(57)【要約】【課題】高周波対応に好適な記録ヘッドを提供するため、バックコンタクト層の発熱による熱膨張量を小さくし、且つ、コイル抵抗を小さくして抵抗に起因する発熱量を低減する。【解決手段】バックコンタクト層の平面構造の形状においてその浮上面側の面の中央部が浮上面に近い弓形に凸形状に湾曲しているとともに、そのバックコンタクト層分の平面構造の浮上面と反対側の奥の部分には中央部が浮上面に近い弓形に凹形状に湾曲した構造とした。これによりバックコンタクト層の記録電流による鉄損起因の発熱による熱膨張を小さくすることが出来、ヘッドの浮上面部のせり出し現象を低減することができる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に下部磁気コア、絶縁膜、上部磁気コア、コイルが形成された薄膜磁気ヘッドであって、
下部磁気コアと上部磁気コアを接続するバックコンタクト層を有し、
そのバックコンタクト層の上方からみた平面形状の浮上面側の面に凸形状の曲線を有し、浮上面と反対側の面に凹形状の曲線を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項２】
基板上に下部磁気コア、絶縁膜、上部磁気コア、コイルが形成された薄膜磁気ヘッドであって、
下部磁気コアと上部磁気コアを接続するバックコンタクト層を有し、
そのバックコンタクト層の上方からみた平面形状の浮上面側の面に凸形状の曲線を有し、浮上面と反対側の面に凹形状の曲線を有し、
その上部磁気コアの上方からみた平面形状の、浮上面から離れた側の端部に凹形状の曲面を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記バックコンタクト層の平面形状の全体が曲線で構成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記バックコンタクト層の平面形状の一部又は全体が直線で構成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項５】
請求項２に記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記上部磁気コアの平面形状における前記端部が曲線で構成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項６】
請求項２に記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記上部磁気コアの平面形状における前記端部が直線部分を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記上部磁気コアと前記バックコンタクト層が、前記バックコンタクト層の一部により接続され、前記上部磁気コアの浮上面から離れた側の端面が、前記バックコンタクト層の浮上面から離れた側の面よりも浮上面に近い位置に形成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項８】
基板上に下部磁気コア、絶縁膜、第１上部磁気コア、第２上部磁気コア、コイルが形成された薄膜磁気ヘッドであって、
下部磁気コアと第２上部磁気コアを接続する第１バックコンタクト層及び第２バックコンタクト層を有し、
第１バックコンタクト層及び第２バックコンタクト層の上方からみたそれぞれの平面形状で、その浮上面側の面に各々凸形状の曲線を有し、浮上面と反対側の面に各々凹形状の曲線を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項９】
請求項８に記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記第１及び／又は第２バックコンタクト層の平面形状の一部又は全体が直線で構成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項１０】
基板上に、補助磁極、絶縁膜、主磁極、コイルが形成された垂直磁気記録方式の薄膜磁気ヘッドであって、
補助磁極と主磁極を接続するバックコンタクト層を有し、
そのバックコンタクト層の上方からみた平面形状の浮上面側の面に凸形状の曲線を有し、浮上面と反対側の面に凹形状の曲線を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項１１】
基板上に、補助磁極、絶縁膜、主磁極、コイルが形成された垂直磁気記録方式の薄膜磁気ヘッドであって、
補助磁極と主磁極を接続するバックコンタクト層を有し、
そのバックコンタクト層の上方からみた平面形状の浮上面側の面に凸形状の曲線を有し、浮上面と反対側の面に凹形状の曲線を有し、
その主磁極の上方からみた平面形状の、浮上面から離れた側の端部に凹形状の曲面を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項１２】
請求項１０又は１１に記載の垂直磁気記録方式の薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記バックコンタクト層の平面形状の全体が曲線で構成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項１３】
請求項１０又は１１に記載の垂直磁気記録方式の薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記バックコンタクト層の平面形状の一部又は全体が直線で構成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項１４】
請求項１１に記載の垂直磁気記録方式の薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記主磁極の平面形状における前記端部が曲線で構成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項１５】
請求項１１に記載の垂直磁気記録方式の薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記主磁極の平面形状における前記端部が直線部分を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は薄膜磁気ヘッドに係り、特に高周波磁気記録に好適な薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、磁気ディスク装置に使用されている薄膜磁気ヘッドは記録部分と再生部分とが分離し組み合わせた記録再生分離型ヘッドが用いられている。
【０００３】
記録再生分離型磁気ヘッドは、現在主に使用されている面内磁気記録方式のみならず、垂直磁気記録方式にも採用される磁気ヘッドである。
【０００４】
このうち記録部分の磁気ヘッド、すなわち、記録ヘッドは、一般に基板上に形成された少なくとも下部磁気コア、コイル、上部磁気コアにより構成される。
【０００５】
下部磁気コアと上部磁気コアはバックコンタクト層で接続され、コイルがバックコンタクト層を周回する構造となっている。
【０００６】
従来より、上記に示す構造の磁気ヘッドが採用されてきたが、その構造としてバックコンタクト層の構造については、いろいろな構造が提案されてきている。特にバックコンタクト層の平面形状についての従来例としては、たとえば、特許文献１には概楕円形状のバックコンタクト層の平面形状が示されている。また、特許文献２には、長方形形状のバックコンタクト層の平面形状が示されている。また、特許文献３には楕円を半割りにした形状のバックコンタクト層の平面形状が示されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平５−３６０２８号公報
【特許文献２】
特開平５−１５９２２４号公報
【特許文献３】
特開平５−２９８６２４号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
バックコンタクト層の形状に関しては、以上のような形状がみられているが、高周波磁気記録に適するように、高密度にコイルを配置したり、磁気コアすなわち磁路の断面積を小さくするなどを目的とした構造については考慮されていない。
【０００９】
さらに、本発明の薄膜磁気ヘッドのように、上部磁気コアと下部磁気コアとの間をバックコンタクト層で接続する構造を有する薄膜磁気ヘッドの構造に関するものに付いての記載も無く、コイル埋め込み型の記録ヘッドに適したバックコンタクト層の構造が具体化されていない。
【００１０】
本発明の目的は、高周波記録に好適な記録ヘッドの構造を実現するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
高周波記録に好適な記録ヘッドの構造を実現するために、下部磁気コアと上部磁気コアのバックコンタクト層部分に、下部磁気コアと上部磁気コアとは別にバックコンタクト層を設けたことを特徴とする構造としたものである。
【００１２】
また、この記録ヘッドの平面構造（薄膜形成方向の上方からみた平面形状）として、下部磁気コアと上部磁気コアを接続するバックコンタクト層の平面構造の形状を、その浮上面側の面の中央部がヘッド浮上面に近い弓形に凸形状に湾曲させてなるとともに、そのバックコンタクト層の平面構造の浮上面と反対側の面には中央部が浮上面に近い弓形に凹形状に湾曲させてなる形状とする。
【００１３】
また、バックコンタクト層の平面形状の面積（薄膜形成方向の上方からみた平面形状の面積）は上部磁気コア及び下部磁気コアとともに構成する磁気ヘッドの磁路の断面積に当るが、その断面積を上部磁気コア、あるいは下部磁気コアの断面積のうち最大の断面積に対して２倍以内の面積とすることが望ましい。
【００１４】
また、この記録ヘッドを用いて記録する場合には以下のような現象が生じる。
【００１５】
記録ヘッドのコイルに電流を流すと、電磁誘導作用によって、上部磁気コア、下部磁気コアはもちろんであるが、バックコンタクト層に関しても、コイルに流す記録電流から誘起された磁束が流れる。
【００１６】
また、記録動作をするためには、コイルに流す電流を反転させることが必要である。電流の反転によって、磁束が反転するので、バックコンタクト層にも鉄損が生じる。特に、このバックコンタクト層はコイルに流した電流により発生したほぼすべての磁束が流れるので、それだけ多くの鉄損を生じるものである。
【００１７】
ここで発生した鉄損は、ジュール熱に変換されるので、バックコンタクト層は発熱する。この発熱により温度が上昇すると、磁性膜で作られているバックコンタクト層は熱膨張する。バックコンタクト層の熱膨張が起こると、記録ヘッド構造体も膨張することになる。
【００１８】
そこで、次に、このバックコンタクト層の熱膨張現象について考察する。
【００１９】
熱膨張の大きさは、一般にその金属膜の長さに依存する。記録ヘッドの平面形状で考えたとき、中心部が幅広い従来のバックコンタクト層の形状では、一番幅の広い中心部分の熱膨張が大きくなる。そのために、バックコンタクト層が膨張すると、ヘッドの内部から外側に対して応力が加わり、ヘッド浮上面の磁気ヘッド素子先端部が浮上面側に押し出される結果となる。最新の磁気ヘッドは磁気ディスク上で記録再生する時のヘッド浮上量が非常に小さくなっている。そのため、このバックコンタクト層部分の熱膨張による磁気ヘッド素子先端部の浮上面への押しだし現象を生じると、安定した低浮上量を確保することが難しくなるという問題がある。
【００２０】
そこで、バックコンタクト層の熱膨張による磁気ヘッド先端部の浮上面側への飛び出し現象を極力低減することが必要となった。
【００２１】
従来のように、バックコンタクト層の平面構造について、中央部分の奥行き方向の幅がその左右部分に比較して広い形状をしていると、バックコンタクト層部分の中央部分が一番大きく熱膨張するため、磁気ヘッドの浮上面においても素子先端部分である中央部分が浮上面に突出しやすくなる。本発明のようにバックコンタクト層の平面構造とすることでこの突出量を小さくすることによって、熱膨張による素子のせり出しを防止することが出来る。また、熱膨張による応力を浮上面の素子部に集中させること無く分散することによって素子先端部のせり出し量を低減することで低浮上記録を可能とするものである。
【００２２】
このために、本発明ではバックコンタクト層に関して、その平面形状が中央部分の断面積（又は浮上面側の面とその反対側の面との距離）を、その左右の部分とほぼ同等としているとともに、中央部分がヘッド浮上面側に一番近く、左右部分は浮上面側より離れている構造とするものである。この構造は、たとえば、バックコンタクト層にて下部磁気コアと上部磁気コアが接続された構造であって、そのバックコンタクト層の平面形状において、その浮上面側の面が滑らかな曲線を有し、弓形に且つ凸形状に湾曲し、且つ、そのバックコンタクト層の平面構造の浮上面と反対側の奥の部分が滑らかな曲線を有し、弓形に且つ凹形状に湾曲している構造とすることによって、実現したものである。
【００２３】
また、バックコンタクト層の平面形状をこの構造とすることによって、バックコンタクト層を周回するコイルの周回幅を小さくすることを実現することが出来る。コイルの周回幅は小さくすることによってコイルの抵抗は小さくすることができ、これによって記録動作時にコイル抵抗に起因して発生するジュール熱を低減することができ、したがって温度上昇が低減されることによりこれもヘッド浮上面の素子部分のせり出しを低減することができる。
【００２４】
以上のように、バックコンタクト層にて下部磁気コアと上部磁気コアが接続された構造であって、そのバックコンタクト層の平面形状において、中央部分の断面積が、その左右の部分とほぼ同等としているとともに、中央部分がヘッド浮上面側に一番近く、左右部分は浮上面側より離れている構造とすることで、コイルの低抵抗化によるジュール熱の発熱低減、及び、バックコンタクト層からの鉄損に起因する発熱による熱膨張を低減し、浮上面の素子先端部分のせり出しを低減したものである。
【００２５】
さらに、その浮上面側の面が滑らかな曲線を有し、弓形に且つ凸形状に湾曲し、且つ、そのバックコンタクト層の平面構造の浮上面と反対側の奥の部分が滑らかな曲線を有し、弓形に且つ凹形状に湾曲している構造とすることによって、コイルの低抵抗化、及び、バックコンタクト層からの鉄損に起因する発熱による熱膨張を低減し、浮上面の素子部分のせり出しを低減したものである。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について図面を用いて説明する。
【００２７】
図１は、本発明の磁気ヘッドの記録ヘッド部分についてトラック部分を斜視図で示したものである。図示していないが、基板上にＧＭＲセンサなどを用いた再生ヘッドやシールド層などが形成され、その上に本図に示す記録ヘッド部分が形成されている。まず、下部磁気コア２０が形成され、浮上面部分には下部磁気コア浮上面部３０が形成されている。この下部磁気コア浮上面部の上部には磁気ギャップ膜を介して、上部磁気コア７０の先端部のトラック部分が形成されている。上部磁気コア７０は、浮上面から奥の方向に広がり、最後部はバックコンタクト層４０に接続され、バックコンタクト層を通して下部磁気コア２０に接続されている。また、上部磁気コア７０と下部磁気コア２０、そしてバックコンタクト層４０、下部磁気コア浮上面部３０に囲まれた部分にコイル５０が形成される。コイル５０はこの図では６ターンの巻き数の場合を示している。
【００２８】
本実施の形態はバックコンタクト層４０の構造に関するものであり、下部磁気コア２０と上部磁気コア７０とは別にバックコンタクト層を設けた構造であって、ヘッドを上部から見た平面形状について、バックコンタクト層４０の中央部分の断面積がその左右の部分とほぼ同等としているとともに、中央部分がヘッド浮上面側に一番近く、左右部分は浮上面側より離れている構造としたものである。また、本図のようにその平面形状が弓形（曲線又は曲面）に形成されていることを特徴としているものである。
【００２９】
同じく、図２には、図１の本発明の磁気ヘッドの断面形状を示している。基板上に下部シールド膜１１、上部シールド膜１２が形成されている。磁気ヘッド浮上面部には、再生ヘッドのセンサとして働く、ＧＭＲセンサ１０が形成されている。もちろん再生ヘッドとしては、ＧＭＲセンサ、ＴＭＲセンサ、あるいは、ＣＰＰ−ＧＭＲセンサなど、どのようなセンサを用いることも可能である。
【００３０】
このように形成された再生ヘッド部の上に、記録ヘッドが形成される。再生ヘッドの上部シールド膜１２上には、磁気的に分離される膜、たとえば絶縁膜のアルミナ膜あるいは銅，パラジウム、ＮｉＰなどの非磁性金属膜が形成され、その上に、記録ヘッド部の、下部磁気コア２０が形成される。下部磁気コア２０の浮上面側には、下部磁気コア浮上面部３０が形成され、磁気ギャップを介して上部磁気コア７０の先端部のトラック部分と対向して配置されている。上部磁気コア７０の奥側には、下部磁気コア２０と磁気的に結合するため、バックコンタクト層４０が形成されている。また、このバックコンタクト層４０は下部磁気コア２０と上部磁気コア７０とは別に形成されている。この場合には下部磁気コア浮上面部３０と同一工程で作成することも可能である。
【００３１】
このように形成された磁気コアの中には、コイル５０が形成されているが、このコイル５０の平面構造はバックコンタクト層４０を中心に巻くように形成されている。したがって、バックコンタクト層４０のさらに奥側にはコイル５０の後ろ側部分が形成されている。このコイルは図２に示すように、上部および下部の磁気コアからは絶縁されて形成されている。コイル後側のうち一番内側からはコイルに電流を流すための配線が形成される。このため、一番内側のコイル５０の上にはコイル接続部５５が形成され、その上にはコイル配線引き出し部６０が形成されている。このコイル配線引き出し部６０からは図中には示されていないが、電流を供給する端子まで配線が引き回される。
【００３２】
また、図１と図２で示した磁気ヘッドの平面形状の一例について、薄膜形成方向の上方からみた図である図３を用いて説明する。バックコンタクト層４０を巻くように平面コイル５０が形成されている。下部磁気コアに関しては省略しているが、上部磁気コア７０の形状に関しては、上部磁気コア７０としてコイル５０に重なるように配置されている。上部磁気コア７０の後端部は、バックコンタクト層４０を介して下部磁気コアに接続される。コイル５０の巻き線の中心にはコイル接続部５５が形成され、電流を供給する端子の片方となるとともに、コイルの最外周は配線の引き回しによって、電流を供給するもう一方の端子を接続できるようにする。
【００３３】
ここで本実施の形態の特徴は、バックコンタクト層４０の平面構造の形状にある。すなわち、バックコンタクト層４０の平面構造の形状は、バックコンタクト層４０の中央部分の断面積がその左右の部分とほぼ同等としているとともに、中央部分がヘッド浮上面側に一番近く、左右部分は浮上面側より離れている構造としたものであって、図３に示すようにヘッド浮上面側の面の中央部が浮上面に近いように弓形に凸形状に湾曲しているとともに、そのバックコンタクト層分の平面構造の浮上面と反対側の奥の部分には中央部が浮上面に近いように弓形に凹形状に湾曲していることを特徴としている。この湾曲形状は、滑らかな曲線で構成されている。
【００３４】
コイル５０はバックコンタクト層４０を周回するように巻かれて形成される。バックコンタクト層から浮上面側には、下部磁気コア２０、下部磁気コア浮上面部３０、および上部磁気コア７０によって磁気回路が形成され、薄膜磁気ヘッドの記録部が形成されるが、この磁気回路の長さは高周波記録をするためには短いほうが良い。そこで、コイル５０は必要な巻き数（この図の場合は６ターン）をバックコンタクト層４０と下部磁気コア浮上面部３０との間に形成するが、コイルの抵抗を低減するには、コイルをできるだけ小さな巻き方にするほうが良い。このため、コイル５０が湾曲形状に巻かれるように、バックコンタクト層４０の浮上面側は、弓形に凸形状に湾曲して形成することによって、コイル５０をバックコンタクト層４０にならって形成することができ、その分、コイル５０を小さく巻くことができる。したがって、コイル５０の総延長長さを小さくすることができ、コイル抵抗を小さくすることができる。これによって高周波記録に好適なヘッドとすることができる。
【００３５】
また、バックコンタクト層４０の浮上面と反対側の奥の部分には中央部が浮上面に近いように弓形に凹形に湾曲した形状となっている。このようにすることによって、バックコンタクト層４０とその後ろ側に形成されるコイル接続部５５の間の距離を一定に形成する場合、その湾曲したぶんだけコイル接続部５５の位置を浮上面方向に移動することができる。これによって同様にコイル５０を小さく巻くことができるので、コイル５０の総延長長さを小さくすることができ、コイル抵抗を小さくすることができる。
【００３６】
このように、バックコンタクト層４０の平面形状をバックコンタクト層４０の中央部分の断面積がその左右の部分とほぼ同等としているとともに、中央部分がヘッド浮上面側に一番近く、左右部分は浮上面側より離れている構造としたものであって、前後とも滑らかな弓形にすることによって、熱膨張による影響を素子部分に集中させることなく分散させることができ、またコイル抵抗の低減を図ることができ、高周波記録に好適なヘッドを提供することができる。
【００３７】
バックコンタクト層４０の浮上面に近い面と、遠い面との距離は、その中央部分ではほぼ一定とすることが望ましい。しかしこの場合には、バックコンタクト層４０の両端は滑らかな曲線で閉じている形状になっている。
【００３８】
図４には上部磁気コア７０とバックコンタクト層４０の平面形状の一例を示している。この場合は、バックコンタクト層４０の上部磁気コアとの接続面は上部磁気コア４０で全面を覆う構造としている。ここで、上部磁気コア７０の浮上面から遠い側の端部は、バックコンタクト層４０と同様の弓形の凹形状とすることができる。上部磁気コア７０の後端部形状を凹形状とすることで、上部磁気コア７０の熱膨張による記録ギャップ近傍や素子近傍の浮上面の突出を低減することができる。
【００３９】
また、バックコンタクト層４０の上部磁気コアとの接続面はその一部を覆う構造とすることも可能である。その一例を図５に示す。また、このときの断面形状は、図６に示すことができる。このようにすることによって、上部磁気コアの後ろの部分を小さくすることができ、発熱によって熱膨張する磁性膜の体積を小さくすることができる。
【００４０】
また、図７に示すように、バックコンタクト層の形状と、上部磁気コアの後ろの部分を一致させても良い。
【００４１】
以上、本実施の形態では、コイル一層形の薄膜磁気ヘッドについて説明してきたが、他の実施例としてコイルを二層構造とした場合についても、同様にバックコンタクト層の形状を、ヘッドを上部から見た平面形状について、バックコンタクト層４０の中央部分の断面積がその左右の部分とほぼ同等としているとともに、中央部分がヘッド浮上面側に一番近く、左右部分は浮上面側より離れている構造とすることが出来る。また、その浮上面側の面の中央部が浮上面に近い弓形に凸形状に湾曲しているとともに、そのバックコンタクト層の平面構造の浮上面と反対側の面の中央部が浮上面に近い弓形に凹形状に湾曲させることが可能であり、単層コイルの場合と同様の効果を生じる。
【００４２】
図８はコイルを２層使った薄膜磁気ヘッドの例である。この場合、上部磁気コアは、第１上部磁気コア７１と第２上部磁気コア７２とに分離され、接続されて形成されているが、同様にバックコンタクト層の部分も、バックコンタクト層４１とバックコンタクト層４２とに分離され、接続されて形成される。２層構造のコイルを採用すると、このようにバックコンタクト層が２つ以上に分離されて相互に接続される。この場合に関しても、バックコンタクト層部分の発熱による熱膨張を原因とする磁気ヘッド先端部の浮上面側への飛び出し現象を極力低減することが可能である。また、２層以上で構成されるバックコンタクト層の構造をおのおの図３や４における本発明の実施形態と同様の構造をとることによって、コイルを小さく巻くことができ、１層目、２層目のコイル（５０と６１）おのおのがコイルの長さを小さくすることができ、コイルの抵抗を小さくすることが可能になる。
【００４３】
図９に示すように、バックコンタクト層４１と上部磁気コア７２接触部の位置関係に関しては、バックコンタクト層４１の後端部が上部磁気コア７２の後端部より浮上面から離れた位置に形成してもよい。このような構成により、図６における実施の形態と同様に、発熱に起因する熱膨張を低減し、記録ギャップ近傍や素子近傍の突出を抑えることが可能となる。また、上部磁気コアの後端とバックギャップ層の後端とが一致する構成とすることも可能である。
【００４４】
また、図１０には、本発明を垂直磁気記録用ヘッドに適用した例を斜視図で示す。またその断面構造を図１１に示す。この垂直磁気ヘッドの場合には、磁気コアの構造としては、主磁極７５と補助磁極（副磁極）２５で構成され、バックコンタクト層４０によって主磁極７５と補助磁極２５が接続されている構造である。この場合に関しても、バックコンタクト層４０を中心にコイル５０が巻かれることは、従来の面内記録用ヘッドと同様の構造であり、バックコンタクト層の平面形状を、高周波記録用として、コイルの抵抗を小さくすることが可能になる。すなわち、バックコンタクト層４０の、その浮上面側の面の中央部が浮上面に近い弓形に凸形状に湾曲しているとともに、そのバックコンタクト層の平面構造の浮上面と反対側の面の中央部を浮上面に近い弓形に凹形状に湾曲させることが可能であり、同様にコイル抵抗を低減でき、高周波記録が可能であるという効果を生じる。また、主磁極７５の浮上面側から離れた側の後端部の形状は、図示していないが、図４、図５で説明した実施の形態と同様な曲線・曲面形状とすることができ、熱膨張による突出を低減する構成とすることもできる。
【００４５】
バックコンタクト層の構造に関しては、以上説明をしたように、バックコンタクト層の平面構造の形状を、その浮上面側の面の中央部がヘッド浮上面に近い弓形に凸形状に湾曲しているとともに、そのバックコンタクト層の平面構造の浮上面と反対側の面の中央部が浮上面に近い弓形に凹形状に湾曲させるものであるが、その形状としては、滑らかな曲線でだけ作られるのではなく、別の構造も可能である。すなわち、バックコンタクト層の平面構造の形状は、バックコンタクト層４０の中央部分の断面積がその左右の部分とほぼ同等としているとともに、中央部分がヘッド浮上面側に一番近く、左右部分は浮上面側より離れている構造としたものであって、ヘッド浮上面側の面の中央部が浮上面に近いように弓形に凸形状に湾曲しているとともに、そのバックコンタクト層の平面構造の浮上面と反対側の面の中央部が浮上面に近いように弓形の凹形状に湾曲していることを特徴としているものであって、その平面形状の一部に直線部分が含まれているもの（曲線と直線の組み合わせによる形状）、又は平面形状の全体を直線部分（多角形状）とすることも可能である。すなわち、バックコンタクト層４０を、曲面だけではなく、平面部分を含む構造、又は平面からなる構造とすることで構成することもできる。
【００４６】
図１２はバックコンタクト層の形状として中央部分に直線を設けた形状にしたものであるが上述の実施の形態の構造とほぼ同等の効果を得ることができる。
【００４７】
また、図１３、１４、１５については、バックコンタクト層の平面構造の一例を示すものである。すべて、中央部分が浮上面に近く、左右部分は中央部分より浮上面に対して離れている構造であり、発熱による熱膨張を分散させる構造としている。また、図１３、１４、１５のバックコンタクト層の形状に応じて、上部磁気コア７０の浮上面側から離れた端部の形状を同様の凹形状とすることができる。このような構造であっても、従来例に対してヘッド浮上面中央部分のせり出し量は小さくすることができ、低浮上型磁気ヘッドを構成することができるという効果がある。
【００４８】
【発明の効果】
本発明によれば、バックコンタクト層にて下部磁気コアと上部磁気コアが接続された構造であって、そのバックコンタクト層の平面形状において、その浮上面側の面が滑らかな曲線を有し、弓形に且つ凸形状に湾曲し、且つ、そのバックコンタクト層の平面構造の浮上面と反対側の奥の部分が滑らかな曲線を有し、弓形に且つ凹形状に湾曲している構造とすることによって、コイルの抵抗を小さくする構造取ることが出来、また、バックコンタクト層の記録電流による鉄損起因の発熱現象による熱膨張の大きさを従来ヘッドに比較して小さくすることが可能となり、高周波記録の可能な面内磁気記録用あるいは垂直磁気記録用の薄膜磁気ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の薄膜磁気ヘッドの斜視図
【図２】本発明の薄膜磁気ヘッドの断面図
【図３】本発明の薄膜磁気ヘッドの平面構造図
【図４】本発明の薄膜磁気ヘッドの平面図
【図５】本発明の薄膜磁気ヘッドの平面図
【図６】本発明の薄膜磁気ヘッドの断面図
【図７】本発明の薄膜磁気ヘッドの断面図
【図８】本発明の薄膜磁気ヘッドの断面図
【図９】本発明の薄膜磁気ヘッドの断面図
【図１０】本発明の垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドの斜視図
【図１１】本発明の垂直磁気記録用薄膜磁気ヘッドの断面図
【図１２】本発明の薄膜磁気ヘッドの平面構造図
【図１３】本発明の薄膜磁気ヘッドのバックコンタクト層の平面図
【図１４】本発明の薄膜磁気ヘッドのバックコンタクト層の平面図
【図１５】本発明の薄膜磁気ヘッドのバックコンタクト層の平面図
【符号の説明】
１０・・ＧＭＲセンサ、１１・・・下部シールド膜、１２・・・上部シールド膜、２０・・・下部磁気コア、３０・・・下部磁気コア浮上面部、４０・・・バックコンタクト層、５０・・・コイル、５５・・・コイル接続部、６０・・・コイル配線引き出し部、７０・・・上部磁気コア、８０・・・保護絶縁膜、１００・・・ヘッド浮上面位置、２５・・・補助磁極、７５・・・主磁極
【図１】
2005018866.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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