(57)【要約】【課題】  粒子サイズが小さく、粒子表面の活性能が高く、焼結性が良好なＭｅＴｉＯ3 ペロブスカイト型セラミック原料粉末を製造する方法を提供する。【解決手段】  Ｔｉ4+を含みかつテトラアルキル水酸化アンモニウムおよびポリカルボン酸型界面活性剤が添加されたＴｉ溶液４とＭｅ2+を含むＭｅ溶液２とを、超音波槽７によって超音波を照射した条件下で、静止型混合機８を通過させながら混合する。そして、混合された溶液をテトラアルキル水酸化アンモニウムを含む溶液９に導入した後、これらの混合溶液を、超音波を照射した条件下で、超音波混合機８を再び通過させることによって、Ｍｅ2+とＴｉ4+との反応を完了させ、ＭｅＴｉＯ3 ペロブスカイト型セラミック原料粉末を得る。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶液状態にあるＭｅ2+（Ｍｅ2+は、水溶性でＣＯ3 2-を含まないアルカリ土類金属イオンである。）とＴｉ4+とを、テトラアルキル水酸化アンモニウムおよびポリカルボン酸型界面活性剤の存在下であって超音波を照射した条件下で、静止型混合機を通過させながら混合しかつ反応させることによって、ＭｅＴｉＯ3 ペロブスカイト型セラミック原料粉末を得る、セラミック原料粉末の製造方法。
【請求項２】
前記Ｔｉ4+を含みかつ前記テトラアルキル水酸化アンモニウムの必要量の一部が添加された溶液と前記Ｍｅ2+を含む溶液とを、超音波を照射した条件下で、静止型混合機を通過させながら混合する、第１の工程と、前記第１の工程で混合された第１の混合溶液と前記テトラアルキル水酸化アンモニウムの必要量の残部を含む溶液とを混合する、第２の工程と、前記第２の工程で混合された第２の混合溶液を、超音波を照射した条件下で、静止型混合機を通過させるによって、前記Ｍｅ2+と前記Ｔｉ4+との反応を完了させる、第３の工程とを備える、請求項１に記載のセラミック原料粉末の製造方法。
【請求項３】
前記Ｍｅ2+と前記Ｔｉ4+とを反応させるすべての工程が６０℃以上の温度で実施される、請求項１または２に記載のセラミック原料粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、セラミック原料粉末の製造方法に関するもので、特に、液相からのセラミック原料粉末の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
たとえば積層セラミックコンデンサのようなセラミック電子部品を製造するために用いられるセラミック原料粉末、たとえばチタン酸バリウム粉末を製造する方法として、次のような方法がある。
【０００３】
（１）固相法：ＴｉＯ2 とＢａＣＯ3 との混合物を熱処理してチタン酸バリウム粉末を作製する方法（たとえば、非特許文献１の第５７頁〜第５９頁参照）。
【０００４】
（２）分子化合物法：Ｂａ2+とチタニウムクエン酸塩等のチタンの有機酸塩とを反応させて、バリウムおよびチタンを含む分子化合物を生成させ、これを熱分解することによって、チタン酸バリウム粉末を得る方法（たとえば、非特許文献１の第２７頁および第４１頁参照）。
【０００５】
（３）沈殿法：｛Ｂａ2+＋Ｔｉ4+＋ＯＨ- ＋ＣＯ32- ｝の系より、｛ＢａＣＯ3 ＋Ｔｉ（ＯＨ）4 ｝の共沈化合物を生成させ、得られた共沈化合物を熱分解することによって、チタン酸バリウム粉末を得る方法（たとえば、特許文献１参照）。
【０００６】
（４）アルコキシド法：｛Ｂａ（ＯＲ）2 ＋Ｔｉ（ＯＲ）4 ＋Ｈ2 Ｏ｝の系（Ｒはアルキル基）より、加水分解反応を利用して、チタン酸バリウム粉末を得る方法（たとえば、非特許文献１の第４２頁参照）。
【特許文献１】特開昭５９−１９５５７５号公報
【非特許文献１】（社）日本セラミックス協会編，「セラミックスの製造プロセス−粉末調製と成形−」，初版，（社）日本セラミックス協会，昭和５９年１０月
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
セラミック原料粉末の焼結性は、一般に、粉末を構成する粒子の物性によって大きく左右される。すなわち、粒子サイズが大きく、かつ粒子表面の活性能が低いセラミック原料粉末は、焼結性が悪い。そのため、このようなセラミック原料粉末の場合には、高い温度で熱処理をしないと、高い密度を有する焼結体を得ることが困難である。したがって、セラミック原料粉末を、低温で焼結可能とするためには、それを構成する粒子サイズが小さく、かつ粒子表面の活性能が高いことが要求される。
【０００８】
しかしながら、前述した（１）ないし（３）の方法では、いずれも、高温での熱分解反応を経由してからでないと、チタン酸バリウム生成反応が起こらず、直接、チタン酸バリウム粉末を得ることが不可能である。したがって、得られたセラミック原料粉末は、粒子サイズが大きくなり、そのため、強制的に粉砕処理を施さないと、粒子サイズの小さいセラミック原料粉末を得ることができない。
【０００９】
なお、上述のように、粉砕処理を行なうと、粉砕処理装置の駆動部の磨耗等によって不純物が混入することがあり、これが原因となって、セラミック原料粉末を用いて構成されたセラミック電子部品の特性を劣化させることがある。
【００１０】
また、（１）ないし（３）の方法では、熱分解反応が高温で行なわれるため、得られたチタン酸バリウム粉末を構成する粒子の表面の活性能が低くなることがある。
【００１１】
これらに対して、前述の（４）の方法では、低温でチタン酸バリウムの生成反応が起こるため、粒子表面の活性能が高く、また、粒子サイズが小さいという利点を有している。
【００１２】
しかしながら、（４）の方法では、出発原料として用いるＢａ（ＯＲ）2 およびＴｉ（ＯＲ）4 のうち、Ｔｉ（ＯＲ）4 については、汎用性アルコキシドとして多量に生産されており、比較的安価に入手が可能であるが、Ｂａ（ＯＲ）2 は、非常に高価なアルコキシドである。したがって、チタン酸バリウム粉末を量産するにあたって、（４）の方法を用いることは、コストの点で不利である。
【００１３】
そこで、この発明の目的は、上述のような問題を解決し得る、セラミック原料粉末の製造方法を提供しようとすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明に係るセラミック原料粉末の製造方法は、上述した技術的課題を解決するため、溶液状態にあるＭｅ2+（Ｍｅ2+は、水溶性でＣＯ32- を含まないアルカリ土類金属イオンである。）とＴｉ4+とを、テトラアルキル水酸化アンモニウムおよびポリカルボン酸型界面活性剤の存在下であって超音波を照射した条件下で、静止型混合機を通過させながら混合しかつ反応させることによって、ＭｅＴｉＯ3 ペロブスカイト型セラミック原料粉末を得ようとするものである。
【００１５】
この発明に係るセラミック原料粉末の製造方法は、好ましくは、Ｔｉ4+を含みかつテトラアルキル水酸化アンモニウムの必要量の一部が添加された溶液とＭｅ2+を含む溶液とを、超音波を照射した条件下で、静止型混合機を通過させながら混合する、第１の工程と、第１の工程で混合された第１の混合溶液とテトラアルキル水酸化アンモニウムの必要量の残部を含む溶液とを混合する、第２の工程と、第２の工程で混合された第２の混合溶液を、超音波を照射した条件下で、静止型混合機を通過させることによって、Ｍｅ2+とＴｉ4+との反応を完了させる、第３の工程とを備える。
【００１６】
また、この発明に係るセラミック原料粉末の製造方法は、Ｍｅ2+とＴｉ4+とを反応させるすべての工程が６０℃以上の温度で実施されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
この発明は、溶液に超音波を照射することを特徴的構成の１つとし、この特徴的構成によってもたらされる次のような作用を利用している。
【００１８】
すなわち、ある溶液に超音波を照射すると、その溶液中に空洞現象が起こり、発生した空洞内には、数１０００℃で数１００ＭＰａに達する高温高圧の高エネルギー場が発生する。空洞は、数μ秒で破泡し、急激にその場が冷却され、エネルギー効率の非常に高い反応場が形成される。
【００１９】
この発明に係るセラミック原料粉末の製造方法によれば、上述のエネルギー効率の高い反応場を用いて、ポリカルボン酸型界面活性剤の存在下で反応を生じさせ、ＭｅＴｉＯ3 を直接生成するようにしているので、得られたセラミック原料粉末は、後述する実験例から明らかなように、たとえば１０〜３０ｎｍと非常に微細な粒子径のものとなり、かつ粒子表面の活性能を高くすることができる。
【００２０】
また、Ａサイト／Ｂサイトのモル比すなわちＭｅ／Ｔｉのモル比が１．００になるようにペロブスカイト型セラミック原料粉末を製造しようとするにあたって、後述する実験例から明らかなように、超音波を照射しない条件下で合成を行なう場合には、８０℃以上の温度で反応させる必要があるが、この発明に従って、超音波を照射した条件下で合成を行なう場合には、たとえば６０℃以上の温度で十分に反応させることができる。すなわち、反応最低温度を６０℃にまで下げることができる。これは、前述した超音波照射による空洞現象が生じたためであり、この発明によれば、反応温度について、２０℃程度あるいはそれ以上の低温化が可能となる。
【００２１】
また、この発明によれば、前述したように、たとえば１０〜３０ｎｍと非常に微細な粒子径を有するセラミック原料粉末を得ることができるので、強制的な粉砕処理を施す必要がなく、そのため、粉砕処理工程において不純物が混入するという問題には遭遇しない。
【００２２】
また、この発明によれば、Ｍｅ2+のための出発原料として、高価なＭｅ（ＯＲ）2 アルコキシドを用いる必要がないので、このような高価なアルコキシドを用いる場合に遭遇する製造コストの上昇という問題を回避することができる。
【００２３】
この発明に係るセラミック原料粉末の製造方法において、前述したように、Ｔｉ4+を含みかつテトラアルキル水酸化アンモニウムの必要量の一部が添加された溶液とＭｅ2+を含む溶液とを、超音波を照射した条件下で、静止型混合機を通過させながら混合する、第１の工程と、第１の工程で混合された第１の混合溶液とテトラアルキル水酸化アンモニウムの必要量の残部を含む溶液とを混合する、第２の工程と、第２の工程で混合された第２の混合溶液を、超音波を照射した条件下で、静止型混合機を通過させることによって、Ｍｅ2+とＴｉ4+との反応を完了させる、第３の工程とを実施するようにすれば、以下により詳細に説明するように、ＭｅＴｉＯ3 ペロブスカイト型セラミック原料粉末を効率的に製造することができる。
【００２４】
すなわち、第１の工程において、テトラアルキル水酸化アンモニウムの添加によって、Ｔｉ4+溶液を強アルカリ性にし、それによって、アモルファス状態のＭｅＴｉＯ3 粒子の生成を可能とし、また、Ｔｉ4+の沈殿を生じないようにすることができる。また、静止型混合機を通過させることによって、アモルファス状態のＭｅＴｉＯ3 粒子の不所望な凝集を防止することができる。そして、第２の工程において、Ｍｅ2+とＴｉ4+との反応に十分なテトラアルキル水酸化アンモニウムが与えられ、第３の工程において、不所望な凝集を防止しながら、Ｍｅ2+とＴｉ4+との反応を完了させ、十分な結晶性を有するＭｅＴｉＯ3 ペロブスカイト型原料粉末を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は、この発明の一実施形態によるセラミック原料粉末の製造方法を実施するために用いられる製造装置１を図解的に示す図である。
【００２６】
図１を参照して、製造装置１は、Ｍｅ2+を含むＭｅ溶液２を収容するＭｅ槽３、およびＴｉ4+を含むＴｉ溶液４を収容するＴｉ槽５を備えている。上述したＭｅ2+は、水溶性でＣＯ32- を含まないアルカリ土類金属イオンであり、具体的には、Ｂａ2+、Ｓｒ2+、Ｃａ2+およびＭｇ2+の少なくとも１種である。また、この実施形態では、Ｔｉ溶液４には、テトラアルキル水酸化アンモニウム（以下、「ＴＡＡＨ」と言う。）の必要量の一部が添加されている。
【００２７】
また、製造装置１は、水６を収容した超音波槽７を備えている。また、超音波槽７内の水６中に浸漬された状態で、静止型混合機８およびＴＡＡＨ槽１０が配置されている。ＴＡＡＨ槽１０は、ＴＡＡＨの必要量の残部を含むＴＡＡＨ溶液９を収容している。
【００２８】
超音波槽７は、水６を通して、静止型混合機８およびＴＡＡＨ槽１０に超音波を照射できる構造のものであればよく、たとえば、市販の超音波洗浄槽を用いることができる。
【００２９】
なお、上述したＭｅ溶液２、Ｔｉ溶液４および水６は、後述する反応に必要な温度、たとえば６０〜８０℃の温度となるように加熱され、かつその温度を保つようにされている。
【００３０】
静止型混合機８は、混合のための攪拌羽根またはロータ部等の駆動手段がなく、代わりに、筒内部に固定された分割器を構成したものであり、混合したい溶液やスラリーをポンプで筒内に送り、筒内に固定された分割器で混合したい溶液やスラリーを分割しながら均一に混合する機能を備えている。市販のスタティックミキサー、ラモンドミキサー等を、静止型混合機８として用いることができる。なお、図１には、２個の静止型混合機８が導管１１を介して直列に接続された構成が図示されている。
【００３１】
上述したＭｅ槽３、Ｔｉ槽５、静止型混合機８およびＴＡＡＨ槽１０は、次のように接続または配管される。
【００３２】
まず、Ｍｅ槽３は、導管１２、定量ポンプ１３および導管１４を介して、前混合器１５に接続される。他方、Ｔｉ槽５は、導管１６、切換えコック１７、導管１８、定量ポンプ１９、導管２０、切換えコック２１および導管２２を介して、前混合器１５に接続される。
【００３３】
前混合器１５は、導管２３、切換えコック２４および導管２５を介して、前段の静止型混合機８に接続される。また、切換えコック２１と切換えコック２４とは導管２６によって接続される。
【００３４】
後段の静止型混合機８には導管２７が接続され、導管２７はＴＡＡＨ槽１０に導入される。また、ＴＡＡＨ槽１０から導管２８が導出され、導管２８は切換えコック１７に接続される。
【００３５】
次に、上述した構成を有する製造装置１を用いて実施されるセラミック原料粉末の製造方法について説明する。
【００３６】
この製造装置１を用いることによって、Ｍｅ溶液２に含まれるＭｅ2+とＴｉ溶液４に含まれるＴｉ4+とを、ＴＡＡＨおよびポリカルボン酸型界面活性剤の存在下であって超音波を照射した条件下で、静止型混合機８を通過させながら混合しかつ反応させることが行なわれる。そして、この反応の結果、ＭｅＴｉＯ3 ペロブスカイト型セラミック原料粉末が製造される。
【００３７】
より詳細には、定量ポンプ１３が駆動され、Ｍｅ槽３から、所定量のＭｅ溶液２が、導管１２、定量ポンプ１３および導管１４を通して、前混合器１５に供給される。他方、導管１６と導管１８とが連通するように切換えコック１７が切り換えられ、かつ導管２０と導管２２とが連通するように、切換えコック２１が切り換えられるとともに、定量ポンプ１９が駆動されることによって、Ｔｉ槽５から、所定量のＴｉ溶液４が、導管１６、切換えコック１７、導管１８、定量ポンプ１９、導管２０、切換えコック２１および導管２２を通して、前混合器１５に供給される。
【００３８】
その結果、前混合器１５において、Ｍｅ2+とＴｉ4+とが反応を開始し、少量のアモルファス状態のＭｅＴｉＯ3 粒子が生成する。なお、このようなアモルファス状態のＭｅＴｉＯ3 が合成されるためには、反応溶液が強アルカリ性の状態でなければならない。前述したように、Ｔｉ溶液４には、ＴＡＡＨの必要量の一部が添加されている。この添加されたＴＡＡＨは、Ｔｉ溶液４を強アルカリ性にする機能を果たしている。また、このＴＡＡＨは、Ｔｉ溶液４において、Ｔｉ4+の沈殿を生成させないようにも作用している。
【００３９】
なお、前述したようなＭｅＴｉＯ3 が合成されるために必要な反応溶液の強アルカリ性を、Ｍｅ溶液２において与えようとすると、ＣＯ2 ガスを吸収してＭｅＣＯ3 を生成してしまうので、ＭｅＴｉＯ3 の生成反応を阻害するという不具合が生じる。
【００４０】
この実施形態では、ポリカルボン酸型界面活性剤は、Ｔｉ溶液４に添加されている。なお、ポリカルボン酸型界面活性剤は、Ｍｅ溶液２に添加されても、Ｔｉ溶液４およびＭｅ溶液２の双方に添加されても、あるいは、Ｔｉ槽５またはＭｅ槽３以外の供給源から供給されてもよい。
【００４１】
前述したように、前混合器１５に供給されたＭｅ溶液２とＴｉ溶液４とは、ここで予め混合され、この混合後、直ちにＭｅ2+とＴｉ4+とが反応し始め、アモルファス状態のＭｅＴｉＯ3 粒子が生成する。この時点において、導管２３と導管２５とが連通するように、切換えコック２４が切り換えられていて、前混合器１５において予め混合されたＭｅ溶液２とＴｉ溶液４との混合溶液は、導管２３、切換えコック２４および導管２５を通して、静止型混合機８へと供給される。
【００４２】
このように、静止型混合機８へと供給されるＭｅ溶液２とＴｉ溶液４との混合溶液については、前混合器１５において既にＭｅＴｉＯ3 粒子の生成が開始されているが、前混合器１５から静止型混合機８へと至る時間がそれほど長くないので、導管２３、切換えコック２４および導管２５内において、ＭｅＴｉＯ3 粒子が不所望にも凝集して粒径の大きなものになってしまったり、スラリー固形物となって詰まってしまったりすることがない。
【００４３】
上述したように、静止型混合機８に供給された混合溶液は、超音波槽７による超音波が照射された条件下で、静止型混合機８を通過し、それによって、均一に混合分散処理される。
【００４４】
次に、静止型混合機８において混合分散処理された混合溶液は、導管２７を通って、ＴＡＡＨ槽１０に供給され、ここで、ＴＡＡＨ溶液９と混合される。この実施形態では、ＴＡＡＨ槽１０にも超音波が照射されている。
【００４５】
ＴＡＡＨ槽１０に収容されているＴＡＡＨ溶液９は、ＴＡＡＨの必要量の残部を含むものである。すなわち、前述したように、Ｔｉ溶液４に予め添加されたＴＡＡＨだけでは、アモルファス状のＭｅＴｉＯ3 の生成反応時において消費されてしまい、熟成のための反応時においては、ＴＡＡＨが不足する事態が発生するため、このような熟成反応時に必要なＴＡＡＨがＴＡＡＨ槽１０に収容されているのである。
【００４６】
次に、切換えコック１７において、導管２８と導管１８とが連通するように切り換えられ、切換えコック２１において、導管２０と導管２６とが連通するように切り換えられ、切換えコック２４において、導管２６と導管２５とが連通するように切り換えられる。これによって、ＴＡＡＨ槽１０から、導管２８、切換えコック１７、導管１８、定量ポンプ１９、導管２０、切換えコック２１、導管２６、切換えコック２４、導管２５、静止型混合機８および導管２７を順次経て、再びＴＡＡＨ槽１０へと戻る循環経路が形成される。
【００４７】
上述のような循環経路が形成された状態で、定量ポンプ１９が駆動される。これによって、ＴＡＡＨ槽１０内のＭｅ溶液２とＴｉ溶液とＴＡＡＨ溶液９とを含む混合溶液は、上述した循環経路において循環される。このとき、この循環される混合溶液は、超音波が照射された条件下にある静止型混合機８を通過する。この操作が、たとえば３０分間以上実施され、Ｍｅ溶液２に含まれていたＭｅ2+とＴｉ溶液４に含まれていたＴｉ4+との反応が完了される。その結果、混合溶液中には、十分な結晶性を有するＭｅＴｉＯ3 ペロブスカイト型セラミック原料粉末が得られている。
【００４８】
次に、混合溶液からＭｅＴｉＯ3 ペロブスカイト型セラミック原料粉末が回収され、次いで、洗浄および乾燥されることによって、目的とするセラミック原料粉末が取り出される。
【００４９】
次に、この発明による効果を確認するために実施した実験例について説明する。この実験例は、図１に示した製造装置１を用いて実施した。
【００５０】
図１を参照して、Ｍｅ槽３に収容されるＭｅ溶液２としては、Ｂａ2+を含むＢａ溶液を用い、このＢａ2+源としては、酢酸バリウムを用いた。他方、Ｔｉ槽５に含まれるＴｉ溶液４のためのＴｉ4+源としては、チタニウムイソプロポキシドを用いた。
【００５１】
また、Ｔｉ溶液４に必要量の一部が添加されかつＴＡＡＨ溶液９に必要量の残部が含まれるＴＡＡＨとしては、Ｎ（Ｒ）4 ＯＨの示性式（ＲはＣn Ｈ2n+1で表されるアルキル基である。）で表される化合物のうち、ｎが１のテトラメチル水酸化アンモニウム（以下、「ＴＭＡＨ」と言う。）を用いた。
【００５２】
また、ポリカルボン酸型界面活性剤としては、（Ｃ3 Ｈ5 ＣＯＯＨ）n で表されるもののうち、ｎが７０〜９０のものを用いた。
【００５３】
また、Ｂａ溶液２に含まれるＢａ塩１．００モルに対して、Ｔｉ溶液４に含まれるＴｉ塩が１．００モルとなり、このＴｉ溶液４に添加されるＴＭＡＨが１．０モルとなり、ＴＡＡＨ槽１０に収容されるＴＭＡＨ溶液９に含まれるＴＭＡＨが２１．０モルとなるようにした。また、ポリカルボン酸型界面活性剤を、Ｔｉ溶液４に添加し、この添加量は、製造されるべきＢａＴｉＯ3 粉末に対して３．０重量％となるようにした。
【００５４】
また、静止型混合機８としては、２２段分割のスタティックミキサーを直列に２個接続したものを用いた。
【００５５】
また、超音波槽７によって与えられる超音波としては、２８ｋＨｚのもの、４５ｋＨｚのものおよび１００ｋＨｚのものを用い、これらを、順次、１０秒間隔で照射し、これを繰り返すようにした。
【００５６】
また、熟成のための混合溶液の循環を１８０分間行ない、反応を終了させた。そして、溶液中のセラミック原料粉末を回収した後、洗浄を３回行ない、次いで、真空乾燥機中で乾燥することにより、試料となるセラミック原料粉末を取り出した。
【００５７】
以上のような条件を前提としながら、表１に示すように、超音波照射の有無および反応温度について異なる条件を適用して、試料１〜４の各々に係るセラミック原料粉末を作製した。
【００５８】
【表１】
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【００５９】
表１に示すように、試料４については、上述したような超音波槽７による超音波照射を行なわなかった。また、表１に示した反応温度は、図１に示したＢａ溶液２、Ｔｉ溶液４および水６において設定された温度である。
【００６０】
次に、試料１〜４の各々に係るセラミック原料粉末について、表２に示すように、モル比すなわちＢａ／Ｔｉ比を求め、Ｘ線回折（ＸＲＤ）分析を実施し、さらに、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）観察によって粒子径を求めた。
【００６１】
【表２】
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【００６２】
表２を参照して、まず、Ｂａ／Ｔｉ比については、試料１〜３では、１．０００の値を示し、反応率の高いセラミック原料粉末が得られていることがわかる。これに対して、超音波照射を行なわなかった試料４では、Ｂａ／Ｔｉ比が０．６３４と低く、反応率が６３％程度しかなかったことがわかる。このことから、超音波照射は、反応促進効果の向上に顕著に作用することがわかる。
【００６３】
また、試料１〜３の間で比較すると、表１に示すように、反応温度を６０℃にまで下げた試料１であっても、これを７０℃または８０℃にまで上げた試料２または３の場合と同様のＢａ／Ｔｉ比が得られることがわかる。
【００６４】
次に、ＸＲＤ分析については、試料１〜３では、２次相であるＢａＣＯ3 のＸ線回折ピークが検出されず、反応が完全に進行していることがわかる。これに対して、試料４では、２次相であるＢａＣＯ3 のＸ線回折ピークも検出され、反応の進行が不十分であることがわかる。このことからも、超音波照射は、反応促進効果の向上に顕著に寄与していることがわかる。
【００６５】
また、試料１〜３の間で比較すると、反応温度を６０℃にまで下げた試料１であっても、７０℃または８０℃にまで上げた試料２または３の場合と同様の反応の進行状態が得られていることがわかる。
【００６６】
次に、粒子径については、試料１〜３によれば、試料４に比べて、１／３〜１／２程度の小さい粒子径が得られている。このことから、超音波照射は、粒子の解砕に対しても顕著な効果を有していることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】この発明の一実施形態によるセラミック原料粉末の製造方法を実施するために用いられる製造装置１を図解的に示す図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  製造装置
２  Ｍｅ溶液
３  Ｍｅ槽
４  Ｔｉ溶液
５  Ｔｉ槽
６  水
７  超音波槽
８  静止型混合機
９  ＴＡＡＨ溶液
１０  ＴＡＡＨ槽
１１，１２，１４，１６，１８，２０，２２，２３，２５〜２８  導管
１３，１９  定量ポンプ
１５  前混合器
１７，２１，２４  切換えコック
【図１】
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