(57)【要約】【課題】  高い濾過圧力で使用する用途においても、濾過層が本来有する濾過性能を十分に発揮することができるセラミックフィルタを提供する。【解決手段】  長さ方向に複数の貫通孔３５を並列に有するモノリス型の支持体３１の外周面に管状の濾過中間層４２と管状の濾過表面層４３をこの順に積層して有し、前記貫通孔の内周面に管状の濾過中間層４２’と管状の濾過表面層４３’をこの順に積層して有する両膜式セラミックフィルタ。【選択図】  図４
2005066549.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する支持体流入面に１層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する支持体流出面に１層以上の流出面側濾過層を有することを特徴とする両膜式セラミックフィルタ。
【請求項２】
長さ方向に１本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する前記支持体の外周面に１層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する前記柱状空間部の内周面に１層以上の流出面側濾過層を有することを特徴とする両膜式セラミックフィルタ。
【請求項３】
長さ方向に２本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する前記支持体の外周面に１層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する前記柱状空間部の内周面に１層以上の流出面側濾過層を有することを特徴とする両膜式セラミックフィルタ。
【請求項４】
長さ方向に１本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体の外周面及び前記柱状空間部の内周面のそれぞれに、１層以上の濾過層を有することを特徴とする両膜式セラミックフィルタ。
【請求項５】
長さ方向に２本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体の外周面及び前記柱状空間部のうちの１本以上の柱状空間部の内周面のそれぞれに、１層以上の濾過層を有することを特徴とする両膜式セラミックフィルタ。
【請求項６】
前記チューブ型又は前記モノリス型の支持体の端部の外周面及び端面の少なくとも一面に、濾過対象液中の液体の通過が困難ないし不可能なシール層を有することを特徴とする請求項２〜５のいずれか一に記載の両膜式セラミックフィルタ。
【請求項７】
請求項１〜３及び６のいずれか一に記載の両膜式セラミックフィルタを用いて濾過対象液を濾過する濾過方法であって、
前記流入面側濾過層、前記支持体、前記流出面側濾過層の順に濾過対象液を通過させることを特徴とする濾過方法。
【請求項８】
請求項４〜６のいずれか一に記載の両膜式セラミックフィルタを用いて濾過対象液を濾過する濾過方法であって、
前記支持体の外周面の濾過層、前記支持体、前記柱状空間部の内周面の濾過層の順に濾過対象液を通過させることを特徴とする濾過方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体中に分散する固体粒子を前記液体から分離するためのセラミックフィルタに関し、より詳細には、液体中に僅かに分散する微細な固体粒子を前記液体から分離するためのセラミックフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、多孔質セラミックス製の支持体の表面に、前記支持体の細孔径よりも細孔径が小さい多孔質セラミックス製の濾過層を設けた、非対象構造をした精密濾過用セラミックフィルタ及び限外濾過用セラミックフィルタが知られていた。また、多孔質セラミックス製の支持体の表面に、前記支持体の細孔径よりも細孔径が小さい多孔質セラミックス製の濾過中間層を１層以上積層して設け、さらに、前記濾過中間層の細孔径よりも細孔径が小さい多孔質セラミック製の濾過層を最外層として前記濾過中間層に積層して設けた、非対象構造をした精密濾過用セラミックフィルタ及び限外濾過用セラミックフィルタが知られていた。
【０００３】
このようなセラミックフィルタは、長さ方向（軸方向）に１本の柱状空間部を有するチューブ型又は長さ方向（軸方向）に２本以上のチャンネル（柱状空間部である流路）を並列に形成したモノリス型（マルチチャンネル型）をしており、濾過層は、チューブ型では内側（支持体の柱状空間部の内周面）又は外側（支持体の外周面）のいずれかに管状の濾過層として積層して形成され、モノリス型では内側（支持体の柱状空間部の内周面）のみに管状の濾過層として積層して形成されていた。モノリス型セラミックフィルタとしては、例えば、特許文献１、特許文献２に記載のものがある。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１１６４８０号公報
【特許文献２】特開平７−１２４４２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
支持体の柱状空間部の内周面のみに管状の濾過層を積層させているチューブ型又はモノリス型のような管状のセラミックフィルタを、高い濾過圧力（例えば、８ＭＰａ以上）で高効率で濾過を行おうとする用途（例えば、液晶用のガラス基板の洗浄）で使用する際に、濾過対象液を濾過層側から支持体側（管状のセラミックフィルタの内側から外側）の順に通過させた場合、得られる濾過液中の粒子数は、ある一定の数よりも小さくならず、前記濾過層の本来の濾過能力が発揮されていない、という問題点があった。
【０００６】
本発明の目的は、一視点において、高い濾過圧力で使用する用途においても、濾過層が本来有する濾過性能を十分に発揮することができるセラミックフィルタを提供することである。また、本発明の目的は、一視点において、高い濾過圧力で使用する用途においても、セラミックフィルタの濾過層が、本来有する濾過性能を十分に発揮するようにしてセラミックフィルタを使用することができる濾過方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、第１の視点において、支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する支持体流入面に１層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する支持体流出面に１層以上の流出面側濾過層を有する両膜式セラミックフィルタにより、上記目的を達成することができる。
【０００８】
本発明によれば、第２の視点において、長さ方向に１本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する前記支持体の外周面に１層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する前記柱状空間部の内周面に１層以上の流出面側濾過層を有する両膜式セラミックフィルタにより、上記目的を達成することができる。また、本発明によれば、第３の視点において、長さ方向に２本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体に濾過層を有するセラミックフィルタであって、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する前記支持体の外周面に１層以上の流入面側濾過層を有し、前記流入面側濾過層を通過して前記支持体の内部に流入した前記液体が前記支持体の外部に流出する前記柱状空間部の内周面に１層以上の流出面側濾過層を有する両膜式セラミックフィルタにより、上記目的を達成することができる。
【０００９】
本発明によれば、第４の視点において、長さ方向に１本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体の外周面及び前記柱状空間部の内周面のそれぞれに、１層以上の濾過層を有する両膜式セラミックフィルタにより、上記目的を達成することができる。また、本発明によれば、第５の視点において、長さ方向に２本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体の外周面及び前記柱状空間部のうちの１本以上の柱状空間部の内周面のそれぞれに、１層以上の濾過層を有する両膜式セラミックフィルタにより、上記目的を達成することができる。本発明の両膜式セラミックフィルタは、支持体がチューブ型又はモノリス型の場合、支持体の端部の外周面及び端面の少なくとも一面（即ち、チューブ型又はモノリス型の前記支持体に存在する２つの端部のうちの一方の端部がわの第１の外周面ともう一方の端部がわの第２の外周面、及び、前記支持体に存在する２つの端面のうちの一方の端面である第１の端面ともう一方の端面である第２の端面の四面のうちの少なくとも一面）に、濾過対象液中の液体の通過が困難ないし不可能なシール層を有することができる。
【００１０】
本発明によれば、第６の視点において、上記第１〜３の視点のいずれか一の両膜式セラミックフィルタを用いて濾過対象液を濾過する濾過方法であって、前記流入面側濾過層、前記支持体、前記流出面側濾過層の順に濾過対象液を通過させる濾過方法により、上記目的を達成することができる。また、本発明によれば、第７の視点において、上記第４〜５の視点のいずれか一の両膜式セラミックフィルタを用いて濾過対象液を濾過する濾過方法であって、前記支持体の外周面の濾過層、前記支持体、前記柱状空間部の内周面の濾過層の順に濾過対象液を通過させる濾過方法により、上記目的を達成することができる。
【発明の効果】
【００１１】
上記本発明の両膜式セラミックフィルタは、高い濾過圧力で使用する用途においても、濾過膜の支持体からの剥離あるいはフィルタ自体の破損なしに、濾過層が本来有する濾過性能を十分に発揮することができる。また、上記本発明の濾過方法によれば、濾過膜の支持体からの剥離あるいはフィルタ自体の破損なしに、セラミックフィルタの濾過層が本来有する濾過性能を、高い濾過圧力で使用する用途においても十分に発揮させるようにしてセラミックフィルタを使用することができる。
【００１２】
本発明の両膜式セラミックフィルタ及び濾過方法の着想は、以下のとおりである。支持体の柱状空間部の内周面のみに管状の濾過層を積層させているチューブ型又はモノリス型のような管状のセラミックフィルタを、高い濾過圧力（例えば、８ＭＰａ以上）で使用する際に、濾過対象液を濾過層側から支持体側（管状のセラミックフィルタの内側から外側）の順に通過させた場合、得られる濾過液中の粒子数は、前記濾過層が本来達成可能なはずの値ほどには小さくならない。本発明者は、この原因が、前記濾過層で固体粒子が分離された濾過液が前記濾過層に比べて大きな細孔径の支持体内を通過する途中で汚染される（支持体内に存在する固体粒子が混入する）ためである、ということを突き止めた。なお、前記管状のセラミックフィルタを、高い濾過圧力（例えば、８ＭＰａ以上）で使用する際に、濾過対象液を濾過層側から支持体側（管状のセラミックフィルタの内側から外側）の順に通過させた場合、フィルタ自体が破損することがある。
【００１３】
そのため、支持体の柱状空間部の内周面のみに管状の濾過層を積層させているチューブ型又はモノリス型のセラミックフィルタを、高い濾過圧力（例えば、８ＭＰａ以上）で使用する際に、濾過対象液を支持体側から濾過層側（管状のセラミックフィルタの外側から内側）の順に通過させることを試みた。しかし、この場合は、濾過層が支持体から剥離する、という問題点が生じてしまった。
【００１４】
そこで、鋭意研究した結果、支持体の柱状空間部の内周面に管状の濾過層を積層させているチューブ型又はモノリス型のような管状のセラミックフィルタの外周面にさらに濾過層を設けることにより、高い濾過圧力（例えば、８ＭＰａ以上）で使用する際に、支持体の外周面の濾過層、支持体、前記内周面の濾過層（管状のセラミックフィルタの外側から内側）の順に濾過対象液を通過させても、濾過層が支持体から剥離したりあるいはフィルタ自体が破損するという問題点なく、前記濾過層が本来達成可能な濾過性能を発揮することができる、ということを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１５】
［作用］
第１〜３の視点における本発明の両膜式セラミックフィルタは、濾過対象液中の液体が前記支持体の内部に流入する支持体流入面と前記支持体の外部に流出する支持体流出面の双方に濾過層を有するので、濾過層の前後の差圧（圧力差）を小さくすることができるから、流入面側濾過層、支持体、流出面側濾過層の順に高い濾過圧力で濾過対象液を通過させても、濾過膜の剥離を防止することができる。従って、第１〜３の視点における本発明の両膜式セラミックフィルタにおける流出面側濾過層は、支持体から剥離することなしに、支持体を通過した濾過液に含まれる固体粒子を分離することができる。このように、最終的に濾過層を通過した液を濾過液として得ることができるため、支持体内を通過する時に支持体内で混入する微細粒子を分離除去した濾過液を得ることができる。
【００１６】
第４の視点における本発明の両膜式セラミックフィルタは、長さ方向に１本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体の外周面及び前記柱状空間部の内周面のそれぞれに、１層以上の濾過層を有するので、濾過層の前後の差圧（圧力差）を小さくすることができるから、支持体の外周面の濾過層、支持体、柱状空間部の内周面の濾過層の順に高い濾過圧力で濾過対象液を通過させても、濾過層の剥離やフィルタ自体の破損を防止することができる。また、第５の視点における本発明の両膜式セラミックフィルタは、長さ方向に２本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体の外周面及び前記柱状空間部の内周面のそれぞれに、１層以上の濾過層を有するので、濾過層の前後の差圧（圧力差）を小さくすることができるから、支持体の外周面の濾過層、支持体、柱状空間部の内周面の濾過層の順に高い濾過圧力で濾過対象液を通過させても、濾過層の剥離やフィルタ自体の破損を防止することができる。
【００１７】
従って、第４〜５の視点における本発明の両膜式セラミックフィルタにおける柱状空間部の内周面側濾過層は、支持体から剥離することなしに、支持体を通過した濾過液に含まれる固体粒子を分離することができる。このように、最終的に濾過層を通過した液を濾過液として得ることができるため、支持体内を通過する時に支持体内で混入する微細粒子を分離除去した濾過液を得ることができる。
【００１８】
本発明の両膜式セラミックフィルタは、流入面側濾過層と流出面側濾過層を有するので、これらの濾過層のいずれか一方のみを有する場合よりも、前記濾過層の前後の差圧を小さくすることができるから、濾過層が支持体から剥離しにくくなる。これについてより詳細に説明する。
【００１９】
多孔質セラミックス製のチューブ型の支持体（細孔径１０μｍ）の円柱状の空間部の内周面に管状の多孔質セラミックス製の濾過層（細孔径０．２μｍ）を積層させている従来のセラミックフィルタであって、前記支持体と前記濾過層との抵抗の比（細孔径と厚さに依存）が１：５であるものは、濾過圧力２０ＭＰａで濾過したとすると、濾過対象液が流れた時の差圧は抵抗に比例するため、このときは、前記支持体前後の差圧が３．３ＭＰａとなり、前記濾過層前後の差圧が１６．７ＭＰａとなる。
【００２０】
これに対して、上記セラミックフィルタの支持体の外周面にさらに管状の多孔質セラミックス製の濾過層（細孔径０．２μｍ）を積層させた本発明のセラミックフィルタであって、前記支持体の外周面の濾過層と前記支持体と前記円柱状の空間部の内周面の濾過層との抵抗の比（細孔径と厚さに依存）が５：１：５であるものは、濾過圧力２０ＭＰａで濾過したとすると、濾過対象液が流れた時の差圧は抵抗に比例するため、このときは、前記支持体の外周面の濾過層前後の差圧が９．０ＭＰａとなり、前記支持体前後の差圧が２．０ＭＰａとなり、前記内周面の濾過層前後の差圧が９．０ＭＰａとなる。以上のように、本発明の上記セラミックフィルタの場合、上記従来のセラミックフィルタと比較して、前記内周面の濾過層前後の差圧（圧力の差）を約１／２に小さくすることができる。
【００２１】
第６の視点における濾過方法は、第１〜３の視点における両膜式セラミックフィルタを用いて、濾過対象液を濾過する濾過方法であって、前記流入面側濾過層、前記支持体、前記流出面側濾過層の順に濾過対象液を通過させるので、高い濾過圧力で濾過した場合でも、前記流出面側濾過層は、支持体から剥離することなしに、支持体を通過した濾過液に含まれる固体粒子を分離することができる。第７の視点における濾過方法は、第４〜５の視点における両膜式セラミックフィルタを用いて、濾過対象液を濾過する濾過方法であって、前記支持体の外周面の濾過層、前記支持体、前記柱状空間部の内周面の濾過層の順に濾過対象液を通過させるので、高い濾過圧力（例えば、８〜２０ＭＰａ）で濾過した場合でも、前記柱状空間部の内周面の濾過層は、支持体から剥離することなしに、さらにフィルタ自体が破損することなしに、支持体を通過した濾過液に含まれる固体粒子を分離することができる。
【００２２】
本発明の両膜式セラミックフィルタがチューブ型又はモノリス型のような管状のセラミックフィルタである場合、フィルタの外側から内側（柱状空間部の内周面の濾過層側）に濾過対象液を流す理由は、管状のセラミックフィルタの半径外側方向への引っ張り強度に比べ、管状のセラミックフィルタの半径内側方向への圧縮強度が大きいため（通常、前記引っ張り強度の２〜１０倍）、前記本発明のフィルタをより高い濾過圧力で使用することが可能になるからである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
［支持体］
支持体は、多孔質セラミックス製の支持体にすることができる。支持体の形状は、例えば、長さ方向に１本の柱状空間部を有するチューブ型の支持体、又は、長さ方向に２本以上の柱状空間部を並列に有するモノリス型の支持体にすることができる。支持体が多孔質セラミックス製である場合、細孔径が１〜１００μｍ程度（好ましくは５〜２０μｍ）のものを用いることができる。
【００２４】
［濾過層］
濾過層は、多孔質セラミックス製の濾過層にすることができ、支持体に１層以上積層させて設けることができる。支持体が多孔質セラミックス製である場合、多孔質セラミックス製の濾過層の細孔径は、一般的に、多孔質セラミック製の支持体の細孔径よりも小さくする。最外層として設ける濾過層の細孔径は、好ましくは０．０１〜１．０μｍ（より好ましくは０．０５〜０．２μｍ）にする。
【００２５】
多孔質セラミックス製の濾過層を２層以上多孔質セラミックス製の支持体に積層させる場合、前記支持体に近い側の濾過層から順に細孔径が小さくなるように濾過層を積層して設けることができる。濾過対象液が通過する際の流入面側濾過層と流出面側濾過層との抵抗の比は、４０／６０〜６０／４０（好ましくは４５／５５〜５５／４５）にすることができる。濾過対象液が通過する方向における流入面側濾過層と流出面側濾過層との厚さの比は、４０／６０〜６０／４０（好ましくは４５／５５〜５５／４５）にすることができる。
【００２６】
［シール層］
支持体がチューブ型又はモノリス型の場合、さらに支持体の両端部にシール層を濾過層を介して又は介さずに設けることができる。前記両端部の外周面でシールする場合は、シール層を外周面に設けることができ、端面でシールする場合は、シール層を端面に設けることができる。
【００２７】
シール層は、濾過対象液が浸透しない材料で形成することができ、例えば、ガラス又は樹脂等で構成される緻密質である。シール層の材料は、好ましくは、表面を平滑にすることができるものを用いる。シール層の表面は、好ましくは、平滑にする。ケース(容器)内に本発明のチューブ型又はモノリス型のセラミックフィルタをセット（配設）して使用する時、両端部にパッキンやＯリングを用いてシールし、濾過時に原液と濾過液とを隔離する。この時、表面が平滑なシール層を設けることにより、シール性を向上でき、濾過液中の粒子数を小さくすることができる。
【実施例】
【００２８】
図面に基づいて本発明の実施例のセラミックフィルタを説明する。図１は、本発明の実施例１のモノリス型のセラミックフィルタの概略斜視図（一部省略）である。図２は、実施例１のセラミックフィルタの径方向の概略断面図である。図３は、実施例１のセラミックフィルタの長さ方向（径方向に対して垂直方向）の概略部分断面図である。図４は、図２の一点鎖線で囲まれたＡの領域の概略拡大断面図である。
【００２９】
［実施例１］
実施例１のセラミックフィルタは、内径４ｍｍの１９本の並列の貫通孔（柱状空間部）３５を有する外径３０ｍｍのモノリス型のフィルタである。このフィルタは、細孔径１０μｍの多孔質セラミックスからなるモノリス型の支持体３１を有する。支持体３１の外表面（外周面）と貫通孔３５の内表面（内周面）には、管状の濾過中間層（厚さ４０μｍ）と管状の濾過表面層（厚さ４０μｍ）がこの順に積層して形成されている。濾過表面層の細孔径は、０．２μｍである。濾過中間層の細孔径は、支持体３１の細孔径よりも小さく、濾過表面層の細孔径よりも大きい。
【００３０】
支持体３１の両端において、端面から１５ｍｍまでの外周面には、ガラス質から成る管状のシール層３４が形成されている。両端面においては、中間層（厚さ４０μｍ）及び濾過層（厚さ４０μｍ）の形成は任意である。本実施例のセラミックフィルタは、両端面において中間層及び濾過層を形成しない。この場合には、両端面にもシール層を形成し封止することが一般的に必要であるが、図３では端面に形成されるべきシール層の記載を省略している。
【００３１】
本実施例のセラミックフィルタにおけるセラミックスの材質は、アルミナ質のセラミックスである。本実施例のセラミックフィルタの運転時（使用時）には、図３に示す矢３０の向きに、外表面（外周面）から濾過対象液をフィルタに注入する。濾過対象液は、支持体外周面に形成されている二重の積層濾過層３２と、支持体３１の貫通孔３５の内周面に形成されている二重の積層濾過層３３で、微細な固形粒子が除去される。微細な固形粒子が除去された濾過液は、貫通孔３５の端部より流出する。
【００３２】
図３〜４に示すように、二重の積層濾過層３２は、管状の濾過中間層４２の外周面に管状の濾過表面層４３が積層しているものである。また、二重の積層濾過層３３は、管状の濾過中間層４２’の内周面に管状の濾過表面層４３’が積層しているものである。
【００３３】
実施例１のモノリス型のセラミックフィルタを用いて、図４の矢４０の向きにフィルタの外周面から濾過対象液を供給し、フィルタの外周面の積層濾過膜、支持体、貫通孔の内周面の積層濾過膜の順に（図４の矢４１の向きに）濾過対象液を通過させた。この場合、得られた濾過液中の０．２μｍ以上の粒子数は、３０個／ｍｌであり、膜剥離濾過圧力（濾過層が剥離する濾過圧力）は２０ＭＰａ以上であり、破損濾過圧力（フィルタが破損する濾過圧力）は２０ＭＰａ以上である。
【００３４】
［実施例２］
実施例２のセラミックフィルタは、内径１０ｍｍの１本の貫通孔を有する外径３０ｍｍのチューブ型（円筒状）のフィルタである。チューブ型の支持体の外周面と貫通孔の内周面には、管状の濾過中間層（厚さ４０μｍ）と管状の濾過表面層（厚さ４０μｍ）がこの順に積層して形成されている。濾過表面層の細孔径は、０．２μｍである。濾過中間層の細孔径は、支持体の細孔径よりも小さく、濾過表面層の細孔径よりも大きい。
【００３５】
［比較例１］
比較例１のフィルタは、実施例１のフィルタにおいて支持体の外周面に濾過層を設けていないこと以外は、実施例１のセラミックフィルタと同様のモノリス型のセラミックフィルタである。この比較例１のモノリス型のセラミックフィルタを用いて、フィルタの外周面から濾過対象液を供給し、支持体、貫通孔の内周面の積層濾過膜の順に濾過対象液を通過させた。この場合、得られた濾過液中の０．２μｍ以上の粒子数は、３５個／ｍｌであり、膜剥離濾過圧力は６ＭＰａであり、破損濾過圧力は２０ＭＰａ以上である。
【００３６】
［比較例２］
比較例１のモノリス型のセラミックフィルタを用いて、フィルタの貫通孔の内周面から濾過対象液を供給し、貫通孔の内周面の積層濾過膜、支持体の順に濾過対象液を通過させた。この場合、得られた濾過液中の０．２μｍ以上の粒子数は、５６個／ｍｌであり、破損濾過圧力は８ＭＰａである。なお、膜（濾過層）が剥離する前にフィルタ自体が破損したため、膜剥離濾過圧力は不明である。破損したフィルタにおいて、濾過層は支持体から剥離していない。
【００３７】
なお、実施例１及び比較例１〜２で用いた濾過対象液は、簡易純水（水道水を公称濾過精度０．５μｍのカートリッジフィルタとイオン交換樹脂ボンベに通過させて得られた液）である。また、実施例１に記載した外径３０ｍｍのモノリス型セラミックフィルタの静圧における内圧破壊強度は、約１０ＭＰａであるが、運転開始時（濾過対象液のフィルタへの供給開始時）等の衝撃がある場合には、３〜６ＭＰａで破損することがある。外圧の場合には、２０ＭＰａの圧力差をかけても破損することはない。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】図１は、本発明の一実施例のセラミックフィルタの概略斜視図である。
【図２】図２は、本発明の一実施例のセラミックフィルタの径方向の概略断面図である。
【図３】図３は、本発明の一実施例のセラミックフィルタの長さ方向（径方向に対して垂直方向）の概略部分断面図である。
【図４】図４は、図２の一点鎖線で囲まれたＡの領域の概略拡大断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
３１  支持体
３２、３３  積層濾過層
３４  シール層
３５  貫通孔
４２、４２’  濾過中間層
４３、４３’  濾過表面層
【図１】
2005066549.tif 000003
【図２】
2005066549.tif 000004
【図３】
2005066549.tif 000005
【図４】
2005066549.tif 000006