(57)【要約】【課題】複数のガス容器を集合して運搬できるとともに必要に応じてカードル内のガス容器を取り出すことができ、混合ガスを充填したガス容器に回転安定化処置を施すことができるようにすることにある。【解決手段】複数のガス容器６１が１以上の列に配置されてなるガス容器群の外側部分および列間部分に配され、これらガス容器６１を支える支持板５１が備えられたカードルにおいて、ガス容器群の外側部分を支える外側支持板を回動可能な可動支持板５１とする。列間部分に配される中間支持板を着脱自在にしてもよい。各支持板のガス容器に接する部分を、ガス容器の胴部に沿う凹部となった受け部材であることが好ましい。この凹部の表面を合成樹脂材としてもよい。ガス容器６１がアルミニウム合金製で、その容器弁６２をパージナブル容器弁とすることもできる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガス容器が１以上の列に配置されてなるガス容器群の外側部分および列間部分に配され、これらガス容器を支える支持板が備えられたカードルにおいて、
ガス容器群の外側部分を支える外側支持板が回動可能になっていることを特徴とするカードル。
【請求項２】
列間部分に配される中間支持板が着脱自在になっていることを特徴とする請求項１に記載のカードル。
【請求項３】
各支持板のガス容器に接する部分が、ガス容器の胴部に沿う凹部となっていることを特徴とする請求項１または２に記載のカードル。
【請求項４】
支持板の凹部の少なくとも表面が合成樹脂製となっていることを特徴とする請求項３に記載のカードル。
【請求項５】
ガス容器がアルミニウム合金製であることを特徴とする請求項１に記載のカードル。
【請求項６】
ガス容器の容器弁がパージナブル容器弁であることを特徴とする請求項１に記載のカードル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数のガス容器を集合して収容し、運搬、ガス供給に便利なようにしたカードルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造用ガスなどにおいては、使用元の使用の便宜を図るため、これらガスを充填したガス容器を枠体内に複数個集合して収容したカードルとして使用元に運搬して使用に供するようにしている。
具体的には、図７に示すような形態のカードルが知られている。このものは、特開平１０−５５９４３号公報の図２、図３に図示されたものである。
【０００３】
このカードルは、カードル本体をなす枠体１と複数のガス容器２、２・・・とからなっている。枠体１は、基台３とこの基台３上に組み立てられた鋼製アングルからなる直方体状の枠４とから構成されている。そして、枠４内部に４本のガス容器２、２・・が立て置き状態で一列状に並べられ、これが２列配置されている。各ガス容器２の頂部の容器弁５は、管６で接続されており、その内部のガスが管６から図示しない使用元に供給されるようになっている。
【０００４】
このようなカードルにあっては、その内部に収容された各ガス容器２内にガスが充填された状態で、使用元に運搬され、ガスが消費されると使用元からガスの充填工場に回収され、再度ガスが充填され、繰り返し使用されるようになっている。
【０００５】
ところで、従来のカードルでは、その内部でガス容器２、２・・が固定された状態となっている。このため、２種以上のガスを混合した混合ガスを運搬、供給する用途には適用できなかった。すなわち、混合ガスをガス容器に充填しただけでは、容器内では均一な濃度、組成の混合ガスとすることができないことがあり、このような事態に対処するために、個々のガス容器を横置きにした状態でガス容器の中心軸周りに回転させる回転安定化処置が行われている。
【０００６】
しかるに、従来のカードルでは、ガス容器２、２・・がカードル本体の枠４に固定されているために、回転安定化処置を行うことが不可能であった。
【特許文献１】特開平１０−５５９４３号公報（図２、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明における課題は、複数のガス容器を集合して運搬できるとともに必要に応じてカードル内のガス容器を取り出すことができ、混合ガスを充填したガス容器に回転安定化処置を施すことができるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる課題を解決するため、
請求項１にかかる発明は、複数のガス容器が１以上の列に配置されてなるガス容器群の外側部分および列間部分に配され、これらガス容器を支える支持板が備えられたカードルにおいて、
ガス容器群の外側部分を支える外側支持板が回動可能になっていることを特徴とするカードルである。
請求項２にかかる発明は、列間部分に配される中間支持板が着脱自在になっていることを特徴とする請求項１に記載のカードルである。
【０００９】
請求項３にかかる発明は、各支持板のガス容器に接する部分が、ガス容器の胴部に沿う凹部となっていることを特徴とする請求項１または２に記載のカードルである。
請求項４にかかる発明は、支持板の凹部の少なくとも表面が合成樹脂製となっていることを特徴とする請求項３に記載のカードルである。
請求項５にかかる発明は、ガス容器がアルミニウム合金製であることを特徴とする請求項１に記載のカードルである。
請求項６にかかる発明は、ガス容器の容器弁がパージナブル容器弁であることを特徴とする請求項１に記載のカードルである。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１，２の発明によれば、外側支持板を回動させて開き、中間支持板を取り外すことで、カードル内のガス容器を取り出すことができる。
請求項３の発明によれば、ガス容器の支持が安定する。
請求項４の発明によれば、ガス容器の胴部に傷が付くことがない。
請求項５の発明によれば、ガス容器内に吸着するガスが減少し、かつ使用元へのガス供給量が増加する。
請求項６の発明によれば、容器弁に混入した大気のパージを短時間で行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を詳しく説明する。
図１ないし図６は、本発明のカードルの一例を示すものである。この例のカードルは、カードル本体１０と、このカードル本体１０内に収容された複数のガス容器６１、６１・・・とから構成されている。これらガス容器６１、６１・・は、列状に（この例では２列で、１列が５本のガス容器で構成されている）配置されてガス容器群を形成している。
また、このカードル本体１０は、基台１１と枠体２１と固定支持板３１と中間支持板４１と可動支持板５１とから概略構成されている。
基台１１は、やや厚みのある平板状のもので、運搬用のホークリフトの爪が挿入できるような挿入孔１２が複数形成されている。
【００１２】
この基台１１の上側に直方体状の枠体２１が取り付けられている。この枠体２１は、基台１１の四隅に立設された鋼製アングルからなる４本の柱２２、２２・・と、これら柱２２、２２・・のうち、柱間間隔が小さい柱間を連結する鋼製アングルからなる複数の梁２３、２３・・・とから構成されている。
これら梁２３、２３・・・のそれぞれには、その長手方向のほぼ中央位置に、枠体２１の内方に向けて突出する掛止部材２４，２４・・・が取り付けられている。この掛止部材２４は、枠体２１の内方に向けて張り出した水平の板材とこの板材上に溶接されたＬ金具とからなるものである。この掛止部材２４、２４・・・には中間支持板４１の両端部が掛け止められるようになっている。
【００１３】
また、梁２３、２３・・・のうち、枠体２１の一方の側面に位置する梁２３、２３・・・には、トグルクランプ２５、２５・・・がそれぞれ取り付けられている。これらトグルクランプ２５、２５・・・は、上記掛止部材２４、２４・・・の側方に取り付けられており、トグル機構により、後述する可動支持板５１の先端に設けられた係止突片をその爪部に係止し、この爪部に連結されたレバーを回動することで可動支持板５１を着脱自在に係止するものである。
【００１４】
また、枠体２１の柱間間隔が長い柱間のうちの一方には、平行な３本の固定支持板３１、３１・が水平に掛け渡され、溶接等の固定手段により取り付けられている。この固定支持板３１は、ガス容器群の外側部分を支える外側支持板の１つを構成するものである。
この固定支持板３１は、断面コ字状の鋼製アングルからなるもので、その内側には、図６に示すように、円弧状で凹状の受け部材３２、３２・・・が複数個、間隔を介して取り付けられている。この受け部材３２は、ガス容器６１の胴部に接する部材であり、金属板を折り曲げ加工して形成されたものである。この受け部材３２の表面は合成樹脂材３３で着脱自在に覆われており、合成樹脂材３３が劣化、損傷した際には交換できるようになっている。
【００１５】
また、枠体２１の柱間間隔が長い柱間のうちの他方側には、平行な３本の可動支持板５１、５１・が水平に取り付けられている。この可動支持板５１は、ガス容器群の外側部分を支える外側支持板の他の１つを構成するものである。
この可動支持板５１は、断面形状コ字状の鋼製アングルからなるもので、その基端部は軸受部５２を介して円柱状の支持柱５３に対して回動可能に支持されており、この支持柱５３は一方の柱２２の近傍に立設されている。
【００１６】
また、可動支持板５１、５１・の各先端部には、係止突片５４、５４・が取り付けられており、梁２３、２３・に取り付けられた上述のトグルクランプ２５、２５・に着脱自在に係止されるようになっている。
この可動支持板５１のそれぞれの内側にも、先の受け部材３２と同様の構造の受け部材５５、５５・・・が横方向に複数個に間隔を配して並べて取り付けられている。
そして、この可動支持板５１は、図５に示すように、枠体２１の外方に向けて約９０度回動自在となっており、開放可能になっている。
【００１７】
さらに、固定支持板３１と可動支持板５１とのほぼ中間の位置に、水平な中間支持板４１、４１・が、３本互いに平行に、梁２３に対して着脱自在に取り付けられている。この中間支持板４１は、ガス容器群の列間に配される中間支持板を構成するものである。
この中間支持板４１は、平板状のステンレス鋼製のもので、その両端部は梁２３に取り付けられた上記掛止部材２４、２４のＬ金具に掛け止められるようになっている。すなわち、この中間支持板４１を上方から掛止部材２４、２４に載せて掛け止めし、中間支持板４１を上方に持ち上げることによって、掛止部材２４、２４から外れ、取り外すことができる。
また、この中間支持板４１の両面には、先の受け部材３２と同様の構造の受け部材４２、４２・・・が横方向に複数個に間隔を配して並べて取り付けられている。
【００１８】
また、枠体２１の一方の側方の上方には、コントロールボックス７１が設置されている。このコントロールボックス７１の内部には、各ガス容器６１の容器弁を開閉操作する加圧空気圧送用チューブ、使用元弁、パージ元弁などの機器が収容されている。
さらに、枠体の２１の天井には、吊り下げ用のフック８１が可倒可能に取り付けられている。
【００１９】
また、このカードル本体１０内に収容されるガス容器６１、６１・・・としては、鋼製、アルミニウム合金製などのものが用いられるが、なかでもアルミニウム合金製のものが好ましい。アルミニウム合金製ガス容器では、容器内表面が緻密な酸化アルミニウムで覆われており、内容ガスの吸着が少ないこと、伝熱量が鋼製容器に比較して大きいことからガス容器への入熱量が増大して内部の液化ガスが気化しやすく、使用元へのガス供給量を増大できることなどの利点がある。
【００２０】
さらに、ガス容器６１は、その胴部がカードル内で各支持板３１、４１、５１の各受け部材３２、４２、５５と接した状態で支持されることになるが、これら受け部材３２、４２、５５の表面が合成樹脂材３３で被覆されているので、ガス容器６１がアルミニウム合金製であっても、その胴部に傷がつくことがない。
【００２１】
また、ガス容器６１に取り付けられる容器弁としては、専用パージポート付きパージナブル容器弁（２ＰＣ弁）を使用することが好ましい。このタイプの容器弁では、弁箱内のダイヤフラムの内部に溜まる気体量が少ないので、ガス容器への取り付け時に配管系統に混入する大気をパージするのに要する時間を短縮できる。
【００２２】
ガス容器６１をカードル本体１０内部に収容するには、まずすべての可動支持板５１を外方に回動して開放状態とし、すべての中間支持板４１を梁２３から取り外しておく。ついで、ガス容器６１、６１・・・をカードル本体１０の奥方に列状に並べて置き、固定支持板３１の各受け部材３２、３２・・・にガス容器６１の胴部が収まるように配置する。このようにして、カードル本体１０の奥方に一列にガス容器６１を並べたら、次に中間支持板４１、４１・を梁２３、２３・・・に掛け渡して係止してゆく。この時、中間支持板４１の一方の側面の受け部材４２、４２・・・にガス容器６１の胴部が当接されるようにする。中間支持板４１の係止は、その両端部を梁２３に取り付けられた掛止部材２４、２４・・・に掛け止めることで行われる。
【００２３】
さらに、中間支持板４１の手前に別のガス容器６１、６１・・を一列に並べてゆく。この時も中間支持板４１の他側面の受け部材４２にガス容器６１の胴部が当接されるように配置する。
この後、開放状態にあった可動支持板５１、５１・を回動して閉じ、その先端部の係止突片５４、５４・をトグルクランプ２５、２５・に係止してクランプすることで、可動支持板５１を固定状態とする。この固定状態では、可動支持遺体５１の各受け部材５５、５５・・にガス容器６１、６１・・の胴部が当接するようにされる。
【００２４】
ガス容器６１、６１・・・の取り出しは、以上の操作の逆の操作を行えばよく、初めに可動支持板５１を開放し、手前の列のガス容器６１、６１・・・を取り出し、ついで中間支持板４１、４１・を取り外し、奥の方のガス容器６１、６１・・・を取り出すことで行われる。
【００２５】
このような構造のカードルにおいては、そのカードル本体１０内部に収容されているガス容器６１、６１・・・を必要に応じてカードル本体１０の外部に取り出すことができる。このため、混合ガスを充填したガス容器に回転安定化処置を施して均一な濃度、組成としたのち、このガス容器をカードル本体１０内部に収容することが可能になって均一な組成の混合ガスを使用元に供給することができる。
【００２６】
また、このようなカードルを使用することで、下記のような運送上の利点も生じる。
従来のカードルでは、ガス容器の取り外しができないため、カードルをガス充填工場に運搬して、ガス容器にガスを充填したのち、このカードルを使用元にトラックで運送していたが、１両のトラックに積載できるカードルはせいぜい数基であり、ガス充填工場と使用元とが離れている場合には、特に運送コストが嵩む欠点があった。
【００２７】
これに対して、本発明のカードルでは、ガス容器を取り外すことができるので、ガス充填工場では個々のガス容器の状態でガスを充填し、このガス容器をそのままの荷姿で１両のトラックに大量に積載し、使用元に近い出荷基地に運搬できる。出荷基地では、このガス容器をカードル本体に収容してカードルとし、このカードルを荷姿として使用元に輸送する輸送システムを採用することができる。      
【００２８】
特に、半導体製造用ガスの場合には、ガス充填工場が地域的に限られており、使用元（半導体製造工場）がガス充填工場から遠隔地にあることが多いため、この輸送システムを採用することで、運送コストを大幅に低減することが可能になる。
【００２９】
なお、本発明では、固定支持板３１を可動支持板５１と同様の回動可能の構造として枠体２１の２つの側面が開放できるようにしても良い。また、中間支持板４１を片持ち支持構造とし、この片持ち支持部を枠体２１の短辺方向にスライドさせて枠体２１の側面部に移動させ、ここで回動可能とする構造としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明のカードルの一例を示す正面図である。
【図２】本発明のカードルの一例を示す左側面である。
【図３】本発明のカードルの一例を示す右側面図である。
【図４】本発明のカードルの一例を示す平面図である。
【図５】本発明のカードルの可動支持板を開放した状態を示す平面図である。
【図６】本発明のカードルにおける受け部材を示す断面図である。
【図７】従来のカードルを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３１】
２１・・・枠体、３１・・・固定支持板、３２、４２、５５・・・受け部材、３３・・・合成樹脂材、４１・・・中間支持板、５１・・・可動支持板、６１・・・ガス容器、６２・・・容器弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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