(57)【要約】【課題】ダイヤフラムの耐久性を向上させることが可能なダイヤフラム型ポンプを提供すること。【解決手段】ダイヤフラム型ポンプは、ダイヤフラム１４と、ダイヤフラム１４に支持部４６を介して連結された駆動体２４とを備えている。ポンプは、駆動体２４が往復運動することでダイヤフラム１４が変形してポンプ作用を奏する。駆動体２４の支持部４６には、ダイヤフラム１４の第１面１４ｂを支持する第１支持面５５とダイヤフラム１４の第２面１４ｃを支持する第２支持面５６とが設けられている。支持部４６は、ダイヤフラム１４が変形する際に第１支持面５５と第２支持面５６との間でこれら第１支持面５５及び第２支持面５６に沿ってダイヤフラム１４がずれ動くことができるように構成されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヤフラムと、該ダイヤフラムに支持部を介して連結された駆動体とを備え、該駆動体が往復運動することで前記ダイヤフラムが変形してポンプ作用を奏するダイヤフラム型ポンプであって、前記駆動体の前記支持部には、前記ダイヤフラムの一方の表面たる第１面を支持する第１支持面と前記ダイヤフラムの他方の表面たる第２面を支持する第２支持面とが設けられたダイヤフラム型ポンプにおいて、
前記ダイヤフラムが変形する際に前記第１支持面と前記第２支持面との間で前記ダイヤフラムがずれ動くことができるように、前記支持部を構成したことを特徴とするダイヤフラム型ポンプ。
【請求項２】
支持部を有する装置ケースと、該装置ケースの前記支持部に外周部が支持されたダイヤフラムとを備え、該ダイヤフラムが変形することでポンプ作用を奏するダイヤフラム型ポンプであって、前記装置ケースの前記支持部には、前記ダイヤフラムの一方の表面たる第１面を支持する第１支持面と前記ダイヤフラムの他方の表面たる第２面を支持する第２支持面とが設けられたダイヤフラム型ポンプにおいて、
前記ダイヤフラムが変形する際に前記第１支持面と前記第２支持面との間で前記ダイヤフラムがずれ動くことができるように、前記支持部を構成したことを特徴とするダイヤフラム型ポンプ。
【請求項３】
前記第１支持面と前記第２支持面との間隔の最小値は、前記第１支持面と前記第２支持面との間における前記ダイヤフラムの厚さ以上に設定されている請求項１又は２に記載のダイヤフラム型ポンプ。
【請求項４】
前記支持部は、前記第１支持面を有する第１支持部材と前記第２支持面を有する第２支持部材とが接合固定されてなり、前記支持部は前記第１支持部材と前記第２支持部材との接合部分に、前記第１支持面と前記第２支持面との間隔を規定するスペーサを備えている請求項１〜３のいずれか一項に記載のダイヤフラム型ポンプ。
【請求項５】
前記スペーサは、前記第１支持部材及び前記第２支持部材のうちの一方に一体形成されているとともに他方に当接されている請求項４に記載のダイヤフラム型ポンプ。
【請求項６】
前記支持部の前記第１支持面と前記ダイヤフラムの前記第１面との間、及び前記支持部の前記第２支持面と前記ダイヤフラムの前記第２面との間のうちの少なくとも一方には、前記第１支持面と前記第２支持面との間を経由した、前記ダイヤフラムの前記第１面側と前記第２面側との間での流体の流通を抑制するためのシール手段が設けられている請求項１〜５のいずれか一項に記載のダイヤフラム型ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラムの変形によってポンプ作用を奏するダイヤフラム型ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイヤフラム型ポンプとしては、例えば特許文献１に開示されたような従来技術が提案されている。この従来技術のダイヤフラム型ポンプは、図５に示すように、装置ケース９１、ダイヤフラム９２、駆動体９３等によって構成されている。各構成要素は次のように結合されている。
【０００３】
装置ケース９１は、ブロック９４とブロック９４に固定された押え板９８とを備えている。ブロック９４と押え板９８との間では、ダイヤフラム９２の外周部９２ａが狭持固定されている。ダイヤフラム９２とブロック９４との間にはポンプ室９５が区画されている。
【０００４】
駆動体９３は、電動モータ等の図示しない駆動源の駆動によって往復運動されるロッド９６と、ロッド９６をダイヤフラム９２の中央部に連結する支持部９７とからなっている。支持部９７は、ダイヤフラム９２の一方の表面（図面では上面）側に配置されて該表面の一部に面する第１支持部材９７ａと、ダイヤフラム９２の他方の表面（図面では下面）側に配置されて該表面の一部に面する第２支持部材９７ｂとを備えている。ダイヤフラム９２の中央部は、第１支持部材９７ａと第２支持部材９７ｂとの間で支持部９７に狭持固定されている。
【０００５】
このように構成されたダイヤフラム型ポンプは、ロッド９６が往復運動することでダイヤフラム９２が変形（変位）して、ポンプ室９５の容積が増減変更される。ポンプ室９５の容積が増大する吸入行程においては、ポンプ室９５への流体の吸入が行われる。ポンプ室９５の容積が減少する吐出行程においては、ポンプ室９５からの流体の吐出が行われる。
【特許文献１】実開平７−１４１７９号公報（第５頁、第１−３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記従来技術のダイヤフラム型ポンプにおいては、ダイヤフラム９２の外周部９２ａが装置ケース９１に狭持固定されているとともに、ダイヤフラム９２の中央部が駆動体９３の支持部９７に狭持固定されている。したがって、ダイヤフラム９２において、装置ケース９１や支持部９７によって狭持固定された部位（狭持部位）には、この狭持固定つまり圧縮に伴う応力が常に作用されている。また、ダイヤフラム９２において、前記狭持部位や、該狭持部位と狭持固定されていない部位との境界付近には、ダイヤフラム９２の変形に伴う引張り力の発生に起因して、過大な応力が集中して作用される。以上のように、ダイヤフラム９２には過大な負荷が作用するため、ダイヤフラム９２の耐久性が低下する問題があった。
【０００７】
なお、ダイヤフラム型ポンプとしては、図５に示すタイプつまり駆動体によって直接的にダイヤフラムを変形させるタイプ以外にも、ダイヤフラムを境界としてポンプ室と反対側に背圧室を区画し、該背圧室の内圧を増減変更することでダイヤフラムを変形させるタイプも存在する。このようなタイプのダイヤフラム型ポンプにおいても、ダイヤフラムの外周部が装置ケースに狭持固定されており、前記と同様な問題を生じていた。
【０００８】
本発明の目的は、ダイヤフラムの耐久性を向上できるダイヤフラム型ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために請求項１に記載の発明は、ダイヤフラムと、該ダイヤフラムに支持部を介して連結された駆動体とを備え、該駆動体が往復運動することで前記ダイヤフラムが変形してポンプ作用を奏するダイヤフラム型ポンプであって、前記駆動体の前記支持部には、前記ダイヤフラムの一方の表面たる第１面を支持する第１支持面と前記ダイヤフラムの他方の表面たる第２面を支持する第２支持面とが設けられたダイヤフラム型ポンプにおいて、前記ダイヤフラムが変形する際に前記第１支持面と前記第２支持面との間で前記ダイヤフラムがずれ動くことができるように前記支持部を構成した。
【００１０】
また、上記目的を達成するために請求項２に記載の発明は、支持部を有する装置ケースと、該装置ケースの前記支持部に外周部が支持されたダイヤフラムとを備え、該ダイヤフラムが変形することでポンプ作用を奏するダイヤフラム型ポンプであって、前記装置ケースの前記支持部には、前記ダイヤフラムの一方の表面たる第１面を支持する第１支持面と前記ダイヤフラムの他方の表面たる第２面を支持する第２支持面とが設けられたダイヤフラム型ポンプにおいて、前記ダイヤフラムが変形する際に前記第１支持面と前記第２支持面との間で前記ダイヤフラムがずれ動くことができるように前記支持部を構成した。
【００１１】
つまり、請求項１の発明及び請求項２の発明においては、前記第１支持面と前記第２支持面との間で前記ダイヤフラムが強固に狭持されておらず、この狭持に伴う応力が前記ダイヤフラムに作用されることを抑制できる。また、例えば前記ダイヤフラムがその変形の度合いを大きくしてゆく際に、該ダイヤフラムに引張り力が作用されると、前記第１支持面と前記第２支持面との間で前記ダイヤフラムがずれ動く。したがって、該ダイヤフラムに過大な引張り力が作用することを抑制できる。
【００１２】
請求項３の発明は請求項１又は２において、前記支持部に関し、前記ダイヤフラムを強固に狭持せずかつ前記ダイヤフラムのずれ動きを許容することを実現するための好適な一態様について言及するものである。すなわち、前記第１支持面と前記第２支持面との間隔の最小値は、前記第１支持面と前記第２支持面との間における前記ダイヤフラムの厚さ以上に設定されている。
【００１３】
請求項４の発明は請求項１〜３のいずれか一項において、前記支持部は、前記第１支持面を有する第１支持部材と前記第２支持面を有する第２支持部材とが接合固定されてなる。前記支持部は、前記第１支持部材と前記第２支持部材との接合部分に、前記第１支持面と前記第２支持面との間隔を規定するスペーサを備えている。
【００１４】
したがって、前記第１支持面と前記第２支持面との間隔（特に最小値）が、所望の値よりも小さく設定されてしまうことを確実に防止することができる。つまり、前記スペーサを備えることで、例えば前記スペーサを備えていない場合と比較して、前記ダイヤフラム型ポンプの製造時における、前記第１支持面と前記第２支持面との間隔の管理が容易となる。よって、前記ダイヤフラムが変形する際に、前記第１支持面と前記第２支持面との間における前記ダイヤフラムのずれ動きが円滑に行われ、前記ダイヤフラムに過大な引張り力が作用することをさらに効果的に抑制できる。
【００１５】
請求項５の発明は請求項４において、前記スペーサは、前記第１支持部材及び前記第２支持部材のうちの一方に一体形成されているとともに他方に当接されている。
このように、前記スペーサを前記第１支持部材及び前記第２支持部材のうちの一方に一体形成することで、例えば前記支持部を構成する部品点数を削減することが可能となり、前記ダイヤフラム型ポンプの組立工程を簡素化することができる。
【００１６】
請求項６の発明は請求項１〜５のいずれか一項において、前記支持部の前記第１支持面と前記ダイヤフラムの前記第１面との間、及び前記支持部の前記第２支持面と前記ダイヤフラムの前記第２面との間のうちの少なくとも一方には、前記第１支持面と前記第２支持面との間を経由した、前記ダイヤフラムの前記第１面側と前記第２面側との間での流体の流通を抑制するためのシール手段が設けられている。
【００１７】
つまり、前記シール手段は、前記ダイヤフラム型ポンプにおける流体の内部漏れを抑制する。したがって、前記第１支持面と前記第２支持面との間で前記ダイヤフラムがずれ動くことを許容するよう前記支持部を構成しても、前記ダイヤフラム型ポンプの効率が低下することを抑制できる。
【発明の効果】
【００１８】
上記構成の本発明によれば、前記ダイヤフラムに過大な負荷が作用することを抑制でき、該ダイヤフラムの耐久性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
○第１実施形態
以下、請求項１に記載の発明のダイヤフラム型ポンプを具体化した第１実施形態について説明する。まず、ダイヤフラム型ポンプ（以下、単に「ポンプ」と記す）の全体構成について説明する。
【００２０】
図１はポンプの縦断面を示す。該図に示すようにポンプは、装置ケース１０と、装置ケース１０に支持されたダイヤフラム１４と、ダイヤフラム１４に連結された駆動体２４とを備えている。ポンプは、駆動体２４が往復運動してダイヤフラム１４が変形（変位）することで、流体（本実施形態ではガス）を内部に吸入しそして吸入したガスを外部へと吐出するポンプ作用を奏する。
【００２１】
装置ケース１０は、ブロック１１と、ブロック１１に接合された円環状の押え板１２と、ブロック１１及び押え板１２が収容される本体ケース１３とを備えている。本体ケース１３は、図面上方が蓋１３ａとなる有蓋筒状をなしており、ブロック１１及び押え板１２はブロック１１が蓋１３ａ側に位置するようにして、本体ケース１３内に配置されている。なお、ブロック１１及び押え板１２は、図示しないボルト等の固定手段によって、互いに固定されているとともに本体ケース１３にも固定されている。
【００２２】
ダイヤフラム１４は、金属製でかつ均一な厚さの円板状をなしており、周知のように可撓性を有している。ダイヤフラム１４の外周部１４ａは、ブロック１１と押え板１２との間において円環状領域で狭持されることにより、装置ケース１０に固定されている。したがって、ダイヤフラム１４の一方の表面たる第１面（図面では上面）１４ｂには、その外周部１４ａ側の領域に、ブロック１１に設けられた平面状の支持面１１ａが円環状領域で圧接されている。また、ダイヤフラム１４の他方の表面たる第２面（図面では下面）１４ｃには、その外周部１４ａ側の領域に、押え板１２に設けられた平面状の支持面１２ａが円環状領域で圧接されている。
【００２３】
ブロック１１の中央部には、押え板１２側の端面から本体ケース１３の蓋１３ａ側へ透孔１１ｂが貫通されている。透孔１１ｂは、ブロック１１の押え板１２側の端面において、支持面１１ａよりも内周側の領域で開口されている。透孔１１ｂは、一方の開口たる押え板１２側の開口がダイヤフラム１４によって閉塞されているとともに、他方の開口が本体ケース１３の蓋１３ａによって閉塞されている。このように、ダイヤフラム１４及び蓋１３ａによって閉塞された透孔１１ｂの内空間は、ポンプ室１５をなしている。
【００２４】
装置ケース１０の本体ケース１３には、図示しない外部の低圧側配管が接続される吸入通路１７、及び図示しない外部の高圧側配管が接続される吐出通路１８が、それぞれ設けられている。ブロック１１には、ポンプ室１５と吸入通路１７とを接続する吸入ポート２５、及びポンプ室１５と吐出通路１８とを接続する吐出ポート２６が、それぞれ形成されている。ブロック１１と本体ケース１３の間において、吸入ポート２５と吸入通路１７との境界には、リード弁よりなる吸入弁２１が配設されている。ブロック１１と本体ケース１３の間において、吐出ポート２６と吐出通路１８との境界には、リード弁よりなる吐出弁２２が配設されている。
【００２５】
駆動体２４は、図示しない駆動源（例えば電動モータ）に同じく図示しない動力伝達機構（例えば電動モータの回転力を往復移動力に変換して伝達する機構）を介して連結されたロッド４５と、ロッド４５をダイヤフラム１４の中央部に連結するための支持部４６とを備えている。ロッド４５は、駆動源の駆動によって自身の軸線Ｌに沿う方向の前後（図面では上下方向）へと往復運動される。ロッド４５の往復運動によってダイヤフラム１４が変形（変位）することで、ポンプ室１５の容積が変更される。ポンプ室１５の容積は、具体的には次のように変更される。
【００２６】
例えば、ロッド４５がポンプ室１５から離間する方向（図面では下方）へと移動すると、ダイヤフラム１４がポンプ室１５と反対側へ向かって変形してポンプ室１５の容積が増大する。ポンプ室１５の容積が増大してゆく吸入行程にあっては、吸入弁２１を押し退けて吸入通路１７からポンプ室１５へとガスが吸入される。逆に、ロッド４５がポンプ室１５側（図面では上方）へと移動すると、ダイヤフラム１４がポンプ室１５側に向かって変形してポンプ室１５の容積が減少する。ポンプ室１５の容積が減少してゆく吐出行程にあっては、ポンプ室１５のガスが吐出弁２２を押し退けて吐出通路１８へと吐出される。
【００２７】
次に、ダイヤフラム１４と駆動体２４との連結構造について説明する。
図２（ａ）に示すように、ダイヤフラム１４の中央部には、ダイヤフラム１４の第１面１４ｂ側から第２面１４ｃ側へと、連結孔１４ｄが貫通形成されている。駆動体２４の支持部４６は、ダイヤフラム１４の連結孔１４ｄを挿通されている。支持部４６は、ポンプ室１５内つまりダイヤフラム１４の第１面１４ｂ側に配置された円板状の第１支持部材４７と、ポンプ室１５外つまりダイヤフラム１４の第２面１４ｃ側に配置された円板状の第２支持部材４８とを備えている。第１支持部材４７と第２支持部材４８は同軸位置に配置されている。第２支持部材４８は、ロッド４５の先端にロッド４５と同軸位置で固定されている。
【００２８】
支持部４６は、第１支持部材４７と第２支持部材４８との接合部分にスペーサ５０を備えている。スペーサ５０は円柱状をなしている。スペーサ５０は、第１支持部材４７においてダイヤフラム１４側の端面４７ａの中央部に、第２支持部材４８側に向かって一体に突設されている。スペーサ５０の先端面５０ａは、ロッド４５の軸線Ｌと直交する平面よりなっている。スペーサ５０は、連結孔１４ｄに挿通されているとともに先端面５０ａが第２支持部材４８の端面４８ａの中央部に当接されている。つまり、第１支持部材４７と第２支持部材４８とは、ダイヤフラム１４の連結孔１４ｄ内を経由して直接接合されている。第１支持部材４７は、第１支持部材４７の中央部及び第２支持部材４８の中央部に挿通されたボルト４９の締付けによって、第２支持部材４８に固定されている。
【００２９】
第１支持部材４７の端面４７ａにおいてスペーサ５０を除く領域は、第１支持面５５をなしている。第１支持面５５は、ダイヤフラム１４の第１面１４ｂに対して連結孔１４ｄの開口周囲で対向されている。第１支持面５５は、ロッド４５の往復運動時（特に吸入行程）においてダイヤフラム１４の第１面１４ｂを支持するためのものである。第１支持面５５は、スペーサ５０に隣接する円環状の平面領域５５ａと、平面領域５５ａに外周側で隣接する円環状の傾斜面領域５５ｂとを備えている。平面領域５５ａは、ロッド４５の軸線Ｌと直交する仮想平面上に存在する。傾斜面領域５５ｂは、その外周側ほど、平面領域５５ａが存在する仮想平面から離間するように、ロッド４５の軸線Ｌに対して傾斜されている。
【００３０】
第１支持面５５が傾斜面領域５５ｂを備えることで、例えばダイヤフラム１４が下死点（吸入行程から吐出行程へ移行する転換点）に位置した際に、ダイヤフラム１４の局部（詳しくは第１支持面５５により支持された部位と支持されていない部位との境界付近）に大きな曲げ荷重が作用されることを防止でき、ダイヤフラム１４の耐久性を向上できる。
【００３１】
第２支持部材４８の端面４８ａにおいて、スペーサ５０が当接された領域を除く領域は、第２支持面５６をなしている。第２支持面５６は、ダイヤフラム１４の第２面１４ｃに対して連結孔１４ｄの開口周囲で対向されている。第２支持面５６は、ロッド４５の往復運動時（特に吐出行程）においてダイヤフラム１４の第２面１４ｃを支持するためのものである。第２支持面５６は、スペーサ５０が当接された領域に隣接する円環状の平面領域５６ａと、平面領域５６ａに外周側で隣接する円環状の傾斜面領域５６ｂとを備えている。平面領域５６ａは、ロッド４５の軸線Ｌと直交する仮想平面上に存在する。該仮想平面上には、端面４８ａにおいてスペーサ５０が当接された領域（平面）も存在する。傾斜面領域５６ｂは、その外周側ほど、平面領域５６ａが存在する仮想平面から離間するように、ロッド４５の軸線Ｌに対して傾斜されている。
【００３２】
第２支持面５６が傾斜面領域５６ｂを備えることで、例えばダイヤフラム１４が上死点（吐出行程から吸入行程へ移行する転換点）に位置した際に、ダイヤフラム１４の局部（詳しくは第２支持面５６により支持された部位と支持されていない部位との境界付近）に大きな曲げ荷重が作用されることを防止でき、ダイヤフラム１４の耐久性を向上できる。
【００３３】
なお、第２支持部材４８は第１支持部材４７よりも大径である。したがって、第２支持面５６の外周側の領域（傾斜面領域５６ｂの殆ど）は、第１支持面５５よりも外周側に位置しており、仮にダイヤフラム１４を削除したとしても第１支持面５５に面することはない。また、仮にダイヤフラム１４を削除したとすれば、第１支持面５５の平面領域５５ａは全てが第２支持面５６の平面領域５６ａに面することとなるが、第２支持面５６の平面領域５６ａは一部（内周側の領域）のみが第１支持面５５の平面領域５５ａに面することとなる。
【００３４】
第１支持面５５において、平面領域５５ａと傾斜面領域５５ｂとの境界には、ロッド４５の軸線Ｌを中心とした円環状に収容溝４７ｃが形成されている。収容溝４７ｃには、シール手段としてのシール部材たるゴム製のＯリング５８が収容されており、Ｏリング５８はダイヤフラム１４の第１面１４ｂに対して摺動可能に当接されている。したがって、支持部４６の第１支持面５５とダイヤフラム１４の第１面１４ｂとの間を経由した、ポンプ室１５からのガスの漏れ、つまり第１支持面５５と第２支持面５６との間を経由した、ダイヤフラム１４の第１面１４ｂ側から第２面１４ｃ側へのガスの流通は、Ｏリング５８によって抑制される。
【００３５】
なお、Ｏリング５８の配置位置つまりポンプ室１５からのガスの漏れを抑制する位置は、第２支持面５６とダイヤフラム１４の第２面１４ｃとの間よりも第１支持面５５とダイヤフラム１４の第１面１４ｂとの間のほうが、さらには第１支持面５５とダイヤフラム１４の第１面１４ｂとの間においてできるだけ外周側のほうがよい。
【００３６】
つまり、第１支持面５５と第２支持面５６との間の空間において、Ｏリング５８の配置位置（シール位置）を境界としたポンプ室１５側の領域は、ポンプ室１５の一部を構成することとなる。この領域は、ダイヤフラム１４が上死点に位置した際におけるポンプ室１５のデッドボリューム（ポンプ室１５の最小容積がゼロとなることを妨げる空間）となる。ポンプ室１５のデッドボリュームが大きいと、ポンプ室１５から吐出しきれずに残るガス（いわゆる残留ガス）の量が多くなり、該残留ガスの再膨張等によってポンプの効率を低下させる。
【００３７】
したがって、Ｏリング５８を、第１支持面５５とダイヤフラム１４の第１面１４ｂとの間に配置できれば、さらにはＯリング５８を第１支持面５５とダイヤフラム１４の第１面１４ｂとの間においてできるだけ外側に配置できれば、ポンプ室１５のデッドボリュームを少なくすることができ、ポンプの効率を向上させることができる。
【００３８】
そういった意味において、本実施形態のように、第１支持面５５の平面領域５５ａと傾斜面領域５５ｂとの境界にＯリング５８を配置する場合や、或いは例えば傾斜面領域５５ｂにＯリング５８を配置する場合（本実施形態の変更例として把握できる）は、例えば平面領域５５ａにＯリング５８を配置する場合（本実施形態の変更例として把握できる）や、例えば第２支持面５６とダイヤフラム１４の第２面１４ｃとの間にＯリング５８を配置する場合（本実施形態の変更例として把握できる）よりも有効であるといえる。
【００３９】
次に、第１支持部材４７におけるスペーサ５０の高さの設定、つまり第１支持面５５と第２支持面５６との間隔の最小値Ｓの設定について説明する。なお、スペーサ５０の高さとは、第１支持面５５の平面領域５５ａが存在する仮想平面と、スペーサ５０の先端面５０ａが存在する仮想平面との間の距離のことを指す。
【００４０】
前記したように、支持部４６にスペーサ５０を備えることで、ボルト４９を締付けて第１支持部材４７（スペーサ５０）と第２支持部材４８とを圧接させれば、第１支持面５５と第２支持面５６との間隔の最小値Ｓを、スペーサ５０の高さに応じた距離に設定することができる。本実施形態においてスペーサ５０の高さ、つまり第１支持面５５と第２支持面５６との間隔の最小値Ｓ、言い換えれば第１支持面５５の平面領域５５ａと第２支持面５６の平面領域５６ａとの間隔は、第１支持面５５と第２支持面５６との間におけるダイヤフラム１４の厚さ（板厚）Ｔ以上に設定されている。例えばボルト４９の強い締付けによっても、第１支持面５５の平面領域５５ａと第２支持面５６の平面領域５６ａとの間でダイヤフラム１４が強固に狭持されないようにしている。
【００４１】
特に、本実施形態において第１支持面５５と第２支持面５６との間隔の最小値Ｓは、ダイヤフラム１４の厚さＴよりも大きく設定されている。つまり、第１支持面５５と第２支持面５６との間隔の最小値Ｓは、第１支持面５５の平面領域５５ａとダイヤフラム１４の第１面１４ｂとの間及び第２支持面５６の平面領域５６ａとダイヤフラム１４の第２面１４ｃとの間のうちの少なくとも一方に隙間ができるように設定されている。
【００４２】
よって、例えば図２（ａ）の状態から図２（ｂ）の状態に移行する際、つまりダイヤフラム１４が変形の度合いを大きくしてゆく際に、ダイヤフラム１４に引張り力が作用されると、第１支持面５５と第２支持面５６との間でこれら第１支持面５５及び第２支持面５６に沿って（詳しくはロッド４５の軸線Ｌから離間する方向に）ダイヤフラム１４がずれ動くこととなる。
【００４３】
また、例えば図２（ｂ）の状態から図２（ａ）の状態に移行する際、つまりダイヤフラム１４が変形の度合いを小さくしてゆく際には、第１支持面５５と第２支持面５６との間でこれら第１支持面５５及び第２支持面５６に沿って（詳しくはロッド４５の軸線Ｌに近接する方向に）ダイヤフラム１４がずれ動く（押し戻される）こととなる。
【００４４】
上記構成の本実施形態においては次のような効果を奏する。
（１）支持部４６においてダイヤフラム１４は、第１支持面５５と第２支持面５６との間で強固に狭持されておらず、この狭持に伴う応力がダイヤフラム１４に作用されることを抑制できる。また、ダイヤフラム１４がその変形の度合いを大きくしてゆく際に、ダイヤフラム１４に引張り力が作用されると、第１支持面５５と第２支持面５６との間でダイヤフラム１４がずれ動く。したがって、ダイヤフラム１４に過大な引張り力が作用することを抑制できる。以上のように、ダイヤフラム１４に過大な負荷が作用することを抑制でき、ダイヤフラム１４の耐久性を向上することができる。
【００４５】
（２）第１支持面５５と第２支持面５６との間隔の最小値Ｓは、第１支持面５５と第２支持面５６との間におけるダイヤフラム１４の厚さＴ以上に設定されている。このように設定することで、前記した「支持部４６がダイヤフラム１４を強固に狭持せずかつダイヤフラム１４のずれ動きを許容する」ことを、簡単かつ好適に具体化することができる。
【００４６】
特に、本実施形態においては、第１支持面５５と第２支持面５６との間隔の最小値Ｓが、第１支持面５５と第２支持面５６との間におけるダイヤフラム１４の厚さＴよりも大きい。このため、支持部４６がダイヤフラム１４を強固に狭持せずかつダイヤフラム１４のずれ動きを許容することをより好適に具体化すること、つまりダイヤフラム１４がさらに円滑にずれ動くようにすることができる。よって、ダイヤフラム１４に過大な負荷が作用することをさらに効果的に抑制でき、ダイヤフラム１４の耐久性をさらに向上することができる。
【００４７】
（３）支持部４６は、第１支持部材４７と第２支持部材４８との接合部分に、第１支持面５５と第２支持面５６との間隔を規定するスペーサ５０を備えている。したがって、第１支持面５５と第２支持面５６との間隔（特に最小値Ｓ）が、所望の値よりも小さく設定されてしまうことを確実に防止することができる。つまり、スペーサ５０を備えることで、例えばスペーサ５０を備えていない場合と比較して、ポンプの製造時における第１支持面５５と第２支持面５６との間隔（特に最小値Ｓ）の管理が容易となる。よって、ダイヤフラム１４が変形する際に、第１支持面５５と第２支持面５６との間におけるダイヤフラム１４のずれ動きが円滑に行われ、ダイヤフラム１４に過大な引張り力が作用することをさらに効果的に抑制できる。
【００４８】
（４）スペーサ５０は第１支持部材４７に一体形成されている。したがって、例えば支持部４６を構成する部品点数を削減することが可能となり、ポンプの組立工程を簡素化することができる。
【００４９】
（５）支持部４６の第１支持面５５とダイヤフラム１４の第１面１４ｂとの間には、ポンプ室１５からのガスの漏れつまりポンプにおけるガスの内部漏れを抑制するＯリング５８が設けられている。したがって、第１支持面５５と第２支持面５６との間でダイヤフラム１４がずれ動くことを許容するよう支持部４６を構成しても、ポンプの効率が低下することを抑制できる。
【００５０】
○第２実施形態
以下、請求項２に記載の発明のポンプを具体化した第２実施形態について説明する。なお、以下においては第１実施形態に係るポンプとの相違点についてのみ説明し、第１実施形態に係るポンプにおける部材と同一、同等又は類似の部材には同じ番号を付し、説明を省略する。
【００５１】
図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、第２実施形態に係るポンプは、第１実施形態に係るポンプにおいて、第１支持部材４７からスペーサ５０が削除されている。また、第１支持面５５から収容溝４７ｃが削除されているとともに、第１支持部材４７と第２支持部材４８との間からＯリング５８が削除されている。したがって、ダイヤフラム１４の内周部は、第１支持面５５の平面領域５５ａと第２支持面５６の平面領域５６ａとの間で、比較的強く狭持固定されている。つまり、駆動体２４の支持部４６は、従来技術と同様な構成によってダイヤフラム１４に連結されている。そして、ダイヤフラム１４のずれ動きを許容する構成は、装置ケース１０が備えるダイヤフラム１４の支持部６０に採用されている。
【００５２】
装置ケース１０の支持部６０は、第１支持部材たるブロック１１と第２支持部材たる押え板１２とを備えている。ブロック１１の支持面１１ａが第１支持面１１ａをなし、第１支持面１１ａと平行な押え板１２の支持面１２ａが第２支持面１２ａをなしている。第１支持面１１ａ及び第２支持面１２ａは、それぞれロッド４５の軸線Ｌと直交する仮想平面上に存在する。ブロック１１において第１支持面１１ａよりも外周側には、円環状（周壁状）のスペーサ６１が一体に突設されている。スペーサ６１の先端面６１ａは、ロッド４５の軸線Ｌと直交する仮想平面上に存在する。ブロック１１は、スペーサ６１の先端面６１ａが、押え板１２において第２支持面１２ａよりも外周側（第２支持面１２ａと同一仮想平面上に存在する平面）に当接されて押え板１２に接合されている。
【００５３】
第１支持面１１ａには、ロッド４５の軸線Ｌを中心とした円環状に収容溝１１ｃが形成されている。収容溝１１ｃには、シール手段としてのシール部材たるゴム製のＯリング６２が収容されており、Ｏリング６２はダイヤフラム１４の第１面１４ｂに当接されている。なお、収容溝１１ｃを形成する位置は、ポンプ室１５のデッドボリュームを少なくすることができ、ポンプの効率を向上させるために、ロッド４５の軸線Ｌに近づける位置に形成するのが好ましい。したがって、支持部６０の第１支持面１１ａとダイヤフラム１４の第１面１４ｂとの間を経由した、ポンプ室１５からのガスの漏れ、つまり第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間を経由した、ダイヤフラム１４の第１面１４ｂ側から第２面１４ｃ側へのガスの流通は、Ｏリング６２によって抑制される。
【００５４】
そして、スペーサ６１の高さ、つまり第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間隔の最小値（第１支持面１１ａと第２支持面１２ａは全ての対向領域で平行であるため全ての箇所の間隔を最小値と把握できる）Ｒは、第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間に位置するダイヤフラム１４の厚さＴ以上に設定されており、第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間でダイヤフラム１４が強固に狭持されないようにしている。特に、本実施形態において第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間隔の最小値Ｒは、ダイヤフラム１４の厚さＴよりも大きく設定されている。つまり、第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間隔の最小値Ｒは、第１支持面１１ａとダイヤフラム１４の第１面１４ｂとの間及び第２支持面１２ａとダイヤフラム１４の第２面１４ｃとの間のうちの少なくとも一方に隙間ができるように設定されている。
【００５５】
よって、例えばダイヤフラム１４が変形の度合いを大きくしてゆく際に、ダイヤフラム１４に引張り力が作用されると、第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間でこれら第１支持面１１ａ及び第２支持面１２ａに沿って（詳しくはロッド４５の軸線Ｌに近接する方向に）ダイヤフラム１４がずれ動くこととなる。また、例えばダイヤフラム１４が変形の度合いを小さくしてゆく際には、第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間でこれら第１支持面１１ａ及び第２支持面１２ａに沿って（詳しくはロッド４５の軸線Ｌから離間する方向に）ダイヤフラム１４がずれ動く（押し戻される）こととなる。
【００５６】
上記構成の本実施形態においても第１実施形態に係るポンプと同様な効果を奏する。
なお、上記第１及び第２の実施形態に係るポンプは、本発明の一実施形態を示すものにすぎず、それぞれ、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で変形することが可能である。例えば、以下に記すように変形することも可能であり、また、各変形例を、互いに矛盾しない範囲内で適宜組み合わせて実施することも可能である。
【００５７】
○図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、第１実施形態（請求項１に記載の発明）と第２実施形態（請求項２に記載の発明）を組み合わせること。つまり、駆動体２４の支持部４６においてダイヤフラム１４がずれ動くことができるように構成するとともに、装置ケース１０の支持部６０においてもダイヤフラム１４がずれ動くことができるように構成すること。
【００５８】
○上記第１実施形態においてスペーサ５０を、第２支持部材４８に一体形成するとともに第１支持部材４７に当接させること。また、上記第２実施形態においてスペーサ６１を、押え板１２に一体形成するとともにブロック１１に当接させること。
【００５９】
○上記第１実施形態においてスペーサ５０を、第１支持部材４７及び第２支持部材４８と別体のリングとすること。また、上記第２実施形態においてスペーサ６１を、ブロック１１及び押え板１２と別体のリングとすること。
【００６０】
○上記第１実施形態において、第１支持面５５と第２支持面５６との間隔の最小値Ｓを、第１支持面５５と第２支持面５６との間に位置するダイヤフラム１４の厚みＴよりも若干（最大でも１０％）小さく設定すること。また、上記第２実施形態において、第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間隔の最小値Ｒを、第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間に位置するダイヤフラム１４の厚さＴよりも若干（最大でも１０％）小さく設定すること。つまり、ダイヤフラム１４の変形によるダイヤフラム１４のずれ動きが可能であれば、第１支持面５５の平面領域５５ａと第２支持面５６の平面領域５６ａとの間や、第１支持面１１ａと第２支持面１２ａとの間でダイヤフラム１４が直接狭持されるような構成を採用してもよい。
【００６１】
○上記第１実施形態において、ブロック１１と押え板１２との接合力を緩くすること（例えばブロック１１と押え板１２とを固定する図示しないボルトの締付けを緩くすること）で、ダイヤフラム１４が変形する際に支持面１１ａと支持面１２ａとの間でこれら支持面１１ａ及び支持面１２ａに沿ってダイヤフラム１４がずれ動くことができるように構成すること。
【００６２】
○上記第２実施形態において、ボルト４９の締付け力を緩くすることで、ダイヤフラム１４が変形する際に第１支持面５５と第２支持面５６との間でこれら第１支持面５５及び第２支持面５６に沿ってダイヤフラム１４がずれ動くことができるように構成すること。
【００６３】
○上記第１実施形態及び第２実施形態において、第２支持面５６とダイヤフラム１４の第２面１４ｃとの間にシール手段（例えばＯリング）を設けること。
○シール手段としてリップシールを用いること。
【００６４】
○上記第１実施形態からＯリング５８を削除すること。また、上記第２実施形態からＯリング６２を削除すること。
○ダイヤフラム型ポンプとしては、上記第１実施形態及び第２実施形態のような駆動体２４を備えておらず、ダイヤフラムを境界としてポンプ室と反対側に背圧室を区画し、該背圧室の内圧を増減変更することでダイヤフラムを変形させるタイプも存在する。このようなタイプのダイヤフラム型ポンプに請求項２の発明を具体化してもよい。
【００６５】
○液体を扱うダイヤフラム型ポンプに本発明を具体化してもよい。
上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について記載する。
（１）前記ダイヤフラムの前記第１面側には、該ダイヤフラムの変形によって容積を変更するポンプ室が区画されており、前記シール手段は、少なくとも前記支持部の前記第１支持面と前記ダイヤフラムの前記第１面との間に設けられている請求項６に記載のダイヤフラム型ポンプ。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】第１実施形態のダイヤフラム型ポンプの断面図。
【図２】（ａ）は図１において駆動体の支持部付近の拡大図、（ｂ）はダイヤフラム型ポンプの動作を説明するための図。
【図３】（ａ）は第２実施形態のダイヤフラム型ポンプの断面図、（ｂ）は（ａ）において装置ケースの支持部付近の拡大図。
【図４】（ａ）は別例のダイヤフラム型ポンプの断面図であり、（ｂ）は（ａ）において装置ケースの支持部付近の拡大図、（ｃ）は（ａ）において駆動体の支持部付近の拡大図。
【図５】従来のダイヤフラム型ポンプの断面図。
【符号の説明】
【００６７】
１０…装置ケース、１１…ブロック（第２実施形態では装置ケースの支持部を構成する第１支持部材をなす。ａ…第２実施形態では第１支持面をなす支持面）、１２…押え板（第２実施形態では装置ケースの支持部を構成する第２支持部材をなす。ａ…第２実施形態では第２支持面をなす支持面）、１４…ダイヤフラム（ａ…外周部、ｂ…第１面、ｃ…第２面）、２４…駆動体、４６…駆動体を構成する支持部、４７…駆動体の支持部を構成する第１支持部材、４８…駆動体の支持部を構成する第２支持部材、５０…スペーサ、５５…第１支持面、５６…第２支持面、５８…シール手段としてのＯリング、６０…装置ケースの支持部（第２実施形態）、６１…スペーサ（第２実施形態）、６２…シール手段としてのＯリング（第２実施形態）、Ｓ…第１支持面と第２支持面との間隔の最小値、Ｒ…第１支持面と第２支持面との間隔の最小値（第２実施形態）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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