(57)【要約】【課題】  入力と出力の組合わせがユーザーが設定できるかどうかをＬＥＤにより表示する。【解決手段】  入力ラインのそれぞれと出力ラインのそれぞれとの電気的な接続を開閉するための複数のリレースイッチと、該リレースイッチのそれぞれに対応するようにマトリクス状にＬＥＤ１５０が複数配列されたＬＥＤマトリクスとを備えるスイッチングマトリクスであって、ＬＥＤ１５０のそれぞれは、ＬＥＤ１５０に対応するリレースイッチの開閉と該開閉を指定する命令の属性との組合わせにより規定されるステータスを複数の発光色により用いて区別して表示するスイッチングマトリクス装置１０。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体特性測定装置に接続するための複数の入力端子と、
被測定デバイスに接続するための複数の出力端子と、
該複数の入力端子のそれぞれに接続される入力ラインと、
該複数の出力端子のそれぞれに接続される出力ラインと、
該入力ラインのそれぞれと出力ラインのそれぞれとを電気的に接続するためにマトリクス状に備えられ、入力ラインのそれぞれと出力ラインのそれぞれとの電気的な接続を開閉するための複数のリレースイッチと、
該リレースイッチのそれぞれに対応するようにマトリクス状に発光部が複数配列された発光部マトリクスと
を備え、該複数の入力ラインと該複数の出力ラインとの電気的な接続の組合わせを該複数のリレースイッチの開閉の組合わせを変更することによって切り替える、半導体特性測定装置と被測定デバイスとの接続に用いるスイッチングマトリクスであって、
該発光部のそれぞれは、該発光部に対応するリレースイッチの開閉と該開閉を指定する命令の属性との組合わせにより規定されるステータスを複数の発光色により区別して表示するものである、スイッチングマトリクス装置。
【請求項２】
前記複数の発光色の一つは、前記発光部に対応するリレースイッチが閉にされていることを示すものであり、いずれの入力端子と出力端子とが電気的に接続されているかが表示される、請求項１に記載のスイッチングマトリクス装置。
【請求項３】
各出力端子に対して指定された属性に基づいて、該出力端子に関連するリレースイッチの開閉を制御する制御手段をさらに含み、
前記複数の発光色には、前記指定された属性に基づいて該リレースイッチの開閉が該制御手段により制御されていることを示す色が含まれる、請求項１に記載のスイッチングマトリクス装置。
【請求項４】
前記発光部マトリクスの各発光部の表示と協働してリレースイッチを選択する操作を行なうための入力手段をさらに有し、
前記複数の発光色には、該入力手段による選択対象であることを示す色が含まれ、前記入力手段による選択操作の対象となっているリレースイッチを明示する請求項１に記載のスイッチングマトリクス装置。
【請求項５】
前記入力手段がライトペンである、請求項４に記載のスイッチングマトリクス装置。
【請求項６】
前記入力手段がキーである、請求項１に記載のスイッチングマトリクス装置。
【請求項７】
前記発光部のいずれかは、前記複数のリレースイッチのグループごとに、そのグループの状態を示すグループ状態表示発光部である、請求項１に記載のスイッチングマトリクス装置。
【請求項８】
半導体特性測定装置に接続するための複数の入力端子と、
被測定デバイスに接続するための複数の出力端子と、
該複数の入力端子のそれぞれに接続される入力ラインと、
該複数の出力端子のそれぞれに接続される出力ラインと、
該入力ラインのそれぞれと出力ラインのそれぞれとを電気的に接続するためにマトリクス状に備えられ、入力ラインのそれぞれと出力ラインのそれぞれとの電気的な接続を開閉するための複数のリレースイッチと、
該リレースイッチのそれぞれに対応するようにマトリクス状に発光部が複数配列された発光部マトリクスと、
前記発光部マトリクスの各発光部の表示と協働してリレースイッチを選択する操作を行なうための入力手段と
を備え、該複数の入力ラインと該複数の出力ラインとの電気的な接続の組合わせを該複数のリレースイッチの開閉の組合わせを変更することによって切り替える、半導体特性測定装置と被測定デバイスとの接続に用いるスイッチングマトリクスであって、
該発光部のそれぞれは、該発光部に対応するリレースイッチの開閉と前記入力手段による選択対象であるかどうかとの組合わせにより規定されるステータスを複数の発光色により区別して表示するものである、スイッチングマトリクス装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体特性測定装置用のスイッチングマトリクス装置に関する。特に、任意の入力ポートと出力チャネルを接続可能なスイッチングマトリクス装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、いくつかの半導体特性測定装置と被測定デバイス（以下、ＤＵＴという）との接続を簡易に変更するためにスイッチングマトリクス装置が用いられる。このスイッチングマトリクスは、任意の入力ポートと出力チャネルとをユーザーからの指定に基づいて接続する。このとき、入力ポートには、一つ以上の半導体特性測定装置（たとえば、ＬＣＲメータ等）が測定に応じて接続されており、出力ポートには、測定対象のＤＵＴに接続されるプローブ装置等が接続されている。入力ポートと出力チャネルとは、リレースイッチにより接続されており、互いの電気的接続がこのリレースイッチにより開閉される。このリレースイッチの開閉は、ユーザーがその都度指定する。
【０００３】
このようなスイッチングマトリクスの例として、たとえば、Ｋｅｉｔｈｌｅｙ社は７０７Ａというスイッチングマトリクスを製品化している（この製品の説明は、例えば非特許文献１、非特許文献２を参照されたい）。このスイッチングマトリクスの製品は、ＬＥＤを利用して、いずれの入力ポートと出力チャネルとが接続されているかを示す表示装置を備えている。また、この製品には、オプションとしてライトペンを用いることができる。このライトペンは、その先端を目的のリレースイッチに対応するＬＥＤに当ててライトペンの胴体のボタンを押すと、ライトペンが当てられたＬＥＤが検出されて、対応するリレースイッチを選択して開閉する操作をすることができる。また、リレースイッチの開閉は、ＬＥＤの点灯あるいは消灯によって表示される。
【非特許文献１】Ｋｅｉｔｈｌｅｙ社カタログ“Keithley’s Switching Systems for Switch and control solutions for DC, RF, and light”  ［ｏｎｌｉｎｅ］、［平成１６年５月１７日検索］、インターネット＜URL:http://www.keithley.com/main.jsp?action=keithleysearch&searchType=view&clickPath=Document+Center&itemType=brochure&role=&keywords=707A＞
【非特許文献２】Ｋｅｉｔｈｌｅｙ社カタログ“Model 707A Switching Matrix Mainframe with Fixed Rack Kit”  ［ｏｎｌｉｎｅ］、［平成１６年５月１７日検索］、インターネット＜URL:http://www.keithley.com/main.jsp?action=keithleysearch&searchType=view&clickPath=Document+Center&itemType=data+sheet&role=&keywords=707A＞
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来のスイッチングマトリクスの製品においては、各リレースイッチの状態はＬＥＤにより表示されているが、ユーザーは、そのリレースイッチの状態がユーザーによって指定された状態であるか、ソフトウェアによって指定された状態であるかを知ることができないという問題点がある。本発明は、上記問題点を解決することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明においては、半導体特性測定装置に接続するための複数の入力端子と、被測定デバイスに接続するための複数の出力端子と、該複数の入力端子のそれぞれに接続される入力ラインと、該複数の出力端子のそれぞれに接続される出力ラインと、該入力ラインのそれぞれと出力ラインのそれぞれとを電気的に接続するためにマトリクス状に備えられ、入力ラインのそれぞれと出力ラインのそれぞれとの電気的な接続を開閉するための複数のリレースイッチと、該リレースイッチのそれぞれに対応するようにマトリクス状に発光部が複数配列された発光部マトリクスとを備え、該複数の入力ラインと該複数の出力ラインとの電気的な接続の組合わせを該複数のリレースイッチの開閉の組合わせを変更することによって切り替える、半導体特性測定装置と被測定デバイスとの接続に用いるスイッチングマトリクスであって、該発光部のそれぞれは、該発光部に対応するリレースイッチの開閉と該開閉を指定する命令の属性との組合わせにより規定されるステータスを複数の発光色により区別して表示するものである、スイッチングマトリクス装置を提供する。
【０００６】
本発明において、前記複数の発光色の一つは、前記発光部に対応するリレースイッチが閉にされていることを示すものであり、いずれの入力端子と出力端子とが電気的に接続されているかが表示されることが好ましい。
【０００７】
また、本発明において、各出力端子に対して指定された属性に基づいて、該出力端子に関連するリレースイッチの開閉を制御する制御手段をさらに含み、前記複数の発光色には、前記指定された属性に基づいて該リレースイッチの開閉が該制御手段により制御されていることを示す色が含まれていることが好ましい。
【０００８】
本発明におけるステータスとは、リレースイッチのスイッチ開閉状態と、その開閉状態にするための命令の属性（例えば、ユーザーが使用しない時の接続状態を装置が制御するものであるかどうか、等）の組合わせによって定まる状態をいう。例えば、この組合わせを（開閉状態、命令の属性）と表現すると、本発明においては、複数の発光色は、（開、ユーザー使用後は何もしない）、（開、ユーザーによる使用後は装置が制御する）、（閉、ユーザーによる使用後は何もしない）、（閉、ユーザーによる使用後は装置が制御する）等のように表現される。開いているリレースイッチは接続されていないので、これに対応させてＬＥＤ等の発光部を消灯することもできる。本発明においては、これらのステータスのうち、少なくとも二つのステータスには異なる発光色を割り当てる。また、少なくとも一つのステータスに全く発光をしない非発光の表示を割り当てることもできる。なお、命令の属性の区別の態様は、単にユーザーによって明示的に指定されていることと装置によって制御されていることとを区別するようにすることができるし、また、さらに装置の制御命令の詳細な属性に応じて複数の区別を設けることもできる。本発明における命令の属性は、リレースイッチの開閉を指定する命令に付随する属性であって論理的に区別可能な任意のものをいう。
【０００９】
ユーザー使用後は装置が制御することを表わす属性には、例えば、複数のモードを含めることができる。例えば、その出力端子に外部バイアスを印加することができるように、その出力チャネルがバイアス印加端子と接続されているモード（バイアス・イネーブル・モード）にされていることや、外部の接地（グランド）レベルに合わせることができるように、その出力チャネルが外部接地端子と接続されているモード（グランド・イネーブル・モード）にされていることが含まれていてもよい。この場合、これらの各モードを同一の発光色により表示しても、また、互いに異なる発光色を用いて表示することができる。ユーザーによりスイッチが不可の場合を、ユーザーによるスイッチが可の場合と異なる発光色を用いて表示することができる。
【００１０】
本発明においては、前記発光部マトリクスの各発光部の表示と協働してリレースイッチを選択する操作を行なうための入力手段をさらに有し、前記複数の発光色には、該入力手段による選択対象を示す色が含まれ、前記入力手段による選択操作の対象となっているリレースイッチを明示することができる。ユーザーがリレースイッチの開閉を操作する場合には、まず、何れかのリレースイッチが選択対象とされる。このとき、選択対象となっているリレースイッチに対応する発光部は、そのリレースイッチが選択の対象にされていることを示す発光色で発光する。ユーザーがそのリレースイッチの開閉を操作したい場合には、ユーザーは、選択対象を示す色に基づいていずれのリレースイッチに対する操作であるかを認識して、続けて開閉操作を行なう。ユーザーが他のリレースイッチの開閉を操作したい場合には、ユーザーは、入力手段により、選択対象の位置を動かし、目的のリレースイッチに対応する発光部が選択対象を示す色となるようにして、開閉操作を行なう。また、この場合に、前記入力手段をライトペンとすることもできる。また、前記入力手段をキーとすることもできる。
【００１１】
異なる表示色を示す表示装置と組合わせると、スイッチの状態の表示以外に、現在選択中のリレースイッチをそれ以外と異なる色によって明示することが可能になる。したがって、開閉操作のために選択しようとするスイッチがユーザーに容易に識別できることとなる。
【００１２】
本発明においては、前記発光部のいずれかは、前記複数のリレースイッチのグループごとに、そのグループの状態を示すグループ状態表示発光部であることも好適である。
【００１３】
グループに属するリレーについての状態を表示する発光部を設けることにより、多数の入力ポートと出力チャネルとのスイッチングを行なう場合であっても、表示の識別が容易になる。
【００１４】
本発明における発光部の表示色によって示される、あるいは区別されるステータスは、発光部に対応するリレースイッチの開閉を指定する命令と入力手段による選択との組合わせにより規定されるものとすることもできる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明スイッチングマトリクス装置によれば、ユーザーは、自らが指定しようとする入力ポートと出力チャネルとの電気的接続を指定するリレーが、どのようなステータスで有るかを知ることができる。
【００１６】
また、グループに属するリレーについての状態を表示する発光部を設ける場合には、多数の入力ポートと出力チャネルとのスイッチングを行なう場合であっても、表示の識別が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明の実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０の構成を示すブロック図である。本実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０は、例えば、ＬＣＲメータなどの半導体特性測定装置３００とプローブ装置（図示しない）などによりプロービング等されている被測定デバイス（ＤＵＴ）２００との接続を制御する。
【００１８】
本発明の実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０には、第１のカード１２０と第２のカード１３０が備えられており、そのカードには、複数の行端子１２２、１３２と列端子１２４、１３４が備えられている。ここでは、簡単のため、行端子１２２を測定装置側に接続しており、列端子１２４、１３４をＤＵＴ側に接続している。すなわち、ここでのスイッチングマトリクス装置１０においては、行端子１２２が半導体特性測定装置３００と接続するための複数の入力端子となり、列端子１２４がＤＵＴ２００に接続するための複数の出力端子となる。この場合には、列端子１２２が入力端子となり、列端子１３４が出力端子として機能し、少なくとも二つのリレースイッチを介して入力と出力が接続される。カード１３０の行端子１３２は、例えば、カード１２０の行端子１２２につながるラインと接続されている。
【００１９】
カード１２０、１３０には、複数の行端子のそれぞれに接続される複数の行ラインと、複数の列端子のそれぞれに接続される複数の列ラインとが備えられている。カードには行ラインのそれぞれと列ラインのそれぞれとの交点にマトリクス状にリレースイッチが多数備えられている。図では、このスイッチのマトリクスはマトリクスＭとして略記している。行ラインのそれぞれと列ラインのそれぞれとは、このリレースイッチにより電気的な接続が開閉される。カードの詳細については、図２により後述する。スイッチングマトリクス装置１０にはリレースイッチのマトリクスを有するカードをさらに接続することができるカードスロット１４０および１５０が備えられていても良い。
【００２０】
本発明の実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０には、リレースイッチのそれぞれに対応するようにマトリクス状に発光部としてＬＥＤが複数配列されたＬＥＤマトリクスを用いた表示装置１０２が備えられている。本発明の実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０は、複数の入力ラインと該複数の出力ラインとの電気的な接続の組合わせを、該複数のリレースイッチの開閉の組合わせを変更することによって切り替える。発光部としては、ＬＥＤのほかにも、プラズマ発光体などの任意の発光体を使用することが出来る。
【００２１】
表示装置１０２のＬＥＤのそれぞれは、ＬＥＤに対応するリレースイッチの開閉と該開閉動作の種類を指定する命令の属性との組合わせにより規定されるステータスを複数の発光色により区別して表示する。
【００２２】
本発明の実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０には、注目するリレースイッチを表わすカーソルを動かすためのキー１６０と、リレースイッチの組合わせといった設定を記憶するメモリー１１２がさらに備えられている。コントローラ１１０は、キー１６０からの入力を受付て、バス１７０を介して各カードを制御したり、各カードからの設定情報を受付たりしながら、表示装置１０２を用いて現在のリレースイッチのステータスを表示する。
【００２３】
図２は、上記第１のカード１２０の構成の概略を示すブロック図である。他のカード１３０も同様の構成を有している。このカード１２０には、行端子１２２がＭ系統備えられており（Ｍは２以上の整数）、各行端子には、行ライン１２６が接続されている。また、このカード１２０には、列端子１２４がＮ系統備えられており（Ｎは２以上の整数）、各出力端子には、出力ライン１２８が接続されている。入力ラインと出力ラインの接続を定める接続ポイントには、図２に示すように、リレースイッチＳｊ，ｋがマトリクス状に備えられている。なお、ｊは、列出力のラインの位置を表わす１〜Ｎの整数であり、ｋは入力のラインの位置を表わす１〜Ｍの整数である。このリレースイッチＳｊ，ｋは、リレーコントローラ１２０２によりそれぞれが独立して制御される。リレーコントローラは、スイッチングマトリクス装置１０のコントローラ１１０とバス１７０を介して通信を行なう。
【００２４】
行ラインには、バイアス用電源及びグランドを行端子に接続するための端子ＡＵＸ１、ＡＵＸ２や、端子ＡＵＸ１にバイアス電圧源１２０６が接続されてバイアス・ラインとなるライン１２６Ａを列ラインに電気的に接続することができるようなリレースイッチＳＢ、ｋや、端子ＡＵＸ２にグランド１２０７が接続されてグランド・ラインとなるライン１２６Ｂを列ラインに電気的に接続することができるようなリレースイッチＳＧ、ｋが備えられている。このライン１２６Ａ、１２６Ｂにより、バイアス電圧源やグランドに列ラインを選択して接続することが可能となる。これにより、入力端子と出力端子の接続に使われないラインを特定のバイアス電圧あるいはグランド電圧に接続し、測定ノイズの軽減および／または信号のセトリング時間の短縮を図ることができる。
【００２５】
次に、図３により、本実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０の表示装置１０２の操作パネルの表示及びキー１６０の操作について、説明する。表示装置１０２は、ＬＥＤ１５０のアレイを有している。このＬＥＤのそれぞれは、図２に示したＳｊ，ｋの各スイッチの開閉状態と、その開閉の状態を指定する命令の属性とを組合わせて規定されるステータスを、複数の発光色により区別して表示する。
【００２６】
行ラインと列ラインの各交点には、以下の４つのステータスがある。
（１）ユーザーが明示的に接続を指示し、接続されている（閉じている）もの
（２）バイアス・イネーブルとして宣言された出力ラインとバイアス・ラインとの接続
（３）グランド・イネーブルとして宣言された出力ラインとグランド・ラインとの接続
（４）接続されていない（開いている）もの
上記４つのステータスのうち、（４）はリレースイッチが開いているが、（１）から（３）はリレースイッチが閉じている。上記（２）と（３）は、ユーザーが明示的に指定して閉じているものではない。
【００２７】
具体的には、ユーザーはまず、入力ラインに対してバイアス・ラインあるいはグランド・ラインとして使われるものをバイアス・ポートまたはグランド・ポートとしてコマンド等により宣言あるいは指定する。次に、出力ラインに対して、使われない時にはバイアス・ラインに接続しておきたいもの、あるいは、使われない時にはグランド・ラインに接続しておきたいものを、バイアス・イネーブルあるいはグランド・イネーブルとしてコマンド等により宣言あるいは指定して、出力ラインそれぞれの属性を定める。出力ラインが使われない時には、出力ラインは、これらの宣言に基づいて動作する装置のコントローラ１１０の制御ソフトウェアによって、自動的にバイアス・ラインまたはグランド・ラインの接点に接続されている。しかしながら、出力ラインを上記以外の入力ラインに接続するようにユーザーによって明示的に指定されたときは、コントローラ１１０は、これらの属性に従っている接点を切断し、ユーザーの指定した入力ラインに接続するための接点を閉じる。その後、バイアス・イネーブルあるいはグランド・イネーブルの出力ラインと、ユーザーが指定した入力ラインとの接続をユーザーが明示的に切断した後で、コントローラ１１０は、先に宣言した属性に従った接点を接続する。
【００２８】
本実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０においては、上記（１）に該当する接点の接続は、ＬＥＤの発光を緑にして表示し、（２）および（３）に該当する接続は、ＬＥＤの発光を赤にして表示する。このように、ＬＥＤの表示色を異なる色になるように定めれば、ユーザーは、ユーザー自身の選択によりそのリレーが閉となっているか、プログラムの制御によってそのリレーが閉となっているかがわかる。（４）の場合には、ＬＥＤを消灯する。また、本実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０においては、ユーザーが、カーソルキー１６１用いて入力対象のリレーの位置を操作し、ｏｐｅｎ／ｃｌｏｓｅキー１６２を用いて入力対象のリレーの接続・切断の入力を行なうとき、何れのリレースイッチをカーソルにより指定しているかを明示するために表示色を異なる色とする。これらをまとめると、本実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０における表示装置１０２の各リレースイッチのステータスに対応する表示は、表１のようになる。
【表１】
2005338017.tif 000003
【００２９】
本発明における他の実施態様においては、命令の属性ではなく、リレースイッチの開閉の状態と、ユーザーが開閉を指定するために例えばカーソルキー１６１などを用いてリレーを選択する際の選択対象となっているかどうかとを組合わせて表示色を決めることもできる。この場合、例えば、（開、選択対象になっていない）という場合には消灯させ、（閉、選択対象になっていない）という場合には緑に点灯させ、（開、選択対象になっている）という場合には赤に点灯させ、（閉、選択対象になっている）という場合には橙に点灯させる。このようにすれば、ユーザーは、選択対象になっているリレースイッチであっても、発光色が赤であるか橙であるかを見ることにより、そのリレースイッチが開いているか閉じているかを容易に判別することができる。
【００３０】
また、本実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０には、各カードの状態（正常・故障等）を表示するＬＥＤ１５２を有している。このＬＥＤは、例えば、消灯している場合にはカード自体が組み込まれていないことを示し、赤が点灯している場合には、診断プロセスにおいてそのカードに故障が見つかったことを示し、緑が点灯している場合には、そのカードが正常に使用可能なことを示すというようにカード自体の状態を示すために用いることができる。
【００３１】
本実施の形態のスイッチングマトリクス装置１０には、上記キー１６０による入力に加えて、ライトペン１８０（図１）による入力を行なうことができる。ライトペン１８０は、例えば、受光素子を内蔵した指示用の先端部を有し、受光による電気信号をスイッチングマトリクス装置１０のコントローラ１１０に伝達する信号線を有している。ライトペン１８０は、先端部を押し込んでメカニカルスイッチを動作させ、ユーザーのポイントする意図を電気信号として伝えるものや、ライトペン１８０の胴体にユーザーが押さえることが出来るボタンあるいはスイッチを有し、ユーザーがポイントする意図を電気信号として伝えるものなど、各種のものを用いることができる。ユーザーはトグルしたいリレースイッチに対応した位置のＬＥＤを、ライトペン１８０の先端でポイントする。ユーザーのポイントする意図を電気信号により検知すると、コントローラ１１０は、僅かずつタイミングをずらして全てのＬＥＤを順次スキャンするように点灯させる。そして、コントローラ１１０は、ライトペン１８０の受光部がＬＥＤからの光を受光したタイミングに基づいて、ライトペン１８０がポイントしているＬＥＤを特定し、そのＬＥＤがポイントされていることを検知する。そして、コントローラ１１０はそのＬＥＤに対応するリレースイッチの開閉状態を変更する。
【００３２】
このように、ＬＥＤを複数色表示にする本実施の形態のスイッチングマトリクス装置を用いることによって、スイッチングマトリクス装置の接点に与えられたソフトウェア的な属性がユーザーに簡単に認識可能になる。さらに、ＬＥＤ部分を入力装置として使用し、キーやライトペンを併用してスイッチングマトリクスの接続状態の設定を対話的に行なうことが可能になる。
【００３３】
なお、本実施の形態のスイッチングマトリクス装置の別の実施形態として、入力端子、出力端子にトライアックスコネクタが使われた時の各カードの構成の概略を示すブロック図を図４に示す。図４ａに示すように、入力端子ＡＵＸ１、ＡＵＸ２以外の各入出力端子には、芯線側から、信号線、ガード線、コモン（グランド）線がこの順で接続されるトライアックスコネクタが配置される。入力ラインおよび出力ラインは、それぞれ信号線とガード線とを有するラインにより構成される。入力ラインと出力ラインの信号線とガード線は、入力ラインと出力ラインの信号線同士とガード線同士を接続するマトリクス状のリレースイッチ（図４ｂ参照）により接続されている。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施の形態のスイッチングマトリクス装置の構成を示すブロック図。
【図２】本発明の本実施の形態のスイッチングマトリクス装置のリレースイッチの構成を示すブロック図。
【図３】本発明の本実施の形態のスイッチングマトリクス装置の構成を示すブロック図。
【図４】本発明の本実施の形態のスイッチングマトリクス装置の別の形態のリレースイッチの構成を示すブロック図。
【符号の説明】
【００３５】
１０  スイッチングマトリクス装置
２００  被測定デバイス（ＤＵＴ）
３００  特性測定装置
１５０  ＬＥＤ
１６０、１６１、１６２  キー
１２２、１３２  行端子
１２４、１３４  列端子
【図１】
2005338017.tif 000004
【図２】
2005338017.tif 000005
【図３】
2005338017.tif 000006
【図４】
2005338017.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月2日(2004.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2005338017.tif 000008