(57)【要約】【課題】完全な開放状態及び完全な閉塞状態に加えて、実質的に対称な流れを有し減少された断面積の部分的閉塞状態を備える真空バルブを提供する。【解決手段】バルブの部分的閉塞状態においては、弁プレート１は開放位置にあり、ダイヤフラムプレート１２は作動位置にある。バルブの流路断面はバルブの完全開放状態に比して減少され、ダイヤフラムプレート１２の開口部１５により実質的に設定される。かかる部分的閉塞状態においてバルブを通る流れはバルブ開口５の中央部を通り、バルブ開口５の軸６に対称である。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブ開口を備えるバルブ本体と、該バルブ開口の側方に位置してバルブ開口を開放する開放位置と前記バルブ開口を覆う閉塞位置との間を移動する弁プレートと、前記バルブ開口の側方に位置してバルブ開口を開放する非作動位置と前記バルブ開口を部分的に覆う作動位置との間を移動するダイヤフラムプレートとを有する真空バルブであって、
該真空バルブは、前記弁プレートが開放位置にあり前記ダイヤフラムプレートが非作動位置にある完全開放状態と、
前記弁プレートが閉塞位置にあり前記バルブ本体に対してシールされている完全閉塞状態と、
前記弁プレートが開放位置にあり前記ダイヤフラムプレートが作動位置にあって、前記完全開放状態に比してより減少された流路断面となる部分的閉塞状態と、を有することを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
前記ダイヤフラムプレートは、少なくとも一つの開口部を有することを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項３】
前記ダイヤフラムプレートは、作動位置において、その全周にわたりバルブ開口の軸方向からみたバルブ開口断面を越えて拡がっていることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項４】
前記バルブ開口は前記バルブ本体を貫通する流路と、該流路から連続するとともにバルブ開口の軸に垂直なすべての方向に距離を変化させながら拡がる凹部とによって形成されていることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項５】
前記ダイヤフラムプレートは、作動位置においてその全周にわたり前記流路の凹部内まで拡がっていることを特徴とする請求項４記載の真空バルブ。
【請求項６】
前記ダイヤフラムプレートは、非作動位置において完全に前記流路の凹部内に位置することを特徴とする請求項４記載の真空バルブ。
【請求項７】
前記弁プレートは、閉塞位置においてその全周にわたり前記流路の凹部内にまで拡がっていることを特徴とする請求項４記載の真空バルブ。
【請求項８】
前記弁プレートは、開放位置において完全に前記流路の凹部内に位置することを特徴とする請求項４記載の真空バルブ。
【請求項９】
前記弁プレートは、その平面内で、開放位置と、前記バルブ開口を完全に覆う一方で前記バルブ本体から離間している位置との間を移動することを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項１０】
前記弁プレートは、開放位置と、前記バルブ開口を完全に覆う一方で前記バルブ本体から離間している位置との間を、その平面に垂直な揺動軸の周りを回動することを特徴とする請求項９記載の真空バルブ。
【請求項１１】
前記弁プレートは、開放位置と、前記バルブ開口を完全に覆う一方で前記バルブ本体から離間している位置との間を直線状に移動することを特徴とする請求項９記載の真空バルブ。
【請求項１２】
前記ダイヤフラムプレートは、その平面内で、非作動位置と作動位置との間を移動することを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項１３】
前記ダイヤフラムプレートは、その平面に垂直な揺動軸の周りで、非作動位置と作動位置との間を回動することを特徴とする請求項１２記載の真空バルブ。
【請求項１４】
前記ダイヤフラムプレートは、非作動位置と作動位置との間を直線状に移動することを特徴とする請求項１２記載の真空バルブ。
【請求項１５】
前記ダイヤフラムプレートに設けられる開口部の少なくとも一つは大きさが調整可能であることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項１６】
前記弁プレートは、開放位置と閉塞位置との間の中間の位置に移動可能であり、その位置において作動位置にある前記ダイヤフラムプレートの少なくとも一つの開口部を少なくとも部分的に覆うことを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブに関し、より詳細には、バルブ開口を備えるバルブ本体と；バルブ開口から偏在してバルブ開口を開放する開放位置と、前記バルブ開口を覆う閉塞位置との間を移動する弁プレートとを備える真空バルブにおいて、弁プレートが開放位置にある完全な開放状態と、弁プレートが閉塞位置にあってバルブ本体に対してシールされる完全な閉塞状態とを有する真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
弁プレートがバルブ開口の近接した側方にあってバルブ開口を開放状態とし、バルブを閉塞するために、弁プレートがバルブ開口を覆う位置に移動するバルブには従来種々の形式がある。この種のバルブはスライドバルブとして知られている。
【０００３】
上記形式の従来のバルブにおいては、弁プレートは、始めに開放位置からバルブ開口が完全に閉塞される位置に移動するが、弁プレートはバルブ本体に配設されたバルブシートから離間している。かかる移動は弁プレートの平面内において行われる。それから、弁プレートはバルブシートに押圧されて、バルブ本体に対するシールが達成される。
【０００４】
上記形式のこの種のスライドバルブは、例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３に記載がある。バルブを閉塞するとき、弁プレートがバルブ開口を完全に覆う状態になった後、弁プレートをバルブ本体に向けて前進させるために弁プレートは拡張され、バルブ本体に対してシールされる。これらの特許文献の内容は実施例として本発明に適用される。
【０００５】
弁プレートが開放位置とバルブ開口が覆われる位置との間を直線的に移動するバルブのほかに、弁プレートの平面に垂直な揺動軸の周りに弁プレートが回動する形式のバルブも知られている。この形式のバルブは振子スライドまたは振子バルブとして知られている。この種のバルブの一実施形態においては、弁プレートは、直線的に移動するバルブと同様な方法で押圧される。
【０００６】
更に、バルブの閉塞時に弁プレートがＬ字型の移動を行う上記形式の真空バルブも知られている。弁プレートの移動は最初弁プレートの平面内で行われ（開放位置とバルブ開口が完全に覆われる位置との間で）、バルブ開口が覆われた位置に達した後、弁プレートの移動は弁プレート面に垂直に行われる。この形式のバルブは、例えば、特許文献４に知られている。弁プレートが開放位置から直線的に移動するバルブのほかにも、弁プレートの面に垂直な揺動軸の周りを弁プレートが回動するバルブもあり、Ｌ字型移動に加えて摺り合せ移動（特にバルブ閉塞の直前に、弁プレートの面に斜めの移動成分を伴う）、Ｊ字型移動と称される、も知られている。
【０００７】
更に、弁プレートの移動とバルブの閉塞が、（弁プレートの主平面内の）直線的移動のみによって行われる公知のスライドバルブがある。このものにおいては、シール面及びシールリングは三次元的配置又は配列となっている。この形式の構造が、例えば、特許文献５に記載されている。その内容が実施例として本発明に適用される。
【０００８】
特許文献６には、バルブの完全な閉塞状態において、バルブ本体に対する弁プレートのシールを行う環状のシール接続部材を備えたスライドバルブを記載している。このシール接続部材はバルブ開口を形成するバルブ本体の貫流路に支持されて、弁プレートの面に垂直に移動してバルブ本体に対するシールを行う。バルブの完全な閉塞状態及びシール状態においては、シール接続部材は弁プレートの方に前進して、同様にバルブ本体に対してシールする。その内容が実施例として本発明に適用される。
【０００９】
制御バルブとして構成されているスライドバルブにおいては、相応するように構成された駆動手段により、弁プレートは初期位置と最終位置との間における種々の中間位置に移動可能とされ、バルブの流通を制御できるように形成する為にバルブ開口の断面が調整される。弁プレートの駆動手段として、例えば、ステップモータが使用できる。
【００１０】
しかしながら、いくつかの用途においてはバルブ開口の全断面を制御することを必要とせず、また望ましくもない。このような場合、バルブの完全な開放状態及びシール状態に加えて、所定の部分的閉塞状態のみがある。部分的閉塞状態においては、弁プレートは開放位置と閉塞位置との間の、駆動手段により決定された中間位置に移動する。この種のバルブは３ポジション・バルブとして知られており、用いられる駆動手段、特に空気駆動手段、は３ポジション駆動手段として知られている。かかる３ポジション・バルブの不利な点は、弁プレートの中間位置における開口部がバルブ開口の軸に対して対称ではなく、バルブを通る気体流れが非対称となり、種々の用途、例えば半導体技術においては望ましくない。
【特許文献１】ＵＳP４０５２０３６
【特許文献２】ＵＳＰ４４７０５７６
【特許文献３】ＵＳＰ４６６０１４１
【特許文献４】ＵＳ６４３１５１８Ｂ１
【特許文献５】ＧＢ２２０５９２６Ａ
【特許文献６】ＵＳＰ５５７７７０７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の主たる目的は、完全な開放状態及び完全な閉塞状態に加えて減少された断面積の部分的閉塞状態を有する真空バルブを提供するにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、部分的閉塞状態において、バルブ開口の軸に対して、少なくともバルブ軸が存在する面に対して、少なくとも実質的に対称な流れを有する上記の形式のバルブを提供するにある。
【００１３】
本発明の更なる目的は、減少された断面の部分的閉塞状態を有し、部分的閉鎖状態においては、その流れはバルブ開口の実質的に中央を流れるバルブを提供するにある。
【００１４】
更なる本発明の目的は、減少された断面の部分的閉塞状態を有し、部分的閉鎖状態の断面は予め簡単に調節できるバルブを提供するにある。
【００１５】
更なる本発明の目的は、完全な開放状態及び完全な閉塞状態に加えて少なくとも２つの部分的閉塞状態を有する真空バルブを提供するにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明による真空バルブは、バルブ開口を備えるバルブ本体と、該バルブ開口の側方に位置してバルブ開口を開放する開放位置と前記バルブ開口を覆う閉塞位置との間を移動する弁プレートと、前記バルブ開口の側方に位置してバルブ開口を開放する非作動位置と前記バルブ開口を部分的に覆う作動位置との間を移動するダイヤフラムプレートとを有する真空バルブであって、該真空バルブは、前記弁プレートが開放位置にあり前記ダイヤフラムプレートが非作動位置にある完全開放状態と、前記弁プレートが閉塞位置にあり前記バルブ本体に対してシールされている完全閉塞状態と、前記弁プレートが開放位置にあり前記ダイヤフラムプレートが作動位置にあって、前記完全開放状態に比してより減少された流路断面となる部分的閉塞状態と、を有することを特徴とする。
【００１７】
本発明による真空バルブは、弁プレートが開放位置にありダイヤフラムプレートが作動位置にあって、減少された流路断面となる部分的閉塞状態を有する。バルブを流通する流れは、バルブに軸に対して、少なくともバルブの軸の存在する平面に対して、広い領域で対称となる有利性を有する。かかる目的のため、ダイヤフラムプレートはバルブの軸に対称な一つ又は複数の開口部を有する。弁プレートはその一つ又は複数の開口部に関して少なくとも広い領域において対称であり、少なくともバルブ軸の存在する平面対して対称である。本発明の好ましい実施例においては、この平面に垂直な平面に対しても少なくとも広い領域において対称性を有する。
【００１８】
部分的閉塞状態における断面積を前以て調節するために、ダイヤフラムプレートに設けられた少なくとも一つの開口部の大きさは調節可能である。この目的のために特に手動調節手段を備える。
【００１９】
多くの用途においては、バルブ開口の軸に対して対称な流れはそれほど有用性がないかもしれないが、このような場合においても、流れはバルブ開口の少なくとも中央で行われるべきである。このことはダイヤフラムプレートを相応するように構成することにより達成される。
【００２０】
本発明の更なる有用性及び詳細は、図面に示す実施例を参照して以下に記載する。これら実施例から本発明の更なる目的が判るであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１乃至図１０に示す本発明の実施例において、弁プレート１は揺動軸２の周りをバルブ本体４に対して回動するように支持され、揺動軸２は弁プレート１の平面３に垂直に延出している。バルブ本体４は、バルブ本体４を貫通する流路によって形成されるバルブ開口５を備える。流路の中間部に凹部７が流路から連続して形成され、該凹部７はバルブ開口５の軸６に垂直な方向のすべての距離が変化するように形成されている。弁プレート１は凹部７の中をバルブの完全開放状態（図５及び図６）に回動する。バルブの完全な開放状態においては、弁プレート１はバルブ開口５の側方に近接して存在し、バルブ開口５は完全に開放される（弁プレートの開放位置）。
【００２２】
バルブの完全閉塞及びシール状態においては（図１及び図２）弁プレート１はバルブ開口５を覆う閉塞位置に移動し、バルブ本体に対してシールされる。本実施例においては、弁プレート１は閉塞位置においてその全周にわたり凹部７に延出し、弁プレート１の軸６の方向に面する二つの面８、９の一方に設けられたシールリング１０がバルブ本体４に配設されたバルブシート１１のシール面に接触する。
【００２３】
更に、バルブはダイヤフラムプレート１２を有し、該ダイヤフラムプレート１２はその面１３に垂直な揺動軸１４の周りを同様に回動する。本実施例においては、揺動軸２と揺動軸１４は同一軸上にある。
【００２４】
ダイヤフラムプレート１２はバルブの完全開放状態（図５及び図６）において不作動位置に移動され、バルブ開口５の側方に近接しており、バルブ開口５を完全に開放している。本実施例においては、この非作動位置においてダイヤフラムプレート１２はバルブ本体４の凹部７内に完全に配置される。
【００２５】
ダイヤフラムプレート１２はバルブ開口５を部分的に覆う作動位置（図１、図２、図７及び図８）に移動される、すなわち、バルブ開口５の軸６の方向で考慮すると、ダイヤフラムプレート１２の作動位置においてもバルブ開口５の一部は覆われず開放のまま残る。かかる目的のため、本実施例におけるダイヤフラムプレート１２は円周上に配置されその作動状態においてバルブ開口５の軸６に対称である個々の開口部１５を備える。その作動位置において、ダイヤフラムプレート１２は周辺の前端部１６がバルブ開口５の軸６方向で考慮した断面領域を越えて延出する。すなわち、バルブ本体とオーバラップする。ダイヤフラムプレート１２はその周辺が流路の凹部７に延出する。
【００２６】
図５及び図６に対応するバルブの完全開放状態において、既に述べたように、弁プレート１及びダイヤフラムプレート１２はバルブ開口の側方に近接して存在し、バルブ開口５を開放する。
【００２７】
図１及び図２に対応するバルブの完全閉塞状態において、本実施例においては、弁プレート１はその閉塞位置にあり、バルブ開口５は完全に覆われ、ダイヤフラムプレート１２も作動位置にある。弁プレート１は適当な拡張機構によりバルブ開口５の軸６の方向に拡張され、一方の面８に配置されたシールリング１０がバルブシート１１に接触し、他の面９に配置された支持リング１７がダイヤフラムプレート１２の弁プレート１２に面する表面に接触する。そのため、ダイヤフラムプレート１２はバルブ本体４の支持面１８に押圧される。この支持面１８は、ダイヤフラムプレート１２の一側が位置する凹部７の側壁の一部により形成され、該一部の側壁はバルブ開口５を囲繞している。支持リング１７はダイヤフラムプレート１２と弁プレート１との間の金属同士の接触を防ぐため、好ましくは、弾性プラスチック、例えばＶｉｔｏｎ（商標）からなる。更に、ダイヤフラムプレート１２とバルブ本体４との間の金属同士の接触を避けるため、ダイヤフラムプレート１２または支持面１８に支持リングを配設することもできる。この支持リングもまた弾性プラスチック、例えばＶｉｔｏｎで造られるのが好ましい。
【００２８】
シールリング１０もかかる目的に適切な材料、例えばＶｉｔｏｎからなる。
【００２９】
完全な閉塞且つシール状態において、弁プレート１を閉塞位置とし、ダイヤフラムプレート１２を非作動位置とすることも考えられ、可能である。弁プレート１は一側面がバルブシート１１のシール面に押圧され、他側面がバルブ本体４の支持面１８に押圧され支持される。バルブのシール状態がダイヤフラムプレート１２の作動位置と同様非作動位置においても達成される構成も考えられ、可能である。
【００３０】
図７及び図８によるバルブの部分的閉塞状態においては、弁プレート１は開放位置にあり、ダイヤフラムプレート１２は作動位置にある。バルブの流路断面はバルブの完全開放状態に比して減少され、ダイヤフラムプレート１２の開口部１５により実質的に設定される。かかる部分的閉塞状態においてバルブを通る流れはバルブ開口５の中央部を通り、バルブ開口５の軸６に対称である。
【００３１】
本発明によるこの実施例のバルブは図９及び図１０に示すもう一つの部分的閉塞状態を有する。ダイヤフラムプレート１２は再度作動位置にある。弁プレート１は開放位置と閉塞位置との中間位置にあり、ダイヤフラムプレート１２の開口部１５を部分的に覆う。バルブの流路断面は図７及び図８に示す部分的閉塞状態より更に減少される。バルブを通る流れはもはやバルブ開口５の軸６に対称ではないが、バルブ開口５の中央領域を通っている。
【００３２】
弁プレート１の駆動手段１９は第１気体ピストン‐シリンダユニット２０からなる。ピストン２２のロッド２１に鋸歯状ラックが形成され、揺動軸２の周りに回動する旋回ピン２４に固定されたピニオン２３に噛合している。旋回ピン２４はバルブ本体４に挿通され、バルブ本体４の凹部７に突出し、その端部はピニオン２３の反対側に位置する。旋回ピン２４は少なくとも一つのシールリング２５によりバルブ本体４に対してシールされる。弁プレート１は旋回ピン２４の端部において旋回ピン２４に支持される。駆動手段１９は弁プレート１を図９及び図１０に示す弁プレート１の中間位置を可能とする第２ピストン‐シリンダユニット２６を有する。ピストン２８のロッド２７は第１気体ピストン‐シリンダユニット２０のシリンダ空間にシールされて突出し、ピストンロッド２１の反対側にピストン２２から隔離された面に端部が接触することにより、ピストン２２と接触する。ピストン２８のピストン面はピストン２２のそれより大きい。
【００３３】
弁プレート１の開放位置において、シリンダ空間３０に圧縮空気が作用する。シリンダ空間３１及び３２には圧力は作用していない。弁プレート１の閉塞位置においては、シリンダ空間３１に圧縮空気が作用し、シリンダ空間３０には圧力は作用していない。弁プレート１の中間位置においては、シリンダ空間３０および３２に圧縮空気が作用し、シリンダ空間３１には圧力が作用しない。
【００３４】
弁プレート１の駆動手段１９は、３ポジション駆動手段として慣用の手段により構成される。
【００３５】
弁プレート１が中間位置を要求されていない場合は、第２ピストン‐シリンダユニット２６は省略することができ、シリンダ空間３１は代わりにカバーにより閉鎖される。
【００３６】
ダイヤフラムプレート１２の駆動手段３３は駆動手段１９（第２ピストン‐シリンダユニット２６を有さない）と同じ様に構成することができる。ピストン‐シリンダユニット３４におけるピストン３６のピストンロッド３５に鋸歯状ラックが形成され、ピニオン３７と噛合する。ピニオン３７は揺動ピン３９に円錐キー３８により固定される。旋回ピン３９は揺動軸１４の回りに回動し、少なくとも一つのシールリング４０によりシールされて、バルブ本体４の凹部７に案内されている。ダイヤフラムプレート１２は凹部７内において旋回ピン３９に固定されている。
【００３７】
駆動手段１９、３３の圧縮空気ラインは簡明のために図示していない。
【００３８】
バルブは、例えば、図に概略を示すバルブ室４１に結合され、他側において図に概略を示すポンプ４２に結合される。このためバルブ本体４は詳細を図示していない対応する接続フランジを有し、該接続フランジは、例えば、スクリューフランジまたはクランプフランジとして構成される（バルブ本体４の断面図にネジ穴４３が示されているが平面図には図示していない）。
【００３９】
簡明のため、本発明に基本的でない部分は図示していない。例えば、駆動手段１９、３３は慣用的な位置表示手段を備えてもよい。
【００４０】
弁プレート１の押圧は従来の方法、例えば、弁プレート１が閉塞位置に旋回し係止片に接触した後、駆動手段１９が更に旋回ピン２４を同じ方向に回動させることにより、拡張機構が作動状態におかれる。弁プレート１を拡張する機構は、例えば、前記特許文献１、特許文献２、特許文献３に種々の具体例が知られており、それらの内容は本発明において実施例として適用される。弁プレートの拡張機構は、図示しない慣用的手段により構成することができる。
【００４１】
図１１、及び１２に示す実施例においては、前述した実施例とは異なり、弁プレート１に代わってダイヤフラムプレート１２が拡張機構を備える。図１１はバルブが完全に閉塞されシールされた状態を示し、ダイヤフラムプレート１２は作動位置にあり、弁プレート１は閉塞位置にある。ダイヤフラムプレート１２がバルブ開口の軸方向に拡張されたとき、ダイヤフラムプレート１２の一方の面４４に配設されたシールリング４５がバルブ本体のバルブシート１１のシール面に接触する。更に、弁プレート１に面する他方の面４６に配設されたシールリング４７はダイヤフラムプレート１２に面する弁プレート１の面に接触する。該弁プレート１の面はかかる接触領域においてシール面が形成されている。このようにして弁プレート１がバルブ本体４に対してシールされる。ダイヤフラムプレート１２はバルブ本体４の支持面１８に弁プレート１を介して支持される。弁プレート１とバルブ本体４との間の金属同士の接触を防止するため支持リング４８が支持面１８に配設される。
【００４２】
これに代えて、支持リング４８をシールリングに構成し、シールリング４５，４７を支持リングに構成することもできる。この場合、ダイヤフラムプレート１２が拡張されたとき、弁プレート１はシールリング４８に押圧される。バルブの漏れに対する付加的防止のため、支持面１８または弁プレート１の支持面１８と反対側の面と同様にダイヤフラムプレート１２にシールリング４５、４７を配設することもできる。
【００４３】
バルブのもう一つの部分的閉塞状態を得るため弁プレートの中間的位置が必要なときは、弁プレート１の駆動手段１９に図３に示すような付加的ピストン‐シリンダユニットを設けることもできる。
【００４４】
上記実施例のダイヤフラムプレート１２において、独立した中央開口部に代えて、好ましくはバルブ開口５の軸６に対称な、複数の開口部を備えることもできる。
【００４５】
図１３乃至１８にダイヤフラムプレート１２の可能な他の実施形態を示す。絞りレート１２は、ボルト５１により互いに結合された二つの分割プレート４９、５０を有し、両分割プレート４９、５０は仮想円周上に同距離を置いて配置された複数の開口部５３、５４を備える。二つの分割プレート４９、５０をボルト５１の軸５２の周りに回動することにより、分割プレート４９、５０は開口部５３、５４の完全オーバラップ位置（図１７）と非オーバラップ位置（図１４）との間に調整され、ダイヤフラムプレート１２の開口領域が制御できる。バルブの部分的閉塞状態（ダイヤフラムプレートが作動状態にあり弁プレートが開放状態にある）において、バルブの流路断面はこのようにして（各状態においてバルブ開口の軸に対称に）予め調整される。図１３に示す調整状態においては、残留ギャップによる僅かな流路断面となる。
【００４６】
本発明の他の実施例を図１９乃至２１に概略的に示す。弁プレート１及びダイヤフラムプレート１２はバルブ本体４に装着され、直線状に移動する。かかる目的のため、弁プレート１及びダイヤフラムプレート１２はスライド状に構成され、走行ローラ５５、５６を備えて、バルブ本体４の凹部７のガイド通路に沿って移動する。図１９〜２１には図示しない回転駆動手段が弁プレート１とダイヤフラムプレート１２の移動に用いられ、該回転駆動手段は回動可能に支持された旋回ピン２４、３９を回動する。レバーアーム５７、５８が旋回ピン２４、３９に固定されている。弁プレート１及びダイヤフラムプレート１２の溝部６１、６２に係合するローラ５９、６０がレバーアーム５７、５８の自由端を回動可能に支持する。弁プレート１及びダイヤフラムプレート１２は旋回ピン２４、３９の回転と、それにより旋回するレバーアーム５７、５８により移動する。弁プレート１は、バルブ開口５の軸方向に拡張するように構成される。ダイヤフラムプレート１２は仮想円周６３に沿って配置される複数の開口部１５を有し、ダイヤフラムプレート１２が作動位置にある場合仮想円周６３はバルブ開口５の軸６と同一軸にある。
【００４７】
上述した本発明の実施例については、本発明の技術分野を逸脱することなく種々の変更案が考えられ可能である。例えば、弁プレート１は開放位置からバルブ本体にシールされる閉塞位置までＬ字型駆動により移動されてもよい。この種のＬ字型駆動は特許文献４に記載された方法で実施することもでき、例えば、それは本発明に参照として適用される。弁プレートのバルブ本体に対するシールはダイヤフラムプレートを仲介して行うこともでき、ダイヤフラムプレートを弁プレートのバルブシートの反対側に配置することもできる。
【００４８】
更に、本発明は、バルブ本体の流路に移動可能に支持されるシール接続部材が、弁プレートの閉塞位置においてバルブをシールするため弁プレートに対して調節されるバルブ形式にも適用できる。この種のシール接続部材は、例えば、前記特許文献６に記載されており、それらは参照として本発明に適用される。弁プレートのシールはダイヤフラムプレートを介して行うこともでき、ダイヤフラムプレートを弁プレートのシール接続部材の反対側に配置することもできる（この場合、バルブのシール状態において、弁プレートはダイヤフラムプレートに押圧されて支持される）。
【００４９】
更に、本発明は、弁プレートが開放位置とバルブ本体に対してシールされる閉塞位置との間を直線的に移動する形式のバルブにも適用できる。シール面及びそれと協働するシールは、この場合、例えば、特許文献５に記載されているような三次元的構成を有する。この構造も実施例として本発明に適用される。
【００５０】
弁プレートとダイヤフラムプレートの駆動手段は先に述べたもの以外の構成も可能である。
【００５１】
以上の記載及び図面は本発明を説明するものではあるが、本発明の真の技術思想や技術範囲から逸脱することなく、種々の変更案が可能であることは当業者にとって明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明による制御真空バルブの一実施例の完全閉塞状態を示す概略図である。
【図２】図１のＡ−Ａに沿った断面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂに沿った断面図である。
【図４】図２の部分的拡大図で、ダイヤフラムプレートの駆動手段領域を示す。
【図５】バルブの完全開放状態を示す図１に対応する該略図である。
【図６】図５のＣ−Ｃに沿った断面図である。
【図７】バルブの部分的閉塞状態を示す図１に対応する該略図である。
【図８】図７のＤ−Ｄに沿った断面図である。
【図９】バルブの他の部分的閉塞状態を示す図１に対応する該略図である。
【図１０】図９のＥ−Ｅに沿った断面図である。
【図１１】本発明による他の実施例を示す、バルブの閉塞状態の図２に対応する断面図である。
【図１２】図１１に示すバルブの部分的閉塞状態を示す断面図である。
【図１３】開口の断面の調節可能なダイヤフラムプレートの一実施例を示す概略図で、可能な限り閉塞された状態を示す。
【図１４】図１３のＦ−Ｆに沿った断面図である。
【図１５】図１３の開口の異なる調節状態を示す概略図である。
【図１６】図１３の開口の異なる調節状態を示す概略図である。
【図１７】図１３の開口の最大開口断面状態を示す概略図である。
【図１８】図１７のＧ−Ｇに沿った断面図である。
【図１９】本発明による他の実施例を示す断面図である。（図２０のＨ−Ｈに沿った断面）
【図２０】図１９のＩ−Ｉに沿った断面図である。
【図２１】バルブの部分的閉塞状態を示す図１９に対応する断面図である。  これら図面は異なるスケールを有する。異なる実施例における類似の部分は同一の参照番号を有する。
【符号の説明】
【００５３】
１      弁プレート、２      揺動軸、３      弁プレート面、４      バルブ本体、５      バルブ開口、６      バルブ開口軸、７      凹部、１０、２５，４０、４５，４７      シールリング、１１      バルブシート、１２      ダイヤフラムプレート、１４      揺動軸、１５、５３、５４      開口部、１７、４８      支持リング、１９、３３      駆動手段、２０      第１ピストン‐シリンダユニット、２１、２７、３５      ピストンロッド、２２、２８、３７      ピストン、２４、３９      旋回ピン、４１      バルブ室、４２      ポンプ、５５、５６      走行ローラ、５７、５８      レバーアーム、５９、６０      ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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