(57)【要約】 【課題】  載置面２１１の平面度を保ちつつ大型化が可能である載物台装置を提供する。【解決手段】  所定のワークＷが載置される略平面の載置面２１１を上面に有する載物ガラス２１０と、載物ガラス２１０の下面においてその略全面にわたって設けられ載物ガラス２１０を通してワークＷを透過照明する面状の面発光体２２０と、面発光体２２０の下面側の複数点を支持するとともに支持する複数点の高さをそれぞれ調整することによって載置面２１１の平面度を調整する支持部３００と、を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のワークが載置される略平面の載置面を上面に有する光透過性板材と、
前記光透過性板材の下面においてその略全面にわたって設けられ前記光透過性板材を通して前記ワークを透過照明する面状の面発光体と、
前記面発光体の下面側の複数点を支持するとともに支持する複数点の高さをそれぞれ調整することによって前記載置面の平面度を調整する平面度調整手段と、を備えた
ことを特徴とする載物台装置。
【請求項２】
請求項１に記載の載物台装置において、
前記平面度調整手段は、前記面発光体の下面側において所定の複数位置に配設されるとともに上下に進退可能な支柱を有する支柱手段である
ことを特徴とする載物台装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の載物台装置において、
前記平面度調整手段は、
前記面発光体の下面側における所定の複数点の高さを検出する高さ検出手段と、
前記高さ検出手段による検出結果に基づいて、前記面発光体の下面側を支持する所定の複数点の高さを制御する制御手段と、を備える
ことを特徴とする載物台装置。
【請求項４】
所定のワークが載置される略平面の載置面を上面に有する光透過性板材と、
前記光透過性板材の下面においてその略全面にわたって設けられ前記光透過性板材を通して前記ワークを透過照明する面状の面発光体と、
前記面発光体を挟んで前記光透過性板材とは反対側に設けられ所定の剛性を有するベース板と、を備えた
ことを特徴とした載物台装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の載物台装置において、
前記面発光体は、複数のパーツに分割されているとともに前記パーツごとに発光制御される
ことを特徴とした載物台装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の載物台装置において、
前記面発光体を挟んで前記光透過性板材とは反対側に設けられた光反射板を備えている
ことを特徴とした載物台装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の載物台装置と、
前記載物台装置の前記載置面に載置された前記ワークを撮像する撮像手段と、
前記ワークと前記撮像手段とを三次元的に移動させる移動機構と、
前記撮像手段にて撮像された画像データに基づいて前記ワークの形状あるいは寸法を解析する解析部と、を備える
ことを特徴とする画像測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、載物台装置および画像測定装置に関する。例えば、被測定物を撮像した画像データに基づいて被測定物の形状、寸法等を測定する画像測定装置に利用され、透過型の照明で被測定物を照明する載物台装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定物を撮像した画像に基づいて被測定物の形状、寸法を測定する画像測定装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
このような画像測定装置は、例えば、図８に示されるように、被測定物Ｗを載置する載物台としての載物ガラス２１０と、被測定物Ｗを撮像する撮像手段５１４と、載物ガラス２１０を通して被測定物Ｗを透過照明する照明手段７００と、撮像手段５１４および照明手段７００を被測定物Ｗの被測定部位に応じて移動させる移動機構６００と、撮像手段５１４で撮像された画像を解析処理する解析部（不図示）と、を備える。
【０００３】
載物ガラス２１０は、被測定物Ｗが載置される載置面２１１を有し、載置面２１１は凹凸やうねり等がない平面に形成されている。
移動機構６００は、載物ガラス２１０の載置面２１１に平行な一方向であるＹ方向に沿って撮像手段５１４および照明手段７００を移動させるＹ移動機構６１０と、載置面２１１に平行でかつＹ方向に垂直なＸ方向に沿って撮像手段５１４および照明手段７００を移動させるＸ移動機構６２０と、を備える。
Ｙ移動機構６１０は、載置面２１１と平行な面内で載物ガラス２１０を間にして互いに平行に配設されたＹ軸ガイド６１１、６１１と、それぞれのＹ軸ガイド６１１、６１１に摺動可能に設けられたＹスライダ６１２、６１２と、を備える。
Ｘ移動機構６２０は、両脚がＹスライダ６１２、６１２に固設されるとともに載物ガラス２１０の載置面２１１側において載物ガラス２１０と平行に配設された第１Ｘ軸ガイド６２１と、両脚がＹスライダ６１２、６１２に固設されるとともに載物ガラス２１０の載置面２１１と反対側において載物ガラス２１０と平行に配設された第２Ｘ軸ガイド６２２と、第１Ｘ軸ガイド６２１に摺動可能に設けられた第１Ｘスライダ６２３と、第２Ｘ軸ガイド６２２に摺動可能に設けられた第２Ｘスライダ６２４と、を備える。
撮像手段５１４は第１Ｘスライダ６２３に取り付けられ、照明手段７００は第２Ｘスライダ６２４に取り付けられる。
【０００４】
このような構成において、載物ガラス２１０の載置面２１１上に被測定物Ｗとして例えばディスプレイパネルを載置する。撮像手段５１４および照明手段７００を被測定部位に応じてＹ移動機構６１０およびＸ移動機構６２０によって移動させる。照明手段７００で透過照明しながら撮像手段５１４で被測定物Ｗを撮像する。すると、画像データに基づいて解析部（不図示）により画像解析されて被測定物Ｗの形状、寸法などが測定される。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−４１７１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年では、被測定物Ｗが大型化してきており、例えば、被測定物Ｗとしてのディスプレイパネルは２５００ｍｍ×２５００ｍｍの大きさを有する。この大きな被測定物Ｗを載置するための載物ガラス２１０も大型化されなければならない。
しかしながら、単純に載物ガラス２１０を大きくすると、自重によりたわみが生じる。例えば、厚さ２５ｍｍで２５００ｍｍ×２５００ｍｍのガラスでは自重撓みが０．８ｍｍ〜１．８ｍｍ程度になる。このように載物ガラス２１０がたわんでしまうと、被測定物Ｗもたわんでしまうことになるので、測定が正確に行われないという問題が生じる。
ここで、このような載物ガラス２１０のたわみを調整するのに載物ガラス２１０の下面を例えばジャッキで支持すればよいとも考えられる。しかし、この場合、ジャッキが邪魔になって照明手段７００が移動できない部分ができ、照明できない領域が生じてしまうという問題がある。
そのため、大型の被測定物Ｗを透過照明で測定するための構成が強く望まれていた。
【０００７】
本発明の目的は、載置面の平面度を保ちつつ大型化が可能である載物台装置および画像測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の載物台装置は、所定のワークが載置される略平面の載置面を上面に有する光透過性板材と、前記光透過性板材の下面においてその略全面にわたって設けられ前記光透過性板材を通して前記ワークを透過照明する面状の面発光体と、前記面発光体の下面側の複数点を支持するとともに支持する複数点の高さをそれぞれ調整することによって前記載置面の平面度を調整する平面度調整手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、平面度調整手段により載置面の平面調整を行うことができる。すると、載置面が常に平面に維持されるので、例えば、載置面に載置されたワークを撮像して測定する場合に測定精度が向上する。
従来は、透過照明するために照明手段が移動しなければならなかったので、光透過性板材の下面側に移動機構が必要であった。
この点、本発明は、面発光体が光透過性板材の下面の略全面にわたって設けられているので、照明手段を移動させなくても光透過性板材の略全面から透過照明することができる。よって、移動機構を廃することにより部品コストや組立てコストを低減することができる。
また、面発光体を備えることにより、照明手段を移動させる移動機構がなくなるので、光透過性板材の下面側から光透過性板材の平面度を調整する平面度調整手段を設けることができる。よって、光透過性板材が大型化された場合でも、平面度調整手段によって平面度調整して光透過性板材の平面度を維持することができる。
例えば、一辺が２５００ｍｍになるような大型の光透過性板材の平面度を維持しつつ略全面で透過照明が可能となるので、大型のディスプレイパネルなどを透過照明するのに非常に好適である。
【００１０】
また、平面度調整手段を備えることにより、光透過性板材そのものの剛性で載置面の平面度を維持する必要はないので、光透過性板材の硬度は小さくてもよく、また、光透過性板材の厚みは薄くてもよい。その結果、部材コストを低減させることができる。
【００１１】
なお、光透過性板材は、例えば無機ガラスで形成されることが例として挙げられるが、その他、例えば、光透過性の樹脂からなる有機ガラス（例えばアクリル樹脂）で形成されてもよい。
【００１２】
本発明では、前記平面度調整手段は、前記面発光体の下面側において所定の複数位置に配設されるとともに上下に進退可能な支柱を有する支柱手段であることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、支柱手段により面発光体の下面側の高さを所定の複数点において揃えることにより、載置面の高さを揃えて載置面の平面調整を行うことができる。
【００１４】
本発明では、前記平面度調整手段は、前記面発光体の下面側における所定の複数点の高さを検出する高さ検出手段と、前記高さ検出手段による検出結果に基づいて、前記面発光体の下面側を支持する所定の複数点の高さを制御する制御手段と、を備えることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、高さ検出手段での検出結果に基づいて、所定の複数点の高さが揃うように制御手段で制御される。すると、常に、自動的に載置面の平面度が維持される。
【００１６】
本発明の載物台装置は、所定のワークが載置される略平面の載置面を上面に有する光透過性板材と、前記光透過性板材の下面においてその略全面にわたって設けられ前記光透過性板材を通して前記ワークを透過照明する面状の面発光体と、前記面発光体を挟んで前記光透過性板材とは反対側に設けられ所定の剛性を有するベース板と、を備えたことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、ベース板の剛性により光透過性板材に剛性が与えられ、載置面の平面度が維持される。
また、ベース板により光透過性板材に剛性が与えられると、剛体の表面を加工するのに等しくなるので、載置面を精度の高い平面に加工することができる。
【００１８】
本発明では、前記面発光体は、複数のパーツに分割されているとともに前記パーツごとに発光制御されることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、照明が必要な部分（パーツ）だけを発光させることができる。すると、全面にわたって照明させる場合に比べて消費電力を少なくすることができる。例えば２５００ｍｍ×２５００ｍｍにわたるような広い面の全体を発光させる場合に比べて、必要部分だけを発光させることできるので、消費電力を非常に削減することができる。特に、面発光体として例えばＥＬ等の場合、同じ輝度を得るためには面積が小さいほど電圧が低くてよいので、発光面積を小さくすることで優れた省電力化を図ることができる。
また、発光面積を小さくすることにより、面発光体の発熱量を少なくすることができるので、載物台装置およびこの載物台装置に載置されるワーク（例えば被測定物）が受ける熱の影響を低減させることができる。すると、光透過性板材やワークの熱変形を抑制することができ、例えば、この載物台装置を測定装置に用いる場合には測定精度を向上させることができる。
また、必要部分のみを発光させることにより、広い面の全体を発光させる場合に比べて眩しさを抑えることができ、この載物台装置を用いて作業する際に作業しやすくなる。
【００２０】
本発明では、前記面発光体を挟んで前記光透過性板材とは反対側に設けられた光反射板を備えていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、光透過性板材とは反対側に発射される光をも反射板により反射させて、面発光体から発射される光を総て光透過性板材に向けることができる。すると、透過照明の輝度が高くなるので、例えば、光透過性板材に載置されたワークの微細な形状も明瞭にすることができる。
ここで本発明では特に、前記面発光体を挟んで前記光透過性板材とは反対側に設けられた光反射板を備え、前記面発光体は、複数のパーツに分割されているとともに前記パーツごとに発光制御されることが好ましい。
この構成によれば、面発光体のパーツの繋ぎ目部分でも、反射板による光反射によって透過照明光を得ることができる。したがって、面発光体をパーツに分割することで、低電力化や発熱を抑えるという効果を奏しながらも、照明部分では暗部がなくなり、光透過性板材に載置されたワークの必要箇所を適切に照明できるという優れた効果を奏することができる。
【００２２】
本発明の画像測定装置は、前記載物台装置と、前記載物台装置の前記載置面に載置された前記ワークを撮像する撮像手段と、前記ワークと前記撮像手段とを三次元的に移動させる移動機構と、前記撮像手段にて撮像された画像データに基づいて前記ワークの形状あるいは寸法を解析する解析部と、を備えることを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、撮像手段で撮像された撮像データに基づいて解析部によりワークの形状、寸法が解析される。
本画像測定装置では、載置台装置が大型化可能であり、かつ、載置面の平面度が維持されるので、大型のワーク例えば大型ディスプレイパネルの画像測定に好適である。そして、載置面が高精度の平面に維持されることにより、測定精度が向上されることに加え、例えば撮像手段のフォーカス合わせが一回だけでよくなるので、測定効率が向上される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明の載物台装置に係る第１実施形態について説明する。
図１は載物台装置の断面図であり、図２は載物台装置の斜視図である。
載物台装置１００は、所定のワークＷが載置されるとともにこのワークＷを下面側から照明するステージ部２００と、ステージ部２００を支持するとともにステージ部２００の平面度を調整する支持部（平面度調整手段）３００と、を備える。
【００２５】
ステージ部２００は、平面に加工された載置面２１１を上面に有する載物ガラス（光透過性板材）２１０と、載物ガラス２１０の下面において載物ガラス２１０の略全面にわたって貼設された面発光体２２０と、面発光体２２０の下面に貼設された反射板２３０と、を備える。
載物ガラス２１０は、比較的面積の大きい大型の板状ガラスであり、例えば、２５００ｍｍ×２５００ｍｍの大きさを有する。なお、厚みはそれほど厚くなくてもよく、例えば、１０ｍｍ〜２５ｍｍ程度であればよい。
面発光体２２０は、所定電圧の印加によって発光する面状の発光体で構成される。このような面発光体２２０としては、例えば有機ＥＬあるいは無機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス素子）などを用いることができる。なお、このような面発光体２２０の発光を制御する所定の駆動回路（不図示）から面発光体２２０に電圧が印加される。
反射板２３０は、光を反射する薄板であり、面発光体２２０から発射される光を載物ガラス２１０の方へ向けて反射する。
【００２６】
支持部３００は、反射板２３０の下面において均等に配設された複数のジャッキ（支柱手段）３１０を備えて構成されている。例えば、図２中では、ステージ部２００の四隅と中央とにジャッキ３１０が配設されている。ジャッキ３１０は、反射板２３０の下面に当接してステージ部２００を支えるロッド（支柱）３１１と、ロッド３１１を上下動可能に保持する筒状のホルダ３１２と、を備えて構成されている。
【００２７】
なお、載物台装置１００は、所定の固定面９００に設置されている。
【００２８】
このような構成を備える第１実施形態の動作について説明する。
所定のワークＷを透過照明する場合には、まず、載置面２１１の平面度を確認する。そして、例えば、載物ガラス２１０のたわみにより中央部が凹んでいる場合など載置面２１１の平面度が許容範囲外である場合には、ジャッキ３１０のロッド３１１を上下動させて載物ガラス２１０の平面度を調整する。
載置面２１１が凹凸やうねりがない平面に調整されたところで、ワークＷを載置面２１１に載置し、面発光体２２０を発光させる。すると、ワークＷが載物ガラス２１０を介して透過照明される。
【００２９】
このような第１実施形態によれば、次の効果を奏する。
（１）支持部３００のジャッキ３１０により載置面２１１の平面調整を行うことができるので、載置面２１１が常に平面に維持される。そして、載物ガラス２１０が大型化された場合でも、ジャッキ３１０によって平面度調整して載置面２１１の平面度を維持することができる。
（２）面発光体２２０が載物ガラス２１０の下面の略全面にわたって設けられているので、例えば照明手段を移動させなくても載物ガラス２１０の略全面から透過照明することができる。よって、移動機構を廃することにより部品コストや組立てコストを低減することができる。
【００３０】
次に、本発明の載物台装置に係る第２実施形態について説明する。
第２実施形態の基本的構成は、第１実施形態と同様であるが、平面度調整手段としての支持部の構成に特徴を有する。
図３は第２実施形態の断面図である。図３において、支持部４００は、所定位置に配設された複数のジャッキ４１０と、ステージ部２００の下面に配設されてステージ部２００のたわみ量を計測する変位計測手段（高さ検出手段）４２０と、変位計測手段４２０による計測結果に基づいてジャッキ４１０の上下動を制御する制御手段４３０と、を備えている。
【００３１】
ジャッキ４１０は、ステージ部２００を所定位置で支持するロッド４１１と、ロッドを上下に駆動する駆動部４１２と、を備える。駆動部４１２は例えばモータで構成されている。
変位計測手段４２０は、例えば電気マイクロメータで構成され、ステージ部２００の下面において所定位置に複数配設されている。
【００３２】
このような構成において、変位計測手段４２０によりステージ部２００のたわみ等が計測されると、制御手段４３０は、変位計測手段４２０での計測結果に基づいてジャッキ４１０のロッド４１１を上下動させて、載置面２１１を凹凸やたわみのない平面に制御する。
【００３３】
このような第２実施形態によれば、上記実施形態の効果に加えて、次の効果を奏する。
（３）変位計測手段４２０での検出結果に基づいて、ステージ部２００の複数点の高さが揃うようにロッド４１１の上下動が制御手段４３０で制御される。したがって、常に、自動的に載置面２１１の平面度が維持される。
また、例えば、一辺２５００ｍｍの載物ガラス２１０ではその中央部における凹み量が０．８〜１．８ｍｍ程度であるので手動でジャッキを調整するのは難しいところ、制御手段４３０によって自動的にジャッキ４１０が駆動制御されるので、載置面２１１の平面調整を高精度に実現することができる。
【００３４】
次に、本発明の載物台装置に係る第３実施形態について説明する。
第３実施形態の基本的構成は、第１実施形態に同様であるが、平面度調整手段の構成に特徴を有する。
図４において、載物台装置１００は、載物ガラス２１０と、載物ガラス２１０の下面に貼設された面発光体２２０と、面発光体２２０の下面に貼設されたベース板２４０と、を備える。
ベース板２４０は、硬質の板材であり、例えば、石定盤などを用いることが例として挙げられる。そして、ベース板２４０は、面発光体２２０からの光を載物ガラス２１０の側へ向けて反射する反射板としての働きと、載物ガラス２１０の平面度を維持するための平面度調整手段としての働きを兼ねる。
【００３５】
このような第３実施形態によれば、上記実施形態の効果に加えて、次の効果を奏することができる。
（４）ベース板２４０の剛性により載物ガラス２１０に剛性が与えられ、載置面２１１の平面度が維持される。そして、ベース板２４０により載物ガラス２１０に剛性が与えられるので、載置面２１１を精度の高い平面に加工することができる。
【００３６】
（変形例１）
次に、本発明の変形例１として、載物台装置を利用した画像測定装置について説明する。
図５は、画像測定装置としての画像測定システム５００の構成を示す図である。
画像測定システム５００は、画像測定機５１０と、制御部５２０と、入力手段５３０と、出力手段５４０と、を備える。
画像測定機５１０は、ベースとなる架台５１１と、架台５１１上に配設されワークＷが載置される載物部５１２と、ワークＷを撮像する撮像手段５１４と、撮像手段５１４とワークＷとを三次元的に移動させる移動機構５１５と、を備える。
【００３７】
載物部５１２は、上方に向けて開口する収納空間を有する基台部５１３と、基台部５１３の収納空間に配設された載物台装置１００と、を備えている。
載物台装置１００としては、上記第１、第２、第３実施形態で説明した載物台装置を用いることができる。
撮像手段５１４としては、例えば、ＣＣＤカメラを用いることができる。
【００３８】
移動機構５１５は、基台部５１３の両端辺において前後に移動自在に立設されたビーム支持体５１６、５１６と、ビーム支持体５１６、５１６の上端に支持されたＸビーム５１７と、Ｘビーム５１７に摺動可能に設けられたＺスライダ５１８と、を備える。
Ｚスライダ５１８から垂下する状態で撮像手段５１４はＺスライダ５１８の先端に取り付けられている。
ここで、ビーム支持体５１６、５１６を基台部５１３の辺に沿って（Ｙ方向に）摺動可能に設ける構成としては、図６の内部構造図に示すように、架台５１１の両辺において、ガイドレール５１９Ａでビーム支持体５１６を支持するとともに、送りねじ５１９Ｂとの螺合によって移動させる構造が例として挙げられる。なお、ビーム支持体５１６、５１６は基台部５１３に固定されて載物台装置１００が収納空間内を（Ｙ方向に）スライド移動してもよい。
【００３９】
制御部５２０は、移動機構５１５の移動を制御するモーションコントローラ５２１と、撮像手段５１４で撮像された画像データに基づいてワークＷの形状、寸法を解析するホストコンピュータ５２２と、を備えている。
なお、モーションコントローラ５２１は、載物台装置１００のジャッキ（３１０、４１０）を制御して載置面２１１の平面度調整を行ったり、面発光体２２０に印加される電圧を制御して面発光体２２０の発光を制御したりしてもよい。
入力手段５３０としてはキーボードなどが例示され、出力手段としてはモニタやプリンタなどが例示される。
【００４０】
このような構成からなる変形例１の動作について説明する。
まず、載物台装置１００の載置面２１１にワークを載置する。このとき、平面度調整手段（支持部）により載置面２１１は平面調整されて凹凸やうねりのない平面となっている。
この状態で、面発光体２２０の発光によりワークＷの下面から載物ガラス２１０を通して透過照明が行われる。
モーションコントローラ５２１の動作制御により移動機構５１５が駆動され、撮像手段５１４がワークＷの測定部位に応じて移動される。そして、撮像手段５１４によりワークＷが撮像される。
画像データはホストコンピュータ５２２の解析部（不図示）によって解析されて、ワークＷの形状、寸法が出力手段５４０により出力される。
【００４１】
このような構成を備える変形例１によれば、上記実施形態の効果に加えて、次の効果を奏することができる。
【００４２】
（５）載物台装置１００が大型化可能であり、かつ、載置面２１１の平面度が維持されるので、大型のワークＷ例えば大型ディスプレイパネルの画像測定を行うことができる。そして、載置面２１１が高精度の平面に維持されることにより、測定精度が向上されることに加え、撮像手段５１４のフォーカス合わせが一回だけでよくなる。その結果、測定効率が向上される。
【００４３】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
例えば、光透過性板材としては、無機ガラスの他、有機ガラスで形成してもよい。
また、載物ガラス、面発光体および反射板が複数の部分にタイル状に分割されて、面発光体の発光制御およびジャッキによる高さ調整なとが各部分ごとに行われてもよい。そして、図７に示されるように、面発光体が複数のパーツに分割されている場合には、パーツの繋ぎ目部分に暗部が生じることを防ぐために、面発光体を挟んで載物ガラスとは反対側に反射板を設けることが好ましい。
変形例として、載物台装置を画像測定装置に組み込む例を示したが、この他、載物台装置を例えば顕微鏡などの光学測定装置に組み込んでもよいことはもちろんである。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、載物台装置および画像測定装置に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の載物台装置に係る第１実施形態の断面図。
【図２】前記第１実施形態の斜視図。
【図３】本発明の載物台装置に係る第２実施形態の断面図。
【図４】本発明の載物台装置に係る第３実施形態の斜視図。
【図５】本発明の変形例１の構成図。
【図６】前記変形例１において、ビーム支持体を摺動させるための内部構造図。
【図７】本発明の変形例として、面発光体が複数のパーツに分割されている載物台装置を示す図。
【図８】従来の画像測定装置の一部を示す図。
【符号の説明】
【００４６】
１００…載物台装置、２００…ステージ部、２１０…載物ガラス（光透過性板材）、２１１…載置面、２２０…面発光体、２３０…反射板、２４０…ベース板、３００、４００…支持部（平面度調整手段）、３１０、４１０…ジャッキ（支柱手段）、３１１、４１１…ロッド（支柱）、３１２…ホルダ、４１２…駆動部、４２０…変位計測手段（高さ検出手段）、４３０…制御手段、５００…画像測定システム（画像測定装置）、５１０…画像測定機、５１１…架台、５１２…載物部、５１３…基台部、５１４…撮像手段、５１５…移動機構、５１６…ビーム支持体、５１７…Ｘビーム、５１８…Ｚ軸コラム、５１９Ａ…ガイドレール、５１９Ｂ…送りねじ、５２０…制御部、５２１…モーションコントローラ、５２２…ホストコンピュータ、５３０…入力手段、５４０…出力手段、６００…移動機構、６１０…Ｙ移動機構、６１１…Ｙ軸ガイド、６１２…Ｙスライダ、６２０…Ｘ移動機構、６２１…第１Ｘ軸ガイド、６２２…第２Ｘ軸ガイド、６２３…第１Ｘスライダ、６２４…第２Ｘスライダ、７００…照明手段、９００…固定面。
【図１】
2005351810.tif 000003
【図２】
2005351810.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2005351810.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005351810.tif 000009
【図８】
2005351810.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月14日(2004.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2005351810.tif 000011