(57)【要約】【課題】  送風式支持手段の支持力の低下により搬送物が下降したとしても、その搬送物の下降量を抑えて搬送物や送風式支持手段の破損を防止することができる搬送装置を提供することにある。【解決手段】  搬送物２の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物２を非接触状態で支持する送風式支持手段３と、その送風式支持手段３にて支持される前記搬送物２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４とを備え、前記送風式支持手段３にて支持する予定高さより下降した搬送物２を前記送風式支持手段３の上面より上方で支持する接触式の支持部１７を設ける。【選択図】        図１０
2005089129.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置であって、
前記送風式支持手段にて支持する予定高さより下降した搬送物を前記送風式支持手段の上面より上方で支持する接触式の支持部が設けられている搬送装置。
【請求項２】
前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風ファンとを一体的に組み付けた送風ユニットを前記搬送方向に並べ、且つ、この送風ユニットの上に前記搬送物の下面に供給される清浄空気の整風を行う多孔板状体を備えて構成されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記接触式の支持部が、複数の支持体を搬送方向並びに横幅方向に分散配置して構成されている請求項１又は２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記支持体が、搬送方向に回転自在な回転ローラにて構成されている請求項３記載の搬送装置。
【請求項５】
前記支持体が、球状又はそれに近い形状の突起部にて構成されている請求項３記載の搬送装置。
【請求項６】
前記支持体が、前記多孔板状体に設けられている請求項３〜５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記送風ファンの回転速度を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出情報に基づいて、前記送風ファンの回転速度が設定速度以下になると前記推進力付与手段の作動を停止させる制御手段とが備えられている請求項２〜６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
かかる搬送装置は、送風式支持手段にて非接触状態に支持して推進力付与手段にて搬送方向での推進力を付与するように構成されているものであり、液晶用のガラス基板の製品化される部分のように搬送物における接触支持したくない部分を支持して搬送するのに適している。
そして、従来かかる搬送装置は、搬送物としての一例である液晶用のガラス基板を搬送する場合では、推進力付与手段の駆動回転体にて製品化する際にカットされるガラス基板の両端部を接触支持しながら推進力を付与し、送風式支持手段にて両端部の間に位置する製品化される中間部を支持するように構成されていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３２１８２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の搬送装置では、搬送物を送風式支持手段にて非接触状態で支持するため、この送風式支持手段に何らかの異常が生じて清浄空気の供給量が減少すると、搬送物に対する支持力が低下することにより、搬送物が送風式支持手段にて支持される予定高さより下降してしまい、搬送物とその下方に位置する送風式支持手段とが接触して搬送物自体や送風式支持手段が破損してしまう可能性が高いものであった。
また、上記従来の搬送装置では、搬送物の両端部を推進力付与手段にて接触支持しているため、送風式支持手段の支持力が低下すると、搬送物の中間部が下降することにより湾曲するように変形し、その変形により搬送物が破損してしまう可能性もあった。これは、特に、搬送物として液晶用のガラス基板のような板状体を搬送する場合に顕著なものである。
【０００５】
本発明は上記実情を鑑みたものであり、その目的は、送風式支持手段の支持力の低下により搬送物が下降したとしても、その搬送物の下降量を抑えて搬送物や送風式支持手段の破損を防止することができる搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明の搬送装置は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記送風式支持手段にて支持する予定高さより下降した搬送物を前記送風式支持手段の上面より上方で支持する接触式の支持部が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
すなわち、送風式支持手段に何らかの異常が生じて清浄空気の供給量が減少し、搬送物に対する支持力が低下して搬送物が予定高さより下降したとしても、その下降した搬送物を接触式の支持部にて送風式支持手段の上面より上方で支持することで搬送物の下降量を抑えることができ、搬送物とその下方に位置する送風式支持手段とが接触することによる搬送物自体の破損や送風式支持手段の破損を防止することができる。
また、搬送物の両端部を推進力付与手段等にて接触支持する場合でも、送風式支持手段の支持力が低下して搬送物の中間部が予定高さより下降した場合には、その下降した中間部を接触式の支持部にて送風式支持手段の上面より上方で支持することにより、中間部の下降量を抑えることができ、搬送物の変形による破損も防止することができる。
【０００８】
従って、送風式支持手段の支持力の低下により搬送物が下降したとしても、その下降した搬送物を接触式の支持部にて送風式支持手段の上面より上方で支持することにより、その搬送物の下降量を抑えることができ、もって、搬送物や送風式支持手段の破損を防止することができる搬送装置を提供することができるに至った。
【０００９】
第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風ファンとを一体的に組み付けた送風ユニットを前記搬送方向に並べ、且つ、この送風ユニットの上に前記搬送物の下面に供給される清浄空気の整風を行う多孔板状体を備えて構成されていることを特徴とする。
【００１０】
すなわち、送風ファンと除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを搬送物の搬送方向に並べて備えるだけで、搬送される搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができる搬送装置を提供することができる。
また、多孔板状体を備えることによって、搬送物の下面に向けて供給される清浄空気は、多孔板状体により整風されて搬送物の下面に供給され、搬送物の下面には広範囲にわたって均一化された清浄空気を供給することができ、特に、搬送物として液晶用のガラス基板のような板状体を搬送する場合では、その板状の搬送物の下面の一部分に集中して清浄空気が供給されることによる搬送物の湾曲を抑えることができる。
【００１１】
第３特徴構成は、上記第１又は第２特徴構成に加えて、前記接触式の支持部が、複数の支持体を搬送方向並びに横幅方向に分散配置して構成されていることを特徴とする。
すなわち、接触式の支持部が複数の支持体にて構成されており、各支持体を比較的小さく構成することができるので各支持部を配置し易く、もっては、接触式の支持部を配置し易くできる。
【００１２】
第４特徴構成は、上記第３特徴構成に加えて、前記支持体が、搬送方向に回転自在な回転ローラにて構成されていることを特徴とする。
すなわち、搬送物が設定高さより下降した際に、推進力付与手段による推進力の付与や慣性によって搬送物が搬送方向に移動したとしても、回転ローラが搬送物との接触摩擦により搬送方向に回転することによって、搬送物と支持体とが接触することによる搬送物の損傷を抑えることができる。
【００１３】
第５特徴構成は、上記第３特徴構成に加えて、前記支持体が、球状又はそれに近い形状の突起部にて構成されていることを特徴とする。
すなわち、支持体が球状又はそれに近い形状としており、支持体の角部と搬送物とが接触する可能性が少ないので、搬送物と支持体とが接触した際の搬送物の損傷を抑えることができる。
【００１４】
第６特徴構成は、上記第３〜第５特徴構成のいずれか１つに加えて、前記支持体が、前記多孔板状体に設けられていることを特徴とする。
すなわち、突起部が多孔板状体に設けられているので、突起部を設けるための専用の部材を用意する必要がなく、多孔板状体を突起部を設けるための部材として利用することによって、搬送装置の構成を簡素化することができる。
【００１５】
第７特徴構成は、上記第２〜第６のいずれか１つの特徴構成に加えて、前記送風ファンの回転速度が設定速度以下になったことを検出する検出手段と、前記検出手段の検出情報に基づいて前記推進力付与手段の作動を停止させる制御手段とを備えて構成されていることを特徴とする。
【００１６】
すなわち、送風式支持手段の回転速度が低下すると、搬送物の下面に向けて供給する清浄空気の量が減少し、送風式支持手段の支持力が低下して搬送物を予定高さで支持することが難しくなるため、送風式支持手段の回転速度が低下した状態で推進力付与手段による搬送物に対する推進力の付与を続けると、予定高さより下降した搬送物が接触式の支持部にて接触支持された状態で搬送される可能性が高くなるので、搬送物と接触式の支持部とが摺接して搬送物が大きく損傷する可能性がある。
そこで、設定速度として、その速度で送風ファンが回転しても搬送物に対する支持力が弱いために、搬送物が接触式の支持部に支持される可能性があるような速度に設定しておき、送風式支持手段の回転速度が上記したような設定速度以下となると推進力付与手段の作動を停止させるように構成しておくことで、搬送物が接触式の支持部にて接触支持された状態で搬送されなくなり、搬送物が接触式の支持部に摺接することによる搬送物の損傷を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を、搬送物の一例として液晶用のガラス基板を搬送する搬送装置について図面に基づいて説明する。
【００１８】
図１に示すように、搬送装置Ｈは、搬送ユニット１を、ガラス基板２の搬送方向に並ぶ状態で上下２段に重ねて使用するものであり、搬送上手側に位置する搬送ユニット１に移載されたガラス基板２を、送風式支持手段３にて非接触状態で支持しながら、推進力付与手段４にて搬送上手側から搬送下手側に向けてガラス基板２を搬送する。尚、上側の搬送ユニット１の搬送方向と下側の搬送ユニット１の搬送方向とは、逆方向でも同じ方向でもよく、適宜変更が可能である。
そして、図１１に示すように、搬送装置Ｈには、搬送装置Ｈの運転開始、運転停止及び搬送停止を指令する人為操作式の運転切換スイッチＳや、搬送ユニット１それぞれの運転や警報ランプＫを制御する制御装置Ｅが備えられている。
【００１９】
次に、搬送ユニット１について説明する。図２に示すように、搬送ユニット１のそれぞれは、ガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を非接触状態で支持する送風式支持手段３と、その送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４と、これら送風式支持手段３並びに推進力付与手段４を収納するケース体７とを備えて構成されている。尚、上側の搬送ユニット１は、搬送方向に沿う横軸芯Ｐ周りに揺動自在に構成されている。
【００２０】
前記ケース体７について説明すると、図２に示すように、送風式支持手段３を載置支持する平面視が略長方形のユニット用枠体９と、ユニット用枠体９の横幅方向の両側に搬送方向に沿って備えた収納フレーム８と、両側の収納フレーム８の上端部にわたって備えた開閉可能な搬送カバー２０とを備えて構成されている。
【００２１】
そして、図３に示すように、前記収納フレーム８のそれぞれは、搬送方向視で角筒状に構成されて、ユニット用枠体９と連結する内壁８ａ側の反対側は開閉可能な収納カバー８ｃにて構成されている。そして、図２、図３に示すように、ユニット用枠体９と収納フレーム８と搬送カバー２０とによって搬送空間Ａが形成されており、収納フレーム８内に収納空間Ｂが形成されている。また、前記ユニット用枠体９は、図４にも示すように、フレーム部材を組み付けた支持枠部分９ａと、その支持枠部分９ａより下方に位置して、外部空気を搬送空間Ａ内に導入する空気導入口１１を備えた略方形で板状の板状枠部分９ｂとで構成されている。図３に示すように、収納フレーム８の下壁８ｂには、収納空間Ｂの空気を外部に排出する外部排出口２１を備えるとともに、この外部排出口２１を閉塞するように、送風機能と除塵機能とを有するサブ送風ユニット２３が備えられており、このサブ送風ユニット２３にて収納空間Ｂ内の空気が清浄されて外部に排出されるように構成されている。
【００２２】
前記送風式支持手段３について説明すると、図２、図３に示すように、送風式支持手段３は、搬送ユニット１における搬送空間Ａに設けられており、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風ファン１３とを一体的に組み付けたファンフィルタユニット１４を搬送方向と搬送方向に直交する横幅方向とに並べ、且つ、このファンフィルタユニット１４の上にガラス基板２の下面２ａに供給される清浄空気の整風を行う整風板１５を備えて構成されている。尚、送風ユニットがファンフィルタユニット１４であり、多孔板状体が整風板１５である。
【００２３】
送風式支持手段３には、図１、図５に示すように、前記ファンフィルタユニット１４が、横幅方向に２つ並べたファンフィルタユニット１４を搬送方向に３列並べて計６つ備えられており、そのファンフィルタユニット１４のそれぞれには各ファンフィルタユニット１４の上方を覆うように前記整風板１５がそれぞれ載置支持されている。また、送風式支持手段３には、図２、図３に示すように、送風ファン１３を回転駆動させる電動式のファンモータ３２や、図１１に示すように、送風ファン１３の回転速度を検出する検出手段としての回転速度センサ３３が備えられている。尚、整風板１５には、パンチングにより通気孔１５ａが形成されている。
【００２４】
図１、図５に示すように、搬送装置Ｈには、前記送風式支持手段３にて支持する予定高さより下降したガラス基板２を送風式支持手段２の上面、つまりは、整風板１５の上面より上方で支持する接触式の支持部１７が備えられている。そして、接触式の支持部１７が、複数の支持体１８を搬送方向並びに横幅方向に分散配置して構成されている。補足説明すると、整風板１５のそれぞれには、樹脂材にて構成された複数の支持体１８が整風板１５に搬送方向並びに横幅方向に分散配置されており、その支持体１８は、図９に示すように、その基部１８ｂを通気孔１５ａに嵌合させることにより整風板１５に支持され、支持体１８における半球状の先端部１８ａが整風板１５の上面に突出している。
従って、図１０（イ）に示すようなガラス基板２が送風式支持手段３にて予定高さに支持されている状態から下降する場合でも、図１０（ロ）に示すように、その下降するガラス基板２を送風式支持手段３の上面より上方で複数の支持体１８にて支持することができる。
【００２５】
また、図５、図９に示すように、搬送方向に並ぶファンフィルタユニット１４のうちの中央に位置する２つのファンフィルタユニット１４に備えられた整風板１５のそれぞれには、横幅方向に沿った凹入部１５ｂが形成されており、その凹入部１５ｂにガラス基板２の静電気を除去するイオナイザ１９が設けられている。
【００２６】
次に、前記推進力付与手段４について説明する。図１、図２に示すように、推進力付与手段４は、一対の収納フレーム８のそれぞれに備えられて、ガラス基板２の横幅方向の両端部に対して推進力を付与する両側駆動式に構成されており、図３、図７に示すように、この推進力付与手段４には、ガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与する接触式の駆動ローラ２４が備えられており、この駆動ローラ２４には、ガラス基板２の横幅方向の両端部の側面それぞれに接当して、横幅方向に移動するガラス基板２を受け止める大径部２４ａが備えられている。
【００２７】
前記推進力付与機構４について詳述すると、推進力付与機構４のそれぞれは、図６〜８に示すように、電動モータ２５と、この電動モータ２５の出力ギヤと噛み合う平歯車２８を備えた伝動軸２７と、伝動軸２７に備えられた出力ギヤ２９と噛み合う入力ギヤ３０を備えた多数の出力軸２６とを備えて構成されている。そして、伝動モータ２５及び伝動軸２７は前記搬送空間Ｂ内に配備されており、前記出力軸２６は、収納空間Ｂ側並びに搬送空間Ａ側にそれぞれ突出する状態で前記内壁８ａに回転自在に支持されている。出力軸２６の収納空間Ｂに突出する部分には前記入力ギヤ３０が備えられており、出力軸２６の搬送空間Ａに突出する部分には前記駆動ローラ２４が備えられている。
【００２８】
従って、送風式支持手段３における送風ファン１３の送風作用により、送風ファン１３の下方の空気を吸引して、除塵フィルタ１２と整風板１５の通気孔１５ａとを通して清浄空気としてガラス基板２の下面２ａの略全域に供給することでガラス基板２が非接触支持され、推進力付与手段４の駆動ローラ２４にて、ガラス基板２の横幅方向の両端部の下面が接触支持されている。そして、推進力付与手段４における駆動ローラ２４が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、ガラス基板２の横幅方向の両端部に対して搬送方向への推進力が付与されてガラス基板２が搬送方向に搬送される。尚、送風ファン１３の送風作用により、外部空気を空気導入口１１から搬送空間Ａ内に導入し、搬送空間Ａ内の空気を収納フレーム８と搬送カバー２０との間の隙間等から外部に排出して、搬送空間Ａ内の空気の一部が交換される。
【００２９】
次に前記制御手段Ｅについて説明する。図１１に示すように、制御装置Ｅは、運転切換スイッチＳからの指令に基づいて、搬送装置Ｈに対する運転開始、運転停止及び搬送停止を制御するように構成されている。つまり、制御装置Ｅは、運転切換スイッチＳから運転開始が指令されると、搬送ユニット１のそれぞれにおいて、送風式支持手段３、サブ送風ユニット２３、推進力付与手段４のそれぞれを作動させて、搬送装置Ｈの運転を開始させる。また、運転切換スイッチＳから運転停止が指令されると、搬送ユニット１のそれぞれにおいて、送風式支持手段３、サブ送風ユニット２３、推進力付与手段４のそれぞれの作動を停止させて、搬送システムＨの運転を停止させる。そして、運転切換スイッチＳから搬送停止が指令されると、搬送ユニット１のそれぞれにおいて、送風式支持手段３の作動を維持させたまま推進力付与手段４の作動を停止させて、搬送システムＨのガラス基板２の搬送を停止させる。
【００３０】
また、制御装置Ｅは、運転切換スイッチＳから運転開始が指令されている状態においては、前記回転速度センサ３３の検出情報に基づいて、送風ファン１３の回転速度が設定速度以下になると推進力付与手段４の作動を停止させるように構成されている。
つまり、前記設定速度が、その速度以下で送風ファン１３が回転してもガラス基板２の下面に十分な清浄空気を供給することができず、ガラス基板２に対する支持力が弱くなってガラス基板２が接触式の支持部１７に支持される可能性がある速度に設定されており、送風ファン１３の回転速度が上記したような設定速度以下になると推進力付与手段の作動を停止させることによって、ガラス基板２が接触式の支持部にて支持された状態ではガラス基板２が搬送されないように構成されている。
そして、運転切換スイッチＳから運転開始或いは搬送停止が指令されている状態において、回転速度センサ３３の検出情報に基づいて、送風ファン１３の回転速度が設定速度以下になると警報ランプＫを点灯させて、送風ファン１３の回転速度の低下によりガラス基板２の搬送が停止したことを周囲の作業者に知らせるように構成されている。
【００３１】
〔別実施の形態〕
（１）  上記実施の形態では、推進力付与手段４を、ガラス基板２の横幅方向の両端側に対して搬送方向での推進力を付与する両側駆動式に構成したが、推進力付与手段４を、ガラス基板２の横幅方向の一端側に対して搬送方向での推進力を付与する片側駆動式に構成しても良い。
【００３２】
（２）  上記実施の形態では、推進力付与手段４の伝動構造をギヤ式に構成したが、推進力付与手段４の伝動構造をベルト式に構成しても良い。
つまり、次のように構成してもよい。
図１２、図１３に示すように、推進力付与手段４を、電動式モータ３５と、この電動式モータ３５にて回転駆動する駆動輪３６と、前記駆動ローラと回転軸３７にて連動連結された従動輪３８と、駆動輪３６からの動力を従動輪３８に伝達する駆動伝達ベルト３９と、この駆動伝達ベルト３９の内周側及び外周側に接当する遊転輪４０とを備えて構成する。そして、伝動モータ２５、駆動輪３６、従動輪３８、駆動伝達ベルト３９及び遊転輪４０を前記搬送空間Ｂ内に配備し、前記回転軸３７を、収納空間Ｂ側並びに搬送空間Ａ側にそれぞれ突出する状態で前記内壁８ａに回転自在に支持し、回転軸３７の収納空間Ｂに突出する部分に従動輪３８を備え、回転軸３７の搬送空間Ａに突出する部分に前記駆動ローラ２４を備える。
【００３３】
（３）  上記実施の形態では、各支持体１８と整風板１５とを別体に構成したが、図１４に示すような整風板１５に一体形成した球状又はそれに近い形状の突起部４１の複数を、搬送方向並びに横幅方向に分散配置して、この複数の突起部４１にて前記接触式の支持部１７を構成してもよい。また、図１５に示すような搬送方向に回転自在な回転ローラ４２の複数を、搬送方向並びに横幅方向に分散配置して、この複数の回転ローラ４２にて前記接触式の支持部１７を構成してもよい。
【００３４】
また、図１６（イ）に示すように、整風板１５を、前記除塵フィルタ１２を通した清浄空気を流動させる２枚の多孔状体３２と、この２枚の多孔状体３２に挟まれて多孔状体３２に形成した通気孔３２ａを塞ぐ多数のフィルタ状体３３とを備えて構成し、フィルタ状体３３を上方側の多孔状体３２の上端より突出させ、多孔状体３２の上端より突出させた複数のフィルタ状体３３の先端部３３ａにて前記接触式の支持部１７を構成してもよい。
つまり、フィルタ状体３３は、図１６（イ）、（ロ）に示すように、前記多孔状体３２の通気孔３２ａに嵌合させる突起部を備えて構成され、その突起部における多孔状体３２の上面から突出する先端部３３ａが凸曲状に形成されており、この先端部３３ａにて下降するガラス基板２を送風式支持手段３の上面より上方で支持することができる。
また、フィルタ状体３３としては、図１６（ハ）に示すように先端部３３ａを平坦に形成したものや、図１６（ニ）に示すように突起部の一部を突出させて先端部３３ａを形成したものでも良い。尚、例えば図１６（ハ）であれば図１６（ホ）に示すように、上記図１６（イ）、（ハ）、（ニ）の各フィルタ状体３３を、板状のフィルタ材を成型することにより形成してもよい。
【００３５】
（４）  上記実施の形態では、整風板１５を、１つのファンフィルタユニット１４を覆うように構成したが、６つのファンフィルタユニット１４を覆うように構成してもよい。
【００３６】
（５）  上記実施の形態では、警報手段として警報ランプＫを備えてその警報ランプＫを点灯させたが、警報ブザーを備えてその警報ブザーを作動させて警報音を発してもよく、また、警報ランプＫと警報ブザーとの両方を備えてもよい。
【００３７】
（６）  上記実施の形態では、送風式支持手段３を、除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを一体的に組み付けたファンフィルタユニット１４の複数にて構成したが、除塵フィルタ５と送風ファン６とを別体として個別に組み付けて送風式支持手段３を構成してもよい。
【００３８】
（７）  上記実施の形態では、推進力付与手段４を、駆動ローラ２４にてガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与するように構成したが、タイミングベルト等の無端帯状体にてガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与するように構成してもよい。
【００３９】
（８）  上記実施の形態では、搬送物として、液晶用のガラス基板としたが、半導体のウェハ等でもよく、搬送物の形状や大きさは実施の形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】搬送装置の斜視図
【図２】搬送ユニットの正面図
【図３】搬送ユニットの一部拡大正面図
【図４】搬送ユニットの側面図
【図５】搬送ユニットの平面図
【図６】推進力付与手段の側面図
【図７】推進力付与手段の正面図
【図８】推進力付与手段の一部拡大側面図
【図９】支持体並びにイオナイザの支持状態を示す整風板の側面図
【図１０】（イ）ガラス基板が予定高さに支持されている状態を示す図と（ロ）ガラス基板が予定高さより下降した状態を示す図
【図１１】搬送装置の制御ブロック図
【図１２】別実施の形態（２）の推進力付与手段の側面図
【図１３】別実施の形態（２）の推進力付与手段の正面図
【図１４】別実施の形態（３）の支持体の支持状態を示す側面図
【図１５】別実施の形態（３）の支持体の支持状態を示す側面図と平面図
【図１６】別実施の形態（３）の整風板の断面図
【符号の説明】
【００４１】
２    ガラス基板（搬送物）
２ａ  下面
３    送風式支持手段
４    推進力付与手段
１２    除塵フィルタ
１３    送風ファン
１４    ファンフィルタユニット（送風ユニット）
１５    整風板（多孔板状体）
１７    支持部
１８    支持体
３３    回転速度センサ（検出手段）
４１    突起部
４２    回転ローラ
Ｅ    制御手段
Ｈ    搬送装置
【図１】
2005089129.tif 000003
【図２】
2005089129.tif 000004
【図３】
2005089129.tif 000005
【図４】
2005089129.tif 000006
【図５】
2005089129.tif 000007
【図６】
2005089129.tif 000008
【図７】
2005089129.tif 000009
【図８】
2005089129.tif 000010
【図９】
2005089129.tif 000011
【図１０】
2005089129.tif 000012
【図１１】
2005089129.tif 000013
【図１２】
2005089129.tif 000014
【図１３】
2005089129.tif 000015
【図１４】
2005089129.tif 000016
【図１５】
2005089129.tif 000017
【図１６】
2005089129.tif 000018