(57)【要約】【課題】濃度の異なるウェルを一度のイオン注入で形成するためのドーピングマスクとこれを用いた電荷転送イメージ素子及び半導体素子の製造方法を提供する。【解決手段】基板１０上の周辺回路領域Ｂには感光膜がなく、画素領域Ａには、一定ピッチの開口５０が反復された感光膜パターンＰＲを形成し、感光膜パターンＰＲをドーピングマスクとしてサブ基板１０の全面に同一濃度のイオン注入を行い、その後熱処理工程を実施する。感光膜パターンＰＲのピッチａはドーピングマスクを通じて注入されたイオンが拡散されて隣り合う開口５０を通じて注入されたイオンが互いに繋がってウェルを形成することができる幅である。これにより、相異なる濃度を有するウェル領域を同時に形成させることができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子を形成するための基板にウェルを形成するためのドーピングマスクであって、
一定したピッチの開口部が反復されて形成された感光膜パターンより成り、
前記ピッチが、隣り合う前記開口部を通じて注入されたイオンが互いに基板内で繋がってウェルを形成することができる幅であることを特徴とするドーピングマスク。
【請求項２】
前記感光膜パターンは、前記開口部がライン形状を成し、当該ライン形状の開口部が一定のピッチで、反復されて形成されていることを特徴とする請求項１に記載のドーピングマスク。
【請求項３】
前記感光膜パターンは、前記開口部が上下左右それぞれ一定したピッチで、反復的に形成されることで、格子形状となっていることを特徴とする請求項１に記載のドーピングマスク。
【請求項４】
前記感光膜パターンは、前記上下のピッチ及び前記左右のピッチが同一であることを特徴とする請求項３に記載のドーピングマスク。
【請求項５】
前記感光膜パターンは、正方格子形状であることを特徴とする請求項４に記載のドーピングマスク。
【請求項６】
前記感光膜パターンは、前記開口部が上下左右それぞれ一定したピッチを有し、ジグザグ形状で行き違って反復的に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のドーピングマスク。
【請求項７】
前記一定したピッチ内で、前記開口部の幅を調整してドーピング濃度を調節することを特徴とする請求項１〜６のうちいずれか一つの項に記載のドーピングマスク。
【請求項８】
周辺回路領域と画素領域とを有するサブ基板の全面に感光膜を形成する段階と、
前記周辺回路領域のサブ基板上部の感光膜は除去し、前記画素領域のサブ基板上部の感光膜は一定したピッチの開口部が反復されて形成されるように感光膜パターンを形成する段階と、
前記感光膜パターンをドーピングマスクとして前記サブ基板の全面に同一な濃度のイオンを注入する段階と、
前記注入されたイオンを拡散させる熱処理工程の段階と、
を含むことを特徴とする電荷転送イメージ素子の製造方法。
【請求項９】
前記感光膜パターンは、前記画素領域で、ライン形開口部が一定したピッチを有し、反復されて形成された構造を有することを特徴とする請求項８に記載の電荷転送イメージ素子の製造方法。
【請求項１０】
前記感光膜パターンは、前記画素領域で、前記開口部が上下左右それぞれ一定したピッチを有し、反復的に形成されて、格子形状の構造を有することを特徴とする請求項８に記載の電荷転送イメージ素子の製造方法。
【請求項１１】
前記感光膜パターンは、前記上下ピッチ及び前記左右ピッチが同一なことを特徴とする請求項１０に記載の電荷転送イメージ素子の製造方法。
【請求項１２】
前記感光膜パターンは、正方格子形状に形成されることを特徴とする請求項１１に記載の電荷転送イメージ素子の製造方法。
【請求項１３】
前記感光膜パターンは、前記画素領域で、前記開口部が上下左右それぞれ一定したピッチを有し、ジグザグ形状で行き違って反復的に形成されることを特徴とする請求項８に記載の電荷転送イメージ素子の製造方法。
【請求項１４】
前記一定したピッチ内で、前記開口部の幅を調整してドーピング濃度を調節することを特徴とする請求項８〜１３のうちいずれか一つの項に記載の電荷転送イメージ素子の製造方法。
【請求項１５】
前記ピッチは、前記ドーピングマスクを通じて注入されたイオンが拡散されて隣り合う前記開口部を通じて注入されたイオンが互いに繋がってウェルを形成することができる幅であることを特徴とする請求項８〜１４のうちいずれか一つの項に記載の電荷転送イメージ素子の製造方法。
【請求項１６】
高濃度と低濃度のウェル領域をそれぞれ形成するための基板の全面に感光膜を形成する段階と、
前記高濃度のウェル領域が形成される前記基板上部の感光膜は除去し、前記低濃度のウェル領域が形成される前記基板上部の感光膜は、一定ピッチを有する開口パターンが反復されて形成されるように感光膜パターンを形成する段階と、
前記感光膜パターンをドーピングマスクとして前記基板の全面に同一な濃度のイオンを注入する段階と、
前記注入されたイオンを拡散させる熱処理工程の段階と、
を含むことを特徴とする半導体素子の製造方法。
【請求項１７】
前記感光膜パターンは、ライン形開口部が一定したピッチを有し、反復されて形成された構造を有することを特徴とする請求項１６に記載の半導体素子の製造方法。
【請求項１８】
前記感光膜パターンは、前記開口部が上下左右それぞれ一定したピッチを有し、反復的に形成されて、格子形状の構造を有することを特徴とする請求項１６に記載の半導体素子の製造方法。
【請求項１９】
前記感光膜パターンは、前記上下ピッチ及び前記左右ピッチが同一であることを特徴とする請求項１８に記載の半導体素子の製造方法。
【請求項２０】
前記感光膜パターンは、正方格子形状に形成されることを特徴とする請求項１９に記載の半導体素子の製造方法。
【請求項２１】
前記感光膜パターンは、前記開口部が上下左右それぞれ一定したピッチを有し、ジグザグ形状で行き違って反復的に形成されることを特徴とする請求項１６に記載の半導体素子の製造方法。
【請求項２２】
前記一定したピッチ内で、前記開口部の幅を調整してドーピング濃度を調節することを特徴とする請求項１５〜２１のうちいずれか一つの項に記載の半導体素子の製造方法。
【請求項２３】
前記ピッチは、前記ドーピングマスクを通じて注入されたイオンが拡散されて隣り合う前記開口部を通じて注入されたイオンが互いに繋がってウェルを形成することができる幅であることを特徴とする請求項１６〜２２のうちいずれか一つの項に記載の半導体素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドーピングマスクと、このドーピングマスクを用いた電荷転送イメージ素子の製造方法及び半導体素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電荷転送イメージ素子は、入射された光により受光部によって生成されて蓄電された光励起電荷を出力部に移送し、移送された電荷を最終的に電圧形態に変換して画像（イメージ）情報を出力させる装置である。
【０００３】
電荷転送イメージ素子には、電荷結合素子（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ；以下、ＣＣＤと称する。）を利用したものがあり、受光部である各画素の信号（電荷）を一時にアナログ的に画素以外の素子に転送して置き、その後、その信号を順次に読み出す信号転送方式を採用している。
【０００４】
このようなＣＣＤは、画素信号の転送方式によりフレーム転送（Ｆｒａｍｅ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ）方式とインターライン転送（Ｉｎｔｅｒｌｉｎｅ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ）方式とに大別される。
【０００５】
ＣＣＤは、複数の金属酸化膜半導体（Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ；以下、ＭＯＳと称する。）ダイオードやＰ／Ｎ接合フォトダイオードを一定した配列で形成した構造を有する。フレーム転送方式のＣＣＤは、入射光を信号電荷に変換する撮影部、信号電荷を蓄積する蓄積部及び信号電荷を水平転送する水平転送部、及び信号電荷を、電荷量に応じた電圧に変換して増幅する出力増幅器を含んで構成される。
【０００６】
また、インターライン転送方式のＣＣＤは、入射される光の強度により信号電荷を発生するフォトダイオードと、信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送チャネルと、垂直転送チャネルから転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送チャネルと、水平転送チャネルから転送された信号電荷を検出して、電荷量に応じた電圧に変換する出力回路部と、を含んで構成される。
【０００７】
また、電荷転送イメージ素子は、フォトダイオード、垂直転送チャネル、水平転送チャネルなどを含む画素領域以外に、入出力回路部、増幅回路部などが集積される周辺回路領域を有する。
【０００８】
この際、一つのサブ基板上に画素領域と画素領域を取り囲む周辺回路領域が形成される。
【０００９】
一般的に、ＣＣＤを形成する基板は、チップの全領域がＮ形サブ基板を用いており、このＮ形サブ基板には一定の動作電圧が印加される。一方、周辺回路領域は、さまざまなトランジスタやダイオードなど素子が必要なため、このＮ形サブ基板にウェルが形成されている。中でも周辺回路領域のＰウェル部分は、グラウンドと連結することができるように、Ｐウェル形成工程時に、画素領域より高濃度のＰウェルを形成しなければならない。
【００１０】
従って、従来にはマスクを二枚使用して、１回目は全面に、２回目は周辺回路領域部分に追加してＰタイプイオン注入を行っていた。
【００１１】
このように、２回のドーピング工程とマスクの使用は、製造工程が煩わしく、コストが高い問題点がある。
【特許文献１】韓国特許出願公開第２００２−００１２９０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明の技術的課題は、一つのマスクパターンを使用した同一濃度のイオン注入を実施して相異なる濃度のドーピング領域を形成させ得るドーピングマスクを提供するところにある。
【００１３】
本発明の他の技術的課題は、前記ドーピングマスクを用いることで、工程の短縮及びコスト削減が可能な電荷転送イメージ素子の製造方法を提供するところにある。
【００１４】
本発明のさらに他の技術的課題は、前記ドーピングマスクを用いることで、工程の短縮及びコスト削減が可能な半導体素子の製造方法を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前述した技術的課題を達成するための本発明によるドーピングマスクは、半導体素子を形成するための基板にウェルを形成するためのドーピングマスクであって、一定したピッチの開口部が反復されて形成された感光膜パターンより成り、前記ピッチが、隣り合う前記開口部を通じて注入されたイオンが互いに基板内で繋がってウェルを形成することができる幅であることを特徴とする。
【００１６】
前述した技術的課題を達成するための本発明による電荷転送イメージ素子の製造方法は、周辺回路領域と画素領域とを有するサブ基板の全面に感光膜を形成する段階と、前記周辺回路領域のサブ基板上部の感光膜は除去し、前記画素領域のサブ基板上部の感光膜は一定したピッチの開口部が反復されて形成されるように感光膜パターンを形成する段階と、前記感光膜パターンをドーピングマスクとして前記サブ基板の全面に同一な濃度のイオンを注入する段階と、前記注入されたイオンを拡散させる熱処理工程段階と、を含むことを特徴とする。
【００１７】
この製造方法において、感光膜パターンは、画素領域で、ライン形開口部が一定したピッチを有し、反復されて形成された構造を有することができる。
【００１８】
また、感光膜パターンは、画素領域で、開口部が上下左右一定したピッチを有し、反復的に形成されて、格子形状の構造を有することができる。
【００１９】
さらに、感光膜パターンは、画素領域で、開口部が上下左右一定したピッチを有し、ジグザグ形状で反復的に形成されることができる。
【００２０】
一方、ピッチは、ドーピングマスクを通じて注入されたイオンが拡散されて隣り合う開口部を通じて注入されたイオンが互いに繋がってウェルを形成することができる幅であることが望ましい。
【００２１】
前述した技術的課題を達成するための本発明による半導体素子の製造方法は、高濃度と低濃度のウェル領域をそれぞれ形成するための基板の全面に感光膜を形成する段階と、前記高濃度のウェル領域が形成される前記基板上部の感光膜は除去し、前記低濃度のウェル領域が形成される前記基板上部の感光膜は、一定ピッチを有する開口パターンが反復されて形成されるように感光膜パターンを形成する段階と、前記感光膜パターンをドーピングマスクとして前記基板の全面に同一な濃度のイオンを注入する段階と、前記注入されたイオンを適切に拡散させる段階と、を含むことを特徴とする。
【００２２】
その他実施形態の具体的な事項は、詳細な説明及び図面に含まれている。
【発明の効果】
【００２３】
前述したように本発明のドーピングマスクによれば、一定したピッチの開口部が反復されて形成された感光膜パターンより成り、前記ピッチが、隣り合う前記開口部を通じて注入されたイオンが互いに基板内で繋がってウェルを形成することができる幅を有するようにしたことで、同一な濃度のイオン注入を一回実施することで相異なる濃度を有するウェル領域を同時に形成させ得る。また、このドーピングマスクを使用することで電荷転送イメージ素子または半導体素子を製造するときに相異なる濃度を有するウェル領域を一つのドーピングマスクを用いて製造することができるようになり、工程短縮、及びコスト削減を成すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の利点及び特徴、そしてそれらを達成する方法は添付する図面と共に詳細に後述している実施形態を参照すれば明確になる。しかしながら、本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、相異なる多様な形態で具現されるものであり、本実施形態は、本発明の開示が完全となり、当業者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は、特許請求の範囲の記載に基づいて決められなければならない。なお、明細書全体にかけて同一参照符号は同一構成要素を示すものとする。
【００２５】
以下、添付した図面を参照して本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。
【００２６】
先ず、図１及び図２を参照して本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子の構造を説明する。
【００２７】
図１は、本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子の概略的構成を示した平面図である。
【００２８】
図２は、図１のＩＩ−ＩＩ’線を切って示した断面図であって、イメージ素子を構成するフォトダイオード、ＭＯＳ構造などを省略し、サブ基板及びサブ基板上に形成されたウェル領域が簡略に示されている。
【００２９】
図１及び図２に示されたように、本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子は、マトリックス配列を成すように形成された多数の受光部１００と、受光部１００のマトリックス配列中それぞれの列と平行に形成された垂直転送チャネル２００と、垂直転送チャネル２００の一側端部に垂直転送チャネル２００と垂直に形成された水平転送チャネル３００を含む画素領域Ａと画素領域Ａの周辺に形成された周辺回路領域Ｂとを含んで構成されている。
【００３０】
ここで、受光部１００は、外部から入射される光の強度により信号電荷を発生するフォトダイオード（Ｐｈｏｔｏ  Ｄｉｏｄｅ；以下、ＰＤと称する。）を含んで構成される。
【００３１】
垂直転送チャネル２００は、フォトダイオードに受光及び蓄積された信号電荷を垂直方向に転送するように構成される。
【００３２】
水平転送チャネル３００は、垂直転送チャネル２００から転送された信号電荷を水平方向に転送して後述する信号検出回路に転送するように構成される。
【００３３】
また、周辺回路領域Ｂは、受光部１００から蓄積された電荷が垂直転送チャネル２００を通じて下へ順次に転送され、次いで水平転送チャネル３００を通じて水平移動された電荷を増幅して出力させる信号検出回路と、その外の入出力回路、保護回路などが集積されることができる領域で定義される。
【００３４】
前述した一つの受光部１００と受光部周囲のチャネル領域を含んで一つの単位セル（ｕｎｉｔ  ｃｅｌｌ）を構成する。
【００３５】
一方、受光部１００は、各フォトダイオードに対応する電位ウェル（ｐｏｔｅｎｔｉａｌ  ｗｅｌｌ）に蓄積されることができる信号電荷量に限界があるので、受光部１００の一部分に強い照度の可視光線が入射されれば、それに比例して発生された信号電荷は、電位ウェルの容量を超えて周囲へ流出されることができる。
【００３６】
この際、流出された信号電荷が周辺単位セルに入れば、ハイライト部の像が幾倍に拡張されて示されるブルーミング（Ｂｌｏｏｍｉｎｇ）現象を誘発し、流出された電荷が隣接チャネルに流れて連続像に示されるスミア（Ｓｍｅａｒ）現象を招来する。こうした現象を防ぐため後述するオーバーフロードレーン（Ｏｖｅｒ  Ｆｌｏｗ  Ｄｒａｉｎ；以下、ＯＦＤと称する。）構造を成す。
【００３７】
図３を参照してＯＦＤ構造を有する本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子の単位セルを説明する。
【００３８】
図３は、本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子の単位セルを示した断面図である。
【００３９】
図３に示されたように、Ｎ形半導体サブ基板１０の表面領域には、縦形オーバーフロー障壁としてブルーミング抑制のためのＰ形ウェル１１が形成され、Ｐ形ウェル１１内にＮ形フォトダイオード１２が形成される。
【００４０】
前述したＮ形フォトダイオード１２の表面領域は、高濃度で注入されたＰ形ホール捕集層１３が形成されている。また、フォトダイオード１２の垂直列の間に垂直転送チャネル１４がＰ形第２のウェル１５上に形成され、両者の間には転送電極１６が延びて形成された伝達ゲートの下部にＰ形伝達チャネル１７が形成される。
【００４１】
前述した半導体基板上には、絶縁層１８を介在して転送電極１６が形成され、フォトダイオード１２を除外した全地域に遮光層１９が形成される。
【００４２】
こうした構造でサブ基板１０に加えられるＯＦＤ動作電圧に応じて、フォトダイオード１２内に光励起された電子などが蓄積されつつ電位ウェルの蓄積容量を超えれば過剰の信号電荷は、Ｐ形ウェル１１の電位障壁を越えてサブ基板１０側に嵌る。
【００４３】
一方、前述したような構成に全チップにかかっているＮ形サブ基板に一定したＯＦＤ動作電圧が印加されるので、周辺回路領域ＢのＰウェル部分は、グラウンドに連結されることができるように画素領域Ａより高濃度のＰウェル（Ｐ−ｗｅｌｌ）を形成するのが一般的である。
【００４４】
従って、図２に示されたように、電荷転送イメージ素子の序盤ウェル形成工程のときに、サブ基板１０の画素領域Ａと周辺回路領域Ｂに相異なるドーピング濃度を有するようにそれぞれ低濃度のＰウェル２１と相対的に高濃度のＰウェル２２を形成する。
【００４５】
本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子を製造するための序盤ウェル形成工程について図４〜図６を参照してより詳しく説明する。
【００４６】
図４は、本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子を製造するためにサブ基板上に感光膜を蒸着する一番目段階の工程断面図である。
【００４７】
図５は、サブ基板上に感光膜マスクパターンを用いてイオン注入を実施する図４の次段階の工程断面図である。
【００４８】
図６は、注入されたイオンがアニーリングを通じて適切に拡散されてウェル領域を形成したことを示す図５の次段階の工程断面図である。
【００４９】
先ず、図４に示されたように、電荷転送イメージ素子の画素領域Ａと周辺回路領域Ｂとを有するサブ基板１０の全面に感光膜（フォトレジスト）５０を形成する。
【００５０】
その後、図５に示されたように、感光膜５１を写真エッチング工程によりパターニングして、画素領域Ａには、一定したピッチａを有するライン形状の開口部５０を持つ感光膜パターンＰＲを形成し、周辺回路領域Ｂには、感光膜が全て除去されるようにする。
【００５１】
なお、このとき、感光膜パターンＰＲは、ライン形状のほか、格子形状又はジグザグ形状で形成することができ、これらについては後述する。
【００５２】
続いて、感光膜パターンＰＲをドーピングマスクとして用いて、周辺回路領域Ｂと画素領域Ａとを含むサブ基板１０上にＰタイプイオン（Ｐ−ｔｙｐｅ  ｉｏｎ）を同一な濃度に注入する。これにより、図５に示すように、開口部５１に相当する部分に対応して基板１０内部にイオン注入領域２１’及び２２’が形成される。なお、図５において図面符号２１’は、画素領域Ａに注入されたイオンの分布を図式的に示したものであり、図面符号２２’は、周辺回路領域Ｂに注入されたイオンの分布を図式的に示したものである。
【００５３】
その後、図６に示されたように、感光膜パターンＰＲを除去し、ドーピングされたＰタイプイオンが適切に拡散される条件により熱処理（アニーリング）を進行する。この熱処理により、イオン注入領域２１’及び２２’内のＰタイプイオンが拡散されて、各Ｐタイプイオンの濃度プロファイルが重畳されて均一な濃度を有するＰウェル（Ｐ−ｗｅｌｌ）領域２１及び２２が形成させるが、このとき、イオン注入領域２１’は、開口部５１を通じてイオン注入されているため、熱処理前の段階（図５）では、Ｐタイプイオンがある部分（イオン注入領域２１’）とない部分が交互に繰り返えされた状態となっており、これが熱処理によってＰタイプイオンの入っていない部分に拡散するので、全体としては濃度の低いＰウェル領域２１ができあがる。一方、イオン注入領域２２’は開口部５１により注入された領域２１’よりも広い領域にイオン注入されているため、同じ温度で熱処理が行われれば、Ｐウェル領域２１よりも高濃度のＰウェル領域２２ができあがる。
【００５４】
従って、一つのマスクパターンを用いてとして相異なるドーピング濃度を有する低濃度Ｐウェル２１とこれより相対的に高濃度のＰウェル２２をそれぞれ形成することができる。
【００５５】
図７〜図９を参照して、感光膜パターンＰＲより成ったドーピングマスクについて詳細に説明する。
【００５６】
図７は、本発明の第１の実施形態によるドーピングマスクを示す平面図である。
【００５７】
図７に示されたように、本発明の第１の実施形態によるドーピングマスクは、感光膜パターンＰＲであり、ライン形開口部５０が一定したピッチａを有し、反復されて形成された構造である。
【００５８】
この際、ドーピングマスクのピッチａは、アニーリングを通じて開口部に注入されたイオンとそれに隣なる開口部５０に注入されたイオンが拡散されて互いに連結されてＰウェル領域２１を形成することができる程度の幅で形成されたものが望ましい。
【００５９】
従って、第１の実施形態によるドーピングマスクを使用して、本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子のサブ基板１０上に同じ濃度のイオン注入を実施した後、熱処理を行えば、ライン形開口部５０が一定したピッチで反復されて形成されたマスクパターン下部の画素領域Ａには、周辺回路領域ＢのＰウェル２２より１／２程度低い濃度でＰウェル２１が形成される。
【００６０】
この際、開口部の幅を調節してＰウェル領域２１の濃度を調節することができる。例えば、同一なピッチ内で開口部の幅を広く調整すれば、１／２よりさらに高い濃度のＰウェル２１を形成させ得る。
【００６１】
図８は、本発明の第２の実施形態によるドーピングマスクを示す平面図である。
【００６２】
図８に示されたように、本発明の第２の実施形態によるドーピングマスクは、所定形態の開口部６０が上下左右一定したピッチｂ，ａを有し、格子形状で反復されて形成された構造である。この際、上下ピッチｂ及び左右ピッチａは、相異なる数値でも酔いし、同一な数値であってもよい。
【００６３】
また、開口部６０は、多様な形状で形成されることができるが、例えば正方形形状であり得る。
【００６４】
一方、ドーピングマスクのピッチｂ，ａは、アニーリングを通じて開口部６０に注入されたイオンとそれに隣接する開口部６０に注入されたイオンが拡散されて互いに連結されてウェルを形成することができる程度の幅で形成されたことが望ましい。
【００６５】
従って、第２の実施形態によるドーピングマスクを使用して、本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子のサブ基板１０上に同じ濃度のイオン注入を実施した後、熱処理を行えば、正方形開口部が一定したピッチで格子構造を成すマスクパターンの下部の画素領域Ａには、周辺回路領域ＢのＰウェル領域２２より１／４ばかり低い濃度でＰウェル領域２１が形成されることができる。
【００６６】
図９は、本発明の第３の実施形態によるドーピングマスクを示す平面図である。
【００６７】
図９に示されたように、本発明の第３の実施形態によるドーピングマスクは、所定形状の開口部７０が上下左右一定したピッチｂ，ａを有し、ジグザグ形状で行き違って反復されて形成された構造である。この際、上下ピッチｂ及び左右ピッチａは、相異なる数値であることができ、同一な数値であることもできる。
【００６８】
また、開口部７０は、多様な形状で形成されることができ、例えば正方形形状であり得る。
【００６９】
一方、ドーピングマスクのピッチｂ，ａは、アニーリングを通じて開口部７０に注入されたイオンとそれに隣接する開口部７０に注入されたイオンが拡散されて互いに連結されてウェルを形成することができる程度の幅で形成されたものが望ましい。
【００７０】
従って、第３の実施形態によるドーピングマスクを使用して、本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子のサブ基板１０上に同じ濃度のイオン注入を実施した後、熱処理を行えば、所定形状の開口部が上下左右一定したピッチｂ，ａを有し、ジグザグ形状で行き違って反復されて形成されたマスクパターン下部の画素領域Ａには、周辺回路領域ＢのＰウェル領域２２より低い濃度でＰウェル領域２１が形成されることができる。
【００７１】
以上、本発明の実施形態として、一つのドーピングマスクを使用して領域別に相異なるドーピング濃度を有するように製造する電荷転送イメージ素子を例に挙げて説明したが、電荷転送イメージ素子はいうまでもなく、半導体素子の一つであり、電荷転送イメージ素子として例示したような濃度の異なるウェル構造はさまざまな半導体素子、例えばＬＳＩなどでも用いられており、本発明は、そのように領域別に相異なるドーピング濃度を有する全ての半導体素子の製造にも用いることができる。
【００７２】
以上、添付した図面を参照して本発明の好適な実施形態を説明したが、当業者であれば、本発明の技術的思想や必須的な特徴を変更せずに他の具体的な形態で実施されうることを理解することができる。従って、上述した好適な実施形態は、例示的なものであり、限定的なものではないと理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子の概略的構成を示した平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ’線を切って示した断面図である。
【図３】本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子の単位セルを示した断面図である。
【図４】本発明の一実施形態による電荷転送イメージ素子を製造するためにサブ基板上に感光膜を蒸着する一番目段階の工程断面図である。
【図５】サブ基板上に感光膜マスクパターンを用いてイオン注入を実施する図４の次段階の工程断面図である。
【図６】注入されたイオンがアニーリングを通じて適切に拡散されてウェル領域を形成したものを示す図５の次段階の工程断面図である。
【図７】本発明の第１の実施形態によるドーピングマスクを示す平面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態によるドーピングマスクを示す平面図である。
【図９】本発明の第３の実施形態によるドーピングマスクを示す平面図である。
【符号の説明】
【００７４】
１００：受光部
２００：垂直転送チャネル
３００：水平転送チャネル
Ａ：画素領域
Ｂ：周辺回路領域
ＯＦＤ：オーバーフロードレーン
ＰＲ：感光膜パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005244217.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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