(57)【要約】【課題】簡単な構成により端面電極が小さくなってもコンタクト部を端面電極に確実に接触させることができるとともに、検査・評価を行うために十分な接触量を得ることができる電子部品検査ソケットを実現することを目的とする。【解決手段】電子部品１１の一部または全部の電極に設けられた端面スルーホール電極１１ａと、端面スルーホール電極１１ａと対応する位置に窓部１３が設けられた検査台１２と、窓部１３からその一端が突出するように設けられた端面スルーホール用コンタクト部１４とを有し、端面スルーホール用コンタクト部１４は少なくとも３つの独立して可動する検針部１４ａ，１４ｂ，１４ｃを有し、中央に配置された検針部１４ｂが他の検針部１４ａ，１４ｃよりも窓部１３から突出するように構成されているとともに、端面スルーホール電極１１ａのスルーホール部内に接触するように構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の各電極とそれぞれ電気的に接続される複数のコンタクト部を有する電子部品検査ソケットであって、前記電子部品の一部または全部の電極に設けられた端面スルーホール電極と、前記端面スルーホール電極と対応する位置に窓部が設けられた検査台と、前記窓部からその一端が突出するように設けられた端面スルーホール用コンタクト部とを有し、前記端面スルーホール用コンタクト部は少なくとも３つの独立して可動する検針部を有し、中央に配置された検針部が他の検針部よりも前記窓部から突出するように構成されているとともに、前記端面スルーホール電極のスルーホール部内に接触するように構成されていることを特徴とする電子部品検査ソケット。
【請求項２】
端面スルーホール用コンタクト部の中央に配置された検針部の先端が曲面形状であるとともに、他の検針部の先端が平面形状であることを特徴とする請求項１記載の電子部品検査ソケット。
【請求項３】
端面スルーホール用コンタクト部の中央に配置された検針部の先端が内側に向かってテーパ部を有することを特徴とする請求項２記載の電子部品検査ソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子やモジュール部品等の電子部品の特性検査や特性評価を行う際に用いられる電子部品検査ソケットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、一般にこの種の検査ソケットは、図４から図６に示されるような構成を有していた。
【０００３】
すなわち、図において、１は半導体素子やモジュール部品等の検査対象、評価対象となる電子部品であり、２はその電子部品１に設けられた端面電極１ａと対応する位置に窓部３が設けられた検査台である。
【０００４】
４はその一端が窓部３から突出するように設けられたコンタクト部であり、電子部品１の端面電極１ａと押圧接触するように構成されている。５はコンタクト部４が電子部品１の端面電極１ａと押圧接触した際に、コンタクト部４の他端側と接触する電極パターン６が設けられた検査基板であり、スルーホール７を介して検査基板５の裏面に設けられた検査回路８と接続するように構成されている。
【０００５】
９はコンタクト部４が電子部品１の端面電極１ａと押圧接触可能にするための円筒状弾性体であり、電子部品１を検査台２に押し当てた際に変形するとともにその復元力により押圧接触を可能にしている。
【０００６】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平０２−８７４９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来の構成では、検査対象、評価対象となる電子部品が小さくなればなるほど、電子部品に設けられた端面電極が小さくなるため、この端面電極にコンタクト部を確実に接触させて十分な接触量を得ることが困難になるとともに、単純にコンタクト部を端面電極に合せて小さくするだけでは限界を有するものであった。
【０００８】
本発明は上記課題を解決するためのものであり、簡単な構成により端面電極が小さくなってもコンタクト部を端面電極に確実に接触させることができるとともに、検査・評価を行うために十分な接触量を得ることができる電子部品検査ソケットを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明の電子部品検査ソケットは、電子部品の各電極とそれぞれ電気的に接続される複数のコンタクト部を有する電子部品検査ソケットであって、前記電子部品の一部または全部の電極に設けられた端面スルーホール電極と、前記端面スルーホール電極と対応する位置に窓部が設けられた検査台と、前記窓部からその一端が突出するように設けられた端面スルーホール用コンタクト部とを有し、前記端面スルーホール用コンタクト部は少なくとも３つの独立して可動する検針部を有し、中央に配置された検針部が他の検針部よりも前記窓部から突出するように構成されているとともに、前記端面スルーホール電極のスルーホール部内に接触するように構成されていることを特徴とするものである。
【００１０】
この構成により、検査対象、評価対象となる電子部品の端面電極が小さくなっても、中央に配置された検針部がスルーホール部内と接触することができるため、その他の検針部での接触と合せて十分な接触量を得ることができるものである。また、検針部が独立して動くことができるため、１つの検針部に粉塵等が噛み込んでも残りの検針部で必要な接触量を確実に得ることができるものである。
【００１１】
また、本発明の電子部品検査ソケットは、端面スルーホール用コンタクト部の中央に配置された検針部の先端が曲面形状であるとともに、他の検針部の先端が平面形状であることを特徴とするものであり、これにより、中央に配置された検針部によるスルーホール部内での接触量をさらに増やすことができるとともに、接触時のスルーホール部内へのダメージをより低減することができるものである。また、水平方向の多少の位置ずれがあってもスルーホール部のセンターと中央に配置された検針部のセンターとが一致するような方向に自己修正させることができるため、各コンタクト部での接触をより均一化することができるものである。
【００１２】
さらに、本発明の電子部品検査ソケットは、端面スルーホール用コンタクト部の中央に配置された検針部の先端が内側に向かってテーパ部を有することを特徴とするものであり、これにより、垂直方向の多少の位置ずれがあっても検査台に対して平行になるような方向に自己修正させることができるため、各コンタクト部での接触をより均一化することができるものである。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明によれば、非常に簡単な構成により検査対象、評価対象となる電子部品の端面電極が小さくなっても、コンタクト部を端面電極に確実に接触させることができるとともに、検査・評価を行うのに十分な接触量を得ることができる電子部品検査ソケットを実現することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を用いて説明する。図１は本発明の一実施の形態における電子部品検査ソケットの構成を示す分解斜視図、図２は同実施の形態の要部拡大図、図３は同実施の形態の断面図である。
【００１５】
図１において、１２は検査台であり、半導体素子やモジュール部品等の検査対象、評価対象となる電子部品１１が着脱自在に装着可能に構成されているとともに、装着された際に電子部品１１に設けられた端面電極１１ａとそれぞれ電気的に接続されるように、検査台１２の窓部１３からその一端が突出するように設けられた、導電性部材からなるコンタクト部１４が形成されており、導電性部材としてはベリリュウム銅上にニッケルの下地層を形成してそれを覆うように金めっきしたものが用いられている。
【００１６】
コンタクト部１４の一端側は、円筒状の復元性を有するシリコンゴム等からなる円筒状弾性体１９の円周に沿って複数個設けられており、電子部品１１の端面電極１１ａと押圧接触するように構成され、そのピッチは電子部品１１に設けられた端面電極１１ａのピッチに対応するように形成されている。
【００１７】
検査基板１５は、コンタクト部１４の他端側と接触する電極パターン１６が設けられた検査基板であり、スルーホール１７を介し検査基板１５の裏側に設けられた検査回路１８と接続するように構成されている。これにより検査回路１８と電子部品１１間の配線距離を短くすることができ、高周波部品の測定にも適している。
【００１８】
コンタクト部１４は、少なくとも３つの独立して可動するコンタクト部を有し、中央に配置されたコンタクト部１４が他の両側のコンタクト部１４より突出するように構成されている。この構成により、検査対象、評価対象となる電子部品１１の端面電極１１ａが小さくなっても、中央に配置されたコンタクト部１４の先端が曲面形状であるとともに、他のコンタクト部１４は先端が平面形状であり、さらに中央に配置されたコンタクト部が突出している構成なので、中央に配置されたコンタクト部１４によるスルーホール部内での接触量をさらに増やすことができるとともに、接触時のスルーホール部内へのダメージをより低減することができるものである。また、コンタクト部１４が独立して動くことができるため、１つのコンタクト部１４に粉塵等を噛み込んでも残りのコンタクト部１４で必要な接触量を確実に得ることができるものである。
【００１９】
中央に配置されたコンタクト部１４の先端が内側に向かってテーパ部であるため、水平方向の多少の位置ずれがあってもスルーホール部のセンターと中央に配置された検針部１４ａ，１４ｂ，１４ｃのセンターとが一致するような方向に自己修正させることができるため、各コンタクト部での接触をより均一化することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明にかかる電子部品検査ソケットは、非常に簡単な構成により検査対象、評価対象となる電子部品の端面電極が小さくなっても、コンタクト部を端面電極に確実に接触させることができるとともに、検査・評価を行うのに十分な接触量を得ることができるものであり、半導体素子やモジュール部品等の電子部品の特性検査や特性評価を行う際に用いられる電子部品検査ソケットに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施の形態における電子部品検査ソケットの構成を示す分解斜視図
【図２】同実施の形態の要部拡大図
【図３】同実施の形態の断面図
【図４】従来の電子部品検査ソケットの構成を示す分解斜視図
【図５】同従来例の要部拡大図
【図６】同従来例の断面図
【符号の説明】
【００２２】
１，１１  電子部品
２，１２  検査台
３，１３  窓部
４，１４  コンタクト部
５，１５  検査基板
６，１６  電極パターン
７，１７  スルーホール
８，１８  検査回路
９，１９  円筒状弾性体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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