(57)【要約】【課題】  電極層の連続性を維持しつつ、高品質の電極層を形成することができる導電性ペースト及びそれを用いたセラミック電子部品の製造方法を提供する。【解決手段】  本発明に係る導電性ペースト２２は、金属粉末と複数種の誘電体粉末とを備えている。この誘電体粉末は、ＡＢＯ３（Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのいずれかであり、Ｂは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれかである。）で表される粉末である。複数種の誘電体粉末は、誘電体層１２の主成分の構成元素を全て含むように混合されており、そのため、ペースト２２の焼結開始温度は、誘電体層１２の焼結開始温度に近いものとなっている。またこのような粉末は、一般に、誘電体層１２の主成分の構成元素を全て含む単一種の誘電体粉末に比べて微粒子化が容易である。すなわち、ペースト２２は、微粒子化が容易な粉末を含むため、単一種の誘電体粉末を含むペーストに比べて、共材の微粉化を図ることが可能である。【選択図】  図３
2005101318.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｂａ、Ｃａ及びＳｒのうちの少なくとも２種類の元素とＴｉ、Ｚｒ及びＨｆのうちの少なくとも２種類の元素とを含む酸化物を主成分とする誘電体層と、電極層とが交互に積層されたセラミック電子部品の作製に適用される導電性ペーストであって、
金属粉末と、
前記誘電体層の主成分の構成元素を全て含むように混合された、複数種のＡＢＯ３（Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのいずれか１種類であり、Ｂは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれか１種類である。）で表される誘電体粉末とを備える、導電性ペースト。
【請求項２】
前記金属粉末はＮｉ粉末である、請求項１に記載の導電性ペースト。
【請求項３】
前記誘電体層の主成分はＢａｘＣａ１−ｘＴｉｙＺｒ１−ｙＯ３（０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）であり、前記誘電体粉末としてＢａＴｉＯ３粉末とＢａＺｒＯ３粉末とＣａＺｒＯ３粉末とを含む、請求項１又は２に記載の導電性ペースト。
【請求項４】
Ｂａ、Ｃａ及びＳｒのうちの少なくとも２種類の元素とＴｉ、Ｚｒ及びＨｆのうちの少なくとも２種類の元素とを含む酸化物を主成分とするセラミック成形体を準備するステップと、
金属粉末と、前記セラミック成形体の主成分の構成元素を全て含むように混合された、複数種のＡＢＯ３（Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのいずれか１種類であり、Ｂは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれか１種類である。）で表される誘電体粉末とを用いて導電性ペーストを作製するステップと、
前記導電性ペーストを前記セラミック成形体に塗布するステップと、
前記電極ペーストが塗布された前記セラミック成形体を複数枚重ねて、前記セラミック成形体と前記電極ペーストとが交互に積層された積層体を形成するステップと、
前記積層体を焼成するステップとを備える、導電性ペーストを用いたセラミック電子部品の製造方法。
【請求項５】
前記金属粉末はＮｉ粉末である、請求項４に記載の導電性ペーストを用いたセラミック電子部品の製造方法。
【請求項６】
前記セラミック成形体の主成分はＢａｘＣａ１−ｘＴｉｙＺｒ１−ｙＯ３（０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）であり、前記複数種の誘電体粉末は、ＢａＴｉＯ３粉末とＢａＺｒＯ３粉末とＣａＺｒＯ３粉末とである、請求項４又は５に記載の導電性ペーストを用いたセラミック電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性ペースト及びそれを用いたセラミック電子部品の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、積層セラミックコンデンサ等のセラミック電子部品を製造する方法としては、一般にシート方式と印刷方式とが知られている。これらの製造方法はいずれも、誘電体層を構成するセラミック誘電体の粉末からなる層と、内部電極層を構成する電極ペースト（導電性ペースト）からなる層とを交互に複数層重ねた積層体を形成し、この積層体を焼成した後、外部電極を設けるという方法によりセラミック電子部品を作製する。
【０００３】
この誘電体層の形成には、セラミック誘電体粉末と有機バインダ及び有機溶剤等とを混合してスラリー化した誘電体ペーストをドクターブレード法などの方法でシート状にし、適宜乾燥して作製されたセラミック成形体が用いられる。一方、内部電極層の形成に用いられる電極ペーストは、ニッケル等の金属粉末を有機バインダ及び有機溶剤等に分散させてペースト状にしたものである。
【０００４】
そして積層セラミックコンデンサは、通常、上述したような電極ペーストをシート状のセラミック成形体表面にスクリーン印刷し、電極ペーストに含まれる有機溶剤を乾燥させた後、この成形体を複数枚重ねて加圧成形して得られた積層体をチップ化及び焼成することにより求められる。
【０００５】
ところで、電極ペーストはセラミック成形体及び誘電体ペーストに比べて焼結開始温度が低いため、上記積層体を焼成のために加熱した場合には、セラミック成形体よりも先に電極ペーストの焼結が始まる。その結果、電極ペーストには過剰な焼成処理が施され、電極ペーストの金属成分が偏在した状態で凝集する。そのため焼成後の積層体においては、内部電極層に多くの不連続部分が生じ、電極層の連続性が著しく低下する。それに伴い、内部電極層同士の実質的な対向面積が減少し、焼成した積層体から作製される積層セラミックコンデンサの静電容量が低下してしまうという不具合があった。
【０００６】
そこで、誘電体ペーストに含まれるセラミック粉末と同種の粉末材料（共材）を電極ペーストに添加して、電極ペーストの焼結開始温度をセラミック成形体の焼結開始温度に近づけると共に、焼成時における電極ペーストの収縮率をセラミック成形体の収縮率に近づけることが一般におこなわれている。なお、Ｆ特性の積層セラミックコンデンサの誘電体の主成分はＢａ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｚｒであり、電極ペーストに添加される共材には、誘電体の上記４成分の全てを含むＢａＣａＴｉＺｒＯ３粉末が一般に採用されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−１１０２３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、前述した従来の電極ペーストには、次のような課題が存在している。すなわち、ＢａＣａＴｉＺｒＯ３粉末は沈殿法などの製法により作製されるが、いずれの方法により作製しても、その平均粒径を電極ペーストに用いるニッケル金属粉末ほどに小さくすることは困難である。そのため、このようなＢａＣａＴｉＺｒＯ３粉末を含む電極ペーストをセラミック成形体上に印刷した場合、電極ペーストが平坦になりにくい。このように平坦性の低い電極ペーストでは、焼成する際にクラック等の構造欠陥が発生しやすいため、このような電極ペーストを電極層の材料として用いた場合には、電極層の品質劣化を招いてしまうという問題があった。
【０００９】
また、電極ペーストに添加する共材の粒径が小さい程、電極ペーストの焼結開始温度を誘電体ペーストの焼結開始温度に近づけることができることが一般に知られている。そのため、ニッケル金属粉末よりも平均粒径の大きなＢａＣａＴｉＺｒＯ３粉末では、電極ペーストの焼結開始温度を効果的に誘電体ペーストの焼結開始温度に近づけることができない。このような電極ペーストを積層セラミックコンデンサの作製に用いた場合には、上述したように電極層の連続性が著しく低下する。そのため、コンデンサの静電容量が低くなってしまうという問題があった。
【００１０】
なお上記特許文献１に、ＡＢＯ３（Ａは、Ｂａ、ＳｒおよびＣａのうちの少なくとも１種であり、Ｂは、Ｔｉ、ＺｒおよびＨｆのうちの少なくとも一種である。）を主成分とするセラミック粉末を含有する導電性ペーストについての記載があるが、Ｆ特性の積層セラミックコンデンサのように、Ｂａ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｚｒの４元素を主成分として含む誘電体層を有するセラミック電子部品については全く言及されていない。
【００１１】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、電極層の連続性を維持しつつ、高品質の電極層を形成することができる導電性ペースト及びそれを用いたセラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る導電性ペーストは、Ｂａ、Ｃａ及びＳｒのうちの少なくとも２種類の元素とＴｉ、Ｚｒ及びＨｆのうちの少なくとも２種類の元素とを含む酸化物を主成分とする誘電体層と、電極層とが交互に積層されたセラミック電子部品の作製に適用される導電性ペーストであって、金属粉末と、誘電体層の主成分の構成元素を全て含むように混合された、複数種のＡＢＯ３（Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのいずれか１種類であり、Ｂは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれか１種類である。）で表される誘電体粉末とを備えることを特徴とする。
【００１３】
この導電性ペーストは、金属粉末と複数種の誘電体粉末とを備えている。この誘電体粉末は、ＡＢＯ３（Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのいずれか１種類であり、Ｂは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれか１種類である。）で表される粉末である。複数種の誘電体粉末は、誘電体層の主成分の構成元素を全て含むように混合されており、そのため、導電性ペーストの焼結開始温度は、誘電体層の焼結開始温度に近いものとなっている。またこのような粉末は、一般に、誘電体層の主成分の構成元素を全て含む単一種の誘電体粉末に比べて微粒子化が容易である。すなわち、本発明に係る導電性ペーストは、微粒子化が容易な粉末を共材として含むため、単一種の誘電体粉末を共材として含む従来の導電性ペーストに比べて、共材の微粉化を図ることが可能である。それにより、導電性ペーストの焼結開始温度は誘電体層の焼結開始温度と近いものとなると共に、ペースト印刷時における平坦性が向上する。
【００１４】
従って、この導電性ペーストによれば、電極層の連続性が維持され、且つ、焼成する際におけるクラック等の構造欠陥の発生が有意に抑制されて高品質の電極層が求められる。
【００１５】
また、金属粉末はＮｉ粉末であることが好ましい。
【００１６】
また、誘電体層の主成分はＢａｘＣａ１−ｘＴｉｙＺｒ１−ｙＯ３（０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）であり、誘電体粉末としてＢａＴｉＯ３粉末とＢａＺｒＯ３粉末とＣａＺｒＯ３粉末とを含むことが好ましい。この場合、Ｆ特性のセラミックコンデンサ等のように、誘電体層の主成分がＢａＣａＴｉＺｒＯ３である電子部品の作製に、本発明に係る導電性ペーストを用いることができる。なお誘電体粉末として、上記３種の粉末に加えてＣａＴｉＯ３粉末を適用することができ、付加されたＣａＴｉＯ３粉末の添加量を調整することで、より自在に電極ペースト中のＢａ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｚｒ及びＯの比率を調整することができる。
【００１７】
本発明に係る導電性ペーストを用いたセラミック電子部品の製造方法は、Ｂａ、Ｃａ及びＳｒのうちの少なくとも２種類の元素とＴｉ、Ｚｒ及びＨｆのうちの少なくとも２種類の元素とを含む酸化物を主成分とするセラミック成形体を準備するステップと、金属粉末と、セラミック成形体の主成分の構成元素を全て含むように混合された、複数種のＡＢＯ３（Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのいずれか１種類であり、Ｂは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれか１種類である。）で表される誘電体粉末とを用いて導電性ペーストを作製するステップと、導電性ペーストをセラミック成形体に塗布するステップと、電極ペーストが塗布されたセラミック成形体を複数枚重ねて、セラミック成形体と電極ペーストとが交互に積層された積層体を形成するステップと、積層体を焼成するステップとを備えることを特徴とする。
【００１８】
この導電性ペーストを用いたセラミック電子部品の製造方法においては、複数種の誘電体粉末と金属粉末とを用いて導電性ペーストが作製される。この誘電体粉末は、ＡＢＯ３（Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのいずれか１種類であり、Ｂは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれか１種類である。）で表される粉末である。複数種の誘電体粉末は、誘電体層の主成分の構成元素を全て含むように混合されており、そのため、導電性ペーストの焼結開始温度は、誘電体層の焼結開始温度に近いものとなっている。またこのような粉末は、一般に、誘電体層の主成分の構成元素を全て含む単一種の誘電体粉末に比べて微粒子化が容易である。すなわち、この導電性ペーストは、微粒子化が容易な粉末を共材として含むため、単一種の誘電体粉末を共材として含む従来の導電性ペーストに比べて、共材の微粉化を図ることが可能である。それにより、導電性ペーストの焼結開始温度は誘電体層の焼結開始温度と近いものとなると共に、ペースト印刷時における平坦性が向上する。
【００１９】
従って、この導電性ペーストを用いたセラミック電子部品の製造方法においては、電極層の連続性が維持され、且つ、導電性ペーストを焼成する際におけるクラック等の構造欠陥の発生が有意に抑制されて高品質の電極層が求められる。
【００２０】
また、金属粉末はＮｉ粉末であることが好ましい。
【００２１】
また、セラミック成形体の主成分はＢａｘＣａ１−ｘＴｉｙＺｒ１−ｙＯ３（０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）であり、複数種の誘電体粉末は、ＢａＴｉＯ３粉末とＢａＺｒＯ３粉末とＣａＺｒＯ３粉末とであることが好ましい。この場合、Ｆ特性のセラミックコンデンサ等のように、誘電体層の主成分がＢａＣａＴｉＺｒＯ３である電子部品の作製に、本発明に係る製造方法を適用することができる。なお誘電体粉末として、上記３種の粉末に加えてＣａＴｉＯ３粉末を適用することができ、付加されたＣａＴｉＯ３粉末の添加量を調整することで、より自在に電極ペースト中のＢａ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｚｒ及びＯの比率を調整することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、電極層の連続性を維持しつつ、高品質の電極層を形成することができる導電性ペースト及びそれを用いたセラミック電子部品の製造方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照して本発明に係る導電性ペースト及びそれを用いたセラミック電子部品の製造方法を実施するにあたり最良と思われる形態について詳細に説明する。なお、同一又は同等の要素については同一の符号を付し、説明が重複する場合にはその説明を省略する。
【００２４】
図１に、本発明の実施形態に係るセラミックコンデンサの概略断面図を示す。図１に示すように、セラミック電子部品の一種であるＦ特性のセラミックコンデンサ１０は、最外層である２層の表層１１と、表層１１に挟まれた約３００層の誘電体層１２と、上下に配置された誘電体層１２のそれぞれの間に介在する内部電極層１４とを有する六面体形状のコンデンサ素体１６を備えている。すなわち、コンデンサ素体１６は、約６００層の積層構造を有しており、誘電体層１２と内部電極層１４とが交互に積層されている。また、コンデンサ素体１６の端面のうち、コンデンサ素体１６の厚さ方向に延在し、互いに対向する一対の端面１６ａ，１６ｂそれぞれには、その端面１６ａ，１６ｂの全領域を覆うように一対の外部電極１８，１８が設けられている。
【００２５】
さらに、上下に配置された内部電極層１４同士は、誘電体層１２により互いに電気的に絶縁されており、また、互いに異なる一方の外部電極１８に接続されている。従って、一対の外部電極１８，１８間に所定の電圧を印加した場合には、上下で対向する内部電極層１４の間には電荷が蓄えられる。なお、このセラミックコンデンサ１０の静電容量は、上下で対向する内部電極層１４の対向する面積の大きさに比例する。
【００２６】
表層１１及び誘電体層１２は、ともにＢａｘＣａ１−ｘＴｉｙＺｒ１−ｙＯ３（０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）を主成分とする層であり、表層１１の厚さはおよそ５０μｍ、各誘電体層１２の厚さはおよそ１〜４μｍである。これら表層１１及び誘電体層１２は、後述するグリーンシート（セラミック成形体）を焼成して形成される。また内部電極層１４は、Ｎｉを主成分として含有する金属層であり、その厚さはおよそ１μｍである。各外部電極１８は、Ｃｕ、Ｎｉ及びＳｎで構成されている。
【００２７】
以下、上述したセラミックコンデンサ１０を作製する方法について、図２及び図３を参照しつつ説明する。ここで、図２はグリーンシートの印刷パターンを示した部分拡大図であり、図３はセラミックコンデンサを作製する手順を示した図である。
【００２８】
セラミックコンデンサ１０を作製するにあたり、図２に示すように、まずＢａｘＣａ１−ｘＴｉｙＺｒ１−ｙＯ３（０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）を主成分とする誘電体グリーンシート２０を準備する。このグリーンシート２０は、ＢａｘＣａ１−ｘＴｉｙＺｒ１−ｙＯ３粉末と有機バインダとを混合してスラリー化した誘電体ペーストをドクターブレード法でＰＥＴフィルムに塗布して乾燥し、シート状にしたものである。また、グリーンシート２０よりも厚さの厚い、表層１１となるグリーンシート２１を２枚準備する。
【００２９】
そして、グリーンシート２０の表面２０ａに、スクリーン印刷法により所定パターンの電極ペースト２２を塗布して乾燥させる。すなわち、グリーンシート表面２０ａの、１個のコンデンサに対応する矩形領域２４のうち３辺の縁領域以外の領域に、電極ペースト２２が塗布される（図２参照）。
【００３０】
この電極ペースト２２は、ニッケル粉末（金属粉末）に、共材、有機バインダ、分散剤及び有機溶剤等を混合すると共に、ボールミル又はロールミル等で分散してペースト状にしたものである。共材は、ＢａＴｉＯ３粉末を主成分とし、このＢａＴｉＯ３粉末にＢａＺｒＯ３粉末、ＣａＺｒＯ３粉末が所定量だけ混合されている。すなわち、電極ペースト２２には、誘電体層１２（及びグリーンシート２０）の主成分であるＢａｘＣａ１−ｘＴｉｙＺｒ１−ｙＯ３を構成する元素であるＢａ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｚｒ及びＯの全てが含まれている。
【００３１】
有機バインダには、公知のものを利用可能であり、例えばセルロース系樹脂、エポキシ樹脂、アリール樹脂、アクリル樹脂、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、アルキド樹脂、ロジンエステル等のバインダを用いることができる。また有機溶剤も、公知のものを利用可能であり、例えばブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、テレピン油、α−テレビネオール、エチルセロソルブ、ブチルフタレート等の溶剤を用いることができる。
【００３２】
そして、以上のような電極ペースト２２が塗布されたグリーンシート２０を、電極ペースト２２が上になるようにしてグリーンシート２１上に積層する（図３（ａ）参照）。また、同様の製法で作製された約３００枚のグリーンシート２０を、電極ペースト２２の位置が交互に変わるように順次積層する（図３（ｂ）参照）。そして、積層されたグリーンシート２０上に何も塗布されていないグリーンシート２１を被せると共に、積層方向から押圧して、隣り合うグリーンシート２１、グリーンシート２０及び電極ペースト２２を互いに圧着させる。このようにして、グリーンシート２０と電極ペースト２２とが交互に積層された積層体２６が作製される。
【００３３】
そしてこの積層体２６を、１個のコンデンサに対応する矩形領域２４ごとに切断してチップ化する（図３（ｃ）参照）。その後、チップ化した積層体２６を所定の温度条件で焼成することにより、グリーンシート２１、グリーンシート２０及び電極ペースト２２はそれぞれ上述した表層１１、誘電体層１２及び内部電極層１４になり、積層体２６は誘電体層１２と内部電極層１４とが交互に積層されたコンデンサ素体１６になる。そして最後に、コンデンサ素体１６の端面のうち、積層方向に延在し互いに対向する一対の端面１６ａ，１６ｂを覆うように、公知の方法で外部電極１８を形成して、セラミックコンデンサ１０が完成する（図３（ｄ）参照）。
【００３４】
以上のようにして作製されたセラミックコンデンサ１０について説明する。
【００３５】
セラミックコンデンサ１０は、上述したように、グリーンシート２０の表面２０ａに電極ペースト２２を塗布して焼成することにより形成される。この電極ペースト２２には、主成分としてニッケル粉末が含まれており、且つ共材としてＢａＴｉＯ３粉末、ＢａＺｒＯ３粉末、ＣａＺｒＯ３粉末が添加されている。
【００３６】
ここで、一般的に利用される沈殿法によりＢａＣａＴｉＺｒＯ３粉末を作製した場合には、平均粒径が０．６〜１．０μｍの粉末が得られる。一方、沈殿法によりＢａＴｉＯ３粉末、ＢａＺｒＯ３粉末、ＣａＺｒＯ３粉末及びＣａＴｉＯ３粉末を作製した場合には、それぞれ平均粒径が０．１μｍ、０．３μｍ、０．３μｍ及び０．３μｍの粉末を得ることができる。すなわち、本実施形態においては、従来のセラミックコンデンサの製造方法で用いられるＢａＣａＴｉＺｒＯ３粉末より粒径の小さい誘電体粉末が共材として用いられる。通常、電極ペースト２２には、平均粒径が０．４μｍ程度のニッケル粉末が用いられるため、本実施形態において電極ペースト２２に含まれる共材の平均粒径は、電極ペースト２２に含まれるニッケル粉末の平均粒径よりも大きい。
【００３７】
粒径の小さいＢａＴｉＯ３粉末等の共材を電極ペースト２２に添加した場合には、粒径の大きなＢａＣａＴｉＺｒＯ３を添加した場合に比べて、電極ペースト２２の焼結開始温度をグリーンシート２０，２１の焼結開始温度により近づけることができる。従って、粒径の小さい共材を添加した電極ペースト２２を用いて作製したセラミックコンデンサ１０は、電極層１４における連続性の低下が有意に抑止されている。そのため、このセラミックコンデンサ１０は、従来技術に係る電極ペーストを用いて作製したセラミックコンデンサに比べて、静電容量の低下が有意に抑止されている。
【００３８】
また、電極ペースト２２に添加する共材の粒径が小さい程、グリーンシート２０上へ電極ペースト２２を均一に塗布することができる。すなわち、共材の粒径が小さい程、電極ペースト２２を焼成した電極層１４内に、クラック等の構造欠陥が発生する事態を抑制することができる。従って、従来技術に係る共材であるＢａＣａＴｉＺｒＯ３粉末に比べて、粒径の小さい共材を電極ペースト２２に添加する本実施形態においては、電極層１４内における構造欠陥の発生が有意に抑制されている。
【００３９】
また導電性ペースト２２には、ＢａＴｉＯ３粉末とＢａＺｒＯ３粉末とＣａＺｒＯ３粉末とが混合された粉末が共材として添加されており、これらの誘電体粉末が混合された共材は誘電体層１２（又はグリーンシート２０）の主成分であるＢａＣａＴｉＺｒＯ３の構成元素を全て含んでいる。このように、誘電体層１２の主成分の構成元素（Ｂａ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｏ）を全て含む共材を電極ペースト２２に添加することで、導電性ペースト２２の焼結開始温度が誘電体層１２（グリーンシート２０）の焼結開始温度に近づく。それにより、電極層１４における層の連続性低下が有意に抑止され、セラミックコンデンサ１０の静電容量の低下が有意に抑止される。
【００４０】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、セラミック電子部品は、セラミックコンデンサに限定されず、例えば、圧電チップ部品やチップバリスタ部品などの種々の電子部品であってもよい。また、電極ペーストに含まれる誘電体粉末は、ＢａＴｉＯ３粉末、ＢａＺｒＯ３粉末、ＣａＺｒＯ３粉末等に限定されず、ＡＢＯ３（Ａは、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒのいずれか１種類であり、Ｂは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれか１種類である。）で表される粉末から、適宜選択可能である。さらに本発明は、誘電体層の主成分がＢａＣａＴｉＺｒＯ３である場合に限定されず、Ｂａ、Ｃａ及びＳｒのうちの少なくとも２種類の元素とＴｉ、Ｚｒ及びＨｆのうちの少なくとも２種類の元素とを含む酸化物を主成分とするその他の誘電体層においても適用可能である。
【００４１】
なお誘電体層の主成分がＢａＣａＴｉＺｒＯ３である場合、ＢａＴｉＯ３粉末とＢａＺｒＯ３粉末とＣａＺｒＯ３粉末に加えて、ＣａＴｉＯ３粉末が含まれる電極ペーストを用いても良い。この場合、付加されたＣａＴｉＯ３粉末の添加量を調整することで、より自在に電極ペースト中のＢａ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｚｒ及びＯの比率を調整することができる。そのため、その電極ペースト中のＢａ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｚｒ及びＯの比率が、より高い精度で誘電体層の主成分ＢａｘＣａ１−ｘＴｉｙＺｒ１−ｙＯ３の組成比に近づく。
【実施例】
【００４２】
以下、実施例により本発明の内容を具体的に説明する。
【００４３】
先ず、本実施例において用いる電極ペーストについて説明する。本実施例において用いる電極ペーストは、平均粒径０．４μｍのニッケル粉末に、共材、有機バインダ、分散剤及び有機溶剤等を混合すると共に、ボールミル又はロールミル等で分散してペースト状にしたものである。そして、電極ペーストに添加する共材の種類を変えて、７種類の試料を用意した。なお、ペーストを構成する各材料の重量比は、ニッケル粉末を１００とした場合、共材が２０、有機バインダが４、分散剤が０．５、有機溶剤が７０である。
【００４４】
ここで、試料ＡはＢａ０．９５Ｃａ０．０５Ｔｉ０．８Ｚｒ０．２Ｏ３粉末を共材として含む電極ペースト、試料ＢはＢａＴｉＯ３粉末を共材として含む電極ペースト、試料Ｃ〜試料ＦはＢａＴｉＯ３粉末とＢａＺｒＯ３粉末とＣａＺｒＯ３粉末とが混合された粉末を共材として含む電極ペーストである。なお試料Ｃ〜試料Ｆは、３種類の粉末の各平均粒径及び混合比を変えて作製した試料であり、各試料は共材の平均粒径が異なっている。
【００４５】
上述した各ペースト試料のコンデンサの電極層としての特性を評価するため、各試料を用いてセラミックコンデンサを以下のようにして作製した。すなわち、各ペースト試料をスクリーン印刷法によりＢａ０．９５Ｃａ０．０５Ｔｉ０．８Ｚｒ０．２Ｏ３を主成分とするグリーンシート表面に塗布した。スクリーンパターンは内部電極層に対応したパターンである。そして、電極ペーストが塗布して、十分に乾燥させたグリーンシートを２００枚準備した。なお、乾燥後のグリーンシートの厚さは６μｍであり、乾燥後の電極ペーストの厚さは１．２μｍである。そして、このグリーンシートを何も塗布されていないグリーンシート上に順次積層し、最後に何も塗布されていないグリーンシートを被せて積層体を作製した。さらにこの積層体を、その積層方向から１５００ｋｇ／ｃｍ２の圧力で圧着し、所定サイズに切断してチップ化した。なお、チップ表面の寸法は、２．４ｍｍ×１．４ｍｍである。
【００４６】
そして、チップ化した積層体を、大気雰囲気中の炉内で２００℃／ｈで４００℃まで昇温し、この温度で１時間保持した。それにより、グリーンシート及び電極ペーストの有機成分が燃焼除去される。その後、炉内の雰囲気をＨ２（３ｖｏｌ％）とＮ２（９７ｖｏｌ％）との混合ガス雰囲気中に変えて、２００℃／ｈで１２９０℃まで昇温し、この温度で２時間保持した。そして、２００℃／ｈで２０℃まで降温し、積層体の焼成処理が完了した。
【００４７】
この焼成したチップの端面のうち、内部電極層が露出した一対の対向面に、Ｃｕ粉末、ガラスフリット及びビヒクルで構成される導電性ペーストを塗布すると共に、乾燥させた。乾燥後、６００〜８００℃、Ｎ２雰囲気で焼き付けをおこない、さらにＮｉめっき処理及びＳｎめっき処理を施して、外部電極を形成した。
【００４８】
以上に示した試料Ａ〜試料Ｆについて、構造欠陥発生率、ショート不良率と耐圧不良率との合計、及び誘電損失を求めた。その結果を図４に示す。図４は、試料Ａ〜試料Ｆの評価結果を示した表である。なお、構造欠陥発生率の合否基準はは５００ｐｐｍ、ショート不良率と耐圧不良率との合計の合否基準は１％、誘電損失（ｔａｎδ）の合否基準は５％とした。また、ショート不良の良／不良は、電圧２Ｖで抵抗値が１０５Ω以下か否かで判断し、耐電圧不良は電圧１５０Ｖで抵抗率が１０６Ω以下であるか否かで判断した。さらに、誘電損失は室温２５℃において１ｋＨｚ−１Ｖで測定した。
【００４９】
図４から明らかなように、共材がＢａＣａＴｉＺｒＯ３であり共材平均粒径の大きい試料Ａにおいては、構造欠陥の発生率が高くなっている。また、共材（ＢａＴｉＯ３）が誘電体層の主成分（ＢａＣａＴｉＺｒＯ３）の構成元素の一部だけ含む試料Ｂでは、誘電体層の主成分の構成元素と電極ペーストに含まれる誘電体粉末の構成元素とが大きく異なるため「誘電損失」が増大している。一方、ＢａＴｉＯ３粉末とＢａＺｒＯ３粉末とＣａＺｒＯ３粉末とが混合された粉末を共材として含む試料Ｃ〜試料Ｆは、「構造欠陥発生率」、「ショート不良率と耐圧不良率との合計」及び「誘電損失」のいずれも良好な特性を示した。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施形態に係るセラミックコンデンサの概略断面図である。
【図２】グリーンシートの印刷パターンを示した部分拡大図である。
【図３】セラミックコンデンサを作製する手順を示した図である。
【図４】試料Ａ〜試料Ｆの評価結果を示した表である。
【符号の説明】
【００５１】
１０…セラミックコンデンサ、１１…表層、１２…誘電体層、１４…内部電極層、１８…外部電極、２０，２１…グリーンシート、２０ａ…表面、２２…電極ペースト、２６…積層体。
【図１】
2005101318.tif 000003
【図２】
2005101318.tif 000004
【図３】
2005101318.tif 000005
【図４】
2005101318.tif 000006