(57)【要約】【課題】  ３００ｍｍウエーハ用キャリアの内面洗浄に適用して、所定のブラッシング能力を確保でき、しかも溝部からの毛束のはみ出し及びこれによる寿命短縮を回避できるキャリア洗浄用ブラシを提供する。【解決手段】  ドラム状の回転体２１の外周面に、溝部をブラッシングする溝部用の長い毛束２５ａ〜２５ｄと、山部をブラッシングする山用の短い毛束２６ｇ，２６ｈとを回転軸方向及び回転方向に所定間隔で植設する。溝部用の長い毛束２５ａ〜２５ｄのうち、毛束２５ａ，２５ｄは奇数番目の溝部を担当し、毛束２５ｂ，２５ｃは偶数番目の溝部を担当する。毛束２５ａ，２５ｄは、先端径が溝部に挿入可能な最大径より小さい小径毛束であり、溝幅方向でオーバーラップしつつ一方が溝部の一側側を担当し他方が溝部の他側側を担当するように支持体の回転軸方向に変位して配置される。毛束２５ｂ，２５ｃも、先端径が溝部に挿入可能な最大径より小さい小径毛束であり、溝幅方向でオーバーラップしつつ一方が溝部の一側側を担当し他方が溝部の他側側を担当するように支持体の回転軸方向に変位して配置される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の半導体ウエーハを厚み方向に並列させて収容するためにウエーハの収容枚数に対応する数の溝部を内面に有するウエーハキャリアの内面洗浄に使用される回転式のキャリア洗浄用ブラシであって、ドラム状の回転体の外周面に、溝部をブラッシングする溝部用の長い毛束と、山部をブラッシングする山用の短い毛束とを回転軸方向及び回転方向に所定間隔で植設すると共に、溝部用の長い毛束として、少なくとも２種類の小径毛束を、溝幅方向でオーバーラップしつつ一方が溝部の一側側を担当し他方が溝部の他側側を担当するように支持体の回転軸方向に変位させて植設したことを特徴とするキャリア洗浄用ブラシ。
【請求項２】
溝部用の長い小径毛束の先端径が、溝部に挿入可能な最大径より小である請求項１に記載のキャリア洗浄用ブラシ。
【請求項３】
溝部用の長い小径毛束が一側側、他側側の２種類であり、両方の小径毛束の先端径の和が溝部の幅以上であり、個々の小径毛束の先端径が溝部の配列ピッチ以下である請求項２に記載のキャリア洗浄用ブラシ。
【請求項４】
溝部用の長い小径毛束が一側側、他側側の２種類であり、両方の小径毛束の付け根部径の和が、溝部の幅＋２〜５ｍｍである請求項１に記載のキャリア洗浄用ブラシ。
【請求項５】
小径毛束を構成する樹脂細線が溝部の外にはみ出さない範囲内で、その小径毛束を支持体の回転軸方向に変位させて植設する請求項１に記載のキャリア洗浄用ブラシ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハキャリアの内面洗浄に用いられる回転式のキャリア洗浄用ブラシに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造プロセスでは、シリコンウエーハなどの半導体ウエーハが、キャリアに収納されて工程間を搬送される。このウエーハキャリアは、所定枚数のウエーハを水平姿勢で垂直方向に並列させて収容するために、ウエーハの収容枚数に対応する数の溝部を内面に有している。そして、所定枚数のウエーハの各外周縁部が対応する溝部にそれぞれ挿入され、各溝部の下側に形成された山部に係合することにより、所定枚数のウエーハが水平姿勢で垂直方向に所定間隔でキャリア内に支持される。
【０００３】
このようなウエーハキャリアは、清浄性を維持するために頻繁に洗浄処理を受ける。特に高い清浄性が求められるキャリア内面については、特許文献１に示されるような回転ブラシを用いたブラシ洗浄が一般に採用されている。回転ブラシを溝部の方向に沿って回転させながらキャリア内に挿入することにより、溝部の底面も効果的に洗浄される。特に近時は、特許文献１の回転ブラシを発展させた図５及び図６の回転ブラシが多用されている。
【０００４】
【特許文献１】実開昭６２−１２４８４８号公報
【０００５】
図５及び図６に示す回転ブラシは、ドラム状の回転体１の外周面に、溝部用の長い毛束２と、山用の短い毛束３とを回転軸方向及び回転方向に所定間隔で植設した構造になっている。より具体的には、回転体１の回転軸方向に所定数の同種毛束を１列に並べ、異種の毛束列（Ａ′，Ｄ′，Ｂ′，Ｃ′）を回転方向に繰り返し配列した構造になっている。
【０００６】
そしてＡ′列では、偶数番目の溝部をブラッシングする長い毛束２ａ′、Ｄ列では、偶数番目の山部をブラッシングする短い毛束３ｄ′、Ｂ列では、奇数番目の溝部をブラッシングする長い毛束２ｂ′、Ｃ列では、奇数番目の山部をブラッシングする短い毛束３ｃ′がそれぞれ回転軸方向に溝部の配列ピッチの２倍のピッチで整列している。なお、各毛束は、例えばナイロンなどからなる直径が０．２ｍｍ程度の樹脂細線を円形に束ねることにより構成されている。
【０００７】
ところで、このようなウエーハキャリアに収容されるシリコンウエーハは、これまでは直径が２００ｍｍ（８インチ）のものが最大であったが、最近になって３００ｍｍ（１２インチ）のウエーハが開発され、量産が始まっている。これに伴って、ウエーハキャリアについても、３００ｍｍウエーハ用のものが開発され規格化されている。
【０００８】
前述した図５及び図６の回転ブラシは２００ｍｍウエーハ用キャリアに使用されるものであり、そのウエーハキャリアでは、溝部の配列ピッチは６．３５ｍｍ、溝部及び山部の各幅はぼほ等しく共に約３ｍｍに設定されている。これに伴い、溝部用の長い毛束２も山部用の短い毛束３も共に付け根部分で各部の幅よりやや大きい（＋１〜２．５ｍｍ）約４〜５．５ｍｍの太さに定められている。毛束の直径、特に溝部用の長い毛束２の直径を付け根部で溝部の幅＋１〜２．５ｍｍ程度に設定するのは、溝部をブラッシングするのに必要な樹脂細線の溝幅方向の本数を確保するためである。
【０００９】
そして、このように溝部用の長い毛束２の直径を付け根部で溝部の幅より若干大きくしても、毛束２を構成する樹脂細線が溝部からはみ出すことはなかった。なぜなら、溝部用の長い毛束２が溝部に挿入される場合、毛束２が円形から楕円形に変形する。また、回転ブラシの回転方向では、毛束２が円弧を描くように斜めから溝部に挿入される。回転ブラシの回転軸方向では、溝部の幅が表面に近い部分で徐々に広がるように、山部の両エッジ部に丸みが付与されている。これらにより、溝部の幅より直径が大きい毛束２も溝部内に挿入され、溝部の底面のみならず両側面に対しても十分なブラッシングが行なわれる。
【００１０】
ところが、３００ｍｍウエーハ用キャリアに使用する回転ブラシを、２００ｍｍウエーハ用キャリアに使用する回転ブラシと同じような設計思想で作製すると、次のような問題を生じることが判明した。
【００１１】
図７及び図８は、２００ｍｍウエーハキャリア用回転ブラシと同じ材質、線径及び長さで設計した、３００ｍｍウエーハ用キャリアに使用される回転ブラシの構造説明図である。３００ｍｍウエーハ用のキャリア１０では、溝部１１のピッチＰは１０ｍｍに広がる。山部１２の幅は２００ｍｍウエーハ用のキャリアと同じ約３ｍｍである。即ち、３００ｍｍウエーハ用キャリア１０では、溝部１１の幅が約３ｍｍから約７ｍｍに広がるのである。これに伴い、溝部用の長い毛束２（２ｅ，２ｆ）の直径が、付け根部の直径（毛束を植設するために回転体２１の外周面に設けられる穴の径）で約９ｍｍに倍増され、溝幅の増大に見合う樹脂細線の本数が確保される。
【００１２】
このような溝部用の大径の毛束２（２ｅ，２ｆ）は、２００ｍｍウエーハキャリア用の回転ブラシに使用される小径（付け根部で４〜５．５ｍｍ径）の毛束２と異なり、直径が大きくなることに伴って毛先が大きく広がるようになる。その結果、毛束２（２ｅ，２ｆ）の先端径は、溝部１１に挿入可能な最大径（溝幅の配列ピッチである１０ｍｍ）を大きく超え、両側の一部が溝部１１内に入らずに溝部１１外へはみ出す。そうなると、両側部の樹脂細線が容易に変形し、一度変形すると他の樹脂細線と絡まり、他の樹脂細線も連鎖的に変形する。その結果、ブラシ寿命が極端に短くなる。また、一部の樹脂細線が溝部１１の外にはみ出し、溝部１１内に挿入される細線数が低減するために、ブラッシング能力も低下する。
【００１３】
この対策として、溝部１１内に挿入可能になるまで、毛束２の直径を小さくすることが考えられる。そうすると、樹脂細線のはみ出し、これによる細線の変形及びブラシ寿命の短縮は回避される。しかし、その一方でブラッシング能力が低下する。なぜなら、溝部１１内に侵入する細線数が減少するからである。
【００１４】
なお、山部用の短い毛束３（３ｇ，３ｈ）は、山部１２の幅が２００ｍｍウエーハ用のキャリアと同じ約３ｍｍであるため、そのキャリア用の回転ブラシと同じ４〜５．５ｍｍに付け根部径が設定されているが、特に問題を生じない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、３００ｍｍウエーハ用キャリアの内面洗浄に適用して、所定のブラッシング能力を確保でき、しかも溝部からの毛束のはみ出し及びこれによる寿命短縮を回避できるキャリア洗浄用ブラシを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明のキャリア洗浄用ブラシは、複数枚の半導体ウエーハを厚み方向に並列させて収容するためにウエーハの収容枚数に対応する数の溝部を内面に有するウエーハキャリアの内面洗浄に使用される回転式のキャリア洗浄用ブラシであって、ドラム状の回転体の外周面に、溝部をブラッシングする溝部用の長い毛束と、山部をブラッシングする山用の短い毛束とを回転軸方向及び回転方向に所定間隔で植設すると共に、溝部用の長い毛束として、少なくとも２種類の小径毛束を、溝幅方向でオーバーラップしつつ一方が溝部の一側側を担当し他方が溝部の他側側を担当するように支持体の回転軸方向に変位させて植設したものである。
【００１７】
本発明のキャリア洗浄用ブラシにおいては、溝部用の長い毛束として、先端径を溝部に挿入可能な最大径より小さくした、少なくとも２種類の小径毛束を用いる。そして、これらを溝幅方向でオーバーラップさせつつ、２種類の一方が溝部の一側側を担当し他方が溝部の他側側を担当するように支持体の回転軸方向に変位させる。これにより、溝部用の長い毛束は小径化により溝部内に確実に挿入される。しかも、複数の小径毛束のオーバーラップを伴う組合せにより、溝部内が両側面を含めて全幅にわたり、しかも必要十分な本数の細線でもってブラッシングされる。
【００１８】
溝部用の長い小径毛束の直径は、その小径毛束が一側側、他側側の２種類の場合、次のように定めるのが好適である。先端径の最大値については、各小径毛束の先端径が溝部の配列ピッチ以下であり、先端径の最小値については、両方の小径毛束の先端径の和が溝部の幅以上が好ましい。即ち、小径毛束が溝部に挿入可能な最大の先端径が溝部の配列ピッチであり、これを超えると小径毛束の一部の細線がはみ出す危険性が生じる。また、２種類の小径毛束の細線数を合計したとき、ブラッシングに必要な最小本数を超え、無駄が生じる。一方、２種類の小径毛束の先端径の和が溝部の幅より小さい（幅未満である）と、それらの小径毛束の間で死角ができる（オーバーラップが生じない）とか、合計線数がブラッシングに必要な最小本数に達しなくなるといったブラッシング能力上の問題が生る。なお、溝部の幅とは、溝部の最下部における幅と最上部における幅を平均したものである。
【００１９】
２種類の小径毛束の付け根部径については、毛束を構成する細線の材質や直径、長さ、密度等に影響され、必ずしも定量的に決定できるものではないが、目安としては溝部をブラッシングするのに必要な毛束の樹脂細線の溝幅方向における本数を確保するために、２種類の小径毛束の付け根部径の和で表わして溝部の幅の＋２〜５ｍｍが好ましい。
【００２０】
２種類の小径毛束を、一方が溝部の一側側を担当し他方が溝部の他側側を担当するように支持体の回転軸方向に変位させて植設する場合の変位量としては、小径毛束を構成する樹脂細線が溝部の外にはみ出さないように選択するのは言うまでもない。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のキャリア洗浄用ブラシは、溝部に対して、先端径が溝部に挿入可能な最大径より小さい少なくとも２種類の小径毛束を、溝幅方向で組合せて使用することにより、３００ｍｍウエーハ用キャリアの内面洗浄に適用した場合にも、その広い溝部を確実にブラッシングでき、しかも溝部からの毛束のはみ出し及びこれによる変形を防止できることにより、使用期間を大幅に延長できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の一実施形態を示すキャリア洗浄用ブラシの側面図、図２〜図４は同キャリア洗浄用ブラシの縦断面図であり、図２はＡ列及びＢ列における毛束の配列構成、図３はＣ列及びＤ列における毛束の配列構成、図４はＧ列及びＨ列における毛束の配列構成をそれぞれ示す。
【００２３】
本実施形態のキャリア洗浄用ブラシは、ＦＯＵＰと呼ばれる３００ｍｍウエーハ用キャリア１０（以下単にキャリア１０と称す）の内面洗浄に使用される回転ブラシである。キャリア１０は、所定枚数の３００ｍｍを水平姿勢で垂直方向に並列支持するために、内面に所定数の溝部１１を有しており、それらの溝部１１に水平に挿入されたウエーハを、下方の山部１２で支持する。
【００２４】
ここで、溝部１１の配列ピッチＰは１０ｍｍ、山部１２の幅は約３ｍｍ、溝部１１の幅は約７ｍｍであることは前述したとおりである。
【００２５】
キャリア１０の内面洗浄に使用されるブラシ２０は、キャリア１０内に挿入可能なドラム状の回転体２１を有している。回転体２１は、Ｌ字状の支持部材２２の先に回転自在に取付けられており、支持部材２２内でかさ歯車２３，２３を用いてＬ字状に組み合わされた駆動軸２４，２４により回転駆動される。
【００２６】
このブラシ２０は、回転体２１の軸方向に毛束を並べて構成された４種類の毛束列Ａ〜Ｄを外周面の周方向に繰り返し配列すると共に、それらの毛束列の間に２種類の毛束列Ｇ，Ｈを繰り返し配列した構造になっている。
【００２７】
これら６種類の毛束列のうち、毛束列Ａ〜Ｄは、キャリア１０の溝部１１をブラッシングする溝部用の長い小径毛束２５ａ〜２５ｄにより構成されている。一方、毛束列Ｇ，Ｈは、山部１２をブラッシングする山部用の短い小径毛束２６ｇ，２６ｈにより構成されている。
【００２８】
ブラシ２０の外径は、毛束列Ａ〜Ｄの部分では、キャリア１０の両側の溝部１１，１１の間隔より若干大きく設定されており、毛束列Ｇ，Ｈの部分では、両側の山部１２，１２の間隔より若干大きく設定されている。また、ブラシ２０の回転軸方向の長さは、キャリア１０の端板間の距離（溝部１１及び山部１２の配列方向の内寸法）の約半分に設定されている。これにより、ブラシ２０は、回転しながらキャリア１０の開口部からキャリア内の約１／２の部分に溝部１１及び山部１２に沿って挿入されることにより、半数の溝部１１及び山部１２を両側で同時にブラッシングし、合わせて底面側でもブラッシングを行なう。そして、２回の挿入でキャリア１０の全ての溝部１１及び山部１２をブラッシングする。
【００２９】
毛束列Ａを構成する小径毛束２５ａと、毛束列Ｄを構成する小径毛束２５ｄは、前述したとおり溝部用の長い毛束であり、半数の溝部１１のうちの奇数番目（又は偶数番目）を担当する。
【００３０】
ここで、溝部１１の幅は約７ｍｍであり、小径毛束２５ａ及び小径毛束２５ｄの先端径は、溝部１１に確実に挿入されるように、挿入可能な最大径である１０ｍｍ（溝部１１の配列ピッチＰ）よりも十分に小さい約６〜７ｍｍに設定されている。また付け根部の径は、先端部の若干の広がりを考慮しても、この先端径が確保されるように、２００ｍｍウエーハキャリア用のブラシとほぼ同じ４．５〜５ｍｍ（溝幅＋約１．５〜２ｍｍ）に設定されている。そして、小径毛束２５ａ及び小径毛束２５ｄは、対応する溝部１１の幅方向で相反する方向、即ち一側面側及び他側面側に、樹脂細線が溝部からはみ出す危険のない範囲内でできるたけ大きく変位して配置されている。
【００３１】
毛束列Ｂを構成する小径毛束２５ｂ及び毛束列Ｃを構成する小径毛束２５ｃも、小径毛束２５ａ及び小径毛束２５ｄと同様、溝部用の長い毛束である。小径毛束２５ａ及び小径毛束２５ｄと相違するのは、小径毛束２５ａ及び小径毛束２５ｄが半数の溝部１１のうちの奇数番目（又は偶数番目）を担当するのに対し、小径毛束２５ｂ及び小径毛束２５ｃは半数の溝部１１のうちの偶数番目（又は奇数番目）を担当する点である。
【００３２】
この相違点を除けば、小径毛束２５ｂ及び小径毛束２５ｃは小径毛束２５ａ及び小径毛束２５ｄと実質同一であり、それらの先端径は、溝部１１に確実に挿入されるように、挿入可能な最大径である１０ｍｍよりも十分に小さい約６〜７ｍｍに設定されている。また付け根部の径は、先端部の若干の広がりを考慮しても、この先端径が確保されるように、２００ｍｍウエーハキャリア用のブラシとほぼ同じ４〜５．５ｍｍ（図では約５ｍｍ）に設定されている。そして、小径毛束２５ｂ及び小径毛束２５ｃも又、対応する溝部１１の相反する側、即ち一側面側及び他側面側に、溝部からはみ出す危険のない範囲内で可及的に変位して配置されている。
【００３３】
毛束列Ｇを構成する毛束２６ｇは、前述したとおり山部用の短い毛束であり、半数の山部１２のうちの奇数番目（又は偶数番目）を担当する。山部１２の幅は、２００ｍｍウエーハキャリアとぼぼ同じ約３ｍｍであるから、その先端径は、そのキャリア用のブラシとほぼ同じ約６〜７ｍｍに設定されており、先端部の若干の広がりを考慮しても、この先端径が確保されるように、付け根部の径は約５ｍｍに設定されている。
【００３４】
毛束列Ｈを構成する毛束２６ｈも、毛束２６ｇと同様、山部用の短い毛束である。毛束２６ｇと相違するのは、半数の山部１２のうちの偶数番目（又は奇数番目）を担当する点である。他は毛束２６ｇと同様であり、その先端径は、２００ｍｍウエーハキャリア用のブラシとほぼ同じ約６〜７ｍｍに設定されており、先端部の若干の広がりを考慮しても、この先端径が確保されるように、付け根部の径は約５ｍｍに設定されている。
【００３５】
なお、全ての毛束は、２００ｍｍウエーハキャリア用のブラシと同様に、ナイロンなどからなる０．２ｍｍ程度の樹脂細線を束ねて構成されており、回転体２１の表面に形成された植設用の穴に嵌入固定されている。
【００３６】
次に、本実施形態のキャリア洗浄用ブラシの使用方法及び機能について説明する。
【００３７】
キャリア１０の内部、特に溝部１１及び山部１２の配列方向の１／２部分に、ブラシ２０を回転させながら溝部１１及び山部１２に沿って挿入する。これにより、半数の溝部１１のうちの奇数番目（又は偶数番目）のものが、毛束列Ａ及び毛束列Ｄによりブラッシングされる。より詳しくは、個々の溝部１１が、毛束列Ａにおける小径毛束２５ａと毛束列Ｄにおける小径毛束２５ｄによりブラッシングされる。
【００３８】
ここで、小径毛束２５ａ及び小径毛束２５ｄは、溝部１１に十分に挿入される得る先端径（ここでは約７ｍｍの溝幅に対していずれも６〜７ｍｍ）に設計されている。しかも、溝部１１からはみ出しが生じない範囲内で相反する方向、即ち一側面側及び他側面側にそれぞれ変位している。更に、それぞれの先端径の合計は、ここでは１２〜１４ｍｍと、溝部１１の幅（約７ｍｍ）より十分に大きい。このため、十分なオーバーラップ量を確保でき、且つ小径毛束２５ａ及び小径毛束２５ｄを構成する樹脂細線の溝幅方向における合計本数として、個々の溝部１１のブラッシングに十分な量を確保できる。
【００３９】
これらのため、奇数番目（又は偶数番目）の溝部１１が、毛束列Ａ及び毛束列Ｄにより、底面のみらず両側面を含め十分にブラッシングされ、しかも溝部１１からの毛束の部分的なはみ出しが生じない。
【００４０】
偶数番目（又は奇数番目）の溝部１１についても、両側面側へ変位し且つオーバーラップした毛束列Ｂにおける小径毛束２５ｂ及び毛束列Ｃにおける小径毛束２５ｃにより、底面のみらず両側面を含め十分にブラッシングされ、しかも溝部１１からの毛束の部分的なはみ出しが生じない。
【００４１】
また、半数の山部１２が、奇数番目（又は偶数番目）のものについては、毛束列Ｇにおける毛束２６ｇにより、頂面のみならず頂部の両側面を含め十分にブラッシングされる。偶数番目（又は奇数番目）のものについては、毛束列Ｈを構成する毛束２６ｈにより、頂面のみならず頂部の両側面を含め十分にブラッシングされる。
【００４２】
ちなみに、これらの山部用の毛束２６ｇ，２６ｈの先端径は、約６〜７ｍｍであり、山部１２の幅である約３ｍｍより十分に大きい。
【００４３】
こうして、キャリア１０の内部、特に溝部１１及び山部１２の配列方向の半分（図２〜図４では上半分）がブラッシングされると、ブラシ２０をキャリア１０の内部から一旦抜き出し、支持部材２２のブラシ回転軸に直角な中心回りに１８０度反転させた後、ブラシ２０を再びキャリア１０内の残り半分（図２〜図４では下半分）に挿入し、この部分の溝部１１及び山部１２をブラッシングする。
【００４４】
かくして、キャリア１０内の全ての溝部１１及び山部１２が確実かつ十分にブラッシングされる。しかも、溝部１１からの毛束の部分的なはみ出しが生じないため、はみ出しによる樹脂細線の変形及びこれによるブラシ２０の寿命短縮が回避される。
【００４５】
溝部１１用の小径毛束として、溝部１１の一側面側を担当する小径毛束２５ａ，２５ｂと、他側面側を担当する２５ｃ，２５ｄの２種類を用いたが、中央部を含めた３種類、或いはそれ以上を用いてもよい。しかし、種類が増えると、回転体２１における円周方向の毛束列の配列数が多くなり、製作に手間がかかるといったコスト上の問題が生じる。このため、２種類が最適である。
【００４６】
なお、毛束列の円周方向の配列数は、円周方向で隣接する植設用穴間の厚みと、同方向で隣接する毛束間の干渉により決まり、これが多すぎると毛束列の配列数が多くなり、コスト上の問題と、隣接する毛束の干渉による短寿命化の問題が生じる。反対に少なすぎると毛束列が不足し、ブラッシング能力の低下が問題になる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態を示すキャリア洗浄用ブラシの側面図である。
【図２】同キャリア洗浄用ブラシの縦断面図であり、Ａ列及びＢ列における毛束の配列構成を示す。
【図３】同キャリア洗浄用ブラシの縦断面図であり、Ｃ列及びＤ列における毛束の配列構成を示す。
【図４】同キャリア洗浄用ブラシの縦断面図であり、Ｇ列及びＨ列における毛束の配列構成を示す。
【図５】２００ｍｍウエーハ用キャリアに使用される従来のキャリア洗浄用ブラシの側面図である。
【図６】（ａ）（ｂ）は同キャリア洗浄用ブラシの毛束の配列構成を示す縦断面図である。
【図７】参考のために同キャリア洗浄用ブラシと同じ設計思想で作製した３００ｍｍウエーハキャリア用のブラシの側面図である。
【図８】（ａ）（ｂ）は同ブラシの毛束の配列構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０  キャリア
１１  溝部
１２  山部
２０  キャリア洗浄用ブラシ
２１  回転体
２２  支持部材
２３  かさ歯車
２４  駆動軸
２５ａ〜２５ｄ  溝部用の小径毛束
２６ｇ，２６ｈ  山部用の毛束
【図１】
2005260074.tif 000003
【図２】
2005260074.tif 000004
【図３】
2005260074.tif 000005
【図４】
2005260074.tif 000006
【図５】
2005260074.tif 000007
【図６】
2005260074.tif 000008
【図７】
2005260074.tif 000009
【図８】
2005260074.tif 000010