(57)【要約】【課題】  装置の小型化及び、カバ−作動時での作業者が接触する危険性を防止できるカバ−開閉機構を備えたウェハ−のカセット搬入・搬出装置を提供する。【解決手段】  ウェハ−カセット２１を出し入れするカセット搬入・搬出装置は、ウェハ−カセット２１を載置するためのテ−ブル１４と、テ−ブル１４上の鉛直方向に向かって設けられると共に、外気の侵入を抑制するためカーテン状のカバー１３と、テーブル１４上に設けられ、直線方向に往復の駆動力を発生するアクチュエ−タ１０と、アクチュエ−タ１０の先端に配置され、該アクチュエ−タ１０の駆動軸１０ａと直角方向に対して左右対称の位置に長穴状のカム溝１１ａを２個形成してなる平板１１と、平板１１のカム溝１１ａと係合し、該溝１１ａ内を摺動するカム１８を有してなるリンクア−ム１２と、リンクア−ム１２とカバー１３を連結するリンク・カバー連結板１９を備えたものである。【選択図】  図２
2005142231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハーを収納するウェハ−カセットを出し入れするカセット搬入・搬出装置において、
鉛直方向に延びるように設けられたベースと、
前記ベースと直角方向に設けられ、前記ウェハ−カセットを載置するテ−ブルと、
前記ベース上の前記テーブルと対峙した位置に設けられた天板と、
前記ベースに設けられた該ウェハーを出し入れするウェハー出入口と、
前記天板と前記テ−ブルとの間に鉛直方向に向かって設けられ、外気の侵入を抑制するためのカーテン状のカバーと、
前記天板に設けられ、前記カバーを移動方向に沿って案内するガイドレールと、
前記テーブルに穿設され、前記カバーを移動方向に沿って案内する孔部と、
前記テーブルの下部に設けられ、前記カバーの駆動源となる直動するアクチュエ−タと、
前記アクチュエ−タの先端に配置され、該アクチュエ−タの駆動軸と直角方向に対して左右対称の位置に長穴状のカム溝を２個形成してなる平板と、
前記平板のカム溝と係合し、該溝内を摺動するカムを有してなるリンクア−ムと、
前記リンクア−ムと前記カバーを連結するリンク・カバー連結板とを備えたことを特徴とするカセット搬入・搬出装置。
【請求項２】
前記ガイドレールおよび前記孔部を円弧状に形成したことを特徴とする請求項１記載のカセット搬入・搬出装置。
【請求項３】
前記アクチュエータの駆動手段に、リニアモータを用いたことを特徴とする請求項１記載のカセット搬入・搬出装置。
【請求項４】
前記アクチュエータの駆動手段に、ボールネジと回転形モータを用いたことを特徴とする請求項１記載のカセット搬入・搬出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｆｒｏｎｔ  Ｅｎｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）対応の半導体製造工程で用いられる、ウェハ−のカセット搬入・搬出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＥＦＥＭ対応の半導体製造工程において、ウェハ−を収納するウェハ−収納用カセットを半導体製造装置へ出し入れするカセット搬入・搬出装置が用いられている。人手または自動機によって、ウェハ−収納用カセットがカセット搬入・搬出装置に移載されると、ウェハ−収納用カセットに収納されたウェハ−は移載ロボットによりカセット搬入・搬出装置に具備された開閉機構を有する扉を介して、半導体製造装置側へ出し入れされ、その後、ウェハーは該製造装置内部で製造・処理が行われるようになっている。ここで、従来のウェハ−収納用カセットの開閉機構を有する扉については、外気の侵入抑制のために、一体型カバ−が回転するカバ−自動開閉機構を備えたものが提案されている。
図３は従来技術を示すカセット搬入・搬出装置の全体構成を説明するための斜視図である。
図３において、５０はモ−タ、５１はリンク、５２はカバ−、５３はカバ−取付板、５４はウェハ−出入扉付ベ−ス、５５はウェハ−カセット、５６はテ−ブル、５７はモ−タ軸先端取付板、５８はカバ−回転軸、５９はウェハ−出入口である。
カセット搬入・搬出装置の駆動部を構成するモ−タ５０は、回転力を発生してモ−タ軸端取付板５７を回転させる。また、リンク部５１は、備え付けられた両端の図示しないベ  アリング等によりモ−タ軸端取付板５７と係合すると共に、カバ−取付板５３とも係合して動力伝達する。さらにカバ−５２は、リンク部５１とカバ−取付板５３に係合して、カバ−回転軸５８を中心に回転し、ウェハ−収納用カセット５５のカバ−開閉を行う作動部を構成する。このような機構を備えた装置を用いることで、ウェハ−収納用カセット移載部のカバ−を自動開閉させ、外気の侵入を抑制することができる。
【特許文献１】特開平９−８２７７８号公報（明細書第３頁、図１を参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、従来技術のカセット搬入・搬出装置において、カバ−開閉機構に以下の問題があった。
（１）ウェハ−収納用カセットへの外気の侵入抑制を行うカバ−５２が開く際に、カバ−の収納場所が広範囲に渡って必要となり、装置の小型化の妨げになっていた。
（２）また、カバ−５２が、カバ−回転軸５８を中心に回転し、テ−ブル５６の上下方向に移動して開閉する構成では、テ−ブル５６上のカバ−通過用長穴の形状だけでは高さ等の面で、カバ−が装置外を移動する軌跡を肉眼で確認するのが難しいため、作業者が例えば不用意にカバ−作動時に移動範囲内へ入ったときにカバ−に接触する危険性があった。
本発明は上記課題を解決すためになされたものであり、装置の小型化及び、カバ−作動時での作業者が接触する危険性を防止できるカバ−開閉機構を備えたウェハ−のカセット搬入・搬出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記問題を解決するため、請求項１の発明は、ウェハーを収納するウェハ−カセットを出し入れするカセット搬入・搬出装置において、鉛直方向に延びるように設けられたベースと、前記ベースと直角方向に設けられ、前記ウェハ−カセットを載置するテ−ブルと、前記ベース上の前記テーブルと対峙した位置に設けられた天板と、前記ベースに設けられた該ウェハーを出し入れするウェハー出入口と、前記天板と前記テ−ブルとの間に鉛直方向に向かって設けられると共に、外気の侵入を抑制するためのカーテン状のカバーと、前記天板に設けられ、前記カバーを移動方向に沿って案内するガイドレールと、前記テーブルに穿設され、前記カバーを移動方向に沿って案内する孔部と、前記テーブルの下部に設けられ、前記カバーの駆動源となる直動するアクチュエ−タと、前記アクチュエ−タの先端に配置され、該アクチュエ−タの駆動軸と直角方向に対して左右対称の位置に長穴状のカム溝を２個形成してなる平板と、前記平板のカム溝と係合し、該溝内を摺動するカムを有してなるリンクア−ムと、前記リンクア−ムと前記カバーを連結するリンク・カバー連結板とを備えたことを特徴としている。
また、請求項２の発明は、請求項１記載のカセット搬入・搬出装置において、前記ガイドレールは円弧状に形成されたことを特徴としている。
また、請求項３の発明は、請求項１記載のカセット搬入・搬出装置において、前記アクチュエータの駆動手段に、リニアモータを用いたことを特徴としている。
また、請求項４の発明は、請求項１記載のカセット搬入・搬出装置において、前記アクチュエータの駆動手段に、ボールネジと回転形モータを用いたことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００５】
本発明の請求項１の発明によれば、ウェハ−のカセット搬入・搬出装置のカバ−をテーブル上の左右水平方向に向かって、アクチュエータとリンクアームとの組み合せによる機構により自動開閉させる構造としたため、カバ−の収納場所が削減されると共に、装置の小型化及び外気の侵入抑制を図ることができる。
また、請求項２の発明によれば、カバ−は天板に設けたガイドレールとテ−ブル上の孔部に沿って水平方向に開閉する構成にしたため、カバ−の移動軌跡が視認可能になり、カバ−作動時に作業者がカバ−に接触する危険性を軽減ぅることが可能となる。
また、請求項３、４の発明によれば、アクチュエータの駆動手段として、リニアモータあるいはボールネジと回転形モータを組み合わせたものを用いたため、アクチュエータの直動動作に応じてリンクアームを速やかに作動させることで、カバーの開閉動作をスムーズに行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の実施例を図に基づいて具体的に説明する。
【実施例】
【０００７】
図１は、本発明の第１実施例を示すカセット搬入・搬出装置の全体構成を説明するための斜視図、図２は図１の駆動部およびリンク部付近の詳細を示した拡大図である。
図１、２において、１０はアクチュエ−タ、１１は平板、１２はリンクア−ム、１３はカバ−、１４はテ−ブル、１５はガイドレ−ル、１６はベ−ス、１７は天板、１８はカム、１９はリンク・カバ−連結板、２０はカバ−１３上に設けられた連動用つめ部、２１はウェハ−カセット、２２はカ−テン支持板、２３はウェハ−出入口である。また、１００は、アクチュエ−タ１０と平板１１で構成される駆動部、１０１はリンクア−ム１２、カム１８、リンク・カバ−連結板１９で構成されるリンク部である。
本発明の特徴は以下のとおりである。
すなわち、ウェハ−カセット２１を出し入れするカセット搬入・搬出装置は、鉛直方向に延びるように設けられたベース１６と、ベース１６と直角方向に設けられ、ウェハ−カセット２１を載置するテ−ブル１４と、ベース１６上のテーブル１４と対峙した位置に設けられた天板１７と、ベース１６に設けられた該ウェハーを出し入れするウェハー出入口２３と、天板１７とテ−ブル１４との間に鉛直方向に向かって設けられると共に、外気の侵入を抑制するためカーテン状のカバー１３と、天板１７に設けられ、カバー１３を移動方向に沿って案内するガイドレール１５と、テーブル１４に穿設され、カバーを移動方向に沿って案内する孔部２４と、テーブル４の下部に設けられ、カバー１３の駆動源となる直動するアクチュエ−タ１０と、アクチュエ−タ１０の先端に配置され、該アクチュエ−タ１０の駆動軸１０ａと直角方向に対して左右対称の位置に長穴状のカム溝１１ａを２個形成してなる平板１１と、平板１１のカム溝１１ａと係合し、該溝１１ａ内を摺動するカム１８を有してなるリンクア−ム１２と、リンクア−ム１２とカバー１３を連結するリンク・カバー連結板１９を備えた点である。
また、ガイドレール１５および孔部２４は円弧状に形成されたものとなっている。
また、カバ−１３は、円弧状に形成されたガイドレール１５、２４に沿って複数個に折り曲げて成形されると共に、カバ−１３の端部に複数個の連動用つめ２０が設けられ、天板１７に設けられたガイドレール１５。テーブル１４に設けられた孔部２４に沿って、リンク部の動きとともに連動用つめ２０により隣接する各カバーの位置を互いにずらしながら移動させるようにしている。
さらに、アクチュエータの駆動機構に、リニアモータあるいは、ボールネジと回転モータ（何れも図示せず）を用いたものとなっている。
【０００８】
次に、動作について説明する。
最初に、カバ−１３が閉じた状態から開く動作を行う場合、アクチュエ−タ１０の先端の位置は、半導体製造装置に取り付けられたベース１６側の最小使用ストロ−クの位置にある。アクチュエ−タ１０に励磁電流を流し、直線方向に駆動力を発生させると、アクチュエ−タ１０がテーブル１４の先端側に移動する。アクチュエ−タ１０の動きに応じて、アクチュエ−タ１０の駆動軸１０ａはアクチュエ−タ１０の駆動方向と直角方向に設けられた平板１１を押すため、平板１１のカム溝１１ａの内部をカバー１３に連結されたリンクア−ム１２のカム１８が係合して動く。平板１１のカム溝１１ａ内をカム１８が動くと、リンクアーム１２が左右に押し広げられるように連動し、複数個に分割されたカバ−１３がつめ２０で引っかけ合いながら作動し、アクチュエ−タ１０が最大使用ストロ−クの位置まで移動し、カバ−１３がテーブル上の左右方向に開いて収納される。なお、カバ−１３を閉じる際は上記動作の逆の動作を行う。この実施形態のウェハ−のカセット搬入・搬出装置は、半導体製造工程において、ＥＦＥＭ対応として人手または自動機にてウェハ−収納用カセット２１を移載し、開閉するウェハ−出入扉付ベ−ス１６上のウェハ−出入口２３を通して製造装置内部へ外気の進入を抑制しつつ、ウェハ−収納用カセット２１から移載ロボットなどにて搬入・搬出できるような位置に設置できる。
【０００９】
したがって、本発明の実施例は、ウェハ−のカセット搬入・搬出装置のカバ−１３をテーブル１４上の左右水平方向に向かって、アクチュエータ１０とリンクアーム１２との組み合せによる機構により自動開閉させる構造としたので、カバ−１３の収納場所が削減されると共に、装置の小型化及び外気の侵入抑制を図ることができる。
また、カバ−１３は天板１７に設けたガイドレール１５とテ−ブル１４上の孔部２４に沿って水平方向に開閉する構成にしたので、カバ−１３の移動軌跡が視認可能になり、カバ−作動時に作業者がカバ−に接触する危険性を軽減ぅることが可能となる。
なお、カバ−１３を開閉する作動部の案内部を構成するガイドレ−ル１５、孔部２４は、水平に取付ける必要性はなく傾斜させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施例を示すカセット搬入・搬出装置の全体構成を説明するための斜視図
【図２】図１の駆動部およびリンク部付近の詳細を示した拡大図
【図３】従来技術を示すカセット搬入・搬出装置の全体構成を説明するための斜視図。
【符号の説明】
【００１１】
１０  アクチュエ−タ
１１  平板
１２  リンクア−ム
１３  カバー
１４  テ−ブル
１５  ガイドレ−ル
１６  ベ−ス
１７  天板
１８  カム
１９  リンク・カバ−連結板
２０  連動用つめ部
２１  ウェハ−カセット
２２  カ−テン支持板
２３  ウェハ−出入口
２４  孔部
１００  駆動部
１０１  リンク部
【図１】
2005142231.tif 000003
【図２】
2005142231.tif 000004
【図３】
2005142231.tif 000005