(57)【要約】【課題】  安価に製造することができるガスの流量検出装置を提供する。【解決手段】  筒状をなす装置本体１の上流側端部には、ガス管に取り付ける際に用いられる雄ねじ部１１ｅを形成する。装置本体１の内部には、筒体２を設ける。筒体２の内周面には、弁座孔２ｆを形成する。筒体２の内部には、可動部材３を筒体２の軸線方向へ移動可能に設ける。可動部材３は、コイルばね６によって下流側に付勢させ、ストッパ部材７に突き当てる。可動部材３の弁座孔２ｆより上流側の端部には、弁部３ａを設ける。弁部３ａの外周面と筒体２の内周面との間には、環状の隙間Ｒを形成する。隙間Ｒ内をガスが流れることにより、筒体２内の弁部３より上流側の部分と下流側の部分とに差圧が生じる。この差圧が所定の大きさより大きいときには、弁部３ａが弁座孔２ｆに着座する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部をガスが流れる貫通孔が形成され、一端部に取付部が設けられた装置本体と、上記貫通孔内にガスの流通方向へ移動可能に設けられた可動部材と、この可動部材の下流側への移動を所定の大きさの阻止力で阻止する移動阻止手段とを備え、上記貫通孔の内部には弁座が設けられ、上記可動部材の上記弁座より上流側の部分には、下流側へ移動して上記弁座に着座することにより上記貫通孔を閉じる弁部が設けられ、この弁部の外周面と上記貫通孔の内周面との間には、内部をガスが流れることにより、上記貫通孔内の上記弁部より上流側の部分と下流側の部分との間に差圧を発生させる環状の隙間が形成され、上記貫通孔内を流れるガスの流量が所定の流量以上であるときには、上記差圧により上記弁部が上記弁座に着座するまで上記可動部材が上記移動阻止手段の阻止力に抗して下流側へ移動させられることを特徴とするガスの流量検出装置。
【請求項２】
上記貫通孔に摺動自在に設けられ、内部をガスが流れる筒体と、上記筒体の下流側への移動を所定の大きさの阻止力で阻止する第２移動阻止手段とをさらに備え、上記弁座が上記筒体の内周面に設けられ、上記可動部材が上記筒体の内部に設けられ、上記環状の隙間が上記弁部の外周面と上記筒体の内周面との間に形成され、上記弁部が上記弁座に着座した状態において上記筒体及び上記弁部に作用するガスの圧力が所定の大きさ以上であるときには、上記筒体が上記ガスの圧力により上記第２移動阻止手段の阻止力に抗して下流側へ移動させられることを特徴とする請求項１に記載のガスの流量検出装置。
【請求項３】
上記筒体の上流側の端部と上記装置本体の上記筒体より上流側の部分との間に、上記貫通孔の軸線方向へ伸縮可能で、かつ上記筒体の外周面と上記貫通孔の内周面との間にガスの流入するのを阻止する筒状のシール部材が設けられていることを特徴とする請求項２に記載のガスの流量検出装置。
【請求項４】
上記第２移動阻止手段として上記筒体を下流側から上流側へ向かって付勢する付勢手段が用いられ、上記筒体が上記ガスの圧力により上記第２移動阻止手段の阻止力に抗して下流側へ移動させられると、上記筒体の下流側の端部が上記装置本体の下流側の端部から外部に突出することを特徴とする請求項２又は３に記載のガスの流量検出装置。
【請求項５】
上記可動部材が上記弁部の下流側の端面から下流側へ延びる軸部を有し、上記筒体の内部の上記弁座より下流側の部分には、上記軸部がその軸線方向へ移動可能に挿入されるガイド孔を有するガイド部が設けられ、上記弁部が上記弁座に着座したとき、上記軸部の下流側の端部が上記ガイド部の下流側の端面から外部に突出することを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載のガスの流量検出装置。
【請求項６】
上記移動阻止手段として第１コイルばねが用いられ、この第１コイルばねが、その内部に上記軸部が挿脱可能に挿通された状態で、上記弁部の下流側の端面と上記ガイド部の上流側の端面との間に設けられていることを特徴とする請求項５に記載のガスの流量検出装置。
【請求項７】
上記ガイド部が上記筒体に着脱可能に、かつその軸線方向へ位置調節可能に設けられ、上記移動阻止手段として第１コイルばねが用いられ、この第１コイルばねが、その内部に上記軸部が挿脱可能に挿通された状態で、上記弁部の下流側の端面と上記ガイド部の上流側の端面との間に配置されていることを特徴とする請求項５に記載のガスの流量検出装置。
【請求項８】
上記筒体が上記貫通孔に移動可能に設けられた主筒部と、この主筒部の内周に着脱可能に装着され、上記貫通孔を通して上記装置本体から外部に抜き取り可能な装着筒部とを有し、上記弁座及び上記ガイド部が上記装着筒部に設けられ、上記可動部材の上記弁部が上記装着筒部内に配置され、上記環状の隙間が上記装着筒部の内周面と上記弁部の外周面との間に形成されていることを特徴とする請求項６又は７に記載のガスの流量検出装置。
【請求項９】
上記環状の隙間が上流側で大きく、下流側で小さくなるよう、上記弁部の外周面と対向する上記筒体の内周面の内径が上流側で大径に形成され、下流側で小径に形成されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のガスの流量検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガス回路内を流れるガスの流量が一定量以上であるか否かを検出するためのガスの流量検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ガス回路内のガスの流量が一定流量以上であるか否かを検出する場合には、例えばガス回路を構成する配管に継手を接続し、この継手にゴム管を介して流量計を接続する。そして、流量計によってガス回路内を流れるガスの流量が一定以上であるか否かを検出するようにしている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の検出方法では、高価な流量計を必要とするという問題があった。また、流量計をガス回路に接続するに際しては、継手の接続と、継手に対するゴム管等のガス管の接続が必要であり、接続作業に手間を要するという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明は、上記の問題を解決するために、内部をガスが流れる貫通孔が形成され、一端部に取付部が設けられた装置本体と、上記貫通孔内にガスの流通方向へ移動可能に設けられた可動部材と、この可動部材の下流側への移動を所定の大きさの阻止力で阻止する移動阻止手段とを備え、上記貫通孔の内部には弁座が設けられ、上記可動部材の上記弁座より上流側の部分には、下流側へ移動して上記弁座に着座することにより上記貫通孔を閉じる弁部が設けられ、この弁部の外周面と上記貫通孔の内周面との間には、内部をガスが流れることにより、上記貫通孔内の上記弁部より上流側の部分と下流側の部分との間に差圧を発生させる環状の隙間が形成され、上記貫通孔内を流れるガスの流量が所定の流量以上であるときには、上記差圧により上記弁部が上記弁座に着座するまで上記可動部材が上記移動阻止手段の阻止力に抗して下流側へ移動させられることを特徴としている。
この場合、上記貫通孔に摺動自在に設けられ、内部をガスが流れる筒体と、上記筒体の下流側への移動を所定の大きさの阻止力で阻止する第２移動阻止手段とをさらに備え、上記弁座が上記筒体の内周面に設けられ、上記可動部材が上記筒体の内部に設けられ、上記環状の隙間が上記弁部の外周面と上記筒体の内周面との間に形成され、上記弁部が上記弁座に着座した状態において上記筒体及び上記弁部に作用するガスの圧力が所定の大きさ以上であるときには、上記筒体が上記ガスの圧力により上記第２移動阻止手段の阻止力に抗して下流側へ移動させられることが望ましい。
上記筒体の上流側の端部と上記装置本体の上記筒体より上流側の部分との間に、上記貫通孔の軸線方向へ伸縮可能で、かつ上記筒体の外周面と上記貫通孔の内周面との間にガスの流入するのを阻止する筒状のシール部材が設けられていることが望ましい。
上記第２移動阻止手段として上記筒体を下流側から上流側へ向かって付勢する付勢手段が用いられ、上記筒体が上記ガスの圧力により上記第２移動阻止手段の阻止力に抗して下流側へ移動させられると、上記筒体の下流側の端部が上記装置本体の下流側の端部から外部に突出することが望ましい。
上記可動部材が上記弁部の下流側の端面から下流側へ延びる軸部を有し、上記筒体の内部の上記弁座より下流側の部分には、上記軸部がその軸線方向へ移動可能に挿入されるガイド孔を有するガイド部が設けられ、上記弁部が上記弁座に着座したとき、上記軸部の下流側の端部が上記ガイド部の下流側の端面から外部に突出することが望ましい。
上記移動阻止手段として第１コイルばねが用いられ、この第１コイルばねが、その内部に上記軸部が挿脱可能に挿通された状態で、上記弁部の下流側の端面と上記ガイド部の上流側の端面との間に設けられていることが望ましい。
上記ガイド部が上記筒体に着脱可能に、かつその軸線方向へ位置調節可能に設けられ、上記移動阻止手段として第１コイルばねが用いられ、この第１コイルばねが、その内部に上記軸部が挿脱可能に挿通された状態で、上記弁部の下流側の端面と上記ガイド部の上流側の端面との間に配置されていることが望ましい。
上記筒体が上記貫通孔に移動可能に設けられた主筒部と、この主筒部の内周に着脱可能に装着され、上記貫通孔を通して上記装置本体から外部に抜き取り可能な装着筒部とを有し、上記弁座及び上記ガイド部が上記装着筒部に設けられ、上記可動部材の上記弁部が上記装着筒部内に配置され、上記環状の隙間が上記装着筒部の内周面と上記弁部の外周面との間に形成されていることが望ましい。
上記環状の隙間が上流側で大きく、下流側で小さくなるよう、上記弁部の外周面と対向する上記筒体の内周面の内径が上流側で大径に形成され、下流側で小径に形成されていることが望ましい。
【発明の効果】
【０００５】
上記特徴構成を有するこの発明によれば、可動部材の弁部が弁座に着座するか否かによってガスの流量が一定量以上であるか否かを検出することができる。ガスの流量を検出する際には、取付部をガス回路に取り付けるだけでよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、この発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。
図１〜図７は、この発明の第１実施の形態を示す。この実施の形態のガスの流量検出装置Ａは、図１〜図５に示すように、装置本体１、筒体２及び可動部材３を備えている。
【０００７】
装置本体１は、主部１１と、この主部１１の下流側端部（図３において下端部）に螺合固定された保持筒部１２とを有している。主部１１は、その中央部に上流側の端面から下流側の端面まで貫通する貫通孔１１ａが形成されることにより、筒状をなしている。貫通孔１１ａは、上流側の小径孔部１１ｂと、下流側の大径孔部１１ｃとを有しており、小径孔部１１ｂと大径孔部１１ｃとの間には、下流側を向く当接面１１ｄが形成されている。主部１１の外周面の上流側端部には、雄ねじ部（取付部）１１ｅが形成されていいる。この雄ねじ部１１ｅには、例えば図７に示すように、ガス管Ｇの開口部に抜け止め状態で回転可能に設けられたナットＮが螺合される。そして、ナットＮを締め付けることにより、主部１１の上流側の端面がガス管Ｇの端面にパッキンＰを介して押圧固定される。これによって、装置本体１がガス管Ｇに取り付けられ、ひいては流量検出装置Ａがガス管Ｇに取り付けられる。装置本体１がガス管Ｇに取り付けられた状態においては、貫通孔１１ａの上流側端部にガス管Ｇからガスが供給される。主部１１の外周面の中間部には、スパナ等の回転操作具を係合させるための工具掛け部１１ｆが形成されている。工具掛け部１１ｆは、断面六角形状に形成されているが、断面八角形その他の形状であってもよい。
【０００８】
保持筒部１２は、その上流側端部が主部１１の外周面の下流側端部に螺合固定されており、保持筒部１２の下流側の端部は、主部１１の下流側の端面から下流側へ向かって突出している。主部１１から下流側に突出した保持筒部１２の下流側端部の内周面には、径方向内側へ向かって突出する環状突出部１２ａが形成されている。この環状突出部１２ａの内径は、大径孔部１１ｃの内径より小径に設定されており、この実施の形態では小径孔部１１ｂの内径とほぼ同一に設定されている。
【０００９】
上記筒体２には、その上流側端部に短い大径部２ａが形成され、残りの部分に小径部２ｂが形成され、大径部２ａと小径部２ｂとの間に下流側を向く段差面２ｃが形成されている。大径部２ａは、大径孔部１１ｃの上流側の端部に摺動自在に嵌合されている。主部１１の貫通孔１１ａの上流側の端縁と筒体２の上端面との間には、貫通孔１１ａの軸線方向に対してほとんど抵抗なく伸縮可能である蛇腹状のベローズ（シール部材）４が設けられている。したがって、ガス管Ｇから貫通孔１１ａに供給されるガスは、実際にはベローズ４内に供給される。ベローズ４内に供給されたガスは、ベローズ４の一端部が貫通孔１１ａの上端縁に気密に固定され、他端部が筒部２の上端面に気密に固定されているので、筒体２の外周面と貫通孔１１ａの内周面との間に入り込むことがなく、それらの間を通ってガスが外部に漏れることがない。ベローズ４内に供給された全てのガスは、筒体２内に入り込む。
【００１０】
筒体２の小径部２ｂの下流側の端部は、主部１１から下流側に突出しており、保持筒部１２の環状突出部１２ａに摺動自在に嵌合されている。この結果、装置本体１と筒体２との間には、主部１１の大径孔部１１ｃの内周面、保持筒部１２の内周面及び環状突出部１２ａ、並びに筒体２の小径部２ｂ及び当接面２ｃによって環状の空間Ｓが形成されている。この空間Ｓには、コイルばね（第２阻止手段；付勢手段）５が収容されている。コイルばね５は、圧縮状態で収容されており、その一端部が環状突出部１２ａに突き当たり、他端部が段差面２ｃに突き当たっている。この結果、筒体２がコイルばね５によって上流側へ付勢され、所定の大きさの付勢力（阻止力）で当接面１１ｄに突き当てられている。したがって、筒体２は、コイルばね５の付勢力より大きい力が下流側へ向かって作用しない限り、当接面１１ｄに突き当たった状態に維持されている。筒体２の上流側の端面が当接面１１ｄに突き当たった状態においては、筒体２の下流側の端面が保持筒部１２の下流側の端面と同一平面上に位置させられている。したがって、筒体２がコイルばね５の付勢力に抗して下流側へ移動すると、筒体２の下流側の端部が保持筒部１２の下流側の端面から外部に突出する。
【００１１】
筒体２の内周面の上端部には、上流側の端縁から下流側に向かって、ストレート孔部２ｄ、下流側へ向かうにしたがって小径となるテーパ孔部２ｅ、及びテーパ孔部２ｅより小さいテーパ角を有する弁座孔（弁座）２ｆが順次形成されている。テーパ孔部２ｅの下流側の端縁に弁座孔２ｆが連設されており、テーパ孔部２ｅの下流側端縁の内径と、弁座孔２ｆの上端縁の内径とは、同一に設定されている。筒体２の内部の中央部より若干下流側の部分には、支持壁部（ガイド部）２ｇが形成されている。この支持壁部２ｇには、貫通孔２ｈが形成されている。したがって、支持壁部２ｇが筒体２内のガスの流れを阻害することはない。支持壁部２ｇの下流側の端面の中央部には、突出部（ガイド部）２ｉが形成されている。この突出部２ｉの下流側の端面は、筒体２が当接面１１ｄに突き当たった状態においては保持筒部１２の下流側の端面と同一平面上に位置させられている。支持壁部２ｇ及び突出部２ｉの中央部には、支持壁部２ｇの上流側の端面から突出部２ｉの下流側の端面まで貫通するガイド孔２ｊが形成されている。
【００１２】
上記可動部材３は、円板状をなす弁部３ａと、この弁部３ａの下流側の端面中央部から下流側へ向かって延びる軸部３ｂとを有している。弁部３ａは、筒体２の内部の弁座孔２ｆより上流側の筒体２の内部にその軸線方向へ移動可能に収容されている。軸部３ｂは、ガイド孔２ｊに摺動可能に挿入されている。したがって、可動部材３は、筒体２の軸線方向（ガスの流通方向）へ移動可能になっている。弁部３ａの下流側の端面と、支持壁部２ｇの上流側の端面との間には、コイルばね（移動阻止手段；第１コイルばね）６が設けられている。このコイルばね６の内部には、軸部３ｂが挿脱可能に挿通されている。コイルばね６は、圧縮状態で設けられており、その一端部が支持壁部２ｇに突き当たり、他端部が弁部３ａに突き当たっている。したがって、可動部材３は、コイルばね６によって上流側へ付勢されており、その付勢力によって、弁部３ａがテーパ孔部２ｅの上流側端部に位置固定して装着されたストッパ部材７に突き当てられている。よって、可動部材３は、それにコイルばね６の付勢力（阻止力）より大きな力が下流側へ向かって作用しない限り、弁部３ａがストッパ部材７に突き当たった状態に維持される。以下、このときの可動部材３及び弁部３ａの位置を初期位置という。可動部材３が初期位置に位置した状態においては、軸部３ｂの下流側の端面が突出部２ｉの下流側の端面に対して若干上流側に位置している。軸部３ｂの下流側の端面は、可動部材３が初期位置に位置しているとき、突出部２ｉの下流側の端面と同一平面上に位置させてもよい。また、可動部材３が初期位置に位置しているとき、弁部３ａの外周面はテーパ孔部２ｅの上流側の内周面と対向している。
【００１３】
弁部３ａの外周面は、弁座孔２ｆを構成するテーパ面と同一のテーパ角を有するテーパ面によって構成されており、その外周面の寸法は、弁部３ａが弁座孔２ｆに対してその下流側端部において着座するよう、弁座孔２ｆの下流側端部の内周面と同一寸法に形成されている。したがって、弁部３ａの外周面の寸法は、テーパ孔部２ｅの内周面の寸法より小さくなっている。よって、可動部材３が初期位置に位置しているときには、弁部３ａの外周面とテーパ孔部２ｅの内周面との間に環状の隙間Ｒが形成される。筒体２の内部の上流側端部に流入したガスは、隙間Ｒを通って下流側へ流れる。ガスが隙間Ｒ内を流れると、隙間Ｒの流通抵抗により、筒体２内の弁部３ａより下流側の部分のガスの圧力が筒体２内の弁部３ａより上流側の部分のガスの圧力より低くなる。この差圧によって弁部３ａが下流側へ押圧される。
【００１４】
ここで、可動部材３が初期位置に位置しているときに差圧が弁部３ａを下流側へ押す押圧力をＦ１とし、コイルばね６の付勢力をＦ２とすると、装置本体１の内部を流れるガスの流量が所定の流量以上であるときには、
Ｆ１＞Ｆ２
が成立するように、可動部材３が初期位置に位置しているときの隙間Ｒの大きさ、つまり隙間Ｒの流通面積が設定されている。したがって、装置本体１の内部（ガス通路内）を流れるガスの流量が所定の流量以下であるときには、可動部材３はコイルばね６によって初期位置に維持されるが、所定の流量以上であるときには、初期位置から下方へ移動させられる。弁部３ａが初期位置から着座位置まで移動するときには、弁部３ａの外周面がテーパ孔部２ｅ及び弁座孔２ｆの内周面と順次対向することになるが、テーパ孔部２ｅ及び弁座孔２ｆの内径は、下流側へ向かって小径になっている。したがって、弁部３ａが初期位置から下流側へ移動し始めると、それに伴って隙間Ｒの大きさが小さくなり、差圧が漸次大きくなる。差圧の増大量は、弁部３ａが下流側へ移動することによって増大するコイルばね６の付勢力の増大量より大きい。よって、初期位置から下流側へ移動し始めた可動部材３は、弁部３ａが弁座孔２ｆに着座するまで瞬間的に下流側へ移動する。
【００１５】
可動部材３の軸部３ｂの先端部（下流側端部）は、弁部３ａが弁座孔２ｆに着座すると、突出部２ｉの下流側の端面から外部に突出する。軸部３ｂの突出部２ｉからの突出量を測定することにより、弁部３ａが弁座孔２ｆに着座したか否かを確認し、ひいてはガスの流量が所定の流量以上であることを確認することができる。この場合、弁部３ａが弁座孔２ｆに着座したことを目視だけでも確認することができるよう、例えば軸部３ｂの中間部外周面を着色し、弁座３ａが弁座孔２ｆに着座したときに、その着色部が突出部２ｉから所定の長さ、例えば１ｍｍだけ突出するようにしておけば、軸部３ｂの突出長さを計測することなく目視でも弁部３ａが弁座孔２ｆに着座したことを確認することができる。着色に代えて他の目印を設けてもよい。
【００１６】
弁部３ａが弁座孔２ｆに着座すると、筒体２の内部（ガス通路）が閉じられる。この結果、筒体２及び弁部３ａには、弁部３ａより上流側に存在するガスの静圧が作用する。この静圧がコイルばね５によって設定される所定の圧力より大きいと、筒体２がコイルばね５の付勢力に抗して下流側へ移動する。なお、筒体２が移動しても弁部３ａは弁座孔２ｆに着座した状態を維持する。筒体２は、筒体２及び弁部３ａに作用する静圧による下流側への押圧力とコイルばね５の付勢力とが釣り合った位置で停止する。筒体２が下流側へ移動すると、筒体２の下流側端部が保持部材１２の下流側端面から外部に突出する。保持部材１２が筒体２の下流側端部から突出したことを目視することにより、ガスの静圧が所定の圧力以上であることを確認することができる。しかも、図１に示すように、筒体２の外周面の下流側端部には、複数の目盛線Ｌが形成されており、保持部材１２の下流側の端面と目盛線Ｌとによってガスの静圧を数値的に測定することができる。
【００１７】
上記のように構成されたガスの流量検出装置Ａは、例えば図６及び図７に示すように、ガス管Ｇの端部に設けられたナットＮを雄ねじ部１１ｅに螺合させて締め付けることにより、ガス管Ｇに取り付けられる。そして、その状態でガス管Ｇ内を流れるガスの流量を検出することができる。したがって、ガス管等の接続作業を行う必要がなく、その分だけガスの流量検出に要する作業の手間を軽減することができる。
【００１８】
流量検出装置Ａの取付後、ガス管Ｇに設けられたガス栓Ｋを開くと、ガス管Ｇからベローズ４内にガスが流入し、さらに筒体２に流入する。筒体２内に流入したガスは、隙間Ｒを通って筒体２の下流側の開口部から外部に漏出する。隙間Ｒを流れるガスの流量が所定の流量以上であれは、弁部３ａが弁座孔２ｆに直ちに着座する。その結果、軸部３ｂの下流側の端部が突出部２ｉの下端部から下流側に突出する。これを目視することにより、ガス管Ｇ内を流れるガスの流量が所定の流量以上である事を確認することができる。しかも、弁部３ａは、ガス栓Ｋを開くのとほとんど同時に弁座孔２ｆに着座する。よって、ガスが漏れることはほとんどない。逆に、ガス栓Ｋを開いても軸部３ｂが突出部２ｉから突出しない場合には、ガス管Ｇ内を流れるガスの流量が所定の流量に達していないことが分かる。その場合には、ガス栓Ｋを直ちに閉じ、ガス栓Ｇより上流側の配管内に詰まり等の欠陥がないか否かを調べる。
【００１９】
弁部３ａが弁座孔２ｆに着座すると、上記のように、筒体２及び弁部３ａにそれらより上流側に存するガスの静圧が作用する。ガスの静圧が所定の圧力以上であると、筒体２が装置本体１の下流側の端面から突出する。これにより、ガスの静圧が所定の圧力以上であることが分かる。しかも、目盛線Ｌによって静圧の大きさも分かる。このように、この実施の形態の流量検出装置Ａによれば、ガスの流量のみならず、ガスの静圧を測定することができるので、ガスの流量及び静圧を検出する場合であっても流量検出装置Ａだけを持っていれば足り、流量計及び圧力計を持ち運ぶ必要がない。したがって、作業者の疲労を軽減することができる。
【００２０】
次に、この発明の他の実施の形態について説明する。ただし、以下に述べる実施の形態に関しては、上記実施の形態と異なる構成についてのみ説明することとし、同様な構成部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００２１】
図８は、この発明の第２実施の形態を示す。この実施の形態のガスの流量検出装置Ｂにおいては、筒体２のうちの支持壁部（ガイド部）２ｇ及び突出部（ガイド部）２ｉが筒体２の他の部分と別体に形成されている。ただし、支持壁部２ｇと突出部２ｉとは一体に形成されている。支持壁部２ｇは、小径部２ｂ内にその下流側の開口部から挿脱可能であり、支持壁部２ｇの外周面は小径部２ｂの内周面の中間部に螺合されている。したがって、ガスの流通方向（筒体２の軸線方向）における支持壁部２ｇの位置を適宜に調節することができ、それによってコイルばね６の可動部材３に対する付勢力を調節することができる。また、支持壁部２ｇを筒体２から下流側へ抜き出すことにより、コイルばね６を交換することも可能である。
【００２２】
図９は、このこの発明の第３実施の形態を示す。この実施の形態のガスの流量検出装置Ｃにおいては、筒体２が主筒部２Ａと装着筒部２Ｂとから構成されている。主筒部２Ａは、主部１１の大径孔部１１ｃに摺動自在に設けられ、コイルばね５によって当接面１１ｄに突き当てられている。主筒部２Ａの上端部と貫通孔１１ａの上端部との間にベローズ４が設けられている。装着筒部２Ｂは、主筒部２Ａの内周面にその上流側の開口部から挿入されており、主筒部２Ａの内周面の上流側端縁から中央より若干下流側の部分に至る範囲に着脱可能に嵌合固定されている。しかも、装着筒部２Ｂは、ベローズ４の内部を通って装置本体１から上流側へ抜き取り可能になっている。なお、主筒部２Ａの内周面と装着筒部２Ｂの外周面との間は、Ｏリング等のシール部材８によって気密にシールされている。
【００２３】
装着筒部２Ｂの内部には、ストレート孔部２ｄ、テーパ孔部２ｆ、弁座孔２ｅ、当接壁部２ｇ、貫通孔２ｈ、突出部２ｉ及びガイド孔２ｊが設けられている。したがって、装着筒部２Ｂには、可動部材３、コイルばね５及びストッパ部材７が設けられている。
【００２４】
上記構成の流量検出装置Ｃによれば、ガスの流量の検出に必要な部材が装着筒部２Ｂに設けられてユニット化されているので、ガスの流量が異なるガス回路に流量検出装置Ｃを用いる場合には、ユニット体を交換することによって対応することができる。
【００２５】
図１０〜図１２は、この発明の第４実施の形態を示す。この実施の形態のガスの流量検出装置Ｄにおいては、可動部材３が上流側から下流側へ移動するのを所定の大きさの阻止力で阻止するための移動阻止手段として可動部材３の自重が採用されている。同様に、筒体２が上流側から下流側へ移動するのを所定の大きさの阻止力で阻止するための第２移動阻止手段として筒体２及び可動部材３の重量が採用されている。したがって、この流量検出装置Ｄによれば、コイルばね５，６が不要になり、その分だけ製造費を低減することができる。ただし、可動部材３及び筒体２の重量を移動阻止手段及び第２移動阻止手段としてそれぞれ用いているので、この流量検出装置Ｄを使用する場合には、その上流側を下側に位置させるとともに、その下流側を上側に位置させるようにして使用する必要がある。なお、筒体２は、ガスの静圧によって下流側へ移動させられたとき、段差面２ｃが保持筒部１２の環状突出部１２ａに突き当たることによって停止する。
【００２６】
図１３及び図１４は、この発明の第５実施の形態を示す。この実施の形態のガス流量検出装置Ｅは、上記流量検出装置Ｄを変形したものであり、主部１１の外周面の上流側端部には、雄ねじ部１１ｅに代えて小径部１１ｇが形成されている。この小径部１１ｇの外周面には、にゴム等の弾性材からなるリング体９が嵌合固定されている。このリング体９の外周面は、上流側から下流側へ向かって小径になるテーパ面に形成されている。リング体９の上流側の端縁における外径は、図１４に示すように、この流量検出装置Ｅが取り付けられるガス管Ｇの内径より若干小径になっている。リング体９の下流側の端縁における外径は、ガス管Ｇの内径より大径になっている。したがって、小径部１１ｇ及びリング体９をガス管Ｇの内周に挿入すると、リング体９の少なくとも下流側端部がガス管Ｇの内周面に圧入状態で嵌合される。これにより、流量検出装置Ｅがガス管Ｇに取り付けられるようになっている。これから明かなように、この流量検出装置Ｅでは、小径部１１ｇ及びリング体９によって取付部が構成されている。小径部１１ｇ及びリング体によって取付部を構成する点は、上記第１〜第３実施の形態である流量検出装置Ａ〜Ｃにも適用可能である。
【００２７】
なお、この発明は、上記の実施の形態に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
例えば、上記の実施の形態においては、可動部材３に対する移動阻止手段としてコイルばね６又は自重を採用しているが、軸部３ｂの外周面とガイド孔２ｊの内周面との間に摩擦抵抗を生じさせ、その摩擦抵抗を移動阻止手段として採用してもよい。これは、筒体２に対しても同様であり、筒体２の外周面と主部１１の貫通孔１１ａの内周面との間に摩擦抵抗を生じさせ、その摩擦抵抗を第２移動阻止手段として採用してもよい。、
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】この発明の第１実施の形態を可動部材及び筒体が下流側へ移動した状態で示す正面図である。
【図２】同実施の形態の平面図である。
【図３】可動部材が初期位置に位置した状態で示す図２のＸ−Ｘ線に沿う断面図である。
【図４】可動部材の弁部が弁座に着座した状態で示す図３と同様の断面図である。
【図５】筒体が下流側へ移動した状態で示す図３と同様の断面図である。
【図６】同実施の形態のガス管への取付状況を示す正面図である。
【図７】図６のＸ−Ｘ線に沿う拡大断面図である。
【図８】この発明の第２実施の形態を示す図３と同様の断面図である。
【図９】この発明の第３実施の形態を示す図３と同様の断面図である。
【図１０】この発明の第４実施の形態を示す図３と同様の断面図である。
【図１１】可動部材の弁部が弁座に着座した状態で示す図１０と同様の断面図である。
【図１２】可動部材の筒体が下流側へ移動した状態で示す図１０と同様の断面図である。
【図１３】この発明の第５実施の形態を示す図３と同様の断面図である。
【図１４】同実施の形態のガス管への取付状況を示す図１３と同様の断面図である。
【符号の説明】
【００２９】
Ａ  ガスの流量検出装置
Ｂ  ガスの流量検出装置
Ｃ  ガスの流量検出装置
Ｄ  ガスの流量検出装置
Ｅ  ガスの流量検出装置
Ｒ  隙間
１  装置本体
２  筒体
２ｆ  弁座孔（弁座）
２ｇ  支持壁部（ガイド部）
２ｉ  突出部（ガイド部）
２ｊ  ガイド孔
３  可動部材
３Ａ  主筒部
３Ｂ  装着筒部
３ａ  弁部
３ｂ  軸部
４  ベローズ（シール部材）
５  コイルばね（第２移動阻止手段；付勢手段）
６  コイルばね（移動阻止手段；第１コイルばね）
９  リング体（取付部）
１１ａ  貫通孔
１１ｅ  雄ねじ部（取付部）
１１ｇ  小径部（取付部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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