(57)【要約】【課題】              小型かつ単純な構造のポンプ機構を使用でき、複雑な制御をする必要が無い流体の移送方法、また、構造が単純で容易に製造でき、定量性が良く、気体の移送にも適用できるポンプ機構を有するマイクロ流体デバイスポンプを提供すること。【解決手段】        （i）毛細管状の流路の途中に流体の加圧により開く弁を有し、且つ前記流路に圧迫により変形する圧迫部位を有するマイクロ流体デバイスポンプを使用し、前記圧迫部位を圧迫して流路断面を変形させながら該圧迫部位を前記弁の方向へ移動させ、流体の加圧により該弁を開いて流体を流通させるか、（ii）毛細管状の流路の途中に流体の減圧により開く弁を有し、且つ前記流路に圧迫により変形する圧迫部位を有するマイクロ流体デバイスポンプを使用し、前記圧迫部位を外部から圧迫して変形させながら該圧迫部位を前記弁と逆方向へ移動させ、流体の減圧により該弁を開いて流体を移送する流体移送方法。【選択図】          図１
2005194951.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（i）毛細管状の流路を有し、前記流路の途中に、常態では閉じていて一方の側の流体を加圧して圧力差を与えることにより開く弁を有し、且つ前記流路に外部からの圧迫により流路断面が変形する圧迫部位を有するマイクロ流体デバイスポンプを使用し、前記圧迫部位を外部から圧迫して流路断面を変形させ、該圧迫を継続しながら該圧迫部位を前記弁の方向へ移動させ、前記弁に流体の加圧による圧力差を与えて該弁を開いて流体を流通させるか、あるいは（ii）毛細管状の流路を有し、前記流路の途中に、常態では閉じていて、一方の側の流体を減圧して圧力差を与えることにより開く弁を有し、且つ前記流路に外部からの圧迫により流路断面が変形する圧迫部位を有するマイクロ流体デバイスポンプを使用し、前記圧迫部位を外部から圧迫して変形させ、該圧迫を継続しながら該圧迫部位を前記弁と逆方向へ移動させ、前記弁に流体の減圧による圧力差を与えて該弁を開き、前記弁を通じて流体を移送する流体移送方法。
【請求項２】
前記圧迫部位を圧迫する押圧部を有する押圧部材を使用して、前記圧迫部の圧迫、および前記圧迫部位の移動を繰り返し行う請求項１に記載の流体移送方法。
【請求項３】
前記押圧部材が一定角度の回転により押圧部を連続的に圧迫できる押圧部を有する押圧部材であって、該押圧部材を、前記流路壁に直角方向と前記流路の流れ方向を含む面内で回転させることにより、前記押圧部材の周縁部に設けられた押圧部で、前記圧迫部の圧迫と圧迫部位の移動を行う請求項１記載の流体移送方法。
【請求項４】
前記押圧部材が、往復運動に伴い該往復運動と同期して一定角度だけ回転する押圧部材であって、該押圧部材を、前記流路壁に略直角方向に往復運動させながら、該往復運動に同期して、前記流路壁に直角方向と前記流路の流れ方向を含む面内で一定角度範囲だけ往復回転運動させることにより、前記圧迫部の圧迫と圧迫位置の移動を行う請求項１記載の流体移送方法。
【請求項５】
前記押圧部材が、前記押圧部材の先端に設けられ、圧迫されることで自動的に前記流路壁に直角方向と前記流路の流れ方向を含む面内で一定角度範囲だけ回転しつつ押圧部位を移動させる押圧部であり、該押圧部材を、前記流路壁に略直角方向に往復運動させることにより、前記圧迫部の圧迫と圧迫位置の移動を行う請求項１記載の流体移送方法。
【請求項６】
前記押圧部材が、前記圧迫部の流路長さ方向にある長さを持つ押圧部を有し、該押圧部材を傾斜させて前記圧迫部の一部を圧迫し、該圧迫を維持しながら前記傾斜を解消することにより、前記圧迫部の圧迫と圧迫位置の移動を行う請求項１記載の流体移送方法。
【請求項７】
毛細管状の流路を有し、前記流路の途中に常態では閉じていて加圧又は減圧による圧力差を与えたとき、そのいずれの場合にも低圧側へ開く弁（Ｂ）と、且つ前記流路に外部からの圧迫により、ある範囲の流路断面が連続して変形する圧迫部とを有し、下記機構［I］または［II］により流体が前記弁（Ｂ）を通じて移送されるマイクロ流体デバイスポンプ。
機構［I］
前記圧迫部の一部を外部から圧迫して、圧迫部位の流路断面を変形させ、前記圧迫部位を前記弁（Ｂ）の方向に移動させることにより、前記弁（Ｂ）に流体の加圧による圧力差を与えることにより該弁（Ｂ）が開く機構。
機構［II］
前記圧迫部の一部を外部から圧迫して、圧迫部位の流路断面を変形させ、前記圧迫部位を前記弁（Ｂ）と逆方向に移動させることにより、前記弁（Ｂ）に流体の減圧による圧力差を与えることにより該弁（Ｂ）が開く機構。
【請求項８】
前記圧迫部位が前記流路壁を圧迫することにより該流路壁の一部が変形して流路を閉塞する請求項７に記載のマイクロ流体デバイス用ポンプ。
【請求項９】
前記圧迫部位の引っ張り弾性率が１ＭＰａ〜５ＧＰａの範囲にある請求項７又は８に記載のマイクロ流体デバイス用ポンプ。
【請求項１０】
前記圧迫部位の厚さが１〜３０００μｍの範囲にある請求項７〜９のいずれかに記載のマイクロ流体デバイス用ポンプ。
【請求項１１】
前記マイクロ流体デバイスポンプの毛細管状の流路が、該流路となる溝を有する第一の部材と、蓋となるシート状の第二の部材が積層固着されて形成された流路、或いは、該流路となる溝を有するシート状の第一の部材と、蓋となる第二の部材が積層固着されて形成された流路である請求項７〜１０のいずれかに記載のマイクロ流体デバイスポンプ
【請求項１２】
前記弁が、前記第一の部材の流路となる溝の途上に設けられた堰状構造と、該堰状構造に当接して接触しているが固着していない前記第二の部材の一部からなる請求項１１に記載のマイクロ流体デバイスポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ流体デバイスを使用した流体の移送方法に関し、配管をマイクロ流体デバイスの流路に接続する必要がなく、かつ単純なポンプ駆動機構で、定量性良く流体を移送し、しかも、流体の移送を停止したときには、特別な操作を行うことなく、またエネルギーを消費することなく、ポンプ駆動機構を取り外しても流体をその位置で停止させておくことが出来、流体の逆流や流失を防止することが出来る流体移送方法に関する。
【０００２】
本発明は、内部にポンプ機構を有するマイクロ流体デバイスポンプに関し、さらに詳細には、構造が単純で容易に製造でき、使い捨て可能な、マイクロ流体デバイスポンプに関する。
【背景技術】
【０００３】
非特許文献１には、シリコンゴムを使用して、注型法にて表面に１本の溝を有する部材と３本の溝を有する部材をそれぞれ形成し、これら２つの部材でシリコンゴムシートを挟んで接着することによって、シリコンゴムシートの一方の側に流体の移送用流路、他方の側に平行な３本の駆動用流路を形成し、該３本の駆動用流路に順次圧力気体を導入して、シリコンゴムシートを移送用流路内へ順次押しだすことによって、移送用流路内の流体を移動させる方法が開示されている。
【０００４】
しかしながら、上記の構造は常態で開であるため、ポンプ機構を駆動していないときに流路内の流体が不必要に流動しがちであり、これを防ぐために、駆動部を常時作動させておく必要があった。また、上記のポンプ機構を駆動するための圧力気体の配管をマイクロ流体デバイスに接続する必要があった。そのため、これらの圧力配管の接続機構をマイクロ流体デバイスに設ける必要があり、マイクロ流体素子の構造が複雑になりがちであった。そのため、特に多数並列運転する場合に、配管系が複雑になるとともに、使い捨てのマイクロ流体デバイスの場合には、無視し得ないほどのコスト増となっていた。
また、上記ポンプを駆動するには、３本の駆動用流路に加圧気体を順次導入するという、複雑な機構と複雑なプログラムを必要とした。
【０００５】
一方、本発明者らの出願になる特許文献１には、欠損部を有する樹脂層を積層して逆止弁を形成し、２つの該逆止弁の間に形成したダイヤフラムを外部から駆動することによって駆動するポンプ機構が開示されている。しかし、該文献に開示されているポンプは２つの逆止弁を必要とし、そのため５層以上の樹脂層を積層して形成する必要があり、各層を位置を合わせて貼り合わせる必要があるという製造上の困難があった。
【０００６】
また、本発明者らの出願になる特許文献２には、流路途上に弁機構となる堰を設け、該堰の一辺が他の部材と接触しているが接着していない構造を形成し、これを、常態では閉じているが、一定以上の圧力差が掛かると開くチェックバルブとして機能させ得ることが開示されている。該チェックバルブは３層の樹脂層で形成することができ、構造を上記特許文献１の逆止弁より更に簡略化出来る。該特許文献２には、該チェックバルブを逆流防止弁機構としてポンプ機構を形成出来ることが記載されている。しかしながら、該チェックバルブは、流路を一定以上の圧力に加圧した時には開いて流路を流通させるが、流路を減圧した時には、圧力差をいくら大きくしても開かないものであるため、ポンプを構成する逆止弁として使用する際には、吐出側の逆止弁としては使用できるが、吸入側の逆止弁としては使用できなかった。そのため、ポンプを形成する場合の吸入側逆止弁には、やはり特許文献１に記載のような比較的複雑な構造が必要であった。或いは前記非特許文献１のように別途制御するバルブが必要であった。
【０００７】
また、本発明者らの出願になる特許文献３には、内部に流路を有し、該流路の途上に逆止弁が形成され、該流路と連絡して空洞と、該空洞に可撓性の樹脂ダイヤフラムが形成されており、凸構造が前記樹脂ダイヤフラムの空洞と反対側の面に設けられているダイヤフラム式ポンプ機構を有するマイクロ流体デバイスが開示されている。該マイクロ流体デバイスによる流体移送方法は、定量性に劣るものであり、又、流体が気体の場合には適用出来なかった。
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−８６３９９号公報
【特許文献２】特開２００３−１３９６６０号公報
【特許文献３】特開２００３−１３９０６５号公報
【非特許文献１】サイエンス（ＳＣIＥＮＣＥ）誌（第２８８巻、１１３頁、２０００年）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明が解決しようとする課題は、小型かつ単純な構造のポンプ機構を使用でき、複雑な制御をする必要が無い流体の移送方法、また、ポンプ機構を駆動するための配管接続機構をマイクロ流体デバイスに設ける必要がなく、使い捨ても可能な程度に構造が単純で容易に製造でき、定量性が良く、気体の移送にも適用できるポンプ機構を有するマイクロ流体デバイスポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、上記課題を解決する方法について鋭意検討した結果、常態では閉じていて圧力差を与えることにより開く弁と、外部からの圧迫により流路断面が変形する圧迫部とを有する単純な構造のマイクロ流体デバイスポンプを使用することにより、該圧迫部の押圧を制御するだけで簡便に流体を移送できることを見いだした。
【００１１】
すなわち本発明は、毛細管状の流路を有し、前記流路の途中に、常態では閉じていて一方の側の流体を加圧して圧力差を与えることにより開く弁を有し、且つ前記流路に外部からの圧迫により流路断面が変形する圧迫部位を有するマイクロ流体デバイスポンプを使用し、前記圧迫部位を外部から圧迫して流路断面を変形させ、該圧迫を継続しながら該圧迫部位を前記弁の方向へ移動させ、前記弁に流体の加圧による圧力差を与えて該弁を開いて流体を流通させるか、あるいは（ii）毛細管状の流路を有し、前記流路の途中に、常態では閉じていて、一方の側の流体を減圧して圧力差を与えることにより開く弁を有し、且つ前記流路に外部からの圧迫により流路断面が変形する圧迫部位を有するマイクロ流体デバイスポンプを使用し、前記圧迫部位を外部から圧迫して変形させ、該圧迫を継続しながら該圧迫部位を前記弁と逆方向へ移動させ、前記弁に流体の減圧による圧力差を与えて該弁を開き、前記弁を通じて流体を移送する流体移送方法を提供するものである。
【００１２】
また本発明は、毛細管状の流路を有し、前記流路の途中に常態では閉じていて加圧又は減圧による圧力差を与えたとき、そのいずれの場合にも低圧側へ開く弁（Ｂ）と、且つ前記流路に外部からの圧迫により流路断面が変形する圧迫可能範囲とを有し、下記機構［I］または［II］により流体が前記弁（Ｂ）を通じて移送されるマイクロ流体デバイスポンプ。
機構［I］
前記圧迫可能範囲の一部を外部から圧迫して、圧迫部位の流路断面を変形させ、前記圧迫部位を前記弁（Ｂ）の方向に移動させることにより、前記弁（Ｂ）に流体の加圧による圧力差を与えることにより該弁（Ｂ）が開く機構。
機構［II］
前記圧迫可能範囲の一部を外部から圧迫して、圧迫部位の流路断面を変形させ、前記圧迫部位を前記弁（Ｂ）と逆方向に移動させることにより、前記弁（Ｂ）に流体の減圧による圧力差を与えることにより該弁（Ｂ）が開く機構。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、ポンプ機構を駆動するための配管接続機構をマイクロ流体デバイスに設ける必要がなく、使い捨ても可能な程度に構造が単純で容易に製造でき、定量性が良く、気体の移送にも適用できるポンプ機構を有するマイクロ流体デバイスを提供することができ、また、電池での駆動も可能な程度に小型かつ単純なポンプ駆動機構でもって、複雑な制御をすることなく容易にマイクロ流体デバイスのポンプ機構を駆動できる、マイクロ流体デバイスの流体移送方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明について、詳細に説明する。
［マイクロ流体デバイスポンプ］
本発明に使用するマイクロ流体デバイスポンプ（以下、単に「デバイス」又は「ポンプ」と略称する場合がある）の外形は任意であり、例えば、板状、フィルム状、棒状、塊状などであり得るが、板状またはフィルム状であることが、本発明の構造を形成しやすく、又使用も容易であるため、好ましい。なお、以下説明の簡略化のため、「板状またはフィルム状」をまとめて「板状」と記述する。勿論、この構造は、類似の構造、例えばシート状やリボン状を含むものとする。
【００１５】
マイクロ流体デバイスポンプの素材は、後述の圧迫部以外は特に制約はなく、使用可能なものとしては、例えば、有機重合体（以下、単に［重合体」又は「樹脂」と称する。又、これにはシリコン樹脂も含める）、ガラス、石英の如き結晶、岩石やセラミックなどの多結晶或いは非晶性無機物、シリコンの如き半導体、金属などが挙げられるが、これらの中でも、易成形性、高生産性、低価格などの点から重合体が特に好ましい。
【００１６】
［流路］
前記部材は、内部に流体が移送される毛細管状の流路を有する。該流路は、その少なくとも一部は、マイクロ流体デバイスポンプの外部から流路壁が圧迫されることによって、流路の断面積が減少しうる深さに形成される。該流路の断面積は任意であるが、好ましくは１μｍ２〜１０ｍｍ２、さらに好ましくは１０μｍ２〜１ｍｍ２、最も好ましくは１００μｍ２〜０．１ｍｍ２である。流路断面の形状も任意であり、円、矩形、台形、半円形、スリット状など（但し、上記の内、角のある形状は角の丸まった形状を含む。以下同じ）であり得る。流路の長さは、後述の圧迫部の長さ以上であれば任意である。マイクロ流体デバイスの他の機構の流路と連続して作製することが出来る。
【００１７】
該流路の形成方法は任意であるが、例えば、表面に流路となる溝を有する部材と蓋となる部材を貼り合わせる方法、表面に平行な線状で、かつ表裏を貫通した、流路となる欠損部（切り抜き部）を有する板状の部材の両側に、底及び蓋となる部材を貼り合わせる方法、マイクロ光造形法により、部材の形成と同時に流路を形成する方法、などが挙げられる。
【００１８】
［弁］
本発明に使用するマイクロ流体デバイスポンプは、前記流路の途上に、一方の側の加圧により圧力差が生じると開き、該圧力差が低下すると閉状態に復帰するが、同じ一方の側の流体の減圧により圧力差が生じても開かない弁（以下、該弁を弁（Ａ）と略記する。）、又は加圧又は減圧により一定以上の圧力差が生じると自動的に開く弁（以下、該弁を弁（Ｂ）と略記する。）が設けられている。
【００１９】
弁（Ａ）としては、例えば、［１］常態で、即ち両側の圧力差がない状態では閉じていて、順方向には一定以上の圧力差、例えば３ＫＰａ〜３ＭＰａの圧力差で開き、逆方向には圧力差に関わらず開かない弁であって、該圧力差は一方の側の加圧による圧力差であっても他方の側の減圧による圧力差であっても良いような逆止弁（例えば、ボールタイプの逆止弁のように、弁体が付勢されて流路開口部を塞いでいるような逆止弁）であってもよいし、［２］常態では閉じていて、一方の側の加圧によって開くが同じ側の減圧によっては開かず、このような使用方法では弁（Ａ）は逆止弁として機能するが、他方の側からの加圧によっても開き、同じ側の減圧によっては開かないような、後述の弁（Ｂ）との中間的な機能を持った逆止弁（例えば特許文献２に記載されている）などが使用できる。
【００２０】
弁（Ａ）の取り付け方向は、後述するように、流路に流体を流す向きに応じて設定できる。このような弁（Ａ）が開くために必要な圧力差は、用途目的により任意に設定できるが、例えば３ＫＰａ〜３ＭＰａ、好ましくは１０ＫＰａ〜１ＭＰａ、さらに好ましく３０ＫＰａ〜５００ＫＰａである。但し、一方を減圧することにより圧力差を設ける場合には、圧力差の上限は高圧側の圧力となる。
【００２１】
上記弁はまた、正逆両方向に開となり得る弁であって、常態では閉状態であり、該弁の両側の圧力差が特定値以上になると開となり、該圧力差が低下すると閉状態に復帰するような弁であって、前記両側の圧力差は加圧、減圧のいずれによるものであってもよい弁（「弁（Ｂ）」と略称する。）であり得る。このような弁（Ｂ）の構造は任意であるが、例えば、図１に示すように、流路（５）の途上に該流路を遮断する堰状構造（６）が設けられており、該堰状構造（６）の頂部が流路壁（１２）の一部に当接していて、該部分は接触しているが固着していない構造を例示できる。
【００２２】
このような構造を持つ弁（Ｂ）は、常態では流路内の流体の流通を遮断しており、前記弁の両側の圧力差が特定値以上になると、該弁が低圧側に撓み、それによって生じた流路内壁との間隙を流体が流れるため開となる。次いで、前記弁の両側の圧力差が減少すると撓みは解消し、流体の流通は再び遮断される。この時、該弁（Ｂ）を開とするには、前記弁の一方の側の圧力が増加することによって圧力差が生じてもよいし、一方の側の圧力が低下することによって圧力差が生じてもよい。前記弁（Ｂ）が開くために必要な圧力差については、前記弁（Ａ）の場合と同様である。ある方向と逆方向で、開となる圧力差が異なっていてもよい。そのような弁は、例えば上述の構造において、堰状構造（６）の流路方向の断面形状を非対称とすることで実施できる。
【００２３】
このような構造の弁（Ｂ）は、例えば、前記特許文献２と同様の方法で製造できる。即ち、板状の支持体の上に塗布したエネルギー線硬化性組成物の塗膜に流路となる部分を除いて紫外線を不十分な量だけパターン照射することによって、該塗膜の照射部を、流動性は喪失するが接着性は残存している半硬化物とし、該半硬化した塗膜の弁となる部分に選択的に紫外線を照射して照射部分の前記組成物を完全硬化させて非接着性とし、他方、前記弁に相対する部分を完全硬化、それ以外の部分を半硬化させた蓋となる部材を、表面に溝と弁となる部分が形成された前記部材に、前記完全硬化した非接着部を弁部分に位置を合わせて接触させ、その状態でさらに紫外線を照射して、両部材を硬化させると共に互いに接着させ、弁部分のみを非接着部位として残し、その他の接触部分は接着したマイクロ流体デバイスポンプを形成することができる。
【００２４】
このとき、流路壁（１２）が柔軟な素材で薄く形成されていたり、前記堰状構造（６）の流路方向の長さが長ければ、該弁は特許文献２に記載のような弁（Ａ）となり、逆に、流路壁（１２）が剛性の高い素材で形成されていたり、該流路壁の厚みが厚く形成されていたり、前記堰状構造（６）の流路方向の厚みが薄く形成されていれば、両方向に開となりうる弁（Ｂ）となる。その境界は、該堰状構造（６）の素材の弾性率、流路壁（１２）を形成する素材の弾性率と厚み、流路の幅や高さ、などの相互関係によって変わるが、該堰状構造（６）と流路壁（１２）にほぼ同じ弾性率の素材を使用した場合には、大まかにいって、前記堰状構造（６）の厚みが高さの７０％より小さい場合に弁（Ｂ）として機能する。
【００２５】
上記のような弁（Ａ）や弁（Ｂ）は、ポンプ駆動装置を稼働させない状態で流路が閉状態となっているため、流路中の流体が不必要に移動したり流失することが無く、更に合流や流路切り替えも容易であるため好ましい。
【００２６】
［圧迫部］
本発明に使用するマイクロ流体デバイスポンプは、流路の途中に、外部からの圧迫により、流路方向に連続したある範囲の流路断面が連続して変形する圧迫部が設けられている。即ち、該圧迫部においては、可撓性を有する流路壁でもって、流路はデバイス外と隔てられている。該圧迫部は、デバイス外から圧迫することによって、圧迫した部位（圧迫部位）の流路の断面積を減少（ここでいう「減少」はゼロになることも含む）させることが出来るものであり、好ましくは該部位の流路断面積をゼロとし、流路を完全に閉じることが出来るものである。該圧迫部の流路は、他の部分と同じ形状であっても良いし、断面寸法が異なっていても良い。該圧迫部分の流路断面積を大きくすると、一回の圧迫による流体の送出量を大きくすることが出来る。
【００２７】
マイクロ流体デバイスポンプが、流路となる溝を有する板状の第一の部材と、蓋となる板状の第二の部材が積層固着されて形成されたものである場合には、前記圧迫部の流路壁は、前記第一の部材側の流路壁であっても、第二の部材側の流路壁であっても良い。
【００２８】
前記圧迫部の圧迫によって変形させる流路壁は、破壊せずに弾性変形する素材で形成されている必要がある。該部分を形成する素材の好ましい引張弾性率は１ＭＰａ〜５ＧＰａ、更に好ましくは１０ＭＰａ〜１ＧＰａ、更に好ましくは５０ＭＰａ〜５００ＭＰａである。この範囲より低いと強度や繰り返し耐久性に劣るものとなりがちであり、また、圧迫を解除したときの吸引力が不足して、圧迫部の流路壁の復帰に時間を要し、ポンプ機構の吐出量が低下しがちであるし、これより高いと、該圧迫部における流路壁の変形量が低下し、ポンプ機構の吐出量が不十分になりがちである。
【００２９】
前記圧迫部の流路壁を形成する素材は、ＪIＳ  Ｋ−７１２７により測定された破断伸び率が、好ましくは２％以上、更に好ましくは５％以上のものである。破断伸び率の上限は、自ずと限界はあろうが、高いことそれ自身による不都合は無い為、上限を設けることは要せず、例えば、４００％でありうる。本発明においては、ＪIＳ  Ｋ−７１２７による引張試験で２〜５％という低い破断伸び率を示す素材であっても、本発明の使用方法においては破壊しにくく、上記試験による破断伸び率以上の歪みを与えても破壊することなく使用可能である。従って、破断伸びの上限は３０％以下であることが好ましく、２０％以下であることがさらに好ましい。この範囲とすることで、強度の高い素材が選定でき、また、素材選定の自由度が大きくなる。
【００３０】
前記圧迫部の流路壁の厚みは、圧迫によって流路壁を変形させることが出来れば特に限定する必要はないが、該圧迫部の流路壁を構成する素材の引っ張り弾性率が高い場合には薄く、低い場合には厚くすることが好ましい。引っ張り弾性率として上記好ましい範囲のものを使用したとき、マイクロ流体デバイスポンプに後述の凸構造を設けない場合には、該流路壁は、好ましくは１〜３０００μｍ、更に好ましくは５〜１０００μｍ、最も好ましくは１０〜５００μｍである。但し、マイクロ流体デバイスポンプが後述の凸構造を有する場合には、上記範囲に凸構造の高さを足した値が好ましい範囲となる。この範囲未満では製造が困難となり、この範囲を越えると、マイクロでデバイスとしての利点が減少する。
【００３１】
上記のような引っ張り弾性率と破断伸び率を有する素材の具体例については実施態様で述べる。また、このような素材は、少なくとも該部分を形成すればよいが、マイクロ流体デバイスポンプの外面の少なくとも一つの面全体を形成していることが、製造の工程数が少なくなり好ましい。
【００３２】
圧迫部の寸法は任意であり、圧迫部の流路方向の長さは好ましくは流路幅〜５０ｍｍ、さらに好ましくは０．５〜１０ｍｍである。この範囲とすることにより充分な送液量を確保でき、送液の精度が増す。
【００３３】
［凸構造］
前記圧迫部は、該部分の流路壁の外面に固定された凸構造を有することも好ましい。該凸構造を介して前記圧迫部を圧迫することにより、微小な圧迫部を正確に圧迫しなくても、例えば押圧部が前記圧迫部の幅や長さに比べて大きな押圧部材でもって該凸構造を含む範囲を上記の方法で圧迫すれば、圧迫部の流路が自ずと所定の様式で圧迫される。このため、押圧部材の位置決めに高精度を要せず、圧迫が容易になる。
【００３４】
前記凸構造は、上記の機能を有すれば任意であり、例えば、［１］圧迫により実質的に変形しない弾性率の素材で形成されていて、幅が概ね前記圧迫部の流路幅の０．５〜１倍、高さ（厚み）が概ね前記圧迫部の流路の深さの１〜１０倍、長さが前記圧迫部の長さであるような構造、［２］圧迫により変形するような弾性率の素材で形成されていて、幅が概ね前記圧迫部の流路幅の１〜１００倍、高さ（厚み）が前記圧迫部の流路の深さの１〜１００倍、長さが前記圧迫部の長さであるような構造、を例示できる。これらのうち、後者の、圧迫により変形するような弾性率の素材で形成されていることが、圧迫部位の移動が効果的に行われるため好ましい。
【００３５】
また、上記凸構造は、前記圧迫部の流路壁の外面に固着されていても良いし、他の部材、例えば板状やシート状の部材に固着されていて、該凸構造の位置を圧迫部に合わせて固定されていても良い。
【００３６】
［実施態様］
〔マイクロ流体デバイスポンプ本体〕
図１は、本発明に係る実施形態の例を示す図である。図に示すマイクロ流体デバイスポンプは、弁（Ａ）又は弁（Ｂ）として機能する弁を有するものである。該マイクロ流体デバイスポンプはそれぞれ板状に形成された第一の部材（３）と第二の部材（４）を主な構成要素としている。第一の部材（３）は７５ｍｍ×２５ｍｍ×厚さ１．１ｍｍであり、その一面には、流路方向の長さが３００μｍ（弁（Ａ）の場合の例）又は６０μｍ（弁（Ｂ）の場合の例）の堰状構造（６）により溝（５ａ）と溝（５ｂ）に分けられた、幅５００μｍの溝（５）が形成されている。
【００３７】
第一の部材（３）は、厚み１ｍｍの基板（１）と厚さ約０．１ｍｍの樹脂層（２）が固着した積層体として構成されており、該樹脂層（２）には流路（５）となる、該樹脂層（２）の表裏を貫通した欠損部（５）が形成されていて、基板（１）と積層して固着されることにより、該欠損部（５）は第一の部材（３）の溝（５）となる。該樹脂層（２）の欠損部（５）は、堰状構造（６）となる非欠損部（６）により二つの部分（５ａ）、（５ｂ）に分けられている。
【００３８】
また、第二の部材（４）には、図１に示すように、直径約５００μｍの貫通孔（７）、（８）が形成されており、貫通孔（７）、（８）の周辺部には、外径６ｍｍ、高さ６ｍｍの円管（９）、（１０）が接着されている。
【００３９】
第一の部材（３）と第二の部材（４）とは互いに固着され、溝（５）は幅約５００μｍ、高さ約１００μｍの毛細管状の流路（５）となされており、該流路（５）に相対する部分の第二の部材（４）は厚み約１００μｍの流路壁（１２）とされている。該流路（５）は堰状構造（６）により約３００μｍ又は６０μｍの間隔をあけて、各長さ約２５ｍｍの二つの流路（５ａ）、（５ｂ）に分断されている。ただし、堰状構造（６）を中心とした直径約６００μｍの円形部分は、第一の部材（３）と第二の部材（４）は固着されておらず、堰状構造（６）が流路壁（１２）と当接している部分は非固着の当接部（６ａ）とされている。堰状構造（６）と、それが当接している流路壁（１２）部分でもって弁（１３）が形成されている。
【００４０】
また、流路（５ａ）の一部は、ある流路範囲を連続して圧迫できる圧迫部（１１）とされており、該部分は凸構造を有していてもよい。圧迫部（１１）の流路壁（１２）は、弾性変形可能な弾性率を有する重合体からなっている。これについては、後述の素材の説明の項で述べる。
【００４１】
前記弁（１３）が弁（Ａ）である場合には、このマイクロ流体デバイスポンプは、常態において、堰状構造（６）が当接部（６ａ）において流路壁（１２）に当接して流路（５）を遮断し  流路（５）を流路（５ａ）と流路（５ｂ）に分断しているため、流路（５ａ）と流路（５ｂ）との間に流体は流通しない。
【００４２】
このマイクロ流体デバイスポンプの圧迫部（１１）を例えば後述のような操作で圧迫して、流路（５ａ）にある流体に、堰状構造（６）に当接している流路壁（１２）を押し上げて弾性変形させ得る圧力に圧縮することにより、流路（５ａ）と流路（５ｂ）とが連通し、流路（５ａ）から流路（５ｂ）に流体が流れることになる。即ち、この場合には、流路壁（１２）が弁体として働く。
【００４３】
一方、例えば圧迫部（１１）の圧迫を解除して流路（５ａ）にある流体を減圧すると、堰状構造（６）に当接している流路壁（１２）は弁（１３）に吸引されて、堰状構造（６）は流路壁（１２）に当接した状態を保ち、流路（５ｂ）から流路（５ａ）に流体は流れない。
【００４４】
また、前記弁（１３）が弁（Ｂ）である場合には、このマイクロ流体デバイスポンプの圧迫部（１１）を例えば後述のような操作で圧迫して、流路（５ａ）にある流体に、堰状構造（６）を圧迫部（１１）の反対側へ弾性的に曲げ変形させて、流路壁（１２）との間に間隙を生じ得る圧力に圧縮することにより、流路（５ａ）と流路（５ｂ）とが連通し、流路（５ａ）から流路（５ｂ）に流体が流れることになる。即ち、この場合には、堰状構造（６）が弁体として働く。
【００４５】
あるいは、前記弁（１３）が弁（Ｂ）である場合において、このマイクロ流体デバイスポンプの圧迫部（１１）を例えば後述のような操作で圧迫して、流路（５ａ）にある流体に、堰状構造（６）を圧迫部（１１）側へ弾性的に曲げ変形させ得る圧力に減圧することにより、堰状構造（６）と流路壁（１２ａ）との間に間隙を生じて流路（５ａ）と流路（５ｂ）とが連通し、流路（５ａ）から流路（５ｂ）に流体が流れる。
【００４６】
図２は、凸構造を有するマイクロ流体デバイスポンプの実施形態を示す図である。図中、圧迫部（１１）の流路壁（１２）の外面に凸構造（１４）が固着されて形成されていること以外は図１の前記第一の実施形態と同じである。凸構造（１４）は、変成ポリジメチルシロキサン（シリコンシーラント）で形成されていて、幅約１．５ｍｍ、高さ約０．８ｍｍ、長さ約２０ｍｍであり、断面形状は半円形である。
【００４７】
上記の実施形態について更に詳細に説明するが、説明の簡略化のために、第一の部材（３）を下側にして水平に置いた姿勢で説明する。
第一の部材（３）の素材は任意であり、前記の、本発明のマイクロ流体デバイスポンプに使用可能な素材を使用できる。第一の部材（３）の形状も任意であり、前記の、本発明のマイクロ流体デバイスポンプの形状とすることができる。
【００４８】
第一の部材（３）は支持体（１）とそれに固着された樹脂層（２）で構成されたものであってもよい。この場合の支持体の素材も任意である。
第一の部材（３）の素材が重合体である場合には、該重合体は、単独重合体であっても、共重合体であっても良く、また、熱可塑性重合体であっても、熱硬化性重合体であっても良い。生産性の面から、第一の部材（３）に使用する重合体は、熱可塑性重合体又はエネルギー線硬化性の架橋重合体であることが好ましい。
【００４９】
第一の部材（３）に好ましく使用できる重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリ−α−メチルスチレン、ポリスチレン／マレイン酸共重合体、ポリスチレン／アクリロニトリル共重合体の如きスチレン系重合体；ポルスルホン、ポリエーテルスルホンの如きポリスルホン系重合体；ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリルの如き（メタ）アクリル系重合体；ポリマレイミド系重合体；ビスフェノールＡ系ポリカーボネート、ビスフェノールＦ系ポリカーボネート、ビスフェノールＺ系ポリカーボネートなどのポリカーボネート系重合体；
【００５０】
ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ−４−メチルペンテン−１の如きポリオレフィン系重合体；塩化ビニル、塩化ビニリデンの如き塩素含有重合体；酢酸セルロース、メチルセルロースの如きセルロース系重合体；ポリウレタン系重合体；ポリアミド系重合体；ポリイミド系重合体；ポリ−２，６−ジメチルフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイドの如きポリエーテル系又はポリチオエーテル系重合体；ポリエーテルエーテルケトンの如きポリエーテルケトン系重合体；ポリエチレンテレフタレート、ポリアリレートの如きポリエステル系重合体；エポキシ樹脂；ウレア樹脂；フェノール樹脂；ポリ四フッ化エチレン、ＰＦＡ（四フッ化エチレンとパーフロロアルコキシエチレンの共重合体）などのフッ素系重合体、ポリジメチルシロキサン等のシリコーン系重合体；本発明で使用するエネルギー線硬化性組成物の硬化物等が挙げられる。
【００５１】
前記第一の部材（３）と第二の部材（４）を接着により固着する場合には、これらの中でも、接着性が良好な点などから、スチレン系重合体、（メタ）アクリル系重合体、ポリカーボネート系重合体、ポリスルホン系重合体、ポリエステル系重合体が好ましい。また第一の部材（３）は、エネルギー線硬化性樹脂の硬化物であることも好ましい。第一の部材（３）は、ポリマーブレンドやポリマーアロイで構成されていても良いし、積層体その他の複合体であっても良い。さらに、任意の添加剤の添加や表面処理を行っても良い。
【００５２】
第一の部材（３）の形成方法は任意であり、例えば、フォトリソグラフ法、射出成形、溶融レプリカ法、溶液キャスト法、エネルギー線硬化性組成物を用いたキャスト成型法、欠損部を有するシートの積層固着法、光造形法などにより製造できる。光造形法とは、エネルギー線硬化性組成物の未硬化層にレーザー光線などの活性エネルギー線をパターニング照射し、未照射部分の未硬化の活性エネルギー線を除去すること無く、その上に活性エネルギー線の第２層を置き（或いは活性エネルギー線の液面下に、第２層の厚みとなる深さだけ第１層を沈め）第２層に活性エネルギー線をパターニング照射し、この工程を繰り返して立体構造を形成する方法を言う。
【００５３】
前記第一の部材（３）は、基材（１）とそれに固着された層（２）の積層体であり得る。該層（２）は、例えば基板（１）に塗布して硬化した塗膜であり得るし、基板（１）に固着されたシート状部材でありうる。勿論これらの固着順序は任意であり、例えば該シート状部材は、基板（１）に固着されると同時に第二の部材（４）に固着されても良い。
これら第一の部材（３）、第二の部材（４）の少なくとも一方は、後述するように、弾性変形可能な弾性率を有する素材からなっている。
【００５４】
堰状構造（６）の面積は、好ましくは１μｍ２〜１０ｍｍ２、さらに好ましくは１０μｍ２〜１ｍｍ２である。堰状構造（６）の寸法は、溝（５）の寸法や、弁（１３）を弁（Ａ）となすか弁（Ｂ）となすか、などにより好適な寸法が異なるが、この範囲とすることによって、製造が容易となり、また、マイクロ流体デバイスポンプとしての特長を生かすことが出来る。例えば、堰状構造（６）とそれに当接する部分の流路壁（１２）の弾性率が同程度である場合には、非欠損部の幅を流路（５）幅とし、流路方向の長さを流路高さの１〜１０倍とすることによって、弁（Ａ）として機能させることが出来る。また、幅を流路（５）幅とし、流路方向の長さを流路高さの０．１〜０．７倍とすることによって、弁（Ｂ）として機能させることが出来る。
【００５５】
前記流路（５）の幅は、前記堰状構造（６）付近でその他の部分と同じであっても良いし、変化しても良い。堰状構造（６）付近で幅を広げることによって、開となる圧力差を低下させることができ、また、開時の剪断速度を低下させることができるため、タンパク質などの生化学物質の溶液に適用する場合に好ましい。また、前記流路（５）の高さも、前記堰状構造（６）付近でその他の部分と同じであっても良いし、変化しても良い。弁が弁（Ｂ）である場合、堰状構造（６）付近で高さを増すことによって、開となる圧力差を低下させることができる。
【００５６】
第一の部材（３）と第二の部材（４）を固着する方法は任意であり、例えば接着剤による接着、融着、粘着、半硬化状態とした第一の部材（３）及び／又は第二の部材（４）を互いに接触させた状態で完全硬化させることによる固着などであり得る。
【００５７】
第一の部材（３）と第二の部材（４）は、前記堰状構造（６）の部分周辺において固着しておらず、互いに接触した状態となっている。第一の部材（３）と第二の部材（４）の固着が接着や粘着である場合には、第一の部材（３）と第二の部材（４）は、前記堰状構造（６）の部分周辺において、硬化した接着剤層、或いは粘着力を喪失した粘着剤層を介して互いに接触していることになるが、実質的に同等であるため、本発明においては厳密に区別せずに説明する。該接触しているが固着していない非固着部の面積は、前記堰状構造（６）の面積以上であることが好ましく、更に好ましくは該面積の１〜１００倍、最も好ましくは１〜１０倍である。該非固着部の面積を小さくするほど、弁（１３）を開状態にする必要圧力差が大きくなる。
【００５８】
第一の部材（３）と第二の部材（４）を固着するにあたり、接触しているが接着していない部分を形成する方法は任意であるが、例えば、接着を抑制する物質を非接着とする部分に塗布しておく方法、接着剤にエネルギー線硬化性の接着剤を用い、非接着とする部分のみにあらかじめエネルギー線を照射して接着性を喪失させておく方法、エネルギー線高化成樹脂で形成した半硬化状態の第一の部材（３）及び／又は第二の部材（４）の、非接着とする部分のみにあらかじめエネルギー線を照射して接着性を喪失させておく方法、などにより実施できる。又、上記に於ける弁（１３）は、上記以外の任意の構造であり得る。
【００５９】
上記の接着を抑制する物質としては、粘稠液体（溶液を含む）や、溶解洗浄可能な固体やワックス状物質を挙げることができる。粘稠液体としては、例えば、液状ポリエチレングリコール、グリセリン、界面活性剤、ポリエチレングリコール水溶液、ポリビニルピロリドン水溶液、ポリビニルアルコール水溶液など等の親水性液体、流動パラフィン、ワックス、シリコングリースなどの疎水性液体を例示できる。
【００６０】
第二の部材（４）の素材、形状、寸法は、欠損部を有する必要がないこと以外は前記第一の部材（３）と同様である。但し、第二の部材（４）側から圧迫する場合には、第二の部材は少なくとも前記圧迫部（１１）に於いて可撓性の素材とし、圧迫により流路壁が変形可能な厚みとする必要がある。
【００６１】
前記第一の部材（３）と第二の部材（４）を接着剤を使用して接着する場合には、接着剤を塗布する方法は、第一の部材（３）の欠損部が漏洩のない流路を形成でき、かつ、接着剤により流路が閉塞しない方法であれば任意であり、例えば、スピンコート、ディッピング、スプレー、刷毛塗り、印刷法などを利用できるが、薄い接着剤層が形成可能で、部材表面に欠損部があってもそれを閉塞しないスピンコート法が好ましく、また、接着剤を溶剤で希釈する方法が好ましい。
【００６２】
第一の部材（３）や第二の部材（４）を構成する素材や、接着剤に紫外線硬化樹脂を使用する場合には、硬化に用いることのできる活性エネルギー線としては、紫外線、可視光線、赤外線、レーザー光線、放射光の如き光線；エックス線、ガンマ線、放射光の如き電離放射線；電子線、イオンビーム、ベータ線、重粒子線の如き粒子線が挙げられる。これらの中でも、取り扱い性や硬化速度の面から紫外線及び可視光が好ましく、紫外線が特に好ましい。硬化速度を速め、硬化を完全に行う目的で、活性エネルギー線の照射を低酸素濃度雰囲気で行うことが好ましい。低酸素濃度雰囲気としては、窒素気流中、二酸化炭素気流中、アルゴン気流中、真空又は減圧雰囲気が好ましい。
【００６３】
形成したマイクロ流体デバイスポンプは、穿孔、切断などの後加工することも可能である。また、一つのマイクロ流体デバイスに、他の機構と一体化して形成することが好ましく、一枚の部材に多数のマイクロ流体デバイスポンプを同時に作成することも生産効率面で好ましい。
【００６４】
〔流体移送方法〕
次に、本発明の流体移送方法について説明する。
本発明の第一の流体移送方法は、（i）毛細管状の流路を有し、前記流路の途中に、常態では閉じていて一方の側の流体を加圧して圧力差を与えることにより開く弁を有し、且つ前記流路に外部からの圧迫により流路断面が変形する圧迫部位を有するマイクロ流体デバイスポンプを使用し、前記圧迫部位を外部から圧迫して流路断面を変形させ、該圧迫を継続しながら該圧迫部位を前記弁の方向へ移動させ、前記弁に流体の加圧による圧力差を与えて該弁を開いて流体を流通させる方法である。
【００６５】
この場合、圧迫の形態は、上記のような作用が実施されれば任意であり、圧迫範囲の弁に近い端が弁方向に移動すればよく、弁から遠い端についてはその移動方向や移動速度は任意である。例えば、［１］流路方向に一定長の圧迫範囲を弁方向に移動させる方法、［２］圧迫範囲を弁方向に拡大する方法、が挙げられる。
【００６６】
前記（i）の方法では、前記圧迫部を外部から圧迫し、該流路壁を変形させて該圧迫部の流路の断面積を減少（「減少」には、断面積がゼロとなることを含む）、好ましくは流路を閉塞させる。断面積を減少させることにより、引き続き圧迫部位を弁方向へ移動させることによって、前記圧迫部と前記弁との間の流路内の流体が高圧となり、前記弁を通過させて吐出することを可能にする。このとき、圧迫部の流路の断面積がゼロでなくても、弁と反対方向に逆流しようとする流体の圧力損失によって前記範囲の流路内の圧力を増加させることが出来る。しかしながら、特に流体が気体である場合には、閉塞することが好ましい。なお、前記圧迫部が凸構造を有する場合には、該凸構造を介して流路壁を圧迫することになるが、本明細書においては、特記する場合を除いて特に区別せずに説明する。
【００６７】
本発明の第二の流体移送方法は、（ii）毛細管状の流路を有し、前記流路の途中に、常態では閉じていて、一方の側の流体を減圧して圧力差を与えることにより開く弁を有し、且つ前記流路に外部からの圧迫により流路断面が変形する圧迫部位を有するマイクロ流体デバイスポンプを使用し、前記圧迫部位を外部から圧迫して変形させ、該圧迫を継続しながら該圧迫部位を前記弁と逆方向へ移動させ、前記弁に流体の減圧による圧力差を与えて該弁を開き、前記弁を通じて流体を移送する流体移送方法である。
【００６８】
前記（ii）の方法は、前記圧迫部を外部から圧迫し、該流路壁を変形させて該圧迫部の流路の断面積を減少させることによって、該圧迫部の流路内の流体を弁と逆方向へ押し出した後、引き続き圧迫部位を弁と逆方向へ移動させることによって、前記圧迫部と前記弁との間の流路内が低圧となり、前記弁を通過させて吐出することを可能にする。このとき、圧迫部の流路の断面積がゼロでなくても、流入しようとする流体の圧力損失によって前記範囲の流路内の圧力を低くすることが出来る。しかしながら、特に流体が気体である場合には、閉塞することが好ましい。
【００６９】
この場合も、圧迫の形態は上記の作用が実施されれば任意であり、圧迫範囲の弁に近い端が弁から遠ざかるように移動すれば、弁から遠い端の移動方向や移動速度は任意である。例えば、［１］流路方向に一定長の圧迫範囲を弁から離れる方向に移動させる方法、［２］圧迫範囲を弁に近い部分から縮小する方法、が挙げられる。
【００７０】
上記流体移送方法（i）、（ii）のいずれに於いても、移送された流体を使用する機構、例えば反応流路、分離機構、検出部などは、本ポンプの吐出側に接続しても吸引側に接続しても良いが、これらの機構が溶液を加熱するものである場合には、吐出側に配することが、気泡の発生の恐れが少なく、好ましい。
【００７１】
また、本ポンプを用いて、流体を流路中を往復して移送する場合には、弁として弁（Ｂ）を使用し、上記流体移送方法（i）と（ii）を交互に用いる方法、又は、弁に弁（Ａ）または弁（Ｂ）を使用し、流体移送方法（i）若しくは（ii）を用いて、弁に対して対称に設けられたもう一組の圧迫部を圧迫する方法で実施できる。
【００７２】
前記圧迫部を圧迫する圧迫方法は任意であるが、例えば、［１］前記押圧部材の先端に設けられ、圧迫されることで変形しつつ、及び／又は、自動的に前記流路壁に直角方向と前記流路の流れ方向を含む面内で一定角度範囲だけ回転しつつ、押圧部位を移動させる押圧部を有する押圧部材を用い、該押圧部材を、前記流路壁に略直角方向に往復運動させることにより、前記圧迫部の圧迫と圧迫位置の移動を行う方法、［２］一定角度の回転により押圧部を連続的に圧迫できる押圧部を有する押圧部材を流路壁に概直角方向に往復運動させながら、それと同期して、一定角度範囲で往復回転運動（首振り運動）させることにより、前記押圧部材の先端部に設けられた押圧部で、前記圧迫部の圧迫と圧迫位置の移動を行う方法、［３］押圧部材を、流路壁に直角方向と前記流路の流れ方向を含む面内で環状に平行移動させることにより、前記押圧部材の先端部に設けられた押圧部で、前記圧迫部の圧迫と圧迫位置の移動を行う方法、［４］前記押圧部材が回転体の周縁部に押圧部を有する押圧部材を、流路壁に直角方向と前記流路の流れ方向を含む面内で回転させることにより、前記押圧部材の前記回転の周縁部に設けられた押圧部で、前記圧迫部の圧迫と圧迫位置の移動を行う方法、などが、駆動装置の構造が簡単になり、低消費エネルギーで駆動可能となるため、例えば、電池でも駆動可能となり、可搬型の装置とすることが容易になる。
【００７３】
前記押圧部材として使用できる素材としては特に制限はないが、マイクロ流体デバイスポンプの圧迫部と接触する押圧部の引っ張り弾性率が１〜２００ＭＰａの範囲であることが、弾性による保護機構を特別に設けなくても、マイクロ流体デバイスポンプの圧迫部を破壊することなく好適に圧力を与えることができることから、マイクロ流体デバイスポンプの圧迫部と接触する押圧部の引っ張り弾性率が１〜２００ＭＰａの範囲であることが好ましい。
【００７４】
〔押圧部材〕
本発明のマイクロ流体デバイスポンプの圧迫部を圧迫する押圧部材の具体例と、それを使用した流体移送方法について述べる。ポンプ機構を駆動する流体移送方法に使用できる押圧部材としては、例えば下記のような構造を例示できる。
【００７５】
なお、説明が煩雑になることを避けるため、マイクロ流体デバイスポンプ及び押圧部材を下記の姿勢に配置した状態で説明するが、マイクロ流体デバイスポンプと押圧部材の相対的な位置関係が変わらなければ、全体の姿勢は任意である。即ち、水平な向かって右向きにｘ軸、上向きにｙ軸、水平な手前向き方向にｚ軸を採った直角座標を考え、マイクロ流体デバイスポンプの圧迫部を上面にして水平な面内（ｘｚ面内）に配置し、流路を左右方向（ｘ軸方向）とし、左から右方向に第一圧迫部、第二圧迫部、弁の順に並ぶ向きとする。また、アクチュエータを上下方向（ｙ軸に平行な方向）に往復運動させて、或いはｘｙ面内で回転させて、圧迫部を上から下方向（−ｙ方向）に圧迫するものとする。また、各図の正面図は、本説明でいうｘｙ平面に描かれている。
【００７６】
［Ａ］凸構造を有しないマイクロ流体デバイスポンプに適用できる押圧部材
（イ）ｙ軸に平行な方向に単純な往復運動させることによりポンプを駆動する押圧部材
本押圧部材は、流体移送方法（i）に適用する場合には、押圧部材を圧迫部の流路壁に該直角方向に往復運動させるのみでマイクロ流体デバイスポンプを駆動できる。流体移送速度を変化させる場合には、振幅又は周波数を制御すること実施できるが、周波数を制御する方法が、精度が高く好ましい。
【００７７】
（イ−１）ｙ軸方向に往復運動をさせることによって、圧迫範囲を連続的に拡大する１つの押圧部を持つ押圧部材
【００７８】
（イ−１−１）柔軟な圧迫部材を持つ押圧部材
例えば図３に示したように、押圧部材（２２）に固定された押圧部（２１）が、マイクロ流体デバイスポンプを圧迫することによって弾性変形するような弾性率を持った素材、例えばゴムやエラストマーで形成されていて、押圧部（２１）の下端がｘ−ｙ面内で傾斜していて、左方で長く、右方で短くなっている。
【００７９】
前記流体移送方法（i）において、まず前記押圧部材（２３）を下方に移動させると、押圧部（２１）の左端の先端部分が圧迫部（１１）を圧迫し、更に前記押圧部材（２３）を下方に移動させると、押圧部（２１）の圧迫部（１１）を圧迫している部分が弾性変形し、弁（１３）の方向に連続して圧迫部（１１）を拡大していく。これにより、圧迫部と弁との間の流体が加圧され、弁（１３）を通じて流体が移送される。前記押圧部（２１）は、右に行くほど短くなる傾斜部分を有すれば良く、上記の他に、例えば、下に凸な半円形や半球形、鈍角のくさび形などであっても良い。
【００８０】
（イ−１−２）押圧されることによって、回転軸周りに一定角度だけ回転しつつ圧迫範囲を拡大する押圧部を持つ押圧部材
例えば図４に示したように、押圧部（２１）が、常態で停止している位置から、回転軸（２８）周りに、時計回りに少なくとも特定の角度だけ回転可能なように、押圧部材本体（２２）に取り付けられている。該押圧部（２１）はバネ（２５）によって反時計回り方向に付勢され、ストッパ（２６）により停止位置に停止している。押圧部材（２３）によりマイクロ流体デバイスポンプの圧迫部（１１）を圧迫すると、反作用で、下方に突出している方の押圧部（図４における押圧部（２１）の左端）が上方に押され、押圧部（２１）は時計回りに回転しながら、重心が押圧部材本体（２２）に対して上方に移動する。
【００８１】
押圧部（２１）を回転可能なように押圧部材本体（２２）に取り付ける方法は任意であり、針状の回転軸（２８）の代わりに、凹凸の軸受け、転がりによる回転などであって良い。
【００８２】
押圧部（２１）の素材は任意であり、上記圧迫によって実質的に変形しない弾性率を持つ素材であっても良いし、変形する弾性率を持つ素材であっても良い。押圧部（２１）のｘ−ｚ断面形状は、例えば、上記（イ−１−１）に記載の押有る部材と同様に、先端部が丸められた三角形であって良い。
前記流体移送方法（i）に使用する場合、前記押圧部材を下方に移動させると、まず押圧部（２１）の左端の部分が圧迫部（１１）を圧迫し、更に前記押圧部材（２３）を下方に移動させると、前記押圧部（２１）がｘ−ｙ面内で時計回りに回転しつつ、圧迫部（１１）を、当初の圧迫部位から弁（１３）の方向に連続して圧迫範囲を拡大して行く。これにより、圧迫部と弁との間の流体が加圧され、弁（１３）を通じて流体が移送される。本例では、流体は左から右方向へ移送される。
【００８３】
（イ−２）ｙ軸方向に往復運動をさせることによって、まず１点を圧迫し、該圧迫位置を移動させる押圧部を持つ押圧部材
【００８４】
（イ−２−１）押圧部自体が弾性変形して圧迫位置を変えるもの
例えば図５に示したように、弾性を有する素材で形成され、ｘ−ｙ面内で下に凸の曲線状に曲げられた押圧部（２１）が、その基部（２１ｂ）において押圧部材本体（２２）に固定されている。前記押圧部（２１）がマイクロ流体デバイスポンプを圧迫すると、その圧迫力に応じて湾曲の程度を変え、圧迫位置がｘ方向に順次移動するようにされている。
【００８５】
押圧部（２１）のｘ−ｚ断面形状は、例えば、上記（イ−１−１）に記載の押圧部材と同様に、先端部が丸められた三角形であって良い。押圧部（２１）を形成する素材は、上記のように、破壊することなく弾性変形すれば任意であり、好ましくは引張弾性率が１ＭＰａ〜１００ＧＰａ、更に好ましくは１０ＭＰａ〜１０ＧＰａである。素材としては金属又は重合体が好ましい。
【００８６】
前記流体移送方法（i）に使用する場合、図に示したように、まず、押圧部材（２３）を下方に移動させると、まず押圧部（２３）の先端部（２１ａ）が圧迫部（１１）を圧迫しはじめ、更に前記押圧部材（２３）を下方に移動させると、前記押圧部（２１）が撓んで、圧迫部位が順次前記弁（１３）方向に移動して圧迫する。これにより、圧迫部と弁との間の流体が加圧され、弁（１３）を通じて流体が移送される。本例では、流体は左から右方向へ移送される。
【００８７】
前記流体移送方法（ii）に使用する場合には、前記押圧部材（２３）を左右逆に設置し、押圧部（２１）が、最初に圧迫部（１１）の弁に近い側を圧迫するようにすることで、流体を右から左方向へ移送することが出来る。
【００８８】
（イ−２−２）弾性体を介して圧迫部本体に取り付けられた押圧部を持つもの
例えば図６に示したように、押圧部（２１）が、下端がｘ−ｙ面内で下に凸の曲線状の形状を有するものであり、該押圧部（２１）は、弾性体（２７）を介して押圧部材本体（２２）に取り付けられている。また、前記弾性体（２７）は、左右方向の各位置ｘにおけるｙ方向の高さが異なるか、あるいは弾性率が異なるかの少なくともいずれかであり、押圧部（２１）の下端がマイクロ流体デバイスポンプを圧迫すると、前記押圧部の左右で圧縮率が異なるように変形し、前記押圧部（２１）の下端の曲線の各部が順次マイクロ流体デバイスポンプの圧迫部（１１）を圧迫するようにされている。
【００８９】
押圧部（２１）のｘ−ｚ断面形状は、例えば、上記（イ−１−１）に記載の押圧部材と同様に、先端部が丸められた三角形であって良い。押圧部を固定する弾性体は任意であり、上記（イ−１−２）と同様である。
また、押圧部の素材は任意であり、上記（イ−１−２）と同様である。
【００９０】
（イ−２−３）押圧されることによって、自動的に押圧部が回転軸周りに制限された角度だけ回転しつつ圧迫位置を変える押圧部材
例えば図７に示したように、押圧部（２１）はローラー部（２１ｃ）とアーム部（２１ｄ）からなり、ローラー部（２１ｃ）はｘｙ面内で回転軸（２９）の周りに回転可能なようにアーム部（２１ｄ）に装着されている。アーム部（２１ｄ）は、ｘｙ面内で回転軸（２８）の周りに制限された角度だけ回転可能なように押圧部材本体（２２）に装着されている。アーム部（２１ｄ）はまた、バネ（２５）により時計方向に付勢され、ストッパ（２６）により、停止位置で停止している。以上の機構により、押圧部（２１）は、マイクロ流体デバイスポンプを圧迫し、その反作用で上方に押されると、アーム（２１ｄ）が反時計方向に回転して圧迫位置を右方に移動させる。このとき、ローラー部（２１ｃ）が回転して、マイクロ流体デバイスポンプの表面を擦ることなく圧迫する。
押圧部（２１）のｘ−ｚ断面形状は、例えば、上記（イ−１−１）に記載の押圧部材と同様に、先端部が丸められた三角形であって良い。また、ローラー部（２１ｃ）の素材は任意であり、上記（イ−１−２）と同様である。
【００９１】
［ロ］押圧部材をｙ軸に平行な方向に往復運動させつつ、それに同期させて、制限された角度範囲で往復回転運動（首振り運動）させて圧迫部を圧迫する押圧方法に使用できる押圧部材
本押圧部材は、流体移送方法（i）、（ii）のいずれに適用する場合にも、振幅又は周波数を制御することで、流体移送速度を変化させることができるが、周波数を制御する方法が、精度が高く好ましい。
【００９２】
押圧部材（２３）としては、例えば、図に示されたように、押圧部材本体（２２）が圧迫によって実質的に変形しない弾性率の素材で形成された直方体であり、押圧部（２１）が、圧迫により弾性変形しうる軟質素材で形成され、ｙ方向の寸法（長さ）がｘ方向のどの位置でも同じであり、先端部の形状が上記押圧部の好ましい寸法であるような押圧部材でありうる。
【００９３】
押圧部材（２３）は、上記のように押圧部材本体（２２）に押圧部（２１）が固定された構造の他、押圧部材本体（２２）と押圧部（２１）が同じ素材で一体成形されたものを例示できる。本方法に用いる押圧部材は、このように、構造が極めて単純になる。
【００９４】
この押圧部材を前記流体流体移送方法（i）に用いる場合には、上記押圧部材（２３）を反時計方向に例えば約１５度回して傾斜させて、押圧部（２１）の左端が圧迫部（１１）の一部に接触するようにし、そのまま下方に移動させて該マイクロ流体デバイスの圧迫部（１１）の一部を圧迫して流路断面を変形させ、次いで、該圧迫を継続しながら、該押圧部材（２３）を時計方向に回転させて傾斜を解除しつつ下方に移動させて、押圧部（２１）の左方から右方にて順次圧迫部（１１ｂ）を圧迫して圧迫範囲を右方へ拡大し、流体を弁（１３）を通過させ、その後、押圧部材（２３）を上方に移動させて圧迫部（１１）の圧迫を解除することにより、圧迫部（１１）から弁（１３）の方向へ流体を好適に移送できる。また、該操作を繰り返すことにより、連続して流体の移送できる。
【００９５】
また、この押圧部材を前記流体流体移送方法（ii）に用いる場合には、上記押圧部材（２３）を時計方向に例えば約１５度回して傾斜させて、押圧部（２１）の右端が圧迫部（１１）の一部に接触するようにし、そのまま下方に移動させて圧迫部（１１）の一部を圧迫して流路断面を変形させ、次いで、圧迫部（１１）の圧迫を継続しながら、該押圧部材（２３）を反時計方向に回転させて傾斜を解除し、押圧部（２１）全体にて圧迫部（１１）を圧迫して流路断面を変形させ、その後、押圧部材（２３）をさらに反時計方向に回して、押圧部（２１）の左端での圧迫を継続しながら、押圧部（２１）の右端での圧迫を解除することにより、弁（１３）から圧迫部（１１）の方向へ流体を好適に移送できる。また、該操作を繰り返すことにより、連続して流体の移送できる。
【００９６】
本押圧部材（２３）を上記のように首振り運動しながら押圧する駆動機構は任意であるが、例えば図８に示した駆動機構を好ましく用いることが出来る。即ち、押圧部材（２３）は、上端に近い部分が、モーター（３１）に接続された円板（３２）の外周付近の一点に軸（３３）で接続されており、押圧部材（２３）は該軸（３３）周りに回転可能とされている。押圧部材（２３）はまた、下端に近い部分が、直線摺動機構（３４）の可動部（３５）に軸（３６）にて接続されており、押圧部材（２３）は軸（３６）周りに回転可能とされている。この駆動機構のモーター（３１）を回転させると、押圧部材（２３）は首振り運動しつつ上下に往復運動する。本押圧部材の駆動機構としては、上記の他に、例えば、ＸＹアクチュエーターも使用できる。
【００９７】
本例においては、ローラー状の押圧部（２１）を変形しやすいゴムやエラストマーで形成することや、ローラー状の押圧部（２１）がバネなどの付勢に抗して軸（３６）方向へ移動可能な構造であることが、該駆動機構のマイクロ流体デバイスポンプからの距離の許容範囲が広くなり、好ましい。
【００９８】
（ハ）押圧部をｘ−ｙ平面内で環状に移動させることにより流体を移送する押圧部材
本機構は、押圧部を環状に運動させるのみでマイクロ流体デバイスポンプを駆動できる。このとき、押圧部材（２３）は回転させても良いし、回転させずに重心を環状に運動させてもよい。また、該環状運動の軌跡は円である必要はなく、楕円、矩形などであり得る。流体の移送速度は環状運動の周波数や、圧迫状態で移動する距離などで制御できるが、周波数による制御が好ましい。
（ハ−１）押圧部材を回転させずに、重心を環状に移動させて使用する押圧部材
例えば図８に示したように、押圧部（２１）はローラー状であり、該押圧部（２１）は、回転軸（２８）周りにｘ−ｙ平面内で回転可能なように押圧部材本体（２２）の先端部に固定されている。
【００９９】
この押圧部材（２３）を前記流体移送方法（i）に使用する場合の第一の例は、２次元アクチュエータ（図示せず）を用いて、押圧部材（２３）をまず下方に移動させて、押圧部（２１）で圧迫部（１１）を圧迫し、押圧部材（２３）を右方向に移動させると、圧迫部位を前記圧迫部（１１）から連続的に前記弁（１３）方向へ移動させ、前記圧迫部（１１）を連続的に圧迫する。これにより、圧迫部と弁との間の流体が加圧され、弁（１３）を通じて流体が移送される。本例では、流体は左から右方向へ移送される。流体移送後、前記押圧部材（２３）を上方向に移動させると、前記第二圧迫部（１１ｂ）の圧迫が解除される。次いで、前記押圧部材（２３）を左方向に移動させて、初期の位置に復帰させる。これを順次繰り返すことにより連続して流体を移送することができる。
【０１００】
上記押圧部材（２３）を前記流体移送方法（i）に使用する場合の第二の例は、ば図８に示した駆動機構を好ましく用いることが出来る。即ち、押圧部材（２３）は、下端に近い部分が、モーター（３１）に接続された円板（３２）の外周付近の一点に軸（３３）で接続されており、押圧部材（２３）は該軸（３３）周りに回転可能とされている。押圧部材（２３）はまた、上端に近い部分が、直線摺動機構（３４）の可動部（３５）に軸（３６）にて接続されており、押圧部材（２３）は軸（３６）周りに回転可能とされている。この駆動機構のモーター（３１）を回転させると、押圧部材（２３）は首振り運動しつつ上下に往復運動し、押圧部（２１）は環状に運動する。
【０１０１】
前記流体移送方法（ii）に使用する場合には、前記第一の例に於いて第二の例に於いても、前記押圧部材（２３）を左右逆に設置し、押圧部（２１）を弁（１３）から圧迫部（１１）の方向へ順次圧迫するようにすることで、流体を右から左方向へ移送することが出来る。
【０１０２】
（ハ−２）押圧部材をｘｙ面内で回転させて使用する押圧部材
例えば図９に示したように、回転軸（３０）の周りにｘｙ平面内で回転する円板状の圧迫装置本体（２２）の周辺部に、等間隔に４つの押圧部（２１）のアーム部（２１ｄ）が基部（２１ｂ）にて固定されている。該アーム部（２１ｄ）にはそれぞれ回転軸（２９）周りにｘｙ平面内で回転する円板状のローラー部（２１ｅ）が取り付けられている。圧迫装置本体（２２）に回転軸（３０）は速度可変モーター（図示せず）に接続されていて任意の速度で回転させることが出来る。押圧部（２１）の素材は、使用不能なほど柔軟でなければ任意であり、上記（イ−２−１）と同様である。本例では、ローラー部（２１ｃ）及びアーム部（２１ｄ）にハイインパクトポリスチレンが使用されている。
【０１０３】
前記流体移送方法（i）に使用する場合、図に示したように、前記圧迫機本体（２２）を反時計方向に回転させると、まず押圧部（２１）のローラー部（２１ｃ）が圧迫部（１１）を圧迫し、前記本体（２２）を更に回転させると、前記アーム部（２１ｄ）が撓みながらローラー部（２１ｃ）を圧迫部（１１）方向に付勢し、圧迫部位が前記圧迫部（１１）から、順次前記弁（１３）方向に移動する。これにより、圧迫部と弁との間の流体が加圧され、弁（１３）を通じて流体が移送される。本例では、流体は左から右方向へ移送される。前記押圧部材本体（２２）を更に回転させると、前記ローラー部（２１ｄ）が上方に移動して圧迫が解除される。前記押圧部材本体（２２）を更に回転させると、第二の押圧部が圧迫部（１１）を圧迫して、上記工程が繰り返される。
【０１０４】
前記流体移送方法（ii）に使用する場合には、前記押圧部材（２２）の回転方向を逆にすれば、圧迫部位は弁（１３）から圧迫部（１１ａ）方向に順次移動して、流体を右から左方向へ移送することが出来る。      
【０１０５】
本発明に於いて、押圧部材を駆動する機構は任意であり、例えば、手動、電磁アクチュエーター、圧空式アクチュエータ、オイル式アクチュエータ、電気モーター（パルスモーター、リニアモーターなどを含む）、等であり得る。
【０１０６】
［Ｂ］凸構造を有するマイクロ流体デバイスポンプに適用できる押圧部材
この場合、押圧部（２１）の下面が流路幅より幅広の平面であること以外は、上記［Ａ］で述べた押圧部材と同様の押圧部材が好ましく使用できる。また、上記［Ａ］で述べた押圧部材も使用可能である。
【実施例】
【０１０７】
以下、本発明の実施例を説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の実施例において、「部」及び「％」は、特に断りがない限り、各々「質量％」、「質量部」を表す。
【０１０８】
（実施例１）
本実施例では、弁として、弁（Ａ）を有するマイクロ流体デバイスポンプの製造方法とその使用方法について述べる。
〔組成物（Ｘ）〕
検出用流体デバイスの製造例で使用する紫外線硬化性の組成物（Ｘ）の調製方法を示す。
重合性化合物として、平均分子量約２０００の大日本インキ化学工業株式会社製３官能ウレタンアクリレートオリゴマー「ユニディックＶ−４２６３」８０部、第一工業製薬株式会社製ヘキサンジオールジアクリレート「ニューフロンティアＨＤＤＡ」２０部、光重合開始剤としてチバスペシャルテッィケミカルズ社製１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュアー１８４」５部を混合して、組成物（Ｘ）を調製した。
組成物（Ｘ）の硬化物は、引張弾性率が６１０ＭＰａ、破断伸び率が７．５％であった。
【０１０９】
〔紫外線の照射〕
製造例に於ける紫外線照射は、２００Ｗメタルハライドランプを光源とするウシオ電機株式会社製のマルチライト２００型露光装置用光源ユニットを用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が１００ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を室温、窒素雰囲気中で照射した。
【０１１０】
〔工程１：第一の部材（３）の形成〕
厚さ１ｍｍのアクリル板製支持体（１）の上に、スピンコーターを用いて組成物（Ｘ）を塗工して未硬化塗膜を形成し、該未硬化塗膜の流路（５［（５ａ）及び（５ｂ）］と成すべき部分以外の部分に所定寸法の遮光パターンを有するフォトマスクを通して紫外線を１０秒間照射して未硬化塗膜を半硬化させて樹脂層（２）を形成した。次いで、非照射部分の未硬化の組成物（Ｘ）をエタノールで洗浄除去して、流路（５）となるべき樹脂層（２）の表裏を貫通する欠損部（５）を形成した。次いで、流路（５ａ）と（５ｂ）を分断している堰状構造（６）を中心とする直径０．４ｍｍの円形の部分に前記紫外線を２０秒間照射して、該照射部分を完全硬化させた。
【０１１１】
〔工程２：第二の部材（４）の固着〕
二村化学株式会社製二軸延伸ポリプロピレンフィルム「ＯＰＰフィルム」上に組成物（Ｘ）を、バーコーターを用いて塗工し、全面に紫外線を３秒間照射して半硬化させて、蓋となる第二の部材（４）を形成した。上記工程１で作製した第一の部材（３）の堰状構造（６）の上面に筆でグリセリンを護符し、第二の部材（４）を樹脂層（２）の上に貼り合わせ、紫外線を４０秒照射して、樹脂層（２）、第二の部材（４）共に完全に硬化させたのち、ＯＰＰフィルムを剥がして、樹脂層（２）の欠損部（５）、（５ｂ）が毛細管状の流路（５ａ）、（５ｂ）となされた検出用流体デバイス前駆体を形成した。このとき、第一の部材（３）と第二の部材（４）とは、流路（５）以外の部分では、前記堰状構造（６）部分においてのみ固着していないものであった。
【０１１２】
〔工程３：開口部の形成〕
検出用流体デバイス前駆体の流路（５）の両端部の位置に於いて流路（５）に連結させるように、ドリルを用いて第二の部材（４）に直径０．５ｍｍの貫通孔（７）、（８）を穿り、該貫通孔（７）、（８）周辺の外面に直径６ｍｍ、長さ６ｍｍのポリスチレン管を接着して開口部（９）、（１０）とし、マイクロ流体デバイスポンプを製造した。
製造されたマイクロ流体デバイスポンプの各部の寸法は、堰状構造（６）の流路方向の長さを約３００μｍとした場合の、前記実施態様に記載したマイクロ流体デバイスポンプの寸法と同じである。
【０１１３】
〔流体移送方法１−１〕  押圧部材（２３）の押圧部材本体（２２）を、硬質塩化ビニル樹脂（引張り弾性率約３ＧＰａ）を用いて、幅１２ｍｍ、奥行き６ｍｍ、高さ３０ｍｍに形成し、押圧部（２１）を、ブチルゴム（引っ張り弾性率約１０ＭＰａ）を用いて、ｘ−ｙ断面が、底辺（上端）１２ｍｍ、左端の高さが８ｍｍ、右端の高さが６．５ｍｍの四角形であり、ｘ−ｚ断面が、先端部（下端）が半径０．５ｍｍの半球にとなされた底辺（上端）が６ｍｍの先端が丸められた三角形に形成し、実施態様（Ａ−イ−１−１）に記載の構造の押圧部材（２３）を作製した。
【０１１４】
マイクロ流体デバイスの開口部（９）に、メチレンブルーで着色した蒸留水を投入した後、上記の押圧部材を用いて、手動でマイクロ流体デバイスポンプ面に直角方向に圧迫部（１１）を圧迫したところ、着色水は弁（１３）を通過した。次いで、圧迫を解除したところ、弁（６）を通じての逆流は僅かであり、開口部（９）に投入された着色水が圧迫部（１１）に流入し、好適に移送できた。また、該操作を繰り返すことにより、連続して流体の移送が可能であった。
【０１１５】
〔流体移送方法１−２〕  押圧部材（２３）を手動で駆動する代わりに、電磁アクチュエーターを用いて、１Ｈｚで押圧したこと以外は上記と同様の送液試験を行ったところ、圧迫部（１１）から弁（１３）の方向へ着色水を好適に移送できた。
【０１１６】
〔流体移送方法１−３〕
押圧部材本体（２３）、押圧部（２１）共に硬質ポリ塩化ビニル（引張り弾性率３ＧＰａ）、押圧部（２１）の寸法が上記「流体移送方法１−１」に記載の寸法、弾性体（２７）が１２ｍｍ（ｘ）×４ｍｍ（ｙ）×６ｍｍ（ｚ）のポリイソブチレン（引っ張り弾性率約１ＭＰａ）として、前記実施態様（Ａ−イ−２−２）に記載した押圧部材（２３）を作製した。
本押圧部材を用いたこと以外は前記流体移送方法１−１と同様にして送液試験を行い、同様の結果を得た。
【０１１７】
〔流体移送方法１−４〕
図に示されたように、押圧部材本体（２２）が硬質ポリ塩化ビニル製の１２ｍｍ（ｘ）×３０ｍｍ（ｙ）×６ｍｍ（ｚ）の直方体であり、押圧部（２１）部分が、ポリウレタン（引張弾性率２６０ＭＰａ）で形成され、ｘ−ｙ面の断面の寸法が、１２ｍｍ（ｘ）×６ｍｍ（ｙ）の矩形、ｘ−ｙ面の断面寸法が、底辺６ｍｍ（ｚ）×高さ６ｍｍ（ｙ）の、頂部が半径０．５ｍｍに丸められた三角形である、前記実施態様（Ａ−ロ−１）に記載の押圧部材（２３）を作製した。
【０１１８】
マイクロ流体デバイスの開口部（９）に、メチレンブルーで着色した蒸留水を投入した後、手動にて、上記押圧部材（２３）を反時計方向に約１５度回して傾斜させて、押圧部（２１）の左端が圧迫部（１１）の一部に接触するようにし、そのまま下方に移動させて該マイクロ流体デバイスの圧迫部（１１）の一部を圧迫して流路断面を変形させ、次いで、該圧迫を継続しながら、該押圧部材（２３）を時計方向に回転させて傾斜を解除しつつ下方に移動させて、押圧部（２１）の左方から右方にて順次圧迫部（１１ｂ）を圧迫して圧迫範囲を右方へ拡大し、流体を弁（１３）を通過させ、その後、押圧部材（２３）を上方に移動させて圧迫部（１１）の圧迫を解除したところ、着色水は、圧迫部（１１）から弁（１３）を通過して右方向へ移送された。また、該操作を繰り返すことにより、連続して移送できた。
【０１１９】
（実施例２）
本実施例では、本発明の凸構造を有するマイクロ流体デバイスポンプを用いた流体流体移送方法について説明する。
【０１２０】
〔マイクロ流体デバイスポンプの作製〕
圧迫部（１１）の外面に、変成ポリジメチルシロキサン（シリコンシーラント、引っ張り弾性率約１ＭＰａ））にて幅約２ｍｍ、高さ約１ｍｍ、長さ約１５ｍｍの凸構造（１４）を設けたこと以外は、実施例１と同様にしてマイクロ流体デバイスポンプを作製した。
【０１２１】
〔流体移送方法２−１〕
押圧部（２１）が硬質ポリ塩化ビニルで形成さえていること、圧迫部（１１）の下面寸法が１０ｍｍ（ｘ）×６ｍｍ（ｚ）の平面であること以外は、送液方法１−４で使用した構造の押圧部材（２３）を作製した。
上記で作製した押圧部材（２３）これ用いて、実施例１の「流体移送方法１−４」と同様にして送液試験を行ったところ、着色水は左から右方向に移送された。
【０１２２】
〔流体移送方法２−２〕
図８に示したように、押圧部（２１）は硬質ポリ塩化ビニルで形成された直径約７ｍｍ、厚み４ｍｍのローラー状であり、該押圧部（２１）は、回転軸（２８）周りにｘ−ｙ平面内で回転可能なように押圧部材本体（２２）の先端部に固定されている。押圧部本体（２２）は、長さ３５ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ６ｍｍの硬質ポリ塩化ビニル製とした。
この押圧部材（２３）を用いて、手動にて、圧迫部（１１）を圧迫しつつ右方向に移動させると、圧迫部（１１）と弁（１３）との間の流体が弁（１３）を通過した。その後、前記押圧部材（２３）を上方向に移動させて圧迫部（１１）の圧迫を解除する。これを順次繰り返すことにより連続して着色水を移送することができた。
【０１２３】
（実施例３）
本実施例では、弁として前記弁（Ｂ）を有するマイクロ流体デバイスポンプを用い、単純な往復運動による圧迫で流体を移送する方法について説明する。
〔マイクロ流体デバイスポンプの作製〕
堰状構造（６）の流路方向の長さを約６０μｍとしたこと、及び、前記工程３において、図２に示したように、圧迫部（１１）の外側に変成ポリジメチルシロキサン（シリコンシーラント）にて幅約２ｍｍ、高さ約１ｍｍ、長さ約１５ｍｍの凸構造（１４）を設けたこと以外は、実施例１と同様にしてマイクロ流体デバイスポンプを作製した。
【０１２４】
〔流体移送方法３−１〕
前記実施例２の「流体移送方法２−１」と同様の押圧部材（２３）を作製し、上記で作製したマイクロ流体デバイスポンプを用いたこと以外は、実施例２の「流体移送方法２−１」と同様の送液試験を行ったところ、圧迫部（１１）から弁（１３）の方向へ着色水を好適に移送できた。
【０１２５】
〔流体移送方法３−２〕
前記実施例２の「流体移送方法２−２」と同様の押圧部材（２３）を作製し、上記で作製したマイクロ流体デバイスポンプを用いたこと以外は、実施例２の「流体移送方法２−１」と同様の送液試験を行ったところ、圧迫部（１１）から弁（１３）の方向へ着色水を好適に移送できた。
【０１２６】
（実施例４）
本実施例では、弁（１３）側から圧迫部（１１）方向へ流体を移送する方法について述べる。
【０１２７】
〔マイクロ流体デバイスポンプの作製〕
弁として前記実施例３で作製した、弁（Ｂ）を有するマイクロ流体デバイスポンプを用いた。
〔流体移送方法４〕
実施例２の「流体移送方法２−２」で作製した押圧部材（２３）を用い、最初に弁（１３）に圧迫部（１１）の、弁（１３）に隣接した部分を圧迫し、順次弁（１３）から離れた部分へ押圧部位を移動させたこと以外は、前記流体移送方法２−２と同様にして送液試験を行ったところ、着色水は圧迫部（１１）から弁（１３）方向へ移送された。
【図面の簡単な説明】
【０１２８】
【図１】本発明の実施態様のマイクロ流体デバイスポンプの平面模式図、及び、Ａ部における断面図模式図である。
【図２】本発明の実施態様のマイクロ流体デバイスポンプの平面模式図、及び、Ａ部における断面図模式図である。
【図３】本発明の実施態様の押圧部材の正面図である。
【図４】本発明の実施態様の押圧部材の正面図、平面図、および側面図である。
【図５】本発明の実施態様の押圧部材の作動状態の模式図である。
【図６】本発明の実施態様の押圧部材の正面図である。
【図７】本発明の実施態様の押圧部材の正面図である。
【図８】本発明の実施態様の押圧部材の正面図、平面図、および側面図である。
【図９】本発明の実施態様の押圧部材の正面図である。
【図１０】本発明の実施態様の押圧部材の正面図、および側面図であるである。
【符号の説明】
【０１２９】
１・・・支持体
２・・・樹脂層
３・・・第一の部材
４・・・第二の部材
５、５ａ、５ｂ・・・流路（欠損部、溝）
６・・・堰状構造（非欠損部）
６ａ・・・押圧部
７、８・・・貫通孔
９，１０・・・円管
１１・・・圧迫部
１２、１２ａ・・・流路壁
１３・・・弁
１４・・・凸構造
２１・・・押圧部
２１ａ・・・先端に近い部分
２１ｂ・・・押圧部の固定部
２１ｃ・・・押圧部のアーム部
２１ｄ・・・押圧部のアーム部
２２・・・押圧部材本体
２３・・・押圧部材
２４ａ、２４ｂ・・・ガイド穴
２５・・・バネ
２６・・・ストッパ
２７・・・支持部材
２８、２９、３０・・・回転軸
【図１】
2005194951.tif 000003
【図２】
2005194951.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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