(57)【要約】【課題】  ガスフロー型比例計数管を備えた蛍光Ｘ線分析装置において、計数管の焼付きを十分確実に防止できる装置を提供する。【解決手段】  試料１に１次Ｘ線３を照射して発生した２次Ｘ線５をガスフロー型比例計数管８で検出する蛍光Ｘ線分析装置であって、計数ガスの流路において前記ガスフロー型比例計数管８よりも下流に配置され、計数ガスの流量に応じた電気信号を出力する流量センサ１７と、その流量センサ１７の出力に基づいて計数ガスの流量を監視し、その流量が所定値未満になると、前記ガスフロー型比例計数管８に印加されている高電圧を遮断する保護手段１９とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に１次Ｘ線を照射して発生した２次Ｘ線をガスフロー型比例計数管で検出する蛍光Ｘ線分析装置であって、
計数ガスの流路において前記ガスフロー型比例計数管よりも下流に配置され、計数ガスの流量に応じた電気信号を出力する流量センサと、
その流量センサの出力に基づいて計数ガスの流量を監視し、その流量が所定値未満になると、前記ガスフロー型比例計数管に印加されている高電圧を遮断する保護手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記保護手段が、監視している計数ガスの流量が所定値未満になると、その旨の警告を表示器に表示する蛍光Ｘ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスフロー型比例計数管を備えた蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、蛍光Ｘ線分析装置において、検出器としてガスフロー型比例計数管（以下、単に計数管ともいう）がよく用いられるが、その場合、アルゴン、クリプトン、キセノンなどの電離ガスとして用いられる希ガスを主体とし、メタン、二酸化炭素などをクエンチングガスとして加えた計数ガスを、測定中、一定圧力で計数管に流し続ける。例えば、アルゴン９０％、メタン１０％のＰＲガスを５０ｍｌ／分で流す。Ｘ線が入射する窓の破れなどによって計数管内を流れる計数ガスの流量が不足すると、正常に計数できなくなるばかりでなく、芯線とボディ間の放電のためにいわゆる焼付きが起こり、使用不能となるおそれもある。
【０００３】
これを防止するために、計数管が配置される主室内の真空度を確認することにより、計数管の窓の破れなどの異常を検知し、異常が認められた場合には計数管に印加されている高電圧を遮断する蛍光Ｘ線分析装置がある（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−９８６５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、通常は主室が継続して真空引きされることもあり、主室内の真空度からは、計数管内を流れる計数ガスの流量不足を今一つ的確に検知することができず、したがって計数管の焼付きを今一つ確実に防止できない。
【０００５】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、ガスフロー型比例計数管を備えた蛍光Ｘ線分析装置において、計数管の焼付きを十分確実に防止できる装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の蛍光Ｘ線分光装置は、試料に１次Ｘ線を照射して発生した２次Ｘ線をガスフロー型比例計数管で検出する蛍光Ｘ線分析装置であって、計数ガスの流路において前記ガスフロー型比例計数管よりも下流に配置され、計数ガスの流量に応じた電気信号を出力する流量センサと、その流量センサの出力に基づいて計数ガスの流量を監視し、その流量が所定値未満になると、前記ガスフロー型比例計数管に印加されている高電圧を遮断する保護手段とを備える。
【０００７】
本発明の蛍光Ｘ線分光装置では、計数ガスの流量に応じた電気信号を出力する流量センサがガスフロー型比例計数管よりも下流に配置されるので、計数管内を流れる計数ガスの流量不足を十分的確に検知することができ、したがって計数管の焼付きを十分確実に防止できる。保護手段は、監視している計数ガスの流量が所定値未満になると、その旨の警告を表示器に表示することが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の一実施形態の蛍光Ｘ線分光装置について説明する。図１に示すように、この装置は、試料１が載置される試料台２と、試料１に１次Ｘ線３を照射するＸ線管であるＸ線源４と、試料１から発生した蛍光Ｘ線等の２次Ｘ線５を分光する分光素子６と、高圧電源（ＨＶＰＳ）１８から所定の高電圧が印加され、分光素子６で分光された２次Ｘ線７が入射されて、前記所定の印加電圧と２次Ｘ線７のエネルギーに応じた電圧のパルスを２次Ｘ線７の強度に応じた数だけ発生させることにより、試料１から発生した２次Ｘ線５を検出するガスフロー型比例計数管８とを備えている。計数管８からのパルスが、図示しない増幅器、波高分析器、計数手段を経て処理されることにより、２次Ｘ線７の強度が測定される。
【０００９】
Ｘ線源４、試料１、分光素子６およびガスフロー型比例計数管８は、筐体９が形成する主室内に配置され、測定中、主室は真空引きされる。すなわち、この主室は、いわゆる照射室、試料室および分光室を含んでいる。一方、測定中、ガスフロー型比例計数管８には、計数ガス、ここではアルゴン９０％、メタン１０％のＰＲガスが一定圧力で流される。計数ガスは、図示しないボンベなどの供給源から、筐体９外の配管１０、筐体９に取り付けられた継手１１、筐体９内の配管１２を経て、計数管８に流入し、計数管８から、筐体９内の配管１３、筐体９に取り付けられた継手１４、筐体９外の配管１５、ガスデンシティスタビライザ（Ｎ−ＧＤＳ）１６、流量センサ（ＦＳ）１７を経て流出する。各配管１０，１２，１３，１５は、例えば銅製で、連続した１本ではなくて途中に継手などを含む場合もある。また、ガスデンシティスタビライザ１６は、最終的に計数ガスを流出する排気口が配置された雰囲気に圧力変動があっても、計数ガスの流量を安定させるものである。
【００１０】
流量センサ１７は、計数ガスの流路においてガスフロー型比例計数管８よりも下流に配置されており、計数ガスの流量に応じた電気信号を出力する。より具体的には、図２に示すように、流量に対しほぼリニアに出力の電圧が増大し、しかも流量が０のときに正の電圧を出力する。そして、図１に示すように、この流量センサ１７の出力に基づいて計数ガスの流量を監視し、その流量が所定値（図２の閾値で、例えば１ｍｌ／分）未満になると、高圧電源１８からガスフロー型比例計数管８に印加されている高電圧を遮断するマイコンなどの保護手段１９が備えられている。また、保護手段１９は、監視している計数ガスの流量が所定値未満になると、その旨の警告をＣＲＴなどの表示器２０に表示する。
【００１１】
この実施形態の蛍光Ｘ線分光装置では、計数ガスの流量に応じた電気信号を出力する流量センサ１７がガスフロー型比例計数管８よりも下流に配置されるので、計数管８の窓が破れた場合などであっても、計数管８内を流れる計数ガスの流量不足を十分的確に検知することができ、したがって計数管８の焼付きを十分確実に防止できる。また、流量不足による芯線の汚染も防止できる。さらに、この実施形態で用いる流量センサ１７によれば、図２に示した特性から、流量が負の値になる、つまり排気口から大気が逆流したような場合も検知できる。
【００１２】
また、保護手段１９は、高電圧を遮断するとともに、監視している計数ガスの流量が所定値未満になった旨の警告を表示器２０に例えば図３のように表示して、操作者に通知するので、操作者は、計数ガスの流路を点検し、異常を取り除く。操作者がそれまでの正常でない計数値をそのまま正しいものとして採用してしまうことも回避される。なお、本発明は、ガスフロー型比例計数管を用いるものであれば、走査型などの型式に関係なく、蛍光Ｘ線分析装置に幅広く適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態の蛍光Ｘ線分析装置を示す概略図である。
【図２】同装置の流量センサの特性を示す図である。
【図３】同装置の表示器の表示を示す図である。
【符号の説明】
【００１４】
１  試料
３  １次Ｘ線
５  試料から発生した２次Ｘ線
８  ガスフロー型比例計数管
１７  流量センサ
１９  保護手段
２０  表示器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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