(57)【要約】【課題】  液体の吐出に影響を与えずにエネルギー損失をより減らすことができるような液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにそれらによって得られたヘッドを備えた装置を得る。【解決手段】  ノズル１２と連通し、また外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する吐出室５と、吐出室５と連通し、吐出室５への液体供給を制御するためのオリフィス６とを少なくとも備えた液滴吐出ヘッドにおいて、吐出室５側からオリフィス６側に流れ込もうとする液体の流れを制限する制限手段６１をオリフィス６に備えた。【選択図】        図１
2005103800.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルと連通し、また外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する吐出室と、
前記吐出室と連通し、前記吐出室側から流れ込もうとする前記液体の流れを制限する制限手段を有する連通溝と
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記制限手段は、前記液体の流れを制限する制限部材と、該制限部材を保持するための制限路とで少なくとも構成することを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記制限部材は、少なくとも前記液体が流れる方向に可動であることを特徴とする請求項１又は２記載の液滴吐出ヘッド。  
【請求項４】
前記制限部材は球状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記液体の比重に合わせた材料を前記制限部材に用いることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記制限路は、前記連通溝の一部又は全部で構成することを特徴とする請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
前記制限路は、前記制限部材の略直径の幅を有することを特徴とする請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
前記制限部材の吐出室側への移動を制止する部材制止部を前記制限路上に設けたことを特徴とする請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
電圧印加によって変形する圧電素子により前記吐出室に力を加えることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記吐出室との間で静電力を発生させる電極により前記吐出室に力を加えることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する１又は複数の吐出室及び各吐出室に供給する液体を貯めるリザーバとなる凹部が少なくとも形成されたキャビティ基板と、前記１又は複数の吐出室及び前記リザーバの壁面となり、また前記各吐出室に連通するノズルが少なくとも形成されたノズル基板とを少なくとも有する液滴吐出ヘッドにおいて、
前記リザーバと前記吐出室とを連通させ、さらに前記吐出室側から流れ込もうとする前記液体の流れを制限する制限手段を有する連通溝を前記ノズル基板に備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
ノズルと連通する流路と、該流路内の液体を加温して気体を発生させた圧力で前記ノズルから液体を吐出させる加温手段とを少なくとも備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
前記ノズルと反対方向に流れる液体の流れを制限する球状の可動部材を少なくとも有する制限手段を、前記流路内にさらに備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
ノズルと連通し、外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する１又は複数の吐出室及び該各吐出室に供給する液体を貯めるリザーバを有する液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記リザーバと前記吐出室とを連通させ、前記吐出室側から流れ込もうとする前記液体の流れを制限する球状部材を設けるための制限路を有する連通溝となる凹部及び前記球状部材の直径よりも小さな直径のノズルをノズル基板に形成する工程と、
前記ノズルの直径より大きな直径の球状部材を前記凹部を形成した面に付着させ、前記凹部以外に付着した前記球状部材を除去する工程と、
前記吐出室及び前記リザーバとなる凹部を形成したキャビティ基板と前記ノズル基板とを接着する工程と
を少なくとも有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記キャビティ基板と前記ノズル基板とを接着した後、
前記球状部材より大きな直径を有し、前記リザーバに液体を供給するために前記キャビティ基板に形成された液体供給口から、前記リザーバに残された球状部材を洗浄して排出することを特徴とする請求項１３記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
ＩＣＰドライエッチングで前記ノズル基板を加工することを特徴とする請求項１３又は１４記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１６】
請求項１〜１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを有し、
該液滴吐出ヘッドにインクを供給するインク供給手段と、
ヘッド位置制御信号に基づいて前記液滴吐出ヘッドを移動させる走査駆動手段と、
記録対象となる記録部材と前記液滴吐出ヘッドとの相対位置を変化させる位置制御手段と
を少なくとも備えたことを特徴とする液滴吐出記録装置。
【請求項１７】
請求項１〜１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを有し、
該液滴吐出ヘッドに電界発光素子となる材料を含む溶液を供給する材料供給手段と、
位置制御信号に基づいてインクノズルから電界発光基板に向けての前記溶液の吐出を制御する制御手段と
を少なくとも備えたことを特徴とする電界発光基板製造装置。
【請求項１８】
前記電界発光素子となる材料は、有機化合物であることを特徴とする請求項１７記載の電界発光基板製造装置。
【請求項１９】
請求項１〜１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを有し、
該液滴吐出ヘッドとマイクロアレイ基板とを相対的に移動させる駆動手段と、
前記液滴吐出ヘッドが有するノズルから前記マイクロアレイ基板に向けた生体分子を含む液体の吐出を制御する制御手段と
を少なくとも備えたことを特徴とするマイクロアレイ製造装置。
【請求項２０】
請求項１〜１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを有し、
該液滴吐出ヘッドにカラーフィルタを形成させる溶液を供給する材料供給手段と、
位置制御信号に基づいてインクノズルからカラーフィルタ基板に向けての前記溶液の吐出を制御する制御手段と
を少なくとも備えたことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は例えば液滴吐出ヘッド、その製造方法等に関するものである。特に吐出を効率よく行うための構造に関するものである。そして、そのようにして製造した液滴吐出ヘッドを用いたカラーフィルタやＯＥＬ表示基板（パネル）等の製造装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出方式（代表的なものとして、インクを吐出して印刷等を行うために用いるインクジェット方式がある）の装置は、家庭用、工業用を問わず、あらゆる分野の印刷に利用されている。工業における様々な用途にも利用されつつある。液滴吐出方式では、例えば複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを対象物との間で相対移動させ、対象物の所定の位置に液体を吐出するものである。特に最近、液晶（Liquid Crystal）を用いた表示装置を作製する際のカラーフィルタ、有機電界発光（Organic ElectroLuminescence ：以下、ＯＥＬという）素子を用いた表示基板、ＤＮＡ等、生体分子のマイクロアレイ等の製造に利用されている。
【０００３】
ここで、液滴を吐出させるための方法が少なくとも２つある。１つは、液体が通る流路の一部で吐出する液体（以下、吐出液体という）を加熱して気体（バブル）を発生させ、その圧力によって、ヘッドの各ノズルから液滴を吐出させる方法である。もう１つは、流路の一部に吐出液体を溜めておく吐出室を備え、吐出室の少なくとも一面の壁（ここでは、底壁とする。この壁は他の壁とも一体形成されているが、以下、この壁のことを振動板ということにする）が撓んで形状が変化するようにしておき、振動板を撓ませて吐出室内の圧力を高め、ノズルから液滴を吐出させる方法である。
【０００４】
上記のような方法は、液体を加圧して吐出するという方法が採られているが、液体にはノズルの方向に向かう圧力だけでなく、少なくとも逆の方向にも圧力が加わり、そちらの方向にも液体が流れようとする。この逆方向へ向かう圧力は吐出のためのエネルギーに寄与せず、損失となる。したがって、損失を少なくすれば、加える圧力（エネルギー）も少なくすることができる。そこで、特別な駆動源を設けなくても、逆方向へ向かう圧力をノズルの方向に向けさせるための方法が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３２８２６２号公報（第５ページ、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のようなノズルの方向に圧力を向ける方法は、流路方向に可動な可動部材を吐出室に設け、その圧力変動に基づいて、可動部材が動くようになっている。しかし、実際には、液体に加圧を行う振動板の直上に可動部材が設けられるため、振動板の振動（駆動）と吐出室内の液体に以下のような悪影響を及ぼしてしまい、十分な効果が得られない。
（１）  例えば、可動部材に振動板による振動のモードが加わり、可動部材に振動エネルギーが奪われる。また、可動部材に加わった振動のモードが液体の流れに影響し、設計通りの液体吐出の制御が困難になる。
（２）  可動部材の位置によっては振動板の剛性も変化してしまう。
（３）  吐出室の容量に基づく可動部材の大きさを考えると、応答性が低いと考えられる。
【０００７】
そこで、本発明はこのような課題を解決するため、液体の吐出に影響を与えずにエネルギー損失をより減らすことができるような液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにそれらによって得られたヘッドを備えた装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、ノズルと連通し、また外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する吐出室と、吐出室と連通し、吐出室側から流れ込もうとする液体の流れを制限する制限手段を有する連通溝とを備えたものである。
本発明においては、吐出室の変形によって吐出室側から流れ込もうとする液体の流れを、連通溝に備えた制限手段によって制限する。制限手段による制限で流れが変わった液体がノズル方向に流れることで噴射エネルギーの一部となる。したがって、通常、損失エネルギーとなるエネルギーがノズル方向に加わり、吐出速度の向上、消費電力の低減等、噴射（吐出）効率の向上を図ることができる。また、制限手段を連通溝に設けたので、制限手段が吐出室内の液体の流れを変化させて吐出性能に影響を与えてしまうこともなく、またエネルギーを吸収してしまうこともない。
【０００９】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの制限手段は、液体の流れを制限する制限部材と、制限部材を保持するための制限路とで少なくとも構成する。
本発明においては、制限部材と制限路とで少なくとも制限手段を構成することにより、連通溝において、制限部材を保持し、十分な液体の供給を図ることができる。ここで、連通溝全体を制限路として構成することもできるが、その場合には、従来と同様の液体供給を行うために従来の溝の容積よりも大きくする必要がある。
【００１０】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの制限部材は、少なくとも液体が流れる方向に可動である。
本発明においては吐出室側からの液体の流れを制限し、吐出室側への液体供給を円滑にするために、制限部材は少なくとも液体が流れる方向に可動にする。したがって、制限部材の位置により、吐出室からの液体の流れを制限したり、吐出室への液体供給を円滑にしたりするための切り替えができる。
【００１１】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの制限部材は球状である。
本発明においては、球状の制限部材を用いたので、特に液滴吐出ヘッドを製造する際には方向性を考慮しなくてもよいので、制限路への充填が容易に行える。
【００１２】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは液体の比重に合わせた材料を制限部材に用いる。
本発明においては、液体の比重に合わせ、例えばその液体の比重と同じになるような粒子密度を有する制限部材を用いる。したがって、液体の流れに応じた移動を行うことができ、特に吐出室への液体供給を円滑に行うことができる。
【００１３】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの制限路は連通溝の一部又は全部で構成する。
本発明においては、制限路を連通溝の一部又は全部で構成できるようにして、吐出室から流れ込もうとする液体の流れを制限しつつ、適度な供給量を確保できる制限路の設計の自由度を高める。
【００１４】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの制限路は、制限部材と略同じ幅を有する。
本発明においては、制限路の幅（複数の吐出室が並ぶ方向）は制限部材と略同じ幅を有することで、幅方向への制限部材の動きを制限し、吐出室からの液体の流れを制限する機能を確保する。もちろん、制限路は制限部材を保持しなくてはならないので、その幅は制限部材よりも狭くない。
【００１５】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、制限部材の吐出室側への移動を制止する部材制止部を制限路上に設けたものである。
本発明においては、吐出室への液体供給時に制限部材が吐出室側の連通溝を塞いでしまわないように、例えば、柱状、錐状等、凸部分となる部材制止部により、制限部材の可動を制止する。したがって、吐出室への液体の供給を円滑に行うことができる。
【００１６】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、電圧印加によって変形する圧電素子で吐出室に力を加えるものである。
本発明においては、圧電素子を用いているので、印加する電圧に基づいて吐出室の変形量を調整することができる。
【００１７】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、吐出室との間で静電力を発生させる電極で吐出室に力を加えるものである。
本発明においては、電極を用いているので、供給する電荷に基づいて吐出室の変形量を調整することができる。
【００１８】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する１又は複数の吐出室及び各吐出室に供給する液体を貯めるリザーバとなる凹部が少なくとも形成されたキャビティ基板と、１又は複数の吐出室及びリザーバの壁面となり、また各吐出室に連通するノズルが少なくとも形成されたノズル基板とを少なくとも有する液滴吐出ヘッドにおいて、リザーバと吐出室とを連通させ、さらに吐出室側から流れ込もうとする液体の流れを制限する制限手段を有する連通溝をノズル基板に備えたものである。
本発明においては、キャビティ基板に吐出室及びリザーバとなる凹部を備え、ノズル基板に制限手段を備えた連通溝及びノズルを備えるようにした。このように制限手段を備えた連通溝を、凹部等の加工部分の少ないノズル基板側に備えることにより、製造時において、例えば制限手段を構成する制限部材となる部材を付着させた後、凹部を形成した部分以外に付着した部材を取り除くのが容易である。したがって、製造が容易になる。
【００１９】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、ノズルと連通する流路と、流路内の液体を加温して気体を発生させた圧力でノズルから液体を吐出させる加温手段とを少なくとも備えた液滴吐出ヘッドにおいて、ノズルと反対方向に流れる液体の流れを制限する球状の可動部材を少なくとも有する制限手段を、流路内にさらに備えたものである。
本発明においては、加温手段による気体発生による圧力がノズル方向と反対方向に向かうのを制限するために球状の可動部材を有する制限手段を備えた。したがって、制限手段による制限で流れが変わった液体がノズル方向に流れることで噴射エネルギーの一部となる。したがって、通常、損失エネルギーとなるエネルギーがノズル方向に加わり、吐出速度の向上、消費電力の低減等、噴射（吐出）効率の向上を図ることができる。
【００２０】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、ノズルと連通し、外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する１又は複数の吐出室及び各吐出室に供給する液体を貯めるリザーバを有する液滴吐出ヘッドの製造方法において、リザーバと吐出室とを連通させ、吐出室側から流れ込もうとする液体の流れを制限する球状部材を設けるための制限路を有する連通溝となる凹部及び球状部材の直径よりも小さな直径のノズルをノズル基板に形成する工程と、ノズルの直径より大きな直径の球状部材を凹部を形成した面に付着させ、凹部以外に付着した球状部材を除去する工程と、吐出室及びリザーバとなる凹部を形成したキャビティ基板とノズル基板とを接着する工程とを少なくとも有する。
本発明においては、ノズル基板上の一面において、吐出室とリザーバとを連通させる溝及びその溝上に制限路、さらに、リザーバの一部にダイヤフラムを形成する場合にはダイヤフラムとなる凹部を形成した後、その面に塗布した球状部材を除去して、制限路内とダイヤフラムとなる凹部に球状部材が残るようにしてから、吐出室、リザーバとなる凹部を有するキャビティ基板と接合する。したがって、球状部材を一面に付着させてから、制限路だけに残すことができ、また、球状部材であるので方向性を考慮しなくてもよく、製造が容易になる。また、製造された液滴吐出ヘッドは、制限手段による制限で流れが変わった液体がノズル方向に流れることで噴射エネルギーとなるので、吐出速度の向上、消費電力の低減等、噴射（吐出）効率の向上を図ることができる。
【００２１】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、キャビティ基板とノズル基板とを接着した後、球状部材より大きな直径を有し、リザーバに液体を供給するためにキャビティ基板に形成された液体供給口から、リザーバに残された球状部材を洗浄して排出する工程をさらに有する。
本発明においては、ノズル基板上において、制限路や連通溝となる凹部を形成する面に、リザーバとなる凹部を形成する際には、キャビティ基板に球状部材の径よりも大きな径の液体供給口を設け、ノズル基板とキャビティ基板とを接合した後に、リザーバを洗浄して液体供給口から球状部材を排出する。したがって、制限路だけに球状部材を設けることができる。
【００２２】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、ＩＣＰドライエッチングでノズル基板を加工する。
本発明においては、ＩＣＰドライエッチングによりノズル基板を加工するようにしたので、面荒れ等もなく、設計通りの寸法のノズル基板を形成することができる。したがって、設計通りの吐出性能を得られると同時に、制限路を高精度に形成できるので、球状部材が円滑に移動できる液滴吐出ヘッドを得ることができ、これにより、吐出室側から流れ込もうとする液体を制限し、噴射エネルギーに変換して、効率よく噴射することができる。
【００２３】
また、本発明に係る液滴吐出記録装置は、上記の液滴吐出ヘッドを有し、さらに、液滴吐出ヘッドにインクを供給するインク供給手段と、ヘッド位置制御信号に基づいて液滴吐出ヘッドを移動させる走査駆動手段と、記録対象となる記録部材と液滴吐出ヘッドとの相対位置を変化させる位置制御手段とを少なくとも備えたものである。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、さらにその液滴吐出ヘッドにインクを供給するインク供給手段、ヘッドを移動させる走査駆動手段、記録対象とヘッドとの相対位置を変化させる位置制御手段とを少なくとも備え、液滴吐出ヘッドが有する制限手段によりノズル方向に効率よくエネルギーを供給できるようにしたので、低消費電力で、吐出性能がよく品質の高い記録（印刷）を行える記録装置を得ることができる。
【００２４】
また、本発明に係る電界発光基板製造装置は、上記の液滴吐出ヘッドを有し、さらに、液滴吐出ヘッドに発光材料を含む溶液を供給する材料供給手段と、位置制御信号に基づいてインクノズルから電界発光基板に向けての溶液の吐出を制御する制御手段とを少なくとも備えたものである。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、さらにそのヘッドに電界発光素子となる材料を含む溶液を供給する材料供給手段、ヘッドの溶液吐出を制御する制御手段を少なくとも備え、液滴吐出ヘッドが有する制限手段によりノズル方向に効率よくエネルギーを供給できるようにしたので、低消費電力で、吐出性能がよく表示ムラのない電界発光基板を製造できる装置を得ることができる。
【００２５】
また、本発明に係る電界発光基板製造装置において、発光材料は有機化合物である。
本発明においては、有機化合物を発光材料とする。したがって、発光特性がよい有機化合物を材料としているので、質のよい電界発光基板を得ることができる。
【００２６】
また、本発明に係るマイクロアレイ製造装置は、上記の液滴吐出ヘッドを有し、液滴吐出ヘッドとマイクロアレイ基板とを相対的に移動させる駆動手段と、液滴吐出ヘッドが有するノズルからマイクロアレイ基板に向けた生体分子を含む液体の吐出を制御する制御手段とを少なくとも備えたものである。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、ヘッドとマイクロアレイ基板とを相対的に移動させる駆動手段、生体分子を含む溶液をヘッドが吐出する際の制御をする制御手段を少なくとも備え、液滴吐出ヘッドが有する制限手段によりノズル方向に効率よくエネルギーを供給できるようにしたので、低消費電力で、吐出性能がよく、質のよい生体分子のマイクロアレイを製造できるマイクロアレイ製造装置を得ることができる。
【００２７】
また、本発明に係るカラーフィルタ製造装置は、上記の液滴吐出ヘッドを有し、液滴吐出ヘッドにカラーフィルタを形成させる溶液を供給する材料供給手段と、位置制御信号に基づいてインクノズルからカラーフィルタ基板に向けての溶液の吐出を制御する制御手段とを少なくとも備えたものである。
本発明においては、上記の液滴吐出ヘッドを有し、ヘッドにカラーフィルタを形成させる溶液を供給する材料供給手段、溶液の吐出を制御する制御手段を少なくとも備え、液滴吐出ヘッドが有する制限手段によりノズル方向に効率よくエネルギーを供給できるようにしたので、低消費電力で、吐出性能がよくムラのないカラーフィルタを製造できる装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
実施の形態１．
図１は本発明の第１の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドを分解して表した図である。図１はフェイスイジェクト型の液滴吐出ヘッドを表している。図１において、第１の基板であるキャビティ基板１は（１１０）面方位のシリコン単結晶基板（この基板を含め、以下、単にシリコン基板という）で構成されている。キャビティ基板１には、吐出室５となる凹部（底壁が振動板４となる）及び各ノズル共通に吐出する液体を貯めておくためのリザーバ７となる凹部を形成する。凹部の形成には、例えば異方性ウェットエッチングによる方法を用いる。リザーバ７はタンク（図示せず）から液体供給口１３を介して供給される液体を貯めておく。また、電極端子１９は電極８と同期し、キャビティ基板１に反対の電荷を供給する。
【００２９】
第２の基板となる電極基板２は厚さ約１ｍｍであり、図１で見るとキャビティ基板１の下面に接合される。ここで、本実施の形態では、電極基板２にホウ珪酸系の耐熱硬質ガラスを用いる。電極基板２には、キャビティ基板１に形成される各吐出室５に合わせ、エッチングにより深さ約０．２５μｍの凹部９を設ける。その内部に電極８、リード部１０及び端子部１１（以下、これらを合わせて電極部という）を設ける。本実施の形態では、電極部の材料として、酸化錫を不純物としてドープしたＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウム錫酸化物）を用い、スパッタリング法により凹部９内に例えば０．１μｍの厚さで成膜する。したがって、振動板４（後述するＳｉＯ2 膜１４）と電極８との間で形成されるギャップ（空隙）Ｇは、０．１５μｍとなる。ここでは電極部の材料としてＩＴＯを用いるが、例えばクロム等の金属等を材料に用いてもよい。
【００３０】
第３の基板となるノズル基板３は例えば厚さ約１８０μｍのシリコン基板である。電極基板２とは反対の面（図１の場合には上面）でキャビティ基板１と接合している。図１ではノズル１２を有するノズル基板３が上面となり、電極基板２を下面としているが、実際に用いられる場合には、ノズル基板３の方が電極基板２よりも下面となることが多い。ノズル基板３には、吐出室５と連通するノズル１２が形成される。ノズル１２は２段構成であり、内側（キャビティ基板１と接合される側）の直径が外側の直径よりも大きい。これは、液体流れの整流作用により、液体の直進性を高めるためである。ここで、本実施の形態では、製造上の関係により内側の直径は可動部材６４の直径よりも小さいものとする（図２参照）。１８はダイヤフラムである。ノズル基板３の内側の面（図１の場合には下面）にはオリフィス６となる細溝を設け、吐出室５とリザーバ７とを連通させる連通溝とする。ここで、本実施の形態ではオリフィス６の一部に制限手段６１を設ける（ここで、以下、制限手段６１の部分以外のオリフィス６の部分を溝という）。このオリフィス６又は制限手段６１をキャビティ基板１に形成してもよいが、例えば制限柱６３（図２参照）を形成しやすい等の関係で、本実施の形態ではノズル基板３に形成する。
【００３１】
図２は制限手段６１の構成の一例を表す図である。図２はオリフィス６を上面から見ている。制限手段６１は、さらに制限路６２、制限柱６３及び可動部材６４で構成される。制限路６２には制限柱６３が設けられ、制限柱６３とリザーバ７側の溝との間が、長手（流路方向となるリザーバ７と吐出室５とを結ぶ長さ）方向における可動部材６４の移動可動な範囲である。ここで、本実施の形態では、製造工程の容易さ等を考え、オリフィス６の深さと制限路６２の深さを同じにする。制限路６２の短手方向（吐出室５が並んでいる幅方向）については、溝よりも狭くすることもできる。ただ、本実施の形態では、制限路６２に可動部材６４及び制限柱６３が設けられても、リザーバ７から吐出室５に従来と同様の液体量を供給するため、制限路６２の短手方向をオリフィス６の溝の幅よりも広く形成する。また、可動部材６４が制限路６２内を移動できるようにするため、可動部材６４の半径をａとした場合に、制限路６２の長手、短手及び深さ（液滴が吐出される方向）は２ａ（２ａはオリフィス６の幅よりも大きい）よりも大きく形成する。ただし、逆に大きすぎても液体の流れを効率よく制限できなくなるので、その目的に合わせて調整する必要がある（特に長手方向）。本実施の形態では、可動部材６４が短手及び深さ方向に自由に動けないようにするため、ほぼ２ａの大きさで構成する。また、長手方向に関しては、製造工程との関係上、可動部材６４が移動可能な範囲（制限柱６３と吐出室５側の溝との間）は約３ａとし、４ａ（可動部材２つ分）以上にならないように、制限柱６３と吐出室５側の溝との間は約ａとし、２ａ（可動部材１つ分）にならないようにしている。そして、制限路６２のリザーバ７側の部分は可動部材６４の形状に合わせた形状で形成する。本実施の形態では球状の可動部材６４に合わせて円形にしている。場合によっては、吐出室５からの液体の流れを遮るための角をつけてもよい。また、図２では制限路６２の吐出室５側は角をつけたままにしているが、例えば面取りを行ってテーパ状で形成すれば、リザーバ７から吐出室５への液体の流れを円滑にすることができる。場合によっては制限路６２自体をテーパ状で形成してもよい。なお、吐出室５等の幅に合わせると、液体を供給するために十分な制限路６２が確保できない場合は図２（ｃ）のように形成してもよい。また、深さ方向に組み合わせて形成してもよいが、エッチング加工を考えると図２（ｃ）の方が容易に加工できる。
【００３２】
可動部材６４が吐出室５側の溝を塞いでリザーバ７側から吐出室５に流れ込む液体の流れを制限してしまわないように、ストッパ（部材制止部）となる制限柱６３を設け、可動部材６４の移動を遮る。ここでは、部材制止部を柱状で構成しているが、その形状は特に限定しない。また、制限柱６３の形状についても特に限定はしない。ただ、制限柱６３がリザーバ７から吐出室５への液体の流れを制限してしまわないように、移動する液体又は可動部材６４との接触による衝撃で壊れない程度の強度を維持しつつ、できるだけ小さく構成する方がよい。また、円柱（円錐）状にしたり、直方体の場合は角度をつけて形成したりしてもよい。
【００３３】
可動部材６４は吐出室５からの液体の流れを制限するための制限部材であり、液体の流れによる力を受けて可動する。本実施の形態では可動部材６４を球状とする。オリフィス６及び制限路６２の断面が長方形であることを考えると、球状の可動部材６４は完全に逆止弁とはならないが、製造時に方向性を考慮せずに制限路６２内に設けられるので製造工程を容易にできること、リザーバ７側から吐出室５に液体をスムーズに供給すること等から考えると、可動部材６４は球状の方が都合がよい。ここで、可動部材６４の比重（粒子密度）は液体の比重と同じ又はできるだけ近い材料を用いることが望ましい。例えば、印刷に用いるインクが約１．０５ｇ／ｃｍ3 の場合には、例えば、ポリスチレン（１．１０ｇ／ｃｍ3 ）を用いる。ポリスチレンは液晶表示装置のスペーサにも用いられており、材料として入手しやすいし、多くの粒径が市販されており、制限路６２の大きさに応じて様々な選択を行うことができる。もちろん、液体の種類に応じて他の材料（例えば、シリカ、スチレンとジビニルベンゼンの混合物等）を利用することもできる。
【００３４】
図３は液滴吐出ヘッドの断面図である。ノズル１２のノズル孔から吐出させる液体を吐出室５で溜めておき、吐出室５の底壁である振動板４を撓ませることにより、吐出室５内の圧力を高め、ノズル孔から液滴を吐出させる。ここで、本実施の形態の振動板４は、高濃度のボロンドープ層で構成されている。これはアルカリ性水溶液でシリコンの異方性ウェットエッチングを行った場合、高濃度（約５×１０19ａｔｏｍｓ・ｃｍ-3以上）のボロン拡散領域で極端にエッチングレートが小さくなることを利用するためである。具体的には、吐出室５、リザーバ７となる凹部を異方性ウェットエッチング法で形成する場合に、ボロンドープ層においてエッチングレートが極端に小さくなる、いわゆるエッチングストップ技術を用いて、振動板４の厚さ、吐出室５の容積を高精度に形成する。エッチングストップとは、エッチング面から発生する気泡が停止した状態とし、実際のウェットエッチングにおいては、気泡の発生の停止をもってエッチングがストップしたものと判断する。また、キャビティ基板１の下面（電極基板２と対向する面）には、ＴＥＯＳを原料としたプラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition ）法により、絶縁膜となるＳｉＯ2 膜（シリコン酸化膜）１４を０．１１μｍ成膜する。これは、液滴吐出ヘッド（振動板４）を駆動させた時の絶縁破壊及び短絡を防止するためである。
【００３５】
１５は、ワイヤ２１を介して端子部１１と接続され、電極８に電荷の供給及び停止を制御する発振駆動回路である。発振駆動回路１５は例えば２０ｋＨｚで発振し、電極８に０Ｖと３０Ｖのパルス電位を印加して電荷供給を行う。この発振駆動回路１５が駆動し、電極８に電荷を供給して正に帯電させると、振動板４は負に帯電し、静電気力により電極８に引き寄せられて撓む。これにより吐出室５の容積は広がる。そして、電極８への電荷供給を止めると振動板４は元に戻るが、そのとき吐出室５の容積も元に戻るから、そのとき発生する圧力により液滴が吐出し、例えば記録対象となる記録紙に着弾することによって記録が行われる。また、キャビティ基板１のシリコン基板と発振駆動回路１５とは、電極端子１９を介して電気的に接続される。
【００３６】
本実施の形態は、制限路６２、制限柱６３及び可動部材６４で構成される制限手段６１をオリフィス６の一部に備える構造とする。そして、主に可動部材６４によって吐出室５からリザーバ７に流れ込もうとする液体の流れを制限し、液体の流れを変えることによって、通常、損失エネルギーとなるエネルギーを噴射エネルギーの一部にすることにより、低消費電力、吐出性能の向上を図る。また、逆にリザーバ７から吐出室５に流れる液体の流れは制限しないような構造とする。本実施の形態は、特にオリフィス６の部分に制限手段６１を設けることにより、振動板４の駆動には影響を与えず、また、可動部材にエネルギーを奪われることもなく、設計通りの液体吐出を行うことができる。制限路６２に設ける可動部材６４は、必然的に吐出室５に設けられる部材よりも小さくなるので、応答性がよい。
【００３７】
図４は第１の実施の形態に係るキャビティ基板１の作製工程を表す図である。ここでは本実施の形態の液滴吐出ヘッド製造例について説明する。なお、図４ではある液滴吐出ヘッドの一部だけが表されているが、実際には、シリコンウェハにより複数個分の液滴吐出ヘッドの部材を一体形成することとなる。
【００３８】
まず、キャビティ基板１となるシリコン基板５１（この時点では、通常ウェハ状である）の両面を研磨する。洗浄等の処理を施した後、シリコン基板５１を熱酸化炉に入れ、酸素及び水蒸気雰囲気中で例えば摂氏１０７５℃、４時間の条件で熱酸化処理を施してシリコン基板５１表面に１．２μｍの酸化膜５２を成膜する（図４（ａ））。ここで、シリコン基板５１を熱酸化炉内に投入し、取り出しするタイミングは、熱酸化炉内が摂氏８００℃（又はそれ以上）の時に行う。その後、シリコン基板５１の片面（以下、面５３という）に、吐出室５及びリザーバ７を形成するためのレジストパターニングを施す。そして、フッ酸系エッチング液で酸化膜５２のエッチングを行う。その後、レジストを剥離するとパターニングされた酸化膜５２ができる（図４（ｂ））。ここで、エッチング時に段差を形成するため、ハーフエッチングを行って酸化膜５２の一部を薄く形成しておく。
【００３９】
次にボロンドーブ層を形成する面５４（以下、裏面５４という）に成膜されている酸化膜５２を剥離する（図４（ｃ））。そこで、面５３にレジストをコーティングする。そのレジストを保護膜として、裏面５４側の酸化膜５２をフッ酸系エッチング液でエッチングする。その後、レジストを剥離する。そして、裏面５４をＢ2 Ｏ3 を主成分とする固体の拡散源に対向させ、石英ボードにセットする。そして、縦型炉にその石英ボートをセットし、炉内を窒素雰囲気にして温度を摂氏１０５０℃に上昇させて７時間保持し、ボロン（ホウ素）をシリコン基板５１中に拡散させ、ボロンドーブ層５５（ボロンの濃度は、約１．０×１０20ａｔｏｍｓ・ｃｍ-3とする。）を形成する（図４（ｄ））。
【００４０】
ボロンドーブ層５５のシリコン基板５１表面にはボロン化合物が形成される。これを酸素及び水蒸気雰囲気中、例えば摂氏６００度の条件で１時間３０分酸化させ、Ｂ2 Ｏ3 ＋ＳｉＯ2 に化学変化させる。Ｂ2 Ｏ3 ＋ＳｉＯ2 により、フッ酸水溶液でのエッチングを行うことができる。そして、面５３に保護膜となるレジストをコーティングした後、Ｂ2 Ｏ3 ＋ＳｉＯ2 をフッ酸水溶液でエッチングして除去する。その後レジストを剥離する。次に、プラズマＣＶＤ（ＴＥＯＳ−ＣＶＤ）により、ＳｉＯ2 膜をボロンドープ層５５表面に３．０μｍ成膜し（図４（ｅ））、そのＳｉＯ2 膜にもパターニングを施す（図４（ｆ））。
【００４１】
そして、シリコン基板５１を３５重量パーセントの濃度の水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液に浸し、パターニングしていない開口部がある程度の厚さ（約１０μｍ）になるまで８０℃でウェットエッチングを行う。その後、さらにシリコン基板５１を３重量パーセントの濃度の水酸化カリウム水溶液に浸し、ボロンドーブ層５５が現れてエッチングストップとみなすことができるまでエッチングを続ける（図４（ｇ））。このボロンドーブ層５５が、吐出室５の振動板４となり、またリザーバ７の底壁面となる。このように２種類の濃度の異なる水酸化カリウム水溶液を用いたエッチングを行うことによって、振動板４の面荒れを抑制することができる。
【００４２】
そして、フッ酸水溶液で酸化膜５２をエッチングする。そして、圧力が６６．７Ｐａ（０．５Ｔｏｒｒ）、Ｏ2 流量が１０００ｃｍ3 ／ｍｉｎ（１０００ｓｃｃｍ）、高周波出力が２５０ｗ、処理温度が摂氏３６０℃、処理時時間が１分間の条件でＯ2 プラズマ処理を施す。その後、プラズマＣＶＤによりＳｉＯ2 膜１４を少なくとも面５３に、成膜時の処理温度が摂氏３６０℃、高周波出力が２５０ｗ、圧力が６６．７Ｐａ（０．５Ｔｏｒｒ）、ガス流量が、ＴＥＯＳ流量１００ｃｍ3 ／ｍｉｎ（１００ｓｃｃｍ）、酸素流量１０００ｃｍ3 ／ｍｉｎ（１０００ｓｃｃｍ）の条件で０．１１μｍ成膜する（図４（ｈ））。このようにＳｉＯ2 膜１４成膜前にＯ2 プラズマ処理を施すことにより、シリコン基板５１表面がクリーニングされ、ＳｉＯ2 膜１４の絶縁耐圧の均一性を向上させることができる。その後、窒素雰囲気中、処理温度が摂氏１０００度、処理時間が１時間の条件でＳｉＯ2 膜１４上にアニール処理を施す。アニール処理を行い、高温にさらすことでＳｉＯ2 膜１４の緻密性を向上させ、絶縁耐圧をさらに向上させることができる。
【００４３】
図５は電極基板２の作製工程を表す図である。次に電極基板２の作製について説明する。まず、電極基板２の表面にＣｒの膜を０．０３μｍ形成する。その上に、さらにＡｕの膜を０．０７μｍ形成する（図５（ａ））。そして、その膜の上にキャビティ基板１の振動板４とほぼ同じ間隔、形状になるように凹部９を設けるためのフォトレジストパターンを形成する。その後、ヨウ素ヨウ化カリウム等のＡｕエッチング液及び硝酸第２セリウムアンモニウム等のＣｒエッチング液でエッチングを行う。このエッチングにより露出しているＡｕ／Ｃｒの膜を除去する（図５（ｂ））。その後、フォトレジストパターンを除去し、フッ酸系エッチング液でエッチングを行うと、電極基板２のＡｕ／Ｃｒの膜を除去した部分がエッチングされ、凹部９が形成される（図５（ｃ））。その後、ヨウ素ヨウ化カリウム等のＡｕエッチング液及び硝酸第２セリウムアンモニウム等のＣｒエッチング液でエッチングを行い、Ａｕ／Ｃｒの膜を完全に除去した後、マスクを行った上でスパッタ法によるスパッタリングを行って、凹部９の部分に電極部となるＩＴＯを成膜する（図５（ｄ））。その後、ドリル等を用いて液体供給口１３を成形する（図５（ｅ））。
【００４４】
図６はノズル基板３の作製工程を表す図である。まず、ノズル基板３となるシリコン基板７１表面を水（Ｈ2 Ｏ）を用いてウェット酸化し、酸化膜７２を形成する（図６（ａ））。そして、形成した酸化膜７２に対し、キャビティ基板１と接合する側の面（以下、面７３という）に、キャビティ基板１の場合と同様に、ノズル１２、オリフィス６（制限路６２及び制限柱６３を含む）、リザーバ７（ダイヤフラム１８）となる部分についてパターニングを施す（図６（ｂ））。ここでもハーフエッチングを行って酸化膜７２の一部を薄くしておく。
【００４５】
そして、面７３から例えばＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）によるドライエッチングを行い、ノズル１２、オリフィス６、リザーバ７となる部分を形成する（図６（ｃ））。ここで、ＩＣＰドライエッチングを用いるのは、ノズル１２の精度を高めて各ノズル１２での吐出性能の均一化を図ると共に、特に本実施の形態ではオリフィス６の一部に形成する制限路６２において、可動部材６４を有効に可動させるために高精度な制限路６２を形成する必要があるからである。ただ所望の精度でノズル１２、オリフィス６等を形成できるのであれば、ＩＣＰドライエッチング以外の他の方法でこれらの部材を形成するようにしてもよい。
【００４６】
面７３からのドライエッチングを終了すると、シリコン基板７１全体をレジストで覆い、面７３と反対の面７４（裏面７４）の所望の位置にパターニングを施した上で、水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液に浸してウェットエッチングを施し、ダイヤフラム１８等を形成する（図６（ｄ））。
【００４７】
図７は可動部材６４の充填方法を表す図である。作製したノズル基板３（図７（ａ））のキャビティ基板１と接合する面に対し、全面に可動部材６４となる部材を付着（塗布）させる（図７（ｂ））。そして、刷毛等でワイピングを行い、オリフィス６及びリザーバ７となる凹部に入り込んだ部材以外の部材をノズル基板３から除去する（図７（ｃ））。ここで、ノズル１２の直径は部材の直径よりも小さいので、ノズル１２には部材は入り込まない。また、制限路６２については、長手、短手及び深さの関係から部材は１つしか入り込まない。
【００４８】
部材を除去した後、キャビティ基板１とノズル基板３とを接着剤等で接着（接合）する（図７（ｄ））。接着によって得られた接合体に対し、例えば液体を供給してリザーバ７内を洗浄し、リザーバ７となる凹部に入り込んだ部材を液体供給口１３から排出する。これにより、各制限路６２に１つの可動部材６４が充填されたノズル基板３とキャビティ基板１との接合体ができあがる（図７（ｅ））。
【００４９】
さらに電極基板２とキャビティ基板１とを例えば陽極接合等の方法を行って接合し、得られた接合体をダイシングによって切断した後、さらに発振駆動回路１５と端子部１１、電極端子１９とをワイヤ２１で電気的に接続して液滴吐出ヘッドができる。ここで、上述の製造方法は一例であり、例えばキャビティ基板１と電極基板２とを先に接合させた上で、キャビティ基板１上の部材形成、ノズル基板３との接合を行うような工程で液滴吐出ヘッドを製造してもよい。
【００５０】
図８は本実施の形態の液滴吐出ヘッドにおける液体の流れ（圧力変化）を表す図である。電極８及びキャビティ基板１に電圧が印加され電荷が供給されると、振動板４が電極８に引き寄せられ、当接する（図８（ａ））。その場合には、吐出室５内の容積が大きくなり、リザーバ７から吐出室５の方向に液体が流れようとする。その流れによって可動部材６４も吐出室５側の溝の方に移動する。また、流れは小さいながら、ノズル１２の部分に充填された液体についても振動板４の方に引き寄せられ、これによりメニスカスが動く。リザーバ７から吐出室５に液体が供給されいくにつれて液体の流れが徐々に緩やかになる（図８（ｂ））。
【００５１】
電極８及びキャビティ基板１に印加されていた電圧が解放されると、振動板４が元の位置に戻ろうとする。その際に液体に加わる圧力はノズル１２の方向だけでなく、リザーバ７（オリフィス６）の方向に加わる。そのため、オリフィス６を介して吐出室５からリザーバ７に向けて液体が流れ込もうとするが、制限手段６１の可動部材６４は、その流れを制限すると共に、流れをリザーバ７から吐出室５（ノズル１２）の方向に反転させる（図８（ｃ））。ノズル１２の方向に加わった圧力に基づく噴射エネルギーにより、液滴は吐出されるが、そのエネルギーとなる圧力には、可動部材６４によって反転された流れ（圧力）に基づくエネルギーも含まれる（図８（ｄ））。
【００５２】
以上のように第１の実施の形態によれば、制限路６２、制限柱６３及び可動部材６４で構成される制限手段６１をオリフィス６の一部に備え、主に可動部材６４によって吐出室５からリザーバ７に流れ込もうとする液体の流れを制限し、液体の流れを変えるようにしたので、損失エネルギーとなるエネルギーを噴射エネルギーに換えることができ、低消費電力、吐出性能の向上を図ることができる。また、オリフィス６に設けられる可動部材６４をオリフィス６の一部である制限路６２に設けるようにしたので、その径は小さく、そのため、応答性がよく、効率よく流れを制限することができ、振動板４の駆動に影響を与えない。また、液体の比重と同様の粒子密度を有する材料で可動部材６４を構成するようにしたので、液体の流れに対する応答よく可動部材６４が移動し、吐出室５からリザーバ７に流れ混もうとする液体の流れを制限し、逆にリザーバ７から吐出室５に流れる液体を通過させることができる。そして、制限部材６４を方向性のない球状にすることで、製造工程中に充填方向を考えなくても容易に制限路６２に充填することができる。
【００５３】
実施の形態２．
上述の実施の形態では各制限路６２に充填する可動部材６４の数を１つにしたが、例えば可動部材６４の移動が制限される等、吐出室５からリザーバ７に流れ込もうとする液体の流れを制限し、リザーバ７から吐出室５に流れる液体を制限しないという機能が有効に発揮できる範囲において、その数は限定しない。
【００５４】
また、上述の実施の形態では可動部材６４が長手方向だけに移動できるようにしたが、本発明は可動部材の移動方向を特に限定するものではない。幅方向又は深さ方向にも移動させることができる。
【００５５】
さらに、上述の実施の形態では、吐出室５側及びリザーバ７側に従来のオリフィス６と同形状の溝を設けているが、例えば、吐出室５側若しくはリザーバ７側の一方だけに溝を設けてもよい。また、オリフィス６（連通溝）の全部を制限路６２で構成するようにしてもよい。
【００５６】
実施の形態３．
上述した実施の形態では、フェイスイジェクト型の液滴吐出ヘッドについて説明した。本発明ではこれに限定するものでなく、液滴吐出ヘッドの側面からの吐出を行う、いわゆるエッジイジェクト型の液滴吐出ヘッドにも適用することができる。
【００５７】
実施の形態４．
上述の実施の形態では、圧電素子を用いて液体を加圧し、ノズル孔から液滴を吐出する、いわゆるピエゾ方式の液滴吐出ヘッドにも適用することができる。また、上述の実施の形態では、吐出室５及びオリフィス６を有する液滴吐出ヘッドについて説明したが、流路において液体を加温して気体発生による圧力で吐出するサーマル方式等、他の加圧による吐出を行う方式の液滴吐出ヘッドに対しても本発明を適用することができる。
【００５８】
実施の形態５．
図９は上述の実施の形態で製造した液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出方式（インクジェット方式）の記録（印刷）装置の主要な構成手段を表す図である。この記録装置はいわゆるシリアル型の装置である。図９において、印刷装置は、被印刷物であるプリント紙１１０が支持されるドラム１１１と、プリント紙１１０に液体を吐出し、記録を行う、上述の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド１１２とで主に構成される。また、図示していないが、液滴吐出ヘッド１１２に液体を供給するための液体タンクがある。プリント紙１１０は、ドラム１１１の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ１１３により、ドラム１１１に圧着して保持される。そして、送りネジ１１４がドラム１１１の軸方向に平行に設けられ、液滴吐出ヘッド１１２が保持されている。送りネジ１１４が回転することによって液滴吐出ヘッド１１２がドラム１１１の軸方向に移動するようになっている。
【００５９】
一方、ドラム１１１は、ベルト１１５等を介してモータ１１６により回転駆動される。また、プリント制御手段１１７は、印画データ及び制御信号に基づいて送りネジ１１４、モータ１１６を駆動させ、また、ここでは図示していないが、液滴吐出ヘッド１１２に接続された発振駆動回路を駆動させて振動板を振動させる制御をしながら印刷を行わせる。
【００６０】
以上のように第５の実施の形態によれば、上述の実施の形態１〜４で得られた液滴吐出ヘッドを用いて記録装置を構成するようにしたので、低消費電力駆動又は吐出速度等の性能向上を図ることができる。
【００６１】
実施の形態６．
上記の第５の実施の形態では、本発明の液滴吐出ヘッドを備えた印刷装置により印刷する例を示したが、本発明はこれに限定するものではない。例えば、本発明の液滴吐出ヘッドを電界発光基板製造装置に備え、有機又は無機の電界発光素子となる材料を含んだ液体を基板上に吐出させ、定着させることにより電界発光基板を製造することができる。ここで、高分子の材料では蒸着法を用いることができないので、液滴吐出による製造が特に有効である。また、生体分子を含む溶液を吐出する装置に備えることにより、ＤＮＡ（Deoxyribo Nucleic Acids ：デオキシリボ核酸）、タンパク質等の生体分子のマイクロアレイを製造したり、生体に関する検査をしたりするための装置を得ることができる。また、液晶等を用いた表示装置に用いられるカラーフィルタの製造装置を得ることができる。これらの装置は、業務用途として使われることが多い関係上、特に各ノズル間の吐出性能のばらつきが少ないことが要求されるが、本発明の液滴吐出ヘッドを備えたこれらの装置はその要求を満たすことができる。また、染料の吐出等、他のあらゆる工業用途、家庭用途に、上述の実施の形態の液滴吐出ヘッドを備えた装置を用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明の制限手段の構造は、液滴吐出ヘッドだけに適用されるものだけでなく、例えば、マイクロバルブ、マイクロポンプ等のデバイス及びそれらのデバイスをシステムとして集積した流体制御システム等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】液滴吐出ヘッドを分解して表した図である。
【図２】制限手段６１の構成の一例を表す図である。
【図３】液滴吐出ヘッドの断面図である。
【図４】液滴吐出ヘッドのキャビティ基板１の作製工程を表す図である。
【図５】電極基板２の作製工程を表す図である。
【図６】ノズル基板３の作製工程を表す図である。
【図７】可動部材６４の充填方法を表す図である。
【図８】液滴吐出ヘッドにおける液体の流れ（圧力変化）を表す図である。
【図９】液滴吐出記録装置の主要な構成手段を表す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１  キャビティ基板、２  電極基板、３  ノズル基板、４  振動板、５  吐出室、６  オリフィス、７  リザーバ、８  電極、９  凹部、１０  リード部、１１  端子部、１２  ノズル、１３  液体供給口、１４  ＳｉＯ2 膜、１５  発振駆動回路、１８  ダイヤフラム、１９  電極端子、２１  ワイヤ、２２  封止部、３１  隔壁、５１，７１  シリコン基板、５２，７２  酸化膜、５３，７３  面、５４，７４  裏面、５５  ボロンドープ層、６１  制限手段、６２  制限路、６３  制限柱、６４  可動部材、１１０  プリント紙、１１１  ドラム、１１２  液滴吐出ヘッド、１１３  紙圧着ローラ、１１４  送りネジ、１１５  ベルト、１１６  モータ、１１７  プリント制御手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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