(57)【要約】【課題】  ガラス基板に対する異物の付着発生がないと共に、搬送時における上流から下流への基板の受け渡しが基板に損傷を与えることなく円滑に行える基板搬送装置を提供する。【解決手段】  両側に平行配置したエンドレス走行体１６を所定の方向に回動するよう連動し、このエンドレス走行体１６間に、エンドレス走行体１６の回動方向に対して長さ方向が直角の配置となる多数本の載置部材固定軸１７を適宜な間隔で架設し、上記した各載置部材固定軸１７にそれぞれ複数個の基板載置部材１８が固定されている。【選択図】    図１
2005194060.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の方向に回動するよう両側に平行配置したエンドレス走行体間に、エンドレス走行体の回動方向に対して長さ方向が直角の配置となる多数本の載置部材固定軸を適宜な間隔で架設し、上記した各載置部材固定軸にそれぞれ複数個の基板載置部材を固定した基板搬送装置。
【請求項２】
上記エンドレス走行体の近接位置に、このエンドレス走行体の走行部分に平行するレールを配置し、上記各載置部材固定軸の端部にレール上を転動するガイドローラを設けた請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
上記エンドレス走行体とレールの部分をカバーで覆い、このカバーに吸引手段を設けた請求項１又は２に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガラス基板等を搬送する基板搬送装置、更に詳しくは、液晶パネルであるガラス基板等へのホコリやゴミ等の異物の付着を防止すると共に、ガラス基板を破損しないように搬送することができる基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルの製造は、二枚のガラス板を貼り合わせてその間に液晶を封入し、この貼り合わせたガラス板を所定の大きさに切断してガラス基板とした後、図７のように、ガラス基板Ａ（以下単に基板という）は、切断時に付着したガラス屑（カレット）を除去すべくカレット洗浄装置１に送られ、洗浄ユニット２でカッター刃や研磨シート等で削り落として洗浄した後、偏光板貼り付け装置３に搬送し、貼り付けテーブル４と偏光板貼り付けユニット５で両面に偏光板を貼り合わせることによって行われる。
【０００３】
上記のような各製造工程間や装置内での基板Ａの搬送には、ローラコンベア方式と、ベルトコンベア方式の２通りの方式が知られている。
【０００４】
前者のローラコンベア方式は、図７と図８のように、搬送方向と直角に設けた多数本のローラ６を回転自在に配置し、このローラ６で基板Ａを支持し、ローラ６を回転させることによって基板Ａを一方向に移動させて搬送するようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
後者のベルトコンベア方式は、図９のように、駆動ローラ７と従動ローラ８の間にエンドレスの搬送ベルト９を張設し、駆動ローラ８をモータで駆動することで搬送ベルト９を回転させて基板Ａを搬送する。
【０００６】
通常、搬送ベルト９の垂れ下がりを防止するため、駆動ローラ７と従動ローラ８間に張設された搬送ベルト９の上部走行部分の下部に支持板１０が設置されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−１２４１８１号公報  （図１、段落００１０）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、前者のローラコンベア方式は、回転するローラ６上で基板Ａのみを移動させるため、ローラ６から基板Ａが離れる際に、基板Ａの先端部が垂れ下がり、特に大型の基板Ａではこの垂れ下がり発生が顕著となり、受け取り側ローラ６と接触してゴミやホコリ等の異物が発生し、これが基板Ａに付着して不良が発生するという問題がある。
【０００９】
ここで、並列するローラ６の配置間隔を狭く設定すると、上記のような問題は軽減されるが、ローラ６の本数を増やす必要があり、搬送装置のコストアップにつながることになる。
【００１０】
後者のベルトコンベア方式は、搬送ベルト９と駆動ローラ７及び従動ローラ８が擦れると共に、搬送ベルト９と支持板１０が擦れるため、それぞれの部分で異物が発生し、搬送ベルト９の周回に伴って異物が基板Ａに付着し、不良が発生するという問題がある。
【００１１】
また、搬送ベルト９と基板Ａが面接触するため、基板Ａに異物が付着し易いと共に、搬送距離が長い場合に、基板搬送装置を直列に複数台並べて使用すると、図１０のように搬送装置間での基板Ａの受け渡し時に、基板Ａの先端部が受け取り側装置の搬送ベルト９に衝突し、基板Ａの先端部が擦られることで、不良品の発生原因となる。
【００１２】
そこで、この発明の課題は、基板に対する異物の付着発生がないと共に、搬送時における上流から下流への基板の受け渡しが基板に損傷を与えることなく円滑に行える基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記のような課題を解決するため、この発明は、所定の方向に回動するよう両側に平行配置したエンドレス走行体間に、エンドレス走行体の回動方向に対して長さ方向が直角の配置となる多数本の載置部材固定軸を適宜な間隔で架設し、上記した各載置部材固定軸にそれぞれ複数個の基板載置部材を固定した構成を採用したものである。
【００１４】
上記エンドレス走行体の近接位置に、このエンドレス走行体の走行部分に平行するレールを配置し、上記各載置部材固定軸の端部にレール上を転動するガイドローラを設けるようにしたり、上記エンドレス走行体とレールの部分をカバーで覆い、このカバーに吸引手段を設けた構造とすることができる。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によると、エンドレス走行体間に架設した各載置部材固定軸にそれぞれ複数個の基板載置部材を固定し、基板と基板載置部材を一体に移動させるようにしたので、基板の先端部分と基板載置部材が衝突することが無いと共に、基板と基板載置部材が擦れることがなく、また基板と基板載置部材との接触面積が少ないので、異物の発生や異物の付着等の問題が生じない。
【００１６】
また、基板搬送装置を直列に並べて複数台設ける場合、搬送装置間での基板の受け渡し時に、受け取り側装置の基板載置部材が基板の先端部を下面側からすくい上げるようにして基板を受け取るので、基板の先端部が垂れ下がっていても受け取り側装置の基板載置部材が基板に衝突することなく円滑に受け取ることができ、搬送不良が発生しない。
【００１７】
また、エンドレス走行体の近接位置に、このエンドレス走行体の上部走行部分に平行するレールを設け、載置部材固定軸の両端にレール上を転動するガイドローラを取り付けるようにすれば、エンドレス走行体を支持するための他の支持部材が不要になり、エンドレス走行体と支持部材の摺動による異物の発生が防げる。
【００１８】
更に、エンドレス走行体の上部走行部分と下部走行部分に対してレールを設ければ、エンドレス走行体の上下の走行部分に撓みが発生することがなく、エンドレス走行体の円滑な走行が行える。
【００１９】
また、カバーでエンドレス走行体とレールの部分を覆い、このカバーに吸引手段を設ければ、エンドレス走行体とレールの部分で発生した異物を吸引廃棄することができ、基板に異物が付着するのを防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
矩形状に組んだ棧の上面で両側に支持壁を対向状に立設し、両支持壁間の一端側にモータと連動した駆動軸と他端側に従動軸を架設し、駆動軸の両端に駆動プーリと従動軸の両端に従動プーリを設け、前後に対応する駆動プーリと従動プーリの間にベルト状のエンドレス走行体をそれぞれ巻架し、両側に平行配置された両エンドレス走行体間に、エンドレス走行体の回動方向に対して長さ方向が直角の配置となる多数本の載置部材固定軸を、エンドレス走行体に設けた連結部材でこの載置部材固定軸の両端を支持することによって架設し、上記した各載置部材固定軸には、同軸心状に外嵌固定した芯円状の基板載置部材がそれぞれ複数個設けられている。
【００２１】
また、支持壁の対向面で、エンドレス走行体の上部走行部分と下部走行部分の対応する位置に水平のレールが固定され、上記連結部材から突出する載置部材固定軸の両端にレール上を転動するガイドローラを取り付け、エンドレス走行体の上部走行部分と下部走行部分が撓むことのないようになっている。
【００２２】
更に、上記カバーは、支持壁の対向面側にエンドレス走行体とレールの部分を覆うように設けられ、このカバーにおける載置部材固定軸の貫通部分はエンドレス走行体の回動方向に沿って長孔となり、載置部材固定軸の回動が支障なく行えるようになっている。
【００２３】
以下、この発明の実施例を図面図１乃至図６に基づいて説明する。
【００２４】
図示のように、基板搬送装置１１は、両側の横棧１３と前棧１４及び後棧１５で矩形枠状に組み立て、この前棧１４及び後棧１５の間に棧１２を設けて枠体を構成している。
【００２５】
この両側横棧１３上にエンドレス走行体１６を配置し、両側のエンドレス走行体１６間に多数本の載置部材固定軸１７を一定間隔で架設し、各載置部材固定軸１７に、同軸心状に外嵌固定した短い芯円状の基板載置部材１８がそれぞれ複数個設けられている。
【００２６】
なお、基板載置部材１８の形状は芯円状のものにこだわらず、基板Ａの載置部分の接触面積が少なくなる形状のもの（例えば楕円、三角形、球等）が好ましく使用できる。
【００２７】
上記両側横棧１３の上面に支持壁１９を対向状に立設し、両支持壁１９間の一端側に駆動軸２０と他端側に従動軸２１を架設し、駆動軸２０の両端に駆動プーリ２２と従動軸２１の両端に従動プーリ２３を設け、前後に対応する駆動プーリ２２と従動プーリ２３の間にベルト状のエンドレス走行体１６をそれぞれ巻架し、上記駆動軸２０は、図３のように、固定枠１２に固定したモータ２４とプーリ２５及び駆動ベルト２６を介して連動し、このモータ２４の起動により、両側エンドレス走行体１６が所定の方向に回動するようになっている。
【００２８】
上記エンドレス走行体１６の外周面に連結部材２７が一定の間隔で設けられ、両エンドレス走行体１６間に配置した載置部材固定軸１７は両端部が両側の上記連結部材２７で支持され、エンドレス走行体１６の回動により、この回動方向に対して長さ方向が直角の配置で移動するようになっている。
【００２９】
上記両側支持壁１９の対向面で、エンドレス走行体１６の上部走行部分と下部走行部分の対応する位置に水平の上レール２８と下レール２９が固定され、上記連結部材２７から突出する載置部材固定軸１７の両端にこのレール２８及び２９上を転動するガイドローラ３０を載置部材固定軸１７に対してベアリング等で回動自在に取り付け、ガイドローラ３０が上レール２８と下レール２９の上面に沿って移動することにより、エンドレス走行体１６の上部走行部分と下部走行部分が撓むことのないようにしている。
【００３０】
また、上記した両側横棧１３における両側支持壁１９の対向面側には、エンドレス走行体１６とレール２８及び２９の部分を覆うカバー３１が設けられ、このカバー３１の載置部材固定軸１７が貫通する部分は、図２のように、エンドレス走行体１６の回動方向に沿って長孔３２となり、載置部材固定軸１７の移動が支障なく行えるようになっていると共に、カバー３１の下部にはカバー３１内を吸引源によって吸引するための吸引アダプタ３３が設けられている。
【００３１】
なお、図１のように、搬送せんとする基板Ａは、大型基板Ａ１から小型基板Ａ２まで幾つかのサイズがあり、これらの基板Ａを安定よく支持して搬送することができるよう、各載置部材定軸１７に設ける基板載置部材１８の配置間隔を、小型基板Ａ２と中型基板を支持する配置にした載置部材固定軸１７と、小型基板Ａ２と大型基板Ａ１を支持する配置にした載置部材固定軸１７を交互に配置している。
【００３２】
なお、基板載置部材１８は基板Ａのサイズに応じ、載置部分固定軸１７に沿って適宜位置に固定できるようになっている。
【００３３】
この発明の基板搬送装置１１は上記のような構成であり、液晶パネルの各製造工程や装置内でのガラス基板の搬送に用いるものであり、図５と図６は、複数台の装置１１を連結使用して基板Ａを搬送する状態を示し、各基板搬送装置１１は、モータ２４の起動により、両側のエンドレス走行体１６が、上部走行部分が後部から前部に向かって図５（ｂ）の時計方向に等速で回動し、基板搬送装置１１上に供給された基板Ａは、エンドレス走行体１６の上部走行部分間の前後の載置部材固定軸１７に設けた複数の基板載置部材１８によって水平に支持され、基板Ａの載った載置部材固定軸１７は図５（ｂ）の左から右側に向けて水平移動して基板Ａを搬送する。
【００３４】
基板載置部材１８は、載置部材固定軸１７の軸方向に複数が点在的に設けられ、基板Ａと基板載置部材１８の接触部分を極端に少なくすることができ、また、基板載置部材１８は移動時に回転することがないので、基板載置部材１８と基板Ａは擦れることがなく、異物の発生をなくすことができる。
【００３５】
また、両側のエンドレス走行体１６とガイドローラ３０が転動するレール２８、２９の部分がカバー３１によって覆われ、このカバー３１内が吸引アダプタ３３と接続された適宜な吸引手段（図示しない）によって吸引されているので、エンドレス走行体１６とガイドローラ３０及びレール２８と２９の部分で異物が発生したとしても、この異物を吸引アダプタ３３を通じて吸引手段で吸引することにより、基板Ａを搬送する部分への異物の拡散はなく、従って、異物が基板Ａに付着するのを有効に防止することができる。
【００３６】
図６は、前後の基板搬送装置１１間における基板Ａの受け渡し状態を示し、図６（ａ）のように、後位基板搬送装置１１で搬送される基板Ａが前位基板搬送装置１１上に送り出される時、最前部に達した基板載置部材１８は下方に移行するので、この基板載置部材１８による支持が解かれた基板Ａの先端部は、同図二点鎖線で示すように、先端部が下方に垂れ下がり状となって前位基板搬送装置１１上に進入する。
【００３７】
図６（ｂ）のように、前位基板搬送装置１１の後端側に戻った基板載置部材１８は、下方から上方に回動しながら移動するので、この基板載置部材１８が下面側からすくい上げるように基板Ａの先端部を受け取ることになり、基板Ａと基板載置部材１８の衝突の発生がなく、基板Ａの先端部が垂れ下がっていても、図６（ｃ）のように、垂れ下がりに何ら関係なく基板Ａを円滑に受け取ることができ、この前位基板搬送装置１１で更に基板Ａを前方に搬送することになる。
【００３８】
なお、この発明の基板搬送装置の各構成部材は以上述べた実施例のものに限定されるものではなく、この発明の目的の範囲内で適宜設計変更して実施することができる。
【００３９】
しかし、エンドレス走行体１６についてはチェーンとするのでは駆動時に振動が生じることが考えられるので、実施例のようなエンドレスベルト状とするのが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】基板搬送装置の全体構造を示す一部切り欠き平面図
【図２】図１の矢視Ａ−Ａの一部を切り欠いた側面図
【図３】図２の要部を拡大した縦断側面図
【図４】図１の矢視Ｂ−Ｂの要部を拡大した縦断正面図
【図５】（ａ）は基板搬送装置を複数台連結使用した例を示す平面図、（ｂ）は同縦断正面図
【図６】複数台の基板搬送装置における基板の受け渡し方法を示し、（ａ）は後位基板搬送装置で搬送される基板が前位基板搬送装置上に送り出される直前の状態を示す縦断正面図、（ｂ）は基板が前位基板搬送装置上に送り出された状態を示す縦断正面図、（ｃ）は基板の先端部が前位基板搬送装置に受け取られた状態を示す縦断正面図
【図７】従来の搬送装置の全体構造を示す説明図
【図８】従来の搬送装置を示すローラコンベア方式の要部を拡大した説明図
【図９】従来の搬送装置を示すベルトコンベア方式の説明図
【図１０】（ａ）は従来のベルトコンベア方式の基板搬送時の搬送ミスを示す送り出される直前の説明図、（ｂ）は前位基板搬送装置のベルトに基板の先端が衝突した状態を示す説明図
【符号の説明】
【００４１】
１      カレット洗浄装置
２      洗浄ユニット
３      偏光板貼り付け装置
４      貼り付けテーブル
５      偏光板貼り付けユニット
６      ローラ
７      駆動ローラ
８      従動ローラ
９      搬送ベルト
１０    支持板
１１    基板搬送装置
１２    棧
１３    横棧
１４    前棧
１５    後棧
１６    エンドレス走行体
１７    載置部材固定軸
１８    基板載置部材
１９    支持壁
２０    駆動軸
２１    従動軸
２２    駆動プーリ
２３    従動プーリ
２４    モータ
２５    プーリ
２６    駆動ベルト
２７    連結部材
２８    上レール
２９    下レール
３０    ガイドローラ
３１    カバー
３２    長孔
３３    吸引アダプタ
３４    駆動ユニット
Ａ      基板
Ａ１      大型基板
Ａ２      小型基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005194060.tif 000009
【図８】
2005194060.tif 000010
【図９】
2005194060.tif 000011
【図１０】
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