(57)【要約】【課題】  部品種類に応じて、より適正に照明光を照射することができる部品認識装置を提供することを目的とする。【解決手段】  吸着ノズルに吸着された電子部品を撮像するカメラ２２を備え、吸着ノズルに吸着された電子部品３２と、吸着ノズル９との位置ずれを認識する部品認識装置において、  照明２４とハーフミラー２５との間の光経路上に位置する作用位置と、退避位置とに移動可能なレンズ２６を備え、電子部品の種類に応じて、レンズを作用位置または退避位置に移動させて、電子部品に対する前記照明の照射範囲を制御する制御手段３８を備える構成とした。【選択図】図２
2005338030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を吸着可能な吸着ノズルと、
前記電子部品に光を照射可能な照明と、
前記照明からの光を反射して、前記吸着ノズルに吸着された前記電子部品に向けて、光を照射するハーフミラーと、
前記吸着ノズルに吸着された前記電子部品を撮像する撮像手段とを備え、
前記吸着ノズルに吸着された前記電子部品と、前記吸着ノズルとの位置ずれを認識する部品認識装置において、
前記照明とハーフミラーとの間の光経路上に位置する作用位置と、前記作用位置から離間した退避位置とに移動可能なレンズを備え、
前記電子部品の種類に応じて、前記レンズを作用位置または退避位置に移動させて、前記電子部品に対する前記照明の照射範囲を制御する制御手段を備えたことを特徴とする部品認識装置。
【請求項２】
請求項１記載の部品認識装置において、
前記レンズは、照明からの光を散光する散光レンズであり、前記散光レンズを通過した光は、前記電子部品の端子部に向けて光を照射することを特徴とする部品認識装置。
【請求項３】
請求項１、２記載の部品認識装置において、
前記レンズを複数枚用意し、前記電子部品の種類に応じて、前記レンズを選択し、作用位置または退避位置に移動させて、前記照明の照射範囲を制御する制御手段を備えたことを特徴とする部品認識装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品をプリント配線基板上に装着する電子部品装着機に備えつけられ、吸着ノズルに吸着された電子部品の位置検出等を行う部品認識装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品装着機に備えつけられた部品認識装置として、特開平１１−３４０７００号の装置が提案されている。この装置は、部品の種類に応じて、照明の光量を変化させて、電子部品の画像の明るさを調整するものである。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３４０７００（図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記部品認識装置の電子部品への照射範囲は、大型電子部品に合せて一定である。このため、小型電子部品の照明時、小型電子部品の外形より大きな範囲に、余分な照明光を照射する無駄や、余分な照明光がノイズとして画像に取り込まれて認識精度が悪化してしまうという問題があった。
【０００５】
この発明は上記問題を解決するためになされたものであって、部品種類に応じて、より適正に照明光を照射することができる部品認識装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、
電子部品を吸着可能な吸着ノズル（９）と、
前記電子部品に光を照射可能な照明（２４）と、
前記照明からの光を反射して、前記吸着ノズルに吸着された前記電子部品に向けて、光を照射するハーフミラー（２５）と、
前記吸着ノズルに吸着された前記電子部品を撮像する撮像手段（２２）とを備え、
前記吸着ノズルに吸着された前記電子部品と、前記吸着ノズルとの位置ずれを認識する部品認識装置において、
前記照明とハーフミラーとの間の光経路上に位置する作用位置と、前記作用位置から離間した退避位置とに移動可能なレンズ（２６、４６）を備え、
前記電子部品の種類に応じて、前記レンズを作用位置または退避位置に移動させて、前記電子部品に対する前記照明の照射範囲を制御する制御手段（３８）を備える構成とした。
【０００７】
請求項１のレンズには、集光レンズや散光レンズとして、フルネルレンズや凹レンズ、凸レンズ、アクロマティックレンズ等が用いられる。集光レンズは、照明からの光を集光して、光の照射範囲を小さくし、散光レンズは光を散光する。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の部品認識装置において、
前記レンズは、照明からの光を散光する散光レンズ（４６）であり、前記散光レンズを通過した光は、前記電子部品の端子部に向けて光を照射する構成とした。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１、２記載の部品認識装置において、
前記レンズを複数枚用意し、前記電子部品の種類に応じて、前記レンズを選択し、作用位置または退避位置に移動させて、前記照明の照射範囲を制御する制御手段を備える構成とした。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の発明によれば、電子部品の種類に応じて照明の照射範囲を制御するので、部品サイズや部品形状に合せて、適切に照明の照射範囲が制御される。このため、部品認識精度が向上し、部品認識時間が短縮される。
【００１１】
請求項２記載の発明によれば、散光レンズを使用して、電子部品の端子部やその周辺を効率よく照射することができるので、より確実に電子部品の端子部を認識することができる。
【００１２】
請求項３記載の発明によれば、部品種に応じて、複数のレンズから最適なレンズを選択できるので、より最適な光の照射範囲を電子部品に与えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
この発明の第１実施形態を図１から図７に基いて説明する。
図１は電子部品装着機の斜視図である。図２は部品認識装置の詳細図である。図３は電子部品に対する照射範囲の変化を説明するための図である。図４はレンズ移動機構の詳細図である。図５は電子部品装着機の制御系の構成を示すブロック図である。図６はレンズが退避位置にある際の部品認識装置の詳細図である。図７はレンズが作用位置にある際の部品認識装置の詳細図である。
【００１４】
電子部品装着機１は、その底面に板状の台座２が設置されている。台座２は、図示省略の機枠に固定され、床面より立ち上がっている。台座２には、図１の右側から左側に向けて（図示Ｘ方向）、一対の基板搬送レール３、３が配置されている。基板搬送レール３、３は、その上部に不図示の搬送ベルトが装備されている。この搬送ベルトの駆動により、Ｘ方向に沿って、基板４が移動する。
【００１５】
また、台座２には、基板搬送レール３、３をまたぐように、図示右側と左側に、一対のＹフレーム５、５が配置されている。Ｙフレーム５、５はＸ方向と直交するＹ方向に沿って配置されている。Ｙフレーム５、５の上部には、それぞれ、ガイドレール６、６が固定されている。
【００１６】
ガイドレール６、６上部には、Ｘフレーム７が、Ｘ方向に沿って配置されている。Ｘフレーム７は、細長い板状部材である。Ｘフレーム７の両端部には、下方のガイドレール６、６に向けて、それぞれ伸びる、脚部７ａ、７ａを備えている。脚部７ａ、７ａの底面には、不図示のベアリング付き直動ガイドが装着されている。この直動ガイドは、内面側に複数のボールを回動可能に支持している。これらボールが各ガイドレール６、６に係合する。そして、Ｘフレーム７は、直動ガイド（ナット）とガイドレール（レール）６、６により、Ｙ方向に沿って移動自在に支持されている。
【００１７】
Ｙフレーム５、５の両端部には、それぞれ、一対のプーリ１６、１７、１６、１７が配置されている。これら、プーリ１６、１７、１６、１７は、図示省略したが、それぞれ、Ｙフレーム５、５に回動可能に支持されている。両プーリ１６、１７には、それぞれ、ベルト１８、１８が巻き掛けられる。また、ベルト１８、１８は、Ｘフレームの脚部７ａ、７ａに個別に固定され、連結されている。
【００１８】
プーリ１６、１６には、Ｙ軸駆動モータ１９，１９が個別に連結されている。Ｙ軸駆動モータ１９、１９を同期して回動すると、第２ベルト１８、１８を介して、Ｘフレーム７がＹ方向に移動する。Ｘフレーム７には、装着ヘッド８が装備されている。このため、Ｙ軸駆動モータ１９、１９が駆動すると、装着ヘッド８をＹ方向に移動する。
【００１９】
Ｘフレーム７の一側面には、不図示のガイドレールが固定されている。このガイドレールの一部を覆うように、装着ヘッド８が配置されている。装着ヘッド８は、その裏面側に不図示のベアリング付き直動ガイドが装着されている。この直動ガイドは、内面側に複数のボールを回動可能に支持している。これらボールがガイドレールに係合する。そして、装着ヘッド８は、上記直動ガイドとガイドレールにより、Ｘ方向に沿って移動自在に支持されている。
【００２０】
Ｘフレーム７の両端部には、プーリ１１、１２が配置されている。プーリ１１、１２は、図示省略したが、Ｘフレーム７により回動可能に支持されている。両プーリ１１、１２には、第１ベルト１３が巻き掛けられる。第１ベルト１３は、両プーリ１１、１２に巻き掛けられた後、不図示の保持板と装着ヘッド８によりその両端部を固定される。そして、一方のプーリ１２には、Ｘ軸駆動モータ１５が連結されている。Ｘ軸駆動モータ１５が回動すると、第１ベルト１３を介して、装着ヘッド８がＸ方向に移動する。
【００２１】
装着ヘッド８は、Ｙフレーム５、５、Ｘフレーム７、等により、Ｘ方向、Ｙ方向、すなわち、水平方向に移動可能に支持されている。そして、装着ヘッド８は、移動手段の駆動により水平方向に移動される。この移動手段は、Ｙ軸駆動モータ１９、１９、プーリ１６、１７、１６、１７、第２ベルト１８、１８、Ｘ軸駆動モータ１５、プーリ１１、１２、第１ベルト１３、等から構成される。
【００２２】
装着ヘッド８には、Ｘ方向に沿って４個の吸着ノズル９が配置されている。吸着ノズル９には、個別に、不図示のθ軸モータが取り付けられており、吸着ノズル９を個別にノズル中心軸を中心に回動させる。また、吸着ノズル９には、個別に、不図示のＺ軸モータが取り付けられており、吸着ノズル９を個別に上下動させる。さらに、吸着ノズル９は、不図示のバキューム機構に連通されて、吸着ノズルの先端で電子部品を吸着、脱着することができる。
【００２３】
台座２の一端側には、テープフィーダ２１が、複数、並列的に配置されている。テープフィーダ２１は、テープ収納部に格納された電子部品を、開口部に順次送るものである。
【００２４】
テープフィーダ２１の開口部側近くには、部品認識装置２０が配置されている。図２に示すように、部品認識装置２０は、下方から順に、撮像手段２２と照明装置２３が配置されている。照明装置２３の鉛直上面には、装着ヘッド８の移動により、吸着ノズル９に吸着された電子部品３３が配置されている。
【００２５】
撮像手段２２は、ＣＣＤカメラ、ＣＭＯＳカメラ等からなるカメラである。カメラ２２は、鉛直方向に沿って、そのレンズ２２ａが上方に向くように固定されている。
【００２６】
また、照明装置２３は、照明２４と、ハーフミラー２５と、レンズ２６と、レンズ移動手段３２から構成されている。照明２４は、円盤状の基板２４ｂの表面に複数のＬＥＤ２４ａを貼り付けたものである。照明２４は、カメラ２２の中心軸線２２ｂより所定量離間して、鉛直方向に沿って、縦向きに配置されている。
【００２７】
照明２４と対向するカメラ中心軸線２２ｂ付近には、その軸線と交差するようにハーフミラー２５が配置されている。ハーフミラー２５は、水平方向に４５度傾斜しており、照明２４からの光の５０パーセントを透過するとともに、残り５０パーセントを鉛直上方の電子部品３３に向けて反射する。
【００２８】
また、照明２４の上方には、鉛直方向に沿ってレンズ２６が配置されている。レンズ２６は、円盤状であり、その外周は照明２４より、やや大きい。レンズ２６には、その表面に円状のスリットが切られており、光を集光するフレネルレンズである。このレンズ２６は、鉛直方向に沿って移動可能に支持されており、照明上方の退避位置と、退避位置下方の作用位置に移動できる。退避位置に位置するレンズ２６は、不図示の収納室に収納されている。
【００２９】
作用位置に位置するレンズ２６は、レンズ２６が照明２４を覆う状態となる。この状態をレンズ２６が、光経路３４上に位置すると規定する。そして、光経路３４上に位置したレンズ２６は、照明２４からの光を集光するように屈折させて、ハーフミラー２５に送る。ハーフミラーに送られた光は、５０％反射されて電子部品に向けて照射される。このため、レンズ２６を作用位置に位置させると、照明２４の照射範囲が、退避位置に比べて小さくなる。
【００３０】
図３に基き、照明２４の照射範囲の変化を説明する。大型の電子部品３３の場合、レンズ２６を退避位置に移動させる。そして、大型部品用照射範囲４４に光を照射して、大型電子部品３３の視野サイズ全体に均一に光が当たるようにする。一方、小型の電子部品４３の場合、レンズ２６を作用位置に移動させて、照明２４の光を集光させて、小型部品用照射範囲４５に光を照射する。
【００３１】
図４に基き、レンズ２６を作用位置と退避位置に移動させる、レンズ移動手段３２について説明する。このレンズ移動手段は、レンズ駆動モータ３４、ベルト３５、プーリ３６、３６、ステイ３７から構成される。
【００３２】
支持軸としてのステイ３７は、左端側３７ａにレンズ２６が固定されている。ステイ３７の右端部３７ｂは、鉛直方向に形成された不図示のフレーム溝に摺動可能に支持されている。
【００３３】
プーリ３６、３６は、一鉛直方向に沿って離間して配置されている。一方のプーリ３６はフレームに回動可能に支持され、他方のプーリ３６はレンズ駆動モータ３４に連結されている。
このプーリ３６、３６には、ベルト３５が掛け渡されている。ベルト３５の一端部には、ステイ３６の右端側が固定されている。そして、レンズ駆動モータ３４を駆動すると、レンズ２６は、作用位置と退避位置の間を上下動する。
【００３４】
図５は電子部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図である。
３８はコントローラ（制御手段）であり、装置全体を制御するマイクロコンピュータ（ＣＰＵ）、並びにＲＡＭ，ＲＯＭなどからなる。コントローラ３８には、以下の構成が接続され、それぞれを制御する。
【００３５】
Ｘ軸駆動モータ１５は、第１ベルト１３を介して、装着ヘッド８をＸ方向に移動させる。
Ｙ軸駆動モータ１９，１９は、第２ベルト１８、１８を介して、装着ヘッド８をＹ方向に移動させる。Ｚ軸モータ３９は、吸着ノズル９を上下動させる。また、θ軸モータ４０は、吸着ノズル９をそのノズル中心軸を中心に回転させる。バキューム機構４１は真空を発生し、吸着ノズル９に吸引力を与える。さらに、レンズ駆動モータ４２は、レンズ２６を作用位置と退避位置とに移動させる。
【００３６】
なお、図４では、Ｚ軸モータ３９とθ軸モータ４０とバキューム機構４１は、一個しか図示されていないが、装着される吸着ノズル９の数だけ、個別に設けられる。
【００３７】
画像認識装置２７は、吸着ノズル９のそれぞれに吸着された電子部品３３、４３の画像認識を行うものである。画像認識装置２７は、Ａ／Ｄ変換器２７ａ、メモリ２７ｂ及びＣＰＵ２７ｃから構成される。そして、吸着した電子部品３３を撮像したカメラ２２から出力されるアナログの画像信号をＡ／Ｄ変換器２７ａにより画像データのデジタル信号に変換してメモリ２７ｂに格納する。そして、ＣＰＵ２７ｃがそのデータに基いて、吸着された電子部品３２の吸着位置のずれ量と吸着角度ずれを算出する。
【００３８】
入力手段としてのキーボード２８とマウス２９は、部品データなどのデータを入力するために用いられる。部品データは、搭載部品の種類毎に、外形寸法等の部品サイズ、リード端子情報から構成される。リード端子情報は、リード端子の幅、長さ、ピッチ、端子数からなる。
【００３９】
記憶装置３０は、フラッシュメモリなどで構成され、キーボード２８とマウス２９により入力された部品データ、あるいは不図示のホストコンピュータ（入力手段）から供給される部品データを格納するのに用いられる。
モニタ（表示装置）３１は、部品データ、演算データ、及び吸着した電子部品３２の投影図の画像データなどを表示する。
【００４０】
第１実施形態の動作について説明する。
生産開始前に、入力手段としてのキーボード２８を用いて、搭載部品の種類毎に、部品サイズやリード端子情報等の部品データを入力する。なお、以下の動作は制御手段としてのコントローラ３８により実行される。また、説明は、一個の吸着ノズル９を使用した場合で行うが、複数個の吸着ノズル９を使用する場合、複数個毎に、吸着動作が終了したら、次に認識動作、次に搭載動作の順に実行する。
【００４１】
最初に、Ｘ軸駆動モータ１５、Ｙ軸駆動モータ１９を駆動して、装着ヘッド８を所定部品のテープフィーダ２１の開口部上に位置させる。次に、Ｚ軸モータ３９を駆動して、吸着ノズル９を下降させる。そして、バキューム機構４１から真空の負圧をかけて電子部品３３を吸着、保持させた後、吸着ノズル９を上昇させる。
【００４２】
次に、Ｘ軸駆動モータ１５、Ｙ軸駆動モータ１９を駆動して、装着ヘッド８が部品認識装置２０上方を通過するように制御する。この通過中に電子部品３３または４３の部品認識を行う。
【００４３】
最初に、ＱＦＰなどの大型電子部品３３の部品認識を行う場合について説明する。なお、ＱＦＰなどの大型電子部品は、認識精度を高く要求される場合が多い。
【００４４】
そして、大型電子部品３３の場合、照明範囲が広範囲に必要なため、図５に示すように、フレネルレンズ２６を退避位置に移動させる。
【００４５】
次に、装着ヘッド８を部品認識装置２０の右側から左側に移動させる。このときの移動速度は、ＱＦＰなどの大型で認識精度要求が高い電子部品３３の場合、２０ｍｍ／ｓｅｃ程度の低速度に設定する。そして、電子部品３３が部品認識装置２０の真上にきたとき、すなわち予め設定した、吸着ノズル９の中心とカメラ２２の中心とが一致した際、カメラ２２のシャッターを１０ｍｓｅｃ切り、電子部品３３を撮像する。
【００４６】
このとき、フレネルレンズ２６は、退避位置に保持されている。そして、照明２４からの光は、直進して、ハーフミラー２５に５０％反射される。反射された光は、ハーフミラー２５上方の電子部品３３に向けて照射される。電子部品３３を広範囲に照射する。
また、低速度で電子部品３３を移動させつつ、撮像を行うので、シャッター時間が比較的長く取れ、光量も十分得られる。この結果、鮮明な画像データが得られる。
【００４７】
次に、チップなどの小型電子部品４３の部品認識を行う場合について説明する。チップ部品は、形状が単純なため、高度な認識精度が要求されない代わりに、基板への搭載個数が多いため、搭載タクトの短縮が要求される。
【００４８】
小型電子部品４３の場合、照明範囲を部品サイズに合せて小さくすると良い。このため、図６に示すように、レンズ駆動モータ４２を駆動して、フレネルレンズ２６（以下、単にレンズと称する。）を下降させて、作用位置に移動する。
【００４９】
次に、装着ヘッド８を部品認識装置２０の右側から左側に移動させる。このときの移動速度は、小型で、認識精度より搭載タクトが要求される小型電子部品４３の場合、２０００ｍｍ／ｓｅｃ程の高速度に設定する。そして、電子部品４３が部品認識装置２０の真上にきたとき、すなわち予め設定した、吸着ノズル９の中心とカメラ２２の中心とが一致した際、カメラ２２のシャッターを０．１ｍｓｅｃ切り、電子部品４３を撮像する。
【００５０】
このとき、レンズ２６は、作用位置に保持されている。そして、照明２４からの光は、レンズ２６により屈折されて集光する。集光された光は、ハーフミラー２５に５０％反射され、ハーフミラー２５上方の電子部品３３に向けて照射される。このように、レンズ２６により集光されて、照射範囲が小さくされた、強い照明光が、小型電子部品４３を照射する。
このため、高速度で電子部品３３を移動させても、シャッター時間が短いが、部品認識を行うのに、十分な光量が得られる。
【００５１】
上記のように、レンズ２６は、大型電子部品の場合退避位置に、小型電子部品の場合作用位置に移動する。そして、カメラ２２が吸着ノズル９に吸着された電子部品３３、または４３を撮像し、画像データを得る。得られた画像データは、予め入力された部品データと比較され、電子部品の位置ずれや角度ずれを演算する。
【００５２】
次に、演算結果に基き、θ軸モータ４０、Ｘ軸駆動モータ１５、Ｙ軸駆動モータ１９を駆動して、電子部品３３または４３の位置ずれ、角度ずれを調整する。
【００５３】
次に、電子部品３３または４３を回路基板４の搭載位置に移動させ、Ｚ軸モータ３９を駆動し、吸着ノズル９を下降させて、電子部品を回路基板４に搭載する。
【００５４】
第１実施形態によれば、電子部品の種類に応じて、照明２４の照射範囲を制御するので、部品サイズや部品形状に合せて、適切に照明２４の照射範囲が制御される。
【００５５】
また、電子部品の種類に応じて、部品認識装置上を移動する電子部品の移動速度を制御している。すなわち、大型電子部品で高精度な画像データが必要な場合、部品認識時の移動速度を低速度に設定する。一方、小型電子部品で、高精度な画像データを必要としない代わりに、搭載タクトの短縮が必要な場合、部品認識時の移動速度を高速度に設定する。
【００５６】
この発明は、上記実施形態に限定されることなく、種々変更可能である。
例えば、上記第１実施形態の集光するようにスリットが切られたレンズ２６に代えて、散光するようにスリットが切られたレンズ４６を用いることも容易に考えられる。
図８（ａ）は、散光するようにスリットが切られているレンズ４６の詳細図である。図９はレンズ４６が作用位置に移動した際の正面図である。
【００５７】
散光タイプのレンズ４６は、円盤状で、表面に正方形状のスリット４６ａが形成されている、フレネルレンズである。散光タイプのレンズ４６外形は、照明２４の外形より小さく設定されている。そして、レンズ４６が作用位置に位置すると、レンズ４６は、照明２４の内周部を覆うようになる。この際、照明２４の外周部からの光は、レンズ４６を通過せず、直接電子部品に照射される。
一方、照明２４の内周部からの光は、レンズ４６により外側に屈折されて、中央部には光があたらない。この結果、照明２４からの光は、図８（ｂ）に示すように、中心部４７に光が当たらず、周辺部４８に光が集まる。
そして、大型電子部品のＱＦＰなどに、このレンズ４６を適用すると、電子部品本体部に光が当たらず、外周の端子部にのみ光を照射することができるので、省エネで、高精度な画像データを得ることができる。特に、本体部に付いた、ゴミや埃などに、光が当たって、ノイズとしてカメラに写ることがない。
【００５８】
また、上記実施形態では、レンズ２６としてフレネルレンズを用いたが、これに代えて、凹レンズ、凸レンズ、シリンドリカルレンズ等を用いて、照明からの光を集光させたり、散光させたりすることも容易に考えられる。
【００５９】
また、上記実施形態では、レンズを１枚用いたが、これに代えて、レンズを複数枚容易し、レンズ毎に駆動モータを具備させるようにすることも容易に考えられる。そして、部品種に応じて、複数のレンズの中から最適なレンズを選択できるので、より最適な光の照射範囲を電子部品に与えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】電子部品装着機の斜視図である。
【図２】電子部品装着機に備えつけられた部品認識装置の詳細図である。
【図３】電子部品に対する照射範囲の説明図である。
【図４】レンズ移動機構の詳細図である。
【図５】電子部品装着機の制御系のブロック図である。
【図６】レンズが退避位置にある際の部品認識装置の詳細図である。
【図７】レンズが作用位置にある際の部品認識装置の詳細図である。
【図８】散光タイプのレンズを使用した場合の照射範囲の説明図である。
【図９】散光タイプのレンズが作用位置にある場合の正面図である。
【符号の説明】
【００６１】
９・・・吸着ノズル
２４・・照明
２５・・ハーフミラー
２２・・カメラ（撮像手段）
２６・・レンズ
３８・・コントローラ（制御手段）
【図１】
2005338030.tif 000003
【図２】
2005338030.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005338030.tif 000006
【図５】
2005338030.tif 000007
【図６】
2005338030.tif 000008
【図７】
2005338030.tif 000009
【図８】
2005338030.tif 000010
【図９】
2005338030.tif 000011