(57)【要約】【課題】テープ体の表面における僅かな凹凸も確実かつ容易に検出し得るテープ体検査装置を提供する。【解決手段】磁気テープ１０を長手方向に沿って移動させる移動機構と、長手方向に移動している磁気テープ１０の磁性面１０ａ側から磁気テープ１０に照射された検査光Ｌａのうちの磁気テープ１０で反射した反射光Ｌｂ、および磁気テープ１０の裏面１０ｂ側から磁気テープ１０に照射された第２検査光としての反射光Ｌｄのうちの磁気テープ１０を透過した透過光Ｌｅを受光するＣＣＤカメラ７ｂと、ＣＣＤカメラ７ｂによって受光された反射光Ｌｂおよび透過光Ｌｅの光強度に基づいて磁気テープ１０を検査する検査部とを備えている。【選択図】図５
2005283436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ体を長手方向に沿って移動させる移動機構と、
前記長手方向に移動している前記テープ体の一面側から当該テープ体に照射された第１検査光のうちの当該テープ体で反射した反射光、および当該テープ体の他面側から当該テープ体に照射された第２検査光のうちの当該テープ体を透過した透過光を受光する受光部と、
前記受光部によって受光された前記反射光および前記透過光の光強度に基づいて前記テープ体を検査する検査部とを備えているテープ体検査装置。
【請求項２】
前記長手方向に移動している前記テープ体を張架可能に当該長手方向に沿って配置された一対の支持部と、当該一対の支持部の間に配設された反射ミラーとを有するテープ体支持具を備え、
前記反射ミラーは、前記テープ体の前記一面に照射されている前記第１検査光のうちの当該テープ体を透過した光の一部または全部を前記第２検査光として反射する請求項１記載のテープ体検査装置。
【請求項３】
前記反射ミラーは、その反射面が前記長手方向に沿った中央部に向かうに従って前記張架されているテープ体側に徐々に突出する曲面に形成されている請求項２記載のテープ体検査装置。
【請求項４】
前記反射ミラーは、前記長手方向と直交する方向に沿った幅が前記テープ体の幅よりも短く形成されている請求項２または３記載のテープ体検査装置。
【請求項５】
前記長手方向に移動している前記テープ体を張架可能に当該長手方向に沿って配置された一対の支持部と、当該一対の支持部の間に形成された孔または隙間とを有するテープ体支持具を備え、
前記一対の支持部に前記他面を当接させて張架した前記テープ体の当該他面に対して前記孔または隙間を介して前記第２検査光を照射させる請求項１記載のテープ体検査装置。
【請求項６】
テープ体を長手方向に沿って移動させつつ当該テープ体の一面側から第１検査光を照射すると共に当該テープ体の他面側から第２検査光を照射し、前記第１検査光のうちの前記テープ体で反射した反射光、および前記第２検査光のうちの当該テープ体を透過した透過光を受光し、前記受光した反射光および前記透過光の光強度に基づいて前記テープ体を検査するテープ体検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査光を照射してテープ体を検査するテープ体検査装置およびテープ体検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のテープ体検査装置として、特開平８−２０１３０９号公報に開示された磁気テープ検査装置が知られている。この磁気テープ検査装置は、長手方向に沿って移動させている磁気テープの表面にセンサヘッドからの光を照射して、磁気テープの表面で反射した反射光をフォトディテクタ等の検出手段を用いて検出し、その検出した反射光の光強度変化に基づいて磁気テープの表面における欠陥（傷、汚れ、形状不良および異物等）の有無を検査可能に構成されている。
【特許文献１】特開平８−２０１３０９号公報（第３頁、第６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、従来の磁気テープ検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この磁気テープ検査装置では、磁気テープの一面側から照射した光の反射光の光強度変化のみに基づいて欠陥の有無を検査している。しかしながら、例えば、磁気テープに磁性層の塗布むらが存在するときには、その塗布むらが目視による磁気テープ表面の観察では容易に発見可能な重欠陥であるにも拘わらず、凹凸が僅かなために、照射した光の反射光の光強度変化も極めて僅かとなることがあり、このようなときには、反射光の光強度変化を検出し難くなることが発明者の実験によって明らかとなっている。このため、従来の磁気テープ検査装置を用いてこのような僅かな凹凸を検出する際には、反射光の光強度変化の検出に高度なデータ処理が必要となり、検査が煩雑になるという問題点が存在する。また、例えば、上記のような僅かな凹凸（凹部または凸部）が長手方向に沿って帯状に連続して存在するときには、その凹部または凸部における反射光の強度がテープ体の長手方向に沿って殆ど変化しないことも発明者の実験によって明らかとなっている。したがって、この種の欠陥の検出にはさらに高度なデータ処理が必要となり、検査がさらに煩雑になるという問題点が存在する。
【０００４】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、テープ体の表面における僅かな凹凸も確実かつ容易に検出し得るテープ体検査装置およびテープ体検査方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく本発明に係るテープ体検査装置は、テープ体を長手方向に沿って移動させる移動機構と、前記長手方向に移動している前記テープ体の一面側から当該テープ体に照射された第１検査光のうちの当該テープ体で反射した反射光、および当該テープ体の他面側から当該テープ体に照射された第２検査光のうちの当該テープ体を透過した透過光を受光する受光部と、前記受光部によって受光された前記反射光および前記透過光の光強度に基づいて前記テープ体を検査する検査部とを備えている。
【０００６】
この場合、前記長手方向に移動している前記テープ体を張架可能に当該長手方向に沿って配置された一対の支持部と、当該一対の支持部の間に配設された反射ミラーとを有するテープ体支持具を備え、前記反射ミラーが、前記テープ体の前記一面に照射されている前記第１検査光のうちの当該テープ体を透過した光の一部または全部を前記第２検査光として反射する構成を採用することができる。
【０００７】
また、前記反射ミラーの反射面が前記長手方向に沿った中央部に向かうに従って前記張架されているテープ体側に徐々に突出する曲面に形成されている構成を採用することもできる。
【０００８】
また、前記長手方向と直交する方向に沿った前記反射ミラーの幅が前記テープ体の幅よりも短く形成されている構成を採用することもできる。
【０００９】
また、前記長手方向に移動している前記テープ体を張架可能に当該長手方向に沿って配置された一対の支持部と、当該一対の支持部の間に形成された孔または隙間とを有するテープ体支持具を備え、前記一対の支持部に前記他面を当接させて張架した前記テープ体の当該他面に対して前記孔または隙間を介して前記第２検査光を照射させる構成を採用することもできる。
【００１０】
また、本発明に係るテープ体検査方法は、テープ体を長手方向に沿って移動させつつ当該テープ体の一面側から第１検査光を照射すると共に当該テープ体の他面側から第２検査光を照射し、前記第１検査光のうちの前記テープ体で反射した反射光、および前記第２検査光のうちの当該テープ体を透過した透過光を受光し、前記受光した反射光および前記透過光の光強度に基づいて前記テープ体を検査する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係るテープ体検査装置およびテープ体検査方法によれば、テープ体の一面側から照射した第１検査光の反射光とテープ体の他面側から照射した第２検査光の透過光とを受光して、受光した反射光および透過光の光強度に基づいてテープ体を検査することにより、テープ体の表面に欠陥が存在するときに、第１検査光の反射光の光強度変化が僅かであったとしても、第２検査光の透過光の光強度変化に基づいて検査することができる。したがって、テープ体の表面に存在する欠陥が僅かな凹凸であったとしても、この欠陥に起因する反射光および透過光の光強度変化量が容易に検出可能な量となるため、このような僅かな凹凸も確実かつ容易に検出することができる。このため、テープ体の表面に僅かな凹部または凸部が長手方向に沿って帯状に連続して存在するときにおいても、凹部または凸部における反射光の強度と他の部位における反射光の強度とが明確に異なる結果、この帯状に連続する凹部または凸部を確実かつ容易に検出することができる。
【００１２】
また、本発明に係るテープ体検査装置によれば、テープ体支持具の反射ミラーがテープ体の一面に照射されている第１検査光のうちのテープ体を透過した光を第２検査光として反射することにより、単一の光源を用いてテープ体の一面側および他面側から両面に検査光を照射することができるため、テープ体検査装置を小形に構成することができる。
【００１３】
また、本発明に係るテープ体検査装置によれば、反射ミラーの反射面をテープ体の長手方向に沿った中央部に向かうに従ってテープ体側に徐々に突出する曲面に形成したことにより、テープ体を透過した第１検査光の透過光をテープ体に向けて確実に反射させることができるため、テープ体に欠陥が存在していた際に、テープ体を再度透過した透過光を受光部に対して確実に入射させることができる結果、検査精度を十分に向上させることができる。
【００１４】
また、本発明に係るテープ体検査装置によれば、テープ体の長手方向と直交する方向に沿った長さがテープ体の幅よりも短くなるように反射ミラーを形成したことにより、例えば、検査中においてテープ体支持具の両支持部に対してテープ体がその幅方向に沿って相対的に若干移動したとしても、第１検査光が反射ミラーに直接照射されてその反射光が受光部に直接入光する事態を確実に防止することができる。したがって、検査精度の低下の要因となる反射光の受光部への直接の入射を避けることができる結果、反射光の入光に起因する検査精度の低下を確実に防止することができる。
【００１５】
また、本発明に係るテープ体検査装置によれば、テープ体支持具における両支持部の間に形成された孔または隙間を介して第２検査光をテープ体に照射させることにより、ビーム状の第２検査光をテープ体に照射させることができる。したがって、例えば、テープ体を透過した第２検査光の正透過光の光軸と受光部の光軸とを異ならせることができるため、検査精度の低下の要因となる正透過光の受光部への直接の入射を避けることができる結果、正透過光の入光に起因する検査精度の低下を確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るテープ体検査装置およびテープ体検査方法の最良の形態について説明する。
【００１７】
最初に、テープ検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１８】
テープ検査装置１は、本発明に係るテープ体検査装置の一例であって、図１に示すように、移動機構２、支持機構４、エア供給部５、光学系６、計測部８および制御部９を備え、本発明に係るテープ体検査方法に従って磁気テープ１０を検査可能に構成されている。この場合、磁気テープ１０は、本発明におけるテープ体の一例であって、支持体としてのベースフィルムの表面に磁性層が形成されて構成されている。また、磁気テープ１０は、一例として厚みが１０μｍ程度で長さが６００ｍ程度に形成されている。
【００１９】
移動機構２は、図１に示すように、テープ検査装置１の検査対象である磁気テープ１０が巻回された送り側リール３ａと、テープ検査装置１による検査が完了した磁気テープ１０を巻回する巻取り側リール３ｂとを回転させることによって磁気テープ１０をその長手方向（同図に示す矢印の向き）に沿って移動させるモータ（図示せず）を備えて構成されている。支持機構４は、図２，３に示すように、ガイド部材１１ａ，１１ｂ、およびガイド部材１１ａ，１１ｂの間に配設された支持具（テープ体支持具）１２を備えて、磁気テープ１０を長手方向に移動可能に支持する。ガイド部材１１ａ，１１ｂ（以下、区別しないときには「ガイド部材１１」ともいう）は、筒状に形成されると共にその表面に多数のエア吹出し細孔が形成されて構成され、エア供給部５によって供給されるエア（圧縮空気）を吐出して磁気テープ１０との間に空気の層を形成することで磁気テープ１０を非接触の状態で支持する。
【００２０】
支持具１２は、図４に示すように、ベース部２１と、ベース部２１上に立設された支持部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂと、支持部２２ａ，２２ｂの間に配設された反射ミラー２４とを備えて構成されている。この場合、ベース部２１および支持部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂは、例えばセラミックによって一体形成されている。支持部２２ａ，２２ｂ（以下、区別しないときには「支持部２２」ともいう）は、本発明における一対の支持部に相当し、一例として、その厚みＴが１．５ｍｍの壁状に形成されて、距離Ｌ１（一例として、２．５ｍｍ程度）だけ離間して互いに対向し、かつ、その長手方向に移動している磁気テープ１０を張架可能にその長手方向に沿うようにして配置されている。この場合、両支持部２２ａ，２２ｂ間の距離Ｌ１を２．０ｍｍ未満としたときには、磁気テープ１０における両支持部２２ａ，２２ｂで張架された部位に後述する検査光Ｌａを照射するのが困難となる。また、３．０ｍｍを超えて両支持部２２ａ，２２ｂを離間させたときには、磁気テープ１０を高速移動させた際に両支持部２２ａ，２２ｂの間において磁気テープ１０に小さな振動が発生するおそれがある。したがって、距離Ｌ１が２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下の範囲内となるように両支持部２２ａ，２２ｂを離間して配置するのが好ましい。
【００２１】
支持部２３ａ，２３ｂ（以下、区別しないときには「支持部２３」ともいう）は、一例として、その厚みＴが１．５ｍｍの壁状に形成されている。また、支持部２３は、支持部２２と比較して、高さＨ１（一例として０．２ｍｍ）だけ低背に形成されている。この場合、各支持部２３は、支持部２２に対してそれぞれ距離Ｌ２（一例として、１．６ｍｍ程度）だけ離間するように、その各壁面が支持部２２ａ，２２ｂの各壁面と対向するようにして配置されている。この支持部２３は、磁気テープ１０の表面に当接することにより、ガイド部材１１と支持具１２の支持部２２との間において磁気テープ１０に発生する振動の両支持部２２ａ，２２ｂ間への伝搬を回避（軽減）する。
【００２２】
反射ミラー２４は、一例として、アルミニウムで構成されて、図５に示すように、その反射面２４ａが磁気テープ１０の長手方向に沿った中央部（同図の左右方向における中央部）に向かうに従って磁気テープ１０側に徐々に突出する曲面に形成されている。この場合、反射面２４ａには、酸化防止用のコーティング処理が施されている。また、反射ミラー２４は、その厚みが支持部２２ａと支持部２２ｂとの距離Ｌ１と同じ２．５ｍｍ程度に形成されている。また、反射ミラー２４は、支持部２２と比較して、高さＨ２（一例として０．５ｍｍ）だけ低背に形成されている。さらに、反射ミラー２４は、磁気テープ１０の長手方向と直交する方向に沿った幅が磁気テープ１０の幅よりも例えば１ｍｍ程度短く形成されている。この反射ミラー２４は、同図に示すように、後述する光学系６の検査光照射部７ａによって磁気テープ１０の磁性面１０ａ（磁性層が形成されている面。本発明における一面に相当する）側から照射された検査光Ｌａのうちの、磁気テープ１０を透過した透過光Ｌｃを反射させることにより、その反射光Ｌｄを磁気テープ１０の裏面１０ｂ（本発明における他面に相当する）に照射させる機能を有している。この場合、反射光Ｌｄが本発明における第２検査光に相当する。
【００２３】
エア供給部５は、制御部９の制御下で支持機構４の各ガイド部材１１にエア（圧縮空気）を供給する。光学系６は、図２に示すように、検査光照射部７ａおよびＣＣＤカメラ７ｂを備えて構成されている。検査光照射部７ａは、高輝度ＬＥＤで構成されて、制御部９の制御下で磁気テープ１０に検査用の検査光Ｌａを照射する。この場合、この検査光Ｌａが本発明における第１検査光に相当する。なお、高輝度ＬＥＤに代えて、メタルハライドランプ、ハロゲンランプ、ナトリウムランプおよびレーザダイオード等で検査光照射部７ａを構成することもできる。ＣＣＤカメラ７ｂは、本発明における受光部に相当し、検査光照射部７ａによって照射されて磁気テープ１０によって反射された反射光Ｌｂのうちの散乱光を受光する。また、ＣＣＤカメラ７ｂは、図５に示すように、磁気テープ１０を透過した検査光Ｌａの透過光Ｌｃが反射ミラー２４の反射面２４ａで反射して、その反射光Ｌｄが磁気テープ１０をさらに透過した透過光Ｌｅと、反射光Ｌｂのうちの散乱光とを併せて受光できるようにその取り付け位置が調整されている。
【００２４】
計測部８は、移動機構２によって移動させられた磁気テープ１０の移動距離（すなわち、巻取り側リール３ｂに巻回された磁気テープ１０の長さ）を計測する。制御部９は、本発明における検査部に相当し、光学系６のＣＣＤカメラ７ｂから出力された輝度信号（ＣＣＤカメラ７ｂによって受光された反射光Ｌｂおよび透過光Ｌｅの光強度）に基づいて磁気テープ１０の磁性面１０ａにおける欠陥を検出する。また、制御部９は、移動機構２を制御して磁気テープ１０を一例として毎秒５ｍの速度で高速移動させると共に、検査光照射部７ａを制御して磁気テープ１０に検査光Ｌａを照射させる。さらに、制御部９は、磁気テープ１０の欠陥を検出したときには、欠陥が存在する旨と、計測部８によって計測された磁気テープ１０の移動距離とを対応させて図外の記憶部に記憶させる。なお、テープ検査装置１は、実際には、送り側リール３ａに巻回されている磁気テープ１０をガイド部材１１ａに案内する各種のローラー等、検査が完了した磁気テープ１０をガイド部材１１ｂから巻取り側リール３ｂに案内する各種のローラー等、磁気テープ１０に対して所定の張力を付与するためのテンション機構、および磁気テープ１０をクリーニングするクリーナーなどを備えているが、本発明についての理解を容易とするために、これらについての説明および図示を省略する。
【００２５】
次に、テープ検査装置１を用いて本発明に係るテープ体検査方法に従って磁気テープ１０を検査する方法について、図面を参照して説明する。
【００２６】
まず、検査対象の磁気テープ１０が巻回された送り側リール３ａと、検査が完了した磁気テープ１０を巻回する巻取り側リール３ｂとを移動機構２に取り付ける。次に、送り側リール３ａから磁気テープ１０の先端部を引き出して、ガイド部材１１ａ、支持具１２およびガイド部材１１ｂに対してこの順で接触するように磁気テープ１０をセットした後に、巻取り側リール３ｂに磁気テープ１０の先端部を固定する。この際に、図２に示すように、磁気テープ１０の磁性面１０ａには、ガイド部材１１ａ，１１ｂが当接し、磁気テープ１０の裏面１０ｂには、支持具１２における各支持部２２，２３の先端部が当接する。次いで、制御部９がエア供給部５を制御してガイド部材１１からエアを吐出させる。この際に、吐出されたエアによってガイド部材１１と磁気テープ１０との間に空気の層が形成されて、磁気テープ１０がガイド部材１１に対して非接触の状態で支持される。
【００２７】
次に、制御部９は、移動機構２を制御して送り側リール３ａおよび巻取り側リール３ｂを回転させることにより、送り側リール３ａに巻回されている磁気テープ１０を巻取り側リール３ｂに巻回させる。この際に、図外のテンション機構によって磁気テープ１０に所定の張力が付与されているため、磁気テープ１０は、空気の層を介してガイド部材１１に押し付けられると共に、支持具１２における各支持部２２，２３の先端面に押し付けられた状態で送り側リール３ａから巻取り側リール３ｂに向けて例えば毎秒５ｍの速度で高速移動させられる。この場合、このテープ検査装置１では、磁気テープ１０が空気の層を介してガイド部材１１に押し付けられる構成のため、ガイド部材１１によって磁気テープ１０が傷付けられる事態が回避されると共に、ガイド部材１１と磁気テープ１０との間の摺動抵抗（移動抵抗）が極く小さく抑えられている。
【００２８】
また、制御部９は、移動機構２に対する磁気テープ１０の移動についての制御に連動して、検査処理を開始する。この検査処理では、制御部９は、光学系６の検査光照射部７ａに対して検査光Ｌａを射出させると共に、ＣＣＤカメラ７ｂに対して所定の時間毎に輝度信号を出力させる。また、制御部９は、輝度信号の輝度レベル（光強度）に基づいて磁気テープ１０の磁性面１０ａに欠陥が存在するか否かを判定する。
【００２９】
この際に、図２に示すように、光学系６の検査光照射部７ａから射出された検査光Ｌａは、磁気テープ１０における支持具１２の支持部２２ａ，２２ｂによって張架された部位の磁性面１０ａに照射されて、その一部が磁性面１０ａで反射する。この場合、磁性面１０ａが欠陥のない滑らかな状態のときには、検査光Ｌａがほぼ正反射するため、ＣＣＤカメラ７ｂには反射光Ｌｂが殆ど入光しない。また、図５に示すように、磁性面１０ａに照射された検査光Ｌａの一部は、磁気テープ１０を透過して、その透過光Ｌｃが支持具１２における反射ミラー２４の反射面２４ａで反射する。また、反射面２４ａで反射した反射光Ｌｄの一部が、磁気テープ１０を再び透過して、その透過光Ｌｅのうちの一部の散乱光がＣＣＤカメラ７ｂに入射する。この場合、磁性面１０ａが欠陥のない滑らかな状態のときには、ＣＣＤカメラ７ｂには、僅かな量の透過光Ｌｅが入射する。このため、ＣＣＤカメラ７ｂは、所定の定常レベル（低レベル）の輝度信号を出力する。したがって、この際には、制御部９は、磁気テープ１０の磁性面１０ａに欠陥が存在しないと判定する。
【００３０】
一方、磁気テープ１０の磁性面１０ａに異物の付着等の比較的大きな欠陥が存在するときには、この欠陥によって検査光Ｌａが散乱する。このため、反射光Ｌｂのうちの一部の散乱光がＣＣＤカメラ７ｂに入光する結果、ＣＣＤカメラ７ｂは、所定の輝度レベルを上回る輝度信号を出力する。したがって、この際には、制御部９は、磁気テープ１０の磁性面１０ａに何らかの欠陥が存在すると判定する。ここで、磁性面１０ａに存在する欠陥が例えば磁性層の塗布むら等に起因する僅かな凹部のときには、この凹部による検査光Ｌａの散乱も僅かなため、ＣＣＤカメラ７ｂには、極僅かな反射光Ｌｂだけが入光する。一方、磁気テープ１０における凹部の存在する部位では、その分だけ厚みが薄い状態となっている。このため、その分だけ多くの透過光Ｌｃが透過して、さらに、その分だけ多くの反射光Ｌｄが磁気テープ１０を透過する。したがって、ＣＣＤカメラ７ｂには、比較的多くの光量の透過光Ｌｅが入光する。このため、反射光Ｌｂに加えて比較的多くの光量の透過光ＬｅがＣＣＤカメラ７ｂに入光する結果、ＣＣＤカメラ７ｂは、ノイズと明確に区別できる程度に高い輝度レベルの輝度信号を出力する。したがって、この際においても、制御部９は、磁気テープ１０の磁性面１０ａに何らかの欠陥が存在すると判定する。続いて、制御部９は、この検査処理を磁気テープ１０の長手方向の全域に亘って実行する。これにより、磁気テープ１０の良否が判定（検査）される。
【００３１】
このように、このテープ検査装置１およびテープ体検査方法によれば、磁気テープ１０の磁性面１０ａ側から照射した検査光Ｌａの反射光Ｌｂと磁気テープ１０の裏面１０ｂ側から照射した反射光Ｌｄの透過光Ｌｅとを受光して、受光した反射光Ｌｂおよび透過光Ｌｅの光強度に基づいて磁気テープ１０を検査することにより、磁気テープ１０の表面に欠陥が存在するときに、反射光Ｌｂの光強度変化が僅かであったとしても、透過光Ｌｅの光強度変化に基づいて検査することができる。したがって、磁気テープ１０の表面に存在する欠陥が僅かな凹凸であったとしても、この欠陥に起因する反射光Ｌｂおよび透過光Ｌｅの光強度変化量が容易に検出可能な量となるため、このような僅かな凹凸も確実かつ容易に検出することができる。このため、磁気テープ１０の表面に僅かな凹部または凸部が長手方向に沿って帯状に連続して存在するときにおいても、凹部または凸部における反射光の強度と他の部位における反射光の強度とが明確に異なる結果、この帯状に連続する凹部または凸部を確実かつ容易に検出することができる。
【００３２】
また、このテープ検査装置１によれば、支持具１２の反射ミラー２４が磁気テープ１０の磁性面１０ａに照射されている検査光Ｌａのうちの磁気テープ１０を透過した透過光Ｌｃを第２検査光として反射することにより、単一の検査光照射部７ａを用いて磁気テープ１０の磁性面１０ａ側および裏面１０ｂ側から両面１０ａ，１０ｂに検査光を照射することができるため、テープ検査装置１を十分小形に構成することができる。
【００３３】
さらに、このテープ検査装置１によれば、反射ミラー２４の反射面２４ａを磁気テープ１０の長手方向に沿った中央部に向かうに従って磁気テープ１０側に徐々に突出する曲面に形成したことにより、磁気テープ１０を透過した透過光ＬｃをＣＣＤカメラ７ｂに向けて確実に反射させることができるため、磁気テープ１０に欠陥が存在していた際に、ＣＣＤカメラ７ｂに対して透過光Ｌｅを確実に入射させることができる結果、検査精度を十分に向上させることができる。
【００３４】
また、このテープ検査装置１によれば、磁気テープ１０の長手方向と直交する方向に沿った長さが磁気テープ１０の幅よりも短くなるように反射ミラー２４を形成したことにより、例えば、検査中において支持具１２の支持部２２ａ，２２ｂに対して磁気テープ１０が幅方向に沿って相対的に若干移動したとしても、検査光Ｌａが反射ミラー２４に直接照射されてその反射光がＣＣＤカメラ７ｂに直接入光する事態を確実に防止することができる。
【００３５】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、反射ミラー２４を有する支持具１２を備えた光学系６を例に挙げて説明したが、支持具１２に代えて図６に示す支持具（テープ体支持具）１２ａを備えると共に、図７に示すように、検査光Ｌｆ（本発明における第２検査光に相当する）を照射する検査光照射部７ｃをさらに備えた光学系６ａを採用することもできる。支持具１２ａは、図６に示すように、上記の支持具１２と同様にして、セラミックによって一体形成されたベース部２１および支持部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂを備えている。この場合、この支持具１２ａの支持部２２ａ，２２ｂが、本発明における一対の支持部に相当し、その長手方向に移動している磁気テープ１０を張架可能にその長手方向に沿うようにして配置されている。また、ベース部２１における支持部２２ａ，２２ｂの配設位置の中間部には、磁気テープ１０の幅よりもやや（１ｍｍ程度）短い長さのスリット２５（本発明における孔または隙間の一例）が形成されている。この光学系６ａを備えたテープ検査装置１Ａでは、検査処理が開始されたときに、図７に示すように、検査光照射部７ｃが検査光Ｌｆを射出する。この際に、検査光Ｌｆの一部がスリット２５を通過して（介して）支持具１２ａの支持部２２ａ，２２ｂの間に張架されている磁気テープ１０の裏面１０ｂに照射される。この場合、その検査光Ｌｆの一部がスリット２５を通過することによってビーム状となって裏面１０ｂに照射されるため、磁気テープ１０を透過した透過光Ｌｇのうちの正透過光の照射方向が一定方向に維持される。したがって、この正透過光の光軸とＣＣＤカメラ７ｂの光軸とを異ならせることにより、検査精度の低下の要因となる正透過光のＣＣＤカメラ７ｂへの直接の入射が確実に回避される。このため、ＣＣＤカメラ７ｂへの正透過光の入光に起因する検査精度の低下を確実に防止することができる。ここで、磁性面１０ａに欠陥が存在するときには、検査光照射部７ａから照射された検査光Ｌａの反射光Ｌｂのうちの散乱光と、検査光Ｌｆのうちの磁気テープ１０を透過した透過光Ｌｇのうちの散乱光とがＣＣＤカメラ７ｂに入光する。したがって、上記のテープ検査装置１と同様にして、磁性面１０ａに存在する欠陥が上記のような磁性層の塗布むら等に起因する僅かな凹部であったとしても、ＣＣＤカメラ７ｂから出力される輝度信号がノイズと明確に区別できる程度の高い輝度レベルとなるため、この欠陥を確実に検出することができる。
【００３６】
また、支持具１２における反射ミラー２４の反射面２４ａを曲面に形成した例について上記したが、反射面２４ａを平面状に形成した支持具を採用することもできる。また、磁気テープ１０における主として磁性面１０ａ側を検査する例について上記したが、テープ検査装置１を用いて、磁気テープ１０の裏面１０ｂ側を検査することもできる。この際には、例えば、裏面側にバックコート層が形成された磁気テープにおけるバックコート層の塗布むら等の僅かな欠陥を確実に検査することができる。
【００３７】
また、磁性層が形成された磁気テープ１０を検査する例について上記したが、本発明におけるテープ体には、例えば、磁性層等を形成する以前の状態のベースフィルムや、記録再生装置の磁気ヘッド等をクリーニングするためのクリーニングテープなどの各種のテープ体が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】テープ検査装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】支持機構４および光学系６の構成を示す正面図である。
【図３】支持機構４の構成を示す平面図である。
【図４】支持具１２の断面図である。
【図５】磁気テープ１０に検査光Ｌａを照射している状態の磁気テープ１０および支持具１２の断面図である。
【図６】支持具１２ａの断面図である。
【図７】磁気テープ１０に検査光Ｌａ，Ｌｆを照射している状態の磁気テープ１０および支持具１２ａの断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１，１Ａ  テープ検査装置
２  移動機構
６，６Ａ  光学系
７ａ  検査光照射部
７ｂ  ＣＣＤカメラ
９  制御部
１０  磁気テープ
１０ａ  磁性面
１０ｂ  裏面
１２，１２ａ  支持具
２２ａ，２２ｂ  支持部
２４  反射ミラー
２４ａ  反射面
２５  スリット
Ｌａ，Ｌｆ  検査光
Ｌｂ，Ｌｄ  反射光
Ｌｃ，Ｌｅ，Ｌｇ  透過光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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