(57)【要約】【課題】  両端部における塗布液の流量が低下しにくいスリットノズルを提供する。【解決手段】  スリットノズル１は左右の半体２，３からなり、一方の半体２の合わせ面はフラットにするとともに他方の半体３の中間位置には長さ方向に伸びるマニホールド４が形成され、このマニホールド４よりも上方部分５を半体２との接合面とし、マニホールド４よりも下方部分６を上方部分５よりも研削量を多くして後退させ、半体２の合わせ面との間に隙間を形成し、この隙間をスリットノズル吐出口７の幅寸法Ｗとなるようにし、更にスリットノズル１の両側端を側板８，９にて液密に閉じている。側板８，９は樹脂などの撥水性の材料で構成されるか、側板８，９の半体２，３と接合される裏側面に撥水コーティングを施している。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布するスリットノズルにおいて、このスリットノズルは左右の半体を接合してなり、左右の半体のうちの少なくとも一方の半体の合わせ面にはスリット状吐出口の幅寸法を決定する凹部が形成され、またスリットノズルの両端には前記凹部によって形成される側面開口を閉じる側板が取り付けられ、且つこの側板を撥水性の材料とするか側板の少なくとも前記側面開口に臨む部分を撥水性の材料にて被覆したことを特徴とするスリットノズル。
【請求項２】
被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布するスリットノズルにおいて、このスリットノズルは左右の半体を接合してなり、左右の半体のうちの少なくとも一方の半体の合わせ面にはスリット状吐出口の幅寸法を決定する凹部が形成され、またスリットノズルの両端には前記凹部によって形成される側面開口を閉じる側板が取り付けられ、且つこの側板はスリット状吐出口の先端部分近傍において、その幅を０.１〜１．０ｍｍとしていることを特徴とするスリットノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板や半導体ウェーハなどの被処理物の表面に所定幅で、例えばホトレジスト液やカラーフィルタとなる塗布液を塗布するスリットノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は従来のスリットノズルの要部を示す図であり、従来にあっては左右の半体１１，１２の合わせ面にシム１３を噛ませてボルトで接合している。この場合、スリット状吐出口１４の幅寸法Ｗはシム１３の厚みに依存する。しかしながら、シム１３を正確に加工するには限度があり、吐出口１４の幅寸法を正確に設定することが困難であった。
【０００３】
そこで、シムを用いないスリットノズルが考えられるが、シムは側面からの液漏れを防止していたため、この液漏れを防止するため側板をノズルの両側端に取り付ける必要がある。このような構造が特許文献１〜６に開示されている。
【０００４】
特許文献１〜３に示されるスリットノズルにあっては、ノズル本体の側面に直接側板を取り付けている。また、特許文献４，５に示されるスリットノズルにあっては、側板とノズル本体の側面との間にシール板またはパッキンを介在せしめている。
【０００５】
また、特許文献６にはノズル本体のマニホールドが開口する側面にポケット栓を嵌め込み、その外側に側板を取り付け、更にノズルの開口幅はフッ素樹脂製のスペーサ（シム）で調整することが開示されている。
【特許文献１】特許第３１０５１６１号公報
【特許文献２】特開２０００−３３３１２号公報
【特許文献３】特開２０００−７０８１７号公報
【特許文献４】特開２００２−８６０４５号公報
【特許文献５】特許第２９８１８７３号公報
【特許文献６】特開２００２−３６１１５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
先行技術１〜５に開示されたスリットノズルにあっては、側板または側板の内側に設けたシール板（パッキン）に接する部分で塗布液の流速が低下するため、スリット状吐出口から吐出される塗布液量がノズルの長さ方向に沿って均一にならず両端部で不足しやすくなる。
【０００７】
また先行技術６にあっては、スペーサを撥水性のフッ素樹脂製としているので、このスペーサと接触する部分での塗布液の流速の低下は抑えられるが、これよりも上流側のマニホールドの端部とスリットの端部を別々の部材で塞じているので、ノズルの長さ方向を変更するときには、それぞれの部材を調節しなければならず
手間がかかっていた。
【０００８】
また、側板の厚みによって基板に吐出された塗布液の吐出分布が異なるという現象が生じていた。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決すべく本発明に係るスリットノズルは、左右の半体を接合してなり、左右の半体のうちの少なくとも一方の半体の合わせ面にはスリット状吐出口の幅寸法を決定する凹部が形成され、またスリットノズルの両端には前記凹部によって形成される側面開口を閉じる側板が取り付けられ、且つこの側板を撥水性の材料とするか側板の少なくとも前記側面開口に臨む部分を撥水性の材料にて被覆した構成とした。
【００１０】
スリット状吐出口を閉塞する側板の吐出側近傍における側板の厚みを吐出分布に差がでない程度まで加工する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、スリット状吐出流路の両端部を撥水性とすることで、流路の両端部での塗布液の流速低下を抑えることができるので、均一な塗布及び均一な厚さの塗膜が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係るスリットノズルを適用した塗布装置の側面図、図２は同スリットノズルの斜視図、図３は同スリットノズルの分解斜視図であり、スリットノズル１は水平動と昇降動が可能なフレーム２０に支持され、このフレーム２０の一端側上面には送液ポンプ２１を設け、この送液ポンプ２１に塗布液タンクから供給管２２を介して塗布液を供給し、スリットノズル１に送液ポンプ２１から供給管２３を介して塗布液を供給するようにしている。また、スリットノズル１の側面にはギャップセンサ２４が取り付けられている。
【００１３】
スリットノズル１は左右の半体２，３からなり、一方の半体２の合わせ面はフラットにするとともに他方の半体３の中間位置には長さ方向に伸びるマニホールド４が形成され、このマニホールド４よりも上方部分５を半体２との接合面とし、マニホールド４よりも下方部分６を上方部分５よりも研削量を多くして後退させ、
半体２の合わせ面との間に隙間を形成し、この隙間をスリットノズル吐出口７の幅寸法Ｗとなるようにしている。
【００１４】
また、左右の半体２，３を接合した状態で左右の側面にはマニホールド４と吐出口７の側端部が開口しているため、この開口を側板８，９にて液密に閉じている。
【００１５】
本発明では側板８，９を樹脂などの撥水性の材料で構成するか、側板８，９の半体２，３と接合される裏側面に撥水コーティングを施している。この側板８，９はスリットノズル吐出口７近傍の厚みが、０.１〜１．０ｍｍ（好ましくは０．５ｍｍ以下、さらに好ましくは０．１〜０．３ｍｍ）になるように加工されている。
【００１６】
このように、スリットノズル吐出口７の側方への開口を撥水性の部材で塞ぐことで、両端部における塗布液の流速が大きく低下することがないので、均一な塗布が行える。具体的には、粘度５ｃｐのホトレジストを、温度２３℃、塗布量１０００μｌ／secで１.５μｍ厚の塗膜を形成した。この場合の両サイドの膜厚の落ち込みは、従来のスリットノズルを用いた場合には０．３μｍであったが、本発明に係るスリットノズルを用いた場合には０．１μｍまで改善された。
【００１７】
側板８，９の厚みを０.１〜１．０ｍｍ（好ましくは０．５ｍｍ以下、さらに好ましくは０．１〜０．３ｍｍ）に加工したことによって、基板端部における吐出分布が良くなった。側板全体の厚みを０.１〜１．０ｍｍ（好ましくは０．５ｍｍ以下、さらに好ましくは０．１〜０．３ｍｍ）に加工することは強度を保てないが、吐出口近傍のみを０.１〜１．０ｍｍ（好ましくは０．５ｍｍ以下、さらに好ましくは０．１〜０．３ｍｍ）になるように加工することで、側板としても強度を保ちつつ、吐出分布も図７に示すように良好となる。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明に係るスリットノズルはガラス基板や半導体ウェーハの表面に所定幅でホトレジスト液、ＳＯＧ液或いはカラーフィルター用の塗布液を塗布する装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１発明に係るスリットノズルを適用した塗布装置の側面図
【図２】同スリットノズルの斜視図
【図３】同スリットノズルの分解斜視図
【図４】従来のスリットノズルの要部拡大図
【図５】第２発明に係るスリットノズルの側面図
【図６】図５に示したスリットノズルの側板の要部拡大図
【図７】本発明に係る側板を用いたスリットノズルの吐出分布と、従来の側板を用いたスリットノズルの吐出分布を示す図
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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