(57)【要約】【課題】被把持物の回転モーメントに伴う震動及び上下方向、左右方向の震動を抑制可能な懸垂型搬送台車を提供することである。  【解決手段】走行レールを走行する走行部３と、前記走行部３に設けられ、ＦＯＵＰ１の上面に形成されたＦＯＵＰ被把持部１２を把持して懸垂状態で昇降可能な把持機構部２と、前記把持機構部２により前記ＦＯＵＰ１が上昇されたときに、前記ＦＯＵＰ被把持部１２の形成位置とは異なる前記ＦＯＵＰ１の上面の所定位置に圧接するように前記把持機構部２に固設された緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄと、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行レールを走行する走行手段と、
前記走行手段に設けられ、被把持物の上面に形成された突出部を把持して懸垂状態で昇降可能な把持手段と、
前記把持手段により前記被把持物が上昇されたときに、前記突出部の形成位置とは異なる前記被把持物の上面の所定位置に圧接するように前記把持手段に固設された緩衝手段と、
を有することを特徴とする懸垂型搬送台車。
【請求項２】
前記所定位置は、前記突出部を中心として対称配置されることを特徴とする請求項１に記載の懸垂型搬送台車。
【請求項３】
走行方向に一致する直線上の複数個所に前記所定位置が存在するように配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の懸垂型搬送台車。
【請求項４】
走行方向に直交する直線上の複数個所に前記所定位置が存在するように配置されていることを特徴とする請求項３に記載の懸垂型搬送台車。
【請求項５】
前記緩衝手段は、前記把持手段の下面の外周全体に設けられることを特徴とする請求項１に記載の懸垂型搬送台車。
【請求項６】
前記緩衝手段は、ゲル状物、スポンジ状ゴム、バネ、粘弾性体材料の何れか１種、又はこれらを２種以上組合せたものから構成されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の懸垂型搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程等の搬送システムにおける懸垂型搬送台車に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工程では、シリコンウエハはＦＯＵＰなど塵埃の影響を受けないクリーンな保管箱に収納されて製造装置間を搬送される。その搬送手段としては、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒ  ｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）やＯＨＳ（Ｏｖｅｒ  Ｈｅａｄ  Ｓｈｕｔｔｌｅ）等といった軌道上を走行する台車による無人搬送システムが主流となってきている。
【０００３】
従来、図８に示すように、天井から懸垂された軌道である走行レール６と、把持機構部２のフィンガー部１６の接触面全体で被把持物であるＦＯＵＰ１の突出部１２を一様に支えることにより把持し、走行レール６内部に収納された走行部３により走行レール６上を矢印方向Ａに走行することで、ＦＯＵＰ１を工程間搬送するＯＨＴ搬送台車５からなるＯＨＴ搬送システムが知られている。
【０００４】
上記のＯＨＴ搬送システムにおいて、ＯＨＴ搬送台車５の矢印方向Ａへの移動加速が緩やかな場合、ＦＯＵＰ１に作用する慣性力に起因する回転モーメントが十分小さいため、回転モーメントが問題になることはない。しかし、ＯＨＴ搬送台車５の搬送効率向上が強く求められる現状では、ＯＨＴ搬送台車５に高速搬送機能が不可欠である。このため、ＯＨＴ搬送台車５には急加速が強いられる。その結果、ＯＨＴ搬送台車５がＦＯＵＰ１を吊上げ、進行方向へ走行を急加速する場合、又はその逆に、ＯＨＴ搬送台車５の走行をトップスピードから急減速して停止させる場合、ＦＯＵＰ１の突出部１２がフィンガー部１６の接触面全体で一様に支えられているだけであるため、ＦＯＵＰ１に回転モーメントに伴う震動が発生する。
【０００５】
また、走行レール６には、継ぎ目段差や、レール分岐部の段差が存在し、これら段差は走行レール６自身の老朽化、或いはクリーンルーム建て屋のひずみと老朽化により拡大される場合が多い。走行レール６上に存在する段差や、レール分岐部に存在する溝等の段差は、ＦＯＵＰ１に対して上下方向の震動を発生させる。また、走行レール６のカーブ部などは、ＦＯＵＰ１に対して左右方向の震動を発生させる。また、ＦＯＵＰ１を把持して持上げる時、逆にＦＯＵＰ１を荷受け台８に載置する時にも、ＦＯＵＰ１に対して上下方向の震動を発生させる。
【０００６】
これら震動は震動エネルギーとして徐々に減衰するが、震動初期の段階では、ＦＯＵＰ１内部に保管された製造途中のシリコンウエハに問題となる震動が伝播する。シリコンウエハの震動はシリコンウエハとシリコンウエハを支えるカセット等との接触面での滑り摩擦を誘発する。この滑り摩擦で滑り面にパーティクルが発生し、さらに発生したパーティクルが飛散してシリコンウエハ表面に付着し、パターン欠陥を誘発し、製品の歩留りを低下させる。
【０００７】
特許文献１には、外枠に水平に嵌挿した、四方向にエアーバネを介して自由に動く中枠の上にエアーバネを介して上板を設け、この上板の上にシリコンウエハ等の入ったカセットを載置して搬送することで、被載置物に対して上下左右、及び前後方向に防震性を持たせた、床上を走る無人搬送車が開示されている。
【０００８】
【特許文献１】特開平０５−１６５５２４号公報
【０００９】
しかしながら、特許文献１のような構成は、防震対象が床上を走る搬送車に載置された、回転モーメントが負荷されることのない被載置物であり、防震対象が懸垂型搬送台車に懸垂された回転モーメントが負荷される被把持物である本構成とは解決課題が異なる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上記問題を鑑みなされたものであって、その目的とするところは、被把持物の回転モーメントに伴う震動及び上下方向、左右方向の震動を抑制可能な懸垂型搬送台車を提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００１１】
本発明の懸垂型搬送台車は、走行レールを走行する走行手段と、前記走行手段に設けられ、被把持物の上面に形成された突出部を把持して懸垂状態で昇降可能な把持手段と、前記把持手段により前記被把持物が上昇されたときに、前記突出部の形成位置とは異なる前記被把持物の上面の所定位置に圧接するように前記把持手段に固設された緩衝手段と、を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明によると、緩衝手段が被把持物に負荷される回転モーメントに伴う震動及び上下方向の震動を抑えるため、懸垂型搬送台車の搬送効率を向上できる。
【００１３】
本発明においては、前記所定位置は、前記突出部を中心として対称配置されることが好ましい。これによると、被搬送物は突出部から両側の等距離離れた位置において圧接されるため、懸吊したときにおける被搬送物の傾きを抑えることができる。
【００１４】
本発明においては、走行方向に一致する直線上の複数個所に前記所定位置が存在するように配置されていることが好ましい。これによると、被搬送物は走行方向に一致する直線上の複数個所に存在する所定位置において圧接されるため、被把持物に負荷される走行方向の震動を抑えることができる。
【００１５】
本発明においては、走行方向に直交する直線上の複数個所に前記所定位置が存在するように配置されていることが好ましい。これによると、被搬送物は走行方向に直交する直線上の複数個所に存在する所定位置において圧接されるため、走行レールのカーブ部を走行する時などにおいて被把持物に負荷される走行方向に直交する方向の震動を抑えることができる。
【００１６】
本発明においては、前記緩衝手段は、前記把持手段の下面の外周全体に設けられることが好ましい。これによると、被把持物に負荷されるすべての方向の震動を抑えることができる。
【００１７】
本発明においては、前記緩衝手段は、ゲル状物、スポンジ状ゴム、バネ、粘弾性体材料の何れか１種、又はこれらを２種以上組合せたものから構成されることが好ましい。これによると、所望の硬度とダンピングを持たせた緩衝手段とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係る懸垂型搬送台車の実施形態例について説明する。
【００１９】
本発明の懸垂型搬送台車の構成を図１乃至図４に基づいて説明する。図１はＯＨＴ搬送台車５及びその周辺を示した側面図であり、走行部３のみ断面図である。図２は図１に於ける把持機構部とＦＯＵＰを正面方向より拡大した正面図である。図３（ａ）、図３（ｂ）は図１に於ける把持機構部を下面方向からみた下面図である。図４は本発明の緩衝手段の一実施形態の構成を表した斜視図である。
【００２０】
図１において、５は懸垂型搬送台車であるＯＨＴ搬送台車であり、天井９に敷設された走行レール６に懸垂され、被把持物であるＦＯＵＰ１を把持して懸垂状態で昇降可能な把持手段である把持機構部２を有する。１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄは緩衝手段である緩衝部材であり、ＦＯＵＰ１の上面の所定位置に圧接するように把持機構部２に固設される。
【００２１】
懸垂型搬送台車５は、把持機構部２と、位置調整部４と、走行部３とからなる。
【００２２】
図２において、把持機構部２はベルト昇降機構１３、ベルト１４、把持部１５、フィンガー部１６、スペーサ１７等から構成される。
【００２３】
ベルト昇降機構１３は、ベルト１４を巻き戻すことで把持部１５を降下させ、ベルト１４を巻き上げることで把持部１５を上昇させる。フィンガー部１６は把持部１５の先端に取り付けられ、後述するＦＯＵＰ１のＦＯＵＰ被把持部１２を把持・開放する。スペーサ１７はフィンガー部１６とＦＯＵＰ被把持部１２との接触面に設けられ、ＦＯＵＰ被把持部１２とフィンガー部１６の滑りを抑える。
【００２４】
図１において、位置調整部４は、停止したＯＨＴ搬送台車５の位置を微調整して、荷受け台８に対してＯＨＴ搬送台車５の位置を正確に位置合わせする。
【００２５】
走行部３は走行手段であり、１次側積層鉄心コイル２３と、台車懸垂部材２４と、２次側鉄心コイル２５と、分岐ローラ２９と、走行ローラ３０とからなる。
【００２６】
１次側積層鉄心コイル２３は、走行レール６に敷設された２次側永久磁石２２を固定子として、２次側永久磁石２２とでリニアモータを構成する。台車懸垂部材２４は、位置調整部４に結合して把持機構部２と位置調整部４を懸垂する。２次側鉄心コイル２５は、走行レール６に敷設された１次側電源線２７とで非接触給電を構成しており、１次側電源線２７に印加される高周波電力が２次側鉄心コイル２５に誘導されることで、非接触で電力伝達が行われる。ＯＨＴ搬送台車５に必要な電力はすべてこの非接触給電で賄われる。走行ローラ３０は走行レール６を走行し、分岐部では走行レール６の左右に配置された分岐用ガイド２８のいずれか一方を分岐ローラ２９が選択することで走行レール６の軌道が選択される。
【００２７】
ＦＯＵＰ１はＦＯＵＰ収納部１１とＦＯＵＰ被把持部１２から構成される。ＦＯＵＰ収納部１１には、図示しないシリコンウエハが収納される。ＦＯＵＰ被把持部１２はＯＨＴ搬送台車５のフィンガー部１６により拘束され、把持されるＦＯＵＰ１の上面に形成された突出部である。ＦＯＵＰ被把持部１２の形成位置とは異なるＦＯＵＰ収納部１１の上面には、後述する緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄが圧接する所定位置が存在する。
【００２８】
緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄは、把持機構部２を下面方向からみた図３（ａ）のように、ベルト昇降機構１３の下面が進行方向である矢印方向Ａに平行な矩形であれば、走行方向に一致する直線上に緩衝部材１８ａと緩衝部材１８ｄが配置され、同じく走行方向に一致する直線上に緩衝部材１８ｂと緩衝部材１８ｃが配置される。また、走行方向に直交する直線上に緩衝部材１８ａと緩衝部材１８ｂが配置され、同じく走行方向に直交する直線上に緩衝部材１８ｃと緩衝部材１８ｄが配置される。配置関係は以上のようになっており、ここでは、ベルト昇降機構１３の下面四隅に設けられている。また、緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄの配置位置は上述のＦＯＵＰ収納部１１の上面に設けられた所定位置に対向する位置である。ここで、緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄは４つに限られず、矩形の外周全体に設けられても良い。
また、ベルト昇降機構１３の下面形状は矩形に限られず、例えば図３（ｂ）のような円形であれば、緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄはＦＯＵＰ被把持部１２から等距離隔てたＦＯＵＰ収納部１１の上面の４箇所の所定位置に対向する位置に配置され、その４つの緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄの配置関係は上述の矩形の場合と同じである。ここで、緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄは４つに限られず、円形の外周全体に設けられても良いことはいうまでもない。
【００２９】
緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄは、所望の硬度とダンピングを持ち、耐久性があり、変形可能であり、発塵しない構造であるゲル状物、スポンジ状ゴム、バネ、粘弾性体材料の何れか１種、又はこれらを２種以上組合せたものから構成されることが好ましい。ここでは図４のような、円筒状のゴム容器４０にシータゲル等のゲル状物４４を流し込み、加熱してゲル状物４４を硬化させた後、ベルト昇降機構１３に取り付けるための取り付け穴４２と空気抜き穴４３が穿孔されたアルミ蓋４１で蓋をした構成からなる。ここで、空気抜き穴４３が外気と連通した状態でベルト昇降機構１３に取り付けられることはいうまでもない。また、緩衝材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄの形状は円筒状に限られない。
【００３０】
次に、本発明の懸垂型搬送台車の作動について図１を用いて説明する。
【００３１】
ＯＨＴ搬送台車５は天井９に懸垂状態に取り付けられた走行レール６上を走行する。ＯＨＴ搬送台車５には、走行レール６に敷設された１次側電源線２７とＯＨＴ搬送台車５の走行部３の２次側鉄心コイル２５で構成される非接触給電方式により電力供給がなされる。１次側電源線２７は、後述する搬送コントローラとＯＨＴ搬送台車５との通信線としても使われる。
【００３２】
ＯＨＴ搬送台車５はＦＯＵＰ１を積載せず空の状態で、半導体製造装置７の荷受け台８に位置決めして停止する。次いで位置調整部４がＯＨＴ搬送台車５の位置を微調整し、ＦＯＵＰ１が載置された荷受け台８に対してＯＨＴ搬送台車５の位置を正確に位置合せする。
【００３３】
次に、ベルト昇降機構１３が動作し、巻上げているベルト１４を巻き戻すことで、把持部１５の先端に取付けられた図示しないセンサーが把持部１５の先端とＦＯＵＰ被把持部１２との接触を検知するまでベルト１４を降下させ、接触した時点でベルト１４の巻き戻しを停止させる。
【００３４】
次に、フィンガー部１６が水平方向（図１においては紙面左右方向）にスライドし、ＦＯＵＰ被把持部１２の左右両端をスペーサ１７に当接させる。これによりＦＯＵＰ被把持部１２はフィンガー部１６で把持される。
【００３５】
次に、ベルト昇降機構１３はベルト巻取モータの回転をベルト巻上げ方向に切り替え、ベルト１４を巻上げ、把持部１５を最上部まで吊上げる。これによりＯＨＴ搬送台車５はＦＯＵＰ１を懸垂状態で把持する。図１はこの状態を図示している。
【００３６】
次に、ＯＨＴ搬送台車５は、ＦＯＵＰ１を把持した状態で、システムコントローラの指令を受けて目的ポイントまで走行する。途中分岐部がある部位では走行レール６に敷設された分岐ガイドレール２８のいずれか一方を選び、分岐ローラ２９を選定した分岐ガイドレール２８に押し当て、ルートを選択する。
【００３７】
次に、ＯＨＴ搬送台車５は目的地に到達後、ＦＯＵＰ１の移載作業を行う。ＯＨＴ搬送台車５は移載位置に到着して停止し、位置調整部４で正確に位置合わせされ、次に、最上部まで巻き上げられたベルト１４を巻き降ろし、ＦＯＵＰ１を半導体製造装置７の荷受け台８まで下ろす。ＦＯＵＰ１底面が荷受け台８上面に接触すると、荷受け台８に取り付けられた図示しないリミットスイッチが作動してＦＯＵＰ１の着地を検知することでベルト１４の巻き降ろしが止まる。その後、把持部１５はフィンガー部１６を開放しＦＯＵＰ１を荷受け台８上に載置する。このＦＯＵＰ１積み下ろし作業が終了した後、ＯＨＴ搬送台車５はベルト１４を巻上げ、把持部１５が最上部に到達した時点で、次の指令に従って次の目的地に向かう。
【００３８】
次に、従来技術の構成におけるＯＨＴ搬送台車が震動する場合について図５を用いて説明する。図５は図８に於ける把持機構部２とＦＯＵＰ１を拡大した正面図である。
【００３９】
図５において、把持部１５はベルト１４により最上部までタイトに巻上げられているので、ベルト１４にはたるみは殆どなく把持部１５はベルト１４を巻き取るプーリを介してベルト昇降機構下面１９と一体化している。このためＯＨＴ搬送台車５が静止状態から矢印方向Ａに走行を加速させる段階においてもベルト１４部で震動は起こらない。しかし、スペーサ１７を当接させてフィンガー部１６で把持した、ＦＯＵＰ１を拘束する拘束力Ｐはごく弱く殆どゼロに近い。従ってＯＨＴ搬送台車５本体が矢印方向Ａに動く瞬間、ＦＯＵＰ１をＯＨＴ搬送台車５と伴に矢印方向Ａに移動させようとする力がＦＯＵＰ１とフィンガー部１６の接触面に於ける摩擦力として、ＦＯＵＰ１の重心Ｐ１に作用する。一方、ＦＯＵＰ１には慣性力が働き、この慣性力は前記摩擦力より大きいため、フィンガー部１６とＦＯＵＰ被把持部１２の接触面に滑りが起こる。ＦＯＵＰ被把持部１２の滑りはフィンガー部１６の右端部のスペーサ１７により止められるが、ＯＨＴ搬送台車５本体は矢印方向Ａに速度を加速するのでＦＯＵＰ１にはＦＯＵＰ１の重心Ｐ１を中心に回転モーメント３３が作用する。
【００４０】
図５では、ＦＯＵＰ１がＦＯＵＰ被把持部１２の被把持板１０のみからなり、被把持板１０がＦＯＵＰ１の全質量を持ったと仮定し、回転モーメント３３によるＦＯＵＰ１の回転がＰ２点を中心に起こる場合を図示している。Ｐ２点を中心とするＦＯＵＰ１の回転モーメント３３はＦＯＵＰ１の重量をＷとした場合［式１］で表せる。
［式１］（回転モーメント）＝Ｗ×Ｌ2
ここで、ＬはＰ２点からＰ３点までの距離、つまり被把持板１０の長さである。
Ｐ２点を中心とする回転モーメント３３が［式１］の値以下である場合、Ｐ３部において、スペーサ１７を介して接触するフィンガー部１６とＦＯＵＰ被把持部１２が回転により離隔することはないが、ＯＨＴ搬送台車５が高速運動する現状では、スペーサ１７を介して接触するフィンガー部１６とＦＯＵＰ被把持部１２が回転により離隔し、ＦＯＵＰ１に回転を原因とする震動が発生する。
【００４１】
また、走行レール６上に存在する段差や、軌道分岐部に存在する溝に起因して発生する上下方向の震動や、走行レール６のカーブ部を走行する時などにおいて発生する左右方向の震動や、ＦＯＵＰ１を把持し持上げる時、逆にＦＯＵＰ１を荷受け台８に載置する時の上下方向の震動が、ＦＯＵＰ１に作用する。
【００４２】
次に、本発明の構成における懸垂型搬送台車の作動と効果について図２を用いて説明する。図２は図１に於ける把持機構部２とＦＯＵＰ１を正面方向より拡大した正面図である。
【００４３】
図２は、ベルト昇降機構１３がベルト１４を巻上げ、把持部１５を最上部まで吊上げることで、ＯＨＴ搬送台車５がＦＯＵＰ１を懸垂状態で把持した状態を示している。このとき、ＦＯＵＰ１と対向するベルト昇降機構１３の下面周辺部に設けられた緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄがＦＯＵＰ収納部１１の所定位置に当接する。これにより、ＦＯＵＰ被把持部１２はＰ２，Ｐ３の２点でスペーサ１７を介してフィンガー部１６に把持・密着し、Ｓ１，Ｓ２の２つの面で接触・密着し、ＦＯＵＰ収納部１１は所定位置であるＰ４，Ｐ５の２点及び図示しない所定位置２点で緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄに接触・密着する。
【００４４】
特に、Ｐ４，Ｐ５と図示しない２点においては、緩衝材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄを挟んだ状態であるため、ＯＨＴ搬送台車５が停止状態から急加速走行した場合であっても、緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄが回転モーメントを吸収する。これにより、フィンガー部１６とＦＯＵＰ被把持部１２の接触面Ｓ１，Ｓ２は維持され、ＦＯＵＰ１は防震される。
【００４５】
また、走行レール６上の継ぎ目段差や、軌道分岐部の段差、継ぎ目や軌道分岐部にできた溝に起因して発生する上下方向の震動や、走行レール６のカーブ部を走行する時などにおいて発生する左右方向の震動や、ＦＯＵＰ１を把持し持上げる時、逆にＦＯＵＰ１を荷受け台８に載置する時の上下方向の震動も緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄに吸収される。これにより、ＦＯＵＰ１は防震される。
【００４６】
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。即ち、緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄは、図６に示すような、バネ４５をゴムチューブ４６で覆ったものでも良い。この場合には、図４と同様なアルミ蓋４１を用いてベルト昇降機構１３に取り付ければ、同様の防震効果が得られる。また、緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄはオリフィス等で内部のオイルの流量を調整する構造のショックアブゾーバであっても良い。
【００４７】
また、上述した実施形態例では緩衝部材を４つ用いたが、走行方向に一致する直線上に存在する緩衝部材が４つ以上あっても良く、例えば緩衝部材１８ａと１８ｄとを結ぶ直線と同一の直線上に別途緩衝部材が１つ以上設けられていても良い。同様に、走行方向に直交する直線上に存在する緩衝部材が４つ以上あっても良く、例えば緩衝部材１８ａと１８ｂとを結ぶ直線と同一の直線上に別途緩衝部材が１つ以上設けられていても良い。これら緩衝部材がＦＯＵＰ収納部１１の所定位置に当接することはいうまでもない。
【００４８】
また、上述した実施形態例では同種の緩衝部材１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄを複数用いたが、図７のように異なる種類の緩衝手段を同時に使用することも可能である。ここで他種の緩衝手段２０は、緩衝部材１８ａ，１８ｄに代えて走行方向に一致する直線上に横長に設けられたシリコンスポンジである。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の防震機構を有する懸垂型搬送台車及びその周辺を示した側面図であり、走行部のみ断面図である。
【図２】図１に於ける把持機構部とＦＯＵＰを正面方向より拡大した正面図である。
【図３（ａ）】図１に於ける把持機構部の一形態例を下面方向からみた下面図である。
【図３（ｂ）】図１に於ける把持機構部の別の形態例を下面方向からみた下面図である。
【図４】本発明の緩衝手段の一実施形態の構成を表した斜視図である。
【図５】図８に於ける把持機構部とＦＯＵＰを拡大した正面図である。
【図６】本発明の緩衝手段の別の実施形態の構成を表した斜視図である。
【図７】図１に於ける把持機構部を下面方向からみた別の下面図である。
【図８】従来の懸垂型搬送台車及びその周辺を示した正面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  ＦＯＵＰ
２  把持機構部
３  走行部
４  位置調整部
５  ＯＨＴ搬送台車
６  走行レール
７  半導体製造装置
８  荷受け台
９  天井
１０  被把持板
１１  ＦＯＵＰ収納部
１２  ＦＯＵＰ被把持部
１３  ベルト昇降機構
１４  ベルト
１５  把持部
１６  フィンガー部
１７  スペーサ
１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ  緩衝部材
１９  ベルト昇降機構下面
２４  台車懸垂部材
２５  ２次側鉄心コイル
２６  １次側導体
２７  １次側電源線
２８  分岐ガイドレール
２９  分岐ローラ
３０  走行ローラ
３３  回転モーメント
【図１】
2005194009.tif 000003
【図２】
2005194009.tif 000004
【図３（ａ）】
2005194009.tif 000005
【図３（ｂ）】
2005194009.tif 000006
【図４】
2005194009.tif 000007
【図５】
2005194009.tif 000008
【図６】
2005194009.tif 000009
【図７】
2005194009.tif 000010
【図８】
2005194009.tif 000011