(57)【要約】【課題】  本発明は、耐久性に優れる超音波リニアモータの駆動装置を提供することを課題とする。【解決手段】  ベース体１２にレール１１を係合させ、レール１１の左右の両側面１１ｃ、１１ｄとベース体の対向面１２ｃ、１２ｄとの間に駆動部２０を介在させ、ベース体１２に係合するレール１１を相対移動自在とした超音波リニアモータの駆動装置１０において、駆動部２０は、レールの両側面１１ｃ、１１ｄに接触させるローラ手段２５、２５と、このローラ手段２５、２５に回転力を付与する超音波振動子２１、２１と、この超音波振動子２１、２１をレール側へ付勢する付勢部材２２、２２とからなり、左右の超音波振動子２１、２１の振動を駆動源としてレール１１に沿ってベース体１２を直線的に移動させることができるように構成する。【選択図】      図１
2005328594.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース体にレールを係合させ、前記レールと前記ベース体との間に駆動部を介在させ、前記ベース体に係合する前記レールを相対移動自在とした超音波リニアモータの駆動装置において、
前記駆動部は、前記レールの両側面に接触させるローラ手段と、
このローラ手段に回転力を付加する超音波振動子と、
この超音波振動子と前記ローラ手段とを前記レール側に付勢する付勢手段と、
から構成したことを特徴とする超音波リニアモータの駆動装置。
【請求項２】
前記超音波振動子と前記ローラ手段と前記付勢手段とは、保持枠体に一括収納し、この保持枠体を介して前記ベース体に取付けると共に、前記ローラ手段は保持枠体に着脱自在としたことを特徴とする請求項１記載の超音波リニアモータの駆動装置。
【請求項３】
前記レールは、上側に前記ベース体の荷重受け面を有し、左右側に内方傾斜面を備え、
前記ベース体の対向面に備える前記ローラ手段により前記内方傾斜面を挟持するように構成したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の超音波リニアモータの駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波振動子の振動を駆動源として、レールに沿ってベース体を軸方向に相対移動させる超音波リニアモータの駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、中央部に駆動源として圧電素子を備え、両端部に摺動部を備えたベース体とこのベース体の摺動部を支持するレールとからなり、このレールにベース体の摺動部を当て、レールに対しベース体を相対移動させる超音波リニアモータが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平６−６９８９号公報（図１０）
【０００３】
特許文献１を次図に基づいて説明する。
図１０は従来の技術の基本構成を説明する図であり、レール１０１の上に弾性体により形成したベース体１０３を載せ、このベース体１０３の上に圧電素子１０４、１０４を所定の間隔で取付け、ベース体１０３の左右に摺動部１０５、１０５を設ける。
ベース体１０３は、圧電素子１０４、１０４と、摺動部１０５、１０５とからなる部材であり、従来技術の例によれば、ベース体１０３は超音波振動子１１２を兼ねる。
レール１０１に対するベース体１０３のガイドは、ガイド機構１１０により行う。
【０００４】
ガイド機構１１０は、ガイドレール１０１の側部に形成した溝１０６と、この溝１０６の左右方向に摺動自在に嵌めたリニアガイド１０７と、このリニアガイド１０７から突出させた突起１０８と、ベース体１０３から突出させた突起１０９と、突起１０８と突起１０９とをつなぐばね１１１とから構成する。
【０００５】
このベース体１０３が有する圧電素子１０４、１０４に所定の周波数をもつ電圧を印加し、圧電素子１０４、１０４を振動させ、左右の摺動部１０５、１０５に発生した振動により、ベース体１０３（超音波振動子１１２）をレール１０１に沿って軸方向に相対移動させるというものである。
【０００６】
しかし、ベース体１０３（超音波振動子１１２）の荷重は、摺動部１０５、１０５で受けるため、長期間の使用により摺動部の摩耗が大きくなる。とりわけ、ダストなどの異物が多く浮遊する工場などの環境下において、長期間使用すると摩耗は早くすすみ、寿命が短くなるという問題がある。
このため、ベース体１０３（超音波振動子１１２）の定期的な交換などのメンテナンスが必要となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明は、耐久性に優れる超音波リニアモータの駆動装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に係る発明は、ベース体にレールを係合させ、レールとベース体との間に駆動部を介在させ、ベース体に係合する前記レールを相対移動自在とした超音波リニアモータの駆動装置において、駆動部は、レールの両側面に接触させるローラ手段と、このローラ手段に回転力を付加する超音波振動子と、ローラ手段と超音波振動子とをレール側に付勢する付勢手段とから構成したことを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る発明は、超音波振動子とローラ手段と付勢手段とは、保持枠体に一括収納し、この保持枠体を介してベース体に取付けると共に、ローラ手段は保持枠体に着脱自在としたことを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係る発明は、レールは、上側に前記ベース体の荷重受け面を有し、左右側に内方傾斜面を備え、ベース体の対向面に備えるローラ手段により内方傾斜面を挟持するように構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る発明では、ベース体にレールを係合させ、レールの両側面に駆動部を介在させたので、駆動部が発生する駆動力は、ベース体の対向面からレールの両側面に向けかかる。
駆動部には、超音波振動子とローラ手段とをレール側に付勢させた付勢手段を備えたので、レールへの付勢力を最適値に設定することができる。
この結果、最適な駆動トルクを確保することができるという利点がある。
【００１２】
加えて、駆動源となる超音波振動子は左右対称に備えたので、駆動力を強化することができると共に、ベース体を左右のバランス良く駆動することができる。
この結果、ベース体を強力且つ円滑に移動することができるという利点がある。
【００１３】
請求項２に係る発明では、ローラ手段を保持枠体に対し着脱自在に備えたので、ダストなどの異物が多く浮遊する工場などの環境下で、ローラ手段の摩耗・劣化により交換頻度が高い場合であっても、ローラ手段を容易に交換することができる。
この結果、ローラ手段のメンテナンス性を大幅に向上することができるという利点がある。
【００１４】
請求項３に係る発明では、レールは、上側にベース体の荷重受け面を有し、左右側に内方傾斜面を備え、ベース体の対向面に備えるローラ手段により内方傾斜面を挟持するように構成した。
【００１５】
すなわち、レール左右側に備えた内方傾斜面にローラ手段を斜め上方に向け当て、かつレールの上面側でベース体の荷重を受け、レールをローラと付勢手段とにより挟持するように構成したので、レールに対しベース体の上下及び左右のガタが発生することを防止できるという利点がある。
加えて、ベース体の荷重の大半は、ベース体の上下面で受けるので、駆動部を構成する超音波振動子にはベース体の荷重がかかりにくい。
この結果、駆動部に備える超音波振動子の摩耗を大幅に減らし、超音波振動子の耐久性を向上することができる。
【００１６】
さらに、ベース体の駆動源となる超音波振動子を含む駆動部は、ベース体の内側に備えたので、駆動源をコンパクトに配置することが可能となる。
例えば、モータと、ボールねじなどから構成する駆動機構は、通常、複雑な機構を有し、スペースや重量が嵩むことになるが、このような駆動機構は不要となる。
この結果、駆動機構を軽量・コンパクト且つシンプルに構成することができるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明を実施するための最良の形態を添付図に基づいて以下に説明する。なお、図面は符号の向きに見るものとする。
図１は本発明に係る超音波リニアモータの駆動装置の断面図であり、超音波リニアモータの駆動装置１０は、レール１１にベース体１２を相対移動自在に載せ、レール上面１１ａとベース体下面１２ｂとの間にベアリング１３を介在させ、レールの両側面１１ｃ、１１ｄと、このレール１１を取り囲むベース体１２との間に駆動部２０、２０を介在させたものである。
【００１８】
ベース体１２は、このベース体下面１２ｂに備えベース体１２の荷重を受けるベアリング１３と、このベアリング１３の左右に配置し振動を発生する超音波振動子２１、２１と、これらの超音波振動子２１、２１をホールドする保持枠体を兼ねるベース体１２と、このベース体１２と超音波振動子２１、２１との間に嵌め、超音波振動子２１に付勢する左右の付勢部材２２、２２と、これらの付勢部材２２、２２により、超音波振動子２１、２１と一体でガイド面となる左右の両側面１１ｃ、１１ｄの方向に摺動自在に付勢する左右のローラ手段２５、２５とを備えるというものである。
【００１９】
ローラ手段２５は、ローラ手段２５の左右に支持部材２６、２６を介在させ、支持部材２６、２６の間にローラ手段２５を挟み、ローラ手段２５の中心に軸部材２７を通し、この軸部材２７を中心として回転自在に回転する部材である。
【００２０】
すなわち、ベース体１２にレール１１を係合させ、レール１１の左右面とベース体１２との間に駆動部２０を介在させ、ベース体１２に係合するレール１１を相対移動自在とした超音波リニアモータの駆動装置１０において、駆動部２０は、ベース体側面２８となるベース体対向面１２ｃ、１２ｄにより付勢部材２２を介して支持されるローラ手段２５、２５と、これらのローラ手段２５、２５に回転力を付与する超音波振動子２１、２１と、この超音波振動子２１、２１をホルダ部材２３、２３を介してレールの両側面１１ｃ、１１ｄへ付勢する付勢部材２２、２２とからなり、左右の超音波振動子２１、２１の振動を駆動源としてレール１１に沿ってベース体１２を直線的に移動するように構成する。
【００２１】
ここで、超音波振動子２１、２１と一体化されたホルダ部材２３、２３は、ベース体１２に形成した嵌合穴１２ｅ、１２ｆにより摺動自在に支持されるが、図２において説明するストッパーにより保持される。
なお、ホルダ部材２３は、超音波振動子２１を収納する役割をもつ部材である。また、
超音波振動子２１は、圧電素子２１ａに振動弾性体２１ｂを貼付けた部材である。
【００２２】
本実施例において、ベース体１２の荷重は、ベース体１２側に取付けたベアリング１３で受ける。このベアリング１３でベース体１２の荷重を受け、ベース体１２を、レール１の左右の両側面１１ｃ、１１ｄに接触させたローラ手段２５、２５により駆動する。
すなわち、ベース体１２の荷重を受ける面と、ベース体１２を駆動する面とは異なる。
Ｅはレール１１に対するベース体１２の位置検出用エンコーダである。
【００２３】
ローラ手段２５の材質は鋼としたが、アルミニウム、又は樹脂でも差し支えない。
また、超音波振動子２１を付勢する左右の付勢部材２２は、弾性部材であり、本実施例においてはばねを採用したが、ゴム材や樹脂材などでも差し支えない。
なお、本実施例において、ベース体１２と超音波振動子２１との間に保持枠体を介在させても良い。保持枠体を介在させた例については、図６で説明する。
【００２４】
図２は図１の２−２線矢視図であり、ホルダ部材２３をベース体１２に嵌合する状態を示す。
超音波振動子２１（図１参照）は、圧電素子２１ａと振動弾性体２１ｂとからなる部材である。このうち、圧電素子２１ａは、正転用と逆転用の圧電素子２１ａが組合せられて１セグメントを構成しており、４セグメントの超音波振動子２１、２１、２１、２１からなり、図においては、４セグメントの振動弾性体２１ｂ、２１ｂ、２１ｂ、２１ｂをみることができる。
【００２５】
各超音波振動子２１は、不図示の制御回路に接続されている。
ホルダ部材２３は、ベース体１２に形成した嵌合穴１２ｅにより摺動自在に支持されるが、ストッパー２９、２９により左右及び上方（図表から裏の方向）で保持され、ベース体１２と一体となる部材である。２９ａ…（・・・は複数を示す。以下同じ。）はストッパー固定ボルトである。
【００２６】
ベース体１２は、超音波振動子２１（図１参照）をホールドする保持枠体を兼ねる部材であり、ベース体１２に超音波振動子２１を嵌め、この超音波振動子２１に隣接して４つのローラ手段２５・・・を回転自在に取付ける。
【００２７】
各々のローラ手段２５は、超音波振動子２１の楕円運動により駆動され、回転するように、所定の間隔で配置する。ローラ手段２５・・・の回転方向は、圧電素子２１ａ（図１参照）に加える交流電圧の位置を不図示の制御回路により変化させることで、正転又は逆転するように制御可能である。詳細には、図４で説明する。
【００２８】
図３は本発明に係る駆動部の斜視図であり、駆動部２０は、超音波リニアモータの駆動装置のうち、ベース体１２（図１参照）を駆動する役割を担う部材である。
ローラ手段２５・・・を固定する支持部材２６・・・、２６・・・は、ローラ手段の軸部材２７・・・を軸支持部３１・・・に嵌め、支持平ビス３２・・・、３２・・・によりローラ手段２５・・・を超音波振動子２１に回転自在に支持する部材である。
【００２９】
ローラ手段２５・・・を超音波振動子２１に対し着脱自在に備えたので、ダストなどの異物が多く浮遊する工場などの環境下で、ローラ手段２５・・・の摩耗・劣化によりローラ手段２５・・・を交換頻度が高い場合であっても容易に交換することができる。
この結果、ローラ手段２５・・・のメンテナンス性を大幅に向上することができる。
【００３０】
図４は駆動部の作用図であり、超音波振動子２１が振動し、超音波振動子２１に隣合わせて４つ取付けたローラ手段２５・・・を回転させる動作原理を説明する。
前述のように、本実施例では、超音波振動子２１を構成する圧電素子２１ａは、４つのセグメントからなる。そして、１つのセグメントには、２種類の分極領域２１ａｐと２１ａｎとを有する。
各セグメントには、ローラ手段２５・・・に駆動力を伝達するため、超音波振動子２１・・・の表面３５・・・上に、側面視矩形形状を呈する突起部３６・・・が付設される。
【００３１】
（ａ）超音波振動子の各セグメントに交流電圧を加えていない状態を示し、超音波振動子２１は振動せず、超音波振動子の表面３５に付設した突起部３６に動きはない。
なお、突起部３６の位置をＰａ・・・にて図示する。
【００３２】
（ｂ）は超音波振動子の各セグメントの分極領域２１ａｎに単相交流電圧を印加したときの状態であり、超音波振動子の表面３５は振動を開始し、側面視で波形の面を形成する。表面３５に備える突起部３６には反時計回りの回転振動Ｐｂ・・・が発生する。この回転力が、ローラ手段２５の腹面３７・・・に接触することでローラ手段２５に時計回りの駆動力を付与する。
最終的には、ローラ手段２５に支持された超音波振動子２１により、図右向きの力Ｆ１が発生する。
【００３３】
（ｃ）は超音波振動子の各セグメントの分極領域２１ａｐに単相交流電圧を印加したときの状態であり、超音波振動子２１に図左向きの力Ｆ２を付与することができることを示す。
【００３４】
超音波振動子の表面３５に形成した波形の位相は、（ｂ）とは反対になり、波形の進行に伴い、表面３５に備える突起部３６には、時計回りの回転振動Ｐｃ・・・が発生する。この回転力が、ローラ手段２５の腹面３７・・・に接触することでローラ手段２５に反時計回りの駆動力を付与し、ローラ手段２５に支持した超音波振動子２１により、図左向きの力Ｆ２が発生する。
【００３５】
このように、本実施例の駆動装置によれば、交流電圧を加える圧電素子の領域を切り替えるだけで、力を付与する向きを変更できるため、ローラ手段２５により支持される超音波振動子２１をＦ１及びＦ２の双方向に駆動可能となる。
【００３６】
ローラ手段の腹面３７・・・に付与する回転力により、ローラ手段２５・・・がレール１１の上を図右側に回転すると共に、このローラ手段２５・・・と支持部材２６を介して回転自在に一体化した超音波振動子２１に力Ｆを付与し、超音波振動子２１と一体化して取付けたベース体１２（図１参照）を往復移動させることができる。
【００３７】
図１に戻って、本発明の作用を説明する。
ベース体１２とレール１１を相対移動自在とし、駆動部２０は、レールの両側面１１ｃ、１１ｄとベース体の対向面１２ｃ、１２ｄとの間に介在させ、ローラ手段２５、２５には、超音波振動子２１に付勢する付勢部材２２を備えたので、レール１１への付勢力を最適な値に設定することができる。
この結果、最適な駆動トルクを確保することができる。
【００３８】
加えて、駆動源となる超音波振動子２１は、レール１１に対し軸線方向に直交して対向させて備えたので、駆動力を強化することができると共に、ベース体１２を左右のバランス良く駆動することができる。
この結果、ベース体１２の強力且つ円滑な動きを確保することができる。
【００３９】
さらに、ベース体１２の荷重は、レール上面１１ａとベース体下面１２ｂとの間で受けるため、ベース体１２の荷重を受ける面と駆動力を受ける面とは異なり、ベース体１２から受ける鉛直方向にかかる荷重は、水平方向に配置したレール上面１１ａで受け、水平方向に付勢する駆動力はレールの両側面１１ｃ、１１ｄに備える駆動部２０で受けるようにしたので、ベース体１２へ荷重はかかりにくい。
すなわち、ベース体の荷重の大半は、ベース体の上下面で受けるので、駆動部を構成する超音波振動子２１にはベース体の荷重がかかりにくい。
【００４０】
さらにまた、駆動力のかかる面である左右両側面は、鉛直方向に延ばしたので、水平面とは異なり、チリ、ホコリなどの異物も付着しにくい。
この結果、駆動部２０に備える超音波振動子２１の摩耗を大幅に減らし、超音波振動子２１の耐久性を向上することができる。
【００４１】
なお、本実施例において、ベース体１２をレール１１上で往復移動させることの他に、ベース体１２を固定し、ベース体１２に対してレール１１を進退自在に往復移動させることは差し支えない。
【００４２】
図５は別実施例に係る超音波リニアモータの駆動装置の斜視図であり、レール４２に備える上面４３と、ベース体４４に備える下面４５との間にベアリング４６を介在させ、レールの左右面４１ｃ、４１ｄを傾斜させ、傾斜させたレールの左右面４１ｃ、４１ｄに対向するベース体の左右面４４ｃ、４４ｄ（図示せず）との間に駆動部５０、５０（図示せず）を介在させたものである。
図において、駆動部５０を固定するため両端面に取付けるホルダ部材は省略した。
【００４３】
図６は図５の６−６線断面図であり、レール４２は、レール４２の左右に下向きに傾斜させて設けた傾斜壁となるレールの内方傾斜面４１ｃ、４１ｄと、これらの内方傾斜面４１ｃ、４１ｄを両側に挟み水平面となるレール上面４３とを備える。そして、左右の内方傾斜面４１ｃ、４１ｄに、ベース体４４が備えるローラ手段５１、５１を斜め上方に向け当て、ローラ手段５１、５１とベース体下面４５に備えるベアリング４６とでレール４２を挟持するように形成したことを特徴とする。
【００４４】
すなわち、レール４２は、レール上面４３と、レール左右側に設けた内方傾斜面４１ｃ、４１ｄとを備え、レール４２を挟持可能に構成した。
なお、超音波振動子５２は、圧電素子５２ａに振動弾性体５２ｂを貼付けた部材であり、正転逆転用の圧電素子からなる複数のセグメントを備える。ホルダ部材６３は、超音波振動子５２を収納する役割をもつ部材である。
【００４５】
さらに、ローラ手段５１、５１と、超音波振動子５２、５２と、付勢部材５３、５３などを保持する保持枠体５４、５４をベース体４４との間に介在させた。
レール左右側に設けた内方傾斜面４１ｃ、４１ｄにローラ手段５１、５１を斜め上方に向け当てたので、レール４２に対してベース体４４の上下及び左右のガタが発生する虞はなく、ガタの発生を防止する部材を追加することなくガタの発生を防止できる。
この結果、部品点数を削減することができるという利点がある。
【００４６】
さらにまた、ベース体４４の駆動源となる超音波振動子５２を含む駆動部５０は、ベース体４４の内側に備えたので、駆動源をコンパクトに配置することが可能となる。
例えば、モータと、ボールねじなどから構成する駆動機構は、通常、複雑な機構を有し、スペースや重量が嵩むことになるが、このような駆動機構は不要となる。
この結果、駆動機構を軽量・コンパクト且つシンプルに構成することができるという利点がある。
【００４７】
なお、本実施例において、ベース体４４をレール４２の上で往復移動させたが、ベース体４４を固定し、ベース体４４に対しレール４２を往復移動させることは差し支えない。
【００４８】
図７は別実施例に係る駆動部の分解斜視図である。
駆動部５０は、４つのセグメント化された超音波振動子５２を取付けたホルダ部材６３に、支持部材５５・・・、５５・・・を平ビス５６・・・、５６・・・を介して取付け、このホルダ部材６３に複数の付勢部材５３・・・を保持枠体５４の内底部５７に設けた窪み５８・・・に置き、これらの付勢部材５３・・・の上に超音波振動子５２を取付け済みのホルダ部材６３を嵌め、このホルダ部材６３の上で、且つ支持部材５５の軸支持部５９に複数のローラ手段５１・・・を軸部材６１・・・を介して載せることにより組立てる。６４は突起部である。
【００４９】
又、付勢部材５３により、ホルダ部材６３が所定以上に飛び出すことがないように、保持枠体５４の両端面に、ストッパプレート６６を設け、このストッパプレート６６に抜け止めフランジ６７を延設し、ホルダ部材６３及び超音波振動子５２の飛び出しを防止する。６８は固定ボルトである。図手前側の固定ボルトは省略した。
【００５０】
すなわち、駆動部５０は、ローラ手段５１・・・と、超音波振動子５２と、この超音波振動子５２を収納するホルダ部材６３と、このホルダ部材６３を保持するための保持枠体５４とを備え、ローラ手段５１・・・を保持枠体５４に対し着脱自在としたものである。
【００５１】
ローラ手段５１・・・を保持枠体５７に対し着脱自在に備えたので、ダストなどの異物が多く浮遊する工場などの環境下で、ローラ手段５１・・・の摩耗・劣化により交換頻度が高い場合であっても、ローラ手段５１・・・を極めて容易に交換することができる。
この結果、ローラ手段５１・・・のメンテナンス性を大幅に向上することができる。
【００５２】
なお、本実施例において、保持枠体５４と支持部材５５、５５とは別部品としたが、保持枠体５４と支持部材５５、５５とを一体化して１つの部品にすることは差し支えない。
加えて、本実施例において、メンテナンスを考慮して、支持部材５５、５５に備える軸支持部５９、５９は、支持部材５５，５５の上辺部５５ａ、５５ａに半円形状に形成し、軸支持部５９，５９とし、この軸支持部５９，５９にローラ手段５１の軸部材６１を載せるようにしたが、図３に示すように、軸支持部を支持部材の上部に円形状の穴を開け軸支持部としても良い。
【００５３】
超音波振動子５２に付勢する付勢部材５３の個数は４つとしたが、２つでも３つでも良く、任意の個数に設定可能である。
【００５４】
図８は別実施例に係るレールへの荷重状態を説明する図であり、荷重受け面としてのレールの内方傾斜面４１ｃ、４１ｄを斜辺７２とし、レール上面４３を底辺７１とした二等辺三角形になるようにした。
【００５５】
レール左右側に設けた内方傾斜面４１ｃ、４１ｄにローラ手段５１・・・を斜め上方に向け当て、レール４２を挟持可能に構成したので、レール４２に対してベース体４４（図６参照）の上下及び左右のガタが発生することはなく、ガタの発生を防止する部材を追加することなくガタの発生を防止できる。
この結果、部品点数を削減することができる。
【００５６】
ローラ手段５１、５１は左右対称に備えたので、ベース体４４（図６参照）を左右のバランス良く駆動することができる。
この結果、ベース体４４の円滑な動きを確保することができる。
【００５７】
加えて、駆動部には、超音波振動子とローラ手段とをレール側に付勢する左右の付勢手段を備えたので、レールへの付勢力を最適値に設定することができる。
この結果、最適な駆動トルクを確保することができるという利点がある。
【００５８】
図９は図６の別実施例図であり、図６と異なる点は、ベース体下面４５中央に備えたベアリング４６をベース体下面４５Ｂ両端部に備えたことであり、より正確には、ベース体下面４５Ｂとベース体の左右面７３ｃ、７４ｄとの交点７４、７４又は交点近傍に備えた点である。その他の構成は同一である。
【００５９】
ベアリング４６Ｂ、４６Ｂをベース体下面４５Ｂ両端部に備えたので、レール４２の上面左右に位置する凹部４２ｄ、４２ｄにて左右及び上方向からの荷重を受けることができ、ローラ手段５１、５１の荷重負担を軽減することができる。
【００６０】
尚、本発明は、実施の形態では、ダストなどの異物が多く浮遊する工場内の部品加工・組立工程において、加工機や組立機にワークを搬送、及びワークを着脱する際に使用する生産設備のロボットハンドや治具に適用するが、建設機械、農業機械など一般の機械設備にも適用可能であり、自動車や電気器具に適用することは差し支えない。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明は、工場内で使用する生産設備に適用すると好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明に係る超音波リニアモータの駆動装置の断面図である。
【図２】図１の２−２線矢視図である。
【図３】本発明に係る駆動部の斜視図である。
【図４】駆動部の作用図である。
【図５】別実施例に係る超音波リニアモータの駆動装置の斜視図である。
【図６】図５の６−６線断面図である。
【図７】別実施例に係る駆動部の分解斜視図である。
【図８】別実施例に係るレールへの荷重状態を説明する図である。
【図９】図６の別実施例図である。
【図１０】従来の技術の基本構成を説明する図である。
【符号の説明】
【００６３】
１０…超音波リニアモータの駆動装置、１１…レール、１１ａ…レール上面、１１ｃ…レールの左側面、１１ｄ…レールの右側面、１２…ベース体、１２ｂ…ベース体下面、１２ｃ…ベース体の左面、１２ｄ…ベース体の右面、１３…ベアリング、２０…駆動部、２１…超音波振動子、２２…付勢部材、２５…ローラ手段、２８…ベース体側面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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