(57)【要約】【課題】       本発明の目的は潮解性を有する複屈折結晶から成る光学部品表面に光学多層膜を成膜した光学部品を提供すること。【解決手段】       上記目的を達成する為に本発明は、潮解性を有する複屈折性結晶より成る光学部品ににおいて、先の光学部品の表面に化学気相法と物理気相法により多層膜が成膜されたことを特徴とし、又、光学部品の基板側に成膜された第一層の膜が化学気相法により成膜され、この第一層の膜の上に物理気相法により第二層以降の膜が成膜されたことを特徴とし、光学部品の表面に化学気相法により成膜された第一層膜がSiO２より成り、物理気相法により成膜された第二層膜は先の第一層膜よりも屈折率が高く、第二層膜の上に成膜される第三層膜は先の第二層膜よりも屈折率が低く、第三層膜の上に成膜される第四層膜以降には先述の第二層の成膜物質の膜と第三層の成膜物質より成る膜が交互に成膜されたことを特徴として目的を達成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
潮解性を有する複屈折性結晶より成る光学部品において、
該光学部品の表面に化学気相法と物理気相法により多層膜が成膜された光学部品。
【請求項２】
光学部品の基板側に成膜された第一層の膜が化学気相法により成膜され、該第一層の膜の上に物理気相法により第二層以降の膜が成膜されたことを特徴とする請求項１に記載の光学部品。
【請求項３】
光学部品の表面に化学気相法により成膜された第一層の膜がSiO２より成り、物理気相法により成膜された第二層の膜は該第一層の膜よりも屈折率が高く、該第二層の膜の上に成膜される第三層の膜は該第二層の膜よりも屈折率が低く、該第三層の膜の上に成膜される第四層の膜以降には該第二層の成膜物質と該第三層の成膜物質より成る膜が交互に成膜されたことを特徴とする請求項１に記載の光学部品。
【請求項４】
光学部品の表面に成膜された膜の層数が２９層以上であることを特徴とする請求項１に記載の光学部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表面に多層の膜が成膜された光学部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
主に複屈折性結晶材料などから成る光学部品は、主として映像機器の映像取り入れ部にあたるレンズを通して映像として入力された光を分離するために用いられる複屈折板や、光学フィルターやガラスのような基材が透明の薄板である。
【０００３】
このような光学部品は、恒温槽の内部のように一定の温度や湿度に保たれた雰囲気の筐体のなかで使用されることは稀で、一般的には温度や湿度が一定に管理されていない筐体内に収容されて使用される。このために潮解性を有する複屈折性結晶より成る光学部品は、民生用途の、例えばデジタルスチルカメラ用の光学ローパスフィルターや、光ピックアップ用のウォラストンプリズムとして、これらの機器に用いられることは従来無かった。
【０００４】
しかしながら潮解性を有する四ほう酸リチウムといった複屈折性結晶は、代表的な複屈折板や光学フィルターに使用される複屈折性結晶である水晶と比較して、例えば複屈折率が大きいといった特性を有し、その為に先述の複屈折性結晶を用いて温度や湿度が一定に管理されていない筐体内に収容されて、かつ使用することの出来る光学部品が望まれていることが現状である。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１０５８０１号公報
【０００６】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、潮解性を有する複屈折結晶から成る光学部品の表面に防湿を目的として物理気相法による真空蒸着で、その光学部品の表面に蒸着膜を成膜することも試みられたが、物理気相法による真空蒸着で光学部品の表面に蒸着膜を成膜する場合、成膜された膜の密度が小さく、そのため防湿性が悪く実際に使用することは出来ないという問題があった。
【０００８】
また、化学気相法により光学部品の表面に成膜された膜はその膜の密度が大きく、緻密であるために防湿の目的は達成出来る。しかしながら、成膜される膜の厚みを精度よく管理することが難しく、化学気相法により10層程度以上の膜を成膜した光学部品は、光学特性として必要不可欠な特性である分光透過率や、或いは反射率といった特性値を満足出来ないという問題があった。
【０００９】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従ってその目的は、潮解性を有する複屈折結晶から成る光学部品の表面に光学多層膜を成膜した光学部品を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述する課題を解決するために本発明は、潮解性を有する複屈折性結晶より成る光学部品において、先の光学部品の表面に化学気相法と物理気相法により多層膜が成膜されたことを特徴とする。
【００１１】
また、光学部品の基板側に成膜された第一層の膜が化学気相法により成膜され、この第一層の膜の上に物理気相法により第二層以降の膜が成膜されたことを特徴とする。
【００１２】
また、光学部品の表面に化学気相法により成膜された第一層の膜がSiO２より成り、物理気相法により成膜された第二層の膜は該第一層の膜よりも屈折率が高く、該第二層の膜の上に成膜される第三層の膜は該第二層の膜よりも屈折率が低く、該第三層の膜の上に成膜される第四層の膜以降には該第二層の成膜物質と該第三層の成膜物質より成る膜が交互に成膜されたことを特徴とする。
【００１３】
また、光学部品の表面に成膜された膜の層数が２９層以上であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の多層膜が成膜された光学部品により、潮解性を有する複屈折結晶から成る光学部品を温度や湿度が一定に管理されていない筐体内においても防湿性をもたせて使用することが出来る。
【００１５】
また、本発明の多層膜が成膜された光学部品により、多層膜が成膜されて温度や湿度が一定に管理されていない筐体内においても使用することの出来る光学部品の基材の選択肢が著しく広がり、光学部品の製作コストを大幅に低減することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付図面に従ってこの発明の実施例を説明する。なお、各図において同一の符号は同様の対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１７】
図１は本発明の光学部品１の表面２に多層の膜３が成膜された様子を示す概略の側面模式図である。四ほう酸リチウムといった潮解性を有する複屈折結晶から成る光学部品１の表面にプラズマCVD法といった化学気相法によりSiO２を成膜する。SiO２の厚みは１μm程度である。化学気相法で成膜された第一層のSiO２膜５はその密度が大きく防湿の目的を達成することが出来る。第二層の膜６には真空蒸着法といった物理気相法により第一層のSiO２膜５よりも屈折率の高い、例えばTiO2といった膜を成膜する。第三層の膜７には第二層よりも屈折率の低い例えばSiO２といった膜を第二層の膜６に同じく真空蒸着法により成膜する。第三層の膜７の上にさらに成膜される第四層の膜８以降は第二層の成膜物質から成る膜と、第三層の成膜物質から成る膜を交互に真空蒸着法により成膜する。例えば、光学ローパスフィルタ用IRカットコートとしては、２９層以上成膜する必要がある。即ち、第一層のSiO２膜５よりも屈折率の高い膜と、第二層の膜６よりも屈折率の低い膜とを交互に成膜することにより、図５のような特性を持つIRカットコート等のダイクロコートが成膜できる。図５の基材である四ホウ酸リチウム（LBO）は屈折率が約１．６で潮解性を有する。また、光学部品１の基板の側面や裏面にも防湿目的で第一層のSiO２膜５を成膜することにより、光学部品１が潮解性により溶けるのを防止することができる。
【実施例２】
【００１８】
図２は本発明の光学部品１の概略の側面斜視図と、その表面に多層の膜３が成膜された様子を示す拡大した概略の側面断面図を、点線の円内に示した別の実施例の図である。本図にある様に水晶板の透過光線方向の片面に貼り付けられた潮解性を有する基板状の複屈折結晶から成る光学部品１の側面、及び主面にプラズマCVD法といった化学気相法によりSiO２を成膜する。第二層の膜６以降は透過光線方向の主面に先の実施例と同じく第二層の膜６には真空蒸着法といった物理気相法により第一層のSiO２膜５よりも屈折率の高い、例えばTiO2といった膜を成膜する。第三層の膜７には第二層の膜６よりも屈折率の低い例えばSiO２といった膜を第二層の膜６に同じく真空蒸着法により成膜する。第四層の膜８以降の膜には、光学部品１が所望する光学特性となるように順次第一層のSiO２膜５よりも屈折率の高い膜と第二層の膜６よりも屈折率の低い膜とを交互に成膜する。
【実施例３】
【００１９】
図３は本発明の光学部品１の表裏面に多層の膜３を成膜する別の実施例の様子を示す概略の側面模式図である。本図にある様に水晶板の透過光線方向の両主面に貼り付けられた潮解性を有する複屈折結晶から成る基板状の光学部品１の側面、及び主面に第一層の膜５として化学気相法によりSiO２を成膜し、第二層の膜６以降は透過光線方向の主面に、先の実施例１、及び実施例２と同じく第二層の膜６には真空蒸着法といった物理気相法により第一層のSiO２よりも屈折率の高い、例えばTiO2といった膜を成膜し、第三層の膜７には第二層の膜６よりも屈折率の低い例えばSiO２といった膜を第二層に同じく真空蒸着法により成膜し、第四層の膜８以降には、光学部品が所望する光学特性となるように順次第一層のSiO２よりも屈折率の高い膜と第二層の膜６よりも屈折率の低い膜とを交互に成膜する。
【００２０】
図４は本発明の光学部品１の表面に多層の膜３が成膜された様子を示す、別の実施例の側面模式図である。本発明の光学部品１のその主面の形状が四方形、正方形、長方形、円形、楕円形、または多角形であっても構わず、これらの場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。また、光学部品の主面への第二層以降の多層膜の成膜に限らず、光学部品の基材の全面に本発明の第二層以降の多層膜の成膜をすることもできる。
【００２１】
図６は従来の潮解性を有する複屈折性結晶より成る光学部品１の表面に、物理気相法により多層の膜が成膜された円形の光学部品が、温度や湿度が一定に管理されていない場所にしばらく放置された後、光学部品自体が溶け出してしまい、表面に白濁斑が生じた様子を示す概略の模式図である。従来は潮解性を有する光学部品１を温度や湿度が一定に管理されていない筐体内、即ち一般的な民生用の機器に使用することは出来なかった。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の光学部品の表面に多層の膜が成膜された様子を示す概略の側面模式図である。
【図２】本発明の光学部品の概略の側面斜視図と、その表面に多層の膜が成膜された様子を示す拡大した概略の側面断面図を点線の円内に示した図である。
【図３】本発明の光学部品の表裏面に多層の膜を成膜する様子を示す概略の側面模式図である。
【図４】本発明の光学部品の表面に多層の膜が成膜された様子を示す、別の実施例の側面模式図である。
【図５】本発明の光学部品の基材が四ホウ酸リチウム（LBO）の場合の一特性図である。
【図６】従来の潮解性を有する複屈折性結晶より成る光学部品の表面に多層の膜が成膜された円形の光学部品がしばらく放置された後、光学部品自体が溶け出してしまう様子を示す概略の模式図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  潮解性を有する複屈折性結晶より成る光学部品
２  光学部品の表面
３  多層膜
４  光学部品の基板
５  第一層の膜
６  第二層の膜
７  第三層の膜
８  第四層の膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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