(57)【要約】【課題】樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置において、剥離帯電現象による被洗浄物の粘着ラバーロールへの巻き付きを抑制し、その破損等を防止する。【解決手段】粘着ラバーロール（６）を円柱状の芯金（７）の長軸方向側周面全体を短軸方向に内側から外側に向かって導電性ゴムによる導電層（８）及び絶縁性ゴムによる薄い吸着層（９）によって順次層状に被覆することで、剥離帯電現象によって粘着ラバーロールが静電気を帯電してしまっても、粘着ラバーロールの導電層が芯金に対して電気的に導通してアースしていることから確実に除電できるので、吸着層により確実に洗浄を行いつつも、樹脂薄板製品及びフィルム材料製品が粘着ラバーロールに対して巻き付いて破損等することを防止できる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面に付着した塵埃等を回転自在に保持された粘着ラバーロールに当接させて転写、除去して除塵を行う樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置において、
円柱状の芯金の長軸方向側周面全体を、短軸方向に内側から外側に向かって導電性ゴムによる導電層及び絶縁性ゴムによる薄い吸着層によって順次層状に被覆してなる樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置における粘着ラバーロール。
【請求項２】
該吸着層には、シリコンゴム、シリコン系ゴム又はブチル系ゴムを使用してなる請求項１記載の樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置における粘着ラバーロール。
【請求項３】
該導電層には、ＮＢＲ（ニトリルゴム）又はカーボン系ゴムを使用してなる請求項１又は２記載の樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置における粘着ラバーロール。
【請求項４】
該吸着層の厚さを５ｍｍ未満としてなる請求項１、２又は３記載の樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置における粘着ラバーロール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
この発明は、樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表裏面又はどちらか一面に付着する塵埃や切断片等（以下、塵埃等と言う。）を除去してなる樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置において、直接樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表裏面又はどちらか一面に密着して塵埃等を吸着除去してなる粘着ラバーロールに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子部品を組み込むプリント基板、液晶パネル等の樹脂薄板製品及びそれらの原材料となるフィルム材料製品（以下、樹脂薄板製品及びフィルム材料製品を併せて「基板等」と言う。）の製造過程においては、空気中に存在する塵埃や当該基板等の切断の際に発生する切断片等により大量の塵埃等が発生している。この大量に発生する塵埃等は、当該基板等に付着すると、製品の故障や破損の原因となって当該基板等の歩留まり率を低下させてしまうので、この大量に発生する塵埃等を除去するため当該基板等の表面洗浄装置が必要となっている。
そのため、例えば当該基板等の表面洗浄装置としては、フレームにおいて、動力により回転自在となって保持される粘着ラバーロール、及びこの粘着ラバーロールの表面に対して密着するように回転自在に保持筒に保持される粘着テープロールから構成されるものを、洗浄すべき基板等の上下又はどちらか一方に配置すると共に、当該基板等を支持して搬送する搬送機構を配置し、当該搬送機構により搬送される基板等の表裏面又はどちらか一面を粘着ラバーロールに当接させつつ通過させることによって、基板等の表裏面又はどちらか一面に付着した塵埃等を粘着ラバーロールに吸着、除去させ、更にこの粘着ラバーロールに転写、除去された塵埃等を最終的に粘着テープロールに転写、除去することで、当該基板等の表面の除塵、洗浄を行うものがある。
【０００３】
ここで、上記従来の基板等の表面洗浄装置の粘着ラバーロールは、基板等の表裏面又はどちらか一面を粘着ラバーロールに当接させつつ通過させる際に、基板等の表裏面に付着している塵埃等をより確実に吸着、除去できるようにするため、粘着ラバーロールを保持筒の長軸方向側周面全体に渡って、例えば塵埃等の吸着性に優れるシリコンゴム等よりなる吸着層により被覆してなるものが一般的である。
ところが、このように塵埃等の吸着性に優れるシリコンゴム等よりなる吸着層では絶縁性が高いため、当該基板等を上記粘着ラバーロールに当接させつつ通過させると、互いに密着した基板等と粘着ラバーロールとが剥離する際に、当該基板等と粘着ラバーロールとの間で互いに相反する静電気を帯電する剥離帯電現象が発生してしまうものである。この結果、この基板等と粘着ラバーロールとの間で発生する剥離帯電現象は、当該基板等ばかりでなく、基板等の表面洗浄装置にも電気的な悪影響を及ぼすことがある。
そこで、基板等と上記粘着ラバーロールとの間で発生する剥離帯電現象に対処するため、基板等の表面洗浄装置においては、まず製品の品質を確保するという観点から当該基板等の表面に帯電する静電気とは反対の電荷を帯びた気流等を吹き付けることによって、当該基板等の表面に帯電する静電気を電気的に中和する除電システムが装着されているものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、近年の技術進歩に伴って、基板等が薄肉化されると、当該薄肉化された基板等の表面を洗浄する際に、上述のように基板等と粘着ラバーロールとの間で剥離帯電現象が発生してしまうと、当該基板等が薄肉化されることによって軽量化されているため、粘着ラバーロールに帯電している静電気によって、その薄肉化された基板等が粘着ラバーロールに巻き付き、当該基板等に損傷等を与えることが多発するようになってきた。即ち、従来までのように、剥離帯電現象によって静電気を帯電してしまう基板等自体の除電ばかりではなく、同様の剥離帯電現象により静電気を帯電することとなる粘着ラバーロールに対する除電をも必要となってきた。
【０００５】
そこで、この発明は、上記従来のものの有する欠点を改善するものであり、従来の基板等の表面洗浄装置の粘着ラバーロールにおいて使用されてきた、塵埃等の吸着性に優れるシリコンゴム等よりなる吸着層による洗浄性能を確保しつつも、基板等の表面洗浄装置の粘着ラバーロールが剥離帯電現象等によって帯電してしまった静電気を、確実に除電できるようにするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そのために、基板等の表面洗浄装置において、円柱状の芯金の長軸方向側周面全体を、短軸方向に内側から外側に向かって導電性ゴムによる導電層及び絶縁性ゴムによる薄い吸着層によって順次層状に被覆してなるものであって、更に該吸着層には、シリコンゴム、シリコン系ゴム又はブチル系ゴムを使用し、又は該導電層には、ＮＢＲ（ニトリルゴム）又はカーボン系ゴムを使用してなるものである。
【０００７】
そして、該吸着層の厚さを５ｍｍ未満としてなるものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
上記構成を具えるので、まず塵埃等を吸着除去する粘着ラバーロールにおいては、直接基板等の表面に密着することとなる吸着層は従来の材質と同一であるシリコンゴム、シリコン系ゴム又はブチル系ゴムを使用していることから、その表面洗浄性能は確実に確保され、基板等の表面を確実に洗浄することができる。
【０００９】
更に、塵埃等を吸着除去する粘着ラバーロールは、基板等の表面に付着する塵埃等を吸着した後、互いに密着している当該基板等と粘着ラバーロールとが剥離する際に発生する剥離帯電現象によって、粘着ラバーロール表面の、例えばシリコンゴム、シリコン系ゴム又はブチル系ゴムの絶縁性ゴムからなる吸着層が静電気を帯電することとなる。このとき、この粘着ラバーロールを構成する絶縁性ゴムからなる吸着層の厚さは薄く、特に吸着層の厚さを５ｍｍ未満とすることによって、意図的に吸着層の絶縁性を低下させる一方で、この吸着層の下で、芯金の長軸方向側周面全体を被覆する、例えばＮＢＲ（ニトリルゴム）又はカーボン系ゴムの導電性ゴムによる導電層が、該吸着層が帯電した静電気を芯金に対して電気的に導通させると共に芯金を通じてアースさせているので、剥離帯電現象により吸着層に帯電した静電気を除電することができるものである。従って、当該基板等が剥離帯電現象によって未だ帯電していても、粘着ラバーロールは除電されているので、当該基板等が粘着ラバーロールに巻き付くことはなく、当該基板等の破損等を防止でき、同時に表面洗浄装置に対する電気的な悪影響を排除できるものとなる。ここで、該吸着層の厚さを５ｍｍ以上とすると、該吸着層を構成するシリコンゴム、シリコン系ゴム又はブチル系ゴムではその絶縁性が完全に確保されてしまい、該吸着層の下の導電層によって電気的に導通することとなる芯金を介してのアースを行えないため、結果として粘着ラバーロールに発生する剥離帯電現象を解消することはできないものである。
【００１０】
なお、絶縁性ゴムからなる吸着層の下で、芯金の長軸方向側周面全体を被覆する導電性ゴムによる導電層は、吸着層が帯電した静電気を芯金へ電気的に導通させると共に、上記吸着層の絶縁性ゴムと一体となって、洗浄のために粘着ラバーロールが基板等に当接する際の、当該基板等にかかる負荷を緩衝及び、基板等表面の凹凸に対して柔軟に変形し対応する役目をも担うものでもある。
【００１１】
その上、連続して大量の基板等の洗浄作業を行っても、粘着ラバーロールは、吸着層の下で円柱状の芯金の長軸方向側周面全体を被覆している導電性ゴムによる導電層を介して芯金に電気的に導通してフレームを介してアースしているので、粘着ラバーロールの吸着層が帯電することとなる静電気を常時除電することができるものである。従って、大量の基板等の表面洗浄作業を行っても、多数の剥離帯電現象によって生じうる、粘着ラバーロールの吸着層の帯電電圧が上昇するという蓄電現象をも抑制することができ、そのため基板等が粘着ラバーロールに巻き付くことはなく、基板等の破損等を防止でき、同時に表面洗浄装置に対する悪影響をも排除できるものとなる。
【００１２】
【実施例】
この発明を図に示す実施例により更に説明する。図１は、この発明の実施例を具える樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置（１）の概念図であり、図１に示す樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置（１）は、フレーム（図示せず。）において、モーター等の動力（図示せず。）により回転自在となって保持される粘着ラバーロール（６）（６’）、及びこの粘着ラバーロール（６）（６’）の表面に対して密着するように回転自在に保持筒に保持される粘着テープロール（３）（３’）から構成されるものを、洗浄すべき樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の上下に配置すると共に、当該樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）を支持して搬送する搬送機構（２）を配置してなるものである。そして、当該搬送機構（２）により搬送される樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の表裏面（４’）（４”）を、樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の上下に配置する粘着ラバーロール（６）（６’）に当接させつつ通過させることによって、樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の表裏面（４’）（４”）に付着した塵埃等（５）を粘着ラバーロール（６）に転写、除去させ、更にこの粘着ラバーロール（６）に転写、除去された樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の表裏面（４’）（４”）に付着していた塵埃等（５）を、最終的に粘着テープロール（３）（３’）に転写、除去することで除塵、洗浄を行ってなるものである。
【００１３】
そして、この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）は、図２及び図３において示すように、例えばアルミニウムの円柱状の芯金（７）の長軸方向側周面全体を、短軸方向に内側から外側に向かって、例えばＮＢＲ（ニトリルゴム）又はカーボン系ゴム（以下、この発明の実施例ではＮＢＲで説明する。）等よりなる導電性ゴムによる導電層（８）及び、吸着性に優れる、例えばシリコンゴム、シリコン系ゴム又はブチル系ゴム（以下、この発明の実施例ではシリコンゴムで説明する。）等よりなる絶縁性ゴムによる薄い吸着層（９）によって順次層状に被覆してなるものである。ここで、該吸着層（９）の厚さは５ｍｍ未満としてなるものである。
【００１４】
この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）（６’）は以上の構成を具えるので、この樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置（１）を作動させて、樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の表裏面（４’）（４”）に付着した塵埃等（５）を洗浄しようとすると、図４において示すようになる。即ち、搬送機構（２）によって粘着ラバーロール（６）（６’）へ搬送されてきた未洗浄の樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）は〔図４の（イ）参照〕、当該樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の表裏面（４’）（４”）を、当該樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の上下に配置する粘着ラバーロール（６）（６’）に当接させつつ通過させることで互いに密着し、まずこの粘着ラバーロール（６）（６’）は、この粘着ラバーロール（６）（６’）の吸着層（９）（９’）が従来の材質であるシリコンゴムよりなるので、確実に樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の表裏面（４’）（４”）に付着した塵埃等（５）を粘着ラバーロール（６）（６’）に吸着、除去することができるものである。このとき、該吸着層（９）（９’）の下の導電層（８）（８’）は、該吸着層（９）（９’）と一体となって、洗浄のために粘着ラバーロール（６）（６’）が樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）に密着する際に、粘着ラバーロール（６）（６’）自体の弾性を保持して、当該樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）にかかる負荷を緩衝及び、当該樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面状態（凹凸）にも柔軟に対応するものである。
【００１５】
更に、この粘着ラバーロール（６）（６’）による樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の表裏面（４’）（４”）の洗浄に際しては、表面洗浄のために互いに密着している樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の表裏面（４’）（４”）と粘着ラバーロール（６）（６’）とが離れようとする際に、この両者において相反する静電気が帯電する剥離帯電現象が発生する。即ち、この剥離帯電現象により、その表裏面（４’）（４”）を洗浄することとなる樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）には負電荷の静電気を、また粘着ラバーロール（６）（６’）は正電荷の静電気と、両者は相反する静電気を帯電することとなる〔図４の（ロ）参照〕。
ところが、この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）（６’）は、この粘着ラバーロール（６）（６’）を構成するシリコンゴムの絶縁性ゴムからなる吸着層（９）（９’）は薄く、特にその厚さを５ｍｍ未満とすることによりその絶縁性は意図的に低下させられているものであって、且つこの吸着層（９）（９’）の下において、芯金（７）（７’）の長軸方向側周面全体を導電性ゴムによる導電層（８）（８’）により被覆しているので、上記粘着ラバーロール（６）（６’）の絶縁性ゴムからなる吸着層（９）（９’）に帯電している静電気は、この吸着層（９）（９’）より導電層（８）（８’）を介して電気的に導通している芯金（７）（７’）を通じ、更にはフレームを介してアースされ、その結果帯電した粘着ラバーロール（６）（６’）は確実に除電されて行くものである〔図４の（ハ）参照〕。
このため、例え薄肉化された樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）であっても、剥離帯電現象によって発生する静電気を原因として、粘着ラバーロール（６）（６’）に巻き付くことがなく、当該樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の損傷等を防止でき、洗浄装置（１）自体への電気的な悪影響を排除できるものである〔図４の（ニ）参照〕。
なお、当該樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）自体が帯電している静電気は、従来の除電システムを利用することにより、簡易且つ確実に電気的に中和することができるものである。
【００１６】
その上、この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）（６’）は、粘着ラバーロール（６）（６’）を構成する導電性ゴムよりなる導電層（８）（８’）を介して、芯金（７）に対して常時電気的に導通すると共に、更にフレームを介してアースしているので、大量に樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）を洗浄処理しても、その処理枚数に応じて粘着ラバーロール（６）（６’）の帯電する静電気の電圧が上昇するという、蓄電現象は発生することがないから、大量の樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）に対して洗浄作業を行っても、樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の表裏面（４’）（４”）と粘着ラバーロール（６）（６’）との間で発生する剥離帯電現象によって帯電する静電気を原因として、樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）が粘着ラバーロール（６）（６’）に巻き付くことはなくなり、当該樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の損傷等を防止できると共に、洗浄装置（１）自体への電気的な悪影響を排除できるものとなる。
【００１７】
そこで、この発明の効果を確認するために、従来の、表面が厚さ５ｍｍの絶縁性ゴムである、例えばシリコンゴムからなる吸着層のみにより被覆された粘着ラバーロールと、この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）（６’）との間で、樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の表面洗浄作業により帯電する静電気の帯電電圧を実験により比較した。なお、この比較実験においては、この発明の実施例に係る粘着ラバーロール（６）（６’）として、直径が５０ｍｍ、吸着層（９）（９’）として厚さ１ｍｍのシリコンゴム、導電層（８）（８’）として厚さ４ｍｍのＮＢＲ（ニトリルゴム）、及び芯金（７）（７’）として直径４０ｍｍのアルミ材としたもの使用し、一方洗浄すべき樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）として、液晶パネルに使用されるＰＥＴのパネル材（３０ｃｍ×４０ｃｍ、厚さ１００ミクロン）を使用するものである。そして、帯電した静電気の測定にあたっては上記粘着ラバーロール（６）（６’）の複数箇所を測定した。この結果、従来の粘着ラバーロールが＋２ｋｖ〜＋４ｋｖ〔大量の樹脂薄板製品及びフィルム材料製品（４）の表面洗浄作業を行った場合（上記ＰＥＴのパネル材を連続して２０枚程度表面洗浄作業を行った場合。）には蓄電現象により最大２０ｋｖに達する。〕であるのに対して、この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）（６’）では、たとえ連続して表面洗浄作業を行っても常時±０．０５ｋｖ〜±０．１５ｋｖであることが測定された。即ち、この比較実験において、この発明の実施例である粘着ラバーロール（６）（６’）は、従来の粘着ラバーロールと比較しても帯電した静電気を確実に除電することができるという効果が確認された。又、逆に、シリコンゴムよりなる吸着層（９）（９’）の厚さを５ｍｍ以上とすると、導電層（８）（８’）の厚さ及びその種類にかかわらず、その粘着ラバーロールに対して、従来例における実験結果と大差のない静電気の帯電を生ずることが測定された。
【００１８】
【発明の効果】
以上のとおり、樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置において、その粘着ラバーロールを、円柱状の芯金の長軸方向側周面全体を導電性ゴムによる導電層により被覆した上、当該導電層によって被覆された芯金の長軸方向側周面全体を吸着性に優れたシリコンゴム等の絶縁性ゴムからなる吸着層によって更に被覆してなるものとすることで、従来の樹脂薄板製品及びフィルム材料製品に対する洗浄能力を確保しつつも、この洗浄処理に際して発生する剥離耐電現象や、帯電した静電気の帯電電圧が上昇する蓄電現象を抑制して、樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の粘着ラバーロールに対する巻き付きによる破損や高電圧の静電気による樹脂薄板製品及びフィルム材料製品又は洗浄装置への電気的な悪影響を防止できる優れた効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を具える基板又はシート表面洗浄装置の要部概念図である。
【図２】この発明の実施例の粘着ラバーロールの長軸方向への断面図である。
【図３】この発明の実施例の粘着ラバーロールの短軸方向への断面図である。
【図４】この発明の実施例の粘着ラバーロールの作動状態を示す概念図である。
【符号の説明】
１  樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の表面洗浄装置
２  搬送機構
３、３’  粘着テープロール
４  樹脂薄板製品及びフィルム材料製品
４’（樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の）表面
４”（樹脂薄板製品及びフィルム材料製品の）裏面
５  塵埃等
６、６’  粘着ラバーロール
７、７’  芯金
８、８’  導電層
９、９’  吸着層
【図１】
2005000849.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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