(57)【要約】【課題】発熱抵抗体に付着する塩分を有効に除去可能な発熱抵抗体式流体流量測定装置を備えた内燃機関の制御装置を実現する。【解決手段】発熱抵抗体１０３の発熱部以外にもリード材１３２ａ、１３２ｂ、支持部材１０５ａ、１０５ｂにも塩は付着する。発熱抵抗体１０３への通電を止めてしばらく時間が経過すると、潮解により付着していた塩は空気中の水分を吸収して、発熱抵抗体１０３付近や、支持部材付近などにおいて塩水３００となる。その後、エンジンクランキングにより吸入空気が、副通路内に流通する事により、支持材部だけでなく発熱抵抗体１０３に付着していた塩水３００までも飛散してしまい、その後に発熱抵抗体へ通電しても発熱抵抗体１０３へ塩成分が残る事は無い。【選択図】      図２
2005098174.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱電流を発熱抵抗体に流して発熱し、吸入空気への放熱に基づいて、内燃機関に吸入される空気流量を測定する発熱抵抗体式空気流量測定器を備えた内燃機関の制御装置において、
内燃機関への回転開始指令から、一定時間遅延させて、上記発熱抵抗体を発熱させることを特徴とする内燃機関の制御装置。
【請求項２】
請求項１記載の内燃機関の制御装置において、内燃機関の回転開始から、一定時間遅延させて、上記発熱抵抗体の加熱電流を供給することにより、上記発熱抵抗体の発熱を一定時間遅延させることを特徴とする内燃機関の制御装置。
【請求項３】
外部からの指令信号に従って、加熱電流を発熱抵抗体に流して発熱し、吸入流体への放熱に基づいて、流体流量を測定する発熱抵抗体式流体流量測定装置において、
上記外部からの指令信号の供給時から、一定時間遅延させて、上記発熱抵抗体を発熱させる発熱遅延手段を備えることを特徴とする発熱抵抗体式流体流量測定装置。
【請求項４】
請求項３記載の発熱抵抗体式流体流量測定装置において、上記発熱遅延手段は、上記外部からの指令信号の供給時から、一定時間遅延させて、上記発熱抵抗体の加熱電流を供給することにより、上記発熱抵抗体の発熱を一定時間遅延させることを特徴とする発熱抵抗体式流体流量測定装置。
【請求項５】
加熱電流を発熱抵抗体に流して発熱し、吸入空気への放熱に基づいて、内燃機関に吸入される空気流量を測定する発熱抵抗体式空気流量測定器を備えた内燃機関の制御装置において、
内燃機関の回転開始を検出してから、一定時間遅延させて、上記発熱抵抗体を発熱させることを特徴とする内燃機関の制御装置。
【請求項６】
請求項１記載の内燃機関の制御装置において、内燃機関の回転開始を検出してから、一定時間遅延させて、上記発熱抵抗体の加熱電流を供給することにより、上記発熱抵抗体の発熱を一定時間遅延させることを特徴とする内燃機関の制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気等の流体の流量計測のために発熱抵抗体を用いた発熱抵抗体流体流量測定装置及びそれを備えた内燃機関の制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
気体の流量測定技術として一般的には、空気の流量を測定する発熱抵抗体式空気流量測定装置が知られている。これは発熱抵抗体の奪われる熱量が、空気の流入流量に対し単調に増加する関係が有ることを利用したものであり、質量空気流量を直接測定出来るため、自動車用内燃機関の空気流量計測のための流量計として広く使われている。
【０００３】
ところで、内燃機関の吸気管上流にはエアクリーナが設置されており、大気中の塵等を除去した空気がエンジン内へ送り込まれる。
【０００４】
しかしながら、エアクリーナの集塵能力は完全ではなく、細かな塵成分等はエアクリーナを通過して吸気管を通りエンジンへ吸入されてしまう。
【０００５】
発熱抵抗体式空気流量測定装置は流量計測部である発熱抵抗体を吸気管に晒して設置するため、上記のような塵等の付着により経時劣化を生じてしまう。
【０００６】
そこで、特許文献１に記載されているように、エンジン停止後に発熱抵抗体を約１０００℃に加熱して発熱抵抗体に付着した塵成分等を焼き切ってしまう技術が知られている。
【０００７】
【特許文献１】特開昭６３−４１６４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記従来技術において、塵埃のみならず、水滴等が飛散した場合には水分が発熱抵抗体に付着し、放熱量を変化する事を防止する必要がある。発熱抵抗体の加熱温度を塵や水分の付きにくい温度に設定する等の工夫が必要であり、その温度は概ね１５０℃以上が一般的である。
【０００９】
加熱温度を１００℃以上とすると発熱抵抗体に付着した水分は瞬時に蒸発してしまい、発熱抵抗体に残る事は無い。しかし、水分内に不純物等が混入していると蒸発後に不純物が発熱抵抗体表面に残ってしまい、特性劣化の原因となってしまう。
【００１０】
上記不純物としては塩分がある。塩分付着の最も顕著な例として、寒冷地で雪を溶かすために用いる融雪剤による塩の付着がある。融雪剤の成分は大部分が塩分であり、塩を路上に散布する事によって雪を溶かす働きを持っている。
【００１１】
この溶けた融雪剤と雪とは塩水となって路上に残り、路上を走る車輌のタイヤ等により大気中に巻上げられて、その大気は後続車両の内燃機関に吸い込まれる事になる。
【００１２】
この塩水はエアクリーナフィルタで捕らえられるが、水分のためフィルタに染込んでしまい、フィルタの許容量を超えると吸気管に放出する。この放出された塩水が発熱抵抗体に付着すると、水分は蒸発するが、塩分は蒸発せずに発熱抵抗体表面に付着して残ってしまう。
【００１３】
その結果、発熱抵抗体の放熱量が塩付着前後で変わってしまい、その放熱量の変化量が発熱抵抗体式空気流量測定装置の特性劣化となってしまう。
【００１４】
また、塩分は大気中の水分を吸収して溶けるという潮解性を有している。このため、発熱抵抗体への通電を止めてしまうと時間が経つにつれて、周囲の空気中に含まれる空気の水分を吸収して塩は溶けてしまい、発熱抵抗体の表面に表面張力で残ってしまう。
【００１５】
この状態で、内燃機関のエンジンをキーオンして発熱抵抗体へ通電すると、瞬時に塩水が蒸発し、発熱抵抗体表面に塩分が残ってしまう。例えば、融雪剤が撒かれた路上を通って、帰宅し、夜間はエンジンを止めて車庫に保管し、また翌日またエンジンを始動して出かけるような状態であり、日常よく有り得る事を意味している。また、この現象が繰り返し行なわれると塩の付着量は多くなり、更に、より強固に固着してしまう。
【００１６】
本発明の目的は、発熱抵抗体に付着する塩分を有効に除去可能な発熱抵抗体式流体流量測定装置及びそれを備えた内燃機関の制御装置を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するため、本発明は次のように構成される。
【００１８】
（１）内燃機関の制御装置は、発熱抵抗体式空気流量測定器を備え、この空気流量測定器が測定した空気流量に基づいて、内燃機関への吸入空気量等を制御する。
【００１９】
内燃機関の制御装置は、内燃機関への回転開始指令から、一定時間遅延させて、上記発熱抵抗体の発熱を開始させることにより、発熱抵抗体の発熱前に空気流を発熱抵抗体に供給し、発熱抵抗体への付着物を除去する。
【００２０】
（２）上記（１）の内燃機関の制御装置において、内燃機関の動作電流の供給開始から、一定時間遅延させて、上記発熱抵抗体の加熱電流を供給する。
【００２１】
これにより、発熱抵抗体の発熱を一定時間遅延させる。
【００２２】
（３）発熱抵抗体式流体流量測定装置は、外部からの指令信号に従って、電流を発熱抵抗体に流して発熱し、流体流量を測定する。
【００２３】
発熱抵抗体の発熱遅延手段は、外部からの指令信号の供給時から一定時間遅延させて、発熱抵抗体の発熱を開始させる。
【００２４】
これにより、発熱抵抗体の発熱前に空気流を発熱抵抗体に供給し、発熱抵抗体への付着物を除去する。
【００２５】
（４）発熱遅延手段は、上記外部からの指令信号の供給時から、一定時間遅延させて、発熱抵抗体の加熱電流を供給することにより、上記発熱抵抗体の発熱を一定時間遅延させる。
【００２６】
（５）加熱電流を発熱抵抗体に流して発熱し、吸入空気への放熱に基づいて、内燃機関に吸入される空気流量を測定する発熱抵抗体式空気流量測定器を備えた内燃機関の制御装置において、内燃機関の回転開始を検出してから、一定時間遅延させて、上記発熱抵抗体を発熱させる。
【００２７】
（６）また、好ましくは、上記（１）において、内燃機関の回転開始を検出してから、一定時間遅延させて、上記発熱抵抗体の加熱電流を供給することにより、上記発熱抵抗体の発熱を一定時間遅延させる。
【００２８】
塩は潮解性を有しているため、発熱抵抗体へ通電を行なっていないときに時間が経てば溶解して塩水になる。つまり、塩水状態の時に流体を流して、塩水を飛散させてしまえばその後に発熱抵抗体へ通電したとしても、発熱抵抗体への付着する物(塩成分)が無くなってしまうのである。
【００２９】
また、内燃機関のクランキング時には瞬間的に大容量の空気が流れるため、発熱抵抗体に付着した塩水を飛散させる事が可能となる。また、クランキング時にはエンジンの振動が大きくなるためその振動を利用して、更に塩水が飛散し易くなる。塩水が飛散した後に一定時間経過後に発熱抵抗体へ通電されるため、発熱抵抗体へ塩成分が残る事は無い。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、発熱抵抗体に付着する塩分を有効に除去可能な発熱抵抗体式流体流量測定装置及びそれを備えた内燃機関の制御装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態においては、本発明を発熱抵抗体式空気流量測定装置に適用した場合を説明する。
【００３２】
図５は、本発明が適用されるディーゼルエンジンのＥＧＲ(排気再還流装置)の制御を行なうシステムの概略構成図であり、電子制御式排気再環流システムの一例である。
【００３３】
図５において、排気再環流配管はエンジンシリンダ２４０を挟んで吸気通路２４１と排気通路２４２を連通するように配管され、その間にＥＧＲバルブ２１２が配置されている。
【００３４】
ＥＧＲバルブ２１２の開閉量はエンジンコントロールユニット（ＥＣＵ）からの指示信号により決定される。この指示信号は基本的にはエンジン回転数検出手段２０９から得られるエンジン回転数信号、吸気管内に設けられた負圧発生バルブ２０５のバルブ開度検出手段２０６から得られるバルブ開度信号、エンジン冷却水温度検出手段２０８から得られる冷却水温度信号、吸気温度検出手段２０４から得られる吸気温度信号、吸気通路内圧力検出手段２０７より得られる圧力信号、燃料噴射量の負荷量となるドライバーからのアクセル開度信号等を基にして、エンジンコントロールユニット（ＥＣＵ）からの指示信号により決定される。
【００３５】
さらに、新規吸入空気量を計測する発熱抵抗体式空気流量測定装置２０３より得られる新規吸入空気流量信号により吸入空気量の計測を行う事により高精度なＥＧＲ制御を可能としてＮｏｘの低減と黒煙の発生を更に抑える事が可能となる。
【００３６】
したがって、発熱抵抗体式空気流量測定装置２０３の発熱抵抗体に塩分等が固着すると、空気流量測定精度が低下し、高精度なＥＧＲ制御が困難となる。
【００３７】
次に、上記発熱抵抗体式空気流量測定装置の動作原理について説明する。  
図６は、発熱抵抗体式空気流量測定装置の概略構成回路図である。発熱抵抗体式空気流量測定装置の駆動回路は、ブリッジ回路とフィードバック回路とを備える。吸入空気流量測定を行うための発熱抵抗体（ＲＨ）１０３、吸入空気温度を補償するための感温抵抗体（ＲＣ）１０４及び抵抗Ｒ１０、Ｒ１１でブリッジ回路が組まれている。
【００３８】
そして、オペアンプＯＰ１を使いフィードバックをかけながら発熱抵抗体１０３と感温抵抗体１０４との間に一定温度差を保つように発熱抵抗体１０３に加熱電流Ｉｈを流すように制御する。
【００３９】
発熱抵抗体１０３の加熱温度は、約吸気温度＋１５０℃以上となるように制御される。これは空気への放熱量によらず一定の温度差としている。
【００４０】
つまり、流速が速い場合には、発熱抵抗体１０３から奪われる熱量が多いため加熱電流Ｉｈを多く流す。これに対して流速が遅い場合には、速い場合と比較して加熱電流Ｉｈを少なく流す。これは、発熱抵抗体１０３から奪われる熱量が少ないため、加熱電流も少なくてすむからである。
【００４１】
この加熱電流Ｉｈから得られた電圧信号Ｖ２は空気流量に応じて変動するため、この電圧信号Ｖ２を計測する事により、吸気管を流れる空気流量を計測する事ができるのである。
【００４２】
図７は、発熱抵抗式空気流量測定装置の一例の横断面図であり、図８は、図７に示した空気流量測定装置の上流（左側）から見た外観図である。
【００４３】
図７及び図８において、発熱抵抗体式空気流量測定装置は、駆動回路を構成する回路基板１０２と、この回路基板１０２を内蔵するハウジング部材１０１と、非導電性部材により形成される副空気通路構成部材１１０等を備えている。
【００４４】
副空気通路構成部材１１０により形成される副通路１１４の中では、空気流量検出のための発熱抵抗体１０３と、吸入空気温度を補償するための感温抵抗体１０４とが、導電性部材の支持体１０５を介して回路基板１０２と電気的に接続される。
【００４５】
そして、ハウジング部材１０１と、回路基板１０２と、副空気通路１１０と、発熱抵抗体１０３と、感温抵抗体１０４等は、これらを発熱抵抗体式空気流量測定装置の一体のモジュールとして構成されている。
【００４６】
また、吸気管路（主通路）１２２を形成する主空気通路構成部材１２０の壁面には穴１２５が形成されており、この穴１２５より発熱抵抗体式空気流量測定装置の副空気通路１１４部分が吸気管路１２２の外部から挿入される。
【００４７】
そして、主空気通路構成部材１２０の壁面とハウジング部材１０１とがネジ１０７等で機械的強度を保つように固定されている。また、副空気通路構成部材１１０と主空気通路１２２の構成部材１２０との間にシール材１０６を取り付けて、吸気管内外との気密性を保っている。
【００４８】
図９は、発熱抵抗体１０３の概略外観図である。  
図９において、空気流量を検出するための発熱抵抗体１０３は、円筒状の絶縁材からなるボビン１３０へ、白金材などの抵抗体１３１を巻線したものである。また、発熱抵抗体１０３は、その両端が導電性部材からなるリード材１３２ａ、１３２ｂと溶接等により電気的に接続される。そして、リード材１３２ａ、１３２ｂは、支持体１０５ａ、１０５ｂに溶接等により電気的に接続される。
【００４９】
ここで、流量計測時に発熱するのは主に抵抗体１３１を巻線した個所であり、大部分のリード材１３２や、支持材１０５ａ、１５２ｂは発熱しない構造となっている。
【００５０】
そして、塩分の付着は、発熱抵抗体１０３の発熱される部分において顕著に発生し易いものである。
【００５１】
上記発熱抵抗体式空気流量測定装置を備えた内燃機関の制御装置におけるイグニションキーＯＮから内燃機関始動までの動作について説明する。
【００５２】
図１は、本発明の一実施形態における内燃機関制御装置の制御動作フローチャートである。  
図１のステップＳ１において、イグニションキーがＯＮとされた後に、ステップＳ２で、内燃機関への動作電流供給が開始され、発熱抵抗体式空気流量測定装置以外のセンサ等にも同時に通電が開始される。
【００５３】
ステップＳ２の後、ステップＳ３において、エンジンクランキングが行なわれて内燃機関が始動する。
【００５４】
次に、ステップＳ４において、上記エンジンクランキングが行われた後、一定時間経過した後、例えば、１秒経過した後、発熱抵抗体式空気流量測定装置への通電が行われる。ここで、エンジンクランキングの実行時点は、その指令指示や信号の発生時としても良いが、エンジン回転数検出手段２０９などから実際の回転が検出された時点であっても良い。
【００５５】
そして、ステップＳ５において、内燃機関が始動される。
【００５６】
上述のように、本発明の一実施形態では、イグニションキーのＯＮ後に内燃機関へ通電が開始されるが、通電が行なわれるのは、空気流量測定装置の発熱抵抗体以外のその他のセンサ等である。その後、エンジンのクランキングが行なわれた後に発熱抵抗体式空気流量測定装置への通電が行なわれて内燃機関の始動となる。
【００５７】
つまり、本発明は、発熱抵抗体式空気流量測定装置への通電のタイミングをクランキングを行なって吸気管内に吸入空気が流入した後としているのが特徴となっている。
【００５８】
次に、本発明の一実施形態においては、発熱抵抗体１０３へ塩分が固着しないメカニズムについて図２を参照して説明する。
【００５９】
塩水はフィルタを通過して飛散するため、細かな粒で吸気管内に入ってくる。このため、塩成分は結晶化し易く、図２の（Ａ）に示すように、発熱抵抗体１０３の発熱部以外にもリード材１３２ａ、１３２ｂや支持部材１０５ａ、１０５ｂにも塩は付着する。
【００６０】
発熱抵抗体１０３への通電を止めてしばらく時間が経過すると、潮解により付着していた塩は空気中の水分を吸収して、図２の（Ｂ）に示すように、発熱抵抗体１０３付近や、支持部材付近などにおいて塩水３００となる。
【００６１】
その後、エンジンクランキングにより吸入空気が、副通路内に流通する事により、支持材部だけでなく発熱抵抗体１０３に付着していた塩水３００までも飛散してしまい、その後に発熱抵抗体へ通電しても発熱抵抗体１０３へ塩成分が残る事は無い（図２の（Ｃ）、（Ｄ））。
【００６２】
ここで、本発明の一実施形態との比較のために、一般的に行われている発熱抵抗体式空気流量測定装置を備えた内燃機関の制御装置におけるイグニションキーＯＮから内燃機関始動までの動作について、図３を参照して説明する。
【００６３】
図３のステップＳ１において、イグニションキーがＯＮとされた後に、ステップＳ２Ａで、内燃機関への通電が開始され、発熱抵抗体式空気流量測定装置、センサ等にも同時に通電が開始される。
【００６４】
ステップＳ２Ａの後、ステップＳ３において、エンジンクランキングが行なわれて内燃機関が始動する。
【００６５】
次に、ステップＳ５において、内燃機関が始動される。
【００６６】
図３に示すような動作において、発熱抵抗体１０３に塩分が固化するメカニズムについて図４を参照して説明する。
【００６７】
塩水が吸入気管内に吸入され、発熱抵抗体１０３等に付着した後、潮解により塩水となる迄は、図２に示した場合と同様である（図３の（Ａ）、（Ｂ））。
【００６８】
その後、内燃機関への通電開始と同時に発熱抵抗体１０３に通電されるので、吸気管内に空気が流通する以前に、発熱抵抗体１０３が加熱され、付近の塩水の水分は瞬時に蒸発して塩成分のみが発熱抵抗体１０３に付着して残ってしまう（図３の（Ｃ））。
【００６９】
このとき、支持材付近の塩水３００は加熱されないため、その状態を保っている。その後、エンジンクランキングにより吸入空気が吸気管に流れると、支持材付近の塩水は飛散してしまい残らないが、発熱抵抗体１０３に付着した塩成分だけは残ってしまう（図３の（Ｄ））。この塩成分は結晶化しているため、吸入空気では発熱抵抗体１０３からは飛散しないのである。
【００７０】
これに対して、図１及び図２に示した本発明の一実施形態によれば、エンジンクランキングが開始されてから、所定時間、例えば、１秒程度遅延させ、発熱抵抗体式空気流量検出装置に通電を行い、吸気管への空気の流通により、発熱抵抗体１０３に付着した塩水が除去された後に、発熱抵抗体１０３が十分に加熱されるように、構成されている。
【００７１】
したがって、本発明の一実施形態によれば、発熱抵抗体に付着する塩分を有効に除去可能な発熱抵抗体式流体流量測定装置を備えた内燃機関の制御装置を実現することができる。
【００７２】
これにより、市場においては、有害な排気ガスの排出を抑えた車輌を長期間に渡って提供する事が可能となる。
【００７３】
上述した例は、エンジンクランキング後、一定時間経過してから、発熱抵抗体式空気流量測定装置の発熱抵抗体に通電する例であるが、発熱抵抗体への通電自体は、内燃機関への通電と同時であっても、発熱抵抗体の発熱開始時期をエンジンクランキング後に遅延させるように構成することもできる。
【００７４】
例えば、内燃機関制御装置への通電開始から、傾斜的に増加し、エンジンクランキング後の所定時間に規定電流となるように、発熱抵抗体に電流を流すように制御して、発熱抵抗体の発熱を抑制しても、本発明の効果を得ることができる。
【００７５】
また、内燃機関制御装置への通電開始から、一定時間だけ、間欠的に、発熱抵抗体に電流を流すように制御して、エンジンクランキング後の所定時間経過するまで発熱抵抗体の発熱を抑制しても、本発明の効果を得ることができる。
【００７６】
さらに、上述した例は、内燃機関制御装置が空気流量測定装置の発熱抵抗体への通電時期を制御する例であるが、発熱抵抗体式空気流量装置に、発熱抵抗体への通電を遅延させる遅延回路等を備えることも可能である。この場合は、内燃機関制御装置は、内燃機関への通電指令と空気流量測定装置への通電指令は同時に行うこととなる。
【００７７】
このように、発熱抵抗体式空気流量装置に、エンジンクランキング後の所定時間後に規定電流（あるいは規定温度）になるように発熱抵抗体への通電を遅延させる遅延回路等の発熱遅延手段を備えるように構成することにより、発熱抵抗体に付着する塩分を有効に除去可能な発熱抵抗体式空気流量測定装置を実現することができる。
【００７８】
さらに、本発明においては、発熱抵抗体に付着した塩分を塩水の状態で、空気流により除去するようにしたので、発熱抵抗体に付着したその他の塵埃等も同時に除去することが可能である。
【００７９】
したがって、従来技術のような、エンジン停止後に発熱抵抗体を約１０００℃に加熱して発熱抵抗体に付着した塵成分等を焼き切るということが不要となる効果もある。
【００８０】
なお、上述した例は、本発明を発熱抵抗体式空気流量測定装置に適用した場合の例を説明したが、空気のみならず、他の気体の流量測定装置においても、本発明は適用可能である。      
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の一実施形態における内燃機関制御装置の制御動作フローチャートである。
【図２】本発明における発熱抵抗体に付着した塩分の除去についての説明図である。
【図３】本発明とは異なる内燃機関制御装置の制御動作フローチャートであり、本発明との比較のための図である。
【図４】図３の例による動作による塩分固着のメカニズムを説明する図である。
【図５】本発明が適用されるディーゼルエンジンのＥＧＲ制御を行なうシステムの概略構成図である。
【図６】発熱抵抗体式空気流量測定装置の概略構成回路図である。
【図７】発熱抵抗式空気流量測定装置の一例の横断面図である。
【図８】図７に示した空気流量測定装置の上流（左側）から見た外観図である。
【図９】発熱抵抗体の概略外観図である。
【符号の説明】
【００８２】
１０１          ハウジング部材
１０２          回路基板
１０３          発熱抵抗体
１０４          感温抵抗体
１０５          支持体
１０６          シール材
１０７          ネジ
１１０          副空気通路構成部材
１１４          副通路
１２０          主通路構成部材
１２５          副空気通路挿入穴
１３０          ボビン
１３１          抵抗体
１３２          リード材
ＯＰ１          オペアンプ
Ｒ１０、Ｒ１１  抵抗体
２０３          発熱抵抗体式空気流量測定装置
２０４          吸気温度検出手段
２０５          負圧発生バルブ
２０６          バルブ開度検出手段
２０７          吸気通路内圧力検出手段
２０８          エンジン冷却水温度検出手段
２０９          エンジン回転数検出手段
２１２          ＥＧＲバルブ
２４０          エンジンシリンダ
２４１          吸気通路
２４２          排気通路
【図１】
2005098174.tif 000003
【図２】
2005098174.tif 000004
【図３】
2005098174.tif 000005
【図４】
2005098174.tif 000006
【図５】
2005098174.tif 000007
【図６】
2005098174.tif 000008
【図７】
2005098174.tif 000009
【図８】
2005098174.tif 000010
【図９】
2005098174.tif 000011