(57)【要約】【課題】  感度補正されたＸ線検出器から出力される検出データにずれが生じても、その影響を受けずに安定した検査を行う。【解決手段】  第１の平均値算出手段１７ａは、Ｘ線検出器１０から出力される所定ライン数の濃度データ全体の平均値を算出する。第２の平均値算出手段１７ｂは、Ｘ線検出器１０から出力される所定ライン数の濃度データの中から単体素子に対応する濃度データの平均値を素子毎に算出する。差分算出手段１７ｃは、第１の平均値算出手段１７ａが算出した平均値から第２の平均値算出手段１７ｂが算出した平均値を差し引いた差分データを素子毎に算出する。そして、補正手段１７ｄは、被検査物Ｗを含むＸ線検出器１０のライン毎の各素子のＸ線透過データに対応する素子の差分データを差し引いて検出データを補正する。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路上を搬送される被検査物（Ｗ）にＸ線を曝射するＸ線発生器（９）と、前記被検査物の搬送方向（Ｘ）の平面上で直交する方向（Ｙ）に直線状に配置された複数の素子によって前記被検査物を透過するＸ線を検出し、その検出した濃度データを素子毎に前記複数の素子数を１ラインとして順次出力し、前記被検査物の搬送に伴い前記順次出力を繰り返すＸ線検出器（１０）を備え、該Ｘ線検出器から出力される濃度データに基づいて前記被検査物の検査を行うＸ線検査装置において、
前記Ｘ線検出器から出力される所定ライン数の濃度データ全体の平均値を算出する第１の平均値算出手段（１７ａ）と、
前記Ｘ線検出器から出力される所定ライン数の濃度データの中から単体素子に対応する濃度データの平均値を素子毎に算出する第２の平均値算出手段（１７ｂ）と、
前記第１の平均値算出手段が算出した平均値から前記第２の平均値算出手段が算出した平均値を差し引いた差分データを前記素子毎に算出する差分算出手段（１７ｃ）と、
前記被検査物を含む前記Ｘ線検出器のライン毎の各素子の濃度データに対応する素子の前記差分データを差し引いて前記Ｘ線検出器からの濃度データを補正する補正手段（１７ｄ）とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記補正手段（１７ｄ）で補正された濃度データの前記被検査物（Ｗ）の内容物領域内における内容物の異物の有無を判別する判別手段（１９）を備えたことを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記補正手段（１７ｄ）で補正された濃度データの前記被検査物（Ｗ）の内容物領域内における内容物の欠品の有無を判別する判別手段（１９）を備えたことを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記補正手段（１７ｄ）で補正された濃度データから外形を抽出し、この抽出した外形を基準として、予め設定されたシール部情報に基づいて前記被検査物（Ｗ）のシール部領域を算出するシール部算出手段（１８）と、
該シール部算出手段が算出したシール部領域の画像の濃淡レベルと前記被検査物の内容物の画像の濃淡レベルとの比較によりシール不良の有無を判別する判別手段（１９）とを備えたことを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線を曝射したときのＸ線透過量から被検査物中の異物混入の有無などを検査するＸ線検査装置に関し、特に感度補正されたＸ線検出器から出力される検出データにずれが生じても誤判定を招くことなく安定した検査を行うことが可能なＸ線検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検査装置は、搬送路上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物（例えば、生肉、魚、加工食品、医薬など）にＸ線を曝射し、この曝射したＸ線の透過量から被検査物中に金属、ガラス、石、骨などの異物が混入しているか否かや被検査物の欠品などを検査する装置である。
【０００３】
この種のＸ線検査装置では、例えば下記特許文献１でも開示されるように、Ｘ線の曝射に伴って被検査物を透過してくるＸ線を検出するＸ線検出器としてアレイ状のラインセンサを用いている。Ｘ線検出器１０は、搬送される被検査物の搬送方向の平面上で搬送方向と直交する方向に複数の素子が一直線上に配置されたものであり、図５に示すように、ライン状に整列して配設された複数のフォトダイオード１０ａと、ライン状のフォトダイオード１０ａ上に設けられたシンチレータ１０ｂとを備えてアレイ状に構成される。
【特許文献１】特開２００２−１６８８０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来、アレイ状のラインセンサからなるＸ線検出器１０を用いて被検査物の検査を行う際には、被検査物を搬送していない検査前にＸ線検出器１０の各素子の出力レベルが一定値となるように、Ｘ線検出器１０に対して適切な補正値を設定しておき、この補正値に基づいて検査前にＸ線検出器１０の出力レベルの感度補正を行っていた。
【０００５】
しかしながら、この種のＸ線検査装置に使用されるアレイ状のＸ線検出器１０は、温度や湿度などの外部要因によって素子単体の感度が変動し、素子毎に出力レベルに差が生じてくる。
【０００６】
また、仮にＸ線検出器１０の受光面にゴミが付着した状態で上述した感度補正を行い、その後、付着したゴミが取れた状態で検査が行われると、ゴミが取れた部分の素子の出力レベルに誤差が生じ、その部分が異物検出などに影響を与えて誤判定を招くおそれがあり、安定した検査が行えないという問題を生じる。また、感度補正後にＸ線検出器１０の受光面にゴミが付着しても同様の問題を招く。
【０００７】
このように、従来のＸ線検査装置では、検査前にＸ線検出器１０の感度補正を行い、各素子が出力する検出データの出力レベルを一定値に補正しても、その後、温度や湿度などの外部要因に伴う各素子の出力レベルの差、受光面へのゴミなどの付着によって感度補正後にＸ線検出器１０が出力する検出データにずれが生じることがある。
【０００８】
そして、図６（ａ）に示す各素子の出力レベルが一定値に補正された感度補正直後の検出データにずれが生じると、補正された検出データのレベルの高低差が濃淡画像の色調の変化としてデータに現われる。例えば感度補正後の検出データにずれが生じた素子の出力レベルが基準値より高い場合には、その部分の濃淡画像がグレーの線として表示される（図６（ｂ）の黒塗り部分）。これに対し、感度補正後の検出データにずれが生じた素子の出力レベルが基準値より低い場合には、その部分の濃淡画像が白の線として表示される（図６（ｂ）のハッチング部分）。そして、上記のように感度補正後の検出データにずれが生じた部分が異物検出などに影響を与えて誤判定を招き、安定した正確な検査が行えないという問題を招いていた。
【０００９】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、感度補正されたＸ線検出器から出力される検出データにずれが生じても、その影響を受けずに安定した検査を行うことができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１に記載されたＸ線検査装置は、搬送路上を搬送される被検査物ＷにＸ線を曝射するＸ線発生器９と、前記被検査物の搬送方向Ｘの平面上で直交する方向Ｙに直線状に配置された複数の素子によって前記被検査物を透過するＸ線を検出し、その検出した濃度データを素子毎に前記複数の素子数を１ラインとして順次出力し、前記被検査物の搬送に伴い前記順次出力を繰り返すＸ線検出器１０を備え、該Ｘ線検出器から出力される濃度データに基づいて前記被検査物の検査を行うＸ線検査装置において、
前記Ｘ線検出器から出力される所定ライン数の濃度データ全体の平均値を算出する第１の平均値算出手段１７ａと、
前記Ｘ線検出器から出力される所定ライン数の濃度データの中から単体素子に対応する濃度データの平均値を素子毎に算出する第２の平均値算出手段１７ｂと、
前記第１の平均値算出手段が算出した平均値から前記第２の平均値算出手段が算出した平均値を差し引いた差分データを前記素子毎に算出する差分算出手段１７ｃと、
前記被検査物を含む前記Ｘ線検出器のライン毎の各素子の濃度データに対応する素子の前記差分データを差し引いて前記Ｘ線検出器からの濃度データを補正する補正手段１７ｄとを備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載されたＸ線検査装置は、請求項１に記載のＸ線検査装置において、
前記補正手段１７ｄで補正された濃度データの前記被検査物Ｗの内容物領域内における内容物の異物の有無を判別する判別手段１９を備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載されたＸ線検査装置は、請求項１に記載のＸ線検査装置において、
前記補正手段１７ｄで補正された濃度データの前記被検査物Ｗの内容物領域内における内容物の欠品の有無を判別する判別手段１９を備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項４に記載されたＸ線検査装置は、請求項１に記載のＸ線検査装置において、
前記補正手段１７ｄで補正された濃度データから外形を抽出し、この抽出した外形を基準として、予め設定されたシール部情報に基づいて前記被検査物Ｗのシール部領域を算出するシール部算出手段１８と、
該シール部算出手段が算出したシール部領域の画像の濃淡レベルと前記被検査物の内容物の画像の濃淡レベルとの比較によりシール不良の有無を判別する判別手段１９とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、検査前に感度補正されたＸ線検出器から出力される検出データにずれが生じても、被検査物が搬送されてくる直前のＸ線検出器のデータを用いてグレーや白の線の影響値を差し引くデータ補正を行い、感度補正されたＸ線検出器から出力される検出データのずれが異物検出、欠品検出、シール不良検出などに影響することなく、常に安定した正確な各種検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は本発明に係るＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図、図２は本発明に係るＸ線検査装置のブロック図、図３は本発明に係るＸ線検査装置における被検査物とデータ補正に用いるデータとの時間的位置関係を示す図、図４（ａ），（ｂ）は本発明に係るＸ線検査装置のデータ補正に関する説明図である。
【００１６】
本例のＸ線検査装置１は、製造ラインの一部に設けられ、所定間隔をおいて順次搬送されてくる被検査物Ｗ中の異物混入の有無、内容物の噛み込みによるシール部不良の有無、内容物の欠品の有無などの各種検査を行うものである。
【００１７】
図１に示すＸ線検査装置１は、搬送部２と異物検出部３とが装置本体４内部に設けられ、表示器５が装置本体４の前面上部に設けられている。
【００１８】
搬送部２は、同一品種の被検査物Ｗを、一定速度で所定間隔おきに搬送路上を順次搬送している。この搬送部２は、例えば装置本体４に対して水平に配置されたベルトコンベアで構成することができる。搬送部２は、図１に示す駆動モータ６の駆動により予め設定された所定の搬送速度で搬入口７から搬入された被検査物Ｗを搬出口８側（図中搬送方向Ｘ）に向けて搬送させる。
【００１９】
異物検出部３は、搬送される被検査物Ｗを搬送路途中において異物混入の有無、シール部の不良の有無、内容物の欠品の有無などを検出するためのもので、搬送部２の上方に所定高さ離れて設けられるＸ線発生器９と、搬送部２内にＸ線発生器９と対向して設けられるＸ線検出器１０を備えて構成される。
【００２０】
Ｘ線発生器９は、金属製の箱体１１内部に設けられる円筒状のＸ線管１２を不図示の絶縁油により浸漬した構成であり、Ｘ線管１２の陰極からの電子ビームを陽極ターゲットに照射させてＸ線を生成している。Ｘ線管１２は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向Ｘと直交する方向（Ｙ方向）に設けられている。Ｘ線管１２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、長手方向に沿った不図示のスリットにより略三角形状のスクリーン状にして曝射するようになっている。
【００２１】
Ｘ線検出器１０は、被検査物Ｗの搬送方向Ｘの平面上で直交する方向Ｙに直線状に配置された複数の素子によって被検査物Ｗを透過するＸ線を検出し、その検出した濃度データを素子毎に複数の素子数を１ラインとして順次出力し、被検査物Ｗの搬送に伴って１ラインからの順次出力を繰り返している。Ｘ線検出器１０は、従来技術でも説明したように、図５に示す如く、搬送される被検査物Ｗの搬送方向Ｘの平面上で搬送方向Ｘと直交するＹ方向に複数の素子が一直線上に配置されたものである。複数の素子は、ライン状に整列して配設された複数のフォトダイオード１０ａと、ライン状のフォトダイオード１０ａ上に設けられたシンチレータ１０ｂとから構成される。
【００２２】
図２に示すように、搬送部２の搬入口７側には、被検査物Ｗの通過を検出するための位置検出手段１３が設けられている。この位置検出手段１３は、例えば搬送部２としてのベルトコンベアの入口側に設けられる一対の投受光器からなるフォトセンサで構成される。この構成により、被検査物Ｗがフォトセンサの前を通過している間では位置検出手段１３からオン信号が信号処理手段１４にタイミング信号として入力される。
【００２３】
このような構成によるＸ線検出器１０では、搬送部２上を搬送される被検査物Ｗに対してＸ線発生器９からＸ線が曝射される。そして、この被検査物ＷへのＸ線の曝射に伴って被検査物Ｗを透過してくるＸ線をシンチレータ１０ｂで受けて光に変換する。このシンチレータ１０ｂで変換された光は、その下部に配置されるフォトダイオード１０ａによって受光される。そして、各フォトダイオード１０ａは、受光した光を電気信号に変換して出力する。このＸ線検出器１０は、受けたＸ線の強さに対応したレベルを有した電気信号を信号処理手段１４に出力する。
【００２４】
図２において、信号処理手段１４は、ＣＰＵやメモリなどを備えて構成され、位置検出手段１３が被検査物Ｗを検出したときのオン信号をタイミング信号とする所定時間後に、Ｘ線検出器１０からの電気信号を取り込んで各種信号処理を行っている。
【００２５】
図２に示すように、信号処理手段１４は、設定入力手段１５、記憶手段（データメモリ）１６、データ補正処理手段１７、シール部算出手段１８、判別手段１９を備えている。
【００２６】
設定入力手段１５は、被検査物Ｗの異物検査、シール不良検査、欠品検査や表示に関する各種設定や指示を与えるためのユーザが操作する複数のキーやスイッチ等で構成される。さらに説明すると、設定入力手段１５は、搬送部２の搬送速度の設定、被検査物Ｗ中の異物の混入の有無を判定するための基準となる検出リミット値、被検査物Ｗのシール部におけるシール不良の有無を判定するための基準となる検出リミット値などを設定している。また、設定入力手段１５では、複数の検査を行う際に、被検査物Ｗ中の異物の混入の有無や内容物の欠品の有無を判定するための基準となる検出リミット値が設定可能となっている。これら検出リミット値は、被検査物Ｗの品種や検出対象となる異物の種類などに応じて適宜設定される。
【００２７】
なお、設定入力手段１５からは、上記設定の他、被検査物Ｗのシール部の幅寸法（例えば外形が矩形状であれば、外形の４辺から内側に向かう寸法）を適宜数値入力することができる。また、設定入力手段１５は、シール部を有する箇所の数を入力したり、被検査物Ｗの品種を指定することにより予め記憶された被検査物Ｗの品種に対応したシール部の幅寸法を設定するなど、シール部に関する各種情報を入力することができる。
【００２８】
記憶手段１６には、各被検査物Ｗ毎のＸ線透過データが格納される。このＸ線透過データは、Ｘ線検出器１０からの電気信号を不図示のＡ／Ｄ変換器によりＡ／Ｄ変換して得られる。さらに説明すると、この記憶手段１６には、１つの被検査物Ｗの検査を行う毎に、Ｘ線検出器１０の１ライン（Ｙ方向）あたり例えば６４０個のＸ線透過データが、少なくとも搬送される被検査物Ｗの搬送方向の長さ（前端から後端までの検出期間に相当）に対応した所定ライン数（例えば４８０ライン）だけ格納される。
【００２９】
データ補正処理手段１７は、第１の平均値算出手段１７ａ、第２の平均値算出手段１７ｂ、差分算出手段１７ｃ、補正手段１７ｄを備えて構成される。このデータ補正処理手段１７では、位置検出手段１３からの検出信号をタイミング信号とし、記憶手段１６に格納されたＸ線検出器１０からの検出データのうち、被検査物Ｗが搬送されてくる直前の検出データを用いてデータ補正を行っている。
【００３０】
第１の平均値算出手段１７ａは、Ｘ線検出器１０から出力される所定ライン数の濃度データ全体の平均値を算出している。さらに説明すると、図４（ａ）に示すように、被検査物Ｗの搬送方向Ｘの平面上で搬送方向Ｘと直交するＹ方向に配列されるＸ線検出器１０の幅方向の全素子から出力される所定ライン数（Ｎ）の濃度データ全体の平均値Ｉを、記憶手段１６から読み出したＸ線透過データより算出している。
【００３１】
第２の平均値算出手段１７ｂは、Ｘ線検出器１０から出力される所定ライン数の濃度データの中から単体素子に対応する濃度データの平均値を素子毎に算出している。さらに説明すると、図４（ｂ）に示すように、Ｘ線検出器１０の各素子から出力される所定ライン数（Ｎ）の濃度データの中から単体素子に対応する各素子毎の濃度データの平均値Ｐｉ（ｉはＸ線検出器１０の素子数）を、記憶手段１６から読み出したＸ線透過データより算出している。図４（ｂ）の例では、Ｘ線検出器１０の素子数ｉが６４０個なので、Ｐ１，Ｐ２，…，Ｐ６４０の６４０個の平均値Ｐｉが算出される。
【００３２】
差分算出手段１７ｃは、第１の平均値算出手段１７ａが算出した平均値から第２の平均値算出手段１７ｂが算出した平均値を差し引いた差分データを素子毎に算出している。さらに説明すると、第１の平均値算出手段１７ａが算出したＸ線検出器１０から出力される所定ライン数（Ｎ）の濃度データ全体の平均値Ｉから第２の平均値算出手段１７ｂが算出したＸ線検出器１０から出力される所定ライン数の濃度データの中から単位素子に対応する各素子毎の濃度データの平均値Ｐｉを差し引き、Ｘ線検出器１０の各素子毎の差分データＬｉ（ｉはＸ線検出器１０の素子数）を算出している。例えばＸ線検出器１０の素子数ｉ＝６４０であれば、Ｌ１，Ｌ２，…，Ｌ６４０の６４０個の差分データＬｉが算出される。
【００３３】
補正手段１７ｄは、被検査物Ｗを含むＸ線透過データをライン毎に記憶手段１６から読み出し、この読み出したライン毎の各素子のＸ線透過データに対応する素子の差分データＬｉを差し引いてＸ線検出器１０による検出データを補正している。この補正後の検出データは、被検査物Ｗに関する正規のＸ線透過データ（濃淡データ）としてシール部算出手段１８に出力される。
【００３４】
なお、データ補正処理手段１７では、位置検出手段１３からの検出信号をタイミング信号として、被検査物Ｗが搬送されてくる直前のＸ線検出器１０からのデータを記憶手段１６から読み出してデータ補正を行うのが好ましいが、被検査物Ｗが搬送されていない部分のデータ、すなわち順次搬送される被検査物Ｗ間のデータを用いることができる。その際も位置検出手段１３からの検出信号をタイミング信号としてデータ補正が行われる。
【００３５】
シール部算出手段１８は、補正手段１７ｄにより補正されたＸ線透過データから全体の濃淡画像（搬送部２のベルト面を含む被検査物Ｗ毎の全体画像）を作成し、この作成された全体の濃淡画像から内容物の濃淡画像を抽出している。
【００３６】
また、シール部算出手段１８は、補正手段１７ｄにより補正されたＸ線透過データによる全体画像から被検査物Ｗの輪郭から内側の面積を示す外形領域を抽出している。さらに説明すると、このシール部算出手段１８では、補正手段１７ｄにより補正されたＸ線透過データから全体のヒストグラムを求める。そして、求めた全体のヒストグラムから被検査物ＷのデータＤ１と、被検査物Ｗ以外（実際には搬送部２のベルト面）のデータＤ２とに切り分けて２値化する。例えば被検査物のデータＤ１を２５５とし、被検査物以外のデータＤ２を０とする。そして、２値化された被検査物のデータＤ１を外形領域として抽出している。
【００３７】
さらに、シール部算出手段１８は、抽出した外形領域からシール部領域を算出している。このシール部領域は、設定入力手段１５からシール部に関する情報、例えばシール部の幅寸法の数値が入力されると、抽出された外形領域の画像を設定入力された幅寸法だけ縮小する。そして、縮小された画像を外形領域の画像から差し引いてシール部領域を算出する。
【００３８】
判別手段１９は、異物判別手段１９ａ、シール部不良判別手段１９ｂ、欠品判別手段１９ｃを備え、これらの判別結果（異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無の組合せによる判別結果）に応じて被検査物Ｗを良品又は不良品として選別するための選別信号を外部出力している。
【００３９】
異物判別手段１９ａは、補正手段１７ｄが補正した被検査物Ｗの内容物領域において、内容物領域内で濃淡レベルが他と違う部分を異物として判断している。すなわち、内容物領域内に他の部分より濃淡レベルの高い部分が存在するとき、その濃淡レベルの高い部分を異物として判断している。さらに説明すると、異物判別手段１９ａは、補正手段１７ｄによって補正された被検査物Ｗの内容物領域のＸ線透過データの濃淡レベルと、設定入力手段１５により予め設定された異物検出リミット値とを比較し、Ｘ線透過データが異物検出リミット値を超えたときに、その被検査物Ｗに異物が混入していると判断し、異物有りを示す選別信号を出力している。なお、異物検出リミット値は、被検査物Ｗ毎にその内容物に応じて適宜設定入力手段１５から設定可能とされている。
【００４０】
シール部不良判別手段１９ｂは、シール部算出手段１８が算出したシール部領域の画像の濃淡レベルと、被検査物Ｗの内容物の画像の濃淡レベルとの比較によりシール不良の有無を判別し、この判別結果からシール正常又はシール不良を示す選別信号を出力している。すなわち、このシール部不良判別手段１９ｂでは、シール部領域の中に被検査物Ｗの内容物の画像の濃淡レベルと同等以上の濃淡レベルが存在するときに、その被検査物Ｗにシール不良ありと判別し、シール不良を示す選別信号を出力している。なお、シール部不良の検出リミット値は、被検査物Ｗ毎にその内容物に応じて適宜設定入力手段１５から設定可能とされている。
【００４１】
欠品判別手段１９ｃは、補正手段１７ｄによって補正された被検査物Ｗの内容物領域において、濃淡レベルが予め設定される欠品検出リミット値より低い（Ｘ線透過量が大きい）ときに、包装材中にある例えば湿布薬の枚数が少なくなっていると判別し、欠品有りを示す選別信号を出力している。また、欠品判別手段２０ｃは、予め設定された欠品用検出マスク領域を用い、この欠品用検出マスク領域の各内容物領域毎に内容物と同等の濃淡レベルが存在する面積に応じて内容物の有無を判別している。なお、欠品検出リミット値や欠品用検出マスク領域は、被検査物Ｗ毎にその内容物に応じて適宜設定入力手段１５から設定入力可能とされている。
【００４２】
なお、図示はしないが、信号処理手段１４はフィルタ手段を備えており、被検査物Ｗとして、例えば湿布薬のような極めて薄い包装材に内容物が収容されている場合、補正手段１７ｄにより補正された被検査物ＷのＸ線透過データに対して所定のフィルタ処理を施している。このフィルタ処理の際には、例えば微分フィルタ（Ｒｏｂｅｒｔｓフィルタ、Ｐｒｅｗｉｔｔフィルタ、Ｓｏｂｅｌフィルタ）やラプラシアンフィルタなどの特徴抽出フィルタが用いられる。これにより、全体画像を強調してエッジ検出し易くするとともに、検出対象の異物情報や噛み込み情報をより強調して抽出し易くしている。そのため、異物判別手段１９ａは、濃淡画像のレベルと異物検出リミット値との比較に限らず、フィルタ処理後の異物情報が強調された画像に対し、設定された異物検出リミット値と比較して異物の有無を判断してもよい。また、シール部不良判別手段１９ｂは、フィルタ処理後のシール部領域内におけるエッジ成分の有無でシール不良を判断してもよい。
【００４３】
表示器５の表示画面には、シール部算出手段１８が抽出した被検査物Ｗの全体画像、外形領域の画像、シール部領域の画像、判別手段１９の判別結果に基づいて被検査物Ｗを平面視したＸ線透過画像、「ＯＫ」や「ＮＧ」の良否判定結果、総検査数、良品数、ＮＧ総数などの検査結果が設定入力手段１５からの所定のキー操作に基づいて表示される。
【００４４】
そして、上記構成のＸ線検査装置１によってデータ補正を行う場合には、データ補正処理手段１７において以下に説明する処理が実行される。以下、データ補正手段１７の処理動作について図３及び図４を参照しながら説明する。
【００４５】
本例では、図３に示すように、位置検出手段１３が被検査物Ｗを検出してから所定時間後の被検査物ＷがＸ線曝射位置に到達する直前のＸ線検出器１０からの所定ライン数の検出データ（図３のハッチング部分）を用いてグレーや白の線の影響値を差し引くデータ補正を行っている。
【００４６】
データ補正を行う際には、まず、被検査物Ｗの搬送方向Ｘの平面上で搬送方向Ｘと直交するＹ方向に配列されるＸ線検出器１０から出力される所定ライン数（Ｎ）の濃度データ全体の平均値Ｉを算出する。この所定ライン数（Ｎ）の濃度データ全体の平均値Ｉは、第１の平均値算出手段１７ａが記憶手段１６からＸ線透過データを読み出して算出する。
【００４７】
次に、Ｘ線検出器１０から出力される所定ライン数（Ｎ）の濃度データの中から単体素子に対応する素子毎の濃度データの平均値Ｐｉ（ｉはＸ線検出器１０の素子数）を算出する。この単体素子に対応する素子毎の濃度データの平均値Ｐｉは、第２の平均値算出手段１７ｂが記憶手段１６からＸ線透過データを読み出して算出する。図４（ｂ）に示すように、Ｘ線検出器１０の素子数ｉを６４０個とすると、Ｐ１，Ｐ２，…，Ｐ６４０の６４０個の平均値Ｐｉが算出される。
【００４８】
次に、差分算出手段１７ｃは、第１の平均値算出手段１７ａが算出したＸ線検出器１０の所定ライン数（Ｎ）の濃度データ全体の平均値Ｉから第２の平均値算出手段１７ｂが算出したＸ線検出器１０の単体素子に対応する各素子毎の濃度データの平均値Ｐｉを差し引き、Ｘ線検出器１０の各素子毎の差分データＬｉ（ｉはＸ線検出器１０の素子数）を算出する。図４（ａ），（ｂ）に示すように、Ｘ線検出器１０の素子数ｉを６４０個とすると、Ｌ１，Ｌ２，…，Ｌ６４０の６４０個の差分データＬｉが算出される。
【００４９】
そして、補正手段１７ｄは、被検査物Ｗを含むＸ線透過データを記憶手段１６から読み出し、この読み出したライン毎の各素子のＸ線透過データに対応する素子の差分データＬｉを差し引いてＸ線検出器１０による検出データを補正する。これにより、感度補正されたＸ線検出器から出力される検出データのずれによるグレーや白の線を発生させる影響値が差し引かれたＸ線透過データを得ることができる。そして、この補正後の検出データ（被検査物Ｗを含むＸ線透過データ）は、正規のＸ線透過データとしてシール部算出手段１８および判別手段１９に出力される。その後、判別手段１９は、シール部算出手段１８で算出されたシール部領域とこの補正後の検出データに基づいて被検査物の良否を判別し、判別に応じた選別信号を外部に出力する。
【００５０】
このように、本例のＸ線検査装置１では、検査前に感度補正されたＸ線検出器１０から出力される検出データにずれが生じても、順次搬送されてくる被検査物Ｗ間のＸ線検出器１０のデータを用いて被検査物ＷにＸ線が曝射される前にグレーや白の線を消すデータ補正を行うので、感度補正されたＸ線検出器から出力される検出データのずれによる影響値が除去され、被検査物Ｗを含むＸ線透過画像（画像データ）上にグレーや白の線が表示されることがなく、感度補正されたＸ線検出器から出力される検出データのずれが異物検出、欠品検出、シール不良検出などに影響せず、常に安定した正確な各種検査（異物混入の有無の検査、欠品の有無の検査、シール不良の有無の検査）を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係るＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明に係るＸ線検査装置のブロック図である。
【図３】本発明に係るＸ線検査装置における被検査物とＸ線検出器の感度補正に用いるデータとの関係を示す図である。
【図４】（ａ），（ｂ）本発明に係るＸ線検査装置のデータ補正に関する説明図である。
【図５】Ｘ線検査装置に採用されるＸ線検出器の概略構成を示す図である。
【図６】（ａ）Ｘ線検査装置のＸ線検出器から出力される検出データを補正した際の直後のデータを示す図である。  （ｂ）感度補正されたＸ線検出器から出力される検出データにずれが生じた場合のデータを示す図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  Ｘ線検査装置
１０  Ｘ線検出器
１３  位置検出手段
１４  信号処理手段
１６  記憶手段
１７  データ補正処理手段
１７ａ  第１の平均値算出手段
１７ｂ  第２の平均値算出手段
１７ｃ  差分算出手段
１７ｄ  補正手段
１８  シール部算出手段
１９  判別手段
Ｗ  被検査物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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