(57)【要約】      （修正有）【課題】効率的かつ高精度な移動動作を行なうことができ、部品装着における生産性の向上を図ることができる部品装着ヘッドを提供する。【解決手段】基板の大略表面沿いの方向における部品保持部材と昇降駆動装置50との夫々の支持中心S,Tの位置関係が、移動装置への支持部材40の固定中心Jと上記昇降駆動装置50の支持中心Tとの間の距離寸法L1が、支持部材40の固定中心Jと部品保持部材の支持中心Sとの間の距離寸法L2よりも小さくなるように、夫々の支持中心が配置されていることにより、部品装着ヘッドにおいて、その駆動の際に大きな推力の発生を伴うという特徴を有する昇降駆動装置50を、上記支持部材40の固定中心により近づけて配置することで、推力の発生に伴って生じるモーメントを低減することができ部品装着ヘッドの移動動作における動作特性を向上させることができる。【選択図】図６
2005123303.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給される部品（１）を部品保持部材（１１）により保持して上昇させて、当該部品保持部材を基板（３）の大略表面沿いの方向に移動させて、上記基板における上記部品の装着位置の上方に上記保持された部品を位置させて、上記部品保持部材を下降させることにより、上記部品を上記基板に装着する部品装着ヘッド（１０、２０）において、
上記部品を解除可能に保持する上記部品保持部材と、
上記部品保持部材を昇降させる昇降駆動装置（５０）と、
上記部品保持部材を昇降可能に支持するとともに上記昇降駆動装置を支持する部材であって、上記基板の大略表面沿いの方向における上記部品装着ヘッドの上記移動を行なう移動装置（４、１４）に固定される支持部材（４０）とを備え、
上記基板の大略表面沿いの方向における上記移動装置への上記支持部材の固定中心（Ｊ）と上記支持部材による上記昇降駆動装置の支持中心（Ｔ）との間の距離寸法（Ｌ１）が、上記方向における上記支持部材による上記部品保持部材の支持中心（Ｓ）と上記固定中心との間の距離寸法（Ｌ２）よりも小さくなるように、上記夫々の支持中心が配置されて、かつ、上記昇降駆動装置の支持中心と上記部品保持部材の支持中心との間に、上記支持部材の少なくとも一部が配置され、当該支持部材の少なくとも一部により上記昇降駆動装置及び上記部品保持部材が支持されることを特徴とする部品装着ヘッド。
【請求項２】
供給される部品（１）を部品保持部材（１１）により保持して上昇させて、当該部品保持部材を基板（３）の大略表面沿いの方向に移動させて、上記基板における上記部品の装着位置の上方に上記保持された部品を位置させて、上記部品保持部材を下降させることにより、上記部品を上記基板に装着する部品装着ヘッド（１０、２０）において、
上記部品を解除可能に保持する上記部品保持部材と、
上記部品保持部材を昇降させる昇降駆動装置（５０）と、
上記部品保持部材を昇降可能に支持するとともに上記昇降駆動装置を支持する部材であって、上記基板の大略表面沿いの方向における上記部品装着ヘッドの上記移動を行なう移動装置（４、１４）に固定される支持部材（４０）とを備え、
上記昇降駆動装置の支持中心（Ｔ）と上記部品保持部材の支持中心（Ｓ）との間に、上記支持部材の少なくとも一部が配置され、当該支持部材の少なくとも一部により上記昇降駆動装置及び上記部品保持部材が支持されることを特徴とする部品装着ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を保持して、上記保持された部品を基板に装着する部品装着ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の部品装着ヘッドとしては種々構造のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。例えば、このような従来の部品装着ヘッドの一例として、ヘッド部５００の模式斜視図を図７に示す。
【０００３】
図７に示すように、ヘッド部５００は、鉛直方向Ｚに配置され、その下端部に吸着ノズル５１２が同軸的に設けられているスプラインシャフト５１４を備えている。また、スプラインシャフト５１４は、鉛直方向のブラケット５２６の下端に一体的に設けられる第１リブ５２８と、中間近傍に一体的に設けられる第２リブ５３０とで、スプラインナット５２２を介して軸長方向に昇降可能、かつその軸心を回転中心として回転可能に支持されている。
【０００４】
また、第１リブ５２８の図示上方近傍に備えられたＺ軸モータ５１６を下側面によって支持する第２リブ５３０はブラケット５２６と一体的とされており、また、第２リブ５３０は、スプラインシャフト５１４の貫通孔と、Ｚ軸モータ５１６の出力軸の貫通孔とを有している。
【０００５】
このＺ軸モータ５１６の出力軸は、鉛直方向に配置される送りねじ軸５３６の下端と、Ｚ軸カップリング５３４を介して連結されており、送りねじ軸５３６の上端は、ブラケット５２６の上端に一体的に設けられる上端リブ５４６によって、回動自在に支持されている。また、この送りねじ軸５３６は、略長円板状の形状に形成されたＺ軸動力伝達部材５１８に固定されたボールネジナット５４４と螺合されている。一方、送りねじ軸５３６と平行して配置されるスプラインシャフト５１４の上端部は、Ｚ軸動力伝達部材５１８により回動自在に支持されるとともに、上下方向に係合されている。
【０００６】
また、第２リブ３０の下側には、その内部にスプラインシャフト５１４が貫通する中空状のθ軸エンコーダ５２４が配設されており、その入力軸は、スプラインナット５２２の下側面と接合され、スプラインシャフト５１４の回転角度を検出するようにされている。
【０００７】
また、部品が装着される基板の大略表面沿いの方向にヘッド部５００を移動させる移動装置であるＸＹロボット等に、ヘッド部５００は支持されて固定されることとなるが、このＸＹロボットへのヘッド部５００の支持固定は、図７に示すブラケット５２６の背面（すなわち、送りねじ軸５３６及びスプラインシャフト５１４の設置面と反対側の面）にて行なわれている。また、ヘッド部５００に複数の吸着ノズル５１２が備えられるような場合にあっては、夫々の吸着ノズル５１２が、例えば図示Ｘ軸方向に沿って一列に配列されるように備えられるとともに、夫々の吸着ノズル５１２に個別に対応するように、夫々のスプラインシャフト５１４や送りねじ軸５３６が設置される。また、夫々のスプラインシャフト５１４や送りねじ軸５３６は、ブラケット５２６（上端リブ５４６、第１リブ５２８、及び第２リブ５３０を含む）に支持される。
【０００８】
また、従来の別の例にかかる部品装着ヘッドとして、ヘッド部６００の模式的な構成を示す模式斜視図を図８に示す（例えば、特許文献２参照）。
【０００９】
図８に示すように、ヘッド部６００は、部品６１７の吸着保持を行なう吸着ノズル６１５、この吸着ノズル６１５をその下方先端に装備する軸６１４、及び、この軸６１４の軸心回りの回転移動を行なうことで、吸着ノズル６１５の回転移動を駆動するモータ６１６を備えるヘッドユニット６２０と、ボールネジ軸６１２ａ、このボールネジ軸６１２ａに螺合されるとともに、ヘッドユニット６２０に固定されたナット部６１２ｂ、及びボールネジ軸６１２ａの軸心回りの回転移動を駆動するモータ６１３とを備える昇降ユニット６３０とを備えており、昇降ユニット６３０において、ナット部６１２ｂの昇降動作を行なうことで、ヘッドユニット６２０全体の昇降動作を行なうことで、吸着ノズル６１５の昇降動作を行なうことができる。なお、ナット部６１２ｂとヘッドユニット６２０とは、ブラケット６１１を介して連結されている。
【００１０】
また、ブラケット６１１は、昇降ユニット６３０の昇降フレーム６０９に昇降可能に支持されており、さらに、ヘッドユニット６２０及び昇降ユニット６３０は、昇降フレーム６０９を介して、平板状の部材である機械的インターフェース部材６０８に支持されている。また、ヘッド部６００の水平移動を行なう移動装置（図示しない）に、ヘッド部６００は機械的インターフェース部材を介して取り付けられることが可能となっている。なお、機械的インターフェース部材６０８、昇降ユニット６３０、及びヘッドユニット６２０の夫々の配置関係は、機械的インターフェース６０８とヘッドユニット６２０の間に、昇降ユニット６３０が配置されている。
【００１１】
【特許文献１】特開２０００−２９４９９１号公報
【特許文献２】特開２０００−２９４９８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上記構造のヘッド部５００では、スプラインシャフト５１４の昇降動作、すなわち、吸着ノズル５１２の昇降動作を駆動する駆動装置を構成するＺ軸モータ５１６、送りねじ軸５３６、及びボールネジナット５４４が、上記ＸＹロボットへのヘッド部５００の支持固定位置であるブラケット５２６の上記背面から水平方向に最も離れた位置に位置されている。このような上記駆動装置は、推力を発生する装置であり、さらに、上記支持固定位置から最も離れた位置に位置されていることにより、当該推力の発生に伴って生じるモーメントが大きなものとなり、当該モーメントの影響を受けて上記ＸＹロボットによるヘッド部５００の移動動作における動作特性が低下するという問題がある。このような場合にあっては、上記ＸＹロボットによるヘッド部５００の高精度な移動を行なうことができない場合が生じ得、高精度な部品装着を行なうことができず、部品装着における生産性の低下を招く場合があるという問題がある。
【００１３】
また、図７に示すように、ヘッド部５００においては、ブラケット５２６の図示前面と、送りねじ軸５３６等の上記駆動装置との間に、吸着ノズル５１２を装備したスプラインシャフト５１４が配置されているが、このような配置では、上記駆動装置よりもメンテナンスの作業頻度が多い吸着ノズル５１２、θ軸モータエンコーダ５４８、スプラインシャフト５１４、さらにスプラインナット５２２への作業性が、ブラケット５２６や上記駆動装置の形状や大きさによっては、大きく阻害される場合がある。このような場合にあっては、ヘッド部５００におけるメンテナンス性を低下させることとなり、安定した精度の部品装着を継続して行なうことができず、生産性の低下を招く場合があるという問題がある。
【００１４】
また、このようなヘッド部５００においては、供給される部品を吸着ノズル５１２により確実に吸着保持するために、上記部品の供給位置の画像を撮像して認識する部品認識カメラ（図示しない）が備えられているような場合も多い。このような部品認識カメラをヘッド部５００にさらに備えさせることは、高精度な部品装着の実現に貢献することができるものの、ヘッド部５００のメンテナンス性の観点からは、ヘッド部５００の外部よりの吸着ノズル５１２等へのアクセスルートを制限することとなり、吸着ノズル５１２等のメンテナンス性をさらに低下させる要因となる場合がある。それとともに、部品装着のための基板の大略表面沿いの方向における吸着ノズル５１２の移動範囲を確保するために、上記ＸＹロボットによるヘッド部５００の実際の移動範囲が大きくなることとなる。ヘッド部５００の上記移動範囲が大きくされるような場合にあっては、部品装着装置の大型化を招き、一方、上記装置の大型化を嫌って、部品装着のための基板の大略表面沿いの方向における吸着ノズル５１２の移動範囲を狭めるような場合にあっては、部品装着の効率低下を招き、いずれの場合であっても、部品装着における生産性の低下を伴うという問題がある。
【００１５】
一方、上記ヘッド部６００においては、推力を発生する装置である昇降ユニット６３０は、機械的インターフェース部材６０８の近傍に配置されているため、当該配置によっては、ヘッド部６００の移動における動作特性が低下されることとはならないものの、このような配置が採用されていることにより、機械的インターフェース部材６０８からヘッドユニット６２０までの距離が大きくなってしまう。このようにヘッドユニット６２０までの距離が大きくなれば、ヘッド部６００の移動に伴う振動が、大きな振動として吸着ノズル６１５まで伝達されることとなり、部品装着精度を低下させて生産性が低下する場合があるという問題がある。
【００１６】
また、機械的インターフェース部材６０８からヘッドユニット６２０までの距離が大きいという配置においては、ヘッドユニット６２０を支持するブラケット６１１も大きな剛体部材とする必要が生じ、ヘッド部６００の小型化及び軽量化を阻害することとなる。また、このような配置では、上記移動装置にヘッド部６００を支持するための部材である機械的インターフェース部材６０８の中心と、ヘッド部６００の重心位置とが大きく異なることとなり、このような異なりは、ヘッド部６００の移動動作における動作特性を低下させることとなる。
【００１７】
また、メンテナンス性の観点からは、ヘッドユニット６２０と機械的インターフェース部材６０８との間に昇降ユニット６３０が配置されていることにより、ヘッドユニット６２０における吸着ノズル６１５のメンテナンス性は良好なものとすることができるが、ボールネジ軸６１２が露出して配置されていることにより、ネジ面への給油箇所へ塵埃が付着され易く、必ずしも全体的なメンテナンス性の向上を図ることができないという問題もある。
【００１８】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、効率的かつ高精度な移動動作を行なうことができ、部品装着における生産性の向上を図ることができる部品装着ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００２０】
本発明の第１態様によれば、供給される部品を部品保持部材により保持して上昇させて、当該部品保持部材を基板の大略表面沿いの方向に移動させて、上記基板における上記部品の装着位置の上方に上記保持された部品を位置させて、上記部品保持部材を下降させることにより、上記部品を上記基板に装着する部品装着ヘッドにおいて、
上記部品を解除可能に保持する上記部品保持部材と、
上記部品保持部材を昇降させる昇降駆動装置と、
上記部品保持部材を昇降可能に支持するとともに上記昇降駆動装置を支持する部材であって、上記基板の大略表面沿いの方向における上記部品装着ヘッドの上記移動を行なう移動装置に固定される支持部材とを備え、
上記基板の大略表面沿いの方向における上記移動装置への上記支持部材の固定中心と上記支持部材による上記昇降駆動装置の支持中心との間の距離寸法が、上記方向における上記支持部材による上記部品保持部材の支持中心と上記固定中心との間の距離寸法よりも小さくなるように、上記夫々の支持中心が配置されて、かつ、上記昇降駆動装置の支持中心と上記部品保持部材の支持中心との間に、上記支持部材の少なくとも一部が配置され、当該支持部材の少なくとも一部により上記昇降駆動装置及び上記部品保持部材が支持されることを特徴とする部品装着ヘッドを提供する。
【００２１】
本発明の第２態様によれば、供給される部品を部品保持部材により保持して上昇させて、当該部品保持部材を基板の大略表面沿いの方向に移動させて、上記基板における上記部品の装着位置の上方に上記保持された部品を位置させて、上記部品保持部材を下降させることにより、上記部品を上記基板に装着する部品装着ヘッドにおいて、
上記部品を解除可能に保持する上記部品保持部材と、
上記部品保持部材を昇降させる昇降駆動装置と、
上記部品保持部材を昇降可能に支持するとともに上記昇降駆動装置を支持する部材であって、上記基板の大略表面沿いの方向における上記部品装着ヘッドの上記移動を行なう移動装置に固定される支持部材とを備え、
上記昇降駆動装置の支持中心と上記部品保持部材の支持中心との間に、上記支持部材の少なくとも一部が配置され、当該支持部材の少なくとも一部により上記昇降駆動装置及び上記部品保持部材が支持されることを特徴とする部品装着ヘッドを提供する。
【００２２】
本発明の第３態様によれば、上記基板の大略表面沿いの方向における上記支持部材の固定中心と、上記部品装着ヘッドの重心とが略合致する第１態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２３】
本発明の第４態様によれば、上記昇降駆動装置は、
上記支持部材に回転可能に支持されたボールネジ軸部と、
上記ボールネジ軸部に螺合されたナット部と、
上記支持部材に支持されて、上記ボールネジ軸部をその軸心回りに正逆いずれかの方向に回転させる駆動モータと、
上記ナット部と上記部品保持部材とを連結する連結部材とを備え、
上記駆動モータにより上記ボールネジ軸部を正逆いずれかの方向に回転させることにより、上記ボールネジ軸部の軸心沿いに上記ナット部を上昇又は下降させて、上記連結部材を介して上記ナット部と連結された上記部品保持部材を上昇又は下降させる第１態様又は第３態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２４】
本発明の第５態様によれば、上記昇降駆動装置の支持中心は、上記ボールネジ軸部の上記軸心と略合致し、上記部品保持部材の支持中心は、上記部品保持部材の昇降動作軸と略合致する第４態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２５】
本発明の第６態様によれば、上記支持部材は、その内部に上記昇降駆動装置を収容して支持するとともに、その外部において、上記部品保持部材を露出させた状態で支持する第１態様から第５態様のいずれか１つに記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２６】
本発明の第７態様によれば、一列に配列された複数の上記部品保持部材と、上記夫々の部品保持部材に対応し、かつ上記夫々の部品保持部材の配列方向と略平行に一列に配列された複数の上記昇降駆動装置とを備える第１態様から第６態様のいずれか１つに記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２７】
本発明の第８態様によれば、上記供給される部品の供給位置における画像を撮像することにより、上記基板の大略表面沿いの方向における上記部品の供給位置を認識する部品認識装置をさらに備え、
上記部品認識装置が、上記夫々の部品保持部材のうちのいずれかの上記部品保持部材の上記支持中心に対して、上記基板の大略表面沿いの方向であり、かつ、上記夫々の部品保持部材の配列方向と略直交する方向に配置される第７態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２８】
本発明の第９態様によれば、上記部品認識装置は、上記いずれかの部品保持部材を介して上記いずれかの昇降駆動装置と対向して配置される第８態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２９】
本発明の第１０態様によれば、上記いずれかの部品保持部材は、上記一例に配列された夫々の部品保持部材のうちの端部に配置される上記部品保持部材である第８態様又は第９態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００３０】
本発明の第１１態様によれば、第１態様から第１０態様のいずれか１つに記載の部品装着ヘッドと、
上記移動装置と、
上記夫々の部品を上記部品保持部材に供給可能に収容する部品供給部と、
上記基板を保持する基板保持部とを備え、
上記部品供給部から供給される上記部品を、上記基板保持部に保持された上記基板の装着位置に、上記部品装着ヘッドにより装着することを特徴とする部品装着装置を提供する。
【発明の効果】
【００３１】
本発明の上記夫々の態様によれば、部品装着ヘッドにおける基板の大略表面沿いの方向の部品保持部材と昇降駆動装置との夫々の支持中心の位置関係が、移動装置への支持部材の固定中心と上記昇降駆動装置の支持中心との間の距離寸法が、上記支持部材の固定中心と上記部品保持部材の支持中心との間の距離寸法よりも小さくなるように、上記夫々の支持中心が配置されていることにより、上記部品装着ヘッドにおいて、その駆動の際に大きな推力の発生を伴うという特徴を有する上記昇降駆動装置を、上記支持部材の固定中心により近づけて配置することで、当該推力の発生に伴って生じるモーメントを低減することができる。これにより、上記移動装置による上記部品装着ヘッドの移動動作における動作特性を向上させることができ、効率的かつ高精度な移動動作を実現することができる部品装着ヘッドを提供することができ、部品装着における生産性を向上させることができる。
【００３２】
また、上記昇降駆動装置の支持中心と上記部品保持部材の支持中心との間に、上記支持部材の少なくとも一部が配置され、当該支持部材の少なくとも一部により上記昇降駆動装置及び上記部品保持部材が支持されていることにより、上記にような配置、すなわち、上記支持部材の固定中心と上記昇降駆動装置の支持中心との間の距離寸法が、上記支持部材の固定中心と上記部品保持部材の支持中心との間の距離寸法よりも小さくなるような配置を採用した場合であっても、上記昇降駆動装置の支持中心及び上記部品保持部材の支持中心を、互いの配置に影響されることなく、上記支持部材の一部に近づけた配置とすることができる。これにより、上記昇降駆動装置及び上記部品保持部材をより小さな部材で確実に上記支持部材に支持させることができ、部品装着ヘッドの小型軽量化を図ることができ、部品装着における生産性の向上に寄与することができる。
【００３３】
また、このような上記夫々の支持中心の位置関係を実現させるため、上記支持部材の内部にボールネジ軸部等により構成される上記昇降駆動装置を配置させて、上記支持部材の外部側面に上記部品保持部材を露出させて配置させていることにより、上記部品装着ヘッドにおいてメンテナンス頻度が高い上記部品保持部材における当該部品保持部材の交換及び調整等の作業性を良好なものとすることができ、部品装着ヘッドにおけるメンテナンス性を高めることができる。従って、生産性が向上された部品装着を行なうことが可能となる。
【００３４】
一方、上記支持部材の外部側面への上記部品保持部材の配置に伴って、上記支持部材内に収容されて配置された上記昇降駆動装置については、一般的にグリスの注入程度のメンテナンスしか要求されないため、当該グリス注入作業のアクセスルートさえ確保しておけば、当該配置によってもそのメンテナンス性を低下させることはない。
【００３５】
また、上記夫々の態様による効果は、上記部品装着ヘッドが、互いに平行にかつ一列に配列された複数の上記部品保持部材及び複数の上記昇降駆動装置を備えることにより、より効果的に、上記夫々の昇降駆動装置の駆動により発生するモーメントを低減して、上記部品装着ヘッドの動作特性の向上を図りながら、上記部品装着ヘッドのメンテナンス性の向上を図ることができ、部品装着ヘッドにおける生産性を高めることができる。
【００３６】
また、上記部品装着ヘッドにおいて、上記一列に配列された上記夫々の部品保持部材のうちのいずれかの上記部品保持部材の上記支持中心に対して、上記基板の大略表面沿いの方向であり、かつ、上記夫々の部品保持部材の配列方向と略直交する方向に、上記供給される部品の供給位置における当該部品の画像の撮像を行なう部品認識装置が配置されていることにより、上記一列に配列された夫々の部品保持部材を備える上記部品装着ヘッドの上記配列方向における幅寸法を小型化することができる。すなわち、上記夫々の部品保持部材の上記配列方向に上記部品認識装置を配置するような場合に比べて、上記部品装着ヘッドの上記配列方向における小型化を図ることができる。このような小型化を図ることで上記移動装置による上記配列方向における上記部品装着ヘッドの移動範囲を小さくすることができ、このような部品装着ヘッドを備える部品装着装置の小型化を図り、部品装着における生産性を高めることができる。
【００３７】
また、上記いずれかの部品保持部材が、上記一列に配列された夫々の部品保持部材のうちの端部に配置される上記部品保持部材であることにより、上記部品認識装置が配置されても、上記夫々の部品保持部材や上記夫々の昇降駆動装置に対するメンテナンス性が低下することなく、良好な状態に保つことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３９】
本発明の一の実施形態にかかる部品装着ヘッドの一例であるヘッド部を備える部品装着装置１０１の模式的な平面図を図１に示し、正面図を図２に示す。
【００４０】
部品装着装置１０１は、部品供給部より取出し可能に供給される部品をヘッド部により保持して取り出し、基板保持位置にて保持された基板上における部品装着位置に当該保持された部品を装着するという部品装着動作を行なう装置である。具体的には、図１及び図２に示すように、部品装着装置１０１は、２つの部品供給部と、２箇所の基板保持位置と、夫々に対応されて備えられた２つのヘッド部としてヘッド部１０及び２０とを備えており、さらに、部品装着装置１０１には、ヘッド部１０により部品装着動作が行なわれる装着作業領域Ｒ１と、ヘッド部２０により部品装着動作が行なわれる装着作業領域Ｒ２とが備えられている。
【００４１】
また、図１及び図２に示すように、部品装着装置１０１における装着作業領域Ｒ１には、複数の部品１を取り出し可能に収容するとともに、当該収容された部品１を部品供給位置６ａに位置させて、ヘッド部１０により保持取出し可能に供給する複数の部品供給カセット６を備える部品供給部の一例であるカセット部品供給装置８が備えられている。また、装着作業領域Ｒ２には、複数の部品１が取り出し可能に配置された部品供給トレイ１６を有する部品供給部の一例であるトレイ部品供給装置１８が備えられている。なお、カセット部品供給装置８より供給される部品の一例としては、チップ型の電子部品等があり、トレイ部品供給装置１８より供給される部品の一例としては、ＩＣ部品等に代表される半導体内蔵部品等がある。なお、上記部品には、電子部品の他に、機械部品や光学部品などが含まれるような場合であってもよい。
【００４２】
また、部品装着装置１０１において、夫々の装着作業領域Ｒ１及びＲ２は互いに隣接して配置されており、夫々の装着作業領域Ｒ１及びＲ２を横断するように、基板３の搬送を行なう基板搬送装置１２（基板保持部の一例である）が配置されて備えられている。また、装着作業領域Ｒ１の略中央付近における基板搬送装置１２上には、装着作業領域Ｒ１に搬送された基板３を解除可能に保持される基板保持位置Ｐ１が配置されている。また、装着作業領域Ｒ２の略中央付近における基板搬送装置１２上には、装着作業領域Ｒ２に搬送された基板３を解除可能に保持される基板保持位置Ｐ２が配置されている。なお、このような基板には、樹脂基板、紙−フェノール基板、セラミック基板、ガラス・エポキシ（ガラエポ）基板、フィルム基板などの回路基板、単層基板若しくは多層基板などの回路基板、部品、筐体、又は、フレームなど、回路が形成されている対象物が含まれる。
【００４３】
また、図２に示すように、部品実装装置１０１における基板搬送装置１２やカセット部品供給装置８やトレイ部品供給装置１８が配置される基台２２の上方には、剛体にて一体的に形成されたフレーム２３が設けられている。このフレーム２３には、装着作業領域Ｒ１において、ヘッド部１０を支持するとともに、基板３の大略表面沿いの方向である図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向へのヘッド部１０の移動を行なう移動装置の一例であるＸＹロボット４と、装着作業領域Ｒ２において、ヘッド部２０を支持するとともに、図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向へのヘッド部２０の移動を行なう移動装置の一例であるＸＹロボット１４とが、支持されて備えられている。なお、図示Ｘ軸方向とＹ軸方向は互いに直交している。
【００４４】
このような構成を有する部品実装装置１０１におけるヘッド部１０及び２０の構成について、以下に詳細に説明する。なお、ヘッド部１０及び２０は、同様な構成を有しているため、以下の説明においては、ヘッド部１０の説明を代表して行なうものとする。また、ヘッド部１０の模式的な斜視図を図３に示す。
【００４５】
図３に示すように、ヘッド部１０は、部品を解除可能に吸着保持する部品保持部材の一例である吸着ノズル１１を備えるヘッドユニット３０を複数、例えば３台備えている。すなわち、ヘッド部１０には、３本の吸着ノズル１１が備えられている。また、ヘッド部１０は、夫々のヘッドユニット３０を支持する筐体であるメインフレーム４０（支持部材の一例である）を備えており、メインフレーム４０の上面に設けられた取付部４０ａにて、ヘッド部１０をＸＹロボット４に脱着可能に取り付けることが可能となっている。また、図３に示すように、メインフレーム４０は中空かつ略角柱状の形状を有しており、その外周側面のうちの図示前面側（すなわち、図示Ｙ軸方向右側）に、夫々の吸着ノズル１１が一定の間隔ピッチでもって、図示Ｘ軸方向に沿って一列に配列されるように、夫々のヘッドユニット３０が配置されている。
【００４６】
ここで、図３のヘッド部１０における図示Ｘ軸方向に直交する断面図（部分的な断面図）を図４に示す。図３及び図４に示すように、夫々のヘッドユニット３０は、その下方先端部において部品１を解除可能に吸着保持する吸着ノズル１１と、吸着ノズル１１をその下部先端に脱着可能に装備するシャフト部３１と、略鉛直方向に配置されたシャフト部３１の軸心Ｓを回転中心として、シャフト部３１を回転可能に支持する複数の軸受け部３２と、夫々の軸受け部３２が固定され、夫々の軸受け部３２を介してシャフト部３１を支持するヘッドフレーム３３と、シャフト部３１の上端と連結され、シャフト部３１の軸心Ｓ回りの回転移動を駆動する回転駆動モータ３４とを備えており、一体的な独立した装置として構成されている。夫々のヘッドユニット３０がこのような構成を有していることにより、回転駆動モータ３４がその駆動量を制御されながら、シャフト部３１を軸心Ｓ回りに正逆いずれかの方向に回転駆動させることでもって、吸着ノズル１１を上記軸心Ｓ回りに所定の角度だけ正逆いずれかの方向に回転移動させることができる。このような吸着ノズル１１の回転移動は、吸着ノズル１１により吸着保持された部品の吸着保持姿勢と、当該部品の基板への装着姿勢との間に位置ズレが存在するような場合に、当該位置ズレを補正する動作として行なわれる。なお、シャフト部３１の軸心Ｓは、吸着ノズル１１の軸心と略一致している。
【００４７】
また、図３及び図４に示すように、メインフレーム４０の上記前面には、ＬＭレール３５が図示上下方向に配置されて固定されており、さらにＬＭレール３５には、２つのＬＭブロック３６がＬＭレール３５に沿って（すなわち、上下方向に）移動可能に係合されている。また、夫々のＬＭブロック３６は、ヘッドフレーム３３に固定されており、これにより、ヘッドフレーム３３がＬＭレール３５の配置方向である上下方向に移動可能に、メインフレーム４０に支持されている。すなわち、ヘッドユニット３０全体が、上下方向に移動可能（すなわち、昇降可能）にメインフレーム４０に支持された状態とされている。なお、夫々のヘッドユニット３０は、互いに独立して昇降可能とされている。
【００４８】
また、図４に示すように、メインフレーム４０の内側には、ヘッドユニット３０の昇降動作、すなわち、吸着ノズル１１の昇降動作を行なう昇降駆動装置の一例である３台の昇降ユニット５０が、各々のヘッドユニット３０に個別に対応するように支持されて備えられている。夫々の昇降ユニット５０は、略鉛直方向に配置されて、その軸心Ｔである回転中心回りに回転可能にメインフレーム４０に支持されたボールネジ軸部５１と、このボールネジ軸部５１に螺合されたナット部５２と、ボールネジ軸部５１の上端に連結されて、ボールネジ軸部５１を軸心Ｔ回りにおける正逆いずれかの方向の回転移動を駆動する駆動モータの一例である昇降駆動モータ５３とを備えている。また、ナット部５２には、略Ｌ型形状を有する連結部材の一例である連結バー５４が固定されており、この連結バー５４は、対応するヘッドユニット３０におけるヘッドフレーム３３に固定されている。これにより、ヘッドフレーム３３とナット部５２とが、連結バー５４を介して互いに連結された状態とされている。なお、夫々のヘッドユニット３０は、メインフレーム４０の少なくとも一部である上記前面の部材に支持されており、夫々の昇降ユニット５０は、メインフレーム４０の当該部材の内側に支持されている。すなわち、メインフレーム４０の上記前面の部材を挟んで、夫々のヘッドユニット３０及び昇降ユニット５０が配置され、当該部材に支持されている。また、図５は、図３に示すヘッド部１０において、メインフレーム４０を透過させた状態のヘッド部１０の斜視図を示したものである。図５に示すように、夫々のヘッドユニット３０の配列と同様に夫々の昇降ユニット５０も図示Ｘ軸方向に沿って所定の間隔ピッチ（ヘッドユニット３０の上記間隔ピッチと同じ間隔ピッチ）にて一列に配列されている。
【００４９】
このように昇降ユニット５０及びヘッドユニット３０が構成されていることにより、昇降ユニット５０の昇降駆動モータ５３によりボールネジ軸部５１の回転駆動が行なわれることにより、ナット部５２がボールネジ軸部５１の軸心Ｔに沿って上昇又は下降されて、ナット部５２に連結バー５４を介して連結されているヘッドフレーム３３を、ＬＭレール３５及びＬＭブロック３６により案内しながら、シャフト部３１の軸心Ｓに沿って上昇又は下降させることが可能となっている。このヘッドフレーム３３の昇降動作により、ヘッドユニット３０全体を一体的に昇降させることができる。具体的には、ヘッドユニット３０を下降させることで、カセット部品供給装置８の部品供給位置６ａの上方に位置された状態の吸着ノズル１１の下降動作を行ない、当該部品供給位置６ａに位置されている部品に吸着ノズル１１の下端を当接させるとともに、当該部品を吸着保持することができる。また、ヘッドユニット３０を上昇させることで、上記部品の吸着保持を行なった状態の吸着ノズル１１を上昇させて、上記部品供給位置６ａからの部品の保持取出しを行なうことができる。さらに、このような吸着ノズル１１の昇降を行なうことで、基板３における部品の装着位置に、上記吸着保持された部品を装着することができる。なお、ヘッドフレーム３３の上記昇降動作は、吸着ノズル１１による部品の吸着取出し動作及び装着動作のための昇降動作として行なわれるため、その昇降動作の範囲には、上記夫々の動作が行なうことができる程度に制限が設けられている（すなわち、昇降の上限位置と下限位置とが設けられている）。また、シャフト部３１の軸心Ｓは、吸着ノズル１１の昇降動作軸でもある。
【００５０】
また、メインフレーム４０の上記前面には、連結バー５４と連結されるヘッドフレーム３３の一部が貫通される開口である貫通窓部４１が形成されており、この貫通窓部４１は、ヘッドフレーム３３の上記昇降動作を阻害しないような大きさにて形成されている。すなわち、その昇降動作範囲におけるいずれの位置に位置されたヘッドフレーム３３とも、貫通窓部４１の周部が干渉しないように、貫通窓部４１の形状及び大きさが決定されて形成されている。
【００５１】
ここで、このような構成を有するヘッド部１０がＸＹロボット４に装備された状態における図４に相当する断面におけるヘッド部１０の断面図を図６に示す。図６に示すように、ヘッド部１０は、メインフレーム４０の上部である取付部４０ａにて、ＸＹロボット４に脱着可能に装備することが可能となっている。また、取付部４０ａの図示Ｙ軸方向における中心位置が、ＸＹロボット４によるメインフレーム４０の支持中心Ｊ（固定中心）となっている。また、メインフレーム４０への夫々の昇降ユニット５０の支持における図示Ｙ軸方向の支持中心は、ボールネジ軸部５１の軸心Ｔの配置位置（支持中心Ｔとする）と略合致しており、メインフレーム４０への夫々のヘッドユニット３０の支持における図示Ｙ軸方向の支持中心は、シャフト部３１の軸心Ｓの配置位置（支持中心Ｓとする）と略合致している。また、Ｙ軸方向における夫々の支持中心の位置関係は、ＸＹロボット４によるメインフレーム４０の支持中心Ｊと昇降ユニット５０の支持中心Ｔとの間の距離寸法Ｌ１が、メインフレーム４０の支持中心Ｊとヘッドユニット３０の支持中心Ｓとの間の距離寸法Ｌ２よりも小さくなるように、夫々の支持中心が配置されている。
【００５２】
また、図示Ｙ軸方向におけるヘッド部１０の重心位置は、ＸＹロボット４へのメインフレーム４０の支持中心Ｊと略合致している、あるいは、支持中心Ｊの近傍に配置されているため、上記夫々の支持中心の配置関係を言い換えれば、ヘッド部１０の上記重心位置と昇降ユニット５０の支持中心Ｔとの間の距離寸法が、上記重心位置とヘッドユニット３０の支持中心Ｓとの間の距離寸法よりも小さくなるように、夫々の支持中心が配置されていると、言うこともできる。
【００５３】
このような夫々の配置関係を有していることにより、ヘッド部１０において、その駆動の際に大きな推力の発生を伴うという特徴を有する昇降ユニット５０を、メインフレーム４０の支持中心Ｊにより近づけて配置することができ、当該推力の発生に伴って生じるモーメントの大きさを低減することができる。
【００５４】
また、図６に示すように、ヘッド部１０のメインフレーム４０における支持中心Ｊの図示左側には、ヘッド部１０における夫々のヘッドユニット３０の動作及び夫々の昇降ユニット５０の動作の制御を、互いに関連付けながら統括的な制御として行なう制御装置４５が備えられている。
【００５５】
また、図３及び図６に示すように、ヘッド部１０においては、部品供給部、例えば、カセット部品供給装置８の夫々の部品供給位置６ａに取出し可能に配置された部品の画像を撮像することにより、当該部品のＸ軸方向又はＹ軸方向の位置を認識する部品認識装置の一例である部品撮像カメラ６０が備えられている。図６に示すように、部品撮像カメラ６０は、ヘッドユニット３０の図示Ｙ軸方向右側に配置されており、具体的には、図１に示すように、Ｘ軸方向に沿って一列に配列された３つのヘッドユニット３０のうちの端部に位置される、例えば、図示Ｘ軸方向右側端部に位置されるヘッドユニット３０に対して、Ｙ軸方向において隣接されるように配置されている。すなわち、上記端部に位置されるヘッドユニット３０の支持中心Ｓと、当該ヘッドユニット３０に対応する昇降ユニット５０の支持中心Ｔと、部品撮像カメラ６０の撮像中心Ｋとが、Ｙ軸方向に沿って一列に配列されている。
【００５６】
また、図１、図３及び図６に示すように、部品撮像カメラ６０は、カメラ支持フレーム６１を介して、ヘッド部１０のメインフレーム４０に支持されている。また、図３に示すように、図示Ｙ軸方向右側よりの夫々のヘッドユニット３０のメンテナンス性を考慮して、カメラ支持フレーム６１は、上記端部のヘッドユニット３０の側方（図示Ｘ軸方向右側方向）に配置されている。
【００５７】
また、部品撮像カメラ６０におけるメインフレーム４０への取り付け高さは、カセット部品供給装置８の夫々の部品供給位置６ａの上方にヘッド部１０のいずれかの吸着ノズル１１が位置された場合であっても、当該部品撮像カメラ６０の下端がカセット部品供給装置８に干渉することがないような高さ位置とされている。
【００５８】
また、部品撮像カメラ６０により撮像された部品の画像データは、ヘッド部１０の制御装置４５に出力され、制御装置４５にて当該画像の認識処理が行なわれ、この認識処理結果に基づいて、当該部品の位置が認識されて、ＸＹロボット４によるヘッド部１０の移動位置の補正（すなわち、吸着ノズル１１が確実に部品の上方に位置されるような移動）を行なうことが可能となっている。なお、制御装置４５により、部品撮像カメラ６０の撮像動作を制御することが可能となっている。
【００５９】
次に、上述のような構成を有するヘッド部１０を備える部品装着装置１０１における部品の装着方法として、例えば、装着作業領域Ｒ１においてカセット部品供給装置８から供給される部品が、ヘッド部１０により吸着取出しされて、基板保持位置Ｐ１に保持された基板３に装着される具体的な動作について説明する。
【００６０】
まず、図１において、ＸＹロボット４によりヘッド部１０の部品撮像カメラ６０が、カセット部品供給装置８における部品取り出しが行なわれる部品供給位置６ａの上方に位置されるように移動される。このとき、ヘッド部１０において、部品撮像カメラ６０は、カセット部品供給装置８との干渉が防止されるような高さ位置にて、メインフレーム４０に取り付けられているため、当該干渉が発生することはない。その後、部品撮像カメラ６０により上記部品供給位置６ａに位置された部品の画像が撮像される。当該撮像された画像データは、制御装置４５に入力されて画像の認識処理が行なわれ、当該部品が実際に位置されている位置が認識される。
【００６１】
この認識処理結果に基づいて、ＸＹロボット４によりヘッド部１０のＸ軸方向又はＹ軸方向の移動が行われて、最初に吸着取り出しを行なう吸着ノズル１１が、当該部品の上方に位置される。その後、上記吸着ノズル１１に対応する昇降ユニット５０における昇降駆動モータ５３によりボールネジ軸部５１が正逆いずれかの方向に回転駆動されて、ナット部５２の下降移動が開始される。これにより、連結バー５４を介してナット部５２と連結されているヘッドフレーム３３の下降移動が開始され、ヘッドユニット３０全体が下降されることで、上記吸着ノズル１１の下降移動が開始される。
【００６２】
やがて、上記吸着ノズル１１の下端が上記部品に当接されると、昇降駆動モータ５３の駆動が停止されて、上記吸着ノズル１１の下降が停止される。それとともに、当該部品が吸着ノズル１１により吸着保持される。この吸着保持の後、昇降駆動モータ５３によりボールネジ軸部５１が、上記下降動作の場合とは逆向きに回転駆動されて、部品を吸着保持した状態の吸着ノズル１１の上昇が行なわれ、部品供給位置６ａからの部品の吸着取出しが行なわれる。なお、ヘッド部１０が備えるその他の吸着ノズル１１に対しても、上述の夫々の動作が繰り返し行われて、夫々の吸着ノズル１１による夫々の部品の吸着取出しが順次行なわれる。
【００６３】
その後、ＸＹロボット４により、ヘッド部１０が基板保持位置Ｐ１に保持された基板３の上方に向けて移動される。なお、当該移動の過程において、夫々の吸着ノズル１１により吸着保持された部品の吸着保持姿勢の画像が撮像されて、当該撮像された画像の認識結果に基づいて、その位置ずれ量が回転駆動モータ３４による吸着ノズル１１の回転移動により補正されるような場合であってもよい。
【００６４】
ヘッド部１０が基板３の上方に到達すると、最初に部品装着が行なわれる吸着ノズル１１と、基板３における部品の装着位置との位置合わせが行われて、この位置合わせの後、昇降駆動モータ５３によりボールネジ軸部５１が正逆いずれかの方向に回転駆動されて、吸着ノズル１１の下降が開始される。基板３における上記部品装着位置に部品が当接されて押圧された状態で、上記下降動作が停止され、それとともに、吸着ノズル１１による部品の吸着保持が解除される。その後、吸着ノズル１１が上昇されることで、当該部品が基板３に装着される。夫々の吸着ノズル１１に対して、上記夫々の動作を繰り返して行ない、夫々の部品が基板３に装着される。
【００６５】
なお、上記においては、部品装着装置１０１の装着作業領域Ｒ１におけるヘッド部１０の動作について説明したが、ヘッド部２０もヘッド部１０と同様な構成を有しているため、夫々の部品の供給形態が異なる点を除いては、装着作業領域Ｒ２におけるヘッド部２０の動作についても同様な動作となる。
【００６６】
また、図１に示す装着作業領域Ｒ１の図示Ｘ軸方向における幅は、ヘッド部１０が備える夫々の吸着ノズル１１が、カセット部品供給装置８のいずれの部品供給位置６ａからも部品の吸着取出しを行なうことができるように設定されている。すなわち、ヘッド部１０の図示左端に位置される吸着ノズル１１が図示右端に位置される部品供給位置６ａの上方に位置することが可能であって、ヘッド部１０の図示右端に位置される吸着ノズル１１が図示左端に位置される部品供給位置６ａの上方に位置することが可能なように、最低限必要な装着作業領域Ｒ１の幅が決定されている。なお、装着作業領域Ｒ２の幅についても、装着作業領域Ｒ１と同様な考え方で設定されている。
【００６７】
上記実施形態によれば、以下のような種々の効果を得ることができる。
【００６８】
ヘッド部１０におけるＹ軸方向の夫々の支持中心の位置関係が、ＸＹロボット４によるメインフレーム４０の支持中心Ｊと夫々の昇降ユニット５０の支持中心Ｔとの間の距離寸法Ｌ１が、メインフレーム４０の支持中心Ｊと夫々のヘッドユニット３０の支持中心Ｓとの間の距離寸法Ｌ２よりも小さくなるように、夫々の支持中心が配置されていることにより、ヘッド部１０において、その駆動の際に大きな推力の発生を伴うという特徴を有する夫々の昇降ユニット５０を、メインフレーム４０の支持中心Ｊにより近づけて配置することができ、当該推力の発生に伴って生じるモーメントの大きさを低減することができる。これにより、ＸＹロボット４によるヘッド部１０の移動動作における動作特性を向上させることができ、効率的かつ高精度なヘッド部１０の移動動作を実現することができ、部品装着における生産性を向上させることができる。
【００６９】
また、このような夫々の支持中心の位置関係を実現させるため、メインフレーム４０の内部にボールネジ軸部５１等により構成される昇降ユニット５０を配置させて、メインフレーム４０の外部側面に吸着ノズル１１を備えるヘッドユニット３０を配置させていることにより、吸着ノズル１１の交換及び調整やシャフト部３１の調整等とメンテナンス頻度が比較的高いヘッドユニット３０に対する作業性を良好なものとすることができ、ヘッド部１０におけるメンテナンス性を高めることができる。具体的には、吸着ノズル１１による部品吸着の際に、テーピング微細なクズが付着する、あるいは部品の装着の際に、半田が付着する等との理由で、ヘッドユニット３０から吸着ノズル１１を取り外しての超音波洗浄作業や、吸着ノズル１１に内蔵されたフィルタの定期的な交換作業等のメンテナンス性を向上させることができる。従って、生産性が向上された部品装着を行なうことが可能となる。
【００７０】
一方、メインフレーム４０の外部側面へのヘッドユニット３０の配置に伴い、メインフレーム４０内に配置された昇降ユニット５０については、一般的に軸受け部等へのグリスの注入程度のメンテナンスしか行われないため、当該グリス注入作業のアクセスルートさえ確保しておけば、メンテナンス性を低下させることはない。また、メインフレーム４０の内側に夫々の昇降ユニット５０が配置されていることにより、上記グリスの注入部等への塵埃等の付着を抑制して、ヘッド部１０の全体的なメンテナンス性を向上させるといった効果もある。
【００７１】
また、メインフレーム４０の一部である上記側面の部材において、その外側に夫々のヘッドユニット３０を、その内側に夫々の昇降ユニット５０を配置して支持させることにより、メインフレーム４０の上記側面の部材から、夫々の昇降ユニット５０の支持中心Ｔまでの距離寸法、及び夫々のヘッドユニット３０の支持中心Ｓまでの距離寸法を、必要最小限の寸法とすることができる。これにより、夫々の昇降ユニット５０及びヘッドユニット３０を支持する部材の小型化を図ることができ、ヘッド部１０の小型軽量化を図ることができるとともに、ヘッド部１０の移動に伴って発生する振動のヘッドユニット３０等への伝達量を低減させることができる。
【００７２】
また、高剛性及び軽量化を併せて実現するために略箱体状に形成されたメインフレーム４０の内側の空いたスペースに、ヘッドユニット３０と比してメンテナンス頻度が少ない昇降ユニット５０を配置させることで、空いたスペースを有効的に活用することができ、ヘッド部１０の小型軽量化を実現することができる。
【００７３】
また、ヘッド部１０において、一列に配列された吸着ノズル１１に対して、カセット部品供給装置８側に、吸着取出しが行なわれる部品の画像の撮像を行なう部品撮像カメラ６０が配置されていることにより、一列に配列された３本の吸着ノズル１１を備えるヘッド部１０の上記配列方向（すなわち、Ｘ軸方向）における幅寸法をコンパクトなものとすることができる。すなわち、夫々の吸着ノズル１１の配列方向に部品撮像カメラ６０を配置するような場合に比べて、ヘッド部１０の上記コンパクト化を図ることができる。このようにＸ軸方向におけるヘッド部１０の幅寸法を小さくすることで、ＸＹロボット４によるＸ軸方向におけるヘッド部１０の移動範囲を小さくすることができ、このようなヘッド部１０を備える部品実装装置１０１の小型化を図り、部品装着における生産性を高めることができる。なお、カセット部品供給装置８側に部品撮像カメラ６０が配置された分だけ、ヘッド部１０におけるＹ軸方向の長さ寸法が大きくなるものの、このようなＹ軸方向の長さ寸法大型化は、カセット部品供給装置８と部品撮像カメラ６０との干渉を高さ方向の位置関係で回避することで解消することができる。
【００７４】
また、ヘッド部１０において、一列に配列された吸着ノズル１１のうちの端部に位置される吸着ノズル１１のカセット部品供給装置８側に、部品撮像カメラ６０を配置させることで、夫々の吸着ノズル１１やヘッドユニット３０に対するメンテナンス性を阻害することなく、良好な状態に保つことができる。
【００７５】
なお、上記実施形態においては、図６に示すように、昇降ユニット５０と部品撮像カメラ６０との間には、１つのヘッドユニット３０が配置されるような場合について説明したが、このような場合に代えて、上記ヘッドユニット３０と部品撮像カメラ６０との間に、さらにもう一列のヘッドユニット３０が配置されるように、部品撮像カメラ６０の配置が決定されるような場合であってもよい。このような場合にあっては、ユーザーがヘッドユニット３０の搭載列数を決定することができ、部品装着における多様性に柔軟に対応することができ、生産性を向上させることができる。なお、このようにヘッドユニット３０の列数選択が必要とされない場合には、部品撮像カメラ６０は、できる限りメインフレーム４０に近づけて配置することが望ましい。この方が、ヘッド部１０の移動による部品撮像カメラ６０にへ発生する振動を低減させることができるからである。
【００７６】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の一の実施形態にかかる部品装着装置の模式的な平面図である。
【図２】図１の部品装着装置の模式的な正面図である。
【図３】図１の部品装着装置が備えるヘッド部の斜視図である。
【図４】図３のヘッド部の部分断面図である。
【図５】図３のヘッド部の斜視図において、メインフレームを透過させた状態の斜視図である。
【図６】図４のヘッド部がＸＹロボットに装備された状態の断面図である。
【図７】従来のヘッド部の斜視図である。
【図８】従来の別の例にかかるヘッド部の斜視図である。
【符号の説明】
【００７８】
１  部品
３  基板
４、１４  ＸＹロボット
６  部品供給カセット
８  カセット部品供給装置
１０、２０  ヘッド部
１１  吸着ノズル
１２  基板搬送装置
１６  部品供給トレイ
１８  トレイ部品供給装置
２２  基台
３０  ヘッドユニット
３１  シャフト部
３２  軸受け部
３３  ヘッドフレーム
３４  回転駆動モータ
３５  ＬＭレール
３６  ＬＭブロック
４０  メインフレーム
４１  貫通窓部
５０  昇降ユニット
５１  ボールネジ軸部
５２  ナット部
５３  昇降駆動モータ
５４  連結バー
６０  部品撮像カメラ
６１  カメラ支持フレーム
Ｓ  軸心
Ｔ  軸心
【図１】
2005123303.tif 000003
【図２】
2005123303.tif 000004
【図３】
2005123303.tif 000005
【図４】
2005123303.tif 000006
【図５】
2005123303.tif 000007
【図６】
2005123303.tif 000008
【図７】
2005123303.tif 000009
【図８】
2005123303.tif 000010