(57)【要約】【課題】温度変化があってもポリゴンミラーの高精度な平面度を維持しつつ、高速回転に十分耐えうる剛性を有する光偏向器及びその製造方法を提供すること【解決手段】スリーブ５の外径とクリアランスを有するように挿入されたポリゴンブランクを、スリーブ５に圧入又は焼嵌めにて固定した上部フランジ部材６と下部フランジ部材８間に位置させ、弾性部材９により下部フランジ部材８に当て付けて固定し、鏡面加工することにより回転体４を製造する。該回転体４を固定軸３に挿入した光偏向器は、温度変化に対しても高精度な平面度を維持することができ、高速回転にも十分耐えうる剛性を有する。【選択図】  図１
2005043527.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部にスラストマグネットが固定され、下部がベース部材に固定された固定軸と、
該固定軸に隙間を有して挿入され、該固定軸に対して相対回転する円筒形状のスリ−ブと、
前記スリーブの上部に配設され、前記スラストマグネットとスラスト磁気軸受を構成する磁性体が固定された上部フランジ部材と、
該上部フランジ部材の下方に配設され、前記スリーブに隙間を有して挿入された外周部に複数の鏡面が形成されたポリゴンミラーと、
前記ポリゴンミラーの下方に配設され、ロータマグネットが固定された下部フランジ部材と、
前記ロータマグネットに対向して固定され、駆動モータを構成するステータコイルとを有する光偏向器において、
前記上部フランジ部材および下部フランジ部材は、前記スリーブに圧入又は焼嵌めにて固定され、
前記ポリゴンミラーは、その上面又は下面に設けた弾性部材の弾性力により、前記上部フランジ部材又は下部フランジ部材に当て付けて固定されていることを特徴とする光偏向器
【請求項２】
前記上部フランジ部材には、前記磁性体の側面を固定するための突出部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光偏向器
【請求項３】
前記磁性体の下面と前記スリーブの上面との間に隙間が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の光偏向器
【請求項４】
前記磁性体が永久磁石であることを特徴とする請求項１〜３に記載の光偏向器
【請求項５】
ベース部材に固定された固定軸と、
該固定軸に隙間を有して挿入され、該固定軸に対して相対回転する円筒形状のスリ−ブと、
該スリーブの上部に配設された上部フランジ部材と、
該上部フランジ部材の下方に配設され、前記スリーブに隙間を有して挿入された外周部に複数の鏡面が形成されたポリゴンミラーと、
前記ポリゴンミラーの下方に配設され、ロータマグネットが固定された下部フランジ部材と、
前記ベース部材に固定され、前記ロータマグネットと共に前記スリーブの駆動モータを構成する駆動コイルとを有する光偏向器において、
前記上部フランジ部材および下部フランジ部材は、前記スリーブに圧入又は焼嵌めにて固定され、
前記ポリゴンミラーは、その上面又は下面に設けた弾性部材の弾性力により、前記上部フランジ部材又は下部フランジ部材に押し付けて固定されていることを特徴とする光偏向器
【請求項６】
前記下部フランジ部材には、前記ロータマグネットの側面を固定するための突出部が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項５に記載の光偏向器
【請求項７】
前記固定軸には、前記スリーブをラジアル方向に支持する溝が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項５に記載の光偏向器
【請求項８】
前記上部フランジ部材及び前記下部フランジ部材の外径と、前記ポリゴンミラーの内接円の直径が略同一であることを特徴とする請求項１又は請求項５に記載の光偏向器
【請求項９】
円筒形状のスリーブに、
前記スリーブの外径よりもやや小さめの内径を有し、ロータマグネットが固定される下部フランジ部材と、
前記スリーブの外径よりも大きな内径を有し、前記下部フランジ部材の上に位置されたポリゴンミラーと、
前記スリーブの外径よりも大きな内径を有し、該ポリゴンミラーの上に位置され、該ポリゴンミラーを前記下部フランジ部材に押し付ける弾性部材と、
前記スリーブの外径よりもやや小さめの内径を有し、前記弾性部材の上に位置され、該弾性部材に弾性力を発生させる位置で固定されるフランジ部材とを、挿入して固定するに際し、少なくとも、前記下部フランジ部材及び上部フランジ部材とを加熱して焼嵌め固定して回転体を形成し、
該回転体の冷却後に、前記ポリゴンミラーの外周面に複数の鏡面を加工し、
前記回転体のスリーブを固定軸に挿入することを特徴とする光偏向器の製造方法
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザープリンタやデジタル複写機等の画像形成装置用いられる光偏向器及びその製造方法に関し、特に、入射光ビームを走査するポリゴンミラー（回転多面鏡）を安定して高速回転させるのに適した光偏向器及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、レーザープリンタやデジタル複写機等の画像形成装置に用いられる光偏向器としては、図６に示されるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この光偏向器は、ハウジング１００に固定配設される円柱状の固定軸１０１と、この固定軸１０１に回転自在に支持される回転体１１０とを有している。この回転体１１０は、固定軸１０１との間にわずかの隙間をもって配設されるスリーブ１１１と、このスリーブ１１１の上部内側に固定配設されるリング状のマグネット１１２と、スリーブ１１１の中央部外側に固定配設されるポリゴンミラー１１３と、スリーブ１１１の下部外側にフランジ１１４を介して固定配設されるリング状のマグネット１１５とを備えている。尚、符号１１６は、回転体１１０の重量の偏心を修正するためのバランスウェイト（図示せず）が取り付けられる溝である。
【０００４】
また、固定軸１０１の上部外側には、回転体１１０に設けられたリング状マグネット１１２と対向するようにリング状マグネット１０２が固定配設されており、これらリング状マグネット１０２及び１１２によって回転体１１０をスラスト方向に軸受けするスラスト磁気軸受Ｓが構成されている。
【０００５】
更に、ハウジング１００には、回転体１１０に設けられたリング状マグネット１１５と対向するようにコイル１０３が固定配設されており、これらリング状マグネット１１５及びコイル１０３によって回転体１１０を回転させる磁気回路Ｍが構成されている。
【０００６】
また、回転体１１０のスリーブ１１１のうち、固定軸１０１と対向する内周面１１１ａは、鏡面仕上げが施される一方、このスリーブ１１１の内周面１１１ａと対向する固定軸１０１の外周面１０１ａには図中破線で示すようにヘリングボーン状の溝１０４が形成されており、これらスリーブ１１１の内周面１１１ａ及び固定軸１０１の外周面１０１ａに設けられた溝１０４によって、回転体１１０をラジアル方向に支持するラジアル動圧軸受Ｒが構成されている。
【０００７】
この光偏向器では、磁気回路Ｍにより回転体１１０を回転させると、回転体１１０が、ラジアル動圧軸受Ｒにより固定軸１０１に対して一定距離をもって非接触に支持されると共に、スラスト磁気軸受Ｓにより固定軸１０１に対して一定高さに支持されることとなる。これにより、スラスト方向の軸受として動圧軸受を用いるタイプのものより、光偏向器の高さを低くできるという利点がある。
【０００８】
かかる光偏向器において、ポリゴンミラーをスリーブへ取り付けた後であっても、ポリゴンミラーの平面度等を高精度にし、かつ回転体の不釣り合い等の不具合を無くす手段として、スリーブに焼嵌め又は圧入した後、鏡面加工することが行われている（例えば、特許文献２参照）。
【０００９】
【特許文献１】
特開平５−７１５３２号公報
【特許文献２】
特開２０００−１４７４１５号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
近年、レーザープリンタやデジタル複写機において、高解像度化、印字速度の高速化に伴い、光偏向器に対して高速化および高精度化が要求されており、光偏向器におけるポリゴンミラーの平面度として０．１μｍ以下が要求されている。
【００１１】
前記したポリゴンミラーの焼嵌め又は圧入後の鏡面加工は、加工直後は０．１μｍ以下の高い精度を出すことができる。
しかし、例えば、０度以下まで下がる等の温度変化があった場合、０．１μｍ以下の加工精度を維持することができないという問題がある。これは、一般にスリーブの材質としてセラミック、ポリゴンミラーの材質としてアルミニウムが使用されており、これらの熱膨張係数の違いが原因になっている。
【００１２】
そこで、本発明は、上記した課題を解決し、温度変化があってもポリゴンミラーの高精度な平面度を維持しつつ、高速回転に十分耐えうる剛性を有する光偏向器及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載された光偏向器は、上部にスラストマグネットが固定され、下部がベース部材に固定された固定軸と、該固定軸に隙間を有して挿入され、該固定軸に対して相対回転する円筒形状のスリ−ブと、前記スリーブの上部に配設され、前記スラストマグネットとスラスト磁気軸受を構成する磁性体が固定された上部フランジ部材と、該上部フランジ部材の下方に配設され、前記スリーブに隙間を有して挿入された外周部に複数の鏡面が形成されたポリゴンミラーと、前記ポリゴンミラーの下方に配設され、ロータマグネットが固定された下部フランジ部材と、前記ロータマグネットに対向して固定され、駆動モータを構成するステータコイルとを有する光偏向器において、前記上部フランジ部材および下部フランジ部材は、前記スリーブに圧入又は焼嵌めにて固定され、前記ポリゴンミラーは、その上面又は下面に設けた弾性部材の弾性力により、前記上部フランジ部材又は下部フランジ部材に当て付けて固定されていることにより、温度変化があっても、ポリゴンミラーの変形が発生しないため、高精度な平面度を維持することができる。
【００１４】
請求項２に記載の光偏向器は、請求項１に記載の光偏向器において、前記上部フランジ部材には、前記磁性体の側面を固定するための突出部が設けられているため、例えば、５万回転を越える高速回転においても磁性体の割れ等の破損を防止することができる。
【００１５】
請求項３に記載の光偏向器は、請求項２に記載の光偏向器において、前記磁性体の下面と前記スリーブの上面との間に隙間が設けられているため、例えば、５万回転を越える高速回転においても磁性体の割れ等の破損を防止することができるだけでなく、磁性体を上部フランジ部材に固定する接着剤が毛細管現象により流れてスリーブと固定軸の間に入り込む不具合を防止することができる。
【００１６】
請求項４に記載の光偏向器は、請求項１〜３に記載の光偏向器において、前記磁性体が永久磁石であるため、スラストマグネットとの間の吸引力によりスラスト磁気軸受を構成することができる。
【００１７】
請求項５に記載の光偏向器は、ベース部材に固定された固定軸と、該固定軸に隙間を有して挿入され、該固定軸に対して相対回転する円筒形状のスリ−ブと、該スリーブの上部に配設された上部フランジ部材と、該上部フランジ部材の下方に配設され、前記スリーブに隙間を有して挿入された外周部に複数の鏡面が形成されたポリゴンミラーと、前記ポリゴンミラーの下方に配設され、ロータマグネットが固定された下部フランジ部材と、前記ベース部材に固定され、前記ロータマグネットと共に前記スリーブの駆動モータを構成する駆動コイルとを有する光偏向器において、前記上部フランジ部材および下部フランジ部材は、前記スリーブに圧入又は焼嵌めにて固定され、前記ポリゴンミラーは、その上面又は下面に設けた弾性部材の弾性力により、前記上部フランジ部材又は下部フランジ部材に押し付けて固定されているため、温度変化があっても、ポリゴンミラーの変形が発生しないため、高精度な平面度を維持することができる。
【００１８】
請求項６に記載の光偏向器は、請求項１又は請求項５に記載の光偏向器において、前記下部フランジ部材には、前記ロータマグネットの側面を固定するための突出部が設けられているため、例えば、５万回転を越える高速回転においてもロータマグネットの割れ等の破損を防止することができる。
【００１９】
請求項７に記載の光偏向器は、請求項１又は請求項５に記載の光偏向器において、前記固定軸には、前記スリーブをラジアル方向に支持する溝が形成されているため、動圧空気軸受を構成することができる。
【００２０】
請求項８に記載の光偏向器は、請求項１又は請求項５に記載の光偏向器において、前記上部フランジ部材及び前記下部フランジ部材の外径と、前記ポリゴンミラーの内接円の直径が略同一である
ため、回転体の回転時の空気抵抗を小さくすることができる。
【００２１】
請求項９に記載の光偏向器の製造方法は、円筒形状のスリーブに、前記スリーブの外径よりもやや小さめの内径を有し、ロータマグネットが固定される下部フランジ部材と、前記スリーブの外径よりも大きな内径を有し、前記下部フランジ部材の上に位置されたポリゴンミラーと、前記スリーブの外径よりも大きな内径を有し、該ポリゴンミラーの上に位置され、該ポリゴンミラーを前記下部フランジ部材に押し付ける弾性部材と、前記スリーブの外径よりもやや小さめの内径を有し、前記弾性部材の上に位置され、該弾性部材に弾性力を発生させる位置で固定されるフランジ部材とを、挿入して固定するに際し、少なくとも、前記下部フランジ部材及び上部フランジ部材とを加熱して焼嵌め固定して回転体を形成し、該回転体の冷却後に、前記ポリゴンミラーの外周面に複数の鏡面を加工し、前記回転体のスリーブを固定軸に挿入して製造するため、ポリゴンミラーの平面度等を高精度にし、かつ回転体の不釣り合い等の不具合を無くし、温度変化にも平面度等の変化をなくすことができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に示す実施の形態に基づいて、本発明を詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明が適用された第１実施形態に係る光偏向器の側部断面図を示している。
光偏向器１は、ベース部材としてのハウジング２に、図示しないネジ等で固定される円柱状の固定軸３と、この固定軸３に回転自在に支持される回転体４とを有している。
【００２３】
該回転体４は、固定軸３との間に僅かの隙間をもって挿入される円筒状のスリーブ５と、このスリーブ５の上部に圧入又は焼嵌めにて固定される上部フランジ部材６と、この上部フランジ部材６の下方に位置し、外周面に多数の鏡面が形成されたポリゴンミラー７と、このポリゴンミラー７の下方に圧入又は焼嵌めにて固定される下部フランジ部材８と、上部フランジ部材６とポリゴンミラー７との間に位置し、ポリゴンミラー７を下部フランジ部材８に押し付けることによりポリゴンミラー７を固定する弾性部材９と、上部フランジ部材６に接着剤等で固定された磁性体１０と、下部フランジ部材８に接着剤等で固定されたロータマグネット（駆動マグネット）１２とから構成される。
【００２４】
そして、回転体４は、固定軸３の上部に接着剤又はネジ等で固定された円筒形状のスラストマグネット１１と、このスラストマグネット１１を取り囲むように配設されたリング形状の磁性体１０との間の吸引力によりスラスト磁気軸受を構成し、常に浮上した状態を保つようになっている。
この磁性体１０には、リング状の溝１４が形成されており、回転体４の偏心を修正するための接着剤からなるバランスウエイト２３が取り付けられている。
【００２５】
ここで、磁性体１０は、前記したスラスト磁気軸受を構成できるものであれば、鉄、永久磁石等を採用することができ、これら以外の材料であってもかまわない。磁気吸引力を高めるためには、永久磁石であることが望ましい。
【００２６】
一方、ポリゴンミラー７は、例えば、アルミニウム合金にて構成され、外周に複数の鏡面を有している。
本第１実施形態においては、ポリゴンミラー７の中心に形成された穴の内径と、スリーブ５の外径との間に、クリアランス（例えば、１０〜２０μｍ）が設けられているため、ポリゴンミラー７が加熱または冷却されて、膨張又は収縮してもスリーブ５の影響を受けず、鏡面の変形がない構成になっている。
【００２７】
さらに、ポリゴンミラー７は、下部フランジ部材８の上面に形成した凸部１８に、弾性部材９により押し付けられることにより固定されているので、上記した半径方向だけではなく、軸方向に対してもポリゴンミラー７の膨張・収縮による下部フランジ部材８の影響を受けにくい構成になっている。
【００２８】
すなわち、ポリゴンミラー７は、その固定に際し、他の部品に接触している面積が少なく、接触していない面積が多いため、温度変化によるポリゴンミラー７自身の膨張・収縮に対して鏡面が塑性変形しにくい構成になっている。このことは、温度変化によるスリーブ５及び下部フランジ部材８の膨張及び収縮の影響を受けにくいことを意味していることは言うまでもない。
【００２９】
ところで、前記したように、下部フランジ部材８と上部フランジ部材６は、共に圧入又は焼嵌めによりスリーブ５に固定されている。ポリゴンミラーの上下に位置するフランジ部材を共に圧入又は焼嵌めした理由は、温度変化があっても位置ズレがないようにするためである。
【００３０】
次に、前記した回転体４の製造方法について説明する。
図２に示すように、下治具１９上に、上部フランジ部材６、弾性部材９（例えば、板バネ）、鏡面加工前のポリゴンブランク７１、スリーブ５、下部フランジ部材８をこの順序で置き、加熱後、図示しない上治具を矢印方向に移動させることにより、圧入又は焼嵌めを１工程で行うことができる。
【００３１】
ここで、圧入又は焼嵌めを行うのは上部フランジ部材６及び下部フランジ部材８のみであるため、この２部品のみを加熱しても良い。また、圧入する場合は、加熱を省略しても良い。
また、弾性部材９は、ポリゴンブランク７１への押し付け力として、３５Ｎ〜６０Ｎを発生できるものであれば、板バネ以外でも良い。さらに、上部フランジ部材６の位置は、弾性部材９が上記３５〜６０Ｎの押し付け力を発生する位置に圧入又は焼嵌め固定する。
【００３２】
押し付け力として、３５Ｎ以上必要とする理由は、ポリゴンブランク７１の鏡面加工に際して、ポリゴンブランク７１の位置が動かないようにするためであり、６０Ｎ以下にしなければならない理由は、高温環境下で加工後の鏡面が変形しないようにするためである。
【００３３】
スリーブ５に上部フランジ部材６及び下部フランジ部材８を圧入又は焼嵌めした後、冷却を行い、フライスのエンドミル等でポリゴンブランク７１の外周面に複数の鏡面を形成してポリゴンミラー７とし、磁性体１０を上部フランジ部材６に、ロータマグネット１２を下部フランジ部材８にそれぞれ接着剤を用いて固定することにより、回転体４を製造することができる。
この回転体４は、ポリゴンブランク７１を取り付けた後に鏡面加工しているため、ポリゴンミラー７の内周とスリーブ５の対向する面を事前に高精度に加工する必要がなく、ポリゴンミラー７とスリーブ５の組立制度を高精度にすることができる。
【００３４】
ロータマグネット１２の固定は、ロータマグネット１２がスリーブ５と対向する１面および下部フランジ部材８と対向する２面の計３面に接着剤を塗布して行う。また、磁性体１０の取り付けは、上部フランジ部材６と接する２面に接着剤を塗布して行う。ここで、磁性体１０を上部フランジ部材６に固定するために塗布した接着剤が、固定軸３とスリーブ５の間に流入しないように、スリーブ５と磁性体１０の間に略０．１ｍｍの隙間が設けられている。
【００３５】
以上のようにして製造した回転体４（のスリーブ５）を、ベース部材２に固定されている固定軸３に挿入することにより、光偏向器１を製造することができる。ベース部材２には、基板１７が固定され、さらにベース部材２には、基板１７上に位置するようにステータコイル１６が固定されている。このステータコイル１６とロータマグネット１２が周方向に対向し、モータを構成している。
ステータコイル１６は、基板１７に固定されていても良い。
【００３６】
ロータマグネット１２にも、磁性体１０と同様の溝１５が形成されているが、これも溝１０と同様、回転体４の偏心を修正するための接着剤からなるバランスウエイト２４を取り付けるためのものである。
バランスウエイト２３およびバランスウエイト２４の位置は、図１に示すように、固定軸３の中心からの距離ＡおよびＢが略同一となるように設定することが望ましい。こうすることにより、バランスウエイトの周速が略同じになり、回転時のノイズ（風切音）を小さくすることができる。また、バランスウエイトを構成する接着剤の塗布装置のノズル（ディスペンサ）の位置を変更せず、回転軸４を上下にすることにより接着剤を塗布することもできる。
さらに、バランスウエイトを塗布するための溝１０および溝１５の深さは略同一であることが望ましい。回転時のノイズ（風切音）をさらに小さくすることができるからである。
【００３７】
本第１実施形態に係る光偏向器１は、磁性体１０の周囲を取り囲むようにして上部フランジ部材６が上に凸部を形成した形状になっている。また、同様に、ロータマグネット１２の周囲を取り囲むようにして下部フランジ部材８も下に凸部を形成した形状になっている。この理由は、高速回転時（例えば５万回転以上／分）による遠心力又は振動により、磁性体１０又はロータマグネット１２が割れないようにするためである。
【００３８】
また、本第１実施形態に係る光偏向器１は、上部フランジ部材６の外径、下部フランジ部材８の外径及びポリゴンミラー７の内接円の直径が略同一に構成されているため、回転体４の表面積を小さくし、回転体４の回転時の空気抵抗を小さくしている。
ここで、ポリゴンミラー７の内接円の直径とは、図３に示すように、ポリゴンミラー７の外周面に形成された複数の鏡面に内接する円２１の直径Ｃをいう。
また、本第１実施形態においては、弾性部材９（例えば、板バネ）をポリゴンミラー７の上面、凸部１８をポリゴンミラー７の下面に位置する光偏向器を示したが、これに限られるものではなく、上部フランジ部材の下面に凸部を設けて、該凸部がポリゴンミラー７の上面に接触し、弾性部材９がポリゴンミラー７の下面に位置する構成を採用することができる。
【００３９】
（第２実施形態）
本発明の他の実施形態を図４に示し、詳細に説明する。尚、第１実施形態に係る光偏向器と同一の部分については、同一の符号を付して説明を省略する。
図４は、本発明が適用された第２実施形態に係る光偏向器の側部断面図を示している。
本第２実施形態に係る光偏向器の第１実施形態との相違点は、光偏向器１からスラストマグネット１１及び磁性体１０を取り除いた点のみである。
【００４０】
回転体４を常に浮上させておくためのスラスト軸受は、ロータマグネット１２とステータコイル１６により構成されている。すなわち、ロータマグネットは永久磁石により構成されており、ステータコイルは磁性材料により構成されているため、その間に磁気吸引力が作用するため、回転体４をスラスト方向に浮上させることができる。
この構成であっても、第１実施形態と同様な作用効果を得ることができる。
【００４１】
（第３実施形態）
本発明の他の実施形態を図５に示し、詳細に説明する。尚、第１実施形態に係る光偏向器と同一の部分については、同一の符号を付して説明を省略する。
図５は、本発明が適用された第３実施形態に係る光偏向器の側部断面図を示している。
本第３実施形態に係る光偏向器１の第１実施形態との相違点は、上部フランジ部材６をアルミニウム合金から板金部材６１に変更したことのみである。
【００４２】
スルーブ５に板金部材６１を圧入することによっても第１実施形態と同様な作用効果を得ることができる。この板金部材６１には、図５に示すように、磁性体１０が接着剤により固定されており、磁性体１０とスラストマグネット１１によりスラスト磁気軸受が構成されている。また、板金部材６１には、接着剤等のバランスウエイト２２を載せることができるように、断面略Ｊ字形状をしている。
【００４３】
本第３実施形態においても、第１実施形態に記載した理由と同じ理由からスリーブ５の上面と磁性体１０の下面の間に隙間が設けられている。
【００４４】
上述の実施形態は、説明のために例示したもので、本発明としてそれに限定されるものではなく、特許請求の範囲、発明の詳細な説明、及び図面の記載から当事者が認識する事ができる本発明の技術的思想に反しない限り、変更および付加が可能である。
【００４５】
例えば、第１実施形態において、図３にポリゴンミラー７として６面体のものを示したが、鏡面の面数は６面に限られるものではない。
また、固定軸３にヘリングボーン溝１３を示したが、ヘルングボーン溝１３は、本発明に必須の事項ではなく、省略することも可能である。
【００４６】
【発明の効果】
本発明に係る光偏向器は、温度変化があってもポリゴンミラーの高精度な平面度を維持しつつ、高速回転に十分耐えうる剛性を有するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る光偏向器の側部断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る光偏向器の製造方法を説明するための側部断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る光偏向器のポリゴンミラーの平面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る光偏向器の側部断面図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る光偏向器の側部断面図である。
【図６】従来の光偏向器を説明する側部断面図である。
【符号の説明】
１  光偏向器
２  ベース部材
３  固定軸
４  回転体
５  スリーブ
６  上部フランジ部材
７  ポリゴンミラー
８  下部フランジ部材
９  弾性部材
１０  磁性体
１１  スラストマグネット
１２  ロータマグネット
【図１】
2005043527.tif 000003
【図２】
2005043527.tif 000004
【図３】
2005043527.tif 000005
【図４】
2005043527.tif 000006
【図５】
2005043527.tif 000007
【図６】
2005043527.tif 000008