(57)【要約】【課題】  昨今、ライトヘッドにおいて、ライト電流によるジュール熱及び高周波コア損失に依存した温度上昇により、熱膨張率が大きい材質部分が伸び、ヘッド浮上面が磁気ディスク方向に突き出してしまう現象が観測されている（サーマルプロトリューション：TPR）。これを考慮に入れた上で磁気ヘッドの浮上量を正確に捉え、浮上量管理する必要がある。【解決手段】  磁気ディスクドライブもしくは試験工程内での実機状態に近い磁気ディスクドライブにて、ライト動作に起因したTPR量の変化を測定し、その結果をメモリ上もしくは磁気ディスク上に保持しておき、このデータを用いて浮上量管理を行う。また必要に応じてSMART機能と組み合わせ浮上量管理を行う。本発明により信頼性の高い浮上量管理を行うことができる。【選択図】  図3
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスク装置において、
装置内に用いられている磁気ヘッドそれぞれのTPR量情報を保持するメモリもしくは磁気ディスクと、このTPR量情報を用いて磁気ヘッド浮上量管理を行う機能を有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
磁気ディスク装置において、
装置内にTPRに起因する磁気ヘッド浮上量変化を測定するTPR量測定機能と、このTPR量測定機能により測定された各々の磁気ヘッドのTPR量情報を用いて磁気ヘッド浮上量管理を行う機能を有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項３】
請求項１に記載の磁気ディスク装置において、
前記メモリ又は磁気ディスクに記憶されるTPR量情報が、磁気ディスク装置の実機状態の試験工程にて測定された情報であることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項４】
磁気ディスク装置において、
特定のトラックまたはリシンダに第１の単一周波数信号による記録がされている少なくとも１つの磁気ディスクと、その特定のトラックまたはリシンダの一部の領域に第２の単一周波数信号による書き込みをした直後に第１の単一周波数信号の再生をすることでTPR量を測定するTPR量測定機能を有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項５】
請求項４に記載の磁気ディスク装置において、
第１の単一周波数信号による記録がされる特定のトラックまたはシリンダは、複数のトラックまたはシリンダであることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項６】
請求項４に記載の磁気ディスク装置において、
第２の単一周波数信号による記録がされる領域を有するトラックまたはシリンダの内周側及び外周側に、第１の単一周波数信号による記録がされる特定のトラックまたはシリンダが存在することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項７】
請求項４に記載の磁気ディスク装置において、
第1の単一周波数信号の再生をする時間は、再生出力が平衡状態となるのに必要な時間以上の時間に設定されていることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項８】
請求項４に記載の磁気ディスク装置において、
第2の単一周波数信号による書き込みをする時間は、第1の単一周波数信号の再生出力が平衡状態となるに要する時間と同等の時間以上に設定されていることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項９】
請求項１または2に記載の磁気ディスク装置であって、
前記TPR量情報を用いた第１の浮上量管理機能と、定常的な浮上量管理を行う第２の浮上量管理機能を有し、それらの機能により磁気ヘッドの浮上量管理を行うことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項１０】
請求項2または4に記載の磁気ディスク装置であって、
前記TPR量測定機能による浮上量変化の測定を、磁気ディスクの電源投入時、もしくはヘッドのロード時、もしくは特定時間間隔毎に行うことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項１１】
請求項1、2または4のいずれかに記載の磁気ディスク装置において、
「仕様で定められた浮上量-TPR量」が所定の閾値を越えた場合は上位ホストコンピュータまたはユーザに対してアラームを発する管理モード、ライト電流を調整する管理モード、ライト電流のオーバーシュート量を調整する管理モード、ヘッドをアンロードする管理モードのうち少なくとも１つの管理モードを有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項１２】
請求項3に記載された磁気ディスク装置において、
TPR量に応じてライト電流を調整する管理モード、ライト電流のオーバーシュート量を調整する管理モードのうちの少なくとも１つの管理モードを有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項１３】
磁気ディスク上の特定領域に第１の単一周波数信号をライトする第１のライト機能と、第１の単一周波数信号がライトされている特定領域の一部に第２の単一周波数信号のライト動作を行う第２のライト機能と、第２のライト機能によるライト動作の直後に、先に書き込まれた第１の単一周波数信号を読み込むリード機能と、を有し、この出力変化から浮上量変化、つまりTPR量を算出する機能を有することを特徴とする検査装置。
【請求項１４】
請求項13に記載された検査装置において、
浮上量変化を測定するために、スペクトルアナライザボードを内蔵しているか、もしくはスペクトルアナライザを用いることで、特定の周波数成分をフィルタリングして出力を測定することができる機能を有することを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ライト動作に起因したサーマルプロトリューション（ヘッド浮上面の媒体方向への突き出し）を考慮に入れた浮上量管理を行うことができる磁気ディスク装置、及びライト動作に起因したサーマルプロトリューションを考慮に入れた浮上量測定をすることができる検査装置、及びライト動作に起因したサーマルプロトリューションの測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置は、大容量のデータが記録可能なデバイスとして現在の高度情報化社会においては不可欠であり、データを安定に読み書き（リードライト）できることが要求される。磁気ディスク装置はデータが記録された磁気記録媒体（磁気ディスク）と、記録を読み書きする磁気ヘッド及び、ヘッドを動かすボイスコイルモータやその他回路から構成されている。磁気ヘッドはデータを書く（ライトする）ライトヘッドと、磁気ディスクに記録されたデータを読むリードヘッドからなっている。磁気ヘッドは磁気ディスク上を浮上しながらリードライトを行っている。この浮上量の管理について、一般に磁気ディスクドライブの信頼性を向上させる技術であって非特許文献１に記載のSMART（Self Monitoring analysis and reporting technology）機能の中に、出力分解能を測定することによる浮上量管理機能があり、これを用いることで気圧の変化や、環境温度変化に起因した定常的な浮上量の変化を捕らえることができる。実際は、ある仕様内に定常的な浮上量が決まるように、ライトヘッドの構造設計、スライダの浮上面形状設計、サスペンション設計が行われる。
【０００３】
また一方、高性能な磁気ディスク装置を実現するためにはリードライト特性の良い磁気ヘッドが必要であり、その評価や選別の目的で、磁気ディスク装置と同様のリードライト機能を持ち、位置決め精度が良い検査装置（リードライトテスタ、スピンスタンド）が用いられている。
【０００４】
【非特許文献１】岡村博司著「ハード・ディスク装置の構造と応用」  CQ出版株式会社、  2002年5月1日発行、p.153-155
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
磁気ディスクドライブにおいて、磁気ヘッドの媒体からの浮上量を制御することは、十分なリードライト性能を保証する観点から、また磁気ヘッドと媒体の接触によるデータ欠損等の問題を発生させない観点から、非常に重要である。昨今、ライトヘッドにおいて、ライト電流によるジュール熱及び高周波コア損失に依存した温度上昇により、熱膨張率が大きい材質部分が伸び、結果としてヘッド浮上面が磁気ディスク方向に突き出してしまう現象が観測されている（サーマルプロトリューション：TPR）。このような現象が起きると、浮上量がライト動作時のみ一時的に設計値より小さくなることになり大きな問題となる。磁気ディスク装置の高記録密度化のためには、磁気ヘッドの浮上量は限界まで下げる必要がある。よって、このライト動作に起因したTPRの影響を考慮に入れて浮上量を正確に捉え、また管理する必要が出てきている。このライト動作に起因するTPRはライト動作中の事象であり、定常的な浮上量の変化を管理するSMART機能のみでは対応することができない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような課題を解決するため、磁気ディスクドライブもしくは試験工程内での実機状態に近い磁気ディスクドライブにて、ライト動作に起因したTPR量の変化を測定し、その結果をメモリ上もしくは磁気ディスク上に保持しておき、このデータを用いて浮上量管理を行う。また必要に応じてSMART機能と組み合わせ浮上量管理を行う。TPR量を浮上量管理に用いることで、ライト動作中に設計値よりも更に浮上が下がる状態をも考慮することができ、より厳しい条件下での信頼性の高い浮上量管理を行うことができる。また、同時にこのようなTPR量測定機能を有するリードライトテスタを提案する。
【発明の効果】
【０００７】
サーマルプロトリューション（TPR）量を考慮した浮上量管理を行うことにより、磁気ヘッド、磁気ディスクの接触もしくはクラッシュという観点からより信頼性が高い磁気ディスクドライブが実現できる。また、本発明に示されているような浮上量測定機能をリードライトテスタ、または検査装置に用いることで、ライト動作起因のサーマルプロトリューション量を正確に測定することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に本発明に係る実施例を図を用いて説明する。
【実施例１】
【０００９】
図1に本発明に係る磁気ディスクドライブの一連の動作を説明したフローチャートを示す。磁気ディスクドライブはTPR量測定の機能を有しており、ある特定のタイミングでTPR量の測定を行う。TPR量測定機能では、まずTPR量測定開始条件を満たすか否かの判定を行う（S101）。この測定開始のタイミングは、例えば磁気ディスクドライブの電源投入時、もしくは磁気ヘッドを磁気ディスク上にロードしたとき、もしくは特定時間間隔毎等である。このような条件を満たしたとき、TPR量の測定を開始する（S102）。設定浮上量に対し、TPR量測定機能により得られたTPR量（正の値）を引いたものが、ライト起因のTPR量を考慮に入れた最小浮上量となる。よって、閾値を設けておき、最小浮上量がこの閾値を超えるか否かを判断する（S103）。この閾値よりも最小浮上量（＝仕様浮上量-TPR量）が小さくなってしまった場合（Yesのケース）、危険と判断しアラームを発生する（S104）。閾値よりも大きい値ならば（Noのケース）、次のタイミングで再びTPR量の測定を行うものとする。閾値より小さい場合、磁気ディスクは直接もしくはホストを通じてユーザに対して注意を促すアラームを発することができる（S105）。もしくは、TPR量はライト電流に比例して大きくなるため、TPR量を小さくするようにライト電流を調整することができる。またTPR量はライト電流のオーバーシュート量が大きくなると大きくなるため、TPR量を小さくするようにオーバーシュート量を調整することができる。もしくは、磁気ヘッドと磁気ディスクのクラッシュによる故障、データ損失を防ぐ目的で、ヘッドをアンロードすることもできる。
次に、TPR量測定機能の作用について説明する。磁気ディスク内部でTPR量を測定する方法としては、例えば次のようにすることができる。
【００１０】
図2に磁気ディスクと、記録されたトラックの位置関係を示す簡略図を示す。また図3の太線は測定された出力の経時変化の一例を示したものである。図2の黒く塗り潰された部分のように、まず磁気ディスク1のある領域の半径位置一周に渡って特定周波数f1のライト電流で書いた参照トラック2をライト動作によりつくる（第１のライト動作）。測定精度を高めるためにこのライト電流の周波数は高い方が望ましいが、高すぎると出力がノイズの影響を受け易くなるため注意が必要である。本実施例では、ｆ１は400MHzとし、磁気ディスク１のトラック２上に書き込む。このような単一周波数f1のライト電流をライトヘッドに流した結果、磁気ディスク1上の参照トラック2に単一パターン信号（略等しい長さの磁石が並ぶ状態）が記録される。次に、磁気ヘッド（図示せず）の浮上面側にTPRを発生させるために、例えばインデックス信号3の位置Bから位置Aまで斜線領域（４）で示されたように、特定のライト電流周波数f2の励磁信号によりライト動作を行い（第２のライト動作）、連続して位置Aの直後からのf1信号の変化（再生出力の変化）をリード動作により捕捉する。このリード動作によるf1信号の再生出力の推移を図２の下のグラフに示す。グラフのX軸は、f1出力の測定ポイント（ポイント間隔は20μsec）であり、Y軸は、f1信号の再生出力(dBm)を示す。参照トラック2の位置Ａでは、TPRにより浮上量が低下しているため、f1出力が約-33dBmと大きくなっている。そして、磁気ディスク1が回転し時間が経過するに従い、ヘッド素子の温度が低下し、位置B上に磁気ヘッドがくる時点では、ライト電流によるジュール熱と高周波コア損失に起因するTPRは元の状態（TPR量が略ゼロの平衡状態）に戻る。この平衡状態でのf1出力は約-38dBmとなっている。このf2は例えば磁気ディスク装置が扱う最高周波数（HF）とすれば良い。本実施例では、ｆ2は500MHzとし、ｆ2信号を参照トラック2に上書きする（斜線領域４）。この励磁信号ｆ2はインデックス信号位置3からではなく、一周中の任意の位置から始めても良い。リードライトオフセット量が小さい場合は、励磁信号f2のライト動作はf1信号を全周に渡って消さないよう、特定のセクタもしくは時間だけ行う必要がある。一般にこのような測定を行った場合のライト動作に起因したTPRに対応した浮上量変化が平衡状態に達するまで、数100μsecを要する。よって地点Aから地点Bまでヘッドが移動する時間は少なくともこの時間よりは長くなるように、f2をライトする時間もしくはセクタを調整する必要がある。本実施例では、AからBまでの時間を約4msec（約210測定ポイント）としているが、磁気ヘッドのシールド層や磁極部等の組成によって平衡状態に達するまでの時間は異なる為、磁気ヘッドごとに適切な値に設定することができる。また、TPRを発生させるために必要な時間、すなわち、位置Bから位置Aまでのトラック領域４に励磁信号f2を書き込む時間は、冷却する場合と加熱する場合のヘッド素子材料の時定数が略等しいため、TPR起因のf1の出力変化が平衡状態に達するまでの時間と同様とすることができる。本実施例では、TPRを発生させる加熱区間（B→A）と平衡状態に至るまでの冷却区間（A→B）を異なる長さとしているが、それぞれ必要時間以上であれば本発明の範囲内である。
【００１１】
また、参照トラック2は、1トラックである場合であっても、2以上の複数トラックであってもよい。また、f2信号を書き込む参照トラック2（斜線領域4のトラックに相当）の内周側と外周側にもf1信号を書き込む参照トラック2を設ける構成としてもよい。このような構成とすることで、ｆ１信号のリード動作時に同じf1信号を隣接トラックに配置できるため、隣接トラックからのノイズを低減しTPR量測定を精度よく行うことができる。また、上記構成により、ヘッドスライダのヨー角依存による出力変化を低減できるため、TPR量測定機能の精度向上を図ることができる。また、磁気ディスク１の両面、または複数枚の磁気ディスク１に参照トラック2を設ける場合は、同一シリンダに参照トラック2を設ける構成とする。この構成により、個々の磁気ヘッドの浮上量測定を同時に実行することができる。また、複数シリンダに参照トラック2を設ける構成としてもよい。
【００１２】
上述のように、ライト動作の終了直後の位置AではTPRにより浮上量が下がっているため出力が大きく、時間が経つにつれライトヘッドの温度が下がりヘッドの突出量が下がっていき平衡状態に達する。このときのｆ１信号出力の最大値と平衡状態での出力差から浮上量変化量を算出することができる。出力の最大値をV'、このときの浮上量をd'、平衡状態の出力と浮上量をそれぞれV、d、下地に書かれた信号の波長をλとすると、
TPR量 = (d-d') = -λ/2π・ln(V/V')      ・・・  （数１）
である。本実施例のTPR量測定機能では、（数１）によりTPR量を磁気ヘッドごとに所定のタイミングで算出し、浮上量管理に用いる。
【００１３】
図4にこの浮上量測定方法を用いた場合のフローチャートを示す。まずTPR測定を行い(S401)、平衡状態での出力を、初期状態（出荷状態）での値と比較する。変化（後述する図3におけるベースラインシフトX）があれば（S402）、例えばSMART機能の一部であるMR抵抗監視機能を用いて、リードヘッドの抵抗が変化していないかを見る（S403）。抵抗が変化していた場合、リードヘッドが壊れかけている可能性があり、別途SMART機能からアラームが上がり（S406）、上位ホストによりエラー処理が実行される（S407）。抵抗変化がなければ浮上量変化測定を継続する（S404-S405）。ここで、図3をもちいて、経時変化を考慮したヘッド浮上量変化を説明する。図３のグラフの横軸は図2における位置Aから位置Bまでの時間、もしくは位置に相当し、縦軸はf1で記録された参照トラック2の出力である。T1、T2はそれぞれ出荷時、測定時の出力最大値、B1、B2はそれぞれ出荷時、測定時の出力平衡値であり、本実施例での測定時は、製品出荷時と比べてベースラインシフト量X（経時変化）が生じている。Δ1は出荷時のTPRに依存した出力変化、Δ2は測定時のTPRに依存した出力変化、Δ3(=Δ2＋ベースラインシフト量X)がTPRを考慮に入れた場合の最大浮上変化に対応した出力変化である。このΔ3の値をもちいて（数１）に従ってTPR量（Δhg）を算出する（S404）。そして、ライト起因のTPR量を考慮に入れた最小浮上量（hg+Δhg）が閾値の範囲内か否かを判定し（S405）、閾値を超えた場合には、アラーム信号を発生する（S406）。
【００１４】
このように、測定・算出されたTPR量（Δhg）とSMART機能内の浮上量測定を併用することで、より信頼性の高い浮上量管理を行うことができる。得られたTPR量はメモリ上、もしくは磁気ディスク上に記録しておき、浮上量管理に用いる。TPR量はヘッドによって大きさが異なり、ばらつきを持つ。磁気ディスクドライブ内に組み込まれた磁気ヘッド毎にTPR量が異なることになる。例えばTPR量が大きい磁気ヘッドに関しては、TPR量が小さい磁気ヘッドにおける許容最小浮上量より大きい浮上しか許容できないように設定することで、磁気ヘッドと磁気ディスクの接触の可能性を減らし、信頼性を高めることができる。このように個別の磁気ヘッドに応じたTPR量を用いて、必要であればSMART機能と併用して浮上管理を行うことで、磁気ヘッドと磁気ディスクの接触によるデータ破損やクラッシュの可能性が小さい、信頼性の高い磁気ディスクを実現することができる。
【００１５】
図8に磁気ディスク装置の機能を簡単に表したブロック図を示す。磁気ディスク装置はヘッドディスクアッセンブリ（HDA）部分21と基板部分22から成る。HDA部分21は磁気ヘッド23と、これと接続されたリードライトIC（RWIC）24、磁気ディスク1及びこれを回転させるためのスピンドルモータ26、ヘッドの位置決めを行うボイスコイルモータ（VCM）25から成る。スピンドルモータ26は、MOS  FET29とプリドライバ28によって制御され、ボイスコイルモータも同様にプリドライバ28によって制御される。一方RWIC 24はリードライトチャネル27とデータをやり取りする。磁気ディスク装置制御プログラムもしくはSMART機能等の制御プログラムはFlash ROM 33もしくは磁気ディスク1上に保存されており、高速な動作が必要なプログラムに関しては起動時にデジタルシグナルプロセッサ（DSP） 31上にあるSRAM 32上に一時的に保存されて用いられる。磁気ディスク装置はホストコンピュータ36に対してはSCSIもしくはFCALもしくはATA等のインターフェースコントローラ30を介してユーザデータをやり取りする。このときバッファー用にDRAM 34が用いられる。DSP 31が位置決め系、リードライト系、インターフェース系の制御を統合的に行う。
【００１６】
本発明のTPR量測定機能を有するTPR量測定プログラム、出荷時の出力変化Δ1やTPR量等はFlash ROM 33上もしくは磁気ディスク1上に格納しておくことができる。また装置内でTPR量を測定した際のΔ2、Δ3、X等の測定データやTPR量（Δhg）はDSP 31上のSRAM 32上に一時的に格納して用いることができる。
【実施例２】
【００１７】
図5のフローチャートを用いて、本発明に係る磁気ディスク装置の試験工程でのTPR量測定方法、そのTPR量測定工程を有する磁気ディスク装置の製造方法について説明する。まず、磁気ディスク装置組み立ての際、実機状態にある磁気ディスク内部でTPR測定を行う（S501）。この際、TPR量測定機能は磁気ディスク装置の側にあっても、製造工程で用いられる検査装置の側にあっても良い。TPR量測定機能は、実施例１と同様の機能で実現できる。この時得られたTPR量をメモリもしくは磁気ディスク上に記憶しておき、このデータを浮上量管理に用いる。また、得られたTPR量に応じてライト電流、ライト電流のオーバーシュート量を設定することができる（S502）。
磁気ディスク内部でTPR量を測定する方法も、実施例１において説明したTPR量測定機能と同様の機能を用いて実現することができ(S503)、磁気ディスク装置の出荷時のTPR量を測定・算出し、当該データをFlash ROM 33上もしくは磁気ディスク1上にメモリしておくことができる。
【００１８】
そして、磁気ディスクドライブ出荷以前に把握されたTPR量とSMART機能内の浮上量測定を併用することで、磁気ディスク装置内で、より信頼性の高い浮上量管理を行うことができる。得られたTPR量はメモリ上、もしくは磁気ディスク上に記録しておき、浮上量管理に用いる。TPR量はヘッドによって大きさが異なり、ばらつきを持つ。磁気ディスクドライブ内に組み込まれた磁気ヘッド毎にTPR量が異なることになる。例えばTPR量が大きい磁気ヘッドに関しては、TPR量が小さい磁気ヘッドにおける許容最小浮上量より大きい浮上しか許容できないように設定することで、磁気ヘッドと磁気ディスクの接触の可能性を減らし、信頼性を高めることができる。このように個別の磁気ヘッドに応じたTPR量を用いて、必要であればSMART機能と併用して浮上管理を行うことで、磁気ヘッドと磁気ディスクの接触によるデータ破損やクラッシュの可能性が小さい、信頼性の高い磁気ディスクを実現することができる。
【実施例３】
【００１９】
図6に本発明に係る検査装置の概略図を示す。
【００２０】
磁気ディスク1がステージ13上にあるスピンドル14上に固定されて回転している。サスペンション12に取り付けられたスライダ11の先端部分に磁気ヘッドが位置し、磁気ディスク1上にロードされている。リードヘッドの出力は、各種回路、アンプから成るリードライトアナライザを15を経て、スペクトルアナライザ17に入力される。このときスペクトルアナライザと同様の働きをするスペクトルアナライザボードを用いてもよい。また同様に位置情報がステージコントローラ16からスペクトルアナライザ17に入力される。測定方法については後述するが、スペクトルアナライザは、磁気ディスク1上に書かれた参照トラック2の周波数のみをフィルタリングするようにゼロスパン設定されている。また、励磁信号によって書かれたトラックの終了位置Aの直後から、参照トラック2の出力を読めるように、トリガ信号が調整されている必要がある。このようにすることで、励磁信号によってライト動作起因のTPRが発生した直後の参照トラック2の出力の経時変化を、スペクトルアナライザを用いて捕捉することができる。TPR量を測定する方法としては、実施例１で説明したTPR量測定機能と同様の機能及び、図７で説明する測定アルゴリズムにより実現できる。制御用PC18が本発明のTPR量測定機能プログラムを有する。
【００２１】
図7に測定のフローチャートを示す。まず磁気ディスク1上のヘッドをロードする半径位置、磁気ディスク1の回転数、周波数f1、f2、ライト電流Iw、センス電流Is、ライト電流のオーバーシュート（OS）、オーバーシュートの持続時間（DS）、スペクトルアナライザのレゾリューションバンド幅（RVB）、ビデオバンド幅（VBW）の設定をする（S701）。設定が終了したら、測定領域をDCイレーズし（S702,S704）、磁気ディスク上の信号を完全に消去する。もし磁気ヘッドのリードライトオフセットがわかっていない場合、トラックプロファイルを測定してオフセット量を出しておく（S703）。磁気ヘッドを所定のトラック（参照トラック2）に移動させ（S705）、一周に渡ってf1信号をライトする（S706）。そして、オフセット量を考慮し、リードヘッドがこの信号の真上（オントラック状態）になるように調整した後（S707）、f2信号を特定の長さだけライトする（S708）。この直後からのf1信号の経時変化を、スペクトルアナライザもしくはスペクトルアナライザのフィルタ機能を用いて捕捉する（S709）。得られた出力の最大値と漸近値の差分から（S710）、上記の式を用いてTPR量を算出する（S711）。測定精度を高めるために、複数回測定をすることができても良い(S714)。例えばこの機能を磁気ヘッドの選別に用いる場合は、このTPR量の算出の後合否判定をし（S712）、結果を画面上及びファイル上に出力する機能を有する（S713）。
【００２２】
以上のようにして、ライト動作に起因したTPR量を、本実施例のTPR量測定機能を有する検査装置を用いて正確に測定することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明のTPR量測定機能は、磁気ヘッド毎のTPR量データを用いた浮上量管理、製造管理を実現するもので、磁気ディスク装置、磁気ディスク装置の製造方法また、その製造に用いる検査装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第一の実施形態における、一連の処理のフローチャートである。
【図２】本発明の第一、第二及び第三の実施形態における、ライト動作起因のサーマルプロトリューション（TPR）量測定方法の一例を説明するための図である。
【図３】励磁信号を書いた直後からの参照信号の経時変化の一例を示した図である。
【図４】本発明の第一の実施形態における、TPR測定機能が磁気ディスクドライブ内にある場合の、一連の処理のフローチャートである。
【図５】本発明の第二の実施形態における、TPR測定機能を実機状態の検査工程で行う場合の処理のフローチャートである。
【図６】本発明の第三の実施形態における、検査装置の概略図である。
【図７】本発明の第三の実施形態における、TPR測定の処理を示したフローチャートである。
【図８】磁気ディスク装置の機能を簡単に表したブロック図である。
【符号の説明】
【００２５】
1・・・磁気ディスク、2・・・参照トラック、3・・・インデックス信号位置、4・・・励磁信号によって書かれたトラック、11・・・スライダ、12・・・サスペンション、13・・・ステージ、14・・・スピンドル、15・・・リードライトアナライザ、16・・・スピンスタンドコントローラ、17・・・スペクトルアナライザ、18・・・制御用PC、A・・・励磁信号書き終わり位置、B・・・励磁信号書き始め位置もしくは出力が平衡状態になる位置、Δ1・・・出荷時出力変化量、Δ2・・・測定時出力変化量、Δ3・・・最大浮上量変化量に対応した出力変化量、X・・・ベースラインシフト量、
21・・・HDA(ヘッドディスクアッセンブリ)部分、22・・・PCB（基板）上の部分、23・・・磁気ヘッド、24・・・リードライトIC、25・・・ボイスコイルモータ、26・・・スピンドルモータ、27・・・リードライトチャネル、28・・・ボイスコイルモータ及びスピンドルのプリドライバ、29・・・MOS FET(電界効果型トランジスタ、30・・・SCSIもしくはFCALもしくはATA等のインターフェースコントローラ、31・・・デジタルシグナルプロセッサ（DSP）、32・・・SRAM、33・・・Flash ROM、34・・・DRAM、35・・・水晶発振子、36・・・ホストコンピュータ。
【図１】
2005071546.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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