(57)【要約】【課題】  高開口数のための高サッグを具現したマイクロレンズ及びアレイ形態のマイクロレンズの製造方法を提供する。【解決手段】  （ａ）屈折レンズ３５ｃをモールドを用いて圧縮成形する段階と、（ｂ）前記屈折レンズ３５ｃが載置されるホール４４を有し、前記ホール４４の背面に回析レンズが形成されたレンズホルダーを設ける段階と、（ｃ）前記レンズホルダーの前記ホール４４に前記屈折レンズ３５ｃを前記回析レンズと光軸整列させて組み合わせる段階と、を含むマイクロレンズの製造方法。【選択図】      図６Ｅ
2005043897.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）一つ以上の第１レンズをモールドを用いて圧縮成形する段階と、
（ｂ）前記第１レンズが載置されるホールを有し、前記ホールの背面に第２レンズが形成されたレンズホルダーを設ける段階と、
（ｃ）前記レンズホルダーの前記ホールに前記第１レンズを前記第２レンズと光軸整列させて組み合わせる段階と、を含むことを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
【請求項２】
前記（ａ）段階は、
前記第１レンズの表面形状を有するモールドを準備する段階と、
前記モールドに第１レンズ形成用物質を備え、圧縮して第１レンズを成形する段階と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項３】
前記第１レンズは、一面が球面または非球面状に形成され、他面は平面状に形成されたことを特徴とする請求項２に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項４】
前記（ｂ）段階は、
基板の上面に感光剤を塗布し、パターニングして第１エッチング領域を形成する段階と、
前記基板の下面に感光剤を塗布し、パターニングして前記第１エッチング領域と貫通する第２エッチング領域を形成することにより前記ホールを設ける段階と、
前記第２エッチング領域に連結されるように前記ホールの底板を前記基板の下面に接合する段階と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項５】
前記（ｂ）段階において、
前記基板の上面と前記底板にアラインマークを形成することを特徴とする請求項４に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項６】
前記（ｂ）段階は、
前記ホールの底板を形成した後、前記底板を研磨する段階をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項７】
前記（ｂ）段階は、
前記底板の表面に紫外線硬化物質を塗布し、回折面が形成されたポリマーモールドで圧縮した後、紫外線を照射して硬化させることにより前記第２レンズを形成する段階と、
を含むことを特徴とする請求項４に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項８】
前記（ｂ）段階は、
前記底板の表面にポリマーを塗布し、回折面が形成された鋳型で圧縮した後、紫外線を照射して硬化させることにより前記第２レンズを形成する段階と、
を含むことを特徴とする請求項４に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項９】
前記底板は、透光性のガラスで形成することを特徴とする請求項４に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１０】
前記紫外線硬化物質は、１．５以上の屈折率を有することを特徴とする請求項７に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１１】
前記紫外線硬化物質は、９５％以上の光透過率を有することを特徴とする請求項７に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１２】
前記（ｂ）段階は、
上部金型及び下部金型を設ける段階と、
前記上部金型及び前記下部金型の間に熱可塑性樹脂を注入して前記ホールが形成されたレンズホルダーを射出成形する段階と、
前記レンズホルダーの前記ホールが形成された部位の反対面に第２レンズを形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１３】
前記（ｂ）段階は、
上部金型及び前記第２レンズの回析面を含む下部金型を設ける段階と、
前記上部金型及び前記下部金型の間に熱可塑性樹脂を注入して前記ホールが形成されたレンズホルダーを射出成形する段階と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１４】
前記上部金型には前記第１レンズが載置される段差部を含むことを特徴とする請求項１２に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１５】
前記第１レンズは、屈折レンズであることを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１６】
前記第２レンズは、回折レンズであることを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロレンズの製造方法に係り、より詳細には機械加工工程、フォトリソグラフ工程またはナノインプリンティング工程を共に用いたハイブリッドマイクロレンズ及びそのアレイの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のマイクロレンズの製造方法として、機械加工法を用いて単一マイクロレンズを製造する方法、感光剤を使用したフォトリソグラフ工程を用いてマイクロレンズをアレイ形態に製造する方法などがある。
【０００３】
図１は、従来の機械加工法を用いた単一マイクロレンズの製造方法を概略的に示す図面である。図１（ａ）を参照すれば、単一マイクロレンズを成形するために上部モールド１１及び下部モールド１３をレンズの表面形態に加工する。上部及び下部モールド１１、１３の内部に、図１（ｂ）、（ｃ）に示すようなボール（ＢＬ）またはガーブ（Ｇ）形状のレンズを、上部及び下部モールド１１、１３の間に挿入して高温高圧で圧縮してレンズを成形する。機械加工法に使われるレンズは主にガラスを利用する。プラスチック材質でレンズを製造しようとする場合、機械加工による精密金型を用いて射出成形で形成する。このような機械加工法は、高精密の面加工が可能である。しかし、超小型レンズの加工には限界があり、レンズをアレイ形態に形成することも容易でない。このような機械加工法は高開口数(Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  Ａｐｅｒｔｕｒｅ)を要求する光情報貯蔵機器や一部の光通信用レンズの製造方法に利用される。
【０００４】
図２Ａないし図２Ｅは、フォトリソグラフ工程を用いた従来のマイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。まず、図２Ａに示されたように、基板２１上に感光剤２３を塗布し、図２Ｂに示されたように、感光剤２３の上部に所定形態のマスクＭを位置させて紫外線を照射して露光する。露光された感光剤部分を現像し、エッチングすると、図２Ｃに示された形態に感光剤２３ａがパターニングされる。ここに熱を加えてリフローさせると、図２Ｄに示されたように、感光剤２３ａが球面レンズ状の感光レンズ２３ｂに整形され、図２Ｅに示されたように、イオン交換法によって感光レンズ２３ｂの屈折率を調節する。
【０００５】
従来のフォトリソグラフ工程を用いたマイクロレンズアレイの製造方法は、高開口数のための高サッグ(Ｈｉｇｈ  Ｓａｇ)を具現するのが容易でなくて、収差補正のための非球面加工も難しい。また、５００μm以上の直径を有する大径のレンズ製作が難しい短所がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は前記従来技術の問題点を解決するためになされたものであって、本発明の目的は、高開口数のための高サッグを具現したマイクロレンズ及びアレイ形態のマイクロレンズの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記技術的課題を達成するために、本発明においては、（ａ）一つ以上の第１レンズをモールドを用いて圧縮成形する段階と、（ｂ）前記第１レンズが載置されるホールを有し、前記ホールの背面に第２レンズが形成されたレンズホルダーを設ける段階と、（ｃ）前記レンズホルダーの前記ホールに前記第１レンズを前記第２レンズと光軸整列させて組み合わせる段階と、を含むマイクロレンズの製造方法を提供する。
【０００８】
本発明において、前記（ａ）段階は、前記第１レンズの表面形状を有するモールドを準備する段階と、前記モールドに第１レンズ形成用物質を備え、圧縮して第１レンズを成形する段階と、を含む。
【０００９】
本発明において、前記第１レンズは、一面が球面または非球面状に形成され、他面は平面状に形成されたことを特徴とする。
【００１０】
本発明において、前記（ｂ）段階は、基板の上面に感光剤を塗布し、パターニングして第１エッチング領域を形成する段階と、前記基板の下面に感光剤を塗布し、パターニングして前記第１エッチング領域と貫通する第２エッチング領域を形成することにより前記ホールを設ける段階と、前記第２エッチング領域に連結されるように前記ホールの底板を前記基板の下面に接合する段階と、を含む。
【００１１】
本発明において、前記（ｂ）段階において、前記基板の上面と前記底板にアラインマークを形成しうる。
本発明において、前記（ｂ）段階は、前記ホールの底板を形成した後、前記底板を研磨する段階をさらに含むことを特徴とする。
【００１２】
本発明において、前記（ｂ）段階は、前記底板の表面に紫外線硬化物質を塗布し、回折面が形成されたポリマーモールドで圧縮した後、紫外線を照射して硬化させることにより前記第２レンズを形成する段階と、を含むことを特徴とする。
【００１３】
本発明において、前記（ｂ）段階は、前記底板の表面にポリマーを塗布し、回折面が形成された鋳型で圧縮した後、紫外線を照射して硬化させることにより前記第２レンズを形成する段階と、を含むことを特徴とする。
【００１４】
本発明において、前記底板は、透光性のガラスで形成することを特徴とする。
本発明において、前記紫外線硬化物質は、１．５以上の屈折率を有することを特徴とする。
本発明において、前記紫外線硬化物質は、９５％以上の光透過率を有することを特徴とする。
【００１５】
本発明において、前記（ｂ）段階は、上部金型及び下部金型を設ける段階と、前記上部金型及び前記下部金型の間に熱可塑性樹脂を注入して前記ホールが形成されたレンズホルダーを射出成形する段階と、前記レンズホルダーの前記ホールが形成された部位の反対面に第２レンズを形成する段階と、を含むことを特徴とする。
【００１６】
本発明において、前記（ｂ）段階は、上部金型及び前記第２レンズの回析面を含む下部金型を設ける段階と、前記上部金型及び前記下部金型の間に熱可塑性樹脂を注入して前記ホールが形成されたレンズホルダーを射出成形する段階と、を含むことを特徴とする。
【００１７】
本発明において、前記上部金型には前記第１レンズが載置される段差部を含むことを特徴とする。
本発明において、前記第１レンズは屈折レンズであり、前記第２レンズは回折レンズであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、マイクロレンズを機械加工法、フォトリソグラフ法、紫外線エンボス法、またはナノインプリンティング法を共に用いて製造することによって、パワーを分散させて色収差を補正できる屈折レンズ及び回折レンズを含むマイクロレンズ及びアレイ形態のマイクロレンズを容易に製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態によるマイクロレンズの製造方法を図面に基づいて詳細に説明する。本発明の実施の形態によるマイクロレンズ及びアレイ形態のマイクロレンズの製造方法は、機械加工法により複数の屈折レンズを形成し、フォトリソグラフ工程を用いて複数の回折レンズを形成した後に屈折レンズと回折レンズとを組み合わせる段階に進行する。
【００２０】
図３Ａないし図３Ｃは、機械加工法を用いて高開口数の高精密屈折レンズ（請求項の第１レンズ）を製造する方法を示す工程図である（請求項の（ａ）段階）。まず、ダイアモンド回転機械で高精密金属モールドを図３Ａに示されたように形成する。上部モールド３１は平面に形成し、下部モールド３３は溶融状態の第１レンズ形成用物質３５を球面または非球面状に形成するように同一形態の表面を有する陥入部３２を有する。第１レンズ形成用物質３５を図３Ｂに示されたように、陥入部３２に位置させ、高温で上部モールド３１を下部モールド３３に向かって圧縮してレンズの背面を平面状に形成する。図３Ｃに示されたように、圧縮成形を通じて形成されたレンズは上部面が球面または非球面であり、下部面が平面である平凸レンズ３５ａに製造される。この場合、平凸レンズ３５ａをなす物質は一般的にガラスである。
【００２１】
図４Ａないし図４Ｅは、図３Ａないし図３Ｃの工程により製造された屈折レンズをアレイ形態に拡張するためにレンズホルダーをフォトリソグラフ工程を用いて製造する方法に関する実施の形態を示す工程図である（請求項の（ｂ）段階）。
まず、図４Ａに示されたように、シリコン基板４１上に感光剤４３を塗布し、その上方にマスクＭ１を位置させた後に露光する。現像及びエッチング工程を実行して、シリコン基板４１の露光されていない部分を除去すれば、図４Ｂに示されたように、シリコン基板４１が所定形態にパターニングされる。エッチング方法としては、ＩＣＰ−ＲＩＥ(Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｐｌａｓmａ−Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇ)を利用する。
【００２２】
次に、図４Ｃに示されたように、シリコン基板４１の上下を転倒した後に背面に感光剤４３を塗布し、その上方にマスクＭ２を位置させた後に露光する。図４Ｄは、現像及びエッチング工程を実行して第２エッチング領域４４ｂを第１エッチング領域４４ａと貫通させる工程を示す。図４Ｅは、シリコン基板４１の背面と接しつつ第１及び第２エッチング領域４４ａ、４４ｂが貫通して形成されたホール４４の底板４５になるようにガラス基板をシリコン基板４１に両極接合する段階を示す。この場合、ガラス基板は透光性物質であることが望ましい。そして、必要によって底板４５の厚さを調節するようにＣＭＰ(Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ)工程を実行してもよい。
【００２３】
図５Ａないし図５Ｃは、前記図４Ａないし図４Ｅとは異なってフォトリソグラフ工程によらず、射出成形してレンズホルダーを製造する方法の実施の形態を示す工程図である。
図５Ａを参照すれば、まず、精密に製造されたメタル金型（上下部金型）５１ａ、５２ａを設ける。上下部金型５１ａ、５２ａの形態は所望のサイズに合わせて精密に製造し、屈折レンズをアラインさせるように段差部５４を形成させる。そして、ＰＭＭＡ(ｐｏｌｙｍｅｔｈｙｌｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔe: ポリメチルメタクリレート)などの熱可塑性樹脂５３を下部金型５１ａ及び上部金型５２ａの間に注入して加圧する。そして、上下部金型５１ａ、５２ａを分離すれば、段差部５４が形成されたレンズホルダー５３ａを製造しうる。
【００２４】
図５Ｂは、下部金型５１ｂ内に回折面４８を形成させてレンズホルダー自体が回折レンズ（請求項の第２レンズ）を含むようにしたレンズホルダー製造方法を示す工程図である。下部金型５１ｂの回折面４８は、下部金型５１ｂ製造時に精密な機械加工により形成する。そして、下部金型５１ｂ及び上部金型５２ｂの間にＰＭＭＡなどの熱可塑性樹脂５３を注入して加圧する。これによって、段差部５４及び回折レンズ５５を含むレンズホルダー５３ｂを製造しうる。
【００２５】
図５Ｃは、回折面４８は含むが、図５Ａ及び図５Ｂとは異なり、段差部５４を含んでいない形態のレンズホルダーの製造方法を示す工程図である。下部金型５１ｃの回折面４８は、下部金型５１ｃの製造時に精密な機械加工により形成する。そして、下部金型５１ｃ及び上部金型５２ｃの間にＰＭＭＡなどの熱可塑性樹脂を注入して加圧する。これによって、回折レンズ５５を含むレンズホルダー５３ｃを製造しうる。このような方法により製造されたレンズホルダー５３ｃの場合、屈折レンズ３５ｂとの結合時、精密に整列させて接合する。
【００２６】
図６Ａないし図６Ｄは、紫外線エンボス工程により回折レンズ、すなわち、ＤＯＥ(Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｖｅ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｅｌｅｍｅｎｔ)レンズを製造する方法に関する実施の形態を示す工程図であり、図６Ｅは、回折レンズと図３Ｃに示された形態の屈折レンズを配列する方法を示す（請求項の（ｃ）段階）。
【００２７】
図６Ａは、図４Ａないし図４Ｅに示された工程により製造されたレンズホルダー４０を示す。この場合、レンズホルダー４０は、図５Ａに示された工程により製造されたレンズホルダー５３ａを使用できる。レンズホルダー４０は、複数のホールが形成された基板４１と基板４１のホール底面を形成する底板４５とを備える。ここで、ＤＯＥレンズとのアラインのために基板４１のアラインマーク４２ａ、４２ｂをそのまま使用するか、選択的に別のアラインマークを底板４５に形成させうる。
【００２８】
図６Ｂに示されたように、レンズホルダー４０の上面に溶融状態の紫外線硬化物質４７をスピンコーティングを利用して塗布し、その上方にＤＯＥレンズの回折面４８が形成されたポリマーモールド４９を位置させる。紫外線硬化物質４７は、屈折率が１．５以上であり、内部光透過率が９５％以上の物質であるガラス材質で形成することが望ましい。また、紫外線硬化物質４７は接着性に優れ、ポリマーモールド４９との着脱が容易であり、温度変化による屈折率変化が敏感でないことが望ましい。特に、紫外線硬化物質４７は、２００ｎｍないし３００ｎｍの波長帯域の紫外線を照射した時に硬化できる物質にすべきである。この時、回折面４８がホール４４に対応するようにポリマーモールド４９を紫外線硬化物質４７の上方に配置させる。回折面４８は、フレネルレンズ形態を持つように形成して集光のみならず色収差除去機能まで可能である。
【００２９】
ポリマーモールド４９を、図６Ｃに示されたように紫外線硬化物質４７上に加圧して、紫外線硬化物質４７を回折面４８と同じ形態に成形する。ポリマーモールド４９と紫外線硬化物質４７とは全て光透過率の高い透過性物質で形成することが望ましい。ポリマーモールド４９の上部に紫外線を照射して紫外線硬化物質４７を硬化させる。図６Ｄは、上部のポリマーモールド４９を除去した状態で所望のＤＯＥレンズ４７ａが紫外線硬化物質４７の上面に複数配列された構造を示す。
【００３０】
図６Ｅは、ＤＯＥレンズがレンズホルダーと結合された構造に図３Ａないし図３Ｃにより製造された屈折レンズ３５ｃを整列結合させたことを示す図面である。このとき、レンズホルダーは、図５Ａないし図５Ｃにより製造されたレンズホルダー５３ａ、５３ｂ、及び５３ｃに対しても同一に適用できる。屈折レンズ３５ｃを基板４１のホール４４に挿入して接着剤を用いて接合させる。ここで、屈折レンズ３５ｃは、図３Ａないし図３Ｂに示されたような機械加工法を用いて形成されるが、図３Ｃに示された屈折レンズ３５ａとは異なって左右側面が傾斜面を持つように形成され、ホール４４に挿入時に側面損傷が減少できる。屈折レンズ３５ｃが載置される段差部４４ｓには接着剤を注入して屈折レンズ３５ｃを基板４１に堅く固定させうる。
【００３１】
図６Ａないし図６Ｄのような紫外線エンボス工程により回折レンズを製造する方法の他に、ナノインプリンティング工程により回析レンズを製造できる。ナノインプリンティング技術はナノパターンを容易に形成でき、大量生産が可能なので工程収率が高い長所がある。これを図７Ａないし図７Ｄを参照して説明する。
【００３２】
図７Ａを参照すれば、回折レンズパターン、すなわち、回折面６１が形成された鋳型６２を設ける。そして、図７Ｂに示されたように、回折面６１が形成された鋳型６２を基板６４（図６の底板４５に相当）に対応して位置させる。回折レンズが形成される基板６４上にはポリマー６５が塗布されている。基板６４は、シリコン基板、石英基板、またはアルミナ基板などが使われうる。基板６４上に形成されたポリマー６５は、ＰＭＭＡなどの熱可塑性樹脂が一般的に使われる。ここで、鋳型６２を光透過率の高い物質で形成させ、ポリマー６５として溶融状態の紫外線硬化物質を使用する。そして、鋳型６２と基板６４上のポリマー６５との容易な分離のために分離層６３を回折面６１上に形成させる前処理を行うことが望ましい。
【００３３】
次に、図７Ｃに示されたように、鋳型６２を基板６４に対して圧力を印加して圧着させる。このとき、鋳型６２に形成された回折面６１がそのままポリマー６５にインプリンティングされる。鋳型６２及びポリマー６５は全て光透過率の高い透過性物質で形成し、圧着する過程で鋳型６２の上部で紫外線を照射してポリマー６５を硬化させる。
【００３４】
そして、図７Ｄに示されたように、鋳型６２と基板６４を分離すれば、ポリマー６５上に形成された回折レンズ６６が得られる。回折レンズパターンが多数形成された鋳型６２を利用すれば、アレイ形態の回折レンズ６６を容易に得ることができる。すなわち、前記のような工程により、基板６４上に直接アレイ形態の回折レンズを転写させうる。
【００３５】
本発明により製造されたマイクロレンズは、ディスク方向の平面と非球面の曲面を有する屈折レンズと、フレネルレンズ型の回折レンズとよりなって、対物レンズとして機能できる。光源から出射された光がマイクロレンズに入射すれば、マイクロレンズの回折面（回析レンズ）で一次に屈折が起きた後に、屈折レンズにより集光されて回折限界に近い微細光スポットを形成するようになる。したがって、屈折レンズでは集光のための屈折力の負担が減り、レンズ製作時に高開口数を実現するための負担が減少する。
【００３６】
本発明は、既存の機械加工法とフォトリソグラフ法を用いて屈折レンズと回折レンズとよりなるハイブリッドのマイクロレンズ及びアレイ形態のマイクロレンズを簡単に製造できる方法を提供する。また、屈折レンズと回折レンズにパワーを分散させることによって機械加工による屈折レンズの製作が容易になる。従来のレンズとは異なって低屈折率物質と高屈折率物質とを同時に使用できるので、高い屈折力を有しながら従来レンズに類似した開口数を有するレンズを軽量のマイクロレンズに具現できる。
【００３７】
前記の説明において多くの事項が具体的に記載されているが、これは本発明の範囲を限定するものではなく、望ましい実施の形態の例示として解釈せねばならない。本発明の範囲は、説明された実施の形態ではなく特許請求の範囲に記載された技術的思想により決まるべきである。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、光学関連分野、映像機器分野、電気通信分野などマイクロレンズが生産、使用される多様な分野で広く使われうる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】（ａ）乃至（ｃ）は、従来の機械加工法を用いた単一レンズ製造方法を概略的に示す図面である。
【図２Ａ】従来のフォトリソグラフ法を用いたマイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。
【図２Ｂ】従来のフォトリソグラフ法を用いたマイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。
【図２Ｃ】従来のフォトリソグラフ法を用いたマイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。
【図２Ｄ】従来のフォトリソグラフ法を用いたマイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。
【図２Ｅ】従来のフォトリソグラフ法を用いたマイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。
【図３Ａ】本発明の実施の形態による屈折レンズを形成する方法を示す工程図である。
【図３Ｂ】本発明の実施の形態による屈折レンズを形成する方法を示す工程図である。
【図３Ｃ】本発明の実施の形態による屈折レンズを形成する方法を示す工程図である。
【図４Ａ】本発明の実施の形態によるフォトリソグラフ法を用いたレンズホルダーの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｂ】本発明の実施の形態によるフォトリソグラフ法を用いたレンズホルダーの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｃ】本発明の実施の形態によるフォトリソグラフ法を用いたレンズホルダーの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｄ】本発明の実施の形態によるフォトリソグラフ法を用いたレンズホルダーの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｅ】本発明の実施の形態によるフォトリソグラフ法を用いたレンズホルダーの製造方法を示す工程図である。
【図５Ａ】本発明の実施の形態による射出成形によるレンズホルダーの製造方法を示す工程図である。
【図５Ｂ】本発明の実施の形態による射出成形によるレンズホルダーの製造方法を示す工程図である。
【図５Ｃ】本発明の実施の形態による射出成形によるレンズホルダーの製造方法を示す工程図である。
【図６Ａ】本発明の実施の形態による回折レンズを紫外線エンボス法により製造する方法を示す工程図である。
【図６Ｂ】本発明の実施の形態による回折レンズを紫外線エンボス法により製造する方法を示す工程図である。
【図６Ｃ】本発明の実施の形態による回折レンズを紫外線エンボス法により製造する方法を示す工程図である。
【図６Ｄ】本発明の実施の形態による回折レンズを紫外線エンボス法により製造する方法を示す工程図である。
【図６Ｅ】本発明の実施の形態による屈折レンズと回折レンズとを組み合わせる方法を示す工程図である。
【図７Ａ】本発明の実施の形態によるナノインプリンティング法により回折レンズを製造する方法を示す工程図である。
【図７Ｂ】本発明の実施の形態によるナノインプリンティング法により回折レンズを製造する方法を示す工程図である。
【図７Ｃ】本発明の実施の形態によるナノインプリンティング法により回折レンズを製造する方法を示す工程図である。
【図７Ｄ】本発明の実施の形態によるナノインプリンティング法により回折レンズを製造する方法を示す工程図である。
【符号の説明】
【００４０】
３１    上部モールド
３３    下部モールド
３５    第１レンズ形成用物質
３５ａ、３５ｂ、３５ｃ  平凸レンズ（屈折レンズ）
４１    基板
４２ａ、４２ｂ  アラインマーク
４３    感光剤
４４ａ  第１エッチング領域
４４ｂ  第２エッチング領域
４４    ホール
４５    底板
４７    紫外線硬化物質
４７ａ  ＤＯＥレンズ
４８、６１  回折面
４９    ポリマーモールド
５１ａ、５１ｂ、５１ｃ  下部金型
５２ａ、５２ｂ、５２ｃ  上部金型
５３    熱可塑性樹脂
４０、５３ａ、５３ｂ、５３ｃ  レンズホルダー
５４    段差部
５５、６６  回折レンズ
６２    鋳型
６５    ポリマー
【図１】
2005043897.tif 000003
【図２Ａ】
2005043897.tif 000004
【図２Ｂ】
2005043897.tif 000005
【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図２Ｅ】
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【図３Ａ】
2005043897.tif 000009
【図３Ｂ】
2005043897.tif 000010
【図３Ｃ】
2005043897.tif 000011
【図４Ａ】
2005043897.tif 000012
【図４Ｂ】
2005043897.tif 000013
【図４Ｃ】
2005043897.tif 000014
【図４Ｄ】
2005043897.tif 000015
【図４Ｅ】
2005043897.tif 000016
【図５Ａ】
2005043897.tif 000017
【図５Ｂ】
2005043897.tif 000018
【図５Ｃ】
2005043897.tif 000019
【図６Ａ】
2005043897.tif 000020
【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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【図６Ｅ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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