(57)【要約】【課題】  熱硬化性のモールド樹脂に施しためっきのクラックを防止するとともに、真空中でのガス放出速度が小さいめっき処理構造物を得る。【解決手段】本発明のめっき処理構造物は、熱硬化性樹脂硬化物と、高分子製の網とからなり、この熱硬化性樹脂硬化物の表面に高分子製の網６を配置した後、めっき処理したものである。また、高分子製の網の目合いは３ｍｍ以上、１０ｍｍ以下とするものである。  また、高分子製の網の材質は、ポリエチレン、ポリプロピレン、塩化ビニル、ポリスチレン、ふっ素樹脂、ポリイミド、シリコン樹脂またはそれらを併用したものである。【選択図】    図１
2005146389.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱硬化性樹脂硬化物と、高分子製の網とからなり、前記熱硬化性樹脂硬化物の表面に前記高分子製の網を配置した後、めっき処理したものであることを特徴とするめっき処理構造物。
【請求項２】
前記高分子製の網の目合いは、３ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のめっき処理構造物。
【請求項３】
前記高分子製の網の材質は、ポリエチレン、ポリプロピレン、塩化ビニル、ポリスチレン、ふっ素樹脂、ポリイミド、シリコン樹脂の少なくとも一つとしたことを特徴とする請求項１または２記載のめっき処理構造物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置内におけるウエハ搬送等の真空環境で使用される真空用モータのモールド樹脂に施しためっきに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空環境で使用される機器には、ガス放出が少ないことが要求される。真空雰囲気でのガスの放出は、材料表面に吸着された物質の離脱や、材料内部に吸蔵されるガスの拡散により生ずる。そこで、真空環境で使用される機器は、ガス放出が少ない材料で構成される。
従来のガス放出速度を低減したモータは、モールド樹脂の表面を、めっきなどの低ガス放出の金属皮膜で被覆している(例えば、特許文献１参照)。
図２は、従来のめっき処理構造物でモールドした真空用アキシャルギャップモータのステータを示す側断面図である。図２において、１１１はステータコア、１１２はコイル、１１３はモールド樹脂、１１４はステータハウジング、１１５はモールド樹脂表面に施しためっきである。
このように、従来の真空用モータは、モールド樹脂表面の全面を一様にめっき処理したものである。
【特許文献１】特開２００２−２７２０８６号公報(第３頁、図２)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の熱硬化性樹脂にてモールドされたモータのめっきは、モールド樹脂の表面全体にわたって施されていて、めっきの面積が大きいため、めっきの収縮による応力（ひずみ×サイズ×弾性率）が大きいので網目状のクラックが発生し、真空中でのモールド表面からのガス放出速度が増大するというような問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、熱硬化性のモールド樹脂に施しためっきのクラックを防止するとともに、真空中でのガス放出速度が小さいめっき処理構造物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したものである。
請求項１に記載の発明は、熱硬化性樹脂硬化物と、高分子製の網とからなり、前記熱硬化性樹脂硬化物表面に前記高分子製の網を配置した後めっき処理したものである。
また、請求項２に記載の発明は、高分子製の網の目合いは３ｍｍ以上、１０ｍｍ以下とするものである。
また、請求項３に記載の発明は、高分子製の網の材質は、ポリエチレン、ポリプロピレン、塩化ビニル、ポリスチレン、ふっ素樹脂、ポリイミド、シリコン樹脂またはそれらを併用したものである。
【発明の効果】
【０００５】
請求項１に記載の発明によると、めっきを分割することによって、収縮による応力を低減することができ、クラックを防止することができる。
請求項２に記載の発明によると、めっき面内の高分子製の網の表面積を低減することができ、真空中でのガス放出速度を低減することができるとともに、分割されためっきのサイズを最適化することができ、クラックを防止することができる。
請求項３に記載の発明によると、真空中での高分子製の網からのガス放出速度を低減することができ、めっき面全体からのガス放出速度を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例】
【０００７】
図１は、本発明のめっき処理構造物でモールドした真空用アキシャルギャップモータの側断面図である。図１において、１はステータコア、２はコイル、３はモールド樹脂、４はステータハウジング、５はモールド樹脂３の表面に施しためっき、６は高分子製の網である。
本発明が特許文献１と異なる部分は、高分子製の網６を備えた部分である。高分子製の網６によってめっき５は区切られて一区画当たりのサイズが小さくなるため、収縮による応力が小さくなり、クラックを防止することができる。高分子製の網６の表面はめっき５が付着していないが、高分子製の網６の材質をガス放出速度が小さいものとすることで高分子製の網６の露出によるガス放出速度への影響は小さい。
【０００８】
表１に本発明のめっき処理構造物でモールドしたステータについて、表２に従来例と比較例のめっき処理構造物でモールドしたステータについて、高分子製の網の材質、目合いと、めっき処理後のクラックの有無と、真空中でのガス放出速度の評価結果を示す。高分子製の網は実施例１〜４と比較例１、２はプラスチックネットであり、比較例３は撚り糸で構成された高分子製の網である。高分子製の網とめっきと熱硬化性モールド樹脂組成物に用いた材料は以下のとおりである。
（イ）高分子製の網
材質：ポリエチレン、ポリプロピレン、ふっ素樹脂
目合い：１、３、１０、２０ｍｍ
（ロ）めっき
無電解ニッケルめっき、厚さ１０μｍ
（ハ）モールド樹脂
主剤：ビスフェノールＡ型エポキシ
硬化剤：ＤＤＭベース芳香族アミン
充填材：シリカ
高分子製の網の材質については、一般的に高分子材料の真空中でのガス放出成分は水が支配的であることから、吸水率の小さい疎水性高分子を使用した。また、一般的に疎水性高分子の表面はめっきの析出や付着性が悪いため、モールド樹脂上のめっきを確実に区切ることができる。
表１より分るとおり、本発明の実施例ではクラックが発生しなかった。また、ガス放出速度は、特許文献１（特開２００２−２７２０８６号公報）に記載されている方法を用いた。その結果、めっきの代わりに金属箔を被覆したステータと比較して、その２倍以下と良好であった。目合いを１ｍｍとした比較例１では、高分子製の網の面積が大きく、めっきによるガス放出抑制効果が小さくなった。目合いを２０ｍｍとした比較例２ではめっきにクラックが発生した。また撚り糸で構成された高分子製の網を使用した比較例３はガス放出速度が大きく、これは高分子製の網の繊維表面積が大きいことと、めっき液が残留したことが原因と考えられる。なお、高分子製の網の材質については、クラック防止のみを目的とする場合は熱可塑性樹脂や低弾性の熱硬化性樹脂なら何でも良く、真空中でのガス放出抑制を目的とする場合は、高分子製の網からのガス放出を低減するため、本実施例に用いた材質以外でも、吸水率が小さい、塩化ビニル、ポリスチレン、ポリイミド、シリコン樹脂でも良い。
【０００９】
【表１】
2005146389.tif 000003
【表２】
2005146389.tif 000004
【産業上の利用可能性】
【００１０】
モールド樹脂表面のめっきを、吸水率の小さい高分子製の網にて区切ることによって、ガス放出速度は低減させたまま、めっきのクラックを防止することができるので、高真空用のキャンレスモータという用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施例によるめっき処理構造物でモールドした真空用アキシャルギャップモータの側断面図
【図２】従来のめっき処理構造物でモールドした真空用アキシャルギャップモータの側断面図
【符号の説明】
【００１２】
１、１１１  ステータコア
２、１１２  コイル
３、１１３  モールド樹脂
４、１１４  ステータハウジング
５、１１５  めっき
６  高分子製の網
【図１】
2005146389.tif 000005
【図２】
2005146389.tif 000006