(57)【要約】【課題】半導体製造過程において、人的、時間的な無駄を顕在化させることを可能にし、製造装置の生産性向上や工場リソースの細分適正化を行うことを実現する。【解決手段】半導体製造装置からホストにイベントデータが報告されると（Ｓ１０２）、当該イベントデータがどの搬入口のロットに関わるものかを判断し（Ｓ１０３，Ｓ１０４）、予め用意した一覧表によって定義される関係に基づいて、イベントデータとロット名、及び搬入口との関連付け処理を行い（Ｓ１０５，Ｓ１０６）、一覧表の定義に基づき製造装置から報告されたイベントデータを標準化されたイベント名に変換し（Ｓ１０７，Ｓ１０８，Ｓ１０９）、記録媒体２への保存処理を行う（Ｓ１１０）。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造工場のオンライン制御コンピュータに、ロット処理に伴なって半導体製造装置から報告されるイベントデータを現在加工処理中あるいは評価処理中のどのロットのイベントデータかを判定する第一の手順、前記ロット処理に際し、生産管理システムに属するコンピュータから当該ロットの付帯情報を取得する第二の手順、前記イベントデータと前記ロットの付帯情報との関連付けをリアルタイムに行う第三の手順、前記イベントデータ中のイベント名称を標準化する第四の手順、前記関連付け処理結果を記録媒体に保存する第五の手順のいずれかを実行させるためのプログラム。
【請求項２】
半導体製造工場のオンライン制御コンピュータを、ロット処理に伴なって半導体製造装置から報告されるイベントデータを現在加工処理中あるいは評価処理中のどのロットのイベントデータかを判定する第一の手段、前記ロット処理に際し、生産管理システムに属するコンピュータから当該ロットの付帯情報を取得する第二の手段、前記イベントデータと前記ロットの付帯情報との関連付けをリアルタイムに行う第三の手段、前記イベントデータ中のイベント名称を標準化する第四の手段、前記関連付け処理結果を記録媒体に保存する第五の手段のいずれかとして機能させるためのプログラム。
【請求項３】
半導体製造工場のオンライン制御コンピュータに、ロット処理に伴なって半導体製造装置から報告されるイベントデータを現在加工処理中あるいは評価処理中のどのロットのイベントデータかを判定する第一の機能、前記ロット処理に際し、生産管理システムに属するコンピュータから当該ロットの付帯情報を取得する第二の機能、前記イベントデータと前記ロットの付帯情報との関連付けをリアルタイムに行う第三の機能、前記イベントデータ中のイベント名称を標準化する第四の機能、前記関連付け処理結果を記録媒体に保存する第五の機能のいずれかを実現させるプログラム。
【請求項４】
生産管理システムに属するコンピュータは、製造中のロット進捗を管理するコンピュータ、製造装置の状態を管理するコンピュータ、ロット進捗を指示するコンピュータ、あるいはロット搬送を制御するコンピュータであることを特徴とする請求項１，２または３記載のプログラム。
【請求項５】
半導体製造工場においてコンピュータに、生産管理システムに属するコンピュータから、ロットに関連する種々の情報を取得する第一の手順、前記種々の情報が一定形式で保存されていない場合、これをある定まった形式への変換を行う第二の手順、加工処理結果を記録媒体に保存する第三の手順のいずれかを実行させるためのプログラム。
【請求項６】
半導体製造工場においてコンピュータを、生産管理システムに属するコンピュータから、ロットに関連する種々の情報を取得する第一の手段、前記種々の情報が一定形式で保存されていない場合、これをある定まった形式への変換を行う第二の手段、加工処理結果を記録媒体に保存する第三の手段のいずれかとして機能させるためのプログラム。
【請求項７】
半導体製造工場においてコンピュータに、生産管理システムに属するコンピュータから、ロットに関連する種々の情報を取得する第一の機能、前記種々の情報が一定形式で保存されていない場合、これをある定まった形式への変換を行う第二の機能、加工処理結果を記録媒体に保存する第三の機能のいずれかを実現させるためのプログラム。
【請求項８】
前記種々の情報は、生産指示情報、製造装置のメンテナンス情報、露光装置への出入りを含むレチクルの状態遷移情報、工程間または工程内のロット搬送情報のようなロット進捗に関わる情報であることを特徴とする請求項５，６または７記載のプログラム。
【請求項９】
前記記録媒体から記録を抽出する第一の手順、ロット毎に滞留時間の内容を分類する第二の手順、前記分類に際し、別途定義された情報に従って分類の優先順位を判断する第三の手順、前記分類毎に集計を行う第四の手順、前記集計結果を視覚化する第五の手順のいずれかを実行させるための請求項１〜８のいずれか１項記載のプログラム。
【請求項１０】
前記記録媒体から記録を抽出する第一の手段、ロット毎に滞留時間の内容を分類する第二の手段、前記分類に際し、別途定義された情報に従って分類の優先順位を判断する第三の手段、前記分類毎に集計を行う第四の手段、前記集計結果を視覚化する第五の手段のいずれかとして機能させるための請求項１〜８のいずれか１項記載のプログラム。
【請求項１１】
前記記録媒体から記録を抽出する第一の機能、ロット毎に滞留時間の内容を分類する第二の機能、前記分類に際し、別途定義された情報に従って分類の優先順位を判断する第三の機能、前記分類毎に集計を行う第四の機能、前記集計結果を視覚化する第五の機能のいずれかを実現させるための請求項１〜８のいずれか１項記載のプログラム。
【請求項１２】
前記滞留時間は、製造装置での処理終了後、次の製造装置に搬入されるまでの時間であることを特徴とする請求項９，１０または１１記載のプログラム。
【請求項１３】
前記記録媒体から記録を抽出する第一の手順、製造装置毎にロットが搬入されてから処理が完了するまでに要した時間の内容を分類する第二の手順、前記分類済み情報が同一時刻に複数存在する場合、分類済み情報に優先順位をつけて重複を取り除く第三の手順、前記分類済み情報を処理条件毎に集計する第四の手順、前記集計の結果を視覚化する第五の手順のいずれかを実行させるための請求項１〜８のいずれか１項記載のプログラム。
【請求項１４】
前記記録媒体から記録を抽出する第一の手段、製造装置毎にロットが搬入されてから処理が完了するまでに要した時間の内容を分類する第二の手段、前記分類済み情報が同一時刻に複数存在する場合、分類済み情報に優先順位をつけて重複を取り除く第三の手順、前記分類済み情報を処理条件毎に集計する第四の手段、前記集計の結果を視覚化する第五の手段のいずれかとして機能させるための請求項１〜８のいずれか１項記載のプログラム。
【請求項１５】
前記記録媒体から記録を抽出する第一の機能、製造装置毎にロットが搬入されてから処理が完了するまでに要した時間の内容を分類する第二の機能、前記分類済み情報が同一時刻に複数存在する場合、分類済み情報に優先順位をつけ重複を取り除く第三の機能、前記分類済み情報を処理条件毎に集計する第四の機能、前記集計の結果を視覚化する第五の機能のいずれかを実現させるための請求項１〜８のいずれか１項記載のプログラム。
【請求項１６】
前記処理条件は、レシピ、ウェーハ枚数、処理経路であることを特徴とする請求項１３，１４または１５記載のプログラム。
【請求項１７】
請求項１〜１６のいずれか記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンピュータにより、ロット進捗状況の詳細分析、並びに製造装置稼働状態の詳細分析を行う生産分析プログラム及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ロット進捗状況の詳細分析を行う場合、通常は生産管理システムに登録された情報を用いて行う。従来は、例えば図７に示す特許文献１の処理のように、ロットの状態変化の情報入力にバーコードリーダを用い、ロットを製造装置に仕掛けて処理を開始したことや、処理を完了し次の工程に進めてよくなったことのみを生産管理システムに報告するものであった。
【０００３】
具体的には、バーコード化された製品識別情報であるKey No.と、バーコード化された装置識別情報（メーカ名、機種名、号機名）である装置ID（identification）No.と、バーコード化された作業者識別情報である作業者ID No.を、ＳＳ無線バーコードリーダより読み取り、無線基地局を経由してＰＣサーバに送信する。
【０００４】
上記各情報を受けたＰＣサーバでは、生産間違い防止機能部により、実施すべき工程か、使用する材料、金型、治工具、製造条件（レシピ番号）等が現時点のボンディング装置のセッティングで良いかの照合をする。
【０００５】
この時、工程の識別は前記装置ID No.、製品の識別は前記Key No.、作業者名の識別は前記作業者ID No.により行う。また、判断する条件として、生産間違い防止機能部のマスタ情報登録機能により、例えば製品、製造条件の登録と、作業者名と作業者ID No.との対応を事前に登録しておく。
【０００６】
照合の結果、良い（ＯＫ）場合には、無線基地局を経由してＳＳ無線バーコードリーダにＯＫの情報を返し、さらに確認のために前記条件等をＳＳ無線バーコードリーダの画面に表示させる。これに対して、照合の結果、悪い（ＮＧ）場合、無線基地局を経由して例えばＳＳ無線バーコードリーダに交換する品名の情報を返し、ＳＳ無線バーコードリーダの画面に表示させる。そして、作業者は、上記品名に係る材料を交換した後、ＮＧ部分の照合内容を再入力した上、ロットセットを完了し、作業を開始させる。
【０００７】
ボンディング作業が完了した後、作業者によりロットエンド作業を行う。このロットエンド作業は、前記ロットセット作業と同様に、ＳＳ無線バーコードリーダより、Key No.、装置ID No.、作業者ID No.の情報を読み込み、ＰＣサーバに送信する。ロットエンド作業後、次工程に移行する。
【０００８】
しかしこの方法では製造装置の稼働状況を知るために、生産管理システムからロット処理情報を取得し計算を行っても、その元となる情報入力を人の作業によって行っているため、ロットがどの程度製造装置を占有したかを正確に示す数値とは言えなかった。また履歴情報として処理開始と処理終了しか記録されていないため、製造装置上でロットの状態がどのように変化したか、あるいはロットが仕掛けられたことによって製造装置の状態がどのように変化したかを知ることはできなかった。
【０００９】
また、工場の最大効率を得ようとする場合、通常ボトルネックとなる製造装置を特定し改善を行うが、例えば図８に示す特許文献２の処理のように製造装置毎の処理数と生産ライン毎の処理数を一般式に代入し解を得ることで、物流ネックとなっている製造装置の特定は可能であった。しかし、生産管理システムに登録されたロット状態変化の履歴情報を利用するものであり、製造装置がＳＥＣＳ通信を用いてオンライン制御装置に報告するイベントデータを利用するものではないため物流ネックとなる製造装置に起因する要因を特定することはできなかった。
【特許文献１】特開２００２−４１１２４号公報
【特許文献２】特開２００４−１３８２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来の製造装置動作状態の内容を詳細に調査する手段は、製造装置に関わる技術者が当該製造装置近傍にて、製造装置内部の個々の動作時間を手動計測するのが一般的であった。このような調査を、ＳＥＣＳ通信を用いて製造装置からオンライン制御装置（以下、ホストと称する）に報告されるイベントデータを利用して前述したような手動計測の代わりにしようとする場合、製造装置から報告されるイベントデータには必ずしもロット名を含まないために、特に、一製造装置において複数ロットを連続的に処理する場合や複数ロットを並列に処理する場合においては、１ロットあたりに所要する時間を算出するのは非常に困難であった。また、イベントデータは、製造装置、材料の物理的あるいは論理的状態変化が生じた時にホストに報告されるデータであるが、従来は変化した事実が報告されるだけで、そのイベントデータにロット名、あるいは搬入口の情報を含まないため、これらのイベントデータをホストで収集しても装置内部の動作分析に用いることはできなかった。
【００１１】
また、前述したように手動計測を行う場合、製造装置内の複数の処理モジュールについてその処理時間を同時に計測することは困難であるため、モジュール間の処理能力差を発見することは困難であった。
【００１２】
また、ロット進捗状況を分析しようとする場合、生産システムに属する種々のコンピュータがそれぞれの目的に合った情報や履歴を保有しており、さらにこれらの情報がデータベースに収められていない場合もあり、これらの情報をロットに関わる情報として一元的に分析することは困難であった。またロット進捗状況の内容に、製造装置内部で発生している状態変化の様子を含めることはほぼ不可能であった。
【００１３】
また、前記製造装置の稼働分析やロット進捗分析を行うための基礎データは、解析の目的によって必要なデータが異なるため、種々の課題解決において前記基礎データの再収集や再検証に多くの工数を要していた。
【００１４】
また、前述のイベントデータ収集や分析を行う場合、従来は１台のコンピュータで集中して処理を行っていたが、詳細な分析を行うための基礎データ量は膨大なものであり、このため非常に高性能なコンピュータが必要となり、システム構築の費用を非常に高価なものにしていた。
【００１５】
また、従来は、生産管理システムの処理時間が生産活動に影響を与えていないこと、あるいは与えていることを検証できなかったため、生産管理システムを構成するコンピュータ群が適正に選定、あるいは使用されていることが分からなかった。
【００１６】
本発明は、このような問題点を解決し、人的、時間的な無駄を顕在化させることを可能にし、製造装置の生産性向上や工場リソースの細分適正化を行うことを実現した生産分析プログラム及び生産分析方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記の目的を達成決するために、請求項１に係る発明のプログラムは、半導体製造工場のオンライン制御コンピュータに、ロット処理に伴なって半導体製造装置から報告されるイベントデータを現在加工処理中あるいは評価処理中のどのロットのイベントデータかを判定する第一の手順、前記ロット処理に際し、生産管理システムに属するコンピュータから当該ロットの付帯情報（ＩＤ等の固有情報や、ある製造装置の仕掛かりである間だけ有効な情報）を取得する第二の手順、前記イベントデータと前記ロットの付帯情報との関連付けをリアルタイムに行う第三の手順、前記イベントデータ中のイベント名称を標準化する第四の手順、前記関連付け処理結果を記録媒体に保存する第五の手順のいずれかを実行させるためのものである。
【００１８】
請求項２に係る発明のプログラムは、半導体製造工場のオンライン制御コンピュータを、ロット処理に伴なって半導体製造装置から報告されるイベントデータを現在加工処理中あるいは評価処理中のどのロットのイベントデータかを判定する第一の手段、前記ロット処理に際し、生産管理システムに属するコンピュータから当該ロットの付帯情報を取得する第二の手段、前記イベントデータと前記ロットの付帯情報との関連付けをリアルタイムに行う第三の手段、前記イベントデータ中のイベント名称を標準化する第四の手段、前記関連付け処理結果を記録媒体に保存する第五の手段のいずれかとして機能させるためのものである。
【００１９】
請求項３に係る発明のプログラムは、半導体製造工場のオンライン制御コンピュータに、ロット処理に伴なって半導体製造装置から報告されるイベントデータを現在加工処理中あるいは評価処理中のどのロットのイベントデータかを判定する第一の機能、前記ロット処理に際し、生産管理システムに属するコンピュータから当該ロットの付帯情報を取得する第二の機能、前記イベントデータと前記ロットの付帯情報との関連付けをリアルタイムに行う第三の機能、前記イベントデータ中のイベント名称を標準化する第四の機能、前記関連付け処理結果を記録媒体に保存する第五の機能のいずれかを実現させるものである。
【００２０】
請求項４プログラムは、請求項１，２または３に係る発明のプログラムにおいて、生産管理システムに属するコンピュータは、製造中のロット進捗を管理するコンピュータ、製造装置の状態を管理するコンピュータ、ロット進捗を指示するコンピュータ、あるいはロット搬送を制御するコンピュータであることを特徴とする。
【００２１】
請求項５に係る発明のプログラムは、半導体製造工場においてコンピュータに、生産管理システムに属するコンピュータから、ロットに関連する種々の情報を取得する第一の手順、前記種々の情報が一定形式で保存されていない場合、これをある定まった形式への変換を行う第二の手順、加工処理結果を記録媒体に保存する第三の手順のいずれかを実行させるためのものである。
【００２２】
請求項６に係る発明のプログラムは、半導体製造工場においてコンピュータを、生産管理システムに属するコンピュータから、ロットに関連する種々の情報を取得する第一の手段、前記種々の情報が一定形式で保存されていない場合、これをある定まった形式への変換を行う第二の手段、加工処理結果を記録媒体に保存する第三の手段のいずれかとして機能させるためのものである。
【００２３】
請求項７に係る発明のプログラムは、半導体製造工場においてコンピュータに、生産管理システムに属するコンピュータから、ロットに関連する種々の情報を取得する第一の機能、前記種々の情報が一定形式で保存されていない場合、これをある定まった形式への変換を行う第二の機能、加工処理結果を記録媒体に保存する第三の機能のいずれかを実現させるためのものである。
【００２４】
請求項８に係る発明のプログラムは、請求項５，６または７に係る発明のプログラムにおいて、前記種々の情報は、生産指示情報、製造装置のメンテナンス情報、露光装置への出入りを含むレチクルの状態遷移情報、工程間または工程内のロット搬送情報のようなロット進捗に関わる情報であることを特徴とする。
【００２５】
請求項９に係る発明のプログラムは、請求項１〜８のいずれか１項に係る発明のプログラムにおいて、前記記録媒体から記録を抽出する第一の手順、ロット毎に滞留時間の内容を分類する第二の手順、前記分類に際し、別途定義された情報に従って分類の優先順位を判断する第三の手順、前記分類毎に集計を行う第四の手順、前記集計結果を視覚化する第五の手順のいずれかを実行させるためのものである。
【００２６】
請求項１０に係る発明のプログラムは、請求項１〜８のいずれか１項に係る発明のプログラムにおいて、前記記録媒体から記録を抽出する第一の手段、ロット毎に滞留時間の内容を分類する第二の手段、前記分類に際し、別途定義された情報に従って分類の優先順位を判断する第三の手段、前記分類毎に集計を行う第四の手段、前記集計結果を視覚化する第五の手段のいずれかとして機能させるためのものである。
【００２７】
請求項１１に係る発明のプログラムは、請求項１〜８のいずれか１項に係る発明のプログラムにおいて、前記記録媒体から記録を抽出する第一の機能、ロット毎に滞留時間の内容を分類する第二の機能、前記分類に際し、別途定義された情報に従って分類の優先順位を判断する第三の機能、前記分類毎に集計を行う第四の機能、前記集計結果を視覚化する第五の機能のいずれかを実現させるためのものである。
【００２８】
請求項１２に係る発明のプログラムは、請求項９，１０または１１に係る発明のプログラムにおいて、前記滞留時間は、製造装置での処理終了後、次の製造装置に搬入されるまでの時間であることを特徴とする。
【００２９】
請求項１３に係る発明のプログラムは、請求項１〜８のいずれか１項に係る発明のプログラムにおいて、前記記録媒体から記録を抽出する第一の手順、製造装置毎にロットが搬入されてから処理が完了するまでに要した時間の内容を分類する第二の手順、前記分類済み情報が同一時刻に複数存在する場合、分類済み情報に優先順位をつけて重複を取り除く第三の手順、前記分類済み情報を処理条件毎に集計する第四の手順、前記集計の結果を視覚化する第五の手順のいずれかを実行させるためのものである。
【００３０】
請求項１４に係る発明のプログラムは、請求項１〜８のいずれか１項に係る発明のプログラムにおいて、前記記録媒体から記録を抽出する第一の手段、製造装置毎にロットが搬入されてから処理が完了するまでに要した時間の内容を分類する第二の手段、前記分類済み情報が同一時刻に複数存在する場合、分類済み情報に優先順位をつけて重複を取り除く第三の手順、前記分類済み情報を処理条件毎に集計する第四の手段、前記集計の結果を視覚化する第五の手段のいずれかとして機能させるためのものである。
【００３１】
請求項１５に係る発明のプログラムは、請求項１〜８のいずれか１項に係る発明のプログラムにおいて、前記記録媒体から記録を抽出する第一の機能、製造装置毎にロットが搬入されてから処理が完了するまでに要した時間の内容を分類する第二の機能、前記分類済み情報が同一時刻に複数存在する場合、分類済み情報に優先順位をつけて重複を取り除く第三の機能、前記分類済み情報を処理条件毎に集計する第四の機能、前記集計の結果を視覚化する第五の機能のいずれかを実現させるためのものである。
【００３２】
請求項１６に係る発明のプログラムは、請求項１３，１４または１５に係る発明のプログラムにおいて、前記処理条件は、レシピ、ウェーハ枚数、処理経路であることを特徴とする。
【００３３】
請求項１７に係る発明の記録媒体は、請求項１〜１６のいずれか記載のプログラムを記録したものである。
【発明の効果】
【００３４】
本発明は、ロット進捗状況や装置稼働状況を時間軸に対して一意のデータに基づき分析結果データ出力、あるいは視覚化することにより、
１．製造装置稼働状態の視覚化、及び数値化により、生産活動、及び製造装置の改善サイクルを容易に確立し、これにより製造装置の最大能力を引き出すことができる。
２．製造装置（モジュール単位）の生産能力のばらつき抑制により、物流の脈流を抑制することで製造工場の最大能力を保つことができる。
３．ロット進捗状態内容、及び停滞状態内容の視覚化、及び数値化により、リードタイムの改善サイクルを容易に確立し、これにより製造在庫の削減を可能にする。
４．データの有機的集計の自動化により各部署単位で個別に行われている集計に要する工数ロスを削減できる。
５．分析に用いるデータ作成処理を工場に既に導入されているコンピュータに分散することで、基幹コンピュータの負荷を軽減しシステムコストの抑制を図れる。
６．製造工場における生産システムが適切に稼働し適切に使用されているかの判断を容易にすることで、生産システムの改善サイクルを短縮できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下に本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００３６】
図１は本発明の実施形態１のシステム構成全体のブロック図であり、１はロット進捗状況集計処理部、２はイベントデータを保存する記録媒体、３は装置稼働状況集計処理部であり、ロット進捗状況集計処理部１、装置稼働状況集計処理部３は視覚化装置を兼ねている。４はクライアントコンピュータ群、５は生産管理システムを構成するコンピュータ群からなる生産管理システム群、６は製造データ収集処理部、７は半導体製造装置、８は搬送装置データ収集処理部、９はロットの搬送装置である。
【００３７】
製造装置データ収集処理部６は、半導体製造装置７よりＳＥＣＳ通信によって報告されるイベントデータをユーザによって標準化されたイベント名に変換し、前記イベントデータと生産管理システム群５より取得するロット名との関連付け処理を行い記録媒体２に保存し、半導体製造装置７上でのみ有効なロットに関連する情報、及び当該ロットの普遍的情報を生産管理システム群５より取得、加工を行い記録媒体２に保存するようにプログラムによって動作するものである。
【００３８】
搬送装置データ収集処理部８は、搬送装置９から報告されるイベントデータと、生産管理システム群５より取得しロット名との関連付け処理を行い、記録媒体２に保存するものである。
【００３９】
ロット進捗状況集計処理部１は、記録媒体２及び生産管理システム群５から種々のイベントデータを取得して、ロット進捗状況を分類、集計、視覚化処理を行うものであり、装置稼働状況集計処理部３は、記録媒体２及び生産管理システム群５から種々のイベントデータを取得し装置稼働状況を分類、集計、視覚化処理を行うものである。そして、ロット進捗状況集計処理部１、装置稼働状況集計処理部３にて視覚化されたデータはクライアントコンピュータ群４に表示される。
【００４０】
図１において、製造装置データ収集処理部６は半導体製造装置７より、製造装置データ収集処理部６が動作するコンピュータ上に記録された図２に示すイベント同士の定義表に記述されたイベントデータを取得し、搬送装置データ収集処理部８は搬送装置９よりイベントデータを取得する。また製造装置データ収集処理部６、搬送装置データ収集処理部８は生産管理システム群５より、ロット名、処理レシピ名、ロットに含まれるウェーハ枚数、各製造装置にて処理されるウェーハ枚数、製造装置毎のロット搬入時点での仕掛りロット数、ウェーハ処理可能な処理室数、処理室名、あるいは搬送経路等を取得し、前記のイベントデータとの関連付け処理、及びロット関連情報の加工処理を行い、あるいは関連付けを行えない判断を行い、記録媒体２への保存処理を行う。
【００４１】
図２は図１における製造装置データ収集処理部６、搬送装置データ収集処理部８が動作するコンピュータに記録されたイベントデータ同士の関係を表す製造装置毎の定義表である。この表には、製造装置からイベントデータが報告された時どのようなイベント名に変換して保存するか、どのイベントデータに含まれるロット名を、ロット名を含まないどのイベントデータに反映するか、どのイベントデータに含まれる搬入口情報を、搬入口情報を含まないどのイベントデータに反映するかが定義されている。この一覧表を用いることにより、一覧表に定義がある限り、ロット処理によって発生したイベントデータに対しロット名及び搬入口情報とを関連付けることができる。またこのような定義を用いることにより、現存する全ての半導体製造装置７のイベントデータに対し、前記関連付けを行うことができる。
【００４２】
また、製造装置データ収集処理部６、搬送装置データ収集処理部８が動作するコンピュータの安定稼働を優先するため、設定された一定時間経過後もロット名やロードポートの情報元となるイベントデータの報告がなかった場合、イベントデータ同士の関連を無視して記録媒体２への保存処理を行うようにするとなお良い。
【００４３】
図３は、製造装置データ収集処理部６、搬送装置データ収集処理部８にて実行する、ロット処理によって発生したイベントデータに対するロット名及び搬入口情報との関連付け処理方法を示すフローチャートである。
【００４４】
この処理方法の前提条件は、前記の生産管理システム群から既にロット関連情報を取得していること、半導体製造装置７にはロットの搬入口がｎ個あること、及び、図２の表の情報を予め製造装置データ収集処理部６、搬送装置データ収集処理部８が動作するコンピュータのメモリーに読み込んでおくことである。
【００４５】
図３において、半導体製造装置７からホストにイベントデータが報告されると（Ｓ１０２）、製造装置データ収集処理部６、搬送装置データ収集処理部８は当該イベントデータが、どの搬入口のロットに関わるものかを判断する（Ｓ１０３，Ｓ１０４）。ここで、ホストがイベントデータを収集しつつ半導体製造装置７の制御を正常に行うことができている限り、複数ロットによるイベントがどの搬入口に関わるものか判断できていない状態で混在することはないため、半導体製造装置７から報告されたイベントデータは工程Ｓ１０３，Ｓ１０４に示す判断を行う。次に、図２で示す一覧表によって定義される関係に基づいて、イベントデータとロット名、及び搬入口との関連付け処理を行う（Ｓ１０５，Ｓ１０６）。次に図２で示す一覧表の定義に基づき製造装置から報告されたイベントデータを標準化されたイベント名に変換し（Ｓ１０７，Ｓ１０８，Ｓ１０９）、記録媒体２への保存処理を行う（Ｓ１１０）。なお、ネットワーク障害やサーバ障害といった事由によって前記ロット関連情報を取得できないが、半導体製造装置７によるイベントデータ報告が継続される場合には、半導体製造装置７からロット処理以外の状態報告等で通知されるイベントについてもロット処理に関連付かないイベントとして記録媒体２への保存処理を行う。
【００４６】
これら工程Ｓ１０５，Ｓ１０６，Ｓ１０７，Ｓ１０８及びＳ１０９に示す処理より、既に生産管理システムから取得したロット関連情報と製造装置イベントデータとの関連付けを容易にし、またイベント名を標準化することで機種毎の差をなくしたことで、後に示す分析処理を容易にする。またイベントデータ収集時に、イベントデータとロット名、及び搬入口との関連付け処理を行うことによって、分析処理を行うコンピュータの負荷を下げることが可能になる。
【００４７】
図４は、記録媒体２から収集済みイベントデータを読み出しロット進捗状況を分類、視覚化処理を行うロット進捗状況集計処理部１の処理方法を示すフローチャートである。
【００４８】
ロット進捗状況集計処理部１は、まず保存済みイベントデータから読み込む対象の時間を指定し、当該指定された時間帯に発生したイベントデータを検索し（Ｓ２０１，Ｓ２０２）、装置状態履歴情報やロット搬送容器の移動履歴情報といった非ロットイベントデータを読み込む（Ｓ２０３）。次に、ロットのイベントデータを読み込む（Ｓ２０４）。この読み込み処理は工程Ｓ２０２の処理で指定した時間の範囲内のデータである限り繰り返し行う。次に読み込んだイベントデータをロット名毎に分類し（Ｓ２０５）、ロット名毎に分類したイベントデータを当該ロットの直前のイベントデータと突合せ、プログラムとは別に用意した状態定義情報（以下マスタ情報）に基づきこれら２つのイベントデータの間隙の状態を分類する（Ｓ２０６）。なお、このマスタ情報は２つのイベントデータ間の状態を定義するだけではなく、その状態の優先度も定義している。次に前述したように分類した２つのイベントデータ間の状態が、当該状態が発生した時間帯において、ロットのイベントデータに基づく状態にのみ従うことの正当性を評価する（Ｓ２０７）。この処理の具体例を以下に説明する。
【００４９】
あるロットに関わる２つのイベントデータが、半導体製造装置７からのロット搬出と工程間搬送装置へのロット搬入であった場合、マスタ情報に基づきその時間帯は工程内搬送時間との判断を下す。この状態が発生した時間帯の、次工程の製造装置のロット処理状態、あるいはメンテナンス状態、搬送装置の稼働状態等の現工程とは直接関わらない装置の状況、あるいは他のロットの進捗状況といった当該ロットと直接関わらない様々な状態の情報を、マスタ情報に基づき優先順位をつけて重ね合わせることにより、前記工程内搬送時間の判断の正当性を評価し、より優先順位の高い状態が同時発生している場合、当該時間帯はその状態として判断を変更する。次に、前記にて判断し終えた時間帯について、その分類毎に当該分類継続時間の累積処理を行う。この累積処理はロット毎かつ状態毎と、状態毎に行っておく。また時間を累積すると同時に、後に示す視覚化処理のために前記分類済みの状態が発生した時刻についてもメモリー上に保持しておく（Ｓ２０８）。次に前記累積処理によって累積された時間についてＣＳＶ形式での出力を行う（Ｓ２１０）。なお集計に適する出力であればＣＳＶ形式には限定されない。次に、工程Ｓ２０８の処理にてメモリー上に保持した時刻の情報を用い、ロット毎処理時刻視覚化処理を行う（Ｓ２１１）。この概要は以下の通りである。前記にて分類を行った時間を、クライアントコンピュータ群４を使用するユーザが指定した一定時刻の範囲について分類毎に色彩を区分し時間軸に沿って画面上にまとめて表示を行う。
【００５０】
なお、今回は一定時刻の範囲として、０時から２４時を１単位とし一定時刻起動のバッチ処理のみの分析を行うこととしたが、分析条件を指定するインターフェースを用意すればユーザが入力する任意の時間帯のみの分析を行うこともできるようにしても良い。また、前記の各装置が自ロット以外のロットを処理している部分について自ロットとは色彩を明確に区分し、自ロットの処理を行った製造装置毎に１行を占有し時間軸に従って自ロット、及び他ロットの処理状況を表示する。
【００５１】
なお、本実施形態では製造工場全体への展開の容易さとコスト面からＨＴＭＬ形式での出力を採用したが、あるロットの進捗状況を、かかるロットの進捗に対する阻害要因を含め一望できる画面構成を実現できるならばＨＴＭＬ形式に限定されない。
【００５２】
以上の処理結果をクライアントコンピュータ群４にて閲覧することで、あるロット、あるいは工場に存在する全てのロットについて、その進捗状況とその進捗を妨げた要因を一望、あるいはロット進捗に関連する状態毎の時間の内訳を数値にて確認することで、ロット進捗の阻害要因を自動的に瞬時に把握でき、これにより対応策を講じる時間の短縮を容易にする。
【００５３】
図５は、記録媒体２からイベントデータを取得し、装置稼働状況を分類、集計、視覚化処理を行う装置稼働状況集計処理部３の処理方法のフローチャートである。この処理において装置稼働状況集計処理部３は、まず保存済みイベントデータから読み込む対象の時間を指定して、その時間帯に発生した製造装置名毎のイベントデータを検索し（Ｓ３０１，Ｓ３０２）、当該時間帯に発生した製造装置毎のイベントデータを読み込む（Ｓ３０３）。この読み込み処理は工程Ｓ３０２で指定した時間の範囲内のデータである限り繰り返し行う。次に読み込んだイベントデータを、当該イベントデータを発生させたロット毎に分類する（Ｓ３０４）。なおロットを連続的に搬入する場合ロット処理状態と製造装置状態は必ずしも一致しないため、ロット毎に分類しない状態でもメモリーに保持しておく。次にロット毎に分類したイベントデータを当該ロットの直前のイベントデータと突合せ、マスタ情報に基づきこれら２つのイベントデータの間隙の状態を分類する（Ｓ３０５）。
【００５４】
次に、前記分類済み状態を、ロット毎かつ分類毎にその継続時間を累積する。また時間を累積すると同時に、後に示す視覚化処理のために前記分類済みの状態が発生した時刻についてもメモリー上に保持しておく（Ｓ３０６）。
【００５５】
次に当該イベントデータを直前のイベントデータと突合せ、マスタ情報に基づきこれら２つのイベントデータの間隙の状態を分類する。なおこの分類と前記ロット毎に分類した状態が同時に発生していないかを確認し、発生している場合はマスタ情報に定義された優先度に基づき当該時間帯についてどちらの分類を優先するか判断し、製造装置としての状態を決定する（Ｓ３０７）。次に、前記分類済み状態を、製造装置毎かつ分類毎にその継続時間を累積する。また時間を累積すると同時に、後に示す視覚化処理のために前記分類済みの状態が発生した時刻についてもメモリー上に保持しておく（Ｓ３０８）。そして、工程Ｓ３０３〜Ｓ３０８の処理を、イベントデータが指定範囲上限以降のものになるまで繰り返す（Ｓ３０９）。
【００５６】
次に前記累積処理によって累積された時間について、製造装置毎、処理モジュール毎、あるいはロット毎に再集計し、その結果をＣＳＶ（カンマ区切りデータ）形式にて出力する（Ｓ３１０）。なお集計に適する出力であればＣＳＶ形式には限定されない。
【００５７】
次に、製造装置毎処理時刻視覚化処理を行う（Ｓ３１１）。この概要は以下の通りである。工程Ｓ３０８の処理でメモリーに保持した分類済み状態の発生時刻の情報に基づき、クライアントコンピュータ群４を使用するユーザが指定した一定時刻の範囲について状態毎に色彩を区分し、時間軸に従って画面上のある一行にまとめて表示を行うことで、ある一行を目視するだけで、指定時刻範囲での製造装置の稼働状況を確認することを可能としている（Ｓ３１２）。また工程Ｓ３０６の処理によって記録媒体２に保持した分類済み状態毎の発生時刻の情報に基づき、ある製造装置にて指定時刻範囲に処理を行ったロット毎に一行を占有し、時間軸に従い前記の分類に基づいた色彩によって当該ロットを処理中の製造装置の状態を表示する。今回は製造工場全体への展開の容易さとコスト面からＨＴＭＬ形式での出力を採用したが、ある製造装置のロット処理状況をメンテナンスや処理前準備等のロット処理とは直接関わらない状態を含め一望できる画面構成を実現できるならば前記ＨＴＭＬ形式に限定されない。
【００５８】
以上、処理結果をクライアントコンピュータ群４にて閲覧することで、ある製造装置、あるいは処理モジュールの稼働状況を一望、あるいは稼働状態の分類毎の時間を数値にて確認することで、製造装置、あるいは処理モジュールのばらつきを瞬時に把握でき、これにより対応の必要性の判断に要する時間の短縮を容易にする。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明を導入することにより汎用的に、人的、時間的な無駄を顕在化できる。これらを改善することが可能になり、製造装置の生産性向上や工場リソースの配分適正化を行える。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施形態１におけるシステム全体のブロック図
【図２】イベントデータとロット情報の関連付け処理で用いる定義の概念図
【図３】イベントデータとロット情報の関連付け処理方法のフローチャート
【図４】ロット進捗状況集計、及び視覚化処理方法のフローチャート
【図５】製造装置稼働状況集計、及び視覚化処理方法のフローチャート
【図６】製造装置稼働状況集計結果の出力例
【図７】従来のデータ入力処理概要を示すフローチャート
【図８】他の従来のデータ入力処理概要を示すフローチャート
【符号の説明】
【００６１】
１  ロット進捗状況集計処理部
２  記録媒体
３  製造装置稼働状況集計処理部
４  クライアントコンピュータ群
５  生産管理システム群
６  製造装置データ収集処理部
７  半導体製造装置
８  搬送装置データ収集処理部
９  搬送装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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