(57)【要約】【課題】流体の圧力損失を低減し、ポンプ効率を向上させた容積型ポンプの逆止弁を提供する。【解決手段】ポンプ室２２ｂの流体送出側と流体吸込側とで逆向きに設けられ、当該ポンプ室２２ｂへ流入若しくは流出する流体圧のみで弁体４０が開閉し、当該弁体４０が流体の流路と平行な一の軸心を有し当該軸心を中心として平面視外形が円形状に形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ室内で可動子を往復動させて流体を送出及び吸込する動作を繰り返す容積型ポンプの逆止弁において、
ポンプ室の流体送出側と流体吸込側とで逆向きに設けられ、当該ポンプ室へ流入若しくはポンプ室から流出する流体圧のみで弁体が開閉し、当該弁体が流体の流路と平行な一の軸心を有し当該軸心を中心として平面視外形が円形状に形成されていることを特徴とする容積型ポンプの逆止弁。
【請求項２】
弁体は弁座に着座して流路を遮る弁部と、弁体が流体圧により弁座から脱落して流されるのを防止する抜け止め部とが設けられていることを特徴とする請求項１記載の容積型ポンプの逆止弁。
【請求項３】
弁体は弁座に接離動する弁部とそれ以外の部位とが複数の部品から構成されていることを特徴とする請求項１記載の容積型ポンプの逆止弁。
【請求項４】
弁体を形成する弁部と抜け止め部とは異種材料若しくは硬度が異なるゴム材料の組み合せが用いられることを特徴とする請求項１記載の容積型ポンプの逆止弁。
【請求項５】
抜け止め部の軸心が流体の流れの中心とほぼ一致させるように開閉動作をガイドするガイド部が弁座の開口部近傍に設けられていることを特徴とする請求項１記載の容積型ポンプの逆止弁。
【請求項６】
弁体が接離動する弁座の着座部は、テーパー面若しくはＲ面形状に形成されていることを特徴とする請求項１記載の容積型ポンプの逆止弁。
【請求項７】
弁座に接離動する弁体の弁部は、テーパー面若しくはＲ面形状に形成されていることを特徴とする請求項１記載の容積型ポンプの逆止弁。
【請求項８】
ポンプ室に弁体が設けられる開口部の流路壁面は、テーパー面若しくはＲ面に形成されていることを特徴とする請求項１記載の容積型ポンプの逆止弁。                                                   
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は容積型ポンプの逆止弁に係り、より詳細には気体、液体等の流体の輸送に使用されるポンプ室の容積変化により流体を送出及び吸込が行われる容積型ポンプの逆止弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
ポンプ室の容積変化により流体の送出及び吸込が行われる容積型ポンプにおいては、例えばシリンダ室内に往復動に設けられた可動子を作動させると、ポンプ室内の流体を送出及び吸込が行われる。このポンプ室の送出及び吸込が行われる流路（シリンダ開口部）には逆止弁が向きを逆にして設けられる。一般に逆止弁は、弁体をピンなどを支点軸にして開閉するもの（図示せず）や図６（ａ）においてゴム板などの弾性変形可能な弁体１０１をシリンダ開口部が形成された弁座１０２に開閉するように設けられるスイング弁、図６（ｂ）においてシリンダ室１０３の内壁に形成された弁座１０４に球状の弁体１０５を流体圧に応じてシリンダ室１０３内を自由に移動可能に設けられるボール弁（特許文献１参照）、図６（ｃ）において鋼球等の弁体１０６がコイルバネ１０７により付勢されて弁座１０８を閉止し流体圧により開弁する強制弁（特許文献２参照）、或いは通電により電磁力を弁体（可動子）に作用させて弁を開閉する電磁弁（図示せず）などが用いられる。
【特許文献１】特開平７−１４５８７１号
【特許文献２】特開平１０−２２０６０５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
図６（ａ）に示すスイング弁を用いた場合には、弁体１０１が繰り返し開閉したり屈曲したりするため、弾性疲労を起こし易く、弁の寿命が短く開閉動作を維持し難く信頼性が低下し易い。また、図６（ｂ）（ｃ）に示すボール弁を用いる場合には、球状の弁体１０５、１０６と弁座１０４、１０８に精度を要求され、弁体１０５、１０６の着座位置によっては、流体がリークしたり、偏摩耗したりして、両者の形状を精度良く作らないと弁としての役割が果たせなくなるため製造コストが上昇する。また、ボール状であるためシリンダ室に収容するには体積を要し、弁体並びにシリンダ室を小型化するにも限界がある。また、図６（ｃ）の強制弁を用いた場合には、弁自体を開閉するのに外力を用いているため、弁の開閉に伴う流体圧が急激に変化するため、圧力損失が大きく、小型のポンプにおいてはポンプ効率が著しく低下するおそれがある。また、電磁弁を用いた場合には、構造が複雑で部品点数も多くなることから、小型化低コスト化を図ることが難しくなる。
【０００４】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、流体の圧力損失を低減し、ポンプ効率を向上させた容積型ポンプの逆止弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
ポンプ室内で可動子を往復動させて流体を送出及び吸込する動作を繰り返す容積型ポンプの逆止弁において、ポンプ室の流体送出側と流体吸込側とで逆向きに設けられ、当該ポンプ室へ流入若しくはポンプ室から流出する流体圧のみで弁体が開閉し、当該弁体が流体の流路と平行な一の軸心を有し当該軸心を中心として平面視外形が円形状に形成されていることを特徴とする。
また、弁体は弁座に着座して流路を遮る弁部と、弁体が流体圧により弁座から脱落して流されるのを防止する抜け止め部とが設けられていることを特徴とする。
また、弁体は弁座に接離動する弁部とそれ以外の部位とが複数の部品から構成されていることを特徴とする。
また、弁体を形成する弁部と抜け止め部とは異種材料若しくは硬度が異なるゴム材料の組み合せが用いられることを特徴とする。
また、抜け止め部の軸心が流体の流れの中心とほぼ一致させるように開閉動作をガイドするガイド部が弁座の開口部近傍に設けられていることを特徴とする。
また、弁体が接離動する弁座の着座部は、テーパー面若しくはＲ面形状に形成されていることを特徴とする。
また、弁座に接離動する弁体の弁部は、テーパー面若しくはＲ面形状に形成されていることを特徴とする。
また、ポンプ室に弁体が設けられる開口部の流路壁面は、テーパー面若しくはＲ面に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
上述した容積型ポンプの逆止弁を用いれば、ポンプ室へ流入若しくはポンプ室から流出する流体圧のみで弁体が開閉するのでポンプの小型化を図ることができ、弁体を通過する流体に生ずる圧力損失を低減することができる。
また、弁体が流体の流路と平行な一の軸心を有し当該軸心を中心として平面視外形が円形状に形成されているので、流体の圧力変化により開弁した弁体の軸心が一時的に傾いても、弁体の外形形状が方向性を持たないため確実に着座して閉弁することができる。また、ボール弁のように高い加工精度を必要としないので、低コストでポンプ室の密封性を得ることができ、繰り返し摺動する部位や屈曲する部位がないので、長期使用にも耐え得る弁体を提供することができる。
弁体は弁座に着座して流路を遮る弁部と、弁体が流体圧で流されるのを防止する抜け止め部とが設けられているので、弁部と抜け止め部の特性に応じた部品を採用することができる。また、弁体は弁座に接離動する弁部とそれ以外の部位とが複数の部品から構成する場合も同様である。具体的には、弁体を形成する弁部は弾性変形し易い可撓性を有する材料（例えば樹脂材、エラストマー、軟質ゴム材など）を用いてシール性を高め、抜け止め部には変形し難い材料（例えば、樹脂材、硬質ゴム材）を用いることで抜け止めを確実に行うことができる。
また、抜け止め部の軸芯が流体の流れの中心とほぼ一致させるように開閉動作をガイドするガイド部が弁座の開口部近傍に設けられているので、抜け止め部の挙動をガイド部がガイドすることで逆止弁を開閉する際の弁体の姿勢が安定する。このように、抜け止め部の軸芯と流れの中心を一致させることで弁体の動作が安定し、特性を向上させることができる。
また、弁体が接離動する弁座の着座部をテーパー面若しくはＲ面形状にしたり或いは弁座に接離動する弁体の弁部をテーパー面若しくはＲ面形状にしたりすることで、流体の流路が急に広がったり狭まったりすることがなくなりその部分に発生する圧力損失を低減することができ、ポンプ効率の向上に寄与することができる。
更には、ポンプ室に弁体が設けられる開口部の流路壁面をテーパー面若しくはＲ面に形成することで、ポンプ室の狭い開口部を通過する流体が流路より受ける圧力損失を低減することができ、ポンプ効率の向上に寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明に係る容積型ポンプのが逆止弁の最良の実施形態について添付図面とともに詳細に説明する。以下では、容積型ポンプの一例として電磁式容積型ポンプについて説明する。本実施形態の電磁式容積型ポンプは円筒状に形成したシリンダ内にマグネット（永久磁石）を備えた可動子をシリンダの軸線方向に摺動可能に配置し、シリンダの外周に配置した電磁コイルの電磁力を可動子に作用させ、可動子を往復動させることによってポンプ作用をなすように構成したものである。
【０００８】
図１において、電磁式容積型ポンプの全体構成について説明する。先ず可動子１０の構成について説明する。可動子１０は密閉されたシリンダ内に収容されてシリンダの軸線方向に往復動可能に設けられている。可動子１０は円板状に形成したマグネット１２とマグネット１２を厚さ方向に挟持する一対のインナーヨーク１４ａ、１４ｂとからなる。マグネット１２は一方の面をＮ極、他方の面をＳ極として、厚さ方向（図１の上下方向）に磁化されている永久磁石である。インナーヨーク１４ａ、１４ｂは磁性材によって形成され、各々のインナーヨーク１４ａ、１４ｂの周縁部に短筒状に起立したフランジ部１４ｃの外周面はマグネット１２から発生した磁束の可動子１０側の磁束作用面となる。
【０００９】
次に、図１において固定子１６の構成について説明する。一対の非磁性材からなる上ケース１８ａと下ケース１８ｂとの間に非磁性材料（例えば樹脂材、ステンレスなどの金属材）からなる筒状のシリンダ筒２０が嵌め込まれて上下開口端が閉止されたシリンダが形成される。このシリンダ筒２０内に上述した可動子１０が往復動可能に収容されている。なお、シリンダは上ケース１８ａと下ケース１８ｂとを組み合せて溶着して形成することもできる。
【００１０】
このように、シリンダの両端面は上ケース１８ａと下ケース１８ｂによって閉止され、可動子１０の移動方向両側面と上下ケース１８ａ、１８ｂの内壁面との間にポンプ室２２ａ、２２ｂが各々形成される。なお、可動子１０はシリンダ筒２０の内面に接触した状態で、気密あるいは液密にシールした状態で摺動する。この可動子１０の摺動性を良好にするため、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの外周面にフッ素樹脂コーティングやＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）コーティング等の潤滑性と防錆力を兼ね備えたコーティングを施すことや、可動子１０が周方向に回ることを防止する回り止めを設けても良い。
尚、上下ケース１８ａ、１８ｂの端面（内壁面）には図示しないダンパーが取り付けられていても良い。可動子１０のインナーヨーク１４ａ、１４ｂの端面であって、上下ケース１８ａ、１８ｂの内壁面に当接する部位に設けてもよい。
【００１１】
シリンダの上端面に相当する上ケース１８ａの開口部には、吸入用逆止弁２４ａ及び送出用逆止弁２６ａがポンプ室２２ａを開閉可能に設けられている。シリンダの下端面に相当する下ケース１８ｂの開口部には、吸入用逆止弁２４ｂ及び送出用逆止弁２６ｂがポンプ室２２ｂを開閉可能に設けられている。吸入用逆止弁２４ａ、２４ｂと送出用逆止弁２６ａ、２６ｂとは開口部に逆向きに各々取り付けられている。
【００１２】
上ケース１８ａには循環する流体のポンプへの吸入口３２と、ポンプより流体を送り出す送出口３４が形成されている。上ケース１８ａと下ケース１８ｂには、吸入口３２と吸入用逆止弁２４ａ、２４ｂとの間を連通する吸入用流路２８ａ、２８ｂが各々設けられている。また、上ケース１８ａと下ケース１８ｂには、送出用逆止弁２６ａ、２６ｂと送出口３４との間を連通する送出用流路３０ａ、３０ｂが各々設けられている。
【００１３】
図１において、シリンダ筒２０の周囲には空芯の電磁コイル３６ａ、３６ｂが嵌め込まれている。電磁コイル３６ａ、３６ｂはシリンダの軸線方向に若干離間させ、シリンダ筒２０の軸線方向の中心位置に対して均等位置となるように配置されている。電磁コイル３６ａ、３６ｂはインナーヨーク１４ａ、１４ｂのフランジ部１４ｃの可動範囲よりも軸線長が長くなるように設けられる。なお、電磁コイル３６ａと電磁コイル３６ｂとは巻き線方向が逆向きであり、同一電源による通電によって、互いに逆向きの電流が流れるように設定されている。電磁コイル３６ａ、３６ｂの巻き線方向を逆向きにしているのは、マグネット１２の磁束と鎖交する電磁コイル３６ａ、３６ｂに流れる電流に作用する電磁力が重畳して反力として可動子１０に作用し、この反力が推力になるためである。
【００１４】
アウターヨーク３８は、電磁コイル３６ａ、３６ｂの外周を囲んで筒状に設けられている。アウターヨーク３８には磁性材が用いられ、電磁コイル３６ａ、３６ｂに鎖交する磁束数を増やして電磁力を効果的に可動子１０に作用させるために設けられる。また、可動子１０を構成するインナーヨーク１４ａ、１４ｂの周辺部にフランジ部１４ｃを軸線方向に起立して設けられているのは、マグネット１２から発生した磁束をインナーヨーク１４ａ、１４ｂからアウターヨーク３８に至る磁気回路の磁気抵抗を下げるためである。これにより、可動子１０から作用する総磁束量を増加させる（磁束が通過する磁路を確保する）と共に、マグネット１２が発生した磁束が電磁コイル３６ａ、３６ｂに流れる電流と軸線方向に対して直角に鎖交させることで、可動子１０に軸線方向の推力を効果的に発生させることができる。また、本構成による可動子１０は発生推力に比して質量が軽いため、高速応答が可能となり、出力流量も増加できる。
【００１５】
電磁コイル３６ａ、３６ｂおよびアウターヨーク３８は、上ケース１８ａと下ケース１８ｂとを組み合わせる際に、上ケース１８ａと下ケース１８ｂに設けた嵌合溝にシリンダ筒２０を嵌合させることによって、該シリンダ筒２０と同芯に組み付けることができる。
【００１６】
可動子１０は、電磁コイル３６ａ、３６ｂに交番電流を通電することにより、電磁コイル３６ａ、３６ｂに発生する電磁力の反作用により往復駆動（上下動）される。電磁コイル３６ａ、３６ｂに作用する電磁力は、電磁コイル３６ａ、３６ｂへの通電方向によって可動子１０を一方向と他方向へ押動するから、図示しない制御部により、電磁コイル３６ａ、３６ｂへの通電時間、通電方向を制御することによって可動子１０を適宜ストロークで往復駆動させることができる。
【００１７】
なお、シリンダ内における可動子１０の移動位置を検出するセンサを設けておき、センサの検知信号に基づいて可動子１０の往復動を制御することもできる。例えば、シリンダ筒２０の外部に可動子１０の移動位置を検知する磁気検知センサを設ける方法、図示しないダンパーに感圧センサを設けて、可動子１０がダンパーに接触した時点を検知する方法等が可能である。本実施形態の電磁式ポンプでは可動子１０の移動ストロークが比較的小さいがポンプ室２２ａ、２２ｂは比較的広い面積を確保することができるから、可動子１０を高速で往復動させることによって一定の流量を確保することが可能である。
【００１８】
上述した電磁式容積型ポンプの動作について説明すると、電磁コイル３６ａ、３６ｂによって可動子１０を往復動させることにより、ポンプ室２２ａ、２２ｂのうち一方へ流体が吸入され、他方から流体が送出される動作が交互に行われる。すなわち、図１の状態で、可動子１０が下方に移動すると、一方のポンプ室２２ａには吸入用逆止弁２４ａが流体圧により開弁して流体が導入され、同時に他方のポンプ室２２ｂの送出用逆止弁２６ｂが流体圧により開弁して流体が送出される。また、逆に可動子１０が上方に移動すると、一方のポンプ室２２ａの送出用逆止弁２６ｂが流体圧により開弁して流体が送出され、他方のポンプ室２２ｂの吸入用逆止弁２４ｂが開弁して流体が導入される。こうして、可動子１０がどちらの側へ移動する際にも流体の吸入及び排出がなされ、流体の脈動を抑え、効率良く流体を輸送することが可能となる。
【００１９】
次に、ポンプ室２２ａ、２２ｂの設けられる逆止弁の構成について図２乃至図５を参照して説明する。以下では、ポンプ室２２ａ、２２ｂに２箇所ずつ合計４箇所に設けられた逆止弁のうち、ポンプ室２２ｂに設けられる吸入用逆止弁２４ｂを例にして説明する。
図２（ａ）において、吸入用逆止弁２４ｂは、ポンプ室２２ｂへ流入する流体からの流体圧のみで弁体４０が弁座４１に接離動するようになっている。これにより、ポンプを小型化することができるうえに、弁体４１を通過する流体に生ずる圧力損失を低減することができる。図２（ｂ）において、弁体４０は弁座４１に着座して流路を遮る弁部４２と、弁体４０が流体圧で流されるのを防止する抜け止め部４３とが設けられている。弁体４０は弁座４１に接離動する弁部４２とそれ以外の部位とが複数の部品から構成されていても良い。また、図２（ｃ）において、弁体４０は流体の流路と平行な一の軸心（本実施例では抜け止め部４３に相当）を有し当該軸心を中心として平面視外形が円形状に形成されている。弁部４２は、軸孔４２ａが形成された平面視でリング形状（断面スカート形状）をしている。これにより、流体の圧力変化により開弁した弁体４０の軸心が一時的に傾いても、弁体形状が方向性を持たないため確実に弁座４１に着座して閉弁することができる。また、ボール弁のように高い精度を必要としないので、低コストでポンプ室２２ｂの密封性を得ることができ、繰り返し摺動する部位や屈曲する部位がないので、長期使用にも耐え得る逆止弁２４ｂを提供することができる。
【００２０】
また、図２（ｂ）において、弁体４０を形成する弁部４２と抜け止め部４３とは異種材料若しくは硬度が異なるゴム材料の組み合せが用いられる。これにより、弁部４２と抜け止め部４３の特性に応じた部品を採用することができる。具体的には、弁体４０を形成する弁部４２は弾性変形し易い可撓性を有する材料（例えば樹脂材、エラストマー、軟質ゴム材など）を用いてシール性を高め、抜け止め部４３には変形し難い材料（例えば、樹脂材、硬質ゴム材）を用いることで抜け止めを確実に行うことができる。
また、逆止弁２４ｂは、外力により閉止することがないため、交番電流の切り換わるとき、或いは無通電状態の挙動が定まり難い。そこで、弁体４０の平均密度（重量／体積）は、使用される流体の密度に近い方が重力による影響を少なくして弁の応答性を向上できるため望ましい。弁体４０の平均密度としては、例えば使用する流体の密度の０．５倍〜１．５倍の範囲にすることが好ましい。
【００２１】
また、図２（ｂ）において、抜け止め部４３の軸芯は弁部４２の軸孔４２ａに嵌め込まれて先端係止部４３ａが軸孔４２ａの周縁部に係止して一体に組み付けられる。図２（ａ）において、抜け止め部４３の軸芯が流体の流れの中心とほぼ一致させるように流れに応じた開閉動作の挙動をガイドするガイド部４４が弁座４１の開口部近傍に設けられている。抜け止め部４３をガイド部４４がガイドすることで逆止弁２４ｂを開閉する際の弁体４０の姿勢が安定する。このように、抜け止め部４３の軸芯が開口部を通じてポンプ室２２ｂへ流入する流体の流れの中心とほぼ一致させることで弁体４０の動作が安定し、特性を向上させることができる。
【００２２】
次に、逆止弁２４ｂの他の構成について説明する。
図３（ａ）において、弁体４０の弁部４２が接離動する弁座４１の着座部４５は、ポンプ室２２ｂに向かって開口部の径が拡大する傾斜を有するテーパー面であっても良い。或いは、図３（ｂ）において、弁座４１の着座部４５は、ポンプ室２２ｂに向かって開口部の径が拡大するＲ面形状に形成されていても良い。着座部４５の形状が上記の何れであっても、弁体４０の弁部４２は、比較的軟質な可撓性を有する部材で構成されるため、着座部４５の形状に合わせて密着するため、シール性を維持することができる。
【００２３】
また、図４（ａ）において、弁座部４１に接離動する弁体４０の弁部４２は、ポンプ室２２ｂに向かって外径が拡大する傾斜を有するテーパー面であっても良い。或いは図４（ｂ）において、弁体４０の弁部４２はポンプ室２２ｂに向かって外径が拡大するＲ面形状に形成されていても良い。
【００２４】
また、図５（ａ）（ｂ）において、弁座部４１に接離動する弁体４０が設けられる開口部４６の流路壁面４７は、ポンプ室２２ｂに向かって外径が拡大する傾斜を有するテーパー面が形成され、開口部４６を形成する面と面との境界部はＲ面に形成されている。或いは図５（ｂ）において、、弁座部４１に接離動する弁体４０の開口部４６が形成される流路壁面４７は吸入ポンプ室２２ｂ側と吸入用流路２８ｂ側とで外径が拡大する若しくはＲ面に形成されている。このように、開口部４６の流体の流路壁面４７に角張った突起が存在せず、Ｒ面形状やテーパー面形状にすることで流体の流路が急に広がったり狭まったりすることがなくなりその部分に発生する圧力損失を低減することができる。
【００２５】
また、本実施形態の容積型ポンプは気体あるいは水や不凍液などの流体の輸送に使用することができ、流体の種類が限定されるものではない。駆動方式も電磁駆動に限らずシリンダ駆動などであっても良い。流体ポンプとして使用する際に、可動子１０が一つでは輸送圧力が不足するような場合には、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂからなる同形の単位可動子を複数個連結した多段型の可動子１０を使用するようにしても良い。単位可動子を多段に連結することによって、大きな推力を備えた可動子１０とすることができ、所要の輸送圧力を備えた電磁容積型ポンプとすることができる。
【００２６】
また、電磁コイル２６ａ、２６ｂの軸線方向端面には磁性材からなるヨークを介在させても良い。この場合には、電磁コイル２６ａ、２６ｂの軸方向両端面に隣接するヨークとアウターヨーク３８により磁気回路が形成されるので漏れ磁束を減らして磁束を有効に活用でき、電磁コイル２６ａ、２６ｂへの通電により鎖交する磁束数を確実に増やしてポンプ出力効率の改善を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係る電磁式容積型ポンプの全体構成を示す断面図である。
【図２】逆止弁の構造を示す説明図である。
【図３】逆止弁の他の構成を示す説明図である。
【図４】逆止弁の他の構成を示す説明図である。
【図５】ポンプ室の開口部の他の構成を示す断面図である。
【図６】従来の逆止弁の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０  可動子
１２  マグネット
１４ａ、１４ｂ  インナーヨーク
１４ｃ  フランジ部
１６  固定子
１８ａ  上ケース
１８ｂ  下ケース
２０  シリンダ筒
２２ａ、２２ｂ  ポンプ室
２４ａ、２４ｂ  吸入用逆止弁
２６ａ、２６ｂ  送出用逆止弁
２８ａ、２８ｂ  吸入用流路
３０ａ、３０ｂ  送出用流路
３２  吸入口
３４  送出口
３６ａ、３６ｂ  電磁コイル
３８  アウターヨーク
４０  弁体
４１  弁座
４２  弁部
４２ａ  軸孔
４３  抜け止め部
４３ａ  先端係止部
４４  ガイド部
４５  着座部
４６  開口部
４７  流路壁面                                                        
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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