(57)【要約】【課題】塗工基板表面に塗工層を任意の塗工パターンで形成できるようにする。【解決手段】固定した塗工基板Ｗの表面に、塗工基板Ｗの表面から離隔してヘッド移動方向（矢符Ａ方向）と交差する方向（矢符Ｂ方向）に沿って複数個の塗工用吐出口２ａを設けたドット塗工用ヘッド２を用い、ドット塗工用ヘッド２を移動させつつ、ドット塗工用ヘッド２の移動位置に応じて選択した塗工用吐出口２ａの各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を塗着して液滴塗工層Ｆ１を形成すること。【効果】塗工基板Ｗの表面に液滴塗工層Ｆ１を任意の塗工パターンで形成することができる。塗着する液滴を微少とすることにより薄塗りが可能となると共に、ドット塗工用ヘッド２の移動速度を変更して液滴塗工層Ｆ１の層厚み（塗工量）を調節することが可能となる。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定した塗工基板の表面に、該塗工基板の表面から離隔してヘッド移動方向と交差する方向に沿って複数個の塗工用吐出口を設けたドット塗工用ヘッドを用い、該ドット塗工用ヘッドを移動させつつ、ドット塗工用ヘッドの移動位置に応じて選択した塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を塗着して液滴塗工層を形成することを特徴とする塗工方法。
【請求項２】
前記塗工基板の表面に、前記ドット塗工用ヘッドと連動して前記ヘッド移動方向へ移動する膜状塗工用ヘッドで塗工液を膜状に塗着して膜状塗工層を形成する請求項１記載の塗工方法。
【請求項３】
固定した塗工基板の表面から離隔してヘッド移動方向と交差する方向に沿って複数個の第１塗工用吐出口を設けた第１ドット塗工用ヘッド及び該塗工基板の表面から離隔してヘッド移動方向と交差する方向に沿って複数個の第２塗工用吐出口を設けた第２ドット塗工用ヘッドを用い、前記第１ドット塗工用ヘッドを移動させつつ、第１ドット塗工用ヘッドの移動位置に応じて選択した第１塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を前記塗工基板の表面に塗着して第１液滴塗工層を形成する第１塗工工程と、前記第２ドット塗工用ヘッドを移動させつつ、第２ドット塗工用ヘッドの移動位置に応じて選択した第２塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を前記塗工基板の表面に塗着して第２液滴塗工層を形成する第２塗工工程とからなり、これら工程を並行して行うか、またはこれら工程のいずれか一方の工程を先に行い、その後に他方の工程を行うことを特徴とする塗工方法。
【請求項４】
固定した塗工基板の表面から離隔してヘッド移動方向と交差する方向に沿って複数個の塗工用吐出口を設けたドット塗工用ヘッド及びヘッド移動方向へ移動する膜状塗工用ヘッドを用い、前記ドット塗工用ヘッドを移動させつつ、ドット塗工用ヘッドの移動位置に応じて選択した塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を前記塗工基板の表面に塗着して液滴塗工層を形成する液滴塗工工程と、前記膜状塗工用ヘッドを移動させつつ、膜状塗工用ヘッドの移動位置に応じて、塗工液を前記塗工基板の表面に膜状に塗着して膜状塗工層を形成する塗工状態と塗着させない非塗工状態とを選択する膜状塗工工程とからなり、これら工程を並行して行うか、またはこれら工程のいずれか一方の工程を先に行い、その後に他方の工程を行うことを特徴とする塗工方法。
【請求項５】
塗工基板固定領域に塗工基板を固定するテーブルと、該塗工基板固定領域から離隔して移動し、この移動する方向と交差する方向に沿って設けた複数個の吐出口から液滴を塗工基板固定領域へ向かって飛び出して液滴塗工層を形成するドット塗工用ヘッドと、ドット塗工用ヘッドの移動位置に応じて液滴を飛び出させる吐出口を選択する制御器とを備えたことを特徴とする塗工装置。
【請求項６】
前記ドット塗工用ヘッド及び制御器を複数組備え、これら複数組が連動して移動する請求項５記載の塗工装置。
【請求項７】
前記塗工基板固定領域に塗工液を膜状に塗着する膜状塗工用ヘッドを、前記ドット塗工用ヘッドと連動するように並設した請求項５又は６記載の塗工装置。
【請求項８】
前記膜状塗工用ヘッドは、その移動位置に応じて、塗工液を前記塗工基板固定領域に膜状に塗着して膜状塗工層を形成する塗工状態と塗着させない非塗工状態とを選択する制御器とを備えた請求項７記載の塗工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラスチック板若しくはガラス板等の枚葉塗工基板に、導電剤，絶縁剤，有機発光剤，画素用塗工剤，レジスト液又は合成樹脂液等を含む塗工液を塗工する塗工方法及び塗工装置に関するものであって、固定した塗工基板に対して移動する塗工ヘッドで塗工するものに係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の塗工は、スリットの先端開口部から塗工液を吐出するダイコータを用い、固定した塗工基板の表面に、移動するダイから吐出する塗工液を膜状に塗工するように行われている（例えば、特許文献１，特許文献２参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−１０２７７１公報
【特許文献２】
特開２００２−２００４５０公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の塗工は、ダイコータのスリット開口部から吐出する塗工液を塗工するため、塗工厚みを薄くすることに限界があり、また塗工及び被塗工を繰り返す間欠塗工の場合に塗工パターンが四角形に限定されるため、塗工パターンを四角形以外に変化させることは実質的に不可能である。更に、先に塗工したウエット状態の塗工層の上に、ダイコータで重ね塗りする場合、先の塗工層にダメージを与えことがあり、高精度な塗工ができないこともある。
【０００５】
そこで、本発明は、これら問題を解決のために、薄塗りができ、塗工パターンの変更が容易にでき、重ね塗りりが容易にできる塗工方法及び塗工装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
塗工基板表面に液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成できるようにするために請求項１記載の本発明が採用した手段は、固定した塗工基板の表面に、該塗工基板の表面から離隔してヘッド移動方向と交差する方向に沿って複数個の塗工用吐出口を設けたドット塗工用ヘッドを用い、該ドット塗工用ヘッドを移動させつつ、ドット塗工用ヘッドの移動位置に応じて選択した塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を塗着して液滴塗工層を形成することを特徴とする塗工方法である。
【０００７】
請求項１記載の本発明にあっては、ドット塗工用ヘッドを移動させつつ選択した塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を塗工基板の表面に塗着して液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成することができる。また、本発明にあっては、液滴を微少とすることにより薄塗りができると共に、ドット塗工用ヘッドの移動速度を変更することで、液滴塗工層の層厚み（塗工量）を調節できる。
【０００８】
塗工基板表面に膜状塗工層を併せて形成できるようにするために請求項２記載の本発明が採用した手段は、前記塗工基板の表面に、前記ドット塗工用ヘッドと連動して前記ヘッド移動方向へ移動する膜状塗工用ヘッドで塗工液を膜状に塗着して膜状塗工層を形成する請求項１記載の塗工方法である。膜状塗工層とは、塗工基板の表面を厚みが一定となるように塗工液が連続に広がって一つの膜の状態となっているものを言う。なお、先に膜状塗工層を形成しつつ、形成途中の膜状塗工層の上に液滴塗工層を形成する場合には、膜状塗工層に対するダメージを最小限にして重ね塗りができる。
【０００９】
請求項２記載の本発明にあっては、ドット塗工用ヘッドと膜状塗工用ヘッドを連動させることで、塗工基板の表面に液滴塗工層と膜状塗工層を並行して形成することができる。
【００１０】
塗工基板表面に二種類の液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成できるようにする請求項３記載の本発明が採用した手段は、固定した塗工基板の表面から離隔してヘッド移動方向と交差する方向に沿って複数個の第１塗工用吐出口を設けた第１ドット塗工用ヘッド及び該塗工基板の表面から離隔してヘッド移動方向と交差する方向に沿って複数個の第２塗工用吐出口を設けた第２ドット塗工用ヘッドを用い、前記第１ドット塗工用ヘッドを移動させつつ、第１ドット塗工用ヘッドの移動位置に応じて選択した第１塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を前記塗工基板の表面に塗着して第１液滴塗工層を形成する第１塗工工程と、前記第２ドット塗工用ヘッドを移動させつつ、第２ドット塗工用ヘッドの移動位置に応じて選択した第２塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を前記塗工基板の表面に塗着して第２液滴塗工層を形成する第２塗工工程とからなり、これら工程を並行して行うか、または第１塗工工程を先に行い、その後に第１塗工工程を行うことを特徴とする塗工方法である。
【００１１】
請求項３記載の本発明にあっては、第１塗工工程において第１ドット塗工用ヘッドを移動させつつ選択した第１塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を塗工基板の表面に塗着して第１液液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成することができると共に、第２塗工工程において第２ドット塗工用ヘッドの移動中に選択したの第２塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を塗工基板の表面に塗着して第２液液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成することができる。また、本発明にあっては、液滴を微少とすることにより薄塗りができると共に、第１ドット塗工用ヘッド及び第２ドット塗工用ヘッドの移動速度を変更することで、第１液滴塗工層及び第１液滴塗工層の各層厚み（塗工量）を調節できる。更に、本発明にあっては、先の第１塗工工程塗工した第１液液滴塗工層の上に、第２塗工工程において塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す液滴を塗着して第２液液滴塗工層を形成するときには、先に塗工した第１液液滴塗工層にダメージを加えることなく重ね塗りができる。
【００１２】
塗工基板表面に液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成すると共に、塗工基板表面に膜状塗工層を断続的に形成するために請求項４記載の本発明が採用した手段は、固定した塗工基板の表面から離隔してヘッド移動方向と交差する方向に沿って複数個の塗工用吐出口を設けたドット塗工用ヘッド及びヘッド移動方向へ移動する膜状塗工用ヘッドを用い、前記ドット塗工用ヘッドを移動させつつ、ドット塗工用ヘッドの移動位置に応じて選択した塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を前記塗工基板の表面に塗着して液滴塗工層を形成する液滴塗工工程と、前記膜状塗工用ヘッドを移動させつつ、膜状塗工用ヘッドの移動位置に応じて、塗工液を前記塗工基板の表面に膜状に塗着して膜状塗工層を形成する塗工状態と塗着させない非塗工状態とを選択する膜状塗工工程とからなり、これら工程を並行して行うか、またはこれら工程のいずれか一方の工程を先に行い、その後に他方の工程を行うことを特徴とする塗工方法である。なお、先に膜状塗工層を形成しつつ、形成途中の膜状塗工層の上に液滴塗工層を形成する場合には、膜状塗工層に対するダメージを最小限にすることが可能となる。
【００１３】
請求項４記載の本発明にあっては、液滴塗工工程においてドット塗工用ヘッドを移動させつつ選択して塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す塗工液の液滴を塗工基板の表面に塗着して液液滴塗工層を形成することができると共に、膜状塗工工程において膜状塗工用ヘッドを移動させつつ塗工状態と非塗工状態を選択することで、塗工基板の表面に膜状塗工層と塗工されていない未塗工領域を形成することができる。また、本発明にあっては、液滴塗工工程において液滴を微少とすることにより薄塗りができると共に、ドット塗工用ヘッドの移動速度を変更することで、液滴塗工層の層厚み（塗工量）を調節できる。
【００１４】
塗工基板表面に液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成するために請求項５記載の本発明が採用した手段は、塗工基板固定領域に塗工基板を固定するテーブルと、該塗工基板固定領域から離隔して移動し、この移動する方向と交差する方向に沿って設けた複数個の吐出口から液滴を塗工基板固定領域へ向かって飛び出して液滴塗工層を形成するドット塗工用ヘッドと、ドット塗工用ヘッドの移動位置に応じて液滴を飛び出させる吐出口を選択する制御器とを備えたことを特徴とする塗工装置である。
【００１５】
請求項５記載の本発明にあっては、テーブルの塗工基板固定領域に塗工基板を固定した状態で、ドット塗工用ヘッドを移動させつつ制御器で選択した塗工用吐出口の各々から次々と塗工基板固定領域へ向かって飛び出す塗工液の液滴を塗工基板の表面に塗着して液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成することができる。
【００１６】
先に塗工した液滴塗工層にダメージを与えることなく別の液滴塗工層を重ね塗りができるようにするために請求項６記載の本発明が採用した手段は、前記ドット塗工用ヘッド及び制御器を複数組備え、これら複数組が連動して移動する請求項５記載の塗工装置である。
【００１７】
請求項６記載の本発明にあっては、塗工基板の表面に先に形成しつつある液滴塗工層の上に、続けて液滴塗工層を重ね塗りする場合、塗工用吐出口の各々から次々と飛び出す液滴を先の液滴塗工層の上に塗着して後の液液滴塗工層を形成するため、先の液液滴塗工層にダメージを加えることなく重ね塗りができる。
【００１８】
塗工基板の表面に膜状塗工層を併せて形成するために請求項７記載の本発明が採用した手段は、前記塗工基板固定領域に塗工液を膜状に塗着する膜状塗工用ヘッドを、前記ドット塗工用ヘッドと連動するように並設した請求項５又は６記載の塗工装置である。なお、両塗工用ヘッドが塗工のために移動する際に、ドット塗工用ヘッドが膜状塗工用ヘッドより先頭側となるように配置することで、膜状塗工層を形成しつつ、その上に液滴塗工層を形成できるので、膜状塗工層に対するダメージを最小限にすることが可能となる。
【００１９】
請求項７記載の本発明にあっては、ドット塗工用ヘッドと連動する膜状塗工用ヘッドにより、塗工基板固定領域に塗工液を膜状に塗着して膜状塗工層を形成することができる。
【００２０】
塗工基板の表面に液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成すると共に、塗工基板表面に膜状塗工層を断続的に形成するために請求項８記載の本発明が採用した手段は、前記膜状塗工用ヘッドは、その移動位置に応じて、塗工液を前記塗工基板固定領域に膜状に塗着して膜状塗工層を形成する塗工状態と塗着させない非塗工状態とを選択する制御器とを備えた請求項７記載の塗工装置である。なお、膜状塗工用ヘッドを、スリットの先端開口部から塗工液を吐出するダイヘッドで構成し、先端開口部からの塗工液の吐出又は吐出停止を制御器で選択させるようにすることもある。
【００２１】
請求項８記載の本発明にあっては、膜状塗工用ヘッドを移動させつつ制御器で塗工状態と非塗工状態を選択することで、塗工基板の表面に膜状塗工層と塗工のない未塗工領域を形成することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る塗工方法及び塗工装置（以下、「本発明塗工方法」、「本発明塗工装置」と言う。）を図面に示す実施の形態に基づいて説明する。
【００２３】
（本発明塗工装置の第１の実施の形態）
図１は本発明塗工装置の第１の実施の形態を示すものであり、同図（Ａ）は概略的に示す一部破断した平面図、同図（Ｂ）は概略的に示す側面図、同図（Ｃ）はドット塗工用ヘッド２（３）の吐出口（３ａ）が設けられた外側面を示す図である。本実施の形態に係る本発明塗工装置１は、塗工基板固定領域Ｓに塗工基板Ｗを固定するためのテーブル９と、テーブル９に固定した塗工基板Ｗに液滴塗工層Ｆ１，Ｆ２を形成するために並設した第１ドット塗工用ヘッド２及び第２ドット塗工用ヘッド３と、任意の塗工パターンの滴塗工層Ｆ１を得るために第１ドット塗工用ヘッド２を制御する制御器４と、任意の塗工パターンの滴塗工層Ｆ２を得るために第２ドット塗工用ヘッド３を制御する制御器５とを備えている。本発明装置１は、塗工基板Ｗ１の片面に各ドット塗工用ヘッド２，３で同一又は異なる種類の塗工液を任意の塗工パターンで塗工することができる。
【００２４】
前記テーブル９は、塗工基板固定領域Ｓに複数の吸引孔（図示略）を開口させ、塗工基板固定領域Ｓに移載装置（図示略）で載置された塗工基板Ｗを吸引孔で吸着して固定するように構成されている。テーブル９は、吸引孔の吸引を停止させて、塗工基板固定領域Ｓから塗工基板Ｗを取り出せるように、吸引孔と吸引装置（図示略）との間に制御弁を配置している。また、テーブル９は、吸引孔で吸着する以外に、粘着・剥離の繰り返しができる粘着テープ等で塗工基板Ｗを固定するようにしてもよい。
【００２５】
前記第１ドット塗工用ヘッド２及び第２ドット塗工用ヘッド３は、支持具６に対して昇降自在に取付けられ、サーボモータ等の駆動装置（図示略）で停止位置を変更できるようにし、塗工のために後方から前方へ向かって前進するときや、前方から後方へ向かって後退するときに、吐出口（３ａ）と塗工基板Ｗの表面との間隙を調節できるようにしてある。支持具６は、案内レール８で摺動自在に案内されるスライダー７に接続され、塗工基板固定領域Ｓに沿う矢符Ａ方向へ移動できるようになつている。スライダー７は、サーボモータ等の駆動装置（図示略）で駆動され、吐出口２ａ（３ａ）の移動速度を調節できるようにしてある。
【００２６】
前記各ドット塗工用ヘッド２（３）は、移動方向（矢符Ａ方向）と交差する方向（矢符Ｂ方向）に沿って複数個の吐出口２ａ（３ａ）を設け、各吐出口２ａ（３ａ）から塗工液の液滴を塗工基板固定領域Ｓへ向かって飛び出させるようにしてあり、テーブル９の塗工基板固定領域Ｓと移動中の各吐出口２ａ（３ａ）を離隔させ、塗工基板Ｗに移動中の各吐出口２ａ（３ａ）を接触させないようにしてある。前記各ドット塗工用ヘッド２（３）は、塗工領域Ｄの全域に対応できるように矢符Ｂ方向に沿って複数個の吐出口（ノズル孔）２ａ（３ａ）を一列（図示略）又は複数列（図（Ｃ）は二列）を設け、後方から前方へ移動中に各吐出口２ａ（３ａ）から塗工液の液滴を次々に飛び出させ、前記テーブル９に固定されてる塗工基板Ｗへ液滴を塗着させて、液滴塗工層Ｆ１，Ｆ２を形成するようにしてある。複数個の吐出口２ａ（３ａ）が列状に延設する矢符Ｂ方向は、図（Ａ）に示す如く移動方向である矢符Ａ方向と直交させる場合と、矢符Ａ方向と斜め交差させる場合（図示略）とがある。
【００２７】
前記各ドット塗工用ヘッド２（３）は、各吐出口２ａ（３ａ）から液滴を飛び出させる構造として公知のインクジェットヘッドと同様の構造が採用され、例えば、ヘッド内の塗工液用液路に面する圧電素子にパルス状の電圧を印加し、圧電素子の変形で液路内の塗工液を加圧して液路先端の吐出口２ａ（３ａ）から液滴を次々に飛び出させる圧電素子型（例えば、特公昭５３−１２１３８号公報等）、または、発熱抵抗体にパルス状の電圧を印加して発熱抵抗体の発する熱を液路の塗工液に瞬間的に与えて、沸騰気泡の体積膨張を利用して液路先端の吐出口２ａ（３ａ）から液滴を次々に飛び出させる沸騰気泡ジェット型（例えば、特開昭５４−５１８３７号公報等）が採用される。前記各ドット塗工用ヘッド２（３）は、パルス状の電圧を印加する圧電素子または発熱抵抗体を、吐出口２ａ（３ａ）の各宛毎に備えるか、また吐出口２ａ（３ａ）の複数個を一組として各組毎に備える。前記各ドット塗工用ヘッド２（３）は、塗工液供給装置（図示略）が接合され、塗工液供給装置から各ヘッド内の塗工液用液路へ塗工液が供給されるようになっている
【００２８】
前記圧電素子型のドット塗工用ヘッド２（３）は、塗工液の粘度に使用限界があるものの適用液体の種類が多く、また粘度の高い液体を吐出する場合の問題を解決する手段も開発されており、粘度１００ｍＰａ・ｓ（１００ｃｐ）までの液体を吐出することが可能である。逆に、沸騰気泡ジェット型はその特性上、使用する液体が限定され、使用範囲が狭い。
【００２９】
前記各ドット塗工用ヘッド２（３）は、液滴を飛び出させる時間帯を設定する方式として、パルス状の電圧を印加して吐出口２ａ（３ａ）から液滴を飛び出させる飛翔時間帯と電圧を印加しないで吐出口２ａ（３ａ）から液滴を飛び出させない休止時間帯とを交互に設定するドロップオンデマンド型、または、休止時間帯を設けることなくパルス状の電圧を連続して印加するコンティニュアス型（例えば、特開昭５５−３７３５２号公報等）が採用される。パルス状の電圧は、制御器４（５）から各ドット塗工用ヘッド２（３）の圧電素子または発熱抵抗体のドライバーに発せられる。前記各ドット塗工用ヘッド２（３）は、パルス状の電圧を印加する圧電素子または発熱抵抗体を選択することで、液滴を飛び出させる吐出口２ａ（３ａ）を選択して、任意の塗工パターンを得ることができる。パルス状の電圧を印加する圧電素子または発熱抵抗体の選択は、制御器４（５）で行われる。制御器４（５）は、塗工のために移動中の各ドット塗工用ヘッド２（３）の移動位置（矢符Ａ方向の座標）を検知器（図示略）で検知し、内蔵したコンピュータ−へこの検知で得られた位置データを入力し、コンピュータ−のプログラムに従って選択する。
【００３０】
更に、前記各ドット塗工用ヘッド２（３）は、吐出口２ａ（３ａ）から飛び出した液滴に空気流による飛翔力を与え、液滴の噴射速度を向上させることもある（例えば、特公昭５７−２０９０６号公報等）。
【００３１】
本発明塗工装置１は、テーブル９に固定した塗工基板Ｗの表面に、該表面から離隔した状態で移動する各ドット塗工用ヘッド２（３）の各吐出口２ａ（３ａ）から次々と飛び出す液滴を塗着させることで、塗工基板Ｗと各吐出口２ａ（３ａ）の接触を無くした状態で、図２，図３又は図４に示す塗工パターンで所望層厚みの第１塗工層Ｆ１及び第２塗工層Ｆ２を得る下記の本発明塗工方法を実施することができる。
【００３２】
（本発明塗工方法の第１の実施の形態）
図２及び図３は本発明塗工方法の第１の実施の形態で得た塗工パターンを示すものである。本実施の形態に係る本発明塗工方法は、テーブル９（図１参照）に固定した塗工基板Ｗの表面の塗工域Ｄに、移動中の第１ドット塗工用ヘッド２の複数個の吐出口２ａの各々から次々と飛び出す液滴を塗着して図２に示す第１塗工層Ｆ１を形成しつつ、第１ドット塗工用ヘッド２と連動して移動する第２ドット塗工用ヘッド３の複数個の吐出口３ａの各々から次々と飛び出す液滴を第１塗工層Ｆ１の表面に塗着して第２塗工層Ｆ２を形成することである。第１塗工層Ｆ１は、図２（Ａ）に示す如く、塗工基板Ｗの両耳端部Ｗａ，Ｗａを除く塗工域Ｄの全域で走行方向（矢符Ａ方向）へ連続的に形成するか、図２（Ｂ）に示す如く、未塗工域Ｗｂを残して塗工域Ｄを複数に分割した各分割域Ｗｃの全域で走行方向（矢符Ａ方向）へ連続的に形成される。第２塗工層Ｆ２は、第１塗工層Ｆ１の全体に重なり合うように形成される。なお、図２（Ａ）（Ｂ）は、第２塗工層Ｆ２の一部を切り取って図示してある。
【００３３】
図３（Ａ）に示す如く、第２塗工層Ｆ２を点在させて、第１塗工層Ｆ１の一部に第２塗工層Ｆ２を重なり合うようにする場合には、図１に示す第２ドット塗工用ヘッド３の移動位置に応じて、複数個の吐出口３ａの中から制御器５で選択した吐出口３ａから次々と飛び出す液滴を塗着して第２塗工層Ｆ２を形成する。前記各ドット塗工用ヘッド３は、オンデマンド型を採用するとき、パルス状の電圧を印加する飛翔時間帯に吐出口３ａから液滴を次々と飛び出させて第２塗工層Ｆ２を形成し、電圧を印加しない休止時間帯に未塗工域を形成する。また、連続噴射型を採用するときには、吐出口３ａから飛び出す液滴を塗工基板Ｗへ直進させて第２塗工層Ｆ２を形成すると共に、吐出口３ａから飛び出す液滴を塗工基板Ｗへ到達させないように進行方向を偏向してガータ（図示略）等で回収して未塗工域を形成する。
【００３４】
本実施の形態に係る本発明塗工方法にあっては、塗工基板Ｗの表面から離隔して走行する各ドット塗工用ヘッド２（３）の各吐出口２ａ（３ａ）から次々と飛び出す液滴を塗着させるので、塗工基板Ｗと各吐出口２ａ（３ａ）の接触がなく、所望層厚みの第１塗工層Ｆ１及び第２塗工層Ｆ２を図２及び図３に示す塗工パターンの如く重ね塗りすることができ、重ね塗りする際に、先の液液滴塗工層Ｆ１に擦り傷等のダメージを加えることもない。
【００３５】
（本発明塗工方法の第２の実施の形態）
図４は本発明塗工方法の第２の実施の形態で得た塗工パターンを示すものである。本実施の形態に係る本発明塗工方法は、塗工基板Ｗの表面の部分的な第１塗工域Ｗｄに、図１に示す走行する第１ドット塗工用ヘッド２の複数個の吐出口２ａの中で選択した吐出口２ａから設定した時間帯に次々と飛び出す液滴を塗着して第１塗工層Ｆ１を形成しつつ、塗工基板Ｗの表面の該第１塗工域Ｗｄを除く第２塗工域Ｗｅに、連動して移動する第２ドット塗工用ヘッド３の複数個の吐出口３ａの中で選択した吐出口３ａから設定した時間帯に次々と飛び出す液滴を塗着して第２塗工層Ｆ２を形成することである。本発明塗工方法は、第１塗工域Ｗｄ及び第２塗工域Ｗｅ以外に、未塗工域Ｗｆを形成してある。
【００３６】
前記各ドット塗工用ヘッド２（３）の作動は、オンデマンド型を採用するとき、パルス状の電圧を印加する飛翔時間帯に吐出口２ａ（３ａ）から液滴を次々と飛び出させて塗工層Ｆ１（Ｆ２）を形成し、電圧を印加しない休止時間帯に未塗工域Ｗｆを形成する。また、連続噴射型を採用するときには、吐出口２ａ（３ａ）から飛び出す液滴を塗工基板Ｗへ直進させて塗工層Ｆ１（Ｆ２）を形成し、吐出口２ａ（３ａ）から飛び出す液滴を塗工基板Ｗへ到達させないように進行方向を偏向してガータ（図示略）等で回収して未塗工域Ｗｆを形成する。
【００３７】
本実施の形態に係る本発明塗工方法にあっては、塗工基板Ｗの表面から離隔して走行する各ドット塗工用ヘッド２（３）の各吐出口２ａ（３ａ）から次々と飛び出す液滴を塗着させるので、塗工基板Ｗと各吐出口２ａ（３ａ）の接触がなく、所望層厚みの第１塗工層Ｆ１と第２塗工層Ｆ２とを図３に示す塗工パターンの如く重ね合わせることなく交互に得ることができる。
【００３８】
（本発明塗工方法の第３の実施の形態）
図５は本発明塗工方法の第３の実施の形態で得た塗工パターンを示す平面図であり、塗工基板Ｗの表面に、液滴塗工層Ｆ１と液滴塗工層Ｆ２を重複領域Ｗｋで重合させつつ交互に形成したものであり、（Ａ）は塗工領域Ｄの全域に亙って塗工層Ｆ１，Ｆ２を形成し、（Ｂ）は未塗工域Ｗｍを塗工基板Ｗの塗工基板長手方向（矢符Ａ方向）に沿って形成してある。なお、図５（Ａ）（Ｂ）は、後で塗工した液滴塗工層Ｆ２の一部を切り取って図示してある。
【００３９】
本実施の形態に係る本発明塗工方法は、テーブル９（図１参照）に固定した塗工基板Ｗの表面の塗工域Ｄに、移動中の第１ドット塗工用ヘッド２の複数個の吐出口２ａの各々から次々と飛び出す液滴を塗着して図２に示す液滴塗工層Ｆ１を断続的に形成しつつ、液滴塗工層Ｆ１の表面の前後縁部に、連動して移動する第２ドット塗工用ヘッド３の複数個の吐出口３ａの各々から次々と飛び出す液滴を塗着して液滴塗工層Ｆ２を形成することである。本実施の形態に係る本発明塗工方法は、塗工基板Ｗの表面に重複領域Ｗｋを挟んで第１塗工領域Ｗｇと第２塗工領域Ｗｈが交互に位置するように予定されており、塗工基板Ｗの第１塗工領域Ｗｇ及び該第１塗工領域Ｗｇに前後で各々隣接する重複領域Ｗｋ，Ｗｋに、図１に示す移動中の第１ドット塗工用ヘッド２で塗工液を塗着して液滴塗工層Ｆ１を間欠的に形成し、その後に塗工基板Ｗの第２塗工領域Ｗｈ及び該第２塗工領域Ｗｈの前後で各々隣接する重複領域Ｗｋ，Ｗｋに、連動して移動する第２ドット塗工用ヘッド３の複数個の吐出口３ａの中で選択した吐出口３ａから設定した時間帯に次々と飛び出す液滴を塗着して液滴塗工層Ｆ２を形成することにより、液滴塗工層Ｆ１と液滴塗工層Ｆ２を重複領域Ｗｋで重合させつつ交互に形成するものである。重複領域Ｗｋでは、液滴塗工層Ｆ１の上に液滴塗工層Ｆ２が積層するように形成される。同図（Ｂ）は未塗工域Ｗｍを塗工基板Ｗの走行方向（矢符Ａ方向）に沿って延設してある。
【００４０】
前記ドット塗工用ヘッド３の作動は、オンデマンド型を採用するとき、または連続噴射型を採用するときも、前記本発明塗工方法の第１の実施の形態と実質的に同一であるので、ここでの説明を省略する。
【００４１】
（本発明塗工装置の第２の実施の形態）
図６は本発明塗工装置の第２の実施の形態を示すものであり、同図（Ａ）は概略的に示す一部破断した平面図、同図（Ｂ）は概略的に示す側面図である。本実施の形態に係る本発明塗工装置２１が前記第１の実施の形態に係る本発明塗工装置１（図１参照）と相違する点は、前側の膜状塗工用ヘッド１０と後側のドット塗工用ヘッド３と連動するように並設したことである。この相違点以外の構成は、本発明塗工装置１と実質的に同一であり、同一符号は同一構成部材等である。膜状塗工用ヘッド１０及びドット塗工用ヘッド３は、後方から前方へ向かって移動する間に、テーブル９に固定した塗工基板Ｗに塗工を施す。
【００４２】
本実施例において前記膜状塗工用ヘッド１０は、二つのブロックを接合して両ブロックの境界にスリット（図示略）を形成し、塗工領域Ｄの全域に対応できるように該スリットの左右方向（矢符Ｂ方向）に延設した先端開口部１０ａから塗工液を吐出するダイで構成してある。ダイ方式の膜状塗工用ヘッド１０は、移動するのに伴い、塗工基板固定領域Ｓから離隔した先端開口部１０ａから、連続的又は移動位置（矢符Ａ方向の座標）に応じて間欠的に塗工液を吐出して、塗工基板Ｗの表面に膜状塗工層Ｆ１を連続的（図２及び図３参照）又は断続的（図４参照）に形成する構成してある。一つの膜状塗工層Ｆ１は、塗工基板Ｗの表面を層厚みが一定となるように塗工液が連続に広がって一つの膜の状態となっている。間欠的に塗工液を吐出する構造としては、先端開口部１０ａをシャッターで間欠的に開閉する構造（例えば、特開平１０−２８９１５号公報）や、前記スリットの途中を開閉弁で間欠的に開閉する構造（例えば、特開平８−２５７４６７公報）や、前記スリットと塗工液供給装置（図示略）を接続する配管の途中を切替弁で間欠的に開閉する構造（例えば、特開平９−１０８６０５公報）等がある。また、ダイ方式の膜状塗工用ヘッド１０は、先端開口部１０ａをシム等で部分的に塞ぐことで、左右方向（矢符Ｂ方向）に沿って塗工域（先端開口部１０ａの開口した領域に対応した部分）と未塗工域（先端開口部１０ａの塞がれた領域に対応した部分）とを交互に形成することも可能である（図２（Ｂ），図４（Ａ）参照）。
【００４３】
前記膜状塗工用ヘッド１０は、支持具６に対して昇降自在に取付けられ、サーボモータ等の駆動装置（図示略）で停止位置を変更できるようにし、塗工のために後方から前方へ向かって前進するときや、前方から後方へ向かって後退するときに、先端開口部１０ａと塗工基板Ｗの表面との間隙を調節できるようにしてある。
【００４４】
本実施の形態に係る本発明塗工装置２１は、テーブル９に固定した塗工基板Ｗについて前記本発明塗工方法の第１，２，３の実施の形態と同様に実施することができ、図２，図３及び図４に示す塗工パターンを得ることができる。図２，図３及び図４に示すＦ１は、前記本発明塗工方法の第１，２，３の実施の形態では液滴塗工層であるのに対して、本発明塗工装置２１を用いた本発明塗工方法では膜状塗工層となる。同図に示すＦ２は、共に液滴塗工層である。
【００４５】
（本発明塗工装置の第３の実施の形態）
図７は本発明塗工装置の第３の実施の形態を示すものであり、同図（Ａ）は概略的に示す一部破断した平面図、同図（Ｂ）は概略的に示す側面図である。本実施の形態に係る本発明塗工装置３１が前記第１の実施の形態に係る本発明塗工装置１（図１参照）と相違する点は、前側のドット塗工用ヘッド２と後側の膜状塗工用ヘッド１０と連動するように並設したことである。この相違点以外の構成は、本発明塗工装置１と実質的に同一であり、同一符号は同一構成部材等である。ドット塗工用ヘッド２及び膜状塗工用ヘッド１０は、後方から前方へ向かって移動する間に、テーブル９に固定した塗工基板Ｗに塗工を施す。
【００４６】
本実施例において前記膜状塗工用ヘッド１０は、前記本発明塗工装置の第２の実施の形態（図６参照）に示すものと実質的に同一であるため、ここでの説明を省略する。
【００４７】
本実施の形態に係る本発明塗工装置３１は、テーブル９に固定した塗工基板Ｗについて前記本発明塗工方法の第１，２，３の実施の形態と同様に実施することができ、図２，図３及び図４に示す塗工パターンを得ることができる。図２，図３及び図４に示すＦ２は、前記本発明塗工方法の第１，２，３の実施の形態では液滴塗工層であるのに対して、本発明塗工装置２１を用いた本発明塗工方法では膜状塗工層となる。同図に示すＦ１は、共に液滴塗工層である。
【００４８】
（本発明塗工装置の第４の実施の形態）
図８は本発明塗工装置の第４の実施の形態を示すものであり、同図（Ａ）は概略的に示す一部破断した平面図、同図（Ｂ）は概略的に示す側面図である。本実施の形態に係る本発明塗工装置４１が前記第１の実施の形態に係る本発明塗工装置１（図１参照）と相違する点は、前側のドット塗工用ヘッド２のみとしたことである。この相違点以外の構成は、本発明塗工装置１と実質的に同一であり、同一符号は同一構成部材等である。ドット塗工用ヘッド２は、後方から前方へ向かって移動する間に、テーブル９に固定した塗工基板Ｗに塗工を施す。
【００４９】
本実施の形態に係る本発明塗工装置４１は、テーブル９に固定した塗工基板Ｗに対して、一層の液滴塗工層Ｆ１を任意の塗工パターンで形成できる。例えば、図示の如く、円形のウエハＷ上に絶縁膜となる円形の液滴塗工層Ｆ１を塗着することができる。
【００５０】
（本発明塗工装置のその他の実施の形態）
前記本発明塗工装置２１（図６参照）及び前記本発明塗工装置３１（図７参照）は、膜状塗工用ヘッド１０としてダイ方式を採用しているが、これに限定するものではなく、図示は省略するが、塗工基板固定領域Ｓから離隔して矢符Ｂ方向へ延設した吐出口となった毛細状間隙を備えたノズル（特開２００３−１１７１参照）等で形成することも可能である。
【００５１】
【発明の効果】
請求項１記載の本発明塗工方法は、塗工基板の表面に液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成することができる。また、塗着する液滴を微少とすることにより薄塗りが可能となると共に、ドット塗工用ヘッドの移動速度を変更して液滴塗工層の層厚み（塗工量）を調節することが可能となる。
【００５２】
請求項２記載の本発明塗工方法は、塗工基板の表面に液滴塗工層と膜状塗工層を並行して形成することができ、塗工能率を向上させることが可能となる。
【００５３】
請求項３記載の本発明塗工方法は、塗工基板の表面に二種類の液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成することが可能となる。各液滴塗工層について塗着する液滴を微少とすることにより薄塗りが可能となると共に、各ドット塗工用ヘッドの移動速度を変更して各液滴塗工層の層厚み（塗工量）を調節することが可能となる。更に、先に形成される液液滴塗工層にダメージを加えることなく別の液液滴塗工層を重ね塗りすることが可能となる。
【００５４】
請求項４記載の本発明塗工方法は、固定した塗工基板の表面に液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成することができると共に、塗工基板の表面に膜状塗工層と塗工されていない未塗工領域を形成することができる。液滴塗工層について塗着する液滴を微少とすることにより薄塗りが可能となると共に、ドット塗工用ヘッドの移動速度を変更して液滴塗工層の層厚み（塗工量）を調節することが可能となる。
【００５５】
請求項５記載の本発明塗工装置は、固定した塗工基板の表面に液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成することができる。また、ドット塗工用ヘッドの塗工用吐出口から飛び出す液滴を微少とすることにより薄塗りが可能となると共に、ドット塗工用ヘッドの移動速度を変更することで液滴塗工層の層厚み（塗工量）を調節することが可能となる。
【００５６】
請求項６記載の本発明塗工装置は、固定した塗工基板の表面へ先に塗工した液滴塗工層にダメージを与えることなく別の液滴塗工層を重ね塗りができる。
【００５７】
請求項７記載の本発明塗工装置は、塗工基板の表面に膜状塗工層を併せて形成できる。
【００５８】
請求項８記載の本発明塗工装置は、塗工基板の表面に液滴塗工層を任意の塗工パターンで形成できると共に、塗工基板表面に膜状塗工層を断続的に形成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明塗工装置の第１の実施の形態を示すものであり、同図（Ａ）は概略的に示す一部破断した平面図、同図（Ｂ）は概略的に示す側面図、同図（Ｃ）はドット塗工用ヘッドの吐出口が設けられた外側面を示す図である。
【図２】（Ａ）及び（Ｂ）の各々は、本発明塗工方法の第１の実施の形態で得た塗工パターンを示すものである。
【図３】（Ａ）及び（Ｂ）の各々は、本発明塗工方法の第１の実施の形態で得た塗工パターンを示すものである。
【図４】本発明塗工方法の第２の実施の形態で得た塗工パターンを示すものである。
【図５】（Ａ）及び（Ｂ）の各々は、本発明塗工方法の第３の実施の形態で得た塗工パターンを示すものである。
【図６】本発明塗工装置の第２の実施の形態を示すものであり、同図（Ａ）は概略的に示す一部破断した平面図、同図（Ｂ）は概略的に示す側面図である。
【図７】本発明塗工装置の第３の実施の形態を示すものであり、同図（Ａ）は概略的に示す一部破断した平面図、同図（Ｂ）は概略的に示す側面図である。
【図８】本発明塗工装置の第４の実施の形態を示すものであり、同図（Ａ）は概略的に示す一部破断した平面図、同図（Ｂ）は概略的に示す側面図である。
【符号の説明】
２，３…ドット塗工用ヘッド、２ａ，３ａ…塗工用吐出口、３，５…制御器、９…テーブル、１０…膜状塗工用ヘッド、１０ａ…先端開口部、Ｗ…塗工基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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