(57)【要約】【課題】  小型の表面実装型半導体装置を低コストで製造し得る製造方法を提供すること、及び小型で高放熱の表面実装型半導体装置を提供することを目的とする。【解決手段】  導電板の一方の平面上に半導体素子を搭載してハンダ付けする工程と、前記導電板の前記平面に平行な平行部と該平行部に垂直な垂直部とを有する結線部材の前記平行部につながるハンダ付け部を前記半導体素子にハンダ付けする工程と、前記結線部材の前記垂直部につながる固着部を前記導電板の前記一方の平面に固着する工程と、前記導電板の前記一方の平面と前記半導体素子とが少なくとも覆われるように電気絶縁被覆材料で被覆する工程と、前記結線部材の前記平行部と前記電気絶縁被覆材料と前記導電板とを切断して個々の半導体装置に分離する工程とからなることを特徴とする半導体装置の製造方法。【選択図】  図１
2005260196.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置の製造方法において、
導電板の一方の平面上に半導体素子を搭載してハンダ付けする工程と、
前記導電板の前記平面に平行な平行部と該平行部に垂直な垂直部とを有する結線部材の前記平行部につながるハンダ付け部を前記半導体素子にハンダ付けする工程と、
前記結線部材の前記垂直部につながる固着部を前記導電板の前記一方の平面に固着する工程と、
前記導電板の前記一方の平面と前記半導体素子とが少なくとも覆われるように電気絶縁被覆材料で被覆する工程と、
前記結線部材の前記平行部と前記電気絶縁被覆材料と前記導電板とを切断して個々の半導体装置に分離する工程と、
からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
半導体装置の製造方法において、
導電板の一方の平面上に複数の半導体素子を搭載してハンダ付けする工程と、
前記導電板の前記平面に平行な平行部と該平行部に垂直な垂直部とを有する結線部材の両端に位置するハンダ付け部を一定間隔離れて位置する前記半導体素子にハンダ付けする工程と、
前記導電板の前記一方の平面と前記半導体素子とが少なくとも覆われるように電気絶縁被覆材料で被覆する工程と、
前記結線部材の前記平行部と前記電気絶縁被覆材料と前記導電板とを切断して個々の半導体装置に分離する工程と、
からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
電気絶縁被覆材料で被覆する前記工程は、前記結線部材の前記平行部が露出するように行われることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１又は請求項２において、
前記電気絶縁被覆材料の一部分を研磨により除去して前記結線部材の前記平行部を露出させる工程を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかにおいて、
電気絶縁被覆材料で被覆する前記工程は、前記導電板の他方の平面が露出するように行われることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項４のいずれかにおいて、
電気絶縁被覆材料で被覆する前記工程は、前記導電板の他方の平面も覆うように行われることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
平面を有する導電板と、
該導電板の前記平面に搭載されてハンダ付けされている半導体素子と、
前記導電板の平面に平行な平行部と該平行部に垂直な垂直部とを有する端子部材であって、前記垂直部につながる一端が前記導電板に固着されている第１の端子部材と、
前記導電板の平面に平行な平行部を有する端子部材であって、前記平行部につながる一端が前記半導体素子にハンダ付けされている第２の端子部材と、
からなり、
前記第１と第２の端子部材の前記双方の平行部が同等の高さにあることを特徴とする表面実装型半導体装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記半導体素子は２個以上並置されており、前記第２の端子部材の前記一端は前記２個以上の半導体素子にハンダ付けされていることを特徴とする表面実装型半導体装置。
【請求項９】
平面を有する導電板と、
該金属基板の前記平面に搭載されてハンダ付けされている一方の面を有する複数個の半導体素子と、
前記導電板の平面に平行な平行部と該平行部の一端につながるハンダ付け部とを有する端子部材であって、前記ハンダ付け部が前記それぞれの半導体素子にハンダ付けされている第１、第２の端子部材と、
前記導電板の前記一方の平面と前記半導体素子とを少なくとも覆っている電気絶縁被覆材料と、
前記第１と第２の端子部材の前記双方の平行部が同等の高さにあると共に、それら端子部材の前記平行部の他端が電気絶縁被覆材料から露出していることを特徴とする表面実装型半導体装置。
【請求項１０】
請求項９において、
前記複数個の半導体素子は、前記導電板によって同極性又は逆極性で、並列に又は直列に接続されていることを特徴とする表面実装型半導体装置。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のいずれかにおいて、
前記導電板は、金属板、又は電気絶縁材料あるいは抵抗材料からなる板状若しくはシート状の基材の一方の面に導電層を形成してなる部材からなることを特徴とする表面実装型半導体装置。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記基材に形成された導電層は金属材料からなる導電パターンであり、露出しないことを特徴とする表面実装型半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法、特に薄型の表面実装型半導体装置を製造するのに適した製造方法、及びその方法により製造される表面実装型半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話に代表される小型で、高性能の小型電子機器は、多数の小型電子部品が実装されているプリント基板を備えている。そのような小型電子機器にあっては、年々、更なる小型化、高機能化の方向に向かっており、これに伴って高密度実装の要求が高まり、小型電子部品についても更に薄型化、小型化の要求が強まっている。前述の小型電子部品の内の一部分は、ダイオード、トランジスタ（ＦＥＴ）などの表面実装型半導体装置であり、小型電子機器といえどもその電力を扱う半導体装置は、要求される電流容量などの面から現在ではＩＣ化が難しく、個別に製造される表面実装型半導体装置が用いられている。
【０００３】
表面実装型半導体装置を薄型化、小型化する構造については既に種々のものが提案されており、厚みが１ｍｍ弱という薄型の個別に製造される表面実装型半導体装置も実現されている。代表的なものとして、適当に曲げられた一対のリード電極間に半導体素子を位置させ、前記一対のリード電極の平坦部分がモールド樹脂の底面に露出する構造にして薄型化と小型化とを図った発明が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
その他にも、比較的厚みのあるほぼ同じ厚みの二つの金属板を電極とし、一方の金属板に半導体素子を搭載し、その半導体素子を他方の金属板にワイヤボンディングして樹脂モールドし、前記金属板を端子部材として兼用したもの（例えば、特許文献２参照）、また、金属板をほぼ９０度に折り曲げて半導体素子を支承する端子部材として用いると共に、その折り曲げた部分を表面実装用端子部材として用いて、薄型化と小型化を図った発明（例えば、特許文献３参照）などがある。
【０００５】
しかし、特許文献１、２の表面実装型半導体装置の製造工程にあっては、専用のモールド金型でモールドを行うトランスファーモールド装置が必要である。かかる金型を使用する場合には、僅かなサイズの変更などを行う場合にも、その度に新規に金型を作り直すか、あるいは変更しなければならず、時間とコストとがかかる。
【０００６】
また、トランスファーモールドの場合には、モールド部分のランナー、ゲート部分、スポット部分など不要な廃棄部分が生じ、これら部分のモールド樹脂を廃棄処分するので、コスト的にも、環境保護の面からも好ましくない。特許文献３のものでは、量産に不適な構造であるなどの問題がある。
【０００７】
更にまた、下記特許文献で提案されている表面実装型半導体装置では、その側面から端子部材が突出する構造であるので、小型化の面で、難点がある。
【特許文献１】特許第２７４７６３４公報
【特許文献２】特許第２９０２９１８号公報
【特許文献３】特開２００２−２６０６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みて、小型の表面実装型半導体装置を低コストで製造し得る製造方法を提供すること、及び小型で高放熱の表面実装型半導体装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために、第１の発明は、半導体装置の製造方法において、導電板の一方の平面上に半導体素子を搭載してハンダ付けする工程と、前記導電板の前記平面に平行な平行部と該平行部に垂直な垂直部とを有する結線部材の前記平行部につながるハンダ付け部を前記半導体素子にハンダ付けする工程と、前記結線部材の前記垂直部につながる固着部を前記導電板の前記一方の平面に固着する工程と、前記導電板の前記一方の平面と前記半導体素子とが少なくとも覆われるように電気絶縁被覆材料で被覆する工程と、前記結線部材の前記平行部と前記電気絶縁被覆材料と前記導電板とを切断して個々の半導体装置に分離する工程とからなることを特徴とする半導体装置の製造方法を提供するものである。
【００１０】
第２の発明は、半導体装置の製造方法において、導電板の一方の平面上に複数の半導体素子を搭載してハンダ付けする工程と、前記導電板の前記平面に平行な平行部と該平行部に垂直な垂直部とを有する結線部材の両端に位置するハンダ付け部を一定間隔離れて位置する前記半導体素子にハンダ付けする工程と、前記導電板の前記一方の平面と前記半導体素子とが少なくとも覆われるように電気絶縁被覆材料で被覆する工程と、前記結線部材の前記平行部と前記電気絶縁被覆材料と前記導電板とを切断して個々の半導体装置に分離する工程とからなることを特徴とする半導体装置の製造方法を提供するものである。
【００１１】
第３の発明は、前記第１又は第２の発明において、電気絶縁被覆材料で被覆する前記工程は、前記結線部材の前記平行部が露出するように行われることを特徴とする半導体装置の製造方法を提供するものである。
第４の発明は、前記第１又は第２の発明において、前記結線部材の前記平行部が露出するように研磨して電気絶縁被覆材料の一部分を除去する工程を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法を提供するものである。
第５の発明は、前記第１の発明ないし前記第４の発明のいずれかにおいて、電気絶縁被覆材料で被覆する前記工程は、前記導電板の他方の平面が露出するように行われることを特徴とする半導体装置の製造方法を提供するものである。
【００１２】
第６の発明は、前記第１の発明ないし前記第４の発明のいずれかにおいて、電気絶縁被覆材料で被覆する前記工程は、前記導電板の他方の平面も覆うように行われることを特徴とする半導体装置の製造方法を提供するものである。
第７の発明は、平面を有する導電板と、該導電板の前記平面に搭載されてハンダ付けされている半導体素子と、前記導電板の平面に平行な平行部と該平行部に垂直な垂直部とを有する端子部材であって、前記垂直部につながる一端が前記導電板に固着されている第１の端子部材と、前記導電板の平面に平行な平行部を有する端子部材であって、前記平行部につながる一端が前記半導体素子にハンダ付けされている第２の端子部材とからなり、前記第１と第２の端子部材の前記双方の平行部が同等の高さにあることを特徴とする表面実装型半導体装置を提供するものである。
第８の発明は、前記第７の発明において、前記半導体素子は２個以上並置されており、前記第２の端子部材の前記他端は前記２個以上の半導体素子にハンダ付けされていることを特徴とする表面実装型半導体装置を提供するものである。
【００１３】
第９の発明は、平面を有する導電板と、該導電板の前記平面に搭載されてハンダ付けされている一方の面を有する複数個の半導体素子と、前記導電板の平面に平行な平行部と該平行部の一端につながるハンダ付け部とを有する端子部材であって、前記ハンダ付け部が前記それぞれの半導体素子にハンダ付けされている第１、第２の端子部材と、前記導電板の前記一方の平面と前記半導体素子とを少なくとも覆っている電気絶縁被覆材料と、前記第１と第２の端子部材の前記双方の平行部が同等の高さにあると共に、それら端子部材の前記平行部の他端が電気絶縁被覆材料から露出していることを特徴とする表面実装型半導体装置を提供するものである。
第１０の発明は、前記第９の発明において、前記複数個の半導体素子は、前記導電板によって同極性又は逆極性で、並列に又は直列に接続されていることを特徴とする表面実装型半導体装置を提供するものである。
第１１の発明は、前記第１の発明ないし前記第１０の発明のいずれかにおいて、前記導電板は、金属板、又は電気絶縁材料あるいは抵抗材料からなる板状若しくはシート状の基材の一方の面に導電層を形成してなる導電板状部材からなることを特徴とする表面実装型半導体装置を提供するものである。
第１２の発明は、前記第１１の発明において、前記絶縁性基板に形成された導電層は金属材料からなる導電パターンであり、露出しない表面実装型半導体装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００１４】
前記第１の発明によれば、半導体装置を小型化でき、また、一種類の結線部材で双方の端子部材を形成できると共に、一括モールドしているので、経済的に製造できる製造方法を提供することができる。
前記第２の発明によれば、２個以上の半導体素子を有する半導体装置を小型化でき、また、一種類の結線部材で双方の端子部材を形成できると共に、一括モールドしているので、経済的に製造できる製造方法を提供することができる。
また、前記第３の発明によれば、さらに、半導体装置の端子部材となる結線部材の平行部の露出の割合を調整でき、また、モールド樹脂の研磨工程を省略することができる。
また、前記第４の発明によれば、さらに、樹脂モールドにモールド樹脂の高さをそれほど厳密の調整する必要は無く、樹脂モールドが容易であると同時に、研磨によって平行部の高さを均一にすることができる。
【００１５】
また、前記第５の発明によれば、さらに、導電板として用いられる金属板を露出させているので、半導体装置の放熱をより良好なものにできる。
また、前記第６の発明によれば、さらに、導電板の錆びを防止でき、導電板と半導体素子との間に生じるストレスを低減することができる。
また、前記第７の発明によれば、端子部材が電気絶縁被覆材料の側面から突出することがないので、表面実装型半導体装置の小型化ができる。また、導電板によって熱容量が増し、放熱の良好な表面実装型半導体装置を得ることができる。
また、前記第８の発明によれば、より電流容量の大きな表面実装型半導体装置を得ることができる。
また、前記第９の発明によれば、端子部材が電気絶縁被覆材料の側面から突出することがないので、表面実装型半導体装置の小型化ができる。また、複数の半導体素子、又は半導体素子に他の電子部品を組み合わせた構造の表面実装型半導体装置を得ることができる。
また、前記第１０の発明によれば、さらに、双方向の定電圧半導体素子、又は高電圧のダイオードなど種々の構成の表面実装型半導体装置を得ることができる。
また、前記第１１の発明によれば、導電板が金属板だけでなく、合成樹脂板などに導電層を形成してなる板状部材を導電板として用いることができ、前記板状部材を用いたときには個々の半導体装置に切断することが容易になる。
また、前記第１２の発明によれば、基材に形成された導電層が露出しないので、空気中の湿度などによる影響を受けにくいので、信頼性の高い表面実装型半導体装置を得ることができ、また、個々の半導体装置に分離するときに切断し易い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
先ず、本発明を実施するための最良の形態である実施形態１の表面実装型半導体装置の製造方法について説明する。
[実施形態１]
図１ないし図３により本発明の実施形態１について説明する。図１は、本発明に係る表面実装型半導体装置の製造方法の実施形態１を説明するための断面図である。図２は、本発明に係る製造方法の実施形態１を説明するための結線部材の搭載工程後における斜視図である。図３は、本発明に係る製造方法の実施形態１を説明するための樹脂モールド工程後の斜視図である。
【００１７】
この実施形態１では、先ず図１（Ａ）に示すように、銅又は銅をニッケルメッキで被覆した金属など導電性の良好な金属材料からなるリードフレームのような薄い金属板を導電板１として用い、その一方の平面に、一定間隔離して複数の半導体素子２を搭載し、図１（Ｂ）に示すように、これら半導体素子をリフローハンダ付け法など通常の方法で導電板１にハンダ付けする。半導体素子１は、ＰＮ接合を有するプレーナー型又はメサ型のダイオードチップ、ショットキーバリアダイオード（ＳＢＤ）素子、あるいはＦＥＴチップ又はＩＧＢＴチップなどである。半導体素子２がＦＥＴチップ又はＩＧＢＴチップのような制御型半導体素子の場合には後ほど触れることにする。実施形態１では金属板１として表示する。
【００１８】
次に、図１（Ｂ）に示すように、結線部材３が搭載される。この結線部材３は、導電板１の平面と平行な平行部３ａ、平行部３ａに対して直角に折り曲げられている垂直部３ｂ、半導体素子２にハンダ付けされるハンダ付け部３ｃ、導電板１の前記一方の平面にハンダ付け又は溶接などによって固着される固着部３ｄからなる。結線部材３については、後でも述べるが、図示以外の種々な形状のものが考えられる。また、図１（Ｂ）では結線部材３が個別になっているが、最終的に個別の半導体装置に切断して分離する工程を行うので、各結線部材１は図示しない細い金属片などで互いに結合されている一連の構造になっていても勿論よく、この場合には結線部材の搭載工程が簡単になる。
【００１９】
しかる後に、図１（Ｃ）に示すように、それぞれの結線部材３の一端であるハンダ付け部３ｃを各半導体素子２にハンダ付けし、他方では結線部材３の他端である固着部３ｄを金属板１の一方の平面に固着する。ここで、結線部材３の平行部３ａは、後の切断工程で平行部３ａの途中において切断されるので、切断したときに半導体素子２の一部分が切断されることが無いように、適度な長さを有しなければならない。なお、前述のハンダ付けされた部分と固着された部分は記号４で示される。ダイオードチップである半導体素子２は、図２に示すように、金属板１の一方の平面上に格子状にほぼ一定間隔で搭載される。
【００２０】
次に、前述のようにして半導体素子２と結線部材３とが搭載され、固着された金属板１を不図示の浅い鋳型又は容器に入れ、エポキシ樹脂のような液状の電気絶縁被覆材料５を流し込んで、一括で樹脂モールドを行う。このとき、図１（Ｄ）に示すように、電気絶縁被覆材料５は結線部材３の平行部３ａの図示上面が少なくとも露出するように流し込まれる。結線部材３の平行部３ａは、この表面実装型半導体装置の外部の端子部材を兼ねるものであるので、平行部３ａの上面は清浄な状態にあることが好ましい。
【００２１】
しかし、実際上は結線部材３の平行部３ａは薄いために、少なくともその上面が露出するように樹脂モールドするのは難しい。したがって、図１（Ｅ）に示すように、結線部材３の平行部３ａが覆われるように樹脂モールドを行い、次に電気絶縁被覆材料５が固化した後に、不図示の鋳型又は容器から取り出し、通常の研磨工程によって結線部材３の平行部３ａの上部に位置する電気絶縁被覆材料５を削除し、図１（Ｄ）に示すように、結線部材３の平行部３ａの上面を露出させる。この研磨は、複数の結線部材３の各平行部３ａの高さを同一にするという役割も行う。
【００２２】
そして、不図示の鋳型又は容器から取り出した状態を示すのが、図３であり、電気絶縁被覆材料５から結線部材３の平行部３ａが露出しているのが分かる。しかる後に、図３における格子状に延びる切断線７に従って、ダイシングソウなどによる通常の機械的な切断手段、又はレーザ装置などによって切断を行い、図１（Ｆ）に示すように、個々の半導体装置に分離する。このように、本発明によれば、個々の表面実装型半導体装置の外形面積は切断寸法で決まるので、半導体素子の金属板への搭載位置、結線部材の大きさと金属板への搭載位置とを変更し、切断寸法を変えるだけで、表面実装型半導体装置の縦、横寸法を自由に変更できる。したがって、モールド金型における個々の半導体装置の容積の変更は不要となる。
【００２３】
図３における水平方向のこの切断は、各結線部材３の平行部３ａのほぼ中央を通る直線に沿って行われ、結線部材３の平行部３ａ、電気絶縁被覆材料５、及び金属板１が切断される。また、図３における垂直方向の切断は、隣り合う結線部材３の平行部３ａと平行部３ａとの間におけるほぼ中央を通る直線に沿って行われ、電気絶縁被覆材料５と金属板１とが切断される。このようにして、薄い角型の表面実装型半導体装置を得ることができ、また、金属板１及び結線部材３の平行部３ａとの切断面が電気絶縁被覆材料５から露出するが、突出することがないので、少なくともこの分だけ小型化できる。
【００２４】
この実施形態では図１（Ｆ）から分かるように、結線部材３の平行部３ａの一部分は、垂直部３ｂと固着部３ｄと共に隣り合う半導体装置の一方の端子部材を形成し、別途に端子部材を設ける必要がないので、製造工程の簡略化を図ることができる。また、大面積の金属板１上に実装されたすべての半導体素子と結線部材とを一括して樹脂モールドしていることも、低コスト化と更なる製造工程の簡略化に役立っている。
【００２５】
なお、以上述べた実施形態では金属板１をベタのもので示したが、金属板１は一般的にはリードフレームのように、不要な部分が繰り抜かれて、各半導体素子２を搭載する部分が不図示の細い橋絡片で橋絡されて結合されているようなものであり、金属板１の切断部分を少なくするような構造になっていることが好ましい。また、この実施形態及び以下に述べる実施形態において、金属板１は切断前の大面積のものだけでなく、個々の半導体装置に分離した後の金属板も金属板１で表すものとする。
【００２６】
次に、前述の製造方法によって製造された表面実装型半導体装置１００及びその実装について、図４により説明する。
半導体素子２がＰＮ接合を有するプレーナー型のダイオードチップであるとすると、不図示のＰ型領域にハンダ付けされたハンダ付け部３ｃから延びる平行部３ａが一方の表面実装用のアノード端子となり、半導体素子２のＮ型領域（不図示）がハンダ付けされている金属板１に固着された固着部３ｄから延びる垂直部３ｂにつながる平行部３ａが、他方の表面実装用のカソード端子となる。表面実装型半導体装置１００をプリント基板１０に搭載するときには、図示していないマウンタが金属板１を吸着して、一対の平行部３ａをプリント基板１０の所定位置に搭載し、これら双方の平行部３ａはプリント基板１０の実装パターン金属６にハンダ付けされる。
【００２７】
ここで、前記結線部材３の平行部３ａの一部分と垂直部３ｂと固着部３ｄとは前記カソード端子となる第１の端子部材を構成し、また、前記結線部材３の平行部３ａの一部分とハンダ付け部３ｃとは前記アノード端子となる第２の端子部材を構成する。
この表面実装型半導体装置１００では、金属板１が上面に位置しており、金属板１が放熱に寄与するので、放熱が良好になるばかりでなく、極限まで薄型化を行っても機械的強度を確保でき、また、搭載時に不図示のマウンタで金属板１を吸着保持することになるので、表面実装型半導体装置１００が小型のものであっても、確実に吸着保持できるなど、種々の効果を奏することができる。更にまた、この表面実装型半導体装置１００をプリント基板１０に実装した状態では、金属板１の上面に、図示しない放熱フィン又は他の電子回路のプリント基板を搭載することも可能である。
【００２８】
なお、この実施形態では前記第２の端子部材の平行部３ａとハンダ付け部３ｃとの間に段差が存在するが、この段差は弧状の傾斜などであってもよく、段差が無くとも良い。また、ハンダ付け部３ｃ、固着部３ｄはハンダボールが形成されているようなものであってもよい。さらにまた、前記端子部材の平行部３ａが樹脂モールド側面から露出しており、ハンダ付け時にハンダが平行部３ａの露出面を上ってハンダフィレットを形成するので、好ましいハンダ付けができると共に、ハンダ付けの確認を行い易い。
【００２９】
この実施形態の変形例として、図示しないが、図１において、ダイオード素子２を２個並べて配置したダイオードからなるものとし、ハンダ付け部３ｃの大きいものを用いてハンダ付け部３ｃで双方の半導体素子を並列接続する形態にしても良い。この場合、２個の半導体素子の極性が逆の場合にはそれらの順方向ドロップに等しい双方向の一定電圧をもつ表面実装型のダイオードが得られ、２個の半導体素子の極性が同じ場合にはそれらの順方向ドロップに等しい片方向の一定電圧をもつ表面実装型のダイオードを得ることができる。３個以上の半導体素子を並列接続しても勿論よい。また、半導体素子と抵抗チップなど他の電子部品チップを並列接続又は直列接続しても勿論よい。この実施形態では一種類の結線部材が必要であるだけであり、生産性の向上、コストダウンにつながる。
【００３０】
[実施形態２]
実施形態２は導電板として用いられる金属板１の両面を樹脂モールドする例である。前記実施形態における図１（Ａ）〜（Ｃ）の工程についてはこの実施形態でも同じであるので、図示するのを省略する。
図５（Ａ）は、図１（Ｃ）で示したように、金属板１に複数の半導体素子２をハンダ付けすると共に、端子部材のハンダ付け部３ｃを半導体素子２にハンダ付けし、その固着部３ｄを金属板１に固着させた後に、その両面を樹脂モールドした状態を示す。この両面樹脂モールドは、不図示の浅い角型の鋳型又は容器の底から僅かに浮かせるように金属板１を支持した状態で、エポキシ樹脂のような液状の電気絶縁被覆材料５を流し込んで、一括で樹脂モールドを行う。
【００３１】
電気絶縁被覆材料５が固化した後に、不図示の浅い角型の鋳型又は容器から前述の樹脂モールドしたものを取り出し、鎖線で示す結線部材３を覆っている電気絶縁被覆材料５のみを研磨によって除去し、金属板１を覆っている電気絶縁被覆材料５は除去せずに、そのままにしておく。しかる後に、図５（Ｂ）に示すように、前記実施形態と同様にして端子部材を形成する平行部３のほぼ中央から垂直に切断して個々の半導体装置に分離する。
【００３２】
図６は、このようにして製造された表面実装型半導体装置２００をプリント基板１０に実装した状態を示す図である。表面実装型半導体装置２００においても、結線部材３の平行部３ａが端子部材としてプリント基板１０に接続される。金属板１は両面で樹脂モールドされているので、金属板１の両面にかかるストレスを緩和することができる。なお、この実施形態における金属板１には、図示していないが、小孔を形成し、その金属板１の両側の電気絶縁被覆材料５が前記小孔を通して結合されているのが、電気絶縁被覆材料５の剥がれ防止などの面から好ましい。
【００３３】
次に、図７は、表面実装型半導体装置２００と同じ製造方法にて製造された表面実装型半導体装置３００をプリント基板１０に実装した状態を示す図である。表面実装型半導体装置３００では、表面実装型半導体装置１００、２００に比べて薄い金属板１を用いており、金属板１をスタンピング加工などによって、半導体素子２が搭載される部分１ａを若干突出させている。他の部分については表面実装型半導体装置２００と同様であるので、説明を省略する。この実施形態では、表面実装型半導体装置１００、２００に比べて薄い金属板１を用いているので、金属板１と半導体素子２との熱膨張差によって半導体素子２にかかるストレスを小さくできる。
【００３４】
[実施形態３]
実施形態３は、図８（Ａ）に示すように、半導体素子２、２’として２個のダイオードを同極性同士突き合わせて直列接続し、双方向の表面実装型の定電圧半導体装置を得る実施形態である。この第４の表面実装型半導体装置の製造工程については、実施形態１、実施形態２とほぼ同じであるので、図示するのを省略する。
【００３５】
接触させて又は至近距離に並べた２個のプレーナー型の半導体素子２、２’を一組として、複数の組みを図２に示した１個の半導体素子２に代えて配置する。そして、それら半導体素子２、２’のカソード側を金属板１にハンダ付け、又は半導体素子２、２’のアノード側を、導電板として用いられる金属板１にハンダ付けすることによって、２個のダイオードのカソード同士、又はアノード同士を接続する。半導体素子２のアノード側又はカソード側に、結線部材３の一方のハンダ付け部３ｃをハンダ付けし、半導体素子２’のアノード側又はカソード側に、別の結線部材３’の一方のハンダ付け部３’ｃをハンダ付けする。そして、結線部材３の他方のハンダ付け部３ｃを図面右隣りに位置する個別の半導体装置を構成する半導体素子２’Ａにハンダ付けすると共に、さらに別の結線部材３’’の一方のハンダ付け部３’’ｃを半導体素子２Ａにハンダ付けする。その他の半導体素子についても結線部材が同様に接続される。
【００３６】
このように、隣りに位置する個別の半導体装置をそれぞれ構成する半導体素子２、２’を結線部材３で接続した後、前述したように電気絶縁被覆材料５で一括して樹脂モールドし、固化した後に、不図示の浅い鋳型又は容器からそれを取り出して切断線７に沿って切断し、分離を行う。この切断は、結線部材３の平行部３ａのほぼ中央を通るように行われる。この実施形態では、結線部材３の両端が隣りに位置する個別の半導体装置をそれぞれ構成する半導体素子２、２’にハンダ付けされる点が、実施形態１、実施形態２とは異なる。この実施形態でも結線部材３の平行部３ａが表面実装型半導体装置の端子部材になり、一種類の結線部材が必要であるだけであるので、生産性の向上、コストダウンにつながる。
【００３７】
[実施形態４]
実施形態４は、２個のダイオードを直列接続して高い電圧を得ることのできる第５の表面実装型半導体装置の例である。接続構造は、図８と同様であるので省略し、図８を利用して説明する。
【００３８】
図８において、ダイオード素子２と２’とは逆極性に配置される。例えば、すべてのダイオード素子２のアノード側が、導電板として用いられる金属板１にハンダ付けされ、すべてのダイオード素子２’のカソード側が金属板１にハンダ付けされる。そして、この場合にはすべてのダイオード素子２のカソード側に結線部材３の一方のハンダ付け部がハンダ付けされ、また、すべてのダイオード素子２’のアノード側に結線部材３の他方のハンダ付け部がハンダ付けされる。これによって、ダイオード素子２と２’とは金属板１で直列接続され、結線部材３の端子部材となる平行部３ａと３ａとの間に直列接続されたダイオード素子２と２’とを有する表面実装型のダイオードが得られる。
【００３９】
[実施形態５]
以上の実施形態では、導電板として大面積の金属板をシート状のリードフレームとして用い、このシート状のリードフレームの上に格子状に半導体素子を配置したが、図９に示すような細幅のテープ状、つまりフープ式リードフレーム、又は短冊状のリードフレームＲＦを用いても良い。このフープ式リードフレームＲＦ又は短冊状のリードフレームの形状は種々考えられるが、各半導体素子２の搭載される小面積の金属板１を結合部分１ｂで結合した形をしたものであり、図９（Ａ）、（Ｂ）に示すように各金属板１に順次半導体素子２が１個づつ搭載されてハンダ付け部４にハンダ付けされ、また、結線部材３の両端が半導体素子２の上面と金属板１とにハンダ付け部４にハンダ付けされる。しかる後に、電気絶縁被覆材料５で樹脂モールドして、１本の細長い羊かん状にし、電気絶縁被覆材料５が固化した後に、点線で示す切断線７で切断することによって、個々の表面実装型のダイオードとする。この実施形態５の第６の表面実装型半導体装置でも、図８に示したような構造の半導体素子とすることもできる。
【００４０】
[実施形態６]
以上の実施形態では、いずれも導電板として種々のリードフレーム形状の金属板を用いたが、図１０、図１１に示すように、この実施形態６では気絶縁材料あるいは抵抗材料からなる板状若しくはシート状の基材１１の一方の面に導電層１２を形成してなる導電板１を用いることが特徴である。図１０と図１１とによって、第７の表面実装型半導体装置４００について説明する。これら図に示すように、導電板１は基材１１とその平面上に形成された導電層１２とからなる。基材１１は、例えばガラス−エポキシ樹脂又はポリイミド樹脂などからなる薄い合成樹脂板又はシートであり、導電層１２は基材１１の一方の面に、所定の面積、形状になるよう形成された銅パターンからなる。この導電板１は一般的なプリント基板の製法で製造できるので説明を省略するが、この実施形態６では個々の半導体素子に分離したときに、その切断線７に銅パターンがかからないように形成されている。
【００４１】
導電層１２は、例えば個々に分離されている４角形状のものであり、個々の導電層１２の上に１個の半導体素子２がハンダ付けされると共に、隣の結線部材３の固着部３ｄがハンダ付けされる。図から分かるように、半導体素子２に一端がハンダ付けされた結線部材３の他端である固着部３ｄとその半導体素子２との間で、隣り合う導電層１２同士が分離されている。半導体素子２と結線部材３とのハンダ付け、結線部材３の導電層１２へのハンダ付け、及びこれらの搭載などについては図１に関連して行った説明と同様であるので説明を省略する。
【００４２】
次に、図１に従って説明したように、半導体素子２と結線部材３とが搭載され、固着された導電板１をエポキシ樹脂のような液状の電気絶縁被覆材料５によって一括して樹脂モールドを行う。このとき、図１０（Ａ）に示すように、電気絶縁被覆材料５は結線部材３の平行部３ａの図示上面が少なくとも露出するように流し込まれる。結線部材３の平行部３ａは前述したように、この表面実装型半導体装置の外部の端子部材を兼ねるものである。電気絶縁被覆材料５が固化した後に、切断線７に従って、ダイシングソウなどによる通常の機械的な切断手段、又はレーザ装置などによって切断を行い、図１０（Ｂ）に示すように、個々の半導体装置に分離する。この切断時に切断する金属材料は結線部材３の平行部３ａだけであるので、前記実施形態のものに比べて、金属板１を切断する必要が無く、したがって、切断が容易になる。また、導電層１２が切断面に露出していないので、空気中の湿度などによる影響を受けにくく、信頼性の高い表面実装型半導体装置４００を得ることができる。
【００４３】
このようにして得られた表面実装型半導体装置４００をプリント基板に搭載する場合には、図１１に示すように、導電板１を上側にし、線部材３の切断された平行部３ａをプリント基板１０の実装パターン金属６にハンダ付けする。したがって、表面実装型半導体装置４００の上面は基材１１になり、半導体素子２の上面は、基材１１と電気絶縁被覆材料５とで気中から遮断された導電層１２と結線部材３の平行部３ａとを介してプリント基板１０の実装パターン金属６に接続される。
【００４４】
導電板１は前述のものに限定される必要はなく、電流容量の小さな半導体素子の場合には導電層１２が薄くても良いので、切断にほとんど影響が無い程度の膜厚、例えば数十μｍ以下であれば、基材１１の一方の面の全面に導電層１２が形成されていても良い。
また、電流容量の大きな半導体素子の場合には、基材１１として一面が粘着性を有するシートを用い、切断線７にかからない程度の大きさの多数の金属片をその粘着性シート上の所定の位置に規則正しく貼り付けて導電層１２としても良い。そして、不要であれば、切断前に基材１１を剥離しても良い。表面実装型半導体装置としては前述の表面実装型半導体装置１００と同様な構造になる。
更にまた、この実施形態は図２、図３で述べた構造、あるいは図９に示した構造を採用して製造することができ、図８に述べたような構成の半導体装置でも勿論よい。
【００４５】
なお、以上の実施形態では、半導体素子をダイオード素子として説明したが、トランジスタ、ＦＥＴ、ＩＧＢＴなど制御端子を有する制御型の半導体素子であっても勿論よい。この場合には、隣り合う制御型半導体素子を構成する半導体素子のベース又はゲートに代表される制御領域同士を接続して制御端子となる制御用結線部材（図示せず）が別途必要になる。その結線部材は接続するのに適した任意の形状のもので良いが、それら制御用結線部材の平行部の高さも他の平行部の高さと同じでなければならない。
【００４６】
また、半導体素子としてプレーナー型のもの、あるいはメサ型のもののいずれでも用いることができるが、メサ型の半導体素子の場合には、ＰＮ接合が露出しているので、通常の方法でインナーコートを行ってＰＮ接合を保護した状態で電気絶縁被覆材料で樹脂モールドする必要がある。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態に係る表面実装型半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る表面実装型半導体装置の製造方法の途中の搭載工程を説明するための図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る表面実装型半導体装置の製造方法の途中の樹脂モールド工程を説明するための図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る表面実装型半導体装置１００の実装形態を示す図である。
【図５】本発明の他の一実施形態に係る表面実装型半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図６】本発明の他の一実施形態に係る表面実装型半導体装置２００の実装形態を示す図である。
【図７】本発明の他の一実施形態に係る表面実装型半導体装置３００の実装形態を示す図である。
【図８】本発明の他の一実施形態に係る表面実装型半導体装置を説明するための図である。
【図９】本発明の他の一実施形態に係る表面実装型半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図１０】本発明の他の一実施形態に係る表面実装型半導体装置４００の実装形態を示す図である。
【図１１】本発明の他の一実施形態に係る表面実装型半導体装置４００の実装形態を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１・・・金属板
２・・・半導体素子
３・・・結線部材
３ａ・・・平行部
３ｂ・・・垂直部
３ｃ・・・ハンダ付け部
３ｄ・・・固着部
４・・・ハンダ付け部又は固着部
５・・・電気絶縁被覆材料
６・・・実装パターン金属
１０・・・プリント基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2005260196.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2005260196.tif 000012
【図１１】
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