(57)【要約】【課題】寸法精度を要求される円盤状物が回転駆動された状態での表面の変位を精度よく、かつ簡易な操作で測定するのに好適な円盤状物の測定装置を提供する。【解決手段】円盤状の円盤状物７０の凹陥部７６の内径よりも外径が小さい円筒形状部４０をその先端に備える被測定物受け部１４と、被測定物受け部の円筒形状部の内側へ加圧流体を供給する流体供給手段と、被測定物に回転力を与える回転駆動手段と、被測定物の表面の変位を測定する位置検出手段１６と、を備えた円盤状物の測定装置１０。被測定物が被測定物受け部に流体を介して支持されるとともに回転駆動されて、被測定物の表面の変位が位置検出手段によって測定される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状の被測定物の凹陥部の内径よりも外径が小さい円筒形状部をその先端に備える被測定物受け部と、
前記被測定物受け部の円筒形状部の内側へ加圧流体を供給する流体供給手段と、
前記被測定物に回転力を与える回転駆動手段と、
前記被測定物の表面の変位を測定する位置検出手段と、を備え、
前記被測定物が前記被測定物受け部に流体を介して支持されるとともに回転駆動されて、前記被測定物の表面の変位が前記位置検出手段によって測定されることを特徴とする円盤状物の測定装置。
【請求項２】
円盤状の被測定物の軸部の外径よりも内径が大きい円筒形状部をその先端に備える被測定物受け部と、
前記被測定物受け部の円筒形状部の内側へ加圧流体を供給する流体供給手段と、
前記被測定物に回転力を与える回転駆動手段と、
前記被測定物の表面の変位を測定する位置検出手段と、を備え、
前記被測定物が前記被測定物受け部に流体を介して支持されるとともに回転駆動されて、前記被測定物の表面の変位が前記位置検出手段によって測定されることを特徴とする円盤状物の測定装置。
【請求項３】
前記回転駆動手段は、前記被測定物受け部の円筒形状部端面に形成された複数の溝に加圧流体を供給してなる請求項１又は２に記載の円盤状物の測定装置。
【請求項４】
前記円筒形状部の円筒内周部分の一部が多孔質材で形成されており、加圧流体が前記多孔質材を介して前記円筒形状部の内側へ供給される請求項１〜３のいずれか１項に記載の円盤状物の測定装置。
【請求項５】
前記被測定物の中心部の前記被測定物受け部からの変位を防止する被測定物押え手段を備える請求項１〜４のいずれか１項に記載の円盤状物の測定装置。
【請求項６】
前記被測定物受け部の円筒形状部の内側へ供給された流体の圧力を調整する圧力調整手段を備える請求項１〜５のいずれか１項に記載の円盤状物の測定装置。
【請求項７】
前記位置検出手段が非接触式の位置センサである請求項１〜６のいずれか１項に記載の円盤状物の測定装置。
【請求項８】
前記位置検出手段よりの出力信号をフーリエ変換するフーリエ変換手段を備える請求項１〜７のいずれか１項に記載の円盤状物の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は円盤状物の測定装置に係り、特に、流体軸受けの部品等のように寸法精度を要求される円盤状物が回転駆動された状態での表面の変位を精度よく測定するのに好適な円盤状物の測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
円盤状物、円柱状物、円錐状物等の真円度等の測定は、従来より真円度測定装置により行われている。多用されているこの種の装置として、被測定物を載置したワークテーブルを回転させるとともに、この被測定物に検出器のプローブを接触させながら真円度を測定するテーブル回転式真円度測定装置（たとえば、東京精密社製、商品名：ロンコム）がある。
【０００３】
ところが、円盤状物、円柱状物、円錐状物等のうち、特殊形状の被測定物の特定の部分の測定は、このような汎用的な測定装置のみでは容易には行えない。たとえば、ＶＴＲ用シリンダドラムの振れの測定は、シリンダドラムのシャフトを回転テーブルに固定し、この回転テーブルを回転させるとともに、シリンダドラムに振れ検出器の触針を当接させて測定していた。そして、シャフトを回転テーブルに固定するには、スクロールチャックでシャフトの一方端を片持ち支持するか、又は、軸センタでシャフトの両端を支持しており容易ではなかった。
【０００４】
このような事情に鑑みて、心出しする必要をなくし、シリンダドラムのセッティングを容易かつ迅速に行えるとともに、振れ測定精度を向上できるシリンダドラムの振れ測定装置が本出願人によりなされている（特許文献１参照。）。
【０００５】
この技術において、シリンダドラムのシャフトを軸受に載置するとともに、シャフトの一方端を当接部材に当接させ、ベルト又はゴムローラをシャフトの軸方向と直交する方向に対して傾けて接触回転させることにより、シリンダドラムを回転させ、その回転分力でシャフトをシャフトの回転中心である当接部材に押しつけ、この状態でシリンダドラムの振れを検出装置で測定する。このような構成によって、従来のように心出しする必要がなく、セッティングを容易かつ迅速に行うことができる。
【０００６】
一方、同様な特殊形状の被測定物として、片面に凹陥部又は軸部が形成された円盤状物の面振れ（Run Out ）を高精度で行うという要求がある。このような円盤状物は流体軸受けの部品等に採用されている。
【０００７】
図５及び図６は、このような円盤状物の形状の例を示す断面図である。図５は、断面が横向きヨ字状をした円盤状物７０である。この円盤状物７０の表面側は平坦面７２であり、裏面側には凹陥部７６が形成されている。この凹陥部７６の内側径（軸部７４の外径）はＤ１であり、外側径はＤ２である。
【０００８】
図６は、断面がＴ字状をした円盤状物８０である。この円盤状物８０の表面側は平坦面８２であり、裏面側には軸部８４が形成されている。この軸部８４の外径はＤ３である。
【０００９】
その他、円盤状物の形状の例として、断面が横向きコ字状をした円盤状物であって、図５の円盤状物７０のような軸部７４を有さない凹陥部形状のものも使用されている。
【特許文献１】特許第２８７７２２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、従来の真円度測定装置を使用して、このような円盤状物が回転駆動された状態での面振れ（Run Out ）を測定するには、上記したように、専用の特殊な治具又は装置を真円度測定装置の測定テーブルに搭載する必要がある。また、このような専用の特殊な治具又は装置を使用しても、円盤状物が求心された状態にセットするのは非常に困難である。更に、このようにしても、通常の真円度測定装置の検出器のプローブは、レバー式のプローブが採用されており、このプローブを被測定物に接触させながら測定した場合、接触圧により測定精度が影響を受ける。したがって、このような円盤状物が回転駆動された状態での面振れ（Run Out ）の測定は非常に困難であった。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、流体軸受けの部品等のように寸法精度を要求される円盤状物が回転駆動された状態での表面の変位を精度よく、かつ簡易な操作で測定するのに好適な円盤状物の測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、前記目的を達成するために、円盤状の被測定物の凹陥部の内径よりも外径が小さい円筒形状部をその先端に備える被測定物受け部と、前記被測定物受け部の円筒形状部の内側へ加圧流体を供給する流体供給手段と、前記被測定物に回転力を与える回転駆動手段と、前記被測定物の表面の変位を測定する位置検出手段と、を備え、前記被測定物が前記被測定物受け部に流体を介して支持されるとともに回転駆動されて、前記被測定物の表面の変位が前記位置検出手段によって測定されることを特徴とする円盤状物の測定装置を提供する。
【００１３】
本発明によれば、被測定物の凹陥部の内径よりも外径が小さい円筒形状の被測定物受け部に流体を介して支持されつつ被測定物が回転駆動されるので、被測定物が略自動的に求心され、この状態で被測定物の表面の変位が測定される。したがって、回転駆動された円盤状物の表面の変位が精度よく、かつ簡易な操作で測定できる。
【００１４】
また、本発明は、円盤状の被測定物の軸部の外径よりも内径が大きい円筒形状部をその先端に備える被測定物受け部と、前記被測定物受け部の円筒形状部の内側へ加圧流体を供給する流体供給手段と、前記被測定物に回転力を与える回転駆動手段と、前記被測定物の表面の変位を測定する位置検出手段と、を備え、前記被測定物が前記被測定物受け部に流体を介して支持されるとともに回転駆動されて、前記被測定物の表面の変位が前記位置検出手段によって測定されることを特徴とする円盤状物の測定装置を提供する。
【００１５】
本発明によれば、被測定物の軸部の外径よりも内径が大きい円筒形状の被測定物受け部に流体を介して支持されつつ被測定物が回転駆動されるので、被測定物が略自動的に求心され、この状態で被測定物の表面の変位が測定される。したがって、回転駆動された円盤状物の表面の変位が精度よく、かつ簡易な操作で測定できる。
【００１６】
本発明において、前記回転駆動手段は、前記被測定物受け部の円筒形状部端面に形成された複数の溝に加圧流体を供給してなることが好ましい。このような円筒形状部端面に複数の溝を、半径方向に対して所定の傾斜角度をもって形成すれば、この溝内に供給される加圧流体により回転駆動力が被測定物に与えられる。したがって、被測定物が非接触状態で回転駆動され、その結果精度のよい測定が行える。
【００１７】
また、本発明において、前記円筒形状部の円筒内周部分の一部が多孔質材で形成されており、加圧流体が前記多孔質材を介して前記円筒形状部の内側へ供給されることが好ましい。このような多孔質材を採用することにより、流体供給手段から円筒形状部の内側への加圧流体の供給が円滑に行える。
【００１８】
また、本発明において、前記被測定物の中心部の前記被測定物受け部からの変位を防止する被測定物押え手段を備えることが好ましい。このような被測定物押え手段を備えることにより、加圧流体の圧力変動等に起因する被測定物の被測定物受け部からの変位を防止できる。
【００１９】
また、本発明において、前記被測定物受け部の円筒形状部の内側へ供給された流体の圧力を調整する圧力調整手段を備えることが好ましい。このような圧力調整手段を備えることによっても、加圧流体の圧力変動等に起因する被測定物の被測定物受け部からの変位を防止できる。
【００２０】
また、本発明において、前記位置検出手段が非接触式の位置センサであることが好ましい。このような非接触式の位置センサが採用されれば、接触圧により測定精度が影響を受けることを防止できる。
【００２１】
また、本発明において、前記位置検出手段よりの出力信号をフーリエ変換するフーリエ変換手段を備えることが好ましい。被測定物の表面（測定部位）に傷等があった場合に位置センサの出力信号に誤差を生じる場合があるが、このようなフーリエ変換手段を備えることにより、誤差成分を除去した出力信号が得られる。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように、本発明によれば、被測定物受け部に流体を介して支持されつつ被測定物が回転駆動されるので、被測定物が略自動的に求心され、この状態で被測定物の表面の変位が測定される。したがって、回転駆動された円盤状物の表面の変位が精度よく、かつ簡易な操作で測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面に従って本発明に係る円盤状物の測定装置の好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係る円盤状物の測定装置１０の実施態様の構成図である。図２は、図１の要部拡大断面図であり被測定物受け部１４を示す。図３は、被測定物受け部１４の部分拡大平面図である。
【００２４】
図１に示されるように、円盤状物の測定装置１０は、装置の架台であるベース１２と、ベース１２上に固定される被測定物受け台（被測定物受け部）１４と、ベース１２上に固定され位置センサ（位置検出手段）１６を保持するセンサスタンド１８と、ベース１２上に固定されストッパ（被測定物押え手段）２０を支持するストッパ台２２とより構成される。
【００２５】
図２に示されるように、被測定物受け台（被測定物受け部）１４は、受け台本体３０と、この受け台本体３０の上面に取り付けられるヘッド部３２と、受け台本体３０の内部に形成された貫通孔３０Ａ内に配される支持軸３４とより構成される。
【００２６】
受け台本体３０の上面には嵌合凹部３０Ｂが形成されており、この嵌合凹部３０Ｂにヘッド部３２の下部が嵌合され、更にボルト３６、３６により固定がなされている。また、受け台本体３０とヘッド部３２との間の機密性を確保すべく、Ｏリング３８が両者の間に配されている。このように、ヘッド部３２は、測定する被測定物のサイズに応じて受け台本体３０に対して、容易に交換可能となっている。なお、図２において、ヘッド部３２に支持されている円盤状物７０は、既述の図５により説明したものと略同一形状のものである。
【００２７】
ヘッド部３２の先端部分は、円盤状物７０の凹陥部（図５参照）の内径Ｄ２よりも外径が小さい円筒形状部４０となっている。この円筒形状部４０は、外筒部４２と、外筒部４２の内部に嵌合される多孔質体４４と、円筒形状部４０の上面を構成する天板４６とより構成される。
【００２８】
外筒部４２は、ヘッド部３２の先端方向（上方）に延接された薄肉円筒部分である。多孔質体４４は、ステンレス鋼又は銅の粉状体を焼結させて形成された部材であり、所定の通気性能を有する部材である。この多孔質体４４の外径は、外筒部４２の内部に嵌合できるように形成され、内径は、被測定物の軸部の外径（図５のＤ１及び図６のＤ３）よりも大きく形成されている。多孔質体４４の内径は、被測定物の軸部の外径との間隙（クリアランス）が５〜１０μｍとなるように形成されることが好ましい。このようなクリアランスとすることにより、後述するエアベアリング効果が得られる。
【００２９】
多孔質体４４は、外筒部４２の内部に嵌合されることより、上下方向の位置ずれが生じにくいが、より上下方向の位置ずれ防止を図るべく、ヘッド部３２の内周面、及び後述する支持軸３４の先端部分に段差を形成して、これにより位置ずれを防止させる構成となっている。
【００３０】
外筒部４２と多孔質体４４の端面（上面）は、面一に配置されており、これらの端面（上面）にその下面が密着するように天板４６が固定される。図３に示される被測定物受け部１４の部分拡大平面図において、天板４６の上面が示されている。この天板４６は、外径が外筒部４２の外径と同一であり、内径が多孔質体４４の内径より若干大きいドーナツ状体であり、この天板４６の上面には等間隔で３本の溝４６Ａが形成されている。この溝４６Ａは、天板４６上面の外径側と内径側とを連通させるもので、所定の深さ（段差）、所定の幅を有し、半径ｄ方向に対して所定の傾斜角度θをなして形成されている。溝４６Ａより傾斜角度θをもって加圧流体が吹き出されることにより、この加圧流体が円盤状物７０の凹陥部に傾斜角度θをもって当たり、これにより円盤状物７０に時計回りの回転駆動力を与えることができる。
【００３１】
図２において、受け台本体３０の内部の貫通孔３０Ａ内に配される支持軸３４は、中心に貫通孔３４Ａを有する厚肉状の円筒状体である。この支持軸３４は、受け台本体３０の下部に設けられた上下方向の貫通孔３０Ｃに嵌合固定される。また、支持軸３４の上端は、外径が多孔質体４４の内径と略同一となるような段差状に形成され、多孔質体４４に内周部にわずかな長さだけ嵌合される。
【００３２】
この支持軸３４と受け台本体３０の内部の貫通孔３０Ａとで円筒状の内部空間５０を形成する。この内部空間５０は、加圧流体を供給する流体供給手段の一部を構成する。そして、この内部空間５０は、受け台本体３０の左側面より穿設されたエア供給孔３０Ｄと連通している。したがって、図示しないエア供給源より供給される圧縮エアが、エア供給孔３０Ｄ及び内部空間５０を経て多孔質体４４（円筒形状部の内部）に供給される。これにより、後述するエアベアリング効果が得られる。
【００３３】
一方、支持軸３４の貫通孔３４Ａには、下部において図１に示されるような逃がし配管５２が接続されている。この逃がし配管５２にはニードルバルブ５４が接続され、その下流側において大気開放されている。したがって、貫通孔３４Ａと、逃がし配管５２と、ニードルバルブ５４とにより、円筒形状部４０の内部へ供給された流体の圧力を調整する圧力調整手段が構成される。すなわち、ニードルバルブ５４の開閉具合を調整することにより、円筒形状部４０の内部へ供給された流体の圧力が調整可能となる。
【００３４】
次に、図１に示される位置センサ（位置検出手段）１６について説明する。位置センサ１６としては、レーザ光方式の非接触位置センサが好ましく採用できる。位置センサ１６は、ベース１２上に固定されたセンサスタンド１８のアーム部１８Ａの先端部分に設けられた微動調整装置１８Ｂを介して保持されている。この微動調整装置１８Ｂにより、位置センサ１６よりの光線が正確に被測定部分に照射される。
【００３５】
この微動調整装置１８Ｂは、調整ねじ５６Ａの回動により位置センサ１６を紙面に垂直方向に微動させ得るＹ軸調整機構５６と、３個の調整ねじ５８Ａ、５８Ｂ、５８Ｃ（５８Ｂの裏面にあり見えない）の回動により位置センサ１６の光軸１６Ａの鉛直軸に対する傾きを微動させ得る傾き調整機構５８と、調整ねじ６０Ａの回動により位置センサ１６を左右方向に微動させ得るＸ軸調整機構６０とより構成される。
【００３６】
次に、図１に示されるストッパ（被測定物押え手段）２０について説明する。ストッパ２０はストッパ台２２に対し、昇降可能に支持されている。すなわち、ストッパ台２２にはこの内部の設けられる昇降手段により昇降させられる３本の軸２２Ｂが平行に設けられ、この軸２２Ｂ、２２Ｂ、２２Ｂの上端にストッパテーブル２２Ａが固定されている。ストッパ２０はこのストッパテーブル２２Ａに微動機構２２Ｃを介して支持されている。
【００３７】
したがって、ストッパ台２２内部の昇降手段の駆動により、ストッパ２０は昇降可能となっている。図１に示されるストッパ２０は、上昇端にある状態を示しており、ストッパ球部２０Ａが円盤状物７０の上方に退避した状態を示している。図２に示されるストッパ２０は、下降端にある状態を示しており、ストッパ球部２０Ａが円盤状物７０の中心の上方への移動を妨げている状態を示している。
【００３８】
次に、円盤状物の測定装置１０を使用した円盤状の被測定物の面振れ（Run Out ）の測定について説明する。先ず、図５に示される円盤状物７０の測定について説明し、次いで、図６に示される円盤状物８０の測定について説明する。
【００３９】
図１に示される状態において、被測定物受け台１４に円盤状物７０をセットする。そして、ストッパ２０を下降させ、図２に示されるように、ストッパ球部２０Ａが円盤状物７０の中心の上方への移動を妨げる状態に調整する。その後、図１に示される微動調整装置１８Ｂを調整して、位置センサ１６よりの光線が正確に被測定部分に照射されるように調整する。
【００４０】
この状態で、エア供給源より、図２に示されるエア供給孔３０Ｄ及び内部空間５０を経て多孔質体４４（円筒形状部の内部）に圧縮エアを供給する。エア供給源よりの供給エア圧としては、たとえば、０．１５〜０．２５ＭＰａの範囲が採用できる。エア供給源よりの供給エア流量としては、エア圧によって左右されるが、たとえば、５０リットル／分の値が採用できる。
【００４１】
このように多孔質体４４（円筒形状部の内部）に供給された圧縮エアは、多孔質体４４の内周面と円盤状物７０の軸部７４（図５参照）との隙間、及び、多孔質体４４の内周面上部と天板４６の内周面との隙間（図３参照）を経て、天板４６の表面に回り込み、天板４６の表面と円盤状物７０の凹陥部７６との隙間、及び、天板４６の３本の溝４６Ａを経て、天板４６の外周側、次いで外筒部４２の外周側に回り込み、大気中に放出される。
【００４２】
この圧縮エアの流れにより、円盤状物７０がエアを介して非接触で円筒形状部４０に支持される、いわゆるエアベアリング効果が得られる。また、天板４６の３本の溝４６Ａより噴出される圧縮エアの流れにより、円盤状物７０が時計回りに回転駆動される。したがって、円盤状物７０が略自動的に求心され、この状態で円盤状物７０の表面の変位が位置センサ１６により測定される。したがって、回転駆動された円盤状物７０の表面の変位が精度よく、かつ簡易な操作で測定できる。
【００４３】
なお、エア供給源より供給されるエアの圧力変動等があった場合でも、ストッパ２０により円盤状物７０の円筒形状部４０からの変位を防止できる。また、貫通孔３４Ａと、逃がし配管５４と、ニードルバルブ５６とにより、円筒形状部４０の内部へ供給された流体の圧力を調整する圧力調整手段が構成されているので、これによってもエア供給源より供給されるエアの圧力変動等の影響を有効に排除できる。
【００４４】
位置センサ１６により測定された円盤状物７０の表面の変位は、図示されないセンサの演算回路により処理されて変位データとして出力される。この演算処理の際に、位置センサ１６よりの出力信号がフーリエ変換される。このフーリエ変換の効果について、以下に説明する。
【００４５】
図４は、フーリエ変換による効果を説明する出力信号波形を示す図である。このうち（ａ）は、円盤状物７０の表面に傷等の欠陥がなかった場合の出力信号波形であり、（ｂ）は、円盤状物７０の表面に傷等の欠陥があった場合の出力信号波形である。
【００４６】
図４（ａ）においては、通常は出力信号波形は正弦波の形状となる。一方、図４（ｂ）においては、実線で表示されるように、円盤状物７０の表面に傷等の欠陥があった箇所Ｋにおいて、出力信号がステップ状に変化し、そのステップ状に変化し状態から次の正弦波が進行する形状となり、正確な測定結果とならない。
【００４７】
これに対し、位置センサ１６よりの出力信号をフーリエ変換すれば、欠陥があった箇所Ｋの出力信号のステップ状の変化が除去され、破線で表示されるように、出力信号波形が正弦波の形状となり、正確な測定結果となる。
【００４８】
次に、図６に示される円盤状物８０の測定について説明する。なお、図５に示される円盤状物７０の測定と同一、類似の部分については、重複する説明を省略する。
【００４９】
図１に示される状態において、被測定物受け台１４に円盤状物８０をセットする。そして、ストッパ２０を下降させ、図２に示されるように、ストッパ球部２０Ａが円盤状物８０の中心の上方への移動を妨げる状態に調整する。その後、図１に示される微動調整装置１８Ｂを調整して、位置センサ１６よりの光線が正確に被測定部分に照射されるように調整する。
【００５０】
この状態で、エア供給源より、図２に示されるエア供給孔３０Ｄ及び内部空間５０を経て多孔質体４４（円筒形状部の内部）に圧縮エアを供給する。このように多孔質体４４（円筒形状部の内部）に供給された圧縮エアは、多孔質体４４の内周面と円盤状物８０の軸部８４（図６参照）との隙間、及び、多孔質体４４の内周面上部と天板４６の内周面との隙間（図３参照）を経て、天板４６の表面に回り込み、天板４６の表面と円盤状物８０の裏面との隙間、及び、天板４６の３本の溝４６Ａを経て大気中に放出される。
【００５１】
この圧縮エアの流れにより、円盤状物８０がエアを介して非接触で円筒形状部４０に支持される、いわゆるエアベアリング効果が得られる。また、天板４６の３本の溝４６Ａより噴出される圧縮エアの流れにより、円盤状物８０が時計回りに回転駆動される。したがって、円盤状物８０が略自動的に求心され、この状態で円盤状物８０の表面の変位が位置センサ１６により測定される。したがって、回転駆動された円盤状物８０の表面の変位が精度よく、かつ簡易な操作で測定できる。
【００５２】
なお、円盤状物８０には図５に示される円盤状物７０のような凹陥部７６がなく、円盤状物８０の回転駆動は、天板４６の３本の溝４６Ａ内を流れる圧縮エアと円盤状物８０の裏面との摩擦のみによってなされる。
【００５３】
以上、本発明に係る円盤状物の測定装置の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。たとえば、被測定物として図５に示される円盤状物７０及び図６に示される円盤状物８０が採用されているが、既述したように、これ以外の断面形状の被測定物、たとえば断面が横向きコ字状をした円盤状物であって、図５の円盤状物７０のような軸部７４を有さない凹陥部形状の円盤状物にも適用できる。
【００５４】
また、被測定物に回転力を与える回転駆動手段として、図３に示される３本の溝４６Ａと加圧流体との組み合わせよりなる構成としたが、装置外部より被測定物に回転力を与える手段、たとえばエア噴射手段や、電磁誘導による駆動手段を採用する構成であってもよい。
【００５５】
また、円筒形状部４０の外筒部４２の内部に多孔質体４４が嵌合されている構成としたが、これに代えて、同様の機能を有する多孔質体以外の部材を採用する構成であってもよい。
【００５６】
更に、圧力調整手段として、貫通孔３４Ａと、逃がし配管５４と、ニードルバルブ５６との組み合わせからなる構成としたが、これに代えて、エア供給源に高精度の供給圧力調整手段（圧力調整弁等）を設ける構成であってもよい。この構成であっても、本実施態様と同様に機能させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明に係る円盤状物の測定装置の実施態様の構成図
【図２】図１の要部拡大断面図
【図３】被測定物受け部の部分拡大平面図
【図４】フーリエ変換による効果を説明する出力信号波形を示す図
【図５】円盤状物の断面図
【図６】円盤状物の断面図
【符号の説明】
【００５８】
１０…円盤状物の測定装置、１２…ベース、１４…被測定物受け台、１６…位置センサ、１８…センサスタンド、２０…ストッパ、２２…ストッパ台、７０、８０…円盤状物
【図１】
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【図２】
2005147769.tif 000004
【図３】
2005147769.tif 000005
【図４】
2005147769.tif 000006
【図５】
2005147769.tif 000007
【図６】
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