(57)【要約】【課題】  大量のデータを複数のシリアル伝送装置を用いて伝送する際にデータ制御を簡便化することにより、半導体検査装置のコストを低く抑える。【解決手段】  データ転送装置が送信制御部２1 、２2 、受信制御部５1 、５2 から構成された半導体検査装置において、受信制御部５1 から発生する伝送路制御線１４をマスタ受信制御部となる受信制御部５2 に集約し、受信制御部５2 の応答信号送信制御回路１２2 にて自制御部の結果と共に、送受信間応答制御信号線６を介して送信側マスタ制御部２2 に返信し、送信側において応答信号受信制御回路９2 から、伝送路制御線１５を用い複数の送信側制御部に対し分配する。【選択図】  図５
2005286952.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パラレル信号の画像データをシリアル信号に変換する第１、および第２の送信制御部と、
前記第１、および第２の送信制御部が変換したシリアル信号をパラレルデータに変換する第１、および第２の受信制御部とを備え、
前記第１、および第２の送信制御部は、
入力されたパラレル信号の画像データをフレームデータに変換する送信データ制御部と、
前記送信データ制御部が変換したフレームデータをシリアル信号に変換して出力する送信回路と、
応答信号に基づいて、画像データが正常に受信されたか否かを判定する応答信号受信制御部とをそれぞれ備え、
前記第１、および第２の受信制御部は、
前記送信回路から出力されたシリアル信号をパラレル信号に変換する受信回路と、
前記受信回路が変換したパラレル信号を解析してシリアル信号が正常に受信できたか否かを解析し、その解析結果に基づいて生成した応答信号を出力する受信データ制御応答部とをそれぞれ備え、
前記第１の受信制御部は、
１以上の前記第２の受信制御部から出力された応答信号を受け取り、前記第１の受信制御部が生成した応答信号とともに前記第１の送信制御部に出力し、
前記第１の送信制御部は、受け取った応答信号を分配し、対応する１以上の前記第２の送受信制御部に送信することを特徴とする半導体検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の半導体検査装置において、
前記第１、および第２の受信制御部が生成する応答信号は、前記第１、および第２の送信制御部によるシリアル信号の転送を一時的に停止させるスループット調整要求信号を含み、
前記第１、および第２の受信制御部は、前記第１、および第２の送信制御部から転送されるシリアル信号が、前記第１、および第２の受信制御部においてオーバフローした際に、スループット調整要求信号を出力することを特徴とする半導体検査装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の半導体検査装置において、
前記第１、および第２の受信制御部が生成する応答信号は、同期制御信号を含み、前記第１、および第２の送信制御部から転送されるシリアル信号を同期して出力させることを特徴とする半導体検査装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体検査装置において、
前記第１、および第２の受信制御部が生成する応答信号は、再送要求信号を含み、
前記第１、および第２の受信制御部は、
受信した受信データが正常であるか否かを判断し、異常の際に再送要求信号を出力し、前記第１、および第２の送信制御部にデータを再転送させる再送要求を行うことを特徴とする半導体検査装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の半導体検査装置において、
設定信号を格納する設定信号格納手段を設け、
前記設定信号格納手段に格納された設定信号に基づいて、前記第１の受信制御部と前記第２の受信制御部、および前記第１の送信制御部と前記第２の受信制御部との切り替えがそれぞれ行われることを特徴とする半導体検査装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の半導体検査装置において、
前記第１、および第２の送信制御部を実装する第１のプリント配線基板と、
前記第１、および第２の受信制御部を実装する第２のプリント配線基板とを備え、
前記第１、および第２の送信制御部と前記第１、および第２の受信制御部とは、前記第１、第２のプリント配線基板間に設けられたデータ伝送路を介して接続されたことを特徴とする半導体検査装置。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の半導体検査装置において、
前記第１、および第２の送信制御部と前記第１、および第２の受信制御部とを実装するプリント配線基板を備え、
前記第１、および第２の送信制御部と前記第１、および第２の受信制御部とは、前記プリント配線基板に形成されたデータ伝送路を介して接続されたことを特徴とする半導体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、データ伝送技術に関し、特に、半導体検査装置における画像データの伝送に適用して有効な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体ウエハ上に形成されたパターンの検査においては、光学式顕微鏡あるいは電子顕微鏡などを応用して、パターンの画像を検出し、これらの画像を処理することにより、その表面の欠陥を検出する方法が用いられている。
【０００３】
今日の半導体集積回路装置の高集積化に伴い、半導体ウエハ上に形成される回路パターンは急速に微細化している。半導体ウエハ外観検査装置、走査型電子顕微鏡などに代表される半導体検査装置では、半導体の微細化、基板配線の高密度化等により、要求される画像処理能力が年々増大しており、これに伴い、取得画像データの伝送容量は増大し、伝送速度はより高速なものが望まれる。
【０００４】
これに従い、伝送路に用いる技術もパラレル伝送からシリアル伝送へと変化している（たとえば、特許文献１参照）。また、半導体検査装置の取得画像データは単方向に大容量のデータを流すという特徴があり、単方向のシリアル伝送技術として、特開平８−２５１１４６号公報などに記述されている（特許文献２）。
【０００５】
また、Ｃａｍｅｒａ  Ｌｉｎｋという技術も存在し、ここでは単方向シリアルデータ伝送技術において複数本のシリアルデータ線を一括して使用し、大容量のデータ伝送を行うことが記載されている（たとえば、非特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２２３２０３号公報
【特許文献２】特開平８−２５１１４６号公報
【非特許文献１】Ｃａｍｅｒａ  Ｌｉｎｋ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｓｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ」，ＰＵＬＮｉＸ  Ａｍｅｒｉｃａ，Ｉｎｃ．
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記のような外観検査装置における画像データの転送技術では、次のような問題点があることが本発明者により見い出された。
【０００７】
高速かつ大容量な画像データを伝送するためには、シリアル伝送装置を用い高速なデータ伝送を行い、同時に、そのシリアル伝送装置を複数用い、伝送路容量を上げるという方法を用いるのが一般的である。
【０００８】
高速かつ大容量のデータ伝送を、多量のシリアル伝送装置を用い実施した場合、ノイズなどによる伝送データの損失や多量のシリアル伝送装置を用いることによる伝送タイミングのずれなどが問題となる。
【０００９】
この問題を解決するため、シリアル伝送装置には、高速なデータ伝送線路を具備すると共に、伝送データに対する制御を行うための制御信号を送信側、受信側それぞれに設ける。
【００１０】
しかし、複数のシリアル伝送装置を組み合わせてデータ伝送を行う場合、この高速シリアル伝送線、およびデータ制御用の線が多量に配線されることとなり、データ制御が複雑化し、半導体検査装置の装置コストを上げてしまう。
【００１１】
本発明の目的は、大量のデータを、複数のシリアル伝送装置を用いて伝送する際、伝送路線、制御線多量化の問題点を解決し、効率的にデータ伝送、およびデータ制御を実現することで、データ制御を簡便化し、装置コストを低く抑えることのできる技術を提供することにある。
【００１２】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１４】
本発明による半導体検査装置は、パラレル信号の画像データをシリアル信号に変換する第１、および第２の送信制御部と、該第１、および第２の送信制御部が変換したシリアル信号をパラレルデータに変換する第１、および第２の受信制御部とを備え、該第１、および第２の送信制御部は、入力されたパラレル信号の画像データをフレームデータに変換する送信データ制御部と、該送信データ制御部が変換したフレームデータをシリアル信号に変換して出力する送信回路と、応答信号に基づいて、画像データが正常に受信されたか否かを判定する応答信号受信制御部とをそれぞれ備え、第１、およ第２の受信制御部は、送信回路から出力されたシリアル信号をパラレル信号に変換する受信回路と、該受信回路が変換したパラレル信号を解析してシリアル信号が正常に受信できたか否かを解析し、その解析結果に基づいて生成した応答信号を出力する受信データ制御応答部とをそれぞれ備え、第１の受信制御部は、１以上の第２の受信制御部から出力された応答信号を受け取り、第１の受信制御部が生成した応答信号とともに第１の送信制御部に出力し、第１の送信制御部は、受け取った応答信号を分配し、対応する１以上の第２の送受信制御部に送信するものである。
【００１５】
また、本願のその他の発明の概要を簡単に示す。
【００１６】
本発明による半導体検査装置は、前記第１、および第２の受信制御部が生成する応答信号は、第１、および第２の送信制御部によるシリアル信号の転送を一時的に停止させるスループット調整要求信号を含み、第１、および第２の受信制御部は、第１、および第２の送信制御部から転送されるシリアル信号が、第１、および第２の受信制御部においてオーバフローした際に、該スループット調整要求信号を出力するものである。
【００１７】
また、本発明による半導体検査装置は、前記第１、および第２の受信制御部が生成する応答信号は、同期制御信号を含み、第１、および第２の送信制御部から転送されるシリアル信号を同期して出力させるものである。
【００１８】
さらに、本発明による半導体検査装置は、前記第１、および第２の受信制御部が生成する応答信号は、再送要求信号を含み、第１、および第２の受信制御部は、受信した受信データが正常であるか否かを判断し、異常の際に再送要求信号を出力し、第１、および第２の送信制御部にデータを再転送させる再送要求を行うものである。
【００１９】
また、本発明による半導体検査装置は、設定信号を格納する設定信号格納手段を設け、該設定信号格納手段に格納された設定信号に基づいて、第１の受信制御部と第２の受信制御部、および第１の送信制御部と第２の受信制御部との切り替えがそれぞれ行われるものである。
【００２０】
さらに、本発明による半導体検査装置は、前記第１、および第２の送信制御部を実装する第１のプリント配線基板と、前記第１、および第２の受信制御部を実装する第２のプリント配線基板とを備え、第１、および第２の送信制御部と第１、および第２の受信制御部とは、それら第１、第２のプリント配線基板間に設けられたデータ伝送路を介して接続されたものである。
【００２１】
また、本発明による半導体検査装置は、前記第１、および第２の送信制御部と前記第１、および第２の受信制御部とを実装するプリント配線基板を備え、第１、および第２の送信制御部と第１、および第２の受信制御部とは、該プリント配線基板に形成されたデータ伝送路を介して接続されるものである。
【発明の効果】
【００２２】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００２３】
（１）送受信間の制御用線路を１系統に簡略化することができるので、データ伝送、およびデータ制御を効率的に行うことができる。
【００２４】
（２）上記（１）により、半導体検査装置の構成を簡単化しながら大容量のデータを高速に伝送することが可能となり、該半導体検査装置のコストを大幅に小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００２６】
図１は、本発明の一実施の形態による半導体検査装置におけるブロック図、図２は、図１の半導体検査装置における動作の一例を示すフローチャート、図３は、図１の半導体検査装置に設けられた送信制御部、および受信制御部のブロック図、図４は、図３の送信制御部２、および受信制御部における動作の一例を示すフローチャート、図５は、図１の半導体検査装置に設けられたデータ転送装置のブロック図、図６は、図５のデータ転送装置における動作の一例を示すフローチャート、図７は、図５のデータ転送装置におけるスループット調整指示による制御例を示すフローチャート、図８は、図５のデータ転送装置におけるデータ同期化制御の一例を示すフローチャート、図９は、図５のデータ転送装置における再送要求による制御動作の一例を示すフローチャート、図１０は、図５のデータ転送装置におけるマスタ／スレーブの組み合わせの一例を示すブロック図、図１１は、図５のデータ転送装置におけるマスタ／スレーブの組み合わせの他の例を示すブロック図、図１２は、図１の半導体検査装置のデータ転送に用いられるフレームデータの構成例を示す説明図、図１３は、図５のデータ転送装置に送信データの符号化、および受信データのエラー訂正を行う復号化回路を備えた際の一例を示すブロック図、図１４は、図５のデータ転送装置に受信異常を検出する故障制御表示部を設けた一例を示すブロック図である。
【００２７】
本実施の形態において、半導体検査装置は、たとえば、ＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）式外観検査装置からなる。半導体検査装置は、図１に示すように、鏡体７１、Ａ／Ｄ変換器７２、画像データ分配制御部７３、画像処理装置７４、および欠陥画像表示装置７９から構成されている。
【００２８】
また、画像データ分配制御部７３は、送信側伝送制御部７００1 〜７００n から構成されており、画像処理装置７４は、画像データ分配制御部７５、画像データ処理部７８1〜７８n 、および全体制御部７８０などから構成されている。
【００２９】
画像データ分配制御部７５は、受信側伝送制御部７１０1 〜７１０n 、および送信側制御部７２０1 〜７２０n から構成されており、画像データ処理部７８1〜７８n には、受信側制御部７３０1 〜７３０n が設けられている。
【００３０】
この半導体検査装置の動作について、図２のフローチャートを用いて説明する。
【００３１】
まず、鏡体７１では、内面上部に設置された光源から出射されたＵＶ（Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ  Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）光やＤＵＶ（Ｄｅｅｐ  ＵＶ）光などの光（ステップＳ９２０）を集約レンズでスリット状に集光し（ステップＳ９２１）、対物レンズを通して所定方向に移動する半導体ウエハ上に照射する（ステップＳ９２２）。
【００３２】
半導体ウエハ上に形成された回路パターンから反射された光を対物レンズで集光し（ステップＳ９２３）、結像された回路パターンの像をＴＤＩセンサなどのイメージセンサで撮像して（ステップＳ９２４）、画像情報を出力する。
【００３３】
この画像データは、Ａ／Ｄ変換器７２において、上記光学系からの画像情報を鏡体７１から取り込み（ステップＳ９２５）、アナログ量からディジタル情報に変換し（ステップＳ９２６）、画像メモリに格納する（ステップＳ９２７）。
【００３４】
このディジタル化した画像データを画像データ分配制御部７３で分割して並列化し（ステップＳ９２８）、送信側伝送制御部７００1 〜７００n から高速シリアル伝送路を経由して受信側伝送制御部７１０1 〜７１０n へ画像データを伝送し、画像処理装置７４へ送る（ステップＳ９２９）。
【００３５】
この時、受信側伝送制御部７１０1 〜７１０n の応答信号は、受信側制御回路間応答信号伝送路７６０を経由し、マスタ受信側伝送制御部７１０n へ集約され、そこから送受間応答信号伝送線７４０を経由し、マスタ送信側伝送制御部７００nへ伝わる。
【００３６】
応答信号は、送信側伝送制御部７００n から、送信側制御回路間応答信号伝送線７５０を経由し、送信側伝送制御部７００1 〜７００n へ分配される。画像処理装置７４は、画像データ分配制御部７５が分割された画像データを画像データ処理部７８1 〜７８n へ分配する。
【００３７】
この時、画像データ分配制御部７５は高速シリアル伝送路７６1 〜７６n を用い画像データを分配し、画像データ処理部は応答信号伝送路７７1 〜７７n を用い伝送結果を画像データ分配制御部へ返送する。
【００３８】
全体制御部７７０は、Ａ／Ｄ変換器７２を鏡体７１から得られる画像情報を基に制御し、さらに画像データ分配制御部７５を制御し、さらに各画像情報データ処理部７８1〜７８nから得られる画像処理結果を制御して画像統合処理を行い（ステップＳ９３０）、欠陥画像を出力し、欠陥画像表示装置７９にて、欠陥画像を表示する（ステップＳ９３１）。ここで、画像データ分配部に関しては、その分割が１から始まるものとする。
【００３９】
図３は、送信側制御部７２０1 〜７２０n に設けられた送信制御部２、および受信側制御部７３０1 〜７３０n に設けられた受信制御部５のブロック図である。
【００４０】
送信制御部２は、送信データ制御部７、送信回路８、および応答信号受信制御部９から構成されている。受信制御部５は、受信回路１０、データ受信制御部１１、ならびに応答信号送信制御部１２から構成されている。
【００４１】
これら送信制御部２、および受信制御部５の動作処理について、図４のフローチャートを用いて説明する。
【００４２】
まず、送信制御部２に対し送信データ１が到着する（ステップＳ９０１）。送信データ制御部７ではデータのフレーム化等を行い、送信回路８にデータを渡す（ステップＳ９０２）。
【００４３】
送信回路はデータのパラレル、シリアル変換を行い（ステップＳ９０３）、高速シリアル伝送路３（図１における高速シリアル伝送路７６1 ）を用い、受信部５に対しデータの伝送を行う（ステップＳ９０４）。このとき、送信制御部２内の送信データカウンタを１つカウントアップする（ステップＳ９１２）。
【００４４】
続いて、受信部内部の受信回路１０はシリアル信号を受信するとパラレルデータに変換を行い（ステップＳ９０５）、受信データ出力部４よりデータを出力する（ステップＳ９０６）。
【００４５】
同時に、受信回路で受信したデータは受信データ制御部１１に送られ、ここでは受信データを解析し（ステップＳ９０７）、データが正常に受信できている際は応答信号送信制御部１２に対し、応答信号を出力するよう求める。
【００４６】
応答信号送信制御部１２は受信側装置から送信側装置に伸びる応答信号伝送路６（図１の応答信号伝送路７７1 ）を用い、送信側に対し、データ正常受信を伝える（ステップＳ９０８，Ｓ９０９）。応答信号受信制御部９では受信側から送られた応答信号により受信データカウンタを１つカウントアップする（ステップＳ９１０）。
【００４７】
ここで、送信データカウンタと受信データカウンタの差分値を検査し（ステップＳ９１１）、もし一定値以上であれば、エラー表示を行い（ステップＳ９１８）、データ送受信を終了する（ステップＳ９１９）。
【００４８】
また、ステップＳ９０７の処理において、データが正常に受信されない場合は受信側からの応答信号が無く、送信データカウンタと受信データカウンタの差分値を検査し（ステップＳ９１１）、もし一定値以上であれば、エラー表示を行い（ステップＳ９１８）、データ送受信を終了する（ステップＳ９１９）。
【００４９】
図５は、半導体検査装置に設けられたデータ転送装置のブロック図である。
【００５０】
このデータ転送装置は、送信制御部２1 〜２n 、および受信制御部５1 〜５n から構成されている。送信制御部２1 〜２n は、送信側伝送制御部７００1 〜７００n にそれぞれ設けられており、受信制御部５1 〜５n は、受信側伝送制御部７１０1 〜７１０n にそれぞれ設けられている。
【００５１】
なお、図５では、簡単化のため各々の２つの送信制御部２1 ，２2 、および受信制御部５1 ，５2 からなるデータ転送装置を示している。
【００５２】
この場合、受信制御部５1 と受信制御部５2 とが受信側間信号伝送路１４で接続されており、送信制御部２1 と送信制御部２2 とが送信側制御信号伝送路１５によって接続されている。これによって、伝送路容量が図３に比べ２倍となっている。
【００５３】
各部における基本的な動作は図３と同様であるが、受信制御部５1 から発生する応答信号は、受信制御部５2 に送られ、ここで、この制御部内の応答信号と待ち合わせ処理が行われる。
【００５４】
待ち合わせ処理を行った結果、両方の受信制御部５1 ，５2 でデータ受信が確認された際は、送受信間制御信号伝送路７７1 を用い、送信制御部２2 に対し応答信号を返す。送信制御部２2 に設けられた応答信号受信制御部９2 では、受信した応答信号を、送信側制御信号伝送路１５を用い他の送信制御部２1 に対し分配を行う。
【００５５】
ここで、送信制御部２2 にて応答信号をただ受け取るのみの送信制御部（第２の送信制御部）２1 をスレーブ送信制御部、受け取った応答信号を分配する処理を行う送信制御部（第１の送信制御部）２2 をマスタ送信制御部とそれぞれ定義する。
【００５６】
これら機能の切り替えは、制御部に入力されるスレーブ指示信号１６1 、およびマスタ指示信号１６2 によって切り替えられる。各入力は固定値であり、それは、たとえば信号‘０’、‘１’の切り替えである。
【００５７】
また、マスタ送信制御部とスレーブ送信制御部との切り替えは、上記手段のほかに各制御部内に設けるレジスタ（信号設定格納手段）に対する値の設定によっても可能とする。
【００５８】
ここで、受信側制御部においても、応答信号を送信するのみの受信制御部（第２の受信制御部）５1 をスレーブ受信制御部とし、他の制御部からの応答信号を待ち合わせ、自制御部内部の応答信号と共に送信側制御部に対し信号を返す受信制御部（第２の受信制御部）５2 をマスタ受信制御部とそれぞれ定義する。
【００５９】
これら機能の切り替えは、送信側と同様マスタ指示入力、スレーブ指示入力によって切り替えられ（受信側マスタスレーブ選択信号１３1 、１３2 ）、また各制御部内に存在するレジスタに対する値設定でも切り替え可能である。
【００６０】
これら送信制御部２1 ，２2 、および受信制御部５1 ，５2 における動作について、図６のフローチャートを用いて説明する。
【００６１】
まず、送信制御部２1 に対し送信データ１が到着する（ステップＳ９３３）。送信データ制御部７1 ではデータのフレーム化などを行い、送信回路８1 にデータを渡す（ステップＳ９３４）。
【００６２】
送信回路８1 ではデータのパラレル、シリアル変換を行い（ステップＳ９３５）、高速シリアル伝送路３1 を用いて、受信部５1 に対しデータの伝送を行う（ステップＳ９３６）。このとき、送信制御部内における送信データカウンタを１つカウントアップする（ステップＳ９３７）。
【００６３】
受信回路１０1 はシリアル信号を受信するとパラレルデータに変換を行い（ステップＳ９３８）、受信データ出力部４1 よりデータを出力する（ステップＳ９３９）。同時に、受信回路１０1 で受信したデータは受信データ制御部１１1 に送られ、ここでは受信データを解析し（ステップＳ９４０）、データが正常に受信できている際は応答送信制御部１２1 に対し、応答信号を出力するよう求める（ステップＳ９４１）。
【００６４】
受信制御部５1 の応答信号は受信側間信号伝送路１４を通って応答信号送信制御部１２2 へ送られる。なお、ここまでの流れは送信制御部２1、受信制御部５1 間の伝送シーケンスであり、同時に送信制御部２2 、受信制御部５2 間においても同様のデータの送受信の流れが存在するものとする（ステップＳ９４７〜Ｓ９５４）。
【００６５】
ちなみに、応答信号送信制御部１２2 では応答信号を生成する（ステップＳ９５５）。応答信号送信制御部１２2 では、受信制御部５1 からの応答信号と受信制御部５1 内の応答信号の応答信号の待ち合わせ処理を行う。
【００６６】
その結果は、送受信間応答信号伝送路６に出力される（ステップＳ９５６）。受信制御部５2 からの待ち合わせ結果応答信号は、送受信間応答信号伝送路６を通って送信制御部２2 に送られる（ステップＳ９５７）。
【００６７】
応答信号受信制御部９2 では、応答信号を受け取り、自回路内の受信データカウンタを１つ加算（＋１）する。また、送信制御部２1 に対し、送信側制御信号伝送線１５を用いて制御信号を分配する（ステップＳ９５８）。
【００６８】
応答信号受信制御部９1 は送信制御部２2 からの応答信号を受け取り、自回路内の受信データカウンタを＋１する（ステップＳ９４２）。
【００６９】
ここで、応答信号受信制御部９1 内の送信データカウンタと受信データカウンタの差分を確認し、一定値以上かどうか判断する（ステップＳ９４３）。一定値以上であった場合は、応答信号受信制御部９1 よりエラー状態を表示し（ステップＳ９４５）、データ受信を終了する（ステップＳ９４６）。また、送信データカウンタと受信データカウンタの差分値が一定値以内であった場合は、エラー表示をせず、データ受信を終了する（ステップＳ９４４）。
【００７０】
なお、応答信号受信制御部内にて送信データカウンタと受信データカウンタの差分値を確認する操作は、送信制御部２2 内でも同様の処理が行われる（ステップＳ９５９〜Ｓ９６２）。
【００７１】
ここで、送信側制御部にて応答信号をただ受け取るのみの送信制御部２1 を、スレーブ送信制御部、受け取った応答信号を分配する処理を行う送信制御部２2 をマスタ送信制御部と定義する。
【００７２】
これら機能の切り替えは、制御部に入力されるスレーブ指示信号１６1 およびマスタ指示信号１６2 によって切り替えられる。各入力は固定値であり、それは、たとえば信号‘０’、‘１’の切り替えである。
【００７３】
また、マスタ、スレーブ制御部の切り替えは上記手段のほかに各制御部内に設けるレジスタに対する値の設定によっても可能とする。受信側制御部においてもマスタ制御部、スレーブ制御部を定義する。
【００７４】
受信側制御部において応答信号を送信するのみの受信制御部５1 を、受信側スレーブ制御部、他制御部からの応答信号を待ち合わせ、自制御部内部の応答信号と共に送信側制御部に対し信号を返す受信側制御部５2 を、マスタ受信制御部と定義する。
【００７５】
これら機能の切り替えは送信側と同様マスタ指示入力、スレーブ指示入力によって切り替えられ（受信側マスタスレーブ選択信号１３1 ，１３2 ）、また各受信制御部５1 ，５2 に設けられたレジスタに対する値設定によって切り替える。
【００７６】
また、送信制御部２1 ，２2 、および受信制御部５1 ，５2 では、受信側におけるスループット状態を判断し、設定スループット以上のデータが送られた際は送信側に対しスループットの調整指示を行うスループット調整要求信号を出す制御が行われる。
【００７７】
このスループット調整指示による制御を図７のフローチャートを用いて説明する。
【００７８】
まず、送信制御部２1 に対し送信データ１が到着する（ステップＳ９６３）。送信データ制御部７1 ではデータのフレーム化などを行い、送信回路８1 にデータを渡す（ステップＳ９６４）。
【００７９】
送信回路８1 は、データのパラレル、シリアル変換を行い（ステップＳ９６５）、高速シリアル伝送路３1 を介して受信部５1 に対しデータの伝送を行う（ステップＳ９６６）。
【００８０】
受信回路１０1 は、シリアル信号を受信するとパラレルデータに変換を行い（ステップＳ９６７）、受信データ出力部４1 よりデータを出力する（ステップＳ９６８）。ここで、受信回路で受信したデータは受信データ制御部１１1 に送られて受信データが解析され（ステップＳ９６９）、規定スループット以上のデータが流れているか判断する。
【００８１】
規定スループット以上のデータが流れている場合は、応答送信送信制御回路１２1 に対し、スループット調整要求信号（待機信号）を出力するよう求める（ステップＳ９７０）。受信制御部５1 の待機信号は受信側間信号伝送路１４を通って受信制御部５2 の応答信号送信制御部１２2 へ送られる。
【００８２】
なお、ここまでの流れは送信制御部２1 、受信制御部５1 間の伝送シーケンスであり、同時に送信制御部２2 、受信制御部５2 間においても同様のデータの送受信の流れが存在するものとする（ステップＳ９７４〜Ｓ９８０）。ちなみに、応答信号送信制御部１２2 では待機信号を生成する（ステップＳ９８１）。応答信号送信制御部１２2 では、受信制御部５1 からの待機信号と受信制御部５1 内の待機信号のＯＲ結合を行う。
【００８３】
その結果は、送受信間応答信号伝送路６に出力される（ステップＳ９８２）。受信制御部５2 からのＯＲ結合結果応答信号は、送受信間応答信号伝送路６を通って送信制御部２2 に送られる（ステップＳ９８３）。
【００８４】
応答信号受信制御部９2 は、応答信号を受け取り、送信待機指示を送信データ制御部７2 に対し送る。また、送信制御部２1 に対し、送信側制御制御信号伝送線１５を用いて待機信号を分配する（ステップＳ９８４）。
【００８５】
応答信号受信制御部９1 は送信制御部２2からの応答信号を受け取り、送信待機指示を送信データ制御部７1 に対し送る（ステップＳ９７１）。送信データ制御部７1 ではデータの送信を一定期間待機する（ステップＳ９７２）。その後、データ受信処理を終了する（ステップＳ９７３）。
【００８６】
なお、送信データの一定期間待機とデータ受信終了処理は、送信制御部２2 内でも同様の処理が行われる（ステップＳ９８５，Ｓ９８６）。
【００８７】
前述した図６との違いは、（１）送受信データカウンタ処理が存在しないこと、（２）受信回路で受信したデータが受信データ制御部１１1 に送られ、ここでは受信データを解析し（ステップＳ９６９）、規定スループット以上のデータが流れているか判断すること、（３）規定スループット以上のデータが流れている場合は、応答信号送信制御部１２1 に対し、スループット調整要求信号（待機信号）を出力するよう求めること（ステップＳ９７０）、（４）受信制御部５2 内の応答信号送信制御部１２2 では待機信号を生成すること（ステップＳ９８１）、（５）受信制御部５2 内の応答信号送信制御部１２2 では、受信制御部５1からの待機信号と受信制御部５1 内の待機信号のＯＲ結合を行うこと（ステップＳ９８２）、および（６）送信制御部２2 内の応答信号受信制御部９2 では、応答信号を受け取り、送信待機指示を送信データ制御部７2 に対し送ること、また、（７）送信制御部２1に対し、送信側制御部制御信号伝送路１５を用いて待機信号を分配すること（ステップＳ９８４）、（８）応答信号受信制御部９1 は送信制御部２2 からの応答信号を受け取り、送信待機指示を送信データ制御部７1 に対し送ること（ステップＳ９７１）、ならびに（９）送信データ制御部７1 内ではデータの送信を一定期間待機すること（ステップＳ９７２）である。
【００８８】
さらに、送信制御部２1 ，２2 、および受信制御部５1 ，５2 においては、受信側におけるデータ受信タイミングを判断し、データ同期化制御を行う機能も備えている。
【００８９】
このデータ同期化制御の動作を図８のフローチャートを用いて説明する。
【００９０】
まず、送信制御部２1 に対し送信データ１が到着する（ステップＳ９８７）。送信データ制御部７1 ではデータのフレーム化などを行い、送信回路８1 にデータを渡す（ステップＳ９８８）。
【００９１】
送信回路ではデータのパラレル、シリアル変換を行い（ステップＳ９８９）、高速シリアル伝送路３1 を用いて受信部５1 に対しデータの伝送を行う（ステップＳ９９０）。受信部内部の受信回路１０1 ではシリアル信号を受信するとパラレルデータに変換を行い（ステップＳ９９１）、受信データ出力部４1 よりデータを出力する（ステップＳ９９２）。また同時に、応答信号送信制御部１２1 に対し、データの受信タイミング信号を出力するよう求める（ステップＳ９９３）。
【００９２】
受信制御部５1 の受信タイミング信号は、受信側間信号伝送路１４を通って受信制御部５2 内の応答信号送信制御部１２2 へ送られる。なお、ここまでの流れは送信制御部２1 、受信制御部５1 間の伝送シーケンスであり、同時に送信制御部２2 、受信制御部５2 間においても同様のデータの送受信の流れが存在するものとする（ステップＳ９９９〜Ｓ１００４）。
【００９３】
ちなみに、受信制御部５2 内の応答信号送信制御部１２2 では受信タイミング信号を生成する（ステップＳ１００５）。応答信号送信制御部１２2 では、受信制御部５1 からの受信タイミング信号と受信制御部５2 内の受信タイミング信号を結合処理し、その結果を、同期制御信号として送受信間応答信号伝送路６に出力する（ステップＳ１００６）。
【００９４】
受信制御部５2 からの結合結果応答信号（同期制御信号）は、送受信間応答信号伝送路６を通って送信制御部２2 に送られる（ステップＳ１００７）。
【００９５】
送信制御部２2 内の応答信号受信制御部９2 では、応答信号を受け取り、デコードする。また、送信制御部２1 に対し、送信側制御信号伝送路１５を用いて各スレーブ送信制御部用タイミング信号を分配する（ステップＳ１００８）。
【００９６】
応答信号受信制御部９1 は、送信制御部２2 からの応答信号を受け取り、デコードをする（ステップＳ９９４）。このデコード結果を送信データ制御部７1 に対し送る（ステップＳ９９５）。
【００９７】
ここで、送信データ制御部７1 内では、データ送信タイミング調整が必要か判断する（ステップＳ９９６）。必要であった場合は、送信データ制御部７1 内でデータ送信タイミングを調整する（ステップＳ９９７）。そして、データ受信を終了する（ステップＳ９９８）。
【００９８】
なお、送信制御部２1 内でデコード結果を送信データ制御部７1 に対し送る（ステップＳ９９５）以降の操作は、送信制御部２2 内でも同様の処理が行われる（ステップＳ１００９〜Ｓ１０１２）。図７との違いは、（１）送受信データカウンタ処理が存在しないこと、（２）応答信号送信制御部１２1 に対し、データの受信タイミング信号を出力するよう求めること（ステップＳ９９３）、（３）応答信号送信制御部１２2 では受信タイミング信号を生成すること（ステップＳ１００５）、（４）応答信号送信制御部１２2 では、受信制御部５1 からの受信タイミング信号と受信制御部５1 内の受信タイミング信号を結合処理し、その結果を、送受信間応答信号伝送路６に出力すること（ステップＳ１００６）、および（５）送信制御部２2 内の応答信号受信制御部９2 では、応答信号を受け取り、デコードすること、また、（７）送信制御部２1 に対し、送信側制御信号伝送路１５を用いて各スレーブ送信制御部用タイミング信号を分配すること（ステップＳ１００８）、（８）応答信号受信制御部９1 は送信制御部２2 からの応答信号を受け取り、デコードをすること（ステップＳ９９４）、（９）このデコード結果を送信データ制御部７1 に対し送ること（ステップＳ９９５）、ここで、送信データ制御部７1 内では、データ送信タイミング調整が必要か判断し（ステップＳ９９６）、必要であった場合は、送信データ制御部７1 内でデータ送信タイミングを調整する（ステップＳ９９７）ことである。
【００９９】
その他、受信制御部５1 ，５2 は、受信データを判断し、間違ったデータが伝送された際には、送信側に再送要求を行う機能を備えている。
【０１００】
この再送要求による制御動作を図９のフローチャートを用いて説明する。
【０１０１】
ここで、送信制御部２1 ，２2 、受信制御部間５1 ，５2 で送受信するフレームデータは、後述する図１２に示すフレーム構造からなるものとする。
【０１０２】
まず、送信制御部２1 に対し送信データ１が到着する（ステップＳ１０１３）。送信データ制御部７1 ではデータのフレーム化などを行い、送信回路８1 にデータを渡す（ステップＳ１０１４）。
【０１０３】
送信回路８1 ではデータのパラレル、シリアル変換を行い（ステップＳ１０１５）、高速シリアル伝送路３1 を用い、受信部５1 に対しデータの伝送を行う（ステップＳ１０１６）。
【０１０４】
受信部内部の受信回路１０1 では、シリアル信号を受信するとパラレルデータに変換を行い（ステップＳ１０１７）、受信データ出力部４1 よりデータを出力する（ステップＳ１０１８）。
【０１０５】
また同時に、受信回路で受信したデータは受信データ制御部１１1 に送られる。ここでは、受信データを解析し（ステップＳ１０１９）、ユニークな値を検査し、期待したフレームが送られていないことがわかった際には応答信号送信制御部１２1 に対し、再送要求信号を出力するよう求める（ステップＳ１０２０）。
【０１０６】
受信制御部５1 の応答信号は受信側間信号伝送路１４を通って応答信号送信制御部１２2 へ送られる。なお、ここまでの流れは送信制御部２1 、受信制御部５1 間の伝送シーケンスであり、同時に送信制御部２2 、受信制御部５2 間においても同様のデータの送受信の流れが存在するものとする（ステップＳ１０２４〜Ｓ１０３０）。ちなみに、応答信号送信制御部１２2 では再送要求信号を生成する（ステップＳ１０３１）。
【０１０７】
応答信号送信制御部１２2 では、受信制御部５1 からの再送要求信号と受信制御部５2 内の再送要求信号の結合処理を行う。その結果は、送受信間応答信号伝送路６に出力される（ステップＳ１０３２）。
【０１０８】
受信制御部５2 からの結合結果応答信号は、送受信間応答信号伝送路６を通って送信制御部２2 に送られる（ステップＳ１０３３）。応答信号受信制御部９2 では、応答信号を受け取る。
【０１０９】
また、送信制御部２1 に対し、送信側制御信号伝送路１５を用いて再送要求信号を分配する（ステップＳ１０３４）。応答信号受信制御部９1 は送信制御部２2 からの応答信号を受け取り（ステップＳ１０２１）、自身への再送要求だった場合（ステップＳ１０２２）、送信データ制御部７1 に対し、データ再送指示を出す。
【０１１０】
そして、送信データ制御部７1 がデータの再送処理を行う（ステップＳ１０２２）。そして、データ受信を終了する（ステップＳ１０２３）。なお、応答信号受信制御部内にて再送要求を受け取り、再送指示、および再送処理を行う流れは、送信制御部２2 内でも同様の処理が行われる（ステップＳ１０３５，Ｓ１０３６）。
【０１１１】
図６との違いは、（１）送受信データカウンタ処理が存在しないこと、（２）受信回路で受信したデータは受信データ制御部１１1に送られ、ここでは受信データを解析すること（ステップＳ１０１９）、（３）ユニークな値を検査し、期待したフレームが送られていないことがわかった際には応答信号送信制御部１２1 に対し、再送要求信号を出力するよう求めること（ステップＳ１０２０）、（４）受信制御部５2 内の応答信号送信制御部１２2 では再送要求信号を生成すること（ステップＳ１０３１）、（５）応答信号送信制御部１２2 では、受信制御部５1 からの再送要求信号と受信制御部５2 内の再送要求信号の結合処理を行い、その結果は、送受信間応答信号伝送路６に出力されること（ステップＳ１０３２）、（６）応答信号受信制御部９1 は送信制御部２2 からの応答信号を受け取り、自身への再送要求だった場合（ステップＳ１０２２）、送信データ制御部７1 に対し、データ再送指示を出すこと（ステップＳ１０２２）、（７）送信データ制御部７1 がデータの再送処理を行うこと（ステップＳ１０２２）である。
【０１１２】
図１０、図１１は、データ伝送装置におけるマスタ制御部、スレーブ制御部の組み合わせ例を示すブロック図である。
【０１１３】
まず、図１０において、送信側制御部３６1 〜３６n  、および受信側制御部３５1 〜３５n は同じ数が存在し、その間に高速シリアル伝送路３１1 〜３１m がそれぞれ接続されている。
【０１１４】
送信側制御部３６1 〜３６n は、送信側制御部間制御線伝送路３４によってそれぞれ接続されており、受信側制御部３５1 〜３５n は、受信側制御部間制御線伝送路３２によってそれぞれ接続されている。
【０１１５】
また、送信側マスタ制御部となる送信側制御部３６n 、および受信側マスタ制御部となる受信側制御部３５n は、送受信間制御線伝送路３３によって接続されている。
【０１１６】
図１１は、送信側制御部と受信側制御部の個数が違う場合を示したものである。
【０１１７】
この場合でも、送受信間は高速シリアル伝送路３１1 〜３１m によってそれぞれ接続されており、送信側制御部３６1 〜３６n は、送信側制御部間制御線伝送路３４によってそれぞれ接続されている。受信側制御部３５1 〜３５n は、受信側制御部間制御線伝送路３２で接続される。
【０１１８】
また、送信側マスタ制御部となる送信側制御部３６n 、および受信側マスタ制御部となる受信側制御部３５n は、送受信間制御線伝送路３３によって接続されている。
【０１１９】
次に、上記した接続形態を持ったデータ伝送方法を、図１２を用い説明する。
【０１２０】
送信制御部３６1 〜３６n には、半導体検査装置の画像データ取得手段から得られた膨大な画像データが送られてくる。送信制御部３６1 〜３６n は、これらデータを高速シリアル伝送線３１1〜３１mに対し送る。
【０１２１】
このシリアル信号は受信制御部３５1〜３５n にて受信され、元の画像データとして後方に送られる。受信制御部が、この伝送データを判断し、何らかの制御を行うと考えた場合、各受信制御部３５1 〜３５n は、受信制御部間制御信号３２を用い、制御内容を受信側マスタ制御部３５n に送る。
【０１２２】
なお、制御信号は、全ての受信制御部より同時に送られても、一部の受信制御部より送られたとしても、どちらの場合も受信側マスタ制御部により集約され、１系統の信号として扱われる。
【０１２３】
受信側マスタ制御部となる受信側制御部３５n は送受間制御信号線３３を用い、送信側マスタ制御部となる送信側制御部３６n に対し制御内容を伝送する。送信側マスタ制御部は、この制御内容を判断し、送信制御部間制御信号線３４を用い各送信側制御部３６1 〜３６n-1 に対し制御内容を分配する。
【０１２４】
なお、図１０、図１１に示した複数の送信制御部／受信制御部を用いた構成においては、送信データ入力部、および高速シリアル伝送路、受信データ出力部等において、その使用、未使用をレジスタで切り替える手段を設ける構成としてもよい。
【０１２５】
さらに、上記した各構成における応答信号送信制御回路の用途としてデータ正常の到着確認を挙げたが、それ以外の制御内容として、たとえば、受信データから高速シリアル伝送路の状態を判断し、自動で接続確認信号を送信側に返答する手段を設ける構成としてもよい。
【０１２６】
図１２は、データ伝送装置において送受信するフレームデータの一例を示す説明図である。
【０１２７】
図示するように、フレームデータは、フレーム開始識別データ（ＳＯＦ）５１、フレーム番号５２、伝送する画像データ５３、およびフレームデータ終了識別データ（ＥＯＦ）５４からなるフレーム構成となっている。
【０１２８】
フレーム開始識別データ５１は、フレームデータの開始を識別するデータであり、フレーム番号５２は、伝送するフレーム毎に設定されるユニークな値である。フレームデータ終了識別データ５４は、フレームデータの終了を識別するデータである。
【０１２９】
受信データ制御部１１は、このユニークな値であるフレーム番号５２を検査し、期待したフレームが送られていないことがわかった際には応答信号送信制御部１２を通して送信側に対しフレームデータ再送要求をかける。
【０１３０】
図１３は、データ伝送装置に、送信データの符号化、および受信データのエラー訂正を行う復号化回路を備えた際の一例を示すブロック図である。
【０１３１】
この場合、送信制御部２における送信データ制御部１８には、送信データを符号化するためのデータ符号化回路が設けられており、該データ符号化回路によってデータが符号化される。
【０１３２】
また、受信制御部５には、受信回路１０から出力されたデータを復号する復号回路１７が設けられている。この復号回路１７により、送受間でデータにエラーが発生した場合でも、復号回路にて訂正可能なエラーであった場合はエラーが訂正され、正常なデータが受信データ出力部４から出力される。
【０１３３】
また、復号回路１７にて復号不可能、エラー訂正不可能なデータと判断された場合には、受信データ制御部１１、応答信号送信制御部１２を経由し、送信側制御部２に対しデータの再送要求を出す手段を設ける構成を備える。
【０１３４】
図１４は、データ伝送装置において、データ伝送に関し、故障によってそのデータ伝送ができなくなったことを、全ての受信制御部を確認することなく、マスタの受信制御部で確認可能とする構成の一例を示したブロック図である。
【０１３５】
この場合、マスタ受信制御部となる受信制御部３５ｎ、スレーブ受信制御部となる受信制御部３５1 〜３５n-1 、およびマスタ送信制御部となる送信制御部３６ｎ、スレーブ送信制御部となる送信制御部３６1 〜３６n-1 から構成されており、受信制御部３５ｎには、故障制御表示部３７が設けられている。
【０１３６】
送信制御部３６1 〜３６n から、画像データ、および制御データが高速シリアル線３１1 〜３１n を通って受信側制御部３５1 〜３５n で受信される。この時、ある受信制御部にてデータが正常に受信されない何らかの故障が発生したとする。
【０１３７】
ここで故障とは、たとえば、高速シリアル線の断線や、送信側制御部、受信制御部がその動作を止めてしまう、たとえば電源電圧の低下などを挙げる。また、受信側で正常にデータが受信されないとは、たとえば、受信側制御部にて常に受信データからある固有値を計算しておき、その固有値が異常な値を示す場合や、受信データを格納するバッファのオーバフロー状態などを挙げる。
【０１３８】
この時、故障の発生した受信側制御部は応答信号によって、異常状態をマスタ受信制御部３５n に知らせる。この知らせ方は、たとえば、受信制御部にてエラーが発生し、応答信号を値１から値０に変更することを挙げる。
【０１３９】
マスタ受信制御部３５n の内部には、全受信制御部から返ってくる応答信号をモニタリングする故障制御表示部３７が設けられており、常に全受信制御部から返ってくる応答信号の状態を監視している。故障制御表示部３７は、たとえば、レジスタなどからなる。
【０１４０】
ある受信制御部にエラーが発生したことは、たとえば、故障制御表示部３７にて、正常な受信制御部状態を１とした時に、該故障制御表示部３７のある値が０に変化することで確認される。この値が‘１’から‘０’に変化したことに対応するある受信制御部にて何らかの故障が発生したことが確認できる。
【０１４１】
これによる処理としては、たとえば送信側制御部に対し受信側制御部にて何らかの故障が発生したことを送受信間応答信号伝送路３３を使用して伝達し、送信側制御部３６1 〜３６nにて送信中止や、故障が起きた部分の伝送路を使用停止にするなどの処理を行う。
【０１４２】
それにより、本実施の形態によれば、半導体検査装置において、大量のデータを効率よく伝送することができる。また、送受信間の制御用線路を１系統に簡略することができるので、装置コストを下げることができる。
【０１４３】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【０１４４】
さらに、前記実施の形態において、各構成における応答信号送信制御回路の出力として送信側に対する応答信号伝送路を挙げたが、それ以外の伝送方法として、無線などの非有線の伝送方法を用いる手段を設ける構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１４５】
本発明のデータ伝送技術は、半導体検査装置などの大量の画像データを低コストで効率的に伝送する技術に適している。
【図面の簡単な説明】
【０１４６】
【図１】本発明の一実施の形態による半導体検査装置におけるブロック図である。
【図２】図１の半導体検査装置における動作の一例を示すフローチャートである。
【図３】図１の半導体検査装置に設けられた送信制御部、および受信制御部のブロック図である。
【図４】図３の送信制御部、および受信制御部における動作の一例を示すフローチャートである。
【図５】図１の半導体検査装置に設けられたデータ転送装置のブロック図である。
【図６】図５のデータ転送装置における動作の一例を示すフローチャートである。
【図７】図５のデータ転送装置におけるスループット調整指示による制御例を示すフローチャートである。
【図８】図５のデータ転送装置におけるデータ同期化制御の一例を示すフローチャートである。
【図９】図５のデータ転送装置における再送要求による制御動作の一例を示すフローチャートである。
【図１０】図５のデータ転送装置におけるマスタ／スレーブの組み合わせの一例を示すブロック図である。
【図１１】図５のデータ転送装置におけるマスタ／スレーブの組み合わせの他の例を示すブロック図である。
【図１２】図１の半導体検査装置のデータ転送に用いられるフレームデータの構成例を示す説明図である。
【図１３】図５のデータ転送装置に送信データの符号化、および受信データのエラー訂正を行う復号化回路を備えた際の一例を示すブロック図である。
【図１４】図５のデータ転送装置に受信異常を検出する故障制御表示部を設けた一例を示すブロック図である。
【符号の説明】
【０１４７】
１ …送信データ、２，２1 〜２n …送信制御部、３1 ，３2 …高速シリアル伝送路、４1 …受信データ出力部、５，５1 〜５n …受信制御部、６…送受信間応答信号伝送路、７，７1 ，７2 …送信データ制御部、８，８1 ，８2 …送信回路、９，９1 ，９2 …応答信号受信制御部、１０，１０1 ，１０2 …受信回路、１１，１１1 ，１１2 …受信データ制御部、１２，１２1 ，１２2 …応答信号送信制御部、受信側マスタスレーブ選択信号１３1 、１３2 ，１４…受信側間信号伝送路、１５…送信側制御信号伝送路、１６1 …スレーブ指示信号、１６2 …マスタ指示信号、１７…復号回路、１８…送信データ制御部、３１1 〜３１m …高速シリアル伝送路、３２…受信側制御部間制御線伝送路、３３…送受信間制御線伝送路、３４…送信側制御部間制御線伝送路、３５1 〜３５n …受信側制御部、３６1 〜３６n …送信側制御部３、３７…故障制御表示部３７、５１…フレーム開始識別データ、５２…フレーム番号、５３…画像データ、５４…フレームデータ終了識別データ、７１…鏡体、７２…Ａ／Ｄ変換器、７３…画像データ分配制御部、７４…画像処理装置、７５…画像データ分配制御部、７６1 〜７６n …高速シリアル伝送路、７７1 〜７７n …送受信間制御信号伝送路、７８1〜７８n …画像データ処理部、７９…欠陥画像表示装置、７００1 〜７００n …送信側伝送制御部、７１０1 〜７１０n …受信側伝送制御部、７２０1 〜７２０n …送信側制御部、７３０1 〜７３０n …受信側制御部、７８０…全体制御部。
【図１】
2005286952.tif 000003
【図２】
2005286952.tif 000004
【図３】
2005286952.tif 000005
【図４】
2005286952.tif 000006
【図５】
2005286952.tif 000007
【図６】
2005286952.tif 000008
【図７】
2005286952.tif 000009
【図８】
2005286952.tif 000010
【図９】
2005286952.tif 000011
【図１０】
2005286952.tif 000012
【図１１】
2005286952.tif 000013
【図１２】
2005286952.tif 000014
【図１３】
2005286952.tif 000015
【図１４】
2005286952.tif 000016