(57)【要約】      （修正有）【課題】大型基板に適用可能なカセットを提供する。【解決手段】フレーム２１０と、前記フレーム２１０を複数個の層に区分する複数個のスロット２２０，２４０を含み、前記スロット２２０，２４０は、前記フレーム２１０から水平方向に延長している複数個の主支持バー２２０、複数個の主支持バー２２０を互いに連結する複数個の支持ワイヤー２４０を含み、複数個の主支持バー上２２０の上に緩衝部材２２１が形成され、該緩衝部材２２１の上に基板１１０を搭載するカセット。【選択図】図２
2005184002.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレーム、
前記フレームを複数個の層に区分する複数個のスロット
を含み、
前記スロットは、前記フレームから水平方向に延長している複数個の主支持バー、
前記複数個の主支持バーを互いに連結する複数個の支持ワイヤー
を含み、前記複数個の主支持バー上に基板を配設する、カセット。
【請求項２】
前記複数個の主支持バーの各々は、所定間隔を置いて離れている、請求項１に記載のカセット。
【請求項３】
前記支持ワイヤーは、前記主支持バーの底面と連結されている、請求項１に記載のカセット。
【請求項４】
前記複数個の主支持バー上に緩衝部材が形成されている、請求項１に記載のカセット。
【請求項５】
前記スロットには、前記フレームから水平方向に延長し、前記基板と一部が重なり得る複数個の補助支持バーが形成されている、請求項１に記載のカセット。
【請求項６】
前記補助支持バーは、前記緩衝部材と同じ高さで形成されている、請求項５に記載のカセット。
【請求項７】
前記補助支持バーの長さ方向は、前記主支持バーの長さ方向と互いに異なる、請求項５に記載のカセット。
【請求項８】
前記フレームは、アルミニウム及びSUSの合金で形成されている、請求項１に記載のカセット。
【請求項９】
前記主支持バーは、炭素繊維強化プラスチックで形成されている、請求項１に記載のカセット。
【請求項１０】
前記緩衝部材は、PEEK樹脂で形成されている、請求項４に記載のカセット。
【請求項１１】
フレーム、
前記フレームを複数個の層に区分する複数個のスロット
を含み、
前記スロットは、前記フレームから水平方向に延長している支持部、
前記支持部上に形成されている複数個の支持ピン
を含み、前記複数個の支持ピン上に基板を配設するカセット。
【請求項１２】
前記支持部は、前記フレームの対向する両側面を水平に連結する複数個の支持バーからなる、請求項１１に記載のカセット。
【請求項１３】
前記支持部は、前記フレームの全ての部分と連結されている支持板である、請求項１１に記載のカセット。
【請求項１４】
前記支持ピンは、PEEK樹脂で形成されている、請求項１１に記載のカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板用カセットに関し、特に、大型ガラス基板を受納する大型基板用カセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の製造において搬送システムを利用してガラス基板を搬送する。液晶表示装置は、現在最も広く用いられている平板表示装置の一つであって、電界生成電極が形成されている二枚の表示板と、その間に挿入されている液晶層からなり、電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列することで液晶層を通過する光の透過率を調節する表示装置である。
【０００３】
このような液晶表示装置の二枚の表示板は、搬送システムを通じて各製造工程の工程設備に搬送され、液晶表示装置が完成する。
【０００４】
従来、複数個のガラス基板をカセット（Cassette）、ストッカー（Stocker）及びインデクサー（indexer）を利用して各製造工程の工程設備に搬送した。即ち、液晶表示装置製造工程の搬送システムは、最大２０枚程度のガラス基板をカセットに受納してカセットをストッカーに保管し、これをロボットインデクサーを利用して各製造工程の工程設備に搬入及び搬出した。
【０００５】
しかし、ガラス基板の大型化（１５００mm以上）によって、カセットに受納したガラス基板がたわむという問題点が生じる。
【０００６】
また、ガラス基板の大型化に伴い、ガラス基板の荷重に耐えるためにガラス基板を搬入及び搬出するインデクサーのロボットアームの厚さ及び幅が大きくなり、カセットの水平旋盤間の間隔であるピッチ（Pitch）が大きくなることによって、カセット及びストッカーの全体的な高さが高く、設備が大型化する問題が生じる。
【０００７】
そして、ガラス基板の大型化によるガラス基板の重量の増加で、カセットをハンドリングするカセットクレーン（Cassette Crane）、カセットコンベヤー（Cassette Conveyor）及びリフター（Lifter）などの搬送設備の使用にも多くの問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の技術的課題は、大型基板に適用可能なカセットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によるカセットは、フレーム、前記フレームを複数個の層に区分する複数のスロットを含み、前記スロットは、前記フレームから水平方向にのびている複数の主支持バー、前記複数個の支持バーを互いに連結する複数の支持ワイヤーを含み、前記複数個の支持バーに基板を配設することが好ましい。
【００１０】
また、前記複数個の主支持バーの各々は、所定の間隔を置いて離れているのが好ましい。また、前記支持ワイヤーは、前記主支持バー底面と連結されているのが好ましい。また、前記複数個の主支持バーに緩衝部材が形成されているのが好ましい。また、前記スロットには、前記フレームから水平方向にのびて、前記基板と一部が重なり得る複数個の補助支持バーが形成されているのが好ましい。また、前記補助支持バーは、前記緩衝部材と同じ高さで形成されているのが好ましい。また、前記補助支持バーの長さ方向は、前記主支持バーの長さ方向とは互いに異なるのが好ましい。また、前記フレームは、アルミニウム及びSUSの合金で形成され、前記主支持バーは、炭素繊維強化プラスチックで形成され、前記緩衝部材は、PEEK樹脂で形成されているのが好ましい。また、本発明によるカセットは、フレーム、前記フレームを複数の層に区分する複数のスロットを含み、前記スロットは、前記フレームから水平方向にのびている支持部、前記支持部上に形成されている複数個の支持ピンを含み、前記複数個の支持ピン上に基板を配設するのが好ましい。また、前記支持部は、前記フレームの対向する両側面を水平に連結する複数個の支持バーからなるのが好ましい。また、前記支持部は、前記フレームの全ての部分と連結されている支持板であって、前記支持ピンは、ＰＥＥＫ樹脂で形成されるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によるカセットは、複数個の支持バーの一端に支持バーを互いに連結する支持ワイヤーを配設することで、大型基板をカセットに受納するときに、支持バーのたわみ及び揺れ現象を改善することができる。また、支持ワイヤーを用いることによって、スロット間ピッチの増加及びカセット重量の増加を最少に抑えられるという長所がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施例に対して、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳細に説明する。しかし、本発明は、多様な形態で実現することができ、ここで説明する実施例に限定されない。
【００１３】
本発明の実施例による大型基板用カセットについて、図面を参考にして詳細に説明する。
【００１４】
図１は本発明の第１実施例によるカセットの配置図であり、図２は図１のカセットの断面図であり、図３Ａは図２に示すＡ部分の拡大断面図であり、図３Ｂは図１のカセットの一部の斜視図である。
【００１５】
図１乃至図３に示すように、本発明の第１実施例によるカセットは、四角形状のフレーム２１０と、前記フレーム２１０を上下方向に複数個の層に区分する複数個のスロット２２０、２４０を含む。
【００１６】
前記フレーム２１０は、アルミニウム（Al）とSUS（Steel Use Stainless：ステンレス鋼）の合金から形成するのが好ましい。
【００１７】
そして、スロット２２０、２４０は、フレーム、即ち垂直フレーム２１１から水平方向に延長している複数個の主支持バー（Main support bar）２２０と、複数個の主支持バー２２０を互いに連結する複数個の支持ワイヤー（support wire）２４０を含む。
【００１８】
図１乃至図３に示すように、本発明の第１実施例では、一つのスロットごとに三つの主支持バー２２０が形成され、一つの支持ワイヤー２４０が形成されているものを説明する。
【００１９】
三つの主支持バーと一つの支持ワイヤー２４０からなるスロットが上下方向に複数個設けられて、カセットを形成する。
【００２０】
前記三つの主支持バー２２０の上に基板１１０を配設して基板１１０を受納する。前記三つの主支持バー２２０の各々は所定の間隔を置いて離れているのが好ましい。これは、主支持バー２２０の間の空間を通じて基板１１０を搬送する搬送アーム（図示せず）が位置し、基板１１０を主支持バー２２０の上に移動させてから搬送アームは再び本来の場所に戻るためである。つまり、搬送アームの挿入場所を確保するために、主支持バー２２０の各々は所定の間隔を置いて離れている。
【００２１】
前記主支持バー２２０は、炭素繊維強化プラスチック（Carbon Fiber Reinforced Plastics：CFRP）であるのが好ましい。炭素繊維強化プラスチックは、外部構造用に用いられる高分子複合体であって、非引張強度（引張強度を密度で割った値）がアルミニウムの４．５倍以上であり、非弾性率（弾性率を密度で割った値）はアルミニウムの３．３倍であり、疲労特性は、アルミニウムの疲労限界は最初の３５％しかないが、CFRPは８０％までも維持される。
【００２２】
そして、支持ワイヤー２４０は、主支持バー２２０の底面と連結部材２２２を通じて連結されているので、大型基板１１０が三つの主支持バー２２０の上に位置するときに、主支持バー２２０が折れ曲がったり揺れるのを防ぐ。前記支持ワイヤー２４０は、直径３mm乃至５mmの鋼線で製造するのが好ましく、支持ワイヤー２４０の両端は、フレーム２１０に固定し、支持ワイヤー２４０の両端を引いたり延ばしながら、支持ワイヤー２４０のテンション（Tension）を調節することもできる。
【００２３】
そして、三つの主支持バー２２０の上には緩衝部材２２１が形成され、緩衝部材２２１上に基板１１０を搭載することによって基板１１０に衝撃を与えずにカセットに受納することができる。
【００２４】
前記緩衝部材２２１は、PEEK（Poly ether ether ketone）樹脂であるのが好ましく、PEEK樹脂は、連続使用温度２５０℃の熱可塑性特殊プラスチックで、耐久性が優れている。
【００２５】
従来は、カセットが２つの支持バーからなっており、２つの支持バーで大型基板１１０を搭載するときには２つの支持バーを大きく形成する必要があった。そのため、２つの支持バーからなるカセットを大型化する際に、支持バー自体の重さによるたわみ及び揺れ現象が生じやすいという問題点があった。
【００２６】
また、カセットの高重量化によってカセット搬送設備も大型化してしまうという問題点があった。
【００２７】
しかし、本発明の第１実施例によるカセットでは、三つの主支持バー２２０と、これを互いに連結する支持ワイヤー２４０を用いることで、主支持バー２２０自体の重量及び大型基板１１０の重さによるたわみ及び揺れ現象を改善し、構造を単純化、軽量化することで最適化を図ることができる。
【００２８】
そして、上下方向に形成されている複数のスリットを下から第１スリット、第２スリット、第Nスリット、第N+１スリットなどと定義し、第Nスリットの支持ワイヤー２４０と第N+１スリットの支持ワイヤー２４０間の間隔をピッチ（Pitch）と定義する。
【００２９】
前記ピッチは７５mm乃至９５mmの程度が好ましく、支持ワイヤー２４０と緩衝部材２２１の間の間隔は５０mm乃至７０mmの程度が好ましい。この場合、搬送アームの使用空間は約８０mm程度とされる。
【００３０】
図１及び図２に示すように、前記スロットには、フレーム２１０から水平方向に延長し、基板１１０と一部が重なり得る複数個の補助支持バー２３０が形成されている。
【００３１】
前記複数個の支持バー２３０は、緩衝部材２２１と同じ高さで形成されることが好ましい。これは、基板１１０が緩衝部材２２１上及び補助支持バー２３０上に位置する場合、緩衝部材２２１上及び補助支持バー２３０の高さが互いに同じなときに基板１１０の水平が維持されるためである。
【００３２】
前記補助支持バー２３０の長さ方向が主支持バー２２０の長さ方向と互いに異なるように補助支持バー２３０を形成する。即ち、図１及び図２では、主支持バー２２０の長さ方向と補助支持バー２３０の長さ方向が互いに直角をなしているが、それに限定されない。
【００３３】
本発明の第２実施例によるカセットが図４乃至図６に示されている。ここで、既に説明した図と同一機能を有するものは同一符号を付けている。
【００３４】
図４乃至図６に示すように、本発明の第２実施例によるカセットは、四角形状のフレーム２１０、フレーム２１０を複数個の層に区分する複数個のスロット２５０、２６０を含む。前記フレーム２１０は、アルミニウム（Al）とSUS（ステンレス鋼）の合金で形成されるのが好ましい。
【００３５】
そして、スロットは、フレーム２１０から水平方向にのびている支持部２５０と、支持部上に形成されている複数個の支持ピン２６０を含む。
【００３６】
支持部２５０は、フレーム２１０の全ての部分と連結されている支持板形状であり、前記支持部２５０上に形成されている複数個の支持ピン２６０上に基板１１０を配設する。
【００３７】
前記支持ピン２６０は、PEEK樹脂のような緩衝部材が好ましく、PEEK樹脂は、連続使用温度２５０℃の熱可塑性特殊プラスチックで、耐久性が優れている。
【００３８】
本発明の第３実施例によるカセットが図７に示されている。ここで、既に説明した図と同一機能を有するものは同一符号を付けている。
【００３９】
図７に示すように、本発明の第３実施例によるカセットは、本発明の第２実施例によるカセットとほぼ同じ構造とされ、支持部の形状のみが異なる。
【００４０】
即ち、支持部は、フレーム２１０の対向する両側面を水平に連結する複数個の支持バー２７０からなる。前記支持バー２７０上に複数個の支持ピン２６０が形成されている。よって、本発明の第２実施例によるカセットのようにフレーム２１０の全ての部分と連結されている支持板形状で形成される場合よりも、カセットの重さが軽くなるという長所がある。
【００４１】
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、これは例示的なものに過ぎず、該当技術分野における通常の知識を有する者であれば、本発明に基づいて様々な変形及び均等な他の実施例が可能であることが理解できるであろう。よって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の多様な変形及び改良形態も本発明の権利範囲に属するものである。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１実施例によるカセットの平面図である。
【図２】本発明の第１実施例によるカセットの断面図である。
【図３Ａ】図２のＡ部分の拡大断面図である。
【図３Ｂ】図１のカセットの一部の斜視図である。
【図４】本発明の第２実施例によるカセットの平面図である。
【図５】本発明の第２実施例によるカセットの断面図である。
【図６】図２のＢ部分の拡大断面図である。
【図７】本発明の第３実施例によるカセットの平面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１１０  基板
２１０  フレーム
２２０  主支持バー
２４０  支持ワイヤー
２３０  補助支持バー
２５０  支持部
２６０  支持ピン
２７０  支持バー
【図１】
2005184002.tif 000003
【図２】
2005184002.tif 000004
【図３Ａ】
2005184002.tif 000005
【図３Ｂ】
2005184002.tif 000006
【図４】
2005184002.tif 000007
【図５】
2005184002.tif 000008
【図６】
2005184002.tif 000009
【図７】
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