(57)【要約】【課題】  シール性の向上及び安定を図る。【解決手段】  容器本体２３と蓋体２４との間に設けられた環状の支持片３５と、支持片３５に一体的に設けられ蓋体２４側へ延出して蓋体２４側の壁面に当接して蓋体２４側をシールする蓋体側シール用リップ部３６と、支持片３５に一体的に設けられ容器本体２３側へ延出して容器本体２３側の壁面に当接して容器本体２３側をシールする容器本体側シール用リップ部３７と、支持片３５の容器本体２３側又は蓋体２４側に一体的に設けられ容器本体２３側又は蓋体２４側の壁面に当接して支持片３５を支持する支持用リップ部３８とを備えて構成した。蓋体側シール用リップ部３６の中間位置には、蓋体側シール用リップ部３６の先端の壁面への密着を増加させる加勢部３６Ａを設けた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体と蓋体との間に設けられた環状の支持片と、
当該支持片に一体的に設けられ上記蓋体側へ延出して当該蓋体側の壁面に当接して当該蓋体側をシールする蓋体側シール用リップ部と、
上記支持片に一体的に設けられ上記容器本体側へ延出して当該容器本体側の壁面に当接して当該容器本体側をシールする容器本体側シール用リップ部と、
上記支持片の上記容器本体側又は蓋体側に一体的に設けられ上記容器本体側又は蓋体側の壁面に当接して上記支持片を支持する支持用リップ部と
を備えて構成されたことを特徴とするシール部材。
【請求項２】
請求項１に記載のシール部材において、
上記容器本体側に環状溝が設けられ、上記支持片が、当該環状溝の内側壁と外側壁との間に架け渡して設けられたことを特徴とするシール部材。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のシール部材において、
上記蓋体側シール用リップ部が、上記支持片から上側へかつ外側へ湾曲させて形成されたことを特徴とするシール部材。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のシール部材において、
湾曲して形成された上記蓋体側シール用リップ部の中間位置に、上記容器本体に嵌合された状態の上記蓋体側に当接して上記蓋体側シール用リップ部の先端の壁面への密着を増加させる加勢部を設けたことを特徴とするシール部材。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のシール部材において、
上記容器本体側シール用リップ部が、上記支持片から下側へかつ外側へ湾曲させて形成されたことを特徴とするシール部材。
【請求項６】
請求項５に記載のシール部材において、
上記容器本体側シール用リップ部の背面位置に、上記容器本体側の壁面に支持されて上記容器本体側シール用リップ部を押してその先端の壁面への密着を増加させる加勢用肉厚部を設けたことを特徴とするシール部材。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載のシール部材において、
上記支持用リップ部が、上記支持片に一体的に設けられた状態で上記容器本体側の環状溝内へ延出して設けられ、当該環状溝の内側壁の壁面に当接して上記支持片を支持することを特徴とするシール部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、内部をクリーンな状態に保つために容器本体と蓋体との間をシールするシール部材に関し、特に、半導体ウエハ、マスクガラス等の、塵埃等の侵入を嫌う薄板を輸送、保管等する薄板収納容器に用いて好適なシール部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等の薄板を輸送、保管する際に使用する薄板収納容器は、例えば特許文献１のように、キャリヤ、容器本体、蓋体、押え部材、シール部材などを備えて構成されたものである。そして、シール部材は、図２に示すように構成されている。
【０００３】
このシール部材１は、エンドレス部２と、突片３と、嵌合リブ４と位置決め用突起５とから構成されている。シール部材１のエンドレス部２は、蓋体６の嵌合保持溝７に嵌合されて支持されている。このエンドレス部２で突片３が容器本体８側へ延出して支持され、突片３の先端が容器本体８に当接して支持されている。
【０００４】
また、特許文献２に示すようなシール部材もある。このシール部材１１は、図３に示すように、突部１２と、膨出部１３と、上端部１４と、下端部１５とから構成されている。
【０００５】
シール部材１１は、ボトムケース体１６の挿入溝１７に挿入されている。挿入溝１７に挿入されたシール部材１１は、その突部１２と膨出部１３とが、挿入溝１７の内壁に当接して支持されている。シール部材１１の下端部１５は、挿入溝１７の底面に、外側へ撓んだ状態で当接して、この部分をシールしている。シール部材１１の上端部１４は、蓋体１８の挿入溝１９に挿入された状態で、挿入溝１９の底面に、外側へ撓んだ状態で当接して、この部分をシールしている。
【特許文献１】特開２００２−６８３６４号公報
【特許文献２】特開平１０−１８４９２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１のシール部材１の場合は、エンドレス部２に支持された突片３が、突片３自身の持つ弾力性で容器本体８に当接している。このため、熱等によって突片３の弾力性が弱くなると、突片３の先端を容器本体８に押さえつける力が弱くなり、シール性が低下してしまうという問題点がある。
【０００７】
また、上記特許文献２のシール部材１１の場合も同様に、熱等によって上端部１４及び下端部１５の弾力性が弱くなると、上端部１４の先端を蓋体１８の挿入溝１９に、下端部１５の先端をボトムケース体１６の挿入溝１７に押さえつける力が弱くなり、シール性が低下してしまうという問題点がある。
【０００８】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、熱等によるシール性の低下を効率的に抑えることができるシール部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために第１の発明に係るシール部材は、容器本体と蓋体との間に設けられた環状の支持片と、当該支持片に一体的に設けられ上記蓋体側へ延出して当該蓋体側の壁面に当接して当該蓋体側をシールする蓋体側シール用リップ部と、上記支持片に一体的に設けられ上記容器本体側へ延出して当該容器本体側の壁面に当接して当該容器本体側をシールする容器本体側シール用リップ部と、上記支持片の上記容器本体側又は蓋体側に一体的に設けられ上記容器本体側又は蓋体側の壁面に当接して上記支持片を支持する支持用リップ部とを備えて構成された。
【００１０】
上記構成により、支持片が容器本体と蓋体との間に設けられた状態で、蓋体側シール用リップ部が蓋体側に、容器本体側シール用リップ部が容器本体側に延出して蓋体側及び容器本体側を各リップ部でそれぞれシールする。そして、支持用リップ部が容器本体側又は蓋体側の壁面に当接して直接的に支持片を支持して、全体を支持する。これにより、容器本体と蓋体との間を確実にシールする。
【００１１】
第２の発明に係るシール部材は、第１の発明に係るシール部材において、上記容器本体側に環状溝が設けられ、上記支持片が、当該環状溝の内側壁と外側壁との間に架け渡して設けられたことを特徴とする。
【００１２】
上記構成により、支持片が環状溝の内側壁と外側壁との間に架け渡して設けられた状態で、環状溝内に容器本体側シール用リップ部が挿入される。これにより、容器本体側シール用リップ部は環状溝の内壁に当接してシールする。
【００１３】
第３の発明に係るシール部材は、第１又は第２の発明に係るシール部材において、上記蓋体側シール用リップ部が、上記支持片から上側へかつ外側へ湾曲させて形成されたことを特徴とする。
【００１４】
上記構成により、支持片から上側へかつ外側へ湾曲させて形成された蓋体側シール用リップ部の先端が巻き込むようにして蓋体の壁面に当接し、この部分でシールする。
【００１５】
第４の発明に係るシール部材は、第１ないし第３の発明のいずれかに係るシール部材において、湾曲して形成された上記蓋体側シール用リップ部の中間位置に、上記容器本体に嵌合された状態の上記蓋体側に当接して上記蓋体側シール用リップ部の先端の壁面への密着を増加させる加勢部を設けたことを特徴とする。
【００１６】
上記構成により、湾曲して形成された蓋体側シール用リップ部の先端が巻き込むようにして蓋体の壁面に当接した状態で、蓋体側シール用リップ部の中間位置の加勢部が蓋体側に当接して、この加勢部が蓋体によって押される。これにより、蓋体側シール用リップ部の先端が壁面側へ押されて、この先端の壁面への密着を増加させ、シール性を安定させて向上させる。
【００１７】
第５の発明に係るシール部材は、第１ないし第４の発明のいずれかに係るシール部材において、上記容器本体側シール用リップ部が、上記支持片から下側へかつ外側へ湾曲させて形成されたことを特徴とする。
【００１８】
上記構成により、湾曲して形成された容器本体側シール用リップ部の先端が巻き込むようにして容器本体側の環状溝の壁面に当接した状態でシールする。これにより、シール性が安定して向上する。
【００１９】
第６の発明に係るシール部材は、第５の発明に係るシール部材において、上記容器本体側シール用リップ部の背面位置に、上記容器本体側の壁面に支持されて上記容器本体側シール用リップ部を押してその先端の壁面への密着を増加させる加勢用肉厚部を設けたことを特徴とする。
【００２０】
上記構成により、加勢用肉厚部が容器本体側シール用リップ部をその背面から押してその先端を壁面側へ押し出す。これにより、容器本体側シール用リップ部の先端の壁面への密着が増して、シール性が安定して向上する。
【００２１】
第７の発明に係るシール部材は、第１ないし第６の発明のいずれかに係るシール部材において、上記支持用リップ部が、上記支持片に一体的に設けられた状態で上記容器本体側の環状溝内へ延出して設けられ、当該環状溝の内側壁の壁面に当接して上記支持片を支持することを特徴とする。
【００２２】
上記構成により、支持用リップ部が環状溝内へ延出して内側壁の壁面に当接することで、シール部材を支持する。
【発明の効果】
【００２３】
以上詳述したように、本発明の薄板収納容器によれば、次のような効果を奏する。
【００２４】
（１）  支持用リップ部で支持片が支持された状態で、この支持片に支持された蓋体側シール用リップ部及び容器本体側シール用リップ部が蓋体側及び容器本体側をそれぞれシールするため、容器本体と蓋体との間を確実にシールすることができ、薄板収納容器のシール性が大幅に向上する。
【００２５】
（２）  支持片が環状溝の内側壁と外側壁との間に架け渡して設けられた状態で、この支持片に支持された容器本体側シール用リップ部が、環状溝内に挿入されて内壁に当接するため、容器本体側を確実にシールすることができる。
【００２６】
（３）  支持片から上側へかつ外側へ湾曲させて形成された蓋体側シール用リップ部の先端が巻き込むようにして蓋体の壁面に当接するため、この部分のシール性を向上させることができる。
【００２７】
（４）  加勢部が蓋体によって押されるため、蓋体側シール用リップ部の先端が壁面側へ押して、蓋体側シール用リップ部の先端の壁面への密着を増加させることができる。これにより、シール性を向上させることができると共に、安定させることができる。
【００２８】
（５）  湾曲して形成された容器本体側シール用リップ部の先端が巻き込むようにして容器本体側の環状溝の壁面に当接するため、この部分のシール性を向上させることができると共に安定させることができる。
【００２９】
（６）  加勢用肉厚部が容器本体側シール用リップ部をその背面から押してその先端を壁面側へ押し出すことで、容器本体側シール用リップ部の先端の壁面への密着を増加させるので、この部分のシール性を向上させることができると共に安定させることができる。
【００３０】
（７）  支持用リップ部が環状溝内へ延出して壁面に当接するため、直接的には支持片を支持して、シール部材を確実に支持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明のシール部材は、内部をクリーンな状態に保つ必要のある薄板収納容器等に用いて好適な部材である。また、薄板収納容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板、マスクガラス等の、塵埃等の侵入を嫌う薄板を収納して、保管、輸送等における使用に供するための容器である。ここでは、半導体ウエハを収納する薄板収納容器に、本発明のシール部材を用いた例を説明する。
【００３２】
まず、本発明のシール部材を使用した薄板収納容器について、図４に基づいて説明する。
【００３３】
本実施形態の薄板収納容器２１は、キャリヤ２２、容器本体２３、蓋体２４、押え部材２５、シール部材２６を備えて構成されている。
【００３４】
キャリヤ２２は、半導体ウエハＳを支持するための部材である。キャリヤ２２に平行に多数の半導体ウエハＳが収納された状態で、キャリヤ２２が容器本体２３内に収納される。
【００３５】
容器本体２３は、キャリヤ２２を収納するための容器である。この容器本体２３内にキャリヤ２２が収納された状態で、内部が密封されて外部からの塵埃等の侵入を防止する。容器本体２３の上部の外側には、後述するフック２４Ａに係止する係止部２３Ａが設けられている。
【００３６】
蓋体２４は、容器本体２３を塞ぐための部材である。容器本体２３内にキャリヤ２２が収納された状態で塞いで容器本体２３内を密封する。蓋体２４の周縁には、上記容器本体２３の係止部２３Ａに対向する位置にフック２４Ａが設けられている。このフック２４Ａが係止部２３Ａに係止することで、蓋体２４が容器本体２３に固定される。
【００３７】
押え部材２５は、キャリヤ２２内に収納された半導体ウエハＳを支持するための部材である。押え部材２５は、蓋体２４に取り付けられて、容器本体２３内に収納されたキャリヤ２２内の半導体ウエハＳをその上側から当接して支持する。
【００３８】
シール部材２６は、容器本体２３内を密封するための部材である。シール部材２６は、容器本体２３と蓋体２４との間に設置されて容器本体２３内を密閉する。このシール部材２６は具体的には図１及び図４に示すように、容器本体２３側の環状溝２８と、蓋体２４側の環状溝２９とに嵌合した状態で設けられている。
【００３９】
容器本体２３側の環状溝２８は、容器本体２３の上端縁部に全周に亘って設けられている。この環状溝２８は、容器本体２３の上端縁部に全周に亘って設けられた内側壁３０と外側壁３１とで構成されている。さらに環状溝２８は、内側壁３０と外側壁３１とで囲まれた深底の溝状に構成されている。内側壁３０と外側壁３１の互いに対向する内側壁面は、テーパ状に僅かに傾斜させて形成され、内部空間はくさび状になっている。内側壁３０と外側壁３１の上端位置は、ほぼ同じ高さになっている。
【００４０】
蓋体２４側の環状溝２９は、蓋体２４の下端縁部に全周に亘って設けられている。この環状溝２９は、蓋体２４の下端縁部に全周に亘って設けられた内側壁３２と外側壁３３とで構成されている。内側壁３２の下端部は、後述するシール部材２６の加勢部３６Ａを押さえる加勢部押え３２Ａとなっている。外側壁３３は、内側壁３２に対向して設けられているが、その一部がフック２４Ａを構成している。内側壁３２と外側壁３３の互いに対向する壁面は、テーパ状に僅かに傾斜させて形成され、内部空間はくさび状になっている。
【００４１】
シール部材２６は、環状に形成され、支持片３５と、蓋体側シール用リップ部３６と、容器本体側シール用リップ部３７と、支持用リップ部３８とから構成されている。
【００４２】
支持片３５は、蓋体側シール用リップ部３６等を支持するための部材である。この支持片３５は、容器本体２３側の環状溝２８と蓋体２４側の環状溝２９との間に設けられた環状の帯状部材である。支持片３５は、容器本体２３側の環状溝２８の内側壁３０の上端と外側壁３１の上端との間に架け渡して設けられている。支持片３５は、十分な剛体を持たせるために肉厚に構成されている。この支持片３５は、内側壁３０の上端と外側壁３１の上端とに当接することで、環状溝２８内に挿入された支持用リップ部３８がそれ以上内部に入り込まないように防止するストッパとして機能するようになっている。
【００４３】
蓋体側シール用リップ部３６は、蓋体２４側をシールするための部材である。この蓋体側シール用リップ部３６は、支持片３５の上側に一体的に設けられている。即ち、蓋体側シール用リップ部３６は、支持片３５から上側へかつ外側へ延出することで、全体として湾曲したさせて形成されている。これにより、蓋体側シール用リップ部３６の先端は、巻き込むように湾曲して環状溝２９の外側の壁面に当接して、この部分をシールするようになっている。
【００４４】
湾曲して形成された蓋体側シール用リップ部３６の外側の中間位置には加勢部３６Ａが設けられている。この加勢部３６Ａは、蓋体側シール用リップ部３６の先端部を蓋体２４の環状溝２９の外側の壁面側へ押して、そのシール性を増加させると共に安定させるための部分である。加勢部３６Ａは、蓋体２４が容器本体２３に嵌合した状態で、内側壁３２の加勢部押え３２Ａに当接して押され、蓋体側シール用リップ部３６の先端を環状溝２９の外側の壁面に押し付けてその密着を増加させ、シール性を向上させるようになっている。さらに、加勢部３６Ａで蓋体側シール用リップ部３６の先端を押すことでこの先端部の壁面への接触状態を安定させて、蓋体側シール用リップ部３６によるシール性を安定させるようになっている。
【００４５】
容器本体側シール用リップ部３７は、容器本体２３側をシールするための部材である。この容器本体側シール用リップ部３７は、支持片３５の下側に一体的に設けられている。即ち、容器本体側シール用リップ部３７は、支持片３５から下側へかつ外側へ延出することで、全体として湾曲させて形成されている。具体的には、容器本体側シール用リップ部３７は、支持用リップ部３８の途中から延出して設けられ、支持用リップ部３８と相まって全体として湾曲させて形成されている。これにより、容器本体側シール用リップ部３７の先端は、巻き込むように湾曲して環状溝２８の外側の壁面に当接して、この部分をシールするようになっている。
【００４６】
支持用リップ部３８は、支持片３５を支持するための部材である。支持用リップ部３８は、支持片３５の容器本体２３側に一体的に設けられ、支持片３５と相まって断面Ｔ字型に形成されている。このＴ字型の支持片３５及び支持用リップ部３８は、肉厚に形成されて十分な剛性を持たせてある。支持用リップ部３８の先端には、断面形状がほぼ円形になるように膨らませて形成された膨張部３８Ａが設けられている。この膨張部３８Ａは、容器本体側シール用リップ部３７よりも下側に設けられている。膨張部３８Ａは、支持用リップ部３８が環状溝２８の内側壁３０にはめ込まれたときに、内側壁３０を締め付けて強く密着することで、この部分をシールすると共に、支持用リップ部３８を環状溝２８の内側壁３０に確実に支持するようになっている。これにより、直接的に支持片３５を支持し、間接的に蓋体側シール用リップ部３６及び容器本体側シール用リップ部３７を、全体としてシール部材２６を支持するようになっている。
【００４７】
支持用リップ部３８のうち容器本体側シール用リップ部３７の背面位置には、加勢用肉厚部３８Ｂが設けられている。この加勢用肉厚部３８Ｂは、容器本体側シール用リップ部３７をその背面から押してそのシール性を安定させて増加させるための部分である。加勢用肉厚部３８Ｂは、支持用リップ部３８のうち容器本体側シール用リップ部３７の背面位置を肉厚にして形成されている。これにより、加勢用肉厚部３８Ｂは、環状溝２８の内側の壁面に支持された状態で、支持用リップ部３８を環状溝２８の外側の壁面側へ押してせり出させ、これに伴って容器本体側シール用リップ部３７をその背面から押してその先端を壁面側へせり出させ、その先端の壁面への密着を増加させ、シール性を向上させると共に、シール性を安定させるようになっている。
【００４８】
環状の支持用リップ部３８の内側は、加勢用肉厚部３８Ｂで小径に、先端側（膨張部３８Ａの内側）で大径に形成され、嵌合時のガイド性を向上させている。
【００４９】
以上のように構成された薄板収納容器２１は、次のようにして使用される。
【００５０】
シール部材２６は、薄板収納容器２１の使用前に容器本体２３に取り付けられる。この場合、支持用リップ部３８を環状溝２８にはめ込むだけで、容易に取り付けることができる。このとき、支持用リップ部３８の先端側（下端側）の内側は大径に形成されているので、支持用リップ部３８を環状溝２８の内側壁３０に容易にはめ込むことができる。次いで、支持用リップ部３８を、支持片３５が内側壁３０の上端と外側壁３１の上端とに当接するまで、押し込む。このとき、支持片３５はストッパとして機能し、シール部材２６を正確に位置決めして支持する。膨張部３８Ａは、内側壁３０にはめ込まれた状態で内側壁３０を締め付けて強く密着することで、この部分をシールし、さらに支持用リップ部３８及び支持片３５を環状溝２８の内側壁３０に確実に支持する。支持片３５が位置決め支持されたところで、シール部材２６の取付は完了する。
【００５１】
半導体ウエハＳを搬送、保管等する場合は、まずクリーンルーム等で、キャリヤ２２に半導体ウエハＳを挿入して、このキャリヤ２２を容器本体２３内に収納する。次いで、蓋体２４を、容器本体２３にその上側から取り付けて押し下げる。これにより、フック２４Ａが係止部２３Ａに係止して、蓋体２４が容器本体２３に固定される。
【００５２】
このときシール部材２６では、図５に示すようにして、容器本体２３側及び蓋体２４側をシールしている。
【００５３】
蓋体側シール用リップ部３６では、その先端が、図中の下側へ巻き込むように湾曲して環状溝２９の外側の壁面に当接して、この部分をシールしている。このとき、内側壁３２の下端の加勢部押え３２Ａは、蓋体側シール用リップ部３６の加勢部３６Ａに当接してこの部分を押さえる。これにより、蓋体側シール用リップ部３６の先端を環状溝２９の外側の壁面に押し付けている。
【００５４】
容器本体側シール用リップ部３７では、その先端が、図中の上側へ巻き込むように湾曲して環状溝２８の外側の壁面に当接して、この部分をシールしている。このとき、加勢用肉厚部３８Ｂは、環状溝２８の内側の壁面に当接して容器本体側シール用リップ部３７側へ盛り上がり、この容器本体側シール用リップ部３７側をその背面から押さえている。これにより、容器本体側シール用リップ部３７の先端を環状溝２９の外側の壁面に押し付けている。
【００５５】
以上のように、蓋体側シール用リップ部３６及び容器本体側シール用リップ部３７が蓋体２４側及び容器本体２３側をそれぞれ個別にシールするため、容器本体２３とシール部材２６との間及び蓋体２４とシール部材２６との間を確実にシールすることができ、薄板収納容器２１のシール性が大幅に向上する。
【００５６】
また、ストッパとして機能する支持片３５と、支持用リップ部３８とを一体的に設けて断面Ｔ字型に形成すると共に、支持用リップ部３８の先端側の内径寸法を大きくしたので、シール部材２６を、容器本体２３の環状溝２８に対して容易に取り付けることができるようになる。
【００５７】
また、蓋体側シール用リップ部３６を湾曲させて設けると共に、内側壁３２の下端に加勢部押え３２Ａ、蓋体側シール用リップ部３６に加勢部３６Ａを設けたので、シール部材２６と蓋体２４との間のシール性を向上させることができると共に、シール性を安定させることができるようになる。
【００５８】
さらに、容器本体側シール用リップ部３７を湾曲させて設けると共に、支持用リップ部３８に加勢用肉厚部３８Ｂを設けたので、シール部材２６と容器本体２３との間のシール性を向上させることができると共に、シール性を安定させることができるようになる。
【００５９】
なお、上記実施形態では、半導体ウエハを収納する薄板収納容器について説明したが、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板、マスクガラス等の、塵埃等の侵入を嫌う部材を収納して、保管、輸送等における使用に供するための容器であれば、本発明のシール部材を適用することができるのは言うまでもない。また、塵埃等の侵入を嫌う部材であれば、薄板状のものでなくとも、本発明のシール部材を適用することができるのは言うまでもない。
【００６０】
また、上記実施形態では、シール部材２６を容器本体２３側に設けたが、蓋体２４側に設けてもよいことは言うまでもない。この場合、支持用リップ部３８は、支持片３５の蓋体２４側に設けられることになる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明のシール部材と容器本体及び蓋体との配置関係を示す部分断面図である。
【図２】第１従来例に係るシール部材を示す部分断面図である。
【図３】第２従来例に係るシール部材を示す部分断面図である。
【図４】本発明のシール部材を使用した薄板収納容器を示す展開斜視図である。
【図５】本発明のシール部材の使用状態を示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００６２】
２１：薄板収納容器、２２：キャリヤ、２３：容器本体、２３Ａ：係止部、２４：蓋体、２４Ａ：フック、２５：押え部材、２６：シール部材、２８：環状溝、２９：環状溝、３０：内側壁、３１：外側壁、３２：内側壁、３２Ａ：加勢部押え、３３：外側壁、３５：支持片、３６：蓋体側シール用リップ部、３６Ａ：加勢部、３７：容器本体側シール用リップ部、３８：支持用リップ部、３８Ａ：膨張部、３８Ｂ：加勢用肉厚部、Ｓ：半導体ウエハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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