(57)【要約】【課題】溝識別が容易でウェハを収納しやすく、且つ洗浄処理などで摩耗しない溝識別手段を持ったウェハ用キャリアを提供すること。【解決手段】相対向する側壁１、２のそれぞれの内面に、複数のウェハ挿入用の溝３を所定ピッチでそれぞれ相対向させて形成し、この相対向する溝３にウェハ縁辺部を差し込んで収納するウェハ用キャリアにおいて、上記各溝３を、側壁内面に繰り返し配設された高さの異なる複数の種類の凸部５、６により形成する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対向する側壁のそれぞれの内面に、複数の溝を所定ピッチでそれぞれ相対向させて形成し、この相対向する溝にウェハ縁辺部を差し込んで収納するウェハ用キャリアにおいて、
上記各溝を、側壁内面に繰り返し配設された高さの異なる複数の種類の凸部により形成したことを特徴とするウェハ用キャリア。
【請求項２】
相対向する側壁のそれぞれの内面に、複数の溝を所定ピッチでそれぞれ相対向させて形成し、この相対向する溝にウェハ縁辺部を差し込んで収納するウェハ用キャリアにおいて、
上記各溝を、側壁内面に交互に配設された高さの異なる第一の凸部と第二の凸部により形成し、相対向する側壁のそれぞれの第一の凸部同士及び第二の凸部同士を互いに対向させて配置したことを特徴とするウェハ用キャリア。
【請求項３】
相対向する側壁のそれぞれの内面に、複数の溝を所定ピッチでそれぞれ相対向させて形成し、この相対向する溝にウェハ縁辺部を差し込んで収納するウェハ用キャリアにおいて、
上記各溝を、側壁内面に交互に配設された高さの異なる第一の凸部と第二の凸部により形成し、相対向する側壁のそれぞれの第一の凸部と第二の凸部同士及び第二の凸部と第一の凸部同士を互いに対向させて配置したことを特徴とするウェハ用キャリア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚のウェハを収納するウェハ用キャリア、特にそのウェハの挿入作業を行い易くしたウェハ用キャリアに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハの製造においては、複数枚（例えば、２５枚）のウェハを収納するウェハ用キャリア（カセット）が用いられる。従来のウェハ用キャリアの一例を図４に示す。このウェハ用キャリアは、相対向する側壁１、２のそれぞれの内面に、複数のウェハ挿入用の溝３を所定ピッチでそれぞれ相対向させて形成し、この相対向する溝３にウェハＷの縁辺部を差し込んで収納する構造となっている。そして、この従来のウェハ用キャリアの場合、ウェハＷが差し込まれる複数の溝３と溝３の間の凸部４、つまり溝３を形成する凸部４は、図５に示すように溝３の底部（溝底部）３ａからの高さが全て同じとなっている。
【０００３】
このようなウェハ用キャリアにウェハを挿入する場合、指示された位置にウェハを挿入することは、ウェハ用キャリアの挿入用の溝の位置が、手前側と先方側の２か所にあり、またウェハを持った人の自分の手の陰となるので、所定の溝の位置を確認することが容易でない。手前側と先方側とで溝をまちがえて斜めに挿入するとウェハの鏡面に傷をつける等の問題があり、解決策が望まれていた。
【０００４】
そこで、ウェハ用キャリアのケース上側にウェハが通過できる穴のあいたアダプタを装着したり（例えば、特許文献１参照）、ウェハ挿入用の溝を識別する目印を付けた枠状体を載せることが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、同様の技術で、ウェハ用キャリアに目印をつけるものとして、溝識別印を各溝の溝番号の近傍の各鍔に付するものがある（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平５−１３５５９号公報
【特許文献２】実開平６−７０２４１号公報
【特許文献３】特開平５−１２１５３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１、２のアダプタや枠状体の如く、二部材を構成することは製造上コスト高となり、特にアダプタの場合はこれを場所移動する操作が必要となる不便がある。
【０００７】
また、特許文献３の如くウェハ用キャリアの鍔に溝識別印をつける技術では、洗浄処理などを行うと摩耗などにより溝識別印がわかりにくくなり、誤認する可能性がある。
【０００８】
既に触れたように、ウェハ製造工程などではウェハをキャリアの一番端の溝からではなく中間の溝から収納することがある。この場合、ウェハは相対向する溝にウェハ縁辺部を差し込んで収納するが、ウェハを収納しようとする一つの溝に対し、相対向する溝が確認しにくく、隣の溝にウェハを収納してしまい、ウェハ表面と溝と溝の間の凸部とが接触し、ウェハ表面にキズを付けてしまうことがある。また、相対向する溝が確認しにくい為に、慎重に相対向する溝を確認せねばならず、作業性が悪いという問題がある。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、溝の識別が容易でウェハを収納しやすく、且つ洗浄処理などで摩耗しない溝を識別する手段を持ったウェハ用キャリアを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明は、次のように構成したものである。
【００１１】
請求項１の発明に係るウェハ用キャリアは、相対向する側壁のそれぞれの内面に、複数の溝を所定ピッチでそれぞれ相対向させて形成し、この相対向する溝にウェハ縁辺部を差し込んで収納するウェハ用キャリアにおいて、上記各溝を、側壁内面に繰り返し配設された高さの異なる複数の種類の凸部により形成したことを特徴とする。
【００１２】
本発明において、ウェハ挿入用の溝を、側壁内面に繰り返し配設された高さの異なる複数の種類の凸部により形成する代表的な形態は、高さの異なる２種類の凸部を側壁内面に交互に配設する形態であるが、本発明はこれに限らず、たとえば３種類の凸部を側壁内面に繰り返し配設する形態であってもよい。
【００１３】
請求項２の発明は、相対向する側壁のそれぞれの内面に、複数の溝を所定ピッチでそれぞれ相対向させて形成し、この相対向する溝にウェハ縁辺部を差し込んで収納するウェハ用キャリアにおいて、上記各溝を、側壁内面に交互に配設された高さの異なる第一の凸部と第二の凸部により形成し、相対向する側壁のそれぞれの第一の凸部同士及び第二の凸部同士を互いに対向させて配置したことを特徴とする。
【００１４】
請求項３の発明は、相対向する側壁のそれぞれの内面に、複数の溝を所定ピッチでそれぞれ相対向させて形成し、この相対向する溝にウェハ縁辺部を差し込んで収納するウェハ用キャリアにおいて、上記各溝を、側壁内面に交互に配設された高さの異なる第一の凸部と第二の凸部により形成し、相対向する側壁のそれぞれの第一の凸部と第二の凸部同士及び第二の凸部と第一の凸部同士を互いに対向させて配置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、次のような優れた効果が得られる。
【００１６】
請求項１に記載の発明によれば、ウェハ挿入用の溝を、側壁内面に繰り返し配設された高さの異なる複数の種類の凸部により形成したので、その凸部の高低差から、一方の側壁側のウェハ挿入用の溝に対応するところの正しい他方の側壁側のウェハ挿入用の溝を容易に特定することができる。またウェハ用キャリアの外側表面に溝識別印をつける技術のように、溝識別印が洗浄処理などで摩耗して分かり難くなることもない。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、ウェハ挿入用の溝を、側壁内面に交互に配設された高さの異なる第一の凸部と第二の凸部により形成し、相対向する側壁のそれぞれの第一の凸部同士及び第二の凸部同士を互いに対向させて配置したので、第一の凸部と第二の凸部の高低差から、一方の側壁側のウェハ挿入用の溝に対応するところの他方の側壁側のウェハ挿入用の溝を容易に正しく特定することができる。この場合、対応するウェハ挿入用の溝は、その左右の第一の凸部と第二の凸部を含めて同じ形をしている。
【００１８】
また請求項２の発明では、ウェハ用キャリアの内壁の凸部の形状を変えるだけであるので、ウェハ用キャリアの外側表面に溝識別印をつける技術のように、溝識別印が洗浄処理などで摩耗して分かり難くなることもない。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、ウェハ挿入用の溝を、側壁内面に交互に配設された高さの異なる第一の凸部と第二の凸部により形成し、相対向する側壁のそれぞれの第一の凸部と第二の凸部同士及び第二の凸部と第一の凸部同士を互いに対向させて配置したので、第一の凸部と第二の凸部の高低差から、一方の側壁側のウェハ挿入用の溝に対応するところの他方の側壁側のウェハ挿入用の溝を容易に正しく特定することができる。この場合、対応するウェハ挿入用の溝は、その左右の第一の凸部と第二の凸部が対称的に位置している。
【００２０】
また、請求項３の発明では、必ず、ウェハＷの片面側と他方の片面側の双方にそれぞれ背の高い凸部が位置し、ウェハＷを保持する面積がウェハの表裏両側で同じとなる為、ウェハＷが溝から外れ難くなるという利点がある。
【００２１】
さらにまたウェハ用キャリアの内壁の凸部の形状を変えるだけであるので、ウェハ用キャリアの外側表面に溝識別印をつける技術のように、溝識別印が洗浄処理などで摩耗して分かり難くなることもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。
【００２３】
＜実施形態１＞
本発明の一実施形態を図１、図２に示す。
【００２４】
本実施形態のウェハ用キャリアは、互いに向かい合う一対の側壁１、２のそれぞれの内面に、複数のウェハ挿入用の溝３を所定ピッチでそれぞれ相対向させて形成し、この相対向する溝３にウェハ縁辺部を差し込んで収納する構成となっている。ウェハ挿入用の溝３の各々は、側壁内面に交互に配設された高さの異なる２種類の凸部、すなわち比較的背の高い第一の凸部５と比較的背の低い第二の凸部６により形成されており、これらは相対向する側壁１、２のそれぞれの第一の凸部５、５同士及び第二の凸部６、６同士が互いに対向する関係となるように配置されている。
【００２５】
換言すれば、本実施形態のウェハ用キャリアは、互いに向かい合う一対の側壁１、２の対向面に、ウェハＷの縁辺を案内するウェハ挿入用の溝（対向溝）３が所定ピッチで複数設けられており、ウェハ挿入用の溝３の設けられた各側壁（側壁部材）１、２における隣り合わせの溝３と溝３の間には、溝底部３ａからの高さが異なる２種類の凸部として、比較的背の高い第一の凸部５と比較的背の低い第二の凸部６が位置している。そして、この第一の凸部５と第二の凸部６は、各側壁１、２において交互に配置されている。その際、一方の側壁における第一の凸部５には他方の側壁における同じ高さの第一の凸部５が対向し、また一方の側壁における第二の凸部６には他方の側壁における同じ高さの第二の凸部６が対向する関係となるように配置されている。
【００２６】
上記構成のウェハ用キャリアによれば、第一の凸部５と第二の凸部６の高低差から、一方の側壁側のウェハ挿入用の溝３に対応するところの他方の側壁側のウェハ挿入用の溝３を、背の高い第一の凸部５又は背の低い第二の凸部６を基準として容易に正しく特定することができる。従って、図２の如くウェハＷをキャリアの一番端の溝からではなく中間の溝に収納する場合においても、ウェハＷを差し込もうとする一対の相対向する溝３は、溝３に対する凸部５、６の位置関係が同じとなるため、容易に確認することができて正しく挿入することができる。
【００２７】
＜実施形態２＞
他の実施形態を図３に示す。
【００２８】
この図３の実施形態は、上記と同様に、ウェハ挿入用の溝３を、側壁内面に高さの異なる第一の凸部５と第二の凸部６を交互に配設することにより形成したものであるが、相対向する側壁のそれぞれの第一の凸部５と第二の凸部６同士及び第二の凸部６と第一の凸部５同士を互いに対向させて配置している点で、上記実施形態と異なる。
【００２９】
すなわち、この実施形態の場合、上記と同様に、隣り合わせの溝３と溝３の間には、溝底部３ａからの高さの異なる２種類の凸部として、比較的背の高い第一の凸部５と比較的背の低い第二の凸部６が位置しており、また、この第一の凸部５と第二の凸部６は、各側壁１、２において交互に配置されている。しかし、上記実施形態と異なり、一方の側壁における第一の凸部５には他方の側壁における異なる高さの第二の凸部６が対向し、また一方の側壁における第二の凸部６には他方の側壁における異なる高さの第一の凸部５が対向する関係となるように配置されている。
【００３０】
この対向配置の関係を作業基準として理解しておくことにより、第一の凸部と第二の凸部の高低差から、一方の側壁側のウェハ挿入用の溝に対応するところの他方の側壁側のウェハ挿入用の溝を容易に正しく特定することができる。
【００３１】
すなわち、この実施例の場合においても、溝３に対する凸部５、６の位置関係から容易に挿入すべき溝の位置を確認することができる。また、この実施形態の場合、図３から分かるように、必ず、ウェハＷの片面側と他方の片面側の双方にそれぞれ背の高い第一の凸部５が位置し、ウェハＷを保持する面積がウェハの表裏両側で同じとなる。このため、図２の如くウェハの同じ片面側に背の低い第二の凸部６が来てしまう形態に比べ、ウェハＷが溝３から外れにくくなるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明のウェハ用キャリアの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るウェハ用キャリアを上から見た部分拡大図である。
【図３】本発明の他の実施形態に係るウェハ用キャリアを上から見た部分拡大図である。
【図４】従来のウェハ用キャリアを示す斜視図である。
【図５】従来のウェハ用キャリアを上から見た部分拡大図である。
【符号の説明】
【００３３】
Ｗ  ウェハ
１、２  側壁
３  ウェハ挿入用の溝
３ａ  溝底部
４  凸部
５  第一の凸部
６  第二の凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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