絶縁領域を複数設けた場合、ディッシングの発生を一層効果的に抑制することができる。
【００１９】
本発明において、絶縁膜とパッド部との間に拡散防止膜を備え、バリアメタル膜が拡散防止膜に接して設けられた構成とすることもできる。こうすることにより、パッド部からの金属の拡散を抑えることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、パッド部におけるディッシングを抑制しつつ、パッド部における密着不良の問題を解決することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００２２】
［第一の実施の形態］
【００２３】
本実施形態では、ボンディングパッドを備えるフリップチップ型半導体装置の例を示す。
【００２４】
図６は、本実施形態に係るボンディングパッドの構造を示す図である。図６（ａ）はバンプ部の上面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＡＡ'断面図である。Ｃｕパッド領域１０１および絶縁領域１０２からなるパッド部１００の上面に、拡散防止膜であるＴｉＮ膜１０４が形成され、その上部にＳｉＯＮ膜１０６、ポリイミド膜１０８がこの順で形成されている。ＳｉＯＮ膜１０６およびポリイミド膜１０８には、ＴｉＮ膜１０４を底面とする開口部が設けられている。この開口部にＴｉＷおよびＣｕがこの順で積層した積層膜１１０、Ｎｉ膜１１２およびＣｕ膜１１４からなるバリアメタル膜１２０が形成されている。
【００２５】
図７および図８は、図６のバンプ構造の形成工程を示す図である。まず図７（ａ）に示すように、多層配線の最上層として、Ｃｕパッド領域（金属領域）１０１および絶縁領域１０２からなるパッド部１００をダマシン法により形成する。まず、シリコン基板上に形成された配線構造の最上部絶縁膜を選択的に除去して凹部を形成し、この凹部を埋め込むように基板全面銅膜を形成する。次いでＣＭＰ（化学的機械的研磨）を行い、凹部の外部に形成された銅膜を除去する。以上により、図７（ａ）に示す構造が得られる。図示したように、パッド全域にＣｕパッド領域１０１を形成せず絶縁領域１０２を設けることにより、パッド部におけるディッシングの発生を低減することができる。本実施形態では、パッドの大きさは５０μｍとし、酸化膜ダミー(絶縁領域１０３）の大きさは、幅３μｍ、長さ１０μｍのものを周辺に配置し、中央部に１辺５μｍの正方形の酸化膜ダミー(絶縁領域１０２）を配置する。
【００２６】
次に、ＲＦエッチングによりＣｕパッド領域１０１表面のＣｕ酸化膜を除去した後、ＴｉＮ膜１０４をスパッタリング法により成膜する。ＴｉＮ膜１０４の膜厚は２００ｎｍとし、ＲＦエッチングにより、１０ｎｍエッチングする。このＴｉＮ膜１０４上にフォトレジストを塗布、露光した後、不要なＴｉＮ膜１０４をドライエッチングにより除去し、パッドおよびヒューズを形成する。図７（ｂ）はこの状態を示す。
【００２７】
つづいて、図７（ｃ）に示すように、ＴｉＮ膜１０４上にＳｉＯＮ膜１０６を形成する。ＳｉＯＮ膜１０６の膜厚は、３５０ｎｍとする。その後、図７（ｄ）に示すようにパッドビア１０７を開口する。パッドビア１０７は、パッド部１００のうち、Ｃｕパッド領域１０１形成箇所のみが露出し、絶縁領域１０２が露出しないように形成する。すなわち、パッド中のダミー酸化膜にビアかからないようにパッドビアを開口する。本実施形態では、ビア径は１０μｍとする。
【００２８】
次に、ＴｉＮ膜１０４およびＳｉＯＮ膜１０６上にポリイミド膜１０８を塗布法により形成した後、露光を行い、パッド部１００上に開口部を設ける（図８（ｅ））。そして、図８（ｆ）に示すように、４００℃、１０分のキュアを行い、ポリイミド膜１０８’とする。その後、開口部に、スパッタリング法を用いてＴｉＷおよびＣｕがこの順で積層した積層膜１１０を形成した後、不要な積層膜１１０を除去する。この積層膜１１０上に選択めっき法によりＮｉ膜１１２およびＣｕ膜１１４を形成する（図９（ｇ））。以上により、パッド部１００上にＴｉＮ膜１０４を介してバリアメタル膜１２０が形成されたバンプ構造が完成する。
【００２９】
本実施形態に係るボンディングパッドは、図６（ｂ）に示すように、絶縁領域１０２を覆うとともにＣｕパッド領域１０１上に開口部を有するＳｉＯＮ膜１０６が形成されている。そして、ＳｉＯＮ膜１０６の開口部にバリアメタル膜１２０が形成されている。こうした構成を採用するため、Ｃｕパッド領域１０１と絶縁領域１０２との界面の上部がＳｉＯＮ膜１０６によって覆われた構造となる。このため、この界面から発生するＣｕの吹き出しが効果的に抑制される。特に、ポリイミド膜１０８を形成し高温のキュアを行う段階で、上記界面からのＣｕの吹き出しが問題となるが、本実施形態の構成によれば、こうしたＣｕの吹き出しが抑制される。
【００３０】
また、このボンディングパッド上には半田ボールが形成されることとなるが、ＳｉＯＮ膜１０６に開口部が設けられる関係でバリアメタル膜１２０に凹凸が発生するため、半田ボールとバリアメタル膜１２０との間の密着性を改善することができる。
【００３１】
［第二の実施の形態］
【００３２】
第一の実施の形態では、パッド部中に複数のＣｕパッド領域１０１が形成される態様を示したが、パッド部に単一のＣｕパッド領域１０１が形成される態様とすることもできる。図１０はこうした態様のボンディングパッドの上面図である。図示したように、パッド部中に複数の絶縁領域１０２が離間して設けられており、これらに囲まれた領域にＣｕパッド領域１０１が形成されている。ボンディングパッドの周囲部には、絶縁領域１０３が形成されている。断面構造は、第一の実施の形態で示したボンディングパッドと同様である。
【００３３】
本実施形態に係るボンディングパッドは、第一の実施の形態と同様、絶縁領域１０２を覆うとともにＣｕパッド領域１０１上に開口部を有する絶縁膜が形成されているため、Ｃｕパッド領域１０１と絶縁領域１０２との界面から発生するＣｕの吹き出しが効果的に抑制される。
【００３４】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【００３５】
たとえば、上記実施の形態ではフリップチップ型半導体装置の例を示したが、本発明の適用はこれに限られず、ワイヤボンディング方式の半導体装置に適用することもできる。
【００３６】
また、Ｃｕパッド領域１０１、ＳｉＯＮ膜１０６、バリアメタル膜１２０等の構成材料は、目的、用途に応じて適宜設計変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】従来技術に係るパッド構造を説明するための図である。
【図２】従来技術に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図３】従来技術に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図４】従来技術に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図５】従来技術に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図６】実施の形態に係る半導体装置のパッド構造を示す図である。
【図７】実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図８】実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図９】実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【図１０】実施の形態に係る半導体装置のパッド構造を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１００  パッド部
１０１  Ｃｕパッド領域
１０２  絶縁領域
１０３  絶縁領域
１０４  ＴｉＮ膜
１０６  ＳｉＯＮ膜
１０７  パッドビア
１０８  ポリイミド膜
１０９  ポリイミド膜開口部
１１０  積層膜
１１２  Ｎｉ膜
１１４  Ｃｕ膜
１２０  バリアメタル膜
１３０  Ｃｕ異物
１３２  剥離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005109171.tif 000009
【図８】
2005109171.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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