(57)【要約】【課題】  本発明は、エアフィルタ敷設時に、エアフィルタの濾材の下流側を支えたとしても、濾材が破断しないエアフィルタを提供することを目的とする。【解決手段】  ジグザグ状に折り畳んだプリーツ付きの濾材で構成されるフィルタパックと、前記フィルタパックの少なくとも下流側に配設した網状物とを、フィルタ枠に収納し固定したエアフィルタであって、前記網状物の上流側方向への変形を防止する支持部材を、前記濾材の下流側において、前記フィルタ枠に固定したことを特徴とする。【選択図】  図１
2005152814.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジグザグ状に折り畳んだプリーツ付きの濾材で構成されるフィルタパックと、前記フィルタパックの少なくとも下流側に配設した網状物とを、フィルタ枠に収納し固定したエアフィルタであって、前記網状物の上流側方向への変形を防止する支持部材を、前記濾材の下流側において、前記フィルタ枠に固定したことを特徴とするエアフィルタ。
【請求項２】
前記支持部材は、前記濾材のプリーツの折山間に没入されるように、該プリーツと平行に設けた平板であることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ。
【請求項３】
前記支持部材は、前記網状物の面と平行に設けた帯状平板であることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ。
【請求項４】
前記支持部材は、前記濾材のプリーツの折山間に没入されるように、該プリーツと平行に設けた平板と、前記平板の没入方向の後端に前記網状物の面と平行に設けた帯状平板とからなることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ。
【請求項５】
前記網状物を前記フィルタパック方向へ突出するように折り曲げた折曲部を、前記支持部材としたことを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ。
【請求項６】
前記支持部材は、その端部を前記フィルタ枠の内側壁に設けた切り込みに埋め込み固定したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のエアフィルタ。
【請求項７】
前記網状物は、その周囲を前記フィルタ枠の内側壁に設けた切り込みに埋め込み固定したことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のエアフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶・半導体生産用クリーンルーム等、超清浄空間を作り出すためのエアフィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶・半導体生産用クリーンルームは、エアフィルタを天井全面に敷き詰めて、大型ファンにより空気を循環させる構造となっていた。例えば、図１０に示すように、特許文献１に記載の前記エアフィルタｄは、ジグザグ状に折り畳んだ濾材ｈで構成されたフィルタパックの端部がフィルタ枠を構成する二対のフィルタ側板ｇ１，ｇ２，ｇ３，ｇ４に固定され、前記濾材ｈの下流側には、風圧等による濾材の変形を防止するための保護手段として、ラス網等の網状物ｊが配設された構成となっている。
このようなエアフィルタ一個の重量は５ｋｇ程度のため、作業者は、比較的簡単に前記エアフィルタを持ち上げて天井部に敷設することができた。
ところが、エアフィルタ毎にファンユニットを設けてファンフィルタユニットとした場合、ファンフィルタユニット一個の重量が４０ｋｇ程度と重くなるため、図８に示すように、クリーンルームａの天井裏に少なくとも二人の作業者ｆ,ｆが入って敷設作業を行う必要があった。詳細には、作業者ｆ，ｆは、先ず、エアフィルタｄのフィルタ枠を両側から支持してエアフィルタｄを天井桁ｃに載置し、次いで、ファンユニットｅを前記エアフィルタｄに重ねて、ファンフィルタユニットｍを天井部に敷設していた。
【特許文献１】特許第３３３７６７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、図９のように、クリーンルームａの天井裏ｂが狭く作業者が入れない場合は、予めエアフィルタｄにファンユニットｅを重ねてファンフィルタユニットｍとして一体化し、このファンフィルユニットｍの下流側を支えながら持ち上げて、天井桁ｃにファンフィルタユニットｍを敷設しなければならなかった。
通常、作業者ｆは、フィルタパックを破損しないためにフィルタ枠を支持する必要があるが、フィルタパック面を遮らないようにフィルタ枠の幅が狭く形成されていると、作業者がフィルタ枠を支持しにくいため、フィルタパックの下流側に配設した網状物を手のひらで支えざるを得ない場合があった。
この場合、図１１に示すように、作業者が網状物ｊを手のひらｋで支持してファンフィルタユニットを押し上げると、網状物ｊが上流側方向に押されて凸状に湾曲し、フィルタパックを構成する濾材ｈが網状物ｊに押されて、フィルタ側板ｇ１にシール剤ｉで固定されている濾材ｈの端部が引き契られるという問題があった。
そこで、本発明は、前記問題を解決すべく、エアフィルタ敷設時に、エアフィルタの濾材の下流側を支えたとしても、濾材が破断しないエアフィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明のエアフィルタは、前記課題を達成するべく、請求項１に記載の通り、ジグザグ状に折り畳んだプリーツ付きの濾材で構成されるフィルタパックと、前記フィルタパックの少なくとも下流側に配設した網状物とを、フィルタ枠に収納し固定したエアフィルタであって、前記網状物の上流側方向への変形を防止する支持部材を、前記濾材の下流側において、前記フィルタ枠に固定したことを特徴とする。
また、請求項２記載のエアフィルタは、請求項１に記載のエアフィルタにおいて、前記支持部材は、前記濾材のプリーツの折山間に没入されるように、該プリーツと平行に設けた平板であることを特徴とする。
また、請求項３記載のエアフィルタは、請求項１に記載のエアフィルタにおいて、前記支持部材は、前記濾材のプリーツの折山間に没入されるように、該プリーツと平行に設けた平板と、前記平板の没入方向の後端に、前記網状物の面と平行に設けた帯状平板を固定したことを特徴とする。
また、請求項４記載のエアフィルタは、請求項１に記載のエアフィルタにおいて、前記支持部材は、前記濾材のプリーツの折山間に没入されるように、該プリーツと平行に設けた平板と、前記平板の没入方向の後端に前記網状物の面と平行に設けた帯状平板とからなることを特徴とする。
また、請求項５記載のエアフィルタは、請求項１に記載のエアフィルタにおいて、前記網状物を前記フィルタパック方向へ突出するように折り曲げた折曲部を、前記支持部材としたことを特徴とする。
また、請求項６記載のエアフィルタは、請求項１乃至４のいずれかに記載のエアフィルタにおいて、前記支持部材は、その端部を前記フィルタ枠の内側壁に設けた切り込みに埋め込み固定したことを特徴とする。
また、請求項７記載のエアフィルタは、請求項１乃至６のいずれかに記載のエアフィルタにおいて、前記網状物は、その周囲を前記フィルタ枠の内側壁に設けた切り込みに埋め込み固定したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
本発明のエアフィルタは、濾材で構成されるフィルタパックと、前記フィルタパックの少なくとも下流側に配設した網状物とをフィルタ枠に収納し固定するとともに、前記網状物の上流側方向への変形を部分的に防止する支持部材を、前記濾材の下流側に固定している。このため、前記エアフィルタを持ち上げて天井部に敷設する場合に、作業者は、前記エアフィルタの下流側から前記支持部材を支持することができる。支持部材を前記網状物の下流側に設けた場合には、作業者が支持部材を直接支持することができ、支持部材を前記網状物の上流側に設けた場合には、作業者が前記支持部材を支持する際にその近傍下流側の前記網状物を押さざるを得ないが、前記支持部材に力が掛かるため、前記網状物の上流側方向への変形が防止され、変形した網状物に濾材が押されて、濾材の端部が引き契られることはない。
エアフィルタ敷設時に、作業者が下流側から前記支持部材で前記エアフィルタを支持することができるため、従来のように濾材の破断防止のために、昇降装置等の特別な装置を用いることなく、敷設作業を容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明のエアフィルタは、ジグザグ状に折り畳んだプリーツ付きの濾材で構成されるフィルタパックと、前記フィルタパックの少なくとも下流側に配設した網状物とをフィルタ枠に収容して固定するものである。
前記エアフィルタは、圧力損失の上昇をもたらすことなく、濾材を所定形状に保持して、縦寸法３０５ｍｍ以上×横寸法３０５ｍｍ以上×奥行寸法３０〜２９０ｍｍの大きさのエアフィルタを構成するのに好適なものである。
【０００７】
前記フィルタ枠は、例えば、アルミニウム、ステンレス鋼等の金属製板、ＰＣ等の押出成形樹脂製等の樹脂製板、合板等の木製板等からなるフィルタ側板を用いて、前記フィルタパックを囲繞する断面正方形乃至長方形のフィルタ枠に構成される。
【０００８】
本発明のエアフィルタには、前記網状物の上流側方向への変形を防止する支持部材を、前記濾材の下流側において、前記フィルタ枠に固定している。
前記エアフィルタを天井敷設時に、作業者は、前記支持部材を支持して、下流側から前記エアフィルタを押し上げることができる。
前記支持部材は、アルミニウム、ステンレス鋼等の金属、ＰＣ等の押出成形樹脂等の樹脂、合板等を形成する木等の作業者が支持しても変形しない強度を有する材料を、後述する平板等の形状に形成したものを支持部材として用いている。尚、支持部材の材料として、フィルタ枠を構成するフィルタ側板の材料と同じ材料を用いてもよい。
【０００９】
前記支持部材の形状としては、平板を用いることが好ましい。このように、前記支持部材が、平板からなるものであると、前記濾材の折山間に没入させて、前記濾材のプリーツと平行になるように配設することができ、前記支持部材に沿って空気がエアフィルタの上流側から下流側に流れ、気流の乱れが生じにくくなり、圧力損失の上昇を防止できるからである。前記平板の大きさとしては、エアフィルタの大きさに合わせて、縦寸法が３０２〜１２１７ｍｍ、横寸法が１５〜２８０ｍｍであり、圧力損失を考慮して、厚みが０．５〜１０ｍｍと薄いものを使用するとよい。
【００１０】
また、前記平板に代えて、前記網状物の面と平行になるよう配設した帯状平板を支持部材として用いると、厚みの薄い前記平板と比較して手のひらで支持する面積が増え、作業者が安定に支持できるようになる。また、前記帯状平板は、作業者が手のひらで支持しやすく、また、エアフィルタの上流側から下流側への空気の流れを大きく遮らないように、横寸法が１０〜５０ｍｍ程度であり、エアフィルタの大きさに合わせて、縦寸法が３０２〜１２１７ｍｍであり、作業者が支持した場合の強度を考慮して厚みが３〜１０ｍｍのものを用いるとよい。帯状平板からなる支持部材は、前記網状物よりも下流側の前記フィルタ枠に配設することができ、作業者が網状物を押すことなく、直接前記支持部材を支持することができる。尚、前記網状物と当接するように前記帯状平板を配設すると、前記網状物も補強される。
【００１１】
また、前記支持部材として、前記平板と、前記平板の没入方向の後端に設けた前記帯状平板とを連結させたものを用いてもよい。
すなわち、前記濾材の折山間に没入されるように、前記濾材のプリーツと平行に、１０〜５０ｍｍ間を離して二枚の平板を配設し、前記平板の没入方向の後端側に、前記二枚の平板の間を前記網状物の面と平行に設けた帯状平板で連結した断面コ字状のものを支持部材としてもよい。断面コ字形状の支持部材は、フィルタ枠に固定される面積が増え、強固に支持部材がフィルタ枠体に固定されるため、網状物の変形防止効果に優れる。また、平行に配置した二枚の平板の間に亘って、帯状平板が連結されているため、帯状平板の端部を手のひらで押した場合であっても帯状平板がぐらつかず、安定にエアフィルタを支持することができる。
また、前記濾材の折山間に没入されるように、前記濾材のプリーツと平行に設けた前記平板と、前記平板の没入方向の後端に前記網状物の面と平行に設けた帯状平板を連結した断面Ｔ字状のものを支持部材としてもよい。断面Ｔ字状の支持部材は、前記平板だけを配設した場合よりも、前記帯状平板を配設したために手のひらで支持可能となる面積が増えて敷設作業が容易になる。
また、前記濾材の折山間に没入されるように、前記濾材のプリーツと平行に平板を配設し、前記平板の没入方向の後端側に、前記網状物を挟んで、該網状物の下流側に前記帯状平板を配設して、互いに連結していない前記平板と前記帯状平板とを組み合わせてそれぞれを支持部材として用いてもよい。前記網状物の下流側に配設した帯状平板によって、作業者は網状物を押すことなく、直接前記帯状平板を支持することができる。また、前記帯状平板の中央部を作業者が押したために、エアフィルタの重量等によって、前記帯状平板が上流側方向に撓んだ場合であっても、前記網状物よりも上流側に配設した前記平板により、前記網状物の上流側方向の変形を確実に防止することができる。
【００１２】
また、前記平板や前記帯状平板に代えて、前記網状物を前記フィルタパック方向に突出するように折り曲げて折曲部を支持部材として用いると、部材点数を削減することができるため好ましい。
例えば、前記網状物を、三枚の網状体で構成し、前記エアフィルタの中央部に配設する網状体の両端部をフィルタパック方向に折り曲げて折曲部を形成し、前記エアフィルタの両側部に配設する網状体の片端を同様にフィルタパック方向に折り曲げて一つの折曲部を形成し、前記中央部に配設する網状体の折曲部と、その両側部に配設する網状体の折曲部同士を当接させた折曲部を支持部材として用いてもよい。当接させた折曲部同士を接着又は溶着すると、支持部材として手のひらで支持する部分の強度を向上させることができる。前記折曲部は、前記濾材の折山間に没入するように、濾材のプリーツと平行にフィルタパック方向折り曲げて形成すると、折曲部を大きく形成でき、固定される折曲部が大きくなって強固にフィルタ枠に固定されるため、手のひらで支持可能となる部分の強度が向上し、網状物の変形防止効果が大きくなる。また、一枚の網状体で構成した網状物の一部に折山を形成するように折り曲げた折曲部を支持部材として用いてもよい。
その他、濾材のプリーツと直交するようにフィルタパック方向に折り曲げた折曲部を設けた網状物を支持部材として用いてもよい。
尚、前記折曲部の端部が、前記濾材の折山部と接触しないように、前記網状物を前記フィルタ枠に固定することが好ましい。尚、前記折曲部は、網状物の補強効果も有する。
【００１３】
前記支持部材は、支持部材の端部を前記フィルタ枠の内側壁に設けた切り込みに支持部材の端部を埋め込み固定することが好ましい。
前記エアフィルタ敷設時に、作業者が、前記エアフィルタの下流側から前記支持部材を手のひらで押し上げた際に、前記支持部材が前記フィルタ枠の切り込みに引っ掛かって、この切り込みを越えて濾材方向に移動することがないため、前記網状物に力が掛からず、前記網状物の上流側方向への変形を防止できることとなる。また、前記支持部材の端部は、フィルタ枠の内側壁に設けた切り込みに嵌合して固定することがより好ましい。より強固に前記支持部材がフィルタ枠に固定されるからである。尚、前記支持部材は、作業者が前記支持部材を支持した際に、上流側に移動しないように、フィルタ枠に強固に固定されていればよく、切り込みに支持部材を埋め込んで固定する方法に限らず、シール剤、接着剤等を用いて支持部材をフィルタ枠に固定してもよい。
【００１４】
また、前記支持部材は、作業者が支持しやすように、フィルタ枠を構成する一対の対向するフィルタ側板のそれぞれから１００〜１５０ｍｍ離れた各一ヶ所に前記支持部材を配設するとよい。また、前記支持部材として、厚みの薄い平板からなる支持部材を用いた場合は、前記各一ヶ所に配設した支持部材と平行に、１０〜５０ｍｍの間隔でもう一つ平板からなる支持部材を配設すると、作業者が支持しやすくなる。
尚、支持部材の形状にかかわらず、フィルタ枠を構成する二対の対向するフィルタ枠の側板のそれぞれから１００〜１５０ｍｍ離れた各一ヶ所に前記種々の形状の支持部材を適宜組み合わせて配設してもよい。
【００１５】
前記網状物は、厚さ０．５ｍｍ以上、開口率３０〜８０％の樹脂製、あるいは、金属製のラス網等を使用することができる。
前記網状物は、フィルタ枠を構成するフィルタ側板の内側壁に設けた切り込みに前記網状物の周囲を埋め込んでフィルタ枠に固定することが好ましい。前記網状物の周囲をフィルタ枠に埋め込み固定した場合、前記網状物が補強され、風圧及び自重によるフィルタパックの変形防止に優れる。また、前記支持部材として用いる折曲部の部分も含めて、フィルタ側板の内側壁に設けた切り込みに前記網状物の周囲を埋め込んで固定すると、前記折曲部が切り込みを越えて移動することがないため、前記網状物の上流側方向への変形を防止効果が向上する。
【００１６】
前記フィルタパックは、ガラス繊維製、合成樹脂繊維製、ＰＴＦＥ製等の濾材をジグザグ状に折り畳んで構成され、波形セパレータを介挿するか、あるいは、前記濾材を折り畳む前に予め塗布したリボン状ホットメルト樹脂で間隔保持部を形成して折山部同士の間隔を保持したものを使用することができる。
また、前記フィルタパックの前記濾材のプリーツと平行となる端部は、例えば、接着剤を使用してフィルタ枠に固定される。前記接着剤は、クロロプレン樹脂、ウレタン樹脂、あるいは、シリコーン樹脂からなる接着剤を用いることができるが、前記接着剤に限定されるものではない。また、前記フィルタパックの前記濾材のプリーツと直交する端部は、例えば、シール剤を使用してフィルタ枠に気密に固定される。前記シール剤は、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、あるいは、シリコーン樹脂からなるシール剤を用いることができるが、前記シール剤に限定されるものではない。尚、接着剤は、ジグザグ状に折畳んだ濾材のプリーツと平行となる濾材の端部を線状に接着するものであるため、大きな流動性等は要求されないが、シール剤は、ジグザグ形状となっている濾材の端部をフィルタ側板に気密に固定するものであるため、広い面積に塗布可能となるように、シール剤塗布時に流動性を有するものを用いることが要求される。
【００１７】
次に、本発明のエアフィルタの実施例を図面に基づき説明する。尚、本発明のエアフィルタは以下に説明する実施例に限定されるものではない。また、図１乃至図５に記載した矢印は、空気の流れ方向を示し、矢印が示す方向が下流側である。
図１に示すように、エアフィルタ１は、ガラス繊維製の濾材３をジグザグ状に折り畳み、折山部間をリボン状ホットメルト樹脂４で固定した折幅４０ｍｍのフィルタパック５と、厚さ１ｍｍ、開口率約３５％のアルミニウム製のラス網６が、縦寸法７５０ｍｍ×横寸法１５００ｍｍ×奥行寸法５０ｍｍの大きさの断面長方形のフィルタ枠２内に収容されている。前記フィルタ枠２は、厚さ５０ｍｍのアルミニウム製のフィルタ側板２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄから構成されている。
前記フィルタパック５の濾材３のプリーツと平行となる端部は、対向する一対のフィルタ側板２ｃ，２ｄに接着剤で固定され、濾材３のプリーツと直交する端部は、一対のフィルタ側板２ａ，２ｂにシール剤で気密に固定されている。また、ラス網６は、エアフィルタ１の下流側に配設され、フィルタ側板２ｃ，２ｄの内側壁に設けた切り込み２ｅに周囲を埋め込み固定されている。
【００１８】
また、前記実施例で用いた支持部材７は、図１及び図２に示すように、縦寸法７２０ｍｍ×横寸法４０ｍｍ×厚さ１ｍｍの大きさのステンレス製の平板からなるものを用いた。平板からなる支持部材７は、濾材３のプリーツと平行となる一対のフィルタ側板２ｃ，２ｄのそれぞれから１００〜１５０ｍｍ程度離れた内側の各一ヶ所に、濾材３の折山間に没入するように、濾材３のプリーツと平行に配設されている。また、作業者が手のひらで支持しやすいように、前記支持部材７から１０〜５０ｍｍ程度間隔をおいて、もう一つの支持部材７が平行に配設されている。すなわち、エアフィルタ１には、一対の対向するフィルタ側板２ｃ，２ｄと平行に、平板からなる支持部材７が四つ配設されていることになる。支持部材７は、その端部を前記フィルタパック５とともに、シール剤でフィルタ側板２ａ，２ｂの内側壁に固定されている。
【００１９】
図３は、本発明の他の実施例を示すもので、本実施例では、支持部材１６として、縦寸法７２０ｍｍ×横寸法５０ｍｍ×厚さ５ｍｍの大きさのステンレス製の帯状平板からなるものを用いた。帯状平板からなる支持部材１７は、ラス網６の面と平行に、ラス網６の下流側に配設している。支持部材１７は、支持部材７と同様に、一対の対向するフィルタ側板２ｃ，２ｄのそれぞれから１００〜１５０ｍｍ程度離れた内側の各一ヶ所に配設されている。支持部材１７はその端部を支持部材１７と直交する一対の対向するフィルタ側板２ａ，２ｂの内側壁に設けた切り込みに埋め込み固定されている。埋め込み固定した支持部材１７の端部をさらに、フィルタパックとともに、シール剤で固定してもよい。
【００２０】
図４は、同様に本発明の他の実施例を示すもので、本実施例では、支持部材８として、縦寸法７２０ｍｍ×横寸法４０ｍｍ×厚さ１ｍｍの大きさのステンレス製の二枚の平板８ａ，８ｂと、前記二枚の平板８ａ，８ｂの端部の間に亘って、縦寸法７２０ｍｍ×横寸法５０ｍｍ×厚さ５ｍｍの大きさのステンレス製の帯状平板８ｃを連結した断面コ字形状のものを用いた。
支持部材８は、平板８ａ，８ｂを、濾材３の折山間に没入するように濾材３のプリーツと平行に配設し、平板８ａ，８ｂの没入方向の後端部に連結した帯状平板８ｃをラス網６の面と平行になるように配設している。また、支持部材８は、支持部材１６と同様に、一対の対向するフィルタ側板２ｃ，２ｄのそれぞれから１００〜１５０ｍｍ程度離れた内側の各一ヶ所に配設されている。支持部材８は、その端部を前記フィルタパック５とともに、シール剤でフィルタ側板２ａ，２ｂの内側壁に固定されている。
【００２１】
図５は、同様に本発明の他の実施例を示すもので、本実施例では、三枚のラス網１６で網状体が構成されており、中央部に配設する一枚のラス網１６の両端部をフィルタパック５方向に折り曲げて二つの折曲部１６ａを形成し、両端部に配設する二枚のラス網１６の片端部に一つの折曲部１６ａを形成し、中央部に配設するラス網１６の折曲部１６ａと、両端部に配設するラス網１６の折曲部１６ａ同士を当接して熔着又は溶接し、フィルタ側板２ｃ，２ｄのそれぞれから１００〜１５０ｍｍ離れた各位置に折曲部１６ａを配置し、この二つの折曲部１６ａを支持部材としている。この場合、折曲部１６ａは、ラス網１６の端部を、濾材３の折山間に没入するように、濾材３のプリーツと平行にフィルタパック５方向に折り曲げて形成されている。また、折曲部１６ａは、フィルタパック５とともに、フィルタ側板２ａ，２ｂの内側壁にシール剤で固定されている。
【００２２】
図２に示す前記実施例について、前記エアフィルタ１の敷設作業時の状態を説明すると、作業者は、エアフィルタ１の下流側から支持部材７を手のひら１０ａで押し上げて天井部まで持ち上げることができる。支持部材７の下流側に配設されたラス網６を作業者が押し上げざるを得ない場合であっても、エアフィルタ１を支持部材７で支持することができるため、支持部材７近傍のラス網６の変形を防止することができ、濾材３が変形したラス網６に押されて、濾材３の端部が引き契れて破断することはない。例えば、エアフィルタ１の上にファンユニットを載置した重量４０ｋｇ程度のファンフィルタユニットを押し上げた場合であっても、ファンフィルタユニットの重量は支持部材７にかかるため、ラス網６が変形せず、ラス網６変形防止のために従来のように特別な取付装置を使用することなく、天井部にファンフィルタユニットを敷設することができる。
【００２３】
次に、フィルタパックの下流側面に支持部材を設けた本発明のエアフィルタと、支持部材を設けていない従来のエアフィルタの作業者取扱試験及び荷重試験を行った結果を示す。
本試験では作業者取扱試験は以下のように行った。
図６（ａ）のエアフィルタの平面図に示すように、エアフィルタ１の下流側に配設したラス網６上の、エアフィルタ枠２から１５０ｍｍ離れた仮想線上の交点となる４箇所の部位を支え部１１とした。
エアフィルタ１にファンユニット１３を載置し、図６（ｂ）の説明図に示すように、３０ｋｇのファンフィルタユニット１２として組み立て、エアフィルタ１の下流側面から、前記支え部１１を二人の作業者１０，１０の手のひら１０ａ，１０ａで押し上げ、その後、手のひら１０ａ，１０ａで支え部１１を支持した状態でファンフィルタユニット１２を２００ｍｍ下降させる。前記押し上げ及び下降を５回繰り返した。
【００２４】
前記作業者取扱試験の結果、支持部材７を設けた本発明のエアフィルタユニットは、ラス網６の支え部１１の位置に触って分かるほどのくぼみができていたものの、濾材３の端部に破断を生じていなかった。
一方、従来のエアフィルタは、支え部１１を中心として、ラス網６が上流側に凸状に変形し、濾材３の端部が破断しており、また、濾材３の破断箇所の反対面、すなわち、上流側面の濾材３は潰れて変形していた。
【００２５】
次に、荷重試験を以下のように行った。
作業者取扱試験と同様に、エアフィルタ１にファンユニット１３を載置して、ファンフィルタユニット１２を組み立て、図６（ａ）に示すラス網６の支え部１１の上に、図７に示すように、縦寸法１００ｍｍ×横寸法１００ｍｍ×厚さ１ｍｍのアルミ板１４を載せて、４箇所の支え部１１において、濾材３が破断するまでの荷重をプッシュプルゲージ１５で測定した。
【００２６】
前記荷重試験の結果、本発明のエアフィルタの濾材の破断発生時の荷重は、４箇所で測定した平均が０．００５ｋｇ／ｃｍ2（手のひら面積当たり５０ｋｇ相当）であったのに対し、従来のエアフィルタの濾材の破断発生時の荷重は、４箇所で測定した平均が０．００２５ｋｇ／ｃｍ2（手のひら面積当たり２５ｋｇ相当）であった。このように、本発明のエアフィルタは、支持部材を設けることにより、従来のエアフィルタに比較して濾材破断強度が約２倍になっていることが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明のエアフィルタを示す斜視図
【図２】図１のエアフィルタのＡ−Ａ一部断面図
【図３】本発明のエアフィルタの他の実施例を示す一部断面図
【図４】本発明のエアフィルタの他の実施例を示す一部断面図
【図５】本発明のエアフィルタの他の実施例を示す一部断面図
【図６】（ａ）エアフィルタの試験箇所を示す平面図、（ｂ）作業取扱試験方法を示す説明図
【図７】荷重試験方法を示す説明図
【図８】従来の天井裏からファンフィルタユニットを敷設する方法を示す説明図
【図９】従来の天井部の下方からファンフィルタユニットを敷設する方法の説明図
【図１０】従来のエアフィルタを示す斜視図
【図１１】図１０のエアフィルタのＢ−Ｂ一部断面において、濾材の端部が破断した状態を示す説明図
【符号の説明】
【００２８】
１      エアフィルタ
２      フィルタ枠
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ  フィルタ側板
２ｅ    切り込み
３      濾材
４      リボン材
５      フィルタパック
６      ラス網
７      平板からなる支持部材
８      断面コ字形状の支持部材
８ａ，８ｂ  平板
８ｃ    帯状平板
９ａ    接着剤
９ｂ    シール剤
１０    作業者
１０ａ  手のひら
１１    支え部
１２    ファンフィルタユニット
１３    ファンユニット
１４    アルミ板
１５    プッシュプルゲージ
１６    ラス網
１６ａ  折曲部
１７    帯状平板からなる支持部材
ａ      クリーンルーム
ｂ      天井裏
ｃ      天井桁
ｄ      エアフィルタ
ｅ      ファンユニット
ｆ      作業者
ｇ１，ｇ２，ｇ３，ｇ４  フィルタ側板
ｈ      濾材
ｉ      シール剤
ｊ      網状物
ｋ      手のひら
ｍ      ファンフィルタユニット
【図１】
2005152814.tif 000003
【図２】
2005152814.tif 000004
【図３】
2005152814.tif 000005
【図４】
2005152814.tif 000006
【図５】
2005152814.tif 000007
【図６】
2005152814.tif 000008
【図７】
2005152814.tif 000009
【図８】
2005152814.tif 000010
【図９】
2005152814.tif 000011
【図１０】
2005152814.tif 000012
【図１１】
2005152814.tif 000013