(57)【要約】【課題】  不使用時、塵埃で、伝送光路内等が汚染されず、運転時にレーザ発振器からのレーザ光を常に安定した状態で投射し得て、被加工物の切断品質を良好な状態にすると共に、光学系機器の洗浄等の周期を延長し得るレーザ加工装置の提供することができる。【解決手段】  レーザ発振器２１よりのレーザ光Ｌaを、集光レンズ２３を保持するレンズホルダ２を装備した加工ヘッド１を介して集束レーザ光Ｌzとして、被加工物Ｍを加工するレーザ加工装置１０であって、冷却及び除塵用送気部２５を備え、集光レンズ２３の上流側の入射光路２ａに、これを横切って、運転時には開口投光板５を、不使用運転休止時には閉口遮断板６を、交換装着可能に設備したレーザ加工装置１０である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ発振器よりのレーザ光を、集光レンズを保持するレンズホルダを装備した加工ヘッドを介して集束レーザ光として、被加工物に投射して、被加工物を加工するレーザ加工装置であって、
光路上流側より集光レンズに向けて送気する冷却及び除塵用送気部を備え、
加工ヘッドには、集光レンズの上流側の入射光路に、これを横切って開口投光板と閉口遮断板を交換着脱可能に設備してなることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
交換着脱可能な開口投光板と閉口遮断板は、それぞれ加工ヘッドに装着時、開口投光板にあってはレーザ光の発振、並びに、冷却及び除塵用送気の駆動を開始せしめ、閉口遮断板にあってはレーザ光の発振停止、並びに、冷却及び除塵用送気の停止をする、スイッチ機能を具備してなることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
上記閉口遮断板は、上面部に凹状受け部を形成してなることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工装置の改良に係わり、特に伝送光路及び伝送光路に配される光学系の汚染を低減し、レーザ切断加工精度を良好、かつ均一に保持し得るレーザ加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザ加工装置にあっては、従来、例えば特許第３２４８７７１号公報に開示されている如き装置が用いられている。これを図４に図示して概略説明する。即ち、図４に図示する従来のレーザ加工装置２０において、２１はレーザ発振器、２２は加工ヘッド、２３は集光レンズ、２４は上端が開口し他端に集光レンズ２３を保持する円筒状のレンズホルダ、２５は冷却及び除塵用送気部で、レンズホルダ２４のレンズ装着位置上方の周壁を貫通してレンズに向けて穿孔されている。２６はレンズホルダ２４を着脱可能に装着収容する筺体で、開閉可能なドア２６ａと、天井部に入射口２６ｂ、そして底部には投射ノズル２６ｃ等が配設されている。そして、筺体２６内に、その入射口２６ｂと投射ノズル２６ｃに合わせてレンズホルダ２４の上、下をそれぞれ連結して、レンズホルダ２４を装着収容することによって加工ヘッドを２２を形成している。なお、符号Ｍは被加工物である。
【０００３】
上記の如き、図４に図示したレーザ加工装置２０は、以下の如き態様で運転される。レーザ発振器２１から出力するレーザ光Ｌaは、加工ヘッド２２内に、筺体２６の入射口２６ｂを経て導入され、レンズホルダ２４の入射光路２４ａに沿って集光レンズ２３に導かれる。集光レンズ２３に達したレーザ光Ｌaはここで集光されて集束レーザ光Ｌzとなり、出射光路２４ｂを経て投射ノズル２６ｃより、焦点位置にある被加工物Ｍに投射され、被加工物Ｍを切断加工する。この間、冷却及び除塵用送気部２５よりレンズホルダ２４内に装着した集光レンズ２３の上面に向け、空気や不活性ガス等のクリーン気体Ａcを送気し、入射光路２４ａを経て入射口２６ｂより排出するようにしている。これにより、集光レンズ２３や入射光路２４ａの過熱防止と塵埃等による汚染を防止し、集光レンズ２３の熱歪みとレーザ光Ｌaの塵埃等による吸収を抑制して、常に強度を低減することなく適正な状態を保持して集光して、集束レーザ光Ｌzとし、出射光路２４ｂを経て投射ノズル２６ｃよりを被加工物Ｍに投射し、常に加工性能を良好に保持し、歩留まりの良い切断加工を可能にすると共に、集光レンズ２３の寿命を延長せしめるようにしている。
【０００４】
然るに、このようなレーザ加工装置２０にあっては、切断加工運転を休止した時に、運転中に加工ヘッド２２を構成するレンズホルダ２４内の入射光路２４ａに存在する塵埃を除去するために送気されていたクリーン気体Ａcを停止することから、光路内滞留している塵埃が落下して集光レンズ２３上に付着し、引き続き行う加工運転で、集光レンズ２３の性能を劣化せしめることとなり、常に適切な切断性能を保持することが困難となると共に、集光レンズ２３の使用寿命を短縮し、集光レンズ２３の洗浄クリーニングの頻度が多くなり、加工作業性を損なう不都合があった。
【０００５】
又、上記したレーザ加工装置２０では、被加工物Ｍの切断加工品質を確保するために、加工ヘッド２２内に収容した集光レンズ２３は、定期的に洗浄クリーニングする必要がある。そして、この集光レンズ２３の洗浄クリーニングにあたっては、加工ヘッド２２を構成している筺体２６のドア２６ａを開いて、レンズホルダ２４を筺体２６より取り出した後、集光レンズ２３をレンズホルダ２４より脱離せしめて行っていた。
そして、加工ヘッド２２の筺体２６のドア２６ａを開くと、開いた開口より外気が筺体２６内に吸い込まれ、筺体２６の入射光２６ｂよりこれに連通するレーザ発振器２１に至るレーザ光Ｌaの伝送光路２７に外気の塵埃が流入し、伝送光路２７内が塵埃で汚染されることなっていた。この結果、光路内に配置されているミラー等の光学系器材が塵埃等に汚染されると、レーザ光Ｌaに歪みを惹起せしめ、切断性を悪化せしめる等の好ましくない影響を与える原因となってる。
【特許文献１】特許第３２４８７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、加工ヘッドを構成しているレンズホルダ内の入射光路、該入射光路とレーザ発振器とが連通する伝送光路及びこれら光路に備えられてい光学系機器等を、外気からの塵埃や、伝送光路に滞留する塵埃による汚染を防止し、伝送光路内をクリーンに保持し、レーザ発振器からのレーザ光を常に安定した状態で集光レンズに伝送することを可能にして、被加工物の切断品質を良好に確保すると共に、設備したミラー、レンズ等の光学系機器の洗浄等のメンテナンス周期を延長せしめ得るレーザ加工装置を提供することを、本発明の解決すべき課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するため以下の手段を備えるものである。
請求項１に係わる発明として、レーザ発振器よりのレーザ光を、集光レンズを保持するレンズホルダを装備した加工ヘッドを介して集束レーザ光として、被加工物に投射して、被加工物を加工するレーザ加工装置であって、光路上流側より集光レンズに向けて送気する冷却及び除塵用送気部を備え、加工ヘッドには、集光レンズの上流側の入射光路に、これを横切って開口投光板と閉口遮断板を交換着脱可能に設備してなることを特徴とするレーザ加工装置としたものである。
【０００８】
請求項２に係わる発明として、交換着脱可能な開口投光板と閉口遮断板は、それぞれ加工ヘッドに装着時、開口投光板にあってはレーザ光の発振、並びに、冷却及び除塵用送気の駆動を開始せしめ、閉口遮断板にあってはレーザ光の発振停止、並びに、冷却及び除塵用送気の停止をする、スイッチ機能を具備せしめた請求項１に記載のレーザ加工装置としたものである。
請求項３に係わる発明として、上記閉口遮断板は、上面部に凹状受け部を形成せしめた請求項１又は請求項２に記載のレーザ加工装置としたものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のレーザ加工装置は、以下のような効果を奏する。
本発明のレーザ加工装置にあっては、加工ヘッドを構成しているレンズホルダに保持される集光レンズの上流側の入射光路に、これを横切って開口投光板と閉口遮断板を交換着脱可能に設備してあるので、使用運転時にはレンズホルダの入射光路に開口投光板を装着して運転し、そして不使用で運転停止時にはレンズホルダの入射光路に閉口遮断板を装着せしめることにより、レーザ光の伝送光路に滞留している上方の塵埃が落下して集光レンズに達するのを遮断して、該レンズ上への塵埃の付着を防止せしめる。これにより、常にレーザ光の強度を確保し得て、被加工物の切断加工品質を低下せしめることなく良好かつ均一に加工する効果を奏する。
【００１０】
又、本発明のレーザ加工装置にあっては、加工ヘッドを構成している集光レンズの洗浄クリーニング等のメンテナンスや集光レンズ交換にあたって、レンズホルダの入射光路に閉口遮断板を装着せしめることにより、集光レンズを保持するレンズホルダを加工ヘッドの筺体より取り出しの際、筺体のドアより加工ヘッド筺体内に流入する外気が加工ヘッド〜レーザ発振器間の伝送光路内に流入するのを遮断するので、加工ヘッド〜レーザ発振器間の伝送光路や伝送光路に配設されているミラー、レンズ等の光学系機器を外気の塵埃での汚染を防止し得て、これらの汚れによるレーザ光の歪みを防止して、常に安定したレーザ光を伝送せしめることが出来、良好な加工品質を保持することが出来る効果を奏すると共に、前記光学系機器の使用寿命が延びて、洗浄クリーニングする周期が延長され、作業効率を向上せしめ得る効果も奏する。
【００１１】
更に、交換着脱可能な開口投光板と閉口遮断板には、それぞれ加工ヘッドに装着時、開口投光板にあってはレーザ光の発振、並びに、冷却及び除塵用送気の駆動を開始せしめ、閉口遮断板にあってはレーザ光の発振停止、並びに、冷却及び除塵用送気の停止をする、スイッチ機能を具備せしめたので、開口投光板と閉口遮断板の交換装着により運転時のレーザ光の発振状態の確保とレーザ光の適切な伝送状態の確保、そして運転休止時のレーザ光の発振停止と伝送光路の遮断を行うことが出来るので的確な運転−休止を行え、適切な運転作業管理をすることが出来る効果を奏する。
【００１２】
その上、上記閉口遮断板には、加工ヘッドに装着時に入射光路断面に相対する上面部に凹状受け部を形成してあるので、運転休止時これを加工ヘッドに装着した際、伝送光路上方より降下してくる塵埃を凹状受け部で収集され、上面より下部位置で集塵されることなって、運転状態への切り替えの際の加工ヘッドよりの脱離にあたって、集塵した塵埃は凹状受け部内に確実に保持されて、落下することが無く、下方に保持されている集光レンズ上面を塵埃で汚染することをより確実に防止する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明のレーザ光装置を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。図１は本発明のレーザ加工装置に用いる加工ヘッドの一例を説明する一部切開断面図、図２は本発明に使用する開口投光板の説明図で（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図、図３は本発明に使用する閉口遮断板の説明図で（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図、である。なお、図１において、図４と同一構成部分については同一符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００１４】
本発明のレーザ加工装置１０の加工ヘッド１は、これに設備される円筒状のレンズホルダ２の中間部に集光レンズ２３が気密に固定され、更にその下方の出射光路２ｂは、加工ヘッド１の筺体２６の底部に配された投射ノズル２６ｃに連通する出射管３に着脱可能に連結されている。一方、レンズホルダ２の上部入射光路２ａの開口は、加工ヘッド１の筺体２６の天井部に配された入射口２６ｂに連通する入射管４の下端と、投光板・遮断板挿入間隙９を隔てて着脱可能に連結されている。そして、前記入射管４の下端の周壁には該周壁を貫通して集光レンズ２３に向けて穿孔された複数個の送気口よりなる冷却及び除塵用送気部２５が配設され、該冷却及び除塵用送気部２５は外部に配された送気手段（図示せず）と連結されている。なお、前記投光板・遮断板挿入間隙９は、後述する開口投光板５又は閉口遮断板６を適宜交換して気密を保持して装着し、かつ離脱し得るよう、例えば摺動して移動可能な空隙寸法をもって形成されている。
【００１５】
又、レンズホルダ２の側部には把持用把手２ｃが設けられている。なお、符号７は支持枠で、前記入射口２６ｂに連通する入射管４や投射ノズル２６ｃに連通する出射管３を筺体２６内の適切な位置を保って固定支持するものである。そして、符号８はリミットスイッチで、前記投光板・遮断板挿入間隙９の挿入終端部に相対向して、前記支持枠７に固定して配設されている。そして、該リミットスイッチ８は、レーザ発振器２１の駆動と冷却及び除塵用送気の駆動等の電気的ＯＮ−ＯＦＦスイッチ機能Ｓを有しているものである。
【００１６】
次に、上記した投光板・遮断板挿入間隙９に適宜交換して装着せしめる開口投光板５、及び閉口遮断板６について、それぞれ図２と図３を参照して説明する。
先ず開口投光板５を、図２により説明する。なお図２−（Ａ）は平面図であり、又図２−（Ｂ）は断面図である。図２において、開口投光板５は長方形の例えばステンレス鋼の如き金属薄板材料でなるもので、その先端部は尖端形状５ａに形成され、そして前記支持枠７に配されたリミットスイッチ８の位置に合致する尖端形状部５ａには、装着時にリミットスイッチ８に当接してこれを押圧せしめるスイッチ押接部５ｂが配されていて、リミットスイッチ８を押圧してスイッチ機能ＳをＯＮ状態にする。又装着時にレンズホルダ２の入射光路２ａと対面する位置には貫通開口５ｃが設けられ、更に手元端部には把持用把手５ｄが配設されている。
【００１７】
一方、閉口遮断板６は、図３−（Ａ）の平面図、図３−（Ｂ）の断面図に図示する如く、前記開口投光板５と同様長方形の例えばステンレス鋼の如き金属薄板材料でなり、その先端部は尖端形状６ａに形成され、そして前記支持枠７に配されたリミットスイッチ８の位置に合致する尖端形状部６ａは、装着時にリミットスイッチ８に当接せず離間するよう、凹段部６ｂが形成されていて、これを投光板・遮断板挿入間隙９に装着しても、リミットスイッチ８を押圧せずにスイッチ機能ＳをＯＦＦ状態に維持する。又、この閉口遮断板６は、レンズホルダ２に装着時に、レンズホルダ２の入射光路２ａを、レーザ発振器２１からの伝送光路２７と連通する入射管４との連通を遮断閉鎖するもので、平板でも良いが、入射光路２ａと対面する位置の上面に凹状窪みを形成した凹状受け部６ｃを設けると良い。これにより、レーザ発振器２１からの伝送光路２７と、これと連通するする入射管４より落下してくる塵埃を上面下で捕集し得て、摺動脱離時に集塵を摺り落すことがなく、周辺を汚染せしめること無く脱離せしめることが出来る。更に手元端部には把持用把手６ｄが配設されている。
【００１８】
次に本発明のレーザ加工機１０の使用の態様について、運転動作、運転休止、そして集光レンズの洗浄クリーニング等を例示して、図１〜図３を参照して説明する。
＜運転動作＞
本発明のレーザ加工装置１０の駆動運転にあたっては、加工ヘッド１に設備されているレンズホルダ２の上部入射光路２ａの開口と、筺体２６の天井部に配された入射口２６ｂに連通する入射管４の下端との間に形成されている投光板・遮断板挿入間隙９に、開口投光板５を挿入してこれを加工ヘッド１に装着する。この時、入射管４とレンズホルダ２の上部入射光路２ａとは開口投光板５の貫通開口５ｃを介して連通し、レーザ発振器２１と加工ヘッド１の集光レンズ２３とは伝送光路２７で連通する。これと共に開口投光板５の先端の尖端形状部５ａに配したスイッチ押接部５ｂが、リミットスイッチ８に当接してリミットスイッチ８を押圧して、スイッチ機能ＳをＯＮ状態にする。これにより、レーザ発振器２１と冷却及び除塵用送気装置（図示せず）が駆動して、レーザ光Ｌaが発振されて加工ヘッド１の集光レンズ２３に伝送されて、集光レンズ２３に達したレーザ光Ｌaはここで集光されて集束レーザ光Ｌzとなり、出射光路２ｂより出射管３を経て投射ノズル２６ｃより、焦点位置にある被加工物Ｍに投射され、被加工物Ｍを切断加工する。
【００１９】
この間、冷却及び除塵用送気部２５よりレンズホルダ２内に装着した集光レンズ２３の上面に向け、空気や不活性ガス等のクリーン気体Ａcを送気し、入射光路２ａを経て入射口２６ｂより排出するようにしている。これにより、集光レンズ２３や入射光路２ａの過熱防止と塵埃等による汚染を防止し、集光レンズ２３の熱歪みとレーザ光Ｌaの塵埃等による吸収を抑制して、常に強度を低減することなく適正な状態を保持して集光レンズ２３に導入して、集束レーザ光Ｌzとし、投射ノズル２６ｃよりを被加工物Ｍに投射し、常に適正な集光度を維持して加工性能を良好に保持し、歩留まりの良い切断加工を可能にする。
【００２０】
＜運転休止＞
次に運転を終了し運転休止するにあたっては、加工ヘッド１より開口投光板５を引き出して、取り外す。これと同時にリミットスイッチ８は押圧が解除されて、スイッチ機能ＳがＯＦＦ状態になり、レーザ発振器２１や冷却及び除塵用送気装置（図示せず）等の装置は電気的に切断され、停止状態を保持することとなる。そして、これに換えて閉口遮断板６を投光板・遮断板挿入間隙９に挿入して加工ヘッド１に装着する。これにより、入射口２６ｂに連通する入射管４とレンズホルダ２の上部入射光路２ａとは閉口遮断板６で連通が遮断されると共に、該閉口遮断板６の先端の尖端形状部６ａに配した凹段部６ｂの存在で、リミットスイッチ８を押圧することが無く、スイッチ機能ＳをＯＦＦ状態に維持する。この結果レーザ発振器２１の駆動停止と冷却及び除塵用送気装置（図示せず）の駆動停止が保持される。
【００２１】
このようなことより、冷却及び除塵用送気の停止で、入射管４やレーザ発振器２１に連通しているる伝送光路２７内に滞留している塵埃が落下して来るが、この落下して来る塵埃は前記装着した閉口遮断板６の上面に設けた凹状受け部６ｃに捕集され、集光レンズ２３上に落下して付着汚染せしめることが防止できる。この結果、次回の加工作業でのレーザ発振器２１の加工駆動にあたって、常にレーザ光の強度を確保し得て、被加工物の切断加工品質を低下せしめることなく良好かつ均一に加工することが出来る。更に、汚染による集光レンズ２３の洗浄クリーニングの周期を延長することが出来、使用寿命が延び作業性が向上する。  又、入射光路断面に相対する上面部に凹状受け部６ｃを形成してあるので、上方伝送光路２７より降下してくる塵埃を凹状受け部６ｃで収集され、上面より下部位置で集塵されることなって、運転状態への切り替えの際のレンズホルダ２よりの摺動脱離にあたって、集塵した塵埃は凹状受け部６ｃ内に確実に保持されて、下方に保持されている集光レンズ２３上面を塵埃で汚染することをより確実に防止する。
【００２２】
＜集光レンズの洗浄クリーニング＞
集光レンズ２３の洗浄クリーニングを行ったり、集光レンズ２３を交換する際に、加工ヘッド１の筺体２６のドア２６ａを開いて、レンズホルダ２を入射管４と出射管３との連結より取り外し、筺体２６より取り出して行う。この時、取り外し前に閉口遮断板６を投光板・遮断板挿入間隙９に挿入して装着する。これにより、入射口２６ｂに連通する入射管４は閉口遮断板６で連通が遮断されると共に、該閉口遮断板６の先端の尖端形状部６ａに配した凹段部６ｂの存在で、リミットスイッチ８を押圧することが無く、スイッチ機能ＳをＯＦＦ状態に維持する。この結果レーザ発振器２１の駆動停止と冷却及び除塵用送気装置（図示せず）の駆動停止が保持される。次いで、把持用把手２ｃを操作してレンズホルダ２を離脱せしめて筺体２６より取り出す。
【００２３】
この結果、投光板・遮断板挿入間隙９に挿入して装着した閉口遮断板６は、入射管４の開口を閉鎖していることから、前記筺体２６のドア２６ａより加工ヘッド１の筺体２６内に流入する外気が加工ヘッド１〜レーザ発振器２１間の伝送光路２７内に流入するのを遮断することとなる。これにより、加工ヘッド１〜レーザ発振器２１間の伝送光路２７や伝送光路に配設されているミラー、レンズ等の光学系機器を、外気の塵埃で汚染されるのをを防止し得て、これらの汚染によるレーザ光Ｌaの歪みを阻止して、常に安定したレーザ光を伝送せしめることが出来、良好な切断品質を保持した製品に加工することが出来ると共に、前記光学系機器の使用寿命が延びて、洗浄クリーニングする周期が延長され、作業効率を向上せしめることが出来る。
【００２４】
又、本発明のレーザ加工装置１０での加工ヘッド１では、上記した交換着脱可能な開口投光板５と閉口遮断板６には、それぞれレンズホルダに装着時、開口投光板５にあってはレーザ光Ｌaの発振、並びに、冷却及び除塵用送気の駆動を開始せしめ、閉口遮断板６にあってはレーザ光Ｌaの発振停止、並びに、冷却及び除塵用送気の停止をする、スイッチ機能Ｓを具備せしめたので、開口投光板５と閉口遮断板６の交換装着により運転時のレーザ光Ｌaの発振状態の確保とレーザ光Ｌaの適切な伝送状態の確保をし、そして運転休止時のレーザ光Ｌaの発振停止と伝送光路の遮断を行うことが出来るので的確な運転−休止を行え、適切な運転作業管理を容易にすることが出来る。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明のレーザ加工装置は、上記した如く運転休止時や、集光レンズの洗浄クリーニング時や交換等の不使用時に、加工ヘッドを構成しているレンズホルダ内の入射光路、該入射光路とレーザ発振器とが連通する伝送光路及びこれら光路に備えられてい光学系機器等を、外気からの塵埃や、伝送光路に滞留する塵埃による汚染を防止して、伝送光路内をクリーンに保持し、レーザ発振器からのレーザ光を常に安定した状態で集光レンズに伝送することを可能にして、被加工物の切断品質を良好に確保すると共に、設備したミラー、レンズ等の光学系機器の使用寿命を延長せしめて、洗浄等のメンテナンス周期を延長せしめ得て、使用効率と加工性能を向上せしめたレーザ加工装置とし、数値制御で加工運転される加工精度が優れた、使用効率の良好なレーザ加工装置として、広範囲にわたって有効に活用することが出来る。
尚、本発明は、前述のようなレーザ切断装置に適用可能なのみならず、例えば、炭酸ガスレーザ等をミラーによって伝送するようなレーザ溶接装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明のレーザ加工装置の一例を説明する一部切開概略説明図。
【図２】本発明に用いる開口投光板の説明図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図。
【図３】本発明に用いる閉口遮断板の説明図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図。
【図４】従来のレーザ加工装置の一例を説明する一部切開概略説明図。
【符号の説明】
【００２７】
１０…本発明のレーザ加工装置、  １…本発明の加工ヘッド、  ２…レンズホルダ、
２ａ…入射光路、  ２ｂ…出射光路、  ２ｃ…把持用把手、  ３…出射管、
４…入射管、  ５…開口投光板、  ５ａ…開口投光板の尖端形状部、
５ｂ…スイッチ押接部、  ５ｃ…貫通開口、  ５ｄ、６ｄ…把持用把手、
６…閉口遮断板、  ６ａ…閉口遮断板の尖端形状部、  ６ｂ…凹段部、
６ｃ…凹状受け部、  ７…支持枠、  ８…リミットスイッチ、
９…投光板・遮断板挿入間隙、  ２１…レーザ発振器、  ２３…集光レンズ、
２５…冷却及び除塵用送気部、  ２６…筺体、  ２６ａ…ドア、  ２６ｂ…入射口、
２６ｃ…投射ノズル、  Ｌa…レーザ光、  Ｌz…集束レーザ光、  Ｓ…スイッチ機能、
Ｍ…被加工物、  Ａc…クリーン気体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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