(57)【要約】【課題】剥離シートと粘着シートとの剥離力の制御が容易で、帯電性が低く、廉価な剥離シート担持シリコーン粘着シートを提供する。【解決手段】剥離シート担持シリコーン粘着シート１０は、（１）紙支持体１２とその紙支持体の一方の表面上に設けた剥離性樹脂層１３とを含む剥離原紙に対してエンボス処理を行うことによって形成され、前記紙支持体側から前記剥離性樹脂層の方向に突出する複数の突起部１５を有するエンボス剥離シート１１、及び（２）基材２２と、その基材の少なくとも一方の表面上に設けたシリコーン粘着剤層２３とを含む粘着シート２１を有し、前記粘着シートのシリコーン粘着剤層を、前記エンボス剥離シートの剥離性樹脂層の各突起部先端領域と接触させることにより前記エンボス剥離シートで保護していることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）紙支持体とその紙支持体の一方の表面上に設けた剥離性樹脂層とを含む剥離原紙に対してエンボス処理を行うことによって形成され、前記剥離性樹脂層が複数の突起部を有するエンボス剥離シート、及び
（２）基材と、その基材の少なくとも一方の表面上に設けたシリコーン粘着剤層とを含む粘着シート
を有し、前記粘着シートのシリコーン粘着剤層を、前記エンボス剥離シートの剥離性樹脂層の各突起部先端領域と接触させることにより前記エンボス剥離シートで保護していることを特徴とする、剥離シート担持粘着シート。
【請求項２】
前記エンボス剥離シートに形成された突起部が、ドット状に分散した山形突起部である、請求項１に記載の剥離シート担持粘着シート。
【請求項３】
前記山形突起部の頂点間平均距離が２００〜２０００μｍである、請求項２に記載の剥離シート担持粘着シート。
【請求項４】
前記山形突起部の平均高さが２０〜３００μｍであり、平均底面直径が２０〜１５００μｍである、請求項２又は３に記載の剥離シート担持粘着シート。
【請求項５】
前記剥離性樹脂層の樹脂が、オレフィン系熱可塑性エラストマーとポリエチレン樹脂とを含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の剥離シート担持粘着シート。
【請求項６】
前記オレフィン系熱可塑性エラストマーの樹脂密度が０．８０〜０．９０ｇ／ｃｍ３である、請求項５に記載の剥離シート担持粘着シート。
【請求項７】
前記粘着シート上の前記シリコーン粘着剤層の層厚が５〜６０μｍである、請求項１〜６のいずれか一項に記載の剥離シート担持粘着シート。
【請求項８】
前記エンボス剥離シートと前記粘着シートとの剥離力が５０〜４０００ｍＮ／５０ｍｍである、請求項１〜７のいずれか一項に記載の剥離シート担持粘着シート。
【請求項９】
前記エンボス剥離シートの剥離性樹脂層側に印加電圧１０ＫＶを帯電させて得られる帯電圧の半減期が１０分以下である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の剥離シート担持粘着シート。
【請求項１０】
前記エンボス剥離シートが、紙支持体と剥離性樹脂層との間に接着増強層を有する、請求項１〜９のいずれか一項に記載の剥離シート担持粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、剥離シート担持粘着シートに関する。本発明によれば、剥離シートと粘着シートとの剥離力の制御が容易で、帯電性が低く、廉価な剥離シート担持シリコーン粘着シートを提供することができる。
【背景技術】
【０００２】
シリコーン粘着テープあるいはシリコーン粘着シートは、従来から、スプライシングテープや耐熱性ダイシングテープなどに広く採用されている。このようなシリコーン粘着テープ用の剥離材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製支持体にフルオロ剥離処理を施したフルオロシリコーン剥離材が主流として用いられてきた（特許文献１）。しかしながら、フルオロシリコーン剥離材は大変高価である。また、ポリエチレンテレフタレートなどの合成樹脂製支持体は静電気を帯びるので、剥離材にダストが付着し、テープ巻き取り時などに粘着テープの基材表面に傷が発生するなどの問題があった。更に、前記シリコーン粘着テープをダイシングテープ用として用いる場合には、帯電した剥離シートを剥がす際に粘着テープにも静電気が発生するため、貼合した基板回路に静電破壊を誘発させるなどの悪影響を及ぼす欠点があった。
【０００３】
また、シリコーン粘着テープ用の剥離材としては、フッ素樹脂とアクリル樹脂とを含有する剥離層組成物を有する剥離シートも知られている（特許文献２）。しかしながら、この剥離層組成物に含まれるフッ素樹脂も高価である、また、剥離シートの支持体に合成樹脂を用いると、静電気を帯びるので、前記と同様の欠点が生じる。
【０００４】
更に、シリコーン粘着テープ用の剥離材として、ポリオレフィン製支持体上に、エチレンプロピレン共重合体と低密度ポリエチレンとの混合物からなる剥離層を有する剥離フィルムも知られている（特許文献３）。しかしながら、この剥離フィルムは、支持体としてポリオレフィンフィルムを用いるので、静電気を帯びるため、前記と同様の欠点を有する。更に、この剥離フィルムは、シリコーン粘着テープとの粘着力が大きいために、円滑な剥離操作を行うことができないという欠点もあった。前記特許文献３には、エンボス加工を施した剥離フィルムを用いることができる旨の記載もあるが、エンボス加工によって形成する突起部の形状や密度、更には剥離力についての具体的な開示は全くなく、更に、ポリオレフィン支持体を用いるので、静電気を帯びる欠点は解消されない。
【０００５】
【特許文献１】特許第２５８４９１８号公報
【特許文献２】特許第３０２５２６２号公報
【特許文献３】実公昭６２−２３７９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者は、シリコーン粘着シート用の剥離材における前記の問題点を解消する手段を鋭意研究していたところ、エンボス加工を施すことにより廉価な剥離処方にて円滑な剥離操作を行うことができ、紙支持体を用いることにより、帯電性が低く、適切な剥離材を提供することができることを見出した。
本発明は、こうした知見に基づくものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
従って、本発明は、
（１）紙支持体とその紙支持体の一方の表面上に設けた剥離性樹脂層とを含む剥離原紙に対してエンボス処理を行うことによって形成され、前記剥離性樹脂層が複数の突起部を有するエンボス剥離シート、及び
（２）基材と、その基材の少なくとも一方の表面上に設けたシリコーン粘着剤層とを含む粘着シート
を有し、前記粘着シートのシリコーン粘着剤層を、前記エンボス剥離シートの剥離性樹脂層の各突起部先端領域と接触させることにより前記エンボス剥離シートで保護していることを特徴とする、剥離シート担持粘着シートに関する。
【０００８】
本発明の好ましい態様においては、前記エンボス剥離シートに形成された突起部は、ドット状に分散した山形突起部であり、そして、それに加えて、前記山形突起部の頂点間平均距離が２００〜２０００μｍ（より好ましくは３００〜１５００μｍ）であることができ、更にまた、それらに加えて、前記山形突起部の平均高さは２０〜３００μｍであり、平均底面直径は２０〜１５００μｍであることができる。
【０００９】
更に、本発明の別の好ましい態様においては、前記剥離性樹脂層の樹脂は、オレフィン系熱可塑性エラストマーとポリエチレン樹脂とを含み、そして、前記オレフィン系熱可塑性エラストマーの樹脂密度は０．８０〜０．９０ｇ／ｃｍ３であることができる。
【００１０】
更に、本発明の別の好ましい態様においては、前記粘着シート上の前記シリコーン粘着剤層の層厚は５〜６０μｍ（より好ましくは１０〜５０μｍ）である。
【００１１】
更に、本発明の別の好ましい態様においては、前記エンボス剥離シートと前記粘着シートとの剥離力は５０〜４０００ｍＮ／５０ｍｍ（より好ましくは１００〜３５００ｍＮ／５０ｍｍ）である。
【００１２】
更に、本発明の別の好ましい態様においては、前記エンボス剥離シートの剥離性樹脂層側に印加電圧１０ＫＶを帯電させて得られる帯電圧の半減期が１０分以下の剥離シート担持粘着シートである。
【００１３】
更にまた、本発明の別の好ましい態様においては、前記エンボス剥離シートは、紙支持体と剥離性樹脂層との間に接着増強層を有する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、剥離シートと粘着シートとの剥離力の制御が容易で、帯電性が低く、廉価な剥離シート担持シリコーン粘着シートを提供することができる。
また、本発明の別の好ましい態様によれば、前記エンボス剥離シートの剥離性樹脂層側に印加電圧１０ＫＶを帯電させた際の帯電圧半減期が１０分以下であるので、帯電性が低くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の剥離シート担持粘着シートは、前記の通り、
（１）エンボス剥離シート、及び
（２）シリコーン粘着シート
を有する。そして、前記のエンボス剥離シート（１）は、
（１ａ）紙支持体と、
（１ｂ）その紙支持体の一方の表面上に設けた剥離性樹脂層と
を含み、更に、前記剥離性樹脂層が複数の突起部を有する。前記の突起部は、紙支持体と剥離性樹脂層とを含む剥離原紙に対してエンボス処理を行うことによって形成される。
【００１６】
本発明の剥離シート担持粘着シートの一態様を図１（模式的断面図）及び図２（模式的断面図）に示す。図１及び図２に示す剥離シート担持粘着シート１０は、それぞれ、エンボス剥離シート１１と、シリコーン粘着シート２１とを含む。また、エンボス剥離シート１１は、紙支持体１２と剥離性樹脂層１３とを含み、場合により、紙支持体１２と剥離性樹脂層１３との間に接着増強層１４を有することができる。紙支持体１２と剥離性樹脂層１３との間に接着増強層１４を有していない態様を図１に示し、紙支持体１２と剥離性樹脂層１３との間に接着増強層１４を有する態様を図２に示す。更に、剥離性樹脂層１３の表面には、複数の突起部１５が形成されている。
【００１７】
一方、シリコーン粘着シート２１は、基材２２と、その基材２２の少なくとも一方の表面上に設けたシリコーン粘着剤層２３とを含む。更に、シリコーン粘着シート２１のシリコーン粘着剤層２３は、前記エンボス剥離シート１１の剥離性樹脂層１３と接触することによって保護されている。ただし、その際、各突起部１５の先端領域のみがシリコーン粘着剤層２３と接触し、剥離性樹脂層１３の非突出領域１６はシリコーン粘着剤層２３と接触しない。
【００１８】
前記のエンボス剥離シートの紙支持体１２は、剥離性樹脂層１３（場合により、接着増強層を介して）を担持することができ、エンボス加工によって形成される突起部の形状を維持することのできる紙材料である限り特に限定されず、任意の紙を用いることができる。支持体用の紙としては、例えば、未晒クラフト紙、晒クラフト紙、上質紙、中質紙、片艶未晒クラフト紙、純白ロール、グラシン紙、無塵紙、合成紙、和紙、又は各種コート紙を挙げることができる。
【００１９】
更に、前記紙支持体１２の厚さは、１０〜３００μｍであることが好ましく、２０〜２００μｍであることがより好ましい。紙支持体１２の厚さが１０μｍ未満になると、紙の強度が低下し剥離時に破断が生じ易くなるという欠点があり、３００μｍより大きくなると、ロール形状として加工が難しくなり、作業性が悪化するという欠点がある。
【００２０】
前記剥離性樹脂層１３には、シリコーン粘着剤層２３に対して剥離性を有する剥離性樹脂を用いる。例えば、オレフィン系熱可塑性エラストマーとポリエチレン樹脂との混合物を用いるのが好ましい。
前記のオレフィン系熱可塑性エラストマーとしては、例えば、樹脂密度が、好ましくは０．８０〜０．９０ｇ／ｃｍ３、より好ましくは０．８５〜０．８８ｇ／ｃｍ３であるオレフィン系熱可塑性エラストマーを用いることができる。オレフィン系熱可塑性エラストマーは、例えば、エチレンプロピレン共重合体、又はエチレンオクテン共重合体を主成分とするものを挙げることができる。その中で特に、エチレンプロピレン共重合体を含むオレフィン系熱可塑性エラストマーを用いることがより好ましい。
なお、オレフィン系熱可塑性エラストマーの樹脂密度が０．８０ｇ／ｃｍ３未満になると、耐熱性が不充分になるという欠点があり、０．９０ｇ／ｃｍ３を超えると、剥離性が不充分になるという欠点がある。
【００２１】
一方、ポリエチレン樹脂としては、密度が、好ましくは０．８９０〜０．９２５ｇ／ｃｍ３、より好ましくは０．９００〜０．９２２ｇ／ｃｍ３のポリエチレンを用いることができる。ここで、ポリエチレンの前記密度が０．８９０ｇ／ｃｍ３未満になるか、あるいは前記密度が０．９２５ｇ／ｃｍ３を超えると、いずれも充分な剥離性が得られないという欠点がある。
【００２２】
前記オレフィン系熱可塑性エラストマー及び前記ポリエチレン樹脂の重量比（オレフィン系熱可塑性エラストマー／ポリエチレン樹脂）は、１／３〜３であることが好ましく、２／３〜３／２であることがより好ましい。重量比が１／３未満になると、オレフィン系熱可塑性エラストマー及びポリエチレン樹脂の種類によっては充分な剥離性が得られないという欠点があり、３を超えると、オレフィン系熱可塑性エラストマー及びポリエチレン樹脂の種類によっては充分な耐熱性が得られないという欠点がある。
【００２３】
前記剥離性樹脂層１３の厚さは、０．１〜５０μｍが好ましく、５〜３０μｍがより好ましい。ここで剥離性樹脂層の厚さが０．１μｍ未満の場合又は５０μｍより厚い場合には、剥離性に劣るという欠点がある。
【００２４】
前記剥離シート１１は、紙支持体と剥離性樹脂層１３との間に接着増強層１４を有することができ、接着増強層によって、剥離性樹脂層１３と紙支持体１２との密着性を向上させることができる。剥離性樹脂層と紙支持体との密着性が向上すると、剥離シート担持粘着シート１０から剥離シート１１を剥離する際に、剥離性樹脂層１３と紙支持体１２との境界面での剥離を防止したり、剥離シート１１の剥離後に、剥離性樹脂層１３の一部がシリコーン粘着剤層２３上に残存することをより効果的に防止することができる。
【００２５】
接着増強樹脂層１４を構成する材料としては、剥離性樹脂層１３と紙支持体１２との密着性を向上させる任意の接着性樹脂を用いることができ、好ましくは、接着性ポリオレフィン、例えば、ポリエチレン、又は変性ポリエチレンを挙げることができる。また、接着増強樹脂層１４の厚さは、特に限定されないが、５〜５０μｍであるのが好ましく、１５〜３０μｍであるのがより好ましい。接着増強樹脂層１４の厚さが５μｍ未満になると、剥離性樹脂層１３の接着不良が起きやすくなり、５０μｍより厚くなっても効果の向上が得られないのにコストが上昇するという問題が生ずる。
【００２６】
前記紙支持体１２と前記剥離性樹脂層１３とを含む剥離原紙（すなわち、エンボス処理前）は、任意の公知の方法で調製することができる。例えば、剥離性樹脂層１３は、紙支持体１２の上に直接塗工することで、又は後述の接着増強層１４の上に塗工することで形成することができる。塗工する方法としては、押出ラミネート等を挙げることができる。接着増強層１４は紙支持体１２の上に塗工することで形成され、塗工する方法としては押出ラミネート等を挙げることができる。
こうして得られた剥離原紙の紙支持体１２側から前記剥離性樹脂層１３の方向に、あるいは逆方向にエンボス処理を施すことによって、前記紙支持体１２側から前記剥離性樹脂層１３の方向に突出する複数の突起部を形成させることにより、本発明で用いるエンボス剥離シート１１を調製することができる。こうして得られるエンボス剥離シート１１は、前記紙支持体１２側から前記剥離性樹脂層１３の方向に突出する複数の突起部１５を有し、前記紙支持体１２の裏面に、突起部１５に相当する形状の窪みを有している。また、本発明で用いるエンボス剥離シート１１は、前記剥離性樹脂層１３側の表面に複数の突起部１５を有し、前記紙支持体１２の裏面が平坦面で、窪みを有していないこともできる。
【００２７】
エンボス加工は、任意の公知の方法によって実施することができる。具体的には、例えば、凹凸形状が形成されているエンボスロールを剥離シート面上に押圧させることにより得ることができる。
【００２８】
本発明で用いるエンボス剥離シート１１に形成することのできる突起部の形状を図２に示す態様に関して、添付図面に沿って説明する。
図３は、本発明による剥離シート担持粘着シート１０から、エンボス剥離シート１１を剥離する操作の途中を模式的に示す斜視図である。エンボス剥離シート１１の剥離性樹脂層１３の表面上には、ドット状に分散して設けた山形突起部１５が形成されており、シリコーン粘着シート２１のシリコーン粘着剤層２３の表面には、山形突起部１５によって形成され、その除去によって残留する凹状の残留痕跡２４が観察される。
【００２９】
本明細書において、突起部１５に関して「山形」とは、突起部が、大略半球体ないし半球体の一部（例えば、１／３〜１／５の球体）と同様の形状を有するか、あるいは円錐状を有することを意味する。なお、前記の突起部１５は、ドット状に限定されず、帯状であることもでき、断面が半円形あるいは半楕円形の帯状突起部や、断面が台形の帯状突起部を設けることもできる。
【００３０】
図３及び図４に示す山形突起部１５の配置方法も特に限定されず、例えば、図５（模式的平面図）に示すとおり、各山形突起部１５を碁盤の升目の交点に配置する〔図５（ａ）〕か、あるいは、各山形突起部１５を千鳥状に配置する〔図５（ｂ）〕こともできる。
【００３１】
山形突起部１５の個々の寸法も特には限定されないが、例えば、図６（模式的断面図）に示すとおり、山形突起部１５の高さ（Ｈ）の平均値が、好ましくは２０〜３００μｍ、より好ましくは３０〜１５０μｍであり、山形突起部１５の底面直径（Ｄ）の平均値が、好ましくは２０〜１５００μｍ、より好ましくは４０〜１０００μｍであることができる。なお、突起部１５の高さ（Ｈ）及び底面直径（Ｄ）は、いずれも、エンボス剥離シート１１の平坦部表面Ｓを基準にする。
【００３２】
山形突起部１５の頂点間距離（Ｌ）の平均値は、好ましくは２００〜２０００μｍ、より好ましくは３００〜１５００μｍであることができる。
山形突起部の平均高さ、平均底面直径、及び頂点間平均距離が、それぞれ前記の好適な範囲内の場合には、剥離シート１１と粘着シート２１との剥離力の制御が容易になり、適切な剥離力を付与することができる。一方、山形突起部の平均高さが２０μｍ未満の場合、山形突起部の平均底面直径が２０μｍ未満の場合、あるいは山形突起部１５の頂点間平均距離が２００μｍ未満の場合には、エンボス剥離シートと粘着シートとの接触面積が大きくなりすぎ、剥離強度が大きくなりすぎることがある。逆に、山形突起部１５の平均高さが３００μｍを超える場合、山形突起部の平均底面直径が１５００μｍを超える場合、あるいは山形突起部の頂点間平均距離が２０００μｍを超える場合には、エンボス剥離シート１１と粘着シートとの接触面積が小さくなり、剥離強度が小さくなりすぎる場合がある。
【００３３】
剥離シートの剥離剤処理面側に印加電圧１０ＫＶを帯電させた際の半減期が１０分間以下となる剥離シート担持粘着シートであることが望ましい。前記半減期が１０分間より長い剥離シート担持粘着シートでは、粘着シートロールの保管時に静電気による塵や埃が付着したり、ダイシングテープ用途に関しては剥離シートを剥がす際に発生する静電気によって、貼合した基板回路に静電破壊を誘発させるなどの悪影響を及ぼす可能性がある。
【００３４】
本発明の剥離シート担持粘着シート１０においては、前記の通り、前記エンボス剥離シート１１によって、シリコーン粘着シート２１の粘着剤層２３を保護する。前記エンボス剥離シート１１によって保護されるシリコーン粘着シート２１は、従来公知の任意のシリコーン粘着シートであり、従って、その基材２２の材質は、一般的な任意の粘着シートの基材として必要な物性を有する材料であれば特に限定されないが、合成樹脂である場合、飽和ポリエステル樹脂、例えば、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、あるいはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリイミド（ＰＩ）、エチレン・テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）などが挙げられる。
【００３５】
前記シリコーン粘着シート２１上に形成されるシリコーン系粘着剤２３としては、ジメチルシロキサン、あるいはそのメチル基の一部をフェニル基で置換したものなどを主体とする公知のシリコーン系粘着剤を用いることができる。粘着剤は架橋構造とすることが一般的でありその場合、過酸化物等による適宜な架橋方式を採用することができるが、シリコーン系粘着剤中に予めＳｉ−ＣＨ＝ＣＨ２基やＳｉ−Ｈ基を導入しておき、白金系触媒で付加反応させる架橋方式が好ましい。また、接着性を調整するために、カーボニッケル等のフィラー類等を添加してもよい。
【００３６】
前記シリコーン粘着シート２１上に形成されるシリコーン系粘着剤層２３の層厚は、特に限定されるものではないが、好ましくは５〜６０μｍ、より好ましくは１０〜５０μｍである。シリコーン系粘着剤層２３の層厚が５μｍ未満になると、前記エンボス剥離シート１１と前記粘着シート２１との剥離力が低くなりすぎる場合があり、６０μｍを超えると、前記剥離力が高くなりすぎる場合がある。
【００３７】
本発明の剥離シート担持粘着シート１０では、前記エンボス剥離シート１１と前記粘着シート２１との剥離力も、特に限定されるものではないが、好ましくは５０〜４０００ｍＮ／５０ｍｍ、より好ましくは１００〜３５００ｍＮ／５０ｍｍである。前記の剥離力が５０ｍＮ／５０ｍｍ未満になると、トンネリングが発生しやすくなり、４０００ｍＮ／５０ｍｍを超えると、剥離時に破断が生じ易くなる。なお、トンネリングとは、剥離シート担持粘着シート１０をロール状に巻回した場合に、前記エンボス剥離シート１１と前記粘着シート２１とが剥離して、それらの間に空間層が形成される現象である。
【実施例】
【００３８】
以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、これらは本発明の範囲を限定するものではない。
【００３９】
《実施例１》
（１）エンボス剥離シートの製造
紙支持体としての無塵紙（商品名＝クリーンペーパー；リンテック社製；厚さ＝６０μｍ）の一方の表面に、２６０℃の温度下で、エチレンプロピレン共重合体を含むオレフィン系熱可塑性エラストマー（タフマーＰ−２０８０Ｇ；三井化学社製；密度＝０．８７ｇ／ｃｍ３）５０重量部及び低密度ポリエチレン樹脂（Ｊ−ＲＥＸ８０７Ａ；日本ポリオレフィン社製；密度＝０．９１６ｇ／ｃｍ３）５０重量部からなる剥離性樹脂を押出ラミネートにて、厚さが２０μｍとなるように剥離性樹脂層を形成し、剥離原紙を作成した。次に、エンボッサーにて、ドット状に分散した多数の山形突起部を形成し、エンボス剥離シートを製造した。
なお、得られたエンボス剥離シート上に形成された山形突起部の頂点間平均距離は７８０μｍ、平均高さは７０μｍ、そして平均底面直径は５２０μｍであった。
【００４０】
（２）シリコーン粘着シートの製造
ＰＥＴフィルム基材〔ＰＥＴ３８  Ｔ−６０；東レ（株）社製；厚さ＝３８μｍ〕の一方の表面に、シリコーン粘着剤（ＳＤ−４５８０；東レダウコーニング社製）１００重量部及び白金触媒（ＳＲＸ−２１２；東レダウコーニング社製）０．９重量部からなるシリコーン粘着剤層を塗布し、１２０℃で１分間にて乾燥して、厚さが３０μｍのシリコーン粘着剤層を形成し、シリコーン粘着シートを製造した。
【００４１】
（３）剥離シート担持粘着シートの製造
前項（２）で製造したシリコーン粘着シートのシリコーン粘着剤層を、前項（１）で製造したエンボス剥離シートの剥離性樹脂層の各突起部先端領域と接触させるように、前記シリコーン粘着シートと前記エンボス剥離シートとを貼着することによって剥離シート担持粘着シートを得た。
【００４２】
《実施例２》
（１）エンボス剥離シートの製造
紙支持体としての無塵紙（商品名＝クリーンペーパー；リンテック社製；厚さ＝６０μｍ）の一方の表面に、３００℃の温度下で低密度ポリエチレン樹脂（Ｌ−４０５Ｈ；住友化学社製）を押出ラミネートにて、厚さが１５μｍとなるように接着増強層を形成した。続いて、その接着増強層側の表面に、２６０℃の温度下で、エチレンプロピレン共重合体を含むオレフィン系熱可塑性エラストマー（タフマーＰ−２０８０Ｇ；三井化学社製；密度＝０．８７ｇ／ｃｍ３）５０重量部及び低密度ポリエチレン樹脂（Ｊ−ＲＥＸ８０７Ａ；日本ポリオレフィン社製；密度＝０．９１６ｇ／ｃｍ３）５０重量部からなる剥離性樹脂を押出ラミネートにて、厚さが１０μｍとなるように剥離性樹脂層を形成し、剥離原紙を作成した。次に、エンボッサーにて、ドット状に分散した多数の山形突起部を形成し、エンボス剥離シートを製造した。このエンボス剥離シートの表面形状を図７（２５倍の顕微鏡写真）に示す。
なお、得られたエンボス剥離シートに形成された山形突起部の頂点間平均距離は７８０μｍ、平均高さは７０μｍ、そして平均底面直径は５２０μｍであった。
【００４３】
（２）剥離シート担持粘着シートの製造
前記実施例１（２）で製造したシリコーン粘着シートのシリコーン粘着剤層を、前項（１）で製造したエンボス剥離シートの剥離性樹脂層の各突起部先端領域と接触させるように、前記シリコーン粘着シートと前記エンボス剥離シートとを貼着することによって剥離シート担持粘着シートを得た。
【００４４】
《実施例３》
実施例２のエンボス剥離シートに代えて、山形突起部の頂点間平均距離が１４００μｍであり、平均高さが７０μｍであり、そして平均底面直径が５２０μｍであるエンボス剥離シートを用いること以外は、実施例１と同様の操作により、剥離シート担持粘着シートを得た。
【００４５】
《実施例４》
実施例１のシリコーン粘着テープに代えて、シリコーン粘着剤層が厚さ１０μｍであるシリコーン粘着テープを用いること以外は、実施例２と同様の操作により、剥離シート担持粘着シートを得た。
【００４６】
《実施例５》
実施例１のシリコーン粘着テープに代えて、シリコーン粘着剤層が厚さ４５μｍであるシリコーン粘着テープを用いること以外は、実施例２と同様の操作により、剥離シート担持粘着シートを得た。
【００４７】
《実施例６》
実施例２のエンボス剥離シートに代えて、山形突起部の頂点間平均距離が３００μｍであり、平均高さが７０μｍであり、そして平均底面直径が１５０μｍであるエンボス剥離シートを用いること以外は、実施例２と同様の操作により、剥離シート担持粘着シートを得た。
【００４８】
《比較例１》
実施例１のエンボス剥離シートに代えて、エンボス加工を施していない平坦剥離シートを用いること以外は、実施例１と同様の操作により、剥離シート担持粘着シートを得た。
【００４９】
《物性評価》
（１）剥離力の評価
前記エンボス剥離シートと前記粘着シートとの剥離力は以下の方法で測定した。
すなわち、前記実施例１〜６及び比較例１で製造した剥離シート担持粘着シートを、幅５０ｍｍ、長さ２５０ｍｍにカットし、剥離力測定器［テンシロンＲＴＡ−Ｔ−２Ｍ；（株）エー・アンド・デイ社製］にて剥離力を測定した。具体的には、剥離シート側を固定し、１８０°の角度で粘着シート側を剥がした（剥離スピード＝３００ｍｍ／ｍｉｎ）。
結果を表１に示す。
【００５０】
（２）帯電圧の半減期
前記実施例１〜６及び比較例１で製造した剥離シート担持粘着シートを、静電気帯電減衰測定機（Ｓ−５１０９；宍戸商会社製）に装着し、エンボス剥離シートの剥離性樹脂層側に印加電圧１０ＫＶを帯電させて得られる帯電圧の半減期を測定した。
結果を表１に示す。なお、前記の方法で測定される半減期が１０分以下であれば、粘着シートロール保管時に静電気による塵や埃が付着したりすることがなく、ダイシングテープ用途に関しては剥離シートを剥がす際に発生する静電気によって、貼合した基板回路に静電破壊を誘発させるなどの悪影響を及ぼす可能性がない。
【００５１】
（３）ロール保管性
前記実施例１〜６及び比較例１で製造した剥離シート担持粘着シートを、直径８．５ｃｍの円筒状プラスチック管に、直径４０ｃｍになるように巻き取り、２３℃及び６５％ＲＨの条件下で宙づり状態で１週間放置した。宙づり状態とはロールが地と接しておらず浮いた状態を意味する。
結果を表１に示す。表１において「良好」とは、剥離シートと粘着シートとが剥離して空間層が発生すること（トンネリング発生）がなく、外観上変化がないことを意味する。
【００５２】
（４）総合評価
剥離力が５０〜４０００ｍＮ／５０ｍｍであって、剥離特性が優れており、しかもロール保管性試験においてもトンネリングが発生しない場合を優良として、表１に「○」で示した。また、剥離力が４０００ｍＮ／５０ｍｍを超える場合を不可として、表１に「×」で示した。
【００５３】
【表１】
2005171030.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明による剥離シート担持粘着シートは、エンボス剥離シートを剥離して得られるシリコーン粘着シートを、例えば、耐熱保護シリコーン粘着シートやスプライシング用シリコーン粘着シートなどに使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の剥離シート担持粘着シートの一態様を模式的に示す断面図である。
【図２】本発明の剥離シート担持粘着シートの別の態様を模式的に示す断面図である。
【図３】本発明による剥離シート担持粘着シートから、エンボス剥離シートを剥離する操作の途中を模式的に示す斜視図である。
【図４】本発明で用いるドット状分散山形突起部含有エンボス剥離シートの模式的斜視図である。
【図５】本発明で用いるドット状分散山形突起部含有エンボス剥離シートにおける山形突起部の配置を示す模式的平面図である。
【図６】本発明で用いるドット状分散山形突起部含有エンボス剥離シートにおける山形突起部の頂点間平均距離（Ｌ）、高さ（Ｈ）、及び底面直径（Ｄ）を示す模式的断面図である。
【図７】実施例２で製造した本発明で用いるドット状分散山形突起部含有エンボス剥離シートの表面構造を示す図面に代わる写真である。
【符号の説明】
【００５６】
１０・・・剥離シート担持粘着シート；
１１・・・エンボス剥離シート；
１２・・・紙支持体；
１３・・・剥離性樹脂層；
１４・・・接着増強層；
１５・・・突起部；
１６・・・非突出領域；
２１・・・シリコーン粘着シート；
２２・・・基材；
２３・・・シリコーン粘着剤層；
２４・・・凹状残留痕跡。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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