(57)【要約】【課題】  直径が０．２ｍｍ以下の微小な球状体であっても、収納トレイから確実に１つの球状体のみを取り出すことが可能な球状体搬送装置とこれを用いたはんだボール搭載装置を提供すること。  【解決手段】  球状体を収納するトレイ２０と、トレイ２０を上下方向に貫通して上下動自在に設けられ、トレイ内に収納された球状体１８を抽出する抽出ノズル３４と、抽出ノズル３４が抽出した球状体１８を吸着し、球状体１８を所定位置に搬送する搬送ノズル２２を具備し、抽出ノズル３４をトレイ２０の下方から上昇させると共に、抽出ノズル３４の先端部に球状体１８を載置することにより、トレイ内の球状体１８を抽出した後、トレイ２０の上方に位置する搬送ノズル２２に抽出した球状体１８を吸着させることを特徴とする球状体搬送装置３２とこれを用いたはんだボール搭載装置である。【選択図】        図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
球状体を収納するトレイと、
前記トレイを上下方向に貫通して上下動自在に設けられ、当該トレイ内に収納された球状体を抽出する抽出ノズルと、
前記抽出ノズルが抽出した球状体を吸着し、当該球状体を所定位置に搬送する搬送ノズルを具備し、
前記抽出ノズルを前記トレイの下方から上昇させると共に、当該抽出ノズルの先端部に前記球状体を載置することにより、前記トレイ内の球状体を抽出した後、前記トレイの上方に位置する前記搬送ノズルに前記抽出した球状体を吸着させることを特徴とする球状体搬送装置。
【請求項２】
前記トレイに個別に上下動するように駆動される複数の抽出ノズルを設け、
各々の抽出ノズルに個別に前記搬送ノズルを設けたことを特徴とする請求項１記載の球状体搬送装置。
【請求項３】
前記抽出ノズルの先端部は、凹面状に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の球状体搬送装置。
【請求項４】
前記抽出ノズルの先端部は吸引手段に接続されていて、前記球状体を吸引可能に設けられていることを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載の球状体搬送装置。
【請求項５】
前記トレイの内部空間には、前記ノズルの先端部以外に吸着した前記球状体を除去するエアブロー手段が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載の球状体搬送装置。
【請求項６】
前記トレイの上面には、前記抽出ノズルの先端部の球状体を検出する球状体検出手段が配設されていることを特徴とする請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の球状体搬送装置。
【請求項７】
前記球状体検出手段は、
前記抽出ノズルの先端にスリットを設け、
前記スリットの一端側に配設された信号出力手段と、
前記スリットの他端側に配設された信号受信手段と、
前記信号受信手段が前記信号出力手段からの信号を受信したか否かにより球状体の有無を判断する判断手段と、により構成されていることを特徴とする請求項６記載の球状体搬送装置。
【請求項８】
基板を支持するステージと、
前記ステージをＸ−Ｙ方向に移動させる移動手段と、
基板に貼り付けするはんだボールを搬送するはんだボール搬送装置と、
前記移動手段と前記はんだボール搬送装置の動作を制御する動作制御手段とを具備する微小はんだボール搭載装置において、
前記はんだボール搬送装置に請求項１〜７のうちのいずれか一項に記載の球状体搬送装置が用いられていることを特徴とする微小はんだボール搭載装置。
【請求項９】
前記はんだボール搬送装置に請求項１〜７のうちのいずれか一項に記載の球状体搬送装置が複数用いられていることを特徴とする請求項８記載の微小はんだボール搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、球状体搬送装置およびこれを用いた微小はんだボール搭載装置に関し、より詳細には、直径が０．２ｍｍ以下の微小な球状体を一つずつ確実に搬送することが可能な球状体搬送装置とこれを用いた微小はんだボール搭載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
試作用基板等にＢＧＡ、ＧＳＰ素子を実装するために、接合用のはんだボールの搭載や、ＢＧＡに接合用はんだボールを取り付けるはんだボール搭載装置として、特許文献１に記載の装置が本願出願人により提案されている。
特許文献１に記載されている球状体搭載装置は、上面にゴムシャッターを具備するトレイ内に多数のはんだボールが収納され、トレイ内にエアーを吹き込むことにより撹拌し、ゴムシャッター側からトレイ内に吸着ノズルを挿入して撹拌されたはんだボールを吸着ノズルが吸着し、ゴムシャッターに吸着ノズルを通過させることより、吸着ノズルに吸着された余分なはんだボールがすり落とされ、トレイから１つのはんだボールのみが取り出される。これにより、基板に対して所定のパターンにはんだボールを適切に搭載することができることから、有用な技術として広く用いられている。
【特許文献１】特開２００３−１９８１１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが特許文献１に開示されている球状体搭載装置は、球状体の直径が０．３ｍｍ程度までの球状体であれば、吸着ノズルに１つのはんだボールのみを吸着させてトレイ内から取り出す作業を好適に行うことができるが、取り扱う球状体の直径が０．２ｍｍ以下になると、ゴムシャッターでは吸着ノズルに付着した余分な球状体をすり落とすことができなくなるといった不具合を生じる。また、トレイ内の球状体を撹拌するために吹き込むエアーにより、ゴムシャッターからはんだボールが溢れ出してしまうという不具合や、吸着ノズルをトレイ内に挿入した際にトレイ内のはんだボールが吸着ノズルにより押圧されて変形してしまう不具合を生じることが明らかになった。
近年においては、基板に取り付けるはんだボールの直径が０．２ｍｍ以下になることもあり、このような場合においては、特許文献１に記載されている球状体搭載装置では対応することができない場合が出てきた。
【０００４】
本発明は、直径が０．２ｍｍ以下の微小な球状体（はんだボール）であっても、収納トレイから確実に１つの球状体のみを取り出すことが可能な球状体搬送装置とこれを用いたはんだボール搭載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、球状体を収納するトレイと、前記トレイを上下方向に貫通して上下動自在に設けられ、当該トレイ内に収納された球状体を抽出する抽出ノズルと、前記抽出ノズルが抽出した球状体を吸着し、当該球状体を所定位置に搬送する搬送ノズルを具備し、前記抽出ノズルを前記トレイの下方から上昇させると共に、当該抽出ノズルの先端部に前記球状体を載置することにより、前記トレイ内の球状体を抽出した後、前記トレイの上方に位置する前記搬送ノズルに前記抽出した球状体を吸着させることを特徴とする球状体搬送装置である。
【０００６】
また、前記トレイに個別に上下動するように駆動される複数の抽出ノズルを設け、各々の抽出ノズルに個別に前記搬送ノズルを設けたことを特徴とする。これにより、短時間で多くの球状体を搬送することができる。
【０００７】
また、前記抽出ノズルの先端部は、凹面状に形成されていることを特徴とする。これにより、トレイ内の球状体が抽出ノズルに１つだけ抽出されやすくなる。
さらに、前記抽出ノズルの先端部は吸引手段に接続されていて、前記球状体を吸引可能に設けられていることを特徴とする。
さらにまた、前記トレイの内部空間には、前記ノズルの先端部以外に吸着した前記球状体を除去するエアブロー手段が設けられていることを特徴とする。これらにより、トレイ内の微小な球状体のうち、１つだけを抽出する動作の信頼性をさらに向上させることができる。
【０００８】
また、前記トレイの上面には、球状体検出手段が配設されていることを特徴とする。
さらに、前記球状体検出手段は、前記抽出ノズルの先端にスリットを設け、前記スリットの一端側に配設された信号出力手段と、前記スリットの他端側に配設された信号受信手段と、前記信号受信手段が前記信号出力手段からの信号を受信したか否かにより球状体の有無を判断する判断手段と、により構成されていることを特徴とする。これらにより、球状体抽出手段は、ほぼ確実にトレイ内の微小球状体を１つだけ抽出し、搬送装置に受け渡すことになり、非常に信頼性が高い装置とすることができる。
【０００９】
また、他の発明は、基板を支持するステージと、前記ステージをＸ−Ｙ方向に移動させる移動手段と、基板に搭載するはんだボールを搬送するはんだボール搬送装置と、前記移動手段と前記はんだボール搬送装置の動作を制御する動作制御手段とを具備するはんだボール搭載装置において、前記はんだボール搬送装置として以上に説明した球状体搬送装置のいずれかが単数又は複数用いられていることを特徴とするはんだボール搭載装置である。
【発明の効果】
【００１０】
以上の球状体搬送装置を用いれば、トレイ内に大量に収納されている微小な球状体の中から確実に１つの球状体を抽出することができる。
また、このような搬送装置を用いたはんだボール搭載装置によれば、微小なはんだボールを搭載しなければならない試作基板であっても、確実にはんだボールを搭載することができると共に、微小はんだボールのロスを大幅に減らすことができるので、試作基板を安価に提供することが可能になるため非常に有用である。
さらには、１つのトレイに対して複数の球状体搬送装置を配設することができるので、効率的な作業が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に、本発明に係るはんだボール搭載装置の好適な実施の形態について図面と共に詳細に説明する。
図１は、はんだボールの搭載装置の全体構成を示す斜視図である。本実施の形態のはんだボール搭載装置１０は、被加工品としての基板１２をエアにより吸着固定するステージ１４と、ステージ１４を支持すると共に、Ｘ−Ｙ方向に移動可能な移動手段としてのテーブル１６と、はんだボール１８を収納するトレイ２０と、トレイ２０から抽出されたはんだボール１８を吸着し、基板の所定位置まで搬送する搬送ノズル２２と、基板１２の配線パターンを撮影するためのカメラ２４と、カメラ２４により撮影された基板１２の配線パターンの画像データに基づいて、はんだボール１８を搭載する位置の設定を行う外部制御手段２６と、テーブル１６を手動で動かすためのダイヤル２８と、制御プログラムを格納する記憶手段と制御プログラムに基づいてはんだボール搭載装置１０の動作を制御する制御手段を内蔵する操作パネル３０を備えている。
【００１２】
ステージ１４は基板１２をエアにより吸引可能に設けられている。ステージ１４は、Ｘ−Ｙ方向に移動可能なテーブル１６に取り付けられている。これにより、基板１２とステージ１４は、テーブル１６の移動と共にＸ−Ｙ方向に移動可能になる。基板１２およびステージ１４を載置したテーブル１６は、操作用のダイヤル２８により詳細に位置の調整がなされる。また、ダイヤル２８の回転量に対するテーブル１６の移動距離の設定を調整可能な分解能切替スイッチ（図示せず）が配設されていればさらに好都合である。
【００１３】
はんだボール搬送装置について説明する。図２は本発明にかかるはんだボール搬送装置の主要構成部分の概略構成を示した説明図である。
はんだボール搬送装置３２は、はんだボール１８を収納するトレイ２０と、トレイ２０の内底部から上部外面までを上下方向に移動自在に設けられた抽出ノズル３４と、抽出ノズル３４に付着した余分なはんだボール１８を除去するためのエアブロー手段３６と、抽出ノズル３４によりトレイ２０から1つだけ抽出されたことを確認するための球状体検出手段であるレーザーセンサ３８と、トレイ２０から抽出ノズル３４により抽出されたはんだボール１８を吸着し、基板１２の所定位置まではんだボール１８を搬送する搬送ノズル２２とにより構成されている。
【００１４】
トレイ２０は、図２に示すように、上面にはんだボール１８ひとつ分の開口を有する上蓋２０ａを具備している。上蓋２０ａはトレイ２０に脱着自在に配設されている。トレイ２０の内底面はすり鉢状に形成され、すり鉢状に形成された底部に抽出ノズル３４が上下動自在に配設されている。トレイ２０の内部空間には、多数のはんだボール１８が収納されていて、抽出ノズル３４の先端部３４ａは初期状態において、はんだボール１８の中に埋もれた状態になっている。トレイ２０の内部空間の上方には、水平方向に空気または窒素ガスを吹き付けるエアブロー手段３６が配設されている。
【００１５】
図３は、抽出ノズルの先端部分の形状を示す説明図である。抽出ノズル３４は、ステンレススチール製の極細円筒体により形成されている。図３（ａ）に示すように、抽出ノズル３４は先細のテーパー状に形成されていて、太径部分の直径は約０．３ｍｍであり、先端部の直径は約０．１５ｍｍである。抽出ノズル３４は、図２に示すようにトレイ２０の内底面において外周面を摺り合わせで配設され、トレイ２０の上蓋２０ａの外面まで上下方向に往復自在に設けられている。
【００１６】
図３（ｂ）に示すように、抽出ノズル３４の先端部３４ａには、凹状部３４ｂが形成されている。凹状部３４ｂは、はんだボール１８の直径よりわずかに大きく形成されている。はんだボール１８が収納されているトレイ２０の内底面から抽出ノズル３４が上昇する際に、凹状部３４ｂにはんだボール１８がエア吸着され、トレイ２０からはんだボール１８を１つだけ抽出することができる。また、抽出ノズル３４の先端部３４ａには、抽出ノズル３４が抽出したはんだボール１８を検出する球状体検出手段であるレーザーセンサ３８から投射されるレーザー光を通過させるスリット３４ｃが径方向を横断するように形成されている。
【００１７】
抽出ノズル３４の太径部分３４ｄの端部は、ネジ加工がなされており、図示しない上下動装置に接続される。上下動装置としてはエアシリンダ等を用いることができる。抽出ノズル３４には抽出ノズル３４の中心部分を軸線方向に貫通する吸引孔３４ｅが形成されている。吸引孔３４ｅは、図示しない吸引手段に連通している。
なお、本実施の形態においては、凹状部３４ｂの直径が約０．０６ｍｍ、深さが約０．０３ｍｍであり、吸引孔３４ｅの直径は約０．０３ｍｍに形成されている。
【００１８】
搬送ノズル２２について説明する。図４は、搬送ノズルの先端部を示す正面図である。図５は、抽出ノズルと搬送ノズルにおけるはんだボールの受け渡し状態を示す正面図である。
搬送ノズル２２は、抽出ノズル３４がトレイ２０内部から抽出したはんだボール１８を吸着し、基板１２の所定位置にはんだボール１８を搭載するためのものである。搬送ノズル２２は、図４に示すように太径の円筒状に形成されていて、先端部２２ａには吸着口２２ｂが形成されている。他端部２２ｃはネジ加工がなされていて、当初位置から横方向および高さ方向に移動可能な移動手段と、吸着口２２ｂに連通し、はんだボール１８を吸引する吸引手段（共に図示せず）に接続されている。
【００１９】
搬送ノズル２２は、トレイ２０の上蓋２０ａの上面から突出した抽出ノズル３４の側方から抽出ノズル３４の先端部に吸引されたはんだボール１８に接近する。抽出ノズル３４に接近した搬送ノズル２２の吸着口２２ｂが、抽出ノズル３４からはんだボール１８を吸引する。はんだボール１８を吸着した搬送ノズル２２は、当初位置まで戻った後に降下し、操作ダイヤル２８により所定位置に移動させたテーブル１６上のステージ１４に吸着支持された基板１２のはんだボール１８の搭載位置に載置される。
【００２０】
カメラ２４は、ステージ１４に支持されている基板１２のはんだボール搭載パターンを撮影するためのものである。カメラ２４にはＣＣＤカメラ等に代表される小型カメラが主に用いられる。カメラ２４は、操作パネル３０に表示されるメニューに基づいて撮影箇所が適宜調整可能に設定されている。
カメラ２４によって撮影された基板１２のはんだボール搭載パターンの映像は、図１に示すようにケーブルＫを介して外部制御手段２６へ送信される。
【００２１】
外部制御手段２６について説明する。
外部制御手段２６は、はんだボール搭載装置１０の制御手段と連携する専用ソフトを組み込んだパソコンを用いることができる。はんだボール搭載装置１０と外部制御手段２６とはケーブルＫを介して電気的に接続されている。
外部制御手段２６は、はんだボール搭載装置１０のカメラ２４が撮影した基板１２へのはんだボール搭載パターンを画面上に表示し、ユーザが専用ソフトを介してはんだボール１８の搭載位置を適宜選択できるように設定されている。ユーザにより選択された基板１２へのはんだボール搭載パターンのデータは、はんだボール搭載装置１０に内蔵されている図示しない記憶手段に送信される。
【００２２】
レーザーセンサ３８について説明する。図６は、レーザーセンサの構成を示す平面図である。
本実施の形態におけるレーザーセンサ３８は、レーザー光線を出力する信号出力手段であるレーザー光線投射手段３８ａと、投射されたレーザー光線を受信する信号受信装置であるレーザー光線受信手段３８ｂと、レーザー光線投射手段３８ａとレーザー光線受信手段３８ｂからの信号有無を照合する信号照合手段３８ｃとにより構成されている。レーザー光線投射手段３８ａとレーザー光線受信手段３８ｂはトレイ２０からはみ出す抽出ノズル３４の先端部３４ａの高さ位置で、抽出ノズル３４を挟み込むようにして配設されている。
【００２３】
レーザー光線投射手段３８ａは、抽出ノズル３４の先端部３４ａに形成されたスリット３４ｃに向けて、スリット３４ｃの幅より幅狭に収束したレーザー光線を投射する。レーザー光線投射手段３８ａは、レーザー光線を投射した際にレーザー光投射信号を信号照合手段３８ｃに送信する。
スリット３４ｃの幅はレーザー光線の収束幅より広いので、抽出ノズル３４の先端部３４ａにはんだボール１８が吸着されていない場合には、抽出ノズル３４のスリット３４ｃを通過して、レーザー光線受信手段３８ｂに到達する。レーザー光線受信手段３８ｂがレーザー光線を受信すると、受信信号を信号照合手段３８ｃに送信する。信号照合手段３８ｃはレーザー光投射信号と受信信号とを照合させることにより、抽出ノズル３４にはんだボール１８が吸着されているか否かが判別できる。
【００２４】
次に本実施の形態にかかるはんだボール搭載装置１０を用いた基板１２へのはんだボール１８の搭載方法について説明する。
まず、ユーザが基板１２をステージ１４に載置する。ステージ１４は基板１２が載置されると図示しない吸着手段が作動して、基板１２を吸着支持する。ユーザは、操作ダイヤル２８によりテーブル１６をカメラ２４の位置まで移動させる。テーブル１６がカメラ２４の位置にセットされると、カメラ２４が基板１２のはんだボール搭載パターンを撮影する。撮影されたはんだボール１８の搭載パターンは外部制御手段２６に送信される。
【００２５】
基板１２におけるはんだボール１８の搭載パターン（以下、単に搭載パターンということがある）は、外部制御手段２６の制御手段（ＣＰＵ等の演算装置）により画像データに基づいて作成され、搭載パターンマップとして画面に表示されると共に、それぞれのはんだボール１８の搭載箇所をＸ−Ｙ座標で認識する。はんだボール１８の搭載箇所は、専用ソフトを用いてユーザが画面に表示された搭載パターンマップ上で取捨選択する。
ユーザにより専用ソフトで設定された、はんだボールを実際に搭載する搭載パターンは座標データと共にはんだボール搭載装置１０の制御手段に送信される。
【００２６】
はんだボール搭載装置１０に内蔵されている制御手段は、はんだボール１８の搭載パターンをＸ−Ｙ座標にて管理し、搭載パターン内におけるそれぞれの搭載位置のＸ−Ｙ座標に固有番号を付して、固有番号ごとのＸ−Ｙ座標に基づいてテーブル１６の移動を制御する半自動機とすることも可能である。
【００２７】
基板１２へのはんだボール１８の搭載パターンがはんだボール搭載装置１０の制御手段に認識されると、はんだボール１８の搭載位置に付された固有番号に応じてはんだボール搬送装置３２が作動する。図７は、トレイ内のはんだボールを抽出するようすを示す経過図である。
まず、図７（ａ）に示すように抽出ノズル３４がトレイ２０の内底面から上昇させ、抽出ノズル３４をはんだボールの山の中を通過させる。抽出ノズル３４の先端部３４ａははんだボール１８ひとつが収容される凹状部３４ｂが形成されていて、吸引口３４ｅからエアを吸引しているので、凹状部３４ｂにはひとつのはんだボール１８が収容される。はんだボール１８は直径が約０．０５ｍｍと非常に微小であるので、エアの吸引や静電気により抽出ノズル３４の先端部付近には、多数のはんだボール１８、１８・・・が付着している。
【００２８】
つづいて、図７（ｂ）に示すようにトレイ２０の内空間上方側の位置でエアブロー手段３６が抽出ノズル３４の先端部側方から空気または窒素ガスを吹き付けて、抽出ノズル３４に余分に吸着しているはんだボール１８を吹き飛ばし、ひとつのみのはんだボール１８が抽出ノズル３４に吸着させた状態にする。エアブロー手段３６により、凹状部３４ｂ以外の部分に吸着している余分なはんだボール１８を除去した抽出ノズル３４は、トレイの上蓋２０ａの上方位置まで上昇する。
【００２９】
図７（ｃ）に示すように、抽出ノズル３４が上蓋２０ａを通過すると、レーザーセンサ３８が作動する。レーザー光線投射手段３８ａがレーザー光受信手段３８ｂに向けてレーザー光線を投射する。抽出ノズル３４の先端部３４ａにはレーザー光線が通過できるようにスリット３４ｃが形成されているが、抽出ノズル３４の先端部３４ａがはんだボール１８を吸着していると、レーザー光線はレーザー光線受信手段３８ｂに到達しないことになる。レーザー光線投射手段３８ａは、レーザー光線を投射した信号を信号照合手段３８ｃに送信しているので、抽出ノズル３４の先端部３４ａのはんだボール１８の有無を判断することができる。
最初のレーザーセンサ３８においてはんだボール１８が無いと判断された場合には、抽出ノズル３４が初期状態まで下降したのち、再度はんだボール１８の山を通過し、エアブロー手段３６による吹き飛ばしを終えて再度レーザーセンサ３８ではんだボール１８の有無が確認される。
【００３０】
１回目のレーザーセンサ３８ではんだボール１８が確認されると、搬送ノズル２２が抽出ノズル３４の先端部側方から接近し、搬送ノズル２２の先端部が抽出ノズル３４の先端部に対向した位置で停止する。搬送ノズル２２の先端部は、停止時において、抽出ノズル３４の先端部に吸着されているはんだボール１８の上端部に当接はしないものの非常に近接した位置にあるのが好ましい。これにより、抽出ノズル３４の先端部に吸引されているはんだボール１８の上方にさらにはんだボール１８が乗っていたとしても、搬送ノズル２２が抽出ノズル３４の側方から移動してくることにより上側の余分なはんだボール１８をすり落とすことができる。
搬送ノズル２２が抽出ノズル３４に対向すると、抽出ノズル３４の吸引が停止して、搬送ノズル２２がはんだボールを吸引する。これにより、抽出ノズル３４からのはんだボール１８の受け渡しがなされる。はんだボール１８の受け渡しが完了すると搬送ノズル２２は初期位置に戻る。
【００３１】
搬送ノズル２２が元の位置に戻ると、レーザーセンサ３８が再度抽出ノズル３４の先端部のはんだボール１８の有無を確認する。はんだボール１８が無いと判断された場合、はんだボール１８は搬送ノズル２２に受け渡されたものと判断され、抽出ノズル３４が初期位置に戻り、搬送ノズル２２が初期位置から下降し、基板１２の搭載位置にはんだボール１８を搭載する。
搬送ノズル２２には、吸着口２２ｂからの空気の流れを計測して、搬送ノズル２２の先端部のはんだボール１８の有無を確認するためのする吸着センサ（図示せず）が取り付けられている。抽出ノズル３４からはんだボール１８の受け渡された後から基板１２の搭載位置にはんだボール１８を搭載するまでの間に、はんだボール１８の落下等を把握することができるので、確実に基板１２の搭載位置にはんだボール１８を搭載することができる。なお、基板１２の搭載位置に載置する前にはんだボール１８の吸着がなくなった場合には、再度、抽出ノズル３４からのはんだボール１８の受け渡し動作が行われる。
【００３２】
このように、本発明にかかるはんだボール搭載装置１０の構成を採用することにより、はんだボールの直径が０．０５ｍｍ程度の微小なものであっても、はんだボール１８を傷めることなく、トレイから１つだけのはんだボールを抽出することができると共に、基板１２の搭載位置に確実に載置することができる。
以上の動作を繰り返し行うことにより基板１２へのはんだボールの搭載位置全ての固有番号に対応するＸ−Ｙ座標にはんだボール１８を載置する。全ての固有番号にはんだボール１８を載置した後、カメラ２４により基板１２の搭載状態を確認し、設定通りにはんだボール１８が搭載されたことを確認してからステージ１４の基板１２の吸引を解除し、基板１２をステージ１４から取り外して、次の基板１２をステージ１４に吸引保持させて、先の基板１２と同様の方法によりはんだボール１８を搭載すれば良い。なお、先の基板１２と同じ搭載パターンである場合には、先の搭載パターンの情報をそのまま用いることもできるが、新たに搭載パターンを認識させるようにしてもよい。
【００３３】
以上、本発明の具体例としてはんだボールの搭載装置について詳細に説明してきたが、本発明ははんだボール搭載装置に限定されるわけではない。例えば、本発明にかかる球状体搬送装置は球状体として、金球、銅球、鉄球、アルミニウム球、プラスチック球等の球状体を被加工品の所定位置に載置する装置であっても本発明の対象になるのはもちろんである。
また、抽出ノズルは必ずしも吸引手段に接続されていなくてもよい。
さらに、以上の実施の形態においては、球状体搬送装置にひとつのトレイに対してひとつの抽出ノズルを適用しているが、ひとつのトレイに複数組の抽出ノズルと搬送ノズルを適用することもできる。また、はんだボール搭載装置にひとつの球状体搬送装置を用いているが、複数機の球状体搬送装置を採用することももちろん可能である。
【００３４】
さらにまた、以上の実施の形態においては、はんだボール搭載装置を半自動装置としているが、カメラ２４により撮影した画像を画面上に表示させながら、ユーザが操作ダイヤルを用いて手動により搭載箇所にはんだボールを載置するようにしても良い。これによれば、基板へのはんだボールの搭載位置を実際に確認しながら作業を行うことができるので、信頼性の高いはんだボールの搭載作業が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】はんだボールの搭載装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明にかかるはんだボール搬送装置の主要構成部分の概略構成を示した説明図である。
【図３】抽出ノズルの先端部分の形状を示す説明図である。
【図４】搬送ノズルの先端部を示す正面図である。
【図５】抽出ノズルと搬送ノズルにおけるはんだボールの受け渡し状態を示す正面図であ  る。
【図６】レーザーセンサの構成を示す平面図である。
【図７】トレイ内のはんだボールを抽出するようすを示す経過図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０  はんだボール搭載装置
１２  基板
１４  ステージ
１６  テーブル
２０  トレイ
２２  搬送ノズル
２４  カメラ
２６  外部制御手段
２８  操作ダイヤル
３２  ボール搬送装置
３４  抽出ノズル
３４ｂ  凹状部
３４ｃ  スリット
３４ｅ  吸引孔
３６  エアブロー手段
３８  レーザーセンサ
３８ａ  レーザー光線投射手段
３８ｂ  レーザー光線受信手段
【図１】
2005103577.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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