(57)【要約】【課題】  基板搬送装置において、小型化可能で汎用性に富んだものとなるようにする。【解決手段】  軸部９から放射状に等配されて、軸部９回りに回転できるようにした複数の搬送アーム１１を設ける。搬送アーム１１は、軸部９に固定された直動ガイド部１１ｃに対して、基板保持部１１ｂがスライド可能に接続された構成とする。そして、直動ガイド部１１ｃと基板保持部１１ｂとにそれぞれ端部が固定されたエアシリンダ１２により、基板保持部１１ｂを直動ガイド部１１ｃの延設方向に沿って移動できるようにして、搬送アーム１１を伸縮可能とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する複数の搬送アームを回転軸に対して複数の方向に設け、前記搬送アームが前記回転軸を中心に回転移動して、各ポジションに順次停止する基板搬送装置であって、
前記搬送アームが、少なくとも回転の径方向に伸縮可能とされたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記搬送アームが、それぞれ独立に伸縮可能とされたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記搬送アームが、回転方向の位置に応じて伸縮することを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記搬送アームが、回転しつつ伸縮可能とされたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記搬送アームの回転移動の停止位置を可変できるようにしたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記搬送アームの回転方向が反転可能とされたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記搬送アームが、エアシリンダにより伸縮されることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記搬送アームが、伸縮量が可変できる可変伸縮手段により伸縮されることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送装置に関する。例えば、製造、検査などのために半導体ウエハなどの複数の基板を回転移動する基板搬送装置、特に基板検査システムなどに用いるのに好適なものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハなどの基板は、製造工程において、検査装置間で基板を受け渡しして表面のミクロ検査、マクロ検査などの検査工程が行われている。そして検査タクト短縮のために、複数の搬送アーム上に基板を吸着してそれら検査装置間で、基板を効率よく搬送するための基板搬送装置が用いられている。
例えば、特許文献１には、そのような基板搬送装置の一例であるウエハ搬送装置が記載されている。このウエハ搬送装置は、ローダ部との間で半導体ウエハ（基板）を受け渡す位置と、ミクロ検査部との間で半導体ウエハを受け渡す位置と、マクロ検査用揺動機構との間で半導体ウエハを受け渡す位置とが、円周上の等分位置に設けられ、それぞれの位置の間で、半導体ウエハを吸着して保持して回転移動する３つの搬送アームを備えることにより、半導体ウエハを順次搬送できるように構成されている。すなわち、３つの搬送アームは、回転軸に対して回転方向に１２０°に等配され、所定の検査タクトで１２０°ずつ回転して半導体ウエハを回転移動できるようになっている。
【特許文献１】特開２００２−２７０６７２号公報（第４頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の基板搬送装置には以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、所定の円周上で基板を搬送するので、基板との干渉を避けるため所定の円内に他の構造物を配置できず、また所定の円の面積が固定であり、スペースを有効に活用できるものではない。
また、例えば基板検査システムのレイアウトが変わり、所定の円周以外に受け渡し位置を設置したい場合や搬送する基板の大きさが変更された場合など、基板搬送装置を共通使用することができなくなるので、汎用性に乏しいという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであって、スペースの有効活用ができ、汎用性のある基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明の基板搬送装置では、基板を搬送する複数の搬送アームを回転軸に対して複数の方向に設け、前記搬送アームが前記回転軸を中心に回転移動して、各ポジションに順次停止する基板搬送装置であって、前記搬送アームが、少なくとも回転の径方向に伸縮可能とされた構成とする。
この発明によれば、搬送アームが回転の径方向に伸縮可能とされるので、搬送アームを収縮して回転半径を縮小することにより、回転移動時に掃く面積を減らすことができる。また停止する各ポジションで搬送アームを伸縮することができるので、基板受け渡し位置を回転の径方向に可変することができる。
【０００６】
また本発明では、請求項１に記載の基板搬送装置において、前記搬送アームが、それぞれ独立に伸縮可能とされた構成とする。
この発明によれば、搬送アームがそれぞれ独立に伸縮可能とされるので、搬送アームが同時に伸長しないようにして、回転移動時に掃く面積を低減することができる。
【０００７】
また本発明では、請求項１または２に記載の基板搬送装置において、前記搬送アームが、回転方向の位置に応じて伸縮する構成とする。
この発明によれば、搬送アームが、回転方向の位置に応じて伸縮できるので、回転方向の所定位置ごとに設定される基板受け渡し位置を、回転の径方向にそれぞれ変えることができる。その結果、各基板受け渡し位置を回転の径方向に調節できるので、基板受け渡し位置の設置自由度を高めることができる。その結果、基板受け渡しを行う他の装置の設置自由度を高めることができる。
【０００８】
また本発明では、請求項１〜３のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記搬送アームが、回転しつつ伸縮可能とされた構成とする。
この発明によれば、搬送アームが、回転しつつ伸縮可能とされるので、回転移動時に掃く面積を低減することができる。また、搬送アームの伸縮と回転移動とを同時に行うことができるので、基板の搬送タクトを短縮して、搬送を高速化することができる。
【０００９】
また本発明では、請求項１〜４のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記搬送アームの回転移動の停止位置を可変できるようにした構成とする。
この発明によれば、搬送アームの回転移動の停止位置を可変できるので、回転方向の基板受け渡し位置を可変できる。
【００１０】
また本発明では、請求項１〜５のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記搬送アームの回転方向が反転可能とされた構成とする。
この発明によれば、搬送アームの回転方向が反転可能とされるので、汎用性に優れた装置とすることができる。
【００１１】
また本発明では、請求項１〜６のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記搬送アームが、エアシリンダにより伸縮される構成とする。
この発明によれば、搬送アームがエアシリンダにより伸縮されるので、簡素な装置とすることができる。
【００１２】
また本発明では、請求項１〜６のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記搬送アームが、伸縮量が可変できる可変伸縮手段により伸縮される構成とする。
この発明によれば、搬送アームが可変伸縮手段により伸縮されるので、搬送アームの伸縮量を可変して、回転の径方向の位置調整を行うことができ、汎用性に富んだ装置とすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の基板搬送装置によれば、搬送アームを伸縮して回転半径を伸縮可能とすることにより、回転時に掃く面積を可変にしてスペースの有効活用を図ることができるとともに、基板受け渡し位置を可変にして汎用性を高めることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下では、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
本発明の実施形態に係る基板搬送装置について説明する。
図１（ａ）は、本発明の実施形態に係る基板搬送装置の主要部について説明するための平面説明図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【００１５】
本実施形態の基板搬送装置３は、例えば半導体ウエハなどの基板を効率よく搬送するための装置であり、その概略構成は、不図示のモータと、そのモータにより鉛直軸に対して時計回りまたは反時計回りに所望の角度だけ回転可能とされた軸部９（回転軸）と、軸部９の上端側に、平面視で１２０°に等配された３本の搬送アーム１１とからなる。
モータは、正逆転可能で適宜の回転角で停止可能なモータであれば、どのようなモータでもよい。
また半導体ウエハ１０を上下方向に搬送するために、モータをＺステージなどで支持しておいてもよい。
【００１６】
軸部９の内部には、３つの搬送アーム１１に対してエア供給とエア吸引とを行うための少なくとも６系統のエア流路（不図示）が設けられ、多軸ロータリ継手１３を介して、外部に延ばされたエア配管１３ａ…とそれぞれ独立に接続されている。
多軸ロータリ継手１３は、搬送アーム１１内に設けられた回転系のエア流路を固定系のエア配管１３ａ…に対して回転自在に接続するもので、これにより、配管などが回転の妨げとならず、搬送アーム１１が時計回りにも反時計回りにも無制限に回転できるようになっている。
【００１７】
搬送アーム１１は、基板保持部１１ｂ、直動ガイド部１１ｃ、およびエアシリンダ１２を備える。
基板保持部１１ｂは、一端が直動ガイド部１１ｃとスライド可能に接続され、他端側に異なる長さで延ばされた略Ｌ字状の二股アームを有するアーム部材からなる。
二股アームは、半導体ウエハ１０を受け渡す際、受け渡し相手側の受け渡し機構が基板の下方に侵入してもお互いに干渉しないように逃げた形状とされている。
基板保持部１１ｂの上面には、半導体ウエハ１０を載せた状態で真空吸引により吸着するための吸着パッド１１ａが同一直線上にない３箇所に設けられている。
【００１８】
基板保持部１１ｂ内部には、吸着パッド１１ａの開口から真空吸引するための吸引用配管（不図示）が設けられている。吸引用配管の出口側開口には、可撓性を有する真空チューブ１１ｄが接続されている。真空チューブ１１ｄの他方の端部は直動ガイド部１１ｃに沿うかまたはその内部を通って、軸部９の内部のエア流路の１つに接続されている。
【００１９】
直動ガイド部１１ｃは、端部が軸部９に固定されて水平方向に放射状に延設され、その延設方向に沿って基板保持部１１ｂの一端側を滑らかにスライドできるようにしたものである。
直動ガイド部１１ｃの長手方向の中間部と先端部には、基板保持部１１ｂの移動における位置再現性を高めるために、基板保持部１１ｂの所定範囲外への移動を規制する突起であるクリック部１１ｅ、１１ｅが配置されている。
【００２０】
基板保持部１１ｂと直動ガイド部１１ｃとのスライド機構は、基板保持部１１ｂを低摩擦で高精度に移動できれば、どのような直動機構により構成してもよいが、例えば適宜のリニアブッシュとリニアガイドとの組合せなどを採用することができる。
【００２１】
エアシリンダ１２は、エア配管１３ａ…のうちエアを供給する配管に、軸部９内部のエア流路を介して接続され、電磁弁の切替制御により所定範囲で伸縮動作ができるようになっている。
そして、その一端が直動ガイド部１１ｃに、先端が基板保持部１１ｂに、それぞれ固定されて、伸縮方向が直動ガイド部１１ｃの延設方向に沿うように配置されている。
【００２２】
次に基板搬送装置３の動作について説明する。
図２（ａ−１）、図２（ａ−２）は、本発明の実施形態に係る基板搬送装置の動作時の回転範囲を説明するための模式説明図である。
基板搬送装置３によれば、３枚の半導体ウエハ１０をそれぞれ基板保持部１１ｂ上に吸着保持した状態で軸部９を中心として搬送アーム１１を回転させることにより、各半導体ウエハ１０を所望角度で所望方向に回転させることができる。その際、電磁弁を切替制御してエアシリンダ１２を伸縮させることにより、搬送アーム１１を伸縮し、半導体ウエハ１０の回転移動半径を２通りに可変できる。
図２（ａ−１）には、搬送アーム１１を伸ばして旋回させたときに搬送アーム１１上の半導体ウエハ１０が掃く範囲を旋回範囲Ｂとして示した。また同様に、図２（ａ−２）には、搬送アーム１１を収縮して旋回させたときの旋回範囲Ｃ１として示した。
【００２３】
このように、基板搬送装置３では、２種類の旋回範囲を１つの装置で実現できるから、２種類の搬送経路に対応することができ汎用性が向上するという利点がある。
また、図２（ａ−１）に示すように、搬送アーム１１を伸長すれば、搬送アーム１１の収縮時には３枚同時に載置できないような相対的に大径の半導体ウエハ１０Ａも搬送することができるという利点もある。したがって、径の異なる半導体ウエハ１０、１０Ａの搬送を１つの装置で兼ねることができて汎用性が向上するものである。また本実施の形態では、搬送アームの伸縮機構にエアシリンダを用いているので、安価で軽量な搬送アームにすることができる。
【００２４】
また、基板搬送装置３では、図２（ａ−２）に示すように、各搬送アーム１１を回転方向の所定位置で伸長することにより、伸長範囲Ｃ２に半導体ウエハ１０を進出させることができる。
このようにすれば、所定位置以外では旋回範囲を狭めておくことができるので、小型の装置とすることができる。例えば所定位置を基板の受け渡し位置とすれば、それ以外の位置で受け渡しを行う他の装置に対して空きスペースが生じるから、他の装置と近接して配置することができ、省スペースとなるという利点がある。
なお、伸長範囲Ｃ２は３箇所にあるとして説明したが、搬送アーム１１は独立に伸縮できるので、１または２箇所で伸長するようにしてもよい。
【００２５】
次に、本実施形態の第１変形例について説明する。
図３（ａ）は、本実施形態の第１変形例の主要部について説明するための平面説明図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるＦ−Ｆ断面図である。
本変形例の基板搬送装置３０は、上記実施形態の基板搬送装置３において、搬送アーム１１に代えて搬送アーム２０を、多軸ロータリ継手１３に代えてロータリコネクタ１８を備えるようにしたものである。
以下、上記の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００２６】
搬送アーム２０は、搬送アーム１１のエアシリンダ１２に代えて直動駆動部１７（可変伸縮手段）を設け、それにより不要となったクリック部１１ｅ、１１ｅを直動ガイド部１１ｃから除去したものである。
【００２７】
直動駆動部１７は、直動ガイド部１１ｃにモータ１５ｂで駆動される駆動プーリ１５ａとアイドラプーリ１６とを配置し、その間にベルト１４を巻き掛けてベルト１４が直動ガイド部１１ｃの延設方向に沿って移動できるようにしたものである。そして、基板保持部１１ｂに設けられたベルト固定部１１ｇとベルト１４とが固定され、ベルト１４の移動に同期して基板保持部１１ｂが移動できるようになっている。
したがって、直動駆動部１７は、基板保持部１１ｂをベルト１４の張架範囲の任意位置で停止可能な往復移動機構となっている。
【００２８】
モータ１５ｂは、ベルト１４の駆動量を所望の精度で制御できれば、どのようなモータでもよいが、例えば回転角制御が可能なステッピングモータなどを採用することができる。また基板保持部１１ｂの移動量を検知するセンサを設けて位置制御を行えばＤＣサーボモータなども採用できる。
ベルト１４、駆動プーリ１５ａ、アイドラプーリ１６は、適宜の形状のものをそれぞれ組み合わせて用いることができる。例えばベルト１４は、丸ベルトやタイミングベルト（歯付ベルト）などを採用できる。
ロータリコネクタ１８は、吸着パッド１１ａに接続され、真空チューブ１１ｄで仲介された３系統のエア流路を回転自在に接続する多軸ロータリ継手と、モータ１５ｂ…の電力供給線および制御信号線を回転自在に接続する電気的なロータリコネクタとの機能を備えるコネクタ部材である。これにより、配管や配線が回転の妨げとなることなく、搬送アーム１１が時計回りにも反時計回りにも無制限に回転できるようになっている。
【００２９】
本変形例の基板搬送装置３０によれば、基板搬送装置３と同様に搬送アーム２０を回転の径方向に独立に伸縮できる。
それに加えて、直動駆動部１７によれば搬送アーム１１の伸縮量を可変できるので、半導体ウエハ１０を搬送する位置の自由度を増すことができる。その結果、基板搬送装置３に比べてより高い汎用性を得ることができるという利点がある。
【００３０】
また、搬送アーム１１を回転中に伸縮量を変えることもできる。例えば、図２（ａ−２）に示すように、搬送アーム１１を最大限伸ばした位置から、次に最大限伸ばす位置まで回転する間に、搬送アーム１１を連続的に伸縮させ、半導体ウエハ１０が三角おむすび状の範囲（旋回範囲Ｃ３）を掃いて移動することが可能となる。
このようにすれば、省スペースとできるのは、基板搬送装置３の場合と同様であり、さらに伸縮を回転時間内に行うことにより、半導体ウエハ１０の搬送時間を短縮することができるという利点がある。
【００３１】
次に、本実施形態の第２変形例について説明する。
図４（ａ）は、本実施形態の第２変形例の主要部について説明するための平面説明図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）におけるＧ−Ｇ断面図である。
本変形例の基板搬送装置３１は、上記実施形態の基板搬送装置３において、搬送アーム１１に代えて搬送アーム２１を、多軸ロータリ継手１３に代えてロータリコネクタ１８を備えるようにしたものである。
以下、上記の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００３２】
搬送アーム２１は、搬送アーム１１のエアシリンダ１２に代えてボールネジ送り機構１９（可変伸縮手段）を設け、それにより不要となったクリック部１１ｅ、１１ｅを直動ガイド部１１ｃから除去したものである。
【００３３】
ボールネジ送り機構１９は、直動ガイド部１１ｃに固定したモータ１９ｂの回転軸に直動ガイド部１１ｃの延設方向に沿って延ばされたボールネジ１９ａを接続した直動移動機構である。
基板保持部１１ｂには、ボールネジ１９ａと螺合するボールネジハウジング１１ｆが固定されている。そのため、モータ１９ｂを時計回りおよび反時計回りにそれぞれ回転することにより、ボールネジハウジング１１ｆがボールネジ１９ａ上を移動できるようになっている。
したがって、ボールネジ送り機構１９は、基板保持部１１ｂをボールネジ送り機構１９の長さ範囲で移動し、任意位置で停止可能な往復移動機構となっている。
【００３４】
本変形例の基板搬送装置３１によれば、基板搬送装置３と同様に搬送アーム２１を回転の径方向に独立に伸縮できる。
それに加えて、基板搬送装置３０と同様に搬送アーム１１の伸縮量を可変できるので、基板搬送装置３０と同様の作用効果を有する。
【００３５】
次に、本実施形態の第３変形例について説明する。
図５（ａ）は、本実施形態の第３変形例の主要部について説明するための平面説明図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）におけるＨ−Ｈ断面図である。
本変形例の基板搬送装置３２は、上記実施形態の基板搬送装置３において、搬送アーム１１に代えて搬送アーム２２を備えるようにしたものである。
以下、上記の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００３６】
搬送アーム２２は、搬送アーム１１の直動ガイド部１１ｃに代えてリンク伸縮機構２２ｃを設け、基板保持部１１ｂに代えて基板保持部２２ｂを設けたものである。
リンク伸縮機構２２ｃは、一端が軸部９に接続され、他端が基板保持部１１ｂに接続されて、その中間で折り畳むことにより、それぞれの端部を軸部９の径方向に移動可能とするとともに、半導体ウエハ１０の荷重を鉛直方向に支持するための折り畳みアーム部材である。
なお、リンク伸縮機構２２ｃは、図５では、Ｖ字状の折り畳みアーム部材を示したが、これに限らず、例えばパンタグラフのような平行リンクなどの適宜のリンク機構を採用することができる。
【００３７】
基板保持部２２ｂは、基板保持部１１ｂにおいて、直動ガイド部１１ｃと接続されていた部分をリンク伸縮機構２２ｃの他端部と接続できる構成に代えたものである。吸着パッド１１ａから真空吸引するための配管は、特に図示しないが、可撓性の真空チューブをリンク伸縮機構２２ｃに沿って配置することにより実現される。
エアシリンダ１２は、一端がリンク伸縮機構２２ｃの一端に固定され、他端がブラシ部２２ｂに固定される。
【００３８】
本変形例の基板搬送装置３２によれば、基板搬送装置３と同様に搬送アーム１２を回転の径方向に独立に伸縮できる。
それに加えて、基板保持部２２ｂをリンク伸縮機構２２ｃにより伸縮自在に保持するので、縮み側の最小値を比較的小さくできるという利点がある。
またスライド部を設ける場合に比べて簡素な構成とすることができ、メンテナンスも容易となるという利点がある。
なお、エアシリンダ１２に代えて、第１、２変形例のような直動駆動部１７やボールネジ送り機構１９などの任意位置で停止可能な機構を用いて搬送アーム２２を伸縮してもよく、その場合には、第１、２変形例と同様な作用効果を備える。
【００３９】
次に、本実施形態の基板搬送装置３を基板検査システム１に用いた例で、本実施形態の作用効果について説明する。
図６は、本発明の実施形態に係る基板搬送装置を用いた基板検査システムの概略構成について説明するため平面説明図である。
基板検査システム１の概略構成は、ローダ部４、検査部２、全体の制御を行う制御部８、および操作入力や検査結果出力を行う操作表示部７からなる。
【００４０】
ローダ部４は、ウエハキャリア６ａにより供給される複数の半導体ウエハ１０を基板搬送ロボット５ａにより１枚ずつシステム内部に搬送するとともに、検査を終わった半導体ウエハ１０を基板搬送ロボット５ｂで搬送してウエハキャリア６ｂに収納するものである。
【００４１】
検査部２は、半導体ウエハ１０の拡大画像を撮像してミクロ検査を行うミクロ検査装置２ａと、半導体ウエハ１０の搬送を行う基板搬送装置３と、半導体ウエハ１０を揺動させて目視によりマクロ検査を行うためのマクロ検査装置（不図示）とを備える。
ローダ部４、マクロ検査装置、およびミクロ検査装置２ａは、平面視でこの順に反時計回りに配置され、基板搬送装置３を取り囲んで配置される。
【００４２】
基板搬送装置３は、搬送アーム１１を伸ばすことにより、ローダ部４に隣接する受け渡し位置Ｐ１に搬送アーム１１を停止させることができる。
また、その位置を１２０°回転移動した観察位置Ｐ２にも、搬送アーム１１を伸ばして停止させることができる。観察位置Ｐ２では、半導体ウエハ１０の揺動機構が配置され、制御部８に着座する作業者が半導体ウエハ１０の表面を近くで目視検査できるようになっている。
また、その位置を１２０°回転したミクロ検査装置２ａ側の位置では、搬送アーム１１は収縮されて受け渡し位置Ｐ３に半導体ウエハ１０が配置できるようになっている。
【００４３】
基板検査システム１の動作について、図６を参照して、半導体ウエハ１０の搬送を中心に説明する。なお、基板搬送装置３に含まれる個々の部材については、図１（ａ）、（ｂ）を参照する。
まずウエハキャリア６ａから基板搬送ロボット５ａにより半導体ウエハ１０が取り出され、受け渡し位置Ｐ１に搬送される。図示しないガイドなどにより半導体ウエハ１０の位置を補正して、搬送アーム１１上の所定位置に配置する。そして、エア配管１３ａからエアを吸引して、半導体ウエハ１０を搬送アーム１１上に吸着する。
【００４４】
そして、エアシリンダ１２を収縮して搬送アーム１１を軸部９側に移動して、図示反時計回りに１２０°回転させる。
この移動後の搬送アーム１１を観察位置Ｐ２まで伸長し、半導体ウエハ１０を観察位置Ｐ２に移動する。そして吸着を解除して、半導体ウエハ１０をマクロ検査装置に受け渡しマクロ検査工程を行う。検査終了後、半導体ウエハ１０が観察位置Ｐ２に戻されて搬送アーム１１上に吸着される。
【００４５】
一方、新たにローダ部４側に移動された搬送アーム１１は、受け渡し位置Ｐ１まで伸長される。このとき、もしミクロ検査を終了した半導体ウエハ１０が吸着されていれば、吸着を解除して、基板搬送ロボット５ｂによりウエハキャリア６ｂに移載される。
半導体ウエハ１０が載っていない場合、または基板搬送ロボット５ｂにより移載されて空いた場合は、基板搬送ロボット５ａにより新たな半導体ウエハ１０が載置され、上記の工程を繰り返す。
【００４６】
次に、搬送アーム１１をさらに反時計回りに１２０°回転することにより、マクロ検査が済んだ半導体ウエハ１０を受け渡し位置Ｐ３に搬送し、吸着を解除する。ここで、半導体ウエハ１０は、ミクロ検査装置２ａ側の搬送機構により所定の検査位置に移動され、ミクロ検査が行われる。検査終了後、半導体ウエハ１０は搬送アーム１１に戻されて、吸着される。
【００４７】
このようにして、３つの半導体ウエハ１０が受け渡し位置Ｐ１、観察位置Ｐ２、受け渡し位置Ｐ３へ順次移動することにより、ウエハキャリア６ａ、６ｂへの受け渡し、マクロ検査、ミクロ検査が、所定タクトで同時並行して進められる。
【００４８】
このような基板検査システム１における基板搬送装置３によれば、受け渡し位置Ｐ１、観察位置Ｐ２、受け渡し位置Ｐ３を同一円周上に配置しなくともよいので、システムのレイアウトの自由度を高められる。
例えば、上記に説明したように、受け渡し位置Ｐ１をローダ部４に比較的近い位置として基板搬送ロボット５ｂの搬送距離を短縮することができる。また、搬送アーム１１を伸長して観察位置Ｐ２を観察者に好都合な位置とすることができるので好都合である。
一方、上記のように受け渡し位置Ｐ３では、搬送アーム１１を収縮した位置とすることにより、ミクロ検査装置２ａと近接して配置することができる。この場合、基板搬送装置３とミクロ検査装置２ａとを比較的狭い空間に配置することができる。そのため、基板検査システム１を小型化することができる。
【００４９】
また基板検査システム１では、半導体ウエハ１０の製造工程が切り替えられて、ウエハ径や基板種類が変更されるなどして、検査部２に用いる装置を更新する必要が生じることがある。このような場合、従来は、その切替、更新に合わせて、基板搬送装置３の受け渡し位置などが異なる位置に設計された別の装置を導入していた。
しかし基板搬送装置３では、搬送アーム１１を伸縮させることができるので、共通使用することが可能となるものである。さらに、基板搬送装置３に代えて、基板搬送装置３０、３１、３２を用いれば、搬送アームの伸縮量を可変できるので、より大きな変更が入った場合でも汎用的に使用することが可能となる。
【００５０】
なお、上記の説明では、基板搬送装置の１つの実施形態と、３つの変形例について説明したが、これらは、本発明の技術的思想の範囲で、適宜構成要素を組み合わせて実施してもよいことは言うまでもない。
【００５１】
また、上記の説明では、搬送アームを３本備える例で説明したが、必要なら２本でも、４本以上でもよい。例えば、図２（ｂ−１）、図２（ｂ−２）は、搬送アーム１１を２本を回転対称の位置に配置した場合の、伸長時の旋回範囲Ｄと、収縮時の旋回範囲Ｅ１、伸長範囲Ｅ２を示した。この場合でも、３本の場合と同様の作用効果を有する。
このような場合、本実施形態では、軸部９を回転させるモータは任意の角度で停止できるものを採用しているので、搬送アーム１１の構成を代えるだけで、回転角度を１８０°に変えるだけでよいものである。
【００５２】
また、上記の説明では、伸長と収縮との２段階を切り替える場合の例として、エアシリンダを用いた例で説明したが、エア供給ができない場合などには、エアシリンダに代えて、ソレノイドなどの電磁アクチュエータなどを用いることもできる。その場合、モータなどを用いないので、簡素な装置とすることができる。
【００５３】
また、上記の説明では、基板搬送装置を基板検査システムに用いる例で説明したが、用途がこれに限定されものではない。例えば、基板製造ラインなどで用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施形態に係る基板搬送装置の主要部について説明するための平面説明図およびそのＡ−Ａ断面図である。
【図２】本発明の実施形態の基板搬送装置の動作時の回転範囲を説明するための模式説明図である。
【図３】本発明の実施形態の第１変形例の主要部について説明するための平面説明図およびそのＦ−Ｆ断面図である。
【図４】本発明の実施形態の第２変形例の主要部について説明するための平面説明図およびそのＧ−Ｇ断面図である。
【図５】本発明の実施形態の第３変形例の主要部について説明するための平面説明図およびそのＨ−Ｈ断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る基板搬送装置を用いた基板検査システムの概略構成について説明するため平面説明図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  基板検査システム
２  検査部
２ａ  ミクロ検査装置
３、３０、３１、３２  基板搬送装置
４  ローダ部４
９  軸部（回転軸）
１０、１０Ａ  半導体ウエハ（基板）
１１、２０、２１、２２  搬送アーム
１１ｂ、２２ｂ  基板保持部
１１ｃ  直動ガイド部
１２  エアシリンダ
１３  多軸ロータリ継手
１４  ベルト
１５ｂ、１９ｂ  モータ
１７  直動駆動部（可変伸縮手段）
１８  ロータリコネクタ
１９  ボールネジ送り機構（可変伸縮手段）
２２ｃ  リンク伸縮機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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