(57)【要約】【課題】  モータを構成する固定体と回転体との間に回転駆動部が構成される前のモータの組立・検査工程において、雰囲気の汚れ、回転体の傷及びコンタミネーションの発生を低減しつつ、回転体を含む回転部材を一定回転数で安定的に回転させて適切な回転特性の検査をする。【解決手段】  導電性非磁性材料からなる渦電流発生部６ａを外周側に備える回転体３が固定体２に対してラジアル方向及びスラスト方向に支承された後であって、回転体３を回転させる回転駆動装置は、固定体２を固定する固定機構３１と、回転体３を回転させるための回転駆動機構３２とを備える。回転駆動機構３２は、渦電流発生部６ａに渦電流を生じさせる誘導磁石３８を外周側に備える回転駆動用モータであり、渦電流発生部６ａと誘導磁石３８とは間隙を介して対向配置されている。【選択図】      図２
2005328602.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定体と回転体とを備えるモータの製造工程で用いられ、前記固定体に対して前記回転体がラジアル方向及びスラスト方向に支承された後であって、前記固定体と回転体との間に回転駆動部が構成される前の組立または検査工程で、少なくとも前記回転体を含む回転部材を回転させる回転駆動装置において、
前記回転部材は、導電性の非磁性材料からなる渦電流発生部を外周側に備えるとともに、前記回転駆動装置は、前記固定体を固定する固定機構と、前記回転部材を回転させるための回転駆動機構とを備え、
前記回転駆動機構は、前記渦電流発生部に渦電流を生じさせる誘導磁石を外周側に備える回転駆動用モータであり、前記渦電流発生部と誘導磁石とが所定の間隙を介して対向配置されていることを特徴とする回転駆動装置。
【請求項２】
前記渦電流発生部は、前記回転体を構成するケース体に形成されていることを特徴とする請求項１記載の回転駆動装置。
【請求項３】
前記渦電流発生部は、前記回転体に固定されたダミーディスクに形成されていることを特徴とする請求項１記載の回転駆動装置。
【請求項４】
前記回転部材の回転数を検出する検出装置を備えることを特徴とする請求項１記載の回転駆動装置。
【請求項５】
前記検出装置で検出された回転数に基づいて前記回転駆動用モータの回転数を制御することを特徴とする請求項４記載の回転駆動装置。
【請求項６】
前記検出装置はホールＩＣであることを特徴とする請求項４または５に記載の回転駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータの組立・検査工程において、モータの回転特性を検査するための回転駆動装置に関する。さらに詳しくは、モータを構成する固定体と回転体との間に、回転体を駆動する回転駆動部が構成される前の組立・検査工程において、回転体を含む回転部材を回転させるための回転駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
固定体と回転体とを備えるモータ、例えば動圧軸受モータの製造工程では、仕損費の低減を図るため、モータが完成品となる前の組立・検査工程すなわち、固定体に対して回転体がラジアル方向及びスラスト方向に支承された後であって、固定体と回転体との間に回転駆動部が構成される前の組立・検査工程で、未完成状態のモータの回転特性の検査が行われている。固定体と回転体との間に、回転体を駆動する回転駆動部が構成される前に回転特性の検査が行われているため、回転特性の検査では、回転体を含む回転部材を回転させる回転駆動装置が用いられている。
【０００３】
この種の回転駆動装置として、エアブローによる回転駆動装置が知られている。図７を用いてエアブローによる回転駆動装置を説明する。まず被検査体（ワーク）となる未完成状態の動圧軸受モータ２０１について説明する。図７（Ｂ）において、未完成状態の動圧軸受モータ２０１は固定体２０２と回転体２０３とから構成されている。固定体２０２は、軸受スリーブ２０４とカウンタープレート２０５とを備えている。回転体２０３は、ケース体をなすハブ２０６と駆動磁石２０７とヨーク２０８と回転軸２０９とスラストプレート２１０とを備えている。尚、図７（Ｂ）においては、回転体２０３がそのまま回転部材となる。軸受スリーブ２０４と回転軸２０９との間にはラジアル動圧軸受部２２１，２２１が形成され、軸受スリーブ２０４とスラストプレート２１０との間及びカウンタープレート２０５とスラストプレート２１０との間にスラスト動圧軸受部２２２ａ，２２２ｂが形成されている。ラジアル動圧軸受部２２１，２２１及びスラスト動圧軸受部２２２ａ，２２２ｂによって、固定体２０２に対して回転体２０３がラジアル方向及びスラスト方向に支承されている。固定体２０２は、公知の積層コア及び駆動コイルを備えておらず、固定体２０２と回転体２０３との間には、上記積層コアや駆動磁石２０７等からなる動圧軸受モータ２０１の回転駆動部が構成されていない。
【０００４】
回転駆動装置は、固定機構２３１と図示を省略するエアブロー発生機構とから構成されている。未完成状態の動圧軸受モータ２０１には回転駆動部が構成されていないため、回転特性の検査では、固定体２０２を固定機構２３１に固定し、エアブロー発生機構から発生されたエアによって回転体２０３が回転する。具体的には、図７（Ａ）で概念的に示されるように、エアブロー発生機構から発生されたエアには矢印Ｖの方向に流れが生じており、そのエアがハブ２０６の外周側壁面に当たってハブ２０６に回転力を発生させ、回転体２０３が図示Ｒ方向に回転する。この状態で回転特性、例えば、レジスタンスエミッション（ＲＥ）、アコースティックエミッション（ＡＥ）、回転振れといった特性の検査が行われる。尚、回転体２０３に対する回転力を確実に発生させるため、ハブ２０６の外周壁面側に羽根が取り付けられることもある。
【０００５】
また、回転駆動装置としては、例えば、積層コア及び駆動コイルを備えるいわゆるダミーコアを駆動磁石２０７と径方向に対向するように固定機構２３１に設け、駆動コイルを通電状態とすることで回転体２０３を回転させるダミーコアによる回転駆動装置も知られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したエアブローによる回転駆動装置では、回転体２０３を一定の回転数で回転させることが困難である。すなわち、固定体２０２と回転体２０３との間に生じる回転抵抗はワークごとにばらつくため、一定の回転数で回転させるためのエア流量やエアを当てる位置の調整は非常に困難である。そのため、回転特性を適切に検査することが困難になる。また、回転体２０３を高回転させることができなかったり、回転体２０３を規定回転数にするまでに時間がかかる、あるいは、規定回転数の回転体２０３を停止させるのに時間がかかるという問題も生じる。さらに、動圧軸受モータ２０１の場合、その製造はクリーンルームで行われるが、エアブローによって回転体２０３を回転させると、ダウンフロー等の気流の乱れを発生させ雰囲気の汚れひいては製品の汚れの原因となる。さらにまた、大量のエアを消費するため、製造コストが高くなる。
【０００７】
また、ダミーコアによる回転駆動装置では、ダミーコアが駆動磁石２０７と径方向に対向するように、固定体２０２と回転体２０３とからなる被検査体を固定機構２３１に固定する必要がある。そのため、ダミーコアと駆動磁石２０７との対向隙間は、完成した動圧軸受モータ２０１における積層コアと駆動磁石２０７との対向隙間よりも大きくしておく必要があり、その結果エネルギー損失が大きくなる。従って、規定回転数で回転体２０３を回転させるためには多くの電流を流す必要があり、ダミーコアには熱が発生する。この熱は、検査時の回転特性に悪影響を及ぼす。すなわち、例えば、常温で回転特性を検査すべきところ、ダミーコアの発熱で被検査体の温度が上昇し、常温における適切な回転特性の検査ができなくなる。また、被検査体を固定機構２３１に取り付ける際あるいは、被検査体を固定機構２３１から取り外す際に、駆動磁石２０７とダミーコアとが接触し、駆動磁石２０７の傷やコンタミネーションの発生の原因となる。
【０００８】
そこで、本発明の課題は、モータを構成する固定体と回転体との間に回転駆動部が構成される前のモータの組立・検査工程において、雰囲気の汚れ、回転体の傷及びコンタミネーションの発生を低減しつつ、少なくとも回転体を含む回転部材を一定回転数で安定的に回転させて適切な回転特性の検査をすることができる回転駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、本発明では、固定体と回転体とを備えるモータの製造工程で用いられ、前記固定体に対して前記回転体がラジアル方向及びスラスト方向に支承された後であって、前記固定体と回転体との間に回転駆動部が構成される前の組立または検査工程で、少なくとも前記回転体を含む回転部材を回転させる回転駆動装置において、前記回転部材は、導電性の非磁性材料からなる渦電流発生部を外周側に備えるとともに、前記回転駆動装置は、前記固定体を固定する固定機構と、前記回転部材を回転させるための回転駆動機構とを備え、前記回転駆動機構は、前記渦電流発生部に渦電流を生じさせる誘導磁石を外周側に備える回転駆動用モータであり、前記渦電流発生部と誘導磁石とが所定の間隙を介して対向配置されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明では、回転部材が備える導電性の非磁性材料からなる渦電流発生部と回転駆動用モータの誘導磁石とが所定の間隙を介して対向配置されていることから、回転駆動用モータが回転すると渦電流発生部に渦電流が発生し、この渦電流により生じた磁界が回転部材を回転させる。従って、渦電流発生部と誘導磁石との間隙を一定に保つことで、回転部材を一定回転数で安定的に回転させることができる。また、渦電流により生じた磁界が回転部材を回転させるため、雰囲気の汚れが発生しない。さらに、外周部に備えられた誘導磁石と渦電流発生部とを所定の間隙を介して対向配置させているため、回転体の傷及びコンタミネーションの発生を抑制することができる。
【００１１】
尚、本発明においては、「回転部材」とは、回転体がそのまま回転部材となる場合の他、回転体に他の部材、例えば、回転特性を検査するためのダミーディスクを載置、固定したものが回転部材になる場合も含まれる。また、「所定の間隙」とは、回転駆動用モータの回転に伴う誘導磁石の影響で、渦電流発生部に渦電流が生じる場合の間隙をいう。
【００１２】
本発明において、前記渦電流発生部は、前記回転体を構成するケース体に形成することができる。また、前記渦電流発生部は、前記回転体に固定されたダミーディスクに形成することもできる。
【００１３】
本発明における回転駆動装置は、前記回転部材の回転数を検出する検出装置を備えることが好ましい。回転駆動用モータと回転部材との外径が異なる場合には、回転駆動用モータと回転部材との回転数に差異が生じることになるが、回転数を検出する検出装置を備える場合には、回転部材の回転数を測定することが可能になる。
【００１４】
また、本発明における回転駆動装置では、前記検出装置で検出された回転数に基づいて前記回転駆動用モータの回転数を制御することが好ましい。回転駆動用モータの回転中に渦電流発生部と誘導磁石との間隙に変動が生じると、渦電流による磁界の強さが変動し、その結果、回転部材の回転数が変動することになる。しかし、検出装置で検出された回転数に基づいて回転駆動用モータの回転数を制御する場合には、回転部材の回転数を一定に保つよう回転駆動用モータの回転数を制御することができる。従って、確実に、回転部材を一定回転数で安定的に回転させることができる。
【００１５】
本発明において、前記検出装置はホールＩＣであることが好ましい。この場合、回転部材が磁石を備えていれば、簡易な構成で回転部材の回転数の検出が可能になる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の回転駆動装置では、渦電流発生部と誘導磁石とが所定の間隙を介して対向配置されていることから、回転駆動用モータが回転すると渦電流発生部に渦電流が発生し、この渦電流により生じた磁界が回転部材を回転させる。そのため、渦電流発生部と誘導磁石との間隙を一定に保つことで、回転部材を一定回転数で安定的に回転させることができる。また、回転駆動用モータの発熱の影響を受けることもない。従って、安定した回転数で適切な回転特性の検査が可能となる。また、外周部に備えられた誘導磁石と渦電流発生部とを所定の間隙を介して対向配置させているため、回転体の傷及びコンタミネーションの発生を抑制することができる。そのため、信頼性の高いモータの提供が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
［実施の形態１］
図１は、本発明の実施の形態１にかかる回転駆動装置を用いて回転特性の検査が行われるモータの完成状態を示す側面断面図である。図２は、本発明の実施の形態１にかかる回転駆動装置に未完成状態（部組状態）のモータが固定された状態を示す側面断面図である。図３は、回転駆動機構の回転に伴って回転部材が回転する様子を概念的に示す平面図である。
【００１９】
（モータの概略構成）
まず、本発明の実施の形態にかかる回転駆動装置を用いて回転特性の検査が行われるモータの概略構成を図１に基づいて説明する。本形態におけるモータは動圧軸受モータ１である。動圧軸受モータ１は、固定側の部材として、軸受スリーブ４とカウンタープレート５とベースフレーム１１と積層コア１２と駆動コイル１３とを備えている。また、回転側の部材として、ケース体をなすハブ６と駆動磁石７とヨーク８と回転軸９とスラストプレート１０とを備えている。
【００２０】
ベースフレーム１１は、動圧軸受モータ１を上位装置例えば、ハードディスク駆動装置に固定するために設けられている。ベースフレーム１１の中央部には円筒状の軸受スリーブ保持部１１ａが形成されている。軸受スリーブ保持部１１ａの内周面には軸受スリーブ４が圧入又は焼嵌めによって固定されている。また、軸受スリーブ保持部１１ａの外周面には電磁鋼板の積層体からなる積層コア１２が嵌着されている。積層コア１２に設けられた各突極部には駆動コイル１３がそれぞれ巻回されている。
【００２１】
軸受スリーブ４は略円筒形状に形成されており、図示下端側の中心部分には後述のようにスラストプレート１０が配置される窪み部４ａが設けられている。軸受スリーブ４の内周面には軸方向に離間して２箇所にラジアル動圧面が形成され、窪み部４ａの径方向に広がる面にはスラスト動圧面が形成されている。また、軸受スリーブ４の図示下端側の開口部分は円盤状のカウンタープレート５により閉塞されている。カウンタープレート５はその外周部分が軸受スリーブ４に固定されている。また、カウンタープレート５の図示上面のスラストプレート１０と対向する位置にはスラスト動圧面が形成されている。
【００２２】
回転軸９は、軸受スリーブ４の中心孔内に回転自在に挿入されており、回転軸９と軸受スリーブ４との微小隙間部分には潤滑オイル等の潤滑流体が充填されている。回転軸９の外周面には、軸受スリーブ４の内周面に形成されたラジアル動圧面と半径方向で対向するようにラジアル動圧面が２箇所に形成されている。両部材のラジアル動圧面の少なくとも一方側には、へリングボーン形状等の動圧発生溝が環状に凹設されており、両部材のラジアル動圧面の微小隙間部分に、ラジアル動圧軸受部２１，２１が形成されている。また、軸受スリーブ４の図示上端側部分と回転軸９との間には毛細管シール部２４が形成されている。
【００２３】
回転軸９の図示下端部には、円盤状のスラストプレート１０が固定されている。スラストプレート１０の上面には、窪み部４ａのスラスト動圧面と対向するようにスラスト動圧面が形成されている。両部材のスラスト動圧面の少なくとも一方側には、スパイラル形状等の動圧発生溝が凹設されており、両スラスト動圧面間に、スラスト動圧軸受部２２ａが形成されている。同様に、スラストプレート１０の下面には、カウンタープレート５のスラスト動圧面と対向するようにスラスト動圧面が形成されており、両スラスト動圧面間に、スラスト動圧軸受部２２ｂが形成されている。
【００２４】
回転軸９の図示上端側には、導電性の非磁性材料であるアルミ系金属からなるハブ（ケース体）６が圧入等により一体的に固定されている。ハブ６は、略カップ形状をなし、外周部６ａに沿って挿通された磁気ディスク等の記録媒体が、載置部６ｂに載置されて固定されるようになっている。ハブ６は、その側面部である胴部６ｃと底面部である基部６ｄとを備えて形成されている。
【００２５】
胴部６ｃの内周壁面側には、鋼板等の磁性材料からなる円筒状のヨーク８を介して、円筒状の駆動磁石７が取り付けられている。駆動磁石７は、積層コア１２の外周側端面に対して環状に対向するように配置されている。そして、駆動磁石７とヨーク８と積層コア１２と駆動コイル１３とから回転駆動部２３が構成されている。
【００２６】
（モータの組立手順）
以上のように構成された動圧軸受モータ１の組立手順の概略を説明する。
【００２７】
スラストプレート１０が固定された回転軸９は、軸受スリーブ４の中心孔に図示の下側から挿通され、窪み部４ａ内にスラストプレート１０が配置される。その状態で、カウンタープレート５により軸受スリーブ４の下端側の開口部分が閉塞される（以下、この状態の組立品を部組Ａとする。）。一方、ハブ６の胴部６ｃの内周壁面側にヨーク８、駆動磁石７がこの順番で取り付けられる（以下、この状態の組立品を部組Ｂとする。）。部組Ｂのハブ６は、部組Ａの回転軸９の上端側に固定される（以下、この状態での組立品を部組Ｃとする。）。
【００２８】
また、ベースフレーム１１の軸受スリーブ保持部１１ａの外周面に、駆動コイル１３が巻回された積層コア１２が嵌着される（以下、この状態での組立品を部組Ｄとする。）。部組Ｃの軸スリーブ４が部組Ｄの軸受スリーブ保持部１１ａの内周面に固定され動圧軸受モータ１の組立が完了する。
【００２９】
（回転駆動装置の構成）
続いて、本発明の実施の形態にかかる回転駆動装置の構成を図２に基づいて説明する。本形態にかかる回転駆動装置は、動圧軸受モータ１の製造工程で用いられるものである。具体的には、被検査体（ワーク）となる部組Ｃの状態での検査工程、すなわち、軸受スリーブ４とカウンタープレート５とからなる固定体２に対して、ハブ６と駆動磁石７とヨーク８と回転軸９とスラストプレート１０とからなる回転体３が、ラジアル動圧軸受部２１，２１及びスラスト動圧軸受部２２ａ，２２ｂによりラジアル方向及びスラスト方向に支承された後であって、回転駆動部２３が構成される前の検査工程で、所定の回転特性を検査するため、回転部材である回転体３を回転させるものである。
【００３０】
回転駆動装置は、固定体２を固定する固定機構３１と、回転部材である回転体３を回転させるための回転駆動機構３２とを備えている。また、回転駆動機構３２を保持する保持体４１と、回転体３の回転数を検出する検出装置としてのホールＩＣ４５を備えている。尚、回転体３の回転数の検出が不要である場合には、ホールＩＣ４５は設けなくてもよい。
【００３１】
固定機構３１は、本体部３３と、この本体部３３の上部に設置された載置部３４とチャッキング部３５とを備えている。載置部３４は、厚肉円筒形状に形成され、固定体２と回転体３からなる部組Ｃのカウンタープレート５の底面が載置されるようになっている。チャッキング部３５は、軸受スリーブ４の外周面を保持するように構成されており、本体部３３に設けられた図示を省略するシリンダ等の駆動部により、軸受スリーブ４の外周面を保持する保持状態と軸受スリーブ４の外周面を解放する解放状態との両状態に作動可能になっている。本体部３３には、載置部３４の中心孔から連通して図示下側へ延在する吸引孔３６が設けられている。吸引孔３６には図示を省略する真空ポンプが接続されており、載置部３４に載置された部組Ｃの底面が真空吸引されようになっている。
【００３２】
回転駆動機構３２は、誘導磁石３８を外周側に備える回転駆動用モータである。回転駆動用モータは、外周側に誘導磁石３８とヨーク３９を備えている点を除いては、上述の動圧軸受モータ１と同様の構成であり、固定側の部材として、軸受スリーブ１０４とカウンタープレート１０５とベースフレーム１１１と積層コア１１２と駆動コイル１１３とを備えている。また、回転側の部材として、ハブ１０６と駆動磁石１０７とヨーク１０８と回転軸１０９とスラストプレート１１０とを備えている。尚、軸受スリーブ１０４、カウンタープレート１０５、ベースフレーム１１１、積層コア１１２及び駆動コイル１１３は、それぞれ上述の軸受スリーブ４、カウンタープレート５、ベースフレーム１１、積層コア１２及び駆動コイル１３に相当するため、その詳細な説明は省略する。また、ハブ１０６、駆動磁石１０７、ヨーク１０８、回転軸１０９、スラストプレート１１０は、それぞれ上述のハブ６、駆動磁石７、ヨーク８、回転軸９及びスラストプレート１０に相当するため、その詳細な説明は省略する。
【００３３】
誘導磁石３８は、後述のように渦電流発生部となるハブ６の外周部６ａに渦電流の発生を誘導するためのものであり、ハブ１０６の外周部１０６ａの軸方向長さと略同一の長さで円筒形状に形成されている。また、誘導磁石３８の外周側には周方向に沿って複数極の着磁が施されている。誘導磁石３８は、円筒形状の磁性材料からなるヨーク３９を介してハブ１０６の外周部１０６ａに嵌着されている。
【００３４】
回転駆動機構３２は、そのベースフレーム１１１が固定ねじ４２によって固定されて、保持体４１に保持されている。また、回転駆動機構３２は、部組Ｃの状態における回転体３の回転特性の検査時には、固定機構３１に固定された状態における部組Ｃのハブ６の外周部６ａと誘導磁石３８とが径方向に所定の間隙を介して対向配置されるように保持されている。保持体４１は図示を省略するシリンダ等の駆動部によって、固定機構３１に固定された状態の部組Ｃに対して図示左右方向に進退可能に構成されている。
【００３５】
ホールＩＣ４５は、部組Ｃが固定機構３１に固定された状態で駆動磁石７の内周面と径方向に所定の間隙を介して対向するように、図示を省略するブラケットで固定機構３１の本体部３３に固定されている。
【００３６】
（モータの回転特性の検査手順）
以上のように構成された回転駆動装置を用いて、部組Ｃの状態における動圧軸受モータ１の回転特性の検査が行われる。以下、その手順を説明する。
【００３７】
まず、固定体２と回転体３とからなる部組Ｃが、固定機構３１に固定される。具体的には、チャッキング部３５が解放状態となった固定機構３１の載置部３４に部組Ｃが載置される。その後で、チャッキング部３５が保持状態になるとともに、図示を省略する真空ポンプにより部組Ｃの底面が真空吸引されて、部組Ｃの固定が完了する。
【００３８】
部組Ｃの固定が完了すると、保持体４１に保持された回転駆動機構３２は、誘導磁石３８が部組Ｃのハブ６の外周部６ａと径方向に所定の間隙を介して対向配置されるように、保持体４１によって移動される。尚、ここでいう「所定の間隙」とは、回転駆動機構３２の回転に伴う誘導磁石３８の影響で、渦電流発生部となる外周部６ａに渦電流が生じる場合の間隙をいう。
【００３９】
この状態で、図示を省略する回転駆動機構３２の制御部からの指令で駆動コイル１１３が通電状態とされ、回転駆動機構３２が回転する。それに伴って誘導磁石３８も回転する。ここで、ハブ６は導電性の非磁性材料であるアルミ系金属から形成されているため、誘導磁石３８が回転すると、渦電流発生部となる外周部６ａに渦電流が生じて磁界が発生する。この発生磁界による磁力と磁界誘導磁石３８の磁力とによって、回転体３に回転力が発生し、図３に示されるように、回転体３は回転駆動機構３２の回転方向Ｒ１と逆の回転方向Ｒ２の方向へ回転する。尚、このときの回転体３の回転数は、例えば、１５０００ｒｐｍである。
【００４０】
回転体３の回転時には、駆動磁石７の内周面に対向するホールＩＣ４５により、回転体３の回転数が検出される。検出された回転体３の回転数は、図示を省略する回転駆動機構３２の制御部にフィードバックされ、回転体３の回転数が一定になるよう回転駆動機構３２の回転数が制御される。ラジアル動圧軸受部２１及びスラスト動圧軸受部２２ａ，２２ｂに支承され、一定の回転数に保たれた回転体３に対して、所定の回転特性の検査が行われる。具体的には、ＲＥ、ＡＥ、回転振れといった特性の検査が行われる。
【００４１】
検査が終了すると、回転駆動機構３２の駆動コイル１１３への通電が止められて、回転駆動機構３２が停止する。すなわち、誘導磁石３８も停止する。一方、回転体３は、慣性によりそのまま回転を続けることになるが、停止した誘導磁石３８の影響で、渦電流発生部となる外周部６ａには、回転体３を停止させる方向に磁力を生じさせる渦電流が発生し、その磁力がブレーキとなって回転体３が停止する。尚、回転体３を短時間で停止させたい場合には、回転駆動機構３２を回転方向Ｒ１と逆方向へ回転させてやればよい。
【００４２】
（本形態の効果）
以上説明したように、本形態の回転駆動装置では、回転体３が備える渦電流発生部である外周部６ａと回転駆動機構３２の誘導磁石３８とが所定の間隙を介して対向配置されていることから、回転駆動機構３２が回転すると外周部６ａに渦電流が発生し、この渦電流により生じた磁界が回転体３を回転させる。従って、外周部６ａと誘導磁石３８との間隙を一定に保てば、回転体３を一定回転数で安定的に回転させることができる。また、回転体３に対する回転駆動機構３２の発熱の影響は非常に小さいものとなる。従って、安定して回転数の下で、適切な回転特性の検査が可能になる。
【００４３】
さらに、渦電流により生じた磁界が回転体３を回転させるため、雰囲気の汚れが発生しない。また、外周部１０６ａに備えられた誘導磁石３８と渦電流発生部である外周部６ａとを所定の間隙を介して対向配置させているため、回転体３の傷及びコンタミネーションの発生を抑制することができ、騒音の発生も防止できる。
【００４４】
本形態では、回転駆動装置は、回転体３の回転数を検出する検出装置であるホールＩＣ４５を備えている。従って、回転体３の回転数を測定することが可能になる。特に、本形態では、ホールＩＣ４５で検出された回転数に基づいて回転駆動機構３２の回転数が制御されている。そのため、回転駆動機構３２の回転中に外周部６ａと誘導磁石３８との間隙に変動が生じ、回転体３の回転数に変動が生じても、回転体３の回転数を一定に保つよう回転駆動機構３２の回転数を制御することができる。従って、確実に、回転体３を一定回転数で安定的に回転させることができる。
【００４５】
また、本形態では、検出装置としてホールＩＣ４５を採用していることから、回転体３が備える駆動磁石７を利用する簡易な構成で回転体３の回転数の検出が可能になる。
【００４６】
さらに、本形態では、回転駆動機構３２である回転駆動用モータとして、動圧軸受モータ１の構成を採用していることから、既存の動圧軸受モータ１をそのまま用いることができる。特に、動圧軸受モータの場合、高速回転が可能であることから、回転駆動用モータの高速回転に同期させて回転体３の高速回転が可能となる。また、回転体３の回転数を規定回転数にするまでの時間を短縮することができる。さらにまた、検査終了後においては、誘導磁石３８の影響で、回転体３にブレーキが発生することから、規定回転数の回転体３を停止させる時間を短縮することができる。
【００４７】
［実施の形態２］
図４は、本発明の実施の形態２にかかる回転駆動装置を用いて回転特性の検査が行われるモータの完成状態を示す側面断面図である。図５は、本発明の実施の形態２にかかる回転駆動装置に未完成状態（部組状態）のモータが固定された状態を示す側面断面図である。実施の形態１と実施の形態２との主な相違点は、被検査体となる未完成状態のモータである。上記の形態と共通する部分については同一の符号を付して図示することとし、それらの説明は省略する。
【００４８】
（モータの概略構成）
本形態におけるモータの概略構成を図４に基づいて説明する。本形態におけるモータも動圧軸受モータ５１である。動圧軸受モータ５１と動圧軸受モータ１との主な相違点は、スラスト動圧軸受部である。
【００４９】
動圧軸受モータ５１は、固定側の部材として、軸受スリーブ５４とカウンタープレート５５とベースフレーム６１と積層コア６２と駆動コイル６３と磁気吸引板６４とを備えている。また、回転側の部材として、ハブ５６と駆動磁石５７と回転軸５９と抜止部材６５とを備えている。
【００５０】
ベースフレーム６１は、上述の動圧軸受モータ１のベースプレート１１に相当し、その中央部に形成された円筒状の軸受スリーブ保持部６１ａの内周面には軸受スリーブ５４が固定され、その外周面には各突極部に駆動コイル６３が巻回された積層コア６２が嵌着されている。また、ベースフレーム６１には、駆動磁石５７と軸方向に対向する位置に円盤状の磁気吸引板６４が固定されている。
【００５１】
軸受スリーブ５４は、上述の動圧軸受モータ１の軸受スリーブ４に相当し、図示下端側の中心部分には後述のように抜止部材６５が配置される窪み部５４ａが設けられている。また、その内周面には軸方向に離間して２箇所にラジアル動圧面が形成され、上端面５４ａにはスラスト動圧面が形成されている。軸受スリーブ５４の図示下端側の開口部分は、動圧軸受モータ１と同様にカウンタープレート５５により閉塞されている。
【００５２】
回転軸５９は、軸受スリーブ５４の中心孔内に回転自在に挿入されており、回転軸５９と軸受スリーブ５４との微小隙間部分には潤滑オイル等の潤滑流体が充填されている。回転軸５９の外周面には、軸受スリーブ５４の内周面に形成されたラジアル動圧面と半径方向で対向するようにラジアル動圧面が２箇所に形成されている。両部材のラジアル動圧面の少なくとも一方側には、へリングボーン形状等の動圧発生溝が環状に凹設されており、両部材のラジアル動圧面の微小隙間部分に、ラジアル動圧軸受部７１，７１が形成されている。
【００５３】
回転軸５９には、その下端から軸方向に図示を省略するめねじが形成されている。そのめねじには、抜止部材６５が螺合されている。抜止部材６５は、窪み部５４ａに配置されており、抜止部材６５と窪み部５４ａとによって、回転側の部材であるハブ５６、回転軸５９等が軸受スリーブ５４から図示上方向へ抜けないように構成されている。
【００５４】
回転軸５９の図示上端側には、ステンレス鋼等の磁性材料から形成されたハブ５６が圧入等により一体的に固定されている。ハブ５６は、略カップ形状をなし、外周部５６ａに沿って挿通された磁気ディスク等の記録媒体が、載置部５６ｂに載置されて固定されるようになっている。ハブ５６は、その側面部である胴部５６ｃと底面部である基部５６ｄとを備えて形成されている。
【００５５】
胴部５６ｃの内周壁面側には、円筒状の駆動磁石５７が取り付けられている。駆動磁石５７は、積層コア６２の外周側端面に対して環状に対向するように配置されている。そして、駆動磁石５７と積層コア６２と駆動コイル６３とから回転駆動部７３が構成されている。また、駆動磁石５７と磁気吸引板６４とが軸方向に対向してハブ５６の軸方向への過浮上が抑制されるようになっている。
【００５６】
ハブ５６の基部５６ｄの中央部分の図示下面には、軸受スリーブ５４の上端面５４ａに形成された動圧面と対向するようにスラスト動圧面が形成されている。両部材のスラスト動圧面の少なくとも一方側には、スパイラル形状等の動圧発生溝が凹設されており、両スラスト動圧面間に、スラスト動圧軸受部７２が形成されている。
【００５７】
（モータの組立手順）
以上のように構成された動圧軸受モータ５１の組立手順の概略を説明する。
【００５８】
ハブ５６が固定された回転軸５９は、軸受スリーブ５４の中心孔に図示の上側から挿通され、その後、抜止部材６５が回転軸５９に形成されためねじに螺合される。その状態で、カウンタープレート５５により軸受スリーブ５４の下端側の開口部分が閉塞される（以下、この状態の組立品を部組Ｅとする。）。その後、ハブ５６の胴部５６ｃの内周壁面側に駆動磁石５７が取り付けられる（以下、この状態の組立品を部組Ｆとする。）。
【００５９】
一方、ベースフレーム６１の軸受スリーブ保持部６１ａの外周面に、駆動コイル６３が巻回された積層コア６２が嵌着される（以下、この状態の組立品を部組Ｇとする。）。部組Ｆの軸スリーブ５４が部組Ｇの軸受スリーブ保持部６１ａの内周面に固定され動圧軸受モータ５１の組立が完了する。
【００６０】
（回転駆動装置の構成）
続いて、本形態にかかる回転駆動装置の構成を図５に基づいて説明する。本形態においては、被検査体（ワーク）となる部組Ｅの状態での検査工程、すなわち、軸受スリーブ５４とカウンタープレート５５とからなる固定体５２に対して、ハブ５６と回転軸５９と抜止部材６５とからなる回転体５３が、ラジアル動圧軸受部７１，７１及びスラスト動圧軸受部７２によりラジアル方向及びスラスト方向に支承された後であって、回転駆動部７３が構成される前の検査工程で、所定の回転特性を検査するため、回転体５３とダミーディスク４３とからなる回転部材７０を回転させるものである。上述した形態との相違点を以下に説明する。
【００６１】
本形態においては、導電性の非磁性材料であるアルミ系金属や銅系金属等からなるダミーディスク４３が回転体５３を構成するハブ５６の載置部５６ｂに載置され、回転部材７０が構成されている。ダミーディスク４３は、例えば、ハブ５６の外径が小さくて、所定の回転特性の適切な検査が困難となる場合あるいは、ハブ５６のように磁性材料でハブが形成されていてハブ自体に渦電流に基づく回転力が発生しない場合に回転体５３に載置されるものである。ダミーディスク４３は、上述した形態におけるハブ６の外周部６ａのように渦電流発生部となる外周部４３ａを備えている。また、外周部４３ａの径方向内側には磁石保持部４３ｂが円環状に形成されており、その磁石保持部４３ｂには円筒形状の磁石４４が固着されている。磁石４４と外周部４３ａとの間には間隙４３ｃが形成されている。
【００６２】
また、回転駆動機構３２は、部組Ｅの回転特性の検査時には、誘導磁石３８が、固定機構３１に固定された状態における部組Ｅのダミーディスク４３の外周部４３ａと径方向に所定の間隙を介して対向配置されるように保持されている。さらに、ホールＩＣ４５は、部組Ｅが固定機構３１に固定された状態で磁石４４の外周面と径方向に所定の間隙を介して対向するように、間隙４３ｂに配置され、図示を省略するブラケットで固定機構３１の本体部３３に固定されている。
【００６３】
（モータの回転特性の検査手順）
以上のように構成された回転駆動装置を用いて、部組Ｅの状態における動圧軸受モータ５１の回転特性の検査が行われる。以下、その手順を説明する。
【００６４】
まず、ダミーディスク４３が固定体５２と回転体５３とからなる部組Ｅに載置される。この状態で、上述した形態と同様に、ダミーディスク４３が載置された部組Ｅが、固定機構３１に固定される。部組Ｅの固定が完了すると、保持体４１に保持された回転駆動機構３２は、誘導磁石３８がダミーディスク４３の外周部４３ａと径方向に所定の間隙を介して対向配置されるように、保持体４１によって移動される。
【００６５】
この状態で、駆動コイル１１３が通電状態とされ、回転駆動機構３２が回転する。それに伴って誘導磁石３８も回転する。誘導磁石３８が回転すると、導電性の非磁性材料であるアルミ系金属等から形成されている外周部４３ａに渦電流が生じて磁界が発生する。この発生磁界による磁力と磁界誘導磁石３８の磁力とによって、回転部材７０に回転力が発生し、図３と同様に、回転部材７０は回転駆動機構３２の回転方向Ｒ１と逆の回転方向Ｒ２の方向へ回転する。
【００６６】
回転部材７０の回転時には、上述した形態と同様に、ホールＩＣ４５が、回転体３の回転数を検出しする。その検出された回転数に基づいて回転駆動機構３２の回転数が制御される。ラジアル動圧軸受部７１及びスラスト動圧軸受部７２に支承され、一定の回転数に保たれた回転部材７０に対して、所定の回転特性の検査が行われる。具体的には、ＲＥ、ＡＥ、回転振れといった特性の検査が行われる。検査終了後は、上述の形態と同様に、停止した回転駆動機構３２の影響を受けてブレーキ力が発生し、回転部材７０は停止する。
【００６７】
（本形態の効果）
本形態における回転駆動装置では、導電性の非磁性材料であるアルミ系金属や銅系金属等からなるダミーディスク４３を用いることで、ハブ５６のように磁性材料でハブが形成されていてハブ自体に渦電流に基づく回転力が発生しない場合でも、ダミーディスク４３の渦電流発生部である外周部４３ａに渦電流を発生させることができる。そのため、この渦電流により生じた磁界により回転部材７０を回転させるができ、その結果、上述の実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【００６８】
［他の実施の形態］
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形可能である。
【００６９】
上述した形態では、回転駆動装置は、回転体３または回転部材７０の回転数を検出する検出装置としてホールＩＣ４５を備えていたが、検出装置はホールＩＣに限定されず、種々の検出装置を用いることができる。例えば、検出装置として図６に示すように近接センサ４６を用いてもよい。近接センサ４６は、ハブ６の外周部６ａに近接するように配置され、図示を省略するブラケットで固定機構３１の本体部３３に固定されるようになる。この場合には、ハブ６の外周部６ａには、回転体３の回転数を検出するため、金属板が貼り付けられている。尚、近接センサ４６の代わりに反射センサを用いてもよい。この場合には、回転体３の回転数を検出するため、外周部６ａに反射板を貼り付ける必要がある。
【００７０】
また、例えば、図２において、駆動磁石７を備えていない回転体３に対しても、本発明にかかる回転駆動装置を適用することができる。この場合の回転体３の回転数の検出には、図６のような近接センサ４６を用いればよい。また、図５において、回転体５３が駆動磁石５７を備えていても、本発明にかかる回転駆動装置を用いて回転特性の検査は可能である。
【００７１】
さらに、上述した形態では、モータとして動圧軸受モータ１，５１を用いたが、モータは動圧軸受モータには限定されず、種々のモータに対して本発明の回転駆動装置は適用可能である。さらにいえば、被検査体自身では回転できないが、回転駆動機構３２から電気的・磁気的作用を受けて回転するものであれば、本発明の回転駆動装置は適用可能である。
【００７２】
また、上述した形態では、回転駆動機構３２として、動圧軸受モータ１を用いたが、回転駆動機構としては、動圧軸受モータには限定されず、種々のモータを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる回転駆動装置を用いて回転特性の検査が行われるモータの完成状態を示す側面断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１にかかる回転駆動装置に未完成状態（部組状態）のモータが固定された状態を示す側面断面図である。
【図３】回転駆動機構の回転に伴って回転部材が回転する様子を概念的に示す平面図である。
【図４】本発明の実施の形態２にかかる回転駆動装置を用いて回転特性の検査が行われるモータの完成状態を示す側面断面図である。
【図５】本発明の実施の形態２にかかる回転駆動装置に未完成状態（部組状態）のモータが固定された状態を示す側面断面図である。
【図６】本発明の他の実施の形態にかかる回転駆動装置に未完成状態（部組状態）のモータが固定された状態を示す側面断面図である。
【図７】従来技術にかかる回転駆動装置を示し、（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、エアブローにより未完成状態（部組状態）のモータが回転させられる状態を説明する説明図及び、回転駆動装置に未完成状態のモータが固定された状態を示す側面断面図である。
【符号の説明】
【００７４】
１  動圧軸受モータ（モータ）
２  固定体
３  回転体（回転部材）
６  ハブ（ケース体）
６ａ  外周部（渦電流発生部）
２３  回転駆動部
３１  固定機構
３２  回転駆動機構（回転駆動用モータ）
３８  誘導磁石
４３  ダミーディスク
４３ａ  外周部（渦電流発生部）
４５  ホールＩＣ（検出装置）
４６  近接センサ（検出装置）
５１  動圧軸受モータ（モータ）
５２  固定体
５３  回転体
７０  回転部材
７３  回転駆動部
【図１】
2005328602.tif 000003
【図２】
2005328602.tif 000004
【図３】
2005328602.tif 000005
【図４】
2005328602.tif 000006
【図５】
2005328602.tif 000007
【図６】
2005328602.tif 000008
【図７】
2005328602.tif 000009