(57)【要約】【課題】整列対象物の搬送状態に左右されることなく、その高さ方向を確実に規制することができる整列供給装置を提供する。【解決手段】整列供給装置は、外部から供給された整列対象物Ｐを搬送方向上流側から下流側に案内しつつ整列させて排出する整列搬送機構２０と、整列搬送機構２０によって搬送される整列対象物Ｐの一段の高さよりも上方位置、且つ搬送方向と交差する方向に向けて圧縮空気を吐出するノズル２３と、ノズル２３に圧縮空気を供給する圧縮空気供給機構とを備える。【選択図】図１０
2005289545.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から供給された整列対象物を搬送方向上流側から下流側に案内しつつ整列させて排出する整列搬送手段と、
前記整列搬送手段によって搬送される整列対象物の一段の高さよりも上方位置、且つ前記搬送方向と交差する方向に向けて圧縮空気を吐出するノズルと、
前記ノズルに前記圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段とを備えてなることを特徴とする整列供給装置。
【請求項２】
前記整列搬送手段は、
長尺且つ平板状の部材から構成され、その上面に、前記整列対象物を案内しつつ整列させるための凹部が長手方向に沿って形成された搬送部材であって、その凹部底面が該搬送部材幅方向の一方端側に傾斜して形成されるとともに、前記凹部深さが、積層状態にある前記整列対象物の２段目以上が該搬送部材一方端側の上面から突出するように設定され、前記一方端側の凹部壁面に沿って前記整列対象物を案内するように構成された搬送部材と、
前記搬送部材に振動を付与し、前記凹部に沿って前記整列対象物を一方向に移動させる振動付与手段とを備えてなり、
前記ノズルは、前記搬送部材の上方に配設され、該搬送部材の上面に沿うように且つ前記一方端側からその逆側に向けて前記圧縮空気を吐出するように構成されてなることを特徴とする請求項１記載の整列供給装置。
【請求項３】
前記搬送部材は、前記一方端側の凹部壁面から間隔を隔てた凹部底面に、前記整列対象物よりも大きく、前記一方端側の凹部壁面に当接した整列対象物以外のものを落下させる貫通穴を備えてなり、
前記ノズルは、前記貫通穴近傍の前記搬送部材上方に配設され、前記一方端側から前記貫通穴の上方側に向けて前記圧縮空気を吐出するように構成されてなることを特徴とする請求項２記載の整列供給装置。
【請求項４】
前記ノズルと対峙する位置に、該ノズルから吐出される圧縮空気によって吹き飛ばされた整列対象物を前記貫通穴内に導くガイド部材を更に備えてなることを特徴とする請求項３記載の整列供給装置。
【請求項５】
前記搬送部材の貫通穴下方に配設され、該貫通穴から落下した整列対象物を回収する回収手段を更に備えてなることを特徴とする請求項４記載の整列供給装置。
【請求項６】
前記回収手段によって回収された整列対象物を、前記搬送部材における搬送方向上流側を含むより上流側に還流する還流手段を更に備えてなることを特徴とする請求項５記載の整列供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部から供給された整列対象物を案内しながら整列させて排出する整列供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
前記整列供給装置は、例えば、自動検査装置や自動包装装置などに設けられ、当該装置内に供給される検査対象物や包装対象物（整列対象物）を、その姿勢を揃え且つ一列に整列させた後、次工程（外部）に搬出するように構成される。尚、前記検査対象物や包装対象物としては、樹脂ペレット、ボタン電池等の電子部品類、錠剤，カプセル等の医薬品、キャンディ等の小さな菓子類といった比較的小さい物品を挙げることができる。そして、このような整列供給装置として、従来、実開平３−９５３１５号公報に開示されたものが知られている。
【０００３】
この整列供給装置１００は、図１５に示すように、鉛直方向に沿った回転中心軸回りに矢示方向に回転するターンテーブル１０１と、ターンテーブル１０１の外周部上方に配設された円弧状の外周ガイド１０２と、外周ガイド１０２の案内終端に接続した搬出ガイド１０３と、ターンテーブル１０１の回転中心側から外周側に向けて配置された第１，第２及び第３の案内板１０７，１０８，１０９と、整列対象物Ｈの高さ方向を規制する規制部材１１１と、整列対象物Ｈをターンテーブル１０１の内側に戻す回転ローラ１１２などから構成されている。
【０００４】
前記第１，第２及び第３の案内板１０７，１０８，１０９は、それぞれターンテーブル１０１の回転中心位置に非回転に設けられた支持部材１１０によって支持されており、供給装置１１３からターンテーブル１０１上に供給され、矢示方向に搬送される整列対象物Ｈをターンテーブル１０１の外周に向けて案内する。
【０００５】
前記外周ガイド１０２は、その内周面とターンテーブル１０１の回転中心軸との間の距離が、その中央部付近から前記案内終端にかけて漸次小さくなるように形成され、前記各案内板１０７，１０８，１０９によってターンテーブル１０１の外周側に案内された整列対象物Ｈを内周面に沿って案内しつつ整列させる。
【０００６】
前記搬出ガイド１０３は、一方端が外周ガイド１０２の前記案内終端に接続し、他方端がターンテーブル１０１の外方に向けて延設される直線状の第１案内部材１０４と、この第１案内部材１０４と所定間隔を隔てて同一水平面内で平行に対向配置される同じく直線状の第２案内部材１０５とからなり、外周ガイド１０２の内周面に摺接し整列された１列の整列対象物Ｈを第１案内部材１０４と第２案内部材１０５との間に導き入れて、ターンテーブル１０１の外部に向けて案内する。
【０００７】
前記規制部材１１１は平板状の部材からなり、外周ガイド１０２の前記案内終端から第１案内部材１０４の前記一方端にかけて、ターンテーブル１０１の上方にこれと一定間隔を隔てて配設され、外周ガイド１０２によって整列された整列対象物Ｈの高さ方向を規制して１段の整列対象物Ｈのみを通過させる。具体的には、２段以上の多段に積層された整列対象物Ｈの２段目より上の整列対象物Ｈａを下に落としたり（図１６（ａ）参照）、直立した整列対象物Ｈｂを横倒させて（図１６（ｂ）参照）、当該整列対象物Ｈを１段に整える。
【０００８】
また、前記回転ローラ１１２は、前記規制部材１１１と第２案内部材１０５との間に設けられ、鉛直方向に沿った回転中心軸回りに、ターンテーブル１０１の回転方向とは逆方向（矢示方向）に回転するように構成される。そして、回転ローラ１１２は、第１案内部材１０４に摺接して搬送される整列対象物Ｈ以外の整列対象物（排除対象の整列対象物）Ｈを弾いてターンテーブル１０１の内側に移動させる。
【０００９】
以上のように構成された従来の整列供給装置１００によれば、供給装置１１３からターンテーブル１０１上に整列対象物Ｈが供給されると、供給された整列対象物Ｈは、ターンテーブル１０１の回転によってその回転方向に搬送され、第１の案内板１０７や第２の案内板１０８により案内されてターンテーブル１０１の外周に向けて移動した後、外周ガイド１０２の内周面に沿って１〜３列程度に整列された状態となる。
【００１０】
このようにして整列された整列対象物Ｈは、次に、規制部材１１１の下方を通過し、その際に、当該規制部材１１１によって横倒し状態且つ１段に整えられ、ついで、排除対象の整列対象物Ｈが、回転ローラ１１２によって、ターンテーブル１０１の中心側に向けて弾かれ、これにより、整列対象物Ｈが１段１列に整列される。
【００１１】
そして、１段１列に整列された整列対象物Ｈは、搬出ガイド１０３の導入部１０６から第１案内部材１０４と第２案内部材１０５との間に導き入れられ、ターンテーブル１０１の外方に向けて搬出される。
【００１２】
【特許文献１】実開平３−９５３１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところが、上記従来の整列供給装置１００では、搬送される整列対象物Ｈが規制部材１１１に接触することで、その高さ方向が規制され、一段に整えられるようになっているので、整列対象物Ｈの整列状態（搬送状態）によっては、整列対象物Ｈが規制部材１１１とターンテーブル１０１との間に詰まるという問題があった。また、整列対象物Ｈが、例えば、樹脂ペレットのように、整った形状をしておらず、異形形状をしている場合には、特に、こういった問題が起こり易い。
【００１４】
そして、このような詰まりが生じると、整列対象物Ｈを外部へ搬出することができなくなるとともに、供給装置１１３から供給された整列対象物Ｈが当該整列供給装置１００に溜まっていくことになるため、更に大きな問題（例えば、ターンテーブル１０１を回転させる駆動モータに過負荷がかかって当該駆動モータが故障するといった問題）へと発展する可能性もある。
【００１５】
本発明は、以上の実情に鑑みなされたものであって、整列対象物の搬送状態に左右されることなく、その高さ方向を確実に規制することができる整列供給装置の提供をその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するための本発明は、
外部から供給された整列対象物を搬送方向上流側から下流側に案内しつつ整列させて排出する整列搬送手段と、
前記整列搬送手段によって搬送される整列対象物の一段の高さよりも上方位置、且つ前記搬送方向と交差する方向に向けて圧縮空気を吐出するノズルと、
前記ノズルに前記圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段とを備えてなることを特徴とする整列供給装置に係る。
【００１７】
この発明によれば、まず、外部から整列搬送手段に整列対象物が供給される。供給された整列対象物は、通常、一段となっているが、外部からの供給状態によっては、２段以上の多段に積層された状態となることがある。また、圧縮空気供給手段からノズルに圧縮空気が供給され、当該ノズルから、整列対象物の一段の高さよりも上方位置、且つ整列対象物の搬送方向と交差する方向に向けて、圧縮空気が吐出されている。
【００１８】
この後、供給された整列対象物は、当該整列搬送手段によって、搬送方向上流側から下流側に向けて案内，搬送されながら整列される。このとき、一段の整列対象物は、ノズルから吐出される圧縮空気流の下方を通過するが、積層状態にある整列対象物は、その２段目以上の整列対象物がこの圧縮空気流を横切るため、当該圧縮空気流によって下に落とされ（吹き飛ばされ）、一段に整えられる。
【００１９】
そして、整列対象物は、搬送方向下流側まで搬送された後、当該整列搬送手段から適宜排出される。
【００２０】
尚、前記整列搬送手段は、長尺且つ平板状の部材から構成され、その上面に、前記整列対象物を案内しつつ整列させるための凹部が長手方向に沿って形成された搬送部材であって、その凹部底面が該搬送部材幅方向の一方端側に傾斜して形成されるとともに、前記凹部深さが、積層状態にある前記整列対象物の２段目以上が該搬送部材一方端側の上面から突出するように設定され、前記一方端側の凹部壁面に沿って前記整列対象物を案内するように構成された搬送部材と、前記搬送部材に振動を付与し、前記凹部に沿って前記整列対象物を一方向に移動させる振動付与手段とを備え、前記ノズルは、前記搬送部材の上方に配設され、該搬送部材の上面に沿うように且つ前記一方端側からその逆側に向けて前記圧縮空気を吐出するように構成されていても良い。
【００２１】
このようにすれば、搬送部材上に整列対象物が供給され、振動付与手段によって搬送部材に振動が付与される。搬送部材上に供給された整列対象物は、当該搬送部材に付与された振動により、当該搬送部材の凹部に沿って搬送方向上流側から下流側に向けて移動し、当該搬送部材から排出される。
【００２２】
このとき、整列対象物は、凹部底面の傾斜により、その傾斜方向（搬送部材幅方向の一方端側）の凹部壁面側に寄せられ、これに当接して移動，整列する。また、一段の整列対象物は、搬送部材一方端側の上面から突出しないが、積層状態にある整列対象物は、その２段目以上の整列対象物が当該上面から突出する。これにより、ノズルから搬送部材の上面に沿うように且つ前記一方端側からその逆側に向けて吐出される圧縮空気の流れにより、２段目以上の整列対象物が吹き飛ばされて積層状態が解除される。
【００２３】
また、前記搬送部材は、前記一方端側の凹部壁面から間隔を隔てた凹部底面に、前記整列対象物よりも大きく、前記一方端側の凹部壁面に当接した整列対象物以外のものを落下させる貫通穴を備え、前記ノズルは、前記貫通穴近傍の前記搬送部材上方に配設され、前記一方端側から前記貫通穴の上方側に向けて前記圧縮空気を吐出するように構成されていても良い。
【００２４】
このようにすれば、整列対象物の案内，整列過程において、ノズルから吐出される圧縮空気によって吹き飛ばされた整列対象物が貫通穴から落下し、凹部内から排除される。また、凹部壁面に当接していない整列対象物も貫通穴から落下して凹部内から排除され、凹部壁面に当接して整列した一列の整列対象物のみが搬送方向下流側に案内，搬送される。
【００２５】
また、前記整列供給装置は、前記ノズルと対峙する位置に、該ノズルから吐出される圧縮空気によって吹き飛ばされた整列対象物を前記貫通穴内に導くガイド部材を更に備えていることが好ましい。
【００２６】
また、前記整列供給装置は、前記搬送部材の貫通穴下方に配設され、該貫通穴から落下した整列対象物を回収する回収手段を更に備えていることが好ましい。
【００２７】
また、前記整列供給装置は、前記回収手段によって回収された整列対象物を、前記搬送部材における搬送方向上流側を含むより上流側に還流する還流手段を更に備えていることが好ましい。
【発明の効果】
【００２８】
斯くして、本発明に係る整列供給装置によれば、ノズルから吐出される圧縮空気によって（即ち、整列対象物に非接触で）、整列対象物を一段に整え、その高さを規制するようにしているので、規制部材との接触により整列対象物の高さを規制していた従来のように、整列対象物の詰まりを生じることはなく、確実に高さを規制することができる。また、整列対象物がどのような形状をしていても、効果的に、その高さ規制を行うことができる。
【００２９】
また、凹部底面に貫通穴を設けるようにすれば、圧縮空気流によって吹き飛ばされた整列対象物、及び凹部壁面に当接していない整列対象物を、当該貫通穴から落下させることができるので、凹部壁面に当接して整列され、一段一列となった整列対象物のみを整列供給装置外へ排出することができる。
【００３０】
また、ガイド部材を設けるようにすれば、当該ガイド部材により、吹き飛ばされた整列対象物を貫通穴内に確実に導くことができるので、例えば、吹き飛ばされた整列対象物が貫通穴からそれ、整列していない状態で搬送部材外へ排出されるのを効果的に防止することができる。
【００３１】
また、回収手段を設けるようにすれば、当該回収手段により、貫通穴から落下した整列対象物を一ヶ所に集めることができる。
【００３２】
また、還流手段を設けるようにすれば、当該還流手段により、回収手段によって回収された整列対象物を、搬送部材の搬送方向上流側を含むより上流側に自動的に還流し、排除された整列対象物を、再度、整列工程にのせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の具体的な実施形態について、添付図面の図１乃至図１２に基づき説明する。尚、本例では樹脂ペレットを検査対象物（整列対象物）としているが、これに限るものではなく、ボタン電池等の電子部品類、錠剤，カプセル等の医薬品、キャンディ等の小さな菓子類といった小物物品を検査対象物とすることができる。
【００３４】
図１に示すように、本例の外観検査装置１は、一括投入される樹脂ペレットを複数列（本例では８列）に整列して搬送する搬送機構部１０と、この搬送機構部１０に沿って配設され、搬送される樹脂ペレットＰの外観を検査する第１検査機構部４５及び第２検査機構部５５と、この第１検査機構部４５及び第２検査機構部５５の検査結果を基に、搬送される樹脂ペレットＰから不良品を吸引，排除する不良品回収機構部６０と、良品の樹脂ペレットＰを回収する良品回収機構部７５と、前記搬送機構部１０等に負圧を供給する排気ポンプ７０と、前記搬送機構部１０、第１及び第２検査機構部４５，５５、不良品回収機構部６０、排気ポンプ７０などの作動を制御する動作制御部８１と、上下２段の支持構造を備え、この支持構造によって前記各部を支持する支持フレーム２などから構成される。
【００３５】
前記搬送機構部１０は、図１及び図１２に示すように、多数の樹脂ペレットＰが一括投入される漏斗状の供給ホッパ１１及びその下端部に接続された供給ブロック１２と、供給ブロック１２から排出された樹脂ペレットＰを拡散させて搬送する第１振動フィーダ１３と、第１振動フィーダ１３から排出された樹脂ペレットＰを８列に整列して搬送する第２振動フィーダ１７と、第２振動フィーダ１７から排出された８列の樹脂ペレットＰを順次吸着して直線的に搬送する第１吸着搬送装置３０及び第２吸着搬送装置５０と、第１吸着搬送装置３０の駆動モータ４２及び第２吸着搬送装置５０の駆動モータ（図示せず）の回転速度を監視する速度監視装置５１などから成る。
【００３６】
前記第１振動フィーダ１３は、基台１４と、この基台１４上に配設されるバイブレータ１５と、搬送方向下流側に向けて下方に傾斜するようにバイブレータ１５上に載置，固定される平板状のフィードプレート１６とからなり、このフィードプレート１６上の搬送方向上流端に前記供給ブロック１２が固設されている。
【００３７】
供給ブロック１２の内部には供給路が形成されており、この供給路の上端部に供給ホッパ１１の下端部が連結され、その内部と供給路とが連通した状態となっている。
【００３８】
斯くして、供給ホッパ１１内に供給された樹脂ペレットＰは、当該供給ホッパ１１の下端開口部から供給ブロック１２の供給路内に侵入し、バイブレータ１５から供給ブロック１２に伝播される振動によって、供給路内をフィードプレート１６に向けて移動し、当該フィードプレート１６上に供給される。そして、フィードプレート１６上に供給された樹脂ペレットＰは、同じくバイブレータ１５からフィードプレート１６に伝播される振動によって、当該フィードプレート１６の幅方向（搬送方向と直交する方向）に拡散（拡幅）しつつ第２振動フィーダ１７に向けて移動し、当該第２振動フィーダ１７に排出される。
【００３９】
第２振動フィーダ（整列搬送手段）１７は、前記第１振動フィーダ１３と同様に、基台１８と、この基台１８上に配設されるバイブレータ（振動付与手段）１９と、搬送方向下流側に向けて下方に傾斜するようにバイブレータ１９上に載置，固定される整流プレート（搬送部材）２０とからなる。
【００４０】
整流プレート２０は、図６乃至図９に示すように、板状の部材からなり、その上面に、垂直面２０ｂと傾斜面２０ｃとから形成される横断面がほぼＶ字形状をした８列の直線状の搬送路（凹部）２０ａを備えており、その搬送方向下流側の搬送路２０ａには、表裏面に貫通する長穴状の排出孔（貫通穴）２０ｄを備えている。尚、垂直面２０ｂと傾斜面２０ｃとから構成される搬送路２０ａの深さは、図１０に示すように、搬送される樹脂ペレットＰが多段の積層状態となったとき、２段目より上の樹脂ペレットＰが整流プレート２０の上端部より上方に突出する深さとなっている。また、搬送路２０ａの幅方向における排出孔２０ｄの位置及びその幅寸法は、前記垂直面２０ｂに当接して搬送される樹脂ペレットＰ以外のものが、この排出孔２０ｄに落ち込むような位置及び幅寸法となっている。
【００４１】
上記のようにして、第１振動フィーダ１３から排出された樹脂ペレットＰは、整流プレート２０上に供給され、バイブレータ１９から整流プレート２０に伝播される振動によって、この整流プレート２０上を前記第１吸着搬送装置３０に向けて搬送される。その際、整流プレート２０上に供給された樹脂ペレットＰは、その上面に形成された各搬送路２０ａにそれぞれ入り込み、その傾斜面２０ｃの作用によって、垂直面２０ｂ側に寄せられながら前記第１吸着搬送装置３０に向けて搬送され、その搬送過程で、垂直面２０ｂに当接していない樹脂ペレットＰは、排出孔２０ｄに落ち込んで搬送系外に排出され、前記垂直面２０ｂに当接して搬送される一列の樹脂ペレットＰのみが搬送下流端に至る。
【００４２】
前記排出孔２０ｄの上方には、多段に積層された状態で搬送路２０ａ上を搬送される樹脂ペレットＰの２段目より上のものを前記排出孔２０ｄから搬送系外に排除する積層解除機構２１が設けられ、排出孔２０ｄの下方には、前記供給ホッパ１１に接続する還流機構２６が設けられている。
【００４３】
図２及び図１０に示すように、前記積層解除機構２１は、図示しない圧縮空気供給源に接続された給気管２２と、給気管２２の下端部に連結され、その先端開口部から圧縮空気を吐出するＬ字状のノズル２３と、ノズル２３の吐出方向前方に配置された同じくＬ字状のガイド板２４とを１組として、その８組をそれぞれ前記各搬送路２０ａに個別に対応させて設けた構成を備える。この給気管２２及びノズル２３は、その４組を１グループとして２グループに分けられ、各グループについて、これを構成する各組が前記搬送方向に沿って少しずつずれた位置に配置される。また、各給気管２２は、前記整流プレート２０の上方に設けられた支持プレート２５によってそれぞれ支持され、各ノズル２３は、先端開口部がその対応する搬送路２０ａの垂直面２０ｂ上端近傍に位置し、各ガイド板２４は、下端部がその対応する搬送路２０ａの傾斜面２０ｃ上端位置に当接するように、それぞれ配設される。
【００４４】
上記のように、第１振動フィーダ１３から整流プレート２０上に供給された樹脂ペレットＰは、その搬送過程で排出孔２０ｄの作用により、各搬送路２０ａ毎に一列に整列されるが、第１振動フィーダ１３からの供給状態によっては、これらが２段以上の多段に積層される可能性がある。この場合、２段目より上の樹脂ペレットＰは、ノズル２３の近傍を通過する際に、このノズル２３から吐出される空気流によって、これと対向するガイド板２４側に吹き飛ばされ、このガイド板２４により案内されて排出孔２０ｄに落ち込み、搬送系外に排出される。
【００４５】
斯くして、第１振動フィーダ１３から供給された樹脂ペレットＰは、各搬送路２０ａ内において、上記排出孔２０ｄ及び積層解除機構２１の作用によって一段一列に整列され、その搬送下流端に至る。
【００４６】
前記還流機構２６は、図１及び図１１に示すように、排出孔２０ｄの下方に設けられる回収ホッパ２６ａと、この回収ホッパ２６ａの下端部に接続され、内部に形成された還流路２６ｃが回収ホッパ２６ａ内と連通するように設けられたブロック２６ｂと、一端が適宜圧縮空気供給源に接続され、他端がブロック２６ｂの還流路２６ｃに連通する装着穴２６ｄに装着され、その先端に設けられたＬ字状のノズル２６ｆの先端部が前記還流路２６ｃ内に侵入した状態に配設され、前記圧縮空気供給源から還流路２６ｃ内に圧縮空気を供給する圧縮空気供給管２６ｅと、一端が前記供給ホッパ１１の上方に配置され、他端が前記還流路２６ｃに接続するように前記ブロック２６ｂに連結された還流管２６ｇとからなる。尚、この還流機構２６が、特許請求の範囲に言う回収手段及び還流手段として機能する。
【００４７】
排出孔２０ｄから搬送系外に排出された樹脂ペレットＰは、その下方に設けられた回収ホッパ２６ａ内に回収され、回収された樹脂ペレットＰは、前記圧縮空気供給源から供給される圧縮空気によって還流路２６ｃ及び還流管２６ｇ内を圧送され、前記供給ホッパ１１内に還流される。
【００４８】
尚、前記第２振動フィーダ１７，積層解除機構２１及び還流機構２６が、特許請求の範囲に言う整列供給装置として機能している。
【００４９】
第１吸着搬送装置３０は、図３，図４及び図１２に示すように、所定の間隔を隔てて並設された原動プーリ３７及び従動プーリ３８と、この原動プーリ３７，従動プーリ３８間の中間部下方に配設された従動プーリ３９と、これら原動プーリ３７及び従動プーリ３８，３９に巻き掛けられた無端状のＶベルト４０と、前記原動プーリ３７，従動プーリ３８間に設けられてＶベルト４０の走行を案内する案内板３４と、この案内板３４を支持し、且つ前記原動プーリ３７及び従動プーリ３８，３９を回転自在に支持するフレーム３１，３２と、案内板３４の下面及びフレーム３１，３２の相互対向面に気密状に固設され、これら案内板３４及びフレーム３１，３２とともに内部空間を形成する板状の壁体３３と、原動プーリ３７を駆動する駆動モータ４２とから構成され、案内板３４、フレーム３１，３２及び壁体３３により前記内部空間を有する負圧ボックス４１が形成される。
【００５０】
前記フレーム３１はその中央部に表裏に貫通する排気孔３５が形成され、また、前記排気ポンプ７０に接続する排気管３６がこの排気孔３５に接続しており、この排気ポンプ７０によりこれら排気管３６及び排気孔３５を通じて前記負圧ボックス４１内の空気が排気され、負圧ボックス４１内が負圧となる。
【００５１】
前記原動プーリ３７及び従動プーリ３８，３９は、それぞれ外周に、２条を１対とする合計８対の環状Ｖ溝（図４における３９ａが従動プーリ３９のＶ溝であり、原動プーリ３７及び従動プーリ３８についてはそのＶ溝の図示を省略しているため、以下、Ｖ溝についての符号を省略する）を備え、各Ｖ溝が相互に対向するように配設される。また、前記案内板３４には、その上面に、対向し合う前記原動プーリ３７の各Ｖ溝と従動プーリ３８の各Ｖ溝とを結ぶ直線に沿ってそれぞれＶ字状の案内溝３４ａが８対形成されている。そして、２本を１対として８対のＶベルト４０がそれぞれ原動プーリ３７及び従動プーリ３８，３９の各Ｖ溝、並びに案内板３４の案内溝３４ａに係合するようにこれら原動プーリ３７及び従動プーリ３８，３９に巻き掛けられている。
【００５２】
前記原動プーリ３７及び従動プーリ３８，３９のＶ溝、並びに案内板３４の案内溝３４ａは、図５に示すように、そのＶ字寸法とＶベルト４０のＶ字寸法とが同寸法に形成され、Ｖ溝の両内側面及び底面、並びに案内溝３４ａの両内側面３４ｂ，３４ｃ及び底面３４ｄと、Ｖベルト４０の両外側面４０ａ，４０ｂ及び下面４０ｃとがそれぞれ接触した状態となっている。
【００５３】
また、案内板３４の下面には、その各対の案内溝３４ａ，３４ａと対応する位置にそれぞれ、その長手方向に沿って長溝３４ｇが形成され、この長溝３４ｇの底面（図５で図示した状態では上面）には、これに沿って長溝３４ｆが形成されており、更に、各対の案内溝３４ａ，３４ａ間には、これに沿って、長溝３４ｆの底面（図５で図示した状態では上面）に開口する複数のスリット状の吸気孔３４ｅが一列に穿設されている。また、各案内溝３４ａの底面には、長溝３４ｇの底面に開口する複数の丸孔状の貫通孔３４ｈが一列に穿設され、開口している。
【００５４】
前記駆動モータ４２は、図１２に示すように、前記動作制御部８１によってその作動が制御されており、動作制御部８１は、外部から適宜入力された速度に関する信号（例えば、低速，中速及び高速の３段階に設定された速度の内、どの速度で回転させるかを示した信号）、及び駆動モータ４２に付設されたロータリエンコーダ４３によって検出される現在速度信号（パルス数）を基に、制御信号を生成し、生成した制御信号を駆動モータ４２に送信してこれを制御する。
【００５５】
この第１吸着搬送装置３０によれば、排気ポンプ７０により負圧ボックス４１内の空気が排気されて、当該負圧ボックス４１内が負圧になると、吸気孔３４ｅを介して一対のＶベルト４０，４０間に負圧が作用する。また、動作制御部８１による制御の下、駆動モータ４２により原動プーリ３７が駆動され、これにより原動プーリ３７及び従動プーリ３８，３９に巻き掛けられたＶベルトが回動せしめられる。そして、上記の如くして第２振動フィーダによって整列された各列の樹脂ペレットＰが、それぞれ各対のＶベルト上に、これらに跨るように供給されると、当該Ｖベルト４０，４０間に作用する負圧によって、樹脂ペレットＰの下面が一対のＶベルト４０，４０上に吸着，保持され、当該Ｖベルト４０，４０によってその走行方向に搬送される。斯くして、この第１第１吸着搬送装置３０では、８対のＶベルトによって８列の吸着搬送経路が形成される。
【００５６】
また、負圧ボックス４１内の負圧は貫通孔３４ｈを介して各案内溝３４ａの底面に作用し、これに案内されて走行するＶベルト４０の下面がこの負圧によって吸引され、これにより当該Ｖベルト４０はその上下方向の変位が防止され、安定した状態で走行する。
【００５７】
前記第２吸着搬送装置５０は、第１吸着搬送装置３０と同じ構成を備えるものであり、その詳しい説明は省略するが、図１に示すように、第１吸着搬送装置３０とは上下反転した状態に設けられ、その搬送上流端が第１吸着搬送装置３０の搬送下流端と対向するように配設され、第１吸着搬送装置３０よって吸着搬送された各列の樹脂ペレットＰの上面をそれぞれ吸着してこれらを吊り下げ状態で搬送する。尚、この第２吸着搬送装置５０の搬送下流端では、その吸着が解除され、樹脂ペレットＰはその移動方向に慣性によって放出される。
【００５８】
前記速度監視装置５１は、基準データ記憶部５２と、速度監視部５３とを備えており、第１吸着搬送装置３０の駆動モータ４２及び第２吸着搬送装置５０の駆動モータ（図示せず）の各回転速度を監視することで、第１吸着搬送装置３０のＶベルト４０及び第２吸着搬送装置５０のＶベルトの各走行速度を監視する。尚、以下の説明では、第１吸着搬送装置３０の駆動モータ４２の回転速度を監視する場合について説明するが、第２吸着搬送装置５０の駆動モータ（図示せず）についても同様にして監視する。
【００５９】
前記基準データ記憶部５２には、駆動モータ４２が低速，中速及び高速の速度でそれぞれ回転しているときに、ロータリエンコーダ４３によって検出されるべきパルス数が、各速度における基準パルス数として、各速度毎に予め格納される。
【００６０】
前記速度監視部５３は、外部から適宜入力された前記速度信号、及びロータリエンコーダ４３によって検出されたパルス数を、動作制御部８１から受信し、受信した速度信号を基に、基準データ記憶部５２に格納された基準パルス数を参照して、当該速度における基準パルス数を認識した後、受信した検出パルス数と認識した基準パルス数とを比較して、検出パルス数が基準パルス数に対し、一定の範囲内に収まっているか否かを確認する。
【００６１】
そして、速度監視部５３は、一定の範囲内にないことを確認した場合には、駆動モータ４２やＶベルト４０などに何らかの問題を生じていると判断し、駆動モータ４２の回転を停止させるべく、停止信号を動作制御部８１に送信するといったアラーム処理を実行する。尚、動作制御部８１は、速度監視部５３から停止信号を受信すると、駆動モータ４２の回転を停止させる。
【００６２】
第１検査機構部４５は、第１吸着搬送装置３０の上方に設けられ、この第１吸着搬送装置３０によって吸着搬送される樹脂ペレットＰの上面を撮像するＣＣＤカメラ４６と、このＣＣＤカメラ４６の撮像領域内を照明する照明機器４７，４７と、ＣＣＤカメラ４６によって撮像された樹脂ペレットＰの画像を解析し、その良否を判定する第１検査処理部８２とからなる。
【００６３】
同様に、前記第２検査機構部５５は、第２吸着搬送装置５０の下方に設けられ、この第２吸着搬送装置５０によって吸着搬送される樹脂ペレットＰの下面を撮像するＣＣＤカメラ５６と、このＣＣＤカメラ５６の撮像領域を照明する照明機器５７，５７と、ＣＣＤカメラ５６によって撮像された樹脂ペレットＰの画像を解析し、その良否を判定する第２検査処理部８３とからなる。
【００６４】
尚、これら第１検査処理部８２，第２検査処理部８３は、速度監視装置５１及び動作制御部８１と共に制御盤８０内に設けられ、不良品を検出すると、不良品を検出した吸着搬送経路に係る情報を含む不良品検出信号をそれぞれ前記動作制御部８１に送信する。
【００６５】
不良品回収機構部６０は、前記ＣＣＤカメラ４６より搬送方向下流側、且つ前記第１吸着搬送装置３０の上方に設けられ、前記各対のＶベルト４０，４０間の上方にそれぞれ位置し、このＶベルト４０，４０によって吸着搬送される樹脂ペレットＰを吸引して排除する８個の吸引ノズルを備えた吸引体６２と、前記ＣＣＤカメラ５６より搬送方向下流側、且つ前記第２吸着搬送装置５０の下方に設けられ、各対のＶベルト間の下方にそれぞれ位置し、このＶベルトによって吸着搬送される樹脂ペレットＰを吸引して排除する８個の吸引ノズルを備えた吸引体６４と、図示しない適宜負圧源に接続された不良品回収ボックス６１と、不良品回収ボックス６１と吸引体６２とを接続する配管６３と、不良品回収ボックスと６１と吸引体６４とを接続する配管６５と、配管６３から分岐して吸引体６２の各吸引ノズルに接続する各配管にそれぞれ介装された電磁弁（図示せず）と、配管６５から分岐して吸引体６４の各吸引ノズルに接続する各配管にそれぞれ介装された電磁弁（図示せず）とからなる。
【００６６】
前記各電磁弁（図示せず）は、前記動作制御部８１によってその作動が制御され、動作制御部８１は、前記第１検査処理部８２及び第２検査処理部８３から不良品検出信号を受信し、この受信から所定時間経過後（ＣＣＤカメラ４６，５６によって樹脂ペレットＰが撮像された後、各吸引ノズルに到達するまでの時間であり、経験的に予め設定される）にその吸着搬送経路に係る電磁弁（図示せず）を開いて、これに対応する吸引ノズルに負圧を作用させる。これにより、不良の樹脂ペレットＰが当該吸引ノズルから吸引され、配管６３，６５を通って不良品回収ボックス６１に回収される。
【００６７】
良品回収機構部７５は、第２吸着搬送装置５０から放出される樹脂ペレットＰの移動経路上に設けられ、放出された樹脂ペレットＰを回収する回収ホッパ７８と、支持フレーム２の近傍に設置される良品回収ボックス７６と、一端が回収ホッパ７８に接続し、他端が良品回収ボックスに接続して回収ホッパ７８内に回収された樹脂ペレットＰを良品回収ボックス７６内に導く回収管７７とからなる。
【００６８】
尚、支持フレーム２は、図示しないカバーによって覆われている。
【００６９】
以上の構成を備えた本例の外観検査装置１によれば、まず、多数の樹脂ペレットＰが前記供給ホッパ１１内に一括投入される。供給された樹脂ペレットＰは、当該供給ホッパ１１の下端開口部から供給ブロック１２の供給路内に侵入し、バイブレータ１５から供給ブロック１２に伝播される振動によって、供給路内をフィードプレート１６に向けて移動し、当該フィードプレート１６上に供給され、同じくバイブレータ１５からフィードプレート１６に伝播される振動によって、当該フィードプレート１６の幅方向に拡散しつつ第２振動フィーダ１７に向けて移動し、当該第２振動フィーダ１７に排出される。
【００７０】
第１振動フィーダ１３から排出された樹脂ペレットＰは、ついで、整流プレート２０上に供給され、バイブレータ１９から整流プレート２０に伝播される振動によって、この整流プレート２０上を前記第１着搬送装置３０に向けて搬送される。その際、樹脂ペレットＰは、各搬送路２０ａにそれぞれ入り込み、その傾斜面２０ｃの作用によって、垂直面２０ｂ側に寄せられながら前記第１吸着搬送装置３０に向けて搬送され、その搬送過程で、垂直面２０ｂに当接していない樹脂ペレットＰは、排出孔２０ｄに落ち込んで搬送系外に排出され、また、多段に積層されたものは、その２段目より上のものが、積層解除機構２１のノズル２３から吐出される空気流により吹き飛ばされて、同じく排出孔２０ｄから搬送系外に排出され、この各搬送路２０ａ内で１段１列に整列されて、その搬送下流端に至る。
【００７１】
一方、排出孔２０ｄから搬送系外に排出された樹脂ペレットＰは、その下方に設けられた回収ホッパ２６ａに回収され、この回収ホッパ２６ａから還流路２６ｃ及び還流管２６ｇを経て前記供給ホッパ１１に還流され、再び第１振動フィーダ１３のフィードプレート１６上に供給される。
【００７２】
第１振動フィーダ１３の搬送下流端に到達した樹脂ペレットＰは、ついで、第１吸着搬送装置３０を構成する各対のＶベルト４０，４０上に、これらに跨るように供給され、当該Ｖベルト４０，４０間に作用する負圧によって、その下面が一対のＶベルト４０，４０上に吸着，保持され、当該Ｖベルト４０，４０によってその走行方向に搬送される。
【００７３】
そして、この第１吸着搬送装置３０によって搬送される間に、第１検査機構部４５によってその上面が検査され、不良と判定された樹脂ペレットＰは、吸引体６２から配管６３を経て不良品回収ボックス６１に回収され、良品と判断された樹脂ペレットＰのみが第１吸着搬送装置３０の搬送下流端に至る。
【００７４】
第１吸着搬送装置３０の搬送下流端に到達した樹脂ペレットＰは、ついで、前記第２吸着搬送装置５０に受け渡され、この第２吸着搬送装置５０によってその上面が吸着されて吊り下げ状態で搬送され、その搬送過程で、第２検査機構部５５によってその下面が検査され、不良と判定された樹脂ペレットＰは、吸引体６４から配管６５を経て不良品回収ボックス６１に回収され、良品と判断された樹脂ペレットＰのみが第２吸着搬送装置５０から放出され、回収ホッパ７８，回収管７７を経て良品回収ボックス７６内に回収される。
【００７５】
尚、外観検査装置１の作動中、第１吸着搬送装置３０のＶベルト４０の走行速度が速度監視装置５１によって監視されており、これが、所定の速度範囲内にない場合には、駆動モータ４２やＶベルト４０などに何らかの問題が生じていると判断され、動作制御部８１を介して駆動モータ４２の回転が停止される。また、これは、第２吸着搬送装置５０のＶベルトについても同様である。
【００７６】
このように、Ｖベルト４０の走行速度を監視しているのは、実際の速度と予め設定された速度との間に一定速度以上のずれを生じると、樹脂ペレットＰがＣＣＤカメラ４６，５６によって撮像された後、不良品回収機構部６０の各吸引体６２，６４の吸引ノズルに到達するまでの時間が変化して、電磁弁（図示せず）の開くタイミングが合わなくなり、不良の樹脂ペレットＰを吸引，回収することができなくなるからである。
【００７７】
また、各検査機構部４５，５５のＣＣＤカメラ４６，５６は、ラインセンサとしてのＣＣＤカメラ４６，５６であるため、樹脂ペレットＰの搬送方向の走査は、当該樹脂ペレットＰが移動することで行われるようになっており、実際の速度が予め設定された速度から速くなり過ぎると、撮像解像度が低下して、異物など欠点を検出し難くなるからである。
【００７８】
以上、詳述したように、本例の外観検査装置１によれば、ノズル２３から吐出される空気によって（即ち、樹脂ペレットＰに非接触で）、樹脂ペレットＰを一段に整え、その高さを規制しているので、規制部材１１１との接触により樹脂ペレットＰの高さを規制していた従来のように、樹脂ペレットＰの詰まりを生じることはなく、確実に高さを規制することができる。また、樹脂ペレットＰのような、整った形状を有しない異形の小物物品であっても、効果的に、その高さ規制を行うことができる。
【００７９】
また、整流プレート２０の搬送路２０ａ上に排出孔２０ｄを設けているので、ノズル２３から吐出された空気によって吹き飛ばされた樹脂ペレットＰ、及び搬送路２０ａの垂直面２０ｃに当接していない樹脂ペレットＰを、当該排出孔２０ｄから搬送系外へ排出することができるので、垂直面２０ｃに当接して整列され、一段一列となった樹脂ペレットＰのみを第１吸着搬送装置３０に排出することができる。
【００８０】
また、ノズル２３から吐出される空気の吐出方向前方にガイド板２４を設けているので、当該空気によって吹き飛ばされた樹脂ペレットＰを排出孔２０ｄ内に確実に導くことができ、例えば、吹き飛ばされた樹脂ペレットＰが排出孔２０ｄからそれ、整列していない状態で第１吸着搬送装置３０へ排出されるのを効果的に防止することができる。
【００８１】
また、還流機構２６を設けているので、排出孔２０ｄから排出された樹脂ペレットＰを回収して供給ホッパ１１内に自動的に還流し、再度、整列搬送工程にのせることができる。
【００８２】
また、速度監視装置５１を設けているので、不良の樹脂ペレットＰを確実に検出することができるとともに、検出した不良の樹脂ペレットＰを確実に回収，排除することができる。
【００８３】
ところで、エンドレスのＶベルト４０は、その周長さが必ずしも均一な長さには仕上られておらず、所定の許容範囲内でバラツキを有している。したがって、周長さが短く強いテンションが作用するＶベルト４０は、周長さが長く弱いテンションが作用するＶベルト４０に比べて、Ｖ溝３９ａ内により入り込んだ状態となって、その走行速度が遅くなり、Ｖベルト４０上に吸着された樹脂ペレットＰがこの速度差によって回転するという問題を生じ、また、一対のＶベルト４０，４０間に段差が生じることによって、Ｖベルト４０上に吸着された樹脂ペレットＰが不安定となり、外乱によって容易に振動するという問題を生じる。
【００８４】
本例では、上記のように、各プーリ３７，３８，３９のＶ溝の両内側面及び底面、並びに案内溝３４ａの両内側面３４ｂ，３４ｃ及び底面３４ｄと、Ｖベルト４０の両外側面４０ａ，４０ｂ及び下面４０ｃとをそれぞれ接触させた状態としているので、Ｖベルト４０に作用するテンションの大きさ如何に拘わらず、これが各プーリ３７，３８，３９の半径方向で変位したり、Ｖベルト４０が設定した以上にガイド溝３４ａ内に入り込むといったことがなく、１対のＶベルト４０，４０の走行速度をほぼ同速度にすることができ、また、１対のＶベルト４０，４０間に段差が生じるのを防止することができ、かかる作用により、樹脂ペレットＰをその姿勢が安定した状態で吸着，搬送することができる。
【００８５】
また、本例では、各案内溝３４ａの底面に負圧を作用させて、Ｖベルト４０の下面をこの負圧によって吸引しているので、Ｖベルト４０が上下方向に変位することがなく、この意味においても、樹脂ペレットＰを安定した状態で搬送することができる。
【００８６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明が採り得る具体的な態様は、何ら上例のものに限定されるものではない。
【００８７】
例えば、上例では、貫通孔３４ｈを設けて、Ｖベルト４０の下面を吸引するようにしたが、Ｖベルト４０の上下方向の変位が少ない場合には、当該貫通孔３４ｈを特に設ける必要はない。
【００８８】
また、上例では、各プーリ３７，３８，３９のＶ溝、並びに案内板３４の案内溝３４ａのＶ字寸法とＶベルト４０のＶ字寸法とを同寸法に形成し、Ｖ溝の両内側面及び底面、並びに案内溝３４ａの両内側面３４ｂ，３４ｃ及び底面３４ｄと、Ｖベルト４０の両外側面４０ａ，４０ｂ及び下面４０ｃとがそれぞれ接触するように構成したが、これに限られるものではなく、図１３に示すように、Ｖ溝及び案内溝３４ａのＶ字寸法をＶベルト４０のＶ字寸法に比べて大きくして、Ｖベルト４０の下面４０ｃとＶ溝及び案内溝３４ａの底面３４ｄとが接触した状態を成すも、Ｖベルト４０の外側面４０ａとＶ溝及び案内溝３４ａの内側面３４ｃとの間に若干の隙間を有するような態様としても良い。
【００８９】
ただし、この場合には、Ｖベルト４０がその走行方向と直交する方向に変位し易く、走行にブレを生じ易いため、図１３に示すように、前記貫通孔３４ｈを、各対の案内溝３４ａの底面３４ｄ及び相互に近接する側の内側面３４ｂに開口させるのが好ましい。このようにすれば、Ｖベルト４０を案内溝３４ａの底面３４ｄと相互近接側の内側面３４ｂに吸引してこれらに摺接させた状態で走行させることができ、Ｖベルト４０の走行軌道を上例のものと同等に安定したものとすることができる。
【００９０】
また、同図１３に示すように、吸着搬送機能を発現する前記一対のＶベルト４０は、その相対峙する側の上縁部に面取り部４０ｄを形成したものでも良い。面取り部４０ｄを設けると、この面取り部４０ｄによって樹脂ペレットＰを支持することができるので、樹脂ペレットの如き、整った形状を有しない異形の小物物品であっても、これを安定して吸着，保持することができ、また、搬送方向と直交する方向への位置ズレを防止することができ、第１吸着搬送装置３０から第２吸着搬送装置５０への受け渡しをより安定したものとすることができる。
【００９１】
また、上例では、スリット状の吸気孔３４ｅの複数を一列に設けた構成としたが、これらを連結して１つのスリットとしたものでも、或いは、複列に設けたものでも良い。更に、孔の断面形状は、スリット状に限られるものではなく、丸穴、角孔など各種の形状を採り得る。貫通孔３４ｈについても同様であり、スリット状や角孔など他の各種の形状を採用することができ、更に、１つのスリットや複列にしたものでも良い。
【００９２】
また、上例では、前記積層解除機構２１を、これが、第２振動フィーダ１７によって搬送される樹脂ペレットＰの積層状態を解除するように構成したが、これに限られるものではなく、図１４に示すように、ターンテーブル１０１によって搬送，整列される整列対象物Ｈの積層状態を解除するように構成することもできる。尚、図１４に示した整列供給装置９０は、積層解除機構９１が設けられている点でのみ、上述した整列供給装置１００と異なるものであるため、他の構成部分は、同一の符号を付してその詳しい説明を省略する。
【００９３】
同図１４に示すように、積層解除機構９１は、外周ガイド１０２の案内終端側に配設され、外周ガイド１０２の上面に沿うように且つターンテーブル１０１の中心側に向けて圧縮空気を吐出するノズル９３と、適宜配管を介してノズル９３に圧縮空気を供給する圧縮空気供給源９２とを備える。尚、外周ガイド１０２上面の高さは、積層状態にある整列対象物Ｈの２段目以上が突出するように設定されている。
【００９４】
また、前記積層解除機構２１，９１によれば、整列対象物が平板状や円板状のものである場合には、図１６（ｂ）に示したように、その積層状態を解除することに加えて、直立した状態で搬送される整列対象物を横倒させることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
以上のように、本発明に係る整列供給装置は、樹脂ペレット、ボタン電池等の電子部品類、錠剤，カプセル等の医薬品、キャンディ等の小さな菓子類といった小物物品を案内しつつ整列させて外部に排出する際に、好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明の一実施形態に係る吸着搬送装置を備えた外観検査装置の全体を示す正断面図である。
【図２】本実施形態に係る搬送機構部を示す斜視図である。
【図３】本実施形態に係る第１吸着搬送装置を示す正断面図である。
【図４】本実施形態に係る第１吸着搬送装置を示す側断面図であり、図３における矢視Ａ−Ａ方向の側断面図である。
【図５】本実施形態に係る案内板を示す側断面図である。
【図６】本実施形態に係る整流プレートを示す平面図である。
【図７】本実施形態に係る整流プレートを示す正面図である。
【図８】本実施形態に係る整流プレートを示す側断面図であり、図６における矢視Ｂ−Ｂ方向の側断面図である。
【図９】本実施形態に係る整流プレートを示す側断面図であり、図６における矢視Ｃ−Ｃ方向の側断面図である。
【図１０】本実施形態に係る積層解除機構などを示す部分断面図である。
【図１１】本実施形態に係る回収ホッパなどを示す部分断面図である。
【図１２】本実施形態に係る速度監視装置などの概略構成を示したブロック図である。
【図１３】本発明の他の形態に係る案内板を示す側断面図である。
【図１４】本発明の他の形態に係る積層解除機構などを示した平面図である。
【図１５】従来例に係る整列供給装置の概略構成を示した平面図である。
【図１６（ａ）】規制部材の構成及びその作用を説明するための説明図である。
【図１６（ｂ）】規制部材の構成及びその作用を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００９７】
１      外観検査装置
１０    搬送機構部
１３    第１振動フィーダ
１７    第２振動フィーダ
３０    第１吸着搬送装置
３４    案内板
３４ａ  案内溝
３４ｅ  吸気孔
３４ｈ  貫通孔
３７    原動プーリ
３８    従動プーリ
３９    従動プーリ
４０    Ｖベルト
４１    負圧ボックス
４２    駆動モータ
４３    ロータリエンコーダ
４５    第１検査機構部
５１    速度監視装置
５２    基準データ記憶部
５３    速度監視部
５５    第２検査機構部
６０    不良品回収機構部
７０    排気ポンプ
７５    良品回収機構部
８１    動作制御部
【図１】
2005289545.tif 000003
【図２】
2005289545.tif 000004
【図３】
2005289545.tif 000005
【図４】
2005289545.tif 000006
【図５】
2005289545.tif 000007
【図６】
2005289545.tif 000008
【図７】
2005289545.tif 000009
【図８】
2005289545.tif 000010
【図９】
2005289545.tif 000011
【図１０】
2005289545.tif 000012
【図１１】
2005289545.tif 000013
【図１２】
2005289545.tif 000014
【図１３】
2005289545.tif 000015
【図１４】
2005289545.tif 000016
【図１５】
2005289545.tif 000017
【図１６（ａ）】
2005289545.tif 000018
【図１６（ｂ）】
2005289545.tif 000019