(57)【要約】【課題】  部品点数を減らして、装置を小型化かつ軽量化できるとともに、構造を簡素にして、装置コストを低減することのできる基板搬送装置を得る。【解決手段】  基板搬送装置１において、一対のコンベア５，６の外側に離間配置される一対の側板３，４と、一対の側板３，４に両端が回転自在に支持されて回転駆動されるとともに、一対のコンベア５，６のそれぞれに形成された貫通部１８を貫通するネジ軸１０と、ネジ軸１０に螺合されかつ貫通部１８を通過可能に形成されるとともに、一対のコンベア５，６のいずれか一方５（６）に選択的に固定可能となった連結部材１９と、一対のコンベア５，６のいずれか他方６（５）と他方のコンベア６（５）の外側に位置する側板４（３）とを選択的に固定可能にした固定部材２８とを設けた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送する基板（１７）の幅サイズに応じて一対のコンベア（５，６）間の幅が可変可能な基板搬送装置（１）であって、
前記一対のコンベアの外側に離間配置される一対の側板（３，４）と、
前記一対の側板に両端が回転自在に支持されて回転駆動されるとともに、前記一対のコンベアのそれぞれに形成された貫通部（１８）を貫通するネジ軸（１０）と、
前記ネジ軸に螺合され且つ前記貫通部を通過可能に形成されるとともに、前記一対のコンベアのいずれか一方に選択的に固定可能となった連結部材（１９）と、
前記一対のコンベアのいずれか他方と該他方のコンベアの外側に位置する前記側板とを選択的に固定可能にした固定部材（２８）と、
を具備することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記連結部材が、前記一対のコンベアのいずれか一方に対して、該コンベアの外側で固定されることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記連結部材（３０）が、前記ネジ軸に螺合するナット体（２１）と、該ナット体に固定され前記コンベアに固定可能な連結板（３１）とからなり、
前記連結板が、その重心を前記ネジ軸の中心より上方に位置させることで重力による回転モーメントを生じさせる連結部（３２）を有し、
前記貫通部が、前記連結部を下方に位置させて前記連結板の通過を可能とした形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記貫通部（４０）が、前記連結部の通過部分の一部又は全部を除去して開放させた切欠部であることを特徴とする請求項３記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送する基板の幅サイズに対応してコンベア幅を可変可能とした基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリント基板製造ラインや電子部品実装ラインでは、従来より、異なる幅の基板に対してコンベア幅を可変可能として、これら異なる幅の基板を搬送可能とすることにより、生産性の効率化を高めた基板搬送装置が採用されている。従来この種の基板搬送装置は、基板搬送基準面が奥側（基板搬送路を挟む一方の側）にあり、搬送する基板の幅サイズに対応して、奥側のコンベアに対し手前側のコンベアを接離移動させていた。
【０００３】
しかし、搬送基準面を逆に設定したい（装置の奥側を可動側のコンベアとし、手前側を固定側のコンベアとしたい）場合には、このままでは対応できず、単純に基板搬送装置の搬送方向上流側と下流側とを逆転設置した場合には、操作パネル等が他の装置と反対側となり、操作性を低下させる場合があった。
【０００４】
このような不具合を解消したものに、下記特許文献１に開示される基板搬送装置がある。図１３は従来の基板搬送装置における幅可変機構の側面図である。図において、１２１は一対の側板１２２，１２３を有する基台で、側板１２２，１２３がコンベア１１２，１１３を挟む形で位置されている。１２４は側板１２２，コンベア１１２，１１３及び側板１２３を貫通するボールネジで、嵌合部にはベアリング１２６が挿入される。ボールネジ１２４の一端には従動プーリ１２７，１２８が取り付けられ、駆動モータ１３０の駆動により回動される駆動プーリ１３１の回動がベルト１３２を介して従動プーリ１２７に伝えられボールネジ１２４が回動される。また、ボールネジ１２４に取り付けられている従動プーリ１２８とベルト１３３が掛け渡された図示しない従動プーリを介してもう一方の図示しないボールネジが回動される。
【０００５】
コンベア１１２，１１３はボールネジ１２４に嵌合したナット体１３４，１３５にベアリング１２６を介して取り付けられており、ナット体１３４，１３５には係止部１３８，１３９がボルト１４２によって固定されている。
【０００６】
ここで、コンベア１１２，１１３の幅を変更するため、一方のコンベア１１２に対し他方のコンベア１１３を接離移動させる場合について説明する。
【０００７】
コンベア１１２側は、コンベア１１３の移動時の基準とするため、側板１２２との間でスペーサ１４５を介してボルト１４６止めされて、基準位置に固定される。これにより、コンベア１１２は駆動モータ１３０の駆動によりボールネジ１２４が回動されてもその位置に固定され、ナット体１３４のみが空回りする。これに対してコンベア１１３側は、ナット体１３５の係止部１３９とコンベア１１３とをボルト１４８で固定することにより、ボールネジ１２４の回動によりナット体１３５と共に移動される。これにより、コンベア１１２を搬送基準面としてコンベア１１２，１１３の幅が変更可能となる。
【０００８】
また、コンベア１１３を搬送基準面として、コンベア１１３に対しコンベア１１２を接離移動させることも可能で、以下説明する。
【０００９】
この場合、コンベア１１２と側板１２２とを固定しているボルト１４６とスペーサ１４５を取り外し、図示は省略するがコンベア１１３と側板１２３とをスペーサ１４５とボルト１４６とで固定する。そして、コンベア１１３とナット体１３５の係止部１３９を固定しているボルト１４８を取り外し、コンベア１１２とナット体１３４の係止部１３８とを図示は省略するがこのボルト１４８によって固定する。
【００１０】
これにより、コンベア１１３は駆動モータ１３０の駆動によりボールネジ１２４が回動されてもその位置に固定され、ナット体１３５のみが空回りし、コンベア１１２はボールネジ１２４の回動によりナット体１３４と共に所定方向に移動可能になる。すなわち、搬送基準面が逆に設定されたことになる。
【特許文献１】実開平６−６６１００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記した従来の基板搬送装置は、搬送基準面を逆に設定する構造を、一対のコンベアのそれぞれに取り付けられるコンベア支持体（ナット体，係止部），ベアリングの４部品，１つの固定部材（スペーサ）との合計５部品を必要としていたため、部品点数が多く、装置の小型化、軽量化に対して不利であるとともに、構造が複雑となり、コストが高くなるという問題があった。
また、一対のコンベアの内側に、コンベア支持体（係止部）が突出して取り付けられるため、一対のコンベア間の幅を狭めると、連結部材に接触する可能性があり、搬送可能な基板の幅に制約があった。
【００１２】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、その第１の目的は、部品点数を減らして、装置を小型化且つ軽量化できるとともに、構造を簡素にして、装置コストを低減することのできる基板搬送装置を得ることにある。また、第２の目的は、従来装置に比べてより小さい幅の基板が搬送できる基板搬送装置を得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
次に、上記の課題を解決するための手段を、実施の形態に対応する図面を参照して説明する。
本発明の請求項１記載の基板搬送装置は、搬送する基板１７の幅サイズに応じて一対のコンベア５，６間の幅が可変可能な基板搬送装置１であって、
前記一対のコンベア５，６の外側に離間配置される一対の側板３，４と、
前記一対の側板３，４に両端が回転自在に支持されて回転駆動されるとともに、前記一対のコンベア５，６のそれぞれに形成された貫通部１８を貫通するネジ軸１０と、
前記ネジ軸１０に螺合され且つ前記貫通部１８を通過可能に形成されるとともに、前記一対のコンベア５，６のいずれか一方５（６）に選択的に固定可能となった連結部材１９と、
前記一対のコンベア５，６のいずれか他方６（５）と該他方のコンベア６（５）の外側に位置する前記側板４とを選択的に固定可能にした固定部材２８と、
を具備することを特徴とする。
【００１４】
このような構成によれば、一方のコンベア５（６）と連結部材１９との固定を解除し、ネジ軸１０を回転させることにより連結部材１９を他方のコンベア６（５）の位置へ移動させて固定し、他方のコンベア６（５）を側板４（３）に固定している固定部材２８を外して一方のコンベア５（６）を固定することで、他方のコンベア６（５）が可動自在となるとともに、一方のコンベア５（６）が固定される。つまり、搬送基準面を逆に設定することが可能となる。これにより、従来、一対のコンベア５，６のそれぞれに取り付けられるコンベア支持体（ナット体，係止部），ベアリングの４部品，１つの固定部材（スペーサ）の合計５部品が必要であったのに対し、１つの連結部材，１つの固定部材の合計２部品で、搬送基準面を逆に設定することができるようになる。
【００１５】
請求項２記載の基板搬送装置は、前記連結部材１９が、前記一対のコンベア５，６のいずれか一方に対して、該コンベアの外側で固定されることを特徴とする。
【００１６】
このような構成によれば、従来装置のように一対のコンベア５，６の内側にコンベア支持体（係止部）が突出しなくなり、一対のコンベア５，６の間で連結部材１９が挟まれることがなく、一対のコンベア５，６間の幅を従来装置より狭められるようになる。
【００１７】
請求項３記載の基板搬送装置は、前記連結部材３０が、前記ネジ軸１０に螺合するナット体２１と、該ナット体２１に固定され前記コンベア５，６に固定可能な連結板３１とからなり、
前記連結板３１が、その重心を前記ネジ軸１０の中心より上方に位置させることで重力による回転モーメントを生じさせる連結部３２を有し、
前記貫通部３３が、前記連結部３２を下方に位置させて前記連結板３１の通過を可能とした形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板搬送装置。
【００１８】
このような構成によれば、コンベア５，６との固定が解除されると、連結部材３０が上方の連結部３２に重心が置かれていることによって、連結部３２を下方とした姿勢へ回転配置され、その姿勢で保持されることになる。したがって、ネジ軸１０が回転されると、連結部材３０がネジ軸１０に沿って移動され、貫通部３３を通過して、コンベア５，６の外側へ配置することが可能となる。
また、例えば、連結部３２が左右非対称に形成されることで、連結部材３０は、固定解除されると連結部３２の重心バランスの不均衡により自ら回転する。つまり、固定解除された連結部材３０を自動的に回転配置させることが可能となる。
【００１９】
請求項４記載の基板搬送装置は、前記貫通部４０が、前記連結部３２の通過部分の一部又は全部を除去して開放させた切欠部であることを特徴とする。
【００２０】
このような構成によれば、連結部材３０を通過可能に形成された穴の少なくとも一部が除去され、周縁の開放された切欠部となり、その分、貫通部４０を小さく形成することが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明による請求項１記載の基板搬送装置によれば、ネジ軸を一対の側板に支持し、このネジ軸が貫通する貫通部を一対のコンベアに形成し、ネジ軸に螺合されいずれか一方のコンベアに固定可能となった連結部材を貫通部に対して通過可能に形成し、いずれか他方のコンベアを固定部材によって側板と固定可能としたので、従来、一対のコンベアのそれぞれに取り付けられるコンベア支持体（ナット体，係止部），ベアリングの４部品，１つの固定部材（スペーサ）の合計５部品が必要であったのに対し、１つの連結部材，１つの固定部材の合計２部品で、搬送基準面を逆に設定することができるようになる。これにより、部品点数を減らして、装置を小型化かつ軽量化できるとともに、構造を簡素にして、装置コストを低減することができる。
【００２２】
請求項２記載の基板搬送装置によれば、連結部材が、一対のコンベアのいずれか一方に対して、コンベアの外側で固定され、従来装置のように一対のコンベアの内側にコンベア支持体（係止部）が突出しないので、コンベアの間で連結部材が挟まれることがなく、一対のコンベア間の幅を従来装置より狭めることができる。これにより、より小さい幅の基板が搬送できるようになる。
【００２３】
請求項３記載の基板搬送装置によれば、連結部材がナット体と連結板とからなり、連結板が連結部を有し、貫通部が連結部を下方に位置させた連結板を通過可能な形状に形成されているので、コンベアとの固定が解除されると、連結部材が重力によって連結部を下方とした姿勢となり、ネジ軸を回転させることによって、連結部材をネジ軸に沿って移動させ、貫通部を通過させてコンベアの外側へ配置させることができる。これにより、一方のコンベアから他方のコンベアへの連結部材の付け替えを簡単に行うことができる。
【００２４】
請求項４記載の基板搬送装置によれば、貫通部が連結部の通過部分の少なくとも一部を除去して開放させた切欠部であるので、連結部材が固定可能で、且つ連結部材が通過可能な貫通部をより小さく形成することができ、装置をより小型化、且つ軽量化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明に係る基板搬送装置の好適な実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明に係る基板搬送装置における幅可変機構を示す平面図、図２は図１におけるガイド機構を示す斜視図、図３は図１における幅可変機構を基板搬送方向下流側から見た正面図、図４（ａ）は連結部材の固定状態を示す説明図、図４（ｂ）は貫通部通過時の状態を示す説明図である。
本実施の形態による基板搬送装置１は、搬送する基板１７の幅サイズに応じて一対のコンベア５，６間の幅Ｗが可変可能に構成され、例えば、半田印刷装置，印刷半田検査装置などが並設されるプリント基板製造ラインや、複数の電子部品実装装置が並設される電子部品実装ラインなどに好適に用いられるものである。
【００２６】
図１に示すように、２は一対の側板３，４を有する基台で、側板３，４がコンベア５，６を挟む形で位置している。すなわち、側板３，４は、一対のコンベア５，６の外側に離間配置されている。１０は側板３，コンベア５，６及び側板４を貫通するネジ軸（ボールネジ）で、側板３，４にベアリング１１を介して回転自在に支持されている。ボールネジ１０の一端には駆動モータ１２が取り付けられ、駆動モータ１２の駆動によりボールネジ１０が回動される。
【００２７】
一対のコンベア５，６は、ガイド機構１３によって側板３，４に支持されている。すなわち、側板３，４にはガイドレール１４の両端が固定され、ガイドレール１４は、例えば、図２に示すように、コンベア５，６を下方で横断している。それぞれのコンベア５，６の下面には摺動部材１５が固定され、摺動部材１５は下方の開口したコ字形状の開口部１６を有している。一対のコンベア５，６は、摺動部材１５の開口部１６をガイドレール１４の上方から係合させることで、ガイドレール１４に沿って、接離移動可能となっている。
【００２８】
ボールネジ１０は、図１に示すように、例えば、ガイド機構１３より基板１７の搬送方向下流側で一対のコンベア５，６を貫通している。なお、このガイド機構１３とボールネジ１０との位置は、相互が図示の例とは逆に配置されてもよい。コンベア５，６にはボールネジ１０を貫通させる貫通部１８が形成されている。貫通部１８は、本実施の形態では、例えば、上下に長い矩形状穴として穿設されている。ここで、貫通部１８を介してボールネジ１０に貫通された一対のコンベア５，６は、図３に示すように、一方のコンベア５のみが連結部材１９を介してボールネジ１０に支持されている。他方のコンベア６は、貫通部１８にボールネジ１０が遊びを有して貫通されている。なお、図３中、２０，２０は、それぞれのコンベア５，６に設けられる搬送ベルトを表す。
【００２９】
図４に示すように、連結部材１９は、ボールネジ１０に螺合するナット体２１と、このナット体２１に固定されコンベア５，６のいずれか一方に選択的に固定可能な連結板２２とからなる。ナット体２１と連結板２２とは固定穴２３に挿通されたボルト２４（図５参照）によって一体に固定される。連結板２２には連結穴２５が穿設されている。連結板２２は、図４（ｂ）に示すように、上下方向の寸法が貫通部１８を通過可能に設定されている。なお、本実施の形態では、連結部材１９は、ナット体２１と連結板２２とがボルトで固定されている構成となっているが、ナット体２１と連結板２２とが一体に形成されて構成されていてもよい。
【００３０】
ここで、ボールネジ１０は、貫通部１８の中心部より上方に偏芯して貫通部を貫通している。一方、連結板２２は、ボールネジ１０の貫通する穴２６が、連結穴２５の穿設される一端側２２ａと反対側に片寄せられている。これにより、連結部材１９は、ナット体２１がボールネジ１０に螺合した状態で、連結穴２５の穿設された一端側２２ａが上方に配置されると、一端側２２ａが貫通部１８の周縁に重なるようになっている。貫通部１８の周縁に重なった一端側２２ａは、連結ボルト２７（図５参照）によって、コンベア５に固定される。
【００３１】
連結部材１９は、連結板２２が偏芯してボールネジ１０に取り付けられるため、連結ボルト２７による固定が解除されると、重力によって回転モーメントが発生し、ボールネジ１０が回転されても、図４（ｂ）に示すように、一端側２２ａが下方に配置された状態の姿勢を保持するようになっている。
【００３２】
連結部材１９は、一対のコンベア５，６のいずれか一方に対して、コンベア５，６の外側で固定される。すなわち、従来装置のように一対のコンベアの内側にコンベア支持体（係止部）が突出しなくなり、一対のコンベア５，６の間で連結部材１９が挟まれることがなく、一対のコンベア５，６間の幅が従来装置より狭められるようになる。この結果、より小さい幅の基板１７が搬送できるようになっている。
【００３３】
コンベア５，６は、連結部材１９が固定されない側のものが（本実施の形態ではコンベア６）固定部材２８によって側板４に固定される。すなわち、固定部材２８は、一対のコンベア５，６のいずれか一方を外側に位置する近接の側板３，４に対して、選択的に固定可能にしている。この固定部材２８は、従来と同様なボルトとスペーサを用いることができる。
【００３４】
次に、上記のように構成された基板搬送装置の作用を説明する。
図５は連結部材の固定解除時の状態を示す貫通部の拡大断面図、図６は貫通部に対して通過可能に回転配置された連結部材を示す貫通部の拡大断面図、図７は連結部材がボールネジに沿って移動する過程の幅可変機構を示す正面図、図８は逆のコンベアに付け替えられる連結部材を示す貫通部の拡大断面図、図９は搬送基準面が逆に設定された幅可変機構を示す正面図である。
【００３５】
本実施の形態では、当初設定において、コンベア６が固定部材２８によって側板４に固定されることで、搬送基準面となっている。これにより、駆動モータ１２の駆動によりボールネジ１０が回動されると、連結部材１９を介してコンベア５が、コンベア６に対して接離移動されるが、コンベア６では貫通部１８でボールネジ１０が空転するのみとなる。これにより、コンベア６を搬送基準面としてコンベア５，６の幅が変更可能となる。
【００３６】
一方、搬送基準面を６からコンベア５へ設定変更するには、先ず、図５に示すように、連結板２２をコンベア５に固定している連結ボルト２７を外す。次いで、図６に示すように、連結板２２の一端側２２ａが下方となるように、連結部材１９を回転させる。この状態で、ボールネジ１０を駆動モータ１２によって駆動すると、連結部材１９の回転位置が重力によって保持されることから、連結部材１９のナット体２１がボールネジ１０と相対回転され、図７に示すように、コンベア６の方向へボールネジ１０に沿って移動される。
【００３７】
次に、連結部材１９がコンベア６の貫通部１８を通過したら、連結板２２の一端側２２ａが上方となるように連結部材１９を手動で回転し、連結ボルト２７を用いて連結板２２をコンベア６へ固定する。次いで、コンベア６と側板４とを固定していた固定部材２８を外し、図９に示すように、当該固定部材２８にてコンベア５と側板３とを固定する。
【００３８】
この結果、コンベア５は駆動モータ１２の駆動によりボールネジ１０が回動されてもその位置に固定され、コンベア６はボールネジ１０の回動により連結部材１９のナット体２１と共に所定方向に移動可能になる。すなわち、搬送基準面が逆に設定されたことになる。
【００３９】
このような基板搬送装置１によれば、ボールネジ１０を一対の側板３，４に支持し、このボールネジ１０が貫通する貫通部１８を一対のコンベア５，６に形成し、ボールネジ１０に螺合されいずれか一方のコンベア５，６に固定可能となった連結部材１９を貫通部１８に通過可能に形成し、いずれか他方のコンベア５，６を固定部材２８によって側板３，４と固定可能としたので、従来、一対のコンベアのそれぞれに取り付けられるコンベア支持体（ナット体，係止部），ベアリングの４部品，１つの固定部材（スペーサ）の合計５部品が必要であったのに対し、１つの連結部材１９，１つの固定部材２８の合計２部品で、搬送基準面を逆に設定することができるようになる。これにより、部品点数を減らして、装置を小型化かつ軽量化できるとともに、構造を簡素にして、装置コストを低減することができる。
【００４０】
なお、上述した連結部材１９，貫通部１８及びガイド機構１３の構成は、それに限定されるものではなく、本発明に係る基板搬送装置においては、以下の変形例の構成に代えて備えることもできる。
【００４１】
図１０（ａ）は変形例に係る連結部材の固定状態を示す説明図、図１０（ｂ）は貫通部通過時の状態を示す説明図である。
この変形例では、連結部材３０が、ボールネジ１０に螺合するナット体２１と、ナット体２１に固定されコンベア５，６に固定可能な連結板３１とからなる。連結部材３０は、外形の一部分をボールネジ１０の中心より上方へ突出させるとともに左右非対称に形成されている連結部３２を有している。連結部３２は、例えば、図例のように略コ字形に形成することができる。また、貫通部３３は、連結部３２を下方に位置させて、図１０（ｂ）に示すように、連結部材３０の通過を可能とした形状に形成されている。
【００４２】
この変形例では、連結板３１が連結部３２を有し、貫通部３３が連結部３２を下方に位置させたときに当該連結板３１を通過可能な形状としているので、連結板３１は、コンベア５，６との固定が解除されると連結部３２の重心バランスの不均衡により自動的に回転して連結部３２を下方とした姿勢となる。そして、ボールネジ１０を回転させることによって、連結部材３０をボールネジ１０に沿って移動させ、貫通部３３を通過させてコンベア５，６の外側へ配置させることができる。これにより、一方のコンベア５から他方のコンベアへ６の連結部材３０の付け替えを簡単に行うことができる。
【００４３】
図１１（ａ）は他の変形例に係る連結部材の固定状態を示す説明図、図１１（ｂ）は貫通部通過時の状態を示す説明図である。
この変形例では、貫通部４０が、連結部３２の通過部分を一部除去して開放させた切欠部で形成されている。したがって、連結部材３０が固定可能で、且つ連結部材３０が通過可能な貫通部４０をより小さく形成することができ、装置をより小型化かつ軽量化することができる。
【００４４】
図１２は変形例に係るガイド機構を備えた幅可変機構を示す平面図である。
この変形例では、ボールネジ１０を挟んで、基板１７の搬送方向の上流側と下流側とに、上記と同様の一対のガイド機構１３が設けられている。その他は、上記の基板搬送装置１と同様の構成となっている。したがって、このような変形例とすることで、コンベア５，６のガイド部が増し、接離移動時におけるコンベア５，６の傾斜を抑制して、よりスムーズな可動を可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明に係る基板搬送装置における幅可変機構の平面図である。
【図２】図１におけるガイド機構を示す斜視図である。
【図３】図１における幅可変機構を基板搬送方向下流側から見た正面図である。
【図４】（ａ）連結部材の固定状態を示す説明図である。  （ｂ）連結部材の貫通部通過時の状態を示す説明図である。
【図５】連結部材の固定解除時の状態を示す貫通部の拡大断面図である。
【図６】貫通部に対して通過可能に回転配置された連結部材を示す貫通部の拡大断面図である。
【図７】連結部材がネジ軸（ボールネジ）に沿って移動する過程の幅可変機構を示す正面図である。
【図８】逆のコンベアに付け替えられる連結部材を示す貫通部の拡大断面図である。
【図９】搬送基準面が逆に設定された幅可変機構を示す正面図である。
【図１０】（ａ）変形例に係る連結部材の固定状態を示す説明図である。  （ｂ）変形例に係る連結部材の貫通部通過時の状態を示す説明図である。
【図１１】（ａ）変形例に係る連結部材の固定状態を示す説明図である。  （ｂ）変形例に係る連結部材の貫通部通過時の状態を示す説明図である。
【図１２】変形例に係るガイド機構を備えた幅可変機構を示す平面図である。
【図１３】従来の基板搬送装置における幅可変機構を示す側面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１…基板搬送装置
３，４…一対の側板
５，６…一対のコンベア
１０…ボールネジ（ネジ軸）
１８…貫通部
１９，３０…連結部材
２１…ナット体
２８…固定部材
３１…連結板
３２…連結部
Ｗ…幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2005289557.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2005289557.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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