(57)【要約】【課題】永久磁石からの磁気をコイル中心の軸方向に与えることができるハイブリッド型磁石を提供する。【解決手段】ハイブリッド型磁石５は、磁性体で形成されたヨーク５０と、前記ヨーク本体５１の内周面に固定された円筒形の永久磁石５４と、前記永久磁石５４の内周面に装着された磁界発生用空芯コイル５５とからなる。閉磁路Ｂを形成するように、磁界発生用空芯コイル５５に励磁電流を供給する。この場合、ヨーク本体５１において、閉磁路Ｂを回る磁力線は閉磁路Ａを回る磁力線と逆向きに回っており、尚かつ閉磁路Ａを回る磁束数よりも多量の磁束数を発生するように励磁電流を供給している。したがって、閉磁路Ａを回る磁力線は、閉磁路Ｂを回る磁力線によって押し戻されて、閉磁路Ｃを回るようになる。その結果、磁界発生用空芯コイル５５の中心の軸方向には、永久磁石５４からの磁気と、磁界発生用空芯コイル５５からの磁気とが与えられる。【選択図】      図４
2005012027.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヨークと、
前記ヨーク内に配線され、電流の供給に基づいて軸心方向に磁力線を発生させるコイルと、
前記ヨークに磁極が接するとともに、コイルの磁力線に沿う方向に磁力線を発生させる永久磁石と
を備えたことを特徴とするハイブリッド型磁石。
【請求項２】
請求項１に記載のハイブリッド型磁石であって、
前記コイルへの電流供給時にそのコイルが発生させる磁力線は、前記コイルへの電流未供給時に前記永久磁石が発生させる磁力線よりも多量であるとともに、
前記ヨークの側面中では、電流供給時にコイルが発生させる磁力線と、電流未供給時に永久磁石が発生させる磁力線とは互いに逆向きである
ことを特徴とするハイブリッド型磁石。
【請求項３】
請求項２に記載のハイブリッド型磁石であって、
前記永久磁石は、前記コイルの外周面を覆う円筒形であることを特徴とするハイブリッド型磁石。
【請求項４】
請求項２に記載のハイブリッド型磁石であって、
前記永久磁石は、複数の永久磁石で形成されていることを特徴とするハイブリッド型磁石。
【請求項５】
請求項４に記載のハイブリッド型磁石であって、
前記ヨークは円筒形であり、前記複数の永久磁石は、前記ヨークの内周面に沿って湾曲した永久磁石であることを特徴とするハイブリッド型磁石。
【請求項６】
請求項４に記載のハイブリッド型磁石であって、
前記複数の永久磁石は、平板状の永久磁石であることを特徴とするハイブリッド型磁石。
【請求項７】
請求項６に記載のハイブリッド型磁石であって、
前記ヨークの内周は多角形であることを特徴とするハイブリッド型磁石。
【請求項８】
請求項７に記載のハイブリッド型磁石であって、
前記コイルはその外周が平面で構成される多角形であることを特徴とするハイブリッド型磁石。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載のハイブリッド型磁石であって、
前記永久磁石は、軸方向中央部を境としてＮ極とＳ極とがヨークとの接面に着磁されている極異方性永久磁石であることを特徴とするハイブリッド型磁石。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載のハイブリッド型磁石と、
磁歪素子を含む変位発生手段と
を備えたことを特徴とする磁歪式アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は永久磁石と電磁石とを組み合わせて構成されるハイブリッド型磁石に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、磁歪式アクチュエータでは、コイルを用いて磁歪素子の軸方向に磁気を与えることにより、磁歪素子に変位を発生させていた。
【０００３】
また、永久磁石から発生する磁気をコイルの発生する磁界により外部に与える手段として、永久磁石と電磁石とを組み合わせて構成されるハイブリッド型磁石が知られている。
【０００４】
永久磁石と電磁石とを組み合わせて構成されるハイブリッド型磁石は、例えば、特許文献１にて開示されているような構成としたものがある。このハイブリッド型磁石は、直方体の永久磁石の両端面に磁極を有する永久磁石と、その永久磁石の両端面側に磁気的に接続された電磁石とからなる。前記電磁石は、永久磁石の両端面を基端としてそれぞれ延びた２つのＩ字状の磁性体と、前記Ｉ字状の磁性体の端面に、永久磁石と輪を形成するように結合されたＵ字状の磁性体と、前記Ｕ字状の磁性体に設けられたコイルとを有している。
【０００５】
特許文献１にて開示されているハイブリッド型磁石において、コイルに電流が流れると、永久磁石からの磁気は、永久磁石側で外部に流出する。このハイブリッド型磁石を用いてモータを作成した場合、ハイブリッド型磁石から発せられる磁気は、ロータ側でロータの径方向に流出する。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−３０７９１９号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、磁歪式アクチュエータにおいてコイルのみから与えられる磁気では、磁歪素子の十分な変位を得ることが困難であり、もっと多量の磁気を与える必要があった。
【０００８】
また、特許文献１にて開示されているハイブリッド型磁石では、永久磁石からの磁気をコイル中心の軸方向に与えることができなかった。そのため、軸方向に磁気を与えて磁歪素子に変位を発生させる磁歪式アクチュエータへの適用ができなかった。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、永久磁石からの磁気をコイル中心の軸方向に与えることができるハイブリッド型磁石を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため、請求項１に記載の発明は、ヨークと、前記ヨーク内に配線され、電流の供給に基づいて軸心方向に磁力線を発生させるコイルと、前記ヨークに磁極が接するとともに、コイルの磁力線に沿う方向に磁力線を発生させる永久磁石とを備えた。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のハイブリッド型磁石において、前記コイルへの電流供給時にそのコイルが発生させる磁力線は、前記コイルへの電流未供給時に前記永久磁石が発生させる磁力線よりも多量であるとともに、前記ヨークの側面中では、電流供給時にコイルが発生させる磁力線と、電流未供給時に永久磁石が発生させる磁力線とは互いに逆向きであるとした。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のハイブリッド型磁石において、前記永久磁石は、前記コイルの外周面を覆う円筒形であるとした。
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載のハイブリッド型磁石において、前記永久磁石は、複数の永久磁石で形成されているとした。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のハイブリッド型磁石において、前記ヨークは円筒形であり、前記複数の永久磁石は、前記ヨークの内周面に沿って湾曲した永久磁石であるとした。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項４に記載のハイブリッド型磁石において、前記複数の永久磁石は、平板状の永久磁石であるとした。
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のハイブリッド型磁石において、前記ヨークの内周は多角形であるとした。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のハイブリッド型磁石において、前記コイルはその外周が平面で構成される多角形であるとした。
請求項９に記載の発明は、請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載のハイブリッド型磁石において、前記永久磁石は、軸方向中央部を境としてＮ極とＳ極とがヨークとの接面に着磁されている極異方性永久磁石であるとした。
【００１６】
請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至９のいずれか１項に記載のハイブリッド型磁石を、磁歪素子を含む変位発生手段を備えた磁歪式アクチュエータに用いた。
【００１７】
（作用）
請求項１に記載の発明によれば、電流未供給時に永久磁石から発生される磁力線はヨーク内を回る閉磁路を形成する。その磁力線とは逆向きで磁束数が多量の磁力線が発生されるように、コイルに励磁電流を供給し磁界を発生させる。その結果、コイルからの磁力線によって永久磁石から発生される磁力線は、コイルからの磁力線とともに中心部で軸方向に磁気を与えるようになる。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、コイルへの電流供給時にコイルが発生させる磁力線は、コイルへの電流未供給時に永久磁石が発生させる磁力線よりも多量である。また、ヨークの側面中では、それら２つの磁力線は、逆向きになるようにしているため、永久磁石から発生される磁力線は、電流供給時にコイルから発生される磁力線に押し戻されてコイル軸心方向を回る。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、永久磁石が円筒形であるためコイル側面が永久磁石に覆われて守られる。
請求項４に記載の発明によれば、永久磁石を複数で構成しているため、永久磁石の製造が容易である。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、永久磁石の形状を、ヨークの内周面に沿って湾曲したものとしているため、ヨークに固定しやすい。
請求項６に記載の発明によれば、永久磁石は平板状であるため、さらに製造が容易である。
【００２１】
請求項７に記載の発明によれば、ヨークの内周は多角形であるため、平板状の永久磁石を固定しやすい。
請求項８に記載の発明によれば、コイルの外周が平面で構成された多角形であるため、コイル及び永久磁石がヨーク内の一定の位置に保持されやすい。
【００２２】
請求項９に記載の発明によれば、軸方向中央部を境としてＮ極とＳ極とがヨークとの接面に着磁されている極異方性永久磁石を用いることにより、永久磁石の磁力線を発生する面とヨークとの接面の面積が大きくなる。よって、多量の磁力線をコイル中心の軸方向に与えることができる。
【００２３】
請求項１０に記載の発明によれば、請求項１乃至９のいずれか１項に記載のハイブリッド型磁石を磁歪式アクチュエータに用いることで、コイルからの磁気と、永久磁石からの磁気とを磁歪素子に与えて磁歪素子により大きな変位を発生させる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を磁歪式アクチュエータに利用した場合の実施形態を説明する。
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した第１実施形態を図面に従って説明する。
【００２５】
図１は本第１実施形態における磁歪式アクチュエータの正断面図を示す。図１に示すように、ハウジング１は、円筒形のハウジング本体２とそのハウジング本体２の両端に固定されたエンドプレート３，４とで構成されている。前記エンドプレート４の中央には、第１出力孔４ａが設けられており、前記エンドプレート３の内側には、磁気発生手段としてのハイブリッド型磁石５が備えられている。
【００２６】
図３に示すように、前記ハイブリッド型磁石５は、磁性体で形成されるヨーク５０と、円筒形の永久磁石５４と、磁界発生用空芯コイル５５とからなる。前記ヨーク５０は円筒形のヨーク本体５１と、そのヨーク本体５１の両端に固定される２つのエンドプレート５２，５３とで構成されている。前記ヨーク本体５１の内側には、前記永久磁石５４が固定され、その永久磁石５４の内側には磁界発生用空芯コイル５５が装着されている。
【００２７】
エンドプレート５３の中央には、第２出力孔５３ａが設けられている。また、前記磁界発生用空芯コイル５５の中央には、磁歪素子挿入孔５５ａが設けられており、その磁歪素子挿入孔５５ａには、円柱形の磁歪素子６が挿入されている。
【００２８】
図４（ａ）に示すように、前記永久磁石５４は一端面にＮ極を有しており、他端面にＳ極を有している。また、永久磁石５４の磁極を有する部分は、前記エンドプレート５２，５３に接している。
【００２９】
磁界発生用空芯コイル５５には外部の電流供給装置（図示しない）から励磁電流が供給され、磁歪素子６の軸方向に周期的に磁気が与えられる。
前記ハイブリッド型磁石５の前記エンドプレート３と逆側には、プレート７が設けられている。そのプレート７は、前記ハウジング１の内部を２つに仕切るように、前記ハウジング本体２の内周面に固定されている。前記プレート７の中央には、シャフト挿入孔７ａが設けられている。また、プレート７の周縁部には、４つの挿入孔８ａ，８ｂ（図１中では２つのみ図示している）が周方向に等角度間隔で設けられている。前記挿入孔８ａ，８ｂの前記エンドプレート３側の開口部には、電磁石９（図１中では２つのみ図示している）がそれぞれ固定されている。電磁石９には、外部の電流供給装置（図示しない）から励磁電流が供給される。
【００３０】
前記プレート７のエンドプレート４側には、外部に変位を出力する変位出力部１０が備えられている。変位出力部１０は、円形の本体から、前記ハウジング１の径方向に張り出した張出部１０ａと、前記エンドプレート４側で軸方向に突出する突出部１０ｂとを有している。突出部１０ｂは、前記第１出力孔４ａを通って、前記ハウジング１の外部に突出している。また、変位出力部１０の中央にはシャフト挿入穴１２が設けられており、そのシャフト挿入穴１２にはシャフト１１が挿入されている。
【００３１】
前記シャフト挿入穴１２の底部には、付勢部材としての圧縮コイルばね１３が備えられており、その圧縮コイルばね１３は前記シャフト１１を付勢している。前記シャフト１１は、前記シャフト挿入孔７ａ及び前記第２出力孔５３ａを通って前記磁歪素子６と固着されており、そのシャフト１１と前記磁歪素子６とは変位発生手段としての役割を果たす。
【００３２】
前記シャフト挿入穴１２の中央部付近には、円錐台形に形成されたラッチ収容凹部１４が設けられており、ラッチ収容凹部１４は斜面１４ａを有している。また、ラッチ収容凹部１４には、ラッチ１７が、周方向に等角度間隔で４つ配設されている（図１中では２つのみ図示している）。尚、ラッチ１７はステンレス鋼で形成されたコイルばね１５と、当接部材としての球１６とから構成される。球１６は、前記斜面１４ａと、前記シャフト１１の外周面とに常に接して、シャフト１１に伝達された磁歪素子６の変位を、シャフト１１とともに変位出力部１０に伝える役割を果たす。
【００３３】
前記張出部１０ａは、前記プレート７に近づくにつれて前記ハウジング１の内周面から離れるような斜面１８を有している。
前記張出部１０ａの前記プレート７側には、４つの支持部１９（図１中では２つのみ図示している）が設けられている。その支持部１９の前記プレート７側には、磁性体で形成された支持シャフト２０がそれぞれ設けられている。支持シャフト２０は、前記支持部１９と前記プレート７との間に設けられた圧縮コイルばね２１と、前記挿入孔８ａ，８ｂとを通って、前記電磁石９に挿入されている。電磁石９に励磁電流が供給されると、前記支持シャフト２０は電磁石９の方へ引き込まれる。
【００３４】
前記支持部１９のエンドプレート４側には、前記ラッチ１７と同様に構成されたラッチ２２がそれぞれ固定されており、このラッチ２２と前記斜面１８とは、変位出力部１０に対する移動規制手段としての役割を果たす。また、前記支持部１９と、支持シャフト２０と、電磁石９とは、移動規制手段を解除するための解除手段としての役割を果たす。
【００３５】
前記エンドプレート４と前記変位出力部１０との間には、初期化手段としての圧縮コイルばね２３が設けられている。
次に、上記のように構成された本第１実施形態の磁歪式アクチュエータの動作を説明する。
【００３６】
磁界発生用空芯コイル５５に励磁電流が供給されていない場合、図４（ａ）に示すように、永久磁石５４の磁力線は、ヨーク本体５１及びエンドプレート５２，５３の間で閉磁路Ａを回る。したがって、磁歪素子６には磁気が与えられないので、変位は発生しない。
【００３７】
図４（ｂ）に示すように、閉磁路Ｂを形成するように、磁界発生用空芯コイル５５に励磁電流を供給する。この場合、ヨーク本体５１において、閉磁路Ｂを回る磁力線は閉磁路Ａを回る磁力線と逆向きに回っており、尚かつ閉磁路Ａを回る磁束数よりも多量の磁束数を発生するように励磁電流を供給している。したがって、閉磁路Ａを回る磁力線は、閉磁路Ｂを回る磁力線によって押し戻されて、閉磁路Ｃを回るようになる。その結果、磁界発生用空芯コイル５５の中心の軸方向には、永久磁石５４からの磁気と磁界発生用空芯コイル５５からの磁気とが与えられる。よって、磁歪素子６に磁気が与えられ、磁歪素子６は磁化されて軸方向に伸びる。
【００３８】
磁界発生用空芯コイル５５への励磁電流の供給が停止されると、図４（ａ）に示す状態に戻るため、磁歪素子６はもとの長さに戻る。
変位出力部１０をハウジング１の外部へ移動させるには、磁界発生用空芯コイル５５に励磁電流を供給する。図１において、磁界発生用空芯コイル５５に励磁電流が供給されると、磁歪素子６は上記のように磁化されて軸方向に延びる。磁歪素子６が軸方向に伸びると、シャフト１１が押し上げられる。このとき、シャフト１１はラッチ１７が斜面１４ａとシャフト１１の外周面とに挟み込まれる方向に移動するので、シャフト１１が移動するにつれて、変位出力部１０もシャフト１１と同じ方向に移動して変位を発生する。変位出力部１０は、図１に破線で示すように変位を出力する。
【００３９】
また、変位出力部１０が移動するのに合わせて、支持部１９も圧縮コイルばね２１に付勢されて同じ方向に移動する。
次に、磁界発生用空芯コイル５５への励磁電流の供給を停止すると、磁歪素子６はもとの長さに戻る。このとき、シャフト１１は、磁歪素子６がもとの長さに戻るのに合わせて、圧縮コイルばね１３に付勢されながらもとの位置に戻る。シャフト１１がもとの位置に戻る際に、挟み込まれていたラッチ１７は解除されるが、ラッチ２２はハウジング本体２の内周面と斜面１８との間に挟まれたままであるので、変位出力部１０がハウジング１の内部へ移動するのを阻止する。
【００４０】
磁界発生用空芯コイル５５に周期的に励磁電流を供給することにより、上記の動作が繰り返され、変位出力部１０はハウジング１の外部へ移動していく。
図２に示すように、磁界発生用空芯コイル５５への励磁電流の供給を停止して、電磁石９に励磁電流を供給すると、支持シャフト２０は電磁石９の方へ引き込まれる。その結果、ハウジング本体２の内周面と斜面１８との間に挟まれていたラッチ２２は解除され、変位出力部１０は圧縮コイルばね２３に付勢されて、もとの位置に戻る。
【００４１】
上記したように、本実第１施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）上記第１実施形態のように構成されたハイブリッド型磁石では、磁歪素子６の軸方向に磁気を与えることができる。その結果、軸方向に磁気を与えて磁歪素子を伸縮させる磁歪式アクチュエータへの適用ができるようになった。
【００４２】
（２）２枚のエンドプレート５２，５３で開口部を覆われたヨーク本体５１の内部に永久磁石５４と磁界発生用空芯コイル５５とを収容している。その結果、永久磁石５４及び磁界発生用空芯コイル５５を保持しやすく、磁歪式アクチュエータを製造する際に、ハイブリッド型磁石の取り付けが容易にできる。
【００４３】
（３）本第１実施形態のハイブリッド型磁石５は、ヨーク本体５１と、エンドプレート５２，５３と、永久磁石５４と、磁界発生用空芯コイル５５とで構成されており、その構成は簡単なものである。その構成で、磁界発生用空芯コイル５５からの磁気に加えて、永久磁石５４からの磁気をも磁歪素子６に与えることができるため、磁歪素子６のより大きな変位を得ることができる。従って、磁歪素子６に多量の磁気を与えるために、巻線を太くしたり、巻線の巻数を増加させたりする必要がないため、ハイブリッド型磁石５の小型化に貢献する。また、磁歪素子６の変位量を大きくするような構成をさらに設けなくてもよい。その結果、磁歪式アクチュエータの小型化に貢献しつつ、磁歪素子６の変位量を大きくすることができる。
【００４４】
（４）円筒形の永久磁石５４の内側に磁界発生用空芯コイル５５が設けられている。そのため、磁界発生用空芯コイル５５は永久磁石５４に守られて、巻線がほつれにくい。
【００４５】
（第２実施形態）
以下、本発明を具体化した第２実施形態を図面に従って説明する。
本第２実施形態では、前記第１実施形態で用いていたハイブリッド型磁石に置き換えて、図５に示すハイブリッド型磁石３０を用いる。
【００４６】
図５に示すように、磁性体で形成された円筒形のヨーク本体３１の両端には、同じく磁性体で形成された２つのエンドプレートが固定されてヨークを構成している。一端のエンドプレートの中央には孔が設けられている。前記ヨーク本体３１の内周面には、前記ヨーク本体３１の内周面３１ａに沿って湾曲した永久磁石３２が等角度間隔で４つ固定されている。
【００４７】
前記永久磁石３２はエンドプレート側の一端面にＮ極、他端面にＳ極を有しており、その各端面はそれぞれエンドプレートに接している。
前記永久磁石３２の内側には磁界発生用空芯コイル３３が装着されており、前記磁界発生用空芯コイル３３の中央に設けられた孔には、磁歪素子３４が挿入されている。
【００４８】
本第２実施形態のハイブリッド型磁石３０の動作は、前記第１実施形態で図４（ａ）及び図４（ｂ）を用いて説明したハイブリッド型磁石５の動作と同様である。したがって、本第２実施形態のハイブリッド型磁石３０を用いた磁歪式アクチュエータの動作は、前記第１実施形態で説明した磁歪式アクチュエータの動作と同様である。
【００４９】
上記のように、本第２実施形態によれば、前記第１実施形態の（１）乃至（４）と同様の効果に加えて、以下の効果をも奏する。
（１）永久磁石は、円筒形ではなく４つの永久磁石３２で構成されるものであるため、前記第１実施形態の永久磁石５４よりも製造が容易である。その結果、製造コストを低減できる。
【００５０】
（２）永久磁石３２はヨーク本体３１の内周面３１ａに沿って湾曲しているため、永久磁石３２をヨーク本体３１に固定しやすい。
（第３実施形態）
以下、本発明を具体化した第３実施形態を図面に従って説明する。
【００５１】
本第３実施形態では、前記第１実施形態で用いていたハイブリッド型磁石に置き換えて、図６に示すハイブリッド型磁石４０を用いる。
図６に示すように、磁性体で形成された筒型で正六角柱状のヨーク本体４１の両端には、同じく磁性体で形成された２つのエンドプレートが固定されてヨークを構成している。一端のエンドプレートには、正六角形の孔が設けられている。前記ヨーク本体４１の内周４１ａには、平板状の６つの永久磁石４２が固定されている。前記永久磁石４２はエンドプレート側の一端面にＮ極、他端面にＳ極を有しており、その各端面はそれぞれエンドプレートに接している。
【００５２】
前記永久磁石４２の内側には、正六角柱状の磁界発生用空芯コイル４３が装着されており、前記磁界発生用空芯コイル４３の中央に設けられた正六角形の孔に、正六角柱状の磁歪素子４４が挿入されている。前記磁界発生用空芯コイル４３の外周４３ａは、平面で構成されている。
【００５３】
尚、本第３実施形態では、エンドプレートに設けられた孔及び磁界発生用空芯コイル４３に中央に設けられた孔はどちらも正六角形であるが、円形でもよい。
本第３実施形態のハイブリッド型磁石４０の動作は、前記第１実施形態で図４（ａ）及び図４（ｂ）を用いて説明したハイブリッド型磁石５の動作と同様である。したがって、本第３実施形態のハイブリッド型磁石４０を用いた磁歪式アクチュエータの動作は、前記第１実施形態で説明した磁歪式アクチュエータの動作と同様である。
【００５４】
上記したように、本第３実施形態によれば、前記第１実施形態の（１）乃至（４）の効果と同様の効果に加えて、以下の効果をも有する。
（１）永久磁石４２は、それぞれ平板状であるため、上記各実施形態における永久磁石よりも製造が容易であり、製造コストを低減できる。
【００５５】
（２）ヨーク本体４１の内周４１ａは正六角形であるため、ヨーク本体４１の内部に収容された永久磁石４２及び、磁界発生用空芯コイル４３が、ヨーク本体４１の内部で一定の位置を確保しやすい。また、磁界発生用空芯コイル４３の外周４３ａが平面で構成されているため、さらに一定の位置を確保しやすい。
【００５６】
尚、本発明の上記各実施形態は、以下のように変更してもよい。
○上記各実施形態では、永久磁石の磁極は、どれもエンドプレート側の両端面に有するものとなっているが、図７に示すような永久磁石６０を用いてもよい。この永久磁石６０は、軸方向中央部を境としてＮ極とＳ極とがヨーク本体との接面に着磁されている極異方性永久磁石である。この永久磁石６０を用いた場合、上記各実施形態の永久磁石を用いる場合よりも、永久磁石の磁力線を発生する面とヨークとの接面の面積が広くなる。したがって、永久磁石６０を用いることにより、上記各実施形態の永久磁石を用いるよりも多くの磁気を磁界発生用空芯コイルの中心の軸方向に与えることができる。その結果、磁歪素子に、より多くの磁気を与えることができ、磁歪素子の変位量を大きくすることができる。
【００５７】
○上記各実施形態では、永久磁石及び磁界発生用空芯コイルは、ヨーク本体と２つのエンドプレートとで覆われているが、ヨーク本体を有底筒型の形状とし、その開口部をエンドプレートで覆ってもよい。このように構成すると、エンドプレートが１つで済むため、部品が減少するほか、組み立てる際に、ヨーク本体が有底筒型であることから、組立作業が容易になる。
【００５８】
○上記第９実施形態では、ヨーク、磁界発生用空芯コイル、磁歪素子はどれも平面形状が六角形であるが、正六角形以外の多角形にしてもよい。例えば、平面形状を正方形にした場合、永久磁石の数が４つに減るため、部品数が減少して製造が容易になる。
【００５９】
上記各実施形態から把握できる技術的思想を以下に記載する。
（イ）請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のハイブリッド型磁石であって、コイルの中央に磁歪素子挿入孔を設けたことを特徴とするハイブリッド型磁石。
【００６０】
このように構成すれば、磁歪素子が一定の位置に留まり、尚かつコイル及び永久磁石からの磁気を磁歪素子に与えやすく、磁歪式アクチュエータへの利用に適したものとなる。
【００６１】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、永久磁石からの磁気をコイル中心の軸方向に与えることができるハイブリッド型磁石を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態のハイブリッド型磁石を用いた磁歪式アクチュエータの正断面図。
【図２】第１実施形態のハイブリッド型磁石を用いた磁歪式アクチュエータの正断面図。
【図３】第１実施形態のハイブリッド型磁石の平断面図。
【図４】（ａ）は電流未供給時のハイブリッド型磁石、（ｂ）は電流供給時のハイブリッド型磁石。
【図５】第２実施形態のハイブリッド型磁石の平断面図。
【図６】第３実施形態のハイブリッド型磁石の平断面図。
【図７】別例の永久磁石の正断面図。
【符号の説明】
５０…ヨーク、３１，４１，５１…ヨーク本体、５２，５３…エンドプレート、３２，４２，５４，６０…永久磁石、３３，４３，５５…磁界発生用空芯コイル、５，４０，３０…ハイブリッド型磁石、３１ａ…ヨーク本体３１の内周面、４１ａ…ヨーク本体４１の内周、４３ａ…磁界発生用空芯コイル４３の外周、Ｂ，Ｃ…閉磁路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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