(57)【要約】【課題】  サバ肌を有害な傷として過剰検出しない金属表面の検査装置を提供する。【解決手段】  差分値（Ｓｄ）の積分値を演算する「積分値演算手段」（４６ｂ）と、積分値が増大するにつれて差分値を減少方向に補正する「差分値補正手段」（４６ａ、４６ｃ）とを設ける。被検査面のサバ肌を検出すると、積分値演算手段の出力（差分値の積分値）が増大し、それに伴って、差分値が減少方向に補正され、サバ肌部分の信号を抑制して、しきい値（ＳＬ＿Ｈ、ＳＬ＿Ｌ）を超えない（過剰検出の回避）ようにできる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の被検査面を照明する光源と、
前記被検査面からの反射光を第一の受光素子に導く第一の導光路及び該反射光を第二の受光素子に導く第二の導光路と、
前記第一の受光素子から出力される電気信号又はその電気信号に相関する電気信号と前記第二の受光素子から出力される電気信号又はその電気信号に相関する電気信号との差分値を演算する差分値演算手段と、
前記差分値と所定のしきい値とを比較して前記被検査面の欠陥の有無を判別する判別手段とを備えた、金属表面の検査装置において、
前記差分値の積分値を演算する積分値演算手段と、
該積分値に基づいて前記差分値の大きさを補正する差分値補正手段とを設け、
該差分値補正手段は、前記積分値が所定値を超えて増大した場合に前記差分値を減少方向に補正する特性を持ち、
且つ、前記判別手段は、該差分値補正手段によって補正された差分値と所定のしきい値とを比較して前記被検査面の欠陥の有無を判別することを特徴とする、金属表面の検査装置。
【請求項２】
前記積分値演算手段は、前記差分値を全波整流した後の信号の積分値を演算することを特徴とする請求項１記載の、金属表面の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属表面の検査装置に関し、たとえば、Ｖベルト式無段変速機のベルト（以下「ＣＶＴベルト」という。）を構成する部品の一つである金属リングの表面検査に用いて好適な金属表面の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＣＶＴベルトとして、厚さ０．２ｍｍ程度の薄い金属リングを多数枚重ねたものに、スチール製のエレメントを連続して嵌め込んで一体化した構造のものが知られている（たとえば、非特許文献１参照。）。
【０００３】
図５は、ＣＶＴベルトの外観図である。この図において、ＣＶＴベルト１は、多数枚（たとえば、１２枚程度）の金属リング２ａを積み重ねた二連のベルト積層体２に、多数個（たとえば、４００個程度）のスチール製のエレメント３ａからなるエレメント積層体３を担持させて組み立てられ、アセンブリ化されている。
【０００４】
このような構造のＣＶＴベルト１は、次の手順で製造される。
（１）まず、マルエージング鋼等の超強力鋼の薄板の端部同士を溶接してリング状のドラムを形成する。
（２）次に、そのドラムを所定幅ずつ輪切り状に裁断して圧延し、基本周長の金属リング２ａを作成する。
（３）次に、上記の金属リング２ａに溶体化処理等を施した後、「周長補正装置」を用いて、ＣＶＴベルト１の積層場所に対応した所要の周長（つまり、内外周の周差）を与え、さらに時効処理、窒化処理などを施して硬度を高める。
（４）最後に、上記の（３）の工程を経た金属リング２ａを積層してエレメント３ａを嵌め込み、ＣＶＴベルト１を完成する。
【０００５】
ところで、この金属リング２ａは、上記の様々な工程（ドラムの製造、裁断、圧延、溶体化処理、周長補正、時効処理、窒化処理等）を経て製作されるため、それらの工程中で、金属リング２ａの表裏面に擦り傷や圧痕等の部分的な欠陥を生じることがある。
【０００６】
かかる欠陥の検査方法としては、目視によるもの、つまり、ＣＶＴベルトを製造する工程（４）の前に金属リング２ａの表裏面を直視もしくは拡大鏡を使って目視観察し、擦り傷や圧痕等の有無を人的に判断するというものがあるが、この方法は、効率が悪い上、観察者毎の誤差が大きく、良好な再現性と信頼性が得られないという欠点がある。
【０００７】
上記の金属リング２ａの表面検査に適用可能な従来技術としては、たとえば、特許文献１に記載された「欠陥検出装置」（以下、従来装置という。）が知られている。
【０００８】
この従来装置の原理構成は、被検査面を照明する検査用光源と、被検査面からの反射光を受光部に導く少なくとも二つの導光路（光ファイバー）とを備えるというものであり、二つの導光路を、僅かな距離を隔てて離隔配置した点がポイントである。すなわち、このように構成すると、被検査面に傷等の欠陥がない場合には、二つの導光路によって導かれた反射光はほぼ同等の強さで受光部に与えられる一方、被検査面に微細な欠陥があった場合には、当該欠陥部位の反射光が低下（乱反射による光量低下）するので、二つの導光路で導かれた光に差が生じ、その差分の大きさから欠陥の有無を自動的に判別することができる。
【０００９】
【非特許文献１】宮地知巳著“理想の変速機ＣＶＴの性能を最大限に引き出す”、［online］、［平成１４年８月２５日検索］、インターネット＜URL: http://www.idemitsu.co.jp/lube/cvt/cvtbody2.html＞（図−４）
【特許文献１】特開平１１−２４８６３７公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記の従来技術は、被検査面の傷等の欠陥有無を自動的に判別できる点で有益であるものの、金属ベルトの耐久性を損なわない、たとえば、「サバ肌」と呼ばれる光沢痕を欠陥として過剰検出してしまうという欠点がある。
【００１１】
ここで、“サバ肌”とは、金属ベルトの周方向に、連続して又はある程度の長さをもって付けられた光沢のある擦り傷を指す俗称であり、多くの場合、金属ベルトの耐久性を損なうことがない傷、したがって、無視しても差し支えない傷のことをいう。かかるサバ肌を有する金属リングを欠陥品として排除してしまうことは資源の無駄遣いであり、コストの点で好ましくない。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、サバ肌を有害な傷として過剰検出しない金属表面の検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る金属表面の検査装置は、検査対象物の被検査面を照明する光源と、前記被検査面からの反射光を第一の受光素子に導く第一の導光路及び該反射光を第二の受光素子に導く第二の導光路と、前記第一の受光素子から出力される電気信号又はその電気信号に相関する電気信号と前記第二の受光素子から出力される電気信号又はその電気信号に相関する電気信号との差分値を演算する差分値演算手段と、前記差分値と所定のしきい値とを比較して前記被検査面の欠陥の有無を判別する判別手段とを備えた、金属表面の検査装置において、前記差分値の積分値を演算する積分値演算手段と、該積分値に基づいて前記差分値の大きさを補正する差分値補正手段とを設け、該差分値補正手段は、前記積分値が所定値を超えて増大した場合に前記差分値を減少方向に補正する特性を持ち、且つ、前記判別手段は、該差分値補正手段によって補正された差分値と所定のしきい値とを比較して前記被検査面の欠陥の有無を判別することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、次の原理によって、サバ肌の過剰検出が回避される。すなわち、（Ａ）被検査面のサバ肌は光沢のある擦り傷であるため、そのサバ肌表面の乱反射は比較的少なく、したがって、サバ肌表面では強い反射光が観測される。（Ｂ）しかも、サバ肌は、連続的又はある程度の長さを持つ傷でもあるため、上記の「強い反射光」は、その傷の長さに対応した時間だけ持続して観測される。（Ｃ）また、サバ肌の過剰検出は、上記の「強い反射光」によって差分値が上昇し、しきい値を超えてしまうためである。
本発明では、差分値の積分値を演算する「積分値演算手段」を設けることによって、上記の（Ａ）と（Ｂ）に対応し、且つ、積分値が所定値を超えて増大した場合に前記差分値を減少方向に補正する「差分値補正手段」を設けることにより、上記の（Ｃ）に対応し、これらの対応策によって、サバ肌の過剰検出を回避するものである。
つまり、被検査面のサバ肌を検出すると、積分値演算手段の出力（差分値の積分値）が増大し、それに伴って、差分値が減少方向に補正されるため、結局、サバ肌部分の信号を抑制して、しきい値を超えない（過剰検出の回避）ようにすることができるのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施例を、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明における様々な細部の特定ないし実例および数値や文字列その他の記号の例示は、本発明の思想を明瞭にするための、あくまでも参考であって、それらのすべてまたは一部によって本発明の思想が限定されないことは明らかである。また、周知の手法、周知の手順、周知のアーキテクチャおよび周知の回路構成等（以下「周知事項」）についてはその細部にわたる説明を避けるが、これも説明を簡潔にするためであって、これら周知事項のすべてまたは一部を意図的に排除するものではない。かかる周知事項は本発明の出願時点で当業者の知り得るところであるので、以下の説明に当然含まれている。
【００１６】
図１は、金属表面の検査装置の概念的な構成図である。検査装置１０は、モータ１１によって回転駆動される位置固定の駆動プーリ１２、その駆動プーリ１２と同一の回転平面上に離隔配置される位置可変の従動プーリ１３、及び、検査部１４を含んで構成される。
【００１７】
検査対象物である金属リング２ａを検査する際には、まず、従動プーリ１３を初期位置（一点鎖線アの位置）にして、二つのプーリ（駆動プーリ１２と従動プーリ１３）間に金属リング２ａを掛け渡し、次いで、従動プーリ１３に所定の質量（例：８０Ｋｇ）を持つ荷重体Ｗを取り付けて従動プーリ１３を移動させることにより、金属リング２ａに所要のテンションを加える。そして、その状態でモータ１１を駆動して金属リング２ａを一定方向（矢印イ方向）に周回させつつ、検査部１４を用いて、当該金属リング２ａの表裏面検査（要すれば端面検査も）を行う。
【００１８】
図２は、検査部１４の概念構成図である。この図において、検査部１４は、少なくとも二つの光学的センサ部２０、３０（以下、「Ａ系光学的検査部２０」、「Ｂ系光学的検査部３０」又は、単に「Ａ系２０」、「Ｂ系３０」と称する。）と、判定部４０とを含む。なお、“少なくとも二つ”の光学的センサ部２０、３０を備える理由については後で説明する。
【００１９】
Ａ系２０及びＢ系３０は、同一の構成を有している。つまり、Ａ系２０（Ｂ系３０）は、光源２１（３１）からの光を検査対象物（金属リング２ａ）の検査面（ここでは、金属リング２ａの“表面”とするが、“裏面”であってもよい。）に並行して導くための２本の照光用光ファイバー２２、２３（３２、３３）と、この照光用光ファイバー２２、２３（３２、３３）の間に挟まれた１本の受光用光ファイバー２４（３４）と、受光用光ファイバー２４（３４）によって導かれた検査面からの反射光Ｐａ（Ｐｂ）を電気信号Ｓａ（Ｓｂ）に変換する受光素子２５（３５）とを含んで構成されている。受光用光ファイバー２４は発明の要旨に記載の「第一の導光路」を構成し、受光素子２５は同要旨に記載の「第一の受光素子」を構成する。また、受光用光ファイバー３４は同要旨に記載の「第二の導光路」を構成し、受光素子３５は同要旨に記載の「第二の受光素子」を構成する。
【００２０】
判定部４０は、Ａ系２０の受光素子２４から出力された電気信号ＳａとＢ系３０の受光素子３４から出力された電気信号Ｓｂとに基づいて、金属リング２ａの検査面の傷の有無を判定するものであり、その基本原理は、冒頭の特許文献１にも記載されているように、「二つの受光素子２５（３５）に入射する光の強度は、検査面に欠陥がないときはほぼ同じとなり、欠陥があるときは異なる」ことに着目し、「二つの受光素子２５（３５）から出力された電気信号Ｓａ、Ｓｂの差分値をとって、その差分値が大きい場合に、検査面に欠陥があると判別する」というものである。
【００２１】
このことをもう少し分かりやすく説明すると、今、金属リング２ａの検査面に欠陥がない場合は、検査面は平滑な面であり、照光用光ファイバー２２、２３（３２、３３）からの光は、その平滑な面で一様に反射し、乱反射はほとんど生じない。このため、二つの受光素子２５（３５）に入射する光の強度は、相当強く且つほぼ同じ大きさとなり、この場合、電気信号Ｓａ、Ｓｂの差分値はほぼ「０」となる。
【００２２】
これに対して、金属リング２ａの検査面に欠陥があった場合、照光用光ファイバー２２、２３（３２、３３）からの光は、その欠陥場所で乱反射するため、受光用光ファイバー２４（３４）を介して受光素子２５（３５）に導かれる光の強度が、その乱反射の分だけ低下する。このとき、Ａ系２０とＢ系３０の間隔が距離Ｌだけ離れているため、この距離Ｌを上記の欠陥サイズよりも充分に大きくしておけば、一方の系の受光用光ファイバー（たとえば、Ａ系２０の受光用光ファイバー２４）が、その欠陥の影響によって強度が低下した光を導いているとき、他方の系の受光用光ファイバー（Ｂ系３０の受光用光ファイバー３４）は、強度が低下しない光（つまり、欠陥がない平滑な面からの強い反射光）を導くこととなる。したがって、この場合には、電気信号Ｓａ＜電気信号Ｓｂとなるので、その差分値は、上記の正常時（Ｓａ＝Ｓｂ）に比べて明らかに大きくなる。
【００２３】
以上のとおり、「二つの受光素子２５（３５）から出力された電気信号Ｓａ、Ｓｂの差分値をとって、その差分値が大きい場合に、検査面に欠陥があると判別する」ことができる。
【００２４】
なお、すくなくとも二つの系（Ａ系２０、Ｂ系３０）を必要とする理由は、次のとおりである。上記の原理説明より、被検査面に欠陥がない場合は、いずれの系から出力された電気信号Ｓａ（又はＳｂ）も「大きな値」となる。そして、被検査面に欠陥がある場合は、いずれの系も、その欠陥からの反射光（乱反射している分だけ強度が低下した光）を受光しているときは、その系から出力された電気信号Ｓａ（またはＳｂ）は「小さな値」となる。
【００２５】
原理上、これらの「大きな値」と「小さな値」を見分けることにより欠陥の判定は可能である。しかしながら、安定した判定は期待できず、実用上の点で支障がある。なぜならば、検査対象物、とりわけ、ＣＶＴベルトに用いられる金属リング２ａの表面は艶消し状態になっていることが多く、しかも、その艶消しの程度が製品（又はロット）毎に一定していないため、正常判定時の基準となる電気信号Ｓａ（又はＳｂ）の「大きな値」にバラツキが生じるからである。光学的センサ部を“少なくとも二つの系”で構成し、それらの系から出力された電気信号Ｓａ（及びＳｂ）の“差分値”をとることにより、上記のバラツキの影響を排除できる。
【００２６】
図３は、判定部４０のブロック図である。この図において、判定部４０は、Ａ系用増幅器４１、Ｂ系用増幅器４２、Ａ系用ＡＧＣ回路４３、Ｂ系用ＡＧＣ回路４４、差分演算部４５（差分値演算手段）、サバ肌補正部４６、ハイ側しきい値判定部４７（判別手段）、ロー側しきい値判定部４８（判別手段）、及び、警報信号発生部４９などを含んで構成されている。
【００２７】
Ａ系用増幅器４１は、Ａ系の受光素子２５から出力された電気信号Ｓａを増幅するものであり、その増幅率はＡ系用ＡＧＣ回路４３の出力によって増減制御されるようになっている。Ａ系用ＡＧＣ回路４３は、Ａ系用増幅器４１の出力信号の中から直流分を含む低周波成分のみをとりだすローパスフィルタ５０と、そのローパスフィルター５０の出力と所定のリファレンス電圧ＲＥＦ１との差に応じた大きさのＡＧＣ電圧を発生する差動増幅器５１とを含み、Ａ系用増幅器４１は、このＡＧＣ電圧に応じた増幅率で電気信号Ｓａを増幅する。このＡＧＣ電圧の目的は、電気信号Ｓａに含まれる低周波成分の“揺らぎ”（金属リング２ａの“面ぶれ”に伴って発生する）を取り除くことにある。
【００２８】
Ｂ系用増幅器４２も、上記のＡ系用増幅器４１と同様に、Ｂ系の受光素子３５から出力された電気信号Ｓｂを増幅するものであり、その増幅率はＢ系用ＡＧＣ回路４４の出力によって増減制御されるようになっている。Ｂ系用ＡＧＣ回路４４は、Ｂ系用増幅器４２の出力信号の中から直流分を含む低周波成分のみをとりだすローパスフィルタ５２と、そのローパスフィルター５２の出力と所定のリファレンス電圧ＲＥＦ１との差に応じた大きさのＡＧＣ電圧を発生する差動増幅器５３とを含み、Ｂ系用増幅器４２は、このＡＧＣ電圧に応じた増幅率で電気信号Ｓｂを増幅する。このＡＧＣ電圧の目的も、上記と同様であり、電気信号Ｓｂに含まれる低周波成分の“揺らぎ”を取り除くことにある。
【００２９】
差分演算部４５は、Ａ系用増幅器４１から出力された電気信号Ｓａ＿４１とＢ系用増幅器４２から出力された電気信号Ｓｂ＿４２の差分値Ｓｄを演算するものである。
【００３０】
サバ肌補正部４６は、本発明にとって欠くことのできない構成要素であるが、ここでは、まず、サバ肌補正部４６を「設けない場合」の構成を説明して、その欠点を明らかにした上で、本願発明の構成（サバ肌補正部４６を設けた場合の構成）に言及することとする。
【００３１】
まず、ハイ側しきい値判定部４７は、差分演算部４５で演算された差分値Ｓｄと所定のハイ側しきい値ＳＬ＿Ｈとを比較して、Ｓｄ＞ＳＬ＿Ｈの場合にアクティブとなるハイ側判定結果信号Ｓｃ＿Ｈを出力し、ロー側しきい値判定部４８は、同差分値Ｓｄと所定のロー側しきい値ＳＬ＿Ｌとを比較して、Ｓｄ＞ＳＬ＿Ｌの場合にアクティブとなるロー側判定結果信号Ｓｃ＿Ｌを出力する。そして、警報信号発生部４９は、これら二つの判定結果信号（Ｓｃ＿Ｈ、Ｓｃ＿Ｌ）のいずれか一方がアクティブの時に、被検査面の欠陥検出を示す警報信号ＡＬＭを出力する。
【００３２】
図４（ａ）、（ｂ）は、サバ肌５６と、そのサバ肌５６の一部に付いた傷５７とを有する金属リング２ａの断面図、及び、サバ肌補正部４６を設けない場合の差分演算部４５の出力信号（差分値Ｓｄ）の波形図である。
【００３３】
同図（ｂ）において、差分値Ｓｄは、二つのしきい値（ＳＬ＿Ｈ、ＳＬ＿Ｌ）を超えた異常部位６０と、いずれのしきい値も超えない正常部位６１とからなっている。異常部位６０は、金属リング２ａの表面に付いたサバ肌５６（とそのサバ肌５６の一部に付いた傷５７）に対応する信号であり、サバ肌５６は、前述のとおり、金属ベルト２ａの周方向に、連続して又はある程度の長さをもって付けられた光沢のある擦り傷のことであるから、異常部位６０の信号はほぼその全域にわたって高いレベルを維持し、したがって、二つのしきい値（ＳＬ＿Ｈ、ＳＬ＿Ｌ）を容易に超えてしまう結果、不本意にも、そのサバ肌５６を欠陥として過剰検出することとなる。
【００３４】
なお、同図（ａ）の断面図では、サバ肌５６の一部に付いた傷５７が示されている。この傷５７は、金属リング２ａの内部に深く入り込んでいるため、金属リング２ａの耐久性の点で無視してはならない欠陥であり、検出対象としなければならない傷である。同図（ｂ）の波形図においては、かかる傷５７に対応するピーク状の信号波形５８、５９が観測されており、この信号波形５８、５９も、二つのしきい値（ＳＬ＿Ｈ、ＳＬ＿Ｌ）を超えているから、欠陥として検出することができる。
【００３５】
しかしながら、サバ肌５６に伴う信号レベルの増大によって、異常部位６０の全域が二つのしきい値（ＳＬ＿Ｈ、ＳＬ＿Ｌ）を超えているので、その欠陥の検出が、サバ肌５７によるものか、又は、そのサバ肌５６の一部に付いた傷５７によるものなのかを区別することができない。
【００３６】
そこで、本件発明者らは、サバ肌５６に対応する異常部位６０の全体の信号波形と、それ以外の正常部位６１の信号波形との時間軸上の信号レベルの違い、詳しくは、後者の信号波形（正常部位６１の信号波形）に対して、前者の信号波形（サバ肌５６に対応する異常部位６０の全体の信号波形）の信号レベルが継続的に大きい点に着目し、信号レベルの積分値を演算して、この積分値を用いて差分値Ｓｄを補正することにより、異常部位６０の信号レベルを適量減少させ、これによって、二つのしきい値（ＳＬ＿Ｈ、ＳＬ＿Ｌ）の超過を回避し、サバ肌５６の過剰検出を阻止するというものであり、同時に、サバ肌５６の一部に傷５７が付いていた場合には、その傷５７の検出を支障無く行うというものである。
【００３７】
すなわち、本発明の特徴的な構成は、図３に示すように、差分演算部４５の後段に、差分値Ｓｄを増幅する可変増幅率の差分値増幅器４６ａ（差分値補正手段）と、その差分値増幅器４６ａから取り出された双極性の差分値Ｓｄを全波整流して単極性の差分値Ｓｄに変換する全波整流部４６ｂと、全波整流後の差分値Ｓｄの積分値を演算する積分値演算部４６ｃ（積分値演算手段）と、この積分値演算部４６ｃの出力と所定のリファレンス電圧ＲＥＦ２との差に応じた大きさの補正電圧を発生する差動増幅器４６ｄ（差分値補正手段）とからなるサバ肌補正部４６を設けた点にある。
【００３８】
差分値増幅器４６の増幅率は、差動増幅器４６ｄから取り出される補正電圧の大きさに対応して変化するようになっており、差動増幅器４６ｄは、積分値演算部４６ｃで演算された積分値が、所定値（リファレンス電圧ＲＥＦ２）を超えて大きい場合に、その超過分に相当する補正電圧を発生する。積分値演算部４６ｃは、差分値増幅器４６ａを経た差分値Ｓｄ（但し、全波整流後のもの）の積分値を演算するが、この積分値は、たとえば、図４（ｂ）における信号波形を時間軸上で加算（積分）したものに相当する。したがって、この積分値は、たとえば、図４（ｂ）における信号波形のうち、異常部位６０では大きな値となり、正常部位６１では小さな値となる。
【００３９】
このため、差動増幅器４６ｄのリファレンス電圧ＲＥＦ２を適正化しておけば、このリファレンス電圧ＲＥＦ２を超える程度に大きな積分値が得られたとき（たとえば、異常部位６０を観測したとき）には、差分値増幅器４６ａの増幅率が減少方向に操作され、これによって、異常部位６０の信号レベルを抑制し、二つのしきい値（ＳＬ＿Ｈ、ＳＬ＿Ｌ）を超えないようにすることができ、異常部位６０（サバ肌）の過剰検出を回避することができる。
【００４０】
また、サバ肌５６の一部に傷５７が付いていた場合には、この傷５７に伴うピーク状の信号波形５８、５９だけが二つのしきい値（ＳＬ＿Ｈ、ＳＬ＿Ｌ）を超えるようになるため、サバ肌５６の過剰検出を回避しつつ、サバ肌５６の一部に付いた傷５７を支障無く検出することができる。
【００４１】
図４（ｃ）は、サバ肌補正部４６を設けた場合（本願発明の構成）の差分演算部４５の出力信号（差分値Ｓｄ）の波形図である。この波形図において、差分値Ｓｄは、サバ肌５６の一部に付いた傷５７に対応するピーク状の信号波形５８、５９を含む異常部位６０と、それ以外の正常部位６１とからなっているが、この波形図では、異常部位６０の全域にわたって信号レベルの抑制が図られており、サバ肌５６の一部に付いた傷５７に対応するピーク状の信号波形５８、５９だけが二つのしきい値（ＳＬ＿Ｈ、ＳＬ＿Ｌ）を超えている。したがって、サバ肌５６の過剰検出を回避でき、しかも、そのサバ肌５６の一部に付いた傷５７を支障無く検出することができる。
【００４２】
これは、差分演算部４５の後段にサバ肌補正部４６を設けているためであり、そのサバ肌補正部４６によって、差分値Ｓｄの全波整流後の積分値を演算し、その積分値が所定値（リファレンス電圧ＲＥＦ２）よりも大きい場合には、差分値Ｓｄを減少方向に補正するようにしているからである。なお、リファレンス電圧ＲＥＦ２を実験により適宜定める必要があるのはもちろんである。
【００４３】
以上の構成によれば、サバ肌５６を過剰検出せずに、サバ肌５６の一部に付いた傷５７を欠陥として検出し、警報信号ＡＬＭを出力することができる。その結果、サバ肌５６のみを有する金属リング２ａを検査合格とすることができ、資源の無駄遣いを回避してコストの改善を図ることができる。
【００４４】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、その技術思想の範囲において、様々な変形例や発展例を包含することはもちろんであり、たとえば、以下のようにしてもよい。
上記の実施形態では、被検査面を金属リング２ａの“表面”としているが、同リングの“裏面”としてもよい。
また、上記の実施形態では、光源２１（３１）からの光を、照光用光ファイバー２２、２３（３２、３３）を介して被検査面に導いているが、これに限定されない。光源２１（３１）からの光を直接的に被検査面に照射してもよく、あるいは、光学レンズ等の光学要素を介して照射してもよい。
また、上記の実施形態では、光学的センサ部を二系統（Ａ系２０、Ｂ系３０）としているが、二を超える多系統としてもよいし、さらに、二を超える多系統とする場合には、各々の系を、金属リング２ａの周回方向と幅方向に配列（二次元配列）してもよい。
【００４５】
また、上記の実施形態では、被検査面からの反射光を、受光用光ファイバー２４（３４）を介して受光素子２５（３５）に導いているが、この“光ファイバー”の利用は、実施例のベストモードを示しているに過ぎない。要は、被検査面からの反射光をできるだけ少ない損失で受光素子２５（３５）に導くことができる「導光体」であればよく、たとえば、損失や柔軟性を無視又は軽視すれば、ガラス製やプラスチック製などの単なる導光体であってもよい。
【００４６】
また、上記の各実施形態では、ＣＶＴベルト１の構成部品である金属リング２ａの表面や裏面の欠陥を検査しているが、これは、検査対象物の具体的な一例を示しているに過ぎない。検査対象物は金属の表面、すなわち、「金属表面」であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】金属表面の検査装置の概念的な構成図である。
【図２】検査部１４の概念構成図である。
【図３】判定部４０のブロック図である。
【図４】金属リング２ａの断面図及び差分演算部４５の出力信号（差分値Ｓｄ）波形図である。
【図５】ＣＶＴベルトの外観図である。
【符号の説明】
【００４８】
２ａ  金属リング（検査対象物）
１０  金属表面の検査装置
２１  光源
２４  受光用光ファイバー（第一の導光路）
２５  受光素子（第一の受光素子）
３１  光源
３４  受光用光ファイバー（第二の導光路）
３５  受光素子（第二の受光素子）
４５  差分演算部（差分値演算手段）
４６ａ  差分値増幅器（差分値補正手段）
４６ｃ  積分値演算部（積分値演算手段）
４６ｄ  差動増幅器（差分値補正手段）
４７  ハイ側しきい値判定部（判別手段）
４８  ロー側しきい値判定部（判別手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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