(57)【要約】【課題】従来方式では、装置の管理時、管理ウェーハのカセットへの移載作業、処理後の測定結果からの装置状態判断、使用済みウェーハの種類分別作業、リサイクル判断を人が行っているため、非効率であり、メンテナンス時間の遅延による生産ロットの進行を止めることになり、納期の遅れをもたらし、計画生産枚数の未達が発生していた。【解決手段】本発明は、枚葉制御可能な製造装置の管理において、管理ウェーハ毎に加工処理情報および測定情報を記憶する事により、記憶した管理ウェーハ情報から必要ウェーハの抽出、カセットへの移載、工程情報記憶、出庫、工程処理、使用済みウェーハの分別、装置状態判断を自動で行うことにより、人による判断を伴うことなく管理ウェーハを進行、補充させる手段からなる。【選択図】図１
2005259934.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枚葉制御可能な製造装置において処理されたウェーハ、または未使用のウェーハの情報を管理ウェーハ制御装置で管理する管理ウェーハ制御手段と、
管理ウェーハ保管装置に前記ウェーハを保管する管理ウェーハ保管手段とを備え、
前記製造装置で指定の条件で処理された前記ウェーハ、または未使用のウェーハを前記管理ウェーハ制御装置に管理された前記情報を参照して前記管理ウェーハ保管装置から取り出すことを特徴とするウェーハ管理方法。
【請求項２】
前記情報は、前記製造装置での前記ウェーハの処理条件、前記ウェーハの処理結果及び前記ウェーハの測定結果、または未使用のウェーハの情報であることを特徴とする請求項１記載のウェーハ管理方法。
【請求項３】
前記情報に基づいてウェーハの補充、破棄またはリサイクルを行うことを特徴とする請求項１記載のウェーハ管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体製造装置で処理されるウェーハを管理する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の製造装置の管理作業においては、特許文献１にあるように作業者が定められた複数種別の管理ウェーハをカセット内の決まった位置に必要枚数移載した後、加工処理前の測定、加工処理、加工処理後の測定を行っている。使用したウェーハについては、作業者がリサイクル処理、破棄などにそれぞれ分類し、ウェーハを分類毎に集約した後、分類別に定められた処理を行っている。
【特許文献１】特開平１１−２３８６５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来方式では、製造装置の管理において、作業者が管理ウェーハの準備、処理、測定、測定結果からの装置状態の判定などの作業を行っているため、判断ミスや作業時間の遅延が生じるといったことから、生産ロットの進行を止めることになり、計画納期からの遅れを生じさせ、計画生産枚数の未達が発生していた。そこで、本発明は従来技術の問題点を解決し、作業者のミスやロスを省き、さらに効率的な装置管理ウェーハ処理を行う事を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、枚葉制御可能な製造装置において加工処理情報と測定結果の情報を各ウェーハに紐付けて記憶させ、一元管理する事により、製造装置の管理において必要なウェーハを自動抽出、カセットへの自動移載を行うとともに、使用後のウェーハを自動的に分類、集約を行い、リサイクルまたは破棄の指示を自動で行うことにより、管理ウェーハの準備や処理、測定時に必要な判断および作業を人が行うことなく自動で進行される手段からなる。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、枚葉制御可能な製造装置において装置管理時、必要な管理ウェーハの抽出、及びカセットへの移載を自動で行い、管理処理後は、使用済みウェーハを自動分類、集約を行い、リサイクルまたは破棄の指示を自動で行うことにより、作業者の作業負荷が軽減されると共に、管理時間の削減が図れるため、製造装置の効率運用を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【０００７】
図１に、本実施の形態の半導体製造装置である枚葉制御製造装置３０と管理ウェーハ保管装置２００と管理ウェーハ制御装置１００と装置管理制御装置３００の接続図を示す。本発明による図１の製造装置の制御方法は主ホストコンピュータ１０が枚葉制御製造装置３０と多数のホストコンピュータ２０、２１とデータバスにより接続されている。この各ホストコンピュータ２０、２１も該当工程を行うための枚葉制御製造装置３０と枚葉式移載機を搭載する装置３１のような工程遂行装置とデータバスにより接続されている。図１では、枚葉制御製造装置３０、枚葉式移載機を搭載する装置３１は各１台であるが、接続台数は問わない。また、接続方法も問わない。
【０００８】
図２に管理ウェーハ制御装置１００のデータ記憶領域を示す。
【０００９】
図２の記憶領域はロットをユニークに管理する為のロットＩＤ１１０、装置管理工程の進行を管理する工程情報１２０、その工程での加工データ、測定データを記憶する領域としてウェーハ情報１３０を有する。尚、更にこの他にも有用な情報を有しても構わない。
【００１０】
図３に管理ウェーハ保管装置２００のデータ記憶領域を示す。
【００１１】
図３の記憶領域は全管理ロットを一元管理する為の在庫情報２１０、管理ウェーハとして使用可能か判定するウェーハ使用条件規格２２０、装置管理工程の進捗履歴を管理するロットＩＤ１１０、工程情報１２０、その工程で加工、測定された結果のデータを記憶する領域としてウェーハ情報１３０を有する。尚、更にこの他にも有用な情報を有しても構わない。
【００１２】
図４に装置管理制御装置３００のデータ記憶領域を示す。
【００１３】
図４の記憶領域は全装置のプロセスモジュール状態を一元管理するプロセスモジュール管理情報３１０、プロセスモジュールで使用する使用ウェーハ条件３２０、管理ウェーハに割り振られたロットＩＤ１１０、プロセスモジュール内で処理された管理ウェーハの測定結果からプロセスモジュールの状態を判定するプロセスモジュール管理規格３３０、測定データがプロセスモジュール管理規格から外れた場合の対応情報が記憶された規格ＮＧ時の対応情報３４０、管理ウェーハの工程進捗履歴を管理する工程情報１２０、その工程で加工および測定された結果のデータを記憶する領域としてウェーハ情報１３０を有する。尚、更にこの他にも有用な情報を有しても構わない。
【００１４】
図５に本実施の形態の流れ図を示す。
【００１５】
工程５０１では、装置管理制御装置がプロセスモジュール管理情報から装置管理の開始を判断する。但し、オペレータのマニュアル操作による管理判断も可とする。
【００１６】
工程５０２では、装置管理制御装置が、製造装置のプロセスモジュールの状態と管理情報の問い合わせを行い、返信されたデータから管理で必要なウェーハ条件と枚数を自動判定し、管理ウェーハ保管装置へ管理ウェーハ出庫要求を行う。
【００１７】
工程５０３では、装置管理制御装置のデータの格納は、図４で示したプロセスモジュール管理情報３１０の記憶領域にプロセスモジュール単位で格納される。この記憶からプロセスモジュールの状態と使用ウェーハ条件の情報を得て、必要な管理ウェーハを抽出し、出庫要求を行う。
【００１８】
装置管理制御装置から要求を受けた管理ウェーハ保管装置が管理ウェーハを抽出後、管理ウェーハに対し、工程情報の登録、カセットへの移載、出庫を自動で指示し、管理ウェーハ情報を更新する。管理内容により、装置管理制御装置が、製造装置への生産継続または生産待機の指示を行う。
【００１９】
工程５０４では、出庫されたウェーハを、指定時間内に出庫時のウェーハ状態で管理ウェーハ保管装置へ戻るか判定を行い、管理ウェーハが保管装置へ戻る場合は、管理ウェーハを工程情報に従い、進捗させ、ウェーハが戻らない場合は、管理ウェーハの補充指示を行った後、進捗させる。
【００２０】
工程５０５では、管理ウェーハの工程進捗時、加工処理データ、測定結果データを管理ウェーハ制御装置が記憶する。
【００２１】
工程５０６では、装置管理制御装置が管理ウェーハの測定結果から装置管理制御装置の各プロセスモジュールに対し、管理規格内か判定し、各プロセスモジュールおよび管理ウェーハを規格内、規格外に分類する。規格外が発生すると製造装置での製品処理及び仕掛かり停止指示と担当者への通報を行う。
【００２２】
工程５０７では、各プロセスモジュールが規格内の場合、製造装置への生産継続または、生産再開指示を行う。
【００２３】
工程５０８では、装置管理制御装置が管理ウェーハ制御装置に対し、使用済み管理ウェーハを管理ウェーハ保管装置への入庫を指示する。
【００２４】
工程５０９では、管理ウェーハ保管装置が使用済み管理ウェーハをウェーハ使用条件規格内か判定し、管理ウェーハを規格内、規格外に分類する。規格外が発生すると、管理ウェーハのロットアウト（ウェーハ破棄）指示を行う。
【００２５】
工程５１０では、規格内の場合、管理ウェーハ保管装置が管理ウェーハのリサイクル処理の必要性を判定する。
【００２６】
リサイクル処理の必要性がない場合、管理ウェーハを管理ウェーハ保管装置へ保管指示を行い、装置管理制御装置からの装置管理開始要求を待つ。
【００２７】
工程５１１では、使用済み管理ウェーハをリサイクル処理する必要がある場合、管理ウェーハへのリサイクルフロー登録及び、カセットへの移載、出庫指示を行う。
【００２８】
工程５１２では、管理ウェーハの工程進捗時の加工処理データ、測定結果データを管理ウェーハ制御装置へ登録し、工程進捗後、管理ウェーハ保管装置がウェーハ資料条件規格内か判定する。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明のモニター・ダミーウェーハ制御方法は、モニターウェーハの準備や処理、測定時に必要な判断及び作業を自動で行うことにより、作業者によるミスやロスを省き、効率的な管理ウェーハ処理を行う上で有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明のモニター・ダミーウェーハの制御に必要な装置の構成を示す図
【図２】本発明の実施形態における管理ウェーハ制御装置内の記憶領域の概略図
【図３】本発明の実施形態における管理ウェーハ保管装置内の記憶領域の概念図
【図４】本発明の実施形態における装置管理制御装置内の記憶領域の概念図
【図５】本発明の実施形態のフローを示す図
【符号の説明】
【００３１】
１０  主ホストコンピュータ
２０  ホストコンピュータ
２１  ホストコンピュータ
３０  枚葉制御製造装置
３１  枚葉式移載機を搭載する装置
１００  管理ウェーハ制御装置
１１０  ロットＩＤ
１２０  工程情報
１３０  ウェーハ情報
２００  管理ウェーハ保管装置
２１０  在庫情報
２２０  ウェーハ使用条件規格
３００  装置管理制御装置
３１０  プロセスモジュール管理情報
３２０  使用ウェーハ条件
３３０  プロセスモジュール管理規格
３４０  規格ＮＧ時の対応情報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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