(57)【要約】      （修正有）【課題】  オプティカルインテグレータを用いて照明光の強度分布を均一化するようにした照明光学系において、その全長を短くする。【解決手段】  ２次元ＳＬＭ等の被照明体10に照明光11を照射するレーザーからなる光源12と、この光源12と被照明体10との間に配され、照明光11を光学素子に通すことによってその強度分布を均一化するオプティカルインテグレータ20とを備えてなる照明光学系において、オプティカルインテグレータ20の光学素子の対角長を４ｍｍ以下とする。【選択図】図４
2005018013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空間光変調素子に照明光を照射する光源と、
この光源と前記空間光変調素子との間に配され、前記照明光を光学素子に通すことによってその強度分布を均一化するオプティカルインテグレータとを備えてなる照明光学系において、
前記オプティカルインテグレータの光学素子の対角長が４ｍｍ以下であることを特徴とする照明光学系。
【請求項２】
前記光源のエタンデューが１ｍｍ２・str（ステラジアン）以下であることを特徴とする請求項１記載の照明光学系。
【請求項３】
前記光源が、レーザーと、該レーザーから発せられたレーザー光を伝搬させて射出する光ファイバーとからなるものであることを特徴とする請求項１または２記載の照明光学系。
【請求項４】
前記光源が、複数のレーザーから発せられた各レーザー光を１本の光ファイバーに入射させて合波し、
さらにこの光ファイバーを複数並べてバンドル状とした構成を有するものであることを特徴とする請求項３記載の照明光学系。
【請求項５】
前記空間光変調素子がＤＭＤであることを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載の照明光学系。
【請求項６】
請求項１から５いずれか１項記載の照明光学系から発せられた照明光を前記空間光変調素子により所定の画像信号に基づいて変調し、この変調された照明光による光像で感光材料を露光させる構成を有することを特徴とする露光装置。
【請求項７】
請求項１から５いずれか１項記載の照明光学系から発せられた照明光を前記空間光変調素子により所定の画像信号に基づいて変調し、この変調された照明光による光像で感光材料を露光させることを特徴とする露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は照明光学系に関し、特に詳細には、レーザーから発せられた照明光をオプティカルインテグレータに通してその強度分布を均一化するようにした照明光学系に関するものである。
【０００２】
また本発明は、上述のような照明光学系から発せられた後に変調された照明光を感光材料に照射して、該感光材料を露光させる露光装置および露光方法に関するものである。
【背景技術】
【０００３】
従来、ＬＣＤ（液晶表示素子）やＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）等の２次元空間光変調素子を光源からの光で照明し、この空間光変調素子で変調された光で感光材料を露光させるようにした露光装置が知られている。この種の装置においては、空間光変調素子を均一に照明する必要があり、そのため照明光学系にはオプティカルインテグレータが組み込まれている。このように照明光の強度分布を均一化するオプティカルインテグレータは、露光装置以外にもプロジェクタ等で一般に使用されている。
【０００４】
オプティカルインテグレータとは、光束を分割し、異なる経路を通した後再合成することにより、強度と位置の相関関係（強度分布）を解消して均一化するものであるが、光束の分割方式の違いにより、大別して２つの方式がある。一つは、複数のレンズを２次元的に配置してなるレンズアレイ（フライアイレンズ）を使用して空間的に光束を分割するフライアイタイプであり、もう一つは、ガラスのロッドや内面をミラーにした中空のロッドを使用して、光束を多重反射により角度的に分割するロッドタイプである。なお、フライアイタイプのオプティカルインテグレータにおけるレンズ形状や、ロッドタイプのオプティカルインテグレータにおける断面形状を、照明する空間光変調素子と相似形状にすることにより、光源と空間光変調素子の形状が互いに異なっても効率良く照明することが可能である。
【０００５】
特許文献１には、上述のようなオプティカルインテグレータを用いた照明光学系の一例が開示されている。
【０００６】
なお、上記オプティカルインテグレータを使用する照明光学系が適用されるプロジェクタ等の光学装置においては、従来、アスペクト比が４：５程度でレンズセルサイズが５〜10ｍｍ程度のフライアイレンズが使用されている。
【特許文献１】特開平９−６８６６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記オプティカルインテグレータを用いた従来の照明光学系においては、放電ランプのようなエタンデュー（Etendeu：これについては後に詳述する）の大きな光源を使用していたため、照明光率を向上させようとすると被照明体側の開口数ＮＡ（以下、照明ＮＡという）を大きくする必要があり、プロジェクタのような拡大投影装置ではなく、空間光変調素子を等倍あるいは縮小投影して感光材料を露光する露光装置に適用すると、焦点深度が小さくて画像品質が悪くなるという問題があった。その一方、焦点深度を大きくするために照明ＮＡを小さくすると、光学系の全長が大きくなりやすく、そのため、この照明光学系を適用する露光装置等の大型化が避けられなくなったり、物理的なレイアウトが困難になってしまう等の問題が認められていた。
【０００８】
本発明は上記の事情に鑑み、全長を短く形成することができる、オプティカルインテグレータを用いた照明光学系を提供することを目的とする。
【０００９】
また本発明は、上述のような照明光学系を適用して、小型に形成することができる露光装置、並びに上記照明光学系を用いる露光方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明による照明光学系は、
前述したＤＭＤ等の空間光変調素子に照明光を照射する光源と、
この光源と空間光変調素子との間に配され、前記照明光を光学素子に通すことによってその強度分布を均一化するオプティカルインテグレータとを備えてなる照明光学系において、
オプティカルインテグレータの光学素子の対角長が４ｍｍ以下であることを特徴とするものである。
【００１１】
ここで上記光学素子の対角長とは、フライアイタイプのオプティカルインテグレータにおいては各レンズセルの対角長を意味し、一方ロッドタイプのオプティカルインテグレータではロッド断面の対角長を意味する。
【００１２】
なお上記構成を有する本発明の照明光学系において、光源のエタンデューは１ｍｍ２・str（ステラジアン）以下であることが望ましい。また本発明の照明光学系において、光源は、複数のレーザー光を１本の光ファイバーに入射させて合波し、さらにこの光ファイバーを複数並べてバンドル状とした構成のものを好適に用いることができる。すなわち、この種の光源は、非常に高出力でありながら、エタンデューが小さいので、本発明の照明光学系において好ましく用いられ得るものである。
【００１３】
一方、本発明による露光装置は、上述の照明光学系から発せられた照明光を前記空間光変調素子により所定の画像信号に基づいて変調し、この変調された照明光による光像で感光材料を露光させる構成を有するものである。
【００１４】
また本発明による露光方法は、上述の照明光学系から発せられた照明光を前記空間光変調素子により所定の画像信号に基づいて変調し、この変調された照明光による光像で感光材料を露光させることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
図１ａおよびｂは、後述の図４に基本構成を示す、フライアイタイプのオプティカルインテグレータを用いた照明光学系におけるレンズセルの対角長と光学系全長との関係を、それぞれ照明ＮＡ＝0.019、0.05の場合について示すものである。これらの図に示される通り、レンズセルの対角長が４ｍｍを超えると、光学系全長は急に長くなる傾向にある。本発明の照明光学系では、この新しい知見に鑑みてオプティカルインテグレータの光学素子の対角長を４ｍｍ以下にするものであり、それにより、光学系の全長を著しく短く抑えることが可能になる。
【００１６】
なお、上では、フライアイタイプのオプティカルインテグレータを用いる照明光学系について説明したが、前述したロッドタイプのオプティカルインテグレータを用いる照明光学系においても、オプティカルインテグレータのロッド断面の対角長と光学系全長との関係については同様のことが言える。
【００１７】
また本発明の照明光学系において、特にエタンデューが小さい（例えば１ｍｍ２・str以下）光源を用いると、照明効率を落とすことなく、照明ＮＡを小さくすることができ、それにより、被照明体の後段に配される光学系の焦点深度を大きくしたり、あるいはビームを絞ることが可能になる。そのようにすれば、例えば照明光学系を露光装置に適用した場合に、被照明体の後段に配される結像光学系で結像される露光画像のピントがずれてしまう、といった問題が生じることを防止可能となる。
【００１８】
以下、このエタンデューと照明ＮＡとの関係について詳しく説明する。上記のような露光装置やプロジェクタでは、光源として超高圧水銀ランプのような放電ランプが良く使用されているが、このようなランプを使用する場合、特に感光材料を露光する露光装置では、焦点深度が非常に小さいという問題がある。焦点深度が小さいという問題は、エタンデューの概念から考えると明確になる。
【００１９】
まず、エタンデューの詳細について、図２を参照して説明する。空間光変調素子を照明するということは、大まかに言えば（工夫して均一分布にするにしても）、ある光源の像を空間光変調素子に結像するということである。ここで、光源の面積をＳ１、光学倍率をβとすると、図２に示すように、像の面積Ｓ２はβ２に比例し（Ｓ２＝β２Ｓ１）、光線と光軸のなす角θは倍率βに逆比例する（θ２＝θ１／β）。つまり、Ｓ１θ１２＝Ｓ２θ２２となる。ここで、立体角Ωはθ２にほぼ比例するので、Ω１・Ｓ１≒Ω２・Ｓ２  すなわち、光源面積と立体角の積は一定となる。
【００２０】
厳密に考えると、理想レンズによる光束の伝達は、
光束:ｅ＝∫Ｓ∫Ωcosθ・ｄＳ・ｄΩ
で表される。θが十分小さい（Ｆ値2.5以上）ときには、cosθ≒１であるので、
光束:ｅ＝Ω１・Ｓ１≒Ω２・Ｓ２
とみなせる。このΩ・Ｓがエタンデューである。理想的な無収差・透過率100％の光学系を想定すると、エタンデューは保存される。なお、理想レンズを挟んだ両側の光学系が共役な関係になくても、エタンデューは保存されることが知られている。つまり、光源側のエタンデューとは、光源から発せられる光束の空間的拡がりを表し、照明される側（空間光変調素子側）のエタンデューとは、受け入れることのできる光束の空間的拡がりを表している。
【００２１】
ここで、計算例を示す。
【００２２】
＜光源側のエタンデューＥｓ＞
(1)アーク長４ｍｍの放電ランプの場合
光源を直径１ｍｍ、長さ４ｍｍの円柱とし、側面から等方的に光が放出されるものとすると、
Ｅｓ＝π・１・４・２π≒80ｍｍ２・str（ステラジアン）
(2)ファイバ光源の場合
一例として、レーザー光を伝搬させる光ファイバが複数、バンドル状に配設されてなる光源を考える。バンドルの出射部サイズが0.7×0.7ｍｍ、光ファイバの開口数ＮＡが0.2（≒11.5deg）とすると、
Ｅｓ＝２π・（１−cos11.5）・0.7・0.7≒0.06ｍｍ２・str
となり、この場合はエタンデューが非常に小さいものとなる。
【００２３】
＜空間光変調素子側のエタンデューＥｃおよび上記光源側エタンデューＥｓから求められる空間光変調素子側の光入射角度（照明ＮＡ）＞
一例として空間光変調素子の画素数を1024×768、画素ピッチを13.68μｍとし、損失が無いとした場合について計算する。
【００２４】
(1)上記放電ランプの場合
Ｅｓ＝Ｅｃ＝２π・（１−cosθ）・1024・768・13.68２／1000２＝80ｍｍ２・str
照明ＮＡ＝sinθ≒0.4 
(2)上記ファイバ光源の場合
Ｅｓ＝Ｅｃ＝２π・（１−cosθ）・1024・768・13.68２／1000２＝0.06ｍｍ２・str
照明ＮＡ＝sinθ≒0.01
以上から明らかな通り、光源側のエタンデューＥｓが小さいほど照明ＮＡを小さくすることができる。
【００２５】
また、エタンデューから考えると、光源側のエタンデューＥｓと照明される空間光変調素子側のエタンデューＥｃがＥｓ＜Ｅｃの関係にあるとき、途中の光学系の損失が無ければ、光源からの光を全て利用できることになる。しかし、光源に上記のようなランプを使用した場合、ランプのエタンデューが大きいため、効率良く照明するためには、照明ＮＡを非常に大きくしなければならない。
【００２６】
例えば、上述した通りアーク長４ｍｍの放電ランプで、画素数1024×768、画素ピッチ13.68μｍの空間光変調素子を照明する場合、放電ランプのエタンデューは約80ｍｍ２・strであり、空間光変調素子のエタンデューを同じにして効率良く照明するためには、照明ＮＡを0.4にしなければならない。空間光変調素子の像を結像レンズで感光材料に結像して露光し、空間光変調素子からの光を効率良く使用するためには、当然結像レンズのＮＡも0.4以上（Ｆ値では1.25）とする必要があり、そうであると結像レンズの焦点深度は非常に小さくなってしまう。
【００２７】
図３は、光源側エタンデューＥｓが比較的大きくて照明ＮＡも大きい場合（ａ）と、光源側エタンデューＥｓが比較的小さくて照明ＮＡも小さい場合（ｂ）とについて、結像レンズの焦点深度を比較して示すものである。ここに示される通り、一般に幾何光学的に考えれば、レンズのＮＡが小さいほど焦点深度は大きくなる。
【００２８】
例えば許容錯乱円直径を10μｍとすると、照明ＮＡに応じて焦点深度は以下の（表１）ようになる。照明光学系を露光装置に適用する場合の焦点深度は、記録ビーム径や解像度などにもよるが、記録材料のうねりや温度によるピント位置変化も考慮すると、±100μｍ以上であることが望ましい。そこから考えると、照明ＮＡも0.05以下であることが望ましく、さらに好ましくは0.02以下であると良い。
【表１】
2005018013.tif 000003
【００２９】
光源側エタンデューＥｓが大きい場合は、温度変動や機械的な変動が装置に生じたり、感光材料の厚さバラツキや反りなどがあると、焦点深度が非常に小さいことから、露光画像のピントがずれてしまうという問題が発生する。
【００３０】
それに対して、例えば上記ファイバ光源を用いる場合、光源側のエタンデューＥｓは0.06ｍｍ２・strで、照明ＮＡは約0.01と極めて小さくなり、結像レンズの焦点深度が大きくなって、上記ピントずれの問題を防止可能となる。
【００３１】
ただし、このようにエタンデューＥｓの小さい光源を使用する場合でも、プロジェクタ等で使用される一般的なレンズセルサイズのフライアイレンズを適用すると、照明ＮＡを小さくするには各レンズのサイズが大きいことから、光学系全体のサイズが大きくなってしまう。そこで本発明では、あくまでも前述した通り、光学素子の対角長が４ｍｍ以下であるオプティカルインテグレータを使用するものとする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００３３】
図４は、本発明の一実施の形態による照明光学系の概略構成を示すものである。この照明光学系は、被照明体である２次元空間光変調素子（ＳＬＭ）10に照明光11を照射する光源12と、この光源12から発散光状態で発せられた照明光11を平行光化するコリメーターレンズ13と、このコリメーターレンズ13と２次元ＳＬＭ10との間に配され、照明光11を光学素子に通すことによってその強度分布を均一化するオプティカルインテグレータ20とを備えてなるものである。
【００３４】
本実施の形態では上記光源12として、複数のレーザー光を１本の光ファイバーに入射させて合波し、さらにこの光ファイバーを複数並べてバンドル状とした構成のファイバー光源が用いられている。
【００３５】
オプティカルインテグレータ20は、フライアイレンズＭＬ１と、このフライアイレンズＭＬ１と向かい合う状態に配設された別のフライアイレンズＭＬ２と、このフライアイレンズＭＬ２の前方つまり２次元ＳＬＭ10側に配置されたフィールドレンズＦＬとから構成されている。フライアイレンズＭＬ１およびＭＬ２は、微小レンズセルが縦横に多数配置されてなるものであり、それらの微小レンズセルの各々を通過した照明光11がそれぞれ２次元ＳＬＭ10に互いに重なる状態で入射するので、該２次元ＳＬＭ10を照射する照明光11の強度分布が均一化される。
【００３６】
一方２次元ＳＬＭ10として、本実施の形態ではＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）が用いられている。このＤＭＤはシリコン等からなる半導体基板上に、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーが２次元的に配設されてなるものであり、そこに広がりを持って照射された照明光11を画像データに応じて各マイクロミラー毎に角度を変えて反射させることにより、該照明光11を空間変調する。
【００３７】
ここで、光源サイズつまりファイバー光源12の光射出部サイズをＡ０、光源ＮＡをＮＡ０、コリメーターレンズ13の焦点距離をＣＬ２ｆとし、フライアイレンズＭＬ１についてはセルサイズをＳ１、レンズセル数をＮ１、レンズサイズをＡ１、焦点距離をＭＬ１ｆ、各レンズセルによる集光サイズをＺ１、フライアイレンズＭＬ２についてはセルサイズをＳ２、レンズセル数をＮ２、レンズサイズをＡ２、焦点距離をＭＬ２ｆとする。またフィールドレンズＦＬのレンズサイズをＦＬＤ、焦点距離をＦＬｆとし、２次元ＳＬＭ10の照明サイズをＡＣＳ、照明ＮＡをＮＡＣとする。なお本実施の形態では、Ｓ２＝Ｓ１、Ｎ２＝Ｎ１、Ａ２＝Ａ１としているが、勿論これに限られるものではない。
【００３８】
またこの場合、光学系の全長つまりマルチモード光ファイバー12の出射端面から２次元ＳＬＭ10までの距離は、図４中に示すように、上記出射端面からコリメーターレンズ13までの距離Ｌ１（＝ＣＬ２ｆ）と、コリメーターレンズ13からフライアイレンズＭＬ１までの距離Ｌ２（＝ＣＬ２ｆ）と、フライアイレンズＭＬ１からフライアイレンズＭＬ２までの距離Ｌ３（＝ＭＬ１ｆ）と、フライアイレンズＭＬ２から２次元ＳＬＭ10までの距離Ｌ４との総和となる。
【００３９】
またこの照明光学系においては、Ａ０・ＮＡ０＝Ａ１・ＮＡ１＝Ｎ１・Ｓ１・ＮＡ１であり、結像特性は（１／Ｌ３）＋（１／Ｌ４）＝１／ＭＬ２ｆ、倍率特性はＡＣＳ／Ｓ１＝Ｌ４／Ｌ３、集光特性はＺ１＝２ＭＬ１ｆ・ＮＡ１、照明Ｆ値（ＦＮｏ．）はＦＮｏ．＝ＦＬｆ／ＦＬＤ≒Ｌ４／Ａ２となる。
【００４０】
以上の各仕様並びにその他の仕様について、本実施の形態における具体的数値を下の表２の左欄に示す。また、それに対する比較例としての数値を３例、表３に示す。なおこれらの表中のｘ、ｙは、光軸に垂直な面内の横方向、縦方向を示している。
【表２】
2005018013.tif 000004
【表３】
2005018013.tif 000005
【００４１】
表２に示される通り、本実施の形態において、オプティカルインテグレータを構成するフライアイレンズＭＬ１、ＭＬ２の各レンズセルの対角長は共に（２2＋0.52）1/2＝2.1ｍｍで、前述の４ｍｍ以下の値とされている。そのため、先に図１を参照して説明した理由により、光学系全長が約114ｍｍと短く抑えられている。
【００４２】
また表２の右欄には、本実施の形態と同様の基本構成を有する照明光学系の別の仕様例を示す。この例においては、フライアイレンズＭＬ１、ＭＬ２の各レンズセルの対角長は共に（3.882＋0.972）1/2＝4.0ｍｍで、４ｍｍ以下の値とされている。そのため、本例でも光学系全長は約524ｍｍと短く抑えられている。
【００４３】
それに対して表３に示す比較例では、上記各レンズセルの対角長が（102＋2.52）1/2＝10.3ｍｍと大きいので、光学系全長がそれぞれ約289ｍｍ、744ｍｍ、1711ｍｍと比較的大きくなっている。
【００４４】
また本実施の形態において、光源エタンデューは１以下の0.0086895ｍｍ２・strと小さく、それにより照明ＮＡ（ＮＡＣ）は上記２例で各々0.05、0.0185014と極めて小さくなっている。そこで、２次元ＳＬＭ10の後段に結像レンズを配設する場合は、その結像レンズの焦点深度が大きくなって、先に述べたようなピントずれの問題を防止可能となる。
【００４５】
それに対して表３の最左欄に示す比較例では、光源エタンデューは1.5868265ｍｍ２・strと大きく、それにより照明ＮＡ（ＮＡＣ）は0.25とかなり大きくなっている。そこで、２次元ＳＬＭ10の後段に結像レンズを配設する場合は、その結像レンズの焦点深度が小さくなるので、先に述べたピントずれの問題を招きやすい。
【００４６】
また表３の中央欄、最右欄に示す比較例では、光源エタンデューは本実施の形態と同じ0.0086895ｍｍ２・strで、それにより照明ＮＡ（ＮＡＣ）はそれぞれ0.05、0.0185185と極めて小さくなっている。そこで、この場合も上記ピントずれの問題は防止可能であるが、これらの比較例ではセルサイズが大きいために光学系全長が約744ｍｍ、1711ｍｍと極めて大きくなることは、上に説明した通りである。光学系全長が後者の例ほどに大きいと、一般的な室内に照明光学系を収めることさえ困難になる。
【００４７】
次に図５を参照して、図４の照明光学系を用いた露光装置について説明する。なおこの図５において、図４中の要素と同等の要素には同番号を付し、それらについての説明は特に必要のない限り省略する（以下、同様）。
【００４８】
この露光装置においては、図４に示した照明光学系の２次元ＳＬＭ10の後段に結像レンズ30が配され、２次元ＳＬＭ10で空間変調された照明光11による像がこの結像レンズ30によってステージ31上の感光材料32上に結像、投影されるようになっている。それにより感光材料32が露光され、空間変調された照明光11による像が該感光材料32に記録される。
【００４９】
このような露光装置に図４の照明光学系を適用すれば、照明光学系の全長が短いことにより露光装置を小型に形成可能となり、また照明ＮＡ（ＮＡＣ）が小さいことから結像レンズ30の焦点深度が大きくなり、それにより、露光画像のピントずれを効果的に防止可能となる。
【００５０】
次に図６を参照して、本発明の別の実施の形態による照明光学系について説明する。この実施の形態においてはオプティカルインテグレータとして、概略直方体状の透光性ガラスロッド40が用いられている。光源を構成するマルチモード光ファイバー12から出射した照明光11は、集光レンズ41により集光されてこのガラスロッド40内に導かれ、その内部で多重反射して角度的に分割され、強度分布が均一化されて出射する。こうしてガラスロッド40から出射した照明光11は、集光レンズ42により集光されて２次元ＳＬＭ10に照射される。
【００５１】
上記ガラスロッド40をオプティカルインテグレータとして用いる本実施の形態においても、このガラスロッド40の断面の対角長を４ｍｍ以下にしておくことにより、光学系の全長を著しく短く抑えることが可能になる。
【００５２】
なお以上説明した実施の形態においては、光源としてファイバー光源12が用いられているが、本発明ではそのような光源に限らず、その他例えば通常の１個の半導体レーザーや、あるいは複数の発光点を有するマルチキャビティ半導体レーザーや、さらには複数の半導体レーザーがアレイ状に配設されてなるアレイレーザー等も好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１ａ】照明光学系におけるオプティカルインテグレータのレンズセル対角長と光学系全長との関係を示すグラフ（照明ＮＡ＝0.019の場合）
【図１ｂ】照明光学系におけるオプティカルインテグレータのレンズセル対角長と光学系全長との関係を示すグラフ（照明ＮＡ＝0.05の場合）
【図２】エタンデューの概念を説明する説明図
【図３】照明光学系における照明ＮＡと焦点深度との関係を示す説明図
【図４】本発明の一実施の形態による照明光学系を示す概略側面図
【図５】図４の照明光学系を適用した露光装置を示す概略側面図
【図６】本発明の別の実施の形態による照明光学系を示す概略側面図
【符号の説明】
【００５４】
10    ２次元ＳＬＭ
11    照明光
12    ファイバー光源
13    コリメーターレンズ
20    オプティカルインテグレータ
30    結像レンズ
31    ステージ
32    感光材料
40    ガラスロッド
41、42    集光レンズ
ＭＬ１、ＭＬ２    フライアイレンズ
ＦＬ    フィールドレンズ
【図１ａ】
2005018013.tif 000006
【図１ｂ】
2005018013.tif 000007
【図２】
2005018013.tif 000008
【図３】
2005018013.tif 000009
【図４】
2005018013.tif 000010
【図５】
2005018013.tif 000011
【図６】
2005018013.tif 000012