(57)【要約】【課題】  外部電気回路基板に対する実装面積を小さくすることができるとともに、内部に収納する圧電振動子を安定して振動させることが可能な高信頼性の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置を提供すること。【解決手段】  圧電振動子収納用パッケージは、上面に平板状の圧電振動子６を収容するための凹部２を有する絶縁基体１と、凹部２の底面に形成され、圧電振動子６の端部に形成された電極が接続される電極パッド５と、電極パッド５から絶縁基体１の外表面に導出される配線導体３とを具備しており、圧電振動子６は、電極が形成されている端部側の一側面が凹部２の底面に対向するように立設されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に平板状の圧電振動子を収容するための凹部を有する絶縁基体と、前記凹部の底面に形成され、前記圧電振動子の端部に形成された電極が接続される電極パッドと、該電極パッドから前記絶縁基体の外表面に導出される配線導体とを具備しており、前記圧電振動子は、前記電極が形成されている端部側の一側面が前記凹部の底面に対向するように立設されることを特徴とする圧電振動子収納用パッケージ。
【請求項２】
前記凹部は直方体状であり、前記凹部の底面の対角線上に前記電極パッドが複数形成されていることを特徴とする請求項１記載の圧電振動子収納用パッケージ。
【請求項３】
前記凹部の底面の前記電極パッドの両側に一対の突起部が形成されており、前記圧電振動子の前記端部が前記一対の突起部の間に挟まれて立設されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の圧電振動子収納用パッケージ。
【請求項４】
前記凹部の底面に形成された溝の内側面に前記電極パッドが形成されており、前記圧電振動子の前記端部が前記溝に嵌着されて立設されることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の圧電振動子収納用パッケージ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の圧電振動子収納用パッケージと、前記凹部内に立設されて収容されるとともに前記電極が前記電極パッドに電気的に接続された前記圧電振動子と、前記絶縁基体の上面に前記凹部を覆うように取着された蓋体とを具備していることを特徴とする圧電装置。
【請求項６】
前記蓋体は、下面の前記圧電振動子に対向する部位に前記圧電振動子に接合された突起部が設けられていることを特徴とする請求項５記載の圧電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部に圧電振動子を収容するための圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電振動子を収容するための圧電振動子収納用パッケージとして、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体，ガラスセラミックス等から成るセラミックス製パッケージが用いられている。従来の圧電振動子収納用パッケージは、図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、上面中央部に圧電振動子２４を収容するための直方体状の凹部２３を有するとともに、その凹部２３の底面の隅部に圧電振動子２４の端部が取着される段差部２７が設けられた絶縁基体２１を具備している。また、この段差部２７の上面から絶縁基体２１の側面や下面等の外表面にかけてメタライズ導体等からなる配線導体２５が導出されている。なお、図６（ａ）は従来の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置の一例を示す平面図であり、図６（ｂ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ’線における断面図である。
【０００３】
そして、絶縁基体２１の凹部２３内に圧電振動子２４を、その主面が凹部２３の底面に対向するように収容するとともに、この圧電振動子２４の端部に形成されている電極を凹部２３内の段差部２７上に露出する配線導体２５に導電性接着剤２８等の導電性接合材を介して電気的に接続し、しかる後、絶縁基体２１の上面の凹部２３の周囲に蓋体２２を接合することにより、絶縁基体２１の凹部２３と蓋体２２とから成る容器の内部に圧電振動子２４が気密に封止された圧電装置を構成することができる。なお、凹部２３は、蓋体２２を絶縁基体２１の上面の凹部２３を取囲む部位に形成されたメタライズ層２６に銀ろう等のろう材を介してシームウエルド法等で接合することにより気密封止される。
【０００４】
このようにして形成された圧電装置は、絶縁基体２１の外表面（図６では下面）に導出された配線導体２５と外部電気回路基板の電気回路とを半田等のろう材を介して接続することにより外部電気回路基板に実装され、圧電振動子２４と外部電気回路とが配線導体２５を介して電気的に接続される。
【特許文献１】特開２００２−３３６３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、このような圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置は小型化、特に外部電気回路基板に実装されたときの実装面積を小さくすることが強く要求されている。
【０００６】
しかしながら、従来の圧電振動子収納用パッケージでは、圧電振動子２４が、その主面が絶縁基体２１の凹部２３の底面に対向するようにして収容されるため、圧電振動子２４の振動を妨げずに凹部２３内に収容しようとすると、面積の大きな圧電振動子２４の主面に見合う分だけ凹部２３の底面の面積を広く確保しておく必要があった。また、段差部２７の上面に露出する配線導体２５は、圧電振動子２４の端部の電極を導電性接着剤２８等により良好に接続させるため、配線導体２５を圧電振動子２４の端部より両側にはみ出すように大きくする必要があった。従って、絶縁基体２１の凹部２３の底面の面積を圧電振動子２４の主面より十分に大きくする必要があり、その結果、絶縁基体２１の平面視での面積が大きくなって、圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置の外部電気回路基板に対する実装面積を小さくすることが非常に難しいという問題を有していた。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、外部電気回路基板に対する実装面積を小さくすることができるとともに、内部に収納する圧電振動子を確実に固定しながら安定して振動させることが可能な高信頼性の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の圧電振動子収納用パッケージは、上面に平板状の圧電振動子を収容するための凹部を有する絶縁基体と、前記凹部の底面に形成され、前記圧電振動子の端部に形成された電極が接続される電極パッドと、該電極パッドから前記絶縁基体の外表面に導出される配線導体とを具備しており、前記圧電振動子は、前記電極が形成されている端部側の一側面が前記凹部の底面に対向するように立設されることを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、前記凹部は直方体状であり、前記凹部の底面の対角線上に前記電極パッドが複数形成されていることを特徴としている。
【００１０】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、前記凹部の底面の前記電極パッドの両側に一対の突起部が形成されており、前記圧電振動子の前記端部が前記一対の突起部の間に挟まれて立設されることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、前記凹部の底面に形成された溝の内側面に前記電極パッドが形成されており、前記圧電振動子の前記端部が前記溝に嵌着されて立設されることを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の圧電装置は、上記構成の圧電振動子収納用パッケージと、前記凹部内に立設されて収容されるとともに前記電極が前記電極パッドに電気的に接続された前記圧電振動子と、前記絶縁基体の上面に前記凹部を覆うように取着された蓋体とを具備していることを特徴としている。
【００１３】
また、本発明の圧電装置は、好ましくは、前記蓋体は、下面の前記圧電振動子に対向する部位に前記圧電振動子に接合された突起部が設けられていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の圧電振動子収納用パッケージは、圧電振動子の端部に形成された電極が接続される電極パッドと、電極パッドから絶縁基体の外表面に導出される配線導体とを具備しており、圧電振動子は、電極が形成されている端部側の一側面が凹部の底面に対向するように立設されることから、圧電振動子の振動を妨げないようにして凹部内に圧電振動子を収容することができるとともに、面積の小さい圧電振動子の一側面の面積に見合う分だけ凹部の底面の面積を確保しておけばよく、凹部の底面の面積を小さくすることができる。その結果、絶縁基体の平面視での面積を小さくして、外部電気回路基板に対する実装面積を非常に小さくすることができる。
【００１５】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、凹部は直方体状であり、前記凹部の底面の対角線上に前記電極パッドが複数形成されていることから、圧電振動子を凹部の対角方向に立設することができ、凹部の平面視における面積をより一層小さくすることができる。
【００１６】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、凹部の底面の電極パッドの両側に一対の突起部が形成されており、圧電振動子の端部が一対の突起部の間に挟まれて立設されることから、圧電振動子の端部を突起部で挟んで強く固定することができるため、この接続部の機械的な接続の強度をより強くすることができる。また、圧電振動子と電極パッドとを電気的に接続する導電性接合材が濡れ広がるのを有効に防止して大きな体積の導電性接合材で圧電振動子を接続することができ、圧電振動子と電極パッドとの接続面積をより有効に大きくしてより一層圧電振動子の接続信頼性に優れた圧電振動子収納用パッケージを提供することができる。
【００１７】
また本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、凹部の底面に形成された溝の内側面に電極パッドが形成されており、圧電振動子の端部が溝に嵌着されて立設されることから、圧電振動子の端部を溝の両内側面で挟んで強く固定することができるため、この接続部の機械的な接続の強度をより強くすることができる。また、圧電振動子と電極パッドとを電気的に接続する導電性接合材が濡れ広がるのを有効に防止して大きな体積の導電性接合材で圧電振動子を接続することができ、圧電振動子と電極パッドとの接続面積をより有効に大きくしてより一層圧電振動子の接続信頼性に優れた圧電振動子収納用パッケージを提供することができる。
【００１８】
本発明の圧電装置は、上記構成の圧電振動子収納用パッケージと、凹部内に立設されて収容されるとともに電極が電極パッドに電気的に接続された圧電振動子と、絶縁基体の上面に凹部を覆うように取着された蓋体とを具備していることから、外部電気回路基板に対する実装面積を小さくすることができるとともに、内部に収納する圧電振動子を安定して振動させることが可能な高信頼性のものとすることができる。
【００１９】
また、本発明の圧電装置は、好ましくは、蓋体は、下面の圧電振動子に対向する部位に圧電振動子に接合された突起部が設けられていることから、圧電振動子のうち、電極が形成されるとともに凹部の底面の電極パッドに接続されている一側面に対向する他側面を、蓋体の突起部に接着剤等によって強固に固定させることにより、蓋体と絶縁基体とで圧電振動子を挟み込んでより一層内部に収納する圧電振動子を確実に固定できるとともに、安定して振動させることが可能な接続信頼性の高いものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に、本発明の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置を添付の図面を基に説明する。図１は本発明の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置の実施の形態の一例を示した平面図であり、図２は図１のＡ−Ａ’線における断面図である。また、図３〜図５は本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の他の例である。
【００２１】
同図において１は絶縁基体、３は配線導体、５は電極パッド、６は圧電振動子、９は蓋体である。そして、主として絶縁基体１、配線導体３、電極パッド５で本発明の圧電振動子収納用パッケージが構成されている。この圧電振動子収納用パッケージに圧電振動子６を収容し蓋体９で封止することにより本発明の圧電装置が構成される。
【００２２】
絶縁基体１は、酸化アルミニウム質焼結体（アルミナセラミックス）や窒化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、ガラスセラミックス等のセラミックスや樹脂から成り、例えば一辺の長さが２〜２０ｍｍ程度で厚みが０．５〜３ｍｍ程度の直方体状である。
【００２３】
また、絶縁基体１の上面に、圧電振動子６を収容するための例えば直方体状である凹部２が形成されている。このような絶縁基体１は以下のようにして作製される。先ず、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化カルシウム等の原料粉末に適当な有機バンイダ、溶剤、可塑剤等を添加混合して泥漿状となし、これを従来周知のドクタブレード法やカレンダーロール法等によりシート状に成形し、複数枚のセラミックグリーンシートを得る。しかる後、セラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施して、四角形状のものと枠状のものとを形成し、四角形状のものが下層に位置するように、枠状のものが上層に位置するように上下に積層して上面に凹部２を有する積層体を形成し、その積層体を高温（約１６００℃）で焼成することにより絶縁基体１と成る。
【００２４】
絶縁基体１の凹部２の底面に形成されている電極パッド５は、凹部２に収容される圧電振動子６の電極を電気的に接続するためのパッドとして機能する。
【００２５】
圧電振動子６は、例えば、水晶や弾性表面波素子等であり、通常、その外形が四角形状の平板状であり、その端部には電極（図示せず）が形成されている。
【００２６】
電極パッド５に接続された圧電振動子６の電極は、配線導体３を介して絶縁基体１の外表面（図２の例では下面）に導出され、その導出部分が半田等を介して外部電気回路基板に接続されることにより、圧電振動子６の電極が外部電気回路に電気的に接続される。
【００２７】
なお、電極パッド５および配線導体３は、タングステン、モリブデン、マンガン、銅、銀等の金属材料からなり、例えばタングステンからなる場合であれば、タングステン粉末に有機溶剤、バインダー等を添加し混練して作製した導電ペーストを、絶縁基体１となるグリーンシートの表面等に所定パターンに印刷することにより形成される。
【００２８】
なお、電極パッド５および配線導体３の露出表面には、電極パッド５および配線導体３の酸化腐食を防止するとともに、電極パッド５と圧電振動子６の各電極との接続や、配線導体３と外部電気回路基板との接続を強固なものするために、例えば１〜１０μｍ程度の厚みのニッケルめっき層と０．１〜３μｍ程度の厚みの金めっき層とが順次被着されているのがよい。
【００２９】
本発明の圧電振動子収納用パッケージにおいては、圧電振動子６は、電極が形成された端部側の一側面が凹部２の主面に対向するように立設されて収容され、電極が電極パッド５に導電性接着剤や半田等の導電性接合材７を介して電気的、機械的に接続される。これにより、面積の小さい圧電振動子６の一側面の面積に見合う分だけ凹部２の底面の面積を確保しておけばよく、凹部２の底面の面積を小さくすることができ、絶縁基体１の平面視での面積を小さくして、外部電気回路基板に対する実装面積を非常に小さくすることができる。
【００３０】
なお、圧電振動子６はバンプ４を介して電極パッド５に接続されるのがよい。これにより、圧電振動子６を圧電振動子６の一側面と凹部２の底面との間に良好かつ確実に隙間を空けることができ、圧電振動子６の振動を妨げないようにして凹部２内に圧電振動子６を収容することができる。また、複数の電極パッド５を用いて圧電振動子６を接続した場合に電極パッド５間に導電性接合材７が濡れ広がって短絡するのを有効に防止できる。
【００３１】
また、絶縁基体１の上面の凹部２の周囲には、例えば、蓋体９が金属製であれば、蓋体９との接合を容易なものとするために凹部２を取囲むようにしてタングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末メタライズから成る四角枠状のメタライズ層８が形成されている。メタライズ層８は、例えば、厚みが１０〜３０μｍ程度、各辺の幅が０．２〜０．５ｍｍ程度であり、蓋体９を接合するための下地金属として機能する。
【００３２】
メタライズ層８は、その表面に封止用の金属枠体が銀ろう等のろう材を介してろう付けされてもよい。メタライズ層８の表面に金属枠体をろう付けする場合、ろう材との濡れ性を良好とするために、例えば、メタライズ層８の表面に厚みが０．５〜５μｍ程度のニッケルめっき層が予め被着されているのがよい。
【００３３】
金属枠体は、例えば鉄−ニッケル合金や鉄−ニッケル−コバルト合金等の金属材料から成り、蓋体９を絶縁基体１に溶接するための下地金属部材として機能する。この金属枠体は、その内周が凹部２の外形寸法と同じ大きさであり、厚みが０．１〜０．５ｍｍ程度、各辺の幅が０．１５〜０．４５ｍｍ程度である。
【００３４】
金属製の蓋体９をメタライズ層８に接合する方法としては、蓋体９の下面に予め２０〜５０μｍの厚みの銀ろうを被着しておき、この銀ろうが被着された下面をメタライズ層８上に載置してシーム溶接やエレクトロンビーム等で加熱することにより、容易に蓋体９とメタライズ層８との間を気密性よく、かつ強固にろう付けすることができる。
【００３５】
そして、圧電振動子６を絶縁基体１の凹部２に収容し、圧電振動子６の端部に形成された電極（図示せず）を凹部２の底面に形成された電極パッド５に導電性接着剤等の導電性接合材７を介して接続する。次に、蓋体９をメタライズ層８の上面にシーム溶接法やエレクトロンビーム法等の溶接法やろう付け法等で接合することにより、圧電振動子６が絶縁基体１と蓋体９からなる容器の内部に気密封止され、圧電装置として完成する。
【００３６】
本発明の圧電装置は、上記構成の圧電振動子収納用パッケージと、凹部２内に立設されて収容されるとともに電極が電極パッド５に電気的に接続された圧電振動子６と、絶縁基体１の上面に凹部２を覆うように取着された蓋体９とを具備していることから、外部電気回路基板に対する実装面積を小さくすることができるとともに、内部に収納する圧電振動子６を安定して振動させることが可能な高信頼性のものとすることができる。
【００３７】
なお、蓋体９がセラミックスや樹脂から成る場合は、ろう付け法や溶接法によって蓋体９をメタライズ層８に接合ができるようにするために、蓋体９の接合面にメタライズやめっき等により金属層を形成しておくのがよい。あるいは、接着剤で蓋体９を絶縁基体１に接着してもよい。
【００３８】
また、蓋体９の形状は、その下面の外周部を絶縁基体１の上面の凹部２の周囲に接合することにより凹部２を気密封止するのに適した形状であり、四角平板状や下面に凹部を有する四角形状である。好ましくは、メタライズ層８に直接蓋体９を接合する場合、圧電振動子６を収容するための空間の確保を容易とするため、下面に凹部を有する四角形状が用いられるのがよい。
【００３９】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置は、絶縁基体１の凹部２は直方体状であり、凹部２の底面の対角線上に電極パッド５が複数形成されていることが好ましい。凹部２を直方体状とするとともに、凹部２の底面の対角線上に電極パッド５を複数形成すると、圧電振動子６を凹部２の対角方向に立設することができ、凹部２の平面視における面積をより一層小さくすることができる。
【００４０】
なお、凹部２は完全に直方体とする必要はなく、正方体としてもよく、また、凹部２の内側の角部を円弧状に成形して角部分で絶縁基体１にクラック等の機械的な破壊が生じることを効果的に防止するようにしてもよい。
【００４１】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置は、図３に示すように、凹部２の底面の電極パッド５の両側に一対の突起部１１が形成されており、圧電振動子６の端部が一対の突起部１１の間に挟まれて立設されることが好ましい。なお、図３は本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の他の例であり、図３（ａ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＡ−Ａ’線に相当する断面図、図３（ｂ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＢ−Ｂ’線に相当する断面図である。
【００４２】
凹部２の底面の電極パッド５の両側に一対の突起部１１を形成するとともに、圧電振動子６の端部を一対の突起部１１の間に挟んで立設することにより、圧電振動子６の端部を突起部１１で挟んで強く固定することができるため、この接続部の機械的な接続の強度をより強くすることができる。また、圧電振動子６と電極パッド５とを電気的に接続する導電性接合材７が濡れ広がるのを有効に防止して大きな体積の導電性接合材７で圧電振動子６を接続することができ、圧電振動子６と電極パッド５との接続面積をより有効に大きくしてより一層圧電振動子６の接続信頼性に優れた圧電振動子収納用パッケージを提供することができる。
【００４３】
このような突起部１１は、例えば絶縁基体１を形成するのと同様のセラミックスや樹脂等により形成される。
【００４４】
さらに、突起部１１は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウムのペーストを絶縁基体１となるセラミックグリーンシートの表面に印刷塗布しておくことにより形成される。
【００４５】
突起部１１を形成する場合、その高さは０．３ｍｍ〜１ｍｍとなるように形成することが好ましい。０．３ｍｍ未満では圧電振動子６の接続を効果的に補強することが難しくなる傾向にあり、また、１ｍｍを超えると、圧電振動子６の正常な振動の妨げになるおそれがある。
【００４６】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置は、図４に示すように、凹部２の底面に形成された溝１２の内側面に電極パッド５が形成されており、圧電振動子６の端部が溝１２に嵌着されて立設されることが好ましい。なお、図４は本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の他の例であり、図４（ａ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＡ−Ａ’線に相当する断面図、図４（ｂ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＢ−Ｂ’線に相当する断面図である。
【００４７】
凹部２の底面に溝１２を形成するとともに溝１２の内側面に電極パッド５を形成し、圧電振動子６の端部を溝１２に嵌着して立設することにより、圧電振動子６の端部を溝１２の両内側面で挟んで強く固定することができるため、この接続部の機械的な接続の強度をより強くすることができる。また、圧電振動子６と電極パッド５とを電気的に接続する導電性接合材７が濡れ広がるのを有効に防止して大きな体積の導電性接合材７で圧電振動子６を接続することができ、圧電振動子６と電極パッド５との接続面積をより有効に大きくしてより一層圧電振動子６の接続信頼性に優れた圧電振動子収納用パッケージを提供することができる。
【００４８】
溝１２は、例えば、絶縁基体１となるセラミックグリーンシートの所定部位に金型を用いた機械的な穴あけ加工を施しておき、最下層となるセラミックグリーンシートと積層、密着させること等により形成される。
【００４９】
溝１２を形成する場合、その深さは、０．３ｍｍ〜１ｍｍが好ましい。０．３ｍｍ未満では圧電振動子６の接続を効果的に補強することが難しくなる傾向にあり、１ｍｍを超えると、圧電振動子６の正常な振動の妨げになるおそれがある。
【００５０】
なお、このように突起部１１を形成したり、溝１２を形成したりした場合でも、圧電振動子６の端部に形成された電極と電極パッド５との接続は、例えば半田や導電性樹脂等の導電性接合材７によって行なわれる。
【００５１】
また、上記のようにして構成される本発明の圧電装置においては、図５に示すように、蓋体９は、下面の圧電振動子６に対向する部位に圧電振動子６に接合された突起部１３が設けられていることが好ましい。なお、図５は本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の他の例であり、図５（ａ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＡ−Ａ’線に相当する断面図、図５（ｂ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＢ−Ｂ’線に相当する断面図である。
【００５２】
本発明の圧電装置において、蓋体９の下面の圧電振動子６に対向する部位に圧電振動子６に接合された突起部１３を設けておくと、圧電振動子６のうち、電極が形成されるとともに凹部２の底面の電極パッド５に接続された一側面に対向する他側面を、蓋体９の突起部１３に接着剤等によって強固に固定させることにより、蓋体９と絶縁基体１とで圧電振動子６を挟み込んでより一層内部に収納する圧電振動子６を確実に固定できるとともに、安定して振動させることが可能な接続信頼性の高いものとすることができる。
【００５３】
蓋体９の突起部１３は、例えば、蓋体９と同様の金属材料から成る小片を蓋体９の下面にろう付けしておくことや、中央部を加圧変形させ、突起部１３を形成した金属蓋体等により形成される。
【００５４】
蓋体９の下面に突起部１３を形成する場合、その高さは０．３ｍｍ〜１ｍｍが好ましい。０．３ｍｍ未満では蓋体９と圧電振動子６との間隔を確保した上で、圧電振動子６の接続を効果的に補強することが難しくなる傾向にあり、また１ｍｍを超えると、突起部１３の形成が難しくなるとともに、圧電振動子６の正常な振動の妨げになるおそれがある。
【００５５】
なお、本発明は、上述の実施の形態の例に限定されるものではなく、種々の変形は可能である。例えば、絶縁基体１は三層以上のセラミック層を積層することにより形成されていてもよい。
【００５６】
また、電極パッド５は、図１では凹部２の底面の対角線上の角部に２箇所形成したが、圧電振動子６の電極の配置等に応じて角部以外に複数形成されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の一例を示す平面図である。
【図２】図１の圧電振動子収納用パッケージのＡ−Ａ’線における断面図である。
【図３】本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の他の例を示す断面図であり、（ａ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＡ−Ａ’線に相当する断面図、（ｂ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＢ−Ｂ’線に相当する断面図である。
【図４】本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の他の例を示す断面図であり、（ａ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＡ−Ａ’線に相当する断面図、（ｂ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＢ−Ｂ’線に相当する断面図である。
【図５】本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の他の例を示す断面図であり、（ａ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＡ−Ａ’線に相当する断面図、（ｂ）は図１の圧電振動子収納用パッケージにおけるＢ−Ｂ’線に相当する断面図である。
【図６】（ａ）は従来の圧電振動子収納用パッケージの平面図、（ｂ）は（ａ）の圧電振動子収納用パッケージのＣ−Ｃ’線における断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１・・・・・絶縁基体
２・・・・・凹部
３・・・・・配線導体
５・・・・・電極パッド
６・・・・・圧電振動子
７・・・・・導電性接合材
９・・・・・蓋体
11・・・・・突起部（絶縁基体側）
12・・・・・溝
13・・・・・突起部（蓋体側）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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