(57)【要約】      （修正有）【課題】大型のパネルを、損傷することなく、安定して搬送可能な搬送装置を備えた検査装置を提供する。【解決手段】検査装置は、矩形の表示用パネルを受ける検査ステージと、該検査ステージに対するパネルの搬送をする搬送装置３６とを含む。搬送装置３６は、パネルをＸ方向における両縁部及びＹ方向における両縁部において解除可能に支持して搬送する一対のキャリア６２、６４を備えている。各キャリア６２、６４は一対のＸホルダ９４が取り付けられた一対のＸアーム８８と、一対のＹホルダ９６が取り付けられた一対のＹアーム９０とを備えている。両Ｘホルダ９４及びＹホルダ９６は、それぞれ、Ｘ方向におけるパネルの縁部及びＹ方向におけるパネルの縁部に当接することにより、共同してそのパネルを支持するため、Ｘ方向中央領域におけるパネルの湾曲及びＹ方向中央領域におけるパネルの湾曲が相互に防止される。【選択図】図４
2005091862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形の表示用パネルを受ける検査ステージと、該検査ステージに対する前記パネルの搬送をする搬送装置とを含み、
前記搬送装置は、前記パネルをＸ方向における両縁部及びＹ方向における両縁部において解除可能に支持して搬送する少なくとも１つのキャリアを含む、表示用パネルの検査装置。
【請求項２】
前記キャリアは、前記Ｘ方向における各縁部のＹ方向に間隔をおいた複数箇所及び前記Ｙ方向における各縁部のＸ方向に間隔をおいた複数箇所に当接して前記パネルを解除可能に支持して搬送する、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記キャリアは、前記パネルの前記Ｘ方向における縁部を支持するＸホルダと、前記パネルの前記Ｙ方向における縁部を支持するＹホルダと、前記ＸホルダをＸ方向へ移動させるＸ移動機構と、前記ＹホルダをＹ方向へ移動させるＹ移動機構とを含む、請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記キャリアは、前記パネルの前記Ｘ方向における両縁部のＹ方向に間隔をおいた複数箇所を支持すべく複数のＸホルダを含むと共に、前記パネルの前記Ｙ方向における両縁部のＸ方向に間隔をおいた複数箇所を支持すべく複数のＹホルダとを含む、請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記キャリアは、さらに、前記Ｘホルダが取り付けられたＸアームであって前記Ｘ移動機構によりＸ方向へ移動されるＸアームと、前記Ｙホルダが取り付けられたＹアームであって前記Ｙ移動機構によりＹ方向へ移動されるＹアームとを含む、請求項３又は４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記Ｘ移動機構及び前記Ｙ移動機構の一方は、他方に支持されている、請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記Ｘ移動機構及び前記Ｙ移動機構の一方は、第１の駆動源と、該第１の駆動源により回転される第１のプーリと、該第１のプーリからＸ方向及びＹ方向の他方に間隔をおいた第２のプーリと、前記第１及び第２のプーリに掛けられたベルトであって前記Ｘアーム及び前記Ｙアームの一方が連結されたベルトとを含み、
前記Ｘ移動機構及び前記Ｙ移動機構の他方は、第２の駆動源と、該第２の駆動源により回転されるボールねじであってＹ方向及びＸ方向の一方へ伸びて、Ｙ方向及びＸ方向の一方における２カ所に逆向きのねじ部を有するボールねじと、各ねじ部に螺合するナットであって前記Ｘアーム及び前記Ｙアームの他方に連結されたナットとを含む、請求項５又は６に記載の検査装置。
【請求項８】
さらに、前記検査ステージからＸ方向に間隔をおいたパネルセット部を含み、前記キャリアは、前記検査ステージと前記パネルセット部とに対し前記表示用パネルの受け渡しをする、請求項１から７のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項９】
前記搬送装置は、２つの前記キャリアを含む、請求項８に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記搬送装置は、さらに、前記両キャリアを個々に移動可能に支持する支持台と、両キャリアを個々に移動させる２つのキャリア駆動機構とを含む、請求項７，８又は９に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような表示用パネルを検査する装置に関する。
【０００２】
用語の定義：本発明においては、検査装置に受けられた表示用パネルと平行の面内における一方向及び他方向をそれぞれＸ方向及びＹ方向といい、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向（表示用パネルに垂直の方向）をＺ方向という。
【背景技術】
【０００３】
表示用パネルを検査する装置は、一般に、通電用のプローブの破損を防止する目的から、検査装置に対するパネルの受け渡しをする受け渡し位置（パネルセット部）と、検査ステージを用いてパネルの点灯検査をする検査位置とを別々に設け、未検査のパネルを受け渡し位置から検査位置にまた検査済みのパネルを検査位置から受け渡し位置に搬送している。
【０００４】
この種の検査装置の１つとして、２つの搬送機構（キャリア）を用いて、パネルを受け渡し位置から検査位置に及びその逆に移動させるものがある（特許文献１）。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１４９５７号公報
【０００６】
この検査装置において、各搬送機構は、Ｙ方向へ移動される一対のスライダをＹ方向に間隔をおいた状態に連結し、２つのホルダを各スライダにＸ方向に間隔をおいて及び相手側のスライダに向けて突出する状態に配置している。
【０００７】
そのようなキャリアにおいて、パネルの把持は、両スライダを相寄る方向へ移動させて、両スライダのホルダにより共同して行われる。これに対し、把持の解除は、両スライダを相離れる方向へ移動させて、両スライダのホルダをパネルから離すことにより行われる。
【０００８】
しかし、従来の検査装置では、パネルの対向する一対の縁部を把持するにすぎないから、大型のパネルの検査をする場合に、パネルがスライダの離間方向の中央領域において湾曲し、その結果パネルの搬送が不能になるか、パネルを損傷することがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、大型のパネルを、損傷することなく、安定して搬送可能にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る検査装置は、矩形の表示用パネルを受ける検査ステージと、該検査ステージに対する前記パネルの搬送をする搬送装置とを含み、前記搬送装置は、前記パネルをＸ方向における両縁部及びＹ方向における両縁部において解除可能に支持して搬送する少なくとも１つのキャリアを含む。
【発明の効果】
【００１１】
パネルを矩形の４つの辺に個々に対応する４つの縁部において支持すると、大型のパネルであっても、Ｘ方向中央領域におけるパネルの湾曲及びＹ方向中央領域におけるパネルの湾曲がＹ方向縁部の支持及びＸ方向縁部の支持により相互の防止される。その結果、大型のパネルを、損傷することなく、安定して搬送可能になる。
【００１２】
前記キャリアは、前記Ｘ方向の各縁部のＹ方向に間隔をおいた複数箇所及び前記Ｙ方向の各縁部のＸ方向に間隔をおいた複数箇所に当接して前記パネルを解除可能に支持して搬送する構造を有することができる。そのようにすれば、パネルの支持が安定する。
【００１３】
前記キャリアは、前記パネルの前記Ｘ方向における縁部を支持するＸホルダと、前記パネルの前記Ｙ方向における縁部を支持するＹホルダと、前記ＸホルダをＸ方向へ移動させるＸ移動機構と、前記ＹホルダをＹ方向へ移動させるＹ移動機構とを含むことができる。
【００１４】
前記キャリアは、前記パネルの前記Ｘ方向における両縁部のＹ方向に間隔をおいた複数箇所を支持すべく複数のＸホルダを含むと共に、前記パネルの前記Ｙ方向における両縁部のＸ方向に間隔をおいた複数箇所を支持すべく複数のＹホルダとを含むことができる。そのようにすれば、パネルの支持がさらに安定する。
【００１５】
前記キャリアは、さらに、前記Ｘホルダが取り付けられたＸアームであって前記Ｘ移動機構によりＸ方向へ移動されるＸアームと、前記Ｙホルダが取り付けられたＹアームであって前記Ｙ移動機構によりＹ方向へ移動されるＹアームとを含むことができる。そのようにすれば、Ｘホルダ及びＹホルダの移動が円滑になり、パネルの支持がより安定する。
【００１６】
前記Ｘ移動機構及び前記Ｙ移動機構の一方は、他方に支持されていてもよい。
【００１７】
前記Ｘ移動機構及び前記Ｙ移動機構の一方は、第１の駆動源と、該第１の駆動源により回転される第１のプーリと、該第１のプーリからＹ方向及びＸ方向の他方に間隔をおいた第２のプーリと、前記第１及び第２のプーリに掛けられたベルトであって前記Ｘアーム及び前記Ｙアームの一方が連結されたベルトとを含み、前記Ｘ移動機構及び前記Ｙ移動機構の他方は、第２の駆動源と、該第２の駆動源により回転されるボールねじであってＹ方向及びＸ方向の一方へ伸びて、Ｘ方向及びＹ方向の一方における２カ所に逆向きのねじ部を有するボールねじと、各ねじ部に螺合するナットであって前記Ｘアーム及び前記Ｙアームの他方に連結されたナットとを含むことができる。
【００１８】
検査装置は、さらに、前記検査ステージからＸ方向に間隔をおいたパネルセット部を含み、前記キャリアは、前記検査ステージと前記パネルセット部とに対し前記表示用パネルの受け渡しをするようにしてもよい。また、前記搬送装置は、２つの前記キャリアを含むことができる。
【００１９】
前記搬送装置は、さらに、前記両キャリアを個々に移動可能に支持する支持台と、両キャリアを個々に移動させる２つのキャリア駆動機構とを含むことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１〜図３を参照するに、検査装置１０は、長方形をした表示用パネル１２の点灯検査装置とされている。図示の例では、パネル１２は、矩形の３つの辺（対応する２つの短辺と１つの長辺）のそれぞれに複数の電極を備えている。各辺に設けられた電極は、その辺の方向（すなわち、辺の長手方向）に間隔をおいており、またその辺と直交する方向へ伸びている。
【００２１】
検査装置１０は、複数の長尺部材と複数の板部材とにより製作された筐体１４内に、点灯検査のための各種の機器を収容している。検査装置１０の前面上部は、上部ほど後方側に後退する傾斜面１６とされている。この傾斜面１６を形成している板状部材は、板状の本体ベース１８として作用する。
【００２２】
図示の例では、図１において、左右方向がＸ方向であり、斜め上下方向がＹ方向である。Ｚ方向は、検査装置１０に斜めに受けられたパネル１２に垂直の方向である。
【００２３】
検査装置１０は、検査装置１０に対するパネル１２の受け渡しをするパネルセット部と、表示用パネル１２の検査をする検査部とを含む。本体ベース１８には、パネル１２より大きい矩形の開口２０及び２２がそれぞれパネルセット部及び検査部に対応する箇所に形成されている。
【００２４】
パネルセット部には、パネル１２を斜めに受ける受け渡しステージ２４と、受けたパネル１２のプリアライメントをする２組のプッシャー２６とが配置されている。これに対し、検査部には、パネル１２を斜めに受ける検査ステージ２８（図３を参照）と、電気的接続装置として作用するプローブ装置３０とが配置されている。
【００２５】
受け渡しステージ２４は、パネル１２を斜めに受けるように複数の長尺部材により形成されたパネル受け３２をＺステージ３４に組み付けている。パネル受け３２は、パネル１２の受け渡し時にＺステージ３４によりＺ方向に移動される。
【００２６】
Ｘ方向に間隔をおいたプッシャー２６は、Ｘ方向へ伸びる長尺部材に相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ移動可能に配置されて、図示しない移動機構によりＸ方向へ移動される。これに対し、Ｙ方向に間隔をおいたプッシャー２６は、Ｙ方向へ伸びる長尺部材に相寄り相離れる方向（Ｙ方向）へ移動可能に配置されて、図示しない移動機構によりＹ方向へ移動される。
【００２７】
パネル１２は、プッシャー２６が互いに離間された状態で、それらのプッシャー２６の間に配置され、各組のプッシャー２６が相寄る方向へ移動されることにより、受け渡しステージ２４に対し移動されて、検査装置１０に対するプリアライメントをされる。
【００２８】
未検査のパネル１２は、人手又は着脱ロボットにより受け渡しステージ２４に配置され、受け渡しステージ２４においてプッシャー２６によりプリアライメントをされ、その後搬送装置３６（図１を参照）により検査ステージ２８に搬送されて、検査部において点灯検査をされる。
【００２９】
点灯検査は、図示の例では作業者の目視による目視点灯検査であるが、図示しないビデオカメラや画像処理装置等を用いる自動点灯検査であってもよい。
【００３０】
検査済みのパネル１２は、搬送装置３６により検査ステージ２８から受け渡しステージ２４に搬送され、その後人手又は着脱ロボットにより受け渡しステージ２４から外されて、収納用カセットに収納される。
【００３１】
検査ステージ２８は、パネル１２をチャックトップ３８のパネル吸着面に斜め上向きに受けるように、パネル吸着面を開口２２に対向させている。
【００３２】
チャックトップ３８は、パネル１２を真空的に吸着する複数の吸着溝をパネル吸着面に有している共に、パネル１２をこれの背面から照明するバックライトユニットを内部に備えている。
【００３３】
検査ステージ２８は、斜め上向きに受けたパネル１２を、これと平行のＸ及びＹの２方向と、受けたパネル１２に垂直のＺ方向とに移動させる三次元（Ｘ，Ｙ及びＺ）ステージ４０，４２及び４４を有していると共に、Ｚ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させるθステージ４６を備えている。
【００３４】
検査ステージ２８は、チャックトップ３８を下降させた状態で、パネル１２を搬送装置３６から受け、パネル１２の検査時にチャックトップ３８を上昇させる。検査ステージ２８は、また、パネル１２を搬送装置３６に渡した後、チャックトップ３８を下降させた状態で待機する。
【００３５】
プローブ装置３０は、仮想的な矩形の辺に個々に対応された４つのベース部材４８と、３つのベース部材４８に個々に配置された３つのプローブユニット５０と、パネル１２の電極に対するプローブユニット５０の位置合わせのために３つのベース部材４８をこれに対応する辺に沿って（すなわち、辺の長手方向に）個々に移動させる移動機構（図示せず）とを含む。
【００３６】
各ベース部材４８は、これに対応する辺の長手方向に長い板の形状を有しており、また本体ベース１８の裏側に支持されて、一部を開口２２に露出されている。隣り合うベース部材４８は、当接しないように間隔をおいている。
【００３７】
プローブユニット５０は、対向する一対のベース部材４８と、それらのベース部材４８と隣り合う１つのベース部材４８とに配置されている。これに対し、移動機構は、対向する他の一対のベース部材４８と、それらのベース部材４８と隣り合う１つのベース部材４８とに設けられている。
【００３８】
移動機構に連結されていないベース部材４８は、スペーサ（図示せず）と、ボルトのような複数の止め具（図示せず）とにより、本体ベース１８に移動不能に取り付けられて支持されている。
【００３９】
残りの各ベース部材４８は、リニアガイドのようなガイド機構（図示せず）により、対応する辺の長手方向へ移動可能に、本体ベース１８に取り付けられて支持されている。
【００４０】
各プローブユニット５０は、対応するベース部材４８にこれの長手方向へ伸びる状態に取り付けられた長板状のプローブベース５２と、プローブベース５２に配置された複数のプローブブロック５４と、プローブブロック５４に配置された複数のプローブ５６とを備えている。
【００４１】
プローブベース５２は、ベース部材４８の幅方向における縁部のうち、矩形の中心側（すなわち、先端側）となる縁部の外側に複数のねじ部材（図示せず）により堅固に取り付けられている。
【００４２】
各プローブブロック５４は、プローブベース５２の幅方向における先端側の縁部の外側に複数のねじ部材（図示せず）により堅固に取り付けられている。各プローブ５６は、先端側を前方に突出させた状態にプローブブロック５４の先端部下面に適宜な手段を用いて取り付けられている。
【００４３】
ベース部材４８用の各移動機構は、本体ベース１８に取り付けられたモータとこのモータにより回転されるリードスクリューと、リードスクリューに螺合されたリードナットとを含む一般的な機構を用いることができる。
【００４４】
各プローブ５６は、検査ステージ２８に搬送されたパネル１２の検査時に、チャックトップ３８が上昇されることによりパネル１２の電極に押圧される。その状態において、パネル１２にその電極を介して通電される。
【００４５】
図４から図１０に示すように、搬送装置３６は、本体ベース１８の裏側に取り付けられたフレーム６０と、Ｘ方向へ移動可能に及びＸ方向に間隔をおいた状態にフレーム６０に配置された一対のキャリア６２，６４と、キャリア６２，６４をＸ方向へ個々に移動させる一対のキャリア移動機構６６，６８とを備えている。
【００４６】
フレーム６０は、４つの長尺部材７０を矩形に結合しており、また２つのガイドレール７２，７４を、これらがＹ方向に間隔をおいてＸ方向へ伸びる状態に、Ｙ方向に対向する一対の長尺部材のそれぞれに取り付けている。
【００４７】
ガイドレール７２及び７４に移動可能に嵌合されたガイド７６及び７８は、それぞれ、キャリア６２及び６４の両端部に取り付けられている。このため、キャリア６２はガイドレール７２及びガイド７６を介してフレーム６０に移動可能に支持されており、キャリア６４はガイドレール７４及びガイド７８を介してフレーム６０に移動可能に支持されている。
【００４８】
キャリア６２，６４は、その一方６２（６４）を図６から図８に示すように、Ｚ方向に間隔をおいてＹ方向へ伸びるキャリアベース８０をガイドレール７２（７４）及びガイド７６（７８）によりフレーム６０にＸ方向へ移動可能に支持させ、Ｙ方向に間隔をおいてＸ方向へ伸びる一対の支持アーム８２をキャリアベース８０にＹ方向へ移動可能に配置している。
【００４９】
ガイド７６（７８）は、キャリアベース８０の端部に取り付けられている。キャリアベース８０は、Ｙ方向に平行に伸びるガイドレール８４を備えている。ガイドレール８４に移動可能に嵌合されたガイド８６は、支持アーム８２の一端部に取り付けられている。このため、各支持アーム８２は、キャリアベース８０に片持ち梁状に支持されている。
【００５０】
各支持アーム８２には、一対のＸアーム８８がＸ方向に間隔をおいて組み付けられていると共に、Ｙアーム９０が取り付けられている。両Ｘアーム８８とＹアーム９０とは、支持アーム８２からＹ方向の中心に向けて伸びて、支持アーム８２に片持ち梁状に支持されている。
【００５１】
各Ｘアーム８８は、リニアガイドのような適宜な結合手段９２により、各支持アーム８２にＸ方向に間隔をおいて相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ移動可能に組み付けられている。
【００５２】
各Ｘアーム８８は、Ｘホルダ９４を先端部に備えている。これに対し、Ｙアーム９０は、一対のＹホルダ９６を先端部にＸ方向に間隔をおいて備えている。両Ｘホルダ９４及びＹホルダ９６は、それぞれ、Ｘ方向におけるパネル１２の縁部及びＹ方向におけるパネル１２の縁部に当接することにより、共同してそのパネル１２を支持する。
【００５３】
Ｘホルダ９４及びＹホルダ９６は、いずれも、パネル１２を対向するホルダで挟持することにより支持するものであってもよいし、パネル１２を係止片に係止させることにより支持するものであってもよく、さらにはパネル１２を受け辺に受けることにより支持するものであってもよい。
【００５４】
キャリア移動機構６６，６８の各々は、Ｘ方向へ伸びるボールねじ１００をフレーム６０に回転可能に支持させ、ボールねじ１００に螺合するナット（図示せず）をキャリアベース８０に取り付けている。ボールねじ１００は、キャリア用モータ１０４により回転される。
【００５５】
キャリア移動機構６６及び６８のモータ１０４及び１０４は、互いに逆方向に同期して回転される。これにより、両キャリア６２及び６４は、受け渡しステージ２４から検査ステージ２８に又はその逆に個々に移動される。
【００５６】
各アームにおいて、先ずＹアーム９０及び９０がＹ移動機構１０８及び１０８により同期してＹ方向に移動される。次いで、Ｘアーム８８及び８８が、それぞれ、Ｘ移動機構１０６及び１０６により、Ｘ方向に同期して移動される。
【００５７】
各Ｘ移動機構１０６は、モータのように逆転可能のＸ駆動源１１０と、Ｘ駆動源１１０により回転される第１のプーリ１１２と、第１のプーリ１１２からＸ方向に間隔をおいた第２のプーリ１１４と、第１及び第２のプーリ１１２及び１１４に掛けられた無端ベルト１１６とを含む。
【００５８】
上側のＸアーム８８は無端ベルト１１６の上側の箇所に取り付けられており、下側のＸアーム８８は無端ベルト１１６の下側の箇所に取り付けられている。このため、両Ｘアーム８８及び８８は、Ｘ駆動源１１０が一方向に回転されると、相よる方向へ移動され、他方へ回転されると相離れる方向へ移動される。これにより、両Ｘアーム８８及び８８は、パネル１２の把持とその解除とを行う。
【００５９】
Ｙ移動機構１０８は、モータのように逆転可能のＹ駆動源１２０と、Ｙ駆動源１２０によりＹ方向へ伸びる軸線の周りに回転されかつＹ方向における２カ所に逆向きのねじ部１２２ａ，１２２ｂを有するボールねじ１２２と、各ねじ部１２２ａ，１１２ｂに螺合するナット１２４とを含む。
【００６０】
図示の例では、ボールねじ１２２は、ねじ部１２２ａ及び１２２ｂとして作用するねじ棒を連結具１２２ｃにより連結しており、またキャリアベース８０にＹ方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に支持されている。各ナット１２４は、支持アーム８２に取り付けられている。
【００６１】
ガイドレール７２，７４，８４及びガイド７６，７８及び７８，８６として、リニアガイドを用いることができる。
【００６２】
検査装置１０においては、検査ステージ２８においてパネルを検査している間に、キャリア６２（又は６４）による受け渡しステージ２４への検査済みパネルの配置と、受け渡しステージ２４からの検査済みパネルの除去と、受け渡しステージ２４への未検査のパネル１２の配置と、その未検査のパネルのプリアライメントと、キャリア６２（又は６４）へのその未検査パネルの受け渡しとが行われる。
【００６３】
検査が終了すると、受け渡しステージ２４側の未検査のパネルが一方のキャリア６２（又は６４）に保持され、検査ステージ２８側の検査済みのパネルが他方のキャリア６４（又は６２）に保持され、それらがそれぞれ検査ステージ２８及び受け渡しステージ２４に搬送される。
【００６４】
キャリア６２及び６４による未検査及び検査済みパネルの搬送は、それぞれ、キャリア移動機構６６及び６８を相互に逆方向に回転させることにより、行われる。
【００６５】
キャリア６２，６４によるパネル１２の把持は、Ｘ駆動源１１０，１１０及びＹ駆動源１２０を一方向に回転させて、図９（Ａ）に示すようにＸホルダ９４，９４及びＹホルダ９６，９６をこれらが相よる方向へ移動させ、それによりホルダ９４，９４，９６，９６にパネル１２の縁部を支持させることにより行われる。
【００６６】
キャリア６２，６４によるパネル１２の搬送は、Ｘホルダ９４及びＹホルダ９６をそれぞれＸ方向の各縁部のＹ方向に間隔をおいた複数箇所及びＹ方向の各縁部のＸ方向に間隔をおいた複数箇所に当接させてパネル１２を解除可能に支持した状態で行われる。このため、パネル１２の支持が安定する。
【００６７】
パネル１２の解放は、Ｘ駆動源１１０，１１０及びＹ駆動源１２０を他方向に回転させて、図９（Ｂ）に示すようにＸホルダ９４，９４及びＹホルダ９６，９６をこれらが離れる方向に移動させることにより行われる。
【００６８】
検査装置１０のように、パネル１２を矩形の４つの辺に個々に対応する４つの縁部において支持すると、大型のパネルであっても、Ｘ方向中央領域におけるパネルの湾曲及びＹ方向中央領域におけるパネルの湾曲がＹ方向縁部の支持及びＸ方向縁部の支持により相互の防止される。その結果、大型のパネルを、損傷することなく、安定して搬送可能になる。
【００６９】
図１０を参照するに、同図（Ａ）に示すホルダ１３０は、Ｌ字状のホルダ片１３２をＬ字状の凹所がパネル支持側となる状態にパネル係止側となる状態にＸアーム８８又はＹアーム９０に取り付け、パネル１２の落下を防止する落下防止片１３４をホルダ片１３２のパネル係止側に設け、パネル１２に当接する弾性ブロック１３６をホルダ片１３２のＬ字状の凹所に取り付けている。
【００７０】
図１０（Ｂ）に示すホルダ１４０は、コ字状のホルダ片１４２をコ字状の凹所がパネル支持側となる状態にＸアーム８８又はＹアーム９０に取り付け、パネル１２の落下を防止する一対の落下防止片１４４をホルダ片１４２のパネル支持側にＺ方向に間隔をおいて設け、パネル１２に当接する弾性ブロック１４６をホルダ片１４２のコ字状の凹所に取り付けている。
【００７１】
図１０（Ｃ）に示すホルダ１５０は、立方体状のホルダ片１５２をＸアーム８８又はＹアーム９０に取り付け、パネル１２に当接する弾性ブロック１５６をホルダ片１４２のパネル支持側に取り付けている。
【００７２】
落下防止片１３４及び１４４の厚さ寸法（紙面に垂直の方向における寸法）は、それぞれ、ホルダ片１３２及び１４２のそれより小さい。弾性ブロック１３６，１４６，１５６は、ウレタンゴムのようなゴム材で製作されている。図１から図９に示す実施例で用いるホルダ９４，９６は、ホルダ１３０である。
【００７３】
上記のホルダ１３０，１４０，１５０は、いずれも、パネル１２の縁部を弾性ブロック１３６，１４６，１５６に当接させて、パネル１２を弾性ブロック１３６，１４６，１５６に摩擦係合させることにより支持する。しかし、ホルダは、パネル１２を受け片に受けることにより支持するもの等、他のタイプのものを用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
搬送装置３６は、１つのキャリア６２又は６４を用いるものであってもよい。また、検査ステージ２８に対しＸ方向における両側に受け渡しステージ２４を配置した検査装置の場合、パネルを一方の受け渡しステージと検査ステージとに搬送するキャリアと、他方の受け渡しステージと検査ステージとに搬送するキャリアとを備えた搬送装置であってもよい。
【００７５】
本発明は、液晶表示パネルのみならず、それ用のガラス基板、有機ＥＬ等、他の表示用パネルの電気的接続装置にも適用することができる。また、本発明は、表示用パネルを斜めの状態で検査する装置のみならず、表示用パネルを上向きの状態で検査する装置等、他のタイプの検査装置にも適用することができる。
【００７６】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明に係る電気的接続装置を用いた検査装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】図１に示す検査装置の正面図であって搬送装置を除去して示す図である。
【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図である。
【図４】図１に示す検査装置で用いる搬送装置の一実施例を示す平面図である。
【図５】図４に示す搬送装置を５−５線方向に見た図である。
【図６】図４に示す搬送装置で用いるキャリアの一実施例を示す斜視図である。
【図７】図６に示すキャリアの正面図である。
【図８】図７における８−８線に沿って得た断面図である。
【図９】図６から図８に示すキャリアの動作を説明するための図であって、（Ａ）はパネルを把持した状態を示し、（Ｂ）はパネルを解放した状態を示す。
【図１０】搬送装置で用いるホルダの実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００７８】
１０  検査装置
１２  表示用パネル
１８  本体ベース
２４  受け渡しステージ
２８  検査ステージ
３０  プローブカード
３６  搬送装置
３８  チャックトップ
６０  フレーム
６２，６４  キャリア
６６，６８  キャリア移動機構
７２，７４，８４  ガイドレール
７６，７８，８６  ガイド
８０  キャリアベース
８２  支持アーム
８８  Ｘアーム
９０  Ｙアーム
９８  結合手段
９４  Ｘホルダ
９６  Ｙホルダ
１００  ボールねじ
１０４  キャリア用モータ
１０６  Ｘ移動機構
１０８  Ｙ移動機構
１１０  Ｘ駆動源
１１２，１１４  プーリ
１１６  無端ベルト
１２０  Ｙ駆動源
１２２  ボールねじ
１２４  ナット
１３０，１４０，１５０  ホルダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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