(57)【要約】【課題】安価なホールアレイを提供する。【解決手段】各ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ…から出力された光は、スリット１０２ａで、ＬＥＤの発光像を制限され、ホールアレイ１１０  の貫通孔により広がり角を角度制限され、シリンドリカルレンズ１０４  および１０５  によりＹ方向に集光されて静電記録体１０上に直線状に照射される。ホールアレイ１１０  は、ケミカルエッチングにより開孔が形成されたホールアレイ板１１１  が４枚積層され、接着されて作成されている。このため、従来使用されていたワイヤーカット法により作成されたホールアレイにくらべ、ホールアレイ１１０  の製造費用が低減する。【選択図】          図２
2005027100.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の貫通孔を有するホールアレイであって、
前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に開孔を有する複数枚のホールアレイ板が積層されて構成されていることを特徴とするホールアレイ。
【請求項２】
前記複数枚のホールアレイ板のうち少なくとも１枚のホールアレイ板は、前記貫通孔の形状より大きい形状の開孔を少なくとも１つ有するものであることを特徴とする請求項１記載のホールアレイ。
【請求項３】
前記複数枚のホールアレイ板のうち少なくとも１枚のホールアレイ板は、複数個の貫通孔に対応する位置に該複数個の貫通孔を含む形状の開孔を少なくとも１つ有するものであることを特徴とする請求項２記載のホールアレイ。
【請求項４】
最も外側に配置されているホールアレイ板のうち、少なくとも１枚のホールアレイ板は、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に、前記貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するものであることを特徴とする請求項２または３記載のホールアレイ。
【請求項５】
少なくとも３枚の前記ホールアレイ板が積層され、最も外側に配置されている２枚のホールアレイ板は、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に、前記貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するものであることを特徴とする請求項４記載のホールアレイ。
【請求項６】
光を射出するライン光源と、前記ライン光源から射出された光を、前記ライン光源の長手方向に直交する方向に集束させる光学手段と、
前記ライン光源から射出された光の広がり角を、前記光学手段の光軸に対して、前記ライン光源の長手方向に角度制限する多数の貫通孔を有するホールアレイとを有する露光装置であって、
前記ホールアレイが、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に開孔を有する複数枚のホールアレイ板が積層されて構成されていることを特徴とする露光装置。
【請求項７】
前記複数枚のホールアレイ板のうち少なくとも１枚のホールアレイ板は、前記貫通孔の形状より大きい形状の開孔を少なくとも１つ有するものであることを特徴とする請求項６記載の露光装置。
【請求項８】
前記複数枚のホールアレイ板のうち少なくとも１枚のホールアレイ板は、複数個の貫通孔に対応する位置に該複数個の貫通孔を含む形状の開孔を少なくとも１つ有するものであることを特徴とする請求項７記載の露光装置。
【請求項９】
最も外側に配置されているホールアレイ板のうち、前記ライン光源から遠方に配置されているホールアレイ板は、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に、前記貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するものであることを特徴とする請求項７または８記載の露光装置。
【請求項１０】
少なくとも３枚の前記ホールアレイ板が積層され、最も外側に配置されている２枚のホールアレイ板は、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に、前記貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するものであることを特徴とする請求項９記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多数の貫通孔を有するホールアレイおよび該ホールアレイを備えた露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、医療用Ｘ線撮影において、被験者が受ける被爆線量の減少、診断性能の向上等のために、Ｘ線に感応する例えばａ−Ｓｅから成るセレン板等の光導電体を静電記録体として用い、静電記録体に放射線画像情報を担持するＸ線等の放射線を照射して、放射線画像情報を担持する潜像電荷を静電記録体に蓄積せしめ、その後読取光で静電記録体を走査することにより静電記録体内に生じる電流を静電記録体両側の平板電極あるいはストライプ電極を介して検出することにより、潜像電荷が担持する静電潜像、すなわち放射線画像情報を読み取るシステムが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載されたシステムは、光源から発せられた読取光で静電記録体を走査して、静電記録体に記録された静電潜像を読み取るものである。読取光を出力する光源である読取用露光装置としては、多数の発光素子が線状に並べられたライン光源を用いた装置が挙げられている。
【０００４】
上記ライン光源の一つとして、ＬＥＤをアレイ状に並べたライン光源を用いる方法が知られている（例えば特許文献２参照）。ＬＥＤは入力エネルギーに対する光出力の効率が高く、またレーザー等に比べコストを抑えることができる。このようなライン光源を用いた場合には、各ＬＥＤから射出された光は、ＬＥＤの列設方向と平行に配されたシリンドリカルレンズ等の光学手段により、ＬＥＤの列設方向に直交する方向である走査方向に集光され、静電記録体上にライン状の読取光として照射される。この読取光により、静電記録体を走査露光して画像情報の読み取りを行う。
【０００５】
しかしながら、このような読取用露光装置では、各ＬＥＤから射出された光の広がり角が、ＬＥＤの列設方向に対して制限されていないため、光学手段により走査方向に集束すると、合焦位置にバラツキが生じる。従って、静電記録体上では、合焦している光と、合焦していない光とが混在し、その結果合焦していない光はフレアを増加させ、線幅を広くする。
【０００６】
また、静電記録体上にライン状に集光された読取光において、ＬＥＤの列設方向の光強度が均一ではないという問題がある。すなわち、静電記録体上の中央部分は、多数のＬＥＤから射出された光が集光されるため光強度が大きく、一方静電記録体の端部に近づくにつれ、少ない個数のＬＥＤから射出された光が集光されることとなり、光強度が小さくなる。このため読み出された画像情報の信頼度が低下する虞があった。
【０００７】
これらの問題を解決するために、本出願人は特願平２００２−２６００７８号において、直線状に列設された多数の発光素子を有するライン光源と、前記各発光素子から射出された読取光を、該発光素子の列設方向に直交する方向に集束させる光学手段と、前記各発光素子から射出された読取光の広がり角を、前記光学手段の光軸に対して、前記発光素子の列設方向に角度制限するホールアレイとを備えた画像記録媒体の読取用露光装置を提案している。
【０００８】
上記のようなホールアレイを用いた読取用露光装置２００  の一例を図１４に示す。図１４（Ａ）は、読取用露光装置２００  を走査方向（以下、Ｙ方向と記載）からみた側面図である。なお、以下ＬＥＤの列設方向をＺ方向、Ｙ−Ｚ平面と垂直な方向をＸ方向とする。図１４（Ｂ）は、読取用露光装置２００  のＸ−Ｙ断面図である。この読取用露光装置２００  は、複数の面発光型のＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ…が直線状に列設されたライン光源１０１  と、該ライン光源１０１  の長手方向に延びる開口部１０２ａ  を有するスリット１０２と、ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…の配設ピッチと等間隔に貫通孔が形成されているホールアレイ２０１  と、読取光Ｌを、Ｙ方向に集束させるシリンドリカルレンズ１０４  および１０５  とからなるものである。
【０００９】
また、スリット１０２  は、ライン光源１０１  のＬＥＤの発光像を制限する視野絞りである。また、ホールアレイ２０１  は、ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…の配設ピッチと等間隔に正方形の貫通孔が形成されているものであり、所定の厚みを有し、ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…から発せられた光の広がり角をＹ方向およびＺ方向に角度制限するものである。
【００１０】
各ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…の発光像はスリット１０２  の開口１０２ａにおいて制限され、ホールアレイ２０１  の貫通孔により広がり角を角度制限され、シリンドリカルレンズ１０４  および１０５  によりＹ方向に集光されて静電記録体１０上に照射される。すなわち、ＬＥＤチップの配光特性は図１５に示すように非常に広いため、ホールアレイ２０１  によりＺ方向の広がり角を制限しない場合には、１つのＬＥＤチップから射出された光が非常に広い範囲の照射範囲を有するが、読取用露光装置２００  においては、Ｚ方向の広がり角が狭まっているため、１つのＬＥＤチップから射出された光による照射範囲は、従来の数分の１から数十分の１の範囲となる。
【００１１】
このため、静電記録体１０の中央部分の１つの照射点に対応するＬＥＤチップの個数が、従来に比べて減少する。したがって、静電記録体１０の端部近傍の照射点においても、静電記録体１０の中央部分と同様な光強度を得ることができる。すなわち、直線状に集光された読取光Ｌにおいて、光強度が低下する部位が、静電記録体１０の端部の極近傍のみに減少するので、ＬＥＤチップの列設方向における光強度の均一度が向上し、読み出された画像情報の信頼度が向上する。
【００１２】
さらに、一般に１点から射出され、Ｚ方向に広がる読取光Ｌをシリンドリカルレンズ１０４  および１０５  によりＹ方向に集光する場合、射出角度により集光位置が異なる。例えば焦点上に静電記録体１０が配置されていれば、射出角が０度であれば、静電記録体１０上で合焦するが、射出角が異なる場合には、合焦位置も異なる。このため、静電記録体１０上には、合焦している光と、合焦していない光が混在することとなり、直線状に集光された読取光Ｌのフレアが発生し、線幅（Ｙ方向）が広くなる。読取光ＬのＺ方向の広がり角が大きければ大きいほど、読取光Ｌのフレアが大きく、かつ線幅が広くなる。すなわち、読取用露光装置２００  においては、読取光ＬのＺ方向の広がり角を制限することにより、静電記録媒体１０に直線状に集光された読取光Ｌのフレアを少なくし、線幅を狭くすることができ、読み出された画像情報の信頼度が向上する。
【００１３】
【特許文献１】
特開２０００−１０５２９７号公報
【００１４】
【特許文献２】
特開２００１−２９０２２８号公報
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなホールアレイとしては、１ｍｍ以上の厚さのホールアレイが使用されることが多い。数百μｍの厚さのホールアレイであれば、既存のケミカルエッチング技術あるいはイオンエッチング技術等により安価に作成可能であるが、このように１ｍｍ以上の厚さのホールアレイをエッチング技術により作成することは困難である。このため、通常このような１ｍｍ以上の厚さのホールアレイは、放電を用いたワイヤーカット法等により作成され、高価であるという問題がある。また、このようなホールアレイを用いた露光装置も高価なものとなってしまう。
【００１６】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、安価なホールアレイを提供することを目的とするものである。また本発明の他の目的は安価な露光装置を提供することである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明のホールアレイは、多数の貫通孔を有するホールアレイであって、
前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に開孔を有する複数枚のホールアレイ板が積層されて構成されていることを特徴とするものである。
【００１８】
前記複数枚のホールアレイ板のうち少なくとも１枚のホールアレイ板は、前記貫通孔の形状より大きい形状の開孔を少なくとも１つ有するものであってもよい。なお、「貫通孔の形状」とは、ホールアレイを使用方向に沿って直線的に貫通している部分の断面形状を意味している。
【００１９】
また、前記複数枚のホールアレイ板のうち少なくとも１枚のホールアレイ板は、複数個の貫通孔に対応する位置に該複数個の貫通孔を含む形状の開孔をすくなくとも１つ有するものであってもよい。
【００２０】
さらに、最も外側に配置されているホールアレイ板のうち、少なくとも１枚のホールアレイ板は、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に、前記貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するものであってもよい。
【００２１】
また、少なくとも３枚の前記ホールアレイ板が積層されたホールアレイであれば、最も外側に配置されている２枚のホールアレイ板は、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に、前記貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するものであってもよい。
【００２２】
本発明の露光装置は、光を射出するライン光源と、前記ライン光源から射出された光を、前記ライン光源の長手方向に直交する方向に集束させる光学手段と、
前記ライン光源から射出された光の広がり角を、前記光学手段の光軸に対して、前記ライン光源の長手方向に角度制限する多数の貫通孔を有するホールアレイとを有する露光装置であって、
前記ホールアレイが、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に開孔を有する複数枚のホールアレイ板が積層されて構成されていることを特徴とするものである。
【００２３】
上記複数枚のホールアレイ板のうち少なくとも１枚のホールアレイ板は、前記貫通孔の形状より大きい形状の開孔を少なくとも１つ有するものであってもよい。
【００２４】
また、上記複数枚のホールアレイ板のうち少なくとも１枚のホールアレイ板は、複数個の貫通孔に対応する位置に該複数個の貫通孔を含む形状の開孔を少なくとも１つ有するものであってもよい。
【００２５】
さらに、最も外側に配置されているホールアレイ板のうち、前記ライン光源から遠方に配置されているホールアレイ板は、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に、前記貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するものであってもよい。
【００２６】
少なくとも３枚の前記ホールアレイ板が積層されていれば、最も外側に配置されている２枚のホールアレイ板は、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に、前記貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するものであってもよい。
【００２７】
なお、「最も外側に配置されているホールアレイ板」とは、積層されているホールアレイ板のうち、一方の面に他のホールアレイ板が積層され、他方の面には他のホールアレイが積層されていないホールアレイ板を意味している。また、「最も外側に配置されている２枚のホールアレイ板」とは、各々が最も外側に配置されている２枚のホールアレイ板を意味している。
【００２８】
【発明の効果】
本発明のホールアレイは、該ホールアレイに設けられる多数の貫通孔のそれぞれに対応する位置に開孔を有する複数枚のホールアレイ板が積層されて構成されているため、エッチング技術等を用いて製造することができ安価なものとなる。また、このようなホールアレイを用いた露光装置は安価なものとなる。
【００２９】
上記複数枚のホールアレイ板のうち少なくとも１枚のホールアレイ板が、前記貫通孔の形状より大きい形状の開孔を少なくとも１つ有するものであれば、ホールアレイを軽量化することができる。
【００３０】
また、露光装置は、通常機械的に走査されるため、実際の走査エリアに加え、始動および停止させるための非走査エリアが必要となる。この非走査エリアが露光装置の小型化を妨げる原因のひとつとなっている。上記のような軽量化されたホールアレイを用いることにより、露光装置を軽量化して、非走査エリアを狭くすることができ、露光装置を小型化することができる。
【００３１】
また、上記複数枚のホールアレイ板のうち少なくとも１枚のホールアレイ板が、複数個の貫通孔に対応する位置に該複数個の貫通孔を含む形状の開孔を少なくとも１つ有するものであれば、ホールアレイが軽量化するとともに、開口数が減少するため、ホールアレイ板の製造が容易となる。このようなホールアレイを用いた露光装置は、軽量でかつ製造容易なものとなる。
【００３２】
最も外側に配置されているホールアレイ板のうち、少なくとも１枚のホールアレイ板が、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に、前記貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するものであれば、ホールアレイとしての機能を果たしつつ軽量化することができる。
【００３３】
また、露光装置において、最も外側に配置されているホールアレイ板のうち、ライン光源から遠方に配置されているホールアレイ板が、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に、前記貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するホールアレイを用いれば、光の広がり角を角度制限しつつ軽量化することができる。
【００３４】
少なくとも３枚の前記ホールアレイ板が積層され、最も外側に配置されている２枚のホールアレイ板が、前記貫通孔のそれぞれに対応する位置に、前記貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するものであれば、ホールアレイとしての機能を良好に保ちつつ軽量化することができる。
【００３５】
露光装置において光の広がり角を角度制限するために上記のようなホールアレイを用いる場合には、良好な角度制限機能を保ちつつ軽量化することができる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示すのは、本発明の一実施形態のホールアレイ１１０  を用いた読取用露光装置１００  を利用した放射線画像読取システムの概略構成図である。図１（Ａ）は斜視図、図１（Ｂ）はＸ−Ｚ断面図である。図１に示すように、このシステムは、ガラス基板６上に形成された静電記録体１０と、画像読取時に該静電記録体１０に対して読取光Ｌを照射する読取用露光装置１００  と、読取光Ｌの走査により静電記録体１０から流れ出る電流を検出する電流検出手段５０とを備えてなる。
【００３７】
画像記録媒体である静電記録体１０は、放射線画像情報を静電潜像として記録し、読取光で走査されることにより前記静電潜像に応じた電流を発生するものであり、具体的には、記録用の放射線（例えば、Ｘ線等。以下「記録光」と称す。）に対して透過性を有する第１の導電体層１１、記録光の照射を受けることにより導電性を呈する記録用光導電層１２、第１の導電体層１１に帯電される電荷（潜像極性電荷；例えば負電荷）に対しては略絶縁体として作用し、かつ、該電荷と逆極性の電荷（輸送極性電荷；上述の例においては正電荷）に対しては略導電体として作用する電荷輸送層１３、読取光の照射を受けることにより導電性を呈する読取用光導電層１４、読取光に対して透過性を有する第２の導電体層１５が積層してなるものである。第２の導電体層１５は、図中斜線で示すように多数のエレメント（線状電極）１５ａ  が画素ピッチでストライプ状に配されたストライプ電極とされている。
【００３８】
電流検出手段５０は第２の導電体層１５の各エレメント１５ａ  毎に接続された多数の電流検出アンプ５１を有しており、読取光の露光により各エレメント１５ａ  に流れる電流をエレメント１５ａ  毎に並列的に検出するものである。静電記録体の第１の導電体層１１は接続手段５２の一方の入力および電源５３の負極に接続されており、電源５３の正極は接続手段５２の他方の入力に接続されている。図示していないが、接続手段５２の出力は各電流検出アンプ５１に接続されている。電流検出アンプ５１の構成の詳細については、本発明の要旨に関係がないのでここでは説明を省略するが、周知の構成を種々適用することが可能である。なお、電流検出アンプ５１の構成によっては、接続手段５２および電源５３の接続態様が上記例とは異なるものとなるのは勿論である。
【００３９】
以下上記構成の放射線画像読取システムの作用について説明する。静電記録体に静電潜像を記録する際には、先ず接続手段５２を電源５３に切り替え、第１の導電体層１１と第２の導電体層１５の各エレメント１５ａ  との間に直流電圧を印加し両導電体層を帯電させる。これにより静電記録体内の第１の導電体層１１とエレメント１５ａ  との間に、エレメント１５ａ  をＵ字の凹部とするＵ字状の電界が形成される。
【００４０】
次に記録光を不図示の被写体に爆射し、被写体を透過した記録光、すなわち被写体の放射線画像情報を担持する放射線を静電記録体に照射する。すると、静電記録体の記録用光導電層１２内で正負の電荷対が発生し、その内の負電荷が上述の電界分布に沿ってエレメント１５ａ  に集中せしめられ、記録用光導電層１２と電荷輸送層１３との界面に負電荷が蓄積される。この蓄積される負電荷（潜像電荷）の量は照射放射線量に略比例するので、この潜像電荷が静電潜像を担持することとなる。このようにして静電潜像が静電記録体に記録される。一方、記録用光導電層１２内で発生する正電荷は第１の導電体層１１に引き寄せられて、電源５３から注入された負電荷と電荷再結合し消滅する。
【００４１】
静電記録体から静電潜像を読み取る際には、先ず接続手段５２を静電記録体の第１の導電体層１１側に接続する。
【００４２】
読取用露光装置１００  から出力されるライン状の読取光Ｌがガラス基板６および静電記録体の導電体層１５の各エレメント１５ａ  を透過する。すると、光導電層１４内に正負の電荷対が発生し、その内の正電荷が記録用光導電層１２と電荷輸送層１３との界面に蓄積された負電荷（潜像電荷）に引きつけられるように電荷輸送層１３内を急速に移動し、記録用光導電層１２と電荷輸送層１３との界面で潜像電荷と電荷再結合し消滅する。一方、読取用光導電層１４に生じた負電荷は電源５３から導電体層１５に注入される正電荷と電荷再結合し消滅する。このようにして、静電記録体に蓄積されていた負電荷が電荷再結合により消滅し、この電荷再結合の際の電荷の移動による電流が静電記録体内に生じる。各エレメント１５ａ  毎に接続された電流検出アンプ５１により、この電流を各エレメント１５ａ  毎に並列的に検出する。読取りの際に静電記録体内を流れる電流は、潜像電荷すなわち静電潜像に応じたものであるから、この電流を検出することにより静電潜像を読み取ることができる。なお、読取用露光装置１００  は図中矢印方向に走査露光するものであり、これにより静電記録体１０の全面露光がなされる。
【００４３】
次に、放射線画像読取システムに適用された、本発明の一実施形態にかかる読取用露光装置１００  を図２に示してその構成と作用を説明する。図２（Ａ）は、図１に示す読取用露光装置１００  の詳細な構成を示した、Ｙ方向（ＬＥＤチップの列設方向と直交する方向）からみた側面図であり、図２（Ｂ）は、読取用露光装置１００  のＸ−Ｙ断面図である。なお、Ｘ方向は読取光Ｌの進行方向であり、Ｚ方向はＬＥＤチップの列設方向である。
【００４４】
図２に示すように、読取用露光装置１００  は、Ｚ方向に１ｍｍ間隔で線状に並べられている複数のＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…からなるライン光源１０１  と、Ｚ方向に延びる開口部１０２ａ  を有するスリット１０２と、ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…の配設ピッチと等間隔に貫通孔が形成されているホールアレイ１１０  と、読取光Ｌを、Ｙ方向に集束させる光学手段として機能するシリンドリカルレンズ１０４および１０５  とからなるものである。
【００４５】
また、スリット１０２  は、ライン光源１０１  のＬＥＤの発光像を制限する視野絞りである。なお、スリット１０２  は、各ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…の発光領域を制限するものであればよく、本実施形態のような開口を有する機械的なスリットのみならず、濃度分布フィルタ等の光学的な隙間であってもよい。
【００４６】
ホールアレイ１１０  の部分外観図を図３に、部分断面図を図４に示す。ホールアレイ１１０  は、縦略１．５ｍｍ、横２００ｍｍ、高さ略１ｍｍの直方体であり、ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…の配設ピッチと等間隔である１ｍｍ間隔で、１辺５００μｍの正方形の貫通孔１１０ａ，１１０ｂ，…が、長手方向に列設されている。図４に示すように、ホールアレイ１１０  は、ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…から発せられた光の広がり角を角度制限するものである。
【００４７】
また、ホールアレイ１１０  は、図５に示す、縦略１．５ｍｍ、横２００ｍｍ、高さ略２５０μｍの板に、１辺５００μｍの正方形の開孔１１１ａ，１１１ｂ，…が１ｍｍ置きに、長手方向に列設されているホールアレイ板１１１  を４枚積層して接着することにより形成されている。ホールアレイ板１１１  は、ＳＵＳまたはアルミからなる板に、ケミカルエッチングにより開孔を形成して作成され、反射防止処理が施されている。
【００４８】
各ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…の発光像はスリット１０２  の開口部１０２ａにおいて制限され、各ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…から射出された読取光Ｌは、ホールアレイ１１０  の貫通孔１１０ａ，１１０ｂ，…により広がり角を制限され、シリンドリカルレンズ１０４  および１０５  によりＹ方向に集光されて静電記録体１０上に照射される。
【００４９】
以上の説明で明らかなように、ホールアレイ１１０  は、ケミカルエッチングにより作成されたホールアレイ板１１１  を４枚積層して、接着することにより形成されているため、安価なものとなる。
【００５０】
また、ホールアレイ１１０  の代わりに、図６に部分断面図を示すホールアレイ１２０  を使用することもできる。ホールアレイ１２０  の外観はほぼホールアレイ１１０  と同様であり、図５に示すホールアレイ板１１１  の上に、図７に示す、縦略１．５ｍｍ、横２００ｍｍ、高さ略２５０μｍの板に、１辺７５０μｍの正方形の開孔１２１ａ，１２１１ｂ，…が１ｍｍ置きに、長手方向に列設されているホールアレイ板１２１  を３枚積層して接着することにより形成されている。ホールアレイ板１２１  も、ホールアレイ板１１１  と同様に、ＳＵＳまたはアルミからなる板に、ケミカルエッチングにより開孔を形成して作成され、反射防止処理が施されている。
【００５１】
ホールアレイ１２０  は、ホールアレイ板１２１  が積層されている側がＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…と対向するように配置され、ホールアレイ１１０  と同様にＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…から発せられた光の広がり角を角度制限するものである。ホールアレイ１２０  は、ホールアレイ板１１１  およびホールアレイ板１２１  がケミカルエッチングにより作成されるため、ホールアレイ１１０  と同様安価である。また、ホールアレイ板１２１  における開孔領域の占める面積が、ホールアレイ板１１１  における開孔領域の占める面積より大きいため、ホールアレイ１２０  はホールアレイ１１０  に比べ軽量化される。読取用露光装置１００  は、通常機械的に走査されるため、実際の走査エリアに加え、始動および停止させるための非走査エリアが必要となる。この非走査エリアが放射線画像読取システムの小型化を妨げる原因のひとつとなっている。ホールアレイを軽量化することにより、読取用露光装置１００  を軽量化でき、非走査エリアを狭くすることができ、放射線画像読取システムを小型化することができる。
【００５２】
また、ホールアレイ１１０  の代わりに、図８に部分断面図を示すホールアレイ１３０  を使用することもできる。ホールアレイ１３０  の外観はほぼホールアレイ１１０  と同様である。ホールアレイ１３０  は、厚さ略１ｍｍであり、ホールアレイ板１１１  の上に、図９の（ａ）に示すホールアレイ板１３１  と図９の（ｂ）に示すホールアレイ板１３２  を積層し、さらにホールアレイ板１３１  を積層して、接着することにより形成されている。
【００５３】
ホールアレイ板１３１  は、縦略１．５ｍｍ、横２００ｍｍ、高さ略２５０μｍの板に、縦５００μｍ、横１．５ｍｍの長方形の開孔１３１ａ，１３１ｂ，…が２ｍｍ置きに、長手方向に列設されている。ホールアレイ板１３２  は、縦略１．５ｍｍ、横２００ｍｍ、高さ略２５０μｍの板の端部に、縦５００μｍ、横１．０ｍｍの長方形の開孔１３１ａが設けられ、並んで縦５００μｍ、横１．５ｍｍの長方形の開孔１３１ｂ，１３１ｃ，…が２ｍｍ置きに、長手方向に列設されている。ホールアレイ板１３１  およびホールアレイ板１３２  は、ホールアレイ板１１１  と同様に、ＳＵＳまたはアルミからなる板に、ケミカルエッチングにより開孔を形成して作成され、反射防止処理が施されている。
【００５４】
ホールアレイ１３０  は、ホールアレイ板１３１  が積層されている側がＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…と対向するように配置され、ホールアレイ１１０  と同様にＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…から発せられた光の広がり角を角度制限するものである。ホールアレイ１３０  は、ホールアレイ板１１１  、ホールアレイ板１３１  およびホールアレイ板１３２  がケミカルエッチングにより作成されるため、ホールアレイ１１０  と同様安価である。また、ホールアレイ板１３１  およびホールアレイ板１３２  における開孔領域の占める面積が、ホールアレイ板１１１  における開孔領域の占める面積より大きいため、ホールアレイ１３０  はホールアレイ１１０  に比べ軽量化される。なお、ホールアレイ板１３１  およびホールアレイ板１３２  は、設けられる開孔数が、ホールアレイ板１１１  に設けられる開孔数より少ないため、容易に製造することができる。
【００５５】
なお、各ホールアレイ板には反射防止処理が施されているため、通常は、図４、図６および図８に実線で示す無反射光の広がり角を考慮すればよいが、放射線量が低量である場合や、より精密な読取精度が必要な場合などには、点線で示す１回反射光の広がり角も考慮することが望ましい。ホールアレイ１２０  では、この１回反射光の広がり角は、ホールアレイ１１０  に比べ広くなる。このため、上記のように１回反射光の広がり角も考慮する場合には、ホールアレイ１２０  の代わりに図１０に示すホールアレイ１４０  を使用することが望ましい。
【００５６】
ホールアレイ１４０  は、厚さ略１ｍｍであり、ホールアレイ板１１１  の上に、ホールアレイ板１２１  を２枚積層し、さらにホールアレイ板１１１  を積層して、接着することにより形成されている。このように最も外側に配置されている２枚のホールアレイ板として、貫通孔のそれぞれに対応する位置に、貫通孔の形状と略同一の形状の開孔を有するホールアレイ板１１１  を用いることにより、１回反射光の広がり角を低減し、良好な角度制限機能を保ちつつ露光装置１００  を軽量化することができる。
【００５７】
また、同様に、ホールアレイ１３０  の代わりに図１１に示すホールアレイ１５０  を使用することができる。ホールアレイ１５０  は、ホールアレイ板１１１  の上に、ホールアレイ板１３１  およびホールアレイ板１３２  を積層し、さらにホールアレイ板１１１  を積層して、接着することにより形成されている。ホールアレイ１４０  と同様に、最も外側に配置されている２枚のホールアレイ板として、ホールアレイ板１１１  を用いることにより、１回反射光の広がり角を低減し、良好な角度制限機能を保ちつつ露光装置１００  を軽量化することができる。
【００５８】
なお、説明を簡単にするために、ＬＥＤチップからの発光を点発光として記載したが、実際にはＬＥＤチップは面発光あるいは端面発光するものであり、これらの発光特性を考慮して、ホールアレイを作成することが望ましい。また、ＬＥＤチップとして面発光タイプのＬＥＤを使用する場合には、静電記録体１０上に直線状に集光された読取光Ｌの線幅の最小値は、スリット１０２  の開口部１０２ａの幅により規定される。また、ＬＥＤチップとして、端面発光型のＬＥＤを使用する場合には、発光領域の長手方向がＺ方向となるようにＬＥＤを配置することにより、発光領域のＹ方向の線幅が狭いものとなるため、スリット１０２  を使用せずとも、集光された読取光Ｌの線幅を十分に狭いものとすることができる。
【００５９】
なお、本発明の読取用露光装置は、画像記録媒体として、ストライプ電極を用いた静電記録体を使用したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、読取用の電磁波で走査されることにより、放射線画像情報を坦持する静電電荷に応じた電流を発生するものであれば、どのような画像記録媒体にも適用することができる。
【００６０】
次に、本発明の読取用露光装置を適用した別の実施の形態を図１２に示して説明する。図１２は、本発明の読取用露光装置１００  を、蓄積性蛍光体シートから画像を読み取る画像読取システムに適用したものである。なお、図１３は図１２の露光装置の詳細な構成および輝尽発光光Ｍの検出部分を拡大して示した断面図である。
【００６１】
本画像読取システムは、予め放射線画像情報が蓄積記録された蓄積性蛍光体シート２１０  に対して読取光Ｌを照射せしめる本発明の読取用露光装置１００  と、該励起光Ｌの照射を受けて蓄積性蛍光体シート２１０  から発せられる輝尽発光光Ｍを集光検出する、矢印Ｘ方向に延びた光検出器２２０  と、光検出器２２０  に励起光である読取光Ｌが入射しないように光検出器２２０  の入射端面側に配された読取光カットフィルタ２２１  と、蓄積性蛍光体シート２１０  の表面側に設けられ輝尽発光光Ｍを効率よく光検出器２２０  の入射端面に導く矢印Ｘ方向に延びた集光ミラー２３０  と、蓄積性蛍光体シート２１０  を矢印Ｙ方向に搬送するベルトコンベヤであるシート搬送手段２４０  と、光検出器２２０  に接続されている図示しない信号処理部とからなる。なお、光検出器２２０  は、その長さ方向（矢印Ｘ方向）に配された複数の光電変換素子２２２  から構成されており、各光電変換素子２２２  が蓄積性蛍光体シート２１０  の対応する箇所毎（画素毎）の輝尽発光光を検出する。光電変換素子２２２  としては具体的には、アモルファスシリコンセンサ、ＣＣＤセンサ、ＭＯＳセンサ等を適用する。
【００６２】
次に本実施形態の画像読取システムの作用について説明する。読取用露光装置１００  から出力されるライン状の読取光Ｌが蓄積性蛍光体シート２１０  上に照射されるが、蓄積性蛍光体シート２１０  はシート搬送手段２４０  により矢印Ｙ方向へ移動され、蓄積性蛍光体シート２１０  の全面に亘って読取光Ｌが照射される。
【００６３】
読取光Ｌが照射された蓄積性蛍光体シート２１０  の部分からは、そこに蓄積記録されている放射線画像情報に応じた光量の輝尽発光光Ｍが発せられる。この発光した輝尽発光光Ｍは四方へ拡散し、その一部は光検出器２２０  の入射端面に入射し、一部は集光ミラー２３０  により反射されて光検出器２２０  の入射端面に入射される。この際、輝尽発光光Ｍに僅かに混在する、蓄積性蛍光体シート２１０  表面で反射した読取光Ｌが、読取光カットフィルタ２２１  によりカットされる。光検出器２２０  に集光された輝尽発光光Ｍは各光電変換素子２２２  において増幅、光電変換されて、各光電変換素子２２２  の対応する画素の画像信号Ｓとして外部の信号処理装置に出力される。
【００６４】
なお、読取用露光装置１００  は、そのＬＥＤチップとして蓄積性蛍光体シートから輝尽発光光を発光せしめるために適切な波長の光を出力するものを備えたものとする。
【００６５】
なお、上記各実施の形態としては、各ホールアレイ板の厚さは２５０μｍとしたが、これに限定されるものではなく、既存のエッチング技術等により安価に開孔を加工できる厚さであればよい。また１つのホールアレイを構成する複数枚のホールアレイ板の厚さがそれぞれ異なる厚さであってもよい。
また、ホールアレイに設けられる貫通孔の形状は、正方形に限定されるものではなく、長方形や円形または楕円形等であってもよい。
【００６６】
さらに、各実施の形態においては、ホールアレイ１１０  としては、ＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…の配設ピッチと等間隔に楕円形の貫通孔１１０ａ，１１０ｂ，…が形成されているホールアレイ１１０  が用いられたが貫通孔の形成ピッチは必ずしもＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…の配設ピッチと等間隔である必要はなく、読取光ＬのＺ方向の広がり角を所望の角度に制限できるものであればよい。例えば貫通孔１１０ａ，１１０ｂ，…の２倍の大きさの形状の貫通孔をＬＥＤチップ１０１ａ，１０１ｂ，…の配設ピッチの２倍の間隔で形成したホールアレイを用いることも出来る。
【００６７】
さらに、各実施の形態においては、ライン光源として、ＬＥＤチップが直線状に並べられたライン光源１０１  を用いたがこれに限定されるものではなく、例えば直線状の１本の無機ＥＬまたは有機ＥＬからなるライン光源等を用いることもできる。このような場合には、所望のピッチで、ホールアレイに貫通孔を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のホールアレイを利用した、静電記録体を備えた画像読取システムを示す図
【図２】読取用露光装置の詳細な構成を示す断面図
【図３】ホールアレイの部分概略構成図
【図４】ホールアレイの部分断面図
【図５】ホールアレイ板の部分概略構成図
【図６】ホールアレイの部分断面図
【図７】ホールアレイ板の部分概略構成図
【図８】ホールアレイの部分断面図
【図９】ホールアレイ板の部分概略構成図
【図１０】ホールアレイの部分断面図
【図１１】ホールアレイの部分断面図
【図１２】本発明のホールアレイを利用した、蓄積性蛍光体シートからの画像読取システムを示す図
【図１３】読取用露光装置の詳細な構成を示す断面図
【図１４】従来の読取用露光装置の詳細な構成を示す断面図
【図１５】ＬＥＤチップの配光特性を示す図
【符号の説明】
６    ガラス基板
１０    静電記録体
１１    第１の導電体層
１２    記録用光導電層
１３    電荷輸送層
１４    読取用光導電層
１５    第２の導電体層
１５ａ    エレメント
５０    電流検出手段
５１    電流検出アンプ
５２    接続手段
５３    電源
１００、２００    読取用露光装置
１０１    ライン光源
１０１ａ，１０１ｂ，…    ＬＥＤチップ
１０２    スリット
１１０ａ，１１０ｂ，…    貫通孔
１０４，１０５    シリンドリカルレンズ
１１０，１２０，１３０，１４０，１５０，２０１  ホールアレイ
１１１，１２１，１３１，１３２    ホールアレイ板
１１１ａ，１１１ｂ，…        開孔
１２１ａ，１２１ｂ，…        開孔
１３１ａ，１３１ｂ，…        開孔
１３２ａ，１３２ｂ，…        開孔
２１０    蓄積性蛍光体シート
２２０    光検出器
２２１    読取光カットフィルタ
２２２    光電変換素子
２３０    集光ミラー
２４０    シート搬送手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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