(57)【要約】【課題】    本体及び蓋体を機械的固定構造を用いて固定していたものを機械的構造をなくすこと。【解決手段】    本体及び蓋体の接合面の少なくともいずれかに形成される吸引溝並びに該吸引溝と導通する負圧路よりなり該吸引溝を負圧にすることにより該本体及び該蓋体を固定することができる。また、前記本体には、通気口ａと導通する空房ａ、通気口ｂと導通する空房ｂ、該空房ａ及び該空房ｂを分離するフィルタ・エレメント、吸引溝、シール材、負圧路が形成され、また、真空発生ユニットの該真空口が前記本体の負圧路に接続されていて、圧縮空気を該圧縮供給口に供給することにより該真空口に負圧が発生して真空固定できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体及び蓋体の接合面の少なくともいずれかに形成される吸引溝並びに該吸引溝と導通する負圧路よりなり該吸引溝を負圧にすることにより該本体及び該蓋体を固定することを特徴とする負圧固定装置及び方法。
【請求項２】
前記本体には、通気口ａと導通する空房ａ、通気口ｂと導通する空房ｂ、該空房ａ及び該空房ｂを分離するフィルタ・エレメント、吸引溝、シール材、負圧路が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の負圧固定装置及び方法。
【請求項３】
前記負圧路の途中に逆止弁が配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の負圧固定装置及び方法。
【請求項４】
エジェクタ式の真空発生器、圧縮供給口、排気消音装置及び真空口よりなる真空発生ユニットの該真空口が前記本体の負圧路に接続されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の負圧固定装置及び方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蓋体を本体に固定するにおいて、負圧力により固定する装置及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来技術において、工作物、吸着物、等を真空固定保持装置が提案されている。これらの固定は、面又は点で真空固定するものである。
【特許文献１】特開２００１−２５９３０号公報には、工作物を吸引ブロック上に載置可能であり、かつ負圧の作用により保持されることが記載されている。
【特許文献２】特開平０５−２８３５１１号公報には、微少な真空吸引口でウエハ等の吸着物を保持する真空吸着装置が提案されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
面又は点で真空固定する方法は、本体の内面の構造により面状の吸着するための固定保持室を確保できない、点状の固定吸着室を確保できない、等の問題がある。そこで、本体内面の構造、蓋体の構造に対応して真空固定することができる問題を解決した、また、圧縮空気の供給のみにより真空固定することができる、また、機械的固定構造を用いることなく負圧状態を大気圧に戻すだけで真空固定解除ができる、等の負圧固定装置及び方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本体及び蓋体の接合面の少なくともいずれかに形成される吸引溝並びに該吸引溝と導通する負圧路よりなり該吸引溝を負圧にすることにより該本体及び該蓋体を固定することにより本体内面の構造、蓋体の構造に対応して真空固定することができる問題を解決した、また、機械的固定構造を用いることなく負圧状態を大気圧に戻すだけで真空固定解除ができる負圧固定装置である。また、前記本体には、通気口ａと導通する空房ａ、通気口ｂと導通する空房ｂ、該空房ａ及び該空房ｂを分離するフィルタ・エレメント、吸引溝、シール材、負圧路が形成されている。また、前記負圧路の途中に逆止弁が配置されている。また、エジェクタ式の真空発生器、圧縮供給口、排気消音装置及び真空口よりなる真空発生ユニットの該真空口が前記本体の負圧路に接続されていることであり、真空を供給することなく圧縮空気を該圧縮供給口に供給することにより該真空口に負圧が発生して真空固定できる負圧固定装置及び方法である。
【０００５】
以下において本発明に係る負圧固定装置及び方法を詳細に説明する。尚、本発明に係る負圧固定装置及び方法は、以下の詳細な説明に記載する内容に限定されるものでなく、図には一実施態様の概念を記載するものであり、形状、寸法、配置、等を限定するものでない。
【０００６】
本発明に係る負圧固定装置及び方法は、本体３及び蓋体２の接合面の少なくともいずれかに形成される吸引溝９並びに該吸引溝と導通する負圧路１１よりなり該吸引溝を負圧にすることにより該本体及び該蓋体を固定することである。また、前記本体３には、通気口ａ４と導通する空房ａ６、通気口ｂ５と導通する空房ｂ７、該空房ａ及び該空房ｂを分離するフィルタ・エレメント８、吸引溝９、シール材１０、負圧路１１が形成されている。また、前記負圧路の途中に逆止弁１２が配置されている。また、エジェクタ式の真空発生器２２、圧縮供給口２１、排気消音装置２３及び真空口２４よりなる真空発生ユニット２０の該真空口が前記本体の負圧路１１に接続されていることであり、真空を供給することなく圧縮空気を該圧縮供給口に供給することにより該真空口に負圧が発生して真空固定できる負圧固定装置及び方法である。
【０００７】
蓋体２は、吸着面がほぼ平坦なものであり、形状、厚さ、材質、等を限定するものでない。該蓋体に吸引溝、負圧路及び／またはシール材を形成してもよく、または、これらを本体３に形成してもよく、または、これらを該蓋体２又は該本体３のいずれかに別々に形成してもよい。
【０００８】
以下において材質、形状、寸法、等を限定しない吸引溝９、負圧路１１、シール材１０、等が本体３に形成される一実施態様について説明する。
【０００９】
前記本体３の吸着面側には、形状を限定しない吸引溝９が形成されている。好ましくは、ドーナツ状でありＵ字型の吸引溝である。該吸引溝９の両サイドにシール材１０（シール材固定用のドーナツ状の溝に形成）を形成することが負圧の漏れを防止するうえで好ましい。該吸引溝９には、負圧路１１が導通されていて外部から供給される負圧を該吸引溝９に導く。負圧路に負圧供給を停止した後も蓋体を負圧固定するにおいて該負圧路１１の途中に逆止弁１２を配置することが有効であり可能である。
【００１０】
フィルタユニット１として、前記本体３には、通気口ａ４、通気口ｂ５が形成され該通気口ａ、該通気口ｂが交差する位置に空房ａ６、空房ｂ７が形成されている。該空房ａ、該空房ｂは、フィルタ・エレメント８により分離された空房である。該本体３に形成された該空房ａ、該空房ｂ及び該フィルタ・エレメントは、前記蓋体２及び該本体３の負圧固定により接触面で気密封止される。該フィルタ・エレメント８により分離された空房ａが通気口ａに導通し、空房ｂが通気口ｂに導通し、該空房ａ及び該空房ｂが独立した房を形成している。該通気口ａ、該通気口ｂのいずれかをＩＮ側とし、他方をＯＵＴ側とすることができる。また、通気口ａまたは通気口ｂに負圧または正圧のいずれかを供給流体として供給してフィルタ効果をなさせることができる。
【００１１】
前記フィルタ・エレメント８の形状、材質、寸法、等を特に限定するものでなく通常に使用されているものでよい。また、空房ａ、空房ｂの形状、寸法、等を特に限定するものでない。また、通気口ａ、通気口ｂの取り出し口には、通常に使用されている継手を配置することが好ましい。
【００１２】
前記負圧路１１に直接的に負圧（真空）を供給して負圧固定してもよい。好ましくは、エジェクタ式の真空発生器２２（詳細な説明を省略する。）、圧縮空気を供給する圧縮供給口２１、排気消音装置２３及び発生する真空を取り出す真空口２４を形成した真空発生ユニット２０を配置して負圧（真空）を前記負圧路１１に供給することである。該真空口２４及び前記負圧路１１が導通する位置にフィルタユニット１および真空発生ユニット２０を配置固定する。または、フィルタユニット１内部に真空発生ユニット２０を組み込むことが好ましい。該真空口２４及び該負圧路１１を配管により接続してもよい。
【００１３】
フィルタユニット以外にも展開応用することができ、応用例として、本体に負圧路及び吸引溝を形成し、縁付き帽子形の蓋体の縁部分を該吸引溝に接触させ、該本体及び該蓋体を負圧固定させることができる。また、本体及び蓋体と区別することなく、特定の形状にすることなく吸引溝、負圧路を形成して該吸引溝を負圧にすることにより複数の物を負圧固定することもできる。
【００１４】
このような負圧固定装置及び方法は、機械的固定構造を用いることなく本体及び蓋体の接合面の少なくともいずれかに吸引溝並びに該吸引溝と導通する負圧路よりなり該吸引溝を負圧（真空）にすることにより該本体及び該蓋体を負圧固定することができる。また、エジェクタ式の真空発生器を含む真空発生ユニットを用いることにより圧縮空気の供給のみで真空固定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００１５】
本発明に係る負圧固定装置及び方法は、機械的固定構造を用いることなく本体及び蓋体の接合面の少なくともいずれかに吸引溝並びに該吸引溝と導通する負圧路よりなり該吸引溝を負圧（真空）にすることにより該本体及び該蓋体を負圧固定することができる。また、エジェクタ式の真空発生器を含む真空発生ユニットを用いることにより圧縮空気の供給のみで真空固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る負圧固定装置の一実施態様を示す断面図である。
【図２】本発明に係る負圧固定装置の一実施態様を示す蓋体を取り除いた上面視図である。
【符号の説明】
【００１７】
１  フィルタユニット
２  蓋体
３  本体
４  通気口ａ
５  通気口ｂ
６  空房ａ
７  空房ｂ
８  フィルタ・エレメント
９  吸引溝
１０  シール材
１１  負圧路
１２  逆止弁
２０  真空発生ユニット
２１  圧縮供給口
２２  真空発生器
２３  排気消音装置
２４  真空口
【図１】
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【図２】
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