(57)【要約】      （修正有）【課題】容器内部の全域を短時間で効率的にガス置換し得ると共に、ガス置換作業の能率向上を図りかつ容器自体の構成を簡略化し得る電子部品等の収納容器を提供する。【解決手段】内部に電子部品Ｗ等が収納される密閉可能な容器本体２と、容器本体２に設けられた一つの供給排気孔４と、供給排気孔４に挿抜されるガス供給管５と、供給排気孔４からガス供給管５を抜いた状態で供給排気孔４を閉塞するキャップ６と、を備え、ガス供給管５は、その先端部が容器本体内に位置するように供給排気孔４に挿通されて不活性ガス等のガスを容器本体内に供給すると共に、その外周面と供給排気孔との間に設けられた隙間７から容器本体内の空気を外部に排気する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に電子部品等が収納される密閉可能な容器本体と、該容器本体に設けられた一つの供給排気孔と、該供給排気孔に挿抜されるガス供給管と、前記供給排気孔からガス供給管を抜いた状態で供給排気孔を閉塞するキャップと、を備え、
前記ガス供給管は、その先端部が容器本体内に位置するように供給排気孔に挿通されて不活性ガス及びその他のガスを容器本体内に供給すると共に、その外周面と供給排気孔との間に形成された隙間から容器本体内の空気を外部に排気することを特徴とする電子部品等の収納容器。
【請求項２】
前記ガス供給管は、容器本体内への不活性ガス等の供給時に、容器本体の上面略中央部に設けた供給排気孔から傾斜した状態で容器本体内に挿通されることを特徴とする請求項１に記載の電子部品等の収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、例えば半導体等の電子部品や、半導体ウェハー等の電子部品用部材（以下、電子部品等という）を、保管したり運搬する際に好適に使用される収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、この種の電子部品等においては、酸化や塵埃付着等を防止するために、電子部品等を容器内に無酸化状態で収納して保管したりあるいは運搬することが行われており、その収納容器としては、例えば図５及び図６に示すものが一般的に使用されている。【０００３】  この収納容器１００は、薄型の直方体形状に形成された容器本体１０１の上面１０１ａで、長手方向の両端部に供給孔１０２と排気孔１０３を設け、供給孔１０２からガス供給管（図示せず）等により窒素ガス等の不活性ガスを矢印イの如く容器本体１０１内に供給すると共に、容器本体１０１内の空気（酸素等）を排気孔１０３から矢印ロの如く排気して容器本体１０１内をガス置換する。そして、供給孔１０２と排気孔１０３をキャップ１０４でそれぞれ塞ぐことにより、容器本体１０１内が無酸化状態とされ、これにより、電子部品等Ｗを容器本体１０１内に所定期間収納した状態でも、その酸化等が防止されるようになっている。なおこの種の収納容器としては、例えば特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開２００１−２５３４９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  しかしながら、この収納容器１００においては、容器本体１０１の長手方向の一端部に設けた供給孔１０２から不活性ガスを容器本体１０１内に供給し、長手方向の他端部に設けた排気孔１０３から容器本体１０１内の空気を排気する構造であるため、図６に示すように、不活性ガスの容器本体１０１内における流れが、図の矢印ハの如く、電子部品等Ｗの上面側をスムーズに流れる状態となり易い。その結果、不活性ガスが容器本体１０１内の４隅の角部に供給され難かったり、電子部品等Ｗを支持する板や金網からなる部品等支持部材１０５がある場合に、この部品等支持部材１０５の下部に不活性ガスが供給され難く、容器本体１０１内の全域を短時間で効率的にガス置換することが困難であるいう問題点を有している。【０００５】  また、容器本体１０１に供給孔１０２と排気孔１０３の２つの孔を形成し、ガス置換後にこれらを共にキャップ１０４で閉塞する必要があるため、キャップ１０４の閉塞作業が面倒となってガス置換作業の能率面でも劣ると共に、容器本体１０１自体の構造も複雑化してコスト高になり易いという問題点も有している。【０００６】  本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、容器内部の全域を短時間で効率的にガス置換し得ると共に、ガス置換作業の能率向上を図りかつ容器自体の構成を簡略化し得る電子部品等の収納容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】  かかる目的を達成すべく、本発明のうち請求項１に記載の電子部品等の収納容器は、内部に電子部品等が収納される密閉可能な容器本体と、該容器本体に設けられた一つの供給排気孔と、該供給排気孔に挿抜されるガス供給管と、前記供給排気孔からガス供給管を抜いた状態で供給排気孔を閉塞するキャップと、を備え、前記ガス供給管は、その先端部が容器本体内に位置するように供給排気孔に挿通されて不活性ガスもしくはその他のガスを容器本体内に供給すると共に、その外周面と供給排気孔との間に形成された隙間から容器本体内の空気を外部に排気することを特徴とする。【０００８】  そして、前記ガス供給管は、請求項２に記載の発明のように、容器本体内への不活性ガス等の供給時に、容器本体の上面略中央部に設けた供給排気孔から傾斜した状態で容器本体内に挿通されることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】  請求項１に記載の発明によれば、容器本体に設けた供給排気孔にガス供給管を挿通し、その先端から容器本体内に不活性ガス等のガスを供給することにより、容器本体内の空気が供給排気孔とガス供給管の外周面とで形成される隙間から外部に排気されるため、容器本体に設けた一つの供給排気孔でガスの供給と空気の排気を略同時に行うことができて、容器本体内の全域にガスを流通充満させて容器本体内を短時間に効率的にガス置換でき、電子部品等を良好な無酸化状態で収納できる。また、容器本体に一つの供給排気孔を設けるのみであるため、ガス置換後に一つの供給排気孔をキャップで閉塞すれば良く、ガス置換作業の能率向上を図ることができると共に、容器本体自体の構成の簡略化を図ることができる。【００１０】  また、請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明の効果に加え、ガス供給管が容器本体の上面略中央部に設けた供給排気孔から傾斜した状態で挿通されて容器本体内にガスが供給されるため、容器本体内の全域にガスを効率的に流通充満させることができて、ガス置換作業の一層の能率向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】  以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１〜図３は、本発明に係わる電子部品等の収納容器の一実施形態を示し、図１がその斜視図、図２がその縦断面図、図３がその平面図である。【００１２】  図１〜図３において、収納容器１は、底部と側部からなり上面が開口したケース２ａと、このケース２ａの上面開口部を閉塞する蓋体２ｂからなる容器本体２を有し、この容器本体２の底部上には所定の隙間を有して例えば金網、板体等からなる部品等支持部材３が配置されている。また、容器本体２の蓋体２ｂの中央部には、円形でガス供給管５が挿抜される供給排気孔４が穿設されており、この供給排気孔４には、例えばゴム等の弾性材で形成されたキャップ６（図２参照）が気密に装着されるようになっている。【００１３】  なお、容器本体２の供給排気孔４の内径ｄ１とガス供給管５の外形ｄ２は、ｄ１＝ｄ２＋α（α＝１〜５ｍｍ程度、図３参照）に設定されており、ガス供給管５を供給排気孔４に挿通した際に、ガス供給管５の外周面と供給排気孔４との間に、排気孔として機能する所定の隙間７が形成されるようになっている。また、容器本体２のケース２ａや蓋体２ｂとしては、収納物が半導体関係の場合に、非帯電性の金属や非帯電処理された樹脂が使用され、ガス供給管５としては、ガラス管や樹脂チューブあるいは金属管が使用される。【００１４】  次に、この収納容器１の使用方法の一例について説明する。先ず、容器本体２内に半導体や半導体ウェハー等のように酸化や塵埃付着を嫌う電子部品等Ｗを、無塵室で蓋体２ｂを取り外した状態で容器本体２の上面開口部を利用して、容器本体２内の部品等支持部材３上に所定間隔で載置する。電子部品等Ｗを部品等支持部材３上に載置したら、蓋体２ｂで容器本体２の上面開口部を閉塞じて、例えば接着テープや蓋体２ｂとケース２ａの凹凸嵌合等で蓋体２ｂをケース２ａに気密状態で固定し、この状態で容器本体２内を例えば窒素ガスでガス置換する。【００１５】  このガス置換は、ガス供給管５の先端部を容器本体２の供給排気孔４に挿通し、その先端（開口部）を容器本体２内に位置させる。この時、ガス供給管５は、その先端部を容器本体２の供給排気孔４に斜めの状態で挿通することにより、図２に示すように、所定角度θ傾斜した状態で先端位置が供給排気孔４から進入寸法ｈとなる状態に設定される。この設定は、例えばガス供給管５の外周面と供給排気孔４に設けた挿抜用ガイド（図示せず）に、目盛等を設けることによって行われる。【００１６】  ガス供給管５を所定位置にセット（設定）したら、ガス供給管５の他端部に接続された電磁弁９（図２参照）を開放操作して、ガスボンベ１０からガス供給管５を介して容器本体２内に窒素ガスを供給する。この窒素ガスは、図２の矢印ニの如くガス供給管５の先端開口から容器本体２内の所定位置に吐出されて、容器本体２内を矢印ホの如く循環（流通）し、容器本体２内の全域に略均一に充満される。この窒素ガスの容器本体２内への供給（吐出）により、容器本体２内の空気は、供給排気孔４とガス供給管５の外周面で形成される前記隙間７から、図２の矢印ヘの如く外部に排気されて、容器本体２内がガス置換される。【００１７】  そして、容器本体２の内部容積等に応じて予め設定された時間電磁弁９が開放され、容器本体２内がガス置換されると、電磁弁９が閉じてガス供給管５を介した窒素ガスの容器本体２内への供給が停止される。この状態で、ガス供給管５が供給排気孔４から引き抜かれると同時に、別途用意したキャップ６を供給排気孔４に装着して該供給排気孔４を閉塞する。これにより、容器本体２内がガス置換されて無酸化状態の密閉状態とされ、この密閉状態で容器本体２が運搬されたり保管されて、容器本体２内に収納された電子部品等Ｗの酸化等が防止されることになる。【００１８】  なお、ガス置換作業において、ガス供給管５の供給排気孔４への挿通、ガス供給・停止、ガス供給管５の供給排気孔４からの引き抜き及びキャップ６の装着等の一連の作業は、手動操作によって行うこともできるが、例えばガス供給管５をモータ（図示せず）の回転で挿抜し得るように構成することにより、これら一連の作業の全部（もしくは一部）を自動的に行うようにしても良い。【００１９】  また、ガス供給管５の供給排気孔４に対する傾斜角度θは、容器本体２の大きさに応じてθ＝３０度〜６０度に設定され、その指向方向も図３の実線で示す角部に指向する方向や、二点鎖線で示す側面に指向する方向等、容器本体２の大きさ、収納される電子部品等Ｗの形態等に応じて適宜に設定される。さらに、ガス供給管５の供給排気孔４への傾斜角度θや進入寸法ｈ等の挿通位置は、固定的に限らず、例えば傾斜角度θや進入寸法ｈを時間と共に変化させることもできるし、前記指向方向を変化（回動等）させることもできる。【００２０】  このように、上記実施形態の収納容器１にあっては、容器本体２の蓋体２ｂに設けた供給排気孔４にガス供給管５の先端部を挿通させ、その先端開口を容器本体２内に位置させた状態で容器本体２内に窒素ガスを供給するため、供給排気孔４部分でのみ外部に連通する略密閉状態の容器本体２内に供給された窒素ガスを容器本体２内に流通充満させることで、容器本体２内の空気を供給排気孔４の隙間７から外部に排気でき、窒素ガスを容器本体２内の全域に均一に充満できて、従来の供給孔１０２と排気孔１０３を別々に有する収納容器１００に比較して、容器本体２内のガス置換を短時間で効率的かつ均一に行うことが可能となる。【００２１】  特に、ガス供給管５が供給排気孔４に対して所定角度θ傾斜した状態で、その先端開口が所定進入寸法ｈ容器本体２内に進入した位置に設定されることから、ガス供給管５の先端開口から吐出される窒素ガスを容器本体２内に効率良く流通充填させることができて、容器本体２内のガス置換の一層の効率化を図ることができる。なお、実験によれば、内部容積が１リットルの容器本体２に１リットルの窒素ガスを供給すると内部の酸素量が２分の１に低下し、７リットルの窒素ガスを連続供給することにより、酸素量を１２８分の１（０．２５％）まで低下できることが確認されており、半導体ウェハー等の収納容器１としても十分適用することが可能となる。【００２２】  また、容器本体２の蓋体２ｂに設けた一つの供給排気孔４にガス供給管５を挿通したり引き抜くことによりガス置換作業を行うことができるため、ガス置換後のキャップ６の装着が一箇所で良く、その装着作業を簡単に行うことができると共に、前述したガス置換の効率���と併せ、ガス置換作業の作業能率の向上を図ることが可能となる。【００２３】  さらに、容器本体２に設けた一つの供給排気孔４をキャップ６で閉塞することにより、容器本体２内に電子部品等Ｗを密閉状態で収納できるため、従来の２箇所を密閉する場合に比較して、容器本体２内の密閉性を高めることができて、電子部品等Ｗを長期に保管する場合等であっても、良好な無酸化状態で保管することが可能となる。【００２４】  また、容器本体２に形成される供給排気孔４が一つで良いため、容器本体２自体の構成を簡略化することができると共に、キャップ６の数が従来に比較して半減されて、作業時間の短縮化を含めコスト安価な収納容器１を得ることができる。また、ガス供給管５の挿抜等を機械的に行うように構成することにより、ガス置換作業の自動化を図ることができ、これらのことから、電子部品等Ｗの運搬、保管コストを含めたトータル的なコストダウンを図ることが可能となる。【００２５】  なお、上記実施形態においては、容器本体２の蓋体２ｂに形成される供給排気孔４が、ガス供給管５の外形形状に相似した円形状に形成したが、本発明はこれに限定されず、例えば図４に示すように、方形状の供給排気孔４であっても良く、供給排気孔４の形状としては、ガス供給管５の外形形状に合致した適宜の形状を採用できる。また、ガス供給管５の外形形状と供給排気孔４の形状を異ならせて（例えばガス供給管５の外形形状が円形で供給排気孔４が方形状に形成して）、隙間７をガス供給管５の外周面の全周ではなく、対向位置等に部分的に設けたり間隔αが周方向で変化するようにしても良い。さらに、供給排気孔４の位置も、容器本体の蓋体２ｂの中央部に限らず、ケース２ａの側部等の適宜位置に設けることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００２６】  本発明は、半導体自体や半導体関係の部品等に限らず、酸化防止や塵埃付着防止等が必要な各種部品等の収納容器にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】  本発明に係わる電子部品等の収納容器の一実施形態を示す斜視図
【図２】  同その縦断面図
【図３】  同その平面図
【図４】  同供給排気孔の変形例を示す平面図
【図５】  従来の収納容器の斜視図
【図６】  同その縦断面図
【符号の説明】
【００２８】１  収納容器
２  容器本体
２ａ  ケース
２ｂ  蓋体
３  部品等支持部材
４  供給排気孔
５  ガス供給管
６  キャップ
７  隙間
９  電磁弁
１０  ガスボンベ
Ｗ  電子部品等
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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