(57)【要約】  【課題】  耐油、耐熱、耐摩耗性を有する樹脂カスが付着した超微細金型の洗浄に適した金型洗浄液、金型洗浄方法を提供する。  【解決手段】  本洗浄の電解洗浄時に用いる洗浄液として、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウムから選択された１以上を含む強アルカリ成分と、ＥＤＴＡ４ナトリウム塩からなるキレート剤と、有機窒素あるいは無機窒素からなる酸化物除去成分と、グルコン酸ナトリウムとを含む本洗浄液を用いている。また、該本洗浄液に配合する水は精製したものとし、微細成形品の成形用ニッケル金型の洗浄に適したものとしている。電解洗浄を行う本洗浄前に前洗浄を行う場合、該前洗浄液として、ノニオン、カチオンあるいはアニオン系の界面活性剤、メタ珪酸ソーダあるいは／およびオルト珪酸ソーダ、キレート剤を含む前洗浄液を用いている。  【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電解洗浄を行う本洗浄前の前洗浄あるいは／および本洗浄後に行う後洗浄で用いる洗浄液であって、ノニオン、カチオンあるいはアニオン系の界面活性剤、メタ珪酸ソーダあるいは／およびオルソ珪酸ソーダ、キレート剤を含むものであることを特徴とする金型洗浄液。
【請求項２】
前記前洗浄液あるいは／および後洗浄液は約４０℃〜１００℃に加熱されている請求項１に記載の金型洗浄液。
【請求項３】
電解洗浄を行う本洗浄液であって、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウムから選択された１以上を含む強アルカリ成分と、ＥＤＴＡ４ナトリウム塩からなるキレート剤と、有機窒素あるいは無機窒素からなる酸化物除去成分と、グルコン酸ナトリウムとを含むことを特徴とする金型洗浄液。
【請求項４】
前記無機窒素として、硝酸塩あるいはアンモニア塩を用い、
前記有機窒素として、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、ペンタエチレンベキサミンから選択されるエチレンジアミン類を用い、
前記キレート剤として、ヒドロキシエチルイミノ二酢酸ナトリウム塩、ニトリロトリセテック酸ー３ナトリウム（ＮＴＡ・３Ｎａ）、ジカルボキシメチル−グルタミック酸テトラソジウムー４ナトリウム（ＧＬＤＡ・４Ｎａ）を用いている請求項３に記載の金型洗浄液。
【請求項５】
ノニオン系、カチオン系、アニオン系の界面活性剤から選択される１以上の界面活性剤を含む請求項３あるいは請求項４に記載の金型洗浄液。  
【請求項６】
前記本洗浄、前洗浄あるいは／および後洗浄で用いる洗浄液に、水道水を精製手段を通して不純物を除去している水を配合している請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の金型洗浄液。
【請求項７】
前記精製手段として、蒸留、イオン交換あるいは／および濾過法を採用した精製手段を用いている請求項６に記載の金型洗浄液。
【請求項８】
前記強アルカリ成分を３０〜１００ｇ／リットル、前記ＥＤＴＡ４ナトリウムを３０〜１００ｇ／リットル、グルコン酸ナトリウムを１０〜６０ｇ／リットル、有機窒素あるいは無機窒素からなる酸化物除去成分を３０〜１５０ｇ／リットル配合している請求項３乃至請求項７のいずれか１項に記載の金型洗浄液。
【請求項９】
前記ノニオン系、カチオン系、アニオン系の界面活性剤から選択される１以上の界面活性剤を１〜３ｃｃ／リットル配合している請求項８に記載の金型洗浄液。
【請求項１０】
前記本洗浄に用いる洗浄液は約３０℃〜６０℃に加熱されている請求項３乃至請求項９のいずれか１項に記載の金型洗浄液。
【請求項１１】
電解洗浄の本洗浄時に請求項３乃至請求項１０のいずれか１項の記載の洗浄液を用いていることを特徴とする金型洗浄方法。
【請求項１２】
電解洗浄の本洗浄前の前洗浄あるいは／および電解洗浄の本洗浄後の後洗浄に請求項１または請求項２に記載の洗浄液を用いていることを特徴とする金型洗浄方法。
【請求項１３】
前記本洗浄に超音波洗浄を併用している請求項１１または請求項１２に記載の金型洗浄方法。
【請求項１４】
前記超音波洗浄の周波数を３０ＫＨｚ〜１００ＫＨｚの範囲としている請求項１３に記載の金型洗浄方法。
【請求項１５】
前記前洗浄液を用いた前洗浄後、本洗浄液を用いた本洗浄後、あるいは／および後洗浄液を用いた後洗浄後に、下記の（１）〜（３）のいずれかの方法で洗浄液を除去している請求項１１乃至請求項１４に記載の金型洗浄方法。
（１）清浄水による水洗いのみを行う。
（２）清浄水による水洗い後に、アルコール、エタノール、アセトン、これらと水との混合液のいずれかによるリンス洗浄を行う。
（３）水洗いをせずに、直接、アルコール、エタノール、アセトン、これらと水との混合液によるリンス洗浄を行う。
【請求項１６】
洗浄工程が下記の（１）〜（５）から選択される請求項１１乃至請求項１５に記載の金型洗浄方法。
（１）本洗浄→洗浄液除去  
（２）本洗浄→洗浄液除去→防錆処理
（３）前洗浄→洗浄液除去→本洗浄→洗浄液除去→防錆処理
（４）本洗浄→洗浄液除去→後洗浄→洗浄液除去→防錆処理
（５）前洗浄→洗浄液除去→本洗浄→洗浄液除去→後洗浄→洗浄液除去→防錆処理。
【請求項１７】
前記防錆処理は、金型表面に防錆剤を塗布して行い、該防錆剤として低級アミンからなる水性防錆剤を用いている請求項１６に記載の金型洗浄方法。
【請求項１８】
前記低級アミンとしてモルホリンを用いている請求項１７に記載の金型洗浄方法。
【請求項１９】
前記前洗浄時に洗浄槽に蓋をして密閉状態として、約４０℃〜１００℃に加熱している請求項１２乃至請求項１８に記載の金型洗浄方法。
【請求項２０】
少なくとも前洗浄あるいは／および後洗浄を行う洗浄槽と、電解洗浄手段で本洗浄を行う本洗浄槽とを備え、前記前洗浄あるいは／および後洗浄の洗浄槽には請求項１または請求項２に記載の前洗浄液を供給していると共に、前記本洗浄槽には請求項３乃至請求項１０のいずれか１項に記載の本洗浄液を供給していることを特徴とする金型洗浄装置。
【請求項２１】
前記前洗浄槽には、洗浄時に前洗浄槽の上面開口を密閉する蓋を設けていると共に、該蓋で密閉した状態で前記前洗浄槽を加熱する手段を設けている請求項２０に記載の金型洗浄装置。
【請求項２２】
少なくとも電解洗浄手段と超音波洗浄手段を備えた本洗浄槽において洗浄される金型が、ニッケルメッキ金型、ニッケル合金メッキ金型、ニッケル板表面貼付金型、ニッケル合金板表面貼付金型あるいはニッケルで形成された金型からなるニッケル金型であり、
前記本洗浄槽には請求項３乃至請求項１０のいずれか１項に記載の本洗浄液を供給していることを特徴とする金型洗浄装置。
【請求項２３】
前記ニッケル金型は、フラットパネルディスプレイの導光板の射出成型用金型、レンズの射出成型用の金型、車両用リフレクタの射出成型用の金型である請求項２２に記載の金型洗浄装置。
【請求項２４】
前記本洗浄槽の電解洗浄用として用いるプラス極側の電極は、プラチナ（白金）、パラジウム、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、オスミウム、金、銀の貴金属、あるいはこれら貴金属の合金のうちの１種または複数種の金属、あるいは前記金属でメッキされたものからなる請求項２２または請求項２３に記載の金型洗浄装置。
【請求項２５】
前記プラス極側の電極は、チタンに前記金属がメッキされたものからなる請求項２４に記載の金型洗浄装置。
【請求項２６】
前記本洗浄槽の電解洗浄用の電極に印加する電圧を２〜５Ｖの範囲としている請求項２２乃至請求項２５のいずれか１項に記載の金型洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂、ゴム、ガラス等の成形用金型に付着する樹脂カス、ゴムカス、ガラスカス、ガス焼け等の付着物を洗浄除去する洗浄液、洗浄方法および洗浄装置に関し、特に、微細構造の金型の洗浄を電解洗浄を行う本洗浄で用いる際に適した洗浄液と、該本洗浄前に行う前洗浄および必要に応じて後洗浄に用いる補助洗浄液の改良を図るものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、樹脂やゴムの成形用材料の改質および成形技術の進歩に伴い、従来プレス加工等により形成されていた金属製やガラス製等の部品も、大量生産が可能な金型で成形された樹脂製部品へと移行しつつある。
例えば、樹脂製品やゴム製品は金属製品やガラス製品と比較すると、強度、耐熱性、耐油性、耐摩耗性が乏しいとされてきたが、樹脂製品やゴム製品の改質により上記物性を付与され、耐熱性、耐油性が要求される自動車のボンネットの中に取り付けるデイストリビュータのケースも金属製品から樹脂製品へと代わっている。
また、超精密成形技術の進歩により、テレビの画面やレンズもガラスから樹脂に変わっている。金型による射出成型で超精密部品、例えば、フラットパネルディスプレイの導光板、携帯電話の超小型精密カメラ用のレンズ、ゴーグルのレンズ、歯車、コネクタ等も樹脂成形で大量生産されている。
【０００３】
前記樹脂、ゴム、ガラス等の成形に用いる金型は、成形量に伴ってその内面に樹脂カス、ゴムカス、あるいはガラスカスが付着すると共に、樹脂が溶解された時に発生するガスが付着する。これらの付着物は、成形ショットを重ねると、ショット回数の増加に伴い金型表面に堆積し、簡単には除去することができない。しかしながら、これらを確実に除去しないと、成形不良につながる等の不都合が生じる。よって、成形用金型は定期的に取り外して洗浄し、上記付着物を除去しなければならない。
【０００４】
特に、フラットパネルディスプレイの導光板、携帯電話の超小型精密なカメラレンズ、ゴーグル用レンズ、車両用リフレクタ等を射出成型する金型は、鉄或いは真ちゅうの表面に純ニッケルメッキ層やリンやボロンが配合されたニッケル合金メッキ層が設けられた金型、あるいはニッケル板やニッケル合金板が表面に貼り付けられた金型、さらにはニッケルのみまたはニッケル合金のみで形成された金型（以下、ニッケル金型と総称する）とされている。この種のニッケル金型ではニッケルが物質を吸着しやすい特性を有することから、電解液中で析出する金属微粒子や微小な樹脂片や異物が付着しやすい。これら超微粒子がニッケルメッキ表面に付着した状態で残存すると、該ニッケル金型で成形される導光板、レンズ、リフレクタの品質を維持できない問題がある。特に、前記導光板では微細で精度が要求されるパターンに、入り込んだ樹脂を取り除いたり、ガスの溜まりやすいパーツの縁などの汚れをすっきり取り除かなければ、高度化する精度に対応することができない。
【０００５】
金型洗浄は、従来、トリクレンや炭化水素系の石油等に浸漬しておき、その後、ブラシや綿棒で擦りとる方法でなされていたが、トリクレンや炭化水素系の有機溶剤は人体に悪影響を与える。
【０００６】
上記した問題より、本出願人は、水酸化ナトリウム等の強アルカリ成分が配合された洗浄液を用い、かつ、成形金型用の洗浄装置として、特開平７−２１４５７０号公報（特許文献１）において図８に示す電解洗浄装置を提供している。
この洗浄装置は電解洗浄と超音波洗浄とを併用して金型の洗浄を短時間で効率良く行うことができる利点を有するものである。図８中において、１は洗浄槽、２は洗浄槽内に着脱自在に挿入する金型保持カゴ、３は洗浄槽内に吊り下げるプラス側電極であり、マイナス極側となる上記金型保持カゴ２内に保持された金型５との間に電流を流すと共に、洗浄槽１の底面に取り付けた超音波振動子４により洗浄槽内の電解洗浄液に超音波振動を発生させ、よって、電解洗浄と超音波洗浄とを併用して、金型５の洗浄を行っている。
【０００７】
また、特開２００１−２４１０００号公報（特許文献２）において、図９に示す電解洗浄を行う本洗浄槽１’の前洗浄を行う脱脂槽６と、本洗浄槽１’による本洗浄後に後洗浄を行うリンス槽７を備えた金型洗浄装置が提供されている。該金型洗浄装置は、前記特許文献１の金型洗浄装置と同様の電解洗浄を行う本洗浄装置に、前洗浄を行う脱脂槽と、後洗浄を行いリンス槽を付設した構成とされている。
【０００８】
前記特許文献１において、電解洗浄を行う本洗浄時に用いる洗浄液として、水酸化ナトリウムあるいは／および水酸化カリウム、ＥＤＴＡのアルカリ塩、グルコン酸ナトリウムを含むアルカリ溶液を提供している。また、温度制御装置を付設して、洗浄液の温度を３０〜７０℃に加熱している。
特許文献２においても、電解洗浄を行う本洗浄で用いる電解液は、特許文献１と同様な水酸化ナトリウム、ＥＤＴＡ、界面活性剤および水からなる洗浄液が用いられている。
前洗浄の脱脂槽では、エーテル、アルコール等の有機脱脂溶剤が前洗浄液として用いられ、脱脂槽内に金型をカゴに搭載して浸漬し、蓋等で密閉しないオープンな構成で前洗浄が行われている。
【０００９】
【特許文献１】特開平７−２１４５７０号公報
【特許文献２】特開２００１−２４１０００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前記特許文献１の金型洗浄装置は電解洗浄と超音波洗浄とを併用しているため、極めて効率良く短時間で金型の付着物を除去でき、洗浄効果が優れた利点を有する。しかしながら、近時は前記したように、フラットパネルディスプレイの導光板等の超精密成形部品が急増している。これらの超小型精密部品の金型では凹凸も微細になり、微細な凹部、特に凹部の隅に付着する樹脂カス等は除去しにくく、超微小な樹脂カス等が残存しやすい。また、近時、耐熱性、耐油性、耐摩耗性等の物性を改善した樹脂が増加しており、これらの樹脂成形用の金型の場合も、樹脂カスが除去しにくくなっている。
【００１１】
前記問題を解消するためには、洗浄力を高める必要がある。
しかしながら、特に、前記耐熱性、耐油性、耐摩耗性を高めた樹脂用の金型では、洗浄液の温度を上げて時間をかけても容易に樹脂カスが溶融、膨潤せずに、よって、これらの樹脂カスの除去は困難となっている。
かつ、水酸化ナトリウム等の強アルカリ性物質を増量した洗浄液を用いると、金型を腐食させるトラブルが発生する。
さらに、超音波振動を組み合わせて、洗浄液を撹拌する等により物理的に洗浄能力を高めることも考慮される。超音波の周波数を、例えば５０ＫＨｚから２０ＫＨｚに低くする程、汚れを落とす力が強くなるが、超音波振動による破壊力も比例して大きくなり、洗浄時間が長くなると金型にダメージを与えることとなる。特に、前記フラットパネルディスプレイの導光板等を成形するニッケル金型では、表面のニッケル層が超音波でダメージを受け易い問題がある。
【００１２】
また、洗浄能力を高める方法として、特許文献２に記載されていると共に、特許文献２の出願前からも当業者間で行われている前洗浄および後洗浄方法を改良し、前洗浄、本洗浄、後洗浄のトータルで洗浄能力を高める方法も採用しえる。
しかしながら、特許文献２に記載されている前洗浄を行う脱脂槽で、エーテル、アルコール等の有機脱脂溶剤からなる前洗浄液を用いても、本出願人の追試によると洗浄力の強化を認められなかった。
また、電解洗浄の本洗浄後にリンス槽で水洗することも従来から行われているが、水洗いしただけでは金型に錆が発生しやすい問題がある。
【００１３】
本発明を前記問題に鑑みてなされたもので、前洗浄に用いる前洗浄液および電解洗浄を行う本洗浄時に用いる本洗浄液を改質して洗浄能力を高める等により、超微細金型で、耐熱、耐油、耐摩耗性を有する樹脂カスが付着していた場合にも、これを確実に除去できるように、洗浄能力を高めることを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記課題を解決するため、本発明は、第１に、電解洗浄を行う本洗浄前の前洗浄で用いる前洗浄液、および必要に応じて行う後洗浄で用いる後洗浄液として、ノニオン、カチオンあるいはアニオン系の界面活性剤、メタ珪酸ソーダあるいは／およびオルソ珪酸ソーダ、キレート剤を含むものであることを特徴とする金型洗浄液を提供している。
【００１５】
前記前洗浄液、後洗浄液からなる補助洗浄液は、本発明者が種々の成分を配合した洗浄液を調製し、これを用いて実験を繰り返した結果、前洗浄液としても界面活性剤、キレート剤および酸化物除去成分を配合すると共に、特にメタ珪酸ソータあるいは／およびオルソ珪酸ソーダを配合すると、前洗浄能力を高めることができることを知見して得られたものである。
前記キレート剤としては、ＥＤＴＡ４ナトリウム塩、カルボン酸含有ナトリウム塩等が挙げられる。前記酸化物除去成分として、有機窒素、あるいは硝酸塩やアンモニウム塩を含む無機窒素が挙げられる。
【００１６】
特に、前記前洗浄液は、約４０℃〜１００℃に加熱した状態で用いると洗浄能力を高めることができる。
さらにまた、該前洗浄時に、前洗浄槽の上部開口を蓋で密閉して加熱し、言わば、圧力釜とした状態で加熱すると、沸点が上がり、より高温にできるため、洗浄能力を高めることができると共に、蓋で密閉していることから作業員の安全性を高めることができる。
なお、蓋で密閉して前洗浄液を煮沸しなくとも、前記成分からなる前洗浄液で洗浄しても洗浄能力を従来より高めることができ、その場合、作業員の安全性から４０℃〜６０℃程度に加熱することが好ましい。  
【００１７】
本洗浄前に、前記補助洗浄液を用いて前洗浄を行うと、特に下記の作用を奏することができる。
金型に取り付けたヒータの熱伝導を良くするために熱伝導グリス（例えば、信越化学工業株式会社製の熱伝導グリスＫＳ−６０９）や熱伝導ペースト（日本金型産業株式会社販売  インフラコートＩＫＢ）が使用された場合、洗浄時、特に電解洗浄時にトラブルの要因となる金属粉が熱伝導剤に含まれている。具体的には、前記熱伝導グリスには酸化亜鉛が７５％含まれ、熱伝導ペーストには銅３０％、グラファイト２５％、アルミ１０％が含有されている。
前記熱伝導グリス、熱伝導ペーストに含まれている金属粉が洗浄液中に流出され、これらが金型表面に置換反応または電解析出で付着されると、水酸化ナトリウムでは容易に取り除くことができずトラブルの要因となる。
しかも、前記熱伝導性剤中には、鉄製の金型表面に置換反応により析出しやすい銅、酸化亜鉛が含まれ、さらに、電解すると鉄を腐食するアルミも含まれている。さらにまた、有機物を吸着する多孔質のグラファイトが含有されているため、洗浄液中に含有する界面活性剤も吸着されて、金型への汚れ再付着防止や電解時に発生するミスト飛散防止の効果がなくなる。
前記トラブルを防ぐには、水酸化ナトリウムが主成分の電解洗浄前に、前記熱伝導性グリスやペーストを鹸化させるノニオン系等の界面活性剤やメタ珪酸ソーダ、オルト珪酸ソーダを主成分とし、ＥＤＴＡ４ナトリウム等のキレート剤で組成した補助洗浄液を用いて前洗浄を予め行い、前記熱伝導剤を取り除いた後、水酸化ナトリウム等の強アルカリで組成した電解洗浄液を使用して、耐熱、耐油、耐摩耗性に優れた樹脂を取り除くための本洗浄時間が短縮できる効果がある。
【００１８】
本発明は、第２に、電解洗浄時に用いる本洗浄液として、
電解洗浄を行う本洗浄液であって、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウムから選択された１以上を含む強アルカリ成分と、ＥＤＴＡ４ナトリウム塩からなるキレート剤と、有機窒素あるいは無機窒素からなる酸化物除去成分と、グルコン酸ナトリウムとを含むことを特徴とする金型洗浄液を提供している。
【００１９】
前記無機窒素として  硝酸塩あるいはアンモニア塩を用い、
前記有機窒素として、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、ペンタエチレンベキサミンから選択されるエチレンジアミン類を用い、
前記キレート剤として、ヒドロキシエチルイミノ二酢酸ナトリウム塩、ニトリロトリセテック酸ー３ナトリウム（ＮＴＡ・３Ｎａ）、ジカルボキシメチル−グルタミック酸テトラソジウムー４ナトリウム（ＧＬＤＡ・４Ｎａ）を用いることが好ましい。
【００２０】
本洗浄液は、前記したように、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウムから選択された１以上を含む強アルカリ成分と、グルコン酸ナトリウムに、ＥＤＴＡ４ナトリウム塩からなるキレート剤に更に有機窒素あるいは無機窒素を加えた酸化物除去成分を配合することにより、キレート剤単独で用いる場合よりも更に酸化物の除去性能を高めている。
【００２１】
さらに、ノニオン系、カチオン系、アニオン系の界面活性剤から選択される１以上の界面活性剤を含めると、さらに洗浄力を高めることができると共に、金型から除去した樹脂カス等の金型への再付着や、ミストの発生を抑制する機能を有する。
【００２２】
具体的には、前記本洗浄液は強アルカリ成分を３０〜１００ｇ／リットル、前記ＥＤＴＡ４ナトリウム塩を３０〜１００ｇ／リットル、グルコン酸ナトリウムを１０〜６０ｇ／リットル、有機窒素あるいは無機窒素からなる酸化物除去成分を３０〜１５０ｇ／リットル配合することが好ましい。
また、前記ノニオン系、カチオン系、アニオン系の界面活性剤から選択される１以上の界面活性剤も配合する場合は、１〜３ｃｃ／リットル配合していることが好ましい。
前記配合量は、本発明者が実験を繰り返して知見したものである。
【００２３】
また、前記本洗浄液は加熱手段を付設して、３０℃〜６０℃に加熱することが、洗浄能力を高めることができる点から好ましい。
この本洗浄液を用いて電解洗浄、さらに、好ましくは超音波洗浄も併用して行う本洗浄時には、洗浄槽の上面開口をフードでカバーして洗浄を行うことが、洗浄液の温度制御、ミストの飛散や異臭の拡散を防止する点から好ましい。
【００２４】
前記本洗浄液、前洗浄液あるいは／および本洗浄後に行う後洗浄で用いる洗浄液には、水を配合しているが、該水としては、水道水を精製手段を通して不純物を除去した水を配合していることが好ましい。
前記精製手段として、蒸留、イオン交換あるいは／および濾過法を採用した精製手段を用いられる。
これは、水道水はシリカやカルシウム等の異物を含んでおり、洗浄する金型が前記ニッケル金型等の高密度金型であると、洗浄液中に含まれるシリカやカルシウム等の異物が金型に付着して、金型精度を低下させ、成形不良の要因となる恐れがあるためである。よって、水道水は前記精製手段によりシリカやカルシウム等の異物を除去しておくことが好ましい。
【００２５】
第２の発明として、金型洗浄方法を提供しており、該金型洗浄方法は、
電解洗浄の本洗浄時に前記本洗浄液を用い、前洗浄を行う場合には前記前洗浄液を用い、必要に応じて前記後洗浄液を行う場合には前記後洗浄を行うことを特徴とする金型洗浄方法を提供している。
なお、洗浄する金型に応じて、本洗浄のみ、前洗浄→本洗浄→後洗浄を行うことが好ましい場合、前洗浄を無くして本洗浄と後洗浄のみを行うことが好ましい場合がある。
【００２６】
前記本洗浄は電解洗浄に超音波洗浄を併用することが好ましく、より洗浄力を高めることができる。
該超音波洗浄は、本洗浄槽の底面に超音波発生装置を付設し、超音波振動子を２種類以上の周波数に切り替えて超音波を発生させることが好ましい。このように、超音波振動を一定の周波数とせずに、異なる周波数、例えば３４ＫＨｚと４４ＫＨｚとに切り替えて交互の超音波振動を発生させると、電解洗浄液に適宜な撹拌作用を発生させることができ、洗浄力を高めることができる。超音波に変えて、３０ＫＨｚ〜１００ＫＨｚの単波を用いてもよい。
洗浄する金型がフラットパネルディスプレイの導光板、超小型精密なレンズ、自動車のリフレクタ等の調整密な成形品用で、金型がニッケル金型である場合、超音波の周波数は３０ＫＨｚ〜１００ＫＨｚ、好ましくは４０〜７０ＫＨｚの範囲が好適である。該範囲とするとニッケルメッキ表面の金属結合のバランスを崩さず、ニッケル被覆層にダメージを与えない状態で洗浄することができる。
【００２７】
前記前洗浄液を用いた前洗浄後、本洗浄液を用いた本洗浄後、あるいは／および後洗浄液を用いた後洗浄後に、下記の（１）〜（３）のいずれかの方法で洗浄液を除去している。
（１）清浄水による水洗いのみを行う。
（２）清浄水による水洗い後に、アルコール、エタノール、アセトン、これらと水との混合液のいずれかでリンス洗浄を行う。
（３）水洗いをせずに、直接、アルコール、エタノール、アセトン、これらと水との混合液のいずれかでリンス洗浄を行う。
このように、洗浄液の除去を行うことにより、洗浄液の水に含まれる組成物や不純物の影響で金型表面の水染みが生じるのを防止できる。
【００２８】
金型洗浄では、金型に付着している樹脂カスの量、付着力、付着位置、樹脂の種類などに応じて洗浄強度を変えており、かつ、全体的な洗浄工程としては、例えば、下記の（１）〜（５）から選択されることが好ましい。
（１）本洗浄→洗浄液除去  
（２）本洗浄→洗浄液除去→防錆処理
（３）前洗浄→洗浄液除去→本洗浄→洗浄液除去→防錆処理
（４）本洗浄→洗浄液除去→後洗浄→洗浄液除去→防錆処理
（５）前洗浄→洗浄液除去→本洗浄→洗浄液除去→後洗浄→洗浄液除去→防錆処理。
なお、ニッケル金型では（１）が好ましい。
【００２９】
電解洗浄を行う本洗浄前に前洗浄液を用いた前洗浄あるいは／および本洗浄後に後洗浄液を用いた後洗浄を行うことで、金型表面に強固に付着している前記耐熱、耐油、耐摩耗性樹脂カスが確実に除去することができる。
【００３０】
前記いずれの工程を採用しても、本洗浄は電解洗浄に超音波洗浄を併用すると洗浄能力を高めることができ、かつ、金型の汚れ程度に応じて洗浄時間の調節、本洗浄液および前洗浄、後洗浄の洗浄液の成分を前記範囲内て調節している。
【００３１】
前記水洗いは水をノズル等から吐出させてシャワー洗浄としても良いし、水を溜めた洗浄槽に金型を浸漬してもよい。リンス洗浄は前記揮発成分あるいは揮発成分と水との混合液をノズル等から金型に塗布しても良いし、該液を溜めた洗浄槽に金型を浸漬しても良い。
【００３２】
前記後洗浄の後で後洗浄液を除去した後に金型表面に防錆剤を塗布する防錆処理を行うことが好ましい。該防錆処理は、防錆剤を溜めた液槽に金型を浸漬することにより行われるが、他の塗布方法でもよい。
前記防錆剤として、低級アミンからなる水性防錆剤を用い、特に、モルホリンが好適に用いられる。
なお、導光板、プラスチックレンズ、リフレクター用のニッケル金型では、ニッケル被覆面に残渣が残りやすいため、で防錆処理をしない方が好ましい。
【００３３】
前記のように水性防錆剤を用いると、１００℃前後で蒸発、揮発し、かつ加熱しなくとも２〜３日で自然蒸発し、金型で成形する成形品に防錆剤が付着することが防止できる。
一方、水性系の防錆剤は防錆期間が比較的短いため、防錆剤が成形品の表面に付着しても問題がない場合には、水性系防錆剤に代えて、あるいは水性系防錆剤を塗布した金型表面に再度油性防錆剤を重ねて塗布してもよい。
【００３４】
本発明は、第３の発明として、前洗浄を行う前洗浄槽あるいは／および後洗浄を行う後洗浄槽と、電解洗浄手段で本洗浄を行う本洗浄槽とを備え、前記前洗浄槽には前記した前洗浄液を供給していると共に、前記本洗浄槽には前記した本洗浄液を供給していることを特徴とする金型洗浄装置を提供している。
【００３５】
さらに、洗浄液を流し落とすための水洗い、揮発成分によるリンス洗浄を行うためのシャワーや洗浄槽、さらに、防錆手段を付設しても良いことは言うまでもない。
【００３６】
前洗浄する場合には、前洗浄液が供給された前洗浄槽には、金型を所要時間浸漬する構成としている。
電解洗浄、好ましくは超音波洗浄も併用して行う本洗浄用の洗浄槽としては、先に本出願人が出願している前記特許文献１等に記載した洗浄装置、特願２００４−１０１３６１号に記載した洗浄装置等が好適に用いられる。
【００３７】
前洗浄槽から本洗浄槽、本洗浄槽から後洗浄への金型の搬送は、上方に設置したガイドレールで金型保持具を把持して搬送しても良いし、作業員が金型を保持具で保持して搬送してもよい。
【００３８】
特に、前記前洗浄槽には、洗浄時に前洗浄槽の上面開口を密閉する蓋を設けていると共に、該蓋で密閉した状態で前記補助洗浄槽を加熱する手段を設け、補助洗浄槽を圧力釜の構成としていることが好ましい。
【００３９】
洗浄される金型が、フラットパネルディスプレイの導光板、レンズ、自動車のリフレクタ等の精密成形品用で、ニッケル金型とされる場合は、前記したように、前洗浄を無くし、本洗浄槽において、前記本洗浄液を用い、電解洗浄と超音波洗浄とを併用した洗浄方法とすることが最も好ましい。該洗浄方法で洗浄すると、超微粒子の付着の防止、付着した超微粒子の除去を含め、最もシビアに求められる洗浄性能を得ることができる。
【００４０】
また、前記ニッケル金型を洗浄する場合には、本洗浄槽の電解洗浄用として用いるプラス極側の電極は、プラチナ（白金）、パラジウム、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、オスミウム、金、銀の貴金属、あるいはこれらの貴金属の合金の１種あるいは複数種からなる金属からなり、あるいは前記金属でメッキされたものとすることが好ましい。
さらに、前記プラス極側の電極は、チタンに前記金属がメッキあるいは貼り付けられたものとしていることがこのましい。
さらに、前記本洗浄槽の電解洗浄用の電極に印加する電圧を２〜５Ｖの範囲としていることが好ましい。
【発明の効果】
【００４１】
上述したように、本発明は、洗浄液に関しては、電解洗浄（好ましくは超音波洗浄を併用）する本洗浄前の前洗浄液として、有機溶剤を含む洗浄液ではなく、ノニオン、カチオンあるいはアニオン系の界面活性剤と、メタ珪酸ソーダあるいは／およびオルト珪酸ソーダと、キレート剤を含む洗浄液を用いて前洗浄を行っているため、耐熱、耐油、耐摩耗性を有する樹脂が金型表面、特に微細な凹部の隅に樹脂カスとして付着している場合においても、これら従来の電解あるいは／および超音波金型洗浄では除去しきれなかったものを確実に除去することができる。
さらに、汚れが酷い金型の場合には、前洗浄液と同一成分の後洗浄液を用いて、電解洗浄および超音波洗浄による本洗浄後に、後洗浄すると、除去しにくい樹脂カスを略完全に除去することができる。
【００４２】
また、電解洗浄を行う本洗浄液は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウムから選択された１以上を含む強アルカリ成分と、ＥＤＴＡ４ナトリウム塩からなるキレート剤と、有機窒素あるいは無機窒素からなる酸化物除去成分と、グルコン酸ナトリウムとを含む水を用い、該水は精製手段で精製した水として、水道水に含まれるシリカやカルシウムなどの異物を除去している。そのため、該電解洗浄液で洗浄する金型が、精密部品成形用のニッケル金型である場合、１０００〜１００００倍の電子顕微鏡で観察しても異物が付着されていない優れた洗浄力で洗浄することができる。
よって、フラットパネルディスプレイの導光板、レンズ、自動車のリフレクタ等を成形するためのニッケル金型を洗浄する場合に、その洗浄能力が高いことにより、効果的に用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、本発明を図面に示す実施形態を参照して詳細に説明する。
図１は第１実施形態の金型洗浄装置の全体概略図を示し、１０は前洗浄槽、１１は水洗い槽、１２は本洗浄槽、１３はリンス槽、１４は防錆塗布槽である。
該第１実施形態の洗浄装置で洗浄される金型は、ニッケル被覆されたニッケル金型ではなく、一般的な鉄鋼性の金型である。
前記洗浄槽のうち、前洗浄槽１０と本洗浄槽１２とは洗浄槽１０、１２の上面開口を閉鎖する蓋１６、１７を備え、洗浄時にはこれら蓋１６、１７で閉鎖して洗浄する構成としている。
なお、前記蓋は各槽に個別に設けずに１つの連続蓋としてもよい。また、蓋で密閉せずに洗浄してもよいが、前洗浄槽１０は蓋１６で密閉して前洗浄することが好ましい。
【００４４】
上記洗浄槽１０〜１４を並設しており、これら洗浄槽１０〜１４の上部にガイドレール２０を装架し、洗浄する合成樹脂用の金型２１を保持する金属製の保持カゴ２２をアーム２３を着脱自在に取り付けて、順次搬送する構成としている。
なお、上記搬送機構は必ずしも必要でなく、作業者が金型を保持する保持具を順次洗浄槽に挿入していってもよい。
【００４５】
前記前洗浄槽１０は上面開口のボックス形状で、その内部に前洗浄液Ｑ１を貯溜しており、該前洗浄槽１０内に、図２に示すように、金型２１を搭載した金属製のカゴ２２を浸漬して、所要時間（好ましくは１５分〜３０分）浸けている。
前洗浄液Ｑ１は、ノニオン、カチオンあるいはアニオン系の界面活性剤と、メタ珪酸ソーダあるいは／およびオルト珪酸ソーダと、キレート剤を水に配合したものである。水は水道水を精製手段で精製した純水としている。
本実施形態の前洗浄液Ｑ１で、界面活性剤を２ｃｃ／リットル、メタ珪酸ソーダを５０ｇ／リットル〜１００ｇ／リットル、ＥＤＴＡ４ナトリウム塩からなるキレート剤を１００ｇ／リットル〜５０ｇ／リットルで配合し、残りを水としている。
【００４６】
前洗浄槽１０はその下部にヒータ等からなる加熱手段１８を配置し、洗浄時には、蓋１６で前洗浄槽１０の上部開口を閉鎖して圧力釜の状態としている。この状態で、加熱手段１８で前洗浄槽１０内の前洗浄液Ｑ１を煮沸し、該前洗浄液Ｑ１で金型２１を前洗浄している。
【００４７】
前洗浄槽１０での前洗浄後には、金型を水洗いする水洗槽１１を設けて、金型表面に付着した前洗浄液を洗い落としている。この水洗槽１１では上部に配置したシャワー１５より水を流して、金型を簡単に水洗いしている。なお、清浄水を貯溜した槽に浸漬して水洗いしてもよい。
【００４８】
水洗槽１１で水洗した金型は図３および図４に示す本洗浄槽１２に移送している。該本洗浄槽１２では電解洗浄方式と超音波洗浄方式とを併用した洗浄を行う構成としている。
本洗浄槽１２は上面開口のボックス形状で、その外周面の略全面に沿ってシリコンゴムヒータからなる面状ヒータ（図示せず）を取り付け、本洗浄槽１２内の本洗浄液Ｑ２を３０〜６０℃に加熱するようにしている。
【００４９】
本洗浄液Ｑ２（即ち、電解洗浄液）は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウムから選択された１以上を含む強アルカリ成分と、ＥＤＴＡ４ナトリウム塩からなるキレート剤と、有機窒素あるいは無機窒素からなる酸化物除去成分と、グルコン酸ナトリウムと、ノニオン系、カチオン系、アニオン系の界面活性剤から選択される１以上の界面活性剤を、水道水を精製手段で精製した純水に配合している。
そのさい、配合量は、強アルカリ成分を３０〜１００ｇ／リットル、ＥＤＴＡ４ナトリウム塩を３０〜１００ｇ／リットル、グルコン酸ナトリウムを１０〜６０ｇ／リットル、前記酸化物除去成分を３０〜１５０ｇ／リットル、前記ノニオン系、カチオン系、アニオン系の界面活性剤から選択される１以上の界面活性剤を１〜３ｃｃ／リットルとし、残りを純水として、配合している
【００５０】
前記本洗浄液Ｑ２は本洗浄槽１２内に、金型２１の量に応じて所要レベルまで収容しており、図示していないが、所要時に本洗浄槽１２の底壁に設けた取出口より循環管に排出し、浄化タンク内に導いて濾過した後、循環ポンプで吸い上げて、本洗浄槽１１の上面開口へと投入して循環させるようにしている。
【００５１】
本洗浄槽１２には、その上面開口を囲む外周フランジ部の上面に絶縁ベース２１を取り付け、前記金型の保持カゴ２２の支持腕２２ａを絶縁ベース２１に吊り下げて、本洗浄槽１２の内部に保持カゴ２２を着脱自在に吊り下げるようにしており、かつ、本洗浄槽１２内で、その底面、内周面にカゴ２２が接触しないようにしている。
該金型保持カゴ２２はパンチングメタルからなる底部２２ｂより支持腕２２ａを突設し、該支持腕２２ａに設けた上部屈折部２２ｃを絶縁ベース２１上に載置して取り付けている。其の際、絶縁ベース２１の対向する２辺上に取り付けたステンレス製の給電板２３に一部の支持腕２２ａを位置きめ載置している。なお、金型保持カゴ２２の支持腕２２ａは洗浄槽１２の内面と接触して通電しないように絶縁被覆を施しており、給電板２３との接触部分のみ絶縁被覆を設けていない。
【００５２】
上記給電板２３は、絶縁ベース２１内を貫通する長尺な通電ボルト（図示せず）で絶縁ベース２１に固定し、通電ボルトの下端をブスバーに介して電解用変換器のマイナス側電極に接続している。
同様に、上記絶縁ベース２１の他の対向する２辺上に、同様の給電板２７を取り付け、該給電板２７の間に導電支持棒２８を軸架すると共に、給電板２７をブスバーを介して電解用交換気のプラス側電極と接続している。
【００５３】
導電支持棒２８には、長さ方向に一定間隔をあけて取付穴２８ａを設け、これら取付穴２８ａに、上部縦軸２９ａの下端を横方向に２又に分岐させ、これら分岐部２９ｂの先端を下向きに屈曲させ、その下端に円形の電極板２９ｃを揺動可能に取り付けた電極材２９を上下長さ調整可能に取り付け、導電支持棒２８に間隔をあけて並列に吊り下げた電極板２９ｃが金型および保持カゴ２２と接触しないようにしている。
【００５４】
上記電解用変換器は交流の電源器と接続し、電流を交流から直流に変換して電解洗浄用の上記電極と金型保持カゴ２２に電流を供給している。このように、電極材２９を電解用変換器のプラス側、上記金型保持カゴ２２をマイナス側に接続することにより、電解洗浄液からなる本洗浄液Ｑ２を介して通電させて電解方式の洗浄を行うようにしている。
【００５５】
さらに、本洗浄槽１２の底面には、超音波方式の洗浄を行う超音波を発生する振動子（図示せず）を取り付け、本洗浄槽１２内の本洗浄液Ｑ２に超音波振動を発生させるようにしている。
【００５６】
前記本洗浄槽１２では、本洗浄液を所要温度に加熱した後、給電板２３、２７から金型保持カゴ２２と電極材２９とに通電し、本洗浄液Ｑ２を通して、金型保持カゴ２２に保持された金型５の電解洗浄を行うと共に、超音波振動を発生させて超音波洗浄を併用している。
電解方式と超音波方式の洗浄方法を併用した本洗浄槽において、超音波方式の洗浄方法により、金型２１の外部より樹脂カス等の付着物に振動を与えて付着物を破壊すると共に、電解方式の洗浄方法により金属製の金型表面より発生する水素ガスにより金型２１から付着物を浮き上がらせ、付着物を金型２１より剥離して除去する。かつ、其の際、本洗浄液Ｑ２を所要加熱しているため、強い洗浄力を発揮させることができる。
【００５７】
本洗浄槽１２で本洗浄をした金型２１はリンス槽１３に搬送している。このリンス槽１３には、シャワー１９を付設して、エタノールと水の混合液を、保持カゴ２２に金型を保持した状態で塗布してリンス洗浄を行っている。なお、本実施形態ではアルコールと水との混合液でリンス洗浄している。
【００５８】
前記リンス槽１３でリンス洗浄した後に、防錆処理槽１４に移送している。該防錆処理槽１４内に低級アミンからなる水性防錆剤Ｑ３を貯溜しており、該防錆処理槽１５内に保持カゴ２２で保持した金型２１を浸漬して、金型２１の表面に水性防錆剤を塗布している。
本実施形態では低級アミンからなる水性防錆剤としてモルホリンを用いている。
なお、金型で成形する樹脂成形品が表面に防錆剤が付着しても良い製品であれば、さらに、油性防錆剤を貯溜した第２の防錆処理槽へ浸漬している。
【００５９】
前記した実施形態によれば、洗浄される金型は、まず、前洗浄槽１０で前洗浄液Ｑ１により洗浄され、ついで、水洗槽１１で前洗浄液Ｑ２を清浄水を用いて洗い流さした後に、本洗浄槽１２で電解洗浄と超音波洗浄とを併用して本洗浄液Ｑ２で本洗浄がなされる。
その際、前洗浄液Ｑ１による前洗浄と、本洗浄液Ｑ２による電解洗浄および超音波洗浄とで、金型２１に付着している樹脂カスが、耐熱性、耐油性、耐摩耗性を有する樹脂であっても、かつ、微細な凹部のコーナ部に付着していても、確実に除去することができ、洗浄能力を高めることができる。
【００６０】
本発明の金型洗浄装置はは上記実施形態に限定されず、電解洗浄と超音波洗浄とを併用する本洗浄槽として、本出願人の先願に係る特開２００４−１０１３６１号に開示した図５に示す洗浄装置を用いてもよい。
【００６１】
また、本洗浄槽は図５に示す構成としてもよい。該本洗浄槽３５では、導電性金属板からなる底板３０上に樹脂からなる側板３１を四角枠状に立設し、底板３０上に金型２１を直接載置し、底板３０より金型に通電している。側壁３１上に前記実施形態と同様に電極２９を吊り下げた構成としている。底板３０と側板３１より構成する洗浄槽３５内には前記本洗浄液Ｑ２を供給している。
【００６２】
前記第１実施形態は、図６（Ａ）で示す工程からなる。即ち、前洗浄液での前洗浄→清浄水による水洗い→電解洗浄と超音波洗浄による本洗浄→エタノールと水との混合液によるリンス洗浄→防錆塗布からなり、後洗浄液による後洗浄は省略している。
洗浄工程は前記（Ａ）に限定されず、（Ｂ）に示すように、前洗浄後に清浄水による水洗い後にさらに、エタノール単体でリンス洗浄して、前洗浄液を完全に除去した後に、本洗浄をしてもよい。
【００６３】
前記第１実施形態では後洗浄液による後洗浄を行っていないが、金型の樹脂カスが除去が容易でない場合には、図６（Ｃ）に示すように、本洗浄後に清浄水で水洗い後に、後洗浄液を満たした後洗浄槽に浸漬して後洗浄している。この後洗浄でも前洗浄と同様に後洗浄液が煮沸する程度に加熱することが好ましい。後洗浄液による洗浄後は清浄水による水洗い、ついで、エタノール単体でリンス洗浄を行っている。
図６（Ｄ）では、後洗浄液による後洗浄後、水洗いを省略して、エタノールと水との混合液によるリンス洗浄を行っている。
【００６４】
さらに、図７（Ａ）（Ｂ）に示すように、前洗浄液による前洗浄を省略してもよい。
図７（Ａ）では、本洗浄→エタノールと水との混合液によるリンス洗浄→防錆塗布を行っている。
図７（Ｂ）では後洗浄液による後洗浄は行い、本洗浄→清浄液による水洗い→後洗浄液による後洗浄→清浄液による水洗い→エタノール単体でのリンス洗浄→防錆塗布を行っている。
【００６５】
さらに、図７（Ｃ）に示すように、本洗浄→水洗い→リンス洗浄、図７（Ｄ）に示すように、本洗浄→水洗い→乾燥とし、最終工程の防錆塗布を省いてもよい。この図７（Ｄ）が前記導光板、レンズ等の成形用のニッケル金型の洗浄に適している。
【００６６】
本発明の第２実施形態は、フラットディスプレイの導光板を成形するためのニッケル金型を洗浄するものである。洗浄は前記図７（Ｄ）の本洗浄→水洗い→乾燥工程とし、第１実施形態で示した図３、図４に洗浄槽１２内に図２に示す金型保持カゴ２２上にニッケル金型を搭載して洗浄している。よって、第２実施形態の洗浄装置の図示は省略し、図２〜４を用いて説明する。
【００６７】
前記洗浄槽１２内において前記本洗浄液Ｑ２を供給している。該本洗浄液に配合する水は、水道水を蒸留したものである。
本洗浄槽１２に電解洗浄用として吊り下げる電極材２９の下端に取り付ける電極板２９ｃは、チタンの表面を白金で被覆したものを用い、該電極板２９ｃおよび金型保持カゴ２２との間に印加する電圧は約５Ｖとしている。
また、本洗浄槽１２の底面に配置する超音波振動子の振動周波数は４０〜７０ＫＨｚの範囲に設定している。
【００６８】
前記第２実施形態では、金型がニッケル金型で損傷を受け易いため、本洗浄後の水洗いおよび乾燥を行うために搬送せず、洗浄槽１２に浸漬した状態のままとし、本洗浄後は本洗浄液を排出させ、排出後に水洗い用の水を洗浄槽１２に供給している。
この水洗い用の水の供給を２回ほど繰り返した後に、アルコールあるいはアセトンを所要圧力をかけて金型に吹き付けて乾燥させている。  
【００６９】
第２実施形態では、ニッケル金型を本洗浄槽１２内で電解洗浄と超音波洗浄を併用して洗浄する際、洗浄液Ｑ２に含まれる界面活性剤がニッケル被覆面に金属微粒子や樹脂微粒片が付着するのを抑制するバリアを築き、金属微粒子等の異物の付着を防止する。
また、電極材２９を白金としていることにより析出量を減少させ、さらに、超音波振動の周波数を４０〜７０ＫＨｚとしてニッケルメッキ層の金属結合のバランスを崩さないようにしているため、ニッケルメッキ表面にダメージの発生を防止できる。
よって、フラットパネルディスプレイの導光板、携帯電話等の超小型精密なカメラレンズ、車両用のリフレクタ(光反射器)等の微細な樹脂成形品用のニッケル金型の洗浄に最も適したものとなる。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明に係わる洗浄液、洗浄方法および洗浄装置は、実施形態に記載の合成樹脂用金型に限定されず、ゴム成形用、ガラス成形用等の金型の洗浄にも好適に用いることができる。
また、フラットディスプレイの導光板等の精密成形品を成形するためのニッケル金型の洗浄に用いた場合において、高精度の洗浄能力を発揮できるものである。よって、高度化する精密品、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、スパーマルチドライブＲＡＭ、ＨＤＤＶＤピックアップレンズ、ブルーレイディスクピックアップレンズ、液状デイスプレイホログラム・プリズム、デジタルカメラ液状ホログラム・プリズム、携帯電話ＣＣＤカメラレンズ、各種導光板等を成形するための精密部品成形用金型の洗浄に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の実施形態の全体概略図である。
【図２】金型の保持カゴを示す斜視図である。
【図３】本洗浄装置を示す平面図である。
【図４】図３の斜視図である。
【図５】他の実施形態の断面図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｄ）は洗浄工程を示す図面である。
【図７】（Ａ）〜（Ｄ）は他の洗浄工程を示す図面である。
【図８】従来例を示す図面である。
【図９】他の従来例を示す図面である。
【符号の説明】
【００７２】
１０  前洗浄槽
１２  本洗浄槽
１３  リンス槽
１４  防錆処理槽
２１  金型
２２  保持カゴ
Ｑ１  前洗浄液
Ｑ２  本洗浄液
Ｑ３  水性防錆剤
【図１】
2005344210.tif 000003
【図２】
2005344210.tif 000004
【図３】
2005344210.tif 000005
【図４】
2005344210.tif 000006
【図５】
2005344210.tif 000007
【図６】
2005344210.tif 000008
【図７】
2005344210.tif 000009
【図８】
2005344210.tif 000010
【図９】
2005344210.tif 000011