(57)【要約】【課題】明視野照明方法において微小欠点の検出感度向上を可能とする欠点検出方法および装置を提供する。【解決手段】透明板状体３の検査対象面を撮像する撮像手段４と、透明板状体３内の検出対象となる欠点のサイズよりも幅の狭い光を、透明板状体の検査対象面の反対側から透明板状体に照射する照射手段とを備え、集光作用を有する欠点を検出する。撮像手段４の分解能は、欠点のサイズ以下とし、透明板状体３に照射される光の幅を狭くすることにより、集光作用を有する微小欠点を精度良く検出する。【選択図】図１０
2005049291.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明板状体に含まれる、集光作用を有する欠点を検出する装置であって、
前記透明板状体の検査対象面を撮像する撮像手段と、
前記透明板状体内の検出対象となる欠点のサイズよりも幅の狭い光を、前記透明板状体の検査対象面の反対側から前記透明板状体に照射する照射手段とを備える欠点検出装置。
【請求項２】
前記撮像手段の分解能は、前記欠点のサイズ以下であり、
前記照射手段は、光源と、スリットを含むスリット体とを有し、
前記光源からの光が前記スリット体のスリットを通過して前記透明板状体に照射され、
前記スリットの幅Ｌは、以下の式で求められる請求項１記載の欠点検出装置。
Ｍ＜Ｌ≦−２ａＲ／（Ｘｄ）
ａ：スリットから透明板状体までの距離
Ｒ：検出する欠点サイズ
ｄ：透明板状体の板厚
Ｘ：任意の実数
Ｍ：撮像手段の視野幅
【請求項３】
前記撮像手段の分解能は、前記欠点のサイズ以下であり、
前記照射手段は、レーザ光源を有し、
前記レーザ光源から前記透明板状体に照射される光の幅Ｌ1は、以下の式で求められる請求項１記載の欠点検出装置。
Ｍ＜Ｌ1≦−２ａ1Ｒ／（Ｘｄ）
ａ1：レーザ光源から透明板状体までの距離
Ｒ：検出する欠点サイズ
ｄ：透明板状体の板厚
Ｘ：任意の実数
Ｍ：撮像手段の視野幅
【請求項４】
前記撮像手段の分解能は、前記欠点のサイズ以下であり、
前記照射手段は、光源と、集光レンズとを有し、
前記集光レンズによって集光されて前記透明板状体に照射される光の幅Ｌ2は、以下の式で求められる請求項１記載の欠点検出装置。
Ｍ＜Ｌ2≦−２ａ2Ｒ／（Ｘｄ）
ａ2：集光レンズから透明板状体までの距離
Ｒ：検出する欠点サイズ
ｄ：透明板状体の板厚
Ｘ：任意の実数
Ｍ：撮像手段の視野幅
【請求項５】
透明板状体に含まれる、集光作用を有する欠点を検出する方法であって、
前記透明板状体内の検出対象となる欠点のサイズよりも幅の狭い光を、前記透明板状体の検査対象面の反対側から前記透明板状体に照射する工程と、
前記透明板状体の検査対象面を撮像手段によって撮像する工程と、を含む欠点検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明板状体に含まれる欠点を検出する装置および方法に関し、特に、集光作用を有する微小欠点を検出する装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
透明板状体に存在する欠点の検出方法として明視野照明方法がある。この方法は、透明板状体に照明光を照射しCCDカメラで撮像することで、欠点部分での反射・屈折により照明光が欠点部分で欠落し、暗信号として検出するものである。
【０００３】
また、特許文献１には、明視野照明方法にスリット板を設け、照明光とスリット板のエッジ部分の境目を撮像することにより、欠点部分で照明光が屈折することによって明部分は暗信号、暗部分は明信号として検出する方法が記載されている。
【０００４】
さらに、特許文献１には、スリットを介して光を照射することによって、撮像する視野範囲以外から入射される迷光を遮光し、欠点からの乱反射光の発生を抑制する方法が開示されている。
【０００５】
このような従来技術においては、大きな欠点や、高い屈折力を持つ欠点に対しては十分な信号の変化が得られるため検出可能である。しかし、微小であり、屈折力が低い欠点となると信号の変化も小さくなる。
【０００６】
また、欠点の輪郭部分の散乱によって光が、撮像するCCDカメラ視野に入射する。そして、欠点の輪郭部分が明るく見え、欠点部分での照明光の欠落部分は実際の欠点サイズよりも若干小さく見える。
【０００７】
さらに、ガラス板などに存在する泡欠点は、レンズ効果を持っている。そのため、泡の中央部分ではレンズ効果によって、照明光が集光して明るく見えてしまう。
【０００８】
これらの結果、実際に欠点部分で照明光が欠落し、暗信号として得られる部分は減少し、微小欠点の検出が困難となる。
【特許文献１】国際公開第０３／００５００７号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の課題は、明視野照明方法において微小欠点の検出感度向上を可能とする欠点検出方法および装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様は、明視野照明方法において、スリット板を用いて欠点の輪郭部分で散乱する光成分を遮断し、さらに、集光されて欠点の中心部を透過する光成分を極力遮断する。つまり、スリットを介して光を照射することによって、撮像する視野範囲以外から入射される迷光を遮光するとともに、スリットを介して光を照射することによって集光される光を減らし、泡欠点全体を暗画像として観察されるようにする。
【００１１】
具体的には、本発明は、透明板状体に含まれる、集光作用を有する欠点を検出する装置であって、前記透明板状体の検査対象面を撮像する撮像手段と、前記透明板状体内の検出対象となる欠点のサイズよりも幅の狭い光を、前記透明板状体の検査対象面の反対側から前記透明板状体に照射する照射手段とを備える欠点検出装置を含む。
【００１２】
また、本発明は、透明板状体に含まれる、集光作用を有する欠点を検出する方法であって、前記透明板状体内の検出対象となる欠点のサイズよりも幅の狭い光を、前記透明板状体の検査対象面の反対側から前記透明板状体に照射する工程と、前記透明板状体の検査対象面を撮像手段によって撮像する工程と、を含む。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、欠点の輪郭部分および中心部分でも照明光が欠落し暗信号として撮像することができるため、微小欠点の検出感度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
（本発明の原理）
まず、本発明の原理について説明する。本発明者等により、泡欠点のようにレンズ効果を有し、集光作用を有する欠点については、検査装置で撮像する際に欠点の光学像の中央部分が明るくなってしまう現象が発生することが確認された。
【００１５】
図１を用いて具体的に説明する。図１は、本発明の原理を説明する概念図である。図１に示すように、ガラス板３に泡欠点３０が含まれている場合、ガラス板３（泡欠点３０）と光源１との距離にもよるが、泡欠点のレンズ効果によって実際の欠点サイズ以上の広範囲の照明光を集光する。そして、集光された光によって泡欠点の像の中央部分が明るくなり、明領域になる。
【００１６】
ここで、泡欠点が実際の欠点サイズ以上の広範囲の照明光を集光することを確認するためにテストを行った。図２，３は、泡欠点が実際の欠点サイズ以上の広範囲の照明光を集光することを説明する図である。図２に示すように、光源１として面光源を用い、その上方にガラス板３を配置した。ガラス板３は泡欠点３０を含んでおり、この泡欠点３０は、領域２０の範囲の照明光をレンズ効果によって集光する。また、泡欠点３０の真下であってガラス板３と面光源１との間に遮光板１５を設け、泡欠点３０の真下の照明光を遮断した。遮光板１５の幅は、平面視における泡欠点３０の縦の寸法と同じであり、その長さは平面視における面光源１の横の寸法よりも大きい。泡欠点３０を上方から観察した結果、図３に示すように、泡欠点の光学像の内部に明領域が発生した。このことから、泡欠点は、泡欠点の真下の領域を超える範囲から照明光を集光することが確認された。
【００１７】
次に、スリットを使用しない場合の泡欠点の像について説明する。図４は、スリットを使用しないで泡欠点を観察した場合の構成例を示す図であり、図５は、図４の構成における泡欠点の光学像の例を説明する図である。図４に示すように、光源１として面光源を用い、その上方にガラス板３を配置し、上方から観察した。ガラス板３は泡欠点３０を含んでおり、この泡欠点３０は、領域２０の範囲の照明光をレンズ効果によって集光する。
【００１８】
泡欠点３０の光学像は、図５に示すように、照明光を無制限に集光した結果として泡欠点の中央部分に明領域が生じている。この図においては、明領域が大きいため、環状の帯である暗領域の帯幅が相対的に狭くなっている。
【００１９】
次に、このように泡欠点の中央部分に大きな明領域が存在する場合に、これを撮像した際のCCD出力について説明する。図６は欠陥サイズに対して分解能が細かい場合の撮像例を示し、図７は、欠陥サイズに対して分解能が粗い場合の撮像例を示す。図６および７の格子は撮像するカメラの受光素子を表す。撮像された画像データは各素子あたりの受光量で決定される。そのため、泡欠点の中央部分が集光されると、集光部分の明とその周囲の泡欠点の暗とが足し合わされて暗画像として得られない場合が生じる。
【００２０】
具体的には、図６のように、欠点サイズに対してカメラの分解能が細かく、1つの画素が完全に暗領域で覆われるかまたは、１つの画素の大部分が暗領域で覆われる場合には、受光量がゼロに近付き画素の出力が大きく低下するため、該当する部分を暗画像として得ることができる。しかしながら、図７に示すように、欠点サイズに対してカメラの分解能が粗く、1つの画素に明領域と暗領域とが含まれ、しかも明領域の相対的な割合が大きい場合には、画素当たりの受光量がある程度大きくなり、これに伴い画素の出力も大きくなる。したがって、該当部分を暗画像として得ることが困難となり、欠点を検出するのが難しくなる。
【００２１】
図８，９を用いてさらに具体的に説明する。図８，９は、CCDの出力信号のモデルを説明する図である。図８は、図６の矢印で示した行の画素に対応したCCD出力を示し、図９は、図７の矢印で示した行の画素に対応したCCD出力を示す。
【００２２】
図８に示すように、欠点サイズに対してカメラの分解能が細かい場合には、欠点を撮像したCCDの出力信号が閾値thを十分に下回り、暗画像として検出することができる。これに対して図９に示すように、欠点サイズに対してカメラの分解能が粗い場合には、１つの画素上に暗領域と明領域とが混在するため、欠点を撮像したCCDの出力信号が閾値thを上回ってしまい暗画像として検出することができない。一方、欠点サイズが微小なものを検出するためには、カメラの分解能を上げれば検出可能となる。しかしながら、カメラ１台当たりの視野が狭くなるのでカメラ台数が増え、検出機自体が大掛かりなものになり、コストも大きくなる。このような理由から、カメラの分解能を上げずに微小な泡欠点を検出する必要があり、そのためには、泡欠点の光学像の中央部分を可能な限り暗領域として得ることが望まれる。
【００２３】
特に、欠点のサイズが数十μm以下になると、撮像するカメラの実用的な分解能が欠点サイズに対して粗くなる場合が生じるため、泡欠点像の暗領域を大きくすることが必要である。
【００２４】
そこで、本発明では、スリット等を介して光を照射することにより、透明板状体の照射される領域を狭くし、泡欠点で集光される光を減らし、できるだけ泡欠点全体を暗領域として観察できるようにする。
【実施例１】
【００２５】
次に、本発明の欠点検出装置について説明する。図１０は、本発明の欠点検出装置を示す概略構成図であり、図１１は、本発明の欠点検出装置を示す斜視図である。図１０、図１１に示すように、この検出装置は、光源１と撮像手段４と画像処理手段５と表示手段６とを備えている。光源１と撮像手段４との間に検査対象であるガラス板などの透明板状体３が配置される。そして、光源１と透明板状体３との間にスリット体１０を備える。
【００２６】
光源１は、例えば蛍光灯を用いることができる。この例においては、光源１は、光を下方向から透明板状体３に照射する。光源としては蛍光灯のほかに、例えばハロゲンランプを光源とし、ハロゲンランプからの光をファイバにて導いたファイバ照明でもよい。また棒状のＬＥＤ照明を用いてもよい。さらには、面状光源を用いてもよい。
【００２７】
次に、スリット体１０は、図１０に示すように、一対の遮光部１１および１２から構成され、この一対の遮光部の間にスリットを有する。例えば、このようなスリット体１０は、一対の黒色の遮光板を、その間に一定の間隔Ｌを置いて配置することによって実現することができる。
【００２８】
スリット体１０の上方には、検査対象物であるガラス板などの透明板状体３を搬送するための搬送手段８（例えばローラ）が設けられている。この例では、例えばガラス板３の搬送方向がスリット体１０のスリットの長手方向と直交するように搬送手段８が配置されている。
【００２９】
撮像手段４は１次元走査を繰り返すラインセンサであり、例えばＣＣＤを使用するラインセンサカメラとレンズとから構成されている。撮像手段４は搬送される透明板状体３を挟んで光源１と対向する側に配置される。そして、ラインセンサカメラの走査線がスリット体１０のスリットの長手方向と平行となるよう、透明板状体３の上面（検査対象面）に対して垂直な方向に取り付けられ、スリットを透過した光を視野として取り込める様に配置される。また、撮像手段４は、走査線に沿って直線的に配置されたＣＣＤ画素を備えている。ラインセンサカメラの視野は、スリットを通過し透明板状体３に照射されたライン状の照明光の照射領域内に合わせている。なお、ラインセンサカメラの視野は決まっているので、検査対象物の幅に合わせて、適宜設置台数を決めてもよい。
【００３０】
また、スリット体１０を配置する位置としては、図１０に示すように、撮像手段４のラインセンサの光軸７が、スリットを通過するようにする。光軸７とスリットの幅方向の中心とをほぼ一致させるようにすると好適である。
【００３１】
スリットの間隔Ｌについて説明する。図１２は、欠点のサイズを説明する平面図であり、図１３は、図１２のA−A断面図であり、図１４は、スリットの設定条件を説明する図であり、図１５は、欠点サイズと欠点内明領域幅との関係を説明する図である。
【００３２】
まず、撮像手段４の分解能をα、検出する欠点サイズをＲとすると、両者の大きさの関係は、α≦Ｒである必要がある。
【００３３】
ここで、欠点サイズについて説明する。この説明で用いられる欠点サイズは、図１２の透明板状体の平面図および図１３の断面図に示すように、透明板状体に存在する欠点の実サイズである。
【００３４】
次に、図１４を用いてスリットの設定条件を説明する。図１４より、レンズ中心からａ、光軸からｌ離れた点を出た全ての光線はレンズを通過後に、レンズ中心からｂ、光軸からｌ'離れた点に集まる。ここで、ｌ'は以下の数式１で表される。
【００３５】
【数１】
2005049291.tif 000003
【００３６】
したがって、スリットを介した照明光の幅Ｌは、レンズを通過後の距離ｂでの照明光の幅Ｌ'となる。Ｌ'は、以下の数式２で表される。
【００３７】
【数２】
2005049291.tif 000004
【００３８】
ここで、透明板状体に存在する集光作用を有する欠点を検出する際、撮像装置の焦点は板状体表面にあるため、レンズを通過後の距離ｂは、透明板状体の板厚をｄとすると、ｂ≒ｄ／２となる。ｂ＝ｄ／２とすると、数式２より、Ｌ'は以下の数式３で表される。
【００３９】
【数３】
2005049291.tif 000005
【００４０】
ここで、図１５を参照して、欠点サイズと欠点中央部分の明領域幅との関係を説明する。図１５において、Ｒは欠点サイズを表し、Ｗは欠点中央部分の明領域の幅を表す。欠点サイズＲと欠点中央部分の明領域幅Ｗとの関係は、以下の数式４で表す関係とするとよい。
【００４１】
【数４】
2005049291.tif 000006
【００４２】
この条件において、Ｘ＝２（Ｗ≦Ｒ／２）とすることができ、また、Ｗが狭いほど望ましいことから、Ｘの値は大きいほど望ましいので、Ｘ≧２とすることが好ましい。したがって、Ｗ≦Ｒ／Ｘ（Ｘ≧２）とすることができる。
【００４３】
また、コンピュータでの画像処理を考慮すると、Ｘ＝５（Ｗ≦Ｒ／５）とすることが好ましい。したがって、欠点を撮像した際、画像処理を考慮すると、欠点サイズＲに対して欠点中央部分の明領域幅Ｗの関係は、Ｗ≦Ｒ／Ｘ（Ｘ≧５）とすることが好ましい。
【００４４】
また、欠点中央部分の明領域Ｗは、板状体表面を撮像時に観察されるものであるから、数式５となる。
【００４５】
【数５】
2005049291.tif 000007
【００４６】
また、上記数式４を考慮して、数式６となる。
【００４７】
【数６】
2005049291.tif 000008
【００４８】
数式６より、求めるＬは、数式７となる。
【００４９】
【数７】
2005049291.tif 000009
【００５０】
さらに、スリットの間隔Ｌは、撮像するカメラの視野に影響を与えない範囲で可能な限り狭めることが望ましい。したがって、カメラの視野幅をＭとすると、Ｌの範囲は以下の数式８となる。すなわち、用いるスリットの間隔は、数式７または８を満たすように設置することが必要である。なお、スリットの長さは、検査対象物の幅に合わせて適宜決定される。
【００５１】
【数８】
2005049291.tif 000010
【００５２】
以上のような撮像手段４とスリット体１０との間を、ガラス板３は搬送手段８によって搬送される。搬送方向は矢印で示すように図１０において右方向である。撮像手段４は、透明板状体３を一次元で順次走査していく。撮像手段４からの画像データ出力は、画像処理手段５へ入力される。画像処理手段５では、CCDの出力信号に対して一定の閾値を基準として暗画像部分を検出し、当該暗画像部分を欠点として検出する。
【００５３】
画像処理手段５としては、例えばコンピュータを利用できる。ラインセンサの出力がアナログ信号の場合は、コンピュータにはデジタル信号に変換して取り込む必要があるので、画像処理手段５は、少なくともアナログ／デジタル変換機能を有する画像入力装置をさらに有することが要求される。ラインセンサカメラがデジタルカメラである場合には、アナログ／デジタル変換は不要である。
【００５４】
表示手段６は、ＣＲＴ，液晶ディスプレイ等の表示装置によって実現される。表示手段６は、画像処理手段５からの出力を表示する。
【００５５】
次に、図１６，１７を用いて検査対象である透明板状体に照射される光について説明する。図１６，１７は、透明板状体に照射される光を説明する概念図であり、図１６は平面図、図１７は側面図である。図１６，１７に示すように、本発明においては、スリットを介して透明板状体へ光を照射することにより、ライン状の照明光が、スリットの間隔Ｌ分だけ透明板状体３に照射されることとなる。つまり、泡欠点のサイズよりも狭い幅で照明光が照射される。したがって、泡欠点３０に入射する光の入射面積が制限され、集光される光が減少する。一方、ラインセンサの検査方向４１が示すように、撮像手段４の視野の範囲全てに光が照射されており、適切な撮像を行うことができる。このようにして、スリットを用いて、泡欠点によって集光される光を制限することができる。
【００５６】
次に、図１８，１９を参照して、スリットの間隔を狭めてテストを行った場合の泡欠点の光学像の例を説明する。図１８は、スリット間隔Ｌを３ｍｍにした場合の欠点の光学像を示す図であり、図１９は、スリット間隔Ｌを１ｍｍにした場合の欠点の光学像を示す図である。
【００５７】
図１８に示すように、スリット間隔Ｌを３ｍｍにした場合には、スリット体１０が泡欠点の中央部分に集光される光成分を制限するため、欠点像の中央部分の明領域が小さくなることが確認された。次に、図１９に示すように、スリットの間隔Ｌをさらに狭めて１ｍｍにした場合には、欠点像の中央部分の明領域がさらに小さくなることが確認された。
【００５８】
以上のテスト結果から分かるように、スリットの間隔を狭めていくと、泡欠点の中央部で集光される照明光がますます遮光されるため、中央部分がより広く暗領域として観察されるようになる。したがって、スリットの間隔Ｌは、撮像するカメラの視野に影響を与えない範囲で、可能な限り狭めることが望ましい。
【００５９】
次に、これらの光学像を図７と同じ分解能で撮像した例を説明する。図２０は、図１８の光学像を撮像した例を示し、図２１は、図２０の撮像例のCCD出力信号のモデルを示す。図２２は、図１９の光学像を撮像した例を示し、図２３は、図２２の撮像例のCCD出力信号のモデルを示す。
【００６０】
図２０に示すように、スリットを用いることにより、１画素当たりの暗領域の相対的割合が大きくなる。そして、図２１に示すように、CCDの出力信号が大きく下がるため、分解能を細かくすることなしに、微小泡欠点の検出感度を向上させることができる。
【００６１】
次に、スリットの間隔Ｌをさらに狭めると、図２２に示すように、１画素当たりの暗領域の相対的割合がさらに大きくなる。そして、図２３に示すように、CCDの出力信号がさらに大きく下がる。したがって、閾値の値をより大きくすることができ、誤検出を少なくすることができる。また、より小さい欠点を検出することができる。
【００６２】
以上のように、本発明の実施例１は明視野照明方法であり、照射する照明と撮像するCCDカメラとの間にスリット板を設ける。スリット板を設けることにより、欠点の輪郭部分で散乱する光成分および、欠点の中央部分にを集光される光成分を遮る。これによって、輪郭部分や中心部分をより鮮明な暗信号として得ることができるため、微小欠点の検出感度を向上させることができる。
【００６３】
また、検出可能な欠点のサイズはカメラの分解能にもよるが、スリットを加えることにより、泡欠点のようなレンズ効果を持つものに対して、分解能を細かくすることなく検出感度を向上させることができる。
【００６４】
本発明では、スリットを用いる目的は、撮像する範囲（検査範囲）以外からの迷光を遮光することと、泡欠点のレンズ効果により集光される光を減らすことである。したがって、本発明は、レンズ効果（特に集光効果）を持つ欠点を広く対象とすることができ、例えばガラス板等の表裏面の凹凸などのようなレンズ効果を持つ欠点に対して感度向上の効果がある。
【実施例２】
【００６５】
本発明の実施例２として、実施例１の変形例を説明する。ここで、図２４は、本発明の欠点検出装置を示す概略構成図である。なお、図２４において、図１０と同じ構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００６６】
図２４に示すように、本発明の実施例２においては、スリット体１０を備えず、光源１として照射する照明の幅の狭いもの（例えばライン状のレーザ光）を使用することができる。このレーザ光の幅Ｌ1は、実施例１のスリット間隔Ｌと同様にして決定することが望ましい。つまり、以下の数式９で表される。
【００６７】
【数９】
2005049291.tif 000011
【実施例３】
【００６８】
本発明の実施例３として、実施例１の変形例を説明する。ここで、図２５は、本発明の欠点検出装置を示す概略構成図である。なお、図２５において、図１０と同じ構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００６９】
図２５に示すように、本発明の実施例３においては、スリット体１０を備えず、光源１からの照明光を集光し、照明の幅を狭めるための集光レンズ２を備える構成とすることができる。集光レンズ２によって集光され、透明板状体３に照射されるライン状の集光光の幅Ｌ2は、実施例１のスリット間隔Ｌと同様にして決定することが望ましい。つまり、以下の数式１０で表される。
【００７０】
【数１０】
2005049291.tif 000012
【００７１】
上記の説明においては、ガラス板を検査対象として本発明を説明してきたが、本発明はこれに限られるものではない。ガラス板の他に、樹脂等の他の透明板状体についても本発明を適用できる。
【００７２】
また、本発明による検出装置および検出方法が適用可能な透明板状体は、必ずしも平板に限られるものではなく、パネルなどのように、ゆるやかな曲率を有している板でもよい。また透明板状体は、適宜切断された板材でも、連続的に供給される板材でもよい。さらに本発明による検出装置および方法は、透光性を有していれば半透明な板にも適用可能である。
【００７３】
一方、上記の実施の形態および実施例においては、ラインセンサカメラによって撮像された画像データを用いて本発明を説明したが、本発明は、マトリックスカメラによって撮像された画像データにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の原理を説明する概念図である。
【図２】泡欠点が実際の欠点サイズ以上の広範囲の照明光を集光することを説明する図である。
【図３】泡欠点が実際の欠点サイズ以上の広範囲の照明光を集光することを説明する図である。
【図４】スリットを使用しないで泡欠点を観察した場合の構成例を示す図である。
【図５】図４の構成における泡欠点の光学像の例を説明する図である。
【図６】欠陥サイズに対して分解能が細かい場合の撮像例を示す図である。
【図７】欠陥サイズに対して分解能が粗い場合の撮像例を示す図である。
【図８】CCDの出力信号のモデルを説明する図である。
【図９】CCDの出力信号のモデルを説明する図である。
【図１０】本発明の欠点検出装置を示す概略構成図である。
【図１１】本発明の欠点検出装置を示す斜視図である。
【図１２】欠点のサイズを説明する平面図である。
【図１３】図１２のA−A断面図である。
【図１４】スリットの設定条件を説明する図である。
【図１５】欠点サイズと欠点内明領域幅との関係を説明する図である。
【図１６】透明板状体に照射される光を説明する概念図である。
【図１７】透明板状体に照射される光を説明する概念図である。
【図１８】スリット間隔Ｌを３ｍｍにした場合の欠点の光学像を示す図である。
【図１９】スリット間隔Ｌを１ｍｍにした場合の欠点の光学像を示す図である。
【図２０】図１８の光学像を撮像した例を示す図である。
【図２１】図２０の撮像例のCCD出力信号のモデルを示す図である。
【図２２】図１９の光学像を撮像した例を示す図である。
【図２３】図２２の撮像例のCCD出力信号のモデルを示す図である。
【図２４】本発明の欠点検出装置を示す概略構成図である。
【図２５】本発明の欠点検出装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００７５】
１  光源
２  集光レンズ
３  透明板状体
４  撮像手段
５  画像処理手段
６  表示手段
７  光軸
８  搬送手段
１０  スリット体
１１  遮光部
１２  遮光部
１５  遮光板
２０  領域
３０  泡欠点
４１  ラインセンサの検査方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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