(57)【要約】【課題】パターンが大型であっても、一回の露光で複数分のパターンを基材に露光することができ、その結果、露光のコストを低減することができる露光用ガラスマスクの提供。【解決手段】それぞれに露光用のパターン１２が形成された複数のガラスマスク体１４を互いのパターン１２同士を位置決めした状態で連結し固定してなることで、全体として複数のパターン１２を有するものとする。よって、これを用いることで一回の露光で複数分のパターン１２を基材に露光することができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれに露光用のパターンが形成された複数のガラスマスク体を互いの前記パターン同士を位置決めした状態で連結し固定してなることを特徴とする露光用ガラスマスク。
【請求項２】
前記複数のガラスマスク体同士が、ガラスの連結部材を介して連結されていることを特徴とする請求項１記載の露光用ガラスマスク。
【請求項３】
前記連結部材が、前記複数のガラスマスク体の相互対向側の対向縁部の位置に該対向縁部に沿って設けられる対向縁部連結部材と、前記対向縁部の延在方向における両側にある側縁部の位置に該側縁部に沿ってそれぞれ設けられる側縁部連結部材とを有することを特徴とする請求項２記載の露光用ガラスマスク。
【請求項４】
前記複数のガラスマスク体の全体が一つの前記連結部材の内側範囲に設けられていることを特徴とする請求項２記載の露光用ガラスマスク。
【請求項５】
外側の縁部に金属製の補強部材が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項記載の露光用ガラスマスク。
【請求項６】
前記補強部材が、全外周を囲むように設けられていることを特徴とする請求項５記載の露光用ガラスマスク。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、露光用ガラスマスクに関する技術である。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造用の露光装置に使用される露光用ガラスマスクとしては、一枚の露光用ガラスマスクにパターンが複数形成されてなるものが用いられている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−３８５９５号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
半導体のように一つのパターンが小型のものであると、一枚の露光用ガラスマスクに複数のパターンを形成することができるが、一つの露光パターンが大型となる例えば大型プラズマディスプレイパネル製造用の露光用ガラスマスクにおいては、一枚の露光用ガラスマスクに一つのパターンを形成するのが大きさ的に限界となる場合がある。このため、このような場合には、一回の露光で一つ分のパターンを基材に露光することになり、露光のコストが増大してしまうという問題があった。
【０００５】
したがって、本発明は、パターンが大型であっても、一回の露光で複数分のパターンを基材に露光することができ、その結果、露光のコストを低減することができる露光用ガラスマスクの提供を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、それぞれに露光用のパターンが形成された複数のガラスマスク体を互いの前記パターン同士を位置決めした状態で連結し固定してなることを特徴としている。
【０００７】
このように、それぞれに露光用のパターンが形成された複数のガラスマスク体を互いのパターン同士を位置決めした状態で連結し固定してなることで、全体として複数のパターンを有するものとなる。よって、これを用いることで一回の露光で複数分のパターンを基材に露光することができる。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明において、前記複数のガラスマスク体同士が、ガラスの連結部材を介して連結されていることを特徴としている。
【０００９】
このように、複数のガラスマスク体同士が連結部材を介して連結されているため、パターン同士を位置決めする際に生じるガラスマスク体同士の全体的なずれを許容した上でこれらガラスマスク体同士を固定することができる。しかも、連結部材がガラスであるため、温度変化等に対してガラスマスク体と同様に変形することになり、無理な力がかかることなく良好に変形する。
【００１０】
請求項３に係る発明は、請求項２に係る発明において、前記連結部材が、前記複数のガラスマスク体の相互対向側の対向縁部の位置に該対向縁部に沿って設けられる対向縁部連結部材と、前記対向縁部の延在方向における両側にある側縁部の位置に該側縁部に沿ってそれぞれ設けられる側縁部連結部材とを有することを特徴としている。
【００１１】
このように、連結部材が、複数のガラスマスク体の対向縁部の位置に対向縁部に沿って設けられる対向縁部連結部材と、対向縁部の延在方向における両側にある側縁部の位置に側縁部に沿ってそれぞれ設けられる側縁部連結部材とを有するため、最小限の連結部材で複数のガラスマスク体を確実に連結することができる。
【００１２】
請求項４に係る発明は、請求項２に係る発明において、前記複数のガラスマスク体の全体が一つの前記連結部材の内側範囲に設けられていることを特徴としている。
【００１３】
このように、複数のガラスマスク体の全体が一つの連結部材の内側範囲に設けられているため、連結部材に対する複数のガラスマスク体の位置決め固定が容易となる。
【００１４】
請求項５に係る発明は、請求項１乃至４のいずれか一項に係る発明において、外側の縁部に金属製の補強部材が設けられていることを特徴としている。
【００１５】
このように、外側の縁部に金属製の補強部材が設けられているため、強度を向上させることができる。
【００１６】
請求項６に係る発明は、請求項５に係る発明において、前記補強部材が、全外周を囲むように設けられていることを特徴としている。
【００１７】
このように、補強部材が、全外周を囲むように設けられているため、全体的な強度を確実に向上させることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の第１実施形態の露光用ガラスマスクを図１および図２を参照して以下に説明する。
【００１９】
第１実施形態の露光用ガラスマスク１１は、露光用のパターン１２が形成されるパターン形成部１３をそれぞれ有する複数具体的には二枚のエマルジョンマスクであるガラスマスク体１４を有している。そして、これら複数のガラスマスク体１４は、互いに同一平面に配置され、しかも互いのパターン１２同士を位置決めした状態で連結固定されている。なお、図１において、これらのガラスマスク体１４は、それぞれのパターン形成部１３を下側（紙面奥側）に向けた状態となっている。
【００２０】
これらのガラスマスク体１４は、それぞれ、長方形状のガラス板１６の厚さ方向一側の面１７における内側所定範囲にパターン形成部１３が形成された一枚もののガラスマスクとなっており、パターン形成部１３に所定のパターン１２が形成されて構成されている。ここで、これらガラスマスク体１４は、基本的には同一の外形形状をなしており、例えば互いに同一のパターン１２が形成されている。
【００２１】
これらのガラスマスク体１４同士は、上記のように互いのパターン１２同士が位置決めされた状態では、互いに若干の隙間をあけ、かつ互いに長さ方向をほぼ平行させつつ長さ方向の位置をほぼ一致させた状態となり、このような状態で、これらガラスマスク体１４に架設される複数のガラスの連結部材２１，２２を介して連結されている。
【００２２】
一つは、二枚のガラスマスク体１４の相互対向側の対向縁部２４の位置に、対向縁部２４の延在方向言い換えればこれら二枚のガラスマスク体１４の連結方向に対し直交する方向に沿って延在するように設けられる対向縁部連結部材２１とされている。
【００２３】
また、残りの二つは、上記対向縁部２４の延在方向における両側にある側縁部（縁部）２５の位置に側縁部２５の延在方向言い換えれば二枚のガラスマスク体１４の連結方向に沿ってそれぞれ延在するように設けられる側縁部連結部材２２とされている。
【００２４】
なお、対向縁部２４に対し反対側の縁部２６には当然のことながら連結部材は設けられてない。
【００２５】
ここで、側縁部連結部材２２は、二枚のガラスマスク体１４の連結方向のほぼ全長にわたって設けられており、対向縁部連結部材２１は、これら側縁部連結部材２２の間のほぼ全幅にわたって設けられている。なお、すべての連結部材２１，２２は、ガラスマスク体１４のパターン形成部１３が形成された面に対し反対側の面つまり図１における上側（紙面手前側）の上面１７にのみ設けられ、逆側の面つまり下面には設けられていない。また、すべての連結部材２１，２２は、例えば接着剤による接着でガラスマスク体１４に接合固定される。
【００２６】
そして、これらの連結部材２１，２２で連結固定された二枚のガラスマスク体１４には、側縁部連結部材２２が設けられた側の両方の側縁部２５のそれぞれに金属製の補強部材２７が設けられている。これらの補強部材２７は図２に示すように長さ方向に直交する断面がコ字状をなすもので、コの字の開口側からガラスマスク体１４および側縁部連結部材２２を嵌合させ、また必要により接着剤で接着されたりネジ止めされること等でこれらに取り付けられる。具体的に、補強部材２７は、ガラスマスク体１４の下面に接触する下板部２８と、ガラスマスク体１４および側縁部連結部材２２の側面に接触する側板部２９と、側縁部連結部材２２の上面に接触する上板部３０と、上板部３０に垂直に立設された補強用の立設板部３１とを有している。なお、補強部材２７は側縁部連結部材２２が設けられた側縁部２５にのみ設けられている。
【００２７】
以上に述べた第１実施形態の露光用ガラスマスク１１によれば、それぞれに露光用のパターン１２が形成された複数のガラスマスク体１４を互いのパターン１２同士を位置決めした状態で連結し固定してなることで、全体として複数のパターン１２を有するものとなる。よって、これを用いることで一回の露光で複数分のパターン１２を基材に露光することができる。したがって、パターン１２が大型であって一枚のガラスマスク体１４に一つ分しか形成できない場合であっても、複数のパターン１２を有する露光用ガラスマスク１１が得られて、一回の露光で複数分のパターンを基材に露光することができ、その結果、露光のコストを低減することができる。
【００２８】
また、複数のガラスマスク体１４同士が連結部材２１，２２を介して連結されているため、パターン１２同士を位置決めする際に生じるガラスマスク体１４同士の全体的なずれを許容した上でこれらガラスマスク体１４同士を固定することができる。しかも、連結部材２１，２２がガラスであるため、温度変化等に対してガラスマスク体１４と同様に変形することになり、無理な力がかかることなく良好に変形する。
【００２９】
さらに、連結部材が、複数のガラスマスク体１４の対向縁部２４の位置に対向縁部２４に沿って設けられる対向縁部連結部材２１と、対向縁部２４の延在方向における両側にある側縁部２５の位置に側縁部２５に沿ってそれぞれ設けられる側縁部連結部材２２とを有するため、最小限の連結部材で複数のガラスマスク体１４を確実に連結することができる。
【００３０】
加えて、外側の側縁部２５に金属製の補強部材２７が設けられているため、強度を向上させることができる。
【００３１】
本発明の第２実施形態の露光用ガラスマスクを図３を参照して以下に第１実施形態との相違部分を中心に説明する。なお、第１実施形態と同様の部分には、同一の符号を付してその説明は略す。
【００３２】
第２実施形態では、第１実施形態に対し対向縁部連結部材２１は設けられておらず、複数具体的には二つの側縁部連結部材２２のみで複数具体的には二枚のガラスマスク体１４を互いのパターン１２同士を位置決めした状態で連結固定している。具体的に、第２実施形態の二つの側縁部連結部材２２は、上記対向縁部２４の延在方向における両側にある側縁部２５の近傍であって側縁部２５よりもやや内側にずれた位置に、側縁部２５の延在方向に沿ってそれぞれ延在するように設けられている。しかも、これら側縁部連結部材２２は対向縁部２４の近傍のみに設けられる長さの短いものとなっている。
【００３３】
また、第２実施形態では、側縁部連結部材２２で連結された二枚のガラスマスク体１４の全周つまり側縁部２５および縁部２６に設けられるように枠状をなす金属製の補強部材３３が設けられている。この実施形態の補強部材３３は、長さ方向に直交する断面がコ字状をなす四つの分割体３４が、それぞれコの字の開口側からガラスマスク体１４の対応する縁部を嵌合させるとともに、この状態で隣り合うもの同士がネジ止め等で連結されて四角枠状をなす。この場合、側縁部連結部材２２は補強部材３３には嵌合せず、補強部材３３よりも内側に配置されている。
【００３４】
このような第２実施形態の露光用ガラスマスク１１は、補強部材３３が、全外周を囲むように設けられているため、全体的な強度を確実に向上させることができる。
【００３５】
本発明の第３実施形態の露光用ガラスマスクを図４を参照して以下に第１実施形態との相違部分を中心に説明する。なお、第１実施形態と同様の部分には、同一の符号を付してその説明は略す。
【００３６】
第３実施形態においては、複数具体的には二枚のガラスマスク体１４を連結固定させるガラスの連結部材３６が、その内側範囲（平面視の内側範囲）にすべてのガラスマスク体１４の全体が設けられるように広い面積を有している。つまり、二枚のガラスマスク体１４が互いのパターン１２同士を位置決めした状態で一枚のガラスの連結部材３６にそれぞれ固定されることで互いに連結固定された状態となっている。なお、図４において連結部材３６の上側（紙面手前側）にこれらのガラスマスク体１４が配置されている。また、ガラスマスク体１４のパターン形成部１３は、連結部材３６に対し反対側に配置されるため、図４においてガラスマスク体１４はそれぞれのパターン形成部１３を上側に向けた状態となっている。ここで、ガラスマスク体１４は、それぞれ、図４にハッチングで示すように、パターン形成部１３より外側であって対向縁部２４を除く両側の側縁部２５および縁部２６が接着剤等による接着で連結部材３６に接合されることになる。
【００３７】
なお、ガラスマスク体１４が連結部材３６の内側範囲にあれば、例えばガラスマスク体１４の側縁部２５および縁部２６を連結部材３６の縁部に重ね合わせるようにしても良い。また、連結部材３６におけるガラスマスク体１４の接着部分より内側範囲を穴部としても良い。
【００３８】
このような第３実施形態の露光用ガラスマスク１１は、複数のガラスマスク体１４の全体が一つの連結部材３６の内側範囲に設けられているため、連結部材３６に対する複数のガラスマスク体１４の位置決め固定が容易となる。
【００３９】
なお、以上の第１〜第３実施形態においては、二枚のガラスマスク体１４を連結する場合を例にとり説明したが、三枚以上のガラスマスク体１４を連結することも可能である。
【００４０】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１に係る発明によれば、それぞれに露光用のパターンが形成された複数のガラスマスク体を互いのパターン同士を位置決めした状態で連結し固定してなることで、全体として複数のパターンを有するものとなる。よって、これを用いることで一回の露光で複数分のパターンを基材に露光することができる。したがって、パターンが大型であっても、一回の露光で複数分のパターンを基材に露光することができるため、露光のコストを低減することができる。
【００４１】
請求項２に係る発明によれば、複数のガラスマスク体同士が連結部材を介して連結されているため、パターン同士を位置決めする際に生じるガラスマスク体同士の全体的なずれを許容した上でこれらガラスマスク体同士を固定することができる。しかも、連結部材がガラスであるため、温度変化等に対してガラスマスク体と同様に変形することになり、無理な力がかかることなく良好に変形する。
【００４２】
請求項３に係る発明によれば、連結部材が、複数のガラスマスク体の対向縁部の位置に対向縁部に沿って設けられる対向縁部連結部材と、対向縁部の延在方向における両側にある側縁部の位置に側縁部に沿ってそれぞれ設けられる側縁部連結部材とを有するため、最小限の連結部材で複数のガラスマスク体を確実に連結することができる。
【００４３】
請求項４に係る発明によれば、複数のガラスマスク体の全体が一つの連結部材の内側範囲に設けられているため、連結部材に対する複数のガラスマスク体の位置決め固定が容易となる。
【００４４】
請求項５に係る発明によれば、外側の縁部に金属製の補強部材が設けられているため、強度を向上させることができる。
【００４５】
請求項６に係る発明によれば、補強部材が、全外周を囲むように設けられているため、全体的な強度を確実に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の露光用ガラスマスクを示す平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態の露光用ガラスマスクを示す部分拡大斜視図である。
【図３】本発明の第２実施形態の露光用ガラスマスクを示す平面図である。
【図４】本発明の第３実施形態の露光用ガラスマスクを示す平面図である。
【符号の説明】
１１  露光用ガラスマスク
１２  パターン
１４  ガラスマスク体
２１  対向縁部連結部材（連結部材）
２２  側縁部連結部材（連結部材）
２４  対向縁部
２５  側縁部
２７，３３  補強部材
３６  連結部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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