(57)【要約】【課題】  専門的な知識を持たないものでも、比較的容易にバーンインパターン信号を作成できるようにすること。【解決手段】  制御ＰＣ２に入力された設定情報を変換し、被試験対象となる半導体装置に与えられるコマンドと、その詳細情報（各信号ラインの状態）を記述したコマンドファイル２１と、アドレス範囲、実行回数を記述したカウンタファイル２２と、コマンドの実行順序を記述したパターンファイル２３と、データ信号を記述したデータファイル２４を生成する。バーンインパターン発生部１１は、上記ファイル２１，２３に基づき被試験対象となる半導体装置に与えられるＲＡＳ，ＣＡＳ等のコントロール信号を生成し、上記ファイル２２に基づきアドレス信号を生成し、上記ファイル２４に基づきデータ信号を生成する。生成されたバーンインパターン信号は、バーンインカード３２に装着された被試験対象の半導体装置に入力されバーンイン試験が行われる。【選択図】          図２
2005091196.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号発生器が出力するバーンインパターン信号をバーンイン槽内に収納された被試験対象の半導体装置に入力し、半導体装置のバーンインを行うバーンイン装置におけるバーンインパターン信号の作成方法であって、
入力された設定情報を変換し、上記半導体装置に与えられるコマンドと該コマンドが発行されたときに被試験対象の半導体装置の各信号ラインの状態を記述したコマンドファイルと、試験対象となるアドレス範囲、実行回数を記述したカウンタファイルと、上記半導体装置に与えられるコマンドの実行順序を記述したパターンファイルと、上記半導体装置に入力するデータ信号を記述したデータファイルを生成し、
上記コマンドファイルと、カウンタファイルと、パターンファイルと、データファイルに記述された情報に基づき、上記半導体装置のバーンイン試験を行うためのバーンインパターン信号を発生する
ことを特徴とするバーンインパターン作成方法。
【請求項２】
信号発生器が出力するバーンインパターン信号をバーンイン槽内に収納された被試験対象の半導体装置に入力し、半導体装置のバーンインを行うバーンイン装置におけるバーンインパターン信号の作成装置であって、
入力された設定情報を変換し、上記半導体装置に与えられるコマンドと該コマンドが発行されたときに被試験対象の半導体装置の各信号ラインの状態を記述したコマンドファイルと、試験対象となるアドレス範囲、実行回数を記述したカウンタファイルと、上記半導体装置に与えられるコマンドの実行順序を記述したパターンファイルと、上記半導体装置に入力するデータ信号の値を記述したデータファイルを生成する手段と、
上記コマンドファイルと、カウンタファイルと、パターンファイルと、データファイルに記述されたデータ信号の値に基づき、上記半導体装置のバーンイン試験を行うためのバーンインパターン信号を発生するバーンインパターン信号発生手段を備えた
ことを特徴とするバーンインパターン作成装置。
【請求項３】
上記バーンインパターン発生手段は、
上記パターンファイルに記述されたコマンドの実行順序と、コマンドファイルに記述された各コマンドが発行されたときの各信号ラインの状態とに基づき、被試験対象の半導体装置に入力されるコントロール信号を発生するコントロール信号発生手段と、
上記コマンドファイルに記述された分岐情報と、カウンタファイルに記述されたアドレス範囲、実行回数に基づき、アドレス信号を発生するアドレス信号発生手段と、上記データファイルに記述されたデータ信号の値に基づき、データ信号を発生するデータ信号発生手段を備えた
ことを特徴とする請求項２記載のバーンインパターン作成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は不良な半導体をスクリーニングするためのバーンイン装置において、半導体装置を試験するために、半導体装置に印加するバーンインパターン信号を作成するためのバーンインパターン作成方法および装置に関し、特に、専門的な知識を有しない者でも比較的容易にバーンインパターンを作成することができるバーンインパターン作成方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の出荷試験等に際し、バーンイン槽内に半導体装置を収納し、半導体装置に信号発生器からバーンイン信号を入力し、バーンインを行うことにより、不良品をスクリーニングすることが行われている。
図１０に上記バーンイン装置の概略構成を示す。
バーンイン装置は、例えば同図に示すようにバーンイン槽１０１と、ＩＣテスタ等から構成される特性モニタ部１０２と、バーンイン槽１０１内の温度を制御する温度制御装置１１０と、バーンインの開始／終了を制御するバーンインコントロール部１０４から構成される。
被試験対象となるＬＳＩ等の半導体装置は、バーンインカード１０３に設けられたＩＣソケットに装着され、半導体装置が装着されたバーンインカード１０３は、バーンイン槽１０１内に収納され、バーンイン槽内に設けられたコネクタＣに装着される。
【０００３】
バーンイン槽１０１内には槽内の温度を測定する温度センサ１０１ａ等の各種センサが設けられ、温度センサ１０１ａによりバーンイン槽１０１内の温度を検出し、温度制御装置１１０の温度検出部１１０ａに送る。温度制御部１１０ｂは図示しないヒータ等を制御し、温度検出部１１１から入力されるバーンイン槽１０１内の温度が所定の値になるように制御する。
上記バーンイン槽１０１内を上記温度制御装置１１０により所定の温度に保持し、特性モニタ部１０２からコネクタ１０１ｂを介してバーンインカード１０３に装着された半導体素子１０３ｂにバーンインパターン信号を入力し、半導体素子１０３ｂのバーンイン加速試験を行う。
特性モニタ部１０２は、上記バーンインパターン信号を被試験対象の各半導体装置に印加し、各半導体素子が正常に動作するかを調べ、不良ＩＣのスクリーニングを行う。
【０００４】
上記バーンインパターン信号の発生は、例えば以下のように行われていた。
（１）記憶媒体内に複数のパターン信号を格納したバーンインパターン発生回路を設け、試験条件、あるいは被試験対象となる半導体装置に応じて、記憶媒体から該当するパターン信号を読み出して発生させる（例えば特許文献１参照）。
（２）バーンインパターン信号を生成する処理装置を設け、パターン発生プログラムを実行することにより、試験条件、あるいは被試験対象となる半導体装置に応じたパターン信号を発生させる（例えば特許文献２等参照）。
【特許文献１】特開２０００−１３１３７６号公報
【特許文献２】特開平１１−２４２６１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
バーンイン試験を行う際、試験対象となる半導体装置の種類や製造メーカ、試験条件等に応じて種々のバーンインパターン信号が用いられる。このため、例えば特許文献１に記載されるように、記憶媒体にパターン信号を格納し、該当するパターン信号を読み出してバーンインパターン信号を発生させる場合には、予め複数種類のパターン信号を用意し、記憶媒体中に格納しておく必要がある。
また、特許文献２に記載されるように、処理装置を設けパターン発生プログラムを実行することによりバーインパターン信号を発生させる場合でも、発生させるバーンインパターン信号に応じた条件等を設定したデータを作成する必要がある。
上記バーンインパターンを発生させるためのパターン信号やデータ等の作成は、通常、専門的な知識を持ったものが行っており、また、デバックなどに多大の工数を要していた。このため、例えば新たな半導体装置のバーンイン試験する等のように、バーンインパターンを新たに作成する場合には、作成を専門的知識を持つ者に依頼する必要があり、コストがかかるとともに、時間を要していた。
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであって、専門的な知識を持たないものでも、比較的容易にバーンインパターン信号を作成することができるバーンインパターンの作成方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を本発明においては、次のように解決する。
入力された設定情報を変換し、被試験対象となる半導体装置に与えられるコマンドと該コマンドが発行されたときに被試験対象の半導体装置の各信号ラインの状態を記述したコマンドファイルと、試験対象となるアドレス範囲、実行回数を記述したカウンタファイルと、上記半導体装置に与えられるコマンドの実行順序を記述したパターンファイルと、上記半導体装置に入力するデータ信号を記述したデータファイルを生成する。
そして、上記コマンドファイルと、カウンタファイルと、パターンファイルと、データファイルに記述された情報に基づき、上記半導体装置のバーンイン試験を行うためのバーンインパターン信号を発生する。
すなわち、作業者が設定した情報に基づき、上記ファイル群を生成し、上記パターンファイルに記述されたコマンドの実行順序と、コマンドファイルに記述された各コマンドが発行されたときの各信号ラインの状態とに基づき、被試験対象の半導体装置に入力されるコントロール信号を発生し、上記コマンドファイルに記述された分岐情報と、カウンタファイルに記述されたアドレス範囲、実行回数に基づき、アドレス信号を発生し、さらに、上記データファイルに記述されたデータ信号の値に基づき、データ信号を発生する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明においては、入力された設定情報から被試験対象となる半導体装置に与えられるコマンドと該コマンドが発行されたときに被試験対象の半導体装置の各信号ラインの状態を記述したコマンドファイルと、試験対象となるアドレス範囲、実行回数を記述したカウンタファイルと、上記半導体装置に与えられるコマンドの実行順序を記述したパターンファイルと、上記半導体装置に入力するデータ信号を記述したデータファイルを生成し、このファイル群に記述された情報に基づき、上記半導体装置のバーンイン試験を行うためのバーンインパターン信号を発生しているので、専門的な知識を持たないものでも、比較的容易にバーンインパターンを作成することができる。
このため、バーンインパターン作成のための労力、コストを削減することができ、また、作成のための時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１は本発明の実施例のバーンイン装置の構成例を示す図である。
同図において、３０はバーンイン試験を行うための恒温槽であり、恒温槽３０の背面にはバックボード３１が設けられ、バックボード３１のコネクタには被試験対象である半導体装置が装着されたバーンインカードが３２が差し込まれ、バーンインパターン信号がバックボード３１を介して、各半導体装置に印加される。
バックボード３１には、コントロールユニット１が接続されている。コントロールユニット１には、制御部１ａと、ドライバ１ｂと、電源ユニット１ｃが設けられ、制御部１ａには後述するバーンインパターン信号を発生するバーンインパターン発生部と、被試験対象である半導体デバイスに印加される電圧、電流などがモニタしたり、温度、バーンイン時間等を制御するバーンイン試験制御部が設けられる。
上記コントロールユニット１には、制御用コンピュータ２が接続され、制御用コンピュータ２（以下制御ＰＣ２という）により、各種試験条件の設定、バーンイン試験の管理等を行う。また、制御用コンピュータ２により、後述するようにバーンインパターン信号を作成するための各種ファイルを作成する。
【０００９】
図２は、本実施例のバーンインパターン作成に関わる上記制御用コンピュータ２の機能構成及び上記バーンインパターン発生部の概略構成を示す図である。
制御用ＰＣ２は、データ変換手段２ａを備え、入力手段などから設定される設定情報に基づき、パターンファイル２１、コマンドファイル２２、カウンタファイル２３、データファイル２４を作成する。また、制御ＰＣ２により、恒温槽の温度、バーンイン時間等の各種テスト条件を設定する。
コントロールユニット１の制御部１ａには、上記制御ＰＣ２で作成されたパターンファイル２１、コマンドファイル２２、カウンタファイル２３、データファイル２４に基づき、バーンインパターン信号を発生するバーンインパターン発生部１１、及び制御ＰＣ２により設定されたテスト条件に基づき、バーンイン試験を制御するバーンイン試験制御部１２が設けられる。
バーンインパターン発生部１１は、上記パターンファイル２１、コマンドファイル２２、カウンタファイル２３、データファイル２４のデータを格納するレジスタ群１１１〜１１４と、波形出力コントロール部１１５を備え、波形出力コントロール部１１５は、バーンイン試験制御部１２の出力制御信号に応じて、上記レジスタ１１１〜１１４に設定されたデータに基づき、バーンインパターン信号を生成する。このバーンインパターン信号は、ドライバ１ｂを介してバックボード３１に与えられ、被試験対象となる半導体装置が装着されたバーンインカード３２に印加される。
【００１０】
以下、本発明の実施例のバーンインパターンの作成について説明する。なお、以下では、ＳＤＲＡＭを試験する際のバーンインパターンの作成について説明するが、ＤＲＡＭ等のその他のメモリを試験するためのバーンインパターンの作成についても同様に行うことができる。
図３は、本実施例のバーンインパターンの作成手順を示す図である。
バーンインパターンを作成するため、同図に示すように作業者はコマンドファイル２１、カウンタファイル２２、パターンファイル２３、データファイル２４を作成するための設定情報を制御ＰＣ２に入力する。制御ＰＣ２は、変換手段２ａにより、上記設定情報を変換して、コマンドファイル２１、カウンタファイル２２、パターンファイル２３、データファイル２４を生成する。
図４は、コマンドファイル２１の一例を示す図である。同図（ａ）はＳＤＲＡＭのコマンド群を示しており、コマンドファイルには、上記コマンド群の中から選定されたバーンイン試験に使用するコマンドと、選定したコマンドが発行されたときの、各信号ラインのロジックレベル（以下ではコマンドの詳細という）が設定される。
同図（ｂ）にコマンドの詳細の一例を示す。同図の例は、コマンド”ＡＣＴ”が発行されたときの各信号ラインのロジックレベルを示しており、同図に示すように”ＡＣＴ”が発行されると、ＣＳは０，ＲＡＳは０，ＣＡＳは１，ＷＥは１となる。
【００１１】
図５は、カウンタファイル２２の一例を示す図である。カウンタファイルには、同図（ａ）に示すように、ＲＯＷアドレスの最大値、ＣＯＬＵＭＮアドレスの最大値、ＲＯＷアドレスのカウンタ値、ＣＯＬＵＭＮアドレスのカウンタ値が設定される。
ＲＯＷアドレス、ＣＯＬＵＭＮアドレスの値は１ずつインクリメントし、ＲＯＷアドレスの値が上記最大値を越えるとアドレスの値は初期値１に戻り、同様に、ＣＯＬＵＭＮアドレスの値が上記最大値を越えると、アドレス値は初期値１に戻る。例えば、図５（ｂ）に示すようにメモリセルが４×４のマトリックスの場合、ＲＯＷアドレスの最大値は４、ＣＯＬＵＭＮアドレスの最大値は４である。
また、ＲＯＷアドレスのカウンタ値、ＣＯＬＵＭＮアドレスのカウンタ値は、ＲＯＷアドレス方向、ＣＯＬＵＭＮアドレス方向の実行回数であり、例えば、図５（ｂ）に示すようにメモリセルが４×４のマトリックスの場合、ＲＯＷアドレスが１〜４、ＣＯＬＵＭＮアドレスが１〜４の範囲で、同じデータをメモリセルに書き込む場合には、上記実行回数はそれぞれ図５（ａ）に示すように４に設定される。また、例えばＲＯＷアドレスが１〜２、ＣＯＬＵＭＮアドレスが１〜2 の範囲で、メモリセルに０を書き込み、ＲＯＷアドレスが３〜４、ＣＯＬＵＭＮアドレスが３〜４の範囲で、メモリセルに１を書き込む場合には、上記実行回数はそれぞれ２に設定される。そして、後述するように、ＲＯＷアドレス方向、ＣＯＬＵＭＮアドレス方向の実行回数が設定された値に達すると、例えば半導体素子に書き込まれるデータを反転させる。
【００１２】
図６は、パターンファイル２３の一例を示す図である。パターンファイルには、バーンイン試験において被試験対象となる半導体素子に入力されるコマンドの実行順序を設定する。図６の例では、まず、”ＰＡＴ  Ａ”でパターン名Ａが設定され、次に被試験対象となる半導体素子のモードレジスタを設定するためのコマンド”ＭＲＳ”が設定される。
次に分岐先のラベル名である”ＡＢＣ：”が設定され、その次に、バーンイン試験中に繰り返し被試験対象の半導体素子に与えられるコマンドが設定される。
この例では、コマンド”ＡＣＴ”，”ＷＲＩＴＥ”，”ＰＲＥ”を実行して半導体素子にデータを書き込み、”ＪＵＭＰ１”，”ＪＵＭＰ２”でラベル”ＡＢＣ：”に戻る動作を繰り返す。
ここで、”ＪＵＭＰ１”，”ＪＵＭＰ２”で、ラベルＡＢＣにジャンプする毎に前記したＲＯＷアドレスのカウンタ値は＋１され、カウンタ値がカウンタファイルに設定された実行回数を越えると初期値１に戻る。また、上記カウンタ値が実行回数を越える毎に、前記したＣＯＬＵＭＮアドレスのカウンタ値が＋１され、カウンタ値がカウンタファイルに設定された実行回数を越えると初期値１に戻る。
上記ＲＯＷアドレスのカウンタ値、ＣＯＬＵＭＮアドレスのカウンタ値により、ＲＯＷアドレス、ＣＯＬＵＭＮアドレスの値が設定され、ＲＯＷアドレス、ＣＯＬＵＭＮアドレスの値が前記カウンタファイルに設定されたアドレスの最大値に達する前に、上記カウンタ値が実行回数に達すると（例えばアドレスの最大値が４、カウンタの実行回数が２に設定されている場合）、前記ＲＯＷアドレス、ＣＯＬＵＭＮアドレスの値は、その最大値に達するまで１ずつインクリメントし、最大値に達すると初期値１に戻る。
【００１３】
また、図示していないが、データファイル２４には、被試験対象となる半導体装置に書き込まれるデータの値（１または０）が設定される。
なお、制御ＰＣ２における上記設定情報の入力は、作業者がコマンドファイルと、カウンタファイルと、パターンファイルと、データファイルの設定情報を、それぞれ入力して設定するようにしてもよいが、以下のようにすることで、比較的容易に設定することが可能となる。
(i) 被試験対象となる半導体装置のそれぞれについて、コマンドの詳細情報、アドレス範囲、コマンドの実行順序などの情報を予め設定して、ライブラリとして制御ＰＣ２に格納しておき、作業者は、例えばメニュー画面等により、試験対象となる半導体装置を選択し、さらに、メニュー画面等で上記コマンド情報、カウンタ情報、パターン情報などを設定する。
(ii)既存のコマンドファイル、カウンタファイル、パターンファイル、データファイルの設定情報を記憶しておき、作業者は、これらの既存の設定情報を呼び出して、一部を編集して、設定情報を作成する。
【００１４】
図３に戻り、以上のようにしてコマンドファイル２１、カウンタファイル２２、パターンファイル２３、データファイル２４が生成されたら、このファイルに設定された情報をコントロールユニット１に送り、コマンドデータレジスタ１１１、カウンタデータレジスタ１１２、パターンデータレジスタ１１３、データレジスタ１１４に設定する。
バーンインパターン発生部１１の波形出力コントロール部１１5 は、上記レジスタ１１１〜１１４に設定された情報に基づき、バーンインパターン信号を作成し、このバーンインパターン信号は、バックボード３１に出力され、被試験対象となる半導体装置に印加され、バーンイン試験が行われる。
【００１５】
図７は上記バーンインインパターン発生部１１に設けられた波形出力コントロール部１１５の構成例を示す図である。
同図において、１２０はモードレジスタ設定信号発生部であり、パターンデータレジスタ１１１にモードレジスタ設定コマンド”ＭＲＳ”が設定されていると、モードレジスタ設定信号発生部１２０は被試験対象となる半導体装置のモードレジスタを初期設定する信号を出力する。
レジスタ設定部１２１は、コマンドデータレジスタ１１１に設定されたコマンドの詳細に基づき、パターンデータレジスタ１１３に設定された各コマンドを各信号ラインのロジックレベルに変換して、コントロール信号格納レジスタ１２２に格納する。また、ラベル”ＡＢＣ”、分岐コマンド”ＪＵＭＰ１”，”ＪＵＭＰ２”をコントロール信号格納レジスタ１２２に設定する。
コントロール信号格納レジスタ１２２に設定された各信号ラインのロジックレベルは、発生タイミング制御部１３１から出力されるタイミング信号に応じてコントロール信号発生部１３２から順番に出力される。
また、カウンタデータレジスタ１１２に設定されたＲＯＷ方向実行回数、ＣＯＬＵＭＮ方向実行回数、ＲＯＷアドレスの最大値、ＣＯＬＵＭＮアドレスの最大値は、それぞれＲＯＷ方向実行回数レジスタ１２３、ＣＯＬＵＭＮ方向実行回数レジスタ１２４、ＲＯＷアドレス最大値レジスタ１２５、ＣＯＬＵＭＮアドレス最大値レジスタ１２６に設定される。
さらに、データレジスタ１１４に設定されたデータの値は、発生タイミング制御部１３２から出力されるタイミング信号に応じてデータ発生部１３４から出力される。
【００１６】
ＪＵＭＰ１レジスタ１２７は、コントロール信号格納レジスタ１２２からカウントアップ信号が出力されると、カウントアップし、前記したようにカウント値がＲＯＷ方向実行回数レジスタ１２３に設定された値を越えると初期値に戻るとともに、ＪＵＭＰ２レジスタ１２８のカウントアップ信号を出力する。この信号によりＪＵＭＰ２レジスタ１２８は、カウントアップし、前記したようにカウント値がＣＯＬＵＭＮ方向実行回数レジスタ１２４に設定された値を越えると、初期値に戻る。
ＪＵＭＰ１レジスタ１２７、ＪＵＭＰ２レジスタ１２８の値が上記実行回数を越えたとき、書き込むデータの値を１→０、０→１に切り替える場合には、データを反転させる信号を出力する。
ＲＯＷアドレスレジスタ１２９には、ＪＵＭＰ１レジスタ１２７の値がセットされ、ＪＵＭＰ１レジスタ１２７がカウントアップする毎に、インクリメントしアドレス値がＲＯＷアドレス最大値レジスタ１２５に設定されたアドレス値を越えると初期値に戻る。
同様に、ＣＯＬＵＭＮアドレスレジスタ１３０には、ＪＵＭＰ２レジスタ１２８の値がセットされ、ＪＵＭＰ２レジスタ１２８がカウントアップする毎に、インクリメントし、アドレス値がＣＯＬＵＭＮアドレス最大値レジスタ１２６に設定された値を越えると初期値に戻る。
ＲＯＷアドレスレジスタ１２９のアドレス値、ＣＯＬＵＭＮアドレスレジスタ１３０のアドレス値は、発生タイミング制御部１３１から出力されるタイミング信号に応じてアドレス発生部１３３から出力される。
【００１７】
図８は、メモリセルが４×４のマトリックスの場合において、ＲＯＷアドレスの最大値、ＣＯＬＵＭＮアドレスの最大値をそれぞれ４に設定した場合のＲＯＷアドレス、ＣＯＬＵＭＮアドレスの変化を説明する図である。
同図（ａ）（ｂ）に示すように、ＣＯＬＵＭＮアドレスレジスタ１３０が初期値１に設定され、ＲＯＷアドレスレジスタ１２９の値が１ずつインクリメントし、ＣＯＬＵＭＮアドレス＝１の状態で、ＲＯＷアドレスの値が１〜４まで変化する。ついで、ＣＯＬＵＭＮアドレスレジスタ１３０の値が２となり、ＣＯＬＵＭＮアドレス＝２の状態で、ＲＯＷアドレスが１〜４まで変化する。以下、同様にＲＯＷアドレスの値が１〜４まで変化しながら、ＣＯＬＵＭＮアドレスが１〜４まで変化して、ＣＯＬＵＭＮアドレスの値が最大値４に達するとにし、ＣＯＬＵＭＮアドレスの値は初期値１に戻り上記動作を繰り返す。
【００１８】
次に、カウンタファイル、パターンファイルに前記図５、図６に示したデータが設定されている場合について、図７に示した波形出力コントロール部１１５の動作について説明する。
(i) パターンデータレジスタ１１３に格納されているコマンドＭＲＳにより、モードレジスタ設定信号発生部１２０に、被試験対象となる半導体装置のモードレジスタ設定信号をセットする。
(ii)また、パターンデータレジスタ１１３に格納されている、ラベル”ＡＢＣ：”をコントロール格納レジスタ１２２にセットする。また、コマンドデータレジスタ１１１を参照して、コマンド”ＡＣＴ”，”ＷＲＩＴＥ”，”ＰＲＥ”が発行されたときの各信号ライン（ＣＬＫ，ＲＡＳ，ＣＡＳなど）のロジックレベルを得て、これをコマンドの実行順に並べて、コントロール格納レジスタ１２２にセットする。
図９に上記コマンド”ＡＣＴ”，”ＷＲＩＴＥ”，”ＰＲＥ”が実行されたときのＣＬＫ（クロック），ＲＡＳ（ローアドレスストローブ），ＣＡＳ（カラムアドレスストローブ），ＷＥ（ライトイネーブル），ＣＥ（チップイネーブル），ＤＡＴＡ（データ），ＡＤＤＲ（アドレス）信号を示す。
同図に示すように、ＡＣＴコマンドにおいては、ＲＡＳに同期してアドレス信号が出力され、ＷＲＩＴＥコマンドにおいては、ＣＡＳに同期してＡＤＤＲ（アドレス）、ＤＡＴＡ（データ）が出力される。
【００１９】
(iii) ＪＵＭＰ１，ＪＵＭＰ２をコントロール信号格納レジスタ１１３にセットする。
(iv)ＪＵＭＰ１レジスタ１２７，ＪＵＭＰ２レジスタ１２８、ＲＯＷアドレスレジスタ１２９、ＣＯＬＵＭＮアドレスレジスタ１３０に初期値”１”をセットする。
(v) カウンタデータレジスタ１１２にセットされているＲＯＷ，ＣＯＬＵＭＮ方向実行回数をＲＯＷ方向実行回数レジスタ１２３，ＣＯＬＵＭＮ方向実行回数レジスタ１２４にセットする。また、ＲＯＷアドレス最大値、ＣＯＬＵＭＮアドレス最大値をそれぞれ、ＲＯＷアドレス最大値レジスタ１２５、ＣＯＬＵＭＮアドレス最大値レジスタ１２６にセットする。
(vi)発生タイミング制御部１３１は、バーンイン試験制御部１２から出力制御信号が与えられると、まず、モードレジスタ設定信号発生部１２０からモード設定信号を発生させる。次に、コントロール信号格納レジスタ１２２からコマンド”ＡＣＴ”，”ＷＲＩＴＥ”，”ＰＲＥ”の各信号ラインのロジックロジックレベルを順に読み出して、コントロール信号発生部１３２から順番に出力させる。
また、データレジスタ１１４に設定されたデータを前記図９に示したタイミングでデータ発生部１３４から出力させる。
また、ＲＯＷアドレスレジスタ１２９から、前記図９に示したタイミングでＲＯＷアドレスを出力し、ＣＯＬＵＭアドレスレジスタ１３０から、前記図９に示したタイミングでＣＯＬＵＭアドレスを出力させる。
【００２０】
(vii) 発生タイミング制御部１３１により、コントロール信号格納レジスタ１２２からＪＵＭＰが読み出されると、ＪＵＭＰ１レジスタ１２７をカウントアップ（＋１）し、この値をＲＯＷアドレスレジスタ１２９にセットする。
そして、コントロール信号格納レジスタ１２２の”ＡＢＣ：”のラベルの位置に戻り、上記と同様に、コントロール信号格納レジスタ１２２から順に各信号ラインのロジックロジックレベルを読み出し、コントロール信号発生部１３２からコントロール信号を出力させる。また、上記と同様、データ、アドレスを出力する。
(viii)以上の動作を繰り返し、コントロール信号格納レジスタからＪＵＭＰが読み出される毎に、ＪＵＭＰ１レジスタをカウントアップ（＋１）し、ＪＵＭＰ１レジスタ１２７のカウント値が、ＲＯＷ方向実行回数レジスタ１２３に設定された値４を越えると、ＪＵＭＰ１レジスタは初期値１に戻るとともに、ＪＵＭＰ２レジスタ１２８をカウントアップ（＋１）する。また、ＪＵＭＰ２レジスタ１２８の値を、ＣＯＬＵＭＮアドレスレジスタ１３０にセットする。
ＪＵＭＰ２レジスタ１２８の値が、ＣＯＬＵＭＮ方向実行回数レジスタ１３０に設定された値４を越えると、ＪＵＭＰ２レジスタ１２８を初期値１に戻す。
【００２１】
ここで、前記したようにＪＵＭＰ１レジスタ１２７、ＪＵＭＰ２レジスタ１２８を初期値に戻す際に、ＲＯＷアドレスレジスタ１２９、ＣＯＬＵＭアドレスレジスタ１３０の値が、ＲＯＷアドレス最大値レジスタ１２５、ＣＯＬＵＭアドレス最大値レジスタ１２６の値を越えていなければ、これらのレジスタの値が最大値を越えるまで、ＪＵＭＰ１レジスタ１２７、ＪＵＭＰ２レジスタ１２８をカウントアップする毎に、ＲＯＷアドレスレジスタ１２５、ＣＯＬＵＭアドレスレジスタ１２６の値を１ずつ増加させる。
そして、ＲＯＷアドレスレジスタ１２９、ＣＯＬＵＭアドレスレジスタ１３０の値が、ＲＯＷアドレス最大値レジスタ１２５、ＣＯＬＵＭアドレス最大値レジスタ１２６の値を越えると、これらのレジスタの値を初期値に戻す。
また、ＪＵＭＰ１レジスタ１２７、ＪＵＭＰ２レジスタ１２８を初期値に戻す際、設定に応じて、ＤＡＴＡの値を反転させる。
なお、上記実施例では、波形出力コントロール部をハードウェアで構成した場合について説明したが、波形出力コントロール部をプロセッサで構成し、ソフトウェアにより、上記処理を行い、バーンインパターン信号を発生させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施例のバーンイン装置の構成例を示す図である。
【図２】本実施例の制御ＰＣの機能構成及びバーンインパターン発生部の概略構成を示す図である。
【図３】本実施例のバーンインパターンの作成手順を示す図である。
【図４】コマンドファイルの一例を示す図である。
【図５】カウンタファイルの一例を示す図である。
【図６】パターンファイルの一例を示す図である。
【図７】波形出力コントロール部の構成例を示す図である。
【図８】ＲＯＷアドレス、ＣＯＬＵＭＮアドレスの変化を説明する図である。
【図９】ＡＣＴ，ＷＲＩＴＥ，ＰＲＥにおけるＣＬＫ，ＲＡＳ，ＣＡＳ，ＷＥ，ＣＥ，ＤＡＴＡ，ＡＤＤＲ信号を示す図である。
【図１０】バーンイン装置の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００２３】
１      コントロールユニット
１ａ    制御部
１ｂ    ドライバ
１ｃ    電源ユニット
１１    バーンインパターン発生部
１２    バーンイン試験制御部
１１１  パターンデータレジスタ
１１２  コマンドデータレジスタ
１１３  カウンタデータレジスタ
１１４  データレジスタ
１１５  波形出力コントロール部
２      制御用コンピュータ（制御ＰＣ）
２ａ    データ変換手段
２１    パターンファイル
２２    コマンドファイル
２３    カウンタファイル
３０    恒温槽
３１    バックボード
３２    バーンインカード
【図１】
2005091196.tif 000003
【図２】
2005091196.tif 000004
【図３】
2005091196.tif 000005
【図４】
2005091196.tif 000006
【図５】
2005091196.tif 000007
【図６】
2005091196.tif 000008
【図７】
2005091196.tif 000009
【図８】
2005091196.tif 000010
【図９】
2005091196.tif 000011
【図１０】
2005091196.tif 000012