(57)【要約】【課題】     本発明の目的は、圧電素板の表裏面の電極を覆うように光触媒物質の薄膜が形成された圧電振動子を提供することである。【解決手段】     上記の目的を達成するため本発明は、圧電素板を収納して気密封止して成る圧電振動子において、圧電素板の主面の表裏面にこの表裏面に形成される電極を覆い、かつ電極にそれぞれ通じるサポート板同士にかからないように光触媒物質の薄膜が形成されたことを特徴とし、また圧電振動子の圧電素板が平板やバイコンベックス形状、またはプラノコンベックス形状を成すことを特徴として課題を解決する。【選択図】図１
2005286890.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素板を収納して気密封止して成る圧電振動子において、圧電素板主面の表裏面に該表裏面に形成される電極を覆い、かつ該電極にそれぞれ通じるサポート板同士、その両方にかからないように光触媒物質の薄膜が形成されたことを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電振動子の圧電素板が平板形状やバイコンベックス形状、またはプラノコンベックス形状を成すことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電素板の表裏面の電極を覆うように光触媒物質の薄膜が形成された圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動子は環境温度により周波数が変化する温度特性を持っている。こういった特性を持つ水晶振動子を搭載する発振器のなかでも、例えば移動体通信機器のひとつである携帯電話の端末などに使用される発振器には周囲の温度変化による発振周波数の変動が非常に小さく、その精度の高いことが求められるために、従来から水晶振動子の温度による周波数変化を補正する回路を発振器に搭載した高精度の温度補償型水晶発振器（Temperature Compensated Crystal Oscillator）や伝送系の機器に使用され、さらに高精度で非常に安定した周波数出力を必要とされる恒温槽に水晶振動子と発振回路が収容された恒温槽型水晶発振器(Oven Temperature Compensated Crystal Oscillator)という発振器が数多く市場に存在する。
【０００３】
先述の恒温槽型水晶発振器においては、例えば図４に示されるような圧電素板の支持構造をもった、即ち圧電素板が金属ベースを気密貫通する二本の金属端子に固定されたサポート板により支持される圧電振動子の支持構造をもった圧電振動子が使用されることが多い。このような圧電振動子の圧電素板は水晶板から成り、要求される特性により側面方向からみた形状が、平板やバイコンベックス（両面凸）、またはプラノコンベックス（片面凸）形状をしており、その圧電素板主面の表裏面には一般に、金(Au)や銀(Ag)から成る電極が形成されている。
【０００４】
先述の圧電振動子の圧電素板の電極表面に極めて微細な有機物、もしくは電極材料の金属粒子といった無機物の粒子といった汚れ(Contamination)が付着した場合、圧電振動子の発振が不安定と成ったり、発振しないといった不具合が発生するおそれがあり、そのため圧電振動子の製造工程においてはその全工程において先述のような汚れを発生させず、仮に汚れが発生して電極表面に付着した場合においても、圧電振動子を気密封止する前の段階でその汚れを除去するための例えばUVオゾン洗浄やプラズマ洗浄というような様々な洗浄工程が組まれているのが実際である。
【特許文献１】特開２００２−３２００１５号公報特開２００３−２４３７６１号公報
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、先述の電極材料として一般に使われる金(Au)は有機物を誘着する傾向がありそのためUVオゾン洗浄やプラズマ洗浄が行われているが、UVオゾン洗浄では、このオゾン洗浄を行う圧電振動子に導電性接着剤が使用されている場合、その導電性接着剤の特性を損なうおそれがあるといった問題があった。
【０００７】
また、先述のUVオゾン洗浄で照射される紫外線のエネルギーは比較的高く、取り扱いに注意が必要であり、そのUVランプ光源も高価であるという問題があった。
【０００８】
また、プラズマ洗浄では有機物以外の物質も除去し得る洗浄能力の高さがあり、このプラズマ洗浄の洗浄時間を長くすると、圧電振動子の電極の電極材料をプラズマ洗浄による除去で減じ、その結果、圧電振動子の所望の周波数を変化させてしまうおそれがあるといった問題があった。
【０００９】
本発明は、以上のような技術的背景のもとで成されたものであり、従がってその目的は、圧電素板の表裏面の電極を覆うように光触媒物質の薄膜が形成された圧電振動子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために本発明は、圧電素板を収納して気密封止して成る圧電振動子において、圧電素板主面の表裏面にこの表裏面に形成される電極を覆い、かつ電極にそれぞれ通じるサポート板同士、その両方にかからないように光触媒物質の薄膜が形成されたことを特徴とする。
【００１１】
また、圧電振動子の圧電素板が平板形状や、バイコンベックス形状、またはプラノコンベックス形状を成すことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の圧電振動子により、導電性接着剤の特性を損なうおそれのあるUVオゾン洗浄や、圧電振動子の所望の周波数を変化させてしまうおそれがあるプラズマ洗浄を、圧電振動子の製造工程に用いること無く圧電振動子の圧電素板の電極面へ付着した汚れを除去し、その信頼性を著しく高めることが出来る。
【００１３】
また、本発明の圧電振動子により、圧電素板の電極面への汚れの付着による圧電振動子の発振が不安定と成ったりすることや、発振しないといった不具合が発生するおそれが無くなり圧電振動子の製造歩留まりを著しく高めることが出来る。
【００１４】
また、比較的紫外線のエネルギーが低く照射が容易なブラックライトといった紫外線照射装置を用いても、本発明の一実施例で用いられた二酸化チタン薄膜は光触媒作用を有し有機物を分解することが出来、効率的かつ安全に圧電素板主面の電極面へ付着した汚れを除去することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１６】
図１は本発明の圧電素板主面３の電極５を覆うようにひとつの光触媒物質の薄膜である二酸化チタン（酸化チタン）薄膜７が形成された圧電振動子２をその圧電素板１の主面方向からみた概略の正面模式図である。本図１に示される様に圧電素板主面３の電極５を覆うように、同時にそれぞれの電極５に接続するふたつのサポート板６同士にかからないように二酸化チタン薄膜７を蒸着法により形成する。二酸化チタン薄膜７は紫外線を照射することにより光触媒作用を有し、圧電振動子２の製造工程において電極５を形成してその上に二酸化チタン薄膜７を形成した後、ブラックライトといった比較的紫外線照射エネルギーの弱い紫外線照射装置を用いて紫外線を照射した場合でも光触媒作用を有するため、有機物の汚れを効率的かつ安全に除去することが出来る。また本図１に示される様に、圧電素板主面３の電極５面を覆うように、また、それぞれの電極５に個別に接続するふたつのサポート板６同士にかからないように二酸化チタン薄膜７を形成することにより、圧電素板主面３の電極５面上への二酸化チタン薄膜７の形成後、圧電素板主面３の電極５の、導電性接着剤９を介したサポート板６への電気的な接続を全く妨げることなく圧電振動子２を組み立てることが出来る。なお、圧電素板主面３の電極５を覆うように形成される薄膜は二酸化チタン（酸化チタン）薄膜に限らず他の光触媒物質の薄膜でも構わず、この場合も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。また、本図１において圧電素板の表裏面に形成される光触媒物質の薄膜は電極を覆い、その電極形状と同じ同心円状のものと成っているが、圧電素板の支持部分の導電性接着剤が塗布される部分だけを除いた圧電素板の全面に光触媒物質の薄膜が形成されても構わない。
【００１７】
図２は本発明の圧電素板の表裏面４の電極５を覆うように二酸化チタン（酸化チタン）薄膜７が形成された図１の圧電振動子２を圧電素板１の上面方向からみた概略の上面模式図である。圧電振動子２の圧電素板１における振動部分の表裏面にある電極５を完全に覆うように二酸化チタン薄膜７が形成される。圧電素板の表裏面４の電極５とそれぞれの電極５とサポート板６とは導電性接着剤９を介して接続するが、それぞれの電極５に個別に接続するふたつのサポート板６同士にかからないように二酸化チタン薄膜７が形成されるために、導電性接着剤９の導電性能を全く損なうおそれが無く、導電性接着剤９を介して圧電素板１をサポート板６に組み立てることが出来る。図に示されるように二酸化チタン薄膜７が電極５面を覆うように形成されることにより、比較的紫外線のエネルギーが低く照射が容易なブラックライトといった紫外線照射装置を用いて、二酸化チタン（酸化チタン）薄膜７の光触媒作用により、圧電素板１の表面についた有機物を分解して除去することが出来、効率的かつ安全に圧電素板主面３の電極５面へ汚れが付着してそのまま残留するおそれを無くすことが出来る。また、同時に二酸化チタン薄膜７が保護膜の働きをし、また有機物を分解するために有機物がバインダーとなる場合の電極５材料の金や銀などの金属粒子のような無機物の粒子といった汚れ(Contamination)も付着しにくくする効果を奏する。
【実施例２】
【００１８】
図３は圧電素板１がバイコンベックス（両面凸）形状をした圧電素板１の表裏面４に、その電極５を覆うように二酸化チタン薄膜７が形成された圧電振動子２を圧電素板１の上面方向からみた概略の上面模式図である。二酸化チタン薄膜７の形成は蒸着法により成される。なお、図には示されていないが、サポート板６による支持構造を成さず、導電性パッドの上に圧電素板１の接続電極が支持される構成の圧電振動子２でも構わず、この場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。
【００１９】
図４は従来の圧電素板１が金属ベースを気密貫通する二本の金属端子に固定されたサポート板６により支持される圧電振動子２を、その圧電素板１の主面方向からみた概略の正面模式図である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の圧電素板主面の電極を覆うように二酸化チタン薄膜が形成された圧電振動子を主面方向からみた概略の正面模式図である。
【図２】本発明の圧電素板の表裏面の電極を覆うように二酸化チタン薄膜が形成された圧電振動子を圧電素板の上面方向からみた概略の上面模式図である。
【図３】本発明の圧電素板がバイコンベックス形状をした圧電素板の表裏面の電極を覆うように二酸化チタン薄膜が形成された圧電振動子を圧電素板の上面方向からみた概略の上面模式図である。
【図４】従来の圧電素板が金属ベースを気密貫通する二本の金属端子に固定されたサポート板により支持される圧電振動子を、その圧電素板の主面方向からみた概略の正面模式図である。
【符号の説明】
【００２１】
１  圧電素板
２  圧電振動子
３  圧電素板主面
４  圧電素板の表裏面
５  電極
６  サポート板
７  二酸化チタン薄膜
９  導電性接着剤
【図１】
2005286890.tif 000003
【図２】
2005286890.tif 000004
【図３】
2005286890.tif 000005
【図４】
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