(57)【要約】【課題】  略円盤状のウエハから外周部分を容易かつ効率的に取り除き、支持シートと支持シート上に接着されたダイシング済ウエハとを有するシート付ウエハであって、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成されたシート付ウエハを製造する製造方法を提供する。【解決手段】  シート付ウエハ１０の製造方法は、シート付円盤状ウエハ１０ａを準備する工程と、シート付円盤状ウエハを保持機構３１に保持させる工程と、ＵＶ光スポット照射部３７ａにより、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７に対応する部分にＵＶ光９を照射する工程とを備えている。ＵＶ光スポット照射部はシート付円盤状ウエハの支持シート（ＵＶ発泡剥離シート）１１側に配置されている。ＵＶ光スポット照射部はＵＶ光をスポット照射することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＵＶ発泡剥離シートと、ＵＶ発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを準備する工程と、
シート付円盤状ウエハを保持機構に保持させる工程と、
シート付円盤状ウエハのＵＶ発泡剥離シート側に配置されたＵＶ光スポット照射部により、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハの外周部分に対応する部分にＵＶ光をスポット照射する工程とを備え、
ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造方法。
【請求項２】
ＵＶ光を照射する工程において、ＵＶ光スポット照射部により、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ中の不良品ＩＣチップに対応する部分にもＵＶ光をスポット照射することを特徴とする請求項１記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項３】
ＵＶ光を照射する工程において、保持機構によりシート付円盤状ウエハをＵＶ光スポット照射部に対して移動させることを特徴とする請求項１および請求項２のいずれかに記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項４】
ＵＶ光を照射する工程において、ＵＶ光スポット照射部をシート付円盤状ウエハに対して移動させることを特徴とする請求項１および請求項２のいずれかに記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項５】
シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置された吸引機構により、円盤状ウエハを吸引する工程をさらに備えたことを特徴とする請求項１および請求項２のいずれかに記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項６】
ＵＶ光をシート付円盤状ウエハの一部分にスポット照射した後にＵＶ光スポット照射部からのＵＶ光の照射を停止し、次にＵＶ光の照射を停止した状態でシート付円盤状ウエハとＵＶ光スポット照射部との相対位置を移動させ、その後にＵＶ光スポット照射部からＵＶ光を再度照射してシート付円盤状ウエハの異なる部分にＵＶ光をスポット照射することを繰り返すことにより、シート付円盤状ウエハの所望の部分にＵＶ光を照射していくことを特徴とする請求項１および請求項２のいずれかに記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項７】
ＵＶ発泡剥離シートと、ＵＶ発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを保持する保持機構と、
シート付円盤状ウエハのＵＶ発泡剥離シート側に配置され、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハの外周部分に対応する部分にＵＶ光をスポット照射するＵＶ光スポット照射部とを備え、
ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造装置。
【請求項８】
ＵＶ光スポット照射部はシート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ中の不良品ＩＣチップに対応する部分にもＵＶ光をスポット照射することを特徴とする請求項７記載のシート付ウエハの製造装置。
【請求項９】
保持機構はＵＶ光スポット照射部に対してシート付円盤状ウエハを移動させることを特徴とする請求項７および請求項８のいずれかに記載のシート付ウエハの製造装置。
【請求項１０】
ＵＶ光スポット照射部はシート付円盤状ウエハに対して移動自在であることを特徴とする請求項７および請求項８のいずれかに記載のシート付ウエハの製造装置。
【請求項１１】
シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置され、円盤状ウエハを吸引する吸引機構をさらに備えたことを特徴とする請求項７および請求項８のいずれかに記載のシート付ウエハの製造装置。
【請求項１２】
シート付円盤状ウエハとＵＶ光スポット照射部とは相対移動することができ、相対移動している間ＵＶ光スポット照射部はＵＶ光のスポット照射を停止するようになっていることを特徴とする請求項７および請求項８のいずれかに記載のシート付ウエハの製造装置。
【請求項１３】
熱発泡剥離シートと、熱発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを準備する工程と、
シート付円盤状ウエハを保持機構に保持させる工程と、
シート付円盤状ウエハの熱発泡剥離シート側に配置されたレーザー光スポット照射部により、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハの外周部分に対応する部分にレーザー光をスポット照射する工程とを備え、
ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造方法。
【請求項１４】
レーザー光を照射する工程において、レーザー光スポット照射部により、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ中の不良品ＩＣチップに対応する部分にもレーザー光をスポット照射することを特徴とする請求項１３記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項１５】
シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置された吸引機構により、円盤状ウエハを吸引する工程をさらに備えたことを特徴とする請求項１３および請求項１４のいずれかに記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項１６】
熱発泡剥離シートと、熱発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを保持する保持機構と、
シート付円盤状ウエハの熱発泡剥離シート側に配置され、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハの外周部分に対応する部分にレーザー光をスポット照射するレーザー光スポット照射部とを備え、
ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造装置。
【請求項１７】
レーザー光スポット照射部はシート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ中の不良品ＩＣチップに対応する部分にもレーザー光をスポット照射することを特徴とする請求項１６記載のシート付ウエハの製造装置。
【請求項１８】
シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置され、円盤状ウエハを吸引する吸引機構をさらに備えたことを特徴とする請求項１６および請求項１７のいずれかに記載のシート付ウエハの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持シートと、支持シート上に接着され、多数のＩＣチップを有するダイシング済みのウエハとを備えたシート付ウエハの製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回路を書き込まれたウエハは支持シート上に接着固定されて、ＩＣチップ１個分の大きさにダイシングされることにより、個々のＩＣチップ毎に分割される。その後、このような多数のＩＣチップを有するダイシング済ウエハは支持シートから剥がされ、個々のＩＣチップが１個ずつ供給されて実装対象物に実装されていく。
【０００３】
個々のＩＣチップを１個ずつ供給する装置として、パーツフィーダが開発されている。パーツフィーダは多数のＩＣチップを収納する振動整列ボールと、振動整列ボールに連結された供給通路とを有している。振動整列ボールは収納されたＩＣチップを振動させることによって、ＩＣチップを整列させるとともに整列されたＩＣチップを供給通路に送り込む。これにより、供給通路からＩＣチップを１個ずつ取り出すことができる。この場合、多数のＩＣチップを有するダイシング済ウエハは支持シートから剥がされて、振動整列ボールに収納される。
【０００４】
ところで、通常、ウエハは円盤状であり、ＩＣチップは長方形若しくは正方形である。このため、ダイシング済円盤状ウエハの外周部分は、円弧状部分を有しＩＣチップを形成しない不要部分を含んでいる。
【０００５】
また、ダイシング済円盤状ウエハの外周部分以外の部分、すなわち、外周部分に囲まれる部分内に存在するＩＣチップにおいても、円盤状ウエハの製造中におけるなんらかの原因によりＩＣチップとして機能することができなくなった不良品が含まれていることもある。
【０００６】
したがって、パーツフィーダの振動整列ボールには、このようなウエハの外周部分が確実に含まれるので、パーツフィーダから供給されたダイシング済ウエハがＩＣチップであるか不要部分であるか、およびＩＣチップが不良品であるか否かの検査を行い、ＩＣチップを構成しない不要部分と不良品のＩＣチップとを選別して排除する必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そもそも、ＩＣチップとして用いることのできない不要部分は、円盤状ウエハ中に多数存在する。したがって、個々のダイシング済円盤状ウエハからＩＣチップを選別してＩＣチップを供給すること自体が効率的とはいえない。
【０００８】
また、不要部分は円盤状ウエハの外周部分に存在することから、支持シートから剥がして個々のＩＣチップにばらす前にこの外周部分を取り除く方が、個々のダイシング済ウエハを検査選別するよりも効率的である。
【０００９】
さらに、ＩＣチップの不良品はマーキングされる等により、ダイシング済円盤状ウエハ内のどの位置に存在するかが事前に判明していることがある。この場合にも、個々のＩＣチップにばらしてしまう前にこのような不良品ＩＣチップを取り除くことができれば、後工程をスムースに進めることができる。
【００１０】
しかしながら、個々のダイシング済ウエハは微小であり、その外周部分のみを適切かつ効率的に取り除くことは困難である。また、ウエハ中に点在する不良品ＩＣチップを取り除くことはさらに困難である。
【００１１】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、略円盤状のウエハから外周部分を容易かつ効率的に取り除くことができ、これにより、支持シートと支持シート上に接着されたダイシング済ウエハとを有するシート付ウエハであって、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【００１２】
さらに、外周部分を取り除く際に、略円盤状のウエハ中の不良品ＩＣチップを容易かつ効率的に取り除くことができ、ウエハが良品ＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、ＵＶ発泡剥離シートと、ＵＶ発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを準備する工程と、シート付円盤状ウエハを保持機構に保持させる工程と、シート付円盤状ウエハのＵＶ発泡剥離シート側に配置されたＵＶ光スポット照射部により、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハの外周部分に対応する部分にＵＶ光をスポット照射する工程とを備え、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造方法である。
【００１４】
本発明は、ＵＶ光を照射する工程において、ＵＶ光スポット照射部により、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ中の不良品ＩＣチップに対応する部分にもＵＶ光をスポット照射することを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００１５】
本発明は、ＵＶ光を照射する工程において、保持機構によりシート付円盤状ウエハをＵＶ光スポット照射部に対して移動させることを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００１６】
本発明は、ＵＶ光を照射する工程において、ＵＶ光スポット照射部をシート付円盤状ウエハに対して移動させることを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００１７】
本発明は、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置された吸引機構により、円盤状ウエハを吸引する工程をさらに備えたことを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００１８】
本発明は、ＵＶ光をシート付円盤状ウエハの一部分にスポット照射した後にＵＶ光スポット照射部からのＵＶ光の照射を停止し、次にＵＶ光の照射を停止した状態でシート付円盤状ウエハとＵＶ光スポット照射部との相対位置を移動させ、その後にＵＶ光スポット照射部からＵＶ光を再度照射してシート付円盤状ウエハの異なる部分にＵＶ光をスポット照射することを繰り返すことにより、シート付円盤状ウエハの所望の部分にＵＶ光を照射していくことを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００１９】
本発明は、ＵＶ発泡剥離シートと、ＵＶ発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを保持する保持機構と、シート付円盤状ウエハのＵＶ発泡剥離シート側に配置され、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハの外周部分に対応する部分にＵＶ光をスポット照射するＵＶ光スポット照射部とを備え、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造装置である。
【００２０】
本発明は、ＵＶ光スポット照射部はシート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ中の不良品ＩＣチップに対応する部分にもＵＶ光をスポット照射することを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【００２１】
本発明は、保持機構はＵＶ光スポット照射部に対してシート付円盤状ウエハを移動させることを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【００２２】
本発明は、ＵＶ光スポット照射部はシート付円盤状ウエハに対して移動自在であることを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【００２３】
本発明は、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置され、円盤状ウエハを吸引する吸引機構をさらに備えたことを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【００２４】
本発明は、シート付円盤状ウエハとＵＶ光スポット照射部とは相対移動することができ、相対移動している間ＵＶ光スポット照射部はＵＶ光のスポット照射を停止するようになっていることを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【００２５】
本発明は、熱発泡剥離シートと、熱発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを準備する工程と、シート付円盤状ウエハを保持機構に保持させる工程と、シート付円盤状ウエハの熱発泡剥離シート側に配置されたレーザー光スポット照射部により、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハの外周部分に対応する部分にレーザー光をスポット照射する工程とを備え、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造方法である。
【００２６】
本発明は、レーザー光を照射する工程において、レーザー光スポット照射部により、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ中の不良品ＩＣチップに対応する部分にもレーザー光をスポット照射することを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００２７】
本発明は、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置された吸引機構により、円盤状ウエハを吸引する工程をさらに備えたことを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００２８】
本発明は、熱発泡剥離シートと、熱発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを保持する保持機構と、シート付円盤状ウエハの熱発泡剥離シート側に配置され、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハの外周部分に対応する部分にレーザー光をスポット照射するレーザー光スポット照射部とを備え、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造装置である。
【００２９】
本発明は、レーザー光スポット照射部はシート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ中の不良品ＩＣチップに対応する部分にもレーザー光をスポット照射することを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【００３０】
本発明は、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置され、円盤状ウエハを吸引する吸引機構をさらに備えたことを特徴とするシート付ウエハの製造装置。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、ＵＶ発泡剥離シートからなる支持シートに接着された略円盤状のウエハから外周部分を容易かつ効率的に取り除くことができる。これにより、支持シートと支持シート上に接着されたダイシング済ウエハとを有するシート付ウエハであって、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを容易かつ効率的に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図１乃至図４を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００３３】
このうち図１および図２は本発明によるシート付ウエハの製造方法および製造装置の一実施の形態を示す斜視図であり、図３はシート付ウエハを示す平面図であり、図４はシート付円盤状ウエハを示す平面図である。
【００３４】
まず、図３により、本発明により製造されるシート付ウエハ１０について説明する。
【００３５】
図３に示すように、シート付ウエハ１０は、支持シート１１と、支持シート１１上に接着され、多数のＩＣチップ１８を有するダイシング済みのウエハ１５とを備えている。また、支持シート１１はその外周縁を保持フレーム１３によって保持されている。
【００３６】
支持シート１１はＵＶ発泡剥離シートからなっている。ＵＶ発泡剥離シートは、例えば、アクリル系ＵＶ再剥離型接着剤等の接着剤を塗布されたＰＥＴフィルム基材からなる透明なシートである。このようなＵＶ発泡剥離シートはＵＶ光９が照射されると照射された部分の接着剤層から気体が発生し、接着剤層とＩＣチップ１８との間に気体層が形成されることから、接着剤のＩＣチップ１８を接着する力が低下するようになっている。
【００３７】
図３に示すように、ダイシング済ウエハ１５は多数の四角形状のＩＣチップ１８から構成されている。したがって、ウエハ１５の周縁部分１６はＩＣチップ１８のみから構成されている。
【００３８】
このようなウエハ１５は、図４に示すような略円盤状の円盤状ウエハ１５ａを一方向およびこの一方向に直交する他方向に沿ってそれぞれ等間隔にダイシングして形成されたダイシング済円盤状ウエハ１５ａから外周部分（図４おける斜線部分）１７を取り除くことにより得られる。この外周部分１７は、円弧状部分を有するため四角形状のＩＣチップ１８を構成しない不要な部分を含んでいる。ウエハの製造において、この外周部分１７には回路を書き込まないこともある。このような円盤状ウエハ１５ａのＩＣチップ１８を構成しない不要な部分の範囲は、円盤状ウエハ１５ａの形状およびＩＣチップ１８の形状によって異なる。
【００３９】
次にこのようなシート付ウエハ１０の製造方法および製造装置について図１および図２により説明する。
【００４０】
まず、ＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１と、支持シート１１上に接着され、多数のＩＣチップ１８を有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハ１５ａとを有するシート付円盤状ウエハ１０ａを準備する。この場合、まず、保持フレーム１３によって保持されたＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１上に、回路を書き込まれた略円盤状の円盤状ウエハ１５ａを接着固定する。次に、この円盤状ウエハ１５ａを一方向およびこの一方向に直交する他方向に沿って、それぞれ等間隔にダイシングする。なお、この場合の間隔は所望のＩＣチップ１８の大きさに対応して決定される。これにより、図４に示すシート付円盤状ウエハ１０ａが作製される。
【００４１】
次に、このシート付円盤状ウエハ１０ａの円盤状ウエハ１５ａから外周部分１７を取り除き、図３に示すシート付ウエハ１０を作製する方法を詳述する。
【００４２】
図１および図２にシート付ウエハの製造方法および製造装置３０を示す。このうち図１は円盤状ウエハ１５ａから外周部分１７を取り除きシート付ウエハの製造する方法および装置３０を示している。
【００４３】
図１および図２に示すように、製造装置３０はシート付円盤状ウエハ１０ａを保持する保持機構３１と、ＵＶ光９を照射するＵＶ光源３７とを備えている。
【００４４】
このうち、ＵＶ光源３７は、ＵＶ光９を放射するＵＶ源３７ｃと、シート付円盤状ウエハ１０ａの支持シート（ＵＶ発泡剥離シート）１１側に配置され、ＵＶ源３７ｃから放射されたＵＶ光９をシート付円盤状ウエハ１０ａに上方からスポット照射するＵＶ光スポット照射部３７ａと、ＵＶ源３７ｃからＵＶ光スポット照射部３７ａへＵＶ光９を案内するＵＶ光案内通路３７ｂとを有している。
【００４５】
また、保持機構３１は保持したシート付円盤状ウエハ１０ａを移動させることができるようになっている。
【００４６】
この製造装置３０を用いてシート付ウエハ１０を製造する場合、まず、シート付円盤状ウエハ１０ａを保持機構３１によって保持させる。保持機構３１は、円盤状ウエハ１５ａ側が下方となるようにしてシート付円盤状ウエハ１０ａを略水平に保持することができるようになっている。
【００４７】
次に、円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７に対応する部分がＵＶ光スポット照射部３７ａの直下に配置されるように、保持機構３１によりシート付円盤状ウエハ１５ａがＵＶ光スポット照射部３７ａに対して移動させられる。
【００４８】
その後、ＵＶ源３７ｃからＵＶ光９を放射する。ＵＶ源３７ｃから放射されたＵＶ光９は、ＵＶ光案内通路３７ｂによりＵＶ光スポット照射部３７ａまで導かれる。ＵＶ光スポット照射部３７ａはその出射口がシート付円盤状ウエハ１５ａに対面するように配置されている。これにより、ＵＶ光スポット照射部３７ａは、直下に配置されているシート付円盤状ウエハ１０ａの円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７に対応する部分にＵＶ光９を照射する。このとき、ＵＶ光スポット照射部３７ａにより、ＵＶ光９はダイシング済ウエハ１個分にスポット照射される。
【００４９】
ＵＶ光９を照射された部分におけるシート付円盤状ウエハ１０ａのＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１の接着力は弱まる。これにより、この部分における円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７は支持シートから剥離して、自然落下する。
【００５０】
本実施の形態においては、図１および図２に示すように、製造装置３０は保持機構３１に保持されたシート付円盤状ウエハ１０ａの円盤状ウエハ１５ａ側に配置された吸引機構３９をさらに備えている。図１および図２に示すように、吸引機構３９は吸引源（図示せず）に連通する筒状の吸引ノズル３９ａを有している。吸引ノズル３９ａの先端がシート付円盤状ウエハ１０ａを挟んでＵＶ光スポット照射部３７ａの出射口に対面する位置に配置されるとともに円盤状ウエハ１５ａに近接するよう、吸引機構３９は配置されている。
【００５１】
本実施の形態においては、ＵＶ光スポット照射部３７ａによりシート付円盤状ウエハにＵＶ光を照射しながら、ＵＶ光９を照射された部分に接着されている円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７を吸引機構により吸引する。このため、支持シート１１への接着力が弱まった円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７は自然落下する前に吸引ノズル３９ａ内へ吸引されてしまう。これにより、支持シート１１から円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７を確実に取り除くことができる。また、ＵＶ光スポット照射部３７ａからのＵＶ光９の照射量と、吸引機構３９の吸引力とを調整することにより、外周部分１７以外の円盤状ウエハ１５ａを取り除いてしまうことなく、外周部分１７のみを確実に取り除くことができる。
【００５２】
このようにしてダイシング済円盤状ウエハ１個分の外周部分１７を取り除くと、保持機構３１がシート付円盤状ウエハ１０ａを順次移動させて、すべての外周部分１７が支持シート１１から順次取り除かれていく。このとき、ＵＶ光スポット照射部３７ａはＵＶ光９を照射し続けてもよいが、シート付円盤状ウエハ１０ａの移動中にＵＶ光９の照射を停止することが好ましい。すなわち、ＵＶ光９をシート付円盤状ウエハ１０ａの一部分にスポット照射した後にＵＶ光スポット照射部３７ａからのＵＶ光９の照射を停止し、次にＵＶ光９の照射を停止した状態でシート付円盤状ウエハ１０ａとＵＶ光スポット照射部３７ａとの相対位置をずらし、その後にＵＶ光スポット照射部３７ａからＵＶ光９を再度照射してシート付円盤状ウエハ１０ａの前記一部分と異なる部分にＵＶ光９をスポット照射することが好ましい。これを繰り返すことによってシート付円盤状ウエハ１０ａの所望の部分（すべての外周部分１７に対応する部分）にＵＶ光９を照射していく場合、シート付円盤状ウエハ１０ａの各部分へＵＶ光９を正確にかつ一定量照射することができ、ＵＶ光９の不要な照射を防止することができる。これにより、比較的高価なＵＶ光源３７を長持ちさせることができるので、経済的に非常に好ましく、シート付ウエハ１０の製造原価を下げることができる。
【００５３】
なお、上述したように、円盤状ウエハ１５ａのＩＣチップ１８を構成しない部分の範囲は、円盤状ウエハ１５ａの形状およびＩＣチップ１８の形状の組合せによって異なる。このため、円盤状ウエハ１５ａの形状およびＩＣチップ１８の形状の異なる組合せ毎にプログラムを組み、このプログラムに基づいて保持機構３１によってシート付円盤状ウエハ１０ａを移動させることにより、円盤状ウエハ１５ａから不要部分だけを取り除くことができる。
【００５４】
ただし、円盤状ウエハ１５ａの形状およびＩＣチップ１８の形状の異なる組合せ間で保持機構３１によりシート付円盤状ウエハ１０ａを移動させるプログラムを併用してもよい。この場合、円盤状ウエハ１５ａから取り除かれる外周部分１７に不要部分だけでなく多少のＩＣチップ１８が含まれ、ＩＣチップ１８の歩留まりを下げてしまうことになる。しかしながら、これにより、保持機構３１の制御を単純化することができるので製造装置３０の製造原価を抑えることができるとともに、シート付ウエハ１０を容易に製造することができる。
【００５５】
またさらに、本実施の形態においては、図４に示すように、ＵＶ光９を照射する工程において、保持機構３１によりシート付円盤状ウエハ１０ａをＵＶ光スポット照射部３７ａに対して移動させて、シート付円盤状ウエハ１０ａの円盤状ウエハ１５ａ中に存在する不良品ＩＣチップ１９に対応する部分にもＵＶ光９を順次スポット照射する。またこの際、外周部分１７の取り除きと同様に、ＵＶ光９の照射に伴って吸引機構３９によりＵＶ光９を照射された不良品ＩＣチップ１９を吸引する。このようにして、円盤状ウエハ１５ａから外周部分１７だけでなく、不良品ＩＣチップ１９も１個ずつ取り除くことができる。
【００５６】
またこの際、シート付円盤状ウエハ１０ａの所望の部分（すべての不良品ＩＣチップ１９に対応する部分）にＵＶ光９を照射するために、シート付円盤状ウエハ１０ａとＵＶ光スポット照射部３７ａとの相対位置をずらしている間、上述したようにＵＶ光スポット照射部３７ａからのＵＶ光９の照射を停止することが好ましい。この場合、上述したＵＶ光源３７の節約という効果だけでなく、良品ＩＣチップ１８の支持シート１１に対する接着力を弱めることも防止することができる。これにより、図２に示すように、円盤状ウエハ１５ａ中のすべての不良品ＩＣチップ１９だけが支持シート１１から順次取り除かれていき、支持シート１１には良品ＩＣチップ１８のみが残る。
【００５７】
なお、不良品ＩＣチップ１９とは円盤状ウエハ１５ａの製造中等に生じた不具合、例えば、回路の書き損じ等を原因として、予定された機能を発揮することができなくなったＩＣチップ１８のことである。このような不良品ＩＣチップ１９は円盤状ウエハ１５ａ内の不規則な場所に生じてしまうものであるが、ここでいう不良品ＩＣチップ１９とはマーキングされること等により、またはマッピングデータ等を基にしてダイシング済みの円盤状ウエハ１５ａ内のどの位置に存在するかが支持シートに接着された状態において判明しているものを対象としている。一方、良品ＩＣチップ１８とは、円盤状ウエハ１５ａ中のＩＣチップのうち不良品ＩＣチップ１９以外のＩＣチップ１８をいう。すなわち、良品ＩＣチップ１８とは、後工程での検査により良品と判定されるかどうかは関係なく、支持シート１１に接着固定された状態で既に不良品と判明しているとともにウエハ中のどの位置に存在するかが判明している不良品ＩＣチップ１９以外のＩＣチップ１８のことをいう。
【００５８】
また、円盤状ウエハ１５ａからの外周部分１７の取り除きと、不良品ＩＣチップ１９の取り除きとはどちらを先に行ってもよい。また、外周部分１７の取り除き中に、該外周部分１７近傍にある不良品ＩＣチップ１９を取り除いてもよい。
【００５９】
以上のようにして、ＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１と、支持シート１１上に接着され、多数のＩＣチップ１８を有するダイシング済みのウエハ１５とを有する、図２に示すような外周部分取り除き済みのシート付ウエハ１０を製造することができる。このようにして得られたシート付ウエハ１０において、ウエハ１５の周縁部分１６はＩＣチップ１８のみから構成されており、ウエハ１５はＩＣチップ１８を構成しない不要部分を含んでいない。さらに、ウエハ１５は円盤状ウエハ１５ａの製造中に生じた不良品ＩＣチップ１９も含んでおらず、ウエハ１５は良品ＩＣチップ１８のみから構成されている。
【００６０】
したがって、支持シート１１から剥がされたダイシング済ウエハ１５はすべて良品ＩＣチップ１８であり、後工程において、個々のダイシング済ウエハ１５をＩＣチップ１８と不要部分とに選別する必要がないだけでなく、良品ＩＣチップ１８から不良品ＩＣチップ１９を選別する必要もない。
【００６１】
以上のように本実施の形態によれば、ＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１にダイシング済みの円盤状ウエハ１５ａを接着してなるシート付円盤状ウエハ１０ａを保持機構３１により保持させ、保持機構３１によりシート付円盤状ウエハ１０ａを移動させながら、円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７および円盤状ウエハ１５ａ中の不良品ＩＣチップ１９に対応するシート付円盤状ウエハ１０ａの部分にＵＶ光スポット照射部３７ａによりＵＶ光９を順次スポット照射することによって、シート付円盤状ウエハ１０ａから円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７と不良品ＩＣチップ１９とを容易かつ効率的に取り除くことができる。これにより、ＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１と、支持シート１１上に接着され、多数のＩＣチップ１８を有するダイシング済ウエハ１５とを有するシート付ウエハ１０であって、ウエハ１５の周縁部分がＩＣチップ１８のみから構成されるとともに、不良品ＩＣチップ１９を含まずウエハ１５全体が良品ＩＣチップ１８のみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハ１０を容易かつ効率的に製造することができる。
【００６２】
また、このようなシート付ウエハ１０を製造するための製造装置３０は簡単な構成からなっており、製造装置３０を安価に用意することができる。また、円盤状ウエハ１５ａから外周部分１７を取り除く装置３０により、不良品ＩＣチップ１９も取り除くことができる。
【００６３】
さらに、円盤状ウエハ１５ａの状態においてＩＣチップ１８を構成しない不要部分は外周部分１７に含まれる。したがって、後工程で個々のダイシング済円盤状ウエハ１５ａからＩＣチップ１８を選別することに比べ、このような効率的な製造方法で外周部分１７を取り除いたシート付ウエハ１０を製造することの方が容易である。このため、このような効率的な製造方法によってシート付ウエハ１０を製造することにより、ＩＣチップ１８を実装された最終製品の製造原価を安価にすることができる。
【００６４】
さらにまた、円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７を吸引する吸引機構３９がシート付円盤状ウエハ１０ａの円盤状ウエハ１５ａ側に設けられており、この吸引機構３９の吸引力と、ＵＶ光スポット照射部３７ａからのＵＶ光９の照射量とを調整することにより、良品ＩＣチップ１８を取り除いてしまうことなく、外周部分１７および不良品ＩＣチップ１９のみを確実に取り除くことができる。
【００６５】
このようにして製造されたシート付ウエハ１０のウエハ１５は不要部分および不良品ＩＣチップ１９を含んでいないため、支持シート１１から剥がされたダイシング済ウエハ１５はすべて良品ＩＣチップ１８からなる。したがって、後工程において、個々のダイシング済ウエハ１５をＩＣチップ１８と不要部分とに選別する必要がなく、またＩＣチップ１８から不良品ＩＣチップ１９を選別する必要もない。このため、ＩＣチップ１８の供給作業を効率的に行うことができる。
【００６６】
なお、本実施の形態において、ＵＶ光９の照射にあたり、保持機構３１によりシート付円盤状ウエハ１０ａをＵＶ光スポット照射部３７ａに対して移動させる例を示したが、これに限られない。ＵＶ光９の照射にあたり、ＵＶ光スポット照射部３７ａをシート付円盤状ウエハ１０ａに対して移動させることができるようにし、これにより、ＵＶ光スポット照射部３７ａとシート付円盤状ウエハ１０ａとの相対位置を移動させるようにしてもよい。
【００６７】
また、本実施の形態においては、シート付円盤状ウエハ１０ａを挟んでＵＶ光スポット照射部３７ａに対面する位置に配置された吸引ノズル３９ａにより、ＵＶ光スポット照射部３７ａからＵＶ光９をスポット照射されている部分に対応するダイシング済のウエハを吸引する例を示したが、これに限られない。事前にＵＶ光スポット照射部３７ａよりＵＶ光９をスポット照射した後、シート付円盤状ウエハ１０ａと吸引ノズル３９ａとを相対移動させながら、ＵＶ光９を照射された部分に対応するダイシング済みのウエハを吸引ノズル３９ａにより順次吸引していくようにしてもよい。
【００６８】
さらに、図１および図２に示す実施の形態においては、シート付円盤状ウエハ１０ａにＵＶ光源３７からＵＶ光９をスポット照射することにより、ＵＶ発泡剥離シートに接着固定された円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７および不良品ＩＣチップ１９を取り除く例を示したが、これに限られない。支持シート１１として熱発泡剥離シートを用いるとともに、上述したＵＶ光源３７に代え、レーザー光９を放射するレーザー源３７ｃと、シート付円盤状ウエハ１０ａの支持シート（熱発泡剥離シート）１１側に配置され、レーザー源３７ｃから放射されたレーザー光９をシート付円盤状ウエハ１０ａにスポット照射するレーザー光スポット照射部３７ａと、レーザー源３７ｃからレーザー光スポット照射部３７ａへレーザー光９を案内するレーザー光案内通路３７ｂとを有したレーザー光源３７を用いて、上述したようにしてシート付ウエハ１０を製造してもよい。
【００６９】
なお、熱発泡剥離シートとは、例えば、９０℃から１５０℃程度に加熱すると発泡する接着剤が塗布されたＰＥＴフィルム基材などからなるシートである。このような熱発泡剥離シートは、レーザー光９が照射されて照射された部分の接着剤層の温度が９０℃から１５０℃程度に加熱されると接着剤から気体が発生することから、接着剤のＩＣチップ１８を接着する力が低下するようになっている。したがって、上述した方法により、レーザー光９をシート付円盤状ウエハ１０ａの円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７に対応する部分、および不良ＩＣチップ１９に対応する部分に照射して加熱することにより、熱発泡剥離シートから円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７および不良ＩＣチップ１９を剥離させて、支持シート付ウエハ１０を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明によるシート付ウエハの製造装置および製造方法の一実施の形態を示す斜視図。
【図２】本発明によるシート付ウエハの製造装置および製造方法の一実施の形態を示す斜視図。
【図３】シート付ウエハを示す平面図。
【図４】シート付円盤状ウエハを示す平面図。
【符号の説明】
【００７１】
１０  シート付ウエハ
１０ａ  支持シート付円盤状ウエハ
１１  支持シート
１３  保持フレーム
１５  ウエハ
１５ａ  円盤状ウエハ
１６  ウエハの周縁部分
１７  円盤状ウエハの外周部分
１８  ＩＣチップ
３０  製造装置
３１  保持機構
３３  マスク
３７  ＵＶ光源
３７ａ  ＵＶ光スポット照射部
３７ｂ  ＵＶ光案内通路
３７ｃ  ＵＶ源
３９  吸引機構
３９ａ  吸引ノズル
【図１】
2005322683.tif 000003
【図２】
2005322683.tif 000004
【図３】
2005322683.tif 000005
【図４】
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