(57)【要約】【課題】  放電空間（セル）の間隔（穴ピッチ）を小さくしても、部材における開口率を確保でき、画像表示装置を大型化しても、輝度やパネルの精細度に優れ、且つ、部材の寸法精度にも優れた画像表示装置用金属部材の製造方法及び画像表示装置用金属部材を提供する。【解決手段】  本発明は、画像表示装置の画素に相当する穴部を有する金属部材の製造方法であって、金属基板への熱エネルギーの照射によって穴加工する工程と、該穴加工の後にエッチング加工を行う工程を含む画像表示装置用金属部材の製造方法である。好ましくは、前記熱エネルギーの照射は、電子ビームであり、更に好ましくは、前記穴部は、最近接の穴部間の桟のアスペクト比（桟高さ／桟幅）が４以上２０以下とする画像表示装置用金属部材の製造方法である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像表示装置の画素に相当する穴部を有する金属部材の製造方法であって、金属基板への熱エネルギーの照射によって穴加工する工程と、該穴加工の後にエッチング加工を行う工程を含むことを特徴とする画像表示装置用金属部材の製造方法。
【請求項２】
前記熱エネルギーの照射は、電子ビームであることを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置用金属部材の製造方法。
【請求項３】
前記穴部は、最近接の穴部間の桟のアスペクト比（桟高さ／桟幅）が４以上２０以下とすることを特徴とする請求項１または２に記載の画像表示装置用金属部材の製造方法。
【請求項４】
画像表示装置において、画素に相当する穴部を有する金属部材であって、該穴部は、金属基板への熱エネルギーの照射による穴加工と、該穴加工の後のエッチング加工によって形成されたことを特徴とする画像表示装置用金属部材。
【請求項５】
前記穴部は、最近接の穴部間の桟のアスペクト比（桟高さ／桟幅）が４以上２０以下であることを特徴とする請求項４に記載の画像表示装置用金属部材。
【請求項６】
前記金属基板の材質は、Ｎｉを質量比率で３８〜５５％含有したＦｅ−Ｎｉ系合金であることを特徴とする請求項４または５に記載の画像表示装置用部材。
【請求項７】
表層に絶縁層が形成されていることを特徴とする請求項４乃至６の何れかに記載の画像表示装置用金属部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイ（以後ＰＤＰと略す）、フィールドエミッションディスプレイ（以後ＦＥＤと略す）、液晶ディスプレイ、シートディスプレイ等の画像表示装置において、画素に相当する空間を仕切る隔壁やスペーサーといった画像表示装置用金属部材の製造方法及び画像表示装置用金属部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ガス放電型画像表示装置であるＰＤＰにおいては、従来、前面板と背面板との２枚のガラス板の間に、画素に相当する放電空間（セル）を形成し、隣接したセル間における放電及び発光の干渉を防止するための仕切りとして、ガラス隔壁が構成されている。
ＦＥＤにおいても同様に、前面板と背面板の間に、空間を確保し、セルを仕切るスペーサーが必要である。
これら新世代の画像表示装置においては、高画質化、高精細化の傾向にあり、隔壁やスペーサーには、今後益々微細加工技術が要求される。隔壁によって空間を微細に仕切ることは、画像表示装置で表示される画像の高精細化に直結するため、微細な深穴加工技術は重要な技術の１つである。
特にＰＤＰにおいて、その性能は、セルの構造に依存するところが大きく、高精細化と高輝度化のためには、セルを隔てる隔壁の幅を小さくすることによりセルの開口率を高めることや、深いセルを形成することにより放電空間を広げたり蛍光体塗布面積を増加したりすることが有効である。
【０００３】
ガラス隔壁は、背面板の上にペースト状の隔壁材料を塗布した後、主にサンドブラスト法により溝や穴を形成して放電空間とし、掘り残した部分を隔壁としている。
しかしながら、隔壁の低温焼成のため、このガラスペーストには酸化鉛が５０％程度含まれており、サンドブラスト加工によってガラスペーストの６０％程度を掘って、ブラスト材とともに廃却しており、有害な粉塵と廃棄物を伴うため、人体及び環境への負荷が大きい難点がある。また、ガラス隔壁は脆いため、サンドブラスト加工によって欠けを生じ易いこともあり、セル同士を隔てる隔壁の幅を小さく加工することや高い隔壁を形成する深穴加工が困難である。
【０００４】
上述の問題を解決するため、特開平３−２０５７３８号公報（特許文献１参照）には電着法によってガラスを含む誘電体を表面に形成した金属隔壁が提案されている。また、本発明者らも、特開２０００−３６７５号公報（特許文献２参照）において、金属材料にガラス質絶縁層をイオンプレーティングによって形成した金属隔壁を提案している。
また、先述したように、ＰＤＰ、ＦＥＤ等新世代の画像表示装置の傾向として、益々高精細が望まれるため、微細な穴加工技術は共通の要求である。
この要求に対し、特に画像表示装置の輝度向上を目的として、特開２００３−１６８３７２号公報（特許文献３参照）には、貫通孔を有した金属薄板を複数枚積層・熱圧着して、隔壁高さを高くする方法が提案されている。また、本発明者らも、特開２０００−１６４１４４号公報（特許文献４参照）において、貫通孔を有した金属薄板を複数枚積層して加熱・接合し、隔壁高さを高くする方法を提案している。
【０００５】
【特許文献１】特開平３−２０５７３８号公報
【特許文献２】特開２０００−３６７５号公報
【特許文献３】特開２００３−１６８３７２号公報
【特許文献４】特開２０００−１６４１４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１及び特許文献２に開示されるＰＤＰ用金属隔壁では、金属部材を放電空間に曝さない目的で、絶縁層が別途必要となるものの、金属隔壁はガラス隔壁より強度があり、フォトエッチング法による加工で隔壁を形成できるため、ガラス隔壁よりは、深穴で微細な加工ができる等多くの利点がある。
更なる高効率化を目的として、より深い穴を形成したいという要求があるが、フォトエッチング加工には、深穴加工に限界があり、画素に相当するセルを形成する桟のアスペクト比（桟高さ／桟幅）を大きくすることが難しいという難点があった。即ち、フォトエッチング加工では、加工時間を増大して深穴を形成しようとすると、サイドエッチ（エッチング穴が基板の平面方向にも広がろうとする現象）のため、レジストを用いてマスキングした部分にまで、穴径が広がってしまい、加工精度が落ちる難点がある。
【０００７】
また、特許文献３及び特許文献４に開示される画像表示装置用金属隔壁は、高い隔壁、即ち深穴を有する金属部材の加工技術として有効であるが、積層・接合という工程が必要となるため、工数及びコストがかかり、また、接合時のズレや加熱で生じる歪によって部材の寸法に狂いが生じる惧れもあり、特に大画面ディスプレイを特徴とする画像表示装置においては大きな問題となる。
本発明の目的は、上記の問題に鑑み、放電空間（セル）の間隔、即ち穴ピッチを小さくしても、基板における開口率を確保でき、ディスプレイが大型化しても輝度やパネルの精細度に優れ、且つ、部材の寸法精度にも優れた画像表示装置用金属部材の製造方法及び画像表示装置用部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、画像表示装置の高性能化、高精細化には、画素に相当する穴部を、微細に、且つ、深く、形成することが好適であることから、金属基板に深い穴を微細に形成する方法、即ち、穴部と穴部の間の桟のアスペクト比（桟高さ／桟幅）を大きくする方法を鋭意検討し、本発明に到達した。
本発明は、画像表示装置の画素に相当する穴部を有する金属部材の製造方法であって、金属基板への熱エネルギーの照射によって穴加工する工程と、該穴加工の後にエッチング加工を行う工程を含む画像表示装置用金属部材の製造方法である。
【０００９】
好ましくは、前記熱エネルギーの照射は、電子ビームである画像表示装置用金属部材の製造方法である。
更に好ましくは、前記穴部は、最近接の穴部間の桟のアスペクト比（桟高さ／桟幅）が４以上２０以下である画像表示装置用金属部材の製造方法である。
【００１０】
また、本発明は、画像表示装置において、画素に相当する穴部を有する金属部材であって、該穴部は、金属基板への熱エネルギーの照射による穴加工と、該穴加工の後のエッチング加工によって形成された画像表示装置用金属部材である。
好ましくは、前記穴部は、最近接の穴部間の桟のアスペクト比（桟高さ／桟幅）が４以上２０以下とする画像表示装置用金属部材である。
好ましくは、前記金属基板の材質は、Ｎｉを質量比率で３８〜５５％含有したＦｅ−Ｎｉ系合金である画像表示装置用金属部材である。
更に好ましくは、表層に絶縁層が形成された画像表示装置用金属部材である。
【発明の効果】
【００１１】
画像表示用部材に本発明の製造方法を適用することで、エッチング等による加工に比して、深穴で、穴部間の桟のアスペクト比の大きい隔壁を形成することができる。桟のアスペクト比が大きいほど、桟幅の狭い隔壁となり、穴ピッチを小さくしても部材における開口率をアップでき、輝度向上やパネルの精細度向上が期待できる。また、同じ穴ピッチの場合でも、本発明の製造方法で得られた部材を適用することで、ＰＤＰにおいては放電空間が広くなるため、発光効率の向上や消費電力の低減が期待できる。
また、貫通穴を有する金属基板を積層して接合する方法で危惧される、接合時のズレや加熱で生じる歪とも無縁であり、部材の寸法精度に優れている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の重要な特徴は、画像表示装置の画素に相当する穴部を有する画像表示装置用金属部材の製造に、深穴を形成し、且つ、最近接の穴部の桟のアスペクト比を大きくする目的で、熱エネルギーの照射による孔開け加工を適用した点にある。
以下に本発明を詳しく説明する。
【００１３】
本発明においては、画像表示装置の画素に相当する穴部を有する画像表示装置用金属部材の製造に、熱エネルギーの照射による穴加工を適用した。
画像表示装置のうち、例えばＰＤＰの従来技術においては、先述したようにガラスペースト材料とサンドブラスト加工でガラス隔壁が形成されている。このガラス隔壁の環境負荷及び欠け易さの問題を解決し、種々の性能向上を見込める手段として、本発明者らは、金属材料とフォトエッチング加工による金属隔壁を提唱してきた。
しかしながら、ＰＤＰやＦＥＤ等、新世代の画像表示装置には、より高精細な画像が要求されており、従って、より微細な穴加工が必要とされる。フォトエッチング加工で、微細なセルピッチで、且つ、深い穴を形成しようとすると、先述したように、サイドエッチによって穴が横に広がってしまうことから、隣接する穴とつながってしまう惧れがあり、自ずと限界がある。
また、貫通穴を有する金属基板を積層する方法では、先述したように、深穴を有する金属部材の加工技術としては有効であるが、積層・接合という工程が必要となるため、工数及びコストがかかり、また、接合時のズレや加熱で生じる歪によって部材の寸法精度に狂いが生じる惧れもある。
【００１４】
そこで、金属基板への穴加工の方法として、熱エネルギーの照射による穴加工を適用すると、１回のフォトエッチング加工（金属基板の表裏両面から行う）で達成されるよりも、より深穴で、且つ、最近接の穴部の間の桟のアスペクト比について、より大きく加工を行うことができる。
また、熱エネルギーの照射によって得られる穴部は、フォトエッチング加工に見られるサイドエッチがなく、しかも、熱エネルギーの照射により加工部分は一旦溶けて固まるため、断面の穴形状に過度な凹凸ができることも無い。従って、穴部壁面に形成する絶縁層や蛍光体も、より均一に形成できる形状が得られる。
また、画像表示装置のうち、例えばＦＥＤやＰＤＰにおいて、セル壁面に凹凸があると、パネルの駆動時に電界の集中が起こる惧れがあるが、一旦溶けて固まった穴部は過度な凹凸が無く滑らかであるため、電界の集中が無く、放電の効率向上や、消費電力の低減にも効果が期待できる。
【００１５】
この穴加工の方法としては、例えば、所定の大きさに切断した金属基板をステージに乗せ、熱エネルギーの照射装置を移動させながら、或いは、熱エネルギーを偏向させて、基板上の照射される位置を変えながら、断続的に熱エネルギーを照射して穴部を形成する方法や、或いは、金属基板をステージに乗せ、ステージを移動させながら１つ以上の熱エネルギー照射装置により、金属基板上の１箇所以上の位置に、断続的に熱エネルギーを金属基板に照射して穴部を形成する方法により、穴加工を行うことができる。
この場合、熱エネルギー装置の種類に応じて、雰囲気（空気、アルゴン、窒素、水素等）や真空度（大気圧、低真空、高真空）を選定すると良い。
【００１６】
本発明においては、この熱エネルギーの照射による穴加工の後に行うエッチング加工が重要である。熱エネルギーの照射による穴加工では、溶けた金属の再付着によるバリ状の突起の発生が皆無ではない。
本発明者はこのように発生したバリ状の突起がエッチング加工により精度良く除去できることを見出したものである。更にエッチングの加工は熱エネルギーの照射による穴加工部周辺の溶け残り部を除去する効果もある。
また、熱エネルギーの照射によって加工された穴の内壁からも、エッチング初期から加工が進行することから、従来の表裏面側からのフォトエッチング加工とは異なり、短時間で、且つ、過度なサイドエッチを伴うことなく穴部と穴部の間の桟幅を全体的に狭くする効果が期待できる。そのため、部材の開口率がアップし、高輝度化が期待できる。勿論この場合には、熱エネルギーの照射によって加工する穴の大きさは、このエッチング処理条件も見込んで設計することが有効である。
また、このエッチング加工によって、金属部材の肌をより滑らかに、即ち、表面粗さを小さくすることが可能であり、先述したように、絶縁層や蛍光体層の均一形成に、より有利となり、電界の集中が無く、放電の効率向上や消費電力の低減にも、より効果が期待できる。
【００１７】
本発明において、上述してきた穴部とは、基板の厚み方向に貫通した穴であっても、非貫通の穴であっても良い。貫通した穴とするか、或いは非貫通の穴とするかは、本発明の画像表示装置用金属部材を、隔壁やスペーサーとして用いるか、或いは背面基板を兼ね備えた隔壁とするのかによって、また、画像表示装置を構成する他の部材との組合せによって、それぞれに適した穴の形状を選択すると良い。
画像表示装置用のパネルに組立てる際には、貫通の穴を形成した画像表示装置用金属部材は、前面板ガラスだけでなく、背面にもガラスもしくはそれ以外の背面基板が必要であり、それら２枚の板の間に挟み込むように接合することで、隔壁やスペーサーとして用いることができる。
非貫通の穴を形成した金属部材の場合には、本発明の画像表示装置用金属部材が上述の背面基板を兼ねることもできるため、前面板ガラスのみを接合することでパネルとして組立てることが可能である。この場合、従来のガラス背面基板に比して、本発明の部材は厚み対比の強度に優れるため、パネルの軽量化にも寄与でき、熱伝導性に優れるため、放熱性の向上も見込まれ、より好ましい。
【００１８】
また、金属基板の材質については特に限定しないが、例えば蛍光体の焼成や、画像表示装置の組立てプロセスにおいて、４００〜５００℃程度の熱影響を受ける場合がある。前面板や背面板としては、熱膨張係数（２０〜５００℃）が８〜９×１０−６／℃程度のソーダライムガラスや高歪点ガラスが主として用いられており、従って、金属基板は、ガラスの熱膨張係数（２０〜５００℃）に近い６〜１０×１０−６／℃の熱膨張係数であることが望ましい。好ましい成分については後述する。
なお、金属基板の厚みについては、３０μｍ〜１ｍｍ程度が望ましい。本発明の画像表示装置用金属部材を適用する目的に応じて選択すると良い。薄型であることに特徴を持たせた画像表示装置におけるスペーサーとして用いる場合には、基板はできるだけ薄い方が望ましく、より好ましくは３０〜１５０μｍ程度であり、発光効率を高めたいＰＤＰの隔壁として用いる場合には、基板は現状のガラス隔壁（約１００〜１３０μｍ）よりも高いことが望まれ、より好ましくは、１５０〜５００μｍ程度である。
【００１９】
本発明において、熱エネルギーの照射として、代表的なものとしてレーザーや電子ビームが挙げられるが、特に電子ビームによる加工が好ましい。
通常、レーザーを用いる加工機では、発生させたレーザー光を、軸を有するガルバノミラーの駆動によって偏向させており、機械的な偏向であるため、加工速度を上げることが困難である。一方、電子ビームは、電磁コイルを用いて電気的な操作を行っているため、加工速度を上げ、生産性を高めることができ、部材の製造上、有利であるからである。
【００２０】
本発明の製造方法を適用すれば、最近接の穴部の間の桟のアスペクト比について、１回のエッチング（金属基板の表裏両面から）で達成が困難なアスペクト比（桟幅／桟高さ）、４以上２０以下を達成することができる。
そして、本発明で言う最近接の穴部間の桟とは、画素に相当するよう基板上に加工される穴部において、穴部の中心からの距離が最も短い別の穴部間に存在する桟の部分を言う。例えば、図２（ａ）において、アの穴部から見て、最近接の穴部とは、イ及びウの穴部を言い、これらの穴部と穴部との間に存在する桟を言う。エの穴部は最近接ではなく、第２近接の穴部であり、この穴部間の桟は対象としていない。
また、本発明において、桟幅とは、桟の断面形状が長方形でなく台形の場合には、台形の上底をもって桟幅とする。即ち、本発明では、図２におけるＨ／Ａをもって、アスペクト比と定義する。この桟幅は、基板の上面側、即ち、前面板ガラスに近い側であるから、画像表示装置の開口率に関与する部分である。
【００２１】
桟のアスペクト比について、例えば、現状のガラス隔壁を有するＰＤＰでは、サンドブラスト加工によって断面形状が台形をした隔壁が形成される。この隔壁では桟の上部の幅が約６０μｍで、隔壁高さは約１２０μｍであるから、アスペクト比は２程度である。また、金属基板をフォトエッチング加工によって穴加工する場合、ノズルからのスプレー圧を上げ、金属基板の表裏両面からフォトエッチング加工を施しても、画像表示装置の画素寸法として一般的なセル孔幅（１００〜３００μｍ）と桟幅（３０〜７０μｍ）の場合には、サイドエッチが進行してしまい、充分な桟高さを得ることが困難となり、せいぜい２〜４未満のアスペクト比しか得ることができない。
４以上のアスペクト比を得るために、貫通穴を形成した基板を積層する方法もあるが、先述したように接合時のズレや加熱で生じる歪によって、画像表示装置用金属部材の寸法に狂いが生じる惧れもあり、特に大画面ディスプレイを特徴とする画像表示装置においては大きな問題となる。
本発明では、通常のフォトエッチング加工で得られない、４以上のアスペクト比が、積層することなく１枚の金属板のみで得られるため、アスペクト比の下限を４とした。
また、本発明においては、アスペクト比の上限を２０としたが、これは必要以上に深い放電セルを形成しても、画像表示装置として組立てて駆動させる場合、前面ガラスからあまりに遠い箇所では、光の取り出し効率の観点から、輝度に寄与しなくなるからである。
【００２２】
次に本発明において好ましい金属基板の材質について説明する。
先述述した通り、蛍光体の焼成や画像表示装置の組立てプロセスにおいて、５００℃程度の熱影響を受ける場合があるため、前面板や背面板に用いられる高歪点ガラスの熱膨張係数（２０〜５００℃）の８×１０−６／℃に近い６〜１０×１０−６／℃であることが望ましい。
そのため、本発明においては、Ｎｉを質量比率で３８〜５５％含有したＦｅ−Ｎｉ系合金を用いることが好ましく、例えば、ＦＥＤのスペーサーやＰＤＰの隔壁等、画像表示装置の多くは高歪点ガラスと接合して使用される場合、その組立てプロセスにおいて、５００℃程度の熱影響を受けるため、前面板や背面板に用いられる高歪点ガラスの熱膨張係数（２０〜５００℃）の８×１０−６／℃に近い６〜１０×１０−６／℃の熱膨張特性にＮｉ含有量を調整することで、熱膨張特性を近似させることが容易な合金であるためである。
なお、本発明におけるＦｅ−Ｎｉ系合金は、その性能を阻害しない範囲で不可避的な不純物を含んでいても良く、また、付加的に望まれる特性に応じて、他の元素を含有させても良い。例えば、ガラスとの接合性を向上する等の目的で、一部をＣｒで置換したＦｅ−４２Ｎｉ−６Ｃｒのような、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金等も含む。
【００２３】
本発明においては、上述のように穴加工を施した金属基板の表層に、絶縁層を形成すると良い。
画像表示装置において、隔壁やスペーサーとして金属部材を適用する場合には、例えば、ＰＤＰにおいてはプラズマ、ＦＥＤにおいては電子が存在する空間に、金属基板を曝さない目的で、絶縁層が必要となるからである。
絶縁層形成の方法としては、気相堆積法に代表されるような高効率の成膜手法で絶縁層を形成する方法が好ましい。
なお、絶縁層の厚みは、その部材にかかる電界で絶縁破壊が起こらないよう、部材の設置される環境に適した厚みにすれば良く、０．１〜１０μｍ程度であれば良いが、部材の開口率を不必要に小さくしないよう、好ましくは５μｍ以下とすると良い。絶縁層としては、工業的に一般的に用いられるＳｉＯ２系やＡｌ２Ｏ３系等の酸化物を形成すれば良い。
また、画像表示装置において、反射特性に優れていることが要求される部材として適用する場合には、絶縁層として結晶化ガラスを選定し、例えば、気相堆積法で成膜し、分相または結晶化させて反射特性を向上させると良い。
また、この絶縁層の形成は、穴加工を施した金属基板を、別の部材と接合した後に、行っても良いことは言うまでも無い。
【００２４】
上述のようにして得られた画像表示装置用金属部材は、画像表示装置の高精細化のため、穴ピッチを小さくしても、部材における開口率を確保でき、輝度向上やパネルの精細度向上が期待できる。また、特にＰＤＰの隔壁として用いる場合には、１回のフォトエッチング加工で得られる同じ穴ピッチの隔壁よりも、開口率が大きいことから輝度の向上が期待できるとともに、放電空間が広くなることから発光効率の向上や消費電力の低減が期待できる。
また、貫通穴を有する金属基板を積層する方法で危惧される、接合時のズレや加熱で生じる歪とも無縁であり、部材の寸法精度に優れ、現状のガラス隔壁やグリーンシートに用いられている低融点ガラスを使用しないため、有害な鉛を本質的に含まず、環境上の問題も発生しないという利点も併せ持っている。
【実施例】
【００２５】
以下、本発明を更に詳細に実施例を用いて説明する。
熱膨張係数８．５×１０−６／℃の４８ｍａｓｓ％Ｎｉ−Ｆｅ合金を、真空溶解、均質化熱処理、熱間鍛造、熱間圧延し、冷間圧延と焼鈍とを繰返して板厚４１０μｍに圧延した冷間圧延材を、画像表示装置用金属部材の１つであるＰＤＰ用金属隔壁に適用できるよう、パネルとほぼ同じ大きさに切断したものを、金属基板として用いた。
金属基板を加工機のステージに乗せ、ステージを移動させつつ、熱エネルギーの照射の１つである電子ビームを断続的に照射することによって、ＰＤＰの画素に相当する穴ピッチ（横方向は３５０μｍ、縦方向は７００μｍ）の穴部を形成し、図１（ａ）に示すような貫通穴を有する画像表示装置用金属部材の素材とした。
この画像表示装置用金属部材の素材において、最近接の穴部の間の桟の断面形状は図１（ｂ）に示すような釣鐘形状であった。
【００２６】
穴加工を施した画像表示装置用金属部材の素材に、塩化第二鉄を主成分とするエッチング液を使用して、エッチング加工を施し、図１（ｃ）に示すように、滑らかな肌を有する画像表示装置用金属部材とした。なお、このエッチング加工は、レジストを用いたフォトエッチング加工ではなく、穴加工を施した画像表示装置用金属部材の素材にスプレーでエッチング液を噴霧しただけである。
この画像表示装置用金属部材のほぼ中央部から、最近接の穴部の間の桟のアスペクト比を測定するため、試験片を切り出した。この断面は図１（ｄ）に示すような三角形であった。桟の高さを揃えて前面板と接合するために、金属基板の表面（図では上側から破線の部分まで）を機械的に研磨して高さ２５０μｍとしたところ、上底は５０μｍとなり、アスペクト比は５．０となった。
同様に穴加工を施した画像表示装置用金属部材の素材について、エッチング加工の時間を短くし、研磨後の高さを３７０μｍとしたところ、上底は６３μｍとなり、アスペクト比は５．９となった。
【００２７】
また、比較例として、１回のフォトエッチング加工によって上記の板厚４１０μｍの冷間圧延材を金属基板として、同じ形状の加工を施すことを試みたが、貫通の穴を形成しようとすると、サイドエッチングによって、隣り合う穴がつながってしまい、所望の形状の画像表示装置用金属部材を作製することができなかった。
そこで、貫通の穴加工が可能な板厚とするため、上記の板厚４１０μｍ冷間圧延材に更に焼鈍と冷間圧延を行って板厚２００μｍの冷間圧延材とし、この冷間圧延材を金属基板としてフォトエッチング加工によって貫通穴を形成した。最近接の穴部の間の桟のアスペクト比は３．７であった。
本発明及び比較例の各部寸法の測定結果を表１に示す。
【００２８】
【表１】
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【００２９】
以上、説明する通り、熱エネルギーの照射によって穴加工する工程と、該穴加工の後にエッチング加工を行う工程によって、画像表示装置の画素に対応する穴部を形成し、その再近接の穴部の間の桟のアスペクト比（桟幅／桟高さ）が４以上である部材とすることができる。
従って、部材の寸法精度に優れ、また、高精細で開口率に優れるため高輝度であり、例えばＰＤＰに適用すると放電空間が広く発光効率に優れる画像表示装置用部材とすることができる。
【００３０】
上述のようにして得られた本発明の画像表示装置用金属部材に、気相成膜法の１つであるスパッタリング法により、Ａｌ２Ｏ３の酸化物層を２μｍの厚さで形成し、画像表示装置用部材とし、配線を施した背面板に接合層を介して接合し、スクリーン印刷法により蛍光体層を形成し、更に、前面板ガラスと貼り合わせることで、画像表示装置の１つであるＰＤＰのパネルとすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明よれば、微細な深穴加工を精度良く行えることから、貫通穴、非貫通の穴を形成し、且つ穴寸法の精度が求められる用途への適用に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】熱エネルギーの照射によって穴加工した金属基板の外観写真及び断面写真である。
【図２】本発明のアスペクト比を示す模式図である。
【図２】
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【図１】
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