(57)【要約】【課題】  薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置において、被塗工材に均一の厚みで材料液を塗工できるようにする。【解決手段】  相対的に移動する被塗工材３０のターゲット面に対し液状の材料液４を供給することにより該移動方向に沿って被塗工材３０に材料液を塗工する、薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ６０であって、被塗工材３０の移動経路に面して形成され該ターゲット面に該材料液を供給する材料液供給口６１と、上記の被塗工材３０の移動経路に面して形成されるとともに材料液供給口６１の上記の被塗工材３０の移動方向下流側に隣接され、該ターゲット面へ供給された材料液４の内の余剰液４ａを吸引する余剰液吸引口６２とをそなえて構成する。【選択図】        図１
2005058869.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対的に移動する被塗工材のターゲット面に対し液状の材料液を供給することにより該移動方向に沿って該被塗工材に材料液を塗工する、薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダであって、
該被塗工材の移動経路に面して形成され該ターゲット面に該材料液を供給する材料液供給口と、
上記の該被塗工材の移動経路に面して形成されるとともに該材料液供給口の上記の被塗工材の移動方向下流側に隣接され、該ターゲット面へ供給された該材料液の内の余剰液を吸引する余剰液吸引口と
をそなえて構成された
ことを特徴とする、薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ。
【請求項２】
該余剰液吸引口を蓋う通気性多孔材をそなえて構成された
ことを特徴とする、請求項１記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ。
【請求項３】
該材料液供給口を蓋う通気性多孔材をそなえて構成された
ことを特徴とする、請求項１記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ。
【請求項４】
該余剰液吸引口を蓋う第１通気性多孔材と、該材料液供給口を蓋う第２通気性多孔材とをそなえて構成された
ことを特徴とする、請求項１記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ。
【請求項５】
該第１通気性多孔材と該第２通気性多孔材とが単一の通気性多孔材により一体に構成された
ことを特徴とする、請求項４記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ。
【請求項６】
該第１通気性多孔材と該第２通気性多孔材とを、上記の被薄膜形成材の移動方向に対し仕切る多孔材仕切壁を設けた
ことを特徴とする、請求項４記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ。
【請求項７】
該余剰液吸引口を蓋う該第１通気性多孔材と該多孔材仕切壁との境界を蓋う、第３通気性多孔材をさらにそなえて
構成された
ことを特徴とする、請求項６記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ。
【請求項８】
該材料液が圧送され該材料液供給口を開口端とする材料液供給通路が内部に形成され、
該材料液供給通路の該材料液供給口を含む該材料液流通方向下流部が、該材料液供給通路の該材料液流通方向上流部に較べ横断面積が縮小された絞り部として形成された
ことを特徴とする、請求項１〜７の何れか一項に記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ。
【請求項９】
該材料液供給口の上記の被塗工材の移動方向に関する寸法が５ｍｍ以下に設定されたことを特徴とする、請求項１〜８の何れか一項に記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ。
【請求項１０】
被薄膜形成材に対し液状の材料液を塗工し、薄膜を形成する、薄膜形成装置において、
上記の請求項１〜９の何れか一項に記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダと、
該材料液塗工ヘッダの該材料液供給口に該材料液を供給する材料液供給手段と、
該材料液塗工ヘッダの該余剰液吸引口に吸引力を作用させる余剰液吸引手段と、
該被塗工材のターゲット面と該ヘッダの該材料液供給口とを相対的に移動させる移動手段とをそなえて構成され、
該被塗工材が、該被薄膜形成材である
ことを特徴とする、薄膜形成装置。
【請求項１１】
被薄膜形成材に対し液状の材料液を塗工し、薄膜を形成する、薄膜形成装置であって、
上記の請求項１〜９の何れか一項に記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダと、
該材料液塗工ヘッダの該材料液供給口に該材料液を供給する材料液供給手段と、
該材料液塗工ヘッダの余剰液吸引口に吸引力を作用させる吸引手段と、
該被塗工材とをそなえて構成され、
該被塗工材の該ターゲット面を該被薄膜形成材に接触させることにより該被薄膜形成材に該材料液を塗工して該薄膜を形成するように構成された
ことを特徴とする、薄膜形成装置。
【請求項１２】
該被塗工材がシリンダ状部材であり、
該シリンダ状部材を回転駆動するシリンダ状部材回転駆動手段と、
該シリンダ状部材と該被薄膜形成材とを相対的に移動させる第１移動手段と、
該材料液塗工ヘッダと該シリンダ状部材とを相対的に移動させる第２移動手段とをそなえ、
該第２移動手段により該材料液塗工ヘッダと該シリンダ状部材とを相対的に移動させて該材料液塗工ヘッダと該シリンダ状部材とを接触した状態するとともに該シリンダ状部材回転駆動手段により該シリンダ状部材を回転駆動することで、該シリンダ状部材の周面に該材料液を塗工した後、
該シリンダ状部材を回転させながら該被薄膜形成材と接触させた状態で該第１移動手段により該被薄膜形成材に対し相対的に移動させることにより、該被薄膜形成材に該材料液を塗工するように構成された
ことを特徴とする、請求項１１記載の薄膜形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、相対的に移動する被塗工材のターゲット面に対し液状の材料液を供給することにより移動方向に沿って被塗工材に材料液を塗工する、薄膜形成装置のヘッダ及びそれを使用した薄膜形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、液晶表示装置等が広く普及するようになり、この液晶表示装置のガラス板や、そのガラス基板に貼られる保護板に材料液を塗工して極薄い薄膜を形成する必要が出てきた。
このようなガラス基板等の基材に極薄い薄膜を形成する方法として、（１）表面張力利用型（例えば非特許文献１参照）や、（２）毛細管現象利用型（例えば特許文献１，特許文献２及び特許文献３参照）が提案されている。
【０００３】
以下、これらの方式について説明する。
（１）表面張力利用型
図１２は表面張力利用型の薄膜形成装置の一例の構成及び作動を説明するための模式的な側断面図であり、以下、図１２を参照して表面張力利用型の薄膜形成装置の構成例を説明する。
【０００４】
この薄膜形成装置１１０では、薄膜を形成する材料液１１２をポンプＰにより液供給管１１７を介して円柱体１１５の空洞（内部）１１５ａへ供給する。この円柱体１１５の上部には、２０μｍ程度の径の孔が多数形成されたポーラス部１１４が、周方向に１０ｍｍ程度の幅をもって形成されており、このポーラス部１１４においては、円柱体１１５の外周面と内周面とが連通した状態となっている。したがって、上記の内部１１５ａへと供給された材料液１１２は、ポーラス部１１４において外周面へ供給されるようになるが、この外周面へ供給された材料液１１２の内、過剰に供給された材料液は、円柱体１１５の姿勢がポーラス部１１４を鉛直上方に向けた姿勢に設定されているため下方に落下するようになる。この結果、ポーラス部１１４にはその外周面に一定高さ（例えば４００μｍ程度）の材料液１１２の隆起が得られるようになる。そして、図１２（ｂ）に示すように、基材１０１を、ポーラス部１１４における材料液１１２の隆起に接触させつつ移動させることで、基材１０１に材料液１１２の膜〔液ビート（液溜まり）〕１０５が形成される。
【０００５】
なお、円柱体１１５の外周面から落下した材料液１１２は、円柱体１１５の下方に配置されたタンク１１１により回収され、液回収管１１８を介してポンプＰに吸引され、再び円柱体１１５へと供給されることとなる。
（２）毛細管現象利用型（キャピラリーコータ型）
図１３は毛細管現象利用型の薄膜形成装置の一例の構成及び作動を説明するための模式的な側断面図であり、以下、図１３を参照して毛細管現象利用型の薄膜形成装置について説明する。
【０００６】
この形式の薄膜形成装置では、非塗工作業時には、塗工ヘッダ１２５を材料液層１２２に沈めておき、塗工作業時には、塗工ヘッダ１２５の先端を、上記材料液層１２２から基材（被塗工材）１０１に向けて突出させるようになっている。塗工ヘッダ１２５にはスリット１２４が形成されており、上記材料液層１２２を形成する材料液が、毛細現象によりこのスリット１２４内を伝って塗工ヘッダ１２５の先端で隆起して液ビート（液溜まり）を形成する。この液ビートは材料液の表面張力によりその隆起高さひいてはその量がほぼ一定に保たれる。
【０００７】
そして、このように塗工ヘッダの先端に液溜まりの形成された状態で、塗工ヘッダに対し所定の隙間（ギャップ）をあけつつ且つ基材を液溜まりに接触させながら基材を移動させることで、基材に材料液が塗工される。
このような塗工作業時は、基材に塗工される分、液溜まりが減少することとなるが、この減少した分だけ材料液が、毛細管現象により自然と一定に液溜まりに供給されるしくみとなっている。
【０００８】
塗工作業は、図１３において（ａ）〜（ｆ）の順に行われ、先ず、塗工開始前においては、図１３（ａ）に示すように、塗工ヘッダ１２５は、液タンク１２１内に沈められており、この液タンク１２１の上部は蓋１２８により蓋われている。
次いで、図１３（ｂ）に示すように、蓋１２８がスライドして液タンク１２１が開放され、塗工ヘッダ１２５が、液タンク１２１から基材１０１側へ突出した状態とされる。この時、液タンク１２１内の材料液１２２が、毛細管現象により、塗工ヘッダ１２５に形成されたスリットノズル口１２４を上昇して塗工ヘッダ１２５の先端で隆起して液溜まり１０４を形成する。
【０００９】
そして、このような塗工ヘッダ１２５の状態において、図１３（ｃ），（ｄ），（ｅ）に示すように、基材１０１を、塗工ヘッダ１２５の先端の液溜まり１０４に接触させながら、基材１０１のセットされるステージ１０１Ａと一体に図中左側へとスライドさせていき、この過程で、基材１０１に塗工薄膜１０１ａが次第に形成されていく。図１３（ｆ）に示すように、基材１０１が液溜まり１０４を通過して塗工が完了すると、塗工ヘッダ１２５は液タンク１２１内の材料液１２２に沈められた後、蓋１２８がスライドして液タンク１２１を蓋い、塗工作業が終了する。
【００１０】
なお、（１）表面張力利用型、及び（２）毛細管現象利用型の各装置として、被塗工材としてプレート状の基材１０１に塗工膜を形成する例を説明したが、被塗工材がシリンダ状物の場合もある。被塗工材がシリンダ状物の場合には、このシリンダ状物をその軸芯線を中心に回転させつつ、円柱体１１５又は塗工ヘッダ１２５により塗工を行うことにより、シリンダ状物の周面に連続的に薄膜を形成できる。
【非特許文献１】ミクロ技研株式会社，ＣＡＶＥＸ  コーター，［ｏｎｌｉｎｅ］，［平成１３年６月１６日検索］、インターネット＜ＵＲＬ  ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｍｉｃｒｏ−ｅｎｇ．ｃｏ．ｊｐ／ｆｐｄ／ｃａｖｅｘ／ｃａｖｅｘ．ｈｔｍｌ＞
【特許文献１】特開２００１−６２３７０号公報
【特許文献２】特開２００２−３５６６３号公報
【特許文献３】特開２００３−１１７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上述した従来の薄膜形成装置には以下のような課題がある。
（１）表面張力利用型
図１４は上述した図１２に示すような従来の表面張力利用型装置の課題を説明するための図であって、（ａ）は基材１０１と円柱体のポーラス部１１４との最接近部（以下、ニップ部という）の模式的な側面視による断面図であり、（ｂ）は（ａ）の模式的なＡ１−Ａ１断面図である。
【００１２】
図１４（ａ）中の破線１３８は、基材１０１と塗工部（ポーラス部）１１４とのニップ部周辺で材料液膜１３４，１３５が受ける圧力の分布を示し、図１４（ａ）中で上にあるほど高い圧力を示している。基材１０１と塗工部１１４との隙間が狭いほど材料液が受ける圧力は高くなることから、ニップ部において絞られる（これを液絞りという）ため材料液の圧力は急上昇する一方、ニップ部下流側では、基材１０１と塗工部１１４との隙間が急に広がったり、移動する基材１０１に空気が引っぱられたりして、材料液周囲の圧力ひいては材料液の圧力が負圧（圧力分布線１３８における符号１３９で示す部分を参照）となる（或いは上記ニップ部に較べ大幅に低圧になる）。
【００１３】
この負圧の発生のため、ニップ部下流側で、液膜分裂の際（塗工部１１４の材料液膜１３５の一部が基材１０１へ材料液膜１３４として移動する際）、上記負圧の作用により材料液膜１３４，１３５のメニスカスが基材１０１と塗工部１１４との隙間に引き込まれるような現象が発生し、図１４（ｂ）に示すように、材料液膜１３４，１３５に規則的なリングパターンと呼ばれる筋状のムラ（数ｍｍ程度のピッチで繰り返される液厚の凹凸）が発生しやすい〔図１４（ｂ）中の符号１３３はリングパターンを形成し基材１０１に正常に塗工されない余剰な材料液（余剰液）である〕。リングパターンの凹凸のピッチや高さは、材料液の表面張力や粘度及びニップ部下流側で発生する負圧３９の程度により異なったものとなる。
【００１４】
このようなリングパターンが発生すると、基材１０１が印刷版である場合には、この印刷版を使用して印刷された印刷物にリングパターンに応じた濃淡ムラが生じ、不良印刷物となる。
（２）毛細管現象利用型（キャピラリーコータ型）
図１５は上述した図１３に示すような従来の毛細管現象利用型装置の課題を説明するための図であって、（ａ）は基材１０１と塗工ヘッダ１２５とのニップの模式的な側面視による断面図であり、（ｂ）は（ａ）の模式的なＡ２−Ａ２断面図である。
【００１５】
毛細管現象利用型装置も、上記の表面張力利用型装置と同様の課題を有する。
つまり、基材１０１とスリットノズル口１２４とのニップにおいては材料液１２２の圧力は急上昇する一方、スリットノズル口１２４の基材移動方向下流側では、それまで塗工ヘッダ１２５の上面により規定されていた空間が急激に広がったり、移動する基材１０１に空気が引っぱられたりして負圧部（或いは上記ニップに較べて大幅に圧力の低い低圧部）１４９が発生し、材料液（液溜まり）１２２の一部が基材１０１へと移動する液膜分裂の際、材料液１２２のメニスカスが塗工ヘッダ１２５側に引き込まれしまう。この結果、図１５（ｂ）に示すような数ｍｍピッチで凹凸が繰り返されるリングパターンが発生しやすくなるのである〔図１５（ｂ）中の符号１４９はリングパターンを形成し基材１０１に正常に塗工されない余剰な材料液（余剰液）である〕。
【００１６】
また、この毛細管現象利用型装置では、スリットノズル口１２４の幅（スリット幅）と塗工ヘッダ１２５の先端から基材１０１の表面までの距離との関係を制御すれば、均一な薄膜の形成は可能であるが（リングパターンの発生を抑制することが可能であるが）、上記スリット幅を装置幅方向［図１５（ａ）において紙面に垂直な方向］に対し均一に加工するのが難しく、塗工ヘッダ１２５と基材１０１との距離に応じてスリット幅を調整するのは現実的には難しい。
【００１７】
このように、（１）表面張力利用型及び（２）毛細管現象利用型の何れの装置においても、薄膜の厚みが装置幅方向に対し不均一なりやすいといった課題がある。
なお、上記では、被塗工材としてプレート状の基材１０１に塗工膜を形成する例を説明したが、リングパターンは、被塗工材がシリンダ状物の場合にも発生するものである。
本発明はこのような課題に鑑み創案されたもので、被塗工材に均一の厚みで材料液を塗工できるようにした、薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために、請求項１記載の本発明の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダは、相対的に移動する被塗工材のターゲット面に対し液状の材料液を供給することにより該移動方向に沿って該被塗工材に材料液を塗工する、薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダであって、該被塗工材の移動経路に面して形成され該ターゲット面に該材料液を供給する材料液供給口と、上記の該被塗工材の移動経路に面して形成されるとともに該材料液供給口の上記の被塗工材の移動方向下流側に隣接され、該ターゲット面へ供給された該材料液の内の余剰液を吸引する余剰液吸引口とをそなえて構成されたことを特徴としている。
【００１９】
請求項２記載の本発明の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダは、請求項１記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダにおいて、該余剰液吸引口を蓋う通気性多孔材をそなえて構成されたことを特徴としている。
請求項３記載の本発明の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダは、請求項１記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダにおいて、該材料液供給口を蓋う通気性多孔材をそなえて構成されたことを特徴としている。
【００２０】
請求項４記載の本発明の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダは、請求項１記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダにおいて、該余剰液吸引口を蓋う第１通気性多孔材と、該材料液供給口を蓋う第２通気性多孔材とをそなえて構成されたことを特徴としている。
請求項５記載の本発明の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダは、請求項４記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダにおいて、該第１通気性多孔材と該第２通気性多孔材とが単一の通気性多孔材により一体に構成されたことを特徴としている。
【００２１】
請求項６記載の本発明の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダは、請求項４記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダにおいて、該第１通気性多孔材と該第２通気性多孔材とを、上記の被薄膜形成材の移動方向に対し仕切る多孔材仕切壁を設けたことを特徴としている。
請求項７記載の本発明の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダは、請求項６記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダにおいて、該余剰液吸引口を蓋う該第１通気性多孔材と該多孔材仕切壁との境界を蓋う、第３通気性多孔材をさらにそなえて構成されたことを特徴としている。
【００２２】
請求項８記載の本発明の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダは、請求項１〜７の何れか一項に記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダにおいて、該材料液が圧送され該材料液供給口を開口端とする材料液供給通路が内部に形成され、該材料液供給通路の該材料液供給口を含む該材料液流通方向下流部が、該材料液供給通路の該材料液流通方向上流部に較べ横断面積が縮小された絞り部として形成されたことを特徴としている。
【００２３】
請求項９記載の本発明の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダは、請求項１〜８の何れか一項に記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダにおいて、該材料液供給口の上記の被塗工材の移動方向に関する寸法が５ｍｍ以下に設定されたことを特徴としている。
請求項１０記載の本発明の薄膜形成装置は、被薄膜形成材に対し液状の材料液を塗工し、薄膜を形成する、薄膜形成装置において、上記の請求項１〜９の何れか一項に記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダと、該材料液塗工ヘッダの該材料液供給口に該材料液を供給する材料液供給手段と、該材料液塗工ヘッダの該余剰液吸引口に吸引力を作用させる余剰液吸引手段と、該被塗工材のターゲット面と該ヘッダの該材料液供給口とを相対的に移動させる移動手段とをそなえて構成され、該被塗工材が該被薄膜形成材であることを特徴としている。
【００２４】
請求項１１記載の本発明の薄膜形成装置は、被薄膜形成材に対し液状の材料液を塗工し、薄膜を形成する、薄膜形成装置であって、上記の請求項１〜９の何れか一項に記載の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダと、該材料液塗工ヘッダの該材料液供給口に該材料液を供給する材料液供給手段と、該材料液塗工ヘッダの余剰液吸引口に吸引力を作用させる吸引手段と、該被塗工材とをそなえて構成され、該被塗工材の該ターゲット面を該被薄膜形成材に接触させることにより該被薄膜形成材に該材料液を塗工して該薄膜を形成するように構成されたことを特徴としている。
【００２５】
請求項１２記載の本発明の薄膜形成装置は、請求項１１記載の薄膜形成装置において、該被塗工材がシリンダ状部材であり、該シリンダ状部材を回転駆動するシリンダ状部材回転駆動手段と、該シリンダ状部材と該被薄膜形成材とを相対的に移動させる第１移動手段と、該材料液塗工ヘッダと該シリンダ状部材とを相対的に移動させる第２移動手段とをそなえ、該第２移動手段により該材料液塗工ヘッダと該シリンダ状部材とを相対的に移動させて該材料液塗工ヘッダと該シリンダ状部材とを接触した状態するとともに該シリンダ状部材回転駆動手段により該シリンダ状部材を回転駆動することで、該シリンダ状部材の周面に該材料液を塗工した後、該シリンダ状部材を回転させながら該被薄膜形成材と接触させた状態で該第１移動手段により該被薄膜形成材に対し相対的に移動させることにより、該被薄膜形成材に該材料液を塗工するように構成されたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、被塗工材の移動経路に面して形成された材料液供給口からターゲット面に材料液が供給され、この際、材料液供給口の被塗工材の移動方向下流側が負圧となり、この負圧の作用により被塗工材の塗工に悪影響を及ぼす余剰液が発生するが、この余剰液は、材料液供給口の上記の被薄膜形成材の移動方向下流側に隣接された余剰液吸引口により吸引除去されるので、被塗工材に均一の厚みで材料液を塗工できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
（１）第１実施形態
（１−１）基本原理
先ず、本発明の第１実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ（以下、単にヘッダともいう）の基本原理について図１を参照して説明する。図１はヘッダの要部を示す模式的な側面図である。ヘッダ６０は、被塗工材であると共に被薄膜形成材であるプレート状の基材（例えばガラス板）３０の移動経路の下方に配置されている。
【００２８】
ヘッダ６０には、吐出ノズル口（材料液供給口）６１と、この吐出ノズル口６１のプレート状部材移動方向下流側に配置された吸引ノズル口（余剰液吸引口）６２とをそなえて構成されている。吐出ノズル口６１は、図示しない外部供給源に接続されこの供給源から吐出圧（正圧）ｐを有して供給されてくる材料液４を上方の基材３０へ吐出するものであり、一方、吸引ノズル口６２には図示しない外部負圧源の作動により負圧ｑが作用するようになっている。
【００２９】
このような構成により、基材３０を、ヘッダ先端より僅かに上方を図示しない手段により図１中で左へ移動させる過程で、ヘッダ６０から材料液４を吐出させて基材３０に順次材料液４を塗工し、この際に、吐出ノズル口６１の下流側の負圧部（低圧部）に吸引ノズル口６２から負圧ｑを作用させることで、従来技術の課題として説明したリングパターンの原因となる負圧部の余剰材料液４ａを除去して、上記リングパターンの発生を抑制するようにしている。
【００３０】
（１−２）構成
以下、本発明の第１実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダについて、図２及び図３を参照して詳細に説明する。
図２及び図３は本実施形態のヘッダについて示す図であり、図２はその構成を示す側面視よる模式的断面図、図３（ａ）〜（ｃ）はその作用効果を説明するための図であってヘッダの側面視よる模式的断面図である。
【００３１】
ヘッダ６０は、上述したように基材３０の移動経路に面して吐出ノズル口（材料液供給口）６１及び吸引ノズル口（余剰液吸引口）６２をそなえている。これらのノズル口６１，６２は、ガラス板３０の幅方向（図２及び図３の紙面に垂直な方向であり、以下、装置幅方向ともいう）に伸びており、上方を移動するガラス板３０の全幅（完全に全幅で無い場合も含む）に渡って材料液４を塗工できるようになっている。
【００３２】
吐出ノズル口６１は、ヘッダ６０の内部に形成された材料液供給通路６１Ａの下流端として形成されており、この材料液供給通路６１Ａは、ヘッダ６０の外面で、その上流端を材料液４の供給管９０ａに接続され、上述したように図示しない材料液供給源からこれらの供給管９０ａ及び材料液供給通路６１Ａを介して吐出ノズル口６１に材料液４が圧送されるようになっている。そして、吐出ノズル口６１から吐出された材料液４は、所定の間隔をあけて上方を移動する基材３０の下面（ターゲット面）３０ａへ塗工されることとなる。
【００３３】
一方、吸引ノズル口６２は、ヘッダ６０の内部に形成された余剰液吸引通路６２Ａの上流端として形成されており、この余剰液吸引通路６２Ａは、ヘッダ６０の外面でその下流端を余剰液４ａの回収管９１ａに接続されており、上述したように、図示しない負圧源（例えば真空ポンプ）を作動させてこれらの回収管９１ａや余剰液吸引通路６２Ａを介して吸引ノズル口６２に負圧ｑを作用させることにより、この吸引ノズル口６２から余剰液４ａが吸引されるようになっている。吸引ノズル口６２から吸引された余剰液４ａは、回収管９１ａを介して、上記負圧源及び回収管９１ａとともに材料液回収系統を構成する回収タンク（図示省略）へ送られるようになっている。
【００３４】
また、ヘッダ６０には、ノズル口６１，６２の両外側に、装置幅方向に伸びる回収溝６３がそれぞれ設けられている。これらの回収溝６３は、基材３０から脱落したりノズル口６１，６２から溢れたりした材料液４ｂ，４ｃを回収するためのものであり、吐出ノズル口６１の基材移動方向下流側は上述したように負圧となり余剰液４ｃが連続的に発生するため、この余剰液４ｃを順次回収できるように、基材移動方向下流側の回収溝６３は、ヘッダ６０の外面で回収管９２に接続されている。
【００３５】
そして、本発明の薄膜形成装置が、上記ヘッダ６０と、ヘッダ６０の吐出ノズル口６１に材料液を供給する材料液供給手段と、ヘッダ６０の吸引ノズル口６２に吸引力を作用させる余剰液吸引手段と、基材３０をヘッダ６０から所定の間隔をあけてヘッダ６０の上方を移動させる移動手段とをそなえて構成されている（材料液供給手段，余剰液吸引手段及び移動手段は何れも図示略）。材料液供給手段は、上記供給管９０ａ，ギヤポンプ，タンクなどからなり、ギヤポンプを作動させることにより吐出ノズル口６１に材料液を供給できるようになっている。また、余剰液吸引手段は、上記回収管９１ａ，真空ポンプ，タンクなどからなり、真空ポンプを作動させることにより、吸引ノズル口６２に吸引力を作用させるとともに材料液４をタンクに回収できるようになっている。
【００３６】
なお、ここでは、位置固定のヘッダ６０に対し基材３０を移動手段により移動させるようにしているが、基材３０を位置固定としヘッダ６０を移動手段により移動させるように構成しても良い。
（１−３）作用・効果
本発明の第１実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は上述したように構成されており、以下のようにして基材（被薄膜形成材，被塗工材）３０に材料液４が塗工され、この塗工された材料液４が基材上で薄膜３１を形成する。
【００３７】
つまり、先ず、図３（ａ）に示すように、ヘッダ６０の吐出ノズル口６１から材料液４の吐出が開始されると、この吐出された材料液４は、上方を移動する基材３０の下面３０ａに塗工される。そして、図３（ｂ）に示すように、基材３０の移動に伴い、吐出ノズル口６１から吐出された材料液４が連続的に基材３０に塗工され薄膜３１を形成していく。この際、吐出ノズル口６１の基材移動方向下流側では、ヘッダ６０の周囲は負圧となるため、この負圧の作用によりヘッダ６０側に引かれ基材３０に正常に塗工されない余剰な材料液（余剰液）４ａが生じるが、この余剰液４ａは、図３（ｃ）に示すように、吸引ノズル口６２により吸引・除去される。したがって、上記の吐出ノズル口６１の基材移動方向下流側におけるリングパターンの発生を防止できるようになり、基材３０に所定の厚さの薄膜３１を装置幅方向に均一に形成できるようになる。
【００３８】
この他、吐出ノズル口６１から供給されたにもかかわらず基材３０に付着しなかった材料液４ｂや、吸引ノズル口６２から溢れた材料液４ｃは、回収溝６３，６３により回収される。
（２）第２実施形態
以下、図４を参照して本発明の第２実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置について説明する。
【００３９】
図４は本実施形態の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダの構成を示す側面視による模式的断面図である。なお、上記実施形態で既に説明した部材については同一の符号を付しその説明を省略する。
（２−１）構成
本発明の第２実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は、上記第１実施形態に対し、図４に示すように吸引ノズル口６２を蓋うように通気性を有する多孔物質（通気多孔材）７２が余剰液吸引通路６２Ａに挿入されている点で異なる。
【００４０】
通気多孔材としては、例えば、１）樹脂粉体焼結メッシュや、２）樹脂粉体焼結メッシュや、３）金属粉体焼結メッシュなどである。
樹脂粉体焼結メッシュとしては、具体的には下表１に示すものがある。
【００４１】
【表１】
2005058869.tif 000003
【００４２】
また、樹脂粉体焼結メッシュは、材料液が有機溶剤を使用している場合には膨潤による変形が生じる虞があるため、材料液が、メッシュの膨潤の虞のない水性のものである場合に使用するのが好ましい。
金属粉体焼結メッシュは、その気孔径が７〜２０μｍであり且つ材料液が顔料などを含むスラリーの場合には、２次粒子と呼ばれる凝集した顔料などにより目詰まりが発生する虞があるため、染料（顔料）などの微粒子を含まない材料液を取り扱う場合に使用するのが好ましい。
【００４３】
上記のメッシュ（フィルター）の内、金属製である上表１の（ｄ）パウダーフィルター，（ｅ）フジプレート（メッシュフィルター）が、材料液の種類による制限が少ないことから好ましい。
この他の構成は、上記第１実施形態と同様なので説明を省略する。
（２−２）作用・効果
本発明の第２実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は、このように吸引ノズル口６２が通気多孔材７２により蓋われていることから以下のような作用・効果が得られる。
【００４４】
つまり、材料液４の表面張力のため、単に吸引ノズル口６２から材料液４ａに吸引力を付与しただけでは、吸引力が低いと余剰液４ａが吸引ノズル口６２の手前（ノズル口６１，６２の相互間）で停止してしまう可能性がある。これに対し本実施形態では、余剰液４ａが、吸引ノズル口６２を蓋う多孔材７２に接触すれば、余剰液４ａが多孔材７２の多数の孔に毛管現象により吸収され多孔材７２内に拡散する。つまり、余剰液４ａを多孔材７２を介して吸引ノズル口６２へと移動させることが可能となるので、余剰液４ａを安定して吸引ノズル口６２により吸引できるようになるのである。
【００４５】
（３）第３実施形態
以下、図５を参照して本発明の第３実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置について説明する。
図５は本実施形態の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダの構成を示す側面視による模式的断面図である。なお、上記各実施形態で既に説明した部材については同一の符号を付しその説明を省略する。
（３−１）構成
本実施形態の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は、上記第１実施形態に対し、図５に示すように、吐出ノズル口６１を蓋うように、通気性を有する多孔物質（多孔材）７１が材料液供給通路６１Ａに挿入されている点で異なる。
【００４６】
多孔材７１としては、具体的には、上記第２実施形態において吸引ノズル口６２に挿入される多孔材７１として上述したものが挙げられる。
この他の構成は、上記第１実施形態と同様なので説明を省略する。
（３−２）作用・効果
本発明の第３実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は、このように吐出ノズル口６１が通気性を有する多孔材７１により蓋われていることから以下のような作用・効果が得られる。
【００４７】
つまり、多孔材７１を吐出ノズル口６１に取り付けることから材料液４の圧力損失が増大するため、この圧力損失の増大する分、ヘッダ６０へ供給する材料液４の圧力（供給圧力）ｐを上昇させる必要が生じる。このような供給圧力ｐの制御は、ポンプの吐出圧の調整や圧力調整弁の開度調整により行われ、供給圧力ｐが高いほど所定圧力に制御しやすくなる（制御精度が向上する）。
【００４８】
即ち、上記のポンプの吐出圧の調整や圧力調整弁の開度調整が高い圧力下での調整となり制御が容易になり、また、このような高い圧力は多孔材７１の圧力損失により相殺されるので、吐出ノズル口６１からの吐出圧を適正な圧力に保持しつつ、上記吐出圧の制御精度を向上させることが可能となるのである。
したがって、材料液４の吐出圧を所定圧力に精度良く制御して、基材３０に形成される薄膜４の厚さを所定の厚さに精度良く制御できるようになり、極薄膜（従来よりも厚みの少ない薄膜）を形成することが可能となる。
【００４９】
（４）第４実施形態
以下、図６を参照して本実施形態の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置について説明する。
図６は本発明の第４実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置の構成を示す側面視による模式的断面図である。なお、上記各実施形態で既に説明した部材については同一の符号を付しその説明を省略する。
【００５０】
（４−１）構成
本発明の第４実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ６０は、図６に示すように、下部部材６０Ｂと、この下部部材６０Ｂの上方に組みつけられる上部部材６０Ａとをそなえて構成されている。
上部部材６０Ａ内には鉛直方向に伸びる鉛直通路６１Ａａがそなえられ、下部部材６０Ｂ内には、鉛直方向に伸びる鉛直通路６１Ａｂと、この鉛直通路６１Ａｂの下端に接続される水平通路６１Ａｃとがそなえられている。上部部材６０Ａの鉛直通路６１Ａａは下部部材６０Ｂの鉛直通路６１Ａｂに接続されており、これらの通路６１Ａａ，６１Ａｂ，６１Ａｃにより供給通路６１Ａが形成されている。
【００５１】
そして、上記水平通路６１Ａｂは、ヘッド６０の側壁外側で、供給管９０ａに接続されており、供給管９０ａ，バッファータンク９０ｂ，ギヤポンプ９０ｃ及びインキタンク９０ｄをそなえて構成される材料液供給手段から、材料液４が上記通路６１Ａを介して吐出ノズル口６１に供給されるようになっている。
同様に、上部部材６０Ａ内には鉛直方向に伸びる鉛直通路６２Ａａがそなえられ、下部部材６０Ｂ内には、鉛直方向に伸びる鉛直通路６２Ａｂと、この鉛直通路６２Ａｂの下端に接続される水平通路６２Ａｃとがそなえられている。鉛直通路６２Ａａは鉛直通路６２Ａｂに接続されており、これらの通路６２Ａａ，６２Ａｂ，６２Ａｃにより吸引通路６２Ａが形成されている。
【００５２】
そして、上記水平通路６２Ａｂは、ヘッド６０の側壁外側で、排出管９１ａに接続されており、排出管９１ａ，廃液タンク９１ｂ，真空ポンプ９１ｃをそなえて一体に構成される負圧源及び余剰液回収手段により、上記通路６２Ａを介して吸引ノズル口６２に負圧が作用して余剰液４ａが回収されるようになっている。
また、上部部材６０Ａの上面におけるノズル口６１，６２を含む所定領域には、凹所６４が形成され、この凹所６４には通気性を有する、最小気孔径が１０μｍのメッシュ（通気性多孔材）７３が嵌め込まれており、ノズル口６１，６２はメッシュ７３により蓋われることとなる。つまり、吸引ノズル口６２を蓋う第１通気性多孔材と吐出ノズル口６１を蓋う第２通気性多孔材とがメッシュ７３により連続して構成されているのである。
【００５３】
なお、ここでは、吸引ノズル口６２の奥行（基材移動方向の寸法）Ｗ1は５ｍｍ、回収溝６３の奥行Ｗ2は８ｍｍ、吐出ノズル口６１の奥行Ｗ3は８ｍｍ、ノズル口６１，６２の相互間距離〔仕切壁６５の奥行（厚さ）〕Ｗ4は４ｍｍ、上部部材６０Ａの高さ寸法Ｈ1は３０ｍｍにそれぞれ設定されている。また、下部部材６０Ｂに形成される鉛直通路６１Ａａの奥行寸法Ｗ5は８ｍｍ，水平通路６１Ａｂの高さ寸法Ｈ2は６ｍｍに設定されている。
【００５４】
この他の構成は、上記実施形態と同様なので説明を省略する。
（４−２）作用・効果
本発明の第４実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は、上述したように構成されているので、上記第２実施形態及び上記第３実施形態と同様の効果が得られる他、以下のような利点がある。
【００５５】
つまり、吐出ノズル口６１，ノズル口６１，６２の相互間及び吸引ノズル口６２に多孔材７３が配置される（＝吐出ノズル口６１より吐出されてから吸引ノズル口６２に吸引されるまでの材料液４の移動経路の全体に面して多孔材７３が配置される）ことから、余剰液４ａが確実に多孔材７３に接触し吸収され吸引ノズル口６２側へと移動するようになり、余剰液４ａを安定して除去でき、リングパターンを一層効果的に防止できるようになる。
【００５６】
（５）第５実施形態
以下、図７を参照して本発明の第５実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置について説明する。
図７は本実施形態の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダの構成を示す側面視による模式的断面図である。なお、上記各実施形態で既に説明した部材については同一の符号を付しその説明を省略する。
【００５７】
（５−１）構成
本発明の第５実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は、図６に示す上記第４実施形態に対し、図７に示すように、凹所６４よりも仕切壁６５が上方に突出され、この仕切壁の突出部（多孔材仕切壁）６５ａにより凹所６４ひいてはメッシュ７３がノズル口６１，６２の相互間で二分割された構成となっている（凹所６４及びメッシュ７３は図６参照）。
【００５８】
つまり、図７に示すように、上部部材６０Ａの上面には仕切壁６５ａの両側に凹所６４ａ，６４ｂが形成されており、凹所６４ａは、吐出ノズル口６１を含む領域に形成され、凹所６４ｂは、吸引ノズル口６２を含む領域に形成されている。
そして、凹所６４ａには、吐出ノズル口６１を覆うようにしてメッシュ７４が嵌め込まれ、凹所６４ｂには、吸引ノズル口６２を覆うようにしてメッシュ７５が嵌め込まれている。
【００５９】
なお、材料液のメッシュ７４から仕切壁６５ａへ移動及び仕切壁６５ａからメッシュ７５へ移動が滑らかに行われるように、仕切壁６５ａの上面は、メッシュ７４，７５の上面に面一とされている。
この他の構成は、上記実施形態と同様なので説明を省略する。
（５−２）作用・効果
本発明の第５実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は、上述したように構成されているので、上記第４実施形態と同様の効果が得られる他、以下のような利点がある。
【００６０】
つまり、上記第４実施形態に較べ、メッシュ７４，７５が仕切壁６５により分割され仕切壁６５上のメッシュが不要となることから、メッシュ量ひいては、メッシュに一時的に保持され基材３０への塗工に寄与しない材料液を低減することができ、材料液使用率（ヘッダ６０に供給された材料液供給量に対する、実際に基材３０に塗工される材料液塗工量の比）を向上させることができる。
【００６１】
また、吸引ノズル口６２の吸引力は、仕切壁６５により規制され、仕切壁６５よりも吐出ノズル口６１側に作用することが防止される。この結果、吸引力が吐出ノズル口６１による材料液４の吐出に不要に影響を与えてしまうことを抑制できる。さらに、余剰液４ａの吸引がメッシュ７５の上面から鉛直方向にだけ行われるようになって吸引ノズル口６２による余剰液４ａの吸引位置が装置幅方向に一定となり、基材３０に対し薄膜３１を均一な厚みで形成できるようになる。
【００６２】
（６）第６実施形態
以下、図８を参照して本発明の第６実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置について説明する。
図８は本実施形態の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダの構成を示す側面視による模式的断面図である。なお、上記各実施形態で既に説明した部材については同一の符号を付しその説明を省略する。
【００６３】
（６−１）構成
本発明の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は、図７に示す上記第５実施形態に対し、図８に示すように、材料液供給通路６１Ａの吐出ノズル口６１を含む下流側に絞り部６１Ａｄが形成されており吐出口の奥行Ｗ3が第５実施形態よりも縮小され５ｍｍ以下に設定されている点（上記第５実施形態では８ｍｍ）、及び、吐出ノズル口６１にはメッシュが取り付けられていない点で異なる。
【００６４】
また、後述するように吐出ノズル口６１からの材料液の吐出速度が増加することから、吐出ノズル口６１側からオーバフロする材料液が増加するため、吐出ノズル口６１側の回収溝６３が第５実施形態よりも拡大されている。
この他の構成は、上記実施形態と同様なので説明を省略する。
（６−２）作用・効果
本発明の第６実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は、上述したように構成されているので、上記第５実施形態と同様の効果が得られる他、以下のような利点がある。
【００６５】
つまり、吐出ノズル口６１の奥行Ｗ3ひいては開口面積が大きいと、吐出ノズル口６１から吐出される材料液４の流速が低くなり、材料液４は吐出ノズル口を出ると大きく広がるようになりヘッダ表面と広く接触した状態で基材３０に塗工される。つまり、吐出口を出た材料液４は、基材３０へと向かう力の弱い自由界面を有した状態となり、このため基材３０への材料液４の塗工が不安定となってしまう。
【００６６】
これに対し、本実施形態では、上述したように吐出ノズル口６１が絞られ吐出口の奥行Ｗ3が５ｍｍ以下に設定されているので、吐出された材料液４の流速（吐出速度）ひいては材料液４の基材３０へと向かう力が高くなり、基材３０への材料液４の塗工を安定させて基材３０に薄膜３１を一層均一に形成できる。
また、材料液４の吐出速度が高くなると吐出された材料液４が基材３０に付着しやすくなるので、塗工速度を高速化したり、基材３０に形成する薄膜３１の厚みを増加したりすることが可能となる。
【００６７】
上述した従来技術では、余剰液が除去されなかったため、本実施形態のように材料液４の吐出速度を高くすると、余剰液も増加してしまい、薄膜の厚みがさらに不均一になってしまうため、材料液４の吐出速度の高速側が制限されてしまい、塗工速度の高速化や薄膜３１の厚みの増加を実現できなかった。
（６−３）その他
なお、上記では、ノズル口６１，６２の内、吸引ノズル口６２にだけメッシュ（通気性を有する多孔物質）を取り付けているが、吸引ノズル口６２にメッシュを取り付けない構成や、吐出ノズル口６１にメッシュを取り付けた構成も可能である。
【００６８】
（７）第７実施形態
以下、図９を参照して本発明の第７実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置について説明する。
図９は本実施形態の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダの構成を示す側面視による模式的断面図である。なお、上記各実施形態で既に説明した部材については同一の符号を付しその説明を省略する。
【００６９】
（７−１）構成
本発明の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は、図７に示す上記第５実施形態に対し、図９に示すように、通気性を有する多孔材としてメッシュ（第３通気多孔材）７６がさらにそなえられている点が異なる。
このメッシュ７６は、吸引ノズル口６２のメッシュ７５と仕切壁６５ａとの境界を蓋うように取り付けられており、ここでは、吸引ノズル口６２のメッシュ７５の上面、仕切壁６５ａの上面、及び、仕切壁６５ａの吐出ノズル６１側の側端面をカバーするように取り付けられている。
【００７０】
メッシュ７６が厚いほど、メッシュ７６に吸収され基材３０へに塗工されない材料液の量（メッシュ吸収量）が多くなることから、メッシュ７６はできるだけ薄いのが好ましい。また、上記第４実施形態（図６参照）のように単一のメッシュ７３により両ノズル口６１，６２を蓋った場合のメッシュ７３のメッシュ吸収量よりも、メッシュ７４，７５，７６の総メッシュ吸収量が少なくなるように、メッシュ７６はメッシュ７３及びメッシュ７４，７５よりも薄いのが好ましい。メッシュ７３，７４，７５の厚さは例えば３ｍｍ〜５ｍｍ程度であるのに対し、メッシュ７６の厚さは例えば４０μｍ程度である。メッシュ７６の厚さは、寸法のバラツキが抑えられることからも、できるだけ薄いのが好ましい。また、メッシュ７６として使用される通気性多孔材の材質としては、例えば不織布やスクリーン印刷用のメッシュなどがあげられる。
【００７１】
この他の構成は、上記実施形態と同様なので説明を省略する。
（７−２）作用・効果
本発明の第７実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置は、上述したように構成されているので、余剰液４ａは、仕切壁６５の上面に貼り付けられたメッシュ７６により吸収され、さらにメッシュ７４，７５よりも薄いメッシュ７６内を伝ってメッシュ７５まで確実に移動するようになる。
【００７２】
上記第５実施形態では、メッシュ７５や仕切壁６５やメッシュ７５が嵌め込まれる凹所６４ｂに高い加工精度が要求されていた。つまり、仕切壁６５ａと吸引ノズル口６２側のメッシュ７５との間に隙間があると、この隙間が障壁となって、余剰液４ａの仕切壁６５の乗り越えが滑らかに行われないようになる。この結果、その表面張力により仕切壁６５上に留まっていた余剰液４ａが、吐出ノズル口６１から供給されてくる材料液４に押されて部分的に決壊し、その後、この決壊した部分を主として余剰液４ａの仕切壁６５の乗り越えが行われるようになり、装置幅方向に対し余剰液４ａの除去が均一に行われないようになる。このため、上記第７実施形態の構成では、仕切壁６５ａとメッシュ７５との間に隙間が空かないようにメッシュ７５，仕切壁６５及び凹所６４ｂに高い加工精度及び高い組み付け精度が要求されていたのである。
【００７３】
これに対し、本実施形態では、メッシュ７６を設けることで、たとえ仕切壁６５とメッシュ７５との間に隙間があっても余剰液４ａはメッシュ７６を伝って吸引ノズル口側へと滑らかに流れるようになるので、余剰液４ａは装置幅方向に対し均一に吸引ノズル口側へと滑らかに流れるようになり、装置幅方向に対し基材３０に均一な厚みで薄膜３１を形成することができる。したがって、上記第７実施形態のようなメッシュ７５，仕切壁６５及び凹所６４ｂに対する高精度な加工及び組み付けが不要となるので、装置の製造を簡素化して装置の製造費を低減できる。
（７−３）その他
なお、上記では、仕切壁６５の上面全体とメッシュ７５の上面全体とを覆うようにメッシュ７６を取り付けた例を説明したが、仕切壁６５からメッシュ７５への移動が滑らかに行われるよう、メッシュ７６は少なくとも仕切壁６５とメッシュ７５との境界を覆うように仕切壁６５及びメッシュ７５の上面に取り付けられれば良い。
【００７４】
（８）第８実施形態
以下、本発明の第８実施形態としての薄膜形成装置を図１０を参照して説明する。
図１０は本実施形態の薄膜形成装置の構成及び動作を説明するための模式的な側面図である。なお、上記各実施形態で既に説明した部材については同一の符号を付しその説明を省略する。
【００７５】
（８−１）構成
本発明の第８実施形態としての薄膜形成装置８０は、ヘッダ８２と、ヘッダ８２に材料液を供給する材料液供給手段と、ヘッダ８２に余剰液を吸引するための吸引力を作用させる材料液吸引手段と、ヘッダ移動手段（第２移動手段）８３と、被薄膜形成材３０とが所定位置にセットされるステージ８１と、薄膜塗工ローラ（被塗工材，シリンダ状部材）８５と、薄膜塗工ローラ（被塗工材）８５を移動するためのローラ移動手段（第１移動手段）と、薄膜塗工ローラを回転駆動するローラ回転駆動手段（シリンダ状部材回転駆動手段）とをそなえて構成されている（材料液供給手段，材料液吸引手段，ローラ移動手段及びローラ回転駆動手段は何れも図示略）。
【００７６】
ヘッダ８２は、図１０では簡略化して示しているが上記各実施形態で説明したヘッダ６０の何れかと同様に構成され、ステージ８１に対し上下方向に移動可能に取り付けられている。そして、ヘッダ８２の下方でステージ８１に内蔵されたヘッダ移動手段８３により上方に駆動されことにより薄膜塗工ローラ８５に対し移動するようになっている。
また、ローラ移動手段は、薄膜塗工ローラ８５を被薄膜形成材３０に対し移動させるもので、ここでは薄膜塗工ローラ８５を水平方向に移動させるようになっている。
ヘッダ移動手段８３及びローラ移動手段は、種々公知のものが使用される。
【００７７】
（８−２）作用・効果
本発明の第８実施形態としての薄膜形成装置８０は、上述したように構成されているので、以下のようにして被薄膜形成材３０に薄膜が形成される。
つまり、先ず、図１０（ａ）に示すように、薄膜塗工ローラ８５を、ローラ移動手段によりヘッダ８２の上方に移動させる。この時、薄膜塗工ローラ８５は停止状態とされ、ヘッダ８２は、薄膜塗工ローラ８５と接触しない下降位置とされている。
【００７８】
次いで、図１０（ｂ）に示すように、ヘッダ移動手段８３を作動させてヘッダ８２を薄膜塗工ローラ８５と接触する上昇位置とするとともにローラ回転駆動手段を作動させて薄膜塗工ローラ８５を回転させる。これにより、薄膜塗工ローラ８５の周面（ターゲット面）８５ａに材料液が塗工される。
この後、薄膜塗工ローラ８５の周面８５ａに全周にわたって材料液が塗工されると、ヘッダ移動手段８３の作動により、図１０（ｃ）に示すようにヘッダ８２が薄膜塗工ローラ８５と接触しない下降位置とされ、また、ローラ回転駆動手段を停止して薄膜塗工ローラ８５の回転を停止させ、これで薄膜塗工ローラ８５の塗工工程が完了する。
【００７９】
そして、ローラ移動手段の作動により薄膜塗工ローラ８５を被薄膜形成材３０へと移動させるとともにローラ回転駆動手段を作動させて薄膜塗工ローラ８５を回転させる。薄膜塗工ローラ８５の高さ位置は、その最下の周面位置が被薄膜形成材３０の上面と一致するように設定されており、図１０（ｄ）に示すように薄膜塗工ローラ８５を被薄膜形成材３０上で移動させことにより、薄膜塗工ローラ８５の周面８５ａ上の材料液が被薄膜形成材３０の上面に転写されることとなる。
【００８０】
本実施形態の薄膜形成装置８０によれば、上記各実施形態と同様に、被塗工材である薄膜塗工ローラ８５に幅方向に均一に材料液が塗工されるので、この薄膜塗工ローラ８５により被薄膜形成材３０上に薄膜を幅方向に均一に形成できる利点がある。
（８−３）その他
なお、上記では、位置固定の被薄膜形成材３０に対し薄膜塗工ローラ８５を移動させて被薄膜形成材３０に材料液を塗工する構成としたが、逆に、薄膜塗工ローラ８５を位置固定とし、被薄膜形成材３０を移動させるように構成しても良い。例えば、図１０（ａ）〜（ｄ）の構成に対し、被薄膜形成材３０を薄膜塗工ローラ８５の上部と接触するような高さ位置に設定するとともに、この高さ位置において被薄膜形成材３０を図中で左右に移動させる移動手段を設ければよい。
（９）その他
本発明は、上述した各実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形を行うことができる。
【００８１】
例えば、上記各実施形態では、ヘッダ６０，８２は、その被塗工材３０に向き合う面がフラットな形状とされたが、図１１（ａ）に示すようにヘッダ６０′の形状を、被塗工材３０に向き合う面が曲面形状となる例えばシリンダ状としても良い。
また、上記第１〜第８実施形態では、被塗工材３０をプレート状物とし、ヘッダ６０，８２と被塗工材３０とを直線的に相対移動させる構成としたが、図１１（ｂ），（ｃ）に示すように被塗工材３５をローラとし、このローラ３５をその軸芯線を中心に回転させることでローラ円周面（ターゲット面）３５ａに材料液を塗工し、薄膜３６を形成するように構成しても良い。図１１（ｂ）に示す例では、ローラ３５の回転中心を通る鉛直中心線ＣL上に、ヘッダ６０の吐出ノズル口６１が位置するようにヘッダ６０が配置され、一方、図１１（ｃ）に示す例では吐出ノズル口６１と吸引ノズル口６２との対称中心線が、上記鉛直中心線ＣLの上に一致するようにヘッダ６０が配置されている。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の第１実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダの基本原理について説明するための図であって、ヘッダの要部を示す側面視による模式的断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置の要部の構成を示す側面視よる模式的断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置の作用効果を説明するための図であって、その要部の構成を示す側面視よる模式的断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置の要部の構成を示す側面視よる模式的断面図である。
【図５】本発明の第３実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置の要部の構成を示す側面視よる模式的断面図である。
【図６】本発明の第４実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ及び薄膜形成装置の構成を示す側面視よる模式的断面図である。
【図７】本発明の第５実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダの構成を示す側面視よる模式的断面図である。
【図８】本発明の第６実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダの要部構成を示す側面視よる模式的断面図である。
【図９】本発明の第７実施形態としての薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダの構成を示す側面視よる模式的断面図である。
【図１０】本発明の第８実施形態としての薄膜形成装置の構成及び作動を説明するための模式的な側面図である。
【図１１】本発明の各実施形態の薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダに対する変形例の構成を簡単に示す模式的な側面図である。
【図１２】従来の表面張力利用型の薄膜形成装置の構成及び作動を説明するための模式的な側断面図である。
【図１３】従来の毛細管現象利用型の薄膜形成装置の構成及び作動を説明するための模式的な側断面図である。
【図１４】従来の表面張力利用型装置の課題を説明するための模式図である。
【図１５】従来の毛細管現象利用型装置の課題を説明するための図である。
【符号の説明】
【００８３】
４  材料液
４ａ  余剰液
３０  基材（被塗布材，被薄膜形成材）
３０ａ  ターゲット面
３１  薄膜
６０，８２  薄膜形成装置用の材料液塗工ヘッダ
６１  吐出ノズル口（材料液供給口）
６１Ａ  材料液供給通路
６２  吸引ノズル口（余剰液吸引口）
６５ａ  メッシュ仕切壁
７１，７２，７３  通気多孔材
７４  第２通気多孔材
７５  第１通気多孔材
７６  第３通気多孔材
８０  薄膜形成装置
８３  ヘッダ移動手段
８５  薄膜塗工ローラ（被塗工材，シリンダ状部材）
８５ａ  ターゲット面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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