(57)【要約】【課題】半導体生産ラインにおいて、キャリアストッカを効率的に運用することのできる技術を提供する。【解決手段】第１着工装置２で処理されるウエハの入ったキャリア、例えばプロダクションロット用キャリアの第１キャリアストッカ３における格納スペースを確保するため、第１キャリアストッカ３に格納されているプロダクションロット以外のウエハが入ったキャリアを第２キャリアストッカ７の空きスペース８に自動的に払い出す際、プロダクションロット以外のウエハが入ったキャリアの払い出しのタイミングを第１キャリアストッカ３におけるプロダクションロット以外のウエハが入ったキャリアの格納時間で決定する、または進行管理コントローラからの指示で適時実施することにより、プロダクションロット用キャリアが第１キャリアストッカ３で着工待ちとなる確率を高くする。【選択図】図１
2005109072.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着工装置で処理されるウエハの入った第１キャリアの第１キャリアストッカにおける格納スペースを確保するため、前記第１キャリアストッカに格納されている第２キャリアを他のキャリアストッカに自動的に払い出す半導体搬送システムであって、
前記第２キャリアの払い出しのタイミングは、前記第１キャリアストッカにおける前記第２キャリアの格納時間で決まることを特徴とする半導体搬送システム。
【請求項２】
着工装置で処理されるウエハの入った第１キャリアの第１キャリアストッカにおける格納スペースを確保するため、前記第１キャリアストッカに格納されている第２キャリアを他のキャリアストッカに自動的に払い出す半導体搬送システムであって、
前記第２キャリアの払い出しのタイミングは、進行管理コントローラからの指示で適時実施されることを特徴とする半導体搬送システム。
【請求項３】
着工装置で処理されるウエハの入った第１キャリアの第１キャリアストッカにおける格納スペースを確保するため、前記第１キャリアストッカに格納されている第２キャリアを他のキャリアストッカに自動的に払い出す半導体搬送システムであって、
前記第２キャリアの払い出しのタイミングは、前記第１キャリアストッカにおける前記第２キャリアの格納時間で決まり、前記格納時間は前記第２キャリアの属性毎に任意に設定できることを特徴とする半導体搬送システム。
【請求項４】
着工装置で処理されるウエハの入った第１キャリアの第１キャリアストッカにおける格納スペースを確保するため、前記第１キャリアストッカに格納されている第２キャリアを他のキャリアストッカに自動的に払い出す半導体搬送システムであって、
前記第２キャリアの払い出しのタイミングは、前記第１キャリアストッカにおける前記第２キャリアの格納時間で決まり、前記第２キャリアが前記第１キャリアストッカに格納されている間、前記第１キャリアは工程間走行通路を巡回する、または進行方向に存在するキャリアストッカに一時的に格納されることを特徴とする半導体搬送システム。
【請求項５】
着工装置で処理されるウエハの入った第１キャリアの第１キャリアストッカにおける格納スペースを確保するため、前記第１キャリアストッカに格納されている第２キャリアを他のキャリアストッカに自動的に払い出す半導体搬送システムであって、
前記第２キャリアの払い出しのタイミングは、進行管理コントローラからの指示で適時実施され、前記第２キャリアが前記第１キャリアストッカに格納されている間、前記第１キャリアは工程間走行通路を巡回する、または進行方向に存在するキャリアストッカに一時的に格納されることを特徴とする半導体搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造装置で処理されるウエハの入ったキャリアの自動搬送技術に関し、特に、キャリアを格納するキャリアストッカの運用に適用して有効な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体生産ラインにおいて用いられるキャリアストッカに関して、様々な運用方法が提案されている。
【０００３】
例えば、装置とストッカ間、およびストッカとストッカ間をＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）で搬送するクリーン搬送系において、待機用ストッカを用意し、待機用ストッカ以外のストッカには空棚確保数を設定し、ストッカの空棚数が設定した空棚確保数を下回ると、そのストッカ内のワークを待機用ストッカに搬送し、ストッカに常に必要数の空棚を確保するようにして、処理したワークを装置からストッカに搬送する際にストッカ満杯による搬送停止を発生させない方法が開示されている（特許文献１）。
【０００４】
また、半導体製造装置では処理されないウエハよりなる特定用途のロットと半導体製造装置で処理されるウエハよりなるロットとを保管するストッカと、ロットの搬送制御を司る搬送ホストコンピュータとを備え、特定用途のロットが一のストッカに入庫時、一のストッカからのロットの入庫報告を受け、搬送ホストコンピュータがタイマを起動し、ストッカに入庫されたロットのうち、特定用途のロットについては、タイマのタイムアウト発生をもってロットの処理が完了したものとみなし、一のストッカに対して、次工程への搬送指示を送出する方法が開示されている（特許文献２）。
【特許文献１】特開２００１−３０１４６号公報
【特許文献２】特開２００１−２１７２９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載されたワークの搬送方法は、キャリアストッカ内の空きスペースを確保するため、常に１個以上の空きスペースを確保せざるをえない。すなわちキャリアストッカ内にキャリアが格納されていないスペースが常に存在するので、キャリアストッカを効率的に運用しているとは言えない。
【０００６】
また、上記特許文献２に記載された特殊用途のロットの搬送制御システムは、特定用途のウエハが入ったキャリアがキャリアストッカ内に格納され続ける時間をタイマで計測し、設定時間を超過すると該当キャリアを他のキャリアストッカへ搬送している。しかし、本提案が対象とするキャリアは、製造設備では処理されない特定用途のウエハが入ったキャリア（例えばクリーンルーム内のダストモニタ）であり、製造設備やキャリアストッカの効率的な運用には寄与しない。
【０００７】
本発明の目的は、半導体生産ラインにおいて、キャリアストッカを効率的に運用することのできる技術を提供することにある。
【０００８】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１０】
本発明による半導体搬送システムは、着工装置で処理されるウエハの入った第１キャリアの第１キャリアストッカにおける格納スペースを確保するため、第１キャリアストッカに格納されている第２キャリアを他のキャリアストッカに自動的に払い出す際、第２キャリアの払い出しのタイミングを第１キャリアストッカにおける第２キャリアの格納時間で決める、または進行管理コントローラからの指示で適時実施するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００１２】
着工装置で処理されるウエハの入ったキャリアが、次の着工装置の仕掛かりとして適切なキャリアストッカに工程間搬送され、着工待ちになる確率が高くなることから、キャリアストッカの高効率運用を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１４】
本実施の形態では、半導体生産ラインにおいて、着工装置で処理されるウエハの入ったキャリア（第１キャリア；例えばプロダクションロット用キャリア、製造装置ＱＣ（Quality Control）ロット用キャリア、特性評価用ロット等であり、以下、単に処理ロット用キャリアと言う）が優先的に工程間搬送される。工程間搬送された処理ロット用キャリアは、次の着工装置に割り当てられたキャリアストッカ（第１キャリアストッカ）で着工待ちとなる。
【００１５】
上記キャリアストッカに空きスペースが無く、かつ着工装置で処理されるウエハ以外のウエハが入ったキャリア（第２キャリア；以下、単に否処理ロット用キャリアと言う）がキャリアストッカに格納されている場合、処理ロット用キャリアの格納スペースを確保するために、否処理ロット用キャリアは他のキャリアストッカに工程間搬送手段によって自動搬送される。なお否処理ロット用キャリアとは、キャリアストッカにただ保管され続けているキャリア全てを言う。
【００１６】
処理ロット用キャリアの格納スペースを確保するために、否処理ロット用キャリアは１つのキャリアストッカに長時間格納されない。所定の格納時間を設定し、時間超過の場合は自動的に他のキャリアストッカに工程間搬送手段によって搬送される。なお格納時間はキャリア（またはロット）の属性毎に任意に設定することができる。
【００１７】
また、処理ロット用キャリアがキャリアストッカへの格納を要求した場合、進行管理コントローラの指示で否処理ロット用キャリアを他のキャリアストッカに自動搬送して、処理ロット用キャリアの格納スペースを適時、自動的に確保することもできる。なお格納時間の設定による運用と進行管理コントローラの指示で実施される適時な自動搬送による運用とは、製造ライン管理者によって任意に選択される。
【００１８】
このように、本実施の形態によれば、処理ロット用キャリアが次の着工装置の仕掛かりとして適切なキャリアストッカで着工待ちとなる確率が高くなり、キャリアストッカにおいて常に処理ロット用キャリアの格納用スペースを確保できる頻度が高くなるので、キャリアストッカを効率的に運用することができる。これにより、１つの処理ロット用キャリア当たりのサイクルタイム（工程仕掛かりから工程完了までの時間）を最低にでき、さらに着工装置の稼動率を高くすることができる。またサイクルタイムの低減および着工装置の稼働率上昇が達成できるので、半導体生産ラインの各製造工程間で設定されているＱ−Ｔｉｍｅ（技術的理由で決まる前工程終了から次工程開始までの制限時間）の管理が容易になる。
【００１９】
本実施の形態による半導体搬送システムの一例を図１および図２を用いて具体的に説明する。
【００２０】
図１は、本実施の形態である半導体生産ラインの見取り図であり、図中、１は第１着工ベイ、２は第１着工装置、３は第１キャリアストッカ、４は第１工程間搬送手段（ウエハを異なる工程間で行き来させるための搬送で、比較的距離の長い搬送）、５は第１工程内搬送手段（ウエハを同一工程内で装置まで持って行ったり装置から持って来たりするための搬送で、比較的距離の短い搬送）、６は工程間走行通路、７は第２キャリアストッカ、８は空きスペース、９は空の工程間搬送手段、１０は空きスペース、１１は第３キャリアストッカ、１２は工程内走行通路、１３は着工装置の空のロードポート、１４は着工装置の充のロードポートである。図２は、本実施の形態である半導体生産ラインの情報系統を示す図である。
【００２１】
図１に示すように、第１着工ベイ１にある第１着工装置２には、第１キャリアストッカ３が割り付けられている。今、第１着工装置２で処理されるウエハの入ったキャリア、例えばプロダクションロット用キャリアを搬送中の第１工程間搬送手段（例えばＯＨＳ（Overhead Shuttle ）４が、徐徐に第１着工装置２に近づきつつある。ここで、第１キャリアストッカ３には、新たにキャリアを格納できる空きスペースはない。
【００２２】
キャリアストッカの運用に効率化が図られていない場合、第１工程間搬送手段４は、第１キャリアストッカ３に空きスペースが工程進行上で自然にできるまでプロダクションロット用キャリアを第１キャリアストッカ３に格納することができない。従って第１着工装置２にもプロダクションロット用キャリアを第１工程内搬送手段（例えばＲＧＶ（Rail Guide Vehicle））５によって搬送することができない。
【００２３】
図２に示すように、進行管理コントローラは着工装置のコントローラおよび搬送系コントローラを管理し、搬送系コントローラはキャリアストッカ、工程間搬送手段および工程内搬送手段を管理する。さらに進行管理コントローラからの情報で、搬送系コントローラはベイステーションに格納されているキャリアの情報を得ている。このキャリア情報とは、例えばキャリア−ＩＤ、ロット−ＩＤ、Location、属性等である。属性とはキャリアの属性であり、すなわちプロダクションロット用キャリアであるか否かを意味している。
【００２４】
製造ラインの管理者は、第１キャリアストッカ３においてプロダクションロット用キャリアを格納するスペースを確保するため、プロダクションロット以外のウエハが入ったキャリアの格納時間を１０分に設定する。第１着工装置２に仕掛かるプロダクションロット用キャリアを搬送中の第１工程間搬送手段４が第１キャリアストッカ３に到着した時、プロダクションロット以外のウエハが入ったキャリアの格納時間経過が７分３０秒であったとすると、第１工程間搬送手段４は、プロダクションロット用キャリアを第１キャリアストッカ３に格納せずに通過する。さらに第１工程間搬送手段４はプロダクションロット用キャリアを格納できるタイミングを待ちながら、工程間走行通路６を巡回し続ける。なお第１工程間搬送手段４が保持するプロダクションロット用キャリアは進行方向に存在するキャリアストッカに一時的に格納される場合もある。
【００２５】
２分３０秒後に、第１キャリアストッカ３内のプロダクションロット以外のウエハが入ったキャリアが、第２キャリアストッカ７の空きスペース８に自動搬送される。搬送指示は進行管理コンピュータが搬送系コントローラに対して指示し、さらに搬送系コントローラが空の工程間搬送手段９に指示して実行される。工程間走行通路６を巡回中の第１工程間搬送手段４は、再び第１キャリアストッカ３に到着、停止し、プロダクションロット以外のウエハの入ったキャリアが搬送された後の空きスペース１０にプロダクションロット用キャリアを格納する。なお払い出されたプロダクションロット以外のウエハが入ったキャリアは、製造ライン内に設置されたプロダクションロット以外のウエハが入ったキャリアを格納する専用の第３キャリアストッカ１１に搬送後、格納してもよい。
【００２６】
また、製造ラインの管理者が、第１キャリアストッカ３でプロダクションロット以外のウエハが入ったキャリアの払い出し方法を進行管理コントローラの指示で実施される適時な自動搬送による運用に切り替えることにより、第１キャリアストッカ３内のプロダクションロット以外のウエハが入ったキャリアを、第１工程間搬送手段４が接近、到着する前に、例えば第３キャリアストッカ１１に搬送し、格納することもできる。
【００２７】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００２８】
例えば、本実施の形態では、工程間自動搬送手段としてＯＨＳ、工程内自動搬送手段としてＲＧＶを例示したが、これに限定されるものではなく、例えばＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）、ＡＧＶなどを用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明の半導体搬送システムは、自動キャリア搬送システムを有する半導体装置の生産ラインに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施の形態である半導体生産ラインの見取り図である。
【図２】本発明の一実施の形態である半導体生産ラインの情報系統を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  第１着工ベイ
２  第１着工装置
３  第１キャリアストッカ
４  第１工程間搬送手段
５  第１工程内搬送手段
６  工程間走行通路
７  第２キャリアストッカ
８  空きスペース
９  空の工程間搬送手段
１０  空きスペース
１１  第３キャリアストッカ
１２  工程内走行通路
１３  着工装置の空のロードポート
１４  着工装置の充のロードポート
【図１】
2005109072.tif 000003
【図２】
2005109072.tif 000004