(57)【要約】【課題】  基板上のビア間を通過する配線のクリアランスを、効率よく検査するクリアランス検査装置および方法を実現する。【解決手段】  基板上のビア間を通過する配線のクリアランスを検査するクリアランス検査装置１は、クリアランス検査の基準となる基準ビアが属する第１のビア列上の、基準ビアに隣接するビアを、第１の隣接ビアとして確定する第１の確定手段１１と、第１のビア列に隣接する第２のビア列上の、各第１の隣接ビアに隣接するビアを、第２の隣接ビアとして確定する第２の確定手段１２と、第２の隣接ビア間に存在する第２のビア列上のビアを、検査対象ビアとして確定する第３の確定手段１３と、を備え、基準ビアと検査対象ビアとの間を通過する配線のクリアランスを検査する。【選択図】      図１
2005310825.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上のビア間を通過する配線のクリアランスを検査するクリアランス検査装置であって、
クリアランス検査の基準となる基準ビアが属する第１のビア列上の、前記基準ビアに隣接するビアを、第１の隣接ビアとして確定する第１の確定手段と、
前記第１のビア列に隣接する第２のビア列上の、各前記第１の隣接ビアに隣接するビアを、第２の隣接ビアとして確定する第２の確定手段と、
前記第２の隣接ビア間に存在する前記第２のビア列上のビアを、検査対象ビアとして確定する第３の確定手段と、
を備え、
前記基準ビアと前記検査対象ビアとの間を通過する配線のクリアランスを検査することを特徴とするクリアランス検査装置。
【請求項２】
基板上のビア間を通過する配線のクリアランスを検査するクリアランス検査装置であって、
クリアランス検査の基準となる基準ビアが属する第１のビア列上の、前記基準ビアに隣接するビアを、第１の隣接ビアとして確定する第１の確定手段と、
前記第１のビア列に隣接する第２のビア列上の、各前記第１の隣接ビアに隣接するビアを、第２の隣接ビアとして確定する第２の確定手段と、
前記第２の隣接ビア間に存在する前記第２のビア列上のビアを、検査候補ビアとして確定する第３の確定手段と、
前記基準ビアが属するビア列が並ぶ方向を仮想平面の座標軸の１つをとみなした該仮想平面上において、前記基準ビアと前記検査候補ビアとを結ぶ検査ラインと、該検査ラインと交差する配線と、の交差の仕方が、前記仮想平面上で同じ傾向の方向を向きながら互いに交差するものであるか否かを判定する判定手段と、
該判定手段によって、前記配線が前記仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら当該検査ラインと交差しないと判定されたときの当該検査ラインを構成する前記検査候補ビアを、検査対象ビアとして確定する第４の確定手段と、
を備え、
前記基準ビアと前記検査対象ビアとの間を通過する配線のクリアランスを検査することを特徴とするクリアランス検査装置。
【請求項３】
前記判定手段は、
前記検査ラインの、前記第１のビア列を座標軸の基準とした仮想座標平面上の傾きの符号と、前記検査ラインと交差する前記配線の、前記第１のビア列を座標軸の基準とした仮想座標平面上の傾きの符号、が同じ場合、当該検査ラインと前記配線とが前記仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながらは交差しないと判定する手段を有する請求項２に記載のクリアランス検査装置。
【請求項４】
前記基準ビアと該基準ビアに対応する前記検査対象ビアとの組合せを示すテーブルを作成する作成手段をさらに備える請求項１または２に記載のクリアランス検査装置。
【請求項５】
基板上のビア間を通過する配線のクリアランスを用いて検査するクリアランス検査方法であって、
クリアランス検査の基準となる基準ビアが属する第１のビア列上の、前記基準ビアに隣接するビアを、第１の隣接ビアとして確定する第１の演算ステップと、
前記第１のビア列に隣接する第２のビア列上の、各前記第１の隣接ビアに隣接するビアを、第２の隣接ビアとして確定する第２の演算ステップと、
前記第２の隣接ビア間に存在する前記第２のビア列上のビアを、検査対象ビアとして確定する第３の演算ステップと、
を備え、
前記基準ビアと前記検査対象ビアとの間を通過する配線のクリアランスを検査することを特徴とするクリアランス検査方法。
【請求項６】
基板上のビア間を通過する配線のクリアランスを検査するクリアランス検査方法であって、
クリアランス検査の基準となる基準ビアが属する第１のビア列上の、前記基準ビアに隣接するビアを、第１の隣接ビアとして確定する第１の演算ステップと、
前記第１のビア列に隣接する第２のビア列上の、各前記第１の隣接ビアに隣接するビアを、第２の隣接ビアとして確定する第２の演算ステップと、
前記第２の隣接ビア間に存在する前記第２のビア列上のビアを、検査候補ビアとして確定する第３の演算ステップと、
前記基準ビアが属するビア列が並ぶ方向を仮想平面の座標軸の１つをとみなした該仮想平面上において、前記基準ビアと前記検査候補ビアとを結ぶ検査ラインと、該検査ラインと交差する配線と、の交差の仕方が、前記仮想平面上で同じ傾向の方向を向きながら互いに交差するものであるか否かを判定する判定ステップと、
該判定ステップによって、前記配線が前記仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら当該検査ラインと交差しないと判定されたときの当該検査ラインを構成する前記検査候補ビアを、検査対象ビアとして確定する第４の確定ステップと、
を備え、
前記基準ビアと前記検査対象ビアとの間を通過する配線のクリアランスを検査することを特徴とするクリアランス検査方法。
【請求項７】
前記判定ステップでは、前記検査ラインの、前記第１のビア列を座標軸の基準とした仮想座標平面上の傾きの符号と、前記検査ラインと交差する前記配線の、前記第１のビア列を座標軸の基準とした仮想座標平面上の傾きの符号、が同じ場合、当該検査ラインと前記配線とが前記仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながらは交差しないと判定する請求項６に記載のクリアランス検査方法。
【請求項８】
前記基準ビアと該基準ビアに対応する前記検査対象ビアとの組合せを示すテーブルを作成する作成ステップをさらに備える請求項５または６に記載のクリアランス検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上のビア間を通過する配線のクリアランスを検査するクリアランス検査装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＢＧＡやＥＢＧＡなどの半導体パッケージにおいては、半導体チップの電極端子と電気的に接続されるパッド（例えばボンディングパッド、フリップチップパッド）とその周囲に設けられたビア（ランド）との間あるいはビア部どうしの間を、配線パターンによりそれぞれ接続するよう設計する。
【０００３】
配線パターンの設計方法一例として、ラフ配線工程により配線ルートのみを先行して決めておき、次いで配線成形工程により実際の設計ルールに照らし合わせて、クリアランス（ライン＆スペース）を見ながら均等に自動配線する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、配線領域を有効に使える自由角度配線を採用しつつ、余裕のある部分では配線間隔、配線幅を拡大する自動配線方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−０８３００６号公報
【特許文献２】特開平１０−２１４８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
自動配線の実行結果は設定条件によって異なる。したがって、パッドとビアとの間のネットあるいはビア間のネットの設定条件をいろいろ変更することでどの設定条件の場合にどのような配線になるかを知り、最適な設定条件を選択する設計手法が考えられる。あるいは、自動配線の実行結果に基づき、ビアの位置を随時変更する設計手法も考えられる。いずれの場合でも、各種障害物間、特にビア間を通過する配線に関しても配線間隔すなわちクリアランス（ライン＆スペース）を検査する必要がある。通常、配線のクリアランス検査プロセスにおいては、考えられ得るビア間全てについてクリアランスを検査する。
【０００７】
図１３は、クリアランス検査すべき配線のクリアランス検査方向の一例を例示する図である。図中の参照符号Ｖ１〜Ｖ１０はビアの識別番号であり、参照符号Ｎ１〜Ｎ１３は配線の識別番号である。なお、本明細書では、クリアランス検査の方向を「クリアランス検査方向」と称し、クリアランス検査方向を示すラインを「検査ライン」と称することにする。
【０００８】
ビアＶ１〜Ｖ１０が配置された基板上に、設計データに基づいて配線Ｎ１〜Ｎ１３が配線されたとき、各配線Ｎ１〜Ｎ１３に関して、図中、点線の検査ラインで示すクリアランス検査方向にクリアランス検査を実行する必要がある。このとき、全てのビア間についてクリアランス検査を行うので、クリアランス検査方向は、ビアの組合せの数だけ存在することになる。例えば図１３に示すような膨大な数の検査ライン（図中、点線で示す。）が存在する。
【０００９】
図１４は、クリアランス検査すべき配線のクリアランス検査方向のさらなる一例を例示する図である。図中の参照符号Ｖ１〜Ｖ１１はビアの識別番号であり、参照符号Ｎ１〜Ｎ８は配線の識別番号であり、参照符号Ａ１およびＡ２は補助線（図中、一点鎖線で示す。）の識別番号である。
【００１０】
図１４（ａ）に示すようにビアＶ１〜Ｖ１１間に配線Ｎ１〜Ｎ８が通過する場合、各配線Ｎ１〜Ｎ８に関して、図中、点線の検査ラインで示されるクリアランス検査方向にクリアランスを検査する。
【００１１】
上述のように、クリアランス検査方向はビアV１〜V１１の組合せで決まる。しかしながら、例えばビアＶ８とビアＶ１１との間には配線が通過していないので、実際のところ、このビアＶ８とビアＶ１１との間をクリアランス検査する必要はない。また例えば、ビアＶ１０とＶ３との間、および、ビアＶ１０とＶ４との間は、共に配線Ｎ４〜Ｎ８が通過する一方で、ビアＶ３とＶ４との間は配線が通過していない。したがって、クリアランス検査は、ビアＶ１０とＶ４との間に対して実行すれば、ビアＶ１０とＶ３との間に対しては必ずしも実行する必要はないといえる。
【００１２】
自動配線の際にはクリアランス検査の結果を即座に得ることができることが望ましいにもかかわらず、考えられ得るビア間全てについてクリアランスを検査すると、その演算量は膨大なものとなり、非常に時間がかってしまうという問題がある。配線の通過に関係するビア間についてのみクリアランス検査を実行すれば、不必要なクリアランス検査を排除できコンピュータの演算量を低減することができるはずである。参考として、図１４（ｂ）にクリアランス検査方向の低減後の一例を例示する。
【００１３】
従って本発明の目的は、上記問題に鑑み、基板上のビア間を通過する配線のクリアランスを、効率よく検査するクリアランス検査装置および方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を実現するために、本発明においては、ビア（障害物）間を配線が通過する場合において、配線の通過に関係するビアを抽出し、このビアに対してのみクリアランス検査を実行することでコンピュータの演算処理量を低減する。
【００１５】
図１は、本発明の第１の態様によるクリアランス検査装置の原理ブロック図である。
【００１６】
基板上のビア間を通過する配線のクリアランスを検査するクリアランス検査装置１は、
クリアランス検査の基準となる基準ビアが属する第１のビア列上の、基準ビアに隣接するビアを、第１の隣接ビアとして確定する第１の確定手段１１と、
第１のビア列に隣接する第２のビア列上の、各第１の隣接ビアに隣接するビアを、第２の隣接ビアとして確定する第２の確定手段１２と、
第２の隣接ビア間に存在する第２のビア列上のビアを、検査対象ビアとして確定する第３の確定手段１３と、
を備え、
基準ビアと検査対象ビアとの間を通過する配線のクリアランスを検査する。
【００１７】
図２は、本発明の第２の態様によるクリアランス検査装置の原理ブロック図である。
【００１８】
基板上のビア間を通過する配線のクリアランスを検査するクリアランス検査装置２は、
クリアランス検査の基準となる基準ビアが属する第１のビア列上の、基準ビアに隣接するビアを、第１の隣接ビアとして確定する第１の確定手段２１と、
第１のビア列に隣接する第２のビア列上の、各第１の隣接ビアに隣接するビアを、第２の隣接ビアとして確定する第２の確定手段２２と、
第２の隣接ビア間に存在する第２のビア列上のビアを、検査候補ビアとして確定する第３の確定手段２３と、
基準ビアが属するビア列が並ぶ方向を仮想平面の座標軸の１つをとみなした該仮想平面上において、基準ビアと検査候補ビアとを結ぶ検査ラインと、この検査ラインと交差する配線と、の交差の仕方が、仮想平面上で同じ傾向の方向を向きながら互いに交差するものであるか否かを判定する判定手段２４と、
この判定手段２４によって、配線が仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら当該検査ラインと交差しないと判定されたときの当該検査ラインを構成する検査候補ビアを、検査対象ビアとして確定する第４の確定手段２５と、
を備え、
基準ビアと検査対象ビアとの間を通過する配線のクリアランスを検査する。
【００１９】
なお、クリアランス検査装置１および２における各手段１１〜１３および２１〜２５は、コンピュータ等の演算処理装置が実行することができるソフトウェアプログラム形式で実現できる。以上の処理を実施する装置や、以上の処理をコンピュータに実行させるプログラムを作成することは、以下の説明を理解した当業者には容易に実施できる事項である。また、以上の処理をコンピュータにより実行させるプログラムを記録媒体に格納するという事項も当業者には自明である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、配線の通過に関係するビアに対してのみ、クリアランス検査を実行するので、クリアランス検査に必要なコンピュータの演算量を、全てのビアに対してクリアランス検査を実行する従来例に比べて大幅に低減することができる。結果として、半導体パッケージの製造コストも低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図３は、本発明の第１の実施例によるクリアランス検査装置の動作フローを示すフローチャートである。本発明の第１の実施例は、図１を参照して説明した本発明の第１の態様に対応するものである。
【００２２】
まず、ステップＳ１０１において、クリアランス検査の基準となる基準ビアを確定する。次いで、ステップＳ１０２において、この基準ビアが属する第１のビア列に隣接する第２のビア列を確定する。次に、ステップＳ１０３において、第１のビア列に属し、かつ基準ビアに隣接するビアを、第１の隣接ビアとして確定する。次に、ステップＳ１０４において、第２のビア列に属し、かつ各第１の隣接ビアに隣接するビアを、第２の隣接ビアとして確定する。そして、ステップＳ１０５において、第２の隣接ビア間に存在する第２のビア列上のビアを、検査対象ビアとして確定する。本実施例では、クリアランス検査は、基準ビアと検査対象ビアとの間を通る配線に対してのみ実行すればよい。ステップＳ１０６では、全てのビアについて上記処理を実行したかを判定する。すなわち、基板上のビアを、順次基準ビアとして確定していき、基板全体にわたってクリアランス検査を実行する。なお、ステップＳ１０２およびステップＳ１０３については実行する順番を入れ替えてもよい。
【００２３】
本実施例による上記ステップＳ１０１〜Ｓ１０６は、コンピュータ等の演算処理装置により実行される。なお、ステップＳ１０１を実行する前に、設計データ、クリアランスに関するルール、各ビアの座標、形状、大きさおよび向き、基板情報、などに関するデータを、演算処理装置に予め入力しておくのが好ましい。上記演算処理装置は、ステップＳ１０１において、入力された上記データを用いて処理を開始する。
【００２４】
図４は、本発明の第１の実施例によるクリアランス検査装置の具体的な処理を説明する図である。図中の参照符号Ｖ１〜Ｖ１１はビアの識別番号であり、参照符号Ａ１〜Ａ３はビア列（図中、一点鎖線で示す。）の識別番号である。このビア列Ａ１〜Ａ３は、ビアが列上に並んだ状態を表すものである。
【００２５】
この具体例では、ビアＶ３を基準ビアとした場合について説明する。
【００２６】
基準ビアＶ３は、ビアＶ１、Ｖ２およびＶ４と共にビア列Ａ１に属する。この基準ビアＶ３が属するビア列Ａに隣接するビア列はＡ２である。なお、ビア列は、必ずしも一直線上に並ぶ必要はなく、列としてグループ分けできるに足りる程度の連続性で並ぶものであればよい。
【００２７】
ビア列Ａ１に属し、かつ基準ビアＶ３に隣接するビアは、ビアＶ２およびＶ４である。そこで、これらビアＶ２およびＶ４を、上述の図３のステップＳ１０３における第１の隣接ビアとして確定する。
【００２８】
また、ビア列Ａ２に属し、かつ各ビアＶ２およびＶ４に隣接するビアは、ビアＶ６およびＶ８である。そこで、これらビアＶ６およびＶ８を、上述の図３のステップＳ１０４における第２の隣接ビアとして確定する。
【００２９】
そして、これらビアＶ６とビアＶ８との間に存在するビア列Ａ２上のビアであるＶ６、Ｖ７およびＶ８を、検査対象ビアとして確定する。
【００３０】
これにより、基準ビアＶ３と各ビアＶ１、Ｖ２、Ｖ４〜Ｖ１１との間全てについてクリアランス検査せずに、基準ビアＶ３と検査対象ビアＶ６、検査対象Ｖ７および検査対象Ｖ８との間で構成されるクリアランス検査方向にクリアランス検査を限定できる。例えば基準ビアＶ３とビアＶ９、Ｖ１０およびＶ１１との間をクリアランス検査方向とする必要はない。
【００３１】
上述のように、本発明の第１の実施例では、基板上の各ビアを順次基準ビアに設定して上記の処理を実行し、基板全体にわたるクリアランス検査を実行した。次に説明する本発明の第２の実施例は、上述の第１の実施例よりもクリアランス検査方向をさらに限定することでコンピュータの演算量をより一層低減するものである。本発明の第２の実施例は、図２を参照して説明した本発明の第２の態様に対応するものである。
【００３２】
図５は、本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置の動作を説明する概念図である。図中の参照符号Ｖ１〜Ｖ７はビアの識別番号であり、参照符号Ｎ１〜Ｎ１１は配線の識別番号であり、参照符号Ａ１および２はビア列（図中、一点鎖線で示す。）の識別番号である。
【００３３】
図５（ａ）に示すように、上述の第１の実施例により、基準ビアＶ１に対応する検査対象ビアがＶ２〜Ｖ７、基準ビアＶ２に対応する検査対象ビアがＶ１、Ｖ３〜Ｖ７に確定した場合を考える。このとき、図５（ｂ）に示すようなクリアランス検査方向（図中、点線で示す検査ライン）が得られる。このように、クリアランス検査に本発明の第１の実施例を適用するだけでも、従来例に比べてコンピュータの演算量を低減することができることは既に説明したとおりである。
【００３４】
本発明の第２の実施例ではさらに、クリアランス検査すべきビアを、図（ｂ）の検査対象ビアのうち各ビア間の配線に関係するビアにさらに絞り込み、コンピュータの計算量をさらに低減することで処理の一層の効率化を図る。
【００３５】
ここで、図５（ｃ）に示すように配線Ｎ１〜Ｎ１１が設けられている場合を具体例にとって説明する。
【００３６】
まず、第１の実施例により確定した検査対象ビアを、第２の実施例においては検査候補ビアとみなす。
【００３７】
このとき、基準ビアが属するビア列が並ぶ方向を座標軸の基準とみなした仮想平面上において、基準ビアと検査候補ビアとを結んで得られる検査ラインが、仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら配線と交差する場合は、当該検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてはクリアランス検査を実行しない。一方、検査ラインが仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら配線と交差しない場合、換言すれば検査ラインが配線と対向するように交差する場合は、当該検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてクリアランス検査を実行する。
【００３８】
例えば、基準ビアＶ１に関しては、検査候補ビアはビアＶ２〜Ｖ７である。このうち、ビアＶ１とビアＶ３とを結ぶ検査ラインは配線Ｎ１およびＮ２と対向するように交差し、ビアＶ１とビアＶ４とを結ぶ検査ラインは配線Ｎ２と対向するように交差する。しかし、例えばビアＶ１とビアＶ７とを結ぶ検査ラインは、特に配線Ｎ７や配線Ｎ８と同じ傾向の方向を向きながら交差する。したがって、基準ビアＶ１に関しては、検査候補ビアＶ２〜Ｖ７のうち、ビア３およびビアＶ４を検査対象ビアとして確定する。
【００３９】
また例えば、基準ビアＶ２に関しては、検査候補ビアはＶ１、ビアＶ３〜Ｖ７である。このうち、ビアＶ２とビアＶ４とを結ぶ検査ラインは配線Ｎ２〜Ｎ１１と対向するように交差し、ビアＶ２とビアＶ５とを結ぶ検査ラインは配線Ｎ５〜Ｎ１１と対向するように交差し、ビアＶ２とビアＶ６とを結ぶ検査ラインは配線Ｎ８〜Ｎ１１と対向するように交差
する。したがって、基準ビアＶ２に関しては、検査候補ビアＶ１、Ｖ３〜Ｖ７のうち、ビアＶ４〜Ｖ６を検査対象ビアとして確定する。
【００４０】
このように、本実施例において、基準ビアが属するビア列が並ぶ方向を座標軸の基準とした仮想平面上において、検査ラインが、配線と同じ傾向の方向を向きながら配線と交差するか、配線と対向するように配線と交差するかで場合分けを行うのは、配線と同じ傾向の方向を向きながら交差する検査ラインに沿うクリアランス検査方向よりは、配線と対向するように交差する検査ラインに沿うクリアランス検査方向の方が、配線間の集積の度合いを示唆するクリアランスを的確に捉えることができるからである。ここで、検査ラインと配線の交差の判定の一具体例を説明する。
【００４１】
図６は、本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置における検査ラインと配線との交差の判定の一具体例について説明する図である。ここで、基準ビアが属するビア列が並ぶ方向を仮想平面上の座標軸のｘ軸とみなした図示するようなｘｙ座標平面を定義する。図中、太線および細線は配線もしくは検査ラインのいずれかを示し、例えば、太線が配線である場合は細線は検査ラインであり、太線が検査ラインである場合は細線は配線であるとする。
【００４２】
本実施例では、基準ビアが属するビア列を座標軸の基準とみなした仮想座標平面上において、検査ラインの傾きとこの検査ラインと交差する配線の傾きとが同じ符号となる場合、検査ラインが仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら配線と交差すると判定し、異なる符合となる場合、検査ラインが仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら配線と交差しない、換言すれば検査ラインが配線と対向するように交差すると判定する。
【００４３】
検査ラインの傾きと配線の傾きが同じ符号となるか異なる符合となるかは、これら傾きの積を計算したり、あるいはこれら傾きを割り算することで容易に判定できる。例えば、検査ラインの傾きと配線の傾きとの積を演算し、この積が正になる場合は傾きが同じ符号ということであるので、検査ラインが仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら配線と交差すると判定し、この積が負になる場合は傾きが異なる符号ということであるので、検査ラインが仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら配線と交差しない、換言すれば検査ラインが配線と対向するように交差すると判定する。傾きの割り算を計算する場合も同様である。
【００４４】
図６（ａ）および（ｄ）の例では、検査ラインと交差する配線の傾きとの積が正になるので、検査ラインが仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら配線と交差すると判定される。図６（ｂ）および（ｃ）の例では、検査ラインと交差する配線の傾きとの積が負になるので、検査ラインが仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら配線と交差しない、すなわち検査ラインが配線と対向するように交差すると判定される。
【００４５】
図７は、本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置の動作フローを示すフローチャートである。
【００４６】
まず、ステップＳ２０１において、クリアランス検査の基準となる基準ビアを確定する。次いで、ステップＳ２０２において、この基準ビアが属する第１のビア列に隣接する第２のビア列を確定する。次に、ステップＳ２０３において、第１のビア列に属し、かつ基準ビアに隣接するビアを、第１の隣接ビアとして確定する。次に、ステップＳ２０４において、第２のビア列に属し、かつ各第１の隣接ビアに隣接するビアを、第２の隣接ビアとして確定する。次いで、ステップＳ２０５において、第２の隣接ビア間に存在する第２のビア列上のビアを、検査候補ビアとして確定する。次に、ステップＳ２０６において、基準ビアと検査候補ビアとを結ぶ検査ラインを、各検査候補ビアごとにそれぞれ設定する。次いで、ステップＳ２０７では、基準ビアが属するビア列が並ぶ方向を座標軸の基準とした仮想平面上において、基準ビアと検査候補ビアとを結ぶ検査ラインと交差する配線が、仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら当該検査ラインと交差するか否かを判定する。そして、ステップＳ２０８において、配線が仮想平面上の同じ傾向の方向を向きながら当該検査ラインと交差しないとステップＳ２０７で判定されたときの当該検査ラインを構成する検査候補ビアを、検査対象ビアとして確定する。ステップＳ２０９では、全てのビアについて上記処理を実行したかを判定する。クリアランス検査は、確定した検査対象ビアと基準ビアとの間を通る配線に対してのみ実行すればよい。基板上のビアを基準ビアとして順次設定していき、基板全体にわたってクリアランス検査を実行する。
【００４７】
なお、上述のステップＳ２０１〜Ｓ２０５は、図３のステップＳ１０１〜Ｓ１０５と動作原理は同じであり、ステップＳ２０５で確定した検査候補ビアは、ステップＳ１０５で確定した検査対象ビアに対応するものである。また、ステップＳ２０２およびステップＳ２０３については実行する順番を入れ替えてもよい。
【００４８】
また、本実施例による上記ステップＳ２０１〜Ｓ２０９は、コンピュータ等の演算処理装置により実行される。なお、ステップＳ２０１を実行する前に、設計データ、クリアランスに関するルール、各ビアの座標、形状、大きさおよび向き、基板情報、などに関するデータを、演算処理装置に予め入力しておくのが好ましい。上記演算処理装置は、ステップＳ２０１において、入力された上記データを用いて処理を開始する。
【００４９】
図８は、本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置の具体的な処理を説明する図（その１）である。図中の参照符号Ｖ１〜Ｖ５はビアの識別番号であり、参照符号Ｎ１〜Ｎ９は配線の識別番号であり、参照符号Ａ１およびＡ２はビア列（図中、一点鎖線で示す。）の識別番号である。
【００５０】
この具体例では、図８（ａ）に示すように基準ビアＶ１およびＶ２に対して検査候補ビアＶ３〜Ｖ５が存在し、ビア間に配線Ｎ１〜Ｎ９が設けられているときを考える。
【００５１】
基準ビアＶ１に関しては、基準ビアＶ１から検査候補ビアＶ３、ビアＶ４およびビアＶ５への合計３本の検査ラインが考えられ得る。このうち、図８（ｂ）に示すように、基準ビアＶ１と検査候補ビアＶ３とを結ぶ検査ラインはいずれの配線とも交差しないので、当該検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてはクリアランス検査する必要はない。また、図８（ｂ）に示すように、基準ビアＶ１と検査候補ビアＶ４とを結ぶ検査ラインは、配線Ｎ１〜Ｎ４と対向するように交差するので、当該検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてはクリアランス検査の対象となる。すなわち、検査候補ビアＶ４は、基準ビアＶ１に対応する検査対象ビアとなる。また、図８（ｃ）に示すように、基準ビアＶ１と検査候補ビアＶ５とを結ぶ検査ラインは、配線Ｎ１〜Ｎ４と対向するように交差するが、配線Ｎ６〜Ｎ８とは同じ傾向の方向を向きながら交差するので、当該検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてはクリアランス検査の対象とはならない。
【００５２】
基準ビアＶ２に関しては、基準ビアＶ２から検査候補ビアＶ３、ビアＶ４およびビアＶ５への合計３本の検査ラインが考えられ得る。このうち、図８（ｂ）に示すように、基準ビアＶ２と検査候補ビアＶ５とを結ぶ検査ラインはいずれの配線とも交差しないので、当該検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてはクリアランス検査する必要はない。また、図８（ｂ）に示すように、基準ビアＶ２と検査候補ビアＶ４とを結ぶ検査ラインは、配線Ｎ１〜Ｎ４と対向するように交差するので、当該検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてはクリアランス検査の対象となる。すなわち、検査候補ビアＶ４は、基準ビアＶ２に対応する検査対象ビアとなる。また、図８（ｄ）に示すように、基準ビアＶ２と検査候補ビアＶ３とを結ぶ検査ラインは、配線Ｎ６〜Ｎ９と対向するように交差するが、配線Ｎ２〜Ｎ４とは同じ傾向の方向を向きながら交差するので、当該検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてはクリアランス検査の対象とはならない。
【００５３】
なお、ビアＶ１とビアＶ２との間の配線に関しては通常どおりにクリアランス検査を実行すればよい。
【００５４】
図９は、本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置の具体的な処理を説明する図（その２）である。図中の参照符号Ｖ１〜Ｖ５はビアの識別番号であり、参照符号Ｎ１〜Ｎ４は配線の識別番号であり、参照符号Ａ１およびＡ２はビア列（図中、一点鎖線で示す。）の識別番号である。
【００５５】
この具体例では、図９（ａ）に示すように基準ビアＶ１およびＶ２に対して検査候補ビアＶ３〜Ｖ５が存在し、ビア間に配線Ｎ１〜Ｎ４が設けられているときを考える。
基準ビアＶ１に関しては、図９（ｂ）に示すように、基準ビアＶ１と検査候補ビアＶ４とを結ぶ検査ラインは、配線Ｎ１およびＮ２と対向するように交差するので、当該検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてはクリアランス検査の対象となる。すなわち、検査候補ビアＶ４は、基準ビアＶ１に対応する検査対象ビアとなり、それ以外のビアに係るクリアランス検査方向はクリアランスの検査対象からは外れる。
【００５６】
また、基準ビアＶ２に関しては、図９（ｂ）に示すように、基準ビアＶ２と検査候補ビアＶ４とを結ぶ検査ラインは、配線Ｎ３およびＮ４と対向するように交差し、基準ビアＶ２と検査候補ビアＶ５とを結ぶ検査ラインは、配線Ｎ４と対向するように交差するので、当該各検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてはクリアランス検査の対象となる。すなわち、検査候補ビアＶ４およびＶ５は、基準ビアＶ１に対応する検査対象ビアとなり、それ以外のビアに係るクリアランス検査方向はクリアランスの検査対象からは外れる。
【００５７】
図１０は、本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置の具体的な処理を説明する図（その３）である。図中の参照符号Ｖ１〜Ｖ４はビアの識別番号であり、参照符号Ｎ１〜Ｎ８は配線の識別番号であり、参照符号Ａ１およびＡ２はビア列（図中、一点鎖線で示す。）の識別番号である。
【００５８】
この具体例では、図１０（ａ）に示すように、ビアＶ１とビアＶ２との間では配線Ｎ２〜Ｎ７が通過するが、ビアＶ３とビアＶ４との間では配線Ｎ４およびＮ５のみが通過しており、配線Ｎ１〜Ｎ４と配線Ｎ５〜Ｎ８とで別々の方向に広がるように配線されている。このとき、図１０（ｂ）に示すように、基準ビアＶ１と検査候補ビアＶ４とを結ぶ検査ラインは、配線Ｎ２〜Ｎ４と対向するように交差するが、配線Ｎ５とは同じ傾向の方向を向きながら交差するので、当該検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてはクリアランス検査の対象とはならない。また、図１０（ｃ）に示すように、基準ビアＶ２と検査候補ビアＶ３とを結ぶ検査ラインは、配線Ｎ５〜Ｎ７と対向するように交差するが、配線Ｎ４とは同じ傾向の方向を向きながら交差するので、当該検査ラインに沿うクリアランス検査方向についてはクリアランス検査の対象とはならない。すなわち、図１０（ａ）に示すような場合は、ビアＶ１とビアＶ２との間を通過する配線Ｎ２〜Ｎ７のクリアランス、ならびに、ビアＶ３とビアＶ４との間を通過する配線Ｎ４およびＮ５のクリアランス、を検査すれば十分である。
【００５９】
以上説明したように、本発明の第２の実施例によれば、クリアランス検査すべきビアを、第１の実施例の場合の検査対象ビアのうち各ビア間の配線に関係するビアにさらに絞り込むのでコンピュータの計算量をさらに低減することができる。
【００６０】
図１１は、本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置により得られるクリアランス検査方向の一具体例を例示する図である。図中の参照符号Ｖ１〜Ｖ１１はビアの識別番号であり、参照符号Ｎ１〜Ｎ７は配線の識別番号であり、参照符号Ａ１〜Ａ３はビア列（図中、一点鎖線で示す。）の識別番号である。図示のようにビアが設けられた基板に対して本実施例によるクリアランス検査方法を適用すると、ビア間を通過する配線のクリアランスを検査すべきクリアランス検査方向は、点線で示される検査ラインに沿ったものとなる。
【００６１】
図１２は、図１１に示す具体例において、基準ビアとこれに対応する検査対象ビアとの組合せを示すテーブルを表した図である。本実施例によるクリアランス検査装置により得られるクリアランス検査方向は、基準ビアとこれに対応する検査対象ビアとの組合せを示すテーブルとして表すことができる。例えば、このテーブルではビア列Ａ１上のビア１０を基準ビアとしたときは、ビアＶ１１およびＶ７が検査対象ビアとなることが示されている。このように、基準ビアとこれに対応する検査対象ビアとを対応付けたテーブルに関するデータをコンピュータで作成することにより、作成されたデータを用いてクリアランス検査を実行に移すことが容易となる。なお、このようなテーブルを第１の実施例においても作成してもよい。
【００６２】
本発明は、特開２００２−０８３００６号公報（すなわち、上記特許文献１）に記載された発明と組み合わせて実施してもよい。上記特許文献１に記載された発明は、ラフ配線工程により配線ルートのみを先行して決めておき、次いで配線成形工程により実際の設計ルールに照らし合わせて、クリアランス（ライン＆スペース）を見ながら均等に自動配線するものである。上記特許文献１に記載された発明では、自動配線処理中、ビア列の並ぶ周方向（以下、「横方向」と称する。）のクリアランスは検査されるが、最内周側から最外周側へ向かう方向（以下、「縦方向」と称する。）や斜め方向のクリアランスは検査されなかった。したがって、本発明を用いれば上記特許文献１に記載された発明においても縦方向や斜め方向についてクリアランス検査を効率よく実行することができるので非常に有効である。なお、本発明を上記特許文献１に記載された発明と組み合わせて実施する場合は、上記特許文献１に記載された発明において配線ルートを決めるための補助線を、本発明で用いるパラメータの１つである「ビア列」とみなして用いればよい。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、ＰＢＧＡやＥＢＧＡなどの半導体パッケージの配線設計において実施されるクリアランス検査のコンピュータによる演算量を大幅に低減することができる。したがって、クリアランス検査に要する時間が短縮され、設計者はいち早く検査結果を知ることができるので、設計者は設計作業に一層専念することができ、設計者の作業負担の軽減および設計の品質の向上が見込まれる。また、半導体パッケージの製造コストの低減にもつながる。
【００６４】
また、本発明を特開２００２−０８３００６号公報（すなわち、上記特許文献１）に記載された発明と組み合わせて実施すれば、より効率的な自動配線設計が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１の態様によるクリアランス検査装置の原理ブロック図である。
【図２】本発明の第２の態様によるクリアランス検査装置の原理ブロック図である。
【図３】本発明の第１の実施例によるクリアランス検査装置の動作フローを示すフローチャートである。
【図４】本発明の第１の実施例によるクリアランス検査装置の具体的な処理を説明する図である。
【図５】本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置の動作を説明する概念図である。
【図６】本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置における検査ラインと配線との交差の判定の一具体例について説明する図である。
【図７】本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置の動作フローを示すフローチャートである。
【図８】本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置の具体的な処理を説明する図（その１）である。
【図９】本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置の具体的な処理を説明する図（その２）である。
【図１０】本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置の具体的な処理を説明する図（その３）である。
【図１１】本発明の第２の実施例によるクリアランス検査装置により得られるクリアランス検査方向の一具体例を例示する図である。
【図１２】図１１に示す具体例において、基準ビアとこれに対応する検査対象ビアとの組合せを示すテーブルを表した図である。
【図１３】クリアランス検査すべき配線のクリアランス検査方向の一例を例示する図である。
【図１４】クリアランス検査すべき配線のクリアランス検査方向のさらなる一例を例示する図である。
【符号の説明】
【００６６】
１、２…クリアランス検査装置
１１、２１…第１の確定手段
１２、２２…第２の確定手段
１３、２３…第３の確定手段
２４…判定手段
２５…第４の確定手段
【図１】
2005310825.tif 000003
【図２】
2005310825.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005310825.tif 000006
【図５】
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【図６】
2005310825.tif 000008
【図７】
2005310825.tif 000009
【図８】
2005310825.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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