(57)【要約】【課題】  高揮発成分の揮発による液晶材料の成分変化を防ぎ、液晶パネルの表示性能及び表示品質の低下を防止することが可能であり、さらには脱泡済みの液晶材料が再発泡しにくく、液晶パネルの生産性が高い液晶注入装置、及び、液晶注入方法を提供する。【解決手段】  注入用容器８内の液晶材料Ｌを液晶パネルＰに注入する注入室２と、脱泡用容器１１内の液晶材料Ｌを脱泡する脱泡室３と、注入室２内の真空度と脱泡室３内の真空度を各々独立に調節可能な真空調節手段４，５と、脱泡室３の脱泡用容器１１内の液晶材料Ｌを注入室２の注入用容器８に供給する第１の供給手段６とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
注入用容器内の液晶材料を液晶パネルに注入する注入室と、脱泡用容器内の液晶材料を脱泡する脱泡室とを備える液晶注入装置において、
注入室内の真空度と脱泡室内の真空度を各々独立に調節可能な真空調節手段と、脱泡室の脱泡用容器内の液晶材料を注入室の注入用容器に供給する第１の供給手段とを備える液晶注入装置。
【請求項２】
注入用容器から第１の供給手段を介して脱泡用容器まで供給される液晶材料が接触し得る部材のうち、少なくとも２以上の部材の表面が同一材料で構成されていることを特徴とする請求項１記載の液晶注入装置。
【請求項３】
前記第１の供給手段は、脱泡用容器内の液晶材料を複数の注入用容器に供給可能であることを特徴とする請求項１記載の液晶注入装置。
【請求項４】
前記真空調節手段が注入室の真空引きを開始した後に、前記第１の供給手段が脱泡用容器内の脱泡済みの液晶材料を注入室内の注入用容器内に供給することを特徴とする請求項１記載の液晶注入装置。
【請求項５】
前記真空調節手段は、前記脱泡室の真空度を注入室の真空度よりも低真空とすることを特徴とする請求項１記載の液晶注入方法。
【請求項６】
前記第１の供給手段は、注入用容器内の液晶材料が所定量となると供給を停止する機能を備えることを特徴とする請求項１記載の液晶注入装置。
【請求項７】
前記注入用容器に液晶材料を供給する第２の供給手段を備えることを特徴とする請求項１記載の液晶注入装置。
【請求項８】
前記第２の供給手段は、脱泡用容器内の液晶材料が所定量となると供給を開始する機能を備えることを特徴とする請求項７記載の液晶注入装置。
【請求項９】
注入室の真空度を下げて注入用容器内の液晶材料を液晶パネルに注入する液晶注入方法において、
前記請求項１乃至請求項８のいずれかの液晶注入装置を使用して、前記真空調節手段により注入室の真空引きを開始した後に、前記第１の供給手段により脱泡用容器内の脱泡済みの液晶材料を注入室内の注入用容器内に供給することを特徴とする液晶注入方法。
【請求項１０】
注入室の真空度を下げて注入用容器内の液晶材料を液晶パネルに注入する液晶注入方法において、
前記請求項１乃至請求項８のいずれかの液晶注入装置を使用して、脱泡室の真空度を注入室の真空度よりも低真空とすることを特徴とする液晶注入方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶材料を脱泡する脱泡室と、脱泡室にて脱泡された液晶材料を液晶パネルに注入する注入室とを備える液晶注入装置、及び、液晶注入方法に関するものであり、特に、液晶材料の成分比変化や再発泡を防止し、又、液晶パネルの生産性を高めるための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置は、ＯＡ機器やテレビ用ディスプレイとして広く使用されている。これらの液晶表示装置に搭載される液晶パネルは、カラーフィルターを有する基板と薄膜トランジスターを形成したアレイ基板を対向し、所定の間隔を隔てて張り合わされた中空の構造を有し、両ガラス基板の間隔はおよそ５μｍである。この一対のガラス基板の間隔内に注入口より液晶材料が注入充填される。液晶注入後に注入口が封止され、注入された液晶材料が外部に漏出しないようにされる。
【０００３】
液晶材料の注入方法としては、真空注入法が主に知られている。真空注入法は、大気圧を利用して液晶材料を注入するものであり、比較的に簡単なメカニズムで液晶材料の注入を行うことができるため広く普及している。
【０００４】
真空注入法について、以下に説明する。まず、内部を真空にすることができるチャンバーを用意し、チャンバー内に液晶材料が入った液晶容器と、液晶材料を注入するための注入口が設けられた液晶パネルを配置して、チャンバー内の雰囲気を真空にすることで液晶パネル内を真空引きする。そして、液晶パネルの注入口を液晶材料が入った液晶容器の液晶材料中に浸けた後、チャンバー内の雰囲気を大気圧に戻す。その結果、液晶表面が大気圧に押されて、液晶材料が真空状態の液晶パネル内部に注入される。
【０００５】
真空注入法では、液晶材料を脱泡する脱泡作業と、液晶パネル内に液晶材料を注入する注入作業が行われる。液晶材料の脱泡作業とは、液晶材用中の気泡や液晶材料中に溶け込んでいる不純ガス成分を真空排気により放出させる作業であり、従来は液晶注入作業と同時にチャンバー内で行われる場合と、脱泡室にて予備脱泡を行った後に注入室にて液晶注入作業を行う場合とがある。
【０００６】
注入作業と同時にチャンバー内で脱泡作業を行う場合は、まずチャンバー内に液晶パネル及び液晶材料が一定量注がれた液晶容器を装填し、真空ポンプによりチャンバー内の真空排気を行う。この際、同時に液晶材料の脱泡作業を行う。一般的には、脱泡を促進するために、真空排気とともに攪拌装置を用いて液晶材料の攪拌も行う。一定の時間が経過して、所定の真空度に達し、且つ、所定の脱泡がされた時点で、液晶パネルの注入口を液晶容器の液晶材料内に浸漬させる。次に、チャンバー内に窒素ガスを供給し、チャンバー内の圧力を大気圧まで戻す。液晶パネルの隅々まで液晶材料の注入が完了した時点で液晶注入作業を終了する。
【０００７】
脱泡室で予備脱泡を行う場合は、液晶パネルの真空引きの前に、液晶材料が注がれた脱泡用容器を脱泡室に装填し、脱泡室内を真空排気して液晶材料の脱泡作業を行う。この際も、脱泡を促進するために、液晶材料を攪拌装置で攪拌しながら脱泡するのが一般的である。一定の時間脱泡した時点で脱泡室を大気圧に戻し、脱泡用容器を取り出す。脱泡用容器内の脱泡済みの液晶材料を注入室内の注入用容器に一定量注ぎ、注入室内に液晶パネルと注入用容器を配置して真空引きを行う。注入室内が所定の真空度となった時点で注入用容器内の液晶材料に液晶パネルの注入口を浸漬して液晶材料の注入を行う。
【０００８】
下記特許文献１には、脱泡室で予備脱泡を行う真空注入法において使用される液晶注入装置が開示されている。上記特許文献１に開示の液晶注入装置は、液晶材料を脱泡する脱泡室と、液晶パネル内に液晶材料を注入する注入室を各々設置し、脱泡室を真空排気して容器内の液晶材料を脱泡し、液晶パネルを所定の真空度及び時間で真空引きした後、脱泡室の容器を注入室に移動させる構成である。
【特許文献１】特開平１１−２８７９８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、近年は液晶パネルが液晶テレビ等に利用されており、従来からの液晶パネルの課題であった応答速度を改善する高速応答液晶パネルが要求されている。高速応答表示を実現するために用いられる高速応答用の液晶材料は、粘度を下げるために揮発性の高い減粘材料を多く用いて低粘度化を図っている。
【００１０】
しかしながら、上述した真空注入法によって、低粘度の液晶材料を液晶パネルに注入しようとする場合、脱泡作業と注入作業の処理を通して、液晶材料は真空状態に晒され、液晶材料中の高揮発成分が揮発し、液晶材料の成分比変化による液晶パネルの表示性能や表示品質の劣化が懸念されていた。特に、近年液晶パネルの大型化が進んでおり、１５インチや２０インチなどの大型液晶パネルの場合は、液晶パネル内を充分な真空状態とするために液晶注入作業の排気時間を著しく増加しなければならず、液晶材料の品質に多大な影響を及ぼしていた。
【００１１】
上記特許文献１に開示の液晶注入装置は、液晶材料を脱泡する脱泡室と、液晶パネル内に液晶材料を注入する注入室が各々設置され、注入室と脱泡室とがゲートバルブを介して連結されており、ゲートバルブを開いて脱泡室の液晶材料の受け皿を注入室に移動させる構成となっている。このため、ゲートバルブを開くと真空状態に変動が生じ、液晶材料が高真空状態に晒されて上記と同様に高揮発成分の揮発による成分比変化の問題が生じていた。
【００１２】
また、脱泡された液晶材料を脱泡用容器から注入用容器に注ぐ真空注入法においては、脱泡用容器や注入用容器の材料が異なっている場合は、脱泡済みの液晶材料が再度発泡してしまうという問題が生じていた。
【００１３】
本発明は、上記問題を解決するものであり、高揮発成分の揮発による液晶材料の成分変化を防ぎ、液晶パネルの表示性能及び表示品質の低下を防止することが可能であり、さらには脱泡済みの液晶材料が再発泡しにくく、液晶パネルの生産性が高い液晶注入装置、及び、液晶注入方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
注入用容器内の液晶材料を液晶パネルに注入する注入室と、脱泡用容器内の液晶材料を脱泡する脱泡室とを備える液晶注入装置において、注入室内の真空度と脱泡室内の真空度を各々独立に調節可能な真空調節手段と、脱泡室の脱泡用容器内の液晶材料を注入室の注入用容器に供給する第１の供給手段とを備えることを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、真空調節手段により注入室と脱泡室の真空度を各々独立して調節可能であり、脱泡室で脱泡済みの液晶材料は第１の供給手段を介して注入室に供給されるため、注入室を高真空度としても、脱泡室の液晶材料が高真空状態に晒されることがなく、脱泡室での液晶材料の高揮発成分の揮発を防止して液晶材料の品質を維持することができる。また、液晶パネルの大型化により真空引きに長時間を要したとしても、注入室を高真空状態とした後に、脱泡済みの液晶材料を供給することができるため、液晶材料が注入室内で高真空状態に晒される時間を短縮することができ、注入室内での液晶材料の高揮発成分の揮発を抑制することができる。
【００１６】
本発明の液晶注入装置は、注入用容器から第１の供給手段を介して脱泡用容器まで供給される液晶材料が接触し得る部材のうち、少なくとも２以上の部材の表面が同一材料で構成されていることが好ましい。ここで、液晶材料が接触し得る部材とは、脱泡用容器、注入用容器、第１の供給手段、その他脱泡用容器から注入用容器までに液晶材料が接触し得る総ての部材を指す。再発泡を効果的に防止するには、液晶材料が接触し得る総ての部材の表面が同一材料で構成されていることが好ましい。
【００１７】
この発明によれば、注入用容器から第１の供給手段を介して脱泡用容器まで供給される液晶材料の供給経路において、脱泡済みの液晶材料は、表面が同一材料で構成される少なくとも２以上の部材を通過するため、異なる材料に接触する機会が少なくなり、脱泡済み液晶材料の再発泡を抑制することが可能である。
【００１８】
本発明の液晶注入装置は、前記第１の供給手段は、脱泡用容器内の液晶材料を複数の注入用容器に供給可能であることが好ましい（図２参照）。この発明によれば、脱泡用容器内の脱泡済みの液晶材料を複数の注入用容器に供給できるため、注入作業を複数の注入容器で並列して行うことができ、生産性が向上する。
【００１９】
本発明の液晶注入装置は、前記真空調節手段が注入室の真空引きを開始した後に、前記第１の供給手段が脱泡用容器内の脱泡済みの液晶材料を注入室内の注入用容器内に供給する機能を備えることが好ましい。この発明によれば、注入室の真空引きを開始した後に、脱泡用容器内の脱泡済みの液晶材料が注入用容器に供給されるため、注入用容器に供給された脱泡済みの液晶材料が高真空状態に晒される時間を短くすることができ、高揮発成分の揮発を抑制して液晶材料の品質を維持することができる。第１の供給手段が脱泡済み液晶材料を注入用容器に供給するタイミングは、真空調節手段が真空引きを開始した後であれば良いが、注入に適する高真空状態となった後であると更に効果的である。
【００２０】
前記真空調節手段は、前記脱泡室の真空度を注入室の真空度よりも低真空とする機能を備えることが好ましい。この発明によれば、脱泡室内は液晶材料に含まれる高揮発成分が揮発しない程度の低真空状態とされ、注入室内は液晶注入に適する高真空状態とされ、各々に適する真空度に調節される。
【００２１】
前記第１の供給手段は、注入用容器内の液晶材料が所定量となると供給を停止する機能を備えることが好ましい。この発明によれば、液晶材料を注入用容器に必要量だけ供給することができる。
【００２２】
本発明の液晶注入装置は、前記注入用容器に液晶材料を供給する第２の供給手段を備えることが好ましい。この発明によれば、注入用容器内の液晶材料が減少した場合は、第２の供給手段により液晶材料が供給されるため、注入室内の真空状態を維持しながら液晶材料を供給することができ、脱泡作業を効率良く行うことができる。
【００２３】
前記第２の供給手段は、脱泡用容器内の液晶材料が所定量となると供給を開始する機能を備えることが好ましい。この発明によれば、脱泡用容器内の液晶材料が注入用容器に供給されることにより所定量に減少すると、第２の供給手段により脱泡用容器に液晶材料が供給されるため、脱泡用容器内に必要量の脱泡済み液晶材料が常に収納された状態とすることができ、注入作業を効率良く行うことができる。
【００２４】
本発明の液晶注入方法は、前記請求項１乃至請求項８のいずれかの液晶注入装置を使用して、前記真空調節手段により注入室の真空引きを開始した後に、前記第１の供給手段により脱泡用容器内の脱泡済みの液晶材料を注入室内の注入用容器内に供給することを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、注入室の真空引きを開始した後に、脱泡用容器内の脱泡済みの液晶材料が注入用容器に供給されるため、注入用容器に供給された脱泡済みの液晶材料が高真空状態に晒される時間を短くすることができ、高揮発成分の揮発を抑制して液晶材料の品質を維持することができる。脱泡済み液晶材料を注入用容器に供給するタイミングは真空引き開始後であれば良いが、注入に適する高真空状態となった後であると更に効果的である。
【００２６】
本発明の液晶注入方法は、注入室の真空度を下げて注入用容器内の液晶材料を液晶パネルに注入する液晶注入方法において、前記請求項１乃至請求項８のいずれかの液晶注入装置を使用して、脱泡室の真空度を注入室の真空度よりも低真空とすることが好ましい。この発明によれば、脱泡室内は液晶材料に含まれる高揮発成分が揮発しない程度の低真空状態とし、注入室内は液晶注入に適する高真空状態とすることができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の液晶注入装置又は液晶注入方法によれば、注入室と脱泡室の真空度を各々独立して調節可能であり、脱泡室で脱泡済みの液晶材料は第１の供給手段を介して注入室に供給されるため、注入室を高真空度としても、脱泡室の液晶材料が高真空状態に晒されることがない。注入室の真空引き開始後に、脱泡室の脱泡済み液晶材料を注入用容器に供給すれば、注入室内の液晶材料についても高真空状態に晒される時間を短くすることができる。これにより、液晶材料の高揮発成分の揮発を防止・抑制し、液晶材料の成分比の変化に起因する液晶パネルの表示性能や表示品質の低下を防止することができる。
【００２８】
また、本発明の液晶注入装置は、脱泡済み液晶材料が接触し得る部材のうち、少なくとも二以上の部材の表面が同一材料で構成されているため、脱泡用容器から注入用容器へ脱泡済みの液晶材料を供給するに際し、液晶材料の再発泡を抑制することができ、液晶パネルの表示性能や表示品質の低下を防止することができる。
【００２９】
第２の供給手段に脱泡用容器内の液晶材料が所定量となると供給を開始する機能を付加すれば、脱泡用容器内に必要量の脱泡済み液晶材料が常に収納された状態とすることができ、注入作業が効率良く行われ、液晶パネルの生産性が向上する。一つの脱泡用容器内の脱泡された液晶材料を複数の注入用容器に供給可能とすれば、注入作業を複数の注入容器で並列して行うことができ、さらに液晶パネルの生産性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明を適用した液晶注入装置、及び、液晶注入方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００３１】
（第１の実施の形態）
本実施の形態の液晶注入装置１は、液晶材料を液晶パネルＰに注入する作業が行われる注入室２と、液晶材料を脱泡処理する作業が行われる脱泡室３と、注入室２内の真空度を調節する真空調節手段４と、脱泡室３内の真空度を調節する真空調節手段５と、液晶材料Ｌを脱泡室３から注入室２に供給する第１の供給手段６と、液晶が収納される未脱泡液晶容器Ａから液晶材料Ｌを注入室２に供給する第２の供給手段７とを備える。脱泡室３と注入室２は、各々独立した一つの箱状体であり、間隔を置いて配置されている。未脱泡液晶容器Ａは、液晶注入装置１の脱泡室３の近傍に配置され、内部に未脱泡の液晶材料Ｌが収納されている。
【００３２】
脱泡室３は、真空調節手段５により内部の真空度が調節されるようになっている。真空調節手段５は、真空ポンプ５ａと圧力調整装置５ｂとを備え、真空ポンプ５ａと圧力調整装置５ｂの連動により脱泡室２内を排気して真空度が調節可能となっている。脱泡室３内には液晶が収納される脱泡用容器１１が配置されている。脱泡室３は、脱泡を促進するために液晶材料Ｌを攪拌する攪拌手段を備えても良い。
【００３３】
注入室２は、真空調節手段４により内部の真空度が調節されるようになっている。真空調節手段４は、真空ポンプ４ａと圧力調整装置４ｂとを備え、真空ポンプ４ａと圧力調整装置４ｂの連動により注入室２内の真空度が調節可能となっている。注入室２内には、液晶材料Ｌが入れられる注入用容器８が配されており、注入用容器８は昇降装置９により上下方向に位置調整が可能となっている。また、注入用容器８の上方には液晶パネルＰを把持可能な把持手段１０が設けられている。この把持手段１０は、複数の液晶パネルＰを把持可能な治具カセットである。
【００３４】
第１の供給手段６は、脱泡室３内に配置される脱泡用容器１１内の液晶材料Ｌを注入室２内に配される注入用容器８に供給する機能を有する。第１の供給手段６は、脱泡用容器１１と注入用容器１８との間に配されるパイプ６ａと、パイプ６ａの注入用容器８側端部に設けられるノズル６ｄと、パイプ１３の中間点に設けられるポンプ６ｃと、ポンプ６ｃとノズル６ｄとの間に設けられるバルブ６ｂを備える。第１の供給手段６には、液面位置を感知する液面センサ（図示せず）が設けられており、注入用容器８内の液晶材料Ｌが所定量となると脱泡用容器１１からの液晶材料Ｌの供給を停止するようになっている。
【００３５】
第２の供給手段７は、液晶注入装置１に近接して配置される未脱泡用容器Ａ内の液晶材料Ｌを脱泡用容器１１に供給する機能を有し、未脱泡用容器Ａと脱泡用容器１１との間に配されるパイプ７ａと、パイプ７ａの中間点に設けられるポンプ７ｃとバルブ７ｂとを備える。第２の供給手段７には、液面位置を感知する液面センサ（図示せず）が設けられており、脱泡用容器１１内の液晶材料Ｌが所定量以下となると未脱泡容器１１から液晶材料Ｌを所定量供給するようになっている。
【００３６】
脱泡用容器１１と、第１の供給手段６と、注入用容器８の表面には脱泡済みの液晶材料Ｌが接触するが、これらの表面は総てポリテトラフルオロエチレン加工されて同一材料で構成されており、再発泡が防止されるようになっている。なお、脱泡済み液晶材料Ｌが接触する部材のうち、２以上の部材の表面が同一材料であればその効果が得られるが、総てが同一材料で構成されると再発泡防止効果が高いため好ましい。部材表面の材料としてはポリテトラフルオロエチレンに限らないが、フッ素樹脂等の撥水性の高い材料であることが好ましい。
【００３７】
（液晶注入方法）
次に、この液晶注入装置１を使用した液晶注入方法について説明する。液晶材料Ｌが注入される液晶パネルＰは、一対のガラス基板が対向配置され、その間に液晶材料Ｌを封入する隙間を備えるものであり、その隙間に液晶材料Ｌを注入するための注入口が設けられている。
【００３８】
まず、未脱泡液晶容器Ａ内の未脱泡液晶材料Ｌを第２の供給手段７を介して脱泡室３の脱泡用容器１１に供給し、所定量供給後に供給を停止する。供給が完了するとバルブ７ｂが閉じられる。
【００３９】
脱泡用容器１１内への液晶材料Ｌの供給が完了すると、真空調節手段５の真空ポンプ５ａと圧力調整装置５ｂにより所定の真空度となるまで排気（真空引き）し、液晶材料Ｌの脱泡を行う。脱泡室３内部の真空度は真空ポンプ５ａと圧力調整装置５ｂの連動により調節され、脱泡に適する真空度で一定に保たれる。このときの液晶の脱泡時の真空度は約１０Ｐａである。液晶材料の揮発防止の観点から、脱泡室３内の真空度は１００Ｐａ以下であることが好ましい。脱泡室３内の真空度は、液晶材料Ｌの高揮発成分が揮発しない程度の低真空度とする。攪拌手段を備える場合は、攪拌を行うことにより脱泡を促進させる。
【００４０】
液晶パネルＰを配列した把持手段（治具カセット）１０を注入室２に搬入セットする。その後、真空調節手段４により注入室２の真空引きを行う。注入室２内部は、真空ポンプ４ａと圧力調整装置４ｂにより所定時間排気（真空引き）され、注入に適する真空度に調節される。液晶パネルＰ内に充分な量の液晶材料Ｌが注入されるように、注入室内の真空度は脱泡室内よりも高真空度とする。このときの真空度は約１Ｐａである。注入に適する所定の真空度に達すると、第１の供給手段６が作動し、脱泡用容器１１内の脱泡済みの液晶材料Ｌを供給パイプ６ａを通して注入用容器８に供給する。供給ノズル６ｄに設けられる液面センサが、注入用容器８内に供給される液晶材料Ｌの液面を感知し、液面が所定の位置に達すると供給を停止する。液面センサにより液晶材料Ｌを注入用容器８に必要量だけ供給することができ、無駄が生じない。供給停止後にバルブ６ｂが閉じられる。液晶材料Ｌは、注入室２を高真空度とした後に供給されるため、高真空度に晒される時間が短く、高揮発成分の揮発を抑制することができ、液晶材料Ｌの成分比変化に起因する液晶パネルＰの表示品質・性能の低下を防止することができる。
【００４１】
液晶材料Ｌの供給が完了すると、昇降手段９により注入用容器８を上昇させ、液晶パネルＰの注入口を液晶材料Ｌに浸す。その後、注入室２内に窒素ガスなどの不活性ガスを導入し、注入室２内の雰囲気を大気圧に戻す。液晶パネルＰ内と注入室２内との差圧により、注入用容器８内の液晶材料Ｌの液面が押圧され、液晶材料Ｌが液晶パネルＰ内に注入される。一定時間が経過し、液晶パネルＰ内に液晶材料Ｌが充分に注入された時点で、昇降手段９により注入用容器８を下降させる。そして、把持手段（治具カセット）１０を注入室２から外部へ搬出する。
【００４２】
また、脱泡用容器１１内の液晶材料Ｌは、注入用容器８への供給により除々に量が減少するが、第２の供給手段７は、液面センサにより脱泡用容器１１内の液晶材料Ｌの液面を感知し、液晶材料Ｌが所定量以下となると、未脱泡液晶容器Ａの液晶材料Ｌを脱泡用容器１１に所定量供給する。供給が完了すると、真空調節手段５が脱泡室３内の真空度を脱泡に適する所定の低真空度に調節し、供給された未脱泡の液晶材料Ｌの脱泡作業を行う。脱泡用容器１１内の液晶材料Ｌの量を感知して随時供給・脱泡が行われるため、脱泡用容器１１内に必要量の脱泡済み液晶材料Ｌが常に収納された状態とすることができ、注入作業が効率良く行われ、液晶パネルＰの生産性が向上する。
【００４３】
この液晶注入装置１を使用した液晶注入方法において、注入室２内は脱泡室３内よりも高真空度とされるが、注入室２と脱泡室３とは隔離されており、各々独立して真空度を維持可能であるため、脱泡室３内の液晶材料Ｌが高真空状態に晒されることがなく、脱泡室３内での高揮発成分の揮発が防止される。液晶パネルＰが大型であり、注入室２の真空引きに長時間を要したとしても、注入室２を高真空状態とした後に、脱泡済みの液晶材料Ｌを供給することができるため、液晶材料Ｌが注入室２内で高真空状態に晒される時間を短縮することができ、注入室２内での液晶材料Ｌの高揮発成分の揮発を抑制することができる。高揮発成分の揮発の防止・抑制により、液晶材料Ｌの成分比変化に起因する液晶パネルＰの表示品質や表示性能の低下を防止することができる。脱泡済みの液晶材料Ｌは、注入室２が注入に適する所定の高真空度に達した後に供給するのが好ましいが、所定の高真空度に達する前であっても真空引き開始後であればその効果が得られる。
【００４４】
脱泡済みの液晶材料Ｌは、脱泡用容器１１から第１の供給手段６を通り注入用容器８に供給されるが、脱泡済みの液晶材料Ｌが接触する部材の表面は総てポリテトラフルオロエチレン加工されており同一材料で構成されているため、再発泡が防止される。
【００４５】
（第２の実施の形態）
本実施の形態の液晶注入装置２０は、注入室を複数備えるものである。図２は、本実施の形態の液晶注入装置２０の概念図である。液晶注入装置２０は、一つの脱泡室３と三つの注入室２，２，２とを備え、脱泡室３内の脱泡用容器１１と各注入室３，３，３内の注入用容器８，８，８との間には、各々第１の供給手段６，６，６が配されている。これによれば、一つの脱泡用容器１１内の脱泡済み液晶材料Ｌを、各々の注入室３，３，３内に配される複数の注入用容器８，８，８に供給可能であるため、注入作業が並列処理され、生産性が向上する。その他の点は、上記第１の実施の形態と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１の実施の形態における液晶注入装置を説明する図。
【図２】本発明の第２の実施の形態における液晶注入装置を説明する図。
【符号の説明】
【００４７】
１，２０    液晶注入装置
２          注入室
３          脱泡室
４，５      真空調節手段
４ａ，５ａ  真空ポンプ
４ｂ、５ｂ  圧力調整装置
６          第１の供給手段
６ａ        パイプ
６ｂ        バルブ
６ｃ        ポンプ
６ｄ        供給ノズル
７          第２の供給手段
７ａ        パイプ
７ｂ        バルブ
７ｃ        ポンプ
８          注入用容器
９          昇降装置
１０        把持手段
１１        脱泡用容器
Ａ          未脱泡容器
Ｐ          液晶パネル
Ｌ          液晶材料
【図１】
2005283882.tif 000003
【図２】
2005283882.tif 000004