(57)【要約】【課題】  従来の電気配線の腐食の課題を防止しつつ、液晶表示パネル用の基板を所定サイズに切り出す切り出しの際に割れ方向のばらつきを抑える【解決手段】  スイッチング素子２と接続される電気配線５が形成された液晶表示パネル用の基板１において、切り出し用の平坦化膜４ｂ,４ｃが液晶表示パネル用の基板１の切り出し用の切断ライン３ｂ,３ｃ上に所定の幅で形成されるとともに、前記電気配線５の上において交差するように配されている。【選択図】 図２
2005283885.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スイッチング素子と接続される電気配線が形成された液晶表示パネル用の基板において、切り出し用の平坦化膜が液晶表示パネル用の基板の切り出し用の切断ライン上に所定の幅で形成されるとともに、前記電気配線の上において交差するように配されていることを特徴とする液晶表示パネル用の基板。
【請求項２】
前記切り出し用の平坦化膜がスイッチング素子を被覆して表面を平坦化する平坦化膜であることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネル用の基板。
【請求項３】
前記切り出し用の平坦化膜は、ミシン目状に所定間隔をおいて成膜されていない箇所が設けられていることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネル用の基板。
【請求項４】
スイッチング素子と接続される電気配線が形成された液晶表示パネル用の基板の切断方法において、切り出し用の平坦化膜が前記液晶表示パネル用の基板を切り出す切り出し用の切断ライン上にも所定の幅で形成され、切り出し用の平坦化膜が前記電気配線の上において交差するように配されて、切り出し用の平坦化膜を介して液晶表示パネル用の基板の切り出し用の切断ライン上を切断することを特徴とする液晶表示パネル用の基板の切断方法。
【請求項５】
前記切り出し用の平坦化膜は、スイッチング素子を被覆して表面を平坦化する平坦化膜を成膜する際に成膜されることを特徴とする請求項４記載の液晶表示パネル用の基板の切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネル用ガラスのように、スイッチング素子等を被覆して表面を平坦化する平坦化膜が成膜されるとともに、スイッチング素子と接続される電気配線が形成された液晶表示パネル用の基板及びその切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示装置は、液晶層を介して液晶表示パネル用の基板と対向基板が対向して配され、これらにマトリクス状に配列された複数の画素電極とこれらの画素電極と対向して配設される共通電極である対向電極を備え、両電極間に表示媒体である液晶を介在させている。表示領域における表示にあたっては、画素電極に選択的に電位が書き込まれ、この画素電極と対向電極との間の電位差により、介在する液晶の光学的変調が行われ、表示パターンとして視認されることとなる。
【０００３】
このような液晶表示装置の画素電極には、スイッチング素子を被覆して表面を平坦化する平坦化膜（層間絶縁膜）が成膜され、この平坦化膜の上に透明電極が形成される。このときの平坦化膜は、画素電極と対向電極間の電位を均一に保つための役割や、高開口率を実現する役割を有している。また、反射表示領域と透過表示領域を併せ持つ半透過型液晶表示装置では、外光を反射させるための凹凸を有する反射層上に、反射層の凹凸を平坦化するための平坦化膜が成膜され、その上に透明電極を積層した構成とされている。そして、マトリクス状に電気配線が配された液晶表示用基板では、基板の外側（額縁エリア）へ電気配線が引き出されるとともに、静電気不良の防止や電気的検査等の目的でショートリングへ接続されている。このショートリングは、液晶表示パネル用の基板の切り出し工程において切断される。
【特許文献１】特開平１１−１７９６９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、マトリクス状に電気配線が配された液晶表示パネル用の基板の製造方法においては、電気配線が形成された一対のマザーガラス基板（液晶表示パネル用の基板と対向基板）を互いに貼り合わせてパネル化した後に、所定のサイズ（一画面分あるいは数画面分）に切り出したり（「スクライブ」とか「分断」とか「割断」とも呼ばれる。）、電気配線が形成された一対の液晶表示パネル用の基板と対向基板を所定のサイズに切り出した後に互いに貼り合わせてパネル化したりする。なお、上記ショートリングを切断するときにも行われる。しかしながら、この切り出し工程において切り出すと、上記電気配線が水分等による腐食する問題を有していた。これを防止する対策としては、電気配線層の上層に保護層を形成することが挙げられるが、この保護層は切り出し方向の点は考慮されていないために、切断ラインに沿って切断する際に基板の割れ方向のばらつき、つまり切断中において切断ライン以外にひびが入るという問題を有していた。
【０００５】
なお、液晶表示パネル用の基板の切断方法としては、上記特許文献１のように、液晶表示パネル用の基板に切断用のテープを貼ってから切断する方法があるが、これは基板の製造工程とは別のものであり、しかも特別にテープを準備しなければならない煩雑さを有する。
【０００６】
そこで本発明の目的は、従来の電気配線の腐食の課題を防止しつつ、液晶表示パネル用の基板を所定サイズに切り出す切り出しの際に割れ方向のばらつきを抑えることができる液晶表示パネル用の基板及びその切断方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１記載の液晶表示パネル用の基板は、スイッチング素子と接続される電気配線が形成された液晶表示パネル用の基板において、切り出し用の平坦化膜が液晶表示パネル用の基板の切り出し用の切断ライン上に所定の幅で形成されるとともに、前記電気配線の上において交差するように配されていることを特徴とする。また、本発明の請求項４記載の液晶表示パネル用の基板の切断方法は、スイッチング素子と接続される電気配線が形成された液晶表示パネル用の基板の切断方法において、切り出し用の平坦化膜が前記液晶表示パネル用の基板を切り出す切り出し用の切断ライン上にも所定の幅で形成され、切り出し用の平坦化膜が前記電気配線の上において交差するように配されて、切り出し用の平坦化膜を介して液晶表示パネル用の基板の切り出し用の切断ライン上を切断することを特徴とする。ここで、反射表示領域と透過表示領域を併せ持つ半透過型液晶表示装置では、外光を反射させるための凹凸を有する反射層上に、反射層の凹凸を平坦化するための平坦化膜が成膜されるが、このような平坦化膜であっても良く、その種類を問われない。しかし、切り出し用の平坦化膜としては、スイッチング素子を被覆して表面を平坦化する平坦化膜が、上記電気配線の形成過程に順序的に近い工程で行われることからは好ましい。
【０００８】
これらの発明によれば、切り出し用の平坦化膜が液晶表示パネル用の基板の切り出し用の切断ライン上にも所定の幅で形成されていることにより、液晶表示パネル用の基板の切り出し工程において、引き出されている電気配線を切断しても、切り出し用の平坦化膜が腐食防止の役割を果たすとともに、切り出しの際に割れ方向のばらつきを抑えることができる。
【０００９】
本発明の請求項３記載の液晶表示パネル用の基板は、前記請求項１記載の発明を前提として、切り出し用の平坦化膜は、ミシン目状に所定間隔をおいて成膜されていない箇所が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
この発明によれば、切り出し用の平坦化膜がミシン目状に所定間隔で成膜されていない箇所が設けられていることにより、予め切断するときの切り込みが形成されていることになり、切断ラインに沿って切断し易くなり、切り出しの際に割れ方向のばらつきを抑えることができる。
【００１１】
本発明の請求項５記載の液晶表示パネル用の基板の切断方法は、前記請求項４記載の発明を前提として、前記切り出し用の平坦化膜は、スイッチング素子を被覆して表面を平坦化する平坦化膜を成膜する際に成膜されることを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、切り出し用の平坦化膜は、スイッチング素子等を被覆して表面を平坦化する平坦化膜の形成過程で一度に成膜される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の液晶表示パネル用の基板及びその切断方法によれば、切り出し用の平坦化膜が液晶表示パネル用の基板の切り出し用の切断ライン上にも所定の幅で形成されていることにより、液晶表示パネル用の基板の切り出し工程において、引き出されている電気配線を切断しても、切り出し用の平坦化膜が腐食防止の役割を果たすとともに、切り出しの際に割れ方向のばらつきを抑えることができる。また、切り出し用の平坦化膜をミシン目状に所定間隔をおいてパターンを形成することで、切断の際に切断ラインに沿って切断しやすくなり、切断不良を低減することが可能になる。
【００１４】
本発明の請求項５記載の液晶表示パネル用の基板の切断方法によれば、切り出し用の平坦化膜は、スイッチング素子等を被覆して表面を平坦化する平坦化膜の形成過程で一度に成膜されることから、従来のように製造後に切断用のために特別に切断用のテープを貼るような必要がなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して詳細に述べる。
【００１６】
本実施の形態は、アクティブマトリクス型の液晶ディスプレイ基板、つまり液晶表示パネル用の基板に本発明を適用したもので、液晶表示パネル用の基板に電気配線パターンが形成されたＴＦＴ（Thin Film Transistor）である。この液晶表示装置は、液晶層を挟んで液晶表示パネル用のアレイ基板と対向基板とが対向配置された構成をとる。
【００１７】
図１及び図２に示すように、液晶表示パネル用のアレイ基板１には、ＴＦＴに信号を供給するためのゲート線とデータ線とが互いに直交するように複数設けられるとともに、これらゲート線とデータ線との交差部に対応して設けられるＴＦＴによって制御される複数の画素電極が、マトリクス状に配列されている。液晶表示パネル用のアレイ基板１は、ガラス基板等の対向基板Ｃと対向する側の面に、このスイッチング素子２に起因する段差を無くすように表面が平坦化された透明性樹脂よりなる平坦化膜（層間絶縁膜）４ａが成膜され、平坦化膜４ａ上に透明電極が形成される。
【００１８】
一方、上記液晶表示パネル用のアレイ基板１と対向する対向基板（カラーフィルター基板）Ｃには、カラーフィルタと、ＩＴＯ等の透明導電材料からなる対向電極と、配向膜（図示せず）とをこの順に配されている。なお、液晶表示パネル用のアレイ基板１の液晶層と反対側の主面には、位相差板及び偏光板が配され、一方、対向基板（カラーフィルター基板）Ｃにも位相差板及び偏光板が配されている。
【００１９】
上記液晶表示パネル用のアレイ基板１において、ＴＦＴ基板１の面積はカラーフィルタ基板Ｃの面積より大きく、液晶表示パネル用のアレイ基板１とカラーフィルタ基板Ｃとを貼り合わせたとき、液晶表示パネル用のアレイ基板１の一部がはみ出す領域が設けられる（図２中符号７）。上記ＴＦＴ基板２のはみ出した領域７に形成された電気配線５は、製造過程における静電破壊を防止するためショートリング６へと接続されている。上記ショートリング６は、液晶基板１の実装前に、ＴＦＴ基板１を切断ライン３ｃで切断し、ショートリング６を含む切断除去７を分離することにより切断される。切断ライン３ｂ,３ｃは、ダイヤモンド針等で切断されるラインである。
【００２０】
この液晶表示パネル用の基板１を製造するためには、ガラス基板等の絶縁性基板にＴＦＴ等のスイッチング素子２を形成し、このスイッチング素子２に起因する段差を無くすように表面が平坦化された透明性樹脂よりなる平坦化膜（層間絶縁膜）４ａが成膜された後、この平坦化膜４ａの上に透明電極が形成される（図１）。上記平坦化膜（層間絶縁膜）４ａの成膜に際しては、液晶表示パネル用の基板１の切り出し工程における切断ライン３ｂ上であって上記切断ライン３ｂとなる位置にも上記平坦化膜（切り出し用の平坦化膜）４ｂを形成する（図２）。また、切断ラインがショートリング６を切断する位置であるときは、電気配線５は上記一部はみだした領域７にも引き出されるが、この引き出した電気配線５の上方であって上記切断ライン３ｃとなる位置にも上記平坦化膜（切り出し用の平坦化膜）４ｃを形成する（図３）。このように、電気配線５のすべてを覆うように切り出し用の平坦化膜４ｃを形成するのではなく、液晶表示パネル用の基板１の切り出し工程における切断ライン３ｂや３ｃ上にのみ所定の幅で形成する。そして、前記切り出し用の平坦化膜４ｂ,４ｃは、ミシン目状に所定間隔（パターニングされない領域）をおいて平坦化膜４ｂ,４ｃが形成されない領域８も成膜したが、所定間隔をおかずに切断ライン３ｂ,３ｃ上の全域に成膜することも可能である。いずれの場合も、切り出し用の平坦化膜４ｂ,４ｃは、フォトリソグラフィによってパターン形成した。この結果、電気配線５は、ＸＹマトリクス状に配列されているため、切り出し用の平坦化膜４ｂ,４ｃとは交差するようになるとともに、切り出し用の平坦化膜４ｂ,４ｃの下方に配されることとなる。なお、上記平坦化膜４ｂ,４ｃが形成されない領域８も成膜するミシン目状にするときには、電気配線５の上には少なくとも平坦化膜４ｂ,４ｃが形成されるようにする。
【００２１】
そして、液晶表示パネル用の基板１の切り出し工程において、所定のサイズ（一画面分あるいは数画面分）に切り出す。切り出し工程においては、電気配線５が形成された一対のマザーガラス基板（液晶表示パネル用の基板１と対向基板Ｃ）を互いに貼り合わせてパネル化した後に、所定のサイズ（一画面分あるいは数画面分）に切り出したり、電気配線５が形成された液晶表示パネル用の基板１と対向基板Ｃを所定のサイズに切り出した後に互いに貼り合わせてパネル化したりする。また、上記ショートリング６を切断するときにも行われる。
【００２２】
まず、上記ショートリング６を切断するときは、図２に示すように、切断ライン３ｃに沿って切り出すが、切り出す位置における電気配線５を切断しても、切り出し用の平坦化膜４ｃがその上に被覆されているので、腐食防止の役割を果たすとともに、切り出しの際に切断ライン３ｃから外れて割れる割れ方向のばらつきを抑えることができる。このときの切断した状態が図４（ｂ）である。次に、電気配線５が形成された一対のマザーガラス基板１,Ｃを所定のサイズに切り出すときは、図３に示すように、切断ライン３ｂに沿って切り出すが、切り出す位置における電気配線５を切断しても、切り出し用の平坦化膜４ｂがその上に被覆されているので、腐食防止の役割を果たすとともに、切り出しの際に切断ライン３ｃの割れ方向のばらつきを抑えることができる。このときの切断した状態が図４（ａ）である。
【００２３】
ここで、切り出し用の平坦化膜４ｂ,４ｃをミシン目状に所定間隔をおいて成膜しない箇所８を設けた場合には、切り出し用の平坦化膜４ｂ,４ｃがフォトリソグラフィによってパターニングされた領域とパターニングされない領域とが交互に設けられ、パターニングされない領域８が予め切断ライン３ｂ,３ｃにおける切り込みとなるために、その方向に切り出されることなり、切断する際に基板１の割れ方向のばらつき、つまり切断中において切断ライン３ｂ,３ｃ以外にひびが入る事態を防止する。したがって、切断の際に切断ライン３ｂ,３ｃに沿って切断し易くなり、切断不良を低減することができる。一方、所定間隔をおかずに切断ライン３ｂ,３ｃ上の全域に成膜する場合は、電気配線５のすべてを保護するように簡易に成膜される利点がある。
【００２４】
また、反射表示領域と透過表示領域を併せ持つ半透過型液晶表示装置においては、外光を反射させるための凹凸を有する反射層上に、反射層の凹凸を平坦化するための平坦化膜及び透明電極をこの順に積層した構成とされている。本実施の形態の電気配線５上に形成される切り出し用の平坦化膜４ｂ,４ｃは、反射層の凹凸を平坦化するための上記平坦化膜を成膜するときに、電気配線５上に成膜することも可能である。
【００２５】
以上のように本発明は、平坦化膜を形成する液晶表示パネル用の基板であれば、その平坦化膜の種類を問わずに、その平坦化膜の製造工程を利用して、切断ライン３ｂ,３ｃ上に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明を適用した液晶表示パネル用の基板の一例を示す要部概略断面図である。
【図２】本発明の実施の一形態である液晶表示パネル用の基板の平面模式図である。
【図３】本発明の実施の一形態である液晶表示パネル用の基板の平面模式図である。
【図４】切り出し工程の切断ラインを切断した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１     液晶表示パネル用の基板
２     スイッチング素子
３ｂ,３ｃ  液晶表示パネル用の基板の切断ライン
４ａ   表示領域に配された平坦化膜（層間絶縁膜）
４ｂ,４ｃ  切り出し用の平坦化膜
５     電気配線
６     ショートリング
８     切り出し用の平坦化膜のミシン目状の成膜されていない箇所
Ｃ     対向基板（カラーフィルター基板）
【図１】
2005283885.tif 000003
【図２】
2005283885.tif 000004
【図３】
2005283885.tif 000005
【図４】
2005283885.tif 000006