(57)【要約】【課題】  半導体基板処理システムにおいて、エッチングプロセスを用いて基板上に形成された構造物の最小寸法を制御する改善された方法を提供すること。【解決手段】  エッチングプロセスを用いて基板上に形成された構造物の寸法を制御する方法がパターン化されたエッチングマスクのそれぞれの素子のエッチング前の寸法を測定するステップ２０４、前記エッチング前の測定結果を用いてエッチングプロセスのプロセスレシピを調整するステップ２０６及びパターン化されたエッチングマスクを用いてエッチングプロセスを行い、プロセスレシピを調整するステップ２０８を有する。一つの応用において、本方法は、電界効果トランジスタのゲート構造の最小寸法を制御するために用いられる。【選択図】          図２
2005109514.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチングプロセスを用いて基板上に形成される構造物の寸法を制御する方法であって、
前記基板上に形成されたパターン化されたエッチングマスクを有する基板を設けるステップと、
前記基板上に設けられた前記マスクの素子の寸法を測定するステップと、
前記寸法を測定した結果を用いてエッチングプロセスのためのプロセスレシピを調節するステップと、
前記調節されたプロセスレシピを用いるエッチングプロセスを行うことによって前記基板上に構造物を形成するステップと、
を有する方法。
【請求項２】
前記基板は、半導体ウエハであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記マスクは、パターン化されたハードマスク又はパターン化されたホトレジストマスクであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記構造物は、前記マスクの下に設けられた少なくとも一つの材料層に形成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記寸法は、前記素子の最も小さい幅であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記寸法は、非破壊測定技術を用いて測定されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記測定技術は、光学測定技術であることを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記測定するステップ及び前記形成するステップは、単一の基板処理システムの処理モジュールを用いて行われることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記調整するステップは、前記エッチングプロセスのプロセスレシピのための調整値を計算するステップを有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記調整値は、前記エッチングプロセス中に前記構造物の側壁から除去される材料の膜の厚さに関する少なくとも一つのパラメータのための調整値であることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記少なくとも一つのパラメータは、前記構造物をオーバエッチングするための時間間隔、エッチャントガスの流速及び/又は圧力、プラズマソース電力、基板バイアス電力、前記構造物の材料、及び前記構造物の側壁の厚さから成るグループから選択されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
エッチングプロセスを用いて基板上に形成される電界効果トランジスタのゲート構造の寸法を制御する方法であって、
前記ゲート構造の膜の積み重ね上に形成されるパターン化されたエッチングマスクを有する基板を設けるステップと、
前記基板上に設けられたマスクの素子の寸法を測定するステップと、
前記寸法を測定した結果を用いて前記膜の積み重ねの層をエッチングするエッチングプロセスのためのプロセスレシピを調節するステップと、
前記調整したプロセスステップを用いるエッチングステップを行なうことによって前記層に構造物を形成するステップと、
を有する方法。
【請求項１３】
前記層は、ゲート導体層、ゲート電極層、及びゲート誘電体層から成るグルームから選択されることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記ゲート導体層は、WSiを有し、前記ゲート電極層は、ドープされたポリシリコンを有し、前記ゲート誘電体層は、SiO2又はHfO2を有することを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記マスクは、パターンなKされたハードエッチングマスク又はパターン化されたホトレジストマスクであることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
前記マスクは、SiON、SiO2、Si3N4、HfO2及びα-カーボンから選択された材料を有することを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
前記寸法は、素子の最も小さな幅であることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１８】
前記寸法は、非破壊測定技術を用いて測定されることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１９】
前記測定技術は、光学測定技術であることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記測定するステップ及び前記形成するステップは、単一の基板処理システムの処理モジュールを用いて行なわれることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項２１】
前記調整するステップは、前記層をエッチングするエッチングプロセスのプロセスレシピのための調整を値を計算するステップを有することを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項２２】
前記調整値は、前記エッチングプロセス中に前記層の側壁から除去される材料の膜の厚さに関する少なくとも一つのパラメータのための調整値であることを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記少なくとも一つのパラメータは、前記構造物をオーバエッチングするための時間間隔、エッチャントガスの流速及び/又は圧力、プラズマソース電力、基板バイアス電力、前記構造物の材料、及び前記構造物の側壁の厚さから成るグループから選択されることを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に、半導体基板の処理システムに関し、特に、半導体基板の処理システムにおいてエッチングプロセスを制御する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニック半導体デバイスの製造は、１以上の層のデバイスの膜のスタック(積み重ね)がエッチングプロセスを用いて部分的に除去されるプロセスを有する。これらのデバイスを製造する一つの方法は、膜のスタック上にパターン化されたマスク(例えば、ハードマスク又はホトレジストマスク)を形成し、その後、エッチングマスクとしてパターン化されたマスクを用いて下にある層をエッチングするステップを有する。
【０００３】
このパターン化されたマスクは、一般に、下にある層においてエッチングされなければならない構造に相当する形状寸法を有する素子を含む。エッチングマスクをパターン化するプロセスに対する製造変数は、一群の基板(すなわち、バッチ)内でエッチングマスクの素子の大きさに対して、広い統計的分布(すなわち、大きなσ)を生じる。ただし、σは、標準偏差である。
【０００４】
基板上に形成されるべきエッチングされた構造物に対して大きさを制御する一つの方法は、エッチングマスクのそれぞれの素子の最小の幅(すなわち、クリティカルな寸法、又はＣＤｓ)ばかりでなく、エッチングされた構造物を測定し、これらの測定値の結果を統計的に処理し、且つその後の基板のバッチについて行われるエッチングプロセスを調整するステップを有する。
【０００５】
具合の悪いことに、この方法は、基板のバッチ内で基板から基板への最小寸法(critical dimension:ＣＤs)の変化を補償しない。エッチングマスクのパターン化したプロセスの変動と組み合わさったエッチングプロセスに固有の変動がエッチングされた構造物の最小寸法に対する分布を広くする。これは、エッチングされた構造物に対する最小寸法のエッチング後の統計的分布がエッチングマスクの素子に対する最小寸法のエッチング前の分布より広いことを意味する。幾らかのエッチングされた構造物は、受け入れ可能な値の所定の範囲外の最小寸法を有する。
【０００６】
【特許文献１】米国特許第6,486,492号
【特許文献２】米国特許第6,150,665号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、半導体基板の処理システムにおいて、エッチングプロセスを用いて基板上に形成された構造物の最小寸法を制御する改善された方法に対する必要性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、エッチングプロセスを用いて基板上に形成された構造物の寸法を制御する方法である。一つの実施例において、本方法は、パターン化されたエッチングマスクの素子の大きさ(例えば、最小寸法(ＣＤ))を測定し、これらの測定値に基づいてエッチングプロセスのパラメータ(例えば、時間)を調整するステップを有する。一つの応用において、本方法は、光学測定法及び一体化された基板処理システムのエッチングモジュールを用いて電界効果トランジスタのゲート構造のための最小寸法の制御を容易にする。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
理解を容易にするために、図面に共通する同一の素子を示すために、可能な限り、同じ参照番号が用いられている。
しかし、添付された図面は、本発明の好適な実施例のみを示し、したがって、本発明は、他の等価で効果的な実施例を許すことができるので、その範囲を限定して考えるべきでないことを留意すべきである。
【００１０】
本発明は、エッチングプロセスを用いて基板(例えば、半導体ウエハなど)の上に形成された構造物の大きさを制御する方法である。この方法は、一般に、超大規模集積(ULSI)半導体デバイス及び回路の製造通に用いられる。一つの実施例において、本方法は、エッチングされた構造ばかりでなくエッチングマスクの素子の形状寸法を測定するために構成された測定モジュールを有する基板処理システムを用いて行なわれる。
【００１１】
図１は、本発明を実施するために用いられる半導体ウエハの処理システムの概略図を示す。本発明を実施するのに適した一つの処理システムは、カルフォルニア州、サンタクララにあるアプライドマテリアルズ社から利用可能なTRNSFORMATM処理システムである。同様の処理システムは、2002年11月26日に発行された米国特許第6,486,492号(特許文献１)ばかりでなく2000年11月21日に発行された米国特許第6,150,665号(特許文献２)(レファレンスによってここに含まれる)に開示されている。システム１００の特定の実施例は、説明のために与えられ、本発明の範囲を限定するために用いられるべきではない。
【００１２】
システム１００は、一般に、複数のプロセスモジュール１１０、１１２、１１４、１１６、１１８及び少なくとも一つのロードロックチャンバ（図１には２つのロードロックチャンバ１２２として示されている）を取付けるための中央の移送チャンバ、すなわち“メインフレーム”１２８、例えばCENTRURA処理システムを有する。プロセスモジュール１１０、１１２、１１４、１１６及び１１８間で基板を移送するために、移送ロボット１３０がメインフレーム内に配置される。少なくとも一つの測定モジュール１２６と入力/出力モジュール１０２を有するファクトリーインタフェース１２４がロードロックチャンバ１２２に結合される。この入力/出力モジュール１０２は、２つのFOUPs(frond opening unified pod; ウエハ対応の製造装置間のインタフェース機能をもったキャリアボックス)１０６として図１に示されている少なくとも一つのFOUPを有する。測定モジュール１２６は、システムコントローラ１４０に接続され、システム１００に入ったり、システム１００から出たりするウエハ上に形成される構造物の最小寸法の高速データ収集を行なう。
【００１３】
測定モジュール１２６は、光学測定ツール１０４と２つの基板ロボット１０８、１２０を有し、これらの基板ロボットは、FOUPs１０６、光学測定ツール１０４、ロードロックチャンバ１２２間で処理前と処理後の基板を移送する。このシステムにおいて使用するのに適した一つの光学測定ツールは、カルフォルニア州、ミルピタスにあるナノメトリック社から利用可能である。
【００１４】
システムコントローラ１４０は、一体化した処理システム１００の各モジュールに結合され、各モジュール制御する。システムコントローラ１４０は、システム１００のモジュール及び装置の直接制御を用いて、またはモジュール及び装置と関連したコンピュータ(すなわちコントローラ)を制御することによって、システム１００の動作の全てを制御する。動作において、システムコントローラ１４０は、基板のスループットを最適化するために、それぞれのモジュール及び装置からのフィードバックを可能にする。
【００１５】
システムコントローラ１４０は、一般に、中央処理装置(CPU)１４２、メモリ１４４、及び支援(サポート)回路１４６を有する。ＣＰＵ１４２は、産業設備に用いられる汎用コンピュータプロセッサのあらゆる形態の１つであればよい。支援回路１４６は、ＣＰＵ１４２に従来どおりに接続され、キャッシュ、クロック回路、入力/出力サブシステム、電源等を有する。ＣＰＵ１４２によって実行されると、ソフトウエアルーチンがＣＰＵを特定目的のコンピュータ(コントローラ)に変換する。このソフトウエアルーチンは、システムから離れたところにある第２のコントローラ(図示せず)によって格納され、実行されることもできる。
【００１６】
システム１００のプロセスモジュール１１０、１１２、１１４、１１６、１１８の少なくとも１つは、本発明の部分を行うために用いられるプラズマエッチングモジュール(例えば、DPS IIエッチングモジュール)である。他の処理モジュールは、他の形式の処理装置を含むことができる。例えば、プロセスモジュール１１０、１１２、１１４、１１６、１１８の１つは、他にもあるが、例えば、PRECLEAN IITMプラズマクリーニングモジュール、AXION遠隔プラズマモジュール、RADIANCETM熱処理モジュール(これらのプロセスモジュールは、全てアプライド社から利用可能である)である。
【００１７】
本発明に従ってプロセスを実行するためのシステム１００の可能な構成の一例は、２つのロードロックチャンバ１２２、DPSIIモジュール１１４，１１６及び１１８、AXIONモジュール１１０、１１４、光学測定ツール１０４及びロボット１０８と１２０を有する測定モジュール１２６、及び２つのFOUPs１０６を有する入力/出力モジュールを含む。
【００１８】
図２は、シーケンス２００としてエッチングプロセスを用いて基板上に形成された構造物の寸法を制御するための本発明の方法の１実施例のフローチャートを示す。シーケンス２００は、基板上に形成された膜の積み重ね(film stack)上で行われるプロセスを含む。本方法の理解を容易にするために、図１に記載された一体化された半導体ウエハ処理システム１００の要素に臨時のレファレンスがなされている。
【００１９】
シーケンス２００は、ステップ２０１で開始し、ステップ２０２へ進む。ステップ２０２では、パターン化されたエッチングマスクを有する基板が非破壊測定技術を用いてパターン化されたマスクの素子の形状寸法を測定するように構成された測定ツールに与えられる。パターン化されたエッチングマスクは、一般に、少なくとも一つの材料層を有する下にある膜の積み重ね上に形成される。これらの材料層は、導電性、誘電体及び半導体材料またはそれらの組み合わせから形成することができる。一般に、同じ測定ツールは、膜の積み重ねの層に形成された構造物の形状寸法を測定することができる(ステップ２０８を参照して以下に説明する)。
【００２０】
光学測定ツール１０４は、１つ以上の非破壊光学測定技術、例えば、分光測定法、干渉測定法、スキャッタロメトリ(scatterometory)、反射測定法、エリプソメトリ(ellipsometory)などを用いて基板上の薄膜の形状寸法及び厚さを測定するために構成される。一つの好適な実施例においては、光学測定ツール１０４は、スキャッタロメトリック測定技術を用いるように構成される。
【００２１】
ステップ２０４において、パターン化されたエッチングマスクの素子に対する最も小さい幅(すなわち、クリティカルディメンション、以下、ＣＤという。)が非破壊測定技術を利用する測定ツールで測定される。パターン化されたマスク素子のＣＤの測定は、一般に、基板の統計的に意味のある数の領域(例えば、５〜９またはそれ以上の領域)において行なわれる。これらの測定結果(すなわち、エッチング前の測定値)が測定されたエッチングマスクに対して数学的に処理される(例えば、平均化される)。一つの好適な実施例では、この測定は光学測定ツール１０４を用いて行なわれる。
【００２２】
ステップ２０６において、エッチングマスクとしてパターン化されたマスクを用いて、基板に構造物をエッチングするために用いられる従来のエッチングプロセスレシピが調節される。パターン化されたエッチングマスクが公称のＣＤを有する素子を有する場合、従来の(すなわち、未調整の)エッチングプロセスレシピが基板に対して定義する。従来のエッチングプロセスレシピに対する調節は、ステップ２０４中に行なわれる測定結果を用いて計算される。
【００２３】
より詳細には、ステップ２０６は、パターン化されたエッチングマスクのそれぞれの素子の実際のＣＤ及びこれらの素子の公称(例えば、平均の)ＣＤ間の相違(すなわち、偏差)を補償するエッチングプロセスレシピの調整を定義する。一般に、公称ＣＤは、パターン化の処理が基板のバッチ上で行なわれた後に、エッチングマスクの素子に対する平均(例えば、二乗平均平方根、算術平均など)ＣＤとして定義される。
【００２４】
調整されたエッチングプロセスレシピは、エッチングマスクをパターン化するために用いられたプロセスの製造変数に影響を受けない。このプロセスを用いて基板上にエッチングされた構造物は、ＣＤに対して狭いエッチング後の統計的分布(例えば、小さなσ、ただし、σは標準偏差である)を有する。更に、エッチングされた構造物のＣＤに対するこれらの分布は、パターン化されたエッチングマスク上のそれぞれの素子のＣＤに対する統計的な分布より狭い。
【００２５】
一つの実施例において、ステップ２０６は、横方向の(すなわち、水平の)エッチングプロセスのエッチング速度に関した少なくとも一つのパラメータに対する修正ファクタを有する調整値を計算する。これらのパラメータは、形成される構造物をオーバエッチングするための時間間隔、エッチングプロセスパラメータ(例えば、エッチングガスの流速及び/又は圧力、プラズマソース電力、基板バイアス電力など）、材料の化学的堆積及び構造物の側壁の厚さなどを含む。
【００２６】
一般に、エッチングプロセスは、エッチングされた層がパターン化されたエッチングマスクによって露光された領域において除去される第１の期間(すなわち、エッチング期間)及びエッチングされた層の下に設けられた層が部分的にエッチングされる第２の期間を有する。オーバエッチング中に、エッチングされた層の残っている僅かな材料が下にある層の表面から除去される。一般に、オーバエッチングの持続期間は、エッチングの持続期間の約０〜１００％である。
【００２７】
オーバエッチング期間は、エッチンプロセスの第１の期間中にエッチングされた層の残りの部分の側壁に対して、下にある層の除去速度(すなわち、垂直エッチング速度)によってばかりでなく、横方向のエッチング速度(すなわち、水平エッチング速度)によって特徴づけられる。一つの好適な実施例において、ＣＤに対する公称値からパターン化されたエッチングマスクのＣＤの偏差を補償するために、ステップ２０６は、オーバエッチング期間の持続期間を変更する調整値を計算する。
【００２８】
ステップ２０８において、シーケンス２００は、膜の積み重ねの層にエッチングされた構造物を形成するために、調整されたエッチングプロセスレシピを用いて、パターン化されたマスクの下にある膜の積み重ねの１以上の材料層をエッチングするエッチングプロセスを行なう。一つの好適な実施例において、エッチングプロセスのオーバエッチングの持続期間は、エッチングマスクをパターン化するためのプロセスの製造変数を補償するために調整される。この調整されたエッチングプロセスは、エッチングされた構造物のＣＤに対して小さな、エッチング後の標準偏差(すなわち、狭い統計的な分布)を与える。
【００２９】
一般に、この標準偏差ばかりでなく、パターン化されたエッチングマスクのそれぞれの素子のエッチング後のＣＤの標準偏差は、エッチングマスクの素子のＣＤのエッチング前の標準偏差より小さい。一つの好適な実施例において、エッチング後の測定は、ステップ２０４を参照して説明された測定ツール及び測定法を用いて行なわれる。
【００３０】
ステップ２１０において、他の"in-situ"または"ex-situ"エッチングプロセス(同じ場所で、または他の場所で行われるエッチングプロセス)は、同じパターン化されたエッチングマスクを用いて膜の積み重ね上で行なわれる。
ステップ２１２において、シーケンス２００は終了する。
一つの応用において、電界効果トランジスタ、例えば、ＣＭＯＳ(complementary metal-oxide-semiconductor)電界効果トランジスタのゲート構造のゲート導体層などは、シーケンス２００を用いてエッチングされる。
【００３１】
図３(A)及び図３(B)は、製造される電界効果トランジスタのゲート構造を有する基板の、一連の概略断面図を示し、ゲート構造のゲート電極のゲート導体層に対するＣＤは、処理システム１００のモジュールによって行われるシーケンス２００のプロセスステップを用いて制御される。図３(A)及び図３(B)の断面図は、大きさを示すものではなく、説明のために簡略化されている。本発明を最も良く理解するために、読者は、図２、図３(A)及び図３(B)を同時に参照すべきである。
【００３２】
図３(A)を参照すると、ステップ２０２において、基板３００(例えば、シリコン(Si)ウエハなど)が処理システム１００の測定モジュール１２６に移送される。基板３００は、一般に、ゲート構造の製造が完了した後に、イオン注入プロセスを用いてソース及びドレインが形成される領域３３２と３３４(２つの領域は破線を用いて示されている)、製造されるトランジスタのゲート構造を形成するための膜の積み重ね３０２、及びパターン化されたマスク３１４を有する。ソース及びドレイン３３２、３３４は、製造されるトランジスタの各々におけるチャネル領域３３６によって離間される。一つの実施例において、膜の積み重ね３０２は、ゲート誘電体層３０４、ゲート電極層３０６、及びゲート導体層３０８を有する。パターン化されたマスク３１４は、チャネル領域３３６上の領域３２０及び領域３３２、３３４の部分を保護し、基板３００の隣接領域３２１、２２を露光する。
【００３３】
パターン化されたマスク３１４は、膜の積み重ね３０２の層をエッチングするためのエッチングマスクとして用いられる。パターン化したマスク３１４は、例えば、シリコンオキシニトリド(SiON)、二酸化シリコン(SiO2)、窒化シリコン(Si3N4)、二酸化ハフニウム(HfO2)、カルフォルニア州、サンタクララにあるアプライド社から利用可能なアドバンスドパターニングフィルムTM(Advanced Patterning FilmTM: APF)、ホトレジストなどを有する。このＡＰＦは、一般に、SiONとα-カーボンの膜を有する。このエッチングマスクのプロセスは、良く知られている。好適な実施例において、パターン化されたマスク３１４は、シリコンオキシニトリドから形成されるハードマスクである。
【００３４】
一つの好適な実施例において、ゲート電極層３０６は、ドープされたポリシリコン(Si)から形成され、及びゲート誘電体層３０４は、二酸化シリコン(SiO2)から形成される。一般に、層３０６と３０４は、それぞれ約５００〜６０００Å及び約１０〜６０Åの厚さを有している。代わりに、ゲート誘電体層３０４は、約４.０より大きな誘電率を有する高Ｋ誘電体材料、例えば、二酸化ハフニウム(HfO2)、二酸化シリコンハフニウム(HfSiO2)などを有する。
【００３５】
ゲート導体層３０８は、一般に、製造されるトランジスタのゲート電力と半導体デバイスの相互接続ネットワーク(図示せず)の素子間に電気的なインタフェースを与える金属のシリサイドから形成される。一つの好適な実施例において、ゲート導体層３０８はタングステンシリサイド(WSi)を有し、約３００から２０００Åの厚さに形成される。
【００３６】
膜の積み重ね３０２は、異なる厚さを有する他の材料から形成される層を有することもできる。膜の積み重ね３０２は、あらゆる従来の堆積技術、例えば、原子層堆積(atomic layer deposition: ALD)、物理気層堆積(PVD)、化学気相堆積(CVD)、プラズマ増強ＣＶＤ(PECVD)などを用いて形成される。電界効果トランジスタの製造は、アプライド社から利用可能なCENTURA,ENDURA及び他の片導体ウエハ処理システムのそれぞれのプロセスモジュールを用いて行なわれる。
【００３７】
ステップ２０４において、パターン化されたマスク３１４の幅３０３(例えば、約３０〜１８０nm）は、光学測定ツール１０４を用いて基板３００上の統計的に意味のある数の領域において測定され、これらの測定結果は、基板３００のために平均化される。一般に、基板の３００のバッチ内の幅３０３のエッチング前の統計的分布は、約３nmの標準偏差(すなわち、σ)を有する。
【００３８】
ステップ２０６において、ゲート導体層３０８(例えば、WSi)をエッチングするためのプロセスレシピに対する調整は、パターン化されたマスク３１４に対する測定された幅３０３の結果を用いて計算される。一つの好適な実施例において、この調整は、オーバエッチングの持続期間に関係した修正ファクタを有する。幅３０３がパターン化されたマスク３１４に対する公称幅より大きいならば、この調整は、エッチングプロセスが層３０８をオーバエッチングする持続時間を増加する。
【００３９】
対応して、幅３０３が公称幅より小さいならば、この調整は、エッチングプロセスが層３０８をオーバエッチングする継続時間を減少する。この実施例において、パターン化したマスク３１４の公称幅は、マスク３１４をパターン化するプロセスの後に基板のバッチの基板３００に対してマスク３１４の二乗平均平方根幅として説明上定義される。代わりに、この調整は、エッチングプロセスの他のパラメータ、例えば、エッチャントガスの流速及び/又は圧力、プラズマソース電力、基板バイアス電力などに関する修正ファクタを有することができる。
【００４０】
図３(B)を参照すると、ステップ２０８において、ゲート導体層３０８(例えば、WSi)は、調節されたエッチングプロセスレシピを用いて領域３２１と３２２においてエッチンされ、除去される。エッチングプロセスは、第１の期間(すなわち、エッチング期間)と第２の期間(すなわち、オーバエッチング期間)を有する。第１の期間中に、ゲート導体層３０８はエッチングされ、ポリシリコンゲート電極層３０６からほとんど除去される。第２の期間中に、僅かなタングステンシリサイドがゲート電極層３０６から除去されるばかりでなく、層３０８の側壁３２４が横方向にエッチングされ、ゲート電極層３０６はある深さ３０７まで同時にエッチングされる。
【００４１】
調整されたエッチングプロセスレシピ(上記ステップ２０６を参照して説明された)において、オーバエッチングの持続期間は、ゲート導体層３０８の側壁３２４があらかじめ規定された幅３０５までエッチングされるように特に規定される。一般に、オーバエッチン中に、ポリシリコンのゲート電極層３０６は、約０〜２００Åより大きくない深さ３０７までエッチングされる。
【００４２】
一つの好適な実施例において、ステップ２０８は、３フッ化窒素(NF3)、塩素(Cl2)、窒素(N2)、及び酸素(O2)を含むガス混合物を用いてそう308(例えば、WSi)をエッチングするために、プラズマエッチングプロセスを行なう。エッチングプロセスは、例えば、CENTURA処理システムの減結合プラズマ源(DPS)IIモジュールを用いて、行なわれる。ＤＰＳ IIモジュール(以下に、図６を参照して説明される)は、高密度プラズマを生成するために、誘導源（inductive source)(例えば、アンテナ)を使用するプラズマエッチングリアクタである。また、ＤＰＳ IIモジュールは、約２０〜３５０℃の範囲に基板温度を制御することもできる。エッチングプロセスの終点又はエッチングプロセスの特定の期間を決めるために、ＤＰＳ IIモジュールは、終点検出システムを用いて、特定波長におけるプラズマ放射、プロセス時間の制御、レーザ干渉測定法などを監視する。
【００４３】
一つの実施例において、第１の期間中に、DPS IIモジュールを用いて、タングステンシリサイドを有するゲート導体層３０８は、０〜４０sccmの流速の３フッ化窒素(NF3)、０〜１００sccmの流速の塩素(Cl2)(すなわち、１００％のNF3〜１００％のCl2の範囲にあるNF3：Cl2の流速比)、０〜２００sccmの流速の窒素(N2)、及び０〜４０sccmの流速の酸素(O2)を与え、０〜１５００ワットの間にある電力を誘導性結合アンテナに加え、０〜２００ワットのカソードバイアス電力を加え、且つ２０〜８０℃のウエハペデスタル温度と０.２６〜１.３３パスカルのチャンバ圧力を維持することによってエッチングされる。一つの実例プロセスは、１０sccmの流速のＮＦ３、４０ｓｃｃｍの流速のＣｌ2(すなわち、NF3：Cl2の流速比は約１：４）を与え、７５０ワットの電力を誘導性結合アンテナに加え、１００ワットのカソードバイアス電力を加え、ウエハペデスタル温度を６５℃に維持し、且つ、チャンバ圧力を０.５３パスカルに維持する。このようなエッチングプロセスは、シリコンオキシニトリド上のタングステンシリサイドに対して、少なくとも４：１のエッチング選択度を与えるばかりでなく、ポリシリコン上のシリコンオキシニトリドに対して約５：１のエッチング選択度を与える。
【００４４】
この実施例において、ステップ２０８の第２の期間は、第１の期間に連続している。第２の期間中に、タングステンシリサイドを有するゲート導体層３０８は、第１の期間と同じエッチングパラメータを用いて、オーバエッチングされるだけでなく、ポリシリコンのゲート電極層３０８も深さ３０７までエッチングされる。第２の期間の公称持続期間(以下の図５における期間５１０)は、第１の期間の約５０％である。
【００４５】
このようなエッチングプロセスは、約０.５〜２ｎｍの、基板のバッチの基板３００上のゲート導体層３０８の幅３０５に対してエッチング後の標準偏差を与える。更に、エッチングプロセスは、パターン化されたマスク３１４の幅３０９に対するエッチング後の標準偏差を約０.５〜２ｎｍまで減少し、したがって、エッチングマスクとしてパターン化されたマスク３１４を使用する(例えば、ステップ２１０）続くエッチングプロセス(例えば、ゲート電極層３０６をエッチングする)に対する小さな標準偏差を容易にする。幅３０５と３０９のエッチング後の測定は、ステップ２０４を参照して上述される光学測定ツール及び測定法を用いて行なわれる。
【００４６】
図４(A)及び図４(B)は、基板３００のバッチ上で行われるエッチング前とエッチング後の測定に対する結果を説明する一連の適例図を示す。この測定は、TRANSFORMATM処理システム１００の光学測定ツール１０４を用いて行なわれる。
【００４７】
図４(A)において、グラフ４００は、基板のバッチの基板３００に対するパターン化されたマスク３１４の幅３０３の好適なエッチン前の統計分布４１８(ｙ-軸４０２は、基板の数であり、一方ｘ-軸は、測定されたフィーチャの幅である)を示す。分布４１８は、分布の中央４１０がパターン化されたマスク３１４の幅３０３の公称値に関する場合、幅４１６(例えば、６σまたは基板の約９９.５％)を有する。分布４１８に対する境界４１２と４１４は、基板３００上の幅３０３に対する最小と最大値に略相当し、分布を中央４１０の周りの+/-３シグマの範囲にそれぞれ限定する。中央ライン４１１より上の分布４１８の一部４０６は、公称幅４１６より大きな幅３１４を有する基板３００に関する。したがって、中央ライン４１１より下の分布４１８の一部４０８は、公称幅４１６より小さな幅３１４を有する基板３００に関する。一つの好適な実施例において、値４１６、４１０、４１２及び４１４は、それぞれ２０、９０、８０及び１００nmであった。
【００４８】
図４(B)は、調整されたエッチングプロセス２０８の後、基板の同じバッチの基板３００のゲート導体層３０８の幅３０５の好適なエッチング後の統計分布を示す。ｙ-軸４２２は、基板の数に相当し、一方x-軸４２４は測定されたフィーチャの幅に相当する。分布４２８は、分布の中央４３０がゲート導体層３０８の幅３０５の公称値に関する場合、幅４２６(例えば、６σまたは基板の約９９.５％)を有する。分布４２８の境界４３２と４３４は、基板３００に対する幅３０５の最小と最大値に略相当し、分布を中央４３０の周りの＋/−３σの範囲にそれぞれ限定する。一つの好適な実施例において、値４２６、４３０、４３２及び４３４は、それぞれ５、９０、８７.５及び９２.５nmであった。
【００４９】
本発明の方法は、パターン化されたエッチングマスク３１４の各素子の最小寸法(CD)(すなわち、幅３０３)に対するエッチング前の統計分布よりＣＤ(すなわち、幅３０５)に対してほぼ４倍狭いエッチング後の統計分布４２８を有するゲート導体層３０８にエッチングされた構造物を生成した。更に、パターン化されたエッチングマスク３１４のエッチング後の幅３０９に対する統計分布は同様に狭くされている。
【００５０】
図５は、図２の方法の一つの実施例によるステップ２０８のエッチングプロセスレシピに対する調整を計算するために用いることができる模範的な手続のためのグラフを示す。グラフ５００は、一般に、ゲート導体層３０８上で行われる調整されたエッチングプロセスのための第２の期間(すなわち、オーバエッチング期間)の持続期間(ｘ軸５０４)対パターン化されたマスク３１４の幅３０３の偏差(ｙ軸５０２)を示す。プロセス時間についての横のエッチング速度の依存性により、グラフ５００は、一般に、非直線性のカーブである。
【００５１】
オーバエッチングの持続期間は、公称値４１０(図４(A)を参照して説明された)からの幅３０３の偏差に対する単位を用いて表される。より詳細には、第２の期間の公称持続期間５１０は、公称値４１０(すなわち、幅３０３の偏差が０に等しい場合)を有するパターン化されたマスク３１４に関する。図５において、グラフ５００の部分５０８と５０６は、グラフ４００(図４(A))における部分４０８と４０６にそれぞれ関係する。したがって、オーバエッチング期間の持続期間５１０、５１２及び５１４は、幅３０３に対する値４１０、４１２及び４１４をそれぞれ有するパターン化されたマスク３１４に相当する。グラフ５００を用いて、公称幅４１０からの偏差５１８を有するパターン化されたマスク３１４に相当するオーバエッチング期間の持続期間は、矢印５２２で示されるように定義される。
【００５２】
図６は、本発明部分を実施するために好適に用いられる減結合プラズマ源(DPS II)エッチングリアクタ６００の概略図を示す。このDPS IIリアクタは、一般に、CENTURAの一体化された半導体ウエハ処理システムの処理モジュールとして用いられる。リアクタ６００は、導電性チャンバ本体６３０内のウエハ支持ペデスタル６１６を有するプロセスチャンバ６１０及びコントローラ６４０を有する。
【００５３】
チャンバ６１０には、実質的に平らな誘電体の天井６２０が設けられる。チャンバ６１０の他の変形例は、他の形式の天井、例えば、ドーム形状の天井を有することができる。天井６２０の上には、少なくとも一つの誘導性コイル素子６１２(２つの同軸素子６１２が示されている)が配置されている。この誘導性コイル素子６１２は、第１の整合回路網６１９を介して、プラズマ電源６１８に結合される。プラズマ源６１８は、一般に、５０ｋHzから１３.５６MHzの範囲にある同調可能な周波数で３０００Wまで生成することができる。
【００５４】
支持ペデスタル(カソード)６１６は、第２の整合回路網６２４を介してバイアス電源６２２に結合される。このバイアス電源６２２は、一般に、連続した、あるいはパルス化されたいずれかの電力を生成することができる約１３.５６MHzの周波数で５００Wまでの電源である。他の実施例では、電源６２２は、ＤＣ又はパルス化されたＤＣ電源にすることができる。
【００５５】
コントローラ６４０は、中央処理装置(CPU)６４４、メモリ６４３、及びＣＰＵ６４４のための支援回路(サポート回路)６４６を有し、DPS IIエッチングプロセスチャンバ６１０の要素、及びいかにさらに詳細に説明されるエッチングプロセスの制御を容易にする。
【００５６】
動作において、半導体ウエハ６１４がペデスタル６１６上に配置され、ガス混合物６５０を形成するためにプロセスガスがガスパネル６３８から入口ポート６２６を通して供給される。このガス混合物６５０は、プラズマ及びバイアス電源６１８と６２２からの電力を誘導性コイル素子及び支持ペデスタル６１６にそれぞれ加えることによって、チャンバ内でプラズマに点弧される。チャンバ６１０の内部圧力は、スロットルバルブ６２７と真空ポンプ６３６を用いて制御される。導電性チャンバ本体６３０の温度は、導電性チャンバ本体６３０を通して走る流体を含む導管(図示せず)を用いて制御される。
【００５７】
ウエハ６１４の温度は、支持ペデスタル６１６の温度を安定することによって制御される。一つの実施例において、ガス源６４８からガスの導管６４９を通してヘリウムガスがウエハ６１４の下のペデスタル表面に形成されたチャンネル(図示せず)に与えられる。ヘリウムガスは、ペデスタル６１６とウエハ６１４の間で熱伝達を容易にするために用いられる。処理中に、ペデスタル６１６は、ペデスタル内の抵抗性ヒータ(図示せず)によって安定状態の温度に加熱され、その後ヘリウムガスがウエハ６１４の均一な加熱を容易にする。このような熱制御を用いて、ウエハ６１４は、約２０℃〜３５０℃の間の温度に維持される。
【００５８】
この分野の当業者は、本発明を実施するために、遠隔プラズマ源を有するチャンバ、電子サイクロトロン共振(electronic cyclotron resonance: ECR)プラズマチャンバなどを含む他の形状のエッチングチャンバを用いることができることを理解するであろう。
【００５９】
上述のようにプロセスチャンバ６１０の制御を容易にするために、コントローラは、いろいろなチャンバ及びサブプロセッサを制御するための産業設備に用いられることができるあらゆる形態の汎用コンピュータプロセッサの１つであればよい。ＣＰＵ６４４のメモリ、すなわちコンピュータ読み取り可能な媒体６４２は、１つ以上の容易に利用可能なメモリ、例えば、ランダムアクセスメモリ(ＲＡＭ)、リードオンリーメモリ(ＲＯＭ)、フレキシブルディスク、ハードディスク、または他のあらゆる形態のローカル又はリモートディジタル記憶装置であれば良い。この支援回路(サポート回路)６４６は、従来の方法で、プロセッサを支援するためのＣＰＵ６４４に接続される。これらの回路は、キャッシュ、電源、クロック回路、入力/出力回路、及びサブシステムなどを含む。本発明の方法は、一般に、ソフトウエアルーチンとしてメモリ６４２にストアされる。このソフトウエアルーチンは、ＣＰＵ６４４によって制御されるハードウエアから離れて位置される第２のＣＰＵ(図示せず)によってストアされ及び/又は実行される。
【００６０】
本発明は、他のエッチングプロセスを用いて実行することができ、パラメータは、本発明の精神から逸脱することなくここに開示された教示を利用することによって当業者により受け入れ可能な特徴を達成するために調整される。上述の説明は、電界効果トランジスタの製造に言及したけれども、集積回路に用いられる他のデバイス及び構造の製造も本発明から役立てることができる。
【００６１】
上述の説明は、本発明の好適な実施例に向けられているけれども、本発明の他の、及び更なる実施例が本発明の基本的な範囲から逸脱することなく考えることができる。したがって、本発明の範囲は、特許請求の範囲によって決められる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の方法の一つの実施例に用いられる好適な一体化半導体基板処理システムの概略図を示す。
【図２】本発明の一つの実施例にしたがって形成されたエッチングされた構造物の寸法を制御するための方法のフロー図を示す。
【図３（Ａ）】図２の方法によって形成される電界効果トランジスタのゲート構造を有する基板の、一連の概略断面図を示す。
【図３（Ｂ）】図２の方法によって形成される電界効果トランジスタのゲート構造を有する基板の、一連の概略断面図を示す。
【図４（Ａ）】図３(A)及び図３(B)のエッチングマスク及びゲート構造のそれぞれの素子に対する最小寸法の測定の結果を示す一連の好適な図を示す。
【図４（Ｂ）】図３(A)及び図３(B)のエッチングマスク及びゲート構造のそれぞれの素子に対する最小寸法の測定の結果を示す一連の好適な図を示す。
【図５】図２の方法の一つの実施例によるエッチングプロセスパラメータのための調整値を計算するための好適な手順のグラフを示す。
【図６】本発明の方法の部分の実行に用いられる好適なプラズマエッチング処理装置の概略図を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３（Ａ）】
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【図３（Ｂ）】
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【図４（Ａ）】
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【図４（Ｂ）】
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【図５】
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【図６】
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【外国語明細書】
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