(57)【要約】【課題】  研削加工と、研削砥石と遊離砥粒との連れ回り加工による研磨加工が可能な自由曲面加工方法及び装置を提供。【解決手段】回転軸先端３ａにワーク２を固定し、加工先端部が円柱状外面の角部７ｂとされた棒状の研削砥石７をＺ軸４、Ｘ軸５、Ｂ軸１４ａを制御して、角部７ｂによりワーク端面２ａを所定の自由曲面形状に研削加工し、研削砥石の角部を逃げ方向に所定の間隔となるように再度移動させ、遊離砥粒含有研磨液１０をワーク端面２ａと研削砥石の角部７ｂとの隙間９に供給し遊離砥粒含有研磨液に研削砥石により高速加速力を付与して研削砥石の連れ回りによる研磨加工を行う。【選択図】        図３
2005103668.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸先端にワークを固定し、砥石軸回りに回転する棒状の研削砥石を前記回転軸と同方向のＺ軸方向、前記回転軸と直角方向のＸ軸方向、前記Ｚ及びＸ軸と直角方向の回転軸Ｂ軸回りに移動させ、前記研削砥石の加工先端部である円柱状外面の角部の軌跡により、前記ワーク端面を所定の自由曲面に研削加工した後、前記研削砥石の角部を前記所定の自由曲面の軌跡とは、逃げ方向に所定の間隔となるように再度移動させ、かつ、遊離砥粒含有研磨液を前記自由曲面に加工された前記ワーク端面と前記研削砥石の角部との隙間に供給し前記遊離砥粒含有研磨液に前記研削砥石により高速加速力を付与して前記研削砥石の連れ回りによる研磨加工をし、前記ワーク端面に自由曲面を形成することを特徴とする自由曲面加工方法。
【請求項２】
先端にワークが固定される回転軸と、加工先端部が円柱状外面の角部とされた棒状の研削砥石と、棒状の研削砥石が回転自在に設けられる砥石軸と、前記砥石軸が載置され、相対的に前記回転軸と同方向のＺ軸方向、前記回転軸と直角方向のＸ軸方向、前記Ｚ及びＸ軸と直角方向の回転軸Ｂ軸回りに移動可能にされた工具取付部と、前記研削砥石の加工先端である円柱状外面の角部の軌跡により研削加工された自由曲面と、前記研削砥石の角部との間が所定の隙間になるように再度研削砥石の角部の軌跡を制御できる手段と、前記自由曲面と前記研削砥石の角部との間に遊離砥粒含有研磨液を供給するノズルと、を有することを特徴とする自由曲面加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品用の超精密金型等の球面、非球面等の自由曲面を有するワークの端面を研削し、かつ研削に使用した砥石を用いて、研磨加工を行う自由曲面加工方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
非球面、自由曲面加工機等の超精密加工機で金型を研削で加工するが、光学部品として使用するには、加工物の面粗さが不足しているという問題点があった。従来は、金型の面粗さを向上するため、超精密加工機で研削加工した金型を研磨（ポリッシュ）機に搭載して、研磨を行ない金型の面粗さの向上を図っている。しかし、現在、非球面、自由曲面金型は、金型の形状要求精度が高くなり、深い形状や複雑な曲率分布の形状が要求されるようになった。このため、研磨加工機は、研磨ヘッドの面圧を一定に制御したり、加工面に合わせて研磨（ポリッシュ）ヘッドの向きを制御したりする機能により金型の研磨を行なっている。しかし、金型の形状が複雑なもの、あるいは深い形状のものの場合には、加工ワーク面の傾きを考慮して面圧を一定にすること、加工面に合わせて研磨（ポリッシュ）ヘッドの向きを制御することが困難になっている。
【０００３】
一方、要求精度の高い金型は、研削加工を実施した後、研磨加工→形状測定→研磨加工を繰り返し行ない、金型の形状、面粗さの改善を行なっている。しかし、超精密研削加工機に研磨機能を付加するためには、砥石スピンドルとポリッシャヘッドを両方搭載、または、研削ヘッドとポリッシャヘッドを着脱する必要が生じる。この場合は、小径の研削加工機の場合は、工具を工具旋回軸（Ｂ軸）の上に搭載する必要があるが、両方搭載すると、機械サイズ、ストロークが大きくなる等の問題点がある。また、研削ヘッドとポリッシャヘッドを着脱する場合には、研削ヘッドの着脱による形状誤差を小さく押えるためには、０．１μｍ以下の着脱再現性が必要となり困難であるという問題があった。
【０００４】
そこで、特許文献１のものは、光ファイバーコネクタ端面の加工であるが、粗加工から仕上げ加工までをカップ砥石を用いた研削手段による研削加工により所定形状に加工し、さらに、カップ砥石と端面との間に微少隙間を設け、この微少隙間に遊離砥粒をカップ砥石による連れ回り加工により研磨加工し、研削、研磨加工を連続一工程で加工処理している。この連れ回り加工は図５に示すように、加工液中２０の遊離砥粒２１が高速回転するカップ砥石２２により加速され加工中のコネクタ２３の端面２３ａに衝突し、カップ砥石が非接触状態で加工を行う。この非接触加工は、非常にワークに与えるダメージが少なく、適当な時間保持すれば、遊離砥粒２１による非接触加工のみによって加工が行われ、面のきれいな端面加工が可能となる。また、特許文献２においては、棒状材の切断と端面研磨を円盤状の剛性体による遊離砥粒の連れ回り加工により行っている。また、特許文献３においては、タービンブレードのＲ部をタービンブレードより高硬度のセラミック円盤とＲ部との間に遊離砥粒を介在させている。但しこの場合は砥粒をタービンブレード側に押しつけているので、特許文献１，２の連れ回り加工とは異なる。
【特許文献１】特開平９−２４８７５０号公報
【特許文献２】特公平６−０４７２２８号公報
【特許文献３】特開平６−３１２３５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のものはカップ砥石面に対し所定角のワーク面を押しつけて研削加工し、さらに一定隙間にして、遊離砥粒を供給するだけであり、単純な形状に限られる。また、特許文献２のものは、砥石の平面形状を転写するに留まり、平面しか加工できない。また、特許文献３のものは砥粒を押しつけるので、特許文献１，２のような良好な面は得られない。このように、かかる遊離砥粒による連れ回り加工又は類似の加工は前述したレンズの金型のような、自由曲面加工への適用については示唆も開示もされていない。
【０００６】
本発明の課題は、前述した問題点に鑑みて、研削砥石による研削加工と、研削砥石と遊離砥粒との連れ回り加工による研磨を自由曲面加工で行える自由曲面加工方法及び装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者等は、遊離砥粒による連れ回り加工において、砥石形状を転写するのみでなく、砥石の軌跡による加工の場合についての可能性について検討した。その結果、最も隙間の小さい部分は先端に円柱状の外径を有する角部で加工する棒状の砥石の角部とワーク加工面とが一番隙間が少なく、他の部分では隙間が大きいので、ワーク加工面に対して、送り等を適当に選択すれば、十分な連れ回り加工が可能であることを知得した。この知得により、本発明においては、回転軸先端にワークを固定し、砥石軸回りに回転する棒状の研削砥石を前記回転軸と同方向のＺ軸方向、前記回転軸と直角方向のＸ軸方向、前記Ｚ及びＸ軸と直角方向の回転軸Ｂ軸回りに移動させ、前記研削砥石の加工先端部である円柱状外面の角部の軌跡により、前記ワーク端面を所定の自由曲面に研削加工した後、前記研削砥石の角部を前記所定の自由曲面の軌跡とは、逃げ方向に所定の間隔となるように再度移動させ、かつ、遊離砥粒含有研磨液を前記自由曲面に加工された前記ワーク端面と前記研削砥石の角部との隙間に供給し前記遊離砥粒含有研磨液に前記研削砥石により高速加速力を付与して前記研削砥石の連れ回りによる研磨加工をし、前記ワーク端面に自由曲面を形成する自由曲面加工方法を提供することにより上記課題を解決した。
【０００８】
即ち、非球面レンズ金型、自由曲面レンズ金型の研削加工と面粗さを向上させる方法として、超精密加工機に搭載した砥石軸スピンドルで研削加工を行ない金型の端面の形状を仕上げる。このとき実際の加工は研削砥石の先端の円柱状外面の角部で行われる。次に、好ましくは、加工した金型の形状計測を行い、金型の形状誤差を求める。そして、誤差を含み、研削加工面に対して砥石の角部とワーク間の隙間が所定に値になるようにＮＣプログラム等により軌跡制御する（形状誤差に応じて、送り速度を設定すればよい）。次にノズル等により遊離砥粒含有研磨液を研削砥石の角部との隙間に供給した状態で、砥石軸スピンドルを回転させ、遊離砥粒含有研磨液を砥石外周、さらに角部に連れ回りさせ、加工ワークと砥石角部間に流れる遊離砥粒の流れによりワーク表面の磨き加工を行なうのである。加工先端部は円柱状外面の角部としているので、角部以外の部分の加工面との隙間は、角部と加工面との隙間よりはるかに大きい。従って、遊離砥粒の影響も少ない。
【０００９】
かかる方法を実施する装置としては、請求項２に記載の発明において、先端にワークが固定される回転軸と、加工先端部が円柱状外面の角部とされた棒状の研削砥石と、棒状の研削砥石が回転自在に設けられる砥石軸と、前記砥石軸が載置され、相対的に前記回転軸と同方向のＺ軸方向、前記回転軸と直角方向のＸ軸方向、前記Ｚ及びＸ軸と直角方向の回転軸Ｂ軸回りに移動可能にされた工具取付部と、前記研削砥石の加工先端である円柱状外面の角部の軌跡により研削加工された自由曲面と、前記研削砥石の角部との間が所定の隙間になるように再度研削砥石の角部の軌跡を制御できる手段と、前記自由曲面と前記研削砥石の角部との間に遊離砥粒含有研磨液を供給するノズルとを有する自由曲面加工装置とすればよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、加工先端部が円柱状外面の角部となる棒状の研削砥石を用いて、研削加工した後、角部と研削加工面との隙間が所定の隙間になるように制御するようにしたので、レンズ等の金型の自由曲面や非球面、球面等の自由曲面加工において、研削砥石による研削加工と、研削砥石と遊離砥粒との連れ回り加工による研磨加工方法及び装置を提供するものとなった。連れ回り加工による研磨ができるので高精度の加工ができる。さらには、金型の形状要求精度が高く、深い形状や複雑な形状になった非球面、自由曲面形状の光学部品の金型に対しても、砥石、砥石軸スピンドルをそのまま用いて研磨加工を行なうことが可能となり、加工面の面粗さの改善を図ることができる。また、研磨加工に用いた砥石は、遊離砥粒含有研磨液との作用により、ドレス効果がえられ、砥石の切れ味の回復を図る効果がえられるものとなった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態を示す自由曲面加工装置の平面図、図２は同側面図、図３はワークと研削砥石との関係を示す拡大断面平面図、図４は側面図である。図１、２において、本自由曲面加工装置１は、基台６上にＺ軸４方向に移動可能なワークテーブル１２とＺ軸と直角（Ｘ軸５）方向に移動可能な工具テーブル１３が載置され、ワークテーブル１２上にＺ軸と同方向の回転軸３が設けられている。回転軸３の端部３ａにワーク２が取付けられるようにされ、ワークは回転軸回りに回転可能にされている。工具テーブル１３の上にはテーブル面１３ａに垂直に旋回軸であるＢ軸１４ｂ回りに旋回可能にされた旋回ステージ１４、さらに、旋回ステージ上１４ａに工具取付部１５が設けられ、工具取付部には砥石軸７ａ回りに軸回転可能に棒状の研削砥石７が取付けられている。研削砥石７は円柱状に形成され、円柱状外面の角部７ｂをワーク端面２ａに対して移動させてワーク端面を加工する加工先端部としている。研削砥石７の軸心７ａは基台面６ａに対して平行にされ、回転軸３に対して傾けて取り付けられ、また高さは回転軸３と同じにされている。回転軸３やワークテーブル１２，工具テーブル１３、旋回ステージ１４、砥石軸７ａ等の送りには流体軸受や、高精度転がり軸受が使用されており、さらにＸ軸５、Ｚ軸４、旋回軸１４ｂはサーボモータを使用したＮＣ制御により高精度に制御され、超精密非球面加工が可能にされている。なお、回転軸３、砥石軸７ａもＮＣ制御することが好ましい。また、上下方向にＮＣ制御できるようにしてもよいが、少なくともＸ、Ｚ、Ｂ軸が制御されることが必要である。なお、図１に点線で示す符号８は計測用のプローブ接触式計測器であり、加工工程中に必要に応じて都度取付けられワーク端面形状を測定する。
【００１２】
特に、本発明においては、研磨工程時には、図３に示すように、ワーク３の自由曲面２ａと研削砥石７の角部７ｂとの隙間９に遊離砥粒含有研磨液１０が供給可能にノズル１１が設けられる。ノズルはできる限り加工面に近いのが好ましい。ワーク端面２ａの下方には受皿１８が設けられ下方に落下する遊離砥粒含有研磨液１０を受け、図示しない研磨液タンクへ戻すようにされている。ワーク端面２ａの研削加工は、回転軸３、Ｚ軸４、Ｘ軸５、Ｂ軸１４ｂ、砥石軸７ａを相対移動させ角部７ｂにより自由曲面研削を行うようにされている。また、研磨加工時においては、研削加工された自由曲面２ａと角部７ｂとの間（自由曲面の逃げ方向）が所定の隙間９、例えば数ｎｍ（ナノメータ）〜数μｍ（ミクロンメータ）の隙間を保ちながら再度研削砥石の角部７ｂの軌跡を制御できるようにされている。
【００１３】
かかる自由曲面加工装置において、まず、回転軸３の端面３ａに加工ワーク２を取付け、棒状砥石７を用いて、角部７ｂにより、ワーク端面の自由曲面（図では凹面）２ａの研削加工を行なう。研削加工ワーク２は、機械上に搭載された形状測定装置８を用いて形状測定を行なう。研削加工で仕上げた軌跡に対して、棒状砥石７の角部７ｂとワーク２の自由曲面２ａの隙間９が所定の値になるように、研磨加工用のＮＣ制御させる。また、ノズル１１から角部７ｂと自由曲面２ａとの間の隙間に向かって、温度調整された遊離砥粒含有研磨液１０を供給する。砥石軸７ａスピンドルを回転させ、砥石７の角部７ｂとワーク２の自由曲面２ａとの間が所定の隙間になるように、ＮＣプログラムにて軸移動を行なう。これにより、棒状砥石の回転につれ回りして遊離砥粒含有研磨液１０に回転が生じ、遊離砥粒がワーク自由曲面２ａに当る箇所で、研磨の効果が得られ、加工面２ａの面粗さが改善する。なお、棒状砥石７の回転速度、遊離砥粒の大きさ等は、前述した研削砥石と遊離砥粒による連れ回り研磨が可能な速度（例えば、数千〜数万回転）、大きさ（０．１〜０．５μｍ）、砥粒材質（超微粒子シリカ）等適宜選択するのはいうまでもない。また、棒状砥石は円筒状、円柱状、外形が異なる円筒又は円柱状の砥石が軸方向に連接された段付状等の種々の形状が可能であり、加工に携わる加工先端部が円柱の角部となっていればよいことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態を示す自由曲面加工装置の平面図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す自由曲面加工装置の側面図である。
【図３】本発明の実施の形態を示すワークと研削砥石との関係を示す拡大断面平面図である。
【図４】本発明の実施の形態を示すワークと研削砥石との関係を示す拡大断面側面図である。
【図５】研削砥石と遊離砥粒による連れ回り加工による研磨の説明図である。
【符号の説明】
【００１５】
１    自由曲面加工装置
２    ワーク
２ａ  ワーク端面（自由曲面）
３    回転軸
３ａ  回転軸先端
４    Ｚ軸
５    Ｘ軸
７    棒状の研削砥石
７ａ  砥石軸
７ｂ  角部
９    隙間
１０  遊離砥粒含有研磨液
１１  ノズル
１４ｂ  Ｂ軸
１５  工具取付部
【図１】
2005103668.tif 000003
【図２】
2005103668.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005103668.tif 000006
【図５】
2005103668.tif 000007