(57)【要約】【課題】吸着ヘッドと真空発生機側の空気パイプとを接続する空気通路に異物が詰まることがなく、しかも、吸着ヘッドが回動するときの抵抗が小さくなる部品移載装置を提供する。【解決手段】吸着ノズル８が設けられた吸着ヘッド２２〜２９を有する。前記吸着ヘッドに接続部材４１を介して真空発生機３５側の空気パイプ４２を接続する。前記接続部材４１を内筒６２と外筒６４とかなる二重管構造とする。内筒６２は、前記吸着ヘッド２２〜２９の上端部に設けられて上端に前記吸着ノズル８に連通された空気通路３９が開口する。外筒６４は、前記空気パイプ４２の先端部に取付けられる。前記内筒６２を前記外筒６４内に回動自在に嵌合させるとともに、前記外筒６４の下端部で軸受７３を介して支持させた。【選択図】  図５
2005322753.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着ノズルを有する吸着ヘッドが回動自在に支持され、前記吸着ヘッドに接続部材を介して真空発生機側の空気パイプが接続された部品移載装置において、前記接続部材を、前記吸着ヘッドの上端部に設けられ上端に前記吸着ノズルに連通された空気通路が開口する内筒と、前記空気パイプの先端部に取付けられた外筒とを有する二重管構造とし、前記内筒を前記外筒内に回動自在に嵌合させるとともに、前記外筒の下端部で軸受を介して支持させたことを特徴とする部品移載装置。
【請求項２】
請求項１記載の部品移載装置によって実装用部品を部品供給部からプリント配線板上へ移載させる表面実装機。
【請求項３】
請求項１記載の部品移載装置によって被検査用電子部品を部品供給部から部品検査部上へ移動させる部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回動する吸着ヘッドに真空発生機側の空気パイプが接続された部品移載装置、表面実装機および部品検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば電子部品をプリント配線板に実装する表面実装機や、電子部品を検査する部品検査装置には、吸着ノズルによって電子部品を吸着して移載させる部品移載装置が装備されている。この種の部品移載装置は、水平面上を互いに直交する２方向に移動するヘッドユニットと、このヘッドユニットに垂直な軸線上で回動自在かつ上下方向に移動自在に支持された吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを垂直な軸線上で回動させる回転方向の駆動装置と、前記吸着ヘッドを上下方向に移動させる上下方向の駆動装置と、前記吸着ヘッドの下端部に取付けられた吸着ノズルなどによって構成されている。
【０００３】
前記吸着ノズルは、前記吸着ヘッドの軸心部を上下方向に延びる空気通路に接続されている。この空気通路は、前記吸着ヘッドに設けられた接続部材を介して真空発生機側の空気パイプに接続されている。この接続部材は、前記真空発生機に対して吸着ヘッドが回動することができるように形成されている。
従来の前記接続部材としては、例えば特許文献１に示されたものがある。この特許文献１に示された接続部材は、吸着ヘッドの軸部分が回動自在に貫通し、この貫通部分で吸着ヘッド内の空気通路と空気パイプ側の空気通路とが接続されるように構成されている。
【０００４】
前記吸着ヘッド内の空気通路は、吸着ノズルから前記軸部分内を上方へ延び、前記接続部材内に貫通された軸部分の外周面に開口されている。前記空気パイプ側の空気通路は、接続部材内を水平方向に延びるように形成され、前記軸部分が挿通される軸孔の孔壁面に前記吸着ヘッド側の空気通路と対向するように開口されている。すなわち、この特許文献１に示された接続部材は、複数の空気穴を組合わせることによって、内部の空気通路がＬ字状に形成されている。
【０００５】
一方、この種の接続部材としては、吸着ヘッドの上端部に取付けられた下側部材と、この下側部材に回動自在に支持されかつ前記空気パイプが取付けられた上部部材とによって構成されたものがある。この接続部材は、部品吸着時に下側部材と上側部材との接続部分から外気を吸引することがないように、前記接続部分にシール部材が介装されていた。
なお、本出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に密接に関連する先行技術文献を出願時までに見付け出すことはできなかった。
【特許文献１】特開２００３−８２８８号公報（第３−４頁、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の接続部材は、複数の空気穴が組合わされているために空気通路がＬ字状に形成されており、この空気通路が複雑になるから接続部材内に異物が詰まり易いという問題があった。この接続部材内に詰まった異物は、接続部材を分解して清掃しなければ除去することができない。このため、上述したように異物が詰まると部品移載装置を停止する時間が長くなってしまい、この部品移載装置を使用した表面実装機の生産性や部品検査装置の検査能率が低下してしまう。
【０００７】
しかも、特許文献１に示された接続部材は、空気通路が水平方向にも延びるために占有容積が大きくなり、重量も重くなってしまうという問題もあった。このため、従来の接続部材を使用した部品移載装置は、ヘッドユニットが大型化するとともに、ヘッドユニットを駆動するモータの負荷が大きくなってしまう。
一方、吸着ヘッドの上端部に取付ける上下２部材型の接続部材を使用した部品移載装置は、シール部材に接触する部材を摩擦抵抗に抗して回動させなければならないから、吸着ヘッドを回動させるための駆動装置の負荷が大きくなるという問題があった。
【０００８】
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、吸着ヘッドと真空発生機側の空気パイプとを接続する空気通路に異物が詰まることがなく、しかも、吸着ヘッドが回動するときの摩擦抵抗が小さな部品移載装置、表面実装機および部品検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的を達成するため、本発明に係る部品移載装置は、吸着ノズルを有する吸着ヘッドが回動自在に支持され、前記吸着ヘッドに接続部材を介して真空発生機側の空気パイプが接続された部品移載装置において、前記接続部材を、前記吸着ヘッドの上端部に設けられ上端に前記吸着ノズルに連通された空気通路が開口する内筒と、前記空気パイプの先端部に取付けられた外筒とを有する二重管構造とし、前記内筒を前記外筒内に回動自在に嵌合させるとともに、前記外筒の下端部で軸受を介して支持させたものである。
【００１０】
請求項２に記載した発明に係る表面実装機は、請求項１に記載した発明に係る部品移載装置によって実装用部品を部品供給部からプリント配線板上へ移載させるものである。
請求項３に記載した発明に係る部品検査装置は、請求項１に記載した発明に係る部品移載装置によって被検査用電子部品を部品供給部から部品検査部上へ移動させるものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、真空発生機側の空気パイプが取付けられた外筒と、吸着ヘッド側に位置する内筒とは、軸受によって互いに接続されている部分以外は実質的に非接触状態になる。このため、シール部材が介装された従来の接続部材を使用する場合に較べて吸着ヘッドを回動させる駆動装置の負荷（駆動用モータの消費電力）を低減することができる。本発明に係る部品移載装置は、このように前記駆動装置の負荷が低減されることから、吸着ノズルに吸着された部品の回転方向の位置決めを高い精度で行うことができる。
また、前記外筒と前記内筒との間に形成される筒状の空間は、空気の粘性を利用して空気を流れ難くする実質的なシール部材として機能するから、上述したようにシール部材を使用することがなく非接触式の構成を採っているにもかかわらず、吸着時に外気を吸引する量は無視できる程度できわめて少ない。
【００１２】
さらに、本発明に係る接続部材内には、前記吸着ヘッド内と前記空気パイプ内とを連通する空気通路が直線状に形成されているから、空気通路内に異物が詰まり難くなる。このため、空気通路を清掃するためのメンテナンスの頻度が減少するとともに、また清掃作業を容易に行うことができる。
さらにまた、前記接続部材は、空気通路が単純な直線状に形成され、しかも、空気通路を形成する筒体（外筒と内筒）と軸受の他に何ら部材を使用することなく吸着ヘッドと空気パイプとに接続することができるから、軽量化を図ることができた。
【００１３】
請求項２記載の発明によれば、小型・軽量の駆動装置で吸着ヘッドを回動させることができる部品移載装置を使用しているから、実装速度が速くかつ実装精度が高い表面実装機を提供することができる。
請求項３記載の発明によれば、小型・軽量の駆動装置で吸着ヘッドを回動させることができる部品移載装置を使用しているから、被検査用電子部品を移動させる速度が速くかつ被検査用電子部品の位置決め精度が高くなる部品検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係る部品移載装置の一実施の形態を図１ないし図５によって詳細に説明する。ここでは、本発明に係る部品移載装置を表面実装機に装備した例について説明する。
図１は本発明に係る部品移載装置を装備した表面実装機の平面図、図２は表面実装機の上部の正面図、図３はヘッドユニットを拡大して示す正面図、図４は同じく側面図で、同図は一部を破断した状態で描いてある。図５は本発明に係る接続部材を拡大して示す縦断面図である。
これらの図において、符号１で示すものは、この実施の形態による表面実装機を示す。この表面実装機１は、基台２の上部でプリント配線板３を搬送するコンベア４と、後述するヘッドユニット５を図１において左右方向（以下、この方向を単にＸ方向という）と上下方向（以下、この方向をＹ方向という）とに移動させる移動装置６とを備えている。前記ヘッドユニット５と移動装置６とによって本発明でいう部品移載装置が構成されている。前記コンベア４は、プリント配線板３を図１において左方に搬送し、図示していないクランプ機構によって作業位置に保持するように構成されている。このコンベア４の両側方には、部品供給用のテープフィーダ７と、吸着ノズル８（図２参照）に吸着された実装用部品９等を下方から撮像する部品認識装置１０とが設けられている。
【００１５】
前記移動装置６は、前記コンベア４の上方でＹ方向に沿って延びる２本の固定レール１１，１１を有するＹ方向移動装置１２と、前記固定レール１１，１１どうしの間に架け渡された可動レール１３を有するＸ方向移動装置１４とによって構成されている。前記ヘッドユニット５は、前記Ｘ方向移動装置１４に取付けられている。前記ヘッドユニット５と移動装置６は、図示していない制御装置によって移動方向、距離、速度などが制御される。
【００１６】
前記Ｙ方向移動装置１２は、前記固定レール１１に沿って延びるボールねじ軸１５と、このボールねじ軸１５を駆動するＹ軸サーボモータ１６とによってＸ方向移動装置１４の可動レール１３をＹ方向に往復動させる。前記可動レール１３は、前記ボールねじ軸１５のナット部材１５ａに固定されている。前記Ｙ軸サーボモータ１６には、エンコーダからなる位置検出手段１７が設けられている。
前記Ｘ方向移動装置１４は、Ｘ方向に延びる可動レール１３に並設されたボールねじ軸１８と、このボールねじ軸１８を駆動するＸ軸サーボモータ１９とによってヘッドユニット５をＸ方向に往復動させる。前記Ｘ軸サーボモータ１９には、エンコーダからなる位置検出手段２０が設けられている。
【００１７】
前記ヘッドユニット５は、図２〜図４に示すように、Ｘ方向と上下方向（以下、この方向を単にＺ方向という）とに延びるように形成されたベースプレート２１を有し、このベースプレート２１に後述する各部材・装置を取付けることによって組立てられている。このヘッドユニット５は、前記ベースプレート２１によって前記Ｘ方向移動装置１４に取付けられている。
【００１８】
前記ベースプレート２１には、前記吸着ノズル８が下端部に装着された第１〜第８の吸着ヘッド２２〜２９と、これらの吸着ヘッド２２〜２９をＺ方向に移動させるＺ軸駆動装置３１（図４参照）と、これらの吸着ヘッド２２〜２９を水平方向に回動させるＲ軸駆動装置３２と、下方を指向するカメラ３３を有する画像認識装置３４と、吸着ヘッド毎の真空発生機３５（図４参照）とが設けられている。前記画像認識装置３４は、プリント配線板３上の位置決めマーク（図示せず）をカメラ３３によって撮像し、プリント配線板３の位置やＸ・Ｙ方向に対する角度などを検出するためのもので、前記ベースプレート２１の下端部に取付けられている。前記真空発生機３５は、前記吸着ノズル８から空気を吸引するために負圧を発生させたり、部品載置時に正圧の空気を供給するもので、第１〜第８の吸着ヘッド２２〜２９毎に設けられ、それぞれ前記ベースプレート２１の上端部に取付けられている。
【００１９】
前記吸着ヘッド２２〜２９は、前記ベースプレート２１の前方（図３において紙面より手前側であって図４において左方）でＺ方向に延びるノズルシャフト３６と、このノズルシャフト３６の下端部に設けられた前記吸着ノズル８などによって構成されている。前記ノズルシャフト３６は、前記ベースプレート２１の下端部に設けられた下側支持部材３７によって回転自在かつＺ方向に移動自在に支持された下部ノズルシャフト３６ａと、この下部ノズルシャフト３６ａの上端部に軸継手３８を介して着脱可能に接続された上部ノズルシャフト３６ｂとから構成されている。
【００２０】
この下部ノズルシャフト３６ａと上部ノズルシャフト３６ｂの軸心部には、吸着ノズル８内の空気通路（図示せず）に接続された空気通路３９（図５参照）が形成されている。この空気通路３９は、前記吸着ノズル８から下部ノズルシャフト３６ａおよび上部ノズルシャフト３６ｂの内部を通って上方に延び、図５に示すように、上部ノズルシャフト３６ｂの上端面に開口している。また、前記空気通路３９は、図５に示すように、上部ノズルシャフト３６ｂの上端部に取付けられた後述する接続部材４１と、この接続部材４１の上端部に接続された空気パイプ４２とによって前記真空発生機３５に接続されている。
【００２１】
前記８本の下部ノズルシャフト３６ａのうち第１、第３および第５の吸着ヘッド２２，２４，２６の下部ノズルシャフト３６ａは、それぞれ３種類の吸着ノズル８が交換可能に装備されている。これら３種類の吸着ノズル８を交換する機構は、例えば特開２０００−３６６９６号公報に開示されている機構を採用することができる。図３に示された下部ノズルシャフト３６ａのうち他の下部ノズルシャフト３６ａは、吸着ノズル８が一つだけ設けられている。これらの下部ノズルシャフト３６ａの上端部には、後述するＺ軸駆動装置３１を接続するためのブラケット４３が取付けられている。
前記上部ノズルシャフト３６ｂは、図３および図４に示すように、前記ベースプレート２１の上部に設けられた上側支持部材４４に回転自在かつＺ方向に移動自在に支持されている。
【００２２】
前記Ｚ軸駆動装置３１は、図４に示すように、前記上部ノズルシャフト３６ｂと平行にＺ方向に延びるラック４５と、このラック４５に噛合するピニオン４６を有するサーボモータ４７，４８とから構成されている。前記ラック４５は、上部ノズルシャフト３６ｂ毎に設けられており、前記ベースプレート２１に支持された平面視コ字状のフレーム４９にスライダ５０とレール５１とを介してＺ方向に移動自在に保持されている。前記スライダ５０は、前記フレーム４９に固定されるとともにレール５１をＺ方向に移動自在に保持している。また、前記レール５１は、前記ラック４５とともに移動するようにラック４５に固定されている。このレール５１の下端部は、前記上側支持部材４４の中空部４４ａ内を下方に延び、連結部材５２と前記ブラケット４３とを介して前記下部ノズルシャフト３６ａに接続されている。
【００２３】
前記サーボモータ４７，４８は、図３に示す正面視において、互いに隣り合う２本の上部ノズルシャフト３６ｂ，３６ｂの間となる部位に配設され、図４に示すように、前記ベースプレート２１から後方に突出する状態で上下方向に並べて設けられている。これらのサーボモータ４７，４８のうち、下側に位置するサーボモータ４７のピニオン４６は、前記互いに隣り合う２本の上部ノズルシャフト３６ｂ，３６ｂのうち図３において左側に位置する上部ノズルシャフト３６ｂのラック４５に噛合し、上側に位置するサーボモータ４８のピニオン４６は、右側に位置する上部ノズルシャフト３６ｂのラック４５に噛合している。
この実施の形態によるＺ軸駆動装置３１の各ラック４５，４５…は、バックラッシによる誤差をなくすために、二つの部材に分けて形成され、一方の半部と他方の半部とによってサーボモータ４７，４８のピニオン４６の歯を挟むように構成されている。
【００２４】
前記Ｒ軸駆動装置３２は、図４に示すように、前記上側支持部材４４の前面にレール５１とスライダ５２とによってＸ方向に移動自在に支持された第１のラック５３および第２のラック５４と、これらのラック５３，５４の一端部に噛合するラック駆動用ピニオン５５を駆動する第１のサーボモータ５６および第２のサーボモータ５７と、前記第１のラック５３または第２のラック５４に噛合する吸着ヘッド毎のピニオン５８とから構成されている。
前記レール５１は、Ｘ方向に延びる状態で前記上側支持部材４４に固定され、スライダ５２は、前記レール５１に移動自在に支持されるとともに前記第１および第２のラック５３，５４に固定されている。
【００２５】
前記第１のラック５３は、第１〜第４の吸着ヘッド２２〜２５の上部ノズルシャフト３６ｂにおける上側支持部材４４より下側の部位に軸装されたピニオン５８に噛合し、前記第２のラック５４は、第５〜第８の吸着ヘッド２６〜２９の上部ノズルシャフト３６ｂにおける上側支持部材４４より上側の部位に軸装されたピニオン５８に噛合している。
これらのピニオン５８は、前記上側支持部材４４にＺ方向への移動が規制された状態で回転自在に支持されており、前記上部ノズルシャフト３６ｂに図示していないボールスプライン機構を介して接続されている。すなわち、前記ピニオン５８が前記ラック５４の移動により回転することによって、ピニオン５８の回転がボールスプライン機構を介して上部ノズルシャフト３６ｂに伝達され、吸着ヘッド２２〜２９が吸着ノズル８とともに回る。また、上部ノズルシャフト３６ｂが前記Ｚ軸駆動装置３１によってＺ方向に移動させられる場合は、Ｚ方向の駆動力が前記ボールスプライン機構によって遮断されるために、前記ピニオン５８がＺ方向に押圧されることはない。
【００２６】
前記第１のサーボモータ５６と第２のサーボモータ５７は、図３に示すように、前記ベースプレート２１の上端部であってＸ方向の両端部にモータ支持用ブラケット５９を介して取付けられている。また、これらの第１および第２のサーボモータ５６，５７は、出力歯車６０に噛合する減速用歯車６１を介して前記ラック駆動用ピニオン５５に接続されている。
この実施の形態によるＲ軸駆動装置３２の各ピニオン５５，５８と前記減速用歯車６１は、バックラッシによる誤差をなくすために、二つの部材に分けて形成され、一方の半部と他方の半部とによってラック５３，５４や出力歯車６０の歯を挟むように構成されている。
【００２７】
前記上部ノズルシャフト３６ｂの上端部に設けられた前記接続部材４１は、図５に示すように、上部ノズルシャフト３６ｂに螺着された内筒６２と、前記空気パイプ４２の先端部を構成する継手６３に螺着された外筒６４とを有する二重管構造となるように形成されている。
前記内筒６２は、前記上部ノズルシャフト３６ｂの上端部がねじ込まれる大径円筒部６５と、この大径円筒部６５に一体に形成されて上方に延びる小径円筒部６６とから構成されている。前記大径円筒部６５は、上部ノズルシャフト３６ｂに螺着された状態でロック用ピン６７が取付けられている。前記小径円筒部６６は、軸線方向の全域にわたって外径が一定になり、かつ前記大径円筒部６５と同一軸線上に位置するように形成されている。この内筒６２が上部ノズルシャフト３６ｂに螺着されることによって、内筒６２の中空穴６８が上部ノズルシャフト３６ｂ内の空気通路３９に接続され、この空気通路３９が内筒６２の上端部に上方に向けて開口することになる。
【００２８】
前記外筒６４は、前記空気パイプ４２の先端部の継手６３に螺着された小径円筒部７１と、この小径円筒部７１の下端部に外径が相対的に大きくなるように一体に形成された大径円筒部７２とから構成され、内部に前記内筒６２が回転自在となるように挿入されており、前記大径円筒部７２が軸受７３によって前記内筒６２の小径円筒部６６に回転自在に支持されている。
この外筒６４の前記小径円筒部７１は、軸線方向の全域にわたって内径が一定になり、かつ大径円筒部７２と同一軸線上に位置するように形成されている。また、この外筒６４の上端部のねじ部分６４ａは、前記継手６３の下端面６３ａと前記内筒６２の上端面６２ａとが微小な隙間ｄ１をおいて離間するように形成されている。
【００２９】
前記軸受７３の外輪７３ａは、外筒６４の大径円筒部７２内に嵌合され、この大径円筒部７２に係合されたサークリップ７４と、大径円筒部７２の段部７２ａによって軸線方向への移動が規制されている。一方、この軸受７３の内輪７３ｂ内には、内筒６２の小径円筒部６６が嵌合されている。この内輪７３ｂは、前記小径円筒部６６に係合されたサークリップ７５と小径円筒部６６の段部６６ａとによって軸線方向への移動が規制されている。
【００３０】
前記外筒６４の小径円筒部７１の内径と、前記内筒６２の小径円筒部６６の外径は、外筒６４内に内筒６２を挿入した状態でこれら両者が微小なクリアランスｄ２を有するように形成されている。このクリアランスｄ２は、この実施の形態では１４μｍ〜３０μｍ程度に形成されている。このクリアランスｄ２は、内筒６２に対して外筒６４が回転するときに軸受７３の公差により小径円筒部７１が偏心した状態で回転する場合であっても、この小径円筒部７１の内周面が内筒６２の小径円筒部６６に接触することがないような寸法に形成されている。
また、このクリアランス部分からなる円筒状の空間の軸線方向の長さは、この実施の形態では、内筒６２の外径の３倍以上の長さとなるように形成されている。
【００３１】
さらに、前記外筒６４における大径円筒部７２の軸線方向の端面７２ｂは、前記内輪保持用のサークリップ７５に微小なクリアランスｄ３をおいて対向するように形成されている。このクリアランスｄ３は、軸受７３の公差により外輪７３ａが内輪７３ｂに対して下側にずれるような場合でも、前記端面７２ｂがサークリップ７５に接触することがないような寸法に形成されている。この実施の形態においては、上述した軸受７３の公差の他に、内筒６２、外筒６４の製造誤差などにより前記クリアランスｄ３が変化する場合があるために、前記クリアランスｄ１は、クリアランスｄ３より大きくなるように（許容範囲が広くなるように）形成されている。このため、内筒６２の前記上端面６２ａに前記継手６３の下端面６３ａが接触することを確実に防ぐことができる。
【００３２】
上述したように構成された接続部材４１を備えた表面実装機１は、前記真空発生機３５が空気パイプ４２から空気を吸引することによって、吸着ノズル８が外気を吸引し、部品吸着が可能な状態となる。この表面実装機１は、前記吸引状態で吸着ノズル８にテープフィーダ７上の実装用部品９を吸着させ、その後、この実装用部品９を部品認識装置１０の上方を通過させてからプリント配線板３の所定の実装位置に移載する。この実装時には、実装用部品９が正しい角度でプリント配線板３上に載置されるように、Ｒ軸駆動装置３２によって吸着ヘッド２２〜２９の回転方向の角度が調節される。また、実装用部品９をプリント配線板３上に載置するときには、この表面実装機１は、吸着ノズル８の吸引系に真空を破壊する程度の正圧を加え、吸着ノズル８から実装用部品９を外す。
【００３３】
この表面実装機１において、吸着ノズル８から吸引された空気は、吸着ヘッド２２〜２９内の空気通路３９から接続部材４１の前記内筒６２の中空穴６８内に入り、この中空穴６８内から外筒６４内と継手６３内とを通って空気パイプ４２に吸入される。
この接続部材４１の外筒６４と、前記上部ノズルシャフト３６ｂ側に位置する内筒６２とは、軸受７３によって互いに接続される他は非接触状態になる。このため、この接続部材４１においては、前記Ｒ軸駆動装置３２によって吸着ヘッド２２〜２９が回動させられるときに、空気パイプ４２によって回転が規制された外筒６４に対して内筒６２が円滑に回動する。
【００３４】
したがって、この実施の形態による表面実装機１においては、シール部材が介装された従来の接続部材を使用する場合に較べて吸着ヘッド２２〜２９を回動させるＲ軸駆動装置３２の負荷（第１および第２のサーボモータ５６，５７の消費電力）を低減することができる。このようにＲ軸駆動装置３２の負荷が低減されることから、この表面実装機１においては、吸着ノズル８に吸着された実装用部品９の回転方向の位置決めを高い精度で行うことができる。また、Ｒ軸駆動装置３２の第１および第２のサーボモータ５６，５７として、小型で軽量のものを使用することができる。このＲ軸駆動装置３２の軽量化に伴って、ヘッドユニット５の重量が低減され、移動装置６のＹ軸サーボモータ１６とＸ軸サーボモータ１９の負荷も低減されるから、これらのモータ１６，１９も小型のものを使用することができるとともに、ヘッドユニット５の移動速度をより一層向上させることができる。
【００３５】
この実施の形態による前記接続部材４１における外筒６４と内筒６２との間に形成された円筒状の空間は、空気の粘性を利用して空気が流れ難い実質的なシール部材として機能する。また、前記サークリップ７５と前記端面７２ａとの間に形成された円環板状の空間も前記同様に実質的なシール部材として機能する。このため、シール部材を使用することなく非接触式の構成を採っているにもかかわらず、部品吸着時に外筒６４の下端部の開口から吸引する外気の量は無視できるほどきわめて僅かであるから、この表面実装機は、適切な負圧を吸着ノズル８に作用させることができる。この表面実装機１は、吸着ノズル８によって実装用部品９をプリント配線板３の上に載置するときに空気通路３９内に真空を破壊する程度の正圧を加える。この場合であっても、上述した円筒状の空間によるシール機能により、前記接続部材４１から外部に漏洩する空気量は無視できるほどきわめて少ない。
【００３６】
この実施の形態による前記接続部材４１は、前記吸着ヘッド２２〜２９内の空気通路３９と前記空気パイプ４２の継手６３内とを連通する空気通路が直線状に形成されるから、従来の装置に較べ空気通路内に異物が詰まり難い。このため、空気通路を清掃するためのメンテナンスの頻度は少なくてよい。また、前記接続部材４１のメンテナンス（清掃）は、外筒６４の上端部から空気パイプ４２の継手６３を取外すことによって容易に行うことができる。
【００３７】
また、この実施の形態による前記接続部材４１は、上述したように内部の空気通路が単純な直線状に形成されており、しかも、前記空気通路を形成する筒体（内筒６２と外筒６４）と軸受の他に何ら部材を使用することなく吸着ヘッド２２〜２９と空気パイプ４２とに接続することができるから、軽量に形成することができた。
【００３８】
上述した実施の形態においては、軸受７３を内筒６２に保持させるためにサークリップ７５を使用する例を示したが、サークリップ７５の代わりに、環状に形成された板部材を小径円筒部６６に装着することもできる。この場合は、軸受７３の内輪７３ｂを内筒６２とともに挟持することはできなくなるが、軸受７３は、外筒６４と空気パイプ４２の重量によって下方に付勢されるから、この構造を採ったとしても軸受７３が内筒６２から外れてしまうことはない。環状の板部材を使用する場合であっても、環状の板部材と前記大径円筒部７２とをクリアランスｄ３をおいて離間するように形成することにより、前記実施の形態と同等の効果を得ることができる。
なお、本発明に係る接続部材を形成するに当たっては、前記クリアランスｄ３をなくすこともできる。この場合、サークリップ７５または円環状の板部材が前記端面７２ｂに接触することになり、クリアランスｄ２からなる筒状の空間の下端の開口が閉塞される。このため、この構成を採ることにより、シール性をより一層向上させることができ、吸引系の損失を低減することができる。
【００３９】
上述した実施の形態では本発明に係る部品移載装置を表面実装機１に装備する例を示したが、本発明に係る部品移載装置は、吸着ノズルによって部品を吸着し回転させる装置であれば、どのようなものにも使用することができる。例えば、被検査用電子部品を部品供給部から部品検査部上へ移動させる部品検査装置に使用することができる。
この場合、小型・軽量のＲ軸駆動装置で吸着ヘッドを回動させることができる部品移載装置を使用することになるから、被検査用電子部品を移動させる速度が速くなるとともに、被検査用電子部品の位置決め精度をより一層向上させることができる。
【００４０】
上述した実施の形態においては、接続部材４１の内筒６２を上部ノズルシャフト３６ｂに螺着する例を示したが、本発明に係る接続部材は、内筒を吸着ヘッドの軸部分の上端部に一体に形成することもできる。この構成を採ることにより、より一層の軽量化が図られる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係る部品移載装置を装備した表面実装機の平面図である。
【図２】表面実装機の上部の正面図である。
【図３】ヘッドユニットを拡大して示す正面図である。
【図４】ヘッドユニットを拡大して示す側面図である。
【図５】本発明に係る接続部材を拡大して示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１…表面実装機、３…プリント配線板、５…ヘッドユニット、７…テープフィーダ、８…吸着ノズル、９…実装用部品、２２〜２９…吸着ヘッド、３５…真空発生機、３９…空気通路、４１…接続部材、４２…空気パイプ、６２…内筒、６４…外筒、６５，７２…大径円筒部、６６，７１…小径円筒部、７３…軸受。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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