(57)【要約】【課題】アライメント構造を有するプレーナ光導波路素子及び接続工程において、そのプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法を提供する。【解決手段】複数の導波回路と、それぞれ前記複数の導波回路の両側に形成され、その接続端と前記複数の導波回路の接続端が平行し且つ同一平面上にある少なくとも二つのストレート導波回路とを備え、前記ストレート導波回路と前記複数の導波回路のコアのサイズ及び屈折率が同じであることを特徴とするプレーナ光導波路素子を提供し、更に前記プレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイとを前記ストレート導波回路を利用して接続することで、両者の接続速度を上げることができる。【選択図】  図３
2005037412.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の導波回路と、
それぞれ前記複数の導波回路の両側に形成され、その接続端と前記複数の導波回路の接続端が平行し且つ同一平面上にある少なくとも二つのストレート導波回路と、を備え、
前記ストレート導波回路と前記複数の導波回路のコアのサイズ及び屈折率が同じであることを特徴とするプレーナ光導波路素子。
【請求項２】
複数の伝送光ファイバと、
それぞれ前記複数の伝送光ファイバの両側に設置され、その接続端と前記複数の伝送光ファイバの接続端が平行し且つ同一平面上にある少なくとも二つのアライメント光ファイバと、を備える光ファイバ・アレイと接続し、前記ストレート導波回路の接続端がそれぞれ前記アライメント光ファイバの対応した接続端と接合し、且つ前記複数の導波回路の接続端がそれぞれ前記複数の伝送光ファイバの対応した接続端と接合することを特徴とする請求項１に記載のプレーナ光導波路素子。
【請求項３】
前記アライメント光ファイバの接続端と隣り合う前記複数の伝送光ファイバの接続端の間隔が前記ストレート導波回路の接続端と隣合う前記複数の導波回路の間隔と同じであることを特徴とする請求項２に記載のプレーナ光導波路素子。
【請求項４】
複数の導波回路とそれぞれ前記複数の導波回路の両側に設置された少なくとも二つのストレート導波回路が形成され、前記ストレート導波回路の接続端と前記複数の導波回路の接続端が平行し且つ同一平面上にあるプレーナ光導波路素子を提供するステップと、
複数の伝送光ファイバ及び少なくとも二つのアライメント光ファイバから構成され、前記アライメント光ファイバと前記複数の伝送光ファイバの接続端が平行し且つ同一平面上に設置され、前記アライメント光ファイバの接続端と隣り合う前記複数の伝送光ファイバの接続端の間隔が前記ストレート導波回路の接続端と隣り合う前記複数の導波回路の接続端の間隔と同じである光ファイバ・アレイを提供するステップと、
前記ストレート導波回路の接続端がそれぞれ前記アライメント光ファイバの接続端と向かい合いように、前記プレーナ光導波路素子と前記光ファイバ・アレイを対向させるステップと、
光波が前記ストレート導波回路を通過した後受光されるように、前記ストレート導波回路の末端にそれぞれパワーメータを設置し、且つそれぞれ光波を前記アライメント光ファイバに導入するステップと、
検出された光のパワー値が最大になるように、前記光ファイバ・アレイと前記プレーナ光導波路素子の接続位置を調整するステップとを含み、
前記ストレート導波回路と前記複数の導波回路のコアのサイズ及び屈折率が同じであることを特徴とするプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法。
【請求項５】
複数の導波回路とそれぞれ前記複数の導波回路の両側に設置された少なくとも二つのストレート導波回路が形成され、前記ストレート導波回路の導入側及び導出側の接続端と前記複数の導波回路の導入側及び導出側の接続端がそれぞれ平行し且つ同一平面上にあるプレーナ光導波路素子を提供するステップと、
複数の伝送光ファイバ及び少なくとも二つのアライメント光ファイバから構成され、前記アライメント光ファイバと前記複数の伝送光ファイバの接続端が平行し且つ同一平面上に設置され、前記アライメント光ファイバの接続端と隣り合う前記複数の伝送光ファイバの接続端の間隔が前記ストレート導波回路の導入側の接続端と隣り合う前記複数の導波回路の導入側の接続端の間隔と同じである第１の光ファイバ・アレイを提供するステップと、
複数の伝送光ファイバ及び少なくとも二つのアライメント光ファイバから構成され、前記アライメント光ファイバと前記複数の伝送光ファイバの接続端が平行し且つ同一平面上に設置され、前記アライメント光ファイバの接続端と隣り合う前記複数の伝送光ファイバの接続端の間隔が前記ストレート導波回路の導出側の接続端と隣り合う前記複数の導波回路の導出側の接続端の間隔と同じである第２の光ファイバ・アレイを提供するステップと、
前記ストレート導波回路の導入側及び導出側の接続端がそれぞれ前記第１の光ファイバ・アレイのアライメント光ファイバ及び前記第２の光ファイバ・アレイのアライメント光ファイバの接続端と向かい合いように、前記プレーナ光導波路素子と前記第１の光ファイバ・アレイ及び前記第２の光ファイバ・アレイを対向させるステップと、
光波が前記ストレート導波回路及び前記第２の光ファイバ・アレイのアライメント光ファイバを通過した後受光されるように、前記第２の光ファイバ・アレイのアライメント光ファイバの末端にそれぞれパワーメータを設置し、且つそれぞれ光波を前記第１の光ファイバ・アレイのアライメント光ファイバに導入するステップと、
検出された光のパワー値が最大になるように、前記第１の光ファイバ・アレイ及び前記第２の光ファイバ・アレイと前記プレーナ光導波路素子の接続位置を調整するステップとを含み、
前記ストレート導波回路と前記複数の導波回路のコアのサイズ及び屈折率が同じであることを特徴とするプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法。
【請求項６】
前記複数の導波回路及び前記ストレート導波回路の設計が半導体製造工程のマスク製作と同時に行われることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プレーナ光導波路素子及びそのプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法に関し、特にアライメント構造を有するプレーナ光導波路素子、及び接続工程においてそのプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信技術の発展は主に高帯域、低伝送損失及び電磁波の干渉を受けない等の特性を基礎としている。光分割／光合成、光スイッチング（ｏｐｔｉｃａｌ  ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）などの機能を有するプレーナ（平面型）光導波路素子は、半導体技術を利用してシリコン基板上で製作されるので、光ファイバとの相容性が良く、今では主な光通信素子として広く利用されている。
【０００３】
一般に、プレーナ光導波路素子は少なくとも一つの光ファイバ・アレイと接続される。図１は、従来の接続済みのプレーナ光導波路素子及び光ファイバ・アレイの主な構成を示す平面図である。図１に示すように、プレーナ光導波路素子１の基板３上に複数の導波回路２が形成され、これらの導波回路２は主にマスクパターンの設計（図示せず）により、現像、エッチングなどの工程を利用して形成される。一方、光ファイバ・アレイ４は、コネクタ５上に固定された複数の光ファイバ６から構成されている。プレーナ光導波路素子１と光ファイバ・アレイ４の接続工程において、先ず導波回路２の導入端８を介して光源７が発射した光波を導波回路２全体に導入することにより、光波を接続領域９を介してそれぞれ対応した光ファイバ６に進入させる。次に、パワーメータ（ｐｏｗｅｒ  ｍｅｔｅｒ）１０を利用してこれらの光波を受信して、受信した光波のパワー値により接続領域９内の各導波回路２に対応した光ファイバ６の接続位置を調整する。最後に、受信した光波のパワーが最大値に達すると、各導波回路２と対応した光ファイバ６がアライメントされたことを示して、接続位置を固定する。導波回路２のコア（ｃｏｒｅ）の屈折率はクラッディング（ｃｌａｄｄｉｎｇ）の屈折率より高いので、光が導波回路内に制限されて送伝される。さらに光学距離の違い若しくはコア断面形状の違いで、図２Ａから図２Ｄの図に示すような各種のプレーナ光導波回路を製作することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述から分かるように、従来、プレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイの接続位置のアライメントは、パワーメータによる導波回路と光ファイバ・アレイの接続位置に基づく光波のパワー値により判断するので、このアライメントがいつもプレーナ光導波回路パターンの設計の影響を受け、接続位置の調整を困難にしている。例えば、プレーナ光導波回路パターンの曲線の変化が複雑多様である場合は、導波回路を通過した後の光波のパワーは大幅に弱まってしまう。これは、パワーメータの受信効果に影響するのみでなく、最大接続パワー値の検索もより困難にする。なお、この問題が更にプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアセンブリ（ａｓｓｅｍｂｌｙ）上の困難の原因にもなる。
【０００５】
本発明は、上記従来の問題点を解決するものであり、プレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメントを更に便利にして、接続の速度を上げる為に、プレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイをアライメントする有効な方法を提供する。
【０００６】
即ち、本発明は、プレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイの接続工程におけるアライメントの課題を解決する為に、アライメント構造を有し、迅速且つ正確に光ファイバ・アレイとアライメントして接続するプレーナ光導波路素子を提供することを第１の目的とする。
【０００７】
また、本発明は、プレーナ光導波回路パターンの設計の影響を受けず、プレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメントにおいて、より便利で、接続速度を上げることができる、プレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法を提供することを第２の目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明によるプレーナ光導波路素子は、複数の導波回路と、それぞれが前記複数の導波回路の両側に形成され、接続端は前記複数の導波回路の接続端と平行し且つ同一平面上にある少なくとも二つのストレート導波回路と、を備えるプレーナ光導波路素子であって、前記ストレート導波回路と前記複数の導波回路のコアのサイズ及び屈折率は同じである。尚、一つの実施形態では、前記複数の導波回路の接続端は、当該複数の導波回路の導入端である。もう一つの実施形態では、前記複数の導波回路の接続端は、当該複数の導波回路の導出端である。
【０００９】
また、本発明によるプレーナ光導波路素子は、更に光ファイバ・アレイと接続することができる。前記光ファイバ・アレイは、複数の伝送光ファイバと、それぞれ前記複数の伝送光ファイバの両側に設置され、その接続端と前記複数の伝送光ファイバの接続端が平行し且つ同一平面上に設置された少なくとも二つのアライメント光ファイバとを備える。前記ストレート導波回路の接続端がそれぞれ前記アライメント光ファイバの対応した接続端と接合し、且つ前記複数の導波回路の接続端がそれぞれ前記複数の伝送光ファイバの対応した接続端と互いに接合している。
【００１０】
この場合、前記アライメント光ファイバの接続端と隣り合う前記複数の伝送光ファイバの接続端の間隔が前記ストレート導波回路の接続端と隣合う前記複数の導波回路の間隔と同じになることが好ましい。
【００１１】
尚、一つの実施形態では、前記複数の導波回路の接続端は当該複数の導波回路の導入端である。もう一つの実施形態では、前記複数の導波回路の接続端は当該複数の導波回路の導出端である。
【００１２】
また、本発明のプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法は、複数の導波回路と前記複数の導波回路の両側に設置された少なくとも二つのストレート導波回路が形成され、前記ストレート導波回路の接続端と前記複数の導波回路の接続端が平行し且つ同一平面上に設置されているプレーナ光導波路素子を提供するステップと、複数の伝送光ファイバ及び少なくとも二つのアライメント光ファイバから構成され、前記アライメント光ファイバと前記複数の伝送光ファイバの接続端が平行し且つ同一平面上に設置され、前記アライメント光ファイバの接続端と隣合う前記複数の伝送光ファイバの接続端の間隔が、前記ストレート導波回路の接続端と隣り合う前記複数の導波回路の接続端の間隔と同じである、光ファイバ・アレイを提供するステップと、前記ストレート導波回路の接続端がそれぞれ前記アライメント光ファイバの接続端と向き合うように、前記プレーナ光導波路素子と前記光ファイバ・アレイを対向させるステップと、光波が前記ストレート導波回路を通過した後に受信されるように、前記ストレート導波回路の末端にそれぞれパワーメータを設置し、且つ光波をそれぞれ前記アライメント光ファイバに導入するステップと、検出された光のパワー値が最大になるように、前記光ファイバ・アレイと前記プレーナ光導波路素子の接続位置を調整するステップを含み、前記ストレート導波回路と前記複数の導波回路のコアのサイズ及び屈折率が同じであることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明のプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法は、複数の導波回路と前記複数の導波回路の両側に設置された少なくとも二つのストレート導波回路が形成され、前記ストレート導波回路の導入側及び導出側の接続端と前記複数の導波回路の導入側及び導出側の接続端がそれぞれ平行し且つ同一平面上に設置されているプレーナ光導波路素子を提供するステップと、複数の伝送光ファイバ及び少なくとも二つのアライメント光ファイバから構成され、前記アライメント光ファイバと前記複数の伝送光ファイバの接続端が平行し且つ同一平面上に設置され、前記アライメント光ファイバの接続端と隣合う前記複数の伝送光ファイバの接続端の間隔が、前記ストレート導波回路の導入側の接続端と隣り合う前記複数の導波回路の導入側の接続端の間隔と同じである、第１の光ファイバ・アレイを提供するステップと、複数の伝送光ファイバ及び少なくとも二つのアライメント光ファイバから構成され、前記アライメント光ファイバと前記複数の伝送光ファイバの接続端が平行し且つ同一平面上に設置され、前記アライメント光ファイバの接続端と隣合う前記複数の伝送光ファイバの接続端の間隔が、前記ストレート導波回路の導出側の接続端と隣り合う前記複数の導波回路の導出側の接続端の間隔と同じである、第２の光ファイバ・アレイを提供するステップと、前記ストレート導波回路の導入側及び導出側の接続端がそれぞれ前記第１の光ファイバ・アレイのアライメント光ファイバ及び前記第２の光ファイバ・アレイのアライメント光ファイバの接続端と向き合うように、前記プレーナ光導波路素子と前記第１の光ファイバ・アレイ及び前記第２の光ファイバ・アレイを対向させるステップと、光波が前記ストレート導波回路及び前記第２の光ファイバ・アレイのアライメント光ファイバを通過した後に受信されるように、前記第２の光ファイバ・アレイのアライメント光ファイバの末端にそれぞれパワーメータを設置し、且つ光波をそれぞれ前記第１の光ファイバ・アレイのアライメント光ファイバに導入するステップと、検出された光のパワー値が最大になるように、前記第１の光ファイバ・アレイ及び前記第２の光ファイバ・アレイと前記プレーナ光導波路素子の接続位置を調整するステップを含み、前記ストレート導波回路と前記複数の導波回路のコアのサイズ及び屈折率が同じであることを特徴とする。
【００１４】
また、その後の半導体製作工程に影響を与えないために前記複数の導波回路及び前記ストレート導波回路の設計は半導体製造工程のマスク製作と同時に行われることが好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のプレーナ光導波路素子の特徴及び当該プレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法について添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】
以下の実施形態では、任意形式の導波回路を有するプレーナ光導波路素子におけるマスク製作段階において、コアのサイズ（高さ及び幅を含む。）及び屈折率が主要な導波回路と同一である二つ以上のストレート導波回路の設計工程が加えられている。これらのストレート導波回路の加入が主にマスク製作段階で行われるので、半導体製作工程のその他の工程に影響を与えることがない。更に、これらのストレート導波回路を利用してプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイの接続時のアライメントを行うことができる。
【００１７】
［第１の実施形態］
図３は、本発明の第１の実施形態におけるプレーナ光導波路素子及び光ファイバ・アレイの主な構成を示す平面図である。本実施形態のプレーナ光導波路素子３１は以下の特徴を有する。第一に、導波回路３２は基板３３上に形成され、この導波回路３２の導入端３４及び導出端３５は同一側に設置されている。つまりこのプレーナ光導波路素子３１は片側形式である。第二に、導波回路３２の両側に更に二つのストレート導波回路３６ａ及び３６ｂが形成され、ストレート導波回路３６ａ及び３６ｂと導波回路３２のコアのサイズ（高さ及び幅を含む。）と屈折率は同じである。第三に、ストレート導波回路３６ａ及び３６ｂの接続端３７ａ及び３７ｂは、導波回路３２の接続端と平行し、且つ隣り合う接続端の間隔が同じである。一方、本実施形態の光ファイバ・アレイ３９はコネクタ３８により固定される。なお、コネクタ３８は二つのアライメント光ファイバ４０ａ及び４０ｂを有する。このアライメント光ファイバ４０ａ及び４０ｂの接続端４１ａ及び４１ｂと隣合う光ファイバ・アレイ３９の接続端４２との間隔は、ストレート導波回路３６ａ及び３６ｂの接続端３７ａ及び３７ｂと隣合う導波回路３２の接続端の間隔と同じであるよう配置されている。
【００１８】
このため、本実施形態において、プレーナ光導波路素子３１と光ファイバ・アレイ３９が接続する際、導波回路３２の導入端３４及び各導出端３５が光ファイバ・アレイ３９の各接続端４２に対応した上で、ストレート導波回路３６ａ及び３６ｂの接続端３７ａ及び３７ｂがそれぞれアライメント光ファイバ４０ａ及び４０ｂの接続端４１ａ及び４１ｂに対応する。従って、ストレート導波回路３６ａ及び３６ｂの接続端３７ａ及び３７ｂとアライメント光ファイバ・アレイ４０ａ及び４０ｂの接続端４１ａ及び４１ｂのアライメントを完成できれば、同時に自動的に導波回路３２の導入端３４及び各導出端３５と光ファイバ・アレイ３９の各接続端４２のアライメントを完成することができる。図４は本実施形態のプレーナ光導波路素子３１と光ファイバ・アレイ３９のアライメント方法を簡略に説明したフローチャートである。以下各ステップについて詳細に説明する。
ステップ４０１：プレーナ光導波路素子３１及び光ファイバ・アレイ３９を提供する。
ステップ４０２：二つのストレート導波回路３６ａ及び３６ｂの接続端３７ａ及び３７ｂのそれぞれが二つのアライメント光ファイバ４０ａ及び４０ｂの二つの接続端４１ａ及び４１ｂに向かい合うように、プレーナ光導波路素子３１と光ファイバ・アレイ３９を接続する。
ステップ４０３：二つのパワーメータ４６及び４７をストレート導波回路３６ａ及び３６ｂの末端に設置し、光波が接続領域４５及び二つのストレート導波回路３６ａ及び３６ｂを通過した後、それぞれ二つのパワーメータ４６及び４７に受信されるように、光源４３及び４４から二つの光波をそれぞれ二つのアライメント光ファイバ４０ａ及び４０ｂに導入する。
ステップ４０４：プレーナ光導波路素子３１と光ファイバ・アレイ３９の位置を調整して、二つのパワーメータ４６及び４７が受信した光波のパワーが最大値となった時、プレーナ光導波路素子３１と光ファイバ・アレイ３９の位置を固定する。
【００１９】
なお、本実施形態における基板上に形成されたストレート導波回路３６ａによりアライメントの目的が達成できれば、ストレート導波回路３６ａ及び３６ｂの接続端３７ａ及び３７ｂと隣合う導波回路３２の接続端の間の間隔は各導出端３５同士の間の間隔と同じでなくてもよい。この場合、アライメント光ファイバ４０ａ及び４０ｂの接続端４１ａ及び４１ｂがそれぞれストレート導波回路３６ａ及び３６ｂの接続端３７ａ及び３７ｂと互いに接合し、且つ光ファイバ・アレイ３９の各接続端４２がそれぞれ導波回路３２の導入端３４及び各導出端３５と互いに接合するために、アライメント光ファイバ４０ａ及び４０ｂの接続端４１ａ及び４１ｂと隣合う光ファイバ・アレイ３９の接続端４２の配置間隔を変更する必要がある。なお、形成されたストレート導波回路の数及び対応したアライメント光ファイバの数は二つに限らず、また導入端及び導出端を異なる側に配置してもよく、導波回路パターンは任意の形式でよい。
【００２０】
［第２の実施形態］
図５は、本発明の第２の実施形態におけるプレーナ光導波路素子及び光ファイバ・アレイの主な構成を示す平面図である。本実施形態において、プレーナ光導波路素子５１の基板上に形成された導波回路５２の導入端５４と導出端５５は、異なる側に位置する。即ち、このプレーナ光導波路素子５１は両側形式である。
その他のプレーナ光導波路素子５１の特徴は、第１の実施形態におけるプレーナ光導波路素子３１と同様であるので、その説明を省略する。また、本実施形態の光ファイバ・アレイ５９及び７０の特徴も、第１の実施形態における光ファイバ・アレイ３９と同様であるので、その説明を省略する。
【００２１】
本実施形態において、プレーナ光導波路素子５１は二つの光ファイバ・アレイ５９及び７０に接続する際、導波回路５２の各導入端５４は光ファイバ・アレイ５９の各接続端６２に対応し、導波回路５２の各導出端５５は別の光ファイバ・アレイ７０の各接続端７１に対応する。さらに、ストレート導波回路５６ａ及び５６ｂの接続端５７ａ及び５７ｂはそれぞれアライメント光ファイバ６０ａ及び６０ｂの接続端６１ａ及び６１ｂに対応し、且つストレート導波回路５６ａ及び５６ｂの接続端５７ｃ及び５７ｄはそれぞれアライメント光ファイバ７３ａ及び７３ｂの接続端７４ａ及び７４ｂに対応する。このようにして、接続端５７ａ、５７ｂ、５７ｃ及び５７ｄと接続端６１ａ、６１ｂ、７４ａ及び７４ｂのアライメントを完成できれば、同時に自動的に導波回路３２の各導入端５４及び導出端５５と光ファイバ・アレイ５９の各接続端６２及び光ファイバ・アレイ７０の各接続端７１のアライメントを完成できる。図６は、本実施形態におけるプレーナ光導波路素子５１と光ファイバ・アレイ５９及び７０のアライメント方法を示すフローチャートである。以下各ステップについて詳細に説明する。
ステップ６０１：プレーナ光導波路素子５１と光ファイバ・アレイ５９及び７０を提供する。
ステップ６０２：二つのストレート導波回路５６ａ及び５６ｂの四つの接続端５７ａ、５７ｂ、５７ｃ及び５７ｄのそれぞれが四つのアライメント光ファイバ６０ａ、６０ｂ、７３ａ及び７３ｂの四つの接続端６１ａ、６１ｂ、７４ａ及び７４ｂに向かい合うように、プレーナ光導波路素子５１と光ファイバ・アレイ５９及び７０を接続する。
ステップ６０３：二つのパワーメータ７５及び７６をアライメント光ファイバ７３ａ及び７３ｂの末端に設置し、光波が接続領域６５、二つのストレート導波回路５６ａ及び５６ｂ、接続領域６６及び二つのアライメント光ファイバ７３ａ及び７３ｂを通過した後、それぞれ二つのパワーメータ７５及び７６に受信されるように、光源６３及び６４から二つの光波をそれぞれ二つのアライメント光ファイバ６０ａ及び６０ｂに導入する。
ステップ６０４：プレーナ光導波路素子５１と光ファイバ・アレイ５９及び７０の位置を調整して、二つのパワーメータ７５及び７６が受信した光波のパワーが最大値となった時、プレーナ光導波路素子５１と光ファイバ・アレイ５９及び７０の位置を固定する。
【００２２】
なお、本実施形態における基板上に形成されたストレート導波回路５６ａ及び５６ｂと導波回路５２が同一平面上にあれば、ストレート５６ａ及び５６ｂの接続端５７ａ及び５７ｂと隣合う導波回路５２の導入端５４の間の間隔は各導入端５４同士の間隔と同じでなくても良く、同様に、ストレート導波回路５６ａ及び５６ｂの接続端５７ｃ及び５７ｄと隣合う導波回路５２の導出端５５の間の間隔は、各導出端５５同士の間隔と同じでなくても良い。この場合、アライメント光ファイバ６０ａ及び６０ｂの接続端６１ａ及び６１ｂのそれぞれがストレート導波回路５６ａ及び５６ｂの接続端５７ａ及び５７ｂと互いに接合し、且つ光ファイバ・アレイ５９の各接続端６２のそれぞれが導波回路５２の各導入端５４と互いに接合するために、アライメント光ファイバ６０ａ及び６０ｂの接続端６１ａ及び６１ｂと隣合う光ファイバ・アレイ５９の接続端６２の配置間隔を変更する必要があり、またアライメント光ファイバ７３ａ及び７３ｂの接続端７４ａ及び７４ｂそれぞれがストレート導波回路５６ａ及び５６ｂの接続端５７ｃ及び５７ｄと互いに接合し、且つ光ファイバ・アレイ７０の各接続端７１のそれぞれと導波回路５２の各導出端５５が互いに接合するために、アライメント光ファイバ７３ａ及び７３ｂの接続端７４ａ及び７４ｂと隣合う光ファイバ・アレイ７０の接続端７１の配置間隔も変更する必要がある。なお、形成されたストレート導波回路の数及び対応したアライメント光ファイバの数もまた二つに限らず、導入端及び導出端の数もまた異なってもよく、導波回路パターンも任意の形式でよい。
【００２３】
図７は本発明のプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメントを示す断面図である。図７に示すように、プレーナ光導波路素子は半導体製造工程により製作されるので、全ての導波回路チャネルが同一平面上にある。従って、両端のアライメント光ファイバ１及び２のそれぞれがストレート導波回路１及び２とアライメントする際、主な光ファイバ・アレイと導波回路が自動的に向かい合う。
【００２４】
以上、本発明を実際の例及び各実施の形態により詳細に説明した。しかしながら、具体的な構成は、この実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があっても、本発明に含まれる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明によれば、プレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメントが更に便利になり、両者の接続速度を上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の接続が完了したプレーナ光導波路素子及び光ファイバ・アレイの主な構成を示す平面図である。
【図２】従来のプレーナ光導波回路パターンを示す略図である。
【図３】本発明の第１の実施形態におけるプレーナ光導波路素子及び光ファイバ・アレイの主な構成を示す平面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態におけるプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法を示すフローチャートである。
【図５】本発明の第２の実施形態におけるプレーナ光導波路素子及び光ファイバ・アレイの主な構成を示す平面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態におけるプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメント方法を示すフローチャートである。
【図７】本発明のプレーナ光導波路素子と光ファイバ・アレイのアライメントを示す断面図である。
【符号の説明】
１、３１、５１  プレーナ光導波路素子
２、３２、５２  導波回路
３、３３、５３  基板
４、３９、５９、７０  光ファイバ・アレイ
５、３８、５８、７２  コネクタ
６  光ファイバ
７、４３、４４  光源
８、３４、５４  導入端
９、４５、６５、６６  接続領域
１０、４６、４７、７５、７６  パワーメータ
３５、５５  導出端
３６ａ、３６ｂ、５６ａ、５６ｂ  ストレート導波回路
３７ａ、３７ｂ、５７ａ、５７ｂ、５７ｃ、５７ｄ  接続端
４０ａ、４０ｂ、６０ａ、６０ｂ、７３ａ、７３ｂ  アライメント光ファイバ
４１ａ、４１ｂ、６１ａ、６１ｂ、７４ａ、７４ｂ  アライメント光ファイバの接続端
４２、６２、７１  光ファイバ・アレイの接続端
【図１】
2005037412.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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