(57)【要約】【課題】  周波数特性の変動が少なく、周波数の精度の良好な表面弾性波装置を提供する。【解決手段】  本発明の表面弾性波装置は、表面弾性波用の基板４と櫛歯状の電極５を有する表面弾性波素子３と、この表面弾性波素子３を収納する収納部１ｃ、及び上部に開放部１ｄが設けられた箱形部材１と、この箱形部材１の底板１ａに設けられ、電極５が接続される外部引出導体２と、開放部１ｄが封止されて、収納部１ｃを密封状態にする封止部材１１と、基板４と封止部材１１との間に介在する応力緩和部材１０を有するため、環境下の温度変化によって基板４が膨張、収縮しても、軟性を有する応力緩和部材１０によって基板４の膨張、収縮が吸収されて、周波数特性の変動が少なく、周波数の精度を良好にすることができる。【選択図】        図１
2005348281.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面弾性波用の基板、及びこの基板の下面に設けられた櫛歯状の電極を有する表面弾性波素子と、この表面弾性波素子を収納する収納部、及び上部に開放部が設けられた箱形部材と、この箱形部材の底板に設けられ、前記電極が接続される外部引出導体と、前記開放部が封止されて、前記収納部を密封状態にする封止部材とを備え、前記封止部材と前記基板の上面との間には、軟性を有する応力緩和部材が前記封止部材と前記基板に接触した状態で介在されたことを特徴とする表面弾性波装置。
【請求項２】
前記封止部材は、前記応力緩和部材によって前記基板への接触が阻止されたことを特徴とする請求項１記載の表面弾性波装置。
【請求項３】
前記箱形部材の側板と前記基板の側面との間には空隙部が設けられ、前記応力緩和部材は、前記空隙部に位置する前記基板の前記側面に設けられると共に、前記基板の前記側面に設けられた前記応力緩和部材によって、前記収納部内に流出した前記封止部材による前記基板への接触を防止したことを特徴とする請求項２記載の表面弾性波装置。
【請求項４】
前記応力緩和部材がシリコーンゴムで形成されたことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の表面弾性波装置。
【請求項５】
前記応力緩和部材が塗布によって前記基板の前記上面に形成されたことを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の表面弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表面弾性波フイルタ等に使用して好適な表面弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は従来の表面弾性波装置の要部断面図で、従来の表面弾性波装置の構成を図３に基づいて説明すると、絶縁基体５１の上面５１ａには、導電パターンからなる一対の外部引出導体５２が設けられている。
【０００３】
表面弾性波素子５３は、表面弾性波用の基板５４と、この基板５４の一面に設けられた複数個の櫛歯状の電極５５と、この電極５５の端部に設けられた入出力用電極５６とで構成されている。
【０００４】
そして、この表面弾性波素子５３は、電極５５を絶縁基板５１の上面５１ａに対向させ、且つ、基板５４と絶縁基板５１との間に振動空間部５７となる隙間を持たせた状態で、入出力用電極５６が導電ペーストからなる接続導電体５８によって外部引出導体５２に接続される。
【０００５】
また、絶縁基板５１の上面５１ａと基板５４との間には、電極５５を囲むようにシリコーンゴムからなる環状部材５９が設けられると共に、封止用樹脂６０が基板５４に接触し、且つ、基板５４の外周面を覆った状態で絶縁基板５１の上面５１ａに形成され、その結果、窒素やアルゴン等の不活性ガスの雰囲気状態となった振動空間部５７が密封されて、従来の表面弾性波装置が構成されている。（例えば、特許文献１参照）
【０００６】
このような従来の表面弾性波装置は、基板５４が封止用樹脂６０によって固着された状態にあって、基板５４と封止用樹脂６０は、互いに熱膨張係数が異なるため、環境下の温度変化によって基板５４に内部応力（ストレス）が生じて、周波数特性に変動を生じて、周波数の精度が悪くなる。
【０００７】
【特許文献１】特開平５−９０８８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来の表面弾性波装置は、基板５４が封止用樹脂６０によって固着された状態にあって、基板５４と封止用樹脂６０は、互いに熱膨張係数が異なるため、環境下の温度変化によって基板５４に内部応力（ストレス）が生じて、周波数特性に変動を生じて、周波数の精度が悪くなるという問題がある。
【０００９】
そこで、本発明は周波数特性の変動が少なく、周波数の精度の良好な表面弾性波装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための第１の解決手段として、表面弾性波用の基板、及びこの基板の下面に設けられた櫛歯状の電極を有する表面弾性波素子と、この表面弾性波素子を収納する収納部、及び上部に開放部が設けられた箱形部材と、この箱形部材の底板に設けられ、前記電極が接続される外部引出導体と、前記開放部が封止されて、前記収納部を密封状態にする封止部材とを備え、前記封止部材と前記基板の上面との間には、軟性を有する応力緩和部材が前記封止部材と前記基板に接触した状態で介在された構成とした。
【００１１】
また、第２の解決手段として、前記封止部材は、前記応力緩和部材によって前記基板への接触が阻止された構成とした。
また、第３の解決手段として、前記箱形部材の側板と前記基板の側面との間には空隙部が設けられ、前記応力緩和部材は、前記空隙部に位置する前記基板の前記側面に設けられると共に、前記基板の前記側面に設けられた前記応力緩和部材によって、前記収納部内に流出した前記封止部材による前記基板への接触を防止した構成とした。
【００１２】
また、第４の解決手段として、前記応力緩和部材がシリコーンゴムで形成された構成とした。
また、第５の解決手段として、前記応力緩和部材が塗布によって前記基板の前記上面に形成された構成とした。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の表面弾性波装置は、表面弾性波用の基板、及びこの基板の下面に設けられた櫛歯状の電極を有する表面弾性波素子と、この表面弾性波素子を収納する収納部、及び上部に開放部が設けられた箱形部材と、この箱形部材の底板に設けられ、電極が接続される外部引出導体と、開放部が封止されて、収納部を密封状態にする封止部材とを備え、封止部材と基板の上面との間には、軟性を有する応力緩和部材が封止部材と基板に接触した状態で介在されたため、基板が応力緩和部材によって支持されると共に、環境下の温度変化によって基板が膨張、収縮しても、軟性を有する応力緩和部材によって基板の膨張、収縮が吸収されて、基板に内部応力（ストレス）が生ぜず、従って、周波数特性の変動が少なく、周波数の精度を良好にすることができる。
【００１４】
また、封止部材は、応力緩和部材によって基板への接触が阻止されたため、基板の膨張、収縮が封止部材によって妨げられることが無く、従って、周波数特性の変動が少なく、周波数の精度を良好にすることができる。
【００１５】
また、箱形部材の側板と基板の側面との間には空隙部が設けられ、応力緩和部材は、空隙部に位置する基板の側面に設けられると共に、基板の側面に設けられた応力緩和部材によって、収納部内に流出した封止部材による基板への接触を防止したため、基板への封止部材の接触を確実に防止することができる。
【００１６】
また、応力緩和部材がシリコーンゴムで形成されたため、基板の膨張、収縮を確実に吸収することができる。
【００１７】
また、応力緩和部材が塗布によって基板の上面に形成されたため、その形成作業が簡単で、生産性の良好なものが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の表面弾性波装置に係る図面を説明すると、図１は本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る要部断面図、図２は本発明の表面弾性波装置の第２実施例に係る要部断面図である。
【００１９】
次に、本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る構成を図１に基づいて説明すると、絶縁樹脂の成型品からなる箱形部材１は、平板状の底板１ａと、この底板１ａの周辺から上方に延びて形成された筒状の側板１ｂと、底板１ａと側板１ｂに囲まれた収納部１ｃと、上部に設けられた開放部１ｄを有する。
【００２０】
導電パターン等からなる複数個の外部引出導体２は、収納部１ｃ内に位置する底板１ａ上から箱形部材１の外面に跨って設けられ、この外部引出導体２は、外部機器の回路基板（図示せず）に面実装によって配設可能となっている。
【００２１】
表面弾性波素子３は、ＬｉＴａＯ３等からなる表面弾性波用の基板４と、この基板４の下面に設けられた複数個の櫛歯状の電極５と、この櫛歯状の電極５の端部に設けられた入出力用電極６とで構成されている。
【００２２】
この表面弾性波素子３は、箱形部材１の収納部１ｃ内に収納され、電極５を底板１ａに対向させ、且つ、基板４と底板１ａとの間に振動空間部７となる隙間を持たせた状態で、入出力用電極６が導電ペーストや半田付等からなる接続導電体８によって外部引出導体２に接続されている。
そして、表面弾性波素子３が箱形部材１に取り付けられた際、基板４の側面と側板１ｂとの間には、空隙部９が存在するようになっている。
【００２３】
シリコーンゴム等の軟性のある材料からなる応力緩和部材１０は、基板４の上面から側面に跨って形成されると共に、この応力緩和部材１０は、自己の接着力によって基板４に粘着された状態となっている。
また、応力緩和部材１０の形成方法は、粘性のある応力緩和部材１０を基板４の上面に塗布すると、応力緩和部材１０は、粘性によって基板４の上面から側面に流出されるようになって、応力緩和部材１０が基板４の上面から側面に跨って形成されるようになると共に、この応力緩和部材１０は、表面弾性波素子３が箱形部材１に取り付けられる前に、基板４に形成されている。
【００２４】
絶縁性の樹脂材料からなる封止部材１１は、箱形部材１の開口部１ｄを塞ぐように、側板１ｂに形成されると共に、封止部材１１の一部は、収納部１ｃ内に流出された状態となって、窒素やアルゴン等の不活性ガスの雰囲気状態となった収納部１ｃ内が密封された状態となる。
【００２５】
そして、封止部材１１が形成された際、封止部材１１は、基板４に接触することなく応力緩和部材１０を支持し、応力緩和部材１０を介して基板４を支持するようになると共に、収納部１ｃ内に流出した封止部材１１は、基板４の側面に位置した応力緩和部材１０によって、基板４への接触が阻止され、このような構成によって、本発明の表面弾性波装置の第１実施例が形成されている。
【００２６】
また、図２は、本発明の表面弾性波装置の第２実施例を示し、この第２実施例は、箱形部材１の底板１ａと側板１ｂが異なる材料で形成されたものあって、例えば、底板１ａは、導電パターンからなる外部引出導体２を設けたセラミック基板等の絶縁基板で形成され、この絶縁基板には、形成加工等によって側板１ｂを形成することによって、外部引出導体２の形成を容易にしたものである。
【００２７】
次に、第２の工程では図３に示すように、外気中（不活性ガスの雰囲気状態にある装置外）において、基板４の外周部を含んだ状態で、基板４と絶縁基板１との間、及び貫通孔１ｂ内に仮止め封止部材１１を形成し、この仮止め封止部材１１によって、基板４を絶縁基板１に仮止めする。
【００２８】
その他の構成は、前記第１実施例と同様であるので同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る要部断面図。
【図２】本発明の表面弾性波装置の第２実施例に係る要部断面図。
【図３】従来の表面弾性波装置の要部断面図。
【符号の説明】
【００３０】
１：箱形部材
１ａ：底板
１ｂ：側板
１ｃ：収納部
１ｄ：開口部
２：外部引出導体
３：表面弾性波素子
４：基板
５：電極
６：入出力用電極
７：振動空間部
８：接続導電体
９：空隙部
１０：応力緩和部材
１１：封止部材
【図１】
2005348281.tif 000003
【図２】
2005348281.tif 000004
【図３】
2005348281.tif 000005