(57)【要約】【課題】  略円盤状のウエハから外周部分を容易かつ効率的に取り除き、支持シートと支持シート上に接着されたダイシング済ウエハとを有するシート付ウエハであって、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成されたシート付ウエハを製造する製造方法を提供する。【解決手段】  シート付ウエハ１０の製造方法は、シート付円盤状ウエハ１０ａを準備する工程と、シート付円盤状ウエハを保持機構３１に保持させる工程と、ＵＶ光９を遮断するマスク３３をシート付円盤状ウエハの支持シート（ＵＶ発泡剥離シート）１１側に配置する工程と、ＵＶ光源３５によりシート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７に対応する部分にＵＶ光を照射する工程とを備えている。マスクは円盤状ウエハの外周部分に対応する部分が切り取られている。ＵＶ光源はシート付円盤状ウエハに対しマスク越しに配置されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＵＶ発泡剥離シートと、ＵＶ発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを準備する工程と、
シート付円盤状ウエハを保持機構に保持させる工程と、
円盤状ウエハの外周部分に対応する部分が切り取られ、ＵＶ光を遮断するマスクをシート付円盤状ウエハのＵＶ発泡剥離シート側に配置する工程と、
マスク越しに配置されたＵＶ光源により、シート付円盤状ウエハにＵＶ光を照射する工程とを備え、
ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造方法。
【請求項２】
ＵＶ光源によりＵＶ光を面照射することを特徴とする請求項１記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項３】
ＵＶ光源によりＵＶ光を線状に照射することを特徴とする請求項１記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項４】
ＵＶ光を照射する工程中において、ＵＶ光源をシート付円盤状ウエハに対して移動させることを特徴とする請求項１記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項５】
ＵＶ光を照射する工程中において、保持機構によりシート付円盤状ウエハをＵＶ光源に対して移動させることを特徴とする請求項１記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項６】
シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置された吸引機構により、円盤状ウエハの外周部分を吸引する工程をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項７】
ＵＶ光をシート付円盤状ウエハの一部分に照射した後にＵＶ光源からのＵＶ光の照射を停止し、次にＵＶ光の照射を停止した状態でシート付円盤状ウエハとＵＶ光源との相対位置を移動させ、その後にＵＶ光源からＵＶ光を再度照射してシート付円盤状ウエハの異なる部分にＵＶ光を照射することを繰り返すことにより、シート付円盤状ウエハの所望の部分にＵＶ光を照射していくことを特徴とする請求項１記載のシート付ウエハの製造方法。
【請求項８】
ＵＶ発泡剥離シートと、ＵＶ発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを保持する保持機構と、
シート付円盤状ウエハのＵＶ発泡剥離シート側に配置され、シート付円盤状ウエハにＵＶ光を照射するＵＶ光源と、
シート付円盤状ウエハとＵＶ光源との間に配置され、円盤状ウエハの外周部分に対応する部分が切り取られ、ＵＶ光を遮断するマスクとを備え、
ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造装置。
【請求項９】
ＵＶ光源はＵＶ光を面照射することを特徴とする請求項８記載のシート付ウエハの製造装置。
【請求項１０】
ＵＶ光源はＵＶ光を線状に照射することを特徴とする請求項８記載のシート付ウエハの製造装置。
【請求項１１】
ＵＶ光源はシート付円盤状ウエハに対して移動自在であることを特徴とする請求項８記載のシート付ウエハの製造装置。
【請求項１２】
保持機構はＵＶ光源に対してシート付円盤状ウエハを移動させることを特徴とする請求項８記載のシート付ウエハの製造装置。
【請求項１３】
シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置され、円盤状ウエハの外周部分を吸引する吸引機構をさらに備えたことを特徴とする請求項８記載のシート付ウエハの製造装置。
【請求項１４】
シート付円盤状ウエハを保持する保持機構とＵＶ光源とは相対移動することができ、相対移動している間ＵＶ光源はＵＶ光の照射を停止するようになっていることを特徴とする請求項８記載のシート付ウエハの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持シートと、支持シート上に接着され、多数のＩＣチップを有するダイシング済みのウエハとを備えたシート付ウエハの製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回路を書き込まれたウエハは支持シート上に接着固定されて、ＩＣチップ１個分の大きさにダイシングされることにより、個々のＩＣチップ毎に分割される。その後、このような多数のＩＣチップを有するダイシング済ウエハは支持シートから剥がされ、個々のＩＣチップが１個ずつ供給されて実装対象物に実装されていく。
【０００３】
個々のＩＣチップを１個ずつ供給する装置として、パーツフィーダが開発されている。パーツフィーダは多数のＩＣチップを収納する振動整列ボールと、振動整列ボールに連結された供給通路とを有している。振動整列ボールは収納されたＩＣチップを振動させることによって、ＩＣチップを整列させるとともに整列されたＩＣチップを供給通路に送り込む。これにより、供給通路からＩＣチップを１個ずつ取り出すことができる。この場合、多数のＩＣチップを有するダイシング済ウエハは支持シートから剥がされて、振動整列ボールに収納される。
【０００４】
ところで、通常、ウエハは円盤状であり、ＩＣチップは長方形若しくは正方形である。このため、ダイシング済円盤状ウエハの外周部分は、円弧状部分を有しＩＣチップを構成しない不要部分を含んでいる。
【０００５】
したがって、パーツフィーダの振動整列ボールには、このようなウエハの外周部分が確実に含まれるので、パーツフィーダから供給されたダイシング済ウエハがＩＣチップであるか不要部分であるかの検査を行い、ＩＣチップ以外の不要部分を選別して排除する必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そもそも、ＩＣチップとして用いることのできない不要部分は、円盤状ウエハ中に多数存在する。したがって、個々のダイシング済円盤状ウエハからＩＣチップを選別してＩＣチップを供給すること自体が効率的とはいえない。
【０００７】
また、不要部分は円盤状ウエハの外周部分に存在することから、支持シートから剥がして個々のＩＣチップにばらす前にこの外周部分を取り除く方が、個々のダイシング済ウエハを検査選別するよりも効率的である。
【０００８】
しかしながら、個々のダイシング済ウエハは微小であり、その外周部分のみを適切かつ効率的に取り除くことは困難である。
【０００９】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、略円盤状のウエハから外周部分を容易かつ効率的に取り除くことができ、これにより、支持シートと支持シート上に接着されたダイシング済ウエハとを有するシート付ウエハであって、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、ＵＶ発泡剥離シートと、ＵＶ発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを準備する工程と、シート付円盤状ウエハを保持機構に保持させる工程と、円盤状ウエハの外周部分に対応する部分が切り取られ、ＵＶ光を遮断するマスクをシート付円盤状ウエハのＵＶ発泡剥離シート側に配置する工程と、マスク越しに配置されたＵＶ光源により、シート付円盤状ウエハにＵＶ光を照射する工程とを備え、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造方法である。
【００１１】
本発明は、ＵＶ光源によりＵＶ光を面照射することを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００１２】
本発明は、ＵＶ光源によりＵＶ光を線状に照射することを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００１３】
本発明は、ＵＶ光を照射する工程中において、ＵＶ光源をシート付円盤状ウエハに対して移動させることを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００１４】
本発明は、ＵＶ光を照射する工程中において、保持機構によりシート付円盤状ウエハをＵＶ光源に対して移動させることを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００１５】
本発明は、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置された吸引機構により、円盤状ウエハの外周部分を吸引する工程をさらに備えたことを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００１６】
本発明は、ＵＶ光をシート付円盤状ウエハの一部分に照射した後にＵＶ光源からのＵＶ光の照射を停止し、次にＵＶ光の照射を停止した状態でシート付円盤状ウエハとＵＶ光源との相対位置を移動させ、その後にＵＶ光源からＵＶ光を再度照射してシート付円盤状ウエハの異なる部分にＵＶ光を照射することを繰り返すことにより、シート付円盤状ウエハの所望の部分にＵＶ光を照射していくことを特徴とするシート付ウエハの製造方法である。
【００１７】
本発明は、ＵＶ発泡剥離シートと、ＵＶ発泡剥離シート上に接着され、多数のＩＣチップを有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハとを有するシート付円盤状ウエハを保持する保持機構と、シート付円盤状ウエハのＵＶ発泡剥離シート側に配置され、シート付円盤状ウエハにＵＶ光を照射するＵＶ光源と、シート付円盤状ウエハとＵＶ光源との間に配置され、円盤状ウエハの外周部分に対応する部分が切り取られ、ＵＶ光を遮断するマスクとを備え、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを製造するためのシート付ウエハの製造装置である。
【００１８】
本発明は、ＵＶ光源はＵＶ光を面照射することを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【００１９】
本発明は、ＵＶ光源はＵＶ光を線状に照射することを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【００２０】
本発明は、ＵＶ光源はシート付円盤状ウエハに対して移動自在であることを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【００２１】
本発明は、保持機構はＵＶ光源に対してシート付円盤状ウエハを移動させることを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【００２２】
本発明は、シート付円盤状ウエハの円盤状ウエハ側に配置され、円盤状ウエハの外周部分を吸引する吸引機構をさらに備えたことを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【００２３】
本発明は、シート付円盤状ウエハを保持する保持機構とＵＶ光源とは相対移動することができ、相対移動している間ＵＶ光源はＵＶ光の照射を停止するようになっていることを特徴とするシート付ウエハの製造装置である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ＵＶ発泡剥離シートからなる支持シートに接着された略円盤状のウエハから外周部分を容易かつ効率的に取り除くことができる。これにより、支持シートと支持シート上に接着されたダイシング済ウエハとを有するシート付ウエハであって、ウエハの周縁部分がＩＣチップのみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハを容易かつ効率的に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図１乃至図４を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００２６】
このうち図１は本発明によるシート付ウエハの製造方法および製造装置の一実施の形態を示す斜視図であり、図２はシート付ウエハを示す平面図であり、図３はシート付円盤状ウエハを示す平面図であり、図４は本発明によるシート付ウエハの製造方法および製造装置の変形例を示す斜視図である。
【００２７】
まず、図２により、本発明により製造されるシート付ウエハ１０について説明する。
【００２８】
図２に示すように、シート付ウエハ１０は、支持シート１１と、支持シート１１上に接着され、多数のＩＣチップ１８を有するダイシング済みのウエハ１５とを備えている。また、支持シート１１はその外周縁を保持フレーム１３によって保持されている。
【００２９】
支持シート１１はＵＶ発泡剥離シートからなっている。ＵＶ発泡剥離シートは、例えば、アクリル系ＵＶ再剥離型接着剤等の接着剤を塗布されたＰＥＴフィルム基材からなる透明なシートである。このようなＵＶ発泡剥離シートはＵＶ光９が照射されると照射された部分の接着剤層から気体が発生し、接着剤層とＩＣチップ１８との間に気体層が形成されることから、接着剤のＩＣチップ１８を接着する力が低下するようになっている。
【００３０】
図２に示すように、ダイシング済ウエハ１５は多数の四角形状のＩＣチップ１８から構成されている。したがって、ウエハ１５の周縁部分１６はＩＣチップ１８のみから構成されている。
【００３１】
このようなウエハ１５は、図３に示すような略円盤状の円盤状ウエハ１５ａを一方向およびこの一方向に直交する他方向に沿ってそれぞれ等間隔にダイシングして形成されたダイシング済円盤状ウエハ１５ａから外周部分（図３おける斜線部分）１７を取り除くことにより得られる。この外周部分１７は、円弧状部分を有するため四角形状のＩＣチップ１８を構成しない不要な部分を含んでいる。ウエハの製造において、この外周部分１７には回路を書き込まないこともある。このような円盤状ウエハ１５ａのＩＣチップ１８を構成しない不要な部分の範囲は、円盤状ウエハ１５ａの形状およびＩＣチップ１８の形状によって異なる。
【００３２】
次にこのようなシート付ウエハ１０の製造方法および製造装置について図１により説明する。
【００３３】
まず、ＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１と、支持シート１１上に接着され、多数のＩＣチップ１８を有し、ダイシング済みであって略円盤状の円盤状ウエハ１５ａとを有するシート付円盤状ウエハ１０ａを準備する。この場合、まず、保持フレーム１３によって保持されたＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１上に、回路を書き込まれた略円盤状の円盤状ウエハ１５ａを接着固定する。次に、この円盤状ウエハ１５ａを一方向およびこの一方向に直交する他方向に沿って、それぞれ等間隔にダイシングする。なお、この場合の間隔は所望のＩＣチップ１８の大きさに対応して決定される。これにより、図３に示すシート付円盤状ウエハ１０ａが作製される。
【００３４】
次に、このシート付円盤状ウエハ１０ａの円盤状ウエハ１５ａから外周部分１７を取り除き、図２に示すシート付ウエハ１０を作製する方法を詳述する。
【００３５】
図１にシート付ウエハの製造装置３０を示す。図１に示すように、製造装置３０はシート付円盤状ウエハ１０ａを保持する保持機構３１と、シート付円盤状ウエハ１０ａの支持シート（ＵＶ発泡剥離シート）１１側に配置されて、シート付円盤状ウエハ１０ａにＵＶ光９を面照射するＵＶ光源３５と、シート付円盤状ウエハ１０ａとＵＶ光源３５との間に配置され、円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７に対応する部分が切り取られ、ＵＶ光９を遮断するマスク３３とを備えている。
【００３６】
まず、シート付円盤状ウエハ１０ａを保持機構３１によって保持させる。保持機構３１は、円盤状ウエハ１５ａ側が下方となるようにしてシート付円盤状ウエハ１０ａを略水平に保持することができるようになっている。
【００３７】
次に、図１に示すようにシート付円盤状ウエハ１０ａ上にマスク３３を配置する。このとき、シート付円盤状ウエハ１０ａは上述したように円盤状ウエハ１５ａ側が下方となっているので、マスク３３はシート付円盤状ウエハ１０ａの支持シート（ＵＶ発泡剥離シート）１１側に配置される。また、マスク３３をシート付円盤状ウエハ１０ａ上に配置する際には、マスク３３が円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７に囲まれる部分を覆うとともに、外周部分１７を覆うことのないよう、すなわち、円盤状ウエハ１５ａのうち外周部分１７に対応する部分のみがマスク３３から露出するようにマスク３３が配置される（図１）。
【００３８】
その後、図１に示すように、マスク３３越しに配置されたＵＶ光源３５により、シート付円盤状ウエハ１０ａにＵＶ光９を面照射する。このとき、円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７に対応するシート付円盤状ウエハ１０ａの部分はマスク３３に覆われていないため、この部分に対応するＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１の接着力が弱まる。これにより、支持シート１１から円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７が剥離して、自然落下する。
【００３９】
その一方で、円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７以外であって外周部分１７に囲まれる部分、すなわち、不要部分を含まずＩＣチップ１８のみから構成される円盤状ウエハ１５ａの部分に対応するシート付円盤状ウエハ１０ａ上には、ＵＶ光９を遮断するマスク３３が配置されている。このため、ＵＶ光源３５からシート付円盤状ウエハ１０ａの全面にＵＶ光９が面照射されたとしても、この外周部分１７に囲まれる部分にはＵＶ光９が照射されることはない。したがって、円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７以外のダイシング済みのウエハ１５が支持シート１１から剥離してしまうことはない。
【００４０】
なお、図１に示すように、製造装置３０は保持機構３１に保持されたシート付円盤状ウエハ１０ａの円盤状ウエハ１５ａ側に配置された吸引機構３９をさらに備えている。図１に示すように、吸引機構３９は吸引源（図示せず）に連通する筒状の吸引ノズル３９ａを有している。吸引ノズル３９ａの先端が円盤状ウエハ１５ａに近接するように、吸引機構３９は配置されている。吸引ノズル３９ａは円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７を吸引しながら、外周部分１７に沿って円周状に移動自在となっている。したがって、ＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１に対する接着力を弱められた外周部分１７を支持シート付円盤状ウエハ１０ａから確実に取り除くことができる。また、ＵＶ光源３５からのＵＶ光９の照射量と、吸引機構３９の吸引力とを調整することにより、外周部分１７以外のダイシング済のウエハ１５を取り除いてしまうことなく、外周部分１７のみを確実に取り除くことができる。
【００４１】
このような吸引機構３９による吸引は、ＵＶ光９を支持シート付円盤状ウエハ１０ａに照射しながら同時に行われてもよいし、ＵＶ光９の支持シート付円盤状ウエハ１０ａへの照射が終了した後に行われてもよい。
【００４２】
以上のようにして、ＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１と、支持シート１１上に接着され、多数のＩＣチップ１８を有するダイシング済みのウエハ１５とを有する外周部分取り除き済みのシート付ウエハ１０を製造することができる。このようにして得られたシート付ウエハ１０において、ウエハ１５の周縁部分１６はＩＣチップ１８のみから構成されており、ウエハ１５はＩＣチップ１８を構成しない不要部分を含んでいない。したがって、支持シート１１から剥がされたダイシング済ウエハ１５はすべてＩＣチップ１８であり、後工程において、個々のダイシング済ウエハ１５をＩＣチップ１８と不要部分とに選別する必要がない。
【００４３】
以上のように本実施の形態によれば、ＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１にダイシング済みの円盤状ウエハ１５ａを接着してなるシート付円盤状ウエハ１０ａ上に円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７に対応する部分が切り取られたマスク３３を配置した後、ＵＶ光源３５からシート付円盤状ウエハ１０ａにＵＶ光９を面照射することにより、シート付円盤状ウエハ１０ａから円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７を容易かつ効率的に取り除くことができる。これにより、ＵＶ発泡剥離シートからなる支持シート１１と、支持シート１１上に接着され、多数のＩＣチップ１８を有するダイシング済ウエハ１５とを有するシート付ウエハ１０であって、ウエハ１５の周縁部分がＩＣチップ１８のみから構成された外周部分取り除き済シート付ウエハ１０を容易かつ効率的に製造することができる。また、このようなシート付ウエハ１０を製造するための製造装置３０は簡単な構成からなっており、製造装置３０を安価に用意することができる。
【００４４】
また、円盤状ウエハ１５ａの状態においてＩＣチップ１８を構成しない不要部分は外周部分１７に含まれる。したがって、後工程で個々のダイシング済円盤状ウエハ１５ａからＩＣチップ１８を選別することに比べ、このような効率的な製造方法で外周部分１７を取り除いたシート付ウエハ１０を製造することの方が容易である。このため、このような効率的な製造方法によってシート付ウエハ１０を製造することにより、ＩＣチップ１８を実装された最終製品の製造原価を安価にすることができる。
【００４５】
さらに、円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７を吸引する吸引機構３９がシート付円盤状ウエハ１０ａの円盤状ウエハ１５ａ側に設けられており、この吸引機構３９の吸引力と、ＵＶ光源３５からのＵＶ光９の照射量とを調整することにより、外周部分１７以外のダイシング済のウエハ１５を取り除いてしまうことなく、外周部分１７のみを確実に取り除くことができる。
【００４６】
このようにして製造されたシート付ウエハ１０のウエハ１５は不要部分を含んでいないため、支持シート１１から剥がされたダイシング済ウエハ１５はすべてＩＣチップ１８であり、後工程において、個々のダイシング済ウエハ１５をＩＣチップ１８と不要部分とに選別する必要がない。このため、ＩＣチップ１８の供給作業を効率的に行うことができる。
【００４７】
なお、上述したように、円盤状ウエハ１５ａのＩＣチップ１８を構成しない部分の範囲は、円盤状ウエハ１５ａの形状およびＩＣチップ１８の形状の組合せによって異なる。このため、不要部分を含んだ円盤状ウエハ１５ａの外周部分１７に対応する部分が切り取られたマスク３３は、円盤状ウエハ１５ａの形状およびＩＣチップ１８の形状の組合せ毎に用意されることが好ましい。ただし、マスク３３の形状を若干小さくしておくことにより、マスク３３を、円盤状ウエハ１５ａの形状およびＩＣチップ１８の形状の異なる組合せ間で併用してもよい。この場合、円盤状ウエハ１５ａから取り除かれる外周部分１７に不要部分だけでなく多少のＩＣチップ１８が含まれ、ＩＣチップ１８の歩留まりを下げてしまうことになるが、多数のマスク３３を準備する必要がないのでＩＣチップ１８を実装された最終製品の製造原価を下げることができることもある。
【００４８】
また、本実施の形態において、図１に示すように、ＵＶ光９を面照射するＵＶ光源３５を例示したが、これに限られない。図４にＵＶ光源３５およびＵＶ光９の照射方法の変形例を示す。図４において、上述した図１乃至図３に示す実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４９】
図４に示す変形例において、ＵＶ光源３６は細長状となっており、ＵＶ光９を線状に照射するようになっている。また、このＵＶ光源３６はその長手方向に直交する方向（図４における太矢印の方向）に沿い、シート付円盤状ウエハ１０ａに対して移動自在となっている。このため、ＵＶ光９を照射しながら、ＵＶ光源３６がシート付円盤状ウエハ１０ａに対して移動することにより、シート付円盤状ウエハ１０ａのうち円盤状ウエハ１５ａの全面に対応する部分にＵＶ光９を照射することができる。これにより、円盤状ウエハ１５ａから外周部分１７を取り除いたシート付ウエハ１０を製造することができる。
【００５０】
なお、本変形例において、ＵＶ光源３６をシート付円盤状ウエハ１０ａに対して移動自在とした例を示したが、これに限られない。保持機構３１によりシート付円盤状ウエハ１０ａをＵＶ光源３６に対して移動させることができるようにし、これにより、ＵＶ光源とシート付円盤状ウエハ１０ａとの相対位置を移動させるようにしてもよい。
【００５１】
また、本変形例において、ＵＶ光源３６からＵＶ光９を線状に照射する例を示したが、これに限られない。ＵＶ光源からシート付円盤状ウエハ１０ａの一部分にＵＶ光９を照射させるとともにＵＶ光源とシート付円盤状ウエハ１０ａを保持する保持機構３１とを相対移動させることにより、シート付円盤状ウエハ１０ａの所望の部分、すなわち、すべての外周部分１７に対応する部分にＵＶ光９を照射することができる限りにおいて、ＵＶ光源からどのように、例えば円状に、ＵＶ光９を照射するようにしてもよい。
【００５２】
また、本変形例において、ＵＶ光９を照射し続けながら、ＵＶ光源３６とシート付円盤状ウエハ１０ａとの相対位置を移動させる例を示したが、これに限られず、シート付円盤状ウエハ１０ａを保持する保持機構３１とＵＶ光源とを相対移動させる間、ＵＶ光源からのＵＶ光９の照射を停止するようにしてもよい。すなわち、ＵＶ光９をシート付円盤状ウエハ１０ａの一部分に照射した後にＵＶ光源からのＵＶ光９の照射を停止し、次にＵＶ光９の照射を停止した状態でシート付円盤状ウエハ１０ａとＵＶ光源との相対位置をずらし、その後にＵＶ光源からＵＶ光９を再度照射してシート付円盤状ウエハ１０ａの前記一部分と異なる部分にＵＶ光９を照射するようにしてもよい。これを繰り返すことによってシート付円盤状ウエハ１０ａの所望の部分（すべての外周部分１７に対応する部分）にＵＶ光９を照射していく場合、シート付円盤状ウエハ１０ａの各部分へＵＶ光９を正確にかつ一定量照射することができ、ＵＶ光９の不要な照射を防止することができる。これにより、比較的高価なＵＶ光源を長持ちさせることができるので、経済的に非常に好ましく、シート付ウエハ１０の製造原価を下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明によるシート付ウエハの製造装置および製造方法の一実施の形態を示す斜視図。
【図２】シート付ウエハを示す平面図。
【図３】シート付円盤状ウエハを示す平面図。
【図４】シート付ウエハの製造装置および製造方法の変形例を示す斜視図。
【符号の説明】
【００５４】
１０  シート付ウエハ
１０ａ  支持シート付円盤状ウエハ
１１  支持シート
１３  保持フレーム
１５  ウエハ
１５ａ  円盤状ウエハ
１６  ウエハの周縁部分
１７  円盤状ウエハの外周部分
１８  ＩＣチップ
３０  製造装置
３１  保持機構
３３  マスク
３５  ＵＶ光源
３６  ＵＶ光源
３９  吸引機構
３９ａ  吸引ノズル
【図１】
2005322685.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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