(57)【要約】  【課題】光サンプリング・オシロスコープ等光計測機器の被測定光信号の偏光依存性を容易に解消することのできる測定方法、及びそのための比較的単純な構成の装置を提供する。  【解決手段】光信号波形測定方法は、入力された光信号の異なる偏光成分を分離して、共通する偏光成分を有する光信号とし時分割にして多重化する第１の工程と、多重化した光信号を測定する第２の工程とを有する。第１の工程は、入力された光信号を偏光分離し、相互に直交する第１及び第２の成分に分ける工程と、第１及び第２の成分の一方の偏光状態を、他方の偏光状態と共通となるように変更する工程と、偏光状態が共通化された第１及び第２の成分のうちの一方を、共通の出力に対して時分割にして選択的に出力させる工程とを含む。【選択図】図１
2005091130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力された光信号の異なる偏光成分を分離して、共通する偏光成分を有する光信号に変換し時分割にして多重化する第１の工程と、
多重化した光信号を測定する第２の工程とを有することを特徴とする光信号波形測定方法。
【請求項２】
前記第１の工程は、
入力された光信号を偏光分離し、相互に直交する第１及び第２の成分に分ける工程と、
前記第１及び第２の成分の一方の偏光状態を、他方の偏光状態と共通となるように変更する工程と、
偏光状態が共通化された前記第１及び第２の成分のうちの一方を、共通の出力に対して時分割にして選択的に出力させる工程と
を有することを特徴とする、請求項１の測定方法。
【請求項３】
前記第１の工程は、所定の時間間隔における入力信号の一部の偏光状態を変更する工程を含むことを特徴とする、請求項１に記載の測定方法。
【請求項４】
前記第２の工程は、前記第１の工程における時分割の信号に同期して第１の工程で出力された光信号の強度を測定する工程を有することを特徴とする、請求項１に記載の測定方法。
【請求項５】
入力光信号の異なる偏光成分を分離して、時分割にして共通する偏光成分の光信号として多重化する信号多重手段と、
多重化した光信号の強度を測定する光サンプリング波形測定手段とを有することを特徴とする光信号波形測定装置。
【請求項６】
前記信号多重手段は、
入力された光信号を偏光分離し、相互に直交する第１及び第２の成分に分ける偏光分離素子と、
前記第１及び第２の成分の一方の偏光状態を、他方の偏光状態と共通となるように変更する偏光回転子と、
偏光状態が共通化された前記第１及び第２の成分のうちの一方を、共通の出力に対して時分割にして選択的に出力させる光スイッチと
を有することを特徴とする、請求項５に記載の光信号波形測定装置。
【請求項７】
前記光スイッチは、光サンプリング多重化スイッチ、及び該スイッチの制御パルス発振装置から構成されることを特徴とする、請求項６に記載の測定装置。
【請求項８】
前記偏光回転子は、半波長板から構成されることを特徴とする、請求項６に記載の測定装置。
【請求項９】
前記信号多重手段は、偏光変調器を含むことを特徴とする、請求項５に記載の光信号波形測定装置。
【請求項１０】
前記信号多重手段及び前記光サンプリング波形測定手段の動作を同期させる同期信号形成手段が設けられることを特徴とする、請求項５に記載の光信号波形測定装置。
【請求項１１】
前記同期信号形成手段は、前記信号多重手段及び前記光サンプリング波形測定手段のいずれかに設けられることを特徴とする、請求項９に記載の光信号波形測定装置。
【請求項１２】
入力光信号の異なる偏光成分を分離して、時分割にして共通する偏光成分の光信号として多重化する信号多重手段を備え、後段に位置する別体の光サンプリング波形測定装置に同期して動作するように接続されて使用され、使用により前記光サンプリング・オシロスコープにおける測定の偏光依存性を解消できることを特徴とする測定用補償モジュール。
【請求項１３】
前記信号多重手段として、入力された光信号を偏光分離し、相互に直交する第１及び第２の成分に分ける偏光分離素子と、前記第１及び第２の成分の一方の偏光状態を、他方の偏光状態と共通となるように変更する偏光回転子と、偏光状態が共通化された前記第１及び第２の成分のうちの一方を、共通の出力に対して時分割にして選択的に出力させる光スイッチとを有する請求項１２に記載の測定用補償モジュール。
【請求項１４】
前記信号多重手段として、偏光変調器を含むことを特徴とする、請求項１２に記載の測定用補償モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光サンプリング・オシロスコープ等による光信号波形を測定する方法、及びそれに使用される測定装置、或いは測定に際して装置の一部として用いられる別体のモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信システムの構築の際に光通信の品質を確認する等のため、送受信されるパルス光信号を測定することが要求されるが、この測定のために、光サンプリング波形測定装置を用いた波形測定方法が適用されることが知られている。この光サンプリング波形測定装置による測定方法は、１０Gbit/secを超える高速光信号にも対応できる点で注目されるべき技術である。
【０００３】
この種の波形測定方法の一例では、繰り返し信号から成る、角周波数ω１の被測定光信号光と、角周波数ω２のサンプリングパルス光とを非線形光学結晶に対して入力させる。結晶内では、結晶光学上の非線形相互作用から和周波光（ω１+ω２）が発生し、この和周波光を取り出して被測定パルス信号の波形を測定することができる（特許文献１、特許文献２及び特許文献３参照）。
【０００４】
ところで、この測定方法に係る一つの問題として、和周波光の光強度が被測定光の偏光面の方向に依存することがある。具体的には、和周波光の光強度は、非線形光学結晶の結晶方向によって最適に決定される基準偏光方向のサンプリング光の成分と、当該基準方向に対して結晶材料に依存して決まる特定の角度を成す方向の被測定光の成分と、非線形変換効率との積によって表される（特許文献３参照）。その一方で、現実に測定を行う場合には、被測定光信号光の偏光方向は通常明らかではない。従って、非線形光学結晶に対して、サンプリング光の偏光方向を最適角度に設定した場合であっても、結果として得られる和周波光の強度は、被測定光信号光の各角度方向の偏光成分のうちサンプリング光に対して特定角度方向の偏光成分の大きさに依存することとなる。換言すれば、この測定方法では、サンプリング光に対して前述の特定方向に直交する方向の偏光成分については、即時に検出することはできない。
【０００５】
かかる性質は、現実の光通信システムの測定には、大きな問題となる。即ち、現実の光通信システムにおいて、その末端で信号測定を行う場合、システム全体の環境の変化により時間を経て測定位置での偏光状態が変化してしまうおそれがある。例えば、長距離光ファイバを利用した光通信の偏光状態は、偏光状態が一定とはいえず、偏光状態の予測も困難である。
【０００６】
尚、一定の偏光状態を得るために、他の変調器を用いて偏光方向を制御することも考えられなくはない。一例によれば、リチウムナイオベート(LiNbO3)変調器やピエゾ素子を用いた偏光コントローラが偏光方向を制御できる技術の例として挙げられる。即ち、出力信号の偏光が最大になるように偏光コントローラによって偏光状態を変更し、入力の偏光状態が変化しても出力される偏光状態が最大かつ一定となるように追随するようシステムを構成することとなる。
【０００７】
しかしながら、このようなシステムでは、コントローラの制御速度が入力光信号の偏光変化に比べて遅いとその制御は不完全なものとなる。更に、このような装置を用いた場合、最大となっている偏光状態とそれに直行する偏光状態の信号を同時に検出することは困難である。
【０００８】
更に、一般に光計測機器の内部には通常なんらかの光学素子が用いられているが、その一部には偏光依存性があるものがあり、そのために光入力信号の偏光状態を光計測機器の偏光依存特性に合わせておくか、或いは計測器内部でその偏光依存性を解消する仕組みが求められている。従って、別体の装置を計測器本体の入力部に装着することで、入力する光の偏向状態を制御し、光計測機器内部を変更すること無く、偏光状態に無依存な測定ができるようにすることは、既存の装置の性能を高めるという点で重要である。
【０００９】
【特許文献１】特公平６−６３８４９号
【特許文献２】特開平１０−１９７３５０号
【特許文献３】特開２０００−２７７３２９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従って、本発明は、光サンプリング・オシロスコープ等光計測機器の被測定光信号の偏光依存性を容易に解消することのできる測定方法、及びそのための比較的単純な構成の装置を提供することを第１の目的とする。
【００１１】
更に、本発明は、既存の測定装置の入力段に設置され、その測定装置を利用しつつ偏光無依存の光信号測定を可能にする別体のモジュールを提供することを第２の目的とする。
【００１２】
一般に、光サンプリング・オシロスコープは、リアルタイム・オシロスコープと異なり、観測される信号が繰り返し信号であることを前提としている。そのために、厳密な意味では異なるものの、同じ時間軸上で同等と考えられる測定点が複数回、観測できる。即ち、本発明は、この光サンプリングの原理を利用しつつ、偏光依存性を解消させることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
即ち、本発明による光信号波形の測定方法は、入力された光信号の異なる偏光成分を分離して、共通する偏光成分を有する光信号とし時分割にして多重化する第１の工程と、多重化した光信号を測定する第２の工程とを有する。第１の工程では、入力された光信号を、異なる角度方向の偏光成分、典型的には相互に直交する方向の第１及び第２の成分に分ける工程と、両成分の偏光状態が共通したものになるように変換する工程とを有する。変換された第１及び第２の成分は、時分割して、共通の出力に出力される。
【００１４】
かかる方法の後段である第２の工程、即ち測定の工程は、既存の光サンプリング波形測定装置によって行われる一方で、前段である第１の工程、即ち信号変換の工程は、装置内部に組み込まれるものに限らず、装置本体と別体のモジュールによって構成され得る。即ち、モジュールは、偏光成分を分離する手段、分離された成分を共通の偏光成分を有するように変換する手段、及びそれらを時分割して共通の出力に出力する手段を含む。これらの各手段は、個別に設けられても良いが、共通する手段とされても良い。
【００１５】
上述のモジュールにおける各手段の動作は、トリガーとなる適当な制御信号をもとに、光サンプリング波形測定装置に同期するようにして行われる。制御信号は、光サンプリング波形測定装置からの信号であっても良いし、制御信号の生成手段がモジュール内に設けられても良い。
【００１６】
即ち、本発明は、入力された光信号の異なる偏光成分を分離して、共通する偏光成分を有する光信号に変換し時分割にして多重化する第１の工程と、多重化した光信号を測定する第２の工程とを有することを特徴とする光信号波形測定方法を提供する。
【００１７】
好ましくは、前記第１の工程は、入力された光信号を偏光分離し、相互に直交する第１及び第２の成分に分ける工程と、前記第１及び第２の成分の一方の偏光状態を、他方の偏光状態と共通となるように変更する工程と、偏光状態が共通化された前記第１及び第２の成分のうちの一方を、共通の出力に対して時分割にして選択的に出力させる工程とを有する。
【００１８】
好ましくは、前記第１の工程は、所定の時間間隔における入力信号の一部の偏光状態を変更する工程を含む。
【００１９】
好ましくは、前記第２の工程は、前記第１の工程における時分割の信号に同期して第１の工程で出力された光信号の強度を測定する工程を有する。
【００２０】
更に、本発明は、入力光信号の異なる偏光成分を分離して、時分割にして共通する偏光成分の光信号として多重化する信号多重手段と、多重化した光信号の強度を測定する光サンプリング波形測定手段とを有することを特徴とする光信号波形測定装置を提供する。
【００２１】
好ましくは、前記信号多重手段は、入力された光信号を偏光分離し、相互に直交する第１及び第２の成分に分ける偏光分離素子と、前記第１及び第２の成分の一方の偏光状態を、他方の偏光状態と共通となるように変更する偏光回転子と、偏光状態が共通化された前記第１及び第２の成分のうちの一方を、共通の出力に対して時分割にして選択的に出力させる光スイッチとを有する。
【００２２】
好ましくは、前記光スイッチは、光サンプリング多重化スイッチ、及び該スイッチの制御パルス発振装置から構成される。
【００２３】
好ましくは、前記偏光回転子は、半波長板から構成される。
【００２４】
好ましくは、前記信号多重手段は、偏光変調器を含む。
【００２５】
好ましくは、前記信号多重手段及び前記光サンプリング波形測定手段の動作を同期させる同期信号形成手段が設けられる。
【００２６】
好ましくは、前記同期信号形成手段は、前記信号多重手段及び前記光サンプリング波形測定手段のいずれかに設けられる。
【００２７】
更に、本発明は、入力光信号の異なる偏光成分を分離して、時分割にして共通する偏光成分の光信号として多重化する信号多重手段を備え、後段に位置する別体の光サンプリング波形測定装置に同期して動作するように接続されて使用され、使用により前記光サンプリング・オシロスコープにおける測定の偏光依存性を解消できることを特徴とする測定用補償モジュールを提供する。
【００２８】
好ましくは、前記信号多重手段として、入力された光信号を偏光分離し、相互に直交する第１及び第２の成分に分ける偏光分離素子と、前記第１及び第２の成分の一方の偏光状態を、他方の偏光状態と共通となるように変更する偏光回転子と、偏光状態が共通化された前記第１及び第２の成分のうちの一方を、共通の出力に対して時分割にして選択的に出力させる光スイッチとを有する。
【００２９】
好ましくは、前記信号多重手段として、偏光変調器を含む。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、被測定信号の偏光依存性を比較的に容易に解消できる方法、及びそのための比較的単純な構成の装置が提供される。この装置は、既存の装置に追加することのできるモジュールとして提供され得るので、ユーザが必要に応じて追加的に利用することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下に添付図面を参照して、本発明の好適実施形態となる光計測機器における偏光依存性を解消した測定方法、及びそのために使用される装置、測定用補償モジュールについて詳細に説明する。
【００３２】
図１は、本発明による測定方法に基づく測定装置の第１の実施形態を説明する概略図である。  本発明は、光サンプリング・オシロスコープ等多くの光計測機器での応用が可能であるが、ここでは通信用光サンプリング・オシロスコープでの応用例について記載する。測定装置１０は、装置本体２０とモジュール３０とを有する。装置本体２０は、光サンプリング・オシロスコープであり、既存の装置であっても良い。例えば、Agilent Technologies Inc.社製の８６１１９Ａのシステムが使用され得る。実施形態では、モジュール３０は、装置本体２０とは別体のものとして説明するが、必ずしも別体のものに限らず、モジュール３０の機能を装置本体２０が内蔵する構成であっても良い。
【００３３】
モジュール３０は、入力ポート４０及び出力ポート５０を有し、それらの間に偏光分離素子６０及び光スイッチ７０を備える。偏光分離素子６０と光スイッチ７０との間には、一対の光路８１、８２が構成される。即ち、光スイッチ７０は、一対の光路８１、８２のいずれかに選択的に光学接続されるように配置される。このうち一方の光路８１（本実施形態では、入力４０から直線的に延びる光路であり、後述の如く水平偏光成分を伝播させる光路）には、半波長板８３が配置される。この素子の機能については後述する。
【００３４】
光スイッチ７０は、コントローラ９０の制御により動作する。図面中には、コントローラ９０は、モジュール３０に含まれる構成にして説明するが、装置本体２０に設けられても良いし、装置本体２０及びモジュール３０とは全く別に設けても良い。本実施形態では、コントローラ９０は、外部からトリガ信号５５を受ける構成とされるが、コントローラ９０が、モジュール３０の外部に設けられる場合には、モジュール３０には制御用電気信号を受けるためのポート（図示せず）が設けられる。
【００３５】
次に装置１０の各要素の作用とともに、測定方法の詳細について説明する。装置１０は、モジュール３０の入力ポート４０で被測定光信号（Ｔ）を受ける。被測定光信号（Ｔ）は、偏光分離素子６０によって垂直偏光成分と水平偏光成分とに分離される。ここで、「分離」は、２つの直交する成分への分離が目的であり、重力に対しての垂直・水平は意味をなさない。偏光分離素子６０によれば、高い消光比を有する素子を用いると１０−６程度の精度での分離が可能であるが、後段の波形測定に係る光サンプリング・オシロスコープ２０の性能を考慮すると、本装置の動作には、１０−３程度で十分である。水平偏光成分は光路８１に、垂直偏光成分は光路８２にそれぞれ導かれる。
【００３６】
光路８１に導かれる水平偏光成分は、その入力信号に対して半波長板８３又はそれと同等の機能を有する他の種類の素子によって、もう片方の分離された偏光成分と同じ偏光状態（この場合、垂直偏光）へと偏光状態を回転させる。その結果、２つの信号の偏光状態は同じ直線偏光となる。通常、半波長板８３のリターデーション交差は波長λに対して、λ/５００程度であるので、この交差によって生じる誤差は１０−４以下に抑えることが可能である。また２つの信号の光学軸の違いによる誤差は半波長板８３の取り付け角度の精度によって決定されるが、１０分程度の精度での取り付けが容易に可能なので、これによる誤差は１０−５以下にすることができる。分離した２つの成分光路差はできる限り少なくすることが望まれる。一般に偏光分離と半波長板の機能を有した素子としてサバール板があり（図示せず）、これを用いて偏光分離素子６０と半波長板８３の部分を置き換えることも可能である。
【００３７】
モジュール３０内で最終段に置かれる光スイッチ７０によれば、光学結合される光路垂直偏光成分若しくは垂直偏光成分へと偏光状態を回転した水平偏光成分を選択的に取り出すことが可能である。即ち、出力される光の偏光状態は常に垂直偏光成分のみとされる。この光スイッチ７０にはリチウム酸ニオブを用いたLN変調器、ポッケルス効果を用いた変調器等が適用可能である。これらのスイッチの消光比は通常１０−３程度であるので、十分使用可能である。以上に述べたような偏光分離素子６０、半波長板８３、光スイッチ７０を用いると、光学的なＳ／Ｎ比を２０ｄＢ以上にすることが容易に可能であり、この値は適応される光サンプリング・オシロスコープのＳ／Ｎ比よりも大きく、光学的な観点からはこの装置を装着したことによる測定結果の劣化は発生しない。入力される光信号はこの実施例においては、１．５μｍ〜１．６μｍであるが、波長にあった素子を選択することで、０．５μｍ〜２μｍの範囲で的確に動作する。
【００３８】
前述のように、光スイッチ７０は、スイッチ・コントローラ９０によって制御されるが、このとき光スイッチ７０は、光サンプリング・オシロスコープ２０と同期をとるようにして動作される。コントローラ９０の位置は前述のように限定されないが、コントローラ９０と光サンプリング・オシロスコープ２０とは、共通のトリガ５５により動作される。一例としてトリガ５５の発生は、光サンプリング・オシロスコープ２０で行われ、これをモジュール３０が取り込む構成とされ得るが、逆にモジュール３０内でトリガを発生する構成、或いは光サンプリング・オシロスコープ２０及びモジュール３０の外部にトリガ発生手段を備える構成も実現可能である。
【００３９】
光サンプリング・オシロスコープ２０において、本装置を用いる利点はそのサンプリング周波数が比較的低速であるために、光スイッチ７０の切替スピードを遅くすることができる点である。切替速度はサンプリング・オシロスコープのサンプリング速度に合わせることによりスループットを高めることができる。一方、切替速度が早く出来ない場合には、サンプリング・オシロスコープのサンプリング速度を遅くすることで対応できる。光サンプリング・オシロスコープのサンプリング速度は数十ＫＨｚであり、広く入手可能な光スイッチの切替速度に比べ十分小さい。このために本装置は廉価に構築できる。
【００４０】
図示されるように、光スイッチ７０は光路８１、８２からの光信号を時分割にして通過させ共通の出力ポート５０へ出力する。出力ポート５０からの信号は、光サンプリング・オシロスコープの測定用の入力光ポート２１へと導入される。導入された光は、モジュール３０と接続されないときの被測定光の測定と同様にして、サンプリング・オシロスコープで測定される。
【００４１】
サンプリング・オシロスコープで測定された信号は、いずれの偏光状態の信号であるかをサンプリング・オシロスコープ側で判断し、内部のメモリに格納する。この判断は、コントローラ９０の制御信号と光サンプリング・オシロスコープ２０の動作とを同期する同期信号を基準にして行われる。前述のように、本実施形態では、同期は光サンプリング・オシロスコープで発生した共通トリガ５５により行われるので、判断は、このトリガ信号を基準にして行われ得る。判断の際、或いはそれに先立って、各偏光成分による光サンプリング・オシロスコープ入力端子までの光路差の違いによる時間の違いを考慮した補正が行われ得る。従って、格納される信号値は補正されたものとされ得る。尚、この光路差についての補正値は別途実験をもって測定する。共通トリガを、モジュール或いは外部に別途設けた手段により発生させた場合、トリガ信号の伝送に関する要素も含めた補正が行われる。
【００４２】
格納されたデータからプロセッサで光の強度を計算する。垂直偏光と水平偏光から得られた信号の光強度をそれぞれ、P_v、P_hとすると全体の光強度P_totalは
P_total  ＝  P_v  ＋  P_ｈ              （式１）
となる。この値がサンプリング・オシロスコープのディスプレイに表示される。また、各々の偏光状態の強度P_v、P_hを光サンプリング・オシロスコープのディスプレイに表示することも可能である。
【００４３】
ここでP_ｖとP_hの同時点におけるデータとは、これら二つのデータがサンプリング・オシロスコープの時間分解能ΔＴよりも小さいと判断された値になったときのものと定義する。ΔＴは光サンプリング・オシロスコープのジッタよりも十分小さな値が望まれ、本実施形態では５ｆｓ（フェムト秒）とした。
【００４４】
サンプリングの方法には主にシーケンシャル・サンプリングとランダム・サンプリングがある。シーケンシャル・サンプリングにおいて本装置を応用した場合、P_v、P_hは交互にかつ時間分解能ΔＴよりも短い時間で測定が可能になるので、先に述べた方法のようにデータをすべて格納してから光強度を計算するのではなく、連続して測定されたP_v、P_hを式１を用いて計算することも可能である。この場合、メモリの量は軽減される。
【００４５】
図２は、本発明による測定方法に基づく測定装置の第２の実施形態を説明する概略図である。本実施形態による測定装置１１０は、やはり装置本体（即ち、光サンプリング・オシロスコープ）１２０とモジュール１３０とから構成され、それらは共通のトリガ１５５によって同期して動作するよう構成される。モジュール１３０内には、トリガ１５５を受けるコントローラ１９０が配置される。本実施形態においても、トリガ１５５の発生手段は、光サンプリング・オシロスコープであるとして説明されるが、前述のように、発生手段は、モジュール１３０或いは外部に別途設けた手段としても良い。
【００４６】
第１の実施形態と相違するのは、第１の実施形態となる装置で使用している偏光分離素子、半波長板、光スイッチを偏光モジュレータ１６５で置き換えて構成した点である。本発明で使用される典型的な偏光モジュレータ１６５は、ＬＮ偏光変調器と呼ばれ、電圧を印加したときにのみ、ポートより入力された光の偏光方向を電圧に応じた角度だけ偏光変調させることのできる装置として知られている。
【００４７】
即ち、本実施形態では、この偏光モジュレータ１６５を利用して、偏光方向を９０度偏光変調するように電圧を設定し、この電圧のオン・オフ切り替えを行う。これによって、入力ポート１４０から入力された被測定光（Ｔ）は、第１の実施形態と同様に、９０度異なる偏光成分で時分割され、且つ、共通の偏光方向を有するようにして出力ポート１５０から出力される。
【００４８】
ＬＮ偏光変調器は近年、高速動作するものが入手可能である。本実施形態の利点は、装置（即ちモジュールについても同様）を構成する素子の数を減らすことで、より単純な構成とすることができ、且つ安価にして装置を製造できる点である。他の基本的な作用は第1の実施形態におけるものと共通するので、説明を省略する。
【００４９】
以上のように、本発明の好適実施形態となる光計測機器における偏光依存性を解消した測定方法、及びそのために使用される装置、測定用補償モジュールについて説明したが、これはあくまでも例示的なものであり、本発明を制限するものではなく、当業者によって更に様々な変形・変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明による測定方法に基づく第１の実施形態となる測定装置を説明する概略図。
【図２】本発明による測定方法に基づく第２の実施形態となる測定装置を説明する概略図。
【符号の説明】
【００５１】
１０、１１０    測定装置
２０、１２０    光サンプリング・オシロスコープ
３０、１３０    モジュール
４０、１４０    入力ポート
５０、１５０    出力ポート
５５、１５５    トリガ
７０    光スイッチ
９０、１９０    コントローラ
１６５    偏光モジュレータ
【図１】
2005091130.tif 000003
【図２】
2005091130.tif 000004