(57)【要約】【課題】無人搬送車において、搬送の際、上方を通過する搬送物や機構部からの発塵がゴミとなって落下し、下方の搬送物に付着することを防止する。【解決手段】荷台Ｃ１、Ｃ２を持つ無人搬送車Ｃ３と、無人搬送車Ｃ３の通路の両側に対向配置され搬送物の搬送元又は搬送先となる自動棚Ｂ１、Ｂ２と装置Ｄ１〜Ｄ４からなる搬送機器を備え、自動棚Ｂ１、Ｂ２と装置Ｄ１〜Ｄ４との位置関係、移載方向をパラメータとして保持する記憶部Ｅ２と、前記搬送機器の動作に応じた搬送指示の割付を行う演算部Ｅ３とを有する搬送機器制御装置Ｅ１と、自動棚Ｂ１、Ｂ２と装置Ｄ１〜Ｄ４との従属関係、自動棚Ｂ１、Ｂ２の保管状況、装置Ｄ１〜Ｄ４からの搬送要求を保持する記憶部Ｆ２と、装置Ｄ１〜Ｄ４からの搬送要求により搬送指示順を決定し搬送機器制御装置Ｅ１に対し搬送指示を出す演算部Ｆ３とを有する搬送システム制御装置Ｆ１とから構成される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットアーム及び複数の荷台を有しクリーンルーム内で搬送物の積み卸しを行なう無人搬送車と、この無人搬送車の通路の両側に対向して配置され搬送物の搬送元又は搬送先となり得る自動棚と、同じく搬送元又は搬送先となり得る装置とからなる搬送機器を備え、前記自動棚と装置との位置関係及び移載方向をパラメータとして保持する記憶部を有するとともに、前記搬送機器の動作状況に応じた搬送指示の割付を行う演算部を有する搬送機器制御装置と、前記自動棚と装置との従属関係、自動棚の保管状況、及び装置からの搬送要求を保持する記憶部を有するとともに、装置からの搬送要求により搬送指示順を決定し前記搬送機器制御装置に対し搬送指示を出す演算部を有する搬送システム制御装置とから構成されていることを特徴とするクリーンルーム内無人搬送車の制御装置。
【請求項２】
前記搬送機器制御装置は、搬送元の移載方向と搬送先の移載方向をパラメータとし、搬送中に発塵源と搬送物が交差しないことを確認できたもののみ無人搬送車に割り付けることを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム内無人搬送車の制御装置。
【請求項３】
前記搬送機器制御装置は、搬送中に発塵源と搬送物が交差しない組み合わせが作れるまで無人搬送車への割付を保留する機能を持ち、割付を指示するタイミングを考慮して無人搬送車にまとめて搬送指示を出すことを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム内無人搬送車の制御装置。
【請求項４】
前記搬送システム制御装置は、搬送機器制御装置にて搬送指示が出される度に、まとめて搬送させるか、単独で搬送させるかを決定するとともに、まとめて搬送する場合は搬送先での卸し順を決定することを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム内無人搬送車の制御装置。
【請求項５】
発塵源となるロボットアーム又はロボットアームに把持された搬送物の移載経路が、他の搬送物の上方を通過する交差とならないように搬送指示を出すことを特徴とする請求項３記載のクリーンルーム内無人搬送車の制御装置。
【請求項６】
前記搬送システム制御装置は、搬送機器制御装置からの搬送指示を待っている複数の搬送要求に対する場合も、搬送指示中に発生した搬送要求に対する場合にも、待つことなくリアルタイムに対応できることを特徴とする請求項４記載のクリーンルーム内無人搬送車の制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーン度を重視する製造工場（半導体製造ライン等）で搬送物を密閉容器（ＳＭＩＦ等）に収納することなく搬送する無人搬送車の制御装置において、万が一搬送物や搬送機器自体から発塵があった場合のリスクを最小限に抑制することを可能としたクリーンルーム内無人搬送車の制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一例として図１０の構成図に示すように、従来の半導体装置の製造工場２０（製造ライン）は、無人搬送車Ｖ１〜Ｖ７の走行用にあらかじめ設定された複数の通路１１ａ〜１１ｆと、複数の結合点Ａ〜Ｇとしての作業ステーションＪ１〜Ｊ７とから構成されている。また、この搬送システムの制御装置１０は、入出力インタフェース１と、演算処理部２と、ＲＯＭ３と、書き換え可能なＲＡＭ４とから構成されている。
【０００３】
入出力インタフェース１は、各無人搬送車Ｖ１〜Ｖ７の位置や積載状況のデータ及び各作業ステーションＪ１〜Ｊ７からの搬入、搬出の搬送要求を入力するとともに、各無人搬送車Ｖ１〜Ｖ７への搬送指示を出力する。ＲＯＭ３には制御プログラムが記憶されている。ＲＡＭ４には各作業ステーションＪ１〜Ｊ７の位置や搬入、搬出の搬送要求データ及び各無人搬送車Ｖ１〜Ｖ７の位置や積載状況データ等が記憶されている。演算処理部２はＲＯＭ３に記憶されたプログラムに基づき、各作業ステーションＪ１〜Ｊ７からの搬送要求及びＲＡＭ４に記憶されたデータを用いて、各無人搬送車Ｖ１〜Ｖ７への搬送指示値を演算する。
【０００４】
なお、自動棚Ｓは各作業ステーションＪ１〜Ｊ７からの搬送物を収納したキャリアを一時保管する集配ステーションである。また、自動棚Ｓ及び通路１１ａ〜１１ｆ上に位置する各無人搬送車Ｖ１〜Ｖ７の位置及び積載状況のデータは、搬送制御装置５を介して搬送システムの制御装置１０の入出力インタフェース１に入力される。また、入出力インタフェース１から各無人搬送車Ｖ１〜Ｖ７への搬送指示は、搬送制御装置５を介して出力される。
【０００５】
このようにして構成されている従来の無人搬送車の制御装置においては、搬送効率のみを重視する考え方で改善が重ねられてきているため、半導体製造の技術分野のように微細化が急ピッチで進み、しかも、あらゆる作業工程での発塵対策が必要とされている拡散製造ラインにそのまま適用すると、搬送元（例えば自動棚）の移載方向と搬送先（例えば装置）の移載方向との関係によっては、搬送物の上を別の搬送物が通過するという移載経路が発生し、上方を通過する搬送物（例えばウエハ）や機構部（例えばロボットアーム）から発塵が生じた際に、下方の搬送物（例えばウエハ）にゴミとなって付着する危険性がある。
【０００６】
この従来の制御装置による搬送物の移載動作について、図１１を用いて説明する。図１１（ａ）は搬送装置の平面図、図１１（ｂ）はその部分立面図で、移載経路▲１▼〜▲４▼を示す工程図である。
【０００７】
まず、図１１（ａ）に示すように、自動棚Ｂ１に搬送物ａ及びｂが保管されており、自動棚Ｂ１の仕掛り状態が、搬送物ａは優先度１で搬送先はＤ１（搬送要求を発した装置）、また、搬送物ｂは優先度２で搬送先はＤ３（搬送要求を発した装置）の状態にあるものとする。
【０００８】
次に、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、無人搬送車Ｃ３への移載は、ロボットアームにより積み込む自動棚Ｂ１の移載方向から離れた荷台Ｃ２に１ロット目の搬送物ａを積み込む▲１▼。積み込みが終わると、続いて２ロット目の搬送物ｂを自動棚Ｂ１の移載方向に近い側の荷台Ｃ１に積み込む▲２▼。搬送物ａ、ｂを積み込んだ無人搬送車Ｃ３は搬送先装置Ｄ１、Ｄ３に向けて移動する。搬送先では、優先度に従ってまず搬送物ａを無人搬送車Ｃ３の荷台Ｃ２から装置Ｄ１に卸す▲３▼。続いて搬送物ｂを無人搬送車Ｃ３の荷台Ｃ１から装置Ｄ３に卸す▲４▼。
【０００９】
以上の動作で搬送物の移載が完了した訳であるが、ここで問題となるのは移載経路▲３▼の場合である。このとき移載経路▲３▼は▲４▼と交差する形となり、搬送物ａ及びロボットアームは、荷台Ｃ１に積み込まれている搬送物ｂの上方を通過することになる。この通過によって、前述したように上方を通過する搬送物（例えばウエハ）や機構部（例えばロボットアーム）から発塵が生じた際に、下方の搬送物（例えばウエハ）にゴミとなって付着する事態が発生する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来のクリーンルーム内無人搬送車の制御装置は、発塵対策が必要とされている製造ラインに適用すると、搬送元の移載方向と搬送先の移載方向の関係によって搬送物の上を別の搬送物が通過する移載経路が発生し、上方を通過する搬送物や機構部からの発塵がゴミとなって落下し、下方の搬送物に付着するという問題があった。
【００１１】
この問題を避けるもっとも簡単な対策としては、搬送物が他の搬送物の上方を通過しないようにロボットアームの動作に制限を加えることがあげられるが、移載時間が長くなったり、移載先の環境（開口スペース等）の設計変更を要するなどの副作用が発生する。また、搬送物を密閉容器（ＳＭＩＦ等）に収納したり、あるいは荷台及びロボットアームの位置関係を変更したりするなど、無人搬送車の構造自体を変える方法では莫大な費用がかかる。
【００１２】
そこで、本発明はこれらの問題点を解決するためになされたもので、装置の改造は行なわないこと、また、装置は載せられた順に処理されるという従来の考え方を踏襲することを前提とし、移載元の移載方向及び移載先の移載方向を考慮し、発塵源と搬送物の交差をチェックする制御手段を有することにより、もし発塵があった際のリスクを最小限に抑制し、作業優先順、例えばロット固有の搬送優先順位を参照して移載時間の増加を抑え、費用を安価に抑えた形で低減できるクリーンルーム内無人搬送車の制御装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ロボットアーム及び複数の荷台を有しクリーンルーム内で搬送物の積み卸しを行なう無人搬送車と、この無人搬送車の通路の両側に対向して配置され搬送物の搬送元又は搬送先となり得る自動棚と、同じく搬送元又は搬送先となり得る装置とからなる搬送機器を備え、前記自動棚と装置との位置関係及び移載方向をパラメータとして保持する記憶部を有するとともに、前記搬送機器の動作状況に応じた搬送指示の割付を行う演算部を有する搬送機器制御装置と、前記自動棚と装置との従属関係、自動棚の保管状況、及び装置からの搬送要求を保持する記憶部を有するとともに、装置からの搬送要求により搬送指示順を決定し前記搬送機器制御装置に対し搬送指示を出す演算部を有する搬送システム制御装置とから構成されている。
【００１４】
また、本発明において、前記搬送機器制御装置は、搬送元の移載方向と搬送先の移載方向をパラメータとし、搬送中に発塵源と搬送物が交差しないことを確認できたもののみ無人搬送車に割り付けを行うとともに、搬送中に発塵源と搬送物が交差しない組み合わせが作れるまで無人搬送車への割付を保留する機能を持ち、割付を指示するタイミングを考慮して無人搬送車にまとめて搬送指示を出すようにしている。また、発塵源となるロボットアーム又はロボットアームに把持された搬送物の移載経路が他の搬送物の上方を通過する交差とならないように搬送指示を出すようにしている。
【００１５】
また、本発明において、前記搬送システム制御装置は、搬送機器制御装置にて搬送指示が出される度に、まとめて搬送させるか、単独で搬送させるかを決定するとともに、まとめて搬送する場合は搬送先での卸し順を決定する。また、前記搬送システム制御装置は、搬送機器制御装置からの搬送指示を待っている複数の搬送要求に対する場合も、搬送指示中に発生した搬送要求に対する場合にも、待つことなくリアルタイムで対応できるようにしている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態について図１〜図４を参照して説明する。図１は本実施の形態における無人搬送車の制御装置の構成を示す図である。図１に示すように、複数の荷台Ｃ１、Ｃ２を有する無人搬送車Ｃ３と、搬送元あるいは搬送先となりうる自動棚Ｂ１、Ｂ２と、搬送先あるいは搬送元となりうる装置Ｄ１〜Ｄ４を有し、無人搬送車Ｃ３の通路の両側に自動棚Ｂ１、装置Ｄ１、Ｄ３の列と、自動棚Ｂ２、装置Ｄ２、Ｄ４の列が配置されている。
【００１７】
さらに、自動棚Ｂ１、Ｂ２と装置Ｄ１〜Ｄ４との位置関係及び移載方向（図２）をパラメータとして保持する記憶部Ｅ２と、上記した各機器の動作状況に応じた搬送指示の割付を行う演算部Ｅ３とを有する搬送機器制御装置Ｅ１が配置され、また、自動棚Ｂ１、Ｂ２と装置Ｄ１〜Ｄ４の従属関係（図３）と自動棚Ｂ１、Ｂ２の保管状況及び装置Ｄ１〜Ｄ４からの搬送要求（図４）とを保持する記憶部Ｆ２と、装置Ｄ１〜Ｄ４からの搬送要求により搬送指示順を決定し搬送機器制御装置Ｅ１に対し搬送指示を出す演算部Ｆ３とを有する搬送システム制御装置Ｆ１が配置されている。
【００１８】
ここで、上記の図２、図３、図４について説明する。まず、図２は本発明を構成する搬送機器制御装置で保持するパラメータ例を示す図で、自動棚Ｂ１、Ｂ２及び装置Ｄ１〜Ｄ４の配置位置をＸ：Ｙ座標で示すとともに、移載方向が無人搬送車に対し左側（Ｌ）又は右側（Ｒ）かを示している。図３は本発明を構成する搬送システム制御装置で保持するパラメータ例を示す図で、例えば装置Ｄ１〜Ｄ４がすべて自動棚Ｂ１に属している場合を示す。また、図４は本発明を構成する搬送システム制御装置で保持する情報例を示す図で、自動棚Ｂ１に搬送物ａ、ｂが保管されている場合、搬送先の装置Ｄ１に搬送物ａを優先度１で搬送する場合等を示している。
【００１９】
次に、本実施の形態における制御装置の動作について図１〜図５を参照して説明する。まず、図１に示すように、各装置Ｄ１〜Ｄ４のいずれかより搬送要求が搬送システム制御装置Ｆ１に通知され、この搬送システム制御装置Ｆ１において搬送要求を発した装置が属する自動棚Ｂ１あるいはＢ２に搬送要求を発した装置が搬送先となる搬送物が存在するかどうかを確認し、該当する搬送物が存在した場合にはその中から優先順の高い搬送物が保管されている自動棚から搬送要求を発した装置に搬送するように搬送機器制御装置Ｅ１に通知する。
【００２０】
搬送機器制御装置Ｅ１では１つ目（１ロット目）の搬送指示については無人搬送車Ｃ３に割付を行い、２つ目（２ロット目）以降の搬送指示については図５の流れ図に従って制御を行なう。この搬送機器制御装置の制御について図５を用いて説明する。
【００２１】
Ｉ．１ロット目の搬送物についての実際の移載は、搬送元となる自動棚の移載方向の逆側にある荷台に積み込む（Ｇ１）。
ＩＩ．１ロット目の搬送物が積み終わるまでに同自動棚から２ロット目の搬送指示が有るか否かを確認し（Ｇ２）、搬送指示が有れば１ロット目の搬送物の搬送元の移載方向と搬送先の移載方向及び２ロット目の搬送物の搬送元の移載方向と搬送先の移載方向の関係より、移載経路が交差しないかどうかを確認する（Ｇ３）。ここで、同自動棚から２ロット目の搬送指示がなければ１ロット目の搬送物のみで搬送する（Ｇ６）。
ＩＩＩ．１ロット目の搬送物の移載経路と２ロット目の搬送物の移載経路が交差しないことが確認された場合は、２ロット目の搬送物も無人搬送車に積み込み、まとめて搬送する（Ｇ５）。ここで、交差することが確認された場合は、１ロット目の搬送物のみで搬送する（Ｇ４）。なお、装置を搬送元とし自動棚を搬送先とした場合も、同様に図５の流れが適用される。
【００２２】
次に、本発明における第１の実施の形態について図面を参照して説明する。その構成はすでに図１で説明したとおりであるのでここでは省略し、その動作について、図１、図６、図７を参照して説明する。なお、本実施の形態は、リアルタイム性を重視する点が特徴である。
【００２３】
まず、図１に示すように、各装置Ｄ１〜Ｄ４のいずれかより搬送要求が搬送システム制御装置Ｆ１に通知され、この搬送システム制御装置Ｆ１において搬送要求を発した装置が属する自動棚Ｂ１あるいはＢ２に搬送要求を発した装置が搬送先となる搬送物が存在するかどうかを確認し、該当する搬送物が存在した場合にはその中から優先順の高い搬送物が保管されている自動棚から搬送要求を発した装置に搬送するように搬送機器制御装置Ｅ１に通知する。
【００２４】
搬送機器制御装置Ｅ１では、１つ目（１ロット目）の搬送指示については無条件に無人搬送車Ｃ３に割付を行い、２つ目（２ロット目）以降の搬送指示については図６の流れ図に従って制御を行なう。なお、ここから先は図６及びその動作図である図７を参照して説明する。図７は本実施の形態における搬送物の移載動作を説明する図で、図７（ａ）は搬送装置の平面図、図７（ｂ）はその部分立面図で、移載経路▲１▼〜▲４▼を示す工程図である。
【００２５】
まず、図７（ａ）に示すように、自動棚Ｂ１に搬送物ａ及びｂが保管されており、自動棚Ｂ１の仕掛り状態が、搬送物ａは優先度１で搬送先はＤ１（搬送要求を発した装置）、また、搬送物ｂは優先度２で搬送先はＤ３（搬送要求を発した装置）の状態にあるものとする。ここからは図７（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。
【００２６】
Ｉ．実際の無人搬送車Ｃ３への移載は、積み込む自動棚Ｂ１の移載方向から離れた荷台Ｃ２に１ロット目の搬送物ａを積み込む（Ａ１、▲１▼）。
ＩＩ．積み終わるまでに自動棚Ｂ１より次の（２ロット目の）搬送指示が有るか否かを確認し（Ａ２）、ここでは搬送指示（搬送物ｂ）が有るため、積み終えた搬送物ａについては搬送元である自動棚Ｂ１の移載方向と搬送先の装置Ｄ１の移載方向が同一であるかどうかを確認する（Ａ３）。ここで、自動棚Ｂ１からの次の搬送指示がない場合には、搬送物ａのみで搬送する（Ａ８）。
ＩＩＩ．荷台Ｃ２に積み終えた搬送物ａについて搬送元の自動棚Ｂ１の移載方向と搬送先の装置Ｄ１の移載方向が同一であるので、引き続いて、積み終えた搬送物ａの搬送先の装置Ｄ１と次の搬送物ｂの搬送先の装置Ｄ３が一致するかどうかを確認する（Ａ６）。また、ここで荷台Ｃ２に積み終えた搬送物ａについて搬送元の自動棚Ｂ１の移載方向と搬送先の装置Ｄ１の移載方向が同一でない場合は、搬送物ｂも無人搬送車Ｃ３の荷台Ｃ１に積み込み（Ａ４、▲２▼）まとめて搬送する。この場合、搬送先で卸す順番は搬送物ａ、搬送物ｂの順とする（Ａ５、▲４▼→▲３▼）。
ＩＶ．積み終えた搬送物ａの搬送先装置Ｄ１と次の搬送物ｂの搬送先装置Ｄ３が一致していないので、引き続いて、積み終えた搬送物ａの搬送先装置Ｄ１の移載方向と次の搬送物ｂの搬送先装置Ｄ３の移載方向を確認する（Ａ９）。ここで、積み終えた搬送物ａの搬送先装置Ｄ１と次の搬送物ｂの搬送先装置Ｄ３が一致する場合は、搬送物ａのみで搬送する（Ａ７）。
Ｖ．積み終えた搬送物ａの搬送先装置Ｄ１の移載方向と次の搬送物ｂの搬送先装置Ｄ３の移載方向が同一であるため、搬送物ｂも無人搬送車Ｃ３の荷台Ｃ１に積み込み（Ａ１０、▲２▼）まとめて搬送する。この場合、搬送先で卸す順番は搬送物ｂ、搬送物ａの順とする（Ａ１１、▲３▼→▲４▼）。ここで、積み終えた搬送物ａの搬送先装置Ｄ１の移載方向と次の搬送物ｂの搬送先装置Ｄ３の移載方向が同一でない場合は、搬送物ａのみで搬送する（Ａ１２）。
ＶＩ．割付の完了した無人搬送車Ｃ３は卸し順に従い搬送物を搬送する。
【００２７】
次に、本発明における第２の実施の形態について図面を参照して説明する。その構成はすでに図１で説明したとおりであるのでここでは省略し、その動作について、図１、図８、図９を参照して説明する。なお、本実施の形態は、搬送機器制御装置Ｅ１から実際の無人搬送車に対する指示を行なうタイミングを、まとめて搬送できる組み合わせが揃うまで待たせるようにする点が特徴である。
【００２８】
まず、図１に示すように、各装置Ｄ１〜Ｄ４のいずれかより搬送要求が搬送システム制御装置Ｆ１に通知され、この搬送システム制御装置Ｆ１において搬送要求を発した装置が属する自動棚Ｂ１あるいはＢ２に搬送要求を発した装置が搬送先となる搬送物が存在するかどうかを確認し、該当する搬送物が存在した場合にはその中から優先順の高い搬送物が保管されている自動棚から搬送要求を発した装置に搬送するように搬送機器制御装置Ｅ１に通知する。
【００２９】
搬送機器制御装置Ｅ１では、通知された搬送指示について図８の流れ図に従って制御を行なう。なお、ここから先は図８と動作図である図９を参照して説明する。図９は本実施の形態における搬送物の移載動作を説明する図で、図９（ａ）は搬送装置の平面図、図９（ｂ）はその部分立面図で、移載経路▲１▼〜▲４▼を示す工程図である。
【００３０】
まず、図９（ａ）に示すように、自動棚Ｂ１に搬送物ａ及びｂが保管されており、自動棚Ｂ１の仕掛り状態が、搬送物ａは優先度１で搬送先はＤ４（搬送要求を発した装置）、また、搬送物ｂは優先度２で搬送先は同じくＤ４（搬送要求を発した装置）の状態にあるものとする。ここからは図９（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。
【００３１】
Ｉ．搬送要求が通知される度に搬送機器制御装置Ｅ１では搬送指示を一定時間待つ（Ｈ１）。ここで、一定時間が経過し、まとめて搬送できる組み合わせが見つからない場合は、最初に通知された１ロット目の搬送物ａのみ無人搬送車Ｃ３に割り付け、自動棚Ｂ１の逆側の荷台Ｃ２に移送させる（Ｈ８、Ｈ９、▲１▼）。
ＩＩ．自動棚Ｂ１から複数の搬送指示が有るか否かを確認し（Ｈ２）、ここでは２ロット目の搬送物ｂが存在するので、最初に通知された搬送物ａについて搬送元の自動棚Ｂ１の移載方向と搬送先の装置Ｄ４の移載方向が同一であるか否かを確認する（Ｈ３）。ここで、自動棚Ｂ１から次の搬送指示がなければ次の搬送指示を待つ（Ｈ１に戻る）。
ＩＩＩ．搬送物ａについて、搬送元の自動棚Ｂ１の移載方向と搬送先の装置Ｄ４の移載方向が同一でないので、搬送物ａと搬送物ｂを無人搬送車Ｃ３に積み込みまとめて搬送する。搬送物ａは荷台Ｃ２に、また搬送物ｂは荷台Ｃ１に積み込む（Ｈ１０、▲１▼、▲２▼）。この場合、搬送先で卸す順番は搬送物ａ、搬送物ｂの順とする（Ｈ１１、▲３▼→▲４▼）。ここで、搬送物ａについて、搬送元の自動棚Ｂ１の移載方向と搬送先の装置Ｄ４の移載方向が同一であった場合は、搬送物ａの搬送先装置Ｄ４と搬送物ｂの搬送先装置Ｄ４を確認し（Ｈ４）、同一であれば他の搬送指示のチェックに移り（Ｈ１に戻る）、同一でなければ次に搬送物ａの搬送先装置Ｄ４の移載方向と次の搬送物ｂの搬送先装置Ｄ４の移載方向が一致するか否かを確認し（Ｈ５）、一致しなければ他の搬送指示のチェックに移り（Ｈ１に戻る）、一致すれば搬送物ａと搬送物ｂを無人搬送車Ｃ３に積み込みまとめて搬送する。搬送物ａは荷台Ｃ２に、また搬送物ｂは荷台Ｃ１に積み込む（Ｈ６、▲１▼、▲２▼）。この場合、搬送先で卸す順番は搬送物ｂ、搬送物ａの順とする（Ｈ７、▲４▼→▲３▼）。
ＩＶ．割付の完了した無人搬送車Ｃ３は卸し順に従い搬送物を搬送する。
【００３２】
【発明の効果】
本発明によれば、搬送の組み合わせがどうなっても搬送物の上方を発塵源となる別の搬送物やロボットアーム駆動部が通過することがなくなったので、塵やゴミが落下して下方の搬送物に付着することがなくなり、生産性の向上を図ることができる。また、ロボットアームの構造や動作に制限を加えたり、移載先装置の設計変更や無人搬送車の改造をする必要もないため、費用も安価に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の構成を示す図である。
【図２】本発明の搬送機器制御装置で保持するパラメータ例を示す図である。
【図３】本発明の搬送システム制御装置で保持するパラメータ例を示す図である。
【図４】本発明の搬送システム制御装置で保持する情報例を示す図である。
【図５】本発明の搬送機器制御装置での制御の流れを示す図である。
【図６】本発明の第１の実施形態における搬送機器制御装置での制御の流れを示す図である。
【図７】本発明の第１の実施形態における動作を示す図で、図（ａ）は搬送装置の平面図、図（ｂ）はその立面図を用いて移載経路を示す工程図である。
【図８】本発明の第２の実施形態における搬送機器制御装置での制御の流れを示す図である。
【図９】本発明の第２の実施形態における動作を示す図で、図（ａ）は搬送装置の平面図、図（ｂ）はその立面図を用いて移載経路を示す工程図である。
【図１０】従来の構成を示す図である。
【図１１】従来の制御での動作を示す図で、図（ａ）は搬送装置の平面図、図（ｂ）はその立面図を用いて移載経路を示す工程図である。
【符号の説明】
Ｂ１、Ｂ２    自動棚
Ｃ１、Ｃ２    荷台
Ｃ３    無人搬送車
Ｄ１〜Ｄ４    装置
Ｅ１    搬送機器制御装置
Ｅ２    記憶部
Ｅ３    演算部
Ｆ１    搬送システム制御装置
Ｆ２    記憶部
Ｆ３    演算部
ａ、ｂ    搬送物
Ｒ    ロボットアーム
【図１】
2005018486.tif 000003
【図２】
2005018486.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2005018486.tif 000007
【図６】
2005018486.tif 000008
【図７】
2005018486.tif 000009
【図８】
2005018486.tif 000010
【図９】
2005018486.tif 000011
【図１０】
2005018486.tif 000012
【図１１】
2005018486.tif 000013