(57)【要約】   【課題】  従前のものよりも一段と秀れた高硬度・高強度・高融点・高靱性・化学反応性のないという特性を示す無潤滑材料としてのセラミックス材を実現させるため、植物性炭素＋有機高分子（フェノールレヂン）＋ＳＣＷ（ＳｉＣ  Ｗｈｉｓｋｅｒ）の複合材料化を図った新規な構造のセラミックス材、およびその新規な製造方法を実現化する。  【解決手段】    シリコンカーバイトウィスカー５ないし２８容積％、および植物性炭素セラミックス粉体６０ないし８０容積％、残部をフェノールレヂン粉末とする混練物を焼結させてなるものとしたセラミックス材である。                                                                      【選択図】    図１ 
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンカーバイトウィスカー５ないし２８容積％、および植物性炭素セラミックス粉体６０ないし８０容積％、残部をフェノールレヂン粉末とする混練物を焼結させてなるものとしたことを特徴とするセラミックス材。
【請求項２】
直径が０．０５ないし１．５μｍ、長さが２０ないし８０μｍとしてなるシリコンカーバイトウィスカー５ないし２８容積％、および植物性炭素セラミックス粉体６０ないし８０容積％、残部をフェノールレヂン粉末とする混練物を焼結させてなるものとしたことを特徴とするセラミックス材。
【請求項３】
シリコンカーバイトウィスカー５ないし２８容積％、および粒子サイズが２０ないし６０μｍの植物性炭素セラミックス粉体６０ないし８０容積％、残部をフェノールレヂン粉末とする混練物を焼結させてなるものとしたことを特徴とするセラミックス材。
【請求項４】
直径が０．０５ないし１．５μｍ、長さが２０ないし８０μｍとしてなるシリコンカーバイトウィスカー５ないし２８容積％、および粒子サイズが２０ないし６０μｍの植物性炭素セラミックス粉体６０ないし８０容積％、残部をフェノールレヂン粉末とする混練物を焼結させてなるものとしたことを特徴とするセラミックス材。
【請求項５】
シリコンカーバイトウィスカー粉末を表面シランカップリング処理し、表面にアミノシラン系シランカップリング剤の被膜を形成した後、その適量に対して所定割合の植物性炭素セラミックス粉末と、それらの残部としてのフェノールレヂン粉末の適量とを混合、混練して適宜成形した上、不活性ガス雰囲気または真空中で焼結、製造するようにした、請求項１ないし４何れかに記載したセラミックス材の製造方法。
【請求項６】
カップリング処理するシリコンカーバイトウィスカー粉末は、直径０．０５ないし１．５μｍ、長さ２０ないし８０μｍのものである、請求項５記載のセラミックス材の製造方法。
【請求項７】
植物性炭素セラミックス粉末は、粒子サイズ２０ないし６０μｍのものである、請求項５記載のセラミックス材の製造方法。
【請求項８】
カップリング処理するシリコンカーバイトウィスカー粉末は、直径０．０５ないし１．５μｍ、長さ２０ないし８０μｍのものであり、植物性炭素セラミックス粉末は、粒子サイズ２０ないし６０μｍのものとした、請求項５記載のセラミックス材の製造方法。
【請求項９】
焼結温度が、７００ないし１，１００℃の範囲内で製造するようにした、請求項５ないし８何れかに記載したセラミックス材の製造方法。
【請求項１０】
前記請求項９の焼結、製造に先んじ、１８０ないし２５０℃の範囲で真空仮焼結した上にブランク加工する工程を経過するようにした、請求項９記載のセラミックス材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、各種工作機械や医療機器などといった精密機械器具類、あるいはユビキタス・コンピューティング社会で活躍が予想される各種民生機器類等の回転作動部において必須の機械要素である軸受け部や繰り返し摺動部など繰り返し摩擦を受ける部位に好適な新素材として注目されるセラミックス材に関し、特に高硬度・高強度・高融点・高靱性・化学反応性のない性状を具備しているセラミックス材を製造、加工、販売する技術分野は固よりのこと、それらセラミックス材を採用した機械要素を組立、販売する分野や当該機械要素を組み込んで各種目的、用途に適った機械器具、装置を提供する分野など、セラミックス材に直接または間接的に係わりを有するあらゆる関連分野をその技術分野とするものである。                                                                                            
【背景技術】
【０００２】
（視  点）
精密工作機械の分野では、精度の安定化と作業時間の短縮化とを目指して、工作機械の軸受け主軸に一層の高速化が求められ、このような特殊軸受けには、従来からその耐久性と作業性などの観点から、構成素材の構造強度や耐摩耗性をより高めるための努力が続けられ、靭性がある上にできるだけ摩擦係数が小さくて耐磨耗性に富み、熱変形もなるべく少なくて組合せ部材と馴染みが良く、しかも加工性が良くて経済的に納まるといった性状を求め、新しい鉄系、銅系焼結合金や新エンジニアリング・プラスチックなどを実用化してきたが、それら従前の新素材では、特殊軸受けに必要とされる高硬度・高強度・高融点・高靱性・化学反応性のない性状を十分に充足させ得るところまでには至っておらないため、１０，０００ないし４０，０００ｒｐｍあるいはそれ以上の高速回転を必要とする特殊軸受けには、素材の弱点を補うべく、主軸とそのハウジングとの間の極小間隙に加圧空気を供給し、両者間に発生する静圧によって主軸を非接触支持した状態の回転を可能にする静圧軸受けが多用されているが、その構造は精緻であって製作費が高くつくだけではなく、低速回転時における軸受け特性の低下や、極小間隙内に過って異物（水分や油分あるいは塵埃等）が侵入したときに生じる著しい特性の低下を来すこととなり、そうした事象を回避するためにメンテナンスを心掛けなければならず、作業負担を増大させてしまうという問題を避けることができなかった。
【０００３】
（従来の技術）
こうした状況から、静圧軸受けの構造特性を活かすためにも、その主軸やハウジングを構成するために必要とされる高硬度・高強度・高融点・高靱性・化学反応性のない性状を満足させる新素材の開発、実用化が急務であり、その候補として注目され始めてきているのが、例えば特開昭６２−１７６９５２号公報に掲載された小松外発明にある「炭素−セラミックス複合材」や特開平５−２４８４２８号公報の「気体軸受け装置」（比叡発明）に採用があるセラミックスあるいはその複合材であって、その後、それら従来のセラミックスが成形性が悪い上に脆性がなくて脆いなどという欠点を解消し、しかも低廉に提供可能なエコロジー素材として開発、実用化された特開平１０−１０１４５３号の村山外発明である「多孔性炭素材製品および硬質多孔性炭素材製品の製造方法」や、特開２００２−１８１０４９公報に掲載された堀切川・小原発明「スリーブ軸受装置」や、同一人発明の特開２００２−２５０３４３公報に掲載のある「特殊軸受装置」のような植物性炭素セラミックス無潤滑材料がある。
【０００４】
この従来からの植物性炭素無潤滑セラミックスでは、植物性炭素と有機高分子（フェノールレヂン）とを混合した上、多少の充填材添加によって粘性流動を確保することによってセラミックス結晶体の強度補強を行っており、フェノール樹脂添加焼結ファンデルワールス力（Van
der Waals Force）物理吸着による結晶構造である。
この結晶構造は、不対電子を持たない分子間（原子間）に働く引力（普通分散力を意味する。）であって、原子間距離ｒに対し、そのポテンシャルはＶ（ｒ）＝−C／ｒ６ で表される（分子間力）中性原子を緩く結合させ、高分子結晶版（ラメラ構造）が幾重にも重なった状態で、捩れながら一定方向に進展、成長して得られるものであり、このセラミックス結晶体は、高い硬度と強度とを有し、植物性炭素添加率６０ないし８０％のものでは、無潤滑性とセラミックス化とによる高温領域での素材膨張、収縮変形が非常に小さいという特性を備え、現状、植物性炭素セラミックス硬度ＨＶ４００ないし６００、圧縮強度１６０ないし２４６ＭＰａ、曲げ強度４５ないし７８．４ＭＰａ程度を達成している。                                                                                                                  
【特許文献１】（１）特開平１０−１０１４５３号公報  （２）特開２００２−１８１０４９公報  （３）特開２００２−２５０３４３公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
（問題意識）
既に開発された従来の植物性炭素セラミックス無潤滑材料は、既述したようにその硬度はＨＶ４００ないし６００を達成していて比較的硬度を有し、圧縮強度１６０ないし２４６ＭＰａ、曲げ強度４５ないし７８．４ＭＰａ程度を達成しているものの、未だ破壊靱性面では少々値が低く、機工部品物性材料として、摺動、軸受、それを取り巻くあらゆる関連分野における素材の強度としては少々脆弱なために、その靱性を可能な限り改善した信頼性の高い無潤滑材料としてのセラミックス材、特に繊維強化型植物性炭素無潤滑セラミックスが求められているものの、現状では存在していない。
【０００６】
この植物性炭素無潤滑セラミックスの繊維強化法としては、一般的に次の二通りの強化方法が想定される。
（１）連続繊維添加強化法
ガラス、ボロン、Ｂ４Ｃ、Ｂｅ、カーボン繊維などの何れかを単独あるいは組み      合せて添加する強化方法
（２）ウィスカーファイバー添加強化法
Ａｌ２０３（アルミナ）、ＳｉＣ（炭化ケイ素）、グラファイトの何れかを単独      あるいは組み合せて添加する強化方法
【０００７】
（１）、（２）の材料特性としては、耐熱衝撃、機械的強度、熱膨張、破壊靱性の面で脆弱であり、これらの条件を満たすために、耐熱衝撃、機械的強度、熱膨張、破壊靱性に秀れた繊維強化材の選択が求められていて、その中、特に注目されているのがウィスカーファイバー、即ちＳｉＣ（炭化ケイ素）とＳＣＷ（シリコンカーバイトウィスカー）であり、ＳｉＣ（炭化ケイ素）ファイバーは高硬度であるものの破壊靱性は弱く、ＳＣＷ（シリコンカーバイトウィスカー）はＳｉＣ（炭化ケイ素）と同硬度でありながら、破壊靱性値は高く、短繊維絡み組成を実現することにより、高硬度、高強度、高靱性を併せ持った期待どおりの植物性炭素繊維強化無潤滑セラミックスの実現化が可能になるものといえる。
【０００８】
（発明の目的）
この発明では、上記のような知見の下に、従前のものよりも一段と秀れた高硬度・高強度・高融点・高靱性・化学反応性のないという特性を示し、無潤滑材料としてのセラミックス材を実現させることができるものと確信し、逸速くその開発、研究に着手し、長期に渡る試行錯誤と幾多の試作、実験とを繰り返してきた結果、今回、遂に植物性炭素＋有機高分子（フェノールレヂン）＋ＳＣＷ（ＳｉＣ  
Ｗｈｉｓｋｅｒ）の複合材料化を図った新規な構造のセラミックス材、およびその新規な製造方法を実現化することに成功したものであり、以下では、その構成を詳述していくこととする。                                                                      
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（発明の構成）
上記のような経緯から実現されたこの発明のセラミックス材は、基本的に次のような構成から成り立っている。
即ち、シリコンカーバイトウィスカー５ないし２８容積％、および植物性炭素セラミックス粉体６０ないし８０容積％、残部をフェノールレヂン粉末とする混練物を焼結させてなるものとした構成を要旨とするセラミックス材である。
【００１０】
この基本的な構成よるこの発明には、直径が０．０５ないし１．５μｍ、長さが２０ないし８０μｍとしてなるシリコンカーバイトウィスカー５ないし２８容積％、および植物性炭素セラミックス粉体６０ないし８０容積％、残部をフェノールレヂン粉末とする混練物を焼結させてなるものとした構成のセラミックス材が包含されている。
【００１１】
同様に、シリコンカーバイトウィスカー５ないし２８容積％、および粒子サイズが２０ないし６０μｍの植物性炭素セラミックス粉体６０ないし８０容積％、残部をフェノールレヂン粉末とする混練物を焼結させてなる構成のセラミックス材も包含される。
【００１２】
さらに、直径が０．０５ないし１．５μｍ、長さが２０ないし８０μｍとしてなるシリコンカーバイトウィスカー５ないし２８容積％、および粒子サイズが２０ないし６０μｍの植物性炭素セラミックス粉体６０ないし８０容積％、残部をフェノールレヂン粉末とする混練物を焼結させてなるセラミックス材も包含されている。
【００１３】
（関連する発明）
また、この発明には、上記したセラミックス材に加え、その製造方法も含んでおり、それは、シリコンカーバイトウィスカー粉末を表面シランカップリング処理し、表面にアミノシラン系シランカップリング剤の被膜を形成した後、その適量に対して所定割合の植物性炭素セラミックス粉末と、それらの残部としてのフェノールレヂン粉末の適量とを混合、混練して適宜成形した上、不活性ガス雰囲気または真空中で焼結、製造するようにした構成からなるセラミックス材の製造方法である。                                              
【発明の効果】
【００１４】
以上のような構成からなるこの発明のセラミックス材は、これまでのセラミックス材で最も高い強度靱性を達成し得ているものであり、従来の射出成形品植物性炭素セラミックスの最高圧縮強度（約２４６ＭＰａ）を３３％以上も上回る強度が実現できると共に、同最高曲げ強度（約７８．４ＭＰａ程度）に対しても１２％以上の値を得ることとなって、従前までの植物性炭素セラミックスの圧縮、曲げ応力を大幅に改善できるものとなり、特殊軸受やブレーキなどといった繰り返し摺動部材の素材としてこれまでになく秀れた素材とすることができると共に、このように秀れた特性を有するセラミックス材を製造する方法も、従前までのセラミックス結晶バインダーフェノールレヂンを製造する方法では、その焼結過程で多量のガスが発生することになって内部応力ひずみを発生してしまい、破壊する場合もあるのに対し、真空焼成を採用すると共に、窒素ガス注入仮焼成１８０ないし２５０℃真空１／１００
で多量のガスを吸収焼成し、その後窒素ガスを注入した上、本焼成７００ないし１，１００℃、真空１／１００００ の焼結方法を用いて焼結製造することから、従来からの弊害を払拭して歩留まりが良く、製品精度において信頼性の高いセラミックス材を確実に製造することができるものとなる。                                                                
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
上記したとおりの構成からなるこの発明の実施に際し、その最良もしくは望ましい形態について説明を加えることにする。
先ず、この発明のセラミックス材料マトリックスは、植物性炭素セラミックス粉末とフェノールレヂン粉末とで構成されるものであり、これに硬質高靱性ウィスカーＳＣＷ粉末を均一に分散して絡み合わせた組成構造とすることによって繊維強化した複合セラミックス材とするものであり、繊維強化材としてのウィスカーとしては、Ａｌ２０３（アルミナ）、ＳｉＣ（炭化ケイ素）、グラファイトなどに代表されるが、高強度を求めることからシリコンカーバイトウィスカー（ＳＣＷ）を採用するのが最適であり、我が国では、現在のところ特定の製造元によって限定的にしか供給されていないが、それらメーカーのものに限定されている訳ではなく、シリコンカーバイトウィスカー（ＳＣＷ）であればあらゆるウィスカーの採用が可能であることはいうまでもない。
【００１６】
このウィスカーの特性は、（イ）融点２，６９０℃と高く、セラミックス焼成温度７００ないし１，１００℃では全く物性変化は見られず、（ロ）高硬度であって（ハ）高強度に秀れ、（ニ）高耐熱性があり（ホ）低比重を有し、（ト）低熱膨張性があり（チ）化学安定性もある上、（リ）導電性、（ヌ）高熱伝導性にも秀れており、繊維強化炭素セラミックスは、機工部品用のエンヂニアリングセラミックス（ＷＲＣ）素材として、無潤滑摺動や軸受関連分野も含め、ＳＣＷ２８容積％以下の添加であれば摩擦抵抗値も低く、従来にない材料を実現することができる。
【００１７】
ＳＣＷは、モース硬度９であって略Ａｌ２０３（アルミナ）と同等の高硬度を有し、弾性率（ヤング率）４８１ＧＰａ、引張り強度２０．６ＧＰａを示し、また比重は３．１８と軽く、高硬度、高靱性、高強度を併せ持つファイバー状繊維であり、そのサイズは、限定されるものではないが、特に製造の容易性や機能発現性などの点から、直径０．０５ないし１．５μｍ、長さ２０ないし８０μｍの範囲のものとすべきであり、マトリックス（炭素セラミックス）粒子２０ないし６０μｍ粉体に対し、ファイバーマトリックス絡み繊維強化複合材として最適な条件下にあるものとする。その他化学反応安定性が高く、高熱伝導性も秀れていることから、セラミックス結晶過程での強化結晶に大きく貢献すると共に、マトリックスとなる炭素セラミックス粉末に、均一に混合することが容易である。
【００１８】
このＳＣＷを５ないし２８容積％添加することにより、繊維強化された植物性炭素セラミックスで、植物性炭素セラミックス粉体との均一な結びつきは、シランカップリング処理によるファイバーマトリックス関係をコーティング処理によって強固な結合を促進し、更に短繊維の絡み合いにより、より一層強固に接合された組成構造を有するものとなり、繊維強化型セラミックスとして、ＳＣＷの物理的特性である高靱性によって、圧縮強度３２８ＭＰａ、曲げ強度９０．８ＭＰａと著しく大きな靱性をもたらすことになる。
【００１９】
なお、ファイバー状繊維のために通常の混合方法では均一に分散、混合することはできないことから、ボールミル粉砕による平均粒長をＭＡＸ８０μｍ以下にメッシュラー分級を行い、短繊維化するファイバーの長さを８０μｍ以下の所望のサイズの粉末にすることにより、短繊維絡み合いによる均一分布としなければならない。
【００２０】
植物性炭素セラミックス粉末２０ないし１００μｍ粒径を２０ないし６０μｍＭＡＸにボールミル粉砕メッシュラー分級を行う必要があり、６０μｍを超える粉末では、ＳＣＷと均一に交じり合わず、絡み合い構造を実現できないことから採用不適である。
【００２１】
ＳＣＷ粉末を表面シランカップリング処理し、アミノシラン系シランカップリング剤（Ｎ−フェニル−ｒ−アミノプロピルトリメトキシシラン）などのコーティングを施すものとし、コーティング処理後、植物性炭素セラミックス粉末及びフェノールレヂン粉末を混練機によって分散バランス混練し、組成が均一な状態になるまで十分に混練するようにした上、さらにＳＣＷを添加し、同様に分散バランス混練して組成の均一化を図るようにしなければならない。
【００２２】
混合物中の混合比は、植物性炭素セラミックス粉末６０ないし８０容積％に対し、ＳＣＷ粉末５ないし２８容積％、残部をフェノールレヂン粉末となるような割合に設定するのが望ましく、この範囲外である植物性炭素セラミックス粉末６０容積％未満では、潤滑性と硬度が低下してしまい、その割合において８０容積％を超えると、セラミックス結晶が脆くなってしまい、また、ＳＣＷ５容積％未満では繊維強化の効果が乏しく、２８容積％を超えてしまうと潤滑時の摩耗抵抗が増大するため、それら範囲外となる割合の採用は好ましくないといえる。
【００２３】
混合物は、次で金型に充填し、粉体圧縮ホットプレス（１８０℃）およびゴム型静水圧プレスなどによって成形し、成形体とする。続いて成形体を仮焼結（１／１００真空炉、１８０ないし２５０℃）して不純物を飛ばした後、真空度１／１００００
、加熱温度７００ないし１，１００℃の高温焼結して本焼成する。なお、この高温焼結前の未硬化状態のときに所望の形状に切削加工によるブランク加工成形を行うものとし、高温焼結後は、研削加工を必要とする。
【００２４】
焼結は、不活性ガス雰囲気中か、または、真空中で行うものとし、望ましくは１／１００ 程度の真空度での仮焼成とし、１／１００００の真空度での本焼結とするのが望ましいといえる。なんとなれば、大気中で実施する場合、酸化現象によって不純物堆積および体積異常消耗、内部発生ガスの内部応力ひずみを生じてしまい、焼成中に破壊する可能性が大であるからである。したがって、窒素ガス注入によって炉内の酸化防止を行った上、真空バキュームによって焼成中に発生する不純物を吸収すると共に、焼成終了後の高温からの除冷速度をコントロールするようにするのが望ましい。焼成には、圧粉によるホットプレスした後で仮焼成するか、常温静水圧プレス（ＣＩＰ）した後で仮焼結するかの何れかによるものとし、その後、真空本焼結を実施するようにするのが望ましく、場合よっては熱間粉末押出し成形を採用することもできる。                                                                                                  
【実施例１】
【００２５】
平均粒径２０ないし１００μｍの植物性炭素セラミックス粉体を、超硬ボール（φ３ないしφ１０）回転型粉砕機で粉砕し、造粒機で成形、造粒した上、網目メッシュラーで分級して平均粒径２０ないし６０
μｍの微粒子とした。
また、植物性炭素セラミックス粉末として、三和油脂株式会社製の粉末（特許文献１（１）で取り上げた発明による植物性炭素セラミックス粉末）ＲＢＣ１００μｍを用意した。
【００２６】
繊維強化材として、ＳＣＷ粉末（直径０．０５ないし１．５μｍ、長さ２０ないし２００μｍ）をセラミックスボール（Ａｌ２０３）φ１０、セラミックスポット（Ａｌ２０３）φ１５０×１５０Ｌ
を用意し、回転型粉砕機で粉砕して網目メッシュラーで分級、直径０．０５ないし１．５μｍ、長さ８０μｍのファイバーとした。
【００２７】
ＳＣＷ粉末の表面シランカップリング処理によってコーティングを施すが、表面シランカップリングは次のように行った。
即ち、希釈されたシランカップリング液体を、ＳＣＷ粉末に点滴滴下し満遍なく混練した上、ウェット状態の均一化されたコーティングを行う。これを乾燥機に入れて１２ないし１５時間程度乾燥して取り出すようにする。この処理により、ＳＣＷ粉末表面に０．０３ないし０．０５μｍ程度のアミノシラン系コーティング剤の被膜を形成することができる。
【００２８】
表面シランカップリングコーティング処理したこのＳＣＷ５ないし２８容積％を、フェノールレヂン粉末および植物性炭素セラミックス粉末２０ないし６０μｍとなるよう均一に混練されたものに対して添加、混合し、回転型混練機で１０ないし２０時間の間に渡って均一に混練する。そして、これら均一に混練した微粒子粉体混合物を、直径８０ｍｍ、
深さ５０ｍｍの金型に充填した上、油圧ホット圧縮プレスにより、５００ないし２，０００ｋｇ／平方ｃｍの圧力でプレスし、１８０℃まで昇温またはゴム型による静水圧（ＣＩＰ）によって９００ないし２，０００ｋｇ／平方ｃｍによってプレスし、径８０ｍｍ、厚み１３ないし１５ｍｍの圧粉成形体を形成した。
この成形体をバッチ式真空炉内に設置し、温度１８０ないし２５０℃で約２０時間程に渡って仮焼結し、外径厚さ余肉１ないし３ｍｍのブランクに成形した後、加熱温度７００ないし１，１００℃で３０ないし３５時間に渡る本焼成を施した。その焼成体の比重は、１．３ないし１．４であった。
【００２９】
その結果、得られた焼結体の圧縮強度、曲げ強度は、山形県工業技術センターの試験によるデータシートを縮小して示す図１中の値に見るとおりのものである。
また、その試験結果を、従来の植物性炭素無潤滑セラミックスと比較したものとして以下に示してある。                                                                                        
【表１】
2005225716.tif 000003
【００３０】
（実施例の効果）
この比較データから、この発明のセラミックス材は、従前のもののデーターに対し、圧縮強さで＋１０８ＭＰａと４９％増加し、曲げ強さでは＋３０．８ＭＰａと５１．３％の増加を示すと共に、摩擦係数についても低下し、ＳＣＷ添加による繊維強化がセラミックス自体の高硬度、高強度、高靱性、低摩擦としてセラミックス自体の脆性を大幅に改良すると共に、潤滑性も向上している。したがって、これらのデータから、この発明のセラミックス材は、脆性破壊に強い潤滑性が高い無潤滑セラミックスとしての特徴を有することが裏付けられた。
【００３１】
（結  び）
叙述のとおり、この発明のセラミックス材、即ち植物性炭素繊維強化無潤滑セラミックスは、従来の特殊軸受用、繰り返し摺動用素材として未だ脆弱であった植物性炭素セラミックスに比較し、大幅に所要特性の改善を図ることが可能となることから、無潤滑すべり軸受や気体静圧軸受用の素材、あるいは繰り返し摺動用材として、高硬度、高強度、高靱性、低摩擦、秀れた耐摩耗性、および化学反応性のない特性を普く有し、これらの条件を必要とする軸受、摺動の分野においては勿論のこと、この分野に直接、間接に関係する分野からも高い評価を得て拡範に渡って採用、普及していくことが予想される。                                                            
【図面の簡単な説明】
【００３２】
図面は、この発明の代表的な実施例によって得られたセラミックス材による試験結果を示したものである。
【図１】山形県工業技術センターの試験によるデータシートである。
【図１】
2005225716.tif 000004