(57)【要約】【課題】半田玉や半田厚み不良を発生させることなく太陽電池素子の電極表面に均一に半田層を形成することができ、太陽電池素子の電極部の強度の低下を抑制することができる太陽電池素子の製造装置を提供する。【解決手段】表面に電極が形成された複数の太陽電池素子をウェハーキャリアに収容し、このウェハーキャリアを半田融液を保持した溶融半田槽に浸漬して前記電極の表面に半田層を被覆する太陽電池素子の製造装置であって、前記半田融液を前記溶融半田槽の内部で強制的に対流させるとともに、その対流速度を変えることができる対流手段を備え、前記ウェハーキャリアを前記溶融半田槽に浸漬した時に、前記半田融液の対流速度が上昇するように前記対流手段を制御してなる。【選択図】図１
2005136107.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に電極が形成された複数の太陽電池素子をウェハーキャリアに収容し、このウェハーキャリアを半田融液を保持した溶融半田槽に浸漬して前記電極の表面に半田層を被覆する太陽電池素子の製造装置であって、前記半田融液を前記溶融半田槽の内部で強制的に対流させるとともに、その対流速度を変えることができる対流手段と、前記ウェハーキャリアを前記溶融半田槽に浸漬した時に前記半田融液の対流速度が上昇するように前記対流手段を制御する制御手段と、を備えてなる太陽電池素子の製造装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記半田融液の温度を検出する温度検知手段を備え、前記対流手段による前記半田融液の対流速度をこの温度検知手段によって検出された前記半田融液の温度に連動して制御する機能を有してなる請求項１に記載の太陽電池素子の製造装置。
【請求項３】
前記溶融半田槽の外側に設けられ、その内部にこの溶融半田槽を収めてなる外側溶融半田槽と、これらの溶融半田槽間で半田融液が移動可能な連通部と、を備え、前記対流手段は、前記外側溶融半田槽から前記溶融半田槽へ向けて半田融液を対流させるべく前記連通部に備えられるとともに、前記外側溶融半田槽には、半田溶融用のヒータが備えられてなる請求項１または２に記載の太陽電池素子の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に電極を有する太陽電池素子を半田融液に浸漬して電極の表面に半田層を形成するための太陽電池素子の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池素子では長期信頼性を確保するとともに複数の太陽電池素子同士をインナーリードで接続するために、その電極の表面に半田層を形成するのが一般的である。
【０００３】
太陽電池素子の電極表面に半田層を形成する場合、太陽電池素子を半田融液に浸漬することによって電極の表面に半田層を形成する。この場合、電極表面の酸化物を除去して半田と電極の合金を形成しやすくしたり、空気との間に膜を形成することによって太陽電池素子を加熱したときに電極の表面が酸化されるのを防止したり、界面張力を減らして半田の濡れを促進したりするために、電極の表面にはフラックスを塗布する。そのフラックスを活性化させるために、約１００℃で加熱した後に半田融液に浸漬する。
【０００４】
また、複数の太陽電池素子の電極に同時に半田層を形成するためには、複数の太陽電池素子をウェハーキャリアに収容し、このウェハーキャリアごと半田融液の中に浸漬する方法が一般的である（特許文献１参照）。
【０００５】
図４および図５は、太陽電池素子の電極表面に半田層を形成する際に使用するウェハーキャリアの構造を示す図である。図４は太陽電池素子を収容したウェハーキャリアを側面からみた図、図５は図４中のＡ−Ａ’間の断面図を示す。図４および図５中の１は太陽電池素子、２はウェハーキャリアを示す。ウェハーキャリア２の側壁部２ａに設けた多数のスリットＳ部分に複数の太陽電池素子１を縦方向に挿着するように構成されている。
【０００６】
また、図６は太陽電池素子１の電極表面に半田層を形成する際に使用する従来の一般的な太陽電池素子の製造装置を示す図である。図６において、１は太陽電池素子、２はウェハーキャリア、３はアーム（太陽電池素子の半田浸漬を行うため、太陽電池素子を収容したウェハーキャリアを溶融半田槽に入れたり、出したりするなど、ウェハーキャリアを保持して運ぶための治具）、４は押さえバー、２５は溶融半田槽、６は半田融液を示す。
【０００７】
電極の表面に半田付けを行う場合、複数の太陽電池素子１を金属製のウェハーキャリア２にセットして自動製造装置でフラックスを塗布して乾燥したのち、このウェハーキャリア２をアーム３で支持して溶融半田槽２５の中に溶融状態で保持した半田融液６に浸漬し、引き上げた後にフラックスを洗浄して乾燥することによって行っていた。なお、押さえバー４は、半田より比重の小さい太陽電池素子１が浮き上がってウェハーキャリア２から出てしまうことを防ぐために、本発明者らによって発明されたものであり、特願２００３−８７４３２号明細書に記載されている。
【特許文献１】特開２００２−３１９６１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記の方法でウェハーキャリア２を半田融液６に浸漬させると、複数枚の太陽電池素子１およびウェハーキャリア２の有する熱容量のため、半田融液６の温度が低下し半田の粘度が高くなる。このような状態で太陽電池素子１を半田融液６から引き出すと、半田の流れが悪いため半田玉が発生する。この半田玉は後工程での歩留まり低下を招くため、半田後に半田鏝などにより修正作業が必要となる。
【０００９】
また、半田融液６の液温の違いにより太陽電池素子１の電極に形成される半田層に局部的に厚い部分が発生したり、半田が電極間でブリッジするという問題が発生し、後工程での割れや外観不良を引き起こす原因になるという問題があった。
【００１０】
このような半田玉を発生させないようにするには、下がった温度が回復するまで太陽電池素子１を半田融液６に浸漬させたままにしておくことが必要であるが、半田の熱伝導率は小さいため浸漬させたままの放置では回復までに時間がかかる。そのため、太陽電池素子１の半田融液６への浸漬時間が長くなってしまい、太陽電池素子１の電極材料が半田の中に溶け込むいわゆる半田食われが発生し、太陽電池素子１の電極部の強度を低下させてしまう。ここで言う電極部の強度とはシリコン基板と電極との接着強度を指す。
【００１１】
本発明はこのような従来の問題に鑑みてなされたものであり、半田玉や半田厚み不良を発生させることなく太陽電池素子の電極表面に均一に半田層を形成することができ、太陽電池素子の電極部の強度の低下を抑制することができる太陽電池素子の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の請求項１にかかる太陽電池製造装置は、表面に電極が形成された複数の太陽電池素子をウェハーキャリアに収容し、このウェハーキャリアを半田融液を保持した溶融半田槽に浸漬して前記電極の表面に半田層を被覆する太陽電池素子の製造装置であって、前記半田融液を前記溶融半田槽の内部で強制的に対流させるとともに、その対流速度を変えることができる対流手段を備え、前記ウェハーキャリアを前記溶融半田槽に浸漬した時に前記半田融液の対流速度が上昇するように前記対流手段を制御する制御手段を備えてなる。
【００１３】
ウェハーキャリアを溶融半田槽に浸漬すると、ウェハーキャリア近傍の半田融液の温度は低下し、半田槽内の温度のバラツキが増えてしまう。本発明によれば、ウェハーキャリアを浸漬した時に半田融液の対流速度を上昇させることによって、半田融液の温度のバラツキを速やかに解消することができる。なお、本明細書において、ウェハーキャリアを溶融半田槽に浸漬した時とは、浸漬するのと同時以降を意味する。
【００１４】
本発明の請求項２にかかる太陽電池素子の製造装置は、請求項１に記載の太陽電池素子の製造装置において、前記制御手段は、前記半田融液の温度を検出する温度検知手段を備え、前記対流手段による前記半田融液の対流速度をこの温度検知手段によって検出された前記半田融液の温度に連動して制御する機能を有してなるようにしたので、ウェハーキャリアの浸漬によって、下がった半田融液の温度を検出して回復したり、温度が回復した後にはそれを検出して半田融液の対流を止めたりすることが可能となる。
【００１５】
また、本発明の請求項３にかかる太陽電池の製造装置は、請求項１または２に記載の太陽電池素子の製造装置において、前記溶融半田槽の外側に設けられ、その内部にこの溶融半田槽を収めてなる外側溶融半田槽と、これらの溶融半田槽間で半田融液が移動可能な連通部と、を備え、前記対流手段は、前記外側溶融半田槽から前記溶融半田槽へ向けて半田融液を対流させるべく前記連通部に備えられるとともに、前記外側溶融半田槽には、半田溶融用のヒータが備えられてなる。
【００１６】
このようにしたことから、外側溶融半田槽において、ヒータによって高温となった半田融液を対流手段によって前記溶融半田槽に供給するとともに、この溶融半田槽の半田融液が外側の溶融半田槽へとオーバーフローして半田融液の循環が起こるので、ウェハーキャリアの浸漬によって、下がった半田融液の温度を速やかに回復することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の請求項１にかかる太陽電池製造装置によれば、ウェハーキャリアを溶融半田槽に浸漬したときに、ウェハーキャリア近傍の半田融液の温度は低下して増加した半田槽内の温度のバラツキをウェハーキャリアを浸漬した時に半田融液の対流速度を上昇させることによって、速やかに解消することができる。このため、半田玉や半田厚み不良を発生させることが少なくなり、太陽電池素子の電極表面に均一に半田層を形成することができるようになる。
【００１８】
本発明の請求項２にかかる太陽電池素子の製造装置によれば、ウェハーキャリアの浸漬や周囲の環境による影響によって、下がった半田融液の温度を回復させたり、温度が回復した後にはそれを検出して半田融液の対流を止めたりすることが可能となるので、装置の運転を経済的に行うことができるとともに、半田融液の温度を一定に保つことが可能となる。その結果、低コスト化が可能となるばかりでなく、半田厚み不良を減らし、確実に所望の厚さ、バラツキを有する半田層を得ることができる。
【００１９】
本発明の請求項３にかかる太陽電池素子の製造装置によれば、外側溶融半田槽において、ヒータによって高温となった半田融液を対流手段によって前記溶融半田槽に供給するとともに、この溶融半田槽の半田融液が外側の溶融半田槽へとオーバーフローして半田融液の循環が起こるので、ウェハーキャリアの浸漬によって、下がった半田融液の温度を速やかに回復することができる。太陽電池素子の半田融液に浸漬させている時間をより一層短縮することが可能となり、太陽電池素子の電極部の強度低下を抑制することができる効果が高まる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００２１】
図１は本発明にかかる太陽電池素子の製造装置の一実施形態を説明するための図である。図１において、１は太陽電池素子、２はウェハーキャリア、３はアーム（太陽電池素子の半田浸漬を行うため、太陽電池素子を収容したウェハーキャリアを半田槽に入れたり、出したりするなど、ウェハーキャリアを保持して運ぶための治具）、４は押さえバー、５は外側溶融半田槽、６は半田融液、７は内側の溶融半田槽、８は制御手段の一例である制御装置、９は噴流モータ、１０は対流手段である羽根車、１１は温度検知手段である熱電対、１２はヒータ、１３は連通部を示す。
【００２２】
図１に示すように、外側溶融半田槽５は、その内側に溶融半田槽７が設けられており、いずれの槽にも半田融液６が入っていて、内側の溶融半田槽７から外側溶融半田槽５へ、もしくは外側溶融半田槽５から内側の溶融半田槽７へ、連通部１３を経由して、半田融液６が相互に移動可能となっている。そして、この連通部１３には半田融液６を強制的に対流させるための対流手段である羽根車１０が取り付けられている。この羽根車１０は噴流モータ９の回転軸に取り付けられており、この噴流モータ９を所望の回転速度で回転させることによって羽根車１０を回転させ、外側溶融半田槽５内の半田融液６を内側の溶融半田槽７へと導入し、内側の溶融半田槽７の内部で半田融液６の対流を起こさせる。余剰の半田融液６は、内側の溶融半田槽７の上部からオーバーフローして、外側溶融半田槽５へと循環する仕組みとなっている。また、外側溶融半田槽５には半田を溶融するためのヒータ１２が設けられており、このヒータ１２に通電することで、半田を溶融した状態で保持することができる。
【００２３】
このような本発明にかかる太陽電池素子の製造装置では、内側の溶融半田槽７に、表面に電極が形成された複数の太陽電池素子１が収容されたウェハーキャリア２を内側の溶融半田槽７内の半田融液６に対して、上方より浸漬することによって、これらの電極の表面に半田層を形成する。このウェハーキャリア２はアーム３で保持されるとともに、太陽電池素子１を半田融液６に浸漬したときに、密度差から浮力が生じ、太陽電池素子１がウェハーキャリア２から外れて欠けたりすることを防止するため、押さえバー４が設けられている。
【００２４】
ここで、本発明の太陽電池素子の製造装置では、半田融液６を内側の溶融半田槽７の内部で強制的に対流させる機能を有する対流手段である羽根車１０を備えている。この羽根車１０は、噴流モータ９に直接もしくはギアユニットを介して接続されており、噴流モータ９の回転数を変化させることによって、羽根車１０の回転数を変え、それに伴って半田融液６の対流速度を変えることができる。さらに、この噴流モータ９の回転数は、制御装置８からの信号に基づいて制御されるが、この制御信号は、半田融液６の温度を検出する温度検知手段である熱電対１１によって検出された半田融液６の温度と連動するようにすることが望ましい。
【００２５】
具体的には、例えば、次のように連動して制御させればよい。
【００２６】
まず、この半田融液６の対流速度はウェハーキャリア２が半田融液６に浸漬する前は対流を止めるか、ゆっくりと対流させた状態とする。ここで、内側の溶融半田槽７に、このウェハーキャリア２を浸漬した時に、噴流モータ９の回転数を上げて羽根車１０の回転数を早めてやり、半田融液６の対流速度を上げる。このような動作手順について、あらかじめ制御装置８に設定しておけば、ウェハーキャリア２の浸漬によって温度が低下し温度にバラツキが生じた半田融液６が、再び対流速度が上昇することによって、このバラツキを速やかに解消することができる。このため、半田玉や半田厚み不良を発生させることが少なくなり、太陽電池素子１の電極表面に均一に半田層を形成することができるようになる。
【００２７】
その後、熱電対１１によって半田融液６の温度が十分に回復したことを検知したとき、例えば、この熱電対１１によって測定された温度がある一定の基準値を超えたときに、噴流モータ９の回転数を下げて半田融液６の対流速度を下げるように、制御装置８に設定しておく。その後、ウェハーキャリア２を半田融液６から引き出す。なお、半田融液６の対流速度を下げてから、ウェハーキャリア２を引き出すようにすることが望ましい。これは、半田融液６が対流している状態でウェハーキャリア２を動かすと、対流している半田融液６の圧力によってウェハーキャリア２がアーム３から外れたり、ウェハーキャリア２の中で太陽電池素子１が動いたりして割れる危険があるからである。
【００２８】
なお、上述の説明では、ウェハーキャリア２を浸漬した時に、噴流モータ９の回転数を上げて羽根車１０の回転数を早めてやり、半田融液６の対流速度を上げるように設定した例によって説明したが、その代わりに、この熱電対１１によって測定された温度がある一定の基準値を超えて下がったときに、噴流モータ９の回転数を上げて羽根車１０の回転数を早めてやり、半田融液６の対流速度を上げるよう、あらかじめ制御装置８に設定してもよい。すなわち、ウェハーキャリア２の浸漬によって温度の下がった半田融液６が溶融半田槽７からオーバーフローして、外側溶融半田槽５に移動し、この外側溶融半田槽５に設けられた熱電対１１に到達することによって検出することができる。
【００２９】
また、図１に示したように、外側溶融半田槽５には、半田溶融用のヒータ１２を配設しておくことが望ましい。このヒータ１２外側溶融半田槽５の半田融液６は、このヒータ１２によって高温となっている。この半田融液６が対流手段によって、溶融半田槽７側に供給されるので、太陽電池素子１を収容したウェハーキャリア２の浸漬により低下した半田融液６の温度を早く回復させることが可能となる。そのため、太陽電池素子１の半田融液６に浸漬させている時間をさらに短縮することが可能となり、太陽電池素子１の電極の強度低下を抑制することができる効果が高まる。
【００３０】
ここで、半田融液６の対流速度としては、平常時は０ｍｍ／ｓｅｃ〜１０ｍｍ／ｓｅｃとし、対流速度を上げたときには、１０ｍｍ／ｓｅｃ〜１００ｍｍ／ｓｅｃの範囲で選定してやることが望ましい。この範囲よりも小さいと、対流速度を上げた効果がほとんど見られず、逆にこの範囲よりも大きくするためには、負荷がかかりすぎるため特殊なモータが必要となることと、ウェハーキャリア２に収容している太陽電池素子１に下から噴き出してくる半田の負荷により、押さえバー４との接触部で割れや欠けを発生させてしまう恐れがある。さらに、内側の溶融半田槽７から外側溶融半田槽５にオーバーフローした際に外側溶融半田槽５に浮いている酸化した半田やドロス（溶融半田が空気中の酸素と結合することによってできた粘性の高い酸化物）などを勢いよく外側溶融半田槽５の底まで巻き込んでしまい、そのまま羽根車１０に巻き込まれ、内側の溶融半田槽７へと流れ込んでしまい、半田融液６の対流速度を上げた状態で半田融液６から太陽電池素子１を収容したウェハーキャリア２を引き出すと、内側の溶融半田槽７に流れ込んできた酸化した半田やドロスなどと一緒に引き出してしまうことになり、太陽電池素子１の表面にこの酸化した半田やドロスが付着してしまうという恐れもある。
【００３１】
噴流モータ９としては、その回転数を外部より制御することができればよく、周知のモータを用いることができる。例えば、交流のインダクションモータを用いた場合、通常は交流の周波数により回転数が一定に定まるが、この周波数をインバータなどによって変えれば、回転数を変更することが可能となる。このように制御装置８から、必要な回転数で回転させるように電圧や周波数などによって、指示を与えることによって指示通りの回転数で回転を行うことが可能となる。その他、三相ＤＣブラシレスモータ、ステッピングモータ、超音波モータなどを用いることも可能であり、同様にして制御装置８から与えられた指示通りの回転数でモータを回転させることができる。
【００３２】
羽根車１０としては、例えば、スクリュー形状を有するものを用いることができ、その材質としては、半田融液６に浸漬させた状態で用いることから、ステンレス製とすることが望ましい。
【００３３】
また、本発明の太陽電池素子の製造装置にかかる制御装置８は、上述のように温度検知手段（熱電対１１）からの信号や、ウェハーキャリア２が浸漬されたことを示す信号などに基づいて、噴流モータ９の回転数を制御して、対流手段（羽根車１０）による対流速度を制御する機能を有している。このような機能を有する装置としては、プログラマブルコントローラ（シーケンサ）がよく知られている。このようなプログラマブルコントローラは、単機能を有するモジュールを組み合わせてユニット化して用いることが多い。本発明にかかる制御装置８の場合は、熱電対１１を直接プログラマブルコントローラに接続してアナログ電圧値をデジタル電圧値に変換する機能を有するモジュールや、インダクションモータやステッピングモータなどを制御するインバータなどの機能を有するモジュール、ウェハーキャリア２が浸漬されたことを示す信号（例えばＯＮ／ＯＦＦ信号）を入力して検知するためのデジタル入出力モジュールなどを適宜組み合わせて用いればよい。また、インバータモジュールの代わりに、Ｄ／Ａ変換モジュールなどを用いて、外部のインバータを電圧などによって直接制御するようにしても構わない。さらに、プログラマブルコントローラを用いる代わりに、汎用のパソコンに制御用のインターフェース機構を設けてもよく、全く同様の結果を得ることができる。
【００３４】
ヒータ１２に対しては、溶融半田槽内に保持する半田を溶融できるだけの一定電力をあらかじめ求めておいて、その電力を供給してやるようにすればよい。その他、電力供給量を可変としておいて、温度検知手段である熱電対１１によって検出された温度に対して、その電力供給量を連動させたりしてもよい。具体的には、内側の溶融半田槽７に、ウェハーキャリア２を浸漬したときに連動して対流速度を上昇させた時にヒータ１２への電力供給量を増加させたり、外側溶融半田槽５に設けられた熱電対１１において検出された温度低下と連動して、対流速度を上昇させた時にヒータ１２への電力供給量を増加させたりすればよい。このようにすれば、外側溶融半田槽５の内部の半田融液６が速やかに加熱されるとともに、内側の溶融半田槽７内に送り込まれ、太陽電池素子１を収容したウェハーキャリア２の浸漬により低下した半田融液６の温度をよりいっそう早く回復させることが可能となるからである。
【００３５】
温度検知手段としては、図１に示したように、熱電対１１を用いればよいが、半田融液６に浸漬するため、熱電対は素線のまま用いるのではなく、例えば、ステンレス製のシース（鞘）に収めたものを使用することが望ましい。また、熱電対以外でもサーミスタや測温抵抗体、放射温度計など、電気的に温度を検知することができる周知の温度検知手段を用いることが可能である。
【００３６】
また、温度検知手段を配置する位置としては、図１に示したように、外側溶融半田槽５内部に設置することがより望ましい。その理由として、通常、内側の溶融半田槽７から外側溶融半田槽５へ半田がオーバーフローしたときには、内側の溶融半田槽７において、半田が波立って温度がばらついてしまい正確な温度を測定することができないという問題があるからである。ここで、このように外側溶融半田槽５に温度検知手段として熱電対１１を配置すれば、半田が波立つ影響を受けることがなく、ウェハーキャリア２を浸漬したときの正確な半田融液６の温度を迅速に検知することが可能となる。その結果、太陽電池素子１を半田融液６に浸漬させている時間を短縮して、太陽電池素子１の電極部の強度低下を抑制することができる効果をより確実にすることができる。
【００３７】
また、上記の説明において、温度検知手段（熱電対１１）によって検出された半田融液６の温度がある一定の基準値を超えて下がったり、上がったりしたときに、噴流モータ９の回転数を変更して、半田融液６の対流速度を変更するように、あらかじめ制御装置８に設定しておく点について述べたが、この一定の基準値とする温度については、同じ装置であってもその微妙な違いや温度検知手段を配置する位置などによって違いがある。また、用いる半田が異なれば、その融点が異なるためこの基準値とする温度は当然異なってくる。目安としては、その半田の融点に対して、−２０℃〜−３℃の範囲において、装置毎に条件出しを行って設定することが望ましい。
【００３８】
なお、本発明の実施形態は上述の例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることはもちろんである。
【００３９】
例えば、上述の説明では、外側溶融半田槽５の内部に溶融半田槽７を設けた例によって説明したが、これに限るものではなく、前記溶融半田槽と、この溶融半田槽とは別に第２の溶融半田槽と、これらの溶融半田槽間で半田融液が移動可能な連通部とを備え、前記対流手段は、前記第２の溶融半田槽から前記溶融半田槽へ向けて半田融液を対流させるべく前記連通部に備えられるとともに、前記溶融半田槽から第２の溶融半田槽へと半田融液を循環させる循環手段が備えられてなるようにしても構わない。具体的には、図２に示すように、溶融半田槽１７とは別に第２の溶融半田槽１５と、これらの溶融半田槽間で半田融液６が移動可能な連通部１３とを備え、対流手段の羽根車１０は、第２の溶融半田槽１５から溶融半田槽１７へ向けて半田融液６を対流させるために、連通部１３に取り付けられ、溶融半田槽１７から第２の溶融半田槽１５へと半田融液６を循環させて戻してやる循環手段１４が設けられている。このように、２つの溶融半田槽を別々の槽によって構成してやれば、半田融液６の量が多くなり、ウェハーキャリア２を浸漬させても半田融液６の温度が下がりにくい。ただし、この場合、半田融液６の量が多いため、ヒータ２０の容量は大きいものを選定してやることが望ましい。
【００４０】
さらに、外側溶融半田槽５と内側の溶融半田槽７との二槽を用いる代わりに、図３に示すように、溶融半田槽１６を一槽のみ用いて構成するようにしてもよい。このとき、例えば、図３に示すように、羽根車１０を溶融半田槽１６に取り付ける際に、対流手段の羽根車１０の周囲にはノズルカバー１８が設けるようにするとよい。羽根車１０を回転させると半田融液６がノズルカバー１８の内部を経由して、ノズルカバー１８の出口から外部に押し出され、強制的に半田融液６の対流が発生するので、後の部材を図１に示したものと全く同様に構成すれば、本発明の効果を得ることができる。このように一槽によって構成すれば、二槽の場合と比べて、半田融液６の温度を回復させる時間は多少かかるものの、より低コストで経済的に本発明の太陽電池素子の製造装置を得ることができるというメリットがある。
【００４１】
また、噴流モータ９と羽根車１０との間にギアボックスを介して回転するように接続しても構わない。ギアボックスを用いる利点としては、通常、モータは低い回転数では高いトルクを得られない場合が多いが、ギア比を適切に選定することによって、モータを高い回転数で利用して安定したトルクを得つつ、半田融液６を対流させるのに必要な範囲の回転数の領域にすることが可能となる。また、モータの回転数を変更する代わりにギア比を変更することによって、羽根車１０の回転数を変えて、半田融液６の対流速度を変化させるようにしてもよい。
【００４２】
さらに、例えばウェハーキャリア２の形状はこれに限定されるものではないし、半田の種類はＳｎ−Ｐｂの共晶半田であってもいいし、Ｓｎ−Ａｇ系、Ｓｎ−Ｃｕ系、Ｓｎ−Ｚｎ系、Ｓｎ−Ｓｂ系、Ｓｎ−Ｉｎ系、Ｓｎ−Ｂｉ系などの鉛を含有しないいわゆる鉛フリー半田を使用しても同様の効果を得ることができる。特に、高い融点を有するＢｉ系などの鉛フリー半田は、ウェハーキャリア２を浸漬するなどして半田融液６の温度が下がると悪影響を被りやすく、本発明の太陽電池素子の製造装置を用いれば、このような悪影響を回避することができるので、好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明にかかる太陽電池素子の製造装置の実施の形態を示す図である。
【図２】本発明にかかる太陽電池素子の製造装置の他の例を示す図である。
【図３】本発明にかかる太陽電池素子の製造装置の他の例を示す図である。
【図４】太陽電池素子の電極表面に半田層を形成する際に使用するウェハーキャリアの構造を示す図であり、太陽電池素子を収容したときの側面図である。
【図５】図４中のＡ−Ａ’間の断面図である。
【図６】従来の太陽電池素子の製造装置の一実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１：太陽電池素子
２：ウェハーキャリア
２ａ：側壁部
３：押さえバー
４：アーム
５：外側溶融半田槽
６：半田融液
７：内側の溶融半田槽
８：制御装置（制御手段）
９：噴流モータ
１０：羽根車（対流手段）
１１：熱電対（温度検知手段）
１２：ヒータ
１３：連通部
１４：循環手段
１５：第２の溶融半田槽
１６：溶融半田槽
１７：溶融半田槽
１８：ノズルカバー
２０：ヒータ
２５：溶融半田槽
Ｓ：スリット
【図１】
2005136107.tif 000003
【図２】
2005136107.tif 000004
【図３】
2005136107.tif 000005
【図４】
2005136107.tif 000006
【図５】
2005136107.tif 000007
【図６】
2005136107.tif 000008