(57)【要約】【課題】  本発明は半導体検査装置に使用される操作端末の設置スペースを節約し、かつこの操作端末による半導体検査への悪影響を低減する操作用テーブルを提供する。【解決手段】  操作用テーブル１を、操作端末を収容する端末収容部２をテーブル板１０の上に角度を調整可能に取り付け、端末収容部１０の下面に設けた開口６４、テーブル板に設けた貫通口９０と、貫通口９０及び開口６４とを連結する中空部材９１を通して、端末収容部２内のダストをガイドするよう構成する。【選択図】      図５
2005286149.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造工程における各プロセスでの半導体検査装置に使用される操作端末を載置する、操作用テーブルであって、
貫通口を有するテーブル板と、
前記テーブル板の上に角度を調整可能に取り付けられ、前記テーブル板の前記貫通口に対向する開口を下面に有し、前記操作端末を収容する端末収容部と、
一端を前記貫通口に、他端を前記開口に接続されて、前記端末収容部内のダストを前記テーブル板の貫通口へとガイドする、可撓性のある中空部材と、
前記中空部材の側面をカバーするカバー部材と、を備えることを特徴とする操作用テーブル。
【請求項２】
前記中空部材は、蛇腹部材であることを特徴とする請求項１に記載の操作用テーブル。
【請求項３】
前記中空部材は、弾性体材料からなることを特徴とする請求項１に記載の操作用テーブル。
【請求項４】
前記端末収容部は、前記テーブル板の上面に平行な回転軸に、回転可能に取り付けられることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の操作用テーブル。
【請求項５】
前記カバー部材は、前記テーブル板側に設けられる第１のカバー部材と、前記端末収容部側に設けられる第２のカバー部材とを備え、
前記第１のカバー部材及び前記第２のカバー部材は、これらカバー部材の遮蔽面の一部が重なるように設けられ、
前記第１のカバー部材及び／又は前記第２のカバー部材は、前記端末収容部の回転に伴い、それぞれ前記テーブル板の上面及び／又は前記端末収容部の下面に沿って、前記回転軸の直角方向成分を有する方向に、摺動可能に設けられることを特徴とする、請求項４に記載の操作用テーブル。
【請求項６】
前記第１のカバー部材及び前記第２のカバー部材の前記遮蔽面の重複部分の間隔が所定距離以上となるように、前記第１のカバー部材及び前記第２のカバー部材とをリンクするリンク機構を備える請求項５に記載の操作用テーブル。
【請求項７】
前記第２のカバー部材は前記端末収容部に固定され、
前記リンク機構は、
前記第１のカバー部材に固定される第１リンク部と、前記第２のカバー部材に固定される第２リンク部とがリンクされて構成され、
前記端末収容部の回転に伴う前記第２リンク部の回転角に基づき、前記第１リンク部に関する前記テーブル板上面に水平方向の位置を定めることを特徴とする請求項６に記載の操作用テーブル。
【請求項８】
前記第１のカバー部材は前記テーブル板に固定され、
前記リンク機構は、
前記第１のカバー部材に固定される第１リンク部と、前記第２のカバー部材に固定される第２リンク部とがリンクされて構成され、
前記端末収容部の回転に伴う前記第２リンク部の回転角に基づき、前記第２リンク部の回転半径を定めることを特徴とする請求項６に記載の操作用テーブル。
【請求項９】
前記リンク機構は、
前記第１のカバー部材に固定される第１リンク部と、前記第２のカバー部材に固定される第２リンク部とがリンクされて構成され、
前記端末収容部の回転に伴う前記第２リンク部の回転角に基づき、前記第１リンク部に関する前記テーブル板上面に水平方向の位置に対する前記第２リンク部の回転半径とを定めることを特徴とする請求項６に記載の操作用テーブル。
【請求項１０】
前記リンク機構は、
前記第１のカバー部材及び前記第２のカバー部材のいずれか一方に設けられるガイドピンと、
前記第１のカバー部材及び前記第２のカバー部材の他方に設けられ、前記ガイドピンと摺動可能に嵌合するガイド孔と、を備えることを特徴とする請求項６に記載の操作用テーブル。
【請求項１１】
前記第１リンク部及び第２リンク部のいずれか一方は、ガイドピンであり、
前記第１リンク部及び第２リンク部の他方は、前記ガイドピンと摺動可能に嵌合するガイド孔であることを特徴とする請求項７〜９のいずれか一項に記載の操作用テーブル。
【請求項１２】
前記カバー部材は、弾性体材料からなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の操作用テーブル。
【請求項１３】
前記端末収容部内のダストを前記貫通口へと送る送風手段を備えることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の操作用テーブル。
【請求項１４】
一端を前記貫通口に接続され、他端を前記テーブル板の下方に配置して設けられるダクトを備えることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載の操作用テーブル。
【請求項１５】
前記他端は、前記一端よりも断面積を小さく設けられることを特徴とする請求項１４に記載の操作用テーブル。
【請求項１６】
前記端末収容部は、前記操作端末のディスプレイ部を外部から目視可能なディスプレイ表示部を備えることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか一項に記載の操作用テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造におけるベアウェハ、薄膜形成後、エッチング後、洗浄工程後などのあらゆるプロセスに対して検査が可能な検査装置に用いる操作用テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスが高密度集積化、微細化するにつれ、増々半導体製造プロセスに対する検査が重要になってきている。従来このような検査装置に使用される操作用テーブルは、検査装置本体に棚状に固定され、これにキーボード、トラックボール、ジョイスティック等がこのテーブル上に設置されていた。このように従来の固定式テーブルの検査装置では、その検査装置の据付方向、据付場所が限定され、かつオペレーターも一方向でのみしか操作できないので使い勝手が非常に悪いものであった。
【０００３】
そこで本出願人は、操作用テーブルを検査装置とは別体とし、検査装置の据付方向や据付場所が制約されることなく、オペレータの操作し易い方向に配置できる操作用テーブルを、特願平１０−３４１４２５号として出願し提案している（特許文献１）。
【０００４】
また、本出願人は操作者の体型に最も適した状態での操作環境が実現し、長時間にわたる操作による疲労をはじめとする人体への悪影響を最小限に抑えることができるように、テーブル板の高さ及びディスプレイ表示部の角度を調節可能に設ける操作用テーブルを、特願２０００−１８６５５７号として出願し提案している（特許文献２）。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１７４０８６号公報
【特許文献２】特開２００２−９１２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体検査装置に使用される操作端末は、工場内スペースの有効利用の観点から設置面積を節約することが望まれる。さらにオペレータが検査に必要なデータを入力しまた検査結果を保存しやすいように、フレキシブルディスクドライブやＣＤ−ＲＯＭドライブをオペレータに利用しやすい位置にレイアウトすることが望まれる。
また、操作端末を構成するコンピュータの表示装置として一般に使用されているＣＲＴは、半導体検査に影響を与える電磁波を発生するという問題がある。
【０００７】
このような、設置スペース及びＣＲＴから発生する電磁波の問題を解消するために検査端末の表示装置として薄型表示装置（例えば、液晶モニター、有機発光ダイオードディスプレイ又はプラズマディスプレイ）を使用し、また省スペース化のために操作端末の処理を行うコンピュータを表示装置の背後に近接して配置することが好適である。
【０００８】
しかし、コンピュータ自身もクリーンルーム内の清浄度を低下させるダストを発生するため、検査装置の近隣で検査を行うオペレータが表示装置を利用しやすい位置（例えばオペレータの目線の高さ）にそのまま設置するには問題があった。
【０００９】
上記問題点を鑑みて、本発明は半導体検査装置に使用される操作端末の設置スペースを節約し、かつこの操作端末による半導体検査への悪影響を低減する、操作用テーブルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明に係る操作用テーブルは、操作端末を収容する端末収容部をテーブル板の上に角度を調整可能に取り付け、端末収容部の下面に設けた開口、テーブル板に設けた貫通口と、貫通口及び開口とを連結する可撓性中空部材を通して、端末収容部内のダストをガイドすることとする。
【００１１】
すなわち、本発明に係る操作用テーブルは、半導体製造工程における各プロセスでの半導体検査装置に使用される操作端末を載置する操作用テーブルであって、貫通口を有するテーブル板と、テーブル板の上に角度を調整可能に取り付けられテーブル板の貫通口に対向する開口を下面に有し操作端末を収容する端末収容部と、一端を貫通口に他端を前記開口に接続されて端末収容部内のダストを前記テーブル板の貫通口へとガイドする可撓性のある中空部材と、中空部材の側面をカバーするカバー部材とを備える。
【００１２】
前記の可撓性のある中空部材は、蛇腹部材であってよく又は弾性体材料からなることとしてもよい。
【００１３】
また、端末収容部は、テーブル板の上面に平行な回転軸に回転可能に取り付けられ、前記のカバー部材は、テーブル板側に設けられる第１のカバー部材と、端末収容部側に設けられる第２のカバー部材とを備え、第１のカバー部材及び第２のカバー部材は、これらカバー部材の遮蔽面の一部が重なるように設けられ、第１のカバー部材及び／又は第２のカバー部材は、端末収容部の回転に伴い、それぞれテーブル板の上面及び／又は端末収容部の下面に沿って、回転軸の直角方向成分を有する方向に、摺動可能に設けられることとしてよい。またカバー部材は弾性体材料からなることとしてもよい。
【００１４】
さらにまた、第１のカバー部材及び前記第２のカバー部材の遮蔽面の重複部分の間隔が所定距離以上となるように、第１のカバー部材及び第２のカバー部材とをリンクするリンク機構を備えることが好ましい。
【００１５】
第１のカバー部材及び第２のカバー部材は、そのいずれかが、それぞれ前記テーブル板及び前記端末収容部に固定されることとしてもよい。
第２のカバー部材は前記端末収容部に固定される場合には、リンク機構は、第１のカバー部材に固定される第１リンク部と、第２のカバー部材に固定される第２リンク部とがリンクされて構成され、端末収容部の回転に伴う第２リンク部の回転角に基づき、第１リンク部に関するテーブル板上面に水平方向の位置を定める。
【００１６】
また、第１のカバー部材がテーブル板に固定される場合には、リンク機構は、第１のカバー部材に固定される第１リンク部と、第２のカバー部材に固定される第２リンク部とがリンクされて構成され、端末収容部の回転に伴う第２リンク部の回転角に基づき、第２リンク部の回転半径を定める。
【００１７】
第１のカバー部材及び第２のカバー部材の双方が、端末収容部の回転に伴いそれぞれテーブル板の上面及び端末収容部の下面に沿って摺動可能に設けられる場合には、リンク機構は、第１のカバー部材に固定される第１リンク部と、第２のカバー部材に固定される第２リンク部とがリンクされて構成され、端末収容部の回転に伴う第２リンク部の回転角に基づき、第１リンク部に関する前記テーブル板上面に水平方向の位置に対する第２リンク部の回転半径とを定める。
【００１８】
リンク機構は、第１のカバー部材及び第２のカバー部材のいずれか一方に設けられるガイドピンと、他方に設けられ、前記ガイドピンと摺動可能に嵌合するガイド孔とを備えることとしてよい。
【００１９】
本発明に係る操作用テーブルは、前記端末収容部内のダストを前記貫通口へと送る送風手段を備えることとしてもよい。
また、一端を前記貫通口に接続され、他端を前記テーブル板の下方に配置して設けられるダクトを備えることとしてもよい。このときダクトの前記の他端は、前記の一端よりも断面積を小さく設けられることとしてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る操作用テーブルにより、操作端末の表示装置の背後に、操作端末の処理を行うコンピュータをレイアウトすることが可能となり、設置スペースの節約が図られる。
また、操作端末を収容する端末収容部内のダストをテーブル板の貫通口へとガイドすることにより、前記コンピュータが発生するダストが周囲にまき散らされることを防止することができる。
【００２１】
また端末収容部とテーブル板の貫通口とは、可撓性のある中空部材で連結されるため、オペレータが表示装置の角度を調節したためにテーブル板への端末収容部の取り付け角度が変わっても、追従することが可能である。
この中空部材は、その側面がカバー部材により周辺から遮蔽されるため、この中空部材がたわむことにより中空部材自体から発生するダストが周囲にまき散られることをも防止することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の操作用テーブルについて説明する。図１は、本発明の操作用テーブル１の正面図であり、図２はその側面図である。操作用テーブル１は、基本的にテーブル板１０、左右の側板１１、裏板１２及び底板１４とから構成されている。テーブル板１０の上面には、コンピュータ収容部６１及びディスプレイ収容部６２からなる端末収容部２が、またその下面には、キーボード３１等を載置するために引き出し部３が設けられている。更にテーブル板１０下部の両側辺部には、テーブル板１０を上下に昇降するための一対の摺動部材１５が固定されている。この摺動部材１５は、左右の側板１１に設けられた一対の案内部材１６によって案内されて上下動する。ディスプレイ収容部６２は、操作端末の表示部（ディスプレイ部）を外部から目視可能なディスプレイ表示部６３を備える。
【００２３】
テーブル板１０上に設置される端末収容部２は、その傾き角度を調整することができるようになっている。この傾動機構を図３に示す。端末収容部２の下部に設けられた軸部２１を樹脂製のＣ型筒状リング２２で取り囲み、この部分を半円状の凹部が形成された２つの固定部材２３，２３′により挟持し、両者をバネ２５を介して締付ボルト２４により締め付けることで、端末収容部２をテーブル板１０上に固定することによって行われている。バネ２５としては、例えば皿バネが適しており、締め付け力を調節できる。従って、手動で端末収容部２の角度を任意に調節できる。またテーブル板１０上にジョイスティック２６を設けてもよい。
【００２４】
またテーブル板１０上には、後述する第１カバー部材７０が、テーブル板１０に沿って軸部２１と直角方向に摺動可能に設けられており、端末収容部２のコンピュータ収容部６１には、後述する第２カバー部材８０が固定されて設けられている。
【００２５】
更にテーブル板１０の下部には、引き出し部３が設けられ、ここにキーボード３１等を載置することができる。引き出し部３の前部には、ほぼ同じ横巾の折り込み式のアームレスト部３２が蝶番等により取り付けられ、これは、引き出し部３が奥へ押し込まれたときには、垂直下方に折り込まれ、引き出し部３が手前に引き出されたときに、水平に跳ね上がるようになっている。この折り込み機構は、通常使用されている、例えば図示されていないストップピンと捩りコイルバネを使用することで形成される。なお、参照記号３３は、引き出し部３の引き出し用の取っ手である。またテーブル板１０の下部には、引き出し部３を案内するガイド３４が当然設けられているものである。
【００２６】
図４は、端末収容部２を取り外した状態におけるテーブル板１０の上面図である。図示するとおり、端末収容部２のコンピュータ収容部６１の直下には、テーブル板１０にその上面から下面まで貫通する貫通口９０が設けられている。この貫通口９０の大きさ及び形状は、端末収容部２のコンピュータ収容部６１の下面に設けられた開口（図示せず）と同じ大きさ及び形状に設けられている。そしてこの端末収容部２のコンピュータ収容部６１の下面に設けられた開口と、貫通口９０は対向して設けられている。
【００２７】
図５は、端末収容部２のコンピュータ収容部６１の下面に設けられた開口６４と、テーブル板１０の貫通口９０と、これらを接続する中空部材９１を説明するための、操作用テーブル１の部分透過側面図（図５（Ａ））及び部分透過後面図（図５（Ｂ））である。
なお、図５（Ａ）（Ｂ）では、開口６４と、テーブル板１０の貫通口９０と、これらを接続する中空部材９１の説明に不要なその他の要素については、記載を省略しているものもある。
【００２８】
図示するとおり、端末収容部２のコンピュータ収容部６１の下面に設けられた開口６４と、テーブル板１０の貫通口９０とは、可撓性のある中空部材である蛇腹部材９１によって連結されている。すなわち、蛇腹部材９１の一端は貫通口９０に、他端は開口６４に接続されている。したがって、コンピュータ等により端末収容部２のコンピュータ収容部６１内に発生したダストは、蛇腹部材９１により開口６４から貫通口９０にガイドされる。
【００２９】
また蛇腹部材９１は、可撓性を有するため、図２に示すようにテーブル板１０へ対する端末収容部２の取り付け角度が変わっても、これに追従して貫通口９０及び開口６４への接続を維持することが可能である。また、この中空部材は、蛇腹部材９１に限らず、それ自体弾性体を有する材料で構成することにより可撓性を有するものであってもよい。
【００３０】
貫通口９０へとガイドされたダストは、テーブル１が設置されるクリーンルーム等の室外に速やかに排出されることが望ましい。このため、図５に示す設置例では床１００に、ダストを室外に吸引するための吸引口１０２が設けられている。そして、操作用テーブル１は、貫通口９０を吸引口１０２とを接続するためのダクト９２及び９３を備えている。図示するとおり、ダクト９２及び９３は一端（貫通口側端）が貫通口９０に接続され、他端は、吸引口１０２に接続されるためにテーブル板１０の下方に配置して設けられる。
【００３１】
端末収容部２のコンピュータ収容部６１内に発生したダストを、できるだけ残さず貫通口９０へとガイドするためには、コンピュータ収容部６１下面の開口６４、貫通口９０及び蛇腹部材９１は断面積を出来るだけ大きく設け、途中経路でよどみが生じないようにすることが好適である。
【００３２】
一方で、吸引口１０２に接続されて伸長して設けられるダクト９３、操作用テーブル１のテーブル板１０下空間を有効活用する（例えば、プリンタ装置等を設置する）ために、断面積を出来るだけ小さく設けることが望ましい。
したがって、貫通口９０の断面積の大きさ及び形状と、吸引口１０２から伸長するダクト９３の断面積の大きさ及び形状を適合させるために、ダクト９２のダクト９３側端（下端）は、貫通口９０に接続される貫通口側端（上端）よりも断面積を小さく設けられる。
【００３３】
また操作用テーブル１は、端末収容部２内のダストを貫通口９０へと送るための送風手段であるファン９４をダクト９２内に備える。ここに、ファン９４の設置位置はダクト９２内に限らず、端末収容部２のコンピュータ収容部６１内に設けてもよく、中空部材である蛇腹部材９０内に設けることとしてもよい。
【００３４】
蛇腹部材９０は、端末収容部２内に発生したダストを貫通口９０、ダクト９２及び９３を介して排出口１０２へと排出し、周囲にまき散らされることを有効に防止する。
しかし蛇腹部材９０は、図２に示すようなテーブル板１０へ対する端末収容部２の取り付け角度の変化に伴いたわむため、このたわみによりそれ自体がダストの発生源となる。したがって、操作用テーブル１は、中空部材である蛇腹部材９０の側面をカバーする第１カバー部材７０及び第２カバー部材８０を備えている。
【００３５】
図６（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）に、第１カバー部材７０の側面図、平面図及び立面図（正面図）をそれぞれ示す。図６（Ｂ）及び（Ｃ）に図示するとおり、第１カバー部材７０は板状体を略コの字に折り曲げて製作されており、デーブル前面部分が開口している形状をなしている。そして背面部７４及び側面部７５を備え、側面部７５には、テーブル前面部分から蛇腹部材９０から発生するダストの流出を低減させるためのトラップ部分７６を備えている。
【００３６】
また図６（Ａ）に示すとおり第１カバー部材７０の側面部７５には、後述のテーブル板１０に設けられる第１ガイドピン７２と嵌合するための第１ガイド孔７３と、後述の第２カバー部８０に設けられる第２ガイド孔８３と嵌合するための第２ガイドピン７７が設けられている。
【００３７】
図７（Ａ）は、端末収容部２を取り外した操作用テーブル１の側面図であり、図７（Ｂ）は、これに第１カバー部材７０のみを取り付けたときの操作用テーブル１０の側面図であり、図７（Ｃ）はテーブル板１０上を摺動する第１カバー部材７０を示す図である。
図７（Ａ）に示すように、テーブル板１０上には、第１カバー部材７０の第１ガイド孔７３と嵌合するための第１ガイドピン７２と、これを支持するための支持部材７１が設けられる。
【００３８】
そして、第１カバー部材７０は、第１ガイド孔７３と第１ガイドピン７２とを嵌合することにより、テーブル板１０の上面に沿って、操作用テーブル１の前後方向に摺動可能にテーブル板に設けられる（図７（Ｂ）及び（Ｃ））。
【００３９】
図８（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）に、第２カバー部材８０の側面図、背面図及び平面図をそれぞれ示す。図８（Ｂ）及び（Ｃ）に図示するとおり、第２カバー部材８０もまた、板状体を略コの字に折り曲げて製作されており、デーブル前面部分が開口している形状をなしている。そして背面部８１及び側面部８２を備え、デーブル前面部分が開口している形状をなしている。そして図８（Ａ）に示すとおり第２カバー部材８０の側面部８２には、前述の第１カバー部７０に設けられる第２ガイドピン７７と嵌合するための第２ガイド孔８３が設けられている。
そして、第２カバー部材８０は、端末収容部２のコンピュータ収容部６１の下面に固定されている。
【００４０】
図９を参照して、第１カバー部材７０及び第２カバー部材８０の動作機能を説明する。
ここで説明のため、端末収容部２の回転軸２２’に平行な方向をｙ方向とし、テーブル板１０の上面内で前記ｙ方向に垂直な方向（すなわち操作用テーブル１の前後方向）をｘ方向とし、これらｘ、ｙ方向に垂直な方向（テーブル板１０の上面に垂直な方向）をｚ方向とする。
【００４１】
図９（Ｂ）に示すように、第１カバー部材７０及び第２カバー部材８０とは、これらカバー部材の遮蔽面である背面部７４及び８１並びに側面部７５及び８２の一部が重なるように設けられる。このとき、図９（Ａ）に示すように第２カバー部材８０は第１カバー部材７０の外側に配置され、第１カバー部材７０と第２カバー部材８０とが擦れてダストを発生しないよう所定の間隔をあけられている。
【００４２】
軸２２’を回転軸とする端末収容部２の回転運動に伴い、端末収容部２のコンピュータ収容部６１に設けられた第２カバー部材８０も軸２２’を回転軸とする回転運動を行う。
このとき、第２カバー部材８０のｙ方向の変位は生じない。且つ、この回転運動により第２カバー部材８０はｚ方向に変位するが、第２カバー部材８０は、第１カバー部材７０とは所定の間隔をあけて外側に配置されているため、第１カバー部材７０及び第２カバー部材８０のそれぞれの側面部７５及び８２が接触し擦れることはない。
【００４３】
しかし、第２カバー部材８０の前記回転運動により、第２カバー部材８０は回転軸２２’の直角方向成分を有する方向であるｘ方向へも変位を生じる。したがって、第２カバー部材８０が回転運動することにより、第１カバー部材７０及び第２カバー部材８０のそれぞれの背面部７４及び８１との間の間隔は変化する。
【００４４】
背面部７４及び８１との間の間隔がなくなり、接触して両者が擦れることによりダストが発生してしまうため、これを防止するために、第１カバー部材７０のガイドピン７７と、第２カバー部材８０のガイド孔８３は、第１カバー部材及び第２カバー部材の遮蔽面であるそれぞれの背面部７４及び８１の重複部分の間隔が、所定距離以上と維持するように、第１カバー部材及び第２カバー部材とをリンクするリンク機構を構成する。
【００４５】
ここに、ガイドピン７７は第１カバー部材７０に固定されて設けられる、上記リンク機構の第１リンク部であり、ガイド孔８３は、第２カバー部材８０に固定されて設けられる、上記リンク機構の第２リンク部である。
【００４６】
図９（Ｂ）を参照して、第１カバー部材７０のガイドピン７７と、第２カバー部材８０のガイド孔８３とによるリンク機構の動作を説明する。
端末収容部２が軸２２’を回転軸とする回転運動を行うと、これにともなって第２カバー部材８０及びガイド孔８３も軸２２’を回転軸とする回転運動を行う。図中の参照記号８０’及び８３’は、回転運動前の第２カバー部材及びガイド孔の位置を示し、参照記号８０及び８３は、回転運動後の第２カバー部材及びガイド孔の位置を示す。
また回転運動前において、第１カバー部材７０と第２カバー部材８０とは、所定の最小離隔距離ｄ０以上の距離ｄ１を隔てている。
【００４７】
このとき、第１カバー部材７０のガイドピン７７のｚ方向位置（すなわち第１カバー部材のガイドピン７７の、第２カバー部材８０のガイド孔８３とのリンク箇所のｚ方向位置）は一定である。また、第２カバー部材８０のガイド孔８３と軸２２’の距離（すなわち、前記回転運動に関する第２カバー部材８０のガイド孔８３の回転半径）も一定である。
【００４８】
したがって、第１カバー部材７０のガイドピン７７は、端末収容部２の回転運動に伴って、そのｘ方向位置（すなわち第１カバー部材のガイドピン７７の、第２カバー部材８０のガイド孔８３とのリンク箇所のｘ方向位置）を、前記回転運動に関するガイド孔８３の回転角により定められながら、ガイド孔８３内を摺動しつつ参照記号７７’の位置から参照記号７７の位置へとｘ方向に移動する。そしてガイドピン７７の移動に伴って、第１カバー部材も、参照記号７０’に示す位置から参照記号７０に示す位置へと移動し、第１カバー部材７０の背面部７４と第２カバー部材８０の背面部８１との距離を、所定の最小離隔距離ｄ０以上に維持する。
【００４９】
上記の例では、図９（Ｂ）の例では、第１カバー部材７０に固定されて設けられる第１リンク部をガイドピンとし、第２カバー部材８０に固定されて設けられる第２リンク部をガイド孔としたが、これらリンク機構は、図９（Ｃ）に示すように第１カバー部材７０に固定されて設けられる第１リンク部をガイド孔７８とし、第２カバー部材８０に固定されて設けられる第２リンク部をガイドピン８４としてもよい。
【００５０】
端末収容部２が軸２２’を回転軸とする回転運動を行うと、これにともなって第２カバー部材８０及びガイドピン８４も軸２２’を回転軸とする回転運動を行う。図中の参照記号８０’及び８４’は、回転運動前の第２カバー部材及びガイドピンの位置を示し、参照記号８０及び８４は、回転運動後の第２カバー部材及びガイドピンの位置を示す。
【００５１】
このとき、第１カバー部材７０のガイド孔７８のｚ方向位置は一定である。また、第２カバー部材８０のガイドピン８４と軸２２’の距離（すなわち、前記回転運動に関する第２カバー部材８０のガイドピン８４の回転半径であり、第２カバー部材８０のガイドピン８４と第１カバー部材のガイド孔７８とのリンク箇所の回転半径）も一定である。
【００５２】
したがって、ガイドピン８４は、端末収容部２の回転運動に伴って、その回転角により第１カバー部材７０のガイド孔７８のｘ方向位置を定めながら、ガイド孔８３内を摺動しつつ、ガイド孔を参照記号７８’の位置から参照記号７８の位置へとｘ方向に移動させる。そしてガイド孔７８の移動に伴って、第１カバー部材も、参照記号７０’に示す位置から参照記号７０に示す位置へと移動する。
【００５３】
上述の例では、第１カバー部材７０がテーブル板１０上に沿って摺動可能に設けられ、第２カバー部材８０が端末収容部２のコンピュータ収容部６１の下面に固定されて設けられる例を示したが、第１カバー部材７０がテーブル板１０上に固定されて設けられ、第２カバー部材８０が端末収容部２のコンピュータ収容部６１の下面に、該下面に沿って摺動可能に設けられることとしてよい。
ここに、コンピュータ収容部６１の下面は、前記回転軸２２’と平行な第１の方向線と、回転軸２２’と直交する第２の方向線とからなる。第２カバー部材８０は、端末収容部２のコンピュータ収容部６１の下面に沿って、前記第２の方向線方向に（すなわち回転軸２２’の直角成分を有する方向に）摺動可能に設けられる。
【００５４】
このとき、第１カバー部材７０の第１リンク部のｚ方向位置及びｘ方向位置とは固定されている。したがって、第２カバー部材８０の第２リンク部は、端末収容部２の回転運動に伴って、その回転角により自己の回転半径を定めながら移動する。そして、第２リンク部の移動に伴って、第２カバー部材８０も回転半径を変えながら回転運動を行う。
【００５５】
このように端末収容部２が軸２２’の周りを回転運動する際に、第２カバー部材８０の回転半径を変化させることによって、第１カバー部材７０の背面部７４及び第２カバー部材８０の背面部８１との間の間隔を最小離隔距離ｄ０以上となるように調節することが可能となる。
【００５６】
さらに、第１カバー部材７０がテーブル板１０上に、該上面に沿って摺動可能に設けられ、第２カバー部材８０が端末収容部２のコンピュータ収容部６１の下面に、該下面に沿って摺動可能に設けられることとしてよい。
【００５７】
このとき、第１カバー部材７０の第１リンク部のｚ方向位置のみが固定されている。したがって、第１カバー部材７０の第１リンク部及び第２カバー部材８０の第２リンク部は、端末収容部２の回転運動に伴ってその回転角に基づき、第１リンク部のｘ方向位置が第２リンク部の回転半径を定めながら、あるいは第２リンク部の回転半径が第１リンク部のｘ方向位置を定めながら移動する。そして、第１リンク部及び第２リンク部の移動に伴って、第１カバー部材も及び第２カバー部材もそれぞれｘ方向位置及び回転半径を変えながら回転運動を行う。
【００５８】
このように端末収容部２が軸２２’の周りを回転運動する際に、第１カバー部材のｘ方向位置及び／又は第２カバー部材の回転半径を変化させることによって、第１カバー部材７０の背面部７４及び第２カバー部材８０の背面部８１との間の間隔を最小離隔距離ｄ０以上となるように調節することが可能となる。第１リンク部及び第２リンク部は、上述の例のようにその一方をガイドピンとし他方をガイド孔として設けることができる。
【００５９】
図１０にテーブル板１０の昇降機構を示す。底板１４には、テーブル板１０を上下に昇降させるための昇降機構４が設けられている。
この昇降機構４は、ハンドル４１と、このハンドルを回すことによって回転する主回転軸４２と、主回転軸４２の一端に固定されたウォームギア４３と、主回転軸４２と直交するように配置され、その一端に固定され該ウォームギア４３と噛合するウォームホィール４４と、他端に固定された平大歯車４５とを有する従動回転軸４６と、従動回転軸４６と平行に配置され、その一端に固定され該平大歯車４５と噛合する平小歯車４７を有するボールネジ部材４８と、このボールネジ部材４８に螺合し、ボールネジ部材４８の回転によって上下動するナット部材４９とから構成されている。
したがって、手動によってハンドル４１を回すと、主回転軸４２が回転し、これに直交して配置されている従動回転軸４６がウォームギア４３とウォームホィール４４との関係で回転し、更に平歯車４５，４７によってボールネジ部材４８が回転して、ナット部材４９を上下動する。ハンドル４１を逆方向に回転すると、ナット部材も逆方向に動く。
【００６０】
ナット部材４９は、テーブル板１０に取り付けられた一対の摺動部材１５に連結しており、これにより、ハンドル４１を回すことでテーブル板１０が上下動できるようになっている。なお、ナット部材４９には、ボールネジ部材４８を収容するための一端が閉鎖された筒状体５０が取り付けられている。この大小の平歯車４５，４７の歯数比は、任意に設定できるものである。
【００６１】
また、操作用テーブル１の左右の側板１１間に棚部１７を取り付けて、テーブル板１０の下にプリンタ５を棚部１７上に載置できるようにしてもよい。更には、操作用テーブル１の据付時の水平度を調整するためのアジャスタボルト６、及びテーブルの移動を容易にするためのキャスタ７を、底板１４の四隅に設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の操作用テーブルの正面図である。
【図２】本発明の操作用テーブルの側面図である。
【図３】端末収容部の傾動機構の拡大図である。
【図４】テーブル板の上面図である。
【図５】（Ａ）は本発明の操作用テーブルの部分透過側面図であり、（Ｂ）は部分透過後面図である。
【図６】（Ａ）は第１カバー部材の側面図であり、（Ｂ）は平面図であり、（Ｃ）は正面図である。
【図７】（Ａ）操作用テーブルの側面図であり、（Ｂ）は操作用テーブルに第１カバー部材のみを取り付けたときの側面図であり、（Ｃ）はテーブル板上を摺動する第１カバー部材の説明図である。
【図８】（Ａ）は第２カバー部材の側面図であり、（Ｂ）は後面図であり、（Ｃ）は平面図である。
【図９】（Ａ）テーブル板面上における第１カバー部材及び第２カバー部材の配置レイアウトを示す図であり、（Ｂ）は第１カバー部材にガイド孔を設け第２カバー部材にガイドピンを設けたときの、これらカバー部材の動作説明図であり、（Ｃ）は第１カバー部材にガイドピンを設け第２カバー部材にガイド孔を設けたときの、これらカバー部材の動作説明図である。
【図１０】テーブル板の昇降機構の拡大図である。
【符号の説明】
【００６３】
１…操作用テーブル
２…端末収容部
１０…テーブル板
６１…コンピュータ収容部
６２…ディスプレイ収容部
７０…第１カバー部材
７７…ガイド孔
８０…第２カバー部材
８３…ガイドピン
９０…貫通口
９１…中空部材
９２、９３…ダクト
９４…ファン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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