(57)【要約】      （修正有）【課題】供給ユニットの直進のストロークを簡単に変更でき、一定の剛性を有し、メンテナンス性、耐久性、及び静穏性に優れた電子部品実装装置の提供。【解決手段】所定のピックアップ位置Ｐ１１からピックアップした電子部品ＥＣを基板Ｓに実装するための実装部２１１と、前記ピックアップ位置に電子部品を供給するための供給部２２１とを備えた電子部品実装装置２０１である。供給部は、基台１上の供給ユニット２２３と、この供給ユニットを直進させるための駆動機構２３１よりなる。駆動機構は、前記基台に回転可能に軸支され、前記直進方向に沿って適宜間隔に配列された複数のカムフォロア１１，１１，…１１と、供給ユニットに回転可能に軸支されたカム２１を駆動回転し、前記転動溝に前記複数のカムフォロアを順次転動させることによって、前記直進の軌道上に設定された前記ピックアップ位置に前記供給ユニットを移動させる。【選択図】図１Ａ
2005260180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のピックアップ位置からピックアップした電子部品を基板に実装するための実装部と、前記ピックアップ位置に前記電子部品を供給するための供給部とを備え、
該供給部は、前記電子部品を供給可能に収納するための、基台上に直進可能に案内された供給ユニットと、該供給ユニットを直進させるための駆動機構とを有する電子部品実装装置において、
該駆動機構は、前記基台に回転可能に軸支され、前記直進方向に沿って適宜間隔に配列された複数のカムフォロアと、
前記供給ユニットに回転可能に軸支され、その回転軸を前記直進方向に沿わせて設けられるとともに、前記カムフォロアを係合させて転動させるための転動溝を外周面に有するカムとを備え、
該カムを駆動回転し、前記転動溝に前記複数のカムフォロアを順次転動させることによって、前記直進の軌道上に設定された前記ピックアップ位置に前記供給ユニットを移動させることを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子部品実装装置において、
前記ピックアップ位置を挟む前記軌道上の位置には、前記供給ユニットを待機させるための待機位置が設定されており、
前記駆動機構によって、前記供給ユニットは、前記ピックアップ位置と前記待機位置との間を移動することを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の電子部品実装装置において、
前記供給ユニットは、前記電子部品の種類毎に電子部品の供給口を有し、
これら供給口は、前記直進方向に沿って並設されていることを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項４】
請求項３に記載の電子部品実装装置において、
前記実装部は、主軸回りに回転自在なロータリーヘッドを本体とし、該本体の外周部には、前記主軸の方向に昇降して前記電子部品をピックアップする移載ヘッドが設けられているとともに、前記回転によって前記移載ヘッドが描く軌道上には、前記ピックアップ位置が設定されており、
前記供給ユニットから所望の種類の電子部品を選択的にピックアップする際には、前記所望の種類の電子部品に係る供給口が前記ピックアップ位置に位置するように、前記供給ユニットが移動することを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項５】
請求項３に記載の電子部品実装装置において、
前記実装部は、前記基板の被実装面と平行な平面内を移動可能に案内された移載ヘッドであって、前記平面の法線方向に昇降して前記電子部品をピックアップする移載ヘッドを有し、
前記供給ユニットから所望の種類の電子部品を選択的にピックアップする際には、前記供給ユニットは前記ピックアップ位置から動かずに、前記移載ヘッドが、前記所望の種類の電子部品に係る供給口へ移動することを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の電子部品実装装置において、
前記カムは、前記回転軸方向における両端部を回転可能に軸支され、
前記転動溝は、その回転軸方向に亘ってカムの外周面に形成されるとともに、該回転軸方向における溝位置が、前記カムの円周方向に沿って一方向に変位してなる螺旋状溝であり、
該転動溝を転動するカムフォロアが転動溝から外れる前に、その隣に位置するカムフォロアが転動溝での転動を開始することを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項７】
請求項６に記載の電子部品実装装置において、
前記回転軸方向におけるカムの外周面の全長は、前記直進のストロークよりも短く設定されていることを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載の電子部品実装装置において、
前記転動溝は、互いに対向する一対の内側面と、これら内側面を繋ぐ底面とからなり、前記カムフォロアは、その外周面を前記内側面に当接させて転動することを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項９】
請求項８に記載の電子部品実装装置において、
前記転動溝には、常に二つ以上のカムフォロアが転動し、これらのうちの少なくとも二つのカムフォロアは、前記転動溝の一対の内側面のうちの互いに逆側の内側面を転動していることを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載の電子部品実装装置において、
前記直進方向に沿って配列された複数のカムフォロアからなるカムフォロア列を、複数列並設したことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の電子部品実装装置において、
前記転動溝は、互いに対向する一対の内側面と、これら内側面を繋ぐ底面とからなり、前記カムフォロアは、その外周面を前記内側面に当接させつつ転動し、
各カムフォロア列毎に、その列のカムフォロアが転動する内側面は、いずれか一方の内側面に統一されているとともに、これらカムフォロア列のうちの少なくとも二列は、互いに前記一対の内側面のうちの逆側の内側面を転動することを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれかに記載の電子部品実装装置において、
前記転動溝は、深さ方向に溝幅が狭くなるテーパー溝であり、前記カムフォロアの外周形状は、前記テーパー溝にテーパー勾配を倣わせたテーパー円周形状であることを特徴とする電子部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を基板に実装する電子部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図２１に、電子部品を基板に実装する電子部品実装装置の斜視図を示す。  
図示するように、電子部品実装装置４０１は、所定のピックアップ位置Ｐ１１からピックアップした電子部品ＥＣを基板Ｓに実装するための実装部４１１と、前記ピックアップ位置Ｐ１１に前記電子部品ＥＣを供給するための供給部４２１とを備えている。
【０００３】
前記供給部４２１は、電子部品ＥＣを供給可能に収納する供給ユニット４２３を有している。この供給ユニット４２３は、リニアガイド５，５を介して基台１上に直進可能に案内されており、後述する駆動機構から駆動力を得て、この直進の軌道上を移動する。そして、この軌道上には、前記ピックアップ位置Ｐ１１及び待機位置Ｐ１２が設定されており、前記実装部４１１の要求に従って、適宜、前記要求対象の電子部品ＥＣを収納する供給ユニット４２３が前記ピックアップ位置Ｐ１１へ移動するようになっている。
【０００４】
ところで、前記供給ユニット４２３の駆動機構としては、一般に、ラックアンドピニオン駆動機構やボールネジ駆動機構が使用されている。図２２は、ラックアンドピニオン駆動機構の説明図であり、図２３は、図２２中のXXIII−XXIII線矢視の断面図である。また、図２４は、ボールネジ駆動機構の説明図であり、図２５は、その破断斜視図である。
【０００５】
図２２及び図２３に示すラックアンドピニオン駆動機構は、基台１上面に固定されたラックギヤ１０１と、供給ユニット４２３に回転可能に軸支されたピニオンギヤ１０３とを備え、モータ１０５等で駆動回転するピニオンギヤ１０３の円周歯に、ラックギヤ１０１の直線歯を噛み合わせることによって前記供給ユニット４２３を直進させるようになっている（例えば、非特許文献１を参照）。
【０００６】
そして、この駆動機構によれば、前記両歯の噛み合いによって応力伝達がなされるため、ストレスパス（供給ユニット４２３から基台１への応力の伝達経路）は短く、もってその剛性は高いものとなる。つまり、前記応力の伝達経路は、ラックギヤ１０１の全長を経由しないので、その駆動機構の剛性は高い。
【０００７】
一方、図２４及び図２５に示すボールネジ駆動機構は、基台１上面に設けられて回転軸方向の両端部１１１ａ，１１１ｂを回転可能に軸支されたネジ軸１１１と、供給ユニット４２３に固定されて前記ネジ軸１１１に沿って移動可能なナット１１３とを備えている。図２５に示すように、このネジ軸１１１の外周面及びナット１１３の内周面の両方には螺旋状の転動溝が形成されているとともに、これらの転動溝内には複数の負荷ボール１１５，１１５，…１１５が係合している。そして、当該ネジ軸１１１が駆動回転することによって、負荷ボール１１５，１１５，…１１５が回転軸方向に荷重を受けながら転がり運動をして、これにつられてナット１１３も回転軸方向に移動し、これによって基台１に対して供給ユニット４２３を直進させるようになっている（例えば、非特許文献２を参照）。
【０００８】
そして、このような駆動機構によれば、前記負荷ボール１１５，１１５，…１１５に対して、前記直進方向の前後に予圧を与えることによって、ナット１１３とネジ軸１１１との間のバックラッシによるガタツキを低減可能であり、もって供給ユニット４２３の位置決め精度に優れたものとなる。
【非特許文献１】社団法人日本機械学会「機械工学便覧」新版、社団法人日本機械学会、昭和６３年５月１５日、Ｂ１−１０８
【非特許文献２】社団法人日本機械学会「機械工学便覧」新版、社団法人日本機械学会、１９９１年９月３０日、Ｂ２−１７３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、両者に共通の問題点としては、以下が挙げられる。  
(1)供給ユニット４２３の移動ストロークを簡単に変更できない。すなわち、ラックアンドピニオン駆動機構にあってはラックギヤ１０１の長さによって、またボールネジ駆動機構にあってはネジ軸１１１の長さによって一義的に前記ストロークが決定してしまい、これら駆動機構の設置後に容易に前記ストロークの変更を図れない。  
(2)ラックギヤ１０１やネジ軸１１１の部分的な歯欠け、損傷に対しても、これらラックギヤ１０１及びネジ軸１１１の全体を交換しなければならず、メンテナンス性に劣る。
【００１０】
また、個別の問題点としては、各々以下が挙げられる。  
(1)剛性面で有利なラックアンドピニオン駆動機構は、ピニオンギヤ１０３とラックギヤ１０１の歯同士の間に隙間（バックラッシ）を有し、このバックラッシに起因してガタツキが発生し、供給ユニット４２３の位置決め精度に劣る。また、両歯同士の接触は摺動接触であって転がり接触ではないため、摩耗し易く耐久性に欠け、更に高速駆動時の静穏性も悪い。  
(2)位置決め精度面で有利なボールネジ駆動機構は、供給ユニット４２３から基台１へのストレスパスが、移動ストロークに応じて変化するという欠点を有する。すなわち、供給ユニット４２３から基台１への応力伝達は、図２４に示すように、前記ナット１１３から始まって、これと係合するネジ軸１１１を通りそのネジ軸１１１の両端部１１１ａ，１１１ｂを経由してなされ、もってストレスパスの長さはネジ軸１１１の長さによって変化する。従って、長いストロークが設定された場合には、ストレスパスは長くなる結果、その剛性は著しく低下してしまう。
【００１１】
本発明はかかる従来の課題に鑑みて成されたもので、前記供給ユニットの直進のストロークを簡単に変更できるとともに、前記ストロークによらずほぼ一定の剛性を有し、メンテナンス性、耐久性、及び静穏性に優れた電子部品実装装置を提供することを第１の目的とし、更に供給ユニットの高い位置決め精度を確保可能な電子部品実装装置を提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
かかる目的を達成するために請求項１に示す発明は、所定のピックアップ位置からピックアップした電子部品を基板に実装するための実装部と、前記ピックアップ位置に前記電子部品を供給するための供給部とを備え、該供給部は、前記電子部品を供給可能に収納するための、基台上に直進可能に案内された供給ユニットと、該供給ユニットを直進させるための駆動機構とを有する電子部品実装装置において、該駆動機構は、前記基台に回転可能に軸支され、前記直進方向に沿って適宜間隔に配列された複数のカムフォロアと、前記供給ユニットに回転可能に軸支され、その回転軸を前記直進方向に沿わせて設けられるとともに、前記カムフォロアを係合させて転動させるための転動溝を外周面に有するカムとを備え、該カムを駆動回転し、前記転動溝に前記複数のカムフォロアを順次転動させることによって、前記直進の軌道上に設定された前記ピックアップ位置に前記供給ユニットを移動させることを特徴とする。
【００１３】
上記発明によれば、前記駆動機構のカムを駆動回転することによって、前記供給ユニットを、基台上に設定された前記ピックアップ位置に直進させることができる。  
すなわち、前記カムを駆動回転すると、その外周面の転動溝を前記基台のカムフォロアが転動し、このカムフォロアは前記カムに対して回転軸方向に相対移動する。そして、カムフォロアが回転軸方向に所定量だけ相対移動すると、この転動中のカムフォロアの隣に配されたカムフォロアもカムの転動溝に係合して転動するようになり、これを順次繰り返して、転動溝を転動するカムフォロアは、その回転軸方向に順次移っていく。但し、ここで、前記カムフォロアは基台に固定されているため、絶対運動としては、カムを軸支する供給ユニットの方が直進することになり、これによって供給ユニットは基台を直進する。そして、この直進の軌道上には前記ピックアップ位置が設定されており、もって、前記カムの駆動回転によって供給ユニットを前記ピックアップ位置に移動させることが可能となっている。
【００１４】
なお、この直進のストロークの変更は、その方向に沿ってカムフォロアを設けるだけで容易に行うことができる。すなわち、ストロークを更に延長したい場合には、直進方向に沿ってカムフォロアを追設すれば良く、逆に短縮したい場合には、カムフォロアを取り外せば良い。従って、ストローク調整の自由度に長ける。
【００１５】
また、カムフォロアが異常の場合には、異常のカムフォロアのみを個別交換すれば良く、前記駆動機構のメンテナンス性に優れる。  
更には、前記駆動機構のストレスパスは、カムフォロアと係合する転動溝の部分を始端とし、カムを回転軸方向に経由した後、カムの被支持部分を終端とする。よって、そのストレスパスの長さは、前記直進のストロークに依存せずに専らカム自身によって定まる。従って、前記ストロークを長くしても、駆動機構の剛性が低下することはない。  
更に、カムフォロアは、転動溝を転動する、すなわち転動溝を転がり接触するため、摩耗し難く耐久性に優れ、かつ高速駆動時の静穏性も良い。
【００１６】
請求項２に示す発明は、請求項１に記載の電子部品実装装置において、前記ピックアップ位置を挟む前記軌道上の位置には、前記供給ユニットを待機させるための待機位置が設定されており、前記駆動機構によって、前記供給ユニットは、前記ピックアップ位置と前記待機位置との間を移動することを特徴とする。
【００１７】
上記発明によれば、前記実装部の要求に従って、前記要求対象の電子部品を収納している供給ユニットをピックアップ位置へ移動するとともに、収納していない供給ユニットを待機位置へ移動することができる。  
また、電子部品の補充が必要な供給ユニットを待機位置に移動するとともに、補充済みの供給ユニットをピックアップ位置に移動するようにすれば、前記実装部の実装作業中に、前記待機位置では電子部品の補充作業を行うことができる。従って、前記実装部の実装作業を中断することなく、電子部品実装装置の実装処理能力を高めることが可能となる。
【００１８】
請求項３に示す発明は、請求項１又は２に記載の電子部品実装装置において、前記供給ユニットは、前記電子部品の種類毎に電子部品の供給口を有し、これら供給口は、前記直進方向に沿って並設されていることを特徴とする。  
上記発明によれば、供給ユニットは、前記種類毎に電子部品の供給口を有し、その供給口は、前記直進方向に沿って並設されている。従って、前記直進の軌道上に設定されたピックアップ位置に、何れの種類の電子部品の供給口も位置させることができて、装着部のピックアップ動作を簡略にできる。
【００１９】
請求項４に示す発明は、請求項３に記載の電子部品実装装置において、前記実装部は、主軸回りに回転自在なロータリーヘッドを本体とし、該本体の外周部には、前記主軸の方向に昇降して前記電子部品をピックアップする移載ヘッドが設けられているとともに、前記回転によって前記移載ヘッドが描く軌道上には、前記ピックアップ位置が設定されており、前記供給ユニットから所望の種類の電子部品を選択的にピックアップする際には、前記所望の種類の電子部品に係る供給口が前記ピックアップ位置に位置するように、前記供給ユニットが移動することを特徴とする。  
上記発明によれば、所謂ロータリーヘッド式の実装部を有する電子部品実装装置を構成可能となる。
【００２０】
請求項５に示す発明は、請求項３に記載の電子部品実装装置において、前記実装部は、前記基板の被実装面と平行な平面内を移動可能に案内された移載ヘッドであって、前記平面の法線方向に昇降して前記電子部品をピックアップする移載ヘッドを有し、前記供給ユニットから所望の種類の電子部品を選択的にピックアップする際には、前記供給ユニットは前記ピックアップ位置から動かずに、前記移載ヘッドが、前記所望の種類の電子部品に係る供給口へ移動することを特徴とする。  
上記発明によれば、所謂モジュラー式の実装部を有する電子部品実装装置を構成可能となる。
【００２１】
請求項６に示す発明は、請求項１乃至５のいずれかに記載の電子部品実装装置において、前記カムは、前記回転軸方向における両端部を回転可能に軸支され、前記転動溝は、その回転軸方向に亘ってカムの外周面に形成されるとともに、該回転軸方向における溝位置が、前記カムの円周方向に沿って一方向に変位してなる螺旋状溝であり、該転動溝を転動するカムフォロアが転動溝から外れる前に、その隣に位置するカムフォロアが転動溝での転動を開始することを特徴とする。  
上記発明によれば、カムを一方向に回転することによって、その回転方向に対応する回転軸方向の一方向にカムフォロアを一義的に相対移動させることができる。従って、回転方向を制御することによって、前記供給ユニットを前記軌道上の両方向に移動させることが可能となる。
【００２２】
請求項７に示す発明は、請求項６に記載の電子部品実装装置において、前記回転軸方向におけるカムの外周面の全長は、前記直進のストロークよりも短く設定されていることを特徴とする。  
上記発明によれば、カムの全長を前記直進のストロークよりも短くしているので、前記ストロークの長さの割には、そのストレスパスを短くできて、もって駆動機構の剛性を高く維持できる。よって、前記直進の軌道が長くても、供給ユニットのピックアップ位置への高い位置決め精度を実現可能となる。
【００２３】
請求項８に示す発明は、請求項１乃至７のいずれかに記載の電子部品実装装置において、前記転動溝は、互いに対向する一対の内側面と、これら内側面を繋ぐ底面とからなり、前記カムフォロアは、その外周面を前記内側面に当接させて転動することを特徴とする。  
上記発明によれば、カムフォロアは、その外周面を前記転動溝の内側面に当接させて転動するので、転動溝との係合を確実にすることができる。
【００２４】
請求項９に示す発明は、請求項８に記載の電子部品実装装置において、前記転動溝には、常に二つ以上のカムフォロアが転動し、これらのうちの少なくとも二つのカムフォロアは、前記転動溝の一対の内側面のうちの互いに逆側の内側面を転動していることを特徴とする。  
上記発明によれば、前記転動溝を同時に転動する幾つかのカムフォロアのうちの少なくとも二つのカムフォロアは、互いに逆側の内側面を転動している。従って、転動溝とカムフォロアの外周面との間に隙間（バックラッシ）が存在する場合にあっても、すなわち転動溝幅がカムフォロアの外径よりも大きい場合であっても、これら二つのカムフォロアが、回転軸方向におけるカムとカムフォロアとの間のガタツキを抑制する。そして、その結果、前記供給ユニットのピックアップ位置への高い位置決め精度を実現可能となる。
【００２５】
請求項１０に示す発明は、請求項１乃至９のいずれかに記載の電子部品実装装置において、前記直進方向に沿って配列された複数のカムフォロアからなるカムフォロア列を、複数列並設したことを特徴とする。  
上記発明によれば、カムフォロア列を複列化しているので、カムとカムフォロアとの係合を確実にすることができる。また、各カムフォロアに作用する負荷の分散軽減化が図れてその耐久性が向上する。
【００２６】
請求項１１に示す発明は、請求項１０に記載の電子部品実装装置において、前記転動溝は、互いに対向する一対の内側面と、これら内側面を繋ぐ底面とからなり、前記カムフォロアは、その外周面を前記内側面に当接させつつ転動し、各カムフォロア列毎に、その列のカムフォロアが転動する内側面は、いずれか一方の内側面に統一されているとともに、これらカムフォロア列のうちの少なくとも二列は、互いに前記一対の内側面のうちの逆側の内側面を転動することを特徴とする。  
上記発明によれば、前記複数のカムフォロア列のうちの少なくとも二列は、互いに逆側の内側面を転動している。従って、転動溝とカムフォロアの外周面との間に隙間（バックラッシ）が存在する場合にあっても、これら二列のカムフォロア列が、回転軸方向におけるカムとカムフォロアとの間のガタツキを抑制する。そして、その結果、前記供給ユニットのピックアップ位置への高い位置決め精度を実現可能となる。
【００２７】
請求項１２に示す発明は、請求項１乃至１１のいずれかに記載の電子部品実装装置において、前記転動溝は、深さ方向に溝幅が狭くなるテーパー溝であり、前記カムフォロアの外周形状は、前記テーパー溝にテーパー勾配を倣わせたテーパー円周形状であることを特徴とする。  
上記発明によれば、カムの回転軸とカムフォロア列との間隔の調整によって、カムフォロアと転動溝との当接力を調整可能となり、よって転動溝にカムフォロアを確実に転動させることができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、前記供給ユニットの直進のストロークを簡単に変更できるとともに、前記ストロークによらずほぼ一定の剛性を有し、メンテナンス性、耐久性、及び静穏性に優れた電子部品実装装置を提供することができる。また、供給ユニットの高い位置決め精度を確保可能な電子部品実装装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明に係る実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００３０】
＝＝＝電子部品実装装置の概略構成＝＝＝
図１Ａ及び図１Ｂに、電子部品実装装置を説明するための斜視図及び上面図の一部をそれぞれ示す。なお、説明の便宜上、図１Ａに示すように、互いに直交する３方向を、それぞれＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向と定義する。  
この電子部品実装装置２０１は、所定のピックアップ位置Ｐ１１からピックアップした電子部品ＥＣを、実装位置Ｐ２１に在る基板Ｓに実装するための実装部２１１と、前記ピックアップ位置Ｐ１１に前記電子部品ＥＣを供給するための供給部２２１とを備えている。
【００３１】
−−−（１）実装部−−−
図１Ａに示すように、実装部２１１には、所謂ロータリーヘッド式が採用されている。すなわち、前記実装部２１１は、Ｚ方向に沿う主軸２１３ａ回りに間欠回転するロータリーヘッド２１３を有し、このロータリーヘッド２１３の外周部には、複数の移載ヘッド２１５が設けられている。そして、各移載ヘッド２１５は、前記ロータリーヘッド２１３の間欠回転によって各割り出し位置Ｐ１１，Ｐ２１，…を順次移動し、各割り出し位置Ｐ１１，Ｐ２１，…を停留している間に、各位置Ｐ１１，Ｐ２１，…にそれぞれ対応付けられた処理を行う。
【００３２】
例えば、ピックアップ処理が対応付けられた前記ピックアップ位置Ｐ１１では、移載ヘッド２１５は、前記主軸方向たるＺ方向に昇降動作をし、下端に備える吸着ノズル２１５ａによって、後記供給ユニット２２３の供給口２２３ａから電子部品ＥＣをピックアップする。
【００３３】
一方、実装処理が対応付けられた実装位置Ｐ２１では、移載ヘッド２１５は前記Ｚ方向に昇降動作をして、前記ピックアップした電子部品ＥＣを、可動ステージ２１７に保持された基板Ｓ上に実装する。なお、この可動ステージ２１７は、サーボモータ２１７ａ等によってＸＹ平面内を移動可能に構成されており、当該移動によって、基板Ｓの実装すべき位置が前記実装位置Ｐ２１に揃うように、当該基板Ｓを位置決めする。
【００３４】
なお、ロータリーヘッド２１３を間欠回転させたり移載ヘッド２１５を昇降させるための駆動機構としては、例えば、サーボモータ２１９ａから連続回転が入力される入力軸２１９ｂと、この入力軸２１９ｂの連続回転を間欠回転や往復直線移動に変換する適宜なカム機構２１９とを備えれば達成可能であり、これについての説明は省略する。ちなみに、間欠回転に変換するカム機構としては、所謂グロボイダルカム機構等が挙げられ、また、往復直線移動に変換するカム機構としては、所謂板カムや正面カム等が挙げられる。
【００３５】
−−−（２）供給部−−−
図１Ａに示すように、前記供給部２２１は、前記実装部２１１に隣接配置された基台１と、この基台１上の一対のリニアガイド５，５によりＸ方向に直進可能に案内された複数の供給ユニット２２３と、これら供給ユニット２２３に駆動力を与えて駆動するための駆動機構とを備えている。そして、この供給ユニット２２３が直進するＸ方向の軌道上には、前記ピックアップ位置Ｐ１１及び供給ユニット２２３を待機させるための待機位置Ｐ１２が設定されている。
【００３６】
図１Ａ及び図１Ｂに示すように、供給ユニット２２３は、複数種類の電子部品ＥＣを供給可能に収納するものであり、各供給ユニット２２３は、互いに同じ構成である。すなわち、それぞれに、供給テーブル２２５と、その上に並設された複数のテープフィーダ２２７とを有し、前記供給テーブル２２５が前記一対のリニアガイド５，５を介して前記基台１上に案内支持されている。なお、供給テーブル２２５には、前記駆動機構２３１が設けられている。そして、当該駆動機構２３１が、本発明の電子部品実装装置２０１に係る主な特徴的要素であり、これについては後述する。
【００３７】
図１Ｂに示すように、前記テープフィーダ２２７は、多数の電子部品ＥＣを保持したテープＴをリールに巻き付けたリール体である。そして、ピックアップ処理の度に、供給口としての引き出し端２２７ａまでテープＴをＹ方向に引き出して、当該引き出し端２２７ａに位置する電子部品ＥＣを、前記移載ヘッド２１５によってピックアップするようになっている。
【００３８】
このようなテープフィーダ２２７は、電子部品ＥＣの種類毎に設けられており、各テープフィーダ２２７の前記供給口２２７ａは、前記直進方向たるＸ方向に沿って並設されている。よって、供給ユニット２２３をＸ方向に直進させることによって、前記ピックアップ位置Ｐ１１に、所望の種類の電子部品に係る供給口２２７ａを揃えることができて、もって、移載ヘッド２１５は、所望の電子部品ＥＣをピックアップ位置Ｐ１１からピックアップ可能となっている。
【００３９】
＝＝＝供給ユニットの駆動機構＝＝＝
ここで、本発明に係る特徴的要素たる供給ユニット２２３の駆動機構２３１について、幾つかの実施形態を例示しつつ詳細に説明する。
【００４０】
−−−（１）第１実施形態−−−
図２Ａ、図２Ｂ、及び図３に、第１実施形態の供給ユニットの駆動機構の説明図を示す。図２Ａは、図１Ｂ中のII-II線矢視の正面図である。図２Ｂは、前記駆動機構の一部を破断して示す底面図である。また図３は、図２Ａ中のIII−III線矢視の断面図であって、前記駆動機構が供給ユニット２２３を移動する様子を示している。尚、図３のカムフォロア及び円筒カムの外周面については断面視ではなく側面視で示している。
【００４１】
この駆動機構２３１は、前述したように、基台１に設けられた一対のリニアガイドによって直進可能に案内された供給ユニット２２３を駆動するためのものである。  
この駆動機構２３１は、図２Ａ及び図３に示すように、前記基台１上面に前記直進方向たるＸ方向に沿って等間隔Ｐ０に配置された複数のカムフォロア１１，１１，…１１と、前記供給ユニット２２３の供給テーブル２２５に回転可能に軸支され、その回転軸２１ａを前記Ｘ方向に沿わせて設けられるとともに、前記カムフォロア１１，１１，…１１を係合させて転動させるための転動溝２３を外周面に有する円筒カム２１とを備えている。そして、前記供給テーブル２２５に固設された駆動源３１にて円筒カム２１を駆動回転して、その転動溝２３に前記カムフォロア１１，１１，…１１を順次転動させて当該カムフォロア１１を前記回転軸方向に移動させることによって、前記供給ユニット２２３をＸ方向に直進させるようになっている。
【００４２】
カムフォロア１１は、転動のための回転軸（以下、転動軸と言う）としての略円柱状軸体と、この軸体の一端側をニードルベアリングを介して覆う円筒状外輪１２とを備えた周知構成のものであり、前記軸体の他端側には雄ネジが形成されている。そして、この雄ネジを基台１上面にねじ込み締結することによってカムフォロア１１は基台１上面に立設固定され、当該固定状態において、その外輪１２は転動軸回りに回転自在となっている。  
このようなカムフォロア１１，１１，…１１は、複数が、互いの転動軸を平行に揃えつつ、前記Ｘ方向に沿って一直線上に配されており、もって前記Ｘ方向に沿うカムフォロア列１１ａを構成している。尚、図２Ａに示すように、各カムフォロア１１，１１，…１１の転動軸の延長線上には、後記円筒カム２１の回転軸２１ａが存在し、これと直交するようになっている。
【００４３】
図３に示すように、円筒カム２１は、その回転軸方向における両端部を、ボールベアリング等の軸受け部材４１，４１を介して供給テーブル２２５に回転自在に軸支された略円柱体であり、その外周面の全長は、前記カムフォロア列１１ａの全長よりも短く設定されている。この円筒カム２１の回転軸２１ａは、その回転軸方向を前記Ｘ方向に揃えるべく、図２Ａに示すように前記カムフォロア列１１ａに沿ってその直上に位置しており、もって円筒カム２１の外周面は、前記カムフォロア列１１ａに臨んでいる。この円筒カム２１の外周面には、前記カムフォロア１１，１１，…１１が係合して転動する転動溝２３が形成されている。
【００４４】
図３に示すように、この転動溝２３は、互いに対向する一対の内側面２３ａ，２３ｂと、これら内側面２３ａ，２３ｂを繋ぐ底面２３ｅとからなる。そしてこの内側面２３ａ，２３ｂが転動面として機能して、すなわちこの内側面２３ａ，２３ｂの一方に前記外輪１２を当接させてカムフォロア１１は転動するようになっている。尚、この内側面２３ａ，２３ｂはカムフォロア外輪１２の周面が、転動軸方向に亘って均一に当接するように、前記周面に倣わせて形成され、本第１実施形態にあってはカムフォロア外輪１２が円筒形状であることから、転動軸と平行に形成されている。よって、これら一対の内側面２３ａ，２３ｂの間隔である転動溝幅は、深さ方向に亘って一定となっている。
【００４５】
このような転動溝２３は、外周面における前記回転軸方向の溝位置が、円筒カム２１の円周方向に沿って一方向に変位してなる螺旋状溝に設定されている。図３（ｂ）に示すように、この螺旋状溝は、回転軸方向における全長に亘って連続形成されており、この回転軸方向の一端にはカムフォロア１１を転動溝２３へ導くための入口２３ｃが、また他端にはカムフォロア１１を転動溝２３から出すための出口２３ｄが設定されている。そして、図３（ａ）に示すように、円筒カム２１が回転すると、この転動溝２３を転動中のカムフォロア１１は回転軸方向に送られて、図３（ｂ）に示すように前記他端へと移動する。そして、この他端の出口２３ｄにさしかかると、このカムフォロア１１の隣のカムフォロア１１が前記一端の入口２３ｃから入って転動を開始し、順次これを繰り返して、円筒カム２１を転動するカムフォロア１１は隣から隣へと一方向に順に移っていく。但し、これらカムフォロア１１，１１，…１１は基台１に固定されているため、絶対運動としては、円筒カム２１を軸支する供給テーブル２２５がＸ方向に直進することになり、これによって前記供給ユニット２２３をＸ方向に直進させるようになっている。
【００４６】
なお、この第１実施形態に係る駆動機構２３１は、転動溝２３を同時に転動するカムフォロア１１が基本的に一本であるという一本送りの構成であるが、図３（ｂ）に示すように、転動しているカムフォロア１１が転動溝２３の出口２３ｄから出る際には、入口２３ｃから隣のカムフォロア１１が入って来るため、この時だけは、これら二つのカムフォロア１１，１１が同時に転動溝２３を転動することになる。
【００４７】
円筒カム２１における転動溝２３の螺旋形状は、供給ユニット２２３の移動パターンに応じて適宜変更可能である。例えば、円筒カム２１を等速回転することによって供給ユニット２２３を等速直進させる場合には、前記転動溝２３の螺旋形状を、回転軸方向における溝位置が円筒カム２１の回転量に正比例して変位する等変位曲線にすれば良い。また、供給ユニット２２３を間欠移動させる場合には、すなわち円筒カム２１を等速回転することによって、供給ユニット２２３の直進及び停止を繰り返すようにする場合には、前記転動溝２３の所定位置に、回転しても回転軸方向に溝位置が変位しない形状の溝を形成すれば良い。
【００４８】
円筒カム２１を駆動回転する駆動源３１の一例としては、図２Ａ及び図２Ｂに示すような巻き掛け伝導装置が挙げられる。この巻き掛け伝導装置３１は、供給テーブル２２５に固設されたモータ３３と、前記円筒カム２１の一端部にその回転軸２１ａと同心に固定されたプーリ３５と、このプーリ３５と前記モータ３３の出力回転軸３３ａとに掛け回された無端ベルト３７とから構成される。そして、モータ３３の回転力を無端ベルト３７を介してプーリ３５に伝達して、前記円筒カム２１を回転するようになっている。
【００４９】
ここで、図３を参照しつつ、この第１実施形態に代表される本発明に係る駆動機構２３１の作用を説明する。  
先ず、当該駆動機構２３１は、供給ユニット２２３の移動ストロークを容易に変更可能な点で優れている。つまり、供給ユニット２２３の直進方向に沿ってカムフォロア１１を設けるだけで容易にストローク変更を行える。例えば、ストロークを更に延長したい場合には、直進方向に沿ってカムフォロア１１を追設すれば良く、逆に短縮したい場合には、この短縮分だけカムフォロア１１を取り外せば良い。  
また、メンテナンスの容易性の点でも優れる。すなわち、カムフォロア１１が異常の場合には、異常のカムフォロア１１のみを個別交換すれば良い。  
更には、長い移動ストロークにおいても高剛性を維持可能な点でも優れる。つまり、この駆動機構２３１のストレスパス（基台１から供給ユニット２２３への応力の伝達経路）は、カムフォロア１１と係合する転動溝２３の部分を始端とし、円筒カム２１を回転軸方向に経由した後、前記ローラベアリング４１による円筒カム２１の被支持部分を終端とする。よって、そのストレスパスの長さは、前記移動ストロークに依存せずに専ら円筒カム２１自身によって定まる。従って、図３に示すように長いストロークに設定しても高剛性を維持可能であり、もって、前記供給ユニット２２３の直進の軌道が長くても、前記ピックアップ位置Ｐ１１及び待機位置Ｐ１２への高い位置決め精度を実現できる。  
また、耐久性及び静穏性の点でも優れる。これは、カムフォロア１１が、転動溝２３を転がり接触するためであり、よって摩耗し難くかつ駆動音も小さい。
【００５０】
−−−（２）第２実施形態−−−
図４は、第２実施形態の供給ユニットの駆動機構の断面図であって、駆動機構が供給テーブル２２５を動かす様子を示している。尚、この図４は、前記図３と同じ矢視で示している。また、図５は図４中のＶ部である。図６及び図７は、本第２実施形態を具体的に説明するための説明図であって、バックラッシによるガタツキを抑制する様子を示している。なお、図５乃至７では、カムフォロア１１と転動溝２３との接触状態が明瞭になるように、円筒カム２１をその中心断面で示している。また、前記第１実施形態と同じ構成については同じ符号を付して示し、その同じ構成部分の説明は省略する。
【００５１】
前記第１実施形態では、転動溝２３を同時に転動するカムフォロア１１が基本的に一本である一本送りの構成を示したが、本第２実施形態の駆動機構２３１ａは、図４に示すように、同時に二本のカムフォロア１１，１１が転動溝２３を転動する二本送りの構成になっている点で相違する。
【００５２】
そして、この二本送りの構成によれば、転動溝２３とカムフォロア１１との間のバックラッシによるガタツキを抑制して、供給ユニット２２３の位置決め精度を向上させることができる。ここで、図５を参照しつつ、このバックラッシについて説明すると、このバックラッシＧは、転動溝幅がカムフォロア外径よりも大きいことに起因して生じる両者間の隙間Ｇのことである。つまり、基本的にカムフォロア１１は転動溝２３の一方の内側面２３ｂを転動面にして転動するが、この時、他方の内側面２３ａとの間には隙間Ｇを生じている。そして、このバックラッシＧが存在すると、この隙間Ｇの分だけ円筒カム２１とカムフォロア１１との間で回転軸方向にガタツキを生じてしまい、その分だけ、前記供給ユニット２２３の位置決め精度が悪くなる。
【００５３】
このようなバックラッシＧによるガタツキを抑制すべく、この第２実施形態では、図６及び図７に示すように、転動溝２３を同時に転動する二つのカムフォロア１１，１１が、転動溝２３の一対の内側面２３ａ，２３ｂのうちの互いに逆側の内側面２３ａ，２３ｂを転動面にして転動するようにしている。
【００５４】
このようにする具体的な方法としては、カムフォロア１１，１１，…１１の配置ピッチを工夫する方法と、転動溝２３の螺旋形状を工夫する方法の二つが挙げられる。  
先ず、前者の方法を、転動溝形状が前述の等変位曲線である場合を例に説明する。この方法は、カムフォロア列１１ａを構成するカムフォロア１１，１１同士の配置ピッチを等間隔にせずに、図６に示すように、広いピッチＰ１と狭いピッチＰ２とを交互に繰り返してカムフォロア１１，１１，…１１を配置するものである。尚、この広い方のピッチＰ１は、狭いピッチＰ２よりも前記バックラッシＧの２倍だけ広く設定されている。
【００５５】
そして、このようにすれば、図６（ａ）のように狭いピッチＰ２で隣り合う二つのカムフォロア１１，１１が転動溝２３を転動している時には、これらカムフォロア１１，１１は、それぞれの周面における互いに対向する部分を、互いに逆側の内側面２３ａ，２３ｂに当接させることができる。そして、これらの当接によって、これらカムフォロア１１，１１の間の円筒カム２１の部分２１ｂを挟み込んで円筒カム２１の回転軸方向のガタツキを抑制する。
【００５６】
また、この状態から円筒カム２１が回転すると、これらカムフォロア１１，１１は出口２３ｄの方へと移動し、もって一方のカムフォロア１１を転動溝２３に残しつつ、他方のカムフォロア１１は出口２３ｄから出るが、この時、図６（ｂ）に示すように、転動溝２３の入口２３ｃからは、前記転動溝２３に残ったカムフォロア１１と隣り合うカムフォロア１１が入って来る。ここで、このカムフォロア１１と、転動溝２３に残ったカムフォロア１１との間隔は広いピッチＰ１に設定されている。このため、このカムフォロア１１は、転動溝２３に残ったカムフォロア１１が当接する内側面２３ａと逆側の内側面２３ｂに当接することができて、もってこれらの当接によって、これらカムフォロア１１，１１の間の円筒カム２１の部分２１ｂを引張って円筒カム２１の回転軸方向のガタツキを抑制する。
【００５７】
以降、円筒カム２１の回転による直進に伴って、これを順次繰り返すことによりバックラッシのガタツキを抑制しながら供給ユニット２２３を直進させるようになっている。
【００５８】
次に後者の方法を、カムフォロア列１１ａのカムフォロア１１，１１，…１１が等間隔Ｐ０に配置されている場合を例に説明する。  
先ず図７を参照して、この駆動機構２３１ａによる円筒カム２１の直進動作について概略説明する。図７（ａ）にその動作の初期状態を示すが、転動溝２３を転動する二つのカムフォロア１１，１１は、それぞれの周面における互いに対向する部分を、互いに逆側の内側面２３ａ，２３ｂに当接させている。そして、これにより、これら内側面２３ａ，２３ｂの間の円筒カム２１の部分２１ｂを挟み込んでガタツキを抑えながら、円筒カム２１の回転によって、これらカムフォロア１１，１１は回転軸方向に転動溝２３の出口２３ｄの方へ向けて移動し、絶対運動としては円筒カム２１が直進するようになっている。最終的には、図７（ｄ）に示すように、一方のカムフォロア１１を出口２３ｄから出して、その代わりに次のカムフォロア１１を入口２３ｃから転動溝２３に入れることによって、円筒カム２１は１ストロークだけ直進する。そして、この時には、この入って来たカムフォロア１１と、転動溝２３に残った方のカムフォロア１１とによって円筒カム２１の前記部分２１ｂを挟み込んで、ガタツキを押さえ込むようになっている。
【００５９】
但し、この転動溝２３に残った方のカムフォロア１１が、円筒カム２１の前記部分２１ｂを挟み込むためには、当該カムフォロア１１はその転動面を、図７（ａ）で転動している内側面２３ａ（図中左側の内側面）から、図７（ｄ）で転動しているもう一方の内側面２３ｂ（図中右側の内側面）に乗り換えなければならない。しかし、乗り換えるためには、図７（ｂ）に示すように、このカムフォロア１１は内側面２３ａから離れねばならず、その際にバックラッシＧによるガタツキを顕在化させてしまう。
【００６０】
ここで、この後者の方法にあっては、この乗り換え時に顕在化するガタツキを防止すべく、図７（ｂ）に示すように、当に出口２３ｄから出ようとするカムフォロア１１と、当に入口２３ｃから入って来たカムフォロア１１とで、円筒カム２１を挟み込んで抑えるようにしている。すなわち、前記乗り換え時には、出口２３ｄのカムフォロア１１及び入口２３ｃのカムフォロア１１の、それぞれの周面における互いに対向する部分を、互いに逆側の内側面２３ａ，２３ｂに当接させており、これによってガタツキを抑えている。そして、図７（ｃ）に示すように、前記カムフォロア１１の乗り換えが完了したら、この乗り換え完了したカムフォロア１１及び入口２３ｃのカムフォロア１１の、それぞれの周面における互いに対向する部分は、互いに逆側の内側面２３ａ，２３ｂに当接する。そして、これにより、これら内側面２３ａ，２３ｂの間の円筒カム２１の部分２１ｂを挟み込んでガタツキを抑えるようにしている。
【００６１】
なお、このカムフォロア１１がなす転動面の乗り換えや、この乗り換え中になされる出入口２３ｄ，２３ｃのカムフォロア１１による挟み込みは、転動溝２３の螺旋形状を調整することによって実現している。
【００６２】
−−−（３）第２実施形態の変形例−−−
図８に、前記第２実施形態の変形例に係る供給ユニットの駆動機構を、また図９には図８中のIX部を示す。尚、図９では、カムフォロア１３と転動溝２５との接触状態が明瞭になるように、円筒カム２１をその中心断面で示している。また、両図においては、前記第２実施形態と同じ構成については同じ符号を付して示し、その同じ構成部分の説明は省略する。
【００６３】
前記第２実施形態の駆動機構２３１ａでは、そのカムフォロア外輪１２が円筒形状であるとともに、円筒カム２１の転動溝２３は、前記外輪１２の周面に倣わせて溝幅が深さ方向に亘って一定になっていたが、本変形例にあっては、そのカムフォロア外輪１４は、転動軸方向の先端に向かうに従って外径が小さくなるテーパー円筒形状であるとともに、円筒カム２１の転動溝２５は、前記外輪１４の周面に倣わせて、深さ方向に溝幅が狭くなるテーパー溝である点で相違する。そして、図９に示すように、カムフォロア外輪１４のテーパー勾配と、転動溝２５の内側面２５ａ，２５ａのテーパー勾配とは揃えられており、カムフォロア１３は、転動軸方向に亘って前記内側面２５ａに外輪１４を均一に当接させて転動するようになっている。
【００６４】
そして、この構成によれば、転動溝２５を同時に転動する二つのカムフォロア１３，１３の内側面２５ａ，２５ｂへの当接力の調整を、円筒カム２１の回転軸２１ａとカムフォロア列１３ａとの間隔Ｌの調整によって容易に調整可能となる。すなわち、当接力を大きくする場合には、前記間隔Ｌを狭くし、逆に小さくする場合には広げれば良い。そして、この当接力を適正に調整すれば、転動面たる内側面２５ａ，２５ｂにカムフォロア１３を確実に転動させることが可能となり、もってカムフォロア外輪１４の周面と前記内側面２５ａとの相対滑りに起因したピッチング等を有効に抑制可能となる。
【００６５】
−−−（４）第３実施形態−−−
前記第１及び第２実施形態は、カムフォロア列１１ａを１列だけ配置した単列配置であったが、本第３実施形態は、カムフォロア列１１ａ，１１ａを２列配置した複列配置になっている点で相違する。すなわち、本第３実施形態の供給ユニットの駆動機構２３１ｃでは、図１０乃至図１５に示すように、前記直進方向に沿って２列のカムフォロア列１１ａ，１１ｂが互いに平行に並設されている。
【００６６】
以下、図１０乃至図１５を参照しつつ、この２列配置におけるカムフォロア列の設置のバリエーションを幾つか例示する。尚、図１０乃至図１５においては、前記第１及び第２実施形態と同じ構成については同じ符号を付して示し、その同じ構成部分の説明は省略する。
【００６７】
（４−ａ）円筒カムの円周方向におけるカムフォロア列の設置位置
図１０及び図１１の駆動機構の正面図に、円筒カムの円周方向におけるカムフォロア列の設置位置例を一つずつ示す。  
図１０に示す例では、円周方向に沿って互いに９０゜離れた位置に二つのカムフォロア列１１ａ，１１ａが設置されている。詳細に説明すると、基台１上面は階段状の段差を一段有し、その上段側の上面１ａには、リニアガイド５，５を介して、供給ユニット２２３の供給テーブル２２５が、段差に沿う方向に直進可能に配置されている。この供給テーブル２２５は、上段側の上面１ａから下段側の上面１ｂにかけて水平に延在して設けられ、その下段側の上面１ｂ上方に位置する端部には円筒カム２１が設けられている。この円筒カム２１の外周面は、前記上段と下段とを繋ぐ鉛直な側面１ｃと、下段側上面１ｂとの両者を臨んでいる。このため、この外周面の転動溝２３を転動可能なように、この鉛直な側面１ｃに、第１列目のカムフォロア列１１ａが転動軸を水平にして設けられ、また下段側の上面１ｂには、第２列目のカムフォロア列１１ａが転動軸を鉛直にして設けられている。尚、各カムフォロア１１，１１，…１１の転動軸の延長線は円筒カム２１の回転軸２１ａと直交するようになっており、これによって、転動溝２３の内側面２３ａ，２３ｂにカムフォロア外輪１２を倣わせた確実な転動を可能にしている。
【００６８】
他方、図１１に示す例では、円周方向に沿って互いに３０゜離れた位置に２列のカムフォロア列１１ａ，１１ａが設置されている。詳細に説明すると、基台１の下段側の上面１ｂには、１５０°の夾角のＶ字状溝１ｄが直進方向に沿って形成されており、そのＶ字状溝１ｄの一方の面に、第１列目のカムフォロア列１１ａが、また残る一方の面には第２列目のカムフォロア列１１ａが配されている。尚、このＶ字状溝１ｄの一対の面にカムフォロア列１１ａ，１１ａを設けた理由は、両方のカムフォロア列１１ａ，１１ａの転動軸の延長線が円筒カム２１の回転軸２１ａと直交するようにするためであり、これによって、転動溝２３の内側面２３ａ，２３ｂにカムフォロア外輪１２を倣わせて確実な転動を可能にしている。
【００６９】
（４−ｂ）カムフォロア列同士の回転方向の位相の関係
図１２及び図１４に示す円筒カム外周面の展開図に、カムフォロア列１１ａ，１１ｂ同士の回転方向の位相の関係を二つ例示する。また、図１３（ａ）及び（ｂ）には、図１２中のＡ−Ａ線矢視及びＢ−Ｂ矢視の断面図をそれぞれ示す一方で、図１５（ａ）及び（ｂ）には、図１４中のＡ−Ａ線矢視及びＢ−Ｂ矢視の断面図をそれぞれ示す。
【００７０】
図１２に示すように、この円筒カム２１の外周面には、回転方向に沿って約１．５周分、すなわち回転角５５０゜分の等変位曲線の転動溝２３が設定されている。そして、カムフォロア列１１ａ，１１ｂ同士の前記回転方向の位相を６０゜ずらして２列のカムフォロア列１１ａ，１１ｂが配置されている。つまり、第１列目のカムフォロ列１１ａを構成するカムフォロア１１，１１，…１１から６０゜位相を遅らせて、第２列目のカムフォロア列１１ｂを構成するカムフォロア１１，１１，…１１が転動溝２３を転動するようになっている。また、各カムフォロア列１１ａ，１１ｂにおけるカムフォロア１１，１１，…１１の配置ピッチＰ３は、円筒カム２１の一回転につき、一つのカムフォロア１１が転動溝２３の入口２３ｃから入って来るような等間隔に設定されている。
【００７１】
ここで、第１列目１１ａのカムフォロア１１の転動面は、転動溝２３の一対の内側面２３ａ，２３ｂのうちの一方２３ａ（図中左側の内側面）に統一されているとともに、第２列目１１ｂのカムフォロア１１の転動面は、残る一方の内側面２３ｂ（図中右側の内側面）に統一されている。よって、６０゜位相をずらしつつ同時に転動する第１列目１１ａ及び第２列目１１ｂのカムフォロア１１，１１によって、バックラッシのガタツキを抑制するようになっている。尚、６０゜位相の早い第１列目１１ａのカムフォロア１１が転動溝２３の出口２３ｄから出る際には、既に、この列１１ａの隣のカムフォロア１１が入口２３ｃから転動溝２３に入っていて転動を開始しているため、この時には、このカムフォロア１１と、６０゜位相の遅い第２列目１１ｂのカムフォロア１１とでガタツキを防止することになる。
【００７２】
図１４に示す例は、円筒カム２１の外周面に約２．５周分、すなわち回転角９６５゜分の等変位曲線の転動溝２３が設定されている。そして、カムフォロア列１１ａ，１１ｂ同士の前記回転方向の位相を４１５゜ずらして２列のカムフォロア列１１ａ，１１ｂが配置されている。つまり、その第１列目のカムフォロ列１１ａを構成するカムフォロア１１，１１，…１１から４１５゜位相を遅らせて第２列目のカムフォロア列１１ｂを構成するカムフォロア１１，１１，…１１が転動溝２３を転動するようになっている。また、各カムフォロア列１１ａ，１１ｂにおけるカムフォロア１１，１１，…１１の配置ピッチＰ４は、円筒カム２１の二回転につき、一つのカムフォロア１１が転動溝２３の入口２３ｃから入って来るような等間隔に設定されている。
【００７３】
なお、上述の図１２の例と同じく、この第１列目１１ａのカムフォロア１１の転動面は、転動溝２３の一対の内側面２３ａ，２３ｂのうちの一方２３ａ（図中左側の内側面）に統一されているとともに、第２列目１１ｂのカムフォロア１１の転動面は、残る一方の内側面２３ｂ（図中右側の内側面）に統一されている。よって、４１５゜位相をずらしつつ同時に転動する第１列目１１ａ及び第２列目１１ｂのカムフォロア１１，１１よって、バックラッシのガタツキを抑制可能となっている。尚、４１５゜位相の早い第１列目１１ａのカムフォロア１１が転動溝２３から出る際には、既に、この列１１ａの隣のカムフォロア１１が転動を開始しているため、このカムフォロア１１と、４１５゜位相の遅い第２列目１１ｂのカムフォロア１１とでガタツキを防止することができる。
【００７４】
＝＝＝その他の実施形態＝＝＝
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、かかる実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で以下に示すような変形が可能である。
【００７５】
−−−（１）電子部品実装装置について−−−
前記実施形態においては、所謂ロータリーヘッド式の実装部２１１を有した電子部品実装装置２０１について説明したが、本発明に係る供給ユニット２２３の駆動機構２３１を適用可能な電子部品実装装置は何等これに限るものではなく、例えば、図１６の斜視図に示すようなモジュラー式の実装部３１１を有した電子部品実装装置３０１にも適用可能である。
【００７６】
すなわち、図１６に示すモジュラー式の実装部３１１は、レール３１３ａを有する適宜なガイド部材３１３によってＸＹ平面内を移動可能な移載ヘッド３１５と、基板ＳをＸ方向に搬送するコンベア３１７とを有し、このコンベア３１７の搬送軌道上には、実装位置Ｐ４１が設定されている。そして、この実装位置Ｐ４１に停留する基板Ｓに対して、前記移載ヘッド３１５がＸＹ平面内を適宜移動するとともに、移載ヘッド３１５が備える吸着ノズル３１５ａを昇降させて、基板Ｓの被実装面の所定位置に電子部品ＥＣを実装するようになっている。ちなみに、この移載ヘッド３１５は、円心Ｃ３１５回りに回転可能な円盤部材を本体とし、この本体の外周面に沿って適宜間隔を隔てて前記ノズル３１５ａを複数備えている。そして、前記本体が円心Ｃ３１５回りに回転することによって、一度に複数の電子部品ＥＣを保持可能となっている。
【００７７】
一方、この実装部３１１の隣りには、電子部品ＥＣの供給部２２１が設けられている。この供給部２２１は、前述したロータリーヘッド式と同じく、前記実装部２１１に隣接配置された基台１と、この基台１上の一対のリニアガイド５，５によりＸ方向に直進可能に案内された複数の供給ユニット２２３と、これら供給ユニット２２３に駆動力を与えて駆動するための駆動機構２３１とを備えている。
【００７８】
供給ユニット２２３が直進するＸ方向の軌道上には、前記ピックアップ位置Ｐ３１が設定されている。そして、このピックアップ位置Ｐ３１に静止する供給ユニット２２３に対して、前記移載ヘッド３１５が、ＸＹ方向に適宜移動しながら、所望の種類の電子部品ＥＣの供給口２２７ａに近づいて、そこから電子部品ＥＣをピックアップするようになっている。
【００７９】
なお、このように移載ヘッド３１５は、ＸＹ平面の広範囲を移動することから、前記ピックアップ位置Ｐ３１を、前記コンベア３１７に近接させるのが好ましい。図１７（ａ）及び図１７（ｂ）は、その近接化を達成した構成例の上面図である。この構成例では、Ｘ方向に関して設定された前記ピックアップ位置Ｐ３１において、図１７（ｂ）に示すように、供給ユニット２２３は更にＹ方向へ移動して、実装部３１１の中に引き込まれるようになっている。
【００８０】
このような引き込み機能は、駆動機構２３１を備えた供給テーブル２２５を上下二段に配置することによって達成されている。図１８に、図１７（ｂ）中のXVIII-XVIII線矢視の断面図を示す。図１７（ｂ）及び図１８に示すように、下段側の供給テーブル２２５及び駆動機構２３１は前述と同構成であって、Ｘ方向に直進可能に基台１に案内され、前記駆動機構２３１によってＸ方向に移動する。一方、上段側の供給テーブル２２５’は、Ｙ方向に沿う一対のリニアガイド５’，５’を介して下段側の供給テーブル２２５上に支持されている。そして、その駆動機構２３１’は、下段側の供給テーブル２２５上に配されたＹ方向に沿うカムフォロア列１１ａ’と、上段側の供給テーブル２２５’に設けられた、前記カムフォロア列１１ａ’に係合するカム２１’とを備えており、当該カム２１’を駆動源３１’にて駆動回転することによって、前記上段側の供給テーブル２２５’をＹ方向に直進させるようになっている。
【００８１】
−−−（２）供給ユニットの駆動機構について−−−
（２−ａ）前記第１実施形態においては、図２Ａに示すように、カムフォロア列１１ａの両脇に一対のリニアガイド５，５を設けて供給ユニット２２３を両持ち支持するようにしたが、これに限るものではない。例えば、図１９の駆動機構の正面図に示すように、カムフォロア列１１ａの両脇のうちの片側だけに、一対のリニアガイド５，５を設けて供給ユニット２２３を片持ち支持するようにしても良い。但し、この場合には、両持ち支持と比べて支持安定性の面で劣るものとなる。
【００８２】
（２−ｂ）前記実施形態の供給ユニット２２３の駆動機構においては、駆動源３１として巻き掛け伝動装置を示したが、これに限るものではなく、例えば図２０の断面図に示すような、ギヤ機構の伝動装置を適用しても良い。すなわち、モータ３３の出力回転軸３３ａに同心にピニオンギヤ３３ｂを固設するとともに、前記円筒カム２１の一端部にその回転軸２１ａと同心に円形歯車２１ｄを固設し、これら両歯を噛み合わせてモータ３３の回転力を円筒カム２１に伝達して駆動回転させても良い。  
更には、適宜な軸継ぎ手を介して円筒カムの回転軸にモータの出力回転軸を直結させて駆動回転しても良い。
【００８３】
（２−ｃ）第１及び第２実施形態においては、一本送り及び二本送りの構成を示したが、これに限るものではなく、これ以上の本数のカムフォロア１１を同時に転動させても良い。
【００８４】
（２−ｄ）第３実施形態においては、カムフォロア列の複列化の例として、二列配置の構成を示したが、これに限るものではなく、三列以上のカムフォロア列を並列配置しても良い。
【００８５】
（２−ｅ）本実施形態では、転動溝の例として溝状のものを示したが、この転動溝の概念にはリブ状のものも含まれる。すなわち、外周面の溝の溝幅よりもその外周面の残部幅の方が広いものを溝といい、その逆に溝幅よりも残部幅の方が狭いものをリブと区別してとらえる場合もあるが、本発明にあっては転動溝の意味を広く解釈している。従って、例えば、螺旋状転動溝の概念には、外周面にその円周方向に沿って一方向に変位してなる螺旋状リブも含まれる。
【００８６】
（２−ｆ）本実施形態では、基台として床面に固設された基台を例示したが、この基台の概念には、床面に直接固定されずに間接的に固定されている基台も含まれる。例えば、床面に支持された壁に基台が固定されている場合も含まれる。尚、この壁面の角度は鉛直でも傾斜していても良い。
【００８７】
（２−ｇ）本実施形態では、円筒カムの回転軸及びカムフォロア列を、前記直進の相対移動方向に沿わせたが、この沿わせる概念には、これらの間に若干の傾きを有する場合も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１Ａ】ロータリーヘッド式の電子部品実装装置を説明するための斜視図である。
【図１Ｂ】同じく上面図である。
【図２Ａ】第１実施形態の供給ユニットの駆動機構の正面図である。
【図２Ｂ】前記駆動機構の底面図である。
【図３】図２Ａ中のIII−III線矢視の断面図であって、前記駆動機構が供給ユニットを移動する様子を示す図である。
【図４】第２実施形態の供給ユニットの駆動機構の断面図であって、駆動機構が供給ユニットを動かす様子を示す図である。
【図５】図４中のＶ部である。
【図６】第２実施形態を具体的に説明するための説明図である。
【図７】第２実施形態を具体的に説明するための説明図である。
【図８】第２実施形態の変形例に係る駆動機構の図である。
【図９】図８中のIX部である。
【図１０】第３実施形態の供給ユニットの駆動機構の正面図である。
【図１１】第３実施形態の供給ユニットの駆動機構の正面図である。
【図１２】第３実施形態の円筒カムの展開図である。
【図１３】図１３（ａ）は、図１２中のＡ−Ａ線矢視の断面図であり、図１３（ｂ）はＢ−Ｂ線矢視の断面図である。
【図１４】第３実施形態の円筒カムの展開図である。
【図１５】図１５（ａ）は、図１４中のＡ−Ａ線矢視の断面図であり、図１５（ｂ）はＢ−Ｂ線矢視の断面図である。
【図１６】モジュラー式電子部品実装装置を説明するための斜視図である。
【図１７】同じく上面図である。
【図１８】図１７中のXVIII−XVIII線矢視の断面図である。
【図１９】第１実施形態に係る変形例を示す正面図である。
【図２０】本実施形態に係る変形例を示す断面図である。
【図２１】従来の電子部品実装装置を説明するための斜視図である。
【図２２】従来の供給ユニットの駆動機構の一例を示す正面図である。
【図２３】図２２中のXXIII−XXIII線矢視の断面図である。
【図２４】従来の駆動機構の一例を示す側面図である。
【図２５】前記駆動機構の一部を破断して示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８９】
１    基台
１１  カムフォロア
２１  カム，円筒カム
２１ａ  回転軸
２３  転動溝
２０１  電子部品実装装置
２１１  実装部
２２１  供給部
２２３  供給ユニット
２３１  駆動機構
ＥＣ    電子部品
Ｓ    基板
Ｐ１１  ピックアップ位置
Ｐ１２  待機位置
Ｐ２１  実装位置
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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