(57)【要約】【課題】  酸素化合物濃度検出装置の酸素化合物濃度検出精度を高く維持する。【解決手段】  一対の電極８，９と、一方の電極周辺の酸素化合物を分解して酸素を生成し始める値以上の電圧を上記電極間に印加したときに上記一方の電極周辺の酸素の量に応じて上記電極間に流れる電流値Ｉｓを検出する。上記一方の電極周辺の酸素化合物を分解して酸素を生成し始める値以下の電圧を上記電極間に印加したときに上記一方の電力周辺の酸素の量に応じて上記電極間に流れる電流値Ｉｓｏを検出する。電流値Ｉｓから電流値Ｉｓｏを差し引いた値に基づいてガス中の酸素化合物の濃度を検出する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス中の酸素化合物の濃度を検出する装置において、一対の電極と、一方の電極周辺の酸素化合物を分解して酸素を生成し始める値以上の電圧を上記電極間に印加したときに上記一方の電極周辺の酸素の量に応じて上記電極間に流れる電流値を検出する第１電流検出手段と、上記一方の電極周辺の酸素化合物を分解して酸素を生成し始める値以下の電圧を上記電極間に印加したときに上記一方の電力周辺の酸素の量に応じて上記電極間に流れる電流値を検出する第２電流検出手段とを具備し、上記第１電流検出手段により検出された電流値から上記第２電流検出手段により検出された電流値を差し引いた値に基づいてガス中の酸素化合物の濃度を検出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は酸素化合物濃度検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、内燃機関から排出される排気ガス中の窒素酸化物（ＮＯｘ）の濃度を検出するＮＯｘセンサが開示されている。特許文献１記載のＮＯｘセンサは、一対の電極（特許文献１では、それぞれ、参照符号８ａ、８ｂが付されている）を具備する。そして、これら電極間に電圧が印加されると、一方の電極周辺のＮＯｘが窒素（Ｎ２）と酸素（Ｏ２）とに分解されると共に、当該一方の電極周辺のＯ２濃度に比例した電流が電極間に流れる。特許文献１では、このときに電極間に流れる電流の値からＮＯｘ濃度を算出（検出）するようにしている。
【０００３】
ところで、特許文献１記載のＮＯｘセンサでは、排気ガス中のＮＯｘ濃度が零であるときに上記電極間を流れる電流の値を基準電流値として予め求めておき、排気ガス中のＮＯｘ濃度の検出中に電極間を流れる電流の値から基準電流値を差し引いた値に基づいて、排気ガス中のＮＯｘ濃度を検出するようにしている。ところが、ＮＯｘセンサの電極やその他の構成要素の特性は経時的に変化することがあり、この場合、予め求めておいた上記基準電流値がＮＯｘ濃度が零であるときに電極間を流れる電流値に一致しなくなることがある。
【０００４】
そこで、特許文献１では、排気ガス中のＮＯｘ濃度が零となっている間（例えば、内燃機関の燃焼室内に燃料が噴射されず、したがって、燃焼室内にて燃焼が行われない間）に、電極間に流れる電流の値を新たな基準電流値とするようにしている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１４８９１０号公報
【特許文献２】特開平１１−１０１１５４号公報
【特許文献３】特開２００２−２０２２８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、排気ガス中のＮＯｘ濃度が零となっているものとして電極間に流れる電流の値を検出したとしても、排気ガス中のＮＯｘ濃度が零になっていないことも少なくないので、新たに基準電流値として採用された電流値もＮＯｘ濃度が零であるときに電極間を流れる電流値に一致しない。この場合、ＮＯｘセンサのＮＯｘ濃度検出精度は高くはない。
【０００７】
このことは、一般的に、特許文献１記載のＮＯｘセンサと同様な手法を用いて、ガス中の酸素化合物の濃度を検出する装置に対しても当てはまる。そこで、本発明の目的は、酸素化合物濃度検出装置の酸素化合物濃度検出精度を高く維持することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、１番目の発明では、ガス中の酸素化合物の濃度を検出する装置において、一対の電極と、一方の電極周辺の酸素化合物を分解して酸素を生成し始める値以上の電圧を上記電極間に印加したときに上記一方の電極周辺の酸素の量に応じて上記電極間に流れる電流値を検出する第１電流検出手段と、上記一方の電極周辺の酸素化合物を分解して酸素を生成し始める値以下の電圧を上記電極間に印加したときに上記一方の電力周辺の酸素の量に応じて上記電極間に流れる電流値を検出する第２電流検出手段とを具備し、上記第１電流検出手段により検出された電流値から上記第２電流検出手段により検出された電流値を差し引いた値に基づいてガス中の酸素化合物の濃度を検出する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、第２電流検出手段により検出される電流には、酸素化合物から分解され生成された酸素に起因して発生した電流は含まれていない。すなわち、第２電流検出手段により検出される電流値は、ガス中に元々存在した酸素の濃度のみを表していることになる。言い換えれば、第２電流検出手段により検出される電流値は、ガス中の酸素化合物の濃度が零であるときの値に一致する。そして、本発明によれば、この第２電流検出手段により検出された電流値を第１電流検出手段により検出された電流値（これには、ガス中に元々存在した酸素に起因して発生した電流と、ガス中の酸素化合物から分解生成された酸素に起因して発生した電流とが含まれている）から差し引いた値に基づいてガス中の酸素化合物の濃度が検出される。したがって、本発明によれば、酸素化合物濃度検出精度が高く維持される。
また、本発明によれば、電極間に印加する電圧を酸素化合物を分解して酸素を生成し始める値以下とすることにより、簡単に（したがって、数多く）、ガス中の酸素化合物の濃度が零であるときの電流値を検出することができる。したがって、本発明によれば、酸素化合物濃度検出精度が高く維持される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は、ガス（例えば、内燃機関の燃焼室から排出される排気ガス）中のＮＯｘの濃度を検出するＮＯｘセンサのセンサ部の断面図である。例えば、内燃機関の燃料室から排出される排気ガス中のＮＯｘ濃度を検出する場合には、ＮＯｘセンサは燃料室に接続された排気管に取り付けられる。
【００１１】
ＮＯｘセンサのセンサ部は、互いに積層された５つの酸化ジルコニア等の酸素イオン伝導性固体電解質層からなり、これら５つの固体電解質層を、以下、上から順に、第１層Ｌ１、第２層Ｌ２、第３層Ｌ３、第４層Ｌ４、第５層Ｌ５と称する。
【００１２】
第１層Ｌ１と第３層Ｌ３との間の第２層Ｌ２内には、ガスが導入される室（以下「ガス室」という）１が形成されている。また、第３層Ｌ３と第５層Ｌ５との間の第４層Ｌ４内には、大気に連通している室（以下「大気室」という）２が形成されている。
【００１３】
また、第１層Ｌ１には、ガス室１内にガスを導入するための開口３が設けられている。また、第１層Ｌ１の外壁面上には、上記開口３を覆うように、例えば、多孔質材料からなる（または、細孔が形成されている）拡散律速部材４が配置されている。したがって、ガスは、拡散律速部材４を介して開口３からガス室１内に流入し、斯くして、ガス室１内はガスで満たされる。
【００１４】
また、第１層Ｌ１の外壁面（ガス室１に面している側の第１層Ｌ１の壁面とは反対側の壁面）上には、電極５が配置されている。一方、第１層Ｌ１の内壁面（ガス室１に面している側の第１層Ｌ１の壁面）上にも、電極６が配置されている。これら電極５，６は、後述するように、ガス室１内のガスから酸素を外部に汲み出す（ポンピングする）働きをする。そして、第１層Ｌ１の外壁面に配置された電極５は、電圧源（以下「ポンプ電圧源」という）７の陽極に接続されており、以下、陽極側ポンプ電極と称する。一方、第１層Ｌ１の内壁面に配置された電極６は、ポンプ電圧源７の陰極に接続されており、以下、陰極側ポンプ電極と称する。なお、陰極側ポンプ電極６は、ＮＯｘに対しては還元性の低い材料（例えば、金（Ａｕ）と白金（Ｐｔ）との合金）から形成されている。
【００１５】
ガス室１に面している側の第３層Ｌ３の壁面上には、電極８が配置されている。一方、大気室２に面している側の第３層Ｌ３の壁面上にも、電極９が配置されている。これら電極８，９は、後述するように、ガス室１内のガス中のＮＯｘ濃度を検出する（センシングする）働きをする。そして、ガス室１に面している側の第３層Ｌ３の壁面上に配置された電極８は、電圧源（以下「センサ電圧源」という）１０の陰極に接続されており、以下、陰極側センサ電極と称する。一方、大気室２に面している側の第３層Ｌ３の壁面上に配置された電極９は、センサ電圧源１０の陽極に接続されており、以下、陽極側センサ電極と称する。なお、陰極側センサ電極８は、ＮＯｘに対して強い還元性を有する材料（例えば、ロジウム（Ｒｈ）や白金（Ｐｔ））から形成されている。
【００１６】
ポンプ電極５，６間にポンプ電圧源７により電圧が印加されると、ガス室１内のガス中の酸素が陰極側ポンプ電極６と接触して酸素イオンとなる。この酸素イオンは、第１層Ｌ１内を陽極側ポンプ電極５に向かって流れる。これにより、ガス室１内のガス中の酸素は、第１層Ｌ１内を移動して外部に汲み出される。このとき、外部に汲み出される酸素の量は、ポンプ電圧源７の電圧が高くなるほど多くなる。したがって、ポンプ電圧源７の電圧を適切に制御すれば、酸素をほとんど含んでいないガスを陰極側センサ電極８に供給することができる。本実施形態では、ガス中の酸素濃度がほぼ零となるようにポンプ電圧源７の電圧が制御される。
【００１７】
なお、上述したように、陰極側ポンプ電極６は、ＮＯｘに対しては還元性の低い材料から形成されているが、ポンプ電極５，６間にポンプ電圧源７により電圧が印加されると、ガス室１内のガス中のＮＯ２をＮＯに還元する働きはある。したがって、陰極側センサ電極８周辺に到来するガス中のＮＯｘのほとんどは、ＮＯの形となっている。
【００１８】
また、センサ電極８，９間にセンサ電圧源１０により電圧が印加されると、ガス室１内のガス中のＮＯが陰極側センサ電極８に接触してＮ２とＯ２とに分解生成され、ここで分解生成されたＯ２はさらに酸素イオンとされる。この酸素イオンは、第３層Ｌ３内を陽極側センサ電極９に向かって移動する。このとき、これらセンサ電極８，９間には、第３層Ｌ３内を陽極側センサ電極９に向かって移動する酸素イオンの量に比例した符号１１で示した電流（以下「センサ電流」という）Ｉｓが流れる。
【００１９】
上述したように、陰極側ポンプ電極６では、ほとんどの酸素がガスから排出され、ＮＯｘはほとんど還元されない（あるいは、還元されたとしてもＮＯにまでしか還元されない）ので、陰極側センサ電極８周りには、酸素をほとんど含んでおらずＮＯｘのみを含むガスが到来することになる。したがって、センサ電流Ｉｓは、ガス中に含まれているＮＯｘ濃度に比例することになり、このセンサ電流Ｉｓを利用すれば、ガス中のＮＯｘ濃度を知ることができる。
【００２０】
なお、第５層Ｌ５と第６層Ｌ６との間には、ＮＯｘセンサのセンサ部を加熱するための電気ヒータ１２が配置されている。この電気ヒータ１２によってＮＯｘセンサのセンサ部は、７００℃から８００℃に加熱される。
【００２１】
ところで、上述したように、本実施形態では、ガス室１に流入したガスから、ポンプ電極５，６によって、全ての酸素を排出するようにしている。ところが、実際には、ポンプ電極５，６が経時的に劣化したりするとガス中に酸素が残ってしまうし、あるいは、ポンプ電極５，６が劣化していなかったとしても僅かな量の酸素はガス中に残ってしまう。この場合、ガス中に残っている酸素（以下「残存酸素」という）はセンサ電極８，９により酸素イオンとされ、第３層Ｌ３を陽極側センサ電極９に向かって移動することになる。このため、このときに流れる符号１１で示したセンサ電流Ｉｓには、残存酸素に起因する電流が含まれていることになり、残存酸素の量が零であることを前提にしてセンサ電流Ｉｓから求められたＮＯｘ濃度は真のＮＯｘ濃度ではないことになる。
【００２２】
また、残存酸素量が常に一定であれば、残存酸素量を実験等により予め求め、この予め求めた残存酸素量に基づいて、センサ電流Ｉｓから算出されるＮＯｘ濃度が真のＮＯｘ濃度となるように、センサ電流Ｉｓを補正するための補正値（または、センサ電流Ｉｓから求められたＮＯｘ濃度を補正するための補正値）を予め求めておき、これら補正値を用いてＮＯｘ濃度を求めれば、求められたＮＯｘ濃度は真のＮＯｘ濃度であるはずである。しかしながら、上述したように、残存酸素量はポンプ電極５，６の経時的な劣化によって異なる。
【００２３】
いずれにしても、ＮＯｘ濃度を正確に検出するためには、センサ電極８，９に到来するガス中の残存酸素量を知り、この残存酸素量に応じて、センサ電流Ｉｓ（または、センサ電流Ｉｓから求められたＮＯｘ濃度）を補正する必要がある。そこで、本実施形態では、以下のようにして、ＮＯｘ濃度を求める。
【００２４】
センサ電極８，９に到来するガス中の酸素濃度とＮＯｘ濃度とがそれぞれ或る濃度である場合、センサ電圧源１０の電圧Ｖｓとセンサ電流Ｉｓとの関係は、図２に示したようになる。すなわち、電圧Ｖｓが或る値Ｖ１よりも低い間はセンサ電流Ｉｓは零であるが、電圧Ｖｓが値Ｖ１を超えると、値Ｖ１よりも大きい値Ｖ２を超えるまでは、電圧Ｖｓが大きくなるほどセンサ電流Ｉｓも大きくなる。そして、電圧Ｖｓが値Ｖ２を超えて該値Ｖ２よりも大きい値Ｖ３を超えるまでは、電圧Ｖｓに係わらず、センサ電流Ｉｓは略一定となる。さらに、電圧Ｖｓが値Ｖ３を超えて該値Ｖ３よりも大きい値Ｖ４を超えるまでは、電圧Ｖｓが大きくなるほどセンサ電流Ｉｓも大きくなる。さらに、電圧Ｖｓが値Ｖ４を超えて該値Ｖ４よりも大きい値Ｖ５を超えるまでは、電圧Ｖｓに係わらず、センサ電流Ｉｓは略一定である。そして、電圧Ｖｓが値Ｖ５を超えると、電圧Ｖｓが大きくなるほどセンサ電流Ｉｓも大きくなる。
【００２５】
電圧Ｖｓによってセンサ電流Ｉｓがこのように推移するのは、陰極側センサ電極８において以下のような現象が生じているからである。すなわち、電圧Ｖｓが値Ｖ１よりも低いときには、ガス中の残存酸素からもＮＯｘからも酸素イオンは生成されないので、センサ電流Ｉｓは零である。そして、電圧Ｖｓが値Ｖ１と値Ｖ３との間にあるときには、ガス中の残存酸素から酸素イオンが生成されるようになるので、センサ電流Ｉｓが零よりも大きくなる。しかしながら、このとき、ガス中の残存酸素からしか酸素イオンは生成されず、ガス中のＮＯｘからは酸素イオンは生成されないので、センサ電流Ｉｓは比較的小さな値である。さらに、電圧Ｖｓが値Ｖ３よりも高くなると、ガス中の残存酸素からもＮＯｘからも酸素イオンが生成されるので、センサ電流Ｉｓは比較的大きな値となるのである。
【００２６】
このように、電圧Ｖｓが値Ｖ１と値Ｖ３との間にあるときには、残存酸素からしか酸素イオンは生成されないのであるから、電圧Ｖｓが値Ｖ１と値Ｖ３との間の一定の値に保たれていれば、このときのセンサ電流Ｉｓは残存酸素に起因して発生する電流である。一方、電圧Ｖｓが値Ｖ３よりも高いときには、残存酸素からもＮＯｘからも酸素イオンが生成されるのであるから、電圧Ｖｓが値Ｖ３よりも大きい一定の値に保たれていれば、このときのセンサ電流Ｉｓは残存酸素とＮＯｘとに起因して発生する電流である。
【００２７】
したがって、値Ｖ３よりも高い値の電圧をセンサ電極８，９に印加したときに検出されるセンサ電流Ｉｓから、値Ｖ１と値Ｖ３との間の値の電圧をセンサ電極８，９に印加したときに検出されるセンサ電流Ｉｓを差し引いた値が、ＮＯｘのみに起因する電流値であって、この電流値から求められるＮＯｘ濃度は真のＮＯｘ濃度である。
【００２８】
そこで、本実施形態では、予め定められた時間間隔でもって、残存酸素から酸素イオンを生成するがＮＯｘからは酸素イオンを生成しない電圧範囲（図２に示した例では、値Ｖ１と値Ｖ３との間であり、精度上の観点から好ましくは、値Ｖ２と値Ｖ３との間）の予め定められた一定の値にセンサ電圧源１０の電圧Ｖｓを保ち、このときのセンサ電流Ｉｓを残存酸素に起因するセンサ電流Ｉｓｏとして記憶する。そして、ＮＯｘ濃度を検出すべきときには、残存酸素からもＮＯｘからも酸素イオンを生成する電圧範囲（図２に示した例では、値Ｖ３以上であり、精度上の観点から好ましくは、値Ｖ３と値Ｖ５との間であり、精度上の観点からさらに好ましくは、値Ｖ４と値Ｖ５との間）の予め定められた一定の値にセンサ電圧源１０の電圧Ｖｓを保ち、このときのセンサ電流Ｉｓから上記残存酸素に起因するセンサ電流Ｉｓｏを差し引いた値を、ＮＯｘにのみ起因するセンサ電流Ｉｓｎｏｘとする。そして、このＮＯｘにのみ起因するセンサ電流ＩｓｎｏｘからＮＯｘ濃度を検出する。
【００２９】
これによれば、ＮＯｘ濃度を検出すべきとき（すなわち、センサ電極８，９に値Ｖ３以上（好ましくは、値Ｖ４と値Ｖ５との間）の値の電圧が印加されているとき）に検出されるセンサ電流Ｉｓが、定期的に更新される補正値（すなわち、予め定められた時間間隔でもって更新される上記残存酸素にのみ起因するセンサ電流Ｉｓｏ）によって補正されることになるので、正確なＮＯｘ濃度が検出されることになる。
【００３０】
図３は、上述した実施形態に従ってＮＯｘ濃度を検出するためのルーチンの一例を示したフローチャートである。図３に示した例では、始めに、ステップ１０において、カウンタＣ（これは、ステップ１３で、残存酸素に起因する電流の値Ｉｓｏが前回算出されて更新されてから経過した時間を示すものである）が予め定められた値Ｃｔｈ以上である（Ｃ≧Ｃｔｈ）か否かが判別される。ここで、Ｃ＜Ｃｔｈであると判別されたとき（すなわち、残存酸素に起因する電流の値Ｉｓｏが前回更新されてから一定の時間が経過していないとき）には、ルーチンはステップ１６に進んで、次式（１）に従って、ＮＯｘ濃度Ｃｎｏｘが算出される。
Ｃｎｏｘ＝（Ｉｓ−Ｉｓｏ）×Ｋ      …（１）
ここで、Ｉｓは、センサ電極８，９間を流れる電流の値であり、Ｉｓｏは、残存酸素に起因する電流の値であり、Ｋは、センサ電極８，９間を流れる電流の値をＮＯｘ濃度に変換するための係数である。
次いで、ステップ１７では、カウンタＣがカウントアップされる（Ｃ←Ｃ＋１）。
【００３１】
一方、ステップ１０において、Ｃ≧Ｃｔｈであると判別されたとき（すなわち、残存酸素に起因する電流の値Ｉｓｏが前回更新されてから一定の時間が経過したとき）には、ルーチンはステップ１１に進んで、センサ電極８，９間に印加されている電圧Ｖｓが、残存酸素からのみ酸素イオンを生成する値ＶＬ（図２の例の値Ｖ１と値Ｖ３の間の値であって、好ましくは、値Ｖ２と値Ｖ３との間の値）に設定されている（Ｖｓ＝ＶＬ）か否かが判別される。ここで、Ｖｓ＝ＶＬとなっていなければ、ルーチンはステップ１９に進んで、電圧Ｖｓが値ＶＬに設定される。
【００３２】
一方、ステップ１１において、Ｖｓ＝ＶＬとなっていれば、ルーチンはステップ１２に進んで、時間Ｔ（これは、ステップ１１において、電圧Ｖｓが値ＶＬに設定されてから経過した時間である）が予め定められた時間Ｔｔｈ以上となっている（Ｔ≧Ｔｔｈ）か否かが判別される。すなわち、ステップ１１において、電圧Ｖｓが値ＶＬに設定されてから実際に電圧Ｖｓが値ＶＬとなるまでには、一定の時間がかかることから、本ルーチンでは、ステップ１２が設けられているのである。
【００３３】
ステップ１２において、Ｔ＜Ｔｔｈであると判別されたとき（すなわち、電圧Ｖｓが値ＶＬとなっていないと判断されたとき）には、ルーチンはステップ１８に進んで、時間Ｔがインクリメントされる（Ｔ←Ｔ＋１）。一方、ステップ１２において、Ｔ≧Ｔｔｈであると判別されたときには、ルーチンはステップ１３に進んで、このときにセンサ電極８，９間に流れるセンサ電流Ｉｓを、残存酸素にのみ起因する電流値Ｉｓｏとして記憶する（すなわち、更新する）。これ以後、この新たに更新された値Ｉｓｏがステップ１６における上式（１）に従ったＮＯｘ濃度の算出に使用される。
【００３４】
次いで、ステップ１４において、センサ電極８，９間に印加される電圧Ｖｓが、残存酸素からもＮＯｘからも酸素イオンを生成する値ＶＨ（図２の例の値Ｖ３以上の値であって、好ましくは、値Ｖ３と値Ｖ５との間の値であって、さらに好ましくは、値Ｖ４と値Ｖ５との間の値）に設定される。次いで、ステップ１５において、カウンタＣがリセットされる（Ｃ←０）。
【００３５】
なお、上述では、ガス中のＮＯｘ濃度を検出する場合を例に挙げて本発明を説明したが、本発明は、ガス中の硫黄酸化物（ＳＯｘ）といった酸素化合物の濃度を検出する場合にも適用可能である。
【００３６】
また、本発明は、ガス中のアンモニア濃度を検出する場合にも適用可能である。すなわち、ガス中に含まれているアンモニア（ＮＨ３）は、陰極側ポンプ電極６において、ＮＯとＨ２Ｏとに分解され（４ＮＨ３＋５Ｏ２→４ＮＯ＋６Ｈ２Ｏ）、この分解されたＮＯは、陰極側センサ電極８に到来する。このＮＯは、陰極側センサ電極８上において、Ｎ２とＯ２とに分解され、分解生成されたＯ２は、酸素イオンとなって第３層Ｌ３内を陽極側センサ電極９に向けて移動する。このときにも、センサ電流Ｉｓはガス中に含まれているＮＨ３濃度に比例する。図４は、センサ電流Ｉｓとガス中のＮＯｘ濃度およびＮＨ３濃度との関係を示しており、この図４から、センサ電流Ｉｓはガス中のＮＯｘ濃度およびＮＨ３濃度に比例していることが判る。したがって、センサ電流Ｉｓを利用してガス中のＮＨ３濃度をも検出できるのである。
【００３７】
また、特許文献１に関連して説明したように、排気ガス中のＮＯｘ濃度が零となっている間に電極間に流れる電流の値を新たな基準電流値とするようにしている場合において、排気ガス中のＮＯｘ濃度が零となる機会が少なければ、基準電流値の更新回数も少なく、したがって、ＮＯｘ濃度が零であるときに電極間を流れる電流値に一致していない基準電流値が用いられる期間が長くなってしまう。この場合、ＮＯｘセンサのＮＯｘ濃度検出精度は高いとは言えない。しかしながら、本発明によれば、残存酸素にのみ起因するセンサ電流（上記基準電流値に相当）が定期的に更新されるので、ＮＯｘセンサのＮＯｘ濃度検出精度が高いと言える。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】ＮＯｘセンサのセンサ部の断面図である。
【図２】センサ電極間に印加される電圧Ｖｓとセンサ電極間を流れるセンサ電流Ｉｓとの間の関係を示す図である。
【図３】本発明の実施形態に従ってＮＯｘ濃度を検出する制御ルーチンの一例を示すフローチャートである。
【図４】ＮＯｘ濃度およびＮＨ３濃度とセンサ電流Ｉｓとの関係を示す図である。
【符号の説明】
【００３９】
１…ガス室
２…大気室
５，６…ポンプ電極
７…ポンプ電圧源
８，９…センサ電極
１０…センサ電圧源
【図１】
2005098728.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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