(57)【要約】【課題】フリップチップ実装に好適に使用される、優れた作業性が得られ、樹脂封止後の優れた電気接続信頼性および放熱性をもたらす半導体封止用樹脂組成物、ならびに該組成物を用いて樹脂封止された半導体装置を提供すること。【解決手段】（１）（Ａ）１分子中に２個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、（Ｂ）硬化剤、ならびに（Ｃ）周期律表第III族および珪素を除く第IV族の金属原子の酸化物よりなる群から選ばれた少なくとも一種の金属酸化物と二酸化珪素から構成される複合無機酸化物粒子、を含有してなる半導体封止用樹脂組成物、（２）前記金属酸化物が酸化チタンである前記（１）記載の半導体封止用樹脂組成物、ならびに（３）前記（１）または（２）記載の半導体封止用樹脂組成物により封止されてなる半導体装置。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）１分子中に２個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、
（Ｂ）硬化剤、ならびに
（Ｃ）周期律表第III族および珪素を除く第IV族の金属原子の酸化物よりなる群から選ばれた少なくとも一種の金属酸化物と二酸化珪素から構成される複合無機酸化物粒子、
を含有してなる半導体封止用樹脂組成物。
【請求項２】
前記金属酸化物が酸化チタンである請求項１記載の半導体封止用樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１または２記載の半導体封止用樹脂組成物により封止されてなる半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置において配線回路基板と半導体素子との間の空隙を封止するための半導体封止用樹脂組成物（以下、単に樹脂組成物という場合がある）およびその半導体封止用樹脂組成物で封止されてなる半導体装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近の半導体デバイスの高機能化、軽薄短小化に伴う要求として、半導体素子をフェイスダウン構造で配線回路基板に搭載するフリップチップ実装がある。一般にフリップチップ実装においては、半導体素子を保護するために半導体素子と配線回路基板の空隙を熱硬化性樹脂組成物で封止している。
【０００３】
従来のフリップチップ実装の製造方式はウエハ上にパターンを作製し、バンプを形成した後、個々の半導体素子に切断し、半導体素子の配線回路基板への搭載と樹脂封止を行っていた。これに対し、半導体装置の生産性の向上を図るためウエハ上にパターンを作製し、バンプを形成後、接着剤（樹脂組成物）をパタ−ン面に供給した後に個々の半導体素子に切断し半導体素子をフェイスダウン構造で、配線回路基板に搭載する方式（以下、ウエハレベルフリップチップ実装方式と称す）が求められている（例えば、特許文献１参照）。このようなウエハレベルフリップチップ実装方式では熱硬化性樹脂組成物をパターン面に供給した後に個々の半導体素子に切断し半導体素子を回路基板に搭載することから、熱硬化性樹脂組成物はパターン認識可能な透過率を保持する必要がある。一方、フリップチップパッケージの接続部分を封止する熱硬化性樹脂組成物において、一般に有機樹脂組成物に対し無機充填剤を含有させることにより熱膨張係数あるいは吸水率を下げ、半導体装置の耐冷熱サイクル特性や耐ハンダ性を満足させている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
しかしながら、従来から用いられている無機充填剤では屈折率を任意に制御することは困難であったことから、所望とする有機樹脂組成物に対して屈折率の調整によりパターン認識可能な透過率を保持するのは困難であった。また、パターン認識可能な透過率を保持するために、有機樹脂組成物中の無機充填剤の含有量を低下させると、有機樹脂組成物の熱膨張係数あるいは吸水率が上昇し、半導体装置において充分な耐冷熱サイクル特性や耐ハンダ性が得られなかった。さらに、無機充填剤の含有量を低下させることにより有機樹脂組成物の熱伝導率が低下し、半導体装置の放熱性が低下するという問題も生じていた。
【特許文献１】特開平２００１−１４４１２０号公報
【特許文献２】特開平２００３−１３８１００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従って、本発明は、フリップチップ実装に好適に使用される、優れた作業性が得られ、樹脂封止後の優れた電気接続信頼性および放熱性をもたらす半導体封止用樹脂組成物、ならびに該組成物を用いて樹脂封止された半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち、本発明は、
（１）（Ａ）１分子中に２個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、
（Ｂ）硬化剤、ならびに
（Ｃ）周期律表第III族および珪素を除く第IV族の金属原子の酸化物よりなる群から選ばれた少なくとも一種の金属酸化物と二酸化珪素から構成される複合無機酸化物粒子、
を含有してなる半導体封止用樹脂組成物、
（２）前記金属酸化物が酸化チタンである前記（１）記載の半導体封止用樹脂組成物、ならびに
（３）前記（１）または（２）記載の半導体封止用樹脂組成物により封止されてなる半導体装置
に関する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、パターン認識可能な透過率を保持すると共に熱伝導性に優れた半導体封止用樹脂組成物が提供される。さらに、かかる半導体封止性樹脂組成物を用いて封止することにより、電気接続信頼性および放熱性に優れた半導体装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の半導体封止用樹脂組成物は、
（Ａ）１分子中に２個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、
（Ｂ）硬化剤、ならびに
（Ｃ）周期律表第III族および珪素を除く第IV族の金属原子の酸化物よりなる群から選ばれた少なくとも一種の金属酸化物と二酸化珪素から構成される複合無機酸化物粒子、
を含有することに１つの大きな特徴を有する。
【０００９】
ウエハレベルフリップチップ実装方式においては、封止用樹脂をウエハのパターン面に供給した後に個々の半導体素子に切断して、半導体素子を回路基板に搭載する。本発明の半導体封止用樹脂組成物は、該樹脂組成物中に含まれる無機充填剤の屈折率を任意に変更できるので、無機充填剤の含有量を低下させることなくパターン認識可能な透過率を保持し、かつ熱伝導性に優れている。そのため、この樹脂組成物をパターン面に提供することにより、ウエハを容易に個別チップに切断でき、樹脂封止後には、優れた放熱性を有する半導体装置を製造することができる。
【００１０】
本明細書において、「半導体回路面」および「パターン面」；「切断」および「ダイシング」；ならびに「チップ」、「半導体チップ」および「半導体素子」は、それぞれ互いに同意義で使用される。
【００１１】
本発明の樹脂組成物に含有される１分子中に２個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂やクレゾールノボラック型エポキシ樹脂などのノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート、ヒダントインエポキシ樹脂などの含窒素環型エポキシ樹脂、水添加ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、脂肪族系エポキシ樹脂、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、低吸水率硬化体タイプの主流であるビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロ環型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂などが挙げられる。これらは単独で使用されてもよく、あるいは、２種以上併用されてもよい。
【００１２】
上記エポキシ樹脂は、常温で固形でも液状でもよいが、樹脂組成物の硬化体の機械的強度およびガラス転移温度（Ｔｇ）の制御の容易性の観点から、一般にエポキシ当量が９０〜１０００ｇ／ｅｑのものが好ましい。樹脂組成物中のエポキシ樹脂の含有量は、耐熱性および耐湿性の向上の観点から、５〜８５重量％が好ましく、１０〜８０重量％がより好ましい。また、電気接続性の向上の観点から、１５０℃における溶融粘度が、０．５Ｐａ・ｓ以下のものを用いることがより好ましい。
【００１３】
本発明の樹脂組成物に含有される硬化剤としては、上記エポキシ樹脂の硬化剤として作用するものであれば特に限定されず、各種の硬化剤が用いられる。耐湿信頼性に優れる点で、フェノール系硬化剤が一般に用いられるが、各種酸無水物系硬化剤、芳香族アミン類、ジシアンジアミド、ヒドラジド、ベンゾオキサジン環化合物などを使用することもできる。これらは、単独で使用されてもよく、また２種以上併用されてもよい。
【００１４】
フェノール系硬化剤としては、例えば、クレゾールノボラック樹脂、フェノールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン環型フェノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ナフトール、キシリレン型フェノール樹脂などが挙げられる。これらは、単独で使用されてもよく、また２種以上併用されてもよい。
【００１５】
上記エポキシ樹脂と硬化剤との配合割合は、硬化剤としてフェノール系硬化剤を用いる場合、硬化性、耐熱性、耐湿信頼性の確保の観点から、エポキシ樹脂中のエポキシ当量１ｇ／ｅｑに対して、通常、フェノール系硬化剤における反応性の水酸基当量が好ましくは０．５〜１．５ｇ／ｅｑ、より好ましくは０．７〜１．２ｇ／ｅｑとなるような割合であるのが好ましい。なお、フェノール系硬化剤以外の硬化剤を使用する場合においても、その配合割合は、フェノール系硬化剤を用いる場合の配合割合（当量比）に準じればよい。また、電気接続性の向上の観点から、１５０℃における溶融粘度が、０．５Ｐａ・ｓ以下のものを用いることがより好ましい。
【００１６】
本発明の樹脂組成物に含有される複合無機酸化物粒子は、周期律表第III族および珪素を除く第IV族の金属原子の酸化物よりなる群から選ばれた少なくとも一種の金属酸化物と二酸化珪素から構成され、金属酸化物と二酸化珪素が化学的に結合しており、物理的に分離不可能な状態となっている粒子が挙げられる。
【００１７】
前記金属酸化物としては、例えば、酸化ホウ素、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化スカンジウム、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化セリウムなどの周期律表第III族の金属原子の酸化物、および酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化ゲルマニウム、酸化スズ、酸化鉛などの第IV属の金属原子の酸化物が挙げられ、好ましくは酸化チタンを用いることが好ましい。
【００１８】
複合無機酸化物粒子中の二酸化珪素の含有量は、得られる樹脂組成物の所望の屈折率の確保の観点から、好ましくは５０〜９９モル％、より好ましくは６５〜９８モル％、特に好ましくは７０〜９５モル％である。二酸化珪素の含有量が上記範囲内であれば、一般的に用いられる樹脂組成物の屈折率１．４〜１．７の範囲をほぼ網羅できる。
【００１９】
なお、本明細書における屈折率は、アッベ屈折計を用いて室温で測定できる。
【００２０】
複合無機酸化物粒子中の金属酸化物および二酸化珪素の合計含有量は、屈折率確保の観点から、好ましくは少なくとも８０モル％、より好ましくは少なくとも９０モル％である。また、所望の効果の発現を抑制しない程度であれば、他の成分、例えば、アルカリ金属酸化物やアルカリ土類金属酸化物が、複合無機酸化物粒子に含まれていても良い。
【００２１】
樹脂組成物中の複合無機酸化物粒子の含有量は、樹脂組成物の粘度の制御および半導体素子と配線回路基板との電気接続信頼性の確保の観点から、１０〜８５重量％が好ましく、より好ましくは２０〜８０重量％である。
【００２２】
複合無機酸化物粒子の平均粒子径は、接続信頼性、樹脂分散性、透過率の確保の観点から、例えば、レーザー回折散乱法（ＨＯＲＩＢＡ社製：ＬＡ−９１０）を用いて測定した場合、好ましくは０．１〜１．５μｍ、より好ましくは０．３〜１．２μｍである。
【００２３】
なお、本明細書において透過率とは、パターン認識可能な程度であれば、特に限定されるものではないが、例えば、分光光度計（島津製作所社製：ＵＶ３１０１）を用いた波長６５０ｎｍでの透過率をいい３０％以上であれば充分である。
【００２４】
本発明に用いられる複合無機酸化物粒子は、例えば、従来公知のゾル−ゲル法にて作製することができるが、市販のものを用いてもよい。
【００２５】
また、本発明の樹脂組成物には、所望により、以下のようなその他の成分を含んでいても良い。
【００２６】
例えば、本発明の樹脂組成物には、所望により熱可塑性樹脂を加えることができる。熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル酸アルキルエステル共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、水添アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、スチレン−ブタジエン−スチレン共重合体、エポキシ変性スチレン−ブタジエン−スチレン共重合体などが挙げられる。熱可塑性樹脂の含有量は、樹脂組成物のシート化が可能であれば特に限定されないが、ウエハ貼り合わせ性、切断加工性、チップ実装性の確保の観点から、好ましくは１〜５０重量％、より好ましくは３〜３０重量％である。これらは、単独で使用されてもよく、また２種以上併用されてもよい。
【００２７】
さらに、本発明の樹脂組成物には、所望により硬化促進剤を加えることができる。硬化促進剤としては、アミンアダクト系硬化促進剤、リン系硬化促進剤、リン−ホウ素系硬化促進剤などが挙げられる。また、該潜在性硬化促進剤をマイクロカプセルに封入したものからなるマイクロカプセル型硬化促進剤（例えば、特開2000-309682号公報を参照のこと）はより好適に用いられる。これらは、単独で使用されてもよく、また２種以上併用されてもよい。
【００２８】
硬化促進剤の含有量は、所望の硬化速度が得られ、かつハンダ付け性および密着性を低下させないような割合で、適宜設定すればよい。設定方法としては、例えば、種々の量の硬化促進剤を含有する樹脂組成物の熱板上でのゲル化時間（硬化速度の指標）を測定し、所望のゲル化時間が得られた量をその含有量とする方法が挙げられる。一般に、硬化剤１００重量部に対して、好ましくは０．１〜４０重量部、より好ましくは１〜２０重量部である。
【００２９】
また、樹脂組成物には、低応力化の観点から、エポキシシランなどのシランカップリング剤、チタンカップリング剤、表面調整剤、酸化防止剤、粘着付与剤、シリコンオイルおよびシリコンゴム、合成ゴム反応性希釈剤など、または、耐湿信頼性の向上の観点から、ハイドロタルサイト類、水酸化ビスマスのイオントラップ剤などを加えてもよい。これらは、単独で使用されてもよく、また２種以上併用されてもよい。これらの添加剤の含有量は、各添加剤の所望の効果が得られる範囲で適宜調整すればよい。
【００３０】
本発明の樹脂組成物は、例えば以下のようにして製造することができる。該組成物は、通常、使用の利便性を考慮し、剥離シート（例えば、ポリエステルフィルム）の上にシート状組成物として形成される。すなわち、エポキシ樹脂、硬化剤および複合無機酸化物粒子、ならびに所望によりその他の成分を所定量配合し、トルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチルなどの有機溶剤に混合溶解し、この混合溶液を、所定の剥離シート（例えば、
ポリエステルフィルム）の上に塗布する。つぎに、該シートを８０〜１６０℃程度での乾燥工程に供し、有機溶剤を除去することにより、剥離シート上にシート状の樹脂組成物を製造する。また、エポキシ樹脂、硬化剤および複合無機酸化物粒子、ならびに所望によりその他の成分を所定量配合し、トルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチルなどの有機溶剤に混合溶解し、この混合溶液を離型処理（例えば、シリコーン処理）したポリエステルフィルムなどの基材フィルム上に塗布する。つぎに、該基材フィルムを８０〜１６０℃程度での乾燥工程に供し、該基材フィルム上にシート状の樹脂組成物を製造した後に、ロールラミネーターを用いて所定の剥離シートと貼り合わせ、かかるシートから基材フィルムのみを除去することにより剥離シートの上にシート状の樹脂組成物を製造しても良い。
【００３１】
以上のようにして、本発明の樹脂組成物が得られる。樹脂組成物および剥離シートからなる樹脂シートの一例を図１に示す。かかる図では、剥離シート２の上に樹脂組成物１が積層されている。
【００３２】
次に、本発明の半導体装置の製造方法について説明する。本発明の半導体装置の製造方法は、その半導体回路面に本発明の樹脂組成物を含む樹脂シートを貼り合わせる工程、任意に、樹脂シートが貼られたバンプ付ウエハの裏面を研削する工程、樹脂組成物のみをウエハに残して剥離シートを除去（剥離）する工程、および個別チップに切断する工程を含む。図２〜６に、本発明の半導体装置の製造方法における各工程の一例を示す。以下においては、当該図を参照して説明する。
【００３３】
バンプ付ウエハの一例を図２に示す。かかる図では、ウエハ３上にバンプ４が形成されている。
【００３４】
本発明に用いられるウエハ３の材質としては、特に限定するものではないが、例えば、シリコンやガリウム−ヒ素などが挙げられる。
【００３５】
バンプ４としては、特に限定はされないが、例えば、ハンダによる低融点および高融点バンプ、錫バンプ、銀−錫バンプ、銀−錫−銅バンプ、金バンプ、銅バンプなどが挙げられる。
【００３６】
上記ウエハ３の半導体回路面に樹脂シート（図１に例示のもの）を貼り合わせた一例を図３に示す。かかる図では、ウエハ３の回路面と樹脂組成物１が接しており、バンプ４は、樹脂組成物１に埋め込まれている。
【００３７】
上記ウエハ３および樹脂シートの貼り合わせには、ロール式貼り合わせ装置や真空式貼り合わせ装置が用いられる。貼り合わせ温度は、ボイドの減少、ウエハ密着性の向上およびウエハ研削後の反り防止の観点から、好ましくは２５℃〜１００℃、より好ましくは４０℃〜８０℃である。また、貼り合わせ圧力は、貼り合わせ方式および貼り合わせ時間などにより適宜設定される。
【００３８】
上記樹脂シートを貼り合わせたウエハを所定の厚さが得られるように研削しても良い。ウエハの研削には、研削ステージを有する研削装置が特に限定なく、使用される。当該装置としては、ディスコ（株）製、「ＤＦＧ−８４０」などの公知の装置が挙げられる。また、研削条件も、特に限定はない。
【００３９】
ウエハの裏面（または研削面）にダイシングテープを貼り合わせたものの一例を図４に示す。かかる図では、樹脂シートから剥離シート２のみが除去され、ウエハ３の裏面にダイシングテープ５が貼り合わせられている。
【００４０】
剥離シートの除去は、例えば日東電工社製：ＨＲ−８５００−ＩＩを用いて行なわれる。
【００４１】
本発明に用いられるダイシングテープとしては、当該分野で通常使用されるものであれば特に限定されない。
【００４２】
ダイシングテープの貼り合わせ装置および条件としては、特に限定されず、公知の装置および条件が用いられる。
【００４３】
ウエハの切断（ダイシング）後のものの一例を図５に示す。かかる図では、樹脂組成物１が貼り合わされたウエハ３が、ダイシングテープ５に貼り合わされたまま個別チップ６に切断されている。
【００４４】
ウエハの切断は、特に限定されず、通常のダイシング装置を用いて行われる。
【００４５】
チップ搭載の一例を図６に示す。かかる図では、個別チップ６がダイシングテープから取り外され配線回路基板７上に搭載されている。ウエハ３と配線回路基板７との間は、樹脂組成物により樹脂封止されている。
【００４６】
配線回路基板７としては、特に限定されないが、大別してセラミック基板、プラスチック基板が挙げられる。プラスチック基板としては、例えば、エポキシ基板、ビスマレイミドトリアジン基板、ポリイミド基板などが挙げられる。
【００４７】
個別チップ６の配線回路基板７への搭載方法としては、まず個別チップ６は、ダイシングテープ５からピックアップして取り外され、チップトレイに収納されるか、またはフリップチップボンダーのチップ搭載ノズルへと搬送された後、バンプ接合形態により、個別チップ６を加熱と共に加圧して配線回路基板７へ搭載する（熱圧着実装方式）と同時に電気接続を得る方法、加熱と加圧と超音波を用いて配線回路基板へ搭載すると同時に電気接続を得る方法、個別チップ６を配線回路基板７に搭載した後、ハンダリフローにより電気接続を得る方法などが挙げられる。
【００４８】
上記加熱温度は、個別チップ６および配線回路基板７の劣化の防止の観点から、５００℃以下が好ましく、４００℃以下がより好ましい。下限としては、１００℃程度である。上記加圧条件は、接続用電極部の個数などにも依存するが、９．８×１０−３〜１．９６Ｎ／個が好ましく、１．９６×１０−２〜９．８×１０−１Ｎ／個がより好ましい。
【００４９】
以上の方法により、電気接続信頼性や耐久性に優れた半導体装置が効率的に得られる。得られた半導体装置は、本発明に包含される。
【実施例】
【００５０】
以下、実施例を挙げて本発明をさらに説明するが、本発明はかかる実施例によりなんら限定されるものではない。
【００５１】
以下に実施例および比較例で用いた原料および部品をまとめて示す。
【００５２】
樹脂組成物の製造においては、エポキシ樹脂としてナフタレン型エポキシ樹脂（エポキシ当量：１４１ｇ／ｅｑ、粘度：５６０ｍＰａ・ｓ／５０℃）、硬化剤としてキシリレン型フェノール樹脂（水酸基当量：１７１ｇ／ｅｑ、粘度：４０ｍＰａ・ｓ／１５０℃）、硬化促進剤としてマイクロカプセル化トリフェニルホスフィン（シェル：ポリウレア、コア／シェル比＝５０／５０ｗｔ％）、熱可塑性樹脂としてアクリル酸アルキルエステル共重合体（ムーニー粘度：５２．５ＭＬ１＋４／１００℃）、シランカップリング剤としてエポキシシラン（信越化学社製：ＫＢＭ−４０３）および複合無機酸化物粒子として（ａ）酸化チタン変性二酸化珪素（Ｄ２５＝１．５３、平均粒径：０．５μｍ、トクヤマ社製：ＳＴ−６００）、（ｂ）酸化チタン変性二酸化珪素（Ｄ２５＝１．５４、平均粒径：０．５μｍ、トクヤマ社製：ＳＴ−６０１）、（ｃ）酸化チタン変性二酸化珪素（Ｄ２５＝１．５５、平均粒径：０．５μｍ、トクヤマ社製：ＳＴ−３−７４３）、（ｄ）酸化チタン変性二酸化珪素（Ｄ２５＝１．５６、平均粒径：０．５μｍ、トクヤマ社製：ＳＴ−６１７）、または（ｅ）二酸化珪素（Ｄ２５＝１．４６、平均粒径０．５μｍ、日本触媒社製）を用いた。
【００５３】
なお、Ｄ２５とは、２５℃においてアッベ屈折計を用いて測定された屈折率である。
【００５４】
以下に実施例および比較例における評価方法をまとめて示す。
【００５５】
（１）透過率
樹脂組成物の透過性を、分光光度計（島津製作所社製：ＵＶ３１０１）を用いて、波長６５０ｎｍで測定した。なお、透過率が３０％以上の場合は、パターン認識可能であると評価した。
【００５６】
（２）熱伝導率
８０×５０×２０ｍｍの成形物を作製し、樹脂組成物の熱伝導率を京都電子工業社製のＱＴＭ−Ｄ３を用いて測定した。
【００５７】
（３）温度サイクル試験
半導体装置を−５５℃で１０分間維持後、１２５℃で１０分間維持する操作を行った。この操作を５００回（ＴＳＴ５００）または１０００回（ＴＳＴ１０００）行った後に、デイジーチェーン（ＡＤＶＡＮＴＥＳＴ社製：デジタルマルチメーターＴＲ６８４７）にて半導体装置の電気抵抗値を測定し、その電気抵抗値を初期値（前記操作を行う前の半導体装置の電気抵抗値）と比較した。この電気抵抗値が初期値の２倍以上となった半導体を不良品としてカウントした。
【００５８】
実施例１〜４ならびに比較例１および２
以下のようにして実施例１〜４ならびに比較例１および２の樹脂組成物を製造した。
【００５９】
表１に示す各原料を同表に示す割合で、メチルエチルケトンに混合溶解し、この混合溶液を離型処理したポリエステルフィルム上に塗布した。次に、ポリエステルフィルム上の該溶液を１２０℃で５分間乾燥させ、メチルエチルケトンを除去することにより、上記ポリエステルフィルム上に目的とする厚さ５０μｍの樹脂組成物を製造し、その物性を測定した。
【００６０】
【表１】
2005089660.tif 000002
【００６１】
上記で製造した樹脂組成物とエチルビニルアセテート（剥離シート）を６０℃にて貼り合わせることにより樹脂シートを形成した。この樹脂シートを、ロール貼り合わせ機（日東電工社製：ＤＲ−８５００−ＩＩ）を用いてバンプ付ウエハの回路面上に７０℃にて貼り合わせた。得られたウエハにダイシングテープ（日東電工社製：ＤＵ−３００）を貼り合わせた。次いで、剥離シートを除去した後、ダイシング装置（ＤＩＳＣＯ社製：ＤＦＤ−６５１）を使用して該ウエハを個別チップに切断し、樹脂組成物付チップを製造した。
【００６２】
その後、フリップチップボンダー（九州松下製：ＦＢ３０Ｔ−Ｍ）を使用して樹脂組成物付チップを配線回路基板へ熱圧着実装方式（チップ搭載時：温度１２０℃、圧力＝９．８×１０−２Ｎ／個、時間＝３秒、本圧着時：温度２４０℃、圧力＝４．９×１０−１Ｎ／個、時間＝１０秒）により搭載および樹脂封止して半導体装置を製造した。得られた半導体装置に対して、乾燥炉（タバイエスペック社製：ＰＨＨ−１００）を使用して、１５０℃にて６０分間樹脂組成物のポストキュアを行い、目的とする半導体装置を得た。得られた半導体装置について、上記の評価を行った。その結果を表２に示す。
【００６３】
【表２】
2005089660.tif 000003
【００６４】
表２の結果から、実施例１〜４で製造した半導体装置は、パターン認識可能な透過率を保持し、熱伝導率も高く、温度サイクル試験のＴＳＴ５００サイクルおよびＴＳＴ１０００サイクルにおいて、不良が発生していないことがわかる。
【００６５】
これに対して、比較例１で製造した半導体装置は、透過率は高いものの、熱伝導性は低く、また温度サイクル試験のＴＳＴ５００サイクルにおいて全ての半導体装置で不良が発生した。比較例２で製造した半導体装置は、透過率が低いため、パターン認識ができず所定の半導体素子を得ることができなかった。従って、実施例で製造した半導体装置は比較例で製造した半導体装置と比較して、パターン認識可能な透過率を保持し、かつ熱伝導性が高く、ＴＳＴ試験に対しても安定した電気抵抗値を確保している、すなわち電気接続性に優れることがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明により、パターン認識可能な透過率を保持すると共に熱伝導性に優れた半導体封止用樹脂組成物が提供される。また、該組成物で樹脂封止してなる電気接続信頼性および放熱性に優れた半導体装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】図１は、本発明の樹脂組成物を含有する樹脂シートの一例を示す。
【図２】図２は、バンプ付ウエハの断面図の一例を示す。
【図３】図３は、本発明の半導体装置の製造方法の工程説明図の一例を示す。
【図４】図４は、本発明の半導体装置の製造方法の工程説明図の一例を示す。
【図５】図５は、本発明の半導体装置の製造方法の工程説明図の一例を示す。
【図６】図６は、本発明の半導体装置の製造方法の工程説明図の一例を示す。
【符号の説明】
【００６８】
１    半導体封止用樹脂組成物
２    剥離シート
３    ウエハ
４    バンプ
５    ダイシングテープ
６    個別チップ
７    配線回路基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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