(57)【要約】【課題】ファンフィルタユニットにおいて、クリーン空間でのケミカルフィルタ着脱を短時間におこなうことができ、また、着脱構造に関し省スペース化および、メンテナンスが容易にでき、メンテナンス省力化、ファンフィルタユニット省施工性の向上が実現できることを目的とする。【解決手段】ファン１とモーター２と天板３の一体化したファンユニット天板部４とケミカルフィルタ５を内蔵するチャンバー６と、前記チャンバー６の下流側に塵埃除去フィルタ７を配設したファンフィルタ空気清浄ユニット８とからなり、前記ファンユニット天板部４は、前記ケミカルフィルタ５を内蔵するチャンバー６と分離可能な手段で前記チャンバー６に固定されている。  上記構成において、前記チャンバー６の上面からファンユニット天板部４を外しケミカルフィルタ５を前記チャンバー６の上面より取り出すことができるケミカルフィルタ内包形のファンフィルタユニットが得られる。【選択図】図１
2005291655.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモーターと天板から構成したファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に設けたケミカルフィルタと、前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタを内蔵したチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ファンユニット天板部を前記チャンバーから分離可能な構成としたファンフィルタユニット。
【請求項２】
天板の周辺に立上がり部分を設けた請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項３】
天板に取っ手を設けた請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項４】
ファンとモーターと円形天板から構成したファンユニット円形天板部と、前記ファンユニット円形天板部の下流側に設けた円形ケミカルフィルタと、前記ファンユニット円形天板部と前記円形ケミカルフィルタを内蔵した円形チャンバーと、前記円形チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ファンユニット円形天板部を前記円形チャンバーから分離可能な構成としたファンフィルタユニット。
【請求項５】
円形天板の周辺に立上がり部分を設けた請求項４記載のファンフィルタユニット。
【請求項６】
円形天板に取っ手を設けた請求項４記載のファンフィルタユニット。
【請求項７】
ファンとモーターと天板から構成したファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に設けたケミカルフィルタと、前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタを内蔵したチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ケミカルフィルタを少なくとも２枚以上に分割したファンフィルタユニット。
【請求項８】
ケミカルフィルタの保持手段を設けた請求項７記載のファンフィルタユニット。
【請求項９】
ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けた請求項７記載のファンフィルタユニット。
【請求項１０】
ファンとモーターと円形天板から構成したファンユニット円形天板部と、前記ファンユニット円形天板部の下流側に設けた円形ケミカルフィルタと、前記ファンユニット円形天板部と前記円形ケミカルフィルタを内蔵した円形チャンバーと、前記円形チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記円形ケミカルフィルタを少なくとも２枚以上に分割したファンフィルタユニット。
【請求項１１】
円形ケミカルフィルタの保持手段を設けた請求項７記載のファンフィルタユニット。
【請求項１２】
円形ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けた請求項７記載のファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるケミカルフィルタ内包形ファンフィルタユニットの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ケミカルフィルタの取付構造は、ファンフィルタユニットのチャンバー下流側に設けられて塵埃除去フィルタと共に積層構造を成して、クリーンルーム内の構造物天面に取り付けられている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−２４４１４７号公報（［０００１］〜［００３４］図１〜図１６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの積層構造では、ケミカルフィルタを着脱させるため、ファンフィルタユニットをすべて分離することが不可欠であって、分離した際多くの構成部品を移動して配置する必要があり、着脱に有する時間がかかることとなり、クリーンな環境を保つべきクリーン空間内外に人が入ってケミカルフィルタの交換作業をおこなうことによる内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。
【０００４】
また、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が小型化しており、内部に設けられた各種製造装置によってクリーン空間内外のメンテナンススペースの確保が困難なため、フィルタ着脱構造に関し省スペース化が望まれている。
【０００５】
また、ケミカルフィルタは寿命が塵埃除去フィルタより短かく、塵埃除去フィルタよりも単位面積あたりの質量が大きく交換時間の省力化が望まれている。
【０００６】
また、フィルタ着脱作業についても、製造装置等の稼動時間に制約を与えるために、可能な限り短時間で行なうことが要求されている。
【０００７】
本発明は、このような従来のケミカルフィルタ着脱の課題を解決するものであり、クリーン空間でのケミカルフィルタ着脱を容易にし、かつ短時間におこなうことができ、また着脱構造に関して省スペース化、およびメンテナンス省力化ができるケミカルフィルタ内包形のファンフィルタユニットを提供する事を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するためにファンとモーターと天板から構成したファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に設けたケミカルフィルタと、前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタを内蔵したチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ファンユニット天板部を前記チャンバーから分離可能な構成としたものである。
【０００９】
この手段によりチャンバーに内包したケミカルフィルタは、チャンバーを設置したままチャンバー上面部分からケミカルフィルタ着脱可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００１０】
本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するために天板の周辺に立上がり部分を設けたものである。
【００１１】
この手段により天板の周辺の立上がり部分は、天板の強度があがると共に天板の変形を抑制してケミカルフィルタのような重量物をあげられるファンフィルタユニットが得られる。
【００１２】
本発明のファンフィルタユニットは、天板に取っ手を設けたものである。
【００１３】
この手段により取っ手にかかる力は取っ手の数で分散されると共に、重量物を持ち運ぶファンフィルタユニットが得られる。
【００１４】
本発明のファンフィルタユニットは、ファンとモーターと円形天板から構成したファンユニット円形天板部と、前記ファンユニット円形天板部の下流側に設けた円形ケミカルフィルタと、前記ファンユニット円形天板部と前記円形ケミカルフィルタを内蔵した円形チャンバーと、前記円形チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ファンユニット円形天板部を前記チャンバーから分離可能な構成としたものである。
【００１５】
この手段により円形チャンバーに内包した円形ケミカルフィルタは、チャンバーを設置したまま円形チャンバー上面部分から円形ケミカルフィルタ着脱可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００１６】
本発明のファンフィルタユニットは、円形天板の周辺に立上がり部分を設けたものである。
【００１７】
この手段により円形天板の周辺の立上がり部分は、円形天板の強度があがると共に円形天板の変形を抑制して円形ケミカルフィルタのような重量物をあげられるファンフィルタユニットが得られる。
【００１８】
本発明のファンフィルタユニットは、円形天板に取っ手を設けたものである。
【００１９】
この手段により取っ手にかかる力は取っ手の数で分散されると共に、重量物を持ち運ぶファンフィルタユニットが得られる。
【００２０】
本発明のファンフィルタユニットは、ファンとモーターと天板から構成したファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に設けたケミカルフィルタと、前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタを内蔵したチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ケミカルフィルタを少なくとも２枚以上に分割したものである。
【００２１】
この手段により分割されたケミカルフィルタは、１枚あたりの重量が軽くなり扱い易いファンフィルタユニットが得られる。
【００２２】
本発明のファンフィルタユニットは、ケミカルフィルタの保持手段を設けたものである。
【００２３】
この手段により分割されたケミカルフィルタは、保持手段であるケースに収納されるため扱い易いファンフィルタユニットが得られる。
【００２４】
本発明のファンフィルタユニットは、ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けたものである。
【００２５】
この手段によりケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの密閉度が緩衝材により保たれるファンフィルタユニットが得られる。
【００２６】
本発明のファンフィルタユニットは、ファンとモーターと円形天板から構成したファンユニット円形天板部と、前記ファンユニット円形天板部の下流側に設けた円形ケミカルフィルタと、前記ファンユニット円形天板部と前記円形ケミカルフィルタを内蔵した円形チャンバーと、前記円形チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記円形ケミカルフィルタを少なくとも２枚以上に分割したものである。
【００２７】
この手段により分割された円形ケミカルフィルタは、１枚あたりの重量が軽くなり扱い易いファンフィルタユニットが得られる。
【００２８】
本発明のファンフィルタユニットは、円形ケミカルフィルタの保持手段を設けたものである。
【００２９】
この手段により分割された円形ケミカルフィルタは、保持手段である扇形ケースに収納されるため扱い易いファンフィルタユニットが得られる。
【００３０】
本発明のファンフィルタユニットは、円形ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けたものである。
【００３１】
この手段により円形ケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの密閉度が緩衝材により保たれるファンフィルタユニットが得られる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、ファンとモーターのファンユニットを天板と一体化したファンユニット天板部の着脱による軽量化が図れるので、メンテナンスの省力化の効果が得られ、ファンユニット天板部分のみ着脱するので、チャンバー及び塵埃除去フィルタは、クリーンな環境部分から外す必要がないのでクリーンルーム内のクリーンな環境を維持できる効果が得られる。
【００３３】
さらに、チャンバー内部に設けたケミカルフィルタは、ファンとモーターと天板から構成したファンユニット天板部を外した後のチャンバー上面部分からのファンフィルタユニットのメンテナンスが容易にできる効果が得られる。
【００３４】
また、天板の周辺に立上がり部分を設けたことにより、天板の強度が増し、変形も少なくなる。
【００３５】
また、天板に取っ手をつけることにより、持ちやすさと力の分散がはかられるという効果が得られる。
【００３６】
また、円形天板から構成したファンユニット円形天板部と、前記ファンユニット円形天板部の下流側に設けた円形ケミカルフィルタと、前記ファンユニット円形天板部と前記円形ケミカルフィルタを内蔵した円形チャンバーによって、回転体である送風ファンからの空気を筒状の円形チャンバーで導くことにより、空気抵抗の少ない状態でクリーンな空気を下流側の塵埃除去フィルタに導けるという効果が得られる。
【００３７】
また、ケミカルフィルタを分割してチャンバー内部で使用することで、ケミカルフィルタの軽量化が図れ、ファンフィルタユニットのメンテナンス省力化、省施工化の効果が得られる。
【００３８】
また、分割したケミカルフィルタをケースに保持することにより、確実に収納できるという効果が得られる。
【００３９】
また、ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けることにより、円形ケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの密閉度が緩衝材により保たれるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモーターと天板から構成したファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に設けたケミカルフィルタと、前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタを内蔵したチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ファンユニット天板部を前記チャンバーから分離可能な作用を有する。
【００４１】
本発明の請求項２記載の発明は、天板の周辺に立上がり部分を設けた請求項１記載のファンフィルタユニットであって、立上がり部分により強度を増し、変形を抑制するという作用を有する。
【００４２】
本発明の請求項３記載の発明は、天板に取っ手を設けた請求項１記載のファンフィルタユニットであって、取っ手により力の分散ができ、持ちやすいという作用を有する。
【００４３】
本発明の請求項４記載の発明は、ファンとモーターと円形天板から構成したファンユニット円形天板部と、前記ファンユニット円形天板部の下流側に設けた円形ケミカルフィルタと、前記ファンユニット円形天板部と前記円形ケミカルフィルタを内蔵した円形チャンバーと、前記円形チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ファンユニット円形天板部を前記円形チャンバーから分離可能な構成としたファンフィルタユニットであって、円形の天板、ケミカルフィルタ、チャンバーでファンフィルタ空気清浄ユニットを形成し、円形天板部を円形チャンバーから分離可能な作用を有する。
【００４４】
本発明の請求項５記載の発明は、円形天板の周辺に立上がり部分を設けた請求項４記載のファンフィルタユニットであって、立上がり部分により強度を増し、変形を抑制するという作用を有する。
【００４５】
本発明の請求項６記載の発明は、円形天板に取っ手を設けた請求項４記載のファンフィルタユニットであって、取っ手により力の分散ができ、持ちやすいという作用を有する。
【００４６】
本発明の請求項７記載の発明は、ファンとモーターと天板から構成したファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に設けたケミカルフィルタと、前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタを内蔵したチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ケミカルフィルタを少なくとも２枚以上に分割し、分割したケミカルフィルタを天板側より取り出すことができる作用を有する。
【００４７】
本発明の請求項８記載の発明は、ケミカルフィルタの保持手段を設けた請求項７記載のファンフィルタユニットであって、ケース内に保持しておくという作用を有する。
【００４８】
本発明の請求項９記載の発明は、ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けた請求項７記載のファンフィルタユニットであって、ケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの密閉度が緩衝材により保つという作用を有する。
【００４９】
本発明の請求項１０記載の発明は、ファンとモーターと円形天板から構成したファンユニット円形天板部と、前記ファンユニット円形天板部の下流側に設けた円形ケミカルフィルタと、前記ファンユニット円形天板部と前記円形ケミカルフィルタを内蔵した円形チャンバーと、前記円形チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記円形ケミカルフィルタを少なくとも２枚以上に分割し、分割したケミカルフィルタを天板側より取り出すことができるという作用を有する.。
【００５０】
本発明の請求項１１記載の発明は、円形ケミカルフィルタの保持手段を設けた請求項１０記載のファンフィルタユニットであって、ケース内に保持しておくという作用を有する.。
【００５１】
本発明の請求項１２記載の発明は、円形ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けた請求項１０記載のファンフィルタユニットであって、円形ケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの密閉度が緩衝材により保つという作用を有する.。
【００５２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００５３】
（実施の形態１）
図１に示すように、ファン１とモーター２と天板３の一体化したファンユニット天板部４と、ファンユニット天板部４の下流側に設けたケミカルフィルタ５と、ファンユニット天板部４とケミカルフィルタ５を内蔵するチャンバー６と、チャンバー６の下流側に塵埃除去フィルタ７を配設したファンフィルタ空気清浄ユニット８とからなり、ファンユニット天板部４は、ケミカルフィルタ５を内蔵するチャンバー６から分離することができ、着脱可能になっている。またケミカルフィルタ５には保持手段９と固定手段が設けられ、固定手段の固定金具１０は、チャンバー６の内部に配置した固定金具１０を受ける固定金具受け１１により前記チャンバー６の内部に固定される構成となっている。
【００５４】
上記構成において、チャンバー６の上面からファンユニット天板部４を外してケミカルフィルタ５をチャンバー６の上面より取り出すことができる。
【００５５】
（実施の形態２）
図１に示すように、ファンユニット天板部４の構成部材である天板３の周辺には、立上がり部分１３を設けてあり、天板３の強度を増すとともに天板３の変形を抑制することができる。
【００５６】
（実施の形態３）
図１に示すように、ファンユニット天板部４の構成部材である天板３に取っ手１４を設け、チャンバー６の上面からファンユニット天板部４を外してケミカルフィルタ５をチャンバー６の上面より取り出す時に持ちやすくするとともに、取っ手１４の数に応じて取っ手１４にかかる力を分散できる。
【００５７】
（実施の形態４）
図２に示すように、ファン１とモーター２と円形天板１５から構成したファンユニット円形天板部１６と、ファンユニット円形天板部１６の下流側に設けた円形ケミカルフィルタ１７と、ファンユニット円形天板部１６と円形ケミカルフィルタ１７を内蔵した円形チャンバー１８と、円形チャンバー１８の下流側に塵埃除去フィルタ１９を配設したファンフィルタユニットであって、ファンユニット円形天板部１６を円形チャンバー１８から外して円形ケミカルフィルタ１７を円形チャンバー１８の上面より取り出すことができる。
【００５８】
（実施の形態５）
図３に示すように、ファンユニット円形天板部１６の構成部材である円形天板１５の周辺には、立上がり部分２０を設けてあり、円形天板１５の強度を増すとともに円形天板１５の変形を抑制することができる。
【００５９】
（実施の形態６）
図３に示すように、ファンユニット円形天板部１６の構成部材である円形天板１５に取っ手２１を設け、円形チャンバー１８の上面からファンユニット円形天板部１６を外して円形ケミカルフィルタ１７を円形チャンバー１８の上面より取り出す時に持ちやすくするとともに取っ手２１の数に応じて取っ手２１にかかる力を分散できる。
【００６０】
（実施の形態７）
図４に示すように、ファン１とモーター２と天板３から構成したファンユニット天板部４と、ファンユニット天板部４の下流側に設けたケミカルフィルタ２２と、ファンユニット天板部４とケミカルフィルタ２２を内蔵したチャンバー６と、チャンバー６の下流側に塵埃除去フィルタ７を配設して、ケミカルフィルタ２２を少なくとも２枚以上に分割したファンフィルタユニットである。
【００６１】
（実施の形態８）
図４に示すように、ケミカルフィルタ２２は、２枚以上に分割され、チャンバー６の内部に保持する保持手段２３と固定手段が設けられ、固定手段の固定金具２４は、チャンバー６の内部に配置した固定金具を受ける固定金具受け２５により前記チャンバー６の内部に固定される構成となっている。
また、チャンバー６には、ファンフィルタユニットを取り付けるためのボルトとナットの連結部１２がある。
【００６２】
（実施の形態９）
図４に示すように、ケミカルフィルタ２２の下流側には緩衝材２６を設け、ケミカルフィルタ２２と塵埃除去フィルタ７の密閉度が緩衝材２６により保っている。
【００６３】
（実施の形態１０）
図５に示すように、ファン１とモーター２と円形天板２７から構成したファンユニット円形天板部２８と、ファンユニット天板部４の下流側に設けた円形ケミカルフィルタ２９と、ファンユニット円形天板部２８と円形ケミカルフィルタ２９を内蔵した円形チャンバー３０と、円形チャンバー３０の下流側に塵埃除去フィルタ７を配設して、円形ケミカルフィルタ２９を少なくとも２枚以上に分割したファンフィルタユニットである。
【００６４】
（実施の形態１１）
図５に示すように、円形ケミカルフィルタ２９は、２枚以上に分割され、円形チャンバー３０の内部に保持する保持手段３１と固定手段が設けられ、固定手段の固定金具３２は、円形チャンバー３０の内部に配置した固定金具３２を受ける固定金具受け３３により円形チャンバー３０の内部に固定される構成となっている。
【００６５】
（実施の形態１２）
図５に示すように、円形ケミカルフィルタ２９の下流側には緩衝材３４を設け、円形ケミカルフィルタ２９と塵埃除去フィルタ７の密閉度が緩衝材３４により保つという作用を有する.。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
以上のように本発明によれば、ケミカルフィルタを内部に納める手段を持つチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設し、前記ファンユニット天板部をファンフィルタユニットから分離可能な構成としたファンフィルタユニットとし、
チャンバー内部に分割可能なケミカルフィルタの固定手段を有したチャンバーすることにより、メンテナンス省力化、ファンフィルタユニット省施工性の向上が実現でき、クリーンルーム内で用いられるケミカルフィルタ内包のファンフィルタユニットの取付けの用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態１、２、３の構成断面図
【図２】本発明の実施の形態４の構成断面図
【図３】本発明の実施の形態５、６の外観図
【図４】本発明の実施の形態７、８、９の構成断面図
【図５】本発明の実施の形態１０、１１、１２の構成断面図
【符号の説明】
【００６８】
１  ファン
２  モーター
３  天板
４  ファンユニット天板部
５  ケミカルフィルタ
６  チャンバー
７  塵埃除去フィルタ
８  ファンフィルタ空気清浄ユニット
９  保持手段
１０  固定金具
１１  固定金具受け
１２  連結部
１３  立上がり部分
１４  取っ手
１５  円形天板
１６  ファンユニット円形天板部
１７  円形ケミカルフィルタ
１８  円形チャンバー
１９  塵埃除去フィルタ
２０  立上がり部分
２１  取っ手
２２  ケミカルフィルタ
２３  保持手段
２４  固定金具
２５  固定金具受け
２６  緩衝材
２７  円形天板
２８  ファンユニット円形天板部
２９  円形ケミカルフィルタ
３０  円形チャンバー
３１  保持手段
３２  固定金具
３３  固定金具受け
３４  緩衝材
【図１】
2005291655.tif 000003
【図２】
2005291655.tif 000004
【図３】
2005291655.tif 000005
【図４】
2005291655.tif 000006
【図５】
2005291655.tif 000007