(57)【要約】【課題】測定対象物の寸法、位置、または移動量を測定する電子式長さ／角度測定器であって、目盛の原点から寸法値を計測し直さなくても、測定を高精度に行なえるようにする。【解決手段】直線／円弧状スケールの表面上を、撮像手段を設けたスライドブロックが測定対象物の寸法ないし位置に応じて移動し、スケール表面に描かれている目盛線および位置情報を撮像手段のＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子により画像情報として取り込み、取り込んだ画像情報における特定の測定点と目盛線との間の寸法および位置関係を認識して、原点からの寸法値または始点からの移動距離を求める処理を行なう。【選択図】        図１
2005037341.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
目盛線群および絶対寸法記号群を形成したスケールと、測定対象物の寸法等に対応してスケールと相対的に移動可能なスライドブロックと、前記スライドブロックに設置され前記スケール上の目盛線群及び絶対寸法記号群等の情報を電子情報化するＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子を有する撮像手段と、前記撮像手段を駆動し電子化した画像情報等を得るＣＣＤ／ＣＭＯＳ駆動手段と、得られた画像情報等に基づいて測定対象物の寸法値等を算出する演算処理手段とを有する電子式長さ／角度測定器であって、前記ＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子による視野内の特定の目盛線に関連付けられた領域の画像情報を絶対寸法記号に係る画像情報として認識し、この認識した画像情報と予め記憶手段に教示保存した画像情報とを比較して当該絶対寸法記号を判別することを特徴とする電子式長さ／角度測定器。
【請求項２】
測定点から両側に所定本数隔てた目盛線と測定点と間の距離を、異なる所定本数の個所について複数測定し、得られた複数の測定値に基づいて測定点を挟む両側の目盛線と測定点との距離の比の測定値を算出することを特徴とする請求項１記載の電子式長さ／角度測定器。
【請求項３】
上記撮像手段は、その視野内に２以上の絶対寸法記号が撮像される大きさの領域を有するＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の電子式長さ／角度測定器。
【請求項４】
測定対象物の寸法等に対応してスケールとスライドブロックが相対的に移動するとき、ＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子による視野内の所定位置を通過する目盛線の本数を計数することにより視野内にある目盛線の絶対寸法値を認識することを特徴とする請求項１乃至請求項３記載の電子式長さ／角度測定器。
【請求項５】
目盛線群が複数の単位に準拠した目盛線群からなることを特徴とする請求項１乃至４記載の電子式長さ／角度測定器。
【請求項６】
所定の間隔で目盛線群を形成したスケールと、測定対象物の寸法等に対応してスケールと相対的に移動可能なスライドブロックと、スライドブロックに設置されたＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子を含む撮像手段と、撮像手段により得られる前記スケールに形成された目盛線群の情報等に基づいて測定対象物の寸法値または移動量等を算出する演算処理手段と、演算処理手段により得られた寸法値および移動量等を保存する記憶手段とを有する電子式長さ／角度測定器であって、測定点から両側に所定本数隔てた目盛線と測定点と間の距離を、異なる所定本数の個所について複数測定し、得られた複数の測定値に基づいて測定点を挟む両側の目盛線と測定点との距離の比の測定値を得ることを特徴とする電子式長さ／角度測定器。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、目盛線群を形成した直定規（あるいは巻尺），分度器などの直線／円弧状スケールや分度器などを用いて測定対象物の寸法あるいは移動量などを電子式に測定する電子式長さ／角度測定器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来から、電子式の長さ測定器の一種として、光学的なリニアスケール装置が知られている。この装置は、目盛線またはスリットを一定間隔で形成した直線状のリニアスケールと、このスケールの長手方向に沿って可動可能に設けられスケールの目盛を光学的に検出する検出手段とを有し、この検出手段が測定対象物の寸法、或いは一直線上の位置ないし移動量にともなって原点から移動される間に検出した目盛の数をカウントして累計することにより、測定対象物の寸法、或いは一直線上の位置ないし移動量を測定するようになっている。【０００３】  このような構成の従来の光学的リニアスケール装置において高精度に測定を行なうためには、スケールに形成される各目盛について原点からの寸法値をそれぞれ高精度に設定する必要があり、極めてコストの高いものとなるという問題があった。  このため、スケールの各目盛について、それぞれの原点からの寸法値ないし回転角度値が高精度に設定されていなくても、測定を高精度に行なうことができる電子式あるいは光学式のスケール装置が求められており、かかる要望に応えるものとして、例えば、特許文献１により提案されている光学式スケール装置がある。【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２２１６５９号（３頁
【０００７】、図１）【０００５】  特許文献１には、リニアスケールの表面上を測定対象物の寸法に応じて撮像手段を移動し、スケール上のカメラに対向する部分の目盛線の画像を撮影してパソコンに入力し、パソコンでは、入力された画像におけるカメラ視野内の特定の測定点と目盛線の位置関係を認識し、これと、パソコンの外部メモリに記憶されたスケールの目盛線についての夫々の原点からの寸法値の実測値に基づいて、原点からの測定点の寸法値を求める処理を行なう光学式スケールが開示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  しかし、特許文献１に開示された光学式スケールにおいては、原点からの位置情報を全目盛線に対応して記号化して設けておく必要があり、リニアスケール自体に極めて高い精度が要求されるという問題は必ずしも解消されておらず、その構成も複雑なものとなっている。また、最小単位目盛（ｍｍ）間に存在する測定点の位置情報については比率配分して求めるとされているが、その具体的な求め方については必ずしも明確ではない。  なお、特許文献１には、低精度のスケールの精度を予め測定して、その値を記憶（記憶手段＝外部メモリ）させておき、実測するときは記憶値により補正することにより、スケールの目盛が高精度でなくても測定を高精度に行えるようにすることが開示されているが，予め精度を測定することは非常にわずらわしいという難点がある。  一方、ホームメジャーと言われる直尺／巻尺／分度器は家庭内に留まらず、例えば、直尺は鉄骨・木工・石材の切断機のスケールとして或いは道路におけるガイドレールや交通標識の施工後の高さ検査に。巻尺は測量のとき或いは和洋裁の体形採寸に。分度器は角度をつけた切断あるいは人間型ロボットの関節センサーなどとして、広くあらゆる場面で使われている。そして、多くの場合には、ほどほどの精度であっても、安価で作業スピードに優れる長さ／角度測定器の実現が要望されている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】  本発明は、上記従来技術の問題点等を解決するためになされたものであり、目盛線群および絶対寸法記号群を形成したスケールと、測定対象物の寸法等に対応してスケールと相対的に移動可能なスライドブロックと、前記スライドブロックに設置され前記スケール上の目盛線群及び絶対寸法記号群等の情報を電子情報化するＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子を有する撮像手段と、前記撮像手段を駆動し電子化した画像情報等を得るＣＣＤ／ＣＭＯＳ駆動手段と、得られた画像情報等に基づいて測定対象物の寸法値等を算出する演算処理手段とを有する電子式長さ／角度測定器であり、前記ＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子による視野内の特定の目盛線に関連付けられた領域の画像情報を絶対寸法記号に係る画像情報として認識することに特徴を有する。  なお、以下の説明は，説明を簡略化するために、主として長さ測定器について説明するが，スケールとして分度器を使用する角度測定器も同様な構成・作用である。【０００８】  本発明において、前記スケールは、その表面に一定の間隔で目盛線群を形成した直線状のスケールであり、スライドブロックがスケールに沿って摺動できるように構成されていることが好ましいが、このような構成に限定されるものではない。例えば、目盛線群が形成されたスケール本体部として市販の直定規（あるいは巻尺），分度器等のようなものを用い、スライドブロックがスケールに沿って摺動できるようなレール状部分等を有するベースに取り付けた構成のスケールとしても良い。【０００９】  上記目盛線群は単一の間隔で形成された基準単位目盛線群のみであっても良いが，絶対位置情報記号群を目盛線群と関連付けて適当な間隔で形成する場合には、基準単位目盛線の所定本数間隔毎に上位単位目盛線群を形成し、上位単位目盛線群と絶対位置情報記号群とを関連付けることが好ましい。すなわち、前記スケールの表面に、少なくとも２種類の目盛線群、例えば基準単位目盛としてｍｍ単位の目盛線の群と、上位単位目盛としてｃｍ単位の目盛線の群とを形成し、前記基準単位目盛若しくは上位単位目盛の所定量範囲毎（例えば１ｃｍ毎あるいは１０ｃｍ毎など）に当該単位目盛についての原点からの絶対寸法値を示す記号（絶対寸法記号）を形成する。  このような構成とすることにより、本発明の電子式長さ／角度測定器においては、常に、測定開始時の測定点の絶対位置を検知しているため、通常のインクリメント型長さ／角度測定器のように、測定の都度、原点までスライドブロックを戻す必要がない。【００１０】  本発明において、前記撮像手段は、直線／円弧状スケールの表面上を測定対象物の寸法ないし位置等に対応して一直線方向に相対的に移動するように構成されており、撮像手段には、スケールの表面上に形成された目盛線群および絶対寸法値記号群の一部を特定視野内に納めることのできるＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子が備えられている。【００１１】  また、本発明においては、演算処理手段を備えており、この演算処理手段において，前記撮像手段のＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子により得られた前記スケール表面の画像情報における視野内の特定の測定点と前記目盛線の位置関係、目盛線群の絶対寸法記号、スライドブロックの移動方向および移動基準単位量等を認識し、この���識情報に基づいて、原点から測定点までの寸法値あるいは測定起点位置から測定点までの移動距離等の測定値を演算処理して求めるような構成としている。  また、本発明においては、上記演算処理手段において、前記原点からの寸法値を示す絶対寸法記号を判別する際の比較判断基準となる画像情報をあらかじめ教示し、格納保存する記憶手段を設けても良い。このように構成することにより，異なる絶対寸法記号を形成したスケールについても、適用することができる。【００１２】  本発明において、測定対象物の寸法値あるいは移動量を表示または印刷することは、周知の表示手段あるいは印刷手段に上記演算処理手段からの演算出力を入力として提供することにより容易に実現できることは言うまでもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】  以下，本発明を一実施形態についての図面を参照して詳述する。  図１は、本発明の一実施形態に係る電子式長さ／角度測定器の全体概略構成説明図である。図に示すように、本実施形態の電子式長さ／角度測定器は、リニアスケール１，スライドブロック２，及び撮像手段３などからなる測定部４と、演算処理部５とから構成されている。  演算処理部５は、ＣＣＤ／ＣＭＯＳ駆動手段６、画像情報設定手段７，演算処理手段８，および記憶手段９などから構成されている。また、演算処理手段により求められた測定値出力は、表示・印刷手段１０に入力され、表示あるいは印刷により測定者が目視できる情報として提供できるように構成している。【００１４】  本実施態様におけるリニアスケール１は、金属材料からなり、一直線のレール状に形成したものであり、その表面上には、所定の幅および長さの目盛線１１がリニアスケール１の長手方向に沿って一定の間隔で形成されている。本実施態様においては、図２に示すように、目盛線１１として、例えば幅０．１ｍｍ、長さ４ｍｍの目盛を１ｍｍ間隔で形成した基準単位目盛群１１ａと、幅０．１ｍｍ、長さ８ｍｍの目盛を１ｃｍ間隔で形成した上位単位目盛群１１ｂが形成されている。  また、図２に示すように、上位単位目盛線群１１ｂのそれぞれの目盛線について、原点から当該目盛線までの寸法値を示す絶対寸法値記号１２が上位単位目盛線１１ｂに関連付けられた所定の領域範囲内に形成されている。本実施態様においては，絶対寸法値記号１２を、数字で形成しているが、他の図形等で形成しても良い。【００１５】  本実施態様において、撮像手段３はスライドブロック２に搭載されており、上述したように測定対象物の寸法ないし移動に応じて移動するスライドブロック２とともにリニアスケール１上を移動し、リニアスケール１の表面における撮像手段３に対向する部分の目盛線群１１と絶対寸法値記号１２の情報を電子画像情報として取り込む働きをする。  例えば、スライドブロック２を測定点まで移動した状態において、撮像手段３は演算処理部５のＣＣＤ／ＣＭＯＳ駆動手段６により駆動され、上記撮像手段３のＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子により撮像領域の画像情報を取り込み、演算処理手段８に出力する。【００１６】  演算処理手段８においては、ＣＣＤ／ＣＭＯＳ駆動手段６を経由して撮像手段３から取り込まれた目盛線１１および絶対寸法値記号１２の画像情報信号を処理し、その処理結果に基づいて、撮像手段３の視野内の特定位置（例えば中心点）を測定点として、その測定点の目盛線１１群上の位置を判別することにより、リニアスケール１の原点からの寸法値あるいは所定の測定開始位置から測定位置までの移動量を演算する。本実施態様においては，この演算結果を測定対象物の寸法あるいは移動量の測定値として出力する。【００１８】  本実施態様においては、上記演算処理を行なうための前提として、本装置のレール状リニアスケール１に沿ってスライドブロック２を移動し、順次、スケール上に形成された各絶対寸法記号１２の画像情報を取り込み、その画像情報に基づいて各絶対寸法値記号１２に係るパターン判別情報を、あらかじめ演算処理部９の画像情報設定手段６に教示して、記憶保存する。【００１９】  図３は、撮像手段３のＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子における作用についての概略説明図であり、撮像手段３により撮影された複数本の目盛線１１と各ＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子との関係を模式的に示したものである。図に示すように、本実施態様においては、撮像手段３の視野に対応するＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子の領域は、Ｎ列×Ｍ行の画素配列から構成されており、ＣＣＤ／ＣＭＯＳ駆動手段６により、各ＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子は、（Ｎ０，Ｍ０）→（Ｎ１，Ｍ０）→（Ｎ２，Ｍ０）→・・・・→（Ｎｎ，Ｍ０）→（Ｎ０，Ｍ１）→（Ｎ１，Ｍ１）→（Ｎ１，Ｍ０）→・・・・→（Ｎｎ，Ｍ１）→・・・・・・・・・・（中略）・・・・・・・・・・・・・・・・・・→（Ｎ０，Ｍｍ）→（Ｎ１，Ｍｍ）→（Ｎ１，Ｍｍ）→・・・・（Ｎｎ，Ｍｍ）、と、順次スキャンすることにより、撮像手段３の視野内の測定点，目盛線及び絶対寸法値記号に対応した画像情報を２値化画像電子情報に変換して取り込む。  なお、実際には、目盛線の幅に対応した複数列のＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子が存在するが、図３においては、説明の便宜上、各目盛線および測定点に対応するＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子の列は、１列で表示してある。【００２０】  図３において、基準単位目盛線に対応する各画像情報は、列Ｎｉ−２ｗ，列Ｎｉ−ｗ，列Ｎｉ＋ｗ，列Ｎｉ＋２ｗ，列Ｎｉ＋３ｗ，列Ｎｉ＋４ｗ，列Ｎｉ＋５ｗ，列Ｎｉ＋６ｗ，列Ｎｉ＋７ｗ，列Ｎｉ＋８ｗ，列Ｎｉ＋９ｗ，列Ｎｊ＋ｗの各ＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子群の中の、Ｍｐ行からＭｑ行までの範囲のＣＤ／ＣＭＯＳ素子により、認識されている。ここで、ｉは任意の数、ｊ＝ｉ＋１０ｗ、ｗは各基準単位目盛線の間に存在するＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子群の列数に相当する。なお，図３では、Ｍｐ行は０行，Ｍｑ行は８行，ｉ＝１４，ｗ＝５に該当する。  また、上位単位目盛線に対応する画像情報は、Ｎｉ列およびＮｊ列のＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子群の中のＭｐ行からＭｒ行までの範囲のＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子群により認識されている。なお、図３では、Ｍｒ行は１６行に該当する。【００２１】  さらに、スケール上の絶対寸法値記号は、上位単位目盛線に対して特定の領域範囲に形成してあり、図３に示す例においては、上位単位目盛線の先端部に相当するＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子（Ｎｉ，Ｍｒ）および（Ｎｊ，Ｍｒ）をそれぞれ基点とし、（Ｎｉ−ａ，Ｍｒ＋ｃ）と（Ｎｉ＋ｂ，Ｍｒ＋ｄ）を対角点とする領域Ａ、および（Ｎｊ−ａ，Ｍｒ＋ｃ）と（Ｎｊ＋ｂ’，Ｍｒ＋ｄ）を対角点とする領域ＢのＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子群により絶対寸法値記号の画像情報を認識するように構成されている。なお、ｂ’＜ｂとする。なお、図３では、領域Ａは画素（１４，１６）を基点とし、画素（９，１８）と画素（１９，２７）を対角点とする領域で示してある。  また、測定点Ｘの画像情報は、ＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子（Ｎｘ．Ｍｘ）で認識されているものとする。【００２２】  画像情報処理手段においては、まず、上記絶対寸法値記号の画像情報を認識している領域の大きさが正常であるか否かを判断する。すなわち、図３に示す例において、（ａ＋ｂ）列×（ｄ−ｃ）行の領域が正常な範囲であるとした場合には、領域Ａは正常と判断され、領域Ｂは列幅が（ａ＋ｂ’）と狭いので異常な領域と判断される。  正���な領域と判断した領域Ａにおける画像情報を、上述したように、画像情報設定手段７に予め記憶させた絶対寸法値記号の画像情報パターンに基づいて解析し、領域Ａで認識された絶対寸法値（図３の例では数値１５）を読み取り、該絶対寸法値が関連つけられた上位単位目盛線が原点から１５ｃｍの位置にある上位単位目盛線であることを記憶手段に格納する。【００２３】    また、本実施形態では、測定時に撮像手段３の視野内の正常領域と判断した領域の絶対値寸法記号により原点からの寸法値を認識するものとしたが、スケール上に形成される絶対寸法値記号の間隔が広いために、撮像手段３の視野内の正常領域に絶対寸法値記号が認識されないようなスケールを用いる場合には、正常領域で認識し得られた絶対値寸法値を記憶手段に一時保存しておき、当該測定箇所からの撮像手段３の移動開始時から測定位置到達時までにカメラ３の視野内の測定点が通過する上位単位目盛線１１ｂの数をカウントして、移動方向に対応して加算または減算することにより、逐次保存した絶対寸法値を更新保存するように構成する。【００２４】  次に、測定点Ｘに対して１番目と２番目に近い２本の基準目盛線または上位単位目盛線（図３の例においては、列Ｎｉ＋４ｗのＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子群および列Ｎｉ＋５ｗのＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子群で認識される基準目盛線）を認識する。  上記認識した２本の目盛線のうち、前記正常領域Ａの基点となるＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子（Ｎｉ，Ｍｒ）を含む上位単位目盛線（以下、起点目盛線という）に近い側の目盛線が、起点目盛線から数えて何番目の基準目盛線であるかを認識することにより、起点目盛線からの寸法値を取得する。例えば、図３の例では、４番目の基準目盛線であることから、この寸法値が４ｍｍであると判断されることになる。【００２５】  次に、上記測定点Ｘを挟む２本の目盛線と測定点Ｘとの位置関係を認識し、これに基づいて前記起点目盛線とした上位単位目盛線に近い側の目盛線からの寸法値を求める。この方法については、さらに詳しく後述するが、基本的には、測定点Ｘから前記２本の目盛線までの距離の比Ｌ１：Ｌ２（ただし、Ｌ１＋Ｌ２＝１）を認識することにより、寸法値を算出する。【００２６】  本発明においては、測定点Ｘから所定数の目盛線までの距離を複数範囲について測定して、それらの測定結果の平均値から寸法値を算出する方式を採用した。  このように構成したことにより本発明においては、ＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子寸法に起因する測定誤差および目盛線形成に起因する測定誤差などを吸収し、比較的正確な寸法値を算出し認識することができる。【００２７】  例えば、図３において、測定点Ｘから６番目の目盛線は、左側がＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子列Ｎｉ−ｗで認識されており、右側がＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子列Ｎｊで認識されている。ＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子列Ｎｉ−ｗとＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子列Ｎｊ間のＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子群の列数は、左側が（５ｗ＋ｗＬ１）であり、右側が（ｗＬ２＋５ｗ）であるから、基本的には、これらＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子群の列数とＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子の画素の大きさＧｄとの積により、測定点Ｘから６番目の目盛線までのそれぞれの寸法が求められる。【００２８】  次に、例えば左側の１番目から６���目までの距離は、基準単位目盛の５倍の距離すなわち５ｍｍの距離であるはずであるから、例えば、左側における測定点Ｘから最初の目盛線までの距離が、（５ｗ＋ｗＬ１）×Ｇｄ−５であるものとして仮測定値を算出する。  同様にして、例えば、測定点Ｘから５番目の目盛線までの測定値にもとづいて同様の仮測定値を算出するなど、複数の範囲についての仮測定値を算出し、それら複数の仮測定値の平均値を測定値として求めている。【００２９】    上記のようにして画像情報処理手段７により認識された測定結果は、表示・印刷手段に送られて、表示あるいは印刷することにより、測定者に目視認識される。【００３０】  図４は、本発明による電子式長さ／角度測定器の一実施例における読み取り例についての説明図である。図に示すように、本実施例の電子式長さ／角度測定器のスケールは、二点鎖線で示す正確なゲージ目盛と比べれば明らかなように、間隔が不揃いな目盛線が形成されているものである。【００３１】  図４は、この電子式長さ／角度測定器を用いて、位置Ａから位置Ｂまでの移動距離を測定した場合の例を説明するものであり、特に、基準単位以下の測定値を求める方法について具体例で説明するものである。なお、図において左側の上位目盛線の絶対寸法値が５ｃｍであり、位置Ａが５１ｍｍと５２ｍｍの目盛線の間にあること、および位置Ｂが６１ｍｍと６２ｍｍの目盛線の間にあることなどについては、前述した方法により認識しているので、その詳細は省略する。  なお，本実施例においては、画素の大きさが１４μｍ×１４μｍのＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子を用いており、位置Ａを挟む両側のｎ番目の目盛線までのＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子による測定値、および位置Ｂを挟む両側のｎ番目の目盛線までのＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子による測定値は、それぞれ下記の通りであった。【００３２】  上述した方法により、これら各測定値から導き出される位置Ａまたは位置Ｂを挟む両側の目盛線までの距離の仮測定値Ｌｌ’、Ｌｒ’、換算測定値Ｌｌ、Ｌｒは、次の通りであった。また、換算測定値Ｌｌの平均値も併せて下記に示した。【００３３】位置Ａから各目盛線までの測定値2005037341.tif 000003
【００３４】位置Ｂから各目盛線までの測定値2005037341.tif 000004
【００３５】  上記測定結果から、位置Ａは５１．５９６ｍｍ、位置Ｂは６２．０４７ｍｍであり、両位置間の距離の実測値は１０．４５１ｍｍとして、求められる。  なお、ゲージを用いて、位置Ａと位置Ｂ間の距離を正確に測定した結果では、１０．５３４ｍｍであり、本発明の電子式長さ／角度測定器による測定値との差は０．０８３ｍｍと小さく、本発明の電子式長さ／角度測定器が有用であることが判る。
【発明の効果】
【００３６】  以上の説明から明らかなように、本発明によれば、測定対象物の寸法、位置ないし移動量を測定する電子式長さ／角度測定器であって、目盛線の間隔が高精度に形成されていないスケールであっても、比較的高精度な測定を行なうことができ、原点からの目盛の寸法値を高精度に形成するためのコストをかけずに済み、装置を安価にすることができるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明による電子式長さ／角度測定器の概略構成説明図、
【図２】本発明の電子式長さ／角度測定器におけるスケール表面に形成した目盛線等の説明図、
【図３】本発明におけるＣＣＤ／ＣＭＯＳ素子によるスケール表面に形成された目盛線等の画像情報変換作用についての概略説明図、
【図４】本発明による電子式長さ／角度測定器の一実施例における読み取り例についての説明図。
【符号の説明】
【００３８】１：リニアスケール２：スライドブロック３：撮像手段４：測定部５：演算処理部６：ＣＣＤ／ＣＭＯＳ駆動手段７：画像情報設定手段８：演算処理手段９：記憶手段１０：表示・印刷手段
【図１】
2005037341.tif 000005
【図２】
2005037341.tif 000006
【図３】
2005037341.tif 000007
【図４】
2005037341.tif 000008