(57)【要約】【課題】  各種光源を用いることができしかも精度よく膜厚の測定がなし得る膜厚測定方法および測定装置を提供する。【解決手段】  所定の光源を有する照明手段１と、該照明手段１からの光を被膜に間接照射する間接照明手段２と、被膜を撮像するカラー撮像手段３と、該カラー撮像手段３により撮像されたカラー画像から得られる特定の色情報に基づいて膜厚を算出する制御・演算処理装置５と、該制御・演算処理装置５により算出された膜厚を出力する出力手段４とを備え、被膜を前記光源により照射しながら前記カラー撮像手段３により撮像し、得られたカラー画像に基づいて膜厚を測定するものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被膜を所定の光源により間接照射しながら撮像されたカラー画像から特定の色情報を抽出し、その色情報に基づいて膜厚を測定することを特徴とする膜厚測定方法。
【請求項２】
被膜が形成された基材を所定方向に搬送しながら所定位置に設置された所定の光源により測定対象領域の全幅にわたって照射し、その照射された領域をカラー撮像手段により撮像し、撮像されたカラー画像から特定の色情報を抽出し、その色情報に基づいて膜厚を測定し、測定された膜厚を、膜厚を直接測定する直接測定装置によりスポット的に測定された膜厚により補正することを特徴とする膜厚測定方法。
【請求項３】
被膜が形成されない無被膜部と、該無被膜部に連続している被膜の膜厚が安定しない膜厚不安定部と、該膜厚不安定部に連続している被膜の膜厚が安定している膜厚安定部とを有する基材を所定方向に搬送しながら、前記膜厚不安定部の膜厚を、膜厚を直接測定する直接測定装置により測定するとともに、同膜厚不安定部を所定の光源により間接照射しながら撮像されたカラー画像から特定の色情報を抽出し、前記直接測定装置により測定された膜厚と前記抽出された特定の色情報との相関を求め、前記膜厚安定部の膜厚を同膜厚安定部を撮像して得られたカラー画像から抽出された特定の色情報に基づいて測定することを特徴とする膜厚測定方法。
【請求項４】
前記色情報が特定の色度とされてなることを特徴とする請求項１、２または３記載の膜厚測定方法。
【請求項５】
前記所定の光源が、白色光源、または赤、緑および青の三色光源を所定の時分割で点灯してなる光源とされてなることを特徴とする請求項１、２または３記載の膜厚測定方法。
【請求項６】
所定の光源を有する照明手段と、該照明手段からの光を被膜に間接照射する間接照明手段と、被膜を撮像するカラー撮像手段と、該カラー撮像手段により撮像されたカラー画像から得られる特定の色情報に基づいて膜厚を算出する制御・演算処理装置と、該制御・演算処理装置により算出された膜厚を出力する出力手段とを備えてなることを特徴とする膜厚測定装置。
【請求項７】
カラー画像に基づいて膜厚を測定する色基準膜厚測定部と、膜厚を直接測定する膜厚直接測定部と、前記色基準膜厚測定部により測定された膜厚を前記膜厚直接測定部により測定された膜厚により補正する膜厚補正部と、出力部とを備えてなる膜厚測定装置であって、
前記色基準膜厚測定部が、所定の光源を有する照明手段と、該照明手段により照射された被膜を撮像するカラー撮像手段と、該カラー撮像手段により撮像されたカラー画像から得られる特定の色情報に基づいて膜厚を算出する制御・演算処理装置とを含み、
前記膜厚直接測定部がスポット的に膜厚を測定するようにされてなる
ことを特徴とする膜厚測定装置。
【請求項８】
カラー画像に基づいて膜厚を測定する色基準膜厚測定部と、膜厚を直接測定する膜厚直接測定部と、出力部とを備えてなる、被膜が形成されない無被膜部と、該無被膜部に連続している被膜の膜厚が安定しない膜厚不安定部と、該膜厚不安定部に連続している被膜の膜厚が安定している膜厚安定部とを有する基材の膜厚測定装置であって、
前記色基準膜厚測定部が、所定の光源を有する照明手段と、該照明手段により照射された被膜を撮像するカラー撮像手段と、該カラー撮像手段により撮像されたカラー画像から得られる特定の色情報と前記膜厚直接測定部により測定された測定値との相関を算出し、前記算出された相関関係に基づいて膜厚を算出する制御・演算処理装置とを含み、
前記相関関係が、前記膜厚不安定部における前記膜厚直接測定部の測定値および撮像画像に基づいて算出されてなる
ことを特徴とする膜厚測定装置。
【請求項９】
前記色情報が特定の色度とされてなることを特徴とする請求項６、７または８記載の膜厚測定装置。
【請求項１０】
前記所定の光源が、白色光源、または赤、緑および青の三色光源を所定の時分割で点灯してなる光源とされてなることを特徴とする請求項６、７または８記載の膜厚測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は膜厚測定方法および膜厚測定装置に関する。さらに詳しくは、被膜の膜厚を高精度に測定できる膜厚測定方法および膜厚測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、基材の耐蝕性を向上させるなどの観点から基材表面にメッキなどにより被膜を形成することがなされているが、この膜厚が規定膜厚でなされないと所望の耐蝕性が確保されないことになる。そのため、かかる被膜の膜厚を測定するための方法や装置が種々提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、被膜表面を照射してその照射個所を撮像し、その撮像信号に基づいてＸＹＺ表色系における色度座標値ｘ，ｙまたはＸＹＺ表色系における三刺激値のＸ，Ｙを算出してその色度座標値ｘ，ｙまたは三刺激値のＸ，Ｙに基づいて膜厚を測定をする方法および装置が提案されている。
【０００４】
しかしながら、特許文献１の実施例で示す膜厚測定装置では、測定対象物が金属で表面が鏡面状態の場合に、カメラの写り込みの発生や均一な照明は容易に実現できないことにより、測定対象物の表面色を安定に撮像することが困難なため、精度のよい膜厚測定はなし得ないという問題がある。
【特許文献１】特開２００３−１４７５８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、各種光源を用いることができ、しかも精度よく膜厚の測定がなし得る膜厚測定方法および膜厚測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の膜厚測定方法の第１形態は、被膜を所定の光源により間接照射しながら撮像されたカラー画像から特定の色情報を抽出し、その色情報に基づいて膜厚を測定することを特徴とする。
【０００７】
本発明の膜厚測定方法の第２形態は、被膜が形成された基材を所定方向に搬送しながら所定位置に設置された所定の光源により測定対象領域の全幅にわたって照射し、その照射された領域をカラー撮像手段により撮像し、撮像されたカラー画像から特定の色情報を抽出し、その色情報に基づいて膜厚を測定し、測定された膜厚を、膜厚を直接測定する直接測定装置によりスポット的に測定された膜厚により補正することを特徴とする。
【０００８】
本発明の膜厚測定方法の第３形態は、被膜が形成されない無被膜部と、該無被膜部に連続している被膜の膜厚が安定しない膜厚不安定部と、該膜厚不安定部に連続している被膜の膜厚が安定している膜厚安定部とを有する基材を所定方向に搬送しながら、前記膜厚不安定部の膜厚を、膜厚を直接測定する直接測定装置により測定するとともに、同膜厚不安定部を所定の光源により間接照射しながら撮像されたカラー画像から特定の色情報を抽出し、前記直接測定装置により測定された膜厚と前記抽出された特定の色情報との相関を求め、前記膜厚安定部の膜厚を同膜厚安定部を撮像して得られたカラー画像から抽出された特定の色情報に基づいて測定することを特徴とする。
【０００９】
本発明の膜厚測定方法においては、前記色情報が例えば特定の色度とされ、前記所定の光源が、例えば白色光源、または赤、緑および青の三色光源を所定の時分割で点灯してなる光源とされる。
【００１０】
一方、本発明の膜厚測定装置の第１形態は、所定の光源を有する照明手段と、該照明手段からの光を被膜に間接照射する間接照明手段と、被膜を撮像するカラー撮像手段と、該カラー撮像手段により撮像されたカラー画像から得られる特定の色情報に基づいて膜厚を算出する制御・演算処理装置と、該制御・演算処理装置により算出された膜厚を出力する出力手段とを備えてなることを特徴とする。
【００１１】
本発明の膜厚測定装置の第２形態は、カラー画像に基づいて膜厚を測定する色基準膜厚測定部と、膜厚を直接測定する膜厚直接測定部と、前記色基準膜厚測定部により測定された膜厚を前記膜厚直接測定部により測定された膜厚により補正する膜厚補正部と、出力部と、を備えてなる膜厚測定装置であって、前記色基準膜厚測定部が、所定の光源を有する照明手段と、該照明手段により照射された被膜を撮像するカラー撮像手段と、該カラー撮像手段により撮像されたカラー画像から得られる特定の色情報に基づいて膜厚を算出する制御・演算処理装置とを含み、前記膜厚直接測定部がスポット的に膜厚を測定するようにされてなることを特徴とする。
【００１２】
本発明の膜厚測定装置の第３形態は、カラー画像に基づいて膜厚を測定する色基準膜厚測定部と、膜厚を直接測定する膜厚直接測定部と、出力部とを備えてなる、被膜が形成されない無被膜部と、該無被膜部に連続している被膜の膜厚が安定しない膜厚不安定部と、該膜厚不安定部に連続している被膜の膜厚が安定している膜厚安定部と、を有する基材の膜厚測定装置であって、前記色基準膜厚測定部が、所定の光源を有する照明手段と、該照明手段により照射された被膜を撮像するカラー撮像手段と、該カラー撮像手段により撮像されたカラー画像から得られる特定の色情報と前記膜厚直接測定部により測定された測定値との相関を算出し、前記算出された相関関係に基づいて膜厚を算出する制御・演算処理装置とを含み、前記相関関係が、前記膜厚不安定部における前記膜厚直接測定部の測定値および撮像画像に基づいて算出されてなることを特徴とする。
【００１３】
本発明の膜厚測定装置においては、前記色情報が例えば特定の色度とされ、前記所定の光源が、例えば白色光源、または赤、緑および青の三色光源を所定の時分割で点灯してなる光源とされる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の膜厚測定装置および膜厚測定方法の第１形態によれば、例えば蛍光灯などの光源を用いてメッキなどの膜厚を、安価かつ簡単にしかも精度よく測定することが可能となるという優れた効果が得られる。
【００１５】
また、本発明の膜厚測定装置および膜厚測定方法の第２形態によれば、膜厚測定中に色基準により測定された膜厚が直接膜厚により補正されるので、ロット毎における校正が不要となり生産性が向上するという優れた効果が得られる。
【００１６】
さらに、本発明の膜厚測定装置および膜厚測定方法の第３形態によれば、予め色度などの特定の色情報と膜厚との相関を求めることなく、オンラインでメッキなどの膜厚の測定ができ、作業能率の一層の向上および生産性の一層の向上が図られるという優れた効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【００１８】
実施形態１
本発明の実施形態１の膜厚測定方法に適用される膜厚測定装置を図１に示す。          
【００１９】
膜厚測定装置Ａは、図１に示すように、照明装置１と、照明装置１からの光を乱反射させて測定対象を間接照射する間接照明手段２と、測定対象Ｐをカラー画像で撮像するカラー撮像手段３と、出力手段（出力装置）４と、制御・演算処理装置５とを主要構成要素として備えてなるものとされる。
【００２０】
照明装置１は、例えば蛍光灯や白色ＬＥＤなどからなる面光源とされる。ここで、光源の種類およびその点灯方式は、用いる撮像手段３の撮像速度に応じて適宜選択される。例えば、撮像手段３として通常のビデオカメラを用いる場合は、コスト低減の観点から蛍光灯を用いて商用周波数電源により点灯させる方式が採用される。また、電子シャッタースピードを速くして撮像したり、高速度カメラを用いて撮像したり、ラインセンサ（１次元ＣＣＤなど）を高速に走査したりして、露光時間が短くなって光源の点灯周期による明暗の変化が問題となる場合には、その露光時間や費用対効果に応じて、蛍光灯を高周波点灯させて露光時間より短い周期で点滅させたり、あるいは白色ＬＥＤを直流電源により点灯させて点滅が生じないようにしたりする。
【００２１】
間接照明手段２は照明装置１の光源からの光を乱反射させて測定領域内を均一に照明するものとされ、例えば図２および図３に示すように、光源に対して４５度傾斜させ内面に白色の乱反射面２ａが形成された円弧面とされる。円弧面のサイズは測定領域に応じて適宜調整され、測定領域が例えば３００ｍｍｘ２５０ｍｍであれば、幅が５００ｍｍで曲率半径が２５０ｍｍとされる。
【００２２】
カラー撮像手段３は、例えば測定領域が撮像可能とされたカラーＣＣＤカメラとされる。なお、測定対象Ｐが一方向に移動する場合は、カラー撮像手段３は測定対象Ｐの移動方向に直交させて配設された１次元ラインセンサとすることもできる。
【００２３】
出力手段４は例えば制御・演算処理装置５により算出された膜厚を表示するデジタル表示装置や液晶表示装置などとされる。また、出力手段４はプリンタとされてもよい。
【００２４】
制御・演算処理装置５は例えばパソコンとされて、照明装置１、カラー撮像手段３および出力手段４の制御をなすとともに、後述する膜厚算出処理をなすようにされてなるものとされる。
【００２５】
以下、膜厚算出処理について説明する。
【００２６】
カラーテレビやカラーＣＣＤカメラなどにおいては、色の三原色の混ぜ合わせにより各種の色を表現している。つまり、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）を適宜混ぜ合わて各種の色を表現している。例えば、ＲＧＢの三色を混ぜ合わせると無色あるいは白色になり、ＲＧの二色を混ぜ合わせると黄色になり、ＧＢの二色を混ぜ合わせると水色になり、ＲＢの二色を混ぜ合わせると紫色になる。また、ＲＧＢ三原色の混ぜ合わの中心に位置する、無色あるいは白色に対して点対称の関係にある色を補色という。例えば、青色に対して黄色が補色となる。つまり、無色あるいは白色から青色を減らすと黄色になるということである。また、無色あるいは白色から青色を減らす度合いを加減すると、得られる黄色の度合いも変化する。
【００２７】
例えば、ステンレスの基板（表面の色は無色）Ｂに金メッキＦを施して白色光を照射すると、金メッキＦで青色が吸収され、つまり青色の反射率が低下して反射光は黄色に見える。そして、黄色は金メッキＦの膜厚を厚くするにしたがって青色の反射率の低下が増大するところから濃くなる。その様子を図４に模式的に示す。
【００２８】
このことは、金メッキＦがなされた基材Ｂに白色光を照射し、その反射光の青色の度合いを測定することにより金メッキＦの膜厚が測定できることを意味している。かかる知見に基づいて金メッキＦの膜厚と青色の度合い、つまりｂ色度（＝Ｂ／（Ｒ＋Ｇ＋Ｂ））を測定して得られた結果を図５に示す。ここで、「色度」とは、明るさを除いた色の度合いをいう。
【００２９】
図５より、膜厚とｂ色度とは、良好な線形関係を有しているのがわかる。つまり、ｂ色度を測定することにより精度よく（例えば測定誤差が５ｎｍ以下）金メッキＦの膜厚が測定できるのがわかる。
【００３０】
また、膜厚測定に色度を用いることにより次のようなメリットも得られる。すなわち、光量の絶対量の変動やムラ、測定対象の傾きや上下変動により測定精度が影響されることはなく、しかも光源などの色の経年変化を簡単に補正をすることができるというメリットも得られる。
【００３１】
次に、かかる構成とされている膜厚測定装置Ａによる金メッキの膜厚測定について説明する。
【００３２】
（１）予め膜厚とｂ色度との関係を測定してｂ色度−膜厚関数（あるいはｂ色度−膜厚マップ）を作成する。
【００３３】
（２）測定対象Ｐに白色光を間接照射する。
【００３４】
（３）白色光が間接照射されている測定対象ＰをカラーＣＣＤカメラにより撮像する。
【００３５】
（４）撮像されたカラー画像のｂ色度を測定する。
【００３６】
（５）測定されたｂ色度に基づいて予め作成しておいたｂ色度−膜厚関数により膜厚を算出する。
【００３７】
このように、この実施形態１の膜厚測定装置Ａによれば、各種光源を用いて金メッキＦの膜厚を精度よく測定できる。
【００３８】
実施形態２
本発明の実施形態２に係る膜厚測定方法に適用される膜厚測定装置Ａ１を図６にブロック図で示す。この実施形態２は、実施形態１を改変してなるものであって、金メッキプロセスにおいてメッキ後のメッキ膜厚をオンラインにより測定するようにしてなるものとされる。
【００３９】
膜厚測定装置Ａ１は、図６に示すように、カラー撮像手段により撮像されたカラー画像から得られたｂ色度に基づいて膜厚を測定する色基準膜厚測定部１０と、膜厚を直接測定する膜厚直接測定部２０と、色基準膜厚測定部１０により測定された膜厚を膜厚直接測定部２０により測定された膜厚により補正する膜厚補正部３０と、出力部４０とを備えてなるものとされる。なお、図６中の符号Ｒはメッキロール材を示す。
【００４０】
図７に、膜厚測定装置Ａ１のより具体的な構成を示す。
【００４１】
色基準膜厚測定部１０は、照明装置１１とカラー撮像手段１２と制御・演算処理装置５０とを有するものとされる。なお、図７中の符号１１ａは間接照明器具を示す。
【００４２】
照明装置１１は、例えば商用電源により点灯される蛍光灯とされその長手方向をメッキロール材Ｒの搬送方向に直交させ、当該メッキロール材Ｒの上方所定位置に配設されメッキロール材Ｒの全幅を照明するものとされている。なお、光源は赤、緑および青の三色光源を所定の時分割で点灯させるようにされてなる光源とすることもできる。
【００４３】
カラー撮像手段１２は例えばカラーＣＣＤカメラ１２Ａとされ、メッキロール材Ｒの前記照明装置１１により照射されている個所を斜め上方から撮像するように配設される。このカラーＣＣＤカメラ１２Ａにより連続して撮像されたカラー画像は制御・演算処理装置５０に送信される。
【００４４】
制御・演算処理装置５０は例えばパソコンとされ、カラーＣＣＤカメラ１２Ａから送信されてきたカラー画像を画像処理してｂ色度を測定し、そのｂ色度に基づいて予め格納されているｂ色度−膜厚関数（あるいはｂ色度−膜厚テーブル）により膜厚、つまり色基準膜厚を算出するものとされる。また、この制御・演算処理装置５０には膜厚直接測定部２０からの膜厚測定値も入力され、それに基づいて色基準膜厚を補正するようにもされている。つまり、制御・演算処理装置５０は膜厚補正部３０としても機能するようにされている。その上、制御・演算処理装置５０は、色基準膜厚測定部１０、膜厚直接測定部２０および出力部４０の制御もなすようにされている。
【００４５】
膜厚直接測定部２０は、例えば分光干渉膜厚測定装置２１とされ、メッキロール材Ｒのメッキ膜厚をスポット的、例えば１００ｍ秒の周期で測定する。この膜厚直接測定部２０により測定された膜厚（以下、直接膜厚ということもある）は、前述したように制御・演算処理装置５０に送信される。
【００４６】
膜厚補正部３０は、色基準膜厚と直接膜厚とに差異が生じた場合、色基準膜厚を直接膜厚に一致させるように補正するものとされる。この補正は、より具体的には以下のようにしてなされる。
【００４７】
例えば、直接膜厚をＡ、色基準膜厚をＢ、および両者の差の許容限度値をＣとし、図８（ａ）に示すように、許容限度値Ｃを超えた幅（具体的には時間または長さ）ｘが、規定幅（具体的には規定時間または規定長さ）Ｘ以上となった場合、予め設定されているスプライン曲線などの補間曲線や補間直線から妥当する個所を抽出し、その抽出された曲線または直線により、色基準膜厚Ｂの両者の差が許容限度値Ｃを超えている個所の色基準膜厚Ｂ（色基準膜厚曲線）を補正するものとされる。
【００４８】
この補正は、両者の差が許容限度値Ｃを超えた幅ｘが、規定幅Ｘ以上となった時点で直ちに実行するようにされてもよく、あるいは両者の差が許容限度値Ｃを超えた時刻および超えている時間、位置（これらはデータベースとして自動的に記録されるようにされている。）により、検査員が表面における異常の有無を確認し、異常がなしとされた場合に実行するようにされてもよい。
【００４９】
出力部４０は制御・演算処理装置５０により補正された膜厚を表示するデジタル表示装置や液晶表示装置などの出力装置４１とされる。また、出力部４０はプリンタとされてもよい。
【００５０】
このように、この膜厚測定装置Ａ１においては、色基準膜厚測定部１０により膜厚が連続して測定される一方、つまりメッキロール材Ｒの全範囲にわたる膜厚測定がなされる一方、膜厚直接測定部２０により直接膜厚がスポット的に測定され、ついで色基準膜厚測定部１０により測定された膜厚が膜厚直接測定部２０によりスポット的に測定された直接膜厚により補正されるものとされている。このため、ロット毎に予め色度と膜厚との関係を求めておく必要がなくなり、これを逆にいえばｂ色度と膜厚との関係を一度求めておけば、その関係によりメッキロール材Ｒの全範囲における膜厚測定を精度よくなし得る。そのため、生産性が向上する。
【００５１】
また、測定された膜厚を適当な閾値により閾値処理することにより、無メッキや色むらなどを検出することもできる。
【００５２】
実施形態３
本発明の実施形態３に係る膜厚測定方法に適用される膜厚測定装置Ａ２を図９に概略図で示す。この実施形態３は、実施形態２を改変してなるものであって、金メッキプロセスにおいて予め色度と膜厚との関係を求めることなく、メッキ後のメッキ膜厚をオンラインにより測定するようにしてなるものとされる。
【００５３】
フープ状のメッキロール材Ｒには、図９に示すように、先端部のメッキがなされない無メッキ部（前部無メッキ部）Ｒ1と、それに続くメッキ開始直後の膜厚が安定しない膜厚不安定部（前部膜厚不安定部）Ｒ2と、それに続く膜厚が安定している膜厚安定部Ｒ3と、それに続くメッキ終了直後の膜厚が安定しない膜厚不安定部（後部膜厚不安定部）Ｒ4と、それに続く無メッキ部（後部無メッキ部）Ｒ5とが存在する。
【００５４】
そこで、この実施形態３では、制御・演算処理装置５０は、前部膜厚不安定部Ｒ2をカラー撮像手段１２により撮像したカラー画像から得られたｂ色度と、前部膜厚不安定部Ｒ2を膜厚直接測定部２０により測定して得られた膜厚との相関関係（図１０参照）を求め、前記相関関係に基づいて膜厚安定部Ｒ3の膜厚を色基準膜厚測定部１０により測定するようにされている。ここで膜厚安定部Ｒ３の特定は例えば膜厚直接測定部２０の測定値が安定した時点とされる。
【００５５】
このように、実施形態３では予め色度と膜厚との関係を求めることなく、フープ状のメッキロール材Ｒの金メッキの膜厚測定がなされるので、作業能率の向上が図られて生産性が向上する。
【００５６】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではなく、種々改変が可能である。例えば、実施形態ではｂ色度を測定することにより膜厚を測定するようにされているが、測定対象Ｐの膜の種類に応じてｒ色度やｇ色度とすることもできる。
【００５７】
また、ＲＧＢ表色系とＸＹＺ表色系とは簡単なマトリックス変換により相互に変換できるので、ＲＧＢ表色系の色度に代えて、ＸＹＺ表色系の色度により膜厚を測定するようにしてもよい。
【００５８】
さらに、実施形態３に実施形態２の膜厚補正部３０を付加してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施形態１に係る膜厚測定装置のブロック図である。
【図２】同膜厚測定装置に用いられる間接照明手段の概略図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】金メッキの膜厚が厚くなるにつれて黄色が濃くなる様子を示す説明図である。
【図５】ｂ色度と膜厚との関係を示すグラフの一例である。
【図６】本発明の実施形態２に係る膜厚測定装置のブロック図である。
【図７】同概略図である。
【図８】本発明の実施形態２における色基準膜厚の直接膜厚による補正方法の説明図である。
【図９】本発明の実施形態３に係る膜厚測定装置の概略図ブロックである。
【図１０】色度と膜厚との相関関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６０】
１        照明装置
２        間接照明手段
２ａ      乱反射面
３        カラー撮像手段
４        出力手段、出力装置
５        制御・演算処理装置
１０        色基準膜厚測定部
１１        照明装置
１２        カラー撮像手段
１２Ａ      カラーＣＣＤカメラ
２０        膜厚直接測定部
２１        分光干渉膜厚測定装置
３０        膜厚補正部
４０        出力部
４１        出力装置
Ａ        膜厚測定装置
Ｂ        基材
Ｆ        金メッキ
Ｐ        測定対象
Ｒ        メッキロール材
【図１】
2005098763.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005098763.tif 000009
【図８】
2005098763.tif 000010
【図９】
2005098763.tif 000011
【図１０】
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