(57)【要約】【課題】研磨すべき板状部材を保持台に保持し、保持台を送り機構により送り運動させると共に研磨機構をもつ研磨ヘッドを圧接機構により下降させ、板状部材を研磨運動機構により研磨運動する研磨機構により研磨することになり、研磨ヘッドは偏心輪機構により円軌跡平面運動しつつ角度回動機構により平面角度回動をすることになり、板状部材の研磨面の表面あらさ及び平滑度等を向上することができ、良好な研磨加工を行うことができる。【解決手段】板状部材Ｗを保持可能な保持台２と、板状部材の研磨面Ｗ1を研磨可能な研磨機構９をもつ研磨ヘッド７と、研磨ヘッドを板状部材の研磨面の方向に進退させる進退部材をもつ圧接機構と、研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、保持台を送り運動させる送り機構とを備えてなり、研磨運動機構は研磨ヘッドを円軌跡平面運動させる偏心輪機構１３及び研磨ヘッドを平面角度回動させる角度回動機構１４からなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を保持台に保持し、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドを研磨運動させると共に該保持台を送り運動させて該板状部材の研磨面を研磨するに際し、上記研磨ヘッドを偏心輪機構により円軌跡平面研磨運動させながら上記研磨ヘッドを角度回動機構により平面角度回動させて研磨することを特徴とする板状部材研磨方法。
【請求項２】
板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを該板状部材の研磨面の方向に進退させる進退部材をもつ圧接機構と、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、該保持台を送り運動させる送り機構とを備えてなり、上記研磨運動機構は上記研磨ヘッドを円軌跡平面運動させる偏心輪機構及び該研磨ヘッドを平面角度回動させる角度回動機構からなることを特徴とする板状部材研磨装置。
【請求項３】
板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを該板状部材の研磨面の方向に進退させる進退部材をもつ圧接機構と、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、該保持台を送り運動させる送り機構とを備えてなり、上記研磨機構は表面に砥粒を固定したラッピングフィルムと、該研磨ヘッドに設けられ、該ラッピングフィルムを移送可能な移送機構とからなり、該ラッピングフィルムを移送させる移送用モータを上記進退部材に設けると共に該移送用モータの回転を該移送機構に伝達可能な伝達機構を設けてなることを特徴とする板状部材研磨装置。
【請求項４】
板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを該板状部材の研磨面の方向に進退させる進退部材をもつ圧接機構と、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、該保持台を送り運動させる送り機構とを備えてなり、上記研磨機構は、ポリッシングテープと、該研磨ヘッドに設けられ、該ポリッシングテープを移送可能な移送機構と、該ポリッシングテープの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構とからなり、該ポリッシングテープを移送させる移送用モータを上記進退部材に設けると共に該移送用モータの回転を該移送機構に伝達可能な伝達機構を設けてなることを特徴とする板状部材研磨装置。
【請求項５】
上記研磨運動機構として、上記研磨ヘッドを上記進退部材に平面運動自在に設け、該進退部材に中心軸線から第一の偏心量分偏心した第一の偏心軸線をもつ偏心筒軸を角度回動自在に縦設し、該偏心筒軸を中心軸線を中心に角度回動させる角度回動用モータを進退部材に配設し、該偏心筒軸の第一の偏心軸線上に自転軸を回動自在に縦設すると共に該偏心筒軸に該自転軸を第一の偏心軸線を中心として回転させる自転用モータを設け、該自転軸に偏心筒軸の第一の偏心軸線上である自転軸の中心軸線から第二の偏心量分偏心した第二の偏心軸線をもつ偏心軸部を設け、該偏心軸部に遊転ロールを回転自在に設け、研磨ヘッドに遊転ロールに嵌合する嵌合部を設けてなることを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載の板状部材研磨装置。
【請求項６】
上記研磨機構は、ポリッシングシートと、該ポリッシングシートを貼着固定可能なパッド機構と、該ポリッシングシートの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構とからなることを特徴とする請求項２又は５記載の板状部材研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は例えば多層プリント配線基板、液晶カラーフィルタ、プラズマデイスプレイパネル、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）用テープ、銅板等の表面研磨に用いられる板状部材研磨方法及びその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来この種の多層プリント配線基板、液晶カラーフィルタ、銅板等の板状部材の研磨方法及びその装置として、板状部材を保持台に保持し、この保持台を送り運動させると共に砥粒を固定したラッピングフィルムからなる研磨機構をもつ研磨ヘッドを保持台の送り運動方向と交差する方向に直線的揺振研磨運動させ、さらに、ラッピングフィルムを送り運動方向に一方向移送させて板状部材の研磨面を研磨する構造のものが知られている。
【特許文献１】特許第３０６９６１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら上記従来構造の場合、研磨ヘッドの直線的揺振研磨運動及びラッピングフィルムの送り運動並びに保持台の送り運動の複合運動により研磨する構造であり、板状部材の仕様や研磨条件によっては、研磨面の平滑性や表面あらさ等の研磨性が不十分となることがあるという不都合を有している。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明はこれらの不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、請求項１記載の発明は、板状部材を保持台に保持し、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドを研磨運動させると共に該保持台を送り運動させて該板状部材の研磨面を研磨するに際し、上記研磨ヘッドを偏心輪機構により円軌跡平面研磨運動させながら上記研磨ヘッドを角度回動機構により平面角度回動させて研磨することを特徴とする板状部材研磨方法にある。
【０００５】
又、請求項２記載の発明は、板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを該板状部材の研磨面の方向に進退させる進退部材をもつ圧接機構と、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、該保持台を送り運動させる送り機構とを備えてなり、上記研磨運動機構は上記研磨ヘッドを円軌跡平面運動させる偏心輪機構及び該研磨ヘッドを平面角度回動させる角度回動機構からなることを特徴とする板状部材研磨装置にある。
【０００６】
又、請求項３記載の発明は、板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを該板状部材の研磨面の方向に進退させる進退部材をもつ圧接機構と、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、該保持台を送り運動させる送り機構とを備えてなり、上記研磨機構は表面に砥粒を固定したラッピングフィルムと、該研磨ヘッドに設けられ、該ラッピングフィルムを移送可能な移送機構とからなり、該ラッピングフィルムを移送させる移送用モータを上記進退部材に設けると共に該移送用モータの回転を該移送機構に伝達可能な伝達機構を設けてなることを特徴とする板状部材研磨装置にある。
【０００７】
又、請求項４記載の発明は、板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを該板状部材の研磨面の方向に進退させる進退部材をもつ圧接機構と、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、該保持台を送り運動させる送り機構とを備えてなり、上記研磨機構は、ポリッシングテープと、該研磨ヘッドに設けられ、該ポリッシングテープを移送可能な移送機構と、該ポリッシングテープの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構とからなり、該ポリッシングテープを移送させる移送用モータを上記進退部材に設けると共に該移送用モータの回転を該移送機構に伝達可能な伝達機構を設けてなることを特徴とする板状部材研磨装置にある。
【０００８】
又、請求項５記載の発明は、上記研磨運動機構として、上記研磨ヘッドを上記進退部材に平面運動自在に設け、該進退部材に中心軸線から第一の偏心量分偏心した第一の偏心軸線をもつ偏心筒軸を角度回動自在に縦設し、該偏心筒軸を中心軸線を中心に角度回動させる角度回動用モータを進退部材に配設し、該偏心筒軸の第一の偏心軸線上に自転軸を回動自在に縦設すると共に該偏心筒軸に自転軸を第一の偏心軸線を中心として回転させる自転用モータを設け、該自転軸に偏心筒軸の第一の偏心軸線上である自転軸の中心軸線から第二の偏心量分偏心した第二の偏心軸線をもつ偏心軸部を設け、該偏心軸部に遊転ロールを回転自在に設け、研磨ヘッドに遊転ロールに嵌合する嵌合部を設けてなることを特徴とするものであり、又、請求項６記載の発明は、上記研磨機構は、ポリッシングシートと、該ポリッシングシートを貼着固定可能なパッド機構と、該ポリッシングシートの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構とからなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は上述の如く、請求項１又は２記載の発明にあっては、研磨すべき板状部材を保持台に保持し、保持台を送り機構により送り運動させると共に研磨機構をもつ研磨ヘッドを圧接機構により下降させ、板状部材を研磨運動機構により研磨運動する研磨機構により研磨することになり、この際、研磨ヘッドは偏心輪機構により円軌跡平面運動しつつ角度回動機構により平面角度回動をすることになり、このため、板状部材の研磨面の表面あらさ及び平滑度等を向上することができ、良好な研磨加工を行うことができる。
【００１０】
又、請求項３記載の発明にあっては、上記研磨機構は表面に砥粒を固定したラッピングフィルムと、研磨ヘッドに設けられ、ラッピングフィルムを移送可能な移送機構とからなり、ラッピングフィルムを移送させる移送用モータを進退部材に設けると共に移送用モータの回転を移送機構に伝達可能な伝達機構を設けてなるから、表面に固定された砥粒による所謂固定砥粒による研磨作用がなされ、加えて、ラッピングフィルムの一方向移送による研磨作用がなされ、研磨すべき板状部材の研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができ、更に、移送用モータの重量が研磨ヘッドに掛からないので、研磨ヘッドのの研磨運動を円滑に行うことができる。
【００１１】
又、請求項４記載の発明にあっては、板状部材を保持可能な保持台と、板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、研磨ヘッドを該板状部材の研磨面の方向に進退させる進退部材をもつ圧接機構と、研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、保持台を送り運動させる送り機構とを備えてなり、上記研磨機構は、ポリッシングテープと、研磨ヘッドに設けられ、ポリッシングテープを移送可能な移送機構と、ポリッシングテープの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構とからなり、ポリッシングテープを移送させる移送用モータを上記進退部材に設けると共に該移送用モータの回転を該移送機構に伝達可能な伝達機構を設けてなるから、スラリー供給機構からのスラリーに含まれる砥粒による所謂遊離砥粒による研磨作用がなされ、研磨すべき板状部材の研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができ、更に、更に、移送用モータの重量が研磨ヘッドに掛からないので、研磨ヘッドのの研磨運動を円滑に行うことができる。
【００１２】
又、請求項５記載の発明にあっては、上記研磨運動機構として、上記研磨ヘッドを上記進退部材に平面運動自在に設け、進退部材に中心軸線から第一の偏心量Ｅ分偏心した第一の偏心軸線をもつ偏心筒軸を角度回動自在に縦設し、偏心筒軸を中心軸線を中心に角度回動させる角度回動用モータを進退部材に配設し、偏心筒軸の第一の偏心軸線上に自転軸を回動自在に縦設すると共に偏心筒軸に自転軸を第一の偏心軸線を中心として回転させる自転用モータを設け、自転軸に偏心筒軸の第一の偏心軸線上である自転軸の中心軸線から第二の偏心量ｅ分偏心した第二の偏心軸線をもつ偏心軸部を設け、偏心軸部に遊転ロールを回転自在に設け、研磨ヘッドに遊転ロールに嵌合する嵌合部を設けて構成しているから、研磨運動機構の構造を簡素化することができると共に研磨ヘッドを円滑に研磨運動させることができる。
【００１３】
又、請求項６記載の発明にあっては、上記研磨機構は、ポリッシングシートと、該ポリッシングシートを貼着固定可能なパッド機構と、該ポリッシングシートの表面と上記板状部材の研磨面との間に砥粒を含むスラリーを供給可能なスラリー供給機構とからなるので、パッド機構に固定されたシート状のポリッシングシートによる研磨作用を得ることができ、研磨すべき板状部材の研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨機構をもつ研磨ヘッドと、該研磨ヘッドを該板状部材の研磨面の方向に進退させる進退部材をもつ圧接機構と、該研磨ヘッドを研磨運動させる研磨運動機構と、該保持台を送り運動させる送り機構とを備えてなり、上記研磨運動機構は上記研磨ヘッドを円軌跡平面運動させる偏心輪機構及び該研磨ヘッドを平面角度回動させる角度回動機構からなり、研磨すべき板状部材を保持台に保持し、保持台を送り機構により送り運動させると共に研磨機構をもつ研磨ヘッドを圧接機構により下降させ、板状部材を研磨運動機構により研磨運動する研磨機構により研磨することになり、この際、研磨ヘッドは偏心輪機構により円軌跡平面運動しつつ角度回動機構により平面角度回動をすることになり、このため、板状部材の研磨面の表面あらさ及び平滑度等を向上することができ、良好な研磨加工を行うことができる。
【実施例】
【００１５】
図１乃至図１２は本発明の実施例を示し、図１乃至図９は第一実施例、図１０は第二実施例、図１１は第三実施例、図１２は第四実施例である。
【００１６】
図１乃至図９の第一実施例において、１は機台、２は保持台、３は送り機構であって、この場合、機台１上に摺動部４により前後方向に移動自在に保持台２を配設し、この保持台２を送り用モータ５及びボールネジ機構６により送り運動させるように設け、この保持台２に多層プリント配線基板や液晶カラーフィルタ等の研磨すべき板状部材Ｗを研磨面Ｗ1を上面にして位置決め状態で固定載置可能な図外の吸着固定機構を配設している。
【００１７】
７は研磨ヘッド、８は圧接機構、９は研磨機構、１０は研磨運動機構であって、この場合、機台１に門形の支柱部材１１を立設し、支柱部材１１に進退部材１２を摺動部１２ａにより上下動自在に設け、支柱部材１１に上下移動用モータ１２ｂを設け、この進退部材１２を上下移動用モータ１２ｂ及びボールネジ機構１２ｃにより上下進退動作させるように設け、この進退部材１２に研磨機構９をもつ研磨ヘッド７及び研磨運動機構１０を設けて構成している
【００１８】
上記研磨運動機構１０は、図４、図５の如く、上記研磨ヘッド７を円軌跡平面運動動させる偏心輪機構１３及び研磨ヘッド７を平面角度回動させる角度回動機構１４からなり、この場合、上記研磨ヘッド７を上記進退部材１２に互いに交差方向に配置された摺動部１２ｄ及び摺動部１２ｅにより吊下状に平面運動自在に設け、進退部材１２に中心軸線Ｌから第一の偏心量Ｅ分偏心した第一の偏心軸線Ｍをもつ偏心筒軸１５を角度回動自在に縦設し、偏心筒軸１５を中心軸線Ｌを中心に角度回動させる角度回動用モータ１６を進退部材１２に取付け、偏心筒軸１５の中心軸線Ｌ上にプーリ部１５ａを設け、プーリ部１５ａと角度回動用モータ１６の主軸との間にベルト１７を掛回し、偏心筒軸１５の第一の偏心軸線Ｍ上に自転軸１８を回動自在に縦設すると共に偏心筒軸１５の上部にブラケット１９を取り付け、ブラケット１９に自転軸１８を第一の偏心軸線Ｍを中心として回転させる自転用モータ２０を設け、自転用モータ２０の主軸と自転軸１８とを継手２１により連結し、自転軸１８に偏心筒軸１５の第一の偏心軸線Ｍ上である自転軸１８の中心軸線Ｋから第二の偏心量ｅ分偏心した第二の偏心軸線Ｎをもつ偏心軸部２２を形成し、偏心軸部２２にカムフォロワである遊転ロール２３を回転自在に設け、研磨ヘッド７に遊転ロール２３に嵌合する円形内周面をもつ嵌合部２４を設けて構成している。尚、偏心軸部２２を自転軸１８から分離した構成にして上記第二の偏心量ｅを可変自在にするための例えば長穴とボルトからなる偏心量可変構造を設けることもある。
【００１９】
しかして、図８、図９の如く、自転用モータ２０の回転により自転軸１８が回転し、偏心軸部２２、遊転ロール２３及び嵌合部２４からなる偏心輪機構１３により研磨ヘッド７は円軌跡平面運動Ｒをなし、かつ偏心筒軸１５を図９の如く、角度回動用モータ１６により適宜往復角度回動θ又は回動させることにより、研磨ヘッド７は平面角度回動Ｑをなし、よって、研磨ヘッド７は円軌跡平面運動Ｒしつつ平面角度回動Ｑをすることになる。
【００２０】
又、この場合、上記研磨機構９は、図６、図７の如く、表面に砥粒を固定したテープ状のラッピングフィルムＦと、ラッピングフィルムＦを移送可能な移送機構２５とからなり、この移送機構２５は研磨ヘッド７のヘッド部材７ａにラッピングフィルムＦを巻き取った実巻リール２６を取り付ける実巻軸２７及び実巻リール２６から解かれたラッピングフィルムＦを巻き取る空リール２８を取り付ける巻取軸２９を架設し、この実巻リール２６を解き回転させる移送用モータ３０及び空リール２８を巻取回転させる移送用モータ３１を上記進退部材１２にそれぞれ取り付け、この移送用モータ３０・３１の回転を移送機構２５の実巻軸２７及び巻取軸２９に伝達する伝達機構３２を設け、この伝達機構３２は、移送用モータ３０・３１と実巻軸２７及び巻取軸２９との間にスプライン機構により回り止め状態で伸縮自在な伝達部材３３・３４からなり、この移送用モータ３０・３１により研磨ヘッド７の進退動作を許容して伝達機構３２を介して実巻軸２７及び巻取軸２９を回転させ、ラッピングフィルムＦを実巻リール２６から空リール２８へと案内ロール３５ａ、圧接パッド３６の圧接面３６ａ及び案内ロール３５ｂを介して連続的又は間欠的に移送案内するように構成している。
【００２１】
このラッピングフィルムＦは、例えば、ポリエステルフィルム、メタル、クロス等のテープ状の基材の表面に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の砥粒をコーティング又は結合してなる構造のものが用いられている。
【００２２】
この第一実施例は上記構成であるから、研磨すべき板状部材Ｗを保持台２に保持し、保持台２を送り機構３により送り運動Ｄさせると共に研磨機構９をもつ研磨ヘッド７を圧接機構８により下降させ、板状部材Ｗを研磨運動機構１０により研磨運動する研磨機構９により研磨することになり、この際、研磨ヘッド７は偏心輪機構１３により円軌跡平面運動Ｒしつつ角度回動機構１４により平面角度回動Ｑをすることになり、このため、板状部材Ｗの研磨面Ｗ1の表面あらさ及び平滑度等を向上することができ、良好な研磨加工を行うことができる。
【００２３】
又、上記研磨機構９は表面に砥粒を固定したラッピングフィルムＦと、研磨ヘッド７に設けられ、ラッピングフィルムＦを移送可能な移送機構２５とからなり、ラッピングフィルムＦを移送させる移送用モータ３０・３１を進退部材１２に設けると共に移送用モータ３０・３１の回転を移送機構２５に伝達可能な伝達機構３２を設けてなるから、表面に固定された砥粒による所謂固定砥粒による研磨作用がなされ、加えて、ラッピングフィルムＦの一方向移送Ｃによる研磨作用がなされ、研磨すべき板状部材Ｗの研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができ、更に、移送用モータ３０・３１の重量が研磨ヘッド７に掛からないので、研磨ヘッドの７の研磨運動を円滑に行うことができる。
【００２４】
又、この場合、上記研磨運動機構１０として、上記研磨ヘッド７を上記進退部材１２に平面運動自在に設け、進退部材１２に中心軸線Ｌから第一の偏心量Ｅ分偏心した第一の偏心軸線Ｍをもつ偏心筒軸１５を角度回動自在に縦設し、偏心筒軸１５を中心軸線Ｌを中心に角度回動させる角度回動用モータ１６を進退部材１２に配設し、偏心筒軸１５の第一の偏心軸線Ｍ上に自転軸１８を回動自在に縦設すると共に偏心筒軸１５に自転軸１８を第一の偏心軸線Ｍを中心として回転させる自転用モータ２０を設け、自転軸１８に偏心筒軸１５の第一の偏心軸線Ｍ上である自転軸１８の中心軸線Ｋから第二の偏心量ｅ分偏心した第二の偏心軸線Ｎをもつ偏心軸部２２を設け、偏心軸部２２に遊転ロール２３を回転自在に設け、研磨ヘッド７に遊転ロール２３に嵌合する嵌合部２４を設けて構成しているから、研磨運動機構１０の構造を簡素化することができると共に研磨ヘッド７を円滑に研磨運動させることができる。
【００２５】
図１０の第二実施例は別例構造を示し、この場合、上記研磨機構９は、上記第一実施例のラッピングフィルムＦに代えてポリッシングテープＰが用いられ、加えて、このポリッシングテープＰの表面と上記板状部材Ｗの研磨面Ｗ1との間に砥粒を含むスラリーＧを給送ノズル３７ａより噴出供給可能なスラリー供給機構３７が設けられ、その他は同一構造が採用されている。
【００２６】
このポリッシングテープＰは、例えば、不織布基体層に発泡ウレタン樹脂をスエード革状に形成した構造や不織布単一特殊構造の帯状のものが用いられ、スラリーＧとしては、例えば、酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の砥粒を加工液や化学液に混合させてなるものが用いられる。
【００２７】
この第二実施例は上記構成であるから、上記第一実施例と同様な作用効果を得ることができると共にスラリー供給機構３７からのスラリーＧに含まれる砥粒による所謂遊離砥粒による研磨作用がなされ、研磨すべき板状部材Ｗの研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができ、更に、移送用モータ３０・３１の重量が研磨ヘッド７に掛からないので、研磨ヘッドの７の研磨運動を円滑に行うことができる。
【００２８】
図１１の第三実施例は別例構造を示し、この場合、上記研磨機構９は、上記第二実施例の帯状のポリッシングテープＰに代えてポリッシングテープＰと同様な構造の例えば円板状や四角板状のシート状のポリッシングシートＳが用いられ、かつ、ポリッシングテープＰを移送可能な移送機構２５に代えてシート状のポリッシングシートＳを貼着固定可能な圧接部材３８をもつパッド機構３９を設けてなり、その他は同一構造が採用されている。
【００２９】
この第三実施例は上記構成であるから、上記第二実施例と同様な作用効果を得ることができると共にパッド機構３９に固定されたシート状のポリッシングシートＳによる研磨作用を得ることができ、研磨すべき板状部材Ｗの研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができる。
【００３０】
図１２の第四実施例は別例構造を示し、この場合、上記研磨機構９は、上記第三実施例の圧接部材３８の圧接面３８ａが平坦面であるのに対し、この圧接部材３８の圧接面３８ａを凹凸面に形成し、凸面部分にシート状のポリッシングシートＳを貼着した構造とされ、その他は同一構造が採用されている。
【００３１】
この第四実施例は上記構成であるから、上記第三実施例と同様な作用効果を得ることができると共にパッド機構３８に固定されたシート状のポリッシングシートＳによる研磨作用を得ることができると共に凹凸面となっている圧接面３８ａの凹部分が切粉の逃げ部分として作用することになり、研磨すべき板状部材Ｗの研磨条件に応じた良好な研磨加工を行うことができる。
【００３２】
尚、本発明は上記実施例に限られるものではなく、例えば、送り機構３、圧接機構８、研磨機構９、研磨運動機構１０、偏心輪機構１３、角度回動機構１４、スラリー供給機構３７の構造やラッピングフィルムＦ、ポリッシングテープＰ、ポリッシングシートＳの材質等は板状部材Ｗの種類や研磨条件により選択して設計される。
【００３３】
以上、所期の目的を充分達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第一実施例の全体正面図である。
【図２】本発明の第一実施例の全体正断面図である。
【図３】本発明の第一実施例の全体平面図である。
【図４】本発明の第一実施例の拡大正断面図である。
【図５】本発明の第一実施例の説明平断面図である。
【図６】本発明の第一実施例の側面図である。
【図７】本発明の第一実施例の側面図である。
【図８】本発明の第一実施例の説明平面図である。
【図９】本発明の第一実施例の説明斜視図である。
【図１０】本発明の第二実施例の拡大側面図である。
【図１１】本発明の第三実施例の拡大側面図である。
【図１２】本発明の第四実施例の拡大側面図である。
【符号の説明】
【００３５】
Ｗ    板状部材
Ｗ1    研磨面
Ｌ    中心軸線
Ｍ    偏心軸線
Ｋ    中心軸線
Ｎ    偏心軸線
Ｆ    ラッピングフィルム
Ｐ    ポリッシングテープ
Ｇ    スラリー
Ｓ    ポリッシングシート
Ｒ    円軌跡平面運動
Ｑ    平面角度回動
２    保持台
３    送り機構
７    研磨ヘッド
８    圧接機構
９    研磨機構
１０    研磨運動機構
１２    進退部材
１３    偏心輪機構
１４    角度回動機構
１５    偏心筒軸
１６    角度回動用モータ
１８    自転軸
２２    偏心軸部
２３    遊転ロール
２４    嵌合部
２５    移送機構
３０    移送用モータ
３１    移送用モータ
３２    伝達機構
３６    圧接パッド
３７    スラリー供給機構
３８    圧接部材
３９    パッド機構
【図１】
2005066783.tif 000003
【図２】
2005066783.tif 000004
【図３】
2005066783.tif 000005
【図４】
2005066783.tif 000006
【図５】
2005066783.tif 000007
【図６】
2005066783.tif 000008
【図７】
2005066783.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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