(57)【要約】【課題】表示パネル検査用コンタクトプローブシート１０の測定機側におけるリードパターン２と測定機側の配線との確実な接続を実現する。【解決手段】表示パネルの各電極に通電させて、所定の試験を行うために使用する表示パネル検査用コンタクトプローブシート１０であって、試験を行う測定機と表示パネルとを電気的に接続するためのリードパターン２であって、可撓性基板１上に形成されたリードパターン２と、リードパターン２と、測定機側の配線とを電気的に接続するためのバンプ接点３であって、可撓性基板１における、リードパターン２が形成されている面の反対側の面に形成されたバンプ接点３とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルの各電極に通電させて、所定の試験を行うために使用する表示パネル検査用コンタクトプローブシートであって、
前記試験を行う測定機と前記表示パネルとを電気的に接続するためのリードパターンであって、可撓性基板上に形成されたリードパターンと、
前記リードパターンと、前記測定機側の配線とを電気的に接続するためのバンプ接点であって、前記可撓性基板における、前記リードパターンが形成されている面の反対側の面に形成されたバンプ接点と
を備えることを特徴とする表示パネル検査用コンタクトプローブシート。
【請求項２】
前記リードパターンと、前記表示パネルの各電極とを電気的に接続するためのバンプ接点であって、前記可撓性基板における、前記リードパターンが形成されている面の反対側の面に形成されたバンプ接点を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシート。
【請求項３】
前記バンプ接点の形状は、半球状であることを特徴とする請求項１又は２記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシート。
【請求項４】
前記表示パネルは、液晶パネル又は有機ＥＬパネルであることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシート。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートと、前記コンタクトプローブシートにおける少なくとも前記表示パネルの各電極に接続する側を載置し支持するための支持台と、前記支持台に載置された前記コンタクトプローブシートを狭持し固定するための抑え具と、を有することを特徴とする表示パネル検査用コンタクトプローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや有機ＥＬパネルのような高精細映像・画像表示パネルの点灯試験等を行うために用いられる表示パネル検査用コンタクトプローブシート等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル外周縁部に引き出されて形成されたドライバＩＣ等を搭載等するための多数の電極であってドライバＩＣ等の搭載等の前は液晶パネルの検査用電極として使用される液晶パネルの各電極に通電させて、所定の試験を行うために使用する液晶パネル検査用プローブ部材として、例えば、可撓性基板にリードパターンが形成され、前記リードパターンにおける前記液晶パネルの各電極に接続する側に、前記リードパターンと電気的に接続された、前記液晶パネルの各電極に接触するためのバンプ接点（半球面形状をした接点）が設けられているプローブ部材が提案されている。ここで、バンプ接点としては、半球面形状をしたニッケルのコアに金メッキを施したものが用いられている（特許文献１、２）。
【特許文献１】特開平８−２５４６７７号公報  段落
【０００３】
【特許文献２】特開平９−２４３６６６号公報  要約等
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液晶パネルの各電極の配置は、例えば品種毎に異なる場合がある。そのため、検査用プローブ部材は、測定機に対して、取り外し可能に取り付けられる。しかし、近年、液晶パネルの電極が狭幅化するのに伴い、測定機の各配線（例えば中継用フレキシブル基板の配線）の狭幅化も進んでいる。そのため、近年、リードパターンと測定機の各配線との確実な接続や、前記リードパターンと前記測定機側の配線との位置合わせ接続が難しいという問題が生じている。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもめであり、表示パネル検査用コンタクトプローブシートの測定機側における前記リードパターンと前記測定機側の配線との確実な接続を実現でき、しかも前記リードパターンと前記測定機側の配線との位置合わせ接続が容易な表示パネル検査用コンタクトプローブシートの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明は、以下の構成を有する。
（構成１）本発明の構成１に係る発明は、表示パネルの各電極に通電させて、所定の試験を行うために使用する表示パネル検査用コンタクトプローブシートであって、上記試験を行う測定機と上記表示パネルとを電気的に接続するためのリードパターンであって、可撓性基板上に形成されたリードパターンと、上記リードパターンと、上記測定機側の配線とを電気的に接続するためのバンプ接点であって、上記可撓性基板における、上記リードパターンが形成されている面の反対側の面に形成されたバンプ接点とを備えることを特徴とする表示パネル検査用コンタクトプローブシートである。
上記構成１によれば、バンプ接点を用いることにより、リードパターンと、測定機側の配線との電気的接続を、確実に行うことができる。
なお、狭幅化・狭ピッチ化が進んだ場合、バンプ接点を介在させないで、表示パネル検査用コンタクトプローブシートの測定機側における前記リードパターンと前記測定機側の配線（リードパターン）とを直接接続すると、接続が不確実となる恐れがある。
例えば、バンプ接点を介在させないで、表示パネル検査用コンタクトプローブシートの測定機側におけるリードパターンと測定機側の配線とを直接接続しようとすると、確実な接続は難しい。これは、リードパターン及び配線の両方ともが微細な細線状であるため、両者を確実に重なり合わせるための位置合わせ接続が非常難しいためである。また、この場合、両者を接触面の全体に亘って十分に接触させなければ、十分な電気的接続を得られないため、わずかな誤差により、接続が不十分になってしまうおそれもある。
しかし、バンプ接点を用いた場合には、このバンプ接点を、測定機側の配線のいずれかの箇所に接触させればよいため、位置あわせが容易になる。例えば、リードパターンと測定機側の配線との間のピッチ等に多少のずれがあったとしても、バンプ接点による点接触であるため、位置合わせ接続が容易である。また、バンプ接点と配線とは、点で接触するため、確実に電気的接続させやすい。
【０００６】
ここで、近年、表示パネルの各電極パターンの幅・ピッチの狭幅化・狭ピッチ化に対応してコンタクトプローブシート上（可撓性基板上）に形成されたリードパターン（Ｌ＆Ｓパターン）も狭幅化・狭ピッチ化している。また、これに伴い、コンタクトプローブシート上における測定機と接続される部分におけるリードパターンも狭幅化・狭ピッチ化している。
例えば、表示パネルの各電極と接続する側のライン幅（電極の幅）が５０μｍ以下に狭幅化した場合、それと対応して、測定機側のリードパターン（Ｌ＆Ｓパターン）のライン幅（電極の幅）は５０μｍ以下に狭幅化する必要がある。また、ライン幅の狭幅化とともに、狭ピッチ化の傾向にある。
これに対し、本発明によれば、バンプ接点を用いることにより、測定機側のリードパターンのライン幅（電極の幅）が５０μｍ以下に狭幅化した場合であっても、リードパターンと、測定機側の配線とを、隣の配線とショートせずに、確実に電気的に接続させることができる。したがって、本発明のコンタクトプローブシートは、表示パネルの各電極パターンのライン幅が５０μｍ以下、前記測定機側のライン幅（電極の幅）が５０μｍ以下のような表示パネルの検査に適している。
なお、バンプ接点は、例えばリードパターン上に重ねて形成することにより、リードパターンと同じ側に設けることも考えられる。しかし、この場合、バンプ接点の高さ等を制御するのが困難になり、バンプ接点の大きさにバラツキが生じてしまう。一方、本発明の構成においては、可撓性基板を挟んで、リードパターンとバンプ接点とを反対側に形成することにより、バンプ接点を、高い精度で形成することができる。
【０００７】
（構成２）本発明の構成２に係る発明は、
上記リードパターンと、上記表示パネルの各電極とを電気的に接続するためのバンプ接点であって、上記可撓性基板における、上記リードパターンが形成されている面の反対側の面に形成されたバンプ接点を更に備えることを特徴とする構成１に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートである。
上記構成２によれば、表示パネルの各電極に接触するためのバンプ接点も、可撓性基板をはさんでリードパターンと反対側に設けられる。この場合、可撓性基板は、表示パネル等とリードパターンとの間に配置される。そのため、例えば表示パネルを構成する基板からのガラス片等から、リードパターンを保護することができる。
また、この場合、表示パネルの各電極に接触するためのバンプ接点側と、可撓性基板を挟んで対向する辺に位置する測定機と接続するためのバンプ接点側との水平位置等を、フレキシブルな可撓性基板の屈曲によって、自由に設定可能となる。また中継用フレキシブル基板側を固定し、前記表示パネルの各電極に接触するためのバンプ接点側を昇降等させること可能となる。
【０００８】
（構成３）本発明の構成３に係る発明は、
上記バンプ接点の形状は、半球状であることを特徴とする上記構成１又は２記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートである。
上記構成３によれば、バンプ接点の形状を半球状とすることにより、測定機側の配線や表示パネル側の電極と点接触させることができ、異物が万が一介在されることによる接触不良を回避でき、又面接触する場合と比べて試験時の接触圧を低減できるので、被接触側のダメージも少ない。
【０００９】
（構成４）本発明の構成４に係る発明は、
上記表示パネルは、液晶パネル又は有機ＥＬパネルであることを特徴とする上記構成１乃至４の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートである。
上記構成４のように、本発明のコンタクトプローブシートは、表示パネルの各電極パターンのライン幅が５０μｍ以下のような表示パネルの検査に適している。
【００１０】
本発明のコンタクトプローブシートは、高精細映像・画像表示パネルの各電極パターンのピッチが５０μｍ以下の狭ピッチのものにおいて特に有効である。更には３０μｍ以下のピッチの表示パネルでは更に有効である。このような高精細映像・画像表示パネルとしては、液晶パネル、有機ＥＬパネル、プラズマディスプレイパネル等がある。
【００１１】
（構成５）本発明の構成５に係る発明は、
上記構成１乃至４の何れか一に記載の表示パネル検査用コンタクトプローブシートと、前記コンタクトプローブシートにおける少なくとも前記表示パネルの各電極に接続する側を載置し支持するための支持台と、を有することを特徴とする表示パネル検査用コンタクトプローブユニットである。
上記構成５によれば、リードパターンと、測定機側の配線との電気的接続を、確実に行うことができる表示パネル検査用コンタクトプローブシートを具備した表示パネル検査用コンタクトプローブユニットを提供できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、表示パネル検査用コンタクトプローブシートの測定機側におけるリードパターンと測定機側の配線との確実な接続を実現できる。
また、本発明の表示パネル検査用コンタクトプローブシートに適した表示パネル検査用コンタクトプローブユニットを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。
まず、本発明の液晶パネル検査用コンタクトプローブシートについて説明する。
本発明の液晶パネル検査用コンタクトプローブシート１０は、図１の一実施形態に示すように、
可撓性基板１上に形成されたリードパターン２と、バンプ接点３とを備える。リードパターン２は、試験を行う測定機と表示パネルとを電気的に接続するための配線である。バンプ接点３は、リードパターン２と接続された端子であり、液晶パネル検査用コンタクトプローブシート１０における、中継用フレキシブル基板接続側と、表示パネル接続側とに設けられている。そして、中継用フレキシブル基板接続側のバンプ接点３は、リードパターン２と、上記測定機側の配線とを電気的に接続する。そして、このバンプ接点３は、可撓性基板１における、リードパターン２が形成されている面の反対側の面（可撓性基板１を挟んでリードパターン２と反対側）に形成されている（構成１）。尚、中継用フレキシブル基板は、測定機側の配線の一例である。
また、本発明において、上記構成２で述べたように、表示パネル接続側のバンプ接点３は、リードパターン２と、表示パネルの各電極とを電気的に接続する。そして、このバンプ接点３は、可撓性基板１における、リードパターン２が形成されている面の反対側の面に形成されているのが好ましい。中継用フレキシブル基板接続側及び表示パネル接続側のバンプ接点３は、可撓性基板１に設けられたスルーホールを介して、リードパターン２と接続される。
【００１４】
本発明において、可撓性基板の材料としては、ポリイミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ＡＢＳ系樹脂、ポリカーポネート系樹脂、シリコーン系樹脂などが挙げられる。可撓性基板の厚さは任意に選択できるが、十分な機械的強度や可撓性を有するようにするため、通常、２μｍ〜５００μｍの範囲で設定する。
リードパターン、及びリードパターンとバンプ接点とを接続するための材料としては、導電性を有するものであれば特に限定されないが、公知の良導体金属が好ましい。例えば、銅、金、銀、白金、鉛、錫、ニッケル、鉄、コバルト、インジウム、ロジウム、クロム、タングステン、ルテニウムなどの単体金属、またはこれらを成分とする各種合金、などが挙げられる。
リードパターンを形成する方法としては、可撓性基板の全面に導電性材料層を形成し、目的の回路パターンを残すように他の部分をエッチング等により除去する方法等が挙げられる。
【００１５】
リードパターンとバンプ接点とを連通させ電気的に接続するための可撓性基板に形成されるスルーホールの孔径は限定されないが、隣り合ったスルーホール同士が繋がらない程度まで大きくすることによって、導通部の電気抵抗を小さくできるので好ましい。スルーホールの実用的な孔径は、５μｍ〜２００μｍである。表示パネルの検査に使用するコンタクトプローブシートの場合、５μｍ〜２０μｍとすることが好ましい。スルーホールの形成方法としては、レーザー加工法、フォトリソグラフィー法、プラズマ加工法、パンチングなどの機械的加工、などの方法が挙げられる。これらの方法の中でも、エキシマレーザー、炭酸ガスレーザー、ＹＡＧレーザーなどによるレーザー加工は、スルーホールを任意の孔径や孔間ピッチにて微細加工が可能であり、バンプ接点のファインピッチ化に対応でき、好ましい方法である。
また、リードパターンとバンプ接点とを電気的に接続するため手段としては、スルーホール内に導電性物質を充填してなるもの、スルーホールメッキのように貫通孔の壁面に導電性物質の層を形成してなるものなどがある。形成方法としては、電気メッキ法や無電解メッキ法、ＣＶＤ法などの成膜方法、機械的に導電性物質をスルーホール内に嵌め込む方法、なとが挙げられる。これらの方法の中でもスルーホール内にリードパターンの一部を構成する材料を露出させ、この材料を負極として電気メッキによってスルーホール内に導電性物質を充填する方法が、確実な導通が得られ、かつ簡便であるので好ましい。
また、バンプ接点の形状は、可撓性基板面からの突出の有無を問わず、接触対象物の形状や材料に応じて、凸状、凹状、平坦パッド状、どのような形状であっても良いが、半球状に突起したものが最も有用である。ここでいう半球状とは完全な半球だけではなく、単調な曲面を持って突起した形状を含む。バンプ接点は複数としても良く、その個数、配置等は限定されない。
【００１６】
また、本発明においては、バンプ接点を、金属と炭素を含む材料で構成することにより、バンプ接点を構成する結晶の粒径が小さくなることで、バンプ接点表面の表面粗さを小さくすることができる。これに加え、各金属結晶の粒界に炭素が集中することで硬度が高くなるか、または、金属の結晶の間に硬度が高い金属の炭化物が入りこみバンプ接点全体として硬度が高くなるので、コンタクトプローブシートの寿命が飛躍的に向上する。また、この場合、中継用フレキシブル基板における配線や、表示パネルの電極に対するダメージを防止することができる。バンプ接点を構成する金属としては、Ｎｉが好ましい。金属としてＮｉを用いた場合、バンプ接点中に含まれる炭素は、ニッケルカーバイドの形で存在する。
なお、中継用フレキシブル基板接続側のバンプ接点３の材料と、表示パネル接続側のバンプ接点３の材料とは、同じにした方が好ましい。その材料は、導電性を有する他のもの（例えば金属又は合金）であってよい。
【００１７】
バンプ接点中に炭素を含有させる方法としては、メッキ溶液中にメッキ溶液に溶解する有機物質を入れ、メッキ条件を調整することによってできる。メッキ溶液中にいれる有機物質としては、メッキ溶液に溶解する有機物質であって、バンプ接点を電気メッキ法等で製造する際に、バンプ接点に炭素が取り込まれる作用を有する有機物質であれば良い。例えば、炭酸（Ｈ２ＣＯ３）、二酸化炭素（ＣＯ２）、サンカリン、ショ糖、ブドウ糖などであっても良い。
【００１８】
また、バンプ接点表面には、金メッキを形成してもよい。金メッキはＮｉ等からなるコアバンプと比べ柔らかい材料であり、また、金の電気伝導性（電気的接触性）によって、１バンプ接点当たりの加重を従来の１／２〜１／３に低減することができるため、中継用フレキシブル基板におけるフレキ配線や、表示パネルの電極に対するダメージを防止することができる。金メッキの条件、厚さ、表面粗さ等は、上記作用効果が効果的に得られるように調整する。
【００１９】
次に、本発明の表示パネル検査用コンタクトプローブシートの製造方法について、図２を参照して説明する。
（工程１）：まず、銅箔１１とポリイミドフィルム１２とを積層した構造のフィルム１３を張力が均一に係った状態で固定治具２０に固定する（図２（１））。
（工程２）：次に、銅箔１１を周知のリソグラフィー法でエッチングしてリードパターンを形成した後、液晶パネルの電極と接続する側に表示パネルの電極のピッチと同じピッチ（約４０μｍ）でエキシマレーザーにより、ポリイミドフィルム１２に直径約１０μｍのスルーホール１４を形成する。
また、液晶パネルの電極と接続する側とは反対側である、中継用フレキシブル基板と接続する側に、中継用フレキシブル基板の配線パターンと同じピッチ（約８０μｍ）でエキシマレーザーによりポリイミドフィルムに直径約１０μｍのスルーホール１４’を形成する（図２（２））。
（工程３）：次に、表面側の銅箔面（リードパターン側の面）がメッキされないように保護した後、銅箔１１（各リードパターン）の一部にそれぞれメッキ用電極を持続し、スルーホール内に露出した銅箔を負極として、ニッケルと炭素を含むニッケル合金の電気メッキを行う。
ニッケル合金をスルーホール内に析出させて充填し、さらに析出を継続して、ポリイミド面１２’から約１０μｍ突出した高さまで半球状に成長させて、バンプ接点３を形成した（図２（３））。尚、電気メッキの際に、メッキ液へ強度増強剤及び応力緩和剤を添加するとともに、メッキ条件並びに硬度増強剤及び応力緩和剤の量を調整することによって、バンプ接点３を構成する材料の結晶粒径を制御して、バンプ接点３表面の表面粗さを制御（鏡面化）した。
（工程４）：最後に、固定治具２０から積層構造フィルム１３を外して液晶パネル検査用コンタクトプローブシート１０を作製する（図２（４））。
【００２０】
次に、本発明の表示パネル検査用コンタクトプローブユニットについて説明する。
本発明の表示パネル検査用コンタクトプローブユニットは、図３の一実施形態に示すように、表示パネル検査用コンタクトプローブシート１０と、前記コンタクトプローブシート１０における少なくとも前記表示パネルの各電極に接続する側を載置し支持するための支持台（シートを固定させる筐体）３０と、を有する。
支持台おける少なくとも前記表示パネルの各電極に接続する側を載置し支持する面は、平坦（好ましくは±５μｍ程度）とすることが好ましい。支持台の材質はアルミニウム、ＳＵＳなどが好ましい。
表示パネル検査用コンタクトプローブシート１０と支持台３０との間には、弾性シート（シリコンゴムシート）４０を介在させることが好ましい。弾性シートとプローブシートとの間は接着する必要はなくプローブシートの交換が容易である。
表示パネル検査用コンタクトプローブシート１０を、支持台３０上の所定位置に位置決め固定するためには、例えば、支持台３０上の所定位置に位置決め用のピンを設け、このピンに表示パネル検査用コンタクトプローブシート１０に設けた穴を通す手段が簡便でありしかも高位置精度が実現できる。プローブシートの交換も容易である。
また、表示パネル検査用コンタクトプローブシート１０及び支持台３０に、それぞれアライメントマークを設け、表示パネル検査用コンタクトプローブシートを、支持台上の所定位置に位置決め固定することもできる。
表示パネル検査用コンタクトプローブシート及び支持台には、それぞれ、表示パネル側のアライメントマークと位置あわせするためのアライメントマークを設けることができる。
【００２１】
本発明の液晶パネル検査用コンタクトプローブユニットは、前記支持台に載置された前記コンタクトプローブシートを狭持し固定するための抑え具、を有することが好ましい。
これは、前記支持台に載置されたコンタクトプローブシートを抑え具により上方から狭持することによって、繰り返しコンタクトさせた場合であってもコンタクトプローブシートに位置ずれ等を生じさせず、確実且つ安定的な表示パネル検査用コンタクトプローブユニットを提供できるからである。
また、支持台３０は、昇降機構及び加圧機構等で駆動することによって、表示パネルの検査を行う。この場合、支持台３０は、表示パネル検査用コンタクトプローブシート１０における、表示パネル（例えば液晶パネル）に近い部分のみを昇降させてよい。この場合、中継用フレキシブル基板における配線と、中継用フレキシブル基板側のバンプ接点とは、一旦位置あわせされて接続した後は、接続を保持する。
上記構成によれば、コンタクトプローブシート１０の測定機側におけるリードパターンと測定機の配線とをバンプ接点を介在させて接続を行うことによって、測定機とコンタクトプローブシート１０との電気的接続を、確実に行うことができる。
【００２２】
次に、本発明の実施例について説明する。
（実施例１）
上述の液晶パネル検査用コンタクトプローブシートの製造方法により、ポリイミドフィルムと鋼箔とを積層した構造の２層フィルム（ポリイミド膜厚１２．５μｍ、鋼箔厚５μｍ）を用い、銅からなるリードパターンのピッチが約４０μｍ、リードパターンの線幅が約２５μｍ、リードパターンの裏面に形成されたニッケルと炭素とを含むバンプ接点（中継用フレキシブル基板側、表示パネル側）のバンプ径（直径）が約３０μｍ、高さが約１０μｍの液晶パネル検査用コンタクトプローブシートを作製した。（図１態様）
上記で得られたコンタクトプローブシートをコンタクトプローブユニットを介して液晶パネル検査装置に装着し、有機ＥＬパネルの検査を行った。
なお、液晶パネル検査装置は測定機の一例である。また、検査に先立ち、液晶パネル検査装置の配線である中継フレキ配線とバンプ接点とを接触させて抑え具により固定した。
有機ＥＬパネルの検査を１０万回行った後、コンタクトプローブシートをコンタクトプローブユニットから取り外した。
１０万回の検査の間、中継フレキ配線とバンプ接点とは良好に接触していた。そのため、液晶パネル検査装置と、コンタクトプローブシートとの電気的接続は良好であり、問題は生じなかった。また、バンプ接点の加圧接触によって接続していた中継用フレキシブル基板上の各配線パターン、表示パネル側の各電極を顕微鏡で観察したが、ダメージは形成されていなかった。
コンタクトプローブシートを新しいものに交換し、有機ＥＬパネルの検査を行った。検査１０万回毎に、コンタクトプローブシートを新しいものに１０回交換し、有機ＥＬパネルの検査を１００万回行ったが、液晶パネル検査装置と、コンタクトプローブシートとの電気的接続は常に良好であった。また、中継用フレキシブル基板の配線とバンプ接点でショートは発生しなかった。また、中継用フレキシブル基板上の各配線パターンには顕微鏡観察によるダメージは形成されておらず、中継用フレキシブル基板の交換は不要であった。
【００２３】
（実施例２）
実施例１のバンプ接点表面に、厚さ０．１ｎｍ〜０．２ｎｍの金メッキを形成した以外は実施例１と同様にして液晶パネル検査用コンタクトプローブシートを作製した。実施例１と同様にして、検査１０万回毎に、コンタクトプローブシートを新しいものに１０回交換し、有機ＥＬパネルの検査を１００万回行った。
この場合も、液晶パネル検査装置と、コンタクトプローブシートとの電気的接続は常に良好であった。また、中継用フレキシブル基板の配線とバンプ接点でショートは発生しなかった。また、中継用フレキシブル基板上の各配線パターンには顕微鏡観察によるダメージは形成されておらず、中継用フレキシブル基板の交換は不要であった。
【００２４】
（比較例）
実施例１のコンタクトプローブシートにおいて、中継用フレキシブル基板側にバンプ接点を形成せず、リードパターンと、中継用フレキシブル基板の配線とを、接着剤により固定した。また、コンタクトプローブシートの交換は、接着剤用剥離液を用いて行った。
上記以外は実施例１と同様にして、有機ＥＬパネルの検査を行った。また、検査１０万回毎に、コンタクトプローブシートを新しいものに交換した。
この場合、コンタクトプローブシートの交換により、リードパターンと、中継用フレキシブル基板の配線とが、異物等の介在や、リードパターンが隣の配線と接触するなどで、適切に接触しなくなり、液晶パネル検査装置と、コンタクトプローブシートとの電気的接続が不良になる場合があった。また、３０万回の検査の時点で、中継用フレキシブル基板の配線に接触不良が発生し、中継用フレキシブル基板を交換しなければ検査を続けることができなかった。
【００２５】
以上の実施例及び比較例の結果から、実施例のように、コンタクトプローブシートと中継用フレキシブル基板とを、可撓性基板を挟んでリードパターンと反対側に形成されたバンプ接点により接続させることにより、表示パネル検査用コンタクトプローブシートの測定機側におけるリードパターンと測定機側の配線との確実な接続を実現できる。また、中継用フレキシブル基板の配線に対するダメージを防止することができるため、中継用フレキシブル基板を長期間に亘って使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施の形態にかかる液晶パネル検査用コンタクトプローブシートを説明するための平面図である。
【図２】本発明の表示パネル検査用コンタクトプローブシートの一実施の形態にかかる製造方法について説明するための工程図である。
【図３】本発明の一実施の形態にかかる液晶パネル検査用コンタクトプローブユニットを説明するための部分断面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１    可撓性基板
２    リードパターン
３    バンプ接点
１０  表示パネル検査用コンタクトプローブシート
３０  支持台
【図１】
2005291919.tif 000003
【図２】
2005291919.tif 000004
【図３】
2005291919.tif 000005