(57)【要約】【課題】  ウエハレベルパッケージのチップ配置効率、歩留りを高め、時間とコストを低減する。【解決手段】  第１基板と、第１基板上の、チップを付着するための第１の条件における粘性を有する弾性材料と、チップを接着する接着材料を有する第２基板と、含み、チップは第２の条件における弾性材料から離脱可能な、ウエハレベルパッケージ用ツール、及び、ウエハレベルパッケージのためのチップ配置方法であって、該方法は、複数のチップを、第１基板上に形成され、前記複数のチップに付着するための第１の条件における粘性を有する弾性材料上に配置する工程と、第２基板上に接着材料を形成する工程と、前記複数のチップを、前記第２基板の前記接着材料上に接着する工程と、前記複数のチップを、第２の条件における前記弾性材料から剥離する工程と、を含む、チップ配置方法。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハレベルパッケージ用ツールであって、
第１基板と、
前記第１基板上の、チップを付着するための第１の条件における粘性を有する弾性材料と、
前記チップを接着する接着材料を有する第２基板と、
を含み、
前記チップは第２の条件における前記弾性材料から離脱可能である、
ツール。
【請求項２】
前記第１基板の材料はシリコン、ガラス、水晶もしくはセラミックであり、前記第２基板の材料はシリコン、ガラス、水晶、セラミックもしくはＰＣＢであり、前記第２基板はリードフレームであり、前記弾性材料はシリコン樹脂、弾性ＰＵ、多孔質ＰＵ、アクリルゴム、もしくはダイソーイングテープ（ブルーテープ／ＵＶテープ）であり、前記弾性材料はスピンコーティング、プリンティングもしくは接着により前記第１基板表面に形成され、前記接着材料はスピンコーティングもしくはプリンティングにより前記第２基板表面に形成され、前記複数のチップは裏面を上にして前記弾性材料に固定され、前記チップの裏面が前記接着材料に接着され、前記第２の条件はＤＩ水、溶媒もしくはＵＶ光を含み、
接着後にＵＶ硬化もしくは熱硬化を実施するステップを更に含む、請求項１に記載のツール。
【請求項３】
ウエハレベルパッケージのためのチップ配置方法であって、該方法が、
複数のチップを、第１基板上に形成され、前記複数のチップを付着するための第１の条件における粘性を有する弾性材料上に配置する工程と、
第２基板上に接着材料を形成する工程と、
前記複数のチップを、前記第２基板の前記接着材料上に接着する工程と、
前記複数のチップを、第２の条件における前記弾性材料から剥離する工程と、
を含む、
チップ配置方法。
【請求項４】
複数のチップを弾性材料上に配置する前記工程は、ピックアップ・配置システムを用いて実施され、前記第１基板の材料はシリコン、ガラス、水晶もしくはセラミックであり、前記第２基板の材料はシリコン、ガラス、水晶、セラミックもしくはＰＣＢであり、前記第２基板はリードフレームであり、前記弾性材料はシリコン樹脂、弾性ＰＵ、多孔質ＰＵ、アクリルゴム、もしくはダイソーイングテープ（ブルーテープ／ＵＶテープ）であり、前記弾性材料はスピンコーティング、プリンティングもしくは接着により前記第１基板表面に形成され、前記接着材料はスピンコーティングもしくはプリンティングにより前記第２基板表面に形成され、前記複数のチップは裏面を上にして前記弾性材料に固定され、前記チップの裏面が前記接着材料に付着され、前記第２の条件はＤＩ水、溶媒もしくはＵＶ光を含み、
接着後にＵＶ硬化もしくは熱硬化を実施するステップを更に含む、請求項３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウエハレベルパッケージの製造ツールに関し、より詳しくは、ウエハレベルパッケージに用いるチップ配置ツール、及び、処理されたウエハからピックアップ・配置システムにより良質なチップを選別し、該システムによりこれをツール上に配置するチップ配置方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体素子製造方法では、メモリチップやマイクロプロセッサ等、数多くの異なる半導体素子を、シリコンウエハ等の半導体基板上に製造する。各半導体素子の所望の構造、回路、その他の特徴を半導体基板上に製造した後、基板をダイシングし、個別の半導体素子に切り分けるのが一般的である。
【０００３】
半導体基板のダイシングによる切り離しの前もしくは後に、各半導体素子の回路テスティング、バーンイン工程等の各種製造後工程を実施できる。このような製造後工程は、所望の機能を半導体素子に与え、また個々の半導体素子の品質管理仕様への適否を判断する目的でも実施できる。
【０００４】
この後、個々の半導体素子をパッケージングしてもよい。半導体素子の小型化、及び半導体素子構造の高密度化という半導体産業の傾向に対応し、パッケージサイズの小型化も進んでいる。「チップスケールパッケージ」もしくは「チップサイズパッケージ」（ＣＳＰ）と称される半導体素子パッケージは、実装前の半導体素子とほぼ同じ基板面積を消費する。このようなチップスケールパッケージは、半導体素子とほぼ同じ表面積のキャリア基板を含むことが一般的である。
【０００５】
【特許文献１】台湾特許第１７７７６６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
現行のＩＣデバイスパッケージング技術では、まずウエハ上のチップをダイシングして個別のチップにカットし、各個のチップについてパッケージング及びテスティングを実施する。パッケージング及びテスティングに先立ってダイシングを行うこのようなパッケージング技術では、各個のチップのパッケージング及びテスティングを繰り返し実施しなければならず、単調で煩雑な工程を生じ、パッケージング及びテスティングにおけるコスト増を招いている。
【０００７】
また、「ウエハレベルパッケージのファンアウト(fan-out)工程」と称される新規なウエハレベルパッケージ（例えば、参考文献１を参照）では、ダイシング後、各個のチップをガラス基板に配置することが必要である。従来、切り分けられたチップを１個ずつガラス基板に配置する方法が採られていた。この方法ではピックアップし配置する動作を繰り返し行うことが必要である。この動作を労働力もしくは機械により行うと、パッケージング及びテスティングの現場において時間、コスト、歩留りの各面で負担が生ずる。
【０００８】
ゆえに、本発明は、ウエハレベルパッケージのチップ配置効率を高め、時間とコストを低減する、ウエハレベルパッケージに用いる新規なツールを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の主目的は、ウエハレベルパッケージ用ツール、及びチップ配置方法の提供にある。処理されたウエハからピックアップ・配置システムにより良質なチップを選別し、これをツール上に配置する。本発明のチップ配置方法はウエハレベルパッケージのチップ配置効率を高め、該チップの歩留りを向上させることができる。
【００１０】
ウエハレベルパッケージ用ツールは、第１基板と、第１基板上の、チップを付着するための第１の条件における粘性を有する弾性材料と、チップを接着する接着材料を有する第２基板と、を含み、チップは第２の条件における弾性材料から離脱可能である。第１基板の材料はシリコン、ガラス、水晶もしくはセラミックである。第２基板の材料はシリコン、ガラス、水晶、セラミックもしくはＰＣＢである。第２基板はリードフレームとして構成される。弾性材料はシリコン樹脂、弾性ＰＵ、多孔質ＰＵ、アクリルゴム、もしくはダイソーイング(die sawing)テープ（ブルーテープ／ＵＶテープ）である。弾性材料はスピンコーティング、プリンティングもしくは接着により第１基板表面に形成される。接着材料はスピンコーティングもしくはプリンティングにより第２基板表面に形成される。複数のチップは裏面を上にして弾性材料に固定され、チップの裏面が接着材料に接着される。第２の条件はＤＩ水、溶媒もしくはＵＶ光を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に本発明の例示的な実施形態を詳述する。但し、本発明はこれらの他にも様々な実施形態で実施可能である。本発明の範囲はその特許請求の範囲において特定される以外はいかなる限定も受けない。
【００１２】
種々の構成要素は、具体的な寸法では示されていない。本発明に関する説明を明快にし理解を助けるべく、関連する構成要素の寸法を強調し、重要でない部分を図示していない場合がある。
【００１３】
図１を参照すると、本発明において第２基板に接着材料を塗布した状態を示す概略図である。同図に示されるように、接着材料１０１が基板１００に塗布される。一実施形態では、接着材料１０１はスピンコーティングもしくはプリンティングにより、基板１００の表面に形成される。基板１００の材料はシリコン、ガラス、水晶、セラミック、ＰＣＢ等である。基板１００はリードフレームであってもよい。
【００１４】
図２を参照すると、同図は、本発明において弾性材料に複数のチップを付着した状態を示す概略図である。同図に示されるように、複数のチップ２０２が弾性材料２０１上に配置される。弾性材料２０１は基板２００上に形成される。弾性材料２０１は、通常状態すなわち大気環境において粘性を有する。一実施形態において、弾性材料２０１はシリコン樹脂、弾性ＰＵ、多孔質ＰＵ、アクリルゴム、ダイソーイングテープ（ブルーテープ／ＵＶテープ）等である。また、基板２００の材料はシリコン、ガラス、水晶、セラミック等である。弾性材料２０１はスピンコーティング、プリンティングもしくは接着により基板２００の表面に形成される。チップはポジ面（Ａｌパッド形成面）が接着材料２０１と対向するよう配置される。
【００１５】
図３を参照すると、同図は、本発明において基板１００に複数のチップを接着するところを示す概略図である。同図に示されるように、基板１００を裏返し、接着材料２０１側をチップ２０２に対向させてもよい。チップ２０２は接着材料１０１により基板１００に接着される。接着後、接着効果を高める目的でＵＶ硬化や熱硬化を実施する。複数のチップ２０２は裏面を上にして弾性材料２０１に固定され、チップの裏面が接着材料１０１に接着される。つまり、基板１００を裏返し、複数のチップ２０２の裏面を接着するようにしてよい。
【００１６】
図４を参照すると、同図は、本発明において複数のチップを弾性材料から剥離するところを示す概略図である。同図に示されるように、複数のチップ２０２は、特定（所定）の環境下で弾性材料２０１から剥離される。すなわち、弾性材料２０１の表面は通常状態では粘性を有するが、弾性材料２０１が特定の環境下に置かれるとその粘性が失われる。特定（所定）の環境とは、ＤＩ水の溶液、特定の溶媒、所定の温度（溶液の種類により２０〜４０℃）、特定の光（ＵＶ光等）等であってもよい。弾性材料２０１と基板２００の係合体は、洗浄すれば再使用可能である。結果として、図５に示すように、接着材料１０１を用いて他のバッチのチップ２０２を基板１００に再度接着させることができ、上述と同様の工程を反復できる。従って、本発明の設計は再利用・再生可能である。
【００１７】
図６を参照すると、同図は、本発明のピックアップ・配置システムの機械的構造を示す概略図である。図２に示されるように、複数のチップ２０２が、ピックアップ・配置システムを用いて弾性材料２０１上に配置される。ピックアップ・配置システムを、移動可能なフリップチップボンダと考えることもできる。処理されたウエハ６０５は、ピックアップステーションのフレーム６０４上に配置される。このウエハ６０５はチップ２０２を有し、これらのチップ２０２はピックアップ・配置アーム６０１により配置ステーションのツール６００上に配置される。ピックアップステーションと配置ステーションとは、同一キャリアステージにある。ツール６００は弾性材料２０１及び基板２００からなっている。ピックアップ・配置アーム６０１は、Ｙ方向のステップモータ６０３によって垂直方向（図６のＹ方向）に移動可能である。また、Ｘ方向のステップモータ６０２によって水平方向（図６のＸ方向）に移動可能である。換言すれば、ピックアップ・配置アーム６０１はＹ方向のステップモータ６０３及びＸ方向のステップモータ６０２により、複数のチップ２０２をツール６００上に高精度で配置できる。
【００１８】
図７を参照すると、同図は、本発明のピックアップ・配置システムにおいて弾性材料に複数のチップを付着するところを示す概略図である。ダイシングされたウエハ６０５の複数のチップ２０２に、ピックアップ・配置アーム６０１の取付けヘッド７０１（７００）により軽い圧力をかけてチップを取り付けヘッドに付着させ、処理されたウエハ６０５の下部に位置するチップ排出モジュール７０１を介してチップ２０２をウエハ６０５から弾き出してもよい。この後、Ｙ方向のステップモータ６０３及びＸ方向のステップモータ６０２により、複数のチップ２０２を弾性材料２０１上に高精度で配置できる。ピックアップ・配置システムは、誤差が５ミクロン未満という高度な位置決め機能を備えている。
【００１９】
従来の方法ではチップを１個ずつ基板に接着していたが、本発明では複数のチップを基板に同時に接着することが可能である。従って、切り分けたチップを本発明のツールにより同時に配置でき、ウエハレベルパッケージのチップ配置効率が向上する。本発明に従ったツール構成は再利用・再生可能である。
【００２０】
特定の実施形態について説明したが、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される範囲を逸脱せずに種々の変更が可能であることは当業者には明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明において第２基板に接着材料を塗布した状態を示す概略図である。
【図２】本発明において（第１基板の）弾性材料に複数のチップを付着した状態を示す概略図である。
【図３】本発明において第２基板に複数のチップを接着するところを示す概略図である。
【図４】本発明において複数のチップを弾性材料から剥離するところを示す概略図である。
【図５】本発明において第２基板に複数のチップを接着した状態を示す平面図である。
【図６】本発明のピックアップ・配置システムの機械的構造を示す概略図である。
【図７】本発明のピックアップ・配置システムにおいて弾性材料に複数のチップを接着するところを示す概略図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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