(57)【要約】【課題】  ケーブルが、移動体に及ぼす外乱力と外乱回転力の影響を低減出来る平面モータ装置を提供する。【解決手段】  平面を有する固定部と、この固定部の平面上を移動することができる移動体と、前記固定部の端部側から前記移動体に配線されているＵ形状をなすケーブルとを具備する平面モータ装置において、  前記固定部の一端部側に一端が接続され他端が前記移動体の一端部側に配線される第1のケーブルと、前記固定部の他端部側に一端が接続され他端が前記移動体の他端部側に配線され前記第1のケーブルが前記移動体に及ぼす外乱力と回転力とを打ち消す第２のケーブルとを具備したことを特徴とする平面モータ装置である。【選択図】        図１
2005027469.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面を有する固定部と、
この固定部の平面上を移動することができる移動体と、
前記固定部の端部側から前記移動体に配線されているＵ形状をなすケーブルと
を具備する平面モータ装置において、
前記固定部の一端部側に一端が接続され他端が前記移動体の一端部側に配線される第1のケーブルと、
前記固定部の他端部側に一端が接続され他端が前記移動体の他端部側に配線され前記第1のケーブルが前記移動体に及ぼす外乱力と回転力とを打ち消す第２のケーブルと
を具備したことを特徴とする平面モータ装置。
【請求項２】
前記第１のケーブルと前記第２のケーブルとは、前記移動体を挟んで対称に配置されたこと
を特徴とする請求項1記載の平面モータ装置。
【請求項３】
前記第１のケーブルと前記第２のケーブルとは、前記移動体を挟んで点対称に配置されたこと
を特徴とする請求項1記載の平面モータ装置。
【請求項４】
前記第１のケーブルと前記第２のケーブルの２対がそれぞれ前記移動体を挟んで点対称に配置されたこと
を特徴とする請求項1記載の平面モータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローバ、ハンドラ、ステッパ等に用いられる平面モータ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図４は、従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例えば、特開２００３−１４３８２８に示されている（例えば、特許文献１参照。）。
図５は図４の側面図、図６は図４の正面図、図７は図４の動作説明図である。
【０００３】
図４従来例に係る平面モータ装置は、図４〜図６に示すように、Ｘ軸及びＹ軸方向の四角形状をした平面３１を形成する固定部３２と、この固定部３２の平面３１上をＸ軸/Ｙ軸方向に動く移動体３３と、一方の端部が固定部３２の一端に設けたケーブル固定部３４に固定され、他方の端部が移動体３３のケーブル固定部３５に固定されて配線されているフープ状のケーブル３６とからなる。
【０００４】
移動体３３は、特に図５及び図６に示すように、固定部３２の平面３１上を移動するためのモータ部３７と、このモータ部３７を制御するための駆動制御部３８とから構成されている。
【０００５】
フープ状のケーブル３６は、信号線及び電源ケーブルからなるフラット状に束ねたケーブルであり、移動体３３を基準にしてそれぞれが相反する方向（図４において左右方向）に湾曲を持たせて固定部３２の端部側のケーブル固定部３４で固定した第１及び第２のフラット状に束ねたケーブル３９、４０で形成されている。
【０００６】
第１のフラット状に束ねたケーブル３９は、第２のフラット状に束ねたケーブル４０よりも上位置になるように段差を持って配置されていると共にフラット状に束ねた方向と固定部３２の平面３１とが直交するように取付けてある。
【０００７】
第２のフラット状に束ねたケーブル４０は、特に固定部３２の端部側において、ケーブルの下部側の取り付け位置が傾斜した構造となっている。このようにすると、取付け位置の高さ方向の寸法を低くすることができる。
【０００８】
このように第１及び第２のフラット状に束ねたケーブル３９、４０により常時フープ状に形成しておくと、移動体３３が移動する際にも、両者のケーブル３９、４０が移動してフープを作成するため、ケーブル３９、４０の屈曲部が元の形状に戻ろうとする力や、自重による撓み等をバランスの取れた状態で維持することができるため、偏荷重による外乱としての回転トルクを防止することができる。
【０００９】
また、第１及び第２のフラット状に束ねたケーブル３９、４０は、固定部３２側のケーブル固定部３４に対して、移動体３３側のケーブル固定部３５の位置が上部位置になるように形成したため、固定部３２の平面３１上に接する面積をなくすこと又は傾斜した分接する面積を少なくすることが可能である。
【００１０】
更に、第１及び第２のフラット状に束ねたケーブル３９、４０が固定部３２の平面３１に対してフラット状に束ねた束ね方向と直交する方向にしたことにより、例えケーブル３９、４０が平面３１に接するようになってもその接触面積が少ないため、摩擦による問題及び塵埃の発生も極めて少なくすることができる。
【００１１】
【特許文献１】特開２００３−１４３８２８（第３−４頁、第１−３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、このような装置においては、以下の問題点がある。
図７に示す如く、ケーブル３９，４０が、移動体３３に及ぼす外乱力Ｆ３９，Ｆ４０と外乱回転力θ３９，θ４０を検討すると、外乱回転力θ３９と外乱回転力θ４０とは打ち消し合うが、外乱力Ｆ３９と外乱力Ｆ４０とは、同方向になり、打ち消すことができない。
【００１３】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、ケーブルが、移動体に及ぼす外乱力と外乱回転力の影響を低減出来る平面モータ装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項１の平面モータ装置においては、
平面を有する固定部と、この固定部の平面上を移動することができる移動体と、前記固定部の端部側から前記移動体に配線されているＵ形状をなすケーブルとを具備する平面モータ装置において、
前記固定部の一端部側に一端が接続され他端が前記移動体の一端部側に配線される第1のケーブルと、前記固定部の他端部側に一端が接続され他端が前記移動体の他端部側に配線され前記第1のケーブルが前記移動体に及ぼす外乱力と回転力とを打ち消す第２のケーブルとを具備したことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項２においては、請求項1記載の平面モータ装置において、
前記第１のケーブルと前記第２のケーブルとは、前記移動体を挟んで対称に配置されたことを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項３においては、請求項1記載の平面モータ装置において、
前記第１のケーブルと前記第２のケーブルとは、前記移動体を挟んで点対称に配置されたことを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項４においては、請求項１記載の平面モータ装置において、
前記第１のケーブルと前記第２のケーブルの２対がそれぞれ前記移動体を挟んで点対称に配置されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
第１のケーブル５１と第２のケーブル５２とが、移動体３３に及ぼす外乱力Ｆ５１，Ｆ５２と外乱回転力θ５１，θ５２の影響を低減出来る平面モータ装置が得られる。
【００１９】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
第１のケーブルと第２のケーブルとは、移動体を挟んで対称に配置されたので、第１のケーブルと第２のケーブルの取り付けが容易な平面モータ装置が得られる。
【００２０】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
前記第１のケーブルと前記第２のケーブルとは、前記移動体を挟んで点対称に配置されたので、第１のケーブルと第２のケーブルとが、移動体に及ぼす外乱力と外乱回転力の影響を更に低減出来る平面モータ装置が得られる。
【００２１】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
前記第１のケーブルと前記第２のケーブルの２対がそれぞれ前記移動体を挟んで点対称に配置されたので、第１のケーブルと第２のケーブルとが、移動体に及ぼす外乱力と外乱回転力の影響を更に確実に低減出来る平面モータ装置が得られる。
【００２２】
従って、本発明によれば、ケーブルが、移動体に及ぼす外乱力と外乱回転力の影響を低減出来る平面モータ装置を実現することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図４と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図４と相違部分のみ説明する。
【００２４】
第1のケーブル５１は、固定部３２の一端部側に一端が接続され、他端が移動体３３の一端部側に配線される。
第２のケーブル５２は、固定部３２の他端部側に一端が接続され、他端が移動体３３の他端部側に配線され、第1のケーブル５１が移動体３３に及ぼす外乱力と回転力とを打ち消す。
【００２５】
この場合は、第１のケーブル５１と第２のケーブル５２とは、移動体３３を挟んで対称に配置されている。
【００２６】
以上の構成において、第１のケーブル５１と第２のケーブル５２とが、移動体３３に及ぼす外乱力Ｆ５１，Ｆ５２と外乱回転力θ５１，θ５２とを検討する。
図１に示す如く、外乱回転力θ５１と外乱回転力θ５２とは打ち消し合う。
外乱力Ｆ５１と外乱力Ｆ５２とも打ち消し合う。
【００２７】
この結果、第１のケーブル５１と第２のケーブル５２とが、移動体３３に及ぼす外乱力Ｆ５１，Ｆ５２と外乱回転力θ５１，θ５２の影響を低減出来る平面モータ装置が得られる。
【００２８】
図２は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、第１のケーブル６１と第２のケーブル６２とは、移動体３３を挟んで点対称に配置されている。
【００２９】
以上の構成において、第１のケーブル６１と第２のケーブル６２とが、移動体３３に及ぼす外乱力Ｆ６１，Ｆ６２と外乱回転力θ６１，θ６２とを検討する。
図２に示す如く、外乱回転力θ６１と外乱回転力θ６２とは打ち消し合う。
外乱力Ｆ６１と外乱力Ｆ６２とも打ち消し合う。
【００３０】
この結果、第１のケーブル６１と第２のケーブル６２とが、移動体３３に及ぼす外乱力Ｆ６１，Ｆ６２と外乱回転力θ６１，θ６２の影響を更に低減出来る平面モータ装置が得られる。
【００３１】
図３は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、一対の第１のケーブル７１と第２のケーブル７２とは、移動体３３を挟んで点対称に配置されている。
また、一対の第１のケーブル７１Ａと第２のケーブル７２Ａとは、移動体３３を挟んで点対称に配置されている。
【００３２】
以上の構成において、第１のケーブル７１と第２のケーブル７２とが、移動体３３に及ぼす外乱力Ｆ７１，Ｆ７２と外乱回転力θ７１，θ７２とを検討する。
図３に示す如く、外乱回転力θ７１と外乱回転力θ７２とは打ち消し合う。
外乱力Ｆ７１と外乱力Ｆ７２とも打ち消し合う。
【００３３】
次に、第１のケーブル７１Ａと第２のケーブル７２Ａとが、移動体３３に及ぼす外乱力Ｆ７１Ａ，Ｆ７２Ａと外乱回転力θ７１Ａ，θ７２Ａとを検討する。
図３に示す如く、外乱回転力θ７１Ａと外乱回転力θ７２Ａとは打ち消し合う。
外乱力Ｆ７１Ａと外乱力Ｆ７２Ａとも打ち消し合う。
【００３４】
この結果、第１のケーブル７１，７１Ａと第２のケーブル７２，７２Ａとが、移動体３３に及ぼす外乱力Ｆ７１，Ｆ７１Ａ，Ｆ７２，Ｆ７２Ａと外乱回転力θ７１，θ７１Ａ，θ７２，θ７２Ａの影響を更に確実に低減出来る平面モータ装置が得られる。
【００３５】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として、特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図３】図１の要部構成説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図５】図４の側面図である。
【図６】図４の正面図である。
【図７】図４の動作説明図である。
【符号の説明】
【００３７】
３１    平面
３２    固定部
３３    移動体
３４    ケーブル固定部ル
３５    ケーブル固定部
３６    フープ状のケーブル
３７    モータ部
３８    駆動制御部
３９    第１のフラット状に束ねたケーブル
４０    第２のフラット状に束ねたケーブル
５１    第1のケーブル
５２    第２のケーブル
６１    第1のケーブル
６２    第２のケーブル
７１    第1のケーブル
７２    第２のケーブル
７１Ａ  第1のケーブル
７２Ａ  第２のケーブル
【図１】
2005027469.tif 000003
【図２】
2005027469.tif 000004
【図３】
2005027469.tif 000005
【図４】
2005027469.tif 000006
【図５】
2005027469.tif 000007
【図６】
2005027469.tif 000008
【図７】
2005027469.tif 000009