(57)【要約】【課題】  スペーサのチップその他のスクラップが焼成中の板ガラスとセッター間の隙間に侵入できないようにして板ガラスにキズが生じないようした熱処理用治具を提供する。【解決手段】  載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッター１０と、当該セッター１０を複数段として各セッター１０間に板ガラス３０を載置する空間を確保するためにセッター１０を支持するスペーサ２０とを備え前記セッターの熱膨張係数と載置される板ガラスの熱膨張係数との差が１０×１０−７以下にして熱処理用治具を構成する。【選択図】  図１
2005289679.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備える熱処理用治具において、
前記セッターの熱膨張係数と載置される板ガラスの熱膨張係数との差が１０×１０−７以下であることを
特徴とする熱処理用治具。
【請求項２】
載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備える熱処理用治具において、
前記セッターの外周縁及び外周縁周辺を薄く形成することを
特徴とする熱処理用治具。
【請求項３】
前記請求項２に記載の熱処理用治具において
前記セッターの板ガラス載置面と対向する面の外周縁及び外周縁周辺を薄く形成することを
特徴とする熱処理用治具。
【請求項４】
前記請求項２に記載の熱処理用治具において
前記セッターの板ガラス載置面の外周縁及び外周縁周辺を薄く形成することを
特徴とする熱処理用治具。
【請求項５】
載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備える熱処理用治具において、
前記セッターの外周縁及び外周縁周辺の板ガラス載置面と対向する面に凹みを複数形成することを
特徴とする熱処理用治具。
【請求項６】
載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備える熱処理用治具において、
前記セッターの板ガラス載置部は、板ガラスを嵌装可能な凹部からなり、該凹部の深さが熱変形して反りを生じた状態の板ガラスを収容できる深さに形成されていることを
特徴とする熱処理用治具。
【請求項７】
載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備える熱処理用治具において、
前記板ガラス載置面上におけるスペーサの配設位置と板ガラス載置部との間に当該スペーサの高さより低い平面形状をＬ型とした障壁を設けたことを
特徴とする熱処理用治具。
【請求項８】
載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備える熱処理用治具において、
前記板ガラス載置部の外周にスペーサの高さより低い板ガラス載置部を包囲する形状の障壁を設けたことを
特徴とする熱処理用治具。
【請求項９】
前記請求項８に記載の熱処理用治具において、
前記障壁が多重に設けられていることを
特徴とする熱処理用治具。
【請求項１０】
載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備える熱処理用治具において、
前記板ガラス載置部の周辺に凸部と凹部とからなるトラップパターンを設けたことを
特徴とする熱処理用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板ガラスを焼成炉内で載置するための熱処理用治具に関し、特に、熱処理用治具の性質及び形状に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等における厚膜電極、蛍光体層、電極被覆用および隔壁用のガラス層はガラス基板上にスクリーン印刷等で形成後焼成することで完成体となる。このようなガラス基板である板ガラスを焼成炉内で載置するための従来の熱処理用治具は、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、板ガラス３０を載置する略平坦な載置部を有するセッター１０と、当該セッター１０を複数段として各セッター１０間に板ガラス３０を載置する空間を確保するためにセッター１０を支持するスペーサ２０とを備える構成である。この熱処理用治具を用いて、セッター１０の載置部に熱処理対象となる板ガラス３０を載置し、セッターの載置面の四隅付近にそれぞれスペーサ２０を、すなわち、４つのスペーサ２０を配置する。さらに、別のセッター１０をこれら４つのスペーサ２０の上に乗せ、別のセッター１０の載置部に板ガラス３０を載置する。以降同じ動作を繰り返し所望の段数に組み上げ、焼成炉に搬入する。焼成炉への搬入後、焼成を行う。
【０００３】
このような板ガラスを焼成炉内で載置するための熱処理用治具としては、特開２００２−１６０９３１号公報に開示されるものもある。この開示される熱処理用治具は、図１１に示すように、セッター１０及びスペーサ２０が熱膨張係数が１５×１０−７／℃以下の結晶化ガラスからなり、多段に組み上げられた場合に上下段のセッター１０間に介在するスペーサ２０の長手方向の上面が上段のセッター１０の下面の平行辺の両端端部に面当接して上段のセッター１０を支持する構成である。この構成によれば、セッター１０及びスペーサ２０が熱膨張係数が１５×１０−７／℃以下の結晶化ガラスからなって焼成炉内で高温に曝されてもセッター１０及びスペーサ２０に熱変形がなく、また、上下段のセッター１０間に介在するスペーサ２０の長手方向の上面が上段のセッター１０の下面の平行辺の両端端部に面当接して上段のセッター１０を支持しており、長時間上段のセッター１０の平坦性を維持させることができる。
【特許文献１】特開２００２−１６０９３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記従来の熱処理用治具では、焼成前のセッター１０をスペーサ２０を介して複数段に積み上げて焼成炉に搬入する等の移動時に、セッター１０間を支えているガラス製のスペーサ２０に局所的に力が加わり、スペーサ２０が欠けてチップを生じる場合があり、このチップ（ガラスチップ）は焼成炉内のエアーにより移動する。一方、焼成時には、板ガラスの上面・下面の温度差により当該板ガラスが上面方向に反り返り、板ガラス３０とセッター１０間に隙間による空間が生じる。この隙間空間に前記エアーにより移動可能となっているチップやその他のスクラップが侵入すると、熱膨張係数の低いセッターも高温となって反り返るか、又は、板ガラスの内部の温度差がなくなって反り返りが減じてきて、前記板ガラス３０とセッター１０間に空間が収束してきて当該チップが板ガラス３０とセッター１０とに挟まれた状態となるため、セッター１０と板ガラス３０の伸縮差によってセッター１０がほとんど伸縮しない過程で板ガラス３０が伸びる時と縮む時に当該スクラップによるスクラッチキズを生じる課題を有する。
【０００５】
そこで本発明は前記課題を解決するためになされたものであり、スペーサのチップその他のスクラップが板ガラスとセッター間の隙間に侵入して生じるキズを作ることなく板ガラスを焼成中に適切に載置する熱処理用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記セッターの熱膨張係数と載置される板ガラスの熱膨張係数との差が１０×１０−７以下であるものである。このように本発明においては、前記セッターの熱膨張係数と載置される板ガラスの熱膨張係数とが略同一であるので、板ガラスを焼成すると始めは板ガラス内の温度分布が異なって反りが生じるが、この反りに対応するように同じ熱膨張係数を有するセッターも同様な反りが生じて密着性を維持したまま焼成が完了するため、板ガラスの反りによる板ガラスとセッターの離間がそれほど広がらず、仮にスペーサのチップが生じて熱風により焼成時に移動したとしてもかかる離間空間にチップが入りこむ可能性が極めて小さくなり、板ガラスの損傷を極めて高い確率で防止することができる。また、スペーサのチップが仮に板ガラスとセッター間に混入したとしても両部材の伸縮性に差がないため当該伸縮によるスクラッチキズの発生を低減できる。
【０００７】
また、本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記セッターの外周縁及び外周縁周辺を薄く形成するものである。このように本発明においては、前記セッターの外周縁及び外周縁周辺を薄く形成するので、板ガラスを焼成すると始めは板ガラス内の温度分布が異なって反りが生じるが、この反りに対応するように外周縁及び外周縁周辺を薄く形成されたセッターも同様な反りが生じて密着性を維持したまま焼成が完了するため、板ガラスの反りによる板ガラスとセッターの離間がそれほど広がらず、スペーサのチップが生じて熱風により焼成中に移動したとしてもかかる離間空間にチップが入りこむ可能性が極めて小さくなり、板ガラスの損傷を極めて高い確率で防止することができる。
【０００８】
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記セッターの板ガラス載置面と対向する面の外周縁及び外周縁周辺を薄く形成するものである。このように本発明においては、前記セッターの外周縁及び外周縁周辺の内載置面の対向面を薄く形成しており、離間空間にチップが入り込み難くしつつ、板ガラス載置面の平坦を維持している。
【０００９】
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記セッターの板ガラス載置面の外周縁及び外周縁周辺を薄く形成するものである。このように本発明においては、前記セッターの外周縁及び外周縁周辺の内載置面を薄く形成しており、離間空間にチップが入り込み難くしつつ、さらに、傾斜を設けて薄く形成した場合にはスペーサのチップがセッターの載置面から転がり落ちるため板ガラスの損傷をより防止することができる。
【００１０】
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記セッターの外周縁及び外周縁周辺の板ガラス載置面と対向する面に凹みを複数形成するものである。
【００１１】
また、本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、セッターの板ガラス載置部は板ガラスを嵌装可能な凹部からなり、該凹部の深さが熱変形して反りを生じた状態の板ガラスを収納できる深さに形成されているものである。このように本発明においては、板ガラスを収納できる嵌装可能な凹部を形成するので、板ガラスをかかる凹部で焼成した場合に、板ガラスに反りが生じて板ガラスと載置面との隙間空間が形成されていても、かかる隙間空間にスペーサのチップの侵入するための入り口が板ガラスと凹部との小さな隙間であって事実上当該チップが侵入することができない。
【００１２】
また、本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記板ガラス載置面上におけるスペーサの配設位置と板ガラス載置部との間で当該スペーサの高さより低い平面形状をＬ型とした障壁を設けているものである。このように本発明においては、前記スペーサと板ガラス載置部との間でスペーサの高さより低い平面形状をＬ型とした障壁を形成しているので、焼成時の板ガラスとセッターの板ガラス載置面間の隙間の中で最も大きな隙間となる部分からのスペーサのチップの侵入を防止すべく障壁を形成しており、かかる隙間空間へのチップの侵入を大幅に低減することができる。
【００１３】
また、本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記板ガラス載置部の外周にスペーサの高さより低い板ガラス載置部を包囲する形状の障壁を設けているものである。このように本発明においては、載置部の周りに連続して包囲する形状の障壁を設けることで、あるＬ型障壁と他のＬ型障壁との間の障壁が形成されていない部分にも障壁が形成されよりチップが侵入することなく、チップの侵入を防止することができる。
【００１４】
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記障壁が多重に設けられているものである。このように本発明においては、ある部分の障壁の一部が破損した場合であってもチップの侵入を防止することができる。
【００１５】
また、本発明に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、その板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッターと、当該セッターを複数段として各セッター間に板ガラスを載置する空間を確保するためにセッターを支持するスペーサとを備え、前記板ガラス載置部の周辺に凸部と凹部とからなるトラップパターンを設けたものである。このように本発明においては、前記板ガラス載置部の周辺に凸部と凹部とからなるトラップパターンを設けているので、焼成により板ガラスに反りが生じたとしても、トラップパターンによりスペーサのチップが拘止されるためトラップパターン以外の載置面上にチップが存在せず、板ガラスと載置面とに生じる隙間空間に侵入可能なチップがなく、板ガラスにキズが生じない。
【００１６】
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記トラップパターンが板ガラス載置部周辺に凸部を複数形成してなるものである。このように本発明においては、板ガラス載置部周辺に凸部を複数形成してなるようにトラップパターンを構成しているので、スペーサのチップを板ガラス方向に移動することを抑制しつつ、スペーサのチップを拘止することができる。
【００１７】
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記トラップパターンが載置部周辺に凹部を少なくとも１つ形成してなるものである。このように本発明においては、凹部を少なくとも１つ形成してトラップパターンを構成するので、凸部を形成するのとは異なり、板ガラスの配置・取り外しを容易に行えることができると共に、スペーサのチップの侵入を防止することができる。
【００１８】
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記トラップパターンが板ガラス載置部周辺に凸部及び凹部を形成してなるものである。このように本発明においては、凸部及び凹部とからなるトラップパターンを構成することもでき、凸部及び凹部の長所を兼ね備えることができる。板ガラス載置部の内側外周に凹部を複数設け、板ガラス載置部の外側外周に凸部を複数設けることで、載置部への配置は容易にしつつ、外側外周の複数の凸部によりスペーサのチップを板ガラス方向に移動することを抑制し、スペーサのチップを拘止し、たとえ、外側外周の凸部によりチップが防止することができなかった場合であっても内側外周の凹部により確実にチップを拘止することができる。
【００１９】
また、本発明に係る熱処理用治具は必要に応じて、前記凸部及び／又は凹部を前記スペーサ周辺に形成してトラップパターンとするものである。このように本発明においては、スペーサに対しても前記凸部及び／又は凹部を形成してトラップパターンを構成することもでき、積極的にスペーサのチップを拘止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（本発明の第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係る熱処理用治具について図１に基づき説明する。図１は本実施形態に係る複数段に積み上げられた複数の熱処理用治具の任意の１つの熱処理用治具の各状態を示す。なお、使用する図面では説明の便宜上実際のセッター、スペーサ及びＰＤＰ用ガラス基板である板ガラスと異なる縮尺で記載している（以下の図面でも同様）。
【００２１】
本実施形態に係る熱処理用治具は、載置される板ガラス３０の熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッター１０と、このセッター１０を複数段として各セッター１０間に板ガラス３０を載置する空間を確保するためにセッター１０を支持するスペーサ２０とを備え、前記セッター１０の熱膨張係数と載置される板ガラス３０の熱膨張係数とが略同一の構成である。本実施形態に係る熱処理用治具も、従来の熱処理用治具を示した図１０と同様に示される。
【００２２】
前記セッター１０は従来のセッターと比べ特に形状面で特別な差異はなく、熱膨張係数が熱処理の対象となる板ガラス３０の熱膨張係数と略同一である点が特徴となる。このセッター１０は、結晶化ガラスからなり、この結晶化ガラスは一般的には特殊な組成のガラスを溶融、成形した後制御された条件のもとで再加熱を行い所望の微細結晶を均一に析出させて、もとのガラス状態では得られない優れた特性をもたせたものである。優れた特性の1つとして強度特性が挙げられ、他の特性として耐酸性、耐アルカリ性を有しており、焼成炉で焼成する板ガラス３０を載置する熱処理用治具として繰り返し使用できる。
【００２３】
前記スペーサ２０は、セッター１０を支持しており、直接セッター１０と当接している接触部分は平坦に形成されている。また、このスペーサ２０は、図１０に示すように、セッター１０の板ガラス載置面の四隅付近にそれぞれ配置されてセッター１０を支持している。スペーサ２０もセッター１０と同一の結晶化ガラスからなる。
【００２４】
次に、本実施形態に係る熱処理用治具を用いて板ガラス３０を載置し実際に焼成した場合について説明する。セッター１０の板ガラス載置部に熱処理対象となる板ガラス３０を載置し、セッター１０の載置面の四隅付近にそれぞれスペーサ２０を、すなわち、４つのスペーサ２０を配置する。さらに、別のセッター１０をこれら４つのスペーサ２０の上に乗せ、別のセッター１０の板ガラス載置部に板ガラス３０を載置する。以降同じ動作を繰り返し所望の段数に積み上げ、焼成炉に搬入する。ここで、積み上げ及び搬入に際しては、でき得る限りスペーサ２０にチップが生じないように慎重に行う。焼成炉への搬入には一般的にはベルトコンベアが用いられている。焼成炉への搬入後、焼成を行う。図１（ａ）は複数段に積み上げられた複数の熱処理用治具の任意の１つの熱処理用治具の焼成前の状態を示す。焼成により、板ガラス３０のセッター１０と接触していない面から加熱され板ガラス３０の内部やセッター１０に接している部分は中々温度上昇がなされず同一板ガラス３０において温度分布が異なるといった現象が生じて板ガラス３０の外周が上面方向に反りが生じる。同時に熱膨張係数が略同一なセッター１０も内部の温度差により変形していき反りが生じる。図１（ｂ）（ｃ）は複数段に積み上げられた複数の熱処理用治具の任意の１つの熱処理用治具の焼成中の時間経過に沿った２つの状態を示す。この図１（ｂ）と図１（ｃ）との比較から分かるように、本実施形態形態においては前記セッター１０の熱膨張係数と載置される板ガラス３０の熱膨張係数とが略同一となっているため、板ガラス３０に反りが生じれば、板ガラス３０の反りと同様な反りがセッター１０にも生じる。なお、板ガラス３０は加工対象物であり、セッター１０はこの加工対象物である板ガラス３０を焼成処理中載置するものであるため、通常であれば、板ガラス３０の熱膨張係数は要求仕様により制限され、セッター１０の熱膨張係数を調整することとなる。熱膨張係数を調整するには、ガラスの組成を変更すれば実現することができる。
【００２５】
このように本実施形態に係る熱処理用治具によれば、前記セッター１０の熱膨張係数と載置される板ガラス３０の熱膨張係数とが略同一にある構成であるので、板ガラス３０を焼成すると始めは板ガラス３０内の温度分布が異なって反りが生じるが、この反りに対応するように同じ熱膨張係数を有するセッター１０も同様な反りが生じて密着性を維持したまま焼成が完了するため、板ガラス３０の反りによる板ガラス３０とセッター１０の離間がそれほど広がらず、仮に、スペーサ２０のチップが生じて熱風により焼成時に移動したとしてもかかる離間空間にチップが入りこむ可能性が極めて小さくなり、板ガラス３０の損傷を極めて高い確率で防止することができる。また、スペーサ２０のチップが仮に板ガラス３０とセッター１０の隙間に混入しても両部材の熱膨張係数がほとんど同一であることから、伸縮性にも差がないため、スクラッチキズとして認識できないレベルのキズに緩和できる。
【００２６】
（本発明の第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係る熱処理用治具について図２または図３に基づき説明する。図２は本実施形態に係る熱処理用治具の部分斜視図及び要部拡大図、図３は図２の熱処理用治具の要部拡大図の他の例を示す。なお、図２ではセッター１０と板ガラス３０との位置関係を明確にすべくセッター１０を一部切断して作図がなされている。
【００２７】
前記図２において本実施形態に係る熱処理用治具は、載置される板ガラスの熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッター１０と、このセッター１０を複数段として各セッター１０間に板ガラス３０を載置する空間を確保するためにセッター１０を支持するスペーサ２０とを備え、前記セッター１０の板ガラス載置面の対向面の内、板ガラス載置領域の外側領域であるセッターの外周縁及び外周縁周辺１０ａを薄く形成する構成である。
【００２８】
前記セッター１０の板ガラス載置面の対向面を薄く形成するとは、セッター１０の板ガラス載置面となる表面は従前どおり平坦を維持し、載置面の対向面となる裏面を削って薄く形成することである。
【００２９】
次に、本実施形態に係る熱処理用治具を用いて板ガラス３０を載置し実際に焼成した場合について説明する。なお、セッター１０を複数段積み上げて焼成炉へ搬入する工程については前記第１の実施形態と同じなので説明を省略する。焼成炉への搬入後、焼成を行う。焼成により、板ガラス３０は内部の温度差により変形していき反りが生じる。一方、セッター１０は熱膨張係数が板ガラスより低いけれでも板ガラス載置領域の外側領域である外周縁及び外周縁周辺が薄く形成されているため、セッター１０も内部の温度差により変形していき反りが生じる。従って、板ガラス３０とセッター１０に同様な反りが生じて密着性を維持したまま焼成が完了するため、板ガラス３０の反りによる板ガラス３０とセッター１０の離間がそれほど広がらず、この間に仮にスペーサ２０のチップが生じて熱風により焼成中に移動したとしてもかかる隙間空間にチップが入りこむ可能性が極めて小さくなり、板ガラス３０の損傷を極めて高い確率で防止することができる。
【００３０】
なお、本実施形態に係る熱処理用治具は、前記セッター１０の板ガラス載置面の対向面の内セッター１０の外周縁及び外周縁周辺１０ａを薄く形成したが、前記セッター１０の板ガラス載置面を薄く形成することもできる。この場合もセッター１０の板ガラス載置面の対向面を薄く形成した場合と同様に、板ガラス３０の損傷を極めて高い確率で防止することができると共に、板ガラス載置領域の外側領域に傾斜面が形成されることになりスペーサ２０のチップが当該傾斜面から転がり落ちるようになるため板ガラス３０の損傷をより防止することができる。
【００３１】
また、本実施形態に係る熱処理用治具は図２に示すように傾斜を設けてセッター１０の板ガラス載置面の対向面を薄く形成したが、図３（ａ）又は（ｂ）に示すように、セッター１０の板ガラス載置面の対向面にストライプ状の凹み１０１を形成してセッター１０の板ガラス載置面の対向面を薄く形成することもでき、この場合も同様な効果を得ることができる。
【００３２】
以上のように本実施形態では、セッター１０の外周縁及び外周縁周辺１０ａを薄く形成することにより板ガラス３０の反りに対応してセッター１０を反るようにしたが、薄くすることだけでなく、厚く形成し、又は薄く形成することと厚く形成することとを組み合わせることにより柔軟にセッター１０の反りを調整することができる。セッター１０を薄く形成するためには、例えば、同一厚さのセッターに対して研磨を施すことにより薄く形成することができる。また、前記図３（ａ）ではセッター１０の外周縁及び外周縁周辺１０ａのみに凹み１０１を形成したが、図３（ｂ）のように外周縁及び外周縁周辺１０ａ以外の部分に凹みを形成してセッター１０の反りを調整することもできる。但し、この場合は凹みの大きさを異ならせる必要がある。
【００３３】
（本発明の第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係る熱処理用治具について図４に基づき説明する。図４は本実施形態に係る板ガラスを載置した熱処理用治具の断面図を示す。
【００３４】
前記図４の本実施形態に係る熱処理用治具は、載置される板ガラス３０の熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッター１０と、当該セッター１０を複数段として各セッター１０間に板ガラス３０を載置する空間を確保するためにセッター１０を支持するスペーサ２０とを備え、セッター１０の板ガラス載置面に板ガラス３０を嵌装可能な凹みである嵌装部１２を形成する構成である。
【００３５】
前記嵌装部１２は板ガラス載置部に相当するもので、板ガラス３０が嵌装可能に板ガラス３０より若干大きめに縦横を形成され、深さも反りが生じた状態の板ガラス３０を完全に収納できる深さに形成されている。具体的には板ガラス３０が加熱により反りが生じた場合で板ガラス全体の高さが反りのない通常の板ガラス全体の高さよりも大きくなった場合でもその高さ寸法をカバーできる大きさの深さとなるように形成されている。嵌装部１２の深さが小さいと板ガラス３０に反りが生じた時板ガラス３０の外周部が嵌装部１２から突出状態となるので、セッター１０の嵌装部１２周辺部分が嵌装部１２と板ガラス３０との間に形成される隙間空間へのガイドとなってスペーサ２０のチップが転がり落ちる可能性が生じるため、反りが生じた状態の板ガラス全体の高さより深い嵌装部１２とした。また、嵌装部１２の底面は、前記板ガラス載置部を構成する。
【００３６】
次に、本実施形態に係る熱処理用治具を用いて板ガラス３０を載置し実際に焼成した場合について説明する。複数段のセッター１０の積み上げ及び焼成炉への搬入については前記第１の実施形態と同じなので説明を省略する。図４（ａ）は複数段に積み上げられた複数の熱処理用治具の任意の１つの熱処理用治具の焼成前の断面図を示す。焼成炉への搬入後、焼成を行う。図４（ｂ）に示すように焼成により、板ガラス３０は内部の温度差により変形していき反りが生じる。反りが生じても板ガラス３０で最高位置となる上面の各辺ですら嵌装部１２に完全に埋没した状態となっている。従って、スペーサ２０のチップがセッター１０の板ガラス載置面と板ガラス３０との間に侵入するための入り口は極小となる。図４（ｂ）は複数段に組み上げられた複数の熱処理用治具の任意の１つの熱処理用治具の焼成中の断面図を示す。
【００３７】
このように本実施形態に係る熱処理用治具によれば、セッター１０の板ガラス載置面に板ガラス３０を嵌装可能な凹みである嵌装部１２を形成するので、板ガラス３０をかかる嵌装部１２内に載置して焼成した場合に、板ガラス３０に反りが生じて板ガラス３０とセッター１０のガラス載置面との間に隙間空間が形成されていても、かかる空間にスペーサ２０のチップの侵入するための入り口が板ガラス３０と嵌装部１２との小さな隙間であって事実上当該チップが侵入することがない。
【００３８】
（本発明の第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態に係る熱処理用治具について図５ないし図７に基づき説明する。図５は本実施形態に係る熱処理用治具の上面図、要部拡大斜視図及び要部拡大図、図６は本実施形態に係る熱処理用治具の要部斜視図、図７は本実施形態に係る熱処理用治具の要部斜視図である。
【００３９】
前記図５において前記本実施形態に係る熱処理用治具は、載置される板ガラス３０の熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部（板ガラス載置領域）を有するセッター１０と、このセッター１０を複数段として各セッター１０間に板ガラス３０を載置する空間を確保するためにセッター１０を支持するスペーサ２０とを備え、さらにセッター１０の板ガラス載置面には前記スペーサ２０と板ガラス載置部との間の位置にスペーサ２０の高さより低い平面形状をＬ型とした障壁４１を形成している。
【００４０】
前記Ｌ型障壁４１は、図５においては、板ガラスを保護するように形状がＬ型で高さが板ガラスの厚みよりも大きな構造に形成されている。ここで、Ｌ型障壁４１の高さがスペーサ２０の高さより低いのはスペーサ２０と同一又はそれよりも高い場合には、かかるＬ型障壁４１によりチップが生じるようになるからである。
【００４１】
次に、本実施形態に係る熱処理用治具を用いて板ガラス３０を載置し実際に焼成した場合について説明する。複数段のセッター１０の積み上げ及び焼成炉への搬入については前記第１の実施形態と同じなので説明を省略する。焼成炉への搬入後、焼成を行う。焼成により、板ガラス３０は内部の温度差により変形していき反りが生じる。反りが生じる場合に板ガラス３０で最高位置となる上面の各辺の内特に各頂点が他の部分より高くなり、すなわち、この部分がスペーサ２０のチップの反りにより形成される板ガラス３０とセッター１０の板ガラス載置面との隙間空間となってチップが侵入し易い部分となるが、この部分の板ガラス３０を保護するようにＬ型障壁４１が形成され、チップの侵入を阻止する。
【００４２】
このように実施形態に係る熱処理用治具によれば、焼成時の板ガラス３０の反りによって生じる板ガラス３０とセッター１０の板ガラスが載置面間の隙間の中で最も大きな隙間となる部分からのスペーサ２０のチップの侵入を防止すべくＬ型障壁４１を形成しており、かかる隙間空間へのチップの侵入を大幅に低減させることができる。
【００４３】
なお、このＬ型障壁４１は、板ガラス載置部の周りを包囲するような枠型に形成して板ガラス全周でのチップ侵入を防止することも可能である。さらには、図６に示すように、この枠型障壁４２を多重に形成することにより上方から飛来したチップの侵入を防止することもできる。また、このように複数重に枠型障壁４２を形成した場合には、１つの枠型隔壁４２が一部破損した状態であっても他の枠型障壁４２によってチップ侵入を防止することができる。
【００４４】
また、図７に示すようにスペーサ２０を包囲するような環状パターンで障壁４３を形成することもでき、この場合直接的にスペーサ２０のチップの移動を制限することができる。なお、このようなスペーサ２０を包囲するパターンの障壁４３については、スペーサ２０のチップが障壁パターン内で貯まるので、セッタ１０ーの側面方向等に排出口を形成することが望ましい。
【００４５】
（本発明の第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態に係る熱処理用治具について図８または図９に基づき説明する。図８は本実施形態に係る熱処理用治具の部分斜視図及びその要部拡大図、図９は図８の熱処理用治具の要部拡大図の他の例を示す。
【００４６】
本実施形態に係る熱処理用治具は、載置される板ガラス３０の熱膨張係数以下の熱膨張係数を有し、板ガラス載置面に略平坦な板ガラス載置部を有するセッター１０と、このセッター１０を複数段として各セッター１０間に板ガラス３０を載置する空間を確保するためにセッター１０を支持するスペーサ２０とを備え、載置対象物でないスペーサ２０のチップ等のスクラップを拘止するためのトラップパターンを形成している構成である。
【００４７】
前記トラップパターンは、例えば図８に示すように板ガラス載置部周辺に板ガラスの厚さ寸法よりも低い高さの凸部５１を複数形成して構成することができる。この凸部５１は、別途凸部を作成しておきセッター１０に配置することでも形成することができる。
【００４８】
次に、本実施形態に係る熱処理用治具を用いて板ガラス３０を載置し実際に焼成した場合について説明する。複数段のセッター１０の積み上げ及び焼成炉への搬入につていは前記第１の実施形態と同じなので説明を省略する。焼成炉への搬入後、焼成を行う。焼成により、板ガラス３０は内部の温度差により変形していき反りが生じる。焼成により板ガラス３０に反りが発生することで、板ガラス３０とセッター１０の板ガラス載置面に隙間が生じたとしても、トラップパターン５１によりスペーサ２０のチップが拘止されるため、板ガラス３０とセッター１０の板ガラス載置面との隙間空間に侵入可能なチップがなくなる。従って、チップによって板ガラス３０にキズが生じるのを防止できる。なお、トラップパターンは１本だけでもよいが複数本形成した場合には、スペーサ２０のチップを板ガラス３０方向に移動することを抑制しつつ、スペーサ２０のチップを拘止することができる。
【００４９】
なお、凸部５１に代えて、図９（ａ）に示すような板ガラス載置部周辺に凹部５２を形成してトラップパターンを構成することもできる。この場合は、板ガラス３０の配置・取り外しを容易に行えることができると共に、スペーサ２０のチップ侵入を防止することができる。この凹部５２は、例えば、セッター１０の凹部５２の相当部分を切削することにより形成することができる。
【００５０】
また、本実施形態に係る熱処理用治具においては、板ガラス載置部周辺に凸部５１及び凹部５２を形成してなるようにトラップパターンを構成することもでき、凸部５１及び凹部５２の長所を兼ね備えることができ、例えば、図９（ｂ）に示すように板ガラス載置部の内側外周に凸部５１を１本設け、板ガラス載置部の外側外周に凹部５２を複数設けることで、外側外周の複数の凹部５２により確実にチップを拘止し、仮にこの凹部５２より拘止できない場合であっても内側外周の凸部５１により凹部５２で拘止できなかったチップを板ガラス３０方向に移動させないようにできる。
【００５１】
また、本実施形態に係る熱処理用治具においては、載置部の内側外周に凹部５２を複数本設け、板ガラス載置部の外側外周に凸部５１を１本設けることで、外側外周の凸部５１によりチップが板ガラス３０方向に移動することを抑止し、仮にこの凸部５１を乗り越えてきた場合であっても内側外周の凹部５２によりチップが拘止できる。さらに、この場合には凸部５１が外側に形成されているため、板ガラス３０の板ガラス載置部への配置が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る複数段に積み上げられた複数の熱処理用治具の任意の１つの熱処理用治具の各状態である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係る熱処理用治具の部分斜視図及び要部拡大図である。
【図３】図２の熱処理用治具の要部拡大図の他の例である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係る板ガラスを載置した熱処理用治具の断面図である。
【図５】本発明の第４の実施形態に係るＰＤＰの背面板の上面図、要部拡大斜視図及び要部拡大図である。
【図６】本発明の第４の実施形態に係る熱処理用治具の要部斜視図である。
【図７】本発明の第４の実施形態に係る熱処理用治具の要部斜視図である。
【図８】本発明の第５の実施形態に係る熱処理用治具の部分斜視図及びその要部拡大図
【図９】図８の熱処理用治具の要部拡大図の他の例である。
【図１０】従来の熱処理用治具の上面図及び使用態様図
【図１１】従来の熱処理用治具の全体斜視図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０  セッター
１０ａ  外周縁及び外周縁周辺
１２  嵌装部
２０  スペーサ
３０  板ガラス
４１  Ｌ型障壁
４２  枠型障壁
４３  環状障壁
５１  凸部
５２  凹部
１０１  凹み
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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