(57)【要約】  【課題】  簡単な構成で、液晶表示用ガラス基板の搬送時に生じる帯電及び放電による不具合を、極力回避することが可能な基板搬送装置を提供する。  【解決手段】  液晶表示用ガラス基板１のＴＦＴ部１ａが形成されていない領域、即ちエリア１ｂに対向するパッド６のみを、基板保持用に使用する。これにより、液晶表示用ガラス基板１を搬送アーム３で保持或いは搬送アーム３から剥離する際に、パッド６の接触部においてＥＳＤが発生したとしても、ＴＦＴ部１ａから離れているため、ＴＦＴ部１ａに急激な電流は流れないので、これに損傷を与えることはない。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示部を設けた表示装置用ガラス基板を搬送する搬送アームを備えた基板搬送装置において、
前記搬送アーム上に前記表示装置用ガラス基板を吸着して保持する複数の保持部を配設し、該複数の保持部を選択的に吸着動作させるようにしたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記保持部は昇降可能であり、吸着動作する前記保持部は前記搬送アームから突出し、吸着動作しない前記保持部は前記搬送アームに収納されることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記保持部は中空孔を有し、該中空孔より吸気することによって吸着動作することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
薄膜トランジスタを有する表示部を複数形成した表示装置用ガラス基板を搬送する搬送アームを備えた基板搬送装置において、
前記搬送アーム上に前記表示装置用ガラス基板を吸着して保持する複数の保持部を配設し、該複数の保持部のうち、前記表示部が形成されていない領域に対向する前記保持部のみ使用して吸着するようにして成ることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項５】
前記保持部は昇降可能であり、使用する前記保持部は前記搬送アームから突出し、使用しない前記保持部は前記搬送アームに収納されることを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送装置に関するものであり、特に、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの表示装置用ガラス基板を搬送する基板搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶パネルは、軽量，薄型，低消費電力，低電圧駆動，及び人体ヘの影響の少なさ等が注目され、急速にその応用領域が拡大されてきている。その中でも、特にＴＦＴ（薄膜トランジスタ：Thin Film Transistor）をスイッチング素子として液晶を駆動する、いわゆるアクティブマトリックス型の液晶パネルが目覚ましく発展してきている。
【０００３】
ところが、このような液晶パネルの製造工程中に発生するＥＳＤ（静電気放電：
Electro-Static Discharge）により、液晶パネルの製造歩留まりが悪化するという問題が生じている。具体的には、例えば液晶表示用ガラス基板を或る工程から次の工程へと搬送する際に、或る工程の基板保持部における液晶表示用ガラス基板が基板搬送装置により剥離されると、基板保持部からの放電により、液晶表示用ガラス基板が帯電されてしまうことがある。
【０００４】
このため、帯電によって液晶表示用ガラス基板に色ムラが生じたり、また帯電された液晶表示用ガラス基板が搬送されているとき等に、基板表面で放電を起こし、液晶表示用ガラス基板に不良が発生したりすることがある。特に、ＴＦＴ付きガラス基板の場合には、放電によりＴＦＴに過大な電流が瞬間的に流れて、ＴＦＴが静電破壊してしまう恐れがある。
【０００５】
そこで、液晶パネルの製造工程におけるＴＦＴの帯電及び静電破壊を防止する、液晶パネルの製造方法が特許文献１に開示されている。これは、少なくともＴＦＴを形成したガラス基板を保持したプレート上からガラス基板を搬送ツールにより持ち上げて移送する液晶パネルの製造方法であって、搬送ツールによりガラス基板を少なくとも持ち上げるときに、接地した導電性部材をガラス基板の端に接触させる構成としている。
【０００６】
そして、この方法によれば、搬送ツールによりプレート上からガラス基板を少なくとも持ち上げるときに、接地した導電性部材をガラス基板の端に接触させることにより、ガラス基板の搬送時に、プレートからガラス基板を剥離する際に発生してガラス基板に帯電する静電気を、導電性部材から地面に逃がすことができ、ガラス基板に形成したＴＦＴの帯電及び静電破壊を防止することができるとしている。
【０００７】
また、液晶表示用ガラス基板の帯電による放電を防止することができる基板保持装置が特許文献２に開示されている。これは、搬入された液晶表示用ガラス基板を保持し、所定の処理がなされた液晶表示用ガラス基板が搬出される基板保持装置であって、前記基板保持装置の液晶表示用ガラス基板を保持する表面に、導電性を持たせて接地した構成としている。
【０００８】
そして、この構成によれば、基板保持装置の表面に導電性を持たせて接地したため、基板保持装置と液晶表示用ガラス基板の接触面の電位が常に零の状態になり、液晶表示用ガラス基板には、基板保持装置との接触または摩擦などによる帯電が生じないとしている。
【特許文献１】特開平１０−１３３２２９号公報
【特許文献２】特開平１０−１８６３４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記特許文献１に記載のような構成では、搬送ツール上の接地した導電性部材は、ガラス基板の端に接触しているに過ぎず、ガラス基板全体の帯電を取り除くには不十分である。また、ガラス基板を例えば露光等の光学的な処理を行う装置等へ搬送する際は相当の位置精度が要求され、特許文献１に記載のようなガラス基板端のみの支持では、このような精度を確保することが不可能であるのみならず、大型基板を搬送しようとすると基板割れが生じる恐れがある。
【００１０】
また、上記特許文献２に記載のような構成では、ガラス基板と搬送装置の接触面における電位差をなくす構造となってはおらず、搬送装置から基板保持装置にガラス基板を載置する際に、ガラス基板が帯電する恐れがある。またこのとき、ガラス基板は先ず突出した基板支持ピンに支持されるのであり、導電性を持たせて接地された基板保持装置の表面上に直ちに載置されるわけではないので、ガラス基板の帯電をすぐに取り除くことはできない。
【００１１】
本発明は、以上のような問題点に鑑み、簡単な構成で、液晶表示用ガラス基板の搬送時に生じる帯電及び放電による不具合を、極力回避することが可能な基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明では、液晶表示用ガラス基板の表示部が形成されていない領域に対向する保持部のみを、基板保持用に使用する構成としている。これにより、液晶表示用ガラス基板を搬送アームで保持或いは搬送アームから剥離する際に、保持部の接触部においてＥＳＤが発生したとしても、表示部から離れているため、表示部に配置されているＴＦＴに急激な電流は流れないので、これに損傷を与えることはない。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、簡単な構成で、液晶表示用ガラス基板の搬送時に生じる帯電及び放電による不具合を、極力回避することが可能な基板搬送装置を提供することができる。
【００１４】
具体的には、液晶表示用ガラス基板の表示部が形成されていない領域に対向する保持部のみを、基板保持用に使用することにより、保持部の接触部においてＥＳＤが発生したとしても、表示部から離れているため、表示部に配置されているＴＦＴが静電破壊されることはなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の基板搬送装置が適用される液晶表示用ガラス基板の処理装置の一実施形態を模式的に示す図である。同図において、１は液晶表示用ガラス基板、２は液晶表示用ガラス基板１を搬送する基板搬送装置、３は基板搬送装置２に設けられた搬送アーム、４は複数の液晶表示用ガラス基板１を収納可能なキャリア、５は液晶表示用ガラス基板１を載置，保持して処理を行う基板保持装置である。
【００１６】
基板搬送装置２は、搬送アーム３により、キャリア４の任意の段に対して液晶表示用ガラス基板１を出し入れ可能であり、またキャリア４と基板保持装置５との間で液晶表示用ガラス基板１を搬送することができる。このとき、キャリア４は矢印Ａのように昇降可能である。また、搬送アーム３は矢印Ｂのように伸縮、矢印Ｃのように昇降、矢印Ｄのように旋回可能である。なお、基板保持装置５の上面より、昇降可能な基板支持ピン５ａが突出している。また、基板搬送装置２全体がキャリア４と基板保持装置５との間で移動可能としても良い。
【００１７】
以下に、液晶表示用ガラス基板１をキャリア４と基板保持装置５との間で搬送する手順を示す。先ず、同図（ａ）において、キャリア４を矢印Ａで示すように昇降させ、所望の段にある液晶表示用ガラス基板１が出し入れ可能となるように位置決めする。そして、矢印Ｂ１方向に搬送アーム３をこの液晶表示用ガラス基板１の下側へと延ばし、吸着して矢印Ｃ１方向に持ち上げ、矢印Ｂ２方向に引き抜いてこの液晶表示用ガラス基板１をキャリア４から一枚取り出す。
【００１８】
次に、搬送アーム３を矢印Ｄで示すように水平方向に旋回させ、同図（ｂ）において、矢印Ｂ１方向に搬送アーム３を基板保持装置５の上側へと延ばし、液晶表示用ガラス基板１を基板保持装置５の直上へと移動させる。そして、搬送アーム３を矢印Ｃ２方向に下降させ、液晶表示用ガラス基板１を基板保持装置５上面より複数本突出する基板支持ピン５ａに接触させる。このとき、液晶表示用ガラス基板１の吸着をやめて、液晶表示用ガラス基板１から搬送アーム３を離して矢印Ｂ２方向に引き抜く。
【００１９】
続いて基板支持ピン５ａを下降させ、液晶表示用ガラス基板１を基板保持装置５の上面に載置する。載置された液晶表示用ガラス基板１には、例えば露光等の光学的処理等、所定の処理が行われる。所定の処理が行われた後、基板支持ピン５ａを上昇させ、液晶表示用ガラス基板１を基板保持装置５の上面から分離する。
【００２０】
この状態で、矢印Ｂ１方向に搬送アーム３をこの液晶表示用ガラス基板１の下側へと延ばし、吸着して矢印Ｃ１方向に持ち上げ、矢印Ｂ２方向に引き抜いてこの液晶表示用ガラス基板１を基板保持装置５から取り出す。そして、搬送アーム３によりこの液晶表示用ガラス基板１をキャリア４の所望の位置に収納する。但し、液晶表示用ガラス基板１を必ずしもキャリア４に戻す構成としなくとも良く、基板保持装置５から直接次の工程へと移動するようにしても良い。
【実施例１】
【００２１】
図２は、本発明の実施例１に係る基板搬送装置の要部を示す図であり、二股状の搬送アーム３が液晶表示用ガラス基板１を下から持ち上げ保持した状態を平面図で模式的に示している。なお、同図では搬送アーム３を液晶表示用ガラス基板１を介して透視した状態で描いてある。また、同図（ａ），（ｂ）においては、それぞれ異なるパターンのＴＦＴ部（薄膜トランジスタが形成された表示部）１ａが配設された液晶表示用ガラス基板１を示している。また、搬送アーム３の形状や液晶表示用ガラス基板１に形成される表示部のパターン等は、同図のものに限定されるものではない。
【００２２】
同図（ａ）において、液晶表示用ガラス基板１には、若干縦長の長方形のＴＦＴ部１ａが形成され、縦横に配設されている。また同図（ｂ）において、液晶表示用ガラス基板１には、横長の長方形のＴＦＴ部１ａが形成され、縦横に配設されている。各ＴＦＴ部１ａは、それぞれ多数の画素が集まったエリアであり、各液晶パネルとして使用する部分である。実際には、液晶表示用ガラス基板１内に例えば数百枚の液晶パネルを作り込むものであり、各ＴＦＴ部１ａ間には、最終的に基板を分断し切り分けるためのエリア１ｂが予め設けてある。
【００２３】
一方、同図の（ａ），（ｂ）各図に示すように、搬送アーム３の二股に分かれた各アーム部３ａ，３ｂ上面には、液晶表示用ガラス基板１を真空吸着して保持する多数のパッド６が縦横に配設されている。同図では各アーム部３ａ，３ｂ上に８行３列でパッド６が配設されているように描いてあるが、実際は更に多数のパッド６を用いて、アーム部３ａ，３ｂ上面全面にくまなく配設している。これにより、各アーム部３ａ，３ｂに加わる液晶表示用ガラス基板１の荷重を極力均等に受けられるようにしている。パッド６が配設される数は、例えばアーム部３ａ或いは３ｂ一本のサイズが１０ｃｍ×６０ｃｍ程度の場合、この一本のアーム部に対して計６００個程度となる。パッド一個のサイズは、例えば直径５ｍｍ、高さ１．５ｍｍ程度である。
【００２４】
さて、同図では説明の便宜上、使用するパッド６を黒丸で示し、使用しないパッド６を白丸で示している。パッド６は昇降可能とし、使用するパッド６はアーム部３ａ，３ｂ上面より突出させ、後述する中空孔にて液晶表示用ガラス基板１を真空吸着する。使用しないパッド６はアーム部３ａ，３ｂ上面より下側に収納される。パッド６の材質としては、比較的柔軟性があり、真空吸着用として使用可能なものが用いられる。具体的には、耐熱性及び絶縁性を備えたものが好ましく、例えば全芳香族ポリイミド樹脂であるデュポン社製のベスペル（Ｒ）等が良い。
【００２５】
図３は、本実施例に係る搬送アーム３を模式的に示した図である。上述したように、搬送アーム３の二股に分かれた各アーム部３ａ，３ｂ上面には、液晶表示用ガラス基板１を真空吸着して保持する多数のパッド６が縦横に配設されている。また図４は、図３のＸ−Ｘ′断面図であり、パッド６が配設されている部分の縦断面図である。図４に示すように、パッド６はアーム部３ａに開けられた孔ｈにそれぞれ摺動自在に嵌合している。そして、パッド６は自動的に昇降可能であり、使用するパッド６のみ上昇させ、使用しないパッド６は下降させて、選択的に吸着動作させる。
【００２６】
図４において、配設されたパッド６を左から６ａ，６ｂ，６ｃとすると、これらはそれぞれ個別に昇降可能である。同図では使用するパッド６ｂが上昇してアーム部３ａから突出し、使用しないパッド６ａ，６ｃがアーム部３ａに収納された状態を示している。パッドを昇降させる機構としては、例えばアーム部３ａの下側に駆動手段７が設けられており、例えばエアシリンダー或いはソレノイドやカム機構等を用いた簡単な構造により、各パッド６がそれぞれ独立して駆動されるようにしている。
【００２７】
図５は、パッド６の縦断面図である。同図に示すように、パッド６には長手方向に中空孔ｖが貫通しており、筒状を成している。またパッド６の下端には図示しないバキュームラインが接続されている。そして、中空孔ｖを通してこのバキュームラインにて下方即ち矢印Ｅ方向に吸気することにより、上記液晶表示用ガラス基板１を吸着して保持する。
【００２８】
本実施例では多数のパッド６を用いるため、バキュームラインは全パッド共通として空気の下流側で一本化し、構造を簡単にしている。但し、使用しないパッド６については、これが下降したままであると、液晶表示用ガラス基板１と接触しないため、そのままでは大気がバキュームラインへとリークしてしまい、使用するパッド６で液晶表示用ガラス基板１を吸着することができなくなる。そこで、使用しないパッド６が下降してアーム部３ａに収納されると、このパッド６に蓋がなされる構造とし（不図示）、リークを防止している。なお、以上説明したパッドについての構成は、アーム部３ｂにおいても同様である。
【００２９】
図２に戻って、本実施例では、液晶表示用ガラス基板１のＴＦＴ部１ａが形成されていない領域、即ちエリア１ｂに対向するパッド６のみを、基板保持用に使用する構成としている。これにより、液晶表示用ガラス基板１を搬送アーム３で保持或いは搬送アーム３から剥離する際に、パッド６の接触部においてＥＳＤが発生したとしても、ＴＦＴ部１ａから離れているため、ＴＦＴ部１ａに急激な電流は流れないので、これに損傷を与えることはない。
【００３０】
ここで、液晶表示用ガラス基板１のＴＦＴ部１ａが形成されていない領域に対向するパッド６のみを、基板保持用に使用するように登録する手順を説明する。先ず、予め基板搬送装置２の図示しない制御部に、液晶表示用ガラス基板１の原点Ｏに対比させた座標を各パッド６毎に記憶させておく。原点Ｏについては、例えば図２に示すように、液晶表示用ガラス基板１の下辺ａ及び左辺ｂを位置決め用の平坦部であるオリフラ（オリエンテーリングフラット）として、これらの交点を（０，０）として設定する。
【００３１】
そして、液晶パネルの機種毎に液晶表示用ガラス基板１のＴＦＴ部１ａ以外のエリア（つまりパッドが当たっても良いエリア）、即ちエリア１ｂの座標を登録しておき、それらが合致するパッド６のみ用いるシステムとする。このエリアの座標は、液晶パネルの設計データから容易に読み込み、登録することが可能である。
【００３２】
なお、特許請求の範囲で言う表示部には、実施例におけるＴＦＴがマトリックス状に配置しており、保持部はパッドに対応している。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
上記実施例では、ＴＦＴを用いる液晶パネルについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、静電破壊を起こす回路素子を有する液晶パネルもしくは有機ＥＬパネルなどの表示装置全般の製造工程及び製造装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の基板搬送装置が適用される液晶表示用ガラス基板の処理装置の一実施形態を模式的に示す図。
【図２】本発明の実施例１に係る基板搬送装置の要部を示す図。
【図３】本実施例に係る搬送アーム３を模式的に示した図。
【図４】図３のＸ−Ｘ′断面図。
【図５】パッド６の縦断面図。
【符号の説明】
【００３５】
１    液晶表示用ガラス基板
１ａ    ＴＦＴ部
１ｂ    エリア
２    基板搬送装置
３    搬送アーム
３ａ，３ｂ    アーム部
４    キャリア
５    基板保持装置
６    パッド
７    駆動手段
【図１】
2005255278.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2005255278.tif 000006
【図５】
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