(57)【要約】【課題】  複数に分割したメタルバックを用いた画像表示装置におけるメタルバック間の放電の抑制。【解決手段】  ブラックマトリクスのうち、行方向に伸びた領域の一部に、行方向に沿った方向の抵抗値よりも列方向に沿った方向の抵抗値の方が低い、低抵抗部を設ける。【選択図】  図１
2005268109.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光体基板であって、
（Ａ）行方向に伸びた複数の領域と列方向に伸びた複数の領域とで構成されると共に複数の開口を有する格子状の部材を、その表面に有する基板と、
（Ｂ）前記複数の開口の各々に配置された発光部材と、
（Ｃ）前記発光部材を覆うと共に、互いに間隔を置いて前記行方向に並べられた複数の導電性膜と、
（Ｄ）前記基板上であって、前記発光体および前記格子状の部材が配置されていない領域に配置された、前記複数の導電性膜の各々を第１の抵抗体を介して共通に接続する共通電極と、
を有しており、
前記行方向に伸びた領域は、その一部に、前記行方向に沿った方向の抵抗値よりも前記列方向に沿った方向の抵抗値の方が低い、低抵抗部を有し、前記導電性膜は、前記低抵抗部にて前記行方向に伸びた領域と接触してなることを特徴とする発光体基板。
【請求項２】
前記列方向に沿った方向の抵抗値は１ｋΩ以上であることを特徴とする請求項１に記載の発光体基板。
【請求項３】
前記行方向に直線状に伸びた領域と前記列方向に直線状に伸びた領域は異なる部材によって構成されており、前記列方向に直線状に伸びた領域を構成する部材の抵抗率が前記行方向に直線状に伸びた領域を構成する部材の抵抗率よりも低いことを特徴とする請求項１に記載の発光体基板。
【請求項４】
前記複数の導電性膜の各々は、前記列方向における端部において、前記第１の抵抗体を介して前記共通電極に接続してなることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の発光体基板。
【請求項５】
前記複数の導電性膜は、導電性領域と絶縁性領域とが交互に直列に接続した１つの膜から構成されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の発光体基板。
【請求項６】
発光体基板と、電子放出素子を有するリアプレートと、を備えた画像表示装置であって、前記発光体基板が請求項１ないし５のいずれかに記載の発光体基板であることを特徴とする画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）などの電子線を利用した画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、表面伝導型電子放出素子や電界放出型電子放出素子などの冷陰極型電子放出素子を用いた画像表示装置について研究が行われている。これらの画像表示装置については、例えば特許文献１、２などに開示されている。
【０００３】
図８は、特許文献１などに開示される、電子放出素子を多数配列してなる電子源を用いた、所謂フラットパネルディスプレイ（平板型の画像表示装置（なお画像表示パネルと記載する場合もある））を示す模式図である。尚、図８では、内部がわかるように、画像表示装置の一部を省いて示してある。図中、４１０１は電子放出素子であり、４１０２は列方向配線であり、４１０３は行方向配線であり、単純マトリクス状に配線した複数の電子放出素子４１０１から構成される電子源が配置された基板（リアプレート）４００１を表している。画像表示装置は、電子源が配置された基板４００１と側壁４００３（なお支持枠、外容器枠と記載する場合もある）と、蛍光体層４２０１およびメタルバック４２０３を備えたフェイスプレート４００２からなる構造である。また、フェイスプレート４００２上の蛍光体層４２０１には、電子ビームにより励起し発光させる蛍光体と、外光の反射を抑え蛍光体の混色を防ぐためのブラックマトリクスが設けられている。また、蛍光体層４２０１およびメタルバック４２０３には高圧導入端子４００５より高電圧が印加されており、アノード電極を形成している。
【０００４】
上記のような画像表示装置は、アノード電極の一部であるメタルバック４２０３に高電圧（なお加速電圧もしくはアノード電圧と表記する場合もある）を印加し、リアプレート４００１とフェイスプレート４００２の間に電界を生じさせ、電子源を構成する各電子放出素子４１０１から放出した電子を加速し、蛍光体を励起させ発光させることにより画像を表示する。ここで、画像表示装置の輝度は加速電圧に大きく依存するため、高輝度化をおこなうためには加速電圧を高くする必要がある。また、画像表示装置の薄型化を実現するためには、画像表示パネルの厚さを薄くしなければならず、そのためリアプレート４００１とフェイスプレート４００２の距離を小さくしなければならない。このことより、リアプレート４００１とフェイスプレート４００２の間にはかなり高い電界が生じることになる。
【特許文献１】特開平１０−３２６５８３号公報
【特許文献２】特開２００２−３４３２４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、以上説明した表示パネルにおいては、以下のような問題点があった。図９は、図８のＡ−Ａ’の断面の一部を示す模式図である。蛍光体膜４２０１およびブラックマトリックス４２０２を覆うように形成されたメタルバック４２０３を有するフェイスプレート４００２において、前記メタルバック４２０３は画像表示領域（蛍光体配置領域）全面に連続した膜として構成されている。ここで、上述のように電子源を有するリアプレート４００１と、フェイスプレート４００２の間には非常に高い電圧が印加されると、何らかの原因により放電が発生し、フェイスプレート４００２からリアプレート４００１に大電流が流れる場合がある。
【０００６】
この電流値はフェイスプレート４００２とリアプレート４００１の間に形成される静電容量に蓄積された電荷が流れ込むため、フェイスプレート４００２とリアプレートの４００１の間隔が小さく、面積が大きくなるに従い放電電流は大きくなる。上記の放電電流は、リアプレート４００１上に形成された電子放出素子４１０１、列方向配線４１０２、行方向配線４１０３を介して流れるため、放電電流の値が大きいと電子源に多大な損傷を生じ、画像表示装置の表示画像に致命的な欠陥を生じてしまう。
【０００７】
上記問題を解決する方法として、前述の特許文献１に示されるように、メタルバックを短冊状に分断し、抵抗体を介して高圧電源（もしくは高圧電源に接続された共通電極）に接続することにより、放電時の電流を制限することが出来る。
【０００８】
しかしながら、放電が起こった際に、放電が発生した部分の短冊状メタルバックの電位は瞬時に０Ｖになるが、隣接した短冊状メタルバックの電位は、抵抗体を介して電流が流れるまでは高圧電位になっているままのため、放電が発生した短冊メタルバックと隣接した短冊メタルバックの間で放電が発生してしまう場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、画像表示装置などに用いられる発光体基板であって、
（Ａ）行方向に直線状に伸びた複数の領域と列方向に直線状に伸びた複数の領域とで構成されると共に複数の開口を有する格子状の部材を、その表面に有する基板と、
（Ｂ）前記複数の開口の各々に配置された発光部材と、
（Ｃ）前記発光部材を覆うと共に、互いに間隔を置いて前記行方向に並べられた複数の導電性膜と、
（Ｄ）前記基板上であって、発光体および格子状の部材が配置されていない領域に配置された、前記複数の導電性膜の各々を第１の抵抗体を介して共通に接続する共通電極と、
を有しており、
前記行方向に直線状に伸びた領域は、その一部に、前記行方向に沿った方向の抵抗値よりも前記列方向に沿った方向の抵抗値の方が低い、低抵抗部を有し、前記導電性膜は、前記低抵抗部にて前記行方向に直線状に伸びた領域と接触してなることを特徴とする。
【００１０】
また、前記列方向に沿った方向の抵抗値は１ｋΩ以上であることを特徴とする。
【００１１】
また、前記行方向に直線状に伸びた領域と前記列方向に直線状に伸びた領域は異なる部材によって構成されており、前記列方向に直線状に伸びた領域を構成する部材の抵抗率が前記行方向に直線状に伸びた領域を構成する部材の抵抗率よりも低いことを特徴とする。
【００１２】
また、前記複数の導電性膜の各々は、前記列方向における端部において、前記第１の抵抗体を介して前記共通電極に接続してなることを特徴とする。
【００１３】
また、前記複数の導電性膜は、導電性領域と絶縁性領域とが交互に直列に接続した１つの膜から構成されることを特徴とする。
【００１４】
また、発光体基板と、電子放出素子を有するリアプレートとを有する画像表示装置であって、前記発光体基板が用いられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
以上で説明したように本発明によれば、放電時の電流を制限する機能をフェイスプレートに有することにより、放電時の損傷を抑え、信頼背の高い画像表示装置を得ることが出来た。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
前述の短冊メタルバック間の放電を抑制するためには、短冊メタルバック間に電位差がかからない構成とすることが必要となる。放電時に前述の短冊メタルバック間に電位差が生じるのは、図２（ａ）のように放電時に放電した短冊メタルバック１２０３以外のメタルバックから流れ込む電流の抵抗体（Ｒｘ）による電圧降下のためである。したがって電位差を小さくするためには抵抗体（Ｒｘ）の抵抗値を下げることが必要だが、Ｒｘの抵抗値を下げると、放電した部分以外の短冊メタルバック１２０３の電流が全て同時に放電した箇所に流れ込むことになり、放電電流を抑制することが出来ない。
【００１７】
したがって、短冊メタルバック１２０３と共通電極１２０４との間の抵抗（Ｒｘ）以外に、隣接する短冊メタルバック間１２０３の抵抗（Ｒｙ）成分を存在させ、Ｒｘ≧Ｒｙとすれば放電電流のうちＹ方向に流れ込む成分を発生させることができる。その結果、放電時において、各々の短冊メタルバック１２０３の電位は、放電した短冊メタルバック１２０３から離れた短冊メタルバックに向かって勾配を持つ様になり、短冊メタルバック間の電位差を小さくすることが出来る（図２（ｂ）参照）。
【００１８】
ここでＲｘに求められる抵抗値としては、放電電流を充分に制限でき、かつ電子放出素子からの電流（画像を表示させている際の電流）で電圧降下しないことが求められる。また、Ｒｙに求められる抵抗値としては、Ｒｘと同程度以下であり、かつ放電電流を充分に制限できる必要がある。
【００１９】
Ｒｘを作製する場所としてはその配置上、画像領域外に形成することが出来るため、抵抗値をきめる要因として、材料の表面抵抗率とＲｘの幾何学形状のいずれも自由に設計することが出来る。しかしながらＲｙはその配置上、画像表示領域内に形成する必要があり、幾何学形状に制限がある。また、一般に高抵抗材料の自由度はそれほど高くなく、所望の体積抵抗率・表面抵抗率の材料を得ることが困難な場合がある。たとえば、短冊メタルバック間に高抵抗の材料を設けるとしても、短冊メタルバック間の距離が短く幅が長いというアスペクト比が固定されているため、材料の表面抵抗率を所望のものに制御しなければならない。
【００２０】
そこで、図１０を用いて、本発明の発光体基板（フェースプレート）の構成を説明する。図１０は、フェースプレートを電子源側（リアプレート側）から見た際の模式図である。尚、図１０において１２０１は蛍光体である。本発明では、短冊メタルバック１２０３間の抵抗値を制御する方法として、短冊メタルバック１２０３間の行方向に直線状に伸びた領域１２０５は、その一部に行方向に沿った方向（Ｘ方向）の抵抗値よりも前記列方向に沿った方向（Ｙ方向）の抵抗値の方が低い低抵抗部１２０６を有し、短冊メタルバック（導電性膜）１２０３は、少なくともこの低抵抗部１２０６において、行方向に直線状に伸びた領域１２０５と接触している。この構成を採用することにより、低抵抗部１２０６にてＲｙを形成することが出来る。このとき低抵抗部１２０６のＹ方向の距離は自由に決めることが出来ないが、Ｘ方向の幅は自由に決めることが出来るため、抵抗値がある値しか得られない材料を使用しても、抵抗値（Ｒｙ）を好適に制御しうる。
【００２１】
Ｒｙの抵抗値としては、電流を制限することが出来る抵抗値であれば良い。良好なＲｙの抵抗値は画像表示装置に印加する加速電圧（アノード電圧）や、画像表示領域のサイズなどにより異なるが、実用上１ｋΩ程度以上有れば電流制限性が発揮され、１０ｋΩ以上であればなお好ましい。
【００２２】
また、短冊状メタルバック１２０３間や、メタルバック１２０３の直下の領域でも蛍光体層１２０１の配置されていない領域には、一般に、コントラストを向上するため格子状に開口部を持つブラックマトリクス１２０２が形成される。ブラックマトリクスの効果としては外光を吸収しコントラストを向上することや、蛍光体が混色することを防いでいる。
【００２３】
そこで、ブラックマトリクス１２０２のうち、行方向を構成する部分の材料と列方向を構成する部分の材料を異なるものとし、列方向を構成する部分を行方向を構成する部分よりも低抵抗な材料で作製すれば、ブラックマトリクスのうち列方向を構成する部分によりＲｙが形成されることとなり、行方向（Ｘ方向）の幅全てを抵抗形成に使わなくても良いため、抵抗値を良好に制御しうる。このような構成を図１に示す。図１において、図１０と同じ符号をつけた部材は同じ部材を指す。この図からわかるように、ブラックマトリクス１２０２（部材１２０６及び１２０７で構成される）のうち列方向を構成する部分１２０６を低抵抗Ｒｙにし、ブラックマトリクスの残る部分（１２０７）が高抵抗になる。
【００２４】
また、短冊状メタルバック１２０３の端部において、共通電極１２０４と接続することにより、共通電極を画像領域外に設けることが出来る。そのため、Ｒｘの抵抗値を制御するのに形状の自由度が増すため、Ｒｘの抵抗値を良好に制御しうる。
【００２５】
また、短冊状メタルバック１２０２は、機械的に切断されている必要はなく、電気的に分離されていれば良いため、１つの膜状で導電性領域と絶縁性領域とが交互に接続した状態でよく、構成を単純化でき、コストを下げることが出来る。
【００２６】
このような、本発明のフェースプレート（発光体基板）は、前述の従来の画像表示装置のフェースプレート（発光体基板）に置き換えることで、画像表示装置として機能させることができる。つまり、フェースプレート以外の構造は、従来の画像表示装置の構造を適用することができる。勿論、電子放出素子も表面伝導型電子放出素子に限らず、電界放出型電子放出素子や熱陰極をも用いることができる。
【実施例】
【００２７】
以下に図面を参照して、この発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない場合は、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨の物ではない。
【００２８】
［実施例１］
以下に図１・２・３・４を参照し、本発明第一の実施例について説明する。
【００２９】
図４中、１００１は外容器底（なおリアプレートと表記する場合もある）、１００３は側壁、１００２はフェ−スプレ−トであり、１００１〜１００３により表示パネルの内部を真空に維持するための気密容器を形成している。ここでリアプレート１００１とフェイスプレート１００２の間の間隔（ギャップ）は２ｍｍとした。
【００３０】
ここで、リアプレ−ト１００１には表面伝導型放出素子１１０１がＮｘＭ個形成されている。（Ｎ，Ｍは２以上の正の整数であり、目的とする表示画素数に応じて適宜設定される。本実施例においては、Ｎ＝２４０，Ｍ＝８０とした。）前記ＮｘＭ個の表面伝導型放出素子は、Ｍ本の行方向配線１１０３とＮ本の列方向配線１１０２により単純マトリクス配線されている。前記、１１０１〜１１０３によって構成される部分を電子源と呼ぶ。
【００３１】
また、図１に示すように、本発明の特徴であるフェイスプレート１００２には、複数の開口を有するブラックマトリクス１２０２を有し、ブラックマトリクス１２０２は、行方向にのびた領域１２０５および列方向にのびた領域１２０６に分けて考えることが出来る。本実施例では、列方向にのびた領域１２０６を構成する部材の体積抵抗率を、行方向に伸びた領域１２０５の体積抵抗率よりも低くすることにより、図２で示す短冊メタルバック１２０３間の抵抗値Ｒｙを列方向に伸びた領域１２０６により制御している。また、ブラックマトリクス１２０２の開口部にはそれぞれが、赤色・緑色・青色に発光する蛍光体が交互に配置され、蛍光体層１２０１を形成している。さらに蛍光体１２０１を覆うように、画素ピッチで行方向に分断されたメタルバック１２０３が形成され、図３に示すように行方向の端部にて共通電極１２０４と抵抗体１２０８を介してと電気的に接続されている。
【００３２】
次に、図２に示す、ＲｘとＲｙの測定を行った。ＲｘおよびＲｙの抵抗値はそれぞれ独立に測定するのは困難であるため、図２中の一点破線１２０９に沿ってフェイスプレート１２０１をカットし、短冊メタルバック１２０３の大部分を内包する部分において隣接する短冊メタルバック間の抵抗値を測定しＲｙとし、共通電極１２０４および短冊メタルバック１２０３の一部分を内包する部分において、共通電極１２０４と短冊メタルバック１２０３の一部との間の抵抗値を測定しＲｘとした。測定の結果、Ｒｘが１００ｋΩでありＲｙは１ｋΩであった。
【００３３】
このような構造のフェイスプレートを用いた画像表示装置を１５ｋＶの高電圧で使用したところ、時々放電が発生したが、観察者が気になるような欠陥が生じず、信頼性の高い画像表示装置を得た。
【００３４】
本発明の画像表示装置に用いる電子源としては、特にＦＥ型電子放出素子や表面伝導型電子放出素子などの冷陰極電子放出素子を、多数配列することによって構成した電子源が好ましい。
【００３５】
ＦＥ型電子放出素子としては、カーボンナノチューブや、カーボンナノチューブの一方の先端を閉じたカーボンナノホーンや、グラファイトナノファイバーなどの、複数のカーボンファイバーを用いた電界放出型電子放出素子が好ましい。
【００３６】
次に、本発明の特徴である画像表示装置のフェイスプレート（発光体基板）の製造方法について、具体的な例を図１及び図３を用いて説明する。尚、図１と図３において、同じ符号の部材は、同じ部材を指す。また、図３は、図１の導電膜１２０３に相当する領域を黒く塗りつぶした図であり、画像表示領域の外周部（画像表示領域の境界を破線１２０９で示す）を示している。
【００３７】
洗浄したガラス基板に、図１及び図３に示すようにブラックマトリクス１２０２の行方向に伸びた領域１２０５として、低融点ガラスペーストに黒色顔料を含有したペーストをスクリーン印刷法にて厚さ１０マイクロメートルとして形成した。なお、後ほど列方向にのびた領域１２０６を形成する際に、厚さをあわせるために列方向に伸びた領域１２０６が配置される場所には形成しないこととした。
【００３８】
次に、ブラックマトリクス１２０２のうち列方向にのびた領域１２０６として、酸化ルテニウムを含有した抵抗体ペーストを図１に示すようにスクリーン印刷法にて厚さ１０マイクロメートルとして形成した。本実施例ではスクリーン印刷法によりブラックマトリクスを作製したが、もちろんこれに限定されるものではなく、たとえばフォトリソグラフィー法をもちいて作製してもよい。
【００３９】
また本実施例では抵抗体ペーストとして、酸化ルテニウムペーストを使用したが、高抵抗の材料であればこれに限定されるわけではなく、たとえばカーボングラファイトとガラスフリットおよび黒色顔料が含まれる抵抗体ペーストや、チタン酸バリウム粉末を含有したペーストなどでも良い。
【００４０】
また、行方向に伸びた領域１２０５（１層目）の厚さと列方向にのびた領域１２０６（２層目）の厚さをあわせる必要がない場合や、２層目（列方向にのびた領域１２０６）の厚さを１層目（行方向に伸びた領域１２０５）の厚さによらず制御して形成できる場合には、１層目の行方向に伸びた領域１２０５を形成する際に、列方向にのびた領域１２０６の直下に位置する部分も形成してしまっても良い。
【００４１】
次に、共通電極１２０４および抵抗体１２０８について説明する。共通電極１２０４としては、アノード（導電膜）に電圧を供給するための高圧電源からの入力電圧を、電圧降下なく各抵抗体１２０８に給電できることが望まれる。本実施例では共通電極１２０４として、銀微粒子および黒色顔料および低融点ガラスを含有したペーストを使用し、スクリーン印刷法で形成した。また、抵抗体１２０８としては、定常動作時は電子ビーム源からの入力電流に対し、電圧降下の起こらない程度の抵抗値であり、かつ放電時にはＲｘから流れ込む電流を減じる程度の抵抗値であることが望まれる。本実施例では、抵抗体１２０８として酸化ルテニウムを含有するペーストを使用し、スクリーン印刷法で形成した。
【００４２】
次に発光体１２０１として、ブラックマトリクス１２０２の開口部に、赤色・青色・緑色の蛍光体ペーストを用いてスクリーン印刷法により、３色の蛍光体を１色づつ３回に分けて厚さ厚さ１０〜１５μｍにて作製した。本実施例ではスクリーン印刷法を用いて蛍光体膜を作製したが、もちろんこれに限定される訳ではなく、たとえばフォトリソグラフィー法などにより作製しても良い。また蛍光体はＣＲＴの分野で用いられているＰ２２の蛍光体とし、赤色（Ｐ２２−ＲＥ３；Ｙ２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ３＋）、青色（Ｐ２２−Ｂ２；ＺｎＳ：Ａｇ，Ａｌ）、緑色（Ｐ２２−ＧＮ４；ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ）のものを用いたが、もちろんこれに限定される訳ではなく、その他の蛍光体を用いても良い。
【００４３】
次に、ブラウン管の分野では公知であるフィルミング工程により、樹脂中間膜を作製し、その後に金属蒸着膜（本実施例ではＡｌ）を作製し、最後に樹脂中間層を熱分解除去させる事により厚さ１００ｎｍのメタルバック（導電膜）１２０３を作製した。その後、メタルバックを短冊状に分断するために、ＹＡＧレーザー加工機にてブラックマトリクス１２０２上の行方向にのびる領域１２０５上のメタルバックを除去した。本実施例ではレーザー加工機にてメタルバックの材料であるＡｌをほとんど除去したが、電気的に短冊メタルバック間が絶縁されていれば良いので、たとえば化学的に酸化させてしまうような処理をおこなってもよい。
【００４４】
このような構造のフェイスプレートを用いて図４に示すような内部が真空に維持された画像表示装置を作成した。尚、フェースプレートと、ＦＥ型電子放出素子を多数配列したリアプレートとを、間隔１．８ｍｍに保つように、側壁１００３を配置した。共通電極１２０４に１３ｋＶの高電圧を印加し、画像を表示させたところ、時々放電が発生したが、観察者が気になるような欠陥が生じず、信頼性の高い画像表示装置を得た。
【００４５】
［実施例２］
以下に図５を参照し、本発明第２の実施例について説明する。ただし本実施例では画像表示装置全般については実施例１と同様なものを使用したため、以下では本実施例において特徴的な部分のみの説明をおこなう。
【００４６】
本実施例で作成したフェイスプレート１００２には、列方向に伸びた領域１２０６のうち、一部分のみ抵抗体ペーストにて形成し、残りの部分は行方向にのびた領域１２０５と同じ低融点ガラスペーストに黒色顔料を含有したペーストにて形成した。実施例１と同様な方法でＲｘ，Ｒｙの抵抗値を測定した結果、Ｒｘが１００ｋΩでありＲｙは３０ｋΩであった。
【００４７】
このような構造のフェイスプレートを用いた画像表示装置を作成し、共通電極１２０４に１５ｋＶの高電圧を印加し、画像を表示させたところ、時々放電が発生したが、観察者が気になるような欠陥が生じず、信頼性の高い画像表示装置を得た。
【００４８】
［実施例３］
以下に図６を参照し、本発明第３の実施例について説明する。ただし本実施例では画像表示装置全般については実施例１と同様なものを使用したため、以下では本実施例において特徴的な部分のみの説明をおこなう。
【００４９】
本実施例で作成したフェイスプレート１００２には、行方向および列方向に格子状に低融点ガラスペーストに黒色顔料を含有したペーストをもちい、厚さ５マイクロメートルにてフォトリソグラフィー法にて形成されたブラックマトリクス１２０２を有する。また、ブラックマトリクス１２０２のうち列方向にのびた領域１２０６には、抵抗体ペーストを用い、厚さ５マイクロメートルの低抵抗部材が、フォトリソグラフィー法にて形成されている。実施例１と同様な方法でＲｘ，Ｒｙの抵抗値を測定した結果、Ｒｘが１００ｋΩでありＲｙは２０ｋΩであった。
【００５０】
このような構造のフェイスプレートを用いた画像表示装置を作成し、共通電極１２０４に１４ｋＶの高電圧を印加し、画像を表示させたところ、時々放電が発生したが、観察者が気になるような欠陥が生じず、信頼性の高い画像表示装置を得た。
【００５１】
［実施例４］
以下に図７を参照し、本発明第４の実施例について説明する。ただし本実施例では画像表示装置全般については実施例１と同様なものを使用したため、以下では本実施例において特徴的な部分のみの説明をおこなう。
【００５２】
本実施例では、フェイスプレート１００２には、行方向および列方向に格子状に抵抗体ペーストをもちい、厚さ５マイクロメートルにてフォトリソグラフィー法にて形成されたブラックマトリクス１２０２を有する。また、ブラックマトリクス１２０２のうち列方向にのびた領域１２０６には、抵抗体ペーストを用い、厚さ５マイクロメートルの抵抗体ペーストが、フォトリソグラフィー法にて積層されている。実施例１と同様な方法でＲｘ，Ｒｙの抵抗値を測定した結果、Ｒｘが１００ｋΩでありＲｙは２ｋΩであった。
【００５３】
このような構造のフェイスプレートを用いた画像表示装置を作成し、共通電極１２０４に１３ｋＶの高電圧を印加し、画像を表示させたところ、時々放電が発生したが、観察者が気になるような欠陥が生じず、信頼性の高い画像表示装置を得た。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明のフェイスプレートを示す模式的断面図および平面図である。
【図２】本発明のフェイスプレートの列方向および行方向の抵抗値を示す模式的平面図である。
【図３】本発明のフェイスプレートの短冊メタルバックと共通電極の接続部を示す模式的平面図である。
【図４】本発明のフェイスプレートならびに画像表示装置を示す模式的斜視図である。
【図５】本発明の第２の実施例のフェイスプレートを示す模式的断面図および平面図である。
【図６】本発明の第３の実施例のフェイスプレートを示す模式的断面図および平面図である。
【図７】本発明の第４の実施例のフェイスプレートを示す模式的断面図および平面図である。
【図８】本発明のフェイスプレートを説明するための模式平面図である。
【図９】従来の画像表示装置のフェイスプレートを示した模式的断面図である。
【図１０】本発明のフェイスプレートの抵抗体の配置を示す模式的平面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１００１  リアプレート
１００２  フェイスプレート
１００３  側壁
１００６  高圧電源
１１０１  電子ビーム源
１１０２  列方向配線
１１０３  行方向配線
１２０１  蛍光体膜
１２０２  ブラックマトリクス
１２０３  短冊状メタルバック
１２０４  共通電極
１２０５  ブラックマトリクスのうち行方向に伸びた領域
１２０６  ブラックマトリクスのうち列方向に伸びた領域
１２０８  抵抗体
【図１】
2005268109.tif 000003
【図２】
2005268109.tif 000004
【図３】
2005268109.tif 000005
【図４】
2005268109.tif 000006
【図５】
2005268109.tif 000007
【図６】
2005268109.tif 000008
【図７】
2005268109.tif 000009
【図８】
2005268109.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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