(57)【要約】【課題】  位置合わせに用いる外形寸法が異なる複数の収納容器の位置決めを、容易に行えるようにする。【解決手段】  最大規格に合わせた全長Ｌａ（Ｌ）を有するフープ１０ａ（１０）のフープ前端１２を当接させて位置決めできるようにガイド２０をロードポート１００ａ等の載置場所１００のフープ載置面に設けておく。一方、最大規格に満たない全長Ｌｂ（Ｌ）を有するフープ１０ｂには、最大規格に満たない全長Ｌｂと最大規格寸法との寸法差ΔＬ（ΔＬ＝Ｌａ−Ｌｂ）に合わせた寸法調節部材３０を、フープ前端１２に後付けで装着させる。位置合わせに使用する外形寸法が異なる複数のフープ１０ａ、１０ｂを、共通のガイド２０にフープ前端１２側、あるいは寸法調節部材３０側を当接させるだけで、載置に際しての位置決めを短時間で速やかに行うことができる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容して、人が持ち運びすることで規定位置に載置する収容容器に取り付けることで、前記収容容器の位置合わせに使用する寸法が規定寸法に満たない場合であっても、前記規定寸法に合致した収容容器として取り扱えるようにする寸法調節部材であって、
前記寸法調節部材は、前記規定寸法と前記収容容器の有する寸法とを比較した場合の寸法差に相当する部材長を有し、前記収容容器に後付け可能に形成されていることを特徴とする寸法調節部材。
【請求項２】
請求項１記載の寸法調節部材において、
前記規定寸法とは、前記収容容器に規定されている最大規格寸法であることを特徴とする寸法調節部材。
【請求項３】
請求項１記載の寸法調節部材において、
前記規定寸法とは、前記収容容器の各種寸法の内で最大の寸法で、且つ前記収容容器に
規定されている最大規格寸法未満の寸法であることを特徴とする寸法調節部材。
【請求項４】
請求項１記載の寸法調節部材において、
前記寸法調節部材は、前記規定寸法に合致する収容容器の底面形状に、前記規定寸法に満たない収容容器の底面形状を合致させる形状に形成されていることを特徴とする寸法調節部材。
【請求項５】
半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容して、人が持ち運びすることで載置場所の規定位置に載置する収容容器を、前記収容容器が位置合わせに使用する寸法が規定寸法に満たない場合であっても、前記規定寸法に合致した収容容器として位置合わせして前記規定位置に載置できるようにする寸法調節部材であって、
前記寸法調節部材は、前記収容容器の各種寸法に合わせて、前記載置場所に設けた位置決め用のマークであることを特徴とする寸法調節部材。
【請求項６】
半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容して、人が持ち運びすることで載置場所の規定位置に載置する収容容器を、前記収容容器の位置合わせに使用する寸法が規定寸法に満たない場合であっても、前記規定寸法に合致した収容容器として位置合わせして前記規定位置に載置できるようにする寸法調節部材であって、
前記寸法調節部材は、前記収容容器の各種寸法に合わせて、前記載置場所に設けられ、前記載置場所の表面に対して上下し、前記収容容器の外面を当接させて位置決めする位置決め用の複数のガイドであることを特徴とする寸法調節部材。
【請求項７】
半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容して、人が持ち運びすることで載置場所の規定位置に載置する収容容器を、前記収容容器が規定寸法に満たない場合であっても、前記規定寸法に合致した収容容器として位置合わせして前記規定位置に載置できるようにする寸法調節部材であって、
前記寸法調節部材は、前記載置場所に設けられ、前記収容容器の手前から奥に押し込んだ状態で当接させて、それ以上は奥へ押し込めないようにする突設部に形成されていることを特徴とする寸法調節部材。
【請求項８】
半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容する収容容器として使用され、人が搬送して規定位置に載置する搬送装置であって、
前記搬送装置には、前記搬送装置の載置に際して位置合わせに使用する寸法が規定寸法に満たない場合であっても、前記規定寸法に合致した搬送装置として取り扱えるようにするため前記規定寸法と前記搬送装置の有する寸法とを比較した場合の寸法差に相当する部材長を有する寸法調節部材が設けられていることを特徴とする寸法調節機能付き搬送装置。
【請求項９】
半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容して、人が持ち運びして規定位置に載置した収容容器を自動搬送する搬送装置であって、
前記搬送装置は、前記収容容器の寸法が規定寸法に満たない場合であっても、前記規定寸法に合致した収容容器として位置合わせして前記規定位置に載置できるように、載置場所に設けられ、前記収容容器の手前から奥に押し込んだ状態で当接させて、それ以上は奥へ押し込めないようにする突設部に形成された寸法調節部材が設けられていることを特徴とする寸法調節機能付き搬送装置。
【請求項１０】
半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容して、人が持ち運びして規定位置に載置した収容容器を自動搬送させる搬送装置であって、
前記搬送装置は、前記収容容器の寸法が規定寸法に満たない場合であっても、前記規定寸法に合致した収容容器として位置合わせして前記規定位置に載置できるように、載置場所に設けられ、前記収容容器の手前から奥に押し込んだ状態で当接させて、それ以上は奥へ押し込めないようにする突設部に形成された寸法調節部材が設けられていることを特徴とする寸法調節機能付き搬送装置。
【請求項１１】
半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容して、人が持ち運びして規定位置に載置した収容容器を自動搬送させる搬送装置であって、
前記搬送装置は、前記収容容器の位置合わせに使用する寸法が規定寸法に満たない場合であっても、前記規定寸法に合致した収容容器として位置合わせして前記規定位置に載置できるように、載置場所の手前側に、異なる規定寸法の収容容器に合わせて設けたマークあるいはガイドに形成された寸法調節部材が設けられていることを特徴とする寸法調節機能付き搬送装置。
【請求項１２】
半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容する収容容器を、人が持ち運びすることで載置場所の規定位置に載置する搬送ステップを有する半導体装置の製造方法であって、
位置決めに使用する規定寸法が異なる複数の前記収容容器をガイドやマーク等の位置決め基準に合わせることで、前記規定位置に載置することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１２記載の半導体装置の製造方法において、
前記位置決め基準とは、位置決めに使用する前記規定寸法の最大規格であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１２記載の半導体装置の製造方法において、
前記位置決め基準とは、位置決めに使用する規定寸法が異なる複数の前記収容容器の内、対象とする前記複数の収容容器の最大寸法であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１２記載の半導体装置の製造方法において、
前記位置決め基準とは、前記載置場所に設けられ、前記収容容器の手前から奥に押し込んだ状態で当接させて、それ以上は奥へ押し込めないようにする突設部であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ等の平板材を所定間隔互いに離間させた状態で収納する収容容器を、人が持ち運びすることで載置場所の規定位置に載置する搬送ステップを有する半導体装置の製造技術に関し、特に、外形寸法が異なる収容容器の位置決めに際して有効に適用することができる技術である。
【背景技術】
【０００２】
以下に説明する技術は、本発明を完成するに際し、本発明者によって検討されたものであり、その概要は次のとおりである。
【０００３】
半導体装置の製造分野では、ウエハ等の搬送に際して、複数枚のウエハをロット単位で収納できる収容容器が使用されている。例えば、人が搬送する収容容器として、容器内を周囲環境から密閉することができるフープ（ＦＯＵＰ）や、容器内が周囲環境に対して密閉構造とはならずオープンになっているオープンカセット等が知られている。
【０００４】
ウエハ等の搬送に際して、ロードポートや搬送装置の入庫口に人がフープ（ＦＯＵＰ）を置く場合、ロードポートや搬送装置の入庫口に目印がないと置きずらい。人が搬送したフープを、ロボット等がさらに所定箇所に自動搬送したりするため、所定位置にフープを置かなければならず、規定の位置に正確に載置する必要がある。
【０００５】
カセットの位置決めとしては、複数の基板の搬送容器であるカセット内から基板を取り出し、その基板に対して処理を行うための基板処理装置において、カセットを載置する載置台に、位置決めされたカセットの周部の輪郭の少なくとも一部に対応するように、位置決め用の被係合部よりも高さの低い位置決め用のマークを設ける構成が提案されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−１８６３７３号公報（図３参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記収容容器の位置決め技術においては、以下の課題があることを本発明者は見出した。
【０００７】
すなわち、位置決め用のマークが有効に機能することで、そのマークで位置決めが確実に行えるためには、収容容器の位置決めに対して使用する外形部分の寸法規格が確定していることが前提である。
【０００８】
しかし、現行のウエハ等を収納する収容容器では、特にフープにおいては、密閉構造を有するフープの扉側に関しては、扉の自動開閉、あるいはロボットによる自動搬送を想定して寸法が一義的に決められるように規格が厳しく統一されている。しかし、扉の反対側すなわちフープの前方側の寸法については、その最大寸法が規定されているのみで、最大寸法以下であれば、メーカーが独自に設定できる規格となっている。
【０００９】
一方、フープを自動ロボット等で搬送するに際しては、特段、フープ前方側の緩い規格が問題となることはないが、同じフープを人が搬送処理する場合にはかかる緩い規格が問題となる。人が搬送処理する場合には、フープ前方側を手前にして、扉側を先に向けた状態で搬送する。搬送したフープを載置するに際しては、前述の如く、扉をロボット等で開閉させるために所定の位置にきちんと載置する必要があり、前述の特許文献１に記載の如く、位置決め用のマークを載置台等に予め設けておけば見当がつけ易く便利である。
【００１０】
フープを人が搬送するに際しては、フープの側面の把手を両手で持ち、フープ全体を抱えるように搬送するため、フープの載置に際して、位置決め用のマークはフープを持った状態で確認し易い位置に設けることが必要である。フープを抱えた状態で手元となる側にマークが見当として設けられていることが望ましい。
【００１１】
かかる手元側となる位置に設けたマークには、フープ前方側を位置合わせすることとなるが、しかし、前述の如く、フープ前方側の規格は緩い規格であるため、メーカーによって種々異なるのが現状である。例えば、同一メーカーの同一種のフープを使用している場合には、マークを一つ設けておけば事足りるが、複数メーカーの異なる種類のフープを併用する場合には、ある特定のフープの前方側の外形寸法に合わせた１個のマークを見当として設けておいても、これに合わせて全てのフープを載置すると当然に他のフープの載置位置がずれることとなる。そのため、そのマークに合わないフープについてはフープを搬送する人が適宜勘を働かせて位置調整するしかない。このように位置合わせに使用する外形寸法が種々異なる複数種のフープを併用する場合には、単一規格のフープのみを使用する場合には問題とはならなかった緩い規格が大きな問題となる。
【００１２】
フープの載置が確実に行われたか否かは、フープ及びフープの載置側の双方に設けた嵌合凹凸部が確実に噛み合ったか否かセンサー判断することで行われる。かかるセンサによる検知では、所定時間内に嵌合凹凸部がきちんと嵌め合わない場合には、エラーの警告がでるように構成されている。
【００１３】
そのため、人が搬送した場合でも、所定時間内にきちんと嵌め合いを行わなければならない。正確な位置決めを行うためとは言え、余り載置に手間取るとセンサーが作動してエラー警告が出されることとなる。ウエハを複数枚収納した状態ではフープはかなりの重さとなり、かかる重量物を抱えた状態で、載置に際して勘を働かせながら目見当でマークからどの程度フープ前方側の載置位置を調整したらよいか迷っていると、即刻エラー警告が出されることとなる。
【００１４】
一旦、エラー警告が出されると、関連の自動ロボット等の動きが停止される。かかる自動停止に際しては、面倒なリセット手続を経た上でないと運行が再開できず、ラインの稼働効率を妨げる一因となる。そのため、人が搬送する場合では、センサーがエラー警告を出さない時間内で、正確に素早く位置決めを行い載置する必要がある。しかし、前述の如く、単一外形寸法のフープを取り扱う場合ならともかく、複数種の外形寸法のフープを取り扱う場合には、素早く正確に位置決めを行い載置することが容易には行えない。
【００１５】
勿論、センサーの判断時間の調整をある程度長く設定することで、載置にかかる時間に猶予を与えることも理屈では可能であるが、しかし、かかる時間をむやみに長くすると、その他の自動搬送のタイミング等をも全て長くする必要があり、全体としてライン効率を大幅に下げることとなり、現実的な解決策ではない。
【００１６】
本発明の目的は、位置合わせに用いる外形寸法が異なる複数の収納容器の位置決めを、容易に行えるようにすることにある。
【００１７】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１９】
すなわち、位置合わせに使用する外形寸法が最大規格寸法とは異なる収容容器を、最大規格にその外形寸法が合致した収容容器と同様に取り扱えるように、最大規格寸法と異なる外形寸法と、最大規格寸法との寸法差を、寸法調節部材で調節するようにした。
【発明の効果】
【００２０】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００２１】
すなわち、位置合わせに使用する外形寸法がそれぞれ異なる複数のフープ等の収容容器の位置決めを容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。
【００２３】
（実施の形態１）
図１（ａ）は半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容する収容容器であるフープの平面形状と、フープの外形寸法規格との関係を示す説明図であり、（ｂ）は外形寸法規格が最大規格寸法に一致している場合の載置に際しての位置決め状況を模式的に示す側面図であり、（ｃ）は外形寸法規格が最大寸法規格に満たない場合の載置に際しての位置決め状況を模式的に示す側面図である。尚、以下の説明で使用する半導体装置には、液晶も含まれるものとする。
【００２４】
フープ１０は、周囲環境から密閉した容器内に複数のウエハを収容できるように構成されている。容器内にはウエハの周縁部を支持する棚が上下に複数段設けられ、かかる棚に収容する各々のウエハの周縁部を支持させて、例えばロット単位で複数枚収容されることとなる。
【００２５】
フープ１０は、その背面１１側には容器内を気密に保つ扉（図示せず）が設けられ、外形的には、図１（ａ）に示すように略フラットに形成されている。一方、フープ前方側は、ウエハＷの円形に略合わせたようにアーチ型の略半円形に形成されている。かかる半円形のフープ前方側の頂部を、以下説明の便宜上、フープ前端１２と呼ぶことにする。
【００２６】
かかる形状のフープ１０においては、その外形形状の寸法規格は、ウエハＷを容器内に収容した状態で、ウエハＷの中心Ｏから背面１１側迄の長さがＬ１と一義的に規定されている。一方、ウエハＷの中心Ｏからフープ前端１２側迄の長さＬ２は、最大規格寸法以内であればよいと規定されている。因みに、φ３００ｍｍウエハ用のフープ１０では、図に示すように、Ｌ２は１９０ｍｍ以内であればよいと規定されている。
【００２７】
その結果、収容したウエハＷの中心Ｏを通り、フープ１０の背面１１からフープ前端１２迄のフープ１０の全長Ｌは、メーカーそれぞれが長さＬ２としてどの程度の長さを設定するかによってバラバラとなる。実際にもフープ１０の全長Ｌに関しては、メーカーごとで、種々異なっているのが現状である。
【００２８】
かかる構成のフープ１０を作業者が手で持って運ぶ場合には、フープ前端１２を作業者の手前側にくるように、すなわち作業者の腹側に向けて抱くようにして持ち運ぶ。従って、フープ１０を両手で持ち上げた状態では、フープ１０の背面１１側は十分に見ることができない。そこで、フープ１０を所定のロードポート１００ａ等の載置場所１００に載置させるに際しては、どうしても手元の方が見易いため、フープ前端１２の周囲を利用して位置決めを行うことが好ましい。
【００２９】
しかし、これまでのように載置に際しての見当がない場合には、フープ１０の底面側に設けられた嵌合凹部を、載置場所１００に位置決め用に設けられた嵌合凸部（図示せず）と嵌め合わせることで位置決めを行っているが、前述の如く、フープ１０を持った状態ではフープ１０の裏面の嵌合凹部と、載置場所１００の嵌合凸部との位置合わせを目見当で行うことは難しく、かかる嵌合凹凸両部が合うと思われる位置で、フープ１０を降ろし、適当に前後左右に動かすことで嵌合凹凸部が合う位置を探り当てることを行っていた。
【００３０】
しかし、同一形状のフープ１０のみを扱う場合には、慣れてくれば、嵌合凹凸部の位置合わせをある程度把握できるものの、全長Ｌの異なる複数のフープ１０を混在させて用いる場合には、なかなか短時間で位置合わせをすることはできない。
【００３１】
例えば、最大規格に合わせた全長Ｌａ（Ｌ）を有するＡ社のフープ１０ａ（１０）であれば、図１（ｂ）に示すように、フープ前端１２を当接させて位置決めできるように設定したガイド２０を設けておけば、そのガイド２０にフープ前端１２を当接させるようにしてロードポート１００ａ等の載置場所１００に載置すれば、比較的短時間に位置決めが行い易い。
【００３２】
しかし、最大規格に満たない種々の全長Ｌｂ（Ｌ）を有するＢ社のフープ１０ｂ（１０）を扱う場合には、図１（ｃ）に示すように、ガイド２０の位置を変える必要がある。すなわち、全長が異なるフープ１０毎に、ガイド２０をそれぞれ準備する必要がある。全長がそれぞれ異なる複数種のフープ１０を混在併用するに際して、フープ１０の全長毎に、ガイド２０の位置を都度変えるのは極めて煩わしく現実にはとても採用できる対策ではない。
【００３３】
そこで、本発明は、図２に示すように、最大規格に満たない全長Ｌｂ（Ｌ）を有するフープ１０ｂに、最大規格に満たない全長Ｌｂと最大規格寸法との寸法差ΔＬ（ΔＬ＝Ｌａ−Ｌｂ）に合わせた寸法調節部材３０を、フープ前端１２に後付けで装着させることで、最大規格寸法のみに合わせたガイド２０をロードポート１００ａ等の載置場所１００に設けるだけで、種々の全長Ｌを有する全てのフープ１０の位置決めを、短時間で速やかに行うことができるようにした。
【００３４】
そのため、フープ１０のロードポート１００ａ等の載置場所１００における載置ミスが解消され、搬送ステップにおける信頼性の向上が図れる。そのため、結果として載置ミスに関わる搬送トラブルが低減され、その分、製品ＴＡＴを短縮することができる。
【００３５】
本発明に係る寸法調節部材３０は、上記寸法差ΔＬに合わせた寸法を有する寸法補償部位３１を、フープ１０の全長Ｌ側に沿うように取り付けて、かかる寸法調節部材３０を取り付けた状態のフープ１０ｂを図２（ａ）、（ｂ）に示すように、寸法調節部材３０の先端側をガイド２０に当接させることで、極めて容易に位置決めをすることができる。このように本発明に係る寸法調節部材３０を用いることで、最大規格に合わせたガイド２０さえ設けておけば、その他のガイドやマーク等の位置決め対策は一切不要となる。
【００３６】
寸法調節部材３０の形状は、上記の如く、最大規格とフープ１０の全長Ｌとの寸法差Δ補償する寸法補償部位３１を有していれば、とのような形状であっても構わない。図２に示す場合には、略角形の棒状に形成してあるが、かかる形状に限定する必要はない。
【００３７】
また、寸法調節部材３０の取り付け方法は、フープ１０ｂのウエハの収容機能に悪影響を与えない範囲で、どのような手段を用いても構わない。ネジ止め、ビス止め、接着等の種々の手段を適宜採用することができる。
【００３８】
図３に示す場合は、全長Ｌが種々異なる複数のフープ１０のうち、最大の全長Ｌが最大規格寸法（例えば、１９０ｍｍ）未満に合致するものがある場合に適用できる構成である。複数のフープ１０のうち、最大の全長Ｌｃ（Ｌ）を有するＣ社のフープ１０ｃ（１０）の全長Ｌｃが最大規格未満の場合には、図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、ガイド２１を、フープ１０ｃの全長Ｌｃに合わせて設定しておけばよい。
【００３９】
一方、最大の全長Ｌｃより短い全長Ｌｄ（Ｌ）を有するＤ社のフープ１０ｄに対しては、寸法差ΔＬ＝Ｌｃ−Ｌｄに等しい寸法補償部位３１を有する寸法調節部材３０ａ（３０）を、図２に示すと同様に、フープ１１ｄのフープ前端１２側に、後付けして装着すればよい。
【００４０】
図２、３に示すように、寸法調節部材３０、３０ａを用いることにより、全長Ｌが規格寸法あるいは、最大寸法未満のフープ１０を併用する場合でも、複数のフープ１０の位置決めに際しては、規格寸法あるいは最大寸法の位置合わせ用に設定したガイドのみで済ませることができる。
【００４１】
寸法調節部材３０としては、図４に示すように、フープ１０ｂの前面の底面側に設けるアーチ型に構成しても構わない。かかるアーチ型の形状は、フープ１０ａとフープ１０ｂとの前面側の領域差に相当する形状になっていればよい。かかる構成では、寸法調節部材３０はフープ１０ｂの前面の底面側に装着され、ガイド２０の設定基準とされるフープ１０ａの底面形状と一致させることができるため、前述の如く、最大規格に満たない全長Ｌｂ（Ｌ）を有するフープ１０ｂを、最大規格寸法のみに合わせたガイド２０をロードポート１００ａ等の載置場所１００に設けるだけでその位置決めを、短時間で速やかに行うことができる。
【００４２】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４３】
上記説明では、半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容する収容容器としてフープを例に挙げて説明したが、フープ以外の収容容器であっても構わない。例えば、ボックス、ポッド、カセット等であっても構わない。かかる収容容器は、それ自体が人に搬送されるため、広い概念では搬送装置として把握することもできる。
【００４４】
また、かかる収容容器の載置場所としてロードポートを例示したが、ロードポート以外の載置場所でも一向に構わない。要は、人が運ぶ収容容器を位置決めして載置する必要がある載置場所であれば、上記説明の本発明の対象とする載置場所として適用することができる。
【００４５】
例えば、ウエハを収容容器から自動的に取り出し処理するウエハ処理装置等のロードポート以外にも、一旦収容容器を一時的に保管するストッカ等におけるポートも載置場所として当然に考えられる。すなわち、人に収容容器を載置場所に載置させた後に、かかる収容容器を搬送ロボット等で自動搬送させるストッカ等の一時保管用の搬送装置に適用しても一向に構わない。
【００４６】
レール等に沿って自動的に搬送する搬送ロボット等に構成された搬送装置の収容容器の載置台等も載置場所として適用することができる。かかる搬送装置では、載置場所に人が載置した収容容器を載置させた状態で移動して所定箇所にまで搬送する。
【００４７】
収容容器に収容される半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材としてウエハを例示したが、露光時に使用するレチクル、マスク、あるいはＬＥＤ等の液晶分野で使用されるガラス基板等であっても構わない。
【００４８】
上記説明では、位置合わせに際して、フープの全長を位置合わせ用の外形寸法として用いているが、全長以外の外形寸法部位を位置合わせに用いても構わないことは言うまでもない。例えば、フープ等の収容容器を人が持った状態で、目視確認がし易いように、フープ前端側から側方にずれた位置を特定しておき、かかる特定位置における背面からの長さを位置合わせの外形寸法として用いても一向に構わない。要は、使用する規格の異なる収容容器に共通し、且つ、人が持ち運んで載置するに際して位置合わせを容易に行えるような外形寸法であればよい。
【００４９】
上記説明では、フープ前端に設けた寸法調節部材をガイドに当接させることで容易に位置決めできることを示したが、ガイドを設けない場合であっても、位置決めの目安とする箇所が寸法調節部材と特定されることから、位置決めに使用する箇所を特長付けることができないこれまでの寸法調節部材を設けない構成に比べて、格段に位置決めが行いやすい。
【００５０】
また、フープ前端に設けた寸法調節部材を当接するガイドの高さは、寸法調節部材が当接できる範囲で、任意に設定することができる。フープ側、あるいは載置場所側に設けた嵌合凹凸部の高さに係る限定を設ける必要はない。
【００５１】
（実施の形態２）
前記実施の形態では、寸法調節部材をフープ等の収容容器に後付けで装着させることにより、位置合わせに使用する例えば全長等が異なる複数の収容容器の位置決めを容易にすることができる構成について説明したが、本実施の形態では、寸法調節部材を収容容器の載置場所側に設ける構成について説明する。
【００５２】
尚、以下の説明では、図２の説明で用いたフープ１０ａ、１０ｂを収容容器として用いる場合を例に挙げて説明する。
【００５３】
本発明の寸法調節部材４０は、載置場所１００の例えばロードポート１００ａに位置決め用目印として設ける複数種マークから構成されている。図５に示すように、寸法調節部材４０は、ロードポート１００ａのフープ載置面に、塗料、あるいはテープ、あるいは切り込み等の目視確認できる手段でマークとして構成されている。
【００５４】
フープ載置面には、フープ１０ａの位置決め用の寸法調整部材４０ａが、フープ前端１２の位置合わせができる箇所に設けられている。フープ１０ｂの位置決め用の寸法調節部材４０ｂは、フープ１０ｂのアーチ型前面部の左右側方位置の位置合わせができる箇所に一対設けられている。
【００５５】
このように位置合わせに使用する外形寸法である全長Ｌが異なる複数のフープ１０、例えば、図５に示すように、フープ１０ａ、１０ｂの各々に合わせた寸法調節部材４０ａ、４０ｂをそれぞれロードポート１００ａ等の載置場所１００側に設けておくことで、人がフープ１０ａ、１０ｂを載置する際に、それぞれに合わせた寸法調節部材４０ａ、４０ｂを選択適用することで位置合わせが容易に行える。
【００５６】
寸法調節部材４０ｂの構成は、寸法調節部材４０ａと同様に、フープ１０ｂの全長Ｌｂの位置合わせができる位置に設けても構わない。マークとして構成する寸法調節部材４０は、外形寸法が異なる複数のフープ１０の位置合わせが容易に行えるように各々のフープ１０に対応したものであれば、フープ１０のどの外形部を位置合わせに設定するかは自由に選択することができる。
【００５７】
図６（ａ）に示す構成では、寸法調節部材５０がロードポート１００ａ等の載置場所１００のフープ載置面に突設可能に設けられた複数のガイドから構成されている。すなわち、図６（ａ）に示すように、フープ１０ａ、１０ｂのフープ前端１２をガイドに構成した寸法調節部材５０ａ、５０ｂにそれぞれ当接させることで位置決めが容易にできるように構成されている。寸法調節部材５０ａ、５０ｂは、それぞれフープ載置面に対して自在に突設可能に構成されている。寸法調節部材５０ａ、５０ｂが突設した状態では、図６（b）、（ｃ）に示すように、フープ１０ａ、１０ｂの各々のフープ前端１２側を当接することで位置決めが容易に行えるガイドとして機能できる程度の突設量が確保されている。
【００５８】
寸法調節部材５０ａ、５０ｂをフープ載置面に突設可能に設ける構成としては、例えば、フープ載置面に設けた溝内にバネを介して設け、通常状態ではバネの付勢でフープ載置面に双方とも突設している状態となるように構成しておけばよい。
【００５９】
かかる状態で、フープ１０ａを載置する場合には、図６（ｂ）に示すように、フープ前端側を寸法調節部材５０ａに当接させた状態で寸法調節部材５０ｂにフープ１０ａが載置され、寸法調節部材５０ｂはフープ載置面内にバネの付勢に抗して押し込められるようになっている。一方、フープ１０ｂを載置する場合には、寸法調節部材５０ｂに当接させるだけで構わないため、寸法調節部材５０ａはフープ載置面から突設させた状態にさせておけばよい。
【００６０】
（実施の形態３）
前記実施の形態２では、ガイドあるいはマークに構成された寸法調節部材４０、５０は、人がフープ１０を持った状態で目視による位置合わせが容易に行えるように、ロードポート１００ａ等の載置場所１００のフープ載置面の手前側、すなわち載置作業を行う人に近い側に設ける構成を示したが、本実施の形態では、フープ載置面の奥に寸法調節部材６０をガイドとして設ける構成について説明する。
【００６１】
図７（ａ）に示すように、フープ載置面の奥側には、フープ１０の背面１１側の左右両隅に相当する箇所を位置決めできるように、略Ｌ型のガイド６０ａ（６０）、６０ｂ（６０）が設けられている。かかる構成では、フープ１０ａ、１０ｂの背面１１からのフープ前端１２に至るまでの全長Ｌａ、Ｌｂの長さに関係なく、一律に位置決めを行うことができる。
【００６２】
図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）にそれぞれ示すように、略Ｌ型形状の両ガイド６０ａ、６０ｂのかど内に、フープ１０ａ、１０ｂの背面１１側の両隅部が入るようにして、そのまま押し付けるようにして両ガイド６０ａ、６０ｂに当接させれば、容易に位置決めすることができる。この場合には、複数のフープ１０ａ、１０ｂ毎に寸法調節部材４０ａ、４０b、５０ａ、５０ｂを設ける必要がなく、前記実施の形態１の効果と同様に、フープ１０の外形寸法に関係なく共通のガイドで位置決めが事足りることとなる。
【００６３】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態３に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態３の図６に示した構成に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００６４】
図７（ａ）に示す場合には、ガイドに構成した寸法調節部材６０を左右に設けた構成を示しているが、いずれか一方に設けただけでも位置合わせ機能を発揮させることができる。図７（ａ）に示す構成では、両寸法調節部材６０ａ、６０ｂはそれぞれ別体に構成されているが、例えば、図８（ａ）に示すように、両者を一体に繋げる構成の寸法調節部材６０ｃに構成しても一向に構わない。
【００６５】
さらには、図６（ａ）に示す構成では、寸法調節部材６０の形状を略Ｌ型に構成して、フープ１０の背面１１側の隅部の位置合わせを行うことで、左右、前後の位置合わせを同時に行えるように構成したが、左右の位置合わせに特段の考慮を払う必要がない場合には、図８（ｂ）に示すように、単一の棒状の寸法調節部材６０ｄに構成しておいても一向に構わない。さらには、かかる寸法調節部材６０ｄを個々独立に複数設ける構成でも一向に構わない。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、ウエハ等の平板材を所定間隔互いに離間させた状態で収納する収容容器を、人が持ち運びすることで載置場所の規定位置に載置する搬送ステップを有する半導体装置の製造技術に関し、特に、外形寸法が異なる収容容器の位置決めに際して有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】（ａ）は半導体装置の製造に際して使用するウエハ等の半導体装置用部材を収容する収容容器であるフープの平面形状と、フープの外形寸法規格との関係を示す説明図であり、（ｂ）は外形寸法規格が最大規格寸法に一致している場合の載置に際しての位置決め状況を模式的に示す側面図であり、（ｃ）外形寸法規格が最大寸法規格に満たない場合の載置に際しての位置決め状況を模式的に示す側面図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施の形態に関わる寸法調節部材の適用例を模式的に示す説明図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施の形態に関わる寸法調節部材の適用例を模式的に示す説明図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施の形態に関わる寸法調節部材の適用例を模式的に示す説明図である。
【図５】本発明の一実施の形態に関わる寸法調節部材を載置場所側に設けた構成例を模式的に示す説明図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施の形態に関わる寸法調節部材を載置場所に設けたガイドに構成した場合の適用例を模式的に示す説明図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施の形態に関わる寸法調節部材を載置場所に設けた場合の適用例を模式的に示す説明図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施の形態に関わる寸法調節部材の変形例を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
【００６８】
１０    フープ
１０ａ  フープ
１０ｂ  フープ
１１    背面
１２    フープ前端
２０    ガイド
２０ａ  ガイド
３０    寸法調節部材
３０ａ  寸法調節部材
３１    寸法補償部位
４０    寸法調節部材
４０ａ  寸法調節部材
４０ｂ  寸法調節部材
５０    寸法調節部材
５０ａ  寸法調節部材
５０ｂ  寸法調節部材
６０    寸法調節部材
６０ａ  寸法調節部材
６０ｂ  寸法調節部材
６０ｃ  寸法調節部材
６０ｄ  寸法調節部材
１００  載置場所
１００ａ  ロードポート
ΔＬ    寸法差
Ｌ      全長
Ｌａ    全長
Ｌｂ    全長
Ｌｃ    全長
Ｌ１    長さ
Ｌ２    長さ
Ｏ      中心
Ｗ      ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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