(57)【要約】【課題】振動片や気密端子に付着した異物を残すことのない振動子の洗浄装置及び洗浄方法を提供する。【解決手段】二本のリード線を絶縁部材を介して金属環に固定した気密端子の二本のインナーリードと振動片とを導電性部材により固定された振動子の洗浄装置であって、前記振動片のインナーリードと固定されていない端部側から気密端子側に噴射ノズル先端を向けて配置したドライアイス噴射ノズルを有し、前記噴射ノズルから振動片に向けてドライアイスを噴射して異物を除去する振動子の洗浄装置とする。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
二本のリード線を絶縁部材を介して金属環に固定した気密端子の二本のインナーリードと振動片とを導電性部材により固定された振動子の洗浄装置であって、前記振動片のインナーリードと固定されていない端部側から気密端子側に噴射ノズル先端を向けて配置したドライアイス噴射ノズルを有し、前記噴射ノズルから振動片に向けてドライアイスを噴射して異物を除去することを特徴とする振動子の洗浄装置。
【請求項２】
請求項１記載の洗浄装置に於いて、前記振動片の主面を片面毎にドライアイスが当たるようにドライアイス噴射ノズルを二本配置することを特徴とする振動子の洗浄装置。
【請求項３】
二本のリード線を絶縁部材を介して金属環に固定した気密端子の二本のインナーリードと振動片とを導電性部材により固定された振動子の洗浄方法であって、前記振動片のインナーリードと固定されていない端部側から気密端子側に噴射ノズル先端を向けてドライアイス噴射ノズルを配置し、前記噴射ノズルから振動片に向けてドライアイスを噴射して異物を除去することを特徴とする振動子の洗浄方法。
【請求項４】
請求項３記載の洗浄方法に於いて、振動片の主面を片面毎にドライアイスが当たるようにドライアイス噴射ノズルを二本配置し、二方向よりドライアイスを噴射して異物を除去することを特徴とする振動子の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は振動子の洗浄装置及び洗浄方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１は円筒型水晶振動子の斜視図である。円筒型水晶振動子１の容器は封止管２、金属環３、絶縁部材４、二本のリード５などで構成されていて、内部に水晶を矩形状に加工した矩形状水晶振動片が収納されている。
【０００３】
図２は気密端子の斜視図である。気密端子６は二本のリード５を絶縁部材４を介して金属環３に固定している。
【０００４】
図３は円筒型水晶振動子の内部構造の斜視図である。矩形状水晶振動片７は図中記載のＸ軸方向を矩形状水晶振動片短手方向、Ｙ軸方向を矩形状水晶振動片長手方向といい、Ｘ軸とＹ軸を含む矩形状水晶振動片平面を主面と呼ぶ。主面の両面にはそれぞれ電極８が形成されており、二本のインナーリード５Ａは、半田ペースト９により矩形状水晶振動片７の主面の長手方向の一端に片支持で導通がとられている。
【０００５】
図４は加熱前の半田ペーストと気密端子の断面図である。気密端子６のインナーリード５Ａ部に半田ペースト９が塗布されている。半田ペースト９には半田微粒子９Ａと有機溶剤９Ｂが含まれている。
【０００６】
図５は加熱後の半田ペーストと気密端子と矩形状水晶振動片の断面図である。インナーリード５Ａに半田ペースト９を塗布した後、矩形状水晶振動片７をインナーリード５Ａ間に挿入し、加熱する。加熱された半田ペースト９中の半田微粒子９Ａは液相線温度以上で溶体（溶けている状態）となる。その後固相線温度以下で再度固体となり、インナーリード５Ａと矩形状水晶振動片７上の電極８とが導通固定される。固化した半田ペースト９表面や矩形状水晶振動片７にはフラックスなどの有機溶剤９Ｂが異物として残るので、塩素系溶剤などを用いて洗浄し除去する。また、ブラッシング法などの洗浄手段も用いられている。
【０００７】
洗浄方法に関しては他にも多くの出願を見るところである。（特許文献１参照。）
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−５０８０７号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、半田微粒子と有機溶剤が含まれている半田ペーストを加熱すると温度上昇により半田ペースト中の有機溶剤が沸騰し突沸が発生する。突沸により半田微粒子が飛び散り矩形状水晶振動片や気密端子にも付着してしまう。半田微粒子やフラックスなどの有機溶剤等の異物を除去するために、塩素系溶剤を用いた洗浄やブラッシング洗浄を行っているが、矩形状水晶振動片や気密端子に付着した前記半田微粒子は除去しきれずに残ってしまい、振動子の諸特性に悪影響を及ぼす可能性がある。本発明はこの課題を解決することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
二本のリード線を絶縁部材を介して金属環に固定した気密端子の二本のインナーリードと振動片とを導電性部材により固定された振動子の洗浄装置であって、前記振動片のインナーリードと固定されていない端部側から気密端子側に噴射ノズル先端を向けて配置したドライアイス噴射ノズルを有し、前記噴射ノズルから振動片に向けてドライアイスを噴射して異物を除去する振動子の洗浄装置とする。
【００１１】
前記振動子の洗浄装置に於いて、前記振動片の主面を片面毎にドライアイスが当たるようにドライアイス噴射ノズルを二本配置する振動子の洗浄装置とする。
【００１２】
二本のリード線を絶縁部材を介して金属環に固定した気密端子の二本のインナーリードと振動片とを導電性部材により固定された振動子の洗浄方法であって、前記振動片のインナーリードと固定されていない端部側から気密端子側に噴射ノズル先端を向けてドライアイス噴射ノズルを配置し、前記噴射ノズルから振動片に向けてドライアイスを噴射して異物を除去する振動子の洗浄方法とする。
【００１３】
前記振動子の洗浄方法に於いて、振動片の主面を片面毎にドライアイスが当たるようにドライアイス噴射ノズルを二本配置し、二方向よりドライアイスを噴射して異物を除去する振動子の洗浄方法とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
【００１５】
図６は本発明の一実施形態で振動子の洗浄装置の要部構成を示す図である。図７は振動子とドライアイス噴射ノズルとの相対的な位置関係を示す図である。振動子の洗浄装置１６はドライアイス噴射ノズル１０、該ノズル１０を移動させる為の単軸ロボット１１、除去した半田微粒子を吸引するための排気ノズル１２、水晶振動子１’を固定するためのホルダー１３、ホルダー１３を固定するための固定ユニット１４等から構成されている。
【００１６】
ホルダー１３には図示してないが、気密端子６のリード（不図示）が入る穴があいており、ホルダー１個で水晶振動子１’を５本セットすることができる構成のものである。
【００１７】
固定ユニット１４へは矩形状水晶振動片７のインナーリード（不図示）と固定されてない端部が下側になるようにホルダー１３がセットされている。
【００１８】
ドライアイス噴射ノズル１０は矩形状水晶振動片７のインナーリード（不図示）と固定されていない端部側に配置されており、図７においては、矩形状水晶振動片７の主面に対し概ね１５度の角度に傾けて二本配置した構成である。これによって矩形状水晶振動片７の主面へ片面毎にドライアイス１５を吹き付けることができ、かつ気密端子６へもドライアイス１５を吹き付けることができる。ドライアイス噴射ノズル１０からドライアイス１５を噴射すると、矩形状水晶振動片７や気密端子６に付着している半田微粒子にドライアイス１５が衝突し、半田微粒子を弾き飛ばすことができるので、矩形状水晶振動片７や気密端子６から半田微粒子等の異物を除去することができる。除去された半田微粒子は排気ノズル１２にて吸引され、再付着を防止している。
【００１９】
ドライアイス噴射ノズル１０は単軸ロボット１１により移動しホルダーへセットされた５個の水晶振動子１’を順に洗浄していく。
【００２０】
本実施形態ではドライアイス噴射ノズル１０を矩形状水晶振動片７の主面に対し１５度傾けて両面にそれぞれ１本ずつ配置したが、本発明の目的が達成できれば、ドライアイス噴射ノズル１０の傾きや配置本数は適宜決定すればよい。
【００２１】
以上、本発明を矩形状水晶振動子で説明したが、セラミックやその他（単結晶圧電素子等）の脆性材料を使用した振動子の洗浄にも適用できる。
【００２２】
【発明の効果】
二本のリード線を絶縁部材を介して金属環に固定した気密端子の二本のインナーリードと振動片とを導電性部材により固定された振動片のインナーリードと固定されていない端部側から気密端子側に噴射ノズルを向けて配置し、前記ノズルから振動片にドライアイスを噴射することにより、振動片や気密端子に付着している異物を除去することができる。
【００２３】
振動片の主面を片面毎にドライアイスが当たるようにドライアイス噴射ノズルを二本配置し、二方向よりドライアイスを噴射して異物を除去することで異物除去が確実にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】円筒型水晶振動子の斜視図
【図２】気密端子の斜視図
【図３】円筒型水晶振動子の内部構造の斜視図
【図４】加熱前の半田ペーストと気密端子の断面図
【図５】加熱後の半田ペーストと気密端子と矩形状水晶振動子片の断面図
【図６】本発明の一実施形態で振動子の洗浄装置の要部構成を示す図
【図７】振動子とドライアイス噴射ノズルとの相対的な位置関係を示す図
【符号の説明】
１    円筒型水晶振動子
１’  水晶振動子
２    封止管
３    金属環
４    絶縁部材
５    リード線
５Ａ  インナーリード線
６    気密端子
７    矩形状水晶振動片
８    電極
９    半田ペースト
９Ａ  半田微粒子
９Ｂ  有機溶剤
１０    噴射ノズル
１１    単軸ロボット
１２    排気ノズル
１３    ホルダー
１４    固定ユニット
１５    ドライアイス
１６    振動子の洗浄装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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