(57)【要約】【課題】この発明は供給マガジンから送り出されるリードフレームの送り出し不良を精密に検出することができるようにしたリードフレームの供給装置を提供することにある。【解決手段】両端面が開口し内部に複数のリードフレーム１が上下方向に所定間隔でスライド可能に収納保持される供給マガジン７と、この供給マガジンに収納されるリードフレームの所定方向の一端を上記供給マガジンの一方の開口側から押して他方の開口から送り出すプッシャ２２と、このプッシャによって押されたリードフレームの変形を光学的に検出するセンサ２４とを具備する。【選択図】      図２
2005286226.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端面が開口し内部に複数の可撓性板状部材が上下方向に所定間隔でスライド可能に収納保持される供給マガジンと、
この供給マガジンに収納される可撓性板状部材の所定方向の一端を上記供給マガジンの一方の開口側から押して他方の開口から送り出すプッシャと、
このプッシャによって押された可撓性板状部材の変形を光学的に検出するセンサと
を具備したことを特徴とする可撓性板状部材の供給装置。
【請求項２】
上記センサは、投光器と受光器とからなり、この投光器と受光器とは上記可撓性板状部材の長手方向に沿って離間するとともに、この可撓性板状部材の幅方向一端側と他端側とに分かれて配置されていることを特徴とする請求項１記載の可撓性板状部材の供給装置。
【請求項３】
上記投光器は所定の幅寸法の光線を出力し、上記受光器は少なくとも上記光線の幅寸法と同等の受光面を有し、上記投光器からの光線が上記受光面に入射する光量によって上記可撓性板状部材の変形度合を判定することを特徴とする請求項２記載の可撓性板状部材の供給装置。
【請求項４】
両端面が開口し内部に複数の可撓性板状部材が上下方向に所定間隔でスライド可能に収納保持される供給マガジンと、
この供給マガジンに収納される可撓性板状部材の所定方向の一端を上記供給マガジンの一方の開口側から押して他方の開口から送り出すプッシャと、
このプッシャによって押された可撓性板状部材の少なくとも一部が通過する時間を光学的に測定しその時間によって上記可撓性板状部材の送り出し不良を検出するセンサと
を具備したことを特徴とする可撓性板状部材の供給装置。
【請求項５】
上記センサは受光器と投光器とからなり、この投光器と受光器との間に上記供給マガジンから送り出された上記可撓性板状部材が進入することを特徴とする請求項４記載の可撓性板状部材の供給装置。
【請求項６】
供給マガジンに収納保持された可撓性板状部材をプッシャによって押して上記供給マガジンから送り出す工程と、
上記プッシャによって押された可撓性板状部材に変形が生じたか否かを光学的に検出する工程と、
可撓性板状部材に変形が生じたことを検出したならば上記プッシャによって可撓性板状部材を押すのを停止する工程と
を具備したことを特徴とする可撓性板状部材の供給方法。
【請求項７】
供給マガジンに収納保持された可撓性板状部材をプッシャによって押して上記供給マガジンから送り出す工程と、
上記プッシャによって押された可撓性板状部材の少なくとも一部が所定の箇所を通過する時間を検出する工程と、
上記可撓性板状部材の一部が所定の箇所を通過する時間を設定時間と比較しその比較に基き上記可撓性板状部材の送り出し不良を検出する工程と、
上記可撓性板状部材の送り出し不良の検出に基き上記プッシャによって可撓性板状部材を押すのを停止する工程と
を具備したことを特徴とする可撓性板状部材の供給方法。
【請求項８】
可撓性板状部材はリードフレームであり、供給装置から送り出される上記リードフレームに、電子部品をボンディングするボンディング装置において、
上記供給装置は請求項１又は請求項４に記載された構成であることを特徴とするボンディング装置。
【請求項９】
可撓性板状部材はリードフレームであり、供給装置から上記リードフレームを送り出し、この可撓性板状部材と、可撓性板状部材にダイボンディングされた電子部品とをワイヤボンディングするボンディング装置において、
上記供給装置は請求項１又は請求項４に記載された構成であることを特徴とするボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は供給マガジンに収納された可撓性板状部材をプッシャによって送り出す可撓性板状部材の供給装置及び供給方法、この供給装置を用いたボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ボンディング装置には、可撓性板状部材としてのたとえばリードフレームに電子部品としての半導体チップ（以下、単にチップという）をダイボンディングするダイボンディング装置、リードフレームとこのリードフレームにダイボンディングされたチップとをワイヤボンディングするワイヤボンディング装置などがある。
【０００３】
このようなボンディング装置はボンディングヘッドを有する。ボンディングヘッドにはボンディングツールが設けられ、このボンディングツールに対向する位置にはボンディングステージが配置される。
【０００４】
上記リードフレームは供給装置から搬送レールなどからなる搬送手段に送り出される。搬送手段に送り出されたリードフレームは、この搬送手段によってボンディングステージに対向する部位に搬送される。それによって、このリードフレームに上記ボンディングヘッドによってチップがダイボンディングされたり、チップとリードフレームとにワイヤボンディングがなされる。
【０００５】
上記供給装置は上記リードフレームを所定間隔で積層収納した供給マガジンを有する。この供給マガジンはリードフレームを送り出す方向に沿う一端面と他端面とが開口した箱形状をなしていて、その一端面に対向して配置されたプッシャによって供給マガジンに収納されたリードフレームの一端を押圧する。それによって、リードフレームは上記供給マガジンの他端開口から上記搬送手段に送り出されて搬送されるようになっている。
【０００６】
上記供給マガジンはエレベータによって上下方向に駆動されるようになっており、１枚のリードフレームを送り出すと、たとえば高さ方向下方に所定寸法駆動され、プッシャに対向する位置につぎのリードフレームの高さが合される。それによって、供給マガジンに積層収納された複数のリードフレームを順次送り出すことができる。
【０００７】
上記供給マガジンと搬送手段の高さや平行度が精密に一致していなかったり、先に搬送手段に送られたリードフレームが検出不良やオペレータミスなどによって搬送手段に滞留していたりすると、上記供給マガジンからプッシャによって送り出されたリードフレームを上記搬送手段に円滑に受け渡すことができなくなる。その場合、上記リードフレームが大きく湾曲変形し、損傷するということがあった。とくに、予めチップがダイボンディングされたリードフレームの場合、その損傷によって蒙る損失が大きくなるということがある。
【０００８】
そこで、従来、供給マガジンからリードフレームを送り出す供給装置は、プッシャをばねによって弾性的に保持し、プッシャがリードフレームを押したときに、その押す力よりも、プッシャが受ける反力が大きくなったならば、それらの差圧力によって上記ばねを変形させてプッシャを相対的に後退方向に変位させる。そして、プッシャの変位に基づいてリードフレームに送り出し不良が生じたことを検出するという機械的検出方法が用いられていた。このような従来技術として特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平４−２９４５４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、プッシャに加わる差圧力を機械的に検出する従来の方法によると、上記差圧力に応じて精密に弾性変形させることが難しい。仮に、ばねが差圧力に応じて精密に弾性変形する性能を有していても、プッシャのスライド抵抗の変動などによって上記差圧力に応じてプッシャを精密に後退方向にスライドさせることができないことがある。つまり、上記差圧力に応じてプッシャが所定距離変位するよう、上記ばね力を設定することが難しかった。そのため、リードフレームが所定以上に変形する前に送り出し不良を確実に検出することができないということがあった。
【００１０】
しかも、最近ではリードフレームとして０．０７〜０．０８ｍｍ程度の非常に薄いフィルムが用いられることがある。そのように薄くて柔らかなリードフレームの場合、供給マガジンからの送り出し時に、送り出し不良によってリードフレームが変形しても、そのときの押圧力と反力との差圧力もかなり小さくなるから、ばねによる機械的な検出方法ではリードフレームの変形を精密に検出することが困難になるということもある。
【００１１】
この発明は、供給マガジンからの可撓性板状部材の送り出し不良を光学的に検出することで、可撓性板状部材が薄いフィルム状のものであっても、送り出し不良を精密に検出することができるようにした可撓性板状部材の供給装置、供給方法及びその供給装置が用いられた実装装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明は、両端面が開口し内部に複数の可撓性板状部材が上下方向に所定間隔でスライド可能に収納保持される供給マガジンと、
この供給マガジンに収納される可撓性板状部材の所定方向の一端を上記供給マガジンの一方の開口側から押して他方の開口から送り出すプッシャと、
このプッシャによって押された可撓性板状部材の変形を光学的に検出するセンサと
を具備したことを特徴とする可撓性板状部材の供給装置にある。
【００１３】
上記センサは、投光器と受光器とからなり、この投光器と受光器とは上記可撓性板状部材の長手方向に沿って離間するとともに、この可撓性板状部材の幅方向一端側と他端側とに分かれて配置されていることが好ましい。
【００１４】
上記投光器は所定の幅寸法の光線を出力し、上記受光器は少なくとも上記光線の幅寸法と同等の受光面を有し、上記投光器からの光線が上記受光面に入射する光量によって上記可撓性板状部材の変形度合を判定することが好ましい。
【００１５】
この発明は、両端面が開口し内部に複数の可撓性板状部材が上下方向に所定間隔でスライド可能に収納保持される供給マガジンと、
この供給マガジンに収納される可撓性板状部材の所定方向の一端を上記供給マガジンの一方の開口側から押して他方の開口から送り出すプッシャと、
このプッシャによって押された可撓性板状部材の少なくとも一部が通過する時間を光学的に測定しその時間によって上記可撓性板状部材の送り出し不良を検出するセンサと
を具備したことを特徴とする可撓性板状部材の供給装置にある。
【００１６】
上記センサは受光器と投光器とからなり、この投光器と受光器との間に上記供給マガジンから送り出された上記可撓性板状部材が進入することが好ましい。
【００１７】
この発明は、供給マガジンに収納保持された可撓性板状部材をプッシャによって押して上記供給マガジンから送り出す工程と、
上記プッシャによって押された可撓性板状部材に変形が生じたか否かを光学的に検出する工程と、
可撓性板状部材に変形が生じたことを検出したならば上記プッシャによって可撓性板状部材を押すのを停止する工程と
を具備したことを特徴とする可撓性板状部材の供給方法にある。
【００１８】
この発明は、供給マガジンに収納保持された可撓性板状部材をプッシャによって押して上記供給マガジンから送り出す工程と、
上記プッシャによって押された可撓性板状部材の少なくとも一部が所定の箇所を通過する時間を検出する工程と、
上記可撓性板状部材の一部が所定の箇所を通過する時間を設定時間と比較しその比較に基き上記可撓性板状部材の送り出し不良を検出する工程と、
上記可撓性板状部材の送り出し不良の検出に基き上記プッシャによって可撓性板状部材を押すのを停止する工程と
を具備したことを特徴とする可撓性板状部材の供給方法にある。
【発明の効果】
【００１９】
この発明によれば、供給マガジンから送り出される可撓性板状部材が変形して送り出し不良となったとき、そのことを投光器と受光器からなるセンサによって光学的に検出できるため、その検出を高精度に行なうことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。  
図１乃至図４はこの発明の第１の実施の形態を示す。図１は可撓性板状部材としてのリードフレーム１に電子部品としてのチップ２をボンディングする、ボンディング装置としてのダイボンディング装置を示し、このダイボンディング装置は搬送手段としてのフィーダ３を有する。このフィーダ３は、一対の搬送レール４と、この搬送レール４に後述する如く供給されたリードフレーム１をこの搬送レール４に沿って矢印Ｘで示す方向に送る送りローラ５を有する。
【００２１】
上記フィーダ３の一端側には上記リードフレーム１を供給する供給マガジン７を有する供給装置８が設けられ、他端には上記フィーダ３によって送られ、途中でチップ２が後述するようにボンディングされたリードフレーム１を回収する回収マガジン１１が設けられている。各マガジン７，１１はそれぞれエレベータ１２によって上下方向に駆動可能になっている。
【００２２】
上記フィーダ３の中途部にはディスペンサ１３とボンディングツール１４ａを有するボンディングヘッド１４とがリードフレーム１の送り方向に沿って順次配設されている。上記ディスペンサ１３は上記リードフレーム１の上記チップ２がボンディングされる個所に接着剤を供給する。
【００２３】
上記ボンディングヘッド１４は、フィーダ３の上方と、このフィーダ３の側方に配置されたチップ供給装置１５との間を水平に往復駆動可能であるとともに、フィーダ３に対向して設けられたボンディングステージ１６の上方と、上記チップ供給装置１５の上方とで上下方向にも駆動されるようになっている。
【００２４】
上記チップ供給装置１５はウエハステージ１７を有し、このウエハステージ１７には多数のチップ２に分割された半導体ウエハ２Ａが設けられる。ウエハステージ１７の側方にはウエハ２Ａを多段に収納したウエハマガジン１８が設けられている。このウエハマガジン１８に収納されたウエハ２Ａは供給アーム１９によって上記ウエハステージ１７に供給されるようになっている。
【００２５】
上記供給装置８の供給マガジン７は、図２と図３に示すように一端面と他端面とが開口した箱形状に形成されていて、一端面が上記搬送レール４に対向するよう上記エレベータ１２に載置されている。
【００２６】
上記供給マガジン７の両側内面には、複数の保持溝２１が幅方向全長にわたって形成されている。両側面の対向する高さの保持溝２１には上記リードフレーム１が幅方向の両端部をスライド可能に係合させて保持されている。
【００２７】
上記供給マガジン７の開口した他端面側にはプッシャ２２が所定の高さ位置に配設されている。すなわち、プッシャ２２はエアシリンダ２２ａ及びこのエアシリンダ２２ａによって軸方向に駆動される押し軸２２ｂとからなり、軸線を水平にして所定の高さで配置されている。エアシリンダ２２ａが作動して押し軸２２ｂが図２に鎖線で示すように突出方向に駆動されると、この押し軸２２ｂによって供給マガジン７の上記押し軸２２ｂと同じ高さの保持溝２１に保持されたリードフレーム１の後端が押圧される。それによって、そのリードフレーム１は同図に鎖線で示すように保持溝２１をスライドして上記フィーダ３の搬送レール４に受け渡される。
【００２８】
搬送レール４に受け渡されたリードフレーム１はローラ５によってディスペンサ１３と対向する位置まで搬送され、その位置でペーストが塗布された後、さらに上記ボンディングステージ１６と対向する位置まで搬送される。そして、上記ボンディングヘッド１４のボンディングツール１４ａによってリードフレーム１のペーストが塗布された箇所に上記チップ２がダイボンディングされるようになっている。
【００２９】
上記供給マガジン７からプッシャ２２によって押し出されるリードフレーム１は、送り出し時に送り出し不良が生じるか否かが図２に示すセンサ２４によって検出されるようになっている。このセンサ２４は投光器２５と受光器２６とからなる。
【００３０】
上記投光器２５は上記供給マガジン７のリードフレーム１が送り出される側の端面の近傍であって、リードフレーム１の幅方向一端側に投光面２５ａを送り出し方向に向けて配置されている。上記受光器２６は上記投光器２５よりもリードフレーム１の送り出し方向の下流側であって、上記リードフレーム１の幅方向他端側に受光面２６ａを上記投光面２５ａに対向させて配置されている。つまり、投光器２５と受光器２６とはリードフレーム１の搬送方向に沿って所定の間隔で離間しているとともに、リードフレーム１の幅方向に跨って配置されている。
【００３１】
上記投光器２５と受光器２６は、これらの投光面２５ａと受光面２６ａとの高さ方向中心が供給マガジン７から送り出されるリードフレーム１とほぼ同じ高さになるよう設定されている。さらに、上記投光器２５からは図４（ａ），（ｂ）に示すように所定の幅寸法の光線Ｌが出射される。上記受光器２６の受光面２６ａは光線Ｌの幅寸法と同等若しくはそれ以上の大きさに設定されている。  
なお、投光器２５から出射された光線Ｌは、搬送レール４によって遮られることなく受光器２６で受光できるようになっている。
【００３２】
上記プッシャ２２の押し軸２２ｂによって後端が押圧されることで上記供給マガジン７から送り出されるリードフレーム１は上記投光器２５と受光器２６との間を通過する。供給マガジン７から送り出されたリードフレーム１が搬送レール４に円滑に受け渡される、つまり変形することなく受け渡されれば、投光器２５から出射された光線Ｌは、図４（ａ）に示すように受光器２６の受光面２６ａによってリードフレーム１の厚さに対応する分が遮断され、同図にａ１  とａ２  で示す部分が受光される。
【００３３】
一方、供給マガジン７と搬送レール４との平行度や高さが精密に一致しておらず、上記供給マガジン７から送り出されたリードフレーム１が搬送レール４に円滑に受け渡されない場合、プッシャ２の押し軸２２ｂによって押圧されたリードフレーム１は長手方向に沿って上下方向に湾曲変形する。
【００３４】
リードフレーム１が長手方向に沿って上下方向に湾曲変形すると、投光器２５から出射される光線Ｌは、図４（ｂ）に示すようにリードフレーム１の湾曲幅ｗに対応する部分が遮断され、同図にｂ１  とｂ２  で示す部分が受光器２６の受光面２６ａで受光されることになる。
【００３５】
図２に示すように、上記受光器２６には光量検出器２８が接続され、この光量検出器２８には判定器２９が接続されている。光量検出器２８は、受光器２６が受光した光量Ｔを電気的に検出する。この光量Ｔ、つまり（ｂ１  ＋ｂ２  ）はリードフレーム１の湾曲幅ｗによって異なってくる。
【００３６】
上記判定器２８には所定の光量に対応する設定値Ｓが設定されている。そして、判定器２９は、光量検出器２８で検出された光量Ｔと設定値Ｓとを比較し、受光器２６が検出する光量Ｔが設定値Ｓまで減少したとき、つまり供給マガジン７から押し出されたリードフレーム１が所定の度合まで湾曲したときに、リードフレーム１に送り出し不良が生じたと判定し、その判定に基いてプッシャ２によるリードフレーム１の送り出しを停止させるようになっている。
【００３７】
このような構成のダイボンディング装置によれば、供給マガジン７と搬送レール４との平行度や供給マガジン７から送り出されるリードフレーム１と搬送レール４との高さなどに誤差があると、供給装置８の供給マガジン７から搬送レール４にリードフレーム１を受け渡す際、プッシャ２によって押圧されたリードフレーム１は円滑にスライドせず、上下方向に湾曲する。
【００３８】
上記供給マガジン７からプッシャ２によって送り出されるリードフレーム１が上下方向に所定量以上湾曲すると、そのことがセンサ２４の投光器２５から出射される光線Ｌを受光する受光器２６の受光量の変化によって検出される。
【００３９】
すなわち、リードフレーム１が上下方向に湾曲すると、その湾曲度合に応じて投光器２５から出射された光線Ｌの一部が遮断され、受光器２６の受光面２６ａで受光される光量が減少することで、上記リードフレーム１の湾曲が検出される。
【００４０】
受光器２６で受光される光量の減少は、リードフレーム１の湾曲度合に応じて変化する。その湾曲度合、つまり受光器２６での受光量の減少度合は光量検出器２８で検出され、受光量が判定器２９に設定された設定値Ｓ以下になると、判定器２９によってそのことが判定され、その判定に基いてプッシャ２２によるリードフレーム１の押圧動作を停止する。
【００４１】
したがって、供給マガジン７からリードフレーム１を送り出す際、種々の原因によってリードフレーム１を円滑に送り出すことができない状態、つまり送り出し不良が発生しても、上記リードフレーム１を湾曲させ過ぎて損傷させる前に、上記プッシャ２２による送り動作を停止することができる。
【００４２】
リードフレーム１の送り不良を、投光器２５と受光器２６とからなるセンサ２４によって光学的に検出するようにしている。そのため、送り不良によってリードフレーム１に生じる湾曲を精密に検出することが可能となるから、機械的に検出する従来に比べて検出精度を高めることが可能となる。しかも、検出精度は、判定器２９に設定される設定値Ｓによって設定可能であるから、リードフレーム１に生じるわずかな湾曲であっても、確実に検出することができ、そのことによっても検出精度を高めることができる。
【００４３】
また、投光器２５と受光器２６をリードフレーム１の搬送方向に沿って所定の間隔で離間させて配置したので、リードフレーム１の長さ方向の広い範囲での湾曲を検出できる。
【００４４】
図５は第１の実施の形態における供給装置８の変形例を示す第２の実施の形態である。この第２の実施の形態は、プッシャ２２によって押圧されたリードフレーム１が供給マガジン７内において送り不良が生じて湾曲したことを検出できるようにしている。
【００４５】
すなわち、センサ２４の投光器２５は、供給装置８の供給マガジン７のプッシャ２２側の一端面に対向して配置され、受光器２６は他端面に対向して配置されている。上記供給マガジン７は一端面と他端面とが開口している。したがって、投光器２５から出射した光線Ｌは供給マガジン７内を通って上記受光器２６に受光される。
【００４６】
投光器２５はリードフレーム１の幅方向一端側に配置され、受光器２６は他端側に配置されている。さらに、投光器２５と受光器２６とはプッシャ２２によって押圧されるリードフレーム１と同じ高さに配置されている。
【００４７】
このような構成によれば、供給マガジン７内のリードフレーム１がプッシャ２２によって後端が押圧されて上記供給マガジン７から押し出される時に保持溝２１に引っ掛かったり、供給マガジン７から突出したリードフレーム１の先端部分が搬送レール４に引っ掛かるなどして送り不良が発生すると、リードフレーム１の少なくとも供給マガジン７内に残留する部分が湾曲する。
【００４８】
供給マガジン７内でリードフレーム１が湾曲すると、この供給マガジン７の一端側と他端側とに配置された投光器２５と受光器２６とによってそのことが第１の実施の形態と同様に検出される。すなわち、供給マガジン７内でリードフレーム１が湾曲しても、そのこと確実に検出することができる。したがって、このような場合であっても、リードフレーム１を損傷させる前にその送りを停止することが可能となる。
【００４９】
図６乃至図８この発明の第３の実施の形態を示す。この実施の形態はセンサ２４の変形例である。この実施の形態のセンサ２４は第１の実施の形態と同様、投光器２５と受光器２６とからなるという点では同じであるが、第１の実施の形態とはこれら投光器２５と受光器２６との配置位置が相違している。
【００５０】
すなわち、図６と図７に示すように、搬送レール４の入口部分には、供給マガジン７から送り出されるリードフレーム１の上面側に対向するよう投光器２５が配置され、リードフレーム１の下面側で上記投光器２５に対向する位置には受光器２６が配置されている。なお、投光器２５はリードフレーム１の送り方向に沿って細長い断面形状の光線Ｌを出射し、受光器２６はその光線Ｌの断面形状に対応する細長い受光面２６ａを備えている。
【００５１】
供給マガジン７から送り出されたリードフレーム１は図７に鎖線で示すように投光器２５と受光器２６との間に入り込み、受光器２６が光線Ｌを受光するのを遮断する。供給マガジン７から送り出されたリードフレーム１は搬送レール４に受け渡され、この搬送レール４に設けられたローラ５（図１に示す）によって搬送される。
【００５２】
リードフレーム１が供給マガジン７から送り出されて搬送レール４に円滑に受け渡された場合と、送り不良が発生して受け渡しが円滑に行なわれない場合とでは、送り動作が開始されてからの経過する時間に対して受光器２６が受光する受光量の変化が異なる。
【００５３】
図８（ａ）はリードフレーム１が搬送レール４に円滑に受け渡された正常な場合の時間と受光量の変化を示しており、同図（ｂ）は送り不良が発生した場合の時間と受光量の変化を示している。
【００５４】
図８（ａ）に示すように、送り出しが円滑に行なわれている場合には、送り出し動作が開始されてからｔ１  時間が経過すると、リードフレーム１が投光器２５と受光器２６との間に入り込む。それによって、受光器２６の受光量が減少し始める。ｔ２  時間が経過し、リードフレーム１が投光器２５からの光線を全て遮断すると、受光量が０となる。
【００５５】
これに対し、図８（ｂ）に示すように、送り出しが円滑に行なわれない場合には、送り出し動作が開始されてからｔ１  時間が経過すると、リードフレーム１が投光器２５と受光器２６との間に入り込む。それによって、受光器２６の受光量が減少し始める。しかしながら、リードフレーム１の搬送が時間ｔ１  ´でたとえば搬送レール４によって阻害され、送り不良が生じると、受光量は時間ｔ１  ´まででは減少するが、その後は減少せず、時間ｔ２  が経過しても、リードフレーム１の先端部によって投光器２５からの光線Ｌを全て遮断できない状態となる。つまり、ｔ２  時間が経過しても、受光器２６は受光し続けることになる。
【００５６】
したがって、プッシャ２２によってリードフレーム１の送り出しを開始してからの時間の経過と受光器２６による受光量との関係によって、リードフレーム１に送り不良が発生したか否かを検出することができる。すなわち、送り出しを開始してからの受光器２６による受光量を計測することで、送り出し不良が生じたか否かを判定することができる。
【００５７】
先端部が搬送レール４に受け渡されたリードフレーム１はローラ５によって搬送レール４に沿って搬送される。したがって、リードフレーム１が搬送レール４に沿って円滑に搬送されれば、図８（ａ）に示すように、時間ｔ２  で受光器２６の受光量が０になった後、リードフレーム１が投光器２５からの光線Ｌが遮断されている時間ｔ３  までは受光量が０になる。
【００５８】
そして、時間ｔ３  が経過して受光器２６によって投光器２５からの光線Ｌが受光され始めると、受光量が徐々に増加する。そして、時間ｔ４  でリードフレーム１が投光器２５と受光器２６との間から抜け出ると、受光量が一定になる。
【００５９】
しかしながら、搬送レール４に受け渡されたリードフレーム１がこの搬送レール４で送り不良が発生すると、リードフレーム１によって受光器２６での受光が遮断された状態が継続するから、時間ｔ３  が経過しても、受光器２６の受光量が増大しなかったり、わずかに増大した後、時間ｔ４  になる前に受光量が増大しなくなったりする。
【００６０】
また、リードフレーム１が搬送レール４の入口付近の手前で送り不良が発生すると、リードフレーム１によって受光器２６での受光が遮断されず、受光量が一定となることが継続する。すなわち、時間ｔ１  が経過しても受光器２６の受光量が減少しなかったり、わずかに減少した後に、ｔ２  になる前に受光量が減少しなくなったりする。
【００６１】
したがって、この実施の形態によれば、供給マガジン７からリードフレーム１が送り出されたかと、供給マガジン７から送り出されたリードフレーム１が搬送レール４に受け渡されたか否かと、搬送レール４に受け渡されたリードフレーム１がこの搬送レール４に沿って円滑に搬送されているか否かとを検出することができる。
【００６２】
なお、上記第２、第３の実施の形態においても、第１の実施の形態と同様、投光器２５からの光線Ｌを受光する受光器２６には光量検出器２８と判定器２９とが順次接続されていて、この判定器２９の判定に基づいてリードフレーム１の送り動作が停止されるようになっている。
【００６３】
また、第３の実施の形態では、判定器２９には設定値Ｓとして、送り出しが円滑に行なわれる場合の、プッシャ２２によってリードフレーム１の送り出しを開始してからの時間の経過と受光器２６による受光量との関係が設定されている。
【００６４】
第１の実施の形態ではボンディング装置としてダイボンディング装置を例にあげたが、リードフレームにチップが予めダイボンディングされていて、このチップの電極とリードフレームに形成された端子とをワイヤによって接続するワイヤボンディング装置にもこの発明を適用することができる。
【００６５】
また、実施の形態では可撓性板状部材としてリードフレームを例に説明したが、短尺状の薄いテープまたは薄いフィルムを供給する装置、たとえばフリップチップボンダ等にもこの発明を適用することができる。
【００６６】
なお、第２の実施の形態において、センサ２４の投光器２５を供給装置８の供給マガジン７のプッシャ２２側の一端面に対向して配置し、受光器２６を他端面に対向して配置して供給マガジン７内に位置するリードフレーム１の湾曲を検知し送り不良を検知したが、受光器２６を搬送レール４の入口よりさらに下流側に配置することで、一対の投光器２５、受光器２６によって、供給マガジン７内でのリードフレーム１の湾曲、リードフレーム１が搬送レール４へ受け渡される時の湾曲、及び搬送レール４に受け渡されたリードフレーム１がこの搬送レール４に沿って円滑に搬送されているか否かを検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】この発明の第１の実施の形態を示すダイボンディング装置の概略的構成図。
【図２】供給装置の平面図。
【図３】供給装置の供給マガジンの一部を断面した拡大図。
【図４】（ａ）はリードフレームが湾曲していないときの受光器の受光状態の説明図、（ｂ）はリードフレームが湾曲しているときの受光器の受光状態の説明図。
【図５】この発明の第２の実施の形態の供給装置を示す平面図。
【図６】この発明の第３の実施の形態を示す供給装置の平面図。
【図７】図６の供給装置に設けられる投光器と受光器を示す側面図。
【図８】（ａ）はリードフレームに送り不良が発生しないときの時間と受光器による受光量の関係を示す説明図、（ｂ）はリードフレームを搬送レールに受け渡す際に送り不良が生じたときの時間と受光器による受光量の関係を示す説明図。
【符号の説明】
【００６８】
１…リードフレーム、２…チップ、３…フィーダ、７…供給マガジン、８…供給装置、２２…プッシャ、２４…センサ、２５…投光器、２６…受光器、２８…光量検出器、２９…判定器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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