(57)【要約】    【課題】電気・磁気特性の測定作業を、誤りを犯すことなく、簡単、かつ、確実に実行し得る薄膜磁気ヘッドを提供すること。    【解決手段】再生素子３は、スライダ１の内部に埋設され、電流方向に関して極性を有する。端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）は、スライダ１の側面に備えられ、再生素子３に接続されている。識別標識は、再生素子３の極性を表示する情報を含み、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）と関連付けてスライダ１に付され、外部から視認できる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダと、再生素子と、端子パッドと、識別標識とを含む薄膜磁気ヘッドであって、
前記再生素子は、前記スライダの内部に埋設され、電流方向に関して極性を有しており、
前記端子パッドは、前記スライダの側面に備えられ、前記再生素子に接続されており、
前記識別標識は、前記再生素子の前記極性を表示する情報を含み、前記端子パッドと関連付けて前記スライダに付され、外部から視認できる、
薄膜磁気ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記端子パッドは、前記識別標識として兼用される薄膜磁気ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記端子パッドは、一対であり、それぞれは形状が異なる薄膜磁気ヘッド。
【請求項４】
請求項２に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記端子パッドは、一対であり、それぞれは位置が異なる薄膜磁気ヘッド。
【請求項５】
請求項２に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記端子パッドは、一対であり、それぞれは表面積が異なる薄膜磁気ヘッド。
【請求項６】
請求項１に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記識別標識は、前記端子パッドから分離して設けられている薄膜膜磁気ヘッド。
【請求項７】
請求項１に記載された薄膜磁気ヘッドであって、前記再生素子は、磁気抵抗効果素子を含んでおり、前記磁気抵抗効果素子は第1の磁気シールド膜及び第２の磁気シールド膜の間に配置されており、
前記識別標識は、前記第1の磁気シールド膜又は前記第２の磁気シールド膜と、横並びに配置されている
薄膜磁気ヘッド。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れかに記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記再生素子は、磁気抵抗効果素子を含んでおり、前記磁気抵抗効果素子は定方向磁化部分を含んでおり、
前記識別標識は、前記定方向磁化部分の磁化方向を表示する情報を含む、
薄膜磁気ヘッド。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れかに記載された薄膜磁気ヘッドであって、更に、記録素子を含み、前記記録素子は、前記スライダの内部に配置され、前記再生素子の接続された前記端子パッドとは異なる端子パッドに接続されている薄膜磁気ヘッド。
【請求項１０】
薄膜磁気ヘッドと、サスペンションとを含む磁気ヘッド装置であって、
前記薄膜磁気ヘッドは、請求項１乃至９の何れかに記載されたものでなり、
前記サスペンションは、前記薄膜磁気ヘッドを支持する、
磁気ヘッド装置。
【請求項１１】
薄膜磁気ヘッドと、サスペンションと、コネクタ部と、識別標識とを含む磁気ヘッド装置であって、
前記薄膜磁気ヘッドは、スライダと、再生素子とを含んでおり、
前記再生素子は、前記スライダの内部に埋設され、電流方向に関して極性を有しており、
前記サスペンションは、一端部で前記薄膜磁気ヘッドを支持しており、
前記コネクタ部は、前記サスペンションの他端側に備えられ、複数の接続端子を含み、前記接続端子は、前記再生素子に接続されており、
前記識別標識は、前記再生素子の前記極性を表示する情報を含み、前記コネクタ部に付され、外部から視認できる、
磁気ヘッド装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載された磁気ヘッド装置であって、前記接続端子は、一対であり、それぞれは形状が異なる磁気ヘッド装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載された磁気ヘッド装置であって、前記接続端子は、一対であり、それぞれは位置が異なる磁気ヘッド装置。
【請求項１４】
請求項１０に記載された磁気ヘッド装置であって、前記接続端子は、一対であり、それぞれは表面積が異なる磁気ヘッド装置。
【請求項１５】
請求項１１乃至１４の何れかに記載された磁気ヘッド装置であって、更に、前記薄膜磁気ヘッドは請求項１乃至８の何れかに記載されたものでなる磁気ヘッド装置。
【請求項１６】
磁気ヘッド装置と、磁気ディスクとを含む磁気ディスク装置であって、
前記磁気ヘッド装置は、請求項１０乃至１５の何れかに記載されたものでなり、
前記磁気ディスクは、前記磁気ヘッド装置との協働により、磁気記録の記録及び再生を行なう、
磁気ディスク装置。
【請求項１７】
基体上に多数の薄膜磁気ヘッド要素を整列したウエハであって、
前記薄膜磁気ヘッド要素のそれぞれは、再生素子と、端子パッドと、識別標識とを含んでおり、
前記再生素子は、前記基体の内部に埋設され、電流方向に関して極性を有しており、
前記端子パッドは、前記基体の面上に備えられ、前記再生素子に接続されており、
前記識別標識は、前記再生素子の前記極性を表示する情報を含み、前記基体に付されている、
ウエハ。
【請求項１８】
請求項１７に記載されたウエハであって、前記端子パッドは、前記識別標識として兼用される、ウエハ。
【請求項１９】
請求項１８に記載されたウエハであって、前記端子パッドは、一対であり、それぞれは形状が異なる、ウエハ。
【請求項２０】
請求項１８に記載されたウエハであって、前記端子パッドは、一対であり、それぞれは位置が異なる、ウエハ。
【請求項２１】
請求項１８に記載されたウエハであって、前記端子パッドは、一対であり、それぞれは表面積が異なる、ウエハ。
【請求項２２】
請求項１９に記載されたウエハであって、前記識別標識は、前記端子パッドから分離して設けられている、ウエハ。
【請求項２３】
請求項１８乃至２２の何れかに記載されたウエハであって、
前記再生素子は、磁気抵抗効果素子を含んでおり、前記磁気抵抗効果素子は定方向磁化部分を含んでおり、
前記識別標識は、前記定方向磁化部分の磁化方向を表示する情報を含む、
ウエハ。
【請求項２４】
請求項１８乃至２３の何れかに記載されたウエハであって、更に、記録素子を含み、前記記録素子は、前記基体の内部に配置され、前記再生素子の接続された前記端子パッドとは異なる端子パッドに接続されている、ウエハ。
【請求項２５】
薄膜磁気ヘッド用ウエハの特性を測定する方法であって、
前記ウエハとして、請求項１７乃至２４の何れかに記載されたものを用い、
前記ウエハの薄膜磁気ヘッド要素のそれぞれについて、撮像装置により前記端子パッドの画像情報を取得し、
取得された画像情報を、コンピュータに供給し、
前記コンピュータの処理によって得られた当該端子パッドの極性に基づき、所定極性の測定用プローブを、当該端子パッドに当てて特性を測定する、
ステップを含む方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置、ウエハ、磁気ディスク装置及び特性測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハードディスク装置の面記録密度の向上に伴って、薄膜磁気ヘッドの性能向上が求められている。薄膜磁気ヘッドとしては、書き込み用の誘導型磁気変換素子を有する記録素子と読み出し用の磁気抵抗（以下、ＭＲ（Magneto Resistive ）と称する）素子を有する再生素子とを積層した構造の複合型薄膜磁気ヘッドが広く用いられている。ＭＲ素子としては、スピンバルブ膜構造（以下、ＳＶ膜構造と称する）や強磁性トンネル接合素子（以下、ＴＭＲ素子と称する）などの巨大磁気抵抗（以下、ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive ）と称する）効果を用いたＧＭＲ素子が現在の主流である。ＧＭＲ素子でなる再生素子は、記録素子とともに、スライダの内部に埋設されており、スライダの表面に設けられた端子パッドに接続されている。
【０００３】
ところで、薄膜磁気ヘッドの製造においては、様々な段階で、抵抗値などの電気的特性、キャパシタンス値や磁化ループなどの磁気特性及び電磁変換特性を測定し、評価しなければならない。これらの諸特性の測定にあたっては、端子パッドに、テスタのプローブを当てて行なう。
【０００４】
再生素子としてＧＭＲ素子を用いた場合、ＳＶ膜構造やＴＭＲ素子の別があり、更に、ＳＶ膜を用いた場合でも、膜面に平行にセンス電流を流すＣＩＰ（Current In Plane）構造、及び、膜面に垂直にセンス電流を流すＣＰＰ（Current Perpendicular to the Plane）構造があり、センス電流の流れ方向によっては、前述した諸特性が異なった値を示す。
【０００５】
しかも、ＧＭＲ素子でなる再生素子は、バルクハウゼンノイズ抑制用の磁区制御膜や、反強磁性膜との交換結合によって磁化方向が固定された磁化固定膜（以降ピンド層と呼ぶ）など、定方向磁化部分を含むことが必須である。これらの定方向磁化部分も、センス電流によって生じる電流磁界の影響を受け、結果的に、前記諸特性が変動する。
【０００６】
従って、前記諸特性を正確に測定するには、設計で決められた方向にセンス電流を流すように、端子パッドに測定用プローブを当てなければならない。
【０００７】
ところが、従来のセンス電流を流すために用いられる端子パッドは、何れも同じ形状であり、見分けがつかないから、例えば、右端子パッドに正極プローブを当てるべきを、左端子パッドに正極プローブを当てるような事態が生じる。これを避けるため、左右を入れ替えて両極性による測定作業を繰り返せば、設計通りの正確な測定を実行することができるが、評価時間が著しく長くなってしまう。大量の薄膜磁気ヘッドについて、測定作業を実行しなければならない量産工程を考慮すると、到底、そのまま見過ごすことができない。
【０００８】
同様の問題は、薄膜磁気ヘッドのユーザにおいても発生する。即ち、端子パッドの極性について、仮にユーザに知らせてあったとしても、右の端子パッドを正極として用いるか、負極として用いるかは、ユーザによって異なるため、仕様通りのリード線接続が実行されず、仕様通りの前記諸特性が出ないなどのトラブルを生じることがある。
【０００９】
上述のような問題点を解決する手段として、特許文献１は、磁気抵抗効果素子（再生素子）のための端子パッドに、極性を直接に明示する技術を開示している。
【００１０】
しかし、この技術は、高密度記録の要請から薄膜磁気ヘッドの小型化が進展し、端子パッドの小面積化の進んだ技術の現状に適合しない。また、端子パッドにはリード線が接続されるから、その上に極性を付することは、リード線接続の際の障害になりかねない。
【特許文献１】特開２００１−４３５１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の課題は、抵抗値などの電気的特性、キャパシタンス値や磁化ループなどの磁気特性及び電磁変換特性の測定作業を、誤りを犯すことなく、簡単、かつ、確実に実行し得る薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置、磁気ディスク装置、薄膜磁気ヘッド用ウエハ及び特性測定方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
１．薄膜磁気ヘッド
上述した課題を解決するため、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、スライダと、再生素子と、端子パッドと、識別標識とを含む。前記再生素子は、前記スライダの内部に埋設され、電流方向に関して極性を有する。前記端子パッドは、前記スライダの側面に備えられ、前記再生素子に接続されている。前記識別標識は、前記再生素子の前記極性を表示する情報を含み、前記端子パッドと関連付けて前記スライダに付され、外部から視認できる。
【００１３】
本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおいて、再生素子は、電流方向に関して極性を有する。そのような再生素子の代表例は、前述したように、ＳＶ膜構造やＴＭＲ素子などのＧＭＲ素子を用いた再生素子である。センス電流の方向としては、ＣＩＰ構造であっても、ＣＰＰ構造であってもよい。なお、ＴＭＲ素子は、ＣＰＰ構造である。これらは、一般的にセンス電流の流れ方向によって、抵抗値などの電気的特性、キャパシタンス値や磁化ループなどの磁気特性及び電磁変換特性（以下、電気・磁気特性と称する）が異なった値を示す。
【００１４】
本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、複数の端子パッドを含んでおり、端子パッドは、前記スライダの側面に備えられ、前記再生素子に接続されている。従って、電気・磁気特性を正確に測定するには、設計で決められた方向にセンス電流を流すように、端子パッドに測定用プローブを当てなければならない。
【００１５】
そこで、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、識別標識を含む。前記識別標識は、前記再生素子の前記極性を表示する情報を含み、前記端子パッドと関連付けて前記スライダに付され、外部から視認できる。識別標識は、基本的には、薄膜磁気ヘッドを構成する部材、又は、その製造工程において現れる部材を用いる。具体的には、端子パッドそのものや、端子パッドを製造する工程において現れる膜、または、シールド膜を製造する工程に現れる膜などを用いることができる。
【００１６】
したがって、電気・磁気特性を測定するにあたり、端子パッドと関連付けてスライダに付された識別標識を、外部から視認しながら、設計で決められた方向にセンス電流を流すように、端子パッドに測定用プローブを当てることができる。このため、例えば、右端子パッドに正極プローブを当てるべきを、左端子パッドに正極プローブを当てるような事態を回避し、所定の極性となるように、端子パッドに測定用プローブを当てることができる。
【００１７】
しかも、一回の操作によって、端子パッドに測定用プローブを正確に当てることができるから、左右を入れ替えて両極性による測定作業を繰り返す必要がない。このため、大量の薄膜磁気ヘッドについて、測定作業を実行しなければならない量産工程を、効率よく実行することができる。
【００１８】
薄膜磁気ヘッドのユーザにおいても、端子パッドと関連付けてスライダに付された識別標識を、外部から視認しながら、設計で決められた方向にセンス電流を流すように、リード線を接続することができる。このため、ユーザにおいても、仕様通りのリード線接続が実行され、仕様通りの電気・磁気特性が得られることになる。
【００１９】
ＧＭＲ素子でなる再生素子は、磁区制御膜や、ピンド層など、定方向磁化部分を含むことは前述したとおりであるが、センス電流の流す方向が特定されるから、これらの定方向磁化部分が、センス電流によって生じる電流磁界の影響が画一化され、結果的に、電気・磁気特性の変動が回避されることになる。
【００２０】
更に、識別標識を端子パッドの表面に付する必要はないから、端子パッドの小面積化の進んだ技術の現状に適合するとともに、リード線接続の際の障害になることもない。
【００２１】
識別標識を、端子パッドと関連付けてスライダに付す態様は、様々である。好ましい一つの例は、端子パッドそのものを、識別標識として兼用することである。具体的には、次のような態様をとることができる。
（ａ）一対備えられる端子パッドのそれぞれを、互いに異なる形状とする。
（ｂ）一対備えられる端子パッドのそれぞれの高さ位置を異ならせる。
（ｃ）一対備えられる端子パッドのそれぞれの表面積を異ならせる。
【００２２】
別の態様として、識別標識は、端子パッドから分離して設けてもよい。具体的には、端子パッドの存在する面上において、端子パッドに隣合うように設ける。
【００２３】
更に別の態様として、空気ベアリング面（以下、Air Bearing Surface：ＡＢＳと称する）から見て、再生素子を構成する磁気抵抗効果素子が第1の磁気シールド膜及び第２の磁気シールド膜の間に配置されている構造の場合、識別標識を、第1の磁気シールド膜又は第２の磁気シールド膜と、横並びに配置する構造をとることもできる。この場合は、右横であるか、左横であるかによって、端子パッドの極性を表示する。
【００２４】
更に別の態様として、識別標識は、定方向磁化部分の磁化方向を表示する情報を含んでいてもよい。更に、いわゆる、アップ・タイプ・ヘッド及びダウン・タイプ・ヘッドの別を区別する識別標識としての情報を含んでいてもよい。
【００２５】
本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、基本的には、記録素子を含む複合型である。記録素子は、再生素子の接続された端子パッドとは異なる端子パッドに接続される。必要であれば、記録素子の端子パッドについても、再生素子の端子パッドと同様の識別標識を付してもよい。この他、記録用及び再生用以外の目的でパッドを設けた場合も、その役割を区別するために、識別標識を付してもよい。
【００２６】
２．磁気ヘッド装置
本発明は、２つのタイプの磁気ヘッド装置を開示する。本発明において、磁気ヘッド装置は、磁気ヘッドをジンバル（サスペンション）に取り付けたヘッド・ジンバル組立体（Head Gimbal Assembly、以下ＨＧＡと称する）、ＨＧＡをアームに取り付けたヘッド・アーム組立体（Head Arm Assembly、以下ＨＡＡと称する）及び複数のＨＡＡをスタックしたヘッド・スタック組立体（Head Stack Assembly、以下ＨＳＡと称する）を含む。
【００２７】
（１）第１のタイプの磁気ヘッド装置
第１のタイプの磁気ヘッド装置は、上述した本発明に係る薄膜磁気ヘッドと、サスペンションとを組み合わせて構成される。サスペンションは、薄膜磁気ヘッドを支持する。このようなサスペンションは従来より知られたものを用いることができるし、これから提案されることのあるものを用いることもできる。
【００２８】
この第１のタイプの磁気ヘッド装置は、本発明に係る薄膜磁気ヘッドを含むので、薄膜磁気ヘッドの有する作用効果をそのまま得ることができる。
【００２９】
（２）第２のタイプの磁気ヘッド装置
第２のタイプの磁気ヘッド装置は、上述した本発明に係る薄膜磁気ヘッドを用いることができるが、それに限定されない。即ち、第２のタイプの磁気ヘッド装置に用いられる薄膜磁気ヘッドは、スライダと、再生素子とを含んでいるが、必ずしも、識別標識を必要としない。前記再生素子は、前記スライダの内部に埋設され、電流方向に関して極性を有する。
【００３０】
前記サスペンションは、一端部で前記薄膜磁気ヘッドを支持している。前記コネクタ部は、前記サスペンションの他端側に備えられ、複数の端子パッドを含み、前記端子パッドは、前記再生素子に接続されている。前記識別標識は、前記再生素子の前記極性を表示する情報を含み、前記コネクタ部に付され、外部から視認できる。
【００３１】
即ち、第２のタイプの磁気ヘッド装置の特徴は、サスペンションに備えられたコネクタ部の端子パッドに、識別標識を付したことが特徴である。
【００３２】
本発明に係る磁気ヘッド装置において、識別標識は再生素子の前記極性を表示する情報を含み、サスペンションのコネクタ部に備えられた端子パッドと関連付けてコネクタ部に付され、外部から視認できる。
【００３３】
したがって、電気・磁気特性を測定するにあたり、端子パッドと関連付けてスライダに付された識別標識を、外部から視認しながら、設計で決められた方向にセンス電流を流すように、端子パッドに測定用プローブを当てることができる。このため、例えば、右端子パッドに正極プローブを当てるべきを、左端子パッドに正極プローブを当てるような事態を回避し、所定の極性となるように、端子パッドに測定用プローブを当てることができる。
【００３４】
しかも、一回の操作によって、端子パッドに測定用プローブを正確に当てることができるから、左右を入れ替えて両極性による測定作業を繰り返す必要がない。このため、大量の磁気ヘッド装置について、測定作業を実行しなければならない量産工程を、効率よく実行することができる。
【００３５】
磁気ヘッド装置のユーザにおいても、サスペンションの端子パッドと関連付けてスライダに付された識別標識を、外部から視認しながら、設計で決められた方向にセンス電流を流すように、コネクタ部を外部回路に接続することができる。このため、ユーザにおいても、仕様通りのコネクタ接続が実行され、仕様通りの電気・磁気特性が得られることになる。
【００３６】
識別標識を、端子パッドと関連付けてコネクタ部に付す態様は、様々である。好ましい一つの例は、端子パッドそのものを、識別標識として兼用することである。具体的には、次のような態様をとることができる。
（ａ）一対備えられる端子パッドのそれぞれを、互いに異なる形状とする。
（ｂ）一対備えられる端子パッドのそれぞれの高さ位置を異ならせる。
（ｃ）一対備えられる端子パッドのそれぞれの表面積を異ならせる。
【００３７】
別の態様として、識別標識は、端子パッドから分離して設けてもよい。具体的には、端子パッドの存在するコネクタ部の面上において、端子パッドに隣合うように設ける。
【００３８】
３．磁気ディスク装置
本発明に係る磁気ディスク装置は、磁気ヘッド装置と、磁気ディスクとを含む。前記磁気ヘッド装置は、上述した本発明に係る磁気ヘッド装置である。前記磁気ディスクは、前記磁気ヘッド装置との協働により、磁気記録の記録及び再生を行なう。
【００３９】
この磁気ディスク装置は、第１のタイプの磁気ヘッド装置、又は、第２のタイプの磁気ヘッド装置を含むことになるので、それらの有する効果をそのまま得ることができる。
【００４０】
４．ウエハ
更に、本発明は、基体上に多数の薄膜磁気ヘッド要素を整列したウエハを開示する。前記薄膜磁気ヘッド要素のそれぞれは、再生素子と、端子パッドと、識別標識とを含んでいる。前記再生素子は、前記基体の内部に埋設され、電流方向に関して極性を有している。前記端子パッドは、前記基体の面上に備えられ、前記再生素子に接続されている。
前記識別標識は、前記再生素子の前記極性を表示する情報を含み、前記基体に付されている。
【００４１】
即ち、本発明に係るウエハは、本発明に係る薄膜磁気ヘッドに要求される要件を全て具備した薄膜磁気ヘッド要素を整列したものである。
【００４２】
従って、薄膜磁気ヘッド要素のそれぞれについては、本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおいて説明した作用効果が、ほぼ、そのまま当てはまる。また、識別標識のとりえる態様についても、既に、薄膜磁気ヘッドの説明において述べたことが、そのまま妥当する。識別標識は、基本的には、薄膜磁気ヘッド要素を構成する部材、又は、その製造工程において現れる部材を用いる。具体的には、端子パッドそのものや、端子パッドを製造する工程において現れる膜などを用いることができる。
【００４３】
５．電気・磁気特性の測定方法
更に、本発明は、薄膜磁気ヘッド用ウエハの電気・磁気特性を測定する方法を開示する。このウエハは、本発明に係るウエハである。測定方法の実施にあたっては、まず、前記ウエハの薄膜磁気ヘッド要素のそれぞれについて、撮像装置により前記端子パッドの画像情報を取得し、取得された画像情報を、コンピュータに供給する。
【００４４】
そして、前記コンピュータの処理によって得られた当該端子パッドの極性に基づき、所定極性の測定用プローブを、当該端子パッドに当てて、電気・磁気特性を測定する。
【００４５】
この方法によれば、多数の薄膜磁気ヘッド要素を配列したウエハ上において、標識情報を基準に、測定すべき薄膜磁気ヘッド要素の端子パッドに、所定の極性となるように、測定用プローブを当て、薄膜磁気ヘッド要素のそれぞれについて、電気・磁気特性を簡単、かつ、確実に測定することができる。
【発明の効果】
【００４６】
以上述べたように、本発明によれば、電気・磁気特性の測定作業を、誤りを犯すことなく、簡単、かつ、確実に実行し得る薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置、磁気ディスク装置、薄膜磁気ヘッド用ウエハ及び特性測定方法を提供することができる。
【００４７】
本発明の他の特徴及びそれによる作用効果は、添付図面を参照し、実施例によって更に詳しく説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
１．薄膜磁気ヘッド
図１は薄膜磁気ヘッドの一例を示す図で、媒体対向面側から見た平面図、図２は図１の２−２線拡大断面図である。図示された薄膜磁気ヘッドは、スライダ１と、記録素子２と、再生素子３と、記録素子用端子パッド（Ｗ＋、Ｗ−）と、再生素子用端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）とを含む。
【００４９】
スライダ１は、例えば、アルティック（Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＣ）等のセラミック材料からなる。スライダ１は、ＡＢＳ１２となる媒体対向面に浮上特性制御用の幾何学的形状を有している。そのような幾何学的形状については、種々のパターン、構造、形状が提案されており、本発明では、何れの幾何学的形状を採用してもよい。
【００５０】
記録素子２は、下部磁性膜２１と、上部磁性膜２２と、薄膜コイル２３と、ギャップ膜２４とを含む。下部磁性膜２１は、基体１の端面に設けられた絶縁膜１６の上に形成されている。絶縁膜１６は、例えばＡｌ2Ｏ3（アルミナ）などでなる。下部磁性膜２１は、ＮｉＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ，ＣｏＦｅなどのめっき膜で構成されており、下部ヨーク部２１０と、下部ポール部２１１とを有する。
【００５１】
下部ポール部２１１は記録媒体に対向する側、即ち、ＡＢＳ１２の側において、下部ヨーク部２１０の端部に備えられている。上部磁性膜２２は、上部ヨーク部２２１と、上部ポール部２２２とを有している。上部ヨーク部２２１は、下部ヨーク部２１０から間隔を隔て形成され、後方に位置する後方結合部２５により、下部ヨーク部２１０と磁気的に結合されている。上部ヨーク部２２１は、前端が上部ポール部２２２に隣接しており、ＮｉＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ，ＣｏＦｅなどの磁性材料によって構成されている。上部ヨーク部２２１の前端は、上部ポール部２２２の媒体対向面から、若干後退した位置にある。上部ポール部２２２は、ギャップ膜２４を介して、下部ポール部２１１と、同一トラック幅を持って対向している。
【００５２】
薄膜コイル２３は、後方結合部２５の周りを周回している。薄膜コイル２３は、下部ヨーク部２１０と上部ヨーク部２２１との間に生じるインナーギャップ内に充填された絶縁膜２６によって支持されている。薄膜コイル２３は、Ｃｕなどのめっき膜として構成することができる。
【００５３】
上記構造により、上部ヨーク部２２１、上部ポール部２２２、ギャップ膜２４、下部ポール部２１１、下部ヨーク部２１０及び後方結合部２５により、薄膜コイル２３に流れる電流によって生じた磁束のための薄膜磁気回路が形成される。
【００５４】
再生素子３は、電流方向に関して極性を有する。そのような再生素子３の代表例は、前述したように、ＳＶ膜構造やＴＭＲ素子などのＧＭＲ素子を用いたものである。センス電流の方向としては、ＣＩＰ構造であっても、ＣＰＰ構造であってもよい。なお、ＴＭＲ素子は、ＣＰＰ構造である。これらは、一般的にセンス電流の流れ方向によって、電気・磁気特性が異なった値を示す。
【００５５】
図３はＣＰＰ構造の再生素子の一例を示す断面図である。図示された再生素子３は、ＧＭＲ膜３０と、電極膜２５、２６と、磁区制御膜２１、２２と、絶縁膜（２３１、２３２）、（２４１、２４２）とを含む。
【００５６】
下部電極膜２５は、支持層２０１の上に設けられ、ＧＭＲ膜３０と隣接すべき部分が、突出しており、その突出部分の両側が絶縁膜２０２によって埋められている。絶縁膜２０２の表面は下部電極膜２５の表面と同一平面を構成している。絶縁膜２０２は、Ａｌ2Ｏ3、または、ＳｉＯ2等の酸化絶縁物からなる。
【００５７】
ＧＭＲ膜３０は、フリー層３０１を含み、フリー層３０１に隣接する非磁性層３０２を有し、非磁性層３０２の上に、ピンド層３０３が隣接している。ピンド層３０３の上には反強磁性層３０４が設けられている。ピンド層３０３は、反強磁性層３０４との交換結合により、磁化方向が、例えば、矢印Ｆ１の方向に固定される。
【００５８】
フリー層３０１、非磁性層３０２、ピンド層３０３及び反強磁性層３０４の膜構造及び組成材料等については、既に知られている技術を、任意に適用できる。一例をあげると、フリ−層３０１及びピンド層３０３は、例えば、ＮｉＦｅ、ＮｉＦｅＣｏ、ＣｏＦｅ等で構成され、反強磁性層３０４はＦｅＭｎ、ＭｎＩｒ、ＮｉＭｎ、ＣｒＭｎＰｔなどによって構成される。非磁性層３０２は、ＳＶ膜の場合はＣｕ等を主成分とする導電性材料層で構成され、ＴＭＲ膜の場合は、Ａｌ2Ｏ3層などの絶縁性材料層で構成される。上部電極膜２６は反強磁性層３０４に隣接している。上部電極膜２６は絶縁層４６によって覆われている。
【００５９】
磁区制御膜２１、２２は、ＧＭＲ膜３０の幅方向の両側部に、絶縁膜（２３１、２３２）、（２４１、２４２）による間隔を隔てて配置されている。磁区制御膜２１、２２は、フリー層３０１の磁区を制御する。
【００６０】
絶縁膜２３１、２４１は、酸化絶縁物で構成され、ＭＲ膜３０に接触している。具体的には、絶縁膜２３１、２４１は、Ａｌ2Ｏ3、または、ＳｉＯ2等の酸化絶縁材料からなる。図示実施例において、絶縁膜（２３１、２３２）、（２４１、２４２）は、磁区制御膜２１、２２と電極膜２５、２６との間では、層状に配置され、磁区制御膜２１、２２とＧＭＲ膜３０との間ではＧＭＲ膜３０の側端面に接触し、両者間を完全に遮断するように形成されている。
【００６１】
絶縁膜２３１、２４１は、ＧＭＲ膜３０の側端面から、電極膜２６の側部に生じるギャップを埋めるように、ＧＭＲ膜３０の上部面に延長して設けられている。ＧＭＲ膜３０の下面には、電極膜２５の側端面と、ＧＭＲ膜３の側端面との間に生じるギャップを埋めるように、絶縁膜２０２が接触している。
【００６２】
上述したＭＲ素子において、ＧＭＲ膜３０と、電極膜２５、２６とを含んでおり、電極膜２５、２６のそれぞれは、ＧＭＲ膜３０の両面に隣接している。したがって、ＧＭＲ膜３０の膜面に対して垂直方向にセンス電流を流すＭＲ素子を得ることができる。
【００６３】
ＣＰＰ構造のＳＶ膜またはＴＭＲ膜は、少なくとも１つのフリ−層３０１を含んでおり、フリー層３０１に発生することのあるバルクハウゼンノイズを抑制しなければならない。図示実施例の磁気抵抗効果素子は、磁区制御膜２１、２２を含んでおり、磁区制御膜２１、２２は、ＧＭＲ膜３０の幅方向の両側部に配置され、フリー層３０１の磁区を制御する。
【００６４】
絶縁膜（２３１、２３２）、（２４１、２４２）は、磁区制御膜２１、２２と、電極膜２５、２６との間に層状に介在し、ＧＭＲ膜３０との間では、両者間を完全に遮断するように形成されている。この構造によれば、電極膜２５、２６及びＧＭＲ膜３０から磁区制御膜２１、２２へのセンス電流Ｉｓの漏洩を、絶縁膜（２３１、２３２）、（２４１、２４２）によって、確実に防止することができる。
【００６５】
端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）は、スライダ１の側面に備えられている。端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）は再生素子３のために備えられたもので、例えば、端子パッド（Ｒ＋）に電極２６が電気的に接続され、端子パッド（Ｒ−）に電極２５が接続されている。図示実施例の場合、電極２６を正極、電極２５を負極として、電極２６から電極２５に向かう方向に、センス電流が流れることになる。
【００６６】
端子パッド（Ｗ＋、Ｗ−）は記録素子２のために備えられたもので、端子パッド（Ｗ＋、Ｗ−）のそれぞれには、薄膜コイル２３の端部が接続される。
【００６７】
上述したように、図示実施例の場合、電極２６を正極、電極２５を負極として、電極２６から電極２５に向かう方向に、センス電流を流すように設計されているから、電気・磁気特性を正確に測定するには、設計で決められた方向にセンス電流を流すべく、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）に測定用プローブを当てなければならない。
【００６８】
また、ピンド層３０３は、反強磁性層３０４との交換結合により、磁化方向が、例えば、矢印Ｐ１の方向に固定されているから、センス電流の作る磁界による磁化方向Ｐ１への影響が一定となるように、センス電流を常に一定方向に流す必要もある。
【００６９】
もし、測定用プローブの当て方が上述した方向と逆になった場合には、センス電流の流れる方向が逆になってしまうため、測定によって得られる電気・磁気特性が、本来のものと異なったものとなってしまう。
【００７０】
そこで、図１に図示された薄膜磁気ヘッドは、識別標識を含む。識別標識は、再生素子３の極性を表示する情報を含み、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）と関連付けてスライダ１に付され、外部から視認できる。図示実施例では、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）そのものを、識別標識として兼用している。即ち、一対備えられる端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）のそれぞれを、互いに異なる形状とし、識別標識として用いている。図示実施例では、記録素子用端子パッド（Ｗ＋、Ｗ−）も同様の関係になっているが、この関係は必要に応じて適用する。
【００７１】
上述したように、一対備えられる端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）のそれぞれを、互いに異なる形状とし、識別標識として兼用した場合、電気・磁気特性を測定するにあたり、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）で構成される識別標識を、外部から視認しながら、設計で決められた方向にセンス電流を流すように、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）に測定用プローブを当てることができる。このため、例えば、右端子パッド（Ｒ＋）に正極プローブを当てるべきを、左端子パッド（Ｒ−に正極プローブを当てるような事態を回避し、所定の極性となるように、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）に測定用プローブを当てることができる。
【００７２】
しかも、一回の操作によって、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）に測定用プローブを正確に当てることができるから、左右を入れ替えて両極性による測定作業を繰り返す必要がない。このため、大量の薄膜磁気ヘッドについて、測定作業を実行しなければならない量産工程を、効率よく実行することができる。
【００７３】
薄膜磁気ヘッドのユーザにおいても、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）で構成された識別標識を、外部から視認しながら、設計で決められた方向にセンス電流を流すように、リード線を接続することができる。このため、ユーザにおいても、仕様通りのリード線接続が実行され、仕様通りの電気・磁気特性が得られることになる。
【００７４】
更に、識別標識を端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）の表面に付する必要はないから、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）の小面積化の進んだ技術の現状に適合するとともに、リード線接続の際の障害になることもない。
【００７５】
識別標識を、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）と関連付けてスライダ１に付す態様は、様々である。その例を、図４〜図１０に例示してある。図において、図１に現れた構成部分に相当する部分については、同一の参照符号を付してある。
【００７６】
まず、図４の実施例では、一対備えられる端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）のうち、端子パッド（Ｒ＋）の表面積を、端子パッド（Ｒ−）のそれよりも大きくしてある。端子パッド（Ｗ＋）と、端子パッド（Ｗ−）との関係も同様である。
【００７７】
図５の実施例では、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）のそれぞれについて、ＡＢＳ１２からの高さ位置を、互いに異ならせてある。端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）の何れを高位置におくかは任意であるが、正極側を高位置におくほうが観念的に適する。端子パッド（Ｗ＋）と、端子パッド（Ｗ−）との関係も同様である。
【００７８】
図６の実施例では、識別標識１４，１５は、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）から分離して設けられている。識別標識１４，１５は、具体的には、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）の存在する面上において、端子パッド（Ｒ＋）、（Ｗ＋）の下側に、間隔を置いて隣合うように設けられている。そして、識別標識１４，１５の付された端子パッド（Ｒ＋）、（Ｗ＋）が、正極であるというように特定する。
【００７９】
識別標識１４，１５は、スライダ１の空気流出端側端面１３の表面に付された塗膜で構成することができる。スライダ１の端面１３が透明性の高いＡｌ2Ｏ3（アルミナ）などで構成されている場合には、スライダ１の内部に設けることもできる。この場合には、記録素子２または再生素子３の構成部分とともに、同時に形成することもできる。
【００８０】
図７の実施例では、識別標識１４，１５は、意味のある文字列によって構成されている。図示実施例の場合は、図において左側の端子パッド（Ｒ−）が負極であることを示し、右側の端子パッド（Ｗ−）が負極であることを示している。
【００８１】
図８の実施例では、識別標識１４は、端子パッド（Ｒ＋）から分離して設けられ、端子パッド（Ｒ＋）に向かう矢印によって構成されている。これにより、識別標識１４が矢印で示す端子パッド（Ｒ＋）が正極端子で、かつ、矢印の示す方向が、再生素子３のピンド層の磁化方向もしくは磁区制御膜の着磁方向であるという意味を持たせることができる。なお、この傾き角度は、設計により異なる。
【００８２】
図９の実施例では、識別標識１４は、端子パッド（Ｒ＋）から分離して設けられ、端子パッド（Ｒ＋）の下側において、斜線として表示されている。これにより、識別標識１４の対応する端子パッド（Ｒ＋）が正極端子で、斜線の傾斜方向がＱＳＴ傾きを表わすという意味を持たせることができる。
【００８３】
図１０の実施例では、識別標識１４を、第１の磁気シールド膜３１と、横並びに配置してある。この場合は、右横であるか、左横であるかによって、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、の極性を表示したり、着磁の方向を表示することができる。識別標識１４は、第２の磁気シールド膜３３と、横並びに配置してもよい。
【００８４】
図示は省略するが、以上の識別標識構成は，それ単独で用いてもよいし、組み合わせて用いてもよい。
【００８５】
２．磁気ヘッド装置
図１１は磁気ヘッド装置の斜視図、図１２は図１１に示した磁気ヘッド装置の先端部における部分拡大図である。図示された磁気ヘッド装置は、薄膜磁気ヘッド４と、サスペンション５と、コネクタ部６１を有するフレキシブル配線６と、識別標識となる複数の接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）、（ＷＣ+、ＷＣ−）とを含む。磁気ヘッド装置に２つのタイプが含まれること、及び、ＨＧＡ、ＨＡＡ及びＨＡＳが含まれ得るは既に述べたとおりである。図１１及び図１２は、これらのうちのＨＧＡの具体例を示している。
【００８６】
（１）第１のタイプの磁気ヘッド装置
第１のタイプの磁気ヘッド装置は、薄膜磁気ヘッド４として、図１〜図１０に示したものを用いる。薄膜磁気ヘッド４は、図１〜図１０を参照して既に述べたように、スライダ１と、再生素子３とを含んでいる。再生素子３は、スライダ１の内部に埋設され、電流方向に関して極性を有している。
【００８７】
サスペンション５は、一端部で薄膜磁気ヘッド４を支持している。サスペンション５は、図１２に拡大して示すように、金属薄板でなる支持体５１の長手方向の一端にある自由端に、同じく金属薄板でなる可撓体を取付け、この可撓体の下面に薄膜磁気ヘッド４を取付けた構造となっている。具体的には、可撓体は、支持体５１の先端を自由端とした舌状片５２４を有する。支持体５１の下面には、例えば半球状の荷重用突起５２５が設けられている。この荷重用突起５２５により、支持体５１の自由端から舌状片５２４へ荷重力が伝えられる。本発明に適用可能なヘッドサスペンション５は、上記実施例に限定するものではなく、これまで提案され、またはこれから提案されることのあるサスペンション５を広く適用できる。
【００８８】
薄膜磁気ヘッド４は、舌状片５２４の下面に接着等の手段によって取付けられ、ピッチ動作及びロール動作が許容されるように支持されている。
【００８９】
コネクタ部６１を有するフレキシブル配線６は、サスペンション５の一面に沿って配置され、中間部がサスペンション５に接着などの手段によって接続されるとともに、可撓性支持体の部分で、舌状部５２４に接着されている。薄膜磁気ヘッド４は、舌状部５２４においてフレキシブル配線６の表面に接着されている。フレキシブル配線６の代わりに撚り線を用い、コネクタ部６１をサスペンション５に取り付けた構成を採用してもよい。
【００９０】
フレキシブル配線６は、一般には、タブテープと称されるもので構成され、絶縁性及び可撓性に富むプラスチックシートの内部に配線を埋設して構成されており、この配線は一端が薄膜磁気ヘッド４の端子パッド（Ｒ+、Ｒ−）、（Ｗ+、Ｗ−）に接続されている。薄膜磁気ヘッド４の端子パッド（Ｒ+、Ｒ−）、（Ｗ+、Ｗ−）は、図１、図４〜図９に示したような構成を有する。
【００９１】
フレキシブル配線６の内部に埋設された配線の他端は、コネクタ部６１に導かれる。コネクタ部６１は、サスペンション５の他端側に備えられ、一面側に複数の接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）、（ＷＣ+、ＷＣ−）を有している。コネクタ部６１に導かれた配線の他端は、接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）、（ＷＣ+、ＷＣ−）に接続される。これにより、接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）は、フレキシブル配線６を介して、再生素子３に接続される。同様にして、接続端子（ＷＣ+、ＷＣ−）は記録素子２に接続される。
【００９２】
接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）は、前述したように、識別標識として兼用されている。実施例では、一対備えられる接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）のそれぞれを、互いに異なる形状とし、識別標識として用いている。具体的には、接続端子（ＲＣ+）は、形状が、接続端子（ＲＣ−）よりも大きくなっており、例えば、正極性を示す。記録素子用接続端子（ＷＣ+、ＷＣ−）も同様の関係になっているが、この関係は必要に応じて適用する。
【００９３】
上述したように、一対備えられる接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）のそれぞれを、互いに異なる形状とし、識別標識として兼用した場合、電気・磁気特性を測定するにあたり、接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）で構成される識別標識を、外部から視認しながら、設計で決められた方向にセンス電流を流すように、接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）に測定用プローブを当てることができる。このため、例えば、右接続端子（ＲＣ＋）に正極プローブを当てるべきを、左接続端子（ＲＣ−）に正極プローブを当てるような事態を回避し、所定の極性となるように、接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）に測定用プローブを当てることができる。
【００９４】
しかも、一回の操作によって、接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）に測定用プローブを正確に当てることができるから、左右を入れ替えて両極性による測定作業を繰り返す必要がない。このため、大量の測定作業を実行しなければならない量産工程を、効率よく実行することができる。
【００９５】
薄膜磁気ヘッドのユーザにおいても、仕様通りのリード線接続が実行され、仕様通りの電気・磁気特性が得られることになる。
【００９６】
識別標識を、接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）と関連付ける態様は、様々である。その例は、既に、図４〜図９に例示したとおりであり、これらの構成は、接続端子についても、同様に適用できる。図１３〜図１５にその具体例を示す。
【００９７】
図１３の実施例では、接続端子（ＲＣ+）は、四角形状とし、接続端子（ＲＣ−）は楕円形状としてある。記録素子用接続端子（ＷＣ+、ＷＣ−）も同様の関係になっている。
【００９８】
図１４の実施例では、具体的には、接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）は、上下方向に位置を変えてある。記録素子用接続端子（ＷＣ+、ＷＣ−）も同様の関係になっている。
【００９９】
図１５の実施例では、識別標識１４，１５は、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）から分離して設けられている。識別標識１４，１５は、具体的には、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）の存在する面上において、端子パッド（Ｒ＋）、（Ｗ＋）の上側（または下側）に、間隔を置いて隣合うように設けられている。識別標識１４，１５の付された端子パッド（Ｒ＋）、（Ｗ＋）が、正極であるというように特定する。
【０１００】
（２）第２のタイプの磁気ヘッド装置
第２のタイプの磁気ヘッド装置は、端子パッド及び識別標識について、本発明の構成を持たない薄膜磁気ヘッドを用いる。図１６はそのような薄膜磁気ヘッドの一例を示す図で、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）は、ほぼ同一の形状を有して、同一位置に一列に配置されている。このような薄膜磁気ヘッドを、図１１〜図１５に示したサスペンションと組み合わせる。この場合も、接続端子（ＲＣ+、ＲＣ−）による同様の作用効果を奏する。
【０１０１】
３．磁気ディスク装置
図１７は磁気ディスク装置の具体的な構造を示す斜視図である。図示された磁気ディスク装置は、軸７０の回りに回転可能に設けられた磁気ディスク７１と、磁気ディスク７１に対して情報の記録及び再生を行う薄膜磁気ヘッド４と、薄膜磁気ヘッド４を磁気ディスク７１のトラック上に位置決めするためのアッセンブリキャリッジ装置７３とを備えている。
【０１０２】
アセンブリキャリッジ装置７３は、軸７４を中心にして回動可能なキャリッジ７５と、このキャリッジ７５を回動駆動する例えばボイスコイルモータ(ＶＣＭ)からなるアクチュエータ７６とから主として構成されている。
【０１０３】
キャリッジ７５には、軸７４の方向にスタックされた複数の駆動アーム７７の基部が取り付けられており、各駆動アーム７７のポール端部には、薄膜磁気ヘッド４を搭載したサスペンション５，６が固着されている。各サスペンション５，６は、そのポール端部に有する薄膜磁気ヘッド４が、各磁気ディスク７１の表面に対して対向するように駆動アーム７７のポール端部に設けられている。図１７に示した磁気ディスク装置は、図１〜図１２を参照して説明した作用効果を奏する。
【０１０４】
４．ウエハ
図１８は本発明に係るウエハの一部を拡大して示す平面図である。図示されたウエハは、スライダとなる基体１の上に多数の薄膜磁気ヘッド要素Ａ，Ｂを整列してある。薄膜磁気ヘッド要素Ａ，Ｂは、いわゆるアップ・タイプや、ダウン・タイプなどのチャンネルを意味する。薄膜磁気ヘッド要素Ａ，Ｂのそれぞれは、図１〜図９に示した薄膜磁気ヘッドと同じ構造を有する。即ち、記録素子２と、再生素子３と、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）と、識別標識とを含んでいる。
【０１０５】
再生素子３は、基体１の内部に埋設され、電流方向に関して極性を有している。端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）は、基体１の面上に備えられ、再生素子３に接続されている。
【０１０６】
識別標識は、再生素子３の極性を表示する情報を含み、基体１に付されている。識別標識は、再生素子３の極性を表示する情報を含み、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）と関連付けてスライダ１に付され、外部から視認できる。図示実施例では、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）そのものを、識別標識として兼用している。即ち、一対備えられる端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）のそれぞれを、互いに異なる形状とし、識別標識として用いている。より具体的には、一対の端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）の一方を、他方よりも大きい表面積とし、その形状の大きさの違いから、視覚的に識別できるようになっている。図示実施例では、記録素子用端子パッド（Ｗ＋、Ｗ−）も同様の関係になっているが、この関係は必要に応じて適用する。
【０１０７】
更に、図１８の実施例では、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）の極性配置が逆、即ち、アップ・タイプ及びダウン・タイプの２種類の薄膜磁気ヘッド要素Ａ、Ｂを含んでいる。薄膜磁気ヘッド要素Ａを、磁気ディスクの表面側で磁気記録再生を行なうために使用されるものとすると、薄膜磁気ヘッド要素Ｂは、磁気ディスクの裏面側で磁気記録再生を行なうために使用される。これらの薄膜磁気ヘッド要素Ａ、Ｂは、互い違いに配置されている。
【０１０８】
上記配置のウエハにおける電気・磁気特性測定は、薄膜磁気ヘッド要素Ａでは、左端子パッド（Ｒ＋）、（Ｗ＋）を正極とし、右端子パッド（Ｒ−）、（Ｗ−）を負極として行なわれ、薄膜磁気ヘッド要素Ｂでは、右端子パッド（Ｒ＋）、（Ｗ＋）を正極とし、左端子パッド（Ｒ−）、（Ｗ−）を負極として行なわれる。薄膜磁気ヘッド要素Ａ、Ｂは、互い違いに配置されているから、薄膜磁気ヘッド要素の一つおきに、測定用プローブの極性を反転させるという規則的な操作によって、アップ・タイプや、ダウン・タイプなどのチャンネルを意味する薄膜磁気ヘッド要素Ａ、Ｂについて、電気・磁気特性を測定できる。
【０１０９】
このウエハの特徴に着目し、次に述べる画像処理を適用することにより、２種類の薄膜磁気ヘッド要素Ａ、Ｂの電気・磁気特性を効率よく測定することができる。なお、典型的ウエハのほか、このウエハから切断して得られた細長いバーも、本発明にいう「ウエハ」という概念に入るものとする。
【０１１０】
５．電気・磁気特性測定方法
図１９は本発明に係る薄膜磁気ヘッド用ウエハの諸特性を測定する方法を示す図である。ウエハ１としては、図１８に示したものが用いられる。このウエハ１を、ＸＹテーブル８４の面上に、例えば、真空チャックなどの手段によって固定する。ＸＹテーブル８４は、駆動装置８３によって、直交２軸であるＸＹ方向に駆動される。
【０１１１】
ＸＹテーブル８４の上にセットされたウエハ１の薄膜磁気ヘッド要素Ａ，Ｂのそれぞれについて、撮像装置８１により端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）の画像情報を取得する。撮像装置８１としては、たとえばＣＣＤカメラなどを用いることができる。
【０１１２】
上述のようにして取得された端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）の画像情報を、コンピュータ８５に供給する。そして、コンピュータ８５の処理によって得られた端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）の極性に基づき、所定極性の測定用プローブ８２を、端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）に当てて、電気・磁気特性を測定する。
【０１１３】
ここで、前述したように、ウエハ１の上では、薄膜磁気ヘッド要素Ａ、Ｂは、互い違いに配置されており、しかも、薄膜磁気ヘッド要素Ａでは、左端子パッド（Ｒ＋）、（Ｗ＋）が正極、右端子パッド（Ｒ−）、（Ｗ−）が負極となっており、薄膜磁気ヘッド要素Ｂでは、右端子パッド（Ｒ＋）、（Ｗ＋）が正極、左端子パッド（Ｒ−）、（Ｗ−）が負極となっているから、薄膜磁気ヘッド要素の一つおきに、測定用プローブの極性を反転させるという規則的な操作によって、アップ・タイプや、ダウン・タイプなどのチャンネルを意味する薄膜磁気ヘッド要素Ａ、Ｂについて、電気・磁気特性を効率よく測定できる。
【０１１４】
なお、これまで説明してきた端子パッド（Ｒ＋、Ｒ−）、（Ｗ＋、Ｗ−）及び接続端子パッド（ＲＣ＋、ＲＣ−）、（ＷＣ＋、ＷＣ−）の極性は、設計により異なる場合があることは、いうまでもない。また、典型的ウエハのほか、このウエハから切断して得られた細長いバーや、スライダについても、本発明は適用可能である。
【０１１５】
以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を採り得ることは自明である。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの一例を示す図である。
【図２】図１の２−２線拡大断面図である。
【図３】図１及び図２に図示された薄膜磁気ヘッドの再生素子部分を拡大して示す図である。
【図４】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の実施例を示す図である。
【図５】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例を示す図である。
【図６】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例を示す図である。
【図７】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例を示す図である。
【図８】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例を示す図である。
【図９】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例を示す図である。
【図１０】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例を示す図である。
【図１１】磁気ヘッド装置の斜視図である。
【図１２】図１１に示した磁気ヘッド装置の先端部における部分拡大図である。
【図１３】コネクタ部の別の実施例を示す平面図である。
【図１４】コネクタ部の更に別の実施例を示す平面図である。
【図１５】コネクタ部の更に別の実施例を示す平面図である。
【図１６】本発明に係る磁気ヘッド装置において、サスペンションと組み合わされる薄膜磁気ヘッドの一例を示す図である。
【図１７】磁気ディスク装置の具体的な構造を示す斜視図である。
【図１８】本発明に係るウエハの一部を拡大して示す平面図である。
【図１９】本発明に係る薄膜磁気ヘッド用ウエハの電気・磁気特性を測定する方法を示す図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１                                スライダ
２                                記録素子
３                                再生素子
Ｒ＋、Ｒ−、Ｗ＋、Ｗ−            端子パッド
(ＲＣ＋、ＲＣ−)、(ＷＣ＋、ＷＣ−)  サスペンションコネクタ部上の接続端子パット゛
【図１】
2005322366.tif 000003
【図２】
2005322366.tif 000004
【図３】
2005322366.tif 000005
【図４】
2005322366.tif 000006
【図５】
2005322366.tif 000007
【図６】
2005322366.tif 000008
【図７】
2005322366.tif 000009
【図８】
2005322366.tif 000010
【図９】
2005322366.tif 000011
【図１０】
2005322366.tif 000012
【図１１】
2005322366.tif 000013
【図１２】
2005322366.tif 000014
【図１３】
2005322366.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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