(57)【要約】【課題】ファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を小さくし還流を防ぐことで、流路での損失を少なくし、還流による乱流から発生する騒音を低減することができ、また、流路を形成するための構成部品点数を抑え、かつ流路構成が容易になることで、コスト増加を抑え開発期間の短縮することができるファンフィルターユニットを提供することを目的とする。【解決手段】主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５をチャンバー内１に有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５とオリフィス８の間隙を小さくするため、オリフィス８の内側に円周状の凸部を設けることで、高効率で低騒音のファンフィルターユニットが得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に一つの円周状の凸部を形成したファンフィルターユニット。
【請求項２】
主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に複数の円周状の凸部を形成したファンフィルターユニット。
【請求項３】
主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に一つの円周状の凸部を形成したファンフィルターユニット。
【請求項４】
主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に複数の円周状の凸部を形成したファンフィルターユニット。
【請求項５】
主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に一つの断続的な凸部を形成したファンフィルターユニット。
【請求項６】
主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に複数の断続的な凸部を形成したファンフィルターユニット。
【請求項７】
主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に一つの断続的な凸部を形成したファンフィルターユニット。
【請求項８】
主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に複数の断続的な凸部を形成したファンフィルターユニット。
【請求項９】
主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凹部を形成したファンフィルターユニット。
【請求項１０】
主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凸部を形成したファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置などに搭載されて空気清浄に使用される送風ファンとそのオリフィスのファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置などに搭載され、空気清浄をおこなうファンフィルターユニットは、流路に吸音部材を配置することにより低騒音を維持しつつ流れの損失を少なく導流することを実現していた（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−８６２９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来の低騒音を維持しつつ空気の流れの損失を少なく導流するための構成では、流路を形成するための構成部品点数が増加することとなりコスト増加になるという課題がある。
【０００４】
また、開発時において流路を形成するための構成部品の構成が複雑となることで高度な設計が必要になり開発期間の増加するという課題がある。
【０００５】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を小さくし還流を防ぐことで、流路での損失を少なくし、還流による乱流から発生する騒音を低減することができる。
【０００６】
また、流路を形成するための構成部品点数を抑え、かつ流路構成が容易になることで、コスト増加を抑え開発期間の短縮することができるファンフィルターユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のファンフィルターユニットは上記目的を達成するために、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に一つの円周状の凸部を形成したものである。
【０００８】
この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙をオリフィスの内側に設けた一つの円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減し、また流路を形成するための構成部品点数を抑え、かつ流路構成が容易になることで、コスト増加を抑え開発期間の短縮するファンフィルターユニットが得られる。
【０００９】
また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に複数の円周状の凸部を形成したものである。
【００１０】
この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙をオリフィスの内側に複数の円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。
【００１１】
また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に一つの円周状の凸部を形成したものである。
【００１２】
この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を送風ファンの側板に一つの円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。
【００１３】
また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に一つの円周状の凸部を形成したものである。
【００１４】
この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を送風ファンの側板に一つの円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。
【００１５】
また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に複数の円周状の凸部を形成したものである。
【００１６】
この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を送風ファンの側板に複数の円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。
【００１７】
また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に一つの断続的な凸部を形成したものである。
【００１８】
この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙をオリフィスの内側に一つの断続的な凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。
【００１９】
また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に一つの断続的な凸部を形成したものである。
【００２０】
この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を送風ファンの側板に一つの断続的な凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。
【００２１】
また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記送風ファンの側板に複数の断続的な凸部を形成したものである。
【００２２】
この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を送風ファンの側板に複数の断続的な凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。
【００２３】
また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凹部を形成したものである。
【００２４】
この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙をオリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凹部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。
【００２５】
また他の手段は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凸部を形成したものである。
【００２６】
この手段によりファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙をオリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凸部で小さくすることで還流を防ぐことができ、流路での損失を少なくして還流による乱流から発生する騒音を低減するファンフィルターユニットが得られる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、ファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を小さくして還流を防ぐことで、流路での損失を少なくし、還流による乱流から発生する騒音を低減することができる。
【００２８】
また、流路を形成するための構成部品点数を抑え、かつ流路構成が容易になることで、コスト増加を抑え、開発期間の短縮することができる効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明の請求項１記載の発明は、主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に一つの円周状の凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。
【００３０】
また、請求項２記載の発明は、オリフィスの内側に複数の円周状の凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。
【００３１】
また、請求項３記載の発明は、送風ファンの側板に一つの円周状の凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。
【００３２】
また、請求項４記載の発明は、送風ファンの側板に複数の円周状の凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。
【００３３】
また、請求項５記載の発明は、オリフィスの内側に一つの断続的な凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。
【００３４】
また、請求項６記載の発明は、オリフィスの内側に複数の断続的な凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。
【００３５】
また、請求項７記載の発明は、送風ファンの側板に一つの断続的な凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。
【００３６】
また、請求項８記載の発明は、送風ファンの側板に複数の断続的な凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。
【００３７】
また、請求項９記載の発明は、オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凹部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。
【００３８】
また、請求項１０記載の発明は、オリフィスの内側に円周状の凸部と前記送風ファンの側板に円周状の凸部を形成したものであり、空気導入口より吸い込まれた空気が送風ファンにより外周から吹き出され、オリフィスと送風ファンの間隙から戻ることなくフィルターから吹き出されてファンの効率があがり、騒音も低減できるという作用を有する。
【００３９】
これまでの実験の結果、間隙については実現性の観点から０．５ｍｍから３ｍｍの範囲が考えられる。
【００４０】
しかしながら、非接触であることと安定性を考えれば２ｍｍくらいがファンの効率と騒音の低減で望ましい。
【００４１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００４２】
（実施の形態１）
図１に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファンを回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５とオリフィス８の間隙を小さくするためにオリフィス８を送風ファン５側へ絞り込んで還流防止部であるオリフィス凸部１１を形成している。
【００４３】
上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。
【００４４】
（実施の形態２）
図２に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファンを回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５とオリフィス８の間隙を小さくするためにオリフィス８を送風ファン５側へ絞り込んで還流防止部である複数のオリフィス凸部１５を形成している。
【００４５】
上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。
【００４６】
（実施の形態３）
図３に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５の側板３に一つの円周状の側板凸部１２を形成している。
【００４７】
上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。
【００４８】
（実施の形態４）
図４に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５の側板３に複数の円周状の側板凸部１６を形成している。
【００４９】
上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。
【００５０】
（実施の形態５）
図５に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記オリフィス８の内側に一つの断続的な凸部１３を形成している。断続的な状態の凸部１３であっても、空気のもどり防止には有効である。
【００５１】
上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。
【００５２】
（実施の形態６）
図６に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記オリフィス８の内側に複数の断続的な凸部１３を形成している。断続的な状態の凸部１３であっても、空気のもどり防止には有効である。
【００５３】
上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。
【００５４】
（実施の形態７）
図７に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５の側板３に一つの断続的な凸部１４を形成している。断続的な状態の凸部１３であっても、空気のもどり防止には有効である。
【００５５】
上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。
【００５６】
（実施の形態８）
図８に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記送風ファン５の側板３に複数の断続的な凸部１８を形成している。
【００５７】
上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。
【００５８】
（実施の形態９）
図９に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記オリフィス８の内側に円周状の凸部１１と前記送風ファン５の側板３に円周状の凹部１９を形成している。
【００５９】
上記構成において、空気導入口７より吸い込まれた空気が送風ファン５により外周から吹き出され、オリフィス８と送風ファン５の間隙から戻ることなくフィルター９から吹き出されることとなる。
【００６０】
（実施の形態１０）
図１０に示すように、チャンバー１内に主板２と側板３と複数のブレード４で形成された送風ファン５と、この送風ファン５を回転させるモーター６を有し、前記チャンバー１の一方には空気導入口７に設けたオリフィス８を、他方にはフィルター９と吹出口１０を設け、前記オリフィス８の内側に円周状の凸部１１と送風ファン５の側板３に円周状の凸部２０を形成している。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
以上のように本発明によれば、半導体製造装置内で清浄な空気を供給するファンフィルターユニット、特に空気を搬送するためのファン構造において、各種風量を流路損失が少ないことで高効率、低騒音で搬送するのに好適な低コストのファンフィルターユニットに関わる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を示す断面図
【図２】本発明の実施の形態２の構成を示す断面図
【図３】本発明の実施の形態３の構成を示す断面図
【図４】本発明の実施の形態４の構成を示す断面図
【図５】本発明の実施の形態５の構成を示す断面図
【図６】本発明の実施の形態６の構成を示す断面図
【図７】本発明の実施の形態７の構成を示す断面図
【図８】本発明の実施の形態８の構成を示す断面図
【図９】本発明の実施の形態９の構成を示す断面図
【図１０】本発明の実施の形態１０の構成を示す断面図
【符号の説明】
【００６３】
１  チャンバー
２  主板
３  側板
４  ブレード
５  送風ファン
６  モーター
７  空気導入口
８  オリフィス
９  フィルター
１０  吹出口
１１  オリフィス凸部
１２  側板凸部
１３  凸部
１４  凸部
１５  オリフィス凸部
１６  側板凸部
１７  凸部
１８  凸部
１９  凹部
２０  凸部
【図１】
2005291016.tif 000003
【図２】
2005291016.tif 000004
【図３】
2005291016.tif 000005
【図４】
2005291016.tif 000006
【図５】
2005291016.tif 000007
【図６】
2005291016.tif 000008
【図７】
2005291016.tif 000009
【図８】
2005291016.tif 000010
【図９】
2005291016.tif 000011
【図１０】
2005291016.tif 000012