(57)【要約】【課題】外気の進入があっても外気に含まれる化学物質等の異物による汚染を防止でき、清浄な雰囲気を保ったままマスクブランクスを保管できる収納容器及び収納方法を提供する。【解決手段】上方が開口した容器本体３と、該容器本体３に被せる蓋４とを備えて、内部に、レジスト膜を有するマスクブランクス１を収納する。蓋４のコーナーに外気との通気孔４９を形成し、この通気孔４９の容器内側にフィルター部材５を設ける。通気孔４９から外気が進入しても、外気に含まれる化学物質等の異物はフィルター部材５によって除去され、清浄化された外気のみが容器内に入る。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、上方が開口した容器本体と該容器本体に被せる蓋体とを備えて、内部にマスクブランクスを収納するマスクブランクスの収納容器であって、外気中の異物が収納容器内に進入するのを阻止する手段を備えたことを特徴とするマスクブランクスの収納容器。
【請求項２】
前記外気中の異物が収納容器内に進入するのを阻止する手段は、収納容器に設けた外気と内気との通気孔と、該通気孔に設けた外気中の異物を除去するためのフィルター部材とからなることを特徴とする請求項１に記載のマスクブランクスの収納容器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のマスクブランクスの収納容器に、レジスト膜を有するマスクブランクスを収納することを特徴とするマスクブランクスの収納方法。
【請求項４】
前記レジスト膜は化学増幅型レジスト膜であることを特徴とする請求項３に記載のマスクブランクスの収納方法。
【請求項５】
前記外気中の異物は、前記化学増幅型レジストにおける所望の化学増幅効果を阻害する化学物質であることを特徴とする請求項４に記載のマスクブランクスの収納方法。
【請求項６】
請求項３乃至５の何れかに記載の収納方法によりマスクブランクスが収納されたことを特徴とするマスクブランクス収納体。
【請求項７】
請求項６に記載のマスクブランクス収納体を交通手段を利用して輸送することを特徴とするマスクブランクス収納体の輸送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスの製造に使用されるフォトマスクやこのフォトマスクの製造に用いられるマスクブランクスを収納する容器及びその収納方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の電子デバイス、特に半導体素子や液晶モニター用のカラーフィルター或いはＴＦＴ素子等は、ＩＴ技術の急速な発達に伴い、一層の微細化が要求されている。このような微細加工技術を支える技術の一つが、転写マスクと呼ばれるフォトマスクを用いたリソグラフィー技術である。このリソグラフィー技術においては、露光用光源の電磁波を転写マスクを通じてレジスト膜付きシリコンウエハー等に露光することにより、シリコンウエハー上に微細なパターンを形成している。この転写マスクは通常、透光性基板上に遮光性膜を形成したマスクブランクスにリソグラフィー技術を用いて原版となるパターンを形成して製造される。ところで、マスクブランクスの表面にパーティクル等の異物があると、形成されるパターンの欠陥の原因となるので、マスクブランクスの表面には異物等が付着しないように清浄に保管される必要がある。
【０００３】
このようなマスクブランクスを収納保管し運搬するための容器としては、従来では例えば下記特許文献１に記載されているようなマスク運搬用ケースが知られている。
すなわち、従来のマスクブランクスを収納保管する容器は、キャリアなどと呼ばれている内ケースにマスクブランクスを数枚乃至数十枚並べて保持させ、このマスクブランクスを保持した内ケースを外箱（ケース本体）内に収容し、さらに外箱上に蓋を被せて、マスクブランクスを収納する構造となっていた。そして、外箱と蓋との接合部上には粘着テープを貼付することにより、ケースを密封するとともに、外気や異物等の進入を防ぐようにしていた。
【特許文献１】特開２００１−１５４３４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年の電子デバイスの高性能化に伴って、転写マスクに形成されるパターンも一段と微細化が要求されており、このような微細化パターンを形成するためにもマスクブランクスの清浄度は極めて高いものでないと許容できなくなってきている。従って、マスクブランクスに異物等が付着するのを出来るだけ抑制することにより、特にマスクブランクスの保管中は出来るだけ高い清浄度に維持する必要がある。
ところで、最近、フォトマスク用のレジストとして化学増幅型レジストが着目されている。この化学増幅型レジストに関しては例えば特開２０００−６６３８０号公報等に記載がある。この化学増幅型レジストは、感度やコントラストなどの特性が従来のフォトレジストに比べて優れているため、微細化パターンを形成するのに有利であると言える。但し、この化学増幅型レジストは、その反応メカニズム上、化学成分のコンタミによる影響を受けやすいことが指摘されている。つまり、ある種の化学成分のコンタミがあると、化学増幅反応の触媒となる物質の機能を抑制乃至阻害させ（例えば、失活）、所望の性能が得られなくなる場合が生じる。このため、化学増幅型レジスト膜が形成されたマスクブランクスの場合は、単にパーティクル等の異物を排除するだけでは足りず、化学成分のコンタミの影響をも排除するため特に清浄な雰囲気で保管する必要がある。
【０００５】
従来のマスクブランクスの収納容器では、たとえば外箱と蓋との接合部を粘着テープで一応密封していたが、マスクブランクスの収納梱包時にテープを貼り付け、開封時にはテープを剥離するという二重の手間が掛かる上に、その封止状態も完全ではなかった。つまり、一般的に使用される粘着テープの場合、多少の通気性を有しているため、たとえば、収納容器を保管する雰囲気の温度変化によっては内気が膨張或いは収縮する場合があるが、このときテープを貼り付けた接合部を通して外気と内気との間での出入りが生じる。また、マスクブランクスを航空機に搭載して輸送する場合のように雰囲気の気圧が変動する場合がある。航空機で輸送する場合は、気圧の変化は相当大きいものになるので、この時にも外気と内気との間での通気が生じる。従って、クリーンルームのような清浄雰囲気内でマスクブランクスを容器内に収納梱包したとしても、その後の保管の雰囲気によっては、経時的に外気が進入し、その外気に含まれる何らかの成分により収納容器内が汚染される場合がある。
さらには、収納容器の材質として何らかの化学成分等が放出され難いプラスチック等を用いたとしても、粘着テープの基材や粘着剤に使用されている化学成分が経時的に収納容器内に進入して汚染する場合がある。特に、上述の温度変化や気圧変化などの雰囲気の変動があった場合は、テープから発生する化学成分による汚染が加速的に進行する恐れがある。
【０００６】
特に、前述の化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクスの場合は、化学成分等のコンタミによる汚染は致命的な欠陥となるため、絶対に避けなければならないことである。
このように、クリーンルーム等でマスクブランクスを容器に収納梱包し、外箱と蓋との接合部を粘着テープで封止するという方法は、一見、外気の進入を阻止して、マスクブランクスを清浄な雰囲気で保管できるように思われるが、実際には、外気の進入による汚染や、粘着テープの化学成分等による汚染を回避することは困難であった。
従って、本発明は、上記従来の問題点を解消し、外気の進入に伴う化学物質などの異物による汚染を防止でき、清浄な雰囲気を保ったままマスクブランクス等を保管できる収納容器及び収納方法を提供することを第１の目的とする。また、特に清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクスに好適な収納方法及び収納容器を提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
従来は、クリーンルームのような清浄な雰囲気でマスクブランクスを容器に収納し、容器の接合部には粘着テープを貼り付けて封止することにより、マスクブランクスを清浄な雰囲気のまま保管できるものと考えられていたが、本発明者の検討によれば、従来の方法ではマスクブランクスを収納した容器内を経時的に清浄な雰囲気を保つことは困難であることを突き止めた。特に化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクスの場合、従来の収納方法を適用して保管すると、マスク製造時に所望の微細パターンを形成できないことがあり、安定したレジスト性能が得られない場合があることも突き止めた。
本発明者は、前記課題を解決するため鋭意検討した結果、保管中の収納容器内に外気が進入しても、その外気に含まれる化学物質等の異物が収納容器内に進入しないように除去することにより、外気の進入があっても収納容器の内部を清浄な雰囲気に保ったままマスクブランクスを保管出来ることを見い出し、本発明を完成するに至ったものである。
【０００８】
すなわち、本発明は以下の構成を有するものである。
（構成１）少なくとも、上方が開口した容器本体と該容器本体に被せる蓋体とを備えて、内部にマスクブランクスを収納するマスクブランクスの収納容器であって、外気中の異物が収納容器内に進入するのを阻止する手段を備えたことを特徴とするマスクブランクスの収納容器。
（構成２）前記外気中の異物が収納容器内に進入するのを阻止する手段は、収納容器に設けた外気と内気との通気孔と、該通気孔に設けた外気中の異物を除去するためのフィルター部材とからなることを特徴とする構成１に記載のマスクブランクスの収納容器。
（構成３）構成１又は２に記載のマスクブランクスの収納容器に、レジスト膜を有するマスクブランクスを収納することを特徴とするマスクブランクスの収納方法。
（構成４）前記レジスト膜は化学増幅型レジスト膜であることを特徴とする構成３に記載のマスクブランクスの収納方法。
（構成５）前記外気中の異物は、前記化学増幅型レジストにおける所望の化学増幅効果を阻害する化学物質であることを特徴とする構成４に記載のマスクブランクスの収納方法。
（構成６）構成３乃至５の何れかに記載の収納方法によりマスクブランクスが収納されたことを特徴とするマスクブランクス収納体。
（構成７）構成６に記載のマスクブランクス収納体を交通手段を利用して輸送することを特徴とするマスクブランクス収納体の輸送方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、上方が開口した容器本体と該容器本体に被せる蓋体とを備えたマスクブランクスの収納容器において、外気中の異物が収納容器内に進入するのを阻止する手段を備えたことにより、保管中に外気がそのまま収納容器内に進入することを防止できるので、外気中の異物、例えばパーティクルや、外気中に含まれる何らかの化学物質等が収納容器内に進入してマスクブランクスを汚染することを有効に防止することが出来る。つまり、保管中に収納容器内に外気が進入してもその外気を清浄化することで、収納容器の内部を清浄な雰囲気に保ったままマスクブランクスを長期間でも保管することが可能である。このため、保管中にマスクブランクスが化学物質等の異物に汚染されることが防止できるので、収納保管されたマスクブランクスを用いて高品位の転写マスクを得ることができる。
【００１０】
上記外気中の異物が収納容器内に進入するのを阻止する手段として、たとえば収納容器に外気と内気との通気孔を設けると同時に該通気孔に外気中の異物を除去するためのフィルター部材を設けることにより、外気の進入があっても、その外気に含まれる化学物質等の異物はフィルター部材により除去されて清浄化されるので、これらの異物や化学成分の進入による汚染を防止することができ、収納容器の内部は清浄な雰囲気のままに保つことが可能である。
また、本発明によれば、清浄な雰囲気で収納保管することが要求されるレジスト膜を有するマスクブランクス、とりわけ化学物質等による汚染を絶対に防止する必要がある化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクスの収納保管に特に好適である。
また、本発明によれば、マスクブランクスが収納容器に収納されたマスクブランクス収納体を交通手段を利用して遠隔地等に輸送する際、外気の温度や気圧変化があっても収納されたマスクブランクスが汚染されることがないので、遠隔地等へのマスクブランクスの輸送に対する高い信頼性を保障することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１乃至図４は本発明に係るマスクブランクスの収納容器の一実施形態を示すもので、図１は収納容器の蓋を示す斜視図、図２はマスクブランクスを中ケースに収納する状態を示す斜視図、図３は収納容器の容器本体（外ケース）を示す斜視図、図４は収納容器にマスクブランクスを収納した状態の縦方向の断面図である。
本実施形態の収納容器は、主表面が正方形のガラス基板の一主表面上にクロム膜等の遮光性薄膜を成膜し、その上に例えば前述の化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクス１を中ケース２に収納し、この中ケース２を容器本体３に収納し、この容器本体３の開口部側に蓋４を被せる構造である（図４）。
なお、上記中ケース２を使用せずに、マスクブランクス１を容器本体３に直接溝等を設けて収納する形態とすることもできる。但し、本実施形態のように中ケース２を使用すると、数枚乃至数十枚のマスクブランクスをまとめて中ケース２に入れた状態で取り扱えるので便利である。
【００１２】
本実施形態の中ケース２は、開口部側（上方）から底面側（下方）に向けて複数の溝２１，２２を一方の互いに対向する内側面に所定間隔をおいて一対をなして形成し、その溝２１，２２の底面側の底部と中ケース底面にはそれぞれ開口窓２３，２４と開口部２７が設けられ、さらに中ケース底面側には基板支持部２６が形成され、この基板支持部２６でマスクブランクス１の下方端面を支持している（図２、図４）。そして、この中ケース２を容器本体３に収納して固定するための凹面部２８，２９がそれぞれ中ケースの他方の互いに対向する外側面に底面側から開口部側の途中まで形成されている（図２）。なお、中ケース２の開口部側の上端面２５から前記基板支持部２６までの高さ寸法は、収納するマスクブランクス１の高さ寸法の主要部分に相当し、マスクブランクス１を中ケース２に収納したとき、マスクブランクス１の上方部分が中ケース２の上端面２５からとび出る構造となっている（図４）。数枚のマスクブランクス１を中ケース２の一対の溝２１，２２に沿って入れると、これらのマスクブランクスは所定間隔をおいて互いに平行に林立する。本実施形態では垂直方向に林立するが、傾斜方向にしてもよい。
【００１３】
本実施形態の容器本体３は、前述した中ケース２の凹面部２８，２９と当接するに適合した突出部３１，３２を、互いに対向する内側面に形成し、その突出部３１，３２の底部は容器本体３底面とも接合している（図３）。また、一方の対向する外側面の開口部側には凸部３３，３４が形成されている。そして、容器本体３の開口縁３５のやや下方の位置に続く外周面３６と上記凸部３３，３４の凸面とは略同一面に形成されている。
本実施形態の蓋４は、その一方の対向する下方縁（容器本体へ差し込む開口部側の縁であって、図１では上方へ向いている）４７から延びた係合片４１，４２に凹部４３，４４を形成している。これにより、蓋４を容器本体３に被せたときに、上記凹部４３，４４が前記容器本体３の凸部３３，３４とそれぞれ係合することで、蓋４と容器本体３とが固定される（図４）。また、中ケース２の開口部側上端面２５と当接して中ケース２を垂直方向において支持固定するストッパー４５，４６を一方の内側面に互いに対向させて形成している（図１）。なお、蓋４の凹部４３，４４と容器本体３の凸部３３，３４を設けないで、蓋４を容器本体３にそのまま被せる構成としてもよい。また、蓋４の凹部と容器本体３の凸部とを係合させる構成とする場合においても、対向する一方の側だけでなく、四方にそれぞれこのような係合手段を形成してもよい。
【００１４】
以上の中ケース２、容器本体３及び蓋４の材質は、例えばポリプロピレン、アクリル、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリエチルサルファイト等の樹脂から適宜選択される。これらの中でも、ポリカーボネート或いはポリエステルが好ましい。また、容器本体３及び蓋４の材質としてはポリカーボネートが好ましく、中ケース２の材質としてはポリエステルが好ましい。このポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ），ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等が好ましい。なお、マスクブランクスの保管中にチャージが溜まると、マスク製造過程において放電破壊を起こし、パターン欠陥となる場合があるので、たとえば容器本体３の構成樹脂にカーボン等を混ぜ込んで導電性を付与することが好ましい。
容器本体３の上から蓋４を被せて、蓋４の凹部４３，４４を容器本体３の凸部３３，３４と係合させて蓋４と容器本体３とを固定すると、蓋４の下方縁に続く外周面４８と容器本体３の開口縁に続く外周面３６とが前後に重なり合って接合される。
【００１５】
本実施の形態では、蓋４のコーナーの一箇所に外気と内気との通気孔４９が穿設されており、この通気孔４９にフィルター部材５が蓋４の内側に向けて取り付けられている（図１、図４参照）。フィルター部材５は、内部にフィルターを保持する鍔状のフィルター保持部５２の両側に気体の流路であるパイプ５１と５３がそれぞれ一体で形成された構成となっており、本実施形態では、パイプ５１側が蓋４の通気孔４９に取り付けられ、パイプ５３側が蓋４の内方へ向いている。フィルター保持部５２は分割できて、内部のフィルターの装着、取外しが可能なように構成されている。なお、通気孔４９を設けた蓋４のコーナー部は内方に凹んでおり、その凹面に上記フィルター保持部５２を当接させている。
従って、本実施形態に係る収納容器にマスクブランクスを収納保管した状態で、上記通気孔４９を通して外気の進入があっても、その外気に含まれている化学物質等の異物はフィルター部材５によって除去され、清浄化された外気のみがそのまま容器内に入るため、容器内部の清浄度は保たれる。
【００１６】
上記フィルター部材５に使用するフィルターとしては、例えば通常、クリーンルームで用いられるエアーフィルターを用いることができる。このようなフィルターとしては、ＨＥＰＡフィルター（high efficiency particulate air filter）やＵＬＰＡフィルター（ultra low penetration particulate air filter）を好ましく挙げることができる。ＨＥＰＡフィルターは、高効率のエアーフィルターで、主にクリーンルームの空気浄化に用いられ、材質は主にガラス繊維製である。また、ＵＬＰＡフィルターは、超LSI製造の微細化に伴って開発された超々高性能フィルターで、材質はガラス繊維製、フッ素系樹脂製が主である。フィルターの能力は、0.05μｍ以上のパーティクルを捕捉できるフィルターであることが好ましい。ＨＥＰＡフィルターやＵＬＰＡフィルター等のエアーフィルターの選択は費用対効果などを勘案して適宜選択することができる。実用上はＨＥＰＡフィルターを用いることができる。
また、特に化学物質による汚染を排除する必要がある化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクスを収納保管する場合は、化学物質を吸着させるフィルター（ケミカルフィルター）を単独で或いは上記エアーフィルターと組み合わせて用いることが好ましい。このようなケミカルフィルターとしては、例えば活性炭フィルターやイオン交換型フィルターを好ましく用いることができる。活性炭フィルターやイオン交換型フィルター等のケミカルフィルターの選択は費用対効果などを勘案して適宜選択することができる。実用上は活性炭フィルターを用いることができる。
このような化学増幅型レジストを汚染する、つまり化学増幅型レジストの所望の化学増幅効果を阻害（化学増幅効果が所望に比べて増進してしまい、或いは抑制されてしまい、所定のレジストパターンが形成されなくなること）する化学物質としては、酸性化学物質や塩基性化学物質が挙げられる。酸性化学物質としては、塩素イオンを含む物質、硫酸イオンを含む物質、リン酸イオンを含む物質、硝酸イオンを含む物質等が挙げられる。また、塩基性化学物質としては、化学増幅反応の触媒となる酸の機能を抑制乃至阻害（例えば失活）させるアンモニア、アミン類、アニリン類、ニトリル類などの窒素を含む化合物等が挙げられる。
【００１７】
以上のように、本実施の形態の収納容器によれば、マスクブランクス等の収納保管中に上記通気孔４９から外気の侵入があっても、外気に含まれている化学物質等の異物はフィルター部材５によって容器内への進入が阻止されるため、マスクブランクスを収納した時の清浄な雰囲気をそのまま長期間でも維持しながら保管することが出来、外気がそのまま容器内に進入してそれに含まれる化学物質等の異物によって汚染される恐れがない。従って、保管される環境の影響を受けやすく、特に清浄な雰囲気で保管することを要求される化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクスの収納保管に本発明は好適である。
なお、蓋４と容器本体３との接合部、つまり蓋４を容器本体３に被せたときの蓋４の下方縁に続く外周面４８と容器本体３の開口縁に続く外周面３６とが前後に重なり合った接合部からの外気の進入も通常は考えられるが、本実施の形態のように、容器に通気孔４９を設けたことにより、外気の進入があってもこの通気孔４９から優先的に進入するため、容器内の汚染は十分に防止することができる。
【００１８】
また、本実施の形態では、通気孔４９及びフィルター手段５を蓋４のコーナーの一箇所に設けているが、これに限定される必要は全くなく、収納するマスクブランクス等に接触しないような箇所であればコーナーでなくてもよく、また、一箇所でなく複数箇所に設けてもよい。また、本実施形態のような蓋４の天板ではなく側壁板の適当な箇所に設けてもよいし、さらには容器本体３側に設けてもよい。
また、外気に含まれる異物の容器内への進入を阻止する手段は、本実施の形態に限定されるものではない。たとえば、容器の適当な箇所に設けた通気孔を容器の内側から覆う或いは塞ぐようにフィルター又はフィルター機能を有するシール部材などを直接貼り付けるような構成としてもよい。また、このような通気孔は設けずに、蓋４と容器本体３との接合部にフィルター或いはフィルター機能を有する部材等を貼り付けるなどして設けてもよい。
また、本発明が適用されるマスクブランクスは、ガラス基板などの透光性基板上にＣｒ等の遮光性膜を形成したマスクブランクス、基板上にハーフトーン（半透光性）膜を形成した位相シフト型マスク用のマスクブランクス、基板上に、露光光を反射する例えばＭｏ／Ｓｉ多層反射膜と露光光を吸収する例えばＴａ系吸収体膜を形成した反射型マスク用のマスクブランクス等が含まれる。また、本発明は、正方形状のマスクブランクス等に限らず、その他の形状、例えば円盤状の基板を収納する場合にも適用できることは言うまでもない。
以下、具体的な実施例により本発明を説明する。
【実施例】
【００１９】
石英基板（６インチ×６インチ）上にスパッタ法でハーフトーン膜を形成し、その上にスピンコート法でレジスト膜を形成してレジスト膜付きマスクブランクスを製造した。このとき、ハーフトーン膜としてＭｏＳｉ系金属膜を用い、レジスト膜としてはポジ型の化学増幅型レジスト膜を用いた。
このようにして製造した１００枚のマスクブランクスを前述の図１乃至図４に示す実施形態の収納容器１０箱に分けて収納した。なお、蓋と容器本体の材質はポリカーボネート、中ケースの材質はポリブチレンテレフタレートを用いた。また、容器に取り付けるフィルター部材のフィルターとしては、活性炭フィルターとＨＥＰＡフィルターを組み合わせて使用した。収納作業は活性炭フィルター及びＵＬＰＡフィルターで清浄化されたクリーンルーム内で行った。
この収納容器を更に梱包袋に梱包して、航空機でカーゴ輸送を行った。そして、輸送された収納容器を上記と同様のクリーンルーム内で開封し、取り出したマスクブランクスに所定の電子線描画を行い、続いて所定の現像、エッチングを行って、位相シフト型転写マスクを製造した。製造した位相シフト型マスクの品質を走査型電子顕微鏡で詳細に検査したところ、１００枚の何れからも特に問題となる欠陥は発見されなかった。
【００２０】
（比較例）
上述の実施例において、容器に通気孔及びフィルター部材を設けていない従来の収納容器（蓋、容器本体及び中ケースの材質は実施例と同じ材質を用いた）を使用し、マスクブランクス収納後、容器の接合部に粘着テープを貼り付けて封止した点以外は、実施例と同様にしてマスクブランクスを製造し、収納し、輸送を行った。
輸送後のマスクブランクスを用いて実施例と同様にして製造された位相シフト型マスクの品質を走査型電子顕微鏡で詳細に検査したところ、１００枚の何れからもパターンの線幅に乱れが生じていることが発見された。これは、輸送中に外気が収納容器の接合部からそのまま容器内に進入し、何らかの化学成分等によってマスクブランクスの化学増幅型レジスト膜が化学的に汚染されたことに起因しているものと考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】収納容器の蓋を示す斜視図である。
【図２】マスクブランクスを中ケースに収納する状態を示す斜視図である。
【図３】収納容器の容器本体（外ケース）を示す斜視図である。
【図４】収納容器にマスクブランクスを収納した状態の縦方向の断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１  マスクブランクス
２  中ケース
３  容器本体
４  蓋
５  フィルター部材
４９  通気孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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