(57)【要約】【課題】ラップ加工方法に関し、ワークへの加圧力分布をなだらかに変化させることにより、均一ラップ、あるいはなだらかにラップ量が変化するラップ加工を可能にする。【解決手段】ラッププレート１上に保持される薄板細長矩形状のワーク２をラップ定盤３に対して相対移動させてラップ加工を施す際に、  前記ワーク２を、ラッププレート１表面に貼り付けられ、ワーク２当接面が平坦なゴムプレート４上に保持し、  かつ、ゴムプレート４に薄肉部５を形成して研磨速度の分布を調整する。【選択図】  図１
2005219189.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラッププレート上に保持される薄板細長矩形状のワークをラップ定盤に対して相対移動させてラップ加工を施す際に、
前記ワークを、ラッププレート表面に貼り付けられ、ワーク当接面が平坦なゴムプレート上に保持し、
かつ、ゴムプレートに薄肉部を形成して研磨速度の分布を調整するラップ加工方法。
【請求項２】
前記薄肉部が、ワークの長手方向中心部に沿って設けられる請求項１記載のラップ加工方法。
【請求項３】
前記薄肉部が、ワークの短手方向に沿って、かつ、ワークの長手方向両端に近づくにつれて密に形成される請求項１または２記載のラップ加工方法。
【請求項４】
ラッププレート上に保持される薄板細長矩形状のワークを球面定盤に対して所定領域間を相対移動させてラップ加工を施す際に、
ワークの移動領域中心位置において、ワークを通過するワークへの加圧方向線が、前記加圧方向線と球面定盤との交点から立てた法線にほぼ一致するラップ加工方法。
【請求項５】
ラッププレート上に保持される薄板細長矩形状の薄膜磁気ヘッド用スライダバーをラップ定盤に対して相対移動させてラップ加工を施すラップ加工装置であって、
前記ラッププレートが、前記薄膜磁気ヘッド用スライダバーを保持するゴムプレートをラッププレート本体表面に貼着して形成され、
かつ、ゴムプレートのラッププレート本体への貼着面には、薄膜磁気ヘッド用スライダバーの長手中心に沿ったスリットが形成されるラップ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラップ加工方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば薄膜磁気ヘッド用スライダバーのような薄板細長矩形状のワークに対するラップ加工方法としては、特許文献１記載のものが知られている。
この従来例において、ラップ加工は、表面にゴムプレートを貼着したラッププレートを使用して行われる。ゴムプレートのワーク接触面には、複数のスリットが形成されており、このラッププレートを使用してワークを定盤に押し付けると、定盤への加圧力が均一化するためワークへの均一ラップが可能になる。
【特許文献１】特開２０００-２８５４２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上述した従来例においてスリットがワーク接触面に形成されるために、ワークへの加圧力分布は、スリットの境界で急峻に変化し、微細加工時における均一ラップ、あるいはなだらかなラップ量の変化に対する制御が困難になるという問題がある。
【０００４】
本発明は、以上の欠点を解消すべくなされたものであって、ワークへの加圧力分布をなだらかに変化させることにより、均一ラップ、あるいはなだらかにラップ量が変化するラップ加工を可能にするラップ加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
ラップ加工を行うに際してワーク２を保持するラッププレート１は、ラッププレート本体６表面にゴムプレート４を貼着して形成される。ゴムプレート４には弾性変形能を高めるために薄肉部５が形成されており、ラッププレート１に加圧力を与えると、薄肉部５対応領域は他の領域に比してより多く弾性変形して加圧力を吸収し、ワーク２の研磨量を減少させる。
【０００６】
一方、上記薄肉部５は、ゴムプレート４の表面、すなわちワーク２に接し、該ワーク２を保持する面が平面となる状態で形成されているために、薄肉部５形成領域においてもワーク２の背面はゴムプレート４の肉質部に支承される。このため、薄肉部５によるワーク２への加圧力の変化は、肉質部がバッファーとして機能してなだらかになるため、局所的に過大な加圧力の変化によるラップ量の不均一等が確実に防止される。
【０００７】
表面平坦な薄肉部５は、例えばゴムプレート４のラッププレート本体６への貼着面にスリット７を形成したり、あるいはゴムプレー内部に中空部を設ける等、種々の方法によることができる。また、薄肉部５の形成領域は、ワーク２に対するラップ量に対応させて適宜決定され、例えば、平面定盤を使用して薄膜磁気ヘッド用スライダバー２にラップ加工を施すときに、スライダーバーの長手方向中心線に沿って薄肉部５を形成すると、スライダバー２の長辺近傍の加圧力を中央部に比して大きくすることができるので、良好なクラウンが形成できる。さらに、球面定盤３Ａを使用した加工においては、長手方向両端に集中的に薄肉部５を配置することにより、両端への加圧力を減少させ、長手方向でのラップ量のばらつきをなくすことができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ワーク２への加圧力分布をなだらかに変化させることができるために、均一ラップ、あるいはなだらかにラップ量が変化するラップ加工が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１に本発明の実施の形態を示す。図において３は平面定盤で、回転軸３ａ周りに所定角速度で回転駆動される。２は全長４０（ｍｍ）、幅１．２５（ｍｍ）程度の薄板細長矩形状の薄膜磁気ヘッド用スライダバー（ワーク）であり、本ラップ加工の終了後、さらに、所定の加工を施した後、一方の長辺壁面に所定間隔で膜形成される素子毎に切断して得られた個片が磁気ヘッドとして使用される。
【００１０】
１はラッププレートであり、金属等の剛体により形成されるラッププレート本体６の表面にゴムプレート４を貼り付けて形成される。ゴムプレート４には、スライダバー２の長手寸法より長寸のスリット７を形成することにより直線状の薄肉部５が形成され、スリット７形成面をラッププレート本体６の表面に対応させた状態でラッププレート本体６に貼り付けることにより、スライダバー２の保持面は平坦面とされる。
【００１１】
スライダバー２へのラップ加工は、図１（ｂ）、（ｃ）に示すように、スライダバー２の長手に沿う中心線がゴムプレート４の薄肉部５、すなわちスリット７に対応する姿勢でゴムプレート４上にスライダバー２を保持し、回転する平面定盤３に押し付けて行われる。
【００１２】
図２（ａ）に、縦軸に接触圧、横軸に短手方向の寸法をとった場合の平面定盤３への接触圧分布を調査するための試験結果を示す。図２（ａ）における原点は、短手（幅）方向の中心、すなわち、長手中心線上における接触圧０の点であり、矩形点が薄肉部５を形成しない場合の変化、黒丸がスリット７を形成した場合の変化を各々示す。
【００１３】
図２（ａ）から明らかなように、スリット７を形成することにより、ラッププレート１に加えられた加圧力は、長手中心線上においては、ゴムプレート４の弾性変形により吸収されて大幅に減少していることが確認できる。この結果、スライダバー２の長辺縁と中心部との接触圧の差が大きく、かつ局所的な変化の凹凸がないために、図２（ｂ）に示すように側縁と中央部との高さの差（δ）が大きなクラウンを形成することができる。
【００１４】
なお、図１においてはラッププレート本体６の表面、すなわちゴムプレート４の貼着面が平面である場合を示したが、図３（ａ）に示すように、ゴムプレート４の貼着面を、ゴムプレート４の長手方向に長い適度の曲率を有する湾曲溝６ａとして構成することができる。この場合、スライダバー２の長手方向両辺における加圧力の差をより大きくすることができるので、クラウンの大きさをより大きくすることができる。
【００１５】
さらに、以上においては、主として平面定盤３を使用する場合に有効な方法について説明したが、球面定盤３Ａを使用する場合には、図３（ｂ）に示すように、スライダバー２の長手中心線に沿ったスリット７に加え、このスリット７に直交する方向、すなわち、スライダバー２の短手方向に長い直交スリット７’を設けるのが望ましい。直交スリット７’は、スライダバー２の保持面を平坦にするために、長手方向のスリット７と同様にラッププレート本体６への貼着面側に形成され、端部に行くに従ってピッチ（ｐ）が小さくされる。
【００１６】
通常、球面定盤３Ａを使用したラップ加工においては、長手両端への加圧力が大きくなるために、長手両端から加工が進行し、徐々に中央部に加工領域が広がるが、上述した直交スリット７’を密度を異ならせて設けることにより、長手両端での加圧力の増大を防止することができる。このため、スライダバー２全長に渡って同時に加工を開始させることが可能になるために、加工時間を短縮することができる。
【００１７】
図４に本発明の第２の実施の形態を示す。この実施の形態は、球面定盤３Ａを使用するラップ加工方法を示すもので、スライダバー２へのラップ加工は、スライダバー２の中心を通る加圧方向線（Ｆ）と球面定盤３Ａとの交点から立てた法線（Ｌｎ）が上記加圧方向線（Ｆ）にほぼ一致する位置関係を保持して実行される。
【００１８】
いま、スライダバー２を回転中心に対して放射方向に往復移動させてラップ加工を行う場合を例にとると、図４（ｂ）に示す従来例においては、回転軸３ａ側の長辺の加圧力が大きくなるために、幅方向で研磨量に差が発生するが、本発明においては、往復ストローク中心において上記条件が充足されていれば、左右での研磨量を一定にすることができる。
【００１９】
なお、上述した位置関係は、図４（ａ）においては、球面定盤３Ａの回転軸３ａを傾けることにより達成されているが、この他に、球面定盤３Ａの姿勢は変えることなく、スライダバー２への加圧方向を変化させることにより上記条件を充足させることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明を示す図で、（ａ）は装置の平面図、（ｂ）は（ｃ）の１Ｂ方向矢視図、（ｃ）ラッププレートの分解断面図である。
【図２】本発明の作用を示す説明図で、（ａ）は接触圧の分布を示す線図、（ｂ）はワークを短手方向に沿って切断した断面図である。
【図３】図１の変形例を示す図で、（ａ）は断面図、（ｂ）は他の変形例を示す図１（ｂ）に対応する図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態を示す図で、（ａ）は断面図、（ｂ）は従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２１】
１        ラッププレート
２        ワーク
３        ラップ定盤
３Ａ      球面定盤
４        ゴムプレート
５        薄肉部
６        ラッププレート本体
７        スリット
【図１】
2005219189.tif 000003
【図２】
2005219189.tif 000004
【図３】
2005219189.tif 000005
【図４】
2005219189.tif 000006