(57)【要約】【課題】  三次元加工物の形状を他物体の形状と比較することで評価する際に、確実に、評価対象となる位置での誤差を評価することのできる三次元形状評価方法を提供する。【解決手段】  計測子が三次元加工物上の計測点と接触した状態で計測子中心位置を頂角とする円錐形状の誤差評価範囲を設定し（Ｓ１〜６）、誤差評価範囲内で計測子中心から他物体の形状上に引いた線が他物体の形状上で面直となる面直点を検索し（Ｓ７）、最も遠くにある面直点と接触点までの距離を誤差として算出する（Ｓ８〜１４）。一方、面直点を検出できない場合に、円錐の頂角角度を広くして誤差評価範囲を設定し（Ｓ２０）、広く設定された誤差評価範囲内で面直点を検索する（Ｓ７）。【選択図】            図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
三次元形状計測装置における計測子が三次元加工物上の計測点と接触した状態における前記計測子の中心位置を頂角として、少なくとも前記計測点を含み前記計測点方向に広がる円錐形状の誤差評価範囲を設定する誤差評価範囲設定手段と、
前記誤差評価範囲内で前記計測子中心から他物体の形状上に引いた線が前記他物体の形状上で面直となる面直点を検索し、検出した前記面直点から前記計測子と前記計測点が接触した接触点までの距離を誤差として算出する誤差算出手段と、
を有することを特徴とする三次元加工物評価装置。
【請求項２】
前記誤差算出手段は、前記面直点が２つ以上検出された場合に、検出された２つ以上の面直点のうち、少なくとも１つの面直点が前記計測子の中心位置よりも前記計測点側にある場合には、最も遠くにある面直点と前記計測子と前記計測点が接触した点までの距離を誤差として算出し、検出された２つ以上の面直点のすべてが、前記計測子の中心位置よりも前記計測点とは反対側にある場合には、前記計測子の中心位置の最も近くにある面直点と前記計測子と前記計測点が接触した点までの距離を誤差として算出することを特徴とする請求項１記載の三次元加工物評価装置。
【請求項３】
前記誤差算出手段が前記面直点を検出できない場合に、誤差評価範囲設定手段は、前記円錐の頂角の角度を広くして前記誤差評価範囲を設定し、前記誤差算出手段は、広く設定された前記誤差評価範囲内で前記面直点を検索することを特徴とする請求項１または２記載の三次元加工物評価装置。
【請求項４】
三次元形状計測装置における計測子が三次元加工物上の計測点と接触した状態における前記計測子の中心位置を頂角として、少なくとも前記計測点を含み前記計測点方向に広がる円錐形状の誤差評価範囲を設定する段階と、
前記誤差評価範囲内で前記計測子中心から他物体の形状上に引いた線が前記他物体の形状上で面直となる面直点を検索する段階と、
前記面直点を検出した場合に、検出した前記面直点から前記計測子と前記計測点が接触した接触点までの距離を誤差として算出する段階と、
を有することを特徴とする三次元加工物評価方法。
【請求項５】
前記面直点が２つ以上検出された場合に、検出された２つ以上の面直点のうち、少なくとも１つの面直点が前記計測子の中心位置よりも前記計測点側にある場合には、最も遠くにある面直点と前記計測子と前記計測点が接触した点までの距離を誤差として算出し、検出された２つ以上の面直点のすべてが、前記計測子の中心位置よりも前記計測点とは反対側にある場合には、前記計測子の中心位置の最も近くにある面直点と前記計測子と前記計測点が接触した点までの距離を誤差として算出することを特徴とする請求項４記載の三次元加工物評価方法。
【請求項６】
前記面直点を検出できない場合に、前記円錐の頂角の角度を広くして前記誤差評価範囲を設定し、広く設定された前記誤差評価範囲内で前記面直点を検索することを特徴とする請求項４または５記載の三次元加工物評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、三次元加工物評価装置およびその方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
三次元加工物の形状評価方法としては、三次元計測装置を利用して三次元加工物の三次元形状を計測し、その計測結果を加工物の設計データと比較することで、その製品の完成精度を確認するものがある。
【０００３】
従来の三次元加工物評価方法としては、あらかじめ記憶されている形状データベースと三次元計測装置によって計測された被計測物の計測データから、計測データの近傍面を抽出すると共に、基準曲面上の対応点を計算して、求まった対応点の中から最も近い近傍点を抽出し、この近傍点と計測データとの距離を計算することで、被計測物の形状とその設計データとの比較を行うこととしている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平０７−０２１２３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このような三次元加工物評価方法の利用形態の１つとして、被計測物である三次元加工物そのものの設計データを加工物の計測結果を比較するのではなく、その加工物と当接する他の物体（以下、他物体と称する）の形状データ（その物体の設計データまたは計測された形状データ）と比較することで、その三次元加工物の完成精度を評価することがある。
【０００５】
これは、たとえば、ある製品を加工するためにその製品を支持したり、クランプしたりするための冶具のできあがり精度を評価する場合にこのような方法がとられている。すなわち、被計測物である冶具の三次元形状を三次元形状計測装置により計測した後、他物体としてこの冶具と当接する製品の形状データとを比較するものである。
【０００６】
しかしながら、従来の三次元加工物評価方法では、計測子が被計測物と接触したときの計測子中心の三次元位置と、設計データ上での面直方向の最短距離とを比較してしまうため、このような他物体の形状データと比較する場合、たとえば、図１４に示すように、被計測物５の計測点１０に計測子１２０が接触した時点で、この計測点方向で実際に被計測物と他物体３が接触するであろう評価基準点（図１４中Ａ点）より距離の近い他物体上の面直点（図１４中Ｂ点）がある場合、この点Ｂを評価の基準点として、計測子中心位置１から点Ｂまでの距離を誤差として出力してしまうことがある。
【０００７】
このようにして出力された誤差は、評価目的とする誤差とは違うものであり、結果として誤差評価を誤ってしまうといった問題がある。
【０００８】
また、図１５に示すように、他物体３の形状データが、２重になっている部分では、実際に被計測物５と接触するのは、他物体の下側面の点Ａ２であるにも関わらず、被計測物５と計測子１２０が接触した時点で、他物体３の上側の点Ａ１の方が計測子中心位置１に近いため、計測子中心位置１からこの上側面の点Ａ１までの距離を誤差として出力してしまい、実際に加工物の評価として必要な下側面の点Ａ２との誤差が出力されず、この場合も誤差の評価を誤ってしまうという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、三次元加工物のできあがりの評価を他物体の形状と比較する際に、確実に、評価対象となる位置で誤差を評価することのできる三次元形状評価装置、およびその方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的は、三次元形状計測装置における計測子が三次元加工物上の計測点と接触した状態における前記計測子の中心位置を頂角として、少なくとも前記計測点を含み前記計測点方向に広がる円錐形状の誤差評価範囲を設定する誤差評価範囲設定手段と、前記誤差評価範囲内で前記計測子中心から他物体の形状上に引いた線が前記他物体の形状上で面直となる面直点を検索し、検出した前記面直点から前記計測子と前記計測点が接触した接触点までの距離を誤差として算出する誤差算出手段と、を有することを特徴とする三次元加工物評価装置によって達成される。
【００１１】
また、上記目的は、三次元形状計測装置における計測子が三次元加工物上の計測点と接触した状態における前記計測子の中心位置を頂角として、少なくとも前記計測点を含み前記計測点方向に広がる円錐形状の誤差評価範囲を設定する段階と、前記誤差評価範囲内で前記計測子中心から他物体の形状上に引いた線が前記他物体の形状上で面直となる面直点を検索する段階と、前記面直点を検出した場合に、検出した前記面直点から前記計測子と前記計測点が接触した接触点までの距離を誤差として算出する段階と、を有することを特徴とする三次元加工物評価方法によって達成される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、円錐形状の誤差評価範囲を設定したので、計測点の在る部分と当接する予定の他物体部分との誤差を確実に評価することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を適用した実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
図１は本発明による三次元加工物評価装置を用いた被計測物の誤差評価を行うための設備例を示す概略図であり、図２は、三次元加工物評価装置の機能を説明するためのブロック図である。
【００１５】
被計測物の誤差評価を行うための設備は、本発明を適用した三次元加工物評価装置１００と、被計測物５を三次元計測する三次元計測装置１１０と、からなる。
【００１６】
三次元加工物評価装置１００には、過去の計測データや他物体の形状データを記憶したデータベース装置１３０、ディスプレイ１４１、およびプリンタ１４２などが接続されている。
【００１７】
三次元計測装置１１０は、先端に計測子１２０が取り付けられていて、この計測子１２０を自在に動かすことのできるロボット１２１からなる計測機１１１と、この計測機１１１の動作を制御すると共に、計測データを記憶するコントローラ１１２とから構成されている。なお、このような差次元計測装置は、従来からあるものであり、特別のものではない。
【００１８】
ここで、計測対象となっている三次元加工物（被計測物５）は、自動車車体のパネル部材を保持するための冶具である。したがって、この被計測物である冶具のできあがり誤差を評価するために用いる形状データ元となる他物体は、自動車車体のパネル部材となる。
【００１９】
本実施の形態の三次元加工物評価装置１００は、図２に示したように、データ入出力部１０１、誤差評価範囲設定部１０２、誤差算出部１０２よりなる。
【００２０】
データ入出力部１０１は、三次元計測装置１１０のコントローラ１１２およびデータベース装置１３０から、計測された被計測物５の三次元データ（計測子の位置データ）および他物体の形状データを取得する。
【００２１】
誤差評価範囲設定部１０２は、誤差評価範囲設定手段であり、後述するように、誤差を評価するための範囲を設定する。
【００２２】
誤差算出部１０２は、誤差算出手段であり、後述するように、誤差評価範囲において、計測点と他物体上でこの計測点と当接する部分との誤差を算出する。
【００２３】
なお、この三次元加工物評価装置１００は、実際にはコンピュータであり、各部の機能はこのコンピュータによって後述する手順を処理するため作成されたプログラムが実行されることにより提供される。
【００２４】
次に、このように構成された三次元加工物評価装置１００の作用について説明する。なお、ここでは、１つの計測点における他物体の形状データとの誤差を求める手順について説明するが、実際には、通常、被計測物上にあらかじめ決められた複数の計測点において同様の手順により他物体形状との誤差を求めることになる。
【００２５】
図３は、上記装置による誤差評価の処理手順を示すフローチャートであり、図４〜図１３は、誤差評価の処理状態を説明するための説明図である。
【００２６】
まず、データ入出力部１０１が、データベース装置１３０から他物体３の形状データを取り込む（Ｓ１）。他物体３の形状データは、たとえば、設計データや実際に他物体３を三次元計測して得られた形状データなどである。
【００２７】
続いて、データ入出力部１０１が、三次元形状計測装置１１０から被計測物５のあらかじめ決められた計測点１０へ計測子１２０を接触させたときの計測子中心位置１（三次元形状計測装置によって得られている座標位置）を取り込む（Ｓ２）。なお、この計測子中心位置１のデータは、あらかじめすべての計測点１０を三次元計測装置１１０によって計測した後のデータであってもよいし、１つ計測した後この処理に入ってもよい。また、このとき同時に計測子の形状データ（計測子球の半径など）もいっしょに取り込む。
【００２８】
また、取り込んだ他物体の形状データ、計測子中心位置のデータ、および計測子の形状データなどは、同一座標系上にマッピングする。このとき他物体の形状データは、同一座標系内においてあらかじめ配置された被計測物の全体基準点の位置に対して他物体の形状データの全体基準点が一致するように配置される。これは、誤差評価を行う場合の全体の位置合わせを行うためである。
【００２９】
被計測物においては、計測点の１点を全体基準点とする場合、他物体形状における全体基準点は、この計測点と当接する予定の位置に設けられる。これにより、被計測物と他物体との全体の位置決めが行われる。
【００３０】
続いて、誤差評価範囲設定部１０２が、図４に示すように、計測子中心位置１を通る計測点１０の面直方向の任意の位置に計測補助点２を設定する（Ｓ３）。この計測補助点２は、誤差を検出する方向を定めるためのものである。
【００３１】
計測補助点２の設定は、たとえば、あらかじめ計測点位置を決める際に一緒に決定しておくとよい。その場合、この計測補助点２は、計測点１０に対して面直方向から計測子を進入させる場合、その計測子進入方向上で計測子停止位置（計測点１０と接触して停止した位置）から一定距離前の位置とするとよい。また、計測子の進入方向が計測点１０の面直方向からではない場合には、オペレータによって計測点１０上での面直方向を決めて、そこから任意の距離離れた点としたり、または、被計測物の設計形状から面直方向を算出し、任意の距離離れた点としたり、さらには、注目する計測点１０を含む被計測物の同一面上に複数の他の計測点１０を設定し、それら計測点１０を計測した結果の計測子中心位置１を接続した線に対して面直方向となり、任意の距離離れた点を設定するとよい。
【００３２】
なお、計測点１０から計測補助点２までの距離は、基本的に任意でよいが、たとえば、あらかじめ推定される計測点位置と他物体３との誤差の１〜３倍程度あれば十分である。
【００３３】
続いて、誤差評価範囲設定部１０２は、計測子中心位置１から計測補助点２方向に基準ベクトル４を設定する（Ｓ４）。
【００３４】
続いて、誤差評価範囲設定部１０２は、図５に示すように、基準ベクトル４を中心軸としてあらかじめ決められた範囲の円柱形状の仮誤差評価範囲６を設定する（Ｓ５）。ここで、この仮誤差評価範囲６の大きさは、計測子中心位置１から計測補助点２方向の長さをｄ１とし、計測子中心位置１から計測補助点２の逆方向の長さをｄ２、基準ベクトル４を中心軸とした半径ｄ３の円柱とする。ここで、ｄ１およびｄ２は、少なくとも推定される誤差の２倍以上確保しておく必要がある。これは、この仮誤差評価範囲６内で誤差を評価するため、この仮誤差評価範囲６が小さすぎると評価できなくなるためである。なお、図示する場合には、ｄ１の距離が計測補助点２に達していないが、実際には計測補助点２を越えて設定してもよい。
【００３５】
この円柱形状の仮誤差評価範囲６を設定することで、少なくともこの範囲以外にある他物体３との誤差を誤って評価することを防ぐことができる。しかし、このような円柱形状の場合、図６（ａ）に示したように、他物体３の形状が、Ｌ字形など計測点１０近傍で屈曲している場合、円柱形状（角柱でも同様）の仮誤差評価範囲６では、その範囲内に実際に評価したい計測点１０方向ではなく、Ｌ字の横の部分との距離Δｍを誤って誤差としてしまうおそれがある。
【００３６】
また、このようなＬ字の横の部分３１との近接点を誤評価しないようにするために、たとえば、基準ベクトル４を中心にして設定する円柱を限りなく細くすることも考えられる。しかしながら、このように円柱の形状を細くした場合、たとえば、図６（ｂ）に示すように、限りなく線状に近い形状とした場合、たまたま他物体３の空間３１があると、実際には、誤差評価が可能な部分に計測子中心位置１に対して面直な近接点３５があるにもかかわらず、これを検出することができず、エラーとなって、誤差評価ができなくなるおそれがあり好ましくない。
【００３７】
そこで、このような横方向におけるご評価を防止するために、本実施の形態では、図７に示すように、仮誤差評価範囲６の範囲内に最終的な誤差評価範囲７として、計測子中心位置１を頂点とした円錐を設定する（Ｓ６）。このときこの円錐の誤差評価範囲７は計測補助点２側と、計測点１０側の両方に設定しているが、被計測物と他物体の位置関係として、被計測物に対して、他物体が下に来る場合だけを評価すればよい場合には、計測点側にのみ設定すればよい。また、円錐の大きさは、長さについては、先に設定した仮誤差評価範囲６の範囲、すなわち、ｄ１およびｄ２の長さとするが、円錐の底辺部の幅は、後述するように、頂角の角度によって決定される。なお、ここでは、仮誤差評価範囲６を設定後、誤差評価範囲７を設定しているが、仮誤差評価範囲６は、誤差評価範囲を大まかに決めるために用いているものであり、これは設定しなくてもよい。
【００３８】
このように円錐形状の誤差評価範囲７とすることで、図７に示すように、他物体３がＬ字形状であっても、Ｌ字の横の部分３１との距離を誤差として評価してしまうのを防止することができる。
【００３９】
このとき設定する円錐の頂角θ１は、基本的には、任意であるが、最初は狭く、たとえば、１０度程度にとっておく。これは後述するように、この範囲内で他物体３との面直方向の点が取れない場合にあらかじめ決められた刻み幅で徐々に広くしてゆくためである。なお、ここで任意でよいとしているのは、たとえば、他物体３との誤差を評価する際に、基準ベクトル４の逆方向にまっすぐな位置に他物体３との誤差評価を行う他物体３がないことがあらかじめ分かっているような場合には、初めから広めにとっておいてもよいからである。
【００４０】
続いて、誤差算出部１０２が、図８に示すように、円錐形状の誤差評価範囲７内で、計測子中心位置１から他物体３の形状上に引いた線が他物体３の形状上で面直になる点（面直点８）を検索する（Ｓ７）。なお、図８では、他物体３の形状データが２重となっている部分を示している。
【００４１】
続いて、検索の結果、他物体３の形状データ上で面直となる部分（面直点８と称する）があるか否かを判断する（Ｓ８）。図８に示した例では、存在することになるので、ここではＹｅｓとなる。なお、Ｎｏとなった場合の処理については後述する。
【００４２】
面直点８がある場合には、続いて、その面直点８は計測子中心位置１から面直点８を超えて面直点８方向へ引いたベクトル（外側チェックベクトル４１と称する）上で面直点８よりも外側で他物体３とを交差する部分（外側交差点１９と称する。なお、外側交差点１９は面直ではない）がないか否かを判断する（Ｓ９）。
【００４３】
この判断は、面直点８が他物体３の形状において被計測物５と接触する部分であるか否かを判断するためである。たとえば、図９に示すように、もしここで面直点８よりも遠い位置で他物体形状３６が存在するとすれば、その部分が実際には被計測物５と当接する予定の場所である。したがって、このステップＳ９において面直点８よりも遠い部分でより外側チェックベクトル４１と交差する他物体形状がある場合（Ｓ９：Ｎｏ）は、ステップＳ２０以降へ進むことになる（詳細後述）。
【００４４】
一方、ステップＳ９において、面直点８よりも遠い部分でより外側チェックベクトル４１と交差する他物体形状がなければ（Ｓ９：Ｙｅｓ）、続いて、その面直点は１つか否かを判断する（Ｓ１０）。
【００４５】
ここで、面直点８が１つであれば、その面直点８を誤差計測の基準点とする（Ｓ１１）。
【００４６】
面直点８が２つ以上ある場合は、２つ以上ある面直点８のうち、少なくとも１つの面直点８が計測子中心位置１よりも計測補助点２とは反対側にある場合には、そのうち最も遠い位置にある面直点８を基準点とし、一方、計測子中心位置１よりも計測補助点２側にのみ２つ以上の面直点８がある場合には、最も計測子中心位置１に近い方を基準点とする（Ｓ１２）。
【００４７】
すなわち、図８に示したように他物体３の形状が２重になっている場合には、図１０に示すように、基準ベクトル４と逆方向に存在する２つの面直点８（図８参照）のうち、最も遠い側を基準点１１とする。これにより、他物体形状が２重構造となっている場合でも正確に計測点１０の在る部分と当接する予定の他物体３の位置（すなわち誤差を評価するための点）を見つけだすことができる。
【００４８】
基準点１１が決定された後は、誤差の計算のための処理（Ｓ１３および１４））となる（詳細後述）。
【００４９】
前記ステップＳ８において、面直点８がない場合（Ｓ８：Ｎｏ）、およびステップＳ９において外側交差点１９が存在する場合（Ｓ９：Ｎｏ）は、誤差算出部１０２は、その旨を誤差評価範囲設定部１０１に伝えて、誤差評価範囲設定部１０１が円錐形の誤差評価範囲７の頂角の角度を所定の刻み角度θで広げる（Ｓ２０）。
【００５０】
この処理は、たとえば、図１１に示すように、計測点１０付近の他物体３の形状が誤差評価範囲７内で面直点８を持たないような場合に、図１２に示すように、誤差評価範囲７の頂角をθ２に広げることで、その中に面直点８が存在するか否かを確認できるようにするものである。
【００５１】
続いて、誤差評価範囲設定部１０１は、円錐の頂角が１８０度以下か否かを判断する（Ｓ２１）。ここで円錐の頂角が１８０度を超えてしまうともはやその形状は円錐ではなく、したがって、すでに説明したように、他物体３の形状がＬ字形などの場合に、計測点１０から横方向の近接点を誤評価してしまうため、円錐の頂角を広げていったときに誤差評価範囲７が適切な範囲となるようにここで判断している。
【００５２】
ここで円錐の頂角が１８０度以下であれば、ステップＳ７へ戻り、その後の処理を継続して、面直点が検出されるまで、所定の刻み角度θにより頂角の角度を増加させてゆく。一方、ここで、円錐の頂角が１８０度を超えた場合には、適切な評価を行うための面直点が存在しないので、その旨をエラーとして表示し（Ｓ２２）、処理を終了する。
【００５３】
続いて、誤差計算の処理（Ｓ１３およびＳ１４）を説明する。
【００５４】
まず、誤差算出部１０２が、ステップＳ１２において設定された基準点、あらかじめ設定されている計測子球の半径、計測補助点２の位置から計測子球と計測点１０が実際に接触している位置（これを接触点１４と称する）を算出する（Ｓ１３）。
【００５５】
これは、図１３に示すように、通常、計測子１２０の先端は球状であるため、この球に対して実際に計測点１０と接触している部分がどこにあるのかを確定し、その位置を求める処理である。これには、計測補助点２を利用する。計測補助点２は、前述したように、計測子中心位置１を通り計測点１０に対して面直となる位置としているので、実際に計測点１０と接触する計測子球上の位置は、計測子中心位置１から計測補助点２が在る側とは反対方向の計測子球上の位置となる。
【００５６】
したがって、このようにして得られた接触点１４の位置は、計測子中心位置１から計測子球の半径を基準ベクトル４と反対方向に加算した位置となる。
【００５７】
続いて、誤差算出部１０２は、接触点１４の位置と、先ほど決定された基準点１１との座標上の差を算出することで、誤差１５を算出して、この値を誤差１５としてディスプレイ１４１やプリンタ１４２などに出力し（Ｓ１４）、処理を終了する。
【００５８】
以上本実施の形態によれば、円錐状の誤差評価範囲７を設定したので、他物体３の形状としてＬ字形状などの屈曲した形状が計測点１０付近にある場合でも、計測点１０の在る部分と当接する予定の他物体部分との誤差１５を確実に評価することができる。
【００５９】
また、この円錐形状の誤差評価範囲７は、頂角の角度を徐々に広げて評価することとしたので、計測点１０から面直方向に他物体３上で面直となる点がない場合でも、計測点１０の在る部分と当接する予定の他物体部分との誤差１５を確実に評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明による三次元加工物評価装置を用いた被計測物の誤差評価を行うための設備例を示す概略図である。
【図２】三次元加工物評価装置の機能を説明するためのブロック図である。
【図３】上記装置による評価処理の手順を示すフローチャートである。
【図４】誤差評価の処理状態を説明するための説明図である。
【図５】誤差評価の処理状態を説明するための説明図である。
【図６】誤差評価の処理状態を説明するための説明図である。
【図７】誤差評価の処理状態を説明するための説明図である。
【図８】誤差評価の処理状態を説明するための説明図である。
【図９】誤差評価の処理状態を説明するための説明図である。
【図１０】誤差評価の処理状態を説明するための説明図である。
【図１１】誤差評価の処理状態を説明するための説明図である。
【図１２】誤差評価の処理状態を説明するための説明図である。
【図１３】誤差評価の処理状態を説明するための説明図である。
【図１４】従来の三次元加工物評価における問題点を説明するための説明図である。
【図１５】従来の三次元加工物評価における問題点を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００６１】
１…計測子中心位置、
２…計測補助点、
３…他物体、
４…基準ベクトル、
５…被計測物、
６…仮誤差評価範囲、
７…誤差評価範囲、
８…面直点、
１０…計測点、
１１…基準点、
１４…接触点、
１５…誤差、
１９…外側交差点、
３１…Ｌ字の横の部分、
４１…外側チェックベクトル、
１００…評価装置、
１０１…データ入出力部、
１０２…誤差評価範囲設定部、
１０２…誤差算出部、
１１０…三次元計測装置、
１２０…計測子、
１３０…データベース装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2005091036.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2005091036.tif 000013
【図１２】
2005091036.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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