(57)【要約】【課題】  振動子を用いた物理量測定装置において、クリスタルインピーダンスに生ずる温度ドリフトを低減する。【解決手段】    物理量測定装置は、振動子１Ａ、振動子１Ａに自励発振回路を用いて駆動振動を励振する駆動手段１９および振動子１Ａに加わる物理量に応じて振動子に励振される検出振動を検出する検出手段２０を備えている。駆動振動モードの振動の共振周波数をｆｄとし、ｆｄ／２に最も近い共振周波数を有する振動モードＦの共振周波数をＺ（Ｈｚ）とする。自励発振回路における回路電流値をＩ（μＡ）としたとき、以下の関係が満足されている。    ５．４４５×１０−５×Ｉ≦｜（ｆｄ／２）−Ｚ｜／ｆｄ【選択図】  図１２
2005147759.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子、前記振動子に自励発振回路を用いて駆動振動を励振する駆動手段および前記振動子に加わる物理量に応じて前記振動子に励振される検出振動を検出する検出手段を備えている物理量測定装置であって、
前記駆動振動モードの振動の共振周波数をｆｄとし、ｆｄ／２に最も近い共振周波数を有する振動モードの共振周波数をＺ（Ｈｚ）とし、前記自励発振回路における回路電流値をＩ（μＡ）としたとき、以下の関係が満足されていることを特徴とする、物理量測定装置。
５．４４５×１０−５×Ｉ≦  ｜（ｆｄ／２）−Ｚ｜／ｆｄ
【請求項２】
前記回路電流値Ｉが３０μＡであり、｜（ｆｄ／２）−Ｚ｜／ｆｄが０．１６３％以上であることを特徴とする、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記回路電流値Ｉが３０μＡであり、｜（ｆｄ／２）−Ｚ｜／ｆｄが１２．５％以下であることを特徴とする、請求項１または２記載の装置。
【請求項４】
前記振動子が、前記駆動手段が設けられた駆動振動片、前記検出手段が設けられた検出振動片、および前記駆動振動片と前記検出振動片との間に設けられた基部を備えていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一つの請求項に記載の装置。
【請求項５】
前記基部と前記駆動振動片とを接続する細長い接続部を備えていることを特徴とする、請求項４記載の装置。
【請求項６】
前記振動子が実質的に平面に沿って形成されており、ｆｄ／２に最も近い共振周波数を有する振動モードにおいて、前記接続部がその前記基部への付け根を中心として前記平面外に屈曲振動し、前記駆動振動片がその接続部への付け根を中心として前記平面外に屈曲振動し、前記接続部の屈曲振動の前記平面に対する位相と前記駆動振動片の屈曲振動の前記平面に対する位相とが互いに同相であることを特徴とする、請求項５記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型ジャイロスコープ等の物理量測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
車体制御システムにおいては、振動型ジャイロスコープおよびその振動子は、幅広い環境温度、即ち高温と低温とにさらされる。このような使用温度範囲は、通常は−４０℃−＋８５℃の範囲にわたっており、一層厳しい仕様では更に広い温度範囲にわたる場合もある。特に、振動子を圧電性単結晶によって形成した場合には、圧電性単結晶の有する温度特性の影響がある。本出願人は、特許文献１において、特定形態の雑音の少ない振動型ジャイロスコープを開示した。また、特許文献２において、環境温度が変化した場合に、検出振動のＱ値の変動を抑制するために、振動子を支持部材へと接着する接着剤のｔａｎδを、使用温度範囲内において０．１以下とすることを開示した。また、特許文献２には、特定形状の雑音の少ない振動型ジャイロスコープ用振動子を開示した。
【特許文献１】特開２００１−１２９５５号公報
【特許文献２】特開２００１−８２９６２号公報
【発明の開示】
【０００３】
しかし、振動子をパッケージ内の基盤に固定して支持するとき、支持状態によっては、特定の温度範囲内でクリスタルインピーダンスが大きくなる現象が発生した。この現象が生ずる温度範囲は、ある振動子では−４０℃から＋２０℃、また別の振動子では−４０℃から＋６０℃と種々変動し、発振状態を制御することが困難であった。このような発振状態の異常が発生する振動子を、振動型ジャイロスコープに使用した場合には、検出信号のゼロ点温度ドリフトが大きくなり、最悪の場合にはセンサとして動作しなくなる。したがって、このような現象を抑制することが必要であり、少なくとも−４０〜＋８５℃の範囲内では発生しないことが必要である。
【０００４】
本発明の課題は、振動子、振動子に自励発振回路を用いて駆動振動を励振する駆動手段および振動子に加わる物理量に応じて振動子に励振される検出振動を検出する検出手段を備えている物理量測定装置において、検出信号のゼロ点温度ドリフトを低減することである。
【０００５】
本発明は、振動子、振動子に自励発振回路を用いて駆動振動を励振する駆動手段および振動子に加わる物理量に応じて前記振動子に励振される検出振動を検出する検出手段を備えている物理量測定装置であって、駆動振動モードの振動の共振周波数をｆｄとし、ｆｄ／２に最も近い共振周波数を有する振動モードの共振周波数をＺ（Ｈｚ）とし、自励発振回路における回路電流値をＩ（μＡ）としたとき、使用温度範囲において以下の関係が満足されていることを特徴とする。
５．４４５×１０−５×Ｉ≦｜（ｆｄ／２）−Ｚ｜／ｆｄ
【０００６】
本明細書においては、駆動振動モードの振動の共振周波数をｆｄとし、ｆｄ／２に最も近い共振周波数を有する振動モードの共振周波数をＺ（Ｈｚ）としたとき、両者の差の絶対値｜（ｆｄ／２）−Ｚ｜／ｆｄを、ｆｄ／２離調率と呼ぶ。本発明者は、前記した特定温度範囲におけるクリスタルインピーダンス上昇の理由について種々検討した結果、ｆｄ／２離調率が小さくなると、クリスタルイーピーダンスのピーク的上昇が見られることを発見した。また、ｆｄ／２離調とクリスタルインピーダンスのピーク的上昇とは、回路電流値に基づく相関があり、回路電流値が大きい場合には特にクリスタルインピーダンスのピーク的上昇が見られることを見いだした。
本発明は、ｆｄ／２の比較的近くに共振周波数を有する振動モードが存在するような振動子系に対して特に効果的である。｜（ｆｄ／２）−Ｚ｜／ｆｄの上限値は特にないが、この観点からは、４１６．７×１０−５×Ｉ以下であることが好ましく、１６６．７×１０−５×Ｉ以下であることが最も好ましい。
【０００７】
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明を更に詳細に説明する。
好適な実施形態においては、振動子が、駆動手段が設けられた駆動振動片、検出手段が設けられた検出振動片、および駆動振動片と検出振動片との間に設けられた基部を備えている。好ましくは、この基部と駆動振動片とを接続する細長い接続部を備えている。特に好ましくは、図１、２に示すように、振動子が実質的に平面に沿って形成されており、ｆｄ／２に最も近い共振周波数を有する振動モードにおいて、接続部がその基部への付け根を中心として平面外に屈曲振動し、駆動振動片がその接続部への付け根を中心として平面外に屈曲振動し、接続部と駆動振動片との屈曲振動の平面に対する位相が同相である。以下はこの実施形態を中心として本発明を説明するが、本発明はこの型の振動子のみに限定されるものではない。
【０００８】
図１は、本発明の一実施形態に係る振動子１Ａ（駆動振動モード）を概略的に示す平面図である。図２は、振動子１Ａの検出振動モードの振動を示す平面図である。
本例の振動子１Ａは、基部２と、基部２から突出する一対の検出振動片１３Ａ、１３Ｂと、基部２から突出する一対の接続部５と、各接続部５の先端に設けられている各駆動振動片１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄとを備えている。
各駆動振動片１４Ａ〜１４Ｄの各主面には、それぞれ細長い溝が形成されており、各駆動振動片１４Ａ〜１４Ｄの横断面形状は略Ｈ字形状となっている。溝内に駆動電極１９が形成されている。各駆動振動片１４Ａ〜１４Ｄの各先端にはそれぞれ幅広部または重量部１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄが設けられており、各幅広部にはそれぞれ貫通孔１７が形成されている。各検出振動片１３Ａ、１３Ｂの各主面には、それぞれ細長い溝が形成されており、各検出振動片１３Ａ、１３Ｂの横断面形状は略Ｈ字形状となっている。溝内に検出電極２０が形成されている。各検出振動片１３Ａ、１３Ｂの各先端にはそれぞれ幅広部または重量部１６Ａ、１６Ｂが設けられており、各幅広部にはそれぞれ貫通孔１８が形成されている。
【０００９】
図１には駆動モードの振動を示す。駆動時には、各駆動振動片１４Ａ〜１４Ｄが、それぞれ、接続部５への付け根２１を中心として矢印Ａのように屈曲振動する。この状態で振動子１Ａを、振動子１Ａに略垂直に延びる回転軸Ｚの周りに回転させる。すると、図２に示すように、接続部５が固定部２への付け根５ａを中心として、矢印Ｂのように屈曲振動する。各検出振動片１３Ａ，１３Ｂが、それぞれ、その反作用によって、固定部２への付け根を中心として、矢印Ｃのように屈曲振動する。各検出振動片１３Ａ、１３Ｂにおいて発生した電気信号に基づいて、Ｚ軸を中心とする回転角速度を算出する。
【００１０】
本発明者は、図１、図２に示すような振動子を用いた振動型ジャイロスコープをパッケージ基板上にワイヤーボンディングによって支持し、種々の条件下で回転角速度の検出実験を行った。このとき、同様の振動子を使用した場合でも、支持状態によっては、特定温度範囲でクリスタルインピーダンスにピークが生ずることを見いだした。このプロセスを具体的に述べる。図３に示すように、振動子をインピーダンスアナライザで測定すると、クリスタルインピンダースのピークの先端が平坦になるという現象が見られた。図３において、横軸は周波数であり、縦軸（左側）はクリスタルインピーダンスであり、右側は位相である。
【００１１】
次に、振動子のクリスタルインピーダンスの温度特性を測定した。即ち、図３の振動子を用いた振動型ジャイロスコープについて、駆動インピーダンスの温度変化を測定し、測定結果を図４に示した。図４において、横軸は温度（−４０℃から＋８５℃）であり、縦軸は駆動インピーダンスであり、縦軸（右側）は駆動位相である。このように，例えば＋５０℃〜−４０℃の領域において、駆動時のクリスタルインピーダンスにピーク状の変化が見られる。これに対して、正常に動作する振動型ジャイロスコープにおいては、駆動インピーダンスは、例えば図１７に示すように、広い温度範囲についてほぼ平坦である。
【００１２】
また周波数とクリスタルインピーダンス（電圧／電流）の関係について調査し、その結果を図５に示した。電圧は、０．０５、０．１、０．２、０．３、０．４、０．５ボルトにそれぞれ変更した。この結果、電圧０．０５ボルトでは正常なピークが発現するが、電圧が０．１ボルトになるとかなりピークがつぶれてしまい、電圧が０．２ボルト以上になると平坦領域が非常に広くなり、「共振潰れ」現象が生ずることが判明した。
【００１３】
次に、温度を２０℃、２５℃、４０℃，６０℃に変更し、クリスタルインピーダンスと周波数との関係を測定し、結果を図６に示した。この結果、共振潰れ現象は温度によって変化することが判った。特に共振潰れ現象が生じているときのクリスタルインピーダンスの高さは、温度によって変化することが判明した。これは、共振潰れが生じているときの電流値（潰れ電流値）が温度に依存して変化することを示している。
【００１４】
図７、図８は、それぞれ別個の試料について、駆動回路の回路電流値Ｉ、潰れ電流値およびクリスタルインピーダンスの関係を示すグラフである。図７の例では、温度１０℃付近から下では、潰れ電流値が回路電流値を下回っているが、クリスタルインピーダンスに温度ドリフトが発生している。図８の例では、温度５０℃付近から下では、潰れ電流値が回路電流値を下回っているが、クリスタルインピーダンスに温度ドリフトが発生している。
【００１５】
また、共振潰れ現象（電流）が観測された上記のような試料について、レーザードップラー測定を行った。図９はこの結果を示す。図９の写真の画面において、上側のグラフはドップラー出力であり、下側のグラフは駆動電圧である。駆動電圧の約１／２の周波数（ｆｄ／２）を有するドップラー出力が得られることが判る。これに対して、正常に動作する振動型ジャイロスコープにおいては、駆動信号と、レーザードップラー計の出力信号とは周波数が等しくなり、駆動信号の約１／２の周波数を有するドップラー出力は観測されない。
【００１６】
本発明者は、このような（ｆｄ／２）に近い周波数を有する振動モードについて振動モード解析を行い、次の知見を得た。即ち、図１、図２に示すような振動子（非支持時）には、図１０の斜視図および図１１の平面図に図示するような振動モードが存在していた。この振動モードにおいては、細長い接続部５が基部２への付け根を中心として矢印ＤのようにＺ軸方向（回転軸方向）へと向かって屈曲振動する。これと同時に、各駆動振動片１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄが、それぞれ、接続部５の先端を付け根として矢印ＥのようにＺ軸方向に屈曲振動する。そして、矢印Ｄの屈曲振動と、矢印Ｅの屈曲振動とは振動子平面に対して同相であり、かつ周波数が等しい。これと同時に、各検出振動片１３Ａ、１３Ｂがその基部への付け根１３ａを中心としてＺ軸方向へと矢印Ｆのように屈曲振動する。矢印Ｆの屈曲振動は、矢印Ｄ、Ｅの屈曲振動とは周波数が等しく、かつ振動子平面に対して逆相である。
【００１７】
これに対して、振動子１Ａをワイヤーボンディングによって支持すると，支持状態によっては、図１１、図１２に矢印Ｄ、Ｅで示すような振動モードが発生した。この振動モードは、図１０に示す振動モードＤ、Ｅ、Ｆのうち、駆動振動片および接続部の振動Ｄ、Ｅのみが分離したものである。具体的には、細長い接続部５が基部２への付け根を中心として矢印ＤのようにＺ軸方向（回転軸方向）へと向かって屈曲振動する。これと同時に、各駆動振動片１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄが、それぞれ、接続部５の先端を付け根として矢印ＥのようにＺ軸方向に屈曲振動する。そして、矢印Ｄの屈曲振動と、矢印Ｅの屈曲振動とは振動子平面に対して同相であり、かつ周波数が等しい。図１２の屈曲振動モードは、振動子を支持することによって出現し、ｆｄ／２に近い共振周波数を有していることが判明した。そして、この支持形態や支持位置を適宜選定することによって、この振動モードの共振周波数を変動させ、ｆｄ／２から一定量離すことができ、これによって、−４０℃〜＋８５℃におけるクリスタルインピーダンスのピーク的上昇を抑制できることを見いだした。
【００１８】
図１３には、ｆｄ／２離調率｛（ｆｄ／２−Ｚ）／ｆｄ｝（％）を横軸とし、潰れ電流値を縦軸として示した。この結果、ｆｄ／２離調率と潰れ電流値とはほぼ比例関係にあることが判明した。なお、図１３においては、回路電流値を３０μＡまたは４０μＡとした。ここで、潰れ電流値（縦軸）が回路電流値を下回ると、クリスタルインピーンダンスのピーク状温度ドリフトが発生し、大きくなる。従って、潰れ電流値が回路電流値を上回るようにすることによって、共振潰れ現象によるクリスタルインピーダンスのピーク状温度ドリフトを回避できる。このためには、ｆｄ／２離調率を大きくする必要がある。ｆｄ／２離調率の許容される最小値は、回路電流値（μＡ）に比例することも判明した。この関係を計算すると、  ５．４４５×１０−５×Ｉ≦｜｛（ｆｄ／２）−Ｚ｝／ｆｄ｜の関係を満足すれば、クリスタルインピーダンスのピーク状温度ドリフトを回避できることが判った。
【００１９】
こうしたｆｄ／２離調率、クリスタルインピーダンスおよび回路電流値の関係について更に述べる。図１４には、ｆｄ／２離調率と潰れ電流との関係を示す。また、図１５には、試料４について、温度、クリスタルインピーダンス、駆動インピーダンスおよび潰れ電流値の関係を示す。これらのデータからも、本発明が、クリスタルインピーダンスのピーク状温度ドリフトの回避に有効であることが判る。
【００２０】
次に駆動用の自励発振回路の回路電流値について述べる。
図１６は駆動振動系の発振ループ３２を示す模式図である。振動子１Ａには駆動手段１４Ａ〜１４Ｄが取り付けられており、駆動手段１４Ａ〜１４Ｄは自励発振回路２２に対して接続されている。まず自励発振回路２２内の増幅器の利得（ゲイン）の大きい状態でスタートする。この時点では増幅器への入力は雑音のみである。この雑音は、目的とする駆動振動の固有共振周波数を含む幅広い周波数の波動を含んでいる。この雑音を矢印Ｈのように振動子１Ａに入力する。
【００２１】
振動子は、例えば後述するような圧電性単結晶からなる。振動子の周波数フィルター作用によって、目的とする固有共振周波数の振動を多く含む信号が矢印Ｇのように出力され、この信号が自励発振回路２２内の増幅器に入力される。発振ループ内でこうした操作を繰り返すことによって、目的とする固有共振周波数の信号の割合が高くなり、増幅器への入力信号が大きくなる。このため、増幅器の利得を調整することによって、発振ループ３２を信号が一周する間の利得（ループゲイン）が１となるようにする。最終的には、増幅器の利得を調整することなしに、発振ループ３２を信号が一周する間の利得（ループゲイン）が１となる。この状態で振動子が安定発振する。駆動用自励発振回路の回路電流値とは、この安定発進時の回路電流値である。
【００２２】
ｆｄ／２離調率を制御するためには、以下の方法がある。
（１）  駆動振動の共振周波数を変更する。
（２）  ｆｄ／２に最も近い周波数を有する振動モードの共振周波数を変更する。このためには、振動子を支持する際の支持位置、支持手段（例えばワイヤーボンディング）の幅、厚さ、本数を変更することが考えられる。
【００２３】
振動子は複数箇所で支持してもよい。これは振動子と支持手段との接触部分が複数あることを意味している。支持手段は特に限定されず、ボンディングワイヤー、柱、棒、ピンなどであってよい。支持手段の材質も限定されず、金属、樹脂、接着剤、金属−樹脂複合材料であってよいが、金属が特に好ましい。特に好ましい材質は以下のものである。
銅、金、アルミ、銀、タングステン、ステンレス、鉄、ニッケル、錫、真鍮またはそれらの合金。これらの金属、合金にはメッキ等が施されていてもよい、例えば金メッキが施された銅箔が特に好ましい。
【００２４】
振動子の基板への固定方法は特に限定されない。例えば好適な実施形態においては、振動子を、基板に直接接触しない状態で支持する。これによって振動子の振動の阻害を防止する。好適な実施形態においては、振動子と基板との間隔は、０．１ｍｍ以上であり、更に好ましくは０．２ｍｍ以上である。この場合には、ボンディングワイヤによって振動子を基板上に支持することができる。このボンディングワイヤの振動子への接合方法は限定されないが、超音波ボンディング、スポット溶接、導電性接着剤、半田付けが好ましい。
【００２５】
振動子の材質は限定されないが、圧電単結晶が好ましく、水晶、ニオブ酸リチウム単結晶、タンタル酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶、ホウ酸リチウム単結晶、ランガサイト単結晶等からなる圧電単結晶が特に好ましい。
【００２６】
振動子の寸法は限定されないが、振動子の幅を１０ｍｍ以下とすることが好ましく、５ｍｍ以下とすることがさらに好ましい。また、同様の観点からは、振動子の重量を５ｍｇ以下とすることが好ましく、１ｍｇ以下とすることが一層好ましい。また、振動子の厚さを０．３ｍｍ以下とすることが好ましく、０．２ｍｍ以下とすることが更に好ましい。
【００２７】
本発明において測定されるべき物理量は、特に限定はされない。振動子に駆動振動を励振し、駆動振動中の振動子に対する物理量の影響によって振動子の振動状態に変化が生じたときに、この振動状態の変化から検出回路を通して検出可能な物理量を対象とする。こうした物理量としては、振動子に印加される加速度、角速度、角加速度が特に好ましい。また、測定装置としては振動型ジャイロスコープ等の慣性センサーが好ましい。
【実施例】
【００２８】
図１、図２に示す振動子１Ａを使用した。具体的には、厚さ０．１ｍｍの水晶のＺ板のウエハーに、スパッタ法によって、所定位置に、厚さ１００オングストロームのクロム膜と、厚さ１５００オングストロームの金膜とを形成した。ウエハーの両面にレジストをコーティングした。
このウエハーを、ヨウ素とヨウ化カリウムとの水溶液に浸漬し、余分な金膜をエッチングによって除去し、更に硝酸セリウムアンモニウムと過塩素酸との水溶液にウエハーを浸漬し、余分なクロム膜をエッチングして除去した。温度８０℃の重フッ化アンモニウムに２０時間ウエハーを浸漬し、ウエハーをエッチングし、振動子１Ａの外形を形成した。メタルマスクを使用して、厚さ１００オングストロームのクロム膜上に厚さ２０００オングストロームの金膜を電極膜として形成した。振動子１Ａの寸法は、縦３．８ｍｍ、横４．５ｍｍ、厚さ０．１ｍｍであり、重量は約０．８ｍｇであった。
【００２９】
振動子１Ａをパッケージに実装した。基板はアルミナセラミックスによって形成し、接点パッドは金によって形成し、枠体はＳＵＳによって形成した。ボンディングワイヤは、銅膜線を金によってメッキすることで製造した。銅膜線の厚さ、幅、形状を種々変更した。振動子１Ａの基部２をボンディングワイヤに対して超音波ボンディングによって接合し、基板上に固定した。
【００３０】
得られた振動型ジャイロスコープを温度試験槽に入れ、雰囲気温度を、−４０℃から＋８５℃の間で変化させた。そして、各サンプルについて、駆動振動モードの共振周波数ｆｄを表１に示すように変更し、自励発振回路を用いて駆動振動を生じさせ、共振潰れ現象の有無を確認した。また、各試料について、ｆｄ／２に最も近い共振周波数を有する振動モードを探索し、その共振周波数を測定した。各振動モードの各共振周波数をインピーダンスアナライザを用いて測定した。これらの結果を表１に示す。回路電流値は３０μＡである。
【００３１】
【表１】
2005147759.tif 000003
【００３２】
表１の結果から判るように、回路電流値が３０μＡの場合には、ｆｄ／２離調率を０．１６％以上とすることによって、共振潰れ現象（クリスタルインピーダンスのピーク状増加）を防止できる。
【００３３】
なお、図３は試料１のデータであり、図４は、試料１のデータであり、図５は試料２のデータであり、図６は試料１のデータであり、図７は試料２のデータであり、図８は試料１のデータであり、図９は試料１のデータであり、図１３〜図１５は試料１および４のデータである。図１７は試料４のデータであり、図１８は試料４のデータである。
【００３４】
また、表１に示す各試料１〜９を使用し、上述した各例と同様にして共振潰れ現象の有無を観測した。ただし、今回は、回路電流値Ｉを４０μＡとした。この結果を表２に示す。
【００３５】
【表２】
2005147759.tif 000004
【００３６】
表２の結果から判るように、回路電流値が４０μＡの場合には、ｆｄ／２離調率を０．２２％以上とすることによって、共振潰れ現象（クリスタルインピーダンスのピーク状増加）を防止できる。
【００３７】
以上述べたように、本発明によれば、振動子を用いた物理量測定装置において、クリスタルインピーダンスに生ずる温度ドリフトを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態に係る振動子１Ａ（駆動振動モード）を概略的に示す平面図である。
【図２】振動子１Ａの検出振動モードの振動を示す平面図である。
【図３】クリスタルインピンダースと周波数および位相との関係を示すグラフである。
【図４】駆動インピーダンスと温度および駆動位相との関係を示すグラフである。
【図５】周波数とクリスタルインピーダンス（電圧／電流）の関係を示すグラフである。
【図６】クリスタルインピーダンスと周波数との関係を示すグラフである。
【図７】駆動回路の回路電流値Ｉ、潰れ電流値およびクリスタルインピーダンスの関係を示すグラフである。
【図８】駆動回路の回路電流値Ｉ、潰れ電流値およびクリスタルインピーダンスの関係を示すグラフである。
【図９】共振潰れ現象（電流）が観測された試料についてのレーザードップラー測定結果を示すグラフである。
【図１０】振動子１Ａの非支持時の不要な振動モードを示す斜視図である。
【図１１】図１０および図１２の振動モードを示す平面図である。
【図１２】振動子１Ａの支持時の振動モードＦを示す斜視図である。
【図１３】ｆｄ／２離調（ｆｄ／２−Ｚ）（Ｈｚ）と潰れ電流値との関係を示すグラフである。
【図１４】回路電流値を２６．９μＡとしたときのｆｄ／２離調と潰れ電流との関係を示すグラフである。
【図１５】図１４と同じ試料について、温度、クリスタルインピーダンス、駆動インピーダンスおよび潰れ電流値の関係を示すグラフである。
【図１６】駆動振動系の発振ループ３２を示す模式図である。
【図１７】正常に動作する振動型ジャイロスコープにおいて、駆動インピーダンスの温度変化を示すグラフである。
【図１８】正常に動作する振動型ジャイロスコープにおいて、レーザードップラー測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３９】
１Ａ  振動子        ２  基部        ５  接続部        １３Ａ、１３Ｂ  検出振動片        １４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄ  駆動振動片        Ａ  駆動振動モード        Ｂ、Ｃ  検出振動モード        Ｄ、Ｅ  振動子１Ａを支持していないときの不要なＺ軸方向の振動モード          Ｆ  振動子１Ａを支持したときの不要なＺ軸方向の振動モード        Ｚ  回転軸
【図１】
2005147759.tif 000005
【図２】
2005147759.tif 000006
【図３】
2005147759.tif 000007
【図４】
2005147759.tif 000008
【図５】
2005147759.tif 000009
【図６】
2005147759.tif 000010
【図７】
2005147759.tif 000011
【図８】
2005147759.tif 000012
【図９】
2005147759.tif 000013
【図１０】
2005147759.tif 000014
【図１１】
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【図１２】
2005147759.tif 000016
【図１３】
2005147759.tif 000017
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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