(57)【要約】【課題】連続駆動や高速駆動を行った場合の温度上昇を抑制した圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】圧電アクチュエータ１０は、厚み方向に分極されており、厚み方向に所定の駆動電圧Ｖ１を印加することによってｄ３３モードの伸縮変位を生ずる圧電素子１１と、幅方向に分極されており、厚み方向に所定の駆動電圧Ｖ２を印加することによってｄ１５モードの剪断変位を生ずる圧電素子１２とが、金属板１３を介して厚み方向に積層された構造を有する。圧電アクチュエータ１０の誘電損失を０．００７以下とし、またはその機械的品質係数Ｑｍを１００以上とする。【選択図】  図１
2005006393.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の電圧が印加されることによって伸縮変位を生ずる圧電素子と、所定の電圧が印加されることによって剪断変位を生ずる圧電素子とを組み合わせて構成される圧電アクチュエータであって、
前記剪断変位を生ずる圧電素子の滑り方向における１秒間の変位量の合計が０．３ｍとなるように、前記伸縮変位を生ずる圧電素子と前記剪断変位を生ずる圧電素子とを連続して１０分間駆動したときの２０℃の静止大気中での温度上昇が５℃以下であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
所定の電圧が印加されることによって伸縮変位を生ずる圧電素子と、所定の電圧が印加されることによって剪断変位を生ずる圧電素子とを有する圧電アクチュエータであって、
その誘電損失（ｔａｎδ）が０．００７以下であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項３】
所定の電圧が印加されることによって伸縮変位を生ずる圧電素子と、所定の電圧が印加されることによって剪断変位を生ずる圧電素子とを有する圧電アクチュエータであって、
その機械的品質係数Ｑｍが１００以上であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、剪断変位型の圧電素子と伸縮変位型の圧電素子とを有し、例えば、超音波リニアモータの駆動部として用いられる圧電アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近時、半導体装置の配線構造をより微細にするために、その製造における露光処理工程に電子線が用いられるようになってきている。このような電子線を用いる露光処理装置（ステッパー）においては、シリコンウエハを保持するステージを動かす駆動装置として、電子線に悪影響を与える磁気ノイズを発生させず、また静止保持力が高く、極微小の位置決め制御が可能な、圧電素子を用いた超音波リニアモータを用いることが検討されている。
【０００３】
例えば、圧電素子を用いた超音波リニアモータとして、圧電素子のｄ３３モードの伸縮変位と圧電素子のｄ１５モードの剪断変位とを組み合わせた送り装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような送り装置では、駆動対象物を高速で移動させるために、剪断変位型の圧電素子として、その変位量が大きな材料（つまり圧電定数ｄ１５の大きい材料）を用いたものが用いられている。
【０００４】
【特許文献１】
特公平３−８１１１９号公報（第１図、第４段第３９行〜第６段第１４行）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、圧電定数ｄ３３やｄ１５の大きい材料は、一般的に誘電損失（ｔａｎδ）が大きいために、被駆動体を高速で動作する用途で駆動周波数を高くすると発熱量が多くなって圧電素子自体の温度が上昇する。圧電定数ｄ３３やｄ１５の大きい材料は一般的にキュリー温度が低い場合が多いので、駆動によって圧電素子の温度が上昇すると、圧電素子の分極状態が変化し、これによって送り装置の駆動特性が変化するおそれがある。
【０００６】
特に、ステッパー等のステージを駆動する等、このような送り装置を真空雰囲気等の減圧雰囲気で使用する場合には、外気への放熱が行われ難くなるために、圧電素子の温度はさらに上昇するという問題が生ずる。この場合には、さらに圧電素子で発生した熱が被駆動体に伝えられることによって被駆動体の温度が上昇するという問題が生じる。例えば、ステッパーのステージの一部にこのような圧電素子からの伝熱によって温度変化が生じた場合には、ステージに載置されたシリコンウエハにも温度分布が生じてしまい、露光特性が不均一になるという問題を生ずる。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、連続駆動や高速駆動を行った場合の温度上昇を抑制した圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の観点によれば、所定の電圧が印加されることによって伸縮変位を生ずる圧電素子と、所定の電圧が印加されることによって剪断変位を生ずる圧電素子とを組み合わせて構成される圧電アクチュエータであって、
前記剪断変位を生ずる圧電素子の滑り方向における１秒間の変位量の合計が０．３ｍとなるように、前記伸縮変位を生ずる圧電素子と前記剪断変位を生ずる圧電素子とを連続して１０分間駆動したときの２０℃の静止大気中での温度上昇が５℃以下であることを特徴とする圧電アクチュエータ、が提供される。
【０００９】
本発明の第２の観点によれば、所定の電圧が印加されることによって伸縮変位を生ずる圧電素子と、所定の電圧が印加されることによって剪断変位を生ずる圧電素子とを有する圧電アクチュエータであって、
その誘電損失（ｔａｎδ）が０．００７以下であることを特徴とする圧電アクチュエータ、が提供される。
【００１０】
本発明の第３の観点によれば、所定の電圧が印加されることによって伸縮変位を生ずる圧電素子と、所定の電圧が印加されることによって剪断変位を生ずる圧電素子とを有する圧電アクチュエータであって、
その機械的品質係数Ｑｍが１００以上であることを特徴とする圧電アクチュエータ、が提供される。
【００１１】
このような圧電アクチュエータを用いて超音波リニアモータ（送り装置）を構成すれば、被駆動体を高速移動させるように圧電アクチュエータを高速駆動した場合でも発熱量が少ないために、真空中で用いた場合であっても、その温度上昇が抑制される。このため、圧電アクチュエータ自体の駆動特性が変化し難く、しかも、被駆動体に熱的な悪影響を与えることがない。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は圧電アクチュエータ１０の概略構造を示す断面図である。圧電アクチュエータ１０は、厚み方向に分極されており、厚み方向に所定の駆動電圧Ｖ１を印加することによってｄ３３モードの伸縮変位を生ずる圧電素子１１と、幅方向に分極されており、厚み方向に所定の駆動電圧Ｖ２を印加することによってｄ１５モードの剪断変位を生ずる圧電素子１２とが、金属板１３を介して厚み方向に積層された構造を有している。
【００１３】
圧電素子１１の表面（積層面）には図示しない駆動用電極が設けられており、この駆動用電極が金属板１３と電気的に導通するように、圧電素子１１と金属板１３とは樹脂接着剤によって接着されている。なお、各々の圧電素子１１は同時に伸縮するように分極の向き（矢印Ｐ１で示す）が一層おきに逆となっている。また、圧電素子１２の表面（積層面）にもまた図示しない駆動用電極が設けられており、この駆動用電極が金属板１３と電気的に導通するように、圧電素子１２と金属板１３とは樹脂接着剤によって接着されている。圧電素子１２は、ここの剪断変位が合わさって大きな変位が得られるように、分極の向き（矢印Ｐ２で示す）が一層おきに逆となっている。
【００１４】
圧電素子１１・１２には圧電セラミックスが好適に用いられる。圧電素子１１は、種々の公知の製造方法により作製することができる。例えば、プレス成形法やシート成形法等によって圧電セラミック粉末を所定の形状に成形し、得られた成形体を焼成し、さらに必要に応じて得られた焼成体に切断／研削加工を施し、次いでこのようにして作製された所定形状の圧電セラミック板の表面に銀ペーストを印刷して焼成し、こうして形成された分極兼駆動用電極に所定の分極電圧を印加することによって圧電セラミック板を分極する。同様に、圧電素子１２は、作製した圧電セラミック板の対向する側面に分極用電極を形成して圧電セラミック板を分極し、その後にこの分極用電極を除去し、次いで圧電セラミック板の分極ができる限り消滅しないように、例えば、無電解メッキ法等によって圧電セラミック板の表面に駆動用電極を形成することによって作製される。
【００１５】
圧電アクチュエータ１０においては、圧電素子１１・１２の積層方向の端面にシム部材１４ａ・１４ｂが設けられている。例えば、この圧電アクチュエータ１０を超音波リニアモータとして用いた場合には、シム部材１４ａは圧電アクチュエータ１０の固定に使用され、シム部材１４ｂは被駆動体に接して被駆動体を動かす。
【００１６】
このような構造を有する圧電アクチュエータ１０の駆動原理を図２を参照しながら簡単に説明する。なお、図２の各図では圧電アクチュエータ１０の構造を簡略化して示している。図２（ａ）は、圧電素子１２は駆動していないが、圧電素子１１を伸ばすことによって、圧電アクチュエータ１０が被駆動体１５を一定位置で保持した状態を示している。図２（ｂ）に示すように、圧電素子１２を剪断変位させると、被駆動体１５とシム部材１４ｂの突起部との間の摩擦力によって、被駆動体１５を圧電素子１２の剪断変位長さだけ左方向に移動させることができる。ここで、図２（ｂ）に示すように、図２（ｂ）に示すシム部材１４ｂの突起部の位置をＳ１１とし、被駆動体１５においてシム部材１４ｂの突起部が当接している位置をＳ１とする。
【００１７】
次に図２（ｃ）に示すように、圧電素子１１を縮ませて、シム部材１４ｂの突起部を被駆動体１５から離すか、またはシム部材１４ｂの突起部と被駆動体１５との間の摩擦力を後にシム部材１４ｂが右側へ移動するように圧電素子１２の剪断変位の向きを逆転させた際に被駆動体１５が右側に移動しないように小さくする。続いて、図２（ｄ）に示すように、圧電素子１２の剪断変位の向きを逆向きとする。ここで、図２（ｄ）に示すシム部材１４ｂの突起部の位置をＳ１２とする。続いて図２（ｅ）に示すように、図２（ｄ）に示す状態から圧電素子１１を伸ばしてシム部材１４ｂを被駆動体１５に所定の力で接触させる。図５（ｅ）に示すように、被駆動体１５においてシム部材１４ｂの突起部が当接している位置をＳ２とする。
【００１８】
この図２（ｅ）に示した状態から圧電素子１２の剪断変位を解除すれば先に示した図２（ａ）の状態に戻る。また図２（ｆ）に示すように、先に図２（ｂ）に示したように圧電素子１２を剪断変位させると、被駆動体１５をＳ１１・Ｓ１２間の距離Ｌ（＝Ｓ１・Ｓ２間の距離）だけ左側に移動させることができる。このような圧電素子１１・１２の駆動を所定回数繰り返すことによって、被駆動体１５を左側へ所定距離移動させることができる。逆に、図２（ｆ）から図２（ａ）に変化するように圧電アクチュエータ１０を駆動することによって、被駆動体１５を右側へ移動させることができる。
【００１９】
本発明においては、圧電アクチュエータ１０の誘電損失（ｔａｎδ）を０．００７以下とすることによって、圧電アクチュエータ１０を非共振周波数で駆動する場合と共振周波数で駆動する場合のいずれの駆動方法においても、発熱量を小さく抑える。ここで、圧電アクチュエータ１０において誘電損失を生じさせる部分は、電界の掛かる部分、つまり圧電素子１１・１２を構成する圧電セラミック板と、圧電素子１１・１２と金属板１３とを接着する樹脂接着剤である。ところが、圧電素子１１・１２の厚みに対して樹脂接着剤の厚みは極めて薄いために、圧電アクチュエータ１０の誘電損失は、実質的に圧電素子１１・１２の誘電損失に等しいと考えることができる。したがって、圧電素子１１・１２には誘電損失が０．００７以下の圧電セラミックスが好適に用いられる。
【００２０】
また本発明においては、圧電アクチュエータ１０の機械的品質係数Ｑｍを１００以上とすることによって、圧電アクチュエータ１０を共振周波数で駆動した場合の発熱を小さく抑える。この条件が圧電アクチュエータ１０を共振駆動させる場合に適用されるのは、誘電損失は圧電アクチュエータ１０を非共振周波数で駆動する場合と共振周波数で駆動する場合のいずれの場合にも発熱に寄与する因子であるが、共振周波数で駆動する場合には、さらに圧電アクチュエータ１０の機械的品質係数Ｑｍもまた発熱に寄与することになるからである。
【００２１】
圧電アクチュエータ１０の機械的品質係数Ｑｍは、圧電アクチュエータ１０を構成する全ての材料の影響を受けるが、最も大きな影響を与えるものは圧電素子１１・１２の機械的品質係数（以下、「Ｑｍ´」と表す）である。圧電アクチュエータ１０の機械的品質係数Ｑｍを１００以上とするためには、圧電素子１１・１２の機械的品質係数Ｑｍ´が１０００以上となるような圧電セラミックス材料を用いることが好ましい。
【００２２】
高い機械的品質係数Ｑｍ´を有する圧電セラミック材料からなる圧電素子１１・１２を用いた場合でも、これらを樹脂接着剤を用いて接着して構成される圧電アクチュエータ１０では、この樹脂接着剤が機械的振動を減衰させるダンパーとして働き易いために、その機械的品質係数Ｑｍが低下する。このような樹脂接着剤による機械的品質係数Ｑｍの低下を抑制するためには、できるだけ硬い接着剤を用い、かつ、接着層の厚さをできる限り薄くすることが好ましい。
【００２３】
なお、圧電素子１１・１２の駆動電圧を小さくするために圧電素子１１・１２の厚みを薄くすると、圧電素子１１・１２の積層数が増えることによって樹脂接着層の数が多くなり、これによって圧電アクチュエータ１０の機械的品質係数Ｑｍが低下しやすくなる。したがって、圧電アクチュエータ１０の構成は、駆動電圧と機械的品質係数Ｑｍのバランスを考慮して設計することが望ましい。
【００２４】
金属板１３は導体であるために誘電損失には関係がないが、軟らかい金属は機械的品質係数が小さいために、圧電アクチュエータ１０を実質的に共振周波数で駆動すると、弾性損失による発熱が発生する。このため、金属板１３としてもまた、機械的品質係数の大きい材料を用いることが望ましい。
【００２５】
シム部材１４ａ・１４ｂは、電界が掛からないために誘電損失には寄与しないが、機械的品質係数Ｑｍを低下させる。シム部材１４ａには圧電アクチュエータ１０を保持する機械的強度や耐久性が強く要求され、被駆動体１４ｂには被駆動体１５との間に所定の摩擦力が生ずるような摩擦係数を有し、また被駆動体１５に対する耐摩耗性が要求されるため、このような要求が満足される限りにおいて、さらに機械的品質係数の高い材料を選択することが望ましい。
【００２６】
なお、シム部材１４ｂはできるだけ軽いことが好ましい。これは、圧電アクチュエータ１０は、先に図２に示したように、シム部材１４ａを所定位置に固定して、シム部材１４ｂを紙面の左右方向に振るような動きをするので、駆動力に関与しないシム部材１４ｂが重いと、同じ振動速度を出すために必要な入力電力が大きくなり、重量が重い分だけ発熱が多くなるからである。
【００２７】
誘電損失が０．００７以下である圧電アクチュエータ１０では、剪断変位を生ずる圧電素子１２の滑り方向（図２では左方向）における１秒間の変位量の合計（＝Ｐ１・Ｐ２間の距離Ｌ×周波数）が０．３ｍとなるように、高速で圧電素子１１と圧電素子１２とを連続して１０分間駆動した場合であっても、そのときの２０℃の静止大気中での温度上昇を５℃以下に抑えることができる。なお、この場合の圧電アクチュエータ１０の駆動方法は共振、非共振のどちらでもよい。
【００２８】
同様に、機械的品質係数Ｑｍが１００以上である圧電アクチュエータ１０でも、剪断変位を生ずる圧電素子１２の滑り方向（図２では左方向）における１秒間の変位量の合計が０．３ｍとなるように、高速で圧電素子１１と圧電素子１２とを連続して１０分間駆動した場合には、そのときの２０℃の静止大気中での温度上昇を５℃以下に抑えることができる。この場合の圧電アクチュエータ１０の駆動方法は共振駆動である。圧電アクチュエータ１０の駆動時の発熱をさらに抑制するためには、誘電損失を０．００７以下とし、かつ、機械的品質係数Ｑｍを１００以上とすることが好ましい。
【００２９】
このような駆動特性を満足する圧電アクチュエータ１０を、例えば、半導体製造装置のステージを駆動するために用いた場合には、このステージの局所的な温度変化を半導体装置の製造上で許容される温度範囲内に抑えることができる。なお、圧電アクチュエータ１０の温度上昇値を静止大気中で規定したのは、真空中では測定が困難であるためであり、また真空度が異なれば放熱性が変わってくるためである。
【００３０】
【実施例】
以下、本発明の実施例について説明する。
代表的な圧電材料であるジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）系材料に、酸化鉄（Ｆｅ２Ｏ３）や酸化マンガン（ＭｎＯ）を所定量添加することによって、組成の異なる複数の圧電セラミック材料を合成し、これらの材料を用いて伸縮変位型の圧電素子１１と剪断変位型の圧電素子１２を作製した。これらの圧電素子１１・１２をりん青銅からなる金属板１３を介して種々の樹脂接着剤によって接着し、表１に示されるような実施例１〜８、比較例１〜３の圧電アクチュエータを作製した。また、比較例４として、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）系で圧電定数ｄ３３が大きい材料を用いた圧電アクチュエータを作製した。
【００３１】
【表１】
2005006393.tif 000003
【００３２】
作製した圧電アクチュエータの誘電損失はインピーダンスアナライザにより測定した。また、圧電アクチュエータの機械的品質係数Ｑｍは、圧電アクチュエータの実際の駆動に用いることができる共振モードはシム部材１４ａを固定してシム部材１４ｂ側を揺らす、所謂、「片持梁の１次のたわみ振動モード」であるため、シム部材１４ａを固定した状態で剪断変位を生ずる圧電素子１２にこの振動モードの固有周波数の振動を与え、レーザードップラー型振動速度計等で、この振動の振幅を測定しながら、与えた振動を止めて、振動を止めた時刻をｔ０、その時の振幅をｘ０とし、その後の時刻ｔの時の振幅ｘを連続的に測定し、下記の数式（１）にあてはめてＱｍを求めた。実測データと数式（１）による計算結果とはよい一致を示すことが確認されている。
【００３３】
【数１】
2005006393.tif 000004
【００３４】
作製した各圧電アクチュエータを、剪断変位を生ずる圧電素子１２の滑り方向における１秒間の変位量の合計が０．３ｍとなるように、圧電素子１２を連続して１０分間駆動した。この時の駆動が非共振駆動である場合の２０℃の静止大気中での圧電アクチュエータの温度上昇値ΔＴ１と、この時の駆動が共振駆動である場合の２０℃の静止大気中での圧電アクチュエータの温度上昇値ΔＴ２をそれぞれ測定した。なお、圧電素子１１へ印加する電圧の大きさは被駆動体の重量等によって異なるが、ここでは圧電素子１１に、圧電素子１２に印加された電界と同等の電界が印加されるように駆動電圧を調整した。
【００３５】
温度上昇値ΔＴ１・ΔＴ２は表１に示されている。ここで、圧電アクチュエータの温度上昇値を５℃以下に抑えることができれば、駆動方法は非共振駆動と共振駆動を問わないこととし、表１においては、温度上昇値ΔＴ１・ΔＴ２の少なくとも一方が５℃以下である試料を実施例とし、温度上昇値ΔＴ１・ΔＴ２の両方が５℃超の試料を比較例としている。
【００３６】
実施例１，２に示されるように、誘電損失がそれぞれ０．００６，０．００７の場合には、機械的品質係数Ｑｍが６０であっても、温度上昇値ΔＴ１は５℃以下に抑えられた。しかし、実施例１，２の温度上昇値ΔＴ２は共に５℃を越えた。これに対して、比較例１に示されるように、誘電損失の値が０．００８であり、かつ、機械的品質係数Ｑｍが６０の場合には、温度上昇値ΔＴ１・ΔＴ２は共に５℃を越えた。このことから、誘電損失が小さい場合には、機械的品質係数Ｑｍが小さくとも、非共振駆動を行うことによって温度上昇を抑制できるということが確認された。
【００３７】
実施例３〜８に示されるように、機械的品質係数Ｑｍが１００または３００であって、しかも誘電損失が０．００７以下の場合には、温度上昇値ΔＴ１・ΔＴ２が共に５℃以下に抑えられ、誘電損失が０．００８の場合であっても温度上昇値ΔＴ２が５℃以下に抑えられた。しかし、比較例２，３に示されるように、機械的品質係数Ｑｍが１００または３００であっても、このときの誘電損失の値が０．００９の場合には、温度上昇値ΔＴ１・ΔＴ２は共に５℃を越えた。
【００３８】
このことから、機械的品質係数Ｑｍが大きい場合には、誘電損失が大きくとも、共振駆動を行うことによって温度上昇を抑制することができるということが確認され、特に、誘電損失が０．００７以下であり、かつ、機械的品質係数Ｑｍが１００以上の場合が、非共振駆動と共振駆動のいずれの駆動方法でも連続駆動による温度上昇を抑えることができる最も好ましい条件と判断された。
【００３９】
なお、実施例６〜８と比較例３の結果から、誘電損失が０．００９であっても、例えば、接着層の数を減らす等して機械的品質係数Ｑｍを３００よりも大きくすることによって、共振駆動時の温度上昇値ΔＴ２を５℃以下に抑えることが可能と考えられる。
【００４０】
比較例４は温度上昇値ΔＴ１・ΔＴ２が共に他の試料と比較して極めて高かったことから、真空中等の放熱が行われ難い環境下での使用には不適であると考えられる。但し、空気中のように放熱が行われる環境下で比較例１〜４の圧電アクチュエータを使用することは可能である。
【００４１】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこのような形態に限定されるものではない。例えば、図１に示した圧電アクチュエータ１０では、圧電素子１１と圧電素子１２の積層数をそれぞれ同じとしたが、これらの積層数は異なっていてもよい。また、被駆動体１５と接するシム部材１４ｂ側に剪断変位型の圧電素子１２を配置し、圧電アクチュエータ１０を固定するために用いられるシム部材１４ａ側に伸縮変位型の圧電素子１１を配置してもよい。
【００４２】
さらに、圧電素子１１・１２に一定の厚みがある場合には、金属板１３を介すことなく、直接に圧電素子どうしを接着し、その側面に駆動電源と接続するためのリード線を取り付けることもできる。この場合には、接着層の数を減らすことができるために、圧電アクチュエータの機械的品質係数Ｑｍを高めることができる。複数の伸縮変位型の圧電素子１１を金属板１３を介して接着する代わりに、グリーンシートを用いた一体焼成法による積層型圧電素子を用いてもよい。この場合においても、金属板の使用数を減らして接着層を少なくすることができるために、圧電アクチュエータの機械的品質係数Ｑｍを高めることができ、しかも、伸縮変位型の圧電素子１１の駆動電圧を下げることが容易である。
【００４３】
【発明の効果】
上述の通り、本発明の圧電アクチュエータによれば、非共振駆動または共振駆動の少なくとも一方の駆動によって連続駆動や高速駆動を行った場合に、その温度上昇が抑制される。このため、圧電アクチュエータを用いて超音波リニアモータを構成すれば、被駆動体を高速移動させるように圧電アクチュエータを高速駆動した場合でも発熱量が少ないために、真空中で用いた場合であっても、その温度上昇が抑制される。このため、圧電アクチュエータ自体の駆動特性が変化し難く、しかも、被駆動体に熱的な悪影響を与えることがないという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る圧電アクチュエータの概略断面図。
【図２】図１に示す圧電アクチュエータの概略の駆動動作を示す概略説明図。
【符号の説明】
１０；圧電アクチュエータ
１１；圧電素子（伸縮変位型）
１２；圧電素子（剪断変位型）
１３；金属板
１４ａ・１４ｂ；シム部材
１５；被駆動体
【図１】
2005006393.tif 000005
【図２】
2005006393.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月17日(2003.6.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2005006393.tif 000007