(57)【要約】【課題】  塗布性良好で、表面荒れおよび透過率低下がなく、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる新たな感光性樹脂組成物を提供する【解決手段】  バインダーポリマー（Ａ）、光重合性化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および溶剤（Ｄ）を含む感光性樹脂組成物において、バインダーポリマー（Ａ）が式（Ｉ）で表される構成単位を含んで構成される重合体であり、式（Ｉ）で表される構成単位の含有量が、バインダーポリマー（Ａ）を構成する全構成単位に対して、モル分率で、５モル％以上２０モル％以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。2005049842.tif 000007［式（Ｉ）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数１〜４のアルキル基を表す。］【選択図】          なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
バインダーポリマー（Ａ）、光重合性化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および溶剤（Ｄ）を含む感光性樹脂組成物において、バインダーポリマー（Ａ）が式（Ｉ）で表される構成単位を含んで構成される重合体であり、式（Ｉ）で表される構成単位の含有量が、バインダーポリマー（Ａ）を構成する全構成単位に対して、モル分率で、５モル％以上２０モル％以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
2005049842.tif 000006
［式（Ｉ）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数１〜４のアルキル基を表す。］
【請求項２】
バインダーポリマー（Ａ）の酸価が、４０以上１１０以下であることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
バインダーポリマー（Ａ）のポリスチレン換算重量平均分子量が、５，０００以上２０，０００以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
バインダーポリマー（Ａ）が、（メタ）アクリル酸を構成成分として含む請求項１〜３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
請求項１〜４に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成したフォトスペーサー。
【請求項６】
スリットコーターを用いて形成することを特徴とする請求項５に記載のフォトスペーサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物に関し、特に液晶表示装置等のカラーフィルタに用いられる透明材料に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶素子に色分解用カラーフィルタを組み合わせたカラー液晶表示素子が種々提案されている。ここで、カラーフィルタとは、光透過性基板上に形成された赤、緑、青の３原色の画素を一絵素とした多数の画素から構成され、各画素間には、表示コントラストを高めるために、一定の幅をもつ遮光領域（ブラックマトリクス）が設けられている場合もある。また、オーバーコートやフォトスペーサー、着色パターンの膜厚をあわせるための透明コート材、透明電極を配しているものもある。このような画素およびブラックマトリクスを構成する樹脂成分として、また、オーバーコートやフォトスペーサー、着色パターンの膜厚をあわせるための透明コート材（以下、透明コート材等ということがある。）に用いる樹脂成分として、従来、シロキサンポリマー、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等が使用されてきた。
【０００３】
また、優れた光硬化性（熱硬化が不要）と現像性を有し、基板密着性と硬化性に優れ、更に長期保存安定性と使用環境依存性が良好で、ＬＣＤ用スペーサーの形成用として好適な放射線硬化性組成物が知られているが、その実施例において、具体的に例示されているバインダーポリマーは、（メタ）クリロイル基とともにイソホロンジイソシアナートから導かれる構成単位を有している樹脂（特許文献２参照）、またバインダーポリマーがスチレン系樹脂である樹脂（特許文献１参照）である。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−９２１２８号公報  ３頁右欄４９行目−４頁左欄３行目、２頁右欄２行目−５行目、
【特許文献２】特開２００２−２０４４２号公報  ３頁右欄６行目−３１行目、１３頁左欄３行目−３９行目
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の樹脂を含む従来具体的に知られていた組成物を用いて透明コート材等を形成すると、得られた透明膜の表面に荒れが発生するため、光散乱により透過率が低下して、透明コート材等として機能しにくいという問題があった。
また、前記の樹脂を含む従来の感光性樹脂組成物では、透明層を作成する際に、抜け性が悪いという問題があった。抜け性が悪いと、半透過型カラーフィルタに使用する場合、反射部と透過部の境で色が異なり、これがカラー液晶表示装置により表示されるカラー画像やカラー固体撮像素子により撮影されるカラー画像などの品質を低下させる。
また、フォトスペーサーに使用する場合、フォトスペーサーの大きさとしては、例えば、数μｍ角から２０μｍ角程度が一般に用いられていることから（特許文献１）、抜け性が悪いとフォトスペーサーの大きさをコントロールできないという問題があった。逆に、抜け性が良好すぎると、透明レジストのように細線を抜く場合は性能良好であるが、フォトスペーサーのような細いパターンを残すだけであると密着性が不良となり、現像工程でパターンが飛んでしまうという問題がある。
本発明は、塗布性良好で、表面荒れおよび透過率低下がなく、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる新たな感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで本発明者は、鋭意検討の結果、特定の構成成分を含んでなるバインダーポリマーを含む感光性樹脂組成物を用いると、前記課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
すなわち本発明は、バインダーポリマー（Ａ）、光重合性化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および溶剤（Ｄ）を含む感光性樹脂組成物において、バインダーポリマー（Ａ）が式（Ｉ）で表される構成単位を含んで構成される重合体であり、式（Ｉ）で表される構成単位の含有量が、バインダーポリマー（Ａ）を構成する全構成単位に対して、モル分率で、５％以上２０％以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物および前記の感光性樹脂組成物を用いて形成したフォトスペーサーを提供する。
【０００７】
2005049842.tif 000002
【０００８】
［式（Ｉ）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数１〜４のアルキル基を表す。］
【発明の効果】
【０００９】
本発明の感光性樹脂組成物によれば、塗布性良好で、表面荒れおよび透過率低下がなく、粒状異物等の塗布欠陥が発生せず、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる感光性樹脂組成物を提供することができ、液晶表示装置を構成する透明材料、例えば、オーバーコート、フォトスペーサー、着色パターンの膜厚を合わせるための透明コート層などを形成するのに有用である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の感光性樹脂組成物に用いられるバインダーポリマー（Ａ）は、式（Ｉ）で表される構成単位を含んで構成される。
【００１１】
2005049842.tif 000003
【００１２】
［式（Ｉ）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数１〜４のアルキル基を表す。］
【００１３】
ここで、炭素数１〜４のアルキル基としては、具体的には、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基またはｔｅｒｔ−ブチル基が挙げられ、好ましくはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基またはイソプロピル基が挙げられ、より好ましくは、メチル基またはエチル基が挙げられ、とりわけ好ましくはメチル基が挙げられる。
【００１４】
前記のバインダーポリマー（Ａ）において、式（Ｉ）で表される構成単位の含有量は、バインダーポリマー（Ａ）を構成する構成単位の合計量に対して、モル分率で、好ましくは５質量％以上２０質量％以下、より好ましくは６質量％以上１８質量％以下、とりわけ好ましくは７質量％以上１５質量％以下である。式（Ｉ）で表される構成単位の含有量が前記の範囲にあると、露光部の表面荒れが良好で、解像度が向上する傾向があり、好ましい。
また、前記のバインダーポリマー（Ａ）は、式（Ｉ）の構成単位に加えて（メタ）アクリル酸を含むことが好ましい。ここで、本明細書中における（メタ）アクリル酸の記載は、アクリル酸および／またはメタクリル酸を表す。
前記の（メタ）アクリル酸単位の含有量は、バインダーポリマー（Ａ）を構成する構成単位の合計量に対して、モル分率で、好ましくは１０モル％以上３０モル％以下、より好ましくは１２モル％以上２８モル％以下、とりわけ好ましくは１５モル％以上２５モル％以下である。（メタ）アクリル酸単位の含有量が、前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり好ましい。
【００１５】
その他の共重合可能な他のモノマーとしては、例えば、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル類、不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、カルボン酸ビニルエステル類、不飽和エーテル類、シアン化ビニル化合物、不飽和アミド類、不飽和イミド類、脂肪族共役ジエン類などを挙げることができる。
【００１６】
本発明の感光性樹脂組成物に用いられるバインダーポリマー（Ａ）の酸価は、通常、４０〜１１０、好ましくは４５〜９０、更に好ましくは、５０〜８０である。酸価が、前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり好ましい。
ここで、酸価は、バインダーポリマー１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００１７】
前記のバインダーポリマーとしては、例えば、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／式（Ｉ）で表される構成成分（Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。）の共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン／式（Ｉ）で表される構成成分（Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。）の共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／イソボルニルメタクリレート／式（Ｉ）で表される構成成分（式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。）の共重合体、メタクリル酸／スチレン／ベンジルメタクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド／式（Ｉ）で表される構成成分（式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。）の共重合体などが挙げられる。
【００１８】
中でも、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／式（Ｉ）で表される構成成分（式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。）の共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン／式（Ｉ）で表される構成成分（式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。）の共重合体などが好ましい。
式（Ｉ）で表される構成成分を有するバインダーポリマーとして、例えば、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／式（Ｉ）で表される構成成分（式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。）の共重合体は、メタクリル酸とベンジルメタクリレートを重合させて２成分重合体を得て、得られた２成分重合体と式（ＩＩ）で表される成分とを反応させて得ることができる。
【００１９】
2005049842.tif 000004
【００２０】
（式（ＩＩ）中、Ｒ２は水素原子を表す。）
【００２１】
バインダーポリマーのポリスチレン換算重量平均分子量は、好ましくは５，０００〜２０，０００であり、より好ましくは５，０００〜１５，０００であり、とりわけ好ましくは５，０００〜１０，０００である。ポリスチレン換算重量平均分子量が前記の範囲にあると、塗布性良好で、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好ましい。
前記のポリスチレン換算重量平均分子量は、ＧＰＣ法を用いて測定することができる。
前記のバインダーポリマー（Ａ）の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、通常、２０質量％以上８０質量％以下、好ましくは３０質量％以上７０質量％以下、より好ましくは４０質量％以上６５質量％以下である。前記のバインダーポリマーの含有量が、前記の範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度および残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
【００２２】
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合性化合物（Ｂ）を含む。光重合性化合物（Ｂ）としては、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
【００２３】
前記の光重合性化合物は、３個以上の官能基を有する多官能光重合性化合物であることが好ましい。３官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられ、好ましくは、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートが挙げられ、より好ましくはジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートが挙げられる。
前記の光重合性化合物は、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられる。光重合性化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、通常、２０質量％以上８０質量％以下、好ましくは３０質量％以上７０質量％以下、より好ましくは３５質量％以上６５質量％以下である。光重合性化合物の含有量が、前記の範囲にあると、硬化が十分におこり残膜率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があり、好ましい。
【００２４】
本発明の感光性樹脂組成物において用いられる光重合開始剤（Ｃ）は、アセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンなどが挙げられる。また、複数のアセトフェノン系およびその他の光重合開始剤を組み合わせて使用してもよい。アセトフェノン系以外の光重合開始剤は、光を照射されることによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生剤、増感剤などが挙げられる。活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物などが挙げられる。
【００２５】
前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００２６】
前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、２−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００２７】
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００２８】
前記のトリアジン系化合物としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
【００２９】
前記のオキシム系化合物としては、例えば、Ｏ−アシルオキシム系化合物が挙げられ、その具体例としては、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−ブタン−１，２−ジオン２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−オクタン−１，２−ジオン２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−オクタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−ブタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート等が挙げられる。
【００３０】
活性ラジカル発生剤として、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
【００３１】
光重合開始助剤（増感剤）は、光重合開始剤と組み合わせて用いられことがあり、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物である。光重合開始助剤としては、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
【００３２】
アミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
【００３３】
アルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００３４】
チオキサントン系化合物としては、前記の光重合開始剤の例示と同じものを用いることができる。
【００３５】
光重合開始剤は、単独でも複数を組み合わせて使用しても差し支えない。また、光重合開始助剤として市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤としては、例えば、商品名「ＥＡＢ−Ｆ」（保土谷化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００３６】
酸発生剤としては、例えば、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムｐ−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などが挙げられる。
【００３７】
また、上記の活性ラジカル発生剤として記載した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。
【００３８】
本発明の感光性樹脂組成物における光重合開始剤（Ｃ）の含有量は、バインダーポリマー（Ａ）および光重合性化合物（Ｂ）の合計量１００質量部に対して、通常、０．１質量部以上２０質量部以下、好ましくは１質量部以上１５質量部以下である。光重合開始剤の含有量が、前記の範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上し、一方、高感度過ぎて解像度が不良にならない傾向があり、好ましい。
【００３９】
本発明の感光性樹脂組成物は溶剤（Ｄ）を含む。前記の溶剤（Ｄ）としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
【００４０】
エーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
ケトン類としては、例えば、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
アルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
エステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
アミド類としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。
その他の溶剤としては、例えば、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
【００４１】
前記の溶剤（Ｄ）の中でも、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、２−ヘプタノンなどが好ましく用いられる。
【００４２】
前記の溶剤（Ｄ）は、それぞれ単独でまたは２種類以上を組み合わせて用いることができる。溶剤（Ｄ）の含有量は、感光性樹脂組成物に対して質量分率で、通常、５０質量％以上９０質量％以下、好ましくは６０質量％以上８５質量％以下、より好ましくは質量％以上質量％以下である。溶剤の含有量が前記の範囲にあると、感光性樹脂組成物に含まれる他の成分を溶解することができ、また、液晶表示装置の透明膜を形成する際に適当な膜厚に調整できるので、好ましい。
【００４３】
本発明の感光性樹脂組成物は、充填剤、界面活性剤、バインダーポリマー以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミン化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよい。
【００４４】
充填剤としては、例えば、ガラス、アルミナなどの微粒子が挙げられる。
【００４５】
前記の界面活性剤としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤およびフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種を用いることができる。
シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＳＨ７ＰＡ、同ＤＣ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同ＳＨ２９ＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、ポリエーテル変性シリコンオイルＳＨ８４００（商品名：トーレシリコーン（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越シリコーン製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（ジーイー東芝シリコーン（株）製）などが挙げられる。
フッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、フロリナート（商品名）ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファック（商品名）Ｆ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０（大日本インキ化学工業（株）製）、エフトップ（商品名）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（新秋田化成（株）製）、サーフロン（商品名）Ｓ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（いずれも商品名：ＢＭ Ｃｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。
フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合およびフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、メガファック（商品名）Ｒ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（大日本インキ化学工業（株）製）などがあげられる。
また、界面活性剤として、上記の例示の他に、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１５、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６２、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６３、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６４、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６６、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６７、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６９、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７４、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８２（いずれもＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。
【００４６】
バインダーポリマー以外の高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【００４７】
密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００４８】
酸化防止剤としては、例えば、４，４’−チオビス（６−ｔ−ブチル−３−メチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェノールなどが挙げられる。
【００４９】
紫外線吸収剤としては、例えば、２−（２−ヒドロキシ−３−ｔ−ブチル−５−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾールなどのベンゾトリアゾール系、２−ヒドロキシ−４−オクチルオキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル−３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンゾエートなどのベンゾエート系、２−（４，６−ジフェニル−１，３，５−トリアジン−２−イル）−５−ヘキシルオキシフェノールなどのトリアジン系などが挙げられる。
【００５０】
凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００５１】
有機酸としては、例えば、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸類；
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類；
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類；
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類；
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類；
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
【００５２】
有機アミン化合物としては、例えば、ｎ―プロピルアミン、ｉ−プロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ｉ−ブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類；
シクロヘキシルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類；
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルｎ−プロピルアミン、エチルｎ−プロピルアミン、ジｎ−プロピルアミン、ジｉ−プロピルアミン、ジｎ−ブチルアミン、ジｉ−ブチルアミン、ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジｔ−ブチルアミン、ジｎ−ペンチルアミン、ジｎ−ヘキシルアミンなどのジアルキルアミン類；
メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルモノシクロアルキルアミン類；
ジシクロヘキシルアミンなどのジシクロアルキルアミン類；
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルｎ−プロピルアミン、ジエチルｎ−プロピルアミン、メチルジｎ−プロピルアミン、エチルジｎ−プロピルアミン、トリｎ−プロピルアミン、トリｉ−プロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、トリｉ−ブチルアミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、トリｔ−ブチルアミン、トリｎ−ペンチルアミン、トリｎ−ヘキシルアミンなどのトリアルキルアミン類；
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシクロアルキルアミン類；
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキルアミン類；
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノールなどのモノアルカノールアミン類；
４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミン類；
ジエタノールアミン、ジｎ−プロパノールアミン、ジｉ−プロパノールアミン、ジｎ−ブタノールアミン、ジｉ−ブタノールアミン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジｎ−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン類；
ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジシクロアルカノールアミン類；
トリエタノールアミン、トリｎ−プロパノールアミン、トリｉ−プロパノールアミン、トリｎ−ブタノールアミン、トリｉ−ブタノールアミン、トリｎ−ペンタノールアミン、トリｎ−ヘキサノールアミンなどのトリアルカノールアミン類；
トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類；
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオール類；
４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオールなどのアミノシクロアルカンジオール類；
１−アミノシクロペンタノンメタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類；
１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類；
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノカプロン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１−アミノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類；
アニリン、２−メチルアニリン、３−メチルアニリン、４−メチルアニリン、４−エチルアニリン、４−ｎ−プロピルアニリン、４−ｉ−プロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、４−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、４−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類；
２−アミノベンジルアルコール、３−アミノベンジルアルコール、４−アミノベンジルアルコール、４−ジメチルアミノベンジルアルコール、４−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類；
２−アミノフェノール、３−アミノフェノール、４−アミノフェノール、４−ジメチルアミノフェノール、４−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類；
３−アミノ安息香酸、４−アミノ安息香酸、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
【００５３】
硬化剤としては、例えば、加熱されることによってバインダーポリマー中のカルボキシル基と反応してバインダーポリマーを架橋することができる化合物が挙げられる。また、それ単独で重合してパターンを硬化させ得る化合物も挙げられる。前記化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。
【００５４】
前記のエポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
【００５５】
前記のオキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
【００５６】
本発明の感光性樹脂組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。前記のエポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。
【００５７】
前記の多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、３，４−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類；
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類；
ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
【００５８】
前記の多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類；
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類；
無水ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類；
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
【００５９】
前記のカルボン酸無水物類としては、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記の市販されているエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、アデカハードナーＥＨ−７００（旭電化工業（株）製）、リカシッドＨＨ（新日本理化（株）製）、ＭＨ−７００（新日本理化（株）製）などが挙げられる。
【００６０】
前記の硬化剤は、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６１】
本発明の感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する方法としては、具体的には、本発明の感光性樹脂組成物を、基板または基板の上に先に形成した固体の着色感光性樹脂組成物層（以下、これを基板等ということがある。）の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層から溶剤など揮発成分を除去し、フォトマスクを介して揮発成分が除去された層を露光したのち、現像する方法が挙げられる。
【００６２】
基板としては、例えば、ガラス基板、シリコン基板、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミド基板、Ａｌ基板、ＧａＡｓ基板などの表面が平坦な基板が挙げられる。これらの基板は、シランカップリング剤などの薬品による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処理、スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理などの前処理が施されていてもよい。基板としてシリコン基板などを用いる場合、前記シリコン基板などの表面には電荷結合素子（ＣＣＤ）、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）などが形成されていてもよい。
【００６３】
前記の基板の上に感光性樹脂組成物を塗布するには、例えば、本発明の感光性樹脂組成物を回転塗布法（スピンコート法）、流延塗布法、ロール塗布法、スリット＆スピンコート法、スリットコート法、ダイコート法、カーテンフローコート法などの省液コーターを用いて塗布する方法などの公知の塗布方法で基板等の上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を加熱により揮発させればよい。このようにして、基板等の上に感光性樹脂組成物の固形分からなる層が形成される。中でも大きな基板等、例えば、１ｍ角より大きい基板等については、スリットコーターを用いて感光性樹脂組成物を塗布するスリットコート法が好ましい。前記のスリットコーターとしては、例えば、特開２００１−３１０１５２号公報や、特開２００１−６２３７０号公報に開示されている装置や、（株）ヒラノテクシードや東京応化（株）から市販されている装置が好ましく用いられる。
【００６４】
次いで、感光性樹脂組成物の固形分からなる層（以下、これを感光性樹脂組成物層ということがある。）を露光する。露光するには、例えば、フォトマスクを介して光線を照射すればよい。光線としては通常、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）と呼ばれる紫外線などが用いられる。光線はフォトマスクを介して照射されるが、ここでフォトマスクは、例えば、ガラス板の表面に光線を遮蔽する遮光層が設けられたものである。ガラス板のうちの遮光層が設けられていない部分は光線が透過する透光部であって、この透光部のパターンに従ったパターンで感光性樹脂組成物層が露光されて、光線が照射されなかった未照射領域と、光線が照射された照射領域とが生ずる。照射領域における光線の照射量は、バインダーポリマーの重量平均分子量、単量体比、含有量、光重合性化合物の種類や含有量、光重合開始剤の種類や含有量、光重合開始助剤の種類や含有量などによって適宜選択される。
また、マスクの形状により、形成される透明パターンの形状を制御することができ、得られるパターンの基板面に対する水平断面の形状としては、例えば、三角形、四角形、五角形、六角形などの多角形や、円形、楕円形などが挙げられる。また、得られるパターンの基板面に対して垂直断面の形状としては、例えば、矩形や、台形状が挙げられるが、台形状がより好ましい。
【００６５】
露光後、現像する。現像するには、例えば、露光後の感光性樹脂組成物層を現像液と接触させればよく、具体的にはその表面上に感光性樹脂組成物層が形成された状態の基板を現像液に浸漬するか、現像液をシャワー状で吹きかければよい。現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性化合物の水溶液などが挙げられる。現像によって、感光性樹脂組成物層のうちの光線が照射されなかった未照射領域は除去される。その一方で、光線照射領域はそのまま残ってパターンを構成する。
【００６６】
現像後、通常は水洗し、乾燥することにより、目的とするパターンを得ることができる。乾燥後、加熱してもよい。パターンを加熱することによって硬化して、その機械的強度が向上する傾向にあり、感光性樹脂組成物として硬化剤を含有するものを用いた場合には、機械的強度をより向上することができる。加熱温度は通常１８０℃以上、好ましくは２００℃以上であり、通常２５０℃以下である。加熱温度が１８０〜２５０℃であると、塗膜の機械強度が向上、耐溶剤性、耐液晶性が向上し、好ましい。加熱時間は、通常５分〜１２０分、好ましくは１０分〜６０分、さらに好ましくは、１５分〜４０分である。加熱時間が５分〜１２０分であると、塗膜の機械強度が向上し、好ましい。
【実施例】
【００６７】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行なったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
【００６８】
本実施例で用いる成分は以下の通りで、以下、省略して表示することがある。
（Ａ−１）メタクリル酸、ベンジルメタクリレートおよび式（Ｉ）で表される成分［式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］との共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位と前記の式（Ｉ）で表される成分との組成比は物質量比（モル比）で２５：６０：１５、酸価は７０、ポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）は９，０００である。］
（Ａ−２）メタクリル酸、ベンジルメタクリレートおよび式（Ｉ）で表される成分［式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］との共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位と前記の式（Ｉ）で表される成分との組成比は物質量比（モル比）で２５：６０：１５、酸価は７０、ポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）は６，０００である。］
（Ａ−３）メタクリル酸、ベンジルメタクリレートおよび式（Ｉ）で表される成分［式（Ｉ）中、Ｒ１はメチル基を表し、Ｒ２は水素原子を表す。］との共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位と前記の式（Ｉ）で表される成分との組成比は物質量比（モル比）で２７：５８：１５、酸価は８８、ポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）は１５，０００である。］
【００６９】
2005049842.tif 000005
【００７０】
（Ａ−４）バインダーポリマー：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、ポリスチレン換算重量平均分子量は２５，０００］
（Ａ−５）バインダーポリマー：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、ポリスチレン換算重量平均分子量は１５，０００］
（Ｂ）光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（Ｃ−１）光重合開始剤：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン
（Ｃ−２）光重合開始剤：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン
（Ｄ−１）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
（Ｄ−２）溶剤：３−エトキシプロピオン酸エチル
（Ｅ）エポキシ化合物：オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、［スミエ      ポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０（住友化学工業（株）製）］
（Ｆ）界面活性剤：ポリエーテル変性シリコンオイルＳＨ８４００（トーレシリ      コーン（株）製）
（Ｇ）４−ヒドロキシ−３−メトキシベンジリデンマロン酸ジエチル
（Ｈ）光重合開始助剤：４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
【００７１】
上記のバインダーポリマーの重量平均分子量の測定については、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行なった。
装置；ＨＬＣ-８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム；ＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬ
カラム温度；４０℃
溶媒；ＴＨＦ
流速；１．０ｍｌ／ｍｉｎ
注入量；５０μｌ
検出器；ＲＩ
【００７２】
上記のバインダーポリマーの酸価の測定については、バインダーポリマー１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定した。
【００７３】
実施例１
〔感光性樹脂組成物の製造〕
（Ａ−１）              ３．９３５質量部
（Ｂ）                  ３．２２０質量部
（Ｃ−１）              ０．５７２質量部
（Ｄ−１）            １３．１３５質量部
（Ｄ−２）              ８．７６０質量部
（Ｅ）                  ０．３５８質量部
（Ｆ）                  ０．００６質量部
（Ｇ）                  ０．０１４質量部
を混合して感光性樹脂組成物１を得た。
【００７４】
〔スリットコーターでの評価〕
得られた感光性樹脂組成物１を、スリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、平坦性が良好で、ムラがない塗膜が得られた。
〔パターンの形成〕
ガラス基板〔コーニング社製、「＃１７３７」〕の上に、得られた感光性樹脂組成物１をスピンコート法で塗布したのち、１００℃で３分間乾燥して揮発分を揮発させて、感光性樹脂組成物層を形成した。
冷却後、この感光性樹脂組成物層にフォトマスクを介してｉ線〔波長３６５ｎｍ〕を照射して露光した。ｉ線の光源としては、超高圧水銀ランプを用い、照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ2とした。フォトマスクとしては、線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターン、線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンの画素を形成するためのフォトマスクを用いた。
【００７５】
次いで露光後のガラス基板を現像液〔質量分率で水酸化カリウムを０．０５％、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％それぞれ含む水溶液〕に浸漬して現像し、純水で洗浄した。その後、２３０℃で２０分間加熱して、透明なパターンを形成した。
【００７６】
〔評価〕
線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターン、線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンの画素が形状よく作成できているかを判断したところ、線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターン、線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンともに作成されていた。また、表面荒れおよび透過率の低下がなく、粒状異物等の塗布欠陥も発生しなかった。
【００７７】
実施例２
実施例１の（Ａ−１）を（Ａ−２）に変更する以外は、実施例１と同様にして感光性樹脂組成物２を得た。
〔スリットコーターでの評価〕
得られた感光性樹脂組成物２を、スリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、平坦性が良好で、ムラがない塗膜が得られた。
〔評価〕
実施例１と同様に評価したところ、線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターン、線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンの画素が形状よく作成できているかを判断したところ、線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターン、線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンともに作成されていた。また、表面荒れおよび透過率の低下がなく、粒状異物等の塗布欠陥も発生しなかった。
【００７８】
比較例１
実施例１の（Ａ−１）を（Ａ−３）に変更する以外は、実施例１と同様にして感光性樹脂組成物３を得た。
〔スリットコーターでの評価〕
得られた感光性樹脂組成物３を、スリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、平坦性が不良で、ムラがある塗膜が得られた。
〔評価〕
実施例１と同様に評価したところ、線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターン、線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンともに裾引きが見られた。表面荒れおよび透過率の低下はなく、粒状異物等の塗布欠陥も発生しなかった。
【００７９】
比較例２
実施例１の（Ａ−１）を（Ａ−４）に変更する以外は、実施例１と同様にして感光性樹脂組成物４を得た。
〔スリットコーターでの評価〕
得られた感光性樹脂組成物４を、スリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、平坦性が不良で、ムラがある塗膜が得られた。
〔評価〕
実施例１と同様に評価したところ、線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターン、線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンともに裾引きが見られた。表面荒れおよび透過率の低下も見られ、粒状異物等の塗布欠陥も発生した。
【００８０】
比較例３
実施例１の（Ａ−１）を（Ａ−５）に変更する以外は、実施例１と同様にして感光性樹脂組成物５を得た。
〔スリットコーターでの評価〕
得られた感光性樹脂組成物５を、スリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、平坦性が不良で、ムラがある塗膜が得られた。
〔評価〕
実施例１と同様に評価したところ、線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターンおよび線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンともに裾引きが見られた。表面荒れおよび透過率の低下も見られ、粒状異物等の塗布欠陥も発生した。
【００８１】
実施例３
実施例１の（Ｃ）０．５７２質量部を（Ｃ）０．１９１質量部に変更し、さらに（Ｈ）０．３８１質量部を追加する以外は、実施例１と同様にして感光性樹脂組成物６を得た。
〔スリットコーターでの評価〕
得られた感光性樹脂組成物６を、スリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、平坦性が良好で、ムラがない塗膜が得られた。
〔評価〕
実施例１と同様に評価したところ、線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターン、線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンの画素が形状よく作成できているかを判断したところ、線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターン、線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンともに作成されていた。また、表面荒れおよび透過率の低下がなく、粒状異物等の塗布欠陥も発生しなかった。
【００８２】
実施例４
〔感光性樹脂組成物７の製造〕
（Ａ−１）              ２．２２９質量部
（Ｂ）                  ２．７２５質量部
（Ｃ−２）              ０．１４９質量部
（Ｄ−１）              ８．６３７質量部
（Ｄ−２）              ０．９６０質量部
（Ｅ）                  ０．２４８質量部
（Ｆ）                  ０．００３質量部
（Ｇ）                  ０．０５０質量部
を混合して感光性樹脂組成物７を得た。
【００８３】
〔スリットコーターでの評価〕
得られた感光性樹脂組成物７を、スリットコーターを用いて塗膜を形成したところ、平坦性が良好で、ムラがない塗膜が得られた。
〔評価〕
実施例１と同様に評価したところ、線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターン、線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンの画素が形状よく作成できているかを判断したところ、線幅２０μｍ×２０μｍの抜きパターン、線幅２０μｍ×２０μｍの残しパターンともに作成されていた。また、表面荒れおよび透過率の低下がなく、粒状異物等の塗布欠陥も発生しなかった。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明の感光性樹脂組成物は、オーバーコート、フォトスペーサー、着色パターンの膜厚を合わせるための透明コート層などを形成するのに有用である。