(57)【要約】【課題】半導体ウェハ製造のように多数の工程を持つ製品の生産管理において、より精度の高い生産進捗管理を実現する。【解決手段】生産ライン１から、構成チャンバーを含む設備稼働実績データおよびロットの工程実績データを収集するデータ収集手段２と、データ収集手段２から得られたデータと設備の保全実施ルールに基づいて保全計画を計算する設備保全管理部３と、データ収集手段２から得られた工程実績データに基づき設備稼働パラメータとロット処理パラメータを計算する統計解析部４と、前記保全計画と前記各パラメータが保存されるデータベース５と、データベース５からの各データからディスパッチルールの違いによる生産効果の差を評価するシミュレータ６と、シミュレータ６により検証されたディスパッチルールにしたがってロットの進行指示を作成するディスパッチ部７と、前記ロットの進行指示を生産ライン１に対して通信する通信手段８を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産ラインを構成する各工程各設備から設備の稼働情報、並びに処理中ロット情報および処理したロット情報を工程実績データとして収集するデータ収集手段と、収集した前記工程実績データに基づいて、設備の稼働情報を示すパラメータとして算出される設備稼働パラメータと、設備の稼働に対応したロット処理能力を示すパラメータであるロット処理パラメータを計算する統計解析手段と、収集した前記工程実績データと設備に関する保全実施ルールに基づいて設備の保全実施時期を設備保全計画として立案する設備保全管理手段と、前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記設備保全計画を保存する手段と、工程実績データと各工程でロットをどのように各設備に割り付けるかを記述したディスパッチルールとに基づいてロット進行指示データを随時作成するディスパッチ手段と、前記ロット進行指示データを各工程に通知する通信手段と、生産ラインのモデルを持ち、前記保存した設備稼働パラメータとロット処理パラメータと前記設備保全計画および前記ディスパッチルールとを入力し前記生産ラインを模擬再現し、生産効果を評価する手段を備え、一定期間毎に評価し、生産効果の高いディスパッチルールを求める手段からなることを特徴とする設備稼働管理システム。
【請求項２】
前記設備の稼働情報は、設備を構成するチャンバーの稼動情報を含むことを特徴とする請求項１記載の設備稼働管理システム。
【請求項３】
前記設備稼働パラメータは、設備を構成するチャンバー毎の稼働情報を示すパラメータを含むことを特徴とする請求項１記載の設備稼働管理システム。
【請求項４】
前記ロット処理パラメータは、ロットを構成するウェハ単位の処理能力を示すパラメータを含むことを特徴とする請求項１記載の設備稼働管理システム。
【請求項５】
前記設備保全計画は、前記設備の構成チャンバー毎の保全時期を含むことを特徴とする請求項１記載の設備稼働管理システム。
【請求項６】
前記ディスパッチ手段は、記述されたディスパッチルールを前記最も評価の高いディスパッチルールに更新し、各設備に対するロットの割り付けを行うことを特徴とする請求項１記載の設備稼働管理システム。
【請求項７】
前記データ収集手段は、前記生産ラインの生産管理システムを通してデータ収集する手段と、前記生産管理システムとは別の設備毎の稼働情報を専用収集する手段からなることを特徴とする請求項１記載の設備稼働管理システム。
【請求項８】
前記生産ラインのモデルである工場モデルが、前記生産ラインを構成する前記各工程のモデルである工程モデルと前記各工程モデルを統合するラインモデルから構成され、前記工程モデルが工程内での生産活動を計算し、前記ラインモデルが工程モデル間の制御と前記生産ライン全体の生産活動を計算することを特徴とする請求項１記載の設備稼働管理システム。
【請求項９】
前記工程モデルが前記工程を構成する設備のモデルである設備モデルと設備モデルを統合するエリアモデルから構成され、前記設備モデルが設備内の生産活動を計算し、前記エリアモデルが前記工程内の設備間の制御と生産活動、および設備モデルと工程モデルの間の制御を計算することを特徴とする請求項１記載の設備稼働管理システム。
【請求項１０】
前記工場モデルが、前記各設備を処理動作のパターン毎に分類してその分類パターン毎に作られた何種類かの設備ベースモデルを有し、前記各設備モデルが前記設備ベースモデルと前記設備ベースモデルに組み込む前記各設備毎の処理能力特性と稼働特性を表す設備パラメータから構築されることを特徴とする請求項１記載の設備稼働管理システム。
【請求項１１】
前記工程モデルと前記ラインモデルとの間で、情報の互換性と同期性を保持するインタフェース機能を有し、複数の計算機による分散処理を可能とすることを特徴とする請求項１記載の設備稼働管理システム。
【請求項１２】
前記設備モデルと前記エリアモデルとの間で、情報の互換性と同期性を保持するインタフェース機能を有し、複数の計算機による分散処理を可能とすることを特徴とする請求項１記載の設備稼働管理システム。
【請求項１３】
生産ラインを構成する各工程各設備から設備の稼働情報、並びに処理中ロット情報および処理したロット情報を工程実績データとして収集するデータ収集手段と、収集した前記工程実績データに基づいて、設備の稼働情報を示すパラメータとして算出される設備稼働パラメータと、設備の稼働に対応したロット処理能力を示すパラメータであるロット処理パラメータを計算する統計解析手段と、収集した工程実績データと設備に関する保全実施ルールに基づいて設備の保全実施時期を設備保全計画として立案する設備保全管理手段と、前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記設備保全計画を保存する手段と、生産ラインに対する出荷要求情報と前記工程実績データと前記設備保全計画と前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータに基づいて前記生産ラインの各工程に対して前記出荷要求との差が最小となるロット投入計画を立案する生産スケジュール立案手段と、前記ロット投入計画と前記工程実績データと前記ディスパッチルールに基づいて最適なロット進行指示データを随時作成するディスパッチ手段と前記ロット進行指示データを各工程に通知する通信手段と、生産ラインのモデルを持ち、前記保存した設備稼働パラメータとロット処理パラメータと前記設備保全計画および前記ディスパッチルールとを入力し前記生産ラインを模擬再現し、生産効果を評価する手段を備え、一定期間毎に評価し、生産効果の高いディスパッチルールを求める手段を備えることを特徴とする設備稼働管理システム。
【請求項１４】
生産ラインを構成する各工程各設備から設備の稼働情報、並びに処理中ロット情報および処理したロット情報を工程実績データとして収集するデータ収集工程と、収集した前記工程実績データに基づいて、設備の稼働情報を示すパラメータとして算出される設備稼働パラメータと、設備の稼働に対応したロット処理能力を示すパラメータであるロット処理パラメータを計算する統計解析工程と、収集した工程実績データと設備に関する保全実施ルールに基づいて設備の保全実施時期を設備保全計画として立案する設備保全管理工程と、前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記設備保全計画を保存する工程と、工程実績データと各工程でロットをどのように各設備に割り付けるかを記述したディスパッチルールとに基づいてロット進行指示データを随時作成するディスパッチ工程と、前記ロット進行指示データを各工程に通知する通信工程と、生産ラインのモデルを持ち、前記保存した設備稼働パラメータとロット処理パラメータと前記設備保全計画および前記ディスパッチルールとを入力し前記生産ラインを模擬再現し、生産効果を評価する工程を備え、一定期間毎に評価し、生産効果の高いディスパッチルールを求める工程からなることを特徴とする設備稼働管理方法。
【請求項１５】
生産ラインを構成する各工程各設備から設備の稼働情報、並びに処理中ロット情報および処理したロット情報を工程実績データとして収集するデータ収集手段と、収集した前記工程実績データに基づいて、設備の稼働情報を示すパラメータとして算出される設備稼働パラメータと、設備の稼働に対応したロット処理能力を示すパラメータであるロット処理パラメータを計算する統計解析手段と、収集した工程実績データと設備に関する保全実施ルールに基づいて設備の保全実施時期を設備保全計画として立案する設備保全管理手段と、前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記設備保全計画を保存する手段と、前記ロット進行指示データを各工程に通知する通信手段と、生産ラインのモデルを持ち、前記保存した設備稼働パラメータとロット処理パラメータと前記設備保全計画および前記ディスパッチルールとを入力し前記生産ラインを模擬再現し、生産効果を評価できる手段を備え、一定期間毎に評価し、生産効果の高いディスパッチルールを求める手段と、生産ラインに対する出荷要求情報と前記工程実績データと前記設備保全計画と前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記求められた生産効果の高いディスパッチルールに基づいて前記生産ラインの各工程に対して前記出荷要求との差が最小となるロット投入計画を立案する生産スケジュール立案手段と、前記ロット投入計画と前記工程実績データと前記求められた生産効果の高いディスパッチルールに基づいて最適なロット進行指示データを随時作成するディスパッチ手段とを備えることを特徴とする設備稼働管理システム。
【請求項１６】
生産ラインを構成する各工程各設備から設備の稼働情報、並びに処理中ロット情報および処理したロット情報を工程実績データとして収集するデータ収集工程と、収集した前記工程実績データに基づいて、設備の稼働情報を示すパラメータとして算出される設備稼働パラメータと、設備の稼働に対応したロット処理能力を示すパラメータであるロット処理パラメータを計算する統計解析工程と、収集した工程実績データと設備に関する保全実施ルールに基づいて設備の保全実施時期を設備保全計画として立案する設備保全管理工程と、前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記設備保全計画を保存する工程と、前記ロット進行指示データを各工程に通知する通信工程と、生産ラインのモデルを持ち、前記保存した設備稼働パラメータとロット処理パラメータと前記設備保全計画および前記ディスパッチルールとを入力し前記生産ラインを模擬再現し、生産効果を評価できる工程を備え、一定期間毎に評価し、生産効果の高いディスパッチルールを求める工程と、生産ラインに対する出荷要求情報と前記工程実績データと前記設備保全計画と前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記求められた生産効果の高いディスパッチルールに基づいて前記生産ラインの各工程に対して前記出荷要求との差が最小となるロット投入計画を立案する生産スケジュール立案工程と、前記ロット投入計画と前記工程実績データと前記求められた生産効果の高いディスパッチルールに基づいて最適なロット進行指示データを随時作成するディスパッチ工程からなることを特徴とする設備稼働管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体製造の製造設備管理並びに設備生産管理に適用される設備稼働管理システムおよび管理方法に関するものであり、生産スケジューラでの生産計画と製造現場での生産進捗の差異となる要因を低減するためのものである。
【背景技術】
【０００２】
各製造設備と製造管理システム(ＭＥＳ；Manufacturing Execution System)とがオンラインで接続されている半導体製造工場において、製品の生産は，ＭＥＳおよびディスパッチシステムにより制御されている。また、製品の処理履歴情報，測定評価結果並びに設備の稼働情報等の情報はＭＥＳにより収集，管理されている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
図６は従来の生産管理システムの一例におけるハードウェアの構成を示すブロック図である。図６に示すように従来の生産管理システムは、生産ライン２１の各工程でのロット処理状況および設備稼働状況に関するデータを常時収集するデータ収集手段２２と一定期間のデータを蓄積し統計処理して統計データを作成する統計解析部２４を備えている。この統計解析部２４の統計データとロットを割り付ける種々のディスパッチングルールとを用いて生産状況を模擬再現し、ディスパッチングの違いによる生産ラインの効率の差が評価に足りるデータを出力するシミュレータ２５とを実線で示す生産ラインのデータ制御ラインとは別に設け、一定期間毎に各工程にロットを最適に割り付けるディスパッチルールを採用しディスパッチ部２６が即時に適切な生産指示データを作成して、通信手段２３を介して生産ライン２１に対して即時に指示を送っている。
【特許文献１】特開平７−４０２０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の生産管理システムでは、工程処理の指示等は生産スケジューラの計画に基づいて、ＭＥＳおよびディスパッチシステムにより制御されている。ＭＥＳは製品を主体に管理するシステムであるため、設備に関する詳細な情報を扱えないという課題があった。すなわち、ＭＥＳでは設備の状態を｛生産,待機,計画停止，計画外停止｝の４つに分類しているが、マルチ・チャンバー設備が使用される現在、ある設備が｛生産｝状態である時に、その設備の全構成チャンバーが正常な稼働状態か、あるいは一部のチャンバーが停止状態であるか、と言った構成チャンバーの稼働状態までを含む詳細な情報を収集，管理できない。したがってマルチ・チャンバー設備を使用する工場の製品処理進捗能力を管理できない。さらに、ＭＥＳでは設備の保全計画の管理は行えない。このように従来の生産管理システムでは、設備稼働および製品処理進捗能力の情報が不正確となり生産スケジューラでの生産計画精度が向上しない課題がある。
【０００５】
本発明は、このような問題点を解決し、製造現場での目標値管理がより明確になるようにすることを実現する半導体製造設備稼働管理システムおよび管理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するために本発明の特徴は、生産ラインを構成する各工程各設備から設備の稼働情報、並びに処理中ロット情報および処理したロット情報を工程実績データとして収集するデータ収集手段と、収集した前記工程実績データに基づいて、設備の稼働情報を示すパラメータとして算出される設備稼働パラメータと、設備の稼働に対応したロット処理能力を示すパラメータであるロット処理パラメータを計算する統計解析手段と、収集した工程実績データと設備に関する保全実施ルールに基づいて設備の保全実施時期を設備保全計画として立案する設備保全管理手段と、前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記設備保全計画を保存する手段と、工程実績データと各工程でロットをどのように各設備に割り付けるかを記述したディスパッチルールとに基づいてロット進行指示データを随時作成するディスパッチ手段と、前記ロット進行指示データを各工程に通知する通信手段と、生産ラインのモデルを持ち、前記保存した設備稼働パラメータとロット処理パラメータと前記設備保全計画および前記ディスパッチルールを元に前記生産ラインを模擬再現し、生産効果を評価する手段を備え、一定期間毎に評価し、生産効果の高いディスパッチルールを求める手段からなる設備稼働管理システムにある。
【０００７】
また本発明の特徴は、生産ラインを構成する各工程各設備から設備の稼働情報、並びに処理中ロット情報および処理したロット情報を工程実績データとして収集するデータ収集工程と、収集した前記工程実績データに基づいて、設備の稼働情報を示すパラメータとして算出される設備稼働パラメータと、設備の稼働に対応したロット処理能力を示すパラメータであるロット処理パラメータを計算する統計解析工程と、収集した工程実績データと設備に関する保全実施ルールに基づいて設備の保全実施時期を設備保全計画として立案する設備保全管理工程と、前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記設備保全計画を保存する工程と、工程実績データと各工程でロットをどのように各設備に割り付けるかを記述したディスパッチルールとに基づいてロット進行指示データを随時作成するディスパッチ工程と、前記ロット進行指示データを各工程に通知する通信工程と、生産ラインのモデルを持ち、前記保存した設備稼働パラメータとロット処理パラメータと前記設備保全計画および前記ディスパッチルールとを入力し前記生産ラインを模擬再現し、生産効果を評価する工程を備え、一定期間毎に評価し、生産効果の高いディスパッチルールを求める工程からなる設備稼働管理方法にある。
【０００８】
また本発明の特徴は、生産ラインを構成する各工程各設備から設備の稼働情報、並びに処理中ロット情報および処理したロット情報を工程実績データとして収集するデータ収集手段と、収集した前記工程実績データに基づいて、設備の稼働情報を示すパラメータとして算出される設備稼働パラメータと、設備の稼働に対応したロット処理能力を示すパラメータであるロット処理パラメータを計算する統計解析手段と、収集した工程実績データと設備に関する保全実施ルールに基づいて設備の保全実施時期を設備保全計画として立案する設備保全管理手段と、前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記設備保全計画を保存する手段と、前記ロット進行指示データを各工程に通知する通信手段と、生産ラインのモデルを持ち、前記保存した設備稼働パラメータとロット処理パラメータと前記設備保全計画および前記ディスパッチルールとを入力し前記生産ラインを模擬再現し、生産効果を評価できる手段を備え、一定期間毎に評価し、生産効果の高いディスパッチルールを求める手段と、生産ラインに対する出荷要求情報と前記工程実績データと前記設備保全計画と前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記求められた生産効果の高いディスパッチルールに基づいて前記生産ラインの各工程に対して前記出荷要求との差が最小となるロット投入計画を立案する生産スケジュール立案手段と、前記ロット投入計画と前記工程実績データと前記求められた生産効果の高いディスパッチルールに基づいて最適なロット進行指示データを随時作成するディスパッチ手段とを備える設備稼働管理システムにある。
【０００９】
また本発明の特徴は、生産ラインを構成する各工程各設備から設備の稼働情報並びに、処理中ロット情報および処理したロット情報を工程実績データとして収集するデータ収集工程と、収集した前記工程実績データに基づいて、設備の稼働情報を示すパラメータとして算出される設備稼働パラメータと、設備の稼働に対応したロット処理能力を示すパラメータであるロット処理パラメータを計算する統計解析工程と、収集した工程実績データと設備に関する保全実施ルールに基づいて設備の保全実施時期を設備保全計画として立案する設備保全管理工程と、前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記設備保全計画を保存する工程と、前記ロット進行指示データを各工程に通知する通信工程と、生産ラインのモデルを持ち、前記保存した設備稼働パラメータとロット処理パラメータと前記設備保全計画および前記ディスパッチルールとを入力し前記生産ラインを模擬再現し、生産効果を評価する工程を備え、一定期間毎に評価し、生産効果の高いディスパッチルールを求める工程と、生産ラインに対する出荷要求情報と前記工程実績データと前記設備保全計画と前記設備稼働パラメータと前記ロット処理パラメータと前記求められた生産効果の高いディスパッチルールに基づいて前記生産ラインの各工程に対して前記出荷要求との差が最小となるロット投入計画を立案する生産スケジュール立案工程と、前記ロット投入計画と前記工程実績データと前記求められた生産効果の高いディスパッチルールに基づいて最適なロット進行指示データを随時作成するディスパッチ工程からなる設備稼働管理方法にある。
【発明の効果】
【００１０】
従来の設備稼働管理システムでは構成チャンバー単位の詳細な設備稼働データの収集・管理ができなかった。そのため、製品処理進捗能力の情報が不正確となり生産スケジューラでの生産計画精度が向上しない課題があった。本発明においては設備のチャンバー単位の設備稼働パラメータの算出，設備の構成チャンバーの稼働状態に対応したロット処理能力の算出ができ、さらに生産効果の高いディスパッチルールを求めることが可能なので、生産計画の実行精度の向上が図れると共に設備の稼働管理がより正確になり製造現場での目標値管理が明確になる。また、生産指示に関する処理とロット進捗指示に関する処理を分化・特化することで現場に対する指示より早くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００１２】
（実施の形態１）
図１は本発明の第１の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図である。第１の実施の形態における設備稼働管理システムは、図１に示すように、工程１から工程ｎまで含む生産ライン１から、構成チャンバーを含む設備の処理ロットおよび仕掛りロットの処理数量並びに前記設備と構成チャンバーの現在の時刻と稼働状態等の実績データ並びに前記処理ロットのプロセスや品種等の属性データおよび現在時刻と処理工程や処理条件や処理時間等の工程実績データを常時収集するデータ収集手段２と、データ収集手段２から得られたデータと設備のメンテナンスや点検などの保全実施ルールに基づいて前記構成チャンバーを含む設備の保全計画を計算する設備保全管理部３と、データ収集手段２から得られた工程実績データに基づき平均値・中央値・最大値・最小値・標準偏差等の統計情報も併せて設備の設備稼働パラメータとロット処理パラメータを計算する統計解析部４と、設備保全管理部３で計算された設備の保全計画と統計解析部４で計算された設備の設備稼働パラメータとロット処理パラメータが保存されるパラメータ・データベース５と、生産ライン１の適切なモデルを持ちパラメータ・データベース５からの各データとディスパッチルールとを入力として生産を模擬再現してディスパッチルールの違いによる生産効果の差を評価するシミュレータ６と、シミュレータ６により検証されたディスパッチルールにしたがって、ロットの進行指示を作成するディスパッチ部７と、ディスパッチ部７で作成されたロットの進行指示を生産ライン１に対して通信する通信手段８を備えている。
【００１３】
図２はデータ収集手段２の詳細を含む第１の実施の形態におけるデータ収集手段２の構成を示すブロック図である。生産管理システム（ＭＥＳ；Manufacturing Engineering System）はロットの生産進捗管理が主な用途で、設備のチャンバー毎の稼動情報を常時収集することは通常想定されておらず、対応するだけの能力がない。そこでロットデータ収集手段２ａがロットに関するデータをＭＥＳから収集し、設備データ収集手段２ｂが設備の稼動に関するデータ収集をＭＥＳとは独立した通信手段を用いて収集する。
【００１４】
統計解析部４の設備稼働パラメータの計算においては、設備単位並びに構成チャンバー単位の設備の生産率，停止率，故障率，平均復旧時間などの設備稼働を表す値を計算すると共に一部の構成チャンバーが生産しない状態の生産率である片肺生産率を計算する。
【００１５】
こうして計算された設備稼働パラメータを用いることでより精度の高い設備稼働管理が可能となる。また統計解析部４のロット処理パラメータの計算においては、設備の全構成チャンバーが生産可能状態と場合の処理能力と一部のチャンバーが生産しない状態での処理能力が計算される。こうして統計解析部４で計算された設備稼働パラメータとロット処理パラメータを元にシミュレータ６でより生産効果の高いディスパッチルールが評価される。こうして評価されたディスパッチルールに基づいてディスパッチ部７でロットに対する生産指示が作成されるので、生産ライン１での生産は生産ライン１に対する出荷要求に対してより達成度が高くなる。
【００１６】
図３は本発明の第１の実施の形態におけるシミュレータ６が有する生産ライン１のモデルである工場モデルの構成を示すブロック図である。工場モデル６ａは、生産ライン１を構成する工程モデル６ａＳと工程モデルを統合するラインモデル６ａＬから構成される。工程モデル６ａＳが工程内での生産活動を計算し、ラインモデル６ａＬが工程モデル間の制御等を計算する。ラインモデル６ａＬと工程モデル６ａＳのインタフェースを統一して分散処理を可能とし、必要に応じて複数の計算機での並列処理を可能とする。
【００１７】
工程モデル６ａＳは工程を構成する設備モデル６ｂＥと設備モデル６ｂＥを統合するエリアモデル６ｂＡから構成される。設備モデル６ｂＥが設備内の生産活動を計算し、エリアモデル６ｂＡが設備間や設備モデルと他工程モデルとの制御等を計算する。
【００１８】
各設備モデルは、枚葉／一括処理など基本的な装置構成を表す数種類の設備パターンから選択されるベースモデルと、機種毎の処理能力や特性を表現するベースモデルに組み込む設備パラメータから構成される。
【００１９】
生産シミュレーションの分散処理が可能になる事で必要に応じて計算機の構成を変更させて生産効果評価の時間短縮を図る事ができる。また、階層化・パターン化により、ライン構成の変更や生産体制の変更に対して短時間でモデルの変更が可能となり、工場の将来の生産検討も容易に実施できるようになる。
【００２０】
（実施の形態２）
図４は本発明の第２の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図である。
【００２１】
第２の実施の形態における設備稼働管理システムは、図４に示すように、工程１から工程ｎまで含む生産ライン１から、構成チャンバーを含む設備の処理ロットおよび仕掛りロットの処理数量並びに前記設備と構成チャンバーの現在の時刻と稼働状態等の実績データ並びに前記処理ロットのプロセスや品種等の属性データおよび現在時刻と処理工程や処理条件や処理時間等の工程実績データを常時収集するデータ収集手段２と、データ収集手段２から得られたデータと設備のメンテナンスや点検などの保全実施ルールに基づいて前記構成チャンバーを含む設備の保全計画を計算する設備保全管理部３と、データ収集手段２から得られた工程実績データに基づき平均値・中央値・最大値・最小値・標準偏差等の統計情報も併せて設備の設備稼働パラメータとロット処理パラメータを計算する統計解析部４と、設備保全管理部３で計算された設備の保全計画と統計解析部４で計算された設備の設備稼働パラメータとロット処理パラメータが保存されるパラメータ・データベース５と、生産ライン１に対する出荷要求とデータ収集手段２工程実績データとパラメータ・データベース５からの各データとに基づいて生産ライン１に対する出荷要求との差が最小となる生産指示を一定の間隔で計算する生産スケジュール部９と、生産ライン１の適切なモデルを持ちパラメータ・データベース５からの各データとディスパッチルールとを入力として生産を模擬再現してディスパッチルールの違いによる生産効果の差を評価するシミュレータ６と、データ収集手段２からの工程実績データと生産スケジュール部９からの生産指示とシミュレータ６で評価されたディスパッチルールとに基づいて随時に最適なロット進行指示データを作成するディスパッチ部７Ｂと、ディスパッチ部７Ｂで作成されたロット進行指示を生産ライン１に対して通信する通信手段８を備えている。
【００２２】
このように、生産スケジュール部９とディスパッチ部７Ｂで生産指示計算とロット進行指示計算を特化させることにより、計算処理の時間の短縮が図られ、生産現場の状況により柔軟に対応する生産活動が実現される。
【００２３】
（実施の形態３）
図５は本発明の第３の実施の形態におけるハードウェアの構成を示すブロック図である。
【００２４】
第３の実施の形態における設備稼働管理システムは、図５に示すように、工程１から工程ｎまで含む生産ライン１から、構成チャンバーを含む設備の処理ロットおよび仕掛りロットの数量並びに前記設備と構成チャンバーの現在の時刻と稼働状態等の実績データ並びに前記処理ロットのプロセスや品種等の属性データおよび現在時刻と処理工程や処理条件や処理時間等の工程実績データを常時収集するデータ収集手段２と、データ収集手段２から得られたデータと設備のメンテナンスや点検などの保全実施ルールに基づいて前記構成チャンバーを含む設備の保全計画を計算する設備保全管理部３と、データ収集手段２から得られた工程実績データに基づき平均値・中央値・最大値・最小値・標準偏差等の統計情報も併せて設備の設備稼働パラメータとロット処理パラメータを計算する統計解析部４と、設備保全管理部３で計算された設備の保全計画と統計解析部４で計算された設備の設備稼働パラメータとロット処理パラメータが保存されるパラメータ・データベース５と、生産ライン１の適切なモデルを持ちデータ収集手段２からの工程実績データとパラメータ・データベース５からの各データとディスパッチルールとを入力として生産を模擬再現してディスパッチルールの違いによる生産効果の差を評価するシミュレータ６Ｂと、生産ライン１に対する出荷要求とデータ収集手段２工程実績データとパラメータ・データベース５からの各データとシミュレータ６Ｂからの最高評価されたディスパッチルールに基づいて生産指示を一定の間隔で計算する生産スケジュール部９と、データ収集手段２からの工程実績データと生産スケジュール部９からの生産指示とシミュレータ６Ｂで評価されたディスパッチルールとに基づいて随時に最適なロット進行指示データを作成するディスパッチ部７Ｂと、ディスパッチ部７Ｂで作成されたロット進行指示を生産ライン１に対して通信する通信手段８を備えている。
【００２５】
このように構成したことにより、第２の実施形態と同様に、計算処理の時間の短縮が図られ、生産現場の状況により柔軟に対応する生産活動が実現される。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明はマルチ・チャンバー設備を使用する半導体製造の設備稼働および生産管理において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１の実施の形態における設備稼働管理システムを示す構成図
【図２】本発明の第１の実施の形態におけるデータ収集の詳細を示す構成図
【図３】本発明の第１の実施の形態におけるシミュレータ６が有する生産ラインのモデルを示す構成図
【図４】本発明の第２の実施の形態における設備稼働安定化システムを示す構成図
【図５】本発明の第３の実施の形態における設備稼働安定化システムを示す構成図
【図６】従来の生産管理システムの一例を示す構成図
【符号の説明】
【００２８】
１  生産ライン
２  データ収集手段
２ａ  ロットデータ収集手段
２ｂ  設備データ収集手段
３  設備保全管理部
４  統計解析部
５  パラメータ・データベース
６，６Ｂ  シミュレータ
７，７Ｂ  ディスパッチ部
８  通信手段
９  生産スケジュール部
【図１】
2005322206.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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