(57)【要約】【課題】レチクルに異物が付着することを良好に回避することができ、簡素な構造であって製造コストを低減することができるペリクル装着装置、ペリクルおよびペリクル装着方法を提供する。【解決手段】気体が透過する供給用フィルタ１３を有するペリクル１０を、レチクル１に装着するときに用いられるペリクル装着装置２０であって、供給用フィルタ１３を介してペリクル１０の内側にエアーを送出するエアー送出機構を有することを特徴とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体が透過する供給用フィルタを有するペリクルを、レチクルに装着するときに用いられるペリクル装着装置であって、
前記供給用フィルタを介して前記ペリクルの内側にエアーを送出するエアー送出機構を有することを特徴とするペリクル装着装置。
【請求項２】
前記エアー送出機構は、
前記エアーの気圧を検出する圧力センサと、
前記圧力センサが検出した気圧が所定気圧以上になったときに、前記エアーの送出を停止する制御装置とを有することを特徴とする請求項１に記載のペリクル装着装置。
【請求項３】
前記エアー送出機構は、
前記ペリクルの内側に送出するエアーの流量を可変設定するクリーンエアー送出装置を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のペリクル装着装置。
【請求項４】
レチクルの所望領域を含む大きさを有する枠部材と、該枠部材に張設された膜部材とを有してなるペリクルであって、
前記枠部材は、
通気孔と該通気孔に配置されたフィルタ部材とを有してなる供給用フィルタと、
前記枠部材の内側における気圧を調整する圧力調整機構とを有することを特徴とするペリクル。
【請求項５】
前記圧力調整機構は、
前記枠部材の内側の気圧が所定値以上になったときに開く弁を有してなることを特徴とする請求項４に記載のペリクル。
【請求項６】
前記圧力調整機構は、
前記枠部材の内側のエアーを外側に排出する排出用フィルタからなることを特徴とする請求項４又は５に記載のペリクル。
【請求項７】
前記排出用フィルタは、前記供給用フィルタよりも前記エアーの単位時間当たりの通過量が小さいものであることを特徴とする請求項６に記載のペリクル。
【請求項８】
ペリクルをレチクルに装着するペリクル装着方法において、
前記ペリクルは、気体が透過する供給用フィルタを有し、
エアーを前記供給用フィルタに送出することにより、該供給用フィルタを透過したエアーが前記ペリクルの内側に送出され、該エアーの送出をしながら該ペリクルを前記レチクルに装着することを特徴とするペリクル装着方法。
【請求項９】
前記ペリクルを前記レチクルに装着した後、前記ペリクルの内側の気圧が所定の圧力以上になったときに、前記エアーの送出を停止することを特徴とする請求項８に記載のペリクル装着方法。
【請求項１０】
前記ペリクルの内側に送出するエアーの流量を所望値に設定することを特徴とする請求項８又は９に記載のペリクル装着方法。
【請求項１１】
前記ペリクルは、該ペリクルの内側における気圧を調整する圧力調整機構を有し、
前記圧力調整機構を用いて、前記ペリクルの内側におけるクリーンエアーの圧力を調整することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載のペリクル装着方法。
【請求項１２】
前記ペリクルの内側の気圧が予め設定した第１圧力以上になったとき、前記圧力調整機構から前記エアーを排出し、
前記ペリクルの内側の気圧が予め設定した第２圧力以上になったとき、前記エアーを前記ペリクルの内側に送出することを停止し、
前記第２圧力は第１圧力よりも大きな値に設定することを特徴とする請求項１１に記載のペリクル装着方法。
【請求項１３】
前記圧力調整機構は、
前記ペリクルの内側に入れられた前記エアーを外側に排出する排出用フィルタを有し、該排出用フィルタを構成する部材の材質、大きさ及び形状のうちの少なくとも１つを調整することにより、該ペリクル内側の気圧を調整することを特徴とする請求項１１に記載のペリクル装着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ペリクル装着装置、ペリクルおよびペリクル装着方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路の製造工程においては、レチクル（マスクとも呼ばれる）に形成された回路パターンを露光装置を用いてウエハなどの基板上に転写するフォトグラフィ工程がある。ここで、レチクルに異物（微小な塵及び埃など）が付着すると、基板上に形成される回路パターンに不具合が生じる。そこで、従来においては、レチクルに異物が付着することを未然に防止するために、ペリクルと呼ばれる光透過性の薄膜をレチクルに装着する手法が考えだされている。
【０００３】
また、従来、ペリクルをレチクルに装着する工程（ペリクル装着工程）において、レチクルが人手を介して搬送されることによるそのレチクルへの異物の付着を防止するために、人手を介さずにレチクルを搬送する手段が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、ペリクル工程を手作業で行うことによるレチクルへの異物付着を防止するために、ペリクル装着装置を用い、そのペリクル装着装置の搬送系駆動部から排出される塵などの異物がペリクル又はレチクルに付着することを回避する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−３０４９１８号公報
【特許文献２】
特開平５−３２３５８３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のレチクル又はペリクルに異物が付着することを回避する方法では以下のような問題点がある。先ず上記特許文献１に記載されている方法では、レチクル洗浄、レチクル検査、ペリクル装着、ペリクル付レチクル検査及び各工程への所望物の搬送がコンピュータで制御されているので、構造が複雑であり、コストがかかってしまう。また、上記特許文献１に記載されている方法では、人間によるレチクルへの異物付着は解決されるが、搬送系からレチクルへの異物付着の発生を回避することが困難である。
【０００７】
また、上記特許文献２に記載されている方法では、ペリクル装着装置がコンピュータ制御になっているとともに非常に複雑な構成をしており、かかるペリクル装着装置の製造及び運用に多大なコストがかかってしまう。
【０００８】
本発明は、上記問題を解決するためになされたもので、レチクルに異物が付着することを良好に回避することができ、簡素な構造であって製造コストを低減することができるペリクル装着装置、ペリクルおよびペリクル装着方法を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、この発明は以下の構成を有する。
即ち、請求項１に記載された発明は、気体が透過する供給用フィルタを有するペリクルを、レチクルに装着するときに用いられるペリクル装着装置であって、前記供給用フィルタを介して前記ペリクルの内側にエアーを送出するエアー送出機構を有することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２に記載された発明は、請求項１に記載されたペリクル装着装置において、前記エアー送出機構が、前記エアーの気圧を検出する圧力センサと、前記圧力センサが検出した気圧が所定気圧以上になったときに、前記エアーの送出を停止する制御装置とを有することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３に記載された発明は、請求項１又は２に記載されたペリクル装着装置において、前記エアー送出機構が、前記ペリクルの内側に送出するエアーの流量を可変設定するクリーンエアー送出装置を有することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項４に記載された発明は、レチクルの所望領域を含む大きさを有する枠部材と、該枠部材に張設された膜部材とを有してなるペリクルであって、前記枠部材は、通気孔と該通気孔に配置されたフィルタ部材とを有してなる供給用フィルタと、前記枠部材の内側における気圧を調整する圧力調整機構とを有することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項５に記載された発明は、請求項４に記載されたペリクルにおいて、前記圧力調整機構が、前記枠部材の内側の気圧が所定値以上になったときに開く弁を有してなることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項６に記載された発明は、請求項４又は５に記載されたペリクルにおいて、前記圧力調整機構が、前記枠部材の内側のエアーを外側に排出する排出用フィルタからなることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項７に記載された発明は、請求項６に記載されたペリクルにおいて、前記排出用フィルタが、前記供給用フィルタよりも前記エアーの単位時間当たりの通過量が小さいものであることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項８に記載された発明は、ペリクルをレチクルに装着するペリクル装着方法において、前記ペリクルが、気体が透過する供給用フィルタを有し、エアーを前記供給用フィルタに送出することにより、該供給用フィルタを透過したエアーが前記ペリクルの内側に送出され、該エアーの送出をしながら該ペリクルを前記レチクルに装着することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項９に記載された発明は、請求項８に記載されたペリクル装着方法において、前記ペリクルを前記レチクルに装着した後、前記ペリクルの内側の気圧が所定の圧力以上になったときに、前記エアーの送出を停止することを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１０に記載された発明は、請求項８又は９に記載されたペリクル装着方法において、前記ペリクルの内側に送出するエアーの流量を所望値に設定することを特徴とする。
【００１９】
また、請求項１１に記載された発明は、請求項８乃至１０に記載されたペリクル装着方法において、前記ペリクルが、該ペリクルの内側における気圧を調整する圧力調整機構を有し、前記圧力調整機構を用いて、前記ペリクルの内側におけるクリーンエアーの圧力を調整することを特徴とする。
【００２０】
また、請求項１２に記載された発明は、請求項１１に記載されたペリクル装着方法において、前記ペリクルの内側の気圧が予め設定した第１圧力以上になったとき、前記圧力調整機構から前記エアーを排出し、前記ペリクルの内側の気圧が予め設定した第２圧力以上になったとき、前記エアーを前記ペリクルの内側に送出することを停止し、前記第２圧力は第１圧力よりも大きな値に設定することを特徴とする。
【００２１】
また、請求項１３に記載された発明は、請求項１１に記載されたペリクル装着方法において、前記圧力調節機構が、前記ペリクルの内側に入れられた前記エアーを外側に排出する排出用フィルタを有し、該排出用フィルタを構成する部材の材質、大きさ及び形状のうちの少なくとも１つを調整することにより、該ペリクル内側の気圧を調整することを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るペリクル装着装置を示す概念斜視図である。本実施形態に係るペリクル装着装置２０は、ペリクル１０をレチクル１に装着するときに用いられるものである。
【００２３】
レチクル１は、マスクとも呼ばれるものであり、集積回路などの回路パターンが形成されているものである。このレチクル１に形成された回路パターンが露光装置などによりウエハなどの基板上に転写される。
【００２４】
ペリクル１０は、微小な塵又は埃などの異物がレチクル１に付着することを未然に回避するためのものである。ペリクル１０は、外周が四角形状の枠部材１１と、枠部材１１に張設された膜部材１２とを有している。枠部材１１の内周の大きさは、レチクル１に形成された回路パターン（所望領域）を含む大きさであることが好ましい。
【００２５】
そして、枠部材１１の一方面１５に接着剤を塗布し、その枠部材１１の一方面１５をレチクル１の一方面に接着すると、レチクル１に形成された回路パターン（所望領域）は、枠部材１１及び膜部材１２に取り囲まれることとなる。これにより、ペリクル１０がレチクル１に装着された以後は、そのレチクル１の回路パターンに異物が付着することが回避される。
【００２６】
しかし、このようにしてペリクル１０をレチクル１に装着しても、ペリクル１０をレチクル１に装着するときに、レチクル１の回路パターン面とペリクル１０の枠部材１１及び膜部材１２とで囲まれた空間に異物が侵入してしまうことがある。すると、その侵入した異物は、レチクル１の回路パターン面に付着してしまう。この異物の侵入を良好に防止することができるものが本発明の実施形態に係るペリクル装着装置２０及びペリクル１０である。かかる構成について具体的に説明する。
【００２７】
ペリクル１０の枠部材１１は、通気孔とその通気孔に配置されたフィルタ部材とを有してなる供給用フィルタ１３と、枠部材１１の内側における気圧を調整する圧力調整機構１４とを備えている。供給用フィルタ１３は、枠部材１１の内側にクリーンエアーを吹き込むために設けられたフィルタである。
【００２８】
圧力調整機構１４は、ペリクル１０が上記のようにレチクル１の回路パターン面に接着されたときに、ペリクル１０の枠部材１１の内側（枠部材１１、膜部材１２及びレチクル１の回路パターン面で囲まれた空間、以下同じ）が所望の気圧になるように作用する機構である。
【００２９】
圧力調整機構１４は、例えば、枠部材１１の内側の気圧が所定値以上になったときに開く弁（圧力調整弁）で構成してもよい。この圧力調整機構１４の弁は、外部（例えば、後述の制御装置２５）からの信号により開閉制御されるものとしてもよい。また圧力調整機構１４は、枠部材１１の内側のエアーを外側に排出する排出用フィルタで構成してもよい。この排出用フィルタは、供給用フィルタ１３よりもエアーの単位時間当たりの通過量が小さいものであることが好ましい。例えば、排出用フィルタの目を、供給用フィルタ１３の目よりも細かくする。
【００３０】
これらのようにペリクル１０が供給用フィルタ１３及び圧力調整機構１４を有するので、枠部材１１の内側をクリーンエアーで満たすことができるとともに、枠部材１１の内側の気圧を外側の気圧よりも一定値だけ高くすることができる。したがって、ペリクル１０をレチクル１に装着しようとするときからペリクル１０をレチクル１に装着したときまで、ペリクル１０における枠部材１１の内側に異物が侵入することを良好に回避することができる。
【００３１】
次に、ペリクル１０をレチクル１に装着するときに用いられるペリクル装着装置２０について説明する。ペリクル装着装置２０は、ペリクル取付治具２１と、クリーンエアー送出チューブ２２と、圧力センサ２３とクリーンエアー送出装置２４と、制御装置２５とで構成されている。
【００３２】
ペリクル取付治具２１は、ペリクル１０の枠部材１１が取り付けられる取付台２１ａと、送出口２１ｂとを備えている。送出口２１ｂは、クリーンエアー送出チューブ２２の出口と接続されており、ペリクル１０の枠部材１１が取付台２１ａに取り付けられたときに、ペリクル１０の供給用フィルタ１３とクリーンエアー送出チューブ２２の出口とを接続する部材である。
【００３３】
クリーンエア送出装置２４は、クリーンエアーをクリーンエアー送出チューブ２２に送出する。圧力センサ２３は、クリーンエアー送出チューブ２２内の気圧を検出する。制御装置２５は、圧力センサ２３の検出値などに基づいてクリーンエアー送出装置２４の動作を制御するとともに、ペリクル装着装置２０全体の動作を制御する。また、制御装置２５は、ペリクル１０の圧力調整機構１４の動作を制御することもできる。
【００３４】
このような構成により、クリーンエア送出装置２４から送出されたクリーンエアーは、クリーンエアー送出チューブ２２に送られ、クリーンエアー送出チューブ２２から送出口２１ｂを経て、取付台２１ａに取り付けられたペリクル１０の供給用フィルタ１３を通り、ペリクル１０の枠部材１１の内側に送出される。ここで、制御装置２５は、クリーンエア送出装置２４の送風量又はペリクル１０の圧力調整機構１４の動作を制御して、ペリクル１０の枠部材１１内側の気圧を調整する。
【００３５】
例えば、圧力センサ２３の検出値が所定の設定値以上になった場合、制御装置２５はクリーンエアー送出装置２４からのクリーンエアーの送出を停止させる。また、制御装置２５はクリーンエアー送出装置２４からのクリーンエアーの送風量（流量）を任意に可変設定することができる。
【００３６】
ところで、図１に示す構成ではレチクル１の片側にペリクル１０を装着する形態について示しているが、本発明はレチクル１の両側にペリクル１０を装着する形態に適用することもできる。レチクル１の両側にペリクル１０を装着する形態では、図１に示すペリクル１０及びペリクル装着装置２０がレチクル１の両側（左右）に存在する構成とすればよい。ここで、制御装置２５及びクリーンエアー送出装置２４は、２系統（レチクル１の左右の構成）を独立して扱えるものとすれば、それぞれ１台の装置で構成してもよく、装置の小型化が可能となる。
【００３７】
次に、上記構成のペリクル１０及びペリクル装着装置２０を用いた本実施形態に係るペリクリ装着方法について、図２から図４を参照して説明する。図２は、本発明の実施形態に係る第１のペリクル装着方法を示すフローチャートである。先ず、制御装置２５において圧力センサ２３などのしきい値（圧力Ｐ０、圧力Ｐ１、圧力Ｐ２）を設定する（ステップＳ１）。
【００３８】
ここで、圧力Ｐ０は、ペリクル１０をレチクル１に圧着する時の枠部材１１の内側における最低圧力の設定値である。すなわち、ペリクル１０をレチクル１に圧着する時に、枠部材１１の内側の気圧が圧力Ｐ０よりも下がらないように、制御装置２５がクリーンエアー送出装置２４などを制御する。圧力Ｐ１は、ペリクル１０の圧力調整機構１４が機能を開始する枠部材１１の内側圧力の設定値である。圧力Ｐ２は、圧力センサ２３の検出値についての設定値である。そして、例えば圧力Ｐ１は、圧力Ｐ０よりも大きく、かつ、圧力Ｐ２以下の値となるように設定する。
【００３９】
次いで、クリーンエアー送出装置２４から送出するクリーンエアー２４の流量について、制御装置２５において設定する（ステップＳ２）。
また、ペリクル１０をレチクル１に圧着するときの圧力及びその圧着時間について設定する（ステップＳ３）。
すると、制御装置２５は、クリーンエアー送出装置２４を制御してクリーンエアーを送出させる（ステップＳ４）。
【００４０】
これにより、クリーンエアー送出チューブ２２が取り付けられたペリクル取付治具２１の送出口２１ｂからは、上記ステップＳ２で設定された流量のクリーンエアーが吹き出される。この送出口２１ｂからのクリーンエアーの吹き出しにより、ペリクル取付治具２１におけるペリクル１０との接触部に異物が付着することが回避される。このとき、送出口２１ｂから吹き出されるクリーンエアーはほとんど障害物がない無負荷状態なので、圧力センサ２３はほとんど圧力を検出していない。
【００４１】
次いで、ペリクル１０をペリクル装着装置２０のペリクル取付治具２１にセットする。このセットは例えば手作業で行う。このセットにより、ペリクル取付治具２１の送出口２１ｂはペリクル１０の供給用フィルタ１３と一致するように配置されている。そこで、そのセットにより、ペリクル１０の枠部材１１の内側には、ペリクル取付治具２１の送出口２１ｂ及び供給用フィルタ１３を通ったクリーンエアーが吹き出す。
【００４２】
次いで、ペリクル１０の枠部材１１における一方面１５に予め設けられている粘着剤（接着剤）の保護シートを剥がす。この剥がす作業は、例えば手作業で行う。この剥がす作業により、異物が発生したとしても、上記枠部材１１の内側へのクリーンエアーの吹き出しにより、ペリクル１０における枠部材１１の内側に異物が付着することが回避される。
【００４３】
次いで、ペリクル１０をペリクル取付治具２１ごとレチクル１に押し当て、ペリクル１０を圧着する（ステップＳ５）。
この圧着時の圧力及び圧着時間は、上記ステップＳ３で設定されている値であり、制御装置２５で管理及び制御できる値であるが人手で管理及び制御してもよい。そこで、ペリクル１０についての圧着時間を管理する（ステップＳ６）。
【００４４】
ペリクル１０をレチクル１に圧着すると、供給用フィルタ１３から枠部材１１の内側に吹き出されるクリーンエアーが枠部材１１、膜部材１２及びレチクル１の回路パターン面などで囲まれ圧力調整機構１４のみから排出される。そこで、枠部材１１の内側の気圧が上昇する。
そこで、枠部材１１の内側の気圧が上記圧力Ｐ１以上になったか検出する（ステップＳ７）。
この圧力Ｐ１の検出はペリクル１０の圧力調整機構１４によって行うことができる。なお、他の方法により圧力Ｐ１を検出してもよい。例えば、圧力センサ２３で圧力Ｐ１を検出してもよい。
【００４５】
そして、枠部材１１の内側の気圧が圧力Ｐ１以上になった場合は、ペリクル１０の圧力調整機構１４をなす弁（圧力調整弁）が開くことにより、クリーンエアーが枠部材１１の内側から排出される（ステップＳ８）。
これにより、枠部材１１の内側の気圧が高くなりすぎて膜部材１２が破損することなどを回避することができる。
【００４６】
次いで、枠部材１１の内側の気圧が上記圧力Ｐ２以上になったか検出する（ステップＳ９）。
この圧力Ｐ２の検出は圧力センサ２３により行うことができる。なお、圧力Ｐ２の検出は他の方法によって行ってもよく、例えばペリクル１０の圧力調整機構１４によって行ってもよい。
【００４７】
そして枠部材１１の内側の気圧がさらに上昇して圧力Ｐ２以上になった場合は、制御装置２５はクリーンエアー送出装置２４を制御してクリーンエアーの送出を停止させるか又はクリーンエアーの送風量を低減させる（ステップＳ１０）。
これにより、枠部材１１の内側の気圧が高くなりすぎて膜部材１２が破損することを、より効果的に回避することができる。
また、枠部材１１の内側の気圧が高くなり膜部材１２が膨らんでも、その膜部材１２が取付治具２１と接触しないように、膜部材１２と取付治具２１との間には所定マージンの距離が設けられている。
【００４８】
次いで、枠部材１１の内側の気圧が上記圧力Ｐ０以下になったか検出する（ステップＳ１１）。
この圧力Ｐ０の検出は圧力センサ２３により行うことができる。なお、圧力Ｐ０の検出は他の方法によって行ってもよく、例えばペリクル１０の圧力調整機構１４によって行ってもよい。
【００４９】
そして枠部材１１の内側の気圧が圧力Ｐ０以上になった場合は、制御装置２５はクリーンエアー送出装置２４を制御してクリーンエアーの送出を再開させるか又はクリーンエアーの送風量を増加させる（ステップＳ１２）。
これにより、圧力調整機構１４の弁が開いた時などに過剰にクリーンエアーが排出されて枠部材１１の内側の気圧が所望値よりも低下することを回避することができる。すなわち、枠部材１１の内側の気圧が所望値よりも低下して、その枠部材１１の内側に異物が侵入することを回避することができる。
【００５０】
上記ステップＳ７，Ｓ９，Ｓ１１でＮｏの場合は、ステップＳ６に戻り上記ステップＳ６〜Ｓ１２の処理を繰り返す。
そして、ステップＳ６においてペリクル１０をレチクル１に圧着する時間が所定の圧着時間を経過したと判断された場合、ペリクル取付治具２１はペリクル１０から離れる。この動作は制御装置２５によって行われるものとしてもよく、人手で行うものとしてもよい。この時、ペリクル１０はレチクル１に装着された状態となっている。また、この時、ペリクル１０の供給用フィルタ１３はペリクル取付治具２１の送出口２１ｂから開放され、枠部材１１の内側に入りすぎたクリーンエアーは供給用フィルタ１３又は圧力調整機構１４を介して外側に排出され膜部材１２の膨れもなくなる（ステップＳ１３）。
【００５１】
以上により、ペリクル１０をレチクル１に装着する処理が完了する。
これらの装着処理においては、ペリクル１０の内側（枠部材１１の内側）にクリーンエアーを吹き付けるか、又はペリクル１０の内側をクリーンエアーにより所定の気圧（外側より高い気圧）に保つことができる。
したがって、本実施形態によれば、ペリクル１０をレチクル１に装着するとき及びその装着後に、ペリクル１０の内側に異物が侵入することなどを回避することができる。
【００５２】
また、本実施形態によれば、ペリクル１０をレチクル１に装着した後においては、ペリクル１０の内側（枠部材１１、膜部材１２及びレチクル１の回路パターン面で囲まれた空間、以下同じ）と外側とが供給用フィルタ１３（あるいは圧力調整機構１４によっても）によって気圧がほぼ同一となる。これにより、ペリクル１０を装着したレチクル１を飛行機などで搬送しても、ペリクル１０の内外での気圧差による膜部材１２の破損などを回避することもできる。
【００５３】
また、上記ステップＳ１３では、ペリクル取付治具２１がペリクル１０から離れたときに、ペリクル１０の内側のクリーンエアーが供給用フィルタ１３又は圧力調整機構１４から排出されることとした。このようなクリーンエアーの排出は、ペリクル１０をレチクル１に圧着したときであって、クリーンエアー送出装置２５からのクリーンエアーの送出が停止されたときに、ペリクル１０の内側のクリーンエアーをクリーンエアー送出チューブ２２内で逆流させることで行ってもよい。
【００５４】
次に、本発明の実施形態に係る第２のペリクル装着方法について説明する。図３は本発明の実施形態に係る第２のペリクル装着方法を示すフローチャートである。
第２のペリクル装着方法におけるステップＳ２１〜Ｓ３０は、上記第１のペリクル装着方法のステップＳ１〜Ｓ１０に対応するものである。ただし、ステップＳ２１では、圧力Ｐ０の設定は行っていない。
【００５５】
そして、ステップＳ２２〜Ｓ２７は、第１のペリクル装着方法のステップＳ２〜Ｓ７の処理と同一である。
ステップＳ２８は、第１のペリクル装着方法のステップＳ８と異なり、ペリクル１０の圧力調整機構１４をなす弁とフィルタ（排出用フィルタ）により、枠部材１１の内側からクリーンエアーを排出して枠部材１１の内側の気圧を調整する。この排出用フィルタの目は、供給用フィルタ１３の目よりも細かいものとなっている。このステップＳ２８におけるクリーンエアーの排出は、上記弁を用いずに排出用フィルタのみで行ってもよい。
【００５６】
ペリクル１０の圧力調整機構１４が機能する圧力Ｐ０は、
Ｐ０＝（Ｐ１−Ｐｅ）
という関係を満たす値であることが好ましい。ここでＰｅは環境圧力（枠部材１１の外側の気圧）である。
枠部材１１の内側の気圧が上記圧力Ｐ０以上になったときは、ペリクル１０の圧力調整機構１４をなす排出用フィルタからクリーンエアーが排出されるように設定されていることが好ましい。
【００５７】
このように、枠部材１１の内側のクリーンエアーは弁と排出用フィルタを通って又は排出用フィルタのみを通って外側に抜けるので、一気にクリーンエアーが抜けて枠部材１１の内側気圧が上記圧力Ｐ０以下まで低下することが回避される。そこで、第２のペリクル装着方法では、クリーンエアー送出装置２４によるクリーンエアーの送出を再開させるなどのステップＳ１１，Ｓ１２の処理が不要となる。
【００５８】
ステップＳ３１は、第１のペリクル装着方法のステップＳ１３の処理と同一である。
これらにより、第２のペリクル装着方法によれば、圧力Ｐ０の設定が不要となるので、ペリクル１０及びペリクル装着装置２０をより簡素な構成とすることができ、ペリクル１０の内側に異物が侵入することを良好に回避することができる。
【００５９】
次に、本発明の実施形態に係る第３のペリクル装着方法について説明する。図４は本発明の実施形態に係る第３のペリクル装着方法を示すフローチャートである。
第３のペリクル装着方法におけるステップＳ４１〜Ｓ５１は、上記第２のペリクル装着方法のステップＳ２１〜Ｓ３１に対応するものである。第３のペリクル装着方法と第２のペリクル装着方法との相違点はステップＳ４８の処理である。
【００６０】
ステップＳ４８は、第２のペリクル装着方法のステップＳ２８と異なり、ペリクル１０の圧力調整機構１４をなす弁（圧力調整弁）により、枠部材１１の内側からクリーンエアーを排出して枠部材１１の内側の気圧を調整する。
第３のペリクル装着方法によれば、簡便に枠部材１１の内側の気圧を一定値以上に保つことができ、ペリクル１０及びペリクル装着装置２０を簡素な構成としながら、ペリクル１０の内側に異物が侵入することを良好に回避することができる。
【００６１】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、レチクルに異物が付着することを良好に回避することができ、ペリクル及びペリクル装着装置について構造を簡素にすることができ製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るペリクル装着装置の概念斜視図である。
【図２】同実施形態の第１ペリクル装着方法のフローチャートである。
【図３】同実施形態の第２ペリクル装着方法のフローチャートである。
【図４】同実施形態の第３ペリクル装着方法のフローチャートである。
【符号の説明】
１…レチクル、１０…ペリクル、１１…枠部材、１２…膜部材、１３…供給用フィルタ、１４…圧力調整機構、２０…ペリクル装着装置、２１…ペリクル取付治具、２２…クリーンエアー送出チューブ、２３…圧力センサ、２４…クリーンエアー送出装置、２５…制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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