(57)【要約】【課題】  接着シートで保護膜を覆う構造でありながら、信頼性の高い半導体装置および半導体装置の製造方法、回路基板ならびに電子機器を提供する。【解決手段】  半導体装置の製造方法は配線パターン１２が形成され、開口２６を有し開口２６以外で配線パターン１２を覆うように保護膜３０が形成された基板１０を用いる。開口２６と、開口２６と保護膜３０との境界を含む範囲に、配線パターン１２と基板１０との段差に気泡が形成されるように、接着シート３４を貼り付け、加熱し軟化させる。接着シート３４によって半導体素子２０を基板１０に接着する。保護膜３０は開口２６に連通する溝３２を有し、接着シート３４を溝３２の一部を避けて貼り付け、接着シート３４を加熱して軟化させることで、気泡を溝３２を通して排出する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線パターンが形成され、矩形の開口を有し該開口以外の領域で前記配線パターンを覆うように保護膜が形成された基板を用いる半導体装置の製造方法であって、
前記開口と、該開口と前記保護膜との境界と、を含む範囲に、前記開口内で前記配線パターンと前記基板との段差に気泡が形成されるように、接着シートを貼り付けること、
前記接着シートを加熱し軟化させること、及び、
前記接着シートによって、半導体素子を前記基板に接着すること、
を含み、
前記保護膜は、前記開口の角部に連通する溝を有し、
前記接着シートを、前記溝の少なくとも一部を避けて貼り付け、
前記接着シートを加熱して軟化させることで、前記気泡を、前記溝を通して排出する半導体装置の製造方法。
【請求項２】
配線パターンが形成され、矩形の開口を有し該開口以外の領域で前記配線パターンを覆うように保護膜が形成された基板を用いる半導体装置の製造方法であって、
前記開口と、該開口と前記保護膜との境界と、を含む範囲に、前記開口内で前記配線パターンと前記基板との段差に気泡が形成されるように、多孔質の接着シートを貼り付けること、
前記接着シートを加熱して軟化させ、前記多孔質の接着シート自体を通して前記気泡を排出すること、及び、
前記接着シートによって、半導体素子を前記基板に接着すること、
を含む半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記接着シートが、前記気泡を排出させる多孔質の接着シートである半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記接着シートの端部に複数の切り込みを形成する半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の半導体装置の製造方法において、
前記切り込みを、前記開口と前記保護膜との境界にかかるように設ける半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記接着シートは導電粒子が分散されており、前記導電粒子により前記配線パターンと前記電極とを電気的に接続する半導体装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記接着シートが、絶縁シートである半導体装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載された方法で製造されてなる半導体装置。
【請求項９】
請求項８に記載の半導体装置が搭載されてなる回路基板。
【請求項１０】
請求項８に記載の半導体装置を有する電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法及び半導体装置、回路基板並びに電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の電子機器の小型化に伴い、高密度実装に適した半導体装置のパッケージが要求されている。これに応えるために、ＢＧＡ（Ball Grid Array））やＣＳＰ（Chip Scale/Size Package）のような表面実装型パッケージが開発されている。表面実装型パッケージでは、半導体素子に接続される配線パターンの形成された基板が使用されることがある。
【０００３】
従来の表面実装型パッケージでは、基板の配線パターンの上に異方性導電膜（ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）、異方性導電シートとも呼ばれる。）、又はＮＣＦ（Non Conductive Film）等の接着シートで半導体素子を固定する半導体装置が知られていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
従来の半導体装置の製造方法では、基板の配線パターンの上を接着シートで覆うとき、基板上の配線パターンと接着シートとの間に、空気が入り込み気泡（ボイド）ができないようにすることが難しかった。そして、接着シートの硬化又はリフローのために加熱するとき、気泡の膨張により接着シートにクラックが生じないようにすることが難しかった。また、クラックの発生及び水分が入り込むことによる配線パターンのマイグレーションを防ぐことが難しかった。
【０００５】
本発明の目的は、接着シートで配線パターンを覆う構造でありながら、信頼性の高い半導体装置の製造方法および半導体装置、回路基板ならびに電子機器を提供することにある。
【特許文献１】特開２００３−３１６０２号公報
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明に係る半導体装置の製造方法は、配線パターンが形成され、矩形の開口を有し該開口以外の領域で前記配線パターンを覆うように保護膜が形成された基板を用い、
前記開口と、該開口と前記保護膜との境界と、を含む範囲に、前記開口内で前記配線パターンと前記基板との段差に気泡が形成されるように、接着シートを貼り付けること、
前記接着シートを、加熱し軟化させること、及び、
前記接着シートによって、半導体素子を前記基板に接着すること、
を含み、
前記保護膜は、前記開口の角部に連通する溝を有し、
前記接着シートを、前記溝の少なくとも一部を避けて貼り付け、
前記接着シートを加熱して軟化させることで、前記気泡を、前記溝を通して排出する。本発明によれば、段差にある気泡を保護膜の溝を通して外部に容易に排出することができる。したがって、接着シートで基板の配線パターンを覆う構造でありながら、接着シートと基板の間に空気が入り込まず、気泡（ボイドとも言う。）ができにくい信頼性の高い半導体装置の製造方法を提供することができる。
（２）本発明に係る半導体装置の製造方法は、配線パターンが形成され、矩形の開口を有し該開口以外の領域で前記配線パターンを覆うように保護膜が形成された基板を用い、
前記開口と、該開口と前記保護膜との境界と、を含む範囲に、前記開口内で前記配線パターンと前記基板との段差に気泡が形成されるように、多孔質の接着シートを貼り付けること、
前記接着シートを加熱して軟化させ、前記多孔質の接着シート自体を通して前記気泡を排出すること、及び、
前記接着シートによって、半導体素子を前記基板に接着すること、
を含む。本発明によれば、段差にある気泡を多孔質の接着シートの孔部から外部に容易に排出することができる。したがって、接着シートで基板の配線パターンを覆う構造でありながら、接着シートと基板の間に空気が入り込まず、気泡（ボイド）ができにくい信頼性の高い半導体装置の製造方法を提供することができる。
（３）この半導体装置の製造方法において、前記接着シートが、前記気泡を排出させる多孔質の接着シートであってもよい。
（４）この半導体装置の製造方法において、前記接着シートの端部に複数の切り込みを形成してもよい。
（５）この半導体装置の製造方法において、前記切り込みを、前記開口と前記保護膜との境界にかかるように設けてもよい。
（６）この半導体装置の製造方法において、前記接着シートは導電粒子が分散されており、前記導電粒子により前記配線パターンと前記電極とを電気的に接続してもよい。
（７）この半導体装置の製造方法において、前記接着シートが、絶縁シートであってもよい。
（８）本発明に係る半導体装置は、上記の方法で製造されてなる。
（９）本発明に係る回路基板は、上記半導体装置が搭載されてなる。
（１０）本発明に係る電子機器は、上記半導体装置を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【０００８】
（第1の実施の形態）
図１及び図２は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。図３は、図２に示す半導体装置のIII-III線断面図である。
【０００９】
（１）本実施の形態では、図１（Ａ）に示すように配線パターン１２を少なくとも一方の面に形成した基板１０を使用する。基板１０は、フレキシブル基板等の有機系材料から形成されたもの、金属系基板等の無機系材料から形成されたもの、両者の組み合わされたもの、のいずれでもよい。フレキシブル基板として、テープキャリアが使用されてもよい。基板１０は、スルーホール１４を形成する。配線パターン１２は、スルーホール１４をまたいで形成する。また、配線パターン１２の一部として、基板上に半導体素子２０の電極接続用ランド１５、及びスルーホール１４上には外部電極形成用のランド１６を設ける。
【００１０】
（２）基板１０に保護膜３０を形成する。保護膜３０は、配線パターン１２を覆って、水分等から配線パターン１２を保護する役割を担う。保護膜３０は、例えば、ソルダーレジストを使用する。保護膜３０を、基板１０上の半導体素子２０が搭載される矩形の開口２６以外の領域２８に、領域２８にある配線パターン１２を覆うように形成する。一般に、開口２６を、半導体素子２０の電極２２を有する面２４の面積より、広く形成すればよい。保護膜３０は、例えば、樹脂インクでの印刷法（スクリーン印刷法）等で形成してもよい。
【００１１】
このとき、保護膜３０の矩形の開口２６の角部に溝３２を形成する。溝３２は、開口２６の角部に連通している。一端が開口２６の角部に接続し、かつ他端が接着シート３４の接着範囲外に相当する位置に達するように形成してもよい。本実施の形態では、溝３２を４角部に設けているが、開口の４辺に設けてもよい。また、溝３２を設けていない角部若しくは辺があってもよい。溝３２の底面は、開口２６と面一でもよいし、保護膜３０の層が残っていてもよい。又、溝３２の底面は、開口２６から始まる傾斜面でもよい。
【００１２】
（３）上述のような保護膜３０を形成した基板１０に、接着シート３４を貼り付ける。接着シート３４は、半導体素子２０と配線パターン１２の間に介在することによって、半導体素子２０を基板１０に固定する役割を担う。接着シート３４は、異方性導電膜（ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）、異方性導電シートとも呼ばれる。）、又はＮＣＦ（Non Conductive Film）等であってもよい。
【００１３】
異方性導電膜は、接着剤（バインダ）に導電粒子（導電フィラー）が分散されたものである。また、分散剤が添加される場合もある。異方性導電膜には、導電粒子が分散されているため、導電粒子により配線パターン１２の電極接続用ランド１５と電極２２とを電気的に接続することができる。なお、導電粒子を含有しない接着シート（例えば、ＮＣＦ（Non Conductive Film））を用いても、加圧することにより、配線パターン１２の電極接続用ランド１５と電極２２とを電気的に接続することができる。
【００１４】
接着シート３４の接着剤としては、エポキシ系を代表例とする熱硬化型接着剤を使用してもよいし、エポキシ系又はアクリレート系を代表例とする光硬化型接着剤を使用してもよい。さらに、電子線硬化タイプ、熱可塑（熱接着）タイプの接着剤を用いてもよい。
【００１５】
本実施の形態では、図１（Ａ）に示すように、接着シート３４を、半導体素子２０が搭載される開口２６と該開口２６と保護膜３０との境界とを含む範囲に貼り付ける。このとき、接着シート３４を、少なくとも溝３２の一部を避けて貼り付けてもよい。溝３２の終端が、接着シート３４の外に露出するように貼り付けてもよい。その後、接着シート３４を、加熱して軟化させる。例えば、第１のヒータ３６が内蔵された第１の治具３８の上に置き、十分に軟化させてもよい。所定の温度の恒温槽内に放置して軟化させてもよい。接着シート３４単独で、加熱してもよい。熱硬化型接着剤を用いた接着シート３４に関しては、硬化に至らない温度で加熱する。接着シート３４を、６０℃から１００℃の温度、２分から１時間の保持時間で加熱することが望ましい。
【００１６】
接着シート３４は、軟化して重力方向に垂れ下がる。軟化した接着シート３４は、配線パターン１２と基板１０の段差、及び配線パターン１２と保護膜３０との段差に密着する。軟化した接着シート３４により、各々の段差若しくは隙間から押し出された空気、及び加熱により膨張した空気は、保護膜３０の開口２６の４角部に連通した溝３２から外部に排出される。この工程で、段差にあった気泡の全てを排出してもよい。
【００１７】
（４）図１（Ｂ）に示すように、軟化した接着シート３４に半導体素子２０を載せる。詳しくは、半導体素子２０の電極２２を有する面２４を、接着シート３４に向けて載せる。このとき、電極２２が、配線パターン１２の電極接続用ランド１５上に位置するように、半導体素子２０を配置する。
【００１８】
（５）図１（Ｂ）に示すように、第２の治具４０を、電極２２を有する面２４とは反対の面２５に押しつけて、半導体素子２０を基板１０の方向に加圧する。あるいは、半導体素子２０と基板１０との間に圧力を加える。この工程により、半導体素子２０の電極２２と、配線パターン１２の電極接続用ランド１５とは、接着シート３４の導電粒子を介して、電気的に導通する。また、加圧することにより、軟化した接着シート３４は、配線パターン１２と基板１０の段差、及び配線パターン１２と保護膜３０との段差にさらに入り込み、段差に残っていた空気を押し出してもよい。押し出された空気は、保護膜３０の開口２６の４角部に連通するように設けられた溝３２から外部に排出される。こうすることで、接着シート３４と基板１０との間に空気（気泡又はボイド）がなくなる。
【００１９】
第２の治具４０に内蔵された第２のヒータ４２を用い、半導体素子２０を加熱する。接着シート３４は，接着剤として、例えばエポキシ系を例とする熱硬化型接着剤を使用している。そのため、この工程により、接着シート３４は、半導体素子２０との接触領域において硬化し、半導体素子２０と基板１０とを接着、固定することができる。
【００２０】
なお、第２の治具４０は、接着シート３４の半導体素子２０より広い部分にも熱を加えてもよい。そのため、半導体素子２０の平面積よりも大きい平面積を有するものを用いてもよい。こうすることで、半導体素子２０の周囲まで熱が加わり易くなり、接着剤の硬化および半導体素子２０の固定がより確実になる。
【００２１】
（６）必要に応じて、外部電極を形成する。図１（Ｃ）に示す基板１０のスルーホール１４内及びその付近に、図示しないハンダを設ける。予め形成されたハンダボールを上記位置に載せてもよい。続いて、リフロー工程において図示しないハンダを加熱して、図１（Ｄ）に示すように、ハンダボール１８を形成する。ハンダボール１８は、外部電極となる。このリフロー工程では、ハンダのみならず接着シート３４もさらに加熱される。この加熱によって、接着シート３４の未硬化領域も硬化する。
【００２２】
このように構成されていると、接着シート３４と基板１０との間に空気が残らず、気泡（ボイドとも言う。）ができにくくなる。接着シート３４の硬化又はリフローのために加熱しても、気泡がないため気泡の膨張による接着シート３４のクラックの発生、さらにはクラックに水分が入り込むことによる配線パターン１２のマイグレーションをも防止することができる。また、接着面積も増えるため、半導体素子２０と基板１０との接着強度も確保できる。
【００２３】
本実施の形態に係る半導体装置は、上述した製造方法から導くことができる構成を有する。本実施の形態によれば、接着シート３４で配線パターン１２を覆う構造でありながら、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
【００２４】
（第２の実施の形態）
図４は、本発明の第２の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。本実施の形態には、保護膜５０及び接着シート５４の構成及び形状以外については、第１の実施の形態で説明した内容が該当する。
【００２５】
図４に示す第２の実施の形態に用いる接着シート５４は、気泡（空気）を排出させる多孔性を有する。保護膜５０を、半導体素子２０が搭載される開口５６の角部に溝を有しないように形成してもよい。
【００２６】
このように構成された半導体装置の製造方法によると、図１（Ａ）に示すように、接着シート５４を、開口５６と該開口５６と保護膜５０との境界とを含む範囲に貼り付ける。その後、接着シート５４を、第１の実施の形態で説明した方法で加熱して軟化させる。
【００２７】
このとき、接着シート５４は、軟化し重力方向に垂れ下がる。軟化した接着シート５４は、配線パターン１２と基板１０の段差、及び配線パターン１２と保護膜５０との段差に密着する。軟化した接着シート５４により、段差若しくは隙間から押し出された空気、及び加熱により膨張した空気は、は多孔質の接着シート５４の孔部から外部に排出される。
【００２８】
本実施の形態では、微小の孔を無数に有する多孔質の接着シート５４を用いたが、第1の実施の形態で用いた接着シート３４に所定の貫通孔を設けてもよい。貫通孔は、直径１ｍｍ以下であればよい。
【００２９】
本実施の形態によれば、接着シート５４と基板１０との間に空気が残らず、気泡（ボイドとも言う。）ができにくくなり、接着シート５４で配線パターン１２を覆う構造でありながら、第1の実施の形態で述べた作用効果と同様な作用効果を奏する信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
【００３０】
（第３の実施の形態）
図５は、本発明の第３の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。本実施の形態には、接着シート５４の構成及び形状以外については、第１及び第２の実施の形態で説明した内容が該当する。
【００３１】
図５に示す第３の実施の形態は、第２の実施の形態に用いた気泡（空気）を排出させる多孔質の接着シート５４を用いる。又、保護膜３０は、第１の実施の形態で形成した矩形の開口２６の角部に溝３２を有するように形成する。
【００３２】
本実施の形態では、接着シート５４を、開口２６と該開口２６と保護膜３０との境界とを含む範囲に貼り付ける。なお、このとき、このとき、接着シート３４を、少なくとも溝３２の一部を避けて貼り付ける。溝３２の終端が、接着シート３４の外に露出するように貼り付けてもよい。その後、接着シート５４を、第１の実施の形態で説明した方法で加熱し軟化させる。
【００３３】
軟化した接着シート５４は、配線パターン１２と基板１０の段差、及び配線パターン１２と保護膜３０との段差に密着する。軟化した接着シート５４により、段差若しくは隙間から押し出された空気、及び加熱により膨張した空気は、多孔質の接着シート５４の孔部及び開口２６の角部に連通した溝３２から外部に排出される。
【００３４】
本実施の形態によれば、接着シート５４と基板１０との間に空気が残らず、気泡（ボイドとも言う。）ができにくくなり、接着シート５４で配線パターン１２を覆う構造でありながら、第１の実施の形態で述べた作用効果と同様な作用効果を奏する信頼性の高い半導体装置の製造方法を提供することができる。
【００３５】
（変形例）
図６および図７は、本発明の実施の形態の変形例を説明する図である。
【００３６】
図６に示す半導体装置の製造方法の変形例では、接着シート６４の端部に、複数の切り込み６６を接着シート６４の縁を切るように形成する。切り込み６６は、角部に形成してもよいし、辺に形成してもよい。
【００３７】
この変形例によれば、第１の実施の形態で説明した方法で加熱すると（図１（Ａ）参照）、軟化した接着シート６４は、重力方向に垂れ下がる。軟化した接着シート６４は、配線パターン１２と基板１０の段差、及び配線パターン１２と保護膜５０との段差に密着する。軟化した接着シート６４により、隙間から押し出された空気、及び加熱により膨張した空気は、切り込み６６から外部に排出される。このとき、保護膜は、第１の実施の形態で示した溝３２を有した保護膜３０でもよい。
【００３８】
図７に示す半導体装置の製造方法の変形例では、接着シート７４の端部に複数の切り込み７６を、第２の実施の形態で示した開口５６と保護膜５０との境界にかかるように形成する。切り込み７６は、図７に示すように各辺に平行に形成してもよいし、斜めに形成してもよい。
【００３９】
この変形例によれば、第１の実施の形態で説明した方法で加熱すると（図１（Ａ）参照）、軟化した接着シート７４は、重力方向に垂れ下がる。軟化した接着シート７４は、配線パターン１２と基板１０の段差、及び配線パターン１２と保護膜５０との段差に密着する。切り込み７６があることにより、特に配線パターン１２と保護膜５０との段差にある空気を、切り込み７６から効率的に外部に排出することができる。このとき、保護膜は、第１の実施の形態で示した溝３２を有した保護膜３０でもよい。
【００４０】
上述の実施の形態の変形例によれば、接着シートで配線パターン１２を覆う構造でありながら、第1の実施の形態で述べた作用効果と同様な作用効果を奏する信頼性の高い半導体装置の製造方法を提供することができる。
【００４１】
（半導体装置）
上述の半導体装置の製造方法を用いると、接着シートで保護膜を覆う構造でありながら、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
【００４２】
（回路基板、電子機器）
図８には、本実施の形態に係る半導体装置を実装した回路基板１０００が示されている。また、半導体装置を有する電子機器として、図９にはノート型パーソナルコンピュータ２０００が示されている。図１０には携帯電話３０００が示されている。
【００４３】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】図１は、第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図２】図２は、第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図３】図３は、図２のIII−III線断面図である。
【図４】図４は、第２の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図５】図５は、第３の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図６】図６は、実施の形態に係る半導体装置の製造方法の変形例を示す図である。
【図７】図７は、実施の形態に係る半導体装置の製造方法の変形例を示す図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態に係る回路基板を示す図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態に係る電子機器を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態に係る電子機器を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０・・基板  １２・・配線パターン  ２０・・半導体素子  ２２・・電極  ２６・・開口  ３０・・保護膜  ３２・・溝  ３４・・接着シート  ５０・・保護膜  ５４・・接着シート    ５６・・開口  ６４・・接着シート  ６６・・切り込み  ７４・・接着シート  ７６・・切り込み
【図１】
2005101125.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005101125.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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