(57)【要約】    【課題】本発明は、感光性ポリイミド溶液を送液系中にて長期間室温放置しても、ゲル化する心配のない感光性ポリイミド溶液塗布装置を提供するものである。    【解決手段】感光性ポリイミド溶液が充填された貯蔵用ボトル、取り入れノズル、配管、継ぎ手、サックバック装置、滴下ノズルからなる送液系で構成されている感光性ポリイミド溶液塗布装置であって、該取り入れノズル、配管、継ぎ手からなる取り入れノズルからサックバック装置までの送液系部材の全てが耐薬品性樹脂で構成されていることを特徴とする感光性ポリイミド溶液塗布装置。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性ポリイミド溶液が充填された貯蔵用ボトル、取り入れノズル、配管、継ぎ手、サックバック装置、滴下ノズルからなる送液系で構成されている感光性ポリイミド溶液塗布装置であって、該取り入れノズル、配管、継ぎ手からなる取り入れノズルからサックバック装置までの送液系部材の全てが耐薬品性樹脂で構成されていることを特徴とする感光性ポリイミド溶液塗布装置。
【請求項２】
該耐薬品性樹脂がテトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリエチレン、ポリプロピレンから選ばれた少なくとも１種の樹脂からなることを特徴とする請求項１記載の感光性ポリイミド溶液塗布装置。
【請求項３】
該感光性ポリイミド溶液塗布装置が、空気の圧力により送液する主多段を採用するものであることを特徴とする請求項１または２記載の感光性ポリイミド溶液塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、送液系中にて長期間室温放置しても感光性ポリイミド溶液がゲル化する心配のない半導体装置の製造に用いられる感光性ポリイミド塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年半導体装置の製造においてポリイミドは重要な役割を担っている。その用途としては、封止材から放出されるアルファー線の遮蔽用途、外部応力や熱応力から半導体チップを保護するバッファーコート用途、及び層間絶縁膜用途などがある。また半導体装置では通常ポリイミド層の下に存在する配線層と、電極や端子との導通をとるために、ポリイミド層に導通孔を設けたり、ポリイミドの不要な部位を除去したりする。このようなパターン形成に際し、従来では非感光性のポリイミド溶液を用いポリイミド層を形成した後、感光性のフォトレジストのパターン加工をし、パターン加工されたフォトレジストをマスクとして下層のポリイミドのパターン形成を行っていたが、現在ではフォトレジストを使わずにパターン加工が可能な感光性ポリイミド溶液の利用が主流となりつつある。この感光性ポリイミド溶液は、光を照射した部分が硬化するネガ型と、光が照射された部分が溶解するポジ型とがある。ネガ型感光性ポリイミド溶液は、通常ポリイミド前駆体ポリマであるポリアミド酸、アクリル系感光成分、添加剤成分、溶剤などから成る。このうちポリアミド酸は金属と反応し、ゲル化することがある。またアクリル系感光成分が存在するとゲル化が促進される。したがって特にネガ型感光性ポリイミド溶液はポジ型と比べて金属存在下でゲル化しやすいといえる。金属とポリアミド酸との反応によるゲル化現象に関連した例をあげると、たとえば銅基板上にネガ型感光性ポリイミドをパターン加工しようとすると、銅とポリアミド酸との反応により、銅基板表面にゲル状の被膜が生じ、現像されるべき部位が溶解せず良好なパターンを得られない。このような改良として、銅基板表面を改質する方法が提案されている（特許文献１〜２参照）。
【０００３】
一方、半導体装置の製造プロセスにおける感光性ポリイミド溶液の一般的な塗布方法としては、感光性ポリイミドを収納するための貯蔵用ボトル、取り入れノズル、配管、継ぎ手、サックバック装置、滴下ノズルからなる送液系を持つ塗布装置を用いてシリコンウエハーなどの基板上に塗布される。送液の方法としては、気体の圧力を利用する方法と送液ポンプを利用する方法がある。
【０００４】
しかしながら塗布装置の送液系において、感光性ポリイミド溶液を室温で長時間放置すると、特にネガ型では感光成分の重合が進行すること、および取り入れノズル、配管、継ぎ手、サックバック装置、滴下ノズルなどに素材として一般に使われているステンレス中からの鉄の溶出により、ポリイミド溶液中のポリアミド酸が鉄と反応しポリマー間の架橋が促進されることよりゲル化に至る。送液系がゲル化した場合、溶剤で繰り返し洗浄しゲル物を排出せねばならなくなったり、場合によっては送液系を交換せねばならないという事態に陥る。そこで通常塗布装置を長期間使用しない場合は、送液系内から感光性ポリイミド溶液を排出するという作業が必要とされる。この作業は感光性ポリイミド溶液を系内に排出し溶剤で洗浄する工程からなるため煩雑であり、さらに再び送液系を稼働する際には、系内を清浄な感光性ポリイミド溶液で置換するために、多量の感光性ポリイミド溶液を流し置換するという手間のかかる作業を強いられるのが現状である。
【０００５】
一方、金属存在下におけるポリアミド酸溶液のゲル化を防止する方法としては、アセチルアセトン、アセト酢酸メチル、マロン酸ニトリル、アセト酢酸エチルなどのゲル化防止剤の添加を提案している（特許文献３参照) 。またレジスト塗布装置におけるフォトレジストの滞留によるゲル化防止について、レジスト貯蔵タンク、フィルター部、サックバック装置、滴下ノズルからなる送液系においてフィルター部、サックバック装置及び滴下ノズルをテフロン（登録商標）で一体成形する方法が提案されている（特許文献４参照)。
【特許文献１】特開平５−１９８５６３号公報（請求項１）
【特許文献２】特開平６−２４２６１３号公報（請求項１）
【特許文献３】特開平１１−３０２３７５号公報（請求項１、９頁〜１０頁）
【特許文献４】特開平５−２５１３８９号公報（請求項１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、感光性ポリイミド溶液にゲル化防止剤を添加すると、ポリマや添加剤成分の析出が生じる、基板上塗布に際し膜厚均一性が低下する、塗布ムラが生じる、塗膜中に弾きによる塗布されない部位が生じるなどの現象を生じるという欠点があった。またフィルター部、サックバック装置及び滴下ノズルをテフロン（登録商標）で一体成形する方法も提案されてはいるが、たとえフィルター部から滴下ノズルまでの間においてテフロン（登録商標）素材のみ使用されていたとしても、取り入れノズルからフィルター部（一般にポリイミド溶液塗布装置にはフィルターは不要）、または取り入れノズルからサックバック装置までの間において、部材に金属が使用されていれば、室温で長時間放置した場合金属の溶出によりゲル化が促進され、短時間で送液系全体がゲル化してしまう。
【０００７】
本発明は、かかる従来技術の背景に鑑み、感光性ポリイミド溶液を送液系中にて長期間室温放置してもゲル化する心配のない感光性ポリイミド溶液塗布装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、本発明は、感光性ポリイミド溶液塗布装置に関し、感光性ポリイミド溶液が充填された貯蔵用ボトル、取り入れノズル、配管、継ぎ手、サックバック装置、滴下ノズルからなる送液系で構成されている感光性ポリイミド溶液塗布装置であって、該取り入れノズル、配管、継ぎ手からなる取り入れノズルからサックバック装置までの送液系部材の全てが耐薬品性樹脂で構成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、感光性ポリイミド溶液を送液系中にて長期間室温放置しても、ゲル化することもないので、ゲル化物の洗浄作業や送液系の交換作業、さらには塗布装置停止時の送液系内からの感光性ポリイミド溶液を排出するという作業などが一切不要となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明は、前記課題、つまり感光性ポリイミド溶液を送液系中にて長期間室温放置してもゲル化する心配のない感光性ポリイミド溶液塗布装置について、鋭意検討し、感光性ポリイミド溶液塗布装置の送液系部材の全てを耐薬品性樹脂のみで、すなわち、溶媒などによって溶出したり腐食する心配のある金属などを全く使用しないで構成してみたところ、かかる課題を一挙に解決することを究明したものである。
【００１１】
本発明における感光性ポリイミド溶液塗布装置における送液系は貯蔵用ボトル、取り入れノズル、配管、継ぎ手、サックバック装置、滴下ノズルから成っている。
【００１２】
本発明における送液系部材に使用される耐薬品性樹脂としては、成形性が容易であること、透明で内部が透けて見えることが好ましい。その好ましい例としてはポリエチレン、ポリプロピレン、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などを挙げることができる。これらの樹脂から少なくとも１種類選ばれるが、２種以上選択しても良い。テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体は、フッ素樹脂の中でも透明性が高いため、送液経路中のポリイミド溶液を観察することができる。またポリエチレン、ポリプロピレンも耐溶剤性に優れかつフッ素樹脂を上回る透明性を有する材料である。
【００１３】
本発明における貯蔵用ボトルとはポリイミド溶液を貯蔵するための容器である。貯蔵用ボトルの材質としては耐薬品性樹脂であることが好ましい。好ましい例としてはポリエチレン、ポリプロピレン、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などを挙げることができる。通常、価格の安いポリエチレンが用いられることが多い。
【００１４】
本発明における取り入れノズルとは、貯蔵用ボトルに充填された感光性ポリイミド溶液中に差し込み、感光性ポリイミド溶液を取り入れ、配管へと導く役割を有するものである。取り入れノズルの材質としては耐薬品性樹脂であることが好ましい。好ましい例としては、耐薬品性樹脂であることが好ましい。好ましい例としてはポリエチレン、ポリプロピレン、テフロン（登録商標）、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などを挙げることができる。
【００１５】
本発明における配管としては、ポリイミド溶液を送液するためチューブ状の形態をとる。配管の内径としては特に限定はしないが、２〜１４ｍｍが好ましい。また外径としては特に限定はしないが、３〜１６ｍｍが好ましい。肉厚としては特に限定はしないが、１〜３ｍｍが好ましい。配管の材質としては耐薬品性樹脂であることが好ましい。好ましい例としては、耐薬品性樹脂であることが好ましい。好ましい例としてはポリエチレン、ポリプロピレン、テフロン（登録商標）、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などを挙げることができる。
【００１６】
本発明における継ぎ手とは配管の方向を変える役割を有するものである。たとえば貯蔵用ボトルからほぼ垂直上方にセットされた配管を水平方向へ変換する場合、９０°に曲げられた管状の形態を有するものが使用される。継ぎ手の材質としては耐薬品性樹脂であることが好ましい。好ましい例としては、耐薬品性樹脂であることが好ましい。好ましい例としてはポリエチレン、ポリプロピレン、テフロン（登録商標）、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などを挙げることができる。
【００１７】
本発明におけるサックバック装置とは滴下ノズルからポリイミド溶液がしたたり落ちるのを防止するためのものである。
【００１８】
本発明における滴下ノズルとは、送液系を流れてきた感光性ポリイミド溶液を系外に塗出する際に、配管径を絞り塗出量を調整し易くするなどの働きを有するものである。滴下ノズルの材質としては耐薬品性樹脂であることが好ましい。好ましい例としては、耐薬品性樹脂であることが好ましい。好ましい例としてはポリエチレン、ポリプロピレン、テフロン（登録商標）、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などを挙げることができる。
【００１９】
本発明におけるサックバック装置、滴下ノズルおよびサックバック装置から滴下ノズルの間の材質としては、耐薬品性樹脂、たとえばポリエチレン、ポリプロピレン、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレンヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレンエチレン共重合体、ポリビニリデンフルオライド、ポリクロロトリフルオロエチレンから選ばれる樹脂であり、これらの樹脂は１種類でもよいし複数の種類の樹脂を用いても良い。
【００２０】
本発明の感光性ポリイミド溶液塗布装置における感光性ポリイミド溶液の送液方法としては、気体による加圧方式、ポンプ方式など公知の方法をとることができる。気体による加圧方式の場合、好ましい気体としては空気や窒素を挙げることができる。より好ましくは空気である。空気中の酸素ラジカルによる重合禁止効果によりゲル化が抑制されることが期待できるためである。
【００２１】
本発明における感光性ポリイミド溶液とは、好ましくはポリイミド溶液にネガ型の感光性を付与するための感光成分を混合したものをいう。ここでいう感光成分の例としては、メタクリル酸基、メタクリル酸エチル基、アクリル酸基、アクリル酸エチル基、メタクリル酸プロピル基、アクリル酸プロピル基、エチルメタクリルアミド基、プロピルメタクリルアミド基、エチルアクリルアミド基、プロピルアクリルアミド基を有する化合物などを挙げることができる。より具体的には２−ヒドロキシエチルメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレートエチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレートトリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ジエチルアミノエチルメタクリレートなどを挙げることができるがこれらに限定されない。
【００２２】
本発明におけるポリイミド溶液としては、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを選択的に組み合わせ、これらをＮ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホロトリアミドなどを主成分とする極性溶媒や、γ−ブチロラクトンを主成分とする溶媒中で反応させるなど、公知の方法によって合成される。ここではテトラカルボン酸二無水物とメタノール、エタノール、２−ヒドロキシエチルメタクリレートなどアルコールをあらかじめ反応させカルボン酸エステルを形成した後ジアミンと反応させたり、テトラカルボン酸とジアミンとを反応させた後アルコールと反応させカルボン酸エステルを形成させることもできる。テトラカルボン酸二無水物の例としては、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ジフェニルヘキサフルオロプロパンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、ピロメリット酸、ブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸などの二無水物などを挙げられるがこれらに限定されない。またこれらのうち１種から構成されていても良いし、２種以上から構成される共重合体であっても構わない。またジアミンの例としては、パラフェニレンジアミン、メタフェニレンジアミン、メチルパラフェニレンジアミン、メチルメタフェニレンジアミン、ジメチルパラフェニレンジアミン、ジメチルメタフェニレンジアミン、トリメチルパラフェニレンジアミン、トリメチルメタフェニレンジアミン、テトラメチルパラフェニレンジアミン、テトラメチルメタフェニレンジアミン、トリフルオロメチルパラフェニレンジアミン、トリフルオロメチルメタフェニレンジアミン、ビス（トリフルオロ）メチルパラフェニレンジアミン、ビス（トリフルオロ）メチルメタフェニレンジアミン、メトキシパラフェニレンジアミン、メトキシメタフェニレンジアミン、トリフルオロメトキシパラフェニレンジアミン、トリフルオロメトキシメタフェニレンジアミン、フルオロパラフェニレンジアミン、フルオロメタフェニレンジアミン、クロロパラフェニレンジアミン、クロロメタフェニレンジアミン、ブロモパラフェニレンジアミン、ブロモメタフェニレンジアミン、カルボキシパラフェニレンジアミン、カルボキシメタフェニレンジアミン、メトキシカルボニルパラフェニレンジアミン、メトキシカルボニルメタフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルメタン、ビス（アミノメチルフェニル）メタン、ビス（アミノトリフルオロメチルフェニル）メタン、ビス（アミノエチルフェニル）メタン、ビス（アミノクロロフェニル）メタン、ビス（アミノジメチルフェニル）メタン、ビス（アミノジエチルフェニル）メタン、ジアミノジフェニルプロパン、ビス（アミノメチルフェニル）プロパン、ビス（アミノトリフルオロメチルフェニル）プロパン、ビス（アミノエチルフェニル）プロパン、ビス（アミノクロロフェニル）プロパン、ビス（アミノジメチルフェニル）プロパン、ビス（アミノジエチルフェニル）プロパン、ジ���ミノジフェニルヘキサフルオロプロパン、ビス（アミノメチルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（アミノトリフルオロメチルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（アミノエチルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（アミノクロロフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（アミノジメチルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（アミノジエチルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ジアミノジフェニルスルホン、ビス（アミノメチルフェニル）スルホン、ビス（アミノエチルフェニル）スルホン、ビス（アミノトリフルオロメチルフェニル）スルホン、ビス（アミノジメチルフェニル）スルホン、ビス（アミノジエチルフェニル）スルホン、ジアミノジフェニルエーテル、ビス（アミノメチルフェニル）エーテル、ビス（アミノトリフルオロメチルフェニル）エーテル、ビス（アミノエチルフェニル）エーテル、ビス（アミノジメチルフェニル）エーテル、ビス（アミノジエチルフェニル）エーテル、ジメチルベンジジン、ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン、ジクロロベンジジン、ビス（アミノフェノキシ）ベンゼン、ビス（アミノフェノキシフェニル）プロパン、ビス（アミノフェノキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（アミノフェノキシフェニル）エーテル、ビス（アミノフェノキシフェニル）メタン、ビス（アミノフェノキシフェニル）スルホンなどが挙げられるが、これらに限定されない。これらのうち１種から構成されていても良いし、２種以上から構成される共重合体であっても構わない。
【００２３】
本発明における感光性ポリイミド溶液には必要に応じ、光開始剤、光増感剤、界面活性剤など添加剤成分を添加してもかまわない。
【００２４】
本発明の感光性ポリイミド溶液塗布装置における送液系の概略図を図１に示す。本送液系は貯蔵用ボトル１、取り入れノズル２、配管３、配管２０、配管２１、継ぎ手４、サックバック装置５、滴下ノズル６からなるものである。本送液系での感光性ポリイミド溶液の貯蔵用ボトル１から滴下ノズル６までの加圧による送液方法を次に説明する。貯蔵用ボトル１は加圧タンク９に装填されており、空気または窒素で加圧することによって、感光性ポリイミド溶液７の液面８が下方に押し下げられ、取り入れノズル２より感光性ポリイミド溶液が取り入れ、取り入れノズル２中を上昇する。さらに配管３、継ぎ手４、配管２０、サックバック装置５などを通り、滴下ノズル６まで送液される。ここで取り入れノズル２は感光性ポリイミド溶液７に差し込まれており、ノズルの先端は感光性ポリイミド溶液の液面８より下にある。また貯蔵用ボトル１の口は解放されている。通常送液系の取り入れノズル２の口から滴下ノズルの先端までは感光性ポリイミド溶液で満たされており、このような状態で長時間放置されることがある。
【００２５】
本発明におけるサックバック装置とは供給機構およびサックバック機構からなる。供給機構とはポリイミド溶液の滴下スピード、滴下量をコントロールする機構のことである。またサックバック機構とは滴下ノズルからポリイミド溶液がしたたり落ちるのを防止するためのものである。
【００２６】
次にサックバック装置の詳細図を図２に示す。サックバック装置のうちまずポリイミド溶液の供給機構Ｅのメカニズムを説明する。供給機構Ｅとしては、エアシリンダ１０、ベローズ１１、配管２４、配管２５、バルブ１３、１６、逆流防止弁１４、１７からなる。貯蔵用ボトル１の加圧と同期しエアシリンダ１０が作動するとベローズ１１が伸縮する。ベローズ１１が伸縮することにより、ポリイミド溶液は逆流防止弁１４が組み込まれたバルブ１３内へと進入し、さらに配管２４へと進み、配管２４およびベローズ１１はポリイミド溶液で満たされた状態となる。その後加圧は解放されエアシリンダ１０の作動により、配管２５、逆流防止弁１７が組み込まれたバルブ１６を経由し、さらにサックバック機構を通って滴下ノズル６まで送られ、滴下ノズル６からポリイミド溶液が滴下される。次にサックバック機構のメカニズムとしては、ポリイミド溶液の滴下終了後、ダイヤフラム１５を少し後退させてやることで滴下ノズル６の先端のポリイミド溶液を後退させ、滴下ノズル６からのポリイミド溶液がたれ落ちるのを防ぐものである。
【００２７】
本発明におけるサックバック装置における部材としては、耐薬品性樹脂であることが好ましい。好ましい例としては、耐薬品性樹脂であることが好ましい。好ましい例としてはポリエチレン、ポリプロピレン、テフロン（登録商標）、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などを挙げることができる。ここでいうサックバック装置における部材とは、感光性ポリイミド溶液に接する部位における部材をさし、サックバック装置の部位で感光性ポリイミド溶液が接しない部位の部材はこれらに限定はしない。感光性ポリイミド溶液に接する部位の具体例としては、図２に示すベローズ１１、配管２４、バルブ１３、逆流防止弁１４、配管２５、バルブ１６、逆流防止弁１７、ダイヤフラム１５などである。なお図１中の配管２０は図２の逆流防止弁１４に接続され、図１中の配管２１は図２のサックバック機構３２と接続されている。
【実施例】
【００２８】
以下、実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
【００２９】
実施例で用いた感光性ポリイミド溶液塗布装置の送液系の概略図を図1に、またサックバック装置の詳細図を図２に示す。
【００３０】
この実施例の送液系は、図１に示すように貯蔵用ボトル１、取り入れノズル２、配管３、継ぎ手４、サックバック装置５、滴下ノズル６から成るものである。
【００３１】
貯蔵用ボトル１は加圧タンク９に装填されており、空気または窒素で加圧することによって、感光性ポリイミド溶液７の液面８が下方に押し下げられ、取り入れノズル２より感光性ポリイミド溶液が取り入れ、取り入れノズル２中を上昇する。さらに配管３、継ぎ手４、配管２０、サックバック装置５、配管２１、継ぎ手４を通り、滴下ノズル６まで送液される。ここで取り入れノズル２は感光性ポリイミド溶液７に差し込まれており、ノズルの先端は感光性ポリイミド溶液の液面８より下にある。また貯蔵用ボトル１の口は解放されている。
【００３２】
なお、実施例で使用した感光性ポリイミドはネガ型であり、次に示すように作成された。
乾燥窒素気流下、１ｌの４つ口フラスコに４，４’−ジアミノジフェニルエーテル１９．０ｇ（０．０９５モル）と１，３−ビス（３−アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン１．２ｇ（０．００５モル）をＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）１００ｇに入れ溶解させた。ここに、無水ピロメリット酸１０．８ｇ（０．０５モル）と３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物１５．０ｇ（０．０４７モル）を加え、室温で６時間反応を行った。この溶液中にジエチルアミノエチルメタクリレート５５．５ｇ（０．３００モル)、ミヒラーケトン０．５ｇを添加後室温で３時間攪拌し、ネガ型感光性ポリイミド溶液を得た。
【００３３】
以下、実施例および比較例は、温度２３℃、相対湿度４７％の下におかれた塗布装置において、空気または窒素を加圧することによりネガ型感光性ポリイミド溶液を滴下ノズルの先端まで送液し送液系内を満たし、静置してゲル化するまでの時間を評価した。評価は最長６０日まで行った。加圧タンク９は加圧で用いた気体が常圧で満たされている。ゲル化の判断としては取り入れノズル内のネガ型感光性ポリイミド溶液が固まって流動性が無くなった時点をゲル化とした。
【００３４】
実施例１
送液系の部材にテトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（Ｆｌｕｏｎ（登録商標）ＰＦＡ、旭硝子（株）製)のみを使用した。送液系内を上記ネガ型感光性ポリイミド溶液を空気加圧することにより満たし温度２３℃、相対湿度４７％の下で静置した。その結果６０日後もゲル化は生じなかった。
【００３５】
実施例２
実施例１と全く同様の送液部材を用い、さらに実施例２において空気で加圧する代わりに窒素で加圧したこと以外は全く実施例２と同様の静置評価を行った。その結果５４日後にゲル化が生じた。
【００３６】
実施例３
送液系の部材にポリエチレンのみを使用した。送液系内を上記ネガ型感光性ポリイミド溶液を空気加圧することにより満たし温度２３℃、相対湿度４７％の下で静置した。その結果６０日後もゲル化は生じなかった。
【００３７】
実施例４
送液系の部材にポリプロピレンのみを使用した。送液系内を上記ネガ型感光性ポリイミド溶液を空気加圧することにより満たし温度２３℃、相対湿度４７％の下で静置した。その結果６０日後もゲル化は生じなかった。
【００３８】
比較例１
実施例１において取り入れノズルにステンレスを用いたこと以外は実施例１と全く同様の送液系部材を採用した。送液系内を上記ネガ型感光性ポリイミド溶液を空気加圧することにより満たし温度２３℃、相対湿度４７％の下で静置した。
その結果２５日後ゲル化が生じた。
【００３９】
比較例２
実施例２において取り入れノズルにステンレスを用いたこと以外は実施例２と全く同様の送液系部材を採用した。また実施例２と全く同様の静置評価を行った。その結果１５日
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の感光性ポリイミド溶液塗布装置の送液系の概略図。
【図２】本発明で用いるサックバック装置の詳細図。
【符号の説明】
【００４１】
１    貯蔵用ボトル
２    取り入れノズル
３、２０、２１、２４、２５    配管
４    継ぎ手
５    サックバック装置
６    滴下ノズル
７    感光性ポリイミド溶液
８    感光性ポリイミド溶液の液面
９    加圧タンク
２２  窒素または空気の導入方向
２３  感光性ポリイミド溶液の流れ方向
１０  エアーシリンダー
１１  ベローズ
１３、１６  バルブ
１４、１７  逆流防止弁
１５  ダイヤフラム
３１  供給機構
３２  サックバック機構
３３  ベローズの可動方向
３４  感光性ポリイミド溶液の流れ方向
３５  ダイヤフラムの可動方向
【図１】
2005322711.tif 000002
【図２】
2005322711.tif 000003