(57)【要約】【課題】電磁アクチュエータの可動部の揺動により駆動コイルに発生する誘導起電力のみを検出することを可能にし、可動部の変位、振幅などの検出の精度を向上させることである。【解決手段】電磁アクチュエータ駆動装置は、可動部、支持部203から構成され、駆動コイル205を可動部あるいは支持部203の一方に備え、可動部が揺動される電磁アクチュエータを駆動する電磁アクチュエータ駆動装置は、駆動コイル205との相互インダクタンスの影響及び可動部の揺動の影響を受けない位置に配置される補償コイルと、信号減算手段を備え、駆動コイル205に駆動電流により発生する電圧を補償コイルに発生する電圧に基づき信号減算手段により相殺し、可動部の揺動により駆動コイル205に発生する誘導起電力を検出する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部、支持部から構成され、駆動コイルを可動部あるいは支持部の一方に備え、可動部が揺動される電磁アクチュエータを駆動する電磁アクチュエータ駆動装置であって、駆動コイルとの相互インダクタンスの影響及び可動部の揺動の影響を受けない位置に配置される補償コイルと、信号減算手段を備え、駆動コイルに駆動電流の変化により発生する電圧を補償コイルに発生する電圧に基づき信号減算手段により相殺し、可動部の揺動により駆動コイルに発生する誘導起電力を検出することを特徴とする電磁アクチュエータ駆動装置。
【請求項２】
補償コイルと駆動コイルが直列接続され、１つのコイル駆動手段により補償コイルと駆動コイルが駆動されることを特徴とする請求項１に記載の電磁アクチュエータ駆動装置。
【請求項３】
補償コイル駆動手段と駆動コイル駆動手段を備え、補償コイルと駆動コイルとを補償コイル駆動手段と駆動コイル駆動手段によりそれぞれ独立に駆動することを特徴とする請求項１に記載の電磁アクチュエータ駆動装置。
【請求項４】
可動部に駆動コイルを備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電磁アクチュエータ駆動装置。
【請求項５】
検出した誘導起電力に基づき、電磁アクチュエータの共振周波数に対して、駆動コイルの駆動信号の周波数追従制御をする手段を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電磁アクチュエータ駆動装置。
【請求項６】
検出した誘導起電力に基づき、電磁アクチュエータの振動振幅を制御する手段を備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電磁アクチュエータ駆動装置。
【請求項７】
光を偏向する偏向手段として請求項１乃至６のいずれかに記載の電磁アクチュエータ駆動装置を含む光偏向器を用い、この光を被照射体上に照射して画像を形成することを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ駆動装置に係り、特に、共振駆動される光スキャナなどとして利用される電磁アクチュエータ駆動装置、それを用いた画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光偏向器はレーザ光の走査に用いられるものであり、近年では、マイクロマシン技術を用いて作製された小型なものがある。電磁アクチュエータはその１つである。
【０００３】
このような電磁アクチュエータの多くは、高いQ値を利用し、自体の共振周波数で往復駆動される。しかし、この共振周波数は温度等により変化するため、電磁アクチュエータを安定に駆動するためには、駆動コイルに供給される励振電流の駆動周波数の共振周波数への追従制御が必要である。この共振周波数追従制御のために、電磁アクチュエータでは、センサ信号として、アクチュエータの揺動運動により駆動コイルに発生する誘導起電力を用いることができる（特許文献１参照）。この方法は、アクチュエータに新たな構成要素を必要としないことから、小型化、低コスト化の点で優れている。
【０００４】
また、上記共振周波数追従制御とは技術目的はまったく異なるが、電磁駆動の振動ミラーを共振抑制しつつトラッキング制御する手段として、駆動用の第１のコイルと誘導起電力検出用の第２のコイルに加えて、第２のコイルに発生する相互インダクタンスによる不要な誘導起電力の影響を低減して安定したトラッキング制御を行なわせるための第３のコイルを用いる振動ミラー装置が提案されている。
【特許文献１】特開平2001-30547号公報
【特許文献２】特開昭64-2015号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、共振周波数追従制御のためにセンサ信号として用いる上記誘導起電力の他に、駆動コイルには駆動電流の立上り、立下りで、電流変化による誘導起電力が発生するが、この誘導起電力は、共振周波数や駆動電流の変化率で大きくなる。また、コイル抵抗により駆動コイル端子間に電圧降下も生じる。こうした電流変化による誘導起電力や電圧降下は、もともとは駆動電流が印加されている時間のみ問題であるが、上記センサ信号の検出回路の帯域制限により、検出信号全体に影響を及ぼす。特に、検出回路に駆動周波数に近い周波数の帯域制限をかけた場合、その影響は大きい。しかし、上記特許文献１の電磁アクチュエータでは、こうした問題点に対する対策は講じられていない。
【０００６】
特に、可動部に磁石を備える可動磁石型では、磁石が小型でありその磁場が小さいため、固定側の駆動コイルの自己インダクタンスおよび駆動電流が大きくなる場合があり、駆動電流により発生する電圧は大きくなり、上記問題点は顕著になる。図９にこの場合の波形を示す。（a）のような駆動電流波形である場合、駆動コイル端子間の電圧波形は、上記電流変化による誘導起電力（図９（b）の１、２の部分）、電圧降下（図９（b）の３の部分）、アクチュエータの揺動運動により発生する誘導起電力（図９（b）の４の部分）が合わさって（b）の如くなり、増幅後の波形は（c）の様になる。１、２、３の部分が、センサ信号として用いる誘導起電力の部分４に対して充分大きくなっており、検出信号全体に影響を及ぼしていることが分かる。
【０００７】
また、特許文献２の構成は、そもそも異なる目的に向けられた技術であり、上記問題点の解決には寄与しないし、たとえ転用を考慮したとしても、この構成では位相、振幅特性の高精度化は考慮されておらず、駆動周波数追従制御への適用は難しい。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために、本発明の電磁アクチュエータ駆動装置は、可動部、支持部から構成され、駆動コイルを可動部あるいは支持部の一方に備え、可動部が揺動される電磁アクチュエータを駆動する電磁アクチュエータ駆動装置であって、駆動コイルとの相互インダクタンスの影響及び可動部の揺動の影響を受けない位置（典型的には、電磁アクチュエータ外部）に配置される補償コイルと、信号減算手段を備え、駆動コイルに駆動電流の変化により発生する電圧を補償コイルに発生する電圧に基づき信号減算手段により相殺し、可動部の揺動により駆動コイルに発生する誘導起電力を検出することを特徴とする。これにより、可動部の揺動により駆動コイルに発生する誘導起電力のみを検出することが可能になり、可動部の変位、振幅などの検出の精度を向上することができる。
【０００９】
上記基本構成に基づき、以下の態様が可能である。
補償コイルと駆動コイルが直列接続され、１つのコイル駆動手段により補償コイルと駆動コイルが駆動される態様とし得る。これにより、コイル駆動回路を新たに追加することなく、可動部の変位などの検出精度を向上することができる。
【００１０】
また、補償コイル駆動手段と駆動コイル駆動手段を備え、補償コイルと駆動コイルとを補償コイル駆動手段と駆動コイル駆動手段によりそれぞれ独立に駆動する態様ともし得る。これにより、駆動コイル駆動回路の駆動電圧を増加させることなく、可動部の変位などの検出精度を向上することができる。
【００１１】
また、可動部に駆動コイルを備える態様とし得る。この場合は、駆動コイルの駆動電流が大きく、また、駆動コイルの自己インダクタンスも大きくなるため、駆動電流による誘導起電力、電圧降下が大きくなり、その低減の効果が大きくなる。
【００１２】
また、検出した誘導起電力に基づき、電磁アクチュエータの共振周波数に対して、駆動コイルの駆動信号の周波数追従制御をする手段を備える様にもできる。これにより、電磁アクチュエータの共振周波数に対する駆動信号の周波数の追従制御の精度を向上することができる。
【００１３】
また、検出した誘導起電力に基づき、電磁アクチュエータの振動振幅を制御する手段を備える様にもできる。これにより、電磁アクチュエータの共振振幅制御の精度を向上することができる。
【００１４】
上記の特徴を有する電磁アクチュエータ駆動装置を含む電磁アクチュエータを光偏向器として用い、この偏向光を被照射体上に照射して画像を形成する画像形成装置を構成することもできる。これにより、光偏向器部分の制御系の簡易化、小型化、高精度化が可能になる。また、画質が向上する。
【発明の効果】
【００１５】
以上に説明した本発明によれば、アクチュエータの変位角速度信号などとして用いられる可動部の揺動による誘導起電力を、駆動コイルの駆動電流による誘導起電力および抵抗による電圧降下の影響を取り除いて取り出すことができ、駆動電流により発生する電圧の電磁アクチュエータの変位などの検出への影響を無くし、変位などの検出の精度を向上させることができる。そして、この変位角速度信号などを用いた駆動周波数の追従制御等の精度を向上することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明は、駆動コイルに駆動電流により発生した誘導起電力およびコイル抵抗の電圧降下を、別に設けた補償コイルに該駆動電流により発生した誘導起電力およびコイル抵抗の電圧降下により補償する原理に基づく。図１にその原理を示す。（a）は駆動コイルの駆動電流波形である。（b）は駆動コイルの端子間電圧の波形である。駆動電流による誘導起電力（１、２の部分）と可動部の揺動による誘導起電力（４の部分）とコイル抵抗による電圧降下（３の部分）が加算されている。（c）は補償コイルの端子間電圧の波形である。駆動電流による誘導起電力（１、２の部分）とコイル抵抗による電圧降下（３の部分）が加算されている。（d）は(b)の波形から（c）の波形を減算した減算回路の出力電圧波形である。（e）は（d）の波形を増幅した波形である。可動部の揺動による誘導起電力（４の部分）の波形のみが実質的に取り出されていることが分かる。
【００１７】
上述の原理を達成するためには、補償コイルは電磁アクチュエータの可動部の揺動の影響および、駆動コイルとの相互インダクタンスの影響を受けない場所に配置する必要がある。電磁アクチュエータを可動部、支持部、駆動制御部を分けた場合、補償コイルは駆動制御部に配置する。通常は回路基板上に実装する。図１（e）の検出信号を用いて、電磁アクチュエータの共振周波数に対して駆動コイルの駆動信号の周波数追従制御を行なう方法、また電磁アクチュエータの振動振幅に対して制御を行なう方法は、周知の方法によるが、これについては後述する。
【００１８】
上記可動部と支持部は電磁アクチュエータの機構部分を構成し、一方に駆動コイルが配置され、他方に永久磁石が配置される。可動部にコイルが配置されるものは可動コイル型と呼ばれ、可動部に永久磁石が配置されるものは可動磁石型と呼ばれる。
【００１９】
図２に可動磁石型の電磁アクチュエータの機構部分の構成を示す。この例は、単結晶シリコン基板をマイクロマシン技術により加工している。可動部にはミラー201が形成されており、この電磁アクチュエータは、共振動作する光偏向器として機能する。（a）は、ミラー基板203とコイル基板207を上下方向に分離して示す斜視図であり、（b）は（a）A-A’線で示す部分の断面図（ここでは、ミラー基板203とコイル基板207は固定されている）である。ここでは、ミラー201となる可動部とトーションバー202がエッチング加工によりミラー基板203に形成されている。ミラー201は、可動部の上面にアルミ蒸着などにより形成される。可動部のミラー201の対向面には、永久磁石204が取り付けられている。磁極の向きは、（b）の断面図に示す如く、トーションバー202による振動中心軸に対して直交する方向である。
【００２０】
他方、コイル基板207には、メッキにより平面コイル205が形成され、さらにエッチングにより貫通孔206が形成されている。ミラー基板203とコイル基板207は、図示しないスペーサ等により近接するように固定される。この構成において、可動部はミラー201と永久磁石204で構成され、支持部はその他の構成要素で構成される。後で詳述する補償コイルは、図２では図示されていない駆動制御部に設けられている。
【００２１】
この構成において、共振周波数などの周波数で変化する駆動電流が印加される平面コイル205で発生する変化磁場は、効率良く、ミラー基板203に配置される永久磁石204に対して働き、ミラー201を効率良く角変位させる。本発明は、こうした駆動電流の共振周波数追従制御などに用いられる信号の検出に係わるものである。また、図示例では、コイル205の中心部に対応する位置のコイル基板207には貫通孔206が形成されているので、ミラー基板203とコイル基板207を近づけて配置しても、ミラー201を持つ可動部の角変位を妨げることはない。さらに、貫通孔206があるので、可動部の角変位運動により、コイル基板207との間でエアダンピング現象が発生するようなこともない。
【００２２】
本発明の特徴部である補償コイルと駆動コイルの接続には、典型的には、次の２つの構成がある。図３と図４を用いて説明する。
【００２３】
図３は、駆動コイル301と補償コイル302を直列に接続し、駆動コイル駆動回路303で補償コイル302も駆動するものである。したがって、補償コイル302の一端は駆動コイル用駆動回路303に接続され、駆動コイル301の一端はGNDに接続される。駆動コイル用駆動回路303は、後述の電磁アクチュエータの制御系からのコイル駆動信号に基づいて電流を出力する。駆動コイル用差動増幅回路304は、駆動コイル301の端子間電圧を増幅し、補償コイル用差動増幅回路305は、補償コイル302の端子間電圧を増幅する。減算回路306は、２つの入力電圧の差を出力する。このプラス入力には駆動コイル用差動増幅回路304の出力が接続され、このマイナス入力には補償コイル用差動増幅回路305の出力が接続される。増幅回路307は、減算回路306の出力電圧を増幅する。この電圧は、後述の電磁アクチュエータの制御系に変位角速度信号などとして入力される。
【００２４】
ここにおいて、補償コイル302の自己インダクタンスと抵抗値、駆動コイル用差動増幅回路304の増幅率、補償コイル用差動増幅回路305の増幅率は、減算回路306から、可動部の揺動により駆動コイル301に発生する誘導起電力のみ出力されるように設定される。図３のこの構成では補償コイル用の駆動回路が不要であるので、構成要素数が減り、消費電力も減る。したがって、低コスト化で有利な構成である。
【００２５】
図４は、補償コイル302を駆動コイル301とは独立に駆動する構成である。補償コイル駆動回路401により補償コイル302を駆動する。図３の構成に対して、補償コイル用駆動回路401が構成要素として追加される。ここでは、駆動コイル301の一端は駆動コイル用駆動回路303に接続され、他端はGNDに接続される。他方、補償コイル302の一端は補償コイル用駆動回路401に接続され、他端はGNDに接続される。これ以外の部分は図３と同じである。
【００２６】
補償コイル302の自己インダクタンスと抵抗値、駆動コイル用差動増幅回路304の増幅率、補償コイル用差動増幅回路305の増幅率、コイル駆動信号に対する補償コイル用駆動回路401の出力電流は、減算回路306から、可動部の揺動により駆動コイル301に発生する誘導起電力のみ出力されるように設定される。この構成は、駆動コイル301の駆動に補償コイル302の影響を与えないで済むことが特徴である。
【００２７】
尚、これらの構成は一例であり、補償コイルに発生する誘導起電力（自己インダクタンスによるもの）と電圧降下により、駆動コイルに駆動電流により発生する誘導起電力（自己インダクタンスによるもの）と電圧降下を補償できる構成になっていれば、上記構成に限定されるものではない。例えば、駆動コイル用差動増幅回路、補償コイル用差動増幅回路、および減算回路は１つの回路としてまとめたり、部分的に共有する部分を設けたりすることは可能である。また、駆動コイル用差動増幅回路、補償コイル用差動増幅回路は１段構成ではなく、多段に増幅する構成にすることも可能である。
【００２８】
上記の各構成要素の自己インダクタンスなどの設定値は、減算回路306の入力で、２つのコイルの駆動電流による誘導起電力と電圧降下の値が同じになるようにする値であればよい。以下に例を示す。ここで、駆動コイル301のインダクタンスをL_D、抵抗値をR_D、補償コイル302のインダクタンスをL_C、抵抗値をR_C、駆動コイル用駆動回路303の電流値をI_D、補償コイル用駆動回路401の電流値をI_C、駆動コイル用差動増幅回路304の増幅率をG_D、補償コイル用差動増幅回路305の増幅率をG_Cとする。
【００２９】
駆動コイルと補償コイルを直列接続した場合は、駆動コイル用駆動回路303の電流値I_Dが駆動コイルと補償コイルの両方に流れるので、次の関係を満たすような値であればよい。
L_C・G_C＝L_D・G_D
R_C・G_C = R_D・G_D
駆動コイルと補償コイルを独立駆動した場合は、駆動コイルと補償コイルには、夫々、駆動コイル用駆動回路303の電流値I_Dと補償コイル用駆動回路401の電流値I_Cが流れるので、次の関係を満たすような値であればよい。
L_C・G_C・I_C＝L_D・G_D・I_D、
R_C・G_C・I_C＝R_D・G_D・I_D、
【００３０】
補償コイルとしては、電気部品を用いることも、駆動コイルと同じものを用いることも可能である。マイクロマシン技術により作製された駆動コイルと同じものを補償コイルとして用いる場合は駆動コイルと補償コイルの特性を揃えることが容易であり、L_C=L_D、R_C=R_Dの設定値の場合に、精度を容易に向上することができる。
【００３１】
上記の補償された信号は、典型的には、電磁アクチュエータ駆動回路の電磁アクチュエータの共振周波数追従制御に用いられる。以下、これについて説明する。
【００３２】
図５は制御系の構成を示す。アナログの位相同期ループの構成である。駆動クロック発生回路502はコイルの駆動信号のクロックを発生する。コイル駆動信号発生回路501はこのクロックに同期したコイル駆動信号を発生する。ここでは、コイル駆動信号は矩形パルス波形をしており、そのデューティ比はデューティ比設定電圧で設定される。駆動の間欠時間で検出を行うため、実用的には、デューティ比は50％以下である必要がある。20〜30％程度が適当である。コンパレータ回路504は、上記の補償された信号から来る変位角速度信号をGNDレベルと比較し、矩形信号を出力する。位相比較回路503は、駆動クロック発生回路502のクロック信号とコンパレータ回路504の矩形信号の位相を比較し、その位相差に応じた電圧を出力する。この電圧はLPF（ローパスフィルタ）回路507により、低周波成分を抽出され、駆動クロック発生回路501に入力され、クロック周波数を制御する。これで位相同期ループが構成される。こうして、電磁アクチュエータ駆動回路からのコイル駆動信号が、電磁アクチュエータの共振周波数に対して精度良く追従制御され、電磁アクチュエータの可動部が安定的に駆動されることになる。
【００３３】
他方、ピークホールド回路505は変位角速度信号のピークを保持する。振幅設定回路507は、振幅設定電圧とピークホールド回路506の出力電圧を比較し、その差に応じて出力電圧を調整する。コイル駆動信号発生回路501は、振幅設定回路506の出力電圧を基にコイル駆動信号の矩形信号の振幅を制御する。このピークは、電磁アクチュエータの振動振幅の情報を含むものであるので、こうして、検出した誘導起電力に基づき精度良く、電磁アクチュエータの振動振幅に対して制御が行なわれることになる。
【００３４】
ここで、共振型の電磁アクチュエータにおける、可動部の揺動により駆動コイルに発生する誘導起電力による可動部変位検出の位相について説明する。この誘導起電力は、振動により符号が変化する変位角速度に比例し、該符号に対して該誘導起電力の符号は反転する。以下、共振周波数の追従制御系において、この誘導起電力の信号を変位角ないし変位角速度の信号と見なして制御できることについて説明する。通常、共振系において変位角の位相は、外力（電磁アクチュエータの場合は電磁力、つまり駆動コイルに印加する駆動電流）の位相に対して90度遅れる。一方、誘起起電力は、変位角速度に比例し（位相は180度異なる）、変位角の位相に対して位相が90度進む。したがって、結果として、駆動電流に対する誘導起電力の位相差はゼロとなる。以上の誘導起電力と変位角速度と変位角と駆動電流の関係から、この誘導起電力の信号を変位角ないし変位角速度の信号と見なして、該誘導起電力に基づいて、コイル駆動信号を電磁アクチュエータの共振周波数に追従制御できることになる。誘導起電力の信号は電磁アクチュエータの振動振幅の情報をも含むので、コイル駆動信号の振幅を制御して電磁アクチュエータの振動振幅を制御することもできる。
【００３５】
尚、ここで、符号の反転による180度単位での位相変化については、信号の反転等で容易に対応可能であるため、無視した。また、振幅については比例係数のみが問題となるため、その係数が予め得られていれば、誘導起電力を変位角ないし変位角速度の信号として用いることが可能になる。
【００３６】
上記のような電磁アクチュエータを用いた光偏向器は、レーザビームプリンタやレーザディスプレイ等の画像形成装置に用いることが可能である。これらの装置に本発明の電磁アクチュエータを適用することにより、光偏向器部分の制御系の簡易化、小型化、高精度化が可能になる。もちろん画質の向上も可能である。以下に、さらに具体的な実施例を説明する。
【実施例】
【００３７】
「第１実施例」
第１実施例として、駆動コイルと補償コイルが直列接続され、両者の自己インダクタンスと抵抗値が等しい場合の例を説明する。構成は図３に示すものとなる。この場合、補償コイル用差動増幅回路305と駆動コイル用差動増幅回路304の増幅率は等しく設定される。
【００３８】
図６に各波形を示す。（a）は駆動コイル用駆動回路303の出力電流波形である。（b）は駆動コイル301端子間の電圧波形である。（c）は補償コイル302端子間の電圧波形である。（d）は駆動コイル用差動増幅回路304の出力電圧波形である。（e）は補償コイル用差動増幅回路305の出力電圧波形である。（d）の出力電圧波形と（e）の出力電圧波形の差は、可動部の揺動により駆動コイル301に発生する上述した誘導起電力になっている。
【００３９】
この例では、駆動コイル301と補償コイル302、駆動コイル用差動増幅器304と補償コイル用差動増幅器305の増幅率が全く同じであるため、その設計、作製が容易である。また、補償コイル用駆動回路を必要としないため、消費電力の低減、構成の簡易化の点で有利である。
【００４０】
「第２実施例」
第２実施例として、駆動コイルと補償コイルが直列接続され、補償コイルの自己インダクタンスと抵抗値が、駆動コイルの1／10である場合の例を説明する。構成は図３に示すものとなる。この場合、補償コイル用差動増幅回路305の増幅率は駆動コイル用差動増幅回路304の10倍に設定する。
【００４１】
図７に各波形を示す。（a）は駆動コイル用駆動回路303の出力電流波形である。（b）は駆動コイル301端子間の電圧波形である。（c）は補償コイル302端子間の電圧波形である。（d）は駆動コイル用差動増幅回路304の出力電圧波形である。（e）は補償コイル用差動増幅回路305の出力電圧波形である（（c）の電圧波形が、（b）と（d）の間の増幅率の10倍の増幅率で増幅されている）。ここでも、（d）の出力電圧波形と（e）の出力電圧波形の差は、可動部の揺動により駆動コイル301に発生する上述した誘導起電力になっている。
【００４２】
この例では、補償コイル302に発生する誘導起電力、抵抗による電圧降下を低くできるため、駆動コイル駆動回路303の電圧の増加が小さくなり、消費電力を低減することができる。
【００４３】
「第３実施例」
第３実施例として、補償コイルを駆動コイルと独立に駆動し、その自己インダクタンスと抵抗値が、駆動コイルと同じ場合の例を説明する。構成は図４に示すものとなる。この場合、補償コイル用駆動回路401の出力電流を駆動コイル用駆動回路303の1／10とし、補償コイル用差動増幅回路306の増幅率を駆動コイル用差動増幅回路304の10倍とする。
【００４４】
図８に各波形を示す。（a）は駆動コイル用駆動回路303の出力電流波形である。（b）は補償コイル用駆動回路401の出力電流波形である。（c）は駆動コイル301端子間の電圧波形である。（d）は補償コイル302端子間の電圧波形である。（e）は駆動コイル用差動増幅回路304の出力電圧波形である。（f）は補償コイル用差動増幅回路305の出力電圧波形である。ここでも、（e）の出力電圧波形と（f）の出力電圧波形の差は、可動部の揺動により駆動コイル301に発生する誘導起電力になっている。
【００４５】
この例では、駆動コイル301と補償コイル302が全く同じであるため、その設計、作製が容易である。また、駆動コイル駆動回路303の出力電圧の増加を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】図１は本発明の原理を説明する図である。
【図２】図２は本発明を適用する電磁アクチュエータの構成図である。
【図３】図３は本発明の構成例１の構成図である。
【図４】図４は本発明の構成例２の構成図である。
【図５】図５は駆動周波数の追従制御系の構成図である。
【図６】図６は第１の実施例に係わる波形を示す図である。
【図７】図７は第２の実施例に係わる波形を示す図である。
【図８】図８は第３の実施例に係わる波形を示す図である。
【図９】図９は誘導起電力の波形を説明する図である。
【符号の説明】
【００４７】
1、2…電流変化による誘導起電力部分
3…電圧降下部分
4…アクチュエータの揺動運動により発生する誘導起電力部分
201…ミラー
202…トーションバー
203…ミラー基板
204…永久磁石
205…平面コイル
206…貫通孔
207…コイル基板
301…駆動コイル
302…補償コイル
303…駆動コイル用駆動回路
304…駆動コイル用差動増幅回路
305…補償コイル用差動増幅回路
306…減算回路
307…増幅回路
401…補償コイル用駆動回路
501…コイル駆動信号発生回路
502…駆動クロック発生回路
503…位相比較回路
504…コンパレータ回路
505…ピークホールド回路
506…振幅設定回路
507…LPF回路
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図２】
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