(57)【要約】【課題】  アクチュエータまたはアクチュエータかの一部からなるデバイスを１枚のフィルム部材上に複数形成して小型化／薄型化が可能なシステムモジュールを提供すること。【解決手段】  本発明の第１の実施の形態のシステムモジュール１は、所定の隙間を有して互いに対向させて積層した一方と他方のフィルム部材２，３を有し、隙間部分にアクチュエータまたはアクチュエータの一部を形成し、いずれか一方の前記フィルム部材２上には、前記アクチュエータまたはアクチュエータの一部を少なくとも１個以上配設すると共に、前記アクチュエータとは異なるデバイスを少なくとも１個以上配設したので、小型化／薄型化が可能なシステムモジュールを提供できる。【選択図】        図２
2005184084.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状のフィルム部材を備え、前記フィルム部材は、所定の隙間を有して互いに対向させて積層した一方と他方のフィルム部材を有し、前記隙間部分にアクチュエータまたはアクチュエータの一部を形成し、いずれか一方の前記フィルム部材上には、前記アクチュエータまたはアクチュエータの一部を少なくとも１個以上配設すると共に、前記アクチュエータとは異なるデバイスを少なくとも１個以上配設したことを特徴とするシステムモジュール。
【請求項２】
前記フィルム部材のいずれか一方には、少なくとも前記アクチュエータを駆動可能な前記デバイスが搭載されていると共に、前記デバイスと前記アクチュエータとを接続する回路パターンが形成されていることを特徴とする請求項１記載のシステムモジュール。
【請求項３】
いずれか一方の前記フィルム部材には、前記アクチュエータの一部であるコイルまたはマグネットが形成され、前記コイルに通電することにより前記コイルを形成した前記フィルム部材が振動するようにしたことを特徴とする請求項１または２記載のシステムモジュール。
【請求項４】
前記アクチュエータは、いずれか一方の前記フィルム部材に前記コイルを形成すると共に、前記コイルと対向する部分の他方の前記フィルム部材に形成したマグネットとからなることを特徴とする請求項３記載のシステムモジュール。
【請求項５】
前記コイルは、一方の前記フィルム部材にリング状に形成され、前記マグネットは、前記コイルのリング状の内周部と対向する位置にヨークを介して前記他方のフィルム部材に形成されていることを特徴とする請求項４記載のシステムモジュール。
【請求項６】
前記アクチュエータは、いずれか一方のフィルム部材に前記アクチュエータの一部である所定の面積の電極からなる振動膜を形成し、前記振動膜と対向する部分の前記隙間部分に誘電体フィルムを介して背面電極を形成し、前記いずれか一方のフィルム部材が振動して前記振動膜が振動することにより、前記振動膜と前記背面電極との間での静電容量が変化するようにしたことを特徴とする請求項１または２記載のシステムモジュール。
【請求項７】
前記アクチュエータは、いずれか一方の前記フィルム部材にコイルまたはマグネットからなる被駆動部材を形成し、前記被駆動部材と対向する側の前記隙間部分にマグネットまたはコイルからなる駆動部材を配設し、前記コイルに通電すると前記駆動部材が前記一方のフィルム部材と平行な水平方向に回動可能になっていることを特徴とする請求項１または２記載のシステムモジュール。  
【請求項８】
前記駆動部材は、前記水平方向に回動自在のアーム部材の一端部側に形成され、前記アーム部材の他端部側に回路部品を取り付けたことを特徴とする請求項７記載のシステムモジュール。
【請求項９】
前記アクチュエータは、前記駆動部材を前記水平方向に回動自在のアーム部材の一端部側に形成し、前記アーム部材の他端部側に鏡面状の反射面を形成して、光を導く光路の分岐点に配設したことを特徴とする請求項７記載のシステムモジュール。
【請求項１０】
前記光路は、周囲に形成した反射膜で囲まれていることを特徴とする請求項９記載のシステムモジュール。
【請求項１１】
前記光路には、内部に入射した光を内部反射作用により導くことができる光導波管を配設したことを特徴する請求項９記載のシステムモジュール。
【請求項１２】
前記一方と他方のフィルム部材の前記隙間部分には、流体を流すことができる流路が形成され、前記流路と接する部分の前記一方のフィルム部材には、少なくとも前記流路から前記流体をポンプで吸入可能な吸入弁が形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のシステムモジュール。
【請求項１３】
前記ポンプは、前記吸入弁と、この吸入弁から吸入した前記流体を排出可能な排出弁とを含む大きさのポンプ室を有し、前記流体を前記吸入弁を介して前記ポンプ室に吸入、および前記ポンプ室から前記排出弁を介して排出可能になっていることを特徴とする請求項１２記載のシステムモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は１枚のフィルム部材上に複数のデバイスを形成して薄型および小型化が可能なシステムモジュールに関する。  
【背景技術】
【０００２】
従来のモジュールを、例えば特許文献１の特開２００１−３３３４９３号公報に記載の平面スピーカに基づいて説明する。従来の平面スピーカは、図１２に示すように、最下部に鉄板等からなる平板状のヨーク１１０が配設され、このヨーク１１０の上面には複数の磁石１１２が取り付けられている。
また、磁石１１２の上方には、振動膜１１４が配設され、この振動膜１１４には、磁石１１２と対向する位置にコイル１１８が渦巻き状に巻回されている。
そして、振動膜１１４は、磁石１１２と所定の隙間を有して外周部が枠型のスペーサ１２０に支持されている。
また、スペーサ１２０には、コイル１１８に通電するための入力端子１２２が配設され、ヨーク１１０には、空気抜きのための孔１２４が形成されて、デバイスである平面スピーカが単一のモジュールとして組み立てられている。
【０００３】
このような単一のモジュールとして組み立てられた従来の平面スピーカは、通電することによりコイル１１８に発生する磁束が磁石１１２の磁束に作用して、磁石１１２から接離する方向の振動力がコイル１１８発生する。
前記コイル１１８に発生する振動力によって振動膜１１４が振動することにより、音が発生するようになっている。
【特許文献１】特開２００１−３３３４９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来のモジュールである例えば平面スピーカは、その他の回路部品を取り付けたプリント基板とは別に、オーディオ装置等に組み込みしていたので、部品点数が多くなり組立が煩雑であった。
また、従来のモジュールである例えば平面スピーカは、鉄板等からなるヨーク１１０の上に磁石１１２を載置し、振動膜１１４にコイル１１８を渦巻き状に巻回していたので厚さが厚くなり、携帯機器等への使用が難しかった。
【０００５】
本発明は、前述のような課題を解決して、アクチュエータまたはアクチュエータかの一部からなるデバイスを１枚のフィルム部材上に複数形成して小型化／薄型化が可能なシステムモジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するための第１の解決手段として本発明のシステムモジュールは、薄板状のフィルム部材を備え、前記フィルム部材は、所定の隙間を有して互いに対向させて積層した一方と他方のフィルム部材を有し、前記隙間部分にアクチュエータまたはアクチュエータの一部を形成し、いずれか一方の前記フィルム部材上には、前記アクチュエータまたはアクチュエータの一部を少なくとも１個以上配設すると共に、前記アクチュエータとは異なるデバイスを少なくとも１個以上配設したことを特徴とするシステムモジュール。
【０００７】
また、前記課題を解決するための第２の解決手段として、前記フィルム部材のいずれか一方には、少なくとも前記アクチュエータを駆動可能な前記デバイスが搭載されていると共に、前記デバイスと前記アクチュエータとを接続する回路パターンが形成されていることを特徴とする。
【０００８】
また、前記課題を解決するための第３の解決手段として、いずれか一方の前記フィルム部材には、前記アクチュエータの一部であるコイルまたはマグネットが形成され、前記コイルに通電することにより前記コイルを形成した前記フィルム部材が振動するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
また、前記課題を解決するための第４の解決手段として、前記アクチュエータは、いずれか一方の前記フィルム部材に前記コイルを形成すると共に、前記コイルと対向する部分の他方の前記フィルム部材に形成したマグネットとからなることを特徴とする。
【００１０】
また、前記課題を解決するための第５の解決手段として、前記コイルは、一方の前記フィルム部材にリング状に形成され、前記マグネットは、前記コイルのリング状の内周部と対向する位置にヨークを介して前記他方のフィルム部材に形成されていることを特徴とする。
【００１１】
また、前記課題を解決するための第６の解決手段として、前記アクチュエータは、いずれか一方のフィルム部材に前記アクチュエータの一部である所定の面積の電極からなる振動膜を形成し、前記振動膜と対向する部分の前記隙間部分に誘電体フィルムを介して背面電極を形成し、前記いずれか一方のフィルム部材が振動して前記振動膜が振動することにより、前記振動膜と前記背面電極との間での静電容量が変化するようにしたことを特徴とする。
【００１２】
また、前記課題を解決するための第７の解決手段として、前記アクチュエータは、いずれか一方の前記フィルム部材にコイルまたはマグネットからなる被駆動部材を形成し、前記被駆動部材と対向する側の前記隙間部分にマグネットまたはコイルからなる駆動部材を配設し、前記コイルに通電すると前記駆動部材が前記一方のフィルム部材と平行な水平方向に回動可能になっていることを特徴とする。
【００１３】
また、前記課題を解決するための第８の解決手段として、前記駆動部材は、前記水平方向に回動自在のアーム部材の一端部側に形成され、前記アーム部材の他端部側に回路部品を取り付けたことを特徴とする。
【００１４】
また、前記課題を解決するための第９の解決手段として、前記アクチュエータは、前記駆動部材を前記水平方向に回動自在のアーム部材の一端部側に形成し、前記アーム部材の他端部側に鏡面状の反射面を形成して、光を導く光路の分岐点に配設したことを特徴とする。
【００１５】
また、前記課題を解決するための第１０の解決手段として、前記光路は、周囲に形成した反射膜で囲まれていることを特徴とする請求項９記載のシステムモジュール。
【００１６】
また、前記課題を解決するための第１１の解決手段として、前記光路には、内部に入射した光を内部反射作用により導くことができる光導波管を配設したことを特徴する。
【００１７】
また、前記課題を解決するための第１２の解決手段として、前記一方と他方のフィルム部材の前記隙間部分には、流体を流すことができる流路が形成され、前記流路と接する部分の前記一方のフィルム部材には、少なくとも前記流路から前記流体をポンプで吸入可能な吸入弁が形成されていることを特徴とする。
【００１８】
また、前記課題を解決するための第１３の解決手段として、前記ポンプは、前記吸入弁と、この吸入弁から吸入した前記流体を排出可能な排出弁とを含む大きさのポンプ室を有し、前記流体を前記吸入弁を介して前記ポンプ室に吸入、および前記ポンプ室から前記排出弁を介して排出可能になっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は、所定の隙間を有して互いに対向させて積層した一方と他方のフィルム部材を有し、隙間部分にアクチュエータまたはアクチュエータの一部を形成し、いずれか一方のフィルム部材上には、前記アクチュエータまたはアクチュエータの一部を少なくとも１個以上配設すると共に、前記アクチュエータとは異なるデバイスを少なくとも１個以上配設したので、部品点数を削減できて組立性を向上させることができる。
また、複数のアクチュエータをフィルム部材上に配設することにより、薄型化および小型化が可能である。
【００２０】
また、フィルム部材のいずれか一方には、少なくとも前記アクチュエータを駆動可能な前記デバイスが搭載されていると共に、前記デバイスと前記アクチュエータとを接続する回路パターンが形成されているので、更に部品点数を削減できると共に本発明のシステムモジュールを用いた装置側の組立性を向上させることができる。
【００２１】
また、いずれか一方の前記フィルム部材には、前記アクチュエータの一部であるコイルまたはマグネットが形成され、前記コイルに通電することにより前記コイルを形成した前記フィルム部材が振動するようにしたので、薄型で携帯電話等に搭載可能な平面スピーカあるいは振動発生装置を提供できる。
【００２２】
また、前記アクチュエータは、いずれか一方の前記フィルム部材に前記コイルを形成すると共に、前記コイルと対向する部分の他方の前記フィルム部材に形成したマグネットとからなるので、コイルを形成したフィルム部材を確実に振動さえることができる。
【００２３】
また、コイルは、一方のフィルム部材にリング状に形成され、マグネットは、コイルのリング状の内周部と対向する位置にヨークを介して他方のフィルム部材に形成されているので、更に薄型の平面スピーカおよび振動発生装置を提供できる。
【００２４】
また、アクチュエータは、いずれか一方のフィルム部材に所定の面積の電極からなる振動膜を形成し、振動膜と対向する部分の隙間部分に誘電体フィルムを介して背面電極を形成し、いずれか一方のフィルム部材が振動して振動膜が振動することにより、振動膜と背面電極との間での静電容量が変化するので、この静電容量の変化を音声信号に変換することにより、薄型のマイクロホン装置とすることができ、一枚のフィルム部材上にマイクロホーン装置、振動発生装置、平面スピーカを一体形成することができる。そのために部品点数を削減して組立性を向上させることができる。
【００２５】
また、アクチュエータは、いずれか一方のフィルム部材にコイルまたは磁石からなる被駆動部材を形成し、この被駆動部材と対向する側の隙間部分に磁石またはコイルからなる駆動部材を配設し、コイルに通電すると駆動部材が一方のフィルム部材と平行な水平方向に回動可能になっているので、フィルム部材に被駆動部材と駆動部材とを形成することにより薄型のアクチュエータを提供できる。
【００２６】
また、駆動部材は、水平方向に回動自在のアーム部材の一端部側に形成され、アーム部材の他端部側に回路部品を取り付けたので、アーム部材に磁気ヘッド等の回路部品を取り付けることにより、ディスクドライブ装置を薄型にできる。
【００２７】
また、アクチュエータは、駆動部材を水平方向に回動自在のアーム部材の一端部側に形成し、アーム部材の他端部側に鏡面状の反射面を形成して、光を導く光路の分岐点に配設したので、分岐点において、光を確実に所望の光路に導くことができる。
【００２８】
また、光路は、周囲に形成した反射膜に囲まれているので、光路に入射された光をロス無く導くことができる。
【００２９】
また、光路には、内部に入射した光を内部反射作用により導くことができる光導波管を配設したので、更にロス無く入射した光を導くことができる。
【００３０】
また、一方と他方のフィルム部材の隙間部分には、流体を流すことができる流路が形成され、流路と接する部分の一方のフィルム部材には、少なくとも流路から流体をポンプで吸入可能な吸入弁が形成されているので、フィルム部材でポンプの一部と流路とを構成することができ、デバイスであるポンプの部品点数を削減できる。
【００３１】
また、ポンプは、吸入弁と、この吸入弁から吸入した流体を排出可能な排出弁とを含む大きさのポンプ室を有し、流体を吸入弁を介してポンプ室に吸入、およびポンプ室から排出弁を介して排出可能になっているので、更に部品点数を削減できると共にポンプを薄型にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明のシステムモジュールは、薄肉で可撓性を有する１枚のフィルム部材の上に、複数のアクチュエータまたはアクチュエータの一部が形成されて構成されている。このような本発明のシステムモジュールを図面に基づいて説明する。図１は本発明の第１の実施の形態を説明する平面図であり、図２は図１の要部断面図であり、図３〜図７は本発明の第２の実施の形態を説明する図であり、図８、図９は本発明の第３の実施の形態を説明する図であり、図１０、図１１は本発明の第４の実施の形態を説明する図である。
【００３３】
まず、本発明の第１の実施の形態のシステムモジュール１は、図１、図２に示すように、上方側に一方のフィルム部材２が配設され、この一方のフィルム部材２と対向する下方側に他方のフィルム部材３が積層配置されている。
前記一方と他方のフィルム部材２、３間には、複数枚のフィルム部材を積層して形成した第１スペーサ４によって、例えば所定の隙間寸法の第１〜第３の隙間５〜７が形成されている。
【００３４】
また、第１のフィルム部材２上には、第２スペーサ８が積層され、この第２スペーサ８には、第１の隙間５と対向する部分に略正方形状の第１開口部９が形成され、第２の隙間６と対向する部分に略矩形状の第２開口部１０が形成され、第３の隙間７と対向する部分に円形状の第３開口部１１が形成されている。
そして、第１開口部９から露出する第１フィルム部材２には、後述するリング状のコイル１４の外側に、円弧状のスリット部２ａが複数形成されている。
また、第２開口部１０から露出する第１フィルム部材２には、後述する錘１５の外側に、互いに対向して一対のスリット２ｂが形成されている。
また、第３開口部１１から露出する第１フィルム部材２には、第１開口部９に形成したスリット２ａより小さい円弧状のスリット２ｃが複数形成されている。
【００３５】
また、第１〜第３の隙間５〜７には、アクチュエータまたはアクチュエータの一部が形成され、このデバイスは、それぞれ独立して駆動制御可能になっている。
前記第１の隙間５に配設したデバイスは、平面スピーカからなり、他方のフィルム部材３上に所定厚さで磁性材料からなるヨーク１２が載置され、このヨーク１２上に永久磁石からなる円形状のマグネット１３が固着あるいは印刷形成されている。
【００３６】
また、マグネット１３と対向する側の一方のフィルム部材２には、コイル１４がリング状に印刷等で形成され、リング状のコイル１４の内周部と対向する部分のヨーク１２にマグネット９が固着されている。
このような第１の隙間５に配設した平面スピーカからなるデバイスは、コイル１４に所定の電流を印加することにより発生する磁束がマグネット３の磁束に作用して、コイル１４を固着した一方のフィルム部材２が振動する。この一方のフィルム部材２が振動することで音等を発するようになっている。
【００３７】
また、第２の隙間６に配設したデバイスは、振動発生装置からなり、一方と他方のフィルム部材２、３間に、スピーカと同じヨーク１２、マグネット１３、コイル１４が配設され、一方のフィルム部材２の上面には、所定重さの錘１５が固着されている。
そして、コイルに通電することにより、一方のフィルム部材２が振動し、この振動に追従して錘１５も振動する。この錘１２が振動することでシステムモジュール１全体が振動するようになっている。
そのために、本発明のシステムモジュールを携帯電話に組み込むことで、マナーモード時の携帯電話を振動させることができる。
【００３８】
また、第３の隙間７に配設したデバイスは、マイクロホン装置からなり、他方のフィルム部材３と対向する一方のフィルム部材２の内面に、所定の面積の電極からなる振動膜１６が印刷あるいは蒸着等で成膜され、前記振動膜１６と所定のギャップを有して対向する部分に誘電体フィルム１７を介して背面電極１８が印刷あるいは蒸着等で成膜されている。
そして、人等の発声によって空気が振動すると、この振動が一方のフィルム部材２を介して振動膜１６に伝達される。前記振動膜１６が振動することにより、誘電体フィルム１７を介して背面電極１８との間での静電容量が変化する。そして、この静電容量変化を音声信号に変化させて送信できるようになっている。
【００３９】
このような本発明の第１の実施の形態のシステムモジュール１を、例えば携帯電話（図示せず）に用いたもので説明すると、携帯電話のスピーカ部分には、第１開口部９を位置させ、携帯電話のマイク部分には、第３開口部１１を位置させて本発明のシステムモジュール１を携帯電話のケース内部に組み込むと、ケースの略中央部に第２開口部１０に形成した振動発生装置が位置する。
【００４０】
また、一方のフィルム部材２は、第２スペーサ８より面積が大きく形成され（図示せず）、この部分に、第１〜第３隙間５〜７に形成したアクチュエータまたはアクチュエータの一部とは異なるデバイス（図示せず）が少なくとも１個以上配設されている。
前記デバイスは、前記平面スピーカ、マイクロホン装置、振動装置とは別のアクチュエータ、あるいはＬＥＤ、スイッチ等の回路部品である。
そして、前記デバイスがスイッチからなる回路部品の場合は、この回路部品と前記平面スピーカ、マイクロホン装置、振動装置等のアクチュエータとを接続する回路パターン（図示せず）が、一方のフィルム部材２に印刷形成され、前記回路パターンが端子部２ｄに引き出されている。
【００４１】
また、本発明の第２の実施の形態のシステムモジュール２１を、図３〜図５に示すような配光システムで説明すると、配光システムは、透明フィルムからなる一方と他方のフィルム部材２２、２３の間に、複数枚のフィルムを積層したスペーサ２４が配設され、このスペーサ２４によって、所定寸法の隙間からなり光源２５の光を導く光路２６が形成されている。
【００４２】
前記光路２６には、分岐点２６ａ、２６ｂ、２６ｃが形成され、この分岐点２６ａ、２６ｂ、２６ｃのそれぞれには、光路を遮蔽して光の進行方向を転換可能な配光システムからなるアクチュエータ２７が配設されている。
前記アクチュエータ２７は、それぞれの分岐点２６ａ、２６ｂ、２６ｃが形成された部分の他方のフィルム部材２３の下面に、磁性材料からなる第１ヨーク２８が配設されている。
【００４３】
また、第１ヨーク２８と対向する他方のフィルム部材２３上には、被駆動部材である永久磁石からなるマグネット２９が印刷あるいは接着等により配設されている。また、マグネット２９と対向する部分の一方のフィルム部材２２には、第１ヨーク２８と材質および形状が同じ第２ヨーク３０が形成されている。前記第１、第２ヨーク２８、３０は、図示を省略した接続部材により導通している。
また、マグネット２９と第２ヨーク３０との間の隙間部分には、駆動部材であるコイル３１が配設され、このコイル３１は、一方または他方のフィルム部材２２、２３と平行な水平方向に回動自在のアーム部材３２の一端部側（図示左側）に形成されている。前記アーム部材３２の他端部側（図示右）には、メッキ等によって鏡面状の反射面３２ａが形成されている。
【００４４】
そして、アーム部材３２は支軸３３を支点として矢印Ａ、Ｂ方向に回動自在に支持されている。前記支軸３３は、他方のフィルム部材２３の下面に配設した軸受け３４に支持されている。
このような構成のアクチュエータ２７は、光路２６の分岐点２６ａ、２６ｂ、２６ｃにそれぞれ配設されている。そして、図４に示す状態のアーム部材３２を矢印Ａ方向に回動駆動すると、アーム部材３２によって図示上方の光路２６が遮蔽される。このことにより、光源２５の光は、アーム部材３２に形成した反射面３２ａによって、図示下方側の光路２６に導くことができる。
【００４５】
尚、本発明第２の実施の形態の説明では、マグネット２９を他方のフィルム部材２３に、コイル３１をアーム部材３２に形成したもので説明したが、マグネット２９をアーム部材３２に、コイル３１を他方のフィルム部材２３にしたものでも良い。
また、光路２６は、図６に示すように、光路２６が形成された部分の一方と他方のフィルム部材２２、２３の外側には、ミラーインクを印刷して反射膜３５が形成されている。更に、光路２６の内面でスペーサ２４の端面には、透明フィルム３６が接着剤等で接着されており、この透明フィルム３６にも反射膜３５が形成されている。
【００４６】
そのために、光路２６は、四方が反射膜で覆われているので、光路２６に入射した光源２５の光は、ロス無く光路２６内を導かれて効率良く外部に出射することができる。
また、反射膜３５を形成しない場合は、図７に示すように、光路２６に光導波管３７を配設し、入射した光を、ほぼ１００％内部反射させながら導くようにしたものでも良い。
【００４７】
また、本発明の第３の実施の形態のシステムモジュール４１を、図８、図９に示すようなハードディスクドライブ駆動システムで説明すると、ハードディスクドライブ駆動システムは、一方と他方のフィルム部材４２、４３の間に、スペーサ４４が配設され、このスペーサ４４によって、所定寸法の隙間４５が形成されている。
【００４８】
前記隙間４５には、アクチュエータであるボイスコイルモータ４６が配設されている。前記ボイスコイルモータ４６は、他方のフィルム部材４３の下面に、磁性材料からなる第１ヨーク４７が配設されている。
また、他方のフィルム部材４２上で第１ヨーク４７と対向する部分には、被駆動部材であるマグネット４８が印刷されている。また、マグネット４８と対向する部分の一方のフィルム部材４２には、第２ヨーク４９が配設されている。
前記第１、第２ヨーク４７、４９は、棒状の接続部材５０により導通しており、マグネット４８と第２ヨーク４９との間の隙間部分には、駆動部材であるコイル５１が配設され、このコイル５１は、水平方向に回動自在のアーム部材５２の一端部側（図示左側）に形成されている。
また、アーム部材５２の他端部側（図示右）には、回路部品である磁気ヘッド５３が取り付けられている。
【００４９】
そして、アーム部材５２は支軸５４を支点として回動自在になっており、支軸５４は、他方のフィルム部材４３の下面に配設した軸受け５５に支持されている。
また、アクチュエータ４７の図示右側の他方のフィルム部材４３上には、別なアクチュエータであるディスク駆動部材５６が配設されている。
前記ディスク駆動部材５６は、ターンテーブル５７と、このターンテーブル５７の内周面に取り付けたマグネット５８と、コイル５９等からなるスピンドルモータで構成されている。
アークチュエータ４６およびディスク駆動部材５６を載置した他方のフィルム部材４３は、樹脂基板６０上に載置されて撓みの発生しないようになっている。
【００５０】
そして、ボイスコイルモータ４６の磁気ヘッド５３が、ターンテーブル５７上に載置したディスク６０を狭持した状態で、ボイスコイルモータ４６側のコイル５１に通電することにより、アーム部材５２が所定角度回動して、磁気ヘッド５３がシーク動作するようになっている。
このような構成の第３の実施の形態のシステムモジュール４１は、１枚の他方のフィルム部材４３上に複数のアクチュエータであるボイスコイルモータ４６とディスク駆動部材５６とを載置して一体化しているので、部品点数を削減できると共に薄型化が可能である。
【００５１】
また、本発明の第４の実施の形態のシステムモジュール６１を、図１０、図１１に示すようなポンプで説明すると、最下部には、薄膜の他方のフィルム部材６２が配設されている。前記他方のフィルム部材６２には、所定の大きさの支持孔６２ａが所定ピッチ寸法で形成されている。
また、他方のフィルム部材６２の一方の面（図示上面）側には、樹脂材料等からなり所定厚さの第１スペーサ６３が積層載置され、この第１スペーサ６３には、スリット状の第１溝部６３ａと第２溝部６３ｂとが形成され、第１、第２溝部６３ａ、６３ｂによって流路６４が構成されて、この流路を流体が導かれて流れるようになっているいる。
【００５２】
また、第１スペーサ６３の上には、一方のフィルム部材６６が積層載置されて、第１スペーサ６３を他方と一方のフィルム部材６２、６６でサンドイッチ状に挟み込むことにより、第１、第２溝部６３ａ、６３ｂによる流路６４が形成されるようになっている。
また、一方のフィルム部材６６には、第１溝部６３ａが位置する部分に孔６６ａが形成されると共に、第２溝部６３ｂが位置する部分に、舌片状で弾性変形可能な第２弁６６ｂが形成されている。
【００５３】
また、一方のフィルム部材６６上には、第２スペーサ６７が積層載置され、この第２スペーサ６７には、孔６６ａと対向する位置に第１開口部６７ａが形成され、一方のフィルム部材６６の第２第２弁６６ｂと対向する位置に第２開口部６７ｂが形成されている。
また、第２スペーサ６７の上には、一方のフィルム部材６と略同じ厚さでフィルム状のシート部材６８が積層配置されている。
前記シート部材６８には、第２スペーサ６７の第１開口部６７ａと対向する位置に、舌片状で弾性変形可能な第１弁６８ａが形成されていると共に、第２開口部６７ｂと対向する部分に孔６８ｂが形成されている。
【００５４】
また、シート部材６８の上で第１弁６８ａおよび孔６８ｂと対向する部分には、外形が矩形状のポンプスペーサ６９が２枚積層されている。
前記ポンプスペーサ６９の内部には、第１弁６８ａおよび孔６８ｂを包含する大きさのポンプ室７０が略円形状に形成されている。
そして、ポンプ室７０は、上部にゴム等からなり弾性変形可能なダイアフラム７１が配設されてポンプ室７０が密閉されるようになっている。
【００５５】
また、ダイアフラム７１の上には、配線パターン（図示せず）等が形成されたＦＰＣ（フレキシブル基板）７２が積層配置され、このＦＰＣ７２とダイアフラム７１とを介してポンプ室７０上にポンプ７３の駆動部が形成されている。
前記ポンプ７３の駆動部は、外周部が磁性材料からなるヨーク７４を有し、このヨーク７４には、外形が略矩形状のつば部７４ａが形成され、このつば部７４ａの中央部を図示上方に突出させて、所定高さの凹部７４ｂが形成されている。
また、つば部７４ａの４隅には、支持孔７４ｃが形成されている。
【００５６】
また、凹部７４ｂの内部には、中空状のコイル７５が配設され、このコイル７５が第４シート部材７４に接着剤等で固着されている。また、コイル７５の中空内部には永久磁石からなるマグネット７６が配設され、このマグネット７６は、ヨーク７４に形成した凹部７４ｂの天井面に接着剤等で固着されている。
そのために、コイル７５に所定周波数の交流電流を通電することにより発生する磁束がマグネット７６の磁束に作用してコイル７５が上下動する。
これによって、ＦＰＣ７２とダイアフラム７１とが振動して、ポンプ室７０内が収縮または膨張可能になっている。
【００５７】
前記ポンプ７３は、ヨーク７４のつば部７４ａに形成した支持孔７４ｃに棒状のリベット７７を挿入し、このリベット７７が、ＦＰＣ７２、ポンプスペーサ６９、シート部材６８、第２スペーサ６７、一方のフィルム部材６６、第１スペーサ６３にそれぞれ形成した支持孔（図示せず）を挿通して他方のフィルム部材６２の支持孔６２ａから、端部が所定寸法突出するようになっている。
そして、他方のフィルム部材６２の図示下部には、板状で金属板からなる狭持部材（図示せず）が配設され、この狭持部材とヨーク７４のつば部７４ａに形成した支持孔７４ｃから突出するリベット７７の両端部をカシメることで、流路６４およびポンプ室７０が密閉されるようになっている。
【００５８】
このような本発明の第４の実施の形態のシステムモジュール６１は、一方と他方のフィルム部材６２、６６の間に流路６４が形成されていると共に、アクチュエータであるポンプ７３の一部を構成する弁６６ｂが一方のフィルム部材６６に形成しているので、ポンプ７３を薄型にできる。
尚、本発明の実施の形態の説明では、説明を省略したが、一方と他方のフィルム部材のいずれか一方の面積を大きく形成し、この大きくなった部分に、本発明のシステムモジュールのアクチュエータまたはアクチュエータの一部を駆動操作可能な、例えば携帯電話等の装置側のスイッチ等の回路部品を載置し、この回路部品と本発明のシステムモジュールのアクチュエータまたはアクチュエータの一部を接続する回路パターンが形成されている。
そのために、部品点数を削減できて組立性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施の形態を説明する平面図である。
【図２】図１の要部断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を説明する図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態を説明する図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態を説明する図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を説明する図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態を説明する図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態を説明する図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態を説明する図である。
【図１０】本発明の第４の実施の形態を説明する図である。
【図１１】本発明の第４の実施の形態を説明する図である。
【図１２】従来のモジュールを説明する図である。
【符号の説明】
【００６０】
１：第１の実施の形態のシステムモジュール
２：一方のフィルム部材
３：他方のフィルム部材
４：第１スペーサ
５：第１の隙間
６：第２の隙間
７：第３の隙間
８：第２スペーサ
９：第１開口部
１０：第２開口部
１１：第３開口部
１２：ヨーク
１３：マグネット
１４：コイル
１５：錘
１６：振動膜
１７：誘電体フィルム
１８：背面電極
２１：第２の実施の形態のシステムモジュール
４１：第３の実施の形態のシステムモジュール
４２：第４の実施の形態のシステムモジュール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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