(57)【要約】  【課題】  感光基板１５０を走査して感光基板１５０を露光する露光方法において、感光基板１５０の反りに起因する露光パターンの解像度の低下やムラなどの発生を回避する。【解決手段】  露光前に、感光基板１５０における反り量を示す情報を反り量検出手段１００により検出し、その検出された反り量を示す情報の大きさが所定の閾値以下である場合には、露光を行い、反り量を示す情報の大きさが所定の閾値よりも大きい場合には、露光を行う前に感光基板１５０の反り量が小さくなるように感光基板１５０を矯正する。【選択図】          図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系を有するヘッド部から射出された記録光により記録媒体を走査して前記記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、
前記画像の記録前に前記記録媒体の前記光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出し、
該検出された反り量を示す情報の大きさが所定の閾値以下である場合には、前記画像の記録を行い、
前記反り量を示す情報の大きさが前記所定の閾値よりも大きい場合には、前記画像の記録を行う前に前記記録媒体の前記反り量が小さくなるように前記記録媒体を矯正することを特徴とする画像記録方法。
【請求項２】
前記反り量を示す情報の大きさが前記所定の閾値以下になるまで前記反り量を示す情報の検出と前記矯正とを繰り返して行うことを特徴とする請求項１記載の画像記録方法。
【請求項３】
光学系を有するヘッド部から射出された記録光により記録媒体を走査して前記記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、
前記画像の記録前に前記記録媒体の前記光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出し、
該検出された反り量を示す情報の大きさが所定の閾値以下である場合には、前記画像の記録を行い、
前記反り量が前記所定の閾値よりも大きい場合には、前記画像の記録を行わずに前記記録媒体を廃棄することを特徴とする画像記録方法。
【請求項４】
前記所定の閾値が、前記光学系の焦点深度の範囲に対応する大きさの値であることを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の画像記録方法。
【請求項５】
光学系を有するヘッド部から射出された記録光により記録媒体を走査して前記記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、
前記画像の記録前に前記記録媒体の前記光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出し、
該検出された反り量を示す情報の大きさが第１の閾値以下である場合には、前記画像の記録を行い、
前記反り量を示す情報の大きさが前記第１の閾値よりも大きく該第１の閾値よりも大きい第２の閾値以下である場合には、前記画像の記録を行う前に前記記録媒体の前記反り量が小さくなるように前記記録媒体を矯正し、
前記反り量を示す情報の大きさが前記第２の閾値よりも大きい場合には、前記画像の記録を行わずに前記記録媒体を廃棄することを特徴とする画像記録方法。
【請求項６】
前記反り量を示す情報の大きさが前記第１の閾値よりも大きく前記第２の閾値以下である場合には、前記反り量を示す情報の大きさが前記第１の閾値以下になるまで前記反り量を示す情報の検出と前記矯正とを繰り返して行うことを特徴とする請求項５記載の画像記録方法。
【請求項７】
前記第１の閾値が、前記光学系の焦点深度の範囲に対応する大きさの値であることを特徴とする請求項５または６記載の画像記録方法。
【請求項８】
光学系を有するヘッド部から射出された記録光により記録媒体を走査して前記記録媒体に画像を記録する画像記録手段を備えた画像記録装置において、
前記画像の記録前に前記記録媒体の前記光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出する反り量検出手段と、
前記反り量検出手段により検出された反り量を示す情報の大きさが所定の閾値以下である場合には、前記画像の記録を行い、前記反り量を示す情報の大きさが前記所定の閾値よりも大きい場合には、前記画像の記録を行わないよう前記画像記録手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする画像記録装置。
【請求項９】
前記所定の閾値が、前記光学系の焦点深度の範囲に対応する大きさの値であることを特徴とする請求項８記載の画像記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系を有するヘッド部から射出された記録光により記録媒体を走査して記録媒体に画像を記録する画像記録方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ光により記録媒体を走査して記録媒体に画像を記録する画像記録方法が種々提案されている。上記のような画像記録方法としては、たとえば、レーザ光を熱に変換する熱変換層とトナー層とが積層された転写シートをガラス基板などの平板に貼り合わせ、レーザ光の照射により転写シートにおけるトナーをガラス基板などに転写して画像を形成する方法（特許文献１参照）や、プリント配線板の製造分野などにおいて、金属薄膜の蒸着されたガラス基板の金属薄膜の表面にレジストなどの感光材料を塗布して形成された感光基板などの平板に、レーザ光を露光して配線パターンを形成する方法などが提案されている。そして、上記のように配線パターンを形成する方法としては、たとえば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（テキサツ・インスツルメンツ社の登録商標。以下、ＤＭＤという）などの空間光変調素子で変調された光により感光材料を２次元状走査して配線パターンを形成する方法（特許文献２参照）が提案されている。
【０００３】
ここで、上記のような画像記録方法においては、レーザ光は、たとえば、所定の焦点深度を有する光学系により記録媒体の表面に結像される。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−７２１２３号公報
【特許文献２】特表２００２−５２０８４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、たとえば、ガラス基板などといったある程度剛性を有する記録媒体に画像を形成するような場合、製造精度や周囲環境温度の変化による熱膨張や熱収縮などといった要因により記録媒体に反りが生じているため、そのままの状態で画像を形成したのでは、記録媒体の所定の表面位置が、たとえば、焦点深度の範囲外になったような場合には、記録画像の解像度の低下や画像のムラなどが発生してしまう。
【０００６】
本発明は、上記のような画像記録方法およびその方法を実施する装置において、上記のような記録画像の解像度の低下や画像のムラなどの発生を回避することができる画像記録方法および装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の画像記録方法は、光学系を有するヘッド部から射出された記録光により記録媒体を走査して記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、画像の記録前に記録媒体の光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出し、その検出された反り量を示す情報の大きさが所定の閾値以下である場合には、画像の記録を行い、反り量を示す情報の大きさが上記所定の閾値よりも大きい場合には、画像の記録を行う前に記録媒体の反り量が小さくなるように記録媒体を矯正することを特徴とする。
【０００８】
また、上記第１の画像記録方法においては、反り量を示す情報の大きさが上記所定の閾値以下になるまで上記反り量を示す情報の検出と上記矯正とを繰り返して行うようにすることができる。
【０００９】
本発明の第２の画像記録方法は、光学系を有するヘッド部から射出された記録光により記録媒体を走査して記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、画像の記録前に記録媒体の光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出し、その検出された反り量を示す情報の大きさが所定の閾値以下である場合には、画像の記録を行い、反り量が上記所定の閾値よりも大きい場合には、画像の記録を行わずに記録媒体を廃棄することを特徴とする。
【００１０】
また、上記第１および第２の画像記録方法においては、上記所定の閾値を、光学系の焦点深度の範囲に対応する大きさの値とすることができる。
【００１１】
本発明の第３の画像記録方法は、光学系を有するヘッド部から射出された記録光により記録媒体を走査して記録媒体に画像を記録する画像記録方法において、画像の記録前に記録媒体の光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出し、その検出された反り量を示す情報の大きさが第１の閾値以下である場合には、画像の記録を行い、反り量を示す情報の大きさが第１の閾値よりも大きくその第１の閾値より大きい第２の閾値以下である場合には、画像の記録を行う前に記録媒体の反り量が小さくなるように記録媒体を矯正し、反り量を示す情報の大きさが第２の閾値よりも大きい場合には、画像の記録を行わずに記録媒体を廃棄することを特徴とする。
【００１２】
また、上記第３の画像記録方法においては、反り量を示す情報の大きさが上記第１の閾値よりも大きく上記第２の閾値以下である場合には、反り量を示す情報の大きさが上記第１の閾値以下になるまで上記反り量を示す情報の検出と上記矯正とを繰り返して行うようにすることができる。
【００１３】
また、上記第１の閾値を、光学系の焦点深度の範囲に対応する大きさの値とすることができる。
【００１４】
本発明の画像記録装置は、光学系を有するヘッド部から射出された記録光により記録媒体を走査して記録媒体に画像を記録する画像記録手段を備えた画像記録装置において、画像の記録前に記録媒体の光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出する反り量検出手段と、反り量検出手段により検出された反り量を示す情報の大きさが所定の閾値以下である場合には、画像の記録を行い、反り量を示す情報の大きさが上記所定の閾値よりも大きい場合には、画像の記録を行わないよう画像記録手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするものである。
【００１５】
また、上記画像記録装置においては、上記所定の閾値を、光学系の焦点深度の範囲に対応する大きさの値とすることができる。
【００１６】
ここで、上記「反り量」とは、記録媒体の表面形状の凹凸の変化量のことをいい、上記「反り量を示す情報」とは、反り量そのものでもよいし、反り量を間接的に示すものでもよい。上記「反り量を示す情報」としては、たとえば、記録媒体の所定の範囲について、記録媒体の上方の所定の位置から記録媒体までの距離を測定した場合におけるその距離の最大値と最小値との差や、記録媒体を真空吸引して設置台に固定する場合におけるその真空圧などがある。
【００１７】
また、上記「反り量を示す情報の大きさ」としては、たとえば、反り量を示す情報が複数ある場合には、その最大値を利用することができる。
【００１８】
また、上記「光学系の焦点深度の範囲に対応する大きさの値」とは、記録媒体の反り量が焦点深度の範囲の大きさである場合において反り量検出手段により検出される反り量を示す情報の値のことをいう。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の第１の画像記録方法によれば、画像の記録前に記録媒体の光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出し、その検出された反り量を示す情報の大きさが所定の閾値以下である場合には、画像の記録を行い、反り量を示す情報の大きさが上記所定の閾値よりも大きい場合には、画像の記録を行う前に記録媒体の反り量が小さくなるように記録媒体を矯正するようにしたので、記録媒体の反りに起因する記録画像の解像度の低下や画像のムラなどの発生を回避することができる。
【００２０】
また、上記第１の画像記録方法において、反り量を示す情報の大きさが上記所定の閾値以下になるまで上記反り量を示す情報の検出と上記矯正とを繰り返して行うようにした場合には、より確実に記録画像の解像度の低下や画像のムラなどの発生を回避することができる。
【００２１】
本発明の第２の画像記録方法によれば、画像の記録前に記録媒体の光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出し、その検出された反り量を示す情報の大きさが所定の閾値以下である場合には、画像の記録を行い、反り量が上記所定の閾値よりも大きい場合には、画像の記録を行わずに記録媒体を廃棄するようにしたので、記録媒体の反りに起因する記録画像の解像度の低下や画像のムラなどの発生を回避することができる。
【００２２】
また、上記第１および第２の画像記録方法において、上記所定の閾値を、光学系の焦点深度の範囲に対応する大きさの値とした場合には、上記閾値として適切な値を設定することができ、記録画像の解像度の低下や画像のムラなどの発生を回避することができるとともに、上記閾値として小さ過ぎる値を設定して無駄に記録媒体の矯正や廃棄を行ってしまうことを回避することができる。
【００２３】
本発明の第３の画像記録方法によれば、画像の記録前に記録媒体の光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出し、その検出された反り量を示す情報の大きさが第１の閾値以下である場合には、画像の記録を行い、反り量を示す情報の大きさが上記第１の閾値よりも大きくその第１の閾値よりも大きい第２の閾値以下である場合には、画像の記録を行う前に記録媒体の反り量が小さくなるように記録媒体を矯正し、反り量を示す情報の大きさが上記第２の閾値よりも大きい場合には、画像の記録を行わずに記録媒体を廃棄するようにしたので、記録媒体の反りに起因する記録画像の解像度の低下や画像のムラなどの発生を回避することができるとともに、無駄に上記矯正を行ったりして作業効率を低下させてしまうのを回避することができる。
【００２４】
また、上記第３の画像記録方法においては、反り量を示す情報の大きさが上記第１の閾値よりも大きく上記第２の閾値以下である場合には、反り量を示す情報の大きさが上記第１の閾値以下になるまで上記反り量を示す情報の検出と上記矯正とを繰り返して行うようにした場合には、より確実に記録画像の解像度の低下や画像のムラなどの発生を回避することができる。
【００２５】
また、第１の閾値を、光学系の焦点深度の範囲に対応する大きさの値とした場合には、上記第１の閾値として適切な値を設定することができ、記録画像の解像度の低下や画像のムラなどの発生を回避することができるとともに、上記第１の閾値として小さ過ぎる値を設定して無駄に記録媒体の矯正を行ってしまうことを回避することができる。
【００２６】
本発明の画像記録装置によれば、反り量検出手段により画像の記録前に記録媒体の光学系の光軸方向の反り量を示す情報を検出し、反り量検出手段により検出された反り量を示す情報の大きさが所定の閾値以下である場合には、画像の記録を行い、反り量を示す情報の大きさが上記所定の閾値よりも大きい場合には、画像の記録を行わないよう画像記録手段を制御するようにしたので、記録媒体の反りに起因する記録画像の解像度の低下や画像のムラなどの発生を回避することができる。
【００２７】
また、上記画像記録装置において、上記所定の閾値を、光学系の焦点深度の範囲に対応する大きさの値とした場合には、上記閾値として適切な値を設定することができるので、記録画像の解像度の低下や画像のムラなどの発生を回避することができるとともに、上記閾値として小さ過ぎる値を設定して作業効率を低下させることを回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、図面を参照して本発明の画像記録方法を実施する画像記録装置を用いた露光装置の一実施形態について説明する。本露光装置は、たとえば、金属薄膜の蒸着されたガラス基板の金属薄膜の表面にレジストなどの感光材料を塗布して形成された感光基板に配線パターンなどを露光するものである。
【００２９】
本露光装置は、図１に示すように、多数の吸引穴が設けられ、シート状の感光基板１５０を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１５２を備えている。ステージ１５２は、表面に設置された感光基板１５０を吸着するための真空吸引機構（図示省略）を備えている。また、４本の脚部１５４に支持された厚い板状の設置台１５６の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド１５８が設置されている。そして、ステージ１５２は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド１５８によって往復移動可能に支持されている。設置台１５６の中央部には、ステージ１５２の移動経路を跨ぐようにコ字状のゲート１６０が設けられている。コ字状のゲート１６０の端部の各々は、設置台１５６の両側面に固定されている。このゲート１６０を挟んで一方の側にはスキャナ１６２が設けられ、他方の側には感光基板１５０の先端および後端を検知する複数（例えば２個）のセンサ１６４が設けられている。そして、スキャナ１６２およびセンサ１６４とはゲート１６０に各々取り付けられて、ステージ１５２の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ１６２およびセンサ１６４は、後述する制御手段３００に接続されている。
【００３０】
スキャナ１６２は、図２に示すように、ｍ行ｎ列（例えば３行５列）の略マトリックス状に配列された複数（例えば１４個）の露光ヘッド１６６を備えている。なお、図２に示す領域１６８は、各露光ヘッド１６６により露光される露光エリアであり、領域１７０は各露光ヘッド１６６に露光された露光済み領域である。
【００３１】
露光ヘッド１６６は、図３に示すように、入射されたレーザ光を画像情報に応じて変調する空間光変調素子として、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）５０を備えている。ＤＭＤ５０は、図４に示すように、ＳＲＡＭセル（メモリセル）６０上に、微小ミラーであるマイクロミラー６２が支柱により支持されて配置されたものであり、マイクロミラー６２を格子状に配列して構成されたミラーデバイスである。そして、ＤＭＤ５０の光入射側には、光ファイバの出射端部（発光点）が一列に配列されたレーザ出射部６８を備えたファイバアレイ光源６６、ファイバアレイ光源６６から出射されたレーザ光を補正してＤＭＤ上に集光させるレンズ系６７、このレンズ系６７を透過したレーザ光をＤＭＤ５０に向けて反射するミラー６９がこの順に配置されている。上記レンズ系６７は、ファイバアレイ光源６６から出射した照明光としてのレーザ光を集光するとともに、平行光に近くかつビーム断面内強度が均一化された光束としてＤＭＤ５０に入射させるものである。また、ＤＭＤ５０の光反射側には、ＤＭＤ５０で反射されたレーザ光を、感光基板１５０上に結像する結像光学系５１が配置されている。この結像光学系５１は、ＤＭＤ５０のマイクロミラー６２において反射された射出光をそれぞれ感光基板１５０にスポット像として結像させるものである。また、ＤＭＤ５０には、長手方向にマイクロミラーが多数個配列されたマイクロミラー列が、短手方向に多数組配列されているが、その短辺が副走査方向と所定角度θ（例えば、０．１°〜１°）を成すように僅かに傾斜させて配置するのが好ましく、上記のようにＤＭＤ５０を傾斜させることにより、走査線のピッチを、ＤＭＤ５０を傾斜させない場合のピッチより狭くすることができ、解像度を大幅に向上させることができる。
【００３２】
また、各露光ヘッド１６６には、図５に示すように、反り量検出手段１００が設けられている。反り量検出手段１００は、具体的には、レーザフォーカス方式のレーザ変位センサである。反り量検出手段１００は、図５に示すように、露光ヘッド１６６から射出される露光のためのレーザ光Ｌ１とは別のレーザ光Ｌ２を感光基板１５０に射出するものである。反り量検出手段１００は、レーザ光Ｌ２を対物レンズを通じて感光基板１５０に照射し、その対物レンズを動かすことによって感光基板１５０を反射した反射ビームをピンホールを介して受光素子に導くものであって、反射ビームがピンホールを通過して受光素子により受光されるときの対物レンズの位置を検出することにより反り量検出手段１００から感光基板１５０までの距離を測定するものである。
【００３３】
また、上記露光装置は、制御手段３００を備えており、この制御手段３００には、図６に示すように、変調回路３０１が接続され、この変調回路３０１にはＤＭＤ５０を制御するコントローラ３０２が接続されている。コントローラ３０２においては、入力された画像情報に基づいて、ＤＭＤ５０の各マイクロミラー６２を駆動制御する制御信号が生成され、この制御信号に応じてＤＭＤ５０の各マイクロミラー６２の反射面の角度が制御される。制御手段３００には、ファイバアレイ光源６６を駆動するＬＤ駆動回路３０３が接続されている。さらにこの制御手段３００には、ステージ１５２を駆動するステージ駆動装置３０４が接続されている。
【００３４】
次に、本露光装置の動作について説明する。
【００３５】
本露光装置においては、露光動作を開始する前に反り量検出手段により感光基板１５０の反り量を検出する。上記反り量は、反り量検出手段１００と感光基板１５０との距離を計測することにより検出される。具体的には、まず、感光基板１５０を表面に吸着したステージ１５２を、図６に示すステージ駆動装置３０４により、ガイド１５８に沿ってゲート１６０の上流側から下流側に所定の速度で移動させる。ステージ１５２がゲート１６０下を通過する際に、ゲート１６０に取り付けられたセンサ１６４により感光基板１５０の先端が検出されると、各露光ヘッド１６６に設けられた反り量検出手段１００が１列ずつ順に動作し、感光基板１５０との距離の測定を開始する。そして、各露光ヘッド１６６に設けられた反り量検出手段１００毎に、図７に示すような、ステージ移動方向への移動距離と、感光基板１５０との距離との関係を示す測定結果を得る。
【００３６】
そして、上記測定結果は制御手段３００に出力され、制御手段３００においては、所定の距離の範囲（たとえば、感光基板１５０のステージ移動方向の大きさが５００ｍｍであり、露光エリア１６８の上記ステージ移動方向の長さが１６ｍｍである場合には、１６ｍｍ程度であることが望ましい）について、感光基板１５０との距離の最大値と最小値との差が焦点深度±３０μｍの範囲を超える、つまり上記差が６０μｍより大きくなるような範囲があるかを判断する。たとえば、図７における範囲Ｈ１は上記差が４０μｍ程度でＯＫであるが、範囲Ｈ２は上記差が６０μｍより大きいのでＮＧである。なお、上記最大値と最小値との差は、上記所定の距離の範囲の上記ステージ移動方向への移動にともなって連続的に算出されるものである。また、上記焦点深度の範囲は、上記ＤＭＤ５０における１つのマイクロミラー６２により結像されるスポット像の最小の径が４％大きくなる範囲とすることが望ましく、結像光学系５１は、上記範囲が±３０μｍとなるように構成することが望ましい。また、上記スポット像の径は、スポット像においてそのスポット像の最大光強度の１／ｅ２の光強度が照射される領域の径とするのが望ましい。また、本実施形態においては、上記のように焦点深度の範囲を閾値として用いたが、これに限らず、その他の値を用いるようにしてもよい。
【００３７】
そして、制御手段３００は、上記判断の結果がＯＫである場合には、後述する露光動作を開始する制御信号を出力する。一方、上記判断の結果がＮＧである場合には、制御手段３００は、露光動作を開始する制御信号を出力することなく、ステージ１５２における感光基板１５０の吸引を停止する。
【００３８】
そして、感光基板１５０は操作者によりステージ１５２から取り外され、反り矯正装置にセットされ、感光基板１５０の反り量が小さくなるように矯正される。反り矯正装置としては、たとえば、図６に示すように、所定の間隔を空けて平行に設置され、感光基板１５０が積載される２本の支持軸４０１と、支持軸４０１に積載された感光基板１５０をその感光基板１５０の反り方向と反対方向（矢印Ａ方向）に押圧する可動軸４０２と、支持軸４０１に積載された感光基板１５０を暖める２つのランプヒータ４０３と、ランプヒータ４０３から発せられた熱を感光基板１５０に向けて反射する２つの反射板４０４と、感光基板１５０が略平坦な形状となった際にその両端を支持する支持壁４０５とを備えたものを利用することができる。上記反り矯正装置においては、まず、図８に示すように、感光基板１５０が、感光基板１５０の反りによる凸部が矢印Ａ方向と反対側に向くように支持軸４０１上に積載される。そして、ランプヒータ４０３により感光基板１５０が暖められるとともに、可動軸４０２が矢印Ａ方向に移動することにより感光基板１５０の反りが矯正される。なお、反り矯正装置としては、上記のような構成のものに限らず、ローラーを利用したものなどその他の構成の装置を利用してもよい。
【００３９】
そして、上記のようにして矯正された感光基板１５０は再びステージ１５２に設置されて吸引固定され、反り量検出手段１００により再び反り量が検出される。そして、反り量検出手段１００による測定結果が再び制御手段３００に出力され、制御手段３００は、再び上記と同様の判断を行う。そして、上記判断の結果がＯＫである場合には、制御手段３００は、露光動作を開始する制御信号を出力する。また、上記判断の結果がＮＧである場合には、制御手段３００は、露光動作を開始する制御信号は出力することなく、再びステージ１５２による吸引固定を停止する。そして、再び、感光基板１５０は反り矯正装置にセットされ、その反りが矯正されるが、上記制御手段３００における判断がＯＫになるまで、上記のような反り量の検出および反りの矯正が繰り返される。
【００４０】
そして、制御手段３００における上記判断の結果がＯＫとなった場合には、制御手段３００から露光動作を開始する制御信号が出力され、露光動作が開始される。
【００４１】
露光動作は、まず、図６に示すＬＤ駆動回路３０３によりファイバアレイ光源６６が駆動され、スキャナ１６２の各露光ヘッド１６６において、ファイバアレイ光源６６のレーザ出射部６８からレーザ光が出射される。ファイバアレイ光源６６から出射されたレーザ光はレンズ系６７に入射し、レンズ系６７において補正されてミラー６９に入射され、ミラー６９で反射してＤＭＤ５０に照射される。そして、ＤＭＤ５０で反射されたレーザ光は結像光学系５１に入射し、結像光学系５１により感光基板１５０上に結像される。
【００４２】
上記のようにしてＤＭＤ５０にレーザ光が入射されるとともに、画像情報に応じたデジタル信号が図５に示す変調回路３０１からＤＭＤ５０のコントローラ３０２に入力され、そのフレームメモリに一旦記憶される。この画像情報は、画像を構成する各画素の濃度を２値（ドットの記録の有無）で表したデータである。
【００４３】
一方、感光基板１５０を表面に吸着したステージ１５２は、図５に示すステージ駆動装置３０４により、ガイド１５８に沿ってゲート１６０の上流側から下流側に所定の速度で移動される。ステージ１５２がゲート１６０下を通過する際に、ゲート１６０に取り付けられたセンサ１６４により感光基板１５０の先端が検出されると、フレームメモリに記憶された画像データが複数ライン分ずつ順次読み出され、その画像データに基づいて露光ヘッド１６６毎に制御信号が生成される。そして、上記のようにして生成された制御信号に基づいて露光ヘッド１６６毎にＤＭＤ５０のマイクロミラー６２の各々がオンオフ制御される。
【００４４】
ファイバアレイ光源６６から出射されたレーザ光は、ＤＭＤ５０のマイクロミラー６２毎にオンオフ制御されて、感光基板１５０がＤＭＤ５０の使用画素数と略同数の画素単位で露光される。また、感光基板１５０がステージ１５２と共に所定の速度で移動されることにより、感光基板１５０がスキャナ１６２によりステージ移動方向と反対の方向に副走査され、各露光ヘッド１６６毎に帯状の露光済み領域１７０が形成される。
【００４５】
そして、スキャナ１６２による感光基板１５０の副走査が終了し、センサ１６４で感光基板１５０の後端が検出されると、ステージ１５２は、ステージ駆動装置３０４により、ガイド１５８に沿ってゲート１６０の最上流側にある原点に復帰し、再度、ガイド１５８に沿ってゲート１６０の上流側から下流側に所定の速度で移動される。
【００４６】
上記実施形態によれば、露光前に感光基板１５０の反り量を示す情報を検出し、その検出された反り量を示す情報の大きさが所定の閾値以下である場合には、露光を行い、反り量を示す情報の大きさが所定の閾値よりも大きい場合には、露光を行う前に感光基板１５０の反り量が小さくなるように感光基板１５０を矯正するようにしたので、感光基板１５０の反りに起因する露光パターンの解像度の低下やムラなどの発生を回避することができる。
【００４７】
また、上記実施形態の露光装置においては、反り量検出手段としてレーザ変位センサを用いるようにしたが、これに限らずその他の構成を利用してもよく、たとえば、ステージ１５２に設けられた真空吸引機構に真空圧を計測する真空圧センサを設け、この真空圧センサによって真空圧を計測することによって感光基板１５０の反り量を間接的に検出するようにし、その真空圧が所定の閾値以下である場合には、露光を行い、真空圧が所定の閾値よりも大きい場合には、露光を行う前に感光基板１５０の反り量が小さくなるように感光基板１５０を矯正するようにしてもよい。また、上記のようにして真空圧によって露光を行うか否かを判断する場合には、上記閾値としては、感光基板１５０の反り量が焦点深度の範囲の大きさである場合における真空圧を予め測定しておき、その測定された真空圧を利用することが望ましい。たとえば、焦点深度が±３０μｍである場合には、反り量が±３０μｍ程度の感光基板１５０をステージ１５２に固定して真空圧を測定し、その測定された真空圧を上記閾値として利用すればよい。具体的には、上記のような場合、真空圧は０．０５ＭＰａ程度となるので（ただし、大気圧は約０．１ＭＰａ、超真空は約０ＭＰａである）０．０５ＭＰａ以下の場合には、露光を行い、０．０５ＭＰａより大きい場合には、露光を行う前に感光基板１５０の反り量が小さくなるように感光基板１５０を矯正するようにすればよい。
【００４８】
また、上記露光装置において、反り量検出手段により検出された反り量が、反り矯正装置で矯正できる範囲である閾値よりも大きい場合には、上記と同様にステージ１５２の吸引固定を停止し、その感光基板１５０を廃棄するようにしてもよい。
【００４９】
また、上記実施形態においては、露光ヘッド１６６のそれぞれに反り量検出手段１００を設けるようにしたが、必ずしもその必要はなく、露光ヘッド１６６のいずれかに設けるようにしてもよいし、露光ヘッド１６６とは異なる位置に設けるようにしてもよい。
【００５０】
また、上記実施形態においては、レーザフォーカス方式を利用して感光基板１６６との距離を測定するようにしたが、三角測距方式などその他の方式で感光基板１６６との距離を測定するようにしてもよい。
【００５１】
また、上記実施形態においては、露光ヘッド１６６としてＤＭＤ５０を備えたものを利用するようにしたが、これに限らず、感光基板１５０を走査できるものであれば如何なるものでもよい。
【００５２】
また、上記実施形態は、本発明の画像記録方法および画像記録装置を、配線パターンを形成する露光方法および装置に利用したものであるが、その他のものを形成する露光方法および装置に利用してもよく、たとえば、液晶表示装置（ＬＣＤ）のカラーフィルタの形成の際や、ＴＦＴや、プラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）などの製造においても用いることができる。また、露光装置に限らず、上述した転写シートをガラス基板などの平板に貼り合わせ、レーザ光の照射により転写シートにおけるトナーをガラス基板などに転写して画像を形成する画像形成方法および装置に利用するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の画像記録方法を実施する画像記録装置の一実施形態を用いた露光装置の外観図
【図２】図１の露光装置のスキャナの構成を示す斜視図
【図３】図１の露光装置の露光ヘッドの概略構成を示す斜視図
【図４】デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）の構成を示す部分拡大図
【図５】図１の露光装置の反り量検出手段を示す図
【図６】図１に示す露光装置の電気的構成を示すブロック図
【図７】図１に示す露光装置の反り量検出手段により測定された反り量検出手段と感光基板との距離を示す図
【図８】本発明の画像記録方法の一実施形態において用いられる反り矯正装置の概略構成図
【符号の説明】
【００５４】
５０    デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）
５１    拡大結像光学系
６０    ＳＲＡＭセル
６２    マイクロミラー
６６    ファイバアレイ光源
６７    レンズ系
６８    レーザ出射部
１００    反り量検出手段
１５０    感光基板
１５２    ステージ
１６２    スキャナ
１６６    露光ヘッド
１６８    露光エリア
１７０    露光済み領域
４０１    支持軸
４０２    可動軸
４０３    ランプヒータ
４０４    反射板
４０５    支持壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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