(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体装置にエアーギャップを形成する。【解決手段】コンタクトホールを有する第１誘電体材料１を水素化されたシリコンオキシカーバイド（ＳｉＣＯ：Ｈ）で形成する。酸化剤を含んだＵＶ／オゾン処理若しくは超臨界二酸化炭素などの酸化工程によりコンタクトホールの側壁に第１誘電体材料１より少ない炭素を含む変更された材料４に変換する。コンタクトホールにバリア層５及び銅６を形成する。その後、変更された材料４を、ＨＦを用いたエッチングにより除去し、変更された材料４が有った場所にエアーギャップを形成する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置の積層体にエアーギャップ（７）を形成するための方法であって、
上記積層体が、第１エッチング化合物に対して耐性を有する第１誘電体材料（１）と、上記第１誘電体材料（１）上の第２誘電体材料（２）とを有する方法において、
上記方法は、
第２エッチング化合物により、上記積層体に少なくとも１つのホールをエッチング形成する工程と、
少なくとも局所的に、上記第１誘電体材料（１）中の上記ホールの側壁を、化学的及び／又は機械的に誘電体材料（４）に変換して、上記誘電体材料（４）を上記第１エッチング化合物によりエッチング可能とする工程と、
上記ホールに電気伝導性材料を析出させる工程と、
上記変換された誘電体材料を露出するため、上記伝導性材料の過剰堆積部分を取り除く工程と、
上記変換された誘電体材料を取り除くため、上記第１エッチング化合物を上記の変換された誘電体材料（４）に接触させる工程とを含むことを特徴とするエアーギャップ作製方法。
【請求項２】
上記第２誘電体材料（２）は、上記第１エッチング化合物に対して耐性を有することを特徴とする請求項１記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項３】
上記積層体が、上記誘電体材料（２）の上面にハードマスク若しくは金属ハードマスクをさらに備えることを特徴とする請求項１記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項４】
上記誘電体材料（２）がハードマスク若しくは金属ハードマスクにより置き換えられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項５】
上記第１エッチング化合物が、フッ酸（ＨＦ）を含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項６】
上記の少なくとも１つのホールをエッチング形成する工程が、酸化プラズマにより行われることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項７】
上記の少なくとも１つのホールをエッチング形成する工程が、Ｎ２／Ｈ２含有プラズマにより行われることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項８】
上記酸化プラズマが、酸素を含有することを特徴とする請求項６記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項９】
上記酸化プラズマが、さらに過フッ化炭化水素化合物を含むことを特徴とする請求項６記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項１０】
上記第１誘電体材料（１）がＳｉＣＯ：Ｈ材料であることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のエアーギャップ製造方法。
【請求項１１】
上記第１誘電体材料（１）が、上記第２誘電体材料（２）より多孔性であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項１２】
上記伝導性材料が、金属、炭素ナノチューブ及び伝導性ポリマーからなる群から選択されることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項１３】
上記伝導性材料が銅であることを特徴とする請求項１２記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項１４】
上記の積層体中に少なくとも１つのホールをエッチング形成する工程と、上記変換工程とが同時に行われることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項１５】
上記変換工程が酸化剤雰囲気中で行われることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項１６】
上記変換工程は、酸化剤を添加してするＵＶ／オゾン処理、若しくは酸化剤を添加してするＳＣＣＯ２処理を含むことを特徴とする請求項１５記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項１７】
上記誘電体材料（４）が、１μｍ以下、５００ｎｍ以下、若しくは１００ｎｍ以下さらに５０ｎｍ以下の膜厚を有することを特徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載のエアーギャップ作製方法。
【請求項１８】
請求項１〜１７のいずれかに記載された方法に係るエアーギャップを備える半導体装置作製方法。
【請求項１９】
上記変換工程後にバリアー層を積層する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１８記載のエアーギャップを有する半導体装置の作製方法。
【請求項２０】
上記接触工程の後に、上記積層体上にキャップ層を積層させる工程をさらに含むことを特徴とする請求項１８又は１９に記載のエアーギャップを有する半導体装置の作製方法。
【請求項２１】
上記キャップ層がＳｉＣ層であることを特徴とする請求項２０記載のエアーギャップを有する半導体装置の作製方法。
【請求項２２】
請求項１７〜２１のいずれかに係る半導体装置作製方法により得ることができる装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体プロセスの分野に関連する。より詳細には、ミクロ及びナノ電気機械システム（ＭＥＭＳ、ＮＥＭＳ）の製造方法、及び配線のための低誘電率絶縁体の製造方法に関する。これは、半導体装置におけるエアーギャップ集積の分野の研究に貢献する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置においてエアーギャップを使用することは知られている。ＭＥＭＳ及びＮＥＭＳ装置において、一般的にキャビティ状のエアーギャップが配置されている。これらのエアーギャップは一般的に上記のような半導体装置の一部であり、機能的役割を果たす。
【０００３】
配線技術において、エアーギャップは非常に有望であると考えられている。この配線技術において、エアーギャップは配線を離間するための誘電体として使用される。ＩＣ技術がスケールダウンするにしたがって、配線は、伝搬遅延、ダイナミック電気消費、近接する金属ライン間のクロストーク降下により発生するシグナルエラーの観点から、最も重大な制限要素となってきている。アルミニウムから銅へと変更することにより、チップ上のワイヤ接続の抵抗が大きく減少する。本発明は、酸化シリコン（ｋ＝４．２）より低い誘電定数を有する材料を導入することにより、ライン間においてより良好な絶縁性を達成することを目的とする。ここで、この酸化シリコンは、キャパシタンス（Ｃ）を減少させる。低誘電率材料（ｋ＜３．０）を製造プロセスに導入することにより、リーク、機械的不安定性、ジュール加熱に関連する多くの問題が発生し、将来のＩＣプロセスの全コストが増加する。さらに、バリアー層及び中間層により、最終積層体の実効誘電率を増加させる。上記問題に鑑み、また空気が、利用可能な最良の絶縁体であることにより、近接する金属ライン間にエアーギャップを形成することに対して強いインセンティブが存在する。
【０００４】
電気的配線を絶縁するため空気を誘電体として使用し、ダイナミック電気消費及びシグナルエラー（例えばクロストーク）と同様ＲＣディレイが減少することが知られている。
【０００５】
この技術分野において、エアーキャビティを導入する様々な方法が知られている。例えば、
（ｉ）等方性エッチング（ＭＥＭＳに応用する）：これは、ＳｉＯ２犠牲層を溶解するためＨＦを使用することが含まれる。ここで、他の非反応性フィルム（例えばＳｉＣ）をエッチング停止材として使用する。その後、エッチングソースを非共形のＣＶＤ  ＳｉＯ２層によりシールする。
（ii）非等方性エッチング：これは、非等方性ドライエッチングにより材料を除去することが含まれる。このとき、専用のマスクを有すること、その後のドライエッチング及びストリップオペレーションをさらに行うことが必要である。その後、共形のＣＶＤ  ＳｉＯ２は、エアーギャップが形成されるラインの上面に積層され、共形ＣＶＤ  ＳｉＯ２に続いて非共形ＣＶＤ  ＳｉＯ２が積層される。
【０００６】
米国特許第６,２６８,２６１号において、エアーギャップを有する半導体回路を製造する方法が開示されている。このプロセスは、伝導性ライン間に固体状の充填物を有する複数の近接する伝導性ラインを作製する工程と、上記ライン及び充填物上に一以上の層を形成する工程と、層を通って充填物まで延びる一以上のパスウェイを形成する工程と、充填物を、上記パスウェイを通って逃げるガスに変換し、これにより近接するライン間に空気の間隙を形成する工程とを含む。このプロセスにより、伝導性ラインを含む多層半導体回路となる。この半導体回路において、ラインは、それらの間に誘電体である空気を有する。ここで、固体状の充填物を伝導性ライン間に積層させる必要がある。この充填物は、上に層を析出している間安定でなければならない。また、この層においてパスウェイを上方に予め設けることが必要である。そのため、これは、エキストラマスキング及びエッチング工程のような付加的な処理が必要となる。
【０００７】
米国特許第６,５９９,８１４号において、基板のシリコンカーバイド層、特にアモルファスＳｉＣを取り除くための方法が開示されている。最初、酸素含有プラズマをカーバイドシリコン層に接触させることにより、カーバイドシリコン層の照射部分が少なくとも部分的に変換される。その後酸化シリコン層を基板から取り除くことができる。
【特許文献１】米国特許第６,２６８,２６１号
【特許文献２】米国特許第６,５９９,８１４号
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
半導体装置において、離間されたライン又は配線を製造するための方法であって、
上記半導体装置は積層体を含み、
該積層体は、
第１誘電体材料からなる第１誘電体層と、
第２誘電体材料からなる第２誘電体層とを少なくとも有する方法を開示している。上記第２誘電体層は上記第１誘電体層上に位置する。上記第１誘電体層及び任意ではあるが上記第２誘電体層は、第１エッチング物質に対して耐性を有する。
【０００９】
より詳細には、半導体装置の積層体中にエアーギャップ（７）を形成する方法であって、上記積層体は、
第１エッチング化合物に対して耐性を有する第１誘電体材料と、
上記第１誘電体材料上の第２誘電体材料とからなる方法において、
上記方法は、
第２エッチング化合物により、上記積層体中に少なくとも１つのホールをエッチング形成する工程と、
少なくとも局所的に、上記第１誘電体材料中の上記ホールの側壁を、化学的及び／又は機械的に誘電体材料（４）に変換して、上記誘電体材料を上記第１エッチング化合物によりエッチング可能とする工程と、
上記ホールに電気伝導性材料を析出させる工程と、
上記変換された誘電体材料を露出するため、上記伝導性材料の過剰堆積部分を取り除く工程と、
上記変換された誘電体材料を取り除くため、上記第１エッチング化合物を上記の変換された誘電体材料に接触させる工程とを含むことを特徴とする方法を開示している。
【００１０】
上記第１誘電体材料は、（水素化）シリコンオキシカーバイド（ＳｉＣＯ：Ｈ）材料であることが好ましい。また、上記第１誘電体材料は、上記第２誘電体材料より多孔性であることが好ましい。
【００１１】
上記方法は、上記積層体に少なくとも１つのホールをエッチング形成し、局所的に上記第１誘電体層の特性を化学的及び／又は機械的に変換する工程を含み、それにより上記第１誘電体層のホールの一部が局所的に変換され、上記第１エッチング物質によりエッチング可能とする。
【００１２】
この第１誘電体層における変換では、上記材料から炭素を減少させ、少なくとも部分的に若しくは全体的に炭素が減少した誘電体材料が、上記第１誘電体層中に少なくとも局所的に生成される。
【００１３】
第１誘電体層のホールのエッチング形成は非等方的であり、エッチングプラズマは酸化プラズマであることが好ましい。
【００１４】
この酸化プラズマは酸素含有プラズマ若しくはＮ２／Ｈ２含有プラズマである。さらに、エッチングプラズマは、過フッ化炭化水素化合物を含む。酸化プラズマを使用して、第１誘電体材料を変換する工程は、第１誘電体材料におけるホールのエッチング形成工程と同時であってもよい。
【００１５】
酸化剤雰囲気において第１誘電体材料中にホールをエッチング形成する工程の後、第１誘電体の変換を行ってもよい。このとき、この変換工程には、酸化剤の添加とともにするＵＶ／オゾン処理、若しくは酸化剤の添加とともにするＳＣＣＯ２処理が含まれる。
【００１６】
不活性ガス中でイオン照射により第１誘電体材料を変換してもよい。この処理により、この第１誘電体材料中の炭素が減少する。この変換は機械的変換と考えられる。これは、酸化のような化学反応が付随的に含まれていないからである。
【００１７】
上記の変換された誘電体材料は、１μｍ以下、より好ましくは５００ｎｍ以下、最も好ましくは１００ｎｍ以下の膜厚を有する。
【００１８】
このホールに電気伝導性材料の層、及び任意ではあるがバリアー層を積層させた後、積層体に除去技術を適用して、これにより上記積層体の表面において、変換された誘電体材料を露出し、少なくとも１つの伝導性材料ラインを形成する。
【００１９】
その後、この積層体を第１エッチング物質にさらし、これにより、エアーギャップが上記ラインの近傍に形成される。この第１エッチング物質は、ＨＦを含んでいることが好ましく、ＨＦを含む水溶液中にこの構造体を浸漬することによりエッチングを行うことがさらに好ましい。水溶性ＨＦ溶液は、５％以下、より好ましくは２％以下、最も好ましくは１％辺りのＨＦを含有する。
【００２０】
また、半導体装置にエアーギャップを形成する方法であって、積層体が、第１誘電体材料からなる第１誘電体層を含み、第２誘電体材料がさらに上記積層体上にハードマスク若しくは金属ハードマスクを含むことを特徴とする方法を開示している。
【００２１】
ハードマスク層の具体例は、ＳｉＯ２、ＳｉＣ、ＳｉＮ及びＳｉＣ（Ｎ）である。ＳｉＯＣ、ＭＳＱ、及びＨＳＱ材料をハードマスク層として使用してもよいが、これらの材料は、上記積層体中におけるハードマスク層の下にある誘電体層より高い密度を有していなければならない。
【００２２】
金属ハードマスク層の具体例は、ＴａＮ、ＴｉＮ、ＷＣＮ、ＷＮ等である。
【００２３】
任意ではあるが、上記積層体中に第２誘電体層がなく、ハードマスク若しくは金属ハードマスクを上記第１誘電体層の上面に配置してもよい。
【００２４】
上記積層体中のホールに形成された伝導性ラインは、水平ライン（「トレンチ」と称する）若しくは垂直構造体（「ビア」と称する）であってもよい。ビア及びトレンチは、半導体装置の後工程（ＢＥＯＬ）において形成されたデュアルダマシン構造の一部であることが好ましい。好ましい実施の形態において、エアーギャップを、デュアルダマシン構造体中に形成することが好ましい。さらに、エアーギャップを上記構造体のビア若しくはトレンチの近くに配置することがさらに好ましい。また、エアーギャップをトレンチの近くに配置することが最も好ましい。
【００２５】
好ましい実施の形態では、第１誘電体材料を２つの近接する伝導性ライン間から完全に取り除いている。
【００２６】
この伝導性材料は、金属、カーボンアノテイト、伝導性ポリマーの群から選択されることが好ましい。伝導性材料は、例えばＣｕ、Ａｕ若しくはＡｇである。
【００２７】
全ての図面は、本発明の概要及び実施の形態を例示することを意図している。明確にするため、装置を簡略した方法で図示している。全ての変更例及びオプションを示しているわけではなく、それゆえ所定の図面の内容に限定されるものではない。同一の番号は、異なる図面における同一のパーツを参照するのに用いられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次の記載及び具体例は、本発明の好ましい実施の形態を詳細に例示したものである。
【００２９】
半導体装置の積層体にエアーギャップ（７）を形成するための方法であって、
上記積層体は、第１エッチング化合物に対して耐性を有する第１誘電体材料と、上記第１誘電体材料上に第２誘電体材料とを含む方法において、
上記方法は、
第２エッチング化合物で、上記積層体に少なくとも１つのホールをエッチング形成する工程と、
少なくとも局所的に、上記第１誘電体材料（１）中の上記ホールの側壁を、化学的及び／又は機械的に誘電体材料（４）に変換して、上記誘電体材料（４）を上記第１エッチング化合物によりエッチング可能とする工程と、
上記ホール内に電気伝導性材料を析出させる工程と、
上記変換された誘電体材料を露出するために、上記伝導性材料の過剰堆積部分を取り除く工程と、
上記変換された誘電体材料を取り除くため、上記第１エッチング化合物を、上記変換された誘電体材料に接触させる工程とを備えることを特徴とする方法を開示している。
【００３０】
より詳細には、半導体装置においてエアーギャップを作製するための方法を開示している。図１に示すように、例えば、プラズマ気相成長法（ＰＥＣＶＤ）、化学的気相成長法（ＣＶＤ）、スピンオン成長法などの方法により、最初誘電体材料（１）をＳｉ基板若しくは他の適切な基板（不図示）上に積層させる。例えば材料（１）に関して記載されたあらゆる方法により、他の誘電体材料（２）を誘電体材料（１）上に積層させる。
【００３１】
誘電体材料（２）の機能は、プラズマ変換から誘電体（１）の領域を保護することである。このプラズマ変換に関してさらに詳細に記載している（図３ａ及びｂ参照）。
【００３２】
材料（１）の具体例としては、有機シリコンガラス（ＯＳＧ）が挙げられる。これは、一般的にＳｉＯＣ：Ｈ材料、水素化シリコンオキシカーバイド若しくは炭素ドープ酸化物（より高い多孔性を有する誘導体を含む）と称されている。材料（１）の他の具体例には、メチル含有ポリシロキサン（ＭＳＱ）の類が含まれる。上記材料（１）は、炭素でドープされたＳｉの骨格（backbone）により特徴付けられる。これらの具体的なものは、ブラックダイアモンド（ＢＤと称される）、コーラル（Coral）若しくはオーロラ（Aurora）等の市販されている材料である。
【００３３】
材料（２）の好ましい具体例は、ＳｉＯ２、ＳｉＣ若しくはＳｉＣＮである。
【００３４】
材料（１）及び材料（２）は、同様のタイプの材料であってもよい。この場合、これらは異なる気孔率を有する必要がある。両方の材料（１）及び（２）がＳｉＣＯ：Ｈのような材料である場合、材料（２）の気孔率が低いことが必要である。これにより、プラズマ変換が殆ど起こらず、そして材料（２）が材料（１）の領域を保護する。より低い気孔率のＳｉＣＯ：Ｈ材料は、Ｏ２含有プラズマにより材料の変換を受けやすい。より高い気孔率を有するＳｉＣＯ：Ｈ材料は、より多くの炭素を含み、より多くの炭素は、Ｏ２含有プラズマの中で取り除かれるだろう。
【００３５】
誘電体材料（２）の代替材料として、（金属）ハードマスクを使用してもよい。または誘電体材料（２）の上面で（金属）ハードマスクを使用して、非等方性エッチングのためのハードマスクとして用いてもよい。金属ハードマスクとは、金属を含むハードマスクである。これらの金属ハードマスクの具体例として、ＴａＮ、ＴｉＮ等がある。
【００３６】
図２に示すように、エッチングプラズマを使用して、誘電性積層体にレジストパターン（ここでは不図示）を写し取ることにより、誘電性の積層体にホール（３）をエッチング形成する。その後、ドライアッシュプラズマとウェットストリップのコンビネーションにより、残ったレジスト及びポリマー（ここでは不図示）を取り除く。（金属）ハードマスク及び／又は誘電体材料（２）は、誘電体（１）の領域を保護する。その領域において、誘電体（１）が変換されないようにするためである。
【００３７】
エッチングプラズマ及び／又はアッシュプラズマにより、誘電体（１）を局所的に変換して、変更された誘電体（４）とする（図３ａ及びｂ）。これは、プロセスの後の工程において、エッチング溶媒により誘電体（１）よりも速く取り除かれる。しかし、誘電体（１）を（４）に変換することは、この工程において欠くことのできないものではない。
【００３８】
誘電体材料を、変更された誘電体材料（４）に変換することは、ＳｉＣＯ：Ｈ材料の酸化により行われる。酸化により、この材料（おそらく二酸化炭素）から炭素を取り除く。
【００３９】
プラズマ処理、若しくは例えばＵＶ−オゾン、超臨界二酸化炭素（ＳＣＣＯ２）のような他の処理若しくは上述の処理方法のコンビネーションにより、ホール内の誘電体（１）の側壁を誘電体（４）に変換する（図３ａ及びｂ）。ここで、プラズマ処理は、誘電体材料中にホールをエッチング形成するため使用されるプラズマと実質的に同一である必要はない。この処理により誘電体（１）と比較して、変換された誘電体（４）中の炭素濃度が減少することとなる。
【００４０】
この誘電体材料（４）は、炭素量が減少したＳｉＣＯ：Ｈ材料である。誘電体材料（１）を誘電体材料（４）に変換する程度は、ＳｉＣＯ：Ｈ材料（１）のタイプ、より詳細には誘電体材料（１）の気孔率及び炭素含有量に依存する。ＳｉＣＯ：Ｈ材料から炭素を完全に取り除く場合、それらは、ＳｉＯＸ材料と言われる。ＳｉＯＸフィルムは、Ｓｉ（シリコン）及びＯ（酸素）を含有するフィルムに対応する。ここで、このフィルムにおいて両元素が化学量論的に関連していない。フィルムのこの部分は一般的により多くの欠陥を有し、ＳｉＯ２のものと比較するとあまりクロスリンクされていない。ＳｉＯＸ材料はクロスリンクされていないので、ＨＦエッチング（除去プロセス）をより受けやすい。
【００４１】
誘電体材料（１）を、変換された誘電体材料（４）に変換することを、誘電体材料（１）をドライエッチングする間及び／又は酸化プラズマを使用してアッシングする間に、その場で（同時に）実行してもよい。
【００４２】
誘電体材料（１）を、変換された誘電体材料（４）に変換することを、誘電体材料（１）にホールを形成するためのドライエッチングプロセスの間にその場で実行してもよい。
【００４３】
誘電体材料（１）のドライエッチングの後、誘電体材料（１）に対する付加的処理（酸化処理）、即ち酸化剤を添加すると共に、ＵＶ−オゾン処理、超臨界二酸化炭素（ＳＣＣＯ２）、若しくは誘電体（１）を酸化するのに応用することができる他のいくつかの酸化処理を実行することにより、誘電体材料（１）を、変換された誘電体材料（４）に変換することを、その場以外で実行してもよい。
【００４４】
誘電体材料（１）の横方向への変換を、プラズマ、若しくは他の変換プロセス及びＳｉＯＣ：Ｈ材料の気孔率により制御する。２つ若しくはそれ以上の近接するトレンチ間において誘電体（１）を全体的に変換してもよいし（３ｂ）、又は部分的に変換してもよい（３ａ）。
【００４５】
その後、ホールの側壁及び上記領域がバリアー層（５）により囲まれる（図４ａ及びｂ）。このバリアー層（５）を、物理的気相成長法（ＰＶＤ）、化学的気相成長法（ＣＶＤ）、有機金属化学的気相成長法（ＭＯＣＶＤ）、原子層成長法（ＡＬＤ）及び関連する方法により成長させてもよい。バリアー層の一般的な具体例は、ＴａＮ、Ｔａ、ＴｉＮ、Ｔｉ、ＷＮ、ＷＣＮ等である。このバリアー層を拡散バリアーとして機能させてもよい。
【００４６】
その後、このホールを伝導性材料例えば銅（６）により充填する。可能性として挙げられる他の材料は、例えばあらゆる金属、カーボンナノチューブ及び伝導性ポリマーである。
【００４７】
伝導性材料の過剰堆積部分、例えばＣｕの過剰堆積部分及び上記領域上のバリアー層の過剰堆積部分を除去技術により取り除く（図５ａ及びｂ）。それでも、バリアー層（５）とＣｕ（６）はホールの適切な位置に配置されたままである。
【００４８】
除去技術の具体例として、化学的機械的研磨法（ＣＭＰ）、電解研磨、エッチング若しくは上記技術のあらゆるコンビネーションが挙げられる。図５に示すように除去技術により誘電体（２）を取り除いてもよい。
【００４９】
その後、図６ａ及びｂに示すように、変換された誘電体材料（４）を、エッチング溶媒により、変換されていない誘電体（１）より速く取り除くことができる。変換された誘電体材料の除去を、ＨＦ（フッ酸）処理することにより行う。上記ＨＦ処理を、上記誘電体材料（４）をＨＦ蒸気に曝すことにより、若しくは液体のＨＦ溶液（メタノールのような添加物を含んでいても良いし含んでいなくてもよいが、様々なＨＦ濃度を有する。）に浸漬することにより、若しくはＨＦ等を添加すると共に、超臨界ＣＯ２（ＳＣＣＯ２）雰囲気に曝すことにより行ってもよい。
【００５０】
より小さな配線形状（より小さいインターラインスペーシング）において、誘電体材料（４）が完全に取り除かれ、このエアーギャップは、２つの近接するライン間の幅に亘って完全に拡がる（図６ｂ）。
【００５１】
局所的に第１誘電体層を化学的及び／又は機械的に変換する工程の期間は、第１エッチング物質をさらす工程の期間と比較してより重要である。ここで、局所的に第１誘電体層の特性を化学的及び／又は機械的に変更する工程は、第１エッチング物質をさらすエッチング工程によりどの領域がエッチングされるかを決定する。
【００５２】
近接する伝導性ライン間の距離は、積層体における隣接するホールを形成することに関連する一般的な技術の限界により決定される。一般的に、金属ラインは約１００ｎｍ離間されている。本発明は、スケールにより影響を受けず、伝導性ライン間の距離は限定されていない。これは、局所的にライナー層の特性を化学的及び／又は機械的に変更する工程をナノメートル若しくはこれ以下のスケールに適用することができるからである。
【００５３】
近接する伝導性ライン間の距離が１００ｎｍより小さい場合、中間誘電体材料を全て取り除き、それらの間にエアーギャップを残すことが好ましい。これは、図３ｂ、４ｂ、５ｂ及び６ｂに示されている。
【００５４】
１００ｎｍより大きい距離では、このライン間に存在する誘電体材料を残すことが好ましい。この誘電体が存在することにより、本発明により作製されたエアーギャップ構造体上にさらに別の層を積層させるための機械的サポートを得ることができる。
【００５５】
好ましい実施の形態では、本発明に係る方法が繰り返し行ってもよい。即ち、エアーギャップ構造体上に新たな層を形成し、その上で、本発明に係る方法を繰り返し行ってもよい。図１３に示されるようなデュアルダマシン（ＤＤ）配線構造において、エアーギャップ（７）をビア（図１３（ｃ）に示す）の近く、トレンチ（図１３（ｂ）に示す）の近く、若しくは両方（図１３（ａ）に示す）の近くの誘電体材料に形成してもよい。トレンチ近くにエアーギャップを形成し、ビア構造体近くではオリジナルの誘電体材料（１）を残すことが最も好ましい。ビア構造の近くにオリジナル誘電体材料（１）を残すことにより、デュアルダマシン構造に、より機械的なサポートを与えることができる。
【実施例１】
【００５６】
実施例１：エアーギャップを形成するためのプロセスフローの簡略的な記載
標準的なプロセス工程を使用して、誘電体（１）として超低誘電率材料（ＵＬＫ）を、また誘電体（２）としてＳｉＯ２を積層させることにより図１０に示した構造を作製した。標準的なレジスト及び標準的な１９３ｎｍ光学リソグラフィーによりレジストパターンを作製した。ホールを形成するために、標準的なプラズマエッチング系を使用して、レジストパターンを誘電性積層体に写し取る。プラズマは、アルゴン、酸素、及び過フッ化炭化水素分子を含む。酸素及び過フッ化炭化水素分子を使用して、標準的なアッシュ系のプラズマにより灰化される。ホール内に及び当該領域上にＴａＮ／Ｔａバリアー層（５）及び銅（６）を積層し、その後標準的な系により当該領域上を取り除いた。その後、変換された誘電体を、希釈されたフッ酸により取り除いた。この希釈されたフッ酸により、ワイヤに近接するエアーギャップ（７）を作製する。
【実施例２】
【００５７】
実施例２：エアーギャップ形成の詳細なプロセスフロー
全プロセスを図７に示す。最初に、５０／２００／５０／２７５／１３ｎｍのＳｉ３Ｎ４／ＳｉＯ２／ＳｉＣ／ＳｉＯＣ：Ｈ／ＳｉＯ２からなるスタックを、プラズマ気相成長法（ＰＥ−ＣＶＤ）により、Ｓｉ（１００）ウエハ上に形成した。１９３ｎｍの波長の光学リソグラフィーによりパターニングを行った。低圧においてはＣＦ４／ＣＨ２Ｆ２／Ａｒ／Ｏ２プラズマを、高圧においてはＯ２／ＣＦ４プラズマをそれぞれ使用して、Lam Exelan2300TMチャンバー内で、ドライエッチ及びレジスト灰化を行った。ドライエッチング及びレジスト灰化の両プロセスを注意深く制御して、ＳｉＯＣ：Ｈトレンチの側壁において、欠陥のあるＳｉＯＸフィルムとした（図７（ａ））。その後、１５／１０ｎｍＴａＴａ（Ｎ）の拡散層及び１００ｎｍのＣｕシード層を、イオン化物理的気相成長法（ｉ−ＣＶＤ）により形成した。図７（ｂ）に示すように、銅電解メッキによりトレンチを充填し、化学的機械的研磨法（ＣＭＰ）により、溢れた金属を取り除いた。ＳｉＯＣ：Ｈと対比して、ＨＦは選択的にＳｉＯＸを溶解する。これにより、図７（ｃ）に示すように、側壁にエアーギャップが形成される。ＨＦの浸漬時間を制御して、ＳｉＣＯ：Ｈ層、Ｔａ／Ｔａ（Ｎ）拡散バリアー層及び銅伝導体への攻撃が最小となるようにＳｉＯＸ層を取り除く。その後、図７（ｄ）に示すように、５０／３３０／５００ｎｍＳｉＣ／ＳｉＯ２／Ｓｉ３Ｎ４不動態層を上面に積層させた。
【実施例３】
【００５８】
実施例３：電気的特徴
エアーギャップを有するか若しくは有さないプロセスサンプル（エアーギャップの形成に関しては上記具体例に記載されている）をウエハレベルで完全な電気的評価を行った。ウエハＤ０７、Ｄ０９、Ｄ１０、Ｄ１１、Ｄ１８、Ｄ１９、Ｄ２０、Ｄ２１、Ｄ２２及びＤ２３を加工してエアーギャップを形成した。全てのサンプルは、様々な配線形状及び様々なインターラインスペーシングを有する構造から構成される。より詳細に言えば、ウエハ上の様々な構造体間のインターラインスペーシングは、０．１５ｎｍ、０．２０ｎｍ、若しくは０．２５ｎｍのいずれかであった。ウエハＤ１０を除いて、加工処理後、ウエハの全ての構造体上に不動態層を積層させた。ウエハＤ０８は、エアーギャップが形成されておらず、参照サンプルとして用いた。様々なウエハの主な特徴を表１に示した。
表１  加工処理されたサンプルの特徴
【表１】
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【００５９】
表２は、エアーギャップを有する不動態化サンプルに対するＲＣディレイのデータを示している。表３は、エアーギャップを有するサンプル及び有さないサンプルのＲＣディレイのデータを示している。図８に示すように、ＲＣディレイの大幅な落ち込みが、インターラインスペーシングに依存することに注意することが重要である。これは、エアーギャップの大きさが、それぞれのピッチに対して一定であり、表４及び図９によりサポートされているように、配線形状がより狭くなれば、キャパシタンス降下がより大きくなるからである。
表２：エアーギャップを有するウエハに対する平均ＲＣディレイ
【表２】
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表３：エアーギャップを有するウエハと有さないウエハに対する平均ＲＣディレイ
【表３】
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*：４４個のダイスのデータの平均（１つのウエハ）
**：３５２個のダイスのデータの平均（８つのウエハ）
表４：エアーギャップを有するウエハと有さないウエハに対する平均ＲＣディレイ
【表４】
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*：４４個のダイスのデータの平均（１つのウエハ）
**：３５２個のダイスのデータの平均（８つのウエハ）
【実施例４】
【００６０】
実施例４：エアーギャップを有する処理されたサンプルのＳＥＭ観察
図１０は、Ｌ／Ｓのインターラインスペーシングが１５０／１５０ｎｍ、２００／２００ｎｍ及び２５０／２５０ｎｍの、Ｃｕ／ＳｉＯＣ：Ｈ／エアーギャップ／不動態構造の断面ＳＥＭ図である。いくつかのイメージを分析した結果、エアーギャップの大きさは２５〜３５ｎｍの厚さ、約２７５ｎｍの高さを有する。これらの大きさは、不動態化されていないエアーギャップ構造より小さい。このエアーギャップ構造は、不動態層の成長が、エアーキャビティを貫通しないことを意味する。一般的に、エアーギャップの幅は、ＳｉＣＯ：Ｈの酸化後のＳｉＯＸフィルムの厚さに対応する。ＲＩＥ（エッチング）プロセスの間これを調整してもよい。このＲＩＥ（エッチング）プロセスは、誘電体材料にホールをエッチング形成する為に使用される。上記具体例は、本発明に係るいくつかの方法及び材料を開示している。本発明に係る製造方法及び製造装置を容易に修正することができ、この製造方法と材料を容易に変更することができる。そのような修正は、当業者であれば、本明細書に記載された発明の開示及び実施例を考察することにより、明らかである。従って、本発明は、本明細書に記載された特定の実施の形態及び実施例に限定することを意図するものではなく、添付の特許請求の範囲に具体化された発明の真の技術的範囲及び思想から想到するあらゆる修正及び変更をカバーする。全てのパテント、応用例及び本発明に引用された他の引用文献を全体的に引用して援用する。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】図１は、本発明に係る方法の様々な処理工程を示している。
【図２】図２は、本発明に係る方法の様々な処理工程を示している。
【図３】図３は、本発明に係る方法の様々な処理工程を示している。図３ａは、近接するＣｕライン間にエアーギャップが部分的に形成されたものを示している。図３ｂは、近接するＣｕライン間の全ての誘電体材料を完全に取り除き、近接するＣｕライン間にエアーギャップだけが配置されたものを示している。近接する２つのＣｕラインが互いに近い（例えば５０ｎｍ）場合、誘電体材料を完全に取り除くことが可能である。
【図４】図４は、本発明に係る方法の様々な処理工程を示している。図４ａは、近接するＣｕライン間にエアーギャップが部分的に形成されたものを示している。図４ｂは、近接するＣｕライン間の全ての誘電体材料を完全に取り除き、近接するＣｕライン間にエアーギャップだけが配置されたものを示している。近接する２つのＣｕラインが互いに近い（例えば５０ｎｍ）場合、誘電体材料を完全に取り除くことが可能である。
【図５】図５は、本発明に係る方法の様々な処理工程を示している。図５ａは、近接するＣｕライン間にエアーギャップが部分的に形成されたものを示している。図５ｂは、近接するＣｕライン間の全ての誘電体材料を完全に取り除き、近接するＣｕライン間にエアーギャップだけが配置されたものを示している。近接する２つのＣｕラインが互いに近い（例えば５０ｎｍ）場合、誘電体材料を完全に取り除くことが可能である。
【図６】図６は、本発明に係る方法の様々な処理工程を示している。図６ａは、近接するＣｕライン間にエアーギャップが部分的に形成されたものを示している。図６ｂは、近接するＣｕライン間の全ての誘電体材料を完全に取り除き、近接するＣｕライン間にエアーギャップだけが配置されたものを示している。近接する２つのＣｕラインが互いに近い（例えば５０ｎｍ）場合、誘電体材料を完全に取り除くことが可能である。
【図７】図７は、実施例を例示するための付加的プロセスフローを示す。
【図８】図８は、エアーギャップがあるウエハと無いウエハのピッチサイズに対する、平均ＲＣディレイを示している。バーは、各ピッチに対するＲＣディレイの降下を表している。
【図９】図９は、エアーギャップがあるウエハと無いウエハの平均キャパシタンスのデータを示している。バーは、各ピッチに対するそれぞれの降下を示している。
【図１０】図１０は、Ｌ／Ｓのインターラインスペーシングが（ａ）１５０／１５０ｎｍ、（ｂ）２００／２００ｎｍそして（ｃ）２５０／２５０ｎｍであるＣｕ／低誘電率物質／エアーギャップ／不動態構造の断面ＳＥＭイメージを示している。
【図１１】図１１は、エアーギャップが１５ｎｍの大きさを有し、さらにＳｉＣキャップ層（不動態層）を備えることを特徴とするＣｕ／低誘電率物質／エアーギャップ／不動態構造の断面ＳＥＭイメージを示している。一般的に、エアーギャップの幅は、ＳｉＣＯ：Ｈの酸化後のＳｉＯＸフィルムの膜厚に対応する。これは、誘電体材料にホールをエッチング形成するために使用されるＲＩＥ（エッチング）プロセスの間調整される。
【図１２】図１２は、Ｃｕラインに近接する部分的エアーギャップ及びＣｕライン間に形成された完全エアーギャップを有する低誘電率材料のｋ値を空気のｋ値と比較して示したものである。
【図１３】図１３は、デュアルダマシン（ＤＤ）配線構造を示している。図１３（ｃ）に示すようにビアの近く、図１３（ｂ）に示すようにトレンチの近く、若しくは図１３（ａ）に示すようにビア及びトレンチの近くの誘電体材料（１）内にエアーギャップ（７）を形成することができる。トレンチの近くにエアーギャップを形成し、ビア構造の近くにオリジナルの誘電体材料（１）を残すことが好ましい。ビア構造の近くにオリジナルの誘電体材料（１）を残すことにより、デュアルダマシン構造に対して、より機械的なサポートを与えることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【外国語明細書】
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