(57)【要約】【課題】  液体の流れを妨げることのない液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供すること。【解決手段】  プリンタに備えられる記録ヘッドは、インクを一時貯留するリザーバ２８が形成された第１の本体２６と、リザーバ２８からインクを供給される圧力発生室３４等を設けた第２の本体３３とを備える。さらに、圧力発生室３４のインクを加圧する圧電振動子３１と、圧力発生室３４に連通するノズル２４を備えたノズルプレート３７とを備える。また、金属層Ｍと樹脂層Ｒが積層され、第１の本体２６と第２の本体３３との間に設けられ、リザーバ２８と圧力発生室３４とを連通する連通孔３２を有する封止板３０を備える。この連通孔３２は、金属層Ｍ側から樹脂層Ｒ側に向かってパンチが下降することによって穿孔される。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留する貯留室が形成されたケース部材と、
前記貯留室から液体を供給される圧力発生室を備える流路基板と、
前記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、
前記圧力発生室に連通するノズルを備えたノズルプレートと、
金属層と樹脂層とが積層され、前記ケース部材と前記流路基板との間に前記金属層を前記ケース部材側にして設けられるとともに、前記貯留室と前記圧力発生室とを連通する連通孔を有する封止板とを備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記封止板に前記連通孔を形成する際に、同封止板に対して、前記金属層側から前記樹脂層側に向かって、パンチを相対移動させて穿孔することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記連通孔を形成する際は、前記パンチに対応するダイ孔を有するダイの上に前記封止板を配置するとともに、そのパンチを前記ダイ孔に向かって相対移動させて穿孔することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記パンチは、前記ダイ孔に向かって近づくように相対移動する際に、前記ダイ上に配置された前記封止板の樹脂層を貫通し、その樹脂層の下方を下死点位置とすることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
液体を貯留する貯留室が形成されたケース部材と、
前記貯留室から液体を供給される圧力発生室を備える流路基板と、
前記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、
前記圧力発生室に連通するノズルを備えたノズルプレートと、
金属層と樹脂層とが積層され、前記ケース部材と前記流路基板の間に設けられるとともに、前記貯留室と前記圧力発生室とを連通する連通孔を有する封止板とを備える液体噴射ヘッドであって、
前記封止板の連通孔は、前記金属層側から前記樹脂層側に向かって穿孔することにより形成されているとともに、
前記封止板は、前記金属層を前記ケース部材側に配置した状態で設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
液体を収容する液体収容体と、前記液体収容体から液体噴射ヘッドとを備える液体噴射装置において、
前記液体噴射ヘッドは、
液体を貯留する貯留室が形成されたケース部材と、
前記貯留室から液体を供給される圧力発生室を備える流路基板と、
前記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、
前記圧力発生室に連通するノズルを備えたノズルプレートと、
金属層と樹脂層とが積層され、前記ケース部材と前記流路基板の間に設けられるとともに、前記貯留室と前記圧力発生室とを連通する連通孔を有する封止板を備え、
前記封止板の連通孔は、前記金属層側から前記樹脂層側に向かって穿孔することにより形成されているとともに、
前記封止板は、前記金属層を前記ケース部材側に配置した状態で設けられていることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット式記録装置等の液体噴射装置は、液体収容体から導出された液体を、ノズルを備えた液体噴射ヘッドから吐出する。この液体噴射ヘッドは、一般的に、液体収容体に連通された貯留室（リザーバ）と、この貯留室に連通している圧力発生室とを備える。さらに、電圧の印加等により変形し、圧力発生室の体積を変える圧力発生素子と、圧力発生室に連通したノズルを有するノズルプレートとを備える。ノズルプレートのノズルからは、圧力発生室が加圧されて体積が減少した際に、圧力発生室内の液体が吐出される。
【０００３】
このような液体噴射ヘッドとして、前記貯留室と前記圧力発生室を同じ基板内に形成するものと、別の基板にそれぞれ形成するものがあった（例えば、特許文献１参照）。別の基板内に貯留室及び圧力発生室を形成する液体噴射ヘッドは、１つの基板に貯留室及び圧力発生室が形成された液体噴射ヘッドよりも、流路、貯留室、又は圧力発生室の深さや形状等を自由に設計することができる等の利点を有している。そして、この液体噴射ヘッドの貯留室が形成された基板（ケース部材）と、圧力発生室が形成された基板（流路基板）との間には、封止板が設けられており、その封止板には連通孔が貫通形成されていた。そして、一方の基板に形成された貯留室と、他方の基板に形成された圧力発生室を、前記封止板に形成された連通孔を介して連通させていた。
【０００４】
この封止板は金属板及び高分子フィルム（樹脂層）を積層した板状部材から構成される。そして、例えば、封止板に連通孔を形成する際は、プレス加工を行うか、金属板をエッチングした後、高分子フィルムをレーザー加工する等して穿孔していた。
【特許文献１】特開２００１−３５３８７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記の封止板の連通孔を形成する際、金属板をエッチングした後、高分子フィルムにレーザー加工を施すと、製造工程数が増加することがある。また、プレス加工を行う場合、封止板を構成する高分子フィルムからなる層においては、金属板のような平坦な切り口面が得にくい。封止板の連通孔は、通常数十μｍの内径を有する微細孔であることが多く、穿孔方法によっては、液体の流れを妨げるような切り口面を有する連通孔が形成されたり、連通孔が閉塞されたりすることがある。
【０００６】
本発明の目的は、液体の流れを妨げることのない液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、液体を貯留する貯留室が形成されたケース部材と、前記貯留室から液体を供給される圧力発生室を備える流路基板と、前記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、前記圧力発生室に連通するノズルを備えたノズルプレートと、金属層と樹脂層とが積層され、前記ケース部材と前記流路基板との間に前記金属層を前記ケース部材側にして設けられるとともに、前記貯留室と前記圧力発生室とを連通する連通孔を有する封止板とを備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記封止板に前記連通孔を形成する際に、同封止板に対して、前記金属層側から前記樹脂層側に向かって、パンチを相対移動させて穿孔する。
【０００８】
これによれば、封止板に、貯留室と圧力発生室とを連通する連通孔を形成する際は、金属層側から樹脂層側に向かってパンチを相対移動させる。このため、パンチが封止板打ち込まれた際に、比較的延びやすい樹脂層は、金属層側に流れることがない。従って、樹脂層が連通孔の内側で延びたりつぶれたりして、連通孔を閉塞するようなことを防止できる。
【０００９】
この液体噴射ヘッドの製造方法において、前記連通孔を形成する際は、前記パンチに対応するダイ孔を有するダイの上に前記封止板を配置するとともに、そのパンチを前記ダイ孔に向かって相対移動させて穿孔する。
【００１０】
これによれば、封止板が、パンチに対応したダイ孔を有するダイの上に置かれた状態で、パンチがダイ孔に向かって相対移動することで、連通孔が形成される。従って、封止板の下側に配置された樹脂層は、ダイ孔内に押し込まれるため、金属層側に流れたり、パンチの移動方向と略直交する方向に流れたりすることがない。
【００１１】
この液体噴射ヘッドの製造方法において、前記パンチは、前記ダイ孔に向かって近づくように相対移動する際に、前記ダイ上に配置された前記封止板の樹脂層を貫通し、その樹脂層の下方を下死点位置とする。
【００１２】
これによれば、パンチは、ダイ上に配置された封止板を貫通するとともに、相対移動の下死点位置は、封止板の樹脂層よりも下方に設定されている。このため、樹脂層はダイ孔に押し込まれて抜き落とされるため、金属層側に流れたり、パンチの移動方向と略直交する方向に流れたりすることがない。
【００１３】
本発明の液体噴射ヘッド及び該液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置は、液体を貯留する貯留室が形成されたケース部材と、前記貯留室から液体を供給される圧力発生室を備える流路基板と、前記圧力発生室内の液体を加圧する圧力発生素子と、前記圧力発生室に連通するノズルを備えたノズルプレートと、金属層と樹脂層とが積層され、前記ケース部材と前記流路基板の間に設けられるとともに、前記貯留室と前記圧力発生室とを連通する連通孔を有する封止板とを備える液体噴射ヘッド及び該液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置であって、前記封止板の連通孔は、前記金属層側から前記樹脂層側に向かって穿孔することにより形成されているとともに、前記封止板は、前記金属層を前記ケース部材側に配置した状態で設けられている。
【００１４】
これによれば、液体噴射ヘッドに備えられる封止板には、貯留室と圧力発生室とを連通する連通孔が形成されている。そして、その連通孔は、金属層側から樹脂層側に向かって穿孔されている。さらに、封止板は金属層をケース部材側に配置した状態で設けられており、連通孔には金属層側から樹脂層側に向かって液体等が流れるようになっている。
【００１５】
このため、連通孔は、金属層側から穿孔されることで、樹脂層が金属層に流れて、液体等の流れを妨げるようなことがない。また、金属層側から樹脂層側に向かって流れるような切り口面を有しており、液体等の流れを妨げないようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を具体化した液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置の一実施形態を図１〜図７にしたがって説明する。図１は、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンタという。）の要部斜視図、図２は、液体噴射ヘッドとしての記録ヘッドの要部断面図である。図３は、記録ヘッドに備えられる封止板の要部を示した平面図である。
【００１７】
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１１は、フレーム１２を有している。このフレーム１２には、主走査方向（図１中ｘ方向）に延びるプラテン１３が設けられている。さらに、同プリンタ１１は、送りモータ１４を備えた、図示しない送り機構を有している。この送りモータ１４は、前記送り機構に備えられた駆動ローラを駆動して、副走査方向（図１中ｙ方向）にターゲットとしての記録媒体Ｐを搬送し、プラテン１３上に記録媒体Ｐを導くようになっている。
【００１８】
また、フレーム１２には、駆動プーリ１６及び従動プーリ１７が固定されている。同駆動プーリ１６は可逆モータのキャリッジモータ１８が連結されている。また、一対のプーリ１６，１７には、タイミングベルト１９が掛け装されており、タイミングベルト１９にはキャリッジ２０が固着されている。
【００１９】
キャリッジ２０は、フレーム１２内に架設されたガイド部材２１に摺動可能に固定されている。このキャリッジ２０は、キャリッジモータ１８の駆動により、タイミングベルト１９を介して主走査方向に往復移動する。キャリッジ２０には、内部にインクを収容したインクカートリッジ２２が着脱可能に搭載されている。本実施形態では、インクカートリッジ２２は、内部に６つに区画された収容部を有し、各収容部には、シアン、ライトシアン、マゼンタ、ライトマゼンタ、イエロ、ブラックの６色の液体としてのインクをそれぞれ収容している。また、同キャリッジ２０は、液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド２５を下面に有しており、記録ヘッド２５はプラテン１３と対向している。記録ヘッド２５は、下面にノズルプレート３７（図２参照）を備えており、ノズルプレート３７には、複数のノズル２４が形成されている。このノズル２４は、ノズルプレート３７の主走査方向及び副走査方向に複数列形成されており、各インクカートリッジ２２にそれぞれ対応している。そして、各インクカートリッジ２２から送出されたインクを記録媒体Ｐに向かって吐出する。
【００２０】
図２に示すように、この記録ヘッド２５は、ケース部材としての第１の本体２６を備えている。第１の本体２６には、複数の第１供給路２７が図中上下方向に延びるように形成されている。この第１供給路２７は、各インクカートリッジ２２から送出されたインクをそれぞれ内部に流入させるようになっている。この第１供給路２７の下方には、各第１供給路２７に対応した貯留室としてのリザーバ２８が形成され、第１供給路２７に連通されている。リザーバ２８は、第１供給路２７の内径よりも、大きな内径になっており、第１の本体２６の下面２６ｂで開口している。尚、図２では、便宜上、一組の第１供給路２７及びリザーバ２８のみを示している。
【００２１】
このリザーバ２８には、複数の第２供給路２９が連通されている。第２供給路２９は、リザーバ２８を構成する側面２６ｃで開口している。第２供給路２９は、図２中略水平方向に延びるように、第１の本体２６の下面２６ｂに溝状に形成されている。従って、第２供給路２９の下面２６ｂ側は開口した状態となっている。これらのリザーバ２８、第１供給路２７及び第２供給路２９は、第１の本体２６が射出成形等によって形成されることにより、第１の本体２６内に設けられている。
【００２２】
また、第１の本体２６の下面２６ｂには、封止板３０が固着されている。この封止板３０は、第１の本体２６の下面２６ｂに設けられることにより、リザーバ２８及び第２供給路２９の開口を封止している。この封止板３０は、図２及び図３に示すように、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属層Ｍと、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）等の樹脂層Ｒとが積層されて構成されている。この樹脂層Ｒは、フィルム状に形成されている。
【００２３】
さらに、この封止板３０は、樹脂層Ｒ上の金属層Ｍからなる島部３０ａと、樹脂層Ｒからなる変位領域３０ｂ，３０ｃとを有している。変位領域３０ｂ，３０ｃは、封止板３０
の金属層Ｍ側をエッチングして形成され、その金属層Ｍの下の樹脂層Ｒが露出した領域である。島部３０ａは、樹脂層Ｒ上に部分的に積層された金属層Ｍである。
【００２４】
そして、封止板３０のリザーバ２８に対応する領域は、変位領域３０ｂとなっている。すなわち、リザーバ２８は変位領域３０ｂによって封止されている。このため、リザーバ２８を封止する変位領域３０ｂは、リザーバ２８内のインク圧の変動を緩衝する部材として機能する。
【００２５】
また、リザーバ２８を封止する領域とは別に設けられた変位領域３０ｃ上には、複数の島部３０ａが設けられている。この島部３０ａには、図２に示すように、圧力発生素子としての圧電振動子３１が接続されている。圧電振動子３１は、第１の本体２６に形成された収容部２６ｄに収容されており、第１の本体２６に取着された取付部２６ｅを介して第１の本体２６に固定されている。
【００２６】
また、第２供給路２９の開口を封止する領域の金属層Ｍ及び樹脂層Ｒには、連通孔３２が貫通形成されている。連通孔３２は、第２供給路２９側から図２中垂直方向に延びるように形成されている。この連通孔３２は、内径が約２５μｍに形成された微細孔であって、後述するように、プレス加工にて穿孔することにより形成される。
【００２７】
さらに、図２に示すように、封止板３０の下面には、流路基板としての第２の本体３３が設けられている。第２の本体３３内には、圧力発生室３４が図２中水平方向に延びるように、溝状に形成されている。そして、圧力発生室３４は、封止板３０により、その開口を封止され、連通孔３２に連通されている。さらに、第２の本体３３内であって、圧力発生室３４の端部には、第３供給路３５が形成されている。この第３供給路３５は、圧力発生室３４に連通し、図２中垂直方向に延びるように形成されており、第２の本体３３の下面３３ｂで開口している。
【００２８】
さらに、第２の本体３３には、コンプライアンス部３６が設けられている。このコンプライアンス部３６は、リザーバ２８を封止した変位領域３０ｂに対応した位置に凹状に形成されており、封止板３０側が開口している。従って、コンプライアンス部３６は、変位領域３０ｂによって封止された状態になっており、変位領域３０ｂによってリザーバ２８と隔てられた状態になっている。その結果、リザーバ２８内のインクの流出又は流入により発生する圧力変化を受けた変位領域３０ｂは、コンプライアンス部３６側又はリザーバ２８側へ変位して、リザーバ２８内の圧力変化を緩衝することができる。尚、このコンプライアンス部３６は、図示しない大気連通孔を通じて、大気に連通されている。
【００２９】
第２の本体３３の下面３３ｂには、上述したノズルプレート３７が設けられている。このノズルプレート３７には、第３供給路３５の開口に対応した位置に、ノズル２４が設けられている。
【００３０】
圧電振動子３１に駆動信号が印加されて、圧電振動子３１が縮むように変形すると、圧電振動子３１に固定された島部３０ａ及び島部３０ａ付近の変位領域３０ｃが収容部２６ｄ側に変位し、圧力発生室３４の体積が大きくなる。その結果、リザーバ２８から圧力発生室３４にインクが供給される。そして、圧電振動子３１が延びるように変形すると、島部３０ａ及び変位領域３０ｃが圧力発生室３４側に変位する。その結果、圧力発生室３４内のインクが押し出され、ノズル２４から微量のインク滴になって吐出される。
【００３１】
次に、封止板３０の連通孔３２が形成される工程について説明する。図４〜図７は、封止板３０の製造工程を説明するためのプレス機４０の一部を示す概念図である。プレス機４０は、パンチ４１を有し、このパンチ４１は図示しない駆動機構により上下動され、封
止板３０に対して相対移動する。このパンチ４１は、本実施形態では、円柱状に形成されている。また、プレス機４０は、図示しないダイホルダに固定したダイ４２を有しており、このダイ４２にはパンチ４１の位置に対応したダイ孔４２ａが形成されている。そして、ダイ４２に対して、穿孔前の封止板３０が、金属層Ｍ側がパンチ４１と対向するように図示しない板押さえによって固定される。
【００３２】
前記駆動機構が駆動されると、パンチ４１は封止板３０側へ降下し、金属層Ｍに進入しはじめる。すると、図５に示すように、金属層Ｍは、パンチ４１の移動により図５中下方に引張り込まれ、金属層Ｍの上部にだれＳ１が生じる。また、パンチ４１の移動方向に対応した樹脂層Ｒの一部がダイ孔４２ａに押し込まれる。さらにパンチ４１が金属層Ｍ内部に進入すると、図６に示すように金属層Ｍの内側にき裂が発生し、その結果、金属層Ｍに破断面Ｓ２が生じる。そして、金属層Ｍから生じた抜きかすは、樹脂層Ｒ側へ押し込まれる。このとき、パンチ４１の移動により押圧された樹脂層Ｒの一部は、ダイ孔４２ａ側へさらに押し込まれ、ダイ孔４２ａ側へ凸状に延ばされた状態になっている。
【００３３】
さらに、パンチ４１は下方に移動して樹脂層Ｒを貫通する。そして、図７に示すように、ダイ孔４２ａ内であって、樹脂層Ｒよりも下方の下死点位置で停止する。このとき、ダイ孔４２ａ側へ延ばされた樹脂層Ｒの一部はダイ孔４２ａ内に抜き落とされ、その結果、連通孔３２が形成される。また、樹脂層Ｒの一部がダイ孔４２ａ側に押し込まれつつ抜き落とされることにより、樹脂層Ｒの下面Ｒ１には、かえり（バリ）Ｓ３が発生している。
【００３４】
従って、連通孔３２の内面及び開口には、パンチ４１による穿孔によって、だれＳ１、破断面Ｓ２、かえりＳ３等が発生しているが、金属層Ｍ側から樹脂層Ｒ側に向かって流れるような切り口面となっている。
【００３５】
さらに、パンチ４１は、前記板押さえによって固定された封止板３０から上方に移動し、封止板３０から離れる。そして、必要に応じて、かえりＳ３を除去するかえり取り工程等を経て、連通孔３２の形成工程を終了する。
【００３６】
そして、連通孔３２を形成する前又は後に、変位領域３０ｂ，３０ｃを形成するためのエッチング等が施され、封止板３０は、金属層Ｍ側をリザーバ２８（第１の本体２６）側に配置して、第１の本体２６及び第２の本体３３に対して固着される。すなわち、連通孔３２には、リザーバ２８から導出されたインクが、金属層Ｍ側から樹脂層Ｒ側に向かって流れることになる。
【００３７】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態では、プリンタ１１に備えられる記録ヘッド２５は、リザーバ２８を第１の本体２６に形成し、圧力発生室３４等を第２の本体３３に形成した。そして、第１の本体２６と第２の本体３３の間に、リザーバ２８と圧力発生室３４とを連通する連通孔３２を有する封止板３０を設けるようにした。
【００３８】
さらに、連通孔３２は、金属層Ｍ側から樹脂層Ｒ側に向かってパンチ４１によって穿孔することで形成するようにした。そして、連通孔３２が穿孔された封止板３０は、金属層Ｍ側をリザーバ２８側にして、第１の本体２６及び第２の本体３３に対して固着するようにした。
【００３９】
従って、パンチ４１は金属層Ｍから打ち込まれるため、樹脂層Ｒが金属層Ｍ側に流れたり、つぶれたりして、微細な連通孔３２を閉塞することがない。また、連通孔３２の内面には、パンチ４１による穿孔によって、だれＳ１、破断面Ｓ２、かえりＳ３等の金属層Ｍ側から樹脂層Ｒ側に向かって流れるような切り口面が形成されているが、連通孔３２は金
属層Ｍ側から樹脂層Ｒ側へインクを導出するため、インクを滞留させたりして妨げることがない。
【００４０】
（２）上記実施形態では、ダイ孔４２ａを有するダイ４２の上に配置された封止板３０に対し、ダイ孔４２ａに対応するパンチ４１を封止板３０に対して相対移動させた。そして、パンチ４１は、ダイ孔４２ａ内に凸状に膨らんだ樹脂層Ｒを貫通し、その樹脂層Ｒの下方を下死点位置とするようにした。従って、パンチ４１が樹脂層Ｒを貫通するため、微細な孔である連通孔３２が閉塞されるようなことがない。
【００４１】
なお、本実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、プリンタ１１は、６色のインクを収容したインクカートリッジ２２を備え、液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド２５は、各インクに対応した流路、リザーバ２８、ノズル２４等を有する構成としたが、インクの種類の数は、６色に制限されることはない。
【００４２】
・上記実施形態では、パンチ４１は円柱形状としたが、先端側が先細りになった形状等、円柱形状以外の形状でもよい。
・上記実施形態では、パンチ４１の下死点を樹脂層Ｒの下方にしたが、これ以外に、樹脂層Ｒ内にしてもよい。具体的には、パンチ４１の封止板３０に対する下降を、封止板３０の下面よりもやや下方であって、樹脂層Ｒ内で停止させ、ダイ孔４２ａ側の樹脂層Ｒに凸状に延びたダボを形成する。そして、パンチ４１を上昇させて形成途中の連通孔から抜いた後、別工程でダボを除去して下面で開口させて、連通孔３２を形成してもよい。
【００４３】
・上記実施形態においては、液体噴射装置として、インクを吐出するプリンタ１１について説明したが、その他の液体噴射装置であってもよい。例えば、ファックス、コピア等を含む印刷装置や、液晶ディスプレイ、ＥＬディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材などの液体を噴射する液体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとしての試料噴射装置であってもよい。また、流体（液体）もインクに限られず、他の流体（液体）に応用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本実施形態のプリンタの斜視図。
【図２】同プリンタに備えられる記録ヘッドの要部断面図。
【図３】同記録ヘッドの封止板の平面図。
【図４】封止板に形成される連通孔の製造方法の説明図。
【図５】同連通孔の製造方法の説明図。
【図６】同連通孔の製造方法の説明図。
【図７】同連通孔の製造方法の説明図。
【符号の説明】
【００４５】
１１…液体噴射装置としてのプリンタ、２４…ノズル、２５…液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド、２６…第１の本体、２８…貯留室としてのリザーバ、３０…封止板、３１…圧力発生素子としての圧力振動子、３２…連通孔、３３…第２の本体、３４…圧力発生室としての第４の供給路、３７…ノズルプレート、Ｍ…金属層、Ｒ…樹脂層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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