(57)【要約】【解決手段】  フォトマスクブランクを収納して搬送する間に容器に与えられる加速度を、５０ｍｓｅｃ間の加速度が２５Ｇ未満となるように搬送中全体に亘って管理して搬送するフォトマスクブランクの搬送方法、及びフォトマスクブランクを収納して搬送する間に容器に与えられた加速度が、搬送中全体に亘るいずれかの５０ｍｓｅｃ間において２５Ｇ以上であった容器に収納されていたフォトマスクブランクを、パーティクルが増加したものとして選別するフォトマスクブランクの選別方法。【効果】  搬送中の振動や衝撃によりフォトマスクブランクに発生するパーティクルによる欠陥を可及的に防止して搬送すること、搬送中の振動や衝撃によりパーティクルが増加したフォトマスクブランクを欠陥検査することなく効率的に選別することができ、欠陥が極めて少ない高精度のフォトマスクブランクを提供できる。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトマスクブランクを収納する容器であって、四角箱形の容器の互いに対向する一対の壁部内面に、それぞれ合成樹脂製の支持部材と合成樹脂製のバネ部材とを設け、これら部材がフォトマスクブランクを押圧する弾発力によってフォトマスクブランクの互いに対向する一方の両側面を上記両部材によって支持することにより、フォトマスクブランクを収納する容器にフォトマスクブランクを収納して搬送する方法であって、
フォトマスクブランクを収納して搬送する間に容器に与えられる加速度を、５０ｍｓｅｃ間の加速度が２５Ｇ未満となるように搬送中全体に亘って管理して搬送することを特徴とするフォトマスクブランクの搬送方法。
【請求項２】
フォトマスクブランクを収納する容器であって、四角箱形の容器の互いに対向する一対の壁部内面に、それぞれ合成樹脂製の支持部材と合成樹脂製のバネ部材とを設け、これら部材がフォトマスクブランクを押圧する弾発力によってフォトマスクブランクの互いに対向する一方の両側面を上記両部材によって支持することにより、フォトマスクブランクを収納する容器に収納して搬送したフォトマスクブランクを選別する方法であって、
フォトマスクブランクを収納して搬送する間に容器に与えられた加速度が、搬送中全体に亘るいずれかの５０ｍｓｅｃ間において２５Ｇ以上であった容器に収納されていたフォトマスクブランクを、パーティクルが増加したものとして選別することを特徴とするフォトマスクブランクの選別方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路等の製造などに用いられるフォトマスクブランクの搬送方法及びフォトマスクブランクの選別方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ及びＬＳＩ等の半導体集積回路の製造をはじめとして、広範囲な用途に用いられているフォトマスクは、基本的には透光性基板上にクロムやモリブデンシリコンなどを主成分とする遮光膜を、所定のパターンに形成したものである。近年では半導体集積回路の高集積化などの市場要求に伴ってパターンの微細化が急速に進んできた。このパターンの微細化に伴い、微小な欠陥のないフォトマスクブランクを提供することが求められている。
【０００３】
これまでにも、フォトマスクブランクの製造工程、例えば、基板の上に膜を成膜する工程、成膜後の洗浄工程、レジスト塗布工程などにおいて発生する微小な欠陥を与えるパーティクルなどを低減する方法として様々な方法が提案され、欠陥が極めて少ないフォトマスクを製造し得る技術が確立されてきた。
【０００４】
しかしながら、このような方法で厳密に管理して製造された極めて欠陥の少ないフォトマスクブランクであっても、次工程であるフォトマスク製造工程に供する場合、一般的には、フォトマスクブランクを製造する工場からフォトマスクを製造する工場への搬送を伴うため、フォトマスクブランクを所定の容器に収納して搬送するが、この搬送の際に欠陥の増加が発生してしまい、その結果、フォトマスクの欠陥修正が必要になったり、欠陥により露光不良が発生したりしてしまうという問題が起こっていた。
【０００５】
例えば、フォトマスクブランクやレジスト膜を形成したフォトマスクブランクを輸送する際、専用容器にフォトマスクブランクを容器内で動かないように固定して収容し、この容器を遮光フィルムでシールし、外界からの空気汚染、水分や光を防ぐ。次いで、シールされた容器をクッション材で取り囲んでダンボール箱に入れて梱包し、更に、輸送目的地に応じて適当な荷姿で輸送する。この輸送の際には、容器やその中に収容されたフォトマスクブランクには振動が与えられるが、これらが過大な衝撃を受けると、フォトマスクブランクを収容した容器に付着している微細なパーティクル、レジスト膜を形成したフォトマスクブランクにあっては、その外周面に付着しているレジスト膜が脱落したものなどが、フォトマスクブランクのパターン形成面上のレジスト膜に付着して欠陥となる。このような現象が多数発生すると、製品として清浄なフォトマスクブランクを製造し、清浄な状態で出荷したにもかかわらず、納入先に到着したときには欠陥の多いフォトマスクブランクになってしまう。
【０００６】
特に、レジスト膜を形成したフォトマスクブランクは無欠陥であることが望ましく、パーティクルに対しては細心の注意が必要である。しかしながら、従来は、過大な衝撃を与えないようにしつつ、輸送中の振動をできるだけ抑えればよいことはわかっていたが、振動や衝撃による欠陥発生の程度が明らかではなかったため、振動や衝撃をどの程度に管理すればよいかがわからず、また、輸送されたフォトマスクブランクが、欠陥を増加させる程過大な衝撃を輸送中に受けたものであるかがわからないため、輸送後のフォトマスクブランクは、その輸送中の振動や衝撃の履歴にかかわらず、過大な衝撃を受けていないものも含めて全量欠陥検査をする必要があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、フォトマスクブランクを容器に収納して搬送する際に、搬送中の振動や衝撃によりフォトマスクブランクに発生するパーティクルによる欠陥を可及的に防止して搬送することができる方法、及び搬送中の振動や衝撃によりパーティクルが増加したフォトマスクブランクを欠陥検査することなく効率的に選別することができる方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、上記問題を解決するため鋭意検討を重ねた結果、四角箱形の容器の互いに対向する一対の壁部内面に、それぞれ合成樹脂製の支持部材と合成樹脂製のバネ部材とを設け、これら部材がフォトマスクブランクを押圧する弾発力によってフォトマスクブランクの互いに対向する一方の両側面を上記両部材によって支持することにより、フォトマスクブランクを収納する容器に収納して搬送する際に、フォトマスクブランクを収納して搬送する間に容器に与えられる加速度を、５０ｍｓｅｃ間の加速度が２５Ｇ未満となるように搬送中全体に亘って管理して搬送すれば、搬送中の振動や衝撃によりフォトマスクブランクに発生するパーティクルによる欠陥を可及的に防止して搬送することができること、更に、この搬送の際に、容器に与えられた加速度が、搬送中全体に亘るいずれかの５０ｍｓｅｃ間において２５Ｇ以上であった容器に収納されていたフォトマスクブランクを、パーティクルが増加したものとして選別すれば、搬送中の振動や衝撃によりパーティクルが増加したフォトマスクブランクを欠陥検査することなく効率的に選別することができることを見出し、本発明をなすに至った。
【０００９】
即ち、本発明は、以下のフォトマスクブランクの搬送方法及びフォトマスクブランクの選別方法を提供する。
請求項１：
フォトマスクブランクを収納する容器であって、四角箱形の容器の互いに対向する一対の壁部内面に、それぞれ合成樹脂製の支持部材と合成樹脂製のバネ部材とを設け、これら部材がフォトマスクブランクを押圧する弾発力によってフォトマスクブランクの互いに対向する一方の両側面を上記両部材によって支持することにより、フォトマスクブランクを収納する容器にフォトマスクブランクを収納して搬送する方法であって、
フォトマスクブランクを収納して搬送する間に容器に与えられる加速度を、５０ｍｓｅｃ間の加速度が２５Ｇ未満となるように搬送中全体に亘って管理して搬送することを特徴とするフォトマスクブランクの搬送方法。
請求項２：
フォトマスクブランクを収納する容器であって、四角箱形の容器の互いに対向する一対の壁部内面に、それぞれ合成樹脂製の支持部材と合成樹脂製のバネ部材とを設け、これら部材がフォトマスクブランクを押圧する弾発力によってフォトマスクブランクの互いに対向する一方の両側面を上記両部材によって支持することにより、フォトマスクブランクを収納する容器に収納して搬送したフォトマスクブランクを選別する方法であって、
フォトマスクブランクを収納して搬送する間に容器に与えられた加速度が、搬送中全体に亘るいずれかの５０ｍｓｅｃ間において２５Ｇ以上であった容器に収納されていたフォトマスクブランクを、パーティクルが増加したものとして選別することを特徴とするフォトマスクブランクの選別方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フォトマスクブランクを容器に収納して搬送する際に、搬送中の振動や衝撃によりフォトマスクブランクに発生するパーティクルによる欠陥を可及的に防止して搬送することができる。また、搬送中の振動や衝撃によりパーティクルが増加したフォトマスクブランクを欠陥検査することなく効率的に選別することができる。これにより、欠陥が極めて少ない高精度のフォトマスクブランクを提供することができ、これらから微細なパターンを有するフォトマスクを高精度に形成することができることから、微細なパターン露光が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態及び実施例】
【００１１】
以下、本発明につき、更に詳しく説明する。
本発明は、フォトマスクブランクを収納する容器であって、四角箱形の容器、好ましくは上方が開放した四角箱形の容器本体と、上記上方開放部を覆って容器本体上端部に着脱自在に被着される蓋体とを具備する容器の互いに対向する一対の壁部内面に、それぞれ合成樹脂製の支持部材と合成樹脂製のバネ部材とを設け、これら部材がフォトマスクブランクを押圧する弾発力によってフォトマスクブランクの互いに対向する一方の両側面を上記両部材によって支持することにより、フォトマスクブランクを収納する容器にフォトマスクブランクを収納して搬送する方法であり、フォトマスクブランクを収納して搬送する間に容器に与えられる加速度を、５０ｍｓｅｃ間の加速度が２５Ｇ（約２４５ｍ／ｓ2）未満となるように搬送中全体に亘って管理して搬送するものである。
【００１２】
また、本発明は、フォトマスクブランクを収納する容器であって、四角箱形の容器、好ましくは上方が開放した四角箱形の容器本体と、上記上方開放部を覆って容器本体上端部に着脱自在に被着される蓋体とを具備する容器の互いに対向する一対の壁部内面に、それぞれ合成樹脂製の支持部材と合成樹脂製のバネ部材とを設け、これら部材がフォトマスクブランクを押圧する弾発力によってフォトマスクブランクの互いに対向する一方の両側面を上記両部材によって支持することにより、フォトマスクブランクを収納する容器に収納して搬送したフォトマスクブランクを選別する方法であり、フォトマスクブランクを収納して搬送する間に容器に与えられた加速度が、搬送中全体に亘るいずれかの５０ｍｓｅｃ間において２５Ｇ（約２４５ｍ／ｓ2）以上であった容器に収納されていたフォトマスクブランクを、パーティクルが増加したものとして選別するものである。
【００１３】
本発明のいずれの方法においても、フォトマスクブランクには、パターン形成面にレジスト膜が形成されたフォトマスクブランク及びレジスト膜が形成されていないフォトマスクブランクの両方が含まれる。
【００１４】
本発明のいずれの方法においても、フォトマスクブランクは容器に収納されるが、これらの方法に好適な容器としては、図１〜４に示されるような容器が挙げられる。この容器は、６インチ角のフォトマスクブランクの収納容器を示すものである。この容器１は、内部にガイド部材２１１，２１１と支持部材２１２，２１２とを備え、上下方向中央部より上部が中央部及び下部より横方向（前後左右方向）に幅広に形成された上方が開放した高さが約４．２５インチ（約１０８．０ｍｍ）程度の四角箱形の容器本体１１と、内部に２つのバネ部材２２，２２を備える高さが３．２５インチ（約８２．６ｍｍ）程度の四角箱形の蓋体１２とからなる。そして、容器本体１１と蓋体１２とは、蓋体１２を容器本体１１に被着させたときに、容器本体１１の上部外側面と蓋体１２の下部内側面とが接触する大きさに形成されている。
【００１５】
容器本体１１には、フォトマスクブランクｐの４つの外周面のうち任意の一組の平行面（一方の平行面）に沿った周縁部が挿入されるガイド溝２１１ｃ（後述する）が設けられた合成樹脂からなる板状のガイド部材２１１，２１１が、容器本体１１の内部から上方へ突出するように対向する一対の内面に接着して設けられると共に、容器本体１１の内底面中央部には、フォトマスクブランクｐの上記一方の平行面に対する他方の平行面の一方の面側でフォトマスクブランクｐと当接して支持する合成樹脂からなるレール状の支持部材２１２，２１２が、ガイド部材２１１，２１１から所定の距離をおいて平行に配設されている。
【００１６】
また、ガイド部材２１１，２１１の内側面２１１ａ，２１１ａの間隔は６インチより狭く（１６ｍｍ程度狭く）形成されると共に、内側面２１１ａ，２１１ａには、対向する複数組（図の場合は５組）の断面コ字状の溝２１１ｃ，２１１ｃが、内側面２１１ａ，２１１ａの上下端に亘って形成されている。更に、この溝２１１ｃ，２１１ｃは、幅がフォトマスクブランクｐの厚さより若干広く、また深さが、対向する各々の溝２１１ｃ，２１１ｃの底面の間隔が６インチよりやや広く（０．６ｍｍ程度広く）なるように形成されている。
【００１７】
そして、容器１にフォトマスクブランクｐを収納する際、フォトマスクブランクｐは、フォトマスクブランクｐの４隅のうちの隣接する２隅を溝２１１ｃ，２１１ｃに合わせ、溝２１１ｃ，２１１ｃの上端から溝２１１ｃ，２１１ｃにガイドされて挿入される。これにより、フォトマスクブランクｐは、溝２１１ｃ，２１１ｃにガイドされて、フォトマスクブランクｐの上記一方の平行面に対する他方の平行面の一方の面側で、レール状の支持部材２１２，２１２と当接する位置まで挿入される。一方、支持部材２１２，２１２には、各々溝２１１ｃ，２１１ｃと同じ間隔で、底面２１２ｂと底面２１２ｂから上方に傾斜して設けられたテーパ面２１２ｄ，２１２ｄとからなる支持溝２１２ｃ（図の場合は、支持部材２１２の１本につき５つ）が設けられ、フォトマスクブランクｐは、一方の平行面に対する他方の平行面の一方の面側において、この面のフォトマスクブランクｐの厚さ方向で対向する２辺とテーパ面２１２ｄ，２１２ｄとが各々当接するようになっている。
【００１８】
一方、蓋体１２は、上記容器本体１１の上方開放部を覆って容器本体上端部に着脱自在に被着され、蓋体１２内部には、蓋体１２を容器本体１１に被着したときに、ガイド部材２１１，２１１の上方となる位置に、合成樹脂からなる２つのバネ部材２２，２２が各々設けられている。このバネ部材２２，２２は図５に示されるように、上板２２１と、この上板２２１の一端から上板２２１の下面に対する鉛直方向から角度θ2（図５の場合約１５°）に上板２１１から離間する方向へ傾斜するように等間隔に設けられた長さ１インチ程度の複数の側板２２２（図の場合は５つ）と上板２２１と側板２２２とが交差する位置から上板２２１とは反対の方向に等間隔に設けられたフォトマスクブランクｐの厚さよりやや幅広で、長さが１インチ程度の複数の支持片２２３（図の場合は５つ）とからなり、支持片２２３は上板２２１の上面に対して角度θ1（図５の場合約１５°）下方に傾けて配設されている。この場合、２つのバネ部材２２，２２は、支持片２２３，２２３を向かい合わせて、各々の側板２２２，２２２の先端間の間隔が６インチよりやや広く（２．５ｍｍ程度広く）なるようにして、各々の上板２２１，２２１の上面を蓋体１２の天板の内面に接着させて、蓋体１２の内部に取り付けられている。
【００１９】
そして、バネ部材２２，２２の側板２２２，２２２と支持片２２３，２２３とは、蓋体１２を容器本体１１に被着させたときに、上述したガイド部材２１１，２２１に形成された溝２１１ｃ，２１１ｃの上方に各々が位置するように等間隔に形成され、また、この支持片２２３，２２３の先端の幅方向両端部には、係止爪２２３ａ，２２３ａがフォトマスクブランクｐの厚さとほぼ同じ間隔で離間させて、下方に向けて設けられており、蓋体１２を容器本体１１に被着させたとき、ガイド部材２１１，２１１の溝２１１ｃ，２１１ｃに挿入されなかった２隅近傍が、この係止爪２２３ａ，２２３ａの間に挿入され、係止爪２２３ａ，２２３ａによりフォトマスクブランクｐの厚さ方向の動きが規制されるようになっている。
【００２０】
更に、蓋体１２を容器本体１１に被着させたときに、このバネ部材２２の支持片２２３は、その先端部と、上述したフォトマスクブランクｐの上記他方の平行面の他方の面（支持部材２１２のテーパ面２１２ｄ，２１２ｄと当接した２辺を有する一方の面に対する他方の面）と当接するようになっている。
【００２１】
なお、蓋体１２の対向する一組の内側面の下端中央部には、蓋体１２の内方に向けて各々係止片１２１，１２１が設けられており、この係止片１２１，１２１は、蓋体１２を容器本体１１に被着させたときに、容器本体１１の幅広に形成された上部の対向する一組の外側面の下端中央部に設けられた係止溝１１２，１１２に係合し、蓋体１２が容器本体１１にロックされて固定されるようになっている。
【００２２】
次に、この容器にフォトマスクブランクを支持して収納する方法について説明する。
まず、上述した容器本体１１のガイド部材２１１，２１１に、フォトマスクブランクｐを、その４隅のうちの隣接する２隅を溝２１１ｃ，２１１ｃに合わせて、溝２１１ｃ，２１１ｃの上端から溝２１１ｃ，２１１ｃに挿入する。次いで、蓋体１２を容器本体１１に被着させるが、この際、蓋体１２に設けられた係止片１２１，１２１の間隔は容器本体１１上部の外壁よりも狭くなっているため、容器本体１１は、蓋体１２の係止片１２１，１２１の間隔を若干押し広げるようにして蓋体１２内部に押し込まれる。
【００２３】
容器本体１１が更に押し込まれると、フォトマスクブランクｐのガイド部材２１１，２１１の溝２１１ｃ，２１１ｃに挿入されなかった２つの隅が、各々支持片２２３，２２３の各々の先端に設けられた係止爪２２３ａ，２２３ａ間に挿入されると共に、フォトマスクブランクｐの上記他方の平行面の他方の面が支持片２２３，２２３の先端に当接する。この状態から容器本体１１が更に押し込まれると、支持片２２３，２２３が上方に弾性変形すると共に、フォトマスクブランクｐに対して弾発力が生じ、この弾発力によって、収納されたフォトマスクブランクｐは、支持部材２１２，２１２とバネ部材２２，２２の支持片２２３，２２３とによって、フォトマスクブランクｐの互いに対向する両側面（上記他方の平行面）側から各々押圧され、挟持されて支持されると共に、支持片２２３，２２３が弾性変形し上方に撓むことにより、側板２２２，２２２の先端が、各々内側に移動してそれらの距離が狭まり、フォトマスクブランクｐの互いに対向するもう１つの両側面（上記一方の平行面）と当接してフォトマスクブランクｐを挟持する。
【００２４】
そして、蓋体１２の移動端において、フォトマスクブランクｐが、バネ部材２２，２２の支持片２２３，２２３、更には側板２２２，２２２により、溝２１１ｃ，２１１ｃに挿入されなかった２隅近傍において支持されると共に、蓋体１２に設けられた係止片１２１，１２１が容器本体１１に設けられた係止溝１１２，１１２に係合し、蓋体１２が容器本体１１にロックされて、支持片２２３，２２３の弾発力が固定され、フォトマスクブランクｐの互いに対向する一方の両側面（上記他方の平行面）側から、支持部材２１２，２１２と支持片２２３，２２３とにより各々押圧され、挟持されて支持される。
【００２５】
本発明の搬送方法においては、上述したような容器にフォトマスクブランクを収納して搬送するが、この場合、フォトマスクブランクを収納して搬送する間に容器に与えられる加速度を、５０ｍｓｅｃ間の加速度が２５Ｇ未満となるように搬送中全体に亘って管理して搬送する。具体的には、例えば、容器又は容器を更に梱包したダンボール箱などに、所定の時間に所定値を超える加速度が与えられたときにインジケーターが変色するショックウォッチラベルを貼付し、搬送中に５０ｍｓｅｃ間の加速度が２５Ｇ以上とならないように、即ち、インジケーターが変色しないように搬送する。このようなショックウォッチラベルとしては、住友３Ｍ社製  ショックウォッチラベルＬ−６５等の市販品を使用できる。このように加速度を管理して搬送することにより、搬送中の振動や衝撃によりフォトマスクブランクに発生するパーティクルによる欠陥を可及的に防止することができる。
【００２６】
また、本発明の選別方法においては、上述したような容器にフォトマスクブランクを収納して搬送したフォトマスクブランクを選別するが、この場合、フォトマスクブランクを収納して搬送する間に容器に与えられた加速度が、搬送中全体に亘るいずれかの５０ｍｓｅｃ間において２５Ｇ以上であった容器に収納されていたフォトマスクブランクを、パーティクルが増加したものとして選別する。具体的には、容器又は容器を更に梱包したダンボール箱などに、所定の時間に所定値を超える加速度が与えられたときにインジケーターが変色するショックウォッチラベルを貼付し、搬送中に５０ｍｓｅｃ間の加速度が２５Ｇ以上となったもの、即ち、インジケーターが変色したものを、パーティクルが増加したものとして選別する。このようなショックウォッチラベルとしては、上記した市販品を使用できる。このような方法で過大な衝撃を受けたものを選別すれば、搬送中の振動や衝撃によりパーティクルが増加したフォトマスクブランクを欠陥検査することなく効率的に選別することができる。
【００２７】
なお、本発明の搬送方法及び選別方法を好適に適用し得る容器の一例として、図１〜４に示されるような容器を提示したが、上記図示されたような容器に限定されるものではなく、その構成は、本発明の要旨を変更しない範囲で適宜変更することが可能である。
【００２８】
以下、本発明について、実験例を挙げて更に詳しく説明する。
【００２９】
［実験例１］
６インチ角石英基板に７０．０ｎｍのクロム遮光膜をスパッタリングにより形成し、更にその上に４００．０ｎｍの露光用レジストを塗布したフォトマスクブランクのパーティクル数を日立電子エンジニアリング（株）製のＧＭ−１０００検査機で測定（以下例のパーティクル数の測定において同じ）し、これを洗浄した図１〜４に示されるような容器に５枚収納した。次いで、容器を透明樹脂フィルム及びアルミニウムフィルムで二重包装し、これを、発泡性クッション材を内面に設けたダンボール箱に入れ、テーピングして梱包した。このダンボール箱の外面には、住友３Ｍ製ショックウォッチラベルＬ−６５を貼付した。このラベルは、５０ｍｓｅｃの間、２５Ｇ（約２４５ｍ／ｓ2）以上の加速度が与えられると、インジケーターが赤く発色する。
【００３０】
次に、このフォトマスクブランクを収納した容器を梱包したダンボール箱を落下させ、インジケーターが発色する最低限の高さを調べたところ５０ｃｍであった。そこで高さ５０ｃｍからフォトマスクブランクを収納した容器を梱包したダンボール箱を１０回落下させた。ショックウォッチラベルはこの操作によって赤色に発色した。上記操作後のフォトマスクブランク上のパーティクル数を測定した。パーティクル数の落下操作前後の増加数（平均値）を表１に示す。
【００３１】
［実験例２］
フォトマスクブランクを、レジストを塗布していないものに代えた以外は実験例１と同様の方法で落下操作前後のフォトマスクブランク上のパーティクル数を測定した。パーティクル数の落下操作前後の増加数（平均値）を表１に示す。
【００３２】
［実験例３］
実験例１と同様にレジストを塗布したフォトマスクブランクを容器に収納し、その容器をダンボール箱に梱包し、同様にショックウォッチラベルを貼付したものについて、１．５ｃｍ振幅で２〜５５Ｈｚの振幅を連続的に１ｍｉｎ与える振動操作を１サイクルとして、計１０サイクル繰返した。ショックウォッチラベルはこの操作によっては発色しなかった。上記操作後のフォトマスクブランク上のパーティクル数を測定した。パーティクル数の振動操作前後の増加数（平均値）を表１に示す。
【００３３】
［実験例４］
フォトマスクブランクを、レジストを塗布していないものに代えた以外は実験例３と同様の方法で振動操作前後のフォトマスクブランク上のパーティクル数を測定した。パーティクル数の振動操作前後の増加数（平均値）を表１に示す。
【００３４】
【表１】
2005283999.tif 000002
【００３５】
［実験例５］
実験例１と同様にレジストを塗布したフォトマスクブランクを容器に収納し、その容器をダンボール箱に梱包し、同様にショックウォッチラベルを貼付したもの２個について、距離約５，０００ｋｍ間の往復輸送（トラック及び航空機）を行ったところ、２個のうち１個のショックウォッチラベルが赤色に変色していた。
【００３６】
次に、ショックウォッチラベルが変色していなかったダンボール箱内のフォトマスクブランクとショックウォッチラベルが変色していなかったダンボール箱内のフォトマスクブランクについて、各々フォトマスクブランク上のパーティクル数を測定した。パーティクル数の輸送前後の増加数（平均値）を表２に示す。
【００３７】
［実験例６］
実験例２と同様にレジストを塗布していないフォトマスクブランクを容器に収納し、その容器をダンボール箱に梱包し、同様にショックウォッチラベルを貼付したもの２個について、距離約５，０００ｋｍ間の往復輸送（トラック及び航空機）を行ったところ、２個のうち１個のショックウォッチラベルが赤色に変色していた。
【００３８】
次に、ショックウォッチラベルが変色していなかったダンボール箱内のフォトマスクブランクとショックウォッチラベルが変色していなかったダンボール箱内のフォトマスクブランクについて、各々フォトマスクブランク上のパーティクル数を測定した。パーティクル数の輸送前後の増加数（平均値）を表２に示す。
【００３９】
【表２】
2005283999.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の方法を好適に適用し得るフォトマスクブランクの収納容器であって、フォトマスクブランクを収納した状態を示す横断面図であり、（Ａ）は図３（Ａ）中のＺ１−Ｚ１線に沿った断面図、（Ｂ）は図３（Ａ）中のＺ２−Ｚ２線に沿った断面図である。
【図２】本発明の方法を好適に適用し得るフォトマスクブランクの収納容器であって、フォトマスクブランクを収納した状態を示す縦断面図であり、（Ａ）は図１（Ａ）中のＸ１−Ｘ１線に沿った断面図、（Ｂ）は図１（Ａ）中のＸ２−Ｘ２線に沿った断面図である。
【図３】本発明の方法を好適に適用し得るフォトマスクブランクの収納容器であって、フォトマスクブランクを収納した状態を示す縦断面図であり、（Ａ）は図１（Ａ）中のＹ１−Ｙ１線に沿った断面図、（Ｂ）は図１（Ａ）中のＹ２−Ｙ２線に沿った断面図である。
【図４】本発明の方法を好適に適用し得るフォトマスクブランクの収納容器であって、（Ａ）は図２（Ａ）のフォトマスクブランクを収納して閉止する前の状態を示す縦断面図、（Ｂ）は図３（Ｂ）のフォトマスクブランクを収納して閉止する前の状態を示す縦断面図である。
【図５】図１〜４に示される収納容器のバネ部材を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  容器
１１  容器本体
１２  蓋体
２１１  ガイド部材
２１２  支持部材
２２  バネ部材
２２１  上板
２２２  側板
２２３  支持片
ｐ  フォトマスクブランク
【図１】
2005283999.tif 000004
【図２】
2005283999.tif 000005
【図３】
2005283999.tif 000006
【図４】
2005283999.tif 000007
【図５】
2005283999.tif 000008