(57)【要約】【目的】シャワー式ガラス基板洗浄装置において、洗浄液を効率的に清浄化し、その劣化を防ぐと共に、より少ない流量で均一性にすぐれた膜状のシャワーを形成できる様にする。【構成】洗浄液槽１に一旦貯留された洗浄液５を、洗浄液槽１に付設されたスロット状をなした洗浄液流路３及びこれに連続して設けられた傾斜板６から被洗浄基板１１に向って一定の幅を有する膜状のシャワーとして流下させる様にしたシャワー式ガラス基板洗浄装置において、洗浄液槽１及び洗浄液流路３並びに傾斜板６の洗浄液５に接した液接面に光触媒物質をコーティングすると共に、洗浄液槽１近傍に紫外線光源１０を位置せしめ、前記光触媒物質に向けて紫外線を照射し得る様にした。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液槽１に一旦貯留された洗浄液５を、洗浄液槽１に付設されたスロット状をなした洗浄液流路３及びこれに連続して設けられた傾斜板６から被洗浄基板１１に向って一定の幅を有する膜状のシャワーとして流下させる様にしたシャワー式ガラス基板洗浄装置において、洗浄液槽１及び洗浄液流路３並びに傾斜板６の洗浄液５に接する液接面に光触媒物質をコーティングすると共に、洗浄液槽１近傍に紫外線光源１０を位置せしめ、前記光触媒物質に向けて紫外線を照射し得る様にしたことを特徴とするシャワー式ガラス基板洗浄装置。
【請求項２】
洗浄液槽１及び洗浄液流路３並びに傾斜板６の一部又は全部が透明物質で形成されていることを特徴とする請求項１記載のシャワー式ガラス基板洗浄装置。
【請求項３】
光触媒物質が酸化チタンであることを特徴とする請求項１記載のシャワー式ガラス基板洗浄装置。
【請求項４】
紫外線光源１０が蛍光灯であることを特徴とする請求項１記載のシャワー式ガラス基板洗浄装置。
【請求項５】
洗浄液５が洗浄液流路３中を重力によって流下する様になっていることを特徴とする請求項１記載のシャワー式ガラス基板洗浄装置。
【請求項６】
洗浄液５が洗浄液流路３中を加圧力によって流下する様になっていることを特徴とする請求項１記載のシャワー式ガラス基板洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ＬＣＤ、ＰＤＰ、ＬＴＰＳ−ＴＦＴを含むＦＰＤ製造工程などにおいて用いられるシャワー式ガラス基板洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＦＰＤ用などのガラス基板の製造工程においては、洗浄液を一定の幅を有する膜状のシャワーとして連続的に被洗浄ガラス基板表面に流下させて洗浄を行う場合がある。図１はこの洗浄作業に用いる装置の従来例の正面図、図２は図１における矢視Ａ−Ａ線断面図であり、図２に示す様に、洗浄液槽１内にはその側壁２に沿ってスロット状をなした洗浄液流路３が形成されており、該洗浄液流路３の上端４は洗浄液槽１の上端より下方に位置し、この洗浄液槽１内において洗浄液流路３の上端４をオーバーフローした洗浄液５がこの洗浄液流路３内に流れ込む様になっている。
【０００３】
又、この洗浄液流路３の下端内側には、斜め外側下方に向って傾斜した洗浄液流路３と同じ幅の傾斜板６が連設されており、洗浄液５の流れを斜めの下方に向って偏向させる様になっている。更に、洗浄液槽１の側面には洗浄液供給管７が接続されており、洗浄液槽１内に洗浄液５を注入出来る様になっている。
【０００４】
この従来のシャワー式洗浄装置においては、洗浄液供給管７から洗浄液槽１に洗浄液５が注入されると、洗浄液槽１内の液面が上昇し、洗浄液流路３の上端４を越えた洗浄液５は洗浄液流路３内に流入し、この中を落下し、傾斜板６によって  斜め下方に向ってその流れ方向が偏向させられ、薄い膜状のシャワーとなって被洗浄ガラス基板１１上に達し、その表面の洗浄を行う。なお、洗浄液槽１が密閉構造となっているものもあるが、その場合には、洗浄液５は洗浄液供給管７からの注入圧力によって洗浄液流路３内を流下することになる。
【特許文献１】見当たらず。
【非特許文献１】見当たらず。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この種従来のシャワー式ガラス基板洗浄装置においては、洗浄液５はフィルタリングされながら循環再利用されるのであるが、フィルタリングと新液の補充によって洗浄液５のリンス洗浄性能の維持が図られ、その劣化を防止していた。この場合、洗浄液５の有機物除去能力は、その中に含有される洗剤に頼っていたので、洗浄水５として非イオン水（ＤＩＷ）を使用しなければならない場合には、洗浄水５に有機物除去能力を期待することはできなかった。
【０００６】
又、洗浄液５は一定の幅を有する薄い膜状のシャワーとなって被洗浄ガラス基板１１の表面を洗い流すのであるが、洗浄液５の流量が少なかったり、洗浄装置の液接面の平滑度が低いと、図１に示す様にシャワーの膜８に部分的な破れ９が生じてしまうことがあり、この場合には被洗浄ガラス基板１１の洗浄に支障を来すことになるので、シャワーの膜８に破れのない均一性にすぐれたシャワーを形成する必要があった。この為には、洗浄液流路３及び傾斜板６の液接面の面粗度を向上させて平滑度を極限まで高めると共に、洗浄液流路３の幅が均一になる様に精密に製作しなければならなかった。
【０００７】
更に、洗浄液５の流量が少ない程、シャワーの膜８の破れ９は生じ易くなる為、洗浄液５の流量をあまり減らすことは出来ず、洗浄作業に必要とされる以上の量の洗浄液５の流下によってシャワーの膜８の破れを防ぎ、その均一性を確保していた。
【０００８】
本発明者は、上記シャワー式ガラス基板洗浄装置の問題点を解決せんとして研究を行った結果、光触媒の機能を利用することにより、洗浄液のリンス洗浄性能を維持し、洗浄液の劣化を防ぐことが出来、有機物除去能力を向上させ、洗浄液として非イオン水（ＤＩＷ）を用いるときでも有機物の除去が可能で、更には低流量でも均一性のよいシャワーを形成させることが出来る、新しいシャワー式ガラス基板洗浄装置で開発することに成功し、本発明としてここに提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
洗浄液槽１に一旦貯留された洗浄液５を、洗浄液槽１に付設されたスロット状をなした洗浄液流路３及びこれに連続して設けられた傾斜板６から被洗浄基板１１に向って一定の幅を有する膜状のシャワーとして流下させる様にしたシャワー式ガラス基板洗浄装置において、洗浄液槽１及び洗浄液流路３並びに傾斜板６の洗浄液５に接した液接面に光触媒物質をコーティングすると共に、洗浄液槽１近傍に紫外線光源１０を位置せしめ、前記光触媒物質に向けて紫外線を照射し得る様にすることにより、上記課題を解決した。
【発明の効果】
【００１０】
被洗浄ガラス基板１１上に洗浄液５が落ちる前に光触媒の作用によって洗浄液５の清浄化が行われる為、洗浄液５のリンス洗浄性能が維持されてその劣化が阻止されると共に、洗浄液５に有機物除去能力が付与されたので、非イオン水（ＤＩＷ）を洗浄液５として使用する場合でも、有機物を除去することが出来る様になる。又、洗浄液流路３、傾斜板６などの親水性が向上するので、破れの生じない均一性の良い膜状のシャワーを低流量で形成することが出来る様になり、必要最少限の量の洗浄液で効果的な洗浄作業を実施することが出来る。更に、このシャワーの均一性の向上により、省ユーティリティー化も実現し得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
シャワー式ガラス基板洗浄装置のシャワー経路表面を光触媒物質でコーティングすると共に、その近傍に紫外線光源を位置せしめ、コーティングされた光触媒物質に紫外線を照射する様にした点に本発明の本質的特徴が存在する。
【実施例１】
【００１２】
図３は、この発明に係る洗浄装置の一実施例の正面図、図４は図３における矢視Ｂ−Ｂ線断面図である。図中１は洗浄液槽であり、その側壁に接続された洗浄液供給管７から槽内に洗浄液５が注入される様になっている。又、洗浄液槽１内には、その壁面に沿って上下方向にスロット状をなした洗浄液流路３が形成されており、この洗浄液流路３の上端４は洗浄液槽１の上縁より下方に位置せしめられている。
【００１３】
又、この洗浄液流路３の横幅は図３に示す様に、洗浄液槽１の横幅とほぼ同じになる様に形成されている。なお、この実施例においては、洗浄液槽１は上方が開口された開放構造となっているが、上方が閉塞された密閉構造のものを用いる場合もある。更に、この洗浄液流路３の下端内側には、斜め外側下方に向って傾斜した洗浄液流路３と同じ横幅の傾斜板６が連接されている。なお、上記構造は従来のシャワー式の洗浄装置のものと基本的に同一である。
【００１４】
一方、本実施例においては、洗浄液槽１及び洗浄液流路３の一部又は全部は透明材料によって構成されていると共に、この洗浄液槽１、洗浄液流路３、及び傾斜板６の洗浄液５に直接接する液接面には、酸化チタン等の光触媒物質がコーティングされている。
【００１５】
又、洗浄液槽１の近傍で、前記光触媒物質がコーティングされた箇所に光線が照射可能な位置には、蛍光灯などの紫外線光源１０が設置されている。なお、この紫外線光源１０は、複数個設置しても良いことはもちろんである。
【００１６】
この実施例は上記の通りの構成を有するものであり、従来のシャワー式ガラス基板洗浄装置と同様、洗浄液供給管７から洗浄液槽１内に洗浄液５を注入すると、洗浄液５は洗浄液槽１内に貯留され、その液面が洗浄液流路３の上端４を越すと、洗浄液５は洗浄液流路３内に流入し、重力によってその中を流下し、洗浄液流路３の下端に接続された傾斜板６上を流れ落ち、薄い膜状のシャワーとなって被洗浄基板１１上に達し、その表面を洗浄する。なお、洗浄液槽１が密閉構造の場合には、洗浄液供給管７からの注入圧力によって洗浄液５は洗浄液流路３内を流下することになる。
【００１７】
このとき、洗浄液槽１、洗浄液流路３、傾斜板６の液接面には酸化チタンなどの光触媒物質がコーティングされており、紫外線光源１０からはこれら光触媒物質に向って紫外線が照射されているので、光触媒作用により洗浄液５の清浄化が行われる。従って、循環再利用される洗浄液５のリンス洗浄性能は維持され、その劣化は防止される。又、この光触媒の作用により洗浄液５に有機物除去能力が付与される。更に、この紫外線の照射によって液接面の親水性が向上するので、洗浄液５の流れがスムーズになり、シャワー膜に破れが生じるおそれは低下し、より低流量で均一性の良好なシャワーを形成することが出来る様になる。
【００１８】
上述の通り、光触媒の作用によって洗浄液５に有機物除去能力が付与されるので、非イオン水（ＤＩＷ）を洗浄液５として用いる際にも、これに有機物除去能力を保持させることが出来、より効率的に被洗浄ガラス基板表面の洗浄作業を実施することが出来る様になる。
【産業上の利用可能性】
【００１９】
この発明は上述の通り光触媒の作用を作用し、洗浄液を清浄化するものであり、ＬＣＤ、ＰＤＰ、ＬＴＤ−ＴＦＴを含む、各種ＦＰＤ製造工程において極めて高い利用可能性を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】従来のシャワー式ガラス基板洗浄装置の代表例の正面図。
【図２】図１における矢視Ａ−Ａ線断面図。
【図３】この発明に係るシャワー式ガラス基板洗浄装置の一実施例の正面図。
【図４】図３における矢視Ｂ−Ｂ線断面図。
【符号の説明】
【００２１】
１    洗浄液槽
２    側壁
３    洗浄液流路
４    上端
５    洗浄液
６    傾斜板
７    洗浄液供給管
８    膜
９    破れ
１０    紫外線光源
１１    被洗浄ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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