(57)【要約】【課題】保管庫の長尺化、高層化に対応可能で、高速走行可能な保管庫用移載装置を提供することである。【解決手段】ストッカ１に沿って水平方向に走行する走行機構９，１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１７，１８と、前記ストッカ１に対して荷物を入出庫する移載ロボット６と、前記走行機構９，１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１７，１８に立設され、前記ストッカ１の上端部から下端部にかけて前記移載ロボット６を昇降させるマスト機構３，４と、前記走行機構９，１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１７，１８の走行に同期した移動速度および移動方向で前記マスト機構３，４の上端部を移動させるマスト移動機構１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１５ａ，１５ｂ，１７，１８と、を有する。【選択図】図１
2005194051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保管庫に沿って水平方向に走行する走行機構と、
前記保管庫に対して荷物を入出庫する移載機構と、
前記走行機構に立設され、前記保管庫の上端部から下端部にかけて前記移載機構を昇降させるマスト機構と、
前記走行機構の走行に同期した移動速度および移動方向で前記マスト機構の上端部を移動させるマスト移動機構と、を有することを特徴とする保管庫用移載装置。
【請求項２】
前記マスト移動機構は、前記マスト機構の上端部に連結され、前記走行機構の走行方向に一致した方向に張設された駆動力伝達手段と、
前記駆動力伝達手段を介して前記マスト機構の上端部を任意の速度で進退移動可能な第１駆動機構と、
前記走行機構の走行速度を検出し、該走行速度に同期するように前記第１駆動機構を制御する同期制御機構と、を有することを特徴とする請求項１に記載の保管庫用移載装置。
【請求項３】
前記駆動力伝達手段は、前記走行機構の右側に端部が連結され、他端部が前記マスト機構の上端部左側に連結された第１ワイヤと、前記走行機構の左側に端部が連結され、他端部が前記マスト機構の上端部右側に連結された第２ワイヤであり、
前記走行機構は、前記第１ワイヤと前記第２ワイヤの一方を牽引する第１プーリ回転駆動手段を有し、
前記第１駆動機構は、前記第１ワイヤと前記第２ワイヤの他方を牽引する第２プーリ回転駆動手段を有することを特徴とする請求項２に記載の保管庫用移載装置。
【請求項４】
前記保管庫に設けられた右側の支柱と左側の支柱の一方の上部に回転自在なプーリが設けられ、前記右側の支柱と前記左側の支柱の他方の上部に駆動プーリが設けられ、
前記駆動力伝達手段は、前記回転自在なプーリと前記駆動プーリに張架されてループをなすベルトであり、
前記ベルトは、前記マスト機構の頂部に固着され、
前記第１駆動機構は、前記駆動プーリを回転させるプーリ回転駆動手段を有することを特徴とする請求項２に記載の保管庫用移載装置。
【請求項５】
前記マスト機構の頂部に前記回転自在なプーリと前記駆動プーリが設けられ、
前記駆動力伝達手段は、前記回転自在なプーリと前記駆動プーリに張架されて、前記右側の支柱と前記左側の支柱の上部に夫々連結されたワイヤであり、
前記第１駆動機構は、前記駆動プーリを回転させるプーリ回転駆動手段を有することを特徴とする請求項２に記載の保管庫用移載装置。
【請求項６】
前記マスト移動機構は、前記マスト機構の上方に、前記走行機構の走行方向に一致した方向に敷設されたレール手段と、
前記マスト機構の頂部に設けられ、前記レール手段に係合する係合手段と、
前記係合手段を介して前記マスト機構の上端部を任意の速度で進退移動可能な第２駆動機構と、
前記走行機構の走行速度を検出し、該走行速度に同期するように前記第２駆動機構を制御する同期制御機構と、を有することを特徴とする請求項１に記載の保管庫用移載装置。
【請求項７】
前記レール手段は、レール状に連設された二次側永久磁石であり、
前記係合手段は、前記二次側永久磁石に近接する一次側鉄心コイルであり、
前記第２駆動機構は、前記二次側永久磁石と前記一次側鉄心コイルからなるリニア駆動機構であることを特徴とする請求項６に記載の保管庫用移載装置。
【請求項８】
前記レール手段は、歯形が表面に形成されたラックレールであり、
前記係合手段は、前記歯形に歯合するピニオンギヤであり、
前記第２駆動機構は、前記ピニオンギヤを回転させる回転駆動機構であることを特徴とする請求項６に記載の保管庫用移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造、液晶表示装置製造、プラズマ発光パネル製造などの無人搬送車を用い生産途中の仕掛品を装置間に搬送する生産プロセスに用いられる保管庫の保管庫用移載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場において、工程待ちの状態となったシリコンウエハはカセットに収められ、保管庫用移載装置であるスタッカクレーンにより移載されて、保管庫であるストッカに収納保管される。
【０００３】
従来の保管庫用移載装置は、特許文献１に記載のように、図６において、天井に敷設された１本の天井レール５８をガイドとし、底部に設けられた図示しない走行ローラ駆動機構を動作させて床の長手方向中央部に平行に敷設された２本の床上レール４８を走行する。このような保管庫用移載装置（スタッカクレーン）４２はマストの高さが４ｍ程度であるため、走行時に揺れが発生しやすく、その対策のために、マスト上部に設けられたガイドローラ４９が天井レール５８を左右から挟み込み横揺れを防止している。
【０００４】
【特許文献１】特許第３０６７５２８号明細書
【０００５】
また、２本のマストを有し、マストに設けたチェーン機構で、移載ロボットが搭載されたロボット走行レールを昇降させる構成のスタッカクレーンも知られている。
【０００６】
一方、今後主流となる基板サイズ３００ｍｍの半導体製造システム用ストッカや、第６世代以降の液晶ガラス基板を用いる液晶表示パネル製造用ストッカでは、ストッカに高層化、長尺化が要求され、マスト高さも８ｍになる。
また、半導体製造および液晶表示パネル製造では生産性向上が強く求められており、必然的に単位工程に置ける処理の高速化が重要であり、スタッカクレーンや移載ロボットにも高速走行、高速搬送が強く求められる。
【０００７】
しかし、特許文献１に記載の構成では、上部に設けられたガイドローラはマストの水平移動に従動して回転することで機能するため、スタッカクレーンが高層化した場合、ガイドローラに掛かる荷重にアンバランスが生じ、ガイドローラの軸受けやガイドローラにねじりや偏荷重が加わり、正常な回転が困難となる。そのため、スタッカクレーンの高速走行は困難である。
【０００８】
また、ロボット走行レールを昇降させる構成においては、ストッカを長尺化すると、ロボット走行レールも長尺化することになる。しかしロボット走行レールを長尺化すれば、レール重量は増し、レール加工精度確保も困難になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記問題を鑑みなされたものであって、その目的とするところは、保管庫の長尺化、高層化に対応可能で、高速走行可能な保管庫用移載装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００１０】
本発明の保管庫用移載装置は、保管庫に沿って水平方向に走行する走行機構と、前記保管庫に対して荷物を入出庫する移載機構と、前記走行機構に立設され、前記保管庫の上端部から下端部にかけて前記移載機構を昇降させるマスト機構と、前記走行機構の走行に同期した移動速度および移動方向で前記マスト機構の上端部を移動させるマスト移動機構と、を有することを特徴とする。
【００１１】
本発明によると、走行機構が走行すると、この走行機構に立設されたマスト機構の上端部がマスト移動機構により同一速度で同一方向に移動される。これにより、従来のように、慣性力によりマスト機構の上端部が走行機構の走行に遅れてバランスを崩してしまうという事態が生じることはない。この結果、走行機構を高速で走行させることができると共に、マスト機構を保管庫のサイズに対応して高く設定することができる。
【００１２】
本発明においては、前記マスト移動機構は、前記マスト機構の上端部に連結され、前記走行機構の走行方向に一致した方向に張設された駆動力伝達手段と、前記駆動力伝達手段を介して前記マスト機構の上端部を任意の速度で進退移動可能な第１駆動機構と、前記走行機構の走行速度を検出し、該走行速度に同期するように前記第１駆動機構を制御する同期制御機構と、を有することが好ましい。これによると、第１駆動機構と走行機構を同期させて駆動させることで、保管庫用移載装置をバランス良く高速走行できる。
【００１３】
本発明においては、前記駆動力伝達手段は、前記走行機構の右側に端部が連結され、他端部が前記マスト機構の上端部左側に連結された第１ワイヤと、前記走行機構の左側に端部が連結され、他端部が前記マスト機構の上端部右側に連結された第２ワイヤであり、前記走行機構は、前記第１ワイヤと前記第２ワイヤの一方を牽引する第１プーリ回転駆動手段を有し、前記第１駆動機構は、前記第１ワイヤと前記第２ワイヤの他方を牽引する第２プーリ回転駆動手段を有することが好ましい。これによると、第１プーリ回転駆動手段と第２プーリ回転駆動手段を同期させて駆動させることで、保管庫用移載装置をバランス良く高速走行できる。
【００１４】
本発明においては、前記保管庫に設けられた右側の支柱と左側の支柱の一方の上部に回転自在なプーリが設けられ、前記右側の支柱と前記左側の支柱の他方の上部に駆動プーリが設けられ、前記駆動力伝達手段は、前記回転自在なプーリと前記駆動プーリに張架されてループをなすベルトであり、前記ベルトは、前記マスト機構の頂部に固着され、前記第１駆動機構は、前記駆動プーリを回転させるプーリ回転駆動手段を有することが好ましい。これによると、プーリ回転駆動手段と走行機構を同期させて駆動させることで、保管庫用移載装置をバランス良く高速走行できる。
【００１５】
本発明においては、前記マスト機構の頂部に前記回転自在なプーリと前記駆動プーリが設けられ、前記駆動力伝達手段は、前記回転自在なプーリと前記駆動プーリに張架されて、前記右側の支柱と前記左側の支柱の上部に夫々連結されたワイヤであり、前記第１駆動機構は、前記駆動プーリを回転させるプーリ回転駆動手段を有することが好ましい。これによると、プーリ回転駆動手段と走行機構を同期させて駆動させることで、保管庫用移載装置をバランス良く高速走行できる。
【００１６】
本発明においては、前記マスト移動機構は、前記マスト機構の上方に、前記走行機構の走行方向に一致した方向に敷設されたレール手段と、前記マスト機構の頂部に設けられ、前記レール手段に係合する係合手段と、前記係合手段を介して前記マスト機構の上端部を任意の速度で進退移動可能な第２駆動機構と、前記走行機構の走行速度を検出し、該走行速度に同期するように前記第２駆動機構を制御する同期制御機構と、を有することが好ましい。これによると、第２駆動機構と走行機構を同期させて駆動させることで、保管庫用移載装置をバランス良く高速走行できる。
【００１７】
本発明においては、前記レール手段は、一直線に連設された二次側永久磁石であり、前記係合手段は、前記二次側永久磁石に近接する一次側鉄心コイルであり、前記第２駆動機構は、前記二次側永久磁石と前記一次側鉄心コイルからなるリニア駆動機構であることが好ましい。これによると、リニア駆動機構と走行機構を同期させて駆動させることで、保管庫用移載装置をバランス良く高速走行できる。
【００１８】
本発明においては、前記レール手段は、歯形が表面に形成されたラックレールであり、前記係合手段は、前記歯形に歯合するピニオンギヤであり、前記第２駆動機構は、前記ピニオンギヤを回転させる回転駆動機構であることが好ましい。これによると、回転駆動機構と走行機構を同期させて駆動させることで、保管庫用移載装置をバランス良く高速走行できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係る保管庫用移載装置の実施形態例について説明する。
【００２０】
［第１実施形態］
本発明の第１実施形態に係る保管庫用移載装置の構成を図１に基づいて説明する。図１は本発明の第１実施形態に係る保管庫用移載装置及びその周辺を表した模式図である。保管庫であるストッカ１は左右に支柱１６ａ，１６ｂを有し、カセットを載置するための複数段の棚を有する。ストッカ１の複数段の棚に沿って敷設された床上レール８上を保管用移載装置であるスタッカクレーン２が走行する。
【００２１】
スタッカクレーン２は、台座７と、走行手段である走行ローラ９と、マストであるスタッカクレーンマスト５と、チェーン機構３と、スプロケット４と、移載ロボット６等からなる。
【００２２】
走行ローラ９は、台座７の底部に設けられ、ストッカ１に沿って床上レール８上を図１紙面に対し左右水平方向に走行する。
スタッカクレーンマスト５は、台座７に立設され、ストッカ１の上部まで達する高さを有する。スタッカクレーンマスト５にはスプロケット４により駆動するチェーン機構３が側面の上部から下部に渡って垂直に設けられている。
移載ロボット６は、チェーン機構３に係合され、スプロケット４の駆動により垂直方向に昇降自在であり、図示しないアームが伸縮して、図示しないフィンガー部でカセットを把持する。
移載ロボット６はカセットをストッカ１に入出庫する移載機構であり、スプロケット４とチェーン機構３は移載機構を昇降させるマスト機構である。
【００２３】
第１ワイヤ１０ａは駆動力伝達手段であり、台座７の右端の台座ワイヤ固定部１４ａにその端部が連結し、水平に伸びて、支柱１６ａの下部に垂直に設けられた台座用プーリ１１ａに張架し、支柱１６ａの上部に垂直に設けられた中間プーリ１２ａに張架し、他方の支柱１６ｂに垂直に設けられたマスト用プーリ１３ａに張架し、水平に伸びてスタッカクレーンマスト５の上部の左端のマストワイヤ固定部１５ａに他端部が連結している。
第２ワイヤ１０ｂは第１ワイヤ１０ａと同様に駆動力伝達手段であり、台座７の左端の台座ワイヤ固定部１４ｂにその端部が連結し、水平に伸びて、支柱１６ｂの下部に垂直に設けられた台座用プーリ１１ｂに張架し、支柱１６ｂの上部に垂直に設けられた中間プーリ１２ｂに張架し、他方の支柱１６ａに垂直に設けられたマスト用プーリ１３ｂに張架し、水平に伸びてスタッカクレーンマスト５の上部の右端のマストワイヤ固定部１５ｂに他端部が連結している。
【００２４】
減速器付モータ１７は台座用プーリ１１ａに設けられ、減速器付モータ１７により台座用プーリ１１ａは時計回り又は反時計回りに回転する。
減速器付モータ１８はマスト用プーリ１３ｂに設けられ、減速器付モータ１８によりマスト用プーリ１３ｂは時計回り又は反時計回りに回転する。
【００２５】
各減速器付モータ１７，１８は同期制御されて駆動する。例えば、スタッカクレーン２が矢印方向に進む場合は、減速器付モータ１７が台座用プーリ１１ａをある回転速度である一定時間だけ反時計回りに回転させる。それに同期して、減速器付モータ１８は同じ回転速度で同じ時間だけマスト用プーリ１３ｂを反時計回りに回転させる。このように、プーリの回転速度や回転方向、駆動時間を同期させて駆動させることで、第１ワイヤ１０ａと第２ワイヤ１０ｂを常に緊張状態に保つ。これにより、台座７とスタッカクレーンマスト５の上部との間に歪みは発生せず、走行ローラ９とスタッカクレーンマスト５の上部は同期して矢印方向へ動く。
【００２６】
スタッカクレーン２を矢印方向へ移動させる場合、減速器付モータ１７は走行ローラ９を走行させる第１プーリ回転駆動手段となる。一方、減速器付モータ１８はスタッカクレーンマスト５の上部を移動させる第２プーリ回転駆動手段となる。
このとき、第１ワイヤ１０ａと台座ワイヤ固定部１４ａと台座用プーリ１１ａと減速器付モータ１７と走行ローラ９は走行機構をなし、減速器付モータ１８とマスト用プーリ１３ｂとマストワイヤ固定部１５ｂは第１駆動機構をなす。
マスト移動機構は、第２ワイヤ１０ｂと上記の第１駆動機構と図示しない同期制御機構を有する。
【００２７】
一方、矢印方向と逆方向にスタッカクレーン２を移動させる場合、減速器付モータ１７と減速器付モータ１８の役割は入れ替わる。即ち、減速器付モータ１７はスタッカクレーンマスト５の上部を移動させる第２プーリ回転駆動手段となり、台座用プーリ１１ａを時計回りに回転させる。一方、減速器付モータ１８は走行ローラ９を走行させる第１プーリ回転駆動手段となり、マスト用プーリ１３ｂを時計回りに回転させる。
このとき、第２ワイヤ１０ｂと台座ワイヤ固定部１４ｂと台座用プーリ１１ｂと中間プーリ１２ｂとマスト用プーリ１３ｂと減速器付モータ１８と走行ローラ９は走行機構をなし、マストワイヤ固定部１５ａとマスト用プーリ１３ａと中間プーリ１２ａと台座用プーリ１１ａと減速器付モータ１７は第１駆動機構をなす。
マスト移動機構は、第１ワイヤ１０ａと上記の第１駆動機構と図示しない同期制御機構を有する。
【００２８】
次に、保管庫用移載装置の共通の作動について、図６を用いて説明する。
図６において、図示されない半導体製造装置で処理された製造途中状態のシリコンウエハはカセット４４に収納され、該カセット４４は図示されない搬送装置によりストッカ１００まで搬送され、搬入ポート５０に載置される。
【００２９】
スタッカクレーン４２の走行路である床上レール４８の両側には複数段の棚４０が設けられ、さらに各棚４０はセグメント５５に分けられ、各セグメント５５にはアドレスが付される。また、棚４０に設けられるセグメント５５にはカセット４４が１つ置けるスペースが確保されている。スタッカクレーン４２は棚番号とセグメント番号の組合せで全ての棚位置を識別する。
【００３０】
スタッカクレーン４２は図示されないシステムコントローラにより搬入ポート５０に載置されたカセット４４をストッカ１００内の空のセグメント５５に格納するよう指令を受ける。システムコントローラからの指令を受けたスタッカクレーン４２は床上レール４８を搬入ポート５０の位置まで走行し停止する。次いで、チェーン機構４３を動作させ、移載ロボット４６を昇降させ、移載ロボット４６の高さを搬入ポート５０の高さ位置に合わせて停止させる。移載ロボット４６はアーム５７を伸ばし、搬入ポート５０上に載置されているカセット４４をフィンガー部５６で把持し持上げ、アーム５７を折り曲げて取り込む。次いで、スタッカクレーン４２は指示されたセグメント番号の水平位置まで床上レール４８上を走行する。次いでチェーン機構４３を動作させ、移載ロボット４６を昇降させ、移載ロボット４６の高さが目的のセグメント番号の位置に到達した時点で停止させる。次いで、移載ロボット４６はアーム５７を伸ばし、フィンガー部５６を開にして、把持しているカセット４４を目的のセグメント番号の位置に載置する。
【００３１】
次に、本発明の第１実施形態に係る保管庫用移載装置の作動について、図１を用いて説明する。
図１において、スタッカクレーン２は同期制御される減速器付モータ１７，１８によって、その上部と下部を第１ワイヤ１０ａ及び第２ワイヤ１０ｂで牽引される。具体的には、スタッカクレーン２が矢印方向に移動する場合、減速器付モータ１７が台座用プーリ１１ａを反時計回りに回転させることで、第１ワイヤ１０ａを矢印方向に手繰り寄せる。これに同期制御されて、減速器付モータ１８はマスト用プーリ１３ｂを反時計回りに回転させて、第２ワイヤ１０ｂを矢印方向に手繰り寄せる。走行ローラ９の移動量とスタッカクレーンマスト５の上部の移動量は略同じである。これによりスタッカクレーン２は、従来のスタッカクレーンに比して、上部、下部が同期することで、全体的にバランス良く矢印方向へ移動することができる。矢印方向と逆の方向に移動させる場合には、減速器付モータ１７，１８は同様に同期制御されて、台座用プーリ１１ａとマスト用プーリ１３ｂを夫々時計回りに回転させ、走行ローラ９とスタッカクレーンマスト５の上部を略同じ移動量だけ動かす。
なお、プーリの数は６つに限られず、中間プーリの数を適宜増やしても良い。また、減速器付モータ１７は中間プーリ１２ａ又はマスト用プーリ１３ａに取り付けられても良く、減速器付モータ１８は台座用プーリ１１ｂ又は中間プーリ１２ｂに取り付けられても良い。また、減速器付モータ１７，１８は２つに限られない。
【００３２】
以上により、スタッカクレーン２は図示しない搬入ポートまで移動し、図示しないカセットを移載ロボット６で把持した後、目的のセグメント番号の水平位置に移動してスプロケット４とチェーン機構３で移載ロボット６を昇降させ、目的のセグメント番号の位置にカセットを載置する。
【００３３】
［第２実施形態］
本発明の第２実施形態に係る保管庫用移載装置の構成を図２に基づいて説明する。図２は本発明の第２実施形態に係る保管庫用移載装置及びその周辺を表した模式図である。第２実施形態の構成が第１実施形態と異なる点は、台座７に図示しない走行手段が備わっており、該走行手段が走行ローラ９を走行させる点と、支柱１６ａ上部に回転自在なプーリであるフリータイミングプーリ２２が水平に取り付けられ、他方の支柱１６ｂ上部に駆動プーリである駆動タイミングプーリ２３が、プーリ回転駆動手段である減速器付モータ２４と一体に水平に取り付けられ、２つのプーリには水平ループを成す駆動ベルト２１が張架されている点である。また、駆動ベルト２１はスタッカクレーンマスト５の頂部の固定部２５に固着されている。駆動ベルト２１は駆動力伝達手段である。
【００３４】
第２実施形態では、走行ローラ９と走行手段を備えた台座７が走行機構をなし、フリータイミングプーリ２２と駆動タイミングプーリ２３と減速器付モータ２４と固定部２５が第１駆動機構をなす。マスト移動機構は駆動ベルト２１と上記の第１駆動機構と図示しない同期制御機構を有する。
【００３５】
上記構成によれば、走行手段を備えた台座７と走行手段により走行する走行ローラ９とからなる走行機構が駆動して、走行ローラ９は床上レール８上を矢印方向に走行する。一方、駆動タイミングプーリ２３は、走行機構に同期制御される減速器付モータ２４により矢印方向へ回転駆動し、フリータイミングプーリ２２もその回転駆動に連動して回転することで、水平ループをなす駆動ベルト２１が矢印方向に周回するため、固定部２５で駆動ベルト２１と固着するスタッカクレーンマスト５の上部は矢印方向に移動する。スタッカクレーンマスト５の上部の移動量は走行ローラ９の移動量と略同じである。これによりスタッカクレーン２は、従来のスタッカクレーンに比して、上部、下部が同期することで、全体的にバランス良く矢印方向へ移動することができる。矢印方向と逆の方向にスタッカクレーン２を移動させる場合は、逆方向に走行する走行ローラ９に同期させて減速器付モータ２４を逆回転させることにより、駆動ベルト２１を矢印方向とは逆の方向に周回させる。
なお、フリータイミングプーリ２２と駆動タイミングプーリ２３は垂直に設けられても良く、その場合、駆動ベルト２１は垂直ループをなす。その他の点については第１実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
【００３６】
［第３実施形態］
本発明の第３実施形態に係る保管庫用移載装置の構成を図３に基づいて説明する。図３（ａ）は本発明の第３実施形態に係る保管庫用移載装置及びその周辺を表した模式図である。第３実施形態の構成が第１実施形態と異なる点は、台座７に図示しない走行手段が備わっており、該走行手段が走行ローラ９を走行させる点と、図３（ａ）において、支柱１６ａ，１６ｂの上部ワイヤ固定部２８ａ、２８ｂにマスト駆動ワイヤ２７の両端が固着されており、スタッカクレーンマスト５の頂部には３つのプーリ２２ａ、２２ｂ、２３が垂直に取り付けられている点である。マスト駆動ワイヤ２７は駆動力伝達手段である。
【００３７】
図３（ａ）のＡ部を拡大した図３（ｂ）において、３つのプーリのうち回転自在なプーリであるフリータイミングプーリ２２ａ、２２ｂはワイヤ固定部２８ａと２８ｂを結ぶ直線に沿線するよう垂直に配置され、駆動プーリである駆動タイミングプーリ２３はフリータイミングプーリ２２ａ，２２ｂの中間下方に垂直に配置される。両端を支柱１６ａ，１６ｂに固定されたマスト駆動ワイヤ２７は３つのプーリ２２ａ、２２ｂ、２３に張架される。また、駆動タイミングプーリ２３にはプーリ回転駆動手段である減速機付モータ２４が取り付けられ、減速機付モータ２４はスタッカクレーンマスト５の頂部に固定される。
【００３８】
第３実施形態では、走行ローラ９と走行手段を備えた台座７が走行機構をなし、フリータイミングプーリ２２ａ，２２ｂと駆動タイミングプーリ２３と減速器付モータ２４と上部ワイヤ固定部２８ａ、２８ｂが第１駆動機構をなす。マスト移動機構はマスト駆動ワイヤ２７と上記の第１駆動機構と図示しない同期制御機構を有する。
【００３９】
上記構成によれば、走行手段を備えた台座７と走行手段により走行する走行ローラ９とからなる走行機構が駆動して、走行ローラ９は床上レール８上を矢印方向に走行する。一方、駆動タイミングプーリ２３は、走行機構に同期制御される減速機付モータ２４により時計回りに回転駆動することで、マスト駆動ワイヤ２７を伝って矢印方向に移動していくため、駆動タイミングプーリ２３が固着したスタッカクレーンマスト５の上部は矢印方向へ移動する。スタッカクレーンマスト５の上部の移動量は走行ローラ９の移動量と略同じである。これによりスタッカクレーン２は、従来のスタッカクレーンに比して、上部、下部が同期することで、全体的にバランス良く矢印方向へ移動することができる。矢印方向と逆の方向にスタッカクレーン２を移動させる場合は、逆方向に走行する走行ローラ９に同期させて減速器付モータ２４を逆回転させることにより、駆動タイミングプーリ２３を反時計回りに回転駆動させる。
なお、フリータイミングプーリ２２ａ、２２ｂの数は２つに限定されず、１つでも良い。また、フリータイミングプーリ２２ａ、２２ｂ及び駆動タイミングプーリ２３は水平に設けられても良い。その他の点については第１実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
【００４０】
［第４実施形態］
本発明の第４実施形態に係る保管庫用移載装置の構成を図４に基づいて説明する。図４（ａ）は本発明の第４実施形態に係る保管庫用移載装置及びその周辺を表した模式図である。図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ部を拡大した斜視図である。第４実施形態の構成が第１実施形態と異なる点は、台座７に図示しない走行手段が備わっており、該走行手段が走行ローラ９を走行させる点と、図４（ａ）において、スタッカクレーン２上方に敷設された天井レール３０上にリニアモータを構成する二次側永久磁石３１が連設され、スタッカクレーンマスト５の頂部にリニアモータの一次側コイル鉄心３２が二次側永久磁石３１に近接するように固定されている点である（図４（ｂ）参照）。
【００４１】
第４実施形態では、走行ローラ９と走行手段を備えた台座７が走行機構をなし、二次側永久磁石３１と一次側コイル鉄心３２をリニア駆動させる図示しないリニア駆動装置がリニア駆動機構（第２駆動機構）をなす。マスト移動機構は、レール手段である一直線に連設された二次側永久磁石３１と、係合手段である一次側コイル鉄心３２と、上記の第２駆動機構と、図示しない同期制御機構を有する。
【００４２】
上記構成によれば走行手段を備えた台座７と走行手段により走行する走行ローラ９とからなる走行機構が駆動して、走行ローラ９は床上レール８上を矢印方向に走行する。一方、図示しないリニア駆動装置が走行機構に同期制御されてリニア駆動し、天井レール３０に沿って矢印方向に移動するため、一次側コイル鉄心３２が固定されたスタッカクレーンマスト５の上部は矢印方向へ移動する。スタッカクレーンマスト５の上部の移動量は走行ローラ９の移動量と略同じである。これによりスタッカクレーン２は、従来のスタッカクレーンに比して、上部、下部が同期することで、全体的にバランス良く矢印方向へ移動することができる。矢印方向と逆の方向に移動させる場合は、逆方向に走行する走行ローラ９に同期させてリニア駆動の方向を逆方向にする。その他の点については第１実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
【００４３】
［第５実施形態］
本発明の第５実施形態に係る保管庫用移載装置の構成を図５に基づいて説明する。図５は本発明の第５実施形態に係る保管庫用移載装置及びその周辺を表した模式図である。第５実施形態の構成が第１実施形態と異なる点は、台座７に図示しない走行手段が備わっており、該走行手段が走行ローラ９を走行させる点と、スタッカクレーン２上方に歯形（ラック）が表面に形成されたラックレール３５が敷設され、スタッカクレーンマスト５の頂部に該ラックレール３５と回転自在に歯合するピニオンギヤ３６と、該ピニオンギア３６を駆動させる減速機付モータ３７とが取り付けられている点である。
【００４４】
第５実施形態では、走行ローラ９と走行手段を備えた台座７が走行機構をなし、ピニオンギヤ３６を駆動させる減速機付モータ３７が回転駆動機構（第２駆動機構）をなす。マスト移動機構は、レール手段であるラックレール３５と、係合手段であるピニオンギヤ３６と、上記の第２駆動機構と、図示しない同期制御機構を有する。
【００４５】
上記構成によれば、走行手段を備えた台座７と走行手段により走行する走行ローラ９とからなる走行機構が駆動して、走行ローラ９は床上レール８上を矢印方向に走行する。一方、ピニオンギヤ３６は走行機構に同期制御される減速機付モータ３７により反時計回りに回転駆動してラックレール３５に噛合いながら矢印方向に走行するため、ピニオンギヤ３６が取り付けられたスタッカクレーン２の上部は矢印方向へ移動する。スタッカクレーンマスト５の上部の移動量は走行ローラ９の移動量と略同じである。これによりスタッカクレーン２は、従来のスタッカクレーンに比して、上部、下部が同期することで、全体的にバランス良く矢印方向へ移動することができる。矢印方向と逆の方向に移動させる場合は、逆方向に走行する走行ローラ９に同期させてピニオンギヤ３６を時計回りに回転させる。その他の点については第１実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
【００４６】
以上のように、スタッカクレーン２は、下部の走行機構と上部の駆動機構の同期制御により、上部と下部が同期して水平移動することで、慣性力によりスタッカクレーンマスト５の上端部が走行機構の走行に遅れることでバランスを崩してしまうという事態が生じることなく、且つ高速で走行可能であるため、スタッカクレーン２をストッカ１の長尺化、高層化に対応させることが可能である。
【００４７】
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。即ち、図６の構成において、天井レール５８を左右から挟み込む、マスト上部に設けられた１対のガイドローラ４９が減速器付モータで回転駆動する構成であっても良い。この場合、スタッカクレーン４２の下部に設けられた、床上レール４８を走行する図示しない走行機構に同期させて減速器付モータを駆動することで、スタッカクレーン４２は、上部、下部を同期させて、全体的にバランス良く移動することができる。
【００４８】
また、第２実施形態の構成において、走行手段は台座７に備わっておらず、スタッカクレーン２の上部に設けられたマスト移動機構をなす駆動ベルト２１と、フリータイミングプーリ２２と、駆動タイミングプーリ２３と、固定部２５と、減速器付モータ２４の構成と同じ構成がスタッカクレーン２の下部に設けられた構成であっても良い。この場合、台座７に固定部２５’で固着する駆動ベルト２１’がフリータイミングプーリ２２’と駆動タイミングプーリ２３’に張架され、減速器付モータ２４と同期制御されて駆動する減速器付モータ２４’により回転駆動することで走行機構をなす。ここで、第３実施形態におけるスタッカクレーン２の上部のマスト移動機構の構成がスタッカクレーン２の下部に設けられた構成であっても良い。
【００４９】
また、第３実施形態の構成において、走行手段は台座７に備わっておらず、スタッカクレーン２の上部に設けられたマスト移動機構をなすマスト駆動ワイヤ２７と、フリータイミングプーリ２２ａ，２２ｂと、減速器付モータ２４で駆動する駆動タイミングプーリ２３の構成と同じ構成がスタッカクレーン２の下部に設けられた構成であっても良い。この場合、スタッカクレーンマスト５の下部に取り付けられた３つのプーリ２２ａ’、２２ｂ’、２３’にマスト駆動ワイヤ２７’が張架され、減速器付モータ２４と同期制御されて駆動する減速器付モータ２４’により駆動タイミングプーリ２３’が回転駆動してスタッカクレーン２の下部がマスト駆動ワイヤ２７’を伝うことで走行機構をなす。ここで、第２実施形態におけるスタッカクレーン２の上部のマスト移動機構の構成がスタッカクレーン２の下部に設けられた構成であっても良い。
【００５０】
また、第２実施形態のマスト移動機構の構成がスタッカクレーン２の下部に設けられて、走行ローラ９と係合して走行機構をなし、スタッカクレーン２の上部には天井レールを左右から挟み込んで減速器付モータで回転駆動する、マスト上部に設けられた１対のガイドローラがマスト移動機構をなす構成であっても良い。この場合、図２の天地をひっくり返したような構成となる。
【００５１】
また、第３実施形態のマスト移動機構の構成がスタッカクレーン２の下部に設けられて、走行ローラ９と係合して走行機構をなし、スタッカクレーン２の上部には天井レールを左右から挟み込んで減速器付モータで回転駆動する、マスト上部に設けられた１対のガイドローラがマスト移動機構をなす構成であっても良い。この場合、図３（ａ）の天地をひっくり返したような構成となる。
【００５２】
また、第１〜第５実施形態において、スタッカクレーン２の上部と下部を同期制御させて駆動させるようにしたが、スタッカクレーン２の中間部を同期制御させて駆動させる構成を追加しても良い。この場合には、長尺化したスタッカクレーン２をよりバランス良く移動させることができる。例えば第１実施形態の構成のスタッカクレーン２の中間部に第２実施形態のマスト移動機構の構成を追加しても良い。この場合、３つの減速器付モータを同期制御させることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る保管庫用移載装置及びその周辺を表した模式図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る保管庫用移載装置及びその周辺を表した模式図である。
【図３】（ａ）は本発明の第３実施形態に係る保管庫用移載装置及びその周辺を表した模式図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ部を拡大した図である。
【図４】（ａ）は本発明の第４実施形態に係る保管庫用移載装置及びその周辺を表した模式図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ部を拡大した斜視図である。
【図５】本発明の第５実施形態に係る保管庫用移載装置及びその周辺を表した模式図である。
【図６】従来の保管庫用移載装置及びその周辺の一形態を表した斜視図である。
【００５４】
１  ストッカ
２  スタッカクレーン
３  チェーン機構
４  スプロケット
５  スタッカクレーンマスト
６  移載ロボット
７  台座
８  床上レール
９  走行ローラ
１０ａ  第１ワイヤ
１０ｂ  第２ワイヤ
１１ａ，１１ｂ  台座用プーリ
１２ａ，１２ｂ  中間プーリ
１３ａ，１３ｂ  マスト用プーリ
１４ａ，１４ｂ  台座ワイヤ固定部
１５ａ，１５ｂ  マストワイヤ固定部
１６ａ，１６ｂ  支柱
１７  減速器付モータ
１８  減速器付モータ
４０  棚
４４  カセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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