(57)【要約】【課題】フォトマスクを納入時、使用するマスクケースでは、外気の進入を防ぎフォトマスクの汚染を防止できること、及びフォトマスクに異物付着や傷の発生を防止でき、フォトマスクの品質を維持することができるマスク移送冶具を提供することである。【解決手段】マスク移送冶具において、マスクケースの収納室と隣接して予備室とを持ち、収納室と予備室の扉若しくは蓋の閉時にはＯリング等によって完全に密封される構造であり、収納室の天井及び床には、バネが配置され、バネをマスクケースの上下より押し付けて収納室壁より遊離させ、マスクケースへの振動伝達を防止する構造で、保温材及びマスクケースを収納し室内を密封した後、予備室に配置したドレイン用開閉弁より収納室内に不活性ガスを充填させ、収納室内を一定温度に維持するマスク移送冶具及びその冶具を用いて搬送方法。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク基板をマスクケースに格納し搬送するマスク移送冶具において、マスクケースの収納室と該収納室に隣接して予備室を持ち、前記収納室と予備室それぞれに開閉のための扉若しくは蓋を有し、該扉若しくは蓋は閉時にＯリング等によって完全に密封される構造であることを特徴とするマスク移送冶具。
【請求項２】
前記収納室の天井及び床には、バネが組み付けられており、マスクケースを収納後、前記バネをマスクケースに上下の双方向から押し付けてバネの弾力性を用いてマスクケースを収納室壁より遊離させ、マスクケースへの振動伝達を防止させることを特徴とする請求項１記載のマスク移送冶具。
【請求項３】
前記収納室の内壁には、断熱材が組み込まれており、前記予備室に保温材を格納することが可能であり、前記保温材を格納しマスクケースを収納後、収納室内の温度を一定に保つことを特徴とする請求項１、又は２記載のマスク移送冶具。
【請求項４】
前記収納室には、マスクケースを収納し室内を密封した後、前記ドレイン用開閉弁より不活性ガスを室内に充填させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のマスク移送冶具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マスク基板をマスクケースに格納し搬送するマスク移送冶具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造に用いるマスク基板（フォトマスク）において、マスクメーカーがフォトマスクを製造した後、顧客先へフォトマスクを納入するための出荷時では、マスクケースを使用して１枚のフォトマスクを格納し包装した後、さらにエアーキャップ等の緩衝材でマスクケースを包装し、段ボールケース等で梱包して輸送する場合が一般的であった。
【０００３】
又、フォトマスク製造ライン内での工程間の移送においても、マスクケースに格納し、プラスックフイルム等で簡易包装し、密封された状態で搬送されている場合が多かった。
【０００４】
一方では、完成されたフォトマスクをマスクケースに格納する場合、該作業はクリーンルーム内で格納することが一般的である。しかし、クリーンルーム内の環境で格納作業をしても、マスクケースの密封度は高いものでなく、搬送中に外気が進入する可能性が高い。また、プラスックフイルム等で密封包装しても十分ではない問題がある。（特許文献１参照）
【０００５】
又顧客先の要求面では、より高精度化が要求されるフォトマスクでは、搬送途中でのその品質維持が重要であり、外気の進入により不純物の汚染や変質といった品質低下が問題となってくる。（特許文献２参照）
【０００６】
搬送中のフォトマスクにおいて、温度管理などせずに外気の影響の直撃を受ける問題もあった。さらに、マスクケースに振動が伝わると、フォトマスクとマスクケースとの接触及び摩擦等により発塵や傷が発生しフォトマスクの品質の劣化不良となる問題があった。（特許文献３参照）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、フォトマスクを顧客先へ納入時、使用するマスクケースでは、外気の進入を防ぎフォトマスクの汚染を防止できること、及びフォトマスクに異物付着や傷の発生を防止でき、フォトマスクの品質を維持することができるマスク移送冶具を提供することである。
【０００８】
【特許文献１】
特開２０００−１７０８７６号公報
【特許文献２】
特開２０００−２１９６６号公報
【特許文献３】
特開平１１−１５４７００号公報
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係る発明は、マスク基板をマスクケースに格納し搬送するマスク移送冶具において、マスクケースの収納室と該収納室に隣接して予備室を持ち、前記収納室と予備室それぞれに開閉のための扉若しくは蓋を有し、該扉若しくは蓋は閉時にＯリング等によって完全に密封される構造であることを特徴とするマスク移送冶具である。
【００１０】
次に、本発明の請求項２に係る発明は、前記収納室の天井及び床には、バネが組み付けられており、マスクケースを収納後、前記バネをマスクケースに上下の双方向から押し付けてバネの弾力性を用いてマスクケースを収納室壁より遊離させ、マスクケースへの振動伝達を防止させることを特徴とする請求項１記載のマスク移送冶具である。
【００１１】
本発明の請求項３に係る発明は、前記収納室の内壁には、断熱材が組み込まれており、前記予備室に保温材を格納することが可能であり、前記保温材を格納しマスクケースを収納後、収納室内の温度を一定に保つことを特徴とする請求項１、又は２記載のマスク移送冶具である。
【００１２】
本発明の請求項４に係る発明は、前記収納室には、マスクケースを収納し室内を密封した後、前記ドレイン用開閉弁より不活性ガスを室内に充填させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のマスク移送冶具である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明のマスク移送冶具の実施形態を詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明のマスク移送冶具の一実施例を説明する部分平面図である。
【００１５】
図１は、マスク移送冶具の本体（１）の上蓋（３）を除去後の内部平面図である。前記上蓋（３）は、本体（１）と接する面にはＯリング（１０）が組み込まれており密閉可能な状態になる。本体（１）の予備室（２１）の内部には、保温材（８）を装備する空間と、例えば図面上では保温材（８）を装備した状態であり、その奥にガス充填用弁（４）が配置されている。また、図面手前の正面には開閉扉（２）が配置されている。
【００１６】
前記保温材（８）は、該保温材の温度で一定に保つ機能を備えている。さらに、顧客先でのマスク基板の使用環境の温度に近い保温材を装備することにより、顧客側で直ぐに使用することも可能となる効果がある。
【００１７】
図２は、本発明のマスク移送冶具の一実施例を説明する部分正面図である。
【００１８】
図２は、正面側の開閉扉（２）を開いた状態での正面図であり、本体の収納室（３１）にマスクケース（１１）を出し入れ可能な開閉扉（２）がある。なお、本体（１）の上部には、破線により予備室（２１）と、その上に上蓋（３）が配置されている。また、本体（１）が開閉扉（２）の閉時に接する面にはＯリング（９）が組み込まれており密閉可能な状態になる。収納室（３１）の天井及び床面にはバネ機構（６）が取り付けられ、マスクケースを収納時では直接天井及び床面に接することはない。なお、図面上では、マスクケース（１１）を収納した状態を示している。
【００１９】
前記バネ機構（６）は、バネ定数が２０００〜５０００Ｎ／ｃｍ程度バネを複数個取り付け、載置するマスクケースは２〜４ケース程度が適当である。前記バネは同一のバネ定数を持つものを用いるほうが良い。また、バネの取付け位置は、上下に配置したが横揺れ等を想定すると左右の横方向にもバネを配置することも有効である。本実施例において注意することは、載置するマスクケースの数量である。数量が異なると、バネの作用する力が変動して振動防止としての機能を維持することができなくなってしまう。そこで、数量は常に一定数量にしておくことが重要である。移送するマスク基板が少ない場合、空のマスクケースを一緒に載置し、マスクケースの数量を一定にすることで問題は解消される。
【００２０】
図３は、本発明のマスク移送冶具の一実施例を説明する側断面図である。
【００２１】
図３は、図１のｘ−ｙ面の断面図であり、図面右側に開閉扉（２）があり、本体（１）の内側には断熱材（７）が組み込まれている。本体の上部の予備室（２１）には、保温材（８）が収納され、該保温材（８）の効果により収納室（３１）内の室温を一定に保つ機能を備えている。また、図面の左上には、収納室（３１）の内部にガスを充填させるためのガス充填用弁（４）が配置され、前記収納室の内部にガスを供給することができる。更に、図面の右下には前記ガスを収納室（３１）から排出するためにドレイン用弁（５）が取り付けられている。
【００２２】
前記断熱材（７）は保温効果のために用いたものであり、例えば、上蓋（３）及び開閉扉（２）にも断熱材を用いて保温効果を高めることも重要となる。前記ガス充填用弁（４）からガスを充填する場合、前記ドレイン用弁（５）は開放して、充填するガスへの置換を迅速にすることが重要である。一般に、充填するガスは比重の軽いものが多いので、ガス充填用弁（４）は上部に配置し、ドレイン用弁（５）は下部には位置することが好ましい。
【００２３】
【実施例】
以下に具体的な実施例に従って説明する。
【００２４】
＜実施例１＞
本発明のマスク移送冶具の一実施例での取扱の手順に従って説明する。顧客先へ納入するフォトマスクをマスクケース（１１）に収納した。次に、本発明のマスク移送冶具の本体（１）の開閉扉（２）を開けて、前記マスクケース（１１）を収納室（３１）内のバネ機構（６）に載置した。前記バネ機構（６）は、バネ定数が３５００Ｎ／ｃｍ 程度のバネを上下に４個取り付けた。
【００２５】
次に、本体の予備室（２１）に保温材（８）を装備させ、上蓋（３）を取り付け密閉した。前記保温材は、２０℃に７２時間保持できるように選定した。収納室内に、４ケースのマスクケース（１１）を載置した。次に開閉扉（２）を閉めた後、窒素ガスを本体（１）内に充填した。窒素ガスの充填においては、ドレイン用弁（５）を開けておくと、送り込まれた窒素ガスが本体内の空気を押し出すことにより置換がより十分に、より迅速になる。窒素ガスで本体内を充填して、本発明のマスク移送冶具を用いた梱包の手順が終了した。
【００２６】
以上の手順により、本発明のマスク移送冶具に収納した４個のマスクケースは、移送中の環境の温度に大きく影響されたりマスクケース内での結露やフォトマスクの曇り等が発生することがないので、フォトマスクの品質が安定した状態で顧客先にフォトマスクを供給できる。さらに、顧客先でのフォトマスクの使用環境の温度２０℃に維持するように保温材を装備することにより、顧客側で直ぐに使用することも可能となる効果がある。
【００２７】
【発明の効果】
本発明のマスク移送冶具によれば、フォトマスクの基板を顧客先へ納入する場合、又は製作段階のフォトマスクの基板の工場内搬送において、外気によるフォトマスクの基板の汚染や異物付着、傷の発生を防止することができ、フォトマスクの基板の品質を保つことが可能となる。さらには、緩衝材等の包装材料が不要となり経費節減にも効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマスク移送冶具の一実施例を説明する部分平面図である。
【図２】本発明のマスク移送冶具の一実施例を説明する部分正面図である。
【図３】本発明のマスク移送冶具の一実施例を説明するｘ−ｙ面の側断面図である。
【符号の説明】
１…（マスク移送冶具の）本体
２…開閉扉
３…上蓋
４…ガス充填用弁
５…ドレイン用弁
６…バネ機構
７…断熱材
８…保温材
９…Ｏリング
１０…Ｏリング
１１…マスクケース
２１…本体の予備室
３１…本体の収納室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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