(57)【要約】【課題】  光照射部やワークステージの移動させることなく、１回の照射で画郭の全周の遮光部分の影になる部分のシール剤を十分に硬化できるようにすること。【解決手段】  紫外線を出射する複数の棒状ランプ１ａを有する光照射部１を設け、２枚の光透過性基板の間に紫外線硬化型シール剤１７および液晶１９を挟み込んで一体形状とした液晶パネルイ１０に対して、ブラックマトリックス等の遮光部分が形成された基板側から紫外線を照射する。上記光照射部１とディスプレイパネル材との間には透光部と遮光部を有するマスク３が配置され、マスク３にミラー５を設ける。該ミラー５はマスク３の遮光部３ｂに取り付けられ、ミラー５に反射した光はマスク３の透光部３ａを介して基板に対して斜め方向から入射する。また液晶パネル１０をワークステージ２上に所定の間隔をあけて載置し、ワークステージ２の表面を光反射部材とし、液晶パネル１０を透過した光を反射させる。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線を照射する光照射部と、
表面が光反射部材で形成され、貼り合わせを行うディスプレイパネル材が、上記表面に対し所定の間隔を持って載置されるワークステージと、
上記光照射部と上記ディスプレイパネル材との間に設けられ、ディスプレイパネルの液晶に対して光が照射されないように遮光パターンが形成されたマスクとを備え、
上記ディスプレイパネル材は２枚の光透過性基板の少なくとも一方の基板に遮光部が形成され、該２枚の光透過性基板の間に紫外線硬化型シール剤および液晶を挟み込んで一体形状とされており、上記遮光部が形成された基板側から紫外線が照射されるディスプレイパネルの貼り合わせ装置において、
上記マスクには、該マスクに照射される光を、上記ディスプレイパネル材の遮光部の下の紫外線硬化型シール剤に対し、斜めに入射するように反射させる光反射部材が取り付けられている
ことを特徴とするディスプレイパネルの貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等のディスプレイパネルの組立工程において、２枚の光透過性基板を光硬化型のシール剤で貼り合わせる、ディスプレイパネルの貼り合わせ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶画面は、液晶パネルとそれを制御するドライバ、および液晶パネルを裏面から照明するバックライト等から構成されている。液晶パネルは、液晶を封入し、それに印加する電圧を制御することにより、バックライトからの光を透過させたり遮光したりして画面を表示する。
図１３は、上記した液晶パネル（カラー液晶パネル）の一例を示す図である。１１はカラーフィルタ基板、１２はＴＦＴ基板、１３はＴＦＴ素子（薄膜トランジスタ）、１４は配線部分、１５はブラックマトリックス、１６は配向膜、１７はシール剤、１８は電極、１９は液晶である。同図は、理解を容易にするため、縦方向を横方向に比べ極端に拡大している。
同図に示すように、通常、液晶パネルは、カラーフィルタ基板１１とＴＦＴ基板１２からなる２枚の光透過性基板（以下はガラス基板で説明するが透明な樹脂基板の場合もある）から構成されている。
カラーフィルタ基板１１には、ブラックマトリックスと呼ばれる遮光膜１５（以下ＢＭと略す）や、カラーフィルタ等が形成され、ＴＦＴ基板１２には、液晶を駆動するための駆動素子、例えばＴＦＴ素子１３や、透明導電膜で形成された液晶駆動電極、およびそれらをつなぐ配線部分１４が形成されている。液晶パネルにおいて、画像を見る側（表側）がカラーフィルタ基板１１（以下では上ガラス基板あるいは単にガラス基板ともいう）であり、反対側（裏側）がＴＦＴ基板１２（以下では下ガラス基板あるいは単にガラス基板ともいう）となる。
ＢＭ１５は、例えばクロム蒸着膜や黒色樹脂等で形成されており、画像の表示に関係のない部分（液晶以外の部分）、例えばＴＦＴ素子１３や配線部分１４から、バックライトからの光が漏れて画像を乱さないように、目隠しの役割を果たしている。
【０００３】
上記のような液晶パネルの製造工程において、滴下工法（Ｏｎｅ  Ｄｒｏｐ  Ｆｉｌｌ、略してＯＤＦという）と呼ばれる製造方法が採用されるようになってきた。滴下工法については、例えば特許文献１に記載されている。
滴下工法について以下、簡単に説明する。
（ａ）２枚のガラス基板を別々に形成する。即ち、一方の基板にはＴＦＴ素子や液晶駆動電極を形成し、他方の基板には、ＢＭやカラーフィルタを形成する。
（ｂ）一方のガラス基板上に、紫外線硬化型樹脂であるシール剤を用いて囲み（画郭）を複数形成する。液晶が形成した囲みの中に滴下され、その中にたまる。シール剤の幅は１〜１．５ｍｍ程度である。
（ｃ）その上に、他方のガラス基板を載せ、ガラス基板越しにシール剤に対し紫外線を照射し硬化させ、２枚の基板を貼り合わせる。シール剤は液晶の封止と、２枚の基板の接着を兼ねる。
（ｄ）接着後、画郭ごとに基板を分割（切断）し、パソコンやテレビに表示画面として組み込まれる。
【０００４】
上記工程において、シール剤を硬化させるために、液晶パネルに対して紫外線を照射する際、シール剤以外の部分、例えば液晶部分やＴＦＴ素子に、紫外線が照射されることを極力防ぐことが要求されている。これは液晶やＴＦＴ素子にシール剤を硬化するような強い紫外線が照射されると、不所望の特性変化が生じるためである。これを防ぐために、光照射部と液晶パネルとの間に、遮光マスク（以下マスク）を設ける。
図１４にマスクの一例を示す。マスク３は透光部３ａと遮光部３ｂを備え、シール剤に対応する位置は紫外線が透過するように透光部３ａとなっており、液晶やＴＦＴ素子の部分は遮光部３ｂにより遮光されている。このようなマスクは、通常、石英板に、クロムをパターニングして作られる。
図１５に貼り合わされた液晶パネルを示す。２枚のガラス基板１１，１２の間にシール剤１７をはさんで形成した液晶パネルには、複数（同図では４面）の画郭が形成されている。そして各画郭を囲むようにシール剤１７が塗布され、該シール剤１７にかぶさるように、ＢＭ１５が形成される。なお、同図では、複雑になるのを避けるため、ＢＭ１５は、シール剤上に形成したもののみ示している。
【０００５】
シール剤１７は、図１６に示すように、ＢＭ１５の下になっている部分がある場合があり、シール剤１７に対して紫外線を照射する際、ＢＭ１５が形成されたカラーフィルタ側から照射を要望するユーザがある。
その理由は、照射中にマスクの遮光部を回り込む光があったとしても、図１７に示すように、ＢＭ１５により液晶部分への紫外線の照射を防ぐことができるためである。
しかしながら、ＢＭ１５が形成された側から光を照射したのでは、ＢＭ１５の下のシール剤１７を硬化させることができない。
この対策として、図１８（ａ）（ｂ）に示すように、液晶パネル１０に対して、光照射部１を斜めに配置し、ＢＭ１５等の遮光部の下の部分に斜めから光を照射することが考えられ、そのような装置が従来からいくつか提案されている。
例えば、特許文献２には、貼り合わせを行なう基板に対して斜めから光を照射する装置が記載されている。なお、この装置は、下ガラス基板１２側、即ちＢＭ１５とは反対側の基板側から照射するのが特徴で、ＢＭ１５側から照射するわけではない。
また、特許文献３には、貼り合わせる基板を透過してきた光を、基板を載置するワークステージの表面で反射拡散させ、該拡散光が基板に対して斜めに入射し、影部分のシール剤に照射されて硬化する装置が記載されている。
さらに、特許文献４には、紫外線を、拡散板を介して基板に照射し、該拡散光が基板に対しで斜めに入射し、影部分のシール剤に照射さして硬化するようにした装置が記載されている。
【特許文献１】特開平０９−０７３０９６号公報
【特許文献２】特許第３０６５０１１号
【特許文献３】特許第２８２８４０３号
【特許文献４】特許第２９８７２９５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記したように、従来から種々の装置が提案されているが、これらの装置に関しては次のような問題がある。
前記特許文献２に記載のものは、１回の照射で１方向のみの照射しかできないので、画郭の全周にわたってシール剤を硬化させるためには、前記図１８（ａ）（ｂ）に示すように、少なくとも２方向から照射を行なう必要があり、処理時間が長くなる。
また、光照射部または基板を移動させなければならず、そのための移動機構が必要であり、装置構造が複雑大型化する。
前記特許文献３，４に記載のものは、遮光部の下のシール部に斜めに入射する光の成分は、拡散板で拡散した光のうちの一部、またはワークステージ表面で反射した光の一部である。このため、シール剤を硬化させるのに照射強度が不足しやすい。図１６に示したように、２枚のガラス基板の間隔約５μｍに対し、遮光部の下になっているシール剤１７は５００μｍ〜１ｍｍ程度の幅があり、シール剤１７には拡散光や反射光の一部しか入射しないので、もともと照射強度が弱い。このため、図１９に示すように、ワークステージ２との間で反射を繰り返すと光のさらに強度が弱まり、シール剤が十分に硬化しない場合がある。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされたものであって、液晶パネルの貼り合わせを行なう光照射装置において、強い斜め入射の光成分を有し、遮光部分の影になる部分のシール剤を十分に硬化することができ、また、１回の照射で画郭の全周にわたって、影の部分のシール剤を硬化でき、さらに、光照射部やワークステージの移動機構が不要で、装置を小型化簡素化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明においては、以下のように前記課題を解決する。
紫外線を出射する複数の棒状ランプを有する光照射部を設け、２枚の光透過性基板の少なくとも一方の基板にブラックマトリックス等の遮光部分が形成され、２枚の光透過性基板の間に紫外線硬化型シール剤および液晶を挟み込んで一体形状としたディスプレイパネル材に対して、上記遮光部分が形成された基板側から紫外線を照射する。上記光照射部は、該基板の表面に直交する入射光の成分が主になるように、基板に対向して配置される。  また、上記光照射部とディスプレイパネル材との間に透光部と遮光部を有するマスクを配置し、該マスクに、光照射部からの光を、上記基板に対し斜めに入射するように反射する反射部材を設ける。該反射部材は、上記マスクの遮光部に取り付けられ、反射部材で反射した光は、遮光マスクの透光部を介して基板に対して斜め方向から入射する。
さらに、ディスプレイパネル材を載置するワークステージの表面を光反射部材とし、ディスプレイパネル材をワークステージ上に所定の間隔を開けて載置する。
上記マスクの透光部に上から（入射角０°に近い角度で）入射する光の成分は、マスクの透光部分を介して上記基板に直接入射し、上記遮光部分に遮光されない部分のシール剤の硬化に使われる。
また、マスクに設けた反射部材により反射される光は、基板に対して斜め方向から入射し、基板の遮光部分で影になる部分のシール剤の硬化に使用される。この光は、もともとはマスクの遮光部に照射され、シール剤の硬化には使われない光であるが、その光を反射部材により反射して、上記影部分のシール剤の硬化に利用しているので、従来捨てていた光を利用して、強い光を影の部分のシール剤に照射することができる。
さらに、基板に斜めに入射しディスプレイパネル材を透過した光は、ワークステージの表面で反射して、再度基板に入射し、上記影の部分のシール剤の硬化に使用される。
【発明の効果】
【０００８】
以上のように、本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）マスクにミラーを設け、従来マスクの遮光部に照射されていた光を反射して、基板に設けられたブラックマトリックス等の遮光部分の影になる部分のシール剤に斜めから照射しているので、従来無駄にしていた光を有効利用して、基板に設けられた遮光部分の影になる部分のシール剤に比較的強い光を照射することができ、この部分のシール剤を十分に硬化させることができる。
（２）マスクに設けるミラーを、基板のすべてのシール剤に対して斜めの光を照射できるように、マスクの遮光部の全周にわたって設けることにより、1 回の照射で画郭の全周にわたって、影の部分のシール剤を硬化させることができる。
（３）光照射部やワークステージの移動機構が不要であり、装置を小型化簡素化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。
なお、以下では、液晶パネルを例として説明するが、本発明はブラックマトリックス等の遮光部に隠れている部分のシール剤（接着剤）を硬化するのであれば、液晶パネル以外のディスプレイパネル、例えばプラズマ・ディスプレイパネル（ＰＤＰ）にも同様に適用することができる。また、光透過性基板もガラス基板を例にして説明するが、透明な樹脂基板であっても、シール剤を硬化させる波長の光が透過すれば、適用することができる。  図１は本発明の実施例のディスプレイパネルの貼り合わせ装置の概略構成を示す図である。同図は、光照射部に設けられた棒状ランプの長手方向に直交する方向での断面図である。
同図に示すように、貼り合わせを行なう液晶パネル１０（以下ワーク１０ともいう）には、シール剤１７の囲みの中に液晶１９が封じられている。また、図示していないが、前記したようにＢＭや配線といった遮光部があり、シール剤１７はこれらの遮光部の影になる部分にも塗布されている。
ワーク１０は、ワークステージ２上にスペーサ２ａを介して置かれる。スペーサ２ａは、ワークステージ２の表面と液晶パネル１０の間に所定の間隔を設けるためのものであり、この間隔を設けることについては後述する。
ワークステージ２の表面には、紫外線をよく反射するように無垢のアルミ（紫外線の反射率約７０％）または光輝アルミ（同じく反射率約８５％）が用いられる。
【００１０】
光照射部１は、紫外線を放射する複数の棒状ランプ１ａ（例えば高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ）を有し、出射する光が、ワーク１０に対して真上から（入射角０°で）光が照射されるように、ワークステージ２に対向するように設ける。
棒状ランプ１ａは、液晶パネルの全面を一括して照射できるように、ワーク１０の長さに対応した長さであり、この長さの棒状のランプ１ａを、ワーク１０の幅に対応した本数だけ並べる。
光照射部１と、ワークステージ２上に載置した液晶パネル１０との間に、紫外線が液晶パネルの不所望の部分に照射されないよう遮光部を形成したマスク３を設ける。マスク３は、マスクステージ４により保持される。マスク３には光照射部１からの光を、液晶パネル１０に向かって斜めに反射するミラー５が取り付けられている。
【００１１】
図２に示すように、光照射部１からの光はマスク３に照射される。マスク３の透光部３ａに照射された光は、そのままマスク３を通過し、入射角０°に近い角度で液晶パネル１０に入射し、遮光部３ｂの影になっていない部分のシール剤１７を硬化させる。
一方、マスク３に取り付けられたミラー５に照射された光は、液晶パネル１０に向かっ反射され、透光部３ａを通過する。透光部３ａを通過した光の一部は、シール剤１７に斜めに入射する。また、別の一部の光は、液晶パネル１０の液晶が存在しない部分を通過し、ワークステージ２の表面で反射され、該反射光がシール剤１７に対して下から斜めに入射する。
実際はガラス基板１１，１２に入射する時とガラス基板１１，１２から出射する時、光は屈折するが、本図では分かりやすく説明するために、省略して示している。
上下斜めから入射する光は、ＢＭ１５とガラス基板１１，１２、もしくはＢＭ１５とワークステージ２の間で反射を繰り返しながらシール剤１７の内部に進行し、真上から（入射角０°）の照射のみでは硬化させることができない部分のシール剤を硬化させる。
マスク３に設けるミラー５は、液晶パネル１０のすべてのシール剤１７に対して斜めの光を照射できるように、シール部に対向する遮光部に設けられている。
【００１２】
図３にマスク３の概略斜視図を示す。ミラー５の材質は、ワークステージ２と同様、無垢のアルミまたは光輝アルミを用いる。
同図は画郭が４面の液晶パネルのマスクを示しており、マスク３の周辺部分の透光部３ａの外周部分には、液晶パネル１０の周辺部分のシール剤に光が斜めに入射するように傾けたミラー５ａが配置され、マスク３の周辺部分以外の各遮光部３ｂの各エッジ部分には、前記図２に示したように、隣り合う画郭のシール剤１７に斜めに光が入射するように傾けたミラー５ｂが対向して配置されている。
画郭数が４面より多い場合も同様に、マスク３の周辺部分の透光部３ａの外周部分には、液晶パネル１０の周辺部分のシール剤に光が斜めに入射するように傾けたミラーが配置され、周辺部分以外の各遮光部３ｂの各エッジ部分には、隣り合う画郭のシール剤１７に斜めに光が入射するように傾けたミラーが配置される。
液晶パネル１０に形成される画郭（シール剤）の間隔、液晶パネル１０に入射させる光の角度、マスク３に取り付けるミラー５の角度、及びワークステージ２と液晶パネル１０との間に設ける間隔は、互いに関係しており、適宜適切な値に設定する。
【００１３】
上記値は次のように決めることができる。
ミラー４は前記したようにマスク３の遮光部に設けられる。したがって、図４（ａ）のように、画郭の間隔（シール剤１７の間隔）Ｌが広ければ、ミラー５の角度θを大きくして、反射光が遠くまで届くようにする。
一方、図４（ｂ）のように、間隔Ｌが狭ければ、ミラー５の角度θを小さくする。なお同図ではミラーを取り付けるマスクを省略して示している。
図５に、実際にガラス基板に製作される画郭の一例を示す。
画郭の間隔Ｌは液晶パネル製造メーカや作られる製品の大きさにもより、様々に異なるが、おおむね１０ｍｍ〜１００ｍｍの範囲である。
貼り合わせを行なう液晶パネル１０は、前記したようにスペーサ２ａにより、ワークステージ２に対して所定の間隔（以下ギャップδという）をあけて置く。
この間隔は、図６に示すように、狭すぎても広すぎても不都合がある。狭いとワークステージ２の表面で反射した光（ステージ反射光と呼ぶ）が、シール剤１７に届かない。広すぎると、幅１〜１．５ｍｍのシール剤を通り過ぎて液晶部分に光が照射されてしまう。  実験および計算結果より、後述するようにワークステージ２と液晶パネル１０との間隔は１〜８ｍｍが適切と考えられる。
【００１４】
また、図７に示すように、斜めに入射した光は、ＢＭ１５とワークステージ２の反射面あるいは、ガラス基板１２との間で反射を繰り返しながらシール剤１７の内部に進行する。しかし、反射の回数が多くなると、その分照度が弱くなる。
例えば、計算上ではＢＭ１５とワークステージ２の反射面等で３回反射すると、照度は３０％に低下する。
少ない反射回数で光をシール剤の奥まで進行させるためには、図７（ｂ）に示す入射角度γが大きいことが望ましい。実験および計算結果より、ガラス基板に入射する角度γは６０°以上が望ましいと考えられる。
しかし、図８に示すように、入射角度γが大きくなると、角度のわずかな差で、ワークステージ２の表面で反射する反射光（以下ステージ反射光という）の届く位置が大きく変化する。反射光の届く位置の変化量は、入射角度γが大きくなるほど大きくなる。入射角度γの大きさは、マスク３に設けるミラー５の角度θに依存する。したがって、入射角度γが大きくなると、ミラーの角度θを高い精度で設けなければ、ステージ反射光を幅１〜１．５ｍｍのシール剤に適切に照射することができない。
【００１５】
図９に、液晶パネル１０への入射角度γと、上記ステージ反射光の移動位置の関係を示す。横軸が液晶パネルへの入射角度γであり、縦軸は光が液晶パネルに入射する位置から、ワークステージの表面で反射して再び液晶パネルに入射する位置までの距離である（以下、水平方向移動距離Ｈと呼ぶ）。図１０に水平方向移動距離Ｈを示す。
ギャップδとは、ワークステージ２の表面と液晶パネル１０との間隔であり、図９ではギャップが０．５ｍｍ〜１０ｍｍまで、７つの場合を示している。
ギャップの大きさにかかわらず、入射角度γが大きくなるにつれ、反射光の水平方向移動距離Ｈが大きくなる。各ギャップにおいて、入射角度γが１°変化すると水平方向移動距離Ｈが約１０ｍｍ変化する角度の位置を図９の中、○で示した。
ステージ反射光を幅１〜１．５ｍｍのシール剤１７に適切に光を照射するためには、これ以上水平方向移動距離Ｈの変化量が大きくなると、マスクに設けるミラーの角度θを高精度に調整しなければならず、製造調整が難しくなる。
したがって、入射角度γはおよそ８０°〜８５°以下の範囲で設定するのが実用的と判断される。
ギャップδが小さくなると、水平方向移動距離Ｈの変化量は少なくなるが、移動距離自体も短くなる。上記したように、画郭の間隔Ｌの範囲は１０ｍｍ〜１００ｍｍなので、反射光の水平方向移動距離Ｈは、１０ｍｍ〜１００ｍｍの範囲で自由に設定できることが望ましい。例えば、ギャップδが０．５ｍｍと小さいと、水平方向移動距離Ｈは１０ｍｍ〜２０ｍｍの範囲しか設定できない。水平方向移動距離Ｈを長くしようとすると、入射角度γを大きくしなければならず、そうすると、水平方向移動距離Ｈの変化量が大きくなり、上記したように製造調整が難しくなる。
一方、ギャップδが、例えば１０ｍｍのように大きくなると、水平方向移動距離Ｈの範囲は大きくなるが、画郭の間隔Ｌが狭い３０ｍｍ以下に対応するには、上記した望ましい入射角度６０°以下になる。これらを考慮すると、ワークステージ表面と液晶パネルとのギャップは、１〜８ｍｍが適切と考える。
【００１６】
以上より、ワークステージ２の表面と液晶パネル１０とのギャップδは１〜８ｍｍ、ミラー５への入射角度γは６０°〜８５°の間が適切であると考えられる。
なお、マスク３に設けるミラー４の角度θは、液晶パネル１０への入射角度γと、光照射部１のランプ１ａの中心からミラー５への入射角θｉとの関係から、図１１に示す式で求められる。
ワークステージ２の表面と液晶パネル１０とのギャップと画郭の間隔Ｌに基づき、液晶パネル１０への入射角度γを求めた後、この式によりマスク３の設けるミラー５の角度θを計算する。
なお、光照射部１のランプ１ａから出射する光の照射角度は比較的小さく、各ミラーには、１〜２本のランプの光しか入射しない。従って、図１１においては、ミラー５に一番近いランプからの光のみを考慮すればよい。
【００１７】
以上説明した実施例においては、ミラー５をマスク３の光入射側（光照射部に対向する面）に設けたが、例えば、図１２に示すように、ミラー５をマスク３の光出射側に設けても良い。この場合には、マスク５により、液晶パネル１０に入射する光が遮られるので、前記実施例の場合より、マスク３の遮光部３ｂの大きさを小さくしておく。すなわち、前記実施例の場合には、同図の位置Ａが遮光部３ａのエッジになるが、図１１の場合には、Ｂが遮光部３ｂのエッジ位置となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施例の装置の概略構成を示す図である。
【図２】ミラーで反射した光がＢＭで影になる部分のシール剤に照射される様子を示す図である。
【図３】本発明の実施例のマスクの概略斜視図である。
【図４】画郭の間隔とミラーの角度の関係を示す図である。
【図５】実際にガラス基板に製作される画郭の一例を示す図である。
【図６】ギャップの大きさとワークステージで反射した光の照射位置の関係を示す図である。
【図７】斜めに入射した光が反射を繰り返しながらシール剤の内部に進行する様子を示す図である。
【図８】光の入射角度γとステージ反射光の届く位置の関係を示す図である。
【図９】液晶パネルへの入射角度γとステージ反射光の移動位置の関係を示すグラフである。
【図１０】水平移動距離Ｈを説明する図である。
【図１１】入射角度γと、ランプ中心からミラーへの入射角θｉとの関係を示す図である。
【図１２】ミラーをマスクの光出射側に設けた場合を示す図である。
【図１３】液晶パネル（カラー液晶パネル）の一例を示す図である。
【図１４】マスクの一例を示す図である。
【図１５】貼り合わされた液晶パネルの一例を示す図である。
【図１６】ＢＭ等により形成される遮光部の影になる部分を説明する図である。
【図１７】ＢＭにより液晶部分への紫外線の照射を防ぐことができることを説明する図である。
【図１８】斜めから液晶パネルに光を照射する従来例を説明する図である。
【図１９】液晶パネルのシール剤中を反射を繰り返しながら光を進行する様子を示す図である。
【符号の説明】
【００１９】
１    光照射部
１ａ  棒状ランプ
２    ワークステージ
２ａ  スペーサ
３    マスク
３ａ  透光部
３ｂ  遮光部
４    マスクステージ
５    ミラー
１０  液晶パネル（ワーク）
１１  ガラス基板
１２  ガラス基板
１３  ＴＦＴ素子
１４  配線部分
１５  ブラックマトリックス（ＢＭ）
１６  配向膜
１７  シール剤
１８  電極
１９  液晶
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2005043700.tif 000013
【図１２】
2005043700.tif 000014
【図１３】
2005043700.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2005043700.tif 000017
【図１６】
2005043700.tif 000018
【図１７】
2005043700.tif 000019
【図１８】
2005043700.tif 000020
【図１９】
2005043700.tif 000021