(57)【要約】【課題】ピックアップに容易に組み込めて、光学構成によりディスクチルトと対物レンズチルトを同時に検出し、信号処理で両者の相対チルトの補正信号を得ようとする相対チルト検出光学系等を提供する。【解決手段】第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２の相対チルトを検出するための光学系であって、前記第１と第２の被検反射面の間にミラー２３とルーフ型ミラー２４を配し、前記第１の被検反射面２１の前段に光源１１とカップリングレンズ１２を含む光源系１０を配し、前記第２の被検反射面２２の後段に受光素子３１を含む検出系３０を配した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の被検反射面と第２の被検反射面の相対チルトを検出するための光学系であって、
前記第１と第２の被検反射面の間にミラーとルーフ型ミラーを配し、前記第１の被検反射面の前段に光源とカップリングレンズを含む光源系を配し、前記第２の被検反射面の後段に受光素子を含む検出系を配したことを特徴とする相対チルト検出光学系。
【請求項２】
請求項１記載の相対チルト検出光学系において、
前記ミラーあるいはルーフ型ミラーのうちの一面をハーフミラーとし、前記光源系と第１の被検反射面の間に前記ハーフミラー面を配したことを特徴とする相対チルト検出光学系。
【請求項３】
請求項１記載の相対チルト検出光学系において、
前記ミラーあるいはルーフ型ミラーのうちの一面をハーフミラーとし、前記第２の被検反射面と検出系の間に前記ハーフミラー面を配したことを特徴とする相対チルト検出光学系。
【請求項４】
請求項１記載の相対チルト検出光学系において、
前記ミラーをハーフミラーにすると共に、ルーフ型ミラーのうちの一面をハーフミラーとし、前記光源系と第１の被検反射面の間に一方のハーフミラー面を配し、前記第２の被検反射面と検出系の間に他方のハーフミラー面を配したことを特徴とする相対チルト検出光学系。
【請求項５】
請求項１記載の相対チルト検出光学系において、
前記ミラーあるいはルーフ型ミラーのうちの一面を偏光ビームスプリット面とし、前記光源系と第１の被検反射面の間に前記偏光ビームスプリット面およびλ/4板を配すると共に、光源系を半導体レーザ等のコヒーレント光を発する光源系としたことを特徴とする相対チルト検出光学系。
【請求項６】
請求項１〜請求項５記載の相対チルト検出光学系における検出系は、集光レンズと受光素子を備えてなることを特徴とする相対チルト検出光学系。
【請求項７】
請求項１〜請求項５記載の相対チルト検出光学系における検出系は、アパーチャと受光素子を備えてなることを特徴とする相対チルト検出光学系。
【請求項８】
請求項６または請求項７記載の相対チルト検出光学系における受光素子は、分割受光素子であることを特徴とする相対チルト検出光学系。
【請求項９】
請求項６または請求項７記載の相対チルト検出光学系における受光素子は、位置検出素子であることを特徴とする相対チルト検出光学系。
【請求項１０】
請求項１〜請求項９記載の相対チルト検出光学系において、
光源の発光量を受光素子の受光量で制御するようにしたことを特徴とする相対チルト検出光学系。
【請求項１１】
請求項１〜請求項１０記載の相対チルト検出系を備えたことを特徴とする光ピックアップ。
【請求項１２】
請求項１１記載の光ピックアップを搭載したことを特徴とする光ディスクドライブ装置。
【請求項１３】
第１の被検反射面と第２の被検反射面の間にミラーとルーフ型ミラーを配し、前記第１の被検反射面の前段に光源とカップリングレンズを含む光源系を、前記第２の被検反射面の後段に受光素子を含む検出系を配した２方向相対チルト検出光学系（以下「２方向相対チルト検出光学系」と略す）において、
前記ミラーをハーフミラーとすると共に、前記光源系からのビームを、前記ハーフミラーを透過させてとり込むと共に、前記ハーフミラーを透過させて前記検出系に導くようにしたことを特徴とする２方向相対チルト検出光学系。
【請求項１４】
請求項１３記載の２方向相対チルト検出光学系において、
前記ミラーを偏光ビームスプリット面（ＰＢＳ面）とし、該ＰＢＳ面と前記第１の被検反射面の間に第１のλ/4板を配すると共に、該ＰＢＳ面と前記第２の被検反射面の間に第２のλ/4板を配し、前記光源系よりのビームを、前記ＰＢＳ面を透過させてとり込むと共に、前記ＰＢＳ面を透過させて前記検出系に導くようにしたことを特徴とするチルト検出光学系。
【請求項１５】
請求項１３ないし請求項１４記載の２方向相対チルト検出光学系において、
前記ルーフ型ミラーの上部あるいは下部あるいは双方を、被検反射面と平行になるようにカットしたことを特徴とする２方向相対チルト検出光学系。
【請求項１６】
請求項１３ないし請求項１４記載の２方向相対チルト検出光学系において、
前記ルーフ型ミラーをプリズムタイプとしたことを特徴とする２方向相対チルト検出光学系。
【請求項１７】
請求項１３ないし請求項１４記載の２方向相対チルト検出光学系において、
前記ミラーとルーフ型ミラーを一体型プリズムとしたことを特徴とする２方向相対チルト検出光学系。
【請求項１８】
請求項１４記載の２方向相対チルト検出光学系において、
前記第１，第２のλ/4板及びＰＢＳ面を、４５°入射光に対してλ/4の位相差を発生するような位相板にＰＢＳ膜を受けた偏光ビームスプリッタとしたことを特徴とする２方向相対チルト検出光学系。
【請求項１９】
請求項１３、請求項１４、請求項１８記載の２方向相対チルト検出光学系を備えたことを特徴とする光ピックアップ。
【請求項２０】
請求項１９記載の光ピックアップを搭載したことを特徴とする光ディスクドライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、相対チルト検出光学系および光ピックアップおよび光ディスクドライブ装置に関し、特に、ピックアップに容易に組み込めて、光学構成によりディスクチルトと対物レンズチルトを同時に検出し、信号処理で両者の相対チルトの補正信号を得ようとする相対チルト検出光学系および光ピックアップおよび光ディスクドライブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクにチルトがあると、スポットにコマ収差が生じて信号品質が劣化する。光ディスクの高密度化のために短波長化が進むにつれて（他の条件が同じであれば）、その劣化の度合いは大きくなり、特に基板厚を変えないで短波長化を進めると、ディスクの周内変動分がチルトの目標仕様を超えてしまい、リアルタイムのチルト検出、リアルタイムでクローズドなチルト補正が必要になる。
【０００３】
これまでのＤＶＤ世代（波長６６０ｎｍ）ではＲａｄ（ラジアル）方向のオープンループ制御で済んでいたものが、ブルー世代では、Ｒａｄ、Ｔａｎ（タンジェンシャル）２方向のクローズドループ制御が必要になり、それに伴ってチルト検出もＲａｄ、Ｔａｎ２方向のリアルタイム検出が必要になる。
【０００４】
これを嫌って、基板厚（カバー厚）を小さくする動きがあるが、基板厚を薄くすると、ホコリ、傷、汚れ等に弱くなり、カートリッジによる保護が必要になり、これまでの世代との互換がとりにくくなる。
【０００５】
カートリッジレス、世代互換を考えると、基板厚をこれまでと同じにしたいが、そのためには２方向のリアルタイムチルト検出、およびチルト補正が必要である。
ディスクの周内変動に対応してリアルタイムにチルトを補正するには、その応答性から、シークレール全体や、ディスクを傾けるメカ的な方式は使えず、また液晶も、その応答速度から使えない。
【０００６】
有力な方法は、対物レンズ（ОＬ）をアクチュエータ（ＡＣＴ）上で傾ける、いわゆる４軸ＡＣＴ方式である。
４軸ＡＣＴになると制御の安定性からＯＬの両側にモータを抱えたいわゆるセンタＯＬ方式の駆動が望まれるが、そうするとＯＬ近傍でチルトを検出するには、ＯＬと駆動モータの間の狭い領域にビームを通してチルト検出する必要があり、従来のチルトセンサでは対応しきれない。４軸ＡＣＴでのチルト検出を考えたとき、ディスクとＯＬの相対チルトを２方向において検出する必要がある。
【０００７】
ここで、ディスクとＯＬの相対チルトを検出する従来例を説明する。
第１の従来例は、２つのチルトセンサでディスクと対物レンズのチルトを検出するものである（特許文献１、参照）。
【０００８】
第２の従来例は、対物レンズ外周部を利用し、直接的にディスクと対物レンズの相対チルトを検出するものである（特許文献２、参照）。
【０００９】
【特許文献１】特開平５−００６５６１号公報
【特許文献２】特開平５−００６５６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、前記第１の従来例は、一般のいわゆるチルトセンサを念頭においたものであり、ピックアップへの組み付けは困難である。
また、前記第２の従来例は、一方向のチルト検出としては優れた発想ではあるが、２方向に対応できない。ＯＬ直下に斜めに平行平板が入っているため、ＰＵ（ピックアップ）本体のビーム品質を損なう。この第２の従来例は、ＰＵ本体とチルト検出系の関係には言及されておらず、ＰＵ本体のビームとチルト検出用ビームの分離等を考えると、実現困難な方式と言わざるを得ない。
【００１１】
本発明はかかる不具合を解消するもので、ピックアップに容易に組み込めて、光学構成によりディスクチルトと対物レンズチルトを同時に検出し、信号処理で両者の相対チルトの補正信号を得ようとする相対チルト検出光学系および光ピックアップおよび光ディスクドライブ装置の提供を目的とする。
【００１２】
また、本発明は、光ディスクの世代互換が可能な相対チルト検出光学系および光ピックアップおよび光ディスクドライブ装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この目的を達成するために請求項１記載の発明は、第１の被検反射面（図１の２１）と第２の被検反射面（２２）の相対チルトを検出するための光学系であって、
前記第１と第２の被検反射面の間にミラー（２３）とルーフ型ミラー（２４）を配し、前記第１の被検反射面（２１）の前段に光源（１１）とカップリングレンズ（１２）を含む光源系（１０）を配し、前記第２の被検反射面（２２）の後段に受光素子（３１）を含む検出系（３０）を配した構成としてある。
【００１４】
以上の構成を図示すると、例えば図１に示すようになる。このようにすれば、次のようにすることができる。
(1)１系統の検出系で２方向の検出が可能になる。
(2)ＰＵ（ピックアップ）に組み込む場合、ＡＣＴ（アクチュエータ）可動部上の反射面は、ディスクに平行な反射面でよく、ＡＣＴに対する負荷が小さい。
【００１５】
(3)１系統の検出系でディスク、ＯＬ（対物レンズ）の両者の相対チルト検出が可能になる。
(4)直接的に相対チルトを検出するため、受光素子が一つで済み、受光素子間バラツキによる誤差がない。
【００１６】
(5)一方のチルトに他方のチルトを追従させる（光ピックアップのディスクとＯＬのような）場合、直接的に相対チルトが検出できるので、分割受光素子（あるいはＰＳＤ（位置検出素子））の差信号０となるように制御（０クロス制御）をかけることができ、信号処理系が大幅に簡略化できる。
【００１７】
(6)必ず比較する２つの反射面で反射したビームを用いて検出するため、独立検出のように、両者の反射率の差による誤差が発生しない。
(7)また、必ず比較する２つの反射面で反射したビームを用いて検出するため、受光素子の受光量によって光源の発光量を制御すれば、受光光量を常に一定に保てる。
【００１８】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の相対チルト検出光学系において、
前記ミラー（２３）あるいはルーフ型ミラー（２４）のうちの一面をハーフミラーとし、前記光源系（１０）と第１の被検反射面（２１）の間に前記ハーフミラー面を配した構成としてある。
以上の構成を図示すると、例えば図２（ａ），（ｂ）に示すようになる。
【００１９】
また、請求項３記載の発明は、請求項１記載の相対チルト検出光学系において、
前記ミラー（２３）あるいはルーフ型ミラー（２４）のうちの一面をハーフミラーとし、前記第２の被検反射面（２２）と検出系（３０）の間に前記ハーフミラー面を配した構成としてある。
以上の構成を図示すると、例えば図３に示すようになる。
【００２０】
また、請求項４記載の発明は、請求項１記載の相対チルト検出光学系において、
前記ミラーをハーフミラー（２５）にすると共に、ルーフ型ミラーのうちの一面をハーフミラー（２４ａ）とし、前記光源系（１０）と第１の被検反射面（２１）の間に一方のハーフミラー面を配し、前記第２の被検反射面（２２）と検出系（３０）の間に他方のハーフミラー面を配した構成としてある。
以上の構成を図示すると、例えば図４に示すようになる。
【００２１】
以上の請求項２〜請求項４の効果をまとめて記す。
ミラーをハーフミラーにすることにより、被検反射面の入反射角を直角（あるいは、その近傍）に設定することができる。これにより、反射率に入射角依存性のある反射面のような場合でも測定可能になり、また、レイアウト的には光路構成がすっきりと構成でき、また、スペース的に制約のある装置に組み込む場合の選択肢を増やすことができる。
【００２２】
また、請求項５記載の発明は、請求項１記載の相対チルト検出光学系において、
前記ミラーあるいはルーフ型ミラーのうちの一面を偏光ビームスプリット面（１３）とし、前記光源系（１０）と第１の被検反射面（２１）の間に前記偏光ビームスプリット面（１３）およびλ/4板（１４）を配すると共に、光源系を半導体レーザ等のコヒーレント光を発する光源系（１０）とした構成としてある。
【００２３】
以上の構成を図示すると、例えば図５に示すようになる。このようにすれば、請求項２〜４の効果を持ちつつ、光量損失を抑えることができる。
【００２４】
また、請求項６記載の発明は、請求項１〜請求項５記載の相対チルト検出光学系における検出系は、集光レンズ（３２）と受光素子（３１）を備えてなる構成としてある。
以上の構成を図示すると、例えば図１（ａ）に示すようになる。
【００２５】
また、請求項７記載の発明は、請求項１〜請求項５記載の相対チルト検出光学系における検出系は、アパーチャ（３３）と受光素子（３１）を備えてなる構成としてある。
以上の構成を図示すると、例えば図１（ｃ２）に示すようになる。
【００２６】
また、請求項８記載の発明は、請求項６または請求項７記載の相対チルト検出光学系における受光素子（３１）は、分割受光素子（３１ｂ）である構成としてある。
以上の構成を図示すると、例えば図１（ｃ２）に示すようになる。
【００２７】
また、請求項９記載の発明は、請求項６または請求項７記載の相対チルト検出光学系における受光素子（３１）は、位置検出素子（３１ａ）である構成としてある。
以上の構成を図示すると、例えば図１（ｃ１）に示すようになる。
【００２８】
以上の請求項６〜請求項９の効果をまとめて記す。
レンズ（集光レンズ３２）を用いる場合はその集光性により、ビーム位置ズレの影響を除くことができる。
アパーチャ（３３）を用いる場合には、受光素子に入るスポットの径を任意に設定でき、また、レンズより安価に構成できる。
【００２９】
受光素子として分割受光素子（３１ｂ）を用いれば、差信号により直ちにチルトが検出され、相対チルト制御信号も容易に得ることができる。
受光素子として位置検出素子（ＰＳＤ）（３１ａ）を用いれば、集光スポットの検出が可能となり、被検反射面で部分的に反射率が異なる場合等に有効である。
【００３０】
また、請求項１０記載の発明は、請求項１〜請求項９記載の相対チルト検出光学系において、
光源の発光量を受光素子の受光量で制御するようにした構成としてある。
【００３１】
また、請求項１１記載の発明は、光ピックアップが、請求項１〜請求項１０記載の相対チルト検出系を備えた構成としてある。
また、請求項１２記載の発明は、光ディスクドライブ装置が、請求項１１記載の光ピックアップを搭載した構成としてある。
以上の構成を図示すると、例えば図６に示すようになる。
【００３２】
以上の請求項１０〜１２の効果をまとめて記す。
請求項１〜９記載のチルト検出系をＰＵに組み込むことは容易であり、これによりディスクとＯＬの２方向相対チルトを制御するような４軸ＡＣＴを備えたＰＵにおいて、ＡＣＴのチルト制御信号を容易に得ることができる。
また、そのＰＵを光ディスクドライブ装置に組み込むことにより、青色世代ドライブのような高精度チルト制御の要求される光ディスクドライブが構成可能となる。
【００３３】
また、請求項１３記載の発明は、第１の被検反射面（２１）と第２の被検反射面（２２）の間にミラーとルーフ型ミラー（２４）を配し、前記第１の被検反射面（２１）の前段に光源（１１）とカップリングレンズ（１２）を含む光源系（１０）を、前記第２の被検反射面（２２）の後段に受光素子（３１）を含む検出系（３０）を配した２方向相対チルト検出光学系（以下「２方向相対チルト検出光学系」と略す）において、
前記ミラーをハーフミラー（２５）とすると共に、前記光源系（１０）からのビームを、前記ハーフミラー（２５）を透過させてとり込むと共に、前記ハーフミラー（２５）を透過させて前記検出系（３０）に導くようにした構成としてある。
【００３４】
以上の構成を図示すると、例えば図７に示すようになる。このようにすれば、光源系と検出系をハーフミラー側に寄せることがでるので、ＰＵ本体との干渉性の小さいチルト検出系を構成することができる。
また、ハーフミラーの経由回数が３回であり、図４（実施形態４）の場合の４回に比べて、光量損失を抑えることができる。
【００３５】
また、請求項１４記載の発明は、請求項１３記載の２方向相対チルト検出光学系において、
前記ミラーを偏光ビームスプリット面（ＰＢＳ面）（１３）とし、該ＰＢＳ面（１３）と前記第１の被検反射面（２１）の間に第１のλ/4板（１４ａ）を配すると共に、該ＰＢＳ面（１３）と前記第２の被検反射面（２２）の間に第２のλ/4板（１４ｂ）を配し、前記光源系（１０）よりのビームを、前記ＰＢＳ面（１３）を透過させてとり込むと共に、前記ＰＢＳ面（１３）を透過させて前記検出系（３０）に導くようにした構成としてある。
【００３６】
以上の構成を図示すると、例えば図８に示すようになる。このようにすれば、ビームの往復共に、λ/4板とＰＢＳ膜を介しているので、光量損失のないチルト検出系を構成することができる。
【００３７】
また、請求項１５記載の発明は、請求項１３ないし請求項１４記載の２方向相対チルト検出光学系において、
前記ルーフ型ミラーの上部あるいは下部あるいは双方を、被検反射面と平行になるようにカット（２４ｂ）した構成としてある。
【００３８】
以上の構成を図示すると、例えば図９に示すようになる。このようにすれば、ルーフ型ミラー上部（及び下部）を被検反射面に平行にカットすることにより、薄型化に適した検出系が構成できるので、光ピックアップに組み込みやすくなる。
【００３９】
また、請求項１６記載の発明は、請求項１３ないし請求項１４記載の２方向相対チルト検出光学系において、
前記ルーフ型ミラーをプリズムタイプ（２４ｃ）とした構成としてある。
【００４０】
以上の構成を図示すると、例えば図１０に示すようになる。このようにすれば、ルーフ型ミラーをプリズム化するので、経時温度特性を強くすることができる。
また、ルーフ型ミラーをプリズム化するので、全反射が使えて反射膜が不要となる。
【００４１】
また、請求項１７記載の発明は、請求項１３ないし請求項１４記載の２方向相対チルト検出光学系において、
前記ミラーとルーフ型ミラーを一体型プリズム（２６）とした構成としてある。
【００４２】
以上の構成を図示すると、例えば図１１に示すようになる。このようにすれば、ミラー及びルーフ型ミラーをプリズム化するので、経時温度特性を強くすることができる。
【００４３】
また、請求項１８記載の発明は、請求項１４記載の２方向相対チルト検出光学系において、
前記第１，第２のλ/4板（１４ａ，１４ｂ）及びＰＢＳ面（１３）を、４５°入射光に対してλ/4の位相差を発生するような位相板にＰＢＳ膜を受けた偏光ビームスプリッタ（２７）とした構成としてある。
【００４４】
以上の構成を図示すると、例えば図１７に示すようになる。このようにすれば、本発明のチルト検出系のような直交２方向でアイソレート光学系を組むような場合に、λ/4板を１枚で済ませることができる。全体レイアウト、ハウジングの形状、コスト等を考慮して、最適なものを選択して用いることができる。
また、４５°入射角対応の偏光ビームスプリッタが可能になる。
【００４５】
また、請求項１９記載の発明は、光ピックアップが、請求項１３、請求項１４、請求項１８記載の２方向相対チルト検出光学系を備えた構成としてある。
また、請求項２０記載の発明は、光ディスクドライブ装置が、請求項１９記載の光ピックアップを搭載した構成としてある。
【００４６】
以上の請求項１９〜請求項２０の効果をまとめて記す。
このようにすれば、本発明のチルト検出系を用いることにより、ＰＵ本体との干渉性が少なく、かつ光量損失の小さいチルト検出系が構成可能となり、また、そのＰＵを光ディスクドライブに組み込むことにより、青色世代ドライブのような高精度チルト制御の要求される光ディスクドライブが構成可能となる。
【発明の効果】
【００４７】
請求項１記載の発明によれば、次の効果を奏することができる。
(1)１系統の検出系で２方向の検出が可能になる。
(2)ＰＵ（ピックアップ）に組み込む場合、ＡＣＴ（アクチュエータ）可動部上の反射面は、ディスクに平行な反射面でよく、ＡＣＴに対する負荷が小さい。
【００４８】
(3)１系統の検出系でディスク、ＯＬ（対物レンズ）の両者の相対チルト検出が可能になる。
(4)直接的に相対チルトを検出するため、受光素子が一つで済み、受光素子間バラツキによる誤差がない。
【００４９】
(5)一方のチルトに他方のチルトを追従させる（光ピックアップのディスクとＯＬのような）場合、直接的に相対チルトが検出できるので、分割受光素子（あるいはＰＳＤ（位置検出素子））の差信号０となるように制御（０クロス制御）をかけることができ、信号処理系が大幅に簡略化できる。
【００５０】
(6)必ず比較する２つの反射面で反射したビームを用いて検出するため、独立検出のように、両者の反射率の差による誤差が発生しない。
(7)また、必ず比較する２つの反射面で反射したビームを用いて検出するため、受光素子の受光量によって光源の発光量を制御すれば、受光光量を常に一定に保てる。
【００５１】
請求項２〜請求項４記載の発明によれば、ミラーをハーフミラーにすることにより、被検反射面の入反射角を直角（あるいは、その近傍）に設定することができる。これにより、反射率に入射角依存性のある反射面のような場合でも測定可能になり、また、レイアウト的には光路構成がすっきりと構成でき、また、スペース的に制約のある装置に組み込む場合の選択肢を増やすことができる。
【００５２】
請求項５記載の発明によれば、請求項２〜請求項４の効果を持ちつつ光量損失を抑えることができる。
【００５３】
請求項６〜請求項９記載の発明によれば、次の効果を奏することができる。
レンズを用いる場合はその集光性により、ビーム位置ズレの影響を除くことができる。
アパーチャを用いる場合には、受光素子に入るスポットの径を任意に設定でき、また、レンズより安価に構成できる。
【００５４】
受光素子として分割受光素子を用いれば、差信号により直ちにチルトが検出され、相対チルト制御信号も容易に得ることができる。
受光素子として位置検出素子（ＰＳＤ）を用いれば、集光スポットどの検出が可能となり、被検反射面で部分的に反射率が異なる場合等に有効である。
【００５５】
請求項１０〜請求項１２記載の発明によれば、請求項１〜９記載のチルト検出系をＰＵに組み込むことは容易であり、これによりディスクとＯＬの２方向相対チルトを制御するような４軸ＡＣＴを備えたＰＵにおいて、ＡＣＴのチルト制御信号を容易に得ることができる。
また、そのＰＵを光ディスクドライブ装置に組み込むことにより、青色世代ドライブのような高精度チルト制御の要求される光ディスクドライブが構成可能となる。
【００５６】
請求項１３記載の発明によれば、光源系と検出系をハーフミラー側に寄せることがでるので、ＰＵ本体との干渉性の小さいチルト検出系を構成することができる。また、ハーフミラーの経由回数が３回であり、図４の場合の４回に比べて、光量損失を抑えることができる。
【００５７】
請求項１４記載の発明によれば、ビームの往復共に、λ/4板とＰＢＳ膜を介しているので、光量損失のないチルト検出系を構成することができる。
請求項１５記載の発明によれば、ルーフ型ミラー上部（及び下部）を被検反射面に平行にカットすることにより、薄型化に適した検出系が構成できるので、光ピックアップに組み込みやすくなる。
【００５８】
請求項１６記載の発明によれば、ルーフ型ミラーをプリズム化するので、経時温度特性を強くすることができる。
また、ルーフ型ミラーをプリズム化するので、全反射が使えて反射膜が要らなくなる。
請求項１７記載の発明によれば、ミラー及びルーフ型ミラーをプリズム化するので、経時温度特性を強くすることができる。
【００５９】
請求項１８記載の発明によれば、本発明のチルト検出系のような直交２方向でアイソレート光学系を組むような場合に、λ/4板を１枚で済ませることができる。全体レイアウト、ハウジングの形状、コスト等を考慮して、最適なものを選択して用いることができる。
また、４５°入射角対応の偏光ビームスプリッタが可能になる。
【００６０】
請求項１９〜請求項２０記載の発明によれば、本発明のチルト検出系を用いることにより、ＰＵ本体との干渉性が少なく、かつ光量損失の小さいチルト検出系が構成可能となり、また、そのＰＵを光ディスクドライブに組み込むことにより、青色世代ドライブのような高精度チルト制御の要求される光ディスクドライブが構成可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６１】
本願出願人は、先に、前記第１〜第２の従来技術の問題点を解決するべく、次の５件の出願をした。
(1)特願２００２−０４５５７号
(2)特願２００２−０７２１８号
(3)特願２００３−００１５０号
(4)特願２００３−０５２３４号
(5)特願２００４−０６６７０２号
【００６２】
前記５件の特許願の発明は、いずれも前記特許文献１，２が持つ課題を解決し、４軸ＡＣＴに適したチルト検出光学系を達成することを目的としたものである。
しかし、前記先願(1),(2),(4),(5)は、いずれもディスクチルトとＯＬチルトを独立で検出するものであるが、相対チルトを求めるには演算処理が必要で、ディスクの反射率が変わったりして、両者の感度が変わったりすると和光量で割ったりして演算処理系が複雑になる。
【００６３】
また、前記先願(3)は、直接的にディスクとＯＬの相対チルトを検出するものであるが、ＡＣＴ可動部に偏向ミラーを抱える必要があり、１方向しか検出できず、２方向を検出するには２系統の検出系が必要になる。
［実施形態１］
【００６４】
本実施形態は、請求項１に対応する。但し、後述するように、請求項６〜請求項９においても、次に説明する図１（ｃ１），（ｃ２）を使用して説明する。
【００６５】
本実施形態の光学構成を図１（ａ）〜（ｄ）に示す。
図１（ａ）は、本実施形態の光学構成の全体図、図１（ｂ）は、光源系の具体例を示す図、図１（ｃ１）、（ｃ２）は、検出系の具体例を示す図であって、（ｃ１）は、ＰＳＤを使用した場合の図、（ｃ２）は、分割受光素子を使用した場合の図、図１（ｄ）はルーフ型ミラーの構成を示す図である。
【００６６】
光源１１より発光された光は、カップリングレンズ（ＣＬ）１２により平行光にされ、第１の被検反射面２１にあてられる（これをビーム１とする）。第１の被検反射面２１で反射されたビーム（ビーム２とする）は、ミラー２３、ルーフ型ミラー２４の第１面、第２面で反射して第２の被検反射面２２に導かれる（ビーム３）。１０は、光源１１とＣＬ１２を含む光源系である。
【００６７】
このときルーフ型ミラー２４の第１面と第２面のなす角が直角で、かつ、ルーフ型ミラー２４の稜線（第１面と第２面の交線）とミラー２３のなす角が直角であれば、第２の被検反射面２２への入射光は、第１の被検反射面２１での反射光と平行になる（ビーム２とビーム３が平行）。
【００６８】
したがって、第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２が平行（相対チルト０）であれば、第２の被検反射面２２での反射光（ビーム４）は、光源から第１の被検反射面２１に入射するビームと平行になる（ビーム１とビーム４が平行）。
【００６９】
この平行関係は、第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２が平行であれば、変わらない。ビーム１とビーム４の角度関係は、第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２の相対角度によって一義的にきまるので、ビーム４の角度を検出することで、第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２の相対角度（相対チルト）を直接に、かつ２次元的に（２方向で）検出できる。３０は、受光素子３１と集光レンズ３２を含む検出系である。
【００７０】
ここで、本実施形態と、１次元的（１方向）に相対チルトを検出する従来例（特開平５−００６５６２号公報）や本願出願人の先願である特願２００３−００１５０号とを比較する。
【００７１】
(1)本実施形態は、１系統の検出系で２方向の検出が可能になる。これにより、次の効果がある。
(１-1）光路分離素子、検出系の部品等、部品点数がほぼ半減でき、コストが大幅に削減できる。
(１-2）レイアウトスペースが大幅に減り、光ピックアップ（ＰＵ）等の装置に組み込むことが容易になる。
【００７２】
(2)ＰＵ（ピックアップ）に組み込む場合、従来例（特開平５−００６５６２号公報）や特願２００３−００１５０号のチルト検出系では、アクチュエータ（ＡＣＴ）可動部に斜めの反射面を設ける必要があり、これがＡＣＴにとって大きな負担となっていた。これに対し、本実施形態の構成では、ＡＣＴ可動部上の反射面は、ディスクに平行な反射面でよく、ＡＣＴに対する負荷が小さい。
【００７３】
ディスクと対物レンズ（ＯＬ）のチルトを独立に検出する従来例（特開平５−００６５６１号公報）や本願出願人の先願である特願２００２−０４５５７号、特願２００２−０７２１８号、特願２００３−０５２３４号、特願２００４−０６６７０２号に比較すると、次の特徴がある。
【００７４】
(3)１系統の検出系でディスク、ＯＬ（対物レンズ）の両者の相対チルト検出が可能になる。これにより、次の効果がある。
(3-1)光路分離素子、検出系の部品等、部品点数がほぼ半減でき、コストが大幅に削減できる。
(3-2)レイアウトスペースが大幅に減り、光ピックアップ（ＰＵ）等の装置に組み込むことが容易になる。
【００７５】
(4)直接的に相対チルトを検出するため、受光素子が一つで済み、受光素子間バラツキによる誤差がない。
(5)一方のチルトに他方のチルトを追従させる（光ピックアップのディスクとＯＬのような）場合、直接的に相対チルトが検出できるので、分割受光素子（あるいはＰＳＤ（位置検出素子））の差信号０となるように制御（０クロス制御）をかけることができ、信号処理系が大幅に簡略化できる。
【００７６】
（従来の独立検出方式では、ディスクはディスクでチルトを測定し、ＯＬはＯＬでチルトを測定し、両者を比較して相対チルトを求めていた。この場合、各チルト検出値は０ではなく、演算によりチルト制御信号を出していた。）
【００７７】
これに付随して
(5-1)受光素子の中心部を制御に用いるので、周辺部での精度劣化を気にする必要が無い。（独立検出では、各チルト求めるため、受光素子の周辺部まで、精度が要求された。）
【００７８】
(6)必ず比較する２つの反射面で反射したビームを用いて検出するため、独立検出のように、両者の反射率の差による誤差が発生しない。
(7)また、必ず比較する２つの反射面で反射したビームを用いて検出するため、受光素子の受光量によって光源の発光量を制御すれば、受光光量を常に一定に保てる。
【００７９】
（独立検出方式の場合は、例えば光ピックアップのディスクとＡＣＴ可動部上ミラーを考えたとき、ディスクはディスクの種類等によって反射率が変動し、一方、ＡＣＴ可動部のミラーは反射率一定であるため、ディスクチルト検出系の受光光量と、ＯＬチルト検出系の受光光量の比率はディスクごとに変わってしまい、この受光光量差に伴う誤差をなくすため複雑な処理回路を必要とした。）
【００８０】
このように、精度の高い相対チルト検出が可能になり、また、一方のチルトに他方のチルトを追従させるようなチルト制御系の検出系に適した検出系になっている。
【００８１】
なお、第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２のあいだのミラー２３、ルーフ型ミラー２４の反射順序は逆でもよい。また、ルーフ型ミラー２４の第１面と第２面のなす角、および、ミラー２３とルーフ型ミラー２４の稜線のなす角は、必ずしも直角である必要はなく、必要なことは、第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２のあいだで、直交２方向でそれぞれ実質的に偶数回の反射を持つことである。
【００８２】
（本図で言うと実際はミラー２３、ルーフ型ミラー第１面、ルーフ型ミラー第２面の都合３面で反射しているが、紙面方向に関しては、ルーフ型ミラー２４は、実質的に１回の反射として捉えられ、ミラー２３とルーフ型ミラー２４で２回の反射、紙面直行方向に関しては、ミラー２３は０回として捉えられ、ルーフ型ミラー２４の第１面と第２面で２回反射と考えられる。）
【００８３】
また、当然のことであるが、ルーフ型ミラー２４は、第１の反射面と第２の反射面が一体である必要はなく、２枚のミラーを所定の角度関係に保持したものであれば十分である。
［実施形態２］
【００８４】
本実施形態は、請求項２に対応する。
本実施形態の光学構成を図２（ａ），（ｂ）に示す。図２（ａ）は、本実施形態の光学構成の全体図、図２（ｂ）は、本実施形態の変形例の光学構成の全体図である。
【００８５】
検出の原理的なところは、実施形態１と同じである。
図２（ａ）は、ミラーがハーフミラーになっているもので、光源１１からのビームは、ハーフミラー２５を透過して第１の被検反射面２１に入射される。第１の被検反射面２１への入射を、直角（に近い形）にできる。
【００８６】
図２（ｂ）は、ルーフ型ミラーのうちの一面がハーフミラーになっていて、光源１１からのビームはハーフミラー面を透過し、ミラー２３で反射されて第１の被検反射面２１に入射される。光源系１０が水平に構成でき、光源系１０の配置にスペース的制約がある場合等に有効である。
［実施形態３］
【００８７】
本実施形態は、請求項３に対応する。
本実施形態の光学構成を図３に示す。
検出の原理的なところは、実施形態１と同じである。
【００８８】
本実施形態は、検出系３０の直前がハーフミラー（ルーフ型ミラー（一面ハーフミラー２４ａ））になっているもので、第２の被検反射面２２からの反射ビームは、ハーフミラー面を透過して検出系３０に入る。第２の被検反射面２２への入射を直角（に近い形）にできる。
［実施形態４］
【００８９】
本実施形態は、請求項４に対応する。
本実施形態の光学構成を図４に示す。
検出の原理的なところは、実施形態１と同じである。
ミラー２３及びルーフ型ミラーの第２面がハーフミラー２４ａになっている。第１の被検反射面２１及び第２の被検反射面２２への入射を直角（に近い形）にできる。
［実施形態５］
【００９０】
本実施形態は、請求項５に対応する。
本実施形態の光学構成を図５に示す。
検出の原理的なところは、実施形態１と同じである。
【００９１】
ミラーが偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１３になっているもので、ＰＢＳ１３と第１の被検反射面２１との間にλ／４板１４が配されている。光源は、ＬＤ（レーザーダイオード）１１ｂ等のコヒーレント光発生源で、これによりアイソレート光学系が形成され、実施形態２（請求項２）に比べ、光量損失を小さくできる。
［実施形態６〜実施形態９］
【００９２】
実施形態６〜実施形態９は、それぞれ請求項６〜請求項９に対応する。
実施形態６〜実施形態９の検出系の構成を、図１（ｃ１）、（ｃ２）を参照しつつ説明する。
図１（ｃ１）は、集光レンズ３２と位置検出素子（ＰＳＤ）３１ａを用いたものである。ＰＳＤ３１ａを用いることで、集光点に受光素子を配することができ、第２の被検反射面２２の部分反射率誤差の影響を除去できる。
【００９３】
図１（ｃ２）は、アパーチャ３３と分割受光素子３１ｂを用いたもので、レンズなしでチルトが検出できる。
集光レンズ３２、アパーチャ３３、分割受光素子３１ｂ、ＰＳＤ３１ａは、その時々の検出感度、検出範囲、被検反射面の状況によって、組み合わせが選択できる。
【００９４】
また、チルトの検出にはアパーチャやレンズを用いるほかにも、プリズムの臨界角を利用する方法や、体積ホログラムを利用する方法等も考えられる。
［実施形態１０］
【００９５】
本実施形態は、請求項１０に対応する。なお、図面は、無い。
被検反射面の反射率が変化するような場合、受光素子の受光光量が不足したり、あるいは逆に多すぎて出力が飽和してしまうことが起こり得る。光源の発光光量を受光素子の受光光量に基づいて制御することにより、受光素子の受光量を常に適正に保つことができる。
［実施形態１１、実施形態１２］
【００９６】
実施形態１１、実施形態１２は、それぞれ請求項１１、請求項１２に対応する。
実施形態１１、実施形態１２の構成イメージを図６に示す。
本発明のチルト検出系を、４軸アクチュエータ（ＡＣＴ）を備えた光ピックアップのＡＣＴとＰＵ本体の間に組み込んだ構成例である。
【００９７】
ディスク４１と対物レンズ（ＯＬ）４２の相対チルトを検出するため、ディスク４１とＡＣＴ可動部４３に設置された可動部ミラー（可動部反射面）４４の相対チルトを、本発明の相対チルト検出系により検出している。（本図ではルーフ型ミラーの両面をハーフミラーにした構成例になっている。）
【００９８】
１系統の検出系で直接的にディスク４１とＯＬ４２の２方向相対チルトが検出できる。
従来方式と比べると、受光素子等の検出系が一つで済み、構成が容易でコストが安い。また、常にディスク４１と可動部ミラー（可動部反射面）４４の両方で反射したビームで検出するため、両者を独立に検出する場合生じる、両者の反射率差等に伴う感度誤差が発生しない。
【００９９】
また、直接的に相対チルトを検出するため、差信号０に向かって制御ができ、ＰＳＤの周辺部域での検出精度落ち等を気にする必要が無く、また、信号処理系も容易になる。
請求項１１に係わるチルト補正機能を持ったＰＵ（ピックアップ）は、ドライブに組み込まれて、Ｂｌｕｅメディア等チルトに厳しいメディアに対応可能なドライブを形成する。
【０１００】
ところで、前記実施形態１〜１２は、光ピックアップに組み込むことを考えた場合に、レイアウト面及び光量損失面で改良の余地がある。
即ち、前記実施形態１（図１（ａ））で説明した相対チルト検出光学系を光ピックアップに組み込む場合、例えば対物レンズの載ったアクチュエータ可動部に設けた反射面を第１の被検反射面２１、ディスクそのものを第２の被検反射面２２とすれば、対物レンズとディスクを平行に保つような制御信号が得られ、ディスクチルトに対物レンズチルトを追従させることができる。
【０１０１】
但し、前記実施形態１の構成のままで光ピックアップに組み込もうとすると、光路が斜めで配置が難しい。実施形態１を改良して光路をディスクに直交及び平行になるようにしたのが、実施形態４（図４）の構成である。
【０１０２】
図４においては、ミラーをハーフミラー２５として、光源系１０からのビームを、該ハーフミラー２５を通して取り込み、ルーフ型ミラーのうちの１面をやはりハーフミラー面にして（符号２４ａで記す）、該ハーフミラー面を通してビームを検出系３０に抜いている。
この構成によって、ビームはディスクに直交及び平行になって、光ピックアップに組み込みやすくなっている。
【０１０３】
（なお、実際は全く直交にすると、被検反射面での反射光の一部が光源に戻ってしまい、光源の種類によってはこれがノイズになることがあり、その場合は若干直交からずれるように構成する必要があるが、ここでは原理的な説明であるので、ひとくくりに直交と記す。）
【０１０４】
但し、図４のような構成でも、光源系１０及び検出系３０がディスク直交方向に伸び、ここには光ピックアップ本体の光学系を構成する必要があるので、お互いの干渉を考慮しながら構成する必要があり、わずらわしく、また、実際上ドライブのスペース等を考えると配置困難な場合も生じる。
【０１０５】
また、光量的には、ハーフミラー及びルーフ型ミラーのハーフミラー面で各々透過及び反射がなされるため、全系で都合４回ハーフミラー面を経由することになり、光量損失が大きい。
【０１０６】
そこで、以下に説明する実施形態１３〜２１において、前述の欠点（干渉を考慮しながらの構成設計、および光量損失が大等）を解決する。
［実施形態１３］
【０１０７】
本実施形態は、請求項１３に対応する。
本実施形態の光学構成を図７に示す。
第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２の間に、ハーフミラー２５とルーフ型ミラー２４を配して、ハーフミラー２５の前段に光源１１とカップリングレンズ（ＣＬ）１２よりなる光源系１０を、ハーフミラー２５の後段に受光素子３１を含む検出系３０を配している。
【０１０８】
光源１１より発光された光は、カップリングレンズ１２により平行光にされ、ハーフミラー２５を透過して第１の被検反射面２１にあてられる（これをビーム１とする）。
【０１０９】
第１の被検反射面２１で反射されたビーム（ビーム２とする）は、ハーフミラー２５、ルーフ型ミラー２４の第１面、第２面で反射して第２の被検反射面２２に導かれる（ビーム３とする）。このときルーフ型ミラー２４の第１面と第２面のなす角が直角でかつ、ルーフ型ミラー２４の稜線（第１面と第２面の交線）とハーフミラー２５のなす角が直角であれば、第２の被検反射面２２への入射光は、第１の被検反射面２１での反射光と平行になる（ビーム２とビーム３が平行）。
【０１１０】
従って、第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２が平行（相対チルト０）であれば、第２の被検反射面２２での反射光（ビーム４）は、光源から第１の被検反射面２１に入射するビームと平行になる（ビーム１とビーム４が平行）。この平行関係は、第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２が平行であれば変わらない。
【０１１１】
ビーム１とビーム４の角度関係は、第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２の相対角度によって一義的にきまるので、ビーム４の角度を検出することで、第１の被検反射面２１と第２の被検反射面２２の相対角度（相対チルト）を直接に、かつ２次元的に（２方向で）検出できる。第２の被検反射面２２で反射されたビームは、ルーフ型ミラー２４、ハーフミラー２５と往路と逆に戻り、ハーフミラー２５を透過して、検出系３０に導かれ受光素子３１により検出される。
（なお、ハーフミラー２５は、図では平面ミラーになっているが、キューブタイプでも同様である。）
【０１１２】
（また、実際は、図のごとく完全に光路が直交していると、光源１１からハーフミラー２５で反射したビームが直接受光素子３１に達してしまい、大きな誤差となってしまう。これを避けるためには、光源１１からのビームをやや斜めにするとか、伝達系のハーフミラー２５及びルーフ型ミラー２４の直交関係を一部くずすとかして、光源１１からハーフミラー２５で直接受光素子３１にいくビームと、被反射面で反射して戻ってきたビームとを、角度的、位置的に分離して不要なビームをＰＤ外に逃がすか、アパーチャ等で不要なビームをカットする必要がある。）
［実施形態１４］
【０１１３】
本実施形態は、請求項１４に対応する。
本実施形態の光学構成を図８に示す。
前記図７のハーフミラー２５の替わりに、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１３とし、該ＰＢＳ１３と第１の被検反射面２１の間、及び該ＰＢＳ１３と第２の被検反射面２２の間に各々第１，第２のλ/4板１４ａ，１４ｂを配した構成である。
【０１１４】
ＬＤ（レーザーダイオード）等の偏光特性を有する光源からのビーム（あるいは偏光子により偏光方向を規制したビーム）は、Ｐ偏光でＰＢＳ１３を透過する。該ＰＢＳ１３を透過したビームは、第１の被検反射面２１で反射して戻る間に往復で２度λ/4板を通り、Ｓ偏光となってＰＢＳ１３に戻り反射される、該ＰＢＳ１３で反射されたビームは、第１の被検反射面２１で反射して戻る間に往復で２度λ/4板を通り、再びＰ偏光となってＰＢＳ１３に戻り、透過して検出系へ導かれる。
角度の検出に関しては実施形態１３と同様である。
【０１１５】
（ＰＢＳは、ミラータイプ（図では実線）でもキューブタイプ（図では破線）でも同様である。）
［実施形態１５］
【０１１６】
本実施形態は、請求項１５に対応する。
本実施形態の光学構成を図９に示す。
実施形態１３ないし実施形態１４の構成において、ルーフ型ミラー２４の上辺あるいは下辺あるいは双方を、被反射面と平行にカットしたものである（２４ｂで示す）。作用は、実施形態１３ないし実施形態１４と同じである。
［実施形態１６］
【０１１７】
本実施形態は、請求項１６に対応する。
本実施形態の光学構成を図１０に示す。
実施形態１３ないし実施形態１４の構成において、ルーフ型ミラー２４をプリズムタイプにしたものである。
作用は、実施形態１３ないし実施形態１４と同じである。
［実施形態１７］
【０１１８】
本実施形態は、請求項１７に対応する。
本実施形態の光学構成を図１１に示す。
実施形態１３ないし実施形態１４の構成において、ルーフ型ミラー（あるいはＰＢＳ）とルーフ型ミラー２４を一体型プリズムにしたものである（ミラー・ルーフミラー一体型プリズム２６で示す）。
作用は、実施形態１３ないし実施形態１４と同じである。
（なお、ＰＢＳの場合は、λ/4板も一体化できる。）
［実施形態１８］
【０１１９】
本実施形態は、請求項１８に対応する。
本実施形態の光学構成を図１７に示す。
実施形態１４（図８参照）における偏光ビームスプリッタ１３と２枚のλ/4板１４ａ，１４ｂの代わりに、４５°入射角に対してλ/4に位相差を生じる位相板に偏光ビームスプリット膜（ＰＢＳ膜）を施した偏光ビームビームスプリッタ２７を用いたものである。
【０１２０】
このような偏光ビームスプリッタ２７としては、図１２から図１６に示すような種々の形状が考えられる。
ＬＤ等の偏光特性を有する光源からのビーム（あるいは偏光子により偏光方向を規制したビーム）は、Ｐ偏光でＰＢＳ２７を透過する。該ＰＢＳ２７を透過したビームは、４５°対応λ/4板で円偏光になり、第１の被検反射面２１で反射して再びλ/4板を通り、Ｓ偏光となってＰＢＳ２７に戻り反射される。
【０１２１】
該ＰＢＳ２７で反射されたビームは、また４５°対応λ/4板を通って円偏光となり、第２の被検反射面２２で反射して再びλ/4板を通り、Ｐ偏光となってＰＢＳ２７に戻り、透過して検出系へ導かれる。角度の検出に関しては実施形態１３と同様である。
［実施形態１８、実施形態１９］
【０１２２】
本実施形態は、請求項１８と請求項１９に対応する。
本実施形態の構成イメージを図１８に示す。
本発明のチルト検出系を、４軸アクチュエータ（ＡＣＴ）４５を備えた光ピックアップのＡＣＴとＰＵ本体の間に組み込んだ構成例である。
【０１２３】
ディスク４１と対物レンズ（ＯＬ）４２の相対チルトを検出するため、ディスク４１とＡＣＴ可動部４３に設置されたチルト検出用ミラー（可動部反射面）４４の相対チルトを、本発明の相対チルト検出系により検出している。
【０１２４】
１系統の検出系で直接的にディスク４１とＯＬ４２の２方向相対チルトが検出できる。
従来方式と比べると、受光素子等の検出系が一つで済み、構成が容易でコストが安い。また、常にディスク４１とチルト検出用ミラー４４の両方で反射したビームで検出するため、両者を独立に検出する場合生じる両者の反射率差等に伴う感度誤差が発生しない。
【０１２５】
また、直接的に相対チルトを検出するため、差信号０に向かって制御ができ、ＰＳＤの周辺部域での検出精度落ち等を気にする必要が無く、また、信号処理系も容易になる。
請求項１９に係わるチルト補正機能を持ったＰＵは、ドライブに組み込まれて、Ｂｌｕｅメディア等、チルトに厳しいメディアに対応可能なドライブを形成する。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】本発明の実施形態１の光学構成を示す図であって、（ａ）は、同実施形態１の光学構成の全体図、（ｂ）は、光源系の具体例を示す図、（ｃ１）、（ｃ２）は、検出系の具体例を示す図であって、（ｃ１）は、ＰＳＤを使用した場合の図、（ｃ２）は、分割受光素子を使用した場合の図、（ｄ）はルーフ型ミラーの構成を示す図である。
【図２】同実施形態２の光学構成を示す図であって、（ａ）は、同実施形態２の光学構成の全体図、（ｂ）は、同実施形態２の変形例の光学構成の全体図である。
【図３】同実施形態３の光学構成を示す図である。
【図４】同実施形態４の光学構成を示す図である。
【図５】同実施形態５の光学構成を示す図である。
【図６】同実施形態１２の構成イメージを示す図である。
【図７】同実施形態１３の光学構成を示す図である。
【図８】同実施形態１４の光学構成を示す図である。
【図９】同実施形態１５の光学構成を示す図である。
【図１０】同実施形態１６の光学構成を示す図である。
【図１１】同実施形態１７の光学構成を示す図である。
【図１２】同実施形態１８における、偏光ビームスプリッタの一例を示す図である。
【図１３】同実施形態１８における、偏光ビームスプリッタの二例を示す図である。
【図１４】同実施形態１８における、偏光ビームスプリッタの三例を示す図である。
【図１５】同実施形態１８における、偏光ビームスプリッタの四例を示す図である。
【図１６】同実施形態１８における、偏光ビームスプリッタの五例の３種を示す図である。
【図１７】同実施形態１８の光学構成を示す図である。
【図１８】同実施形態１９の構成イメージを示す図である
【符号の説明】
【０１２７】
１０    光源系
１１    光源
１１ａ    発光ダイオード（ＬＥＤ）
１１ｂ    レーザーダイオード（ＬＤ）
１２    カップリングレンズ（ＣＬ）
１３    偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）
１４    λ／４板
１４ａ    第１のλ／４板
１４ｂ    第２のλ／４板
２１    第１の被検反射面
２２    第２の被検反射面
２３    ミラー
２４    ルーフ型ミラー
２４ａ    ルーフ型ミラー（一面ハーフミラー）
２４ｂ    ルーフ型ミラー（上下辺切取り）
２５    ハーフミラー
２６    ミラー・ルーフミラー一体型プリズム
２７    偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）
３０    検出系
３１    受光素子
３１ａ    位置検出素子（ＰＳＤ）
３１ｂ    分割受光素子
３２    集光レンズ
３３    アパーチャ
４１    ディスク（ＤＩＳＫ）
４２    対物レンズ
４３    ＡＣＴ可動部
４４    可動部反射面
【図１】
2005322295.tif 000003
【図２】
2005322295.tif 000004
【図３】
2005322295.tif 000005
【図４】
2005322295.tif 000006
【図５】
2005322295.tif 000007
【図６】
2005322295.tif 000008
【図７】
2005322295.tif 000009
【図８】
2005322295.tif 000010
【図９】
2005322295.tif 000011
【図１０】
2005322295.tif 000012
【図１１】
2005322295.tif 000013
【図１２】
2005322295.tif 000014
【図１３】
2005322295.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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