(57)【要約】【課題】プラズマ処理により最適な表面粗さを形成し、密着性の高いプラスチックフィルムを提供する。【解決手段】プラスチックフィルム面を粗化するプラズマ処理を行った後、金属薄膜を被覆するプラスチックフィルム製造装置において、ロール状のプラスチックフィルム１３をモータ１８部の回転駆動により所定の速度で巻き出しロール２から巻出し、プラスチックフィルム１３を案内するとともに高周波電力を印加するための円筒形の電極５と、電極５を通過後にプラスチックフィルム１３の粗化のレベルを検知するセンサー１７とを有し、センサー１７からの検知信号と、制御装置１９内に予め設定される基準信号とを比較してその比較信号に応じて巻出しロール２の巻出し速度を制御する。【選択図】図１
2005247944.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波電力を印加してグロー放電下でプラスチックフィルム面を粗化するプラズマ処理を行った後、金属薄膜を被覆するプラスチックフィルム製造装置において、
巻き出しロールに巻かれたプラスチックフィルムを、モータ部の回転駆動により所定の速度で巻き出し、巻き出された前記プラスチックフィルムを案内するとともに前記高周波電力を印加するための円筒形の電極と、当該電極を通過後に前記プラスチックフィルムの粗化のレベルを検知するセンサーとを有し、
前記センサーからの検知信号と、前記モータ部と高周波電力を制御する制御装置内に予め設定される基準信号とを比較してその比較信号に応じて前記巻出しロールの巻出し速度を制御して前記プラスチックフィルムを所定のレベルに粗化した後、前記プラスチックフィルム上に前記金属薄膜を被覆することを特徴とするプラスチックフィルム製造装置。
【請求項２】
高周波電力を印加してグロー放電下でプラスチックフィルム面を粗化するプラズマ処理を行った後、金属薄膜を被覆するプラスチックフィルム製造装置において、
巻き出しロールに巻かれたプラスチックフィルムを、モータ部の回転駆動により所定の速度で巻き出し、巻き出された前記プラスチックフィルムを案内するとともに前記高周波電力を印加するための円筒形の電極と、当該電極を通過後に前記プラスチックフィルムの粗化のレベルを検知するセンサーとを有し、
前記センサーからの検知信号と、前記モータ部と高周波電力を制御する制御装置内に予め設定される基準信号とを比較してその比較信号に応じて前記円筒形の電極に印加する前記高周波電力を制御して前記プラスチックフィルムを所定のレベルに粗化した後、前記プラスチックフィルム上に前記金属薄膜を被覆することを特徴とするプラスチックフィルム製造装置。
【請求項３】
前記プラスチックフィルムを粗化するプラズマ処理は、窒素プラズマ処理であることを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載のプラスチックフィルム製造装置。
【請求項４】
前記プラスチックフィルムは、ポリイミドであることを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載のプラスチックフィルム製造装置。
【請求項５】
前記プラスチックフィルムの金属薄膜が被覆される側の一側端部に前記センサーにてプラズマ処理後の粗化のレベルを検知するためにモニタ用の膜を塗布していることを特徴とする請求項1又は請求項２のいずれかに記載のプラスチックフィルム製造装置。
【請求項６】
前記モニタ用膜は、前記巻き出しロールから巻き出される前記プラスチックフィルムの巻き出し開始部のみに前記プラズマ処理による粗化の容易な金属材料により形成されることを特徴とする請求項５に記載のプラスチックフィルム製造装置。
【請求項７】
前記金属材料は、銅或いはアルミニウム、金のいずれかであることを特徴とする請求項６に記載のプラスチックフィルム製造装置。
【請求項８】
前記センサーは前記プラスチックフィルムを透過するための光源を内蔵して前記プラズマ処理にて粗化されたレベルを検知するためにプラスチックフィルムを透過した光量を検知する透過型であることを特徴とする請求項４に記載のプラスチックフィルム製造装置。
【請求項９】
前記基準信号は、モニタ用膜が除去される粗化レベル時の透過光量に相当する検知信号とすることを特徴とする請求項５に記載のプラスチックフィルム製造装置。
【請求項１０】
前記センサーは前記プラスチックフィルム面を粗化するプラズマ処理室と、当該プラズマ処理後に当該粗化されたプラスチックフィルム上に金属薄膜を成膜する成膜室の間に設置されることを特徴とする請求項４に記載のプラスチックフィルム製造装置。
【請求項１１】
高周波電力を印加してグロー放電下でプラスチックフィルム面を粗化するプラズマ処理を行った後、金属薄膜を被覆するプラスチックフィルム製造方法において、
巻き出しロールに巻かれたプラスチックフィルムを、モータ部の回転駆動により所定の速度で巻き出し、巻き出された前記プラスチックフィルムを案内するとともに前記電極に高周波電力を印加し、当該電極を通過後に前記プラスチックフィルムの粗化のレベルを検知するセンサーとを有し、
前記センサーからの検知信号と、前記モータ部と高周波電力を制御する制御装置内に予め設定される基準信号とを比較してその比較信号に応じて前記巻出しロールの巻出し速度を制御して前記プラスチックフィルムを所定のレベルに粗化した後、前記プラスチックフィルム上に前記金属薄膜を被覆することを特徴とするプラスチックフィルム製造方法。
【請求項１２】
高周波電力を印加してグロー放電下でプラスチックフィルム面を粗化するプラズマ処理を行った後、金属薄膜を被覆するプラスチックフィルム製造方法において、
巻き出しロールに巻かれたプラスチックフィルムを、モータ部の回転駆動により所定の速度で巻き出し、巻き出された前記プラスチックフィルムを案内するとともに前記電極に高周波電力を印加し、当該電極を通過後に前記プラスチックフィルムの粗化のレベルを検知するセンサーとを有し、
前記センサーからの検知信号と、前記モータ部と高周波電力を制御する制御装置内に予め設定される基準信号とを比較してその比較信号に応じて前記円筒形の電極に印加する前記高周波電極を制御して前記プラスチックフィルムを所定のレベルに粗化した後、前記プラスチックフィルム上に前記金属薄膜を被覆することを特徴とするプラスチックフィルム製造方法。
【請求項１３】
前記プラスチックフィルムを粗化するプラズマ処理は、窒素プラズマ処理であることを特徴とする請求項１１又は請求項１２のいずれかに記載のプラスチックフィルム製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマ処理後、金属薄膜を被覆するプラスチックフィルムの製造装置及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プラスチックフィルムの表面に金属粒子をＰＶＤ法により成膜する時は、密着性を高めるために、前処理として、プラズマ処理によるプラスチックフィルム表面の表面改質を行う場合が多い。また最近では、プラズマ処理による表面改質の度合いを、成膜を行う前に測定する装置も提案されている。
その一例として、従来のプラズマ処理方法は、真空チャンバ内にプラズマ発生室、プラズマ引出し系、基板ホルダ等が配置され、基板ホルダに設置される基板の近傍にプラズマ測定用プローブを設置される共に、プラズマ測定用プローブからの信号を処理するプローブデータ処理装置を設置されており、基板近傍のプラズマの空間電位が所定の値になるまで、基板材料あるいは基板上の薄膜をプラズマ処理し、その表面層を改質するものである。また、この方法により処理する基板の膜質が枚葉毎に一定しない場合や、基板の処理面積にわたって膜質分布がある場合でも均一に安定して表面層を改質できるとしている。（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平２−２３２９２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前記従来の構成では、基板近傍のプラズマの空間電位を測定用プローブで間接的に測定しており、処理条件としての空間電位の所定の値は経験的な数値であるため、プラスチックフィルム製膜装置においては目的どおり表面が処理されたかどうかは完成品において密着強度を測定しないとわからないという課題を有していた。
【０００４】
本発明は、従来の課題を解決するもので、プラズマ処理後のフィルムの表面粗さをリアルタイムに且つ直接的に検知することができる装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記従来の課題を解決するために、本発明のプラスチックフィルム製造装置は、高周波電力を印加してグロー放電下でプラスチックフィルム面を粗化するプラズマ処理を行った後、金属薄膜を被覆するプラスチックフィルム製造装置において、巻き出しロールに巻かれたプラスチックフィルムを、モータ部の回転駆動により所定の速度で巻き出し、巻き出された前記プラスチックフィルムを案内するとともに前記高周波電力を印加するための円筒形の電極と、当該電極を通過後に前記プラスチックフィルムの粗化のレベルを検知するセンサーとを有し、前記センサーからの検知信号と、前記モータ部と高周波電力を制御する制御装置内に予め設定される基準信号とを比較してその比較信号に応じて前記巻出しロールの巻出し速度を制御して前記プラスチックフィルムを所定のレベルに粗化した後、前記プラスチックフィルム上に前記金属薄膜を被覆することを特徴としたものである。
【０００６】
また、本発明のプラスチックフィルム製造装置は、高周波電力を印加してグロー放電下でプラスチックフィルム面を粗化するプラズマ処理を行った後、金属薄膜を被覆するプラスチックフィルム製造装置において、巻き出しロールに巻かれたプラスチックフィルムを、モータ部の回転駆動により所定の速度で巻き出し、巻き出された前記プラスチックフィルムを案内するとともに前記高周波電力を印加するための円筒形の電極と、当該電極を通過後に前記プラスチックフィルムの粗化のレベルを検知するセンサーとを有し、前記センサーからの検知信号と、前記モータ部と高周波電力を制御する制御装置内に予め設定される基準信号とを比較してその比較信号に応じて前記円筒形の電極に印加する前記高周波電力を制御して前記プラスチックフィルムを所定のレベルに粗化した後、前記プラスチックフィルム上に前記金属薄膜を被覆することを特徴としたものである。
【０００７】
また、本発明のプラスチックフィルム製造方法は、高周波電力を印加してグロー放電下でプラスチックフィルム面を粗化するプラズマ処理を行った後、金属薄膜を被覆するプラスチックフィルム製造方法において、巻き出しロールに巻かれたプラスチックフィルムを、モータ部の回転駆動により所定の速度で巻き出し、巻き出された前記プラスチックフィルムを案内するとともに前記電極に高周波電力を印加し、当該電極を通過後に前記プラスチックフィルムの粗化のレベルを検知するセンサーとを有し、前記センサーからの検知信号と、前記モータ部と高周波電力を制御する制御装置内に予め設定される基準信号とを比較してその比較信号に応じて前記巻出しロールの巻出し速度を制御して前記プラスチックフィルムを所定のレベルに粗化した後、前記プラスチックフィルム上に前記金属薄膜を被覆することを特徴としたものである。
【０００８】
また、本発明のプラスチックフィルム製造方法は、高周波電力を印加してグロー放電下でプラスチックフィルム面を粗化するプラズマ処理を行った後、金属薄膜を被覆するプラスチックフィルム製造方法において、巻き出しロールに巻かれたプラスチックフィルムを、モータ部の回転駆動により所定の速度で巻き出し、巻き出された前記プラスチックフィルムを案内するとともに前記電極に高周波電力を印加し、当該電極を通過後に前記プラスチックフィルムの粗化のレベルを検知するセンサーとを有し、前記センサーからの検知信号と、前記モータ部と高周波電力を制御する制御装置内に予め設定される基準信号とを比較してその比較信号に応じて前記円筒形の電極に印加する前記高周波電極を制御して前記プラスチックフィルムを所定のレベルに粗化した後、前記プラスチックフィルム上に前記金属薄膜を被覆することを特徴としたものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のプラスチックフィルムの製造装置によれば、プラズマ処理されたプラスチックフィルムの表面粗さの度合いをリアルタイムに検知することができる。また、フィードバック機構により、プラスチックフィルムを巻出すスピードをコントロールできるため、プラズマ処理により最適な表面粗さを形成し、密着性の高いプラスチックフィルムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明のプラスチックフィルムの製造装置及びその製造方法の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１は、本発明のプラスチックフィルムの製造装置の装置構成例を示す図である。図２は、プラスチックフィルム１３の上面図で、プラスチックフィルムの粗化レベルを検知するためのモニタ用膜２０がプラスチックフィルム１３の一側端部に形成されている。
【００１２】
図１において、１は真空槽、２は巻出し部としての巻出しロール、３は巻取り部としての巻取りロール、４はフィルム加熱手段（ＩＲヒータ）、５ａと５ｂはフィルムを案内するための回転機構とフィルム冷却機能を具備した、円筒形で且つ、フィルムと接触する面に凹凸が形成された第１の電極と第２の電極、そして、第１の電極５ａ側面の一部分には少なくとも、導電部材で構成され、該一部分に、高周波電力を供給するために、６ａ、６ｂの高周波電源と７ａ、７ｂのマッチングボックスがあり、８ａは蒸発源、８ｂは第３の電極、９ａ、９ｂはガス供給部であり、薄膜付与部はこれらにより構成される。１０ａ、１０ｂは遮蔽板、１１ａ、１１ｂはガイドロール、１２ａから１２ｃは真空ポンプ、１３はプラスチックフィルム（ここで、本発明で使用されるプラスチックフィルムとしては、カプトン（東レ・デュポン（株））、ユーピレックス（宇部興産（株））、アピカル（鐘淵化学工業（株））などの商品名として市場で入手できるポリイミドフィルムを使用した。）である。また、１７は透過型のセンサー、１８はモータ、１９は高周波電源６ｂの高周波電力および、１８のモータの回転速度を制御する制御装置である。
【００１３】
真空槽１内において遮蔽板１０ａにより分離された部分の巻出しロール２の置かれた側は、フィルム室１４と呼ばれる。遮蔽板１０ａで分離され、プラズマ処理により粗化されたプラスチックフィルム１３に蒸着して金属薄膜を付与する付与部の設けられた側は、成膜室１５と呼ばれる。遮蔽板１０ｂで分離され、プラズマ処理用の電極が配置された部分はプラズマ処理室１６と呼ばれる。フィルム室１４と成膜室１５プラズマ処理室１６は、それぞれ真空ポンプ１２ａ、１２ｂ、１２ｃにより真空排気される。
【００１４】
次に図1の製造装置及び図４に示すフローチャートを用いて、本発明の製造工程を説明する。
【００１５】
ステップ１において、真空ポンプ１２ａによりフィルム室１４の真空引きを行う。フィルム室１４を真空ポンプ１２ａにより１０-3Ｐａ以下に真空引きし、フィルム室１４にプラスチックフィルム１３を巻出し用のモータ１８により巻出しロール２から巻出していく。巻出されたプラスチックフィルム１３は真空ポンプ１２ａにより真空引きされる。
【００１６】
次に、スッテプ２において、加熱・脱水処理を行う。フィルム加熱手段４でプラスチックフィルム１３を加熱することにより、プラスチックフィルム１３の表面に付着及び内部に吸着している水分をガス化させる。そしてガス化した水分は、真空ポンプ１２ａによって排気される。これにより、ガス化した水分が拡散して真空槽の内部やガイドロールに再付着することを防止できる。
【００１７】
次にステップ３において、プラスチックフィルム１３はプラズマ処理を行う。即ち、加熱・脱水処理を終えたプラスチックフィルム１３はプラズマ処理室１６、プラズマ処理用の第２の電極５ｂを通過する。プラズマ処理室１６にはガス供給部９ｂから、窒素ガスを導入し、プラズマ処理室１６内の真空度は１０-3Ｐａから１０-1Ｐａ範囲に保つ。高周波電源６ｂからマッチングボックス７ｂを介して第２の電極５ｂに、周波数１３．５６ＭＨｚの高周波電力を印加する。印加される高周波電力は１５０Ｗから１ｋＷに制御される。プラズマ処理室１６には、高周波電源６ｂからの高周波電力の印加により、第２の電極５ｂと第３の電極８ｂ間でグロー放電が発生し、窒素ガスがイオン化されるとともに、第２の電極５ｂ上のプラスチックフィルム１３の極近傍に約２００Ｖから約１０００Ｖの負の誘起直流電圧が生じる。
【００１８】
プラズマ処理室１６において、該グロー放電下でイオン化された窒素ガスにより、プラスチックフィルム１３の表面はボンバード処理される。
【００１９】
また、該グロー放電下でイオン化された窒素ガスは、プラスチックフィルム１３を構成する原子をたたき、例えば炭素と水素の結合や、窒素と水素の結合を切るため、プラスチックフィルム１３上に特定の原子と化学的に反応しやすい官能基が形成される。即ち、官能基は後のステップ５でプラスチックフィルム１３上に蒸着される蒸着材料の蒸着粒子と化学的に結合し、密着性のよい蒸着膜が形成される。
【００２０】
次に、ステップ４において、プラスチックフィルムの表面粗さの度合いの検知を行う。即ち、プラズマ処理室１６を通過したプラスチックフィルム１３は、透過型のセンサー１７を通過する。
【００２１】
ここで、プラスチックフィルム１３は、図２に示すように、プラスチックフィルム１３の一側端部にモニタ用膜２０が塗布されている。モニタ用膜２０は銅、アルミ、金のようなエッチングの容易な材料、好ましくは銅を使用し、ＰＶＤ法により約１０Åから約１０００Åの薄膜形成を行う。ＰＶＤ法の例としては真空蒸着、スパッタ蒸着、イオンプレーティングなどがあげられる。モニタ用膜２０は、巻き出しロール２の所定の開始部分のプラスチックフィルム部分に塗布される。もちろん、開始部分のみでなく、開始部分と中間部分に、又、所定の間隔を設けてプラスチックフィルム１３上に塗布し、間歇的にプラスチックフィルム１３の粗化レベルを検知して粗化レベルをほぼリアルタイムで制御することも可能である。
【００２２】
また、透過型のセンサー１７は図３に示すように、光源を内蔵し検出媒体となる光を投射する役目を持つ投光器２１と、投光器２１の投射光を受け電気信号に変換する受光素子２６を内蔵した受光器２５を対向させて配置し、投光器２１を出た光はレンズ２３により一直線に受光器２５の入光窓に投射される。対向配置された投光器２１と受光器２５の間が検出範囲であり、この間を通過する検出体２４が投射光を遮断し、受光器２５に入射する光量が減少すると受光器２５に内蔵された光電変換素子（受光素子２６）の電気的特性が変化するので、これを検出し、回路２７で増幅し物体検出信号とする。また、受光器２５の受光素子２６としてはフォトダイオード、フォトトランジスタ等が使用される。受光素子２６に流れる電流値は投射される光の強度に比例する。そのため、受光素子２６に流れる電流値を測定することにより、前述ステップ３においてボンバード処理を行ったプラスチックフィルム１３の透過率を検知することができる。
【００２３】
プラスチックフィルム１３の表面は前述ステップ３により、プラズマ処理室１６内でボンバード処理されているため、プラスチックフィルム１３の側端部に塗布されたモニタ用膜２０はイオン化された窒素ガスにより、たたかれ、削られ、膜厚が変化しており、モニタ用膜２０を透過する光量が変化している。透過型のセンサー１７でその部分に光を透過させ、その透過光を受光することにより流れる電流を検知信号として、表面粗さの度合いの検知を行う。即ち、透過型のセンサー１７で検知された検知信号と予め設定される基準信号を制御装置１９内の比較器（図示せず）で比較し、その比較信号に合わせた制御信号を巻きだしロール２のモータ１８のフィードバック信号とする。
【００２４】
なお、基準信号は、プラスチックフィルム１３の表面を粗化した後に金属薄膜を形成して所定の剥離強度が得られる粗化レベル時の透過型のセンサー１７にて検知される透過信号のレベルを制御装置１９に設定する。
【００２５】
通常は、モニタ用膜２０が除去される粗化レベルの時の透過光量に相当する検知信号を基準信号として制御装置１９内に設定する。モニタ用膜２０は、金属材料が塗布されているので、モニタ用膜２０が粗化されて除去されると急激にセンサー１７にて透過光量が増大するので、基準信号に相当する透過光量時の検知は容易である。また、基準信号に相当する粗化レベルの設定は、モニタ用膜２０が除去されるレベル以外にも設定してよい。
【００２６】
透過型のセンサー１７のフィードバック機構により制御装置１９において、透過型のセンサー１７の検知信号と制御装置１９内に設定される基準信号とを比較し、その比較結果に応じた信号をモータ１８にフィードバックし、実現したい表面粗さの度合いを制御装置１９で制御することができる。即ち、制御装置１９によりモータ１８の回転速度を制御し、表面粗さの度合いが大きい場合は、巻出しロール２の巻出すスピードを速く、表面粗さの度合いが小さい場合は、巻出しロール２の巻出すスピードを遅くと、プラスチックフィルム１３の進むスピードを変化し、ボンバード処理の時間の調節を行う。更に、電極５ｂに印加する高周波電力を制御し、表面粗さの度合いが大きい場合は、印加する高周波電力を低く、表面粗さの度合いが小さければ高周波電力を高くと変化させ、ボンバード処理におけるプラスチックフィルム１３の表面粗化のレベルの調節を行う。これらにより、プラスチックフィルム１３の表面は常に最適な表面粗さに保たれ、高い剥離強度を得ることができる。
【００２７】
次に、ステップ５において、プラスチックフィルム１３上に成膜を行う。即ち、透過型のセンサー１７を通過したプラスチックフィルム１３は、ガイドロール１１ａ、遮蔽板１０ａを経て、成膜室１５に入る。成膜室１５では、ガス供給部９ａより、アルゴン，キセノン，クリプトンのような不活性ガス，好ましくはアルゴンを導入し、成膜室１５内の真空度は１０-3Ｐａから１０-1Ｐａの範囲に保つ。高周波電源６ａからマッチングボックス７ａを介して第１の電極５ａに、周波数１３．５６ＭＨｚ、電力１５０Ｗから１ｋＷを印加すると、第１の電極５ａと蒸発源８ａ間でグロー放電が発生し、プラスチックフィルム１３近傍に約２００Ｖから約１０００Ｖの負の誘起直流電圧が生じる。そして、該グロー放電下で、蒸発源８ａを溶融する。その結果、グロー放電中に存在する電離プラズマにより、金属はイオン化され、励起種となり、高エネルギーの状態で銅が前述ステップ３で粗化されたプラスチックフィルム１３上に蒸着され所望の剥離強度をもつ銅薄膜が成膜される。
【００２８】
本実施例では、銅または銅を含む主成分とする合金からなる金属、好ましくは銅の全重量比に占める割合が９９．９９％以上の合金を用いる。また、抵抗加熱方式又は、電子ビーム方式を用いて蒸発源８ｂを溶融させ、成膜室１５ｂ内のプラスチックフィルム１３に３０００Åから５０００Åの薄膜を形成する。
【００２９】
成膜終了後、プラスチックフィルム１３は遮蔽板１０ａを経て、フィルム室１４に入り、ガイドロール１１ｂを経て、巻取りロール３にいたる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明にかかるプラスチックフィルム及びその製造方法及びそれを応用したフレキシブル回路基板は、密着性が非常に強固でエッチングによるファインパターン化が可能なフレキシブル回路基板を提供でき、携帯電話、ＰＤＡ（パーソナル・デジタル・アシスタント）、ノートブック型パソコン、デジタル・スチル・カメラ、液晶ディスプレイ等の電子回路に有用である。
【００３１】
本発明のプラズマ処理後に形成する、銅の膜厚に加えて、プラスチックフィルム１３に、電気めっき銅を約２０μｍ厚付けし、ＪＩＳ  Ｃ６４８１（９０°ピール）に準じて９０°引き剥がし試験を行ったところ、剥離強度が１Ｎ/ｍｍ以上の高い値を示した。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施例１におけるプラスチックフィルム製造装置を模式的に示す図
【図２】本発明の実施例１におけるプラスチックフィルムの上面図
【図３】本発明の実施例１における透過型のセンサーを示す図
【図４】本発明の実施例１におけるプラスチックフィルムの製造工程のフローチャート
【符号の説明】
【００３３】
１  真空槽
２  巻出しロール
３  巻取りロール
４  フィルム加熱手段
５ａ  第１の電極
５ｂ  第２の電極
６ａ、６ｂ  高周波電源
７ａ、７ｂ  マッチングボックス
８ａ  蒸発源
８ｂ  第３の電極
９ａ、９ｂ  ガス供給部
１０ａ、１０ｂ  遮蔽板
１１ａ、１１ｂ  ガイドロール
１２ａ〜１２ｃ  真空ポンプ
１３  プラスチックフィルム
１４  フィルム室
１５  成膜室
１６  プラズマ処理室
１７  透過型のセンサー
１８  モータ
１９  制御装置
２０  モニタ用膜
２１  投光器
２２  投光素子
２３  レンズ
２４  検出体
２５  受光器
２６  受光素子
２７  回路
【図１】
2005247944.tif 000003
【図２】
2005247944.tif 000004
【図３】
2005247944.tif 000005
【図４】
2005247944.tif 000006