(57)【要約】    【課題】  コンデンサ素子と圧電共振素子とが積層されている構造を有する負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法であって、発振周波数を高精度に設定することができ、かつ安価に製造することを可能とする方法を提供する。    【解決手段】  矩形板状の誘電体基板３を用いて構成されている板状のコンデンサ素子１と、細長い矩形板状の圧電基板７及び第１，第２の振動電極８，９を有する板状のエネルギー閉じ込め型の圧電素子２とを用意し、コンデンサ素子１の幅方向寸法が圧電素子２の幅方向寸法と同等もしくは該圧電素子２の幅方向寸法よりも小さくされており、コンデンサ素子１上に導電性接着剤１０，１１を用いて圧電素子２を接合した後に、圧電素子２の上面側からイオンビームを照射して周波数を調整する、負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法。【選択図】      図１
2005210404.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長さ方向と幅方向とを有する矩形板状の誘電体基板と、誘電体基板の上面に形成された第１の容量電極と、誘電体基板の下面に形成された第２の容量電極とを有し、第１，第２の容量電極が誘電体基板を介して対向されている板状のコンデンサ素子と、
前記誘電体基板と幅方向寸法が同等または誘電体基板よりも幅方向寸法が大きい圧電基板と、圧電基板の上面に形成された第１の振動電極と、圧電基板の下面に形成されており、第１の振動電極と対向するように配置された第２の振動電極とを有する矩形板状の圧電素子とを用意する工程と、
前記コンデンサ素子上に、導電性接着剤を用いて前記圧電素子を接合し、負荷容量内蔵型圧電発振子を得る工程と、
前記負荷容量内蔵型圧電発振子の上面からエネルギー線を照射し、前記第１の振動電極の厚みを薄くするようにして周波数調整を行う工程とを備えることを特徴とする、負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法。
【請求項２】
マザーの誘電体基板と、マザーの誘電体基板の上面に形成された複数の第１の容量電極と、マザーの誘電体基板の下面に形成された複数の第２の容量電極とを有するマザーの板状のコンデンサ素子と、マザーの圧電基板と、該マザーの圧電基板の上面に形成された複数の第１の振動電極と、マザーの圧電基板の下面に形成された複数の第２の振動電極とを有するマザーの板状の圧電素子とを用意する工程と、
前記マザーの板状コンデンサ素子上に、前記マザーの板状の圧電素子を導電性接着剤を用いて接着し、マザーの積層体を得る工程と、
前記マザーの積層体を厚み方向に切断し、コンデンサ素子上に板状の圧電素子が積層されている構造を有する個々の負荷容量内蔵型型圧電発振子を得る工程と、
前記負荷容量内蔵型圧電発振子の上方からエネルギー線を照射し、圧電素子の上面の第１の振動電極の厚みを薄くするようにして周波数調整を行う工程とを備える、負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法。
【請求項３】
前記負荷容量内蔵型圧電発振子を平面視した場合に、前記導電性接着剤による接合部分が、前記第１，第２の振動電極が圧電基板を介し対向している振動部外の領域に配置されている、請求項１または２に記載の負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法。
【請求項４】
前記板状の圧電素子が、細長い矩形板状の圧電基板を用いて構成されており、該圧電基板の長さ方向中央において、第１の振動電極と第２の振動電極とが圧電基板を介して対向されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法。
【請求項５】
前記圧電基板が長さ方向に分極されており、前記圧電素子が、厚み滑りモードを利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振素子である、請求項４に記載の負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法。
【請求項６】
前記コンデンサ素子において誘電体基板の上面に設けられた容量電極が、一対の第１の容量電極であり、前記誘電体基板の下面に形成された第２の容量電極が、一対の第１の容量電極と誘電体基板を介して部分的に対向されており、それによって３端子型のコンデンサ素子が構成されており、前記導電性接着剤により、前記一対の第１の容量電極が、前記第１，第２の振動電極にそれぞれ電気的に接続されるとともに、前記コンデンサ素子上に前記圧電素子が物理的に固定されている、請求項４に記載の負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法。
【請求項７】
前記エネルギー線が、イオンビームまたはレーザー光である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンデンサ素子と圧電素子とが積層された構造を有する負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法に関し、より詳細には、コンデンサ素子上に、板状の圧電素子が積層されており、所望とする発振周波数を有するように周波数調整が行われる工程を備えた負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電体を介して対向するように電極が形成されている圧電素子が種々提案されている。この種の圧電素子は、発振子などに用いられるため、周波数が高精度に設定される必要がある。
【０００３】
下記の特許文献１には、図６に示す圧電素子の周波数調整方法が開示されている。ここでは、圧電体１０１の上面に、電極１０２，１０３が形成されており、圧電体１０１の下面に電極１０４が形成されている。そして、圧電体１０１の上面からイオンビームを図示の矢印方向に照射することにより、圧電体１０１の上面の一部を削り取ることにより、周波数調整が行われている。
【０００４】
また、下記の特許文献２には、図７に示す圧電素子の周波数調整が開示されている。ここでは、圧電素子１１１の電極形成面側にマスク１１２が配置されている。マスク１１２は、開口部１１２ａを有する。マスク１１２が配置されている側から、放電電極１１３により発生したプラズマ１１４を照射し、それによって電極を削り取ることにより周波数調整が図られている。
【特許文献１】特開平１１−１３６０６３号公報
【特許文献２】特許第３２５２５４２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように、特許文献１では、圧電体１０１の上面の全体にイオンビームを照射することにより周波数調整が図られている。しかしながら、このような方法では、圧電体１０１上面の全面にイオンビームが照射されるものであり、かつ圧電体表面が削り取られることにより周波数調整が行われるため、より小型の圧電共振部品等に適用することは困難であった。
【０００６】
また、特許文献２に記載の周波数調整方法では、マスク１１２を用いることにより、電極をエッチングする領域が限定されており、それにより周波数調整の高精度化が図られている。しかしながら、マスク１１２の加工精度や設置精度、並びに圧電素子１０１の熱履歴等により周波数がばらつきがちであった。すなわち、高精度に周波数調整を行うことが困難であった。
【０００７】
他方、圧電素子は、ケース基板などに実装されて、圧電共振部品としての製品とされる。この場合、圧電素子段階で高精度に周波数調整を行ったとしても、実際に該圧電素子をケース基板などに取り付け、製品化した場合、得られた圧電共振部品では周波数特性がずれることがあった。
【０００８】
従って、より一層高精度に周波数が調整された圧電共振部品が強く望まれていた。特に、コンデンサ素子と圧電素子とが接続された構造を有する負荷容量内蔵型圧電発振子においては、発振周波数を高精度に制御することが求められていたが、従来の負荷容量内蔵型圧電発振子では、このような要求を満たすことが困難であった。
【０００９】
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、コンデンサ素子と圧電素子とが積層された構造を有する負荷容量内蔵型圧電発振部品であって、その発振周波数が高精度に設定されている負荷容量内蔵型圧電発振子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願の第１の発明は、長さ方向と幅方向とを有する矩形板状の誘電体基板と、誘電体基板の上面に形成された第１の容量電極と、誘電体基板の下面に形成された第２の容量電極とを有し、第１，第２の容量電極が誘電体基板を介して対向されている板状のコンデンサ素子と、前記誘電体基板と幅方向寸法が同等または誘電体基板よりも幅方向寸法が大きい圧電基板と、圧電基板の上面に形成された第１の振動電極と、圧電基板の下面に形成されており、第１の振動電極と対向するように配置された第２の振動電極とを有する矩形板状の圧電素子とを用意する工程と、前記コンデンサ素子上に、導電性接着剤を用いて前記圧電素子を接合し、負荷容量内蔵型圧電発振子を得る工程と、前記負荷容量内蔵型圧電発振子の上面からエネルギー線を照射し、前記第１の振動電極の厚みを薄くするようにして周波数調整を行う工程とを備えることを特徴とする、負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法である。
【００１１】
第２の発明は、マザーの誘電体基板と、マザーの誘電体基板の上面に形成された複数の第１の容量電極と、マザーの誘電体基板の下面に形成された複数の第２の容量電極とを有するマザーの板状のコンデンサ素子と、マザーの圧電基板と、該マザーの圧電基板の上面に形成された複数の第１の振動電極と、マザーの圧電基板の下面に形成された複数の第２の振動電極とを有するマザーの板状の圧電素子とを用意する工程と、前記マザーの板状コンデンサ素子上に、前記マザーの板状の圧電素子を導電性接着剤を用いて接着し、マザーの積層体を得る工程と、前記マザーの積層体を厚み方向に切断し、コンデンサ素子上に板状の圧電素子が積層されている構造を有する個々の負荷容量内蔵型型圧電発振子を得る工程と、前記負荷容量内蔵型圧電発振子の上方からエネルギー線を照射し、圧電素子の上面の第１の振動電極の厚みを薄くするようにして周波数調整を行う工程とを備える、負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法である。
【００１２】
第１，第２の発明（本発明）のある特定の局面では、前記負荷容量内蔵型圧電発振子を平面視した場合に、前記導電性接着剤による接合部分が、前記第１，第２の振動電極が圧電基板を介し対向している振動部外の領域に配置されている。
【００１３】
本発明の他の特定の局面では、前記板状の圧電素子が、細長い矩形板状の圧電基板を用いて構成されており、該圧電基板の長さ方向中央において、第１の振動電極と第２の振動電極とが圧電基板を介して対向されている。
【００１４】
本発明に係る製造方法のさらに別の特定の局面では、前記圧電基板が長さ方向に分極されており、前記圧電素子が、厚み滑りモードを利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振素子である。
【００１５】
本発明に係る製造方法のさらに他の特定の局面では、前記コンデンサ素子において誘電体基板の上面に設けられた容量電極が、一対の第１の容量電極であり、前記誘電体基板の下面に形成された第２の容量電極が、一対の第１の容量電極と誘電体基板を介して部分的に対向されており、それによって３端子型のコンデンサ素子が構成されており、前記導電性接着剤により、前記一対の第１の容量電極が、前記第１，第２の振動電極にそれぞれ電気的に接続されるとともに、前記コンデンサ素子上に前記圧電素子が物理的に固定されている。
【００１６】
本発明に係る負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法では、上記エネルギー線としては、例えばイオンビームまたはレーザー光が好適に用いられる。
【発明の効果】
【００１７】
第１の発明に係る製造方法では、個々の負荷容量内蔵型圧電発振子に用いられるコンデンサ素子と、板状圧電素子とが用意された後、コンデンサ素子上に導電性接着剤を用いて圧電素子が接着され、しかる後、得られた負荷容量内蔵型圧電発振子の圧電素子の上面側からエネルギー線を照射することにより、第１の振動電極の電極厚みを薄くするようにして周波数が調整される。負荷容量内蔵型圧電発振子としての上記積層体が得られた後に周波数調整が行われるため、完成品に近い状態で周波数調整が行われる。従って、所望通りの発振周波数を有する負荷容量内蔵型圧電発振子を提供することが可能となる。
【００１８】
加えて、第１の発明に係る製造方法では、コンデンサ素子の幅方向寸法に比べて圧電素子の幅方向寸法が同等以上とされているため、圧電素子の上面からエネルギー線を照射した場合、エネルギー線は下方に位置しているコンデンサ素子には至らない。従って、圧電素子の第１の振動電極の電極厚みを薄くするように、高精度に周波数調整を行なうことができる。
【００１９】
第２の発明に係る製造方法によれば、上記マザーの板状のコンデンサ素子上に、マザーの板状の圧電素子を導電性接着剤を用いて接合し、しかる後、得られた積層体を厚み方向に切断することにより、個々の負荷容量内蔵型圧電発振子が得られる。そして、負荷容量内蔵型圧電発振子の上方からエネルギー線を照射し、圧電素子の上面の第１の振動電極を削るようにして周波数調整が行われる。従って、コンデンサ素子上に、圧電素子が積層されている構造が完成された後に、エネルギー線の照射により周波数調整が行われるため、言い換えれば、完成品に近い状態で周波数調整が行われるため、最終的に得られる負荷容量内蔵型圧電発振子の発振周波数を高精度に設定することができる。
【００２０】
また、第２の発明では、マザーの積層体が厚み方向に切断されて、個々の圧電素子及びコンデンサ素子が切り出されている。従って、コンデンサ素子の幅方向寸法は圧電素子の幅方向寸法とほぼ等しくされているため、エネルギー線が下方に位置するコンデンサ素子に至らない。よって、コンデンサ素子へのエネルギー線の照射を抑制しつつ、圧電素子の第１の振動電極を削るようにして高精度に周波数調整が行なわれ得る。
【００２１】
本発明において、負荷容量内蔵型圧電発振子を平面視した場合に、導電性接着剤により圧電素子のコンデンサ素子への接合部分が、第１，第２の振動電極が圧電基板を対向しているエネルギー閉じ込め型の振動部外の領域に配置されている場合には、エネルギー線の照射により削られた金属粒子の飛散による絶縁抵抗不良が生じる可能性を低減することが可能となる。
【００２２】
板状の圧電素子が、細長い矩形板状の圧電基板を用いて構成されており、第１，第２の振動電極が該圧電基板の長さ方向中央において圧電基板を介して対向されている場合には、本発明に従って、矩形板状の圧電素子を用いた負荷容量内蔵型圧電発振子を提供することができる。特に、該圧電基板が長さ方向に分極されており、圧電素子が厚み滑りモードを利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振素子である場合には、本発明に従って、厚み滑りモードを利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振素子を有する負荷容量内蔵型発振子を提供することができる。
【００２３】
本発明において、コンデンサ素子において、誘電体基板の上面に設けられた容量電極が、一対の第１の容量電極であり、誘電体基板の下面に形成された第２の容量電極が一対の第１の容量電極と誘電体基板を介して部分的に対向されており、それによって３端子型のコンデンサ素子が構成されている場合には、本発明に従って、充分な大きさの負荷容量を有する負荷容量内蔵型圧電発振子を提供することができる。しかも、本発明に従って発振周波数が高精度に調整された容量内蔵型圧電発振子を提供することができる。
【００２４】
本発明においては、上記エネルギー線としては、イオンビームまたはレーザー光が好適に用いられ、イオンビームまたはレーザー光を圧電素子の第１の振動電極に向かって照射することにより、容易に周波数調整を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２６】
図１（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施形態の製造方法を説明するための平面図及び正面断面図である。
【００２７】
本実施形態では、板状のコンデンサ素子１と、板状の圧電素子２とが用意される。板状のコンデンサ素子１は、チタン酸バリウムなどの誘電体セラミックスからなる誘電体基板３を有する。誘電体基板３は細長い矩形板状の形状を有する。誘電体基板３の上面には、中央部分において、ギャップを隔てて配置された一対の第１の容量電極４，５が配置されている。第１の容量電極４，５の外側端は、誘電体基板３の上面において上面と端面とのなす端縁まで延ばされている。
【００２８】
誘電体基板３の下面には、第２の容量電極６が形成されている。第２の容量電極６は、誘電体基板３の下面中央に形成されており、かつ第１の容量電極４，５と誘電体基板３を介して対向するように形成されている。従って、第１の容量電極３と第２の容量電極６とが重なり合っている部分、及び第１の容量電極５と第２の容量電極６とが重なり合っている部分において、それぞれコンデンサが構成される。
【００２９】
上記容量電極４〜６は、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｇもしくはこれらの合金などの適宜の導電性材料により構成される。
【００３０】
上記３端子型コンデンサであるコンデンサ素子１の上面に、板状の圧電素子２が接合される。図２に斜視図で示すように、板状の圧電素子２は、細長い矩形板状の圧電基板７を有する。圧電基板７は、チタン酸鉛系セラミックスあるいはチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスなどの圧電セラミックスにより構成されており、本実施形態では、長さ方向に分極処理されている。
【００３１】
なお、本実施形態では、圧電基板７の幅方向寸法は、前述したコンデンサ素子１の誘電体基板３の幅方向寸法と等しくされている。もっとも、圧電基板７の幅方向寸法は、誘電体基板３の幅方向寸法よりも大きくてもよい。
【００３２】
圧電基板７の上面には、第１の振動電極８が形成されている。第１の振動電極８は、圧電基板７の上面において、長さ方向中央から一方端面に至るように形成されており、かつ一方端面を経て下面に至る電極延長部８ａを有する。
【００３３】
圧電基板７の下面には、第２の振動電極９が形成されている。第２の振動電極９は、圧電基板７の長さ方向中央において、第１の振動電極８と圧電基板７を介して対向されている。第１，第２の振動電極８，９が対向している部分が、エネルギー閉じ込め型の厚み滑りモードを利用した振動部を構成している。第２の振動電極９は、圧電基板７の下面から端面を経て上面に至るように形成されている。すなわち、第２の振動電極９は、上面側に至っている電極延長部９ａを有する。
【００３４】
上記振動電極８，９は、Ａｌ、ＡｇまたはＣｕもしくはこれらの合金などの適宜の導電性材料により形成されている。
【００３５】
本実施形態では、上記コンデンサ素子１と圧電素子２とを用意した後、これらが導電性接着剤１０，１１により接合されている。すなわち、板状のコンデンサ素子１の上面に、導電性接着剤１０，１１を用いて、板状の圧電素子２が接合されている。このようにして、板状のコンデンサ素子１と、板状の圧電素子２とからなる積層体により構成されている負荷容量内蔵型圧電発振子１２が構成されている。
【００３６】
そして、本実施形態では、上記負荷容量内蔵型圧電発振子１２を得た後に、負荷容量内蔵型圧電発振子の上面から、すなわち板状の圧電素子２の上面側から図１（ｂ）の矢印で示すようにイオンビームが照射される。このイオンビームの照射により、第１の振動電極８の厚みを薄くするように加工し、それによって周波数が調整される。
【００３７】
従って、本実施形態では、個々の圧電素子２を得た後に周波数調整を行い、しかる後、周波数調整された圧電素子２をコンデンサ素子１に積層する製造方法に比べ、最終的な完成品により近い状態で周波数調整が行われるため、最終的に得られる負荷容量内蔵型圧電発振子１２の共振周波数を高精度に制御することができる。
【００３８】
より好ましくは、図３及び図４に示すケース基板１３上に、先ず導電性接着剤１４〜１６を用いて、上記板状のコンデンサ素子１が接合される。そして、該板状のコンデンサ素子３上に上記のようにして、板状の圧電素子２が接合される。そして、この状態で、上記イオンビームの照射により発振周波数の調整が行われる。この場合には、最終的に図４に示されているキャップ１７を接合する前に確実に発振周波数を調整することができる。言い換えれば、より一層完成品に近い状態で発振周波数の調整が行われる。よって、高精度に発振周波数を設定することができる。
【００３９】
加えて、本実施形態では、上記イオンビームの照射は、図１（ａ）の一点鎖線Ａで囲まれている領域、すなわち、エネルギー閉じ込め型の圧電振動部及びその近傍の領域のみにおいて上方から照射される。従って、所望でない部分、特に導電性接着剤による接合部分へのイオンビームの照射を避けることができる。よって、接合部分へのイオンビームの照射により削られた金属粒子の飛散による絶縁抵抗不良を防止することができる。
【００４０】
また、本実施形態では、上記圧電素子２の幅方向寸法と、コンデンサ素子１の幅方向寸法とがほぼ等しくされており、あるいはコンデンサ素子１の幅方向寸法が相対的に小さくされているため、イオンビームが容量電極４，５に照射されない。従って、容量電極４，５へのイオンビームの照射による特性の変動も生じ難い。
【００４１】
また、上記イオンビーム照射領域は、図１（ａ）の一点鎖線Ａで囲まれている領域であればよく、すなわちイオンビーム照射領域を高精度に限定する必要がないため、イオンビームを照射する設備として高価な設備を必要としない。
【００４２】
すなわち、圧電部品の一部に限定してイオンビームなどのエネルギー線を照射する必要がある場合には、イオンビームの照射を高精度に照射し得る装置を用いなければならない。また、特許文献２に記載のようにマスクを用いる方法では、高精度に開口部を有するマスクを形成しなければならなかった。
【００４３】
これに対して、本実施形態では、イオンビーム照射領域を高精度に限定する必要がないため、安価なイオンビーム照射装置を用いることができるとともに、開口部が高精度に形成されているマスクを用意する必要もない。従って、周波数精度に優れた圧電発振子を安価に提供することができる。
【００４４】
なお、上記実施形態では、個々の負荷容量内蔵型圧電発振子を構成するためのコンデンサ素子１上に、板状の圧電素子２が導電性接着剤１０，１１により接合されていた。これに対して、本発明においては、マザーの積層体を先ず得た後に、マザーの積層体を厚み方向に切断することにより、図１（ｂ）に示した負荷容量内蔵型発振子１２を得てもよい。
【００４５】
すなわち、図５に略図的に斜視図で示すように、マザーのコンデンサ素子２１上に、マザーの板状の圧電素子２２が導電性接着剤１０，１１を用いて接合される。マザーのコンデンサ素子２１は、図１に示したコンデンサ素子１を長さ方向と直交する方向に複数面連ねた形状を有する。また、マザーの板状の圧電素子２２は、図２に示した圧電素子２をその長さ方向と直交する方向に複数本連ねた構造を有する。
【００４６】
このようにして得られたマザーの積層体２３を厚み方向に切断することにより、図１（ｂ）に示した負荷容量内蔵型圧電発振子１２を得てもよい。この場合においても、得られた負荷容量内蔵型圧電発振子１２では、上方に位置する圧電素子の幅方向寸法と、下方に位置するコンデンサ素子の幅方向寸法が等しく、かつ幅方向においてずれがないように配置されている。従って、上記実施形態の場合と同様に、上方からイオンビームを照射して周波数調整を行った場合、イオンビームが下方に位置するコンデンサ素子の容量電極に到達せず、上記実施形態の場合と同様に、発振周波数を高精度に調整することができる。
【００４７】
なお、上述した実施形態及び変形例では、厚み滑りモードを利用した圧電素子を用いた例につき説明したが、本発明は、厚み縦モードなどの他の振動モードを利用した圧電素子を用いた圧電発振子にも適用することができる。
【００４８】
また、本発明に係る負荷容量内蔵型圧電発振子は、図４に示したケース基板１３及びキャップ１７を用いたケース構造を有するものに限定されない。
【００４９】
すなわち、図１（ｂ）に示した負荷容量内蔵型圧電発振子１２は、他のケース構造に収納されていてもよく、あるいは図１（ｂ）に示した構造のまま用いられてもよい。
【００５０】
また、本発明においては、第１の振動電極を研磨するようにエネルギー線が照射されて、周波数調整が行われるが、エネルギー線としては、上記イオンビームの他にレーザー光などを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態において用意される負荷容量内蔵型圧電発振子の平面図及び正面断面図。
【図２】図１に示した負荷容量内蔵型圧電発振子に用いられている板状の圧電素子を示す斜視図。
【図３】ケース基板上に図１に示した負荷容量内蔵型圧電発振子が搭載されている構造の平面図。
【図４】図３に示した構造のケース基板上にキャップが接合されている負荷容量内蔵型発振部品を示す正面断面図。
【図５】本発明の変形例に係る製造方法において用意されるマザーのコンデンサ素子とマザーの板状の圧電素子との積層体を示す斜視図。
【図６】従来の圧電素子の製造方法の一例を説明するための正面断面図。
【図７】従来の圧電素子の製造方法の他の例を説明するための概略構成図。
【符号の説明】
【００５２】
１…コンデンサ素子
２…圧電素子
３…誘電体基板
４，５…第１の容量電極
６…第２の容量電極
７…圧電基板
８，９…第１，第２の振動電極
８ａ，９ａ…電極延長部
１０，１１…導電性接着剤
１３…ケース基板
１４〜１６…導電性接着剤
１７…キャップ
２１…マザーのコンデンサ素子
２２…マザーの圧電素子
２３…マザーの積層体
【図１】
2005210404.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005210404.tif 000005
【図４】
2005210404.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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