(57)【要約】【課題】  長期耐久性に優れる光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を提供する。【解決手段】  ガラス合成用バーナ１０と、ガラス合成用バーナ１０にガラス原料ガスを供給するガス供給源と、ガス供給源とガラス合成用バーナ１０を接続するガス供給配管２０とを少なくとも備えた光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置であって、ガス供給配管２０を、可撓性の合成樹脂からなる層を少なくとも１層含み、透湿係数をＰ（ｇ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）、厚みをＬ（ｃｍ）とすると、０≦Ｐ／Ｌ＜１．０×１０−１０なる関係式を満たすようにする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス合成用バーナと、該ガラス合成用バーナにガラス原料ガスを供給するガス供給源と、該ガス供給源と前記ガラス合成用バーナを接続する配管とを少なくとも備えた光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置であって、
前記配管は、可撓性の合成樹脂からなる層を少なくとも１層含み、前記配管の透湿係数をＰ（ｇ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）、前記配管の厚みをＬ（ｃｍ）とすると、０≦Ｐ／Ｌ＜１．０×１０−１０なる関係式を満たすことを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置。
【請求項２】
前記配管は複数の層からなり、該複数の層のうち少なくとも１層の材質がステンレスまたはアルミニウムからなることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置。
【請求項３】
前記配管は２層からなり、該２層のうち少なくとも１層の材質がステンレスまたはアルミニウムからなることを特徴とする請求項２に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置。
【請求項４】
前記配管は原料を流す内部配管と、該内部配管の外周を空隙を隔てて覆う外部配管とからなり、前記空隙には乾燥したガスが流れることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置。
【請求項５】
前記空隙を流れるガスは窒素、アルゴン、ヘリウムのうち少なくとも１種類のガスを含むガスであることを特徴とする請求項４に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置。
【請求項６】
前記外部配管はポリ四フッ化エチレンからなることを特徴とする請求項４に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置。
【請求項７】
前記配管はヒータおよび断熱材で覆われていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバ母材は、ＶＡＤ（Ｖａｐｏｒ  ｐｈａｓｅ  Ａｘｉａｌ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＯＶＤ（Ｏｕｔｓｉｄｅ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などの方法により多孔質ガラス母材を製造した後、この多孔質ガラス母材を電気炉中で脱水、焼結しながら透明ガラス化することにより製造される。多孔質ガラス母材の製造方法の中でも、ＯＶＤ法は、四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ４）、四塩化ゲルマニウム（ＧｅＣｌ４）などのガラス原料ガスを、酸素、水素とともに火炎中で加水分解反応または酸化反応させてガラス微粒子を合成し、その軸回りに回転するコアとなるガラス材を備えた円柱形のコア母材の外周部に、ガラス微粒子（スート）を堆積させて複数層からなる多孔質層を形成する方法である。
【０００３】
多孔質ガラス母材の製造においては、一般的に、ガラス原料ガスをコア母材に吹き付けるノズルを有するガラス合成用バーナと、ガラス原料ガスをガラス合成用バーナに供給するガスボンベなどからなるガス供給源と、ガス供給源とガラス合成用バーナを接続する配管とを備えた多孔質ガラス母材の製造装置が用いられる。
【０００４】
多孔質ガラス母材の製造装置において、ガス供給源からガラス合成用バーナにガラス原料ガスを供給するための配管は、ガラス原料ガスが酸性であることから、耐酸性であることが要求される。また、ガラス原料ガスを６０〜１００℃程度に加熱して供給する場合には、この配管は耐熱性であることが要求される。
【０００５】
特に、ガラス原料ガスをコア母材に吹き付けるノズルを有するガラス合成用バーナがコア母材に対して移動するタイプのＯＶＤ法に用いられる多孔質ガラス母材の製造装置では、ガラス原料ガスを供給するための配管をガラス合成用バーナの移動に合わせて屈曲させる必要がある。そのため、この配管としては、例えば、ポリ四フッ化エチレンなどの合成樹脂からなる可撓性を有するものが用いられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
また、ガラス合成用バーナが移動しない多孔質ガラス母材の製造装置においても、互いに直接接続することができない金属製配管と、ガラスからなるガラス合成用バーナとを接続する場合や、取扱いが容易であるという理由から、ポリ四フッ化エチレンなどの合成樹脂からなる配管が、ガラス原料ガスを供給するための配管として用いられている。
【０００７】
ポリ四フッ化エチレンなどの合成樹脂からなる配管を、ガラス原料ガスを供給するための配管として長期間使用すると、この配管は硬化して可撓性が損なわれるという問題があった。この配管の硬化は、配管の外部から内部に浸透した空気中の水蒸気が、配管の内壁付近でガラス原料ガスの四塩化ケイ素と反応して二酸化ケイ素が生成し、この二酸化ケイ素が配管の内壁面に堆積することに起因している。配管の硬化が進行すると、配管に割れ目や裂け目が生じて、ここからガラス原料ガスが漏洩することがあった。
【０００８】
さらに、ガラス合成用バーナがコア母材の長手方向に沿って往復移動する多孔質ガラス母材の製造装置においては、ガラス合成用バーナに接続された配管は、ガラス合成用バーナの往復移動に合わせて配管が屈曲と伸びを繰り返すため、配管に割れ目や裂け目がより生じ易い状況にある。
【０００９】
特に、ガラス合成用バーナが移動式の外付け法においては、近年、光ファイバ母材の大型化により、光ファイバ母材１本を作製するために必要なガラス合成用バーナの往復回数（＝ガラス原料ガスを供給するための配管の屈曲回数）が増加して、以前よりも配管の劣化の進行度が速くなっていた。配管に割れ目や裂け目が生じ易くなれば、配管の交換の頻度が高くなり、製造コストが嵩むだけでなく、割れ目や裂け目からガラス原料ガスが漏洩して、装置全体が錆びてしまうという問題があった。
また、配管内に生成された二酸化ケイ素は剥離すると母材内で泡や異物となり、母材概観を悪化させる一因にもなっていた。
また、請求項にポリ四フッ化エチレンなどの合成樹脂を使用する特許文献は見付からなかったものの、特許文献１の「従来の技術」には、ポリ四フッ化エチレン製の原料供給チューブが記載されていた。
【特許文献１】特開２０００−１５９５３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、長期耐久性に優れる光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するために、ガラス合成用バーナと、該ガラス合成用バーナにガラス原料ガスを供給するガス供給源と、該ガス供給源と前記ガラス合成用バーナを接続する配管とを少なくとも備えた光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置であって、前記配管は、可撓性の合成樹脂からなる層を少なくとも１層含み、前記配管の透湿係数をＰ（ｇ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）、前記配管の厚みをＬ（ｃｍ）とすると、０≦Ｐ／Ｌ＜１．０×１０−１０なる関係式を満たす光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を提供する。
【００１２】
上記構成の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置において、前記配管は複数の層からなり、該複数の層のうち少なくとも１層の材質がステンレスまたはアルミニウムからなることが好ましい。
【００１３】
上記構成の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置において、前記配管は２層からなり、該２層のうち少なくとも１層の材質がステンレスまたはアルミニウムからなることが好ましい。
【００１４】
上記構成の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置において、前記配管は原料を流す内部配管と、該内部配管の外周を空隙を隔てて覆う外部配管とからなり、前記空隙には乾燥したガスが流れることが好ましい。
【００１５】
上記構成の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置において、前記空隙を流れるガスは窒素、アルゴン、ヘリウムのうち少なくとも１種類のガスを含むガスであることが好ましい。
【００１６】
上記構成の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置において、前記外部配管はポリ四フッ化エチレンからなることが好ましい。
【００１７】
上記構成の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置において、前記配管はヒータおよび断熱材で覆われていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造装置は、ガス供給源からガラス合成用バーナにガラス原料ガスを供給するための配管が、透湿係数をＰ（ｇ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）、厚みをＬ（ｃｍ）とすると、０≦Ｐ／Ｌ＜１．０×１０−１０なる関係式を満たすものであるから、この配管の内部に空気中の水蒸気が浸透して、この水蒸気が四塩化ケイ素と反応して二酸化ケイ素が生成するのを抑制することができる。したがって、配管の硬化の進行が遅くなり、配管の寿命が長くなる。また、前記配管が可撓性の合成樹脂からなる層を少なくとも１層含むことにより、ガラス合成用バーナをコア母材の長手方向に沿って移動させても、配管がガラス合成用バーナの移動に伴って適度に撓むから、配管が破れたりするのを防止することができる。（手段の欄から移動しました。）
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を実施した光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置の一実施形態として、外付け装置を示す概略構成図である。図２は、本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を構成するガス供給源とガラス合成用バーナとを接続する配管の一例を示す概略断面図である。
【００２０】
図１中、符号１０はガラス合成用バーナ、２０はガス供給源とガラス合成用バーナを接続する配管（以下、「ガス供給配管」と称する。）、３０はコア母材を軸周りに回転可能に固定するチャック、４０はコア母材を示している。
【００２１】
この実施形態の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置では、円柱状のコア母材４０が、軸周りに回転可能に、その両端がチャック３０によって固定されている。ガラス合成用バーナ１０は、コア母材４０の長手方向に沿って移動するように配置されている。このガラス合成用バーナ１０には、ベーキングタンクまたはキャリアガスによるバブリングなどによるガス供給源（図示略）からガラス原料ガスの四塩化ケイ素を供給するためのガス供給配管２０が接続されている。
【００２２】
また、ガラス合成用バーナ１０は、コア母材４０の長手方向に沿って往復移動可能な機構を備えている。このように、ガラス合成用バーナ１０を、コア母材４０の長手方向に沿って往復移動可能とすることにより、コア母材４０の外周に、ガラス合成用バーナ１０から吹き出すガラス微粒子を均一に堆積させることができるようになっている。
【００２３】
ガラス合成用バーナ１０は、例えば、四塩化ケイ素が供給される酸水素火炎バーナからなり、四塩化ケイ素の火炎加水分解で発生するシリカ微粒子をコア母材４０の周囲に堆積して、光ファイバ用多孔質ガラス母材を形成するものである。
【００２４】
ガス供給配管２０は、可撓性の合成樹脂からなる層を少なくとも１層含み、ガス供給配管２０の透湿係数をＰ（ｇ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）、厚みをＬ（ｃｍ）とすると、０≦Ｐ／Ｌ＜１．０×１０−１０（ｇ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）なる関係式を満たすものである。Ｐ／Ｌが１．０×１０−１０（ｇ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）を超えると、ガス供給配管２０の内部に空気中の水蒸気が浸透して、この水蒸気がガラス原料ガスの四塩化ケイ素と反応して二酸化ケイ素が生成し、ガス供給配管２０の硬化が進行し易くなる。
【００２５】
ガス供給配管２０を構成する可撓性の合成樹脂としては、ナイロン１１、ナイロン１２、ポリウレタン、ポリ塩化ビニル、フッ素樹脂から選択される少なくとも１種からなることが好ましい。
【００２６】
これらの合成樹脂は、可撓性を有すると共に、機械的強度が高いので、ガラス合成用バーナをコア母材の長手方向に沿って移動させても、配管が破れたりするのを防止することができる。
【００２７】
ここで、透湿係数Ｐ（ｇ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）は、ある物質における水蒸気の透過し易さを表している。したがって、透湿係数／配管の厚み（Ｐ／Ｌ）は、厚みＬを有する配管の任意の面における水蒸気の透過し易さを表しており、厚みＬが厚い程、水蒸気が透過し難くなることを表している。
例えば、従来、ガス供給配管に用いられていたポリ四フッ化エチレンの透湿係数Ｐは１．０×１０−１１ｇ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇであるため、ポリ四フッ化エチレンからなる配管の厚みＬが０．１ｃｍである場合、透湿係数／配管の厚み（Ｐ／Ｌ）は、１．０×１０−１０（ｇ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）である。
【００２８】
ここで、図３に、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造において、ガス供給配管を１ケ月間連続使用した場合におけるガス供給配管の単位長さ（１０ｃｍ）当たりの重量増加を示す。
図３のグラフにおいて、ガス供給配管の重量増加は、ガス供給配管内に生成した二酸化ケイ素の重量に等しい。図３に示すように、（Ｐ／Ｌ）が１．０×１０−１０（ｇ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）を超えると、ガス供給配管内に生成する二酸化ケイ素の量が急激に増加する。（Ｐ／Ｌ）が１．０×１０−１０（ｇ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）となる、厚み０．１ｃｍのポリ四フッ化エチレンからなるガス供給配管を用いた場合、約１年半でひび割れた。すなわち、（Ｐ／Ｌ）が１．０×１０−１０を超えると、ガス供給源とガラス合成用バーナを接続するガス供給配管の内部に空気中の水蒸気が浸透して、この水蒸気がガラス原料ガスの四塩化ケイ素と反応して二酸化ケイ素が生成し、ガス供給配管の硬化が進行し易くなる。（手段の欄から移動しました。）
【００２９】
本発明では、透湿係数Ｐのより小さい材質を用いることによって、あるいは、厚みＬをより厚くすることによって、あるいは、透湿係数Ｐのより小さい材質を用いること、および、厚みＬをより厚くすることによって、または、二重管構造として内部配管と外部配管の間に乾燥した不活性ガスを流すことによって、ガス供給配管２０は水蒸気が透過し難い構造となっている。ガス供給配管２０をこのような構造とすることにより、ガス供給配管２０の内部に空気中の水蒸気が浸透して、この水蒸気が四塩化ケイ素と反応して二酸化ケイ素が生成するのを抑制することができる。ガス供給配管２０内における二酸化ケイ素の生成を抑制することにより、ガス供給配管２０の硬化の進行が遅くなり、ガス供給配管２０を長寿命化することができる。
【００３０】
例えば、ポリ四フッ化エチレンの１／３倍の透湿係数を有する材質からなり、ポリ四フッ化エチレンからなるガス供給配管と厚みが同一のガス供給配管は、ポリ四フッ化エチレンからなるガス供給配管の３倍長持ちする。
【００３１】
ガス供給配管２０における透湿係数／配管の厚み（Ｐ／Ｌ）を１．０×１０−１０ｇ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ以下にする方法としては、以下の方法が挙げられる。
（１）ガス供給配管２０を、透湿係数の小さい材質からなる層を少なくとも１層含む複数の層から構成されたものとする。
（２）ガス供給配管２０の厚みを厚くする。
（３）ガス供給配管２０を、原料を流す内部配管と、その外周を空隙を隔てて覆う外部配管とからなる構造として、空隙に乾燥した不活性ガスを流す。
【００３２】
透湿係数の小さい材質からなる層を少なくとも１層含む複数の層から構成されたガス供給配管２０としては、図２に示すような構造を例示できる。
このガス供給配管２０は、内側に配された内層２１と、この内層２１の外周に設けられた外層２２とから構成されている。このガス供給配管２０では、内層２１または外層２２のいずれか一方、あるいは両方が透湿係数の小さい材質で形成されている。
【００３３】
例えば、ガス供給配管２０を、内層２１が合成樹脂からなり、外層２２が透湿係数の小さい材質からなる構造としてもよい。
【００３４】
なお、図２では、ガス供給配管２０として、内層２１および外層２２の２層からなるものを示したが、本発明はこれに限定されるものではない。ガス供給配管は、透湿係数の小さい材質からなる層を少なくとも１層含む３層以上から構成されるものであってもよい。
【００３５】
ガス供給配管２０が、透湿係数の小さい材質からなる層を少なくとも１層含む複数の層から構成されていれば、ガス供給配管２０の内部に空気中の水蒸気が浸透するのを抑制することができる。
【００３６】
透湿係数の低い材質としては、透湿係数がほぼ０の金属を用いることが好ましい。このような金属としては、ステンレス、アルミニウム、銅、ニッケル、鉄などが挙げられるが、これらの中でも、酸化作用を有するガラス原料ガスの四塩化ケイ素をガス供給源からガラス合成用バーナに供給する用途には、耐酸性を有するステンレスまたはアルミニウムがより好ましい。ガス供給配管２０を構成する材質を透湿係数がほぼ０の金属とすれば、ガス供給配管２０の厚みを薄くすることができるため、ガス供給配管２０に可撓性を付与することもできる。また、金属は耐熱性も有するから、ガス供給配管２０をなす材質として好ましい。
【００３７】
また、ステンレスやアルミニウムは曲げに強いため、ガラス合成用バーナをコア母材の長手方向に沿って移動させても、配管が破れたりするのを防止することができる。さらに、ステンレスやアルミニウムは熱伝導性に優れるから、ガラス原料ガスの温度調節を目的とした配管の加熱を効率的に行うことができる。
【００３８】
ガス供給配管２０としては、具体的には、内層２１がポリ四フッ化エチレン、外層２２がステンレスからなるものが挙げられる。このような構造のガス供給配管２０は、例えば、内層２１の厚みを０．３ｍｍ〜２．０ｍｍとした場合、外層２２の厚みを０．０１ｍｍ〜０．２０ｍｍとすることにより、透湿係数がほぼ０で、かつ、十分な可撓性および耐酸性を有するものとなる。
【００３９】
ガス供給配管２０をこのような構成とすれば、ポリ四フッ化エチレンが外気と接触しないので、ポリ四フッ化エチレン内に水蒸気が浸透し難くいため、配管が硬化して、可撓性が損なわれることがない。また、ガス供給配管が金属のみで構成されると可撓性に劣るが、内層２１をポリ四フッ化エチレンで形成することにより、ガス供給配管２０は可撓性に優れたものとなる。さらに、内層が金属で形成されていると、ガラス原料ガスによって腐食するおそれがある。
【００４０】
また、原料を流す内部配管の外周に空隙を隔てて外部配管を設け、空隙に乾燥した不活性ガスを流す場合、図４に示すようなガス供給配管の構造を例示できる。
図４に示すガス供給配管２０は、ガス供給配管をなす内部配管２３と、外部配管２４とからなる、いわゆる二重配管である。内部配管２３と外部配管２４の間の空隙２５にガスを流すことで、外部配管２４から空隙２５へと浸透した水蒸気は内部配管２３内に浸透することが抑制される。
【００４１】
次に、この実施形態の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を用いた光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法について説明する。
まず、コア母材４０の両端をチャック３０によって固定し、コア母材４０を、その軸周りに回転させる。次いで、ガラス合成用バーナ１０をコア母材４０の長手方向に沿って往復移動させながら、ガラス合成用バーナ１０に、ガス供給源（図示略）からガス供給配管２０を介して四塩化ケイ素を供給する。同時に、ガラス合成用バーナ１０の火炎中における四塩化ケイ素の加水分解反応により、二酸化ケイ素を合成し、この二酸化ケイ素をコア母材４０の外周部に均一に堆積し、光ファイバ用多孔質ガラス母材を得る。
【実施例】
【００４２】
以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００４３】
（実施例１）
図１に示すような光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を用いて、光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造した。
この実施例１において、ガス供給源からガラス合成用バーナ１０にガラス原料ガスの四塩化ケイ素を供給するためのガス供給配管２０として、ポリ四フッ化エチレン（透湿係数Ｐ＝１．０×１０−１１ｇ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）からなる内層と、この内層にアルミニウム箔（透湿係数Ｐはほぼ０）をメッキコーティングしてなる外層とから構成される２層構造のものを用いた。また、ガス供給配管２０の外径を０．６１ｃｍ、内層の厚みを０．１ｃｍ、外層の厚みを０．００５ｃｍとした。また、ガス供給配管２０の透湿係数／配管の厚み（Ｐ／Ｌ）は、ほぼ０であった。
このようなガス供給配管２０を用いて、毎日２０時間ずつ光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造し、ガス供給配管２０に割れ目や裂け目が生じるまでの期間を測定した。同様の測定を、同一構成からなる４本のガス供給配管２０について行った。結果を図５に示す。
【００４４】
（実施例２）
図１に示すような光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を用いて、光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造した。
この実施例２において、ガス供給配管２０として、ポリ四フッ化エチレン（透湿係数Ｐ＝１．０×１０−１１ｇ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）からなり、外径０．６ｃｍ、厚み０．２ｃｍのものを用いた。また、ガス供給配管２０の透湿係数／配管の厚み（Ｐ／Ｌ）は、０．５×１０−１０ｇ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇであった。
このようなガス供給配管２０を用いて、毎日２０時間ずつ光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造し、ガス供給配管２０に割れ目や裂け目が生じるまでの期間を測定した。同様の測定を、同一構成からなる４本のガス供給配管２０について行った。結果を図５に示す。
【００４５】
（実施例３）
図１に示すような光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を用いて、光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造した。
この実施例３において、ガス供給配管２０として、図１に示すように、ポリ四フッ化エチレンからなる内部配管２３と、その外周に空隙２５を隔てて設けられたポリ四フッ化エチレンからなる外部配管２４とからなる二重構造のものを用いた。内部配管２３の外径を０．６ｃｍ、厚みを０．１ｃｍとし、外部配管２４の外径を１．０ｃｍ、厚みを０．１ｃｍとした。
このようなガス供給配管２０を用いて、内部配管２３と外部配管２４の間の空隙に露点−８０℃の乾燥窒素を３Ｌ／ｍｉｎで流しながら、毎日２０時間ずつ光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造し、ガス供給配管２０に割れ目や裂け目が生じるまでの期間を測定した。同様の測定を、同一構成からなる４本のガス供給配管２０について行った。結果を図５に示す。
【００４６】
（比較例）
図１に示すような光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を用いて、光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造した。
この比較例において、ガス供給配管２０として、ポリ四フッ化エチレン（透湿係数Ｐ＝１．０×１０−１１ｇ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇ）からなり、外径０．６ｃｍ、厚み０．１ｃｍのものを用いた。また、ガス供給配管２０の透湿係数／配管の厚み（Ｐ／Ｌ）は、１．０×１０−１０ｇ／ｃｍ２・ｓ・ｃｍＨｇであった。
このようなガス供給配管２０を用いて、毎日２０時間ずつ光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造し、ガス供給配管２０に割れ目や裂け目が生じるまでの期間を測定した。同様の測定を、同一構成からなる４本のガス供給配管２０について行った。結果を図５に示す。
【００４７】
図５の結果から、実施例１と実施例３では、３６ヶ月を経過した後もガス供給配管２０に割れ目や裂け目が生じることはなかった。
実施例２では、３０ヶ月を経過するとガス供給配管２０に割れ目や裂け目が生じた。
比較例では、２０ヶ月前後でガス供給配管２０に割れ目や裂け目が生じた。
実施例２において、比較例よりも２倍近く長く、ガス供給配管２０を使用できたのは、実施例２のガス供給配管２０の透湿係数／配管の厚み（Ｐ／Ｌ）が、比較例のそれの１／２であるためと考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置は、配管内への水分の混入を抑制したい場合には、いかなる場所にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明に係る光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置の一実施形態として、外付け装置を示す概略構成図である。
【図２】本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を構成するガス供給源とガラス合成用バーナとを接続する配管の一例を示す概略断面図である。
【図３】光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造において、ガス供給配管を１ケ月間連続使用した場合におけるガス供給配管の単位長さ（１０ｃｍ）当たりの重量増加を示すグラフである。
【図４】ガス供給配管の他の例を示す概略断面図である。
【図５】ガス供給配管の耐久性を調査した結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５０】
１０・・・ガラス合成用バーナ、２０・・・ガス供給配管、２１・・・内層、２２・・・外層、２３・・・内部配管、２４・・・外部配管、２５・・・空隙、３０・・・チャック、４０・・・コア母材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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