(57)【要約】【課題】  端子領域におけるショート発生を抑制することが可能なプラズマディスプレイパネルを提供する。【解決手段】  任意の間隔をおいて互いに対向配置される第１基板及び第２基板と，前記第２基板と対向する前記第１基板上に形成されるアドレス電極と，前記第１基板及び第２基板に設定される表示領域上に配置されて放電セルを区画する隔壁と，前記第１基板と対向する前記第２基板上に前記アドレス電極と交差する方向に形成される放電維持電極とを含み，前記電極が，群（ｇｒｏｕｐ）別にくくられて前記表示領域内に位置する有効部と，前記有効部のピッチより小さい電極ピッチを有し，前記表示領域の外側に設定される端子領域に位置する端子部と，前記有効部と端子部とを連結する連結部とを含む。【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隔をおいて互いに対向配置される第１基板及び第２基板と；
前記第２基板と対向する前記第１基板上に形成されるアドレス電極と；
前記第１基板及び第２基板に設けられる表示領域上に配置され，放電セルを区画する隔壁と；
前記第１基板と対向する前記第２基板上に前記アドレス電極と交差する方向に形成される放電維持電極と；
を備え，
複数の電極群が前記表示領域内に位置する有効部と；
前記有効部のピッチより小さい電極ピッチを有し，前記表示領域の外側に設けられる端子領域に位置する端子部と；
前記有効部と前記端子部とを連結する連結部と；
を含み，
前記電極群のうち少なくとも一つの群において，前記端子部が前記電極群の中心から外側に行くほど，電極群に構成されるエレメントの長さが短くなるように形成されることを特徴とする，プラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記端子部は，前記電極群において部分的にエレメントの長さが短くなるように形成されることを特徴とする，請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記連結部を形成するエレメントの長さは，前記電極群の中心に向かうにしたがって一定の長さに収束することを特徴とする，請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記エレメントは，前記電極群の外側から中心に行くほどその曲率が小さくなるように形成されることを特徴とする，請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記連結部は，前記端子領域内に配置されるエレメントを有し，前記エレメントは，少なくとも一つの切曲部位を有して形成されることを特徴とする，請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記各エレメントには，少なくとも２つの直線状態に配置される電極から構成され，前記エレメントの切曲部位は，円弧状に配列されることを特徴とする，請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記電極が形成する間角は９０度以上であることを特徴とする，請求項６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記各エレメントの連結部は，前記有効部と実質的に平行に配置されて前記有効部にその一端が連結される第１電極と，第１電極及び前記端子部に連結される第２電極とを含み，前記電極は，前記電極群の外側から中心に行くほどその長さが短くなるように形成されることを特徴とする，請求項７に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
前記各エレメントは，これらの間角を鈍角に形成する少なくとも３本の直線状態の電極から構成され，前記エレメントの切曲部位は，円弧状に配列されることを特徴とする，請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記各エレメントの連結部は，前記有効部と実質的に平行に配置されてその一端が前記有効部に連結される第３電極と，前記端子部に一端が連結される第４電極と，傾いた状態に配置されて前記第３電極及び第４電極に連結される第５電極とを含み，前記第３電極〜第５電極は，前記第３電極〜第５電極の各電極群の外側から中心に向かうほどその長さが短くなるように形成されることを特徴とする，請求項９に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１１】
前記電極群において，前記連結部と端子部とを結ぶ接点を連結する仮想の線が直線をなすことを特徴とする，請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１２】
前記電極群において，前記連結部と端子部とを結ぶ接点を連結する仮想の線が曲線をなすことを特徴とする，請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，プラズマディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に，プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は，気体放電によって生成された真空紫外線で蛍光体を励起させて所定の映像を実現する表示装置であって，高解像度で大画面の実現が可能であるため，次世代薄型表示装置として脚光を浴びている。
【０００３】
近来，普遍的に用いられている３電極面放電構造の交流型ＰＤＰでは，各放電セルに対応して，後面基板にアドレス電極，隔壁，及び蛍光層が形成され，前面基板にスキャン電極及び共通電極からなる維持電極が形成される。アドレス電極及び維持電極は誘電層で覆われており，放電セルの内部は放電ガス（主に，Ｎｅ−Ｘｅ混合ガス）で満たされている。
【０００４】
アドレス電極とスキャン電極との間にアドレス電圧（Ｖａ）を印加して，アドレス放電を通じて発光が起こる放電セルを選択し，選択された放電セルのスキャン電極と共通電極との間に維持電圧（Ｖｓ）を印加すると，放電セル内にプラズマ放電が起こると同時に，プラズマ放電時に形成されるＸｅの励起原子から真空紫外線が放出されて，真空紫外線が蛍光層を励起させて可視光を発生することにより，所定の表示が行われる。
【０００５】
このように動作するＰＤＰにおいて，図１０に図示したように，電極２は，基板上に設定される表示領域１の外側に設定された端子領域３にその一端が延び，前記端子領域３において，前記一端をフレキシブル印刷回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ；  ＦＰＣ）やチップオンフィルム（ｃｈｉｐ  ｏｎ  ｆｉｌｍ；  ＣＯＦ）のような接続部材５と連結させて，図示していない駆動回路ボードからＰＤＰの駆動に必要な電圧の印加を受ける。
【０００６】
この時，前記電極２は，Ｐ１のピッチを有する有効部７と，Ｐ１より小さなＰ２のピッチを有する端子部９と，有効部７から端子部９に向かって左右対称になる斜線を描きながらピッチが徐々に小さくなる斜線部１１とからなる。
【０００７】
前記で，端子部９間のピッチを小さくする理由は，前記接続部材５の通常の構造では前記端子部９に前記接続部材５を安定的に連結することができず，その連結に必要なアラインマーク（図示せず）を前記端子領域３上に形成しておかなければならないので，これによる空間が必要であるためであり，さらに，多数の前記連結部材５が前記端子領域３の長さ方向に沿って配置される場合の相互間の電気的な干渉を避けるようにするためである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら，上記のような電極の構造を有するＰＤＰにおいて，その基板を効率的に使用するために前記表示領域１を拡張させたり，または高画質画面の実現のために前記電極の数を増加させたりすると，図１１に示したように，斜線部１１の縁部においてその間隔がより小さくなる（Ｄ１＜Ｄ２）。このような構造では，前記端子部９及び斜線部１１に対する良好なパターンの設計が難しくなり，実際の製造時，例えば露光及び現像工程時に，前記端子部９相互間または斜線部１１相互間に接触が誘発されてショートが発生する恐れがあった。
【０００９】
したがって，従来では，上記のような理由により，予め決められた基板上で前記表示領域を拡張させるのが難しかったため，基板の効率的な使用が妨害され，このような問題は，高画質ＰＤＰの製造を困難なものにしていた。
【００１０】
本発明は，上記問題点に鑑みてなされたものであり，本発明の目的は，表示領域を拡張し，または電極の数を増加する場合でも，端子領域におけるショート発生を抑制することが可能なプラズマディスプレイパネルを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため，本発明の第１の観点によれば，プラズマディスプレイパネルは，任意の間隔をおいて互いに対向配置される第１基板及び第２基板と；第２基板と対向する前記第１基板上に形成されるアドレス電極と；第１基板及び第２基板に設定される表示領域上に配置されて放電セルを区画する隔壁と；第１基板と対向する前記第２基板上に前記アドレス電極と交差する方向に形成される放電維持電極とを含み，電極は，群（ｇｒｏｕｐ）別にくくられて前記表示領域内に位置する有効部と；有効部のピッチより小さい電極ピッチを有し，表示領域の外側に設定される端子領域に位置する端子部と；有効部と端子部とを連結する連結部とを含むことを特徴としている。
【００１２】
電極群のうちの少なくとも一つの群において，前記端子部は，この群の中心から外側に行くほどそのエレメントの長さが短くなるように形成される。
【００１３】
前記端子部は，前記群において部分的にそのエレメントの長さが短くなるように形成される。
【００１４】
前記連結部を形成するエレメントは，前記群の中心に向かって凹んだ形状に形成されることができ，この時，前記エレメントは，前記群の外側から中心に行くほどその曲率が小さくなるように形成される。
【００１５】
前記連結部は，前記端子領域内に配置されるエレメントを有し，前記エレメントは，少なくとも一つの切曲部位を有して形成される。
【００１６】
各エレメントは，少なくとも２つの直線状態に配置される電極部から構成され，前記エレメントの切曲部位は，円弧状に配列される。
【００１７】
電極部が形成する間角は９０度以上をなす。
【００１８】
各エレメントの連結部は，前記有効部と実質的に平行に配置されて前記有効部にその一端が連結される第１電極部と，第１電極部及び前記端子部に連結される第２電極部とを含み，前記電極部は，前記電極群の外側から中心に行くほどその長さが短くなるように形成されることができる。
【００１９】
各エレメントは，これらの間角を鈍角に形成する３個の直線状態の電極部から構成され，前記エレメントの切曲部位は，円弧状に配列される。
【００２０】
各エレメントの連結部は，前記有効部と実質的に平行に配置されてその一端が前記有効部に連結される第３電極部と，前記端子部に一端が連結される第４電極部と，傾いた状態に配置されて前記第３電極部及び第４電極部に連結される第５電極部とを含み，前記電極部は，前記電極群の外側から中心に行くほどその長さが短くなるように形成されることができる。
【００２１】
電極群において，前記連結部と端子部とを結ぶ接点を連結する仮想の線は，直線または曲線からなる。
【００２２】
連結部を形成するエレメントの長さは，電極群の中心に向かうにしたがって一定の長さに収束するように構成してもよい。
【００２３】
また，上記課題を解決するため，本発明の別の観点によれば，所定の間隔をおいて互いに対向配置される第１基板及び第２基板と；第２基板と対向する前記第１基板上に形成されるアドレス電極と；第１基板及び第２基板に設けられる表示領域上に配置され，放電セルを区画する隔壁と；第１基板と対向する第２基板上にアドレス電極と交差する方向に形成される放電維持電極とを備え，それら電極は，１又は２以上の電極群別に分かれて表示領域内に位置する有効部と；有効部のピッチより小さい電極ピッチを有し，表示領域の外側に設定される端子領域に位置する端子部と；上記有効部と端子部とを連結する連結部とを含み，上記電極群のうちの少なくとも一つの群において，前記端子部がこの群の中心から外側に行くほどそのエレメントの長さが短くなるように形成されることを特徴としている。なお，有効部は，例えば，上記端子領域よりも垂直下方向に形成される表示領域内に備わる所定間隔を保ち配置される１又は２以上の電極群を指す。また電極群は例えば，１又は２以上の電極が１又は２以上の束になって構成されている。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したように，本発明によれば，表示領域が拡張されたり高画質の実現のために電極の数が増加された場合であっても，電極群の外側周辺部に位置する連結部において電極間の距離を充分に確保することができる。また，本実施例によるプラズマディスプレイパネルは，電極製造時のショート発生を防止して電極製造工程を安定化し，表示領域の拡張で基板をより効率的に使用し，高画質ＰＤＰの実現が容易になる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下，本発明の好適な実施の形態について，添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお，以下の説明及び添付図面において，略同一の機能及び構成を有する構成要素については，同一符号を付することにより，重複説明を省略する。
【００２６】
以下，添付した図面を参照して，本実施の形態にかかるプラズマディスプレイについて詳細に説明する。
【００２７】
まず，図１，図２，および図３を参照しながら，本実施の形態にかかるプラズマディスプレイについて説明する。図１及び図２は，各々，本発明の実施例によるプラズマディスプレイパネルの第１基板及び第２基板に備えられた電極を示した概略図であり，図３は，プラズマディスプレイパネルの内部構造を説明するための部分分解斜視図である。
【００２８】
図３を参照すると，本実施例によるプラズマディスプレイパネル（以下，ＰＤＰとする。）は，第１基板２及び第２基板４が任意の間隔をおいて互いに対向配置され，両基板の間の空間には放電セルが備えられて，各放電セルの独立的な放電メカニズムによる可視光の放出により任意のカラー映像を実現する。
【００２９】
上記構成について具体的に説明すると，第１基板２の内面には，一方向（図面のＹ方向）に沿ってアドレス電極６が形成され，アドレス電極６を覆いながら第１基板２の内面全体に第１誘電層８が形成される。なお，本実施の形態にかかるアドレス電極６は，例えば，図３に示すようにストライプパターンに形成され，隣接するアドレス電極６と所定の間隔をおいて並んで配置されるが，かかる例に限定されない。
【００３０】
第１誘電層８上には，隔壁１０，例えばアドレス電極６と平行なストライプパターン等の隔壁１０が形成され，隔壁１０の側面と第１誘電層８の上面とにかけて赤色，緑色，及び青色の蛍光層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂが順に備えられる。隔壁１０の形状は，ストライプパターンに限定されず，格子パターンのような閉鎖型パターン，またはそれ以外のパターンでもよい。
【００３１】
そして，第１基板２に対向する第２基板４の内面には，アドレス電極６と直交する方向（図３に示すＸ方向）に沿ってスキャン電極１４及び共通電極１６からなる維持電極１８が形成され，維持電極１８を覆いながら第２基板４の内面全体に透明な第２誘電層２０及びＭｇＯ保護膜２２が形成される。
【００３２】
本実施の形態で，スキャン電極１４及び共通電極１６は，各々ストライプパターンの透明電極１４ａ，透明電極１６ａと，上記透明電極１４ａ，透明電極１６ａの一側縁に位置する低抵抗のバス電極１４ｂ，バス電極１６ｂとからなる。透明電極１４ａ，透明電極１６ａとしては，インジウムすず酸化物（ＩＴＯ）が好ましく，バス電極１４ｂ，バス電極１６ｂとしては，銀，アルミニウムまたは銅を含む金属電極が好ましい。
【００３３】
上記第１基板２及び第２基板４の組み合わせにより，アドレス電極６と維持電極１８とが交差する放電空間が一つの放電セルを構成し，放電セルの内部は放電ガス（主に，Ｎｅ−Ｘｅ混合ガス）で満たされる。
【００３４】
上記の構成により，アドレス電極６とスキャン電極１４との間にアドレス電圧（Ｖａ）を印加して，アドレス放電を通じて発光が起こる放電セルを選択し，選択された放電セルのスキャン電極１４と共通電極１６との間に維持電圧（Ｖｓ）を印加すると，放電セル内にプラズマ放電が起こると同時に，プラズマ放電時に形成されるＸｅの励起原子から真空紫外線が放出されて，真空紫外線が蛍光層を励起させて可視光を発生することにより，所定の表示が行われる。
【００３５】
このように第１基板２及び第２基板４に各々備えられて放電セル内にプラズマ放電を起こす電極は，図１及び図２に図示したように，放電セルが位置して実質的な表示が行われる表示領域２４だけでなく，表示領域２４の外側の端子領域２６に一端が延び，端子領域２６で，図示していない接続部材に連結されて，ＰＤＰの駆動に必要な電圧の印加を受けるようになる。
【００３６】
ここで，本実施の形態にかかるＰＤＰは，端子領域２６における電極の構造を改善して，表示領域２４を拡張させたり，高画質を実現したりするために電極の数を増加させる場合でも，端子領域２６でのショート発生を抑制し，工程の安定性を確保する構成を提供する。上記構成は，特にアドレス電極６及びスキャン電極１４で有効であり，以下では，アドレス電極６を例に挙げて，端子領域２６での電極の構造について説明する。
【００３７】
図４は，本実施の形態にかかるプラズマディスプレイパネルの主要部位を説明するための部分拡大図である。図４を参照すると，アドレス電極６は，アドレス電極６が複数束ねられて形成される電極群（ｇｒｏｕｐ）から構成され，表示領域２４内に位置する有効部２８と，有効部２８の電極ピッチＰ１より短い電極ピッチＰ２を有し，表示領域２４の外側の端子領域２６のうちの第１基板２の最も外側に位置する端子部３０と，端子領域２６内で有効部２８と端子部３０とを連結する連結部３２とを含む。そして，端子部３０には，ある電極群の中心におけるアドレス電極６の一部に相当するエレメント３０ａの長さが最も長く，その電極群の中心から遠ざかるほどそのエレメント３０ａの長さが次第に短くして形成される。例えば，図４に示すように，電極群の中心に相当するアドレス電極６に係るエレメントが最も長く（エレメント３０ａ），そのエレメント３０ａのアドレス電極６の地点から水平左方向の方向に遠ざかるにしたがい，アドレス電極６のエレメントの長さが短くなっているのが分かる。またエレメントは，例えば，端子領域内に形成されたアドレス電極６を指すが，かかる例に限定されない。
【００３８】
なお，図４に示す第１基板上には１つの電極群が備わる場合を例に挙げて説明したが，１又は２以上の電極群であれば，かかる例に限定されない。例えば，５つの電極群が第１基板上に備わる場合でも実施可能である。
【００３９】
上記端子部３０の形状は，連結部３２が第１基板２の端部に向かって（図４で水平右方向に向かって）徐々に小さくなる電極ピッチを有しながら有効部２８と端子部３０とを連結するように形成される際，電極群の外側周辺部に位置する連結部３２の間に充分な間隔が確保されるようにして，連結部３２でショートが発生するのを抑制する役割を果たす。この時，端子部３０は，例えば連結部２８と端子部３０とを結ぶ接点を連結する仮想の線（図４において点線で表示）が直線となるように形成することができる。
【００４０】
また，一方で上記記端子部３０は，図５に図示したように，接点を連結する仮想の線が曲線（例えば，弧状）となるように形成することができる。
【００４１】
また，本実施の形態で，連結部３２は，そのエレメント３２ａが前記電極群の中心に向かって凹んだ曲線からなり，これらは電極群の外側から中心に行くほど小さい曲率（曲がり具合が小さい）に形成される。
【００４２】
このように，連結部３２が電極群の中心に向かって凹んだ曲線からなることにより，本実施の形態では，従来にかかるＰＤＰでは使用できなかった端子領域を効率的に使用することができるので，電極群の外側周辺部に位置する連結部３２で電極間の距離を容易に確保することができる。
【００４３】
上記端子部３０及び連結部３２の形状により，本実施の形態によるＰＤＰは，表示領域２４が拡張されたり同一な面積内で電極の数が増加した場合でも，電極群の外側周辺部に位置する連結部３２で電極間の距離を充分に確保して，電極製造時のショート発生を防止することができる。従って，本実施の形態によるＰＤＰは，電極製造工程を安定化させ，基板をより効率的に使用して，高画質ＰＤＰの実現が容易になる長所を有する。
【００４４】
以下，図６〜図９を参照して，本実施の形態にかかる変形例について説明する。
【００４５】
図６は，本実施の形態にかかるプラズマディスプレイの第１変形例であって，この場合は，上記説明の実施の形態にかかる構造を基本としながら，電極群の中心部に位置する端子部３０までのエレメント３０ｂは略同一な長さに形成されるが，その中心部から水平左方向にかけて，電極群の外側周辺部に位置する端子部３０のエレメント３０ｃは電極群の中心から遠くなるほど短い長さに形成されているのが分かる。
【００４６】
この時，電極群の外側周辺部に位置する連結部３２のエレメント３２ｂは，電極群の中心に向かって凹んだ曲線からなり，電極群の中心部に位置する連結部３２のエレメント３２ｃは，直線状態に配置されると同時に，有効部２８と端子部３０とを連結する。
【００４７】
また，上記電極群の外側周辺部に位置する連結部３２のエレメント３２ｂは，図７に示したように，その対応端子部３０ｃに連結される接点が仮想の曲線（例えば，弧状）となるように形成されることができる。
【００４８】
図８は，本実施の形態にかかるプラズマディスプレイの第２の変形例であって，この場合は，上記説明の実施の形態にかかる構造を基本としながら，連結部３４が端子領域２６内で屈折点Ｐを有する２つの直線状態の電極部３４ａ，電極部３４ｂからなる。この時，これら電極部３４ａ，電極部３４ｂが形成する間角は９０度以上である。
【００４９】
第２の変形例において，電極部３８は，有効部２８と実質的に平行に配置されてその一端が有効部２８に連結される第１電極部３４ａと，その両端が前記第１電極部３４ａ及び前記端子部３６に連結される第２電極部３４ｂとを含む。この時，前記第１電極部３４ａは，電極群の外側から中心に行くほど（水平右方向に行くほど）その長さを短くする。また，上記端子部３６は，連結部３４の第２電極部３４ｂとそのエレメント３６ａとを結ぶ接点を連結する仮想の線（図８において点線で表示）が曲線となるように形成されることができる。
【００５０】
次に，図９は，本実施の形態にかかるプラズマディスプレイの第３の変形例であって，この場合は，上記説明の実施の形態にかかる構造を基本としながら，連結部３８が端子領域２６内で２つの屈折点を有する３つの直線状態の電極部からなり，これらが形成する間角は鈍角である。
【００５１】
第３の変形例において，電極部３８は，有効部２８と実質的に平行に配置されて前記有効部２８に一端が連結される第４電極部３８ａと，その一端が前記端子部３０に連結される第５電極部３８ｂと，傾いた状態に配置されてその両端が前記第４電極部３８ａ及び第５電極部３８ｂに連結される第６電極部３８ｃとを含む。この時，各電極部は，前記電極群の外側から中心に行くほどその長さを短くする。
【００５２】
上記の第２の変形例及び第３の変形例にかかる構造では，電極の形成後に不良であるか否かを判定するパターン検査を行うのが相対的に容易であり，端子領域をより効率的に活用することができる。
【００５３】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例を想定し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は，プラズマディスプレイパネル等に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本実施の形態にかかるプラズマディスプレイパネルの第１基板に備えられた電極を説明するための概略図である。
【図２】本実施の形態にかかるプラズマディスプレイパネルの第２基板に備えられた電極を説明するための概略図である。
【図３】本実施の形態にかかるプラズマディスプレイパネルの内部構造を説明するための部分分解斜視図である。
【図４】本発明の本実施の形態にかかるプラズマディスプレイパネルの主要部位を説明するための部分拡大平面図である。
【図５】本実施の形態にかかるプラズマディスプレイパネルの主要部位を説明するための部分拡大平面図である。
【図６】本実施の形態にかかるプラズマディスプレイパネルの主要部位を説明するための部分拡大平面図である。
【図７】本実施の形態にかかるプラズマディスプレイパネルの主要部位を説明するための部分拡大平面図である。
【図８】本実施の形態にかかるプラズマディスプレイパネルの主要部位を説明するための部分拡大平面図である。
【図９】本実施の形態にかかるプラズマディスプレイパネルの主要部位を説明するための部分拡大平面図である。
【図１０】従来の技術によるプラズマディスプレイパネルの部分拡大平面図である。
【図１１】従来の技術によるプラズマディスプレイパネルの部分拡大平面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１，２４          表示領域
２                第１基板
３，２６          端子領域
４                第２基板
５              接続部材
６              アドレス電極
７，２８        有効部
８              第１誘電層
９，３０，３６  端子部
１０            隔壁
１１            斜線部
１２            蛍光層
１４            スキャン電極
１４ａ，１６ａ  透明電極
１４ｂ，１６ｂ  バス電極
１６            共通電極
１８            維持電極
２０            第２誘電層
２２            ＭｇＯ保護膜
３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３６ａ  エレメント
３２，３４，３８  連結部
３４ａ            第１電極部
３４ｂ            第２電極部
３８ａ            第４電極部
３８ｂ            第５電極部
３８ｃ            第６電極部
【図１】
2005123198.tif 000003
【図２】
2005123198.tif 000004
【図３】
2005123198.tif 000005
【図４】
2005123198.tif 000006
【図５】
2005123198.tif 000007
【図６】
2005123198.tif 000008
【図７】
2005123198.tif 000009
【図８】
2005123198.tif 000010
【図９】
2005123198.tif 000011
【図１０】
2005123198.tif 000012
【図１１】
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