(57)【要約】【課題】フェイスアップ実装用途のシリコーンエラストマーフィルムを、予め回路基板に貼着して、半導体チップをフリップチップ実装した場合、温度サイクル試験の高温時に離れ、導通接続不良を起こすことが想定される。【解決手段】（Ａ）ビスマレイミド樹脂、（Ｂ）下記一般式（１）（式中、Ｒ１ 〜 Ｒ５はＨ または アリル基を示し、ｎは０〜３である）で表されるアリルフェノール樹脂を必須成分として含有する接着剤層からなることを特徴とする半導体装置用接着シートである。【化１】2005075866.tif 000015また、上記必須成分を含有する接着剤層を剥離性フィルムの一面に設けるか、２枚の剥離性フィルムの間に設けた半導体装置用接着シートである。【選択図】        図１
2005075866.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）ビスマレイミド樹脂、（Ｂ）下記一般式（１）（式中、Ｒ１〜 Ｒ５はＨまたはアリル基を示し、ｎは０〜３である）で表されるアリルフェノール樹脂を必須成分として含有する接着剤層からなることを特徴とする半導体装置用接着シート。
【化１】
2005075866.tif 000012
【請求項２】
剥離性フィルムの一面に、（Ａ）ビスマレイミド樹脂、（Ｂ）下記一般式（１）（式中、Ｒ１〜 Ｒ５はＨまたはアリル基を示し、ｎは０〜３である）で表されるアリルフェノール樹脂を必須成分として含有する接着剤層を設けてなることを特徴とする半導体装置用接着シート。
【化２】
2005075866.tif 000013
【請求項３】
２枚の剥離性フィルムの間に、（Ａ）ビスマレイミド樹脂、（Ｂ）下記一般式（１）（式中、Ｒ１〜 Ｒ５はＨまたはアリル基を示し、ｎは０〜３である）で表されるアリルフェノール樹脂を必須成分として含有する接着剤層を設けてなることを特徴とする半導体装置用接着シート。
【化３】
2005075866.tif 000014
【請求項４】
接着剤層が熱可塑性樹脂を含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の半導体装置用接着シート。
【請求項５】
接着剤層が有機過酸化物を含有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の半導体装置用接着シート。
【請求項６】
接着剤層が非導電性粒子を含有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の半導体装置用接着シート。
【請求項７】
半導体ベアチップのフリップチップ実装用であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の半導体装置用接着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体チップや半導体素子をインターポーザーやマザーボードなどの回路基板に実装するのに好適な半導体装置用接着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体パッケージは、集積度の向上と共にＤＩＰ（Ｄｕａｌ  Ｉｎ−ｌｉｎｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）に代表されるリード挿入型のパッケージから、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｐａｃｋａｇｅ）、ＳＯＰ（Ｓｍａｌｌ  Ｏｕｔｌｉｎｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）といった表面実装型のパッケージへと発展し、多ピン化、狭ピッチ化が進められてきた。これと共にプリント配線板も片面実装から両面実装が可能となり、実装密度が飛躍的に向上した。さらに、パッケージの端子配置を、周辺配置からエリアアレイ状にすることにより一段の高密度化が実現された。その代表としてＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）タイプ、さらにはチップサイズとほぼ同程度のサイズまでのパッケージを小型化したＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｃａｌｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）の出現がある。この方式は、半導体チップの回路面の裏側を回路基板に接着し固定すると共に、半導体チップの回路と回路基板の電極とを金線などの金属ワイヤでワイヤボンディングしてから、半導体チップと金属ワイヤとを樹脂で封止するというものである。
【０００３】
こうした高密度実装に対応したパッケージの流れの中で、同時に高速化対応が求められてきており、サーバなどでは、高速化対応と高密度実装がこれまで以上に要求されている。特に、欧米においては、高速化対応こそが電子機器の性能向上に欠かせないとの見方がある。高速化対応とは、隣接するデバイス間の配線長と接続長を如何に短くするかである。配線長、接続長の短縮化、及び半導体チップの回路基板への実装面積の極小化を更に進めるために、フリップチップ実装と呼ばれる方式が登場した。この方式は、半導体チップの回路と回路基板の電極とを金属バンプを用いて電気的に接続するというものである。
【０００４】
具体的には、例えば、予め半導体チップの回路の端子電極上に密着金属や拡散防止金属の蒸着膜を形成し、更にその上にメッキにより半田の突起電極を形成しておく。このようにして形成された突起電極が金属バンプである。そしてこの金属バンプを回路基板の電極に対向させて半導体チップをフェースダウンにし、高温に加熱することによって、金属バンプを形成する半田を回路基板の電極に融着させ、半導体チップを回路基板に実装するというものである。このような実装方式は、金属バンプによる接続後の機械的強度が強く、また接続が一括にできることなどから有効な方法であるとされている（工業調査会、１９８０年１月１５日発行、日本マイクロエレクトロニクス協会編、「ＩＣ化実装技術」）。
【０００５】
また、フリップチップ実装では、半導体チップが回路基板に実装された半導体装置の温度サイクル性を高める目的で、液状の封止材が使用されている。通常、半導体チップと回路基板との熱膨張係数は異なるものであり、従って、実使用条件下では金属バンプ付近に熱サイクルがかかり、これにより同じ付近に繰り返し剪断応力が働き疲労現象が起こる。そのため、封止材が用いられていない未封止の半導体装置においては、このようにして生じる応力を分散させることができず、容易に金属バンプにクラックなどが生じて破壊が起こる。これに対し、封止材が用いられて封止された半導体装置においては、この封止材が応力を分散させる働きを持つため、金属バンプの破壊が防止される。しかしながら従来技術で使用されていた当該液状の封止材は、塗布量の制御に問題があり、かつ保存安定性に問題を有するものであった。
【０００６】
また、フリップチップ実装には、異方導電性フィルムを介して、半導体チップの金バンプと回路基板の電極とを接触により接続する方法も提案されている。この方法は、半田による接続よりも低温で行われ、半導体チップと回路基板との間の隙間封止と、半導体チップと回路基板との導通確保を一括で行えるという利点はあるが、金属間の接触による導通確保のため、異方導電性フィルムの性能によっては、信頼性面で半田による接続よりも劣る可能性がある。すなわち、当該異方導電性フィルムは金属粒子を含有させてなるものであるため、分散不良を生じ易く、従って横方向（平面方向）への導通により隣同士のバンプが導通する問題を有するものであった。
異方導電性フィルムは金属粒子を含むフィルムであるが、金属粒子を含まない接着フィルムを用いたフリップチップ実装法も種々検討されている。
例えば、耐温度サイクル性に優れた接着シートとして、熱膨張係数の異なる材料間に発生する応力を緩和できるように、低弾性率の熱可塑性樹脂あるいはシリコーンエラストマーフィルムを用いる方法が提案されている（特開２０００−２７３４０９明細書中記載）。
【０００７】
【特許文献１】特開平９−１７６５９３号公報
【特許文献２】特開２０００−３３６２７１号公報
【特許文献３】特開２０００−２７３４０９号公報
【非特許文献１】工業調査会、１９８０年１月１５日発行、日本マイクロエレクトロニクス協会編「ＩＣ化実装技術」
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、フェイスアップ実装用途のシリコーンエラストマーフィルム（例えば、特開２０００−３３６２７１号公報）を、予め回路基板に貼着して、半導体チップをフェースダウン実装、即ちフリップチップ実装した場合、平面方向には、温度サイクル試験時に発生する、半導体チップと接着剤間、及び接着剤と基板間の熱膨張差に基づくストレスを緩和することができるが、厚さ方向には、実装時に接触していた半導体チップの金属バンプと回路基板の電極が、接着フィルムの熱膨張率が大きいことが原因で温度サイクル試験の高温時に離れ、導通接続不良を起こすことが想定される。
本発明は、図１に示すフリップチップ実装に使用される接着シート、すなわち半導体チップ１に形成された金属バンプ２と回路基板４の電極パッド３とを電気的に接続する際使用する、封止用の接着シート５を提供するものであり、上記従来技術の課題であった温度サイクル性を解決した半導体装置用接着シートを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の半導体装置用接着シートは、（Ａ）ビスマレイミド樹脂、（Ｂ）下記一般式（１）（式中、Ｒ１〜Ｒ５はＨまたは アリル基を示し、ｎは０〜３である）で表されるアリルフェノール樹脂を必須成分として含有する接着剤層であることを特徴とする。（請求項１）  
【化４】
2005075866.tif 000003
また、剥離性フィルムの一面に、（Ａ）ビスマレイミド樹脂、（Ｂ）下記一般式（１）（式中、Ｒ１〜 Ｒ５はＨまたはアリル基を示し、ｎは０〜３である）で表されるアリルフェノール樹脂を必須成分として含有する接着剤層を設けてなることを特徴とする半導体装置用接着シートである。（請求項２）
【化５】
2005075866.tif 000004
また、更に２枚の剥離性フィルムの間に、（Ａ）ビスマレイミド樹脂、（Ｂ）下記一般式（１）（式中、Ｒ１〜 Ｒ５はＨまたはアリル基を示し、ｎは０〜３である）で表されるアリルフェノール樹脂を必須成分として含有する接着剤層を設けてなることを特徴とする半導体装置用接着シートである。（請求項３）
【化６】
2005075866.tif 000005
また、本発明の半導体装置用接着シートを構成する接着剤層には、熱可塑性樹脂を含有することが好ましい。（請求項４）
また、本発明の半導体装置用接着シートを構成する接着剤層には、有機過酸化物を含有することが好ましい。（請求項５）
また、本発明の半導体装置用接着シートを構成する接着剤層には、非導電性粒子を含有することが好ましい。（請求項６）
また、本発明の半導体装置用接着シートは、半導体ベアチップのフリップチップ実装用に好適に用いられる。（請求項７）
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、ビスマレイミド樹脂、一般式（１）（式中、Ｒ１〜 Ｒ５はＨまたは アリル基を示し、ｎは０〜３である）で表されるアリルフェノール樹脂が、本発明の半導体装置用接着シートの必須成分であることによって該ビスマレイミド樹脂と該アリルフェノール樹脂が効率的に反応し、硬化後に低熱膨張係数、高弾性率を有する半導体装置用接着シートを得ることができる。
これにより、平面方向には、温度サイクル試験時に発生する、半導体チップと接着剤間、及び接着剤と基板間の熱膨張差に基づくストレスを低減することができ、また、厚さ方向には、温度サイクル試験の高温時における接着剤の膨張を抑制でき、バンプ−電極間の導通を常時保つことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の半導体装置用接着シートは、（Ａ）ビスマレイミド樹脂、（Ｂ）一般式（１）（式中、Ｒ１〜 Ｒ５はＨまたは アリル基を示し、ｎは０〜３である）で表されるアリルフェノール樹脂を必須成分として含有する接着剤層である。以下、（Ａ）、（Ｂ）について詳しく説明する。
ビスマレイミド樹脂は、後述するアリルフェノール樹脂と反応して、３次元網状構造を形成する。ビスマレイミド樹脂としては、マレイミド基を２個以上有する化合物であればいずれのものも使用できるが、信頼性、溶剤溶解性等の点から、下記化一般式（２−１）ないし（２−４）（式中ＭＩ＝マレイミド基、Ｒ＝ＨまたはＣＨ３、ｒ＝１〜６）が特に好ましい。
【化７】
2005075866.tif 000006
【化８】
2005075866.tif 000007
【化９】
2005075866.tif 000008
【化１０】
2005075866.tif 000009
【００１２】
アリルフェノール樹脂はビスマレイミド樹脂と反応して３次元網状構造を形成する。具体的にはｅｎｅ反応、Ｄｉｅｌｓ−Ａｌｄｅｒ反応、マレイミド基の付加重合などにより硬化すると考えられている。低温では、主としてｅｎｅ反応や一部Ｄｉｅｌｓ−Ａｌｄｅｒ反応が起こり、鎖延長反応となり易い。高温になると、Ｄｉｅｌｓ−Ａｌｄｅｒ反応とともにビスマレイミド樹脂のラジカル重合も同時に起こり、架橋反応が顕著になってくる。
【００１３】
アリルフェノール樹脂としては、具体的に、下記一般式（１）（式中、Ｒ１〜 Ｒ５はＨまたは アリル基で、少なくとも１つがアリル基を示し、ｎは０〜３である）で表されるアリルフェノール樹脂を使用することができ、これらの１種または２種以上を併用することもできる。このアリルフェノール樹脂を用いることにより、アリル基がマレイミド基と反応し、半導体チップ等の被着体との接着性を高めたりすることができるので、好ましく使用される。
【化１１】
2005075866.tif 000010
【００１４】
ビスマレイミド樹脂のマレイミド基とアリルフェノール樹脂のアリル基の比率は官能基当量比で１：０．２〜１：１が好ましい。官能基当量比で１：０．２よりフェノール樹脂の比率が小さいとｅｎｅ反応が起こる割合が低く、後に続くＤｉｅｌｓ−Ａｌｄｅｒ反応で効率的な環化反応が起こらず、鎖延長反応が進行しにくい。また、ビスマレイミド樹脂のラジカル重合が一気に進み、脆い硬化物となりやすい。一方、官能基当量比で１：１よりフェノール樹脂の比率が大きいと、ビスマレイミド樹脂が硬化に寄与する割合が相対的に減少し、低熱膨張係数、高弾性率の硬化物を得ることができない。
【００１５】
このように、本発明の半導体装置用接着シートを構成する接着剤層にアリルフェノール樹脂を配合することによって、ビスマレイミド樹脂と効率的に反応し、低熱膨張係数、高弾性率の硬化物を与えることができる。これにより、平面方向には、温度サイクル試験時に発生する、半導体チップと接着剤間、及び接着剤と基板間の熱膨張差に基づくストレスを低減することができる。また、厚さ方向には、温度サイクル試験の高温時における接着剤の膨張を抑制でき、バンプ−電極間の導通を常時保つことができる。
【００１６】
本発明の半導体装置用接着シートを構成する接着剤層は、上記（Ａ）ビスマレイミド樹脂、一般式（１）に示される（Ｂ）アリルフェノール樹脂を必須成分として含有する以外にも、必要に応じて、熱可塑性樹脂、有機過酸化物、非導電性粒子、ポリシロキサン化合物、シランカップリング剤、導電性粒子を含有する。以下、それらの成分について詳しく説明する。
【００１７】
熱可塑性樹脂は、上記硬化系組成物に製膜性を付与する目的で使用されるものであり、スチレン−ブタジエン−スチレン共重合体や、ポリブタジエン、アクリロニトリルブタジエンゴム、アクリルゴム、芳香族ポリアミド、エチレン−メチルアクリレート共重合体、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド等の他、スチレン−ブタジエン−スチレン共重合体にエポキシ基を付与したものや、エポキシ化ポリブタジエン、カルボキシル基含有アクリロニトリルブタジエンゴム、ビニルアセタール−ビニルアルコール−酢酸ビニル共重合体（ビニルアセタール部位とビニルアルコール部位と酢酸ビニル部位から得られるユニットを繰り返し単位鎖としてもつもの）、エポキシ基含有アクリルゴム、水酸基含有芳香族ポリアミド、カルボキシル基含有エチレン−メチルアクリレート共重合体、カルボキシル基含有ポリイミド等、熱可塑性樹脂に官能基を付与したものも用いることができる。
ビスマレイミド樹脂とアリルフェノール樹脂と熱可塑性樹脂の全固形量に対して、熱可塑性樹脂が占める比率は、１０〜４０重量％が好ましい。熱可塑性樹脂の比率が１０重量％未満の場合、後述する半導体装置用接着シートが半硬化状態のとき脆さが現れる。また、４０重量％を超えると、硬化物の熱膨張係数が大きくなるとともに、弾性率が低下し、温度サイクル性など本発明の課題を達成することができない。
【００１８】
有機過酸化物は、ビスマレイミド樹脂とアリルフェノール樹脂との反応、ビスマレイミド樹脂同士の反応を促進する。一般的に、前述したＤｉｅｌｓ−Ａｌｄｅｒ反応とビスマレイミド樹脂のラジカル重合を起こすためには、２００℃以上の温度が必要であるが、有機過酸化物を含有することにより、２００℃未満の温度で系全体の硬化反応を完結させることができる。
具体的には、ジアザビシクロオクタン、またはメチルエチルケトンパーオキサイド、シクロヘキサンパーオキサイド、３,３,５−トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、メチルシクロヘキサノンパーオキサイド、メチルアセトアセテートパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、１,１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−３,３,５トリメチルヘキサン、１,１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−シクロヘキサン、２,２−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）オクタン、ｎ−ブチル−４,４−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）バレート、２,２−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタン、ｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジ−イソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ｐ−メンタンハイドロパーオキサイド、２,５−ジメチルヘキサン−２,５−ジハイドロパーオキサイド、１,１,３,３−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−クミルパーオキサイド、α,α’−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ−ｍ−イソプロピル）ベンゼン、２,５−ジメチル−２,５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、２,５−ジメチル−２,５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキシン、アセチルパーオキサイド、イソブチルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、デカノイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、３,５,５−トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、スクシニックアシッドパーオキサイド、２,４−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ｍ−トルオイルパーオキサイド、ジ−イソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−ｎ−プロピルパーオキシジカーボネート、ビス−（４−ｔ−ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ジ−ミリスティルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジ−メトキシイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ（３−メチル−３−メトキシブチル）パーオキシジカーボネート、ジ−アリルパーオキシジカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシアセテート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシネオデカネート、クミルパーオキシネオデカネート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサネート、ｔ−ブチルパーオキシ−３,５,５−トリメチルヘキサネート、ｔ−ブチルパーオキシラウレート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ジ−ｔ−ブチルパーオキシイソフタレート、２,５−ジメチル−２,５−ジ（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ブチルパーオキシマレイン酸、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、クミルパーオキシオクテート、ｔ−ヘキシルパーオキシネオデカネート、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシネオヘキサネート、アセチルシクロヘキシルスルフォニルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシアリルカーボネート等が挙げられる。
【００１９】
有機過酸化物の添加量は、ビスマレイミド樹脂とアリルフェノール樹脂と熱可塑性樹脂の全固形量に対して、０．１重量％〜１０重量％が好ましく、より好ましくは１重量％〜５重量％である。添加量が０．１重量％未満であると、充分な硬化促進作用が得られず、１０重量％を超えると加熱時にガス化する量が増大し、半導体チップの金バンプ等を汚染する可能性があるため好ましくない。
このように、有機過酸化物が、本発明の半導体装置用接着シートであることによって、２００℃未満の低温で系の硬化反応を完結させることができ、半導体チップや回路基板への熱ダメージを低減することができる。
【００２０】
非導電性粒子は、半導体装置用接着シートの接着剤層用の塗料の粘度調整や、半導体装置用接着剤シートの熱膨張係数及び熱伝導率や弾性率の調整、フリップチップ実装時の樹脂流れ性の調整、難燃性の付与などを目的として使用される。
具体的には、粉砕型シリカ、溶融型シリカ、アルミナ、酸化チタン、酸化ベリリウム、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、窒化チタン、室化珪素、窒化棚素、棚化チタン、棚化タングステン、炭化珪素、炭化チタン、炭化ジルコニウム、炭化モリブデン、マイカ、酸化亜鉛、カーポンブラック、水酸化アルミニウム、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウム、またはこれらの表面をトリメチルシロキシル基などで処理したものなどが挙げられる。また、ポリイミド粒子のように、有機物の粒子を添加しても良い。
【００２１】
非導電性粒子の添加量は、ビスマレイミド樹脂とアリルフェノール樹脂と熱可塑性樹脂の全固形量に対して、１０重量％〜４００重量％が好ましい。非導電性粒子の添加比率が１０重量％未満の場合、粒子添加の効果は現れない。また、非導電性粒子の添加比率が４００重量％を超えると、後述する半導体装置用接着シートの接着剤層が半硬化状態のとき脆さが現れる。
このように、非導電性粒子を含有させることによって、半導体装置用接着シートを構成する接着剤層用塗料の粘度を調整し、低粘度の塗料でも支持体に塗工することが可能となるという効果がある。また、半導体装置用接着シートにおいては、非導電性粒子を含有させることによって、平面方向には、温度サイクル時等に発生する、半導体チップと基板間の熱膨張差に基づくストレスを低減することができ、厚さ方向には、温度サイクル試験の高温時に接着剤の膨張を抑制でき、バンプ−電極間の導通を常時保つことができる。また、弾性率やフリップチップ実装時の樹脂流れ性を調整することができるという効果がある。また、非導電性粒子を含有させることにより、難燃性が付与されるので、半導体装置用途には好適に用いられる。
【００２２】
さらに、本発明の半導体装置用接着シートを構成する接着剤層には、必要に応じて、ポリシロキサン化合物、シランカップリング剤、導電性粒子を含有させても良い。
本発明におけるポリシロキサン化合物は、ビスマレイミド樹脂の溶剤及び他の樹脂系に対する相溶性を向上する目的で使用されるものである。さらに、ビスマレイミド樹脂の硬化温度を低温化させる目的で使用されるものである。ポリシロキサン化合物としては、両末端にアミノ基を有するものが好ましく、例えば、ビス（３−アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン、アミノプロピル末端のジメチルシロキサン４量体、８量体、ビス（３−アミノフェノキシメチル）テトラメチルジシロキサン等が挙げられ、これらを混合して用いることも可能である。該ポリシロキサン化合物の分子量が７０００より大きいと該化合物の溶融粘度の増大、溶剤溶解性の低下等でハンドリング性が悪化するため好ましくない。
【００２３】
本発明におけるシランカップリング剤は、樹脂間の相溶性を向上させたり、被着体に対する接着力を高める目的で使用されるものである。上記シランカップリング剤としては、エポキシシラン系化合物、アミノシラン系化合物、ビニルシラン系化合物といったシランカップリング剤が挙げられる。この中でも、特にエポキシシラン系化合物とアミノシラン系化合物は、上記相溶性や接着力の効果が大きいため好ましい。
【００２４】
本発明の半導体装置用接着シートに異方導電性の機能を付与する場合や、半田代替用の導電性接着剤として用いる場合は、接着剤層中に導電性粒子を含有させてもよい。異方導電性の機能を付与する場合の導電性粒子としては、金、銀、銅、ニッケル、半田などの金属粒子や、ポリスチレンなどの高分子の球状のコア材に、金、ニッケルなどの導電層を設けた粒子などを挙げることができる。導電性粒子を含有させた半導体装置用接着シートをフリップチップ実装に用いた場合は、導電性粒子がスタッドバンプと回路電極間に介在することで、スタッドバンプの高さばらつきが吸収される効果がある。そして、スタッドバンプの高さばらつきが吸収されると、スタッドバンプ作製時に、レべリングの精度を高める必要がないという利点がある。
また、スタッドバンプの高さばらつきがある場合は、導電性粒子の平均粒子径が高さばらつきよりも大きいことが必要で、更にスタッドバンプの最小間隔、及び半導体装置用接着シートの厚さよりも小さく、非導電性粒子が混在する場合には、それよりも大きい導電性粒子が好適に使用される。また、半田代替の導電性接着剤として使用する場合は、導電性粒子として、金、銀、銅、ニッケル、半田などの金属粉が挙げられる。この中でも、高導電率を有する金、銀、銅が好適に用いられる。更に好ましくは、金属粉間の接触面積を上げられる点から、フレーク状のものがよい。
【００２５】
本発明の半導体装置用接着シートは、接着剤層の単層フィルム又は該接着剤層を剥離性フィルム、絶縁性フィルム、剥離紙等の支持体の少なくとも一面に、上記接着剤層用の塗料を積層してなるものである。上記剥離性フィルムおよび絶縁性フィルムとして用いられるフィルム材質は、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル類、ポリエチレンなどのポリオレフィン類、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルサルフオン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルケトン、トリアセチルセルロースなどが好ましく使用され、さらに好ましくはポリエステル類、ポリオレフィン類およびポリイミドである。剥離性フィルムは、これらの材質からなるフィルムにシリコーンなどの離型剤で剥離処理を施したものが好ましく使用される。
これらのフィルムの片面に、本発明で特定する原材料を有機溶媒に溶解、分散させて接着剤層用塗料とし、それを剥離性フィルム等に塗布し乾燥して接着剤層を形成し、好ましくはこの接着剤層を熱圧着時のボイドの抑制や流動性の抑制の理由で半硬化状態にする。特に加工使用条件、例えば、導体パターンへの埋め込み等でフロー性や発泡を押さえるために、半硬化状態を適宜コントロールする。半硬化状態のコントロール方法は限定しないが、エージング等でコントロールする事が好ましい。接着剤層の乾燥後の厚さは、３〜２００μｍ、好ましくは５〜１００μｍである。接着剤層を形成したフィルムの保管時には、必要に応じて保護フィルムを貼着し、使用時には剥がして用いる。
【００２６】
本発明の半導体装置用接着シートは、種々の電子部品において適用できるが、温度サイクル性に優れる点から、特にインターポーザーへの半導体ベアチップのフリップチップ実装に好適である。また、ＢＧＡ、ＣＳＰ、ＭＣＰ等において、パッケージとマザーボードとを接続する半田ボール部分で発生する、チップと基板との熱膨張差に基づく接続界面のストレスを緩和する目的で、アンダーフィル材としても有用である。さらに、半導体チップを外部環境から保護する、封止樹脂及び封止シートとしての使用や、導電性粒子を高充填することにより、半田代替の導電性接着剤としても利用可能である。このように、半導体装置用接着シートを用いることによって、信頼性の高い半導体装置を得ることができる。
【実施例】
【００２７】
以下、本発明を実施例に基づいてより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２８】
［接着剤層用塗料の調製］
実施例１：（Ａ）前記式（２−１）で表されるビスマレイミド樹脂を７５重量部、（Ｂ）前記式（１）（ただし、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ４、Ｒ５＝Ｈ、Ｒ３＝アリル基）で表されるアリルフェノール樹脂を２５重量部をテトラヒドロフランに常温〜５０℃程度で溶解した後、（Ａ）（Ｂ）全必須成分の固形分率が４０重量％になるように調製して、本発明の接着剤層の塗料を得た。
実施例２：実施例１において、（Ｂ）前記式（１）（ただし、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ４、Ｒ５＝Ｈ、Ｒ３＝アリル基）で表されるアリルフェノール樹脂を前記式（１）（ただし、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５＝Ｈ、Ｒ１＝アリル基）で表されるアリルフェノール樹脂に代えた以外は、実施例１と同様に操作して本発明の接着剤層の塗料を得た。
実施例３：実施例１において、（Ａ）前記式（２−１）で表されるビスマレイミド樹脂を前記式（２−４）で表されるビスマレイミド樹脂に代えた以外は、実施例１と同様に操作して本発明の接着剤層用の塗料を得た。
【００２９】
比較例１：実施例１において、（Ｂ）前記式（１）（ただし、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ４、Ｒ５＝Ｈ、Ｒ３＝アリル基）で表されるアリルフェノール樹脂をｏ−アリルフェノールに代えた以外は、実施例１と同様に操作して比較用の接着剤層用の塗料を得た。
なお、ｏ・アリルフェノールは、芳香族環を一つしか持たないのに対し、本発明で特定の一般式（１）のアリルフェノール樹脂は、ｎ＝０の場合であっても芳香族環は２個有する。従って、ｏ・アリルフェノールは本発明で特定の一般式（１）のアリルフェノール樹脂に該当しない。
比較例２：実施例１において、（Ｂ）前記式（１）（ただし、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ４、Ｒ５＝Ｈ、Ｒ３＝アリル基）で表されるアリルフェノール樹脂をジアリルイソフタレートに代えた以外は、実施例１と同様に操作して比較用の接着剤層用の塗料を得た。
【００３０】
温度サイクル試験
上記実施例１〜３および比較例１〜２の接着剤層用の塗料を、乾燥後の厚さが２５μｍとなるように、剥離処理を施した厚さ３８μｍのポリエステルフィルム上に塗布し、熱風循環型乾燥機中にて１００℃で３分間乾燥して接着シートを作製した後、剥離処理を施した厚さ３８μｍのポリエステル保護フィルムを貼り合わせ半導体装置用接着シートを得た。
続いて、ポリエステル保護フィルムを剥離して、厚さ２５μｍの接着シートを８０〜１２０℃で回路基板にラミネートした。ポリエステルフィルムを剥離し、高さ４０μｍの金バンプを有する、厚さ２００μｍ、１０ｍｍ角の半導体チップを、荷重３ｋｇで、接着剤に掛かる温度が１７０℃／５ｓｅｃになるように熱圧着した。その後、１７０℃／１時間加熱して接着シートを硬化し、温度サイクル試験用試料を得た。
この評価資料を、冷熱衝撃試験機（Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｓｈｏｃｋ  Ｃｈａｍｂｅｒ）に投入し、下記の要領にて実用特性を評価した。
Ａ：剥離性・・・温度サイクルが繰り返しかかることにより、接着剤層にストレスが生じ、半導体チップと接着剤層間、接着剤層と回路基板間において剥離の発生が想定される。
今回は超音波顕微鏡で各層間を観察評価した。
Ｂ：導通性・・・温度サイクル中半導体ベアチップの金属バンプと回路基板の電極とが接触しているか否かを、装置内部から外部に配線を引き出しテスターにて確認した。
実施例１〜比較例２の評価は、試験個数５個について実施し、剥離がなくかつ導通性が良好なものの個数を表１に示した。
【００３１】
リフロー性試験
上記温度サイクル試験と同様の作製方法で試料を作製した。この評価試料を、恒温恒湿槽中に８５℃／８５％ＲＨの条件で１６８時間曝露し、その後２６０℃に設定されたＩＲリフロー炉を一回通過させ、下記の要領にて実用特性を評価した。
Ｃ：剥離、発泡性・・・本発明の接着シートが組み込まれた半導体装置を半田を介してマザーボードに実装する時に、リフロー炉にてハンダが溶融する温度に曝されるが、その際接着剤層に水分が存在するとポップコーン現象により水蒸気爆発を生じ、接着剤の剥離／発泡を生ずる場合がある。本件評価の剥離・発泡は、当該リフロー後の積層断面を超音波顕微鏡にて観察し、剥離、発泡の有無を確認した。
Ｄ：導通性・・・前記温度サイクル試験と同要領
試験は、温度サイクル試験において、実用上問題なかった実施例１〜３の試料について試験個数５個にて実施し、良好なものの個数を表１に示した。
【００３２】
【表１】
2005075866.tif 000011
【００３３】
比較例１は、本発明のアリルフェノール樹脂の種類とは異なり、比較例２は、アリル化合物ではあるが、本発明のアリルフェノール樹脂ではない。
よって、表１に示す結果から明らかなように、比較例１〜２で得られた半導体装置用接着シートは、耐温度サイクル性について満足なものではなかった。一方、実施例１〜３で得られた半導体装置用接着シートは、耐温度サイクル性、耐リフロー性に非常に優れていた。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、半導体チップと回路基板との間の隙間封止と、金バンプを有する半導体チップと回路基板との導通確保を同時に可能とする、フリップチップ実装法に使用出来、かつ温度サイクル性に優れた半導体装置用接着シートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の半導体用接着シートの断面図
【符号の説明】
【００３６】
１  半導体チップ
２  金属バンプ
３  電極パッド
４  回路基板
５  接着シート
【図１】
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