(57)【要約】【課題】  基板の塗布面に液体を所定のパターンで容易に塗布することができると共に、作業工程を簡略化してコストを低減した塗布装置を提供する。【解決手段】  基板１の表面の塗布面１ａに対して、液体３を保持した貯留手段５０からの液体３を塗布ヘッド４０から流出させながら、基板１と塗布ヘッド４０とを塗布面１ａの面方向に相対的に移動させることで、基板１の塗布面１ａに液体３を塗布する塗布装置であって、塗布ヘッド４０には、液体３が流出されるノズル開口４１が移動方向とは交差する方向に複数並設されていると共に、各ノズル開口４１から液体の流出のオン・オフを選択して液体３を選択的に流出させる選択手段６０を設けることにより、塗布面１ａに所定のパターンで液体３を塗布する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面の塗布面に対して、液体を保持した貯留手段からの液体を塗布ヘッドから流出させながら、前記基板と前記塗布ヘッドとを前記塗布面の面方向に相対的に移動させることで、前記基板の前記塗布面に前記液体を塗布する塗布装置であって、
前記塗布ヘッドには、前記液体が流出されるノズル開口が移動方向とは交差する方向に複数並設されていると共に、各ノズル開口から前記液体の流出のオン・オフを選択して選択的に流出させる選択手段を具備することを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１において、前記貯留手段が複数の異なる液体を保持すると共に、前記ノズル開口が前記複数の液体の内の何れかの液体が流出されるように設けられていることを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記選択手段が、前記貯留手段から前記塗布ヘッドへの前記液体の供給を選択的に停止させるものであることを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記ノズル開口が複数並設されてなるノズル列が移動方向に複数列設けられていることを特徴とする塗布装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかにおいて、前記塗布ヘッドが、ノズル開口を有する複数の個別ヘッドで構成されていると共に、前記個別ヘッドのそれぞれが、前記ノズル開口と前記基板との間隔を調整可能に設けられていることを特徴とする塗布装置。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかにおいて、前記選択手段が、前記各ノズル開口から前記液体を流出させる流出量を調整する流出量調整機能を有することを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布ヘッドの先端から液体を流出させて、塗布ヘッドと基板とを基板の塗布面の面方向に相対的に移動させることで塗布面に液体を塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハやガラス基板等の基板上に、レジスト材料や絶縁材料等からなる所定パターンの膜を形成する方法としては、例えば、基板の全面に亘って膜を形成後、この膜をエッチングしたり、所定形状の開口を有するマスクを介して露光したりすることにより、膜の余分な領域を除去するのが一般的である。
【０００３】
このように、基板の一方面の全面に亘って液体を塗布する際には、例えば、スリットコート式塗布装置が用いられている。スリットコート式塗布装置は、塗布ヘッドに設けられたスリット状のノズル開口の先端から毛細管現象により液体を流出させながら、塗布ヘッドと基板とを相対的に移動させることで、基板の一方面の全面に亘って均一な厚さで液体を塗布するものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、基板の全面に撥水膜を形成後、撥水膜にマスクを介して紫外線を照射することで所定パターンの撥水膜に形成し、スリットコート式塗布装置によって基板全体に亘って液体を塗布することで、基板の撥水膜で覆われていない領域に液体を塗布する成膜方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
しかしながら、所定パターンの膜を得る何れの方法であっても、膜をパターニングする工程が必要になってしまうため、パターニングする作業工程が増えてしまうと共に、膜を形成する材料が無駄に使用されてしまい、高コストになってしまうという問題がある。
【０００６】
また、例えば、液滴を噴射する液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置を用いることで、基板上に所定パターンの膜を形成することができるが、液体噴射ヘッドから液滴を噴射させるには、圧電素子や発熱素子等の液体吐出手段により液滴吐出のための圧力を圧力発生室等の液室に発生させて、液室に連通するノズル開口から液滴を噴射させる必要があり、このような液体噴射ヘッドを製造するには、高コストになってしまうという問題がある。
【０００７】
【特許文献１】特開平６−３４３９０８号広報（第２〜４頁、第１〜２図）
【特許文献２】特開２００３−２６０４０６号広報（第５〜７頁、第３〜６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、基板の塗布面に液体を所定のパターンで容易に塗布することができると共に、作業工程を簡略化してコストを低減した塗布装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、基板の表面の塗布面に対して、液体を保持した貯留手段からの液体を塗布ヘッドから流出させながら、前記基板と前記塗布ヘッドとを前記塗布面の面方向に相対的に移動させることで、前記基板の前記塗布面に前記液体を塗布する塗布装置であって、前記塗布ヘッドには、前記液体が流出されるノズル開口が移動方向とは交差する方向に複数並設されていると共に、各ノズル開口から前記液体の流出のオン・オフを選択して選択的に流出させる選択手段を具備することを特徴とする塗布装置にある。
かかる第１の態様では、基板の塗布面上に液体を所定のパターンで容易に塗布することができると共に、パターニングする工程が不要となって、液体の無駄な消費を防止することができる。
【００１０】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記貯留手段が複数の異なる液体を保持すると共に、前記ノズル開口が前記複数の液体の内の何れかの液体が流出されるように設けられていることを特徴とする塗布装置にある。
かかる第２の態様では、複数の異なる液体を塗布することで、厚さやパターンを詳細に形成することができる。
【００１１】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記選択手段が、前記貯留手段から前記塗布ヘッドへの前記液体の供給を選択的に停止させるものであることを特徴とする塗布装置にある。
かかる第３の態様では、選択手段によって塗布ヘッドへの液体の供給状態を制御することで、容易にノズル開口から液体の流出を選択的に行わせることができる。
【００１２】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記ノズル開口が複数並設されてなるノズル列が移動方向に複数列設けられていることを特徴とする塗布装置にある。
かかる第４の態様では、複数のノズル列を設けることにより、液体の塗布時間を短縮することができる。
【００１３】
本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様において、前記塗布ヘッドがノズル開口を有する複数の個別ヘッドで構成されていると共に、前記個別ヘッドのそれぞれが、前記ノズル開口と前記基板との間隔を調整可能に設けられていることを特徴とする塗布装置にある。
かかる第５の態様では、複数の個別ヘッドによって、面方向で異なる厚さの液体を所定のパターンで塗布することができる。
【００１４】
本発明の第６の態様は、第１〜５の何れかの態様において、前記選択手段が、前記各ノズル開口から前記液体を流出させる流出量を調整する流出量調整機能を有することを特徴とする塗布装置にある。
かかる第６の態様では、各ノズル開口から流出される液体の量を調整することができるので、面方向で異なる厚さの液体を所定のパターンで塗布することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の一実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す斜視図であり、図２は、塗布装置の要部断面図である。図１に示すように、本実施形態の塗布装置１０は、シリコンウェハ、半導体基板等の基板１が保持される保持テーブル２０と、保持テーブル２０の基板１側に設けられて複数のノズル開口２１を有する塗布ヘッド４０と、塗布ヘッド４０に液体３を供給する貯留手段５０と、貯留手段５０から塗布ヘッド４０への液体３の供給状態を切り替えて塗布ヘッド４０の各ノズル開口４１から液体３の流出のオン・オフを選択する選択手段６０とを具備する。なお、この選択手段６０に液体３の流出オン時の流出量を調整できる流出量調整機能を兼ね備えさせてもよい。このように選択手段６０が液体３の流出量を調整できるようにすれば、塗布膜厚を任意の膜厚にするのをより実現し易くなる。
【００１６】
保持テーブル２０は、鉛直方向下側の面に、基板１の表面の液体３が塗布される塗布面１ａが鉛直方向下向きとなるように保持する。この保持テーブル２０による基板１の保持方法は、特に限定されず、例えば、真空ポンプによる真空吸引等が挙げられる。なお、保持テーブル２０は、例えば、図示しない駆動モータ等のテーブル駆動手段によって基板１の塗布面１ａの面内の一方向側に移動自在に設けられている。
【００１７】
一方、保持テーブル２０が保持した基板１の塗布面１ａ側には、塗布面１ａに液体３を塗布する塗布ヘッド４０と、塗布ヘッド４０に供給する液体３を保持する貯留手段５０とが設けられている。塗布ヘッド４０には、基板１の塗布面１ａに相対向する位置に液体３が流出される複数のノズル開口４１が鉛直方向上向きとなるように並設されている。このような塗布ヘッド４０は、複数のノズル開口４１の並設方向と保持テーブル２０の移動方向とが交差する方向となるように配置されている。
【００１８】
また、塗布ヘッド４０内には、各ノズル開口４１に対応して独立した液体溜まり部４２が設けられており、各液体溜まり部４２内に液体３が充填されると、各液体溜まり部４２内に充填された液体３が毛細管現象によって各ノズル開口４１の先端まで上昇するようになっている。また、ノズル開口４１の先端まで上昇した液体３は、その表面張力によってノズル開口４１の先端から突出した状態で保持される。さらに、塗布ヘッド４０は、図示しない装置本体に設けられたヘッド駆動手段４３にアーム部４４を介して保持されている。このヘッド駆動手段４３は、駆動モータ、オイル等を送る圧力ポンプ、電磁石等からなり、アーム部４４を介して塗布ヘッド４０を鉛直方向に移動自在に保持している。このようなヘッド駆動手段４３によって保持された塗布ヘッド４０の先端と基板１の塗布面１ａとの間隔は、液体３の動粘度や基板１への濡れ性などによって適宜調整されるようになっている。
【００１９】
貯留手段５０は、液体３を保持する貯留タンク５１と、一端が塗布ヘッド４０に接続され、他端が貯留タンク５１側に接続された複数の供給管５２とで構成されている。供給管５２は、塗布ヘッド４０の各ノズル開口４１に対応して複数設けられており、それぞれの供給管５２は、各ノズル開口４１に連通する液体溜まり部４２に貯留タンク５１からの液体３を個別に供給している。
【００２０】
また、供給管５２の途中には、塗布ヘッド４０のノズル開口４１から液体３を選択的に流出させる選択手段６０が設けられている。この選択手段６０は、供給管５２に連通する貫通孔６１と、貫通孔６１内に回転自在に設けられた開閉弁６２とを具備し、開閉弁６２を図示しない駆動モータ等の弁駆動手段によって回転させることで、貫通孔６１を開閉させる。そして、選択手段６０は、開閉弁６２の回転によって貫通孔６１を開閉させることにより、貯留タンク５１から塗布ヘッド４０への液体３の供給状態を切り替えて、塗布ヘッド４０の各ノズル開口４１から液体３を選択的に流出させるようになっている。
【００２１】
すなわち、選択手段６０の開閉弁６２が貫通孔６１を開口させると、貯留タンク５１から供給管５２を介して各ノズル開口４１に対応して設けられた液体溜まり部４２に液体３が充填される。そして、上述のように液体溜まり部４２内の液体３がノズル開口４１の先端まで毛細管現象によって上昇し、ノズル開口４１の先端でその表面張力によって突出した状態で保持される。このような状態で、突出した液体３に基板１の塗布面１ａを接触させて、保持テーブル２０をノズル開口４１の並設方向とは直交する基板１の塗布面１ａの面内の一方向に移動させることで、ノズル開口４１から液体３が徐々に流出されて、基板１の塗布面１ａに液体３を塗布することができる。また、選択手段６０の開閉弁６２が貫通孔６１を閉口させると、貯留タンク５１から液体溜まり部４２内に液体３が供給されず、ノズル開口４１の先端から液体３が流出されない。このように、選択手段６０によって選択的に開閉弁６２を駆動して、貫通孔６１を開閉することで、貯留タンク５１から塗布ヘッド４０への供給状態を切り替えて、複数のノズル開口４１から選択的に液体３を流出させることができる。そして、このように選択手段６０によって複数のノズル開口４１から選択的に液体３を流出させることで、基板１の塗布面１ａ上に所望のパターンで液体３を塗布することができる。
【００２２】
また、選択手段６０は、開閉弁６２の回転によって貫通孔６１を開閉させることにより、貯留タンク５１から塗布ヘッド４０への液体３の供給状態を切り替えて、塗布ヘッド４０の各ノズル開口４１から液体３を選択的に流出させているが、貫通孔６１の開口時の開口面積を調整させる流出量調整機能を兼ね備えさせることも可能であり、貫通孔６１の開口面積を調整することで、液体３の流出量を任意に調整することができる。このように選択手段６０が液体３の流出量を調整することにより、基板１に塗布する液体３の塗布膜厚を任意の膜厚に調整することができると共に、基板１に液体３を凹凸状に塗布することも可能となる。
【００２３】
ここで、このような塗布装置１０を用いた塗布方法について詳しく説明する。なお、図３及び図４は、塗布方法を示す塗布装置の要部断面図である。図３（ａ）に示すように、選択手段６０によって、塗布ヘッド４０のノズル開口４１の先端から選択的に液体３を突出させた状態で、ヘッド駆動手段４３によって塗布ヘッド４０を基板１と所定の間隔となるまで接近させる。
【００２４】
また、塗布を行う前の待機状態では、ノズル開口４１の先端から液体３を突出させないようにして、液体３の乾燥や異物の混入を防止するようにしてもよい。このようにノズル開口４１の先端から液体３を突出させないようにするには、液体溜まり部４２に液体３が充填されないようにすればよい。本実施形態では、塗布ヘッド４０を基板１側に移動させた際に、選択手段６０によって貯留タンク５１から塗布ヘッド４０への液体３の供給状態の切り替えや供給量を調整することにより、各ノズル開口４１の先端から液体３の流出のオン・オフ、または流出量の大小、すなわち、液体３を突出させる、突出させないの選択、または、突出量の大小の調整を行うようにした。
【００２５】
次に、図３（ｂ）に示すように、図示しないテーブル駆動手段によって保持テーブル２０を基板１の塗布面１ａの面方向に移動することで、塗布面１ａへの液体３の塗布を開始する。次に、図４（ａ）に示すように、選択手段６０が開閉弁６２によって貫通孔６１を閉口すると、貯留タンク５１からの液体３がノズル開口４１に供給されず、基板１の塗布面１ａに液体３が塗布されない。そして、図４（ｂ）に示すように、保持テーブル２０を移動させながら、所望のタイミングで選択手段６０の開閉弁６２が貫通孔６１を開口することで、液体３が基板１の塗布面１ａに塗布される。これにより、基板１の塗布面１ａに、穴３ａを有する液体３を塗布することができる。このように、選択手段６０が１つのノズル開口４１から液体３を選択的に流出させることで、塗布面１ａの１つのノズル開口４１に対向する領域で基板１の移動方向に所望のパターンで液体３を塗布することができる。また、同様に、選択手段６０が、同時に複数のノズル開口４１から選択的に液体３を流出させることで、塗布面１ａのノズル開口４１の並設方向で所望のパターンで液体３を塗布することができる。すなわち、選択手段６０によって複数のノズル開口４１から選択的に液体３を流出させることで、基板１の塗布面１ａの全面に所望のパターンで液体３を塗布することができる。
【００２６】
なお、保持テーブル２０を移動して基板１の塗布面１ａに液体３を所定のパターンで塗布した後は、塗布ヘッド４０を基板１から離すことで基板１の塗布面１ａへの液体３の塗布が終了する。また、塗布が終了した待機状態では、上述した塗布前の待機状態と同様に、塗布ヘッド４０を鉛直方向下側に移動させるため、ノズル開口４１の先端と貯留タンク５１内の液体３の液面との鉛直方向の間隔（水頭値）が大きくなるため、液体３がノズル開口４１の先端から突出しないように塗布ヘッド４０内に引き込ませることができる。これにより、液体３の乾燥や異物の混入を防止することができる。なお、塗布前及び塗布後の待機状態では、ノズル開口４１をキャップ部材等で塞ぐようにしてもよい。キャップ部材によってノズル開口４１を塞ぐことで、ノズル開口４１からの液体３の乾燥及び異物の混入を確実に防止することができる。また、塗布が終了した際には、ノズル開口４１の先端近傍を例えば、紫外線やプラズマ等の照射により洗浄し、液体３のノズル開口４１への濡れ性が劣化するのを防止するようにしてもよい。
このように、本実施形態の塗布装置１０は、基板１の塗布面１ａに所望のパターンで液体３を直接塗布することができるため、露光やエッチングによりパターニングする工程が不要となって、製造工程を簡略化することができると共に製造コストを低減することができる。
【００２７】
（実施形態２）
図５は、本発明の実施形態２に係る塗布装置の概略斜視図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。図５に示すように、本実施形態の塗布装置１０Ａは、保持テーブル２０と、保持テーブル２０の移動方向とは交差する方向に直線上に並設された複数の個別ヘッド４５からなる塗布ヘッド４０Ａと、各個別ヘッド４５に対応して異なる液体３Ａ〜３Ｈを貯留する貯留手段５０Ａとを具備する。
【００２８】
各個別ヘッド４５には、ノズル開口４１と液体溜まり部４２とがそれぞれ１つ設けられている。また、貯留手段５０Ａは、異なる液体３Ａ〜３Ｈを保持する隔壁５３で区画された貯留タンク５１Ａと、一端が各個別ヘッド４５に接続されて、他端が貯留タンク５１Ａの何れかの液体３Ａ〜３Ｈが供給されるように接続された複数の供給管５２とを具備する。
【００２９】
また、本実施形態の選択手段６０Ａは、各個別ヘッド４５をそれぞれ保持するアーム４４Ａと、アーム４４Ａを鉛直方向に移動させる駆動モータ、オイル等を送る圧力ポンプ、電磁石等からなる駆動手段４３Ａとで構成されている。選択手段６０Ａは、駆動手段４３Ａによって各個別ヘッド４５を鉛直方向に移動させて、ノズル開口４１と基板１の塗布面１ａとの間隔を調整することで、ノズル開口４１から選択的に液体３を流出させる。すなわち、選択手段６０Ａは、個別ヘッド４５のノズル開口４１から液体３を流出させたくない場合には、駆動手段４３Ａによってノズル開口４１と基板１の塗布面１ａとの間隔を広げ、逆にノズル開口４１から液体３を流出させたい場合には、ノズル開口４１と基板１の塗布面１ａとの間隔を狭めるようになっている。このように、本実施形態では、駆動手段４３Ａが、選択手段６０Ａとして機能するようになっている。
【００３０】
このような各個別ヘッド４５から選択手段６０Ａによって選択的に液体３Ａ〜３Ｈを流出させることで、基板１の塗布面１ａに異なる液体３Ａ〜３Ｈを所望のパターンで塗布することができる。また、選択手段６０Ａが各個別ヘッド４５のノズル開口４１の先端と基板１の塗布面１ａとの間隔をそれぞれ調整することによって、塗布される液体３Ａ〜３Ｈの厚さを調整することができる。これにより、基板１の塗布面１ａ上にさらに詳細なパターンで液体３Ａ〜３Ｈを塗布することができる。
【００３１】
なお、本実施形態では、選択手段６０Ａが、各個別ヘッド４５を鉛直方向に位置決めすることで、各ノズル開口４１から選択的に液体３を流出させるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、実施形態１と同様の流出量調整機能を兼ね備えた選択手段６０を設けるようにしてもよい。流出量調整機能を兼ね備えた選択手段６０を設けた場合には、個別ヘッド４５毎と基板１の塗布面１ａとの間隔調整を行わなくても、基板１の塗布面１ａに液体３を任意の塗布膜厚で塗布することができる。
【００３２】
また、本実施形態では、複数の個別ヘッド４５を、基板１の移動方向とは交差する方向に直線上に並設するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、図６に示すように、１つ置きに個別ヘッド４５を保持テーブル２０の移動方向にずらして並設した２列の個別ヘッド４５で構成される塗布ヘッド４０Ｂとしてもよい。なお、図６は、実施形態２に係る塗布装置の変形例を示す上面図である。このように個別ヘッド４５を配置することで、並設方向で隣接するノズル開口４１同士の隙間を無くすことができ、基板１の塗布面１ａ上に塗布された液体３に塗布されないスジ等が発生するのを確実に防止することができる。
【００３３】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１及び２では、基板１の塗布面１ａを鉛直方向下向きとして、塗布ヘッド４０〜４０Ｂのノズル開口４１を鉛直方向上向きとしたが、特にこれに限定されず、例えば、塗布ヘッド４０〜４０Ｂのノズル開口４１を鉛直方向下向きとして、基板１の塗布面１ａを鉛直方向上向きとしてもよい。
【００３４】
また、上述した実施形態１及び２では、保持テーブル２０を面方向に移動させることで、基板１の塗布面１ａに液体３、３Ａ〜３Ｈを塗布するようにしたが、塗布ヘッド４０〜４０Ｂと保持テーブル２０とを塗布面１ａの面内の一方向に相対的に移動させることができれば、特にこれに限定されず、例えば、保持テーブル２０を固定して、塗布ヘッド４０〜４０Ｂを塗布面１ａの面方向に移動させるようにしてもよい。
【００３５】
さらに、上述した実施形態１では、ヘッド駆動手段４３が、塗布ヘッド４０を保持テーブル２０側に向かって鉛直方向に移動することで、ノズル開口４１の先端と基板１の塗布面１ａとの間隔を調整するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、塗布ヘッド４０を固定し、保持テーブル２０を塗布ヘッド４０側に移動することで、塗布ヘッド４０と基板１との間隔を調整するようにしてもよい。勿論、塗布ヘッド４０のノズル開口４１の向きを鉛直方向と交差する方向としてもよい。
【００３６】
さらに、上述した実施形態１及び２の選択手段６０、６０Ａは、ノズル開口４１から液体３の流出のオン・オフを選択してノズル開口４１から選択的に液体３を流出させることができれば特に限定されず、例えば、ノズル開口４１を開閉する微小な開閉弁を塗布ヘッド４０〜４０Ｂ内に設けるようにしてもよい。このような微小な開閉弁は、例えば、圧電アクチュエータ等を用いて駆動することができる。また、ノズル開口４１の形状は特に限定されず、例えば、ノズル開口の液体３が流出される開口形状を正四角形、単孔又は長孔等にしてもよい。
【００３７】
また、上述した実施形態１では、選択手段６０として、貫通孔６１を開閉させる開閉弁６２を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、選択手段として、供給管５２に液体３の流量を調整する給水ポンプを設け、この給水ポンプによって液体３の供給状態を切り替えることで、各ノズル開口４１から液体３を選択的に流出させるようにしてもよい。また、選択手段として給水ポンプを設けた場合には、選択手段によって液体３を液体溜まり部４２に充填する、しないによってノズル開口４１の先端から液体３を完全には吐出させない程度突出させる、突出させないの微振動を行わせることができる。また、例えば、貯留手段５０の保持した液体３の液面をノズル開口４１の先端に対して鉛直方向に移動させることでも液体３の液面に微振動を行わせることができる。このように、ノズル開口４１側の液面を微振動させることにより、ノズル開口４１の周縁等に乾燥や異物が混入することで発生する液体３の増粘化を防止することができるので、所望の液量の液体３をノズル開口４１から吐出することができる。よって、増粘化した液体３がノズル開口４１の周縁に付着することがない。特に、待機状態が長い場合に上記液体３の増粘防止のための対策を取ることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施形態１に係る塗布装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る塗布装置の要部断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る塗布方法を示す塗布装置の要部断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る塗布方法を示す塗布装置の要部断面図である。
【図５】本発明の実施形態２に係る塗布装置の概略構成を示す斜視図である。
【図６】本発明の実施形態２に係る塗布装置の変形例を示す上面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  基板、１ａ  塗布面、３  液体、１０，１０Ａ  塗布装置、２０  保持テーブル、４０，４０Ａ，４０Ｂ  塗布ヘッド、４１  ノズル開口、５０，５０Ａ  貯留手段、６０，６０Ａ  選択手段
【図１】
2005199129.tif 000003
【図２】
2005199129.tif 000004
【図３】
2005199129.tif 000005
【図４】
2005199129.tif 000006
【図５】
2005199129.tif 000007
【図６】
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