(57)【要約】【課題】フィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度の測定に関するものであり、フィルムの残留応力等に起因して発生する凹凸の影響を除去し、高精度な測定方法および測定装置を実現する。【解決手段】フィルム２に長手方向に張力を印刷するとともに、前記フィルム２またはフィルム２の上に形成したコーティング層２２の厚みまたは面密度を測定する測定点の近傍において、前記フィルム２に直接幅方向の張力を印加する。【選択図】図１
2005127882.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度を連続的に非接触にて測定する厚みまたは面密度測定方法において、前記フィルムに長手方向に張力を印加するとともに、前記フィルムまたは前記フィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度を測定する測定点の近傍において、前記フィルムに直接幅方向の張力を印加する厚みまたは面密度測定方法。
【請求項２】
フィルムを長手方向へ張力を印加しながら搬送する搬送機構を有し、前記フィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度を搬送途中に非接触にて測定するフィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度測定装置において、搬送方向の張力に加え、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の近傍に、前記フィルムに直接幅方向の張力を印加する張力印加機構を有する厚みまたは面密度測定装置。
【請求項３】
フィルムの測定点における厚み方向の位置決めを行う位置決めロールを前記測定点の前後直近に配し、前記フィルム搬送の際に前記位置決めロールにより前記フィルムに前記位置決めロールの軸方向の展開力を印加する請求項２に記載の厚みまたは面密度測定装置。
【請求項４】
フィルムを長手方向へ巻き出しロールと巻き取りロールを用いて張力を印加しながら搬送する搬送機構を設け、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の近傍に放射線源と検出器が常に対向しながら移動できるガイドレールからなる面密度測定機を設け、前記フィルムの搬送方向の張力に加え、前記フィルムに直接幅方向の張力を印加するためのテンションロールを前記厚みまたは面密度の測定点の前後左右に設けた請求項２または３のいずれかに記載の厚みまたは面密度測定装置。
【請求項５】
フィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度を非接触にて連続的に測定する厚みまたは面密度測定方法において、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の直近において、前記フィルムを幅方向と平行な接平面を有する一次曲面状に変形させる厚みまたは面密度測定方法。
【請求項６】
フィルムの長手方向へ張力を印加しながら搬送する搬送機構を有し、前記フィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度を搬送途中に非接触にて測定するフィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度測定装置において、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の搬送方向前後直近に前記フィルムの幅方向と平行な軸を有し、その断面が円または楕円の円筒面の全面または一部よりなるガイドを配した厚みまたは面密度測定装置。
【請求項７】
フィルムを長手方向へ巻き出しロールと巻き取りロールを用いて張力を印加しながら搬送する搬送機構を設け、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の近傍に放射線源と検出器が常に対向しながら移動できるガイドレールからなる面密度測定機を設け、前記フィルムの搬送方向の張力に加え、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の搬送方向前後直近にその前記フィルムの中央部に対して左右対称の放射状になるようにガイドとなるコマを配した位置決めロールを前記フィルムの幅方向と平行な軸となるように設けた請求項６に記載の厚みまたは面密度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特にフィルムあるいはこのフィルム上に形成されたコーティング層の厚みまたは単位面積当たりの質量である面密度測定方法および厚みまたは面密度測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、フィルムあるいはフィルムの上に形成されたコーティング層の非接触による厚みの測定や面密度の測定には光学式や放射線式が用いられ、その装置の構成としては図８に示すようなものが一般的であった。
【０００３】
図８は、測定に放射線透過式を用いて、ロール状に巻かれたフィルムあるいはフィルムの上に形成されたコーティング層の厚みあるいは面密度を連続的に測定できる厚みあるいは面密度測定装置の構成図である。
【０００４】
また図９はフィルムのフリー状態における形状の説明図であり、図１０はフィルム搬送時における張力過大時におけるフィルムの挙動を説明するための模式図であり、図１１は張力不足時のフィルムの挙動を説明するための模式図であり、図１２はフィルムの傾斜に伴う測定誤差の発生を説明するための模式図である。
【０００５】
図８において、ロール状に巻かれた巻き出しロール１０１から引き出されたフィルム１０２はガイドロール１０４を通って搬送され、巻き取りロール１０３に巻き取られる。このとき、フィルム１０２は搬送途中に放射線源１０５、検出器１０６、上側ガイドレール１０７と下側ガイドレール１０８から構成される厚みまたは面密度測定機１１１により厚みまたは面密度が測定される。巻き取りロール１０３がモータ１０９により回転されフィルム１０２は搬送されるが、この際巻き出しロール１０１に取り付けられた電磁ブレーキ１１０により搬送方向の張力が印加され、搬送時のフィルム１０２の弛みやバラツキを低減させる。
【０００６】
この厚みまたは面密度測定機１１１は上側ガイドレール１０７に取り付けられた放射線源１０５と下側ガイドレール１０８に取り付けられた検出器１０６を有し、放射線源１０５と検出器１０６は常に対向した形で各ガイドレール１０７、１０８上を移動する。この上側ガイドレール１０７と下側ガイドレール１０８はフィルム１０２の幅方向に配置されているため、放射線源１０５と検出器１０６が各ガイドレール１０７、１０８の上を移動することにより、フィルム１０２の幅方向の厚みまたは面密度分布を測定することができるものである。この際、フィルム１０２を一定速度で巻き出しロール１０１から巻き取りロール１０３へ搬送することにより、放射線源１０５より放射された放射線はフィルム１０２上を千鳥状に走査することになるため、フィルム１０２の２次元的な厚みまたは面密度分布の概要を測定することができる。
【０００７】
また、搬送中のフィルム１０２をニップロールによりニップし、フィルム１０２の縦方向の張力を調整することにより、フィルム１０２に発生する縦・横の張力比を調節する例もある。
【０００８】
なお、本出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば特許文献１、非特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開２００２−１８７１９２号公報
【非特許文献１】横河電機株式会社  オンライン厚さ計  ＷＥＢＦＲＥＸ２カタログ  ２０００年１２月発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、測定対象のフィルム１０２が特に樹脂フィルムの場合、製造時に縦・横の延伸プロセスを用いるため、内部応力や熱履歴による歪みが残留し、フィルム１０２に張力を与えないフリーの状態では、図９に示すような僅かな変形１１５がフィルム１０２に発生する。また、搬送時の張力が少しでも過大になると、図１０のような搬送方向に縦縞の変形１１６が発生し、逆に張力が不足すると図１１のような厚み方向のバタツキ１２０が発生し、搬送方向の張力を調整する張力バランス調整ではフィルム１０２の上に発生する細かな凹凸１２１が解消する条件は実現できなかった。即ち、上記従来の構成ではフィルム１０２の厚みまたは面密度を測定する測定点において、フィルム１０２の変形１１５やバタツキ１２０によるフィルム１０２の傾きが発生する。その結果、図１２に示すように傾き角θ、真の厚みをｔとすると、見かけの厚みはｔ／Ｃｏｓθとなり、ｔ×（１−Ｃｏｓθ）の誤差を発生することになる。同様に、厚みまたは面密度に関しても見かけの厚みに比例して誤差が増加することになる。このように、フィルム１０２の傾きに起因する測定誤差が発生するという課題を有していた。
【００１０】
また、このフィルム１０２の上に各種インクあるいはセラミックスラリーなどを印刷・塗布することによって所定の膜あるいはコーティング層（図示せず）を均一の厚みで形成することが電子部品の製造では広く用いられており、この膜あるいはコーティング層の厚みあるいは面密度を測定する場合においても基材であるフィルム１０２の挙動に依存することから同様の課題を有していた。
【００１１】
本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、フィルムの厚みまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度の高精度な測定方法、および厚みまたは面密度測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する。
【００１３】
本発明の請求項１記載の発明は、フィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度を連続的に非接触にて測定する厚みまたは面密度測定方法において、前記フィルムに長手方向に張力を印加するとともに、前記フィルムまたは前記フィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度を測定する測定点の近傍において、前記フィルムに直接幅方向の張力を印加する厚みまたは面密度測定方法であり、このことによりフィルムの変形を除去でき、フィルムの厚みまたは面密度を高精度に測定できるという作用効果が得られる。
【００１４】
本発明の請求項２記載の発明は、フィルムを長手方向へ張力を印加しながら搬送する搬送機構を有し、前記フィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度を搬送途中に非接触にて測定するフィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度測定装置において、搬送方向の張力に加え、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の近傍に、前記フィルムに直接幅方向の張力を印加する張力印加機構を有する厚みまたは面密度測定装置であり、この張力印加機構が発生する張力により、フィルムの厚みまたは面密度測定点での変形を解消できるため、フィルムの厚みまたは面密度を高精度に測定できるという作用効果が得られる。
【００１５】
本発明の請求項３記載の発明は、フィルムの測定点における厚み方向の位置決めを行う位置決めロールを前記測定点の前後直近に配し、前記フィルム搬送の際に前記位置決めロールにより前記フィルムに前記位置決めロールの軸方向の展開力を印加する請求項２に記載の厚みまたは面密度測定装置であり、位置決めロールによりフィルム厚みまたは面密度測定点の前後直近に幅方向の張力を印加できるため、フィルムの厚みまたは面密度測定点での変形を解消でき、フィルムの厚みまたは面密度を高精度に測定できるという作用効果が得られる。
【００１６】
本発明の請求項４記載の発明は、フィルムを長手方向へ巻き出しロールと巻き取りロールを用いて張力を印加しながら搬送する搬送機構を設け、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の近傍に放射線源と検出器が常に対向しながら移動できるガイドレールからなる面密度測定機を設け、前記フィルムの搬送方向の張力に加え、前記フィルムに直接幅方向の張力を印加するためのテンションロールを前記厚みまたは面密度の測定点の前後左右に設けた請求項２または３のいずれかに記載の厚みまたは面密度測定装置であり、フィルムの厚みまたは面密度を高精度に測定できるという作用効果が得られる。
【００１７】
本発明の請求項５記載の発明は、フィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度を非接触にて連続的に測定する厚みまたは面密度測定方法において、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の直近において、前記フィルムを幅方向と平行な接平面を有する一次曲面状に変形させる厚みまたは面密度測定方法であり、フィルムを測定点の直近で一次曲面状に変形させることにより、フィルムの厚みまたは面密度測定点での変形を解消でき、フィルムの厚みまたは面密度を高精度に測定できるという作用効果が得られる。
【００１８】
本発明の請求項６記載の発明は、フィルムの長手方向へ張力を印加しながら搬送する搬送機構を有し、前記フィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度を搬送途中に非接触にて測定するフィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度測定装置において、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の搬送方向前後直近に前記フィルムの幅方向と平行な軸を有し、その断面が円または楕円の円筒面の全面または一部よりなるガイドを配した厚みまたは面密度測定装置であり、フィルムを測定点の直近で円筒面状に変形させることにより、フィルムの厚みまたは面密度測定点での変形を解消でき、フィルムの厚みまたは面密度を高精度に測定できるという作用効果が得られる。
【００１９】
本発明の請求項７に記載の発明は、フィルムを長手方向へ巻き出しロールと巻き取りロールを用いて張力を印加しながら搬送する搬送機構を設け、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の近傍に放射線源と検出器が常に対向しながら移動できるガイドレールからなる面密度測定機を設け、前記フィルムの搬送方向の張力に加え、前記フィルムの厚みまたは面密度の測定点の搬送方向前後直近にその前記フィルムの中央部に対して左右対称の放射状になるようにガイドとなるコマを配した位置決めロールを前記フィルムの幅方向と平行な軸となるように設けた請求項６に記載の厚みまたは面密度測定装置であり、フィルムの厚みまたは面密度を高精度に測定できるという作用効果が得られる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の厚みまたは面密度測定方法および厚みまたは面密度測定装置では、厚みまたは面密度の測定点において、フィルムの内部応力や内部歪みによる細かな凹凸変形や傾きまでも長手方向と幅方向の両方向から張力を測定点の近傍に直接印加することにより解消することができるため、フィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の厚みまたは面密度の高精度な測定が可能になり、この測定値をフィルムまたはフィルム上に形成したコーティング層の形成プロセスに利用することにより、フィルムまたはコーティング層の品質向上に実現できる効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（実施の形態１）
実施の形態１を用いて、本発明の請求項１、２、４に記載の発明について説明する。
【００２２】
図１は本発明の実施の形態１におけるフィルムあるいはフィルム上に形成されたコーティング層の厚みまたは面密度の測定装置の構成図であり、図２はフィルムの変形除去作用の原理を説明するための構成図である。
【００２３】
図１において、ロール状に巻かれた巻き出しロール１から引き出されたフィルム２はニップロール１２やガイドロール４、ダンサロール１４を通って搬送され、最後に巻き取りロール３に巻き取られる。このフィルム２は搬送途中に厚みまたは面密度測定機１１により厚みまたは面密度が測定される。巻き取りロール３はモータ９により回転され、フィルム２の搬送力を得る。一方、巻き出しロール１には電磁ブレーキ１０が取り付けられ、巻き出し側に適当な張力を与えることにより、巻き出しロール１の安定な回転を実現している。
【００２４】
厚みまたは面密度測定機１１は上側ガイドレール７に取り付けられた放射線源５と下側ガイドレール８に取り付けられた検出器６を有し、放射線源５と検出器６は常に対向した形で各ガイドレール７、８上を移動する。この上側ガイドレール７、下側ガイドレール８はフィルム２の幅方向に配置されているため、放射線源５と検出器６が各ガイドレール７、８の上に移動することにより、フィルム２の幅方向の厚みまたは面密度分布を測定することができる。この際、フィルム２を一定速度で巻き出しロール１から巻き取りロール３へ搬送することにより、放射線源５より放射された放射線はフィルム２の上を千鳥状に走査するため、フィルム２の２次元的な厚みまたは面密度分布の概要を測定することができる。
【００２５】
フィルム２の厚みまたは面密度の測定精度に関し、前述の背景技術でも述べたように測定点における張力の管理が重要である（測定点とは放射線源５と検出器６で挟まれた測定部を意味している。）。
【００２６】
そこで、先ずモータ９の駆動力変動、電磁ブレーキ１０の負荷トルク変動、巻き取りロール３・巻き出しロール１の半径変化等による厚みまたは面密度の測定点でのフィルム２の張力変化を防止するため、ニップロール１２によりフィルム２にニップし、巻き取り側および巻き出し側の張力から隔離している。次に、厚みまたは面密度測定点でのフィルム２の張力をロールに取り付けられたロードセル１３により測定する。最後に、このロードセル１３により測定されたフィルム２の張力を適当な設定値で一定に保持するようにダンサロール１４によって測定点におけるフィルム２の張力制御を行う。
【００２７】
上記方法により、フィルム２の搬送方向（長手方向）の張力管理は行われる。
【００２８】
しかしながら、特に樹脂フィルムなどでは製造プロセスに起因する内部歪みを含有しており、無張力状態では既に図９で示したように変形している。そのため、樹脂フィルムなどの厚みまたは面密度の測定精度向上にはフィルム２をフラットな状態で測定することが不可欠であり、図９のような細かな凹凸変形１１５をも取り除く必要がある。しかし、長手方向の張力制御による長手方向と幅方向の張力バランスを調整することにより、これを実現することは非常に困難である。
【００２９】
しかし、図２に示すように測定点の近傍において、フィルム２の幅方向にも直接張力を印加することにより、測定点においてフィルム２の完全なフラット状態を実現することができる。今まで主にフィルム２を例にとって説明してきたがフィルム２の上に形成したコーティング層２２の場合においても同様である。
【００３０】
次に、図２に示したフィルム２の幅方向へ張力を発生する手段の一例について説明する。図１における１５はフィルム２の両端近傍に設置したテンションロールであり、図３（ａ）はテンションロール１５を上から見た拡大上面図であり、図３（ｂ）はそれを横から見た拡大側面図である。このテンションロール１５は各々上下で対をなし、その間にフィルム２を挟み込む構造になっている。
【００３１】
また、このテンションロール１５の回転軸はフィルム２の幅方向に対して角度φをもち、その送り方向がフィルム２の搬送方向に対して、僅かにフィルム２の外側に向くように設置されている。従って、このテンションロール１５を厚みまたは面密度測定点の前後でフィルム２の両側に設置（４箇所）することにより、測定点近傍でフィルム２には幅方向の張力が印加され、測定点においてフィルム２のフラット状態を実現できることから厚みまたは面密度の測定精度を大きく向上することができる。ここで測定点の近傍とは測定点より５０ｃｍ離れた箇所にテンションロール１５を設置してもこの効果があることを確認している。また図１では一つの箇所のテンションロール１５は４個を図示しているが、最低限フィルム２の上下にそれぞれ１個の配置であっても良い。
【００３２】
また、コーティング層２２が存在する場合にはフィルム２の両端にテンションロール１５を設置することが望ましい。これは通常コーティング層２２にテンションロール１５の圧力による変形、汚れおよび傷などを加えないようにするためである。
【００３３】
ここで、テンションロール１５の設置に関して、両側の張力バランスを取るため、左右両側のテンションロール１５の個数を同数にする必要がある。また、幅方向に過度な張力の印加を防止するため、テンションロール１５にはグリップ力の比較的小さい表面が鏡面仕上げされた金属製ロールなどが適している。
【００３４】
また、フィルム２の厚みは５００μｍ以下において効果的であり、より好ましくは３００μｍ以下である。そして、コーティング層２２の厚みは１ｍｍ以下において効果的であり、より好ましくは５００μｍ以下である。
【００３５】
（実施の形態２）
実施の形態２を用いて、本発明の請求項３に記載の発明について説明する。
【００３６】
図４は本発明の実施の形態２における厚みまたは面密度測定装置の構成図であり、図５は位置決めロールの構成図である。
【００３７】
図４において、フィルム２の搬送に関する部分および搬送方向の張力制御に関する部分は実施の形態１と同様であるために説明は省略する。
【００３８】
本実施の形態２では、厚みまたは面密度の測定点近傍におけるフィルム２の幅方向の張力発生手段として、図５に示したような位置決めロール１６を測定点前後の直近に設置する。この位置決めロール１６の設置方法は他のガイドロール４と同様であり、図４においては測定点におけるフィルム２の厚み方向の位置決め機能をも果たす。
【００３９】
次に、図５を用いて位置決めロール１６の詳細な説明を行う。位置決めロール１６の軸２０には複数個の幅の狭いコマ２１が設置されている。各コマ２１はフリーに軸２０のまわりを回転できるが、回転軸方向が位置決めロール１６の幅位置により異なる。位置決めロール１６の中央のコマ２１の回転軸は位置決めロール１６の軸２０方向と一致するが、中央から距離Ｌ1だけ離れた位置のコマ２１の回転軸は位置決めロール１６の軸２０とθ1の角をなし、距離Ｌ2離れた位置ではθ2の角度をなす。角θ1，θ2と距離Ｌ1，Ｌ2の関係は、Ｌ1＜Ｌ2のときθ1＜θ2の関係にあり、θの向きはフィルム２の搬送方向に対し各コマ２１が外側へ開くようになっている。すなわち、位置決めロール１６の中央から離れるに従い、コマ２１の開き角が大きくなっていく。また、開き角は位置決めロール１６の中央に対し対称である。また、コマ２１の外周面はグリップ力を得るためにゴム面とすることが好ましい。
【００４０】
上記のようにコマ２１を配置することにより、位置決めロール１６で搬送されるフィルム２はどの位置でも幅中央から外側へ移動する力が働き、フィルム２の幅全体に渡り均一な展開力が得られる。特に、厚みの薄いフィルム２において、両端のみ引っ張った際に問題となる両端の過大な延びを防止することができるため、厚みの薄いフィルム２に対しても均一な張力を印加することができることから高精度な厚みまたは面密度測定装置を実現することができる。
【００４１】
（実施の形態３）
実施の形態３を用いて、本発明の請求項５、６、７に記載の発明について説明する。
【００４２】
図６は本発明の実施の形態３における厚みまたは面密度測定装置の厚みまたは面密度測定部の拡大構成図、図７は本実施の形態３において発現するフィルム２の変形除去効果の原理を説明するための原理図である。図６に示した構成において、厚みまたは面密度の測定を実施するときに必要とされるフィルム２の搬送機構や搬送方向の張力制御は実施の形態１で述べたものと同様であるのでここでは省略し、測定点におけるフィルム２の変形を除去することに関する内容のみ説明する。
【００４３】
図６に示すフィルム２またはフィルム２の上に形成したコーティング層２２（図示せず）の厚みまたは面密度測定装置では放射線源５と検出器６の間にガイド２５を設置している。このガイド２５は測定点に対して、搬送方向の前後１対で設置している。
【００４４】
そして、このガイド２５のガイド面はフィルム２の幅方向を軸２０（図７参照）とする円筒面状であり、その断面は楕円の円周の一部より構成されている（ここでは、この円筒面を楕円筒面と称する）。また被測定物であるフィルム２はガイド２５の楕円筒面形状のガイド面に沿って搬送される。
【００４５】
一方、１対のガイド２５の間隔は放射線源５から放射された放射線が通過するのに必要最小限の隙間２３が設けてあり、前記放射線がガイド２５間の隙間２３に沿ってフィルム２の幅方向に走査することにより、フィルム２の幅方向の厚みまたは面密度分布を測定することができる。
【００４６】
次に、図７を用いて、フィルム２の内部応力や熱履歴に起因する変形の除去について説明する。図７はフリー状態では凹凸変形を呈するフィルム２の一部をガイド２５を配置することによりガイド２５に沿って湾曲させている様子を示している。この湾曲した一次曲面の方向を規定するため、接平面２６の概念を説明する。図７に示すように、接平面２６は一次曲面を有するガイド２５上の点Ａにおける法線方向と垂直な平面として定義することができる。この接平面２６と一次曲面の接触部は点Ａを含む一つの直線（接触部がなす直線）を形成する。
【００４７】
次に、フィルム２の凹凸除去のメカニズムを説明する。フィルム２をガイド２５を用いて適当な曲率の一次曲面で変形させるとフィルム２に発生していた凹凸変形を除去しながら一次曲面のみにすることができる。この原理は変形している一次曲面の曲率よりも大きな曲率部分には引っ張り力が働き、中立状態である一次曲面に引き戻され、逆に曲率が小さい部分には圧縮が働くことにより一次曲面の位置まで押し出されて一次曲面以外の凹凸が除去されるものである。そして、この凹凸を除去する力は一次曲面の曲率が小さいほど大きくなる。
【００４８】
上記の一次曲面と凹凸除去の関係を利用するため、厚みまたは面密度の測定点の前後直近に一次曲面と接平面２６の接触部である直線がフィルム２の幅方向と平行であるような一次曲面を有するガイド２５を設置し、フィルム２をガイド２５に沿わせて搬送することにより、測定点Ａにおいてフィルム２の凹凸の変形を除去することができる。ここで、測定点Ａにおいてフィルム２が傾いていると厚みまたは面密度の測定に誤差が発生するので、ガイド２５の隙間部分ではフィルム２をフラットにする必要がある。しかし、ガイド２５の間隔は２〜２．５ｃｍ程度であり、フィルム２の元々の変形の周期は１０ｃｍ以上あることから２〜２．５ｃｍのフラット部分が存在してもこの部分に凸凹が発生することはない。
【００４９】
以上説明してきたような方法によって、厚みまたは面密度の測定点Ａでフィルム２のフラット化を実現することができることから高精度な厚みまたは面密度測定方法および厚みまたは面密度測定装置を実現することができる。
【００５０】
尚、ガイド２５の一次曲面として楕円筒面を利用したが、勿論円筒面でも可能であり、他の一次曲面を利用しても同様の効果を得ることができる。
【００５１】
また、実施の形態１、２、および３ではフィルム２の厚みまたは面密度測定を例に用いて説明してきたが、フィルム２の上に形成されたコーティング層２２の厚みまたは面密度を測定することも同様の方法により可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明にかかるフィルムあるいはコーティング層の厚みまたは面密度測定方法、およびフィルムあるいはコーティング層の厚みまたは面密度測定装置はフィルムの内部応力や内部歪みによる変形や傾きを、長手方向と幅方向の両方向から測定点の近傍に直接張力を印加することにより解消することができることからフィルムあるいはコーティング層の厚みまたは面密度の高精度な測定方法および測定装置を実現することが可能になり、この測定値をフィルムあるいはコーティング層の形成プロセスに利用することにより、フィルムあるいはコーティング層の厚み、または単位面積当たりの質量である面密度の制御技術として有効であり、高精度、高均質な電子部品の実現に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施の形態１における厚みまたは面密度の測定装置の構成図
【図２】同フィルムの変形除去作用の原理を説明するための構成図
【図３】（ａ）同テンションロールの拡大上面図、（ｂ）同拡大側面図
【図４】本発明の実施の形態２における厚みまたは面密度測定装置の構成図
【図５】同位置決めロールの構成図
【図６】本発明の実施の形態３における厚みまたは面密度測定装置の測定部の拡大図
【図７】同フィルムの変形除去効果の原理を説明するための原理図
【図８】従来の厚みまたは面密度測定装置の構成図
【図９】同フィルムのフリー状態における形状の説明図
【図１０】同フィルム搬送時における張力過大時におけるフィルムの挙動を説明するための模式図
【図１１】同張力不足時のフィルムの挙動を説明するための模式図
【図１２】同フィルムの傾斜に伴う測定誤差の発生を説明するための模式図
【符号の説明】
【００５４】
１  巻き出しロール
２  フィルム
３  巻き取りロール
４  ガイドロール
５  放射線源
６  検出器
７  上側ガイドレール
８  下側ガイドレール
９  モータ
１０  電磁ブレーキ
１１  厚みまたは面密度測定機
１２  ニップロール
１３  ロードセル
１４  ダンサロール
１５  テンションロール
１６  位置決めロール
２０  軸
２１  コマ
２２  コーティング層
２３  隙間
２５  ガイド
２６  接平面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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