(57)【要約】【課題】基板の配置図、印刷はんだがされた基板の外観を示す画像のうち、検査の中心となる配置図を最大限に、かつ欠けることなく表示できるフォーマット及び領域を割り当てることによって、検査に有効な画面表示を行えるようにする。【解決手段】  割付手段７が、前記配置図の縦又は横のいずれか長い方のサイズが最大限に表示可能で、かつ配置図の全てが表示できる領域を選択し、その選択した領域に前記最大限に表示する倍率で配置図を割り付けて、その他の領域に画像データ生成部３が出力する外観画像データを割り付けして、それを表示手段８が表示する。【選択図】      図１
2005291761.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象であるプリント基板のはんだ付け箇所を含む配置図を記憶する基板情報記憶手段（５）と、前記プリント基板の表面からの位置に応じた光の強さを受光して変位量を測定する測定手段（２）と、前記測定手段の測定値を基に前記プリント基板上の形状を表す評価対象データを生成するとともに、その形状の表面を表す外観画像データを生成する画像データ生成手段（３）と、前記評価対象データを基に良否判定する判定手段（４）と、表示手段（８）と、前記表示手段に大きさの異なる複数の領域に分割して表示するためのフォーマットを記憶する表示フォーマット記憶手段（６）と、前記検査対象のプリント基板の配置図を受けて、前記配置図の縦又は横のいずれか長い方のサイズが最大限に表示可能で、かつ配置図の全てが表示できる領域及びその領域を有するフォーマットを選択し、その選択した領域に前記最大限に表示する倍率で配置図を割り付けるとともに、前記選択したフォーマットの残りの一つの領域には前記外観画像データを割り付けして、割り付けられたフォーマットを前記表示手段へ送付する割付手段（７）とを備えたことを特徴とするプリント基板検査装置。
【請求項２】
前記フォーマット記憶手段が記憶するフォーマットの一つは、各フォーマットと共通の位置、大きさを有する共通の領域と、位置及び大きさの異なる複数の固有の領域を有し、
前記割付手段は、前記配置図及び外観画像データを前記固有の領域のいずれかに割り付けし、前記判定手段が出力する良否判定の結果を前記共通の領域に割り付けることを特徴とした請求項１記載のプリント基板検査装置。
【請求項３】
前記割付手段は、前記割付手段で割り付けられた後に、配置図をフォーマットの指定された位置に変更する指示を受けて、その前記配置図を指定された位置に優先的に変更することを特徴する請求項１又は２に記載のプリント基板検査装置。
【請求項４】
前記画像データ生成手段は、前記プリント基板上で所望の方向から所望の観察の範囲を示す指定情報を受けて、前記測定値を基に前記指定された方向から見える前記範囲の外観画像データを生成し、
前記指定情報を受けて、表示される前記配置図に前記所望の観察の範囲を視認可能に表示する表示制御部を備えたことを特徴とする請求項１、２又は３に記載のプリント基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品等を表面実装するためのプリント基板上に、はんだ印刷装置等でクリーム状はんだが印刷されたときの印刷はんだ形成状態を測定し、その印刷はんだの形状の検査、或いはプリント基板上に電子部品が実装されたときのその実装状態の検査に用いられる検査装置に関する
【０００２】
特に、本発明は、印刷はんだ検査装置を例にすると、検査結果に疑問がある場合、プリント基板の印刷箇所を示した配置図、実際にはんだされた検査対象のプリント基板の外観（測定された画像或いは写された画像）及び検査結果の比較が必要とされるが、それらを表示画面で観察しやすくした技術に係る。
【背景技術】
【０００３】
印刷はんだ検査装置においては、基板（以下、プリント基板を単に「基板」と言う。）に、光を照射して測定した結果として得られた、基板上の印刷はんだ箇所の変位（高さを含む）や輝度（基板から反射した光の量、受光量（光の強さ）を含む。）の測定データから、はんだ印刷されたときの印刷はんだ量を表す要素となる画像データ（高さ、面積、或いは体積等のデータ：以下、これらの一部又は全部を「評価対象データ」という。）に変換して、その画像データを判定の基準となる参照データ（以下、これを「レファレンス」と言う。）と比較して判定する検査装置及び方法においては、基板の印刷はんだ箇所のパターン形状、印刷はんだ状態、測定条件、雑音、上記のデータを変換する条件等及びそれらの組み合わせからして上記評価対象データの正確な生成は難関であり、この評価対象データを判断する判定手段が、良品の印刷はんだ形成状態を誤って不良品と判定した結果を出力する（以下、誤った判定結果を「虚報」と言う。）場合がある。したがって、どうしても判定の結果と実物（実装状態）とを比較して解析して原因をみつける必要がある。しかし、実物は、現場の製造ラインにあるため、並べて比較検討できない。一般的に、実物の外観を写した（或いは測定した）画像、判定結果及び配置図を同一画面で表示して比較できるようにしている。これまでの形状検査装置或いは印刷はんだ検査装置においては、表示画面のレイアウトは固定的なものが多かった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のことから、虚報等の解析にあたっては、大きさの有限な表示画面を、有効にかつ観察しやすい表示形態にすることが望まれる。ところで、前記虚報の生じ安い箇所は、基板のところどころに散在するが、全部であるということは少ない。そう考えると、基板の全体の設計図でもある配置図が基準としてあって、少なくとも虚報が生じた箇所の部分的画像とその箇所の判定結果が表示されることが好ましい。
【０００５】
本発明の目的は、予め１つ又は複数のフォーマット、しかも複数、代表的には、主要な相異なる面積の複数の領域を有するフォーマットを複数、用意し、さらに印刷箇所の設計された配置を示す配置図、印刷はんだがされた基板の外観を示す画像及び検査結果のうち基板の配置図を最大限に、かつ欠けることなく表示できるフォーマット及び領域を選択して割り当てすることによって、容易に検査に有効な画面表示を行える技術を提供するものである。
【０００６】
さらに、基板の検査は、多くの基板を搬送しながら検査する検査ラインで行われる。そのとき検査者は、ラインを流れる基板と検査装置の表示画面を見比べ、監視しながら行われることがある。そのため、検査ラインの位置、基板の設置方向、流れ方向等と画面に表示される画像の位置、方向を合わせたいという要望がある。
【０００７】
そこで、さらなる目的は、上記のような手順で選択された領域の位置、いわば領域のレイアウトを操作部から変更できるようにすることで、検査ライン及び検査者に合ったレイアウト画面で検査できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、検査対象である基板のはんだ付け箇所を含む配置図を記憶する基板情報記憶手段（５）と、前記プリント基板の表面からの位置に応じた光の強さを受光して変位量を測定する測定手段（２）と、前記測定手段の測定値を基に前記プリント基板上の形状を表す評価対象データを生成するとともに、その形状の表面を表す外観画像データを生成する画像データ生成手段（３）と、前記評価対象データに基づいて良否判定する判定手段（４）と、表示手段（８）と、前記表示手段に大きさの異なる複数の領域に分割して表示するためのフォーマットを記憶する表示フォーマット記憶手段（６）と、前記検査対象のプリント基板の配置図を受けて、前記配置図の縦又は横のいずれか長い方のサイズが最大限に表示可能で、かつ配置図の全てが表示できる領域及びその領域を有するフォーマットを選択し、その選択した領域に前記最大限に表示する倍率で配置図を割り付けるとともに、前記選択したフォーマットの残りの一つの領域には前記外観画像データを割り付けして、割り付けられたフォーマットを前記表示手段へ送付する割付手段（７）とを備えた。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記フォーマット記憶手段が記憶するフォーマットの一つは、各フォーマットと共通の位置、大きさを有する共通の領域と、位置及び大きさの異なる少なくとも複数の固有の領域を有し、
前記割付手段は、前記配置図及び外観画像データを前記固有の領域のいずれかに割り付けし、前記判定手段が出力する良否判定の結果を前記共通の領域に割り付ける構成とした。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、前記割付手段は、割り付けられた後に、配置図をフォーマットの指定された位置に変更する指示を受けて、その前記配置図を指定された位置に優先的に変更する構成とした。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１、２又は３に記載の発明において、前記画像データ生成手段は、前記プリント基板上で所望の方向から所望の観察の範囲を示す指定情報を受けて、前記測定値を基に前記指定された方向から見える前記範囲の外観画像データを生成し、
前記指定情報を受けて、表示される前記配置図に前記所望の観察の範囲を視認可能に表示する表示制御部を備えた。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に記載の発明は、例えば、相異なる面積の３つの領域を有するフォーマットを用意し、さらに印刷箇所の配置を示す設計された配置図、及び印刷はんだがされた基板の外観を示す画像及びその他、評価対象データ等のうち基板の配置図を最大限に、かつ欠けることなく表示できるフォーマット及び領域を選択して割り付ける構成としたので、基板の配置図は、フォーマット資源の中で、配置図の一部も欠けることなく、かつ最大限有効な領域を利用できる。したがって配置図を中心とした検査に有効な画面表示を行える。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、例えば、各フォーマット共通の領域に判定結果を表示し、各フォーマット固有の領域に、例えば、相異なる面積の３つの固有の領域を設け、その固有の領域の一つに基板の配置図を最大限に、かつ欠けることなく表示できる構成としたので、判定結果を認識しやすくし、その判定の原因を探すに当たって、配置図を中心に行える画面を提供できる。
【００１４】
請求項３の発明は、レイアウト変更可能な構成としたので、上記請求項１、２
の特徴を生かしたまま、検査ライン及び検査者に合ったレイアウト画面で検査できる。
【００１５】
請求項４の発明は、請求項１の特徴である配置図を最大限に欠けることなく表示しておいて、配置図の位置を特定してその位置における外観画像データを表示でできるようにしたので、例えば、どこで虚報が発生、或いは異常がみつかっても、そこの外観画像を抽出、観測しやすい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の形態を図１〜図５を用いて説明する。図１は、本発明の印刷はんだ検査装置の構成を示す機能ブロック図である。図２は、表示のフォーマットの構成を説明するための図である。図３（Ａ）は、フォーマットの識別名称、寸法等を含むリストの例を示す図である。図３（Ｂ）は、検査対象である基板１の寸法及び表示項目の寸法の例である。図４は、図２と異なった他のフォーマット例を示す図である。図５は、印刷はんだ検査装置の画面割付部７ｃの動作を中心とした動作の概略フローを示す図である。
【００１７】
図１において、測定手段２は、例えばレーザ変位計であって、センサ部２ａ及び測定処理部２ｂからなる。センサ部２ａは、基板１に対して走査してＸ軸、Ｙ軸の各方向に、レーザを照射可能なレーザ光源及び基板１からの反射光を受光する受光手段を備える。受光手段は、はんだ面からは、位置に対応した受光量（光の強さ）を得る。そして、測定部２は、この位置、受光量を基に、特に印刷はんだがされた印刷はんだ箇所の変位、つまり高さ（Ｚ軸方向）を位置と対応づけて測定する。レーザ変位計としての詳細の動作説明は省くが、原理としては、同一出願人が出願している特開平３−２９１５１２号公報のものがある。
【００１８】
測定処理部２ｂは、検査対象である基板１を設計したときの印刷はんだ箇所或いはレジスト箇所等の配置を含む配置図が後記する基板情報記憶手段５に記憶されているので、それを受けて配置図にしたがってセンサ部２ａに対して走査測定を行わせ、前記センサ部２ａが印刷はんだ箇所の位置に対応して、検出した上記の変位量及び／又は受光量（光の強さ）を測定データとして出力している。
【００１９】
基板情報記憶手段５は、検査対象の基板情報としては少なくとも配置図とレファレンスを記憶している。これらは、基板情報入力部９ａから予め入力される。配置図は、検査対象とする基板１の設計されたときの配置図であって、例えば、印刷はんだ箇所、印刷はんだののらないレジスト箇所及び位置の基準となる認識マーク等の基板１上の配置情報（不図示）を記憶している。基板１は、複数種類のものがあるので、それらを特定できる基板識別情報と、縦、幅の寸法が記載されたリストが用意されて、電源オン時に表示され（ライブラリー表示画面：不図示）、いずれかの基板１を選択できるようにされている。
【００２０】
また、基板１を検査して良否判定を行うためのレファレンスをデータとして、検査対象とする基板１に対応して記憶している。これらのレファレンスは、例えば印刷はんだ箇所の高さ、面積、体積、及びはんだの欠損等の各項目を判定するために、各基板１のはんだ箇所毎に準備されている。言い換えるならこれらのレファレンスは、はんだ箇所の印刷はんだを量的（画像的）に認識しやすい情報であって、良否判定の基準となるデータである。
【００２１】
画像データ生成手段３は、測定データ記憶手段３ａ、評価対象データ生成部３ｂ、及び外観画像データ生成部３ｃを含む。記憶手段３ａは、測定手段２が測定した基板１のはんだ箇所の位置とその位置における受光量或いは変位量等の測定値を受けて、所定のパラメータをしきい値として２値化して記憶する。そして、評価対象データ生成部３ｂは、その測定データから各はんだ箇所の印刷はんだ量を表す評価対象データに加工処理する。評価対象データとしては、印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となるデータであって、上記レファレンスと同様に、それぞれのはんだ箇所の高さ、面積、体積、及び欠損（存在すべきはんだ量が無い状態の検出）等がある。なお、基板１を判定するには上記の画像の全てを必要とするとは限らないが、高さ、面積、体積の内、少なくともいずれか１つは不可欠である。判定にあたって、検査しようとする基板１の評価対象データとして何を判定するか、或いはどのデータの組み合わせで判定するかは、基板１の種類、内容によって異なることがある。
評価対象データ生成部３ｂは、上記高さ、面積等の演算を行ったときの数値データも表示させるために出力することができる。
【００２２】
ここで、簡単に上記パラメータ値に触れておく、パラメータ値は、それを用いて２値化して、生成された画像データが比較手段４で比較されて良否判定されることから、検査にあたってはレファレンス同様に、重要なファクタである。つまり、パラメータ値は、測定データが、例えば印刷はんだ部分であるか否か、或いはレジスト部分であるか否か等の区別（認識）をするためのしきい値、或いは雑音から区別するための条件、或いは感度調整の条件等を含む。このパラメータ値によって、虚報が発生したり、或いは逆に虚報を防止するように調整することができる。
【００２３】
さらに、外観画像データ生成手段３ｃは、測定手段２が出力する基板１における印刷はんだ箇所の位置に対応した変位量及び受光量等の測定データを基に、印刷はんだがされた外観形状を把握できる画像を表示するための外観画像データを生成して出力している。例えば立体的な３Ｄ画像データと言われるものであるが、平面的なデータであってもよい。また、この外観画像データは、必ずしも評価対象データを生成したのと同じ測定データから生成しなくとも、ＣＣＤカメラ等で撮影したデータであってもよい。この外観画像データは、虚報が発生していないかどうか観察するとき、あるいは発生した箇所を調査するときに、印刷はんだがされた外観形状を表示画面から把握するために用いられる。また、工程において部品が搭載された後に、搭載を確認するためにその搭載部品を確認・検査するための外観画像データであってもよい。
【００２４】
この外観画像データは、基板１の全体外観を表すものであって、部分的に例えば、虚報がでることが予想される印刷はんだ箇所等を表すものとすることもできる。また、外観を観察したい視認方向を変えて表示できるようにすることもできる。例えば、外観画像データが３Ｄ画像データである場合は、画像表示箇所指定手段９ｂから指定された印刷はんだ箇所の測定データを記憶手段３ａから読み出して、ある方向からの３次元座標上に３Ｄ画像データを生成し、さらに方向が指定されれば、その方向へ３次元座標を回転させることによって３Ｄ画像データを回転させる。３Ｄ画像データの作成その表示については、一般的なソフトが普及しており、詳細説明は省略する。平面的な２次元データの場合は、斜視図の視点を変える。
【００２５】
なお、図１の一点鎖線で示すように、判定の検査結果が、印刷はんだ箇所毎に出力されるので、判定が否とされた印刷はんだ箇所の位置情報を基に、その位置情報における、或いはその位置を含む所定エリアの測定データを記憶手段３ａから読み出してその付近の外観画像データだけを生成するようにしてもよい。
【００２６】
判定手段４は、上記画像データ生成手段３が出力する評価対象データを受けて、これと上記基板情報記憶手段５からのレファレンスと比較して各はんだ箇所の良否を判定する。各はんだ箇所毎の判定結果、及びそれに伴う数値データを検査結果として出力する。
【００２７】
表示フォーマット記憶手段６は、表示手段８の画面を複数の異なる大きさの領域に分割表示することによって一度に複数種類のデータを比較可能に表示するためのフォーマットを、複数記憶している。フォーマットとしては、基板１の大きさに対応して選択できるよう、或いは上記したように検査ラインとの関係で見やすい画面レイアウトが選べるよう、領域の大きさのレイアウトを変えたフォーマットが複数、記憶されている。図２に４つの領域を有する３つのフォーマット例を示す、内、外側の領域は、各フォーマット共通の領域であって、その中のＬ、Ｍ、Ｎ、Ｐは、それぞれは、固定の良否の判定結果を表示する表示欄、或いは操作手段９でカーソルを当ててクリックする（確定する）と、所定の機能を果たすソフトキー（操作キー）等である。Ｄｉｓｐ１、Ｄｉｓｐ２、Ｄｉｓｐ３が、各フォーマット毎に異なる固有の領域の組み合わせを示している。図３（Ａ）が図２の各フォーマットに関する各固有の領域の寸法等を記載したリストである。図４にフォーマットの他の一例を示す。上下に共通の領域を有し、上段の領域には、印刷はんだの良否判定結果（例えば、ＮＧ、ＯＫ等）を表示し、下段の領域に操作パネルと同様の操作に必要な操作キーが配置され、固有の領域は、３分割され、配置図、外観画像（データ）及び数値データが割り付けられている例である。
【００２８】
割付手段７は、フォーマット選択部７ａ、倍率決定部７ｂ及び画面割付部７ｃで構成される。フォーマット選択部７ａは、操作手段９で指定された検査対象基板１の識別名称を基に基板情報記憶手段５から対象基板１の配置図及び寸法（縦Ｈｘ、幅Ｗｘ）を読み出す。その配置図の寸法を示した例が図３（Ｂ）である。さらに図３（Ｂ）には、外観画像の大きさ、検査結果の表示大きさの寸法が示され、さらに画面の固有の領域における優先位置を示した情報は、領域決定するときの優先順位を記載しているものであって、この例では、配置図、外観画像、数値データの順に決めるよう指定されている。優先位置は、領域が同一寸法であれば、この優先位置にあるものの領域を優先して決定するための情報である。
【００２９】
次に、フォーマット選択部７ａ及び倍率決定手段７ｂは、その寸法の縦Ｈｘと幅Ｗｘとを比較し大きい方を決定する。ここで、説明上、仮に縦Ｈｘが大きいとする。さらに表示フォーマット記憶手段６から各フォーマット識別名称、それらの各領域識別名称、及び各領域の縦Ｈと幅Ｗを読み出す（図３（Ａ）を参照）。そして、（ａ）各領域の縦の寸法が最大の領域（縦最大領域と言う。）を選択する。（ｂ）倍率Ｍ＝縦最大領域／縦Ｈｘを求め、又、Ｍ×幅Ｗｘを求める。そして、縦最大領域の幅ＷがＭ×Ｗｘより大きいかどうかを確認する。（ｃ）大きいければそれを配置図割当領域と決定し、かつその決定された領域を有するフォーマットを使用するフォーマットとして選択する。
【００３０】
上記（ｂ）の判断の結果として、縦最大領域の幅ＷがＭ×Ｗｘより小さい場合、つまり、（ｃ）の決定が得られかった場合（わかりやすく言えば、縦が入って横が入らない場合）は、縦の長さが２番目の縦領域について上記（ａ）〜（ｃ）を行い、それでも決定できない場合は、さらに、同様に（ａ）〜（ｃ）繰り返して、領域識別名称とそれを有するフォーマット識別名称を決定し、選択する。縦Ｈｘより幅Ｗｘが大ききい場合も上記説明の縦と幅を逆に読み替えれば、同様である。
【００３１】
なお、フォーマット選択部７ａ及び倍率決定手段７ｂは、配置図の表示領域を決定、選択するにあたって、１つのフォーマット中に同一の縦の長さの領域がある場合は、図３（Ｂ）の優先位置を参照して決める。図３（Ｂ）では、左上の位置にある領域が優先的に選択される。そして、画面割付部７ｃは、選択されたフォーマット識別名称のフォーマットの、選択した領域名称の領域に検査対象の配置図を倍率Ｍで割り当てる。
【００３２】
次に、フォーマット選択部７ａ及び倍率決定手段７ｂは、優先順位（図３（Ｂ））に沿って、外観画像、数値データの表示領域を決定する。そして画面割付部７ｃで各データを各領域に割り付ける。例えば、図２で、仮に、Ｈｘ＞Ｗｘ、フォーマットＤｉｓｐ  １、領域１ａを選択した場合、（イ）フォーマットＤｉｓｐ  １の領域１ａに倍率Ｍで配置図を画面割付部７ｃで割り付け、（ロ）図３（Ｂ）から、領域１ｂの寸法と外観画像の寸法とから、Ｗ１ｂ／３ＤＷｓ、Ｈ１ｂ／３ＤＨｓの各比のうち１からずれの大きい比を倍率Ｍｂと決定する。そして画面割付部７ｃで、外観画像データに基づく外観画像を、その倍率Ｍｂで領域１ｂに割り当てる。（ハ）同様に、Ｗ１ｃ／ＩＷｓ、Ｈ１ｃ／ＩＨｓの各比のうちからずれの大きい比を倍率Ｍｃとを決める。そして、画面割付部７ｃは、数値データを、その倍率Ｍｃで領域１ｃに割当てる。なお、図３（Ｂ）の各寸法は、基板１毎に絶対値としてもっていてもよいし、基準化された値として１種類だけもっていて、実際の各データが予め基準値になるよう設定されていてもよい。後者の方が、後々の処理が楽である。
【００３３】
また、フォーマット選択部７ａ及び倍率決定手段７ｂは、外観画像、数値データの表示領域を決定、選択するにあたって、それぞれ１つのフォーマット中に同一の縦の長さの領域がある場合は、図３（Ｂ）の優先位置を参照して決める。
【００３４】
次に、画面割付部７ｃは、上記のようにフォーマット選択部７ａ及び倍率決定手段７ｂが、決定したフォーマットの領域に配置図、外観画像データ及び数値データを割り当てるが、その後に、レイアウト変更指示部９ｃからの指示があれば、その指示により同一フォーマット内のレイアウトを変更する。例えば、図２の領域１ａに割り当てられた配置図を右に配置する指示がレイアウト変更指示部９ｃからあった場合は、その指示の通りに変更するとともに、領域１ｂを左上、領域１ｃを左下へ位置を変更する。
【００３５】
上記、左右の領域を変更するようなレイアウト変更の代わりに、表示フォーマット記憶手段６が、予め、各領域の大きさが同じで領域の位置だけ異なるフォーマットを記憶しておいて、左右の変更指示、或いは上下の変更指示、或いはそれらの組合せによる変更指示があった場合、上記位置だけ異なるフォーマットに取り替えることによって、レイアウト変更させるようにしてもよい。この場合は、レイアウト変更指示部９ｃが、図３（Ｂ）の配置図の優先位置を変更することによって、フォーマット選択手段７ａが変更を行う。
【００３６】
なお、上記、左右の領域を変更する場合は、倍率を変えなかったが、領域はそのままにしておいて、表示内容を変更することもできる。例えば、図４において、現在の左の外観画像と右上の配置図を（領域の大きさを変えることなく、それらの内容を）左に配置図、右上に外観画像とすることもできる。この場合は、割付手段７が倍率を計算し直して割り付け内容を変える。
【００３７】
また、割付手段７は、判定手段４からの検査結果、中でも基板１の良否判定結果は、共通の領域へ割り付ける。数値データ、例えば、評価対象データの数値データ（例えば、印刷はんだ箇所のはんだ面積等）、或いは判定結果にかかる数値データ（例えば、これまでに検査した基板１の良否の統計データ）等は、図４のように固有の領域の一つに割り付ける。なお、数値データを固有の領域に倍率を決定して表示することを説明してきたが、数値データの領域を各フォーマットで同じ大きさの領域としてもよいし、共通の領域に入れてもよい。その理由は、数値データは、配置図、外観画像のように、画像でないため、表示上の見やすさの問題が少ないためである。
【００３８】
表示部８は、表示制御部を有し、上記割付手段７で配置図、外観画像データ、及び数値データを割り付けられたフォーマットを表示する。表示制御部は、その他、操作手段９と連携してマーカ表示を表示し、その制御を行い、操作者が画面を見ながら操作できるようする。
【００３９】
操作手段９は、基板情報入力部９ａ、画像表示箇所指定手段９ｂ、レイアウト変更手段９ｃ、その他、電源スイッチ等（不図示）を実行する操作キー及びそのキーの処理手段を有する。その一部のキーは、図４の共通の領域に表示される。
【００４０】
基板情報入力部９ａは、検査対象となる基板１の配置図及びそれに係る寸法情報等、レファレンス、フォーマットを予め入力するための手段で、表示手段８でライブラリー編集画面を出して、操作できる。画面表示箇所指定部９ｂは、配置図の位置を指定し、その位置における外観画像データを出力させるためのもので、外観画像データの倍率も設定する。倍率は倍率決定部７ｂに設定し、上記（ロ）の倍率Ｍｄを変更してもよいし、基板情報記憶手段５に設定して、図３（Ｂ）の基準値を所望の倍率をかけたものとしてもよい。レイアウト変更指示部９ｃは、フォーマットの領域の大きさを変更することなく、例えば、配置図の位置を右、左、上、下等を指定して変更する（レイアウト変更）するものである。
【００４１】
以下、上記説明の構成による一連の動作を図５を用いて説明する。一部、上記説明と重なるところがある。
【００４２】
予め、操作手段９の基板情報入力部９ａから配置図やレファレンスが入力されているものとする。
ステップＳ１、Ｓ２：電源スイッチをオンにする。基板情報記憶手段５から基板リストを読み出して表示（ライブラリー表示画面）する。
ステップＳ３：操作者が操作手段９でマーカをリストの検査を希望する基板識別名称の上に設定して、クリック（確定）して、検査対象の基板１を選択する。
ステップＳ４：基板情報記憶手段９から検査対象の基板配置図、基板１の寸法情報（図３（Ｂ））、及びレファレンスを読み出す。
【００４３】
ステップＳ５：検査対象の基板１について、測定手段２による測定、画像データ生成手段３による評価対象データの生成、外観画像データの生成、及び判定手段による判定、その判定結果、数値データの生成が開始される。
ステップＳ６：配置図を最大の領域に表示するため、n=１（大きさが一番）とする。
ステップＳ７：配置図の縦Ｈｘが幅Ｗｘより大きいかどうか比較判断する。
ステップＳ８（ステップＳ７−Ｙｅｓ）：表示フォーマット記憶手段６のフォーマットの寸法を含むリスト（図３（Ａ））からｎ番目（ここでは、一番）の縦の長さを有する領域及びその領域を有するフォーマットを選択する。
【００４４】
ステップＳ９：倍率Ｍ＝選択した領域の縦／基板１の縦Ｈｘを計算
ステップＳ１０：選択した領域の幅に配置図が入るかどうかを検討する。つまり、選択した領域の幅が、倍率Ｍ×基板１の幅Ｗｘより大きいかどうかを判断する。
ステップＳ１１：ステップＳ１０で、Ｎｏと判定された場合、つまり、配置図の幅が選択した領域に入りきらない場合は、n=ｎ＋１＝２として、縦の長さが２番目の領域を探して、ステップＳ８，ステップＳ９，ステップＳ１０を行う。以下、同様にして条件が満足する領域を選択する。このようにすることで、配置図を、欠けること無く、最大の領域に表示するができる。
【００４５】
ステップＳ１２、ステップＳ１３、ステップＳ１４，ステップＳ１５：これらのステップを含むルーチンは、ステップＳ７でＮｏと判定された場合に、配置図の幅が最大の領域に入るよう決定されるものである。
ステップＳ１６：割付手段７で説明した動作と同様に、選択したフォーマットの領域に配置図を倍率Ｍで割り当てる。次に優先順位、かつ優先位置（図３（Ｂ））に沿って割り当てる。仮に、Ｈｘ＞Ｗｘ、フォーマットＤｉｓｐ  １、領域１ａを選択した場合、（イ）フォーマットＤｉｓｐ  １の領域１ａに倍率Ｍで配置図を割り付け、（ロ）図３（Ｂ）から、外観画像を領域１ｂの寸法と外観画像の寸法とから、Ｗ１ｂ／３ＤＷｓ、Ｈ１ｂ／３ＤＨｓの各比のうち１からずれの大きい比で倍率を決め、その倍率で領域１ｂに割当てる。（ハ）同様に、Ｗ１ｃ／ＩＷｓ、Ｈ１ｃ／ＩＨｓの各比のうち１からずれの大きい比で倍率を決め、その倍率で数値データを領域１ｃに割当てる。
フォーマットの共通の領域には、良否判定の結果を割り当てる。
ステップＳ１７：操作手段９から領域入替え要求あるかどうかを判断する。
ステップＳ１８：例えば、配置図を左上から右上にする領域入れ替え要求がある場合は、画面割付部９ｃがレイアウトを変更する。
ステップＳ１９：領域変更要求が無ければ、先に選択された領域に各データを表示し、レイアウト変更があった場合は、変更された領域に各データを表示する。
【００４６】
以上の構成、動作により、配置図を基準として最大の領域及びその領域を有するフォーマットを選択して表示できる。また、検査ラインとの関係で、フォーマットの領域をレイアウト変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の機能ブロックを説明するための図である。
【図２】フォーマットの構成例を示す図である。
【図３】（Ａ）は、フォーマットの識別名称、寸法等を記載したリストを示す図である。  （Ｂ）は、検査対象の基板１に係る寸法等を記載したリストを示す図である。
【図４】フォーマットの他の一例を示す図である。
【図５】本発明の概略の動作フローを説明するための図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  基板、  ２  測定手段、  ２ａ  センサ部、  ２ｂ  測定処理部、
３  画像データ生成手段、  ４  判定手段、  ５  基板情報記憶手段
６  表示フォーマット記憶手段、  ７  割付手段、  ８  表示手段、
９  操作手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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