(57)【要約】【課題】  基板処理装置等のメンテナンス、装置の改造等による装置データの設定漏れ、装置データの入力ミス等の発生を防止すること。【解決手段】基板処理装置を改造する前に各コントローラと通信を行って、各コントローラの装置データを収集して記憶し、また、改造後に各コントローラと通信を行って各コントローラの装置データを収集して記憶し、改造前後の装置データを装置データ比較手段で比較して、装置データの異なる箇所を表示することにより、改造後の装置データの設定等のミスを防止する。【選択図】    図１
2005209998.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置における装置データの管理システムであって、基板処理装置に組み込まれたコントローラと通信を行う通信手段と、該通信手段によりコントローラに記憶している装置データを収集する装置データ収集手段と、該装置データ収集手段で収集した装置データを日時毎に記憶する装置データ記憶手段と、該装置データ記憶手段から日時の異なる装置データを読み出して項目毎に装置データを比較する装置データ比較手段と、該装置データ比較手段で項目毎に装置データを比較した結果を表示する表示手段を設けたことを特徴とする装置データの管理システム。
【請求項２】
前記装置データは、コントローラに記憶されているプロセス処理の制御を行うための制御パラメータおよびプロセスシーケンス、または制御パラメータ若しくはプロセスシーケンスであることを特徴とする請求項１記載の装置データの管理システム。
【請求項３】
前記装置データ比較手段は、前記装置データ記憶手段から読み出した日時の異なる装置データの一方を装置データの基準データとして比較することを特徴とする請求項１記載の装置データの管理システム。
【請求項４】
基板処理装置における装置データの管理方法であって、基板処理装置に組み込まれたコントローラに記憶している装置データを通信により収集する装置データ収集ステップと、収集した装置データを日時毎に記憶する装置データ記憶ステップと、記憶した日時の異なる装置データを読み出して項目毎に装置データを比較する装置データ比較ステップと、項目毎に装置データを比較した結果を表示する表示ステップとからなることを特徴とする装置データの管理方法。
【請求項５】
前記装置データは、コントローラに記憶されているプロセス処理の制御を行うための制御パラメータおよびプロセスシーケンス、または制御パラメータ若しくはプロセスシーケンスであることを特徴とする請求項４記載の装置データの管理方法。
【請求項６】
前記装置データ比較ステップは、前記装置データ記憶ステップから読み出した日時の異なる装置データの一方を装置データの基準データとして比較することを特徴とする請求項４記載の装置データの管理方法。
【請求項７】
基板処理装置における装置データの管理プログラムであって、基板処理装置に組み込まれたコントローラに記憶している装置データを通信により収集する装置データ収集ステップと、収集した装置データを日時毎に記憶する装置データ記憶ステップと、記憶した日時に対応した装置データを読み出して項目毎に装置データを比較する装置データ比較ステップと、項目毎に装置データを比較した結果を表示する表示ステップとからなることを特徴とする装置データの管理プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置等におけるコントローラに記憶されている装置データの管理システム、装置データの管理方法および装置データの管理プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
種々の処理液（薬液、リンス液等）を夫々貯留した複数の処理槽を備えた基板処理装置は、ウエハ等の基板を基板搬送装置によって処理工程順に処理槽の処理液に浸漬させて洗浄等の処理が行われる。なお、基板処理装置は、複数の処理槽等を結合してラインを構成している。
【０００３】
図１０は、従来の基板処理装置の要部の構成の一例を示す概略図である。図１０に示すように、従来の基板処理装置３０は、種々の処理液が貯留されてなる複数の処理槽３１〜３６、チャック洗浄槽３８，３９、乾燥槽４０、未処理基板立替装置４５、処理済基板立替装置４６、搬送軌道４８を移動する基板搬送装置Ｒ１，Ｒ２、Ｒ３とを有する。基板搬送装置Ｒ１，Ｒ２、Ｒ３は、１本の搬送軌道４８上を移動するように構成されている。基板搬送装置Ｒ１は、未処理基板立替装置４５から搬入される基板を保持して処理槽３１、３２、３３，３４の順次浸漬させて移送する。搬入された基板は処理槽３１〜３４で洗浄等の処理が行われる。基板搬送装置Ｒ２は、処理槽３４で処理を終えた基板を後段の処理槽３５、３６に順次浸漬させて移送し、処理槽３５、３６で基板の洗浄等の処理が行われた基板は、乾燥槽４０に移送される。乾燥槽４０で乾燥処理を終えた基板は、基板搬送装置Ｒ３により処理済基板立替装置４６に受け渡される。なお、処理槽３４で基板搬送装置Ｒ１と基板搬送装置Ｒ２との基板の受渡が行われ、また、乾燥槽４０で基板搬送装置Ｒ２と基板搬送装置Ｒ３との基板の受渡が行われる。基板搬送装置での基板の受渡が行われる処理槽を乗継槽という。なお、図１０に示す基板搬送装置Ｒ１，Ｒ２、Ｒ３はカセットレス方式のものである。
【０００４】
基板処理装置３０の処理槽３１〜３６、基板搬送装置Ｒ１〜Ｒ３等には、コントローラが内蔵または接続されており、処理槽の洗浄処理、基板の搬送等は、コントローラによって制御される。コントローラは、ウエハの洗浄処理の制御を行うためのプロセスシーケンス及びウエハの薬液による処理時間、薬液濃度、薬液温度等の制御パラメータを記憶している。なお、プロセスシーケンスおよび制御パラメータをコントローラの装置データと称する。
【０００５】
基板処理装置のコントローラは、プロセスシーケンスおよび制御パラメータに基づいて、プログラムを実行して、洗浄等の処理を行う。しかしながら、プログラムに、不具合が存在すると処理装置等が正常に動作しなかったり、動作不能になってしまい、生産に支障が生ずることがある。
【０００６】
このため、基板処理装置内のプログラムに不具合やバグが存在していても、その発見を容易に行える基板処理装置が特許文献１に開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−１８５４６４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
基板処理装置は、定期的なメンテナンス、基板の処理対象品種の変更に伴う装置の改造等が行われる。メンテナンス、装置の改造後に基板処理装置の動作チェックを行って、装置が正常に動作するか否かを確認する必要がある。装置の改造後の動作確認を改造する前の装置データとしてのプロセスシーケンス、制御パラメータをそのまま使用して行うと、時間が掛かり確認作業の効率が悪くなるため、改造を行っていない箇所に関する装置データは、設定時間を短くしたり、削除して、必要な項目のみ動作チェックを行う。その後、装置データを正規の値に設定する。
【０００９】
しかしながら、装置データを正規の値に設定する場合に、設定項目が多いため、装置データの設定漏れ、装置データの入力ミス等が発生することがある。さらに、設定項目のデータを１つずつ確認する必要があるため、設定した装置データの確認のために時間を要していた。
また、特許文献１に開示された基板表面処理装置は、プログラムの不具合やバグの発見を行うことができるが、装置データの設定ミスに関しては、検知することができない。このため、メンテナンスや改造後に、装置データが正規の装置データに設定されているかを、短時間で確認でき、また、異常な装置データを表示して、容易に修正できることが望まれている。
【００１０】
そこで本発明は、装置を改造する前のコントローラの装置データを通信により収集して記憶し、改造後のコントローラの装置データを通信により収集して、改造前後の装置データを自動的に比較して、比較結果をモニタに表示することにより、改造後の装置データの設定等のミスを防止することが可能な装置データの管理システム、装置データの管理方法および装置データの管理プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明による装置データの管理システムは、基板処理装置における装置データの管理システムであって、基板処理装置に組み込まれたコントローラと通信を行う通信手段と、該通信手段によりコントローラに記憶している装置データを収集する装置データ収集手段と、該装置データ収集手段で収集した装置データを日時毎に記憶する装置データ記憶手段と、該装置データ記憶手段から日時の異なる装置データを読み出して項目毎に装置データを比較する装置データ比較手段と、該装置データ比較手段で項目毎に装置データを比較した結果を表示する表示手段を設けたことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明による装置データの管理システムの前記装置データは、コントローラに記憶されているプロセス処理の制御を行うための制御パラメータおよびプロセスシーケンス、または制御パラメータ若しくはプロセスシーケンスであることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明による装置データの管理システムの前記装置データ比較手段は、前記装置データ記憶手段から読み出した日時の異なる装置データの一方を装置データの基準データとして比較することを特徴とする。
【００１４】
本発明による装置データの管理方法は、基板処理装置における装置データの管理方法であって、基板処理装置に組み込まれたコントローラに記憶している装置データを通信により収集する装置データ収集ステップと、収集した装置データを日時毎に記憶する装置データ記憶ステップと、記憶した日時の異なる装置データを読み出して項目毎に装置データを比較する装置データ比較ステップと、項目毎に装置データを比較した結果を表示する表示ステップとからなることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明による装置データの管理方法の前記装置データは、コントローラに記憶されているプロセス処理の制御を行うための制御パラメータおよびプロセスシーケンス、または制御パラメータ若しくはプロセスシーケンスであることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明による装置データの管理方法の前記装置データ比較ステップは、前記装置データ記憶ステップから読み出した日時の異なる装置データの一方を装置データの基準データとして比較することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明による装置データの管理プログラムは、基板処理装置における装置データの管理プログラムであって、基板処理装置に組み込まれたコントローラに記憶している装置データを通信により収集する装置データ収集ステップと、収集した装置データを日時毎に記憶する装置データ記憶ステップと、記憶した日時に対応した装置データを読み出して項目毎に装置データを比較する装置データ比較ステップと、項目毎に装置データを比較した結果を表示する表示ステップとからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明による装置データの管理システム、装置データの管理方法および装置データの管理プログラムによれば、メンテナンス、装置の改造後の装置データを改造前の装置データと比較して、比較結果をモニタに表示することにより、装置改造後の異常な装置データをチェックすることができるため、装置データの設定のミスを防止することができ、装置改造前の装置データにより生産を再開することができる。
【００１９】
また、本発明による装置データの管理システムおよび装置データの管理方法によれば、前もって基準データとなる装置データを記憶しておき、稼働中の装置データと基準データとを定期的に比較することにより、生産中の誤った装置データの設定や記憶装置の不安定な動作等による異常な装置データをチェックすることができるため、基板処理装置等は、常に安定した稼働を行うことができる。
【００２０】
また、異常な装置データによる不良品の生産を防止することができるため、製品の歩留り低下を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下図面を参照して本発明による装置データの管理システム、装置データの管理方法および装置データの管理プログラムについて説明する。なお、本発明による装置データの管理システム、装置データの管理方法および装置データの管理プログラムは、装置を改造する前のコントローラの装置データを通信により収集して記憶し、改造後のコントローラの装置データを通信により収集して、改造前後の装置データを自動的に比較して、比較結果をモニタに表示することにより、改造後の装置データの設定等のミスを防止するようにしたものである。
【００２２】
図１は、基板処理装置等に使用する装置データの管理システムを示す構成図である。図１に示すように装置データの管理システムは、装置データの収集、比較を行う管理用コンピュータ２と、基板処理装置全体の制御および各ユニット間の制御を行う制御コントローラ３と、基板処理装置外に設置されている薬液タンク、エアーコンプレッサ等からの薬液、エアー等のユーティリティ（以下、用力という）を処理槽等に供給するための制御を行う用力用ＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）５と、ウエハを処理槽に搬送制御する搬送用ＰＬＣ６と、ウエハの装填、取り出しを制御するローダアンローダ用ＰＬＣ７と、各処理槽毎の洗浄処理等を制御する処理槽用ＰＬＣ８と、管理用コンピュータ２が制御コントローラ３および各ＰＬＣとの通信を行うための通信ネットワーク１０で構成される。
【００２３】
図１に示すように、装置データの収集、比較処理を行う管理用コンピュータ２は、制御、演算等を行うＣＰＵ（図示せず）と、装置データの管理プログラムを記憶するメモリ（図示せず）と、日時を管理するタイマ（図示せず）と、フロッピー（登録商標）ディスク、メモリカード等の記録媒体の書き込み読み出しを行うドライブ装置２ａと、ＬＣＤモニタ２ｂ等の表示装置の制御を行う表示回路（図示せず）と、キーボード２ｃ、マウス２ｅ、タッチパネル２ｄ等の制御を行う入出力回路（図示せず）と、通信を行うための通信回路（図示せず）で構成されている。また、管理用コンピュータ２には、表示装置としてのＬＣＤモニタ２ｂ、入力装置としてのキーボード２ｃ、マウス２ｅ、タッチパネル２ｄが接続されている。また、管理用コンピュータ２は、通信ネットワーク１０を介して制御コントローラ３および各ＰＬＣと通信が行えるようになっている。
【００２４】
基板処理装置全体の制御および各処理槽等のユニット間の制御を行う制御コントローラ３は、制御、演算等を行うＣＰＵと、プログラム、データを記憶するメモリと、外部との通信を行う通信用インタフェースを有している。制御コントローラ３のメモリを構成するデータ保持用メモリ１３（図２に示す）には、ロットの管理データ、各処理槽の洗浄時間、処理液の交換時間等の装置データとしての制御パラメータが記憶されている。制御コントローラ３は、通信ネットワーク１０を介して各ＰＬＣに指令を発して、各ＰＬＣを制御できるように構成されている。
【００２５】
用力用ＰＬＣ５は、基板処理装置外に設置されている薬液タンクからの薬液等を処理槽に供給するための制御を行うものである。用力用ＰＬＣ５は、通信ネットワーク１０を介して制御コントローラ３から送信される指令により用力の制御を行う。
【００２６】
搬送用ＰＬＣ６は、未処理のウエハを格納したバッファーよりウエハを取り出して処理槽まで搬送し、処理済みのウエハを次の処理槽に搬送する基板搬送装置を制御するものである。搬送用ＰＬＣ６は、通信ネットワーク１０を介して制御コントローラ３から送信される指令により、基板搬送装置の制御を行う。
【００２７】
ローダアンローダ用ＰＬＣ７は、ウエハを収納したカセットを基板搬送装置との受渡し位置に移動してカセットのウエハを基板搬送装置に供給したり、基板搬送装置からのウエハを受け取ってカセットに収容する動作を制御するものである。
【００２８】
処理槽用ＰＬＣ８は、薬液等によりウエハの処理を行う処理槽の薬液供給バルブの開閉、処理槽内のウエハを基板受渡部と処理槽内を昇降する昇降機構等を制御するものである。
【００２９】
なお、処理槽用ＰＬＣ８等の各ＰＬＣの記憶装置１５（図２に示す）は、制御コントローラ３からの指令に基づいて処理槽等の制御を行うための装置データとしてのプロセスシーケンスを記憶している。
【００３０】
通信ネットワーク１０は、管理用コンピュータ２がハブを介して制御コントローラ３、用力用ＰＬＣ５、搬送用ＰＬＣ６、ローダアンローダ用ＰＬＣ７、各処理槽用ＰＬＣ８との装置データ等の通信を行うことができるように構成されている。
【００３１】
なお、図１に示す装置データの管理システムは、図１０に示すチャック洗浄槽、乾燥槽、未処理基板立替装置、処理済基板立替装置のコントローラは含まれていないが、これらのコントローラは、基板処理装置の構成により追加することができ、装置データの管理システムの実施の形態は図１に示す構成に限定するものではない。
【００３２】
次に、図１に示す制御コントローラ３の構成について図２を用いて説明する。図２は、制御コントローラ３の構成を示すブロック図である。図２に示すように、制御コントローラ３は、演算、制御を行うＣＰＵ１２と、装置データとしての制御パラメータ等のデータを保持するデータ保持用メモリ１３と、制御プログラムを読み出してプログラムを実行するプログラム実行用メモリ１４と、制御プログラム、リアルタイムモニタ等を記憶した記憶装置１５と、外部からの信号をコントローラに入力するための入力用モジュール１６と、コントローラから外部へ信号を出力する出力用モジュール１７と、通信ネットワーク１０に接続して管理用コンピュータ２と通信を行うための通信用モジュール１８とから構成されている。なお、ＣＰＵ１２は、バス１９を介して各メモリ、記憶装置１５および各モジュールへの読み出し書き込みが行えるようになっている。
【００３３】
制御コントローラ３の装置データとしての制御パラメータを保持するデータ保持用メモリ１３は、装置の電源がＯＦＦになっても、データを保持する不揮発性のメモリで構成されている。なお、各ＰＬＣのハードウエアの構成は、図２に示す制御コントローラ３と同一であり、各ＰＬＣの装置データとしてのプロセスシーケンスは、図２に示す記憶装置１５に記憶されている。
【００３４】
次に、装置データとしての制御パラメータおよびプロセスシーケンスについて、図３乃至図５を用いて説明する。図３は、図１および図２に示す制御コントローラ３のデータ保持用メモリ１３に記憶されている装置データとしての制御パラメータの一例を示す図である。図３に示すように、データ保持用メモリ１３には、被洗浄物の処理の形態に従って、項目として各処理槽における液交換タイマの時間、洗浄カウンタ等のパラメータがあり、項目毎にパラメータの設定値（ＳＶ値という）と、パラメータの設定可能範囲（Ｒａｎｇｅという）と、現在値（ＰＶ値という）と、動作のＯＮ，ＯＦＦを指定するスイッチの設定状態（ＳＷという）からなる装置データが記憶されている。例えば、処理槽における薬液等の交換時間をＳＶ値として記憶しておき、ＰＶ値がＳＶ値に達した場合には、処理槽に薬液の交換を指示するようにする。
【００３５】
また、各ＰＬＣの記憶装置１５には、処理槽等の動作モードを規定する装置データとしてのプロセスシーケンスのオペレーションコード等が記憶されている。動作モードは、処理槽における処理動作の単位であり、各動作モード毎にステップ数と、各ステップのオペレーションコード（Ｏｐｅ  ｃｏｄｅ）と動作時間（Ｔｉｍｅ）とが記憶されている。各ＰＬＣは、制御コントローラ３から発せられた動作モードに基づいて動作を行う。図４（ａ）は、リンス処理における動作モードの設定内容を示す図である。また、図４（ｂ）は、リンス処理における動作モードのオペレーションコード（Ｏｐｅ  ｃｏｄｅ）の配列および各ビットの意味を示した図である。
【００３６】
図４（ａ）に示すように、動作モードは、動作モードのステップ毎に、動作を規定するオペレーションコード（Ｏｐｅ  ｃｏｄｅ）とその動作時間（Ｔｉｍｅ（ｓｅｃ））が規定されている。なお、図４（ｂ）に示す終了およびＬＯＯＰは制御コードであり、終了は動作モードの最終ステップを示し、ＬＯＯＰは繰り返し動作であることを示す。図４（ａ）に示すＳｔｅｐ１のＯｐｅ  ｃｏｄｅは“０００１”であり、図４（ｂ）に示すオペレーションコードの配列より、Ｏｐｅ  ｃｏｄｅ“０００１”は給水バルブを開く動作であり、給水バルブを開く時間は、（Ｔｉｍｅ（ｓｅｃ））のデータから６０秒となっている。また、図４（ａ）に示すＳｔｅｐ２のＯｐｅ  ｃｏｄｅは“０００１２”であり、図４（ｂ）に示すオペレーションコードの配列より、Ｏｐｅ  ｃｏｄｅ“００１２”はＤＩＷ排水とシャワーの両バルブを開く動作であり、バルブを開く時間は、５秒となっている。図４（ａ）に示すＳｔｅｐ４およびＳｔｅｐ５の動作は、ＬＯＯＰ（繰り返し）動作であり、制御コントローラ３の制御パラメータで指定されるサイクルカウンタで設定されている回数の繰り返し動作を行うものである。
【００３７】
図５は、図４（ａ）に示す動作モードをタイムチャートで示した図である。図５に示すように、処理槽用ＰＬＣ８は、制御コントローラ３から指示された動作モードをステップ番号順に動作を実行してリンス処理を行う。
【００３８】
基板処理装置は、定期的なメンテナンス、基板の処理対象品種の変更に伴う装置の改造等が行われる。メンテナンス、装置の改造後に、基板処理装置が改造する前の装置データに設定されているかをチェックする必要がある。次に、図６乃至図８を用いて、基板処理装置のメンテナンス、改造前後の装置データとしての制御パラメータおよびプロセスシーケンスを自動的に比較する装置データの管理方法について述べる。なお、装置データの比較処理等は、管理用コンピュータ２のメモリに記憶されている装置データの管理プログラムを実行することにより行われる。図６は、基板処理装置の改造前後の装置データを自動的に比較する装置データの管理方法を示すフローチャートである。図７は、制御コントローラ３に記憶されている各項目に対して改造前後の装置データとしての制御パラメータを比較した結果を表形式の一覧で管理用コンピュータ２のＬＣＤモニタ２ｂに表示した例を示す図である。また、図８は、ＰＬＣに記憶されている各項目に対して改造前後の装置データとしてのプロセスシーケンスを比較した結果を表形式の一覧で管理用コンピュータ２のＬＣＤモニタ２ｂに表示した例を示す図である。
【００３９】
図６に示すように、最初に、管理用コンピュータ２により改造、メンテナンス等の作業開始前の制御コントローラ３の装置データとしての制御パラメータと、各ＰＬＣの装置データとしてのプロセスシーケンスを通信ネットワーク１０を介して取得し、取得した装置データ（１）を記憶装置または記録媒体に取得した日時のデータと共に記憶する（ステップＳ１）。次に、改造、メンテナンス等の作業を行い、各装置で単独のテストにより動作を確認する（ステップＳ２）。管理用コンピュータ２により改造、メンテナンス等の作業終了後の制御コントローラ３および各ＰＬＣの装置データを通信ネットワーク１０を介して取得し、取得した装置データ（２）を記憶装置または記録媒体に取得した日時のデータと共に記憶する（ステップＳ３）。次に、管理用コンピュータ２は、改造前に記憶した装置データ（１）と改造後に記憶した装置データ（２）との項目毎の比較処理を行う（ステップＳ４）。装置データの比較処理は、日時の異なる改造前の装置データと改造後の装置データとの同一項目毎に行われる。装置データの比較結果は、ＬＣＤモニタ２ｂに表示される（ステップＳ５）。
【００４０】
図７に改造前後の項目毎の装置データとしての制御パラメータおよび比較した結果をＬＣＤモニタ２ｂに表示した例を示す。図７に示すように、左欄には装置データとしての制御パラメータの項目が表示され、次の欄には、工事前の装置データ、工事後の装置データの順に項目毎に表示される。工事前の装置データと工事後の装置データとのＳＶ値の比較と、ＳＷ（スイッチ）のＯＮ／ＯＦＦ状態の比較結果は、ＳＶチェック欄、ＯＮ／ＯＦＦチェック欄にそれぞれ表示されている。工事前の装置データと工事後の装置データが一致している場合には、ＯＫが表示され、データが異なるときにはＮＧが表示される。なお、図７に示す比較結果の表示は、ＳＶおよびＳＷのみ表示しているが、他のＲａｎｇｅ，ＰＶについても同様に比較、表示が行えるようになっている。
【００４１】
また、図８に、プロセスシーケンスの動作モードに於ける改造前の装置データと改造後の装置データとしてのプロセスシーケンスおよび比較した結果をＬＣＤモニタ２ｂに表示した例を示す。図８に示すように、項目毎の工事前の装置データのＡ列からＤ列までのデータと工事後の装置データのＥ列からＨ列までのデータとの比較が列毎に行われて、工事前の装置データと工事後の装置データが一致している場合には、ＯＫが表示され、装置データが異なるときにはＮＧが表示される。
【００４２】
図７および図８に示すように、各項目に対して改造前の装置データと改造後の装置データおよび比較した結果が管理用コンピュータ２の液晶モニタに表示されるため、容易に装置データの異なる箇所をチェックすることができる。比較処理での改造前の装置データと改造後の装置データとが一致しているかをチェックして（ステップＳ６）、ＬＣＤモニタ２ｂにＮＧが表示さた装置データの修正を行い（ステップＳ７）、修正後、再度ステップＳ３に移行して、装置データが一致しているかを検証する。
【００４３】
以上述べたように、本発明による装置データの管理システムおよび装置データの管理方法によれば、メンテナンス、装置の改造等による装置データを改造前の装置データと比較して、装置データの比較結果を表示することにより、異常な装置データをチェックすることができ、装置データの設定のミスを防止することができる。
【００４４】
なお、本発明の装置データの管理システムおよび装置データの管理方法は、ウエハ等の基板の洗浄処理を行う基板処理装置について述べたが、他の半導体製造装置についても適用することができる。
【実施例】
【００４５】
次に、図９に示すフローチャートを用いて、前もって設定した基準データとロット開始前等の装置データを自動的に比較する装置データの管理方法について述べる。なお、以下に述べる装置データの管理方法は、基準データとなる装置データを前もって記憶しておき、稼働中の装置データと基準データとをロット開始前に比較することにより、生産中の誤った装置データの設定や記憶装置の不安定な動作等による異常な装置データをチェックするためのものである。
【００４６】
最初に、管理用コンピュータ２により制御コントローラ３の装置データとしての制御パラメータと、各ＰＬＣの装置データとしてのプロセスシーケンスを通信ネットワーク１０を介して取得し、取得した装置データを基準データとして記憶装置または記録媒体に取得した日時のデータと共に記憶しておく（ステップＳ２０）。なお、このときに取得した装置データは、装置データを比較する際の基準データとなり、以後装置データの比較処理で基準データとして使用するものである。
【００４７】
次に、基板生産のロット開始時であるかを確認する（ステップＳ２１）。基板生産がロットの開始時でない場合には、通常の基板処理を継続する。ロット開始時の場合には、管理用コンピュータ２により制御コントローラ３および各ＰＬＣの装置データを通信ネットワーク１０を介して取得し、取得した装置データを記憶装置または記録媒体に取得した日時のデータと共に記憶する（ステップＳ２２）。次に、管理用コンピュータ２は、装置データの基準データとロット開始前に記憶した装置データとの比較処理を行う（ステップＳ２３）。装置データの比較処理は、装置データの基準データとロット開始前の装置データとの同一項目に関して行われる。各項目に対して装置データの基準データとロット開始前の装置データおよび比較した結果を表形式の一覧で管理用コンピュータ２のＬＣＤモニタ２ｂに表示する（ステップＳ２４）。装置データが基準データと一致してしているかをチェックして（ステップＳ２５）、ＬＣＤモニタ２ｂにＮＧが表示さた装置データの修正を行い（ステップＳ２６）、修正後、再度ステップＳ２２に移行して、装置データが一致しているかを検証する。
【００４８】
以上述べたように、基準となる装置データを前もって基準データとして記憶しておき、ロット開始時の装置データと比較することにより、生産中の誤った装置データの設定や記憶装置の不安定な動作等による異常な装置データをチェックすることができ、基板処理装置等は、常に安定した稼働を行うことができる。
【００４９】
また、異常な装置データによる不良品の生産を防止することができるため、製品の歩留り低下を防ぐことができる。
【００５０】
なお、実施例としてロット開始前の装置データを基準データと自動的に比較する装置データの管理方法について述べたが、装置データの比較処理は、ロット開始前に限らず適時行うようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】基板処理装置等に使用する装置データの管理システムを示す構成図である。
【図２】制御コントローラの構成を示すブロック図である。
【図３】制御コントローラのデータ保持用メモリに記憶されている制御パラメータの一例を示す図である。
【図４】（ａ）は、リンス処理における動作モードの設定内容を示す図であり、（ｂ）は、リンス処理における動作モードのオペレーションコード（Ｏｐｅ  ｃｏｄｅ）の配列および各ビットの意味を示した図である。
【図５】図４（ａ）に示す動作モードをタイムチャートで示した図である。
【図６】基板処理装置の改造前後の装置データを自動的に比較する装置データの管理方法を示すフローチャートである。
【図７】制御コントローラに記憶されている各項目に対して改造前の装置データと改造後の装置データを比較した結果を表形式の一覧で管理用コンピュータのＬＣＤモニタに表示した例を示す図である。
【図８】ＰＬＣに記憶されている各項目に対して改造前の装置データと改造後の装置データを比較した結果を表形式の一覧で管理用コンピュータのＬＣＤモニタに表示した例を示す図である。
【図９】ロット開始時の装置データを基準データと比較する装置データの管理方法を示すフローチャートである。
【図１０】従来の基板処理装置の要部の構成の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５２】
２    管理用コンピュータ
２ａ  ドライブ装置
２ｂ  ＬＣＤモニタ
２ｃ  キーボード
２ｄ  タッチパネル
２ｅ  マウス
３    制御コントローラ
５    用力用ＰＬＣ
６    搬送用ＰＬＣ
７    ローダアンローダ用ＰＬＣ
８    処理槽用ＰＬＣ
１０  通信ネットワーク
１２  ＣＰＵ
１３  データ保持用メモリ
１４  プログラム実行用メモリ
１５  記憶装置
１６  入力用モジュール
１７  出力用モジュール
１８  通信用モジュール
１９  バス
３０        基板処理装置
３１〜３６  処理槽
３８、３９  チャック洗浄槽
４０        乾燥槽
４５        未処理基板立替装置
４６        処理済基板立替装置
４８        搬送軌道
Ｒ１，Ｒ２、Ｒ３    基板搬送装置
【図１】
2005209998.tif 000003
【図２】
2005209998.tif 000004
【図３】
2005209998.tif 000005
【図４】
2005209998.tif 000006
【図５】
2005209998.tif 000007
【図６】
2005209998.tif 000008
【図７】
2005209998.tif 000009
【図８】
2005209998.tif 000010
【図９】
2005209998.tif 000011
【図１０】
2005209998.tif 000012