(57)【要約】【課題】  熱雑音が小さく、かつ、セルサイズが小さい固体撮像装置を提供する。【解決手段】  増幅トランジスタ２のソースとドレインとの間に、フィードバックトランジスタ４とフィードバックダイオード５との直列接続回路を設ける。フィードバックトランジスタ４をオフ状態に制御したときに、電流がフィードバックダイオード５を流れないので、フォトダイオード１に残留するｋＴＣ雑音を小さくすることができる。フィードバックダイオード５に代えて、ゲートとドレインとが接続されたＭＯＳトランジスタ６を使用してもよい。【選択図】  図１
2005244355.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光の強度に応じた電気信号を出力する固体撮像装置であって、
半導体基板上に２次元状に配列された複数の感光セルと、
同じ行に配列された前記感光セルに共通の制御信号を出力する垂直走査回路と、
同じ列に配列された前記感光セルに共通して接続される複数の垂直信号線と、
前記感光セルから前記垂直信号線を経由して読み出された信号の出力タイミングを制御する水平走査回路とを備え、
前記感光セルは、
フォトダイオードと、
ソースが前記垂直信号線に接続され、ゲートが前記フォトダイオードに接続された増幅トランジスタと、
前記増幅トランジスタのドレインに接続されたアドレストランジスタと、
前記増幅トランジスタのゲートとドレインとの間に設けられたフィードバック回路とを含み、
前記フィードバック回路は、前記垂直走査回路によって制御されるフィードバックトランジスタと、特定の方向に電流を通過させる一方向性素子とを直列に接続した回路であることを特徴とする、固体撮像装置。
【請求項２】
前記一方向性素子がダイオードであることを特徴とする、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記一方向性素子がゲートとドレインとが接続されたＭＯＳトランジスタであることを特徴とする、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記増幅トランジスタのゲートには前記一方向性素子が、前記増幅トランジスタのドレインには前記フィードバックトランジスタが接続されていることを特徴とする、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記増幅トランジスタのゲートには前記フィードバックトランジスタが、前記増幅トランジスタのドレインには前記一方向性素子が接続されていることを特徴とする、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の固体撮像装置を備えた、カメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像装置に関し、より特定的には、フォトダイオードおよび増幅回路を含む複数の感光セルを備えたＭＯＳ型固体撮像装置、および、これを備えたカメラに関する。
【背景技術】
【０００２】
図７は、特許文献１に記載された、従来のＭＯＳ型固体撮像装置の構成を示す図である。図７に示すＭＯＳ型固体撮像装置は、４個の感光セル９１ａ〜ｄを備えている。感光セル９１ａ〜ｄは、それぞれ、フォトダイオード１、増幅トランジスタ２、アドレストランジスタ３、および、フィードバックトランジスタ４を含んでいる。各感光セル９１ａ〜ｄに入射した光はフォトダイオード１で光電変換され、フォトダイオード１は入射した光の強度に応じた信号電荷を蓄積する。垂直走査回路２１が１本のアドレス選択線３１をオン状態に制御すると、オン状態のアドレス選択線３１に接続された感光セル９１ａ〜ｄの１行から、フォトダイオード１に蓄積された信号電荷に対応した信号電圧が、増幅トランジスタ２で増幅されて垂直信号線２２に出力される。水平走査回路２３は、水平トランジスタ３５を選択的にオン状態に制御する。これにより、感光セル９１ａ〜ｄの１行から読み出された信号電圧が、出力端子３６から順次出力される。
【０００３】
図７に示すＭＯＳ型固体撮像装置では、フォトダイオード１に蓄積された信号電荷は、以下に示す手順でリセットされる。まず、垂直スイッチ３３がオン状態に制御され、垂直信号線２２に所定の電圧Ｖａが与えられる。次に、垂直走査回路２１が１本のアドレス選択線３１とこれに対応した１本のフィードバック選択線３２とをオン状態に制御すると、オン状態のアドレス選択線３１およびフィードバック選択線３２に接続された感光セル９１ａ〜ｄの１行では、アドレストランジスタ３およびフィードバックトランジスタ４がオン状態となる。これにより、フォトダイオード１に蓄積されていた信号電荷は、フィードバックトランジスタ４およびアドレストランジスタ３を経由して、電源ライン３４に排出される。
【０００４】
次に、アドレストランジスタ３は、オフ状態に制御される。このとき、垂直信号線２２からフィードバックトランジスタ４を経由して、フォトダイオード１に電荷が注入される。これにより、増幅トランジスタ２のゲート電圧は、上記電圧Ｖａとほぼ等しくなる。よって、増幅トランジスタ２のしきい値電圧のばらつきを補正することができる。
【０００５】
図８は、図７に示すＭＯＳ型固体撮像装置における、しきい値電圧ばらつき補正の原理を示す図である。図８（ａ）は、感光セル９１ａに含まれる回路の一部を示す図である。図８（ｂ）および（ｃ）は、図８（ａ）に対応した電位図である。増幅トランジスタ２のドレイン電圧よりも低い所定の電圧Ｖａを垂直信号線２２に与えると、垂直信号線２２から増幅トランジスタ２のドレインに電荷が流れ込む。このとき、アドレストランジスタ３がオン状態であれば、電荷は、増幅トランジスタ２のドレインからさらに電源ライン３４に流れ込む。これにより、フォトダイオード１に蓄積されていた信号電荷はリセットされる。
【０００６】
次にアドレストランジスタ３がオフ状態に制御されるが、垂直信号線２２から増幅トランジスタ２のドレインには、図８（ａ）および（ｂ）に示すように、引き続き電荷が流れ込む。このとき、フィードバックトランジスタ４がオン状態であれば、増幅トランジスタ２のドレインに流れ込んだ電荷により、増幅トランジスタ２のゲート電圧Ｖｂは低下する。より詳細には、増幅トランジスタ２のゲート電圧Ｖｂは、図８（ｃ）に示すように、垂直信号線２２に与えられた電圧Ｖａと等しくなるまで低下する。これにより、増幅トランジスタ２のしきい値電圧のばらつきは補正される。
【０００７】
その後、フォトダイオード１に信号電荷を再び蓄積するために、フィードバックトランジスタ４は、オフ状態に制御される。ところが、この際にフィードバックトランジスタ４で発生した熱雑音が、いわゆるｋＴＣ雑音として、フォトダイオード１に残留する。このｋＴＣ雑音は、ＭＯＳ型固体撮像装置の最も重要な性能の一つである感度を決定する。
【０００８】
特許文献１には、フォトダイオード１に残留するｋＴＣ雑音を除去する方法として、フォトダイオード１とフィードバックトランジスタ４との間に容量８を含む感光セル９２（図９（ａ））を使用する方法と、容量８に加えて、フォトダイオード１に蓄積された信号電荷を排出する排出トランジスタ９を含む感光セル９３（図９（ｂ））を使用する方法とが開示されている。
【特許文献１】国際公開第９７／０７６２８号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記３種類のＭＯＳ型固体撮像装置には、それぞれ、以下に示す問題がある。すなわち、図７に示す感光セル９１を使用した場合には、上述したように、フィードバックトランジスタ４で発生した熱雑音が、ｋＴＣ雑音としてフォトダイオード１に残留し、ＭＯＳ型固体撮像装置の感度が悪くなる。図９（ａ）に示す感光セル９２を使用した場合には、フォトダイオード１に蓄積された信号電荷を電源ライン３４に排出できなくなる。図９（ｂ）に示す感光セル９３を使用した場合には、容量８と排出トランジスタ９とを追加した分だけ、感光セル９３が大きくなる。このように、従来のＭＯＳ型固体撮像装置には、フォトダイオード１に残留するｋＴＣ雑音を抑制するための対策を施すと、感光セルのサイズが大きくなるという問題がある。
【００１０】
それ故に、本発明は、ｋＴＣ雑音が小さく、かつ、感光セルのサイズが小さい固体撮像装置、および、これを備えたカメラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の固体撮像装置は、半導体基板上に２次元状に配列された複数の感光セルと、同じ行に配列された感光セルに共通の制御信号を出力する垂直走査回路と、同じ列に配列された感光セルに共通して接続される複数の垂直信号線と、感光セルから垂直信号線を経由して読み出された信号の出力タイミングを制御する水平走査回路とを備えている。感光セルは、フォトダイオードと、ソースが垂直信号線に接続され、ゲートがフォトダイオードに接続された増幅トランジスタと、増幅トランジスタのドレインに接続されたアドレストランジスタと、増幅トランジスタのゲートとドレインとの間に設けられたフィードバック回路とを含んでいる。フィードバック回路は、垂直走査回路によって制御されるフィードバックトランジスタと、特定の方向に電流を通過させる一方向性素子とを直列に接続した回路である。
【００１２】
この場合、一方向性素子は、ダイオードであってもよく、ゲートとドレインとが接続されたＭＯＳトランジスタであってもよい。また、フィードバックトランジスタと一方向性素子とは、どちらが増幅トランジスタのゲートに接続されていてもよい。また、本発明の固体撮像装置をデジタルスチルカメラ等のカメラに用いてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の固体撮像装置によれば、増幅トランジスタのしきい値電圧のばらつきを補正するために、外部から電荷を注入するときには、電流は一方向性素子を通過するが、フィードバックトランジスタをオフ状態に制御した後は、電流は一方向性素子を通過しなくなる。したがって、信号電荷を排出するためのスイッチを設けることなく、フォトダイオードに残留する熱雑音を小さくすることができる。よって、熱雑音が小さく、かつ、セルサイズが小さい固体撮像装置を得ることができる。また、本発明の固体撮像装置をデジタルスチルカメラ等に用いることにより、低消費電力かつ低雑音で小型のカメラを実現することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るＭＯＳ型固体撮像装置の構成を示す図である。図１に示すＭＯＳ型固体撮像装置は、４個の感光セル１１ａ〜ｄ、垂直走査回路２１、垂直信号線２２、水平走査回路２３、アドレス選択線３１、フィードバック選択線３２、垂直スイッチ３３、電源ライン３４、水平トランジスタ３５、および、出力端子３６を備えている。感光セル１１ａ〜ｄは、半導体基板上に２次元状に配列されている。なお、図１に示す固体撮像装置では、水平方向と垂直方向とにそれぞれ２個の感光セルが配列されているが、典型的な固体撮像装置では、水平方向と垂直方向とにそれぞれ数百から数千個の感光セルが配列されている。
【００１５】
感光セル１１ａ〜ｄは、入射光の強度に応じた信号電荷を蓄積し、外部からの読み出し制御に応じて、信号電荷に対応した信号電圧を出力する。感光セル１１ａ〜ｄの詳細は、後述する。垂直走査回路２１は、同じ行に配列された感光セル１１ａ〜ｄに共通の制御信号を供給する。垂直走査回路２１から出力された制御信号は、アドレス選択線３１およびフィードバック選択線３２の上を伝搬し、同じ行に配列された感光セル１１ａ〜ｄにほぼ同時に到達する。垂直走査回路２１から好適なタイミングで制御信号を供給することにより、同じ行に配列された感光セル１１ａ〜ｄに蓄積された信号電荷に対応した信号電圧が、ほぼ同時に読み出される。
【００１６】
垂直信号線２２は、同じ列に配列された感光セル１１ａ〜ｄに共通して接続される。同じ行に配列された感光セル１１ａ〜ｄからほぼ同時に読み出された信号電圧は、垂直信号線２２の上を伝搬し、水平走査回路２３に到達する。水平走査回路２３は、感光セル１１ａ〜ｄから垂直信号線２２を経由して読み出された信号電圧の出力タイミングを制御する。
【００１７】
感光セル１１ａ〜ｄは、いずれも、フォトダイオード１、増幅トランジスタ２、アドレストランジスタ３、フィードバックトランジスタ４、および、フィードバックダイオード５を含み、同じ構造を有している。感光セル１１ａ〜ｄにおいて、フォトダイオード１のアノードは接地され、カソードは増幅トランジスタ２のゲートに接続される。増幅トランジスタ２のソースは垂直信号線２２に接続され、増幅トランジスタ２のドレインはアドレストランジスタ３を介して電源ライン３４に接続される。アドレストランジスタ３のゲートは、アドレス選択線３１に接続される。
【００１８】
フィードバックトランジスタ４とフィードバックダイオード５とは直列に接続され、その直列接続回路は、増幅トランジスタ２のゲートとドレインとの間に設けられる。本実施形態に係る固体撮像装置では、増幅トランジスタ２のゲートにはフィードバックダイオード５のアノードが接続され、増幅トランジスタ２のドレインにはフィードバックトランジスタ４が接続される。フィードバックトランジスタ４のゲートは、フィードバック選択線３２に接続される。フィードバックダイオード５は、特定の方向に電流を通過させる一方向性素子として機能する。
【００１９】
図１に示すＭＯＳ型固体撮像装置では、フォトダイオード１に蓄積された信号電荷は、以下に示す手順で読み出される。フォトダイオード１に信号電荷が蓄積された状態で、垂直走査回路２１が１本のアドレス選択線３１をオン状態に制御すると、オン状態のアドレス選択線３１に接続された感光セル１１ａ〜ｄから、フォトダイオード１に蓄積された信号電荷に対応した信号電圧が、垂直信号線２２に出力される。この際、増幅トランジスタ２は、フォトダイオード１に蓄積された信号電荷に対応した信号電圧を増幅する。水平走査回路２３は、水平トランジスタ３５を選択的にオン状態に制御する。これにより、感光セル１１ａ〜ｄの１行から読み出された信号電圧が、出力端子３６から順次出力される。
【００２０】
また、図１に示すＭＯＳ型固体撮像装置では、フォトダイオード１に蓄積された信号電荷は、以下に示す手順でリセットされる。まず、垂直スイッチ３３がオン状態に制御され、垂直信号線２２に所定の電圧Ｖａが与えられる。次に、垂直走査回路２１が１本のアドレス選択線３１とこれに対応した１本のフィードバック選択線３２とをオン状態に制御すると、オン状態のアドレス選択線３１およびフィードバック選択線３２に接続された感光セル１１ａ〜ｄの１行では、アドレストランジスタ３およびフィードバックトランジスタ４がオン状態となる。これにより、フォトダイオード１に蓄積されていた信号電荷は、フィードバックダイオード５、フィードバックトランジスタ４およびアドレストランジスタ３を経由して、電源ライン３４に排出される。
【００２１】
次に、アドレストランジスタ３は、オフ状態に制御される。このとき、垂直信号線２２からフィードバックトランジスタ４およびフィードバックダイオード５を経由して、フォトダイオード１に電荷が注入される。これにより、増幅トランジスタ２のゲート電圧は、上記電圧Ｖａとほぼ等しくなる。よって、増幅トランジスタ２のしきい値電圧のばらつきを補正することができる。
【００２２】
図２は、図１に示すＭＯＳ型固体撮像装置における、しきい値電圧ばらつき補正の原理を示す図である。図２（ａ）は、感光セル１１ａに含まれる回路の一部を示す図である。図２（ｂ）および（ｃ）は、図２（ａ）に対応した電位図である。増幅トランジスタ２のドレイン電圧よりも低い所定の電圧Ｖａを垂直信号線２２に与えると、垂直信号線２２から増幅トランジスタ２のドレインに電荷が流れ込む。このとき、アドレストランジスタ３がオン状態であれば、電荷は、増幅トランジスタ２のドレインからさらに電源ライン３４に流れ込む。これにより、フォトダイオード１に蓄積されていた信号電荷は、リセットされる。
【００２３】
次に、アドレストランジスタ３がオフ状態に制御される。このとき、フィードバックトランジスタ４がオン状態であれば、フィードバックダイオード５には正のバイアス電圧がかかるので、フィードバックダイオード５には順方向の電流が流れる。したがって、垂直信号線２２から増幅トランジスタ２のドレインには、図２（ａ）および（ｂ）に示すように、引き続き電荷が流れ込む。この増幅トランジスタ２のドレインに流れ込んだ電荷により、増幅トランジスタ２のゲート電圧Ｖｂは低下する。より詳細には、増幅トランジスタ２のゲート電圧Ｖｂは、図２（ｃ）に示すように、垂直信号線２２に与えられた電圧Ｖａと等しくなるまで低下する。これにより、増幅トランジスタ２のしきい値電圧のばらつきは補正される。
【００２４】
その後、フォトダイオード１に電荷を再び蓄積するために、フィードバックトランジスタ４は、オフ状態に制御される。ところが、この時点では、フィードバックダイオード５には順方向の電流がこれ以上流れない状態になっている。また、フィードバックダイオード５は特定の方向に電流を流す特性を有するので、フィードバックダイオード５には逆方向の電流は流れない。したがって、フィードバックトランジスタ４がオフ状態に制御されたときに、電流は、フィードバックダイオード５をどちらの方向にも流れない。したがって、フィードバックトランジスタ４がオフ状態に制御されたときに、フォトダイオード１に残留するｋＴＣ雑音を小さくすることができる。
【００２５】
このようにフィードバックダイオード５は、増幅トランジスタ２のしきい値電圧のばらつきを補正するときには、電流を通過させず、容量と同じ機能を果たす。また、図１に示す固体撮像装置によれば、フォトダイオード１に蓄積された信号電荷を排出するためのスイッチ（例えば、図９（ｂ）に示す排出トランジスタ９）を設けることなく、フォトダイオード１に残留するｋＴＣ雑音を小さくすることができる。
【００２６】
以上に示すように、本実施形態に係る固体撮像装置によれば、増幅トランジスタのゲートとドレインとの間に、フィードバックトランジスタ４とフィードバックダイオード５との直列接続回路を設けることにより、ｋＴＣ雑音を小さくし、かつ、セルサイズを小さくすることができる。
【００２７】
（第２の実施形態）
図３は、本発明の第２の実施形態に係る固体撮像装置の構成を示す図である。図３に示す固体撮像装置は、第１の実施形態に係る固体撮像装置（図１）において、感光セル１１ａ〜ｄを感光セル１２ａ〜ｄに置換したものである。また、感光セル１２ａ〜ｄは、感光セル１１ａ〜ｄにおいて、フィードバックダイオード５をＭＯＳトランジスタ６に置換したものである。本実施形態の構成要素のうち、第１の実施形態と同一の構成要素については、同一の参照符号を付して説明を省略する。
【００２８】
感光セル１２ａ〜ｄにおいて、ＭＯＳトランジスタ６のゲートとドレインとは、電気的に接続されている。ＭＯＳトランジスタ６は、フィードバックトランジスタ４と直列に接続され、その直列接続回路は、増幅トランジスタ２のゲートとドレインとの間に設けられる。本実施形態に係る固体撮像装置では、増幅トランジスタ２のゲートにはＭＯＳトランジスタ６のソースが接続され、増幅トランジスタ２のドレインにはフィードバックトランジスタ４が接続される。
【００２９】
このように接続されたＭＯＳトランジスタ６は、図１に示すフィードバックダイオード５と同じく、特定の方向に電流を流す一方向性素子として機能する。図４は、ＭＯＳトランジスタ６の機能を説明するための図である。図４（ａ）は、感光セル１２ａに含まれる回路の一部を示す図である。図４（ｂ）および（ｃ）は、図４（ａ）に対応した電位図である。フォトダイオード１に電荷を再び蓄積するために、フィードバックトランジスタ４がオフ状態に制御されときには、図４（ｂ）に示すように、ＭＯＳトランジスタ６のゲート電圧とソース電圧とは等しくなっている。この状態で、ＭＯＳトランジスタ６のソースからドレインに電荷が流れ込むと、流れ込んだ電荷により、ＭＯＳトランジスタ６のゲート電圧Ｖｄは低下し、図４（ｃ）に示すように、ＭＯＳトランジスタ６のソース電圧Ｖｃよりも低くなる。この状態では、もはや、ＭＯＳトランジスタ６のソースからドレインに電荷が流れ込むことはない。言い換えると、フィードバックトランジスタ４がオフ状態に制御された後、ＭＯＳトランジスタ６のドレインからソースに向かって、電流が流れることはない。よって、ＭＯＳトランジスタ６は、図１に示すフィードバックダイオード５と同じく、特定の方向に電流を流す一方向性素子として機能する。
【００３０】
したがって、本実施形態に係る固体撮像装置によれば、増幅トランジスタのゲートとドレインとの間に、フィードバックトランジスタ４と一方向性素子として機能するＭＯＳトランジスタ６との直列接続回路を設けることにより、第１の実施形態に係る固体撮像装置と同様に、ｋＴＣ雑音を小さくし、かつ、セルサイズを小さくすることができる。
【００３１】
（第３の実施形態）
図５は、本発明の第３の実施形態に係る固体撮像装置の構成を示す図である。図５に示す固体撮像装置は、第１の実施形態に係る固体撮像装置（図１）において、感光セル１１ａ〜ｄを感光セル１３ａ〜ｄに置換したものである。感光セル１３ａ〜ｄは、感光セル１１ａ〜ｄにおいて、フィードバックトランジスタ４とフィードバックダイオード５との接続順序を逆にしたものである。具体的には、増幅トランジスタ２のゲートにはフィードバックトランジスタ４が接続され、増幅トランジスタ２のドレインにはフィードバックダイオード５のカソードが接続されている。
【００３２】
フィードバックトランジスタ４とフィードバックダイオード５との接続順序を逆にした感光セル１３ａ〜ｄは、第１の実施形態に係る感光セル１１ａ〜ｄと同じように動作する。したがって、本実施形態に係る固体撮像装置によれば、第１の実施形態に係る固体撮像装置と同様の効果を奏することができる。
【００３３】
（第４の実施形態）
図６は、本発明の第４の実施形態に係る固体撮像装置の構成を示す図である。図６に示す固体撮像装置は、第２の実施形態に係る固体撮像装置（図３）において、感光セル１２ａ〜ｄを感光セル１４ａ〜ｄに置換したものである。感光セル１４ａ〜ｄは、感光セル１２ａ〜ｄにおいて、フィードバックトランジスタ４とＭＯＳトランジスタ６との接続順序を逆にしたものである。具体的には、増幅トランジスタ２のゲートにはフィードバックトランジスタ４が接続され、増幅トランジスタ２のドレインにはＭＯＳトランジスタ６のドレインが接続されている。
【００３４】
フィードバックトランジスタ４とＭＯＳトランジスタ６との接続順序を逆にした感光セル１４ａ〜ｄは、第２の実施形態に係る感光セル１２ａ〜ｄと同じように動作する。したがって、本実施形態に係る固体撮像装置によれば、第２の実施形態に係る固体撮像装置と同様の効果を奏することができる。
【００３５】
なお、上記第１〜第４の実施形態に係るＭＯＳ型固体撮像装置をデジタルスチルカメラ等に用いることにより、低消費電力かつ低雑音で小型のカメラを実現することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明の固体撮像装置は、ｋＴＣ雑音が小さく、かつ、セルサイズが小さいという特徴を有するので、デジタルスチルカメラ、携帯電話、監視カメラ等の画像入力装置に使用される固体撮像装置として使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る固体撮像装置の構成を示す図
【図２】図１に示す固体撮像装置における、しきい値電圧ばらつき補正の原理を示す図
【図３】本発明の第２の実施形態に係る固体撮像装置の構成を示す図
【図４】図３に示す固体撮像装置における、フィードバック経路上のＭＯＳトランジスタの機能を説明するための図
【図５】本発明の第３の実施形態に係る固体撮像装置の構成を示す図
【図６】本発明の第４の実施形態に係る固体撮像装置の構成を示す図
【図７】従来の固体撮像装置の構成を示す図
【図８】従来の固体撮像装置における、しきい値電圧ばらつき補正の原理を示す図
【図９】従来の固体撮像装置に含まれる他の感光セルを示す図
【符号の説明】
【００３８】
１…フォトダイオード
２…増幅トランジスタ
３…アドレストランジスタ
４…フィードバックトランジスタ
５…フィードバックダイオード
６…ＭＯＳトランジスタ
１１〜１４…感光セル
２１…垂直走査回路
２２…垂直信号線
２３…水平走査回路
３１…アドレス選択線
３２…フィードバック選択線
３３…垂直スイッチ
３４…電源ライン
３５…水平トランジスタ
３６…出力端子
【図１】
2005244355.tif 000003
【図２】
2005244355.tif 000004
【図３】
2005244355.tif 000005
【図４】
2005244355.tif 000006
【図５】
2005244355.tif 000007
【図６】
2005244355.tif 000008
【図７】
2005244355.tif 000009
【図８】
2005244355.tif 000010
【図９】
2005244355.tif 000011