(57)【要約】【課題】ペリクルと蓋体とペリクルが接することによりガタガタと音がしても、ペリクルの品質に重要な影響を及ぼす発塵を抑えることのできるペリクル収納容器を提供する。【解決手段】蓋体、底体からなるペリクル収納容器において、蓋体が天板部、テーパー部Ａ、押さえ部、テーパー部Ｂ、および嵌合部からなり、押さえ部はテーパー部Ａとテーパー部Ｂとの中間に配され、蓋体の押さえ部と天板とを含む平面のなす角が１５度未満であり、ペリクルを収納した際に押さえ部とペリクル枠との間に隙間部が存在することを特徴とするペリクル収納容器を用いる。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蓋体、底体からなるペリクル収納容器において、蓋体が天板部、テーパー部Ａ、押さえ部、テーパー部Ｂ、および嵌合部からなり、押さえ部はテーパー部Ａとテーパー部Ｂとの中間に配置され、蓋体の押さえ部と天板とを含むそれぞれの平面のなす角が１５度未満であり、ペリクルを収納した際に押さえ部とペリクル枠との間に隙間部が存在することを特徴とするペリクル収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路の製造工程におけるフォトリソグラフィ工程で使用されるマスクあるいはレチクル（以下、単にマスク等という。）に塵が付着するのを防止する目的で用いられるペリクルを収納するペリクル収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、集積回路等の製造工程において、マスク上に描かれた回路パターンを光によりウエハ上に転写する際、マスク上に異物がないようにする必要があるため、その製造工程、運搬工程においては、できる限り異物の混入や製品自身からの発塵の防止に努められている。
【０００３】
ペリクルの運搬には、専用の収納容器が用いられる。専用の収納容器は、ペリクルと容器本体と蓋体とより成っている。蓋をした場合に、蓋がペリクルを押さえつけると、容器本体台座の微妙な凹凸がペリクル枠のマスク固定用粘着材に転写され、ペリクルのマスクへの密着度が低下する恐れがある。そこで、通常は、蓋がペリクルに接しないよう蓋とペリクルの間にすきま部を設けている。そのため、運搬途中においてペリクルのペリクルフレームエッジ部と蓋のおさえ部とがぶつかり合うことになるので、ペリクルの収納されたケースを振ると、「ガタガタ」と音がする。このとき、ペリクル膜や膜接着材が破損して発塵の原因となる。
【０００４】
この問題について、多くの技術はがたつきを防止する方向に向けられている。たとえば、特開平８−１３３３８２号には、「ガタつきなく安全に収納して用いられる」ために、「前後蓋体の天板内面に対向して上下方向に異なる角度の傾斜面のペリクルフレーム当接面を配備したことを特徴とするペリクル収納容器」について、ガタ付がなく安全に収納でき」と記載されている。（特許文献１）
従来は、このように、収納容器の中でペリクルが動かないように、がたがたと音がしないように押さえ部２３によりペリクル本体を押さえつけるようにして収納されており、蓋天板２１部と押さえ部とを含むそれぞれの平面のなす角（「枠あたり角度」が１５度以上となるものが一般に用いられていた。この角度を大きくするほど、ペリクル枠と押さえ部との隙間部４は小さくなり、発塵が減少することは道理であると考えられていた。
【特許文献１】特開平８−１３３３８２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、ペリクルと蓋体とペリクルが接することによりガタガタと音がしても、ペリクルの品質に重要な影響を及ぼす発塵を抑えることのできるペリクル収納容器を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、蓋体の押さえ部と天板とを含むそれぞれの平面のなす角がある一定以下であり、さらにテーパ部Ｂと天板とを含む平面の角度がある一定以上であるときに、ガタガタと音の出る収納容器を用いても発塵が大幅に減少することを見出し、本発明をするに至った。
【０００７】
すなわち、本発明は、蓋体、底体からなるペリクル収納容器において、蓋体が天板部、テーパー部Ａ、押さえ部、テーパー部Ｂ、嵌合部からなり、押さえ部はテーパー部Ａとテーパー部Ｂとの中間に配され、蓋体の押さえ部と天板とを含むそれぞれの平面のなす角が１５度未満であり、ペリクルを収納した際に押さえ部とペリクル枠との間に隙間部が存在することを特徴とするペリクル収納容器を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
蓋体の押さえ部と天板とを含むそれぞれの平面のなす角が１５度未満とすることにより、ペリクルの収納された収納容器がガタガタと音がしても、発塵を大幅に抑えることができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
（ペリクルの収納）
本発明のペリクルとは、従来公知のペリクル、例えば、アルミニウム等から成るペリクル枠１１の一方の端部に接着剤を介してペリクル膜１３を張架し、他方の端部に粘着剤を塗布してマスクに固定して使用するものである。ペリクルはその使用目的から、清浄さが要求されるので、容器に収納される。
【００１０】
（ペリクル収納容器の周辺部の構造）
図２は、本発明のペリクル収納ケースにペリクルが収納された状態について、断面形状を考察したものである。本発明のペリクル収納容器は、ケース蓋本体２とケース底本体３とからなり、ケース蓋本体をケース底本体から取り外すことにより、ペリクル本体３をケース底本体に設置した後にケース蓋本体を被せることにより収納される。収納されるペリクル本体は、ペリクル枠１１とペリクル枠に張設されるペリクル膜１３とからなっており、ペリクル枠とペリクル膜は膜接着剤１２により接着されている。
【００１１】
図２は、本発明のケース蓋本体２の端部について、断面形状を考察したものである。ケース蓋本体は、蓋天板部２１、テーパー部Ａ２２、押さえ部２３、テーパー部Ｂ２４、蓋底面２６および嵌合部２５とからなる。嵌合部２５はケース底と密着することにより、外部からの塵挨等の進入を防ぐことを目的としており、蓋天板はまさにケース蓋本体の主要部を成すものである。
【００１２】
ケース蓋本体２とペリクルとは、ペリクル枠１１、膜接着剤１２、ペリクル膜１３のいずれかと押さえ部２３で接する。本発明においては、収納容器内部においては隙間部４が設けられている。このような隙間部があると、振動等により、ペリクル枠、膜接着剤、ペリクル膜のいずれかが、押さえ部２３と衝突するとも考えられるので、輸送等を考えると振動、衝突により、塵埃発生の機会が多くなり、不利になるとも考えられる。しかし、本発明においては、押さえ部と蓋天板とを含むそれぞれの平面の角度を、通常１５度未満、好ましくは１０度以下であり、より好ましくは５度以下であることを特徴とする。この角度のケースを用いると、隙間部４があるにもかかわらず、ペリクル収納時の発塵を抑えることができる。
【００１３】
（実施例）
以下、具体的な実施例に基づいて説明する。
【００１４】
押さえ部２３と蓋天板２１を含むそれぞれの平面の角度が５度のペリクル収納ケースとを製作した。ペリクルをケース底本体に設置し、これにケース蓋本体を被せ、ペリクル入りのペリクル収納ケースとした。
【００１５】
次にペリクル収納ケースを、振動機（ＳＲ２Ｓ  タイテック社製）に取り付け、水平方向に２５０回／分で２０分振動させ、押さえ部付近の、辺１、２、３、４のそれぞれの辺において損傷の状態を０〜１０の間で評価した。辺１〜４の具体的な場所については、図１に、結果を表１に示す。次いで、高さ方向に２５０回／分で振動させ、同様に評価をし、結果を表１（続き）に示す。外観の損傷度を  ０〜１０段階で表示した。０は外観損傷のない場合を示す。
【００１６】
（比較例）
実施例において、押さえ部２３と蓋天板２１を含むそれぞれの平面の角度が１５度である以外は同様のペリクル収納ケースを作成し、高さ方向、水平方向に振動させ、外観の損傷度を調べた。結果を表１、表１（つづき）に示す。
【００１７】
【表１】
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【００１８】
【表２】
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【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例で命名する辺１〜４を明らかにしたものである。
【図２】ペリクル収納ケースの全体図である。
【図３】発明されたペリクル収納ケースの拡大図である。
【符号の説明】
【００２０】
１    ペリクル本体
２    ケース蓋本体
３    ケース底本体
４    隙間部
１１    ペリクル枠
１２    膜接着剤
１３    ペリクル膜
１４    ペリクルフレームエッジ
２１    蓋天板
２２    テーパー部Ａ
２３    押さえ部
２４    テーパー部Ｂ
２５    勘合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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