(57)【要約】【課題】  Ｃ／Ｃ複合材料を用いて形成される基材の表面粗度を改善して、温度変化の大きな環境においても熱による歪みの少ない反射鏡およびその製造方法を得る。【解決手段】  Ｃ／Ｃ複合材料を用いて形成されたＣ／Ｃ複合材料基材２と、３ｐｐｍ／Ｋ以下の熱膨張率を有し、Ｃ／Ｃ複合材料基材２の表面に密着するガラス膜１とを備えた反射鏡であり、Ｃ／Ｃ複合材料を用いてＣ／Ｃ複合材料基材２を作成し、３ｐｐｍ／Ｋ以下の熱膨張率を有する粉末状のガラス材料をＣ／Ｃ複合材料基材２の表面に塗布し、ガラス材料を塗布したＣ／Ｃ複合材料基材２を加熱することによりガラス材料を溶融させてガラス膜を形成し、ガラス膜を研磨して反射鏡面を作成することによって製造する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭素繊維強化炭素複合材料を用いて形成された炭素繊維強化炭素基材と、
３ｐｐｍ／Ｋ以下の熱膨張率を有し、前記炭素繊維強化炭素基材の表面に密着するガラス膜とを備えた反射鏡。
【請求項２】
ガラス膜の材料が、ホウ珪酸ガラス材料または繊維強化ガラス材料であることを特徴とする請求項１記載の反射鏡。
【請求項３】
炭素繊維強化炭素複合材料を用いて炭素繊維強化炭素基材を作成するステップと、
３ｐｐｍ／Ｋ以下の熱膨張率を有する粉末状のガラス材料を前記炭素繊維強化炭素基材の表面に塗布するステップと、
前記ガラス材料を塗布した炭素繊維強化炭素基材を加熱することにより前記ガラス材料を溶融させ、ガラス膜を形成するステップと、
前記ガラス膜を研磨して反射鏡面を作成するステップとを備えた反射鏡製造方法。
【請求項４】
炭素繊維強化炭素基材を作成した後、当該炭素繊維強化炭素基材の表面を粗くし、粗くした前記炭素繊維強化炭素基材の表面にガラス材料を塗布することを特徴とする請求項３記載の反射鏡製造方法。
【請求項５】
炭素繊維強化炭素基材を酸化雰囲気下において６００℃から１０００℃で加熱することによって当該炭素繊維強化炭素基材の表面を粗くすることを特徴とする請求項３記載の反射鏡製造方法。
【請求項６】
炭素繊維強化炭素基材を作成した後、当該炭素繊維強化炭素基材の表面にガラス強化用繊維材料を配置し、配置したガラス強化用繊維材料の上にガラス材料を塗布することを特徴とする請求項３記載の反射鏡製造方法。
【請求項７】
ガラス材料が、ホウ珪酸ガラス材料または繊維強化ガラス材料であることを特徴とする請求項３から請求項６のうちのいずれか１項記載の反射鏡製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、宇宙空間または地上で使用される光学望遠鏡用の反射鏡およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
宇宙空間または地上で使用される光学望遠鏡用の大型反射鏡の材料には、従来は特定のガラス材料、例えば低歪性のガラス材料が使用されていた。低歪性のガラス材料は熱膨張係数がゼロに近いため反射鏡の熱による歪みを小さくでき、また鏡面加工を行いやすいという長所がある。しかし、強度、剛性、弾性率、破壊靭性値などの機械的特性が他の材料に比べて劣り、また、製造プロセスが複雑で大型化、軽量化が困難であるという短所がある。
【０００３】
そこで、最近では従来のガラス材料と比較して軽量、高強度、かつ熱による歪みの少ない炭素繊維強化炭素（以下、Ｃ／Ｃと称する）複合材料が反射鏡の材料として使用されている。Ｃ／Ｃ複合材料は炭素繊維と炭素母材とを含む複合材料の一種である。炭素繊維としては、ピッチ系、ポリアクリロニトリル系またはレーヨン系などが使用される。また、炭素母材とは炭素質ピッチ、フェノール樹脂、フラン樹脂などの炭化により得られるものである。Ｃ／Ｃ複合材料は、繊維配向、繊維含有量を調整することによって線膨張係数を面内において等方性、かつゼロに近い程度に小さくすることができる。したがって、Ｃ／Ｃ複合材料は、繊維配向、繊維含有量を調整することによって宇宙空間など温度変化の大きな環境下でも熱変形をほとんど生じないため、大型反射鏡の材料として適している。
【０００４】
光学望遠鏡用の反射鏡の表面粗度Ｒａは、観測を行う光の波長に対して十分に小さい必要がある。しかし、Ｃ／Ｃ複合材料からなる反射鏡の表面には通常凹凸やボイド（空隙）が多く存在するため、従来のガラス材料に対する研磨加工方法では光の波長に応じて求められる表面粗度Ｒａを得ることができない。またＣ／Ｃ複合材料は硬度が高いため、切削などの機械加工を行っても表面粗度Ｒａは１μｍ程度しか得られない。したがって、波長４００ｎｍ〜７６０ｎｍの可視光や、波長７６０ｎｍ〜２００μｍの赤外光等を観測するためには、Ｃ／Ｃ複合材料から作成されるＣ／Ｃ複合材料基材をそのまま反射鏡として使用することは適切でない。
【０００５】
そこで、これらの欠点を解決するために、Ｃ／Ｃ複合材料からなる基材の表面に金属コーティングを施し、この金属コーティング層を精密に機械加工することによって高精度な鏡面を形成した。Ｃ／Ｃ複合材料からなる基材は表面粗度Ｒａが大きいので、鏡面を形成するために金属コーティング層を厚く形成していた。
【０００６】
しかしながら、金属材料の熱膨張係数はＣ／Ｃ複合材料の熱膨張係数と比較して大きいため、上述のような層の厚い金属コーティングが施された反射鏡では、宇宙空間など温度変化の大きな環境においては熱による歪みが生じてしまうという課題があった。また、金属材料の比重に基づいて反射鏡の重量が増加してしまう、大型の鏡面を得るために大型の精密切削装置が必要となる、といった課題もあった。
【０００７】
また、この発明の分野に関わる先行技術として特許文献１がある。特許文献１は、Ｃ／Ｃ複合材料を用いて作成される基材（以下、Ｃ／Ｃ複合材料基材と称する）の耐酸化性を改善するためのコーティング技術に関するものである。この特許の技術概要は以下の通りである。すなわち、特定のＣ／Ｃ複合材料の開孔空隙部に気相分解によって炭素および／またはセラミックスを沈積充填し、続いてその充填層の表面に気相分解によりセラミックスまたはセラミックスと炭素の両者を沈積被覆する。これによって、セラミックス、すなわち酸化防止被膜との間の剥離を生じないＣ／Ｃ複合材料を製造する。
【０００８】
特許文献１では、酸化防止被膜の熱膨張係数とＣ／Ｃ複合材料基材の熱膨張係数の差により発生する応力を、ＣＶＩ（Chemical Vapor Infiltration：気相分解沈積充填）法およびＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：気相分解沈積被覆）法によって被膜等の組成に傾斜をつけて緩和することにより、酸化防止被膜の剥離を防止することを目的としている。そして、この特許文献１は、Ｃ／Ｃ複合材料の空隙部にはＣＶＩによる炭素および／またはセラミックスの均一な沈着が、表面にはＣＶＤによるセラミックスまたはセラミックスと炭素の両者の沈着が認められ、その間の組織および組成は連続的に変化しており、界面剥離が見られなかったことを開示している。
【０００９】
【特許文献１】特許第２７２２１９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述のように、特許文献１の製造方法においては、酸化防止被膜とＣ／Ｃ複合材料基材との界面の剥離を防止する目的で２段階のコーティング処理が行われている。１段階目のＣＶＩ処理はＣ／Ｃ複合材料基材に存在する開孔空隙部に炭素および／またはセラミックスを充填するためのものであり、続いて行われる２段階目のＣＶＤ処理は耐酸化性を向上させるためのものである。したがって、特許文献１の製造方法では光学望遠鏡用の大型反射鏡として必要な表面粗度が得られない恐れがある。また、特許文献１の製造方法は気相分解法を用いているため、数ｍにおよぶ直径を有する大型反射鏡の製造には適さないという課題もある。
【００１１】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、Ｃ／Ｃ複合材料を用いて形成される基材の表面粗度を改善して、温度変化の大きな環境においても熱による歪みの少ない反射鏡およびその製造方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明に係る反射鏡は、炭素繊維強化炭素複合材料を用いて形成された炭素繊維強化炭素基材と、３ｐｐｍ／Ｋ以下の熱膨張率を有し、炭素繊維強化炭素基材の表面に密着するガラス膜とを備えたものである。
【００１３】
この発明に係る反射鏡製造方法は、炭素繊維強化炭素複合材料を用いて炭素繊維強化炭素基材を作成するステップと、３ｐｐｍ／Ｋ以下の熱膨張率を有する粉末状のガラス材料を炭素繊維強化炭素基材の表面に塗布するステップと、ガラス材料を塗布した炭素繊維強化炭素基材を加熱することによりガラス材料を溶融させ、ガラス膜を形成するステップと、ガラス膜を研磨して反射鏡面を作成するステップとを備えたものである。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、反射鏡が、炭素繊維強化炭素複合材料を用いて形成された炭素繊維強化炭素基材と、３ｐｐｍ／Ｋ以下の熱膨張率を有し、炭素繊維強化炭素基材の表面に密着するガラス膜とを備えるように構成したので、大型で熱による歪みが少なく、また高精度の反射鏡が得られる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
実施の形態１．
図１はこの発明による反射鏡の断面図である。図に示すように、反射鏡はガラス膜１、Ｃ／Ｃ複合材料基材２、金属コーティング３を備える。この発明では、Ｃ／Ｃ複合材料基材上にガラス膜を形成し、このガラス膜を研磨することによって必要な表面粗度Ｒａを有する反射鏡を製造する。ガラス膜は研磨加工が容易であるため、砥粒を用いる従来の研磨法を採用できる。すなわち、所望の曲率を有する皿状の研磨板を被研磨体に押し当て、砥粒を含む研磨液を流しかけながら回転させることによって研磨する方法である。また、金属コーティング３は反射鏡として使用するために最終的に蒸着されるアルミニウム等である。この発明では、ガラス膜１とＣ／Ｃ複合材料基材２とから形成される反射鏡について説明する。
【００１６】
図１に示すように、Ｃ／Ｃ複合材料基材２は鏡面状に形成されており、Ｃ／Ｃ複合材料基材２の内側表面に反射鏡面となるガラス膜１が配置される。一般に、望遠鏡用として許容されるのは、目的の形状からのずれがλ／１０（λは反射鏡本来の用途（例えば観測）に使用する光の波長、以下同様）以内の形状精度を有する反射鏡である。
【００１７】
従来技術を利用してＣ／Ｃ複合材料基材上にガラス膜を形成することもでき、その方法として例えばＣＶＤ法や真空蒸着法等が考えられる。しかしながら、いずれの方法も成膜に時間がかかり、また膜に発生する応力のために厚膜を形成することが困難である等の問題がある。また、ガラスのブロックをＣ／Ｃ複合材料基材上に接着させこれを研磨する方法も考えられるが、吸湿変形する接着剤を使用しなければならず、また研磨に時間がかかる等の問題がある。そこで、これらの問題を解決するため本発明では以下の方法で反射鏡を製造している。
【００１８】
図２は図１の反射鏡の製造手順を示すフローチャートである。図２を参照して反射鏡の製造方法について説明する。
まず、所望の鏡面形状を有するＣ／Ｃ複合材料基材を以下の手順で作成する。すなわち、２００ｇ／ｍ２のＰＡＮ（ポリアクリロニトリル）系炭素繊維の織物を等方になるように１６ｐｌｙ程度積層し、フェノール樹脂を４０重量％程度含浸させる（ステップＳＴ１００）。ＰＡＮ系炭素繊維としては、例えば東レ株式会社製Ｔ３００材料を使用し、フェノール樹脂としては、例えば大日本インキ社製フェノライトを使用する。続いて、フェノール樹脂を含浸させたＰＡＮ系炭素繊維を成形型を用いて球面状に１６０℃で２時間加熱成形し、球面状のＣＦＲＰ（Carbon Fiber Reinforced Plastic：炭素繊維強化プラスチック）基材を得る（ステップＳＴ１０１）。このＣＦＲＰ基材を還元性雰囲気下において約７００℃で１時間焼成し、母材樹脂を炭化させる（ステップＳＴ１０２）。
【００１９】
上記処理によって得られたＣＦＲＰ基材は多孔質であるため、この基材にコールタールピッチを２２０℃、５気圧の条件下で含浸させる（ステップＳＴ１０３）。続いて、還元性雰囲気下において約２０００℃で１時間焼成し、炭素材料を結晶化させる（ステップＳＴ１０４）。さらに、結晶化させた基材に切削、研磨などの機械加工を行い、所望の形状からのずれが５μｍ以内の形状精度となるように調整する（ステップＳＴ１０５）。この形状精度の測定には、例えばレーザーを用いた非接触３次元形状測定装置により測定する。以上の手順によりＣ／Ｃ複合材料基材が得られる。
【００２０】
続いて、得られたＣ／Ｃ複合材料基材の表面にガラス粉末を塗布する。ここではガラス粉末として約４０μｍの粒径のホウ珪酸ガラス粉末を使用する。ホウ珪酸ガラス粉末をビーカー等の容器に入れ、５０重量％程度の濃度になるように純水を加え、充分攪拌した後Ｃ／Ｃ複合材料基材の内側表面に均一に塗布する（ステップＳＴ１０６）。塗布には、例えばスプレーを用いて行ってもよい。続いて、真空排気装置を備えた電気炉を用いて真空中において７００℃で２時間加熱する（ステップＳＴ１０７）。加熱することによってガラス粉末が溶融して膜状となる。このガラス膜を砥粒を用いる従来の研磨法によって反射鏡面を作成する（ステップＳＴ１０８）。ガラス膜の厚さは５０μｍ〜２００μｍ程度になるように形成するのが適当である。
以上の手順によって、目的の形状からのずれが約５μｍの形状精度で、かつ表面粗度Ｒａが約３ｎｍの反射鏡を得ることができた。
【００２１】
ホウ珪酸ガラス粉末をＣ／Ｃ複合材料基材の表面に塗布した後、加熱して溶融させたので、基材の表面に存在する凹凸やボイドがガラスによって埋められることによるアンカー効果が生じ、Ｃ／Ｃ複合材料基材とガラス膜とが強固に接合し、良好な密着状態が得られる。
【００２２】
ここで、熱膨張係数について説明する。Ｃ／Ｃ複合材料基材の熱膨張係数は、繊維配向、繊維含有量を変化させることによって調整可能であるが、例えば０．２ｐｐｍ／Ｋである。ホウ珪酸ガラス粉末の熱膨張係数は３ｐｐｍ／Ｋである。また、従来技術においてＣ／Ｃ複合材料基材のコーティングに用いられた金属、例えばアルミニウムの熱膨張係数は２３ｐｐｍ／Ｋ、鉄の熱膨張係数は１２ｐｐｍ／Ｋ、ニッケルの熱膨張係数は１３ｐｐｍ／Ｋである。したがって、ホウ珪酸ガラス粉末の熱膨張係数の方が金属の熱膨張係数よりもＣ／Ｃ複合材料基材に近くかつゼロに近いため、基材とガラス膜との密着性が優れ、かつ反射鏡は熱による歪みを生じにくい。
また、例えばソーダ石灰ガラス（熱膨張係数：８ｐｐｍ／Ｋ）のように、熱膨張係数が３ｐｐｍ／Ｋ以上のガラス材料の場合は、金属よりも熱膨張係数が小さくても、破断歪みが金属よりも小さいために冷却時にクラックが生じるという問題がある。したがって、熱膨張係数が３ｐｐｍ／Ｋ以下のガラス材料を使用することが望ましい。
【００２３】
以上のように、この実施の形態１によれば、Ｃ／Ｃ複合材料基材の表面にガラス膜を形成し、このガラス膜を研磨することによって反射鏡を製造したので、砥粒を用いる従来の研磨法によって必要な表面粗度Ｒａの反射鏡面を作成することが可能であるとともに、熱による歪みが少なく、また大型の精密切削装置が必要ないために大型化が容易な反射鏡が製造できる効果が得られる。
【００２４】
実施の形態２．
この実施の形態２は、実施の形態１で説明した図２の反射鏡製造手順のステップＳＴ１０５とステップＳＴ１０６の処理の間に表面粗し処理を加えたものである。以下、この実施の形態２による反射鏡の製造方法を説明する。
【００２５】
まず、図２のフローチャートのステップＳＴ１００からステップＳＴ１０５に示した手順でＣ／Ｃ複合材料基材を作成する。続いて、作成したＣ／Ｃ複合材料基材の表面を粗くする。例えば、粒度ナンバー４００（ＪＩＳＲ６００１）程度の砥石を用い、自動研削装置による加工によって表面を粗くするようにしてもよい。粗くする程度は、表面粗度Ｒａが約１μｍとなる程度である。続いて、図２のステップＳＴ１０６のように、約４０μｍの粒径のホウ珪酸ガラス粉末をビーカー等の容器に入れて純水を加え、充分攪拌した後粗くしたＣ／Ｃ複合材料基材の表面に均一に塗布する。塗布には、例えばスプレーを用いて行ってもよい。続いて、ステップＳＴ１０７、ステップＳＴ１０８の処理を行う。
以上の手順によって、目的の形状からのずれが約５μｍの形状精度で、かつ表面粗度Ｒａが約３ｎｍの反射鏡を得ることができた。
【００２６】
以上のように、この実施の形態２によれば、Ｃ／Ｃ複合材料基材を作成した後表面を粗くし、粗くした表面にホウ珪酸ガラス粉末を塗布するようにしたので、Ｃ／Ｃ複合材料基材の表面に多数生成された細孔やボイドにガラス材が充填され、そのアンカー効果によってガラス膜とＣ／Ｃ複合材料基材の密着性を向上させることができるという効果が得られる。
【００２７】
実施の形態３．
この実施の形態３は、実施の形態２で説明した表面粗し処理とは異なる方法によって表面を粗くするものである。以下、この実施の形態３による反射鏡の製造方法を説明する。
【００２８】
まず、図２のフローチャートのステップＳＴ１００からステップＳＴ１０５に示した手順でＣ／Ｃ複合材料基材を作成する。続いて、作成したＣ／Ｃ複合材料基材を電気炉に入れ、大気中、すなわち酸化雰囲気下において６００℃で１０分間加熱することによって表面を粗くする。加熱温度は６００℃〜１０００℃が望ましい。これは、６００℃未満ではＣ／Ｃ複合材料基材の酸化が遅く実用的でないためであり、また１０００℃を超える温度ではＣ／Ｃ複合材料基材の気化速度が大きすぎて制御が困難になるためである。
【００２９】
続いて、図２のステップＳＴ１０６のように、約４０μｍの粒径のホウ珪酸ガラス粉末をビーカー等の容器に入れて純水を加え、充分攪拌した後電気炉から取り出したＣ／Ｃ複合材料基材の表面に均一に塗布する。塗布には、例えばスプレーを用いて行ってもよい。続いて、ステップＳＴ１０７、ステップＳＴ１０８の処理を行う。
以上の手順によって、目的の形状からのずれが約５μｍの形状精度で、かつ表面粗度Ｒａが約３ｎｍの反射鏡を得ることができた。
【００３０】
以上のように、この実施の形態３によれば、Ｃ／Ｃ複合材料基材を作成した後加熱処理によってその表面を粗くし、粗くした表面にホウ珪酸ガラス粉末を塗布するようにしたので、粗くしたＣ／Ｃ複合材料基材の表面に多数生成された細孔やボイドにガラス材が充填され、そのアンカー効果によってガラス膜とＣ／Ｃ複合材料基材の密着性を向上させることができるという効果が得られる。
【００３１】
実施の形態４．
この実施の形態４は、実施の形態１で説明した図２の反射鏡製造手順のステップＳＴ１０５とステップＳＴ１０６の処理の間にガラス強化処理を加えたものである。以下、この実施の形態４による反射鏡の製造方法を説明する。
【００３２】
まず、図２のフローチャートのステップＳＴ１００からステップＳＴ１０５に示した手順でＣ／Ｃ複合材料基材を作成する。続いて、作成したＣ／Ｃ複合材料基材の表面にガラス強化用繊維材料を配置する。ガラス強化用繊維材料の種類、使用量によって、強化されるガラス材料の熱膨張係数が変化するため、所望の反射鏡の熱膨張係数に応じて種類、使用量を選択する。ここでは、旭ファイバーグラス株式会社製のガラス繊維クロスを１ｐｌｙ〜２ｐｌｙ（０．２ｍｍ〜０．４ｍｍ）使用する。続いて、図２のステップＳＴ１０６のように、約４０μｍの粒径のホウ珪酸ガラス粉末をビーカー等の容器に入れて純水を加え、充分攪拌した後ガラス繊維クロスの表面に均一に塗布する。塗布には、例えばスプレーを用いて行ってもよい。続いて、ステップＳＴ１０７のように真空中において７００℃で２時間加熱する。加熱することによってガラス粉末が溶融してガラス繊維クロスの中に含浸し、ガラス繊維によって強化された膜状のガラスが形成される。続いてステップＳＴ１０８の処理を行う。
以上の手順によって、目的の形状からずれが約５μｍの形状精度で、かつ表面粗度Ｒａが約３０ｎｍの反射鏡を得ることができた。
【００３３】
以上のように、この実施の形態４によれば、Ｃ／Ｃ複合材料基材を作成した後ガラス強化用繊維材料を配置し、ガラス強化用繊維材料上にホウ珪酸ガラス粉末を塗布して加熱・溶融するようにしたので、ガラス強化用繊維材料の種類、使用量を適切に選択することによって反射鏡の熱膨張係数を制御することができる効果が得られる。
【００３４】
実施の形態５．
この実施の形態５では、上記の実施の形態１から実施の形態４で用いたガラス粉末の別の例として、ＵＬＥ（Ultra Low Expansion：超低熱膨張）ガラス粉末を使用する。以下、この実施の形態５による反射鏡の製造方法を説明する。
【００３５】
まず、図２のフローチャートのステップＳＴ１００からステップＳＴ１０５に示した手順でＣ／Ｃ複合材料基材を作成する。続いて、約４０μｍの粒径のＵＬＥガラス粉末をビーカー等の容器に入れて純水を加え、充分攪拌した後作成したＣ／Ｃ複合材料基材の表面に均一に塗布する。続いて、ステップＳＴ１０７、ステップＳＴ１０８の処理を行う。ただし、ステップＳＴ１０７における加熱温度は１５００℃とする。
以上の手順によって、目的の形状からのずれが約５μｍの形状精度で、かつ表面粗度Ｒａが約３ｎｍの反射鏡を得ることができた。
【００３６】
この実施の形態５で用いたＵＬＥガラスの熱膨張係数は０．０３２ｐｐｍ／Ｋである。また、実施の形態１で示したようにＣ／Ｃ複合材料基材の熱膨張係数は例えば０．２ｐｐｍ／Ｋである。したがって、ガラス粉末としてＵＬＥガラス粉末を使用すると、Ｃ／Ｃ複合材料基材とガラス膜との熱膨張係数の差がより小さく、かつゼロに近いため、Ｃ／Ｃ複合材料基材とガラス膜との密着性が優れ、かつ熱による歪みの少ない反射鏡が得られる。
【００３７】
以上のように、この実施の形態５によれば、Ｃ／Ｃ複合材料基材上に配置するガラス粉末としてＵＬＥガラス粉末を使用したので、Ｃ／Ｃ複合材料基材とガラス膜との密着性がより優れ、かつ熱による歪みのより少ない反射鏡を製造できるという効果が得られる。
【００３８】
実施の形態６．
この実施の形態６では、上記の実施の形態１から実施の形態４で用いたガラス粉末の別の例として、繊維強化ガラス（ＦＲＧ：Fiber Reinforced Glass）を使用する。以下、この実施の形態６の反射鏡の製造方法を説明する。
【００３９】
まず、図２のフローチャートのステップＳＴ１００からステップＳＴ１０５に示した手順でＣ／Ｃ複合材料基材を作成する。続いて、約４０μｍの粒径の繊維強化ガラス粉末をビーカー等の容器に入れて純水を加え、充分攪拌した後Ｃ／Ｃ複合材料基材の表面に均一に塗布する。ここでは、例えばウィスカー繊維強化ガラス粉末を使用する。続いて、ステップＳＴ１０７、ステップＳＴ１０８の処理を行う。
以上の手順によって、目的の形状からのずれが約５μｍの形状精度で、かつ表面粗度Ｒａが約３０ｎｍの反射鏡を得ることができた。
【００４０】
繊維強化ガラスの熱膨張係数は、調整可能であるが１ｐｐｍ／Ｋ程度である。したがって、実施の形態１で示したホウ珪酸ガラスの熱膨張係数よりも小さいため、Ｃ／Ｃ複合材料基材とガラス膜との熱膨張係数の差がより小さく、反射鏡の熱による歪みはより小さくなる。
【００４１】
以上のように、この実施の形態６によれば、Ｃ／Ｃ複合材料基材上に配置するガラス粉末として繊維強化ガラス粉末を使用したので、Ｃ／Ｃ複合材料基材とガラス膜との密着性がより優れ、かつ熱による歪みのより少ない反射鏡を製造できるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】この発明による反射鏡の断面図である。
【図２】この発明の実施の形態１による反射鏡の製造方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４３】
１  ガラス膜、２  Ｃ／Ｃ複合材料基材、３  金属コーティング。
【図１】
2005037709.tif 000003
【図２】
2005037709.tif 000004