(57)【要約】      （修正有）【課題】記録ヘッドの位置毎に露光ステージの移動によって発生するピッチング振動による位置ずれを補正し、記録媒体に描画される画像の歪みを低減させることができる露光装置を得る。【解決手段】ＣＣＤカメラ３４は撮像タイミング毎にマーキング２４を撮像することにより位置ずれを検出して記憶させる。また、ＣＣＤカメラ３４はレール３５に沿って移動可能であるため、マーキング２４を複数設けても一台で撮像可能であり、マーキング２４の位置に応じて位置ずれを求めることができる。露光処理では、記憶された各位置での位置ずれ量に基づき、ヘッドアッセンブリ２８Ａ毎のリセットタイミングを補正されるため、記録媒体２２に露光される画像の歪みを低減させることができる。【選択図】図１
2005283896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録ステージ上に載置された記録媒体へ記録ヘッドから光ビームを結像し、前記記録ステージと前記記録ヘッドとを相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光装置であって、
前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、
前記位置ずれ検出手段により検出された位置ずれ量データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッドから前記光ビームを照射するタイミングを補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
記録ステージ上に載置された記録媒体へ直線状に配列された複数の記録ヘッドから光ビームを結像し、前記記録ステージを前記記録ヘッドが配列された直線方向と交差する方向へ相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光装置であって、
前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、
前記位置ずれ検出手段により検出された位置ずれ量データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッド毎に前記光ビームを照射するタイミングをそれぞれ補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項３】
前記記録ステージ上に、前記記録ステージと前記記録ヘッドとが相対的に移動する方向に沿って一定の間隔のマーキングが１列あるいは複数列なされ、
前記位置ずれ検出手段が、前記記録ステージ上の前記マーキングの列を所定のタイミング毎に撮像する少なくとも一個の撮像手段と、
前記撮像手段を前記相対移動方向と交差する方向へ移動させて前記マーキングの各列をそれぞれ撮像可能とさせる第１の移動手段と、
前記撮像手段により撮像された画像内での前記マーキングの位置に基づき前記記録ステージのピッチング振動による前記位置ずれを検出する第１の検出手段と、
で構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
前記位置ずれ検出手段が、前記記録ステージに対して前記相対的に移動する方向に配置され、前記記録ステージとの距離を所定のタイミング毎に測長するレーザ測長器と、
前記レーザ測長器を前記相対移動方向と交差する方向へ前記距離が測長可能な範囲内で移動させる第２の移動手段と、
前記レーザ測長器により測長された前記記録ステージとの前記距離が前記所定のタイミング毎に変化する間隔に基づき前記記録ステージのピッチング振動による前記位置ずれを検出する第２の検出手段と、
で構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の露光装置。
【請求項５】
前記位置ずれ検出手段が、前記記録媒体へ所定の位置データ取得用パターンを露光する位置パターン露光手段と、
前記位置パターン露光手段により露光された前記位置データ取得用パターンより求まる前記位置ずれ量データを前記記憶手段へ登録する登録手段と、
で構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の露光装置。
【請求項６】
マーキングされたチャートを前記記録ステージ上へ載置することにより前記記録ステージ上に前記マーキングがされることを特徴とする請求項３記載の露光装置。
【請求項７】
前記位置ずれ検出手段が、全ての記録ヘッドそれぞれに対応する位置での前記位置ずれを検出することを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか１項記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光処理において記録ステージの移動によって発生するピッチング振動による画像の歪みを補正する露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、記録媒体、例えば、プリント配線板（以下、「ＰＷＢ」という。）やフラット・パネル・ディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」という。）の基板に所定のパターンを記録する装置として、マスクを用いた面露光装置が広く用いられてきた。
【０００３】
しかしながら、ＰＷＢやＦＰＤに記録されるパターン（配線パターン）は、部品実装の高密度化に伴って高精細化が進み、マスクの伸縮に伴う記録位置ずれの問題が顕在化している。例えば、多層プリント配線板の場合、基板に設けられたスルーホール等の穴と、各層のパターンとの位置合わせが高精度に行えないため、パターンを高精細化することができないことが問題となっている。
【０００４】
このような問題を解消するための技術として、マスクを使用せずに記録ヘッドから光ビームを照射して記録媒体に直接パターンを記録するレーザ走査型の露光装置が知られている。このレーザ走査型の露光装置では、記録媒体を載置した記録ステージを移動させながら、所定のタイミングで直線状に配列した複数の記録ヘッドから光ビームを照射して露光を行うことで、記録媒体上にパターンを描画することができる。
【０００５】
しかし、上記レーザ走査型の露光装置では、記録媒体を載置した記録ステージをパターン描画のために移動させると、移動によって記録ステージにピッチング振動が発生して記録ステージに位置ずれが生じ、記録媒体に描画されるパターンに歪みが生じるという問題がある。このピッチング振動とは、前記記録ステージの垂直方向への円弧状の振り子振動を言い、記録ステージ面を傾斜させてしまうため、記録ステージ上方から照射される光ビームの光路長が変化し、この変化分が記録ステージ面の走査ピッチのずれとなる。このピッチング振動は、露光装置の製作精度に依存して発生し、記録ステージの移動に伴い再現性が高いため記録ステージの位置ずれに関するデータ事前に作成することが可能である。
【０００６】
そこで、特許文献１には、移動による記録ステージの挙動を事前に記録ステージの両側に設けた２台のカメラで記録して位置ずれ量データを作成し、記録媒体へのパターン描画時には、事前に作成した位置ずれ量データに基づいて記録ステージを移動させる挙動を修正して光ビームを照射し、記録媒体上にパターン描画するレーザ走査型の露光装置が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−３２１０２５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記記録ステージが移動すると、記録ステージにはヨーイング動作（記録ステージの移動方向への動作）に起因して、各位置に微妙に異なるピッチング振動が発生する。このため、記録ヘッドでは記録媒体へパターン描画を行う際に光ビームを照射する適切なタイミングがそれぞれの位置毎にわずかに異なっている。よって、より精密にパターン描画するには、より多くの位置で挙動を記録し、各記録ヘッドの位置での位置ずれを求めて補正を行う必要があるが、挙動を記録するカメラの台数を多くすると製造コストが増加する。
【０００８】
本発明は上記事実を考慮し、記録ヘッドの位置毎に記録ステージの移動によって発生するピッチング振動による位置ずれを補正し、記録媒体に描画される画像の歪みを低減させることができる露光装置を得ることが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、記録ステージ上に載置された記録媒体へ記録ヘッドから光ビームを結像し、前記記録ステージと前記記録ヘッドとを相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光装置であって、前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、前記位置ずれ検出手段により検出された位置ずれ量データを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッドから前記光ビームを照射するタイミングを補正する補正手段と、前記補正手段により補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、記録媒体が記録ステージ上に載置され、記録ステージが記録ヘッドと相対的に移動する際に、前記記録ヘッドから記録媒体上に光ビームが照射され、記録媒体に所定の画像が露光される。
【００１１】
このとき、移動に伴って記録ステージにはピッチング振動が発生するため、位置ずれ検出手段は、振動によって生じる記録ステージの位置ずれを検出して記憶手段に位置ずれ量データを記憶させる。タイミング補正手段では、記憶手段に記憶された位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッドから前記光ビームを照射するタイミングを補正して、所定の画像が露光される位置を変化させる。露光制御手段では、補正されたタイミングに基づいて記録媒体への露光を制御し、ピッチング振動によって生じた記録ステージの位置ずれを修正し、描画される画像の歪みを補正する。
【００１２】
このように、描画される画像の歪みを補正することができるため、記録媒体に描画する画像を精細にすることができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、記録ステージ上に載置された記録媒体へ直線状に配列された複数の記録ヘッドから光ビームを結像し、前記記録ステージを前記記録ヘッドが配列された直線方向と交差する方向へ相対的に移動させて、前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光装置であって、前記記録ステージの移動に伴って発生するピッチング振動による位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、前記位置ずれ検出手段により検出された位置ずれ量データを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッド毎に前記光ビームを照射するタイミングをそれぞれ補正する補正手段と、前記補正手段により補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、記録ヘッドは直線状に複数配列されており、記録ステージは記録ヘッドが配列された直線方向と交差する方向へ相対的に移動して複数の記録ヘッドによる露光が行われる。この移動により記録ステージにはピッチング振動が発生して記録ステージの移動方向への位置ずれが発生する。そこで、位置ずれ検出手段はピッチング振動による位置ずれを検出して位置ずれ量データを記憶手段へ記憶させる。補正手段は記憶手段に記憶されている位置ずれ量データに基づき記録ヘッド毎に光ビームを照射するタイミングを補正し、記録ヘッドから画像が露光される位置を変化させる。このため、制御手段により露光された画像は記録ヘッドの位置毎にピッチング振動による位置ずれが補正され、記録媒体に描画される画像の歪みを低減させることができる。
【００１５】
このように、描画される画像の歪みを補正することができるため、記録媒体に描画する画像を精細にすることができる。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２記載の発明において、前記記録ステージ上に、前記記録ステージと前記記録ヘッドとが相対的に移動する方向に沿って一定の間隔のマーキングが１列あるいは複数列なされ、前記位置ずれ検出手段が、前記記録ステージ上の前記マーキングの列を所定のタイミング毎に撮像する少なくとも一個の撮像手段と、前記撮像手段を前記相対移動方向と交差する方向へ移動させて前記マーキングの各列をそれぞれ撮像可能とさせる第１の移動手段と、前記撮像手段により撮像された画像内での前記マーキングの位置に基づき前記記録ステージのピッチング振動による前記位置ずれを検出する第１の検出手段と、で構成されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項３に記載の発明によれば、記録ステージには、記録ヘッドと記録ステージとが相対的に移動する方向に沿って一定の間隔に毎にマーキングが１列あるいは複数列なされている。撮像手段は所定のタイミング毎に移動している記録ステージ上のマーキングを撮像するため、第１の検出手段は撮像されたマーキングの画像内での位置から記録ステージの位置ずれを検出できる。また、第１の移動手段は撮像手段を前記相対的に移動する方向（マーキングの列の方向）と交差する方向へ移動させることができるため、１個の撮像手段によってマーキングの各列をそれぞれ撮像させることができ、露光装置のコストアップを少なく抑えることができる。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は請求項２記載の発明において、前記位置ずれ検出手段が、前記記録ステージに対して前記相対的に移動する方向に配置され、前記記録ステージとの距離を所定のタイミング毎に測長するレーザ測長器と、前記レーザ測長器を前記相対移動方向と交差する方向へ前記距離が測長可能な範囲内で移動させる第２の移動手段と、前記レーザ測長器により測長された前記記録ステージとの前記距離が前記所定のタイミング毎に変化する間隔に基づき前記記録ステージのピッチング振動による前記位置ずれを検出する第２の検出手段と、で構成されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、レーザ測長器は、記録ヘッドと記録ステージとが相対的に移動する方向に配置されており、記録ステージが移動する距離を所定のタイミング毎に測定することができる。ここで、記録ステージにピッチング振動による位置ずれが無い場合、レーザ測長器により所定のタイミング毎に測長される記録ステージとの距離は一定の間隔で変化する。よって、第２の検出手段では、所定のタイミング毎にレーザ測長器によって測定された記録ステージとの距離が変化する間隔から記録ステージの位置ずれを検出できる。また、第２の移動手段はレーザ測長器を記録ステージに対して相対移動方向と交差する方向へ移動させることができるため、複数の位置で位置ずれを検出することができる。また、レーザ測長器を用いることで記録ステージにマーキングを行う必要も無くなる。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、請求項１又は請求項２記載の発明において、前記位置ずれ検出手段が、前記記録媒体へ所定の位置データ取得用パターンを露光する位置パターン露光手段と、前記位置パターン露光手段により露光された前記位置データ取得用パターンより求まる前記位置ずれ量データを前記記憶手段へ登録する登録手段と、で構成されていることを特徴とする。
【００２１】
請求項５に記載の発明によれば、位置パターン露光手段は、所定の位置データ取得用パターンを露光するため、露光されたパターンの間隔等を計測して求められる位置ずれから位置ずれ量データを求めることができる。登録手段は、求められた位置ずれ量データを記憶手段へ登録できるため、露光時には記憶手段に登録された位置ずれ量データに基づきピッチング振動による位置ずれが補正され、記録媒体に描画される画像の歪みを低減させることができる。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、請求項３記載の発明において、マーキングされたチャートを前記記録ステージ上へ載置することにより前記記録ステージ上に前記マーキングがされることを特徴とする。
【００２３】
請求項６に記載の発明によれば、マーキングされたチャートを載置することで記録ステージ上へマーキングをおこなうことができるため、マーキングの位置を適宜変更できる。また、マーキングが不要な場合は取り外すこともできる。
【００２４】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至請求項６の何れか１項記載の発明において、前記位置ずれ検出手段が、全ての記録ヘッドそれぞれに対応する位置での前記位置ずれを検出することを特徴とする。
【００２５】
請求項７に記載の発明によれば、位置ずれ検出手段は複数の位置での位置ずれを検出できるため、全ての記録ヘッドそれぞれと対応する位置での位置ずれ量データを検出することにより、補正手段による各記録ヘッドの補正を最適にさせることができる。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明した如く本発明では、記録ステージのピッチング振動によって生じる記録ステージの位置ずれを複数の位置で検出し、検出された位置ずれ量データに応じて記録ヘッドの位置毎に光ビームの照射されるタイミングが補正されるため、記録ステージの移動によって発生するピッチング振動による位置ずれが補正され、記録媒体に描画される画像の歪みを低減させることができるという優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（第１の実施の形態）
図１（Ａ）及び図２には、第１の実施の形態に係るフラッドベッドタイプの露光装置１０が示されている。
【００２８】
露光装置１０は、棒状の角パイプを枠状に組み付けて構成された矩形状の枠体１２に各部が収容されて構成されている。なお、枠体１２には、図示しないパネルが張り付けられることで、内外を遮断している。
【００２９】
枠体１２は、背高の筐体部１２Ａと、この筐体部１２Ａの一側面から突出するように設けられたステージ部１２Ｂと、で構成されている。
【００３０】
ステージ部１２Ｂは、その上面が筐体部１２Ａよりも低位とされ、作業者がこのステージ部１２Ｂの前に立ったときに、ほぼ腰高の位置となっている。
【００３１】
ステージ部１２Ｂの上面には、開閉蓋１４が設けられている。開閉蓋１４の筐体部１２Ａ側の一辺には、図示しない蝶番が取付けられており、この一辺を中心として、開閉動作が可能となっている。
【００３２】
開閉蓋１４を開放した状態のステージ部１２Ｂの上面には、記録ステージとしての露光ステージ１６が露出可能となっている。
【００３３】
露光ステージ１６は、定盤１８の長手方向に沿って配設された一対の摺動レール２０を介して支持され、露光ステージ１６下部に設けたリニアモータ２６（図２参照）の駆動力によって、図１（Ａ）のｙ方向へ摺動可能となっている。また、露光ステージ１６に対向するように露光ステージ１６の上方には記録ヘッドとしての露光ヘッドユニット２８が配設されている。さらに、図１（Ａ）及び図２では図示を省略したが、露光ステージ１６下部にはリニアエンコーダ２７（図７参照）を設けており、露光ステージ１６の移動に伴いパルス信号が出力され、パルス信号により露光ステージ１６の摺動レール２０に沿った位置情報及び走査速度が検出可能となっている。なお、第１の実施の形態のリニアエンコーダ２７は、露光ステージ１６が所定量（例えば、０．１μｍ）移動する毎にパルスを出力するようになっている。また、第１の実施の形態では調整分解能を上げるため、０．１μｍピッチのパルスを２逓倍し、０．０５μｍピッチのパルスを出力する。
【００３４】
露光ステージ１６の上面には、記録媒体２２が位置決めされるようになっており、露光ステージ１６には、記録媒体２２を吸着し、記録媒体２２の厚みに関わらず露光ヘッドユニット２８を露光面から２００ｍｍ程度の高さに保つ機構が設けられている。なお、この高さ調節機構は、露光ステージ１６側に設けてもよいし、露光ヘッドユニット２８側に設けてもよい。
【００３５】
また、露光ステージ１６上面の記録媒体２２の一方の脇には、ｙ方向に沿って所定間隔（第１の実施の形態では、５０ｍｍ間隔）毎にマーキング２４がなされている（図１（Ａ）の露光ステージ１６上のマーキング２４は精細であるため、ｙ方向に沿った破線として描き、図１（Ｂ）にマーキング２４の拡大図を示す）。
【００３６】
露光ステージ１６における定盤１８上での移動軌跡（図１（Ａ）のｙ方向）のほぼ中間位置には、露光ヘッドユニット２８が配設されている。
【００３７】
露光ヘッドユニット２８は、前記定盤１８の幅方向両端部の外側にそれぞれ立設された一対の支柱３０に掛け渡されるように架設されている。すなわち、露光ヘッドユニット２８と定盤１８との間を前記露光ステージ１６が通過するゲートが形成される構成である。
【００３８】
露光ヘッドユニット２８は、複数のヘッドアッセンブリ２８Ａが前記定盤１８の幅方向に沿って配列されて構成されており、前記露光ステージ１６を往復移動させながら、所定のタイミングでそれぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａから照射される複数の光ビーム（詳細後述）を前記露光ステージ１６上の記録媒体２２へ照射することで、感光材料を露光することができるようになっている。
【００３９】
図３（Ｂ）に示される如く、露光ヘッドユニット２８を構成するヘッドアッセンブリ２８Ａは、ｍ行ｎ列（例えば、２行５列）の略マトリックス状に配列されており、これら複数のヘッドアッセンブリ２８Ａが前記露光ステージ１６の移動方向（以下走査方向という）と直交する方向に配列される。第１の実施の形態では、記録媒体２２の幅との関係で、２行で合計１０個のヘッドアッセンブリ２８Ａとした。
【００４０】
ここで、１つのヘッドアッセンブリ２８Ａによる露光エリア２８Ｂは、走査方向を短辺とする矩形状で、且つ、走査方向に対して所定の傾斜角で傾斜しており、露光ステージ１６の移動に伴い、記録媒体２２にはヘッドアッセンブリ２８Ａ毎に帯状の露光済み領域が形成される（図３（Ａ）参照）。
【００４１】
図１（Ａ）に示される如く、前記筐体部１２Ａ内には、前記定盤１８上の露光ステージ１６の移動を妨げない別の場所に光源ユニット３１が配設されている。この光源ユニット３１には複数のレーザー（半導体レーザー）を収容しており、このレーザーから出射する光を光ファイバー（図示省略）を介して、それぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａへ案内している。
【００４２】
それぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａは、前記光ファイバーによって案内され、入射された光ビームを空間光変調素子である図示しないデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）によって、ドット単位で制御し、記録媒体２２に対してドットパターンを露光する。第１の実施の形態では、前記複数のドットパターンを用いて１画素の濃度を表現するようになっている。
【００４３】
図４に示される如く、前述した帯状の露光済み領域２８Ｂ（１つのヘッドアッセンブリ２８Ａ）は、二次元配列（例えば４×５）された２０個のドットによって形成される。
【００４４】
また、前記二次元配列のドットパターンは、走査方向に対して傾斜されていることで、走査方向に並ぶ各ドットが、走査方向と交差する方向に並ぶドット間を通過するようになっており、実質的なドット間ピッチを狭めることができ、高解像度化を図ることができる。
【００４５】
ここで、ステージ部１２Ｂ（図１（Ａ）参照）において、前記露光ステージ１６上に位置決めされた記録媒体２２への露光処理は、前記露光ステージ１６に記録媒体２２を載置し、定盤１８上の摺動レール２０に沿って奥側へ移動するとき（往路）ではなく、一旦、定盤１８の奥側端部へ到達して、前記ステージ部１２Ｂへ戻るとき（復路）に実行される。
【００４６】
すなわち、往路走行は、露光ステージ１６上の記録媒体２２の位置情報を得るための移動であり、この位置情報を得るためのユニットとして、定盤１８上には、アライメントユニット３２（図２参照）が配設されている。
【００４７】
アライメントユニット３２は、前記露光ヘッドユニット２８に沿って往路方向奥側の中央部に配置されており、往路走行時に前記露光ステージ１６上の記録媒体２２へ光を照射し、その反射光を撮影し、記録媒体２２上のマークをする。
【００４８】
露光ステージ１６と、記録媒体２２とは、作業者が記録媒体２２を載置することで、その相対位置関係が決まるため、若干のずれが生じることがある。前記撮影されたマークによって前記ずれが認識され、露光ステージ１６と既知の相対関係となっている前記露光ヘッドユニット２８による露光開始時期に補正をかけ、記録媒体２２と画像との相対位置を所望の位置としている。
【００４９】
ところで、露光ステージ１６には、移動に伴ってピッチング振動が発生して露光ステージ１６に位置ずれが生じるため、露光ステージ１６上の記録媒体２２に露光される画像に歪みが生じてしまう。このピッチング振動とは、露光装置１０の露光ステージ１６及び摺動レール２０等の製作精度に依存して発生してしまい、製作精度上、完全に無くすことは難しい。
【００５０】
しかし、ピッチング振動は露光ステージ１６の移動（位置）に伴う再現性が高いため予めピッチング振動による位置ずれを検出して補正を行うことにより、記録媒体２２に露光される画像の歪みを補正することができる。そこで、露光ステージ１６の移動により発生するピッチング振動による露光ステージ１６の位置ずれを検出する撮像手段として１台のＣＣＤカメラ３４が設けられている。このＣＣＤカメラ３４は、露光ヘッドユニット２８の往路方向手前側に配置され、第１の移動手段として内臓されたリニアモータにより露光ヘッドユニット２８の幅方向（図１のｘ方向）に設けられたレール３５に沿って任意の位置に移動可能となっており、露光ステージ１６上のマーキング２４を撮像することができる。このＣＣＤカメラ３４により撮像されたマーキング画像には、撮像したマーキング２４の位置を判別可能な基準が設けられており（第１の実施の形態では、図５に示すようにｙ方向の中央を基準（０）とする。）、画像内でのマーキング２４の所定の位置（例えば、重心）と基準との位置ずれを検出することができる。
【００５１】
すなわち、第１の実施の形態ではＣＣＤカメラ３４により予めマーキング２４を撮像してピッチングによって生じた位置ずれを検出して補正量を記憶し、記録媒体２２への露光時に記憶した補正量に基づき露光タイミングの修正を行うことで記録媒体２２に露光される画像の歪みを補正している。
【００５２】
なお、第１の実施の形態では、図６（Ａ）に示すように露光ステージ１６の一端側にマーキング２４を１列設けているが、マーキング２４を複数列、例えば、図６（Ｂ）に示すように両側部にそれぞれマーキング２４を設けた場合、ＣＣＤカメラ３４をレール３５沿って移動させることによりそれぞれの位置でピッチング振動による位置ずれを検出することができる。また、ＣＣＤカメラ３４により撮像する際に、図６（Ｃ）又は（Ｄ）に示すようなマーキングされたチャート（ガラス基板等）を露光ステージ１６上に載置することにより位置ずれを検出するようにしてもよい。このように、ＣＣＤカメラ３４がレール３５沿って移動できるためヘッドアッセンブリ２８Ａの位置毎にピッチング振動による位置ずれを検出することもできる。
【００５３】
図７には、第１の実施の形態における露光装置１０において、露光ステージ１６のピッチング振動による位置ずれの検出及び露光を行う制御のための機能ブロック図が示されている。
【００５４】
撮像制御部１００は、リニアエンコーダ２７、ＣＣＤカメラ３４及び画像記憶メモリ１０２と接続されている。撮像制御部１００は、ＣＣＤカメラ３４によりマーキング２４を撮像する制御を行っている。撮像制御部１００は、露光ステージ１６の移動によって検出されるリニアエンコーダ２７からのパルスを１，０００，０００パルス分カウントして撮像タイミングを求め、求めた撮像タイミング毎にＣＣＤカメラ３４によって露光ステージ１６上のマーキング２４を撮像し、撮像したマーキング画像をＣＣＤカメラ３４の図１のＸ方向の位置と共に画像記憶メモリ１０２に記憶させる。なお、前記１，０００，０００パルスは、第１の実施の形態に適用されるリニアエンコーダ２７が０．１μｍ移動する毎に２逓倍信号が２パルス出力されることから、マーキング２４の間隔が５０ｍｍであるため、５０ｍｍ／０．０５μｍ（＝１，０００，０００）とすることで、マーキング２４の間隔に応じた撮像が可能となる。
【００５５】
画像記憶メモリ１０２は、撮像制御部１００及び位置ずれ検出部１０４と接続されている。画像記憶メモリ１０２は、撮像制御部１００で撮像されたマーキング画像を記憶しており、記憶しているマーキング画像は位置ずれ検出部１０４により読み出される。
【００５６】
位置ずれ検出部１０４は、画像記憶メモリ１０２及びパルス補正数記憶メモリ１０６と接続されている。位置ずれ検出部１０４は、図５に示されるように撮像制御部１００により撮像されたマーキング画像内でのマーキング２４の基準（０）に対する位置から位置ずれ量を検出する。また、検出された位置ずれ量が１回前の撮像で検出された位置ずれ量からどれだけずれが増減したかを検出し、前回から今回（５０ｍｍ間隔）の間に生じたずれを補正するために必要なリニアエンコーダ２７による２逓倍のパルス数を演算する。すなわち、図８に示すように、例えば、５０ｍｍの位置にあるマーキング２４を撮像した場合に＋４．５μｍの位置ずれが検出され、１００ｍｍの位置で＋５．３μｍの位置ずれが検出された場合に、前回から今回の撮像の間（５０〜１００ｍｍ区間）に５．３μｍ−４．５μｍ＝０．８μｍずれが大きくなっていることになる。リニアエンコーダ２７では０．０５μｍ移動する毎に２逓倍されたパルスが検出されるため、発生した０．８μｍのずれを補正するには、０．８μｍ／０．０５μｍ＝１６パルス分を減らす補正を行うことにより、５０〜１００ｍｍ区間の間に生じたずれを補正することができる。この補正に必要なパルス補正数をＣＣＤカメラ３４の図１のＸ方向の位置と共にパルス補正数記憶メモリ１０６へ記憶させる。
【００５７】
パルス補正数記憶メモリ１０６は、位置ずれ検出部１０４及びリセットタイミング演算部１２２と接続されている。パルス補正数記憶メモリ１０６は、位置ずれ検出部１０４により検出された各区間のパルス補正数が撮像されたＸ方向の位置と共に図９に示されるテーブルとして記憶されている（図９は、マーキング２４が０及び２７８ｍｍに設けられた場合を例としている）。
【００５８】
データ入力部１１２は、ドットパターン変換部１１４と接続されている。データ入力部１１２には、記録媒体２２上に露光される画像が入力される。入力された画像データはドットパターン変換部１１４へ送出される。
【００５９】
ドットパターン変換部１１４は、データ入力部１１２及び露光制御部１１６と接続されている。ドットパターン変換部１１４は、データ入力部１１２より送出された画像データを各ヘッドアッセンブリ２８Ａのデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）を制御するドット毎のデータ（ドットパターンデータ）に変換し、露光制御部１１６へ送出する。
【００６０】
露光制御部１１６は、リセットタイミング演算部１２２、ドットパターン変換部１１４、各ヘッドアッセンブリ２８Ａ及び各光源ユニット３１と接続されている。露光制御部１１６は、ドットパターン変換部１１４により送出されたドットパターンデータに基づき、後述するリセットタイミング演算部１２２によるリセットタイミング毎に複数のヘッドアッセンブリ２８ＡのＤＭＤドライバ１３０を制御してＤＭＤ１３２をオン／オフさせ、光源ユニット３１の光源ドライバ１３６へ点灯信号を送出してＬＤ１３８を点灯させて、記録媒体２２上への画像露光処理を行う。
【００６１】
リセットタイミング演算部１２２は、リニアエンコーダ２７、パルス補正数記憶メモリ１０６及び露光制御部１１６と接続されている。リセットタイミング演算部１２２は、露光ステージ１６の移動によって検出されるリニアエンコーダ２７からのパルスを４０パルス分ずつカウントしてリセットタイミングとする。このリセットタイミングはヘッドアッセンブリ２８Ａから光ビームが照射されるタイミングとなっている。さらに、リセットタイミング演算部１２２は、パルス補正数記憶メモリ１０６に記憶されているテーブルに基づき、各ヘッドアッセンブリ２８ＡのＸ方向の位置に応じてパルス補正数の補間処理を行ってヘッドアッセンブリ２８Ａ毎にリセットタイミングである４０パルス分のパルス数を増減させる補正を行い。補正されたリセットタイミングを露光制御部１１６へ送出される。すなわち、リセットタイミングは、図１０（Ａ）に示すように、２．０μｍ移動する毎に１回出力されており、マーキング２４の間隔（５０ｍｍ）毎に２５,０００回出力される。補正により、例えば、５０〜１００ｍｍ区間に１６パルス分（０．８μｍ）を減らす場合は２５,０００回の内１６回でリセットタイミングのパルス数を３９パルス（図１０（Ｂ）の期間ｔ３）とすることにより、０．０５μｍずつ減らす補正をすることができ、増やす場合はパルス数を４１パルス（図１０（Ｂ）の期間ｔ４）とすることにより０．０５μｍずつ増やす補正をすることができる。なお、パルス数を減らす１６回の間隔は、２５,０００回中で均等間隔としてもよく、間隔を適宜変更してもよい。また、露光ステージ１６上にマーキング２４が１列しかないため、パルス補正数記憶メモリ１０６のテーブルに１列分のデータしかない場合、リセットタイミング演算部１２２では補間処理が行われず、全ヘッドアッセンブリ２８Ａで１列分のデータによる補正が行われる。
【００６２】
以下に第１の実施の形態の作用を説明する。
（パルス補正数データ作成の流れ）
露光装置１０では、ＣＣＤカメラ３４が露光ステージ１６のマーキング２４を撮像可能な位置へレール３５に沿って移動し、露光ステージ１６を移動させながらマーキング２４を撮像してパルス補正数データの作成処理が行われる。なお、露光ステージ１６にマーキング２４が複数列ある場合、パルス補正数データの作成処理が各列毎に複数回行われて各マーキング２４の位置（ＣＣＤカメラ３４のX方向の位置）毎にパルス補正数が求められ、パルス補正数記憶メモリ１０６へ記憶される。
【００６３】
以下、図１１（Ａ）にパルス補正数データの作成に関する制御の流れを示す。
【００６４】
ステップ１５０では、露光ステージ１６がリニアモータ２６（図２参照）の駆動力により、定盤１８の摺動レール２０に沿ってステージ部１２Ｂから筐体部１２Ａの奥側へ一定速度で移動され（往路移動）、往路端に至るとステップ１５２へ移行する。
【００６５】
ステップ１５２では、露光ステージ１６が往路端に到達したため、移動する方向を折り返してステージ部１２Ｂ方向へ一定速度で移動させ（復路移動）、ステップ１５４へ移行する。ここで、露光ステージ１６には移動に伴ってピッチング振動による位置ずれが発生する。
【００６６】
ステップ１５４では、露光ステージ１６の移動によって発生するリニアエンコーダ２７からのパルスを検出し、１，０００，０００パルス分をカウントしてＣＣＤカメラ３４による撮像タイミングを求め、５０ｍｍ間隔にマーキングされたマーキング２４を撮像してステップ１５６へ移行する。
【００６７】
ステップ１５６では、撮像された画像内のマーキング２４の位置から位置ずれ量を求め、ステップ１５８へ移行する。
【００６８】
ステップ１５８では、今回撮像された位置での位置ずれ量から前回撮像された位置での位置ずれ量を引いて、前回から今回撮像された区間でのずれを求め、ずれを補正するために必要なパルス補正数を求めてパルス補正数記憶メモリ１０６へ記憶させてステップ１６０へ移行する。
【００６９】
ステップ１６０では、露光ステージ１６の復路の移動が完了したかを判定する。往路の移動が完了すると判定が肯定されてエンドへ移行する。一方、往路の移動が完了していないとステップ１６０の判定が否定されてステップ１５４へ移行して次のマーキングの撮像へ移行する。
【００７０】
このパルス補正数データ作成処理によりパルス補正数記憶メモリ１０６には、パルス補正数のテーブルが記憶される。
（露光処理の流れ）
次に、パルス補正数に基づき補正が行われる露光処理について説明する。
【００７１】
記録媒体２２（図１（Ａ）参照）を表面に吸着した露光ステージ１６は、リニアモータ２６（図２参照）の駆動力により、定盤１８の摺動レール２０に沿ってステージ部１２Ｂから筐体部１２Ａの奥側へ一定速度で移動される（往路移動）。ここで露光ステージ１６がアライメントユニット３２を通過する際に、記録媒体２２に予め付与されたマークを検出する。このマークは、予め記憶されたマークと照合され、その位置関係に基づいて露光ヘッドユニット２８による露光開始時期が補正される。
【００７２】
露光ステージ１６が往路端まで至ると、折り返してステージ部１２Ｂ方向へ一定速度で戻ってくる（復路移動）。この復路移動中に露光ヘッドユニット２８を通過すると前記補正された露光開始時期で露光処理が開始される。
【００７３】
露光ヘッドユニット２８では、露光処理が開始されると、リセットタイミング演算部１２２（図７参照）によって露光ステージ１６の移動に伴って検出されるリニアエンコーダ２７のパルスからリセットタイミングが演算され、演算されたリセットタイミングに基づいて、ＤＭＤにレーザ光が照射され、ＤＭＤのマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光が光学系を介して記録媒体２２（図１（Ａ）参照）へと案内され、この記録媒体２２上に結像される。
【００７４】
ここで、露光ステージ１６が移動すると、露光ステージ１６には移動によってピッチング振動が発生して表面に吸着した記録媒体２２も共に振動するため露光ヘッドユニット２８から光ビームが結像される位置にずれが発生する。しかし、露光ヘッドユニット２８の各ヘッドアッセンブリ２８Ａの位置に応じてリセットタイミングが補正されているため、記録媒体２２に露光される画像の歪みを低減させることができる。
【００７５】
以下、図１１（Ｂ）のフローチャートに従い、撮像処理、位置ずれ検出処理及び露光処理制御の流れについて説明する。
【００７６】
露光装置１０は、作業者により画像データが入力され、処理開始の制御が行われることでフローチャートに示す処理がスタートする。
【００７７】
ステップ２００では、入力された画像データを露光ヘッドユニット２８の各ヘッドアッセンブリ２８Ａから露光を行うためのドットパターンデータに変換し、ステップ２０２へ移行する。
【００７８】
ステップ２０２では、露光ステージ１６を一定速度で往路方向（図２のｙ軸、手前側から奥側）へ移動させて、アライメントユニット３２による露光開始時期の補正が行われる。露光ステージ１６が往路端まで至るとステップ２０４へ移行する。
【００７９】
ステップ２０４では、露光ステージ１６を一定速度で復路方向（図２のｙ軸、奥側から手前側）へ移動させ、ステップ２０２により補正された露光開始時期となると、露光処理を開始し、ステップ２０６へ移行する
ステップ２０６では、リセットタイミング演算部１２２（図７参照）が露光ステージ１６の移動によって発生するリニアエンコーダ２７を検出し、パルス数から露光ステージ１６の搬送方向の位置を求め、パルス補正数記憶メモリ１０６から該当する区間のパルス補正数を読み込み、ステップ２０８へ移行する
ステップ２０８では、リセットタイミング演算部１２２が読み込んだパルス補正数に基づき補間処理を行って各ヘッドアッセンブリ２８Ａの位置に応じたパルス補正数を求める。また、リセットタイミング演算部１２２では、リニアエンコーダ２７から発生するパルスを４０パルス分をカウントしてリセットタイミングを求めるが、ヘッドアッセンブリ２８Ａ毎にパルス補正数に応じて補正したパルス数のリセットタイミングを出力してステップ２１０へ移行する。
【００８０】
ここで、補正が無い場合は、図１０（Ａ）に示すようにリセットタイミングをリニアエンコーダの４０パルス分毎のタイミングとしており、補正がある場合は、図１０（Ｂ）に示すようにパルス数を増減させることで０．０５μｍ単位の補正が可能となる。図８に示す各区間でのずれの増減が±０．０２５μｍ以内であれば補正は行わないが、位置ずれ量が＋０．０２５μｍより大きい又は−０．０２５μｍより小さい場合は必要数分だけパルス数の補正を行う。これにより、図８の補正結果に示すように各区間でずれが±０．０２５μｍ以内となるように補正される。
【００８１】
ステップ２１０では、ドットパターンデータに基づき補正されたリセットタイミングで前述の露光処理が実行されステップ２１２へ移行する。
【００８２】
ステップ２１２では、全てのドットパターンデータの露光処理が終了したかを判別する。全ドットパターンデータの露光処理が終了していると、ステップ２１２は肯定判定となり記録媒体２２に画像が露光されたため、エンドとなる。
【００８３】
一方、まだ全てのドットパターンデータの露光処理が行われていないと、ステップ２１２は否定判定となり、ステップ２０６へ移行して、露光処理を実行する。
【００８４】
以上説明したように第１の実施の形態では、１台のＣＣＤカメラ３４を移動可能としたことにより露光ステージ１６に発生するピッチング振動による位置ずれ量を複数の位置で検出でき、検出した位置ずれ量に基づきヘッドアッセンブリ２８Ａ毎にリセットタイミングを補正することにより記録媒体に描画される画像に歪みを低減させることができる。
【００８５】
さらに、１台のＣＣＤカメラ３４で複数の位置でのピッチング振動による位置ずれ量を検出できるため、製造コストのアップ分を少なく抑えることができる。
【００８６】
また、画像が描画される位置を変更して補正するため、位置ずれを補正するのに露光ステージ１６を移動させる挙動を変更する必要が無い。
【００８７】
なお、第１の実施の形態では画像記憶メモリ１０２にパルス補正数に関するテーブルを記憶したが、マーキング２４の間隔（５０ｍｍ）毎に求まる位置ずれ量を記憶し、露光処理時にパルス補正数を求めてもよい。
【００８８】
また、第１の実施の形態では露光ステージ１６上のマーキング２４を撮像することにより位置ずれ量を検出したが、図１２に示すように露光ステージ１６に対して垂直に測長部４０を設けレーザ測長器４２を用いて露光ステージ１６の測長部４０との距離（図１２の距離ｔ６）を撮像タイミング毎に測定して、撮像タイミング毎の距離が変化する間隔に基づき露光ステージ１６のピッチング振動による位置ずれ量を検出してもよい。第１の実施の形態の場合、レーザ測長器４２を位置ずれ検出部１０４（図７参照）と接続し、位置ずれ検出部１０４において撮像タイミング毎に測長される露光ステージ１６の測長部４０との距離が変化する間隔を５０ｍｍ（撮像タイミング毎に露光ステージ１６は１，０００，０００パルス×０．０５μｍ（＝５０ｍｍ）移動するため）と比較することで位置ずれ量を検出できる。また、露光ステージ１６上に複数の測長部４０を設け、レーザ測長器４２を図１２のＸ方向へ移動可能とするレール及びモータ等を第２の移動手段として設けると、複数の位置での位置ずれ量を検出することも可能となる。このように、レーザ測長器４２を用いて位置ずれ量を検出すると、露光ステージ１６にマーキング２４を行う必要が無くなる。
【００８９】
さらに、第１の実施の形態では、予めマーキング２４の撮像を行って画像記憶メモリ１０２にパルス補正数に関するテーブルを作成したが、露光処理の露光ステージ１６の移動時にリアルタイムでマーキング２４の撮像を行って、ピッチング振動による位置ずれ量を検出してもよい。この場合、位置ずれ検出部１０４は、撮像された画像から検出された位置ずれ量を０．０５μｍ（パルスの2逓倍）で割った整数分のパルス数をリセットタイミング演算部１２２へ直接送り、リセットタイミング演算部１２２は、マーキング２４の次の撮像までに送られたパルス数分のリセットタイミングの補正を行うようにすればよい。すなわち、リセットタイミング演算部１２２は露光処理に撮像により検出された位置ずれ量が無くなるように常に補正を行うこととなる。このリアルタイムの補正はレーザ測長器４２を用いても位置ずれ量を検出した場合も同様に行うことができる。リアルタイムで補正を行うことにより、露光処理毎に発生するピッチング振動による位置ずれ量のわずかな違いも補正することができる。
【００９０】
第１の実施の形態では、リセットタイミングをリニアエンコーダ２７のパルスをカウントして調整しているが、リニアエンコーダ２７とは非同期のクロック信号をカウントすることによりリセットタイミングを生成することも可能である。この場合、非常に高速なクロック信号を出力する素子又は回路を用いれば、クロック信号のカウント数を調整することによりリセットタイミングを細かく調整できる。
（第２の実施の形態）
次に、第２実施形態について説明する。第２実施の形態の特徴は、露光装置１０が位置データ取得用パターン画像を露光し、露光されたパターン画像を測長してピッチング振動による位置ずれ量を検出し、パルス補正数記憶メモリ１０６へパルス補正数に関するテーブルを登録する点にある。
【００９１】
第２実施の形態の露光装置１０は、ＣＣＤカメラ３４及びレール３５が設けられておらず、他は第１実施の形態の図１、図２と同様の構成であるため説明を省略する。
【００９２】
図１３には、第２の実施の形態の機能ブロック図が示されている。なお、同一符号の個所は第１の実施の形態の図７と同様であるため説明を省略し、異なる部分についてのみ説明をする。
【００９３】
パターン入力部１４０はドットパターン変換部１１４と接続されている。パターン入力部１４０はピッチング振動による位置ずれ量を検出するため位置データ取得用パターン画像の露光が指示されると、図６（Ｄ）に示すように複数列のマーキング２４をパターン画像としてドットパターン変換部１１４へ送出する。ここで、このパターン画像のマーキング２４の列方向の間隔を、例えば、５０ｍｍ間隔とする。このパターン画像の送出により、露光装置１０では記録媒体２２上への画像露光処理を行うが、露光ステージ１６の移動によってピッチング振動が発生するため、実際に露光される画像には位置ずれが発生する。第２の実施の形態では記録媒体２２に露光されたパターン画像のマーキング２４の列方向の間隔を作業者等によって測定し、５０ｍｍと比較することにより位置ずれ量を求め、マーキング２４の各列の各区間でのパルス補正数を求める。
【００９４】
パルス補正数登録部１４２はパルス補正数記憶メモリ１０６と接続されている。パルス補正数登録部１４２は求められたパルス補正数の登録を行い、パルス補正数記憶メモリ１０６にパルス補正数を記憶させることができる。これにより、パルス補正数記憶メモリ１０６にはパルス補正数のテーブルが記憶される。
【００９５】
第２の実施の形態の露光装置１０では、パルス補正数登録部１４２によって登録されたパルス補正数によって第１の実施の形態と同様の露光処理が行われてピッチング振動による位置ずれが補正される。このため、露光装置１０にはピッチング振動を検出するためにＣＣＤカメラ等を設ける必要がない。
【００９６】
以下に第２の実施の形態の作用を説明する。
【００９７】
図１４には位置データ取得用パターン画像の露光及びパルス補正数の取得に関するフローが示されている。
【００９８】
ステップ２５０では、位置データ取得用パターン画像の露光が指示されると図６（Ｄ）に示すパターン画像がドットパターンデータに変換され、ステップ２５２へ移行する。
【００９９】
ステップ２５２では、露光ステージ１６を一定速度で往路方向（図２のｙ軸、手前側から奥側）へ移動させて、アライメントユニット３２による露光開始時期の補正が行われる。露光ステージ１６が往路端まで至るとステップ２５４へ移行する。
【０１００】
ステップ２５４では、露光ステージ１６を一定速度で復路方向（図２のｙ軸、奥側から手前側）へ移動され、補正された露光開始時期となると、ドットパターンデータの露光処理が開始され記録媒体２２へパターン画像が露光され、ステップ２５６へ移行する
ステップ２５６では、露光されたパターン画像の各列毎にマーキング２４から位置ずれ量を測定し、区間毎のパルス補正数を求めてステップ２５８へ移行する。
【０１０１】
ステップ２５８では、マーキング２４の各列の各区間のパルス補正数の登録が行われ、パルス補正数記憶メモリ１０６にパルス補正数が記憶され、エンドへ移行する。
【０１０２】
パルス補正数記憶メモリ１０６には、パルス補正数のテーブルが記憶されているため、露光処理ではピッチング振動による位置ずれを補正することができる。
【０１０３】
このように、第２の実施の形態によれば、位置データ取得用パターン画像としてマーキング２４を露光することによりピッチング振動による位置ずれ量を検出することができる。また、マーキング２４を複数列設けることにより、各列で位置ずれ量が検出でき、マーキング２４を露光する列の位置（Ｘ方向の位置）を変えることにより、露光ステージ１６上の任意の位置で位置ずれ量を検出することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】第１の実施の形態に係る露光装置の概略を示す斜視図である。
【図２】第１の実施の形態に係る露光装置の概略略を示す側面図である。
【図３】（Ａ）露光ヘッドユニットによる露光領域を示す平面図、（Ｂ）はヘッドアッセンブリの配列パターンを示す平面図である。
【図４】単一のヘッドアッセンブリにおけるドットパターンの配列状態を示す平面図である。
【図５】第１の実施の形態に係るＣＣＤカメラ３４により撮像されたマーキング画像を示す図である。
【図６】マーキング２４のパターンを示す図である。
【図７】第１の実施の形態に係るピッチング振動による位置ずれの検出及び露光を行う制御のための機能ブロック図である。
【図８】第１の実施の形態に係る露光ステージ１６に発生するピッチング振動による位置ずれ量を示す図である。
【図９】パルス補正数のテーブルを示す図である。
【図１０】リセットタイミングを示すの波形図である。
【図１１】第１の実施の形態に係る位置ずれ量検出処理及び補正数データ作成の流れを示すフローチャートである。
【図１２】レーザ測長器により露光ステージのピッチング振動による位置ずれ量の検出を示す図である。
【図１３】第２の実施の形態に係るピッチング振動による位置ずれの検出及び露光を行う制御のための機能ブロック図である。
【図１４】第２の実施の形態に係る位置データ取得用パターン画像の露光及びパルス補正数の取得に関するフローチャートである。
【符号の説明】
【０１０５】
１０    露光装置
１２    枠体
１２Ａ    筐体部
１２Ｂ    ステージ部
１４    開閉蓋
１６    露光ステージ（記録ステージ）
１８    定盤
２２    記録媒体
２２Ｐ    プリント配線基板
２４    マーキング
２６    リニアモータ
２７    リニアエンコーダ
２８    露光ヘッドユニット
２８Ａ    ヘッドアッセンブリ（記録ヘッド）
２８Ｂ    露光エリア
３１    光源ユニット
３２    アライメントユニット
３４    ＣＣＤカメラ（撮像手段）
３５    レール
４０    測長部
４２    レーザ測長器
１００    撮像制御部
１０２    画像記憶メモリ
１０４    位置ずれ検出部（位置ずれ検出手段、第１の検出手段、第２の検出手段）
１０６    パルス補正数記憶メモリ（記憶手段）
１１２    データ入力部
１１４    ドットパターン変換部
１１６    露光制御部（制御手段）
１２２    リセットタイミング演算部（補正手段）
１３０    ＤＭＤドライバ
１３２    ＤＭＤ
１３６    光源ドライバ
１３８    ＬＤ
１３８    ＬＤ
１４０    パターン入力部（位置パターン露光手段）
１４２    パルス補正数登録部（登録手段）
【図１】
2005283896.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2005283896.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2005283896.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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