(57)【要約】【課題】小型化が進んだ圧電部品を検査する際に、圧電部品の電極パッドの大きさが縦横数百μｍ以下の狭小な電極パッドのため、直接に測定装置の測定用端子を電極パッドに接触させ圧電部品の特性を測定することが困難になってきた。【解決手段】圧電部品の電極パッドの形成位置に相対するように設けた接続用パッドと、この接続用パッドと電気的に接続した前記接続用パッドよりも大きい測定用パッドとが形成され、且つ前記接続用パッド上に異方性導電シートを配置した検査用基板を使用して、まず、異方性導電シート上から、圧電部品を電極パッドが接続用パッドと相対するように圧接する工程と、次に、測定用パッドに測定用端子を付け、圧電部品の特性を測定し、その値から圧電部品の良否を判定する工程と、次に、測定後の圧電部品を異方性導電シートから取り外す工程とする圧電部品の検査方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電部品に形成した電極パッドの形成位置に相対するように設けた接続用パッドと、該接続用パッドと電気的に接続した該接続用パッドよりも大きい測定用パッドとが形成され、且つ該接続用パッド上には異方性導電シートを配置した検査用基板を使用し、
該検査用基板の該異方性導電シート上から、該圧電部品を該電極パッドが該検査用基板に設けた接続用パッドと相対するように圧接する工程と、
該検査用基板に設けた該測定用パッドに測定用端子を付け、該圧電部品の特性を測定し、測定した値のにより該圧電部品の良否を判定する工程と、
特性測定後の該圧電部品を該異方性導電シートから取り外す工程と、
を具備することを特徴とする圧電部品の検査方法。
【請求項２】
該圧電部品に形成した該電極パッドにバンプが形成されていることを特徴とする請求項１記載の圧電部品の検査方法。
【請求項３】
該検査用基板に形成した接続用パッドにバンプが形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の圧電部品の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電部品の検査方法に関し、特に小型の表面実装型圧電部品の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の電子機器に搭載される圧電振動子や圧電発振器等の圧電部品は、表面実装型の形状が主流になっており、更にその大きさも非常に小型の形状のものが使用されるようになっている。
【０００３】
通常、このような表面実装型の圧電部品の特性（例えば圧電振動子ではクリスタルインピーダンス値や周波数温度特性などがある）を検査する方法としては、圧電部品を構成するセラミックス容器の底部外面に形成した容器内部に搭載した圧電素子や電子素子と電気的に接続した電極パッドに、直接検査装置に付設された測定用端子（例えばプローブなど）を接触させ、圧電部品としての特性を測定装置により測定し、その測定値から圧電部品としての良否を検査する方法が用いられている。
【０００４】
又、このような検査工程は、圧電部品の配給装置、測定装置や良否判定機構などを組み込んだ検査装置内で自動化されて行われている。
【０００５】
前述のような圧電部品の検査方法については、以下のような文献が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−０６４４１４号公報  尚、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、表面実装型圧電部品の小型化は著しく進み、長さ寸法が２．５ｍｍ、幅寸法が２．０ｍｍ及び厚さ寸法が０．４５ｍｍの圧電部品が製品化されており、更に小型化の圧電部品も開発されている。
【０００７】
このような大きさの圧電部品では、圧電部品を構成する容器に形成する電極パッドの大きさは縦横数百μｍ以下の大きさにしかできず、この電極パッドに直接測定装置の測定用端子を接触させることが困難になってきた。
【０００８】
又、このような狭小な電極パッドに対応できる測定用端子は非常に高価であり、このような測定用端子の先端は極細で強度は比較的低くなる傾向にあり、繰り返し使用の耐久性に問題が生じる可能性がある。
【０００９】
更に、検査装置において、狭小な電極パッドを形成した圧電部品を、精確に測定用端子の測定位置に配給するためには、高精度の部品配給装置が必要であり、このような装置は高価になる傾向にある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は前述した問題を解決するために成されたものであり、圧電部品に形成した電極パッドの形成位置に相対するように設けた接続用パッドと、この接続用パッドと電気的に接続した接続用パッドよりも大きい測定用パッドとが形成され、且つ接続用パッド上には異方性導電シートを配置した検査用基板を使用し、
まず、検査用基板の異方性導電シート上から、圧電部品を電極パッドが検査用基板に設けた接続用パッドと相対するように圧接する工程と、次に、検査用基板に設けた測定用パッドに測定用端子を付け、圧接した圧電部品の特性を測定し、測定した値のにより圧電部品の良否を判定する工程と、特性測定後の圧電部品を異方性導電シートから取り外す工程とを具備することを特徴とする圧電部品の検査方法である。
【００１１】
又、前記圧電部品に形成した電極パッドにバンプが形成されていることを特徴とする前欄記載の圧電部品の検査方法でもある。
【００１２】
更に、検査用基板に形成した接続用パッドにバンプが形成されていることを特徴とする前欄又は前々欄記載の圧電部品の検査方法でもある。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の圧電部品の検査方法によれば、圧電部品の形状が小型化し電極パッドの面積が狭小になっても、圧電部品の特性を簡易に測定でき、又、圧電部品の形状が多種になっても、各々の圧電部品の電極パッド位置に合わせて、その都度行う測定用端子の位置合わせや検査装置自体の新造や改造などが不要になる。
【００１４】
又、圧電部品の狭小な電極パッドに対応し且つ耐久性のある特別な測定用端子を使用することなく、比較的安価な汎用の測定用端子を使用できる。
【００１５】
以上のことから、本発明に開示の検査用基板を用いた圧電部品の検査方法によれば、圧電部品の小型化に対応し、簡易且つ安価に圧電部品の検査を行う効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明による圧電部品の検査方法の一実施形態を、圧電部品の一つである圧電振動子を使用した例を挙げ、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明に係わる圧電部品の検査方法に使用する検査用基板の一形態を、圧電部品を配置した状態で図示した外観図である。
図２は、図１に図示した切断線Ａ１−Ａ２で切断した際の断面図である。
図３は、本発明に係わる圧電部品の検査方法において、他の形態の検査用基板を使用した際に図１記載の切断線と同箇所切断した際の断面図である。
尚、各図では、説明を明りょうにするため構造体の一部を図示せず、また寸法も一部誇張して図示している。特に厚み方向の各寸法については特に誇張してある。
【実施例１】
【００１７】
即ち、図１及び図２には本願明細書に開示の検査方法に使用する検査用基板１０が開示されている。検査用基板１０は、プリント基板１１の表面に圧電振動子１２に形成された４つの電極パッド１３に相対する位置に４つの接続用パッド１４が形成され、この４つの接続用パッド１４から各々引き出し電極１５がプリント基板１１の一辺に向かって延設され、この引き出し電極１５はプリント基板１１の一辺縁部付近に形成された接続用パッド１４よりも大きい形状の４つの測定用パッド１６に各々接続している。更に、この検査用基板１０の接続用パッド１４上には異方性導電シート１７が配置されている。
【００１８】
この検査用基板１０を使用して圧電振動子１２の検査を行う。
まず、この検査用基板１０に配置する検査対象の圧電振動子１２の４つの電極パッド１３には、バンプ１８が形成されており、このバンプ１８を形成した圧電振動子１２を異方性導電シート１７に、電極パッド１３＋バンプ１８と接続用パッド１４とが相対するように圧接する。
圧接されたバンプ１８と接続用パッド１４間の異方性導電シート１７には、バンプ１８の圧力により導通が生じ、圧電振動子１２の４つの電極パッド１３と、各電極パッドに相対する接続用パッド１４との間は、異方性導電シート１７を介して各々が独立して電気的に接続した状態になる。
【００１９】
次に、圧電振動子１２を圧接配置した検査用基板１０の測定用パッド１６に、測定装置に付設されている測定用端子を接触させ、圧電振動子１２の特性値を測定する。測定する項目としては、例えば圧電振動子の発振周波数値やクリスタルインピーダンス値が上げられる。この測定した値から圧電振動子の良否を判定する。
【００２０】
次に、圧電振動子の良否を判定後に、異方性導電シート１７から圧電振動子１２を取り外し、前工程の判定結果に基づき圧電振動子を分別する。尚、異方性導電シートから圧電振動子を取り外す工程は、前工程の圧電振動子の良否判定の前に行っても良い。又、バンプ１８が形成されたままの良品の圧電振動子１２は、圧電発振器などを構成するマザーボードへ、その構成部品としてそのまま実装できる利点がある。
【実施例２】
【００２１】
図３には、本発明で使用する検査用基板の他の形態を開示している。即ち、検査用基板２０では、接続用パッド２２を圧電振動子１２の電極パッド１３の形成位置に相対するように設け且つその表面にバンプ２１を形成している。このような接続用パッド２２上に異方性導電シート１７を配置し、その上から圧電振動子１２を圧接する。
【００２２】
このように圧電振動子１２を圧接配置すると、圧接されたバンプ２１と電極パッド１３間の異方性導電シート１７には、圧電振動子１２の各電極パッド１３の圧力により導通が生じ、圧電振動子１２の４つの電極パッド１３と、各電極パッドに相対するバンプ２１との間は、実施例１と同じように、異方性導電シート１７を介して各々が独立して電気的に接続した状態になる。
【００２３】
このような検査用基板２０に圧電振動子１２を圧接配置した後の検査工程は、上記実施例１欄に開示した工程と同じ工程で行う。
【００２４】
尚、実施例１及び実施例２では、一枚の検査用基板に配置し検査できる圧電振動子を一個の場合を例示しているが、検査用基板に複数個の圧電振動子に対応するように、接続用パッド及び測定用パッド等を形成し、複数個の圧電振動子を一枚の検査用基板で検査できるようにしても良い。
【００２５】
又、実施例１及び実施例２では、圧電振動子の電極パッド又は検査用基板の接続用パッドにバンプを形成した場合を例示したが、このバンプは、電極パッドと接続用パッド間の異方性導電シートに、より確実に圧力を加えるために設けたものである。因って、圧電部品を異方性導電シートに圧接した際に、その圧力により電極パッドと接続用パッド間に異方性導電シート介し電気的接続が生じるのであれば、電極パッド又は接続用パッド上に形成したバンプは、必ずしも必須のものではない。
【００２６】
更に、実施例１及び実施例２では、圧電振動子の検査方法を例示しているが、本発明は、圧電素子を使用した圧電発振器や弾性表面波フィルタなどの他の圧電部品にも使用できる検査方法である。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明に開示の検査用基板を用いた圧電部品の検査方法を使用することにより、圧電部品の更なる小型化による形状の変化に対応し、簡易且つ安価に圧電部品の検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、本発明に係わる圧電部品の検査方法に使用する検査用基板の一形態を、圧電部品を配置した状態で図示した外観図である。（実施例１及び２）
【図２】図２は、図１に図示した切断線Ａ１−Ａ２で切断した際の断面図である。（実施例１）
【図３】図３は、本発明に係わる圧電部品の検査方法において、他の形態の検査用基板を使用した際に図１記載の切断線と同箇所を切断した際の断面図である。（実施例２）
【符号の説明】
【００２９】
１０，２０  検査用基板
１１        プリント基板
１２        圧電部品（圧電振動子）
１３        電極パッド
１４，２２  接続用パッド
１６        測定用パッド
１７        異方性導電シート
１８，２１  バンプ
【図１】
2005049293.tif 000003
【図２】
2005049293.tif 000004
【図３】
2005049293.tif 000005