(57)【要約】【課題】  小型で高い冷却能力が得られるマグネトロンを提供する。【解決手段】  陽極円筒３の外周壁のほぼ全面に内部に陽極円筒３の管軸方向に冷却媒体を流通させる上段側流路４５Ｕ（管路４５ａ，４５ｂ，４５ｃ）及び下段側流路４５Ｌ（管路４５ａ´，４５ｂ´，４５ｃ´）の２系統を有する冷却ブロック４５を密着配置することにより、上段側流路４５Ｕ及び下段側流路４５Ｌ内の表面積が増大されるので、冷却媒体との接触表面積が拡大され、放熱表面積が拡大されて高い冷却能力が得られる。【選択図】  図１
2005209426.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管軸の中心部に設置して熱電子源を有する陰極部と、
前記陰極部を中心とし、かつ前記陰極部に対して一端を離間させて作用空間を形成し、管軸と平行かつ放射状に配置した複数枚の陽極ベイン及び前記陽極ベインの他端を結合し、複数の共振空洞を形成する陽極円筒と、
前記共振空洞を管軸方向から挟む位置に設けられて前記作用空間をとおる内部磁路を形成する強磁性体からなる一対の磁極と、
前記陽極円筒を管軸方向かつ前記磁極の前記共振空洞とは反対側の両端部で封止する強磁性体からなる一対の封止金属と、
前記磁極と同軸かつ前記磁極に対して前記封止金属とは反対側に設置した一対の円環状の永久磁石と、
前記永久磁石に対して前記磁極とは反対側で前記磁極と共に前記永久磁石の外部磁路を形成する強磁性体からなるヨークと、
前記陽極円筒の外周壁に密着配置させ、且つ内部に前記陽極円筒の管軸方向に沿って複数の冷却媒体の流路を有する冷却ブロックと、
を備えたことを特徴とするマグネトロン。
【請求項２】
前記複数の流路の上段側管路の開口端の一方と下段側管路の開口端の一方とを管継手により連結したことを特徴とする請求項１に記載のマグネトロン。
【請求項３】
前記冷却ブロックは、前記陽極円筒の管軸から前記ヨークまでの距離をＡとし、前記陽極円筒の管軸から冷却管路中心までの距離をＢとし、前記陽極円筒の半径をＣとしたとき、
２９．０−３．０≦Ａ−Ｃ≦２９．０＋３．０の関係に設定することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のマグネトロン。
【請求項４】
前記冷却ブロックは、アルミニウム材の成形体からなることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のマグネトロン。
【請求項５】
前記冷却ブロックは、銅材の成形体からなることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のマグネトロン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波を発生させるマグネトロンに係り、特に陽極円筒の外周部に冷却媒体を循環させて直接冷却する冷却ブロックを備えたマグネトロンに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般にマグネトロンは、高周波出力を効率良く発生できることから、レーダ装置，医療機器，電子レンジ等の調理器，半導体製造装置またはその他のマイクロ波応用機器等の分野で広く用いられている。
【０００３】
半導体装置用や産業加熱用としては、高出力のマイクロ波が要求される。この場合、マグネトロンの冷却性能もマイクロ波出力に応じて向上させておく必要があり、冷却構造を大型化させる必要がある。しかしながら、冷却構造に大型化はマグネトロンの大型化に繋がり、マグネトロンの収納スペースの増大を招き、装置自体が大型化してしまうことから、小型で性能の優れた冷却構造を有するマグネトロンが要求される。
【０００４】
このような問題を解決したものとしては、図６に要部断面図に示すように陽極部としての陽極円筒３は、その上下端に一対の円環状の永久磁石４ａ，４ｂが配設され、この永久磁石４ａ，４ｂが磁気回路を形成するヨーク６により挟持されて保持固定され、この陽極円筒３の外周壁に内部に冷却媒体の供給する送入口４５ａ及び排出する排出口４５ｂ´を有する管路を形成させた冷却ブロッ４５を取り付けネジ４６によりほぼ全面に密着させて取り付け、永久磁石４ａ，４ｂ及びヨーク６の一部分に熱的に接触させて配設することにより、陽極円筒３，永久磁石４ａ，４ｂ及びヨーク６を冷却媒体で直接冷却することで磁気回路の小型化を図っている。なお、１３はマイクロ波アンテナ、３４はフィルタケース、３５は陰極加熱用導線である。
【０００５】
また、このような問題を解決した他の手段としては、図７に要部断面図で示すように陽極円筒３の外周壁に冷却パイプ３６を巻き付けて蝋付けし、この冷却パイプ３６内に冷却媒体を流通させることにより、陽極円筒３を直接冷却することにより磁気回路の小型化を図っている。なお、この種の従来技術に関しては、例えば下記特許文献１及び特許文献２を挙げることができる。
【０００６】
【特許文献１】特開平５−５４８０５号公報
【特許文献２】特開平８−２２２４１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように構成された冷却構造を有するマグネトロンは、一般的に十分な冷却効果を得るために冷却媒体の流量を多くすることが行われる。しかしながら、陽極円筒３に熱伝導性の高いＡｌまたはＣｕ製の冷却ブロック４５を密着させても、冷却媒体がある流量を超えると、陽極円筒３から冷却媒体への熱伝導性が限界となり、冷却媒体の流量を増大させても冷却性能が向上しないという課題があった。
【０００８】
また、陽極円筒３と冷却パイプ３６とを蝋付けする冷却構造においては、マグネトロン本体が排気後に高温に曝される。これによって真空管としての信頼性が低下するという課題があった。また、多量の蝋材及び熱を使用するので、環境面に問題が生じるという課題があった。
【０００９】
したがって、本発明は前述した従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、小型で高い冷却能力が得られるマグネトロンを提供することにある。
【００１０】
また、本発明の他の目的は、コンパクトで高出力が得られるマグネトロンを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような目的を達成するために本発明によるマグネトロンは、管軸の中心部に設置して熱電子源を有する陰極部と、この陰極部を中心とし、かつ陰極部に対して一端を離間させて作用空間を形成し、管軸と平行かつ放射状に配置した複数枚の陽極ベイン及びこの陽極ベインの他端を結合し、複数の共振空洞を形成する陽極円筒と、共振空洞を管軸方向から挟む位置に設けられて作用空間をとおる内部磁路を形成する強磁性体からなる一対の磁極と、陽極円筒を管軸方向かつ磁極の共振空洞とは反対側の両端部で封止する強磁性体からなる一対の封止金属と、磁極と同軸かつこの磁極に対して封止金属とは反対側に設置した一対の円環状の永久磁石と、この永久磁石に対して磁極とは反対側で磁極と共に永久磁石の外部磁路を形成する強磁性体からなるヨークと、陽極円筒の外周壁のほぼ全面に密着配置させ、且つ内部に陽極円筒の管軸方向に沿って複数の冷却媒体の流路を有し、ヨークの一部に接触配置させた冷却ブロックと、複数の流路の上段側流路の開口端の一方と下段側流路の開口端の一方とに連結された管継手とを設けることにより、流路内の表面積が増大されるので、冷却媒体との接触表面積が拡大され、放熱表面積が拡大されて背景技術の課題を解決することがきできる。
【００１２】
また、上記構成において、冷却ブロックは、陽極円筒の管軸からヨークまでの距離をＡとし、陽極円筒の管軸から冷却管路中心までの距離をＢとし、陽極円筒の半径をＣとしたとき、２９．０−３．０≦Ａ−Ｃ≦２９．０＋３．０の関係に設定することにより、流路内における冷却媒体との接触表面積が拡大され、現状の構成部材を用いて背景技術の課題を解決することがきできる。
【００１３】
また、上記構成において、冷却ブロックは、アルミニウム材から構成することにより、高い熱伝導性を有することから、高い冷却能力が得られ、背景技術の課題を解決することがきできる。
【００１４】
また、上記構成において、冷却ブロックは、銅材から構成することにより、高い熱伝導性を有することから、高い冷却能力が得られ、背景技術の課題を解決することがきできる。
【００１５】
なお、本発明は、前記各構成及び後述する実施の形態に記載される構成に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱することなく、種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、冷却ブロックが小型で高い冷却性能が得られるので、コンパクトで高出力のマグネトロンが実現可能となるという極めて優れた効果が得られる。
【００１７】
また、高い冷却性能が得られるので、品質及び信頼性の高いマグネトロンが実現可能となるという極めて優れた効果が得られる。
【００１８】
さらに、製造においても、作業性の高いコンパクトで高出力のマグネトロンが実現可能となるという極めて優れた効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の具体的な実施の形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。
【実施例１】
【００２０】
図１は、本発明によるマグネトロンの実施例１による構成の概略を説明する要部断面図である。図１において、熱放出源として螺旋状に形成された陰極フィラメント１の周囲には、複数枚の陽極ベイン２が陽極円筒３と蝋付け等により固着されるか、もしくは陽極円筒３と共に押出し成形法により一体的に形成されて陽極部の一部を構成している。
【００２１】
この陽極部は、陰極フィラメント１を中心とし、かつこの陰極フィラメント１に対して一端を離間させて作用空間を形成し、管軸と平行かつ放射状に配置した複数枚の陽極ベインとこの陽極ベインの他端とを結合した陽極円筒３とで複数の放射状の共振空洞が形成される構造となっている。
【００２２】
また、陽極円筒３の上下端には、円環状の一対の永久磁石４ａ，４ｂが軟鉄などの強磁性体からなる一対の磁極５ａ，５ｂを介してそれぞれ配置されている。図中、６はヨーク、７はアンテナリードであり、このアンテナリード７は一端を陽極ベイン２に、その他端を排気管８と共に封止切りされてそれぞれ電気的に接続されている。また、９はチョーク部、１０はアンテナカバー、１１は円筒絶縁体、１２は排気管サポートであり、これらのアンテナリード７及び排気管サポート１２などによりマグネトロンアンテナ１３を構成している。
【００２３】
また、２１は上側エンドシールド、２２は下側エンドシールド、２３，２４は陰極リード（２３はセンターリード、２４はサイドリード）、２５は入力側セラミック、２６は陰極端子、２７はスペーサであり、このスペーサ２７は陰極フィラメント１の断線を防止する機能を有しており、スリーブ２８により所定に位置に配置されて陰極部を構成している。
【００２４】
チョークコイル３１は貫通コンデンサ３２の一端と接続され、この貫通コンデンサ３２は入力部のフィルタケース３３に取り付けられている。また、この貫通コンデンサ３２の他端は電源に接続される。さらにこのフィルタケース３３はその底部を蓋体３４により高周波的に塞がれている。４１，４２は帽子状の上下端封止金属、４３は金属ガスケットであり、上側ヨーク４４と電気的に接続されている。
【００２５】
また、この陽極円筒３の外周壁には、熱伝導率及び加工性が高いＡｌ（アルミニウム）材からなり、内部に冷却媒体を流通させて循環させる上段側流路４５Ｕ及び下段側流路４５Ｌが陽極円筒３の管軸方向に沿って形成された冷却ブロック４５がその外周壁と密着させて配置されるとともに、ヨーク６に複数の取り付けネジ４６により密着されて保持固定されている。なお、この冷却ブロック４５の開口（図示しない）の内周壁と陽極円筒３の外周壁との接触面には熱拡散コンパウンドを塗布して密着させて接触配置されている。なお、この冷却ブロック４５はＡｌ材に代えてＣｕ（銅）材で形成しても良い。
【００２６】
図２は、上記冷却ブロック４５の構成を説明する図であり、図２（ａ）は上方から見た平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）の矢印Ｂ方向から見た平面図、図２（ｃ）は図２（ａ）の矢印Ｃ方向から見た平面図をそれぞれ示している。図２に示すようにこの冷却ブロック４５は、中央部に陽極円筒３の直径よりも内径寸法が若干大きい開口４５ｄ，取り付け用スリット４５ｅ及びその上段側に冷却媒体を流通させる円筒状の管路４５ａ，４５ｂ，４５ｃを連結してなる上段側流路４５Ｕが形成されている。
【００２７】
また、同様にこの冷却ブロック４５の下段側にも図２（ｂ）に示すように同一構造の円筒状の管路４５ａ´，４５ｂ´，４５´ｃを連結してなる下段側流路４５Ｌが形成されている。なお、図中、冷却ブロック４５の上段側と下段側に２段にわたって形成される流路は、上段側管路が符号４５ａ，４５ｂ，４５ｃで示し、下段側管路が符号４５ａ´，４５ｂ´，４５ｃ´で示してある。つまり、上段側流路４５Ｕと下段側流路４５Ｌとの２系統の流路が形成される構造となっている。
【００２８】
また、冷却ブロック４５の上段側流路４５Ｕを構成する各管路４５ａ，４５ｂ，４５ｃ及び下段側流路４５Ｌを構成する各管路４５ａ´，４５ｂ´，４５ｃ´は、冷却ブロック４５の本体の側面より面方向に向かって例えばドリルなどにより開孔を掘削加工し、各管路４５ａ，４５ｂ，４５ｃを互いに交差させて連通させ、略コ字状の流路を形成している。また、下段側の各管路４５ａ´，４５ｂ´，４５ｃ´も同様に開孔を互いに交差させて連通させ、略コ字状の流路を形成している。また、これらの各管路４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ａ´，４５ｂ´，４５ｃ´の開口部Ｓは、その内側周縁部がネジ切りされており、後述する各種の部材をネジ込みにより連結可能なネジ構造となっている。
【００２９】
また、この冷却ブロック４５に形成された管路４５ａの開口部Ｓには冷却媒体を供給する送入口、管路４５ａ´の開口部Ｓにはその排出口、管路４５ａ´及び管路４５ｂの開口部Ｓには後述する管継手を接続させる連結口としての機能を有している。また、これらの機能はその逆の関係であっても良い。さらに管路４５ｃ及び管路４５ｃ´の開口部Ｓは冷却媒体の漏れを抑止する封止ネジの埋め込み穴としての機能を有している。
【００３０】
なお、図２中、符号４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄは、この冷却ブロック４５をヨーク４６の側壁に接触させて固定する取り付け用ネジ孔である。なお、この冷却ブロック４５の下段側にも図示しないが、同一構成の取り付け用ネジ孔４７ａ´，４７ｂ´，４７ｃ´，４７ｄ´が形成されている構造となっている。また、４８ａ，４８ｂ，４８ｃは冷却ブロック４５を陽極円筒３に締め付け固定する取り付け用ネジの挿入孔である。
【００３１】
このように構成された冷却ブロック４５は、図３に側面から見た平面図で示すようにその開口４５ｄを陽極円筒３の外周壁に装着させ、取り付け用ネジ挿入孔４８ａ，４８ｂ，４８ｃにビス４９ａ及ナット４９ｂを用いて締め付け固定されて陽極円筒３の外周壁と密着させて配設されている。この場合、冷却ブロック４５の開口４５ｄの内周壁と陽極円筒３の外周壁との接触面には熱拡散コンパウンドを塗布して密着させて接触配置される。
【００３２】
また、図４に側面から見た平面図で示すようにこの冷却ブロック４５の下段側流路４５Ｌの管路４５ａ´の開口部Ｓ及び上段側流路４５Ｕの管路４５ｂの開口部Ｓには、両端にネジ部を有する管継手５０がネジ込みにより連結され、管路４５ａの送入口には、冷却媒体を注入する供給用パイプ５１が同様にネジ込みにより連結され、管路４５ｂ´の排出口には、その排出用パイプ５２が同様にネジ込みにより連結されている。さらに、図示しないが、管路４５ｃ，４５ｃ´の開口部Ｓには冷却媒体の漏れを抑止する栓用のネジがパッキン等を介在させて埋め込まれて管路４５ｃ及び管路４５´（図２参照）が封止されている。
【００３３】
このような構成において、上段側流路４５Ｕの管路４５ａに連結された供給パイプ５１から冷却媒体が供給されると、流路４５Ｕ（管路４５ａ，４５ｂ，４５ｃ）内を流通して冷却ブロック４５の上部側が冷却されるとともに、この流路４５Ｕの冷却媒体は管継手５０内に経由して下段側の流路４５Ｌ（管路４５ａ´，４５ｂ´，４５ｃ´）内を流通して冷却ブロック４５の下部側が冷却される。流路４５Ｌ内を流通した冷却媒体は排出用パイプ５２を通して外部の熱変換機に循環され、再冷却されて上記供給用パイプ５１に供給されることになる。
【００３４】
このような構成において、図３に側面図で示すように陽極円筒３の管軸からヨーク（図１参照）までの距離をＡとし、陽極円筒３の管軸から流路中心までの距離をＢとし、陽極円筒３の半径をＣとし、また、陽極円筒３の高さをＨ１とし、冷却媒体の管路のピッチをＨ２とし、冷却ブロック４５の高さをＨ４とし、管路径をＲとしたとき、陽極円筒３と冷却ブロック４５との関係を２９．０−３．０≦Ａ−Ｃ≦２９．０＋３．０の範囲に設定することにより、流路４５Ｕ，４５Ｌ内における冷却媒体との表面積を拡大させ、これによって放熱面積が拡大するので、冷却効率を向上させることができる。この結果、現状の永久磁石，陽極円筒及びヨーク等の構成部材を用いて製作における作業性の高いコンパクトな高出力のマグネトロンが実現できる。
【００３５】
また、このような構成において、冷却ブロック４５は、流路４５Ｕ（管路４５ａ〜４５ｃ）及び流路４５Ｌ（管路４５ａ´〜４５ｃ´）の直径Ｒを大きくすると、管路表面積は拡大するが、陽極円筒３の管軸から流路４５Ｕ，４５Ｌの中心までの距離Ｂが大きくなり、冷却ブロック４５の容積が大きくなる弊害が生じる。したがって、流路４５Ｕ，４５Ｌ内の表面積を増大させるには、複数の管路を設けることになる。しかしながら、実用性を配慮し、冷却媒体の流れ抵抗を極力抑えること及び管継手５０を取り付けるスペースを確保する必要性があることから、流路径Ｒは直径１５ｍｍ〜８ｍｍ（配管部品：３／８インチ〜１／８インチ相当）が好適である。
【００３６】
また、このような構成において、陽極円筒３の両端部に一対の上下端封止金属４１，４２が蝋付けまたは溶接され、この溶接部分は表面が凹凸部分からなる真空封止部が形成される。したがって、この溶接部分を避けるために冷却ブロック４５の高さＨ４を陽極円筒３の高さＨ１よりも小さく形成することにより、陽極円筒３の外周面と冷却ブロックの開口４５ｄの内周面との密着接触面積を最大限に確保することができる。
【００３７】
また、このような構成において、冷却ブロック４５をヨーク６に複数のネジ４６を用いて面接触させて固定されるので、一対の永久磁石４ａ，４ｂの着減磁において陽極円筒３の破損及び管軸のズレなどの発生を確実に防止することができる。また、冷却ブロック４５とヨーク６との面接触により、フィルタケース３３及び上側ヨーク４４などの外装部材の温度上昇を抑えることができる。さらに上側ヨーク４４と永久磁石４ａ及び下側ヨーク６と永久磁石４ｂとがそれぞれ面接触し、間接的に冷却されるので、安定した電気的特性が確保できる。
【００３８】
また、このような構成において、冷却ブロック４５は、現状の製造機器を用いて製作，取り付け及び検査を容易に行うことができるので、冷却媒体の漏洩などに対する信頼性が確保できる。
【００３９】
このような構成によれば、上段側流路４５Ｕ（管路４５ａ，４５ｂ，４５ｃ），管継手５０及び下段側流路４５Ｌ（管路４５ａ´，４５ｂ´，４５ｃ´）の２系統の経路で冷却媒体を流通させることにより、距離の長い冷却媒体流通経路が形成され、放熱表面積が拡大されて冷却ブロック４５が全体的に冷却されて高い冷却能力が得られるので、陽極円筒３の温度上昇が抑えられるとともに、冷却ブロック４５と接触する外装部材の温度上昇も同時に抑えられる。したがって、マグネトロンを全体的の温度上昇が抑制されるので、現状の構成部材を用いてコンパクトで高出力のマグネトロンが実現できる。
【００４０】
また、このような構成によれば、放熱表面積が増大し、高い冷却能力が得られるので、マグネトロンのドリフト特性を向上させることができるとともに、長寿命化などの信頼性も同時に向上させることができる。さらに、高い冷却能力が得られることにより、高温度で減磁し易い永久磁石を用いたマグネトロンにも適用することが可能となる。
【００４１】
図５（ａ）〜図５（ｄ）は、図２で説明した上段側管路４５ｃ及び下段側管路４５ｃ´の開口部Ｓをネジで塞いで栓をした状態で上段側流路４５Ｕ内と下段側流路４５Ｌ内とに冷却媒体を送入及び排出させる流通経路の変形例を示したものである。図中、黒矢印は冷却媒体の送入方向を、白矢印は冷却媒体の排出方向を、通常の矢印は冷却媒体の流通方向をそれぞれ示している。図５（ａ），（ｂ）は上段側と下段側とで並列に流通させる流通方法であり、このような並列繋ぎにおいては、流通経路が２系統となるので放熱面積が増大し、冷却効率を向上させることができるとともに、２系統により冷却媒体を多量に供給させることができる。
【００４２】
また、図５（ｃ），（ｄ）は上段側と下段側とを直列に流通させる流通方法であり、このような直列繋ぎにおいては、流通経路長が２倍となるので、放熱面積が増大し、冷却能力が向上させることができる。いずれの流通方法においても、前述と同様に高い冷却能力が得られる。なお、上段側流路４５Ｕと下段側流路４５Ｌとの直列繋ぎを採用する場合には、管継手５０を用いることは言うまでもない。
【００４３】
図５（ｃ），（ｄ）のような直列繋ぎにおいては、少ない冷却媒体流量でも、流通経路内の流速が大きくなり、冷却効果を大きくすることができる。一方、図５（ａ），（ｂ）の並列繋ぎでは、流通経路が短いので、冷却媒体の圧力の低下が少ない。よって多量の冷却媒体流量に適している。つまり、図５（ａ）〜図５（ｄ）の構造を選択することで、小流量から大流量まで広く対応することができる。
【００４４】
なお、前述した実施例においては、冷却ブロック４５に上段側と下段側とに分けて２系統の流路４５Ｕ及び流路４５Ｌを設けた場合について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、流路径を使用可能な限界値程度まで小さく形成することにより、３系統または４系統の流路を設けても、前述と全く同様の効果が得られることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明によるマグネトロンの実施例による構成を示す要部断面図である。
【図２】図１の冷却ブロックの構成を示す平面図である。
【図３】図１の陽極円筒と冷却ブロックとの関係を示す側面から見た平面図である。
【図４】図１のマグネトロンの完成状態を示す側面から見た平面図である。
【図５】冷却ブロックへの冷却媒体の送入及び排出方法の変形例を説明する図である。
【図６】現状のマグネトロンの構成を示す側面から見た平面図である。
【図７】現状のマグネトロンの構成を示す側面から見た平面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１・・・陰極フィラメント、２・・・陽極ベイン、３・・・陽極円筒、４ａ・・・永久磁石、４ｂ・・・永久磁石、５ａ・・・磁極、５ｂ・・・磁極、６・・・ヨーク、７・・・アンテナリード、８・・・排気管、９・・・チョーク部、１０・・・アンテナカバー、１１・・・円筒絶縁体、１２・・・排気管サポート、１３・・・マグネトロンアンテナ、２１・・・上側エンドシールド、２２・・・下側エンドシールド、２３・・・陰極リード（センターリード）、２４・・・陰極リード（サイドリード）、２５・・・入力側セラミック、２６・・・陰極端子、２７・・・スペーサ、２８・・・スリーブ、３１・・・チョークコイル、３２・・・貫通コンデンサ、３３・・・フィルタケース・３４・・・蓋体、３５・・・陰極加熱用導線、４１・・・上端封止金属、４２・・・下端封止金属、４３・・・金属ガスケット、４４・・・上側ヨーク、４５・・・冷却ブロック、４５Ｕ・・・上段側流路、４５Ｌ・・・下段側流路、４５ａ・・・管路、４５ｂ・・・管路、４５ｃ・・・管路、４５ｄ・・・開口、４６ｅ・・・スリット、４５ａ´・・・管路、４５ｂ´・・・管路、４５ｃ´・・・管路、４６・・・取り付けネジ、４７ａ・・・取り付け用ネジ孔、４７ｂ・・・取り付け用ネジ孔、４７ｃ・・・取り付け用ネジ孔、４７ｄ・・・取り付け用ネジ孔、４８ａ・・・取り付け用ネジの挿入孔、４８ｂ・・・取り付け用ネジの挿入孔、４８ｃ・・・取り付け用ネジの挿入孔、４９ａ・・・ビス、４９ｂ・・・ナット、５０・・・管継手、５１・・・供給用パイプ、５２・・・排出用パイプ、Ｓ・・・開口部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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