(57)【要約】【課題】  レーザ集光位置（ないしは粒子位置）に対する液体の相対速度ｖに基づいて正しい粘度を測定する。【解決手段】  レーザ光源２から照射されたレーザ光４を、ガルバノミラー６を介して集光レンズ８で集光する。ガルバノミラー６を走査させて粒子１６を集光位置１０にトラップし、矢印１２のように円を描くように変位させる。円運動の速度を増大させ、粒子１６が集光位置１０から離脱することを顕微鏡３０によって観察し、特定スイッチ３２で離脱時を特定する。トラップされない粒子１４，１８の動きをビデオカメラ２８が接続された顕微鏡２６によって観察し、コンピュータ３４によって画像解析することによって、液体２０の流動速度と流動方向を計測する。計測された液体２０の流動速度と流動方向によって、トラップされた粒子が離脱したときの動きを補正し、正確な粘度を測定する。【選択図】  図１
2005091186.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザを照射して液体中に浮遊している粒子を液体支持体に対して移動させる工程、
液体支持体に対して移動する粒子の液体支持体に対する相対速度を特定する工程、
特定された相対速度に、液体支持体に対して流動する液体の流動速度を補正し、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算する工程、
計算された粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を用いて、液体の粘度を計算する工程、
を含む液体の粘度測定方法。
【請求項２】
レーザを照射して粒子をレーザの集光位置にトラップし、その集光位置を液体支持体に対して移動させることによって、粒子を液体支持体に対して移動させることを特徴とする請求項１の粘度測定方法。
【請求項３】
レーザを照射して粒子に光圧を作用させることによって、粒子を液体支持体に対して移動させることを特徴とする請求項１の粘度測定方法。
【請求項４】
粒子存在部位における液体の流動速度を直接的に計測することを特徴とする請求項１から３のいずれかの粘度測定方法。
【請求項５】
液体支持体に対して複数方向に粒子を移動させ、方向別の粒子の移動速度から液体支持体に対して流動する液体の流動速度を潜在的に特定し、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算することを特徴とする請求項１から３のいずれかの粘度測定方法。
【請求項６】
レーザを照射して液体中に浮遊している粒子をレーザの集光位置にトラップする工程、
液体支持体に対する集光位置の移動速度を増大させながら、及び／又は、粒子をトラップしているレーザ出力を低下させながら、液体支持体に対して集光位置を移動させている間に、集光位置にトラップされていた粒子が集光位置から離脱した時の液体支持体と集光位置の相対速度とレーザ出力を特定する工程、
集光位置から離脱した時の液体支持体と集光位置の相対速度に、集光位置に対する液体の流動速度を補正し、「集光位置から離脱した時の粒子と粒子存在部位における液体の相対速度」を計算する工程、
計算された「集光位置から離脱した時の粒子と粒子存在部位における液体の相対速度」と特定されたレーザ出力から液体の粘度を計算する工程、
を含む液体の粘度測定方法。
【請求項７】
レーザを照射して液体中に浮遊している粒子に光圧を作用させて移動させる工程、
光圧によって移動する粒子の速度を特定する工程、
特定された粒子速度に、粒子存在部位における液体の流動速度を補正し、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算する工程、
計算された粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を用いて、液体の粘度を計算する工程、
を含む液体の粘度測定方法。
【請求項８】
液体を支持する液体支持体、
レーザを照射して液体中に浮遊している粒子を液体支持体に対して移動させるレーザ照射装置、
液体支持体に対する粒子の移動速度を特定する手段、
前記移動速度に、液体支持体に対する粒子存在部位における液体の流動速度を補正し、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算する手段、
を備える液体の粘度を示す指標の測定装置。
【請求項９】
液体を支持する液体支持体、
液体中に浮遊している粒子を集光位置にトラップするレーザ照射装置、
液体支持体と集光位置を相対移動させる手段、
液体支持体に対する粒子の移動速度を特定する手段、
液体支持体に対して流動する液体の流動速度を少なくとも潜在的に特定する手段、
集光位置から離脱した時の粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を特定する手段、
を備えている液体の粘度を示す指標の測定装置。
【請求項１０】
液体を支持する液体支持体、
液体中に浮遊している粒子に光圧を加えて粒子を移動させるレーザ照射装置、
液体支持体に対する粒子の移動速度を特定する手段、
液体支持体に対して流動する液体の流動速度を少なくとも潜在的に特定する手段、
粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を特定する手段、
を備えている液体の粘度を示す指標の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザを用いて液体の粘度を測定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザを用いて液体の粘度を測定する技術が開発されている。この技術によると、レーザを用いないで液体の粘度を測定する方法に比べて、微小領域（局所）の粘度を測定することができる。
非特許文献１に、レーザトラッピング法を用いた粘度測定方法が開示されている。この方法では、液体中に浮遊している粒子にレーザを照射して粒子を集光位置にトラップし、トラップした状態で液体支持体とレーザ照射装置を相対的に移動させることによってトラップされた粒子を液体に対して相対的に移動させて粒子に液体による粘性抵抗力を作用させ、集光位置にトラップされていた粒子が粘性抵抗力によって集光位置から離脱した時を観測する。集光位置から離脱した時に粒子に作用していたトラップ力（粘性抵抗力）や粒子の速度や粒子の半径から、ストークスの法則に基づいて粘度を求めることができる。
【０００３】
【非特許文献１】岩下靖孝著、東京大学修士論文、２０００年度、ｐ．７−８
【０００４】
レーザトラッピング法では、ストークスの法則に基づいて液体の粘度を求める。ストークスの法則によると、粘度ηの液体中を半径Ｒの粒子が相対速度ｖで動くとき、その粒子に作用する粘性抵抗力Ｆは、式（１）で与えられる。
Ｆ＝６πηＲｖ      ・・・（１）
【０００５】
レーザトラッピング法では、レーザの集光位置から粒子が離脱する時の粘性抵抗力Ｆがレーザトラップ力に等しいと考える。一つの方法では、レーザでトラップされている粒子の液体に対する相対速度ｖを一定に維持しながら、レーザの出力を徐々に低下させてレーザトラップ力を低下させていく。この方法では、レーザの集光位置から粒子が離脱する時のレーザトラップ力（レーザ出力から判明する）を計測する。
【０００６】
式（１）から粘度ηについての式（２）が導かれる。
η＝（１／６πＲ）（Ｆ／ｖ）      ・・・（２）
【０００７】
式２に、粒子の半径Ｒと、レーザの集光位置から粒子が離脱した時のレーザトラップ力Ｆと、レーザの集光位置から粒子が離脱した時の相対速度ｖを代入すると、液体の粘度ηを求めることができる。
【０００８】
レーザトラッピング法の他の一つの方法では、レーザ出力を一定に維持することによってレーザトラップ力を一定に維持しながら、レーザでトラップされている粒子の液体に対する相対速度ｖを増速していく。この方法では、レーザの集光位置から粒子が離脱した時の相対速度ｖを計測する。
式２に、粒子の半径Ｒと、一定に維持されているレーザトラップ力Ｆと、レーザの集光位置から粒子が離脱した時の相対速度ｖを代入すると、液体の粘度ηを求めることができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
非特許文献１では、粘度測定装置にセットされた液体が静止しているものとして扱う。例えば水のように低粘度の液体は、粘度測定装置にセットされた後にすみやかに流動し終えて平坦な水面に広がって安定するために、粘度測定中の水は静止しているとみなすことができる。したがって、計測された相対速度ｖ（正確には液体支持体とレーザ集光位置の相対速度ｖ）の値をそのまま粘度ηの計算に用いることができる。
しかしながら液体の粘度が高いと、液体支持体にセットされた液体はその後もなかなか平坦に落ち着かず、流動しつづけることが多い。例えば高粘度オイルなどは、ゆっくりと長時間流れつづける。粘度測定中の液体が流動し続けていると、計測された相対速度ｖは、液体支持体とレーザ集光位置の相対速度ではあっても、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度ではないことになり、粘度測定中の液体の流動現象に起因して、不正確な粘度を計算してしまうことになる。
【００１０】
液体の流動速度は一般に３次元で表わされるが、液体支持体にセットされた液体の厚さは面方向の広がりに比して小さいので、液体支持面と平行な２次元面内の流動で近似することができる。以下ではこの面をｘ−ｙ平面とする。
液体支持体に対するレーザ集光位置の相対速度をｕ（ｘ方向成分ｕｘ，ｙ方向成分ｕｙ）とし、液体支持体に対する液体の流動速度をｗ（ｘ方向成分ｗｘ，ｙ方向成分ｗｙ）とし、レーザ集光位置に対する液体の相対速度をｖ（ｘ方向成分ｖｘ，ｙ方向成分ｖｙ）とすると、ｖｘ＝ｕｘ−ｗｘとなり、ｖｙ＝ｕｙ−ｗｙとなる。従って、下記３式が導かれる。
ｖ＝｛ｕ２＋ｗ２−２（ｕｘｗｘ＋ｕｙｗｙ）｝１／２      ・・・（３）
液体支持体に対して液体が流動していなければ、ｗｘ＝ｗｙ＝ｗ＝０となり、ｖ＝ｕが成立するが、液体が流動してｗ≠０であるとｖ≠ｕとなる。
レーザで粘度を測定する場合、レーザ集光位置（ないしは粒子位置）に対する液体の相対速度ｖが重要であり、ｖ≠ｕであるのであれば、レーザ集光位置（ないしは粒子位置）と液体支持体の相対速度ｕから粘度を計算すると、不正確な粘度を計算してしまうことになる。
【００１１】
本発明では、高粘度の液体は粘度測定中も流動し続けることを考慮し、レーザ集光位置（ないしは粒子位置）に対する液体の相対速度ｖに基づいて正しい粘度を測定し、レーザ集光位置と液体支持体の相対速度ｕから不正確な粘度を測定してしまうことがない技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
（課題を解決するための一つの手段）
本発明に係わる一つの粘度測定方法では、レーザを照射して液体中に浮遊している粒子を液体支持体に対して移動させる工程と、液体支持体に対して移動する粒子の相対速度を特定する工程と、特定された相対速度に、液体支持体に対して流動する液体の流動速度を補正し、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算する工程と、そうして計算された粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を用いて液体の粘度を計算する工程とを実施する。
（その作用）
本方法では、液体支持体と粒子の相対速度から液体の粘度を計算しない。液体支持体と粒子の相対速度に、液体支持体に対して流動する液体の流動速度を補正し、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算する。そして、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を用いて液体の粘度を計算する。
この方法によると、粘度測定中の液体が流動しつづけても、正しい粘度を測定することができる。
【００１３】
（課題を解決するための一つの好ましい手段）
レーザを照射して粒子をレーザの集光位置にトラップし、その集光位置を液体支持体に対して移動させることによって、粒子を液体支持体に対して移動させることができる。
粒子を液体支持体に対して移動させるには、液体支持体を固定して粒子をトラップした集光位置を移動させるか、粒子をトラップしたまま集光位置を固定して液体支持体を移動させることによって行なわれる。
この方法によると、レーザトラッピング法によって、粘度が計測される。粘度測定中の液体が流動しつづけても、正しい粘度を測定することができる。
【００１４】
（課題を解決するための一つの好ましい手段）
レーザを照射して粒子に光圧を作用させることによって、粒子を液体支持体に対して移動させることもできる。
この方法では、レーザの光圧によって粒子を液体支持体に対して移動させる。この場合にも、液体支持体に対して流動する液体の流動速度を補正することが有用であり、流動速度分を補正して粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算することによって、粘度測定中の液体が流動しつづけても、正しい粘度を測定することができる。
【００１５】
（課題を解決するための一つの好ましい手段）
粒子存在部位における液体の流動速度を直接的に計測してもよい。この場合には、液体支持体に対して移動する粒子の相対速度と、液体支持体に対して流動する液体の流動速度を特定し、両者の差を計算することによって流動速度の影響を除去し、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算することができる。
【００１６】
（課題を解決するための一つの好ましい手段）
液体支持体に対して複数方向に粒子を移動させ、方向別の粒子の移動速度から液体支持体に対して流動する液体の流動速度を潜在的に特定し、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算するようにしてもよい。
液体支持体に対して複数方向に粒子を移動させると、方向別の粒子の移動速度に液体の流動速度が加味される。このことから、液体支持体に対して流動する液体の流動速度を数学的に計算することが可能となり、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算することができる。この数学的プロセスでは、液体の流動速度を明示的に計算する必要がなく、粒子と液体の相対速度を直接的に計算することができる。粒子と液体の相対速度を直接的に計算する場合でも、液体の流動速度を計算しようとすれば計算できる論理で計算することになる。むしろ、暗黙のうちに液体の流動速度を計算し、それを利用して粒子と液体の相対速度を計算するということもできる。明示的に解かないで、その先に存在する量を直接的に計算することを、ここでは潜在的に特定するという。
【００１７】
（課題を解決するための一つの好ましい手段）
レーザトラッピング法に本発明を適用する場合、レーザを照射して液体中に浮遊している粒子をレーザの集光位置にトラップする工程と、液体支持体に対する集光位置の移動速度を増大させながら、及び／又は、粒子をトラップしているレーザ出力を低下させながら液体支持体に対して集光位置を移動させている間に、集光位置にトラップされていた粒子が集光位置から離脱した時の液体支持体と集光位置の相対速度とレーザ出力を特定する工程と、集光位置から離脱した時の液体支持体と集光位置の相対速度に、集光位置に対する液体の流動速度を補正し、「集光位置から離脱した時の粒子と粒子存在部位における液体の相対速度」を計算する工程と、計算された「集光位置から離脱した時の粒子と粒子存在部位における液体の相対速度」と特定されたレーザ出力から液体の粘度を計算する工程とを実施する。
レーザトラッピング法では、粒子と液体の相対移動によって粒子に加わる粘性抵抗力によってトラップが破られる時を特定する。トラップが破られる現象を得るために、液体支持体に対して集光位置を移動させる。移動中に、液体支持体に対する集光位置の移動速度を増大させるか、あるいは、粒子をトラップしているレーザ出力を低下させることによって、トラップが破られて集光位置にトラップされていた粒子が集光位置から離脱する。
従来は、集光位置から離脱した時の液体支持体と集光位置の相対速度から粘性を計算していたために、液体支持体に対して液体が流動していると、液体支持体と集光位置の相対速度は、粒子と液体の相対速度に一致せず、誤った粘度を計算してしまう。本方法では、集光位置に対する液体の流動速度を補正し、「集光位置から離脱した時の粒子と粒子存在部位における液体の相対速度」を特定し、この相対速度から粘度を計算するために正しい粘度を計算することができる。
【００１８】
（課題を解決するための一つの好ましい手段）
レーザによって粒子に光圧を加える測定方法では、レーザを照射して液体中に浮遊している粒子に光圧を作用させて移動させる工程と、光圧によって移動する粒子の速度を特定する工程と、特定された粒子速度に、粒子存在部位における液体の流動速度を補正し、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算する工程と、計算された粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を用いて液体の粘度を計算する工程とを実施する。
この方法の場合も、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を用いて液体の粘度を計算するために、測定中の液体が流動していても、正確な粘度を計算することができる。
【００１９】
（課題を解決するための一つの手段）
本発明は、液体の粘度を示す指標を測定する装置をも実現した。その装置は、液体を支持する液体支持体と、レーザを照射して液体中に浮遊している粒子を液体支持体に対して移動させるレーザ照射装置と、液体支持体に対する粒子の移動速度を特定する手段、前記移動速度に、液体支持体に対する粒子存在部位における液体の流動速度を補正し、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算する手段とを備える。
この装置で計算される粒子と粒子存在部位における液体の相対速度は、液体の粘度を示す指標であり、この指標が得られると正しい粘度を知ることができるようになる。
【００２０】
（課題を解決するための一つの好ましい手段）
レーザトラッピング法に用いる装置の場合、液体を支持する液体支持体と、液体中に浮遊している粒子を集光位置にトラップするレーザ照射装置と、液体支持体と集光位置を相対移動させる手段と、液体支持体に対する粒子の移動速度を特定する手段と、液体支持体に対して流動する液体の流動速度を少なくとも潜在的に特定する手段と、集光位置から離脱した時の粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を特定する手段を備える。
液体支持体に対する液体の流動速度を少なくとも潜在的に特定するという場合、流動速度を直接的に測定する手段、計算して明示的に計算する手段の他、明示的には計算しないが計算される流動速度と整合する粒子と液体の相対速度を直接的に計算する手段が含まれる。
この装置によると、測定中も流動しつづける液体の粘度を正確に計算するのに必要な指標が得られ、流動しつづける液体の粘度を正確に知ることができるようになる。
【００２１】
（課題を解決するための一つの好ましい手段）
レーザによって粒子に光圧を加える場合には、液体を支持する液体支持体と、液体中に浮遊している粒子に光圧を加えて粒子を移動させるレーザ照射装置と、液体支持体に対する粒子の移動速度を特定する手段と、液体支持体に対して流動する液体の流動速度を少なくとも潜在的に特定する手段と、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を特定する手段を設ける。
この装置によると、測定中も流動しつづける液体の粘度を正確に計算するのに必要な指標が得られ、流動しつづける液体の粘度を正確に知ることができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に説明する実施例の主要な特徴を最初に列記する。
（形態１）
液体中に浮遊している粒子にレーザを照射して粒子をレーザの集光位置にトラップする工程と、集光位置にトラップされた粒子を液体支持体に対して相対移動させ、集光位置にトラップされた粒子が集光位置から離脱した時の相対速度を計測する工程と、液体支持体に対する「トラップされた粒子の存在部位における液体の流動速度」を計測する工程と、両工程で計測された「集光位置から離脱した時の相対速度」と「流動速度」から「集光位置から離脱した時の粒子と粒子の存在部位における液体の相対速度」を計算する工程と、計算された「集光位置から離脱した時の粒子と粒子の存在部位における液体の相対速度」から液体の粘度を計算する工程とを実施する。
この場合、液体支持体を固定しておいてレーザの集光位置を移動させてもよいし、レーザの集光位置を固定しておいて液体支持体を移動させてもよい。
（形態２）
液体中に浮遊している粒子にレーザを照射して粒子をレーザの集光位置にトラップする工程と、集光位置にトラップされた粒子を液体の流動方向に相対移動させ、集光位置にトラップされた粒子が集光位置から離脱した時の相対速度（液体支持体と集光位置の相対速度）を計測する工程と、集光位置にトラップされた粒子を液体の流動方向の反対方向に相対移動させ、集光位置にトラップされた粒子が集光位置から離脱した時の相対速度（液体支持体と集光位置の相対速度）を計測する工程と、計測された２つの「集光位置から離脱した時の相対速度」の平均値を計算する工程と、計算された平均値から液体の粘度を計算する工程を実施する。
本方法では、トラップした粒子を流動方向に移動させて、集光位置から離脱したときの相対速度を計測した後、トラップした粒子を反対方向に移動させて、集光位置から離脱したときの相対速度を計測し、これらの平均値を計算する。平均値を計算すると、液体の流動による影響が打ち消され、液体に対する粒子の移動速度が計算される。
【００２３】
（形態３）
液体中に浮遊している粒子にレーザを照射して粒子を光圧によって移動させる工程と、光圧によって移動する粒子の速度を計測する工程と、粒子の存在部位における液体の流動速度を計測する工程と、前記両工程で計測された「粒子の速度」と「流動速度」から、「粒子と粒子の存在部位における液体の相対速度」を計算する工程と、「粒子と粒子存在部位における液体の相対速度」から液体の粘度を計算する工程を実施する。
本方法では、粒子をトラップして粒子に液体の粘性抵抗力を作用させる代わりに、レーザの光圧によって粒子を移動させることによって粒子に液体の粘性抵抗力を作用させる。粒子をトラップするためにはレーザを連続的に照射しなければならず高出力のレーザが必要となるが、それに比して低出力のレーザで足りるため、液体や粒子の温度が上昇して変質してしまうことを回避することができる。
（形態４）
液体中に浮遊している粒子にレーザを照射して粒子を光圧によって液体の流動方向に移動させる工程と、光圧によって流動方向に移動する粒子の速度を計測する工程と、液体中に浮遊している粒子にレーザを照射して粒子を光圧によって反対方向に移動させる工程と、光圧によって反対方向に移動する粒子の速度を計測する工程と、前記両工程で計測された２つの「粒子の速度」の平均値を計算する工程と、計算された平均値から液体の粘度を計算する工程を実施する。
本方法では、粒子を光圧によって液体の流動方向に移動させたときの粒子の速度を計測した後、粒子を光圧によって反対方向に移動させたときの粒子の速度を計測し、これらの速度の平均値を計算する。平均値を計算すると、液体の流動による影響が打ち消され、「粒子と粒子存在部位における液体の相対速度」によって粘度の計算を行なうことができる。
【００２４】
（形態５）
測定対象の液体は、塗料や高分子材料等の各種の液体である。液体の形態は特に限定されず、薄膜や積層膜を有するものや、２種類以上の相から成る浮遊系であってもよい。微小体積しかもたない各膜や各相毎に粘度を計測することが可能である。
（形態６）
測定対象の液体の温度を変化させる手段を有する。適当な任意の温度で粘度を測定することができる。
【００２５】
（形態７）
粒子は、沈殿することなく液体中で浮遊するものであればよい。沈殿を防ぐために粒子の表面に処理を施してもよい。粘度の計測のために液体に粒子を添加してもよいが、予め液体中に含まれている粒子を用いることができる。
（形態８）
粒子の形状は特に限定されないが、球形であることが好ましい。球形の粒子の場合は前記式（１）が成立するので、計測が容易で計測精度が高くなる。粒子の径は、計測対象の液体のかたまりの３次元寸法より十分小さいことが要求される。十分小さい場合に前記式（１）が成立するためである。粒子径の分布は、できるだけ小さい範囲にとどまることが好ましい。粘度の算出には粒子径が不可欠であり、分布範囲が十分小さいと、平均粒子径を粘度計算上の粒子径として用いることができ、粘度の測定の都度粒子径を計測する必要がないのに対し、分布範囲が大きいと、粘度測定の都度粒子径を計測しなければならないためである。
（形態９）
レーザでトラップする粒子は、レーザに対して透明であることが望ましい。粒子の材料としては、吸収、散乱、反射が小さいもので、屈折率が液体よりも大きいことが望ましいため、液体との関係で選択する必要がある。レーザの光圧で移動する粒子は、反射の大きいものが望ましい。
（形態１０）
液体中の粒子の濃度は、レーザ照射する粒子を探すのに必要以上の時間がかからない範囲でできるだけ低いことが好ましい。濃度が高いと液体の粘度に対する粒子の濃度の影響が無視できなくなるためである。
（形態１１）
レーザを照射する粒子と比較対照する他の粒子は、レーザの影響を受けない範囲でできる限り照射位置に近い粒子であることが望ましい。距離が近い粒子であれば、その粒子の流動速度を、レーザを照射する粒子の存在部位における液体の流動速度とみなすことができるためである。
（形態１２）
レーザを照射する粒子と比較対照する他の粒子は、できる限り多いことが好ましい。多くの粒子の平均を取ることで、誤差が小さくなるためである。
【００２６】
（形態１３）
レーザトラッピング法に用いるレーザ照射装置は、レーザ光源と集光光学系を有する。光圧によって粒子を反発するのに用いるレーザ照射装置は、指向性の良いレーザ光源を有するだけでもよいが、集光光学系を有するものがより好ましい。
（形態１４）
レーザ光源として、固体レーザ、気体レーザ、半導体レーザ等、各種のレーザを用いることができる。レーザの波長は、液体および粒子に及ぼす影響が無いものが望ましく、具体的には、液体および粒子による吸収等ができる限り小さいことが望ましい。レーザは強度勾配を持つガウシアンビームを用いることが好ましい。レーザのパワーは、液体および粒子に悪影響を及ぼさない範囲でできる限り大きいことが望ましい。レーザが粒子をトラップする力の大きさや、粒子を運動させる光圧の大きさは、レーザパワーに比例し、トラップ力や光圧が大きいほど高精度の測定が可能となるためである。また、レーザのパワーは可変であることが望ましい。
（形態１５）
集光光学系は、レーザ光源からのレーザを測定対象の液体内に焦点を結ぶように集光する。
（形態１６）
集光光学系と液体との距離は短い方が好ましい。集光位置のスポット径は焦点距離に比例するため、距離が短い方がスポット径が小さく、集光位置でのパワー密度が高くなってトラップ力や光圧が大きくなるためである。照射の向きは、レーザトラッピング法の場合は液面に対して垂直であることが望ましく、レーザ光圧法の場合は液面にできる限り平行であることが望ましい。液体の流動の補正が容易となるためである。
【００２７】
（形態１７）
相対移動装置は、集光位置を移動させてトラップした粒子に液体の粘性抵抗力を作用させるものでもよいし、液体を移動させてトラップした粒子に粘性抵抗力を作用させるものでもよい。前者ではガルバノミラーを用いることができ、後者ではピエゾ素子等の微動手段を用いることができる。後者が簡単かつ低コストで製作できるので好ましい。
（形態１８）
相対移動装置は、トラップした粒子、あるいは液体を、等速直線運動させるものが好ましい。粘度の算出に前記式（１）のストークスの法則を用いるためである。前記式（１）の粘性抵抗力に比べて慣性力が無視できる場合は、等加速度直線運動、等速円運動、単振動をさせるものでもよい。運動の方向は限定されないが、粘度の算出を容易とするために、レーザの入射面と直行する２次元の面内とすることが好ましい。
【００２８】
（形態１９）
粒子計測装置として、顕微鏡、ビデオカメラ、画像解析装置等を用いることができる。粒子計測装置が自動計測を行う場合は、光検出器を有し、レーザと、レーザが照射された粒子との相互作用光を光検出器で検出することが好ましい。光圧で移動する粒子の計測を行なう場合は、光検出器は、レーザとは異なる光源からの光と、レーザが照射された粒子との相互作用光を検出してもよい。光検出器として、例えば、フォトダイオード等の半導体光検出器や光電子増倍管等を用いることができる。小さな光検出器を用いることで粘度測定装置全体の小型化を図れるだけでなく、簡単かつ低コストとなる。他に、静電気容量式運動計等の電気的装置、粒子を磁性体粒子にして磁気センサを用いる磁気的装置、超音波運動計等の音波的装置等を用いてもよい。
（形態２０）
粒子による反射、吸収、散乱、蛍光等の相互作用による光（反射光、透過光、散乱光、蛍光等）は粒子に光が照射されていると生じるが、照射されなくなると生じなくなる。したがって、光検出器を有する粒子計測装置で粒子が光の照射位置にとどまっているか否かによって運動を検出する場合は、粒子による相互作用光の有無を検出することによって運動を検出することができる。
（形態２１）
流動計測装置として、顕微鏡、ビデオカメラ、画像解析装置等を用いることができる。流動計測装置が自動計測を行う場合は、光検出器を有することが好ましい。
（形態２２）
流動計測装置は、粒子計測装置と必ずしも別個に設ける必要はない。粒子計測装置と兼用することも可能である。
【実施例】
【００２９】
（第１実施例）図１は、本発明を具現化した第１実施例の粘度測定装置の概略構成を模式的に示す。粘度測定装置は、レーザ光源２と、ガルバノミラー６と、集光レンズ８と、粒子計測用の顕微鏡３０と、流動計測用の顕微鏡２６とそれに接続されたビデオカメラ２８と、コンピュータ３４と、テーブル２４等で構成され、テーブル２４上にガラス板２２がセットされて用いられる。ガラス板２２の上面には、粘度の測定対象の液体２０が塗布されている。ガラス板２２はテーブル２２上に水平にセットされるが、液体２０が高粘度であると、ガラス板２２の上面に塗布された液体２０は長時間にわたって流動しつづける。
【００３０】
液体２０には、粒径分布範囲が非常に小さい半径１μｍの球状シリカが１０−３ｗｔ％程度添加されている。液体２０は、ガラス板２２上に膜厚が５０μｍなるように塗布されている。図１では説明の便宜のために３つの球状シリカ１４，１６，１８のみが表わされているが、実際には多数の球状シリカが含まれている。これらの球状シリカ１４，１６，１８は、液体２０が同一方向に同一速度で流動しているとみなせる微小範囲内に存在している。液体２０は高粘度であり、ガラス板２２の上面に塗布されたあと長時間にわたって流動しつづける。
【００３１】
レーザ光源２は、波長が５２３ｎｍのＹＡＧレーザである。集光レンズ８は、膜厚が５０μｍの液体２０中の一点にレーザ４を集光する。集光位置に粒子が存在すると、その粒子は集光位置にトラップされる。
【００３２】
ガルバノミラー６は、集光位置がガラス板２２の上面と平行な面内で円を描くように集光位置１０を変位させる。集光位置１０にトラップされた粒子１６は、集光位置１０が円を描くのに追従して液体２０中を移動する。集光位置１０にトラップされた粒子１６が液体２０中を移動すると、粒子１６には液体２０から粘性抵抗力が作用する。粘性抵抗力は、粒子１６を集光位置１０にトラップしておくことを打ち破ろうとする。
【００３３】
顕微鏡３０を利用することによって、観測者がトラップ粒子１６の移動を観測するができる。観測者は、トラップ粒子１６が液体の粘性抵抗力によって集光位置１０から離脱した時に、特定スイッチ３２を押す。特定スイッチ３２が押されたことがコンピュータ３４に入力され、トラップ粒子２６が集光位置１０から離脱した時を特定することができる。
顕微鏡２６の映像はビデオカメラ２８で撮影記録され、コンピュータ３４で画像解析される。ビデオカメラ２８に撮影されたトラップされていない粒子１４，１８（以下、フリー粒子１４，１８という）の像をコンピュータ３４によって画像解析することによって、トラップ粒子１６が存在している部位における液体２０の流動速度と流動方向を計測することができる。
【００３４】
第1実施例による粘度の測定方法について説明をする。測定に先だって、図３に例示する検量線を得ておく。
検量線を得るためには、レーザを用いない既存の方法によって粘度が既知の液体に対して、半径が既知の粒子を浮遊させ、レーザによってその粒子を集光位置にトラップする。その状態で、集光位置をテーブル２４に対して変位させ、トラップ粒子に作用する粘性抵抗力によって粒子を集光位置にトラップしておくことができなくなったときの、テーブル２４に対する集光位置の移動速度と、粒子をトラップしていたレーザの出力を検出する。レーザの出力を変化させ、移動速度を変化させ、粘度を異にする各種の液体に対して粒子をトラップしておくことができなくなったときの「粘度と、速度と、レーザ出力」の関係を整理することによって、図３の検量線を得ることができる。
ただし検量線を得るときには、流動する液体を利用しないことが肝要である。高粘度液体でも相当程度に時間をかければ流動が終了する。流動が終了した液体を用いて計測すれば、テーブル２４に対する集光位置の移動速度は、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度に等しくなる。図３の検量線は、「粘度と、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度と、レーザ出力」の関係を図示している。
【００３５】
検量線を得ておいてから、粘度が未知の液体２０の粘度測定処理を開始する。最初に、顕微鏡２６とビデオカメラ２８とコンピュータ３４によって、フリー粒子１４，１８の運動を観測する。図２の矢印３６，３８は、観測されたフリー粒子１４，１８の移動方向と移動速度を例示しており、図示の方向に速度２μｍ／ｓで等速直線流動していることが計測された例を示している。
次に、ガルバノミラー６によってレーザ光源２の集光位置１０を調整し、粒子１６をトラップする。粒子１６をトラップした状態で、ガルバノミラー６で、集光位置を半径５μｍ、周期１０ｓの円運動となるように移動させる。トラップ粒子１６は、集光位置１０に追従して矢印１２のように円運動することが観測された。レーザの出力を一定に維持して周期を減少させたところ、周期４．５ｓのときに図２に示すようにトラップ粒子１６が集光位置１０から矢印４０の方向に離脱するのが観測された。この臨界時のトラップ粒子１６のテーブル２４に対する速度は７μｍ／ｓと算出された。
【００３６】
図２の矢印３６，３８の方向と、矢印４０の方向は、逆方向であるため、臨界時における液体２０に対するトラップ粒子１６の相対速度ｖは９μｍ／ｓであることがわかる。すなわち、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度は、９μｍ／ｓであることがわかる。そこで図３の検量線から、粘度が未知の液体２０の粘度は、１Ｐａ・ｓであることが判明する。
以上により、第1実施例によって測定した粘度（１Ｐａ・ｓ）は、レーザを用いない既存の方法で測定した粘度（１Ｐａ・ｓ）とよく一致し、高い精度で粘度が測定されたことがわかる。
【００３７】
（比較例１）第１実施例で観測されたトラップが破れたときのガラス板２２に対する粒子１６の速度７μｍ／ｓをそのまま用いて図３の検量線と参照すると、液体２０の粘度は１．３Ｐａ・ｓと求められる。
比較例１によって測定した粘度（１．３Ｐａ・ｓ）は、レーザを用いない既存の方法で測定した粘度（１Ｐａ・ｓ）と一致せず、測定誤差が生じていることがわかる。
粒子存在部位における液体の流動速度を計測し、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計測することが必要であり、それを計測すると、正確な粘度を測定できることがわかる。
【００３８】
（第２実施例）図４は、本発明を具現化した第２実施例の粘度測定装置の概略構成を模式的に示す図である。ここでは、第1実施例の粘度測定装置と同様の構成については、同一符号を付すことによって重複説明を省略する。
粘度測定装置は主に、レーザ光源１２と、ミラー７と、集光レンズ８と、粒子計測用の顕微鏡３０とそれに接続されたビデオカメラ４６と、流動計測用の顕微鏡２６とそれに接続されたビデオカメラ２８と、コンピュータ３４と、相対移動装置４２と、テーブル２４等で構成され、テーブル２４上に相対移動装置４２が設置されている。相対移動装置４２上には液体２０が塗布されたガラス板２２が水平にセットされている。
【００３９】
液体２０には、粒径分布範囲が非常に小さい半径１μｍのホウ桂酸ガラスが１０−３ｗｔ％程度添加されている。液体２０は、ガラス板２２上に膜厚が５０μｍなるように塗布されている。図４では説明の便宜のために３つのホウ桂酸ガラス１１４，１１６，１１８のみが表わされているが、実際にはこれよりも多くのホウ桂酸ガラスが含まれている。これらのホウ桂酸ガラス１１６，１１４，１１８は、液体２０が同一方向に同一速度で流動しているとみなせる微小範囲内に存在している。
【００４０】
レーザ光源１２は、波長が６８０ｎｍの半導体レーザである。ミラー７は、レーザ光源１２からレーザを液体２０の垂直上方から照射するように、テーブル２４に移動可能に設置したスタンド（図示しない）によって所定の高さで支持されている。集光レンズ８は、膜厚が５０μｍの液体２０中の一点にレーザを集光して、粒子をトラップする。
【００４１】
相対移動装置４２は、エピゾ素子４４を内蔵している。相対移動装置４２は矢印４８方向に往復微動し、ガラス板２２を移動させる。ガラス板２２の微動に伴って液体２０が移動するのに対し、粒子１１６は集光位置にトラップされたまま固定される。このため、粒子１１６には液体２０から粘性抵抗力が作用する。粘性抵抗力は、粒子１６を集光位置１０にトラップしておくことを打ち破ろうとする。
【００４２】
顕微鏡３０の映像はビデオカメラ４６で撮影記録され、コンピュータ３４で画像解析される。ビデオカメラ４６に撮影されたトラップ粒子１１６の像をコンピュータ３４によって画像解析することによって、トラップ粒子１１６の移動速度と移動方向を計測することができる。
顕微鏡２６の映像はビデオカメラ２８で撮影記録され、コンピュータ３４で画像解析される。ビデオカメラ２８に撮影されたフリー粒子１１４，１１８の像をコンピュータ３４によって画像解析することによって、トラップ粒子１１６が存在している部位における液体２０の流動速度と流動方向を計測することができる。
【００４３】
次に、第２実施例による粘度の測定方法について説明をする。まず、予め図３に示したような検量線を得ておく。
続いて、顕微鏡３０で液体２０中の粒子を観測しながら、ミラー７を動かして集光位置１０を移動させ、粒子１１６を垂直上方からトラップする。
粒子１１６をトラップした状態で、相対移動装置４４によって速度１μｍ／ｓでガラス板２２を移動させる。トラップ粒子１１６は、集光位置１０に留まっていることが観測された。レーザの出力を一定のまま移動速度を１．５μｍ／ｓ、２．３μｍ／ｓと指数的に増加させたところ、速度７．５μｍ／ｓのときトラップ粒子１１６が集光位置１０から離脱するのが観測された。この臨界時のガラス板２２の動きが図５に示されており、ガラス板２２が矢印４８の方向に移動したときに、トラップ粒子１１６が集光位置１０から離脱した。
一方、フリー粒子１１４，１１８はこの臨界時に、図５の矢印５２の方向に移動するのが観測された。矢印４８のガラス板２２の移動を考慮すると、液体の流動は矢印５０と計測できる。
【００４４】
矢印５０の流動によって、トラップ粒子１１６の相対移動とみなせる矢印４８の移動を補正すると、トラップ粒子１１６の相対移動は速度９μｍ／ｓの等速直線運動であると考えられる。すなわち、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度は、９μｍ／ｓであることがわかる。そこで図３に示したような検量線から、粘度が未知の液体２０の粘度は、１Ｐａ・ｓであることが判明する。
以上により、第1実施例によって測定した粘度（１Ｐａ・ｓ）は、レーザを用いない既存の方法で測定した粘度（１Ｐａ・ｓ）とよく一致し、高い精度で粘度が測定されたことがわかる。
【００４５】
（第３実施例）第３実施例では、液体の流動運動を直接的には計測しない。本実施例では、テーブルに対して複数方向に粒子を移動させる。第３実施例では、第１実施例、あるいは、第２実施例と同じ粘度測定装置を利用する。
例えば、図６に示すように、粒子をテーブル２４に対して３方向に相対移動させる。ここでは、それぞれの移動方向は１２０度ずつ偏角している。これら各方向の移動速度ｕ１，ｕ２，ｕ３を計測する。
計測された移動速度ｕ１，ｕ２，ｕ３には、液体の流動速度Ｆが加味されている。流動速度Ｆは未知であるが、各流動速度Ｆは一定のはずである。また、粒子と液体の相対速度である｜ＴＢ｜の大きさは一定のはずである。したがって、移動速度ｕ１，ｕ２，ｕ３を計測すれば、数学的に流動速度Ｆを計算することが可能となり、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度を計算することができる。
【００４６】
さらに、図７に示すように、ｘ方向に反対向きに２方向、ｙ方向に反対向きに２方向の合計４方向に相対移動させると、さらに計算が容易になる。この場合、粒子と液体の相対速度である｜ＴＢ｜の大きさは、図７の下部に示した式で求められる。したがって、移動速度ｕ１，ｕ２，ｕ３，ｕ４がわかれば、流動速度Ｆを数学的に計算することが可能となる。
これらのプロセスでは、液体の流動速度を明示的に計算する必要がなく、粒子と液体の相対速度を直接的に計算することができる。暗黙のうちに液体の流動速度を計算し、それを利用して粒子と液体の相対速度を計算している。
【００４７】
（第４実施例）図８は、本発明を具現化した第４実施例の粘度測定装置の概略構成を模式的に示す図である。
粘度測定装置は主に、レーザ照射装置２０４と、集光レンズ２０８と、粒子計測用の顕微鏡２３０とそれに接続されたビデオカメラ２２８と、コンピュータ２３４と、テーブル２２４等で構成されている。テーブル２２４上には液体２２０が塗布されたガラス板２２２が水平にセットされている。
【００４８】
液体２２０は、粒径分布範囲が非常に小さい半径１μｍの塗料粒子が含まれている。液体２２０は、ガラス板２２２上に膜厚が５０μｍになるように塗布されている。図８では説明の便宜のために１つの塗料粒子２１６のみが表わされているが、実際にはこれよりも多くの塗料粒子が含まれている。
【００４９】
レーザ照射装置２０４は、レーザ光源２０２と集光レンズ２０８が架台に固定された構成とされている。レーザ光源２０２は、波長が１０６４ｎｍのＹＡＧレーザである。レーザ照射装置２０４は、レーザ光源２０２からレーザを液体２２０の斜め上方から照射するように、テーブル２２４に設置したスタンド（図示しない）によって所定の高さで支持されている。レーザ照射装置２０４は、集光レンズ２０８によって液体２２０に含まれる粒子にレーザを斜め上方から集光して、レーザの光圧によって粒子を移動させる。
【００５０】
顕微鏡２３０の映像はビデオカメラ２２８で撮影記録され、コンピュータ２３４で画像解析される。ビデオカメラ２２８に撮影された粒子２１６の像をコンピュータ２３４によって画像解析することによって、粒子２１６の移動速度と移動方向を計測することができる。
【００５１】
次に、第４実施例による粘度の測定方法について説明をする。測定に先立って、図１１に例示する検量線を得ておく。
検量線を得るためには、レーザを用いない既存の方法によって粘度が既知の液体に対して、半径が既知の粒子を浮遊させ、レーザによってその粒子を光圧で移動させる。粒子が移動したときのテーブル２４に対する移動速度と、粒子を移動させたレーザの出力を検出する。レーザの出力を変化させ、移動速度を変化させ、粘度を異にする各種の液体に対して粒子を移動させたときの「粘度と、速度と、レーザ出力」の関係を整理することによって、図１１の検量線を得ることができる。図１１の検量線は、流動が終了した液体を用いたときの「粘度と、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度と、レーザ出力」の関係を図示している。
【００５２】
続いて、顕微鏡２３０で液体２２０を観測し、任意の粒子２１６に着目した。この粒子２１６の半径は１μｍであった。粒子２１６の位置を画像解析すると、図９の矢印２４０の方向に１μｍ／ｓで移動するのが観測された。すかさず、レーザ照射装置２０４を動かして、図９の左側斜め上方からレーザを照射すると、レーザの光圧によって粒子２１６が矢印２４２の方向に移動するのが観測された。このときの粒子２１６の運動は、テーブル２２４に対する速度が１０μｍ／ｓの等速直線運動であった。
【００５３】
図９の矢印２４０の方向と、矢印２４２の方向は、直線上の同一方向であるため、レーザを照射した後の粒子２１６の速度は９μｍ／ｓの等速直線運動であると考えられる。すなわち、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度は、９μｍ／ｓであることがわかる。そこで図１１に示した検量線から、粘度が未知の液体２２０の粘度は、１Ｐａ・ｓであることが判明する。
以上により、第４実施例によって測定した粘度（１Ｐａ・ｓ）は、レーザを用いない既存の方法で測定した粘度（１Ｐａ・ｓ）と一致し、高い精度によって測定が行なわれたことがわかる。
【００５４】
（第５実施例）図１０は、本発明を具現化した第５実施例の粘度測定方法によって観察された粒子の動きを示す図である。第５実施例では、第４実施例と同じ粘度測定装置を利用する。
第５実施例による粘度の測定方法について説明をする。測定に先立って、図１１に例示したような検量線を得ておく。
続いて、レーザ照射装置２０４を動かして粒子２１６をレーザの照射位置に移動させ、図１０の左側斜め上方からレーザを照射すると、レーザの光圧によって粒子２１６が矢印２４２の方向に移動するのが観測された。このときの粒子２１６の運動は、テーブル２２４に対するが速度１０μｍ／ｓの等速直線運動であった。すかさず、レーザ照射装置２０４を動かして、図１０の右側斜め上方からレーザを照射すると、レーザの光圧によって粒子２１６が矢印２４４の方向（矢印２４２と逆方向）に移動するのが観測された。このときの粒子２１６の運動は、テーブル２２４に対する速度が８μｍ／ｓの等速直線運動であった。
【００５５】
図１０の矢印２４２の方向と、矢印２４４の方向は、直線上の反対方向となった。したがって、液体の流動方向は、矢印２４０に示すように粒子２１６の移動方向と平行であることがわかる。このことから、矢印２４２の方向の速度と、矢印２４４の方向の速度の平均速度９μｍ／ｓが、粒子と粒子存在部位における液体の相対速度であると計算できる。このプロセスでは、液体の流動速度を計測する必要がなく、粒子と液体の相対速度を直接的に計算することができる。
そして、図１１に示した検量線から、粘度が未知の液体２２０の粘度は、１Ｐａ・ｓであることが判明する。
以上により、第５実施例によって測定した粘度（１Ｐａ・ｓ）は、レーザを用いない既存の方法で測定した粘度（１Ｐａ・ｓ）と一致し、高い精度によって測定が行なわれたことがわかる。
【００５６】
（第６実施例）図１２は、本発明を具現化した第６実施例の粘度測定方法によって観察された粒子の動きを示す図である。第６実施例では、第４実施例と同じ粘度測定装置を利用する。
図１２に示すように、テーブルに対する速度ｖ１，ｖ２の光圧を粒子に加える。これらの光圧によって粒子が移動した各方向の移動速度ｕ１，ｕ２を計測する。
粒子に与えられた光圧の速度ｖ１，ｖ２には、ｘ方向成分のみが含まれており、ｙ方向成分が含まれていない。したがって、計測された移動速度ｕ１，ｕ２のｙ方向成分は、全て流動速度Ｆのｙ方向成分に起因する。また、粒子の移動速度ｕ１のｘ方向成分は、流動速度Ｆのｘ方向成分と光圧の速度ｖ１のｘ方向成分を足し合わせたものであり、粒子の移動速度ｕ２のｘ方向成分は、流動速度Ｆのｘ方向成分を光圧の速度ｖ２から差し引いたものである。したがって、図１２の下部に示す式のように速度ｕ１，ｕ２の平均を求めることによって、粒子と液体の相対速度であるｖ１，ｖ２の大きさを計算することができる。
このプロセスでは、液体の流動速度を計測する必要がなく、粒子と液体の相対速度を直接的に計算することができる。
【００５７】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】第１実施例の粘度測定装置の概略構成を示す図である。
【図２】第１実施例の粘度測定方法によって観察された粒子の動きを示す図である。
【図３】検量線の例を示す図である。
【図４】第２実施例の粘度測定装置の概略構成を示す図である。
【図５】第２実施例の粘度測定方法によって観察された粒子の動きを示す図である。
【図６】第３実施例の粘度測定方法を説明する図である。
【図７】第３実施例の他の粘度測定方法を説明する図である。
【図８】第４実施例の粘度測定装置の概略構成を示す図である。
【図９】第４実施例の粘度測定方法によって観察された粒子の動きを示す図である。
【図１０】第５実施例の粘度測定方法によって観察された粒子の動きを示す図である。
【図１１】検量線の例を示す図である。
【図１２】第６実施例の粘度測定方法によって観察された粒子の動きを示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
２  ：レーザ光源、
４  ：レーザ光、
６  ：ガルバノミラー、
７  ：ミラー、
８  ：集光レンズ、
１０：集光位置、
１４，１８：フリー粒子、
１６：トラップ粒子、
２０：液体、
２２：ガラス板、
２４：テーブル、
２６：流動計測用顕微鏡、
２８：ビデオカメラ、
３０：粒子計測用顕微鏡、
３２：特定スイッチ、
３４：コンピュータ
【図１】
2005091186.tif 000003
【図２】
2005091186.tif 000004
【図３】
2005091186.tif 000005
【図４】
2005091186.tif 000006
【図５】
2005091186.tif 000007
【図６】
2005091186.tif 000008
【図７】
2005091186.tif 000009
【図８】
2005091186.tif 000010
【図９】
2005091186.tif 000011
【図１０】
2005091186.tif 000012
【図１１】
2005091186.tif 000013
【図１２】
2005091186.tif 000014