(57)【要約】【課題】  回転テーブルもしくは試料台上にｘｙテーブルなどの試料移動機構を備えたＸ線ＣＴ装置において、較正治具を用いた回転中心軸の較正をより正確に行うことのできる方法と装置を提供する。【解決手段】  回転テーブル１の上に試料移動機構（ｘｙテーブル等）２を搭載したＸ線ＣＴ装置において、Ｘ線吸収率の高いワイヤ４２をＸ線吸収率の低い保持部材で保持してなる較正治具４を、回転テーブル１に対して固定し、かつ、試料移動機構２を迂回してワイヤ４２が回転テーブル１の回転中心軸Ｒの近傍に位置させた状態で、回転テーブル１を回転させつつＸ線を照射してその透過情報を採取して回転中心軸Ｒの投影位置座標を求めることにより、試料移動機構２のバックラッシュ等の影響を受けることなく、正確に回転中心軸Ｒの投影位置を求めることを可能とする。【選択図】  図１
2005127881.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向配置されたＸ線源とＸ線検出器の間に試料ステージを配置し、Ｘ線源とＸ線検出器の対もしくは試料ステージを所定の回転中心軸の回りに回転させつつ、試料にＸ線を照射して所定の回転角度ごとに採取したＸ線透過情報を用いて、上記回転中心軸に直交する平面に沿った試料の断層像を再構成するとともに、上記試料ステージ上には、試料を移動もしくは傾動させるための少なくとも１軸の駆動機構を備えたテーブルが載せられ、そのテーブル上に試料を搭載するように構成されてなるＸ線ＣＴ装置において、上記回転中心軸の投影位置の座標を求める方法であって、
Ｘ線吸収率の高いワイヤをＸ線吸収率の低い保持部材で直線状に保持してなる較正治具を用い、その較正治具の保持部材を上記試料ステージに対して固定し、かつ、ワイヤが上記回転中心軸の近傍で当該回転中心軸に沿うように位置させた状態で、Ｘ線源とＸ線検出器の対もしくは試料ステージを回転させつつＸ線を照射し、所定の角度ごとの較正治具のＸ線透過情報を採取し、その採取したＸ線透過情報から上記回転中心軸の投影位置の座標を演算することを特徴とするＸ線ＣＴ装置における回転中心軸の較正方法。
【請求項２】
互いに対向配置されたＸ線源およびＸ線検出器と、これらの間に配置された回転テーブルと、その回転テーブルの上に配置され、試料を搭載して移動もしくは傾動させるための少なくとも１軸の駆動機構を備えた試料テーブルと、その試料テーブル上に試料を搭載して上記回転テーブルを回転させつつＸ線を照射して、所定の回転角度ごとに採取したＸ線透過情報を用いて、上記回転中心軸に直交する平面に沿った試料の断層像を再構成する断層像再構成演算手段を備えたＸ線ＣＴ装置において、
上記回転テーブルに、Ｘ線吸収率の高い材質からなるワイヤとそのワイヤを直線状に保持するＸ線吸収率の低い材質からなる保持部材で構成された回転中心軸較正治具の保持部材を、上記ワイヤが上記回転中心軸の近傍において当該回転中心軸に沿うように着脱自在もしくは退避自在に装着するための較正治具装着機構が設けられていることを特徴とするＸ線ＣＴ装置。
【請求項３】
互いに対向配置されたＸ線源およびＸ線検出器と、そのＸ線源とＸ線検出器との対を所定の回転中心軸の回りに回転させる回転機構と、上記Ｘ線源とＸ線検出器の間に配置された試料台と、その試料台上に配置され、試料を搭載して移動もしくは傾動させるための少なくとも１軸の駆動機構を備えた試料テーブルと、その試料テーブル上に試料を搭載して上記Ｘ線源とＸ線検出器の対を回転させつつＸ線を照射し、所定の回転角度ごとに採取したＸ線透過情報を用いて、上記回転中心軸に直交する平面に沿った試料の断層像を再構成する断層像再構成手段を備えたＸ線ＣＴ装置において、
上記試料台に、Ｘ線吸収率の高い材質からなるワイヤとそのワイヤを直線状に保持するＸ線吸収率の低い材質からなる保持部材で構成された回転中心軸較正治具の保持部材を、上記ワイヤが上記回転中心軸の近傍において当該回転中心軸に沿うように着脱自在もしくは退避自在に装着するための較正治具装着機構が設けられていることを特徴とするＸ線ＣＴ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用のＸ線ＣＴ装置における回転中心軸の較正方法と、その方法を実施するのに適したＸ線ＣＴ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線ＣＴ装置においては、一般に、図９にその構成例を模式的に示すように、Ｘ線源９１とＸ線検出器９２の間に、試料Ｗを搭載して回転を与えるための回転テーブル９３を配置し、その回転テーブル９３を回転させながら試料ＷにＸ線を照射し、所定の回転角度ごとに取り込んだ試料ＷのＸ線透過情報を用いて、回転テーブル９３の回転中心軸Ｒに直交する平面に沿った試料の断層像を再構成する。
【０００３】
このようなＸ線ＣＴ装置においては、断層像は回転中心軸を中心として構築されるため、試料Ｗの任意の位置を中心とした断層像を得るためには、試料Ｗを回転テーブル９３上で回転中心軸Ｒに直交する方向に移動させ得るようにすることが望ましく、そのため、図示のように、回転テーブル９３の上にｘｙテーブル９４などの移動機構を設け、このｘｙテーブル９４上に試料Ｗを載せてＸ線透過情報を得るようにする構成が採用されることが多い（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
また、回転テーブル９３を設ける代わりに、固定された試料台を配置するとともに、Ｘ線源とＸ線検出器の対を、互いに位置関係を保った状態で試料台を通る回転中心軸の回りに回転させる構成を採るものも知られている。このような構成においても、断層像はＸ線源とＸ線検出器の対の回転中心軸を中心として構築されるため、試料台上に上記と同様のｘｙテーブルなどの移動機構を設けて、回転中心軸に対して試料を移動させ得る構成を採用することが好ましい。
【０００５】
そして、以上のようなＸ線ＣＴ装置においては、いずれも、回転テーブル９３の回転中心軸ＲもしくはＸ線源とＸ線検出器の対の回転中心軸の、Ｘ線検出器９２上への投影位置の座標情報を知ることが必須となる。
【０００６】
この回転中心軸投影位置情報を得るために、従来、図１０に示すように、アクリル樹脂などのＸ線を透過させやすい材料からなる保持部材９５ａの内部に、タングステンなどのＸ線吸収率の高い材料からなるワイヤ９５ｂを設けた構造の回転中心軸較正治具（ファントム）９５を用い、この回転中心軸較正治具９５を、図９に示した回転テーブル９３を有するＸ線ＣＴ装置にあっては、回転テーブル９３上に配置されているｘｙテーブル９４などの移動機構の上に回転中心軸較正治具９５を載せ、ワイヤ９５ｂが回転テーブル９３の回転中心軸Ｒの近傍で、この回転中心軸Ｒに沿うように固定して回転を与え、所定の回転角度ごとにＸ線検出器９２からのＸ線透過情報を用いて、回転中心軸ＲのＸ線検出器９２上への投影位置座標を算出する。
【０００７】
Ｘ線源とＸ線検出器の対を回転させる構成のＸ線ＣＴ装置においても、試料台上のｘｙテーブルなどの移動機構の上に上記と同等の回転中心軸較正治具を載せた状態で、Ｘ線源とＸ線検出器の対を回転させ、所定の回転角度ごとに取り込んだＸ線透過情報を用いて、回転中心軸のＸ線検出器上への投影位置座標を算出する。
【特許文献１】特開２００２−３１０９４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、以上のように回転テーブルや試料台上にｘｙテーブルなどの試料の移動機構を備えたＸ線ＣＴ装置において、移動機構上に回転中心軸較正治具を載せてＸ線透過情報を得て、その回転中心軸投影位置を求める場合、移動機構のバックラッシュをはじめとする各種誤差が必ずといっていいほど発生し、その較正結果に悪影響を及ぼすという問題がある。
【０００９】
本発明は、回転テーブルもしくは試料台上にｘｙテーブルなどの試料の移動機構を備えたＸ線ＣＴ装置において、回転中心軸較正治具を用いた回転中心軸の較正をより正確に行うことのできる方法並びに装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明のＸ線ＣＴ装置における回転中心軸較正方法は、互いに対向配置されたＸ線源とＸ線検出器の間に試料ステージを配置し、Ｘ線源とＸ線検出器の対もしくは試料ステージを所定の回転中心軸の回りに回転させつつ、試料にＸ線を照射して所定の回転角度ごとに採取したＸ線透過情報を用いて、上記回転中心軸に直交する平面に沿った試料の断層像を再構成するとともに、上記試料ステージ上には、試料を移動もしくは傾動させるための少なくとも１軸の試料移動機構を備えたテーブルが載せられ、そのテーブル上に試料を搭載するように構成されてなるＸ線ＣＴ装置において、上記回転中心軸の投影位置の座標を求める方法であって、Ｘ線吸収率の高いワイヤをＸ線吸収率の低い保持部材で直線状に保持してなる較正治具を用い、その較正治具の保持部材を上記試料ステージに対して固定し、かつ、ワイヤが上記回転中心軸の近傍で当該回転中心軸に沿うように位置させた状態で、Ｘ線源とＸ線検出器の対もしくは試料ステージを回転させつつＸ線を照射し、所定の角度ごとの較正治具のＸ線透過情報を採取し、その採取したＸ線透過情報から上記回転中心軸の投影位置の座標を演算することによって特徴づけられる（請求項１）。
【００１１】
また、上記した課題を解決するため、本発明のＸ線ＣＴ装置は、互いに対向配置されたＸ線源およびＸ線検出器と、これらの間に配置された回転テーブルと、その回転テーブルの上に配置され、試料を搭載して移動もしくは傾動させるための少なくとも１軸の試料移動機構を備えた試料テーブルと、その試料テーブル上に試料を搭載して上記回転テーブルを回転させつつＸ線を照射して、所定の回転角度ごとに採取したＸ線透過情報を用いて、上記回転中心軸に直交する平面に沿った試料の断層像を再構成する断層像再構成演算手段を備えたＸ線ＣＴ装置において、上記回転テーブルに、Ｘ線吸収率の高い材質からなるワイヤとそのワイヤを直線状に保持するＸ線吸収率の低い材質からなる保持部材で構成された回転中心軸較正治具の保持部材を、上記ワイヤが上記回転中心軸の近傍において当該回転中心軸に沿うように着脱自在もしくは退避自在に装着するための較正治具装着機構が設けられていることによって特徴づけられる（請求項２）。
【００１２】
更に、同じ目的を達成する本発明の他のＸ線ＣＴ装置は、互いに対向配置されたＸ線源およびＸ線検出器と、そのＸ線源とＸ線検出器との対を所定の回転中心軸の回りに回転させる回転機構と、上記Ｘ線源とＸ線検出器の間に配置された試料台と、その試料台上に配置され、試料を搭載して移動もしくは傾動させるための少なくとも１軸の試料移動機構を備えた試料テーブルと、その試料テーブル上に試料を搭載して上記Ｘ線源とＸ線検出器の対を回転させつつＸ線を照射し、所定の回転角度ごとに採取したＸ線透過情報を用いて、上記回転中心軸に直交する平面に沿った試料の断層像を再構成する断層像再構成手段を備えたＸ線ＣＴ装置において、上記試料台に、Ｘ線吸収率の高い材質からなるワイヤとそのワイヤを直線状に保持するＸ線吸収率の低い材質からなる保持部材で構成された回転中心軸較正治具の保持部材を、上記ワイヤが上記回転中心軸の近傍において当該回転中心軸に沿うように着脱自在もしくは退避自在に装着するための較正治具装着機構が設けられていることによって特徴づけられる（請求項３）。
【発明の効果】
【００１３】
本発明方法によれば、回転機構を備えた試料ステージ（回転テーブル）の上にｘｙテーブルなどの試料移動機構を備えたＸ線ＣＴ装置、あるいは、Ｘ線源とＸ線検出器の対を回転させ、かつ、固定された試料台上にｘｙテーブルなどの試料移動機構を備えたＸ線ＣＴ装置のいずれにおいても、回転軸較正治具を、試料移動機構上に載せずに直接的に回転テーブルあるいは試料台上に固定し、ワイヤを回転中心軸の近傍において当該回転中心軸に沿うように配置した状態でＸ線を照射し、試料ステージ（回転テーブル）もしくはＸ線源とＸ線検出器の対を回転中心軸の回りに回転させ、所定の角度ごとに取り込んだＸ線透過情報を用いて回転中心軸の投影位置座標を求めるので、較正治具の位置は試料移動機構に依存せずに回転テーブルないしは試料台に依存することになり、ｘｙテーブルなどの試料移動機構のバックラッシュ等の影響を受けることなく、正確に回転中心軸の投影位置を求めることができる。
【００１４】
また、請求項２に係る発明のＸ線ＣＴ装置によると、回転テーブル上にｘｙテーブルなどの試料移動機構を備えた装置において、回転テーブルに、ワイヤが保持部材で保持されてなる回転中心軸較正治具を、そのワイヤが回転中心軸の近傍において当該回転中心軸に沿うように着脱自在もしくは退避自在に装着するための較正治具装着機構を備えているので、回転中心軸の較正時には回転テーブルに対して直接的に回転中心軸較正治具を固定することができ、試料移動機構のバックラッシュ等の影響を受けることなく正確な較正が可能となるとともに、試料のＸ線透過情報を採取するに当たっては、較正治具を取り外しもしくは退避させることによって、試料のＸ線透過情報に影響を与えることを防止することができる。
【００１５】
更に、請求項３に係る発明のＸ線ＣＴ装置によると、Ｘ線源とＸ線検出器の対を回転させるとともに、その間に設けられた試料台上にｘｙテーブルなどの試料移動機構を備えたＸ線ＣＴ装置において、試料台に、上記と同等の回転中心軸較正治具を、そのワイヤが回転中心軸の近傍において当該回転中心軸に沿うように着脱自在もしくは退避自在に装着するための較正治具装着機構を備えているので、回転中心軸の較正時には試料台に対して直接的に回転中心軸較正治具を固定することができ、上記と同様に、試料移動機構のバックラッシュ等の影響を受けることなく正確な較正が可能であり、かつ、試料のＸ線透過情報を採取するに当たっては、較正治具の取り外しもしくは退避により試料のＸ線透過情報に影響を与えることを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は回転テーブルにより試料を回転させるタイプのＸ線ＣＴ装置に本発明を適用した実施の形態の要部構成である、回転テーブルの近傍の斜視図であり、図２はその正面図（Ａ）並びに要部拡大断面図（Ｂ）である。
【００１７】
この例において、Ｘ線源とＸ線検出器は図９に示した従来のＸ線ＣＴ装置と同様に、例えば図１における水平方向左方にＸ線源が、回転テーブル１を挟んでその反対側にＸ線検出器が配置されているのであるが、この点は従来装置と変わらないので、図面の煩雑化を避けるために、Ｘ線源並びにＸ線検出器については省略している。
【００１８】
この例における特徴は、試料に鉛直軸（ｚ軸）に沿った回転中心軸Ｒの回りに回転を与えるための回転テーブル１と、その回転テーブル１上に載せられて試料を水平面（ｘｙ平面）上で移動させるための試料移動機構としてのｘｙテーブル２を備えたＸ線ＣＴ装置において、回転テーブル１の上にアタッチメント３が固着されており、そのアタッチメント３の上にｘｙテーブル２が載せられているとともに、このアタッチメント３には較正治具装着部３１が設けられている。
【００１９】
すなわち、アタッチメント３は、平板状部材３２の一端に略円柱状の較正治具装着部３１を一体に形成したものであって、ｘｙテーブル２は平板状部材３２の上に配置されている。
【００２０】
較正治具４は、前記した従来のものと同等のアクリル等のＸ線吸収率の低い材質からなる保持部材４１によってタングステン等のＸ線吸収率の高い材質からなるワイヤ４２を真直に保持した構造を有し、この較正治具４は、その一端が持ち出し部材５に固着されており、この持ち出し部材５が較正治具装着部３１に対して着脱自在に装着できるようになっている。
【００２１】
較正治具着脱部３１は、図２（Ｂ）に示すように、円柱部材の頂部に例えば２段の円柱状の凸部３１ａを形成した構造を有し、持ち出し部材５には、較正治具４を固着した側と反対側の端部近傍の表裏にそれぞれ２段の凹部５ａ，５ｂが形成されており、凹部５ａおよび５ｂは、それぞれ凸部３１ａに対して密に嵌合する寸法とされ、これらの凸部３１ａと凹部５ａまたは５ｂによって、いわゆるインロウ構造を形成して高い位置決め精度のもとに持ち出し部材５を較正治具装着部３１に着脱できるようになっている。
【００２２】
図１および図２（Ａ）は、持ち出し部材５の一方の凹部５ａを較正治具装着部３１の凸部３１ａに装着した状態を示し、この状態では、較正治具４並びに持ち出し部材５はｘｙテーブル２に接触せず、かつ、較正治具４のワイヤ４２がｘｙテーブル２の上方において回転テーブル１の回転中心軸Ｒの近傍で当該回転中心軸Ｒに沿った状態となる。
【００２３】
回転中心軸の較正作業、つまり回転テーブル１の回転中心軸ＲのＸ線検出器上への投影位置の座標を求める作業においては、図１ないしは図２に示す状態で較正治具４に対してＸ線を照射しつつ、回転テーブル１を所定の角度ずつ回転させ、各回転角度ごとに較正治具４のＸ線透過情報を取り込む。その各回転角度のＸ線透過情報から、ワイヤ４２の位置を読み取り、公知のアルゴリズム、例えばＸ線検出器上における水平方向への振れの中心位置の座標を算出して回転中心軸の投影位置座標を求める。
【００２４】
実際の試料のＸ線透過情報を採取する場合には、図１，図２に示す状態から較正治具４を持ち出し部材５ごと較正治具装着部３１から取り外し、図３に斜視図を示すように、反対側の凹部５ｂを較正治具装着部３２の凸部３２ａに嵌め込む。これにより、較正治具４はｘｙテーブル２の上方から外れ、回転テーブル１の側方において鉛直下方に向いた状態となり、Ｘ線源とＸ線検出器の間の空間から退避した状態となり、従ってｘｙテーブル２の上に試料Ｗを載せてＸ線を照射したとき、Ｘ線検出器には試料Ｗを透過したＸ線のみが入射することになる。
【００２５】
以上の実施の形態において特に注目すべき点は、較正治具４がｘｙテーブル２とは無関係に、実質的に回転テーブル１に対して位置決め固定された状態となる点であり、これにより、ｘｙテーブル２のバックラッシュ等の影響を受けることなく、較正時におけるワイヤ４２のＸ線透過像は常に正しく回転テーブル１の回転中心軸Ｒとの位置関係を表すことになり、回転中心軸Ｒの投影位置を高精度に求めることができる。
【００２６】
ここで、以上の実施の形態においては、較正治具４を固着した持ち出し部材５の表裏に凹部５ａ，５ｂを設けて、そのいずれかを較正治具装着部３１の凸部３１ａに嵌め込むことにより、較正治具４の使用状態と退避状態を選択できるように構成したが、持ち出し部材５には較正治具４の使用時に凸部３１ａに嵌め込む凹部５ａのみを形成し、不使用状態においては、図４に示すように持ち出し部材５ごと較正治具４を取り外すように構成することもできる。
【００２７】
また、較正治具４の退避構造として、例えばヒンジ機構等を用いて、ｘｙテーブル２の上方に位置する使用状態と、回転テーブル１の側方で下方に向いた不使用状態（退避状態）を選択できるように構成することもできる。
【００２８】
更に、以上の実施の形態においては、回転テーブル１の上に試料移動機構としてｘｙテーブル２を配置した例を示したが、本発明はこれに限定されることなく、任意の移動機構を採用することができる。すなわち、回転テーブル１上での移動機構としての自由度は、互いに直交するｘ，ｙ，ｚ方向への並進と、ｘ，ｙ軸回りの回転の５軸であり、これらの５軸のうちの任意の１軸もしくは複数軸への移動機構を回転テーブル２上に搭載したＸ線ＣＴ装置に本発明を適用することができる。図５に水平軸回りの回転機構を備えた試料移動機構６を回転テーブル１の上に搭載した例を示し、（Ａ）は較正時、（Ｂ）は試料ＷのＸ線透過情報の採取時を示している。この例においても、較正治具装着部３１、較正治具４並びに持ち出し部材５はは前記した実施の形態と同等のものを用いることができる。ただし、これらの較正治具４の着脱ないしは退避の機構については、試料移動機構との関連において、以下の点に留意して決定すべきである。
【００２９】
すなわち、較正治具４のワイヤ４２は較正時において、試料Ｗの撮像時に試料Ｗが置かれる位置に配置され、較正治具４の退避ないしは着脱機構は、その較正時においてＸ線源とＸ線検出器の間でワイヤ４２のＸ線透視像に対して影響を及ぼす影を作る位置に存在せず（ただし、カーボンやある種の樹脂等のＸ線吸収率の極めて小さい構造物であれば差し支えない）、かつ、試料Ｗの撮像時には較正治具４とその着脱または退避機構が試料ＷのＸ線透過情報に影響を与えず、また、試料移動機構６の動作を妨げない位置ないしは構成としなければならない。
【００３０】
また、以上の各実施の形態においては、較正治具４を、持ち出し部材５等によって回転テーブル１上のｘｙテーブル２ないしは試料移動機構６の外側を迂回させて、ワイヤ４２が回転中心軸Ｒの近傍に位置するようにした例を示したが、ｘｙテーブル２等の試料移動機構の内側に較正治具４を着脱自在に装着することもできる。図６にその例を示す。この図において（Ａ）は較正時、（Ｂ）は試料Ｗの撮像時の状態を示している。
【００３１】
この例においては、回転テーブル１の上に較正治具４を着脱自在ないしは退避自在に装着するためのアタッチメント７を固定するとともに、このアタッチメント７の上に試料移動機構８を配置し、その試料移動機構８には較正治具４を貫通させるための貫通孔８ａを形成している。較正時には、（Ａ）に示すように、貫通孔８ａを貫通させて較正治具４の下端部をアタッチメント７に取り付ける。これにより、較正治具４は試料移動機構８に無関係に回転テーブル１に対して位置決めされた状態となる。また、試料Ｗの撮像時には、（Ｂ）に示すように、較正治具４をアタッチメント７から取り外す。これにより、較正治具４は試料Ｗの撮像に邪魔にならないようにすることができる。なお、貫通孔８ａを溝として、較正治具４の不使用時にはヒンジ機構等によってその溝内に収容して試料移動機構８の試料搭載面よりも下方に倒すようにしてもよい。
【００３２】
以上の各実施の形態は、Ｘ線源とＸ線検出器とを、これらを結ぶ線が回転中心軸Ｒに対して直交するように配置したＸ線ＣＴ装置に本発明を適用した例を示したが、Ｘ線源とＸ線検出器とを結ぶ線が回転中心軸に対して直交しない、いわゆる傾斜型のＸ線ＣＴ装置にも本発明を等しく適用することができる。図７にその例を模式的に示す。
【００３３】
この図７の例においては、回転テーブル（機構）１１の上面側を装置フレーム等に支持するとともに、その下面にアタッチメント１３を固定し、そのアタッチメント１３を介してｘｙ移動機構１２を取り付けている。ｘｙ移動機構１２には、吊り下げ部材１２１を介して試料テーブル１２２を吊り下げ、この試料テーブル１２２の上に試料を搭載するように構成している。Ｘ線源１４は試料テーブル１２２の斜め下方に配置され、そのＸ線源１４に対向するように試料テーブル１２２の斜め上方にＸ線検出器１５が配置されている。  アタッチメント１３には、図１の例と同等の較正治具装着部１３１を一体的に形成し、その較正治具装着部１３１に対して、同じく図１の例と同等の持ち出し部材５の一端を例えばねじ等を用いて落下しないように固着し、その持ち出し部材５には先の各例と同等の較正治具４を固定して、持ち出し部材５の装着状態において較正治具４のワイヤ４２が回転テーブル１１の回転中心軸Ｒの近傍において当該回転中心軸Ｒに沿うように構成している。
【００３４】
以上の構成においても、較正治具４はｘｙ移動機構１２に無関係に回転テーブル１１に対して直接的に位置決め固定されることになり、その状態で回転テーブル１１を回転させて較正治具４のＸ線透過情報を採取することにより、ｘｙ移動機構１２のバックラッシュ等の影響を受けることなく、正確に回転中心軸Ｒの投影位置座標を求めることができる。また、試料の撮像に際しては較正治具４を持ち出し部材５とともに取り外し、あるいは退避させることにより、これらがＸ線源１４とＸ線検出器１５の間に位置して試料のＸ線透過情報に影響を与えることがない。
【００３５】
更に、以上の各実施の形態は、試料を搭載したテーブルを回転させる構成のＸ線ＣＴ装置に本発明を適用した例を示したが、試料を回転させずに、Ｘ線源とＸ線検出器の対を試料の回りに回転させるタイプのＸ線ＣＴ装置にも本発明を等しく適用することができる。その例を図８に模式的に示す。
【００３６】
この図８の例では、Ｘ線源２１とＸ線検出器２２が共通の支持部材２３に支持され、その内側に、上面が基準面を形成する試料台２４が配置され、その試料台２４の上にｘｙテーブルなどの試料Ｗを移動させるための試料移動機構２５が配置されている。そして、支持部材２３が回転機構（図示せず）によって回転中心軸Ｒの回りに回転し、これにより、Ｘ線源２１とＸ線検出器２２の対が試料Ｗの回りに回転する。
【００３７】
試料台２４には、図１に示したものと同等の一端に較正治具装着部２６１が一体に形成されたアタッチメント２６が固着されており、試料移動機構２５はこのアタッチメント２６の上に配置されている。そして、このアタッチメント２６の較正治具装着部２６１に、先の各例と同等の較正治具４が着脱自在もしくは退避自在に装着され、その装着状態において、ワイヤ４２が回転中心軸Ｒの近傍において当該回転中心軸Ｒに沿うように位置するようになっている。
【００３８】
この例においても、較正治具４は試料移動機構２５とは無関係に直接的に試料台２３の上に位置決めされることになり、Ｘ線源２１とＸ線検出器２２の対を回転させながら較正治具４のＸ線透過情報を採取することによって、試料移動機構２５のバックラッシュ等の影響を受けることなく、正確に回転中心軸Ｒの投影位置座標を求めることができる。また、試料の撮像時には較正治具４を取り外し、あるいは退避させることによって、較正治具４が撮像の邪魔になることがない。
【００３９】
なお、以上の各実施の形態においては、回転テーブルないしは試料台にてアタッチメントを固定し、そのアタッチメントを介して較正治具を着脱自在もしくは退避自在に装着した例を示したが、回転テーブルもしくは試料台自体に較正治具の装着部を形成すれば、必ずしもアタッチメントは必要ではないことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】回転テーブルにより試料を回転させるタイプのＸ線ＣＴ装置に本発明を適用した実施の形態の要部構成を示す斜視図である。
【図２】図２の正面図（Ａ）およびその要部拡大断面図（Ｂ）である。
【図３】図１，図２に示す実施の形態における試料Ｗの撮像状態を示す斜視図である。
【図４】本発明の他の実施の形態の要部構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の更に他の実施の形態の要部構成を示す斜視図で、（Ａ）は較正治具の使用状態（較正時の状態）、（Ｂ）は同じく較正治具の不使用状態（試料の撮像状態）を示す図である。
【図６】本発明の更にまた他の実施の形態の要部構成を示す斜視図で、（Ａ）は較正治具の使用状態（較正時の状態）、（Ｂ）は同じく較正治具の不使用状態（試料の撮像状態）を示す図である。
【図７】本発明を傾斜型のＸ線ＣＴ装置に適用した実施の形態の要部構成図である。
【図８】Ｘ線源とＸ線検出器の対を試料の回りに回転させるタイプのＸ線ＣＴ装置に本発明を適用した実施の形態の要部構成を示す斜視図である。
【図９】従来のＸ線ＣＴ装置の構成例を示す模式図である。
【図１０】従来のＸ線ＣＴ装置の回転中心軸の投影位置を求める較正方法の例の説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  回転テーブル
２  ｘｙテーブル
３  アタッチメント
３１  較正治具装着部
３１ａ  凸部
４  較正治具
４１  保持部材
４２  ワイヤ
５  持ち出し部材
Ｗ  試料
【図１】
2005127881.tif 000003
【図２】
2005127881.tif 000004
【図３】
2005127881.tif 000005
【図４】
2005127881.tif 000006
【図５】
2005127881.tif 000007
【図６】
2005127881.tif 000008
【図７】
2005127881.tif 000009
【図８】
2005127881.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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