(57)【要約】【課題】  光チョッパを駆動するための各種回路を１つの筐体内に実装し、これらの取り付け等に伴う光学系の歪みを解消させる。【解決手段】  光チョッパ１０、並びに当該光チョッパ１０を構成する水晶振動子１３に対して印加するための制御電圧を出力する発振回路１７を１つの筐体４に実装し、少なくとも発振回路１７が搭載される回路用基板２１と、水晶振動子１３が搭載される振動素子用基板２２とを備え、回路用基板２１並びに振動素子用基板２２は、互いに独立して筐体４内に設けられる。【選択図】図１
2005037231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射された光ビームを断続させて電気信号に変換する光チョッパ用モジュールにおいて、
上記光ビームを断続するための圧電振動素子並びに上記圧電振動素子により断続された光ビームを電気信号に変換するための光電変換素子を有する光チョッパと、
上記圧電振動素子に対して印加するための制御電圧を発振する発振回路と、
少なくとも上記光チョッパ並びに上記発振回路を収納する筐体とを備えること
を特徴とする光チョッパ用モジュール。
【請求項２】
少なくとも上記発振回路が搭載される回路用基板と、上記圧電振動素子が搭載される振動素子用基板とを更に備え、
上記回路用基板並びに上記振動素子用基板は、互いに独立して上記筐体内に設けられること
を特徴とする請求項１記載の光チョッパ用モジュール。
【請求項３】
上記圧電振動素子は、上記制御電圧に応じて振動する水晶振動子であり、
上記発振回路は、上記制御電圧として交流電圧を出力すること
を特徴とする請求項１又は２記載の光チョッパ用モジュール。
【請求項４】
上記光電変換素子は、ＡＰＤ（アバランシェフォトダイオード）、或いは光電子増倍管であること
を特徴とする請求項１乃至３記載の光チョッパ用モジュール。
【請求項５】
上記光ビームを収束させる凸レンズをさらに備え、上記凸レンズにより収束される光ビームの収束領域に上記圧電振動素子を配置したこと
を特徴とする請求項１乃至４記載の光チョッパ用モジュール。
【請求項６】
上記発振回路からの参照信号に基づいて、上記光電変換素子から出力される電気信号を同期検波するロックインアンプをさらに備えること
を特徴とする請求項１乃至５記載の光チョッパ用モジュール。
【請求項７】
少なくとも上記ロックインアンプを制御し、及び／又は上記ロックインアンプにより同期検波された電気信号をデジタル信号に変換する制御部をさらに備えること
を特徴とする請求項６記載の光チョッパ用モジュール。
【請求項８】
入射された光ビームを断続させて電気信号に変換する光チョッパ用モジュールにおいて、
上記光ビームを収束させる入射側凸レンズと、
上記入射側凸レンズにより収束される光ビームの収束領域に配置され、上記入射された光ビームを断続するための圧電振動素子と、
上記圧電振動素子により断続された光ビームを平行ビームに戻す出射側凸レンズと、
上記圧電振動素子に対して印加するための制御電圧を出力する発振回路と、
上記入射側凸レンズ並びに出射側凸レンズを固定するとともに、上記光チョッパ並びに上記発振回路を収納する筐体とを備えること
を特徴とする光チョッパ用モジュール。
【請求項９】
少なくとも上記発振回路が搭載される回路用基板と、上記圧電振動素子が搭載される振動素子用基板とを更に備え、
上記回路用基板並びに上記振動素子用基板は、互いに独立して上記筐体内に設けられること
を特徴とする請求項８記載の光チョッパ用モジュール。
【請求項１０】
上記圧電振動素子は、上記制御電圧に応じて振動する水晶振動子であり、
上記発振回路は、上記制御電圧として交流電圧を出力すること
を特徴とする請求項８又は９記載の光チョッパ用モジュール。
【請求項１１】
上記光電変換素子は、ＡＰＤ（アバランシェフォトダイオード）、或いは光電子増倍管であること
を特徴とする請求項８乃至１０記載の光チョッパ用モジュール。
【請求項１２】
上記発振回路からの参照信号に基づいて、上記光電変換素子から出力される電気信号を同期検波するロックインアンプをさらに備えること
を特徴とする請求項８乃至１１記載の光チョッパ用モジュール。
【請求項１３】
少なくとも上記ロックインアンプを制御し、及び／又は上記ロックインアンプにより同期検波された電気信号をデジタル信号に変換する制御部をさらに備えること
を特徴とする請求項１２記載の光チョッパ用モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入射された光ビームを断続させて電気信号に変換する光チョッパ用モジュールにおいて、特に、光同期検波やロックインアンプなどにおける光信号検出に用いられる光チョッパに関する。
【背景技術】
【０００２】
入射された光ビームを断続させて電気信号に変換する光チョッパが従来より提案されている（例えば、特許文献１参照。）
この光チョッパ１００は、例えば図１０に示すように、光ファイバ１０１を介して光ビームＬinが入射される凸レンズ１０２と、この凸レンズ１０２により光ビームＬinが収束される収束領域ＦＡに圧電振動素子として配置された水晶振動子１０３と、この水晶振動子１０３により上記光ビームＬinを断続させた光ビームＬchが入射される光検出器１０５を筐体１０６に内蔵してなる。
【０００３】
上記筐体１０６は、光ファイバ１０１及び凸レンズ１０２を高精度に位置合わせを行った状態で保持し、真空状態で封止されている。上記凸レンズ１０２としては、球レンズや球面を利用したドラム型のレンズが用いられている。また上記水晶振動子１０３の電極に接続されたリード端子１０３ａは、上記筐体１０６を貫通して外部に導出されている。
【０００４】
光ファイバ１０１を介して入射された光ビームＬinは、凸レンズ１０２により収束され、その収束領域ＦＡに配置されたに水晶振動子１０３によってＯＮ／ＯＦＦされる。水晶振動子１０３により断続された光ビームＬchがフォトダイオードなどの光検出器１０５によって検出されて電気信号へ変換される。
【０００５】
水晶振動子１０３には、筐体１０６の外部に導出されたリード端子１０３ａを介して電極に図示しない駆動回路から交流電圧が印加される。水晶振動子１０３は、この印加された交流電圧によって、異なる電歪状態を交互に繰り返すような振動を起こす。即ち、この水晶振動子１０３は、その振動の方向が入射され光ビームＬinの光軸と交差するように上記筐体１０６内に設置されることにより、光ビームＬinをＯＮ／ＯＦＦすることができる。
【０００６】
このような従来における光チョッパでは、高速の光チョップが可能になり、得られる光信号の帯域幅を広く取ることができる。また、圧電振動素子の電気的特性から省電力化を図ることができ、しかも、部品点数が少なく構成が簡単で小型の光チョッパを提供することができる。さらに、多くの応用機器で必要となる検出信号が電気信号として得られるため、光チョッパの利用が容易に利用することができる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２７７７５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、光計測、光制御、光検出などの分野に使用される光チョッパは、更なる小型化、軽量化、省力化の要請に応えるべく、水晶振動子を振動させるための交流電圧を出力する発振回路についても１つの筐体内に実装したモジュールとして構成する必要があった。また、かかる発振回路を始めとした各種回路を搭載した基板の上記筐体への取り付けに伴う歪みや、取り付けられた当該基板における上記筐体に対する経時的なズレに伴い、光チョッパを構成する光学系自体に歪みが生じてしまうという問題点もあった。また、さらなる多機能化を図るべく、光チョッパの筐体内にロックインアンプや、同期検波された電気信号をデジタル信号に変換する機能を実装する必要性も高まっていた。
【０００９】
そこで本発明は上述した課題を解決するために案出されたものであり、その目的とするところは、光チョッパを駆動するための各種回路を１つの筐体内に実装し、これらの取り付け等に伴う光学系の歪みを解消させた光チョッパ用モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、上述した問題点を解決するため、光チョッパ、並びに当該光チョッパを構成する圧電振動素子に対して印加するための制御電圧を出力する発振回路を１つの筐体に実装した光チョッパ用モジュールを発明した。
【００１１】
即ち、本発明を適用した光チョッパ用モジュールは、入射された光ビームを断続させて電気信号に変換する光チョッパ用モジュールにおいて、上記光ビームを断続するための圧電振動素子並びに上記圧電振動素子により断続された光ビームを電気信号に変換するための光電変換素子を有する光チョッパと、上記圧電振動素子に対して印加するための制御電圧を出力する発振回路と、少なくとも上記光チョッパ並びに上記発振回路を収納する筐体とを備える。
【００１２】
また、本発明を適用した光チョッパ用モジュールは、上記光チョッパ用モジュールにおいて、少なくとも上記発振回路が搭載される回路用基板と、上記圧電振動素子が搭載される振動素子用基板とを更に備え、上記回路用基板並びに上記振動素子用基板は、互いに独立して上記筐体内に設けられる。
【００１３】
即ち、本発明を適用した光チョッパ用モジュールは、入射された光ビームを断続させて電気信号に変換する光チョッパ用モジュールにおいて、上記光ビームを収束させる入射側凸レンズと、上記入射側凸レンズにより収束される光ビームの収束領域に配置され、上記入射された光ビームを断続するための圧電振動素子と、上記圧電振動素子により断続された光ビームを平行ビームに戻す出射側凸レンズと、上記圧電振動素子に対して印加するための制御電圧を出力する発振回路と、上記入射側凸レンズ並びに出射側凸レンズを固定するとともに、上記光チョッパ並びに上記発振回路を収納する筐体とを備える。
【００１４】
また、本発明を適用した光チョッパ用モジュールは、上記光チョッパ用モジュールにおいて、少なくとも上記発振回路が搭載される回路用基板と、上記圧電振動素子が搭載される振動素子用基板とを更に備え、上記回路用基板並びに上記振動素子用基板は、互いに独立して上記筐体内に設けられる。
【発明の効果】
【００１５】
入射された光ビームを断続させて電気信号に変換する光チョッパ用モジュールにおいて、水晶振動子を振動させるための発振回路を１つの筐体内に実装することができるため、さらなる小型化、軽量化、省力化を図ることが可能となる。また、この光チョッパ用モジュールでは、水晶振動子用基板並びに回路用基板は、互いに独立して上記筐体内に設けるため、回路用基板の取り付けに伴って、光チョッパを構成する光学系自体に歪みが加わることがなくなる。更に、光チョッパ用モジュールにおける筐体内にロックインアンプや、同期検波された電気信号をデジタル信号に変換する機能を実装することにより、多機能化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１７】
本発明を適用した光チョッパ用モジュール１は、例えば図１に示すように構成される。なお図１は、光チョッパ用モジュール１に内蔵されている部品等が見える形で表記した透視図である。
【００１８】
光チョッパ用モジュール１に設けられている光チョッパ１０は、光ファイバ１１を介して光ビームＬinが入射されるロッドレンズ１２と、このロッドレンズ１２により光ビームＬinが収束される収束領域に圧電振動素子として配置された水晶振動子１３と、この水晶振動子１３により上記光ビームＬinを断続させた光ビームＬchが入射される光検出器１５と、上記水晶振動子１３に対して印加するための制御電圧を出力する発振回路１７とを筐体４に内蔵してなる。
【００１９】
光ファイバ１１、ロッドレンズ１２並びに光検出器１５は、図２に示すようなレセプタクル６に搭載されている。この光ファイバ１１から出射される光ビームにより、ロッドレンズ１２を介して水晶振動子１３上に最適なスポット径が形成されるように、ロッドレンズ１２の光学的な位置関係が調整された上でレセプタクル６に搭載されることになる。上記ロッドレンズ１２としては、球レンズや球面を利用したドラム型のレンズが用いられ、レセプタクル６における鏡筒６０内に嵌挿される。また水晶振動子１３により断続された光ビームＬｃｈにより、光検出器１５における受光面上に最適なスポット径が形成されるように、ロッドレンズ１２と光検出器１５との光学的な位置関係が精度よく調整されている。
【００２０】
ちなみに、このレセプタクル６における突出部６１を、筐体４の外部に設けられた図示しない孔部へ挿入し、貫通孔６２を介して筐体４へネジ止めすることにより、レセプタクル６自体を筐体４へ固定することができる。これにより、レセプタクル６において搭載されている光チョッパ１０を構成する光学系も筐体４に対して高精度に位置合わせされた状態で保持されることになる。
【００２１】
水晶振動子１３は、水晶振動子用基板２１上に搭載される。この水晶振動子用基板２１は、筐体４の底面４ｃ上に直接取り付けられて固定される。上記水晶振動子１３の電極に接続されたリード端子１３ａは、発振回路１７に導出されている。水晶振動子１３を内蔵した筐体４は、真空状態で封止されている。
【００２２】
発振回路１７は、各種制御回路を搭載するための回路用基板２２上に設けられる。この発振回路１７は、ＤＣ電源コネクタ１８を介して外部から供給されたＤＣ電圧を受けて、水晶振動子１３を振動させるための交流電圧を生成する。この発振回路１７は、生成した交流電圧を接続された水晶振動子１３へ出力する。発振回路１７は、水晶振動子１３に十分な駆動電圧を与えてこれを十分に振動させるべく、オペアンプにより構成されていてもよい。かかる場合においてＤＣ電源コネクタ１８を介して±１２の電圧を印加するようにしてもよい。また、この発振回路１７としてＣＭＯＳを用いたデジタルＩＣを用いることにより、回路全体の小型化に加え、消費電力の低減を図ることが可能となる。更に、この発振回路１７は、ＤＣ電源コネクタ１８を介して供給される電圧に基づくものに限定されるものではなく、例えば小型の電池により駆動するものであってもよい。
【００２３】
また、光検出部１５は、断続された光ビームＬｃｈを受光して電気信号に変換するためのフォトダイオード（ＰＤ）、アバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ）、光電子増倍管等で構成される。ＡＰＤや光電子増倍管を用いることにより、受光感度をより向上させることができる。
【００２４】
このような構成からなる光チョッパ用モジュール１において、光ファイバ１１を介して入射された光ビームＬinは、ロッドレンズ１２により収束され、その収束領域ＦＡに配置されたに水晶振動子１３によってＯＮ／ＯＦＦされる。水晶振動子１３により断続された光ビームＬchがフォトダイオードなどの光検出器１５によって検出されて電気信号へ変換される。
【００２５】
上記水晶振動子１３としては、例えば音叉型の水晶振動子が用いられる。音叉型の水晶振動子は、時計などに用いる省電力型の基準クロック信号を発生させるための水晶振動子であって、振動のＱが高く振動ストロークが長いことを特徴としているため、光ビームを遮光／通過の切替えに使うものとして最も適している。
【００２６】
図３は、図１における水晶振動子１３の部分の拡大図で、その動作を上記収束領域ＦＡにおける光ビームスポットＢとともに示したものである。
【００２７】
図３（Ａ）は、水晶振動子１３が静止している状態を示している。水晶振動子１３は、導出されたリード端子１３ａを介して発振回路１７から交流電圧が印加されることによって、図３の（Ｂ）に示す電歪状態と図３の（Ｃ）に示す電歪状態と交互に繰り返すような振動を起こす。水晶振動子１３は、その振動の方向が、光ビームＬinの光軸と交差するように上記筐体４内に設置されることにより、図３に示すように光ビームＬinをＯＮ／ＯＦＦすることができる。
【００２８】
図３に示すＢ１及びＢ３の位置に光ビームスポットが来るようにしたときはノーマルＯＮ、また、Ｂ２の位置に来るようにしたときは、ノーマルＯＦＦ（つまり、水晶振動子１０３に電源を投入していないときの状態で、光が通過状態であるか遮光状態であるかを示している）となる。このように、音叉型の水晶振動子１０３を利用することで、光をＯＮ／ＯＦＦすることができる。
【００２９】
また図４は、この水晶振動子用基板２１と回路用基板２２の上面図を示している。これらの各基板２１,２２を筐体４内に実装する場合には、先ず、水晶振動子１３が実装された水晶振動子用基板２１を筐体４における底面４ｃ上に取り付ける。この水晶振動子用基板２１は、あくまで筐体４に対して高精度に位置合わせされた状態で取り付けられる。このため水晶振動子用基板２１上に実装された水晶振動子１３は、筐体４に対して位置合わせされたレセプタクル６内にある光チョッパ１０を構成する光学系との間においても光学的な位置関係が精度よく調整されることになる。
【００３０】
この底面４ｃ上に水晶振動子用基板２１が取り付けられた後に、回路用基板２２が底面４ｃ上に別途取り付けられる。このとき回路用基板２２に設けられた貫通孔３１に、水晶振動子用基板２１が遊嵌されるように、取り付けるようにしてもよい。
【００３１】
即ち、この光チョッパ用モジュール１において、水晶振動子用基板２１並びに回路用基板２２は、互いに独立して上記筐体４内に配設されるため、回路用基板２２の取り付けに伴って、光チョッパ１０を構成する光学系自体に歪みが加わることがなくなる。また、取り付けられた回路用基板２２の筐体４に対する経時的なズレに伴い、光チョッパ１０を構成する光学系自体に歪みが加わることもなくなる。
【００３２】
また、この筐体４内には、上述した発振回路１７に加えて、ロックインアンプや組込み型マイクロコンピュータ等の各種回路を実装するようにしてもよい。このとき、これらの各種回路を上述した回路用基板２２上に設けるようにしてもよい。
【００３３】
図５は、筐体４内に実装する各種回路８の構成を示している。これら各種回路８は、光検出部１５より光電変換されて生成された電気信号が供給される電流アンプ３１と、発振回路からの参照信号に基づいて、電流アンプ３１から出力される電気信号を同期検波するロックインアンプ３２と、少なくともロックインアンプ３２を制御するための組込み用マイクロコンピュータ３３とを備えている。
【００３４】
電流アンプ３１は、光検出部１５から供給される電気信号を増幅して、これをロックインアンプ３２へ出力する。
【００３５】
ロックインアンプ３２は、ヘテロダイン技術を用いることにより、電流アンプ３１から出力される電気信号を直流に周波数変換する。このようなロックインアンプ３２に対して、発振回路１７から参照信号を入力することにより、当該参照信号と等しい周波数成分の検出を行うことができる。換言すれば、電流アンプ３１から出力される電気信号をこのロックインアンプ３２へ通すことにより、参照信号の周波数と等しい直流成分を得ることが可能となる。特にこのロックインアンプ３２を筐体４内に実装することにより、光検出器１５により検出された光と同期させて電気信号の高分解能な検出を実現することができる。
【００３６】
組込み型マイクロコンピュータ３３は、ロックインアンプ３２における利得、時定数の設定を行う。また、この組込み型マイクロコンピュータ３３は、ロックインアンプ３２に対してバンドパスフィルタの設定、オートレンジの設定等を行う。さらにこの組込み型マイクロコンピュータ３３は、デジタル出力フィルタを有し、ロックインアンプ３２により同期検波された電気信号をデジタル信号に変換し、これを接続されたＵＳＢ標準インターフェースを介して外部のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）等へ送信する。ちなみに、このＵＳＢインターフェースの代替として、例えばＧＰ−ＩＢケーブルを介して外部のＰＣ等へ送信してもよい。ＰＣに取り込まれたデジタル信号は、イーサネット（登録商標）を介して他の電子機器へ伝送されるようにしてもよい。
【００３７】
このように、本発明を適用した光チョッパ用モジュール１は、上述した光チョッパ１０における水晶振動子１３を振動させるための発振回路１７を１つの筐体４内に実装することができるため、さらなる小型化、軽量化、省力化を図ることが可能となる。  また本発明を適用した光チョッパ用モジュール１では、更に上述した各種回路８を備えることにより、所望の周波数成分へのフィルタリングやデジタル信号への変換を、１つのモジュール内で実現することができ、多様な機能を持たせることによる差別化を図ることができ、更には製造コストの大幅な低減を図ることも可能となる。
【００３８】
次に、本発明を適用した光チョッパ用モジュール１の変形例について説明する。
【００３９】
光チョッパ用モジュール１に搭載する光チョッパ１０の代替として、例えば、図６に示すような光チョッパ８１を用いてもよい。この光チョッパ８１は、基本的な構成は上記光チョッパ１０と同じであるが、ロッドレンズ１２を用いないで構成されている。水晶振動子１３として音叉型の水晶振動子を用いる場合、振動ストロークが大きく取れるため、光ファイバ１１の出射端１１Ａに水晶振動子１３をなるべく近づけることで、上記光ファイバ１１を介して入射された光ＬinをＯＮ／ＯＦＦすることができ、ロッドレンズ１２を省略するで低コスト化が可能になる。
【００４０】
また本発明では、上述した光チョッパ１０の代替として、例えば、図７に示すような光チョッパ８２を用いてもよい。この光チョッパ８２は、基本的な構成は上記光チョッパ１０と同じであるが、光ファイバ１１を用いずに、上記光ビームＬinとして平行ビームをロッドレンズ１２に入射する構成となっている。入射された平行ビームＬinは、ロッドレンズ１２により収束される収束領域ＦＡにおいて水晶振動子１３によって遮光／通過を繰り返し行われて断続された光ビームＬchとされ、この光ビームＬchが光検出器１５で電気信号に変換される。
【００４１】
なお、光検出器のサイズによっては、収束領域ＦＡに光検出器１５を配置し、ロッドレンズ１２と光検出器１５の間に水晶振動子１３を配置する方が望ましい場合もある。
【００４２】
また、本発明を適用した光チョッパ用モジュール１は、上述した構成に限定されるものではなく、例えば以下に説明する光チョッパモジュール９に適用してもよい。この光チョッパ用モジュール９は、例えば図８に示すように構成される。ちなみに、この図８は、光チョッパ用モジュール９に内蔵されている部品等が見える形で表記した透視図であり、図１に示す光チョッパモジュール９と同一の構成要素には同一の番号を付して説明を省略する。
【００４３】
上述の図１に示した光チョッパ用モジュール１では、直接光検出器１５へ光を入れることで、光チョップした光ビームＬinを電気信号に変換するようになっていたのに対し、この図７に示した光チョッパ用モジュール９は、光学系の間に挿入して使用するためのものである。
【００４４】
この光チョッパ用モジュール９は、光ビームＬinが入射される入射側凸レンズ９２と、この入射側凸レンズ９２により光ビームＬinが収束される収束領域ＦＡに配置された水晶振動子１３と、水晶振動子１３を通過した光ビームＬoutが入射される出射側凸レンズ９５を筐体４に内蔵してなる。上記水晶振動子１３の電極に接続されたリード端子１３ａは、発振回路１７に導出されている。そして、水晶振動子１３を内蔵した筐体４は、真空状態で封止されている。
【００４５】
光ビームＬinは、入射側凸レンズ９２により収束され、その収束領域ＦＡに配置されたに水晶振動子１３によってＯＮ／ＯＦＦされる。水晶振動子１３を通過した光ビームＬout は、出射側凸レンズ９５により再び平行ビームに戻して出射される。
【００４６】
この光チョッパ用モジュール９における光チョッパの基本的な概念図を図９に示してある。入射側凸レンズ９２及び出射側凸レンズ９５は、ビーム径や装置のサイズ、水晶振動子１３のストロークなどによって、適切なサイズ、焦点距離が選ばれる。また、水晶振動子１３としては、音叉型の水晶振動子が用いられている。
【００４７】
また、上記入射側凸レンズ９２及び出射側凸レンズ９５として、屈折率分布型レンズを用いるようにしてもよい。
【００４８】
このような構成からなる光チョッパ用モジュール９においても、光チョッパ用モジュール１と同様に、水晶振動子１３を振動させるための発振回路１７を１つの筐体４内に実装することができるため、さらなる小型化、軽量化、省力化を図ることが可能となる。また、この光チョッパ用モジュール９では、水晶振動子用基板２１並びに回路用基板２２は、互いに独立して上記筐体４内に設けるため、回路用基板２２の取り付けに伴って、光チョッパ１０を構成する光学系自体に歪みが加わることがなくなる。また、取り付けられた回路用基板２２の筐体４に対する経時的なズレに伴い、光チョッパ１０を構成する光学系自体に歪みが加わることもなくなる。また、光チョッパ用モジュール９における筐体４内に各種回路１０を実装することにより、多機能化を図ることができることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明を適用した光チョッパ用モジュールの構成図である。
【図２】本発明を適用した光チョッパ用モジュールに設けられるスペクタクルを示す図である。
【図３】光チョッパ用モジュールに実装される水晶振動子の動作を示す図である。
【図４】水晶振動子用基板と回路用基板の上面図である。
【図５】筐体内に実装する各種回路の構成を示す図である。
【図６】光チョッパ用モジュールに搭載する光チョッパの他の例を示す図である。
【図７】光ファイバを用いない光チョッパの例を示す図である。
【図８】光チョッパ用モジュールの他の例を示す図である。
【図９】光チョッパ用モジュールにおける光チョッパの基本的な概念図である。
【図１０】従来における光チョッパの構成について説明するための図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  光チョッパ用モジュール、１０  光チョッパ、１１  光ファイバ、１２  ロッドレンズ、１３  水晶振動子、１５  光検出器、１７  発振回路、２１  水晶振動子用基板、２２  回路用基板
【図１】
2005037231.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005037231.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2005037231.tif 000011
【図１０】
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