(57)【要約】 【課題】  基板上に塗布される蛍光体の塗布状態の十分な検出を行うことが出来る蛍光体検査装置を提供する。【解決手段】  低圧水銀ランプから射出される紫外線をリフレクタによって反射して集光することにより蛍光体に照射し、この紫外線の照射による蛍光体の発光状態をＣＣＤカメラによって撮像することにより蛍光体の塗布状態を検査する蛍光体検査装置において、リフレクタ２２Ａの反射ミラー２２Ａａが、中心角度θが１８０°未満の楕円弧の凹部側の形状を備えている。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線射出部材から射出される紫外線を集光部材によって反射して集光することにより蛍光体に照射し、この紫外線の照射による蛍光体の発光状態を撮像部材によって撮像することにより蛍光体の塗布状態を検査する蛍光体検査装置において、
前記集光部材の紫外線反射面が、中心角度が１８０°未満の楕円弧の凹部側の形状を備えていることを特徴とする蛍光体検査装置。
【請求項２】
前記集光部材の紫外線反射面の反射膜が蒸着によって形成されている請求項１に記載の蛍光体検査装置。
【請求項３】
前記集光部材の紫外線反射面が、楕円の短軸を挟んだ両側の楕円弧部分の形状に成形されている請求項１に記載の蛍光体検査装置。
【請求項４】
前記楕円の短径と長径の比が７：１０である請求項３に記載の蛍光体検査装置。  
【請求項５】
前記楕円弧部分の中心角が８０°である請求項３に記載の蛍光体検査装置。
【請求項６】
前記紫外線反射面が楕円の短軸を挟んだ両側の楕円弧部分を構成している集光部材に対して、この楕円の長軸側の一方の頂部に紫外線射出部材が位置され、反対側の頂部に蛍光体が位置されて、楕円の長軸が蛍光体に対して集光部材が蛍光体に接近する側に傾斜するように、互いの相対位置が設定されている請求項３に記載の蛍光体検査装置。
【請求項７】
前記蛍光体が、プラズマディスプレイパネルの単位発光領域内の蛍光体層を形成する蛍光体である請求項１に記載の蛍光体検査装置。
【請求項８】
赤の蛍光体層に可視光を照射する白色ランプをさらに備え、前記紫外線射出部材から緑および青の蛍光体層に紫外線が照射される請求項１に記載の蛍光体検査装置。
【請求項９】
請求項１ないし６の何れかに記載の蛍光体検査装置によって、単位発光領域内の蛍光体層を形成する蛍光体の塗布状態が検査されることにより製造されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板上に塗布された蛍光体の塗布状態を検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）は、二枚のガラス基板の間の放電空間内にマトリックス状に配列された放電セルが形成され、この各放電セル内に赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）に色分けされた蛍光体層が形成されており、各放電セル内において選択的に放電を行って、放電空間内の放電ガスから発生される真空紫外線によって三原色の各色の蛍光体層を発光させることにより、映像信号に対応した画像を形成する構成になっている。
【０００３】
このようなＰＤＰの製造工程においては、ガラス基板上に塗布されて各放電セル毎に色分けされた三原色の各色の蛍光体層の塗布状態を検査して、塗布不良や混色等を検出する蛍光体検査が行われる。
【０００４】
図１は、このようなＰＤＰの蛍光体検査の蛍光体検査工程に使用される従来の蛍光体検査装置を示している。
【０００５】
この従来の蛍光体検査装置１は、照明部２と撮像部３とから構成されている。  この蛍光体検査装置１の照明部２は、内面に反射ミラー２Ａａが形成されて断面が略楕円弧の笠形状になるように成形されているケーシング２Ａ内の中心位置に光源ランプ２Ｂが配置されていて、この光源ランプ２Ｂから発生される紫外線を、ケーシング２Ａの内面の反射ミラー２Ａａによって反射することにより、ケーシング２Ａのガラス基板Ｐに向いた側に形成されている開口部２Ａｂから可視光カットフィルタ２Ｃを介してガラス基板Ｐ上に形成されている蛍光体層に向けて照射するようになっている。
【０００６】
そして、撮像部３は、照明部２からの紫外線の照射によってガラス基板Ｐ上の蛍光体層から発光したそれぞれ赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の可視光を、カメラ３Ａによってバンドパスフィルタ３Ｂを介して撮像するようになっている（特許文献１参照）。
【０００７】
以上のように、この従来の蛍光体検査装置１は、撮像部３による撮像によって蛍光体層の発光状態を検出してガラス基板Ｐ上における各色毎の蛍光体の塗布状態を検査するようになっているものであるが、一般に、このような蛍光体の検査において、蛍光体に照射する紫外線の光量が多い程、カメラ３Ａによる鮮明な撮像が行われて、正確な検査結果を得ることができる。
【０００８】
しかしながら、上記従来の蛍光体検査装置１においては、下記の様な問題点を有している。
【０００９】
すなわち、この蛍光体検査装置１の照明部２は、ケーシング２Ａの内部に形成された断面が略楕円弧形状の反射ミラー２Ａａの中心角度が１８０°以上であり、さらに、光源ランプ２Ｂが、この反射ミラー２Ａａの中心位置（ケーシング２Ａの中心位置）に位置されている構造になっているために、図１では光源ランプ２Ｂからの紫外線がガラス基板Ｐ上に集光しているように描かれてはいるが、実際には、図示のような形状の反射ミラー２Ａａを用いた場合には光源ランプ２Ｂからの紫外線は可視光カットフィルタ２Ｃの近傍で集光してしまい、焦点距離が非常に短くなるので、カメラ３Ａの設置位置等の検査装置を構成する際の条件が可成りの制約を受けることになる。
【００１０】
さらに、上記蛍光体検査装置１では、光源ランプ２Ｂからの紫外線が反射ミラー２Ａａによって何回も反射した後に集光することになるので、この反射によって紫外線光量が減衰してしまい、ガラス基板Ｐ上の蛍光体層に照射される光量が減少して、正確な検査ができなくなるといった問題が発生する。
【００１１】
【特許文献１】特開２０００−１４９７８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
この発明は、上記のような従来の蛍光体検査装置が有している問題点を解決することをその技術的課題の一つとしている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明（請求項１に記載の発明）による蛍光体検査装置は、上記目的を達成するために、紫外線射出部材から射出される紫外線を集光部材によって反射して集光することにより蛍光体に照射し、この紫外線の照射による蛍光体の発光状態を撮像部材によって撮像することにより蛍光体の塗布状態を検査する蛍光体検査装置において、前記集光部材の紫外線反射面が、中心角度が１８０°未満の楕円弧の凹部側の形状を備えていることを特徴としている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
この発明は、プラズマディスプレイパネルの製造工程における基板の搬送ラインの上方位置に設置されて、直管型の低圧水銀ランプと、この低圧水銀ランプから射出される紫外線を反射して搬送ラインに沿って搬送されてくる基板上に集光させるリフレクタと、このリフレクタによって集光された紫外線が基板上に形成された蛍光体層に照射されることによる蛍光体層の発光状態を撮像するＣＣＤカメラとを備えており、リフレクタが低圧水銀ランプの下方部側方に配置され、その紫外線反射面が、中心角度が１８０°よりも小さい楕円弧形状となるように成形されている蛍光体検査装置をその最良の実施形態としている。
【００１５】
上記実施形態の蛍光体検査装置は、低圧水銀ランプからの紫外線を中心角度が１８０°よりも小さい楕円弧形状のリフレクタによって集光して蛍光体層に照射するので、その蛍光体の塗布状態の検査に必要な蛍光体層の発光量を十分に確保することができる。
【００１６】
さらに、リフレクタの断面の中心角度が１８０°よりも小さい楕円弧形状となるように成形されていることによって、従来の蛍光体検査装置と比べて、光源である低圧水銀ランプとリフレクタの互いの相対位置を自由に設定できるとともに、集光点を従来のものよりも長くなるように設定することができる。
【００１７】
さらに、リフレクタの反射面が前方に大きく広がっており、紫外線を一回反射させるだけで集光させることができるので、紫外線がほとんど減衰されることがない。
【００１８】
さらに、リフレクタの反射ミラーを蒸着によって形成することが出来、これによって、紫外線領域の短波長光の高い反射率を得ることが出来るようになる。
【００１９】
また、他の紫外線ランプと比べてオゾンの発生についての安全性に優れ安価で長寿命である低圧水銀ランプが備えられることによって、安全性に優れ、かつ安価であるという効果を奏する。
【実施例】
【００２０】
以下、この発明による蛍光体検査装置の実施例について説明を行うが、蛍光体検査装置の説明を行う前に、検査対象となるＰＤＰの構成の一例について説明を行う。
【００２１】
図２は、ＰＤＰの構成の一例を示す斜視図である。
【００２２】
この図２のＰＤＰは、前面ガラス基板１０の背面側に行電極対（Ｘ，Ｙ）とこの行電極対（Ｘ，Ｙ）を被覆する誘電体層１１および保護層１２が形成されており、背面ガラス基板１３上に、列電極Ｄとこの列電極Ｄを被覆する列電極保護層１４が形成され、この列電極保護層１４上に、列方向に延びる縦壁１５Ａと行方向に延びる横壁１５Ｂとによって格子形状に成形された隔壁１５が形成されており、この隔壁１５によって、前面ガラス基板１０と背面ガラス基板１３の間の放電空間が放電セルＣ毎に区画されている。
【００２３】
そして、この隔壁１５によって区画された各放電セルＣ内に、列電極保護層１４の表面と縦壁１５Ａおよび横壁１５Ｂの側面を覆うように、赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）に色分けされた蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂが行方向に順に並ぶように形成されている。
【００２４】
なお、この行方向に一列に並ぶ蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂによって表示ラインＬが構成される。
【００２５】
このＰＤＰは、隔壁１５によって区画された放電セルＣ内において、対になっている行電極ＸとＹの放電ギャップを介して互いに対向される透明電極ＸａとＹａ間で選択的に放電が行われ、この放電によって発生される真空紫外線によって各蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂが励起されて発光することにより、パネル面に画像を形成する。
【００２６】
図３ないし５は、上記のようなＰＤＰに形成されている赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）に色分けされた蛍光体層の基板上への塗布状態を検査するこの発明の実施形態における蛍光体検査装置の実施例を示しており、図３はこの実施例における蛍光体検査装置の側面図、図４は正面図、図５は平面図である。
【００２７】
なお、以下においては、蛍光体検査装置の検査対象として、上述した図２のＰＤＰの背面ガラス基板１３上に形成される蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂを例に挙げて説明を行う。
【００２８】
図３ないし５において、蛍光体検査装置２０は、ＰＤＰの製造工程における基板の搬送ラインの途中に、この搬送ラインに沿って蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂの形成面（図２参照）を上向きにして搬送されてくる背面ガラス基板１３の上方に位置するように設置される。
【００２９】
この蛍光体検査装置２０は、背面ガラス基板１３の搬送方向（図５のＸ方向）に対して直交する方向に水平向きに、赤用検査ユニット２０Ｒと緑用検査ユニット２０Ｇ，青用検査ユニット２０Ｂが基板の搬送方向Ｘに沿って順に並ぶように配列されている（図３と４には、緑用検査ユニット２０Ｇおよび青用検査ユニット２０Ｂの構成のみが示されている）。
【００３０】
赤用検査ユニット２０Ｒは、所要の間隔を開けて搬送方向Ｘと直交する方向に平行に延びる直管型の一対の白色ランプ２１Ｂの間に、複数個の赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒが白色ランプ２１Ｂに沿って一列に配列されている。
【００３１】
緑用検査ユニット２０Ｇおよび青用検査ユニット２０Ｂは、それぞれ、所要の間隔を開けて搬送方向と直交する方向に平行に延びる一対の直管型の低圧水銀ランプ２１Ａの間に、複数個の緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇ，青用ＣＣＤカメラ２３Ｂが一列に配列されている。
【００３２】
なお、赤用検査ユニット２０Ｒには、その白色ランプ２１Ｂから射出される可視光を反射して基板上に集光させるリフレクタを設けるようにしても良いが、白色ランプ２１Ｂからの可視光の光量が十分な場合には、リフレクタを設けなくてもよい。
【００３３】
緑用検査ユニット２０Ｇおよび青用検査ユニット２０Ｂには、図３および４に示されるように、それぞれ、水銀ランプ２１Ａから射出される紫外線を反射して、後述するような基板上に集光させるリフレクタ２２Ａとリフレクタ２２Ｂが備えられている。
【００３４】
この赤用検査ユニット２０Ｒおよび緑用検査ユニット２０Ｇ，青用検査ユニット２０Ｂは、一体的に、基板１３の搬送方向Ｘと直交する方向（図５の方向Ｙ）に移動されるようになっており、基板１３がＸ方向に搬送されるのに伴って、基板１３の検査対象領域の全面を光走査することが出来るようになっている。
【００３５】
低圧水銀ランプ２１Ａは、石英管を用いた蛍光ランプ形の紫外線発生低圧放電灯であって、緑と青の蛍光体を発光させるのに適した波長２６０ｎｍ付近の紫外線を射出する。
【００３６】
白色ランプ２１Ｂは、可視光領域の光を射出する。
【００３７】
リフレクタ２２Ａ，２２Ｂは、低圧水銀ランプ２１Ａの下方に位置するように配置されている。
【００３８】
このリフレクタ２２Ａおよびリフレクタ２２Ｂは、図６に示されるように、それぞれの断面が、中心角度θが１８０°よりも小さい楕円弧形状となるように成形されている。
【００３９】
そして、このリフレクタ２２Ａおよびリフレクタ２２Ｂは、それぞれの凹状の内面側に、蒸着によって反射ミラー２２Ａａ，２２Ｂａが形成されていて、図３に示されるように、反射ミラー２２Ａａと２２Ｂａが互いに内側向きに対向されて、後述するように、それぞれ低圧水銀ランプ２１Ａから射出される紫外線を一回反射して、搬送ラインによって搬送されてきた背面ガラス基板１３に形成されている蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂ上に集光させる向きに固定されている。
【００４０】
図７は、低圧水銀ランプ２１Ａの各部から射出される紫外線がリフレクタ２２Ａによって反射されて、集光されている状態を示している。
【００４１】
すなわち、図７（Ａ）は、低圧水銀ランプ２１Ａの中心から射出された紫外線ｕの集光状態を示しており、図７（Ｂ）は、低圧水銀ランプ２１Ａの側部から射出された紫外線ｕの集光状態を示しており、図７（Ｃ）は、低圧水銀ランプ２１Ａの上部から射出された紫外線ｕの集光状態を示しており、図７（Ｄ）は、低圧水銀ランプ２１Ａの下部から射出された紫外線ｕの集光状態を示している。
【００４２】
この図７（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）から、低圧水銀ランプ２１Ａの各部から射出された紫外線ｕが、リフレクタ２２Ａによって一回反射された後、ほぼ同一の領域に集光しているのが分かる。
【００４３】
したがって、リフレクタ２２Ａの形状および取り付け角度は、検査対象である背面ガラス基板１３上の蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂが紫外線ｕの集光領域内に位置されるように、予め設定されている。
【００４４】
リフレクタ２２Ａは、例えば、図８に示されるように、内面側の反射ミラー２２Ａａが形成される部分が、短径Ａ１Ａ２の長さ２ａと長径Ｂ１Ｂ２の長さ２ｂとの比が２ａ：２ｂ＝７：１０である楕円Ｅの短径Ａ１Ａ２を挟んだ両側の中心角θが８０°の部分の円弧Ｅａを為すように成形される。
【００４５】
そして、反射ミラー２２Ａａの形成面が図８の円弧Ｅａとなるように成形されたリフレクタ２２Ａは、例えば、図９に示されるように、低圧水銀ランプ２１Ａの中心が円弧Ｅａを含む楕円Ｅの長径Ｂ１Ｂ２の上端点Ｂ１と一致するように配置され、背面ガラス基板１３の蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂが形成されている面が、楕円Ｅの長径Ｂ１Ｂ２に対してその下端点Ｂ２において所定の角度だけリフレクタ２２Ａが基板１３に接近する側に傾斜した位置関係となるように、支持される。
【００４６】
リフレクタ２２Ｂについても、リフレクタ２２Ａと同様に形状および取り付け位置の設定が行われる。
【００４７】
ＣＣＤカメラのうち、赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒはバンドパスフィルタを備えていないが、緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇは、緑の可視光線の波長、例えば、５００〜５８０ｎｍの波長のみを透過する緑用バンドパスフィルタを備えていて、この緑用バンドパスフィルタを介して蛍光体層１６Ｇからの発光を撮像するようになっており、青用ＣＣＤカメラ２３Ｂは、青の可視光線の波長、例えば、４００〜５００ｎｍの波長のみを透過する青用バンドパスフィルタを備えていて、この青用バンドパスフィルタを介して蛍光体層１６Ｂからの発光を撮像するようになっている。
【００４８】
上記赤用検査ユニット２０Ｒの白色ランプ２１Ｂと赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒ、および、緑用検査ユニット２０Ｇ，青用検査ユニット２０Ｂのそれぞれの低圧水銀ランプ２１Ａとリフレクタ２２Ａ，リフレクタ２２Ｂ，緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇ，青用ＣＣＤカメラ２３Ｂは、蛍光体検査装置２０のフレームに互いの相対位置が不変となるように一体的に組み付けられていて、一体的に平行移動されるようになっている。
【００４９】
次に、上記蛍光体検査装置２０による蛍光体層の検査の手順について説明を行う。
【００５０】
検査対象の背面ガラス基板１３が搬送ラインに沿って搬送されてきて、蛍光体検査装置２０による検査位置に位置決めされると、蛍光体検査装置２０の赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒおよび緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇ，青用ＣＣＤカメラ２３Ｂが、背面ガラス基板１３上の任意の複数の表示ラインＬと対向する位置に位置決めされる。
【００５１】
これによって、低圧水銀ランプ２１Ａから射出されてリフレクタ２２Ａによって反射された紫外線および白色ランプ２１Ｂから射出されリフレクタ２２Ｂによって反射された可視光線が、背面ガラス基板１３の蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂの表面に集光されて、各蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂが発光される。
【００５２】
蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂから放射される可視光は、赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒおよび緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇ，青用ＣＣＤカメラ２３Ｂに入射される。
【００５３】
このとき、緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇは、緑用バンドパスフィルタが、紫外線の照射によって蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂから放射される可視光のうちの５００〜５８０ｎｍの波長の光、すなわち、緑の蛍光体層１６Ｇから放射される緑色の可視光のみを透過させることによって、蛍光体層１６Ｇからの緑色の可視光を撮像する。
【００５４】
図１０は、緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇによって撮像された蛍光体層１６Ｇの蛍光体の塗布状態を示している。
【００５５】
この図１０において、（ａ）の放電セルに形成された蛍光体層１６Ｇは、蛍光体が正常に塗布されている状態を示しており、（ｂ）の放電セルに形成された蛍光体層１６Ｇは、部分ｍの蛍光体が放電セルから食み出している状態を示しており、（ｃ）の放電セルに形成された蛍光体層１６Ｇは、部分ｎの蛍光体が欠落しているかまたは他の色の蛍光体と混色している状態を示している。
【００５６】
上記のような蛍光体層１６Ｇの蛍光体の塗布状態の判断は、緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇに接続された図示しないコンピュータ装置において行われ、基準データとの比較によって判断する方法と、複数の蛍光体層の撮像データを比較（隣接比較）する方法とがある。
【００５７】
基準データとの比較によって判断する方法においては、緑用ＣＣＤカメラ２３ＧとしてエリアＣＣＤカメラ（一般的な視野を持つカメラ）が用いられ、コンピュータ装置が、正常な塗布状態の蛍光体層を撮像した撮像データを基準データとして予め記憶していて、この基準データと緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇによって撮像された蛍光体層１６Ｇの撮像データとを比較することによって、蛍光体層１６Ｇの蛍光体の塗布状態が正常であるか否かの判断を行う。
【００５８】
すなわち、コンピュータ装置は、上記図１０（ｂ），（ｃ）のような場合には、蛍光体の塗布不良と判断してその旨の記録または表示を行う。
【００５９】
また、複数の蛍光体層の撮像データを比較（隣接比較）して判断する方法においては、緑用ＣＣＤカメラ２３ＧとしてラインＣＣＤカメラ（カメラ視野の幅がライン状にミクロンオーダで狭いカメラ）が用いられ、コンピュータ装置が、緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇによって撮像された複数の蛍光体層１６Ｇの撮像データを互いに比較することにより、撮像データが他の蛍光体層１６Ｇの撮像データと異なるか否かによって蛍光体の塗布状態が正常か否かの判断を行う。
【００６０】
このとき、緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇは、基板の搬送方向に直交する方向に並ぶ蛍光体層のうち、少なくとも同色の蛍光体層（この場合には蛍光体層１６Ｇ）が同時に三個以上入るような撮像範囲を有している。
【００６１】
なお、この緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇとして用いられるラインＣＣＤカメラは、カメラ台数の削減のためには、撮像範囲に一度に入る同色の蛍光体層の数が多いほど良く、例えば、５０インチ（１列１２８０画素）の基板の検査に対して各色毎に９台のラインＣＣＤカメラが使用される。
【００６２】
そして、このラインＣＣＤカメラは、そのライン状の視野を、緑用検査ユニット２０Ｇが延びる方向（基板の搬送方向と直交する方向）に合わせた状態で、このライン視野を横切る基板の蛍光体層の撮像を行う。
【００６３】
青用ＣＣＤカメラ２３Ｂは、青用バンドパスフィルタが蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂから紫外線の照射によって放射される可視光のうちの４００〜５００ｎｍの波長の光、すなわち、青の蛍光体層１６Ｂから放射される青色の可視光のみを透過させることによって、蛍光体層１６Ｇからの青色の可視光を撮像する。
【００６４】
この青用ＣＣＤカメラ２３Ｂによる蛍光体層１６Ｂの撮像状態、および、その蛍光体の塗布状態が正常であるか否かの判断は、前述した緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇによる場合と同様である。
【００６５】
赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒによる赤色の蛍光体層１６Ｒの撮像は、緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇおよび青用ＣＣＤカメラ２３Ｂの場合と異なり、紫外線によっては、蛍光体層１６Ｒを検査可能なレベルで発光させることが出来ず、赤の蛍光体が欠落している状態を検出出来ないので、以下のような方法によって行われる。
【００６６】
すなわち、蛍光体層１６Ｒを形成する赤の蛍光体には、予め、ＰＤＰの画像形成時の発光には影響を与えない色素（例えば、オリエント化学工業（株）製の「ＯＲＩＥＮＴ  ＯＩＬ  ＣＯＬＯＲＳ」等）が含有されている。
【００６７】
そして、蛍光体層１６Ｒには白色ランプ２１Ｂからの可視光がリフレクタ２２Ｂによって集光されることにより照射されて、この可視光が蛍光体層１６Ｒに含有されている色素によって反射された反射光が、赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒに入射される。
【００６８】
この蛍光体層１６Ｒに含有される色素には、可視光が照射された際に、蛍光体が塗布されている部分と塗布されていない他の部分、すなわち、蛍光体層１６Ｒの形成部分と放電セルＣを区画している隔壁１５や列電極保護層１４の形成部分とで可視光の反射率を異ならせるようにするものが使用され、ここでは、蛍光体層１６Ｒの色素による反射率が、白色の隔壁１５や列電極保護層１４の反射率よりも小さくなるように、色素の選択が行われている。
【００６９】
図１１は、上記のようにして赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒに入射される背面ガラス基板１３側からの反射光の光量の大きさを示すグラフである。
【００７０】
この図１１において、隣接する放電セルＣから赤の蛍光体が食み出していない状態の隔壁１５の区間Ａ１においては、この区間Ａ１の全域に亘って反射光量が最大値を示しており、蛍光体層１６Ｒが正常に塗布されている放電セルＣの区間Ｂ１においては、この区間Ｂ１の全域に亘って反射光量が最小値を示している。
【００７１】
しかしながら、隣接する放電セルＣから蛍光体層１６Ｒ（区間Ｂ２）の赤の蛍光体が食み出している隔壁１５の区間Ａ２においては、蛍光体が食み出している部分Ａ２ａにおける反射光量が蛍光体層１６Ｒからの反射光量と同じ最小値を示している。
【００７２】
また、蛍光体層１６Ｒに欠落部分が有り、その欠落部分で下側の列電極保護層１４が露出している放電セルＣの区間Ｂ３においては、列電極保護層１４が露出している部分Ｂ３ａにおける反射光量が、蛍光体層１６Ｒからの反射光量の値よりも大きい値を示している。
【００７３】
したがって、赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒによる撮像データに基づいて、コンピュータ装置が、上記のような隔壁１５の形成区間および蛍光体層１６Ｒの形成区間からの反射光量の変化を検出することによって、蛍光体層１６Ｒの赤の蛍光体の塗布状態が正常であるか否かの判断を行う。
【００７４】
このようにして、赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒおよび緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇ，青用ＣＣＤカメラ２３Ｂが対向している放電セルＣの蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂについての検査が全て終了すると、低圧水銀ランプ２１Ａおよび白色ランプ２１Ｂ，リフレクタ２２Ａ，２２Ｂ，赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒ，緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇ，青用ＣＣＤカメラ２３が次の放電セルＣに対向する位置に移動されて同様の検査が行われ、この様にして、背面ガラス基板１３の全面に亘って蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂの検査が行われる。
【００７５】
以上のように、上記蛍光体検査装置２０は、低圧水銀ランプ２１Ａからの紫外線をリフレクタ２２Ａによって集光させることにより蛍光体層１６Ｇおよび蛍光体層１６Ｂ上に照射するので、その蛍光体の塗布状態の検査に必要な蛍光体層１６Ｇおよび蛍光体層１６Ｂの発光量を十分に確保することができ、さらに、白色ランプ２１Ｂからの可視光をリフレクタ２２Ｂによって集光させることにより蛍光体層１６Ｒ上に照射するので、その蛍光体の塗布状態の検査に必要な蛍光体層１６Ｒからの反射光量を十分に確保することができる。
【００７６】
そして、上記蛍光体検査装置２０は、低圧水銀ランプ２１Ａからの紫外線を集光させるリフレクタ２２Ａおよび白色ランプ２１Ｂからの可視光を集光させるリフレクタ２２Ｂが、その断面が、それぞれ、中心角度θが１８０°よりも小さい楕円弧形状となるように成形されていることによって、図１の従来の蛍光体検査装置と比べて、光源である低圧水銀ランプ２１Ａ，白色ランプ２１Ｂとリフレクタ２２Ａ，２２Ｂのそれぞれの相対位置を自由に設定でき、これによって、集光点を従来のものよりも長くなるように設定することができるようになる。
【００７７】
さらに、この低圧水銀ランプ２１Ａ，白色ランプ２１Ｂとリフレクタ２２Ａ，２２Ｂのそれぞれの相対位置が、図１の従来の蛍光体検査装置の場合には固定されてしまうのに対し、取り付け後に調整可能であり、これによって、紫外線および可視光の集光位置を自由に調整することが出来る。
【００７８】
さらに、リフレクタ２２Ａ，２２Ｂのそれぞれの反射面（反射ミラー２２Ａａ，２２Ｂａ）が前方に大きく広がっており、紫外線および可視光を一回反射させるだけで集光させることができるので、紫外線および可視光がほとんど減衰されることがない。
【００７９】
さらに、図１の従来の蛍光体検査装置はその照明部２の断面が略楕円弧の笠形状になっているために影になる部分が出来るので、その内面の反射ミラー２Ａａを通常の蒸着方法では形成することが出来なかったが、この蛍光体検査装置２０では、リフレクタ２２Ａ，２２Ｂのそれぞれの反射ミラー２２Ａａ，２２Ｂａを蒸着によって形成することが出来、これによって、紫外線領域の短波長光の高い反射率を得ることが出来るようになる。
【００８０】
また、上記蛍光体検査装置２０は、他の紫外線ランプと比べてオゾンの発生についての安全性に優れ安価で長寿命である低圧水銀ランプ２１Ａが備えられることによって、安全性に優れ、かつ安価である。
【００８１】
なお、上記の実施例においては、バンドパスフィルタを備えていない赤用ＣＣＤカメラ２３Ｒと、緑用バンドパスフィルタを備えた緑用ＣＣＤカメラ２３Ｇと、青用バンドパスフィルタを備えた青用ＣＣＤカメラ２３Ｂがそれぞれ個別に用意されている蛍光体検査装置２０について説明を行ったが、ＣＣＤカメラが緑用バンドパスフィルタと青用バンドパスフィルタを備えていて、ＣＣＤカメラに装備された切替機構によって緑用バンドパスフィルタと青用バンドパスフィルタを切り換えて、緑用バンドパスフィルタを用いて蛍光体層１６Ｇの検査を行い、青用バンドパスフィルタを用いて蛍光体層１６Ｂの検査を行い、緑用バンドパスフィルタと青用バンドパスフィルタのどちらも用いない状態で蛍光体層１６Ｒの検査を行うようにしても良く、この場合には、一列のカメラ列で対応が可能である。
【００８２】
図１２は、このＣＣＤカメラのバンドパスフィルタを切り換えて各蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂの検査を行う場合の手順を示すフローチャートである。
【００８３】
この図１２において、検査開始により、ＣＣＤカメラが背面ガラス基板１３上の任意の放電セルＣに対向する位置に位置されてその撮像範囲に検査対象の放電セルＣが位置される（ステップＳ１）。
【００８４】
そして、この後、バンドパスフィルタ切替機構の作動によって緑用バンドパスフィルタが作動位置（ＣＣＤカメラのレンズに対向する位置）に位置されている状態で（ステップＳ２）、蛍光体層１６Ｇの撮像が行われて（ステップＳ３）、この蛍光体層１６Ｇの緑の蛍光体の塗布状態が正常か否かの検出が行われる（ステップＳ４）。
【００８５】
次に、バンドパスフィルタ切替機構によって緑用バンドパスフィルタに代えて青用バンドパスフィルタが作動位置に位置された後（ステップＳ５）、蛍光体層１６Ｂの撮像が行われて（ステップＳ６）、この蛍光体層１６Ｂの青の蛍光体の塗布状態が正常か否かの検出が行われる（ステップＳ７）。
【００８６】
次に、バンドパスフィルタ切替機構によって青用バンドパスフィルタが作動位置から待避されて、ＣＣＤカメラのレンズに対向する位置に緑用バンドパスフィルタおよび青用バンドパスフィルタが位置されていない状態にされた後（ステップＳ８）、蛍光体層１６Ｒの撮像が行われて（ステップＳ９）、この蛍光体層１６Ｒの赤の蛍光体の塗布状態が正常か否かの検出が行われる（ステップＳ１０）。
【００８７】
そして、以上のようにして、ＣＣＤカメラに対向されている複数の放電セルＣの各蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂの検査が終了した後、背面ガラス基板１３上の全ての放電セルＣの検査が終了していない場合には（ステップＳ１１）、ＣＣＤカメラおよび光源ランプ，リフレクタが次の放電セルＣに対向される位置に移動されて（ステップＳ１２）、再度、ステップＳ２からＳ１０までの手順が繰り返される。
【００８８】
なお、蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂの検査の順番は、上記の例に限らず、任意の順番で行うことが出来る。
【００８９】
上記のような蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂの検査において、蛍光体検査装置２０は、狭いライン状に反射光を集光することが出来る（集光領域が狭い）ので、蛍光体層の検査を、ラインＣＣＤカメラを用いて複数の蛍光体層の撮像データの比較による判断方法によって行うのが好適である。
【００９０】
なお、上記のような蛍光体の検査において、背面ガラス基板１３は、図５に示されるように、蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂの行方向の配列が搬送方向Ｘと直交する方向に延びるように搬送してもよく、また、蛍光体層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂの行方向の配列が搬送方向Ｘと平行方向に延びるように搬送してもよい（図示せず）。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】従来の蛍光体検査装置の構成図である。
【図２】この発明の検査対象のＰＤＰの一例を示す斜視図である。
【図３】この発明による蛍光体検査装置の実施例を示す側面図である。
【図４】同実施例の正面図である。
【図５】同実施例の平面図である。
【図６】同実施例におけるリフレクタを示す斜視図である。
【図７】同実施例におけるリフレクタによる紫外線の反射の状態を示す説明図である。
【図８】同実施例におけるリフレクタの形状の設定方法の一例を示す説明図である。
【図９】同実施例における低圧水銀ランプとリフレクタとの相対位置の設定方法の一例を示す説明図である。
【図１０】蛍光体層の蛍光体の塗布状態の例を示す説明図である。
【図１１】同実施例において赤の蛍光体層からの反射光量の蛍光体の塗布状態による変化を示す説明図である。
【図１２】同実施例において一個のＣＣＤカメラをバンドパスフィルタを切り換えて使用する場合の手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００９２】
１３                    …背面ガラス基板（基板）
１５                    …隔壁
１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂ  …蛍光体層
２０                    …蛍光体検査装置
２１Ａ                  …低圧水銀ランプ（紫外線射出部材）
２１Ｂ                  …白色ランプ
２２Ａ                  …リフレクタ（集光部材）
２２Ａａ                …反射ミラー（紫外線反射面）
２２Ｂ                  …リフレクタ
２２Ｂａ                …反射ミラー
２３Ｒ                  …赤用ＣＣＤカメラ（撮像部材）
２３Ｇ                  …緑用ＣＣＤカメラ（撮像部材）
２３Ｂ                  …青用ＣＣＤカメラ（撮像部材）
Ｅ                      …楕円
Ｅａ                    …楕円弧
ｕ                      …紫外線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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