(57)【要約】【課題】通常の段ではロボットハンドを挿入することなく基板の出し入れを行い、支持部材の上下間隔を小さくして、基板収納装置の全高を低くするとともに、任意の段では、製造途中の基板検査のために、ロボットハンドによる出し入れを行うことができる基板収納装置を提供すること。【解決手段】カセット１に支持部材２を上下に複数段設置することにより複数の基板３を収納する基板収納装置において、カセット１を昇降させる昇降装置４と、カセット１の昇降により支持部材２間に挿入され、支持部材２に支持された基板３を受け取る複数の搬送用支持部材５と、搬送用支持部材５の先端に設けられ、受け取った基板３をカセット１の外に送り出す送り機構６とを備え、かつ任意の段の支持部材２ａの上下に、ロボットハンド１０が挿通する大ピッチの空隙２１を設ける。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセットに支持部材を上下に複数段設置することにより複数の基板を収納するようにした基板収納装置において、前記カセットを昇降させる昇降装置と、該カセットの昇降により支持部材間に挿入され、支持部材に支持された基板を受け取る複数の搬送用支持部材と、該搬送用支持部材の先端に設けられ、受け取った基板をカセットの外に送り出す送り機構とを備え、かつ任意の段の支持部材の上下に、ロボットハンドが挿通する大ピッチの空隙を設けたことを特徴とする基板収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶等の製造ラインに使用される基板収納装置に関し、特に、通常の段ではロボットハンドを挿入することなく基板の出し入れを行い、支持部材の上下間隔を小さくして、基板収納装置の全高を低くするとともに、任意の段では、製造途中の基板検査のために、ロボットハンドによる出し入れを行うことができる基板収納装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、カセットに収納された基板は、上下に積み重ねた基板の隙間にロボットハンドを差し入れ、その後、基板をこのロボットハンドにより持ち上げて、カセット内から取り出す方式が採用されてきた。
【０００３】
しかし、基板が大きくなると、ロボットハンドの厚みが大きくなり、かつ、撓みも大きくなることから、カセット内に収納される基板同士の上下間隔が大きくなり、その結果、カセットの全高が非常に大きくなって、製造ライン建屋全体の高さも高くなるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記従来の基板収納装置が有する問題点に鑑み、通常の段ではロボットハンドを挿入することなく基板の出し入れを行い、支持部材の上下間隔を小さくして、基板収納装置の全高を低くするとともに、任意の段では、製造途中の基板検査のために、ロボットハンドによる出し入れを行うことができる基板収納装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明の基板収納装置は、カセットに支持部材を上下に複数段設置することにより複数の基板を収納するようにした基板収納装置において、前記カセットを昇降させる昇降装置と、該カセットの昇降により支持部材間に挿入され、支持部材に支持された基板を受け取る複数の搬送用支持部材と、該搬送用支持部材の先端に設けられ、受け取った基板をカセットの外に送り出す送り機構とを備え、かつ任意の段の支持部材の上下に、ロボットハンドが挿通する大ピッチの空隙を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の基板収納装置によれば、カセットに支持部材を上下に複数段設置することにより複数の基板を収納するようにした基板収納装置において、前記カセットを昇降させる昇降装置と、該カセットの昇降により支持部材間に挿入され、支持部材に支持された基板を受け取る複数の搬送用支持部材と、該搬送用支持部材の先端に設けられ、受け取った基板をカセットの外に送り出す送り機構とを備えることから、カセットを昇降させることにより、搬送用支持部材の送り機構で基板を受け取って外部に送り出すことができ、これにより、ロボットハンドを挿入することなく基板の出し入れを行い、支持部材の上下間隔を小さくして、大型基板を収納するための基板収納装置の全高を低くするとともに、任意の段では、支持部材の上下にロボットハンドが挿通する大ピッチの空隙を設けることから、製造途中の基板検査のためのロボットハンドによる出し入れを行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の基板収納装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【０００８】
図１〜図４に、本発明の基板収納装置の一実施例を示す。
この基板収納装置は、カセット１に支持部材２を上下に複数段設置することにより複数の基板３を収納するもので、前記カセット１を昇降させる昇降装置４と、該カセット１の昇降により支持部材２間に挿入され、支持部材２に支持された基板３を受け取る複数の搬送用支持部材５と、該搬送用支持部材５の先端に設けられ、受け取った基板３をカセット１の外に送り出す送り機構６とを備えている。
そして、この基板収納装置は、任意の段の支持部材２ａの上下に、ロボットハンド１０が挿通する大ピッチの空隙２１を設けている。
【０００９】
カセット１は、図４に示すように、前後が開放された枠体からなり、両側から対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部材２を延設するとともに、これらの支持部材２を上下に複数段設置することにより複数の基板３を所定間隔を開けて収納するようになっている。
そして、任意の段の支持部材２ａの上下には、ロボットハンド１０が挿通する大ピッチの空隙２１が設けられている。
この場合、大ピッチの空隙２１を有する支持部材２ａ以外は、図４（ａ）に示すように、カセット１の両側に連続して架設される支持部材２ｂで構成することもできる。
【００１０】
昇降装置４は、例えば、カセット１の下部４箇所を支持する複数基のシリンダーからなり、カセット１を少なくともその高さの範囲で昇降させることができる。
この昇降装置４は、台車により移動可能に設けられたベース７に固定されている。
【００１１】
搬送用支持部材５は、カセット１の昇降により支持部材２間に挿入される複数の棒状のものからなり、先端に備えた送り機構６を介して、支持部材２に支持された基板３を受け取るようになっている。
この搬送用支持部材５は、基板３を幅方向と長さ方向で略均等に支持できるように、複数の搬送用支持部材５が所定の配置でベース７に固定されている。
【００１２】
送り機構６は、本実施例では、搬送用支持部材５の先端に設けられた駆動ローラ６１を備え、基板３を幅方向と長さ方向で略均等に支持できるように、搬送用支持部材５に設けられている。
この送り機構６は、駆動ローラ６１をモータ（図示省略）により回転させることにより、受け取った基板３をカセット１の前又は後方向に搬送して送り出すことができる。
なお、カセット１内に収納されている基板３は、搬送用支持部材５と送り機構６によって、下位に位置するものから順に取り出される。
【００１３】
次に、本実施例の基板収納装置の作用を説明する。
図１〜図２に示すように、カセット１を昇降装置４により下降させて、カセット内の基板３を搬送用支持部材５の上に載せ、搬送用支持部材５の送り機構６を駆動することにより、基板３をカセット１の外側に設けられたテーブル８のローラ８１の上に引き出す。
この方式では、基板３を取り出すために、移載機のロボットハンド１０がカセット１内に入り込む必要がないため、支持部材２の上下ピッチを小さくでき、カセットの１全高を低くできる利点がある。
【００１４】
これに対し、液晶製造工程の中間でカセット１内に収納された基板３を数枚取り出して、検査装置で検査したい場合がある。
図３に、このときの状態を示す。なお、カセット１の任意の基板３のみを代表して示し、残りの基板は図示省略する。
図３（ａ）に示すように、カセット１内に移載機９のロボットハンド１０が入り、基板３をカセット１から取り出し、図３（ｂ）に示すように、取り出した基板３を検査テーブル１１に載せ、図示省略する検査装置で検査する。
【００１５】
この目的のために、図４に示すカセット断面を採用する。
すなわち、例えば任意の３段において、支持部材２ａの上下にロボットハンド１０が挿通する大ピッチの空隙２１を設け、残りの支持部材２は小ピッチの空隙のままにしてカセット全高を低くする。
【００１６】
かくして、本実施例の基板収納装置は、カセット１に支持部材２を上下に複数段設置することにより複数の基板３を収納するようにした基板収納装置において、前記カセット１を昇降させる昇降装置４と、該カセット１の昇降により支持部材２間に挿入され、支持部材２に支持された基板３を受け取る複数の搬送用支持部材５と、該搬送用支持部材５の先端に設けられ、受け取った基板３をカセット１の外に送り出す送り機構６とを備えることから、カセット１を昇降させることにより、搬送用支持部材５の送り機構６で基板３を受け取って外部に送り出すことができ、これにより、ロボットハンド１０を挿入することなく基板３の出し入れを行い、支持部材２の上下間隔を小さくして、大型基板を収納するための基板収納装置の全高を低くすることができる。
そして、任意の段では、支持部材２ａの上下にロボットハンド１０が挿通する大ピッチの空隙２１を設けることから、製造途中の基板検査のためのロボットハンド１０による出し入れを行うことができる。
【００１７】
以上、本発明の基板収納装置について、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、各実施例に記載した構成を適宜組み合わせる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明の基板収納装置は、通常の段ではロボットハンドを挿入することなく基板の出し入れを行い、支持部材の上下間隔を小さくして、基板収納装置の全高を低くするとともに、任意の段では、製造途中の基板検査のために、ロボットハンドによる出し入れを行うという特性を有していることから、例えば、液晶製造ラインの基板収納装置の用途に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の基板収納装置の一実施例を示し、（ａ）は通常の段から基板を取り出す第１段階図、（ｂ）は同第２段階図である。
【図２】同第３段階図である。
【図３】ロボットハンドによる基板の移載を示し、（ａ）はカセットからの取り出しを示す斜視図、（ｂ）は検査テーブルへの移載を示す斜視図である。
【図４】同基板収納装置のカセットを示し、（ａ）はその一例を示す正面図、（ｂ）は他の例を示す正面図である。
【符号の説明】
【００２０】
１    カセット
２    支持部材
２ａ  支持部材
２ｂ  支持部材
２１  空隙
３    基板
４    昇降装置
５    搬送用支持部材
６    送り機構
６１  駆動ローラ
７    ベース
８    テーブル
８１  ローラ
９    移載機
１０  ハンド
１１  検査テーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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