(57)【要約】【課題】  自動車のブレーキの気圧式倍力装置等に負圧を供給する負圧供給装置において、真空ポンプの負荷を軽減しつつ、高い真空度の負圧を供給できるようにする。【解決手段】  真空ポンプユニット２のコイル８に通電し、これを励磁して、磁石10が取付けられたピストン６をシリンダ５内で往復運動させ、エジェクタ２５のディフューザ２７の出口通路３１を吸引し、ノズル２６の入口に吐出空気を供給する。これにより、ノズル２６のスロート部２８に高速噴流が生じて、エジェクタ２５の吸引口２９に、真空ポンプユニット２の吸入負圧よりも高い真空度の負圧が生じ、この負圧を負圧供給口３２から供給する。エジェクタ２５によって、真空ポンプユニット２の負荷を軽減しつつ、高い真空度の負圧を供給することができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルの下流側にディフューザを配置して、これらの間に吸引口を開口させたエジェクタを有し、前記ディフューザの出口に真空ポンプの吸込口を接続し、前記エジェクタの吸引口から負圧を供給することを特徴とする負圧供給装置。
【請求項２】
前記吸引口及び前記真空ポンプの吸込口をそれぞれ逆止弁を介して負圧供給口に接続し、前記吸引口及び前記吸込口のうち、真空度の高いほうの負圧を前記負圧供給口から供給することを特徴とする請求項１に記載の負圧供給装置。
【請求項３】
前記真空ポンプは、リニアアクチュエータによって駆動されるピストンを有する往復動ポンプであることを特徴とする請求項１または２に記載の負圧供給装置。
【請求項４】
前記真空ポンプの吐出側をエンジン吸気管に接続したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の負圧供給装置。
【請求項５】
前記真空ポンプの吐出側に第２エジェクタの吸引口を接続し、該第２エジェクタの入口及び出口をエンジン吸気管に接続して、エンジン吸気負圧によって、前記第２エジェクタの吸引口に負圧を発生させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の負圧供給装置。
【請求項６】
前記真空ポンプの吐出側と前記第２エジェクタの吸引口との間に第１逆止弁を設け、前記真空ポンプの吐出側を第２逆止弁を介してエンジン吸気管に接続し、前記第２エジェクタの吸引口又は前記エンジン吸気管の負圧のうち、供給可能な負圧を前記真空ポンプの吐出側に供給することを特徴とする請求項５に記載の負圧供給装置。
【請求項７】
前記真空ポンプの吐出側を大気に開放する第３逆止弁を設けたことを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載の負圧供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動車の制動装置の気圧式倍力装置等に負圧を供給するための負圧供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、自動車の制動装置においては、制動力を高めるために気圧式倍力装置が設けられている。この気圧式倍力装置は、負圧源として、エンジンの吸気負圧を利用しており、吸気負圧を定圧室（負圧室）に導入して、大気圧との差圧によってパワーピストンに推力を発生させて制動装置の操作力を補助している。
【０００３】
近年、自動車のエンジンにおいては、低燃費の要求から、ポンピングロスの低減がなされており、このため、吸気管負圧が減少する傾向にあり、気圧式倍力装置に供給する負圧の不足が問題となってきている。
これに対して、例えば特許文献１に示されるように、気圧式倍力装置の負圧源として、電動の回転式真空ポンプを用いることにより、エンジンの運転状態にかかわらず、気圧式倍力装置に充分な負圧を供給することが可能である。
【特許文献１】特開２００２−１９５１７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記公報記載の真空ポンプでは、次のような問題がある。真空ポンプとしてベーンポンプを使用しているが、ベーンポンプは、構造が複雑で製造コストが高く、また、小型化が困難である。単純な構造の往復動ピストン型真空ポンプを使用することも考えられるが、往復動ピストン型真空ポンプは、ピストンの背圧として大気圧が作用するため、気圧式倍力装置に必要な高い真空度を得ようとすると、負荷変動が大きくなり、円滑な運転が困難になる。
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、単純な構造で、高い真空度の負圧を供給することができる負圧供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明に係る負圧供給装置は、ノズルの下流側にディフューザを配置して、これらの間に吸引口を開口させたエジェクタを有し、前記ディフューザの出口に真空ポンプの吸込口を接続し、前記エジェクタの吸引口から負圧を供給することを特徴とする。
請求項２の発明に係る負圧供給装置は、上記請求項１の構成において、前記吸引口及び前記真空ポンプの吸込口をそれぞれ逆止弁を介して負圧供給口に接続し、前記吸引口及び前記吸込口のうち、真空度の高いほうの負圧を前記負圧供給口から供給することを特徴とする。
請求項３の発明に係る負圧供給装置は、上記請求項１又は２の構成において、前記真空ポンプは、リニアアクチュエータによって駆動されるピストンを有する往復動ポンプであることを特徴とする。
請求項４の発明に係る負圧供給措置は、上記請求項１乃至３のいずれかの構成において、前記真空ポンプの吐出側をエンジン吸気管に接続したことを特徴とする。
請求項５の発明に係る負圧供給装置は、上記請求項１乃至３のいずれかの構成において、前記真空ポンプの吐出側に第２エジェクタの吸引口を接続し、該第２エジェクタの入口及び出口をエンジン吸気管に接続して、エンジン吸気負圧によって、前記第２エジェクタの吸引口に負圧を発生させることを特徴とする。
請求項６の発明に係る負圧供給装置は、上記請求項５の構成において、前記真空ポンプの吐出側と前記第２エジェクタの吸引口との間に第１逆止弁を設け、前記真空ポンプの吐出側を第２逆止弁を介してエンジン吸気管に接続し、前記第２エジェクタの吸引口又は前記エンジン吸気管の負圧のうち、供給可能な負圧を前記真空ポンプの吐出側に供給することを特徴とする。
請求項７の発明に係る負圧供給装置は、上記請求項４乃至６のいずれかの構成において、前記真空ポンプの吐出側を大気に開放する第３逆止弁を設けたことを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載の負圧供給装置。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１の発明に係る負圧供給装置によれば、真空ポンプの吸込によって、エジェクタのノズルからディフューザへ空気が流れ、これにより、ノズルのスロート部に高速噴流が生じて、吸引口に、真空ポンプの吸込負圧よりも高い真空度の負圧が発生し、この高い真空度の負圧を供給することができる。
請求項２の発明に係る負圧供給装置によれば、逆止弁によってエジェクタの吸引口又は真空ポンプの吸込口のいずれか真空度の高いほうの負圧を供給することができるので、効率よく負圧を供給することができる。
請求項３の発明に係る負圧供給装置によれば、真空ポンプの構造を簡素化することができ、小型化及び製造コストの低減が可能となる。
請求項４の発明に係る負圧供給装置によれば、エンジン吸気負圧を真空ポンプの吐出側に供給することができ、真空ポンプの負担を軽減することができる。
請求項５の発明に係る負圧供給装置によれば、第２エジェクタによって、エンジン吸気負圧によも高い真空度の負圧を真空ポンプの吐出側に供給することができる。
請求項６の発明に係る負圧供給装置によれば、第１及び第２逆止弁によって、第２エジェクタの吸引口又はエンジン吸気管の負圧のうち、供給可能な方の負圧を供給できるので、真空ポンプの吐出側に効率よく負圧を供給することができる。
請求項７の発明に係る負圧供給装置によれば、真空ポンプの吐出側が正圧になると、第３逆止弁が開いて、その圧力を大気に開放するので、過給機の過給によって真空ポンプの吐出側が正圧になるのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の第１実施形態について、図１乃至図３を参照して説明する。図１乃至図３に示すように、本実施形態に係る負圧供給装置１は、真空ポンプユニット２（真空ポンプ）と、エジェクタユニット３とをマニホールドユニット４を介して結合した構成となっている。
【０００９】
真空ポンプユニット２は、可動磁石型リニアモータによって駆動されるピストンを有する往復動ポンプであって、固定子を兼ねるシリンダ５内に、可動子を兼ねるピストン６が摺動可能に嵌装されている。ピストン６は、シリンダ５の中心に沿って固定されたロッド７によって案内されている。シリンダ５の外周部には、複数のコイル８が取付けられ、また、ピストン６の外周部には、磁路部材９と共に複数の磁石１０が取付けられており、コイル８に通電して、これらを順次、励磁することにより、ピストン６をシリンダ５内で往復運動させることができる。磁石１０の中央部には、シリンダ５内を画成する摺動性の良い合成樹脂で形成された環状のシール６Ａが設けられている。
【００１０】
シリンダ５の内部は、ピストン６によって２つの室５Ａ、５Ｂに画成されており、一方の室５Ａは、通路１１によって第１吸込ポート１２（吸込口）に連通され、また、通路１３によって第１吐出ポート１４に連通されている。通路１１には、第１吸込ポート１２側から室５Ａ側へ空気の流通のみを許容する逆止弁１５が設けられており、通路１３には、室５Ａ側から第１吐出ポート１４側への空気の流通のみを許容する逆止弁１６が設けられている。他方の室５Ｂは、通路１７によって第２吸込ポート１８（吸込口）に連通され、また、通路１９によって第２吐出ポート２０に連通されている。通路１７には、第２吸込ポート１８側から室５Ｂ側へ空気の流通のみを許容する逆止弁２２が設けられており、通路１９には、室５Ｂ側から第２吐出ポート２０側への空気の流通のみを許容する逆止弁２１が設けられている。第１、第２吸込ポート１２、１８及び第１、第２吐出ポート１４、２０は、マニホールドユニット４に対向して配置されている。
【００１１】
エジェクタユニット３には、エジェクタ２５が形成されている。エジェクタ２５は、図２に示すように、ノズル２６の下流側にディフューザ２７を配置してラバールノズルを形成し、ノズル２６のスロート部２８の下流に吸引口２９を開口させたものであり、ノズル２６の入口３０からディフューザ２７の出口通路３１(出口）へ向かって気体を流すと、スロート部２８に音速に達する高速噴流が生成される。この高速噴流により、吸引口２９の気体が吸引されて、吸引口２９からディフューザ２７の出口通路３１の負圧よりも真空度の高い負圧を得ることができる。エジェクタ２５は、エジェクタユニット３のマニホールドユニット４との結合面に、凹部を設けて平板状に形成した２次元形状となっており、これにより、複雑な形状のエジェクタ２５を高精度で容易に加工することが可能となる。
【００１２】
エジェクタユニット３には、気圧式倍力装置等の負圧作動装置（図示せず）に接続するための負圧供給口３２が設けられており、負圧供給口３２は、通路３３によって逆止弁３４、３５をそれぞれ介して吸引口２９及び出口通路３１に連通されている。逆止弁３４は、負圧供給口３２側から吸引口２９側への空気の流通のみを許容し、逆止弁３５は、負圧供給口３２側から出口通路３１側への空気の流通のみを許容するものである。
【００１３】
マニホールドユニット４には、真空ポンプユニット２の第１及び第２吸込ポート１２、１８と、エジェクタユニット３の出口通路３１とを連通させる吸込通路３６が設けられている。また、マニホールドユニット４には、真空ポンプユニット２の第１及び第２吐出ポート１４、２０と、エジェクタユニット３の入口３０とを連通させる吐出通路３７が設けられている。この吐出通路３７は、逆止弁３８を介して、大気に開放されており、逆止弁３８は、吐出通路３７側から大気側への空気の流通のみを許容する。
【００１４】
以上のように構成した本実施形態の作用について次に説明する。
通電により真空ポンプユニット２のコイル８を励磁すると、その磁界の作用によって、シリンダ５内のピストン６が往復動して、逆止弁１５、２２を介して第１及び第２吸込ポート１２、１８から空気を吸入し、逆止弁１６、２１を介して第１及び第２吐出ポート１４、２０から空気を吐出する。そして、マニホールドユニット４の吸込通路３６を介して、エジェクタ２５の出口通路３１の空気を吸入し、また、吐出通路３７を介してエジェクタ２５の入口３０に吐出空気を供給する。このとき、逆止弁３８によって、吐出通路３７が陽圧になるのを防止する。
【００１５】
これにより、ノズル２６の入口３０からディフューザ２７の出口通路３１への空気の流れが生じ、ラバールノズルを形成するノズル２６及びディフューザ２７の作用によって、スロート部２８に音速に達する高速噴流が生じて、吸引口２９にポンプユニット２の吸込負圧よりも高い真空度の負圧が生じる。この高い真空度の負圧を逆止弁３４を介して、負圧供給口３２から気圧式倍力装置等の負圧作動装置に供給する。
【００１６】
このようにして、真空ポンプユニット２で発生させた負圧をエジェクタ２５によって増強することができ、真空ポンプユニット２の負荷を軽減しつつ、気圧式倍力装置等の負圧作動装置に必要な高い真空度の負圧を供給することができる。このとき、真空ポンプユニット２によって−２５０ｍｍＨｇ乃至−３００ｍｍＨｇ程度の負圧を発生させることにより、−５００ｍｍＨｇ程度の負圧を供給することができる。その結果、真空ポンプユニット２の負荷が軽減されるので、真空ポンプの小型化が可能となり、また、吸込及び吐出による負荷変動が軽減されるので、真空ポンプの円滑な運転が可能になる。
【００１７】
さらに、例えば、負圧供給装置１を自動車のブレーキの気圧式倍力装置に対して用いた場合に、ブレーキの連続的作動により、気圧式倍力装置の負圧が極端に低下したとき等においては、逆止弁３５が開いて、真空ポンプユニット２の第１及び第２吸込ポート１２、１８によって、負圧供給口３２の空気を直接吸込むことにより、吸込流量を増大させて、気圧式倍力装置の負圧を迅速に回復することができる。
【００１８】
次に、本発明の第２実施形態について、図４及び図５を参照して説明する。
なお、以下の説明において、上記第１実施形態に対して、対応する部分には同一の符号を付して、異なる部分についてのみ詳細に説明する。
【００１９】
図４及び図５に示すように、本実施形態に係る負圧供給装置３９では、上記第１実施形態のマニホールドユニット４が省略されて、真空ポンプユニット２とエジェクタユニット３とが直接結合されている。そして、真空ポンプユニット２の第１及び第２吸込ポート１１、１８は、中空とされたロッド７内の通路４０によって、互いに連通されて、エジェクタユニット３の出口通路３１に直接連通されている。また、第１及び第２吐出ポート１４、２０は、直接、大気に開放されており、エジェクタユニット３の入口３０は、第１吐出ポート１４に連通されて、大気に開放されている。
【００２０】
本実施形態における真空ポンプユニット２では、上記第１実施形態に対して、ピストン６が大径、短ストローク化されており、これにより、コイル８が２つのみ設けられている。また、ピストン６の大径化によって生じるスペースを利用して、吸込側の逆止弁１５、２２と、吐出側の逆止弁１６、２１とがピストン６の直径方向に沿って配置されており、これにより、逆止弁１５、２２及び逆止弁１６、２１の部品が共通化されている。
【００２１】
このように構成したことにより、上記第１実施形態と同様、真空ポンプユニット２で発生させた負圧をエジェクタ２５によって増強することができ、真空ポンプユニット２の負荷を軽減しつつ、気圧式倍力装置等の負圧作動装置に必要な高い真空度の負圧を供給することができる。なお、本実施形態では、エジェクタ２５の入口３０には、大気圧の空気が供給される。
また、上記第１実施形態に対して、マニホールドユニット４を省略し、逆止弁１５、１６、２１、２２の部品を共通化し、コイル８を２つのみとしたことにより、構造を簡素化して製造コストを低減することができる。
【００２２】
なお、上記第１及び第２実施形態では、真空ポンプとして、往復動ピストン型のポンプを使用しているが、このほか、アキシャルピストンポンプ、ベーンポンプ、スクロールポンプ等の他形式のポンプを用いることも可能である。ポンプの駆動源としては、可動磁石型のリニアモータのほか、磁石が不要のリニアＳＲＭ（スイッチド  レラクタンス  モータ）等の他形式のリニアモータを使用することができ、また、回転型のポンプを使用する場合には、回転モータを使用することもできる。
【００２３】
次に、本発明の第３実施形態について、図６を参照して説明する。なお、上記第１実施形態に対して、同様の部分には同一の符号を付して説明する。
図６に示すように、本実施形態に係る負圧供給装置４１は、上記第１実施形態と同様、エジェクタ２５の吸引口２９が逆止弁３４を介して気圧式倍力装置等の負圧作動装置に接続され、出口通路３１が真空ポンプユニット２の吸込口に接続され、かつ、逆止弁３５を介して負圧作動装置に接続され、また、入口３０が真空ポンプユニット２の吐出口に接続されている。そして、エジェクタ２５の入口３０及び真空ポンプユニット２の吐出口は、エンジン吸気管（スロットルバルブの下流側）に接続されている。
【００２４】
真空ポンプユニット２を駆動する駆動回路４２には、負圧作動装置（気圧式倍力装置の負圧室等）の負圧を検出する負圧スイッチ４３が接続されており、負圧作動装置の真空度が所定レベルまで低下したとき、負圧スイッチ４３がオンとなって、駆動回路４２によって真空ポンプユニット２が駆動される。
【００２５】
以上のように構成した本実施形態の作用について次に説明する。
真空ポンプユニット２の停止中には、エンジン吸気管から、真空ポンプユニット２、エジェクタ２５及び逆止弁３４、３５を介して、負圧作動装置に、エンジン吸気負圧が直接供給される。
【００２６】
真空ポンプユニット２を作動させると、真空ポンプユニット２の吸込口と吐出口と差圧によって、エジェクタ２５の入口３０から出口通路３１への空気の流れが生じ、これによりエジェクタ２５の吸引口２９に真空ポンプユニット２の吸引負圧よりも高い真空度の負圧が生じ、この負圧が逆止弁３４を介して負圧作動装置に供給される。このとき、真空ポンプユニット２の吐出側がエンジン吸気負圧によって吸引されるので、エジェクタ２５の吸引口２９に生じる負圧の真空度を高めると共に吸引流量を増大させることができ、また、真空ポンプユニット２の負担を軽減するこができる。
【００２７】
負圧スイッチ４３によって、負圧作動装置の真空度を監視し、真空度が充分高い場合には、負圧スイッチ４３がオフとなり、真空ポンプユニット２が停止して、エンジン吸気負圧が負圧作動装置に直接供給される。負圧作動装置の負圧が所定レベルまで低下すると、負圧スイッチ４３がオンとなって、真空ポンプユニット２が作動し、エジェクタ２５の吸引口２９から高い真空度の負圧を供給して、負圧作動装置の真空度を迅速に回復することができる。
【００２８】
このようにして、真空ポンプユニット２の吐出側をエンジン吸気負圧によって吸引し、必要に応じて真空ポンプユニット２の作動をオン、オフすることにより、真空ポンプユニット２の消費動力を低減しつつ、高い真空度の負圧を供給することができ、真空ポンプユニット２の小型化が可能となる。なお、真空ポンプユニット２の故障、エジェクタ２５のスロート部２８に目詰まりが生じた場合でも、エンジン吸気負圧が負圧作動装置に直接供給されるので、負圧作動装置の作動状態を維持することができる。
【００２９】
次に、本発明の第４実施形態について、図７を参照して説明する。なお、上記第３実施形態に対して、同様の部分には同一の符号を付して、異なる部分についてのみ詳細に説明する。
【００３０】
図７に示すように、本実施形態に係る負圧供給装置４４では、エジェクタ２５の入口３０に接続された真空ポンプユニット２の吐出側は、逆止弁４５、４６及び第２エジェクタ４７を介してエンジン吸気管４８に接続されている。第２エジェクタ４７は、上述のエジェクタ２５と同様、ノズルとディフューザとを組合わせた構造であり、ディフューザの入口４９がエンジン吸気管４８のスロットルバルブ５０の上流側に接続され、ディフューザの出口５１がスロットルバルブ５０の下流側に接続され、ノズルとディフューザとの間の吸引口５２が逆止弁４５（第１逆止弁）を介して真空ポンプユニット２の吐出側に接続されている。また、第２エジェクタ４７の出口５１は、逆止弁４６（第２逆止弁）を介して、真空ポンプユニット２の吐出側に接続されている。逆止弁４５及び４６は、それぞれ真空ポンプユニット２の吐出側から第２エジェクタ４７の吸引口５２側及び出口５１（エンジン吸気管４８）側への流通のみを許容するものである。
【００３１】
このように構成したことにより、エンジン吸気管４８のスロットルバルブ５０の上流側と下流側との差圧によって、第２エジェクタ４７の入口４９から出口５１へ空気の流れが生じ、これによって吸引口５２に生じたエンジン吸気管４８よりも高い真空度の負圧を真空ポンプユニット２の吐出側に供給することができ、負圧作動装置に供給する負圧の真空度を高めることができる。その結果、真空ポンプユニット２、エジェクタ２５及び第２エジェクタ４７を小型化することが可能となる。なお、車両の始動直後等、負圧作動装置の真空度が低く、真空ポンプユニット２の吐出側の真空度がエンジン吸気管４８のスロットルバルブ５０の下流側よりも低い場合には、逆止弁４６が開いて、スロットルバルブ５０の下流側の負圧が真空ポンプユニット２の吐出側に直接供給される。
【００３２】
また、真空ポンプユニット２の故障、エジェクタ２５のスロート部２８に目詰まりが生じた場合には、エジェクタ２５は機能しなくなるが、第２エジェクタ４７の吸引口５２からエンジン吸気負圧よりも高い真空度の負圧を負圧作動装置に供給することができ、負圧作動装置の作動状態を維持することができる。
【００３３】
次に、本発明の第５実施形態について、図８を参照して説明する。なお、上記第４実施形態に対して、同様の部分には同一の符号を付して、異なる部分についてのみ詳細に説明する。
【００３４】
図８に示すように、本実施形態に係る負圧供給装置５３は、ターボチャージャ等の過給機を備えたエンジンに装着されるものであり、エンジン吸気管４８のスロットルバルブ５０の上流側に過給機５４及びインタークーラ５５が設けられており、真空ポンプユニット２の吐出側に逆止弁５６（第３逆止弁）が接続されている。逆止弁５６は、真空ポンプユニット２の吐出側を大気に開放するためのものであり、真空ポンプユニット２の吐出側から大気側への流通のみを許容する。
【００３５】
以上のように構成した本実施形態の作用について次に説明する。
エンジン回転数が高いとき、過給機５４の過給圧によって、過給機５４の下流側のエンジン吸気管４８の内部（インタークーラ５５、スロットルバルブ５０の上流側及び下流側）が全て正圧となることがある。このような場合、この正圧が真空ポンプユニット２の吐出側に流入するのを逆止弁４５、４６によって防止し、また、真空ポンプユニット２の吐出側を逆止弁５６によって大気に開放することにより、真空ポンプユニット２の吐出側が大気圧以上となって負圧作動装置に供給する負圧の真空度が過度に低下するのを防止することができる。これにより、過給機を備えたエンジンにおいても、負圧作動装置に安定した負圧を供給することができる。
【００３６】
なお、上記第３実施形態の負圧供給装置４１についても、過給機を備えたエンジンに装着する場合には、上記第５実施形態の場合と同様、真空ポンプユニット２の吐出側を大気に開放する逆止弁を設けることにより、過給の影響によって真空ポンプユニット２の吐出側が正圧となるのを防止することができ、負圧作動装置に安定した負圧を供給することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る負圧供給装置の縦断面図である。
【図２】図１に示す装置のＡ−Ａ線による横断面図である。
【図３】図１に示す装置の構成を示す空気圧回路図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る負圧供給装置の縦断面図である。
【図５】図４に示す装置の構成を示す空気圧回路図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る負圧供給装置の構成を示す空気圧回路図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係る負圧供給装置の構成を示す空気圧回路図である。
【図８】本発明の第５実施形態に係る負圧供給装置の構成を示す空気圧回路図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  負圧供給装置、２  真空ポンプユニット（真空ポンプ）、１２  第１吸込ポート（吸込口）、１８  第２吸込ポート（吸込口）、２５  エジェクタ、２６  ノズル、２７  ディフューザ、２９  吸引口、３１  出口通路（出口）、３４，３５  逆止弁
【図１】
2005155610.tif 000003
【図２】
2005155610.tif 000004
【図３】
2005155610.tif 000005
【図４】
2005155610.tif 000006
【図５】
2005155610.tif 000007
【図６】
2005155610.tif 000008
【図７】
2005155610.tif 000009
【図８】
2005155610.tif 000010