(57)【要約】【課題】  種々の化学物質を検出可能で機械的強度が高く、実用的な化学バイオセンサおよびその製造方法が求められている。【解決手段】  化学バイオセンサは、基板１上にハイドロキシアパタイトまたはハイドロキシアパタイト誘導体の薄膜２を形成し、薄膜２上に一対の電極３，３を離間して設けたものである。ハイドロキシアパタイト誘導体に適用されるキャリアドーピング用元素としては、例えば、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、マグネシウム（Ｍｇ）、ストロンチウム（Ｓｒ）などが挙げられる。薄膜２は薄膜形成工程においてレーザーアブレーション法により形成される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にハイドロキシアパタイトの薄膜を形成し、該薄膜上に一対の電極を離間して設けた化学バイオセンサ。
【請求項２】
基板上に、ハイドロキシアパタイトを構成するカルシウムの一部をキャリアドーピング用元素で置き換えてなるハイドロキシアパタイト誘導体の薄膜を形成し、該薄膜上に一対の電極を離間して設けた化学バイオセンサ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の化学バイオセンサを製造するにあたり、ハイドロキシアパタイトの薄膜またはハイドロキシアパタイト誘導体の薄膜を基板上に形成する薄膜形成工程を含む製造方法であって、前記薄膜形成工程においてレーザーアブレーション法によりハイドロキシアパタイトの薄膜またはハイドロキシアパタイト誘導体の薄膜を形成することを特徴とする化学バイオセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、各種ガス、イオン、アルコール、酵素、タンパク質、ＤＮＡ等の化学物質の種類や量を検出するセンサに係り、さらに詳しくは、化学物質の吸着をインピーダンス、電気抵抗、電流、電圧、キャパシタンス等の電気特性の変化として直接検出する化学バイオセンサおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来知られた化学センサのうち、ガスセンサとしては、酸化物半導体センサ、熱式ガスセンサ、ＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ）センサ、および水晶振動子（ＱＣＲ：Ｑｕａｒｔｚ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｒｅｓｏｎａｔｏｒ、特許文献１）センサなどがある。酸化物半導体センサはガスが半導体表面でガスが吸着酸素による酸化反応を引き起こしこのとき電子が半導体に流れ込んで導電率が増加するので、これを電気抵抗の変化で測定しガスを検出するようになっている。熱式ガスセンサは検出対象としてＬＰガス、都市ガス、水素、メタン、一酸化炭素などの可燃性ガスの検出が主流である。ＳＡＷやＱＣＲセンサは感度はあまり高くないが、有機材料を用いているために選択性の制御が容易である。ＱＣＲセンサの原理は、水晶振動子の両面の電極上にガス官能膜を形成し、特定のガスがガス官能膜に吸着すると質量が変化するため水晶振動子の共振周波数が下がる。この周波数変化は吸着ガスの質量に比例するので、周波数変化を測定して吸着ガス量を検出するようになっている。
【特許文献１】特開２００３−１２１３２９
【０００３】  化学センサのうち、匂いセンサとしては、酸化物半導体（ＭＯＳ）ガスセンサ（非特許文献１）、導電性高分子ガスセンサ（非特許文献２）、ＦＥＴガスセンサ（非特許文献３）、ＳＡＷガスセンサ（非特許文献４）、水晶振動子ガスセンサ（非特許文献５）などがそれぞれの文献に報告されている。
【非特許文献１】Ｋ．Ｐｅｒｓａｕｄ  ａｎｄ  Ｇ．Ｄｏｄｄ：Ｎａｔｕｒｅ，２９９，３５２−３５４（１９８２）．．
【非特許文献２】Ｋ．Ｃ．Ｐｅｒｓａｕｄ  ａｎｄ  Ｐ．Ｔｒａｖｅｒｓ：Ｉｎｔｅｌｌｉｇｅｎｔ  Ｉｎｓｔｕｒｕｍｅｎｔｓ  ＆  Ｃｏｍｐｕｔｅｒｓ，Ｅｌｓｅｖｉｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  Ｐｕｂｌｉｓｈｉｎｇ，１４７−１５４（１９９１）．
【非特許文献３】Ｉ．Ｌｕｎｄｓｔｒｏｍ，Ｒ．Ｅｒｌａｎｄｓｓｏｍ  ａｎｄ  Ｕ．Ｆｒｙｋｍａｎ：Ｎａｔｕｒｅ，３５２，４７−５０（１９９１）．
【非特許文献４】Ａ．Ｓａｉｔｏｕ，Ｔ．Ｎｏｍｕｒａ  ａｎｄ  Ｔ．Ｍｏｒｉｉｚｕｍｉ：Ｍｏｌ．Ｃｒｙｓｔ．Ｌｉｑ．Ｃｒｙｓｔ．，２６７，３８７−３９２（１９９５）．
【非特許文献５】Ｋ．Ｅｍａ，Ｍ．Ｙｏｋｏｙａｍａ，Ｔ．Ｎａｋａｍｏｔｏ  ａｎｄ  Ｔ．Ｍｏｒｉｉｚｕｍｉ：Ｔｈｅ  １７ｔｈ  ＳｅｎｓｏｒＳｙｍｐｏｓｉｕｍ，３０７−３１２（２００）．
【０００４】  上記した化学センサは、一般的に目的とする検出対象化学物質を捕捉・認識するためのレセプタ部を用意しなければならず、これと捕捉・認識を電気信号に変換するトランスデューサー（各種電極）からなっており、その構造は複雑であって微小化に難がある。また、バイオセンサでは目的の化学物質を捕捉するための特殊な酵素などの生物活性物質をレセプタに固定化する固定化膜が最重要であり、そのために高分子膜、生体膜等各種の固定化膜が提案されているが、これらの膜への生物活性物質の吸着を直接電気信号に変換するのは困難である。【０００５】  一方、ハイドロキシアパタイトはカルシウムイオンＣａ２＋やリン酸イオンＰＯ４３−を表面に持つため、各種ガス、イオン、アルコール、酵素、タンパク質、ＤＮＡ等の化学物質を吸着することが知られている。そこで、かかる化学物質を検出する化学センサの材料にハイドロキシアパタイトの薄膜を利用することを考えた。ハイドロキシアパタイトの薄膜を形成する技術としては、例えば電気泳動法が知られている。この電気泳動法は、ハイドロキシアパタイトの原料粉末を液体中に分散させ，その液中に一対の電極を入れて直流電圧を印加して粉末を電気泳動により移動させ，最終的に到達した電極上にハイドロキシアパタイトを膜状に堆積させるものである。しかしながら、電気泳動法により形成されたハイドロキシアパタイト膜は成分中のＣａ：Ｐ比を所望の値に調整しにくいため、化学量論的組成の材料が得られないという問題や、膜の結晶性が悪いという問題がある。また、比較的厚い膜であるために膜のクラック発生や基板からの剥離という問題も生じる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  既述したように、ハイドロキシアパタイトは各種化学物質を吸着する特性を持つ。また、Ｃａ２＋の一部をＮａ＋、Ｋ＋、Ｍｇ２＋、Ｓｒ２＋に置換すると、置換元素の種類や置換量により電気的特性が変化する特性を持つ。上述した２つの特性を利用すれば、ハイドロキシアパタイト自身に種々の化学物質を吸着できるレセプタ部とトランスデューサー部を兼ね備えさせる化学バイオセンサを実現できる。また、トランスデューサー部は半導体や各種電極の電子技術の発展に伴って新規な技術や材料が用いられるようになってきたが、劣悪な環境下でのセンサ使用は耐久性に問題が残る。しかしながら、ハイドロキシアパタイトは安定したセラミックスであって硬くて丈夫であるために、使用環境がいくぶん悪くても耐久性に問題を生じない。【０００７】  本発明は、上記した従来の問題点に鑑みてなされたものであって、種々の化学物質を検出可能で機械的強度が高く、実用的な化学バイオセンサおよびその製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  上記目的を達成するために、本発明に係る化学バイオセンサは、基板上にハイドロキシアパタイトの薄膜を形成し、該薄膜上に一対の電極を離間して設けたものである。本発明の化学バイオセンサにおいて、センサ用の基板としては、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や酸化ジルコニア（ＺｒＯ）等のセラミックスや、チタン（Ｔｉ）、チタン−アルミナ−バナジウム合金（Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ）等の金属等が挙げられる。また、薄膜を形成する手段としては、例えば、レーザーアブレーション法、スパッタリング法、反応性蒸着法等が挙げられる。【０００９】  また、本発明に係る化学バイオセンサは、基板上に、ハイドロキシアパタイトを構成するカルシウムの一部をキャリアドーピング用元素で置き換えてなるハイドロキシアパタイト誘導体（（Ｃａ，Ｍ）１０（ＰＯ４）６（ＯＨ）２）の薄膜を形成し、該薄膜上に一対の電極を離間して設けたものである。
この発明に用いるキャリアドーピング用元素Ｍとしては、例えば、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、マグネシウム（Ｍｇ）、ストロンチウム（Ｓｒ）などが挙げられる。ハイドロキシアパタイトの基本物性を損なわない範囲であれば、カルシウムの１．０ｗｔ％に対して、置換されるキャリアドーピング用元素の重量％は０〜０．１ｗｔ％である。【００１０】  そして、前記各構成の化学バイオセンサを製造する本発明の製造方法は、ハイドロキシアパタイトの薄膜またはハイドロキシアパタイト誘導体の薄膜を基板上に形成する薄膜形成工程を含む製造方法であって、前記薄膜形成工程においてレーザーアブレーション法によりハイドロキシアパタイトの薄膜またはハイドロキシアパタイト誘導体の薄膜を形成するものである。
本発明に適用するレーザーアブレーション法の薄膜形成操作は慣用法でよい。レーザーアブレーション法に用いるレーザーの種類は特に限定されないが、膜厚が１μｍ程度あるいは１μｍ以下の薄膜を得るためには例えばエキシマレーザを用いることが望ましい。
【発明の効果】
【００１１】  本発明に係る化学バイオセンサによれば、多くの化学物質に対して、きわめて高い吸着能力を持つハイドロキシアパタイトの薄膜により化学物質を吸着させ、そのときに変化する薄膜の電気的特性を測定して化学物質をセンシングできるので、水晶振動子式センサなどと比べて、構成が簡素ですみ安価に提供され検出精度も高い。かかる簡素な構成と併せて、セラミックであるハイドロキシアパタイトが硬くて強い材料であることから、壊れにくく耐久性の高い化学バイオセンサを実現することができる。また、本発明の化学バイオセンサは、特定のタンパク質（プロテイン）を検出できるプロテインセンサとして使用可能である。例えば、ハイドロキシアパタイトのタンパク質吸着機能を利用し、検出したい特定のタンパク質と結合するタンパク質をハイドロキシアパタイト薄膜上に予め固定しておく。この固定タンパク質と、検出したい特定のタンパク質とが結合すると、ハイドロキシアパタイト薄膜の電気的特性が変化する。この電気的特性を測定することにより、特定のタンパク質を検出することができる。因みに、従来のプロテインセンサではタンパク質に蛍光物質などの標識（マーカ）を付ける手間のかかる作業を行なわなければならなかったが、本発明の化学バイオセンサではこのような作業が不要となる。【００１２】  また、ハイドロキシアパタイトを構成するカルシウムの一部をキャリアドーピング用元素で置き換えてなるハイドロキシアパタイト誘導体で薄膜を形成する場合は、置き換えるキャリアドーピング用元素の種類や置き換え重量％を調整することにより、目的とする化学物質の種類や検出濃度範囲を適宜に選定することができ、化学物質はもとより、生体材料、医療材料その他の分野に広く利用され得る。【００１３】  そして、レーザーアブレーション法によりハイドロキシアパタイトの薄膜またはハイドロキシアパタイト誘導体の薄膜を形成するときは、他の成膜方法により形成した薄膜よりも強固な薄膜を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】  本発明の最良の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下に述べる実施形態および実施例はそれぞれ本発明を具体化した一例に過ぎず、本発明の技術的範囲を限定するものでない。ここに、図１は本発明の一実施形態に係る化学バイオセンサの概略斜視図である。
図１において、この実施形態の化学バイオセンサは、アルミナ製の基板１と、この基板１上に成膜されたハイドロキシアパタイトまたはハイドロキシアパタイト誘導体の薄膜２と、薄膜２上に離間して形成された櫛型で一対の電極３，３と、電極３，３にそれぞれ結線されて外部の電気特性測定装置（ＬＣＲメータなど、図示省略）に接続されるリード線４，４とから構成されている。この実施形態に係る化学バイオセンサは次の実施例１によって更に詳しく説明される。
【実施例１】
【００１５】  図１に示した化学バイオセンサにおいて、基板１にはポーラスアルミナを用い、ＡｒＦエキシマレーザー（λ＝１９３ｎｍ、パルス幅＝２０ｎｓｅｃ）によるレーザーアブレーション法によりハイドロキシアパタイト誘導体（Ｎａ−ＨＡｐ）の薄膜２を基板１上に成膜した。このＡｒＦエキシマレーザーアブレーション法を適用した成膜装置では、真空成膜チャンバー内に、基板１とターゲットであるＣａ９Ｎａ２（ＰＯ４）６（ＯＨ）２とを収容し、基板温度３００℃、Ｈ２Ｏを含んだ酸素中でガス雰囲気０．８ｍＴｏｒｒの条件下により膜厚約１μｍの薄膜２を成膜した。ターゲット上のレーザーエネルギー密度は１Ｊ／ｃｍ２，繰り返し周波数は１〜１０Ｈｚとした。成膜後、Ｈ２Ｏを含んだ酸素中で５００℃、１時間の熱処理を行って、ナトリウム置換ハイドロキシアパタイト（Ｃａ９Ｎａ２（ＰＯ４）６（ＯＨ）２、ハイドロキシアパタイト誘導体の例）の薄膜２を結晶化させた。その後、慣用のスパッタ法および真空蒸着法を併用して金製の櫛形電極３，３を薄膜２上に形成した。電極３，３にそれぞれ結線したリード線４，４を汎用のＬＣＲメータに接続し、下記する実施例２〜４でセンサ電気特性の測定に供した。
尚、上記のように形性した薄膜２はＸ線回折分析に供した。測定した薄膜２のＸ線回折パターンを図７に示す。図７のＸ線回折パターンから明らかなように、ポーラスアルミナ上の薄膜２は、目的とする結晶化ナトリウム置換ハイドロキシアパタイトであった。
【実施例２】
【００１６】  図２に、図１に示した化学バイオセンサを湿度センサとして用いた場合の感湿応答特性を示す。２５℃に保持したの温度条件下で、化学バイオセンサを湿度（ＲＨ）４０％と湿度（ＲＨ）８０％の雰囲気中に交互に入れて、化学バイオセンサの直流抵抗を測定した。化学バイオセンサをＲＨ４０％の雰囲気に入れると、化学バイオセンサの薄膜は急速に空気中の水分を吸着し約１０秒でピーク下限に達して湿度に応答し、ＲＨ８０％の雰囲気下に移すと１００秒〜１１０秒で元の状態に復帰しており、これまでにない優れた応答性と感度を示した。因みに、従来汎用の湿度センサで湿度を測定すると、そのときの湿度に応答するまでに数１０秒かかっていた。
【実施例３】
【００１７】  図３に実施例１の化学バイオセンサをアルコールセンサとして使用した例を示す。ビーカーに入れたエチルアルコールの液面に化学バイオセンサを近づけると、アルコール分子が薄膜に吸着して化学バイオセンサの電気抵抗が変化（上昇）した。その後、化学バイオセンサをエチルアルコールの液面から遠ざけると、電気抵抗が徐々に下降した。すなわち、実施例１の化学バイオセンサをアルコールセンサとして利用できることが確認された。
【実施例４】
【００１８】  図４は実施例１の化学バイオセンサのタンパク吸着特性を示している。メスシリンダ中に入れた１００ｍｌの純水中に化学バイオセンサを沈め、牛胎児血清（以下ＦＢＳと称する）を、（１）１０μｌ、（２）１００μｌ、（３）１００μｌ、（４）１００μｌと、（１）から（４）まで順に適時間隔で純水中に滴下した。ＦＢＳを滴下していくと薄膜の電気抵抗が次第に低下していった。これにより、この化学バイオセンサはタンパク質の吸着をセンシングできることが確認された。
【実施例５】
【００１９】  実施例１で形成された薄膜２がナトリウム置換ハイドロキシアパタイト（Ｃａ９Ｎａ２（ＰＯ４）６（ＯＨ）２、ハイドロキシアパタイト誘導体の例）で構成されていることを確認するため、ポーラスアルミナ製の基板１の替わりに、チタン−アルミナ−バナジウム合金（Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ）を基板とし、その上に実施例１と同様にしてナトリウム置換ハイドロキシアパタイトの薄膜を形成し、この薄膜をＸ線回折分析に供した。測定した薄膜のＸ線回折パターンを図５に示す。図５のＸ線回折パターンから明らかなように、白抜き丸印で示したＸ線回折角２θにおいて、Ｘ線回折強度（Ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）のピークが検出され、薄膜がナトリウム置換ハイドロキシアパタイト（Ｎａ−ＨＡｐ）であることを確認できた。
【実施例６】
【００２０】  この実施例６では、実施例５におけるナトリウム置換ハイドロキシアパタイトに替えて、マグネシウム置換ハイドロキシアパタイトＣａ９Ｍｇ（ＰＯ４）６（ＯＨ）２をターゲットとして用いたこと以外は、実施例５と同様にしてチタン−アルミナ−バナジウム合金（Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ）上に薄膜を形成し、この薄膜をＸ線回折分析に供した。測定した薄膜のＸ線回折パターンを図６に示す。図６のＸ線回折パターンから明らかなように、白抜き丸印で示したＸ線回折角においてＸ線回折強度のピークが検出され、薄膜がマグネシウム置換ハイドロキシアパタイト（Ｍｇ−ＨＡｐ）であることが確認された。【００２１】  尚、上記の実施形態では、ターゲットとしてＣａ９Ｎａ２（ＰＯ４）６（ＯＨ）２を用いて基板上にハイドロキシアパタイト誘導体（Ｃａ９Ｎａ２（ＰＯ４）６（ＯＨ）２）の薄膜を形成した化学バイオセンサを例示したが、本発明の化学バイオセンサはそれに限定されるものでなく、例えばターゲットとしてＣａ１０（ＰＯ４）６（ＯＨ）２を用いて基板上にハイドロキシアパタイト（Ｃａ１０（ＰＯ４）６（ＯＨ）２）の薄膜を形成した化学バイオセンサも、本発明に含まれる。
また、上記ではレーザーアブレーション法を用いて薄膜を形成したが、本発明においてはレーザーアブレーション法の替わりに、スパッタリング法、反応性蒸着法などを用いて成膜しても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】  本発明の一実施形態および実施例１に係る化学バイオセンサの概略斜視図である。
【図２】  実施例２による化学バイオセンサの感湿応答特性を示すグラフである。
【図３】  実施例３による化学バイオセンサのアルコール検出特性を示すグラフである。
【図４】  実施例４による化学バイオセンサのタンパク質吸着特性を示すグラフである。
【図５】  実施例５によるナトリウム置換ハイドロキシアパタイト薄膜のＸ線回折パターンを示すグラフである。
【図６】  実施例６によるマグネシウム置換ハイドロキシアパタイト薄膜のＸ線回折パターンを示すグラフである。
【図７】  実施例１によるナトリウム置換ハイドロキシアパタイト薄膜のＸ線回折パターンを示すグラフである。
【符号の説明】
【００２３】１    基板
２    薄膜
３    電極
４    リード線
【図１】
2005283550.tif 000003
【図２】
2005283550.tif 000004
【図３】
2005283550.tif 000005
【図４】
2005283550.tif 000006
【図５】
2005283550.tif 000007
【図６】
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【図７】
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