(57)【要約】【課題】  搬送物に対して横幅方向の端部に対して推進力を付与する推進力付与手段を備えたものでありながら、比較的簡素に構成した切り換え搬送部にて搬送物の搬送方向を切り換えることのできる搬送装置を提供する。【解決手段】  清浄空気を供給にて搬送物２を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段３３と、その搬送物２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段３４Ａ、３４Ｂとを備え、搬送物２の横幅一端部に対して主搬送方向Ｘでの推進力を付与する片側駆動式に構成された主推進力付与部３４Ｂａａにて主搬送方向Ｘに搬送された搬送物２を、搬送物２の前後幅一端部に対して副搬送方向Ｙでの推進力を付与する片側駆動式に構成された副推進力付与部３４Ｂｂにて主推進力付与手段３４Ｂａが備えられていない副搬送方向Ｙに搬送するように搬送物２の搬送方向を切り換える。【選択図】        図１４
2005075543.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置であって、
前記搬送物を主搬送方向に搬送する上流側搬送部と、前記搬送物を前記主搬送方向と交差する副搬送方向に搬送する下流側搬送部と、前記上流側搬送部から受け取った搬送物の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換えて前記下流側搬送部に受け渡す切り換え搬送部とが備えられ、
前記切り換え搬送部が、前記搬送物における前記主搬送方向と直交する横幅方向の前記下流側搬送部から離れる側の横幅一端部に対して前記主搬送方向での推進力を付与する片側駆動式に構成された主推進力付与部と、前記搬送物における前記副搬送方向と直交する前後幅方向の前記上流側搬送部から離れる側の前後幅一端部に対して前記副搬送方向での推進力を付与する片側駆動式に構成された副推進力付与部とを備えて、前記主推進力付与部にて推進力が付与されて前記主搬送方向に搬送された前記搬送物を、前記副搬送物付与部にて推進力を付与して前記副搬送方向に搬送するように前記搬送物の搬送方向を切り換えるように構成されている搬送装置。
【請求項２】
前記副推進力付与部が、前記搬送物の下面を接触支持して推進力を付与する接触式の副駆動部を備えて構成され、且つ、前記搬送物を前記副駆動部にて接触支持する支持位置と、前記搬送物と前記副駆動部との接触を回避すべく下方に退避した退避位置とに昇降自在に構成されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記切り換え搬送部が、前記主推進力付与部にて前記搬送物に対して主搬送方向とは逆方向に推進力を付与可能で、前記副推進力付与部にて前記搬送物に対して副搬送方向とは逆方向に推進力を付与可能に構成され、前記下流側搬送部から受け取った前記搬送物の搬送方向を副搬送方向から主搬送方向に切り換えて前記上流側搬送部に受け渡すようにも構成され、
前記主推進力付与部が、前記搬送物の下面を接触支持して推進力を付与する接触式の主駆動部を備えて構成され、且つ、前記搬送物を前記主駆動部にて接触支持する支持位置と、前記搬送物と前記主駆動部との接触を回避すべく下方に退避した退避位置とに昇降自在に構成されている請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記搬送物における前記主推進力付与部にて推進力が付与される前記横幅一端部側の側面に接当して、前記横幅方向に移動する前記搬送物を受け止める主受け止め部と、前記搬送物における前記副推進力付与部にて推進力が付与される前記前後幅一端部側の側面に接当して、前記前後幅方向に移動する前記搬送物を受け止める副受け止め部とが備えられ、
前記送風式支持手段が、前記搬送物を、前記主推進力付与部にて推進力が付与される前記横幅一端側よりも前記横幅方向の横幅他端側が上方に位置するように傾けた姿勢となる主搬送用姿勢と、前記搬送物を前記副推進力付与部にて推進力が付与される前後幅一端側よりも前記前後幅方向の前後幅他端側が上方に位置するように傾けた姿勢となる副搬送用姿勢とに姿勢変更可能に構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記搬送物における前記主推進力付与部にて推進力が付与される前記横幅一端部とは反対側の横幅他端部側の側面に接当して、前記搬送物の前記横幅方向への移動を規制する主規制部と、前記搬送物における前記副推進力付与部にて推進力が付与される前記前後幅一端部側とは反対側の前後他端部側の側面に接当して、前記搬送物の前後幅方向への移動を規制する副規制部とが備えられ、
前記主規制部が、前記副搬送方向に搬送される前記搬送物の搬送経路に位置して、前記横幅他端部側の側面に接当する作用位置と、前記副搬送方向に搬送される搬送物の搬送経路から退避した退避位置とに位置変更自在に構成され、
前記副規制部が、前記主搬送方向に搬送される搬送物の搬送経路に位置して、前記前後幅他端部側の側面に接当する作用位置と、前記主搬送方向に搬送される搬送物の搬送経路から退避した退避位置とに位置変更自在に構成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記主規制部及び前記副規制部が、前記作用位置から下降することにより前記退避位置に位置変更するように構成され、
前記送風式支持手段が、前記退避位置に位置する前記主規制部や前記副規制部が入り込む凹部を備えて構成されている請求項５記載の搬送装置。
【請求項７】
前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記主搬送方向及び前記副搬送方向に並べて構成されている請求項１〜６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
かかる搬送装置は、液晶用のガラス基板等の搬送物を搬送するために用いられるものであって、従来の搬送装置では、推進力付与手段を、搬送物における搬送方向と直交する横幅方向の両端側に対して推進力を付与する両側駆動式に構成し、水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を搬送するように構成していた（例えば、特許文献１参照。）。
また、搬送物の搬送方向を切り換える従来の搬送装置では、前記搬送物を主搬送方向に搬送する上流側搬送部と、前記搬送物を前記主搬送方向と交差する副搬送方向に搬送する下流側搬送部と、上流側搬送部の搬送下手側端部に搬送された搬送物の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換えて下流側搬送部の搬送上手側端部に受け渡す切り換え搬送部とが備えられているものがあった。
そして、その切り換え搬送部は、搬送物を保持する保持機構と、その保持機構を縦軸芯周りで回転させる回転駆動部と、保持機構を昇降させるエアシリンダとを備え、上流側搬送部の搬送下手側端部に搬送された搬送物を保持機構にて保持し、その保持機構を、エアシリンダにて上昇させ、回転駆動部にて縦軸芯周りに回動させて搬送物を下流側搬送部の上方に位置させ、エアシリンダにて下降させて、下流側搬送部の搬送上手側端部に受け渡すようにして搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換えるように構成されていた（例えば、特許文献２参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３２１８２０号公報
【特許文献２】特開２０００−６２９５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１では、推進力付与手段にて搬送物における主搬送方向と直交する横幅方向の両端側に対して推進力を付与するものであるため、搬送物の横幅方向の両側に位置する推進力付与手段が邪魔なものとなって、主搬送方向と交差する副搬送方向に搬送物を搬送できないものであった。
また、特許文献２では、切り換え搬送部に搬送物を保持する保持機構や、その保持機構を上昇させるエアシリンダ及び保持機構を回転させる回転駆動部を備えて、この切り換え搬送部にて、搬送物における主搬送方向と直交する横幅方向の下流搬送部側に位置する機構を越え、且つ、搬送物の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換えて下流側搬送部に受け渡すように構成されているが、切り換え機構に、保持機構やエアシリンダ、回転駆動部等を備えて、横幅方向の下流搬送部側に位置する機構を越えて搬送物を搬送させる必要があり、切り換え機構の構成が複雑なものとなっていた。
【０００５】
本発明の目的は、搬送物に対して横幅方向の端部に対して推進力を付与する推進力付与手段を備えたものでありながら、比較的簡素に構成した切り換え搬送部にて搬送物の搬送方向を切り換えることのできる搬送装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明の搬送装置は、搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して、前記搬送物を水平姿勢又は略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段と、その送風式支持手段にて支持される前記搬送物に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段とが備えられている搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記搬送物を主搬送方向に搬送する上流側搬送部と、前記搬送物を前記主搬送方向と交差する副搬送方向に搬送する下流側搬送部と、前記上流側搬送部から受け取った搬送物の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換えて前記下流側搬送部に受け渡す切り換え搬送部とが備えられ、
前記切り換え搬送部が、前記搬送物における前記主搬送方向と直交する横幅方向の前記下流側搬送部から離れる側の横幅一端部に対して前記主搬送方向での推進力を付与する片側駆動式に構成された主推進力付与部と、前記搬送物における前記副搬送方向と直交する前後幅方向の前記上流側搬送部から離れる側の前後幅一端部に対して前記副搬送方向での推進力を付与する片側駆動式に構成された副推進力付与部とを備えて、前記主推進力付与部にて推進力が付与されて前記主搬送方向に搬送された前記搬送物を、前記副搬送物付与部にて推進力を付与して前記副搬送方向に搬送するように前記搬送物の搬送方向を切り換えるように構成されている点を特徴とする。
【０００７】
すなわち、上流側搬送部にて、搬送物を主搬送方向に搬送し、切り換え搬送部に受け渡す。切り換え搬送部は、上流側搬送部から受け渡された搬送物を、その搬送物の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換えて下流側搬送装置に受け渡す。そして、下流側搬送装置は、切り換え搬送部から受け渡された搬送物を副搬送方向に搬送する。
【０００８】
そして、切り換え搬送部には主推進力付与手段が備えられており、この主推進力付与手段は、搬送物における主搬送方向と直交する横幅方向の下流側搬送部から離れる側の横幅一端部に対して前記主搬送方向での推進力を付与する片側駆動式に構成されている。よって、搬送物における横幅方向の下流側搬送部が位置する側には推進力付与手段がなく、搬送物は横幅方向における下流側搬送部が位置する側に移動可能な状態となっている。
また、切り換え搬送部には副推進力付与手段も備えられており、この副推進力付与手段は、搬送物における副搬送方向と直交する前後幅方向の上流側搬送部から離れる側の前後幅一端部に対して副搬送方向での推進力を付与する片側駆動式に構成されている。よって、搬送物における前後幅方向の上流側搬送部が位置する側には推進力付与手段がなく、搬送物は前後幅方向における上流側搬送部が位置する側から移動可能な状態となっている。
【０００９】
つまり、副推進力付与部が搬送物における副搬送方向と直交する前後幅方向の上流側搬送部から離れる側の横幅一端部に対して推進力を付与するように構成されているものであるため、主推進力付与部にて主搬送方向に搬送物を搬送する際に、搬送物の前後幅一端部の反対側である前後幅他端部に対して推進力を付与する構成に邪魔されることなく搬送することができて、副推進力付与部に受け渡すことができる。また、主推進力付与部が搬送物における主搬送方向と直交する横幅方向の下流側搬送部から離れる側の横幅一端部に対して推進力を付与するように構成されているものであるため、副推進力付与部にて副搬送方向に搬送物を搬送する際に、搬送物の横幅一端部の反対側である横幅他端部に対して推進力を付与する構成に邪魔されることなく搬送することができて、副搬送方向に下流側に搬送することができる。
【００１０】
従って、搬送物に対して横幅方向の端部に対して推進力を付与する推進力付与手段を備えたものでありながら、その推進力付与手段における主推進力付与部を搬送物における横幅方向の下流側搬送部から離れる側の横幅一端部に対して主搬送方向での推進力を付与する片側駆動式に構成し、推進力付与手段における副推進力付与部を搬送物における前後幅方向の上流側搬送部から離れる側の前後幅一端部に対して副搬送方向での推進力を付与する片側駆動式に構成することによって、横幅一端部の反対側の横幅他端部や前後幅一端側の反対側の前後幅他端側に対して推進力を付与する機構が必要なくなるので、横幅他端側や前後幅他端側に対して推進力を付与する機構が必要なく、また、この横幅他端側や前後幅他端側に対して推進力を付与する機構を越えて搬送物を搬送させる必要もなくなる。よって、切り換え搬送部を比較的簡素に構成することができる搬送装置を提供することができた。
【００１１】
第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記副推進力付与部が、前記搬送物の下面を接触支持して推進力を付与する接触式の副駆動部を備えて構成され、且つ、前記搬送物を前記副駆動部にて接触支持する支持位置と、前記搬送物と前記副駆動部との接触を回避すべく下方に退避した退避位置とに昇降自在に構成されている点を特徴とする。
【００１２】
すなわち、副推進力付与部が支持位置と退避位置とに昇降自在に構成されているため、副推進力付与部を退避位置に位置させておくことによって、主推進力付与手段にて推進力が付与されて主搬送方向に搬送される搬送物と副推進力付与部における駆動部とが接触することがなくなり、搬送物の破損を回避することができる。そして、副推進力付与手段にて搬送物を搬送する際には、副推進力付与部を支持位置まで上昇させることによって、副推進力付与部における副駆動部にて搬送物の下面を接触支持しながら搬送物を搬送することができる。
【００１３】
従って、副推進力付与手段と送風式支持手段との協同によって搬送物を支持することによって、搬送物をより安定した状態で支持しながら搬送物を副搬送方向に搬送することができ、且つ、搬送物を主搬送方向に搬送する際に、搬送物と副推進力付与部における副駆動部とが接触することを回避することができるので、搬送物の破損を回避しながら円滑に搬送することができる。
【００１４】
第３特徴構成は、上記第２特徴構成に加えて、前記切り換え搬送部が、前記主推進力付与部にて前記搬送物に対して主搬送方向とは逆方向に推進力を付与可能で、前記副推進力付与部にて前記搬送物に対して副搬送方向とは逆方向に推進力を付与可能に構成され、前記下流側搬送部から受け取った前記搬送物の搬送方向を副搬送方向から主搬送方向に切り換えて前記上流側搬送部に受け渡すようにも構成され、前記主推進力付与部が、前記搬送物の下面を接触支持して推進力を付与する接触式の主駆動部を備えて構成され、且つ、前記搬送物を前記主駆動部にて接触支持する支持位置と、前記搬送物と前記主駆動部との接触を回避すべく下方に退避した退避位置とに昇降自在に構成されている点を特徴とする。
【００１５】
すなわち、主推進力付与部にて搬送物に対して主搬送方向に推進力を付与し、副推進力付与手段にて搬送物に対して副搬送方向に推進力を付与することによって、搬送物を上流側搬送部側から下流側搬送部側へ搬送する順方向に搬送することができ、また、主推進力付与部にて搬送物に対して主搬送方向とは逆方向に推進力を付与し、副推進力付与手段にて搬送物に対して副搬送方向とは逆方向に推進力を付与することによって、搬送物を下流側搬送部側から上流側搬送部側へ搬送する逆方向にも搬送することができ、搬送装置の使用勝手がよくなる。
【００１６】
また、主推進力付与部が支持位置と退避位置とに昇降自在に構成されているため、主推進力付与部を退避位置に位置させておくことによって、副推進力付与手段にて推進力が付与されて副搬送方向とは逆方向に搬送される搬送物と主推進力付与部における駆動部とが接触することがなくなり、搬送物を逆方向に搬送する場合でも搬送物の破損を回避することができる。そして、主推進力付与手段にて搬送物を搬送する際には、主推進力付与部を支持位置まで上昇させることによって、主推進力付与部における主駆動部にて搬送物の下面を接触支持しながら搬送物を搬送することができる。
【００１７】
従って、主推進力付与手段と送風式支持手段との協同によって搬送物を支持することによって搬送物をより安定した状態で支持することができて、搬送物を円滑に主搬送方向に搬送することができ、且つ、搬送物を主搬送方向とは逆方向に搬送する際に、搬送物と主推進力付与部における副駆動部とが接触することを回避することができる。
【００１８】
第４特徴構成は、上記第１〜３特徴構成のいずれか１つに加えて、前記搬送物における前記主推進力付与部にて推進力が付与される前記横幅一端部側の側面に接当して、前記横幅方向に移動する前記搬送物を受け止める主受け止め部と、前記搬送物における前記副推進力付与部にて推進力が付与される前記前後幅一端部側の側面に接当して、前記前後幅方向に移動する前記搬送物を受け止める副受け止め部とが備えられ、前記送風式支持手段が、前記搬送物を、前記主推進力付与部にて推進力が付与される前記横幅一端側よりも前記横幅方向の横幅他端側が上方に位置するように傾けた姿勢となる主搬送用姿勢と、前記搬送物を前記副推進力付与部にて推進力が付与される前後幅一端側よりも前記前後幅方向の前後幅他端側が上方に位置するように傾けた姿勢となる副搬送用姿勢とに姿勢変更可能に構成されている点を特徴とする。
【００１９】
すなわち、搬送物を主搬送方向に搬送する際には、送風式支持手段を主搬送用姿勢として、搬送物を主推進力付与手段にて推進力が付与される横幅一端側よりも横幅方向の横幅他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持することで、搬送物は、搬送物の自重によって斜め下方に推進力が付与されて搬送物の傾きに沿って横斜め下方に移動しようとするが、その搬送物の横斜め下方への移動を、主受け止め部が搬送物の側面に接当することにより受け止めることができる。
また、搬送物を副搬送方向に搬送する際には、送風式支持手段を副搬送用姿勢として、搬送物を副推進力付与手段にて推進力が付与される前後幅一端側よりも前後幅方向の前後幅他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持することで、搬送物は、搬送物の自重によって斜め下方に推進力が付与されて搬送物の傾きに沿って前後斜め下方に移動しようとするが、その搬送物の前後斜め下方への移動を、副受け止め部が搬送物の側面に接当することにより受け止めることができる。
【００２０】
従って、主搬送方向に搬送物を搬送する際には、搬送物の横斜め下方への移動を主受け止め部にて規制し、副搬送方向に搬送物を搬送する際には、搬送物の前後斜め下方への移動を副受け止め部にて規制することができ、搬送物の横幅他端側への移動や前後幅他端側への移動を搬送物の自重によって移動しにくくすることができるので、搬送物を搬送する際に搬送物が横幅方向にずれてしまったり傾いたりしにくくなり、搬送物を円滑に搬送することができる。
【００２１】
第５特徴構成は、上記第１〜４特徴構成のいずれか１つに加えて、前記搬送物における前記主推進力付与部にて推進力が付与される前記横幅一端部とは反対側の横幅他端部側の側面に接当して、前記搬送物の前記横幅方向への移動を規制する主規制部と、前記搬送物における前記副推進力付与部にて推進力が付与される前記前後幅一端部側とは反対側の前後他端部側の側面に接当して、前記搬送物の前後幅方向への移動を規制する副規制部とが備えられ、前記主規制部が、前記副搬送方向に搬送される前記搬送物の搬送経路に位置して、前記横幅他端部側の側面に接当する作用位置と、前記副搬送方向に搬送される搬送物の搬送経路から退避した退避位置とに位置変更自在に構成され、前記副規制部が、前記主搬送方向に搬送される搬送物の搬送経路に位置して、前記前後幅他端部側の側面に接当する作用位置と、前記主搬送方向に搬送される搬送物の搬送経路から退避した退避位置とに位置変更自在に構成されている点を特徴とする。
【００２２】
すなわち、主搬送方向に搬送物を搬送する際に、主規制部を作用位置に位置変更させておくことによって、主規制部により、搬送物が横幅方向の主推進力付与手段から離れる側に移動するのを規制することができる。そして、副搬送方向に搬送物を搬送する際には、主規制部を退避位置に位置変更させておくことによって、搬送物を副搬送方向に搬送する際の邪魔にならない。
また、副搬送方向に搬送物を搬送する際に、副規制部を作用位置に位置変更させておくことによって、副規制部により、搬送物が前後幅方向の副推進力付与手段から離れる側に移動するのを規制することができそして、主搬送方向に搬送物を搬送する際には、副規制部を退避位置に位置変更させておくことによって、搬送物を主搬送方向に搬送する際の邪魔にならない。
【００２３】
従って、主規制部によって搬送物をより安定した状態で主搬送方向に搬送することができ、副規制部によって搬送物をより安定した状態で副搬送方向に搬送することができながら、主規制部や副規制部を搬送物の搬送の邪魔にならないようにすることができた。
【００２４】
第６特徴構成は、上記第５特徴構成に加えて、前記主規制部及び前記副規制部が、前記作用位置から下降することにより前記退避位置に位置変更するように構成され、前記送風式支持手段が、前記退避位置に位置する前記主規制部や前記副規制部が入り込む凹部を備えて構成されている点を特徴とする。
【００２５】
すなわち、主規制部や副規制部を作用位置から下降させて退避位置に位置変更させることによって、主規制部や副規制部が送風式支持手段に備えられた凹部に入り込む。従って、切り換え搬送部に退避位置に位置する主規制部や副規制部の退避位置を確保する必要がなくなるので切り換え搬送部をコンパクトに構成することができる。
【００２６】
第７特徴構成は、上記第１〜６特徴構成のいずれか１つに加えて、前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記主搬送方向及び前記副搬送方向に並べて構成されている点を特徴とする。
【００２７】
すなわち、送風装置と除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを搬送物の搬送方向に並べて備えるだけで、搬送される搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができる搬送装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００２９】
〔第１実施の形態〕
図１に示すように、搬送装置Ｈは、搬送物としてのガラス基板２を主搬送方向Ｘに搬送し、搬送途中においてガラス基板２の搬送方向を主搬送方向Ｘからこの主搬送方向Ｘと直交する副搬送方向Ｙに切り換えて、ガラス基板２を副搬送方向Ｙに搬送するように構成されている。
つまり、搬送装置Ｈは、複数の搬送ユニット１にて構成されてガラス基板２を主搬送方向Ｘに搬送する上流側搬送部１Ａと、複数の搬送ユニット１にて構成されてガラス基板２を主搬送方向Ｘと直交するように交差する副搬送方向Ｙに搬送する下流側搬送部１Ｂと、上流側搬送部１Ａから受け取ったガラス基板２の搬送方向を主搬送方向Ｘから副搬送方向Ｙに９０°切り換えて下流側搬送部１Ｂに受け渡す切り換え搬送部としてのＬ型搬送ユニット１Ｌとを備えて構成されている。
【００３０】
そして、搬送上手側に位置する搬送ユニット１に移載されたガラス基板２をＬ型搬送ユニット１Ｌを介して搬送下手側に位置する搬送ユニット１に搬送すべく、送風式支持手段３及びＬ型送風式支持手段３３で支持しながら、推進力付与手段４及びＬ型推進力付与手段３４にて推進力を付与して搬送上手側から搬送下手側に向けて搬送するものである。
【００３１】
図２に示すように、搬送ユニット１は上下２段に構成されており、その上下２段の搬送ユニット１をガラス基板２の搬送方向に並べて使用するものであり、前記上流側搬送部１Ａ及び前記下流側搬送部１Ｂは、共に搬送方向に沿って複数の搬送ユニット１を並べて備えることによって構成されている。そして、図３に示すように、搬送ユニット１のそれぞれには、ガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段３と、その送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４と、これら送風式支持手段３並びに推進力付与手段４を収納するケース体７とを備えて構成されている。尚、搬送ユニット１は、水平用支持枠１９によって水平状態に支持されている。また、上側の搬送ユニット１は、上流側搬送部１Ａであれば主搬送方向Ｘに、下流側搬送部１Ｂであれば副搬送方向Ｙにそれぞれ沿う横軸芯Ｐ周りに揺動自在に構成されている。
【００３２】
図３、図４に示すように、前記ケース体７は、送風式支持手段３を載置支持する平面視が略長方形のユニット用枠体９と、ユニット用枠体９の横幅方向の両側に搬送方向に沿って備えた収納フレーム８と、両側の収納フレーム８の上端部にわたって備えた搬送カバー２０とを備えて構成されている。
【００３３】
図４に示すように、前記収納フレーム８のそれぞれは、搬送方向視で角筒状に構成されており、ユニット用枠体９と連結する内壁８ａ側とは反対側は開閉可能な収納カバー８ｃにて構成されている。そして、ユニット用枠体９と収納フレーム８と搬送カバー２０とによって搬送空間Ａが形成されており、収納フレーム８内に収納空間Ｂが形成されている。また、前記ユニット用枠体９は、フレーム部材を組み付けた支持枠部分９ａと、その支持枠部分９ａより下方に位置して、外部空気を搬送空間Ａ内に導入する空気導入口１１を備えた略方形で板状の板状枠部分９ｂとで構成されている。収納フレーム８の下壁８ｂには、収納空間Ｂの空気を外部に排出する外部排出口２１を備えるとともに、この外部排出口２１を閉塞するように、送風機能と除塵機能とを有するサブ送風ユニット２３が備えられており、このサブ送風ユニット２３にて収納空間Ｂ内の空気が外部に排出されるように構成されている。
【００３４】
図３〜５に示すように、前記送風式支持手段３は、搬送ユニット１における搬送空間Ａに設けられており、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風手段としての送風ファン１３とを一体的に組み付けたファンフィルタユニット１４を、搬送方向と搬送方向と直交する横幅方向とに並べて構成されている。そして、図６に示すように、横幅方向に２つ並べたファンフィルタユニット１４を搬送方向に３列並べられており、送風式支持手段３には計６つのファンフィルタユニット１４が備えられている。
【００３５】
前記送風式支持手段３について詳述すると、図３〜５に示すように、前記ファンフィルタユニット１４が、１つの送風ファン１３と、この１つの送風ファン１３の上方を覆う１つの除塵フィルタ１２とを一体的に組み付けて構成されている。そのファンフィルタユニット１４の上部側に位置されて前記ガラス基板２の下面２ａに供給される清浄空気の整風を行う整風板１５が、図１、図５に示すように、６つのファンフィルタユニット１４の上方を覆うように備えられている。つまり、送風式支持手段３は、６つのファンフィルタユニット１４と１つの整風板１５とで構成されている。
【００３６】
そして、送風ファン１３は、この送風ファン１３に備えた電動モータによりファンが回転駆動する電動式に構成されており、整風板１５には、ファンフィルタユニットの真上に位置する箇所にパンチングにより形成された通気孔１５ａが備えられている。また、送風式支持手段３に備えられる６つの送風ファン１３が同等の回転速度で駆動するように構成されており、整風板１５を通過してガラス基板２の裏面２ａに供給される清浄空気の量が搬送方向においても横幅方向においても略同量の清浄空気を供給するように送風式支持手段３が構成されている。
【００３７】
次に、前記推進力付与手段４について説明する。図３に示すように、前記ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４は、ガラス基板２の横幅方向の両端部に対して推進力を付与する両側駆動式に構成されており、この推進力付与手段４には、ガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与する接触式の駆動部としての駆動ローラ２４が備えられている。そして、この駆動ローラ２４には、図４、図８に示すように、ガラス基板２の横幅方向の両端部の側面それぞれに接当して、横幅方向に移動するガラス基板２を受け止める受け止め部としての大径部２４ａが備えられている。
【００３８】
前記推進力付与機構４について詳述すると、推進力付与機構４は一対の収納フレーム８のそれぞれに備えられて両側駆動式に構成されており、推進力付与機構４のそれぞれは、図７〜９に示すように、電動モータ２５と、この電動モータ２５の出力ギヤと噛み合う平歯車２８を備えた伝動軸２７と、伝動軸２７に備えられた出力ギヤ２９と噛み合う入力ギヤ３０を備えた多数の出力軸２６とを備えて構成されている。そして、伝動モータ２５及び伝動軸２７は前記搬送空間Ｂ内に配備されており、前記出力軸２６は、収納空間Ｂ側並びに搬送空間Ａ側にそれぞれ突出する状態で前記内壁８ａに回転自在に支持されている。出力軸２６の収納空間Ｂに突出する部分には前記入力ギヤ３０が備えられており、出力軸２６の搬送空間Ａに突出する部分には前記駆動ローラ２４が備えられている。
【００３９】
従って、送風式支持手段３にて、送風ファン１３の送風作用により、送風ファン１３の下方から吸引した空気を、除塵フィルタ１２を通り、整風板１６の通気孔１６ａを通って清浄空気としてガラス基板２の下面２ａに供給し、その供給した清浄空気にてガラス基板２の下面２ａの略全域が支持されている。また、推進力付与手段４にて、ガラス基板２の横幅方向の両端部の下面が駆動ローラ２４にて接触支持されている。そして、そのガラス基板２を接触支持している駆動ローラ２４が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、ガラス基板２の横幅方向の両端部に対して搬送方向への推進力が付与されてガラス基板２が搬送される。
【００４０】
次に、前記Ｌ型搬送ユニット１Ｌについて詳述すると、図１０、図１１に示すように、上下２段に構成されたＬ型搬送ユニット１Ｌは、Ｌ型搬送ユニット１Ｌ用の送風式支持手段であるＬ型送風式支持手段３３と、Ｌ型搬送ユニット１Ｌ用の推進力付与手段であるＬ型推進力付与手段３４と、Ｌ型搬送ユニット１Ｌ用のケース体であるＬ型ケース体３７とを備えて構成されている。尚、Ｌ型搬送ユニット１Ｌも、水平用支持枠１９にて水平状態に支持されている。また、上側のＬ型搬送ユニット１Ｌは、図１３に示すように、主搬送方向Ｘに沿う横軸芯Ｑ周りに揺動自在に構成されている。
【００４１】
前記Ｌ型ケース体３７は、図１１に示すように、平面視が略Ｌ字状でＬ型送風式支持手段３３を載置支持する前記空気導入口１１を備えたＬ型ユニット用枠体３９と、Ｌ型ユニット用枠体３９におけるガラス基板２の搬送経路に沿う両側に備えたＬ型収納フレーム３８と、両側の収納フレーム８の上端部にわたって備えたＬ型搬送カバー４０とを備えて構成されている。
【００４２】
前記Ｌ型収納フレーム３８には、図１０、図１４に示すように、Ｌ型ユニット用枠体３９を間に挟んで対向するように備えられた両側枠体部分４３と、前記上流側搬送部１Ａに対向する箇所並びに前記下流側搬送部１Ｂに対向する箇所に備えられてＬ型ユニット用枠体３９の外方側にのみ備えられた片側枠体部分４４とで構成されている。そして、片側枠体部分４４における下流側搬送部１Ｂと対向する箇所に備えられた主片側枠体部分４４ａはＬ型ユニット用枠体３９に対して連結固定されている。また、片側枠体部分４４における上流側搬送部１Ａと対向する箇所に備えられた副片側枠体部分４４ｂは昇降自在に構成されている。
【００４３】
前記副片側枠体部分４４ｂについて説明すると、図１６に示すように、片側ケース体３７における前記副片側枠体部分４４ｂを連結する部分は固定側壁４２が連結固定されて搬送空間Ａが閉塞されており、前記副片側枠体部分４４ｂはこの固定側壁４２に対して昇降する構造となっている。つまり、固定側壁４２の外面にはギヤ溝４２ｂが形成されており、そのギヤ溝に昇降用モータ３６の出力ギヤ３６ａが噛み合わさっており、昇降用モータ３６が正逆回転させることによって、副片側枠体部分４４ｂが昇降するように構成されている。尚、固定側壁４２には、副片側枠体部分４４ｂにおける駆動軸２６のそれぞれが昇降可能なように挿通孔４２ａが形成されている。
【００４４】
図１１〜１３に示すように、前記Ｌ型送風式支持手段３３は、Ｌ型搬送ユニット１Ｌにおける搬送空間Ａに設けられており、前記除塵フィルタ１２と前記送風ファン１３とを一体的に組み付けた前記ファンフィルタユニット１４を、主搬送方向Ｘと副搬送方向Ｙとに並べて構成されている。そして、図１４に示すように、横幅方向に２つ並べたファンフィルタユニット１４を搬送方向に３列並べられたファンフィルタユニット群と、このファンフィルタユニット群の副搬送方向下手側に備えられた２つのファンフィルタユニット１４とが備えられており、Ｌ型送風式支持手段３３には計８つのファンフィルタユニット１４が備えられている。また、前記整風板１５と同様に構成された平面視Ｌ字状のＬ型整風板４１が、８つのファンフィルタユニット１４の上方を覆うように備えられている。つまり、Ｌ型送風式支持手段３３は、８つのファンフィルタユニット１４と１つのＬ型整風板４１とで構成されている。また、Ｌ型送風式支持手段３３に備えられる８つの送風ファンは同等の回転速度で駆動するように構成されており、ガラス基板２の裏面２ａに供給される清浄空気の量が横幅方向においても前後幅方向においても略同量の清浄空気を供給するように送風式支持手段３が構成されている。Ｌ型整風板４１にも、整風板１５と同様に通気孔４１ａが形成されている。
【００４５】
前記Ｌ型推進力付与機構３４について説明すると、図１４に示すように、前記Ｌ型推進力付与手段３４には、ガラス基板２の下面２ａの横幅一端部或いは横幅他端部を接触支持して主搬送方向Ｘへの推進力を付与する接触式の主搬送用駆動ローラ４５と、ガラス基板２の下面２ａの前後幅一端部或いは前後幅他端部を接触支持して副搬送方向Ｙへの推進力を付与する接触式の副搬送用駆動ローラ４６とを備えて構成されている。また、前記Ｌ型推進力付与手段３４は、一対の両側枠体部分４３にそれぞれ備えられて対向する一対のＬ型推進力付与手段３４の協働にてガラス基板２の横幅両端部或いは前後幅両端部に対して主搬送方向Ｘ或いは副搬送方向Ｙでの推進力を付与する両側駆動式に構成された両側推進力付与部３４Ａと、１つのＬ型推進力付与部３４にてガラス基板２の横幅一端部或いは前後幅一端部に対して主搬送方向Ｘ或いは副搬送方向Ｙでの推進力を付与する片側駆動式に構成された片側推進力付与部３４Ｂとで構成されている。
【００４６】
そして、片側推進力付与部３４Ｂは、ガラス基板２における主搬送方向Ｘと直交する横幅方向の下流側搬送部１Ｂから離れる側の横幅一端部に対して主搬送方向Ｘでの推進力を付与する片側駆動式に構成された主推進力付与部３４Ｂａと、ガラス基板２における前記副搬送方向Ｙと直交する前後幅方向の上流側搬送部１Ａから離れる側の前後幅一端部に対して副搬送方向Ｙでの推進力を付与する片側駆動式に構成された副推進力付与部３４Ｂｂとを備えて、主推進力付与部３４Ｂａにて推進力が付与されて主搬送方向Ｘに搬送されたガラス基板２を、副推進力付与部３４Ｂｂにて推進力を付与して副搬送方向Ｙに搬送するようにガラス基板２の搬送方向を切り換えるように構成されている。
【００４７】
そして、前記主推進力付与部３４Ｂａは、ガラス基板２の下面２ａの横幅一端部を接触支持して推進力を付与する接触式の主駆動部としての主駆動ローラ４５Ａを備えて構成され、前記副推進力付与部３４Ｂｂは、ガラス基板２の下面２ａを接触支持して推進力を付与する接触式の副駆動部としての副駆動ローラ４６Ｂを備えて構成されている。つまり、前記主搬送用駆動ローラ４５のうちの主推進力付与部３４Ｂａに備えられたものが主駆動ローラ４５Ａに相当し、前記副搬送用駆動ローラ４６のうちの副推進力付与部３４Ｂｂに備えられたものが副駆動ローラ４６Ａに相当する。また、主推進力付与部３４Ｂａは、前記主片側枠体部分４４ａに備えられており、副推進力付与部３４Ｂｂは、前記昇降片側枠体部分４４ｂに備えられている。
【００４８】
前記主駆動ローラ４５Ａには、ガラス基板２における主推進力付与部３４Ｂａにて推進力が付与される横幅一端部側の側面に接当して、横幅方向に移動するガラス基板２を受け止める主受け止め部としての主大径部４５ａ（図１３参照）が形成され、前記副駆動ローラ４６Ｂには、ガラス基板２における副推進力付与部３４Ｂｂにて推進力が付与される前後幅一端部側の側面に接当して、前後幅方向に移動するガラス基板２を受け止める副受け止め部としての副大径部４６ａ（図１２参照）が形成されている。尚、主推進力付与部３４Ｂａ並びに副推進力付与部３４Ｂｂはともに、前記推進力付与機構４と同様に構成されている。
【００４９】
前記副推進力付与部３４Ｂｂは、ガラス基板２を副駆動ローラ４６にて接触支持する支持位置と、ガラス基板２と副駆動ローラ４６との接触を回避すべく下方に退避した退避位置とに昇降自在に構成されている。つまり、図１６に示すように、副推進力付与手段３４Ｂｂを支持する昇降片側枠体部分４４ｂが昇降することによって、副推進力付与手段３４Ｂｂが支持位置と退避位置とに昇降するように構成されている。
【００５０】
図１０、図１４、図１５に示すように、Ｌ型搬送ユニット１Ｌには、ガラス基板２における主推進力付与部３４Ｂａにて推進力が付与される横幅一端部とは反対側の横幅他端部側の側面に接当して、ガラス基板２の横幅方向への移動を規制する主規制部としての複数の主規制ローラ４７と、ガラス基板２における副推進力付与部３４Ｂｂにて推進力が付与される前後幅一端部側とは反対側の前後他端部側の側面に接当して、ガラス基板２の前後幅方向への移動を規制する副規制部としての複数の副規制ローラ４８とが備えられている。
【００５１】
そして、図１５、図１７に示すように、主規制ローラ４７は、副搬送方向に搬送されるガラス基板２の搬送経路に位置して、横幅他端部側の側面に接当する作用位置と、この作用位置から下降することにより副搬送方向に搬送されるガラス基板２の搬送経路から退避した退避位置とに位置変更自在に構成されている。また、副規制ローラ４８は、主搬送方向に搬送されるガラス基板２の搬送経路に位置して、前後幅他端部側の側面に接当する作用位置と、この作用位置から下降することにより主搬送方向に搬送されるガラス基板２の搬送経路から退避した退避位置とに位置変更自在に構成されている。
【００５２】
次に、主規制ローラ４７及び副規制ローラ４８の位置変更構造について説明するが、主規制ローラ４７と副規制ローラ４８との位置変更構造は同様であるので、主規制ローラ４７の位置変更構造について説明し、副規制ローラ４８の位置変更構造についての説明は省略する。
図１７に示すように、主規制ローラ４７のそれぞれはローラ支持枠４９の上端部に縦軸芯周りに回転自在に支持されており、そのローラ支持枠３４がＬ型ユニット用枠体３９に載置支持された電動式のモータ５０にて上下方向に昇降移動させるように構成されている。従って、モータ５０にてローラ支持体４９を上下方向に昇降移動させることによって、主規制ローラ４７が上下方向に位置調節され、昇降位置と退避位置とに昇降移動する。
【００５３】
そして、前記Ｌ型送風式支持手段３３には、退避位置に位置する主規制ローラ４７や副規制ローラ４８が入り込む凹部３３ａと、前記ローラ支持枠３４が貫通する貫通孔３３ｂとが形成されている。尚、ファンフィルタユニット１４の大きさや搬送されるガラス基板２の大きさ等によって、主規制ローラ４７や副規制ローラ４８の一部分だけ入り込んだり、貫通孔３３ｂを形成する必要がなかったりする場合もある。
【００５４】
次に、Ｌ型搬送ユニット１Ｌにおけるガラス基板２を搬送する手順を説明する。
予め、図１５（イ）に示すように、ガラス基板２と副推進力付与部３４Ｂｂとが接当しないように副推進力付与部３４Ｂｂを退避位置に下降させ、ガラス基板２を安定した状態で主搬送方向Ｘに搬送するために主規制ローラ４７を作用位置に上昇させ、ガラス基板２を主搬送方向Ｘに搬送する際に邪魔にならないように副規制ローラ４８を退避位置に下降させておく。
そして、Ｌ型送風式支持手段３３にて供給した清浄空気にてガラス基板２の下面２ａの略全域を支持し、Ｌ型推進力付与手段３４における両側推進力付与部３４Ａにて、ガラス基板２の横幅方向の両端部の下面２ａを主駆動ローラ４５にて接触支持し、主駆動ローラ４５が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、ガラス基板２が主搬送方向Ｘに搬送される。この両側推進力付与部３４Ａにて搬送される際には、ガラス基板２は横幅方向両側の主駆動ローラ４５の主大径部４５ａによりガラス基板２の横幅方向へのずれが規制されながら搬送される。
その後、Ｌ型推進力付与手段３４における片側推進力付与部３４Ｂの主推進力付与部３４Ｂａにて、ガラス基板２の横幅一端部側の下面２ａを主駆動ローラ４５にて接触支持し、主駆動ローラ４５が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、ガラス基板２が主搬送方向Ｘに搬送される。この主推進力付与部３４Ｂａにて搬送される際には、ガラス基板２は横幅一方側の主駆動ローラ４５の主大径部４５ａと横幅他方側の主規制ローラ４７との協働によりガラス基板２の横幅方向へのずれが規制されながら搬送される。
【００５５】
ガラス基板２が主搬送方向終端まで搬送されると、図１５（ロ）に示すように、副駆動ローラ４６にてガラス基板２の前後幅一端側の下面２ａを接触支持するように副推進力付与部３４Ｂｂを支持位置に上昇させ、ガラス基板２を副搬送方向Ｙに搬送する際に邪魔にならないように主規制ローラ４７を退避位置に下降させ、ガラス基板２を安定した状態で副搬送方向Ｙに搬送するために副規制ローラ４８を作用位置に上昇させて、ガラス基板２の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換える。
そして、Ｌ型送風式支持手段３３にて供給した清浄空気にてガラス基板２の下面２ａの略全域を支持し、Ｌ型推進力付与手段３４における片側推進力付与部３４Ｂの副推進力付与部３４Ｂｂにて、ガラス基板２の前後幅一端部側の下面２ａを副駆動ローラ４６にて接触支持し、副駆動ローラ４６が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、ガラス基板２が副搬送方向Ｙに搬送される。この副推進力付与部３４Ｂｂにて搬送される際には、ガラス基板２は前後幅一方側の副駆動ローラ４６の副大径部４６ａと前後幅他方側の副規制ローラ４８との協働によりガラス基板２の前後幅方向へのずれが規制されながら搬送される。
その後、Ｌ型推進力付与手段３４における両側推進力付与部３４Ａにて、ガラス基板２の前後幅方向の両端部の下面２ａを副駆動ローラ４６にて接触支持し、副駆動ローラ４６が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、ガラス基板２が副搬送方向Ｙに搬送される。この両側推進力付与部３４Ａにて搬送される際には、ガラス基板２は前後幅方向両側の副駆動ローラ４６の副大径部４６ａによりガラス基板２の横幅方向へのずれが規制されながら搬送される。
【００５６】
〔第２実施の形態〕
上記第１実施の形態では、Ｌ型推進力付与手段を部分的に片側駆動式に構成したが、Ｌ型推進力付与手段の全体を片側駆動式に構成してもよい。尚、第１実施の形態と同様に構成されるものについては、第１実施の形態と同じ符号を付け、説明は省略する。
【００５７】
図１９に示すように、搬送ユニット１における片側ケース体５２は、送風式支持手段３を載置支持する平面視が略長方形のユニット用枠体９と、ユニット用枠体９の横幅方向における搬送経路外側に搬送方向に沿って備えられた収納フレーム８と、ユニット用枠体９の横幅方向における搬送経路内側に沿って備えられたケース側壁５３と、収納フレーム８の上端部からケース側壁５３の上端部にわたって備えた搬送カバー２０とを備えて構成されている。よって、搬送空間Ａは、ユニット用枠体９と収納フレーム８とケース側壁５３と搬送カバー２０とによって形成されている。
【００５８】
そして、搬送ユニット１は、傾斜用支持枠５１にて、横幅方向において収納フレーム８を備えている側ほど下方に位置するように傾斜状態に支持されており、搬送ユニット１が傾斜状態で支持されることにより、送風式支持手段３も傾斜姿勢でユニット用枠体９に支持されている。尚、図１９では、片側ケース体５２の傾きをわかりやすくするために、搬送ユニット５２を、搬送方向視で収納フレーム８を備えている側ほど下方に位置するように５°傾けて図示したが、本願発明を実施する際には、搬送ユニット１の傾きは０．５°程度のわずかな傾きでよい。
【００５９】
次に、前記推進力付与手段４について説明すると、推進力付与機構４が１つの収納フレーム８に備えられて片側駆動式に構成されている。そして、送風式支持手段３により供給した清浄空気にてガラス基板２の下面２ａの略全域が支持されている。また、推進力付与手段４にて、ガラス基板２の横幅方向の横幅一端側部の下面２ａが駆動ローラ２４にて接触支持されている。
【００６０】
次に、前記Ｌ型搬送ユニット１Ｌについて説明する。
図２０に示すように、Ｌ型搬送ユニット１Ｌにおける前記Ｌ型片側ケース体５４は、前記Ｌ型ユニット用枠体３９と、Ｌ型ユニット用枠体３９におけるガラス基板２の搬送経路外側に沿って備えられたＬ型片側収納フレーム５５と、Ｌ型ユニット用枠体３９におけるガラス基板２の搬送経路内側に沿って備えられたＬ型ケース側壁５６と、Ｌ型片側収納フレーム５５の上端部からＬ型ケース側壁５６の上端部にわたって備えたＬ型搬送カバー４０とを備えて構成されている。
【００６１】
そして、Ｌ型送風式支持手段３３が、ガラス基板２を、主推進力付与部３４Ｂａにて推進力が付与される横幅一端側よりも横幅他端側が上方に位置するように傾けた姿勢となる主搬送用姿勢と、ガラス基板２を副推進力付与部３４Ｂｂにて推進力が付与される前後一端側よりも前後幅他端側が上方に位置するように傾けた姿勢となる副搬送用姿勢とに姿勢変更可能に構成されている。
【００６２】
つまり、Ｌ型搬送ユニット１Ｌが、傾斜姿勢変更用枠体５８にて傾斜姿勢が変更可能に支持されており、傾斜姿勢変更用枠体５８における複数の伸縮部５８ａが伸縮可能に構成されており、図２３（ロ）に示すように、主搬送方向視でＬ型片側収納フレーム５５を備えている側ほど下方に位置する傾斜状態とし、副搬送方向逆方向視で水平状態とすべく、伸縮部５８ａのそれぞれが伸縮することにより、Ｌ型送風式支持手段３３を主搬送用姿勢とすることができる。また、主搬送方向視で水平状態とし、図２４（ロ）に示すように副搬送方向視でＬ型片側収納フレーム５５を備えている側ほど下方に位置する傾斜状態すべく、伸縮部５８ａのそれぞれを伸縮させることにより、Ｌ型送風式支持手段３３を副搬送用姿勢とすることができる。
【００６３】
前記Ｌ型片側収納フレーム５５について詳述すると、図２１、図２２に示すように、Ｌ型片側収納フレーム５５は、Ｌ型ユニット用枠体３９の外方側にのみ備えられた片側枠体部分４４のみで構成されている。そして、片側枠体部分４４における上流側搬送部１Ａと対向する箇所に位置する昇降片側枠体部分４４ｂは昇降自在に構成されている。
【００６４】
前記Ｌ型推進力付与機構３４について説明すると、図２１に示すように、前記Ｌ型推進力付与手段３４は、前記片側枠体部分４４に備えられて片側駆動式に構成された片側推進力付与部３４Ｂのみで構成されている。
【００６５】
そして、片側推進力付与部３４Ｂにおける前記主搬送方向Ｘに沿う前記主片側枠体部分４４ａに備えられた部分を主推進力付与部３４Ｂａとし、片側推進力付与部３４Ｂにおける前記主搬送方向Ｙに沿う前記副片側枠体部分４４ｂに備えられた部分を副推進力付与部３４Ｂｂとしている。そして、前記副推進力付与部３４Ｂｂは、第１実施の形態と同様に支持位置と退避位置とに昇降自在に構成されている。
【００６６】
尚、第２実施の形態においては、Ｌ型搬送ユニット１Ｌには、主規制部や副規制部は備えられていない。よって、前記Ｌ型送風式支持手段３３の凹部３３ａや貫通孔３３ｂも形成されていない。
【００６７】
次に、Ｌ型搬送ユニット１Ｌにおけるガラス基板２を搬送する手順を説明する。
予め、図２３（イ）に示すように、ガラス基板２と副推進力付与部３４Ｂｂとが接当しないように副推進力付与部３４Ｂｂを退避位置に下降させ、図２３（ロ）に示すように、ガラス基板２を安定した状態で主搬送方向Ｘに搬送するためにＬ型送風式支持手段３３を主搬送用姿勢に姿勢変更しておく。
そして、Ｌ型送風式支持手段３３にて供給した清浄空気にてガラス基板２の下面２ａの略全域を支持し、Ｌ型推進力付与手段３４における主推進力付与部３４Ｂａにて、ガラス基板２の横幅方向の両端部の下面２ａを主駆動ローラ４５にて接触支持し、主駆動ローラ４５が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、ガラス基板２が主搬送方向Ｘに搬送される。この主推進力付与部３４Ｂａにて搬送される際には、ガラス基板２は横幅一方側への移動は主駆動ローラ４５の主大径部４５ａにて規制され、ガラス基板２の横幅他端側への移動はガラス基板２の自重によって移動しにくい状態で搬送される。
【００６８】
ガラス基板２が主搬送方向終端まで搬送されると、図２４（イ）に示すように、副駆動ローラ４６にてガラス基板２の前後幅一端側の下面２ａを接触支持するように副推進力付与部３４Ｂｂを支持位置に上昇させ、図２４（ロ）に示すように、ガラス基板２を安定した状態で副搬送方向Ｙに搬送するためにＬ型送風式支持手段３３を副搬送用姿勢に姿勢変更して、ガラス基板２の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換える。
そして、Ｌ型送風式支持手段３３にて供給した清浄空気にてガラス基板２の下面２ａの略全域を支持し、Ｌ型推進力付与手段３４における副推進力付与部３４Ｂｂにて、ガラス基板２の前後幅一端部側の下面２ａを副駆動ローラ４６にて接触支持し、副駆動ローラ４６が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、ガラス基板２が副搬送方向Ｙに搬送される。この副推進力付与部３４Ｂｂにて搬送される際には、ガラス基板２は前後幅一方側への移動は副駆動ローラ４６の副大径部４６ａにて規制され、前後幅他端側への移動はガラス基板２の自重によって移動しにくい状態で搬送される。
【００６９】
〔第３実施の形態〕
上記第１実施の形態や第２実施の形態では、主搬送方向に搬送されるガラス基板と副推進力付与部との接触を回避すべく副推進力付与部を退避位置に下降自在に構成したが、副推進力付与部を下降させずにガラス基板を上昇させるように構成してもよい。尚、搬送ユニットについては上記第２実施の形態と同様に構成されているので説明は省略し、Ｌ型搬送ユニットについても、第１実施の形態や第２実施の形態と同様に構成されるものについては、第１実施の形態や第２実施の形態と同じ符号を付け、説明は省略する。
【００７０】
Ｌ型搬送ユニット１Ｌについては、基本的には上記実施の形態２と同様に構成されており、次の２点で上記第２実施の形態とは構成が異なっている。
【００７１】
横幅方向に２つ並べたファンフィルタユニット１４を搬送方向に３列並べられたファンフィルタユニット群における主搬送方向下手側の２つのファンフィルタユニット１４が、ガラス基板２の下面２ａに供給する清浄空気の量を他の６つのファンフィルタユニットより多量に供給することができる可変ファンフィルタユニット１４ａに構成されている。
片側枠体部分４４における上流側搬送部１Ａと対向する箇所に備えられた副片側枠体部分４４ｂはＬ型ユニット３９に対して昇降自在に構成されていない。
水平用支持枠１９にて水平状態に支持されている。
【００７２】
可変ファンフィルタユニット１４ａについて詳述すると、可変ファンフィルタユニット１４ａに備えた可変送風ファン１３ａを、ファンフィルタユニット群の副搬送方向下手側に備えられた２つのファンフィルタユニット１４を含めた他の６つのファンフィルタユニット１４の送風ファン１３と同等の等速回転速度と、この６つのファンフィルタユニット１４の送風ファン１３より回転速度の速い高速回転速度とに変更可能に構成されている。従って、可変送風ファン１３ａを等速回転速度とすることにより、可変ファンフィルタユニット１４ａは、他のファンフィルタユニット１４と略同量の清浄空気をガラス基板２の下面２ａに供給することができ、可変送風ファン１３ａを高速回転速度とすることにより、可変ファンフィルタユニット１４ａは、他のファンフィルタユニット１４より多量の清浄空気をガラス基板２の下面２ａに供給することができる。
【００７３】
次に、Ｌ型搬送ユニット１Ｌにおけるガラス基板２を搬送する手順を説明する。
予め、ガラス基板２と副推進力付与部３４Ｂｂとが接当しないように可変ファンフィルタユニット１４ａにおける可変送風ファン１３ａを高速回転速度とし、ガラス基板２を安定した状態で主搬送方向Ｘに搬送するためにＬ型送風式支持手段３３を主搬送用姿勢に姿勢変更しておく。
そして、Ｌ型送風式支持手段３３にて供給した清浄空気にてガラス基板２の下面２ａの略全域を支持し、Ｌ型推進力付与手段３４における主推進力付与部３４Ｂａにて、ガラス基板２の横幅方向の両端部の下面２ａを主駆動ローラ４５にて接触支持し、主駆動ローラ４５が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、ガラス基板２が主搬送方向Ｘに搬送される。この主推進力付与部３４Ｂａにて搬送される際には、ガラス基板２は横幅一方側への移動は主駆動ローラ４５の主大径部４５ａにて規制され、ガラス基板２の横幅他端側への移動はガラス基板２の自重によって移動しにくい状態で搬送される。
主搬送方向Ｘにおける終端部付近においては、可変ファンフィルタ１４ａにてガラス基板２の下面２ａに多量の清浄空気が供給されて、ガラス基板２の前後幅一端側となる搬送下手側端部が大きく持ち上げられる。よって、図２４（ロ）に示すように、ガラス基板２の搬送下手側端部が大きく持ち上げられることにより、ガラス基板２と副推進力付与手段３４Ｂｂとの接当を回避しながら、副推進力付与部３４Ｂｂの副駆動ローラ４６上にガラス基板２の前後幅一端部側が位置するまでガラス基板２を主搬送方向に搬送することができる。
【００７４】
図２３に示すように、ガラス基板２が主搬送方向終端まで搬送されると、ガラス基板２が主搬送方向終端まで搬送されると、図２４（イ）に示すように、副駆動ローラ４６にてガラス基板２の前後幅一端側の下面２ａを接触支持するように可変ファンフィルタユニット１４ａにおける可変送風ファン１３ａを同等回転速度とし、ガラス基板２を安定した状態で副搬送方向Ｙに搬送するためにＬ型送風式支持手段３３を副搬送用姿勢に姿勢変更して、ガラス基板２の搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に切り換える。
そして、Ｌ型送風式支持手段３３にて供給した清浄空気にてガラス基板２の下面２ａの略全域を支持し、Ｌ型推進力付与手段３４における副推進力付与部３４Ｂｂにて、ガラス基板２の前後幅一端部側の下面２ａを副駆動ローラ４６にて接触支持し、副駆動ローラ４６が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、ガラス基板２が副搬送方向Ｙに搬送される。この副推進力付与部３４Ｂｂにて搬送される際には、ガラス基板２は前後幅一方側への移動は副駆動ローラ４６の副大径部４６ａにて規制され、前後幅他端側への移動はガラス基板２の自重によって移動しにくい状態で搬送される。
【００７５】
〔別実施の形態〕
（１）  上記第１〜第３実施の形態では、ガラス基板２を上流側搬送部１Ａの上手側から下流側搬送部１Ｂの下手側への順方向にのみ搬送するように構成したが、ガラス基板２を下流側搬送部１Ｂの下手側から上流側搬送部１Ａの上手側への逆方向にも搬送するように構成してもよい。
【００７６】
つまり、Ｌ型搬送ユニット１Ｌを、主推進力付与部３４Ｂａにてガラス基板２に対して主搬送方向Ｘとは逆方向に推進力を付与可能で、副推進力付与部３４Ｂｂにてガラス基板２に対して副搬送方向Ｙとは逆方向に推進力を付与可能に構成され、下流側搬送部１Ｂから受け取ったガラス基板の搬送方向を副搬送方向Ｙから主搬送方向Ｘに切り換えて上流側搬送部１Ａに受け渡すようにも構成する。つまり、Ｌ型推進力付与手段３４を含めた推進力付与手段４を搬送方向に対して正逆方向に搬送可能に構成する。
【００７７】
そして、第１実施の形態や第２実施の形態のように構成した搬送装置においては、主推進力付与部３４Ｂａが、ガラス基板２を主駆動ローラ４５にて接触支持する支持位置と、ガラス基板２と主駆動ローラ４５との接触を回避すべく下方に退避した退避位置とに昇降自在に構成する。つまり、前記主片側枠体部分４４ａも前記副片側枠体部分４４ｂと同様に昇降自在な構成とし、主推進力付与手段３４Ｂａを支持する昇降片側枠体部分４４ａを昇降させることによって、主推進力付与手段３４Ｂａが支持位置と退避位置とに昇降するように構成する。
【００７８】
また、第３実施の形態のように構成した搬送装置においては、Ｌ型送風式支持手段の８つのファンフィルタユニット１４において、上記したファンフィルタユニット群の主搬送方向下手側に位置する２つに加えて、ファンフィルタユニット群の横幅一端側で主搬送方向上手側から２つ目との計３つのファンフィルタユニット１４を可変ファンフィルタユニット１４ａに構成する。
【００７９】
第１実施の形態や第２実施の形態のように構成した搬送装置において、上記のようにＬ型推進力付与手段３４を搬送方向に対して正逆方向に搬送可能に構成した場合についての主推進力付与部３４Ｂａ及び副推進力付与部３４Ｂｂの昇降動作について説明する。尚、ガラス基板２を搬送方向とは逆方向に搬送する際の昇降動作について説明し、ガラス基板２を搬送方向に搬送する際は昇降動作の手順を逆にするだけなので説明は省略する。また、第１実施の形態と同様に構成した場合の主規制ローラ４７及び副規制ローラ４８の位置変更を図２７に示し、この図２７に基づいて説明する。第２実施の形態と同様に構成した場合のＬ型送風式支持手段３３の姿勢変更の図示は省略する。
【００８０】
まず、図２７（イ）に示すように、ガラス基板２と主推進力付与部３４Ｂａとが接当しないように主推進力付与部３４Ｂａを退避位置に下降させ、副駆動ローラ４６にてガラス基板２の横幅一端側の下面２ａを接触支持するように副推進力付与部３４Ｂｂを支持位置に上昇させて、ガラス基板２を副搬送方向Ｙの逆方向に搬送する。
そして、ガラス基板２が主搬送方向終端まで搬送されると、図２７（ロ）に示すように、主駆動ローラ４５にてガラス基板２の横幅一端側の下面２ａを接触支持するように主推進力付与部３４Ｂａを支持位置に上昇させ、ガラス基板２と副推進力付与部３４Ｂｂとが接当しないように副推進力付与部３４Ｂｂを退避位置に下降させた状態でガラス基板２を主搬送方向Ｘの逆方向に搬送する搬送する。
【００８１】
次に、第３実施の形態のように構成した搬送装置において、上記のようにＬ型推進力付与手段３４を搬送方向に対して正逆方向に搬送可能に構成した場合についての３つの可変ファンフィルタユニット１４ａの回転速度変更調節について説明する。尚、ガラス基板２を搬送方向とは逆方向に搬送する際の昇降動作について説明し、ガラス基板２を搬送方向に搬送する際は昇降動作の手順を逆にするだけなので説明は省略する。また、第３実施の形態と同様に構成した場合のＬ型送風式支持手段３３の姿勢変更は、第３実施の形態のガラス基板２を正方向に搬送した場合の逆の手順で変更する。
【００８２】
まず、図２８に示すように、ガラス基板２と主推進力付与部３４Ｂｂとが接当しないように、３つの可変ファンフィルタユニット１４ａのうちの主搬送方向Ｘに並ぶ２つの可変ファンフィルタユニット１４ａにおける可変送風ファン１３ａを高速回転速度とし、副推進力付与部３４Ｂｂの副駆動ローラ４６にてガラス基板２の前後幅一端側に対して十分な推進力を付与させるために残る１つのファンフィルタユニット１４ａにおける可変送風ファン１３ａを等速回転速度として、ガラス基板２を副搬送方向Ｙの逆方向に搬送する。
そして、ガラス基板２と副推進力付与部３４Ｂｂとが接当しないように、３つの可変ファンフィルタユニット１４ａのうちの副搬送方向Ｙに並ぶ２つの可変ファンフィルタユニット１４ａにおける可変送風ファン１３ａを高速回転速度とし、主推進力付与部３４Ｂａの主駆動ローラ４５にてガラス基板２の横幅一端側に対して十分な推進力を付与させるために残る１つのファンフィルタユニット１４ａにおける可変送風ファン１３ａを等速回転速度として、ガラス基板２を主搬送方向Ｘの逆方向に搬送する。
【００８３】
（２）  上記第１〜第３実施の形態では、駆動部を複数の駆動ローラで構成したが、タイミングベルト等の無端帯状体にて構成してもよい。また、第１実施の形態では、規制部を複数の主規制ローラや副規制ローラで構成したが、主規制ローラや副規制ローラのそれぞれも同様に無端帯状態で構成しても良い。そして、規制部はＬ型搬送カバーに昇降自在に支持させてもよい。
【００８４】
（３）  上記第１実施の形態及び第２実施の形態において、別実施の形態（１）のように主片側枠体部分を昇降自在に構成してもよく、また、上記第３実施の形態において、別実施の形態（１）のように可変ファンフィルタユニットを３つ備えて構成してもよい。
つまり、搬送方向の正方向にのみガラス基板を搬送する場合でも、搬送方向を主搬送方向から副搬送方向に搬送方向を切り換えて搬送する際に、主推進力付与部がガラス基板の下面に接触しない状態とすることができ、副搬送方向への搬送を円滑に開始することができる。
【００８５】
（４）  上記第１、第２実施の形態及び各別実施の形態では、切り換え搬送部をＬ型搬送ユニット１Ｌとして、上流側搬送部１Ａから受け取ったガラス基板２の搬送方向を主搬送方向Ｘから副搬送方向Ｙに切り換えて下流側搬送部１Ｂに受け渡すというように、ガラス基板２の搬送方向を必ず切り換えたが、ガラス基板２の搬送方向は必ずしも切り換える必要はない。
【００８６】
例えば、第１実施の形態におけるＬ型搬送ユニット１Ｌに代えて、図２９に示すような、Ｔ型搬送ユニット１Ｔを備えてもよい。このＴ型搬送ユニット１Ｔは、退避位置に下降させた副推進力付与部３４Ｂｂを越えてガラス基板２を主搬送方向Ｘに搬送可能に構成されている。尚、Ｔ型搬送ユニット１Ｔを、第２実施の形態のようにＴ型搬送ユニット１Ｔの全体を片側駆動式に構成してもよい。
【００８７】
つまり、Ｔ型搬送ユニット１Ｔには、前記固定側壁４２が設けられておらず、また、副推進力付与部３４Ｂｂを越えたガラス基板２を搬送部１Ｃに向けて推進力を付与する両側推進力付与部３４Ａが備えられている。そして、前記昇降片側枠体部分４４ｂを下降させて副推進力付与部３４Ｂｂを退避位置とした状態では、昇降片側枠体部分の上端がファンフィルタユニット１４にて支持されるガラス基板２の下面より下方に位置するように構成されている。よって、搬送方向を主搬送方向Ｘから副搬送方向Ｙに切り換える箇所（第１実施の形態における主搬送方向終端）より、さらに主搬送方向Ｘに副推進力付与部３４Ｂｂを越えて搬送可能なように構成されている。
尚、昇降片側枠体部分４４ｂとその両側に位置する枠体部分との間には、前記主搬送用駆動ローラ４５が設けられるように隙間が形成されている。
【００８８】
従って、Ｔ型搬送ユニット１Ｔでは、図３０の矢印ａに示すように、上流側搬送部１Ａから受け取ったガラス基板２の搬送方向を主搬送方向Ｘから副搬送方向Ｙに切り換えて下流側搬送部１Ｂに受け渡す以外に、図３０の矢印ｅに示すように、上流側搬送部１Ａから受け取ったガラス基板２の搬送方向を主搬送方向Ｘのまま切り換えずに搬送部１Ｃに受け渡すことができる。
そして、Ｔ型搬送ユニットにて矢印ｅに示すように搬送する場合では、ガラス基板２と副推進力付与部３４Ｂｂとが接触せずにガラス基板２が副推進力付与部３４Ｂｂを超えて搬送できるように副推進力付与部３４Ｂｂを退避位置に下降させておき、ガラス基板２を安定した状態で主搬送方向Ｘに搬送するために主規制ローラ４７を作用位置に上昇させ、ガラス基板２を主搬送方向Ｘに搬送する際に邪魔にならないように副規制ローラ４８を退避位置に下降させておく。
【００８９】
また、別実施の形態（１）のように、主搬送方向Ｘとは逆方向にガラス基板２を搬送したり、副搬送方向Ｙとは逆方向にガラス基板２を搬送できるように構成することによって、さらに、図３０の矢印ｂ、ｃ、ｄ、ｆで示すようにガラス基板２を搬送することができる。
【００９０】
尚、搬送部１Ｃは、ガラス基板２を矢印ｅ、ｆに示すように搬送する場合は、上流側搬送部１Ａに対する下流側である下流側搬送部となり、ガラス基板２を矢印ｃ、ｄに示すように搬送する場合は、下流側搬送部１Ｂに対する上流側である上流側搬送部となる。
【００９１】
さらに、例えば、第１実施の形態におけるＬ型搬送ユニット１Ｌに代えて、図３１に示すような、十型搬送ユニット１Ｇを備えてもよい。この十型搬送ユニット１Ｇは、ガラス基板２を主推進力付与部３４Ｂａを越えて副搬送方向Ｙに搬送可能で、且つ、副推進力付与部３４Ｂｂを越えて主搬送方向Ｘに搬送可能に構成されている、この場合では、別実施の形態（１）のように、主搬送方向Ｘとは逆方向にガラス基板２を搬送したり、副搬送方向Ｙとは逆方向にガラス基板２を搬送できるように構成することによって、図３２の矢印ａ〜ｌで示すようにガラス基板２を受け渡すことができる。
尚、十型搬送ユニット１Ｇを、第２実施の形態のように十型搬送ユニット１Ｇの全体を片側駆動式に構成してもよい。
【００９２】
（５）  上記各実施の形態では、除塵フィルタと送風手段とを一体的に組付けた送風ユニットを例示したが、必ずしも除塵フィルタと送風ファンとを一体的に取り付ける必要はなく、送風ファンにて送風される空気を除塵フィルタに案内する案内路などを設けて、除塵フィルタと送風ファンとを別体にて構成して実施することも可能である。
【００９３】
（６）  上記実施の形態では、搬送物として、液晶用のガラス基板としたが、半導体のウェハ等でもよく、搬送物の形状や大きさは実施形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】第１実施の形態における搬送装置の平面図
【図２】第１実施の形態における上流側搬送部の斜視図
【図３】第１実施の形態における搬送ユニットの正面断面図
【図４】第１実施の形態における搬送ユニットの正面断面の一部拡大図
【図５】第１実施の形態における搬送ユニットの側面断面図
【図６】第１実施の形態における搬送ユニットの平面図
【図７】第１実施の形態における収納フレームの断面図
【図８】第１実施の形態における推進力付与手段の正面断面図
【図９】第１実施の形態における推進力付与手段の一部拡大側面図
【図１０】第１実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの斜視図
【図１１】第１実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの右側面図
【図１２】第１実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの一部拡大右側面図
【図１３】第１実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの背面断面図
【図１４】第１実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの平面図
【図１５】第１実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの作用図
【図１６】第１実施の形態における副推進力付与部の断面図
【図１７】第１実施の形態における規制部の位置調節構造を示す図
【図１８】第２実施の形態における搬送装置の平面図
【図１９】第２実施の形態における搬送ユニットの正面断面図
【図２０】第２実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの右側面図
【図２１】第２実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの平面図
【図２２】第２実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの斜視図
【図２３】第２実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの作用図
【図２４】第２実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの作用図
【図２５】第３実施の形態におけるＬ型搬送ユニットの斜視図
【図２６】第３実施の形態におけるガラス基板の支持状態を示す図
【図２７】別実施の形態（１）におけるＬ型搬送ユニットの作用図
【図２８】別実施の形態（１）におけるＬ型搬送ユニットの作用図
【図２９】別実施の形態（４）におけるＴ型搬送ユニットの平面図
【図３０】別実施の形態（４）におけるＴ型搬送ユニットの作用図
【図３１】別実施の形態（４）における十型搬送ユニットの平面図
【図３２】別実施の形態（４）における十型搬送ユニットの作用図
【符号の説明】
【００９５】
１Ａ    上流側搬送部
１Ｂ    下流側搬送部
１Ｌ    切り換え搬送部
２      ガラス基板（搬送物）
３      送風式支持手段
４      推進力付与手段
１２      除塵フィルタ
１３      送風ファン（送風手段）
１４      ファンフィルタユニット（送風ユニット）
３３      Ｌ型送風式支持手段（送風式支持手段）
３３ａ    凹部
３４      Ｌ型推進力付与手段（推進力付与手段）
３４Ｂａ  主推進力付与部
３４Ｂｂ  副推進力付与部
４５      主駆動ローラ（主駆動部）
４５ａ    主大径部（主受け止め部）
４６      副駆動ローラ（副駆動部）
４６ａ    副大径部（副受け止め部）
４７      主規制部（主規制ローラ）
４８      副規制部（副規制ローラ）
Ｘ      主搬送方向
Ｙ      副搬送方向
【図１】
2005075543.tif 000003
【図２】
2005075543.tif 000004
【図３】
2005075543.tif 000005
【図４】
2005075543.tif 000006
【図５】
2005075543.tif 000007
【図６】
2005075543.tif 000008
【図７】
2005075543.tif 000009
【図８】
2005075543.tif 000010
【図９】
2005075543.tif 000011
【図１０】
2005075543.tif 000012
【図１１】
2005075543.tif 000013
【図１２】
2005075543.tif 000014
【図１３】
2005075543.tif 000015
【図１４】
2005075543.tif 000016
【図１５】
2005075543.tif 000017
【図１６】
2005075543.tif 000018
【図１７】
2005075543.tif 000019
【図１８】
2005075543.tif 000020
【図１９】
2005075543.tif 000021
【図２０】
2005075543.tif 000022
【図２１】
2005075543.tif 000023
【図２２】
2005075543.tif 000024
【図２３】
2005075543.tif 000025
【図２４】
2005075543.tif 000026
【図２５】
2005075543.tif 000027
【図２６】
2005075543.tif 000028
【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
2005075543.tif 000031
【図３０】
2005075543.tif 000032
【図３１】
2005075543.tif 000033
【図３２】
2005075543.tif 000034