(57)【要約】【課題】フィルム圧着時のフィルムの位置ずれを防止し、高品質で歩留まりの高いプラズマディスプレイパネルの製造方法とその製造装置を提供する。【解決手段】電極が形成された基板上に、連続したシート状誘電体を走行させながら貼り付ける製造方法であって、少なくともシート状誘電体が走行を開始する際に、シート状誘電体の走行方向の側端面３５の位置を検出し、シート状誘電体の側端面３５と基板の側端面とが互いに平行になるように制御する。【選択図】図４
2005144888.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極が形成された基板上に、連続したシート状またはフィルム状の誘電体を走行させながら貼り付けるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
少なくとも前記誘電体が走行を開始する際に、前記誘電体の走行方向と平行な側端面と前記基板の走行方向と平行な側端面とが互いに平行になるように、前記誘電体あるいは前記基板の走行方向を制御することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
誘電体の走行方向始端部を巻取りローラに巻き取りながら走行を開始し、前記巻取りローラを変位させることによって前記誘電体の側端面の走行方向位置を制御することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
巻取りローラを誘電体の走行方向と垂直な方向に移動させることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
巻取りローラの端部の少なくとも一方を変位させることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
電極が形成された基板上に、連続したシート状またはフィルム状の誘電体を走行させながら貼り付けるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
基板フィルム上に形成された前記誘電体の所定領域を除去して所定形状に加工する除去工程と、
所定形状に加工された前記誘電体を前記基板に貼り付ける貼付工程と、
前記誘電体と前記基板との相対位置を計測する計測工程とを有し、
前記相対位置の情報にもとづき前記誘電体の走行を制御することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
電極が形成された基板上に、連続したシート状またはフィルム状の誘電体を走行させながら貼り付けるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
基板フィルム上に形成された前記誘電体の所定領域を除去して所定形状に加工する除去工程と、
所定形状に加工された前記誘電体を前記基板に貼り付ける貼付工程と、
前記誘電体と前記基板との相対位置を計測する計測工程とを有し、
前記相対位置の情報にもとづき前記誘電体を除去する領域を制御することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
基板に貼り付けられた誘電体と前記基板との、走行方向の後端部あるいは前端部のうちの少なくともひとつにおける相対位置を計測し、前記誘電体を除去する領域を制御することを特徴とする請求項６に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
電極が形成されたガラス基板上に、連続したシート状またはフィルム状の誘電体を走行させながら貼り付けるプラズマディスプレイパネルの製造装置であって、
少なくとも前記誘電体を巻き出す巻き出しローラと、
前記巻き出しローラより巻き出された前記誘電体を走行させる走行ローラと、
前記誘電体を前記ガラス基板に貼り付ける圧着ローラと、
前記誘電体が走行を開始する際に前記誘電体の走行方向と平行な側端面の位置を検出する位置検出センサーと、
前記位置検出センサーからの情報にもとづいて前記誘電体の側端面の走行方向位置を制御する走行制御駆動モータと
を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項９】
誘電体の走行方向始端部を巻き取る巻取りローラを備え、走行制御駆動モータは前記巻取りローラを変位させることを特徴とする請求項８に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１０】
走行制御駆動モータは巻取りローラを誘電体の走行方向と垂直な方向に移動させることを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１１】
走行制御駆動モータは巻取りローラの端部の少なくとも一方を変位させることを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１２】
位置検出センサーは、誘電体の走行方向における少なくとも２点以上について前記誘電体の側端面の位置を検出する光学的検出センサーであることを特徴とする請求項８から請求項１１のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１３】
電極が形成されたガラス基板上に、連続したシート状またはフィルム状の誘電体を走行させながら貼り付けるプラズマディスプレイパネルの製造装置であって、
少なくとも前記誘電体を巻き出す巻き出しローラと、
前記巻き出しローラより巻き出された前記誘電体を走行させる走行ローラと、
基板フィルム上に形成された前記誘電体の所定領域を除去して所定形状に加工する除去カッター部と、
前記誘電体を前記ガラス基板に貼り付ける圧着ローラと、
前記誘電体と前記ガラス基板との相対位置を計測する相対位置検出センサーと、
前記相対位置検出センサーの情報にもとづき前記除去カッター部の除去領域を制御する補助カッター部と、
を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１４】
除去カッター部および補助カッター部が、基板フィルム上に形成された誘電体の所定領域を剥離する剥離手段を備えていることを特徴とする請求項１３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置に関し、特に前面板や背面板の誘電体あるいは背面板の隔壁などを、シート貼付によって高精度に形成する製造方法と製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高品位テレビジョン画像を大画面で表示するためのディスプレイ装置として、プラズマディスプレイパネルへの期待が高まっている。
【０００３】
プラズマディスプレイパネルは図８に示すように、基本的には前面板１と背面板２とを封着して構成される。前面板１は、前面ガラス基板３と、その一方の主面上に形成されたストライプ状の透明電極４およびバス電極５よりなる電極６と遮光膜層７とが形成されている。さらに、電極６と遮光膜層７を覆ってコンデンサとしての働きをする誘電体層８を設け、この誘電体層８上に形成されたＭｇＯ膜からなる保護層９を形成している。
【０００４】
誘電体層８は、無機成分である鉛ホウ珪酸系の低融点ガラスなどの粉体と、バインダー成分としてのエチルセルロース樹脂と溶剤とを混練して所定粘度としたペーストを、印刷法、またはダイコート塗布法などによって塗布し、乾燥させてから焼成することによって形成されている。しかしながら、前面ガラス基板３の厚みに影響されずに、誘電体層８を均一に形成する方法として、前面ガラス基板３上に電極６および遮光膜層７を別々に印刷・乾燥・焼成した後、シート状誘電体を圧着し、その後、シート状誘電体を焼成して誘電体層８を形成する方法が提案されている（例えば特許文献１、非特許文献１）。
【特許文献１】特開２０００−９５５４５号公報
【非特許文献１】株式会社電子ジャーナル刊、「２００１  ＦＰＤテクノロジー大全」、２０００年１０月２５日、Ｐ５９６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
高品位テレビジョン用プラズマディスプレイパネルにおいて、高輝度、高効率を得るために放電ガスの分圧を調整することや、誘電体層の厚さを薄くして放電電圧を下げて透過率を上げることなどが検討されている。
【０００６】
誘電体層の厚さを薄くすると、誘電体層の形成工程において誘電体層中にクラックやピンホール、気泡などの欠陥が発生し、これによりプラズマディスプレイパネルの耐電圧特性が低下する。そのため、電極に放電電圧を印加したときに絶縁破壊が発生し、画面不灯などの品質不良の原因となる。したがって、膜厚が均一で欠陥のない誘電体層を効率よく形成することが、高品位プラズマディスプレイパネルの製造に対応する上で極めて重要である。
【０００７】
これらの欠陥のない誘電体層を形成する方法として、前述のようにシート状誘電体を圧着し、その後、シート状誘電体を焼成する方法が検討されている。このようなシート状誘電体をガラス基板上に圧着する方法としては、長尺の基板フィルム上に形成されたシート状誘電体を巻き出しローラから巻き出しながら連続走行させ、ガラス基板上に圧着し、その後基板フィルムを剥離する方法が一般的である。
【０００８】
しかしながら、巻き出しローラから長尺フィルムを巻き出しながら連続走行させる方法では、走行時のフィルムの位置ずれが発生する。特に巻き出しローラの交換時あるいは連続走行停止後の再始動時などでフィルム位置ずれを発生しやすい。フィルムの位置ずれが発生すると、連続走行経路で基板フィルムおよびシート状誘電体に不均一な応力が発生し、ガラス基板上に圧着した場合に膜厚むらが発生し画像表示むらなどの課題が発生する。
【０００９】
また、これらの位置ずれによってガラス基板上へのシート状誘電体の圧着位置がずれると、封着フリットの不均一塗布による封着不良、端部での電極取り出し不良などの課題が発生する。
【００１０】
本発明はこれらの課題に鑑みてなされたものであり、フィルム圧着時のフィルムの位置ずれを防止し、高品質で歩留まりの高いプラズマディスプレイパネルの製造方法とその製造装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述したような課題を解決するために、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、電極が形成された基板上に、連続したシート状またはフィルム状の誘電体を走行させながら貼り付けるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、少なくとも誘電体が走行を開始する際に、誘電体の走行方向と平行な側端面と基板の走行方向と平行な側端面とが互いに平行になるように誘電体あるいは基板の走行を制御している。
【００１２】
このような製造方法によれば、誘電体が走行を開始する際に、誘電体の側端面と基板の側端面とが互いに平行になるように制御しているため、基板への誘電体の貼付位置精度を確保できるとともに、均一張力で基板への貼付が可能となる。
【００１３】
さらに、誘電体の走行方向始端部を巻取りローラに巻き取りながら走行を開始し、巻取りローラを変位させることによって誘電体の側端面の走行方向位置を制御してもよい。このような方法によれば、巻取りローラを変位させるだけで走行位置を制御することができるとともに、基板入れ替えや誘電体のロット切り替えなどに柔軟に対応できる。
【００１４】
さらに、巻取りローラを誘電体の走行方向と垂直な方向に移動させてもよい。この方法によれば、簡単な方法で誘電体の走行方向位置を制御することができる。
【００１５】
さらに、巻取りローラの端部の少なくとも一方を変位させてもよい。この方法によれば、簡単な方法で誘電体の走行方向位置を制御することができる。
【００１６】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、電極が形成された基板上に、連続したシート状またはフィルム状の誘電体を走行させながら貼り付けるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、基板フィルム上に形成された誘電体の所定領域を除去して所定形状に加工する除去工程と、所定形状に加工された誘電体を基板に貼り付ける貼付工程と、誘電体と基板との相対位置を計測する計測工程とを有し、相対位置の情報にもとづき誘電体の走行を制御している。
【００１７】
このような製造方法によれば、基板上の所定位置に誘電体を貼り付けることができ、高品質で歩留まりの高い製造方法を実現することができる。
【００１８】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、電極が形成された基板上に、連続したシート状またはフィルム状の誘電体を走行させながら貼り付けるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、基板フィルム上に形成された誘電体の所定領域を除去して所定形状に加工する除去工程と、所定形状に加工された誘電体を基板に貼り付ける貼付工程と、誘電体と基板との相対位置を計測する計測工程とを有し、相対位置の情報にもとづき誘電体を除去する領域を制御している。
【００１９】
このような製造方法によれば、基板と基板に貼り付けられた誘電体との相対位置を計測して、誘電体を除去する領域を制御しているため、貼付位置とその領域を制御し、安定して高品質で歩留まりの高い製造方法を実現することができる。
【００２０】
さらに、基板に貼り付けられた誘電体と基板との、走行方向の後端部あるいは前端部のうちの少なくともひとつにおける相対位置を計測し、誘電体を除去する領域を制御してもよい。この製造方法によれば、外気温度による基板フィルムの伸び、あるいは走行経路の張力変動などにも対応可能となり、安定して高品質で歩留まりの高い製造方法を実現することができる。
【００２１】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造装置は、電極が形成されたガラス基板上に、連続したシート状またはフィルム状の誘電体を走行させながら貼り付けるプラズマディスプレイパネルの製造装置であって、少なくとも誘電体を巻き出す巻き出しローラと、巻き出しローラより巻き出された誘電体を走行させる走行ローラと、誘電体をガラス基板に貼り付ける圧着ローラと、誘電体が走行を開始する際に誘電体の走行方向と平行な側端面の位置を検出する位置検出センサーと、位置検出センサーからの情報にもとづいて誘電体の側端面の走行方向位置を制御する走行制御駆動モータとを有している。
【００２２】
このような製造装置によれば、誘電体が走行を開始する際に、誘電体の側端面の走行方向位置を制御しているため、ガラス基板への貼付位置精度を確保できるとともに、均一張力でガラス基板への貼付が可能となる。
【００２３】
さらに、誘電体の走行方向始端部を巻き取る巻取りローラを備え、走行制御駆動モータは巻取りローラを変位させてもよい。このような製造装置によれば、巻取りローラを変位させるだけで走行位置を制御することができるとともに、基板入れ替えや誘電体のロット切り替えなどに柔軟に対応できる。
【００２４】
さらに、走行制御駆動モータは巻取りローラを誘電体の走行方向と垂直な方向に移動させてもよい。このような製造装置によれば、簡単な装置構成で誘電体の走行方向位置を制御することができる。
【００２５】
さらに、走行制御駆動モータは巻取りローラの端部の少なくとも一方を変位させてもよい。このような製造装置によれば、簡単な装置構成で誘電体の走行方向位置を制御することができる。
【００２６】
さらに、位置検出センサーは、誘電体の走行方向における少なくとも２点以上について誘電体の側端面の位置を検出する光学的検出センサーとしてもよい。このような製造装置によれば、位置検出を高精度に行い、走行方向位置制御も高精度に実現することができる。
【００２７】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造装置は、電極が形成されたガラス基板上に、連続したシート状またはフィルム状の誘電体を走行させながら貼り付けるプラズマディスプレイパネルの製造装置であって、少なくとも誘電体を巻き出す巻き出しローラと、巻き出しローラより巻き出された誘電体を走行させる走行ローラと、基板フィルム上に形成された誘電体の所定領域を除去して所定形状に加工する除去カッター部と、誘電体をガラス基板に貼り付ける圧着ローラと、誘電体とガラス基板との相対位置を計測する相対位置検出センサーと、相対位置検出センサーの情報にもとづき除去カッター部による除去領域を制御する補助カッター部とを有する。
【００２８】
このような製造装置によれば、ガラス基板とガラス基板に貼り付けられた誘電体との相対位置を計測して、誘電体を除去する領域を制御しているため、貼付位置とその領域を制御し、安定して高品質で歩留まりの高い製造方法を実現することができる。
【００２９】
さらに、除去カッター部および補助カッター部が、基板フィルム上に形成された誘電体の所定領域を剥離する剥離手段を備えてもよい。このような製造装置によれば、簡単な構成で所定領域を除去することができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、連続したシート状またはフィルム状の誘電体が走行を開始する際に、誘電体の側端面の走行方向位置を制御しているため、基板への貼付位置精度を確保できるとともに、均一張力で基板への貼付が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００３２】
（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置の主要構成要素を示す側面図であり、電極が形成されたガラス基板上に誘電体を貼り付ける装置構成を示している。図２はガラス基板搬送が終了した状態を示す斜視図、図３は基板搬送終了時と再搬送開始前の搬送系の詳細を示す側面図、図４は第１の実施の形態における製造装置の概要を示す斜視図である。図５はプラズマディスプレイパネルの前面板の斜視図である。
【００３３】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置によって製造されるプラズマディスプレイパネルは、図８に示すプラズマディスプレイパネルであり、特に前面板１の誘電体層８、あるいは背面板２の下地誘電体層７１、さらには隔壁７２を形成するための誘電体膜の製造に用いられる。本発明の実施の形態では前面板１の誘電体層８を形成する例として説明する。
【００３４】
図５に示すように、前面板１は厚さ約３ｍｍの透明な前面ガラス基板３の一方の主面上に電極６が形成され、それらの電極６を覆って約２０〜４０μｍの厚みで誘電体層８が形成され、さらに誘電体層８上に数百ｎｍの保護層９が形成されている。ここで、誘電体層８は前面ガラス基板３に対し、前面ガラス基板３の端部から所定幅の非形成領域６０，６１を設けて形成されている。これらの非形成領域６０，６１は背面板２と封着するための封着フリット形成領域あるいは電極６や背面板２の電極の端子取り出し領域となる。これらの領域の形状精度を確保することは、封着後の前面板１と背面板２との間隔を適正に保持し、なおかつ電極取り出しの絶縁性を確保するなどの面からも重要である。
【００３５】
第１の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置について図１を用いて説明する。図１に示すように、所定画面サイズ用に加工され、その一方の主面上に走査電極や維持電極よりなる電極が形成された前面ガラス基板（以下ガラス基板と呼ぶ）３が、図１の矢印Ａ方向から１枚ずつ搬送ローラ１１によって搬送される。ガラス基板３は電極が形成された面を上面としている。
【００３６】
一方、誘電体は長尺シートフィルム（以下シートフィルムと呼ぶ）１５によって構成されている。すなわち、ＰＥＴなどの基板フィルム１２上に、例えばＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系のガラス材料を主材料とするペーストを塗布してシート状誘電体１３を形成し、さらにその上にカバーフィルム１４を設けて、シート状誘電体１３への異物混入などを防止している。なお、このようなシート状誘電体１３は、その膜厚が焼成後に数十μｍとなるように約百μｍ程度のシート状で形成されているが、誘電体材料によってさらに膜厚を薄くしてフィルム状である場合もある。これらにより構成された数百ｍ長さのシートフィルム１５が巻き出しローラ１６に巻かれ、巻き出しローラ１６から矢印Ｂの方向に巻き出される。巻き出しローラ１６から巻き出されたシートフィルム１５はガイドローラ１７や上圧着ローラ１８を経由して、ガラス基板３上までの走行経路を形成している。
【００３７】
製造プロセスは次の工程を有している。まず、巻き出しローラ１６から巻き出されたシートフィルム１５のカバーフィルム１４を、カバーフィルム剥離ローラ１９で剥離するカバーフィルム剥離工程を経た後、ガラス基板３に所定形状のシート状誘電体１３を形成するために基板フィルム１２上に形成されたシート状誘電体１３の所定領域を除去する除去工程に入る。図１においては、除去カッター部となる所定間隔に設定された２枚の回転カッター２０によってシート状誘電体１３に切断線を入れ、その領域を接着テープなどにより剥離する方法などを用いることができる。すなわち、除去された間のシート状誘電体１３がひとつのガラス基板３に対応して貼り付けられることになる。
【００３８】
このように、所定間隔でシート状誘電体１３が除去されたシートフィルム１５はガイドローラ１７を経由し、上圧着ローラ１８と下圧着ローラ２１により構成される圧着工程に流入する。矢印Ａ方向から流入してきたガラス基板３の上面に、シート状誘電体１３が沿わされ、下圧着ローラ２１と上圧着ローラ１８によって所定圧力で挟み込み圧着して貼り付けられる。下圧着ローラ２１と上圧着ローラ１８とは、所定温度に加熱されてガラス基板３へのシート状誘電体１３の貼付けを促進している。シート状誘電体１３の貼付けが終了したガラス基板３は、走行方向の後端部において、基板フィルム１２がカッター２２によって切断されてガラス基板３の１枚ずつに分離される。その後、基板フィルム１２が剥離冶具２３を用いてシート状誘電体１３の面から剥離され、次工程である焼成工程に導入されてガラス基板３上に所定厚みの誘電体層を形成する。
【００３９】
このような方法によってガラス基板３にシート状誘電体１３を圧着して貼り付け、その作業が終了した場合、あるいはシートフィルム１５の原反ロールを交換する場合などについて図２、図３を用いて説明する。図２はガラス基板搬送が終了した状態を示す斜視図、図３は基板搬送終了時と再搬送開始前の搬送系の詳細を示す側面図である。
【００４０】
図２に示すように、圧着貼付作業において作業を終了する場合には、次のガラス基板３の搬送がなくなるため、その前のガラス基板３の後端部において、下圧着ロール２１と上圧着ロール１８より排出されたシートフィルム１５が切断され、その端部３１が一旦フリーになった状態で巻取りローラ３２に支持されている。
【００４１】
次にこの状態から、次ロットのガラス基板３にシート状誘電体１３を貼り付ける場合について図３を用いて説明する。図３（ａ）に示すように、巻取りローラ３２にフリーに支持されたシートフィルム１５が、押さえローラ３３と巻取りローラ３２とによりクランプされ、矢印Ｃに示すように走行方向下流側に移動する。その後、図３（ｂ）に示すように巻取り補助ローラ３４を用いて巻取りローラ３２にシートフィルム１５の端部３１を巻き取り、その後、押さえローラ３３は退避させる。このようにした状態で、適度の張力をシートフィルム１５に与えて走行を開始させることができる。
【００４２】
図４は、本発明の第１の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置において、端部３１を巻取りローラ３２に巻き取り、走行を開始する際の概要を示す斜視図である。シートフィルム１５は前ロットでのガラス基板３への圧着貼付終了時に、張力が印加されないフリーな状態となる。その状態で図３に示す押さえローラ３３や巻取り補助ローラ３４を用いて巻取りローラ３２に巻き取ると、シートフィルム１５の正規位置からの位置ずれが発生する。図４にはその状態を示し、シートフィルム１５が破線で示す正規位置４０からずれて走行を開始する。ずれ量δはシートフィルム１５の端部３１がフリーな状態になったときの条件で決定されて大きく変動し、そのずれ量δを制御することは困難である。
【００４３】
そこで本発明の第１の実施の形態では、図４に示すように、巻取りローラ３２に端部３１を巻き取った後に巻取りローラ３２を変位させてシートフィルム１５の走行位置ずれを修正するようにしている。本実施の形態の製造装置には、シート状誘電体１３を含むシートフィルム１５の走行方向の側端面３５の位置を検出する位置検出センサー３６が設けられ、この位置検出センサー３６によって検出された位置情報により走行経路を制御する走行制御駆動モータ３７を備えている。位置検出センサー３６からの情報は処理装置３８を経て走行制御駆動モータ３７に伝達される。図４においては、走行制御駆動モータ３７が巻取りローラ３２の回転軸３９を軸方向、すなわちシートフィルム１５の走行方向と垂直な方向に移動させてフィルムシート１５の側端面３５を正規位置に修正している。例えば、図４に示すように側端面３５の走行位置が破線で示す正規位置４０より図面上で左にずれた場合、回転軸３９を矢印Ｄのように右側に移動させることによって正規位置４０に修正することが可能となる。また、側端面３５の位置検出はシートフィルム１５の走行方向で所定距離を有した２点でそのずれ量を測定することにより、必要な修正量を計算し走行制御駆動モータ３７の駆動を制御することも可能である。
【００４４】
シートフィルム１５が正規位置４０よりずれて走行すると、ガラス基板３へのシート状誘電体１３の圧着貼付位置がずれる。その結果、封着部分での封着不良や電極取り出し部での絶縁不良などが発生する。また、このようにシートフィルム１５がずれて走行すると、シートフィルム１５の幅方向において張力の不均一分布が発生し、その状態のままガラス基板３上にシート状誘電体１３が貼り付けられることになる。シート状誘電体１３は張力の影響を受けやすく、結果として張力の不均一分布が貼り付けられた誘電体の不均一膜厚分布を引き起こす。膜厚分布の不均一性が画像表示の不均一性を発生させる。
【００４５】
本実施の形態によれば、ガラス基板への貼付作業を開始する際に、このような走行のずれを修正するため、膜厚が均一で形状精度に優れた誘電体層を形成することが可能となる。
【００４６】
（第２の実施の形態）
図６は本発明の第２の実施の形態における製造装置を示す斜視図である。第１の実施の形態では、シートフィルム１５の走行ずれを巻取りローラ３２の回転軸３９を移動させることにより修正したが、第２の実施の形態では巻取りローラ３２の一方の端部を変位させて修正するものである。
【００４７】
図６に示す装置の基本構成は第１の実施の形態で述べたのと同様であり、同一構成要素には図４と同一の符号を付している。図６に示すように、巻取りローラ３２の両端部が軸受け部４２，４３によって支持されている。シート状誘電体１３を含むシートフィルム１５の走行方向の側端面３５の位置を検出する位置検出センサー３６が設けられ、この位置検出センサー３６によって検出された位置情報により走行経路を制御する走行制御駆動モータ３７を備えている。位置検出センサー３６からの情報は処理装置３８を経て走行制御駆動モータ３７に伝達される。
【００４８】
走行制御駆動モータ３７は軸受け部４２，４３をわずかに変位させる駆動手段であり、軸受け部４２，４３を変位させることによって、巻取りローラ３２を走行経路の平行面に対して傾斜させるようにしている。巻取りローラ３２の回転軸３９を通常走行時の回転軸に対して傾斜させてシートフィルム１５を巻き取ることにより、シートフィルム１５の走行位置を正規位置４０に修正することが可能となる。例えば、図６に示すように、シートフィルム１５の側端面３５が左にずれている場合、軸受け部４２をシートフィルム１５の走行方向と逆方向となる矢印Ｅの方向にわずかに変位させることによりシートフィルム１５を右側に移動させることができる。
【００４９】
なお、軸受け部４２，４３はその片側のみを変位させてもよい。また、位置検出センサー３６を複数設けて、位置精度を高めることも可能である。さらに、位置検出センサー３６として、図４および図６には光学的検出手段を示しているが、機械的接触による検出手段などを用いることも可能であるし、これらの位置検出センサーをシートフィルム１５の両側側端面に設けることも可能である。
【００５０】
（第３の実施の形態）
図７は本発明の第３の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置を示す側面図である。図７に示すように製造装置の主要構成要素は図１の第１の実施の形態と同様であり、同一構成要素には同一の符号を付している。
【００５１】
第３の実施の形態が第１の実施の形態と異なるのは、ガラス基板３にシート状誘電体１３を貼り付け、基板フィルム１２を剥離した後に、ガラス基板３とシート状誘電体１３との相対位置を計測する計測工程を有し、そのための相対位置検出センサー５０を備えていることである。さらに、この相対位置検出センサー５０の情報にもとづいて、所定形状の誘電体層を形成するためにシート状誘電体１３の所定領域を除去する除去工程を制御するものである。具体的には、相対位置検出センサー５０の情報にもとづいて除去領域を制御する補助カッター部５１を備えている。
【００５２】
本実施の形態では、相対位置検出センサー５０はセンサー部５２と処理装置５３とにより構成され、センサー部５２によってガラス基板３の走行方向の後端部５４におけるガラス基板３とシート状誘電体１３との位置関係を計測している。あらかじめ決められたガラス基板３の所定位置以外にシート状誘電体１３が形成されている場合には、除去工程の除去領域を調整するものである。相対位置検出センサー５０の処理装置５３からの信号が補助カッター部５１に伝達される。例えば、ガラス基板３の後端部５４において、シート状誘電体１３が正規位置よりはみ出して貼り付けられている場合には、補助カッター部５１によって、前工程の回転カッター２０によって除去されて所定長さを有するシート状誘電体１３の走行方向後端部５５を調整カッター５６でカットしガラス基板３への貼付長さを調整することができる。また、ガラス基板３の走行方向の前端部においてシート状誘電体１３とガラス基板３との相対位置を検出することも可能である。
【００５３】
図７では補助カッター部５１を除去カッター部である回転カッター２０と別個に設けた例を示しているが、相対位置検出センサー５０の情報を回転カッター２０にフィードバックして除去領域を制御することも可能である。また、２枚の回転カッター２０を矢印Ｆに示すように独立に動かす構成とすることによって、自在にガラス基板３へのシート状誘電体１３の圧着貼付状態を調整制御することも可能である。
【００５４】
なお、上述の実施の形態では、所定サイズに加工されたガラス基板を１枚ずつ走行させ、それぞれに連続的に搬送されるシート状誘電体を貼り付ける製造方法と製造装置について述べた。しかしながら、本発明は複数枚のガラス基板が取れる大版ガラス基板に、複数枚用の誘電体を形成する、いわゆる多面取りの製造方法や製造装置にも適用可能であり、特にガラス基板への貼付形状を調整する方法や装置に好適である。
【００５５】
また、上述の実施の形態では図８に示すプラズマディスプレイパネルの前面板１の誘電体層８を形成する場合について述べたが、例えば背面板２のデータ電極７０上に下地誘電体層７１を形成する場合や、隔壁７２を形成するための隔壁誘電体層の形成などに適用可能である。さらには、誘電体に限らずシート状の導電体などを形成してパターンニング処理をして電極などを形成する場合にも適用可能である。
【００５６】
さらに、上述の実施の形態では、基板とシート状誘電体との位置ずれを、シート状誘電体の走行を制御して修正する場合について説明したが、例えばシート状誘電体の走行位置ずれを検出して、シート状誘電体の側端面と基板の側端面とが平行になるように、基板を変位させることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明にかかるプラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置によれば、シート状またはフィルム状の誘電体が走行を開始する際に、誘電体の側端面の走行方向位置を制御しているため、誘電体の基板への貼付位置精度を確保できるとともに、均一張力での貼付が可能となり、大画面表示に最適なプラズマディスプレイ装置などの製造に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置の主要構成要素を示す側面図
【図２】同製造装置のガラス基板搬送が終了した状態を示す斜視図
【図３】同製造装置の基板搬送終了時と再搬送開始前の搬送系の詳細を示す側面図
【図４】同製造装置の概要を示す斜視図
【図５】プラズマディスプレイパネルの前面板の斜視図
【図６】本発明の第２の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置を示す斜視図
【図７】本発明の第３の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造装置を示す側面図
【図８】プラズマディスプレイパネルの分解斜視図
【符号の説明】
【００５９】
１    前面板
２    背面板
３    前面ガラス基板
４    透明電極
５    バス電極
６    電極
７    遮光膜層
８    誘電体層
９    保護層
１１    搬送ローラ
１２    基板フィルム
１３    シート状誘電体
１４    カバーフィルム
１５    シートフィルム
１６    巻き出しローラ
１７    ガイドローラ
１８    上圧着ローラ
１９    カバーフィルム剥離ローラ
２０    回転カッター
２１    下圧着ローラ
３１    （シートフィルムの）端部
３２    巻取りローラ
３３    押さえローラ
３４    巻取り補助ローラ
３５    （シートフィルムの）側端面
３６    位置検出センサー
３７    走行制御駆動モータ
３８    処理装置
３９    回転軸
４０    正規位置
４２，４３    軸受け部
５０    相対位置検出センサー
５１    補助カッター部
５２    センサー部
５３    処理装置
５４    （ガラス基板の）後端部
５５    （誘電体の）走行方向後端部
５６    調整カッター
７０    データ電極
７１    下地誘電体層
７２    隔壁
【図１】
2005144888.tif 000003
【図２】
2005144888.tif 000004
【図３】
2005144888.tif 000005
【図４】
2005144888.tif 000006
【図５】
2005144888.tif 000007
【図６】
2005144888.tif 000008
【図７】
2005144888.tif 000009
【図８】
2005144888.tif 000010