(57)【要約】【課題】    記録マークの長さや、隣り合う記録マーク間のブランク領域の長さが、解像限界以下である場合にも、これらの記録マークおよびブランク領域を含む記録マーク列により構成されたデータを、記録し、再生することができ、記録容量を大幅に増大させることが可能になる光記録媒体を提供することを目的とする。【解決手段】    レーザビームが照射されて、データが記録され、再生されるように構成された光記録媒体であって、記録層７と、光吸収層５とが、第二の誘電体層６を挟んで形成された積層体を含み、光吸収層５が、Ｇｅ、またはＳｂとＧｅを主成分として含むことを特徴とする光記録媒体。【選択図】      図２
2005322276.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザビームが照射されて、データが記録され、再生されるように構成された光記録媒体であって、記録層と、光吸収層とが、少なくとも誘電体層を挟んで形成された積層体を含み、前記光吸収層が、Ｇｅ、またはＳｂとＧｅを主成分として含むことを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
前記光吸収層が、ＳｂとＧｅを主成分として含み、５０原子％ないし８５原子％のＧｅを含有していることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録媒体に関するものであり、さらに詳細には、記録マークの長さや、隣り合う記録マーク間のブランク領域の長さが、解像限界以下である場合にも、これらの記録マークおよびブランク領域を含む記録マーク列により構成されたデータを、記録し、再生することができ、記録容量を大幅に増大させることが可能になる光記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、デジタルデータを記録するための記録媒体として、ＣＤやＤＶＤに代表される光記録媒体が広く利用されているが、近年においては、より大容量で、かつ、高いデータ転送レートを有する光記録媒体の開発が盛んに行われている。
【０００３】
こうした光記録媒体においては、データの記録、再生に用いるレーザビームの波長λを小さくするとともに、対物レンズの開口数ＮＡを大きくして、レーザビームのビームスポット径を小さく絞ることにより、光記録媒体の記録容量の増大が図られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光記録媒体においては、光記録媒体に記録された記録マークの長さ、および、隣り合う記録マーク間の長さ、すなわち、記録マークが形成されていない領域（以下、「ブランク領域」という。）の長さが解像限界以下になると、光記録媒体からデータを再生することが不可能になる。
【０００５】
解像限界は、レーザビームの波長λと、レーザビームを集束するための対物レンズの開口数ＮＡによって決定され、記録マークとブランク領域との繰り返しの周波数、すなわち、空間周波数が２ＮＡ／λ以上の場合に、記録マークおよびブランク領域に記録されたデータの読み取りが不可能になる。
【０００６】
したがって、読み取り可能な空間周波数に対応する記録マークおよびブランクの長さは、それぞれ、λ／４ＮＡ以上となり、波長λのレーザビームを、開口数ＮＡの対物レンズによって、光記録媒体の表面に集光させるときは、λ／４ＮＡの長さの記録マークおよびブランク領域が、読み取ることができる最短の記録マークおよびブランク領域となる。
【０００７】
このように、データを再生する場合には、データの再生が可能な解像限界が存在し、再生することができる記録マークの長さおよびブランク領域の長さに制限がある。したがって、解像限界以下の長さの記録マークおよびブランク領域を形成して、データを記録しても、記録されたデータを再生することができないので、光記録媒体に、データを記録するときに形成可能な記録マークの長さおよびブランク領域の長さが必然的に制限される。
【０００８】
したがって、光記録媒体の記録容量を増大させるためには、データの再生に用いるレーザビームの波長λを短くし、あるいは、対物レンズの開口数ＮＡを大きくすることによって、解像限界を小さくし、より短い記録マークとブランク領域よりなるデータを再生することができるようにすることが要求される。
【０００９】
しかしながら、データの再生に用いるレーザビームの波長λを短くし、あるいは、対物レンズの開口数ＮＡを大きくすることには限界があり、したがって、解像限界を小さくすることによって、光記録媒体の記録容量を増大させることには限界があった。
【００１０】
したがって、本発明の目的は、記録マークの長さや、隣り合う記録マーク間のブランク領域の長さが、解像限界以下である場合にも、これらの記録マークおよびブランク領域を含む記録マーク列により構成されたデータを、記録し、再生することができ、記録容量を大幅に増大させることが可能になる光記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のかかる目的は、レーザビームが照射されて、データが記録され、再生されるように構成された光記録媒体であって、記録層と、光吸収層とが、少なくとも誘電体層を挟んで形成された積層体を含み、前記光吸収層が、Ｇｅ、またはＳｂとＧｅを主成分として含むことを特徴とする光記録媒体によって達成される。
【００１２】
本発明において、光吸収層は、Ｇｅ、またはＳｂとＧｅを主成分として含んでいる。本明細書において、Ｇｅを主成分として含むとは、光吸収層中のＧｅの含有量が９０原子％以上であることを意味し、また、ＳｂとＧｅを主成分として含むとは、Ｓｂの含有量とＧｅの含有量を足し合わせたものが、９０原子％以上であることを意味する。
【００１３】
本発明者の研究によれば、その理由は必ずしも明らかではないが、記録層と、光吸収層とが、少なくとも誘電体層を挟んで形成された積層体を含み、光吸収層が、Ｇｅ、またはＳｂとＧｅを主成分として含む場合には、記録層に形成された記録マーク列を構成する記録マークの長さや、隣り合う記録マーク間のブランク領域の長さが、解像限界以下であるときにも、データが再生可能であることが見出されている。
【００１４】
本発明において、光吸収層が、ＳｂとＧｅを主成分として含む場合には、５０原子％ないし８５原子％のＧｅを含有していることが好ましい。
【００１５】
光吸収層が、ＳｂとＧｅを主成分として含む場合に、Ｇｅの含有量が、５０原子％ないし８５原子％のときには、解像限界以下の記録マークおよびブランク領域によって構成されたデータを再生するときの再生感度を向上させることができるとともに、Ｃ／Ｎ比の高い再生信号を得ることができる。
【００１６】
本発明において、光吸収層は、５ｎｍないし１００ｎｍの厚さを有していることが好ましい。光吸収層の厚さが、５ｎｍ未満である場合には、光吸収率が低すぎ、一方、１００ｎｍを越えると、後述するように、記録層が体積変化する際に、光吸収層が変形し難くなり、好ましくない。
【００１７】
本発明において、記録層は、記録パワーに設定されたレーザビームが照射されたときに、レーザビームが照射された領域で、体積変化が生じるように構成されているのが好ましい。記録層の体積変化した領域は、体積変化が生じていない領域と、光学特性が異なるため、記録マークとして利用することができる。
【００１８】
記録層は、貴金属酸化物によって形成することが好ましく、記録層を形成するための貴金属酸化物としては、白金酸化物を用いることが好ましい。
【００１９】
白金酸化物は、他の貴金属酸化物に比べて、分解温度が高く、したがって、記録パワーに設定されたレーザビームを照射して、記録マークを形成する際に、レーザビームが照射された領域から、周囲に、熱が拡散しても、レーザビームが照射された領域以外の領域で、白金酸化物の分解反応が生じることが防止されるから、記録層の所望の領域を体積変化させて、記録マークを形成することが可能になる。
【００２０】
また、高い再生パワーのレーザビームが照射されて、データが再生される場合においても、白金酸化物は、他の貴金属酸化物に比べて、分解温度が高いから、白金酸化物が白金と酸素に分解されるおそれがなく、したがって、繰り返し、光記録媒体に記録されたデータを再生しても、記録マークの形状が変化することはなく、また、記録マークが形成された領域以外の領域で、新たに体積変化が生じることもないから、光記録媒体の再生耐久性を向上させることが可能になる。
【００２１】
本発明においては、さらに、前記基板上に、反射層が形成されているのが好ましい。
【００２２】
基板上に、反射層が形成された場合には、再生パワーＰｒに設定されたレーザビームが照射されたときに、レーザビームによって与えられた熱を、反射層によって、レーザビームが照射された箇所から周囲へ拡散することができる。したがって、光記録媒体が過剰に加熱されることを確実に防止することができ、光記録媒体に記録されたデータが劣化するのを防止することが可能となる。
【００２３】
さらに、基板上に、反射層が形成された場合には、反射層の表面によって、反射されたレーザビームと、反射層上に積層された層によって、反射されたレーザビームとが干渉し、結果として、再生信号を構成する反射光の光量が大きくなるので、再生信号のＣ／Ｎ比を向上させることも可能になる。
【００２４】
本発明において、誘電体層および光吸収層は、記録層に記録マーク列が形成されるときの記録層の体積変化にともなって、変形するように構成されていることが好ましい。
【００２５】
誘電体層および光吸収層が変形した領域は、誘電体層および光吸収層が変形しない領域と、光学特性が異なるので、より良好な信号特性を有する再生信号を得ることができる。
【００２６】
本発明において、誘電体層は、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物を主成分として含んでいることが好ましい。ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物を主成分として含む誘電体層は、記録用、再生用のレーザビームに対して、高い光透過率を有し、さらに、硬度が比較的に低いため、記録層が体積変化するときに、誘電体層が変形し易くなる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、記録マークの長さや、隣り合う記録マーク間のブランク領域の長さが、解像限界以下である場合にも、これらの記録マークおよびブランク領域を含む記録マーク列により構成されたデータを、記録し、再生することができ、記録容量を大幅に増大させることができる光記録媒体を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。
【００２９】
図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録媒体の略斜視図であり、図２は、図１に示された光記録媒体のトラックに沿った断面のうち、Ａで示される部分の略拡大断面図である。
【００３０】
図２に示されるように、本実施態様にかかる光記録媒体１は、支持基板２を備え、支持基板２上に、反射層３と、第三の誘電体層４と、光吸収層５と、第二の誘電体層６と、記録層７と、第一の誘電体層８と、光透過層９が、この順に、積層されている。
【００３１】
本実施態様においては、図２に示されるように、光記録媒体１は、光透過層９側から、レーザビームが照射されて、データが記録され、記録されたデータが再生されるように構成されている。レーザビームは、３９０ｎｍないし４２０ｎｍの波長λを有し、開口数ＮＡが０．７ないし０．９の対物レンズによって、光記録媒体１に集光される。
【００３２】
支持基板２は、光記録媒体１に求められる機械的強度を確保するための支持体として、機能する。
【００３３】
また、支持基板２は、その表面上に、中心部近傍から外縁部に向けて、グルーブ（図示せず）およびランド（図示せず）が螺旋状に形成されている。
【００３４】
グルーブおよびランドは、記録層７にデータを記録する場合、および記録層７に記録されたデータを再生する場合において、レーザビームのガイドトラックとして、機能する。
【００３５】
支持基板２を形成するための材料は、光記録媒体１の支持体として機能することができれば、とくに限定されるものではなく、たとえば、ポリカーボネート樹脂、オレフィン樹脂を用いることができる。
【００３６】
支持基板２の厚さは、とくに限定されるものではないが、次世代のブルーレーザ対応の光記録媒体との互換性の観点から、支持基板２は、約１．１ｍｍの厚さを有するように形成されることがより好ましい。
【００３７】
図２に示されるように、支持基板２の表面には、反射層３が形成されている。
【００３８】
反射層３は、光透過層９を介して、入射したレーザビームを反射し、再び、光透過層９から出射させる役割を果たす。
【００３９】
反射層３を形成するための材料は、レーザビームを反射することができれば、とくに限定されるものではなく、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｇｅ、Ｓｉからなる群より選ばれる少なくとも一種の元素を用いることができる。
【００４０】
反射層３の厚さは、とくに限定されるものではないが、５ｎｍないし２００ｎｍであることが好ましい。
【００４１】
図２に示されるように、反射層３の表面上には、第三の誘電体層４が形成されている。
【００４２】
本実施態様においては、第三の誘電体層４は、支持基板２および反射層３を保護するとともに、その上に形成される光吸収層５を、物理的、化学的に保護する機能を有している。
【００４３】
第三の誘電体層４を形成するための誘電体材料は、とくに限定されるものではなく、たとえば、酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、あるいは、これらの組み合わせを主成分とする誘電体材料によって、第三の誘電体層４を形成することができ、好ましくは、Ｓｉ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｚｒ、Ｐｂ、Ａｇ、Ｓｎ、Ｃａ、Ｃｅ、Ｖ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｇよりなる群から選ばれる少なくとも一種の金属を含む酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物、あるいは、これらの複合物によって形成され、とくに、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物が好ましく、モル比が８０：２０であるＺｎＳとＳｉＯ２の混合物が、さらに好ましい。
【００４４】
第三の誘電体層４は、たとえば、スパッタリング法によって形成することができる。
【００４５】
第三の誘電体層４の厚さは、とくに限定されるものではないが、１０ｎｍないし１４０ｎｍであることが好ましい。
【００４６】
図２に示されるように、第三の誘電体層４の表面上には、光吸収層５が形成されている。
【００４７】
本実施態様において、光吸収層５は、光記録媒体１に、記録パワーＰｗに設定されたレーザビームが照射されたときに、レーザビームを吸収して、発熱し、生成した熱を、後述する記録層７に伝達する機能を有している。
【００４８】
本実施態様において、光吸収層５は、Ｇｅ、またはＳｂとＧｅを主成分として含んでいる。本明細書において、Ｇｅを主成分として含むとは、光吸収層５中のＧｅの含有量が９０原子％以上であることを意味し、また、ＳｂとＧｅを主成分として含むとは、Ｓｂの含有量とＧｅの含有量を足し合わせた含有量が、９０原子％以上であることを意味する。
【００４９】
光吸収層５が、ＳｂとＧｅを主成分として含む場合には、５０原子％ないし８５原子％のＧｅを含有していることが好ましい。
【００５０】
光吸収層５が、ＳｂとＧｅを主成分として含む場合に、５０原子％ないし８５原子％のときには、解像限界以下の記録マークおよびブランク領域によって構成されたデータを再生するときの再生感度を向上させることができるとともに、Ｃ／Ｎ比の高い再生信号を得ることができる。
【００５１】
光吸収層５は、５ｎｍないし１００ｎｍの厚さを有していることが好ましい。光吸収層５の厚さが、５ｎｍ未満である場合には、光吸収率が低すぎ、一方、１００ｎｍを越えると、後述のように、記録層７に空洞が形成される際に、光吸収層５が変形し難くなり、好ましくない。
【００５２】
光吸収層５は、たとえば、スパッタリング法によって形成することができる。
【００５３】
図２に示されるように、光吸収層５の表面上には、第二の誘電体層６が形成されている。
【００５４】
本実施態様において、第二の誘電体層６は、後述する第一の誘電体層８とともに、後述する記録層７を、物理的、化学的に保護する機能を有している。
【００５５】
本実施態様において、第二の誘電体層６は、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物を主成分として含んでいる。ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物を主成分として含む誘電体層は、３９０ｎｍないし４２０ｎｍの波長λを有するレーザビームに対して、高い光透過率を有し、さらに、硬度が比較的に低いため、後述のように、記録層７に空洞が形成される際に、第二の誘電体層６が変形し易くなり、好ましい。
【００５６】
第二の誘電体層６は、たとえば、スパッタリング法によって、形成することができる。
【００５７】
第二の誘電体層６は、好ましくは、５ｎｍないし１００ｎｍの厚さを有するように形成される。
【００５８】
図２に示されるように、第二の誘電体層６の表面上には、記録層７が形成されている。
【００５９】
本実施態様においては、記録層７は、データが記録される層であり、データが記録される際には、記録層７に、記録マークが形成される。
【００６０】
本実施態様において、記録層７は、白金酸化物（ＰｔＯｘ）を主成分として含んでいる。
【００６１】
本実施態様において、記録マークの長さや、隣り合う記録マーク間のブランク領域の長さが、解像限界以下である場合にも、高いＣ／Ｎ比を有する再生信号を得るためには、１．０≦ｘ＜３．０であることがより好ましい。
【００６２】
記録層７の厚さは、２ｎｍないし２０ｎｍであることが好ましく、４ｎｍないし２０ｎｍであることが、さらに好ましい。記録層７の厚さが２ｎｍ未満の場合には、記録層７を連続膜として形成できないことがあり、逆に、２０ｎｍを超える場合には、記録層７が変形し難くなる。
【００６３】
記録層７は、たとえば、スパッタリング法によって形成することができる。
【００６４】
図２に示されるように、記録層７の表面上には、第一の誘電体層８が形成されている。
【００６５】
本実施態様において、第一の誘電体層８は、記録層７を物理的、化学的に保護する機能を有している。
【００６６】
第一の誘電体層８は、第三の誘電体層４と同様の材料を用いて形成することができ、第三の誘電体層４と同様に、たとえば、スパッタリング法によって形成することができる。
【００６７】
図２に示されるように、第一の誘電体層８の表面上には、光透過層９が形成されている。
【００６８】
光透過層９は、レーザビームが透過する層であり、その表面は、レーザビームの入射面を形成している。
【００６９】
光透過層９を形成するための材料は、光学的に透明で、使用されるレーザビームの波長領域である３９０ｎｍないし４２０ｎｍでの光学吸収および反射が少なく、複屈折が小さい材料であれば、とくに限定されるものではなく、スピンコーティング法などによって、光透過層９が形成される場合には、紫外線硬化型樹脂、電子線硬化型樹脂、熱硬化型樹脂などが、光透過層９を形成するために用いられ、紫外線硬化型樹脂、電子線硬化型樹脂などの活性エネルギー線硬化型樹脂が、光透過層９を形成するために、とくに好ましく使用される。
【００７０】
光透過層９は、第一の誘電体層８の表面に、光透過性樹脂によって形成されたシートを、接着剤を用いて、接着することによって、形成されてもよい。
【００７１】
光透過層９の厚さは、スピンコーティング法により、光透過層９を形成する場合には、１０μｍないし２００μｍが好ましく、光透過性樹脂によって形成されたシートを、接着剤を用いて、第一の誘電体層８の表面に接着して、光透過層９を形成する場合には５０μｍないし１５０μｍが好ましい。
【００７２】
以上のように構成された光記録媒体１には、次のようにして、データが記録され、データが再生される。
【００７３】
図３（ａ）は、データが記録される前の光記録媒体１の一部拡大略断面図であり、図３（ｂ）は、データが記録された後の光記録媒体１の一部拡大略断面図である。
【００７４】
光記録媒体１にデータを記録するに際しては、光透過層９を介して、光記録媒体１にレーザビームが照射される。
【００７５】
記録パワーＰｗに設定されたレーザビームが、光記録媒体１に照射されると、レーザビームが照射された光吸収層５の領域が加熱される。光吸収層５で生成された熱は、記録層７に伝達され、記録層７の温度が上昇する。
【００７６】
記録層７に主成分として含まれる白金酸化物は、レーザビームに対する透過性が高いため、レーザビームが照射されても、記録層７自体は発熱し難く、記録層７の温度を、白金酸化物の分解温度以上に上昇させることは困難であるが、本実施態様においては、光吸収層５が設けられているから、光吸収層５が発熱し、光吸収層５で生成された熱が、記録層７に伝達され、記録層７の温度が上昇する。
【００７７】
こうして、記録層７が、白金酸化物の分解温度以上に加熱され、記録層７に主成分として含まれている白金酸化物が、白金と酸素に分解される。
【００７８】
その結果、図３（ｂ）に示されるように、白金酸化物が分解して、生成された酸素ガスによって、記録層７中に、空洞７ａが形成され、白金の微粒子７ｂが空洞７ａ内に析出する。
【００７９】
同時に、図３（ｂ）に示されるように、酸素ガスの圧力によって、光吸収層５および第二の誘電体層６とともに、記録層７が変形する。
【００８０】
こうして、空洞７ａが形成され、光吸収層５、第二の誘電体層６および記録層７が変形した領域は、他の領域とは異なる光学特性を有するため、空洞７ａが形成され、光吸収層５、第二の誘電体層６および記録層７が変形した領域によって、記録マークが形成される。
【００８１】
こうして形成される記録マークおよび隣り合った記録マーク間のブランク領域の中には、λ／４ＮＡよりも長さが短いものが含まれ、解像限界以下の記録マーク列が形成される。
【００８２】
本実施態様においては、記録層７が、分解温度が高い白金酸化物を主成分として含んでいるから、記録パワーＰｗに設定されたレーザビームを照射して、記録マークを形成する際に、レーザビームが照射された領域から、熱が周囲の記録層７に拡散した場合にも、レーザビームが照射された領域以外の領域で、白金酸化物の分解反応が生じることが防止され、したがって、記録層７の所望の領域に、空洞７ａを形成して、記録マークを形成することが可能になる。
【００８３】
こうして、光記録媒体１にデータが記録され、光記録媒体１に記録されたデータは、以下のようにして、再生される。
【００８４】
光記録媒体１にレーザビームが照射されると、光記録媒体１によって、レーザビームが反射され、この反射されたレーザビームが、光検出器によって受光されて、電気信号に変換されることにより、光記録媒体１に記録されたデータが再生される。
【００８５】
本発明者の研究によれば、その理由は必ずしも明らかではないが、白金酸化物を主成分として含む記録層７と、Ｇｅ、またはＳｂとＧｅを主成分として含む光吸収層５を備えた光記録媒体１に対して、記録パワーＰｗに設定されたレーザビームを照射し、記録層７に空洞７ａを形成するとともに、白金の微粒子７ｂを空洞７ａ内に析出して、記録マークを形成し、データを記録した場合には、記録マーク列を構成する記録マークの長さや、隣り合う記録マーク間のブランク領域の長さが、解像限界以下であるときにも、データが再生可能であることが見出されている。
【００８６】
したがって、本実施態様によれば、記録マークの長さや、隣り合う記録マーク間のブランク領域の長さが、解像限界以下である場合にも、これらの記録マークおよびブランク領域を含む記録マーク列により構成されたデータを、記録し、再生することができ、記録容量を大幅に増大させることが可能となる。
【００８７】
また、本実施形態においては、支持基板２上に、反射層３が形成されており、再生パワーＰｒに設定されたレーザビームが照射されたときに、レーザビームによって与えられた熱を、反射層３によって、レーザビームが照射された箇所から周囲へ拡散することができる。したがって、光記録媒体１が過剰に加熱されることを確実に防止することができ、光記録媒体１に記録されたデータが劣化するのを防止することが可能になる。
【００８８】
さらに、支持基板２上に、反射層３が形成されている場合には、反射層３の表面によって、反射されたレーザビームと、反射層３上に積層された層によって、反射されたレーザビームとが干渉し、結果として、再生信号を構成する反射光の光量が大きくなるので、再生信号のＣ／Ｎ比を、より一層、向上させることも可能になる。
【実施例】
【００８９】
以下、本発明の効果をより明瞭なものとするため、実施例を掲げる。
【００９０】
実施例１
１．１ｍｍの厚さと１２０ｍｍの直径を有するポリカーボネート基板をスパッタリング装置にセットし、ポリカーボネート基板上に、Ｐｔターゲットを用いて、スパッタリング法により、２０ｎｍの厚さを有する反射層を形成した。
【００９１】
次いで、反射層の表面に、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物をターゲットとして、スパッタリング法により、１００ｎｍの厚さを有する第三の誘電体層を形成した。ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物ターゲットとしては、ＺｎＳとＳｉＯ２のモル比が８０：２０のターゲットを使用した。
【００９２】
次いで、第三の誘電体層の表面に、Ｇｅターゲットを用いて、スパッタリング法により、Ｇｅを主成分として含み、２０ｎｍの厚さを有する光吸収層を形成した。
【００９３】
次いで、光吸収層の表面に、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物よりなるターゲットを用いて、スパッタリング法により、６０ｎｍの厚さを有する第二の誘電体層を形成した。ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物ターゲットとしては、ＺｎＳとＳｉＯ２のモル比が８０：２０のターゲットを使用した。
【００９４】
次いで、第二の誘電体層の表面に、Ａｒガスと酸素ガスとの混合ガスをスパッタリングガスとして用い、Ｐｔターゲットを用いて、スパッタリング法により、白金酸化物を主成分として含み、４ｎｍの厚さを有する記録層を形成した。
【００９５】
次いで、記録層の表面に、ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物よりなるターゲットを用いて、スパッタリング法により、７５ｎｍの厚さを有する第一の誘電体層を形成した。ＺｎＳとＳｉＯ２の混合物ターゲットとしては、ＺｎＳとＳｉＯ２のモル比が８０：２０のターゲットを使用した。
【００９６】
最後に、第一の誘電体層の表面上に、紫外線硬化性アクリル樹脂をスピンコート法により、塗布して、塗膜を形成し、これに、紫外線を照射して、１００μｍの光透過層を形成した。こうして、サンプル＃１を作製した。
【００９７】
次いで、ＧｅターゲットおよびＳｂターゲットを用いて、スパッタリング法により、光吸収層を形成して、光吸収層の組成を、原子比で、Ｇｅ４８Ｓｂ５２とした点、および第一の誘電体層の厚さを７０ｎｍとした点を除き、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃２を作製した。
【００９８】
さらに、光吸収層の組成を、原子比で、Ｇｅ６０Ｓｂ４０とした点を除き、サンプル＃２と同様にして、サンプル＃３を作製した。
【００９９】
次いで、光吸収層の組成を、原子比で、Ｇｅ７５Ｓｂ２５とした点を除き、サンプル＃２と同様にして、サンプル＃４を作製した。
【０１００】
さらに、光吸収層の組成を、原子比で、Ｇｅ８５Ｓｂ１５とした点を除き、サンプル＃２と同様にして、サンプル＃５を作製した。
【０１０１】
次いで、サンプル＃１を、パルステック工業株式会社製の光記録媒体評価装置「ＤＤＵ１０００」（商品名）にセットし、波長が４０５ｎｍの青色レーザビームを、記録用レーザビームとして用い、開口数ＮＡが０．８５の対物レンズを用いて、レーザビームを、光透過層を介して、集光した。こうして、以下の条件で、サンプル＃１の記録層に、解像限界である１２０ｎｍより小さい７５ｎｍの記録マークと、７５ｎｍのブランク領域とからなる記録マーク列（以下、７５ｎｍの記録マーク列と称する）を、形成して、データを記録した。データを記録するにあたっては、レーザビームの記録パワーＰｗを、９．５ｍＷに設定した。
記録線速度：４．９ｍ／ｓ
記録方式：オングルーブ記録
【０１０２】
さらに、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃２ないし＃５の記録層に、７５ｎｍの記録マーク列を、順次、形成し、データを記録した。サンプル＃２ないし＃５の記録層に、データを記録するに際しては、レーザビームの記録パワーＰｗを、それぞれ、７．０ｍＷ、１０．０ｍＷ、１０．０ｍＷおよび９．５ｍＷに設定し、記録線速度を、いずれも、４．９ｍ／ｓに設定した。
【０１０３】
データの記録後、同じ光記録媒体評価装置を用いて、サンプル＃１に記録されたデータを再生し、再生信号のＣ／Ｎ比を測定した。データを再生するにあたっては、レーザビームの再生パワーＰｒを１．２ｍＷに設定し、再生線速度を、４．９ｍ／ｓに設定した。
【０１０４】
次いで、レーザビームの再生パワーＰｒを、１．２ｍＷないし３．６ｍＷの範囲で、少しずつ、上げていき、順次、サンプル＃１の記録層に記録されたデータを再生した。
【０１０５】
さらに、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃２ないし＃５に記録されたデータを再生し、再生信号のＣ／Ｎ比を測定した。サンプル＃２ないし＃５の記録層に記録されたデータを再生するにあたっては、レーザビームの再生パワーＰｒを、それぞれ、２．６ｍＷないし３．６ｍＷの範囲、１．８ｍＷないし３．０ｍＷの範囲、１．８ｍＷないし３．０ｍＷの範囲、および２．０ｍＷないし３．２ｍＷの範囲で、変化させていった。測定結果は、表１に示されている。
【０１０６】
【表１】
2005322276.tif 000003
【０１０７】
表１に示されるように、サンプル＃１ないし＃５においては、もっとも高いＣ／Ｎ比が、それぞれ、３５．０ｄＢ、２５．６ｄＢ、２７．０ｄＢ、２６．６ｄＢおよび２５．５ｄＢであり、いずれも、２５ｄＢ以上のＣ／Ｎ比を有する再生信号を得ることができた。
【０１０８】
また、表１に示されるように、光吸収層が、ＳｂとＧｅを主成分として含み、５０原子％ないし８５原子％のＧｅを含有するサンプル＃３ないし＃５においては、もっとも高いＣ／Ｎ比の再生信号が得られるときの再生パワーＰｒが、いずれも、２．４Ｗであり、これに対して、光吸収層が、ＳｂとＧｅを主成分として含むが、Ｇｅの含有量が５０原子％未満であるサンプル＃２においては、もっとも高いＣ／Ｎ比の再生信号が得られるときの再生パワーＰｒが、３．２ｍＷであった。これらの結果から、ＳｂとＧｅを主成分として含み、５０原子％ないし８５原子％のＧｅを含有するように、光吸収層を、形成した場合には、再生感度を向上させることができるのが認められた。
【０１０９】
次いで、サンプル＃１を、上述の光記録媒体評価装置にセットし、記録パワーＰｗに設定されたレーザビームを照射して、サンプル＃１の記録層に、解像限界より小さい５０ｎｍ、７５ｎｍおよび１１２．５ｎｍの記録マーク列と、解像限界より大きい１５０ｎｍおよび３００ｎｍの記録マーク列とを、それぞれ、形成し、データを記録した。
【０１１０】
さらに、サンプル＃１と同様にして、サンプル＃２ないし＃５の記録層に、５０ｎｍないし３００ｎｍの記録マーク列を、順次、形成し、データを記録した。
【０１１１】
サンプル＃１ないし＃５の記録層に、データを記録するにあたっては、記録線速度を、いずれも、４．９ｍ／ｓに設定し、レーザビームの記録パワーＰｗを、それぞれ、表２に示されるように、設定した。
【０１１２】
【表２】
2005322276.tif 000004
【０１１３】
次いで、データの記録後、サンプル＃１ないし＃５を、同じ光記録媒体評価装置にセットし、サンプル＃１ないし＃５に記録されたデータを、順次、再生し、再生信号のＣ／Ｎ比を測定した。サンプル＃１ないし＃５に記録されたデータを再生するにあたっては、いずれも、再生線速度を、４．９ｍ／ｓに設定し、レーザビームの再生パワーＰｒを、それぞれ、表３に示されるように、設定した。測定結果は、表４に示されている。
【０１１４】
【表３】
2005322276.tif 000005
【０１１５】
【表４】
2005322276.tif 000006
【０１１６】
表４に示されるように、サンプル＃１ないし＃５においては、解像限界より大きい記録マーク列により構成されたデータを再生した場合に、いずれも、４０ｄＢ以上の非常に高いＣ／Ｎ比を有する再生信号を得られるのが認められた。一方、解像限界より小さい記録マーク列により構成されたデータを再生した場合にも、もっとも小さい５０ｎｍの記録マーク列を除けば、２０ｄＢ以上のＣ／Ｎ比を有する再生信号を得られるのが認められた。
【０１１７】
また、１１２．５ｎｍの記録マーク列により構成されたデータを再生したときの再生信号のＣ／Ｎ比に着目すると、サンプル＃２ないし＃５においては、再生信号のＣ／Ｎ比が、３０ｄＢ以下であるのに対し、サンプル＃１においては、４０ｄＢ以上の非常に高いＣ／Ｎ比を有する再生信号を得られるのが認められた。
【０１１８】
本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【０１１９】
たとえば、図１および図２に示される実施態様にかかる光記録媒体１は、支持基板２を備え、支持基板２上に、反射層３と、第三の誘電体層４と、光吸収層５と、第二の誘電体層６と、記録層７と、第一の誘電体層８と、光透過層９とが、この順に、積層され、光透過層９の側から、レーザビームが照射されるように構成されているが、本発明は、これに限られるものではなく、たとえば、レーザビームを透過する光透過性基板を備え、光透過性基板上に、第一の誘電体層８と、記録層７と、第二の誘電体層６と、光吸収層５と、第三の誘電体層４とが順に積層され、光透過性基板の側からレーザビームが照射されるように構成されたＤＶＤ型の光記録媒体にも、適用することができる。
【０１２０】
また、図１および図２に示される実施態様にかかる光記録媒体１においては、記録層７が、貴金属酸化物を主成分として含むように形成されているが、本発明は、これに限られるものではなく、たとえば、有機色素を主成分として含むように記録層が形成されてもよい。この場合、記録層を形成するための有機色素としては、記録用のレーザビームに対して、吸収性を有し、分解温度が３００℃以上のものが好ましい。さらに、有機色素に代えて、熱伝導率の低い金属または半金属を主成分として含むように記録層が形成されてもよく、この場合、記録層に主成分として含まれる金属または半金属としては、熱伝導率が２．０Ｗ／（ｃｍ・Ｋ）以下の金属または半金属が好ましい。
【０１２１】
さらに、図１および図２に示される実施態様にかかる光記録媒体１においては、レーザビームの光入射面から、記録層７と、第二の誘電体層６と、光吸収層５とが順に積層されているが、本発明は、これに限られるものではく、たとえば、レーザビームの光入射面の反対側から、記録層７と、第二の誘電体層６と、光吸収層５とが順に積層されてもよく、あるいは、レーザビームの光入射面から、光吸収層と、誘電体層と、記録層と、誘電体層と、光吸収層とが順に積層されていてもよい。すなわち、本発明においては、光記録媒体が、記録層と、光吸収層とが、少なくとも誘電体層を挟んで形成された積層体を有していればよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる光記録媒体の略断面図である。
【図２】図２は、図１のＡで示された部分の略拡大断面図である。
【図３】図３（ａ）は、データが記録される前の光記録媒体の一部拡大略断面図であり、図３（ｂ）は、データが記録された後の光記録媒体の一部拡大略断面図である。
【符号の説明】
【０１２３】
１…光記録媒体、２…支持基板、３…反射層、４…第三の誘電体層、５…光吸収層、６…第二の誘電体層、７…記録層、８…第一の誘電体層、９…光透過層
【図１】
2005322276.tif 000007
【図２】
2005322276.tif 000008
【図３】
2005322276.tif 000009