(57)【要約】【課題】  レーザー露光装置における光学素子の設定の際に、光路図の入力・表示機能を持ち、光路図の形式でのパラメータ設定や操作を可能とする。【解決手段】  本発明のレーザー露光装置３は、照射光の光量を制御する光学素子及びその条件の設定をして光路を作成する際に、照射光の光路図を表示装置１ａにグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）として表示しながら、光路図中でレーザー制御部８の設定対象の光学素子及びその条件を選択することにより、選択された光学素子及びその条件の設定し、設定した光学素子及びその条件が光路図中に配置される場合に適切であるか否かを判定する光路図形式ＧＵＩ設定・判定部２を備えたものである。【選択図】        図１  
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に塗布形成したレジスト層を照射光により露光して情報記録媒体を形成するレーザー露光装置において、
上記照射光の光量を制御する光学素子及びその条件の設定をして光路を作成する際に、上記照射光の光路図をグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）として表示しながら、上記光路図中で設定対象の光学素子及びその条件を選択することにより、選択された光学素子及びその条件の設定する設定手段と、
上記設定した光学素子及びその条件が上記光路図中に配置される場合に適切であるか否かを判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とするレーザー露光装置。
【請求項２】
請求項１記載のレーザー露光装置において、
上記光路を作成する際に、上記光路図中に予め等間隔に配置されたチェックボックスをクリックすることにより当該位置に光学素子が描画され、光路が自動的に描画されることを特徴とするレーザー露光装置。
【請求項３】
請求項１記載のレーザー露光装置において、
上記露光の際に、上記露光に対応する光学素子のブロックの表示色が変化することにより上記光学素子の状態を表示することを特徴とするレーザー露光装置。
【請求項４】
請求項１記載のレーザー露光装置において、
上記判定手段により適切でないと判定された上記設定した光学素子及びその条件の設定を禁止することを特徴とするレーザー露光装置。
【請求項５】
基板上に塗布形成したレジスト層を照射光により露光して情報記録媒体を形成するレーザー露光方法において、
上記照射光の光量を制御する光学素子及びその条件の設定をして光路を作成する際に、上記照射光の光路図をグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）として表示しながら、上記光路図中で設定対象の光学素子及びその条件を選択することにより、選択された光学素子及びその条件の設定するステップと、
上記設定した光学素子及びその条件が上記光路図中に配置される場合に適切であるか否かを判定するステップと、
を備えたことを特徴とするレーザー露光方法。
【請求項６】
請求項５記載のレーザー露光方法において、
上記光路を作成する際に、上記光路図中に予め等間隔に配置されたチェックボックスをクリックすることにより当該位置に光学素子が描画され、光路が自動的に描画されることを特徴とするレーザー露光方法。
【請求項７】
請求項５記載のレーザー露光方法において、
上記露光の際に、上記露光に対応する光学素子のブロックの表示色が変化することにより上記光学素子の状態を表示することを特徴とするレーザー露光方法。
【請求項８】
請求項５記載のレーザー露光方法において、
上記判定ステップにより適切でないと判定された上記設定した光学素子及びその条件の設定を禁止することを特徴とするレーザー露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば光記録媒体、光磁気記録媒体、相変化記録媒体、磁気記録媒体等の情報記録媒体を射出成型、2P法（Photopolymerization法）等によって形成する場合の原盤製造に使用して好適な基板上に塗布形成したレジスト層を露光して情報記録媒体を形成するレーザー露光装置及びレーザー露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のレーザー露光装置における光学素子制御装置では、各光学素子のパラメータや光量の設定を、例えばテキスト入力画面でテキストデータを入力することにより行ったり、またパラメータが一覧表として配置されたGUI（Graphical User Interface)画面などでデータを選択することにより行っていた。
【０００３】
例えば、後者の例として、露光条件（パラメータ）の設定が正確且つ容易にできるものとして、基板上に塗布形成したレジスト層を露光して情報記録媒体を形成する情報記録媒体露光装置の露光条件設定装置において、表示手段によりこの情報記録媒体露光装置の全プロセスの露光条件を一括してグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）として表示し、設定手段によりこの表示手段に表示された露光条件を設定し、チェック手段によりこの設定した露光条件を自動的にチェックし、再入力催促手段によりこのチェック手段のチェックにより設定エラーのある項目を通常時と異なる表示色に変更し、その項目の設定場所にて再入力を促すようにするものがあった（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開2002-287372号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した従来の露光条件の設定方法では、ユーザーは光路図と光学素子との対応関係が掴み難いため、各光学素子間の影響を認識するのが簡単でなく、操作ミスが多かった。つまり、光路上の下流の光学素子は上流の光学素子よりも大きな光量を出力できないにも関わらず、そのような値を設定することが頻繁に発生するという不都合があった。
【０００５】
本発明は、レーザー露光装置における光学素子の設定の際に、光路図の入力・表示機能を持ち、光路図の形式でのパラメータ設定や操作を可能とするレーザー露光装置及びレーザー露光方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明のレーザー露光装置は、照射光の光量を制御する光学素子及びその条件の設定をして光路を作成する際に、照射光の光路図をグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）として表示しながら、光路図中で設定対象の光学素子及びその条件を選択することにより、選択された光学素子及びその条件の設定する設定手段と、設定した光学素子及びその条件が光路図中に配置される場合に適切であるか否かを判定する判定手段とを備えたものである。
【０００７】
これによれば、設定手段により簡単な操作で光学系構成を光路図中に容易に入力して設定することができ、入力された光路図情報を元に、光学デバイス制御装置のパラメータや状態を光路図の形式で表示することができる。また、判定手段により設定した光学素子及びその条件が光路図中に配置される場合に適切であるか否かを判定するので、適切でないと判定された設定した光学素子及びその条件の設定を禁止することができる。
【０００８】
また、本発明のレーザー露光方法は、照射光の光量を制御する光学素子及びその条件の設定をして光路を作成する際に、照射光の光路図をグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）として表示しながら、光路図中で設定対象の光学素子及びその条件を選択することにより、選択された光学素子及びその条件の設定するステップと、設定した光学素子及びその条件が路図中に配置される場合に適切であるか否かを判定するステップとを備えたものである。
【０００９】
これによれば、設定ステップにより簡単な操作で光学系構成を光路図中に容易に入力して設定することができ、入力された光路図情報を元に、光学デバイス制御装置のパラメータや状態を光路図の形式で表示することができる。また、判定ステップにより設定した光学素子及びその条件が光路図中に配置される場合に適切であるか否かを判定するので、適切でないと判定された設定した光学素子及びその条件の設定を禁止することができる。
【発明の効果】
【００１０】
上述のように、本発明に係るレーザー露光装置及びレーザー露光方法によれば、光学素子の各種パラメータの設定や光量の設定を容易に行うことができる。また、光路図表示が可能になることで、光路系の状態が直感的に理解することが容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明のレーザー露光装置及びレーザー露光方法の実施の形態の例について説明する。
図１は、本発明の実施の形態によるレーザー露光装置の例を示し、１はこのレーザー露光装置３を制御するシステムコンピュータで、このシステムコンピュータ１には表示装置１ａが設けられ、このシステムコンピュータ１には視覚的にわかりやすい表示画面を選択しながら目的とする機能を実行するグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）の機能が設けられている。
【００１２】
ここで、このシステムコンピュータ１のグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）の機能として、レーザー制御部８に対して、レーザー照射光の光量を制御する光学素子及びその条件の設定をして光路を作成する際に、照射光の光路図をグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）として表示しながら、光路図中で設定対象の光学素子及びその条件を選択することにより、選択された光学素子及びその条件の設定すると共に、設定した光学素子及びその条件が光路図中に配置される場合に適切であるか否かを判定する光路図形式ＧＵＩ設定・判定部２を備えている。
【００１３】
このシステムコンピュータ１には周知の如く、CPU（Central Processing Unit）、ROM（Read Only Memory）、RAM（Random Access Memory）等が設けられ、キーボード、マウス等により、設定者が所定の指示及び設定を行うことができる。このシステムコンピュータ１により、このレーザー露光装置のレーザー制御部８及びメカ制御部４を設定された所望の露光条件に従って制御する。
【００１４】
図１に示すレーザー制御部８は、カッティングレーザー制御部９及びフォーカスレーザー制御部１０とを備えている。
カッティングレーザー制御部９において、11-1はレーザー光源のレーザー(1)を示し、レーザー(1) 11-1はフィードバック制御のためにこのレーザー光のパワーを検出するPD(1)（Photo Diode: 光量検出器）11-2を備えている。このレーザー(1) 11-1より下流側のレーザー光源11-1の光路上で12-1はEOM(1)（Electro-Optical Modulator: 電気-光学変調素子）を示し、EOM(1) 12-1はフィードバック制御のためにこのレーザー光のパワーを検出するPD(2)12-2を備えている。
【００１５】
このEOM(1) 12-1より下流側のレーザー光源11-1の光路上で１３はレーザー光のオープン・クローズを選択するシャッター(1)を示す。このシャッター(1)13より下流側のレーザー光源11-1の光路は、図示しないビームスプリッタを介して２つの光路に分離される。
【００１６】
２つに分離された一方の光路上において14-1はAOM(1-1)（Acoustic-Optical Modulator: 音響-光学変調素子）を示し、AOM(1-1) 14-1はフィードバック制御のためにこのレーザー光のパワーを検出するPD(3)１４−２を備えている。このAOM(1-1) 14-1より下流側の一方の光路上で17-1はAOD(１)(Acoustic-Optical Deflector: 音響-光学偏光素子）を示し、AOD(1) 17-1はフィードバック制御のためにこのレーザー光のパワーを検出するPD(５)17-2を備えている。
【００１７】
２つに分離された他方の光路上において１５−１はAOM(1-2)を示し、AOM(1-2) １５−１はこのレーザー光のパワーを検出するPD(４)15-2を備えている。このAOM(1-2) 15-1より下流側の他方の光路上で１６はレーザー光のオープン・クローズを選択するシャッター(2)を示す。
【００１８】
レーザー光はこのレーザー光源11-1の光路上でEOM(1) 12-1、AOM(1-1) 14-1、AOD(1) 17-1及びAOM(１-２) 15-1により図示しない情報源からの信号に基づいて夫々異なったレーザー光のパワー（カッテングパワー）とするように変調又は偏光される。
【００１９】
また、フォーカスレーザー制御部１０において、１８はレーザー光源のフォーカスレーザーを示し、フォーカスレーザー１８より下流側の光路上で１９はレーザー光のオープン・クローズを選択するシャッター(3)を示す。
【００２０】
このAOD(1) 17-1及びAOM(1-2)の出力側に得られるレーザー光を図示しないビームスプリッタ、及びフォーカスレーザー制御部１０から得られるレーザー光に基づいて調整される対物レンズを介して、表面にレジスト層が形成された円盤状基板５に照射する。システムコンピュータ１は、レーザー制御部８の各部の駆動を制御して、円盤状基板５に照射されるレーザー光のパワーが所定の値になるように各部に対する指令により制御する。
【００２１】
また、メカ制御部４は、表面にレジスト層が形成された円盤状基板５を回転するスピンドルモータ６とこのスピンドルモータ６を直線状に移動するスレッドモータ7を備え、このシステムコンピュータ１は、このスピンドルモータ６の回転方向、回転数（線速）を制御すると共にスレッドモータ７を制御してトラックピッチ（隣接するトラック間隔）を制御する。
【００２２】
以下に、説明する設定動作は、上述した光路図形式ＧＵＩ設定・判定部２により行われるものである。
図２は、レーザー露光装置における初期状態の設定用ＧＵＩ画面を示す図である。この設定用ＧＵＩ画面２１は、２２で示すように、システムコンピュータ１に設けられる表示装置１ａに表示される光路図中におけるカッティングレーザー用の光学素子の設定のために選択された画面である。以下に示すＧＵＩ画面も同様である。
【００２３】
初期状態においては、レーザー光路２３を示す１本の線と、その線の上下に等間隔に配置されたレーザー２４、EOM２５、AOM２６、AOM２７、AOD２８、AOD２９の各チェックボックスが配置されている。各チェックボックス２４~２９には光学素子の名前が既に記載されているが、これは状況に応じて変更することも可能である。
【００２４】
レーザー露光装置のレーザー制御部８に対して光路図を設定するには、システムコンピュータ１に設けられる表示装置１ａに表示される設定用ＧＵＩ画面２１上でこのチェックボックス２４~２９をユーザーがマウスによりクリック操作することで実現できる。例えば、図２の左上のレーザー２４と書かれたチェックボックスをユーザーがマウスによりクリックすると図３のように表示される。
【００２５】
図３は、レーザー光源設定状態の設定用ＧＵＩ画面を示す図である。
上述した図２においてレーザー２４のチェックボックスをユーザーがマウスによりクリック操作することで、ＧＵＩ画面３１上で当該位置に光学素子、ここでは光源であるレーザー(1)３２が描画され、レーザー３２より下流側にレーザー光路２３を示す光路図が模式的に表示される。ここで、同時に、ＧＵＩ画面３１上にレーザー３２のレーザー光の出力パワーを検出してフィードバック制御をするPD(1)３４が描画されると共に、レーザー３２より下流側の光路上でレーザー光のオープン・クローズを選択するシャッター(1)３５が描画される。
【００２６】
レーザー(1)３２に関する各種パラメータを設定するには、レーザー(1)３２枠内のプロパティボタン３３をユーザーがマウスによりクリックして、図４のプロパティ画面を表示させる。
【００２７】
図４は、レーザー設定用プロパティ画面を示す図である。
このレーザーのプロパティ画面を示すＧＵＩ画面４１上では、複数あるレーザーのどれを使用するかを示すデバイス４２、光量を検出するフォトディテクタ（ＰＤ）のどれを使用するかを示すディテクタ４３、光量のフィードバック制御を行うか行わないかを示すフィードバック(通常／待機)４４、シャッターはどれを使うかを示すシャッター４５、及び待機時の各種データ４７などが設定できる。図４の例では、レーザー４２にLASER1、ディテクタ４３にPD1を、シャッター４５にShutter1を設定し、フィードバック制御４４をPD1にて行うように設定しているので、図３ではその設定状態を反映した光路図となっている。
【００２８】
次に、上述した図２においてAOMと書かれたチェックボックス２６をユーザーがマウスによりクリックすると図５のように表示される。
図５は、AOM設定状態の設定用ＧＵＩ画面を示す図である。
上述した図３においてAOMのチェックボックス２６をユーザーがマウスによりクリック操作することで、ＧＵＩ画面５１上の光路図中において当該位置に新たな光学素子、ここではシャッター(1)３５より下流側のレーザー光路２３上にAOM(1-1)５２が挿入して描画される。
【００２９】
ここで、同時に、ＧＵＩ画面５１上にAOM(1-1)５２のレーザー光の出力パワーを検出してフィードバック制御をするPD(3)５４が描画されると共に、AOM(1-1)５２より下流側の光路上でレーザー光のオープン・クローズを選択するシャッター(3)５５が挿入して描画される。
【００３０】
このAOM(1-1)５２の各種パラメータ設定もAOM(1-1)５２枠内のプロパティボタン５３を押し、図４と同様のプロパティ画面を表示させることで各種パラメータを設定することができる。
このように、光路図の中で光学素子を挿入して描画したい場合は、対応するチェックボックスをユーザーがマウスによりクリックするだけでよい。
【００３１】
図６は、光路図設定終了状態の設定用ＧＵＩ画面を示す図である。
上述した図５においてEOMのチェックボックス２５をユーザーがマウスによりクリック操作することで、ＧＵＩ画面６１上の光路図中において当該位置に新たな光学素子、ここではシャッター(1)３５より下流側であってAOM(1-1)５２より上流側のレーザー光路２３上にEOM(1)５６が挿入して描画される。
【００３２】
ここで、同時に、ＧＵＩ画面６１上にEOM(1)５６のレーザー光の出力パワーを検出してフィードバック制御をするPD(2)５８が描画されると共に、EOM(1)５６より下流側であってAOM(1-1)５２より上流側の光路上でレーザー光のオープン・クローズを選択するシャッター(2)５９が挿入して描画される。
【００３３】
このEOM(1)５６の各種パラメータ設定もEOM(1)５６枠内のプロパティボタン５8
を押し、図４と同様のプロパティ画面を表示させることで各種パラメータを設定することができる。
【００３４】
上述した図５においてAODのチェックボックス２８をユーザーがマウスによりクリック操作することで、ＧＵＩ画面６１上の光路図中において当該位置に新たな光学素子、ここではシャッター(3)５５より下流側のレーザー光路２３上にAOD(1)６４が挿入して描画される。
【００３５】
ここで、同時に、ＧＵＩ画面６１上にAOD(1)６４のレーザー光の出力パワーを検出してフィードバック制御をするPD(5)６６が描画されると共に、AOD(1)６４より下流側の光路上でレーザー光のオープン・クローズを選択するシャッター(4)６７が挿入して描画される。
【００３６】
このAOD(1)６４の各種パラメータ設定もAOD(1)６４枠内のプロパティボタン６５を押し、図４と同様のプロパティ画面を表示させることで各種パラメータを設定することができる。
【００３７】
上述した図５においてAOMのチェックボックス２７をユーザーがマウスによりクリック操作することで、ＧＵＩ画面６１上の光路図中において当該位置に新たな光学素子、ここではシャッター(2)５９より下流側であってAOM(1-1)５２の一方の側の光路と異なる他方の側のレーザー光路２３上にAOM(1-2)６０が挿入して描画される。
【００３８】
ここで、同時に、ＧＵＩ画面６１上にAOM(1-2)６０のレーザー光の出力パワーを検出してフィードバック制御をするPD(4)６３が描画される。
【００３９】
このAOM(1-2)６０の各種パラメータ設定もAOM(1-2)６０枠内のプロパティボタン６１を押し、図４と同様のプロパティ画面を表示させることで各種パラメータを設定することができる。
【００４０】
上述した図５においてAODのチェックボックス２９をユーザーがマウスによりクリック操作することで、ＧＵＩ画面６１上の光路図中において当該位置に新たな光学素子、ここではAOM(1-2)６０より下流側の他方の側のレーザー光路２３上にAOD(2)６８が挿入して描画される。
【００４１】
このAOD(2)６８の各種パラメータ設定もAOD(2)６８枠内のプロパティボタン６９を押し、図４と同様のプロパティ画面を表示させることで各種パラメータを設定することができる。
【００４２】
図６は多数の光学素子を挿入した例であるが、本発明の実施の形態によるＧＵＩ画面を使えば、このような光路図の設定を簡単に行うことができる。
以上で、光路図の設定が終わると、レーザー露光装置の光路図状態表示画面の中で、装置における各光学素子の状態を光路図の形で表示することが可能である。
【００４３】
また、この設定の際に、光路図形式ＧＵＩ設定・判定部２は、設定した光学素子及びその条件が光路図中に配置される場合に適切であるか否かを判定するので、適切でないと判定された設定した光学素子及びその条件の設定を禁止することができる。
【００４４】
図７は、光路図状態表示のＧＵＩ画面を示す図である。
図７に示すＧＵＩ画面７１上に光路７２が示される。この光路７２は、上述した図６に示したように設定された各種光学デバイスの状態を表示色を変えて表示する例を示している。
【００４５】
図７の表示例では、レーザー（LASER1）, EOM(1), AOM(1-1), AOD(1)は正常状態(Normal)を示す色で表示されるが、７３で示すAOM(1-2)は斜線で示すように待機状態(Standby)を示す色であることが表示されるので、この色を見ただけでユーザーは簡単に状態を知ることができる。また、シャッター１が白丸で示すように開いており、シャッター２が黒丸で示すように閉じていることも色により表示されている。
【００４６】
次に、各光学素子の出力を設定・変更するには図８のような画面を表示する。
図８は、デバイスの出力設定を変更する際のＧＵＩ画面を示す図である。
図８に示すＧＵＩ画面８１上では、各光学素子のレーザー（LASER1）３２, EOM(1)５６, AOM(1-1)５２, AOD(1)６４、AOM(1-2)６０にパワーと書かれたボタン８２、８３、８４、８６、８５がある。例えば、レーザー（LASER1）３２の枠内のパワーボタン８２をユーザーがマウスによりクリック操作すると図１０のような設定変更用パワー画面が表示される。
【００４７】
図９は、設定変更用パワー画面を示す図である。
図９において、設定変更用パワー画面を示すＧＵＩ画面９１上では、光量を検出するフォトディテクタ（ＰＤ）のどれを使用するかを示すディテクタ９２、光量のフィードバック制御を行うか行わないかを示すフィードバック(通常／待機)９３、シャッターはどれを使うかを示すシャッター９４、設定変更用パワーを示すパワー９５、単位９６及び回折効率９７などの設定変更ができる。
【００４８】
この画面により、レーザー（LASER1）３２の光出力の設定が行える。ここではパワー９５を12[mW]に設定している。このようなＧＵＩ画面９１上の操作により、光路図の中のどの光学素子にどれくらいの光出力を設定するかを容易に実現することができる。
【００４９】
図１０は、カッティング中の状態のＧＵＩ画面を示す図である。
図１０において、ＧＵＩ画面１０１上では、ディスク原盤１０３に対するカッティングイメージ１０２が模式的に表示される。図１０に示すカッティングイメージ１０２では、最内周の１０４で示すエリア１において光ビーム１０５による露光が行われている状態を示している。
【００５０】
また、このときの状態表示１０６として、内周から外周までのエリア、エリア内のセクタ領域を示すゾーン、カッティング条件、時間、フォーカス、カッティング状況などが示される。
【００５１】
本例によれば上述の如くレーザー露光装置の光学素子及びパラメータの設定を光路図中にグラフィカルユーザインタフェースとして表示するので、全体の光学素子の配置及びパワーの設定を視覚により確認することができ、光学素子及びパラメータの設定が正確且つ容易になる。
【００５２】
また本例によれば前後のプロセスの関係が光路図中で視覚により容易に確認できるので設定ミスを無くすことができる。
【００５３】
また本例によれば設定した光学素子及びパラメータが光路図中に配置される場合に適切でない場合には、その設定を禁止することができる。
また、各種光学素子の状態を表示色を変えて表示するので、待機状態の光学素子は通常の色とは異なる色で表示されるので、状態の確認が容易となる。
【００５４】
尚、上述例は本発明をレーザー光を使用したレーザー露光装置に適用した例につき述べたが、本発明を電子ビームを使用した電子ビーム露光装置に適用できる。また、本発明は上述例に限ることなく本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り得る。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態によるレーザー露光装置の構成を示すブロック図である。
【図２】レーザー露光装置における初期状態の設定用ＧＵＩ画面を示す図である。
【図３】レーザー光源設定状態の設定用ＧＵＩ画面を示す図である。
【図４】レーザー設定用プロパティ画面を示す図である。
【図５】AOM設定状態の設定用ＧＵＩ画面を示す図である。
【図６】光路図設定終了状態の設定用ＧＵＩ画面を示す図である。
【図７】光路図状態表示のＧＵＩ画面を示す図である。
【図８】デバイスの出力設定を変更する際のＧＵＩ画面を示す図である。
【図９】設定変更用パワー画面を示す図である。
【図１０】カッティング中の状態のＧＵＩ画面を示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１‥‥システムコンピュータ、１ａ‥‥表示装置、２‥‥光路図形式ＧＵＩ設定・判定部、２、３‥‥レーザー露光装置、４‥‥メカ制御部、５‥‥円盤状基板、６‥‥スピンドルモータ、７‥‥スレッドモータ、８‥‥レーザー制御部、９‥‥カッティングレーザー制御部、１０‥‥フォーカスレーザー制御部、１１−１‥‥レーザー１、１１−２‥‥ＰＤ１、１２−１‥‥ＥＯＭ１、１２−２‥‥ＰＤ２、１３‥‥シャッター１、１４−１‥‥ＡＯＭ１−１、１４−２‥‥ＰＤ３、１５−１‥‥ＡＯＭ１−２、１５−２‥‥ＰＤ４、１６‥‥シャッター２、１７‥‥ＡＯＤ１、１７−２‥‥ＰＤ５、１８‥‥フォーカスレーザー、１９‥‥シャッター３、２１‥‥ＧＵＩ画面、２２‥‥設定選択、２３‥‥レーザー光路、２４‥‥レーザーチェックボックス、２５‥‥ＥＯＭチェックボックス、２６‥‥ＡＯＭチェックボックス、２７‥‥ＡＯＭチェックボックス、２８‥‥ＡＯＤチェックボックス、２９‥‥ＡＯＤチェックボックス、３１‥‥ＧＵＩ画面、３２‥‥レーザー、３３‥‥プロパティ、３４‥‥ＰＤ１、３５‥‥シャッター、４１‥‥ＧＵＩ画面、４２‥‥デバイス設定、４３‥‥ディテクタ設定、４４‥‥フィードバック設定、４５‥‥シャッター設定、４６‥‥電圧設定、４７‥‥待機設定、５１‥‥ＧＵＩ画面、５２‥‥ＡＯＭ１−１、５３‥‥プロパティ、５４‥‥ＰＤ３、５５‥‥シャッター、５６‥‥ＥＯＭ１、５７‥‥プロパティ、５８‥‥ＰＤ２、５９‥‥シャッター、６０‥‥ＡＯＭ１−２、６１‥‥プロパティ、６２‥‥ＰＤ４、６４‥‥ＡＯＤ１、６５‥‥プロパティ、６６‥‥ＰＤ５、６７‥‥シャッター、６８‥‥ＡＯＤ２、６９‥‥プロパティ、７０‥‥ＧＵＩ画面、７１‥‥ＧＵＩ画面、７２‥‥光路、７３‥‥スタンバイ状態表示、８１‥‥ＧＵＩ画面、８２〜８７‥‥パワー、９１‥‥ＧＵＩ画面、９２‥‥ディテクタ設定、９３‥‥フィードバック設定、９４‥‥シャッター設定、９５‥‥パワー、９６‥‥単位、９７‥‥回折効率、１０１‥‥ＧＵＩ画面、１０２‥‥カッティングイメージ、１０３‥‥ディスク原盤、１０４‥‥エリア１、１０５‥‥光ビーム、１０６‥‥状態表示
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005259199.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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