(57)【要約】【課題】  クロストーク光による誤差を除いて光モニタを行うことができるようにした光モジュールを提供すること。【解決手段】  各々の信号光は光導波回路として集積されている光カプラ１１により信号用光導波路１２とモニタ用光導波路１３に分岐され、モニタ用光導波路１３は光導波路端面から光ファイバブロック４に接続され、その光ファイバ５は、各々モニタ用ＰＤモジュール６に接続され、各信号チャネルの光量をモニタできる。光導波路基板１に接続された複数の光ファイバ５は、コアと、このコアの周辺を取り囲み、かつ少なくともコアの近傍は光屈折率がコアよりも低いクラッドとからなり、クラッドの一部または全部に光信号を減衰させる遷移金属イオンが含有されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光カプラにより分岐された信号用光導波路とモニタ用光導波路を備えた光導波路基板と、該光導波路基板に接続された複数の光ファイバからなる光ファイバアレイとから構成され、前記光ファイバは、コアと、該コアの周辺を取り囲み、かつ少なくとも該コアの近傍は光屈折率が前記コアよりも低いクラッドとからなり、該クラッドの一部または全部に光信号を減衰させる遷移金属イオンを含有したことを特徴とする光モジュール。
【請求項２】
前記光ファイバアレイを構成する各光ファイバのうち前記モニタ用光導波路に対応するもののそれぞれにフォトダイオードを接続したことを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
【請求項３】
前記光導波路基板と前記光ファイバアレイとの接続部において、該光ファイバアレイは、接着剤により前記光導波路基板に接続固定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光モジュール。
【請求項４】
前記クラッドが、遷移金属イオンのドープ量が連続的に変化している領域を有することを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
【請求項５】
前記クラッドが、遷移金属イオンのドープ量が一定濃度である領域を有することを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
【請求項６】
前記信号用光導波路と前記モニタ用光導波路とが交差することなく、同一の端面に導かれていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の光モジュール。
【請求項７】
前記光導波路基板と前記光ファイバアレイとの接続部において、前記光導波路基板はその端面に、前記光ファイバを挿入すると光導波路との調心がとれるような光学的接続が可能な固定されたファイバガイドを有するレセプタクルを備え、一方、前記光ファイバアレイはプラグに固定され、該プラグはその端面から遠い側に前記光ファイバアレイを保持する保持部を備えたことを特徴とする請求項１，２又は６に記載の光モジュール。
【請求項８】
前記光ファイバの前記クラッドに含有させる遷移金属イオンとして、Ｃｏイオンを用いたことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光モジュールに関し、より詳細には、光通信システムに応用可能な、光導波路やフォトダイオード（ＰＤ）を用いた光モジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インターネットなどにより通信トラフィックの大容量化が求められ、波長分割多重（ＷＤＭ）システム等の光システムが用いられている。そのような中で光ファイバ、あるいは光導波路を用いた光回路においては、光導波路を伝送される信号の光強度を一定に保つことやチャネル間の光強度レベルを均一にすることなど、信号光の光強度を適切な値に制御するデバイスが必要とされている。このような場合、信号光の光強度を光回路中でモニタし、あるいはモニタした結果に基づき光強度を制御することが行われている。
【０００３】
図１１は、従来の光モジュールを説明するための構成図で、図中符号５１は光導波路基板、５２は光信号入力部、５３は光信号出力部、５４は光ファイバブロック、５５はシングルモード光ファイバ（Ｃｏノンドープ）、５６はＰＤモジュール、６１は光カプラ、６２は信号用光導波路、６３はモニタ用光導波路、６４はガラス板を示している。
【０００４】
上述した信号光の光強度のモニタを従来技術により確実に構成する方法として、図１１に示すように、信号用光導波路６２中で光カプラ６１により光を少量タップしてモニタ用光導波路６３に分岐し、そのモニタ用光導波路６３を複数の光ファイバ５５からなる光ファイバアレイに接続し、各々の光ファイバ５５にＰＤモジュール５６を接続する方法が挙げられる。ここでＰＤモジュール５６としては、例えば、面型ＰＤを缶封止したモジュールとして気密封止したものが用いられる。
【０００５】
光を減衰する光ファイバを作製するために、光ファイバのコアにＣｏイオンのような遷移金属イオンを分散させることにより、光を吸収させるような光減衰ファイバを作製することは知られている（例えば、特許文献１及び２参照）。しかしながら、特許文献２に記載のものは、モードフィールド内部付近にＣｏをドープしたもので、これはあくまでもコア伝搬モードを減衰させることを目的としており、本発明のように、クラッドモードを除去するためにＣｏをドープするものとは技術的思想を基本的に異にする。
【０００６】
また、図１２及び図１３は、図１１に示した接続部における光導波路側の断面図と光ファイバ側の断面図で、図中符号５５ａは光ファイバ（コア）、５５ｂは光ファイバ（クラッド）、５７は光ファイバ固定用接着剤、７１はＳｉ基板、７２は光導波路（コア）、７３は光導波路（クラッド）を示している。
【０００７】
光ファイバアレイは、ガラスブロックにＶ溝の機械加工をしたものにより、光ファイバ５５を上下から挟むことによって作製した光ファイバブロック５４を作製し、その端面を研磨したものを用いて光導波路基板５１と接続している。
【０００８】
【特許文献１】特開昭５４−２７５４号公報
【特許文献２】特開平８−１３６７３６号公報
【特許文献３】特開平１１−３５２３６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述した図１１において、あるチャネルのＰＤに着目した時、光モニタにおいては、他チャネルからの迷光によりモニタ光量がずれてしまうという課題が存在した。そのクロストーク光が生じる原因とし、光導波路と光ファイバとの接続部において、光導波路のクラッド中の迷光が、光ファイバのクラッドに入射することが挙げられる。
【００１０】
また、図１２及び図１３において、光導波路（クラッド）７３中を伝搬する迷光が、光ファイバ（クラッド）５５ｂに伝搬してＰＤモジュール５６で受光されるという課題が存在した。ここでＰＤモジュール５６は、受光径が、例えば３００μｍと大きい面型ＰＤ素子を用いて作製されることが多く、そのようなクラッドモードもそのままＰＤ素子で受光される。
【００１１】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、クロストーク光による誤差を除いて光モニタを行うことができるようにした光モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、光カプラにより分岐された信号用光導波路とモニタ用光導波路を備えた光導波路基板と、該光導波路基板に接続された複数の光ファイバからなる光ファイバアレイとから構成され、前記光ファイバは、コアと、該コアの周辺を取り囲み、かつ少なくとも該コアの近傍は光屈折率が前記コアよりも低いクラッドとからなり、該クラッドの一部または全部に光信号を減衰させる遷移金属イオンを含有したことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記光ファイバアレイを構成する各光ファイバのうち前記モニタ用光導波路に対応するもののそれぞれにフォトダイオードを接続したことを特徴とする。
【００１４】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、前記光導波路基板と前記光ファイバアレイとの接続部において、該光ファイバアレイは、接着剤により前記光導波路基板に接続固定されていることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記クラッドが、遷移金属イオンのドープ量が連続的に変化している領域を有することを特徴とする。
【００１６】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記クラッドが、遷移金属イオンのドープ量が一定濃度である領域を有することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明において、前記信号用光導波路と前記モニタ用光導波路とが交差することなく、同一の端面に導かれていることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項７に記載の発明は、請求項１，２又は６に記載の発明において、前記光導波路基板と前記光ファイバアレイとの接続部において、前記光導波路基板はその端面に、前記光ファイバを挿入すると光導波路との調心がとれるような光学的接続が可能な固定されたファイバガイドを有するレセプタクルを備え、一方、前記光ファイバアレイはプラグに固定され、該プラグはその端面から遠い側に前記光ファイバアレイを保持する保持部を備えたことを特徴とする。
【００１９】
また、請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７のいずれかに記載の発明において、前記光ファイバの前記クラッドに含有させる遷移金属イオンとして、Ｃｏイオンを用いたことを特徴とする。
【００２０】
上述したように、光ファイバガラス中にＣｏイオンのような遷移金属イオンを分散させることにより、光を吸収させるような光減衰ファイバを作製することは知られている（特許文献１及び２参照）。本発明は、このような技術を応用し、コアは従来通りの透明な光ファイバの組成をそのまま用い、クラッドにＣｏイオンを添加することによりクラッドモードのみを減衰させて、他チャネルからのクロストーク光を除去するようにしたものである。
【００２１】
ここで全てのクラッドに一様に高濃度のＣｏイオンを添加すると、コアを伝搬する信号光はクラッドまで染み出しているため、その信号光も減衰する可能性がある。これを防ぐためにクラッドには部分的にＣｏイオンをドープしている。すなわち、光ファイバの製造方法においてクラッドの組成を２層、３層に分離してその外側のみにＣｏイオンをドープして作製すること、また、中心からの距離によりＣｏイオンの添加量を連続的に増加させること等が可能である。
【００２２】
そのため、光ファイバのコアを伝搬するモードの損失を押さえつつ、クラッドモードの伝搬を抑制するように、中心からの距離によりＣｏイオンのドープ量を設計・調整することが可能である。このようにして、光ファイバにおいて従来クロストーク光の原因となっていたクラッドモードを除去することにより、クロストーク光の小さいモニタ用光モジュールを提供することができる。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したように、本発明によれば、光カプラにより分岐された信号用光導波路とモニタ用光導波路を備えた光導波路基板と、この光導波路基板に接続された複数の光ファイバからなる光ファイバアレイとから構成され、光ファイバは、コアと、このコアの周辺を取り囲み、かつ少なくともコアの近傍は光屈折率がコアよりも低いクラッドとからなり、このクラッドの一部または全部に光信号を減衰させる遷移金属イオンを含有したので、クロストーク光による誤差が除かれたモニタ用光モジュールを作製することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。
【実施例１】
【００２５】
図１は、本発明の光モジュールの実施例１を説明するための構成図で、図中符号１は光導波路基板、２は光信号入力部、３は光信号出力部、４は光ファイバブロック、５は光ファイバ、５−１は光ファイバ（Ｃｏドープ）、５−２は光ファイバ（Ｃｏノンドープ）、６はＰＤモジュール、１１は光カプラ、１２は信号用光導波路、１３はモニタ用光導波路、１４はガラス板を示している。
【００２６】
光導波路基板１は、Ｓｉ基板上に石英系ガラスの埋め込み型光導波路を作製したものを用いている。この光導波路には、左側から４チャネルの信号光が入射し、各々の信号光は光導波回路として集積されている光カプラ１１により信号用光導波路１２とモニタ用光導波路１３に、分岐比が９：１となるように分岐され、モニタ用光導波路１３は、信号用光導波路１２と交差して光導波路の端面から光ファイバブロック４に接続されている。そして、その光ファイバ５は、各々モニタ用ＰＤモジュール６に接続されることにより、各信号チャネルの光量をモニタできるようになっている。
【００２７】
つまり、本発明の光モジュールは、光カプラ１１により分岐された信号用光導波路１２とモニタ用光導波路１３を備えた光導波路基板１と、この光導波路基板１に接続された複数の光ファイバ５からなる光ファイバアレイとから構成され、この光ファイバ５は、コアと、このコアの周辺を取り囲み、かつ少なくともコアの近傍は光屈折率がコアよりも低いクラッドとからなり、このクラッドの一部または全部に光信号を減衰させる遷移金属イオンが含有されている。また、光ファイバアレイの各光ファイバ５にはフォトダイオードが接続されている。
【００２８】
このような構成では、光導波路基板１、その光導波路基板１と光ファイバ５との接続部、ＰＤモジュール６について、それぞれ信頼性も含めた十分な実績があるという利点がある。
【００２９】
図２は、モニタ用光導波路の光ファイバとの接続点における断面図、図３は、モニタ用光導波路と接続する光ファイバブロックの断面図で、図中符号５ａは光ファイバ（コア）、５ｂは光ファイバ（クラッド）、７は光ファイバ固定用接着剤、２１はＳｉ基板、２２は光導波路（コア）、２３は光導波路（クラッド）を示している。
【００３０】
光導波路と光ファイバの両者は互いのコア同士を調心された状態で光ファイバ固定用接着剤７により接続されている。ここで信号光は光導波路と光ファイバの各々のコア同士を伝搬する。一方、光導波路（クラッド）２３には、光導波路各部から漏れ出た光が迷光成分として存在する。ここであるチャネルに着目すると、所望のチャネル以外の光が迷光成分となっていると、これがモニタ用ＰＤモジュール６で受光されてしまうとクロストーク成分となる。
【００３１】
このクロストーク成分は、信号光に対して、例えば、−３０ｄＢ以下に抑制する必要があり、これが大きいとそのチャネルの光信号強度を正確にモニタすることが妨げられる。モニタＰＤモジュール６では元々信号光から分岐した弱い光を正確にモニタする必要があり、このようなクロストーク光による誤差は大きい問題となっていた。
【００３２】
本実施例１ではこのようなクラッドモードに入射したクロストーク光のみを減衰する光ファイバを用いることにより、他チャネルからのクロストーク光によるモニタ誤差を無くすようにしている。
【００３３】
図４は、本実施例１で用いている光ファイバの断面の拡大図、図５は、Ｃｏイオンのドープ量の濃度分布が異なる例を示す断面図で、図中符号５ｂ−1は光ファイバ（クラッド；Ｃｏイオン無し）、５ｂ−２は光ファイバ（クラッド；Ｃｏイオン有り）、５ｂ−３は光ファイバ（クラッド；Ｃｏイオンドープ量を連続的に変化）、５ｂ−４は光ファイバ（クラッド；Ｃｏイオンドープ量が一定濃度）を示している。
【００３４】
ここで光ファイバ（コア）５ａとその周囲直径２０μｍの範囲においては、通常のシングルモード光ファイバに用いられているのと同じコアとクラッド材料が用いられている。そして、その周囲には、Ｃｏイオンをドープしている。このドープ量は、典型的なクラッドモードが長さ３０ｃｍの光ファイバで３０ｄＢ以上減衰するように調整されている。このためクラッド５ｂ−２に入射したクラッドモードは、Ｃｏイオンドープがない場合に比べ３０ｄＢ以上減衰する。
【００３５】
一方、コア５ａの周囲のＣｏイオンドープされていないクラッド５ｂ−１に入射した光も、コア５ａに再度結合することなくクラッドを伝搬するため、Ｃｏイオンがドープされている領域に入り込み大幅に減衰する。コア５ａについてはそのクラッドへの光の染みだしを考慮しても、その減衰量は無視できる。このように、クラッドを例えば２層に分け、そのＣｏイオンのドープ量を調整することは、通常の光減衰性光ファイバの作製において用いられており容易に作製可能である。
【００３６】
このＣｏイオンをクラッドにドープした光ファイバは、３０ｃｍの長さで通常のシングルモード光ファイバに融着接続して所望の長さ引き回した後に、ＰＤを気密封止した受信モジュールに接続した。その結果、従来問題となっていた光ファイバのクラッドモジュールに入射した迷光（クロストーク成分）による光モニタの誤差はなくなった。
【００３７】
なお、Ｃｏイオンのドープ濃度の分布の設計方法として、図５中のクラッド５ｂ−３に示すように、Ｃｏイオンのドープ量を内側から外側に連続的に増加させることも可能である。この方法を用いると、コアの光伝搬損を防ぎながらクラッドモードの光伝搬損失を大きくすることがより効果的に行える。
【００３８】
なお、本実施例１は、クラッドを、Ｃｏイオンをドープした光ファイバと、通常の光ファイバを融着して接続した例を示したが、全ての長さにわたりＣｏイオンをドープした光ファイバを用いてもよい。また、光ファイバアレイをテープ化したものを用いてももちろんよい。
【００３９】
また、ＰＤモジュール６として、市販されている単体の缶封止型ＰＤモジュールを用いた例を示したが、そのＰＤモジュールの形態に依るものではない。例えば、アレイのＰＤ素子がまとめて気密封止されているモジュール、あるいはＶ溝に光ファイバが固定されベアチップのＰＤ素子が実装され樹脂封止されているモジュールであってもよい。
【００４０】
また、本実施例１ではタップ回路を含んだ光導波路の一例を示したが、その光導波路の形態や構造に依るものではない。例えば、図６に示すように、信号用光導波路１２とモニタ用光導波路１３が交差することなく同一の端面から出射し、共通の光ファイバブロック４により取り出すようにしてもよい。この時にはモニタ用光導波路１３に対応する光ファイバのみＣｏイオンがドープされたものを用いてもよいし、あるいはコアを伝搬する信号光成分を減衰するわけではないので、全ての光ファイバに対してＣｏイオンがドープされた光ファイバを用いてもよい。
【００４１】
さらに、光カプラが同一光導波路基板になくともよい。あるいは同一光導波路基板上に他の光回路をさらに含んでもよい。
【実施例２】
【００４２】
図７は、本発明の光モジュールの実施例２を説明するための構成図で、図中符号３１は光導波路基板、３２は光信号入力部、３３は光ファイバガイド、３４は光ファイバ挿入用穴、４１は光カプラ、４２は信号用光導波路、４３はモニタ用光導波路、４４はガラス板を示している。
【００４３】
上述した実施例１においては、光導波路基板１と光ファイバ５とは接着剤で接続されているため、着脱することはできなかった。しかし、実際の光モジュールの作製工程では、光モジュールのみならずＰＤの駆動回路やその他の光回路、電気制御回路など多数の部品をサブポード等に組み上げることもある。このような場合には、各部品をボード内に実装・固定した後に光ファイバを取り付けられると、すなわち、光ファイバと光導波路とを着脱可能であると、アッセンブリ工程や検査工程の自由度が増し都合がよい。
【００４４】
図７は、図６における光導波路と光ファイバの接続部において、接着剤で光ファイバブロックを光導波路基板に接続する変わりに、“ＰＬＣコネクタ”と呼ばれる着脱式のプラグを使用したコネクタを用いた場合の図である（例えば、特許文献３参照）。この着脱式のコネクタは、光導波路側は通常の光ファイバを接続する時と同様にガラス板４４を上面に張りつけた後端面を研磨し、さらにファイバガイド３３と呼ばれる持具を調心して接続固定することにより、光ファイバを光ファイバ挿入用穴３４に挿入して押しつけると自動的に調心・接続が完了する構造を採っている。
【００４５】
図８は、図７において実際に光ファイバが挿入された時の断面図で、図中符号３５はＣｏイオンドープ光ファイバ、３６はプラグ側の保持部で、その他、図７と同じ機能を有する構成要素には同一の符号を付してある。
【００４６】
信号用光導波路４２及びモニタ用光導波路４３の端面、並びに光ファイバ３５の先端は共に研磨されており、物理的な接続部Ａによって過剰損失が０．１ｄＢ以下の安定な接続の得られることが確認されている。ここで接続に必要な圧力は、光ファイバ３５の根本の保持部３６を光導波路側に押しつけ、光ファイバ３５が、図８のように、たわみ部３５ａによって適度な接続圧力が与えられることがわかっている。
【００４７】
図９は、実際に用いられるレセプタクルとプラグを含む構造を示す図で、図中符号３７はレセプタクル、３８はロックバネ、３９はプラグを示している。ファイバガイド３３はレセプタクル３７により補強され、ＰＬＣへの接続がより強固になっている。一方、光ファイバ３５は、プラグ３９の右側の保持部に固定され、左側は被覆を除去された直径１２５μｍの裸の光ファイバ心線がファイバガイド３３の穴に合わせて整列している。ここで光ファイバ３５の両外側には、コネクタとして着脱可能なガイドピンがあり、プラグ３９をレセプタクル３７に向かって差し入れることにより、自動的に光ファイバ心線がファイバガイド３３にはいるようになっている。
【００４８】
図１０は、実際にプラグを差し込んだ状態の図で、挿入したプラグ３９は一番奥まで挿入した後に、図１０に示すようなロックバネ３８で固定する。その状態で光ファイバ３５は、たわみ部３５ａが適度にたわむことにより、光導波路（コア）と、光ファイバ（コア）は適度な圧力で物理的な接続がとれている。このような“ＰＬＣコネクタ”技術を用いることにより、光導波路基板３１と光ファイバアレイとは着脱可能となる。
【００４９】
以上はＰＬＣコネクタの説明であるが、この光ファイバにも実施例１と同様にクラッドモードを減衰する光ファイバを用いており、実施例１と同様にクラッドモード、すなわち、クロストーク光を除いたモニタ用光モジュールを作製することができた。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、光通信システムに応用可能な、光導波路やフォトダイオード（ＰＤ）を用いた光モジュールに関し、クロストーク光による誤差を除いて光モニタを行うことができるようにした光モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の光モジュールの実施例１を説明するための構成図である。
【図２】モニタ用光導波路の光ファイバとの接続点における断面図ある。
【図３】モニタ用光導波路と接続する光ファイバブロックの断面図である。
【図４】本実施例１で用いている光ファイバの断面の拡大図である。
【図５】Ｃｏイオンのドープ量の濃度分布が異なる例を示す断面図である。
【図６】実施例１において光導波路パターンの異なる例を示す構成図である。
【図７】本発明の光モジュールの実施例２を説明するための構成図である。
【図８】図７において実際に光ファイバが挿入された時の断面図である。
【図９】実際に用いられるレセプタクルとプラグを含む構造を示す図である。
【図１０】実際にプラグを差し込んだ状態の図である。
【図１１】従来の光モジュールを説明するための構成図である。
【図１２】図１１に示した接続部における光導波路側の断面図である。
【図１３】図１１に示した接続部における光ファイバ側の断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  光導波路基板
２  光信号入力部
３  光信号出力部
４  光ファイバブロック
５  光ファイバ
５ａ  光ファイバ（コア）
５ｂ  光ファイバ（クラッド）
５ｂ−1  光ファイバ（クラッド；Ｃｏイオン無し）
５ｂ−２  光ファイバ（クラッド；Ｃｏイオン有り）
５ｂ−３  光ファイバ（クラッド；Ｃｏイオンドープ量を連続的に変化）
５ｂ−４  光ファイバ（クラッド；Ｃｏイオンドープ量が一定濃度）
６  ＰＤモジュール
７  光ファイバ固定用接着剤
１１  光カプラ
１２  信号用光導波路
１３  モニタ用光導波路
１４  ガラス板
２１  Ｓｉ基板
２２  光導波路（コア）
２３  光導波路（クラッド）
３１  光導波路基板
３２  光信号入力部
３３  光ファイバガイド
３４  光ファイバ挿入用穴
３５  Ｃｏイオンドープ光ファイバ
３５ａ  たわみ部
３６  プラグ側の保持部
３７  レセプタクル
３８  ロックバネ
３９  プラグ
４１  光カプラ
４２  信号用光導波路
４３  モニタ用光導波路
４４  ガラス板
５１  光導波路基板
５２  光信号入力部
５３  光信号出力部
５４  光ファイバブロック
５５  シングルモード光ファイバ（Ｃｏノンドープ）
５５ａ  光ファイバ（コア）
５５ｂ  光ファイバ（クラッド）
５６  ＰＤモジュール
５７  光ファイバ固定用接着剤
６１  光カプラ
６２  信号用光導波路
６３  モニタ用光導波路
６４  ガラス板
７１  Ｓｉ基板
７２  光導波路（コア）
７３  光導波路（クラッド）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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