(57)【要約】【課題】  装置のコストアップ、複雑化を招くことなく、極めて容易にホルダーへ位置決めして保持させ、磁気記録媒体の情報の転写を良好に行う。【解決手段】  接離移動可能に取り付けられた片側ホルダー３３及び他側ホルダー３５の押圧内面の少なくとも一方に保持され、転写を受ける磁気記録媒体３９が内部に介装された片側ホルダー３３及び他側ホルダー３５を接近させることで、磁気記録媒体３９が押圧されて密着する磁気転写用マスター担体であって、磁気記録媒体３９とは反対側の裏側押圧面１０ａに、柔軟な弾性緩衝材２１を保持せた。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接離移動可能に取り付けられた片側ホルダー及び他側ホルダーの押圧内面の少なくとも一方に保持され、転写を受ける磁気記録媒体が内部に介装された前記片側ホルダー及び他側ホルダーを接近させることで、前記磁気記録媒体が押圧されて密着する磁気転写用マスター担体であって、
前記磁気記録媒体とは反対側の裏側押圧面に、柔軟な弾性緩衝材が保持されていることを特徴とする磁気転写用マスター担体。
【請求項２】
前記弾性緩衝材が前記裏側押圧面に固着されていることを特徴とする請求項１記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項３】
前記弾性緩衝材が前記裏側押圧面に剥離可能に貼着されていることを特徴とする請求項１記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項４】
前記弾性緩衝材が粘着剤によって貼着されていることを特徴とする請求項３記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項５】
弾性を有する基材フィルムの表面に粘着剤層を有する粘着シートを貼着することにより、前記基材フィルムを前記弾性緩衝材として機能させていることを特徴とする請求項３又は請求項４記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項６】
前記弾性緩衝材が接着剤によって接着固定されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項７】
前記緩衝材が溶着により固定されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項８】
前記弾性緩衝材を、該弾性緩衝材の縁部を前記押圧面の縁部から内側に位置させた状態で前記裏側押圧面の内部に保持していることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１項記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項９】
前記弾性緩衝材を、前記弾性緩衝材の縁部と前記押圧面の縁部とを一致させた状態で前記裏側押圧面に保持していることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１項記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項１０】
前記弾性緩衝材を、前記弾性緩衝材の縁部を前記押圧面の縁部から外側に張り出した状態で前記裏側押圧面に保持していることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１項記載の磁気転写用マスター担体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、互いに密着させることにより、担持された情報を磁気記録媒体であるスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写用マスター担体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハードディスクの記録密度が高密度化され、これに伴い、サーボ信号も細かくなり、このため、磁気転写により書き込み時間の短縮化を図ることが行われつつある。この磁気転写の原理は、ハードディスクに限らず、フロッピーディスクにも応用可能である。
【０００３】
磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等のプリフォーマット情報に対応した凹凸形状の転写パターンを有するマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有する磁気記録媒体であるスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁気パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
この磁気転写における転写品質を高めるためには、スレーブ媒体とマスター担体とをいかに均一に密着させるかが重要な課題である。つまり、密着不良があると、磁気転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合には、トラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。また、上記密着面には塵埃が介在しないことも重要であり、塵埃が付着していると、付着部を中心とし周囲に及ぶ範囲までマスター担体とスレーブの密着が確保できず、信号抜けが発生して信号品位が低下する。
このため、磁気転写を行うホルダーとして、マスター担体及びスレーブ担体を接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとを備えるホルダーの内部空間に収容して対峙或いは密着させるものがある。
【０００５】
この種のホルダーの一例を、図面を参照して説明する。
図８に示すホルダー１は、接離移動可能な片側ホルダー３及び他側ホルダー５を備え、両者の接近に伴い外周のシール部７により密閉形成される内部空間に、スレーブ媒体９、及びその両側にマスター担体１１，１３を配置して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体９とマスター担体１１，１３とを密着させる。
片側ホルダー３の基準となる押圧内面３ａには、マスター担体１１及びスレーブ媒体９を保持し、他側ホルダー５の押圧内面５ａには、マスター担体１３とは別体に構成された弾性緩衝材１５を介してマスター担体１１を保持する。
【０００６】
ここで、片側ホルダー３には、押圧内面３ａに複数の吸引穴３ｂが形成され、これら吸引穴３ｂに連通するエア通路３ｃ及び中空の支持軸３ｄを介して、真空引きされることにより、マスター担体１１を吸着保持する。
また、他側ホルダー５にも、押圧内面５ａに吸引穴５ｂが形成され、片側ホルダー３と同様に、エア通路５ｃ及び中空の支持軸５ｄを介して、真空引きされる。
また、弾性緩衝材１５には、吸引穴５ｂの一部と連通する吸引用の穴１５ａが貫通開口されて、エア吸引が行われる。これにより、凹部内に配設された弾性緩衝材１５及びマスター担体１３は、それぞれ吸引されて保持される。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２５１７２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上記ホルダー１において、他側ホルダー５にマスター担体１３を設置する場合は、まず、他側ホルダー５の押圧内面５ａに弾性緩衝材１５を設置し、その後、この弾性緩衝材１５の表面にマスター担体１３を保持させなければならず、その設置作業が繁雑な上に、他側ホルダー５への弾性緩衝材１５及びマスター担体１３の位置決めが困難であった。
さらに、弾性緩衝材１５及びマスター担体１３の両方を保持する必要があるため、構造の複雑化を招いていた。
【０００９】
ここで、弾性緩衝材１５を押圧内面５ａに接着剤等で保持しておくことが考えられるが、この場合、押圧内面５ａへの正確な位置決めができず、また、消耗品である弾性緩衝材１５の交換時に多大な手間及び時間を要することとなる。
また、内外周端付近の密着性を均一にするためには、弾性緩衝材１５に対してマスター担体１３を高精度に位置決めする必要があるが、そのための装置は極めて高価であり、コストアップの要因となってしまう。しかも、弾性緩衝材１５にマスター担体１３を重ね合わせて位置決めする作業中にマスター担体１３を汚してしまい、信号抜けの原因にもなる恐れがあった。
【００１０】
この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、装置のコストアップ、複雑化を招くことなく、極めて容易にホルダーへ位置決めして保持させることができ、信号抜けなどの不具合なく、磁気記録媒体へ情報の転写を行うことが可能な磁気転写用マスター担体を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明の磁気転写用マスター担体は、接離移動可能に取り付けられた片側ホルダー及び他側ホルダーの押圧内面の少なくとも一方に保持され、転写を受ける磁気記録媒体が内部に介装された前記片側ホルダー及び他側ホルダーを接近させることで、前記磁気記録媒体が押圧されて密着する磁気転写用マスター担体であって、前記磁気記録媒体とは反対側の裏側押圧面に、柔軟な弾性緩衝材が保持されていることを特徴とする。
【００１２】
この磁気転写用マスター担体によれば、位置決めして保持した緩衝材を、片側ホルダーあるいは他側ホルダーの押圧内面における所定の位置に保持させることにより、装置を複雑化してコストアップを招くことなく、極めて容易にかつ精度良く、押圧内面の所定位置にマスター担体を配設することができ、マスター担体の交換及び緩衝材の交換時における作業性を大幅に向上させることができる。しかも、緩衝材及びマスター担体のそれぞれを押圧内面の所定位置に位置決めして保持する場合と比較して、位置決めのためにマスター担体を汚してしまうような不具合なく所定位置に位置決めすることができ、また、信号抜けなどの不具合なく、磁気記録媒体へ情報の転写を行うことができる。
また、密着時における面方向への位置ずれを防止して、磁気記録媒体とマスター担体とを高精度に位置合わせした状態に維持して磁気転写をすることができる。さらに、位置ずれによる擦れをなくすことができ、発塵による信号抜けやマスター担体自体の寿命低下を抑制することができる。
【００１３】
請求項２記載の磁気転写用マスター担体は、前記弾性緩衝材が前記裏側押圧面に固着されていることを特徴とする。
この磁気転写用マスター担体によれば、弾性緩衝部材がマスター担体と一体にされ、マスター担体の取扱性を向上でき、マスター担体の交換時に同時に弾性緩衝部材も交換されることで、工数の削減を図ることができる。
【００１４】
請求項３記載の磁気転写用マスター担体は、前記弾性緩衝材が前記裏側押圧面に剥離可能に貼着されていることを特徴とする。
この磁気転写用マスター担体によれば、弾性緩衝部材の交換が容易になり、メンテナンス性を向上することができる。
【００１５】
請求項４記載の磁気転写用マスター担体は、前記弾性緩衝材が粘着剤によって貼着されていることを特徴とする。
この磁気転写用マスター担体によれば、粘着剤によって弾性緩衝材を貼り付けたので、粘着剤による貼り付け部分で弾性緩衝材をマスター担体から容易に剥がして交換することができる。
【００１６】
請求項５記載の磁気転写用マスター担体は、弾性を有する基材フィルムの表面に粘着剤層を有する粘着シートを貼着することにより、前記基材フィルムを前記弾性緩衝材として機能させていることを特徴とする。
この磁気転写用マスター担体によれば、表面に粘着剤層を有する粘着シートによって、マスター担体に貼り付けられて基材フィルムが緩衝材とされているので、粘着シートによる貼り付け部分で基材フィルムをマスター担体から容易に剥がして交換することができる。また、平坦なフィルム状の粘着剤層によって基材フィルムからなる緩衝材を貼り付けるので、高精度な厚み寸法を得ることができる。さらに、緩衝材をマスター担体に保持する際の作業性が良く、工数も少なくすることができる。
【００１７】
請求項６記載の磁気転写用マスター担体は、前記弾性緩衝材が接着剤によって接着固定されていることを特徴とする。
この磁気転写用マスター担体によれば、接着剤によって弾性緩衝材が強固に接着固定されているので、良好な貼り付け状態を長期間確実に維持することができる。
【００１８】
請求項７記載の磁気転写用マスター担体は、前記緩衝材が溶着により固定されていることを特徴とする。
この磁気転写用マスター担体によれば、良好な貼り付け状態を長期間確実に維持することができ、しかも、接着剤などを使用せずに比較的高い強度で接合することができる。
【００１９】
請求項８記載の磁気転写用マスター担体は、前記弾性緩衝材を、該弾性緩衝材の縁部を前記押圧面の縁部から内側に位置させた状態で前記裏側押圧面の内部に保持していることを特徴とする。
この磁気転写用マスター担体によれば、磁気記録媒体への押圧による密着によって弾性緩衝材が圧縮された際に、弾性緩衝材の周囲が変形してマスター担体の縁部に入り込み、これにより、マスター担体の押圧面の全体に弾性緩衝材の弾性力が均等に作用し、磁気記録媒体との均一な密着状態を得ることができる。
【００２０】
請求項９記載の磁気転写用マスター担体は、前記弾性緩衝材を、前記弾性緩衝材の縁部と前記押圧面の縁部とを一致させた状態で前記裏側押圧面に保持していることを特徴とする。
この磁気転写用マスター担体によれば、弾性緩衝材を、その縁部でマスター担体と位置決めすることにより、マスター担体のホルダーへの位置決めも容易にかつ精度良く行うことができる。
【００２１】
請求項１０記載の磁気転写用マスター担体は、前記弾性緩衝材を、前記弾性緩衝材の縁部を前記押圧面の縁部から外側に張り出した状態で前記裏側押圧面に保持していることを特徴とする。
この磁気転写用マスター担体によれば、弾性緩衝材の把持が容易であるので、ホルダーへ保持する際に、マスター担体をさわって汚してしまうような不具合をなくすことができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の磁気転写用マスター担体によれば、位置決めして保持した弾性緩衝材を、片側ホルダーあるいは他側ホルダーの押圧内面における所定の位置に保持させることにより、装置を複雑化してコストアップを招くことなく、極めて容易にかつ精度良く、押圧内面の所定位置にマスター担体を配設することができ、マスター担体の交換及び弾性緩衝材の交換時における作業性を大幅に向上させることができる。
しかも、弾性緩衝材及びマスター担体のそれぞれを押圧内面の所定位置に位置決めして保持する場合と比較して、位置決めのためにマスター担体を汚してしまうような不具合なく所定位置に位置決めすることができ、また、信号抜けなどの不具合なく、磁気記録媒体へ情報の転写を行うことができる。
また、密着時における面方向への位置ずれを防止して、磁気記録媒体とマスター担体とを高精度に位置合わせした状態に維持して磁気転写をすることができる。さらに、位置ずれによる擦れをなくすことができ、発塵による信号抜けやマスター担体自体の寿命低下を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明にかかる磁気転写用マスター担体の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１は本実施形態にかかるマスター担体を説明するマスター担体の断面図である。
図１に示すように、マスター担体１００は、基体１０と、基体１０の押圧面における背面（裏側押圧面）１０ａに保持させた弾性緩衝材２１とを有している。基体１０の裏側押圧面１０ａに設けられた弾性緩衝材２１は、粘着剤によって基体１０の裏側押圧面１０ａに、予め位置決めされて貼り付けられている。マスター担体１００の基体１０及び弾性緩衝材２１は、それぞれ円板状のディスクに形成されており、弾性緩衝材２１は、その内径Ｄ1が基体１０の内径ｄ1よりも僅かに小さくされ、外径Ｄ2が基体１０の外径ｄ2よりも僅かに大きくされている。
【００２４】
ここで、マスター担体１００は、基体１０上に形成された微細凹凸パターンに磁性層が被覆されており、その面が、後述するスレーブ媒体３９に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面となる。マスター担体１００の基体１０としては、ニッケルシリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等が使用される。凹凸パターンの形状は、スタンパー法等によって行われる。磁性層の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンブレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。なお、内面記録と垂直記録とでは、ほぼ同様のマスター担体１００が使用される。
【００２５】
また、弾性緩衝材２１は、均等に圧力を加えるためのもので、柔軟な弾性特性を有する材料から形成される。弾性特性を有する材料としては、ウレタンゴムやＮＢＲ（ニトリルブタジエンゴム）等が使用できる。この弾性材にフッ素等を含浸させると、表面摩擦係数が小さくなり、発塵がさらに抑制できる。弾性緩衝材２１は、射出成形、ウォータージェット加工、冷間加工等により、所望の形状に加工される。弾性緩衝材２１の弾性率（ヤング率）は、５ＭＰａ〜２００ＭＰａである。また、弾性緩衝材２１の、マスター担体１００の基体１０を押圧する部分の厚みばらつきは、１００μｍ以下である。即ち、厚い部分と薄い部分との差が１００μｍ以下となるように均一な厚みに形成される。
【００２６】
次に、スレーブ媒体の両面に密着されて磁気転写を行うマスター担体として、一方の面に上記弾性緩衝材２１が貼り付けられたマスター担体１００を用いる場合について説明する。
図２に磁気転写装置のホルダーを説明する断面図を示した。
ホルダー３１は、接離移動可能な片側ホルダー３３及び他側ホルダー３５を備え、両者の接近に伴い外周のシール部３７により密閉形成される内部空間に、スレーブ媒体３９、マスター担体１００を配置して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体３９とマスター担体１００とを密着させる。ここで、密着とは、接触密着と、ごく僅かな隙間をあけて対峙させることのいずれかを指すものとする。即ち、磁気転写用マスター担体は、接離移動可能に取り付けられた片側ホルダー３３及び他側ホルダー３５の押圧内面の少なくとも一方（ここでは他側ホルダー３５）に保持され、転写を受けるスレーブ媒体３９を内部に介装させて、片側ホルダー３３及び他側ホルダー３５を接近させることで、スレーブ媒体３９がマスター担体１００に押圧されて密着することになる。そして、スレーブ媒体３９とは反対側の裏側押圧面に、柔軟な弾性緩衝材２１が保持されている。
【００２７】
ここで、スレーブ媒体３９は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円板状磁気記録媒体である。このスレーブ媒体３９の磁気記録部は、塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【００２８】
片側ホルダー３３の基準となる押圧内面３３ａにスレーブ媒体３９を保持し、他側ホルダー３５の押圧内面３５ａに弾性緩衝材２１が貼り付けられた本発明に係るマスター担体１００を保持する。
【００２９】
ここで、片側ホルダー３３には、押圧内面３３ａに複数の吸引穴３３ｂが形成され、これら吸引穴３３ｂに連通するエア通路３３ｃ及び支持軸３３ｄを介して、真空引きされることにより、スレーブ媒体３９を吸着保持する。
また、他側ホルダー３５にも、押圧内面３５ａに吸引穴３５ｂが形成され、片側ホルダー３３と同様に、エア通路３５ｃ及び支持軸３５ｄを介して、真空引きされる。
【００３０】
そして、マスター担体１００は、裏側押圧面１０ａに貼り付けられた弾性緩衝材２１を、他側ホルダー３５に形成された凹部３５ｅに嵌め込んだ状態にて、エア通路３５ｃ及び中空の支持軸３５ｄを介して真空引きすることにより、吸引される弾性緩衝材２１とともに他側ホルダー３５に保持される。
なお、片側ホルダー３３及び他側ホルダー３６に対するマスター担体１００の位置決めは、位置決めマークをＣＣＤ等で撮影した画像処理によって合わせる方式や、位置決め部材によって合わせる方式などが適宜採用可能である。
【００３１】
また、他側ホルダー３５の外周に設置されたシール部３７は、リング状であり、他側ホルダー３５の外周面に突設されたフランジ３５ｆに装着されて、弾性部材３７ａを介して軸方向（接離方向）にその変形量だけ移動可能とされている。このシール部３７の端面には、Ｏリングによる端面シール材３７ｂを備え、片側ホルダー３３の内面３３ａに圧接して内部空間の開閉シールを行う。また、シール部３７の内周面には、Ｏリングによる周面シール材３７ｃを備え、他側ホルダー３５の外周面との間の摺動シールを行う。
【００３２】
転写用磁界及び必要に応じて初期磁界を印加する不図示の磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体３９の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石がホルダー３１の両側に配設されており、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁化を印加する。そして、ホルダー３１を回転させて、スレーブ媒体３９とマスター担体１００の全面に転写用磁界を印加する。なお、磁界印加装置を回転移動させるように設けても良い。また、磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設しても良い。さらに、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石をホルダー３１の両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、ホルダー３１を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００３３】
次に、磁気転写工程を説明する。前述したように、マスター担体１００及びスレーブ媒体３９を図２に示すように保持させたら、他側ホルダー３５を片側ホルダー３３に接近移動させる。
そして、ホルダー３１の内部空間を閉じた後に、真空吸引手段により内部空間のエア排出を行なって減圧し、内部を所定の真空度とするとともに、さらに他側ホルダー３５を片側ホルダー３３に接近させる。
【００３４】
このようにすると、スレーブ媒体３９にマスター担体１００が接触し、真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧力で、弾性緩衝材２１を介して片側ホルダー３３に向けてスレーブ媒体３９とマスター担体１００とに均一かつ平行に密着力が加わり、所定の密着圧力で密着される。
その後、ホルダー３１の両側に磁界印加装置を接近させ、ホルダー３１を回転させつつ磁界印加装置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加することにより、マスター担体１００の転写パターンに応じた磁気パターンがスレーブ媒体３９の磁気記録部に転写記録される。
【００３５】
転写磁界は、マスター担体１００の転写パターンにおけるスレーブ媒体３９と密着した磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合には、この部分の初期磁化は反転せず、その他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合には、この部分の初期磁化が反転し、その他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体３９には、マスター担体１００の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【００３６】
また、マスター担体１００には、その裏側押圧面１０ａに弾性緩衝材２１が貼り付けられているので、スレーブ媒体３９の両面にマスター担体１００を密着させる際に、マスター担体１００が、弾性緩衝材２１を介して変形量が５〜５００μｍとなる密着力で均一に押圧され、弾性緩衝材２１の変形でマスター担体１００とスレーブ媒体３９との接触面が一致した状態で密着され、スレーブ媒体３９とマスター担体１００間に隙間ができることなく全面で均一に密着され、マスター担体１００に形成された転写パターンに正確に対応した磁化パターンをスレーブ媒体３９に転写記録することができる。また、弾性緩衝材２１に過大な変形がなく、マスター担体１００の面方向へのずれも小さく、転写記録信号の位置ずれが許容ずれ量の範囲内におさまり、均一密着による転写品質が良好で、信頼性の高い磁気転写が行える。
【００３７】
そして、この実施形態の磁気転写用マスター担体１００によれば、位置決めして保持した弾性緩衝材２１を、片側ホルダー３３あるいは他側ホルダー３５の押圧内面３３ａ、３５ａにおける所定の位置に保持させることにより、装置を複雑化してコストアップを招くことなく、極めて容易にかつ精度良く、押圧内面３３ａ、３５ａの所定位置にマスター担体１００を配設することができ、マスター担体１００の交換及び弾性緩衝材２１の交換時における作業性を大幅に向上させることができる。
【００３８】
しかも、緩衝材及びマスター担体のそれぞれを押圧内面の所定位置に位置決めして保持する場合と比較して、位置決めのためにマスター担体１００を汚してしまうような不具合なく所定位置に位置決めすることができ、また、信号抜けなどの不具合なく、スレーブ媒体３９へ情報の転写を行うことができる。
また、密着時における面方向への位置ずれを防止して、スレーブ媒体３９とマスター担体１００とを高精度に位置合わせした状態に維持して磁気転写をすることができる。さらに、位置ずれによる擦れをなくすことができ、発塵による信号抜けやマスター担体１００自体の寿命低下を抑制することができる。
【００３９】
また、押圧平面上における外形が大きな弾性緩衝材２１を保持したので、弾性緩衝材２１の把持が容易であり、片側ホルダー３３あるいは他側ホルダー３５へ保持する際に、マスター担体１００をさわって汚してしまうような不具合をなくすことができる。
しかも、粘着剤によって弾性緩衝材２１を貼り付けたので、粘着剤による貼り付け部分にて弾性緩衝材２１をマスター担体１００から容易に剥がして交換することもできる。
【００４０】
上記実施形態では、マスター担体１００の裏側押圧面１０ａに貼り付けた弾性緩衝材２１として、その内径Ｄ1がマスター担体１００の基体１０の内径ｄ1よりも僅かに小さくされ、外径Ｄ2がマスター担体１００の外径ｄ2よりも僅かに大きくされたものを用いたが、弾性緩衝材２１としては、上記のものに限定されない。
【００４１】
図３及び図４に示すものは、それぞれ他のマスター担体を示すマスター担体の断面図である。
図３に示すように、このマスター担体１１０には、その裏側押圧面１０ａに、円板状の弾性緩衝材２１が、粘着剤によって予め位置決めされて貼り付けられている。
このマスター担体１１０に貼り付けられた弾性緩衝材２１は、その内径Ｄ1がマスター担体１１０の基体１０の内径ｄ1と同一にされ、外径Ｄ2が基体１０の外径ｄ2と同一にされている。
そして、上記構造のマスター担体１１０によれば、弾性緩衝材２１が同一平面外形であるので、弾性緩衝材２１を、その外形にて位置決めすることにより、マスター担体１１０のホルダへの位置決めも容易にかつ精度良く行うことができる。
【００４２】
また、図４に示すように、このマスター担体１２０には、その裏側押圧面１０ａに、円板状の弾性緩衝材２１が粘着剤によって予め位置決めされて貼り付けられている。
このマスター担体１２０に貼り付けられた弾性緩衝材２１は、その内径Ｄ1がマスター担体１００の基体１０の内径ｄ1よりも大きくされ、外径Ｄ2が基体１０の外径ｄ2よりも小さくされている。
そして、上記構造のマスター担体１２０によれば、スレーブ媒体３９への押圧密着により弾性緩衝材２１が圧縮された際に、弾性緩衝材２１の周囲が変形して、マスター担体１２０の基体１０の縁部にまで延びて、これにより、基体１０の裏側押圧面１０ａ全体に弾性緩衝材２１の弾性力が均等に作用し、スレーブ媒体３９との均一な密着状態を得ることができる
【００４３】
また、前述した磁気転写では、他側ホルダー３５に、弾性緩衝材２１が貼り付けられたマスター担体１００を保持させ、片側ホルダー３３に、スレーブ媒体３９を保持させたが、これに限らず、片側ホルダー３３に弾性緩衝材２１の有しないマスター担体も保持させて、両面転写を実施してもよい。そして、片側ホルダー３３及び他側ホルダー３５へのマスター担体１００の保持の仕方は、上記の実施形態に限定されない。
【００４４】
図５に磁気転写装置のホルダーの断面図を示した。
ホルダー３１の他側ホルダー３５に、押圧平面で外形寸法の大きな弾性緩衝材２１が裏側押圧面１０ａに貼り付けられたマスター担体１００が保持されている。さらに、片側ホルダー３３には、弾性緩衝材２１が裏側押圧面１０ａに貼り付けられたマスター担体１１０が保持され、このマスター担体１１０の表面にスレーブ媒体３９が保持されている。
【００４５】
このように、片側ホルダー３３及び他側ホルダー３５の両方に、弾性緩衝材２１が貼り付けられたマスター担体１００、１１０を保持した場合、磁気転写のために、他側ホルダー３５を片側ホルダー３３に接近させてマスター担体１００、１１０によってスレーブ媒体３９を挟持させると、それぞれのマスター担体１００、１１０の裏側押圧面１０ａに貼り付けられた弾性緩衝材２１によって、マスター担体１００、１１０がスレーブ媒体３９の全面にわたってバランス良く均一に押し付けられ、良好な磁気転写が可能となる。
【００４６】
なお、上記の実施形態では、粘着剤によって弾性緩衝材２１をマスター担体１００に貼り付けたが、弾性緩衝材２１は、マスター担体１００に少なくとも保持されていれば良く、脱着自在としても良い。
図６にマスター担体への緩衝材の保持構造を示す断面図を示した。
このマスター担体１３０は、弾性緩衝材２１が、マスター担体１３０の基体１０に嵌合可能な凹部２１ａを有している。そして、このマスター担体１３０は、基体１０が弾性緩衝材２１の凹部２１ａと嵌合することにより、その裏側押圧面１０ａに弾性緩衝材２１が保持された状態とされている。
この構成によれば、弾性緩衝材２１が基体１０に対して脱着自在となり、また、嵌合により保持位置も規定されるため、弾性緩衝材２１の交換が容易な構成で良好な磁気転写を得ることが可能となる。
【００４７】
図７にマスター担体に貼り付けられる緩衝材として用いられる粘着シート及び剥離フィルムの断面図を示した。
この粘着シート５１は、基材フィルム５３の表面に粘着剤層５５を有するもので、粘着剤層５５が、ポリエチレンテレフタレート等から形成された剥離フィルム５７によって保護されている。
【００４８】
つまり、所定の寸法に切断した粘着シート５１の剥離フィルム５７を剥がして粘着剤層５５を露出させ、この粘着シート５１を、マスター担体の裏側押圧面に貼り付けることにより、粘着シート５１をマスター担体に対する弾性緩衝材として機能させることができる。
【００４９】
そして、このような粘着シート５１をマスター担体の基体の裏側押圧面に貼り付けて粘着シート５１の基材フィルム５３を弾性緩衝材とする場合、塗布の仕方によっては厚みに多少のばらつきが生じる粘着剤を用いた場合と比較して、マスター担体全体の厚みを高精度に一定にすることができ、より高品位に磁気転写を行うことができる。
また、この場合も、弾性緩衝材とされた基材フィルム５３を剥がすことで、弾性緩衝材を容易に交換することができる。
【００５０】
なお、粘着シート５１の粘着剤層５５は、アクリル系の粘着剤からなるもので、厚さ１０μｍのものでは、例えば、ミラーウエハに対して、約０.３９（Ｎ／２０ｍｍ）、ポロイミドウエハに対しては約２.４０（Ｎ／２０ｍｍ）程度の粘着力を生じ、貼り剥がしにより残留する異物の程度を表すパーティクル数（０.２８μｍ以下）が約７（個／４ｉｎｃｈ）程度のものが好ましい。また、この粘着シート５１の粘着剤層５５は、厚さ１５μｍのものでは、例えば、ミラーウエハに対して、約１.８（Ｎ／２０ｍｍ）、ポロイミドウエハに対しても約１.８（Ｎ／２０ｍｍ）程度の粘着力を生じ、そのときのパーティクル数（０.２８μｍ以下）が約１０（個／４ｉｎｃｈ）程度のものが好ましい。
【００５１】
なお、基材フィルム５３の厚さは約１３５μｍ程度とされ、剥離フィルム５７の厚さは約５０μｍ程度とされている。
また、この基材フィルム５３としては、合成樹脂、天然ゴム、合成ゴム等から製造されたフィルムが挙げられる。具体的に例示すると、ポリオレフィン、ポリエステル、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、ポリブタジエン、軟質塩化ビニル樹脂、ポリアミド、アイオノマー等の樹脂、およびそれらの共重合体エラストマー、およびジエン系、ニトリル系、シリコーン系、アクリル系等の合成ゴム等のフィルムが挙げられる。基材フィルム５３は単層体であっても、また、積層体であってもよい。
【００５２】
さらに、基材フィルム５３と粘着剤層５５との接着力を向上させるため、基材フィルム５３の粘着剤層５５を設ける面にはコロナ放電処理または化学処理等を施すことが好ましい。また、基材フィルム５３と粘着剤層５５の間に下塗り剤を用いてもよい。
粘着剤層５５から剥離フィルム５７を剥離する際に生じる静電気により、作業性が低下したり、外部からの汚染物が付着し易くなることを考慮すれば、基材フィルム５３の粘着剤層５５と反対側の面には静電気防止処理を施すことが好ましい。静電気防止処理方法としては、界面活性剤等の静電気防止剤を塗布する方法、コロナ放電処理を施す方法等が挙げられる。
【００５３】
粘着シート５１の粘着剤層５５は、基材フィルム５３または剥離フィルム５７の片表面に、粘着剤塗布液を塗布、乾燥することにより形成される。粘着剤塗布液は、その基本成分である粘着剤ポリマー、及び、凝集力を上げたり粘着力を調整するための１分子中に２個以上の架橋反応性官能基を有する架橋剤を含む溶液またはエマルジョン液である。粘着特性を調整するためにロジン系、テルペン樹脂系等のタッキファイヤーを適宜添加してもよい。また、粘着剤ポリマーがエマルジョン液である場合はジエチレングリコールモノアルキルエーテル等の造膜助剤を添加してもよい。
【００５４】
また、粘着シート５１の粘着剤層５５を構成する粘着剤ポリマーとしては、架橋剤と架橋反応し得る官能基を有する各種合成ゴム系ポリマー等が挙げられる。これらの内、粘着物性の制御、再現性等を考慮すると、アクリル酸アルキルエステル系ポリマー、メタクリル酸アルキルエステル系ポリマー、ブタジエン系ポリマー、イソプレン系ポリマー、スチレン−ブタジエン系ポリマー等が挙げられる。これらの内、アクリル酸アルキルエステル系ポリマー、メタクリル酸アルキルエステル系ポリマーが好ましい。粘着剤ポリマーを含む液体（以下、粘着剤主剤）は溶液、エマルジョン液等のいずれでもよい。
【００５５】
粘着剤ポリマーがアクリル酸アルキルエステル系ポリマー、またはメタクリル酸アルキルエステル系ポリマーである場合、粘着剤ポリマーを構成する主モノマーとして、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘキシル、メタクリル酸−２−エチルヘキシル等のアクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、また、２種以上を混合して使用してもよい。主モノマーの使用量は粘着剤ポリマーの原料となる全モノマーの総量中に、通常、６０〜９９重量％の範囲で含まれていることが好ましい。
【００５６】
上記主モノマーと共重合させる、架橋剤と反応し得る官能基を有するコモノマーとして、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、メサコン酸、シトラコン酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸モノアルキルエステル、メサコン酸モノアルキルエステル、シトラコン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステル、マレイン酸モノアルキルエステル、アクリル酸−２−ヒドロキシエチル、メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド、ターシャル−ブチルアミノエチルアクリレート、ターシャル−ブチルアミノエチルメタクリレート等が挙げられる。これらの一種を上記主モノマーと共重合させてもよいし、また２種以上を共重合させてもよい。上記の架橋剤と反応しうる官能基を有するコモノマーの使用量は、粘着剤ポリマーの原料となる全モノマーの総量中に、通常、１〜４０重量％の範囲で含まれていることが好ましい。
【００５７】
ここでは、上記粘着剤ポリマーを構成する主モノマー及び架橋剤と反応し得る官能基を有するコモノマーの他に界面活性剤としての性質を有する特定のコモノマー（以下、重合性界面活性剤と称する）を共重合してもよい。重合性界面活性剤は、主モノマー及びコモノマーと共重合する性質を有すると共に乳化重合する場合には乳化剤としての作用を有する。
【００５８】
さらに、マスター担体１００へ弾性緩衝材２１を貼り付ける方法としては、接着あるいは溶着による方法でも良い。
接着による方法は、マスター担体の基体の裏側押圧面に、弾性緩衝材２１を接着剤によって直接貼り付けるもので、この場合、着脱はできないものの、貼り付け状態を長期間確実に維持することができる。
また、溶着による方法は、マスター担体の裏側押圧面に弾性緩衝材２１を溶着して直接貼り付けるもので、この場合も、貼り付け状態を長期間確実に維持することができる。いずれの方法も、マスター担体に弾性緩衝材２１が一体に保持されて、マスター担体の取り扱い性を向上することができる。
【００５９】
なお、溶着方法としては、熱板溶着、振動溶着、超音波溶着あるいは高周波誘導加熱溶着などがある。
熱板溶着は、高温の熱源に樹脂を接触させて溶融し、溶融部分が冷えて固まる前に接合するものである。振動溶着は、接合する樹脂部分に振動を与えることにより、摩擦エネルギーによって溶融接合させるものである。超音波溶着は、接合する樹脂部分に超音波振動を与えることにより、溶融接合させるものである。さらに、高周波誘導加熱溶着は、磁性体や導電体に高周波磁界を印加して、過電流損失により起こる発熱を利用して溶着するものである。
そして、これら各溶着では、接着剤を使用せずに比較的高い強度で接合することができる点で有効である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明にかかる磁気転写用マスター担体の実施形態を説明するマスター担体の断面図である。
【図２】磁気転写用マスター担体からスレーブ媒体に磁気転写を行う磁気転写装置のホルダーを示す概略断面図である。
【図３】他の構造の磁気転写用マスター担体を説明する断面図である。
【図４】他の構造の磁気転写用マスター担体を説明する断面図である。
【図５】磁気転写用マスター担体からスレーブ媒体に磁気転写を行う磁気転写装置のホルダーを示す概略断面図である。
【図６】他の構造の磁気転写用マスター担体を説明する断面図である。
【図７】マスター担体の裏側押圧面に貼り付けて緩衝材とされる粘着シートを説明する概略断面図である。
【図８】磁気転写用マスター担体からスレーブ媒体に磁気転写を行う磁気転写装置のホルダーを示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０  基体
１０  裏側押圧面
２１  緩衝材
３３  片側ホルダー
３３ａ  押圧内面
３５  他側ホルダー
３９  スレーブ媒体（磁気記録媒体）
５１  粘着シート
５３  基材フィルム
５５  粘着剤層
１００，１１０，１２０，１３０  磁気転写用マスター担体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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