(57)【要約】【課題】  制御基板を製品に組み付けて初めて顕在化する不具合が生じることを防止するスクリーニング装置及びスクリーニング方法を提供すること。【解決手段】  スクリーニング装置による検査処理は、まずステップＳ１では、実装基板１４の基板温度を常温としてＯＮ電圧、ＯＦＦ電圧等のレベル判定であるテストプログラムによる検査が行われる。次に、ステップＳ２では、実装基板１４の基板温度を所定時間で常温から低温に変化させながら実装基板１４の実使用状態での検査を行う。その後、ステップＳ４及びステップＳ７では、低温及び高温でのテストプログラムによる検査を行う。そして、ステップＳ５では、基板温度を所定時間で低温から高温に変化させながら実使用状態での検査を行い、ステップＳ８では、基板温度を所定時間で高温から常温に変化させながら実使用状態での検査を行う。【選択図】        図６
2005127806.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周囲が断熱部材により構成され、検査対象である制御基板を収納する検査室と、
前記制御基板の温度を当該制御基板が実際の使用状態において晒される可能性がある温度範囲において変化させる温度調整装置と、
前記制御基板の実際の使用状態において当該制御基板に接続される装置に相当する周辺装置と、
前記制御基板の温度を前記温度範囲内で変化させながら、当該制御基板に前記周辺装置を接続した状態で当該制御基板の動作が正常であるか否かを検査する検査装置と、
を備えることを特徴とするスクリーニング装置。
【請求項２】
前記制御基板は、前記周辺装置の動作状態などを検査する自己診断機能を有するものであり、前記検査装置は、当該制御基板からの自己診断結果に基づいて動作が正常であるか否かを検査することを特徴とする請求項１に記載のスクリーニング装置。
【請求項３】
前記温度調整装置は、低温から高温及び高温から低温に温度を変化させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のスクリーニング装置。
【請求項４】
前記温度調整装置は、温度が変化するエアーを供給するエアー供給手段を備え、前記検査室は当該エアーを前記制御基板に向けて噴出するノズルを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のスクリーニング装置。
【請求項５】
前記エアー供給手段は、低温時の前記制御基板の温度よりも結露する温度が低い低露点エアーを生成する低露点エアー生成手段を備えることを特徴とする請求項４に記載のスクリーニング装置。
【請求項６】
前記検査室は、前記エアーを排出する排出口を備えることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のスクリーニング装置。
【請求項７】
前記ノズルは、前記制御基板に対して水平方向に配列される複数のエアー噴出口を備えることを特徴とする請求項４乃至請求項６のいずれかに記載のスクリーニング装置。
【請求項８】
前記制御基板は、各種の電子部品が実装された実装基板からなり、前記ノズルは、当該電子部品の実装位置に応じて当該ノズル位置を移動させる移動手段を備えることを特徴とする請求項４乃至請求項７のいずれかに記載のスクリーニング装置。
【請求項９】
前記周辺装置は、前記制御基板の実際の使用状態において当該制御基板に信号を入力する入力装置、及び当該制御基板から出力される出力信号によって動作する動作装置に相当する装置からなることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載のスクリーニング装置。
【請求項１０】
周囲が断熱部材により構成された検査室に制御基板を収納し、当該制御基板の温度を当該制御基板が実際の使用状態において晒される可能性がある温度範囲において変化させながら、当該制御基板に実際の使用状態において当該制御基板に接続される装置に相当する周辺装置を接続した状態で、当該制御基板の動作が正常であるか否かを検査することを特徴とするスクリーニング方法。
【請求項１１】
前記制御基板は、前記周辺装置の動作状態などを検査する自己診断機能を有するものであり、当該制御基板からの自己診断結果に基づいて動作が正常であるか否かを検査することを特徴とする請求項１０に記載のスクリーニング方法。
【請求項１２】
前記制御基板の温度は、低温から高温及び高温から低温に変化させることを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載のスクリーニング方法。
【請求項１３】
前記検査室はノズルを備え、前記制御基板の温度は、当該ノズルから温度が変化するエアーを前記制御基板に向けて噴出することによって変化させることを特徴とする請求項１０乃至請求項１２のいずれかに記載のスクリーニング方法。
【請求項１４】
前記エアーは、低温時の前記制御基板の温度よりも結露する温度が低い低露点エアーからなることを特徴とする請求項１３に記載のスクリーニング方法。
【請求項１５】
前記検査室は排出口を備え、前記ノズルから供給したエアーを排出口から排出することを特徴とする請求項１３又は請求項１４に記載のスクリーニング方法。
【請求項１６】
前記エアーは、前記ノズルに設けられた制御基板に対して水平方向に配列された複数のエアー噴出口から供給されることを特徴とする請求項１３乃至請求項１５のいずれかに記載のスクリーニング方法。
【請求項１７】
前記制御基板は、各種の電子部品が実装された実装基板からなり、当該電子部品の実装位置に応じて前記ノズルを移動させることを特徴とする請求項１３乃至請求項１６のいずれかに記載のスクリーニング方法。
【請求項１８】
前記周辺装置として当該制御基板の実際の使用状態において当該制御基板に信号を入力する入力装置、及び当該制御基板から出力される出力信号によって動作する動作装置に相当する装置を当該制御基板に接続した状態で当該制御基板の動作が正常であるか否かの検査を行うことを特徴とする請求項１０乃至請求項１７のいずれかに記載のスクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーニング装置及びスクリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば特許文献１に開示されるように、所定の温度環境下において実装基板の動作の良、不良の検査を行うスクリーニング装置が知られている。
【０００３】
図７は特許文献１のスクリーニング装置の構成を示す概略構成図である。このスクリーニング装置は、恒温槽２０と検査測定機２１とが中継ケーブル２２を介して接続されてなる。恒温槽２０は、扉部２３が閉開自在に設けられている。また、この恒温槽２０には、周知の温度制御手段が設けられており、恒温槽２０内の雰囲気温度を自在に調整して検査条件に応じた所定の温度となるように制御可能なように構成される。
【０００４】
検査測定機２１は、実装基板の動作の良、不良を検査するための検査部２４と、検査部２４に接続された制御手段２５とを備える。制御手段２５は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備える例えばパソコン等の一般的なマイクロコンピュータからなる。検査部２４は、検査用入出力信号を実装基板に入出力するための入出力端子と、実装基板の種類に応じた所定の検査プログラムが記憶されている内部メモリとを備える。
【０００５】
制御手段２５は、検査対象となる実装基板に関するデータ（たとえば品番等）が入力されると、そのデータ入力に対応する実装基板に応じた検査を実行する検査指令を検査部２４に与える。検査部２４は、制御手段２５から検査指令が与えられると、その実装基板の種類に応じた検査プログラムに基づいて検査用入力信号を順次各実装基板に送信する。また、検査部２４には、検査用入力信号に応答して各実装基板から出力された検査用出力信号が入力される。そして、検査部２４は、この入力された検査用出力信号に基づいて各制御基板の動作の良、不良を判断する。
【特許文献１】特開２０００−１３１３６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来技術では、実装基板に、検査用入力信号を入力し、それに応答する検査用出力信号に基づいて動作の良、不良の検査を行っている。このように実装基板単体にて、実装基板の動作の良、不良の検査を行うのみであるため、実装基板を製品に組み付けて初めて顕在化する不具合が生じる場合、そのような不具合を発見することができなかった。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、制御基板を製品に組み付けて初めて顕在化する不具合が生じることを防止するスクリーニング装置及びスクリーニング方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために請求項１に記載のスクリーニング装置は、周囲が断熱部材により構成され、検査対象である制御基板を収納する検査室と、制御基板の温度を制御基板が実際の使用状態において晒される可能性がある温度範囲において変化させる温度調整装置と、制御基板の実際の使用状態において制御基板に接続される装置に相当する周辺装置と、制御基板の温度を温度範囲内で変化させながら、制御基板に周辺装置を接続した状態で制御基板の動作が正常であるか否かを検査する検査装置とを備えることを特徴とするものである。
【０００９】
これによれば、制御基板の温度を所定の温度範囲内で変化させながら、かつ、制御基板の実際の使用状態において制御基板に接続される装置に相当する周辺装置を制御基板に接続した状態で制御基板の動作が正常であるか否かを検査するので、制御基板を製品に組み付けて初めて顕在化する不具合が生じることを防止できる。
【００１０】
また、請求項２に記載のスクリーニング装置では、制御基板は、周辺装置の動作状態などを検査する自己診断機能を有するものであり、検査装置は、その制御基板からの自己診断結果に基づいて動作が正常であるか否かを検査することを特徴とするものである。
【００１１】
これによれば、実際の使用状態にて接続される周辺装置の動作状態などの検査を行う場合、制御基板の多くの機能を使うことになるので、制御基板の多くの機能が正常に動作しているか否かを検査できる。
【００１２】
また、請求項３に記載のスクリーニング装置では、温度調整装置は、低温から高温及び高温から低温に温度を変化させることを特徴とするものである。
【００１３】
これによれば、制御基板の温度を低温から高温及び高温から低温に変化させることによって、より一層実際の使用状態に近い状態で制御基板の検査を行うことができる。
【００１４】
また、請求項４に記載のスクリーニング装置では、温度調整装置は、温度が変化するエアーを供給するエアー供給手段を備え、検査室はエアーを制御基板に向けて噴出するノズルを備えることを特徴とするものである。
【００１５】
これによれば、温度が変化するエアーを供給することによって制御基板の温度を変化させるので、試験室内の温度及び制御基板の温度を短時間で変化させることがでる。
【００１６】
また、請求項５に記載のスクリーニング装置では、エアー供給手段は、低温時の制御基板の温度よりも結露する温度が低い低露点エアーを生成する低露点エアー生成手段を備えることを特徴とするものである。
【００１７】
これによれば、低温時の制御基板の温度よりも結露する温度が低い低露点エアーを検査室に供給するので、検査室内へ低温のエアーを供給した後に高温のエアーを供給しても、制御基板が結露することを防止できる。
【００１８】
また、請求項６に記載のスクリーニング装置では、検査室は、エアーを排出する排出口を備えることを特徴とするものである。
【００１９】
これによれば、検査室に供給されたエアーを排出することによって、検査室内にてエアーを循環させることができ、検査室内の温度分布を均一にできる。
【００２０】
また、請求項７に記載のスクリーニング装置では、ノズルは、制御基板に対して水平方向に配列される複数のエアー噴出口を備えることを特徴とするものである。
【００２１】
これによれば、制御基板に対して水平方向に配列された複数のエアー噴出口を設けることによって、制御基板の全面において制御基板の温度分布を均一にできる。
【００２２】
また、請求項８に記載のスクリーニング装置では、制御基板は、各種の電子部品が実装された実装基板からなり、ノズルは、電子部品の実装位置に応じて当該ノズル位置を移動させる移動手段を備えることを特徴とするものである。
【００２３】
これによれば、ノズルを電子部品の実装位置に応じて移動できるので、温度が変化しにくい電子部品の温度を効率的に変化させることができる。
【００２４】
また、請求項９に記載のスクリーニング装置では、周辺装置は、制御基板の実際の使用状態において制御基板に信号を入力する入力装置、及び制御基板から出力される出力信号によって動作する動作装置に相当する装置からなることを特徴とするものである。
【００２５】
これによれば、制御基板の実際の使用状態において制御基板に接続される全ての周辺装置を接続した状態で検査を行うことができるので、より一層制御基板を製品に組み付けて初めて顕在化する不具合が生じることを防止できる。
【００２６】
また請求項１０乃至請求項１８に記載のスクリーニング方法での作用・効果に関しては、上述の請求項１および請求項９と同様であるため説明を省略する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態におけるスクリーニング装置に関して、図面に基づいて説明する。図１は、本実施の形態におけるスクリーニング装置全体を示す斜視図である。図２は、本発明の実施の形態における検査室３の構成を示す断面図である。
【００２８】
スクリーニング装置は、検査装置１、低高温エアー発生装置２、検査室３とを備える。検査装置１は、電源、計測器、計測ボード、及び実装基板１４を実際に使用する時に接続される装置に相当する周辺装置（例えば、ソレノイドコイルやヨーレートセンサ）などを備える。検査装置１は、ケーブル６にて低高温エアー発生装置２と電気的に接続されている。検査装置１は、検査装置１内に記憶してある所定のテストプログラムに従ってドライエアーの温度及び供給時間が所定値になるように低高温エアー発生装置２に温度制御信号を送信する。
【００２９】
また、検査装置１は、ケーブル７を介して検査室３及び検査室３内の実装基板１４とも電気的に接続されている。検査装置１は、検査室３にノズル９の移動を制御するための移動制御信号を送信する。更に、検査装置１は、実装基板１４の動作の良、不良の検査を行うための検査用入力信号／検査用出力信号や自己診断入力信号／自己診断出力信号を実装基板１４との間で送受信する。そして、実装基板１４からの検査用出力信号及び自己診断出力信号にて実装基板１４の動作の良、不良を検査する。
【００３０】
なお、本発明の実施の形態における実装基板１４は、自己診断機能を有しており、例えばＡＢＳＥＣＵとして使用されるものである。ＡＢＳＥＣＵとして使用される実装基板１４は、車両に搭載された状態において、車両のエンジンが始動した時点などで、ソレノイドコイルなどの負荷、及びヨーレートセンサなどのセンサに異常がないかなどを実装基板１４自身で検査する。
【００３１】
低高温エアー発生装置２は、除湿ユニット、冷却ユニット、加熱ユニットなどを備える。除湿ユニットは、シリカゲルなどの除湿材を備え、外気を吸引し、その外気から露点温度の低いドライエアーを生成し、そのドライエアーを冷却ユニットなどへ供給する。また、除湿ユニットは、生成したドライエアーを冷却ユニット及び加熱ユニットを通すことなくドライエアー供給管５にて検査室３の配線室３ｂへも供給する。
【００３２】
冷却ユニットは、冷媒が流れる冷却器を備える。冷却ユニットは、除湿ユニットから供給されたドライエアーを冷却器を通過させることによって冷却する。そして、その冷却した低温ドライエアーを加熱ユニットへ供給する。
【００３３】
加熱ユニットは、ヒーターを備える。加熱ユニットは、冷却ユニットから供給された低温ドライエアーをヒーターにて加熱することによって所定温度のドライエアーにする。そして、低高温エアー発生装置２は、その所定温度のドライエアーを低高温エアー供給管４及びノズル９を介してエアー噴出口１０から検査室３内の実装基板１４へ吹付ける。
【００３４】
このように、低高温エアー発生装置２は、所定温度のドライエアーを検査室３内の実装基板１４へ吹付けることによって実装基板１４の実使用状態に相当する温度域を作り出す。
【００３５】
検査室３は、低高温エアー供給管４及びドライエアー供給管５を介して低高温エアー発生装置２と接続されている。この検査室３は、図２に示すように、配線室３ａと断熱室３ｂとからなる。
【００３６】
配線室３ａは、実装基板１４に設けられた電極に電気的に接続するプローブピン１２と電気的に接続される配線１３を備える。この配線１３は、ケーブル７とも電気的に接続されており、検査装置１（周辺装置など）と実装基板１４とはケーブル７、プローブ１２、配線１３を介して検査用入力信号／検査用出力信号などの送受信を行う。また、配線室３ａは、低高温エアー発生装置２からのドライエアーを配線室３ａに供給するためのドライエアー供給管５を備える。
【００３７】
断熱室３ｂは、実装基板１４を収納する箱状の断熱部材８からなり、低高温エアー発生装置２から供給されるドライエアーを実装基板１４に吹き付けるためのノズル９（エアー噴出口１０）を備える。また、断熱室３ｂは、供給されたドライエアーを断熱室３ｂ内にて循環させるためにドライエアーを断熱室３ｂ外へ排出するエアー排出口１１を備える。なお、エアー排出口１１は、検査室３の外部環境温度の影響を少なくするために、大小のエアー排出口１１ａ、１１ｂを設けるとよい。また、図示しはしないが、断熱室３ｂには、実装基板１４の基板温度を測定する温度センサが設けられている。
【００３８】
ここで、図３及び図４に基づいてノズル９に関して説明する。図３は、図２におけるノズル９及び実装基板１４を紙面上方から見た図であり、ノズル９の形状及びノズル９と実装基板１４との位置関係を示す説明図である。図４は、実装基板１４とノズル９との位置関係を示す断面図であり、（ａ）は両面実装基板１４の場合であり、（ｂ）は片面実装基板１４の場合である。ノズル９は、実装基板１４の全面に均一にドライエアーを吹き付けるために、水平方向に配列された複数のエアー噴出口１０を備える。
【００３９】
また、ノズル９は、検査装置１にて制御されるモータなどからなるアクチュエータ（図示せず）を備える。このアクチュエータは、検査装置１からの移動制御信号にてノズル９を上下に移動させる。例えば、図４（ａ）のように、実装基板１４の両面に電子部品１５が実装されているような場合は、実装基板１４の厚さ方向の中心にエアー噴出口１０が対向するようにノズル９を移動させる。また、図４（ｂ）のように、実装基板１４の片面のみに電子部品１５が実装されているような場合は、その電子部品１５にエアー噴出口１０が対向するようにノズル９を移動させる。こうすることによって、温度が変化しにくい電子部品１５の温度を効率的に変化させることができる。
【００４０】
ここで、スクリーニング装置による検査処理に関して説明する。図５は、本実施の形態における検査内容と実装基板１４の基板温度変化を示す説明図である。図６は、本実施の形態におけるスクリーニング装置による検査処理を示すフロー図である。
【００４１】
図６のフロー図に示すスクリーニング装置による検査処理は、実装基板１４がプローブピン１２と電気的な接続がなされた状態で検査室３内に収納され、実装基板１４の基板温度が常温（例えば、２５℃±５℃）になるとスタートする。実装基板１４が検査室３内に収納された時点で基板温度が常温でない場合、検査装置１は、基板温度が常温になるように低高温エアー発生装置２に対して所定温度のドライエアーを実装基板１４に吹き付けるように温度制御信号を送信する。
【００４２】
図６のフロー図に示す処理がスタートすると、まず、ステップＳ１にて、テストプログラムによる検査が行われる。テストプログラムによる検査とは、従来より行われている検査であり、所定温度及び所定時間でのＯＮ電圧、ＯＦＦ電圧等のレベル判定のことである。ステップＳ１でのテストプログラムによる検査は、図５における領域Ａに対応するところであり、実装基板１４の基板温度を常温（ここでは、２５℃±５℃）として、例えば１８秒間行われる。検査装置１は、検査装置１に記憶してある所定のテストプログラムに従って実装基板１４に検査用入力信号を送信する。そして、検査装置１に設けられた計測器は、実装基板１４からの検査用出力信号を受信し、その受信した検査用出力信号に基づいて実装基板１４の動作の良、不良の検査を行う。
【００４３】
ステップＳ２では、検査装置１は、実装基板１４を冷却しながら実装基板１４の実使用状態での検査を行う。ステップＳ２での実使用状態での検査は、図５における領域Ｂに対応するところであり、実装基板１４の基板温度を所定時間（例えば、５７秒間）で常温から低温に変化（ここでは、２５℃±５℃から−３０℃±５℃）させながら行われる。検査装置１は、基板温度が常温から低温（ここでは、−３０℃±５℃）になるように低高温エアー発生装置２に対して所定温度のドライエアーを実装基板１４に吹き付けるように温度制御信号を送信する。温度制御信号を受信した低高温エアー発生装置２は、例えば、加熱ユニットのヒーター及び冷却ユニットを通過する冷媒の流量を調整し、ドライエアーを所定温度にする。そして、低高温エアー発生装置２は、その所定温度のドライエアーを低高温エアー供給管４及びノズル９を介してエアー噴出口１０から検査室３内の実装基板１４へ吹付ける。
【００４４】
更に、検査装置１は、実装基板１４の基板温度を所定時間（例えば、５７秒間）で常温から低温に変化（ここでは、２５℃±５℃から−３０℃±５℃）させながら実装基板１４に自己診断入力信号を送信する。この自己診断入力信号を受信した実装基板１４は、検査装置１に設けられたソレノイドコイルなどの周辺装置が電気的に接続された状態で自己診断を行う。自己診断を行った実装基板１４は、実装基板１４が正常に動作しているか否かを示す自己診断出力信号を検査装置１へ送信する。そして、検査装置１は、その自己診断出力信号及び自己診断出力信号が正常に受信できたかに基づいて実装基板１４の動作の良、不良の検査を行う。
【００４５】
ここで実装基板１４による自己診断に関して説明する。例えば、電磁弁が正常に動作しているか否かを自己診断する場合、実装基板１４は、検査装置１に設けられた電磁弁（ソレノイドコイル）へ通電・遮断を行い、ＯＮ・ＯＦＦが正常に行われているかを検査する。また、ヨーレートセンサが正常に動作しているか否かを自己診断する場合、実装基板１４は、検査装置１に設けられ擬似的に操作されたヨーレートセンサからのセンサ信号を取得し、そのセンサ信号によってヨーレートセンサが正常に動作しているか否かを検査する。
【００４６】
上述のソレノイドコイルは、ＯＮ・ＯＦＦ時にひげ状のフライバック電圧が発生し、実装基板１４にストレスを与える可能性がある。しかしながらスクリーニング検査において実装基板１４にソレノイドコイル（周辺装置）を使用した実使用状態で自己診断させることで、実装基板１４に与えるストレスは実使用状態と同等となり、実装基板１４を車両に搭載した後に顕在化する不具合を低減することができる。
【００４７】
ヨーレートセンサの場合では、検査ソフトで擬似的に波形を作成して通信ソフトで実装基板１４に通信させることも考えられるが、実装基板１４を車両に搭載した状態とは通信タイミング及び通信速度が異なり、実装基板１４を車両に搭載した後に不具合が生じる可能性がある。しかしながらスクリーニング検査において実装基板１４にヨーレートセンサ（周辺装置）を使用した実使用状態で自己診断させることで、通信タイミング及び通信速度は実使用状態と同等となり、実装基板１４を車両に搭載した後に顕在化する不具合を低減することができる。また、ヨーレートセンサ（周辺装置）を検査に使用することで、検査ソフト及び通信ソフトの作成時間やデバッグ時間が短縮できる。
【００４８】
また、実装基板１４による自己診断は、上述の電磁弁、ヨーレートセンサの検査に限定されるものではなく、実使用状態で実装基板１４に接続される全てのセンサ及び制御装置の検査を行うものであってもよい。
【００４９】
ステップＳ３では、実装基板１４の基板温度が低温（ここでは、−３０℃±５℃）であるか否かを判定する。実装基板１４の基板温度が低温であればステップＳ４へ進み、実装基板１４の基板温度が低温に達していなければステップＳ２へ戻る。すなわち、ステップＳ２における実使用状態での検査は、実装基板１４の基板温度が常温から低温になるまでの間、繰り返し行われるものである。
【００５０】
ステップＳ４でのテストプログラムによる検査は、図５における領域Ｃに対応するところであり、実装基板１４の基板温度を低温（ここでは、−３０℃±５℃）として、例えば２７秒間行われる。検査方法に関しては、ステップＳ１での検査と同様であるため説明を省略する。
【００５１】
ステップＳ５では、検査装置１は、実装基板１４を加熱しながら実装基板１４の実使用状態での検査を行う。ステップＳ５での実使用状態での検査は、図５における領域Ｄに対応するところであり、実装基板１４の基板温度を所定時間（例えば、４８秒間）で低温から高温に変化（ここでは、−３０℃±５℃から１００℃±５℃）させながら行われる。検査方法に関しては、ステップＳ２での検査と同様であるため説明を省略する。
【００５２】
ステップＳ６では、実装基板１４の基板温度が高温（ここでは、１００℃±５℃）であるか否かを判定する。実装基板１４の基板温度が高温であればステップＳ７へ進み、実装基板１４の基板温度が高温に達していなければステップＳ５へ戻る。すなわち、ステップＳ５における実使用状態での検査は、実装基板１４の基板温度が低温から高温になるまでの間、繰り返し行われるものである。
【００５３】
ステップＳ７でのテストプログラムによる検査は、図５における領域Ｅに対応するところであり、実装基板１４の基板温度を高温（ここでは、１００℃±５℃）として、例えば２７秒間行われる。検査方法に関しては、ステップＳ１での検査と同様であるため説明を省略する。
【００５４】
ステップＳ８では、検査装置１は、実装基板１４を冷却しながら実装基板１４の実使用状態での検査を行う。ステップＳ８での実使用状態での検査は、図５における領域Ｆに対応するところであり、実装基板１４の基板温度を所定時間（例えば、２０秒間）で高温から常温に変化（ここでは、１００℃±５℃から２５℃±５℃）させながら行われる。検査方法に関しては、ステップＳ２での検査と同様であるため説明を省略する。
【００５５】
ステップＳ９では、実装基板１４の基板温度が常温（ここでは、２５℃±５℃）であるか否かを判定する。実装基板１４の基板温度が常温であれば処理を終了し、実装基板１４の基板温度が常温に達していなければステップＳ８へ戻る。すなわち、ステップＳ８における実使用状態での検査は、実装基板１４の基板温度が高温から常温になるまでの間、繰り返し行われるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施の形態における、スクリーニング装置全体を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態における、検査室３の構成を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるノズル９の形状及びノズル９と実装基板１４との位置関係を示す説明図である。
【図４】本発明の実施の形態における、実装基板１４とノズル９との位置関係を示す断面図であり、（ａ）は両面実装基板１４の場合であり、（ｂ）は片面実装基板１４の場合である。
【図５】本発明の実施の形態における、検査内容と実装基板１４の基板温度変化を示す説明図である。
【図６】本発明の実施の形態における、スクリーニング装置による検査処理を示すフロー図である。
【図７】従来技術における、スクリーニング装置の構成を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  検査装置、２  低高温エアー発生装置、３  検査室、４  低高温エアー供給管、５  ドライエアー供給管、６  ケーブル、７  ケーブル、８  断熱部材、９  ノズル、１０  エアー噴出口、１１  エアー排出口、１２  プローブピン、１３  配線、１４  実装基板、１５  電子部品
【図１】
2005127806.tif 000003
【図２】
2005127806.tif 000004
【図３】
2005127806.tif 000005
【図４】
2005127806.tif 000006
【図５】
2005127806.tif 000007
【図６】
2005127806.tif 000008
【図７】
2005127806.tif 000009