(57)【要約】【課題】駆動軸ごとのコイル発熱量のばらつきを小さくし、駆動効率を均一化する。【解決手段】複数の磁石を有する可動子と、可動子に固定されたステージと、磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイル１〜３，１４が可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、各層に対応するコイルの発熱量に応じて、コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させた。【選択図】      図１
2005328682.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、
前記各層に対応するコイルの発熱量に応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
前記各層のコイルにおける前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、発熱量の小さなコイルに対して相対的に大きくしたことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、
前記各層のコイルと前記磁石との磁気ギャップに応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とするステージ装置。
【請求項４】
前記各層のコイルにおける前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、磁気ギャップの小さいコイルに対して相対的に大きくしたことを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。
【請求項５】
所定のコイルのコイル厚を変えることで、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項６】
所定のコイルを厚さ方向に分割することで、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項７】
複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、
前記各層のコイルの発熱量に応じて、当該コイルの表面積を変化させることを特徴とするステージ装置。
【請求項８】
所定のコイルの表面積を、発熱量の小さいコイルよりも相対的に大きくしたことを特徴とする請求項７に記載のステージ装置。
【請求項９】
所定のコイルを厚さ方向に分割することで、コイルの表面積を変化させることを特徴とする請求項７又は８に記載のステージ装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載のステージ装置を備え、
前記ステージ装置によって、原版と基板とを相対的に走査して当該原版上のパターンを基板上に露光する露光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の露光装置を用いて半導体デバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１２】
複数の磁石を有する可動子と、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させる平面モータにおいて、
前記各層に対応するコイルの発熱量に応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とする平面モータ。
【請求項１３】
複数の磁石を有する可動子と、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させる平面モータにおいて、
前記各層のコイルと前記磁石との磁気ギャップに応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させたことを特徴とする平面モータ。
【請求項１４】
複数の磁石を有する可動子と、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させる平面モータにおいて、
前記各層のコイルの発熱量に応じて、当該コイルの表面積を変化させることを特徴とする平面モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体を２次元方向に移動させる平面モータを駆動源とするステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の平面モータの構成について、特許文献１の図１０を参照して説明する。
【０００３】
特許文献１は、ＸＹ方向の２軸方向への駆動が可能な平面モータ２０を開示し、複数の磁石３８を有した可動ステージ（可動子）２２と、Ｘ軸方向への駆動に対応する複数のコイル５４からなるコイル群及びＹ軸方向への駆動に対応する複数のコイル５６からなるコイル群を有する固定子２６とで構成される。複数の磁石３８に対向配置された適当なコイル５４（又は５６）に通電することで、Ｘ軸方向（又はＹ軸方向）のローレンツ力を可動子ステージ２２に発生させることができ、通電量を制御することで可動ステージ２２を２次元的に駆動させることができる。なお、Ｘ軸方向への駆動に対応するコイルとしてＺ方向に２層分のコイル５４を積層しており、また、Ｙ軸方向への駆動に対応するコイルとしてＺ方向に２層分のコイル５６を積層している。
【０００４】
また、図５に別構成の平面モータの平面図（ａ）及び側断面図（ｂ）、図６に図５のＡ部の拡大図を示す。
【０００５】
図５及び図６の平面モータは、固定子１０と、平板状のステージ天板２２の下面に複数の磁石からなる磁石列２１が固定された可動子２０とを備える。固定子１０は、コイル列１〜４が４層に積層されて構成されており、それぞれ上層から１層目のコイル列１がＸ軸若しくはωｚ軸（Ｚ軸まわりの回転）方向への駆動用、２層目のコイル列２がＹ軸若しくはωｚ軸方向への駆動用、３層目のコイル列３がＺ軸若しくはωｙ軸（Ｙ軸まわりの回転）方向への駆動用、４層目のコイル列４がＺ軸若しくはωｘ軸方向への駆動用の各コイル列がベース６と隔壁７との間の隙間（冷媒流路Ｆ）に配置されている。上記ベース６と隔壁７との間の隙間には、上流側の冷媒入口８から冷媒が導入され、下流側の冷媒出口９から排出される。
【０００６】
ここで、各層のコイル列間の隙間は、冷却効率の観点から一定の距離に保持されている。また、図７に示すように、可動子２０の磁石列２１が非対称になっているため、全てのコイル列を長尺コイルとしても、通電するコイル列をうまく選択することで可動子にモーメント力を発生させることができ、各層のコイル列の通電を適宜行うことで可動子を回転方向にも制御可能となっている。なお、長尺コイルの”長尺”とは、図５に示すように、コイルの有効長さが可動子に配置された磁石列２１の大きさ以上であるこことを意味し、”短尺”とは、図１０の１層目のコイル列のようにコイルの有効長さが可動子２２に設置された磁石群の大きさよりも小さい（短い）ことを意味するものと定義する。
【特許文献１】特開２００２−１１２５２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般に、可動子２２の磁石３８と固定子のコイル列５４（５６）との間の隙間（磁気ギャップ）が大きい程、磁束密度は小さくなる。そのため、図１０の構成例では、Ｘ軸方向への駆動用コイル列５４周辺の磁束密度よりも、相対的に磁気ギャップの大きいＹ軸方向への駆動用コイル列５６周辺の磁束密度の方が小さくなる。このため、各コイル列に同じ電流を流した場合のローレンツ力（つまり、推力定数）はＹ軸方向への駆動の方が小さくなる。通常の位置決め装置では、Ｘ軸方向とＹ軸方向ともに同様の駆動力が求められるため、結果的にＹ軸駆動用コイル列５６の発熱量は相対的にＸ軸駆動用コイル列５４より大きくなる。
【０００８】
図８にコイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積が同じ場合における、コイルの磁気ギャップに対応した推力定数を示した傾向図を示す。図示のようにコイルと磁石との距離が大きい（つまり、コイルの磁気ギャップが大きい）程、そのコイルでの推力定数は小さくなり、その傾向は特に磁気ギャップが小さい部分で顕著であることが分かる。つまり、図１０のように２層のコイル列であっても、磁気ギャップの大きい下層に配置されたＹ軸方向駆動用コイル列５６の推力定数は、Ｘ軸方向駆動用コイル列５４の推力定数よりかなり小さい値になることが想定される。更に、同じ駆動力を発生させたい場合、コイルの発熱量は推力定数の自乗に反比例することから、Ｙ軸駆動用コイル列５６の発熱量はＸ軸駆動用コイル列５４に比べて非常に大きくなることが予想される。つまり、コイルの冷却の観点からすると、磁気ギャップの大きいところに位置するコイルの発熱が問題となることが多い。
【０００９】
また、図６のようにコイルを多層にした構成の場合は、さらに最上層コイル列１と最下層コイル４の推力定数の差が大きくなる。このため、図５、６のように不活性冷媒を冷媒入口８から冷媒出口９に流通させてコイル列全体をまとめて直接冷却する場合には、最も発熱量の大きい最下層コイル４に合わせて冷媒の流量や温度等を決定することが必要になる。
【００１０】
以上をまとめると、ローレンツ力を用いた平面モータでは、駆動する軸方向ごとにコイルを多層に積み重ねた構成になるため、磁石とコイル列と間の磁気ギャップが駆動軸ごとに異なり、駆動軸の推力定数が大きく異なった構成になってしまう。言い換えれば、磁気ギャップが大きいコイル列で駆動する駆動軸ほど、駆動効率が非常に悪くなってしまう。これにより、上層（磁気ギャップが小さい）コイル列ではあまり発熱はしないが、下層（磁気ギャップが大きい）コイル列では発熱が非常に大きくなるという、発熱的なアンバランスが発生してしまう。また、例えば、これらコイル列を冷媒でまとめて冷却する場合、最も発熱量の大きいコイル列に合わせて冷媒の流量や温度等を決定するため、上層コイル列には無駄に多くの冷媒が流れることになり、固定子全体としては非常に多くの冷媒を流す必要が生じてしまう。
【００１１】
このため、ローレンツ力を用いた平面モータにおいて、各層のコイル列の発熱のアンバランスをなくすことが駆動効率の向上とともに、コイル冷却の効率化の観点から望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述の課題を解決し、目的を達成するために、本発明のステージ装置は、複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、前記各層に対応するコイルの発熱量に応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させた。
【００１３】
上記構成において、前記各層のコイルにおける前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、発熱量の小さなコイルに対して相対的に大きくしている。
【００１４】
また、本発明のステージ装置は、複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、前記各層のコイルと前記磁石との磁気ギャップに応じて、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させた。
【００１５】
上記構成において、前記各層のコイルにおける前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、磁気ギャップの小さいコイルに対して相対的に大きくしている。
【００１６】
また、上記いずれかの構成において、所定のコイルのコイル厚を変えることで、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変えている。
【００１７】
また、上記いずれかの構成において、所定のコイルを厚さ方向に分割することで、前記コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変えている。
【００１８】
更に、本発明のステージ装置は、複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して所定間隔をもって対向配置されたコイルを積層して構成し、各層のコイルが前記可動子を２次元方向に駆動する複数の駆動軸として機能する固定子とを備え、各層に対応するコイルに通電することで、前記可動ステージに対して駆動力を発生させるステージ装置において、前記各層のコイルの発熱量に応じて、当該コイルの表面積を変化させる。
【００１９】
上記構成において、所定のコイルの表面積を、発熱量の小さいコイルよりも相対的に大きくしている。
【００２０】
また、上記構成において、所定のコイルを厚さ方向に分割することで、コイルの表面積を変化させている。
【００２１】
なお、本発明は、上記いずれかの構成のステージ装置を備え、前記ステージ装置によって、原版と基板とを相対的に走査して当該原版上のパターンを基板上に露光する露光装置や、この露光装置を用いて半導体デバイスを製造するデバイス製造方法にも適用される。
【００２２】
また、上記いずれかの構成から、ステージを除いた平面モータとしても適用できる。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したように、本発明によれば、駆動軸ごとのコイル発熱量のばらつきを小さくすることができ、駆動効率を均一化するような設計ができるので、従来の最下層コイルの発熱により冷却が困難となる課題が解決される。
【００２４】
また、発熱ばらつきを小さくすることで、コイル全体を一括冷却する構成とした場合、無駄のない効率的な冷却を行うことができるため、冷却に関する装置全体の規模を小さくすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に、添付図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
［第１の実施形態］
図１は、第１の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
【００２６】
第１の実施形態の構成は、各層のコイルの発熱量に応じて、コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させる態様として、発熱の大きいコイル列におけるコイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、発熱量の小さなコイル列に対して相対的に大きくしたものである。
【００２７】
具体的には、図５，６の構成を基本として、Ｚ軸若しくはωｘ軸方向への駆動用に対応する上から４層目のコイル列１４のみのコイル厚を２倍にした構成となっている。図８に示したように、コイルの巻き線方向を法線とするコイル断面の導体面積が同じ場合、下層のコイル列ほど推力定数が小さい、つまりはコイル効率が悪い。そのため、４層目のコイル列が最も発熱する可能性が大きく、冷却の観点から問題となることが多いと考えられる。この課題に対応するため、４層目のコイル列１４のコイル厚を厚くして、４層目のコイル列の推力定数を上げるよう構成している。
【００２８】
例えば、４層目のコイル列１４のコイル厚を２倍とした場合、同じ電流でもほぼ２倍の駆動力を得ることができ、つまり推力定数を２倍にすることが可能となる。１コイルあたりの発熱の観点から言えば、コイル抵抗も同時に２倍となるが、推力定数が２倍になることで、発熱は１／２となり、つまり冷却量も１／２で済む。もちろん、３層目のコイル列３も同様にコイル厚を厚くすることも考えられるが、３層目のコイル列３を厚くすると、４層目のコイル列１４のコイル上端の位置が下層側に実質オフセットすることになるため、４層目のコイル列１４の磁気ギャップが見かけ上大きくなってしまい、３層目のコイル列３の発熱は低減するものの４層目のコイル列１４の発熱が逆に増えてしまうことになる。そのため、４層目より上層のコイル列１〜３のコイル厚を厚くする場合は、コイル厚を大きくしたことによって４層目のコイル列の実質的な磁気ギャップが大きくなった分を補うように４層目のコイル列１４の厚さを更に厚くして、各コイル列の発熱ばらつきが小さくなる、若しくは各コイル列の最大発熱が小さくなるように設計する必要がある。
【００２９】
なお、上記特許文献１には、図９のように上から１層目のコイル列と２層目のコイル列のコイル形状を変えた例も開示されているため、意図的ではなくとも実質上コイル断面の導体面積を変えていると言えなくもない。しかし、この文献１において１層目と２層目のコイル形状を変えた理由は、磁石の配列が図７のように非対称でないため、可動子２２に回転方向の力を働かせる機能を付加するためには、１，２層目のコイル列ともに長尺コイル５６を用いることはできず、１層目若しくは２層目のコイル列に短尺コイル５４を用いる必要があったからである。つまり、図７のように磁石の配列が非対称でない場合に、可動子２２に回転方向（Ｚ軸まわり）の駆動力を発生させるためには、図５のように長尺コイル列のみを積み重ねただけでは構成できず、Ｘ軸若しくはＹ軸のいずれか一方の駆動軸に対応するコイル列を短尺コイルにして、磁石に対向した通電及び非通電の短尺コイルを組み合わせることで、可動子の重心に対して非対称な電磁力（モーメント力）を働かせることが必要だからである。また、この文献１には、磁石と各層のコイル列との距離、つまり磁気ギャップに関する記述や、コイルの発熱量を低減することを意図してコイル形状を変更した旨の記述はないことから、本発明の趣旨とは大きく異なることは明らかである。
［第２の実施形態］
図２は、第２の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
【００３０】
第２の実施形態の構成は、各層のコイル列と磁石との磁気ギャップに応じて、コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させる態様として、各層のコイルにおけるコイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、コイル厚を変えることで、磁気ギャップの小さいコイルに対して相対的に大きくしている。
【００３１】
具体的には、図５，６の構成を基本として、図１とは逆に、上層のコイル列１１，１２のコイル厚を薄くして、下層のコイルを全体的に上層側にオフセットさせることで、下層のコイル列３，４の実質的な磁気ギャップを小さくして、推力定数を上げてコイルの発熱量を低減するものである。具体的には、図２では１層及び２層コイル列１１，１２の厚さを図６の場合に比べて１／２にしている。これにより、１層目のコイル列１１は、コイル断面の導体面積が減った分に比例して推力定数が１／２に低下するが、コイル抵抗も１／２になることで、コイル発熱量は２倍になる。しかし、そもそも１層目のコイル列１１に対応する駆動軸は、磁気ギャップが小さいことから他の駆動軸に比べ推力定数が格段に高いため、発熱量の増加は許容できるレベルにあることが多い。それよりも、コイル厚が薄くなった分、各コイル層の隙間を冷却の観点より変更しない場合、２層目以降のコイル位置が全体的に上層にシフトして、全体の推力定数を上げることができる。この例では、２層目のコイル厚も薄くすることで、２層目のコイル列１２に関しては、コイル厚を薄くした影響と全体のコイル位置が上層にシフトした影響が関係して一概にはいえないが、少なくとも発熱が２倍以上になることはない。この場合も３，４層目のコイル列３，４よりは、発熱上昇分の許容は大きい場合が大きく、むしろ１，２層目のコイル列１１，１２の厚さを薄くしたことで、３，４層目のコイル列３，４が上層へシフトすることによる全体の発熱抑制の効果が大きい場合が多い。また、１，２層目のコイル列の発熱を大きくして、３，４層目のコイル列の発熱を小さくして、１〜４層目のコイル列の発熱量をお互いに近づけることは、各駆動軸に対応するコイル列の発熱量のばらつきを抑える方向となるためには、好ましいといえる。
［第３の実施形態］
図３は、第３の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
【００３２】
第３の実施形態の構成は、各層のコイル列と磁石との磁気ギャップに応じて、コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を変化させる態様として、各層のコイルにおけるコイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積を、コイルを厚さ方向に分割することで、磁気ギャップの小さいコイルに対して相対的に大きくしている。
【００３３】
具体的には、図５，６の構成を基本として、Ｚ軸若しくはωｘ軸方向への駆動用に対応するコイル列を４層目のコイル列２４と５層目のコイル列２５の２層に分割したものである。つまり、他の駆動軸は１方向に対して１層分のコイル列を対応させているのに対して、Ｚ軸若しくはωｘ軸方向への駆動用にのみ２層分のコイル列を対応させて、Ｚ軸若しくはωｘ軸方向への駆動用のコイル断面の導体面積を増やしている。これにより、この駆動軸に関して見かけ上の推力定数は２倍となっている。更に、この場合、この駆動軸に対応したコイル列２４，２５の表面積は２倍に増えたことに相当し、つまり冷媒との熱伝達面が２倍となり１コイルあたりの発熱が小さくなるばかりでなく、冷却効率が上がるというメリットも付加されることになり、非常に有効な構成である。ただし、この例も他の構成と同様に最下層コイル列には適用は非常に有効であるが、例えば、４層目のコイル列以外に適用した場合、４層目のコイル列のコイル位置が下層にシフトすることによる発熱量の増加を考えて設計する必要がある。
［第４の実施形態］
図４は、第４の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
【００３４】
第４の実施形態の構成は、各層のコイルの発熱量に応じて、コイルの表面積を変化させる態様として、コイルを厚さ方向に分割することで、発熱量の小さいコイルよりも相対的に大きくしている。
【００３５】
具体的には、図５，６の構成を基本として、Ｚ軸若しくはωｘ軸方向への駆動用に対応するコイル列を４層目のコイル列３４と５層目のコイル列３５の２層に分割し、かつ４，５層目のコイル列３４，３５のコイル厚を上層の他のコイル列１〜３に比べて１／２にしたものである。図３の構成と比較すると、Ｚ軸若しくはωｘ軸方向の駆動用コイル断面の導体面積は変更していないという点で異なる。つまり、この例では、最下層のコイル列を用いて発熱が最も大きいと見込まれる、Ｚ軸若しくはωｘ軸方向の駆動用に対応するコイル列の発熱を減らすという観点ではなく、コイル列の表面積を大きくして冷媒との接触面積を増やし、冷却効率を上げることで全体の冷却の最適化を図ることが狙いとなっている。この構成に関しても、コイルを分割することで、冷却水路分（コイル層の間隔分）が磁気ギャップに付加されるため、最下層以外で適用した場合、逆にさらに下層のコイル列の発熱が増えて全体的に最適化が図れないこともあるので、その点を考慮して設計する必要がある。
［露光装置への適用例］
次に、上記各実施形態の平面モータを、物体を位置決めするステージ装置のステージ駆動に適用し、このステージ装置を半導体デバイス製造に用いられる露光装置に搭載した例を説明する。
【００３６】
図１１（ａ）に示すように、上記平面モータを備えるステージ装置ＳＴＧを搭載する露光装置は、回路パターンが描画されたレチクルＲと、当該レチクルＲ上のスリット状の細長い照射エリアＲ１に照明光を与える照明光学系８０とを有し、照射されたレチクルＲの描画パターンの一部を投影光学系としての投影レンズ８１を介してウエハＷに転写する。
【００３７】
また、露光装置は、当該ウエハＷを保持し且つ投影レンズ８１の光軸と直交するＸＹ平面上で移動可能なウエハステージ７２と、ウエハステージ７２上でウエハＷを保持するチャック７１と、当該ウエハステージ７２の位置と姿勢を計測するレーザ干渉計８２，８３，８４と、ウエハステージ７２に固定された反射鏡３１，３２とを備え、ウエハＷ上にはスリット状の細長いショットＷ１が転写される。
【００３８】
なお、レチクルＲとウエハＷとを相対的に走査できるものであれば、ウエハステージに限らず、レチクルＲを保持し且つ投影レンズ８１の光軸と直交するＸＹ平面上で移動可能なレチクルステージを付加してもよい。
【００３９】
更に、図１１（ｂ）に示すように、ステージの移動や照明光の照射などの露光に関わる動作や、上記質量体の位置補償制御などを行う制御部９１が設けられる。
［デバイス製造方法］
次に、上述した露光装置を利用したデバイス製造方法の実施形態を説明する。
【００４０】
図１２は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造のフローを示す。ステップＳ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行なう。ステップＳ２（露光制御データ作成）では設計した回路パターンに基づいて露光装置の露光制御データを作成する。一方、ステップＳ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップＳ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意した露光制御データが入力された露光装置とウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップＳ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップＳ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ステップＳ６（検査）ではステップＳ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷（ステップＳ７）される。
【００４１】
図１３は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップＳ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化させる。ステップＳ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップＳ１３（電極形成）ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップＳ１４（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップＳ１５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステップＳ１６（露光）では上記説明した露光装置によって回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップＳ１７（現像）では露光したウエハを現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップＳ１９（レジスト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
【００４２】
本実施形態の製造方法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度の半導体デバイスを低コストに製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】第１の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
【図２】第２の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
【図３】第３の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
【図４】第４の実施形態のコイル列の構成を例示する固定子の断面図である。
【図５】従来の平面モータの構成を示す平面図（ａ）及び側断面図（ｂ）である。
【図６】図５のＡ部の拡大図である。
【図７】従来の平面モータを構成する可動子の磁石配列を示す側面図（ａ）及び背面図（ｂ）である。
【図８】磁気ギャップとコイル列の推力定数との関係を示す傾向図である。
【図９】従来の平面モータの構成を一部破断して示す斜視図である。
【図１０】従来の平面モータの構成を一部破断して示す斜視図である。
【図１１】本発明に係る実施形態の露光装置の概略構成を示す図である。
【図１２】微小デバイスの製造フローを説明する図である。
【図１３】ウエハプロセスを説明する図である。
【図１】
2005328682.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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