(57)【要約】【課題】配線配管の擦れを防止するともに、配線配管通路を形成するリンクとロボットアームが干渉しない多関節ロボットを提供する。【解決手段】ベース２と、ベース２に軸支された第１アーム３と、第１アーム３の先端に軸支されて第１アーム３に内蔵された連結手段を介して回転駆動される第２アーム４と、ベース２に軸支された第１補助リンク５と、第１補助リンク５と第１アーム３に軸支された第２補助リンク６と、第１補助リンク５にされた第３補助リンク７と、第３補助リンク７と第２アーム４に軸支された第４補助リンク８を備え、ベース２から第１補助リンク５第３補助リンク７および第４補助リンク８まで配線配管２３を通す。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、前記ベースに軸支されて前記ベースに内蔵されたモータで回転駆動される第１アームと、前記第１アームの先端に軸支されて前記第１アームに内蔵された連結手段を介して前記モータで回転駆動される第２アームと、前記ベースに軸支された第１補助リンクと、前記第１補助リンクと前記第１アームに軸支された第２補助リンクと、前記第１補助リンクに前記第２補助リンクと同軸に軸支された第３補助リンクと、前記第３補助リンクと前記第２アームに軸支された第４補助リンクを備え、前記ベースと前記第１アームと前記第１補助リンクと前記第２補助リンクで第１の平行リンク機構を構成し、前記第２補助リンクと前記第２アームと前記第３補助リンクと前記第４補助リンクで第２の平行リンク機構を構成する多関節ロボットにおいて、
前記第１補助リンクと前記第３補助リンクと前記第４補助リンクに中空部を設けるとともに、前記ベースと前記第１補助リンクを中空軸で軸支し、前記第１補助リンクと前記第３補助リンクを中空軸で軸支し、前記第３補助リンクと前記第４補助リンクを中空軸で軸支し、前記ベースから前記第４補助リンクに至る配線配管を前記中空軸と前記中空部の中を通したことを特徴とする多関節ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多関節ロボット、特に平行リンク機構付きの水平多関節型ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板搬送用に水平多関節型ロボットが多用されている。半導体基板搬送用のロボットでは、エンドエフェクタ用の配線配管に原因する発塵を嫌うので、エンドエフェクタ用の配線配管をアームの中に通すことが行なわれている（例えば特許文献１の図８）。
しかし、このような構成では内径の大きさが限られた中空軸や、アーム内の狭隘部にケーブル等を通すので、ロボットの動作中にケーブルと中空軸等の間に擦れが生じて、ケーブルの損傷や発塵が生じるという問題があった。
この問題を解決するために、特許文献２には、ロボットアームの回動に追従して動くリンク機構を設け、このリンク機構内部に配線配管等を配置した多関節型ロボットが開示されている。
【特許文献１】特開２００２−３０７３６５号公報
【特許文献２】特開平７−３２８９８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献２に記載された多関節型ロボットでは、リンク機構はロボットアームの回動に追従するものの、ロボットアームとは別個の構造なので、リンク機構とロボットアームの干渉が生じるという問題があった。また、前記干渉を避けるためにリンク機構とロボットアームの間に設計上の配慮が必要であり、設計上の自由度が制限されるという問題もあった。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、配線配管を通す通路を十分大きく確保して、配線配管の擦れを防止するともに、前記配線配管通路を形成するリンクとロボットアームが干渉しない多関節ロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記問題を解決するために、本発明はベースと、前記ベースに軸支されて前記ベースに内蔵されたモータで回転駆動される第１アームと、前記第１アームの先端に軸支されて前記第１アームに内蔵された連結手段を介して前記モータで回転駆動される第２アームと、前記ベースに軸支された第１補助リンクと、前記第１補助リンクと前記第１アームに軸支された第２補助リンクと、前記第１補助リンクに前記第２補助リンクと同軸に軸支された第３補助リンクと、前記第３補助リンクと前記第２アームに軸支された第４補助リンクを備え、前記ベースと前記第１アームと前記第１補助リンクと前記第２補助リンクで第１の平行リンク機構を構成し、前記第２補助リンクと前記第２アームと前記第３補助リンクと前記第４補助リンクで第２の平行リンク機構を構成する多関節ロボットにおいて、前記第１補助リンクと前記第３補助リンクと前記第４補助リンクに中空部を設けるとともに、前記ベースと前記第１補助リンクを中空軸で軸支し、前記第１補助リンクと前記第３補助リンクを中空軸で軸支し、前記第３補助リンクと前記第４補助リンクを中空軸で軸支し、前記ベースから前記第４補助リンクに至る配線配管を前記中空軸と前記中空部の中を通すものである。
【発明の効果】
【０００５】
本発明は、平行リンク機構を構成する補助リンクの内部に配線配管を通したので、本発明は配線配管を通す通路を十分大きく確保して、配線配管の擦れを防止するともに、前記配線配管通路を形成するリンクとロボットアームが干渉しない多関節ロボットを実現できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
図１は、本発明の実施例を示す多関節ロボットの平面図であり、図２は、同じ多関節ロボットの側断面図である。以下、図１および図２を引用して本発明の実施の形態を説明する。
【０００７】
図１において、１は多関節ロボットであり、主として半導体ウェハの搬送を目的に設計されている。２は多関節ロボット１のベースである。ベース２には第１アーム３が軸支され、第１アーム３の先端には第２アーム４がそれぞれ軸支されて、水平面内で回動する。５は第１補助リンクであり、ベース２に軸支されている。第１補助リンク５の先端には第２補助リンク６が軸支され、第２補助リンク６の先端は第２アーム４と同軸に第１アーム３の先端に軸支されている。７は第３補助リンクであり、第１補助リンク５の先端に軸支され、第３補助リンク７の先端には第４補助リンク８が軸支されている。第４補助リンク８の先端は第２アーム４の先端に軸支され、また、第４補助リンク８にはエンドエフェクタ９が取り付けられている。
【０００８】
このようにして、ベース２と第１アーム３と第１補助リンク５と第２補助リンク６で第１の平行リンク機構が構成され、第２補助リンク６と第２アーム４と第３補助リンク７と第４補助リンク８で第２の平行リンク機構が構成されている。
【０００９】
図２において、１０はベース２に内蔵されたモータである。モータ１０の動力は第１のベルトプーリ機構１１を介して第１の減速機１２に伝えられ、第１の減速機１２の出力軸に固定された第１アーム３を回転駆動する。第１のベルトプーリ機構１１で伝えられたモータ１０の動力は第１の減速機１２の中空部を貫く軸を通って、第１アーム３の内部に装置された第２のベルトプーリ機構１３を介して第２の減速機１４に伝えられ、第２の減速機１４の出力軸に固定された第２アーム４を回転駆動する。
なお、第１のベルトプーリ機構１１および第２のベルトプーリ機構１３は、モータ１０の動力を伝える連結手段であるが、連結手段はこれに限られるものでなく、回転軸、歯車、チェーン等を組み合わせた機構であってもよい。
【００１０】
２０は第１補助リンク５をベース２に軸支する軸受けである。２１は第３補助リンク７を第１補助リンク５に軸支する軸受けであり、２２は第４補助リンク８を第３補助リンク７に軸支する軸受けである。軸受け２０、２１、２２は中空部を有し、この中空部を介して、ベース２、第１補助リンク５、第３補助リンク７および第４補助リンク８の内部を空間が連絡している。２３はエンドエフェクタ９に動力あるいは信号を供給する配線配管である。配線配管２３はベース２から軸受け２０を通って第１補助リンク５の内部に入り、
軸受け２１を通って第１補助リンク５から第３補助リンク７に延び、さらに軸受け２２を通って第４補助リンク８に入って、エンドエフェクタ９に連結されている。
【産業上の利用可能性】
【００１１】
エンドエフェクタ用の配線配管を内蔵した多関節ロボットとして利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施例を示す多関節ロボットの平面図である。
【図２】本発明の実施例を示す多関節ロボットの側断面図である。
【符号の説明】
【００１３】
１  多関節ロボット、２  ベース、３  第１アーム、４  第２アーム、５  第１補助リンク、６  第２補助リンク、７  第３補助リンク、８  第４補助リンク、９  エンドエフェクタ、１０  モータ、１１  第１のベルトプーリ機構、１２  第１の減速機、１３  第２のベルトプーリ機構、１４  第２の減速機、２０，２１，２２  軸受け、２３  配線配管
【図１】
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【図２】
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