(57)【要約】【課題】  磁気記録媒体のドロップアウト発生原因物を短時間で見つけることができるとともに、ドロップアウト発生原因物の特定、分類が容易に行える磁気記録媒体の検査装置を提供する。【解決手段】  検査する磁気テープに、検査ドライブ１によって信号を記録するとともに該記録信号を再生し、該再生ＲＦ信号に基づいてドロップアウトのレベルおよびドロップアウトの幅を、ドロップアウト検出部２１によって検出する。前記検出されたドロップアウトの発生箇所付近に、ドロップアウトマーク部２２によってマークを付与する。その後、例えばビッター法により前記磁気テープを観察することにより、前記マークを確認し、その周辺のドロップアウト原因物を容易に特定することができる。またドロップアウト検出部２１の検出信号に基づいてドロップアウト発生原因物を分類することができる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体の記録信号を再生した信号に基づいてドロップアウトを検出する検出手段と、
前記磁気記録媒体の、前記検出手段で検出されたドロップアウト発生箇所付近にマークを付与するマーキング手段と
を備えたことを特徴とする磁気記録媒体の検査装置。
【請求項２】
前記検出手段は、前記再生信号のレベルおよび幅に基づいて前記検出を行うことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項３】
前記マークは磁気的マークであることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項４】
前記検出手段は、前記磁気記録媒体に対して信号の書き込みと読み込みを交互に繰り返し行ってドロップアウトを検出し、
前記マーキング手段は、前記ドロップアウト検出後の、該検出部位に近接する記録トラックに、非書き込み領域を設けることを特徴とする請求項３に記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項５】
前記マークは物理的マークであることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の検査装置。
【請求項６】
磁気記録媒体に信号を記録する記録工程と該記録された信号を再生する再生工程とを交互に繰り返し行い、
前記再生工程で再生された信号に基づいてドロップアウトを検出し、
前記磁気記録媒体の、前記検出されたドロップアウトの発生箇所付近にマークを付与することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
【請求項７】
前記マークは、前記ドロップアウト検出後の、該検出部位に近接する記録トラックに、非書き込み領域を設けることによって付与することを特徴とする請求項６に記載の磁気記録媒体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メディア、例えば磁気記録媒体の欠陥検査を行う磁気記録媒体の検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、メディア、例えば磁気記録媒体の高密度化にともなって、記録、再生の高い信頼性が求められている。従来、メディア欠陥原因の調査を行う方法としては、例えば、磁性コロイドを、磁気記録されたテープ・ディスク等に塗布して、記録パターンを顕微鏡等にて目視できるようにする、いわゆるビッター法が採用されていた。
【０００３】
具体的には、磁気コロイドを用いて信号を顕微鏡で観察できるよう目視化し、信号の欠陥が発生していると思われる部分、すなわちドロップアウト発生箇所を特定して、ドロップアウト発生原因物を特定していた。
【０００４】
尚、磁気記録媒体の表面検査方法としては、例えば下記の特許文献１に記載の方法が提案されていた。
【特許文献１】特開平４−９８６１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、近年磁気記録媒体の記録密度が向上し、ドロップアウトとして問題となる発生原因物の大きさは、200μm〜0.1μmのものがほとんどである。このドロップアウトを探すサンプルの大きさが、長さ60mm、幅200mの場合、前記ビッター法によりすべてのドロップアウト原因物を検察する時間は2時間ほどもかかっていた。
【０００６】
また目視観察によるビッター法では、ドロップアウトの落ち込み量・落ち込み時間と、ドロップアウト原因物との直接関連つけることはできなかった。
【０００７】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものでその目的は、磁気記録媒体のドロップアウト発生原因物を短時間で見つけることができるとともに、ドロップアウト発生原因物の特定、分類が容易に行える磁気記録媒体の検査装置および検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明では、ドロップアウトとして問題となる磁性面上の発生原因物で、その大きさが200μm〜0.1μmの物を見つける為、ドロップアウトを磁気記録媒体の再生信号によって検出し、そのドロップアウトの発生箇所付近に磁気的・物理的にマークを付ける。その後、例えば顕微鏡観察により、ドロップアウト発生原因物を見つけることにより、ドロップアウト発生原因物の特定・分類を容易にし、かつ測定時間の短縮（例えば２時間→１５分）を実現する。
【０００９】
すなわち本発明の磁気記録媒体の検査装置は、磁気記録媒体の記録信号を再生した信号に基づいてドロップアウトを検出する検出手段と、前記磁気記録媒体の、前記検出手段で検出されたドロップアウト発生箇所付近にマークを付与するマーキング手段とを備えたことを特徴としている。
【００１０】
また前記検出手段は、前記再生信号のレベルおよび幅に基づいて前記検出を行うことを特徴としている。
【００１１】
また前記マークは磁気的マークであることを特徴としている。
【００１２】
また前記検出手段は、前記磁気記録媒体に対して信号の書き込みと読み込みを交互に繰り返し行ってドロップアウトを検出し、前記マーキング手段は、前記ドロップアウト検出後の、該検出部位に近接する記録トラックに、非書き込み領域を設けることを特徴としている。
【００１３】
また前記マークは物理的マークであることを特徴としている。
【００１４】
また本発明の磁気記録媒体の検査方法は、磁気記録媒体に信号を記録する記録工程と該記録された信号を再生する再生工程とを交互に繰り返し行い、前記再生工程で再生された信号に基づいてドロップアウトを検出し、前記磁気記録媒体の、前記検出されたドロップアウトの発生箇所付近にマークを付与することを特徴としている。
【００１５】
また前記マークは、前記ドロップアウト検出後の、該検出部位に近接する記録トラックに、非書き込み領域を設けることによって付与することを特徴としている。
【００１６】
メディア（磁気記録媒体）欠陥の調査を行う時、磁気的・物理的に、ドロップアウト発生箇所にマークを付けることにより、メディアの欠陥原因が容易に検出・分類できるようになる。その結果、メディアの品質問題が発生した場合、その原因解析を行いやすくなる。
【発明の効果】
【００１７】
（１）ドロップアウトの発生箇所付近にマークを付与するので、その後の例えば顕微鏡観察によりドロップアウト発生箇所を極めて容易に且つ短時間で特定することができる。このため磁気記録媒体の欠陥検査が容易となるとともに、検査時間が大幅に短縮される。
（２）また、磁気記録媒体の再生信号に基づいてドロップアウトを検出しているので、欠陥原因を容易に検出、分類することができ、これによって欠陥の原因解析が行いやすくなる。
【実施例】
【００１８】
以下図面を参照しながら本発明の一実施例を詳細に説明するが、本発明がこの実施例に限定されるものでないことは言うまでもない。
【００１９】
図１は、本実施例におけるメディア検査機を表し、検査ドライブ１とドロップアウト検出機２とでドロップアウトを検出し、その発生箇所をマークするシステムを構成している。尚検査ドライブ１は、本実施例においては回転ヘッド式を用いている。
【００２０】
検査サンプルとしての磁気記録媒体は、パンケーキ状態でもカートリッジ状態でも良いが、ここでは製品の最終形態の検査としてカートリッジ式の検査テープを用いる。
【００２１】
検査形態としては、検査テープを検査ドライブ１に挿入し、該検査テープに対して信号の記録、再生を行い、ドロップアウト検出機２によってドロップアウトを検出し、そのドロップアウトの位置を磁気的に記録する。そして記録後、ビッター法によりドロップアウト発生位置を見つけ、その発生原因を調べ、製品の品質向上にフィードバックする。
【００２２】
図２は図１のメディア検査機のブロック図である。ドロップアウト検出機２は、ドロップアウトを検出するドロップアウト検出部２１と、検査ドライブ１内の検査テープに対して、ドロップアウトの発生箇所をマークするドロップアウトマーク部２２とを有している。
【００２３】
本実施例では、ドロップアウトを検出するために、検査ドライブ１に記録・再生ヘッドを一組を搭載し、検査テープを再生したＲＦ出力信号の落ち込み量（ドロップアウトレベル）、落ち込み時間（ドロップアウト幅）を各々検出している。  ドロップアウトマーク部２２は、前記ドロップアウト検出部２１の検出信号に基づいてドロップアウトの位置を磁気的に記録するために、後述する、検査ドライブ１内のドロップアウトをマークする書き込みヘッドの、書き込みタイミングを遅延させるドロップアウトマーク遅延回路と、前記書き込みヘッドの書き込み制御を行うドロップアウトマーク制御回路とを有している。
【００２４】
前記ドロップアウト発生箇所のマーキングは、例えばドロップアウトが検出されないときは記録トラックに通常の書き込みを行い、ドロップアウトが検出されたときはその検出箇所付近の記録トラックに、一部書き込みを行わないエリアを設けることで行うものであり、以下にその詳細を説明する。
【００２５】
図３、図４は、本実施例における、ドロップアウト発生箇所を特定するためのマーキング方法を説明する図であり、記録・再生ヘッドが搭載された検査ドライブ１の要部と検査テープの記録トラックの様子を表している。
【００２６】
１０は、検査ドライブ１内に設けられたヘリカルスキャン方式の回転ドラムを示し、この回転ドラム１０の外周面には１ｃｈリードヘッド１１R1が設けられるとともに、該リードヘッド１１R1から、ドラムの回転角で１８０°ずれた位置には、１ｃｈライトヘッド１２W1と２ｃｈライトヘッド１２W2とが１記録トラックの所定幅分、幅方向にずれるように配設されている。
【００２７】
３０は、回転ドラム１０の外周に巻き付けられ、走行駆動が行われる検査テープ（ＡＩＴテープ）である。
【００２８】
前記１ｃｈ／２ｃｈライトヘッド１２W1，１２W2による書き込みは、１つの記録トラックと、それに隣接するトラックとが所定幅領域で重ね書きされるように順次書き込まれる。
【００２９】
まず、ドロップアウトが検出されない場合を表す図３において、（ａ）は、１ｃｈ／２ｃｈライトヘッド１２W1，１２W2により直前に書き込まれたテープ上の信号を１ｃｈリードヘッド１１R1で読み込んでいる状態を示している。
【００３０】
図３（ｂ）は１ｃｈ／２ｃｈライトヘッド１２W1，１２W2によりデータの書き込みを行っている状態であり、以下（ａ），（ｂ）と同様の読み込み、書き込みが繰り返される。
【００３１】
すなわち図３（ｃ）は１ｃｈリードヘッド１１R1にてテープ上の信号を読み込んでいる状態である。
【００３２】
図３（ｄ）は１ｃｈ／２ｃｈライトヘッド１２W1，１２W2によりデータの書き込みを行っている状態である。
【００３３】
図３（ｅ）は１ｃｈリードヘッド１１R1にてテープ上の信号を読み込んでいる状態である。
【００３４】
これに対してドロップアウトが検出された場合の各状態は図４のとおりであり、またドロップアウトマークタイミングは図５のとおりである。図５の（ａ）は１ｃｈリードヘッド１１R1で読み込んだ再生信号ＲＦの波形を示し、（ｂ）は図２のドロップアウト検出部２１のドロップアウト検出信号を示し、（ｃ）は図２のドロップアウトマーク部２２のドロップアウトマーク制御回路の２ｃｈ書き込み制御信号を示している。
【００３５】
図４（ａ）は、１ｃｈ／２ｃｈライトヘッド１２W1，１２W2により直前に書き込まれたテープ上の信号を１ｃｈリードヘッド１１R1で読み込んでいる状態を示しているが、このとき図示ドロップアウトエリアを検出する。
【００３６】
すなわち、例えば図５の時刻ｔ1で１ｃｈの信号を読み込み始めてからｔ秒経過した時刻ｔ2において、ＲＦ信号波形の乱れからドロップアウトの存在を検出する。
【００３７】
次に図４（ｂ）は１ｃｈ／２ｃｈライトヘッド１２W1，１２W2によりデータの書き込みを行っている状態であるが、２ｃｈライトヘッド１２W2では、図５に示す書き込み時刻ｔ3から前記ドロップアウトを検出した同じ時間ｔ秒分経過するまでは、図４（ｂ）のライトオフエリアに示すように書き込みを行わない。
【００３８】
そして時刻ｔ3からｔ秒経過した時刻ｔ4から、書き込みから１ｃｈリードヘッド１１R1による読み込みに切り替わる時刻ｔ5までの期間、書き込みが行われる。
【００３９】
図４（ｃ）は１ｃｈリードヘッド１１R1にてテープ上の信号を読み込んでいる状態である。
【００４０】
図４（ｄ）は１ｃｈ／２ｃｈライトヘッド１２W1，１２W2によりデータの書き込みを行っている状態である。
【００４１】
図４（ｅ）は１ｃｈリードヘッド１１R1にてテープ上の信号を読み込んでいるが、この状態で、ビッター法によりテープ表面を観察すると、記録トラックが広い幅から狭い幅（通常の幅）になっている箇所が目につき、その付近を観察することにより、容易にドロップアウトの原因物があることが判る。
【００４２】
すなわち、図６がドロップアウト発生箇所をマークした一例であるが、ドロップアウトが発生した箇所では、突起物があり、そこがメディア欠陥の原因物がある場所であることが判る。したがって本発明により、微少メディア欠陥箇所を迅速に特定することができるようになった。
【００４３】
以上は回転ヘッド式ドライブを用いた実施例であるが、検査ドライブ１を固定ヘッド式で構成した場合、図８のように、マルチヘッドを搭載したドライブを用いて、複数個のうちの一つのヘッド（４１R）をドロップアウト検出用、他のヘッドの一つのヘッド（４２W）を、ドロップアウトの位置をマークするのに用いて、前述した回転ヘッド式ドライブと同様にテープのドロップアウト発生箇所にマークを付ける（図８のように一部書き込みを行わないエリアを設ける）ことができる。
【００４４】
尚本実施例では磁気的にドロップアウト発生箇所に印をつけているが、例えば打痕をつける装置により印を付ける、インクを塗布する等の方法を用いてもかまわない。
【００４５】
ドロップアウト発生箇所では、磁性面に突起物・へこみ等があり、ドロップアウトの発生箇所・発生原因を特定することができるようになった。また、前記ドロップアウト検出機２のドロップアウト検出部２１によって検出したドロップアウト落ち込み量（レベル）・落ち込み時間（幅）と、ドロップアウト原因物の大きさとには相関があり、落ち込み量・落ち込み幅検出の設定を変えて、ドロップアウト原因物を調べることにより、ドロップアウトの大きさに起因する原因物の分類（識別）が行える。
【００４６】
すなわち、例えば図７に示すような、原材料に蒸着を施し、バックコート層や潤滑剤を塗布し、スリッタ工程により所定テープ幅に切断し、テープカートリッジに組み入れる一連の工程において、ドロップアウト原因物がどの工程で発生した（問題がある）かを特定することができる。
【００４７】
例えば、（１）原因物１  大きさ１０μｍ程度、成分分析：Ｃｏ→蒸着工程に問題あり、（２）原因物２  大きさ２〜５μｍ程度、成分分析：Ｃｏ、ベース成分→スリッタ工程に問題あり、（３）原因物３  大きさ２０〜５０μｍ程度、→原材料に問題あり、…
のように特定することができる。
【００４８】
以上のように本実施例によれば、従来では発見に時間がかかっていた、大きさが200μm以下、0.1μm以上の、磁性面にあるドロップアウト発生箇所(メディア欠陥場所)を、容易に、かつ素早く(サンプル大きさ200mm×8mmにて、従来2時間→30分以下)見つけることができるようになった。
【００４９】
また、ドロップアウトのパラメータ(ＲＦ落ち込み量・ＲＦ落ち込み幅)設定から、ドロップアウト発生原因物を分類できるようになった。その結果ドロップアウト発生原因物を分けることができるようになった。
【００５０】
さらに例えば、磁気テープそのものは正常であるが、磁気テープにヘッドのゴミが付着したような場合も、再生ＲＦ信号に基づいて容易にそのゴミを検出し、異常発生原因が磁気テープにあるのではなく、ゴミの付着であることを特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の一実施例のメディア検査機の概要を示す構成図。
【図２】本発明の一実施例のメディア検査機のブロック図。
【図３】本発明の検査方法の一実施例を表し、ドロップアウトが無い場合の説明図。
【図４】本発明の検査方法の一実施例を表し、ドロップアウトが有る場合の説明図。
【図５】本発明の一実施例におけるドロップアウトマークタイミングを示すタイムチャート。
【図６】本発明の一実施例におけるドロップアウト発生箇所へのマーキングの様子を示す説明図。
【図７】本発明が適用される磁気テープ製造工程の一例を示す説明図。
【図８】本発明の検査方法の他の実施例を表す説明図。
【符号の説明】
【００５２】
１…検査ドライブ、２…ドロップアウト検出機、１０…回転ドラム、１１R1…１ｃｈリードヘッド、１２W1…１ｃｈライトヘッド、１２W2…２ｃｈライトヘッド、２１…ドロップアウト検出部、２２…ドロップアウトマーク部、３０…磁気テープ、４１R…ドロップアウト検出用ヘッド、４２W…ドロップアウトマーク用ヘッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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