(57)【要約】【課題】イオン交換装置などの冷却水の不純物処理装置へ高圧が作用するのを回避することである。【解決手段】ポンプ（22）により循環される冷却水である純水によって被冷却物（24）を冷却する冷却回路（20）と、ポンプ（22）によって送り出された純水の一部が分流してイオン交換装置（32）などの不純物処理装置で処理される各種処理回路（30）とを備えている。各種処理回路（30）には、イオン交換装置（32）などの上流に電磁弁（37）が設けられている。そして、被冷却物（24）の上流に設けられた流量計（23）の検出値が所定値未満の場合、被冷却物（24）への純水の流入圧が所定の高圧に達したと判断し、各電磁弁（37）を閉じる切換部（51）を備えている。【選択図】  図１
2005351530.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ（22）と冷却熱交換器（25）とを備えて冷却水が流れる冷却回路（20）と、
冷却水のイオン交換装置（32）を有し、上記冷却回路（20）のポンプ（22）によって送り出されて被冷却物へ向かって流れる冷却水の一部が分岐して流れる処理回路（30）とを備えた冷却装置であって、
上記処理回路（30）は、イオン交換装置（32）へ向かう冷却水の流路を開閉可能な流路開閉手段（37）を備え、
被冷却物への冷却水の流入圧が所定の高圧になると、イオン交換装置（32）への冷却水の流路を閉状態とするように流路開閉手段（37）を切り換える切換手段（51）を備えている
ことを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
請求項１において、
上記処理回路（30）は、イオン交換装置（32）をバイパスするバイパス通路（3a）を備え、
上記流路開閉手段（37）は、バイパス通路（3a）へ向かう冷却水の流路を開閉可能に構成され、
上記切換手段（51）は、被冷却物への冷却水の流入圧が所定の高圧になると、イオン交換装置（32）への冷却水の流路を閉状態とし且つバイパス通路（3a）への冷却水の流路を開状態とするように流路開閉手段（37）を切り換える
ことを特徴とする冷却装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
上記切換手段（51）は、被冷却物の上流に設けられた冷却水の流量計（23）の検出値が入力され、該入力値に基づいて被冷却物への冷却水の流入圧を検出する
ことを特徴とする冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却装置に関し、特に、イオン交換装置などの純水の不純物処理装置についての耐圧対策に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、純水などの冷却水を循環させて半導体装置などの被冷却物を冷却する冷却装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１の冷却装置は、循環ポンプ、熱交換器、被冷却物である半導体装置が順次接続されてなる閉回路を備えている。この閉回路では、循環ポンプによって送り出された冷却水が熱交換器で冷却される。この冷却された冷却水は、半導体装置へ供給されて該半導体装置を冷却し、再び循環ポンプに戻る。
【０００４】
ところで、上記冷却装置には、冷却水をイオン交換処理してその導電度を維持するためのイオン交換器が設けられている。具体的に、このイオン交換器は、熱交換器の下流側の配管から分岐して循環ポンプの戻り側の配管に接続される分岐配管に配設されている。また、上記分岐配管には、イオン交換器の上流に流量調整バルブが設けられている。そして、この冷却装置では、熱交換器で冷却された冷却水の一部を常時イオン交換器へ供給すると共に残りを半導体装置へ供給し、冷却水の導電度を維持している。
【特許文献１】特開平１０−３３９５３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来の冷却装置においては、例えばメンテナンスした後の運転の際に被冷却物側のバルブの開け忘れなどにより被冷却物の冷却水が不通状態となった場合、その状態でポンプを起動すると、ポンプの出口から被冷却物までの冷却水の圧力が著しく高くなり、その圧力がイオン交換装置へ作用するという危険性がある。そのため、通常、イオン交換器は耐圧性の高いものを用いなくてはならない。この結果、イオン交換器が高価となり、装置全体がコスト高になるという問題があった。
【０００６】
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被冷却物への冷却水の流入圧が高圧になると、イオン交換装置などの不純物処理装置への冷却水の流通を遮断し、耐圧性の比較的低い機器を使用可能とすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
具体的に、第１の発明は、ポンプ（22）と冷却熱交換器（25）とを備えて冷却水が流れる冷却回路（20）と、冷却水のイオン交換装置（32）を有し、上記冷却回路（20）のポンプ（22）によって送り出されて被冷却物へ向かって流れる冷却水の一部が分岐して流れる処理回路（30）とを備えた冷却装置を前提としている。そして、上記処理回路（30）は、イオン交換装置（32）へ向かう冷却水の流路を開閉可能な流路開閉手段（37）を備えている。さらに、この冷却装置は、被冷却物への冷却水の流入圧が所定の高圧になると、イオン交換装置（32）への冷却水の流路を閉状態とするように流路開閉手段（37）を切り換える切換手段（51）を備えている。
【０００８】
上記の発明では、ポンプ（22）によって送り出された冷却水の一部が分岐して処理回路（30）に流れ、残りが半導体装置などの被冷却物へ流れて被冷却物が冷却水によって冷却される。上記処理回路（30）に流れた冷却水は、イオン交換装置（32）でイオン交換されて冷却水の導電率が調整される。
【０００９】
ここで、例えば、被冷却物側の冷却水の開閉弁の開け忘れなどによって被冷却物側の冷却水の流通が不通状態またはそれに近い状態となった場合、ポンプ（22）の出口側から被冷却物までの通路内の圧力、すなわち被冷却物への冷却水の流入圧が高くなる。ところが、その圧力が所定の高圧になると、切換手段（51）によってイオン交換装置（32）への冷却水の流路を閉じるように流路開閉手段（37）が切り換わるので、イオン交換装置（32）には冷却水が流れなくなる。これにより、イオン交換装置（32）へ圧力が作用することはないので、所定の高圧を比較的低く設定すれば、耐圧性能の高いイオン交換装置（32）を用いる必要がなくなり、耐圧性能の低いイオン交換装置（32）が使用可能となる。
【００１０】
また、第２の発明は、上記第１の発明において、上記処理回路（30）がイオン交換装置（32）をバイパスするバイパス通路（3a）を備え、上記流路開閉手段（37）がバイパス通路（3a）へ向かう冷却水の流路を開閉可能に構成されている。そして、上記切換手段（51）は、被冷却物への冷却水の流入圧が所定の高圧になると、イオン交換装置（32）への冷却水の流路を閉状態とし且つバイパス通路（3a）への冷却水の流路を開状態とするように流路開閉手段（37）を切り換える。
【００１１】
上記の発明では、被冷却物への冷却水の流入圧が所定の高圧になると、切換手段（51）により、処理回路（30）に分岐して流れた冷却水がイオン交換装置（32）へは流れずにバイパス通路（3a）へ流れるように流路開閉手段（37）が切り換わる。このように、処理回路（30）に流れた冷却水を留めることなくバイパス通路（3a）を通じて流すので、被冷却物の流入側の圧力上昇が抑制される。したがって、上記ポンプ（22）や被冷却物に対する圧力作用が緩和されるので、これらポンプ（22）などが保護される。
【００１２】
また、第３の発明は、上記第１または２の発明において、上記切換手段（51）は、被冷却物の上流に設けられた冷却水の流量計（23）の検出値が入力され、該入力値に基づいて被冷却物への冷却水の流入圧を検出する。
【００１３】
上記の発明では、流量計（23）が被冷却物への冷却水の流入流量を検出することになる。上記切換手段（51）は、例えば入力された流量計（23）の検出流量が所定値未満であると、被冷却物への冷却水の流入圧が所定の高圧であると判定する。つまり、上記被冷却物の冷却水の流通が不通状態に近くなるに従って、被冷却物への冷却水の流入流量が減少するので、その流入流量に基づくことによって確実に所定の高圧が検知される。したがって、上記イオン交換装置（32）へ高圧の冷却水が流れる前に、確実にイオン交換装置（32）への冷却水の流路が閉じられる。
【発明の効果】
【００１４】
したがって、第１の発明によれば、被冷却物へ向かう冷却水の一部が流れてイオン交換装置（32）で処理される処理回路（30）において、被冷却物への冷却水の流入圧が所定の高圧になると、イオン交換装置（32）への冷却水の流路を閉状態とするように流路開閉手段を切り換えるようにしたので、高圧の冷却水がイオン交換装置（32）へ流入するのを防止することができる。これにより、イオン交換装置（32）などへ高圧が作用することはないので、耐圧性の比較的低いイオン交換装置（32）を用いることができる。この結果、装置のコストダウンを図ることができる。
【００１５】
また、第２の発明によれば、処理回路（30）において、イオン交換装置（32）をバイパスするバイパス通路（3a）を設け、被冷却物への冷却水の流入圧が所定の高圧になると、イオン交換装置（32）への冷却水の流路を閉状態とし且つバイパス通路（3a）への冷却水の流路を開状態とするように流路開閉手段を切り換えるようにしたので、処理回路（30）に流れた冷却水がイオン交換装置（32）をバイパスして流れる。つまり、処理回路（30）に流れた冷却水がイオン交換装置（32）へ流れるのを防止すると共に、該冷却水をそのまま処理回路（30）内に留めることなく循環させることができる。これにより、被冷却物への流入圧の上昇を緩和させることができる。この結果、ポンプ（22）や被冷却物を高圧から保護することができる。
【００１６】
また、第３の発明によれば、被冷却物への冷却水の流入流量に基づいて被冷却物への冷却水の流入圧を検出するようにしたので、確実に被冷却物における冷却水の不通状態を検知し、それによる冷却水の圧力上昇を検知することができる。これにより、イオン交換装置（32）への高圧の作用を確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１８】
《発明の実施形態１》
図１に示すように、本実施形態の冷却装置（10）は、冷却水として冷却された純水を半導体製造装置などの被冷却物（24）へ供給し、この被冷却物（24）を所定温度に冷却するためのものである。上記冷却装置（10）は、利用側系統（11）と熱源側系統（12）を備えている。
【００１９】
上記利用側系統（11）は、純水が循環して被冷却物（24）を冷却する冷却回路（20）を備えている。この冷却回路（20）は、タンク（21）、ポンプ（22）、被冷却物（24）および冷却熱交換器（25）が順に接続されてなる閉回路に構成されている。上記タンク（21）には、貯留された純水を必要に応じて加熱して温度調整するためのヒータ（26）が設けられている。上記冷却回路（20）では、純水がポンプ（22）によってタンク（21）、ポンプ（22）、被冷却物（24）および冷却熱交換器（25）を順に通り、再びタンク（21）に戻る循環を繰り返すように構成されている。なお、本実施形態では、上記ヒータ（26）をタンク（21）に設けるようにしたが、これに代えて、ヒータ（26）を冷却熱交換器（25）とタンク（21）との間に設けるようにしてもよい。
【００２０】
上記熱源側系統（12）は、冷却熱交換器（25）に接続されている。この熱源側系統（12）は、冷却水を冷却熱交換器（25）へ供給する熱源回路（40）により構成されている。上記冷却熱交換器（25）は、冷却回路（20）の純水が熱源回路（40）の冷却水と熱交換して所定温度に冷却される冷却器として機能するものである。そして、この冷却熱交換器（25）で冷却された純水は、被冷却物（24）へ供給され、該被冷却物（24）を所定温度に冷却するようになっている。なお、上記冷却熱交換器（25）は、例えばプレート型熱交換器により構成されている。
【００２１】
上記冷却回路（20）は、タンク（21）から被冷却物（24）へ純水が流れる送り側配管（2a）と、被冷却物（24）からタンク（21）へ純水が流れる戻り側配管（2b）とを備えている。そして、上記送り側配管（2a）には、ポンプ（22）と被冷却物（24）との間に流量計（23）が設けられている。この流量計（23）は、被冷却物（24）へ流入する純水の流量を検出するためのものである。
【００２２】
また、上記利用側系統（11）は、純水の不純物を処理するための各種３つの処理回路（30）を備えている。
【００２３】
先ず、第１の処理回路（30）は、イオン交換装置（32）を有するイオン交換通路（31）を備えている。このイオン交換通路（31）は、入口端である一端が冷却回路（20）の送り側配管（2a）におけるポンプ（22）と流量計（23）との間に接続され、出口端である他端がタンク（21）に接続されている。そして、このイオン交換通路（31）には、イオン交換装置（32）の上流に電磁弁（37）が設けられている。上記第１の処理回路（30）では、ポンプ（22）によって送り出された純水の一部が分岐して流れ、イオン交換装置（32）を流通してタンク（21）に戻る循環が行われる。上記イオン交換装置（32）は、流入した純水から導電性イオンを除去（イオン交換処理）し、純水の導電率を低下させる不純物処理手段に構成されている。
【００２４】
第２の処理回路（30）は、脱気装置（34）を有する脱気通路（33）を備えている。この脱気通路（33）は、入口端である一端が第１の処理回路（30）のイオン交換通路（31）における電磁弁（37）の上流に接続され、出口端である他端がタンク（21）に接続されている。そして、この脱気通路（33）には、脱気装置（34）の上流に電磁弁（37）が設けられている。上記第２の処理回路（30）では、第１の処理回路（30）のイオン交換通路（31）を流れる純水の一部が分岐して流れ、脱気装置（34）を流通してタンク（21）に戻る循環が行われる。上記脱気装置（34）は、流入した純水から酸素や窒素などの溶存ガスを除去する不純物処理手段に構成されている。
【００２５】
第３の処理回路（30）は、ＵＶランプ（36）を有するＵＶ通路（35）を備えている。このＵＶ通路（35）は、入口端である一端が冷却回路（20）の送り側配管（2a）におけるポンプ（22）とイオン交換通路（31）の接続点との間に接続され、出口端である他端がＵＶランプ（36）に接続されている。このＵＶランプ（36）は、冷却回路（20）の戻り側配管（2b）における冷却熱交換器（25）の上流側にも接続されている。そして、上記ＵＶ通路（35）には、電磁弁（37）が設けられている。上記第２の処理回路（30）では、ポンプ（22）によって送り出された純水の一部が分岐して流れ、ＵＶランプ（36）を流通して冷却回路（20）の戻り側配管（2b）からタンク（21）に戻る循環が行われる。上記ＵＶランプ（36）は、流入した純水からバクテリアやウイルスなどを除去し、純水を殺菌する不純物処理手段に構成されている。
【００２６】
なお、上記第３の処理回路（30）では、ＵＶ通路（35）より流れた純水と冷却回路（20）の被冷却物（24）より流れた純水とがＵＶランプ（36）で合流して殺菌されるように構成されている。これにより、冷却回路（20）の被冷却物（24）の冷却により加熱された純水がＵＶランプ（36）における殺菌処理によってさらに加熱されるが、その純水にポンプ（22）より送り出された低温の純水を混合させることにより、純水の温度上昇が緩和される。
【００２７】
上記各処理回路（30）の電磁弁（37）は、ＯＮ／ＯＦＦすることにより各通路（31,33,35）が開状態と閉状態とに切り換わる、いわゆる二方弁型の開閉弁である。つまり、上記各電磁弁（37）は、イオン交換装置（32）、脱気装置（34）およびＵＶランプ（36）へ向かう純水の流路を開閉可能な流路開閉手段を構成している。
【００２８】
この冷却装置（10）は、コントローラ（50）を備えている。このコントローラ（50）には、各処理回路（30）の電磁弁（37）を切換制御する切換部（51）が設けられている。
【００２９】
上記切換部（51）は、本発明の特徴として、冷却回路（20）の流量計（23）の検出値が入力され、該入力値に基づいて被冷却物（24）への純水の流入圧を検出するように構成されている。具体的に、上記切換部（51）は、流量計（23）の検出値が設定値以上か否かを判定し、設定値以上であると判定した場合、被冷却物（24）への流入圧が所定の高圧には達していないと判断し、設定値未満であると判定した場合、被冷却物（24）への流入圧が所定の高圧に達したと判断する。これは、被冷却物（24）またはその下流以降で純水の流通が不通状態に近くなるに従って、被冷却物（24）への純水の流入流量が減少する一方、被冷却物（24）への流入圧が増大するという関係に基づくものである。
【００３０】
そして、上記切換部（51）は、流量計（23）の検出値が設定値以上であると判定した場合、各電磁弁（37）を開状態に切り換え、設定値未満であると判定した場合、各電磁弁（37）を閉状態に切り換えるように構成されている。すなわち、上記切換部（51）は、被冷却物（24）への純水の流入圧が所定の高圧に達すると、イオン交換装置（32）などの不純物処理手段へ向かう純水の流路を閉状態とするように電磁弁（37）を切り換える切換手段を構成している。
【００３１】
これにより、例えば、被冷却物（24）における純水の流通が不通状態になり、ポンプ（22）より上流側の送り側配管（2a）の純水が高圧となった場合、その純水がイオン交換装置（32）などの不純物処理手段へ流れるのを防止することができる。したがって、上記イオン交換装置（32）などへ高圧が作用することはない。この結果、耐圧性の高いイオン交換装置（32）などを用いる必要がなくなる。
【００３２】
−運転動作−
次に、本実施形態に係る冷却装置（10）の運転動作について説明する。
【００３３】
この冷却装置（10）では、循環ポンプを起動すると、タンク（21）の純水がポンプ（22）によって送り出される。この純水は、一部がイオン交換通路（31）およびＵＶ通路（35）へ分岐して流れ、残りが被冷却物（24）へ流れて該被冷却物（24）を所定温度に冷却する。そして、この被冷却物（24）を流れた純水は、ＵＶランプ（36）でＵＶ通路（35）の純水と合流して冷却熱交換器（25）へ流れる。ここで、ＵＶランプ（36）では合流した純水の温度上昇が緩和されるので、冷却熱交換器（25）へは温度がそれ程高くない純水が流れることになる。これにより、冷却回路（20）を循環する純水の温度変動を抑制できる。この冷却熱交換器（25）へ流れた純水は、冷却水と熱交換して所定温度に冷却された後、タンク（21）へ戻り、この循環を繰り返す。
【００３４】
一方、上記イオン交換通路（31）へ分岐して流れた純水は、一部が脱気通路（33）へ分岐して流れ、残りがイオン交換装置（32）を通過してタンク（21）に戻る。上記脱気装置（34）へ流れた純水は、脱気装置（34）を通過してタンク（21）に戻る。
【００３５】
上記運転の際には、各処理回路（30）の電磁弁（37）の制御がコントローラ（50）の切換部（51）によって行われる。この制御について、図２を参照しながら説明する。
【００３６】
先ず、ステップＳＴ１において、ポンプ（22）を起動させると、ステップＳＴ２に移行する。このステップＳＴ２では、切換部（51）が流量計（23）の検出値が設定値以上か否かを判定し、設定値以上であると判定すると、ステップＳＴ３に移行する。このステップＳＴ３では、切換部（51）により、各処理回路（30）の電磁弁（37）が開状態に切り換えられる。この場合、ポンプ（22）によって送り出された純水の一部が各処理回路（30）のイオン交換装置（32）などの不純物処理手段へ流れて不純物が処理される。
【００３７】
上記ステップＳＴ２において、流量計（23）の検出値が所定値未満であると判定されると、ステップＳＴ４に移行する。このステップＳＴ４では、切換部（51）により、各処理回路（30）の電磁弁（37）が閉状態に切り換えられる。これにより、高圧の純水がイオン交換装置（32）、脱気装置（34）およびＵＶランプ（36）へ流れなくなる。したがって、上記イオン交換装置（32）などへ高圧が作用するのを防止することができる。
【００３８】
−実施形態の効果−
以上のように、本実施形態１によれば、被冷却物（24）へ向かう純水の一部が分岐して流れる各処理回路（30）において、被冷却物（24）への純水の流入圧が所定の高圧になると、電磁弁（37）を閉状態に切り換えるようにしたので、イオン交換装置（32）などへ高圧の純水が流入するのを防止することができる。これにより、イオン交換装置（32）などへ高圧が作用することはないので、耐圧性の高いイオン交換装置（32）を用いる必要がなくなる。この結果、装置のコストダウンを図ることができる。
【００３９】
また、上記被冷却物（24）への純水の流入流量に基づいて電磁弁（37）を制御するようにしたので、確実に被冷却物（24）における純水の不通状態を検知することができる。この結果、イオン交換装置（32）などへの高圧の作用を防止することができる。
【００４０】
《発明の実施形態２》
本実施形態２の冷却装置（10）は、図３に示すように、上記実施形態１における各処理回路（30）がバイパス通路（3a,3b,3c）を備えるようにしたものである。
【００４１】
具体的に、上記各処理回路（30）は、実施形態１で用いたいわゆる二方弁型の電磁弁（37）に代えて、三方弁型の電磁弁（以下、単に「三方弁（39）」という。）を備えている。そして、上記各処理回路（30）は、それぞれイオン交換装置（32）をバイパスする第１バイパス通路（3a）、脱気装置（34）をバイパスする第２バイパス通路（3b）、ＵＶランプ（36）をバイパスする第３バイパス通路（3c）を備えている。
【００４２】
上記第１バイパス通路（3a）は、入口端である一端が三方弁（39）に接続され、出口端である他端がイオン交換通路（31）におけるイオン交換装置（32）の下流に接続されている。上記第２バイパス通路（3b）は、入口端である一端が三方弁（39）に接続され、出口端である他端が脱気通路（33）における脱気装置（34）の下流に接続されている。上記第３バイパス通路（3c）は、入口端である一端が三方弁（39）に接続され、出口端である他端が冷却回路（20）の戻り側配管（2b）におけるタンク（21）と冷却熱交換器（25）との間に接続されている。
【００４３】
上記各三方弁（39）は、ＯＮ／ＯＦＦすることにより、イオン交換装置（32）などの不純物処理手段へ向かう純水の流路を開状態とし且つ各バイパス通路（3a,3b,3c）へ向かう純水の流路を閉状態とする第１状態と、イオン交換装置（32）などの不純物処理手段へ向かう純水の流路を閉状態とし且つ各バイパス通路（3a,3b,3c）へ向かう純水の流路を開状態とする第２状態とに切り換わる。つまり、上記各電磁弁（37）は、イオン交換装置（32）などへの純水の流路を開閉する一方、バイパス通路（3a,3b,3c）への純水の流路を開閉する流路開閉手段を構成している。
【００４４】
上記コントローラ（50）の切換部（51）は、流量計（23）の検出値が設定値以上であると判定した場合、各三方弁（39）を上記第１状態に切り換え、設定値未満であると判定した場合、各三方弁（39）を上記第２状態に切り換えるように構成されている。すなわち、上記切換部（51）は、被冷却物（24）への純水の流入圧が所定の高圧に達すると、イオン交換装置（32）などの不純物処理手段へ向かう純水の流路を閉状態とし且つバイパス通路（3a,3b,3c）へ向かう純水の流路を開状態とするように三方弁（39）を切り換える切換手段を構成している。
【００４５】
本実施形態の場合、切換部（51）が流量計（23）の検出値が設定値以上であると判定すると、各三方弁（39）が第１状態に切り換えられ、各処理回路（30）に流れた純水がイオン交換装置（32）などの不純物処理手段へ流れて不純物が処理される。
【００４６】
一方、上記切換部（51）が流量計（23）の検出値が設定値未満であると判定すると、各三方弁（39）が第２状態に切り換えられる。その場合、上記各処理回路（30）に流れた純水は、各不純物処理手段へは流れずに、バイパス通路（3a,3b,3c）へ流れてタンク（21）に戻る。このように、各処理回路（30）に流れた純水がそのまま留まることなくタンク（21）へ流れるので、被冷却物（24）への流入圧の上昇を緩和させることができる。この結果、ポンプ（22）や被冷却物（24）を高圧から保護することができる。その他の構成、作用および効果は、実施形態１と同様である。
【００４７】
《発明の実施形態３》
本実施形態３の冷却装置（10）は、図４に示すように、上記実施形態２が各処理回路（30）の流路開閉手段として三方弁（39）を１つ用いたのに代えて、いわゆる二方弁型の電磁弁（37,38）を２つ用いるようにしたものである。
【００４８】
上記各処理回路（30）は、それぞれ第１電磁弁（36）と第２電磁弁（37）を備えている。ここで、第１〜第３の処理回路（30）は不純物処理手段が異なるだけでその他の構成は同じであるため、代表して第１の処理回路（30）について説明する。上記第１電磁弁（36）は、イオン交換通路（31）における第１バイパス通路（3a）の入口側の分岐点とイオン交換装置（32）との間に設けられ、上記第２電磁弁（37）は、第１バイパス通路（3a）に設けられている。上記第１電磁弁（37）および第２電磁弁（38）は、ＯＮ／ＯＦＦすることにより、イオン交換装置（32）への純水の流路を開閉し、バイパス通路（3a,3b,3c）への純水の流路を開閉する流路開閉手段を構成している。
【００４９】
上記コントローラ（50）の切換部（51）は、流量計（23）の検出値が設定値以上であると判定した場合、各第１電磁弁（37）を開状態に切り換え、各第２電磁弁（38）を閉状態に切り換える。また、上記切換部（51）は、流量計（23）の検出値が設定値未満であると判定した場合、各第１電磁弁（37）を閉状態に切り換え、各第２電磁弁（38）を開状態に切り換える。すなわち、上記切換部（51）は、被冷却物（24）への純水の流入圧が所定の高圧に達すると、イオン交換装置（32）などの不純物処理手段へ向かう純水の流路を閉状態とし且つバイパス通路（3a,3b,3c）へ向かう純水の流路を開状態とするように第１電磁弁（37）および第２電磁弁（38）を切り換える切換手段を構成している。その他の構成、作用および効果は、実施形態２と同様である。
【００５０】
《その他の実施形態》
本発明は、上記各実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【００５１】
上記各実施形態では、処理回路（30）の流路開閉手段として開状態と閉状態の２段式に切り換わる電磁弁を用いるようにしたが、開度調整により流量調整可能な例えば電動弁を用いるようにしてもよい。
【００５２】
また、上記各実施形態では、熱源側系統（12）を熱源回路（40）により構成するようにしたが、冷媒が循環して蒸気圧縮式冷凍サイクルを行う冷媒回路により構成するようにしてもよい。その場合、上記冷却熱交換器（25）は、冷媒が冷却回路（20）の純水と熱交換して蒸発し、純水を冷却する蒸発器として機能することになる。
【００５３】
また、上記各実施形態において、流量計（23）により被冷却物（24）への純水の流入圧を検出するようにしたが、これに代えて、圧力センサを用いて純水の流入圧を検出するようにしてもよい。
【００５４】
また、上記各実施形態では、イオン交換通路（31）や脱気通路（33）の出口端、またそれらのバイパス通路（3a,3b）の出口端をタンク（21）に接続するようにしたが、冷却熱交換器（25）の流入側の配管に接続するようにしてもよい。その場合、イオン交換装置（32）などで処理されて温度変動した純水を冷却熱交換器（25）で所定温度に冷却した後に被冷却物（24）へ供給することができる。これにより、被冷却物（24）に対する温度制御を高精度に行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
以上説明したように、本発明は、純水の不純物処理手段を備え、半導体装置などの被冷却物を冷却する冷却装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】実施形態１に係る冷却装置の構成を示す回路図である。
【図２】実施形態１に係る切換部の制御を示すフローチャート図である。
【図３】実施形態２に係る冷却装置の構成を示す回路図である。
【図４】実施形態３に係る冷却装置の構成を示す回路図である。
【符号の説明】
【００５７】
10         冷却装置
20         冷却回路
22         ポンプ
23         流量計
25         冷却熱交換器
30         処理回路
32         イオン交換装置
37         電磁弁（流路開閉手段）
3a         バイパス通路
51         切換部（切換手段）
【図１】
2005351530.tif 000003
【図２】
2005351530.tif 000004
【図３】
2005351530.tif 000005
【図４】
2005351530.tif 000006