(57)【要約】【課題】  半導体製造工程における流体制御弁の取付構造に関するものである。【解決手段】    本発明は、流体制御弁取付構造において、弁本体２１とパイロット部２２とを組み付けるものであって、呼び長さ方向に貫通孔４１が形成されたネジ２３と、貫通孔４１を貫通し、流体制御弁１３と流路ブロック１２とを組み付けるネジ２４とを有するので、（ａ）設置面積を小さくでき、（ｂ）ネジ２４は作業場で転がりにくく作業性が向上するとともに、（ｃ）設置面の密閉性を確保して流体の外部漏れを防止することができ、（ｄ）流体制御弁１３の交換時に動作・密閉性の確認作業をする必要がなく、（ｅ）一方向からの作業により流体制御弁取付構造の組み立てが可能となり、（ｆ）組み立てに必要なネジの点数を２点に抑えることができる。【選択図】  図３
2005307994.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路ブロックの上に弁本体とパイロット部を備える流体制御弁が配設される流体制御弁取付構造において、
前記弁本体と前記パイロット部とを組み付けるものであって、呼び長さ方向に貫通孔が形成された第１ネジと、
前記貫通孔を貫通し、前記流体制御弁と前記流路ブロックとを組み付ける第２ネジとを有することを特徴とする流体制御弁取付構造。
【請求項２】
請求項１の流体制御弁取付構造において、
前記第２ネジは前記流体制御弁側から挿入することを特徴とする流体制御弁取付構造。
【請求項３】
請求項２の流体制御弁取付構造において、
前記第２ネジの頭部をガスケットで覆うことを特徴とする流体制御弁取付構造。
【請求項４】
請求項２の流体制御弁取付構造において、
前記第２ネジは耐腐食性を有する材質からなることを特徴とする流体制御弁取付構造。
【請求項５】
請求項４の流体制御弁取付構造において、
前記流体制御弁のカバー上面の貫通孔口の周囲に突起部を形成することを特徴とする流体制御弁取付構造。
【請求項６】
請求項４の流体制御弁取付構造において、
前記流体制御弁と前記第２ネジの頭部との間にＯリングを使用することを特徴とする流体制御弁取付構造。
【請求項７】
請求項４の流体制御弁取付構造において、
前記流体制御弁と前記第２ネジの頭部との間にガスケットを使用することを特徴とする流体制御弁取付構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程における流体制御弁の取付構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程における流体制御弁の取付構造として、従来より以下のものが存在する。
＜従来技術１＞
図１６は、従来技術１の流体制御システム１０１の外観図（ａ）と上面図（ｂ）を示す。流体制御システム１０１では、流体制御弁１１３と流路ブロック１１２とベースプレート１１１とを組み付けるネジ１２４が流体制御弁１１３の両側に４本使用されている。なお、図１６からは確認できないが、流体制御弁１１３の弁本体１２１とパイロット部１２２とを組み付けるネジ１２３は流体制御弁１１３内に配設されている。
【０００３】
＜従来技術２＞
図１７は、従来技術２の流体制御システム２０１の外観図（ａ）と上面図（ｂ）を示し、図１８はその断面図を示す。
流体制御システム２０１を上面から見たときに対角線上にあるように、流体制御弁２１３の弁本体２２１とパイロット部２２２とを組み付けるネジ２２３と、流体制御弁２１３と流路ブロック２１２とベースプレート２１１とを組み付けるネジ２２４が、流体制御弁２１３内を貫通した状態で各々２本ずつ使用されている。ネジ２２３は流体制御弁２１３を組み立てるものであるのに対して、ネジ２２４は流体制御弁２１３内を貫通して流体制御弁２１３と流路ブロック２１２とベースプレート２１１とを組み付けるものなので、ネジ２２３とネジ２２４とでは呼び長さが異なる。
【０００４】
＜従来技術３＞
図１９は、従来技術３の流体制御システム３０１の外観図を示し、図２０および図２１はその断面図を示す。
流体制御システム３０１では、その仕様１として図２０に示すように、流体制御弁３１３と流路ブロック３１２とベースプレート３１１とを組み付けるネジ３２４が、流体制御弁３１３内を貫通した状態で４本使用されている。
また、その仕様２として図２１に示すように、流体制御弁３１３の弁本体３２１とパイロット部３２２とを組み付けるネジ３３３がパイロット部３２２側から挿入して使用され、流体制御弁３１３と流路ブロック３１２とベースプレート３１１とを組み付けるネジ３３４がベースプレート３１１側から挿入して使用されている。
【０００５】
また、ある部材に形成された貫通孔に結合部品を挿入し、貫通孔が形成された当該部材を介した異なる部材どうしの取付構造として、以下の従来技術がある。
＜従来技術４＞
特許文献１として図２２に示すような、取付物と被取付物の結合金具および結合方法が存在する。
以下、特許文献１について説明する。
特許文献１は、取付物Ａ１と被取付物Ｂと取付物Ａ２とを一体に結合させることを示している。取付物Ａ１には連結シャフト４０３が、被取付物Ｂには結合ユニット体４０１が、取付物Ａ２には棒状取付物４０４が埋め込まれている。結合ユニット体４０１は貫通孔４０２を有する。
そして、連結シャフト４０３を結合ユニット体４０１の貫通孔４０２の一端に挿入することにより取付物Ａ１と被取付物Ｂとを結合させ、棒状取付物４０４を結合ユニット体４０１の貫通孔４０２の他端に挿入することにより取付物Ａ２と被取付物Ｂとを結合させる。これにより、取付物Ａ１と被取付物Ｂと取付物Ａ２とを一体に結合させるものである。
【特許文献１】特開第２００２−４４３３号公報（第００４１段落、第１４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記従来技術には以下のような問題点がある。
従来技術１の流体制御システム１０１では、ネジ１２４が流体制御弁１１３の両側に使用されているため、システムとしての設置面積が大きくなってしまう。また、ネジ１２４は流体制御弁１１３と流路ブロック１１２とベースプレート１１１とを流体制御弁１１３を貫通させずに組み付けるものなので、通常呼び長さの比較的短いものが使用される。そのため、メンテナンス時などで作業者が流体制御システム１０１を分解させたときに、ネジ１２４が作業場で転がりやすく作業性が悪い。
【０００７】
従来技術２の流体制御システム２０１では、ネジ２２３とネジ２２４が各々２本しか使用されておらず、また、ネジ２２３とネジ２２４ではその対象物および配置の違いから締付力が異なり、弁本体２２１とパイロット部２２２の組み付け面および流体制御弁２１３と流路ブロック２１２の組み付け面に均等な締付力がかからないこととなる。そのため、従来技術１のようにネジ１２３とネジ１２４を各々４本使用した場合に比べて、流体制御弁２１３内の密閉性および流体制御弁２１３と流路ブロック２１２との間の密閉性が十分に得られず、流体の外部漏れが生ずるおそれがある。
【０００８】
従来技術３の流体制御システム３０１では、その仕様１においては流体制御弁３１３を流路ブロック３１２からはずすと流体制御弁３１３のパイロット部３２２と弁本体３２１の各構成部品も分解されることとなり、再度流体制御弁３１３を流路ブロック３１２に取り付ける際には改めて流体制御弁３１３のパイロット部３２２と弁本体３２１の各構成部品を組み立てる必要がある。このとき流体制御弁３１３の動作、外部漏れ、内部漏れの有無を確認しなければならず、その確認作業が不十分であれば流体制御弁３１３の動作に信頼性がおけなくなるおそれがある。
また、ネジ３２４によって流体制御弁３１３のパイロット部３２２と弁本体３２１の間、および流体制御弁３１３の弁本体３２１と流路ブロック３１２の間を密閉しなければならず、密閉性が低くなるおそれがある。
【０００９】
一方、仕様２においては流体制御弁３１３のパイロット部３２２と弁本体３２１の間、流体制御弁３１３の弁本体３２１と流路ブロック３１２の間を別のネジで締め付けるため、密閉性は確保できる。
しかし、ネジ３３４はベースプレート３１１側から挿入する必要があるが、ネジ３３４を挿入する面は同時にベースプレート３１１を製造装置（不図示）に固定する面である場合が多く、その場合にはネジ３３４をベースプレート３１１側から挿入するときに、ベースプレート３１１を製造装置からはずす必要があり作業に手間がかかる。特に、接続されている配管の配置スペースに余裕がない場合には、配管をはずして行う必要があり継手接続作業の作業工数が増え、継手接続部の密閉性に十分に注意を払う必要性も生じる。
【００１０】
従来技術４の特許文献１では、結合ユニット体４０１が貫通孔４０２を有しているものの、取付物Ａ１と被取付物Ｂとは連結シャフト４０３により、取付物Ｂと取付物Ａ２とは棒状取付物４０４により各々別に結合されるものである。そのため、締結部品としてはユニット体４０１、連結シャフト４０３、棒状取付物４０４の３点が必要となる。
また、特許文献１の結合方法を流体制御弁の取付構造に適用して考えると、流体制御弁と流路ブロックおよび流路ブロックとベースプレートとを、各々連結シャフトまたは棒状取付物Ｔなどの連結具により組み付ける必要があり、組み付けに手間がかかり作業性が悪い。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
かかる課題を解決するために、請求項１の発明は、流路ブロックの上に弁本体とパイロット部を備える流体制御弁が配設される流体制御弁取付構造において、弁本体とパイロット部とを組み付けるものであって、呼び長さ方向に貫通孔が形成された第１ネジと、貫通孔を貫通し、流体制御弁と流路ブロックとを組み付ける第２ネジとを有することを特徴とする
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１の流体制御弁取付構造において、第２ネジは流体制御弁側から挿入することを特徴とする。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項２の流体制御弁取付構造において、第２ネジの頭部をガスケットで覆うことを特徴とする。
【００１４】
請求項４の発明は、請求項２の流体制御弁取付構造において、第２ネジは耐腐食性を有する材質からなることを特徴とする。
【００１５】
請求項５の発明は、請求項４の流体制御弁取付構造において、流体制御弁のカバー上面の貫通孔口の周囲に突起部を形成することを特徴とする。
【００１６】
請求項６の発明は、請求項４の流体制御弁取付構造において、流体制御弁と第２ネジの頭部との間にＯリングを使用することを特徴とする。
【００１７】
請求項７の発明は、請求項４の流体制御弁取付構造において、流体制御弁と第２ネジの頭部との間にガスケットを使用することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、流路ブロックの上に弁本体とパイロット部を備える流体制御弁が配設される流体制御弁取付構造において、弁本体とパイロット部とを組み付けるものであって、呼び長さ方向に貫通孔が形成された第１ネジと、貫通孔を貫通し、流体制御弁と流路ブロックとを組み付ける第２ネジとを有するので、（ａ）第２ネジは第１ネジの貫通孔を貫通させて配設されることにより流体制御システムの設置面積を小さくでき、（ｂ）呼び長さが大きい第２ネジは流体制御システムの組み立ておよび分解時において作業場で転がりにくく作業性が向上するとともに、（ｃ）第１ネジおよび第２ネジの締付力が均等に伝わりパイロット部と弁本体の設置面または流体制御弁と流路ブロックの設置面の密閉性を確保して流体の外部漏れを防止することができ、（ｄ）流体制御弁の交換時に流体制御弁を流路ブロックから取り外した際にも流体制御弁の密閉性が維持され、改めて流体制御弁の動作・密閉性の確認作業をする必要がなくなり、（ｅ）一方向からの作業により流体制御弁・流路ブロックの組み立てが可能となり流体制御弁の交換作業の工数を削減でき、（ｆ）流体制御弁取付構造の組み立てに必要なネジの点数を第１ネジおよび第２ネジの２点に抑えることができる。
【００１９】
本発明は、前記した流体制御弁取付構造において、第２ネジは流体制御弁側から挿入するので、第２ネジの頭部の座面が流体制御弁のカバー上面の貫通孔口を密閉して流体制御弁内を雰囲気から密閉することができる。特に、第２ネジが樹脂ネジであれば、第２ネジの頭部の座面を流体制御弁に押し潰す（変形させる）ことにより、流体制御弁内を腐食性雰囲気から確実に密閉することができる。
【００２０】
本発明は、流体制御弁取付構造において、第２ネジの頭部をガスケットで覆うので、腐食性雰囲気においても第２ネジが腐食せず流体制御弁内を密閉することができる。
【００２１】
本発明は、流体制御弁取付構造において、第２ネジは耐腐食性を有する材質からなるので、腐食性雰囲気においても第２ネジが腐食せず流体制御弁内を密閉することができる。
【００２２】
本発明は、流体制御弁取付構造において、流体制御弁のカバー上面の貫通孔口の周囲に突起部を形成するので、第２ネジを締め付けることにより突起部を第２ネジ内にめり込ませたり、突起部を変形させることにより、流体制御弁内を腐食性雰囲気から密閉することができる。
【００２３】
本発明は、流体制御弁取付構造において、流体制御弁と第２ネジの頭部との間にＯリングを使用するので、Ｏリングにより流体制御弁のカバー上面の貫通孔口が密閉され、流体制御弁内を腐食性雰囲気から密閉することができる。また、Ｏリングを使用するため、取り付けや取り外しが容易で、かつコストを抑えることもできる。
【００２４】
本発明は、流体制御弁取付構造において、流体制御弁と第２ネジの頭部との間にガスケットを使用するので、ガスケットにより流体制御弁のカバー上面の貫通孔口が密閉され、流体制御弁内を腐食性雰囲気から密閉することができる。また、ガスケットを使用するため、取り付けや取り外しが容易で、かつコストを抑えることもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は本発明の流体制御弁取付構造からなる流体制御システム１の外観図を、図２は流体制御システム１を構成する流体制御弁１３における上面図を、図３は図２におけるＡ−Ａ断面図を示す。また、図４、図５は本発明の流体制御弁取付構造の組み立て方法の一例を示している。
図１に示すように流体制御システム１はベースプレート１１、流路ブロック１２、流体制御弁１３から構成される。
【００２６】
ここで、流体制御システム１における本発明の流体制御弁取付構造について説明する。
図３に示すように流体制御弁１３は、弁本体２１とパイロット部２２から構成され、図４に示すようにパイロット部２２は、シリンダ３１、スプリング３２、カバー３３などから構成される。
また、図２では確認できないが、流体制御弁１３を上面から見たときに四隅の位置に、弁本体２１とパイロット部２２を組み付けるネジ２３が流体制御弁１３内に４本配設されている。図４に示すようにネジ２３は、呼び長さ方向に（頭部からネジ先にかけて）貫通孔４１が形成され、先端部２３ａにおねじが形成されている。なお、めねじはパイロット部２２のネジ部３３ａに形成されている。
【００２７】
同様に図２に示すように流体制御弁１３の上面の四隅の位置に、流体制御弁１３と流路ブロック１２とベースプレート１１とを組み付けるネジ２４が４本配設されている。ネジ２４は、図５に示すようにネジ２４は頭部２４ａを有し、図３に示すようにネジ２３の貫通孔４１内を貫通して配設されている。ここで、例えばネジ２４の呼び径をＭ３とすれば、ネジ２３の呼び径はＭ７からＭ８とすることによりネジ２３の厚みは確保され、その強度は保障されるものと考える。
なお、ネジ２４は、腐食性雰囲気中で使用する場合は耐腐食性を有する材質からなるもの（ＰＥＥＫやＰＰＳなどの樹脂ネジ、チタンネジ、特殊ステンレスネジなど）であるが、腐食性雰囲気中で使用しない場合には一般的な材質からなるもの（圧延鋼材のネジ、炭素鋼鋼材のネジなど）でもよい。
【００２８】
次に、本発明の流体制御弁取付構造の組み立て方法を説明する。
図４に示すように、ネジ２３を弁本体２１側から挿入し、カバー３３に形成されるネジ部３３ａにネジ２３の先端部２３ａを締め付けることにより、弁本体２１、シリンダ３１、スプリング３２、カバー３３などからなる流体制御弁１３を組み立てる。
次に、図５に示すように、ネジ２４を流体制御弁１３のカバー３３側からネジ２３の貫通孔４１内を貫通して、ベースプレート１１に形成されたネジ部１１ａにネジ２４の先端部を締め付けることにより、流体制御弁１３と流路ブロック１２とベースプレート１１とを組み付ける。なお、流体制御弁１３と流路ブロック１２の間にはシールリング３４を配設する。
【００２９】
このように組み立てられた本発明の流体制御弁取付構造は、図３などに示すように以下の効果が得られる。
ネジ２４はネジ２３の貫通孔４１を貫通させてベースプレート１１に組み付けるので、流体制御弁１３の取付面積を小さくできる。
ネジ２４はネジ２３の貫通孔４１に挿入して流体制御弁１３と流路ブロック１２とベースプレート１１とを組み付けるため呼び長さが大きい。そのため、組み立ておよび分解時において作業場で転がりにくく作業性が良くなる。
ネジ２３およびネジ２４を各々４本ずつ使用することにより、流体制御弁１３内の密閉性および流体制御弁１３と流路ブロック１２との間の密閉性を得て流体の外部漏れを防止できる。
ネジ２４を取り外したとしても流体制御弁１３はネジ２３により組み立てられているため、パイロット部２２と弁機構部２１が不必要に分解しない。そのため、流体制御弁１３の密閉性は維持されるので、流体制御弁１３の交換作業にあたって、その都度流体制御弁１３の動作・外部漏れ・内部漏れなどの確認作業が不要となり、流体制御弁１３の密閉性を懸念する必要はなく作業性が良くなる。
流体制御弁１３のパイロット部２２側から容易にネジ２４を取り外すことができるので、
作業性が良くなる。
本発明の流体制御弁取付構造の組み立てに必要なネジの点数は、ネジ２３およびネジ２４の２点に抑えることができる。
【００３０】
なお、メンテナンス等のため流体制御システム１を分解するときには、前記の組み立て方法と逆の手順で行えばよい。
【００３１】
また、腐食性雰囲気中で使用しない場合には、ネジ２４の締付力を維持するために図６に示すようにネジ２４の頭部２４ａと流体制御弁１３のカバー３３との間にワッシャ２６を嵌め込んでネジ２４を組み付ける。
しかし、腐食性雰囲気中で使用する場合には、流体制御弁１３内を腐食性雰囲気から密閉する必要があり、以下のような仕様が考えられる。
仕様１として、図７（ａ）の状態からネジ２４をさらに締め付けることにより、ネジ２４の頭部２４ａの座面または流体制御弁１３のカバー３３の上面を変形させる方法がある。
仕様２として、図７（ｂ）のように流体制御弁１３のカバー３３の上面の貫通孔口３３ｂの周囲に突起部３３ｃを設け、ネジ２４を締め付けることにより突起部３３ｃをネジ２４内にめり込ませたり、突起部３３ｃを変形させたりする方法がある。
仕様３として、ネジ２４と流体制御弁１３のカバー３３の上面との間に、図８（ａ）のようにＯリング２７や図８（ｂ）のようにガスケット２８を挟み込ませる方法がある。
仕様４として、図９のようにネジ２４の頭部２４ａをガスケット２９、３０で覆う方法がある。
【００３２】
以上のような構成および組み立て方法の利用により以下の効果が得られる。
本発明は、流路ブロック１２の上に弁本体２１とパイロット部２２を備える流体制御弁１３が配設される流体制御弁取付構造において、弁本体２１とパイロット部２２とを組み付けるものであって、呼び長さ方向に貫通孔４１が形成されたネジ２３と、貫通孔４１を貫通し、流体制御弁１３と流路ブロック１２を組み付けるネジ２４とを有するので、（ａ）ネジ２４はネジ２３の貫通孔４１を貫通させて配設されることにより流体制御システム１の設置面積を小さくでき、（ｂ）呼び長さが大きいネジ２４は流体制御システム１の組み立ておよび分解時において作業場で転がりにくく作業性が向上するとともに、（ｃ）ネジ２３およびネジ２４の締付力が均等に伝わりパイロット部２２と弁本体２１の設置面または流体制御弁１３と流路ブロック１２の設置面の密閉性を確保して流体の外部漏れを防止することができ、（ｄ）流体制御弁１３の交換時に流体制御弁１３を流路ブロック１２から取り外した際にも流体制御弁１３の密閉性が維持され、改めて流体制御弁１３の動作・密閉性の確認作業をする必要がなくなり、（ｅ）一方向からの作業により流体制御弁１３・流路ブロック１２の組み立てが可能となり流体制御弁１３の交換作業の工数を削減でき、（ｆ）流体制御弁取付構造の組み立てに必要なネジの点数をネジ２３およびネジ２４の２点に抑えることができる。
【００３３】
本発明は、流体制御システム１の流体制御弁取付構造において、ネジ２４は流体制御弁１３側から挿入するので、ネジ２４の頭部２４ａの座面が流体制御弁１３のカバー３３上面の貫通孔口３３ｂを密閉して流体制御弁１３内を腐食性雰囲気から密閉することができる。特に、ネジ２４が樹脂ネジであれば、ネジ２４の頭部２４ａの座面を流体制御弁１３に押し潰す（変形させる）ことにより、流体制御弁１３内を腐食性雰囲気から確実に密閉することができる。
【００３４】
本発明は、流体制御システム１の流体制御弁取付構造において、ネジ２４の頭部２４ａをガスケットで覆うので、腐食性雰囲気においてもネジ２４が腐食せず流体制御弁１３内を密閉することができる。
【００３５】
本発明は、流体制御システム１の流体制御弁取付構造において、ネジ２４は耐腐食性を有する材質からなるので、腐食性雰囲気においてもネジ２４が腐食せず流体制御弁１３内を腐食性雰囲気から密閉することができる。
【００３６】
本発明は、流体制御システム１の流体制御弁取付構造において、流体制御弁１３のカバー３３上面の貫通孔口３３ｂの周囲に突起部３３ｃを形成するので、ネジ２４を締め付けることにより突起部３３ｃをネジ２４内にめり込ませたり、突起部３３ｃを変形させることにより、流体制御弁１３内を腐食性雰囲気から密閉することができる。
【００３７】
本発明は、流体制御システム１の流体制御弁取付構造において、流体制御弁１３とネジ２４の頭部２４ａとの間にＯリング２７を使用するので、Ｏリング２７により流体制御弁１３のカバー３３上面の貫通孔口３３ｂが密閉され、流体制御弁１３内を腐食性雰囲気から密閉することができる。また、Ｏリング２７を使用するため、取り付けや取り外しが容易で、かつコストを抑えることもできる。
【００３８】
本発明は、流体制御システム１の流体制御弁取付構造において、流体制御弁１３とネジ２４の頭部２４ａとの間にガスケット２８を使用するので、ガスケット２８により流体制御弁１３のカバー３３上面の貫通孔口３３ｂが密閉され、流体制御弁１３内を腐食性雰囲気から密閉することができる。また、ガスケット２８を使用するため、取り付けや取り外しが容易で、かつコストを抑えることもできる。
【００３９】
なお、本発明は、前記実施の形態のものに限定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、図１０〜１５に示すようにベースプレート１１を使用しない形態にも応用できる。
具体的には、図１１に示すように流路ブロック１２にネジ２４の先端部を締め付けることにより、流体制御弁１３と流路ブロック１２とを組み付ける形態がある。その形態の一例として、図１２〜１４に示す。
図１２、図１３は任意の部材３５、３６を介して流路ブロック１２にネジ２４の先端部を締め付けるものである。
図１４は直接に流路ブロック１２へネジ２４の先端部を締め付けるものである。なお、締め付け部分に予めヘリサートを挿入しておいてもよい。
【００４０】
また、流路ブロック１２内において、ネジ２４の先端部にナット２５を締め付けて流体制御弁１３と流路ブロック１２とを組み付ける形態がある。その形態の一例として、図１５に示す。なお、この形態ではナット以外にも、予め圧入したインサートナットやインサート成形されたメネジ形成部材などを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の流体制御弁取付構造からなる流体制御システムの外観図である。
【図２】本発明の流体制御弁取付構造からなる流体制御システムにおける流体制御弁の上面図である。
【図３】本発明の流体制御弁取付構造からなる流体制御システムにおける流体制御弁等の断面図である（図２のＡ−Ａ断面図）。
【図４】本発明の流体制御弁取付構造の組み立て手順の一例を示す図である。（実施例１）
【図５】本発明の流体制御弁取付構造の組み立て手順の一例を示す図である。（実施例１）
【図６】ネジの頭部と流体制御弁のカバーとの間の拡大図である。
【図７】流体制御弁内を腐食性雰囲気から密閉する仕様（仕様１、仕様２）を表す図である。
【図８】流体制御弁内を腐食性雰囲気から密閉する仕様（仕様３）を表す図である。
【図９】流体制御弁内を腐食性雰囲気から密閉する仕様（仕様４）を表す図である。
【図１０】本発明の流体制御弁取付構造からなる流体制御システムにおける流体制御弁等の上面図である。
【図１１】本発明の流体制御弁取付構造からなる流体制御システムにおける流体制御弁等の断面図である（図１０のＡ−Ａ断面図）。
【図１２】本発明の流体制御弁取付構造からなる流体制御システムにおける流体制御弁等の断面図である（図１０のＢ−Ｂ断面図）。
【図１３】本発明の流体制御弁取付構造からなる流体制御システムにおける流体制御弁等の断面図である（図１０のＢ−Ｂ断面図）。
【図１４】本発明の流体制御弁取付構造からなる流体制御システムにおける流体制御弁等の断面図である（図１０のＣ−Ｃ断面図）。
【図１５】本発明の流体制御弁取付構造からなる流体制御システムにおける流体制御弁等の断面図である（図１０のＣ−Ｃ断面図）。
【図１６】従来技術１の流体制御システムの外観図および上面図である。
【図１７】従来技術２の流体制御システムの外観図および上面図である。
【図１８】従来技術２の流体制御システムにおける流体制御弁取付構造の断面図である。
【図１９】従来技術３の流体制御システムの外観図である。
【図２０】従来技術３（仕様１）の流体制御システムにおける流体制御弁取付構造の断面図である。
【図２１】従来技術３（仕様２）の流体制御システムにおける流体制御弁取付構造の断面図である。
【図２２】従来技術４（特許文献１）における取付物と被取付物の結合金具および結合方法を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１            流体制御システム
１１          ベースプレート
１２          流路ブロック
１３          流体制御弁
２１          弁本体
２２          パイロット部
２３          ネジ
２４          ネジ
４１          貫通孔 
【図１】
2005307994.tif 000003
【図２】
2005307994.tif 000004
【図３】
2005307994.tif 000005
【図４】
2005307994.tif 000006
【図５】
2005307994.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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