(57)【要約】【課題】  摩耗が進行してもにより精度の高い基板検査を継続すること。【解決手段】  接触部１０Ｂにおける電極４に対し相対的に摺動する方向の寸法が接触部１０Ｂの長手方向において均一に形成されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された電極に接触しうる接触部がプローブ本体の先端側に延在するように形成され、測定プローバに対をなして取付けられ、各電極の断線あるいは隣位の一対の電極間の短絡を検出するのに使用される基板険査用電極プローブにおいて、
前記接触部における前記電極に対し相対的に摺動する方向の寸法ａが前記接触部の延在方向において均一に形成されていることを特徴とする基板検査用電極プローブ。
【請求項２】
前記電極に接触しうる接触部の幅寸法ｂが前記寸法ａよりも大きい請求項１に記載の基板検査用電極プローブ。
【請求項３】
前記接触部の幅寸法ｂが前記寸法ａの３倍以上である請求項２に記載の基板検査用電極プローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に形成されている各電極の断線あるいは隣位の一対の電極間の短絡を検出するのに使用される基板検査用電極プローブに係り、特に、多数回にわたって正確に検出することが可能な基板検査用電極プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示装置は、ガラス製などからなる一対の基板間に液晶が封入されてなる液晶表示素子を有しており、各基板には液晶表示素子を駆動するための整列配置された多数の電極が両基板において直交する方向に形成されている。そして、前述した多数の電極が正常に機能しているかを検出するために、従来から各電極の断線あるいは隣位の一対の電極間の短絡を検出するようにしていた。
【０００３】
この検出を行うため、従来、図４に示すように、測定プローバ１に一対の電極プローブ２，２をそれぞれ傾斜状に取付け、これらの一対の電極プローブ２，２の各先端側の接触部２Ａ，２Ａを基板３のＩＴＯ(Indium Tin Oxide)などからなる各電極４，４…に接触させて通電し、この接触状態を維持したまま基板３を前記電極プローブ２に対し相対的に移動させつつ間歇的に通電して信号の入出力を行うことにより各測定プローバ１により、各電極４の断線あるいは隣位の一対の電極４，４間の短絡を検出していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
すなわち、図５に示すように、一対の電極プローブ２，２の各接触部２Ａ，２Ａを基板３の１本の電極４における離間した部位Ａ，Ｂに接触させて通電すれば、この電極４における断線ＳＮを検出することができる。また、各接触部２Ａ，２Ａを基板３の隣位の１対の電極４，４の部位Ａ，Ｃに接触させて通電すれば、隣位の１対の電極４，４間の短絡ＳＣを検出することができる。
【０００５】
ところで、前記電極プローブ２は、従来、図６に示すように、タングステンのような金属からなり円柱状をなすプローブ本体２Ｂの先端側に円錐状をなす前記接触部２Ａを一体に突設し、この接触部２Ａの先端が球面２Ｃをなすように形成されていた（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開平３−３１８９４号公報
【特許文献２】特開平９−２１１０５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前述した図６に示されている従来の電極プローブ２の接触部２Ａは、電極４の断線ＳＮや短絡ＳＣを検出するため基板３の表面を摺動するにつれて、基板３および各電極４との摩擦により次第に摩耗することになる。すると、前記接触部２Ａにおける電極４に対し相対的に摺動する方向の寸法ａが次第に大きくなり、最終的には、図７に示すように、隣位の一対の電極４，４間の間隙より大きくなってしまうことになる。この図７に示すように、１本の電極プローブ２の接触部２Ａが一対の電極４，４に接触している状態において電極プローブ２への通電が行われると、正常な信号検出ができなくなってしまう。
【０００８】
特に、高精細な液晶表示素子においては電極４の幅が狭いばかりでなく一対の電極４，４間の間隙も狭いため、電極プローブ２の接触部２Ａの前記寸法ａがわずかに増大するだけで測定プローバ１による基板検査が行えなくなり、わずかな枚数の基板検査を行うごとに高価な電極プローブ２の交換を余儀なくされ、工業的に基板検査が成立しなかった。
【０００９】
そこで、本発明は、電極プローブの摩耗が進行しても同一の電極プローブにより精度の高い基板検査を継続することができるようにして工業的な基板検査が成立するようにした基板検査用電極プローブを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前述した目的を達成するため、本発明の基板検査用電極プローブの特徴は、基板上に形成された電極に接触しうる接触部がプローブ本体の先端側に延在するように形成され、測定プローバに対をなして取付けられ、各電極の断線あるいは隣位の一対の電極間の短絡を検出するのに使用される基板検査用電極プローブにおいて、前記接触部における前記電極に対し相対的に摺動する方向の寸法ａが前記接触部の延在方向において均一に形成されている点にある。
【００１１】
また、好ましい態様としては、前記電極に接触しうる接触部の幅寸法ｂが前記寸法ａよりも大きいことである。前記接触部の幅寸法ｂが前記寸法ａの３倍以上であるとさらに好ましい。このような構成によれば、高精細な液晶表示素子において、電極プローブの前記寸法ａを小さくしても、基板検査に供する接触面積を十分確保することができ、信頼性の高い基板検査を行なうことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、接触部における電極に対し相対的に摺動する方向の寸法が接触部の長手方向において均一に形成されており、接触部の摩耗が進んでも電極に対する接触面積は増大することなく均一なので、同一の電極プローブにより多数の基板の検査を継続して行うことができ、工業的な基板検査を成立させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１Ａ，Ｂおよび図２Ａ，Ｂは本発明に係る基板検査用電極プローブの実施形態を示すものであり、本実施形態の電極プローブ１０は、タングステンのような金属により形成されている。この電極プローブ１０は、図示しない測定プローバに取付けられる円柱形状をなすプローブ本体１０Ａを有しており、このプローブ本体１０Ａの先端側には、接触部１０Ｂが延在するように一体に突設されている。この接触部１０Ｂの基端部１０Ｃは、先細の円錐台形状をなしており、この基端部１０Ｃの先端側に短い延在方向長さの先端部１０Ｄが突設されている。
【００１４】
前記先端部１０Ｄは、前記基端部１０Ｃを上下方向から同一の半径の円弧面をなすように削落した一対の削落面１０Ｅ、１０Ｅを有している。また、これら削落面１０Ｅのさらなる先端側には、実接触部１０Ｆが形成されている。この実接触部１０Ｆが実際に基板３に形成される電極４と接触する部分であり、実接触部１０Ｆにおける厚みならびに幅が、接触部１０Ｂの延在方向、すなわち先端部の長手方向においてほぼ均一に形成されている。また、実接触部１０Ｆの先端には、半円柱上をなす円弧面１０Ｇが形成されている。
【００１５】
また、実接触部１０Ｆの幅寸法ｂは後述する電極４に対し相対的に摺動する方向の寸法ａよりも大きくすることが好ましく、幅寸法ｂを前記寸法ａよりも３倍以上とすると電極に対する接触面積を十分確保することができ、信頼性の高い基板検査を提供することとなる。
【００１６】
なお、先端部の長手方向におけるさらに広い範囲で実接触部１０Ｆの厚みならびに幅が均一になるように形成してもよい。また、前記削落面１０Ｅは円弧面でなく平面であってもよく、場合によっては、削落面は無くてもよい。さらに前記実接触部１０Ｆは、電極プローブ１０を傾斜状に測定プローバ（図示せず）に取付けて基板検査に供されると、側面が平行四辺形の頂辺を除く他の三辺の形状に形成されることになる。
【００１７】
前述した本実施形態の電極プローブ１０によれば、電極プローブ１０を傾斜状に測定プローバ（図示せず）に取付けて基板検査を行う当初は、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、電極プローブ１０の円弧面１０Ｇが先端に形成されているが、基板検査に供されて行くうちに、基板３および電極４との相対的な摺動により次第に摩耗して、図３Ｃに示すように、実接触部１０Ｆの側面が平行四辺形の頂辺を除く他の三辺の形状に形成されることになる。すると、これ以上実接触部１０Ｆが電極４との相対的な摺動により摩耗しても、実接触部１０Ｆにおける電極４に対し相対的に摺動する方向の寸法が実接触部１０Ｆの長手方向において均一に形成されているので、電極４に対する実接触部１０Ｆの接触面積は均一となり、同一の電極プローブ１０により精度の高い多数の基板の検査が可能となる。
【実施例】
【００１８】
前述した図１Ａ、Ｂおよび図２Ａ、Ｂに示す電極プローブ１０を準備した。この電極プローブ１０の実接触部１０Ｆの厚みは１０μｍで、幅ｂは９０μｍであつた。この電極プローブ１０を基板３に対し４５°傾斜させて測定プローバにセットした。図３に示す電極４に対し相対的に摺動する方向の寸法ａは１４．１μｍとされており、このような電極プローブ１０により電極４の幅が７０μｍで隣位の一対の電極４，４間の間隙が１０μｍに形成されている基板の検査を行った。なお、この間隙は電極プローブ１０の実接触部１０Ｆの寸法より小さいが、基板検査は、１０μｍのタイムラグをもって行うので、電極プローブ１０の実接触部１０Ｆが隣位の一対の電極４，４の両者に接触するおそれはない。
【００１９】
まず、比較例としての図６の電極プローブ２を使用したところ、２００枚の基板の慣らし運転の後、５０００枚の基板の検査が可能であったが、５０００枚の基板検査の終了後、電極４に対し相対的に摺動する方向の寸法は３０μｍまで増大していた。
【００２０】
これに対し、本発明の実施形態の電極プローブ１０によれば、１５０００枚の基板を連続して検査することができ、さらなる基板の検査も可能であった。このとき、電極プローブ１０の実接触部１０Ｆの長手方向における摩耗長さは３５μｍであったが、前記電極４に対し相対的に摺動する方向の寸法ａは１４．１μｍと変化なかった。
【００２１】
つぎに、電極４の幅が５０μｍで隣位の一対の電極４，４間の間隙が１０μｍに形成されている基板の検査を行った。
【００２２】
まず、比較例としての図６の電極プローブ２を使用したところ、慣らし運転なしで、１５枚の基板の検査が可能であったが、１５枚の基板検査の終了後、電極４に対し相対的に摺動する方向の寸法は１８μｍまで増大していた。
【００２３】
これに対し、本発明の実施形態の電極プローブ１０によれば、２００枚の慣らし運転を行った後、さらに５０００枚の基板を連続して検査することができ、さらなる基板の検査も可能であった。このとき、電極プローブ１０の実接触部１０Ｆの長手方向における摩耗長さは１８μｍであったが、前記電極４に対し相対的に摺動する方向の寸法ａは１４．１μｍと変化なかった。
【００２４】
なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】Ａ，Ｂは本発明に係る電極プローブの実施形態を示す正面図および平面図
【図２】Ａ，Ｂは図１Ａ，Ｂの要部の拡大図
【図３】Ａ，Ｂ，Ｃは図１の電極プローブの摩耗状態の進行を示す説明図
【図４】測定プローバに取付けられた電極プローブを使用する基板検査を示す斜視図
【図５】電極の断線と短絡の状態を示す説明図
【図６】従来の電極プローブを示す正面図
【図７】図６の電極プローブ摩耗の進行状態を示す説明図
【符号の説明】
【００２６】
１  測定プローバ
２  電極プローブ
３  基板
４  電極
１０  電極プローブ
１０Ａ  プローブ本体  
１０Ｂ  接触部  
１０Ｃ  基端部  
１０Ｅ  削落面
１０Ｆ  実接触部  
１０Ｇ  円弧面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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