(57)【要約】【課題】  複数のウエハ間における弾性表面波素子の共振周波数を精度よく調整できるようにする。【解決手段】  複数のウエハのそれぞれに形成された弾性表面波素子の共振周波数を測定する周波数測定工程と、前記各ウエハについての測定共振周波数と予め定めた目標共振周波数とから、前記弾性表面波素子の電極の陽極酸化量を演算して陽極酸化電圧を求める電圧演算工程と、この電圧演算工程において求めた前記陽極酸化電圧によって前記電極を陽極酸化し、前記弾性表面波素子の共振周波数を目標共振周波数にする陽極酸化工程と、とを有する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウエハのそれぞれに形成された弾性表面波素子の共振周波数を測定する周波数測定工程と、
前記各ウエハについての測定共振周波数と予め定めた目標共振周波数とから、前記弾性表面波素子の電極の陽極酸化量を演算して陽極酸化電圧を求める電圧演算工程と、
この電圧演算工程において求めた前記陽極酸化電圧によって前記電極を陽極酸化し、前記弾性表面波素子の共振周波数を目標共振周波数にする陽極酸化工程と、
を有することを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の弾性表面波素子の製造方法において、
前記陽極酸化工程は、前記電極の酸化反応の終点を検出して終了することを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の弾性表面波素子の製造方法において、
前記陽極酸化工程は、前記終点を検出してから予め定めた時間経過したのちに終了することを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の弾性表面波素子の製造方法において、
前記周波数測定工程と、前記電圧演算工程と、前記陽極酸化工程とを複数繰り返すことを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の弾性表面波素子の製造方法において、
前記各ウエハについての前記測定共振周波数は、前記ウエハの予め定めた複数の位置に形成した前記弾性表面波素子のそれぞれについて測定した前記共振周波数の平均値であることを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波素子の製造方法に係り、特にウエハに形成された弾性表面波素子の共振周波数を目標共振周波数に調整する工程を有する弾性表面波素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
弾性表面波素子は、水晶などの圧電基板の表面に、一対の櫛形電極を、それぞれの電極指が交互に位置するように配置したＩＤＴ（Interdigital Transducer：ＩＤＴ）を有している。ＩＤＴを構成している櫛形状電極は、一般にアルミニウム（Ａｌ）またはアルミニウム合金（Ａｌ合金）によって形成してある。
【０００３】
弾性表面波素子の共振周波数ｆは、弾性表面波の伝播速度をｖ、弾性表面波の波長をλとすると、
【数１】
2005348070.tif 000003
と定義される。そして、弾性表面波素子における弾性表面波の波長λは、基本的にＩＤＴを構成している櫛形電極の電極指のピッチなど、電極パターンの設計に依存している。このため、弾性表面波素子は、製造工程において電極パターンのピッチ等を変えて波長λを変化させることにより、共振周波数を調整することが困難である。
【０００４】
一方、弾性表面波の伝播速度ｖは、本来、弾性表面波素子を構成する圧電基板材料により決定される。しかし、伝播速度ｖは、櫛形電極の質量に依存し、質量が大きいほど遅くなる。すなわち、弾性表面波素子は、電極の質量、例えば電極の厚さを変えることにより、弾性表面波の伝播速度ｖを変えることができ、数式１に示されるように、共振周波数ｆを変える（調整する）ことができる。また、弾性表面波素子は、Ａｌ電極を陽極酸化すると、Ａｌが酸素原子と結合することによる質量付加効果が得られ、共振周波数を低下させる方向に調整することが可能である。そして、特許文献１には、弾性表面波素子をチップに切断したのちに行なう電極の陽極酸化による電気抵抗の増加を避け、弾性表面波素子をウエハに形成した状態で、櫛形電極または反射器電極を陽極酸化して共振周波数を調整する方法が開示されている。
【特許文献１】特開平６−１６４２８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記したように、特許文献１には、ウエハに形成した状態の弾性表面波素子の電極を陽極酸化して共振周波数の調整を行なうことが記載されている。しかし、特許文献１に記載の周波数調整方法は、弾性表面波素子をチップに切断したのちの半完成品状態での陽極酸化による電気抵抗の増加を避けるためであって、複数のウエハ間における弾性表面波素子の共振周波数のばらつきにたいして何ら考慮をしていない。このため、特許文献１に記載の周波数調整方法においては、ウエハ間における電極膜の厚さや電極の寸法誤差などを考慮していないため、周波数調整後におけるウエハ間の共振周波数のばらつきが大きくなり、結果的に製造された弾性表面波素子の共振周波数のばらつきが大きくなる。しかも、特許文献１においては、ウエハに形成した多数の弾性表面波素子を接続した状態でインピーダンスのリアクタンス成分を測定して、弾性表面波素子の共振周波数を推定するようにしている。このため、特許文献１に記載の周波数調整方法は、大まかな共振周波数しか知ることができず、共振周波数を高い精度で調整することが困難である。
【０００６】
さらに、特許文献１に記載の周波数調整方法は、一回の陽極酸化によって共振周波数を調整するようにしている。このため、櫛形電極を形成した際における電極膜厚のばらつき、電極幅などの電極寸法のばらつきなどによる影響により、陽極酸化後のウエハ間における共振周波数に大きなばらつきを生じ、ウエハ間における共振周波数の合わせ込み精度が劣化する。また、特許文献１に記載の周波数調整方法においては、櫛形電極と反射器電極との間の陽極酸化量を変えたり、反射器電極のみを陽極酸化する場合、ウエハに形成された各弾性表面波素子の櫛形電極と共通電極との接続部、反射器と共通電極との接続部をレーザ等で切断する必要があり、工程が複雑で、手間と時間とを必要とし、製造コストが高くなる。
【０００７】
本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされたもので、複数のウエハ間における弾性表面波素子の共振周波数を精度よく調整できるようにすることを目的としている。
また、本発明は、共振周波数の調整を容易に行なえるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明に係る弾性表面波素子の製造方法は、複数のウエハのそれぞれに形成された弾性表面波素子の共振周波数を測定する周波数測定工程と、前記各ウエハについての測定共振周波数と予め定めた目標共振周波数とから、前記弾性表面波素子の電極の陽極酸化量を演算して陽極酸化電圧を求める電圧演算工程と、この電圧演算工程において求めた前記陽極酸化電圧によって前記電極を陽極酸化し、前記弾性表面波素子の共振周波数を目標共振周波数にする陽極酸化工程と、を有することを特徴としている。このようになっている本発明は、複数のウエハのそれぞれに合った陽極酸化を行なうことができ、ウエハ間における共振周波数（ウエハごとの弾性表面波素子の平均共振周波数）のばらつきを小さくすることができ、ウエハ間の共振周波数の調整を高精度で行なうことができる。
【０００９】
陽極酸化工程は、電極の酸化反応の終点を検出して終了するとよい。陽極酸化は、陽極酸化電圧と陽極酸化量（陽極酸化膜の厚み）との間に一定の関係がある。したがって、電極の酸化反応の終点を検出することにより、目標とする厚みを有する陽極酸化膜を容易、確実に得ることができ、高精度な共振周波数の調整を行なうことができる。電極の酸化反応の終点は、電流量を検出して行なうことができる。すなわち、陽極酸化は、一定の電圧で行なうと、電極の酸化が進行するのにしたがって電流量が低下し、最終的にほとんど電流が流れなくなり、電極の酸化反応が進まなくなる。したがって、電流量（電流密度）が例えば１０μＡ／ｃｍ２以下となったときを、電極の酸化反応の終点と判断する。そして、陽極酸化工程は、終点を検出してから予め定めた時間、例えば３０秒〜２分経過したのちに終了するようにできる。例えば、電流量から電極の酸化反応の終点を検出する場合、各種の外乱により電流量にばらつきを生ずるおそれがあり、終点の検出を誤るおそれがある。したがって、終点を検出してからさらに一定時間陽極酸化を続行することにより、確実に電極の酸化反応の終点まで陽極酸化を行なうことができる。このため、目標の厚さを有する陽極酸化膜を確実に形成することができ、共振周波数の調整を高精度で行なうことができる。
【００１０】
周波数測定工程と、電圧演算工程と、陽極酸化工程とを複数回繰り返すとよい。共振周波数の調整を、一回の陽極酸化で行なおうとすると、電極の膜厚のばらつきや寸法誤差の影響より、ウエハ間における共振周波数のばらつきが大きくなる。そこで、第１回目の陽極酸化では必要とする周波数調整量の８０〜９５％、第２回目で残りの２０〜５％の調整を行なうなど、陽極酸化による共振周波数の調整を複数回に分けて行なうと、目標値に対して細かな周波数調整ができ、ウエハ間における共振周波数の調整を高精度で行なうことができる。
【００１１】
各ウエハについての測定共振周波数は、ウエハの予め定めた複数の位置に形成した弾性表面波素子のそれぞれについて測定した共振周波数の平均値を用いることができる。本発明は、相互に接続された複数の弾性表面波素子のインピーダンスのリアクタンス成分から共振周波数を推定するのと異なり、弾性表面波素子の共振周波数を直接求めているため、必要とする共振周波数の調整量を正確に求めることができる。したがって、必要な陽極酸化量が正確に求まり、共振周波数の調整を高精度で行なえ、ウエハ間におけるばらつきを小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明に係る弾性表面波素子の製造方法の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係る弾性表面波素子の製造方法のフローチャートである。水晶ブロックから所定の厚さに切り出された圧電基板である水晶ウエハ（以下、単にウエハという）は、研磨されてのち、図１のステップ１０に示すように、洗浄される。その後、ＡｌまたはＡｌ合金からなる電極膜を、スパッタリングなどによってウエハの表面に形成する（ステップ１２）。次に、電極膜の上にポジ型フォトレジストを塗布してレジスト膜を形成する（ステップ１４）。
【００１３】
その後、弾性表面波素子の電極パターンに対応したパターンを有するフォトリソマスクをレジスト膜の上方に配置し、紫外線を照射してレジスト膜を露光する（ステップ１６）。これにより、レジスト膜は、紫外線を照射された部分が変質し、レジスト現像液に溶解する性質となる。そこで、露光したレジスト膜の表面を現像液に接触させ、フォトマスクのパターンをレジスト膜に転写する現像を行なう（ステップ１８）。次に、パターニングしたレジスト膜をマスクとして電極膜をエッチングしたのち（ステップ２０）、残存しているレジスト膜を剥離してウエハから除去する（ステップ２２）。これにより、ウエハ表面のＡｌまたはＡｌ合金からなる電極膜がパターニングされ、ウエハに弾性表面波素子が形成される。図３は、ウエハに形成された弾性表面波素子の配置パターンの一例を示したものである。
【００１４】
図３において、水晶からなるウエハ１００は、所定のカット角をもって水晶ブロックから切り出してあり、位置決め用のオリエンテーションフラット１０２を有している。そして、図３に示した矩形の１つ１つがＩＤＴと反射器とを備えた弾性表面波素子１０４に相当している。なお、図３において黒く塗りつぶした弾性表面波素子１０６（１０６ａ〜１０６ｅ）は、多数の弾性表面波素子１０４の共振周波数の平均値を求めるための測定対象弾性表面波素子である。これらの測定対象弾性表面波素子１０６は、実施形態の場合５つであって、形成位置が予め定めてあり、ウエハ１００の中心部と、この中心部に対して上下左右のほぼ対称位置となる位置に形成してある。
【００１５】
測定対象弾性表面波素子１０６は、図４に示したように、電極膜からなるＩＤＴ１０８とＩＤＴ１０８の両側に設けた反射器１１０（１１０ａ、１１０ｂ）とを有している。ＩＤＴ１０８は、一対の櫛形電極１１２（１１２ａ、１１２ｂ）によって形成してある。そして、各櫛形電極１１２は、お互いの電極指１１４（１１４ａ、１１４ｂ）が交互となるように配置される。また、櫛形電極１１２は、周波数測定器のプローブ（図示せず）を接触させるパッド部１１６（１１６ａ、１１６ｂ）を有する。一方、反射器１１０ａと反射器１１０ｂとは、同じように形成してあって格子状をなし、両端が相互に連結された複数の導体ストリップ１１８から形成してある。
【００１６】
なお、他の弾性表面波素子１０４は、測定対象弾性表面波素子１０６と同様に、一対の櫛形電極１１２からなるＩＤＴ１０８と、一対の反射器１１０とを備えている。そして、弾性表面波素子１０４は、複数のブロックに区画され、区画内の櫛形電極１１２ａ同士、櫛形電極１１２ｂ同士がパッド部１１６などを介して相互に共通電極に接続してある。また、反射器１１０も同様に共通電極を介して同時に電圧を印加できるようにしてある。更に、測定対象弾性表面波素子１０６も、同様に共通電極を介して接続されている。
【００１７】
このように弾性表面波素子１０４、測定対象弾性表面波素子１０６が形成されたウエハ１００は、詳細を後述するように、弾性表面波素子１０４、１０６の共振周波数の調整が行なわれる（図１ステップ２４）。その後、ウエハ１００は切断されて弾性表面波素子（チップ）にされる（ステップ２６）。そして、弾性表面波素子は、検査されたのち（ステップ２８）、次の工程に送られる。
【００１８】
前記したステップ２４の共振周波数の調整は、実施形態の場合、図２に示したようになっている。まず、図２のステップ３０に示したように、測定対象弾性表面波素子１０６の共振周波数を測定する周波数測定工程を行なう。次に、ステップ３２の電圧演算工程を行なう。電圧演算工程は、陽極酸化量演算工程３２ａと陽極酸化電圧決定工程３２ｂとからなっている。陽極酸化量演算工程３２ａは、まず、測定対象弾性表面波素子１０６ａ〜１０６ｅの測定した共振周波数の平均値（平均共振周波数）を求める。次に、平均共振周波数と予め定めた目標共振周波数との差を求め、ＩＤＴ１０８を構成している櫛形電極１１２の陽極酸化量（陽極酸化膜の厚さ）を求め、さらに陽極酸化電圧を決定する。
【００１９】
陽極酸化電圧とＡｌの陽極酸化膜の厚さとの間には、図５に示したような関係が存在する。すなわち、陽極酸化電圧と陽極酸化膜の厚さとの間には、比例関係が存在している。そして、陽極酸化を行なう電解液がリン酸アンモニウム系である場合、陽極酸化電圧１Ｖあたり１３オングストロームの厚さの陽極酸化膜が形成される。そこで、陽極酸化膜が１０オングストロームまたは１００オングストローム形成したときに、弾性表面波素子の共振周波数がどの程度低下するかを計算や実験によって予め求めておき、平均共振周波数と目標共振周波数との差から、櫛形電極１１２の陽極酸化量（陽極酸化膜の厚さ）を求める。
【００２０】
次に、陽極酸化電圧決定工程３２ｂを行なう。この実施形態の場合、陽極酸化を２回に分けて行なうようにしている。このため、第１回目の陽極酸化電圧は、上記のようにして求めた陽極酸化膜の厚さの８０〜９５％程度が形成できる値にする。例えば、平均共振周波数を目標共振周波数にする陽極酸化電圧が８０Ｖである場合、第１回目の陽極酸化電圧を７０〜７５Ｖにする。この際、陽極酸化をするときの電流（電流密度）も決定する。陽極酸化電圧を求めたら、図６に示したような陽極酸化装置１２０によって第１回目の陽極酸化工程を行なう（ステップ３４）。
【００２１】
陽極酸化装置１２０は、定電圧電源１２２と陽極酸化槽１２４とを備えている。定電圧電源１２２は、電圧値を設定できるとともに、陽極酸化槽１２４に流す電流値も設定できるようになっている。陽極酸化槽１２４は、複数のウエハ１００を収容したウエハラック１２６を搬入できる大きさを有しており、内部にリン酸アンモニウム溶液などの電解液１２８が貯留してある。ウエハ１００に形成した弾性表面波素子の櫛形電極１１２は、導電性クリップ１３０を介して定電圧電源１２２のプラス（＋）端子に接続される。また、陽極酸化槽１２４の電解液１２８には、対向電極１３２が配置してあり、対向電極１３２が定電圧電源１２２のマイナス（−）端子に接続される。
【００２２】
定電圧電源１２２と導電性クリップ１３０とを接続する線路には、電流検出器１３４が設けてある。電流検出器１３４は、酸化終点検出ユニット１３６の終点検出部１３８に接続してあって、検出信号を終点検出部１３８に入力する。酸化終点検出ユニット１３６は、終点検出部１３８とともに終点検出電流設定部１４０とタイマ１４２とを備えている。終点検出部１３８は、電流検出器１３４の検出信号を終点検出電流設定部１４０に設定された終点検出電流と比較し、弾性表面波素子に設けた櫛形電極の酸化反応の終点を検出し、タイマ１４２を起動する。タイマ１４２は、所定時間の計数が終了すると、定電圧電源１２２をオフするとともに、自らの計数時間をクリアしてリセットする。
【００２３】
陽極酸化装置１２０による第１回目の陽極酸化が終了したならば、第２回目の陽極酸化を行うために、測定対象弾性表面波素子１０６の共振周波数を測定する共振周波数測定工程を行なう（図２ステップ３６）。次に、第２回目の電圧演算工程を行なう（ステップ３８）。ステップ３８の電圧演算工程は、ステップ３２の電圧演算工程と同様に、陽極酸化量演算工程３８ａと陽極酸化電圧決定工程３８ｂとからなっている。陽極酸化量演算工程３８ａは、陽極酸化量演算工程３２ａと同様にして平均共振周波数を目標共振周波数にするための陽極酸化量（陽極酸化膜の厚さ）を求める。さらに、求めた陽極酸化膜の厚さと、第１回目の陽極酸化により形成した陽極酸化膜の厚さとの和を求め、これを周波数の調整に必要な陽極酸化量とする。そして、陽極酸化電圧決定工程３８ｂにおいては、陽極酸化量演算工程３８ａにおいて求めた必要な陽極酸化膜の厚さを形成できる陽極酸化電圧（例えば、８０Ｖ）をそのまま陽極酸化電圧に決定する。この場合も、酸化電流が同時に決定される。その後、ステップ４０のように第２回目の陽極酸化を行なう。第２回目の陽極酸化が終了すると、ウエハ１００に形成した弾性表面波素子の共振周波数調整工程が終了する。
【００２４】
図６に示した陽極酸化装置１２０による陽極酸化は、次のようにして行なわれる。図６に示したように、弾性表面波素子の櫛形電極１１２は、定電圧電源１２２のプラス端子に接続し、対向電極１３２を定電圧電源１２２のマイナス端子に接続する。さらに、図７に示したように、定電圧電源１２２に陽極酸化電圧Ｖｓと陽極酸化するための電流（電流密度ｍＡ／ｃｍ２）Ｉｓを設定する。そして、定電圧電源１２２のスイッチをオンすると、櫛形電極１１２と対向電極１３２との間に、電解液１２８を介して設定電流Ｉｓが流れて陽極酸化が開始される。
【００２５】
陽極酸化の開始直後は、ウエハ１００に形成した櫛形電極１１２の抵抗が小さいため、設定した電流Ｉｓによる定電流処理が行なわれる。陽極酸化が進行するのにしたがって櫛形電極に陽極酸化膜が形成され、櫛形電極の電気抵抗が増加し、印加電圧がしだいに上昇して設定電圧Ｖｓになり、以降定電圧処理となる。印加電圧が設定電圧Ｖｓになると、櫛形電極の抵抗の増加によって電流値が減少する。ウエハに供給する電流（電流密度）は、電流検出器１３４によって検出され、酸化終点検出ユニット１３６の終点検出部１３８に入力される。
【００２６】
終点検出部１３８は、電流検出器１３４が出力する検出信号を終点検出電流設定部１４０に設定してある終点検出電流（電流密度）と比較する。そして、陽極酸化を開始してから時間ｔを経過したときの、電流検出器１３４の検出値が設定値、例えば１０μＡ／ｃｍ２より小さくなると、櫛形電極１１２の酸化反応が終点に達したとしてタイマ１４２に起動信号を入力する。これにより、タイマ１４２は、予め設定されている時間Δｔ、例えば６０秒間の計数を開始する。そして、タイマ１４２は、所定の時間Δｔを計数すると、定電圧電源１２２をオフして陽極酸化を停止するとともに、自らの係数時間をクリアしてリセットする。
【００２７】
このように、実施形態においては、ウエハごとの共振周波数を測定し、陽極酸化によって共振周波数の調整をしているため、ウエハ間における共振周波数（ウエハごとの弾性表面波素子の平均共振周波数）のばらつきを小さくすることができる。そして、実施形態においては、電極の酸化反応の終点を検出して陽極酸化を終了するようにしているため、所望する厚さの陽極酸化膜を確実に形成することができ、共振周波数を高精度で調整することができる。しかも、電極の酸化反応、すなわち陽極酸化の終点を検出してから一定時間陽極酸化を継続するようにしているため、検出電流が外乱などによって一時的に変動した場合であっても、陽極酸化を確実に終点まで行なうことができる。さらに、実施形態においては、弾性表面波素子の共振周波数を調整する場合、陽極酸化を２回に分けて行なっているため、目標値に対して細かな周波数調整が可能で、複数のウエハ間における弾性表面波素子の平均共振周波数のばらつきを小さくすることができる。
【００２８】
すなわち、図８（１）に示したように、従来は、１回の陽極酸化によって測定共振周波数を目標共振周波数になるように調整していた。このため、従来は、ウエハ間における電極膜の厚さや電極の寸法誤差などによって、調整後のウエハ間における共振周波数のばらつきが大きく、図９（１）に示したように、目標共振周波数に対して±５００ｐｐｍに近いばらつきを有していた。これに対して、実施形態においては、図８（２）に示すように、陽極酸化を２回に分けて行なっている。このため、実施形態においては、複数のウエハ間における電極や電極の寸法のばらつきを考慮した共振周波数の細かな調整が可能となり、陽極酸化後におけるウエハ間の共振周波数のばらつきを小さくできる。すなわち、実施形態においては、ウエハに形成した弾性表面波素子の平均共振周波数を、図９（２）に示したように、目標共振周波数に対して±２５０ｐｐｍ程度のばらつきにすることができる。このため、ウエハ１００を弾性表面波素子１０４に切断したのちの共振周波数の調整工程を省略することができ、製造工程の簡略化が図れる。また、実施形態については、ウエハ１００に形成した弾性表面波素子の共振周波数を直接測定しているため、共振周波数の調整量（周波数）を正確に求めることができ、高精度な周波数調整を行なうことができる。そして、実施形態においては、櫛形電極を陽極酸化する場合に、レーザなどによって反射器を共通電極から切り離すような操作をする必要がなく、工程の簡素化が図れてコストの低減を図ることができる。
【００２９】
なお、前記実施形態においては、２回の陽極酸化によって共振周波数を調整する場合について説明したが、陽極酸化は３回以上行なうようにしてもよい。また、前記実施形態においては、圧電材料が水晶である場合について説明したが、圧電材料はニオブ酸リチウムやタンタル酸リチウムなどであってもよい。さらに、前記実施形態においては、陽極酸化に使用する電解液がリン酸アンモニウムである場合について説明したが、陽極酸化が可能であれば他の電解液であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】実施の形態に係る弾性表面波素子の製造方法のフローチャートである。
【図２】実施の形態に係る共振周波数の調整方法を説明するフローチャートである。
【図３】ウエハに形成された弾性表面波素子の配置状体の例を示す平面図である。
【図４】実施の形態に係る測定対象弾性表面波素子の詳細説明図である。
【図５】陽極酸化電圧と陽極酸化膜厚さとの関係を示す図である。
【図６】実施の形態に係る陽極酸化装置の説明図である。
【図７】実施の形態に係る陽極酸化方法の説明図である。
【図８】従来の共振周波数調整方法と実施の形態に係る共振周波数調整方法との比較図である。
【図９】従来例と実施形態とにおける共振周波数調整後のウエハ間の共振周波数のばらつきを示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１００………ウエハ、１０４………弾性表面波素子、１０６、１０６ａ〜１０６ｅ………測定対象弾性表面波素子、１０８………ＩＤＴ、１１０………反射器、１１２ａ、１１２ｂ………櫛形電極。
【図１】
2005348070.tif 000004
【図２】
2005348070.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
2005348070.tif 000008
【図６】
2005348070.tif 000009
【図７】
2005348070.tif 000010
【図８】
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【図９】
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