(57)【要約】【課題】  複雑な外部駆動回路を必要とすることなく光の方向を偏向させることが可能な光偏向器が集積された光素子を提供すること。【解決手段】  光偏向器が集積された手動導波路は、クラッディング領域３０１，３０４、光導波路コア３０２及び光偏向器３０３を備えている。光導波路コア３０２に導波される光は、光偏向器３０３を通過しながらその進行方向が変わる。光偏向器３０３は、光導波路コア３０２の所定の領域の上部にある上部クラッディング層の一部が所定の形状にパターニングされて形成され、光偏向器３０３に印加される電流又は電場に応じて、所定の形状の下部にあるコア３０２の屈折率を変化させて進行光の方向を偏向させる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部クラッディング層とコア及び上部クラッディング層からなり、光信号をガイドして伝達する手動導波路と、
該手動導波路の一領域の上部に、前記上部クラッディング層が所定の形状にパターニングされた光偏向器とを備え、
前記光偏向器に電流又は電場が印加されるにつれて、前記所定の形状の下部にあるコアの屈折率を変化させて進行光を偏向させることを特徴とする光偏向器が集積された光素子。
【請求項２】
下部クラッディング層とコア及び上部クラッディング層からなり、光信号をガイドして伝達する手動導波路と、
該手動導波路の上部クラッディング層の一領域の上部に、所定の形状にパターニングされた電極を備える光偏向器とを備え、
前記光偏向器に電流又は電場が印加されるにつれて、前記所定の形状の下部にあるコアの屈折率を変化させて進行光を偏向させることを特徴とする光偏向器が集積された光素子。
【請求項３】
前記所定の形状は前記進行光の入射角と出射角とがそれぞれ異なるように構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の光偏向器が集積された光素子。
【請求項４】
前記所定の形状は三角形又は梯形であることを特徴とする請求項３に記載の光偏向器が集積された光素子。
【請求項５】
前記光偏向器は、所定の形状が反復されてアレイに整列され、同一形状のアレイ、同一形状それぞれが光信号の入射角を異ならせるように配列されたアレイ又はこれらの組合せであることを特徴とする請求項１又は２に記載の光偏向器が集積された光素子。
【請求項６】
光信号を生成する活性領域を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の光偏向器が集積された光素子。
【請求項７】
前記手動導波路のクラッディング領域はＩｎＰ系列で構成し、前記手動導波路のコア領域及び活性領域はＩｎＧａＡｓＰ系列で構成したことを特徴とする請求項６に記載の光偏向器が集積された光素子。
【請求項８】
前記所定の形状は陽刻又は陰刻でパターニングされたことを特徴とする請求項１又は２に記載の光偏向器が集積された光素子。
【請求項９】
下部クラッディング層とコア及び上部クラッディング層からなり、光信号をガイドして伝達する手動導波路と、光信号を生成する活性領域及び前記手動導波路の所定の領域の上部にある前記上部クラッディング層に所定の形状にパターニングして形成された光偏向器とを備えた光偏向器が集積された光源と、
前記光原からの光を平行光にする平行レンズと、
該平行レンズを通過した光を波長に応じて回折角度を異ならせる回折格子とを備え、
前記光偏向器に電流又は電場が印加されるにつれて、前記所定の形状の下部にあるコアの屈折率を変化させて進行光を偏向させることを特徴とする外部共振器型波長可変レーザ。
【請求項１０】
前記回折格子で回折された特定の波長を垂直に反射させる反射鏡を備えたことを特徴とする請求項９に記載の外部共振器型波長可変レーザ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光進行方向を変化させることが可能な光偏向器が集積された光素子及びこれを用いた外部共振器型波長可変レーザに関し、より詳細には、手動導波路の一領域の上部クラッディングに所定の形状を形成し、ここに電流を注入し或いは電圧を印加してコアの屈折率を変化させることにより、光の進行方向を変化させることが可能な光偏向器が集積された光素子及びこれを用いた外部共振器型波長可変レーザに関する。
【背景技術】
【０００２】
光の進行方向を変化させる光偏向器は、光データ記憶、レーザスキャニング、光スイッチ等に応用可能な素子であって、光の進行方向に対し屈折率を変化させるポリマー素子、磁気光学効果又は電気光学効果を有する素子を設けることにより実現されている。
【０００３】
ところが、このような構造を有する素子は、光の方向を変化させるために大きいサイズ或いは複雑な構造或いは遅い応答速度を有するという欠点があるうえ、素子を構成するための物質が、ＷＤＭ（Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｄｉｖｉｓｉｏｎ  Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅｒ）光素子の実現に使用されるＩｎＰのような半導体物質とは異なり、究極的に集積化が不可能であるという欠点もある。
【０００４】
以下、添付図を基づいて従来の技術に係る光の進行方向を偏向させるための偏向器が集積された半導体レーザを説明する。
【０００５】
図１は、従来技術に係る光波偏向器の構成図である（特許文献１参照）。図１において、符号１０１は音響光学素子、１０２は音響光学素子に入射する入射光、１０３は音響光学素子に入射する光の０次回折光、１０４は１次回折光である。音響光学素子に印加された振動数の変化に応じて、光は異なる方向に回折される。
【０００６】
電圧制御発振器（ＶＣＯ；ｖｏｌｔａｇｅ  ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ）１０６によって生成された高周波信号は、振動数を変調することが可能な変調器１０７及び電力増幅器１０８を通過し、音響光学素子１０１に印加される。電圧制御発振器１０６の出力周波数は信号発生器１０９から入力端子に印加された電圧信号によって制御される。従って、入力電圧を変化させることにより、出力周波数は変化可能であり、これにより光偏向が可能である。すなわち、レーザ又はその他の光源から出た光は音響光学効果持ちの物質を通過しながら光の進行方向が変わる構造を持つ。この構造における狭い間隔のスリットは１次回折光のみを得るためのものである。
【０００７】
この構造の光偏向器において、音響光学素子に印加される信号の周波数を変化させることにより、１次回折光の方向を偏向させることができる。この構造では回折光の効率が励起信号の周波数によって変化するので、回折の効率を補正するために、励起信号の大きさを変調して一定の回折効率を持たせる。
【０００８】
図２は、従来技術に係る偏向システムの構成図である（特許文献２参照）。この構造では、光の方向を変えるために純粋にレンズシステムのみからなる偏向システムを提案した。ベーシック光偏向器２１０は、初期ダイナミック光偏向器２１４と光偏向増幅器２１６を備え、古典的な幾何光学によって光を偏向させる。発光ダイオード２１８から生成された光は、一般的な光学システム２２０を経て、初期ダイナミック光偏向器２１４への入射に適した構造に修正される。符号２３２は外部デバイスを示す。すなわち、この構造では、１次に光の方向を少し変化させるためのレンズシステム部と、やや変化した光の方向を大きく変化させるためのレンズシステム部との２つの部分からなるレンズシステムが提案された。
【０００９】
他の従来技術によれば、光の方向を偏向させる構造であって、２つのレンズの間にピエゾ電子結晶を置き、この結晶に励起信号を与えて音響波の屈曲を生じさせ、入射する光が光波の波長に応じて出射面側のレンズからそれぞれ異なる方向に出射するようにする構造を提案している（特許文献３参照）。既存の光の方向を偏向させるために、ピエゾ電子素子からなる光偏向部分と、偏向された光の進行方向をさらに大きく偏向させる偏向増幅器とからなる構造をもつ。光源からレンズを介して作られた平行光は、外部調節装置によって調節される１次光偏向器を経た後、少量の偏向角の変化を有する。この光が古典的な幾何光学的素子からなる偏向増幅器を経ることにより、偏向角の大きさが増幅する構造を有する。
【００１０】
また、非特許文献１によれば、ＬｉＴａＯ３物質に音響光学効果を用いた電光偏向器を製作し、注入電圧の大きさに応じて光の回折角を偏向させる光偏向器を発表した。また、非特許文献２によれば、シリコン基板上に形成されたポリマー光偏向器に電圧を印加して出力光の方向を偏向させる構造を製作した。そして、非特許文献３によれば、シリコン基板上にレンズとエレクトロスタティックコム（ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  ｃｏｍｂ）構造を有する光偏向器構造を製作した。
【００１１】
【特許文献１】米国特許第４，８７２，７４６号明細書
【特許文献２】米国特許第６，２９２，３１０号明細書
【特許文献３】米国特許第４，８８９，４１５号明細書
【非特許文献１】Ｑｉｂｉａｏ Ｃｈｅｎ等によってＪｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， ｖｏｌ．１２， ｐｐ．１４０１−１４０４
【非特許文献２】Ｃｈｉｏｕ−Ｈｕｎｇ Ｊａｎｇ等によるＩＥＥＥ Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｌｅｔｔｅｒｓ， ｖｏｌ．１３， ｐｐ．４９０−４９２
【非特許文献３】Ｋ．  Ｐｅｔｒｏｚ等によってＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ  Ｌｅｔｔｅｒｓ，  ｖｏｌ．３４，  ｐｐ．８８１−８８２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上述したように、レーザダイオード又は他の光源から出力される光の方向を偏向させる技術は、光データ記憶、レーザスキャニング、光スイッチ等に応用可能であり、このような機能を行うための素子として、光の進行方向に対して屈折率を変化させるポリマー素子、電気光学効果又は磁気光学効果を有する素子を置くことにより実現されている。
【００１３】
ところが、このような従来技術に係る光偏向器は、構成と性能においてそれぞれ長所を持っているが、光偏向器を駆動するための複雑な外部駆動回路をもつか、或いはモジュールの小型化が不可能であるか、或いは遅い応答速度をもつか、或いはＷＤＭ光通信システムで使用されているＩｎＰのような半導体物質との集積化が不可能であるという問題点を抱えている。
【００１４】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、新しい類型の光偏向器が集積された光素子を提供することにある。
【００１５】
また、本発明の他の目的は、光通信システムで使用されているＩｎＰのような半導体物質と光偏向器との集積化を可能にすることにある。
【００１６】
本発明のさらに他の目的は、半導体レーザダイオードに集積された同一の物質系の手動導波路の一部分に光偏向器を集積させて出力光の方向を可変することが可能な光源を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するために、本発明の光偏向器が集積された光素子は、下部クラッディング層とコア及び上部クラッディング層からなり、光信号をガイドして伝達する手動導波路と、手動導波路の一領域に、上部クラッディング層が所定の形状にパターニングされた光偏向器とを備え、光偏向器に電流又は電場が印加されるにつれて、前記所定の形状の下部にあるコアの屈折率を変化させて進行光を偏向させることを特徴とする。
【００１８】
一方、前記所定の形状は、前記進行光の入射角と出射角とがそれぞれ異なるように構成することができ、例えば三角形又は梯形である。また、所定の形状を陽刻又は陰刻でパターニングすることができる。
【００１９】
好ましくは、光偏向器は、所定の形状が反復されてアレイに整列され、同一形状のアレイ、同一形状それぞれが光信号の入射角を異ならせるように配列されたアレイ又はこれらの組合せである。
【００２０】
光信号を生成する活性領域をさらに含み、半導体レーザが集積されるようにすることも可能である。
【００２１】
一方、手動導波路のクラッディング領域はＩｎＰ系列、前記手動導波路のコア領域及び活性領域はＩｎＧａＡｓＰ系列で構成することができる。
【００２２】
また、本発明は、下部クラッディング層とコア及び上部クラッディング層からなり、光信号をガイドして伝達する手動導波路と、手動導波路の上部クラッディング層の一領域の上部に、所定の形状にパターニングされた電極を備える光偏向器とを備え、光偏向器に電流又は電場が印加されるにつれて、前記所定の形状の下部にあるコアの屈折率を変化させて進行光を偏向させることを特徴とする。
【００２３】
さらに、本発明の外部共振器型波長レーザは、下部クラッディング層とコア及び上部クラッディング層からなり、光信号をガイドして伝達する手動導波路と、光信号を生成する活性領域及び前記手動導波路の所定の領域の上部に在る上部クラッディング層に所定の形状にパターニングして形成された光偏向器とを備えた光偏向器が集積された光源と；前記光原からの光を平行光にする平行レンズと；前記平行レンズを通過した光を波長に応じて回折角度を異ならせる回折格子とを含むが、前記光偏向器に電流又は電場が印加されるにつれて、前記所定の形状の下部にあるコアの屈折率を変化させて進行光を偏向させることを特徴とする。  
好ましくは、回折格子で回折された特定の波長を垂直に反射させる反射鏡を備えている。
【発明の効果】
【００２４】
従来の偏向器構造は、光の方向を偏向させるために構造体の大きさが大きいか、或いは複雑な駆動回路等が必要であるか、或いは遅い応答速度などをもつか、或いはＩｎＰのような半導体物質との集積が難しいという問題点があった。
【００２５】
ところが、本発明では、半導体レーザと同一系の物質で形成されており、コアのバンドギャップが大きくて導波光の吸収が起こらない手動導波路の特定の形状部分に電流及び電場を印加すれば屈折率が変わる光偏向器をレーザダイオードと集積して具現すると、搬送者の寿命時間によって決定される可変速度が数ｎｓ以下に速くなり、高い信頼性を図ることができ、体積を小型化することができ、製作コストを大幅減少させることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、図面を参照して本発明の実施の態様について説明する。ところが、以下に説明する実施例は、本発明の一実施例に過ぎず、本発明は、これらの実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲から逸脱しない範囲内で様々な修正及び変形実施が可能である。
【００２７】
図３は、本発明の好適な実施例に係る偏向器が集積された手動導波路の平面図である。図３に示した光偏向器が集積された手動導波路は、クラッディング領域３０１、３０４、光導波路コア３０２及び光偏向器３０３を含んでなる。光導波路コア３０２に導波される光は光偏向器３０３を通過しながらその進行方向が変わる。
【００２８】
光偏向器３０３は、光導波路コア３０２の所定の領域の上部にある上部クラッディング層（図示せず）の一部が所定の形状にパターニングされて形成され、光偏向器３０３に印加される電流又は電場に応じて、所定の形状の下部にあるコア３０２の屈折率を変化させて進行光の方向を偏向させる。すなわち、上部クラッディング層としてｐ型クラッディング層を形成し、光導波路コアをｎ型に形成する場合、前記所定の形状をｐ／ｎ接合部の付近に形成することにより、電流又は電場の印加を容易にすることができる。この際、所定の形状は電極に連結されている。
【００２９】
一方、前記所定の形状は陽刻又は陰刻でパターニングすることができる。これは電流又は電場の印加領域が所定の形状の内部又は外部であることを意味する。光偏向器の所定の形状は入射角と出射角とがそれぞれ異なるように構成することが可能な形状に限定されず、様々な種類が可能であり、例えば三角形、梯形又は平行しない２辺を有するある形状の多辺形であることもできる。
【００３０】
光偏向器３０３を製作する他の方法では、上部クラッディング層の上部に電極を所定の形状にパターニングすることもできる。この場合、上部クラッディング層は、パターニングしていない状態でその上に形成される電極を所定の形状に形成して、所定の形状の下部にあるコアの屈折率が他の領域の屈折率と異なるように構成する。
【００３１】
一方、一つ以上の所定の形状がアレイを構成することができ、コア３０２の屈折率を変化させることにより、コア３０２を介して導波される光を偏向させる。例えば、所定の形状を三角形とする。すると、三角形状の光偏向器への入射角と三角形状の光偏向器からの出射角とがそれぞれ異なるように構成することにより、光偏向器内の下部にあるコアは、電場又は電流の印加に応じて、光偏向器の外部にあるコアとは異なる屈折率を持つことになる。このような構造により、光の進行方向が変化する。
【００３２】
光偏向器３０３を導波する光は、コア３０２の屈折率が手動導波路と同一の場合には、偏向方向が変わらずに出力され、光偏向器３０３に電流及び電場の電気信号を印加してコアの屈折率を変化させると、進行波の方向が変わる。出力方向の変化は偏向器の屈折率の変化、すなわち印加される電気信号の強度によって異なる。
【００３３】
図４は、三角形状の光偏向器を一例として、光の進行方向が変わる原理を説明するための概念図である。光導波路コア３０２上の上部クラッディング層にある三角形状によって電流の注入又は電場の印加ができるように、光偏向器を製造して電流を注入し又は電場を印加すると、三角形状部分のみ搬送者濃度の変化に応じて光導波路コアの屈折率が変化する。すなわち、進行光は屈折率の変化によって入射角と屈折角が変わる原理に基づいて任意の方向に屈折できる。
【００３４】
図５は、屈折率の変化が可能な光偏向器構造を半導体光源と集積して光の出力方向を偏向させることが可能な光源の構造を示す構造図である。図３に示した構造は、光偏向器が集積された手動導波路のみの構造を有する反面、図５に示した構造は、図３に示した偏向器が集積された手動導波路を半導体レーザと集積した構造である。
【００３５】
図５に示した光偏向器が集積された半導体レーザは、クラッディング領域４０１、４０４、手動導波路コア４０２、光偏向器４０３及び光信号を生成する光導波路の活性領域４０５を含んでなる。活性領域４０５で生成された光は手動導波路コア４０２に導波されて光偏向器４０３を通過して進行方向が変わる。すなわち、光偏向器４０３に入射した光は、光偏向器４０３のコア屈折率が手動導波路コア４０２の屈折率と同一の場合には、偏向方向が変わらずに出力され、光偏向器４０３のコア屈折率が手動導波路コア４０２の屈折率と異なる場合には、三角形状の屈折率の変化面に対して進行波の進行方向が変わる。この際、出力方向変化の大きさは光偏向器４０３のコア屈折率の変化量によって変わる。
【００３６】
このような形態の光偏向器で偏向方向の大きさを増加させるためには、十分な屈折率の変化が要求される。ところが、ＩｎＧａＡｓＰ系列媒質の物理的特性によってコアの屈折率の変化が最大〜０．０５程度に制限される。このような物理的限界を克服するための様々な方式を導入することができる。
【００３７】
図６及び図７は、三角形状の光偏向器をアレイ状に配列した図である。図６を参照すると、三角形状の光偏向器を反復的に配置する構造を有するアレイ５０３、５０４を形成する。このように三角形状の光偏向器を多段階に配列すると、光の偏向方向が大幅増加する効果を得る。従って、光偏向器に入射する光は、光偏向器に印加される電気信号による屈折率の変化を多段階にわたって経るので、広い偏向角を持つことができる。
【００３８】
図７は、三角形状の光偏向器を同一に配置して反復配列する図６の構造とは異なり、三角形状の光偏向器の配置を異にした図である。ところが、図６及び図７の配置構造に限定されず、様々な変形が可能なのは明らかなことである。同一形状のアレイ、同一形状それぞれが光信号の入射角を異ならせるように配列されたアレイ又はこれらの組合せであることができる。このような方式によって光の偏向方向を半導体レーザの端面に対して左右に調節可能である。
（コンピュータシミュレーション）
以下、光偏向器が集積された手動導波路において光偏向器のコア屈折率の変化による導波光の偏向角度の変化に対するコンピュータシミュレーション結果を説明する。図８及び図９は、偏向器の数と間隔による光偏向の程度を確認するためのコンピュータシミュレーションに用いられた平面図及び断面図である。
【００３９】
まず、コンピュータシミュレーションに使用された前記構造の主要変数を考察する。手動導波路リッジ（Ｒｉｄｇｅ）の幅は３μｍとし、光偏向器は６μｍの底辺と６μｍの高さを有する正三角形構造とし、三角形状間の間隔Ｄは３μｍとし、最後の三角形状から導波路の端面までの距離は３μｍとし、光源としてはリッジ（Ｒｉｄｇｅ）構造を採用した。リッジの高さは２μｍ、導波路の上側の蓋層は０．３μｍ、手動導波路のバンドギャップの波長は１．２４μｍとし、その厚さは０．４μｍとし、有効屈折率は３．２０８とした。
【００４０】
図１０乃至図１２は、それぞれ手動導波路に集積された三角形状の数、その間隔による光の出力方向変化、その時の光の分布をＢＰＭ（Ｂｅａｍ  Ｐｒｏｐａｇａｔｉｏｎ  Ｍｅｔｈｏｄ）コンピュータシミュレーションによる結果を示す図で、前記のような変数条件で三角形が０個から２個まで変化する場合に対する結果を示す。すなわち、図１０は光偏向器を使用していない場合、図１１は１つの三角形状の光偏向器を使用する場合、図１２は２つの三角形状の光偏向器を使用する場合の光出力方向の変化を示す図である。
【００４１】
図１３及び図１４は、それぞれ手動導波路に形成された三角形状の数、間隔による光の偏向角の変化を示す図である。手動導波路上に形成された三角形状（光偏向器）の数を０個から１０個まで変化させ、三角形状の間隔を０μｍから２０μｍまで変化させた時の光の偏向角をコンピュータシミュレーションした結果を示す。図１３を参照すると、光偏向器の数が０から１０に増加するにつれて、偏向される光の角度も略０°から８°程度に変化する。また、図１４を参照すると、偏向器間の距離が０μｍから２０μｍまで変化するにつれて、光偏向角は１２°から０°程度に変化する。
（製作例）
一方、光偏向器が含まれた手動導波路と半導体レーザを集積した素子を実際製作して電流印加による偏向角の程度を測定した。測定に使用された素子について考察すると、手動導波路上に形成された三角形状（光偏向器）の数は３つであり、各三角形は底辺と上辺が同一に２０μｍである直角二等辺三角形であり、三角形間の間隔は１０μｍとした。また、手動導波路のコア層は１．２４μｍのバンドギャップを有するＩｎＧａＡｓＰのバルク（Ｂｕｌｋ）で形成し、上部クラッディング層の厚さは０．３μｍとし、リッジの高さは１．８μｍとし、三角形状に上部クラッディング層が除去される構造で製作した。
【００４２】
図１５は、このように製作された前記素子に印加される電流に従って偏光される角の程度をグラフに示す図である。  
一方、このような光偏向器が含まれた手動導波路に集積された半導体レーザは、外部共振器型波長可変レーザの光源として応用されることができる。図１６は、本発明の偏光器が集積された半導体レーザを用いた応用方法の一つであるリットマン（Ｌｉｔｔｍａｎ）型波長可変器の構成例を示す図である。図１７は、本発明の偏向器が集積された半導体レーザを用いた応用方法の一つであるリトロー（Ｌｉｔｔｒｏｗ）型波長可変レーザの構成例を示す図である。
【００４３】
図１６を参照すると、リットマン方式の外部共振器型波長可変レーザは、光源が集積された光偏向器８０１、平行化レンズ８０３、回折格子８０５及び反射鏡８０４を含んでなる。偏向された光は平行化レンズ８０３を通過して回折格子８０５に入射し、反射鏡８０４に対して垂直に入射する光の波長は光偏向器８０１に電圧又は電流を加えることにより連続的に調節することができる。このような方式で外部共振器を形成することができる。平行化レンズ８０３は光源からの光を平行光に作る。平行化レンズ８０３を通過した光は回折格子８０５で波長に応じて回折角度が変わる。反射鏡８０４は回折格子８０５で回折された特定の波長を垂直に反射させる。
【００４４】
図１７を参照すると、リトロー方式の外部共振器型波長可変器は、光偏向器８０１、平行化レンズ８０３及び回折格子８０５を含んでなる。平行化レンズ８０３は光源からの光を平行光に作る。平行化レンズ８０３を通過した光は回折格子８０５で波長に応じて回折角度が変わる。この場合、入射する光の方向と回折される光の方向とが同一になる波長を偏向器への電気信号によって調節することにより、光の波長が連続的に変化可能な外部共振器を構成することができる。
【００４５】
このような方式によれば、回折格子と反射鏡などからなる外部共振器型光源から、回折格子又は反射鏡の機械的な回転なしで電気的な駆動によって高速波長可変を可能にする光源を実現することができる。
【００４６】
本発明の思想又は範囲から逸脱することなく本発明の様々な変更が可能である。従って、本発明に係る具現例に対する前記の説明は、例示の目的で提供されたもので、特許請求の範囲及びその等価物によって限定される本発明を制限するための目的で提供されたものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】特許文献１に開示された従来の技術に係る光偏向器の構成図である。
【図２】特許文献２に開示された従来の技術に係る偏向システムの構成図である。
【図３】本発明の好適な実施例に係る偏向器が集積された手動導波路の平面図である。
【図４】図３の構造で三角形状の光偏向器を一例として、光の進行方向が変わる原理を説明するための概念図である。
【図５】本発明の好適な実施例によって、屈折率の変化が可能な光偏向器の構造を半導体光源と集積して作った光偏向器が集積された半導体レーザの構成図である。
【図６】本発明の好適な実施例に係る三角形状の光偏向器アレイの一例を示す図である。
【図７】本発明の好適な実施例に係る三角形状の光偏向器アレイの一例を示す図である。
【図８】本発明の好適な実施例に使用される光偏向器の数と間隔による光の偏向程度を確認するためのコンピュータシミュレーションに用いられた平面図である。
【図９】本発明の好適な実施例に使用される光偏向器の数と間隔による光の偏向程度を確認するためのコンピュータシミュレーションに用いられた断面図である。
【図１０】本発明の好適な実施例によって、三角形状の光偏向器の屈折率変化媒質の数とその間隔による光の出力方向変化とその時の光の分布を電算コンピュータシミュレーションによって得られた結果をグラフ（その１）に示す図である。
【図１１】本発明の好適な実施例によって、三角形状の光偏向器の屈折率変化媒質の数とその間隔による光の出力方向変化とその時の光の分布を電算コンピュータシミュレーションによって得られた結果をグラフ（その２）に示す図である。
【図１２】本発明の好適な実施例によって、三角形状の光偏向器の屈折率変化媒質の数とその間隔による光の出力方向変化とその時の光の分布を電算コンピュータシミュレーションによって得られた結果をグラフ（その３）に示す図である。
【図１３】本発明の好適な実施例によって、三角形状の光偏向器の屈折率変化媒質の数による光の偏向角の変化をグラフに示す図である。
【図１４】本発明の好適な実施例によって、三角形状の光偏向器の屈折率変化媒質の間隔による光の偏向角の変化をグラフに示す図である。
【図１５】本発明の好適な実施例によって製作された素子に印加される電流に対して偏光される角の程度をグラフに示す図である。
【図１６】本発明の偏向器が集積された光素子を用いた応用方法の一つであるリトマン方式の波長可変レーザの構成例を示す図である。
【図１７】本発明の偏向器が集積された光素子を用いた応用方法の一つであるリトロー方式の波長可変レーザの構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
３０１，３０４  クラッディング領域
３０２  光導波路コア
３０３  光偏向器
４０１，４０４  クラッディング領域
４０２  光導波路コア
４０３  光偏向器
４０５  光導波路の活性領域
５０３，５０４  アレイ
８０１  光偏向器
８０３  平行化レンズ
８０４  反射鏡
８０５  回折格子
【図１】
2005031623.tif 000003
【図２】
2005031623.tif 000004
【図３】
2005031623.tif 000005
【図４】
2005031623.tif 000006
【図５】
2005031623.tif 000007
【図６】
2005031623.tif 000008
【図７】
2005031623.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１３】
2005031623.tif 000012
【図１４】
2005031623.tif 000013
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１０】
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【図１１】
2005031623.tif 000018
【図１２】
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