(57)【要約】【課題】  被測定物の回路パラメータの測定系の校正を、校正キットの着脱の回数を減らして行なうことができるようにする。【解決手段】  ネットワークアナライザ１のポート１８、２８について開放、短絡、標準負荷を実現し、またはポート１８と２８とを短絡する第一状態実現部１２０を有し、ポート１８、２８に接続された第一校正器１００と、ポート１８、２８について開放、短絡、標準負荷を実現する第二状態実現部２２０を有し、第一校正器１００とＤＵＴ４００とに接続された第二校正器２００とを備え、第一校正器１００は、ポート１８、２８を、第一状態実現部１２０あるいは第二校正器２００のいずれかに接続する第一接続部１１０ａ、１１０ｂを有し、第二校正器２００は、ポート１８、２８を、第二状態実現部２２０あるいはＤＵＴ４００のいずれかに接続する第二接続部２１０を有する。【選択図】  図１
2005091194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、
前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、
前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段と、
を備え、
前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、
前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、
誤差要因取得用装置。
【請求項２】
請求項１に記載の誤差要因取得用装置であって、
前記第一状態実現部は、
開放の状態を実現する開放校正用具と、
短絡の状態を実現する短絡校正用具と、
標準負荷の状態を実現する標準負荷校正用具と、
前記出力ポートと前記受信ポートとを短絡する短絡部と、
前記出力ポートに、前記開放校正用具、前記短絡校正用具、前記標準負荷校正用具および前記短絡部の内のいずれか一つを接続する出力ポート接続部と、
前記受信ポートに、前記開放校正用具、前記短絡校正用具、前記標準負荷校正用具および前記短絡部の内のいずれか一つを接続する受信ポート接続部と、
を有する誤差要因取得用装置。
【請求項３】
請求項１に記載の誤差要因取得用装置であって、
前記第二状態実現部は、
開放の状態を実現する開放校正用具と、
短絡の状態を実現する短絡校正用具と、
標準負荷の状態を実現する標準負荷校正用具と、
前記ネットワークアナライザに、前記開放校正用具、前記短絡校正用具および前記標準負荷校正用具の内のいずれか一つを接続する校正用具接続部と、
を有する誤差要因取得用装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の誤差要因取得用装置であって、
前記ネットワークアナライザの有するポートの個数よりも、前記被測定物の有するポートの個数の方が大きく、
前記第一校正手段の有するポートを、前記第二校正手段の有するポートのいずれかに接続する分岐接続手段を備えた誤差要因取得用装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の誤差要因取得用装置であって、
前記被測定物は、ウェハと、前記ウェハに接触し前記第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有する、
誤差要因取得用装置。
【請求項６】
信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得方法であって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程と、
を備えた誤差要因取得方法。
【請求項７】
信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、（５）前記被測定物は、ウェハと、前記ウェハに接触し前記第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得方法であって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程と、
前記第一誤差要因、前記第二誤差要因および前記ウェハプローブの誤差要因に基づき前記ウェハの所定のパラメータを測定するウェハ測定工程と、
を備えた誤差要因取得方法。
【請求項８】
信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項９】
信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、（５）前記被測定物は、ウェハと、前記ウェハに接触し前記第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
前記第一誤差要因、前記第二誤差要因および前記ウェハプローブの誤差要因に基づき前記ウェハの所定のパラメータを測定するウェハ測定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１０】
信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項１１】
信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、（５）前記被測定物は、ウェハと、前記ウェハに接触し前記第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
前記第一誤差要因、前記第二誤差要因および前記ウェハプローブの誤差要因に基づき前記ウェハの所定のパラメータを測定するウェハ測定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物の回路パラメータを演算計測する際の誤差要因の測定に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被測定物（ＤＵＴ：Device
Under Test）の回路パラメータ（例えば、Ｓパラメータ）を測定することが行われている（例えば、特許文献１を参照）。従来技術にかかる被測定物（ＤＵＴ）の回路パラメータの測定法を図１６を参照して説明する。
【０００３】
信号源１３０から信号をＤＵＴ４００を介して受信部１４０に送信する。この信号は受信部１４０により受信される。受信部１４０により受信された信号を測定することによりＤＵＴ４００のＳパラメータや周波数特性を取得することができる。
【０００４】
このとき、信号源１３０等の測定系とＤＵＴ４００との不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えばＥｄ：ブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差、である。信号源１３０に関するシグナルフローグラフを図１７に示す。RF INは、信号源１３０からＤＵＴ４００等に入力する信号、Ｓ１１ｍはＤＵＴ４００等から反射されてきた信号から求められたＤＵＴ４００等のＳパラメータ、Ｓ１１ａは測定系誤差の無い真のＤＵＴ４００等のＳパラメータである。
【０００５】
この場合は、例えば特許文献１に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源１３０に校正キットを接続し、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をブリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類のＳパラメータ（Ｓ１１ｍ）を求める。三種類のＳパラメータから三種類の変数Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを求める。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−３８０５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記のような従来技術においては、信号源１３０に、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）といった三種類の校正キットを着脱しなければならない。着脱の動作の回数は、一種類の校正キットにつき二回（着ける、外す）である。よって、三種類の校正キットの着脱の動作の回数は六回ということになる。このように、校正にあたっては、校正キットの着脱の回数が増えて煩雑であるという問題が生じる。
【０００８】
そこで、本発明は、被測定物の回路パラメータの測定系の校正を、校正キットの着脱の回数を減らして行なうことができるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、信号出力部、信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、ネットワークアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、出力ポートおよび受信ポートに接続された第一校正手段と、ネットワークアナライザの出力ポートまたは受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段と、を備え、第一校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第一状態実現部あるいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、第二校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第二状態実現部あるいは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有するように構成される。
【００１０】
上記のように構成された発明によれば、ネットワークアナライザと、被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置が提供される。ネットワークアナライザは、信号出力部、信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、信号を受ける受信ポートを備える。
【００１１】
誤差要因取得用装置は、第一校正手段、第二校正手段を備える。
【００１２】
第一校正手段は、ネットワークアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、出力ポートおよび受信ポートに接続されている。
【００１３】
第二校正手段は、ネットワークアナライザの出力ポートまたは受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、第一校正手段と被測定物とに接続されている。
【００１４】
第一校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第一状態実現部あるいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有する。
【００１５】
第二校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第二状態実現部あるいは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明であって、第一状態実現部は、開放の状態を実現する開放校正用具と、短絡の状態を実現する短絡校正用具と、標準負荷の状態を実現する標準負荷校正用具と、出力ポートと受信ポートとを短絡する短絡部と、出力ポートに、開放校正用具、短絡校正用具、標準負荷校正用具および短絡部の内のいずれか一つを接続する出力ポート接続部と、受信ポートに、開放校正用具、短絡校正用具、標準負荷校正用具および短絡部の内のいずれか一つを接続する受信ポート接続部とを有するように構成される。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明であって、第二状態実現部は、開放の状態を実現する開放校正用具と、短絡の状態を実現する短絡校正用具と、標準負荷の状態を実現する標準負荷校正用具と、ネットワークアナライザに、開放校正用具、短絡校正用具および標準負荷校正用具の内のいずれか一つを接続する校正用具接続部とを有するように構成される。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれか一項に記載の発明であって、ネットワークアナライザの有するポートの個数よりも、被測定物の有するポートの個数の方が大きく、第一校正手段の有するポートを、第二校正手段の有するポートのいずれかに接続する分岐接続手段を備えたように構成される。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれか一項に記載の発明であって、被測定物は、ウェハと、ウェハに接触し第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有するように構成される。
【００２０】
請求項６に記載の発明は、信号出力部、信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）ネットワークアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、出力ポートおよび受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）ネットワークアナライザの出力ポートまたは受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）第一校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第一状態実現部あるいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）第二校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第二状態実現部あるいは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得方法であって、ネットワークアナライザを第一状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号、第一状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、ネットワークアナライザと第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、ネットワークアナライザを第二状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号および第二状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号に基づき、被測定物と第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程とを備えるように構成される。
【００２１】
請求項７に記載の発明は、信号出力部、信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）ネットワークアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、出力ポートおよび受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）ネットワークアナライザの出力ポートまたは受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）第一校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第一状態実現部あるいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）第二校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第二状態実現部あるいは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、（５）被測定物は、ウェハと、ウェハに接触し第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得方法であって、ネットワークアナライザを第一状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号、第一状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、ネットワークアナライザと第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、ネットワークアナライザを第二状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号および第二状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号に基づき、被測定物と第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程と、第一誤差要因、第二誤差要因およびウェハプローブの誤差要因に基づきウェハの所定のパラメータを測定するウェハ測定工程とを備えるように構成される。
【００２２】
請求項８に記載の発明は、信号出力部、信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）ネットワークアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、出力ポートおよび受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）ネットワークアナライザの出力ポートまたは受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）第一校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第一状態実現部あるいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）第二校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第二状態実現部あるいは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、ネットワークアナライザを第一状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号、第一状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、ネットワークアナライザと第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、ネットワークアナライザを第二状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号および第二状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号に基づき、被測定物と第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
【００２３】
請求項９に記載の発明は、信号出力部、信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）ネットワークアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、出力ポートおよび受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）ネットワークアナライザの出力ポートまたは受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）第一校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第一状態実現部あるいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）第二校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第二状態実現部あるいは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、（５）被測定物は、ウェハと、ウェハに接触し第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、ネットワークアナライザを第一状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号、第一状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、ネットワークアナライザと第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、ネットワークアナライザを第二状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号および第二状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号に基づき、被測定物と第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、第一誤差要因、第二誤差要因およびウェハプローブの誤差要因に基づきウェハの所定のパラメータを測定するウェハ測定処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
【００２４】
請求項１０に記載の発明は、信号出力部、信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）ネットワークアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、出力ポートおよび受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）ネットワークアナライザの出力ポートまたは受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）第一校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第一状態実現部あるいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）第二校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第二状態実現部あるいは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、ネットワークアナライザを第一状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号、第一状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、ネットワークアナライザと第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、ネットワークアナライザを第二状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号および第二状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号に基づき、被測定物と第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
【００２５】
請求項１１に記載の発明は、信号出力部、信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、（１）ネットワークアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、出力ポートおよび受信ポートに接続された第一校正手段と、（２）ネットワークアナライザの出力ポートまたは受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、（３）第一校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第一状態実現部あるいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、（４）第二校正手段は、出力ポートおよび受信ポートを、第二状態実現部あるいは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、（５）被測定物は、ウェハと、ウェハに接触し第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、ネットワークアナライザを第一状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号、第一状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、ネットワークアナライザと第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、ネットワークアナライザを第二状態実現部に接続したときに、出力ポートから出力される前の信号および第二状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号に基づき、被測定物と第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、第一誤差要因、第二誤差要因およびウェハプローブの誤差要因に基づきウェハの所定のパラメータを測定するウェハ測定処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【００２７】
第一の実施形態
図１は、本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が使用される測定系の構成を示す図である。測定系は、ネットワークアナライザ１、第一校正器１００、第二校正器２００、ケーブル３００、ＤＵＴ４００を備える。第一校正器１００および第二校正器２００が誤差要因取得用装置を構成する。
【００２８】
ネットワークアナライザ１の構成を図２に示す。ネットワークアナライザ１は、信号源１０、受信手段２０、測定系誤差要因記録部３０、回路パラメータ測定部４０、測定系誤差要因取得部５０、受信側測定系誤差要因記録部７０を備える。
【００２９】
信号源１０は、信号出力部１２、スイッチ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、レシーバ（ＲＳ）１６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ、ポート１８を有する。
【００３０】
信号出力部１２は、所定の周波数の入力信号を出力する。なお、所定の周波数は変更可能である。
【００３１】
スイッチ１３は、信号出力部１２の出力する入力信号をポート１８から出力するか、ポート２８から出力するかを選択するためのスイッチである。スイッチ１３は、端子１３ａ、１３ｂ、１３ｃを有する。端子１３ａはポート１８に、端子１３ｂは受信手段２０に、端子１３ｃは信号出力部１２に接続されている。端子１３ａと端子１３ｃとを接続する、すなわちスイッチ１３を端子１３ａの側にすれば入力信号をポート１８から出力することになる。端子１３ａと端子１３ｂとを接続する、すなわちスイッチ１３を端子１３ｂの側にすれば入力信号をポート２８から出力することになる。
【００３２】
なお、入力信号がポート２８から出力される場合は、ポート１８から信号が信号源１０に入力されることになる。ここで、ブリッジ１４ｂは、この信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂに供給する。
【００３３】
ブリッジ１４ａは、信号出力部１２から出力された信号をレシーバ（ＲＳ）１６ａに供給する。ブリッジ１４ｂは、入力信号がポート１８から出力され、さらに反射して戻ってきた反射信号をレシーバ（ＴＳ）１６ｂに供給する。なお、ブリッジ１４ａ、１４ｂはパワースプリッタでもよい。以後において説明する、その他のブリッジについてもパワースプリッタで代用可能である。
【００３４】
レシーバ（ＲＳ）１６ａは、ブリッジ１４ａを介して受けた信号のＳパラメータを測定する。レシーバ（ＴＳ）１６ｂは、ブリッジ１４ｂを介して受けた信号のＳパラメータを測定する。
【００３５】
ポート１８は、入力信号を出力するための端子である。
【００３６】
受信手段２０は、ブリッジ２４ａ、２４ｂ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ、レシーバ（ＲＲ）２６ｂ、ポート２８を有する。
【００３７】
入力信号をポート１８から出力する場合、ブリッジ２４ａは、ポート２８から入力された信号をレシーバ（ＴＲ）２６ａに供給する。レシーバ（ＴＲ）２６ａは、受信信号のＳパラメータを測定する。ポート２８は、受信手段２０が信号を受けるための端子である。
【００３８】
スイッチ１３を端子１３ｂの側にすれば、信号出力部１２の出力する入力信号がスイッチ１３を介して受信手段２０に送られる。ブリッジ２４ｂは、この入力信号をレシーバ（ＲＲ）２６ｂに供給する。ブリッジ２４ａは、入力信号がポート２８から出力されさらに反射して戻ってきた信号をレシーバ（ＴＲ）２６ａに供給する。
【００３９】
ポート（出力ポート）１８から入力信号が出力された場合、ポート（受信ポート）２８がＤＵＴ４００を介して信号を受ける。ポート（出力ポート）２８から入力信号が出力された場合、ポート（受信ポート）１８がＤＵＴ４００を介して信号を受ける。
【００４０】
レシーバ（ＴＲ）２６ａは、ブリッジ２４ａを介して受けた信号のＳパラメータを測定する。レシーバ（ＲＲ）２６ｂは、ブリッジ２４ｂを介して受けた入力信号のＳパラメータを測定する。
【００４１】
測定系誤差要因記録部３０は、ネットワークアナライザ１の測定系の誤差要因を記録する。測定系の誤差要因は、第一誤差要因、第二誤差要因がある。第一誤差要因は、ネットワークアナライザ１と第一校正器１００との間の誤差要因である。第二誤差要因は、ＤＵＴ４００と第一校正器１００との間の誤差要因である。第二誤差要因は、主にケーブル３００に起因する誤差要因である。
【００４２】
回路パラメータ測定部４０は、
（１）入力信号をポート１８から出力する場合のレシーバ（ＲＳ）１６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ、レシーバ（ＴＲ）２６ａのＤＵＴ４００に関する測定データ（Ｓパラメータ）、
（２）入力信号をポート２８から出力する場合のレシーバ（ＲＲ）２６ｂ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂのＤＵＴ４００に関する測定データ（Ｓパラメータ）、
（３）測定系誤差要因記録部３０の記録する測定系誤差要因、
とに基づき、ＤＵＴ４００の真の（測定系誤差要因の影響を排除した）Ｓパラメータを測定する。
【００４３】
測定系誤差要因取得部５０は、レシーバ（ＲＳ）１６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂおよびレシーバ（ＴＲ）２６ａの測定結果に基づき測定系の誤差要因を取得する。
【００４４】
受信側測定系誤差要因取得部７０は、レシーバ（ＲＲ）２６ｂ、レシーバ（ＴＲ）２６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂおよび信号出力取得部６２の測定結果に基づき測定系の誤差要因を取得する。
【００４５】
第一校正器１００は、ポート１０２、１０４、１０６、１０８、第一接続部１１０ａ、１１０ｂ、第一状態実現部１２０を有する。
【００４６】
ポート１０２は、ポート１８に接続されている。ポート１０４は、ポート２８に接続されている。ポート１０６は、第二校正器２００のポート２０２に接続されている。ポート１０８は、第二校正器２００のポート２０２に接続されている。
【００４７】
第一接続部１１０ａは、ポート１０２、１０６および第一状態実現部１２０に接続されている。第一接続部１１０ａは、ポート１０２を、ポート１０６あるいは第一状態実現部１２０に接続する。よって、第一接続部１１０ａは、ポート１８を、第二校正器２００あるいは第一状態実現部１２０に接続する。なお、ポート１８は出力ポート（ポート１８から信号が出力される場合）あるいは受信ポート（ポート２８から信号が出力される場合）である。
【００４８】
第一接続部１１０ｂは、ポート１０４、１０８および第一状態実現部１２０に接続されている。第一接続部１１０ｂは、ポート１０４を、ポート１０８あるいは第一状態実現部１２０に接続する。よって、第一接続部１１０ｂは、ポート２８を、第二校正器２００あるいは第一状態実現部１２０に接続する。なお、ポート２８は受信ポート（ポート１８から信号が出力される場合）あるいは出力ポート（ポート２８から信号が出力される場合）である。
【００４９】
第一状態実現部１２０は、ポート１８および２８について、すなわち出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実現する。第一状態実現部１２０の構成を図３に示す。第一状態実現部１２０は、開放校正用具１２２ｏｐ、１２３ｏｐ、短絡校正用具１２２ｓ、１２３ｓ、標準負荷校正用具１２２Ｌ、１２３Ｌ、短絡部１２４、ポート接続部１２６、１２８を有する。
【００５０】
校正用具は、特開平１１−３８０５４号公報に記載のようにオープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現する周知のものである。
【００５１】
開放校正用具１２２ｏｐは、ポート１８について、開放の状態を実現する。開放校正用具１２３ｏｐは、ポート２８について、開放の状態を実現する。短絡校正用具１２２ｓは、ポート１８について、短絡の状態を実現する。短絡校正用具１２３ｓは、ポート２８について、短絡の状態を実現する。標準負荷校正用具１２２Ｌは、ポート１８について、標準負荷の状態を実現する。標準負荷校正用具１２３Ｌは、ポート２８について、標準負荷の状態を実現する。
【００５２】
短絡部１２４は、ポート１８およびポート２８を接続するためのものである。
【００５３】
すなわち、第一の状態とは、ポート１８について、開放、短絡および標準負荷の状態、ポート２８について、開放、短絡および標準負荷の状態およびポート１８とポート２８とを接続する状態を意味する。
【００５４】
ポート接続部１２６は、第一接続部１１０ａに、開放校正用具１２２ｏｐ、短絡校正用具１２２ｓ、標準負荷校正用具１２２Ｌ、短絡部１２４の内のいずれか一つを接続する。ポート接続部１２６は、一種のスイッチである。
【００５５】
ポート接続部１２８は、第一接続部１１０ｂに、開放校正用具１２３ｏｐ、短絡校正用具１２３ｓ、標準負荷校正用具１２３Ｌ、短絡部１２４の内のいずれか一つを接続する。ポート接続部１２８は、一種のスイッチである。
【００５６】
第二校正器２００は、ポート２０２、２０４、第二接続部２１０、第二状態実現部２２０を有する。
【００５７】
ポート２０２は、ポート１０６（１０８）に接続されている。ポート２０４は、ＤＵＴ４００のポート４０２に接続されている。
【００５８】
第二接続部２１０は、ポート２０２、２０４および第二状態実現部２２０に接続されている。第二接続部２１０は、ポート２０２を、ポート２０４あるいは第二状態実現部２２０に接続する。
【００５９】
よって、ポート２０２が第一接続部１１０ａ（１１０ｂ）を介してポート１８（２８）に接続されている場合は、第二接続部２１０は、ポート１８（２８）を、ＤＵＴ４００あるいは第二状態実現部２２０に接続する。
【００６０】
第二状態実現部２２０は、ポート１８（２８）について、すなわち出力ポートあるいは受信ポートについて第二の状態を実現する。第二状態実現部２２０の構成を図４に示す。第二状態実現部２２０は、開放校正用具２２２ｏｐ、短絡校正用具２２２ｓ、標準負荷校正用具２２２Ｌ、校正用具接続部２２４を有する。
【００６１】
校正用具は、特開平１１−３８０５４号に記載のようにオープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現する周知のものである。
【００６２】
開放校正用具２２２ｏｐは、ポート１８（２８）について、開放の状態を実現する。短絡校正用具２２２ｓは、ポート１８（２８）について、短絡の状態を実現する。標準負荷校正用具２２２Ｌは、ポート１８（２８）について、標準負荷の状態を実現する。
【００６３】
すなわち、第二の状態とは、ポート１８または２８についての開放、短絡および標準負荷の状態を意味する。
【００６４】
校正用具接続部２２４は、第二接続部２１０に、開放校正用具２２２ｏｐ、短絡校正用具２２２ｓ、標準負荷校正用具２２２Ｌの内のいずれか一つを接続する。校正用具接続部２２４は、一種のスイッチである。
【００６５】
ケーブル３００は、第一校正器１００のポート１０６（１０８）と第二校正器２００のポート２０２とを接続する。
【００６６】
ＤＵＴ４００は、ポート４０２、４０４を有する。ＤＵＴ４００は、被測定物（device under test）であり、ＤＵＴ４００の真のＳパラメータを測定することが、ネットワークアナライザ１の目的である。
【００６７】
次に、第一の実施形態の動作を説明する。
【００６８】
図５は、第一接続部１１０ａ（１１０ｂ）が、ポート１８（２８）を、第二校正器２００に接続し、しかも、第二接続部２１０が、ポート２０２をＤＵＴ４００に接続しているときのシグナルフローグラフである。ただし、図５（ａ）は、ポート１８を出力ポート、ポート２８を受信ポートとした場合のシグナルフローグラフ、図５（ｂ）は、ポート１８を受信ポート、ポート２８を出力ポートとした場合のシグナルフローグラフである。
【００６９】
測定系の誤差要因は、第一誤差要因、第二誤差要因がある。図５（ａ）を参照して、第一誤差要因は、Ｅｄｆ、Ｅｒｆ、Ｅｓｆ、Ｅｔｆ、ＥＬｆである。第二誤差要因は、Ａ１１、Ａ１２、Ａ２１、Ａ２２、Ｂ１１、Ｂ１２、Ｂ２１、Ｂ２２である。なお、第一誤差要因における末尾のｆは、forwardの略であり、入力信号をポート１８からＤＵＴ４００に与えることを意味する。また、Ｅｄ：ブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒ：反射トラッキングに起因する誤差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差、Ｅｔ：伝送トラッキングに起因する誤差、ＥＬ：ロードマッチングに起因する誤差である。
【００７０】
図５（ｂ）を参照して、第一誤差要因は、Ｅｄｒ、Ｅｒｒ、Ｅｓｒ、Ｅｔｒ、ＥＬｒである。第二誤差要因は、Ａ１１、Ａ１２、Ａ２１、Ａ２２、Ｂ１１、Ｂ１２、Ｂ２１、Ｂ２２である。なお、第一誤差要因における末尾のｒは、reverseの略であり、入力信号をポート２８からＤＵＴ４００に与えることを意味する。
【００７１】
ＤＵＴ４００のＳパラメータをポート１８、２８を介して測定した結果は、測定系の誤差要因があるため、ＤＵＴ４００の正確なＳパラメータ（Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ２１、Ｓ２２）とはならない。そこで、第一誤差要因および第二誤差要因を測定しておくことで、ＤＵＴ４００の正確なＳパラメータを求める。
【００７２】
図６は、第一の実施形態の動作を示すフローチャートである。
【００７３】
まず、ネットワークアナライザ１と第一状態実現部１２０とを接続する（Ｓ１０）。すなわち、第一接続部１１０ａにより、ポート１８を、第一状態実現部１２０に接続し、第一接続部１１０ｂにより、ポート２８を、第一状態実現部１２０に接続する。
【００７４】
次に、第一誤差要因を取得する（Ｓ１２）。まず、ポート１８から信号を出力する。ポート接続部１２６は、第一接続部１１０ａを介して、ポート１８に、開放校正用具１２２ｏｐを接続し、次いで、短絡校正用具１２２ｓを接続し、そして、標準負荷校正用具１２２Ｌを接続する。このときの、レシーバ（ＲＳ）１６ａおよびレシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定値から、測定系誤差要因取得部５０が、図７（ａ）に示す誤差要因Ｅｄｆ、Ｅｒｆ、Ｅｓｆを求め、測定系誤差要因記録部３０に書き込む。次に、ポート接続部１２６は、第一接続部１１０ａを介して、ポート１８に短絡部１２４を接続し、ポート接続部１２８も、第一接続部１１０ｂを介して、ポート２８に短絡部１２４を接続する。このときの、レシーバ（ＲＳ）１６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂおよびレシーバ（ＴＲ）２６ａの測定値から、測定系誤差要因取得部５０が、図８（ａ）に示す誤差要因Ｅｔｆ、ＥＬｆを求め、測定系誤差要因記録部３０に書き込む。
【００７５】
次に、ポート２８から信号を出力する。ポート接続部１２８は、第一接続部１１０ｂを介して、ポート２８に、開放校正用具１２３ｏｐを接続し、次いで、短絡校正用具１２３ｓを接続し、そして、標準負荷校正用具１２３Ｌを接続する。このときの、レシーバ（ＴＲ）２６ａおよびレシーバ（ＲＲ）２６ｂの測定値から、受信側測定系誤差要因取得部７０が、図７（ｂ）に示す誤差要因Ｅｄｒ、Ｅｒｒ、Ｅｓｒを求め、測定系誤差要因記録部３０に書き込む。次に、ポート接続部１２６は、第一接続部１１０ａを介して、ポート１８に短絡部１２４を接続し、ポート接続部１２８も、第一接続部１１０ｂを介して、ポート２８に短絡部１２４を接続する。このときの、レシーバ（ＴＲ）２６ａおよびレシーバ（ＲＲ）２６ｂおよびレシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定値から、受信側測定系誤差要因取得部７０が、図８（ｂ）に示す誤差要因Ｅｔｒ、ＥＬｒを求め、測定系誤差要因記録部３０に書き込む。
【００７６】
このようにして、第一誤差要因を取得できる。
【００７７】
そして、ネットワークアナライザ１と第二校正器２００とを接続する（Ｓ１４）。すなわち、第一接続部１１０ａにより、ポート１８を、第二校正器２００に接続し、第一接続部１１０ｂにより、ポート２８を、第二校正器２００に接続する。さらに、ネットワークアナライザ１と第二状態実現部２２０とを接続する（Ｓ１６）。すなわち、第二接続部２１０により、第一接続部１１０ａ（１１０ｂ）を介して、ポート１８（２８）を、第二状態実現部２２０に接続する。
【００７８】
次に、第二誤差要因を取得する（Ｓ１８）。まず、ポート１８から信号を出力する。校正用具接続部２２４は、第二接続部２１０を介して、ポート１８に、開放校正用具２２２ｏｐを接続し、次いで、短絡校正用具２２２ｓを接続し、そして、標準負荷校正用具２２２Ｌを接続する。このときの、レシーバ（ＲＳ）１６ａおよびレシーバ（ＴＳ）１６ｂの測定値から、測定系誤差要因取得部５０が、図９（ａ）に示す誤差要因Ａ１１、Ａ１２、Ａ２１、Ａ２２を求め、測定系誤差要因記録部３０に書き込む。
【００７９】
次に、ポート２８から信号を出力する。校正用具接続部２２４は、第二接続部２１０を介して、ポート２８に、開放校正用具２２２ｏｐを接続し、次いで、短絡校正用具２２２ｓを接続し、そして、標準負荷校正用具２２２Ｌを接続する。このときの、レシーバ（ＴＲ）２６ａおよびレシーバ（ＲＲ）２６ｂの測定値から、受信側測定系誤差要因取得部７０が、図９（ｂ）に示す誤差要因Ｂ１１、Ｂ１２、Ｂ２１、Ｂ２２を求め、測定系誤差要因記録部３０に書き込む。
【００８０】
このようにして、第二誤差要因を取得できる。
【００８１】
そして、ネットワークアナライザ１とＤＵＴ４００とを接続する（Ｓ２０）。すなわち、第二接続部２１０により、第一接続部１１０ａ（１１０ｂ）を介して、ポート１８（２８）を、ＤＵＴ４００のポート４０２（４０４）に接続する。
【００８２】
ここで、ポート１８あるいは２８から信号を出力して、レシーバ（ＲＳ）１６ａ、レシーバ（ＴＳ）１６ｂ、レシーバ（ＴＲ）２６ａおよびレシーバ（ＲＲ）２６ｂの測定値から、回路パラメータ測定部４０が、ＤＵＴ４００のＳパラメータを実測する（Ｓ２２）。
【００８３】
この実測値は、測定系の誤差要因の影響を受けている。そこで、回路パラメータ測定部４０が、測定系誤差要因記録部３０に記録された測定系誤差要因を読み出し、実測されたＤＵＴ４００のＳパラメータから、測定系誤差要因の影響を取り除き、ＤＵＴ４００の真のＳパラメータを測定する（Ｓ２４）。
【００８４】
第一の実施形態によれば、ネットワークアナライザ１のポート１８、２８に、校正用具およびＤＵＴ４００を次々に接続しては外していくかわりに、第一接続部１１０ａ、１１０ｂ、第二接続部２１０、ポート接続部１２６、１２８、２２４を操作するだけで、ネットワークアナライザ１の校正を行なうことができる。
【００８５】
第二の実施形態
第二の実施形態は、第一の実施形態におけるネットワークアナライザ１およびＤＵＴ４００のポートをそれぞれ４個にした点が第一の実施形態と異なる。
【００８６】
図１０は、本発明の第二の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が使用される測定系の構成を示す図である。測定系は、ネットワークアナライザ１、第一校正器１００、第二校正器２００、ケーブル３００、ＤＵＴ４００を備える。第一校正器１００および第二校正器２００が誤差要因取得用装置を構成する。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
【００８７】
ネットワークアナライザ１は、ポート１８、２８、３８、４８を備える。内部構成は第一の実施形態とほぼ同様である。あるポートから出力された信号は、その他のポートのいずれでも受信可能である。例えば、ポート１８から出力された信号は、ポート２８、３８、４８のいずれでも受信可能である。また、いずれのポートにも、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、レシーバ１６ａ、１６ｂに相当するものがある。
【００８８】
第一校正器１００の内部構成を図１１に示す。第一校正器１００は、ポート１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８、第一接続部１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄ、第一状態実現部１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ、スイッチＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ１４を有する。
【００８９】
ポート１０２は、ポート１８に接続されている。ポート１０４は、ポート２８に接続されている。ポート１０１は、ポート３８に接続されている。ポート１０３は、ポート４８に接続されている。ポート１０５、１０６、１０７、１０８は、第二校正器２００のポート２０２に接続されている。
【００９０】
第一接続部１１０ａは、ポート１０２を、ポート１０６、スイッチＳ１１あるいは第一状態実現部１２０ａに接続する。第一接続部１１０ｂは、ポート１０４を、ポート１０８、スイッチＳ１２あるいは第一状態実現部１２０ｂに接続する。第一接続部１１０ｃは、ポート１０１を、ポート１０５、スイッチＳ１３あるいは第一状態実現部１２０ｃに接続する。第一接続部１１０ｄは、ポート１０３を、ポート１０７、スイッチＳ１４あるいは第一状態実現部１２０ｄに接続する。
【００９１】
第一状態実現部１２０ａは、第一接続部１１０ａおよびスイッチＳ１に接続されている。第一状態実現部１２０ｂは、第一接続部１１０ｂおよびスイッチＳ２に接続されている。第一状態実現部１２０ｃは、第一接続部１１０ｃおよびスイッチＳ３に接続されている。第一状態実現部１２０ｄは、第一接続部１１０ｄおよびスイッチＳ４に接続されている。第一状態実現部１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄの内部構成は第一の実施形態と同様である。
【００９２】
スイッチＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４は、スイッチＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ１４に接続されている。スイッチＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４はいずれか一つがＯＮにされる。スイッチＳ１がＯＮにされているときは、スイッチＳ１２、Ｓ１３、Ｓ１４のいずれか一つがＯＮにされる。スイッチＳ２がＯＮにされているときは、スイッチＳ１１、Ｓ１３、Ｓ１４のいずれか一つがＯＮにされる。スイッチＳ３がＯＮにされているときは、スイッチＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１４のいずれか一つがＯＮにされる。スイッチＳ４がＯＮにされているときは、スイッチＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３のいずれか一つがＯＮにされる。
【００９３】
第二校正器２００、ケーブル３００およびＤＵＴ４００は、第一の実施形態と同様である。ただし、ＤＵＴ４００には４個のポートがある。
【００９４】
次に、第二の実施形態の動作を説明する。第二の実施形態の動作は、第一の実施形態の動作とほぼ同様であり、図６のフローチャートを参照して説明する。
【００９５】
まず、ネットワークアナライザ１と第一状態実現部１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄとを接続する（Ｓ１０）。すなわち、第一接続部１１０ａにより、ポート１８を、第一状態実現部１２０ａに接続し、第一接続部１１０ｂにより、ポート２８を、第一状態実現部１２０ｂに接続し、第一接続部１１０ｃにより、ポート３８を、第一状態実現部１２０ｃに接続し、第一接続部１１０ｄにより、ポート４８を、第一状態実現部１２０ｄに接続する。
【００９６】
次に、第一誤差要因を取得する（Ｓ１２）。これは、第一の実施形態とほぼ同様である。すなわち、ポート１８、２８、３８、４８から信号を出力する。そして、ポート１８、２８、３８、４８に、第一状態実現部１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄの開放校正用具、短絡校正用具および標準負荷校正用具を次々に接続する。また、ポート１８を、ポート２８に、第一接続部１１０ａ、第一状態実現部１２０ａ、スイッチＳ１、スイッチＳ１２、第一接続部１１０ｂを介して接続する。同様に、ポート１８をポート３８、４８に、ポート２８をポート３８、４８に、ポート３８をポート４８に接続する。そして、そのときのレシーバの測定値に基づき、第一誤差要因を取得する。
【００９７】
そして、ネットワークアナライザ１と第二校正器２００とを接続する（Ｓ１４）。すなわち、第一接続部１１０ａにより、ポート１８を、第二校正器２００に接続し、第一接続部１１０ｂにより、ポート２８を、第二校正器２００に接続し、第一接続部１１０ｃにより、ポート３８を、第二校正器２００に接続し、第一接続部１１０ｄにより、ポート４８を、第二校正器２００に接続する。
【００９８】
さらに、ネットワークアナライザ１と第二状態実現部２２０とを接続する（Ｓ１６）。すなわち、第二接続部２１０により、第一接続部１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄを介して、ポート１８、２８、３８、４８を、第二状態実現部２２０に接続する。
【００９９】
次に、第二誤差要因を取得する（Ｓ１８）。これは、第一の実施形態とほぼ同様である。すなわち、ポート１８、２８、３８、４８から信号を出力する。そして、ポート１８、２８、３８、４８に、第二状態実現部２２０の開放校正用具、短絡校正用具および標準負荷校正用具を次々に接続する。そして、そのときのレシーバの測定値に基づき、第二誤差要因を取得する。
【０１００】
そして、ネットワークアナライザ１とＤＵＴ４００とを接続する（Ｓ２０）。すなわち、第二接続部２１０により、第一接続部１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄを介して、ポート１８、２８、３８、４８を、ＤＵＴ４００の各ポートに接続する。
【０１０１】
ここで、ポート１８、２８、３８、４８のいずれから信号を出力して、レシーバの測定値から、回路パラメータ測定部４０が、ＤＵＴ４００のＳパラメータを実測する（Ｓ２２）。
【０１０２】
この実測値は、測定系の誤差要因の影響を受けている。そこで、回路パラメータ測定部４０が、測定系誤差要因記録部３０に記録された測定系誤差要因を読み出し、実測されたＤＵＴ４００のＳパラメータから、測定系誤差要因の影響を取り除き、ＤＵＴ４００の真のＳパラメータを測定する（Ｓ２４）。
【０１０３】
第二の実施形態によれば、ネットワークアナライザ１およびＤＵＴ４００のポートをそれぞれ４個にしてもなお、第一の実施形態と同様の効果を得られる。
【０１０４】
第三の実施形態
第三の実施形態は、ネットワークアナライザ１のポートの個数（４個）よりも、ＤＵＴ４００のポートの個数（９個）の方が大きいために、誤差要因取得用装置が９ポートテストセット（分岐接続手段）５００をさらに備えた点が第二の実施形態と異なる。
【０１０５】
図１２は、本発明の第三の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が使用される測定系の構成を示す図である。測定系は、ネットワークアナライザ１、第一校正器１００、第二校正器２００、ケーブル３００、ＤＵＴ４００、９ポートテストセット５００を備える。第一校正器１００および第二校正器２００が誤差要因取得用装置を構成する。以下、第二の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
【０１０６】
ネットワークアナライザ１、第一校正器１００、第二校正器２００、ケーブル３００、ＤＵＴ４００は第二の実施形態と同様である。
【０１０７】
９ポートテストセット（分岐接続手段）５００は、ポート５０２、５０４、５０６、５０８、５１２、５１４、５１６、５１８、５２０、５２２、５２４、５２６、５２８を有する。ポート５０２、５０４、５０６、５０８はそれぞれ、ポート１０６、１０８、１０５、１０７に接続されている。ポート５１２、５１４、５１６、５１８、５２０、５２２、５２４、５２６、５２８はそれぞれ、ポート２０２に接続されている。
【０１０８】
９ポートテストセット５００の内部構成を図１３に示す。ポート５０２は、ポート５１２または５１４に接続される。ポート５０４は、ポート５１４または５１６に接続される。ただし、ポート５０２がポート５１４に接続されている場合は、ポート５１４はポート５１６に接続される。ポート５０６は、ポート５１８、５２０または５２２に接続される。ポート５０８は、ポート５２４、５２６または５２８に接続される。このようにして、第一校正器１００の有するポート１０６、１０８、１０５、１０７が第二校正器２００のポート２０２のいずれかに接続される。
【０１０９】
第三の実施形態の動作は、第二の実施形態とほぼ同様である。ただし、９ポートテストセット５００を用いて、ネットワークアナライザ１のポート１８、２８、３８、４８を第二校正器２００のいずれかに接続する点が異なる。
【０１１０】
第三の実施形態によれば、ネットワークアナライザ１のポートの個数（４個）よりも、ＤＵＴ４００のポートの個数（９個）の方が大きくてもなお、第一の実施形態と同様の効果を得られる。なお、ＤＵＴ４００のポートの個数がさらに大きくなっても、９ポートテストセット５００に類似のテストヘッドを用いれば、同様の効果を奏する。
【０１１１】
第四の実施形態
第四の実施形態は、第一の実施形態におけるＤＵＴ４００にかえて、ウェハ４１０、ウェハプローブ４２０を使用している。
【０１１２】
図１４は、本発明の第四の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が使用される測定系の構成を示す図である。測定系は、ネットワークアナライザ１、第一校正器１００、第二校正器２００、ケーブル３００、ウェハ４１０、ウェハプローブ４２０を備える。第一校正器１００および第二校正器２００が誤差要因取得用装置を構成する。なお、ネットワークアナライザ１、第一校正器１００、第二校正器２００、ケーブル３００は第一の実施形態と同様である。
【０１１３】
ウェハ４１０は、ネットワークアナライザ１が測定の目的としているものである。ウェハプローブ４２０は、ウェハ４１０に接触させるものであり、ポート４２２を介して、第二校正器２００に接続されている。
【０１１４】
図１５は、第一接続部１１０ａ（１１０ｂ）が、ポート１８（２８）を、第二校正器２００に接続し、しかも、第二接続部２１０が、ポート２０２をウェハプローブ４２０に接続しているときのシグナルフローグラフである。ただし、図１５（ａ）は、ポート１８を出力ポート、ポート２８を受信ポートとした場合のシグナルフローグラフ、図１５（ｂ）は、ポート１８を受信ポート、ポート２８を出力ポートとした場合のシグナルフローグラフである。
【０１１５】
図１５に示すシグナルフローグラフは、第一の実施形態（図５参照）とほぼ同様であるが、ウェハプローブ４２０の誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２がさらに付加される点が異なる。ウェハプローブ４２０は、精巧に作成されており、電気的特性に関する個体差が少ない。よって、ウェハプローブ４２０の誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２を、前もって、測定系誤差要因記録部３０に記録しておけば、実測されたＤＵＴ４００のＳパラメータから、誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２の影響を取り除き、ＤＵＴ４００の真のＳパラメータを測定することができる。
【０１１６】
第四の実施形態の動作は第一の実施形態とほぼ同様である（図６参照）。ただし、測定系誤差要因記録部３０に記録された測定系誤差要因には、ウェハプローブ４２０の誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２も含まれる。よって、回路パラメータ測定部４０が、測定系誤差要因記録部３０に記録された測定系誤差要因（第一誤差要因、第二誤差要因および誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２）を読み出し、実測されたＤＵＴ４００のＳパラメータから、測定系誤差要因の影響を取り除き、ＤＵＴ４００の真のＳパラメータを測定する（Ｓ２４）ことになる。
【０１１７】
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分（例えば、測定系誤差要因記録部３０、回路パラメータ測定部４０、測定系誤差要因取得部５０、受信側測定系誤差要因記録部７０）を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１８】
【図１】本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が使用される測定系の構成を示す図である。
【０１１９】
【図２】ネットワークアナライザ１の構成を示す図である。
【０１２０】
【図３】第一状態実現部１２０の構成を示す図である。
【０１２１】
【図４】第二状態実現部２２０の構成を示す図である。
【０１２２】
【図５】第一接続部１１０ａ（１１０ｂ）が、ポート１８（２８）を、第二校正器２００に接続し、しかも、第二接続部２１０が、ポート２０２をＤＵＴ４００に接続しているときのシグナルフローグラフであり、ポート１８を出力ポート、ポート２８を受信ポートとした場合（図５（ａ））、ポート１８を受信ポート、ポート２８を出力ポートとした場合（図５（ｂ））を示す。
【０１２３】
【図６】第一の実施形態の動作を示すフローチャートである。
【０１２４】
【図７】誤差要因Ｅｄｆ、Ｅｒｆ、Ｅｓｆ（図７（ａ））、誤差要因Ｅｄｒ、Ｅｒｒ、Ｅｓｒ（図７（ｂ））を示すシグナルフローグラフである。
【０１２５】
【図８】誤差要因Ｅｔｆ、ＥＬｆ（図８（ａ））、誤差要因Ｅｔｒ、ＥＬｒ（図８（ｂ））を示すシグナルフローグラフである。
【０１２６】
【図９】誤差要因Ａ１１、Ａ１２、Ａ２１、Ａ２２（図９（ａ））、誤差要因Ｂ１１、Ｂ１２、Ｂ２１、Ｂ２２（図９（ｂ））を示すシグナルフローグラフである。
【０１２７】
【図１０】本発明の第二の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が使用される測定系の構成を示す図である。
【０１２８】
【図１１】本発明の第二の実施形態にかかる第一校正器１００の内部構成を示す図である。
【０１２９】
【図１２】本発明の第三の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が使用される測定系の構成を示す図である。
【０１３０】
【図１３】９ポートテストセット５００の内部構成を示す図である。
【０１３１】
【図１４】本発明の第四の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が使用される測定系の構成を示す図である。
【０１３２】
【図１５】第一接続部１１０ａ（１１０ｂ）が、ポート１８（２８）を、第二校正器２００に接続し、しかも、第二接続部２１０が、ポート２０２をウェハプローブ４２０に接続しているときのシグナルフローグラフであり、ポート１８を出力ポート、ポート２８を受信ポートとした場合（図１５（ａ））、ポート１８を受信ポート、ポート２８を出力ポートとした場合（図１５（ｂ））を示す。
【０１３３】
【図１６】従来技術にかかる被測定物（ＤＵＴ）の回路パラメータの測定法を説明するための図である。
【０１３４】
【図１７】従来技術にかかる信号源１３０に関するシグナルフローグラフである。
【符号の説明】
【０１３５】
１  ネットワークアナライザ
１２  信号出力部
１８  ポート
２８  ポート
１００  第一校正器
１０２、１０４、１０６、１０８  ポート
１１０ａ、１１０ｂ  第一接続部
１２０  第一状態実現部
１２２ｏｐ、１２３ｏｐ  開放校正用具
１２２ｓ、１２３ｓ  短絡校正用具
１２２Ｌ、１２３Ｌ  標準負荷校正用具
１２４  短絡部
１２６、１２８  ポート接続部
２００  第二校正器
２０２、２０４  ポート
２１０  第二接続部
２２０  第二状態実現部
２２２ｏｐ  開放校正用具
２２２ｓ  短絡校正用具
２２２Ｌ  標準負荷校正用具
２２４  校正用具接続部
３００  ケーブル
４００  ＤＵＴ
４１０  ウェハ
４２０  ウェハプローブ
５００  ９ポートテストセット（分岐接続手段）
【図１】
2005091194.tif 000003
【図２】
2005091194.tif 000004
【図３】
2005091194.tif 000005
【図４】
2005091194.tif 000006
【図５】
2005091194.tif 000007
【図６】
2005091194.tif 000008
【図７】
2005091194.tif 000009
【図８】
2005091194.tif 000010
【図９】
2005091194.tif 000011
【図１０】
2005091194.tif 000012
【図１１】
2005091194.tif 000013
【図１２】
2005091194.tif 000014
【図１３】
2005091194.tif 000015
【図１４】
2005091194.tif 000016
【図１５】
2005091194.tif 000017
【図１６】
2005091194.tif 000018
【図１７】
2005091194.tif 000019