(57)【要約】【課題】  剥離性フィルムが積層された導電性メッシュと、耐熱性合成樹脂フィルムとを接着材を介して接合することにより、導電性メッシュが目崩れを起こすことなく、透明性の高い電磁波シールドシートを得ること。【解決手段】  透明性を有する接着材を薄層状に塗着した透明性を有する耐熱性合成樹脂フィルム表面に、剥離性フィルムを積層した導電性メッシュ面を層状に重ね合わせて接合する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明性を有する電磁波シールドシートの製造方法において、透明な熱可塑性合成樹脂接着材を薄層状に展着した透明な耐熱性合成樹脂フィルム表面に、剥離性フィルムを積層した導電性メッシュ面を層状に重ね合せ、これらよりなる各層を連続的に加熱、加圧処理することにより接合することを特徴とする電磁波シールドシートの製造方法。
【請求項２】
前記耐熱性合成樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ナイロン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂の中から選ばれたの１種以上を含むものであり、前記熱可塑性合成樹脂接着材がホットメルト型接着材であることを特徴とする請求項１に記載の電磁波シールドシートの製造方法。
【請求項３】
前記剥離性フィルムが、フッ素樹脂もしくはシリコン樹脂を含み可撓性を有するものである請求項１および請求項２に記載の電磁波シールドシートの製造方法。
【請求項４】
透明性を有する電磁波シールドシートの製造方法において、透明な硬化性合成樹脂を含む接着材を薄層状に塗着した透明な耐熱性合成樹脂フィルム表面に、剥離性フィルムを積層した導電性メッシュ面を層状に重ね合せ、これらよりなる各層を連続的に加熱、加圧処理することにより接合することを特徴とする電磁波シールドシートの製造方法。
【請求項５】
前記耐熱性合成樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメタクリル酸メチルのうちの１種以上から選ばれたものであり、前記硬化性合成樹脂を含む接着材が有機溶剤を溶媒とする接着材であることを特徴とする請求項４に記載の電磁波シールドシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、電子機器や計測機器等から発生する電磁波を遮蔽するための透明な電磁波シールドシートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  ＣＲＴ（陰極線管）やＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）等の映像表示部前面や、電磁波を遮蔽する必要のある窓材等には、透明性を有する電磁波シールドシートが取り付けられている。【０００３】  従来、この種における電磁波シールドシートの一例としては、次のような種類のものが使用されている。なお、本発明はこれら種類のうち、主として次の（１）を類するものであるので、以下従来例としてこれに基づき説明する。
（１）透明性を有するシート面に、粘着材層を介し、あるいは埋め込む等の方法によって導電性メッシュを一体化したもの。
（２）透明性を有するシート面に金属や導電性の化合物を蒸着等によってメッキし薄膜を形成させたもの。
（３）透明性を有するシート面に導電性のインキによりメッシュ状の印刷を施したもの。【０００４】  すなわち前記（１）に類する一例として、後述の特許文献１（特開２０００−５９０８４号公報）には、熱可塑性樹脂フィルムと導電性メッシュとを加熱、加圧してフィルム層内に埋め込み、その際埋め込み深さを調節することによって異物の混入防止するとともに生産性の向上を図るものであり、メッシュフィルムを粘着材によって合成樹脂板やガラス板等の基板に貼り合せる電磁波シールド板が提案されている。【０００５】  また、後述の特許文献２（特開２００３−１６８８８７号公報）には、メッシュを有するガラスや透明高分子材料等の基材と、近赤外線吸収フィルムとを、粘着材を介し流体加圧して貼り合せることにより、光学的性能改善を合わせもった電磁波遮蔽用フィルタが提案されている。
【特許文献１】特開２０００−５９０８４号公報
【特許文献２】特開２００３−１６８８８７号公報
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  しかしながら、前記特許文献１（特開２０００−５９０８４号公報）に記載されたメッシュフィルムは、樹脂層に対して熱ロールで導電性メッシュ層を埋め込むことにより樹脂層表面に凸凹を生じやすくなることや、その裏面の粘着材層に異物が付着しやすくなることから透明性が減少し、透過した光線の判別が困難となる。
【０００７】  また、熱可塑性樹脂フィルムに導電性メッシュを貼り合せる際、本来このような用途に用いられる導電性メッシュの性状がきわめて柔軟であることから、導電性メッシュロールより熱ロールに到るまでの間で微かな外力が加わっても網目構造が変形し目崩れを起こしやすい。その結果、電磁波シールドの効果が均等にならず、例えばＣＲＴ画面の映像が不自然になったりする欠点がある。
【０００８】  また、前記特許文献２（特開２００３−１６８８８７号公報）に記載された電磁波遮蔽用フィルタは、導電性メッシュと基材とを重ねて流体加圧によって貼り合せるもので、内部歪みや反り、気泡と異物の残存を少なくすることができるので、透明性等一応の光学的効果を発揮できると考えられるものの、バッチ処理によって製造するしかないことから生産性が低く、量産化が難しいという問題がある。さらに粘着材を介して他の機能性フィルム（反射防止、近赤外線吸収）に接合する構造であることから、やはり接合時に異物が付着するおそれが生じる。
【課題を解決しようとするための手段】
【０００９】  本発明は、前記した問題点を解決すべくなされたもので、電磁波シールド性をまったく損なうことなく、製造工程中におけるメッシュの目崩れを起こさず、平滑な表面が得るものであり、きわめて透明性の高い電磁波シールドシートを効率よく製造する方法を提供することを目的とする。
【００１０】  すなわち、本発明は透明性を有する電磁波シールドシートの製造方法において、透明な熱可塑性合成樹脂接着材を薄層状に展着した透明な耐熱性合成樹脂フィルム表面に、剥離性フィルムを積層した導電性メッシュ面を層状に重ね合せ、これらよりなる各層を連続的に加熱、加圧処理することにより接合することを特徴とするものである（請求項１）。
【００１１】  そして、前記耐熱性合成樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメタクリル酸メチルのうちの１種以上から選ばれたものであり、前記熱可塑性合成樹脂接着材がホットメルト型接着材であることを特徴とするものである（請求項２）。
【００１２】  さらに、前記剥離性フィルムが、フッ素樹脂もしくはシリコン樹脂を含み可撓性を有することを特徴とするものである（請求項３）。
【００１３】  また、本発明は透明性を有する電磁波シールドシートの製造方法において、透明な硬化性合成樹脂を含む接着材を薄層状に塗着した透明な耐熱性合成樹脂フィルム表面に、剥離性フィルムを積層した導電性メッシュ面を層状に重ね合せ、これらよりなる各層を連続的に加熱、加圧処理することにより接合することを特徴とするものである（請求項４）。
【００１４】  そして、前記耐熱性合成樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメタクリル酸メチルのうちの１種以上から選ばれたものであり、前記硬化性合成樹脂を含む接着材が有機溶剤を溶媒とする接着材であることを特徴とするものである（請求項５）。
【発明の効果】
【００１５】  本発明の第１の形態における電磁波シールドシートは、可撓性を有する合成樹脂製の剥離性フィルムを積層した導電性メッシュと、熱可塑性合成樹脂接着材を積層した耐熱性樹脂フィルムとを重ね合わせて均等圧で加熱、圧接するものである。
【００１６】  このため熱軟化した状態の熱可塑性合成樹脂接着材層内に導電性メッシュが埋め込まれる際に、導電性メッシュの網目格子内において剥離性フィルムと同様の平滑な表面が得られるとともに、熱可塑性合成樹脂接着材や網目格子に付着した気泡が除去され、導電性メッシュの目崩れを未然に防止することによって、きわめて透明性の高い電磁波シールドシートを得ることができる。また、運転条件を変更することによって熱可塑性合成樹脂接着材の付着量を任意に調整することができ、さらに剥離性フィルムの存在によって最終使用に到るまで異物の付着防止を容易とすることができる。
【００１７】  本発明の第２の形態における電磁波シールドシートは、耐熱性合成樹脂フィルムに有機溶剤型の接着剤に代表される硬化性合成樹脂を含む接着材を塗工し、乾燥後、硬化に到る前の段階で、前記実施例１のものより固めの剥離性フィルムを積層した導電性メッシュを接合する。ここに、剥離性フィルムは前記実施例１のものよりやや固めのものが導電性メッシュを良好に保持するうえで好ましい。
【００１８】  このような操作により、硬化性合成樹脂を含む接着材層内に導電性メッシュが埋め込まれることなく、導電性メッシュの稜線に沿って接着するだけであるから、硬化性合成樹脂を含む接着材の表面においてより広範囲に平滑な表面が得られるとともに気泡を生じることなく、導電性メッシュの目崩れを未然に防止することによって、さらに透明性の高い電磁波シールドシートを得ることができる。また、運転条件を変更することによって熱可塑性合成樹脂接着材の付着量を任意に調整することができ、さらに剥離性フィルムの存在によって最終使用に到るまで異物の付着防止を容易とすることができる。さらに、剥離シートを取り除いた後の導電性メッシュが樹脂表面より露出させることが可能であるため、装置に組み立てた場合の接触導通性を得ることができ、帯電を防止するとともに電磁波シールド性能を向上させることができる。
【００１９】  さらに、本発明の第１の形態および第２の形態における電磁波シールドシートとも、連続的に製造することができるため、生産性を大幅に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】  本発明によれば、後述の各実施例で述べるように、外観透視性に優れ透明度の優れた電磁波シールドシートを効率よく製造し得ることが確認された。
【実施例１】
【００２１】  本発明における第１の実施例につき、図１をもとに好ましい態様を説明する。【００２２】  図中、１１は導電性メッシュ用ロール（図中下側）、また１２は帯状の耐熱性合成樹脂フィルム用ロール（図中上側）で、各々のロールから導電性メッシュ２および耐熱性合成樹脂フィルム４が巻出され、案内ロール１５ａ、１５ｂを経由して圧接ロール１６ａ、１６ｂに到達する。【００２３】  導電性メッシュ２の材質としては、ステンレス、銅、真鍮等の金属、ポリエステル等の合成樹脂に金属メッキをしたものが好ましく、線径は１０〜５０μｍ、目開き５０〜３００μｍの格子状のものを選定する。なお、導電性メッシュ２は、金属線がきわめて細く柔軟であることにより、ロール状に巻きつけられた導電性メッシュ２を巻戻した場合、格子の変形によっていわゆる目崩れを起こしやすい。このため図２（ｂ）で示すように剥離性フィルム３、もしくは必要により微粘着性を付与した剥離フィルム３の上面に導電性メッシュ２の面を密接させ、導電性メッシュ２を保持しつつ移動させる。この導電性メッシュ２は通常ロール状にして搬入され、導電性メッシュ１の製造時にあらかじめ剥離性フィルム３を積層されているものを使用するのが好ましい。【００２４】  すなわち、第１次製品として導電性メッシュ２を製造する際は、工程上剥離性フィルム３を積層して巻取っても、導電性メッシュ２に損傷を与えることがないものの、それを用いて第２次製品である電磁波シールドシート１を作製する場合は、工程上どうしても巻戻しが必要となり、その際にメッシュの目崩れを起こすため、巻戻す工程を皆無とするよう考慮する必要がある。【００２５】  また、剥離性フィルム３の材料としては、可撓性を有する軟質の合成樹脂フィルムや通常用いられるような離型紙等が考えられる。剥離性フィルム３が極端に軟らかい場合は、導電性メッシュ２の目崩れ防止に不利となるが、圧接時に導電性メッシュ２の凸凹に沿って撓むため、熱可塑性合成樹脂接着材表面が剥離性フィルム面に沿って形成されることで平滑となり、製品化後の電磁波シールドシート１の透明性が向上する。逆に、剥離性フィルム３がやや硬めである場合は、導電性メッシュ２の目崩れ防止に有利となる。【００２６】  前記理由から、第１実施例における剥離性フィルム３としては可撓性を有する軟質性のものが適している。また材料としては、フッ素樹脂系樹脂フィルム、またはシリコン系樹脂フィルムが好ましく、厚さ５〜５０μｍ程度のものが好適である。【００２７】  次に、耐熱性合成樹脂フィルム４としては、ポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）、ポリカーボネート樹脂（ＰＣ）、ポリメタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）、ポリエーテルスルホン樹脂（ＰＥＳ）、ポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ）、ナイロン樹脂（ＮＹ）、ポリ塩化ビニル樹脂（ＰＶＣ）等があげられ、これらから選択した材料をフィルム状にしたものを使用する。このフィルムの性状としては、厚さ１０〜１００μｍ程度、溶融温度８０以上のものを用い、これらから特にＰＥＴ、ＰＣ、ＰＭＭＡ等は好適に用いることができる。しかし、これらの要求される条件を満たす樹脂であれば前記の材料に限定するものではない。この耐熱性合成��脂フィルム４の下面には、図２（ｂ）で示すように熱可塑性合成樹脂接着材５を、好ましくはホットメルト層を形成したものを用いる。ホットメルトとしてはウレタン樹脂系等、公知の材料のものを適用することができる。【００２８】  本発明の工程において、導電性メッシュ２と剥離性フィルム３の積層体、および耐熱性合成樹脂フィルム４と熱可塑性合成樹脂接着材５の積層体は、導電性メッシュ用ロール１１、耐熱性合成樹脂フィルム用ロール１２から送り出される。このとき例えば圧接ロール１６ａ、１６ｂから引張り出す方向に力が加われば、送出側の導電性メッシュ２や耐熱性合成樹脂フィルム２に張力が生じ、それらが変形することによって製品化後の電磁波シールドシートの透明度が減少する。特に導電性メッシュ２は柔軟なうえに復元力が乏しいため目崩れを起こし、その結果製品の品質が低下することになるので注意が必要である。したがって、案内ロール１５ａ、１５ｂは余分のたるみを吸収する程度の速度で運転するのが好ましい。【００２９】  圧接ロール１６ａ、１６ｂにおける加熱温度は９０〜１３０℃程度とし、圧力は耐熱性合成樹脂、接着剤の状態に応じて適宜調整する。また、圧接ロールのうち導電性メッシュ２側の圧接ロール１６ａについては、少なくとも表面に弾性材料を有するものが好ましい。それによって、導電性メッシュ２が熱可塑性合成樹脂接着材５中に埋込まれることなく可撓性の剥離性フィルム３側に突出し、電磁波シールドシート１として使用時、表面に露出することになるため良好な導通性をもたせることができる。【００３０】  圧接ロール１６ａ、１６ｂを通過した前記導電性メッシュ２の積層体と耐熱性合成樹脂フィルム４の積層体は、加熱、加圧することによって図２（ｃ）に示すごとく熱可塑性合成樹脂接着材５を介して接合され、案内ロール１７を経由した後、剥離性フィルム３を外周側にして、電磁波シールドシート巻取用ロール１８により電磁波シールドシート１として巻取られる。【００３１】  前記のごとく作製した電磁波シールドシート１は、使用に際して巻戻し、図３（ａ）（ｂ）（ｃ）で示す順に剥離性フィルム３を剥離した後、導電性メッシュ２が露出された状態で各種機器等に装着して使用する。【００３２】  実施例１により作製した電磁波シールドシートにつき、性能確認するため行った実験結果を次に示す。【００３３】  図１に示した装置を用い図２に示した方法により本実施例の電磁波シールドシートを作製した。このとき材料として次のものを使用した。
▲１▼  耐熱性合成樹脂フィルム：ポリエチレンテレフタレート樹脂系（１２μｍ厚）、事前にウレタン樹脂系ホットメルト接着材（２５μｍ厚）を展着したもの
▲２▼  導電性メッシュ：ステンレス製金網（１００メッシュ、３５μｍ厚）
▲３▼  剥離性フィルム：フッ素樹脂系（２５μｍ厚）
これらの材料は、剥離性フィルムを除きすべて透明性の高い材料を用いた（下記参考例参照）。【００３４】  また比較例として上記材料を用い、熱可塑性合成樹脂接着材を塗着した側の耐熱性合成樹脂フィルム表面（上面側となるよう配して）に、剥離性フィルムを積層しない状態の導電性メッシュを層状に重ね合せ、本実施例に準じて電磁波シールドシートを作製した。【００３５】  次に、本実施例および比較例の電磁波シールドシートを用いて光線透過率および導電性能（電気抵抗値）を確認した。その結果は表１のとおりである。なお、本実施例の電磁波シールドシートは当然剥離性フィルムを剥がして測定した値である。また上記材料のうち、ホットメルト接着材を展着していない耐熱性合成樹脂フィルムと、導電性メッシュとを熱融着等によって接合することなく、単に重ね合わせただけの材料について測定した全光線透過率を参考例１として示す。
【表１】
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（注）１  全光線透過率：ＪＩＳ−Ｋ−７３６１  シングルビーム測定器による【００３６】  実験結果より、本実施例では剥離性フィルムがメッシュを確実に保持することで導電性メッシュの目崩れがほとんどみられず、このため全光線透過率が高い値を示し、元々の材料（参考例）に有する透明性と比べて有意差はなかった。これに対して比較例では剥離性フィルムで保持されていないため各ロールを通過する際に導電性メッシュが目崩れを起こし、このためシート表面で乱反射することによって全光線透過率が大きく低下することが判明した。
【実施例２】
【００３７】  本発明における第２の実施例につき、図４をもとに好ましい態様を説明する。【００３８】  なお、本図においては図１と逆に、導電性メッシュロール１１を上側に、耐熱性合成樹脂フィルム用ロール１２を下側に配置する。また、耐熱性合成樹脂フィルム用ロール１２の下流直後の位置に塗工機１３を、その下流の案内ロール１５ｂに到るまでの位置に乾燥機１４を設ける。【００３９】  第２の実施例で用いる導電性メッシュ２、および耐熱性合成樹脂フィルム３は実施例１のものと同様である。【００４０】  導電性メッシュ２に密接する剥離性フィルム３としては、第１実施例のものよりやや硬めで弱可撓性のものを用いる。すなわち、本実施例の剥離性フィルム３は導電性メッシュ２の目崩れ防止が主な目的であり、導電性メッシュ２が接着材中に埋込まれることなく線状に接着させるだけで、剥離性フィルム３を接着材表面平滑化のために撓ませる必要がないことによる。剥離性フィルム３の材料としては、アクリル系、ポリエチレン系の他に、ポリテトラフルオロエチレンをはじめとするフッ素系の合成樹脂フィルムも使用することができ、乾燥後の厚みは１０〜１００μｍ程度とするのが好ましい。【００４１】  また、本実施例においては剥離性フィルム３の下面に微粘着性を付与させ、該面に導電性メッシュ２を保持させる。微粘着性を付与させる方法としては、公知の粘着材、例えばアクリル樹脂系粘着材等の薄層を形成したものを用いることができる。【００４２】  耐熱性合成樹脂フィルム４は実施例１のものと同じものを用いることができる。また接着材６としては、実施例１の場合の熱可塑性合成樹脂接着材４層に換え、例えば有機溶剤を溶媒とする硬化性合成樹脂接着材を用いる。一例として酢酸ビニル系、アクリル系、ウレタン系、ゴム系等の接着材があげられるが、なかでもウレタン系の接着材が好適である。【００４３】  本実施例の工程において、耐熱性合成樹脂フィルム用ロール１２から巻戻された耐熱性合成樹脂フィルム４は、その上面に塗工機１３吐出された接着材６が均一に塗布される。塗布方法としては通常用いられる方法を利用することができ、乾燥後の厚さが１〜４０μｍ程度となるよう調節する。【００４４】  接着材６を塗布した後、案内ロール１５ｂに到る前に設けた乾燥機１４内に進入させ、理想的には温度９０〜１００℃の雰囲気中で乾燥し有機溶剤を蒸発させる。【００４５】  乾燥後、耐熱性合成樹脂フィルム４の接着材６塗布面と前記導電性メッシュ２とが重なって、圧接ロール１６ａ、１６ｂにより加熱、加圧されて接合する。このとき、耐熱性合成樹脂フィルム４の面に形成した接着材６は有機溶剤が蒸発しただけで、未硬化の状態であるため接着性が失われておらず容易に接合し、接合後に時間とともに硬化し完全に接着することになる。【００４６】  接着材６層を介して耐熱性合成樹脂フィルム４と導電性メッシュ２とを接合後、実施例１の場合と同様に、案内ロール１７を経由した後、剥離性フィルム３を外周側にして、電磁波シールドシート巻取用ロール１８により電磁波シールドシート１として巻取られる。【００４７】  前記のごとく作製した電磁波シールドシート１は、使用に際して巻戻し、図６（ａ）（ｂ）（ｃ）で示す順に���離性フィルム３を剥離した後、導電性メッシュ２が露出された状態で各種機器等に装着して使用する。【００４８】  実施例２により作製した電磁波シールドシートにつき、性能確認するため行った実験結果を次に示す。
【実施例２】
【００４９】  図４に示した装置を用い図５に示した方法により本実施例の電磁波シールドシートを作製した。このとき材料として次のものを使用した。
▲１▼  耐熱性合成樹脂フィルム：ポリエチレンテレフタレート樹脂系（１２μｍ厚）
▲２▼  接着材：アクリル樹脂系有機溶剤型硬化性接着材（３０μｍ塗着厚）
▲３▼  導電性メッシュ：ステンレス製金網（１００メッシュ、３５μｍ厚）
▲４▼  剥離性フィルム：フッ素樹脂系（２５μｍ厚）
これらの材料は、剥離性フィルムを除きすべて透明性の高い材料を用いた（下記参考例参照）。【００５０】  また比較例として上記材料を用い、熱可塑性合成樹脂接着材を塗着した側の耐熱性合成樹脂フィルム表面に、剥離性フィルムを積層しない状態の導電性メッシュを層状に重ね合せ、本実施例に準じて電磁波シールドシートを作製した。【００５１】  次に、本実施例２および比較例２の電磁波シールドシートを用いて光線透過率および導電性能（電気抵抗値）を確認した。その結果は表２のとおりである。なお、本実施例の電磁波シールドシートは当然剥離性フィルムを剥がして測定した結果である。また上記材料のうち、耐熱性合成樹脂フィルムと、導電性メッシュとを接合することなく単に重ね合わせただけの材料について測定した全光線透過率を参考例２として示す。
【表２】
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（注）１  全光線透過率：ＪＩＳ−Ｋ−７３６１  シングルビーム測定器による【００５２】  実験結果より、本実施例の場合も剥離性フィルムがメッシュを確実に保持することで導電性メッシュの目崩れがほとんどみられず、このため全光線透過率が高い値を示し、元々の材料（参考例）に有する透明性と比べて有意差はなかった。これに対して比較例では剥離性フィルムで保持されていないため各ロールを通過する際に導電性メッシュが目崩れを起こし、このためシート表面で乱反射することによって全光線透過率が大きく低下することが判明した。
【産業上の利用可能性】
【００５３】  本発明方法により製造した電磁波シールドシートは、電磁波を遮蔽する必要のある電子機器や計測機器等、広範囲の機器に装着し利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１の実施例において、電磁波シールドシートの製造方法に用いる装置の概念図である。
【図２】本発明の第１の実施例での製造工程において、電磁波シールドシートを形成するに到るまでの断面を模式的に示した図である。
【図３】本発明の第１の実施例で製造した電磁波シールドシートであり、使用時形態の断を模式的に示した面である。
【図４】本発明の第２の実施例において、電磁波シールドシートの製造方法に用いる装置の概念図である。
【図５】本発明の第２の実施例での製造工程において、電磁波シールドシートを形成するに到るまでの断面を模式的に示した図である。
【図６】本発明の第２の実施例で製造した電磁波シールドシートであり、使用時形態の断面を模式的に示した図である。
【符号の説明】
【００５５】１      電磁波シールドシート
２      導電性メッシュ
３      剥離性フィルム
４      耐熱性合成樹脂フィルム
５      熱可塑性合成樹脂接着材
６      接着材
１１    導電性メッシュ用ロール
１２    耐熱性合成樹脂フィルム用ロール
１３    塗工機
１４    乾燥機
１５ａ  案内ロール
１５ｂ  案内ロール
１６ａ  圧接ロール
１６ｂ  圧接ロール
１７    案内ロール
１８    電磁波シールドシート巻取用ロール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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