(57)【要約】【課題】  従来の圧電振動子及びその製造方法では、圧電振動子の小型化薄型化が進むにつれ、内部に搭載する圧電振動板と、容器体凹部内の壁面や底面との間隔が著しく狭くなる。この際に、圧電振動板の搭載時に平面方向又は垂直方向の位置ズレが生じた場合、圧電振動板の一部が容器体の凹部内壁に接触してしまい、圧電振動板の振動特性に悪影響を与えてしまう。【解決手段】  圧電振動板の接続用電極膜を形成した一方端短辺側面を、素子接続用電極パッドが近傍に形成されている凹部の一方の短辺内側壁面に接触させた状態で、素子接続用電極パッドと接続用電極膜との間を導電性接着剤で固着導通してあることを特徴とする圧電振動子。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁材により形成された容器体の内部に凹部空間が形成され、該凹部の内部底面上に形成した素子接続用電極パッド上に、表裏主面上の長さ方向の一方端に接続用電極膜を形成した短冊状の圧電振動板が、該素子接続用電極パッドと該接続用電極膜とが相対するように配置され、且つ該素子接続用電極パッドと該接続用電極膜とを導電性接着剤で固着導通させてなる圧電振動子において、
該圧電振動板の接続用電極膜を形成した一方端短辺側面を、該素子接続用電極パッドが近傍に形成されている該凹部の一方の短辺内側壁面に接触させた状態で、該素子接続用電極パッドと該接続用電極膜との間を導電性接着剤で固着導通してあることを特徴とする圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子に関し、特に、小型で且つ製造歩留まりの良い圧電振動子の構造に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器に搭載される電子部品の一つである圧電振動子における外形サイズの小型化の要求が強く、それに伴い様々な圧電振動子が発明開示されている。
【０００３】
従来の技術として、図３に圧電振動子の一形態を例示して説明する。即ち、絶縁材であるセラミックスで形成された容器体３１の一方の主面には、凹部３２が形成され、所望の大きさの空間が形成されている。この凹部３２内の底面上には金属製の素子接続用電極パッド３３が形成されており、容器体３１の外面底部に形成した他のマザーボード等に電気的に接続及び固着するための外部接続用電極パッド（図示せず）と容器体３１内に形成した導体を介して電気的に接続されている。
【０００４】
この素子接続用電極パッド３３の上に、矩形状に外形加工した圧電素板の表裏主面上に、励振用電極膜３４、引き出し電極膜３５及び接続用電極膜３６を形成した圧電振動板３７を、接続用電極膜３６が容器体３１に形成した素子接続用パッド３３の上に配置されるような位置に搭載されている。
【０００５】
その重なり合い配置されている素子接続用電極パッド３３と接続用電極膜３６へ、導電性接着剤３８を適量塗布し、この導電性接着剤３８を塗布後に容器体３１ごと恒温槽等の中に入れ加熱することにより、導電性接着剤３８を固化することで、圧電振動板３７を素子接続用電極パッド３３に導電性接着剤３８で固着導通させた圧電振動子を構成する一部分が形成される。
【０００６】
前記のような圧電振動子の構造及びその製造方法については、以下のような文献が開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開平７−２４０６５３号公報
【特許文献２】特開平９−１８６５４５号公報
【０００８】
尚、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし圧電振動子の小型化が進み、圧電振動子の容器体の外形寸法が、長さ寸法で５ｍｍ以下、幅寸法で３ｍｍ以下及び厚み寸法が１ｍｍ以下となるにつれ、容器体の内部に搭載する圧電振動板と、容器体凹部内の壁面との間隔が著しく狭くなってしまう。このような状況下において、図３のように圧電振動板の搭載時に平面方向の位置ズレが生じた場合、圧電振動板の固定されていない部分の一部が容器体の凹部内壁に接触してしまい、圧電振動板の振動特性に悪影響を与え、最悪不発振となる場合もある。
【００１０】
これらの不具合を解決するためには、圧電振動板を搭載する際の位置決め精度を高める方法があるが、精度向上のための設備投資が必要となり、圧電振動子を製造するコストが高くなってしまう。又、圧電振動子の小型化が進むにつれ、その位置決めの精度向上にも限界がある。
【００１１】
更に、圧電振動板を搭載する際に、圧電振動板の四辺と容器体凹部内の壁面との間隔が狭いため、圧電振動板の主面を真空キャックなどで保持して搭載しなくてならず、励振振動域に治具が接触することとなり、不純物などの付着の原因となる懸念がある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は前述した問題点を解決するために成されたものであり、絶縁材により形成された容器体の内部に凹部空間が形成され、この凹部の内部底面上に形成した素子接続用電極パッド上に、表裏主面上の長さ方向の一方端に接続用電極膜を形成した短冊状の圧電振動板が、素子接続用電極パッドと接続用電極膜とが相対するように配置され、且つこの素子接続用電極パッドと接続用電極膜とを導電性接着剤で固着導通させてなる圧電振動子において、
前記圧電振動板の接続用電極膜を形成した一方端短辺側面を、素子接続用電極パッドが近傍に形成されている凹部の一方の短辺内側壁面に接触させた状態で、素子接続用電極パッドと接続用電極膜との間を導電性接着剤で固着導通してあることを特徴とする圧電振動子である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る圧電振動子において、圧電振動板の接続用電極膜を形成した一方端短辺側面を、素子接続用電極パッドが近傍に形成されている凹部の一方の短辺内側壁面に接触させた状態で、素子接続用電極パッドと接続用電極膜との間を導電性接着剤で固着導通することにより、圧電振動板の姿勢を長さ方向及び幅方向において容器体内壁とそれぞれ平行に矯正することができ、圧電振動子の特性の信頼性の向上、及び特性不良品の減少による歩留まりの向上に著しい効果を奏する。
【００１４】
又、本発明に開示の技術では、多額の設備投資は必要が無く製造コストも最小限に抑えられる。また、圧電振動板の接続用電極膜を形成していない他方端短辺側面と相対する凹部内壁側面との間にスペースが形成されるので、圧電振動板を搭載する際には、他方端短辺側面を保持することで圧電振動板を搭載でき、主面の励振振動領域に何ら触れることがないので、不純物などの付着の懸念がなくなることにより、圧電振動子としての特性不具合の発生を極めて少なくできる効果も奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明における圧電振動子の一実施形態を例示して、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明に関わる圧電振動子の一部の一実施形態を示す平面構成図である。図２は、図１に記載の圧電振動子を切断線Ａ１−Ａ２で切断した場合の断面構成図である。尚、図１及び図２にあって、説明を明りょうにするため構造体の一部を図示していない。また寸法も一部誇張して図示しており、特に各部分の厚さ寸法は本発明を理解し易くするために極めてデフォルメした形で現している。
【実施例】
【００１６】
即ち、図１及び図２において、絶縁材の一つであるセラミックスで形成された容器体１１の一方の主面には、凹部１２が形成され、容器体１１の内部に所望の大きさの空間が形成されている。この凹部１２内の底面上には金属製の素子接続用電極パッド１３が２個、底面の長さ方向の一方の端部近傍に短辺に沿って形成されており、素子接続用電極パッド１３は容器体１１の外面底部に形成した他のマザーボード等に電気的に接続及び固着するための外部接続用電極パッド１４と容器体１１内に形成した導体を介して電気的に接続されている。
【００１７】
この凹部１２の底部の素子接続用電極パッド１３の上には、第１の導電性接着剤１５が塗布されており、その第１の導電性接着剤１５の上に、励振用電極膜、引き出し電極膜及び接続用電極膜１７が表裏主面上に形成された圧電振動板１６を、接続用電極膜１７を形成していない他方端短辺側面を保持しながら配置し、圧電振動板１６の接続用電極膜１７を形成した一方端短辺側面を、素子接続用電極パッド１３が近傍に形成されている凹部１２の一方の短辺内側壁面１８に接触させた状態で、第１の導電性接着剤１５に圧電振動板１６の裏面側の接続用電極膜１７をそれぞれ接触させている。
【００１８】
このとき、第１の導電性接着剤１５は固化しておらず粘性を保っているので、圧電振動板１６の姿勢を、圧電振動板１６の一方の短辺が接触している凹部内壁面１８を基準にして、長さ方向及び幅方向において容器体１１の全ての内壁面とそれぞれ平行に矯正でき、凹部内壁面１８に接触している圧電振動板１６の一方の短辺以外の各辺（２つの長辺と他方の短辺）は凹部の各内壁面に接触しない。尚、圧電振動板１６の一方の短辺端部は、第１の導電性接着剤１５で固定される部分なので、凹部内壁面１８に接触していても、圧電振動板１６の振動特性に悪影響を及ぼすものではない。
【００１９】
その姿勢が矯正されている圧電振動板１６の表面側に引き回されている接続用電極膜１７の上には、圧電振動板１６搭載後に第２の導電性接着剤１９が塗布されており、この第２の導電性接着剤１９は圧電振動板１６の長辺側面を介して第１の導電性接着剤１５と接続できる位置に適量塗布されている。
【００２０】
第１の導電性接着剤１５及び第２の導電性接着剤１９を加熱固化し、圧電振動板１６が所望の姿勢で素子接続用電極パッド１３と固着導通が取れた後、凹部１２の開口部を覆う金属製の蓋を被せ、圧電振動板１６が搭載された凹部１２内の空間を密封止して圧電振動子が完成する。
【００２１】
尚、圧電振動板を構成する圧電材の材料としては、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、圧電セラミックス等が考えられるが、どの材料を使用した場合でも本発明の構成における作用効果は、同様に奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、本発明に係わる圧電振動子の一部の実施形態を例示した平面図である。
【図２】図２は、図１に例示の圧電振動子を切断線Ａ１−Ａ２で切断した場合の断面図ある。
【図３】図３は、従来の技術により作成した圧電振動子の一問題例を示した平面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１１，容器体
１２，凹部
１３，素子接続用電極パッド
１５，第１の導電性接着剤
１６，圧電振動板
１７，接続用電極膜
１８，凹部の一方の内壁側面
１９，第２の導電性接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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