(57)【要約】      （修正有）【課題】最終洗浄槽に水が混入するのを防ぐ。洗浄槽等のメンテナンス作業を容易に行えるようにする。コ・ソルベント洗浄法を付加した場合にリンス槽本体への炭化水素系溶剤の持ち込み量を減少する。【解決手段】溶剤を用いて被洗浄物であるワークを洗浄する洗浄槽と、溶剤を加熱して蒸発させるヒータと、蒸発した溶剤の蒸気を凝縮させて回収する冷却器と、ワークを保持して洗浄槽内に浸漬させるワーク搬送装置とを有し、洗浄槽３〜５を複数配置し、これら洗浄槽３〜５のうち最終洗浄を行う洗浄槽の前に、溶剤上に浮遊する水を分離する水分離機構１２を設け、最終洗浄を行う洗浄槽５に分離された溶剤が流れ、洗浄槽３〜５のうち最初の洗浄を行う洗浄槽３に分離された水が流れるようにする。【選択図】図３３
2005103531.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶剤を用いて被洗浄物であるワークを洗浄する洗浄槽と、前記溶剤を加熱して蒸発させるヒータと、蒸発した前記溶剤の蒸気を凝縮させて回収する冷却器と、前記ワークを保持して洗浄槽内に浸漬させるワーク搬送装置とを有し、前記洗浄槽を複数配置し、これら洗浄槽のうち最終洗浄を行う洗浄槽の前に、溶剤上に浮遊する水を分離する水分離機構を設け、前記最終洗浄を行う洗浄槽に分離された溶剤が流れ、前記洗浄槽のうち前記最終洗浄槽以外の洗浄槽に分離された水が流れるようにしたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄装置には、前記ワーク搬送装置と前記洗浄槽の一方を相対回転させる回転駆動装置と、前記ワーク搬送装置を昇降させる昇降駆動装置とを備え、前記回転駆動装置および前記昇降駆動装置の少なくとも一方を前記洗浄槽の上方に配置するとともにこれら回転駆動装置および昇降駆動装置のうち前記洗浄槽の上方に配置されたものを前記洗浄槽に対し着脱可能としたことを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
フロン系溶剤を用いて被洗浄物であるワークを洗浄する洗浄槽と、前記溶剤を加熱して蒸発させるヒータと、蒸発した前記溶剤の蒸気を凝縮させて回収する冷却器と、前記ワークを保持して洗浄槽内に浸漬させるワーク搬送装置とを有し、さらに炭化水素系溶剤を用いて前記ワークの汚れを洗浄する炭化水素系溶剤の洗浄槽を備えたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項４】
前記炭化水素系溶剤の洗浄槽と前記洗浄槽との間に前記ワークに付着した炭化水素系溶剤を除去する除去部を備えたことを特徴とする請求項３記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記炭化水素系溶剤及び前記フロン系溶剤との混合液を冷却しこれら溶剤を分離する混合液分離手段を有することを特徴とする請求項３又は４記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記混合液分離手段は、一端をドレンタンクに連通し、他端は開放してなる管状部材からなることを特徴とする請求項５記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記他端側には冷却手段が設けてなることを特徴とする請求項５又は６記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置に関する。さらに詳述すると、本発明は、溶剤を用いて被洗浄物であるワークを洗浄する洗浄装置の構造の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
製品あるいは部品等の機械物品（本明細書ではこれを「ワーク」という）を洗浄するのに、煮沸洗浄槽や超音波洗浄槽などの各種洗浄槽、ワークを移動させるためのワーク搬送装置等を備え、被洗浄物たるワークをこれら各槽に順次浸漬させて自動洗浄する洗浄装置が使用されている（例えば特許文献１、特許文献２参照）。このような洗浄装置においては、洗浄に用いられる溶剤が高い清浄度を保っていることが要求される。そこで、洗浄に用いられた溶剤を清浄化するため、洗浄用溶剤をいったん蒸発させた後に凝縮して洗浄槽に戻すことにより溶剤の精製を同時に行うという蒸留精製型と呼ばれる洗浄装置が使用されている。
【０００３】
また、このような洗浄装置には、装置本体の中央下部から上へと突き抜ける回転軸によってワーク搬送装置を回転させる構造のものもあるが、洗浄槽下部にヒータや超音波装置が設置されているという構造上の都合により、あるいはワーク移動時の精度を高めて信頼性を向上させるためＤＣギヤードモータとタイミングベルトを用いたいという要請により、このように突き抜ける回転軸の代わりに装置の上部にモータ等の駆動装置を設けこれらによって回転軸やワーク搬送装置等を回転させる構造としたものがある。
【０００４】
すなわち、当初は、モータ等の駆動装置が洗浄槽の上部に設置してあると洗浄槽から蒸気として上昇してくる溶剤の影響を受ける可能性があることからこの影響を回避するため駆動装置を溶剤の影響を受けない洗浄槽の下部に設置するようにしていたが、実際には洗浄槽上部にある冷却管によって溶剤の蒸気のほとんどを凝縮させ再生液として回収することが可能であり、駆動装置を上部に配置しても溶剤の影響を受けないか受けても影響が小さいことが知見されたため、装置の上部側に駆動装置が設けられるようになった。例えば、固定された槽（ドレンタンク）に対し洗浄槽のみを回転させることが可能な上部側に駆動装置を配置した方が回転負荷が軽くなり、しかもヒータや超音波振動子の配線を固定することが可能となるというメリットも得られる。また、駆動部上部における溶剤の影響のリスクを考慮し、タイミングベルトを用いてモータおよびセンサを冷却管開口部からオフセットさせて取り付けてある場合もある。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６０−７８６７９号公報
【特許文献２】特公平７−１０６３４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、冒頭で説明した蒸留精製型の洗浄装置の場合、液化した溶剤を最終洗浄槽に戻すことによってこの最終洗浄槽における高い清浄度を実現できるようにしているが、蒸留精製時、この最終洗浄槽に水が混入する場合があり、清浄度を劣化させているのみならず、場合によってはワークに水分が付着することによって当該ワークの表面に錆を引き起こしているという問題がある。
【０００７】
また、環境改善型のフロンで新規フロンと称されるＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）、ＨＦＣ（ハイドロフルオロカーボン）は洗浄力が弱いことから、これを補う脱脂洗浄法の一つとして、前段で炭化水素系溶剤（炭化水素系洗浄剤）を用いてワークの付着油などの汚れの洗浄を行い新規フロンで炭化水素系溶剤をリンスするというコ・ソルベント洗浄法が案出されてはいるが、この洗浄工法では洗浄が繰り返されるとリンス槽にはワークから除去された炭化水素系溶剤が蓄積されるため、常時あるいは間欠的に炭化水素系溶剤を取り除かなければならないという問題がある。
【０００８】
加えて、このような構造の洗浄装置においては駆動手段が洗浄槽の上方に設置されていることから洗浄槽のメンテナンスが容易でないかあるいはそのままの状態でのメンテナンス作業が不可能となってしまう場合があり、このような場合には洗浄装置の保守や維持の作業が煩雑となってしまう。
【０００９】
そこで、本発明は、最終洗浄槽に水が混入するのを防ぐことができ、さらには洗浄槽等のメンテナンス作業を容易に行うことができる洗浄装置を提供することを目的とする。さらに本発明は、コ・ソルベント洗浄法を付加した場合にリンス槽本体への炭化水素系溶剤の持ち込み量を減少することができる洗浄装置を提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
かかる目的を達成するため、請求項１記載の発明の洗浄装置は、溶剤を用いて被洗浄物であるワークを洗浄する洗浄槽と、溶剤を加熱して蒸発させるヒータと、蒸発した溶剤の蒸気を凝縮させて回収する冷却器と、ワークを保持して洗浄槽内に浸漬させるワーク搬送装置とを有し、洗浄槽を複数配置し、これら洗浄槽のうち最終洗浄を行う洗浄槽の前に、溶剤上に浮遊する水を分離する水分離機構を設け、最終洗浄を行う洗浄槽に分離された溶剤が流れ、洗浄槽のうち最終洗浄槽以外の洗浄槽に分離された水が流れるようにしたものである。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の洗浄装置において、洗浄装置には、ワーク搬送装置と洗浄槽の一方を相対回転させる回転駆動装置と、ワーク搬送装置を昇降させる昇降駆動装置とを備え、回転駆動装置および昇降駆動装置の少なくとも一方を洗浄槽の上方に配置するとともにこれら回転駆動装置および昇降駆動装置のうち洗浄槽の上方に配置されたものを洗浄槽に対し着脱可能としたものである。
【００１２】
請求項３記載の発明の洗浄装置は、フロン系溶剤を用いて被洗浄物であるワークを洗浄する洗浄槽と、溶剤を加熱して蒸発させるヒータと、蒸発した溶剤の蒸気を凝縮させて回収する冷却器と、ワークを保持して洗浄槽内に浸漬させるワーク搬送装置とを有し、さらに炭化水素系溶剤を用いてワークの汚れを洗浄する炭化水素系溶剤の洗浄槽を備えたものである。
【００１３】
請求項４記載の発明の洗浄装置は、請求項３記載の洗浄装置において、この炭化水素系溶剤の洗浄槽と洗浄槽との間にワークに付着した炭化水素系溶剤を除去する除去部を備えたものである。
【００１４】
請求項５記載の発明の洗浄装置は、請求項３又は４記載の洗浄装置において、炭化水素系溶剤及びフロン系溶剤との混合液を冷却しこれら溶剤を分離する混合液分離手段を有するものである。
【００１５】
請求項６記載の発明の洗浄装置は、請求項５記載の洗浄装置において、混合液分離手段は、一端をドレンタンクに連通し、他端は開放してなる管状部材からなるものである。
【００１６】
請求項７記載の発明の洗浄装置は、請求項５又は６記載の洗浄装置において、他端側には冷却手段が設けてなるものである。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１記載の洗浄装置では、洗浄槽の前に設けられた水分離機構が、溶剤上に浮遊する水を分離したうえでこの溶剤を最終洗浄槽に流す一方、分離した水は最終洗浄槽以外の洗浄槽の方へと流す。これにより、洗浄装置は、液化した溶剤を最終洗浄槽に戻すという蒸留精製時この最終洗浄槽に水が混入するのを防止する。したがって、この洗浄装置によれば最終洗浄槽における清浄度が劣化するのを防止して高い清浄度を維持することができ、さらに、ワーク表面が錆び付く現象も効果的に防止することができる。
【００１８】
また請求項２記載の洗浄装置においては、回転駆動装置および昇降駆動装置のうち洗浄槽の上方に配置されたものが洗浄槽に対し着脱可能であるため、例えば回転駆動装置が上方配置されている場合であれば洗浄槽側からこの回転駆動装置を取り外してメンテナンス作業を行うことができるし、このように回転駆動装置を取り外した状態で洗浄槽等の洗浄を行う等のメンテナンスを行うこともできる。このため、この請求項２記載の洗浄装置によれば保守や維持の作業が煩雑とならず、洗浄槽等のメンテナンス作業を容易に行うことが可能となる。
【００１９】
さらに、請求項３記載の洗浄装置によると、フロン系溶剤を用いてコ・ソルベント洗浄法を行うことから、炭化水素系溶剤を除去するのに、高価で大掛かりな減圧乾燥装置が不要であり、乾燥性のよいフロン系溶剤で行うことができる。また、洗浄装置の溶剤蒸発量を低く抑えることができ、乾燥コストが安価となる。
【００２０】
さらに、請求項４記載の洗浄装置によると、フロン系溶剤を用いてコ・ソルベント洗浄法を行う場合には除去部がワークに付着した炭化水素系溶剤を除去することから、炭化水素系溶剤による洗浄からＨＦＥリンスへともっていく中間過程においてワーク付着の炭化水素系溶剤を除去することができる。このため、コ・ソルベント洗浄法を付加した場合にもリンス槽本体への炭化水素系溶剤の持ち込み量を減少することができる。
【００２１】
洗浄を繰り返し行うことでフロン系溶剤中の炭化水素系溶剤の含有量、即ち炭化水素系溶剤とフロン系溶剤との混合液中の炭化水素系溶剤の含有量が増加してしまうが、請求項５記載の洗浄装置では、混合液分離手段によって混合液を例えば常温又は常温の近傍にまで冷却してフロン系溶剤と炭化水素系溶剤とに分離することができる。このため、炭化水素系溶剤のみを廃却することができ、高価なフロン系溶剤を再使用することができる。このため、洗浄コストの増加を抑えることができる。
【００２２】
また、請求項６記載の洗浄装置では、混合液分離手段が、一端をドレンタンクに連通し、他端を開放してなる管状部材からなるので、管状部材内にドレンタンクから混合液を導くことができ、この管状部材内で分離した炭化水素系溶剤を他端から抜き取って廃却することができる。このため、洗浄装置の外の別容器に混合液を移し換えずに分離を行うことができ、作業性が向上すると共に、作業時の溶剤の大気中への蒸散防止を図ることができる。
【００２３】
さらに、請求項７記載の洗浄装置では、他端側には冷却手段が設けられているので、管状部材内の混合液を強制的に冷却することができる。このため、炭化水素系溶剤とフロン系溶剤との分離を短時間で効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の構成を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
【００２５】
図１〜図２５に本発明の一実施形態を示す。本発明にかかる洗浄装置１は、溶剤を用いて被洗浄物であるワーク２を洗浄（脱脂を含む）する洗浄槽３〜５と、溶剤を加熱して蒸発させるヒータ７と、蒸発した溶剤の蒸気を凝縮させて回収する冷却器８と、ワーク２を保持して洗浄槽３〜５内に浸漬させるワーク搬送装置９と、該ワーク搬送装置９と洗浄槽３〜５の一方を相対回転させる回転駆動装置１０と、ワーク搬送装置９を昇降させる昇降駆動装置１１とを備えており、ワーク２を洗浄しつつ溶剤の蒸発・蒸留を行い洗浄溶剤の清浄度を維持する蒸留一体型の装置であって、回転駆動装置１０および昇降駆動装置１１の少なくとも一方を洗浄槽３〜５の上方に配置するとともにこれら回転駆動装置１０および昇降駆動装置１１のうち洗浄槽３〜５の上方に配置されたものを洗浄槽３〜５に対し着脱可能としているものである。さらにこの洗浄装置１は、複数（例えば本実施形態であれば３槽）の洗浄槽３〜５のうち最終洗浄を行う洗浄槽（最終洗浄槽）５の前あるいはこの洗浄槽５の中に水分離機構１２が設けられているものである。
【００２６】
以下では、回転駆動装置１０と昇降駆動装置１１の両方を洗浄槽３〜５の上方に配置し、尚かつこれら回転駆動装置１０と昇降駆動装置１１の両方を着脱可能とした洗浄装置１について説明する。本実施形態では、このように回転駆動装置１０と昇降駆動装置１１の両方を洗浄槽３〜５の上方に配置した蒸留器一体型構造とすることにより、装置全体の占有スペースを抑えたコンパクトな装置を実現している。
【００２７】
洗浄装置１は、試験管のように丸底形状の３つの洗浄槽３〜５および同様に丸底形状あるいは平底形状の１つの乾燥槽６を有しているもので、各洗浄槽３〜５に浸漬させて段階的に洗浄したワーク２を乾燥槽６で乾燥させる（図３参照）。これら４つの槽３〜６は回転円板３０上に鉛直回転シャフト１４，１５を中心として円周状に等間隔配置され、一体化した状態でドレンタンク１７内で回転する回転洗浄槽を形成している（図２参照）。また回転円板３０の底部には、ドレンタンク１７内の溶剤が飛散するのを防止するが溶剤蒸気の通過は許容するパンチングメタル１６がスペーサ１６ｃを介してビス１６ｂで固定されている（図２、図１５参照）。このパンチングメタル１６には各槽３〜６が嵌り込むことのできるこれら各槽３〜６よりも僅かに大きな凹部１６ａが設けられている（図５参照）。超音波を作用させるとドレンタンク１７中の油を含む溶剤が泡立ったりミストとなって液面から上昇したりするが、このパンチングメタル１６が物理的障害となって溶剤蒸気の物理的エネルギーを吸収し、各槽３〜６へ余分な溶剤蒸気が持ち込まれないようにしている。なお、メタルに小孔がない場合には各槽３〜６へ余分な溶剤蒸気が持ち込まれる不具合を完全に抑えることができるが溶剤再生ができなくなる別の不具合が生じるので、両不具合を比較考量してパンチングメタル１６の小孔の大きさ・個数・配置等を定めるのが望ましい。また、このパンチングメタル１６は１枚でも足りるが複数枚とした場合には溶剤蒸気のエネルギー吸収をより確実に行うことが可能となる。
【００２８】
これら槽３〜６はワーク２に対して行われる処理の順に配列されている。例えば本実施形態では第１の洗浄槽３、第２の洗浄槽４、第３の洗浄槽５そして乾燥槽６を回転円板３０上にこの順で時計回りに配置し（図３参照）、回転円板３０（およびパンチングメタル１６）を反時計回りに回転させるようにしている。各槽３〜６は少なくともその底部がドレンタンク１７内の廃液に漬かる高さに設置されており、加熱された廃液を通じて湯せんされる（図２参照）。
【００２９】
また、３個の洗浄槽３〜５は、第３の洗浄槽５をオーバーフローした溶剤が第２の洗浄槽４に流れ込み、第２の洗浄槽４をオーバーフローした溶剤が第１の洗浄槽３に流れ込むように、第３の洗浄槽５→第２の洗浄槽４→第１の洗浄槽３の順で液面が段々と低くなるように設置されている（図４参照）。このため、第３の洗浄槽５に流れ込んだ蒸留後の溶剤は第２の洗浄槽４→第１の洗浄槽３へと流れ込むにつれ徐々に清浄度が落ちることになり、したがって、洗浄槽中における溶剤の清浄度は第１の洗浄槽３よりも第２の洗浄槽４の方が高く、第２の洗浄槽４よりも第３の洗浄槽５の方が高くなっている。第３の洗浄槽５と第２の洗浄槽４には、溢れた溶剤を下段の洗浄槽（第２の洗浄槽４あるいは第１洗浄槽３）へと導く流路１８，１９が設けられている。第１の洗浄槽３には、溶剤をドレンタンク１７へと廃液するための廃液口２０が設けられている（図３参照）。
【００３０】
本実施形態では、ワーク２が最初に浸漬される第１の洗浄槽３においてワーク２の粗洗浄を行うとともに、この洗浄槽３内の溶剤を加熱して煮沸・蒸留させている（以下、「超音波＋煮沸洗浄」というメイン機能を有するこの第１の洗浄槽を「煮沸洗浄槽」ともいう）。この煮沸洗浄槽３に流入した溶剤はこれにより気化するかあるいは上述した廃液口２０を通じてドレンタンク１７に廃液される。また第２の洗浄槽４においては、粗洗浄後のワーク２を超音波洗浄する（以下、「超音波＋リンス」というメイン機能を有するこの第２の洗浄槽を「超音波リンス槽」ともいう）。ドレンタンク１７の底部には、超音波を発生する超音波振動子２１が設けられている（図１等参照）。なお本実施形態では特に図示していないが、場合によってこの煮沸洗浄槽３の底部には溶剤を循環させて元に戻す循環路が設けられ、この循環路には、バルブ、Ｙ型ストレーナ、ポンプ、圧力計、フィルターケースなどが設けられる。さらに第３の洗浄槽５においては、最も清浄度の高い溶剤により最終洗浄が行われる（以下、「超音波＋最終リンス」というメイン機能を有するこの第３の洗浄槽を「最終洗浄槽」ともいう）。なお、ワーク２を洗浄するための洗浄用溶剤としては例えばフロン系溶剤（ＨＦＣ、ＨＦＥ、ＨＣＦＣ）、塩素系溶剤、臭素系溶剤、アルコール系溶剤あるいはこれら溶剤とグリコールエーテルや炭化水素系溶剤との混合物などの低沸点溶剤が使用される。
【００３１】
最終洗浄槽５は、蒸留された精製溶剤が流入することによって槽内の溶剤の高い清浄度が維持されるようになっている。本実施形態では、回転円板３０の上側中央に液回収皿２２を設け、この皿上に滴下した蒸留溶剤が最終洗浄槽５に流れ込むようにしている（図２、図３参照）。この場合、流入する溶剤に水分が混入している場合のあることを考慮し、ワーク表面の錆の発生を防止する等の観点からこの水を分離するための水分離機構１２を設けていることが好ましい。本実施形態では、撥水処理を施した仕切板１２ａを溶剤の液面を含む上層部分に設けて最終洗浄槽５内を洗浄領域Ａ１とそれ以外の外部領域Ａ２とに仕切り、槽外から外部領域Ａ２に流入した水が洗浄領域Ａ１に流れ込むのを阻止するようにしている（図３、図４参照）。この場合の洗浄領域Ａ１は、少なくともワーク２をワークホルダ４６ごと降下させて槽内に浸漬することが可能な大きさとされている。本実施形態では溶剤として水より比重の大きな液体を用いていることから、最終洗浄槽５に流入した水は溶剤の表層に浮いた状態で槽外に流れ出る。したがって最終洗浄槽５内に水が滞留することを極力防止することができる。また、最終洗浄槽５内に仕切板１２ａを設けるという簡単な構成によって水分離機構１２を形成していることから、水分離のための機器を洗浄装置１とは別に設けた場合に比べて装置の小型化という点で有利である。
【００３２】
乾燥槽６は最終洗浄されたワーク２の表面を乾燥させるための槽で、最終洗浄槽５の次に位置する４番目の槽として配置されている（図３等参照）。この乾燥槽６は「ベーパー洗浄＋乾燥」というメイン機能（つまりベーパー洗浄を行う機能と乾燥を行う機能）を備えている。
【００３３】
また上述のような回転洗浄槽においては、槽上方における空間であって特に清浄度が要求される部分をその他の部分から仕切ることも好ましい。こうした場合、洗浄の終盤あるいは最終の工程におけるワーク２の雰囲気を清浄に保つことができる。本実施形態では、乾燥槽６および最終洗浄槽５の上方空間と煮沸洗浄槽３および超音波リンス槽４の上方空間とを仕切るように隔壁２９を設けている（図３参照）。この隔壁２９はシャフト１４，１５および液回収皿２２と干渉しないようにその中央部付近がＶ字形に曲折した形状となっている。
【００３４】
洗浄槽３〜５、乾燥槽６、回転円板３０およびパンチングメタル１６からなる回転洗浄槽を回転させるための回転駆動装置１０は、洗浄槽回転モータ２３、タイミングベルト２４，プーリ２５，２６、シャフト１４，１５によって構成されている（図１、図１１〜図１３参照）。本実施形態では縦置きしたＤＣギヤードモータを洗浄槽回転モータ２３とし、タイミングベルト２４によってシャフト１４，１５に動力を伝達している。洗浄槽回転モータ２３の回転量は、洗浄槽回転モータ２３の回転軸に取り付けられ同量回転する回転センサドグ２７とこのドグの回転量を読み取る回転センサ２８によって検出することができる（図１１、図１３参照）。なお、冷却管６１の上部開口から流出する溶剤蒸気による影響を避ける観点からは、洗浄槽回転モータ２３、回転センサドグ２７および回転センサ２８はこの上部開口の前方（または後方）であってかつ下方に設置されていることが好ましい。
【００３５】
シャフト１４，１５は回転円板３０を介して洗浄槽３〜５および乾燥槽６を一体的に回転させるための二重構造の互いに係脱可能な鉛直軸である（図２参照）。この２軸のうちシャフト１４は外周にプーリ２６が取り付けられている中空軸であり、プーリ２６に巻き掛けられたタイミングベルト２４により動力伝達されて回転する。一方、シャフト１５はこの中空シャフト１４よりも長軸の中実軸であり、中空シャフト１４の中を回転可能かつ軸方向（すなわち鉛直方向）に移動可能となっている（図１１参照）。これらシャフト１４，１５には、両シャフト１４，１５が一体的に回転する係止状態あるいは一体的に回転しない非係止状態のいずれかを選択できる例えば以下のような構造の係脱機構３１が設けられている（図２、図６参照）。すなわち、中実シャフト１５の上側軸端に一体回転する笠状部材３２が取り付けられ、笠部分には回転中心を向いて突出する駆動ピン３３が設けられ、さらに、中空シャフト１４のうちこの駆動ピン３３と対向する部分に取り付けられたクランク部材３５にはクランク状の係合溝３４が設けられている。係合溝３４は、後述の係止ピン３８がジョイントブロック３６に引っ掛からない位置（駆動部取り外し位置）と、係止ピン３８がジョイントブロック３６に引っ掛かって両シャフト１４，１５を一体的に回転させる回転位置とをおよそ９０度開いた位置に備えたクランク形状となっている（図６参照）。また、回転位置と取り外し位置との間には段差が設けられており、その段差の分だけ回転位置が取り外し位置より高くなっている。したがって取り外し位置にある駆動ピン３３を回転位置に移動させるには、途中で段差を乗り越えるようにしつつ９０度回転させる動作が必要となる。なお、本実施形態では回転位置における駆動ピン３３の高さが取り外し位置におけるよりも高くなるようにし、回転時、中実シャフト１５がその高さの分だけ上方に移動するようにしている。回転位置には、この駆動ピン３３をクランク部材３５に係合させるための係合爪３５ａが設けられている（図６参照）。駆動ピン３３が係合爪３５ａに係合した状態のとき、洗浄槽回転モータ２３の回転駆動力は、モータ２３→プーリ２５→タイミングタイミングベルト２４→プーリ２６→シャフト１４→クランク部材３５→駆動ピン３３→笠状部材３２→シャフト１５と伝達される。
【００３６】
また、中空シャフト１４および中実シャフト１５の下端部は回転円板３０に対して着脱可能な構造となっている（図２、図７参照）。例えば本実施形態では液回収皿２２上にジョイントブロック３６を設け、このジョイントブロック３６に対しシャフト１４，１５の下端の取り付けあるいは取り外しを可能としている。中空シャフト１４の下端には係合突起３７ａを備えた例えば四角柱状の係合ブロック３７が設けられ、ジョイントブロック３６には例えば図示するような四隅の突起などによって係合ブロック３７（および係合突起３７ａ）が嵌り合う凹部が形成されている。ジョイントブロック３６の凹部に係合ブロック３７（および係合突起３７ａ）が嵌り合った状態で、回転円板３０（および各槽３〜６）と中空シャフト１４とが回転不可能な状態で一体的に係合する。
【００３７】
さらに、中実シャフト１５の下端付近にはこのシャフト１５から水平に突出する係止ピン３８が設けられ、一方、ジョイントブロック３６にはこの係止ピン３６が通過可能な長孔３９が設けられている（図７参照）。この長孔３９に中実シャフト１５の下端部および係止ピン３８を挿入後、中実シャフト１５ごと係止ピン３８を回転させるとこの係止ピン３８が係止した状態となり中実シャフト１５がジョイントブロック３６から抜けなくなる。このとき、既に係合ブロック３７がジョイントブロック３６に嵌った状態となっているため中空シャフト１４とジョイントブロック３６とが一体的となり同量回転する状態となる。また、中実シャフト１５ごと係止ピン３８を回転させる際、途中で段差を超えるように持ち上げつつ９０度回転させることにより、ジョイントブロック３６に係止ピン３８を係止させるのと同時に駆動ピン３３をクランク部材３５の回転位置に係合させることができる（図６参照）。これにより、中空シャフト１４、中実シャフト１５、ジョイントブロック３６、回転円板３０等が一体化し同量回転するようになる。なお、係合溝３４のクランク段差分だけ駆動ピン３３を持ち上げるのに伴い、中実シャフト１５、係止ピン３８、ジョイントブロック３６、回転円板３０、パンチングメタル１６、各槽３〜６等も同量持ち上げられる。本実施形態では、このように持ち上げられるまでは回転円板３０をドレンタンク１７の内壁に係止させることによって各槽３〜６を回転不可能な状態に保つとともに、回転円板３０を持ち上げることによってこの係止状態を解除して各槽３〜６が回転可能な状態となるようにしている。
【００３８】
続いて、本実施形態の洗浄装置１における洗浄用溶剤の液交換・液量確認のための構造について説明する。
【００３９】
本実施形態では、ドレンタンク１７内に溜まった溶剤を廃液するための廃液ドレン管４０をこのドレンタンク１７の外周側に設置している（図１、図１４〜図１５参照）。廃液ドレン管４０はその下部の連通管４０ａによってドレンタンク１７の下部と連通し、かつこの水平な連通管４０を中心に鉛直面内を旋回可能な構造となっている。旋回可能な管部４０ｂの先端には栓４０ｃを設けているが（図１参照）、この先端が廃液時以外には常にドレンタンク１７内の液面よりも高い位置に保持される場合には栓４０ｃを省略することも可能である。ドレンタンク１７の外周にはこの管部４０ｂを鉛直に保つための保持装置４０ｄが設けられている（図１５参照）。この管部４０ｂを倒すことによってドレンタンク１７内の溶剤を廃液することができる。
【００４０】
さらにドレンタンク１７の外周にはタンク内の廃液量を視認可能とするためのドレンタンク液面管４１が設けられている（図１、図１４〜図１６参照）。このドレンタンク液面管４１は、ドレンタンク１７の上部および下部に設けられタンク内と連通する連通管４１ａ，４１ｂと、これら連通管４１ａ，４１ｂの間に設けられた透明あるいは半透明のチューブ４１ｃとで構成されている。このドレンタンク液面管４１によれば、チューブ４１ｃ内の液面高さを視認することによってドレンタンク１７中におけるその時点での廃液高さつまりタンク内に溜まった廃液量を確認することができる。
【００４１】
続いて、ワーク搬送装置９について説明する。ワーク搬送装置９は洗浄装置１にワーク２を供給しあるいは洗浄後のワーク２を洗浄装置１から排出する装置である（本明細書ではこの供給動作と排出動作をまとめて「供排」と呼ぶ）。本実施形態の洗浄装置１においては、ワーク２を保持しつつその位置で複数回昇降させ、その間に各槽３〜６を回転円板３０ごと回転させることによって洗浄工程を順次進めるように構成している。以下、このワーク搬送装置９の構成について説明する（図１、図８、図９、図１７〜図２１等参照）。なお図９中に示す「中間位置」は、ワーク２を洗浄槽３〜５間で移動させるとき溶剤蒸気の存在する位置で停止させる際のその停止位置である。また、「乾燥位置」は乾燥槽６内におけるワーク位置（高さ）を示す。
【００４２】
本実施形態では、左右一対の上下ガイド軸４２，４３とこれら両上下ガイド軸４２，４３の上端を繋ぐブリッジ４４、このブリッジ４４の途中に設けられたワーク保持部品４５などによってこのワーク搬送装置９を構成し、ワーク保持部品４５の下端のワークホルダ４６上で保持したワーク２をこれら上下ガイド軸４２，４３等ごと昇降させるようにしている（図１参照）。上下ガイド軸４２，４３は、各槽３〜６やドレンタンク１７の上部に設けられた上下ガイド軸受部５０によって上下方向に案内される。上下ガイド軸４２，４３の昇降量は、一方の上下ガイド軸（例えば上下ガイド軸４３）に取り付けられて同量昇降する上下センサドグ５１とこの上下センサドグ５１の昇降量を読み取る上下センサ５２によって検出することができる（図１参照）。
【００４３】
ブリッジ４４のほぼ中央にはワーク２を保持するためのワーク保持部品４５が懸架されている（図８等参照）。ワーク保持部品４５の上端にはこのワーク保持部品４５自体をブリッジ４４に着脱可能とする取付部材４８が設けられている。この取付部材４８とワークホルダ４６とを連結する部材は特にその材質や太さ、形状等が限定されるものではないが、ワーク２を浸漬したとき溶剤と接触する表面積ができるだけ少ないものであることが好ましく、このように表面積を少なくした場合にはワーク２を昇降させる度にこの連結部材に付着する溶剤の量を低減でき、ひいては溶剤の蒸発量を抑えることが可能となる。例えば本実施形態では、鋼線４７を２本平行に垂下させ、その下端でワークホルダ４６を支持するようにしている。なおここでいう鋼線４７にはいわゆるピアノ線のような高炭素鋼なども含まれる。連結部材としてより強度が求められる場合にはこのような鋼線４７の代わりに板金等を採用することができる。また、ワークホルダ４６は樹脂製であって搬送対象となるワーク２の底部形状に合わせて形成されているが、材質、形状、大きさ等はワーク種別に応じて適宜変更することができ、例えばこのような台形状のホルダ以外に、籠の中にワーク２を収容した状態で昇降させるようにしたホルダ、あるいはワイヤで引っ掛けた状態でワーク２を昇降させるようにしたホルダ等を採用することもできる（図３０、図５０参照）。さらに本実施形態では、２本の鋼線４７の途中にワーク供排口蓋４９を設けている（図１等参照）。このワーク供排口蓋４９は、ワーク２を洗浄槽３〜５中の溶剤に浸漬した場合あるいは乾燥槽６内に位置させた場合に各槽３〜６の口（つまりワーク供排口）に蓋をするためのもので、各槽３〜６を覆い被する大きさと高さに設置されている。例えば洗浄中における各洗浄槽３〜５をこのワーク供排口蓋４９により覆い隠した場合、溶剤の回収効率の向上が図れる。なお、上述したように本実施形態のワーク搬送装置９においては取付部材４８によってワーク保持部品４５をブリッジ４４に着脱可能であることから、ワーク２の種別あるいは各槽３〜６の深さ等の条件に合わせてホルダ形状や高さ等の仕様の異なるワーク保持部品４５に付け替えることが可能となっている。
【００４４】
昇降駆動装置１１はこれら上下ガイド軸４２，４３等からなるワーク搬送装置９を昇降させるための装置であり、ワーク上下モータ５３、タイミングベルト５４等で構成されている（図１９等参照）。本実施形態では上下ガイド軸受部５０に横置きしたギヤードモータをワーク上下モータ５３として用いている。タイミングベルト５４は、上下ガイド軸４２，４３の上端近傍および下端近傍に設けられた上下のブラケット５５，５６にベルト端を取り付けられることによって鉛直方向に張架され、その一部がワーク上下モータ５３の回転軸のプーリ５７に巻き掛けられた状態となっている（図１８等参照）。また、このプーリ５７の上下にはタイミングベルト５４をＶ字状に張ってこのプーリ５７への巻き掛け量を増やす補助的なプーリ５８，５９が設けられている。以上の昇降駆動装置１１によれば、ワーク上下モータ５３の回転駆動力はモータ５３→プーリ５７→タイミングベルト５４という順で伝達され、これによってタイミングベルト５４、ブラケット５５，５６、ブリッジ４４、上下ガイド軸４２，４３、ワーク保持部品４５等が一体的に昇降動作する。
【００４５】
なお、ワーク供排口蓋４９の水平位置をワーク上昇端の時のみ位置決め部材６０によって位置決めすることも好ましい（図８等参照）。こうした場合、ワーク２の上昇端での水平方向の位置決め再現性が確保され、また、ワーク２の着脱時にワーク保持部品４５が固定されるため作業が行いやすくなる。本実施形態では、ワーク供排口蓋４９の上部に位置決めピン４９ａを設け、位置決め部材６０に設けられている透孔を用いてこの位置決めピン４９ａひいてはワーク供排口蓋４９の水平位置を位置決めするようにしている（図２２等参照）。
【００４６】
続いて冷却器８について説明する。冷却器８は蒸発した溶剤の蒸気を凝縮させて回収する装置で、冷却管６１、回収板６２、ペルチェ素子６４等で構成されている（図２等参照）。
【００４７】
冷却管６１は溶剤蒸気を冷却して凝縮させるため槽３〜６の上方に設けられた管である。この冷却管６１は、蒸気を冷却する常時開放管という点においては管長が長いことが望ましいが、ワーク２の導入管を兼ねる場合にはワーク移動距離を短くする観点から管長が短いことが望ましい。そこで本実施形態では大径短軸の鉛直円孔６１ａと小径長軸の鉛直孔６１ｂとで管を構成し、これら管の内壁において溶剤蒸気を凝縮させるようにしている（図２３参照）。鉛直円孔６１ａは、上述したワークホルダ４６がワーク２を保持した状態で通過することができる大きさに形成されている。本実施形態の冷却管６１はその中央に軸受孔６１ｃを備えており、中空シャフト１４のラジアル軸受としても機能している（図２参照）。また、本実施形態ではこの冷却管６１を冷却するための冷却装置をペルチェ素子６４、ヒートシンク６５、ファンモータ６６によって構成している（図２３参照）。
【００４８】
回収板６２は冷却管６１によって冷却され凝縮した溶剤を一部に集めて回収する装置で、例えば中央に集めることのできる漏斗形状（逆円錐形状）のものが採用され、中央の回収孔６２ｃから溶剤をその下に配置されている液回収皿２２へと流出させるように設けられている（図２参照）。この回収板６２の上述した鉛直円孔６１ａ、鉛直孔６１ｂと重なる位置にはほぼ同径の透孔６２ａ，６２ｂが設けられている。この透孔６２ａ，６２ｂの周囲には、回収板６２の斜面を中央に向け伝い流れる溶剤がこの透孔６２ａ，６２ｂから滴下するのを防止する土手状の縁部６２ｄが設けられている。なお、回収板６２は、冷却管６１との間で伝熱が極力防止されるように樹脂（例えばＰＯＭ）などの材質によって形成されていることが好ましく、こうすることによって冷却管６１の断熱性をより向上させて冷却効率を高めることが可能となる。さらに断熱性を高めるべく、冷却管６１と回収板６２との間に断熱材６３を介在させることも好ましい。本実施形態では、各槽３〜６の周壁６７の上縁に断熱材６３を取り付け、この断熱材６３の下部に回収板６２を取り付けるとともに、断熱材６３の上部に冷却管６１を取り付けるようにして熱（冷熱）のロスを少なくしている（図２参照）。断熱材６３としては、断熱性があり尚かつ耐溶剤性のあるプラスチック材料たとえばＰＴＦＥ樹脂（ポリテトラフルオロエチレン）、エポキシ樹脂、ＰＯＭ樹脂（ポリオキシメチレン）またはポリアセタール樹脂などが適する。
【００４９】
以上のような構成の冷却器８によれば、冷却管６１の内壁において冷却され凝縮した溶剤はこの内壁を伝い流れて回収板６２上に滴下し、さらにその斜面を伝い流れて回収孔６２ｃからその下へと滴下する。この溶剤はさらに中空シャフト１４、係合ブロック３７、ジョイントブロック３６等の表面を伝い流れ、液回収皿２２によって最終洗浄槽５へと戻される（図２参照）。
【００５０】
さらに、本実施形態の洗浄装置１における制御装置１３について説明する。この制御装置１３は、冷却器８の表面温度に基づき溶剤の蒸発量を検出するとともにヒータ７の温度をその検出量に基づいて調節するよう設けられているものである。本実施形態では、冷却管６１の表面部分あるいはその近傍に液化部温度センサ７０を設け（図１０参照）、このセンサ７０によって冷却管６１の表面付近の温度を検出している。すなわち、溶剤の蒸発量が多い場合にはそれに伴い熱交換量・液化量が増加して表面温度が上昇し、その一方で溶剤の蒸発量が多くない場合には熱交換量・液化量はそれほど増加せず表面温度は低い温度のままとなるので、この表面温度測定値とその変化に基づいて冷却器８における溶剤の蒸発量を検出することとしている。また、ペルチェ素子６４に設けた冷却器放熱部温度センサ７１によってこのペルチェ素子６４の温度を検出している（図１０参照）。冷却器放熱部温度センサ７１は、この検出した温度に基づき冷却器８の不調や故障等も検出可能なセンサとして機能している。液化部温度センサ７０、冷却器放熱部温度センサ７１はいずれもＣＰＵ７２に接続されている（図１０参照）。ＣＰＵ７２はこれらセンサ７０，７１が検出した情報に基づき、ヒータ温度調節器７３とＳＳＲ（固体リレー）７４を介してヒータ７の温度制御を行う。つまり、溶剤の蒸発量が多過ぎる場合にはヒータ７の温度を低くして蒸発量を抑える一方で、蒸発量が少ない場合には必要に応じてヒータ７の温度を高くし蒸発量を増やす。このように温度制御を行う結果、洗浄装置１において冷却器８の凝縮能力を超える量の溶剤が蒸発している状況、あるいは凝縮能力に比較して極めて少ない量しか蒸発していない状況を改善し、蒸発量と凝縮量のバランスをとって常に適当量の溶剤が蒸留・精製されている状況とすることができる。また、これによれば冷却器８の冷却能力に見合った量の溶剤を安定して精製することができることから洗浄装置１全体の省エネルギー化にも資する。さらには、超音波振動子２１による発熱や外気温度により溶剤の蒸発量が増加しているような場合にも、ヒータ７の表面温度に基づき蒸発量を検出する本実施形態の洗浄装置１によれば検出感度が高く、ヒータ７を停止させるというレスポンスまでの時間が短くて済むため溶剤の外部への流出を防止することが可能となる。
【００５１】
さらに、制御装置１３の他の構成およびその回路構成を以下に説明する（図１、図１０参照）。ＣＰＵ７２には、洗浄槽回転モータ２３、ワーク上下モータ５３の各モータドライバ７５，７６がそれぞれ接続されている。また、回転センサ２８を構成する原点センサ２８ａおよびインデックスセンサ２８ｂ、上下センサ５２を構成する上昇端センサ５２ａ、中間位置センサ５２ｂおよび下降端センサ５２ｃの各センサがＣＰＵ７２に接続されている。ペルチェ素子６４、ファンモータ６６はそれぞれパルス幅変調された信号によって駆動される。ドレンタンク１７内の液温を検出しさらにはタンク内における空焚きを防止する温度センサ７７は、上述のヒータ温度調節器７３に接続されている。この温度センサ７７と超音波振動子２１へ超音波を発振する超音波発振器７８とは、それぞれが電源装置７９およびＣＰＵ７２へと接続されている。その他、ＣＰＵ７２には通信用のインターフェース８０、通信ＨＭＩ(Human Machine Interface)８１、ＬＥＤやＬＣＤ等の表示装置８２、不揮発メモリ８３が接続されている。不揮発メモリ８３には動作プログラムや温度制御値などが記憶されている。
【００５２】
また、制御装置１３には、（１）各槽浸漬時間、超音波パワー、着液速度、引き上げ速度などの洗浄レシピの設定が可能、（２）いくつかの洗浄レシピを登録、選択することが可能、（３）オンラインによる洗浄レシピを設定、すなわち、ユーザは洗浄レシピを選択するだけでよい、（４）オンラインによる温度などのロギング機能、（５）回転槽を変更することが可能であり自由に洗浄方法のトライアルが可能等の動作を実施することができる。
【００５３】
また、本実施形態ではブラケット状のフレームや板材を組み合わせることによって架台８４を設け、この上に洗浄装置１を設けるとともに上述の各種制御装置をこの架台８４の中に配置するようにしている（図１参照）。具体的には、ヒータ温度調節器７３、超音波発振器７８さらにはスイッチボックス（符号８５ａはスイッチ）８５などが架台８４の板材の上あるいは底部に配置されている。また架台８４には、洗浄装置１の各種装置を接続するための着脱可能なコネクタ８６が設けられている。コネクタ８６は、洗浄装置１の上部側を下部の制御装置１３側から取り外しあるいは制御装置１３側に取り付ける際に着脱される。
【００５４】
続いて、洗浄装置１の内部について一部視認可能とした構造について以下に説明する。本実施形態の洗浄装置１においては、周壁６７に視認窓６９を設け、この視認窓６９を通じて装置１の内部を見て確認することを可能としている。これにより、この洗浄装置１においては作業者や管理者が、ワークホルダ４６上の所定位置にワーク２が保持されていること、各槽３〜６が所定のタイミングで９０度ずつ回転していること、各槽３〜５内にワーク２が浸漬されていること、さらには溶剤循環量が適正範囲内であること等、洗浄作業の経過や進み具合を目で確認することができる。しかもこの視認窓６９は周壁６７に設けられているため、例えば冷却管６１の上部開口から覗き込むような場合よりも回転洗浄槽等における状況を把握しやすい。本実施形態では視認窓６９としてガラス板を用いているがアクリル板等を採用することもできる。
【００５５】
さらにこの洗浄装置１においては、回転駆動装置１０および昇降駆動装置１１の少なくとも一方が洗浄槽３〜５の上方に配置され、かつこれら回転駆動装置１０および昇降駆動装置１１のうち洗浄槽３〜５の上方に配置されたものが洗浄槽３〜５に対し着脱可能となっている。以下、このように着脱可能とした本実施形態の洗浄装置１の着脱構造について説明する。
【００５６】
本実施形態では、回転駆動装置１０、昇降駆動装置１１とも洗浄槽３〜５（および乾燥槽６）の上方に配置されている（図１参照）。なお、ここでいう「上方に配置」には、槽の真上に配置されている場合のみならず洗浄槽３〜５よりも高い位置に配置されている場合までもが含まれる。本実施形態では、各槽３〜６およびドレンタンク１７を囲繞する周壁を上述した上側の周壁６７と下側の周壁８７とに分離し、周壁６７から上の部分を取り外し可能とすることで回転駆動装置１０および昇降駆動装置１１を洗浄槽３〜５（および乾燥槽６、ドレンタンク１７）に対し着脱可能としている（図２参照）。具体的には、周壁６７と周壁８７とを同径とし、かつドレンタンク１７の上縁を両周壁６７，８７の間に挟み込みうるフランジ形状とし、さらに、両周壁の周囲に設けた複数の着脱用部材８８を用いてこれら周壁６７，８７を一体化できるようにしている（図１４等参照）。着脱用部材８８は両周壁６７，８７を確実に一体化でき尚かつ着脱操作が容易であるものが好ましい。本実施形態では図示するようなばね付きのバックル装置を着脱用部材８８として用いているがこの他の装置たとえば留め金（ハスプ）、ラッチ錠、ホースバンド等を利用しても構わない。さらには、これらのようにいわば機械的（メカニカル）な装置の他、磁力を利用して着脱可能としたマグネット式としても構わない。マグネット式の一例を示すと、シャフト１４（または１５）の下端と回転円板３０の中央とに対向する磁石８９を設け、両磁石８９を互いに吸引させることによって洗浄装置１の上部と下部とを一体化させるものが挙げられる（図２４、図２５参照）。
【００５７】
なお、洗浄溶剤は表面積も小さくゴム製のシール材を膨潤または劣化させる傾向にある。周壁６７，８７の着脱には溶剤を外部に漏らさないシール効果を併せ持つ必要があり、そのシール方法に工夫が必要となる。シール材は、耐溶剤性の高いフッ素ゴム、ＥＰＤＭ等を使用したＯリングやゴム板、ＰＴＦＥシール材等が好ましい。またシール材の着脱位置は、直接溶剤がかからないように上部の方であることが高いシール効果を得る上で好ましい。なお、Ｏリングのような成形加工面が表面全周にあるのが好ましい。またＰＴＦＥのようなエラストマの場合、液に接する側はコーティングにより多孔質面の孔が塞がれているのが好ましい。
【００５８】
このように回転駆動装置１０および昇降駆動装置１１を着脱可能とした洗浄装置１によれば、まず、各部品のメンテナンスが容易になるという利点がある。すなわち、回転駆動装置１０あるいは昇降駆動装置１１に関しては装置本体から取り外した後に点検・整備などのメンテナンス作業を行うことができるので、解体等が行いやすく作業の自由度が高い。また、周壁６７から上の部分を取り外した状態とすれば洗浄槽３〜５や乾燥槽６さらにはドレンタンク１７を直接洗浄したりあるいは架台８４から取り外したり等の作業が容易に行えるようになる。
【００５９】
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば本実施形態では回転駆動装置１０と昇降駆動装置１１の両方を洗浄槽３〜５の上方に配置するとともに両装置１０，１１を洗浄槽３〜５に対して着脱可能としたいわば槽回転型上部釣下型回転伝達式の洗浄装置１を説明したが特にこのような構造に限定されるわけではなく、両装置１０，１１の少なくとも一方が洗浄槽３〜５の上方に配置され当該装置１０（または装置１１）が洗浄槽３〜５に対し着脱可能な構造であればメンテナンス等の作業を容易なものとすることができる。以下では、このうち昇降駆動装置１１のみを洗浄槽３〜５（および乾燥槽６）の上方に配置し、回転駆動装置１０は洗浄槽３〜５等の下方に配置した槽回転型下部回転伝達式の洗浄装置１について説明する（図２６参照）。
【００６０】
図２６に示す洗浄装置１は洗浄槽３〜５等の下方に配置した洗浄槽回転モータ２３によって洗浄槽３〜５等を回転させるもので、この洗浄槽回転モータ２３はその回転軸２３ａが回転洗浄槽の回転中心と一致するように縦置きされている。この図２６では特に示していないが、昇降駆動装置１１、各槽３〜６、ヒータ７、冷却器８、ワーク搬送装置９等の各装置の構成は上述した洗浄装置１のものと特に変わるところがない。この洗浄装置１においては、昇降駆動装置１１を含む上部側を取り外すことが可能であることからこの昇降駆動装置１１をはじめ各装置のメンテナンスを容易に行うことができる。
【００６１】
ここで、上述した各型の洗浄装置１の構成を概略図にて示すと図２７、図２８のようになる。これら洗浄装置１はいずれも１本の鉛直軌道上でのみワーク２を昇降させ、昇降動作に合わせて回転洗浄槽を順次回転させることによって洗浄工程を進めるようにしていたが、ワーク２を各洗浄槽３〜５（および乾燥槽６）に順次浸漬させるには、ワーク搬送装置９と洗浄槽３〜５（および乾燥槽６）の一方を相対的に回転させることができればよい。したがって本実施形態の洗浄装置１とは逆の構成、すなわち各槽３〜６は回転させず代わりにワーク搬送装置９のワークホルダ４６等を回転させる構成としてもよい。例えば図２９にその概略を示す洗浄装置１は、回転モータ２３’でワーク搬送装置９における単独あるいは複数のワークホルダ４６を回転させることによって各ワーク２の洗浄工程を順次進行させるものであり、ここで一例を示したように、結局は、ワーク搬送装置９と洗浄槽３〜５（および乾燥槽６）のうちの何れか一方を相対的に回転させることによって自動洗浄を行うことが可能である。なお図２７〜図２９では洗浄槽を符号３，４で示しているがこれは便宜的なものに過ぎず他の洗浄槽あるいは乾燥槽を除外する意味ではない。
【００６２】
また、上述した実施形態においては水分離機構１２の一例として撥水処理が施された仕切板１２ａを溶剤の液面を含む上層部分に設けて最終洗浄槽５内を洗浄領域Ａ１とそれ以外の外部領域Ａ２とに仕切るものを説明したがこれは水分離機構の一具体例に過ぎない。他の例を挙げれば、浮遊する水を分離する水分離機構１２を最終洗浄槽５の前に設け、この水分離機構１２によって分離した溶剤を最終洗浄槽５へと流す一方で分離した水は第１の洗浄槽（煮沸洗浄槽）３に流すようにしたものでもよい。具体的に例示すると、溶剤と水を分離して煮沸洗浄槽３と最終洗浄槽５へ振り分ける水分離機構１２をジョイントブロック３６の真下に設け、水は煮沸洗浄槽３へ、溶剤は流路９０を伝って最終洗浄槽５へとそれぞれ流入するようにしている（図３２参照）。こうした場合、円周上に配置された洗浄槽３〜５において溶剤や水が流入する箇所が液回収皿２２等を中心にして対角に位置するようになることから溶剤や水の全体的な循環が向上する。つまり、このように対角位置にすると各洗浄槽３〜５の溶剤の流入口と流出口の距離を最も長くとれるので溶剤や水の循環性が良くなる。また、図３４に示すような縦向きの向流板９１を最終洗浄槽５に設けておくことが好ましい。こうした場合、この向流板９１に沿って溶剤が槽底まで循環するようになることから槽内における循環も向上することになる。水分離機構１２の具体的な構造を説明すると、例えば図３３に示すように、水は溶剤よりも比重が軽く上面側に浮くという性質を利用してこの浮遊する水と溶剤とを分離できるようにしたものがある。すなわち、回転円板３０の中央に溶剤（水分を含む）の貯液槽３０ａを設けるとともにこの貯液槽３０ａの底部は水分離板１２ｂを隔てて流路９０へと続くようにする。したがって、水よりも比重の重い溶剤は貯液槽３０ａの底部から流路９０を経て最終洗浄槽５へと流れ込むようになる（図３２、図３３参照）。一方、貯液槽３０ａに貯まった溶剤の表層部分に浮いた状態となっている水は、この貯液層３０ａから溢れ出ると煮沸洗浄槽３へと直接流れ込むようになっている（図３２、図３３参照）。したがってこのような構造の水分離機構１２によれば比重の違いを利用して溶剤と水とを分離することができる。
【００６３】
また、本実施形態では着脱用部材８８をちょうど洗浄槽３〜５内の液面と同じくらいの高さに配置して周壁６７，８７をこの高さで着脱できるようにしたが（図２参照）、この着脱位置は適宜変更することができる。例えば図３１に示す洗浄装置１においては断熱材６３と周壁６７との間で着脱可能となっており、着脱位置が図２に示した洗浄装置１の場合よりも高くなっている（図３１参照）。これら断熱部材６３と周壁６７との間には特に詳しく図示していないが溶剤の蒸散を防ぐシール（例えばＯリング）が挟み込まれている。このように着脱位置を高くした図３１に示す洗浄装置１においては、シール位置の変更により溶剤の蒸散量を減少させることが可能となる。つまり、シール位置を高くすることでシール周辺の温度が低くなり、またシールと蒸留した液との接触も低減できるので結果的にシール部からの蒸散量を抑制することができるようになる。具体的数値を挙げて説明すると例えば時間当たりの溶剤蒸散量が５ｇあったのが３ｇ程度にまで低減する場合がある。
【００６４】
また視認窓６９に関しては、本実施形態ではその大きさや枚数にまで特に言及していなかったが、例えば図１に示したような洗浄装置１については必要に応じて分割（例えば３分割）したガラス板やアクリル板を用いて複数の視認窓６９を形成してもよいし（図３５参照）、あるいは１枚ガラス板や１枚アクリル板を用いて１枚状の視認窓６９を形成してもよい（図３６参照）。視認窓６９を１枚ガラス板等で形成した場合には材料や取付手間の観点からコストダウンが図れる場合がある。また、途中で継ぎ目のない広い視野角が得られる場合もある。さらには、図３７に示すように周回している周状ガラス等で１枚状の視認窓６９を形成することもできる。
【００６５】
廃液ドレン管４０やドレンタンク液面管４１に関しては、本実施形態では各管４０，４１を独立して設けていたが（図３８参照）これらの一部を共用化することもできる。具体例を挙げると、例えば図３９に示すように廃液ドレン管４０の連通管４０ａとドレンタンク液面管４１の連通管４１ｂとを共用化することができる。この場合、廃液ドレン管４０の下部を横向きとすることによって残液をなくすことが可能となる。つまり、廃液ドレン管４０のドレン継手をドレンタンク１７の底面に取り付け、さらにこの廃液ドレン管４０を横向きにし、廃液ドレン管４０の全体がドレンタンク１７の底面よりも下側となるように配置することで、ドレンタンク１７内の残液を全て廃液することが可能となる。また、共用化された連通管４０ａ（４１ｂ）の緩みを防止しやすくなる場合もある。
【００６６】
制御装置１３に関しては、本実施形態では洗浄装置本体を支える架台８４に配置するようにしたが（図１、図４０参照）、この他の配置としてももちろんよく、例えば図４１に示すように洗浄装置１の本体の後方あるいは側方に配置してもよい。このように制御装置１３を洗浄装置本体の後方等に配置した場合には、制御装置１３や架台８４の高さの分だけ全体高さが低くなることから装置全体としての小型化を図れる場合がある。つまり、制御装置１３を洗浄装置１の例えば本体後方に配置した場合、制御装置１３の後方への飛び出し量がペルチェ素子６４の後方飛び出し量以内に収まるようにすることで、装置全体としての設置幅はそのままに高さを低くした分だけ小型化することができる。
【００６７】
冷却管６１に関して、本実施形態では管長やその鉛直円孔６１ａの大きさについて簡単に説明するに止まったが、冷却管６１自体の構造あるいはその周辺の構造については本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更することができる。例えば、ペルチェ素子６４との接触部（すなわち熱伝導する部分）の上部、鉛直円孔６１ａの上端部と同一水平面に樹脂板（一例としてＰＯＭ樹脂板）などを断熱材９２として挟み込むようにしてもよい（図４２参照）。断熱材９２が追加されることによりワーク供排口付近の冷却効率が向上する。この場合、詳しくは図示していないが、この断熱材９２をペルチェ素子６４へ取り付けるための取付ねじ９３についても樹脂ワッシャなどを用いて断熱することが好ましい。
【００６８】
さらに冷却管６１に関し、洗浄装置１の停止時においては鉛直円孔６１ａおよび鉛直孔６１ｂの上部を例えばＥＰＤＭ（エチレン・プロピレンゴム）の板からなるシール材９４と例えばＳＵＳ板からなるシール材９５とでシールすることが好ましい（図４３参照）。一方、洗浄装置１の稼動時においては鉛直円孔６１ａおよび鉛直孔６１ｂの上部を例えばＥＰＤＭ（エチレン・プロピレンゴム）のスポンジからなる開口部が孔開きのシール材９４と例えばＳＵＳ板からなる同じく開口部が孔開きのシール材９５とでシールすることが好ましい。こうすることによって、特に洗浄装置１の停止時において溶剤の蒸散量を減少させることが可能となる。具体的に数値を挙げて説明すると、例えば一日当たりの溶剤蒸散量が１０ｇであったところこれが５ｇ程度にまで低減する場合がある。図３０に示す洗浄装置１の場合、シール材９４，９５は固定ねじ９６によって固定されている（図３０参照）。
【００６９】
さらに冷却管６１に関し、例えば上述したＥＰＤＭスポンジをこの冷却管６１の全面に貼付することによって冷却管表面における断熱効率をより高めることが可能となる。
【００７０】
パンチングメタル１６に関して、本実施形態では回転円板３０の底部に１枚のみを取り付けた例を説明したが（図２，図４４参照）、これを２枚設けてもよいしあるいはそれ以上設けてもよい（図４５参照）。このようにパンチングメタル１６を２枚以上設けた場合には、１枚のみ設けた場合に比べてその分だけドレンタンク１７内の溶剤が飛散するのをより効果的に防止することが可能となる。
【００７１】
係脱機構３１に関して、本実施形態では図６に示したようにクランク状の係合溝３４を利用したものを説明したが、図４６に示すような構造の係脱機構３１とすることも好ましい。すなわち、駆動部取り外し位置と回転位置の両方に係合爪３５ａを設けることによって駆動ピン３３をクランク部材３５に対し両位置で係合させるようにしている。こうした場合、いずれの位置でもずれが生じにくくなる。また、例えば取り外し位置側の溝内にマグネット１０５を設けることによって駆動ピン３３がこの溝から外れ難くなるようにしている。
【００７２】
３個の洗浄槽３〜５に関して、本実施形態では液面が段々と低くなるように設置した形態を示したが（図４等参照）、この場合における煮沸洗浄槽３の液面を低くするなどして超音波リンス槽４や最終洗浄槽５の液面との高低差を大きくすることも好ましい（図４７参照）。こうした場合には、回転円板３０が回転したときに液面が波打ったとしても煮沸洗浄槽３内の溶剤の汚れが超音波リンス槽４や最終洗浄槽５にまで入り込むおそれが少なくなる。図４７においては、煮沸洗浄槽３の側面に排水口９７を設けて煮沸洗浄槽３内の液位が一定となるようにしている。ここでは煮沸洗浄槽３の液面を低くした場合について説明したが、超音波リンス槽４の液面と最終洗浄槽５の液面との高低差を大きくするようにしてもよい。
【００７３】
ワーク保持部品４５のワークホルダ４６に関して、本実施形態では図８に示したようにワーク２を１個ずつ運ぶようにしたものを説明したが（図４８参照）、一度に複数個のワーク２を運べるようにすることも好ましい。例えば図４９に示すようにワークホルダ４６を大型化して複数個のワーク２を載置できるようにすることができる。あるいは図５０に示すように鋼製のカゴからなるワークホルダ４６としてもよい。なお、ワークホルダ４６を上記のような形態にした洗浄装置１の全体図を図３０に示す。
【００７４】
上下ガイド軸４２，４３に関して、本実施形態では図２０に示したように左右両軸を上下ガイド軸受部５０でガイドする両持ち構造について説明したが（図５１参照）、これを片持ち構造としてもよい。例えば図５２では、上下ガイド軸４２，４３を片側にのみ配置し、これらを上下ガイド軸受部５０でガイドする片持ち構造としている。こうした場合、ワークホルダ４６を上下させるための機構を全体として小型化することが可能となる。片持ちガイド用の軸受としては例えばボールブシュガイドを用いた軸受を用いることができる。また、上下させるための駆動部や回転させるための駆動部を一体的に取り付けることによってユニットとしての組み付けや交換が可能となる。つまり、上下させるための駆動ユニットや回転させるための駆動ユニットを一体化させることで、上下ガイド軸受部５０やワーク上下モータ５３などが取り付けられる駆動部取付ブロック１０７（図３０参照）の着脱のみで駆動部全体の取付や交換が容易に行えるようにすることができる。また、上下ストローク変更、速度変更等、ユニットとしての動作バリエーションを増やすとともに管理しやすくすることができる。
【００７５】
回収板６２に関して、本実施形態では断熱性のある例えばＰＯＭなどの樹脂製とすることが好ましいことを説明したが必ずしもこのように樹脂製とするばかりではなく、例えばアルミ製とすることも好ましい。このように回収板６２を伝熱性のあるアルミ製とした上でさらにアルミ製の冷却軸９８と接続した場合、この回収板６２を外気冷却することが可能となる（図５３参照）。こうした場合、回収板６２自体を冷却することにより蒸留再生液量が増量することから溶剤再生サイクルが短縮化されることになる。
【００７６】
洗浄装置１の各種装置を接続することに関して、本実施形態では着脱可能なコネクタ８６を用いていたが（図１参照）これに限られることはない。すなわち、上述のようなコネクタ８６を用いた構造（図５４参照）の代わりに例えば配線ダクト９９を使用することによって、コネクタの着脱をせずに制御装置１３の着脱をすることが可能となる（図３０、図５５参照）。
【００７７】
加えて、本発明に係る洗浄装置１をコ・ソルベント洗浄法に用いる場合の実施形態についても説明する。コ・ソルベント洗浄法は上述したように環境改善型の新規フロン（例えばＨＦＥ、ＨＦＣ）の弱い洗浄力を補うようにした洗浄法で、前段で炭化水素系溶剤を用いてワーク２の付着油などの汚れの洗浄を行い後段で新規フロンにより炭化水素系溶剤をリンスするというものである。このコ・ソルベント洗浄法に使用する洗浄装置１の構造は基本的には上述したものと共通するが、フロン系溶剤を用いる点、炭化水素系溶剤を用いてワーク２の汚れを洗浄する炭化水素系溶剤の洗浄槽を備えている点、この炭化水素系溶剤の洗浄槽と洗浄槽との間にワーク２に付着した炭化水素系溶剤を除去する除去部１００を備えている点、ワーク旋回アーム１０１を備えている点等において独特である（図３０参照）。
【００７８】
図３０に示す洗浄装置１は炭化水素系溶剤による洗浄を行った後、新規フロンでのリンス過程へと移る途中に、中間過程としてワーク２に付着した炭化水素系溶剤という汚れを除去する過程を備えている。具体的には、炭化水素系溶剤を用いてワーク２の汚れを洗浄する炭化水素系溶剤の洗浄槽（図３０において符号４’で示す）と、この炭化水素系溶剤の洗浄槽４’と洗浄槽との間に設けられてワーク２に付着した炭化水素系溶剤を除去する除去部１００とを備えている（図３０参照）。この洗浄装置１は、コ・ソルベント洗浄法において炭化水素系溶剤による洗浄からリンス過程へと移る途中で炭化水素系溶剤を除去することから、リンス槽本体への炭化水素系溶剤の持ち込み量を減少することができる。したがって、洗浄が繰り返された場合にも炭化水素系溶剤除去槽やリンス槽にはワーク２から除去された炭化水素系溶剤が蓄積されなくなり、常時あるいは間欠的に炭化水素系溶剤を取り除かなくても済むこととなる。なお、本実施形態における除去部（炭化水素系溶剤除去槽）１００は炭化水素系溶剤除去槽として機能するばかりでなく、ワーク供排部としても機能する。すなわち、図３０に示す除去部（炭化水素系溶剤除去槽）１００は、ワーク旋回アーム１０１が反時計回り（ＣＣＷ）に旋回するときは炭化水素系溶剤洗浄槽４’で洗浄されたワーク２に付着した炭化水素系溶剤を除去する槽として機能する一方で、ワーク旋回アーム１０１が時計回り（ＣＷ）に旋回するときはワーク供排部として機能する。ＣＣＷ時は除去部１００を炭化水素系溶剤除去槽として使用し、この場合には、洗浄装置１での洗浄を行うために、ワークの供給・排出を炭化水素系溶剤洗浄槽４’の上部で行っている。ＣＷ時は、除去部１００をワーク供給・排出部に使用し、炭化水素系溶剤の除去を炭化水素系溶剤洗浄槽４’の上面で行い、ワークに付着した炭化水素系溶剤を炭化水素系溶剤洗浄槽４’に落とすようにしている。
【００７９】
なお、ＣＷ時において、炭化水素系溶剤洗浄槽４’の上部にエアブロー等を備えて溶剤を除去するようにしてもよい。
【００８０】
また、図３０に示す洗浄装置１において、炭化水素系溶剤洗浄槽４’は、洗浄槽３〜５とは分離された独立の洗浄槽として形成されている。このため、使用上において、炭化水素系溶剤を用いてワーク２の汚れを洗浄する必要がない場合には、簡単に洗浄槽４’を取り外すことができる。
【００８１】
なお、この炭化水素系溶剤洗浄槽４’を洗浄槽３〜５と一体的に構成する洗浄装置としてもよい。
【００８２】
さらにこの洗浄装置１は、種類の異なるワークホルダ４６を３個備えると同時に、これらワークホルダ４６を周状に配置しているワーク旋回アーム１０１を備えている（図３０参照）。このワーク旋回アーム１０１は図示するように片持ちされたブリッジ４４の先端に回転可能な状態で取り付けられており、タイミングベルト１０６を介して旋回モータ１０２により駆動されることによって時計回りあるいは反時計回りに旋回する（図３０、図５６参照）。ワーク旋回アーム１０１の旋回量（旋回角度）は、旋回ドグ２７の回転量を検出する回転量センサ１０４によって読み取ることができる。このようにワーク旋回アーム１０１を所定量（例えば１２０度）ずつ旋回させることによって洗浄槽内で昇降させるワーク２（ワークホルダ４６）を入れ替えることができる。また、ワークホルダ４６はワーク旋回アーム１０１等ごと上下させることができる。この洗浄装置１では、上述した洗浄装置１と同様に上下ガイド軸４２，４３、ワーク上下モータ５３、タイミングベルト５４等を備え、ブリッジ４４ごとワークホルダ４６等を昇降させることができるようになっている。例えば超音波リンス槽４や除去部１００としての炭化水素系溶剤除去槽内にワーク２を降ろした状態でワーク上下モータ５３を駆動してワーク２を上下させればより高い洗浄効果あるいは炭化水素系溶剤除去効果を得ることが可能となる（図５７参照）。この場合、エアブロー、吸引（バキューム）、布による消毒などを行うことにより、洗浄槽内にワーク２を持ち込む前に余分な炭化水素系溶剤を除去することが可能となる。
【００８３】
なお、上述の説明中にはなかったが、図中の符号１０８は周壁８７の側部に設けられる駆動部固定アーム、１０９は槽内に落下したワーク２などをすくうためのすくい網、１１０は炭化水素系溶剤除去用のエアブロー用チューブ、１１１は除去部（炭化水素系溶剤除去槽）１００用のドレン管を指している。
【００８４】
また、新規フロン系洗浄液（例えばＨＦＥ）と炭化水素系溶剤等の洗浄剤とを組み合わせることにより大きな洗浄効果が期待できる（図５８参照）。ＨＦＥは、炭化水素系溶剤と適度な相溶性を有しているので洗浄剤使用後のすすぎ特性に優れ、きわめて残さの少ない洗浄が可能になる。しかし、図５８からもわかるようにワーク２に付着した炭化水素系溶剤が洗浄槽３〜５中のＨＦＥに持ち込まれるので、ＨＦＥ中の炭化水素系溶剤濃度が徐々に上昇する。それに伴い、図５９に示すように液温が徐々に上昇する。それと同時に、外部に設置された測温体１１２（図６０参照）の温度も上昇する。ここで例えば、ＨＦＥ中の炭化水素系溶剤濃度が１０ｗｔ％を越えたら液交換するとする。この時、測温体１１２のスレッショルドを３７．５℃に設定し、図６０のような手段でＬＥＤやブザーなどを用い警報を出すようにする。つまり、炭化水素系溶剤の含有量（濃度）を温度を媒介にして検出し、所定の事柄をアラーム通知できるようにする。これによって、液交換の時期を正確に把握することができ、油残さの無い洗浄が可能になる。ちなみに、本実施形態では洗浄装置１における洗浄用溶剤の液交換・液量確認のための構造の一例として視認するようにしたものを示したが（図１４〜図１６等参照）、ここで説明したようにＬＥＤやブザーを用いた警報により液交換・液量確認を行えるようにすれば常に液位を監視していなくても確実に交換等の時期を把握できるようになるという点で好ましい。
【００８５】
なお、炭化水素系溶剤濃度の上昇に伴う液交換は、洗浄用溶剤全てを新しいものと交換しても良いが、例えば、洗浄用溶剤中に含まれる炭化水素系溶剤をフロン系溶剤から分離して抜き取るようにしても良い。この場合、例えば図６７に示すように、ドレンタンク１７内の洗浄用溶剤、即ち炭化水素系溶剤（例えばＨＣ）とフロン系溶剤（例えばＨＦＥ）との混合液（ＨＦＥ＋持ち込みＨＣ）１２５をドレンタンク１７内で冷却して行うことが考えられる。混合液１２５は温度が高いほど蒸散し易いので、ドレンタンク１７内で混合液１２５を冷却することで、溶剤の外部への蒸散防止と目減り防止を図ることができる。ドレンタンク１７内で混合液１２５を十分な温度、例えば常温にまで冷却した後、洗浄装置１の外に移す。そして、混合液１２５の上澄み層であるＨＣリッチ層１２５ａを抜き取り、廃却する。一方、ＨＣリッチ層１２５ａの下のＨＦＥリッチ層１２５ｂを洗浄装置１内に戻す。これにより、高価なフロン系溶剤を再使用することができる。
【００８６】
また、図６８（Ａ）に示すように、炭化水素系溶剤とフロン系溶剤との混合液１２５を冷却しこれら溶剤を分離する混合液分離手段１２１を備えても良い。本実施形態では、混合液分離手段１２１は、一端をドレンタンク１７に連通し、他端は開放してなる管状部材からなっている。他端は栓１２３によって塞がれている。そして、他端側には冷却手段１２２が設けられている。冷却手段１２２としては、例えばペルチェ素子、蓄冷剤、氷、水等の冷媒を使用して管状部材を介して混合液１２５を冷却することが考えられる。混合液１２５を冷却する温度としては、低いほど良いが例えば５℃以下である。後述のとおり廃去するＨＣ中のＨＦＣ含有量を１％程度に減らせるからである。
【００８７】
図６８（Ａ）の洗浄装置１では、ドレンタンク１７内の混合液１２５を混合液分離手段１２１内に導き、ここで冷却を行うことでＨＦＥからＨＣを分離している。そして、例えば図６８（Ｂ）に示すように、栓１２３を外し、スポイト等の吸入手段１２６を使用してＨＣリッチ層１２５ａを抜き取るようにしている。この洗浄装置１では、混合液分離手段１２１内の混合液１２５を冷却することで混合液１２５の一部を冷却することになり、ドレンタンク１７内の混合液１２５を冷却する場合に比べて、冷却に要するエネルギーを減らすことができる。また、冷却に要する時間も短縮され、効率よく分離を行うことができる。さらに、混合液１２５の移し作業やＨＦＥリッチ層１２５ｂの戻し作業等を行う必要でないので、作業も簡単である。また、溶剤の大気中への蒸散防止をより一層図ることもできる。
【００８８】
さらに、図６９に示すように、ドレンタンク１７内の混合液１２５を循環させる循環路１２４を設け、この循環路１２４の途中に混合液分離手段１２１を設けても良い。この場合にも、冷却に要するエネルギーを減らすことができると共に、冷却に要する時間を短縮することができ、さらに、作業も簡単である。また、溶剤の大気中への蒸散防止をより一層図ることもできる。この洗浄装置１では、混合液分離手段１２１内での冷却によって循環路１２４内には上の入口１２４ａから流入し、下の出口１２４ｂから流出する混合液１２５の流れが発生する。このため、混合液分離手段１２１による分離をより一層効率よく行うことができる。なお、循環路１２４の周囲を断熱材で覆い、ドレンタンク１７内へと循環する混合液１２５を保温することが好ましい。
【００８９】
なお、図６８，図６９の洗浄装置１では、冷却手段１２２を省略し、混合液１２５を自然冷却するようにしても良い。また、上述のＨＣに代えて、水を使用しても良い。
【００９０】
ここで、上述のようにアラーム通知することによって液交換時期を把握し、洗浄槽３〜５に持込まれた炭化水素系溶剤を温度による溶解度差を利用して分離するという管理方法について検証したので以下に実施例１として説明する。
【実施例１】
【００９１】
炭化水素系溶剤の洗浄槽付き洗浄装置１を用いた。ワーク２には、リン青銅スリーブ／外径10mm−内径３mm、長さ14mm、４個／１セットであって、付着油が防錆油であるものを用いた。炭化水素系溶剤にはＮＳクリーン２００（日鉱石油化学製）（７００ｍｌ）を使用した。炭化水素系溶剤の洗浄は、５０℃×２分とし、ＨＦＥ洗浄（リンス）時間はトータルで１．５分とした。ＨＦＥへの炭化水素系溶剤の持ち込み量については、液更新時炭化水素系溶剤含有量を２０wt％とした。また、検証は予め炭化水素系溶剤／ＨＦＥ濃度を２０wt％にしたＨＦＥ洗浄液を調製しておき、炭化水素系溶剤洗浄タンクの油含有量を２０wt％の固定濃度で実施した。そして、最初にワーク２を炭化水素系溶剤槽で洗浄し防錆油を除去し、次いで炭化水素系溶剤／ＨＦＥ洗浄槽でワーク付着の炭化水素系溶剤を除去し、ＨＦＥ槽でリンスを行った。さらにＨＦＥ蒸気洗浄、乾燥工程を経てコ・ソルベント洗浄を完了した。次に、炭化水素系溶剤／ＨＦＥ洗浄槽の液更新のため洗浄装置１の運転を止めた。ここで液温が室温（15℃）まで冷えたら２層に分離した上澄み液を抜き取った。ここでは、液を常温まで冷却した場合に分離が生じる性質を利用した。続いて、新規ＨＦＥを運転可能なレベルまで補給し、洗浄装置１を稼動し再び洗浄を行った。
【００９２】
以上の検証の結果、以下のことがいえることがわかった。すなわち、第１に、ＨＦＥリンスの蒸留槽（炭化水素系溶剤／ＨＦＥ洗浄槽）に持込まれた炭化水素系溶剤は、図６１および図６２に示す炭化水素系溶剤（ＨＣ）溶解度差を利用して分離できることを確認した。この場合、炭化水素系溶剤洗浄槽にワーク付着汚染として持込まれた油は炭化水素系溶剤中に含有するものとして考えている。第２に、炭化水素系溶剤／ＨＦＥ洗浄槽中の分離された炭化水素系溶剤に含まれるＨＦＥは廃棄するが、廃棄ＨＦＥ量はかなり低く抑えられることがわかった。第３に、炭化水素系溶剤／ＨＦＥ洗浄槽中の炭化水素系溶剤含有量は、含有量増加と沸点上昇が比例することから検出ができることがわかった。第４に、スリーブ形状ワークを用いて洗浄後の残油量を測定した結果、蒸留槽がＨＦＥのみのときと更新したときとで値に差異がなく、いずれも検出限界以下（0.5μｇ／cm2）であった。
【実施例２】
【００９３】
また、溶解度差を利用した分離の有効性を確認するための分析を行った。図６３に溶剤分離の概念を示す。ＨＣ（日鉱石油化学製ＮＳクリーン２００）：１０ｇとフロン洗浄剤（ＨＦＥ：住友３Ｍ製ＨＦＥ７１００）：４０ｇを混合した後、放置し（図６３（Ａ）（Ｂ））、ＨＦＥリッチ層１２５ｂとＨＣリッチ層１２５ａとの分離を観察した。なお、本発明では、分離したＨＦＥリッチ層１２５ｂを炭化水素系溶剤／ＨＦＥ洗浄槽に戻し、ＨＣリッチ層１２５ａを廃却する（図６３（Ｃ））。
【００９４】
図６４にＨＦＥとＨＣの溶解量と温度との関係を、図６５にＨＣリッチ層１２５ａ中のＨＦＥ／ＨＣ含有量と温度との関係をそれぞれ示す。これらの図からも明らかなように、温度の低下に伴いＨＦＥリッチ層１２５ｂとＨＣリッチ層１２５ａとの分離が顕著になり、また、ＨＣリッチ層１２５ａ中のＨＣの含有率が増加し、ＨＦＥの含有率が減少したことが確認できた。
【００９５】
また、ＨＣリッチ層（廃却ＨＣ）１２５ａ中のＨＣ含有量とＨＦＥ含有量を分析した。図６６に廃却ＨＣ１２５ａ中のＨＣ／ＨＦＥ含有量（ＨＦＥ：８０wt％、ＨＣ：２０wt％）と温度との関係を示す。縦軸はＨＣ含有量又はＨＦＥ含有量（wt％）、横軸は温度（℃）である。温度の低下に伴い、廃却ＨＣ中のＨＣ含有量は増加し、ＨＦＥ含有量は減少することを確認できた。つまり、ＨＦＥ：８０wt％／ＨＣ：２０wt％の時点で、ＨＣリッチ層１２５ａを常温で抜き取る（更新）と、ＨＣリッチ層１２５ａ中に含まれるＨＦＥ含有量は３％程度であることを確認できた。また、温度を５℃以下まで下げることで、ＨＦＥ含有量は１％程度まで減らせることも確認できた。ＨＦＥはＨＣに比べると非常に高価（ＨＣの１０〜２０倍）であり、廃却ＨＣ中のＨＦＥ含有量を１％程度まで減らせることは大変経済的である。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明の一実施形態を示す図で、実際の視点に基づいて洗浄装置の全体を表したものである。
【図２】洗浄装置のシャフトや回転洗浄槽等の構造を示す縦断面図である。
【図３】本実施形態における回転洗浄槽とそこに設けられた隔壁の形状例を示す平面図である。
【図４】液面が段々と低くなるように円周状に設置された各洗浄槽と乾燥槽との設置高さを展開して表した概略図である。
【図５】パンチングメタルの形状を示す平面図である。
【図６】クランク部材に設けられた係合溝の形状とこの係合溝の中での駆動ピンの動きを展開して示す図である。
【図７】ジョイントブロックの形状およびこのジョイントブロックに係脱可能に設けられたシャフト下端の係合ブロック等の形状を示す斜視図である。
【図８】ワーク搬送装置を構成するワーク保持部品を示す側部からの概略図である。
【図９】（Ａ）洗浄動作としてのワーク停止位置を説明する概略図と、（Ｂ）その動作順序を示す図である。
【図１０】洗浄装置における制御装置の回路構成の一例を示す図である。
【図１１】洗浄装置における回転駆動装置の構造例を示す部分縦断面図である。
【図１２】洗浄槽回転モータからシャフトへの動力伝達系統を示す平面図である。
【図１３】回転センサドグおよび回転センサの平面図である。
【図１４】回転洗浄槽およびその周囲の外形を示す平面図である。
【図１５】図１４のXV-XV線における縦断面図である。
【図１６】別の角度から見たドレンタンク液面管を表す図である。
【図１７】ワーク搬送装置の一部および昇降駆動装置の構造の概略を示す正面図である。
【図１８】図１７に示した昇降駆動装置におけるタイミングベルトやプーリ等の構造を示した図である。
【図１９】図１７に示した昇降駆動装置等のXIX-XIX線における断面図である。
【図２０】図１７に示した昇降駆動装置等の背面図である。
【図２１】図１７に示した昇降駆動装置等の底面図である。
【図２２】ワーク供排口蓋および位置決め部材を示す部分図である。
【図２３】本実施形態における洗浄装置の平面図である。
【図２４】中央に磁石が設けられた回転洗浄槽を表す平面図である。
【図２５】磁石が設けられたシャフトと回転洗浄槽のみを表す図である。
【図２６】本発明の他の実施形態における槽回転型下部回転伝達式の洗浄装置の縦断面図である。
【図２７】槽回転型上部釣下型回転伝達式の洗浄装置の概略図である。
【図２８】槽回転型下部回転伝達式の洗浄装置の概略図である
【図２９】各槽は回転させずワーク搬送装置を回転させるようにした槽固定型上部回転伝達式の洗浄装置の概略図である。
【図３０】本発明の他の実施形態を示す洗浄装置の全体斜視図である。
【図３１】洗浄装置の縦断面図である。
【図３２】洗浄槽および乾燥槽の平面図である。
【図３３】水分離機構の具体的構造例を示す図である。
【図３４】槽内において溶剤が循環する様子を示す概略図である。
【図３５】視認窓に用いるガラス板であって３分割されたものを示す図である。
【図３６】視認窓に用いるガラス板であって１枚化されたものを示す図である。
【図３７】視認窓に用いるガラスであって周状のものを示す図である。
【図３８】各管が独立して設けられた廃液ドレン管とドレンタンク液面管を示す概略図である。
【図３９】廃液ドレン管とドレンタンク液面管とを一部供用化して様子を示す概略図である。
【図４０】洗浄装置の本体とその下側に設けられた制御装置を示す概略図である。
【図４１】洗浄装置の本体とその側部に設けられた制御装置を示す概略図である。
【図４２】冷却管の上部に樹脂板を断熱材として挟み込んだ様子を示す概略図である。
【図４３】冷却管の鉛直円孔および鉛直孔の上部をシール材でシールした様子を示す概略図である。
【図４４】回転円板の底部にパンチングメタルを１枚取り付けた本実施形態の概略図である。
【図４５】回転円板の底部にパンチングメタルを２枚取り付けた様子を示す概略図である。
【図４６】別形状とした係合溝とこの係合溝の中での駆動ピンの動きを展開して示す図である。
【図４７】超音波リンス槽の液面と最終洗浄槽の液面との高低差を大きくした一例を示す概略図である。
【図４８】ワークを１個ずつ運ぶようにした本実施形態のワークホルダを簡単に示す図である。
【図４９】大型化して複数個のワークを一度に載置できるようにしたワークホルダを示す概略図である。
【図５０】鋼製のカゴからなるワークホルダを示す概略図である。
【図５１】左右の上下ガイド軸を上下ガイド軸受部でガイドするようにした両持ちの構造の概略を示す図である。
【図５２】上下ガイド軸を片持ち支持するようにした構造の概略を示す図である。
【図５３】回収板を伝熱性のあるアルミ製とした上でさらにアルミ製の冷却軸が接続された当該回収板などを示す概略図である。
【図５４】洗浄装置の各種装置を着脱可能なコネクタを用いて接続した本実施形態の概略を示す図である。
【図５５】洗浄装置の各種装置を配線ダクトを用いて接続した場合の概略を示す図である。
【図５６】種類の異なるワークホルダを３個備えると同時にこれらワークホルダを周状に配置したワーク旋回アームとその周辺の概略を示す平面図である。
【図５７】超音波リンス槽や炭化水素系溶剤除去槽内にワークを降ろした状態でワーク上下モータを駆動してワークを上下させるようにした形態の概略を示す図である。
【図５８】新規フロン系洗浄液（例えばＨＦＥ）と炭化水素系溶剤等の洗浄剤とを組み合わせることにより大きな洗浄効果が期待できるようにした装置の概略を示す図である。
【図５９】ＨＦＥ中の炭化水素系溶剤の濃度と温度との関係を示すグラフである。
【図６０】新規フロン系洗浄液と炭化水素系溶剤等の洗浄剤とを組み合わせることにより大きな洗浄効果が期待できるようにした実施形態における洗浄槽の概略を示す図である。
【図６１】フロン溶剤と炭化水素系溶剤の温度別溶解度を示すグラフである。
【図６２】炭化水素系溶剤／ＨＦＥの溶解度差を示す表である。
【図６３】溶剤分離の概念を示し、（Ａ）はＨＣ：１０ｇとＨＦＥ（フロン洗浄剤）：４０ｇを混合する様子を示す図、（Ｂ）はそれを放置する様子を示す図、（Ｃ）はＨＦＥリッチ層とＨＣリッチ層とに分離した様子を示す図である。
【図６４】ＨＦＥとＨＣの溶解量と温度との関係を示すグラフである。
【図６５】ＨＣリッチ層中のＨＦＥ、ＨＣ含有量と温度との関係を示すグラフである。
【図６６】ＨＣリッチ層（廃却ＨＣ）中のＨＣ、ＨＦＥ含有量と温度との関係を示すグラフである。
【図６７】洗浄用溶剤中に含まれる炭化水素系溶剤をフロン系溶剤から分離して廃却する概念を示す概略構成図である。
【図６８】本発明の別の実施形態を示し、（Ａ）は洗浄装置の要部概略構成図、（Ｂ）はＨＣリッチ層を抜き取る様子を示す図である。
【図６９】本発明のさらに別の実施形態を示す洗浄装置の要部概略構成図である。
【符号の説明】
【００９７】
１  洗浄装置
２  ワーク
３  煮沸蒸留槽（洗浄槽）
４  超音波洗浄槽（洗浄槽）
４’（フロン系溶剤を用いた）洗浄槽
５  最終洗浄槽（洗浄槽）
７  ヒータ
８  冷却器
９  ワーク搬送装置
１０  回転駆動装置
１１  昇降駆動装置
１２  水分離機構
１００  除去部
１２１  混合液分離手段
１２２  冷却手段
【図１】
2005103531.tif 000003
【図２】
2005103531.tif 000004
【図３】
2005103531.tif 000005
【図４】
2005103531.tif 000006
【図５】
2005103531.tif 000007
【図６】
2005103531.tif 000008
【図７】
2005103531.tif 000009
【図８】
2005103531.tif 000010
【図９】
2005103531.tif 000011
【図１０】
2005103531.tif 000012
【図１１】
2005103531.tif 000013
【図１２】
2005103531.tif 000014
【図１３】
2005103531.tif 000015
【図１４】
2005103531.tif 000016
【図１５】
2005103531.tif 000017
【図１６】
2005103531.tif 000018
【図１７】
2005103531.tif 000019
【図１８】
2005103531.tif 000020
【図１９】
2005103531.tif 000021
【図２０】
2005103531.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【図５７】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
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【図６５】
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【図６６】
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【図６７】
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【図６８】
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【図６９】
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