(57)【要約】      （修正有）【課題】ウエハを汚染することなく、作業性よく、確実にウエハカセットから３本脚の縦型ウエハボートに一括移載できるウエハ一括移載方法を提供する。【解決手段】本ウエハ一括移載方法は、多数のウエハＷが収容されたウエハカセット２と、熱処理用ボート３を互いにウエハ挿入側を対向させて一直線上に配置し、多数のアーム溝４ａが設けられた搬送アーム４をウエハカセット２の反ウエハ挿入側に一直線上に配置し、多数のコ字状アーム溝６ａが設けられたコ字型搬送アーム６をボート３の反ウエハ挿入側に一直線上に配置し、搬送アーム４を水平に移動し、コ字型搬送アーム６を熱処理用ボート３の反ウエハ挿入側に立設された脚を離間して挟むように水平移動して、ウエハカセット２に収容された複数のウエハをアーム溝４ａ及びコ字状アーム溝６ａで一括支持し、ウエハを支持しながらボート側に水平移動し、このボート３に一括して移載する。【選択図】  図２
2005101445.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウェーハ載置用カセット溝で多数のウェーハを支持し収容するウェーハカセットと、前記カセット溝と同一溝ピッチを有するボート溝が設けられた熱処理用ボートを互いにウェーハ挿入側を対向させるとともにカセット溝とボート溝の高さが一致するように配置し、先端に前記溝ピッチと同一ピッチを有する多数のウェーハ載置用アーム溝が設けられた搬送アームをその溝と前記カセット溝の高さが一致するように前記ウェーハカセットの反ウェーハ挿入側に一直線上に配置し、先端に前記溝ピッチと同一ピッチを有する多数のウェーハ載置用コ字状アーム溝が設けられたコ字型搬送アームをその溝と前記カセット溝の高さが一致するように前記熱処理用ボートの反ウェーハ挿入側に一直線上に配置し、前記搬送アームを水平に移動し、前記コ字型搬送アームを前記熱処理用ボートの反ウェーハ挿入側に立設された脚を離間して挟むように水平移動して、前記ウェーハカセットに収容された複数のウェーハをアーム溝及びコ字状アーム溝で一括支持し、ウェーハを支持しながら前記熱処理用ボート側に水平移動し、この熱処理用ボートに一括して移載することを特徴とするウェーハ一括移載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウェーハ一括移載方法に係わり、特にウェーハカセットに収容された複数のウェーハを一括して熱処理用ボートに移載するウェーハ一括移載方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコンウェーハ等の半導体デバイスに用いられるウェーハは、炉芯管内で酸化、拡散、析出等の各種の熱処理が施されている。これら熱処理は、横型炉及び縦型炉のいずれかの炉が用いられ、使用される半導体ウェーハの熱処理用ボートも炉型に合わせて横型及び縦型のものが用いられている。
【０００３】
近年、ウェーハの大直径化に伴って、炉芯管、熱処理用ボート等の熱処理炉の構成部材も大型化して、その重量が増大したことから、横型炉における各構成部材が熱クリープ等により使用不可能となるおそれがあることが問題となっている。そのため、熱処理炉で生ずる弊害が少ない縦型炉を広く用いるようになっており、これに合わせてウェーハの製造工程において、縦型ボートが広く用いられるようになっている。
【０００４】
この縦型ボートを熱処理に使用する場合、ウェーハカセットに多数収容されたウェーハを、移載フォークを用いて１枚づつ縦型ボートに移す移載方法が採られている。この移載方法はウェーハを１枚づつ移載するため作業性が悪く、また、移載フォークの先端がウェーハの中央部よりも奥に達した移載フォークによりウェーハを支持するため、フォークによりウェーハを汚染するおそれがある。
【０００５】
なお、特許文献１には、ウェーハを周辺で支持し、回転式ウェーハ移載機を用いて、ウェーハをウェーハカセットから縦型ウェーハボートに１枚づつ移載する方法が開示されているが、作業性が悪く、また、回転式であるので構造が複雑でその動作時間が長く作業性が悪い。さらに、特許文献１には、従来例として、ウェーハをウェーハカセットから縦型ウェーハボートに一括移載する方法が開示されているが、１個の移載フォークのみでウェーハを支持するため、その支持が不安定であり、ウェーハ移載機の回転によってウェーハが脱落するおそれがあって、大直径のウェーハの一括移載には不適当であり、さらに、フォークの先端がウェーハの中央部よりも奥に達したフォークによりウェーハを支持するため、フォークによりウェーハを汚染するおそれがある。
【特許文献１】実開昭６４−５０２３８号公報（［実用新案登録請求の範囲］、図３、図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、ウェーハを汚染することなく、作業性よく、大直径のウェーハを確実にウェーハカセットから縦型ウェーハボートに一括移載できるウェーハ一括移載方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の１つの態様によれば、複数のウェーハ載置用カセット溝で多数のウェーハを支持し収容するウェーハカセットと、前記カセット溝と同一溝ピッチを有するボート溝が設けられた熱処理用ボートを互いにウェーハ挿入側を対向させるとともにカセット溝とボート溝の高さが一致するように配置し、先端に前記溝ピッチと同一ピッチを有する多数のウェーハ載置用アーム溝が設けられた搬送アームをその溝と前記カセット溝の高さが一致するように前記ウェーハカセットの反ウェーハ挿入側に一直線上に配置し、先端に前記溝ピッチと同一ピッチを有する多数のウェーハ載置用コ字状アーム溝が設けられたコ字型搬送アームをその溝と前記カセット溝の高さが一致するように前記熱処理用ボートの反ウェーハ挿入側に一直線上に配置し、前記搬送アームを水平に移動し、前記コ字型搬送アームを前記熱処理用ボートの反ウェーハ挿入側に立設された脚を離間して挟むように水平移動して、前記ウェーハカセットに収容された複数のウェーハをアーム溝及びコ字状アーム溝で一括支持し、ウェーハを支持しながら前記熱処理用ボート側に水平移動し、この熱処理用ボートに一括して移載することを特徴とするウェーハ一括移載方法が提供される。これにより、ウェーハを汚染することなく、作業性よく、大直径のウェーハを確実にウェーハカセットから３本脚の縦型ウェーハボートに一括移載できるウェーハ一括移載方法が実現される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係わるウェーハ一括移載方法によれば、ウェーハを汚染することなく、作業性よく、大直径のウェーハを大量に確実にウェーハカセットから縦型ウェーハボートに一括移載できるウェーハ一括移載方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明に係わるウェーハ一括移載方法の一実施形態について添付図面を参照して説明する。
【００１０】
はじめに、本発明に係わるウェーハ一括移載方法に用いられるウェーハの一括移載装置について説明する。
【００１１】
図１は本発明に係わるウェーハ一括移載方法に用いられるウェーハの一括移載装置の概念図、図２はその平面図である。
【００１２】
図１及び図２に示すように、本発明に係わるウェーハ一括移載方法に用いられるウェーハの一括移載装置１は、溝ピッチが同一の複数のウェーハ載置用カセット溝２ａが設けられたウェーハカセット２と、カセット溝２ａと同一の溝ピッチを有する複数のウェーハ載置用ボート溝３ａが設けられ、かつウェーハ挿入側がウェーハカセット２のウェーハ挿入側と対向し、溝高さが一致するように一直線上に配置された３本脚の熱処理用ボート３と、先端にカセット溝２ａ及びボート溝３ａの溝ピッチと同一の溝ピッチを有する多数のウェーハ載置用アーム溝４ａが設けられ、ウェーハカセット２の反ウェーハ挿入側に溝高さが一致するように一直線上に配置された搬送アーム４を水平方向に進退させる搬送アーム駆動機構５と、各溝２ａ、３ａ、４ａの溝ピッチが同一の多数のウェーハ載置用コ字状アーム溝６ａが設けられ、熱処理用ボート３の反ウェーハ挿入側に溝高さが一致するように一直線上に配置され、熱処理用ボート３の脚３ｂを離間して挟むように水平移動するコ字型搬送アーム６を水平方向に進退させるコ字状搬送アーム駆動機構７とから構成されている。
【００１３】
次に、本発明に係わるウェーハ一括移載方法について説明する。
【００１４】
図１及び図３（ａ）に示すように、複数のカセット溝２ａを用いて多数のウェーハＷが収容されたウェーハカセット２とウェーハ未収容の３本脚の熱処理用ボート３をそのウェーハ挿入側を対向させるとともにカセット溝２ａ、ボート溝３ａの高さが一致するように一直線上に配置する。
【００１５】
図２及び図３（ｂ）に示すように、搬送アーム駆動機構５の作動により搬送アーム４を水平方向に前進させて、アーム溝４ａをウェーハＷの一端部に位置させ、また、コ字状搬送アーム駆動機構７の作動によりコ字状搬送アーム６を水平方向に前進させてコ字状搬送アーム溝６ａをウェーハＷの他端部に位置させ、さらに、搬送アーム４及びコ字状搬送アーム６を僅かに上昇させて、アーム溝４ａ及びコ字状搬送アーム溝６ａにより、同時に両端部を支持してウェーハＷを支持する。コ字状搬送アーム６の水平方向の前進及び後退は、コ字状搬送アーム６が熱処理用ボート３の反ウェーハ挿入側に立設された脚３ｂを離間して挟むように水平移動するので、反ウェーハ挿入側に脚３ｂが立設された３本脚の熱処理用ボートを用いても、コ字状搬送アームの移動を妨げることがない。従って、本発明のウェーハ一括移載方法において、３本脚の熱処理用ボートの使用が可能となる。
【００１６】
なお、４本脚以上の熱処理用ボートにおいても、移動を妨げない大きさのコ字状搬送アームであれば良い。
【００１７】
図３（ｃ）に示すように、ウェーハＷを支持した状態で、搬送アーム４を水平方向にさらに前進させ、同時にコ字状搬送アーム６を後退させる。
【００１８】
図３（ｄ）に示すように、ウェーハＷを支持した状態で、搬送アーム４を水平方向にさらに前進させ、同時にコ字状搬送アーム６を後退させ、ウェーハＷの被支持端部を熱処理用ボート３のボート溝３ａに対向して位置させる。搬送アーム４及びコ字状搬送アーム６を僅かに降下させて、アーム溝４ａ及びコ字状搬送アーム溝６ａによるウェーハＷの支持を解放し、同時にウェーハＷの被支持端部をボート溝３ａで支持する。
【００１９】
図３（ｅ）に示すように、ウェーハＷの支持から解放された搬送アーム４及びコ字状搬送アーム６は、それぞれ水平方向に後退して、待機位置に戻る。
【００２０】
上記のような本実施形態のウェーハ一括移載方法において、搬送アーム及びコ字状搬送アームによりウェーハの端部を３点支持するので、ウェーハの挿入が少なくできて汚染を低減でき、また、搬送アーム及びコ字状搬送アームに設けられた複数の溝を用いて複数のウェーハを一括して移載するので、安定性に優れて作業性よく、回転を伴わず直線的に進退する搬送アーム及びコ字状搬送アームにより搬送するので、大直径のウェーハが落下することなく確実に一括移載でき、さらに、コ字状搬送アームを用いるので、３本脚の縦型ウェーハボートの使用が可能となり、大直径のウェーハの熱処理でもウェーハのスリップ発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係わるウェーハ一括移載方法に用いられるウェーハの一括移載装置の概念図。
【図２】本発明に係わるウェーハ一括移載方法に用いられるウェーハの一括移載装置の平面図。
【図３】本発明に係わるウェーハ一括移載方法の工程毎の説明図。
【符号の説明】
【００２２】
１  ウェーハ一括移載装置
２  ウェーハカセット
２ａ  カセット溝
３  熱処理用ボート
３ａ  ボート溝
４  搬送アーム
４ａ  アーム溝
６  コ字型搬送アーム
６ａ  コ字状アーム溝
【図１】
2005101445.tif 000003
【図２】
2005101445.tif 000004
【図３】
2005101445.tif 000005