(57)【要約】【課題】  設定切替を高速に行い、測定システムの測定時間を短縮する。【解決手段】  制御対象ユニット４を動作させるための元になるベース設定テーブルが入力されると、この設定テーブルを制御対象ユニット４に設定するデータ（アドレスと設定値による動作用設定テーブル）に変換して手順格納手段２に格納する。外部からトリガ動作モードに切り替える制御信号が入力されると、トリガ動作モードに切り替わり、一つ目のトリガで設定されるべき内容（データ）を制御対象ユニット４の第１のバッファ４ａに書き込む。処理装置５２からトリガが入力されると、第１のバッファ４ａの内容が第２のバッファ４ｂに転送されて書き込まれると同時にデバイス４ｃに設定される。設定完了後には設定完了信号が出力され、次のトリガ入力で設定されるべき内容が第１のバッファ４ａに書き込まれる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定動作を実行するために順次切り替わる複数の測定条件から構成される測定手順を格納するための手順格納手段（２）と、前記複数の測定条件に対応した設定値に応じて動作する制御対象ユニット（４）と、前記設定値を前記制御対象ユニットへ転送する転送制御部（３）と、を備えた測定装置（１）において、
前記制御対象ユニットは、次回動作する測定条件に対応した設定値を記憶する第１のバッファ（４ａ）と、現在動作している測定条件に対応した設定値を記憶する第２のバッファ（４ｂ）と、該第２のバッファに設定された設定値に応じて動作するデバイス（４ｃ）とを備え、
トリガ信号の入力により前記第１のバッファに記憶された設定値が前記第２のバッファに転送されて前記デバイスに設定されることを特徴とする測定装置。
【請求項２】
前記制御対象ユニット（４）を少なくとも２以上備えたことを特徴とする請求項１記載の測定装置。
【請求項３】
外部端末装置（５２）から前記複数の測定条件を前記手順格納手段（２）に転送することを特徴とする請求項１または２記載の測定装置。
【請求項４】
前記転送制御部（３）は、前記複数の測定条件を予め個々の測定条件に合った設定値に変換して前記手順格納手段（２）に格納することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の測定装置。
【請求項５】
前記転送制御部（３）は、前記制御対象ユニット（４）の動作が安定状態になったときに該安定状態を知らせる設定完了信号を出力することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の測定装置。
【請求項６】
前記転送制御部（３）は、前記設定完了信号の出力に基づいて前記トリガの出力タイミングを制御するトリガコントロール部（１３）を備えたことを特徴とする請求項５記載の測定装置。
【請求項７】
前記測定条件が複数の設定項目からなることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の測定装置。
【請求項８】
前記転送制御部（３）は、前記第１のバッファ（４ａ）に記憶された設定値の転送先となる前記第２のバッファ（４ｂ）を選択するデバイス選択手段（２２）を備えたことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の測定装置。
【請求項９】
前記転送制御部（３）は、前記第１のバッファ（４ａ）から前記第２のバッファ（４ｂ）へトリガ信号入力後所定のディレイ量を持たせて転送する遅延コントロール部（２１）を備えたことを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の測定装置。
【請求項１０】
前記測定装置が前記デバイスへの設定内容に応じた信号を発生する信号発生器であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体デバイスの周波数−レベル特性等の各種特性測定を行う際に用いられる測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスとして、例えば移動体通信機器、ＩＴＳ等の、アンプ、ミキサ、スイッチなどの複合デバイスの周波数−レベル特性を測定する測定システムとして下記特許文献１に開示される半導体デバイス測定装置が知られている。
【０００３】
この半導体デバイス測定装置では、信号発生器と信号測定器を用い、半導体デバイスに信号を供給して半導体デバイスの出力を得て各種特性測定を行っている。さらに説明すると、図５に示すように、半導体デバイス測定装置５１は、ＣＰＵおよびＲＯＭ，ＲＡＭ等を備えたパソコン等の端末装置で構成される処理装置５２と、信号発生器５３と、特性測定装置としての送信機テスタ５４とから構成される。測定対象となる半導体デバイスＷは、テストフィクスチャに装着された状態で信号ケーブルを介して信号発生器５３および送信機テスタ５４にそれぞれ電気的に接続される。
【０００４】
図６に示すように、処理装置５２は、従来からのＧＰ−ＩＢインターフェース５５に加え、トリガ用インターフェース５６を備えている。トリガ用インターフェース５６は、ＣＰＵ５７の測定開始要求に基づき信号発生器５３に対してパルス状のトリガ（測定開始用トリガ）を発生出力している。また、処理装置５２は、測定開始前の時期にＧＰ−ＩＢインターフェース５５を介して、測定条件に基づく初期設定用の各種パラメータを信号発生器５３および送信機テスタ５４に送出し設定する。このパラメータとしては、特性測定を行う周波数帯域、測定周波数ステップ、各周波数でのレベル等がある。
【０００５】
信号発生器５３は、半導体デバイスＷに試験用の信号を供給する信号発生手段５９を備えている。信号発生手段５９は、手順格納手段６０に設定された測定条件に基づき発生出力する信号が制御される。手順格納手段６０は、処理装置５２から送出された設定パラメータに基づき、信号発生手段５９から出力する信号の周波数、レベルを所定の周波数帯域で所定の周波数ステップ毎に複数設定する。この設定内容は設定テーブル６０ａに格納される。同期手段６１は、処理装置５２からのトリガに基づき、信号発生手段５９からの信号発生による測定開始を制御する。また、同期手段６１は、測定開始後において、信号発生手段５９により設定した各周波数の信号を出力する毎に、トリガ用インターフェースを介して送信機テスタ５４にトリガ（周波数変更要求トリガ）を出力する。この後、送信機テスタ５４からのトリガ（レベル取得済トリガ）を受信する毎に、設定テーブル６０ａに設定された信号の周波数とレベルを各周波数ステップ毎に順次読み出して信号発生手段５９に出力することを繰り返す。
【０００６】
送信機テスタ５４は、半導体デバイスＷの周波数−レベル特性を測定する信号測定手段６２を備えている。信号測定手段６２は、手順格納手段６３に設定された測定条件に基づいて測定周波数別のレベルを測定する。手順格納手段６３は、処理装置５２から送出された設定パラメータに基づき、信号測定手段６２で測定する信号の周波数を所定の周波数帯域で所定の周波数ステップ毎に複数設定する。この設定内容は設定テーブル６３ａに格納される。同期手段６４は、信号発生器５３からのトリガ受信に基づき、信号測定手段６２での測定開始を制御する。また、同期手段６４は、測定開始後において、信号測定手段６２が各周波数の信号を測定する毎に、トリガ用インターフェースを介して信号発生器５３にトリガ（レベル取得済トリガ）を出力する。この後、信号発生器５３からのトリガ（周波数変更要求トリガ）を受信する毎に、設定テーブル６３ａに設定された信号の周波数を各周波数ステップ毎に順次読み出して信号測定手段６２に出力することを繰り返す。
【０００７】
上記のように構成される特許文献１の半導体デバイス測定装置５１では、測定開始で処理装置５２が測定開始のトリガを出力すると、信号発生器５３が設定テーブル６０ａに格納されている開始時の周波数およびレベルを信号発生手段５９に設定する。信号発生手段５９は、この周波数およびレベルの信号を発生出力する。送信機テスタ５４は、信号発生器５３から出力されるトリガの入力に基づき、設定テーブル６３ａに格納されている開始時の周波数を信号測定手段６２に設定する。信号測定手段６２は、この周波数における半導体デバイスＷの出力レベルを測定する。これにより、測定開始周波数における特性測定が行われる。
【０００８】
次に、信号発生器５３は、送信機テスタ５４からのトリガが入力される都度、設定テーブル６０ａに格納されている次の周波数およびレベルで信号発生させる。また、送信機テスタ５４は、信号発生器５３のトリガが入力される都度、設定テーブル６３ａに格納されている次の周波数で半導体デバイスＷの出力レベルを測定する。以降、信号発生器５３と送信機テスタ５４との間で互いにトリガの入力によって最後の設定周波数に至るまで、所定ステップでの特性測定が自動実行される。測定終了後、測定で得られた各周波数別のレベルは、所定のデータインターフェース（ＧＰ−ＩＢ等）を介して処理装置５３のデータ格納手段６５に転送される。これにより、トリガの送受のみで信号発生器５３と送信機テスタ５４同士を短時間で同期して測定動作させることで高速処理を可能にしている。
【０００９】
ところで、上述した半導体デバイス測定装置５１を含め、ＩＣテスタなど高速に測定を行う場合には、信号源である信号発生器の高速切替が求められる。切替項目としては、レベル・周波数・変調パラメータなどが挙げられる。
【００１０】
そして、信号発生器の高速切替を実現するためには、コアとなる回路の切り替えの高速化だけでなく、制御部の高速化も求められる。
【００１１】
図７は図５の半導体デバイス測定装置５１に採用される従来の信号発生器５３の高速切替手法の一例を示す構成図である。図７に示す信号発生器５３では、以下の手順に従って切替処理を行い、制御対象の設定を実行していた。
（１）処理装置５２から予め設定テーブルを信号発生器５３に送る。信号発生器５３は受け取ったテーブルをメモリ（図６の手順格納手段６０に相当）内に格納する。
（２）処理装置５２より信号発生器５３に対してトリガ動作モードに切り替える制御信号を送る。
（３）信号発生器５３はトリガ動作モードに切り替わり、処理装置５２からのトリガの入力を待ち受ける。
（４）処理装置５２から信号発生器５３に対してトリガを出力する。
（５）信号発生器５３内の演算部７１は設定テーブル６０ａの内容を各設定対象に設定するデータに変換し、データ／アドレスバスを介して信号をアドレスデコーダ７２に出力する。
（６）アドレスデコーダ７２は、演算部７１から設定されたアドレスにより制御対象７３を求め、この求めた制御対象７３にデータとチップセレクト信号を出力して制御対象７３にデータを設定する。
以下、（５），（６）の動作を制御対象７３の数分だけ繰り返す。
【００１２】
このように、図７に示す従来の信号発生器５３では、処理装置５２から送られた設定テーブルをメモリ（手順格納手段６０）に格納し、処理装置５２からトリガが入力されると、演算部７１が制御対象７３に対して設定するデータを演算により求め、この演算で求めたデータを制御対象７３に対して順次設定していた。
【特許文献１】特開２００１−２６４３９５号公報（特許第３３９３１８７号）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところが、図７に示す信号発生器５３を図５および図６に示す半導体デバイス測定装置５１に採用した構成では、設定テーブル６０ａの内容をハードウェアである制御対象７３に設定するためのデータを演算で求めて変換するのに時間を要するという問題があった。しかも、トリガが入力されるたびにデータを演算で求めて変換する必要があり、同じテーブルを使用して繰り返し動作を行う際に無駄が生じる。加えて、設定を設定対象項目の数だけ順次行うので、設定項目が増えると動作開始までの時間が伸びてしまい、高速処理の妨げとなっていた。
【００１４】
従って、特許文献１に開示される半導体デバイス測定装置で全体の処理の高速化を図ったとしても、信号発生器においてハードウェアの設定に時間を要し、更なる処理の高速化の要望に応えることができなかった。
【００１５】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、設定切替を高速に行い、測定システムの測定時間を短縮することができる測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するため、本発明に記載された請求項１の測定装置は、測定動作を実行するために順次切り替わる複数の測定条件から構成される測定手順を格納するための手順格納手段２と、前記複数の測定条件に対応した設定値に応じて動作する制御対象ユニット４と、前記設定値を前記制御対象ユニットへ転送する転送制御部３と、を備えた測定装置１において、
前記制御対象ユニットは、次回動作する測定条件に対応した設定値を記憶する第１のバッファ４ａと、現在動作している測定条件に対応した設定値を記憶する第２のバッファ４ｂと、該第２のバッファに設定された設定値に応じて動作するデバイス４ｃとを備え、
トリガ信号の入力により前記第１のバッファに記憶された設定値が前記第２のバッファに転送されて前記デバイスに設定されることを特徴とする。
【００１７】
請求項２の測定装置は、請求項１記載の測定装置において、
前記制御対象ユニット４を少なくとも２以上備えたことを特徴とする。
【００１８】
請求項３の測定装置は、請求項１または２記載の測定装置において、
外部端末装置５２から前記複数の測定条件を前記手順格納手段２に転送することを特徴とする。
【００１９】
請求項４の測定装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載の測定装置において、
前記転送制御部３は、前記複数の測定条件を予め個々の測定条件に合った設定値に変換して前記手順格納手段２に格納することを特徴とする。
【００２０】
請求項５の測定装置は、請求項１乃至４のいずれかに記載の測定装置において、
前記転送制御部３は、前記制御対象ユニット４の動作が安定状態になったときに該安定状態を知らせる設定完了信号を出力することを特徴とする。
【００２１】
請求項６の測定装置は、請求項５記載の測定装置において、
前記転送制御部３は、前記設定完了信号の出力に基づいて前記トリガの出力タイミングを制御するトリガコントロール部１３を備えたことを特徴とする。
【００２２】
請求項７の測定装置は、請求項１乃至６のいずれかに記載の測定装置において、
前記測定条件が複数の設定項目からなることを特徴とする。
【００２３】
請求項８の測定装置は、請求項１乃至７のいずれかに記載の測定装置において、
前記転送制御部３は、前記第１のバッファ４ａに記憶された設定値の転送先となる前記第２のバッファ４ｂを選択するデバイス選択手段２２を備えたことを特徴とする。
【００２４】
請求項９の測定装置は、請求項１乃至８のいずれかに記載の測定装置において、
前記転送制御部３は、前記第１のバッファ４ａから前記第２のバッファ４ｂへトリガ信号入力後所定のディレイ量を持たせて転送する遅延コントロール部２１を備えたことを特徴とする。
【００２５】
請求項１０の測定装置は、請求項１乃至９のいずれかに記載の測定装置において、
前記測定装置が前記デバイスへの設定内容に応じた信号を発生する信号発生器であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
本例の測定装置１では、第１のバッファ４ａと第２のバッファ４ｂからなるダブルバッファの構成を採用している。これにより、処理装置５２からのトリガ入力前に各デバイス４ｃに対してデータの書き込み準備を終えることができる。その結果、トリガ入力後から設定完了までの時間を短縮することができる。そして、従来の信号発生器では設定時間とハードウェアの収れん時間を要していたのに対し、本例の測定装置によればハードウェアの収れん時間のみに短縮することができる。
【００２７】
手順格納手段２に格納される設定テーブルを、予めハードウェアであるデバイス４ｃに設定するデータに展開しておけば、トリガ動作モード中の演算を減らすことができる。
【００２８】
設定完了後（切り替え終了後）に設定完了信号を出力するので、この設定完了信号をトリガとして測定を開始することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明による測定装置の好適な実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図１は本発明に係る測定装置の基本構成を示すブロック図、図２は本発明に係る測定装置の第１形態を示すブロック図、図３（ａ），（ｂ）は本発明に係る測定装置において制御対象ユニットの設定に用いられるベース設定テーブルと動作用設定テーブルの内容の一例を示す図、図４は本発明に係る測定装置の第２形態を示すブロック図である。
【００３０】
本発明に係る測定装置は、例えば図５および図６に示す半導体デバイス測定装置５１の信号発生器として採用することができる。以下では、半導体デバイス測定装置５１の信号発生器に採用した場合を例にとって説明する。
【００３１】
図１に示すように、本例の測定装置１は、その基本構成として、手順格納手段２、転送制御部３、第１のバッファ４ａと第２のバッファ４ｂとデバイス４ｃを有する制御対象ユニット４を備えて概略構成される。
【００３２】
本例の測定装置１では、処理装置５２から制御対象ユニット４を動作させるための元になる設定テーブル（ベース設定テーブル）が入力されると、この設定テーブルを制御対象ユニット４に設定するデータ（アドレスと設定値による動作用設定テーブル）に変換して手順格納手段２に格納する。そして、処理装置５２からトリガ動作モードに切り替える制御信号が入力されると、トリガ動作モードに切り替わり、一つ目のトリガで設定されるべき内容（データ）を制御対象ユニット４の第１のバッファ４ａに書き込む。そして、処理装置５２からトリガが入力されると、第１のバッファ４ａの内容が第２のバッファ４ｂに転送されて書き込まれると同時にデバイス４ｃに設定される。設定完了後には処理装置５２に設定完了信号が出力され、次のトリガ入力で設定されるべき内容が第１のバッファ４ａに書き込まれる。
【００３３】
次に、図１に示す測定装置１の各構成要素について図２を参照しながら詳細に説明する。手順格納手段２には、図３（ｂ）に示すような動作用設定テーブル５が記憶される。この動作用設定テーブル５は、制御対象ユニット４が測定動作を実行するために順次切り替わる測定手順（複数の測定条件から構成される）がアドレスと設定値の形式でテーブル化されたものである。動作用設定テーブル５は、処理装置５２から入力される図３（ａ）に示すようなベース設定テーブル６の測定手順を転送制御部３がアドレスと設定値の形式に変換することによって得られる。
【００３４】
変換前のベース設定テーブル６は、図３（ａ）に示すように、測定条件をテーブル化したものであり、例えばアスキーコードやバイナリデータで構成される。図３（ａ）において、ベース設定テーブル６の縦軸の番号が測定手順の順番を示し、横軸の内容が測定条件を示している。各測定手順の測定条件は、少なくとも１つの測定項目からなる。図３（ａ）の例では、測定手順の順番が１〜５からなり、各測定手順の測定条件の内容が周波数とレベルの２つの測定項目としてテーブル化されている。
【００３５】
変換後の動作用設定テーブル５は、バイナリデータで構成され、図３（ｂ）に示すように、ベース設定テーブル６の測定手順毎に個々の測定条件に合ったアドレスと設定値に変換されて手順格納手段２に記憶される。
【００３６】
なお、図３（ａ）に示すベース設定テーブル６の要素としては、例えば周波数、レベル、変調ｏｎ／ｏｆｆ、変調パラメータなど要素の追加が容易な構造となっている。
【００３７】
図２に示すように、転送制御部３は、演算部（ＣＰＵ）１１、アドレスデコーダ１２、トリガコントロール部１３を備えて構成される。
【００３８】
演算部１１には、処理装置５２から図３（ａ）に示すベース設定テーブル６が入力される。演算部１１は、処理装置５２からベース設定テーブル６が入力されると、このベース設定テーブル６の測定手順を予め個々の測定条件に合った設定値に変換し、この変換後の図３（ｂ）に示す動作用設定テーブル５を手順格納手段２に格納している。
【００３９】
演算部１１は、手順格納手段２に格納された動作用設定テーブル５を制御対象ユニット４に転送制御するため、アドレスバス上にアドレス信号（Ａｄｄｒｅｓｓ）を出力している。また、データバス上にデータ（Ｄａｔａ）を出力するとともに設定対象の制御対象ユニット４に書込信号（Ｗｒｉｔｅ）を出力している。
【００４０】
演算部１１は、制御対象ユニット４のデバイス４ｃ毎の設定値に応じた設定終了時間を監視しており、すべての制御対象ユニット４のデバイス４ｃが安定状態となって設定終了時間となったときに、安定状態を知らせる設定終了の旨の応答信号（ＡＣＫ）をトリガコントロール部１３に出力している。
【００４１】
演算部１１は、トリガコントロール部１３にモード切換信号を出力している。モード切換信号は、通常動作モード（Ｎｏｒｍａｌ  Ｍｏｄｅ）と、処理装置５２からのトリガ動作モードに切り替える制御信号の入力により選択されるトリガ動作モード（Ｔｒｉｇｇｅｒ  Ｍｏｄｅ）とを切り換えるための信号である。各動作モードについては追って詳述する。
【００４２】
アドレスデコーダ１２は、手順格納手段２に格納された動作用設定テーブル５の設定値の書き込みを行う制御対象ユニット４の第１のバッファ４ａに対し演算部１１からアドレスバスに出力されたアドレス値から設定対象となる制御対象ユニット４にチップセレクト信号（ＣＳ）を入力することにより選択する回路である。アドレスデコーダ１２は、演算部１１の制御により書き込みを行う第１のバッファ４ａに対してチップセレクト信号（ＣＳ）を出力している。
【００４３】
トリガコントロール部１３は、トリガインターバルコントローラ１３ａと切換部１３ｂとを備えている。切換部１３ｂには、演算部１１からモード切換信号が入力している。切換部１３ｂは、モード切換信号が通常動作モードであれば、トリガインターバルコントローラ１３ａと接続するための接点１３ｂａが演算部１１側に切り換えられ、演算部１１からは内部生成トリガが入力される。また、切換部１３ｂは、モード切換信号がトリガ動作モードであれば、接点１３ｂａが処理装置５２側に切り換えられ、処理装置５２からは外部トリガが入力される。
【００４４】
トリガインターバルコントローラ１３ａは、次のトリガが受付可能なタイミングでトリガ動作モード時に処理装置５２に設定完了信号を返す回路である。トリガインターバルコントローラ１３ａは、演算部１１から応答信号（ＡＣＫ）が入力されると、トリガ動作モードであれば、切換部１３ｂを介して処理装置５２に設定完了信号を出力する。そして、トリガインターバルコントローラ１３ａは、トリガ動作モード時に設定完了信号出力前に処理装置５２からトリガが入力されないように、トリガ入力を制限している。
【００４５】
制御対象ユニット４は、第１のバッファ４ａと第２のバッファ４ｂからなるダブルバッファ構造に加え、制御対象としてのデバイス４ｃを備えている。
【００４６】
第１のバッファ４ａは、制御対象ユニット４のデバイス４ｃが次回動作する測定条件における設定値を記憶している。第１のバッファ４ａには、アドレスデコーダ１２からのチップセレクト信号（ＣＳ）が入力している状態で、演算部１１からの書込信号（Ｗｒｉｔｅ）によってデータバス上の動作用テーブル５の設定値（Ｄａｔａ：データ）が書き込まれる。
【００４７】
第２のバッファ４ｂは、制御対象ユニット４のデバイス４ｃが現在動作している測定条件における設定値を記憶している。第２のバッファ４ｂは、トリガインターバルコントローラ１３ａからトリガが入力されると、このトリガのタイミングで第１のバッファ４ａの設定値が転送書き込みされると同時にデバイス４ｃに設定値を設定している。
【００４８】
制御対象としてのデバイス４ｃは、第１のバッファ４ａから第２のバッファ４ｂに転送書き込みされた複数の測定条件に対応した設定値に応じて動作するものである。
【００４９】
次に、第２実施の形態の測定装置の構成について図４を参照しながら説明する。なお、図２と同一の構成要素には同一番号を付し、その説明を省略する。
【００５０】
図４に示すように、第２実施の形態の測定装置１は、図２の測定装置１において、転送制御部３が演算部１１、アドレスデコーダ１２、トリガコントロール部１３に加え、遅延コントロール部２１、デバイス選択手段２２を更に備えた構成となっている。なお、図４における演算部１１は、必要に応じて遅延コントロール部２１やデバイス選択手段２２に書込信号（Ｗｒｉｔｅ）を出力するとともにデータバス上にデータ（Ｄａｔａ）を出力している。また、アドレスデコーダ１２は、書き込み対象となる第１のバッファ４ａにチップセレクト信号（ＣＳ）を入力する他、必要に応じて遅延コントロール部２１やデバイス選択手段２２にチップセレクト信号（ＣＳ）を入力している。
【００５１】
図４に示すように、遅延コントロール部２１には、遅延コントロール時にアドレスデコーダ１２から遅延させるべき制御対象ユニット４に対するチップセレクト信号（ＣＳ）が入力している。また、遅延コントロール部２１には遅延コントロール時に演算部１１から書込信号（Ｗｒｉｔｅ）とディレイ量を示すデータ（Ｄａｔａ）が入力している。
【００５２】
この遅延コントロール部２１では、演算部１１からの書込信号によりディレイ量を示すデータが書き込まれ、この書き込まれたデータに基づいて各制御対象ユニット４の第２のバッファ４ｂに入力されるトリガのディレイ量を制御している。すなわち遅延コントロール対象となる制御対象ユニット４に対する遅延量が演算部１１からアドレスデコーダ１２に設定され、アドレスデコーダ１２からチップセレクト信号（ＣＳ）が遅延コントロール部２１に入力されると、遅延コントロール部２１には演算部１１からの書込信号によりディレイ量に対する遅延回路素子が選択される。遅延コントロール部２１は、トリガインターバルコントローラ１３ａから入力されるトリガ信号を、遅延コントロール部２１から転送されたデータのディレイ量分だけ遅延させて第２のバッファ４ｂに入力する。
【００５３】
デバイス選択手段２２は、再設定により不具合の発生する項目に対して再設定されないようにするための回路である。例えばデバイス４ｃがＤＤＳのようなデバイスのときの周波数の変更がないときに同じ周波数を書き込むと位相が不連続となる可能性がある。そこで、デバイス選択手段２２では、同じ設定を行わないようにハードでガードをかけるように機能する。このデバイス選択手段２２は、バッファで構成され、デバイス選択時にアドレスデコーダ１２からチップセレクト信号（ＣＳ）が入力される。また、デバイス選択手段２２を構成するバッファには、デバイス選択時に演算部１１から書込信号（Ｗｒｉｔｅ）と第２のバッファ４ｂを選択するためのデータ（Ｄａｔａ）が入力されている。このデバイス選択手段２２は、第１のバッファ４ａの設定値を第２のバッファ４ｂに転送するべく、第２のバッファ４ｂにチップセレクト信号（ＣＳ）を必要があるときのみ入力する。これにより、同じ設定値の場合には、第２のバッファ４ｂの書き換えが行われない。デバイス選択手段２２は、すべての第２のバッファ４ｂに設定値が転送された後に次の設定内容に応じたデバイス選択を行う。なお、デバイス選択手段２２での第２のバッファ４ｂのトリガコントロール信号（ＣＳ）の生成には、第１のバッファ４ａの出力の１ビットを使用することもできる。
【００５４】
上記のように構成される測定装置１は、トリガ動作モード時に以下に示す（１）〜（８）の手順に従って制御対象ユニット４への設定を行っている。
（１）処理装置５２から予めベース設定テーブル６を測定装置１に送る。
（２）測定装置１は、処理装置５２から受け取ったベース設定テーブル６を制御対象ユニット４のハードウェアであるデバイス４ｃに設定するデータに変換し、この変換されたデータによる動作用設定テーブル５を手順格納手段（メモリ）２に格納する。
（３）処理装置５２より測定装置１に対してトリガ動作モードに切り替える制御信号を送る。
（４）測定装置１は、処理装置５２からの制御信号によってトリガ動作モードに切り替わる。そして、演算部１１は、一つ目のトリガで設定されるべき内容を動作用設定テーブル５のアドレスをアドレスバス経由でアドレスデコーダ１２に、設定値をデータバス経由で制御対象ユニット４に出力する。
（５）アドレスデコーダ１２は、設定されたアドレスにより設定対象である制御対象ユニット４を求め、チップセレクト信号（ＣＳ）を設定対象の制御対象ユニット４の第１のバッファ４ａに出力する。これにより、ダブルバッファ構造のうち１段目にあたる第１のバッファ４ａにデータが書き込まれる。このとき、まだデバイス４ｃにはデータは設定されていない。ここでは、上記動作を設定対象数だけ第１のバッファ４ａに対するデータの書込み作業を繰り返す。
（６）処理装置５２からトリガが入力されると、第１のバッファ４ａの内容が第２のバッファ４ｂに転送設定され、同時にデバイス４ｃにも設定される。図２の構成の場合、ダブルバッファ構造になっている全てのデバイス４ｃで同時に設定が行われる。
（７）設定完了後（ハードで設定項目が切り替わった後で）設定完了信号を出力する。
（８）次のトリガ入力で設定されるべき内容を、ダブルバッファ構造の第１のバッファ４ａに書き込む。
【００５５】
上記動作において、第１のバッファ４ａから第２のバッファ４ｂへの転送タイミングをずらす場合には、その時間を遅延コントール部２１に設定し、設定されたディレイ量だけトリガインターバルコントローラ１３ａから第２のバッファ４ｂに入力されるトリガを遅延させる。
【００５６】
また、制御対象ユニット４がデータの変更のない時に同じデータを再設定すると誤動作する種類のデバイスに対しては、前回と異なるデータを設定する際は演算部１１からのデータとアドレスデコーダ１２からのチップセレクト信号によってデバイス選択手段２２が、第２のバッファ４ｂにチップセレクト信号ＣＳを出力し、前回と同じデータを設定する際は演算部１１からのデータとアドレスデコーダ１２からのチップセレクト信号により第２のバッファ４ｂにチップセレクト信号ＣＳを出力しない。バッファ４ｂはチップセレクト信号ＣＳが入力されていないと書込信号を入力しても設定が変更されないために、再設定による誤動作を防止することができる。
【００５７】
なお、通常動作モードにおいて、演算部１１は、キー入力／ＧＰ−ＩＢコマンドを受け付けた後、第１のバッファ４ａに設定を書き込む。その後、すぐに内部生成トリガを発行し、第１のバッファ４ａに書き込まれた設定を第２のバッファ４ｂに転送して設定すると同時にデバイス４ｃにも設定する。測定装置１は、上記設定が終了すると、デバイス４ｃの設定内容に応じた信号（例えば設定周波数や設定レベルの信号）を発生出力する。
【００５８】
以上説明した本例の測定装置１では、その基本動作として、処理装置５２から切り替えのベース設定テーブル６が送られると、演算部１１がベース設定テーブル６を動作用設定テーブル５に変換して手順格納手段２に格納する。その後、処理装置５２からトリガ動作モードに移行するための制御信号が送られると、トリガ動作モードに移行する。そして、演算部１１は、１つ目のトリガ入力前に、動作用設定テーブル５の内容（制御対象ユニット４のデバイス４ｃに設定するためのデータ）をデータバスを通して各制御対象ユニット４に出力するとともに、アドレスデコーダ１２に対してアドレスバスを通してアドレスを出力する。アドレスデコーダ１２は、制御対象ユニット４に対してチップセレクト信号（ＣＳ）を出力する。制御対象ユニット４は、チップセレクト信号が入力された状態で書込信号が入力されると、データバス上のデータを第１のバッファ４ａに書き込む。同様のことを他の制御対象ユニット４にも行う。そして、処理装置５２から切り替えのタイミングでトリガ信号が入力されると、第１のバッファ４ａの内容を第２のバッファ４ｂに設定し、同時にデバイス４ｃに設定する。トリガ信号入力のタイミングで、全ての制御対象ユニット４のデバイス４ｃに同時に設定される。制御対象ユニット４は、設定が完了すると、データバスを通して演算部１１に設定完了を伝える。演算部１１は、処理装置５２に対して設定完了信号を送り、設定が完了したことを通知する。
【００５９】
このように、本例の測定装置１では、第１のバッファ４ａと第２のバッファ４ｂからなるダブルバッファの構成を採用している。これにより、トリガによる設定切替を高速に行い、処理装置５２からのトリガ入力前に各デバイス４ｃに対してデータの書き込み準備を終え、トリガが入力されてから切替完了までの時間を短縮することができる。すなわち、従来の信号発生器では複数の設定対象ユニットに順次データを転送するための時間とハードウェアの収れん時間を要していたのに対し、本例の測定装置によれば測定中に次の設定パラメータを複数の対象ユニットに予め転送することが可能になりハードウェアの収れん時間のみに設定時間を短縮することができる。その結果、トリガ入力後から設定完了までの時間を短縮でき、測定システムの測定時間を短縮することができる。
【００６０】
また、ベース設定テーブル６を予めハードウェアであるデバイス４ｃに設定するデータ（動作用設定テーブル５）に展開しておけば、トリガ動作モード中の演算を減らすことができ、トリガ間隔を短くすることが可能となり、測定システムにおける測定時間を短縮できる。ここで、トリガ動作モードへ移行した時点での待ち時間は長くてもかまわないが、トリガ動作モード中の切替時間はできるだけ短くしたいため、演算等の重い処理はトリガ動作モードに移行する前に完了しておくことが好ましい。なお、トリガ間隔は、信号発生器での各設定対象への設定および測定システムでの測定時間により決まるので、信号発生器での設定時間が支配的な場合に本例の測定装置が有効である。
【００６１】
さらに、設定完了後（切り替え終了後）に設定完了信号を処理装置５２に出力するので、測定システムにおいてトリガ出力から測定開始までの待ち時間を短縮でき、測定システムがこの設定完了信号をトリガとして測定を開始することができる。
【００６２】
ところで、上述した実施の形態では、処理装置５２から送られるベース設定テーブル６を動作用設定テーブル５に変換した後、手順格納手段２に格納する構成として説明したが、処理装置５２から測定装置１に送られる時点で既に動作用テーブル５であっても良い。また、処理装置５２から送られるベース設定テーブル６を手順格納手段２に格納した後、このベース設定テーブル６を動作用テーブル５に変換する構成とすることもできる。すなわち、測定装置１がトリガ動作モードに移行し、処理装置５２から最初のトリガが入力される前に動作用テーブル５に変換されている構成であれば良い。
【００６３】
また、上述した実施の形態では、処理装置５２から測定装置１にトリガが入力されるものとして説明したが、処理装置５２からの測定完了時期に合わせて測定装置１内の内部タイマによりトリガを発生するようにしても良い。また、測定開始時期に合わせてユーザが処理装置以外の手段でトリガを発生させることも可能である。
【００６４】
そして、上述した実施の形態では、本例の測定装置を図５および図６の信号発生器として採用した例について説明したが、測定装置としては、例えばスペクトラムアナライザのＴＧ（トラッキングジェネレータ）を使用することができる。これにより、デジタル変調信号を発生し、半導体デバイスＷに出力することができる。ここで、測定時において信号発生器と送信機テスタはＧＰ−ＩＢコマンドをやりとりしないため、デジタル変調特性を測定することができる。また、図５の半導体デバイス測定装置に採用した場合、特性測定装置としては、送信機テスタの他、レベルメータやネットワークアナライザ、スペクトラムアナライザを用いることができ、必要な測定項目に合わせた機器を選択して用いることができる。特に、スペクトラムアナライザを用いたデジタル変調特性測定時においては、ネットワークアナライザ等では扱えないデジタル変調特性（隣接チャネル漏洩特性等）の測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明に係る測定装置の基本構成を示すブロック図である。
【図２】本発明に係る測定装置の第１形態を示すブロック図である。
【図３】（ａ），（ｂ）  本発明に係る測定装置において制御対象ユニットに設定に用いられるベース設定テーブルと動作用設定テーブルの内容の一例を示す図である。
【図４】本発明に係る測定装置の第２形態を示すブロック図である。
【図５】特許文献１に開示される半導体デバイス測定装置の概略構成図である。
【図６】特許文献１に開示される半導体デバイス測定装置の内部構成を示す図である。
【図７】従来の信号発生器の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００６６】
１  測定装置
２  手順格納手段
３  転送制御部
４  制御対象ユニット
４ａ  第１のバッファ
４ｂ  第２のバッファ
４ｃ  デバイス
５  動作用設定テーブル
６  ベース設定テーブル
１１  演算部
１２  アドレスデコーダ
１３  トリガコントロール部
１３ａ  トリガインターバルコントローラ
１３ｂ  切換部
２１  遅延コントロール部
２１ａ  バッファ
２１ｂ  ディレイ
２２  デバイス選択手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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