(57)【要約】【課題】  搬送装置及びその制御方法に関し、クリーンストッカ内の１本の走行路に２台のクレーンを対応させ、それらクレーンが互いに邪魔にならないように制御して運用することで、カセットの搬送能力を飛躍的に向上させようとする。【解決手段】  左右に複数個の棚１９が並ぶクリーンストッカ１７内の略中央に延在するクレーン運用空間１８に於ける床面に設置された下側軌条１１と、クレーン運用空間１８に於ける天井部に設置された上側軌条１２と、下側軌条１１上に載置されて走行、上下移動、該棚との間のカセットの遣り取りをコンピュータで制御される下側クレーン１３と、上側軌条１２に吊り下げられて走行、上下移動、該棚との間のカセットの遣り取りをコンピュータで制御される上側クレーン１４とを備え、また、下側クレーン１３及び上側クレーン１４の少なくとも一方が走行して交差する場合に衝突を回避する制御を行う。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
左右に複数個の棚が並ぶクリーンストッカ内の略中央に延在するクレーン運用空間に於ける床面に設置された下側軌条と、
該クレーン運用空間に於ける天井部に設置された上側軌条と、
該下側軌条上に載置されて走行、上下移動、該棚との間のカセットの遣り取りをコンピュータで制御される下側クレーンと、
該上側軌条に吊り下げられて走行、上下移動、該棚との間のカセットの遣り取りをコンピュータで制御される上側クレーンと
を備えてなることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の搬送装置に於いて、下側クレーン及び上側クレーン或いは何れか一方を走行して交差させる際、下側クレーン及び上側クレーンが衝突するおそれがある場合、下側クレーンを下降或いは上側クレーンを上昇或いはそれらの動作を同時に実施して両クレーンの衝突を回避する制御を行うこと
を特徴とする搬送装置の制御方法。
【請求項３】
請求項１記載の搬送装置に於いて、下側クレーン及び上側クレーンの何れか一方のクレーンが最大限のストロークに延びて棚との間でカセットの遣り取りを行っている場合、他方のクレーンは該一方のクレーンと交差することなく一時停止する制御を行うこと
を特徴とする搬送装置の制御方法。
【請求項４】
請求項１記載の搬送装置に於いて、クリーンストッカに於ける最下段の棚に対応するクレーン運用空間を下側クレーンの専用とし、且つ、クリーンストッカに於ける最上段の棚に対応するクレーン運用空間を上側クレーンの専用とし、下側クレーン及び上側クレーンが走行する場合、それぞれの専用の運用空間に於いて実施するように制御を行うこと
を特徴とする搬送装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ（ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｄｉｓｐｌａｙ：ＬＣＤ）或いは半導体装置の製造ラインに於いて、基板を収納したカセットなどを保管するクリーンストッカ内で運用するのに好適な搬送装置及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーンストッカ内に於けるカセットの搬送は、１台のクレーンに依って行われるのが普通である（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００３】
図７はクリーンストッカ内に１台のクレーンが配置されている搬送装置を表す要部正面図、図８は同じく要部平面図、図９はクレーンの縦方向移動範囲及び横方向移動範囲を説明するクリーンストッカの要部側面図である。
【０００４】
各図に於いて、１はクレーン、２はクレーンに於けるハンド、３はカセット、４はクリーンストッカ、５は棚をそれぞれ示している。尚、クリーンストッカ４には、クレーン１の走行路を中央として、左右にそれぞれ２４個、合計４８個の棚５が設置されているが、その数は必要に応じて増減される。
【０００５】
さて、近年、ＬＣＤ及び半導体装置の何れに於いても、基板が益々大型化し、それにつれてクリーンストッカ及びクレーンも大型化し、しかも、クリーンストッカと生産設備とのインテグレーション化が進められていることなどから、クリーンストッカ内に於けるクレーン搬送能力の更なる向上が希求されている。
【０００６】
前記のような要求に対しては、現在、クレーンの移動速度を上昇させるなどの手段を採っているが、そのような対策では限界があり、それを打破するには新たな手段が必要である。
【０００７】
そこで、１台のクレーンに２機のハンドを取り付け、棚に対するカセットの遣り取りなどを高速化し、搬送能力を向上させようとする試みもなされている。
【０００８】
図１０は２機のハンドをもつ１台のクレーンがクリーンストッカ内に配設された搬送装置を表す要部正面図、図１１は同じく要部平面図、図１２はクレーンの縦方向移動範囲及び横方向移動範囲を説明するクリーンストッカの要部側面図であり、図７乃至図９に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものとする。
【０００９】
各図から明らかなように、クレーン１には２機のハンド２が設けられているので、搬送先でカセット３を棚５に入れ替える作業を実施するのに有効であり、入れ替え作業はスピードアップされる。
【００１０】
然しながら、上記のような良いことばかりではなく、搬送先でカセットの入れ替えを行うには、目的とする棚５に一方のハンド２を対向させて作業を行ない、その後、クレーン１を横方向、即ち、走行方向に移動させ、前記目的とする棚５に他方のハンド２を対向させて更に作業を行うことが必要であり、また、そのような移動を全ての棚５に対して支障なく実施するには、クリーンストッカ４の両端にクレーン１の一部が突出して存在することを可能にするクレーンエリア４Ａが必要となる。
【００１１】
そこで、クレーンエリア４Ａを確保するには、クリーンストッカ４を大型化するか、或いは、棚５の数を減らすしか手段がなく、因みに、図１０乃至図１２について説明した搬送装置では、棚５の数が３６個であって、図７乃至図９について説明した搬送装置が４８個であるのと比較すると１２個も少なくなっている。
【特許文献１】特開平１１−３３４８１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明では、クリーンストッカ内の１本の走行路に２台のクレーンを対応させ、それらクレーンが互いに邪魔にならないように制御して運用することで、カセットの搬送能力を飛躍的に向上させようとする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の搬送装置及びその制御方法に於いては、左右に複数個の棚（例えば棚１９）が並ぶクリーンストッカ（例えばクリーンストッカ１７）内の略中央に延在するクレーン運用空間（例えばクレーンの運用空間１８）に於ける床面に設置された下側軌条（例えば下側軌条１１）と、該クレーン運用空間に於ける天井部に設置された上側軌条（例えば上側軌条１２）と、該下側軌条上に載置されて走行、上下移動、該棚との間のカセットの遣り取りをコンピュータで制御される下側クレーン（例えば下側クレーン１３）と、該上側軌条に吊り下げられて走行、上下移動、該棚との間のカセットの遣り取りをコンピュータで制御される上側クレーン（例えば上側クレーン１４）とを備え、また、該下側クレーン及び該上側クレーンの少なくとも一方が走行して交差する場合に衝突を回避する制御を行うことが基本になっている。
【発明の効果】
【００１４】
前記手段を採ることに依り、クリーンストッカ内に於けるカセットの搬送能力を向上することができるので、クリーンストッカ内の棚数を増加させたり、或いは、生産設備とインテグレーション化する場合、クリーンストッカに接続される装置の数を増加させたり、更に多くの工程を実行できるようにすることが可能となり、そして、このようなことを可能にする為の構成は、クリーンストッカ内に僅か２台のクレーンを上下に配置し、それらクレーンが互いに邪魔にならないように巧みに運用することから成っていて、その制御は現今のコンピュータ技術に依れば極めて簡単且つ容易である。
【実施例１】
【００１５】
図１は本発明に於ける実施例１である搬送装置を表す要部正面図、図２は同じく要部平面図、図３はクレーンの縦方向移動範囲及び横方向移動範囲を説明するクリーンストッカの要部側面図である。
【００１６】
各図に於いて、１１は下側クレーンが走行する下側軌条、１２は上側クレーンが走行する上側軌条、１３は下側クレーン、１４は上側クレーン、１５はクレーンに取り付けられているハンド、１６はカセット、１７はクリーンストッカ、１８はクレーンの運用空間、１９は棚をそれぞれ示している。尚、クリーンストッカ１７には、運用空間１８を中央にして、左右にそれぞれ２４個、従って、合計４８個の棚１６を設置してあるが、その数は必要に応じて増減される。
【００１７】
各図から明らかなように、搬送装置は、クリーンストッカ１７の略中央に在る運用空間１８に対応する床部に下側軌条１１が設けられ、そして、天井部に上側軌条１２が設けられている。下側軌条１１上には、下側クレーン１３が配設されて運用空間１８を横方向に走行可能であり、また、上側軌条１２には、上側クレーン１４が配設されて運用空間１８を横方向に走行可能であり、更にまた、下側クレーン１３並びに上側クレーン１４、従って、ハンド１５は縦方向に上下可能であることは勿論である。尚、棚１６に対するカセット１６の遣り取り動作については、従来の搬送装置に於ける遣り取り動作と変わりない。
【００１８】
さて、ここで問題となるのは、下側クレーン１３と上側クレーン１４とが交差して走行しなければならない状態になった場合の制御であり、両者が衝突しないように相互に回避することが必要になるが、それには多くの制御手段が存在するので、次に、それを説明する。
【実施例２】
【００１９】
下側クレーン１３及び上側クレーン１４の両方を運用空間１８に於ける上下左右の各方向について自由に移動できるように設定した場合の搬送装置の制御を実施例２として説明するが、この場合、前記説明した図１乃至図３を参照すると理解が容易である。
（１）
下側クレーン１３及び上側クレーン１４が上方及び下方にそれぞれ適当に延びていて、そのまま横方向に走行して交差すると衝突する場合、下側クレーン１３を下降させるか、或いは、上側クレーン１４を上昇させるか、或いは、その両方を実施して衝突を回避する制御をすれば良いのであるが、カセット１６を棚１９との間で遣り取りしている状態のクレーンは、そのような回避動作をすることができないから、他方のクレーンのみに回避動作をさせる制御を行う。
（２）
下側クレーン１３及び上側クレーン１４の何れか一方、或いは、両方が最大限のストロークで延び、且つ、一方のクレーンがカセット１６を棚１９との間で遣り取りしている状態であれば、上記（１）の回避動作は不可能であるから、その場合には、他方のクレーンの走行を一方のクレーンの直前で一時停止し、前記カセット１６の遣り取りが終わるまで待たせる制御を行う。
【実施例３】
【００２０】
図４は本発明に於ける実施例３である搬送装置の制御について説明する為の搬送装置を表す要部正面図、図５は同じく要部平面図、図６はクレーンの縦方向移動範囲及び横方向移動範囲を説明するクリーンストッカの要部側面図であり、図１乃至図３に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味を持つものとする。
【００２１】
図に於いて、１３Ｒは運用空間１８に設定した下側クレーン１３の走行路、１４Ｒは運用空間１８に設定した上側クレーン１４の走行路、１３Ｌは下側クレーン１３の上下方向移動範囲、１４Ｈは上側クレーン１４の上下方向移動範囲をそれぞれ示している。
【００２２】
実施例３では、下側クレーン１３が走行、即ち、横方向に移動する場合には、必ず走行路１３Ｒに位置して行なわれ、また、上側クレーン１４が走行、即ち、横方向に移動する場合には、必ず走行路１４Ｒに位置して行なわれ、それ以外の位置では走行は行わないように制御する。
【００２３】
このようにすることで、下側クレーン１３及び上側クレーン１４を高速で走行させ、且つ、交差させることが可能であるが、走行する際は、必ず走行路１３Ｒ或いは走行路１４Ｒに戻らなければならない旨の制約と、下側クレーン１３はクリーンストッカ１７の最上段の棚を対象とする作業、また、上側クレーン１４はクリーンストッカ１７の最下段の棚に対象とする作業は行うことができない旨の制約がある。
【００２４】
前記何れの実施例に於いても、下側クレーン１３及び上側クレーン１４の制御は、コンピュータのプログラムで実施するのが主体となるが、各クレーン１３及び１４に光、超音波、電磁波などを信号とする発信器及び受信器からなるセンサを取り付け、その信号の遣り取りで制御する手段をコンピュータの制御に付加するとプログラムを簡単化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に於ける実施例１である搬送装置を表す要部正面図である。
【図２】本発明に於ける実施例１である搬送装置を表す要部平面図である。
【図３】クレーンの縦方向移動範囲及び横方向移動範囲を説明するクリーンストッカの要部側面図である。
【図４】本発明に於ける実施例３である搬送装置の制御について説明する為の搬送装置を表す要部正面図である。
【図５】本発明に於ける実施例３である搬送装置の制御について説明する為の搬送装置を表す要部平面図である。
【図６】クレーンの縦方向移動範囲及び横方向移動範囲を説明するクリーンストッカの要部側面図である。
【図７】クリーンストッカ内に１台のクレーンが配置されている搬送装置を表す要部正面図である。
【図８】クリーンストッカ内に１台のクレーンが配置されている搬送装置を表す要部平面図である。
【図９】クレーンの縦方向移動範囲及び横方向移動範囲を説明するクリーンストッカの要部側面図である。
【図１０】２機のハンドをもつ１台のクレーンがクリーンストッカ内に配設された搬送装置を表す要部正面図である。
【図１１】２機のハンドをもつ１台のクレーンがクリーンストッカ内に配設された搬送装置を表す要部平面図である。
【図１２】クレーンの縦方向移動範囲及び横方向移動範囲を説明するクリーンストッカの要部側面図である。
【符号の説明】
【００２６】
１１  下側クレーンが走行する下側軌条
１２  上側クレーンが走行する上側軌条
１３  下側クレーン
１４  上側クレーン
１５  クレーンに取り付けられているハンド
１６  カセット
１７  クリーンストッカ
１８  クレーンの運用空間
１９  棚
１３Ｒ  運用空間１８に設定した下側クレーン１３の走行路
１３Ｌ  下側クレーン１３の上下方向移動範囲
１４Ｒ  運用空間１８に設定した上側クレーン１４の走行路
１４Ｈ  上側クレーン１４の上下方向移動範囲
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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