(57)【要約】【課題】  取得した試料画像内に方向の異なる直線部分が存在している場合であっても、試料画像取得後における直線部分の検出を全て自動で行うことのできる画像表示方法及び画像表示装置を提供する。【解決手段】  試料７の画像を取得する画像取得手段と、取得した画像中での方向の異なる複数の境界部を抽出する境界部抽出手段と、抽出された各境界部における直線部分を認識し、これにより方向の異なる複数の直線部分を検出する直線部分検出手段と、検出された方向の異なる複数の直線部分に優先度を付与する優先度付与手段と、付与された優先度に応じて当該優先度に対応する直線部分の方向を画面内での基準方向に合わせて画像を表示する画像表示手段とを有する。ここで、上述した境界部の抽出、直線部分の検出、直線部分への優先度の付与は、メモリ１５に格納されたプログラムよって演算処理部１４にて実行される。【選択図】図１
2005123018.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の画像を取得する画像取得工程と、取得した画像中での方向の異なる複数の境界部を抽出する境界部抽出工程と、抽出された各境界部における直線部分を認識し、これにより方向の異なる複数の直線部分を検出する直線部分検出工程と、検出された方向の異なる複数の直線部分に優先度を付与する優先度付与工程と、付与された優先度に応じて当該優先度に対応する直線部分の方向を画面内での基準方向に合わせて画像を表示する画像表示工程とを有することを特徴とする画像表示方法。
【請求項２】
前記優先度付与工程において、方向の異なる直線部分ごとに、その直線部分の方向と同一方向となる直線部分の個数をカウントし、そのカウント値に応じて優先度を付与することを特徴とする請求項１記載の画像表示方法。
【請求項３】
前記境界部抽出工程において、ソーベルフィルタ演算により境界部が抽出されることを特徴とする請求項１若しくは２記載の画像表示方法。
【請求項４】
前記直線部分検出工程において、ハフ変換により直線部分が検出されることを特徴とする請求項１乃至３何れかに記載の画像表示方法。
【請求項５】
試料の画像を取得する画像取得手段と、取得した画像中での方向の異なる複数の境界部を抽出する境界部抽出手段と、抽出された各境界部における直線部分を認識し、これにより方向の異なる複数の直線部分を検出する直線部分検出手段と、検出された方向の異なる複数の直線部分に優先度を付与する優先度付与手段と、付与された優先度に応じて当該優先度に対応する直線部分の方向を画面内での基準方向に合わせて画像を表示する画像表示手段とを有することを特徴とする画像表示装置。
【請求項６】
前記優先度付与手段は、方向の異なる直線部分ごとに、その直線部分の方向と同一方向となる直線部分の個数をカウントし、そのカウント値に応じて優先度を付与することを特徴とする請求項５記載の画像表示装置。
【請求項７】
前記境界部抽出手段は、ソーベルフィルタ演算により境界部を抽出することを特徴とする請求項５若しくは６記載の画像表示装置。
【請求項８】
前記直線部分検出工程は、ハフ変換により直線部分を検出することを特徴とする請求項５乃至７何れかに記載の画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像表示方法及び画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子ビームを用いた走査電子顕微鏡や測長装置等の画像表示機能を備える装置において、電子ビームの試料への走査により取得した試料の走査像（試料画像）中の直線部分を認識し、当該直線部分と表示画面の基準軸との成す角度を検出し、当該角度に応じて画像（視野）の回転を行うものがある。
【０００３】
このような装置の例として、特開平７−１３４９６６号公報（特許文献１）に記載された走査電子顕微鏡があり、以下、当該特許文献１に記載された走査電子顕微鏡の構成について説明する。
【０００４】
特許文献１に示された走査電子顕微鏡において、電子ビームは、Ｘ方向偏向コイル及びＹ方向偏向コイルにより試料面をＸ，Ｙ方向に２次元走査される。Ｘ方向偏向コイル，Ｙ方向偏向コイルには、水平走査信号発生部，垂直走査信号発生部からの走査信号が、各々対応する加算回路を介して供給される。各加算回路には、角度検出装置から角度データが供給される。
【０００５】
走査像表示に用いられるＣＲＴの２つの偏向コイルには、それぞれ水平走査信号発生部，垂直走査信号発生部からの走査信号が供給される。また、検出器で検出された試料からの検出信号が、画像メモリ及びＣＲＴに輝度信号として供給され、ＣＲＴにより試料の走査像が表示される。そして、角度検出装置から角度データが各加算回路へ供給されることにより、試料上における試料走査方向を回転させ、ＣＲＴ画面内の視野を回転することができる。
【０００６】
このような構成からなる走査電子顕微鏡を用いて回転角度を検出する際には、エッジ部検出工程により試料走査像中のエッジ部を検出し、検出されたエッジ部を基に直線近似工程により直線近似を行ってエッジ部に対応する直線を求める。そして、表示画面の垂直方向軸と当該直線との成す角度Θを求める。
【０００７】
その後、当該直線を表示画面の垂直方向軸と一致させる場合には角度データをΘのままとし、また当該直線を表示画面の水平方向軸と一致させる場合には角度データをΘ−９０°として、角度検出装置から各加算回路へ当該角度データを供給する。これにより、各加算回路を介して当該角度データが加味された走査信号がＸ方向偏向コイル，Ｙ方向偏向コイルに供給されて電子ビームが改めて２次元走査されることとなり、所望とする走査像を得ることができる。
【０００８】
ここで、試料画像である走査像内に異なる直線部分が存在する場合には、上述の角度検出では困難な場合がある。その際には、単一の直線部分が検出されるように検出範囲を画像上で指定し、その後、回転角度検出を行うこととなる。
【０００９】
【特許文献１】特開平７−１３４９６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述の構成からなる走査電子顕微鏡においては、単一の直線部分が試料画像に含まれている際には、自動的に当該直線部分の検出を行うことができる。
【００１１】
しかしながら、異なる直線部分が試料画像内に含まれている場合には、上述のごとく、単一の直線部分が検出されるように検出範囲を画像上で指定する必要がある。この検出範囲の指定は、試料画像を目視にて確認しながらのオペレータによるマニュアル操作によって行われることとなる。
【００１２】
従って、この場合には、試料画像の取得後における直線部分の検出を全て自動的に行うことができないこととなり、オペレータの手間がかかるという要改善点があった。
【００１３】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、取得した試料画像内に異なる直線部分が存在している場合であっても、試料画像取得後における直線部分の検出を全て自動で行うことのできる画像表示方法及び画像表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明における画像表示方法は、試料の画像を取得する画像取得工程と、取得した画像中での方向の異なる複数の境界部を抽出する境界部抽出工程と、抽出された各境界部における直線部分を認識し、これにより方向の異なる複数の直線部分を検出する直線部分検出工程と、検出された方向の異なる複数の直線部分に優先度を付与する優先度付与工程と、付与された優先度に応じて当該優先度に対応する直線部分の方向を画面内での基準方向に合わせて画像を表示する画像表示工程とを有することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明における画像表示装置は、試料の画像を取得する画像取得手段と、取得した画像中での方向の異なる複数の境界部を抽出する境界部抽出手段と、抽出された各境界部における直線部分を認識し、これにより方向の異なる複数の直線部分を検出する直線部分検出手段と、検出された方向の異なる複数の直線部分に優先度を付与する優先度付与手段と、付与された優先度に応じて当該優先度に対応する直線部分の方向を画面内での基準方向に合わせて画像を表示する画像表示手段とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明においては、取得された試料の画像中での方向の異なる複数の境界部を抽出し、抽出された各境界部における直線部分を認識して方向の異なる複数の直線部分を検出し、検出された方向の異なる複数の直線部分に優先度を付与し、付与された優先度に応じて当該優先度に対応する直線部分の方向を画面内での基準方向に合わせて画像を表示する。
【００１７】
よって、試料画像の取得後における直線部分の検出を、方向の異なる複数の直線部分も含めて全て自動的に行い、その後、複数の直線部分に優先度を付与して付与された優先度に応じて画像を表示することとなる。従って、オペレータによって試料画像における検出範囲の指定を行う必要がなく、効率的に処理を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明における画像表示方法及び画像表示装置について説明する。
【００１９】
図１は、本発明における画像表示装置を示す概略構成図であり、当該画像表示装置は、試料の走査像が検出されて表示される走査電子顕微鏡の構成を備える測長装置の例となっている。同図において、１は電子銃であり、電子銃１から放出されて加速された電子ビーム６は、集束レンズ２及び対物レンズ４により試料７上に細く集束される。このとき、電子ビーム６は、走査コイル３によって偏向され、試料７上を走査する。
【００２０】
集束レンズ２、走査コイル３、及び対物レンズ４により電子光学系２０が構成され、これによりこの電子光学系２０によって電子ビーム６は制御されて試料７上に照射されることとなる。
【００２１】
このようにして電子ビーム６が照射された試料７からは、２次電子や反射電子からなる被検出電子１９が発生する。この被検出電子１９は検出器８により検出される。検出器８は、検出した被検出電子１９の検出結果に基づいて検出信号を出力する。出力された検出信号は、図示しない増幅器により増幅されてＡ／Ｄ変換器９に送られる。Ａ／Ｄ変換器９は、検出器８からの検出信号をディジタル信号に変換してバスライン１０に出力する。
【００２２】
ここで、試料７は、試料ステージ機構５に載置されている。この試料ステージ機構５は、試料７を水平方向、垂直方向、回転方向、及び傾斜方向に適宜移動させるためのものである。なお、試料ステージ機構５に載置された試料７に電子銃１から電子ビーム６が照射される際には、電子銃１と試料ステージ機構５との間の空間は、図示しない排気手段によって所定の真空度まで真空引きされる。
【００２３】
電子銃１、集束レンズ２、走査コイル３、対物レンズ４、及び試料ステージ機構５は、それぞれ被駆動要素１〜５として対応する駆動部１ａ〜５ａによって駆動制御される。これら駆動部１ａ〜５ａは、それぞれバスライン１０に接続されており、バスライン１０を介して送られた制御信号に応じてそれぞれ対応する被駆動要素１〜５を駆動制御する。
【００２４】
バスライン１０には、画像形成部１２が接続されており、Ａ／Ｄ変換器９からのディジタル信号を受けて試料７の走査像（画像）を形成する。画像形成部１２により形成された試料の走査像となる画像は、画像記憶部１３に記憶される。
【００２５】
画像記憶部１３に記憶された画像は、バスライン１０を介して演算処理部１４に送られ、演算処理部１４により所定の演算処理が行われる。なお、演算処理部１４にはメモリ１５が接続されている。このメモリ１５には、演算処理部１４において行われる演算処理を実行するためのプログラムが格納されている。
【００２６】
また、画像記憶部１３に記憶された画像は、バスライン１０を介して画像処理部１６に送られることにより所定の画像処理が行われ、画像処理部１６によって新たな画像が作成される。
【００２７】
さらに、バスライン１０には画像作成部１８が接続されており、画像記憶部１３に記憶された画像や画像処理部１６により処理されて作成された画像を組み合わせて、複数の画像を有する表示画像を作成する。
【００２８】
そして、バスライン１０にはＬＣＤやＣＲＴ等からなる画像表示部１８が接続されており、画像記憶部１３に記憶された画像、画像処理部１６により作成された画像、及び画像作成部１７により作成された画像等が表示される。
【００２９】
また、バスライン１０には入力部１９が接続されている。この入力部１９は、マウスやジョイスティック等のポインティングデバイス及びキーボードから構成されている。本発明における画像表示装置を使用するオペレータは、入力部１９を適宜手動操作することにより、後述するモードの設定や、電子ビーム６の照射条件や試料７の位置等を調整することができる。
【００３０】
なお、バスライン１０には制御部１１が接続されており、この制御部１１により上述の各構成要素を制御するととも、当該制御に必要とされる所定の演算が実行される。そして、当該画像表示装置は、上述のごとく測長装置の例であるので、取得した画像に基づく測長検査処理もこの制御部１１によって実行される。
【００３１】
ここで、この画像表示装置の動作には、観察モードと測長モードとがある。観察モードにおいては、試料の走査像である画像を取得して当該走査像を画像表示部１８に表示する。また、測長モードにおいては、観察モードにおいて取得した画像に基づいて測長検査を行う。
【００３２】
以上が本発明における画像表示装置の構成を示すものであり、以下に当該画像表示装置を用いた画像表示方法について説明する。
【００３３】
はじめに、オペレータによる入力部１９の操作より、画像表示装置の動作として観察モードが選択されて設定される。観察モードが設定されると、画像表示装置を構成する電子銃１、電子光学系２０、及び試料ステージ機構５は所定の条件で駆動制御され、これにより試料ステージ機構５に載置された試料７に電子ビームが照射される。このとき、上述の図示しない排気手段により電子銃１と試料ステージ機構５との間の空間は真空引きされている。
【００３４】
電子光学系２０を構成する走査コイル３により、電子ビーム６は偏向され、試料７上の所定領域を走査領域として２次元走査する。この電子ビーム６の２次元走査により、試料７上の当該走査領域からは２次電子もしくは反射電子等の被検出電子１９が発生する。
【００３５】
この被検出電子１９は検出器８により検出され、検出器８は被検出電子１９の検出結果に基づいて検出信号を出力する。出力された検出信号は増幅されてＡ／Ｄ変換器９に送られ、Ａ／Ｄ変換器９によりディジタル信号に変換される。この変換後のディジタル信号は、バスライン１０を介して画像形成部１２に送られる。
【００３６】
画像形成部１２は、当該ディジタル信号を受けて試料７の走査像を形成する。これにより、試料７の走査像である画像が取得される（画像取得工程）。
【００３７】
なお、このとき、検出器８、Ａ／Ｄ変換器９、及び画像形成部１２により画像取得手段が構成される。
【００３８】
本実施例において、このようにして試料７から取得された走査像の一例を図２に示す。ここで、図２は、本実施例における走査像の一例を示す画像である。
【００３９】
図２に示すような画像が走査像として画像形成部１２により形成された後、当該画像の画像データはバスライン１０を介して画像記憶部１３に送られ、当該画像データは画像記憶部１３内に一旦記憶される。さらに、画像記憶部１３に記憶された画像データはバスライン１０を介して画像表示部１８に送られ、当該画像データに対応する画像（走査像）が表示される。
【００４０】
このとき、画像表示部１８には図２に示す画像が表示画像として表示される。オペレータは、当該画像を目視にて確認し、この画像が所望の画像であるか否かを判断する。当該画像が所望とする画像ではない場合には、オペレータは入力部１９を操作し、制御部１１を介して試料ステージ機構５や電子光学系２０の駆動制御を行い、試料７上での電子ビーム６の走査領域を適宜変化させて、目的とする走査像を取得する。また、表示されている画像の焦点状態等が不適切である場合には同様に電子光学系２０を駆動制御して、適切な表示画像が得られるように調整する。
【００４１】
このようにして、画像表示部１８に表示された試料の走査像がオペレータの所望とする画像となった場合には、制御部１１の制御により、以下の工程を当該画像表示装置（測長装置）内部において自動的に行う。
【００４２】
まず、画像記憶部１３に記憶されている画像データを、バスライン１０を介して演算処理部１４に送る。演算処理部１４においては、当該画像データに対して第１の演算処理を行う。この演算処理はソーベル（Ｓｏｂｅｌ）フィルタ演算であり。当該演算処理によって画像内における境界部が抽出される。
【００４３】
図２に示す画像中では、方向の異なる複数の境界部が存在している。すなわち、同図に示された試料の画像は、凹凸形状を有する試料表面の画像となっており、この試料表面における凸部（稜部）及び凹部（谷部）が境界部に相当する。図２の例においては、主として３方向の境界部が存在している。例えば、図中において３１ａ〜３１ｃ及び３２ａ〜３２ｃで図示する部分である。ここで、３１ａ〜３１ｃは各方向での凸部の例を示しており、また、３２ａ〜３２ｃは各方向での凹部の例を示している。
【００４４】
そして、各方向の境界部３１ａ〜３１ｃ及び３２ａ〜３２ｃについて、各々同じ方向となっている境界部が別途複数存在している。つまり、例えば、境界部３１ａついて着目すると、当該境界部３１ａの方向と同一方向となっている他の境界部は、図２からわかるように、境界部３２ａを含めて複数個存在している。このことは、境界部３１ａとは方向が異なる境界部３１ｂ及び境界部３１ｃについても、それぞれ同様のことがいえる。
【００４５】
演算処理部１４でソーベルフィルタ演算を行うと、方向の異なる複数の境界部を含む画像中内の各境界部が抽出されることとなる。このようなソーベルフィルタ演算処理を実施した後の画像を図３に示す。ここで、図３は、図２の画像をソーベルフィルタ演算により処理した後の状態を示す画像である（境界部抽出工程）。
【００４６】
なお、このとき、演算処理部１４により境界部抽出手段が構成されることとなる。
【００４７】
演算処理部１４は、上述の境界部抽出工程を実施した後、これに引き続いて、第２の演算処理である画像中の直線部分を検出する直線部分検出処理を行う。この直線部分検出処理は、図３に示したソーベルフィルタ演算処理後の画像に対して、当該画像中での直線部分を検出する。
【００４８】
すなわち、この画像に対してハフ（Ｈｏｕｇｈ）変換を行い、当該画像中の全ての直線部分を認識する。これら直線部分は上記各境界部に対応しており、図３からわかるように、方向の異なる複数の直線部分が存在している。
【００４９】
従って、ハフ変換を行うことにより、画像中の全ての直線部分が認識され、方向の異なる複数の直線部分が検出される。なお、一例として、図２における境界部３１ａ及び境界部３２ａに対応する直線部分を、それぞれ図３中に３３ａ及び３４ａとして示す（直線部分検出工程）。
【００５０】
なお、このとき、演算処理部１４により直線部分検出手段が構成されることとなる。
【００５１】
さらに引き続いて、演算処理部１４は、直線部分検出工程において検出された方向の異なる複数の直線部分に優先度を付与する。この際には、まず、方向の異なる直線部分ごとに、その直線部分の方向と同一方向となる直線部分をカウントする。
【００５２】
このカウント処理について図４を参照して説明する。図４は、図３の画像を簡略化した模式図である。同図において、それぞれ方向の異なる３つの直線群４１〜４３が存在する。ここで、視覚的にわかりやすくするため、直線群４１における各直線部分を実線で表し、直線群４２における各直線部分を一点鎖線で表し、直線群４３における各直線部分を二点鎖線で表す。これら直線群４１〜４３のそれぞれについて、同一方向となっている直線部分の個数をカウントする。
【００５３】
図４の例においては、直線群４１では、同一方向となっている直線部分の個数は１３である。また、直線群４２では、同一方向となっている直線部分の個数は８個である。そして、直線群４３では、同一方向となっている直線部分の個数は５個である。なお、参考として、図４において、図３での直線部分３３ａ及び３４ａに対応する各直線部分を同様に３３ａ及び３４ａで示す。
【００５４】
演算処理部１４は、このカウント結果から、各直線群に優先度を付与する。本実施例においては、カウント値の大きなものから順に優先度が高くなるように優先度を付与する。従って、直線群４１には優先度１が付与され、また直線群４２には優先度２が付与され、さらに直線群４３には優先度３が付与される。この結果、直線群及びそれに属する直線部分に、上記カウント値に応じて優先度が付与される（優先度付与工程）。
【００５５】
なお、このとき、演算処理部１４により優先度付与手段が構成されることとなる。
【００５６】
このようにして付与された優先度のデータは制御部１１に送られる。制御部１１は、優先度が付与された直線部分（直線群を構成する直線部分）が、画像表示部１８における画面の基準方向に沿うための画像回転量を算出する。ここでは、基準方向として、当該画面の縦方向（Ｙ軸方向）に沿うための画像回転量とする。
【００５７】
本実施例においては、上述のごとく３つの優先度があり、上記優先度１に対応する画像回転量１、優先度２に対応する画像回転量２、及び優先度３に画像回転量３をそれぞれ算出する。
【００５８】
制御部１１にて算出された画像回転量１〜３の各データは、対応する優先度１〜３の各データとともに画像処理部１６に送られる。そして、画像処理部１６は、画像記憶部１３に記憶されている画像データ（図２に示す画像の画像データ）を読み出し、受けた優先度１〜３及びそれに対応する画像回転量１〜３の各データに基づいて、画像記憶部１３から読み出した画像データを画像処理する。
【００５９】
すなわち、当該画像データによる画像が、優先度ごとに対応する画像回転量だけ回転した回転画像を作成する。これにより、優先度１に対応する画像回転量１だけ回転した回転画像１が作成される。またこれと同様に、優先度２に対応する画像回転量２だけ回転した回転画像２、及び優先度３に対応する画像回転量３だけ回転した回転画像３が作成される。
【００６０】
これらの回転画像１〜３の各データは、対応する優先度１〜３とともに画像作成部１７に送られる。そして、画像作成部１７は、画像記憶部１３に記憶されている画像データ（図２に示す画像の画像データ）を読み出し、受けた優先度１〜３及びそれに対応する回転画像１〜３の各データと、画像記憶部１３から読み出した画像データとが同一の画像に含まれるような表示画像を作成する。
【００６１】
この表示画像の画像データはバスライン１０を介して画像表示部１８に送られて画像表示される（画像表示工程）。
【００６２】
なお、このとき、画像処理部１６、画像作成部１７、及び画像表示部１８により画像表示手段が構成されることとなる。
【００６３】
このときの表示画像の一例を図５に示す。ここで、図５は、画像作成部１７で作成された合成画像に基づく表示画像の一例である。
【００６４】
同図においては、画面５０の中央部に画像５４が位置している。この画像５４は、画像記憶部１３から読み出された画像データの画像である。また、画面５０の下部には３つの画像５１〜５３が位置している。画像５１は優先度１となっている回転画像１であり、画像５２は優先度２となっている回転画像２であり、画像５３は優先度３となっている回転画像３である。
【００６５】
ここで、画像５４中には、白抜きの直線１〜３が表示されている。これらの直線について説明すると、直線１は優先度１となっている直線部分と平行になっており、優先度１の直線部分の方向を示すものである。また、直線２及び直線３は、それぞれ優先度２及び優先度３となっている直線部分と平行になっており、各々優先度２及び優先度３の直線部分の方向を示すものである。
【００６６】
従って、画像５１は、画像５４中の直線１がＹ軸方向（基準方向）に沿って合うように画像５４が回転された回転画像１である。また、画像５２は、画像５４中の直線２がＹ軸方向に沿って合うように画像５４が回転された回転画像２である。そして、画像５３は、画像５４中の直線３がＹ軸方向に沿って合うように画像が回転された回転画像３である。
【００６７】
なお、各画像５１〜５３の画像中には、その優先度を示す数字が表示されている。すなわち、画像５１中には優先度を示す「１」が表示されている。そして、画像５２及び画像５３中には、それぞれの優先度「２」及び「３」が表示されている。
【００６８】
このように本発明においては、試料画像の取得後における直線部分の検出を、方向の異なる複数の直線部分も含めて全て自動的に行い、その後、複数の直線部分に優先度を付与して付与された優先度に応じて画像を表示することとなる。従って、オペレータによって試料画像における検出範囲の指定を行う必要がなく、効率的に処理を行うことができる。
【００６９】
この後、オペレータは、画像表示部１８により表示された図５の表示画像を目視にて確認する。そして、この表示画像中の各回転画像である画像５１、画像５２、及び画像５３を確認し、所望とする回転画像を選択する。この選択操作は、オペレータが入力部１９を操作することにより行われる。
【００７０】
入力部１９からの回転画像の選択情報は、バスライン１０を介して制御部１１に送られる。制御部１１は、選択された回転画像に対応する走査像（画像）を改めて所得するように各構成要素を制御する。この場合、試料ステージ機構５を駆動制御して試料７を回転させて走査像を得るようにしてもよい。また、電子光学系２０の走査コイル３を駆動制御して電子ビーム６の走査領域を回転させて走査像を得るようにしてもよい。
【００７１】
オペレータは、この後に測長モードを選択し、このようにして改めて取得された走査像を基に測長検査処理を行う。この際には、制御部１１の制御及び演算によって実行される。このとき、検出された直線部分と基準方向とが自動的に沿った状態となっており、これにより当該直線部分の方向と基準方向とが高精度に合わされているので、例えば２つの直線部分間の距離の測長を精度よく確実に行うことができる。
【００７２】
上述のごとく、本発明においては、試料画像内に方向の異なる直線部分が含まれている場合であっても、オペレータのマニュアル操作による検出範囲の指定を行うことなく、当該試料画像全体を演算処理することにより、自動的に直線部分の検出を行うことができる。従って、直線部分の検出を効率良く処理することができる。
【００７３】
なお、上述の実施例では、画像表示工程において表示される合成画像に含まれる各回転画像（図５中の画像５１〜５３）は画像処理部１６によって作成されていたが、電子光学系２０を構成する走査コイル３を駆動制御して電子ビーム６の走査領域を回転して走査像を取得するようにしてもよい。
【００７４】
また、境界部抽出工程においては、ソーベルフィルタ演算処理に限る必要はなく、境界部抽出を実行できる他のフィルタリング演算処理を行うようにしてもよい。
【００７５】
さらに、直線部分検出工程においては、ハフ変換に限る必要はなく、直線部分検出を実行できる他の変換処理を行うようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明における画像表示装置（測長装置）を示す概略構成図である。
【図２】本実施例における走査像の一例を示す図（画像）である。
【図３】図２の画像をソーベルフィルタ演算により処理した後の状態を示す図（画像）である。
【図４】図３の画像を簡略化した模式図である。
【図５】合成画像に基づく表示画像を示す図（画像）である。
【符号の説明】
【００７７】
１…電子銃、２…集束レンズ、３…走査コイル、４…対物レンズ、５…試料ステージ機構、６…電子ビーム、７…試料、８…検出器、９…Ａ／Ｄ変換器、１０…バスライン、１１…制御部、１２…画像形成部、１３…画像記憶部、１４…演算処理部、１５…メモリ、１６…画像処理部、１７…画像作成部、１８…画像表示部、１９…入力部
【図１】
2005123018.tif 000003
【図２】
2005123018.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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