(57)【要約】    【課題】  圧電体の下面の一端側近傍において固定部材に固定されており、下面の他方端近傍部分において被動部材に固定されて被動部材を駆動するように用いられるアクチュエータ用圧電素子において、固定部材及び被動部材との接着剤による固定部分の剥離が生じ難い圧電素子を提供する。    【解決手段】  圧電体１２内において、第１，第２の内部電極１３，１４が積層されており、交流電圧の印加により第１，第２の内部電極１３，１４が積層されている活性部が変位し、圧電体１２が長さ方向に伸縮するように構成されており、圧電体１２内において、活性部と第１の端面１２ａとの間に第１の不活性部が、活性部と第２の端面１２ｂとの間に第２の不活性部が構成されており、第１，第２の不活性部において、圧電体１２の下面に、一方側面から他方側面から貫くように切欠１７，１８が形成されている、圧電素子。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１，第２の端面と、上面、下面及び一対の側面を有する圧電体と、前記圧電体内において圧電体層を介して積層されている第１，第２の内部電極とを有し、第１，第２の内部電極が異なる電位に接続され、第１，第２の内部電極が積層されている部分が圧電効果により変位する活性部であり、圧電体の第１，第２の端面と前記活性部との間に第１，第２の不活性部が形成されており、第１の不活性部において前記圧電体の下面が固定部材に固定され、第２の不活性部において圧電体の下面が被動部材に固定されて該被動部材を駆動するように用いられる圧電素子において、
前記第１，第２の不活性部において、圧電体の下面に、前記圧電体の一方の側面から他方の側面まで貫くようにそれぞれ切欠が形成されていることを特徴とする、圧電素子。
【請求項２】
第１，第２の不活性部において、圧電体の上面にも前記圧電体の一方の側面から他方の側面まで貫くようにそれぞれ切欠が設けられている、請求項１に記載の圧電素子。
【請求項３】
前記切欠が、第１または第２の不活性部と活性部との境界付近に設けられている、請求項１または２に記載の圧電素子。
【請求項４】
前記切欠の深さが、最外側層の内部電極と圧電体の下面または上面との間の圧電体層の厚みよりも小さくされている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電素子。
【請求項５】
前記圧電体が、第１，第２の端面を結ぶ方向に伸縮するように、前記内部電極及び内部電極間に挟まれた圧電体層の分極構造が構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧電素子。
【請求項６】
前記圧電素子が圧電体の下面側から固定された際に、前記不活性部に設けられた切欠の一部が開口するように圧電体が固定されることを可能とするように前記切欠が設けられている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧電素子。
【請求項７】
前記切欠の開口部の全てが開口するように前記圧電体が固定されるように前記切欠が設けられている、請求項６に記載の圧電素子。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の圧電素子の第１の不活性部において、圧電体の下面側から該圧電素子が固定部材に固定されており、第２の不活性部側において圧電体の下面が被動部材に固定されており、前記第１，第２の不活性部に設けられた切欠の開口部の少なくとも一部が開口するように固定部材及び被動部材に圧電素子が固定されている、圧電アクチュエータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一端が固定部材に固定され、他端が被動部材に固定され、該被動部材を駆動するのに用いられる圧電素子及び該圧電素子を有する圧電アクチュエータ装置に関し、より詳細には、一端と他端との間を結ぶ方向において伸縮する変位を利用した圧電素子及び圧電アクチュエータ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、磁気ディスクや光磁気ディスクを読み出すためのヘッドを制御するために圧電アクチュエータの使用が検討されている。例えば、下記の特許文献１には、図７に断面図で示す圧電アクチュエータ装置が開示されている。
【０００３】
圧電アクチュエータ装置１０１では、固定的に設けられたプレート１０３上に、ヒンジ部材１０４及びベースプレート１０４Ａが固定されている。ヒンジ部材１０４は、可動部分１０４ａと、固定部分１０４ｂとを有する。可動部分１０４ａは、プレート１０３とは独立に、面方向に移動可能とされている。
【０００４】
圧電素子１０５が、接着剤１０６，１０７を用いて、ヒンジ部材１０４の可動部分１０４ａ及び固定部分１０４ｂに接着固定されている。
【０００５】
上記ヒンジ部材１０４の可動部分１０４ａには、磁気ヘッド（図示せず）が搭載されたロードビーム１０８が連結されている。なお、圧電素子１０５の一方の電極が銀ペースト１０９によりロードビーム１０８に接続されている。
【０００６】
圧電素子１０５の伸縮により、ヒンジ部材１０４の可動部分１０４ａ、ひいては、ロードビーム１０８に固定された磁気ヘッドが移動され得るように構成されている。
【０００７】
他方、下記の特許文献２には、長さ方向中央に、圧電効果により変位する活性部が配置されており、活性部の長さ方向両側に不活性部が配置されているアクチュエータが開示されている。ここでは、活性部の一方側に配置された不活性部において、接着剤を用いて圧電体の下面が固定部材に固定されている。電圧が印加されると活性部が変位し、圧電体は長さ方向に伸縮する。従って、圧電体の端面が長さ方向に移動し、該端面をヘッド等の被動部材に接触させることにより、被動部材を移動させることができる。ここでは、圧電体の上面と下面の変位の非対称性によりベンディングモードの振動が生じるため、該ベンディングモードの振動を抑圧するために、固定部材に固定される部分、すなわち接着剤により圧電体を固定する部分を、活性部と不活性部の境界からできるだけ遠ざけた構造が開示されている。すなわち、固定部材に固定されていない自由部分の長さを長くすることにより、圧電体の下面側の固定による振動の低減が図られている。
【特許文献１】特開２００２−１８４１４０号公報
【特許文献２】特許第３３４７３４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来の圧電アクチュエータ装置１０１では、圧電素子１０５の一方端部が固定部分１０４ｂに接着剤１０６により固定されており、他方端側は、接着剤１０７により可動部分１０４ａに固定されている。
【０００９】
すなわち、圧電素子１０５は、両端で固定されている。よって、圧電素子１０５が伸縮した場合、例えば、圧電素子１０５が縮んだ場合には、図８に模式的に示すように、圧電素子１０５が屈曲しがちであった。その結果、屈曲により、圧電素子１０５の接着剤１０６，１０７による固定部分に応力が加わり、剥離やクラックが生じがちであった。すなわち、図８の矢印Ａで示す接着部分において、クラックや剥離が生じがちであるという問題があった。
【００１０】
圧電素子１０５の変位量が大きくなると、上記剥離やクラックはより顕著に現れがちであった。
【００１１】
他方、特許文献２に記載の圧電アクチュエータ装置では、活性部から隔てられた位置で圧電アクチュエータが接着剤により固定部材に固定されている。従って、ベンディングモードの振動の抑制を図ることが一応可能とされている。
【００１２】
しかしながら、ベンディングモードの振動を抑制するには、活性部と、不活性部との間の境界を、接着剤による固定部分からできるだけ遠ざけられねばならなかった。そのため、圧電体の寸法が必然的に長くならざるを得ず、圧電アクチュエータ装置の小型化を図ることが困難であった。
【００１３】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、大型化を招くことなく、しかも振動による接合部分のクラックや剥離が生じ難い、圧電素子及び圧電アクチュエータ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明によれば、第１，第２の端面と、上面、下面及び一対の側面を有する圧電体と、前記圧電体内において圧電体層を介して積層されている第１，第２の内部電極とを有し、第１，第２の内部電極が異なる電位に接続され、第１，第２の内部電極が積層されている部分が圧電効果により変位する活性部であり、圧電体の第１，第２の端面と前記活性部との間に第１，第２の不活性部が形成されており、第１の不活性部において前記圧電体の下面が固定部材に固定され、第２の不活性部において圧電体の下面が被動部材に固定されて該被動部材を駆動するように用いられる圧電素子において、前記第１，第２の不活性部において、圧電体の下面に、前記圧電体の一方の側面から他方の側面まで貫くようにそれぞれ切欠が形成されていることを特徴とする、圧電素子が提供される。
【００１５】
本発明に係る圧電素子のある特定の局面では、上記第１，第２の不活性部において、圧電体の上面にも前記圧電体の一方の側面から他方の側面まで貫くようにそれぞれ切欠が設けられている。
【００１６】
本発明に係る圧電素子の他の特定の局面では、前記切欠が、第１または第２の不活性部と活性部との境界付近に設けられている。
【００１７】
本発明に係る圧電素子のさらに別の特定の局面によれば、前記切欠の深さが、最外側層の内部電極と圧電体の下面または上面との間の圧電体層の厚みよりも小さくされている。
【００１８】
本発明に係る圧電素子のさらに他の特定の局面では、前記圧電体が、第１，第２の端面を結ぶ方向に伸縮するように、前記内部電極及び内部電極間に挟まれた圧電体層の分極構造が構成されている。
【００１９】
本発明に係る圧電素子のさらに他の特定の局面では、前記圧電素子が圧電体の下面側から固定された際に、前記不活性部に設けられた切欠の一部が開口するように圧電体が固定されることを可能とするように前記切欠が設けられている。
【００２０】
本発明に係る圧電素子のさらに別の特定の局面では、前記切欠の開口部の全てが開口するように前記圧電体が固定されるように前記切欠が設けられている。
【００２１】
本発明に係る圧電アクチュエータ装置は、本発明に係る圧電素子の第１の不活性部において、圧電体の下面側から該圧電素子が固定部材に固定されており、第２の不活性部側において圧電体の下面が被動部材に固定されており、前記第１，第２の不活性部に設けられた切欠の開口部の少なくとも一部が開口するように固定部材及び被動部材に圧電素子が固定されている。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る圧電素子では、第１，第２の不活性部において、圧電体の下面に、圧電体の一方の側面から他方の側面まで貫くようにそれぞれ切欠が設けられているため、該切欠の少なくとも一部が開口するように接着剤を用いて圧電体を固定部材及び被動部材に固定したとしても、固定による拘束力が緩和される。すなわち、積層型の圧電素子では、活性部が変位するのに対し、上記不活性部は活性部が変位することにより従的に変位する。言い換えれば、不活性部は活性部にとっては拘束層となり、活性部の変位を抑制するように作用する。従って、切欠を第１，第２の不活性部において圧電体の下面に設けることにより、不活性部による変位拘束作用を小さくすることができる。従って、所望でないベンディングモードの振動を抑制することができ、接着剤による固定部分の剥離やクラックを抑制することができる。また、上記拘束力を小さくすることは、活性部の変位による応力が、第１，第２の不活性部に逆に伝わり難いことを意味し、従って、接着剤による固定部分の剥離が生じ難くなる。
【００２３】
上記切欠の形成により、接着剤による固定部分の剥離を抑制したことに特徴を有するものであるため、本発明では不活性部の長さをさほど長くする必要がないため、大型化を招くこともない。よって、本発明によれば小型であり、かつ接着剤による固定部分の剥離が生じ難く、しかも接着剤が余分に付着したとしても切欠内に収納されるため、接着剤の活性部への付着による振動阻害も生じ難い、信頼性に優れた圧電素子を提供することが可能となる。
【００２４】
圧電体の上面にも前記圧電体の一方の側面から他方の側面まで貫くように切欠が設けられている場合には、第１，第２の不活性部において変位の上下の対称性が高められ、より一層ベンディングモードの振動の発生を抑制することができる。
【００２５】
また、本発明では、第１，第２の不活性部と活性部との境界付近に切欠が設けられていることが好ましく、その場合には、より一層の小型化を図ることができる。
【００２６】
切欠の深さが、最外側層の内部電極と圧電体の下面または上面との間の圧電体層の厚みよりも小さい場合には、切欠が最外側層の内部電極に至らないため、最外側層の内部電極の断線が生じ難い。また、深い切欠を形成する必要がないため、切欠を容易に形成することができる。
【００２７】
圧電体が第１，第２の端面を結ぶ方向に伸縮するように、内部電極及び内部電極間に挟まれた圧電体層の分極構造が構成されている場合には、本発明に従って、ベンディングモードの振動が抑制され、第１，第２の端面を結ぶ長さ方向の伸縮を利用し得る圧電素子を提供することができる。
【００２８】
圧電素子が圧電体の下面側から固定された際に、活性部に設けられた切欠の一部が開口するように圧電体が固定されることを可能とするように切欠が設けられている場合には、本発明に従って、開口部の一部が露出するように圧電体を固定することにより、圧電素子の接着剤による固定部分の剥離を抑制することができる。
【００２９】
上記切欠の開口部の全てが開口するように圧電素子が接着剤により固定されていてもよく、その場合においても、切欠の存在により、接着部分の剥離を効果的に抑制することができる。
【００３０】
本発明に係る圧電アクチュエータ装置では、本発明に従って構成された圧電素子の第１，第２の不活性部において、圧電体の下面側から圧電素子が固定部材及び被動部材に接着剤を用いて固定されており、切欠の開口部の少なくとも一部が開口するように固定部材及び被動部材に圧電素子が固定されている。
【００３１】
従って、圧電アクチュエータ装置において、ベンディングモードの振動が効果的に抑圧され、かつ接着剤による固定部分の剥離を効果的に防止することができる。よって大型化を招くことなく、接着剤による固定部分の剥離が生じ難い、信頼性に優れた圧電アクチュエータ装置を提供することができる。
【００３２】
また、圧電体が固定部材や被動部材へ接着剤を用いて固定されている場合、接着剤が余分に付着したとしても、余分な接着剤が切欠内に収納されることになるため、接着剤の活性部への付着による振動阻害を生じ難い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００３４】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る圧電アクチュエータ装置を説明するための部分切欠正面断面図である。
【００３５】
圧電アクチュエータ装置１では、圧電素子１１が、一端側において固定部材２に接着剤３を用いて固定されている。また、圧電素子１１の他端側が接着剤４を用いて被動部材５に固定されている。固定部材２とは、固定的に配置される部分であり、被動部材５とは、圧電素子１１により駆動される部材をいうものとする。
【００３６】
具体的には、本実施形態の圧電アクチュエータ装置１は、図２に平面図で示す磁気ヘッド駆動装置６に用いられている。すなわち、磁気ヘッド駆動装置６では、固定部材２と、磁気ヘッド７が下面に取り付けられたヘッド支持プレートからなる被動部材５とにまたがるように圧電素子１１が固定されている。なお、被動部材５はプレート状の形状を有し、一端側がピン８により固定部材２に連結されている。従って、圧電素子１１が伸縮することにより、被動部材５がピン８を中心に回転され、ひいては被動部材５に取り付けられた磁気ヘッド７がピン８を中心に移動するように構成されている。
【００３７】
もっとも、本発明に係る圧電アクチュエータ装置１は、図２に示した磁気ヘッド駆動装置６に限らず、様々な被動部材を駆動するのに用いられる。
【００３８】
図１にもどり、圧電素子１１は、直方体状の圧電体１２を有する。圧電体１２は、第１の端面１２ａと、第１の端面と対向している第２の端面１２ｂと、上面１２ｃと、下面１２ｄとを有する。第１の端面１２ａと、第２の端面１２ｂとを結ぶ方向を長さ方向とすることとする。
【００３９】
圧電体１２内には、複数の第１の内部電極１３と、複数の第２の内部電極１４とが圧電体層を介して重なり合うように配置されている。複数の第１の内部電極１３は、第１の端面１２ａに引き出されており、第２の端面の内部電極１４は第２の端面１２ｂに引き出されている。
【００４０】
他方、第１の内部電極１３が形成されている高さ位置においては、第１の内部電極１３の内側端の前方に第１の内部電極１３とギャップを隔ててダミー電極１５が形成されている。ダミー電極１５は、第２の端面１２ｂに引き出されている。同様に、第２の内部電極１４が積層されている部分においては、第２の内部電極１４の前方にギャップを隔ててダミー電極１６が配置されている。ダミー電極１６は第１の端面１２ａに引き出されている。
【００４１】
圧電体１２の第１の端面１２ａ及び第２の端面１２ｂを覆うように、第１，第２の外部電極１９，２０が形成されている。上記のようにして、図１に示す圧電素子１１を得ることができる。
【００４２】
圧電素子１１では、第１，第２の外部電極１９，２０間に交流電界を印加することにより、圧電素子１１が長さ方向に伸縮する。そこで、圧電素子１１においては、第１，第２の内部電極１３，１４が圧電体層を介して重なり合っている部分が、電圧の印加により変位する活性部を構成している。そして、活性部と第１の端面１２ａとの間に第１の不活性部が、活性部と第２の端面１２ｂとの間に第２の不活性部が配置されている。第１の不活性部では圧電体１２の下面１２ｄにおいて、切欠１７が形成されている。本実施形態では、第１の不活性部と活性部との境界付近に切欠１７が配置されている。また、第２の切欠１８が、第２の不活性部において圧電体１２の下面１２ｄに形成されている。本実施形態では、第２の切欠１８は、第２の不活性部において、第２の不活性部と活性部との境界付近に配置されている。
【００４３】
切欠１７，１８は、いずれも、圧電体１２の下面において、一方の側面から他方の側面に至るように形成されている。
【００４４】
なお、本実施形態では、切欠１７，１８の横断面形状は矩形であるが、切欠１７，１８の横断面形状は半円形、三角形等の適宜の形状とされ得る。
【００４５】
なお、ダミー電極１５，１６は本発明において必ずしも設けられずともよいが、ダミー電極１５，１６を形成することにより、用意する内部電極パターンの数を減らすことができる。これを、圧電体１２の製造方法を参照して説明する。
【００４６】
圧電体１２を得るにあたっては、図３（ａ）及び（ｂ）に示す内部電極パターン２１，２２がそれぞれ印刷された第１，第２の圧電グリーンシートを交互に積層する。そして、最上に無地の圧電グリーンシートを積層する。このようにしてマザーの積層体を得る。
【００４７】
図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、上記のようにして得られたマザーの積層体３１を、一点鎖線Ｘ，Ｙに沿ってダイシングソーなどを用いて切断することにより、個々の圧電体１２を得るための積層体が得られる。なお、上記Ｘ及びＹ方向の切断の前に予め同じダイシングソーを用い、後述の切欠１７，１８を形成しておけばよい。すなわち、切欠１７，１８を形成した後、Ｘ方向及びＹ方向の切断を行う。このようにして、切欠１７，１８を有する積層体を得ることができる。得られた積層体を焼成することにより、図１に示した圧電体１２を得ることができる。
【００４８】
また、ダミー電極１５，１６を設けることにより、図３（ａ）及び（ｂ）に示した２種類の内部電極パターン２１，２２を用意するだけで、圧電体１２を得ることができる。
【００４９】
なお、上記製造方法では、焼成前に切欠１７，１８が形成されていたが、個々の圧電体１２を得た後に、ダイシングソーなどを用いて切欠１７，１８を形成してもよい。すなわち、切欠１７，１８は、焼成前及び焼成後のいずれにおいて形成されてもよい。
【００５０】
なお、圧電体１２を構成する圧電材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスやチタン酸鉛系セラミックスのような適宜な圧電セラミックスを用いるいことができる。また、内部電極１３，１４及び外部電極１９，２０を構成する材料についても、ＣｕやＡｇなどの適宜の金属もしくは合金を用いることができる。第１，第２の外部電極１９，２０の形成方法としては、スパッタリングや蒸着などの薄膜形成方法、あるいは導電ペーストの塗布・硬化や焼成などの適宜の方法を用いることができる。
【００５１】
圧電素子１１では、第１，第２の外部電極１９，２０間に交流電界を印加することにより、圧電素子１１が第１，第２の端面１２ａ，１２ｂを結ぶ方向である長さ方向に伸縮する。この伸縮挙動を利用して、被動部材５を駆動・制御することができる。
【００５２】
本実施形態の圧電アクチュエータ装置１では、圧電素子１１を固定部材２に接着剤３により固定するに際し、切欠１７の開口部の少なくとも一部が露出するように固定部材２に圧電素子１１が固定されている。同様に、切欠１８の開口部の少なくとも一部が露出するように、接着剤４を用いて被動部材５に圧電素子１１が第２の不活性部側において固定されている。
【００５３】
従って、圧電アクチュエータ装置１では、電圧を印加して駆動した場合、切欠１７，１８が設けられているため、接着剤３，４による固定部分による拘束力が低減され、ベンディモングモードによる振動が生じ難い。これを、図５を参照して説明する。図５は、圧電アクチュエータ装置１を駆動した場合の圧電素子１１の変位を模式的に示す部分切欠正面断面図である。圧電素子１１に交流電界を印加した場合、図５の実線で示す振動姿態と、破線で示す振動姿態との間で変位を繰り返すことになる。
【００５４】
図５から明らかなように、活性部の両側に対称に第１，第２の切欠１７，１８が設けられているため、活性部に対する拘束力は活性部の両側で対称となる。そのため、図５に示したように、ベンディングモードの振動が生じ難い。
【００５５】
そして、上記のように、接着剤３，４による拘束力が小さくなることは、逆に言えば、活性部の変位による接着剤３，４に対する加えられる応力が小さくなることを意味する。従って、圧電素子１１を繰り返し駆動したとしても、接着剤３，４による固定部分の剥離は生じ難い。
【００５６】
加えて、本実施形態では、上記切欠１７，１８を設けたことにより、接着剤３，４による固定部分の剥離を抑制したことに特徴を有するものであるため、言い換えれば圧電素子１１において自由端部分の長さをさほど長くする必要はない。そのため、小型化を進めつつ、接着剤３，４による固定部分の剥離が生じ難い、信頼性に優れた圧電アクチュエータ装置１を提供することができる。
【００５７】
なお、図１に示した実施形態では、第１，第２の不活性部において、それぞれ切欠１７，１８が設けられていたが、図６に示す変形例の圧電アクチュエータ装置のように、圧電素子１１の圧電体１２の上面１２ｃにおいても、切欠１７Ａ，１８Ａをそれぞれ形成してもよい。切欠１７Ａ，１８Ａは、それぞれ、第１，第２の不活性部において形成されている。また、図６では、切欠１７Ａは、下面側の切欠１７と厚み方向に対向する位置に形成されており、切欠１８Ａは、同様に、第２の切欠１８と厚み方向に対向するように形成されている。切欠１７Ａ，１８Ａもまた、一方の側面から他方の側面に至るように形成されている。
【００５８】
上記のように、上面側にも切欠１７Ａ，１８Ａを形成することにより、圧電素子１１における上面側及び下面側の変位の対称性を高めることができ、望ましい。なお、圧電素子１１Ａでは、図６から明らかなように、前述したダミー電極は形成されていない。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る圧電アクチュエータ装置を示す正面断面図。
【図２】本発明の圧電アクチュエータ装置が適用される磁気ヘッド駆動装置を説明する平面図。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、図１に示した圧電素子を得るのに用意される内部電極パターンを示す各平面図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、図１に示した圧電素子１１の圧電体を得るためのマザーの積層体を示す平面図及び正面断面図。
【図５】図１に示した圧電アクチュエータ装置における圧電素子１１の変位状態を示す模式的部分切欠正面図。
【図６】本発明の圧電アクチュエータ装置の変形例を示す正面断面図。
【図７】従来の圧電アクチュエータ装置の一例を示す部分切欠正面断面図。
【図８】従来の圧電アクチュエータ装置の問題点を説明するための模式的正面図。
【符号の説明】
【００６０】
１…圧電アクチュエータ装置
２…固定部材
３…接着剤
４…接着剤
５…被動部材
６…ヘッド駆動装置
７…磁気ヘッド
８…ピン
１１…圧電素子
１２…圧電体
１２ａ，１２ｂ…第１，第２の端面
１２ｃ…上面
１２ｄ…下面
１３…第１の内部電極
１４…第２の内部電極
１５，１６…ダミー電極
１７，１８…切欠
１７Ａ，１８Ａ…切欠
【図１】
2005286125.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005286125.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005286125.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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