(57)【要約】【課題】  小型で、測定精度の良い濃淡電池式酸素センサと創造工程が簡単で、コスト低減に寄与するとともに安定して起電力を取り出すことができる濃淡電池式酸素センサとその製造方法を提供する。【解決手段】  イットリウム酸化物（Ｙ２Ｏ３）を８ｍｏｌ％含むジコニアの薄い円板を酸素イオン伝導体２とし、この両面に白金電極６と外部リード７形成する。一方、イットリウム酸化物を０ｍｏｌ％から３ｍｏｌ％含むジルコニア板を封止体４として、片方の面の中央部に凹部８を形成し、その周縁部に内部リード取り出し用の溝１０を形成して封止体４とする。次ぎに、該封止体４の凹部８にＰｄ−ＰｄＯと、焼結防止用にＹＳＺ粉末を１ｍｏｌ％から５ｍｏｌ％含む参照電極３を充填後、酸素イオン伝導体２の一方の面と封止体４の凹部８形成面とをガラス封着１１して、参照電極３を密封封止する。【選択図】      図１  
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属−金属酸化物を参照電極とするイットリウム酸化物（Ｙ２Ｏ３）含有のジルコニアからなる濃淡電池式酸素センサにおいて、
イットリウム酸化物を８ｍｏｌ％含有するイオン伝導性のジルコニア板であって、相対向する両面に、それぞれ白金電極とリードが配設された酸素イオン伝導体と、
イットリウム酸化物を２〜４ｍｏｌ％含有するジルコニア板であって、中央部に凹部が形成され、かつ該凹部形成面の周縁部に前記リードの一方を貫通させる溝が形成された封止体とからなり、
前記酸素イオン伝導体の一方の面と前記封止体の凹部形成面とがガラス封着されて形成される密封空間に金属−金属酸化物が収納されていることを特徴とする濃淡電池式酸素センサ。
【請求項２】
前記金属−金属酸化物が、Ｐｄ−ＰｄＯであることを特徴とする請求項１に記載の濃淡電池式酸素センサ。
【請求項３】
前記金属−金属酸化物中に、金属−金属酸化物の燒結防止用としてイットリウム酸化物を０〜８ｍｏｌ％含むジルコニア粉末が１〜５ｍｏｌ％含まれていることを特徴とする請求項１乃至請求項２に記載の濃淡電池式酸素センサ。
【請求項４】
前記ガラス封着の厚さが、５〜１０μｍであることを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載の濃淡電池式酸素センサ。
【請求項５】
前記酸素イオン伝導体の厚さが、０．１〜０．５ｍｍであることを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載の濃淡電池式酸素センサ。
【請求項６】
前記封止体の外表面にヒータが設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項５に記載の濃淡電池式酸素センサ。
【請求項７】
イットリウム酸化物を８ｍｏｌ％含有するジルコニア板の相対向する両面に白金電極とリードを配設する工程と、
イットリウム酸化物を３ｍｏｌ％以下含有するジルコニア板の中央部に凹部を有する封止体を形成する工程と、
前記封止体の凹部形成面の周縁部に前記リードの一方を貫通させる溝を形成する工程と、
前記封止体の外表面に絶縁処理後ヒータ回路を配設する工程と、
前記封止体の凹部に金属−金属酸化物を充填する工程と、
前記酸素イオン伝導体の一方の面と封止体の凹部形成面との間、及びリードが貫通している溝をガラス封着して前記金属−金属酸化物を密封封止する工程と、
を備えたことを特徴とする濃淡電池式酸素センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工業用窒素発生装置から発生する高純度の窒素中に含まれる酸素濃度を測定したり、半導体露光装置を純窒素パージしたときの露光性能の低下を監視するために残存酸素濃度を測定したりする分野等で用いられる。特に、低濃度の酸素濃度を測定する場合に有効である。
【背景技術】
【０００２】
従来、イットリウム酸化物を８ｍｏｌ％含むジルコニア（ＺｒＯ２−８ｍｏｌ％Ｙ２Ｏ３、以下８ＹＳＺとする。）を酸素イオン伝導体とし、その中央部に形成された凹部に金属−金属酸化物からなる参照電極を充填後、同じ材質の８ＹＳＺの封止板で封止した濃淡電池式酸素センサが知られている（例えば、非特許文献１参照。）。
図４は、この種の濃淡電池式酸素センサ４１の一例を示すもので、８ＹＳＺをドリル加工して、参照電極４２充填用凹部４３を有する酸素イオン伝導体４４を形成し、該酸素イオン伝導体４４の反凹部側の外表面に電極４５を設け、該電極４５に外部白金リード線４６が接続されている。一方、酸素イオン伝導体４４の前記凹部４３側の表面には内部白金リード線４７が接続され、該内部白金リード線４７が酸素イオン伝導体４４の周縁部の一箇所から外に取り出されている。
そして、前記凹部４３に充填されたＰｄ−ＰｄＯやＣｕ−ＣｕＯなどの参照電極４２を、前記酸素イオン伝導体４４と同じ材質の８ＹＳＺの封止板４８で覆い、前記酸素イオン伝導体４４の凹部４３形成面の周縁部と前記封止板４８との間をガラスシール４９することにより、参照電極４２が密封状態に保たれている。  
【０００３】
８ＹＳＺはイオン伝導性が高く、酸素イオン伝導体４４を挟んで酸素濃度に濃度差があると濃淡電池を形成して起電力が発生する。この起電力Ｅは、酸素イオン伝導体４４の外表面側の酸素分圧をＰｏ２、参照電極４２側の平衡酸素分圧を（Ｐｏ２）ｅｑ、気体定数をＲ、温度をＴ，ファラデー定数をＦとすると、ネルンストの式と呼ばれる式（１）で表される。    
一方、金属−金属酸化物の標準酸素分圧は、温度により一定で、標準生成自由エネルギーより算出されるので、式（１）より、起電力を測定することによって測定ガス中の酸素濃度が求まる。
【０００４】
【数１】
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【０００５】
しかし、８ＹＳＺは加工が困難なことから、８ＹＳＺに凹部を形成せずに、平板状の８ＹＳＺを用いた濃淡電池式酸素センサも提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
図５は、この種の濃淡電池式酸素センサ５１の一例を示すもので、８ＹＳＺからなる平板状の酸素イオン伝導体５２と、同じく８ＹＳＺからなる平板状の封止板５３を用い、それらの間にドーナツ状のセラミック製スペーサ５４を挿入し、酸素イオン伝導体５２とスペーサ５４の間、及びスペーサ５４と封止板５３との接触面をガラスシール５５することによって、参照電極５６を充填する密封空間５７が形成されている。
なお、酸素イオン伝導体５４の外表面に白金電極５８が設けられ、該白金電極５８に外部白金リード線５９が接続され、酸素イオン伝導体５４の内側表面（凹部側表面）には内部白金リード線６０が接続され、密封空間５７から内部白金リード線６０が外に取り出される部分もガラスシール５５によりシーリングされて、密封状態が維持されている。
このようにして、密封空間５７に保持された参照電極５６は、一定温度で一定の酸素分圧が維持されることから、この酸素分圧を参照酸素濃度として被測定物の酸素濃度が測定されることは、前述の通りである。
【０００６】
【非特許文献１】Preparation and Characterization of a Zirconia Oxygen Sensor with an Internal Reference for Low-Temperature Operation : Hiroyuki Kaneko et al. , Chemistry Letters 1999,P447-448
【特許文献１】特願平２００２−３４５５８４号公報（図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の平板状ジルコニアとドーナツ状のセラミック製スペーサを用いた濃淡電池式酸素センサは、スペーサと酸素イオン伝導体との間およびスペーサと封止板との間を密封接続するために、スペーサの上下面で、２回に分けてガラスシールする必要が有り、製造工程が長く、コストも高くなる欠点がある。
また、従来の濃淡電池式酸素センサは、参照電極側のリードが酸素イオン伝導体の表面の一箇所のみに接続されているため、測定される電位の安定性に乏しい。
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、製造工程が短く、大量生産性に優れ、製造コスト低減に寄与するとともに、酸素イオン伝導体に発生する起電力を安定して取り出すことができる参照電極内蔵の濃淡電池式酸素センサおよびその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる課題を解決するために、
請求項１にかかる発明は、金属−金属酸化物を参照電極とするイットリウム酸化物（Ｙ２Ｏ３）含有のジルコニアからなる濃淡電池式酸素センサにおいて、
イットリウム酸化物を８ｍｏｌ％含有するイオン伝導性のジルコニア板であって、相対向する両面に、それぞれ白金電極とリードが配設された酸素イオン伝導体と、
イットリウム酸化物を２〜４ｍｏｌ％含有するジルコニア板であって、中央部に凹部が形成され、かつ該凹部形成面の周縁部に前記リードの一方を貫通させる溝が形成された封止体とからなり、
前記酸素イオン伝導体の一方の面と前記封止体の凹部形成面とがガラス封着されて形成される密封空間に金属−金属酸化物が収納されていることを特徴とする濃淡電池式酸素センサである。
【０００９】
請求項２にかかる発明は、前記金属−金属酸化物が、Ｐｄ−ＰｄＯであることを特徴とする請求項１に記載の濃淡電池式酸素センサである。
【００１０】
請求項３にかかる発明は、前記金属−金属酸化物中に、金属−金属酸化物の燒結防止用としてイットリウム酸化物を０〜８ｍｏｌ％含むジルコニア粉末が１〜５ｍｏｌ％含まれていることを特徴とする請求項１乃至請求項２に記載の濃淡電池式酸素センサである。
【００１１】
請求項４にかかる発明は、前記ガラス封着の厚さが、５〜１０μｍであることを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載の濃淡電池式酸素センサである。
【００１２】
請求項５にかかる発明は、前記酸素イオン伝導体の厚さが、０．１〜０．５ｍｍであることを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載の濃淡電池式酸素センサである。
【００１３】
請求項６にかかる発明は、前記封止体の外表面にヒータが設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項５に記載の濃淡電池式酸素センサである。
【００１４】
請求項７にかかる発明は、イットリウム酸化物を８ｍｏｌ％含有するジルコニア板の相対向する両面に白金電極とリードを配設する工程と、
イットリウム酸化物を２〜４ｍｏｌ％以下含有するジルコニア板の中央部に凹部を有する封止体を形成する工程と、
前記封止体の凹部形成面の周縁部に前記リードの一方を貫通させる溝を形成する工程と、
前記封止体の外表面に絶縁処理後ヒータ回路を配設する工程と、
前記封止体の凹部に金属−金属酸化物を充填する工程と、
前記酸素イオン伝導体の一方の面と封止体の凹部形成面との間、及びリードが貫通している溝をガラス封着して前記金属−金属酸化物を密封封止する工程と、
を備えたことを特徴とする濃淡電池式酸素センサの製造方法である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の濃淡電池式酸素センサは、イオン伝導性の優れた、イットリウム酸化物を８ｍｏｌ％含むジルコニア（以下、８ＹＳＺとする。）を０．１ｍｍから０．５ｍｍに薄くスライスした平板を酸素イオン伝導体とし、該酸素イオン伝導体と耐熱性および線膨張特性が概略等しく、かつ切削加工性に優れたイットリウム酸化物を２ｍｏｌ％から４ｍｏｌ％含むジルコニア（以下、２−４ＹＳＺとする。）を封止体として、その中央部に参照電極収納用凹部を形成するため、加工が容易である。
また、本製造方法によれば、酸素イオン伝導体と凹部を有する封止体を、別々に用意し、１回のガラス封着で参照電極を封止するため、製造プロセスが簡単で、小型化が容易である。
本発明の酸素イオン伝導体は、参照電極側の表面にも白金電極が形成されているため、安定して電位を取り出すことができる。
そして、凹部を設けた封止体の一部に、内部リードを外部へ取り出すための溝を設けてあるため、封着ガラスの厚みを薄くでき、接合強度を高くすることができる。
また、Ｐｄ−ＰｄＯを内部参照電極とするために、低温でも比較的平衡酸素分圧が高く、特に低濃度の酸素を測定する際に、他の内部参照電極を用いた場合よりも発生起電力が高く、測定精度を向上させる効果もある。さらに、Ｐｄ−ＰｄＯ粉末中にイットリウム酸化物を０〜８ｍｏｌ％含むジルコニア（以下、ＹＳＺとする。）の粉末を１ｍｏｌ％から５ｍｏｌ％混合されているため、Ｐｄ−ＰｄＯ粉末の凝集を防止する効果もある。
さらに、封止体の外表面にはヒータが形成されているため、参照電極を任意の温度に加熱して、標準酸素分圧を所定分圧に設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施例にかかる濃淡電池式酸素センサについて添付図面を参照して具体的に説明する。なお、本発明は、下記実施の形態に限定されず、各種変更が可能である。
図１は、本発明の実施例にかかる濃淡電池式酸素センサの概略断面図である。
図２は、本発明の実施例にかかる濃淡電池式酸素センサの製造方法を示す概略工程図である。
【００１７】
本発明の濃淡電池式酸素センサ１は、図１に示すように、大きく分けて、酸素イオン伝導体２、参照電極３、封止体４及びヒータ５から構成されている。
酸素イオン伝導体２は、８ＹＳＺの薄い円板で、両面に白金電極６が形成され、それらの白金電極６にそれぞれリード７が接続されている。
酸素イオン伝導体２にガラス封着される封止体４は、前記酸素イオン伝導体２と耐熱性及び線膨張特性が概略等しく、かつ加工性に富んだ３ＹＳＺからなり、ざぐり加工により中央部に凹部８が形成され、封止体４の凹部８形成面の周縁部には、前記リード７の一方を外に取り出すために、該封止体４の内外面を連通する溝９が形成されている。
そして、前記酸素イオン伝導体２の一方の面と前記封止体４の凹部８形成面とが空間を形成するように突き合わされ、酸素イオン伝導体２と封止体４との間、及び、前記白金リード８が通っている溝９をガラス封着することにより密封空間が形成され、その密封空間に金属―金属酸化物の参照電極３が収納されている。
また、封止体４の外表面（凹部８形成面とは反対側の面）には、封止体４、参照電極３及び酸素イオン伝導体２を加熱するためのヒータ５が配設されている。
【００１８】
ジルコニアにイットリウム酸化物を含有させるとイオン伝導性が向上するが、イットリウム酸化物の含有量が８ｍｏｌ％でイオン伝導性が最も大きくなることが知られており、本発明では、イットリウム酸化物の含有量が８ｍｏｌ％のジルコニア（８ＹＳＺ）を酸素イオン伝導体２としている。
酸素イオン伝導体２の厚さは、０．１ｍｍから０．５ｍｍとするのが望ましい。この理由は、以下の通りである。酸素イオン伝導体２の厚さが０．１ｍｍよりも薄いと、加工が困難になるとともに割れ易く、扱いが難しくなる。一方、酸素イオン伝導体２の厚さが０．５ｍｍを越えると、酸素イオン伝導体２の内部抵抗が大きくなり、酸素イオン伝導性が低下し、発生起電力が小さくなり、測定精度が低下するためである。
【００１９】
白金電極６は、酸素イオン伝導体２の表面の電位を安定して測定するために配設するもので、例えば、白金ペーストを塗布し、焼成して形成される。白金電極６はポーラスであり、酸素イオンの伝導には殆んど影響しない。
リード７は、白金電極６の電位を測定器等に伝達するもので、導電性、安定性、測定ガス雰囲気に対する耐腐食性等の観点から、白金が望ましい。
【００２０】
ジルコニアは、前述のようにイットリウム酸化物を含有するとイオン伝導性が向上するが、イットリウム酸化物濃度が増すと、切削加工が困難になる。特に、イットリウム酸化物濃度が１０ｍｏｌ％を越えると加工が非常に困難になる。
前述した、非特許文献１では、８ＹＳＺをドリル加工して参照電極を充填する凹部を形成しているが、８ＹＳＺは割れ易く大量生産には不向きである。また、非特許文献１では、酸素イオン伝導体の厚さが１ｍｍと厚いが、本発明では、酸素イオン伝導体２の厚さは０．１ｍｍから０．５ｍｍと薄い方が望ましいことから、酸素イオン伝導２に凹部を形成せず、薄くスライス加工するだけに留めている。
そこで、本発明では、イットリム酸化物の濃度が２〜４ｍｏｌ％ならば、比較的切削加工性が良く、しかも、耐熱性、線膨張特性が８ＹＳＺ（本発明で採用した酸素イオン伝導体２）の耐熱性、線膨張特性と概略等しいことから、イットリウム酸化物の含有量は３ｍｏｌ％までとした。
本発明では、２−４ＹＳＺを、通常のセラミックスのざぐり加工に用いられる加工治具で加工して、中央部に凹部８を有する封止体４を形成したが、これに限定されるものではなく、他に、圧粉成型により凹部８を有する封止体４を形成しても良い。
【００２１】
前記、金属―金属酸化物は、Ｐｄ−ＰｄＯ、Ｐｂ−ＰｂＯ、Ｎｉ−ＮｉＯおよびＣｏ−
ＣｏＯなどのいずれか一つを用いることができるが、低温において酸素分圧を高く保つ必要性から、Ｐｄ−ＰｄＯが望ましい。本発明では、Ｐｄ−ＰｄＯにＹＳＺ粉末を１ｍｏｌ％から５ｍｏｌ％混ぜて参照電極３を形成しているが、Ｐｄ−ＰｄＯは、予め酸化させたＰｄＯ粉末とＰｄ粉末を所定量混合して、前記密封空間に充填しても良いし、Ｐｄ粉末のみを充填して密封後、高温に加熱することによって、Ｐｄ粉末とともに密封された酸素により、Ｐｄ粉末の一部を酸化させて、Ｐｄ粉末とＰｄＯ粉末の混合粉を形成する方法を採用することもできる。
また、本発明では、Ｐｄ粉末とＰｄＯ粉末だけでは凝集しやすいことから、これらにＹＳＺ粉末を１ｍｏｌ％から５ｍｏｌ％混合している。ＹＳＺの混合量を１ｍｏｌ％から５ｍｏｌ％としたのは、１ｍｏｌ％未満では凝集防止の効果が小さく、５ｍｏｌ％を越えるとＰｄ−ＰｄＯ粉末量が少なくなり、酸素分圧が低下し、その結果、測定精度も低下するためである。
【００２２】
前記封止体４の凹部８形成面の周縁部には、前述のように、前記リード７の一方を密封室から外へ取り出すために、十分な深さを有する溝９が形成されており、該溝に前記リード７を通すことにより、リード７の厚さにより、前記酸素イオン伝導体２と前記封止体４の間隔が広がることが無くなり、前記酸素イオン伝導体２と前記封止体４を近接してガラス封着させることができる。特に、ガラス封着１０の厚さを５μｍ〜１０μｍの範囲に近接させると接合強度の優れたガラス封着１０が達成される。
【００２３】
前記封止体４の外表面にはヒータ５が設けられており、これにより封止体４、酸素イオン伝導体２と、その内部に充填されている金属−金属酸化物からなる参照電極３を所定温度に加熱することができる。参照電極３が所定温度に加熱されることにより、酸素イオン伝導体２に起電力が発生する。また、金属−金属酸化物と平衡状態に存在する酸素分圧が上昇し、参照する酸素分圧が高くなり、測定精度が向上する。
なお、ヒータ５は、封止体４の外表面（凹部８形成面とは反対側の表面）にガラス皮膜等を塗布して絶縁処理した後、白金ペーストを塗布し、焼成して通電回路を形成して作製される。
【００２４】
次ぎに、本発明の濃淡電池式酸素センサの製造方法について、概略工程図２を参照して説明する。
図２は、本発明の濃淡電池式酸素センサ１の製造方法を示すフローチャートである。
先ず、８ＹＳＺの丸棒から酸素イオン伝導体２を切出す。この酸素イオン伝導体２は、例えば、直径６ｍｍの丸棒を厚さ約０．２ｍｍにスライスし、ラッピングによって厚み調整することで作製できる。
次ぎに、作製された酸素イオン伝導体２の両面に白金電極６を、例えば、白金ペースト工程及び燒結工程により形成し、これらの白金電極６にそれぞれリード７を接続する。
一方、２−４ＹＳＺの丸棒から封止体４を、例えば、直径６ｍｍの丸棒から厚さ約１．５ｍｍに切出し、ラッピングによって厚み調整する。次ぎに、封止体４の中央部に、例えば、ざぐり加工により、直径４ｍｍ、深さ０．５ｍｍの凹部８を形成する。次ぎに、凹部８形成面の周縁部に、リード線７を取り出すための溝９を、例えば、幅約０．２ｍｍ、深さ約０．２ｍｍに形成する。
次ぎに、封止体４の凹部８形成面とは反対側の外表面に加熱用ヒータ５を形成する。ヒータ回路は、封止体の外表面に絶縁用ガラス膜を積層した後、例えば、白金ペーストを所定のパターン状に塗布し、焼成して形成する。
次ぎに、封止体４の凹部８に所定量配合した金属−金属酸化物の粉を充填する。なお、この際、金属−金属酸化物の粉の燒結防止用にはＹＳＺの粉を約３ｍｏｌ％混ぜておく。
このようにして形成した封止体４の周縁部に、ガラス封着１０剤を塗布した後、この上に、既に作成してある酸素イオン伝導体２の一方の面を被せる。この際、リード７が封止体４の周縁部に形成してある溝９に入るようにする。
酸素イオン伝導体２を被せた後、酸素イオン伝導体２の上に重りを載せて、約１，０００℃で、約３０分焼成する。
以上のようにして、金属−金属酸化物の参照電極３を内蔵する濃淡電池式酸素センサ１が作製され、凹部８内部に密封封止された金属粉は、所定温度に加熱されて一定の酸素分圧で安定する。
【実施例】
【００２５】
次ぎに、本発明の濃淡電池式酸素センサ１の具体的な実施例とそれを用いた酸素濃度の測定例について説明する。
先ず、封止体４は、直径６ｍｍの２−４ＹＳＺの丸棒を、厚さ１．５ｍｍにスライス状に切断して円板とした後、中央部をざぐり加工して内径４ｍｍ、深さ０．５ｍｍの凹部８を形成した。そして、凹部８形成面の周縁部の一箇所に、リード線７取り出し用として、幅０．２ｍｍ、深さ０．２ｍｍの溝９を形成し、さらに、封止体４の外表面にガラス絶縁膜を塗布して絶縁処理後、白金ペーストでヒータ５回路を形成した。
一方、酸素イオン伝導体２は、直径６ｍｍの８ＹＳＺの丸棒をスライス加工して、厚さ０．２ｍｍの円板とし、この円板の両面に白金ペーストを直径３ｍｍ、厚さ２０μｍの円板状に塗布し、１，２００℃で３０分焼成して、白金電極６を形成した。そして、これらの白金電極６に、それぞれ線径０．１ｍｍの白金線を電気接続してリード７とした。
次に、ＰｄとＰｄＯの粉にＹＳＺ粉末を３ｍｏｌ％混合して参照電極３とし、封止体４の凹部８に充填し、封止体４の周縁部にガラスシールを塗布した後、酸素イオン伝導体２の一方の面を、該面上に接続されたリード７が封止体４の周縁部に形成した溝９内に収まるようにして被せた後、１，０００℃で約３０分加熱して参照電極３を密封封止して濃淡電池式酸素センサを作製した。
【００２６】
このようにして作製した濃淡電池式酸素センサ１を用いて、純アルゴンガスに酸素をそれぞれ、０．００１５ｖｏｌ％、０．００５ｖｏｌ％、０．０１５ｖｏｌ％、０．０５ｖｏｌ％、０．１ｖｏｌ％混合させたガスを測定ガスとして、参照電極３を４５２℃に加熱した状態で、酸素イオン伝導体２に発生する起電力を測定した。
図３は、測定ガス酸素濃度Ｐｏ２と、発生する起電力Ｅを測定した結果を示した図である。この図から明らかなように、本実施の形態においては、１ｐｐｍのオーダーまで計算値と殆ど誤差が無く、精度の良い測定が可能であることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
以上説明したように、本発明の濃淡電池式酸素センサは、前述した工業用窒素発生装置から発生する高純度窒素中の酸素濃度の測定や、半導体露光装置の純窒素パージ後の残存酸素濃度の測定だけでなく、自動車の排ガス中の酸素濃度の測定や、燃焼装置の排ガス中の酸素濃度の測定など、幅広い分野における酸素濃度の測定に利用可能である。            
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施例に係る濃淡電池式酸素センサを示す概略断面図である。
【図２】本発明の実施例に係る濃淡電池式酸素センサの製造方法を示す概略工程図である。
【図３】本発明の実施例に係る濃淡電池式酸素センサの酸素濃度−起電力特性を示す図である。
【図４】従来の濃淡電池式酸素センサを示す断面図である。
【図５】従来の濃淡電池式酸素センサの別の事例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１・・・濃淡電池式酸素センサ、２・・・酸素イオン伝導体、３・・・参照電極、４・・・封止体、
５・・・ヒータ、６・・・白金電極、７・・・リード、８・・・凹部、９・・・溝、
１０・・・ガラス封着
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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