(57)【要約】【課題】  真空破壊装置において動作完了を検知することができるようにする。【解決手段】    制限シリンダ室２１の内部を制限スプリング２０及び圧縮路２７より供給される圧縮気体により可動する制限絞り２４付きの速度制御弁２３、該速度制御弁２３より供給される圧縮気体により動作する破壊ピストン１８と一体の破壊弁１４、破壊路１９よりなる真空破壊体３０において、該破壊弁１４の外周部の全体または一部に磁石１３を配置、破壊圧室２８の外側面に少なくとも一個のセンサ（１１、１２）を配置したことにより真空破壊装置の動作完了をセンサにより検知する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
制限シリンダ室２１の内部を制限スプリング２０及び圧縮路２７より供給される圧縮気体により可動する制限絞り２４付きの速度制御弁２３、該速度制御弁２３より供給される圧縮気体により動作する破壊ピストン１８と一体の破壊弁１４、破壊路１９よりなる真空破壊体３０において、該破壊弁１４の外周部の全体または一部に磁石１３を配置、破壊圧室２８の外側面に少なくとも一個のセンサ（１１、１２）を配置したことを特徴とする真空破壊装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空を解除するための正圧を供給する真空破壊装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来において、被吸着物を真空吸着して、開放する場合に真空吸着配管系路に圧縮空気を瞬時又は連続に供給して、被吸着物の解放を確実にし又スピードを上げていた。
【特許文献１】特開平８−６８４００号公報には、真空破壊の詳細が記載されている。
【特許文献２】特開２００３−２２２１００号公報には、破壊バルブによる真空破壊が記載されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の真空破壊装置は、圧縮空気を一定時間（一定流量）真空破壊気体として供給する事が出る構造である。しかしながら、該真空破壊装置の開始（終了）を検出する手段を備えていなかった。これがために真空破壊を終了していない状態で吸着動作を開始したり、真空破壊の動作をしなくて次の動作をする、等の問題がある。即ち、真空破壊装置の動作完了を検知する方法を備えていなかった問題点があった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
制限シリンダ室２１の内部を制限スプリング２０及び圧縮路２７より供給される圧縮気体により可動する制限絞り２４付きの速度制御弁２３、該速度制御弁２３より供給される圧縮気体により動作する破壊ピストン１８と一体の破壊弁１４、破壊路１９よりなる真空破壊体３０において、該破壊弁１４の外周部の全体または一部に磁石１３を配置、破壊圧室２８の外側面に少なくとも一個のセンサ（１１、１２）を配置したことにより真空破壊装置の動作開始、動作完了をセンサにより検知し、問題を解決した真空破壊装置を提供することができる。
【０００５】
以下において、本発明に係る真空破壊装置の詳細を説明する。但し、本発明に係る真空破壊装置は、以下の説明又は図に限定されるものでない。尚、真空破壊とは、真空経路の真空を解除すると共に正圧の気体を該真空経路に供給して真空状態を解除する（破壊する）ことを言う。
【０００６】
本発明に係る真空破壊装置は、制限シリンダ室２１の内部を制限スプリング２０及び圧縮路２７より供給される圧縮気体により可動する制限絞り２４付きの速度制御弁２３、該速度制御弁２３より供給される圧縮気体により動作する破壊ピストン１８と一体の破壊弁１４、破壊路１９よりなる真空破壊体３０の従来技術の真空破壊装置に、該破壊弁１４の外周部の全体または一部に磁石１３を配置、破壊圧室２８の外側面に少なくとも一個のセンサ（１１、１２）を配置したものである。
【０００７】
従来技術による真空破壊装置の部分の詳細な説明を省略する。本発明に係る真空破壊装置は、圧縮路２７から供給される圧縮気体が制限スプリング２０の力量に勝り制限シリンダ２３を押し、圧縮空気が制限シリンダ室２１に供給されて破壊ピストン１８を押す。該破壊ピストン１８はシリンダリング１７により外壁とシールされていて可動する。該破壊ピストン１８と連動する破壊弁１４が可動する。該破壊弁１４の外周部には磁石１３が配置されている。該磁石１３が可動することにより破壊圧室２８の外周部に配置されているセンサｂ１２が破壊弁１４の可動の開始を検知する。（図２ｂ）
【０００８】
該破壊弁１４の可動が終了するとセンサａ１１が検知し、前記破壊弁１４及び前記破壊ピストン１８が可動終了すると前記制限シリンダ室２１への圧縮気体の供給が停止して等圧となり前記速度制御弁２０に押された前記制限シリンダ２３が押し戻されて制限リング２２により閉ざされる。（図２ｃ）
【０００９】
切換弁５０の切換により前記圧縮路２７への圧縮気体の供給を停止すると共に破壊圧室２８へ圧縮気体を供給する。該破壊圧室２８に供給された圧縮気体が前記破壊弁１４とシールリング１５の間より供給されて前記破壊ピストン１８を押すと共に破壊路１９を介して破壊気体として外部の破壊配管７１に供給される。このとき、前記圧縮路２７の圧縮気体の供給が停止され前記速度制御弁２３が制限スプリング２０に押されて制限リング２２により前記制限シリンダ室２１の気体が閉じ込められており、この閉じ込められた気体が制限絞り２４により徐々に圧縮路２７に開放される。該制限絞り２４により制限されて制限シリンダ室２１の気体が開放されるに従って破壊ピストン１８が可動する。（図２ｄ）
【００１０】
該破壊ピストン１８の可動と共に破壊弁１４が稼動してセンサａ１１が可動の開始を検知する。前記制限絞り２４（スピコン、スピードコントローラ、等と言う。）により制限された速度で前記破壊ピストン１８、前記破壊弁１４が可動している間破壊気体が破壊路１９を介して外部に供給し続ける。
【００１１】
可動が終了すると破壊弁１４がシールリング１５に接して前記破壊路１９への破壊気体の供給が停止しセンサｂ１２が終了を検知する。（図２ａ。）
【００１２】
本発明に係る真空破壊装置に磁石１３、センサａ１１、センサｂ１２が配置されている。該磁石１３は、可動部の破壊弁１４に配置されゴム製の磁石、焼結体製の磁石、等であり該破壊弁１４の外周全体、一部分に配置されている、または、該破壊弁１４全体が磁石１３でもよい。センサａ１１、センサｂ１２は、いずれか一方でもよく両方でもよく、より多く配置されてもよく、数量に限定するものでない。該センサは、磁石駆動のリードスイッチ、ホール素子等でよく、電気信号として信号を取り出せれる物であればよい。該センサの取付配置は、破壊圧室２８の外周部であり該破壊圧室２８の気密性が保持できるようにする。
【００１３】
この様に配置された該センサは、破壊弁と共に可動する磁石の移動により磁束の変化を検知し、電気信号を取り出すことができる。この検知により破壊弁の動作を確認して真空破壊装置の動作の完了を確認することが出来るものである。
【実施例】
【００１４】
以下に本発明に係る真空破壊装置の一実施態様をしめす。
（実施例１）
図２を参照に説明する。図２（ａ）は、真空破壊が終了した状態であり、制限シリンダ２３が制限スプリング２０に押されて制限リング２２でシール状態になっている。また、切換弁５０で供給された圧縮気体が圧縮気体路５１を通り破壊圧室２８に供給されて破壊弁１４及び破壊ピストン１８を押してシールリング１５でシールされて破壊路１９への破壊気体の供給が停止されている。この状態で磁石１３がセンサｂ１２が作動して破壊動作の終了を検知することができる。
【００１５】
図２（ｂ）は、真空破壊の準備段階であり切換弁５０により圧縮気体配管６１に圧縮気体が供給され分岐された圧縮気体が圧縮路２７を通り制限シリンダ２３を押し、破壊シリンダ１８及び破壊弁１４を押す。この状態でセンサｂ１２が破壊弁１４の動作を検知して破壊動作準備を検出する。図２（ｃ）は、直ぐに該破壊ピストン１８及び該破壊弁１４がダンパー１６に到達して停止する。この状態でセンサａ１１が破壊弁１４の差動完了を検知して破壊動作準備の完了を検出する。
【００１６】
図２（ｂ）、図２（ｃ）の状態では、圧縮気体配管６１に接続された真空発生器６０により真空が発生されて吸着配管６２に取り付けられた吸着パッド７０で被吸着物７２が吸着される。吸着パッド７０に配管されている破壊配管７１が破壊路１９に接続されているものの該破壊路１９は閉管されている。
【００１７】
被吸着物を開放するに当たり圧縮気体の流れを切換弁５０により切り換えて圧縮気体配管６１への供給を停止し、圧縮気体路５１への供給を開始する。図２（ｄ）の状態は、圧縮気体路５１からの圧縮気体が破壊圧室２８に供給されて破壊路１９に破壊気体を供給する。この破壊の開始状態は、センサａ１１により検出される。制限シリンダ室２１の気体が制限絞り２４を介して徐々に開放されることにより破壊ピストン１８及び破壊弁１４が動作する。この作動時間は、制限絞り２４により決められる。作動時間経過後は図２（ａ）となりセンサ（ｂ）１２により破壊動作の完了が検出される。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明に係る真空破壊装置は、破壊弁１４に取り付けられた磁石の動きを磁束の変化を検知するセンサにより動作の完結を確認することができるため機械装置に使用して真空破壊を確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る真空破壊装置の一実施態様例を示すモデル断面図である。
【図２】本発明に係る真空破壊装置の一実施態様の動作を示す図である。（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）
【符号の説明】
【００２０】
１１  センサａ
１２  センサｂ
１３  磁石
１４  破壊弁
１５  シールリング
１６  ダンパー
１７  シリンダリング
１８  破壊ピストン
１９  破壊路
２０  制限スプリング
２１  制限シリンダ室
２２  制限リング
２３  速度制御弁
２４  制限絞り
２７  圧縮路
２８  破壊圧室
３０  真空破壊体
５０  切換弁
６０  真空発生器
６１  圧縮気体配管
６２  吸着配管
７０  吸着パッド
７１  破壊配管
７２  被吸着物
【図１】
2005351335.tif 000003
【図２】
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