(57)【要約】【課題】  長尺化しても自重による影響が排除できて、長寿命化と発光効率向上が実現できるエキシマランプを提供する。【解決手段】  外部管と内部管との間に放電空間を形成した中空二重円筒管と、外部管の外側面に配された外部電極と、内部管の内側面に配された内部電極と、を有し、高周波電圧を印加することで放電空間内にエキシマ放電を起こしエキシマ光を放出するエキシマランプにおいて、金属線をつるまきばね様に曲げた形状の内部電極は内部管の内側面に密着し、金属線をつるまきばね様に曲げた形状の外部電極は外部管の外側面に密着している。【選択図】      図１
2005142064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部管と内部管との間に放電空間を形成した中空二重円筒管と、前記外部管の外側面に配された外部電極と、前記内部管の内側面に配された内部電極と、を有し、前記外部電極と前記内部電極との間に高周波電圧を印加することで前記放電空間内の放電用ガスにエキシマ放電を起こし外部にエキシマ光を放出するエキシマランプにおいて、
前記内部電極は、金属線をつるまきばね様に曲げた形状を有し、前記内部管の内側面に密着している
ことを特徴とするエキシマランプ。
【請求項２】
外部管と内部管との間に放電空間を形成した中空二重円筒管と、前記外部管の外側面に配された外部電極と、前記内部管の内側面に配された内部電極と、を有し、前記外部電極と前記内部電極との間に高周波電圧を印加することで前記放電空間内の放電用ガスにエキシマ放電を起こし外部にエキシマ光を放出するエキシマランプにおいて、
前記内部電極は、前記内部管の内側面に、導電性材料をコーティングすることにより形成されている
ことを特徴とするエキシマランプ。
【請求項３】
外部管と内部管との間に放電空間を形成した中空二重円筒管と、前記外部管の外側面に配された外部電極と、前記内部管の内側面に配された内部電極と、を有し、前記外部電極と前記内部電極との間に高周波電圧を印加することで前記放電空間内の放電用ガスにエキシマ放電を起こし外部にエキシマ光を放出するエキシマランプにおいて、
前記外部電極は、金属線をつるまきばね様に曲げた形状を有し、前記外部管の外側面に密着している
ことを特徴とするエキシマランプ。
【請求項４】
外部管と内部管との間に放電空間を形成した中空二重円筒管と、前記外部管の外側面に配された外部電極と、前記内部管の内側面に配された内部電極と、を有し、前記外部電極と前記内部電極との間に高周波電圧を印加することで前記放電空間内の放電用ガスにエキシマ放電を起こし外部にエキシマ光を放出するエキシマランプにおいて、
前記外部電極は、前記外部管の外側面に、導電性材料を蒸着又はコーティングをすることにより形成されている
ことを特徴とするエキシマランプ。
【請求項５】
請求項４に記載のエキシマランプにおいて、
照射窓部が前記中空二重円筒管の中心から見て４５度乃至１８０度の開口となるように、前記外部電極が配されている
ことを特徴とするエキシマランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプの技術分野に係り、特に、内部管と内部電極との密着性或いは外部管と外部電極との密着性が良好なエキシマランプの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の放電ランプは、メッシュ又は網目模様の金属薄板を円筒形状にして内部管内側に配して内部電極としたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
また、外部管と外部電極との間の僅かな空隙によって発光効率が影響を受けることに着目して、外部管と外部電極との密着性を向上させるべく、穿孔した金属板を外部電極として採用することが知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開２００３−２０３６０９号公報（段落番号［００７８］など）
【特許文献２】特開２０００−２３５８４０号公報（請求項２、段落番号［０００４］乃至［０００５］など）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
エキシマランプの用途として、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ：Liquid Crystal Display）製造工程におけるドライ洗浄が挙げられるが、近年のＬＣＤの大型化に伴い、エキシマランプの長尺化の要請がある。
【０００５】
ところが、エキシマランプを長尺にするとき、従来のエキシマランプの構造のまま長尺にすると電極とランプの自重によってエキシマランプ自体に撓みが生じ、これによる内部応力の影響が無視できず、エキシマランプの寿命が短くなる傾向があった。
【０００６】
また、エキシマランプの全長にわたって、内部管と内部電極との密着性或いは外部管と外部電極との密着性を確保することは困難となり、管と電極との間に空隙が生じ、発光効率が低下する傾向があった。
【０００７】
本発明は、上述の要請に応えるべくなされたものであって、その目的は、長寿命化を図ったエキシマランプを提供すること、発光効率を向上したエキシマランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
【０００９】
第１の発明に係るエキシマランプは、外部管（３）と内部管（４）との間に放電空間（６）を形成した中空二重円筒管（１ａ）と、外部管（３）の外側面に配された外部電極（２）と、内部管（４）の内側面に配された内部電極（５）と、を有し、外部電極（２）と内部電極（５）との間に高周波電圧を印加することで放電空間（６）内の放電用ガス（６ａ）にエキシマ放電を起こし外部にエキシマ光を放出するエキシマランプ（１）において、内部電極（５）は、金属線をつるまきばね様に曲げた形状を有し、内部管（４）の内側面に密着している、ことを特徴とする。
【００１０】
第２の発明に係るエキシマランプは、外部管（３）と内部管（４）との間に放電空間（６）を形成した中空二重円筒管（２１ａ）と、外部管（３）の外側面に配された外部電極（２２）と、内部管（４）の内側面に配された内部電極（２５）と、を有し、外部電極（２２）と内部電極（２５）との間に高周波電圧を印加することで放電空間（６）内の放電用ガス（６ａ）にエキシマ放電を起こし外部にエキシマ光を放出するエキシマランプ（２１）において、内部電極（２５）は、内部管（４）の内側面に、導電性材料をコーティングすることにより形成されている、ことを特徴とする。
【００１１】
第３の発明に係るエキシマランプは、外部管（３）と内部管（４）との間に放電空間（６）を形成した中空二重円筒管（１ａ）と、外部管（３）の外側面に配された外部電極（２）と、内部管（４）の内側面に配された内部電極（５）と、を有し、外部電極（２）と内部電極（５）との間に高周波電圧を印加することで放電空間（６）内の放電用ガス（６ａ）にエキシマ放電を起こし外部にエキシマ光を放出するエキシマランプ（１）において、外部電極（２）は、金属線（２ａ）をつるまきばね様に曲げた形状を有し、外部管（３）の外側面に密着している、ことを特徴とする。
【００１２】
第４の発明に係るエキシマランプは、外部管（３）と内部管（４）との間に放電空間（６）を形成した中空二重円筒管（２１ａ）と、外部管（３）の外側面に配された外部電極（２２）と、内部管（４）の内側面に配された内部電極（２５）と、を有し、外部電極（２２）と内部電極（２５）との間に高周波電圧を印加することで放電空間（６）内の放電用ガス（６ａ）にエキシマ放電を起こし外部にエキシマ光を放出するエキシマランプ（２１）において、外部電極（２２）は、外部管（３）の外側面に、導電性材料を蒸着又はコーティングすることにより形成されている、ことを特徴とする。
【００１３】
第５の発明に係るエキシマランプは、第４の発明に係るエキシマランプにおいて、照射窓部が中空二重円筒管の中心から見て４５度乃至１８０度の開口となるように、外部電極（２２）が配されている、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
第１の発明に係るエキシマランプによれば、内部電極は、金属線をつるまきばね様に曲げた形状を有し、内部管の内側面に密着しているので、内部管と内部電極との間に空隙は生じない。よって、良好な発光効率を得ることができる。
【００１５】
第２の発明に係るエキシマランプによれば、内部電極は、内部管の内側面に、導電性材料をコーティングすることにより形成されているので、内部管と内部電極との間に空隙は生じない。よって、良好な発光効率を得ることができる。
【００１６】
また、金属薄板製の内部電極を省くことができるので、エキシマランプは内部電極の質量だけ自重を少なくすることができる。その結果、エキシマランプ自体の撓みを少なくなり、撓みによる内部応力の影響を少なくすることが可能になる。
【００１７】
第３の発明に係るエキシマランプによれば、外部電極は、金属線をつるまきばね様に曲げた形状を有し、外部管の外側面に密着しているので、外部管と外部電極との間に空隙は生じない。よって、良好な発光効率を得ることができる。
【００１８】
第４の発明に係るエキシマランプによれば、外部電極は、外部管の外側面に、導電性材料を蒸着又はコーティングすることにより形成されているので、外部管と外部電極との間に空隙は生じない。よって、良好な発光効率を得ることができる。
【００１９】
また、金属薄板製の外部電極を省くことができるので、エキシマランプは外部電極の質量だけ自重を少なくすることができる。その結果、エキシマランプ自体の撓みを少なくなり、撓みによる内部応力の影響を少なくすることが可能になり、長尺にしてもエキシマランプの長寿命化が可能となる。
【００２０】
第５の発明に係るエキシマランプによれば、第４の発明に係るエキシマランプにおいて、照射窓部が中空二重円筒管の中心から見て４５度乃至１８０度の開口となるように、外部電極が配されているので、エキシマ光の外部への放出に際して外部電極が障害となることがない。よって、良好な発光効率を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明のエキシマランプについて図面を参照しつつ説明する。
【００２２】
（実施例１）
図１は、本発明のエキシマランプの一例を示す正面図（ａ）およびＡ−Ａ断面図（ｂ）であり、図２は、図１に示したエキシマランプ本体の内部構造の一例を示す正面図（ａ）およびＢ−Ｂ断面図（ｂ）である。
【００２３】
本実施例１に係るエキシマランプ１は、外部管３と内部管４との間に放電空間６を形成した中空二重円筒管１ａであり、外部管３の外側面には外部電極２が配され、内部管４の内側面には内部電極５が配されている。放電空間６内には放電用ガス６ａが封入されており、外部電極２と内部電極５との間に高周波電圧を印加することで生じるエキシマ放電によって、放電用ガス６ａはエキシマランプ１の外部にエキシマ光を放出する。
【００２４】
外部管：外部管３は、一方の端が密閉され、他方の端が開口している円筒形状をしている。密閉された側の端には段差が設けられており、後述する内部管４の端が勘合されている。
【００２５】
外部管３の外径は、放電層の厚さ（外部電極と内部電極との間の距離）に影響を与えるので内部管４の外径との関係によって決定されるが、例えば２０ｍｍ以上３５ｍｍ以下が好ましい。
【００２６】
外部管３の肉厚は、エキシマ光の透過率を低下させないために極力薄くすることが好ましいが、エキシマランプ本体１ａの自重に耐え得る程度の肉厚が必要であり、エキシマランプ本体１ａの長さとの関係で決定される。例えば、０．８ｍｍ以上１．５ｍｍ以下が好ましい。
【００２７】
外部管３の長さは、自重による撓みに耐え得る力や被照射体の大きさとの関係から決定される。１００〜２５００ｍｍ程度の長さが好ましい。
【００２８】
外部管３の材質は、放電空間６内で生じるエキシマ放電によって劣化せず、且つ、発生したエキシマ光を減衰させることなく透過させることに優れた誘電材料であればよい。放電空間６で生じるエキシマ光の波長によって外部管３の材質の劣化の程度やエキシマ光の透過率が影響を受けるので、発生するエキシマ光の波長との関係で決定されるべきものである。エキシマ光の波長は放電用ガス６ａの種類によって決まるので、外部管３の材質は放電用ガス６ａの種類によって決定される。例えば、放電用ガス６ａがキセノンガスの場合、エキシマ光の波長は１７２ｎｍでエキシマ光の光子エネルギは１６６ｋｃａｌ／ｍｏｌであり、外部管３の材質として合成石英（ＳｉＣｌ４）が好ましく用いられる。アルゴンガスの場合の波長は１２６ｎｍで光子エネルギは２２７ｋｃａｌ／ｍｏｌであり、クリプトンガスの場合の波長は１４６ｎｍで光子エネルギは１９６ｋｃａｌ／ｍｏｌである。よって、放電用ガス６ａがアルゴンガスまたはクリプトンガスの場合はフッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）等フッ素系化合物が好ましく用いられる。
【００２９】
なお、外部管３の内壁には蛍光体膜を形成してもよく、蛍光灯とすることもできる。
【００３０】
外部電極：外部電極２は、断面が円形の金属線をつるまきばね様に曲げた形状を有し、外部管の全長にわたって外側面に密着して配されている。照射窓側ではエキシマ光の照射を遮ることとならないよう、外部電極２はリードを大きくして空隙を設けてある。リードは２ｍｍ乃至３０ｍｍ程度である。
【００３１】
外部電極２が外部管３に密着して配されたとき外部電極２は外部管３を外側から押すこととなるので、この押す力が外部管３を破壊しない程度に小さくなるよう外部電極２の線径は小さいことが好ましい。この押す力は外部電極２の材質、熱処理による外部電極２の特性等と密接に関係するので線径を一概に規定することは困難であるが、例えば、０．１ｍｍ乃至０．５ｍｍが好ましい。
【００３２】
外部電極２の材質は、良好な金属導電性を有し且つ放電率が高くなる材質、加工し易い材質が好ましい。具体的には、ステンレス鋼、アルミニウムまたはアルミニウム合金が使用される。他の金属としては、銅、酸化銅、またはそれらの合金、酸化イットリウム、酸化イットリウムアルミニウム、その他の金属等の中から良好な金属導電性を有し、かつ、放電率が高く、弾性があるものから選定されてもよい。
【００３３】
内部管：内部管４は、外部管３の密閉端と同じ側の端が密閉され、他方の端が開放された円筒形状をしている。内部管４の密閉端は、外部管３の密閉端が有する段差に勘合している。即ち、内部管４の密閉端の外径は外部管３の段差部分の内径に等しく、勘合されることで内部管４と外部管３とは同軸に配置されている。
【００３４】
内部管４の外径は、放電層の厚さ（外部電極２と内部電極５との間の距離）に影響を与えるので外部管３の内径との関係によって決定される。放電を安定させる等の理由から、外部電極２と内部電極５との間の距離が１０ｍｍ以下となるよう、外部管の外径が２０ｍｍ以上３５ｍｍ以下の場合、放電用ガス６ａの放電層の厚さが４ｍｍ〜７ｍｍが好ましい。具体的には、内部管４の外径が１０ｍｍ以上２５ｍｍ以下が好ましい。例えば、肉厚が１．２５ｍｍの石英を使い、外側管３の外径を３０ｍｍ、内側管４の外径を１６．５ｍｍとすれば、放電層の厚さは５．５ｍｍ、外部電極２と内部電極５との間の距離は８ｍｍとなって上記条件を満たす。
【００３５】
内部管４の肉厚は、エキシマランプ本体１ａの自重に耐え得る程度の肉厚が必要であり、エキシマランプ本体１ａの長さとの関係で決定される。例えば、０．８ｍｍ以上１．５ｍｍ以下が好ましい。
【００３６】
内部管４の長さは、内部管４の自重による撓みに耐え得る力や被照射体の大きさとの関係から決定される。本実施例の場合、内部管４の密閉端が外部管３の密閉端に勘合した形状であるから、内部管４の長さは外部管３の長さにほぼ等しい。
【００３７】
内部管４の材質は、放電空間６内で生じるエキシマ放電によって劣化しない誘電材料であればよい。
【００３８】
内部電極：内部電極５は、断面が円形の金属線をつるまきばね様に曲げた形状を有し、内部管４の内側面に密着している。ランプの長寿命化のために内部管４の内部に冷却用の窒素ガスを流すので、つるまきばね様に曲げた金属線は空隙を設けてあるほうが好ましい。
【００３９】
内部電極５が内部管４に密着して配されたとき内部電極５は内部管４を内側から押すこととなるので、この押す力が内部管４を破壊しない程度に小さくなるよう金属線の線径は小さいことが好ましい。この押す力は金属線の材質、熱処理による金属線の特性等と密接に関係するので、線径を一概に規定することは困難であるが、例えば、０．２ｍｍ乃至１．５ｍｍが好ましい。
【００４０】
内部電極５の材質は、外部電極２の材質と同じとしてよい。
【００４１】
放電用ガス：上述したように、放電用ガス６ａの種類によって発光するエキシマ光の波長が決定するので、入手したいエキシマ光の波長、光子エネルギによって放電用ガス６ａの種類が決定される。エキシマ光を得るためには、キセノンガス、アルゴンガス又はクリプトンガスといった希ガス、或いは、キセノンガス、アルゴンガス又はクリプトンガスのうちのいずれか一つのガスとハロゲンガスとの混合ガスが好ましく用いられる。
【００４２】
また、安定した放電を確保するために放電用ガス６ａの封入圧が決定される。例えば、５ｋＰａ以上１５０ｋＰａ以下の封入圧が好ましい。
【００４３】
ランプ本体およびキャップ：上述したように、内部管４と外部管３とが同軸に配された中空二重円筒管形状のエキシマランプ本体１ａは、開放端側にキャップ１ｂを有し塞がれている。即ち、内部管４と外部管３とがキャップ１ｂの隔壁と支持壁との間に挿入され、上述したキャップ１ｂに篏合されている。
【００４４】
キャップ１ｂに一体化されてなる隔壁１１ａは、内部電極５の内側に配置され、その先端は、図２に示すように、エキシマランプ本体１ａの先端１ｃ近傍にまで延びている。こうした隔壁１１ａを設けることにより、内部管４の内部に充填する冷却ガス４ａを、内部管４の先端１ｃまで充填できるとともに、冷却ガス４ａを均一に循環させることができる。さらに、この隔壁１１ａにより内部管４の内部が第１の空間部１５及び第２の空間部１６に仕切られる。また、キャップ本体１１には、冷却ガス４ａを出力継手１３から流出するための流路１１ｆと、冷却ガス４ａを入力継手１２からエキシマランプ本体１ａ内へ流入するための流路１１ｇと、第２の空間部１６と空間部１１ｅとを接続するための流路１１ｄとが形成されている。なお、第２の空間部１６は、隔壁１１ａと内部管４との間をなし、空間部１１ｅは、エキシマランプ本体１ａと支持壁１１ｂとの間をなしている。キャップ１ｂの材質は、エキシマ光に対して耐性を有する絶縁材料が好ましく、例えば、セラミック等を用いることができる。
【００４５】
入力継手１２と出力継手１３は、冷却ガス４ａを循環させるための冷却ガス循環装置等（図示省略）に接続される。冷却ガス４ａは、入力継手１２よりエキシマランプ本体１ａの内部に流入し、第１の空間部１５を通過して、先端１ｃまで流入した後、第２の空間部１６を循環し、流路１１ｄを通り、空間部１１ｅから外部へと放出される。
【００４６】
なお、本実施例１の変形例として、放熱量が少ない場合には入力継手１２と出力継手１３を省いてもよい。また、キャップ１ｂに形成している隔壁１１ｂは、冷却ガス４ａが内部管４内を均一に循環するために設けたものであるが、なくても構わない。
【００４７】
以上の構成を有するエキシマランプが給電ケーブル１４、１４ａを介して電源装置（図示省略）に接続され外部電極２と内部電極５との間に高周波電圧が印加されると、放電空間６内で放電が生じエキシマ光が照射窓を通じて外部に放出される。
【００４８】
このとき、印加される高周波電圧は、放電用ガス６ａが放電するに足るだけの電圧であれば足りるが、安定した放電を確保するために、例えば、１ＭＨｚ乃至３ＭＨｚの周波数で１ｋＶ乃至５０ｋＶの電圧が好ましい。
【００４９】
この実施例１では以下の効果を有する。
●  外部電極２は外部管３の外側面に密着しているので、外部管３と外部電極２との間に空隙は生じない。よって、良好な発光効率を得ることができる。また、放電によって生じる熱は外部管３から外部電極２に伝わって外部電極２で放熱される。従って、エキシマランプ本体１ａの温度上昇を抑えることが可能となる。
●  内部電極５は内部管４の内側面に密着しているので、内部管４と内部電極５との間に空隙は生じない。よって、良好な発光効率を得ることができる。
【００５０】
なお、本発明は、上記実施例１に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
○  外部電極２は、断面が円形の金属線２ａをつるまきばね様に曲げた形状の他に、断面が正方形又は長方形の金属線（角線又は矩形線）をつるまきばね様に曲げた形状（図３）とし、外部管３の外側面に密着して配しても、上記実施例１と同様に外部電極としての機能を果たす。断面が円形の外部電極２に比して外部管３との接触面積を大きくでき、放電を効率よく行うことができる。角線の場合、対辺は０．１〜０．５ｍｍが好ましく、矩形線の場合、厚さ０．１〜０．５ｍｍで幅０．３〜１．５ｍｍが好ましい。
○  内部電極５は、断面が円形の金属線をつるまきばね様に曲げた形状の他に、断面が正方形又は長方形の金属線（角線又は矩形線）をつるまきばね様に曲げた形状とし、内部管４の内側面に密着して配しても、上記実施例１と同様に内部電極としての機能を果たす（大きさは異なるが形状は図３に同じであるから図示を省略する。）。断面が円形の金属線に比して内部管４との接触面積を大きくでき、放電を効率よく行うことができる。
○  上記実施例１では、エキシマランプ本体１ａの先端に段差を有する構成、即ち、外部管３の先端に設けられた段差に内部管４の先端が勘合して配される構成としたが、これに限定されるものではない、例えば、外部管３、内部管４共に両端が開放された形状とし、内部管４と外部管３とが同軸に配された中空二重円筒管形状を構成するように、キャップ１ｂで両端を密閉して固定する構成としても良い。
○  外部電極２に放熱フィン等のヒートシンクを、照射窓と反対の側に設けてもよい。この場合、放熱フィンによって外部への放熱効率が向上し、エキシマランプ本体１ａの温度上昇を更に抑えることが可能となる。
【００５１】
（実施例２）
図４は、本発明の実施例２に係るエキシマランプの一例を示す正面図（ａ）および左側断面図（ｂ）である。なお、図４において、図１と共通する部分には同一符号を付し、それらの説明は以下においては省略する。
【００５２】
本実施例２に係るエキシマランプ２１は、外部管３の外側面に導電性材料をコーティングすることにより外部電極２２が形成され、内部管４の内側面に導電性材料をコーティングすることにより内部電極２５が形成されている点が、上記実施例１と異なる点である。
【００５３】
外部電極２２は、エキシマランプ２１の照射窓部２３が中空二重円筒管の中心から見て４５度乃至１８０度の開口となるように、配されている。
【００５４】
導電性材料：導電性材料は、エキシマ光に対して耐性を有する材料で、外部管２に対してコーティング可能な材料であれば良い。例えば、ＳｎＯ２が好ましい。ＳｎＯ２系のＩＴＯ（Indium Tin Oxide：In2O3-SnO2）などでもよい。
【００５５】
外部管３への導電性材料のコーティングは、まず最初に照射窓部２３が中空二重円筒管２１ａの中心から見て４５度乃至１８０度の開口となるように照射面側をマスキングし、次に導電性材料をコーティングし、高温に晒してコーティング材料を乾燥させると共にマスキング材を燃焼させ、最後に洗浄するという工程を経て行われる。
【００５６】
また、別の製造方法として、外部管の照射窓部を耐熱性の網状または格子状、スパイラル状、縦又は横のストライプ状のマスキング材料を付け高温に晒して導電性材料を吹き付ける。その後、室温まで温度を下げた後にマスキング材料をはずし洗浄する、という方法もある。
【００５７】
内部管４の場合、マスキング工程がない点が外部管３の場合と異なるだけで、外部管３と同様の方法でコーティングがされる。
【００５８】
この実施例２に係るエキシマランプでは上記実施例１に係るエキシマランプの効果の他に以下の効果を有する。
●  外部電極２２は、外部管３の外側面に、導電性材料がコーティングされて形成されているので、外部管３と外部電極２２との間に空隙は生じない。よって、良好な発光効率を得ることができる。
●  金属薄板製の外部電極を省くことができるので、エキシマランプは外部電極の質量だけ自重を少なくすることができる。その結果、エキシマランプ２１自体の撓みを少なくなり、撓みによる内部応力の影響を少なくすることが可能になり、長尺にしてもエキシマランプの長寿命化が可能となる。
●  マスキングにより照射面側の開口部の大きさが決定できるので、簡易な方法で正確に開口部を設定でき、良好な発光効率を得ることができる。
●  内部電極２５は、内部管４の内側面に、導電性材料がコーティングされて形成されているので、内部管４と内部電極２５との間に空隙は生じない。よって、良好な発光効率を得ることができる。
●  金属薄板製の内部電極を省くことができるので、エキシマランプは内部電極の質量だけ自重を少なくすることができる。その結果、エキシマランプ２１自体の撓みを少なくなり、撓みによる内部応力の影響を少なくすることが可能になり、長尺にしてもエキシマランプの長寿命化が可能となる。
【００５９】
なお、本発明は、上記実施例２に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
○  外部管３の外側面に導電性材料を蒸着することにより、外部電極が形成されるようにしてもよい。蒸着する材料として、上記ＳｎＯ２系のほかにアルミなども好ましい。
○  マスキング工程において、照射面側に、網目模様、亀甲繋模様などの模様をマスキングすることもできる。照射面側にエキシマ光の照射に妨げとならない程度に外部電極を設けることで、照射面側でも放電を起こし更に良好な発光が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
長尺化したエキシマランプにおいて自重を軽減させて短寿命化の課題を解決するのに利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施例１に係るエキシマランプを示す正面図（ａ）およびＡ−Ａ断面図（ｂ）である。
【図２】図１に示したエキシマランプ本体の内部構造の一例を示す正面図（ａ）およびＢ−Ｂ断面図（ｂ）である。
【図３】本発明の実施例１に係るエキシマランプの外部電極の変形例を示す図である。
【図４】本発明の実施例２に係るエキシマランプを示す正面図（ａ）および左側断面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【００６２】
１、  エキシマランプ
１ａ  エキシマランプランプ本体
１ｂ  キャップ
１ｃ  先端
２  外部電極
３  外部管
４  内部管
４ａ  冷却ガス
５  内部電極
６  放電空間
６ａ  放電用ガス
１１  キャップ本体
１１ａ  隔壁
１１ｂ  支持壁
１１ｃ  孔
１１ｄ、１１ｆ、１１ｇ  流路
１１ｅ  空間部
１２  入力継手
１３  出力継手
１４、１４ａ  給電ケーブル
１５  第１の空間部
１６  第２の空間部
２１  エキシマランプ
２１ａ  エキシマランプランプ本体
２２  外部電極
２３  照射面
２５  内部電極
【図１】
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【図２】
2005142064.tif 000004
【図３】
2005142064.tif 000005
【図４】
2005142064.tif 000006