(57)【要約】【課題】  得られた干渉縞画像のモジュレーション値を算出し、その値が閾値以下の場合には、その値が閾値を超えるまでＬＤの注入電流を微少量づつ変化させることにより、モードホップ現象により干渉縞コントラストが低下した場合にも、コントラストの良好な状態に迅速に復帰させ、被検体の自動干渉測定を安定して行なう。【解決手段】  干渉計装置により被検体の干渉縞画像を取得し（Ｓ１）、干渉縞画像を解析して各画素毎のモジュレーション値γを算出し（Ｓ２）、このモジュレーション値γが所定の閾値を超える画素が規定数以上あるか否かを判断する（Ｓ３）。規定数以上あると判断されれば、通常の干渉縞画像解析処理を行ない（Ｓ４）、一方、規定数に達していないと判断されれば、ＬＤ１１の注入電流を所定の微少量だけ変化させる（Ｓ５）。この後、ステップ１（Ｓ１）に戻って上記一連の処理を繰り返して行なう。【選択図】          図１
2005098902.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照射光を出力する光源が、注入電流の変化に基づいて前記照射光の波長に変化が生じるものであり、前記照射光を用いて被検体の干渉縞画像を得る干渉計装置において、
前記干渉縞画像の取得を所定のタイミング毎に行ない、得られた干渉縞画像に画像解析処理を施して、当該画像のモジュレーション値を算出するとともに、該モジュレーション値が所定の閾値以下の場合には、前記注入電流を所定値だけ変化させる注入電流調整操作を行ない、
この後、前記得られた干渉縞画像に係る前記モジュレーション値が前記所定の閾値を超えるまで、前記注入電流調整操作を繰り返し行なうことを特徴とする光源出力安定化方法。
【請求項２】
照射光を出力する光源が、注入電流の変化に基づいて前記照射光の波長に変化が生じるものであり、前記照射光を用いて被検体の干渉縞画像を得る干渉計装置において、
前記干渉縞画像の取得を所定のタイミング毎に行ない、得られた干渉縞画像に画像解析処理を施して、当該画像のモジュレーション値を算出するとともに、該モジュレーション値が所定の閾値以下の場合には、前記光源の温度を所定値だけ変化させる光源温度調整操作を行ない、
この後、前記得られた干渉縞画像に係る前記モジュレーション値が前記所定の閾値を超えるまで、前記光源温度調整操作を繰り返し行なうことを特徴とする光源出力安定化方法。
【請求項３】
前記注入電流調整操作における注入電流の変化量である所定値、または前記光源温度調整操作における前記光源の温度の変化量である所定値は、新たなモードホップ現象が生じる毎に、正負反転した符号を有するものとされることを特徴とする請求項１または２記載の光源出力安定化方法。
【請求項４】
前記注入電流調整操作における注入電流の変化量である所定値、または前記光源温度調整操作における前記光源の温度の変化量である所定値は、新たなモードホップ現象が生じる毎に求められた、所定の基準値と、現在の前記注入電流の値または現在の前記光源の温度の値との差が小さくなるような値とされていることを特徴とする請求項１または２記載の光源出力安定化方法。
【請求項５】
前記光源が半導体レーザ光源であることを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか１項記載の光源出力安定化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体レーザ光源等の、その駆動環境により出力波長が変化する光源からの出力を安定化する方法に関し、特に、干渉計装置を用いて被検体の自動測定を行なう場合に、いわゆるモードホップ現象により画像のコントラストが不良状態に陥ったものを良好な状態に復帰させることができる光源出力安定化方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検体の干渉縞画像を干渉計装置により取得し、得られた干渉縞画像を解析して、被検体の表面形状や内部応力歪等を測定することが広く行なわれている。
また、光学製品の検査工程等においては、このような測定を自動化する試みがなされている。
【０００３】
一方、上記干渉計装置においては、照射光を出力する光源として、例えば本願出願人が既に開示している下記特許文献１に記載されたような半導体レーザ光源（ＬＤ）を用いたものが知られている。このような半導体レーザ光源は、注入電流を変化させることで波長が変化するという特徴を有する。したがって、照射光の波長を変化させて測定したいとき、あるいはフリンジスキャニング法等を用いて縞解析を行ないたいとき等において特に有用である。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−９０７６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような半導体レーザ光源の出力光は、単一モード発振中に、突然マルチモード発振に移行するモードホップ現象を生じる場合がある。モードホップ現象は、半導体レーザ光源への注入電流を走査していった場合、出力光の発振波長が突然変化する現象としても知られており（図３、４参照）、この発振波長が変化する遷移区間においてはマルチモード発振となっている。
【０００６】
このようなモードホップ現象が生じた場合には、出力光が複数の波長を有することになるので、それまで光源から出力されていた照明光によってコントラストの良好な干渉縞画像が得られていたとしても、モードホップ現象の発生により、コントラストが急激に低下し、図７ｂに示すようにコントラストの不良な干渉縞画像が得られてしまう虞がある。
【０００７】
通常、このような半導体レーザ光源の出力光波長は、所定値に高精度に維持する制御を行なう必要があり、注入電流や光源温度も高精度で制御されることになるが、一旦上記モードホップ現象が発生すると、このような制御によっては干渉縞のコントラストを良好な状態に戻すことができないため、その後は取得された干渉縞画像が全てコントラスト不良ということになりかねない。特に、製品の自動検査工程においては、後になってから大量の製品が未検査状態にあることが判明されることとなり問題となっている。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、半導体レーザ光源からの出力光を用いて干渉計測を行なう干渉計装置において、モードホップ現象により干渉縞画像のコントラストが劣化した場合にも、干渉縞画像のコントラストを良好な状態に自動復帰し得る光源出力安定化方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る第１の光源出力安定化方法は、照射光を出力する光源が、注入電流の変化に基づいて前記照射光の波長に変化が生じるものであり、前記照射光を用いて被検体の干渉縞画像を得る干渉計装置において、
前記干渉縞画像の取得を所定のタイミング毎に行ない、得られた干渉縞画像に画像解析処理を施して、当該画像のモジュレーション値を算出するとともに、該モジュレーション値が所定の閾値以下の場合には、前記注入電流を所定値だけ変化させる注入電流調整操作を行ない、
この後、前記得られた干渉縞画像に係る前記モジュレーション値が前記所定の閾値を超えるまで、前記注入電流調整操作を繰り返し行なうことを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明に係る第２の光源出力安定化方法は、照射光を出力する光源が、注入電流の変化に基づいて前記照射光の波長に変化が生じるものであり、前記照射光を用いて被検体の干渉縞画像を得る干渉計装置において、
前記干渉縞画像の取得を所定のタイミング毎に行ない、得られた干渉縞画像に画像解析処理を施して、当該画像のモジュレーション値を算出するとともに、該モジュレーション値が所定の閾値以下の場合には、前記光源の温度を所定値だけ変化させる光源温度調整操作を行ない、
この後、前記得られた干渉縞画像に係る前記モジュレーション値が前記所定の閾値を超えるまで、前記光源温度調整操作を繰り返し行なうことを特徴とするものである。
【００１１】
また、前記注入電流調整操作における注入電流の変化量である所定値、または前記光源温度調整操作における前記光源の温度の変化量である所定値は、新たなモードホップ現象が生じる毎に、正負反転した符号を有するものとされることが好ましい。
【００１２】
また、前記注入電流調整操作における注入電流の変化量である所定値、または前記光源温度調整操作における前記光源の温度の変化量である所定値は、新たなモードホップ現象が生じる毎に求められた、所定の基準値と、現在の前記注入電流の値または現在の前記光源の温度の値との差が小さくなるような値とされていることが好ましい。
【００１３】
さらに、前記光源は、半導体レーザ光源により構成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る光源出力安定化方法によれば、干渉計装置により得られた干渉縞画像に画像解析処理を施して、当該画像のモジュレーション値を算出し、このモジュレーション値が所定の閾値以下の場合には、前記注入電流を所定値だけ変化させる注入電流調整操作または前記光源の温度を所定値だけ変化させる光源温度調整操作を行ない、前記モジュレーション値が前記所定の閾値を超えるまで、前記注入電流調整操作または前記光源温度調整操作を繰り返し行なうようにしている。
【００１５】
したがって、特に半導体レーザ光源において問題となっているモードホップ現象が生じて、干渉縞画像のコントラストが低下した場合にも、コントラストの良好な状態に迅速に復帰させることができ、干渉計装置による被検体の自動測定を安定して行なうことができる。
【００１６】
また、前記モジュレーション値を測定するための、被検体の干渉縞画像は、本来の被検体の測定に使用するための干渉縞画像をそのまま用いればよく、光源の安定化制御のために別途データを取得することを要しないから極めて効率がよい。
【００１７】
なお、特開昭５９−２１８９０３号公報には、干渉光学系を利用した装置において、光源の波長変動に起因する測定誤差を低下させる技術が記載されているが、この技術は本願発明のように、干渉縞画像のコントラストの低下を改善するという課題を解決するためになされたものではなく、また、その解決手法として干渉縞画像の解析データに基づく構成を有しておらず、基本的な技術思想を異にするものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。本実施形態の光源出力安定化方法は、半導体レーザ光源（以下ＬＤと称する）を搭載した干渉計装置により得られた干渉縞画像に画像解析処理を施して、その画像のモジュレーション値γを算出するとともに、このモジュレーション値γが所定の閾値ｐ以下の場合には、前記注入電流を所定値だけ変化させる注入電流調整操作を行ない、前記モジュレーション値γが前記所定の閾値ｐを超えるまで、前記注入電流調整操作を繰り返し行なうものである。
【００１９】
まず、上記実施形態方法を実施するための干渉計装置の構成について説明する。
図２は実施形態に係る干渉計装置の構成を示す概略図である。
図示のように、この干渉計装置１は、被検体１７の被検面１７ａの表面形状を干渉縞により観察するフィゾー型の干渉計本体１０と、コンピュータ２０と、モニタ２１と、半導体レーザ光源（以下ＬＤと称する）１１の電源（ＬＤ電源）２２とを備えてなる。
【００２０】
上記干渉計本体１０は、ＬＤ１１からの可干渉光を平行光とするコリメータレンズ１２、発散レンズ１３、ビームスプリッタ１４、コリメータレンズ１５、被検体１７との間にワークスペースを介して対向する、基準面１６ａを有する基準板１６、ならびに光干渉により得られた干渉縞を撮像する撮像レンズ１８およびＣＣＤ撮像装置１９とを備えてなる。
【００２１】
この干渉計本体１０においては、ＬＤ１１からのレーザ光３０を基準板１６の基準面１６ａに入射させて、該基準面１６ａにおいて透過光束と反射光束とに２分割し、透過光束を被検体１７の被検面１７ａに入射させてその反射光を物体光とするとともに基準面１６ａにおける反射光を参照光とし、これら物体光および参照光の光干渉により生じる干渉光をコリメータレンズ１５、ビームスプリッタ１４、撮像レンズ１８を介してＣＣＤ撮像装置１９に導き、このＣＣＤ撮像装置１９において干渉縞を撮像するようになっている。
【００２２】
撮像された干渉縞はコンピュータ２０において解析され、これにより被検面１７ａの表面形状を測定し得るようになっている。なお、撮像された干渉縞および解析された被検面１７ａの表面形状はモニタに表示されるようになっている。
【００２３】
なお、本実施形態方法においては周知のフリンジスキャニング法により干渉縞解析が行なわれるように構成されており、また、基準板１６は、図示されないＰＺＴ駆動回路に接続されたピエゾ素子２４を介して図示されない基準板支持部材に支持されている。そして、コンピュータ２０からの指示にしたがい、ピエゾ素子２４に所定電圧が印加され該ピエゾ素子２４が駆動され、これにより基準板１６が光軸Ｚ方向に所定位相分だけ移動せしめられる。この移動により変化する干渉縞の画像データはコンピュータ２０に出力され、これら複数枚の画像データに対して、縞画像解析が行なわれる。
【００２４】
上記ＬＤ１１は、温度制御機能が施されたものを用い、基本的には、前述したような単一縦モードのレーザ光（例えば波長λが６５４ｎｍ付近）を発振し得るようになっている。さらに、注入電流を変化させると、出力されるレーザ光の波長と光強度が変化するという、一般のＬＤとしての特徴を有している。
また、上記ＣＣＤ撮像装置１９は、１光蓄積期間が１／３０（秒）のＣＣＤを用いている。
【００２５】
ところで、このようなＬＤ１１の出力光は、一つの単一モードから他の単一モードに突然シフトする、モードホップ現象を生じる場合がある。
【００２６】
図３は、注入電流を走査したときに発生したモードホップ現象の一例を示すグラフである。すなわち、ＬＤ１１の注入電流が３９ｍＡまでの範囲では、注入電流が増加するのにしたがって出力光の波長も若干ではあるが比例的に増加する（例えば、注入電流が１ｍＡ増加すると波長が８ｐｍ増加する）単一モード領域となっているが、注入電流が３９ｍＡを超えたところでモードホップ現象が生じ、波長が大きく増加するマルチモード領域が形成される。注入電流が４０ｍＡまで増加すると、モードが完全にシフトし、再び、注入電流が増加するのにしたがって出力光の波長も若干ではあるが比例的に増加する単一モード領域となる。
【００２７】
このようなモードホップ現象は、ＬＤ１１への注入電流やＬＤ１１の温度を高精度で制御していても突然発生し、それにより干渉縞画像のコントラストが不良となり、このような制御によっては自動的にコントラストの良好な状態に戻すことが不可能となってしまう。
【００２８】
図４は、やはり注入電流を走査したときに発生したモードホップ現象の例を示すグラフであるが、制御温度が２４℃、２５℃、２６℃のいずれの場合にも、注入電流を走査していくと、複数回に亘って、波長が大きく変化する現象が生じている（黒矢印で示す領域）のが認められる。
【００２９】
このようなモードホップ現象が生じた場合には、出力光がマルチモード発振とされ、発振波長が複数個存在することとなるので、それまでＬＤ１１から出力されていた照明光によってコントラストの良好な干渉縞画像が得られていたとしても、モードホップ現象の発生により、コントラストが急激に低下する虞がある。
そこで、本実施形態方法においては、図１のフローチャートに示すような処理を行なうことによって、上記問題を解決している。
【００３０】
すなわち、まず、干渉計装置により被検体の干渉縞画像を取得し（Ｓ１）、この取得した干渉縞画像を解析して各画素毎のモジュレーション値γを算出し（Ｓ２）、このモジュレーション値γが所定の閾値を超える画素が規定数（規定の割合）以上あるか否かを判断する（Ｓ３）。この判断の結果、規定数（規定の割合）以上あると判断されれば、通常の干渉縞画像解析処理ルーチンに移行し（Ｓ４）、一方、この判断の結果、規定数（規定の割合）に達していないと判断されれば、ＬＤ１１の注入電流を所定の微少量だけ変化させる（Ｓ５）。この後、ステップ１（Ｓ１）に戻って上記一連の処理を繰り返して行なう。
【００３１】
上記所定の閾値とは、使用用途等に応じた、良好な画像解析が可能な値を適宜選択可能であり、例えば最良コントラスト値の２０％とする。
また、ステップ３（Ｓ３）において判断の基準となる画素の規定数についても、使用用途等に応じた、良好な画像解析が可能な値を適宜選択可能であり、例えば全画素数が１００万であれば、９０万を規定数とする（この場合の規定割合は９０％ということになる）。
【００３２】
また、ステップ５（Ｓ５）における注入電流の変化量とは、モードホップにより出力光波長が変化している遷移領域（マルチモード領域）の幅等を勘案して適宜選択可能であるが、例えば、0.1ｍＡとする。
【００３３】
次に、上記モジュレーション値γについて説明する。モジュレーション値γは、干渉縞振幅（コントラスト）と略相関関係を有するものであり、４ステップのフリンジスキャニング法を採用した場合には、具体的には下記式（１）により表される。
【００３４】
【数１】
2005098902.tif 000003
【００３５】
ここで、ｘ、ｙは、撮像した縞画像を展開する所定の座標系上の座標、例えば、CCD撮像素子の画素配列に対応するように設定された座標系上において各画素の位置を示す離散的な座標を表わし、Ｉ０は、各座標（各画素）における平均光強度を、Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３、Ｉ４は、４回のフリンジスキャン後の各タイミングにおける干渉縞強度をそれぞれ表している。
【００３６】
この４回のフリンジスキャン後の各タイミングにおける干渉縞強度Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３，Ｉ４は、以下の各式（２）、（３）、（４）、（５）により表される。
【００３７】
【数２】
2005098902.tif 000004
【００３８】
また、上記注入電流の変化方向は、電流増加方向と電流減少方向のいずれであってもよいが、１回のモードホップ現象によって変化した波長が元に戻るまでは、注入電流を同一方向に繰り返し変化させる。ただし、次にモードホップ現象が発生した場合には、前回モードホップ現象が発生した場合における注入電流の増減方向とは逆の方向に注入電流を変化させるようにするとよい。これにより、複数回のモードホップ現象の発生によっても注入電流が大きく変化してしまう事態を防止することができる。また、所定値、例えば、ＬＤ１１の注入電流の初期設定値を基準とし、前回のモードホップ現象の発生に伴い変化させた注入電流の最終設定値がこの基準値のプラス側にあるのか、マイナス側にあるのかを判断し、その結果、プラス側にあると判断されれば次回のモードホップ現象の発生に伴う注入電流の変化方向は注入電流を減少させる方向とし、一方、上記の結果、マイナス側にあると判断されれば次回のモードホップ現象の発生に伴う注入電流の変化方向は注入電流を増加させる方向とするようにしてもよい。
【００３９】
なお、上記注入電流の変化量は一定量（例えば0.1ｍＡ）としてもよいし、逐次その変化量を変えるようにしてもよい。
また、上述した注入電流の制御は、ＬＤ電源に対するコンピュータ２０からの指示で行なわれる。
【００４０】
図５は、モードホップ現象が発生した際になされる、本実施形態方法の注入電流調整処理を説明するための模式的なタイミングチャートである。このタイミングチャートにおいて、縦軸はＬＤ１１の注入電流値であり、横軸は時間（任意単位）である。
【００４１】
図５に示すように、時間軸方向に所定期間毎に区切られたサンプリング区間を設定する（ｔ１、ｔ２・・・ｔ９９、ｔ１００、ｔ１０１・・・）。各サンプリング区間においては、被検体の干渉縞測定がなされ、その干渉縞画像が取得され（図１のＳ１）、その画像解析が行なわれてモジュレーション値γが求められ（図１のＳ２）、そのモジュレーション値γが所定値以上の画素数が規定数以上であるか否かが判断される（図１のＳ３）。モジュレーション値γが所定値以上の画素数が規定数以上である（コントラストが良好）と判断されれば、ＬＤ１１の注入電流を変化させることなく次のサンプリング区間となるまで待機する。一方、モジュレーション値γが所定値以上の画素数が規定数に達していない（コントラストが不良）と判断されれば、ＬＤ１１の注入電流を微少量だけ変化させて次のサンプリング区間となるまで待機する。
【００４２】
図５を具体的に説明すると、区間ｔ１においてはモジュレーション値γが高い（白矢印：γ高）と判断されたため、ＬＤ１１の注入電流を変化させることなく（37.0ｍＡのまま）区間ｔ２に移行している。区間ｔ２においてもモジュレーション値γが高い（白矢印：γ高）と判断されたため、ＬＤ１１の注入電流を変化させることなく区間ｔ３に移行している。しかし、区間ｔ２において、干渉縞画像を取得した後にモードホップ現象が発生し、区間ｔ３におけるモジュレーション値γは低い（黒矢印：γ低）と判断されたため、ＬＤ１１の注入電流を0.1ｍＡだけ増加させた後、区間ｔ４に移行している。注入電流を増加させたにも拘わらず区間ｔ４におけるモジュレーション値γは低い（黒矢印：γ低）と判断されたため、ＬＤ１１の注入電流を再び0.1ｍＡだけ増加させた後、区間ｔ５に移行している。
この後、区間ｔ７に至るまで注入電流を0.1ｍＡだけ増加させる処理を繰り返し、注入電流値が37.4ｍＡとなった時点でＬＤ１１からの出力モードが単一モードとなり、区間ｔ７におけるモジュレーション値γが高い（白矢印：γ高）と判断されたため、ＬＤ１１の注入電流を変化させることなく（37.4ｍＡのまま）区間ｔ８に移行している。
【００４３】
また、この後、区間ｔ９９に至るまで、モードホップ現象は生じておらず（図５では一部省略）、各区間においてモジュレーション値γが高い（白矢印：γ高）と判断されたため、ＬＤ１１の注入電流は37.4ｍＡのまま変化させていない。
【００４４】
ところが、区間ｔ９９において、再度モードホップ現象が発生し、区間ｔ１００におけるモジュレーション値γは低い（黒矢印：γ低）と判断されたため、前回とは逆に、ＬＤ１１の注入電流を0.1ｍＡだけ減少させた後、区間ｔ１０１に移行している。この場合にも、モジュレーション値γが高い（白矢印：γ高）と判断されるまでＬＤ１１の注入電流を変化し続け、モジュレーション値γが高い（白矢印：γ高）と判断された区間ｔ１０２の次の区間である区間ｔ１０３への移行時には注入電流を変化させないようにしている。
【００４５】
このように、本実施形態方法においては、モードホップ現象が発生したか否かを判断するためにモジュレーション値γを基準としており、モジュレーション値γが低い（コントラストが不良）と判断されると、モジュレーション値γが高い（コントラストが良好）と判断されるまで、ＬＤ１１の注入電流を微少量づつ変化させるようにしているので、突発的に発生するモードホップ現象に対応して、干渉縞画像のコントラストを良好な状態に戻すことが可能であり、これにより、被検体に対する継続的な自動干渉縞測定が可能となる。
【００４６】
また、上記実施形態方法とは異なる他の実施形態方法として、ＬＤ１１の温度を微少量づつ変化させることによってモードホップ現象に対応させる手法がある。
すなわち、上記実施形態方法においては、モジュレーション値γが良好と判断されるまで、ＬＤ１１の注入電流を微少量づつ変化させるようにしているが、これに替えて、モジュレーション値γが良好と判断されるまで、ＬＤ１１の温度を微少量づつ変化させるようにしても、突発的に発生するモードホップ現象に対応して、干渉縞画像のコントラストを良好な状態に戻すことが可能である。
【００４７】
具体的には、図１に示すフローチャートのステップ５（Ｓ５）において、ＬＤ１１の注入電流を所定の微少量だけ変化させる替わりに、ＬＤ１１の温度を微少量づつ変化させることになる。ここで、ＬＤ１１の温度はペルチェ素子等をＬＤ１１に付設し、この駆動電流量をコンピュータ２０からの指示信号に基づいて調整することにより行なわれる。
【００４８】
その他の点においては、上記実施形態方法と同様な手順で行なうようにすればよいので、ここでは重複する説明は省略する。ただし、ＬＤ１１の温度をペルチェ素子等を用いて変化させる場合には、上記ＬＤ１１の注入電流を変化させる場合とは異なり、安定するまでに時間を要するので、温度変化操作を行なってから被検体の干渉縞測定を行なうまでに所定の待機時間を設けることが肝要である。
【００４９】
図６は、上記他の実施形態方法の光源温度調整処理を説明するための模式的なタイミングチャートである。このタイミングチャートにおいて、縦軸はＬＤ１１の温度（光源温度）であり、横軸は時間（任意単位）である。
【００５０】
図６に示すタイミングチャートで表された手順も、基本的に図５に示すタイミングチャートで表される手順と同様である。すなわち、モジュレーション値γを基準としてモードホップ現象の発生を判断しており、モジュレーション値γが低い（コントラストが不良）と判断されると、モジュレーション値γが高い（コントラストが良好）と判断されるまで、ＬＤ１１の温度を微少量づつ増加させるようにしている。ここでは、初期設定温度は２５℃であり、温度変化幅は0.1℃である。また、温度の変化方向は上述した実施形態方法において説明した注入電流の変化方向と同様とすればよい。
【００５１】
なお、前述したように、ＬＤ１１の温度をペルチェ素子等を用いて変化させる場合には、安定するまでに時間を要するので、温度変化操作を行なってから被検体の干渉縞測定を行なうまでに所定の待機区間（区間ｔ４、区間ｔ６）を設けるようにしている。この待機区間の幅は適宜選択すればよいが、例えば２０秒間とする。その他のサンプリング区間が、例えば１秒程度であるとすれば、それに対してこの待機のための待機区間（区間ｔ４、区間ｔ６）は大幅に長いことになり、実際には図６で表される各区間において、区間ｔ４および区間ｔ６が他の区間に比べて大幅に長い期間とされることになる。
【００５２】
このように、上記他の実施形態方法においても、モードホップ現象が発生したか否かを判断するためにモジュレーション値γを基準としており、モジュレーション値γが低い（コントラストが不良）と判断されると、モジュレーション値γが高い（コントラストが良好）と判断されるまで、ＬＤ１１の温度を微少量づつ変化させるようにしているので、突発的に発生するモードホップ現象に対応して、例えば図７ａに示す如く、干渉縞画像のコントラストを良好な状態に戻すことが可能であり、これにより、被検体に対する継続的な自動干渉縞測定が可能である。
【００５３】
なお、本実施形態の光源出力安定化方法においては、その他の種々の態様の変更が可能であり、例えば、干渉縞解析処理において、上記フリンジスキャニング法に替えて周知のフーリエ変換法（例えば1995年5月光波センシング予稿集第75〜82頁参照）を用いることができる。
【００５４】
また、上述の干渉計装置１０はフィゾー型であるが、本発明方法はマイケルソン型等の等光路長型の干渉計装置にも適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施形態に係る光源出力安定化方法の概略を示すフローチャート
【図２】本発明の一実施形態に係る光源出力安定化方法を実施するための干渉計装置の概略構成図
【図３】注入電流を走査したときに発生したモードホップ現象の一例を示すグラフ
【図４】各温度におけるＬＤ光源の注入電流変化に対する出力光の波長変化を示すグラフ
【図５】モードホップ現象が発生した際になされる、図１に示す実施形態の注入電流調整処理を説明するための模式的なタイミングチャート
【図６】モードホップ現象が発生した際になされる、他の実施形態の光源温度調整処理を説明するための模式的なタイミングチャート
【図７ａ】コントラストが良好な状態の干渉縞画像
【図７ｂ】モードホップ現象が生じて、コントラストが不良となった状態の干渉縞画像
【符号の説明】
【００５６】
１      干渉計装置
１０    干渉計本体
１１    半導体レーザ光源（ＬＤ）
１２    コリメータレンズ
１３    発散レンズ
１４    ビームスプリッタ
１５    コリメータレンズ
１６    基準板
１６ａ  基準面
１７    被検体
１７ａ  被検面
１８    撮像レンズ
１９    ＣＣＤ撮像装置
２０    コンピュータ
２１    モニタ
２２    電源（ＬＤ電源）
２４    ピエゾ素子
３０    レーザ光
【図１】
2005098902.tif 000005
【図２】
2005098902.tif 000006
【図３】
2005098902.tif 000007
【図４】
2005098902.tif 000008
【図５】
2005098902.tif 000009
【図６】
2005098902.tif 000010
【図７ａ】
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【図７ｂ】
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