(57)【要約】【課題】  ロットＮＯを指定すれば、ロット内のウエハテスト結果・カテゴリ・ウエハマップ、チップ測定データが、連続した形式で簡単に確認できる蓄積表示システム及び表示方法を提供する。【解決手段】  半導体試験装置１にて収集されたＬＳＩのテストデータ２を、ロット・ウエハ・チップ・測定データ・カテゴリ単位に分類する手段及び分類した項目の中で連結情報を設定することで有機的に結合させて蓄積する手段を有する蓄積装置４と、蓄積されたテストデータを検索する手段及び検索結果を表示する手段を有する表示装置５とからなる。連結情報は、データを示す識別情報とどのデータと連結するかを表す識別情報を有する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体試験装置にて収集されたＬＳＩのテストデータを、ロット・ウエハ・チップ・測定データ・カテゴリ単位に分類する手段及び分類した項目の中で連結情報を設定することで有機的に結合させて蓄積する手段を有する蓄積装置と、蓄積されたテストデータを検索する手段及び検索結果を表示する手段を有する表示装置とからなるテストデータ蓄積表示システム。
【請求項２】
上記連結情報は、データを示す識別情報とどのデータと連結するかを表す識別情報を有する請求項１記載のテストデータ蓄積表示システム。
【請求項３】
上記表示装置は、検索したロット番号から連結情報としてウェハテスト結果、ウェハマップ、チップ・測定データが連続して取り出せるよう表示する請求項１又は２に記載のテストデータ蓄積表示システム。
【請求項４】
上記表示装置は、テストデータについて、ロット・ウエハ・チップ・測定データ・カテゴリの相互に表示切り替えする請求項３に記載のテストデータ蓄積表示システム。
【請求項５】
半導体試験装置にて収集されたＬＳＩのテストデータを、ロット・ウエハ・チップ・測定データ・カテゴリ単位に分類し、分類した項目の中で連結情報を設定することで有機的に結合させて蓄積し、蓄積されたテストデータを検索し表示するテストデータ表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テストデータ蓄積表示システム及び表示方法であり、特にＩＣまたはＬＳＩテストのテストデータ表示に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置にてテストされたＩＣまたはＬＳＩのテスト結果は、ロットもしくはウエハ毎にテスト結果がサマライズ化され、テスト不良項目もカテゴリ別に分別される。サマライズ化されたテスト結果は、半導体試験装置もしくはパソコン等の汎用的なＣＲＴ・液晶表示装置・プリンタなどの表示装置を用いて確認する。これらの表示方法として、特許文献１に記載されている。しかし、この方法は、単に半導体試験装置で測定されたテスト結果を収集しグラフ化して表示する機能に絞って記載されており、テスト結果をロットＮＯからウエハ、チップ、測定データと探索しながら見る方法については言及されていない。
【０００３】
また、ウエハ内の各チップの良品／不良品を視覚的に見る方法として、ウエハマップがあるが、これではチップの良品／不良品がわかるのみで、ウエハマップ上から直接チップの測定データの内容は見ることはできない。一方、ウエハ内の各チップの測定データについては、半導体試験装置が持っているデータログフォーマットまたはユーザが準備した出力フォーマットにて、半導体試験装置内の格納エリアに保存される。各チップのテスト測定データを確認するためには、ロット・ウエハのサマリデータから、対象となるロットのロットＮＯを探し出し、該ロットのデータファイルを、エディター等を用いてオープンし、対象となるチップを検索し見る必要がある。
【特許文献１】特開２００１−３３０６５１公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来は、ロットテスト結果、該ロットのウエハテスト結果、ウエハの良品・不良品マップ、ウエハ内のチップ測定結果などのデータを見るためには、サマリデータ、マップデータ、チップ測定ログデータの別々なデータを開く必要があり、非常に煩雑かつ確認に時間を要していた。
【０００５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、ロットＮＯを指定すれば、ロット内のウエハテスト結果・カテゴリ・ウエハマップ、チップ測定データが、連続した形式で簡単に確認できる蓄積表示システム及び表示方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のテストデータ表示方法は、あらかじめ用意されたパソコン及びワークステーションなどに構築したファイルまたはデータベース（以下「格納装置」という）に、半導体試験装置でテストされた、ロット・ウエハ・カテゴリサマリデータ、チップ測定データログの各テストデータを、ロットテスト結果・ウエハテスト結果・カテゴリデータ・チップ測定データに分類し、格納装置の格納エリアに保存する。ファイルまたはデータベースに格納された各データは、保存時に有機的な関係が分る記号で結びつけを行う。ロット表示からチップ測定データまでの表示を行う場合、ロット−ウエハ−チップ−測定データを結合できる記号を指定し、その条件で格納装置の検索を行い、データ表示を行うものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、半導体試験装置にて収集されたＬＳＩのテストデータを、ロット・ウエハ・チップ・測定データ・カテゴリ単位に分類する手段及び分類した項目の中で連結情報を設定することで有機的に結合させて蓄積する手段を有する蓄積装置と、蓄積されたテストデータを検索する手段及び検索結果を表示する手段を有する表示装置とからなるテストデータ蓄積表示システムである。
【０００８】
また、本発明は、上記連結情報が、データを示す識別情報とどのデータと連結するかを表す識別情報を有するテストデータ蓄積表示システムである。
【０００９】
そして、本発明は、上記表示装置が、検索したロット番号から連結情報としてウェハテスト結果、ウェハマップ、チップ・測定データが連続して取り出せるよう表示するテストデータ蓄積表示システムである。
【００１０】
更に、本発明は、上記表示装置が、テストデータについて、ロット・ウエハ・チップ・測定データ・カテゴリの相互に表示切り替えするテストデータ蓄積表示システムである。
【００１１】
また、本発明は、半導体試験装置にて収集されたＬＳＩのテストデータを、ロット・ウエハ・チップ・測定データ・カテゴリ単位に分類し、分類した項目の中で連結情報を設定することで有機的に結合させて蓄積し、蓄積されたテストデータを検索し表示するテストデータ表示方法である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ロットＮＯからウエハ・マップ・測定結果と連結した形式でデータの表示が可能であり、テスト結果のデータを探すために複数のテスト情報を操作する事が不要となり、所望するロットの情報が入手可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
【実施例】
【００１４】
実施例を説明する。図１は実施例を示す構成図である。図１で、半導体試験装置１はＩＣもしくはＬＳＩをテストする試験装置、テストデータ群２は測定されたテストデータ、テストデータ変換処理３はテストデータ群２のテストデータをロット・ウエハ・チップ・カテゴリ・測定データに分類し、分類したそれぞれのデータを有機的に結合させる処理を行う。格納エリア４は３で分類及び有機的に結合されたデータを格納する領域でファイルまたデータベースで構成する。表示装置５はユーザーが操作し、検索条件の入力及び検索結果の表示を行う。テストデータ変換処理３及び格納エリア３は、１つの装置（パソコン等）又は２以上の装置が処理し備えることができ、また、表示装置５と一体の装置とすることも可能である。
【００１５】
半導体試験装置１で収集されるテストデータ群２は、ロットサマリ・ウエハサマリ・カテゴリサマリ、及び測定データ等からなり、ファイルに出力される。ロットサマリは、ロットのウエハ枚数・総チップ数・良品数・不良品数・歩留り・テスト開始終了時刻・テスト実施時間の情報を有する。ウエハサマリは、ロット内の各ウエハの総チップ数・良品数・不良品数・歩留り・テスト開始終了時刻・テスト実施時間の情報を有する。カテゴリサマリは、テスト実施結果の不良をカテゴライズされたカテゴリ別不良数を有する。測定データは、チップＮＯ、ウエハ面内のチップＸ軸・Ｙ軸のアドレス、チップテストカテゴリ、測定テストＮＯ、測定テスト結果、テストリミットを有する。
【００１６】
上記テストデータ群２は、テストデータ変換処理３によって、格納エリア４に変換され格納され、検索・表示は表示装置５によって、利用者がいつでもデータ確認ができる環境を整えている。
【００１７】
図２は、データ格納と連結方法の一例を表している。テストデータ変換処理３は、テストデータ群２をロット・ウエハ・チップ・測定データの各データに分類し各データ単位にテーブルにまとめて格納する。分類されたそれぞれのデータを有機的に結びつけるには、図２に示すような、例えば、ロットＮＯ，ウエハＮＯ、チップＮＯ，テストＮＯの連結項目を設定する。連結項目は、該データを示す識別項目と該データがどの上位データに連結されているかを表す上位データの識別項目を持っている。例えば、測定情報テーブル９の場合、測定情報の識別項目としてテストＮＯ１０を持ち、それ以外に測定データがどのロットのどのウエハのどのチップと連結しているか、ロットＮＯ・ウエハＮＯ・チップＮＯの連結情報１１も持つ。なお、データの識別項目は、複数存在する。
【００１８】
図３−１及び図３−２は検索・表示例であり、図３（ａ）は検索画面、図３（ｂ）はロット情報、図３（ｃ）はウエハ情報、図３（ｄ）はマップ情報、図３（ｅ）は測定情報を示す。図３（ａ）の検索画面１２は、格納されたテストデータを検索する画面で、いくつかの検索条件が設定できる。今、ロットＮＯに検索条件として、“Ａ＊”（＊は、ワイルドカード）を入力し、マウスなどのポインティングデバイス（以下「マウス」という）で検索ボタンを押すと、“Ａ“で始まるロットＮＯのテスト結果ロット情報１３が表示される（図３ｂ参照）。ロット情報１３のロットＮＯは、該ロットのウエハＮＯと連結されており、ロットＮＯ１４をマウスで押すと、該ロットＮＯのウエハ情報１５が表示される（図３ｃ参照）。同様に、ウエハ情報１５のウエハＮＯ１６を押すと、該ウエハのマップ情報１７が表示される（図３ｄ参照）。マップ情報１７は、チップ情報テーブル８に格納されている、チップのＸ軸Ｙ軸のアドレス情報を元にマトリックス状に表示される。マップ情報１７のチップ位置には、該チップの不良カテゴリのシンボル１８が表示され、該シンボルをマウスで押すと測定情報１９が表示される（図３ｅ参照）。ロット・ウエハ・マップ・測定情報の各表示画面には、上位データを表す識別項目が表示されている。例えば、測定情報１９の連結ロットＮＯ２０や連結ウエハＮＯ２１や連結チップＮＯ２２は、ロット情報１３・ウエハ情報１４・マップ情報１７へ連結されており、連結ロットＮＯ２０や連結ウエハＮＯ２１や連結チップＮＯ２２を押す事で、各々の画面に移行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例を示すシステム構成図。
【図２】データ連結方法を説明する図。
【図３−１】表示装置での画面の一部詳細図。
【図３−２】表示装置での画面の別の一部詳細図。
【符号の説明】
【００２０】
１・・半導体試験装置
２・・テストデータ群
３・・テストデータ変換処理
４・・格納エリア、５・・表示装置
６・・ロット情報格納テーブル
７・・ウエハ情報格納テーブル
８・・チップ情報格納テーブル
９・・測定情報格納テーブル
１０・・連結項目
１１・・識別項目
１２・・検索画面
１３・・ロット情報
１４・・ロットＮＯ
１５・・ウエハ情報
１６・・ウエハＮＯ
１７・・マップ情報
１８・・チップカテゴリ
１９・・測定情報
２０・・連結ロットＮＯ
２１・・連結ウエハＮＯ
２２・・連結チップＮＯ
【図１】
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【図２】
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【図３−１】
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【図３−２】
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