(57)【要約】【課題】ミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、半導体製造装置の開口部と、密閉容器のウェハの出入口との隙間から外気が侵入して、前記密閉容器内のウェハにダストが付着するのを防止する。【解決手段】ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａの前記開口部９８の内周面部に、密閉容器７１の先端のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに対面するよう清浄空気を噴出する噴出スリット８を備え、且つ方形枠状のフィルター収納ケース７に、円筒状フィルター１１を方形枠状に連結して形成されたフィルター手段６を収納した清浄空気噴出装置１を別部材として設置し、空気供給装置２と連結された該清浄空気噴出装置１の噴出スリット８より清浄空気を全周面に亘って均一な風速で、前記密閉容器７１の先端のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに向って噴出する。【選択図】図２
2005310809.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉容器に収納されたウェハを半導体製造装置内部に引出し、または半導体製造装置内で加工されたウェハを密閉容器に装入するミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、ローディング部の開口部の内周面部に、空気供給装置と送気チューブで連結された清浄空気噴出装置が設置され、
前記清浄空気噴出装置は、密閉容器の先端のフランジの先端壁面に対面する清浄空気を噴出する小巾の噴出スリットを備え、且つ方形枠状のフィルター収納ケースに、円筒状フィルターを方形枠状に連結して形成されたフィルター手段を収納した清浄空気噴出装置を前記開口部の内周面部に設置し、空気供給装置と連結された該清浄空気噴出装置の噴出スリットより清浄空気を全周面に亘って均一な風速で噴出して、前記密閉容器の先端のフランジの先端壁面から外周壁面に沿って層状に流して、エアカーテンを形成することにより、前記密閉容器の蓋の開閉時に、ダストを含んだ外気が、密閉容器および高清浄空間内へ侵入するのを阻止するようにしたことを特徴とするミニエンバライメント方式の半導体製造装置。
【請求項２】
密閉容器に収納されたウェハを半導体製造装置内部に引出し、または半導体製造装置内で加工されたウェハを密閉容器に装入するミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、ローディング部の開口部の内周面部に、空気供給装置と送気チューブで連結された清浄空気噴出装置が設置され、
前記清浄空気噴出装置は、密閉容器の先端のフランジの外周壁面と平行に清浄空気を噴出する小巾の噴出スリットを備え、且つ方形枠状のフィルター収納ケースに、円筒状フィルターを方形枠状に連結して形成されたフィルター手段を収納した清浄空気噴出装置を前記開口部の内周面部に設置し、空気供給装置と連結された該清浄空気噴出装置の噴出スリットより清浄空気を全周面に亘って均一な風速で噴出して、前記密閉容器の先端のフランジの外周壁面に沿って層状に流して、エアカーテンを形成することにより、前記密閉容器の蓋の開閉時に、ダストを含んだ外気が、密閉容器および高清浄空間内へ侵入するのを阻止するようにしたことを特徴とするミニエンバライメント方式の半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造用クリーンルームで使用されるミニエンバライメント方式の半導体製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造クリーンルームでは、投資削減、省エネのためにウェハの搬送・ハンドリングを密閉容器に入れて行うミニエンバライメント方式が採用され、また、１枚のウェハから多くの半導体チップを採るためにウェハサイズは３００ｍｍ径になりつつある。
【０００３】
３００ｍｍ径世代のミニエンバライメント方式では、ウェハを収納する密閉容器、および前記密閉容器からウェハを外気に触れずに半導体製造装置内へ出し入れするためのローディング部の仕様が世界標準として決められている。
【０００４】
そして、従来、実際に半導体製造工場のクリーンルーム７０内に設置されて稼動しているミニエンバライメント方式の半導体製造装置は、図３４〜図３６に示すように形成されている。すなわち、図３４は、従来のミニエンバライメント方式の半導体製造装置の概略縦断面図、図３５は、同密閉容器とローディング装置の組立分解斜視図、図３６は、同要部の概略縦断面図であり、密閉容器７１の収納部７２には、複数段に亘ってウェハ７３が収納され、且つ前記密閉容器７１は、先端のフランジ１０２の内周面に設けられた前記ウェハ７３の出入口７４を蓋７５で閉鎖することにより密閉されて、半導体製造装置７６の前面板７７に一体に取付けられたローディング部７８に前後動自在に設置された台盤７９上に載置される。
【０００５】
前記半導体製造装置７６は、中央部を区画壁８０を設けて区画して、前方側を高清浄空間８１とし、後方側を低清浄空間８２とする。
【０００６】
前記高清浄空間８１の上方天井面には、ファン８３とフィルター８４を備えて形成されたファンフィルターユニット８５が設置され、該ファンフィルターユニット８５より清浄空気８６が高清浄空間８１に送気されて、高清浄雰囲気を保持するよう形成されている。
【０００７】
前記半導体製造装置７６を構成する高清浄空間８１の前記前面板７７の前記密閉容器７１の蓋７５に対面する位置には、該密閉容器７１内のウェハ７３を該高清浄空間８１内に引出したり、あるいは密閉容器７１内に装入する際の通路となる開口部８７が、ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａの開口部９８と連通するようにして設けられている。
【０００８】
また、前記前面板７７の内側下面には電動モータ８８が固定され、且つ該電動モータ８８と連動する減速機構（図示せず）を介して上下および前後方向に移動自在なるよう開閉アーム８９が前記減速機構に連結されると共に、該開閉アーム８９の上方の前記開口部８７側には、前記密閉容器７１の蓋７５に係合固定して、該蓋７５を開閉するプレート９０が連結固定されている。なお、図中、９１は前記プレート９０に突設された係合突起で、該係合突起９１を蓋７５に設けられた係合受部９２に係合固定して、前記プレート９０と蓋７５を一体とする。
【０００９】
また、前記高清浄空間８１には、密閉容器７１から該高清浄空間８１内にウェハ７３を引出したり、あるいは装入したりするためのアーム９３を上方に備えたロボット９４が設置されている。前記密閉容器７１から前記アーム９３に移載されて、該高清浄空間８１内に引出されたウェハ７３は、前記ロボット９４により低清浄空間８２内に設置されたチャンバー９５に送られて加工される。そして、前記加工されたウェハ７３は、前記チャンバー９５から前記アーム９３に移載されて、前記密閉容器７１に収納される。
【００１０】
前記密閉容器７１に収納されたウェハ７３をアーム９３上に移載して引出すには、先ず電動モータ８８を作動させて、開閉アーム８９を前方移動させて、プレート９０の係合突起９１を密閉容器７１の蓋７５の係合受部９２に係合固定して、前記プレート９０と蓋７５を一体とし、前記開閉アーム８９を後方移動させて、蓋７５を高清浄空間８１内に前記プレート９０と共に引き入れて開け、然る後前記開閉アーム８９を下方移動させて、前記密閉容器７１の前面の開口部８７・９８を開放して電動モータ８８を停止する。
【００１１】
そして、ロボット９４を作動させて、前記アーム９３を前記開口部８７・９８を通って密閉容器７１の移載しようとするウェハ７３の下面に移動させて、該ウェハ７３を該アーム９３上に移載し、該アーム９３上に移載されたウェハ７３を、前記密閉容器７１から半導体製造装置７６を構成する高清浄空間８１内に引出し、更に該ウェハ７３を前記ロボット９４により前記半導体製造装置７６を構成する低清浄空間８２内のチャンバー９５に移送して、ウェハ７３の加工工程に入る。
【００１２】
前記ウェハ７３を、半導体製造装置７６の高清浄空間８１内に内へ引出した後、前記チャンバー９５に移送されて加工されたウェハ７３は、ロボット９４を作動させてアーム９３上に移載し、開口部８７・９８および再び開口された出入口７４を通って密閉容器７１内に収納される。以下同様の操作を繰返して、密閉容器７１内の各ウェハ７３を、順に半導体製造装置７６まで移送して加工し、密閉容器７１内のすべてのウェハ７３の加工が完了すると、再び前記電動モータ８８を作動させて開閉アーム８９を上昇させると共に、前方移動させて、該開閉アーム８９のプレート９０に一体に固定されていた蓋７５を、密閉容器７１の出入口７４に装着固定して、前記係合突起９１と係合受部９２の係合状態を解除し、該密閉容器７１を密閉状態とする。
【００１３】
更に、過去の特許文献を遡及調査すると、下記の特許文献１に開示された特開２００３−３３２４０２号公報が公知である。
【特許文献１】特開２００３−３３２４０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
前記従来、実際に半導体製造工場において稼動している標準仕様の密閉容器７１とローディング部７８では、図３６に示すように、ローディング部７８に設置された密閉容器７１の蓋７５を、開閉アーム８９で半導体製造装置７６を構成する高清浄空間８１の内側に開閉する時の、密閉容器７１の出入口７４と、ローディング部７８の開口部９８の隙間９６からの矢印で示す外気９７の吸い込みは、破線矢印で示すファンフィルターユニット８５による隙間９６からの噴出し気流９９で防ぐという考え方が、設計の基本思想になっている。そして、前記半導体製造装置７６の床１００には、清浄空気８６が層流で下方向に流れるように開口１０１が設けられているので、ファンフィルターユニット８５で高清浄空間８１の内圧を上げ、隙間９６からの噴出し気流９９を充分に強くして、外気９７の吸い込みを防ぐ必要があり、そのためにはファンフィルターユニット８５の風量、風圧を相当大きくしなくてはならない。しかしながら、ファンフィルターユニット８５の風量、風圧を大きくすると、清浄空気８６が層流とならず、高清浄空間８１の清浄度が確保できない。従って、従来の標準仕様の密閉容器７１とローディング部７８では、ファンフィルターユニット８５の風量、風圧が充分確保できず、開口部９８の隙間９６から矢印で示す外気９７を吸い込み、ダストを含んだ外気が密閉容器２１内のウェハ７３に付着するという課題があった。
【００１５】
更に、前記特許文献１に開示されたものは、ウェハを出し入れする密閉容器の先端のフランジの外周面部に向けて、該フランジの外周面部から離れた位置に設置された清浄空気噴出装置から清浄空気を噴出して、前記フランジの外周面部と清浄空気噴出装置間にエアカーテンを形成して、密閉容器および高清浄空間内にダストを含んだ外気が侵入しないよう形成されている。
【００１６】
前記特許文献１における清浄空気は、密閉容器７１の先端のフランジの外周面部に向かって噴出して、蓋７５の開閉時にダストを含んだ外気の密閉容器７１および高清浄空間８１内への侵入を阻止することができる。しかしながら、前記特許文献１に開示されたものは、シート状のフィルター１６を使用しているため、フィルター圧損が高く、空気の吸気口２０から離れた位置にあるガイドスリット２２よりの清浄空気の噴出速度を一定に維持することができず、そのため清浄空気の噴出速度が遅い部分のエアカーテン部から、密閉容器および高清浄空間内にダストを含んだ外気が侵入してしまうという課題があった。
【００１７】
本発明は、前記課題を解決すべくなされたもので、ウェハの通路となる半導体製造装置の前面板に取付けられたローディング部を構成する前面パネルの開口部において、密閉容器の先端のフランジの先端壁面に対面して、または該フランジの外周壁面に平行に噴出スリットを備え、且つ方形枠状のフィルター収納ケースに、円筒状フィルターを方形枠状に連結して形成されたフィルター手段を収納した清浄空気噴出装置を前記開口部の内周面部に別部材として設置するか、あるいは、前記ローディング部の開口部の外周面部に、清浄空気噴出装置を予め組み込んで設置し、前記密閉容器の先端のフランジの先端壁面、または外周壁面に向けて、前記清浄空気噴出装置の全周面の噴出スリットより、噴出速度を一定に維持した清浄空気を噴出して、該清浄空気を前記フランジの先端壁面から外周壁面に沿って、または外周壁面に沿って層状に流してエアカーテンを形成することにより、前記密閉容器の蓋の開閉時にダストを含んだ外気が密閉容器および高清浄空間へ侵入するのを阻止することができるミニエンバライメント方式の半導体製造装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、密閉容器に収納されたウェハを半導体製造装置内部に引出し、または半導体製造装置内で加工されたウェハを密閉容器に装入するミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、ローディング部の開口部の内周面部に、空気供給装置と送気チューブで連結された清浄空気噴出装置が設置され、
前記清浄空気噴出装置は、密閉容器の先端のフランジの先端壁面に対面する清浄空気を噴出する小巾の噴出スリットを備え、且つ方形枠状のフィルター収納ケースに、円筒状フィルターを方形枠状に連結して形成されたフィルター手段を収納した清浄空気噴出装置を前記開口部の内周面部に設置し、空気供給装置と連結された該清浄空気噴出装置の噴出スリットより清浄空気を全周面に亘って均一な風速で噴出して、前記密閉容器の先端のフランジの先端壁面から外周壁面に沿って層状に流して、エアカーテンを形成することにより、前記密閉容器の蓋の開閉時に、ダストを含んだ外気が、密閉容器および高清浄空間内へ侵入するのを阻止するという手段、または、
密閉容器に収納されたウェハを半導体製造装置内部に引出し、または半導体製造装置内で加工されたウェハを密閉容器に装入するミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、ローディング部の開口部の内周面部に、空気供給装置と送気チューブで連結された清浄空気噴出装置が設置され、
前記清浄空気噴出装置は、密閉容器の先端のフランジの外周壁面と平行に清浄空気を噴出する小巾の噴出スリットを備え、且つ方形枠状のフィルター収納ケースに、円筒状フィルターを方形枠状に連結して形成されたフィルター手段を収納した清浄空気噴出装置を前記開口部の内周面部に設置し、空気供給装置と連結された該清浄空気噴出装置の噴出スリットより清浄空気を全周面に亘って均一な風速で噴出して、前記密閉容器の先端のフランジの外周壁面に沿って層状に流して、エアカーテンを形成することにより、前記密閉容器の蓋の開閉時に、ダストを含んだ外気が、密閉容器および高清浄空間内へ侵入するのを阻止するという手段、
のいずれかを採用することにより、上記課題を解決した。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は、密閉容器からウェハをアームに移載して引出す際、または、加工されたウェハを前記アームを介して前記密閉容器に装入する際に、該密閉容器のフランジの先端壁面、または外周壁面に、半導体製造装置のローディング部を構成する前面パネルに開口された開口部の内周面部に設置された、空気供給装置と送気チューブで連結された清浄空気噴出装置の噴出スリットから、噴出速度を一定に維持した清浄空気を噴出して、前記先端壁面から外周壁面に沿って、または外周壁面に沿って層状に流して、エアカーテンを形成することにより、ダストを含んだ外気が、前記密閉容器および半導体製造装置の高清浄空間へ侵入するのを阻止して、前記ウェハへのダストの付着を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
密閉容器のフランジの先端壁面、または外周壁面に、半導体製造装置の開口部の内周面部に別部材として設置するか、あるいは、前記開口部の外周面部に予め組み込んで設置されて、空気供給装置と送気チューブを介して連結された清浄空気噴出装置の噴出スリットから、噴出速度を一定に維持した清浄空気を噴出して、前記フランジの先端壁面から外周壁面に沿って、または外周壁面に沿って層状に流して、エアカーテンを形成するよう構成する。
【００２１】
本発明の実施例につき、以下図面に基づいて詳細に説明するが、本発明については、前記従来公知の半導体製造装置において説明した符号と共通するものは同一の符号を用いて説明すると共に、同一符号を付したものの構成および作用については説明を省略する。
【実施例１】
【００２２】
本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置は、図１〜図３に示すように、従来公知のミニエンバライメント方式の半導体製造装置７６の前面板７７の前面部に、該前面板７７の開口部８７と同一大きさの開口部９８を備えて固定された、ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａの前記開口部９８の内周面部に、密閉容器７１の先端のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに対面するよう清浄空気を噴出する噴出スリット８を備え、且つ方形枠状のフィルター収納ケース７に、円筒状フィルター１１を方形枠状に連結して形成されたフィルター手段６を収納した清浄空気噴出装置１を別部材として設置し、空気供給装置２と連結された該清浄空気噴出装置１の噴出スリット８より清浄空気を全周面に亘って均一な風速で、前記密閉容器７１の先端のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに向って噴出して、前記先端壁面１０２ａから外周壁面１０２ｂに沿って層状に流して、エアカーテンを形成することにより、前記密閉容器７１の蓋７５の開閉時に、ダストを含んだクリーンルーム７０内の外気が、密閉容器７１および高清浄空間８１内へ侵入するのを阻止するよう形成されている。
【００２３】
図１は、前記ローディング部７８の開口部９８の内周面部に、別部材とし設置するタイプの清浄空気噴出装置１を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置に、第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａを備えたミニエンバライメント方式の半導体製造装置の概略縦断面図である。図１に示すクリーンルーム７０内に設置された半導体製造装置におけるローディング部７８は、世界標準仕様で定められたものであり、清浄空気噴出装置１ａと、空気供給装置２とが前記世界標準仕様で定められた半導体製造装置７６の高清浄空間８１の限られた空間内に配設されている。
【００２４】
前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａに開口された開口部９８の内周面部に清浄空気噴出装置１を設置した本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａは、円筒状フィルター１１を方形枠状に連結して形成されたフィルター手段６ａを備え、且つ空気供給装置２と送気チューブ３で連結され、前記半導体製造装置７６内の限られた空間に、該清浄空気噴出装置１ａおよび空気供給装置２が分離して装置できるよう配慮されている。
【００２５】
前記清浄空気噴出装置１ａは、薄型の方形枠状に形成されて、プレート９０の上下・前後移動に支障がないよう、前記ローディング部７８の開口部９８の内周面部に設置され、また、前記空気供給装置２は、電動モータ８８と開閉アーム８９の作動に支障がないよう薄型に形成されて、前面板７７の内側面に前記電動モータ８８と間隔を有して固定されている。
【００２６】
前記空気供給装置２は、薄型のものを使用する必要があるため、例えば、図７に示すようにシロッコファン４により吸気する環状の吸気部５を備えて形成されており、該シロッコファン４により高清浄空間８１内の清浄空気を吸引して、送気チューブ３を介して清浄空気噴出装置１ａに送気する。
【００２７】
前記清浄空気噴出装置１ａは、図１〜図３に示すように、半導体製造装置７６のローディング部７８を構成する前面パネル７８ａの開口部９８の内周面部に設置されて、前記密閉容器７１の先端のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに清浄空気が噴出されるように形成されている。本発明の実施例１の第１の実施の形態においては、前記清浄空気噴出装置１ａは、方形状の開口部９８に適合するよう方形枠状に形成されている。
【００２８】
すなわち、前記清浄空気噴出装置１ａは、方形枠状に形成されたフィルター手段６ａと、該フィルター手段６ａを収納する方形枠状のフィルター収納ケース７と、該フィルター収納ケース７の内周面板７ａの高清浄空間８１側の端部に突設された清浄空気を噴出する噴出スリット８を備えた送風誘導板１８ａ・１８ｂとにより構成されている。
【００２９】
前記フィルター手段６ａは、図４に示すように、濾材を円筒状に巻回して、中央に送風用の送風通路１０を貫通して備え、且つ所定の長さに形成された円筒状フィルター１１を、それぞれ端縁部をＬ型継手１２により連結して、前記各送風通路１０を該各Ｌ型継手１２により枠状に連通すると共に、前記密閉容器７１の出入口７４の外周形状よりやや広い空間部１３を備えた方形枠状とする一方、上下部において横方向に配設された２本の円筒状フィルター１１のうち、いずれか一方（図４においては下方）の円筒状フィルター１１の中央部を切断して、各切断端面１１ａ、１１ｂ間に間隔部１４を設け、且つ前記各切断端面１１ａ、１１ｂ部分をＩ型継手１５により連結すると共に、該Ｉ型継手１５の中央に、前記空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａを備えた給気管１６を背面側へ突設して形成されている。
【００３０】
前記フィルター収納ケース７は、内面に前記円筒状フィルター１１の径よりやや広い巾を有する収納部１７、および該収納部１７の内周面板７ａの背面側端部に、前記収納部１７と連通する小巾の送風誘導路１８を備えた送風誘導板１８ａ・１８ｂを突設し、且つ前記背面側の送風誘導板１８ａの先端部を前方側へ折曲して折曲片９を設け、且つ該折曲片９の先端部と、前記前方側に位置する送風誘導板１８ｂの先端部間に、清浄空気を噴出する小巾の噴出スリット８を開口すると共に、前記密閉容器７１の出入口７４の外周形状よりやや広い空間部１９を備えて方形枠状に形成されている。
【００３１】
更に、前記方形枠状に連通された収納部１７内に前記フィルター手段６ａを収納したとき、Ｉ型継手１５に突設された給気管１６を背面側へ突出させる挿通孔２０を、前記フィルター収納ケース７に設けて形成されている。なお、図中、２１は前記フィルター収納ケース７の挿通孔２０と給気管１６の接合部に塗布したシール材である。
【００３２】
前記構成より成る清浄空気噴出装置１ａの噴出スリット８が、前記密閉容器７１の先端に設けられたフランジ１０２の先端壁面１０２ａに対面するよう配設されると共に、フィルター収納ケース７の前記送風誘導板１８ａ・１８ｂより前方側の内周面板７ａが、前記密閉容器７１のフランジ１０２の外周壁面１０２ｂに対面するようにして、前記清浄空気噴出装置１ａを前記開口部９８の外周面部に設置し、更に前記空気供給装置２の送気口２２と、清浄空気噴出装置１ａの給気口１６ａとを送気チューブ３で連結する。
【００３３】
前記空気供給装置２から給気口１６ａを介してフィルター手段６ａに高清浄空間８１内の空気を圧送すると、該空気は前記フィルター手段６ａを構成する各円筒状フィルター１１の送風通路１０内に圧送されて、該各円筒状フィルター１１を構成する濾材によって、前記高清浄空間８１内の清浄空気より更に清浄化されて、フィルター収納ケース７の収納部１７内に噴出し、該収納部１７内に噴出した清浄空気は、前記収納部１７内において乱流して整流され、その後、送風誘導板１８ａ・１８ｂ間の小巾に形成された送風誘導路１８に流入して圧力を増して、風分布が均一化されて噴出スリット８より噴出するよう形成されている。
【００３４】
すなわち、前記清浄空気噴出装置１ａのフィルター手段６ａを円筒状フィルター１１を用いて形成することにより、該円筒状フィルター１１の管路抵抗は、フィルター圧損（現状２００ｐａ程度）より低く、空気の給気口１６ａから離れていても、その距離の違いによる噴出スリット８からの清浄空気の噴出速度が、ほぼ一定の状態を保持することができる。従って、給気口１６ａを備えた給気管１６を取付けた側の下方に位置する円筒状フィルター１１と対面する、上方側に位置する円筒状フィルター１１の噴出スリット８部分においても、前記給気口１６ａ付近の噴出スリット８と清浄空気の噴出し速度がほとんど変わらないのである。
【００３５】
また、前記円筒状フィルター１１から噴出される空気は、すべて清浄空気であるため、フィルター収納ケース７には、前記シール材２１を塗布した以外の場所には、シール材を塗布する必要がない。
【００３６】
前記構成より成る本発明によれば、円筒状フィルター１１から噴出した清浄空気は、収納部１７内において、乱流して整流されると共に、小巾に形成された送風誘導路１８に導入されて、圧力を増し、然る後、噴出スリット８から高圧となって風分布が均一化された清浄空気が、前記密閉容器７１のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに向かって噴出する。
【００３７】
そして、図１〜図３の矢印で示すように、密閉容器７１の先端のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに向かって前記噴出スリット８から噴出した清浄空気は、該フランジ１０２の先端壁面１０２ａから外周壁面１０２ｂに沿って層状に流れ、エアカーテン効果を生じさせて、密閉容器７１の蓋７５の開閉時に、クリーンルーム７０内のダストを含んだ外気が、隙間９６から密閉容器７１および高清浄空間８１内に侵入することがない。
【００３８】
図８は、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａに開口された開口部９８の内周面部に、別部材として設置するタイプの清浄空気噴出装置１を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第２の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｂに使用するフィルター手段６ｂの斜視図である。前記フィルター手段６ｂは、前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａに使用されるフィルター手段６ａと同様に、所定の長さに形成された円筒状フィルター１１を、それぞれ端縁部をＬ型継手１２により連結して、各送風通路１０を方形枠状に連通すると共に、前記密閉容器７１の出入口７４の外周形状よりやや広い空間部１３を備えた方形枠状とする一方、左右側いずれかに位置する２個のＬ型継手１２（図８においては左側に位置している）に、前記空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａを備えた給気管１６を背面側方向へそれぞれ突設して形成されている。
【００３９】
前記構成より成るフィルター手段６ｂは、前記第１の実施の形態におけると同一構成のフィルター収納ケース７の方形枠状に連通した収納部１７内に、前記２個のＬ型継手１２に突設された各給気管１６を背面側へ突出させる各挿通孔（前記清浄空気噴出装置１ａのものと挿通孔の数が異なるだけで、その他の構成は同一であるので、図示を省略）を、前記フィルター収納ケース７に設けて収納することにより、清浄空気噴出装置１ｂが形成される。
【００４０】
前記第２の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｂは、前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａと異なり、空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａが２個設けられているため、前記空気供給装置２からの送気チューブ３は、途中で分岐部材２３により分岐送気チューブ３ａ・３ｂに分岐されて、該各分岐送気チューブ３ａ・３ｂが前記各給気管１６にそれぞれ連結される。
【００４１】
前記第２の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｂを使用することにより、前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａを使用するよりも、噴出スリット８からの清浄空気の噴出速度を更に一定の状態に保持することができると共に、噴き出す風量も多くすることができる。そして、その他の作用は、前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａと同一であるので、説明を省略する。
【００４２】
図１０は、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａに開口され開口部９８の内周面部に、別部材として設置するタイプの清浄空気噴出装置１を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第３の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｃに使用されるフィルター手段６ｃの斜視図である。前記フィルター手段６ｃは、第２の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｂに使用されるフィルター手段６ｂと同様に、所定の長さに形成された円筒状フィルター１１を、それぞれ端縁部をＬ型継手１２により連結して、各送風通路１０を方形枠状に連通すると共に、前記密閉容器７１の出入口７４の外周形状よりやや広い空間部１３を備えた方形枠状とする一方、前記各Ｌ型継手１２に、前記空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａを備えた給気管１６を背面側へ突設して形成されている。
【００４３】
前記構成より成るフィルター手段６ｃは、前記第１の実施の形態におけると同一構成のフィルター収納ケース７の方形枠状に連通した収納部１７内に、前記各Ｌ型継手１２に突設された各給気管１６を背面側へ突出させる各挿通孔（前記清浄空気噴出装置１ａのものと挿通孔の数が異なるだけで、その他の構成は同一であるので、図示を省略）を、前記フィルター収納ケース７に設けて収納することにより、清浄空気噴出装置１ｃが形成される。
【００４４】
前記第３の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｃは、前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａと異なり、空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａが４個設けられているため、前記空気供給装置２からの送気チューブ３は、途中で分岐部材２３により分岐送気チューブ３ａ〜３ｄに分岐されて、該各分岐送気チューブ３ａ〜３ｄが前記各給気管１６にそれぞれ連結される。
【００４５】
前記第３の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｃを使用することにより、前記第２の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｂを使用するよりも、噴出スリット８からの清浄空気の噴出速度を更に一定の状態に保持することができると共に、噴き出す風量も多くすることができる。そして、その他の作用は、前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａと同一であるので、説明を省略する。
【００４６】
図１２は、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａに開口された開口部９８の内周面部に、別部材として設置するタイプの清浄空気噴出装置１を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第４の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｄに使用されるフィルター手段６ｄの斜視図である。前記フィルター手段６ｄを備えた清浄空気噴出装置１ｄは、第１の実施の形態におけると同様、図１４に示すように、空気供給装置２と送気チューブ３で連結されている。そして、前記第１の実施の形態におけるフィルター手段６ａが、円筒状フィルター１１を１列で方形枠状に形成されているのに対し、第４の実施の形態においては、円筒状フィルター１１を奥行方向に複数列（図１２においては２列）に亘って方形枠状に連結して形成されている点が異なっている。
【００４７】
前記第４の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｄは、フィルター面積を大きくして、噴出エアの増加を図る場合、あるいはフィルター収納ケース７の奥行寸法は厚く取れるが、巾寸法が小さくしか取れない場合に使用され、円筒状フィルター１１を奥行方向に複数列に亘って配設することにより、フィルター面積を大きくして、噴出エアの増加を図ることができる。
【００４８】
前記フィルター手段６ｄは、所定の長さに形成された円筒状フィルター１１を奥行方向に２列に亘って配設して、各円筒状フィルター１１の端縁部を奥行方向に厚みを有するＬ型継手２４により連結して、各送風通路１０を該各Ｌ型継手２４により方形枠状に連通すると共に、前記密閉容器７１の出入口７４の外周形状よりやや広い空間部１３を備えた方形枠状とする一方、上下部において、２列に亘って配設された横方向の円筒状フィルター１１のうち、いずれか一方の列（図１２においては下方列）の各円筒状フィルター１１の中央部を切断して、各切断端面１１ａ，１１ｂ間に間隔部１４を設け、且つ該各切断端面１１ａ，１１ｂ部分を奥行方向に厚みを有するＩ型継手２５により連結すると共に、該Ｉ型継手２５の中央に、前記空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａを備えた給気管１６を背面側へ突設して形成されている。
【００４９】
前記構成より成るフィルター手段６ｄは、前記円筒状フィルター１１を２列に亘って配設して形成された前記フィルター手段６ｄを収納することができるように、前記第１の実施の形態におけるフィルター収納ケース７より、収納部１７の奥行方向が厚く形成されたフィルター収納ケース７の枠状に連通した収納部１７内に、前記Ｉ型継手２５に突設された給気管１６を背面側へ突出させる挿通孔２０を、前記フィルター収納ケース７に設けて収納することにより、清浄空気噴出装置１ｄが形成される。なお、図中、２１は前記フィルター収納ケース７の挿通孔２０と給気管１６の接合部に塗布したシール材である。
【００５０】
前記第４の実施の形態における作用は、前記第１の実施の形態におけるものに比して、フィルター面積を大きくして、噴出エアの増加を図ることができるという点が異なるだけで、その他の作用は、前記第１の実施の形態のものと同一であるので、説明を省略する。
【００５１】
図１５は、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａに開口された開口部９８の内周面部に、別部材として設置するタイプの清浄空気噴出装置１を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第５の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｅに使用されるフィルター手段６ｅの斜視図である。前記フィルター手段６ｅは、前記第４の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｄに使用されるフィルター手段６ｄと同様に、所定の長さに形成された円筒状フィルター１１を、奥行方向に複数列（図１５においては２列）に亘って、それぞれ端縁部を奥行方向に厚みを有するＬ型継手２４により連結して、各送風通路１０を該各Ｌ型継手２４により方形枠状に連通すると共に、前記密閉容器７１の出入口７４の外周形状よりやや広い空間部１３を備えた方形枠状とする一方、左右側いずれかに位置する２個のＬ型継手２４（図１５においては左側に位置している）に、前記空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａを備えた給気管１６を背面側へそれぞれ突設して形成されている。
【００５２】
前記構成より成るフィルター手段６ｅは、前記円筒状フィルター１１を２列に亘って配設して形成された前記フィルター手段６ｅを収納することができるように、前記第１の実施の形態におけるフィルター収納ケース７より、収納部１７の奥行方向が厚く形成されたフィルター収納ケース７の枠状に連通した収納部１７内に、前記２個のＬ型継手２４に突設された各給気管１６を背面側へ突出させる各挿通孔（前記清浄空気噴出装置１ｄのものと挿通孔の数が異なるだけで、その他の構成は同一であるので、図示を省略）を、前記フィルター収納ケース７に設けて収納することにより、清浄空気噴出装置１ｅが形成される。
【００５３】
前記第５の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｅは、前記第４の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｄと異なり、空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａが２個設けられているため、図１６に示すように、前記空気供給装置２からの送気チューブ３は、途中で分岐部材２３により分岐送気チューブ３ａ・３ｂに分岐されて、該各分岐送気チューブ３ａ・３ｂが前記各給気管１６にそれぞれ連結される。
【００５４】
前記第５の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｅを使用することにより、前記第４の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｄを使用するよりも、噴出スリット８からの清浄空気の噴出速度を更に一定の状態に保持することができると共に、噴き出す風量も多くすることができる。そして、その他の作用は、前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａと同一であるので、説明を省略する。
【００５５】
図１７は、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａに開口された開口部９８の内周面部に、別部材として設置するタイプの清浄空気噴出装置１を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第６の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｆに使用されるフィルター手段６ｆの斜視図である。前記フィルター手段６ｆは、前記第４の実施の形態における清浄空気の噴出装置１ｄに使用されるフィルター手段６ｄと同様に、所定の長さに形成された円筒状フィルター１１を、奥行方向に複数列（図１７においては２列）に亘って、それぞれ端縁部を奥行方向に厚みを有するＬ型継手２４により連結して、各送風通路１０を該Ｌ型継手２４により方形枠状に連通すると共に、前記密閉容器７１の出入口７４の外周形状よりやや広い空間部１３を備えた方形枠状とする一方、前記各Ｌ型継手２４に、前記空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａを備えた給気管１６を背面側へそれぞれ突設して形成されている。
【００５６】
前記構成より成るフィルター手段６ｆは、前記円筒状フィルター１１を２列に亘って配設して形成された前記フィルター手段６ｆを収納することができるように、前記第１の実施の形態におけるフィルター収納ケース７より、収納部１７の奥行方向が厚く形成されたフィルター収納ケース７の方形枠状に連通した収納部１７内に、前記各Ｌ型継手２４に突設された各給気管１６を背面側へ突出させる各挿通孔（前記清浄空気噴出装置１ｄのものと挿通孔の数が異なるだけで、その他の構成は同一であるので、図示を省略）を、前記フィルター収納ケース７に設けて収納することにより、清浄空気噴出装置１ｆが形成される。
【００５７】
前記第６の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｆは、前記第５の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｅと異なり、空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａが４個設けられているため、図１８に示すように、前記空気供給装置２からの送気チューブ３は、途中で分岐部材２３により分岐送気チューブ３ａ〜３ｄに分岐されて、該各分岐送気チューブ３ａ〜３ｄが前記各給気管１６にそれぞれ連結される。
【００５８】
前記第６の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｆを使用することにより、前記第５の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｅを使用するよりも、噴出スリット８からの清浄空気の噴出速度を更に一定の状態に保持することができると共に、噴き出す風量も多くすることができる。そして、その他の作用は、前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａと同一であるので、説明を省略する。
【００５９】
図１９は、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａに開口された開口部９８の内周面部に、別部材として設置するタイプの清浄空気噴出装置１を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第７の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｇに使用されるフィルター手段６ｇの斜視図である。前記フィルター手段６ｇを備えた清浄空気噴出装置１ｇは、第１の実施の形態におけると同様、図２１に示すように、空気供給装置２と送気チューブ３で連結されている。そして、前記第４の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｄに使用されるフィルター手段６ｄが、円筒状フィルター１１を奥行方向に複数列に亘って方形枠状に連結して形成されているのに対し、前記フィルター手段６ｇは、円筒状フィルター１１を巾方向に複数列（図１９においては２列）に亘って方形枠状に連結して形成されている点が異なっている。
【００６０】
前記第７の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｇは、フィルター面積を大きくして、噴出エアの増加を図る場合、あるいはフィルター収納ケース７の巾寸法は広く取れるが、奥行寸法が浅くしか取れない場合に使用され、円筒状フィルター１１を巾方向に複数列に亘って配設することにより、フィルター面積を大きくして、噴出エアの増加を図ることができる。
【００６１】
すなわち、前記フィルター手段６ｇは、所定の長さに形成された円筒状フィルター１１を巾方向に２列に亘って配設して、各円筒状フィルター１１の端縁部を巾方向が広いＬ型継手２６により連結して、各送風通路１０を該各Ｌ型継手２６により方形枠状に連通すると共に、前記密閉容器７１の出入口７４の外周形状よりやや広い空間部１３を備えた方形枠状とする一方、前記上下部において、２列に配設された横方向の円筒状フィルター１１のうち、いずれか一方（図１９においては下方列）の各円筒状フィルター１１の中央部を切断して、各切断端面１１ａ，１１ｂ間に間隔部１４を設け、且つ該各切断端面１１ａ，１１ｂ部分を巾方向に広さを有するＩ型継手２７により連結すると共に、該Ｉ型継手２７の中央に、前記空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａを備えた給気管１６を背面側へ突設して形成されている。
【００６２】
前記構成より成るフィルター手段６ｇは、前記円筒状フィルター１１を２列に亘って配設して形成された前記フィルター手段６ｇを収納することができるように、前記第１の実施の形態におけるフィルター収納ケース７より、収納部１７の巾方向が広く形成されたフィルター収納ケース７の枠状に連通した収納部１７内に、前記Ｉ型継手２７に突設された給気管１６を背面側へ突出させる挿通孔２０を、前記フィルター収納ケース７に設けて収納することにより、清浄空気噴出装置１ｇが形成される。なお、図中、２１は前記フィルター収納ケース７の挿通孔２０と給気管１６の接合部に塗布したシール材である。
【００６３】
前記第７の実施の形態における作用は、前記第１の実施の形態におけるものに比して、フィルター面積を大きくして、噴出エアの増加を図ることができるという点が異なるだけで、その他の作用は前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａと同一であるので、説明を省略する。
【００６４】
図２２は、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａに開口された開口部９８の内周面部に、別部材として設置するタイプの清浄空気噴出装置１を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第８の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｈに使用されるフィルター手段６ｈの斜視図である。前記フィルター手段６ｈは、前記第７の実施の形態における清浄空気の噴出装置１ｇに使用されるフィルター手段６ｇと同様に、所定の長さに形成された円筒状フィルター１１を、巾方向に複数列（図２２においては２列）に亘って、それぞれ端縁部を巾方向が広いＬ型継手２６により連結して、各送風通路１０を該各Ｌ型継手２６により方形枠状に連通すると共に、前記密閉容器７１の出入口７４の外周形状よりやや広い空間部１３を備えた方形枠状とする一方、左右側いずれかに位置する２個のＬ型継手２６（図２２においては左側に位置している）に、前記空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａを備えた給気管１６を背面側へそれぞれ突設して形成されている。
【００６５】
前記構成より成るフィルター手段６ｈは、前記円筒状フィルター１１を２列に亘って配設して形成された前記フィルター手段６ｈを収納することができるように、前記第１の実施の形態におけるフィルター収納ケース７より、収納部１７の巾方向が広く形成されたフィルター収納ケース７の枠状に連通した収納部１７内に、前記２個のＬ型継手２６に突設された各給気管１６を背面側へ突出させる各挿通孔（前記清浄空気噴出装置１ｇのものと挿通孔の数が異なるだけで、その他の構成は同一であるので、図示を省略）を、前記フィルター収納ケース７に設けて収納することにより、清浄空気噴出装置１ｈが形成される。
【００６６】
前記第８の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｈは、前記第７の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｇと異なり、空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａが２個設けられているため、図２３に示すように、前記空気供給装置２からの送気チューブ３は、途中で分岐部材２３により分岐送気チューブ３ａ・３ｂに分岐されて、該各分岐送気チューブ３ａ・３ｂが前記各給気管１６にそれぞれ連結される。
【００６７】
前記第８の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｈを使用することにより、前記第７の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｇを使用するよりも、噴出スリット８からの清浄空気の噴出速度を更に一定の状態に保持することができると共に、噴き出す風量も多くすることができる。そして、その他の作用は、前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａと同一であるので、説明を省略する。
【００６８】
図２４は、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａに開口された開口部９８の内周面部に、別部材として設置するタイプの清浄空気噴出装置１を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第９の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｉに使用されるフィルター手段６ｉの斜視図である。前記フィルター手段６ｉは、前記第７の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｇに使用されるフィルター手段６ｇと同様に、所定の長さに形成された円筒状フィルター１１を、巾方向に複数列（図２４においては２列）に亘って、それぞれ端縁部を巾方向が広く形成されたＬ型継手２６により連結して、各送風通路１０を該Ｌ型継手２６により方形枠状に連通すると共に、前記密閉容器７１の出入口７４の外周形状よりやや広い空間部１３を備えた方形枠状とする一方、前記各Ｌ型継手２６に、前記空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａを備えた給気管１６を背面側へそれぞれ突設して形成されている。
【００６９】
前記構成より成るフィルター手段６ｉは、前記円筒状フィルター１１を２列に亘って配設して形成された前記フィルター手段６ｉを収納することができるように、前記第１の実施の形態におけるフィルター収納ケース７より、収納部１７の巾方向が広く形成されたフィルター収納ケース７の枠状に連通した収納部１７内に、前記各Ｌ型継手２６に突設された各給気管１６を背面側へ突出させる各挿通孔（前記清浄空気噴出装置１ｇのものと挿通孔の数が異なるだけで、その他の構成は同一であるので、図示を省略）を、前記フィルター収納ケース７に設けて収納することにより、清浄空気噴出装置１ｉが形成される。
【００７０】
前記第９の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｉは、前記第８の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｈと異なり、空気供給装置２からの送風空気の給気口１６ａが４個設けられているため、図２５に示すように、前記空気供給装置２からの送気チューブ３は、途中で分岐部材２３により分岐送気チューブ３ａ〜３ｄに分岐されて、該各分岐送気チューブ３ａ〜３ｄが前記各給気管１６にそれぞれ連結される。
【００７１】
前記第９の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｉを使用することにより、前記第８の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｈを使用するよりも、噴出スリット８からの清浄空気の噴出速度を更に一定の状態に保持することができると共に、噴き出す風量も多くすることができる。そして、その他の作用は、前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａと同一であるので、説明を省略する。
【００７２】
前記構成より成る第１〜第９の実施の形態における清浄空気噴出装置１を備えた本発明実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置によれば、密閉容器７１の蓋７５を半導体製造装置７６内に開いて、ウェハ７３をアーム９３に移載して引出す際、または、加工されたウェハ７３を前記アーム９３を介して、前記密閉容器７１に装入する際、密閉容器７１の先端のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに向けて、空気供給装置２と送気チューブ３で連結された清浄空気噴出装置１の噴出スリット８から清浄空気を噴出することにより、該噴出した清浄空気は、前記フランジ１０２の先端壁面１０２ａから外周壁面１０２ｂに沿って層状に流れて、フランジ１０２と前記清浄空気噴出装置１間にエアカーテンを形成し、前記開口部９８および出入口７４間の隙間９６から、ダストを含んだ外気が密閉容器７１および高清浄空間８１内に侵入するのが阻止されて、前記密閉容器７１内のウェハ７３へのダストの付着が防止される。更に、仮りにエアカーテンよりのエアが高清浄空間８１内に侵入しても、該エアカーテンよりのエアは、円筒状フィルター１１を通った清浄空気なので問題はない。
【００７３】
図２６は、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａに開口された開口部９８の内周面部に、別部材として設置するタイプの清浄空気噴出装置１を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置に、第１０の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｊを備えたミニエンバライメント方式の半導体製造装置の概略縦断面図である。そして、前記第１０の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｊは、前記第１〜第９の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａ〜１ｉとは、フィルター収納ケース３１の形状をやや異にするだけで、その他の構成は、前記第１〜第９の実施の形態における清浄空気噴出装置１ａ〜１ｉと同一である。
【００７４】
すなわち、前記第１０の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｊのフィルター収納ケース３１は、内面に前記円筒状フィルター１１の径よりやや広い巾を有する収納部３２、および該収納部３２の内周面板３１ａの背面側端部に、前記収納部３２と連通する小巾の送風誘導路３３を備えた送風誘導板３４・３５を突設し、且つ前記背面側の送風誘導板３４の先方部を、湾曲面３４ａを有して前方側へ折曲して湾曲片３４ｂを設けると共に、前記前方側に位置する送風誘導板３５の先方部を、前記湾曲片３４ｂの先端よりやや背面側に位置するように折曲して折曲片３５ａを設け、且つ該折曲片３５ａの先端部と、前記湾曲片３４ｂの先端部間に、清浄空気を噴出する小巾の噴出スリット８を開口して形成されている。そして、前記噴出スリット８は、密閉容器７１のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに対面している。
【００７５】
前記構成より成るフィルター収納ケース３１の収納部３２内に収納されるフィルター手段６は、前記フィルター手段６ａ〜６ｉのいずれも使用することができるが、前記収納部３２の形状は、前記フィルター手段６ａ〜６ｉの形態に合わせて、その奥行、または巾が決定される。
【００７６】
前記第１０の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｊを備えたミニエンバライメント方式の半導体製造装置の作用について説明する。前記空気供給装置２から給気口１６ａを介して清浄空気噴出装置１ｊのフィルター手段６に高清浄空間８１内の空気を圧送すると、該空気は前記フィルター手段６を構成する各円筒状フィルター１１の送風通路１０内に圧送されて、該各円筒状フィルター１１を構成する濾材によって、前記高清浄空間８１内の清浄空気より更に清浄化されて、フィルター収納ケース３１の収納部３２内に噴出し、該収納部３２内に噴出した空気は、前記収納部３２内において乱流して整流され、その後、送風誘導板３４・３５間の小巾に形成された送風誘導路３３に流入して圧力を増して、図中、矢印で示すように、湾曲面３４ａに吹き当たった清浄空気は、湾曲片３４ｂによって反転して、斜外側方向に風分布が均一化されて噴出スリット８より噴出する。
【００７７】
そして、前記噴出スリット８より斜外側方向に噴出した清浄空気は、密閉容器７１のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに向かって噴出し、その後、該先端壁面１０２ａから外周壁面１０２ｂに沿って層状に流れ、エアカーテン効果を生じさせて、密閉容器７１の蓋７５の開閉時に、クリーンルーム７０内のダストを含んだ外気が、密閉容器７１および高清浄空間８１内に侵入することはない。
【００７８】
前記第１０の実施の形態における清浄空気噴出装置１ｊは、前記第１〜第９の実施の形態による清浄空気噴出装置１ａ〜１ｉよりも、清浄空気がすべてフランジ１０２の先端壁面１０２ａに沿って外周壁面１０２ｂ方向へ流れるので、特に限定する必要なないが、前記第１０の清浄空気噴出装置１ｊを半導体製造装置に使用することが特に推奨される。
【実施例２】
【００７９】
本発明の実施例２のミニエンバライメント方式の半導体製造装置を、図２７    〜図３０に基づいて説明する。図２７は、実施例２の清浄空気噴出装置４１を備えた半導体製造装置の概略縦断面図である。前記実施例２の清浄空気噴出装置４１が、実施例１の清浄空気噴出装置１と異なっている点は、フィルター手段６を収納するフィルター収納ケース４２の形状がやや異なっているだけで、その他の構成は全く同一である。
【００８０】
本発明の実施例２のミニエンバライメント方式の半導体製造装置は、従来公知のミニエンバライメント方式の半導体製造装置７６の前面板７７の前面部に、該前面板７７の開口部８７と同一大きさの開口部９８を備えて固定された、ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａの前記開口部９８の内周面部に、密閉容器７１の先端のフランジ１０２の外周壁面１０２ｂに平行に清浄空気を噴出する噴出スリット８を備え、且つ方形枠状のフィルター収納ケース４２に、円筒状フィルター１１を方形枠状に連結して形成されたフィルター手段６を収納した清浄空気噴出装置４１を別部材として設置し、空気供給装置２と連結された該清浄空気噴出装置４１の噴出スリット８より清浄空気を全周面に亘って均一な風速で噴出して、前記密閉容器７１の先端のフランジ１０２の外周壁面１０２ｂに沿って層状に流して、エアカーテンを形成することにより、前記密閉容器７１の蓋７５の開閉時に、ダストを含んだクリーンルーム７０内の外気が、密閉容器７１および高清浄空間８１内へ侵入するのを阻止するよう形成されている。
【００８１】
すなわち、前記清浄空気噴出装置４１を形成する方形枠状のフィルター収納ケース４２は、方形枠状に形成されたフィルター手段６を収納する収納部４４、および該収納部４４を構成する内周面板４４ａと背面板４４ｂ間に小巾の通気スリット４４ｃを形成し、且つ前記背面板４４ｂを該通気スリット４４ｃより内方に延設すると共に、該背面板４４ｂの先端部を前方側へ折曲して前記内周面板４４ａの半分程度の長さの折曲片４４ｄを設けて、該折曲片４４ｄと内周面板４４ａ間に小巾の噴出スリット８を、前記フランジ１０２の外周壁面１０２ｂと平行になるよう設けて形成されている。そして、前記構成より成る清浄空気噴出装置４１は、折曲片４４ｄの内周面の一部が前記密閉容器７１の外周壁面１０２ｂ上にほぼ接するようにして配設される。
【００８２】
前記フィルター収納ケース４２の収納部４４に収納されるフィルター手段６は、前記実施例１において記載したフィルター手段６ａ〜６ｉのいずれも使用することができるが、前記収納部４４の形状は、前記フィルター手段６ａ〜６ｉの形態に合わせて、その奥行または巾が決定される。
【００８３】
前記構成より成る清浄空気噴出装置を備えた本発明実施例２のミニインバライメント方式の半導体製造装置によれば、密閉容器７１の蓋７５を半導体製造装置７６内に開いて、ウェハ７３をアーム９３に移載して引出す際、または、加工されたウェハ７３を前記アーム９３を介して、前記密閉容器７１に装入する際、密閉容器７１の先端のフランジ１０２の外周壁面１０２ｂに向けて、空気供給装置２と送気チューブ３で連結された清浄空気噴出装置４１の噴出スリット８から清浄空気を、図中、矢印で示すように噴出することにより、該噴出した清浄空気は、前記フランジ１０２の外周壁面１０２ｂに沿って層状に流れて、フランジ１０２と前記清浄空気噴出装置４１間にエアカーテンを形成し、前記開口部９８および出入口７４間の隙間９６から、ダストを含んだ外気が密閉容器７１および高清浄空間８１内へ侵入するのが阻止されて、ウェハ７３へのダストの付着が防止される。
【実施例３】
【００８４】
本発明の実施例３のミニエンバライメント方式の半導体製造装置を、図３１に基づいて説明する。図３１は、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａ開口された開口部９８の内周面部に、予め組み込まれた清浄空気噴出装置５１を備えた本発明の実施例３のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第１の実施の形態における清浄空気噴出装置５１ａを備えたミニエンバライメント方式の半導体製造装置の要部の概略縦断面図である。そして、前記第１の実施の形態における清浄空気噴出装置５１ａは、前記ローディング部７８の開口部９８の内周面部に予め組み込まれて設置されている。
【００８５】
すなわち、第１の実施の形態における清浄空気噴出装置５１ａは、図３１示すように、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａの内周壁面の背面側に、小巾の延長片５２を突設すると共に、該延長片５２の先端を前記前面パネル７８ａの巾の半分程度の長さに折曲して折曲片５２ａを連設する一方、垂直片５３ａの内周側を背面側へ折曲して水平片５３ｂを連設すると共に、該水平片５３ｂの先端を垂直に折曲した折曲片５３ｃを備えて形成された蓋板５３の外周縁部を、前記前面パネル７８ａの前面側周縁部に固定して、前記延長片５２の前面側を被覆して、該延長片５２と蓋板５３の垂直片５３ａおよび水平片５３ｂ間に、フィルター手段６の収納部５４を設け、且つ前記延長片５２と蓋板５３の折曲片５３ｃ間に小巾の送風誘導路５４ａを形成し、更に前記延長片５２の折曲片５２ａの先端と前記蓋板５３の先端間に、前記実施例１と同様に、噴出スリット８を密閉容器７１のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに対面するよう設けたフィルター収納ケース５５を備えて形成されている。  
【００８６】
なお、前記フィルター手段６は、前記実施例１と同様に、高清浄空間８１内の前面板７７の内側面に固定された、該高清浄空間８１内の清浄空気を吸引する空気供給装置２と送気チューブ３を介して連結されている。
【００８７】
前記構成より成る清浄空気噴出装置５１ａのフィルター収納ケース５５の収納部５４内に収納されるフィルター手段６は、前記フィルター手段６ａ〜６ｉのいずれも使用することができるが、前記収納部５４の形状は、前記フィルター手段６ａ〜６ｉの形態に合わせて、その奥行、または巾が決定される。
【００８８】
前記構成より成る清浄空気噴出装置５１ａを備えた半導体製造装置の作用は、前記実施例１のものと同一であるので、説明を省略する。
【００８９】
図３２は、前記ローディング部７８の開口部９８の内周面部に、予め組み込まれた清浄空気噴出装置５１を備えた本発明の実施例３のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第２の実施の形態における清浄空気噴出装置５１ｂを備えたミニエンバライメント方式の半導体製造装置の要部の概略縦断面図である。そして、前記第２の実施の形態における清浄空気噴出装置５１ｂは、前記ローディング部７８の開口部９８の内周面部に予め組み込まれて設置されている。
【００９０】
すなわち、第２の実施の形態における清浄空気噴出装置５１ｂは、図３２に示すように、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａの内周壁面の背面側に、小巾の延長片５６を突設すると共に、該延長片５６の先方部を、湾曲面５６ａを有して前方側へ折曲して湾曲片５６ｂを設け、更に、垂直片５７ａの内周側に水平片５７ｂを背面側へ折曲して連設すると共に、該水平片５７ｂの先方部を垂直に折曲して折曲片５７ｃを設け、且つ該折曲片５７ｃの先方部を、前記湾曲片５６ｂの先端よりやや背面側に位置するよう傾斜して傾斜部５７ｄを設けて形成された蓋板５７の外周縁部を、前記前面パネル７８ａの内周縁部に固定して、前記延長片５６の前面側を被覆して、該延長片５６と蓋板５７の垂直片５７ａおよび水平片５７ｂ間に、フィルター手段６の収納部５８を形成する一方、前記延長片５６と蓋板５７の折曲片５７ｃ間に小巾の送風誘導路５９を形成し、且つ前記延長片５６の折曲片５６ａの先端と前記蓋板５７の先端間に、前記実施例１と同様に、噴出スリット８を密閉容器７１のフランジ１０２の先端壁面１０２ａに対面するよう設けたフィルター収納ケース６０を備えて形成されている。  
【００９１】
なお、前記フィルター手段６は、前記実施例１と同様に、高清浄空間８１内の前面板７７の内側面に固定された、該高清浄空間８１内の清浄空気を吸引する空気供給装置２と送気チューブ３を介して連結されている。
【００９２】
前記構成より成る清浄空気噴出装置５１ｂのフィルター収納ケース６０の収納部５８内に収納されるフィルター手段６は、前記フィルター手段６ａ〜６ｉのいずれも使用することができるが、前記収納部５８の形状は、前記フィルター手段６ａ〜６ｉの形態に合わせて、その奥行、または巾が決定される。
【００９３】
前記構成より成る清浄空気噴出装置５１ｂを備えた半導体製造装置の作用は、前記実施例１の第１０の実施の形態のものと同一であるので、説明を省略する。
【実施例４】
【００９４】
本発明の実施例４のミニエンバライメント方式の半導体製造装置を、図３３に基づいて説明する。図３３は、前記ローディング部７８を構成する前面パネル７８ａに開口された開口部９８の内周面部に、予め組み込まれた清浄空気噴出装置６１を備えた本発明の実施例４のミニエンバライメント方式の半導体製造装置の要部の概略縦断面図である。そして、前記清浄空気噴出装置６１は、前記ローディング部７８の開口部９８の内周面部に予め組み込まれて設置されている。
【００９５】
すなわち、実施例４における清浄空気噴出装置６１は、図３３に示すように、前記前面パネル７８ａの内周壁面の背面側に、小巾の延長片６２を突設すると共に、該延長片６２の先端を前記前面パネル７８ａの巾の半分程度の長さに折曲して折曲片６２ａを連設し、更に、垂直片６３ａの内周側に水平片６３ｂを連設して形成された蓋板６４の外周縁部を、前記前面パネル７８ａの前面側周縁部に固定して、前記延長片６２の前面側を被覆して、該延長片６２と蓋板６４の垂直片６３ａおよび水平片６３ｂ間に、フィルター手段６の収納部６５を設け、且つ前記延長片６２と蓋板６４の折曲片６２ｃ間に小巾の送風誘導路６６を形成し、更に前記延長片６２の折曲片６２ａの先端と前記蓋板６４の先端間に、前記実施例２と同様に、噴出スリット８を密閉容器７１のフランジ１０２の外周壁面１０２ｂと平行に設けたフィルター収納ケース６７を備えて形成されている。そして、前記構成より成る清浄空気噴出装置６１は、前記実施例２と同様に、折曲片６２ａの内周面の一部が前記密閉容器７１の外周壁面１０２ｂ上にほぼ接するようにして配設されている。  
【００９６】
なお、前記フィルター手段６は、前記実施例１と同様に、高清浄空間８１内の前面板７７の内側面に固定された、該高清浄空間８１内の清浄空気を吸引する空気供給装置２と送気チューブ３を介して連結されている。
【００９７】
前記構成より成る清浄空気噴出装置６１のフィルター収納ケース６７の収納部６５内に収納されるフィルター手段６は、前記フィルター手段６ａ〜６ｉのいずれも使用することができるが、前記収納部６５の形状は、前記フィルター手段６ａ〜６ｉの形態に合わせて、その奥行、または巾が決定される。
【００９８】
前記構成より成る清浄空気噴出装置６１を備えた半導体製造装置の作用は、前記実施例２のものと同一であるので、説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】第１の実施の形態における清浄空気噴出装置を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置の全体の概略縦断面図である。
【図２】第１の実施の形態における清浄空気噴出装置を備えた本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、密閉容器の蓋体の開放時の要部の状態を示す概略縦断面図である。
【図３】同密閉容器の蓋体の閉止時の要部の状態を示す概略縦断面図である。
【図４】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第１の実施の形態における清浄空気噴出装置を構成するフィルター手段の一部を切欠いて示す斜視図である。
【図５】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第１の実施の形態における清浄空気噴出装置の全体を一部を切欠いて示す正面図である。
【図６】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第１の実施の形態における清浄空気噴出装置の全体の一部を切欠いて示す横断面図である。
【図７】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第１の実施の形態における清浄空気噴出装置と空気供給装置を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図８】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第２の実施の形態における清浄空気噴出装置を構成するフィルター手段の一部を切欠いて示す斜視図である。
【図９】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第２の実施の形態における清浄空気噴出装置と空気供給装置を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図１０】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第３の実施の形態における清浄空気噴出装置を構成するフィルター手段を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図１１】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第３の実施の形態における清浄空気噴出装置と空気供給装置を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図１２】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第４の実施の形態における清浄空気噴出装置を構成するフィルター手段の一部を切欠いて示す斜視図である。
【図１３】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第４の実施の形態における清浄空気噴出装置の全体を一部を切欠いて示す横断面図である。
【図１４】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第４の実施の形態における清浄空気噴出装置と空気供給装置を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図１５】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第５の実施の形態における清浄空気噴出装置を構成するフィルター手段を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図１６】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第５の実施の形態における清浄空気噴出装置と空気供給装置を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図１７】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第６の実施の形態における清浄空気噴出装置を構成するフィルター手段を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図１８】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第６の実施の形態による清浄空気噴出装置と空気供給装置を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図１９】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第７の実施の形態における清浄空気噴出装置を構成するフィルター手段を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図２０】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第７の実施の形態における清浄空気噴出装置の全体を一部を切欠いて示す横断面図である。
【図２１】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第７の実施の形態における清浄空気噴出装置と空気供給装置を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図２２】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第８の実施の形態における清浄空気噴出装置を構成するフィルター手段を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図２３】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第８の実施の形態における清浄空気噴出装置と空気供給装置を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図２４】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第９の実施の形態における清浄空気噴出装置を構成するフィルター手段を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図２５】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、第９の実施の形態における清浄空気噴出装置と空気供給装置を一部を切欠いて示す斜視図である。
【図２６】本発明の実施例１のミニエンバライメント方式の半導体製造装置であって、第１０の実施の形態における清浄空気噴出装置を備えた半導体製造装置において、密閉容器の蓋体の閉止時の要部の状態を示す概略縦断面図である。
【図２７】本発明の実施例２のミニエンバライメント方式の半導体製造装置の全体の概略縦断面図である。
【図２８】本発明の実施例２のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、密閉容器の蓋の開放時の要部の状態を示す概略正面図である。
【図２９】本発明の実施例２のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、密閉容器の蓋の閉止時の要部の状態を示す概略縦断面図である。
【図３０】本発明の実施例２のミニエンバライメント方式の半導体製造装置において、清浄空気の噴出装置と空気供給装置の一部を切欠いて示す斜視図である。
【図３１】本発明の実施例３のミニエンバライメント方式の半導体製造装置であって、第１の実施の形態における清浄空気噴出装置を備えた半導体製造装置において、密閉容器の蓋体の閉止時の要部の状態を示す概略縦断面図である。
【図３２】本発明の実施例３のミニエンバライメント方式の半導体製造装置であって、第２の実施の形態における清浄空気噴出装置を備えた半導体製造装置において、密閉容器の蓋体の閉止時の要部の状態を示す概略縦断面図である。
【図３３】本発明の実施例４のミニエンバライメント方式の半導体製造装置であって、密閉容器の蓋体の閉止時の要部の状態を示す概略縦断面図である。
【図３４】従来のミニエンバライメント方式の半導体製造装置の全体を示す概略縦断面図である。
【図３５】従来のミニエンバライメント方式の半導体製造装置における密閉容器とローディング装置の組立分解斜視図である。
【図３６】従来のミニエンバライメント方式の半導体製造装置における要部を示す概略縦断面図である。
【符号の説明】
【０１００】
１，４１，５１，６１：  清浄空気噴出装置
２：  空気供給装置
３：  送気チューブ
６：  フィルター手段
７，３１，４２，５５，６０，６７：  フィルター収納ケース
８：  噴出スリット
１１：  円筒状フィルター
７１：  密閉容器
７３：  ウェハ
７４：  出入口
７５：  蓋
７６：  半導体製造装置
７８：  ローディング部
８１：  高清浄空間
９６：  隙間
９８：  開口部
１０２：  フランジ
１０２ａ：  フランジの先端壁面
１０２ｂ：  フランジの外周壁面
【図１】
2005310809.tif 000003
【図２】
2005310809.tif 000004
【図３】
2005310809.tif 000005
【図４】
2005310809.tif 000006
【図５】
2005310809.tif 000007
【図６】
2005310809.tif 000008
【図７】
2005310809.tif 000009
【図８】
2005310809.tif 000010
【図９】
2005310809.tif 000011
【図１０】
2005310809.tif 000012
【図１１】
2005310809.tif 000013
【図１２】
2005310809.tif 000014
【図１３】
2005310809.tif 000015
【図１４】
2005310809.tif 000016
【図１５】
2005310809.tif 000017
【図１６】
2005310809.tif 000018
【図１７】
2005310809.tif 000019
【図１８】
2005310809.tif 000020
【図１９】
2005310809.tif 000021
【図２０】
2005310809.tif 000022
【図２１】
2005310809.tif 000023
【図２２】
2005310809.tif 000024
【図２３】
2005310809.tif 000025
【図２４】
2005310809.tif 000026
【図２５】
2005310809.tif 000027
【図２６】
2005310809.tif 000028
【図２７】
2005310809.tif 000029
【図２８】
2005310809.tif 000030
【図２９】
2005310809.tif 000031
【図３０】
2005310809.tif 000032
【図３１】
2005310809.tif 000033
【図３２】
2005310809.tif 000034
【図３３】
2005310809.tif 000035
【図３４】
2005310809.tif 000036
【図３５】
2005310809.tif 000037
【図３６】
2005310809.tif 000038
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月12日(2004.10.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２７】
2005310809.tif 000039
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３３】
2005310809.tif 000040
【手続補正書】
【提出日】平成17年3月11日(2005.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２７】
2005310809.tif 000041
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２８】
2005310809.tif 000042
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２９】
2005310809.tif 000043
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３３】
2005310809.tif 000044