(57)【要約】      （修正有）【課題】従来の吸着盤である吸着ジグで被吸着物を吸着搬送・吸着固定すると、被吸着物が歪み、タワミ、曲がり、等の塑性変形又は弾性変形をきたす問題点があり、被吸着物に歪み、タワミ、曲がり、等が極力少なく、ゼロに近い状態で吸着搬送・吸着固定することができる問題を解決した吸着ジグを提供することである。【解決手段】被吸着物９を真空吸着・真空固定する吸着ジグにおいて、吸引路２を有する本体部１、該本体部１に固定された表面が平坦なスタンド４、該本体部１に固定されて該スタンド４を取り巻く樹脂製のリップ３より成る。また、前記スタンド４が通気性の多孔質体である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吸着物を真空吸着・真空固定する吸着ジグにおいて、吸引路を有する本体部、該本体部に固定された表面が平坦なスタンド、該本体部に固定されて該スタンドを取り巻くリップより成ることを特徴とするスタンド付き吸着ジグ。
【請求項２】
前記スタンドが通気性の多孔質体であることを特徴とする請求項１に記載のスタンド付き吸着ジグ。
【請求項３】
前記スタンドの気孔径が０．１〜１００μｍであり、気孔率が１０％〜９０％であることを特徴とする請求項２に記載のスタンド付き吸着ジグ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被吸着物の吸着におけるスタンド付き吸着ジグに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術において、吸着物を吸着搬送するに、ゴムまたは樹脂製の吸盤により真空吸着して搬送されている。吸盤である吸着ジグを被吸着物に接触して真空吸引する事により被吸着物を吸引搬送する。
【特許文献１】特開平０９−１９３０６９号公報には、リング状のリップ付きの吸着パッドが記載、開示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、薄く、大きく、破壊し易い、被吸着物を吸着搬送する事、被吸着物を吸着固定する事が多くなってきた。従来の吸着盤である吸着ジグで被吸着物を吸着搬送・吸着固定すると、被吸着物が歪み、タワミ、曲がり、等の塑性変形又は弾性変形をきたす問題点があった。スタンド付きである吸着ジグを用いることにより被吸着物に歪み、タワミ、曲がり、等が極力少なく、ゼロに近い状態で吸着搬送・吸着固定することができる問題を解決したスタンド付き吸着ジグを提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
被吸着物を真空吸着・真空固定する吸着ジグにおいて、吸引路を有する本体部、該本体部に固定された表面が平坦なスタンド、該本体部に固定されて該スタンドを取り巻くリップより成るスタンド付き吸着ジグは、被吸着物を吸着搬送・吸着固定するにおいて該被吸着物に歪み、タワミ、曲がり、等が生ずることがなく問題を解決したものを提供することができる。また、前記スタンドが通気性の多孔質体であること、また、前記スタンドの気孔径が０．１〜５０μｍであり、気孔率が１０％〜９０％であるスタンド付き吸着ジグは、問題をいっそう解決したものを提供することができる。
【０００５】
以下において、本発明に係るスタンド付き吸着ジグに関して詳細を説明する。尚、本発明に係るスタンド付き吸着ジグは、以下の説明、実施例の記載事項に限定されるものでない。
【０００６】
被吸着物を真空吸着・真空固定する本発明に係るスタンド付き吸着ジグは、吸引路を有する本体部、該本体部に固定された表面が平坦なスタンド、該本体部に固定されて該スタンドを取り巻くリップより成る。また、前記スタンドが通気性の多孔質体であること。また、前記スタンドの通気性の多孔質体が気孔径が０．１〜５０μｍであり、気孔率が１０％〜９０％であることである。また、前記スタンドに流体の通路となる吸着路が形成されていることである。
【０００７】
本体部１は、形状、寸法、材料、等を特に限定するものでなく、略円柱形、略角柱形の形状であること及び金属、樹脂、ゴム、セラミックであることが好ましい。該本体部には気体の流路である吸引路２が形成されている。機械装置に固定するために該本体部には、内部に取付ネジ７または外部に取付ネジ７が形成されていることが好ましい。該本体部１には、スタンド４が固定配置されていて、該スタンドを取り巻くようにリップ３が形成されている。
【０００８】
前記スタンド４は形状、寸法、材料、等をとくに限定するものでなく、前記本体部１の断面形状と略同様な形状であり、該本体部に固着されていることが好ましい。該スタンド４の固着面と反対の面は平坦面であり、該本体部の中心軸線に対して垂直面であることが好ましい。金属、セラミック、硬質樹脂、カーボンの焼結体、金属の焼結体、等の材料であることが好ましく、更に、該スタンド４が通気性の多孔質であることが好ましい。多孔質体としてセラミック、金属、カーボン、硬質樹脂、等であり、気孔径が０．１〜１００μｍであることが好ましく、更に好ましくは、１〜５０μｍであること、気孔率が１０〜９０％であることが好ましく、更に好ましくは、３０〜８０％である。該スタンド４に小径の穴より成る吸着路６が形成されていることも好ましい。小径が０．１〜５ｍｍであることが好ましく、０．１〜２ｍｍであることがより好ましい。
【０００９】
セラミック、カーボン、等の成形体の表面を平坦にして焼結することにより平坦面を持つスタンド４とすることが出来る。また、焼結をした後に研削、研磨、等により平坦にする方法又は薬品処理により平坦にする方法で平坦化を行う。平坦面は、うねりが１／１０００以下であることが好ましい。平坦面は、被吸着物が吸着搬送・吸着固定されて傷が付かない面であることであり、また、被吸着物が歪み、タワミ、曲がり、等を生じない面である。
【００１０】
前記リップ３は、形状、寸法、材料、等を特に限定するものでなく、前記スタンド４を取り巻いて前記本体部に取り付けられている、又は、該スタンドを取り巻いて直接に該スタンドに取り付けられている。該リップ３は、該本体部又は該スタンドに固定されていてもよく、該本体部をスライドして弾性体５で半固定されていてもよい。該リップ３は、それ自身が弾性を持つ樹脂、ジャバラ金属、等であることが好ましく、より好ましくは弾性を有する樹脂である。例えば、弾性があり、耐久性がよく、安定性がよいニトリルゴム、シリコンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム、クロロプレンゴム、天然ゴム、等である。該リップ３の先端部分は、前記スタンドの平坦面よりわずかに突出している。突出量は、０．１〜１０ｍｍである。より好ましくは、０．５〜５ｍｍである。
【００１１】
吸着動作としては、吸引路２からの負圧により吸引される被吸着物９がリップ３に接触して吸着され、該リップ３が稼動して該被吸着物９がスタンド４に接して定位置に停止して搬送及び／または固定される。
【００１２】
本体部１に形成された吸引路２は、スタンド４に到達して通気性の多孔質体４を通して負圧（真空）吸着することが出来る。即ち、該多孔質体４の平坦面が吸着面となる。または、スタンド４の吸着路６を通して負圧（真空）吸着することが出来る。また他の方法として吸引路２が吸引配路８に通じてリップ３の内面に開放されて負圧吸着することが出来る。リップ３及びスタンド４より成る本体部１において、該スタンド４が大面積であることが好ましい。面積が広い程被吸着物に係るストレスが小さい。平坦面の直径または辺が１０ｃｍ以上であることが好ましく有用である。
【００１３】
リップ３及びスタンド４が形成・固定された本体部１は、エアーシリンダ、電動シリンダ、アクチュエータ、等に取り付けられて被吸着物（体）を吸着搬送・吸着固定することが出来る。
【００１４】
この様な本発明に係るスタンド付き吸着ジグは、負圧吸引により被吸着物９がリップ３を介して負圧吸着し、弾性を有する該リップが該被吸着物と共にスタンド４に近づき、該被吸着物９が該スタンド４に接触して停止する。平坦なスタンドの表面に被吸着物が固定されるために被吸着物にストレスの掛かりが少なく歪み、タワミ、曲がり、等が極力少なく、ゼロに近い状態である。この様なスタンド付き吸着ジグを液晶パネル、プラズマディスプレイ・パネル、等の製造工程で使用して、薄く、大きく、破壊しやすいガラスの搬送・固定に使用するに有用である。
【実施例】
【００１５】
以下において、本発明に係るスタンド付き吸着ジグの一実施例を記載する。尚、本発明に係るスタンド付き吸着ジグは、以下の実施例に限定されるものでない。
【００１６】
（実施例１）
図１を参照に説明する。尚、説明しやすくした図面であり、図は縮尺・比率、等を限定するものでない。略円柱状で外径が１５０ｍｍで厚さが３０ｍｍの本体部１には、中心部に吸引路２用の１０ｍｍの丸穴が貫通状態に形成され、端面には径１００ｍｍで深さ５ｍｍの吸引路を拡張するザグリが施されている。更に同じ端面にはスタンド４を嵌め込み固定するための径が１４０ｍｍで深さが３ｍｍのザグリが施されている。他の端面には、Ｍ５の取り付けネジ７が４個所に形成されている。
【００１７】
スタンド４として、通気性の多孔質であるカーボン焼結体４を用いた。該カーボン焼結体４は、平均気孔径が２０μｍで平均気孔率が４０％の連続通気性の多孔質体である。外径が１４０ｍｍで厚さが５ｍｍの円盤状である。スタンド４である該カーボン焼結体の少なくとも片側の端面が平坦にラップ仕上されている。凹凸が全面で平均２μｍ以下であり、うねりが全径内で５μｍ以下である。このカーボン焼結体が平坦面を表面として本体部１のザグリ部分に嵌合・固定されている。
【００１８】
シリコンゴムで製作された蛇腹式のリップ３が、本体部１に嵌合取り付けされている。該リップ３の蛇腹式先端部分は、根元より薄く製作されている。該リップ３の先端部は、カーボン焼結体４平坦面より２ｍｍ突出している。
【００１９】
このように製作されたスタンド付き吸着ジグは、リップ３を被吸着物９に接近・接触させて、本体部１に形成されている吸引路２に負圧を供給（真空で吸引）することにより通気性の多孔質であるカーボン焼結体４を通して真空吸引して該被吸着物９を吸引する。リップ３及び被吸着物９の空房の気体が排気され、該リップ３が収縮して該被吸着物９が吸い付けられ、平坦な表面を有するスタンド４に接触して吸着固定される。
【００２０】
このように吸着固定された被吸着物９は、平坦な表面を有するスタンド４に密着固定される。平坦な面に吸着固定された被吸着物は、歪み、タワミ、曲がり、うねり、等が極力少なく、ゼロに近い状態であり、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、等のガラスなどによるパネルの製造工程に用いて有用である。パネルの大型化に対しては、本発明に係るスタンド付き吸着ジグを大型化することもできる。又、本発明に係るスタンド付き吸着ジグを複数個並べて使用することにより１ｍ＊２ｍ、等のサイズに対応することも可能であり、有用である。
【００２１】
（実施例２）
図２により説明する。実施例１と略同様な部分の説明は、省略する。略円柱状の本体部１であり、該本体部の外周には、機器装置に固定のための取付ネジ７が形成され、該本体部の外周に弾性体であるスプリング５が配置され、該本体部の外周にリップ３が配置され、該リップ３が該スプリング５により該本体部の外周を摺動する。該リップ３の形状はお椀型であり、ニトリルゴムを用いて金型で製作した。
【００２２】
外径が１４０ｍｍで厚さが４ｍｍの円盤状であるアルミナセラミックに炭酸ガスレーザにより約０．５ｍｍの小径の貫通穴（流体が流動する吸着路６である。）を５ｍｍ間隔で複数個を全面に形成し、レーザー照射側の反対面を研磨加工して平坦面としたスタンド４を作製した。該スタンド４の平坦面の反対面を本体部１に形成されているザグリ部分に嵌合固定した。該吸着路６は、レーザ加工により形成されて嵌合面の径が平坦面の径より広く、真空吸着の速度において効果がある。
【００２３】
このように製作されたスタンド付き吸着ジグは、被吸着物９に接近させて吸引路２から流体を排気し（真空で引く）、リップ３及び被吸着物９の間が負圧となり該被吸着物９が吸引され、平坦な面を有するスタンド４に接し、吸着搬送・吸着固定することができる。スタンド４の面が平坦であり被吸着物に歪み、タワミ、曲がり、ソリ、等がほとんど生じることがない。この様なスタンド付き吸着ジグを液晶パネル、プラズマディスプレイ・パネル、等の製造工程で使用して、薄く、大きく、破壊しやすいガラスの搬送・固定に使用するに有用である。
【００２４】
（実施例３）
図３を参照に説明する。吸引配路８を除いて実施例１と略同様に製作した。即ち、スタンド４を多孔質でないステンレス製の円盤とし、吸引路２に通ずる吸引配路８をリップ３の内面に通ずるように導通形成し、製作されたものである。このように製作されたスタンド付き吸着ジグは、被吸着物を吸着して吸着搬送・吸着固定することができる。このように吸着固定された被吸着物９は、平坦な表面を有するスタンド４に密着固定される。平坦な面に吸着固定された被吸着物は、歪み、タワミ、曲がり、うねり、等が極力少なく、ゼロに近い状態であり、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、等のガラスなどによるパネルの製造工程に用いて有用である。パネルの大型化に対しては、本発明に係るスタンド付き吸着ジグを大型化することもできる。又、本発明に係るスタンド付き吸着ジグを複数個並べて使用することにより１ｍ＊２ｍ、等のサイズに対応することも可能であり、有用である。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明に係るスタンド付き吸着ジグは、被吸着物がリップを介して負圧吸着し、該被吸着物がスタンドに接触して停止する。平坦なスタンドの表面に被吸着物が固定されるために被吸着物にストレスが係ることなく歪み、タワミ、曲がり、等が極力少なく、ゼロの状態である。液晶パネル、プラズマディスプレイ・パネル、等の製造工程で使用して、薄く、大きく、破壊しやすいガラスの搬送・固定に使用することが有用である。本発明に係るスタンド付き吸着ジグは、複数個を配置して製造装置に組み込むことにより、より大きな被吸着物を吸着搬送・吸着固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係るスタンド付き吸着ジグの一実施態様を示す断面図である。
【図２】本発明に係るスタンド付き吸着ジグの他の一実施態様を示す断面図である。
【図３】本発明に係るスタンド付き吸着ジグの他の一実施態様を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１  本体部
２  吸引路
３  リップ
４  スタンド
５  弾性体
６  吸着路
７  取付ネジ
８  吸引配路
９  被吸着物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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