(57)【要約】【課題】微小面積の開口部を有する積層体、及び該積層体を安価かつ容易に作製可能な方法の提供。【解決手段】貫通孔を有する２枚の穿孔板が密着して積層されてなる積層体であって、前記穿孔板に設けられた貫通孔が互いに中心位置をずらして連通するように前記穿孔板が積層されて開口部が形成されており、前記貫通孔の断面積が０．００００１〜０．２ｍｍ２であり、かつ、前記開口部／貫通孔の面積比が０．００００１〜０．５であることを特徴とする積層体。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔を有する２枚の穿孔板が密着して積層されてなる積層体であって、
前記穿孔板に設けられた貫通孔が互いに中心位置をずらして連通するように前記穿孔板が積層されて開口部が形成されており、
前記貫通孔の断面積が０．００００１〜０．２ｍｍ２であり、かつ、前記開口部／前記貫通孔の面積比が０．００００１〜０．５であることを特徴とする積層体。
【請求項２】
前記貫通孔の断面形状が円、楕円、長方形、正多角形及び方円形からなる群より選ばれる１種以上である請求項１に記載の積層体。
【請求項３】
前記穿孔板のそれぞれに対し、複数個の前記貫通孔が周期構造を有するように設けられている請求項１又は２に記載の積層体。
【請求項４】
前記穿孔板の厚さが１μｍ〜１０ｃｍである請求項１〜３のいずれかに記載の積層体。
【請求項５】
２枚の基板を揃えて積層した後に穿孔を行い、貫通孔を有する穿孔板を得る工程と、
１枚目の前記穿孔板を２枚目の前記穿孔板に対してずらして開口部を形成する工程と、
をこの順に含むことを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項６】
前記穿孔をドリル加工、湿式エッチング、電子線照射加工、サンドブラスト、研磨切削、ドライエッチング及びビルドアップからなる群より選ばれるいずれかの方法により行う請求項５に記載の積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層体及びその製造方法に関し、特に、微小面積の開口部を有する積層体を安価な方法により得る方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、微小面積の貫通孔を有する基板は、スクリーン、光学フィルター、液滴ノズル、ガス供給ノズル、光学コリメーター等、多くの分野で利用されている。ある程度大きな断面積（約０．２ｍｍ２超）を有する貫通孔であれば、ドリル加工により容易に穿孔できるが、微小面積（約０．２ｍｍ２以下）を有する貫通孔を安価な方法で穿孔することは困難であり、エッチング処理、電子線照射、ＣＶＤ法、ＬＩＧＡ法、放電加工等の高価な処理を要するという問題があった。
【０００３】
一方、特許文献１には、互いに連通する貫通孔を有する一対の遮蔽板であって、一方の遮蔽板を他方の遮蔽板に沿ってスライドさせることが可能な構成の遮蔽板を陽極室と陰極室との間に配置してめっきを行う方法が開示されている。この方法によれば、各貫通孔のめっき液通過面積を容易に調節できるため、めっき作業の効率化を図るうえで有効であるという利点を有する。
【０００４】
【特許文献１】特開平２−１４５７９１号公報（特許請求の範囲、第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、微小面積の開口部を有する積層体、及び該積層体を安価かつ容易に製造可能な方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、貫通孔を有する２枚の穿孔板が密着して積層されてなる積層体であって、前記穿孔板に設けられた貫通孔が互いに中心位置をずらして連通するように前記穿孔板が積層されて開口部が形成されており、前記貫通孔の断面積が０．００００１〜０．２ｍｍ２であり、かつ、前記開口部／貫通孔の面積比が０．００００１〜０．５であることを特徴とする積層体を提供する。
【０００７】
また、本発明は、２枚の基板を揃えて積層した後に穿孔を行い、貫通孔を有する穿孔板を得る工程と、１枚目の前記穿孔板を２枚目の前記穿孔板に対してずらして開口部を形成する工程と、をこの順に含むことを特徴とする積層体の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、０．２ｍｍ２以下の微小面積を有する開口部を備えた積層体を安価な方法により、容易に作製できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図１〜４中、１、２は穿孔板である。
【００１０】
図１において、穿孔板１、２上の貫通孔の断面積は０．００００１〜０．２ｍｍ２とする。また、本発明では、穿孔板１、２上の貫通孔の断面積に対する開口部の面積比を０．００００１〜０．５とすることにより、微小面積を有する開口部が得られやすくなる。該面積比が０．５を超える場合、貫通孔の中心位置をずらすことによる効果が得られにくいため好ましくない。
【００１１】
貫通孔の断面形状は特に限定されないが、円、楕円、長方形、正多角形及び方円形（角の取れた四角形）からなる群より選ばれる１種以上の形状であると加工性の点で好ましい。なかでも、円、長方形、正方形及び方円形からなる群より選ばれる１種以上の形状であることが好ましい。なお、加工性の観点から、貫通孔は穿孔板１、２に対して凸でない形状とすることが好ましい。
【００１２】
貫通孔の穿孔にあたっては、貫通孔の断面形状及び断面積に応じて適宜、好ましい穿孔方法を用いればよい。例えば、断面積が約３．１×１０−２ｍｍ２（円形の貫通孔の場合、直径０．２ｍｍに相当）以上の貫通孔であれば、ドリル加工による穿孔が可能である。一方、断面積が約２．０×１０−３ｍｍ２（円形の貫通孔の場合、直径０．０５ｍｍに相当）以上の貫通孔であれば、湿式エッチング又は電子線照射加工により穿孔できる。その他、サンドブラスト（円形の貫通孔の場合の穿孔面積の下限：約０．００００７ｍｍ２＝直径１０μｍに相当）、研磨切削（上記下限：約０．００７ｍｍ２＝直径１００μｍに相当）、ドライエッチング（上記下限：約０．００００７ｍｍ２）、ビルドアップ（上記下限：約０．００００７ｍｍ２）などの穿孔方法も好ましく用いられる。ここで、穿孔とは、基板に貫通孔を設ける操作一般を指しており、孔のない基板に対して孔を開ける操作（減法）に限られず、基板を析出、融着又は固化等の方法により成形して穿孔板を得る操作（加法）を用いてもよい。
【００１３】
貫通孔は、穿孔板１、２上に、それぞれ複数個設けられていることが好ましい。なかでも、穿孔板１、２のそれぞれに対し、複数個の貫通孔が同一の周期構造を有するように設けられていると好ましい。その際の周期構造の形態については特に限定されるものではないが、加工性及び積層板の利用効率の観点から、例えば穿孔板１、２の縦方向及び横方向のそれぞれに一定のピッチで複数個の貫通孔を設置してなる並列配列や、並列配列した貫通孔のうち、縦方向に隣接する２つの貫通孔と、横方向に隣接する２つの貫通孔とを選び、これらの孔の中心を結んで形成される長方形の対角線の中心にもう１個の貫通孔を設置してなる千鳥配列が挙げられる。
【００１４】
特に好ましくは、２枚の基板を揃えて積層した後に穿孔を行って穿孔板１、２を得る工程の後、穿孔板１を穿孔板２に対してずらすことにより、図２（断面図）及び図３（俯瞰図）に示すような、穿孔板１、２に設けられた貫通孔が互いに中心位置をずらして連通した形の開口部を有する積層体を得る。この方法によれば、穿孔板１上の貫通孔と、穿孔板２上の貫通孔の相対中心位置が一致した積層体を容易に作製できる。
【００１５】
穿孔板１、２のそれぞれの厚さは特に限定されないが、１μｍ〜１０ｃｍの範囲とすると加工性及び強度の点で好ましく、より好ましくは１０μｍ〜１０ｍｍとする。また、穿孔板１、２の材質についても特に限定されないが、金属、樹脂、セラミックス、ガラス、紙、鉱物及びそれらの複合材料からなる群より選ばれる１種により構成されるものを用いると好ましい。
【００１６】
本発明の積層体の用途は特に限定されないが、乳化液滴の作製に使用すると好適である。例えば図４に示すように、本発明の積層体を介して片側に有機溶媒を流し、もう一方の側の開口部に水性液体を圧入すれば、微小粒径のＷ／Ｏ型エマルジョンを容易に得ることができ好ましい。ここで、貫通孔の形状を円形とし、開口部の短径／長径の比が１／３以下となるように構成すれば、水性液体は有機溶媒の流れと無関係に、自発的に液滴化すると考えられる。
【実施例】
【００１７】
［例１］
２枚の基板を揃えて積層した後、直径０．２ｍｍのドリルにより穿孔して得られる穿孔板１、２を０．１７２ｍｍずらすことにより、直径０．０５ｍｍの円形の貫通孔（従来、電子線照射加工などによる穿孔を要する）に相当する開口部が得られる。
【００１８】
［例２］
２枚の基板を揃えて積層した後、直径０．０５ｍｍの電子線照射加工により穿孔して得られる穿孔板１、２を０．０４４８ｍｍずらすことにより、直径０．０１ｍｍの円形の貫通孔（従来、ＬＩＧＡ法などによる穿孔を要する）に相当する開口部が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００１９】
本発明の積層体は、スクリーン、光学フィルター、液滴ノズル、ガス供給ノズル、光学コリメータ等に適用できる。特に、本発明の積層体は微小面積の貫通孔を備えるため、エマルジョン作製用の隔壁としての使用に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態である積層体の構成図
【図２】本発明の実施形態である積層体の断面図
【図３】本発明の実施形態である積層体の俯瞰図
【図４】本発明の積層体を乳化液滴作製に適用する際の概要を模式的に示す図
【符号の説明】
【００２１】
１、２：穿孔板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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