(57)【要約】【課題】ネットリスト情報を用いずに多電源の検証（電源ラインのショート、オープンの検証）を行う。【解決手段】自動配置配線ツール等を用いて多電源集積回路のレイアウトパターンデータを作成する（Ｓ１）。そして、このレイアウトパターンデータの検証を行う（Ｓ２）。この検証はＬＶＳ（Layout Versus Schematics）検証やパターンデザインルール検証である。そして、多電源ライン検証（電源ラインデータの抽出）を行う（Ｓ３）。これは、複数の電源ラインに対応する複数の電源端子のそれぞれにノードテキスト（ノード識別情報）を付与し、ノードテキストを基点に各電源端子に接続された各電源ラインを抽出するとともに、各電源ライン間のショート検証、オープン検証を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電源ラインを有する多電源集積回路のレイアウトパターンデータを作成するステップと、前記レイアウトパターンデータを検証するステップと、前記複数の電源ラインに対応する複数の電源端子のそれぞれにノードテキストを付与し、前記ノードテキストを基点に前記各電源端子に接続された各電源ラインを抽出するとともに、各電源ライン間のショート検証を行うことを特徴とする多電源集積回路の検証方法。
【請求項２】
前記ノードテキストを基点に同一の電源電圧が供給される２つの電源ラインを抽出し、これらの電源ライン間のオープン検証を行うことを特徴とする請求項１に記載の多電源集積回路の検証方法。
【請求項３】
前記電源ラインが複数のレイヤーを接続して構成される場合に、これらのレイヤーを同一の電源ラインの一部分として抽出することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の多電源集積回路の検証方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多電源集積回路の検証方法に関し、特に複数の電源ラインを有する多電源集積回路の電源ラインの検証方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に集積回路では単一電源（１つの電源電位Ｖｄｄと１つの接地電位Ｖｓｓ）が用いられていたが、近年では、多電源を使用した多電源集積回路が開発されている。この多電源集積回路では、例えばある回路ブロックには第１の電源ラインから第１の電源電位Ｖｄｄ１を供給し、他の回路ブロックには第２の電源ラインから第２の電源電位Ｖｄｄ２を供給する。あるいは、ある回路ブロックには第１の接地ラインから第１の接地電圧Ｖｓｓ１を供給し、他の回路ブロックには第２の接地ラインから第２の接地電位Ｖｓｓ２を供給する。
【０００３】
このような多電源集積回路のレイアウト検証方法について図４を参照して説明する。まず、自動配置配線ツール等を用いて多電源集積回路のレイアウトパターンデータを作成する（Ｓ１１）。そして、このレイアウトパターンデータの検証を行う（Ｓ１２）。この検証はＬＶＳ（Layout Versus Schematics）検証やパターンデザインルール検証である。ＬＶＳ検証は、レイアウトパターンデータと回路接続情報（ネットリスト情報）との照合検証である。多電源集積回路は多数のスタンダードセルを用いて構成されるが、一般にはスタンダードセル内にある電源ラインに対して用いられる電源名は１つであり（例えば、Ｖｄｄライン）、複数の電源毎に異なる電源ライン名を用いてのＬＶＳ検証を行うことができない。電源ライン名を複数使用してＬＶＳ検証を行うためには、そのようなＬＶＳ検証環境を整備しなければならない。そこで、目視により電源ラインの検図を行っていた。
【特許文献１】特開２００３−３４５８５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、目視による電源ラインの検図に多大の労力を要するとともに、完全では無いため、多電源集積回路が形成されたウエハー完成後に、電源ライン間のショート等が発覚するおそれがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
そこで、本発明の多電源集積回路の検証方法は、複数の電源ラインを有する多電源集積回路のレイアウトパターンデータを作成するステップと、前記レイアウトパターンデータを検証するステップと、前記複数の電源ラインに対応する複数の電源端子のそれぞれにノードテキストを付与し、前記ノードテキストを基点に前記各電源端子に接続された各電源ラインを抽出するとともに、各電源ライン間のショート検証を行うことを特徴とするものである。
【０００６】
また、上記構成に加えて、前記ノードテキストを基点に同一の電源電圧が供給される２つの電源ラインを抽出し、これらの電源ライン間のオープン検証を行うことを特徴とするものである。
【０００７】
さらに、上記構成に加えて、前記電源ラインが複数のレイヤーを接続して構成される場合に、これらのレイヤーを同一の電源ラインの一部分として抽出することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ネットリスト情報を用いずに多電源の検証（電源ラインのショート、オープンの検証）を行うことができ、電源ライン名を複数使用してＬＶＳ検証を行うためのＬＶＳ検証環境を新たに構築する必要がない。また、この検証と同時に複数の電源ラインのデータ（ＧＤＳデータ）の抽出が行えるので、これらの電源ラインを視覚的に把握することも容易にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
次に本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。まず、自動配置配線ツール等を用いて多電源集積回路のレイアウトパターンデータを作成する（Ｓ１）。そして、このレイアウトパターンデータの検証を行う（Ｓ２）。この検証はＬＶＳ（Layout Versus Schematics）検証やパターンデザインルール検証である。そして、多電源ライン検証（電源ラインデータの抽出）を行う（Ｓ３）。これは、複数の電源ラインに対応する複数の電源端子のそれぞれにノードテキスト（ノード識別情報）を付与し、ノードテキストを基点に各電源端子に接続された各電源ラインを抽出するとともに、各電源ライン間のショート検証、オープン検証を行うものである。
【００１０】
この多電源ライン検証について図２を参照しながら具体的に説明する。多電源集積回路１００の中で、２つの異なる電源Ｖｄｄ１，Ｖｄｄ２に着目する。１０は、Ｖｄｄ１が供給されるパッド（電源端子）であり、これに電源ライン１１が接続されている。また、２０，３０はＶｄｄ２が供給される２つのパッド（電源端子）であり、それぞれ電源ライン２１，３１が接続されている。ここで、それぞれのパッド１０，２０，３０にノードテキストが付与される。そして、これらのノードテキストを基点に各パッドに接続された各電源ライン１１，２１，３１を抽出する。また、異なる電源間、即ち、電源ライン１１と電源ライン２１，３１との間のショート検証（ショートチェック）が行われる。同じ電源間、即ち、電源ライン２１と３１については必要に応じてオープン検証、即ち、電源ライン２１と３１が途中で分離されていないかどうかを検証する。
【００１１】
ここで、各電源ライン１１，２１，３１はすべて同じレイヤー（例えば、多層配線における第１層配線）でもよいし、図３に示すように、異なるレイヤーが相互に接続されている場合でも、連続した電源ラインとして抽出され、検証される。
【００１２】
図３（ａ）は、パッド１０に、レイヤーの異なる３つのメタル電源ライン１１ａ，１１ｂ，１１ｃがビア１２ａ，１２ｂを介して接続されている場合を示しており、図３（ｂ）はメタル電源ライン１１ｄ，１１ｅがメタル以外のレイヤー（例えば、ポリシリコン層、拡散層）を介して接続されている場合を示している。
【００１３】
このように、本実施形態によれば、ネットリスト情報を用いずに多電源の検証（電源ラインのショート、オープンの検証）を行うことができ、電源ライン名を複数使用してＬＶＳ検証を行うためのＬＶＳ検証環境を新たに構築する必要がない。また、この検証と同時に複数の電源ラインのデータ（ＧＤＳデータ）の抽出が行えるので、これらの電源ライン１１，２１，３１を視覚的に把握することも容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係る多電源集積回路の検証方法を説明するフローチャートである。
【図２】多電源の検証方法を説明する図である。
【図３】多電源の検証方法を説明する図である。
【図４】従来の多電源集積回路の検証方法を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００１５】
１０，２０，３０  パッド
１１，２１，３１  電源ライン
１００  多電源集積回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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