(57)【要約】【課題】  空気清浄化装置の高さ寸法における小型化を図り、無理のない空気の流通経路を形成するとともに、排出される空気に均等な風速を得ることのできる空気清浄化装置と、この空気清浄化装置を採用して装置自体の小型化を実現したクリーンカプセルを提供すること。【解決手段】  空気の流通経路における上流側に配置されたファン部２から動圧として供給される空気を、前記流通経路における下流側に配置されたフィルタ部４に対して均等に静圧を作用させる空気に変換させ得るチャンバ３を配設する。【選択図】      図１
2005103396.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気の流通経路における上流側に配置されたファン部から動圧として供給される空気を、前記流通経路における下流側に配置されたフィルタ部に対して均等に静圧を作用させる空気に変換させ得るチャンバを有することを特徴とする空気清浄化装置。
【請求項２】
前記チャンバは、前記ファン部との連通口を側壁に開口させ、前記フィルタ部との連通口を端壁に開口させて形成されていることを特徴とする請求項１に記載の空気清浄化装置。
【請求項３】
前記ファン部は、ファンケースに開口する吸引口から吸引する前記空気の流れ方向にファンの軸方向を合致させたシロッコファンと、
当該シロッコファンにより流れ方向を円周方向とされた空気を回収しつつ前記空気の流通経路の下流側へ案内する円周状の周壁を有する送風ダクトと、
を備えており、
前記吸引口は、前記ファンケースの、前記チャンバに対する前記フィルタ部の配設側の端壁に開口させて形成されていることを特徴とする請求項２に記載の空気清浄化装置。
【請求項４】
前記ファン部の前記吸引口が開口する端壁の外側前方で、前記フィルタ部に隣接する位置に、前記吸入口から処理対象となる空気を取り入るための空間領域が確保されるように構成されていることを特徴とする請求項３に記載の空気清浄化装置。
【請求項５】
カプセルケース内に、清浄な状態に保たれる小空間とされたクリーンスペースと、前記クリーンスペースの少なくとも一側方に隣設された側方空間部と前記クリーンスペースおよび前記空間部の上方に形成された上方空間部とが連通してなる空気循環経路とを有し、
前記上方空間部には前記クリーンスペースと当該上方空間部との隔壁に開口している前記クリーンスペース内への排気口を介して、空気を前記クリーンスペース内に供給する空気清浄化装置が配設され、
前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁には前記クリーンスペース内の空気を前記空気循環経路へ排気する排気口が形成されたクリーンカプセルであって、
前記空気清浄化装置は、
底壁に処理対象となる空気を当該空気清浄化装置内に吸引するための吸引口が開口され、側壁に前記チャンバとの連通口としての第１連通口が開口されたファンケースを有し、前記ファンケース内には、吸引する空気の流れ方向にファンの軸方向を合致させたモータ駆動のシロッコファンと、当該シロッコファンにより流れ方向を円周方向とされた空気を回収しつつ前記第１連通口へ案内する円周状の周壁を有する送風ダクトと、を備えたファン部と、
側壁に開口する前記第１連通口から処理対象となる空気を取り入れ、底壁の広領域に開口する前記フィルタ部との連通口としての第２連通口から前記空気を排出するように構成されたチャンバと、
頂壁に前記第２連通口が開口され、底壁に処理済みの空気を当該空気清浄化装置外に排出するための排出口が開口されたフィルタケースを有し、前記フィルタケース内に、処理対象となる空気を浄化するフィルタを備えたフィルタ部とを備え、
前記ファンケースの底壁を前記フィルタケースの底壁より上方に位置させて、前記ファン部の外側となる前記吸引口の直前部に処理対象となる空気を取り入るための空間領域が確保されるように構成されており、
前記ファン部を空気循環経路内の上流側に位置させるようにして配設されていることを特徴とするクリーンカプセル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シロッコファンを備えた空気清浄化装置と、前記空気清浄化装置により浄化された空気をクリーンスペース内に供給する構成のクリーンカプセルに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルや半導体などを製造する環境には、塵埃のない、清浄な環境が特に求められている。前記清浄な環境を保つ手段としては、従来より、防塵フィルタ等の空気処理手段とファンとを備えた空気清浄化装置を通すことで除塵済みとされた空気を清浄な環境に保たれている特定空間（以下、クリーンスペースという）へ給気口から送り込み、当該クリーンスペース内の空気を排気口から回収して、再び前記空気清浄化装置へ戻すといった換気を行なう手段が採られている。
【０００３】
ここで、従来の一般的な空気清浄化装置は、略直方体とされた本体ケースの一面側から処理対象となる空気を吸引し、浄化した空気を他面側へ排出する構成とされている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
図４は、このような従来の一般的な空気清浄化装置１の要部構成を示す断面図であり、本従来例の空気清浄化装置１は、本体ケース２１の上面側から処理対象となる空気を吸入し、浄化した空気を下面側へ排出する構成とされている。
【０００５】
詳しくは、当該空気清浄化装置１は、空気の流通経路における上流側となる前記本体ケース２１内の上段部（図５の要部平面図参照）に、図示しないモータの駆動力により回転可能とされたシロッコファン８と、当該シロッコファン８によりその流れ方向を前記シロッコファン８の軸方向から円周方向へ直角にひねられた空気を通気口２２に案内する送風ダクト９が配設されており、前記空気の流通経路の下流側であって前記通気口２２が開口する前記本体ケース２１内の下段部に、ＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）１３が配設されている。なお、前記ファンとしてシロッコファン８を採用するのは、集塵作用の効果を簡便かつ良好に得られるＨＥＰＡフィルタ１３が大きな圧力損失を伴うものであり、当該シロッコファン８は、軸流ファンよりも圧力損失に対して強いためである。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３９５７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような構成の空気清浄化装置１においては、前述のように、前記空気の流れ方向を前記シロッコファン８によって当該シロッコファン８の軸方向から円周方向へ直角に曲げ、さらには、前記送風ダクト９により案内して、再び、前記シロッコファン８の軸方向と平行となるように曲げて前記底壁に形成された通気口２２から集中的に押し出されようとするため、前記空気は大きな動圧を作用させる空気となり、機器の通気圧力損失が高く高抵抗になったり、前記ＨＥＰＡフィルタ１３を通過する空気の風速にムラが生じるといった問題があった。
【０００８】
そして、高抵抗に対抗するためには大型の高馬力モータを採用することが考えられるが、高馬力モータを採用すれば、当該空気清浄化装置１の小型化という昨今の要請に反することとなる。
【０００９】
また、前述のようなシロッコファン８の場合、図４に示すように、当該シロッコファン８の吸入口の前面には、空気を十分に吸入することができる吸込用空間１４を広く確保しなければならない。特に、前記シロッコファン８の直径寸法程度の高さ寸法を確保することが望ましいため、当該空気清浄化装置１の配設や駆動に要する総高さ寸法（実質高さ）は大きなものとなり、やはり、空気清浄化装置１の小型化は困難であった。
【００１０】
特に、前述したように、液晶表示パネルや半導体などを製造するための清浄な環境を確保するクリーンカプセル１００に備えられる空気清浄化装置１の場合、当該空気清浄化装置１が配設される空気循環経路に前述のような実質高さを確保することは、前記クリーンカプセル１００の小型化という観点からしても困難である。
【００１１】
そこで、本発明は、空気清浄化装置の高さ寸法における小型化を図り、無理のない空気の流通経路を形成するとともに、排出される空気に均等な風速を得ることのできる空気清浄化装置と、この空気清浄化装置を採用して、装置自体の小型化を実現したクリーンカプセルを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前述した目的を達成するため、本発明の空気清浄化装置は、空気の流通経路における上流側に配置されたファン部から動圧として供給される空気を、前記流通経路における下流側に配置されたフィルタ部に対して均等に静圧を作用させる空気に変換させ得るチャンバを有することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の空気清浄化装置は、前記チャンバが前記ファン部との連通口を側壁に開口させ、前記フィルタ部との連通口を端壁に開口させて形成されていることを特徴とする。
【００１４】
さらに、本発明の空気清浄化装置は、前記ファン部が、ファンケースに開口する吸引口から吸引する前記空気の流れ方向にファンの軸方向を合致させたシロッコファンと、当該シロッコファンにより流れ方向を円周方向とされた空気を回収しつつ前記空気の流通経路の下流側へ案内する円周状の周壁を有する送風ダクトとを備えており、前記吸引口は、前記ファンケースの、前記チャンバに対する前記フィルタ部の配設側の端壁に開口させて形成されていることを特徴とする。
【００１５】
またさらに、本発明の空気清浄化装置は、前記ファン部の前記吸引口が開口する端壁の外側前方で、前記フィルタ部に隣接する位置に、前記吸入口から処理対象となる空気を取り入るための空間領域が確保されるように構成されていることを特徴とする。
【００１６】
そして、本発明のクリーンカプセルは、カプセルケース内に、清浄な状態に保たれる小空間とされたクリーンスペースと、前記クリーンスペースの少なくとも一側方に隣設された側方空間部と前記クリーンスペースおよび前記空間部の上方に形成された上方空間部とが連通してなる空気循環経路とを有し、前記上方空間部には前記クリーンスペースと当該上方空間部との隔壁に開口している前記クリーンスペース内への排気口を介して、空気を前記クリーンスペース内に供給する空気清浄化装置が配設され、前記クリーンスペースと前記側方空間部との隔壁には前記クリーンスペース内の空気を前記空気循環経路へ排気する排気口が形成されたクリーンカプセルであって、前記空気清浄化装置は、底壁に処理対象となる空気を当該空気清浄化装置内に吸引するための吸引口が開口され、側壁に前記チャンバとの連通口としての第１連通口が開口されたファンケースを有し、前記ファンケース内には、吸引する空気の流れ方向にファンの軸方向を合致させたモータ駆動のシロッコファンと、当該シロッコファンにより流れ方向を円周方向とされた空気を回収しつつ前記第１連通口へ案内する円周状の周壁を有する送風ダクトと、を備えたファン部と、側壁に開口する前記第１連通口から処理対象となる空気を取り入れ、底壁の広領域に開口する前記フィルタ部との連通口としての第２連通口から前記空気を排出するように構成されたチャンバと、頂壁に前記第２連通口が開口され、底壁に処理済みの空気を当該空気清浄化装置外に排出するための排出口が開口されたフィルタケースを有し、前記フィルタケース内に、処理対象となる空気を浄化するフィルタを備えたフィルタ部とを備え、前記ファンケースの底壁を前記フィルタケースの底壁より上方に位置させて、前記ファン部の外側となる前記吸引口の直前部に処理対象となる空気を取り入るための空間領域が確保されるように構成されており、前記ファン部を空気循環経路内の上流側に位置させるようにして配設されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本実施形態の空気清浄化装置によれば、空気の流通経路におけるファン部（ファンケース）とフィルタ部（フィルタケース）との間にチャンバを配設することにより、無理のない空気の流通経路を確保することができ、前記フィルタ部（フィルタケース）から排出される空気に均等な風速を得ることができる。
【００１８】
そして、前記チャンバに、前記ファン部（ファンケース）との連通口を側壁に開口させ、前記フィルタ部（フィルタケース）との連通口を端壁に開口させることで、前記ファン部から送出される動圧の空気を確実に前記チャンバ内で確実に静圧を作用させる空気とすることができる。
【００１９】
また、前記ファン部（ファンケース）の前記吸引口が開口する端壁の外側前方で、前記フィルタ部（フィルタケース）に隣接する位置に、前記吸入口から処理対象となる空気を取り入るための空間領域を確保することで、当該空気清浄化装置の配設や駆動に要する総高さ寸法（実質高さ）を小さくすることができる。
【００２０】
そして、本発明のクリーンカプセルによれば、前記空気循環経路に回収された空気を前述のような効果を奏する空気清浄化装置において浄化させ、前記排出口の開口面内において均等な風速で、前記クリーンスペース内に排出させることができる。
【００２１】
また、前記空気清浄化装置の吸引口が前記ファン部の底壁に開口する構成とされ、前記吸引口が開口する底壁と、前記クリーンスペースと前記上方空間部との隔壁との間の空間領域を、前記吸入口から処理対象となる空気を取り入るための空間領域として用いることができるので、当該空気清浄化装置の配設や駆動に要する総高さ寸法（実質高さ）がコンパクトになる。よって、当該空気清浄化装置を配置させる前記上部空間部の高さ寸法も小さくすることができ、前記クリーンカプセル自体の小型化を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１は、本発明の空気清浄化装置１の一実施形態を示す断面図である。
【００２３】
この図に示すように、本実施形態の空気清浄化装置１は、処理対象となる空気の流通経路に、処理対象となる空気を吸入・排出するファン部２、このファン部２の側方に連設されたチャンバ３、このチャンバ３の下方に連設された処理対象となる空気を浄化するフィルタ部４のそれぞれを順に配設させた外形状とされている。
【００２４】
前記ファン部２を構成するケース本体としてのファンケース５の底壁には、処理対象となる空気を当該空気清浄化装置１内に吸引するための吸入口６が開口されており、また、側壁には、前記チャンバ３との連通口としての第１連通口７が開口されている。
【００２５】
そして、前記ファンケース５内には、吸引する空気の流れ方向にファンの軸方向を合致させたるようにして、図示しないモータにより駆動するシロッコファン８と、当該シロッコファン８により流れ方向を円周方向とされた空気を回収しつつ前記第１連通口７へ案内する形状の周壁を有する送風ダクト９とを備えている。前記送風ダクト９の周壁は、前記シロッコファン８の外周側においては略円形をなすとともに、円周方向における一部が放射方向に対し斜め外方に延在する形状とされている。
【００２６】
また、前記チャンバ３は、側壁に開口する前記第１連通口７から処理対象となる空気を取り入れ、底壁の略全面に広く開口する前記フィルタ部４との連通口としての第２連通口１０から前記空気を排出するように構成されている。
【００２７】
そして、前記フィルタ部４を構成するケース本体としてのフィルタケース１２は、頂壁には前記第２連通口１０が開口されており、底壁には、処理済みの空気を当該空気清浄化装置１外に排出するための排出口１１が開口されている。そして、前記フィルタケース１２内には処理対象となる空気を集塵して浄化するＨＥＰＡフィルタ１３を備えている。
【００２８】
そして、前記空気清浄化装置１は、前記ファンケース５の底壁を前記フィルタケース１２の底壁より上方に位置させるように構成され、当該空気清浄化装置１外となる前記吸入口６の直前部に、前記吸入口６から処理対象となる空気を取り入れるための空間領域としての吸込用空間１４が確保されている。
【００２９】
以下、このように構成された空気清浄化装置１の作用について説明する。
【００３０】
前記処理対象となる空気は、前記シロッコファン８のモータを駆動させることにより吸引されて、前記吸込用空間１４から前記吸入口６を通過して、当該空気清浄化装置１内に取り込まれる。
【００３１】
前記ファンケース５内においては、前記処理対象となる空気は、その流れ方向を円周方向に変換され、前記送風ダクト９により前記第１連通口７へ案内される。
【００３２】
前記チャンバ３においては、前記第１連通口７を通過する時点では主として動圧とされていた前記処理対象となる空気は、前記第２連通口１０を底壁に広く開口させる当該チャンバ３の中空部で静圧を作用させる空気（前記チャンバ内は静圧に近似した状態となる）とされ、前記第２連通口１０から、下流に配置されたフィルタケース１２内のＨＥＰＡフィルタ１３を通過し、前記排出口１１から、当該空気清浄化装置１外へ排出される。
【００３３】
このように、本実施形態の空気清浄化装置１によれば、前記ファン部２に配設されたシロッコファン８によって円周方向の流れ方向とされた空気をそのまま、前記送風ダクト９で案内しつつ無理のない空気の流通経路を確保して、隣接して配置されたチャンバ３内へ前記第１連通口７を通して送り込むことができる。よって、従来のように、前記空気は何度も流れ方向を変えられて通気口から無理矢理押し出されるようなこともなく、機器の通気圧力損失が高くなるといったことも回避することができ、高馬力モータの採用の必要もない。
【００３４】
さらに、前記空気の流通経路におけるファンケース５とフィルタケース１２との間に配設されたチャンバ３により、動圧として供給される空気を前記ＨＥＰＡフィルタ１３に対して均等に静圧を作用させる空気とすることができる。よって、前記フィルタケース１２から排出される空気のムラをなくし、前記ＨＥＰＡフィルタ１３の全面において均等な風速を得ることができる。
【００３５】
また、本実施形態の空気清浄化装置１は、処理対象となる空気の流通経路における前記吸入口６の直前部に、前記フィルタ部４に隣設し、前記吸入口６から処理対象となる空気を取り入るための吸込用空間１４が確保されているので、当該空気清浄化装置１の配設や駆動に要する総高さ寸法（実質高さ）を小さくすることができ、空気清浄化装置１の小型化を実現するものとなる。
【００３６】
図２および図３は、クリーンスペース内を清浄な環境に保つ空気清浄化装置１として、前記構成の空気清浄化装置１を備えたクリーンカプセル１００の実施形態を示す要部断面図である。
【００３７】
本実施形態のクリーンカプセル１００はカプセルケース１０１を有しており、当該カプセルケース１０１内は、清浄な状態に保たれる小空間とされたクリーンスペース１０２と、前記クリーンスペース１０２の背面側に形成される側方空間部１０３と、前記クリーンスペース１０２および前記側方空間部１０３の上方に形成される上方空間部１０４とに区画されており、前記側方空間部１０３と上方空間部１０４は連通して空気循環経路１０５を形成するように構成されている。
【００３８】
本実施形態において、前記クリーンスペース１０２と前記側方空間部１０３とを区画する側方隔壁１０６には、当該クリーンスペース１０２の排出口１０８として作用する領域に複数の小孔１０７が隣位の２列において千鳥状に穿設されている。
【００３９】
また、図２に示すように、前記クリーンスペース１０２と前記上方空間部１０４とを区画する隔壁（以下、上方隔壁１０９という）は、前記後方隔壁１０６と前記後方隔壁１０６に対向して当該クリーンスペース１０２を構成する壁（端壁１１０）との間、つまり、当該クリーンスペース１０２を構成する背面側の側壁と正面側の側壁との間を開放する略矩形の開口１１１が形成されている。そして、前記開口１１１は、当該開口１１１に沿って移動自在に支持された外形略直方体の空気清浄化装置１と、前記空気清浄化装置１に隣接する前記開口１１１の開放部分を覆い、前記空気清浄化装置１の配設位置に応じて被覆領域を変化させうる被覆部材１２１とにより遮蔽されている。
【００４０】
詳しくは、図２に示すように、前記開口１１１の前記空気清浄化装置１のスライド方向における両側部には、断面コ字状の第１スライドレール１１２が配設されている。前記第１スライドレール１１２は、レール溝を互いに対向させ、かつ、当該カプセルケース１０１の正面側に配置される端部（以下、正面側端部という）が当該カプセルケース１０１の背面側に配置される端部（以下、背面側端部という）よりも低位置に位置するように、弧状にカーブを描くように傾斜して形成されている。
【００４１】
また、本実施形態においては、同じく断面コ字状の第２スライドレール１１３が、前記第１スライドレール１１２の下側に隣接させて配設されており、当該第２スライドレール１１３の前記空気清浄化装置１のスライド方向における両端部下面には、後述する被覆部材１２１を前記クリーンルーム内に垂下させるための切り欠き開口部１１４が形成されている。
前記空気清浄化装置１は、前述の実施形態に説明した構成とされており、本実施形態においては、前記フィルタケース１２の両側壁下端部近傍には外向きフランジ１２５が形成されており、当該外向きフランジ１２５を対向させて配設された前記第１スライドレール１１２のレール溝に遊嵌させて前記第１スライドレール１１２に支持させることで、当該開口１１１に沿ってスライド移動自在とされている。
【００４２】
また、前記フィルタケース１２の正面側端壁の下端部および背面側端壁の下端部には、それぞれ矩形状で可撓性を有する樹脂製のフィルムシートからなる前記被覆部材１２１の基端部が連設されている。前記被覆部材１２１としてのフィルムシートは、その幅寸法を、対向させて配設された前記第２スライドレール１１３のレール溝を構成する底壁間寸法より若干狭めの幅寸法に形成されている。そして、被覆部材１２１の側辺部分を第２スライドレール１１３の前記レール溝に遊嵌させ、前記第２スライドレール１１３に支持させることで、前記空気清浄化装置１のスライド移動に伴って、当該開口１１１における被覆領域を変化させるように展張自在とされている。
【００４３】
そして、前記フィルタケース１２の正面側端壁下端辺部分に連設された被覆部材１２１（以下、前方被覆シート１２１ａという）は、図２に示すように、前記空気清浄化装置１が前記第１スライドレール１１２の背面側端部に位置したときには、前記空気清浄化装置１とともに前記クリーンスペース１０２の上面を覆って前記クリーンスペース１０２と上方空間部１０４の隔壁として作用し、前記空気清浄化装置１が前記第１スライドレール１１２の正面側端部に位置したときには、図３に示すように、前記クリーンスペース１０２の正面側に開口する前記第２スライドレール１１３の切り欠き開口部１１４から前記クリーンスペース１０２内に、当該クリーンスペース１０２を構成する前記カプセルケース１０１の前端壁に沿ってその下端部近傍まで自重により垂下するように構成されている。
【００４４】
また、前記本体ケース１２２の背面側端壁下端辺に連設された被覆部材１２１（以下、後方被覆シート１２１ｂという）は、図２に示すように、前記空気清浄化装置１が前記第１スライドレール１１２の背面側端部に位置したときには、前記クリーンスペース１０２の背面側に開口する前記第２スライドレール１１３の切り欠き開口部１１４から前記クリーンスペース１０２内に、前記後方隔壁１０６に沿って当該後方隔壁１０６の下端部近傍まで自重により垂下して、前記後方隔壁１０６に穿設された複数の小孔１０７のうち、垂下する後方被覆シート１２１ｂに覆われていない、当該後方隔壁１０６の下端部近傍に穿設された複数の小孔１０７のみを当該クリーンスペース１０２の排出口１０８として作用させるように構成されている。そして、前記空気清浄化装置１が前記スライドレールの正面側端部に位置したときには、図３に示すように、前記空気清浄化装置１とともに前記クリーンスペース１０２の上面を覆って前記上方隔壁１０９として作用するように構成されている。つまり、後方被覆シート１２１ｂは、前記空気清浄化装置１の移動と連動し、前記後方隔壁１０６に形成された排出口１０８の遮蔽領域を変化させうる遮蔽部材として作用すると同時に、前記空気清浄化装置１に隣接する前記開口１１１の開放部分を覆い、前記空気清浄化装置１の配設位置に応じて被覆領域を変化させうる被覆部材１２１としても作用するように構成されている。
そして、このように前記空気清浄化装置１と、被覆部材１２１としての前方被覆シート１２１ａおよび後方被覆シート１２１ｂを配設して構成された前記上方隔壁１０９は、前記開口１１１の延在方向における前記クリーンスペース１０２の排出口１０８が形成された前記後方隔壁１０６側がその反対側、つまり、当該クリーンスペース１０２を構成する前記後方隔壁１０６の対向壁側よりも上方に位置するように傾斜して形成されることとなる。
【００４５】
なお、前記空気清浄化装置１に接続される各種ケーブル（図示せず）は、当該本体ケース１２２のスライド移動に支障ないように十分な長さで前記本体ケース１２２の後方端面から導出されている。
【００４６】
また、本実施形態において、前記空気循環経路１０５を構成する前記側方空間部１０３における前記排出口１０８の下流側には、当該空気循環経路１０５内に排気された空気を冷却する空気冷却装置１１５が配設されており、前記クリーンスペース１０２から排気された空気を冷却可能とされている。
【００４７】
そして、前記上方空間部１０４は、下面に開口部を配設した凹状の蓋体１３０を、前記クリーンスペース１０２および前記側方空間部１０３の上方に覆い被せるようにして配置させることにより形成されており、本実施形態においては、前記上方空間部１０４の高さ寸法は、前記空気清浄化装置１のスライド移動に支障のない高さ寸法とされている。前記蓋体１３０の背面側の端壁の下端辺と、前記側方空間部１０３を構成する当該カプセルケース１０１の背面側の端壁の上端辺とは枢着されており、この枢着された辺を当該蓋体１３０の開閉の回動軸として当該蓋体１３０の正面側を回動させつつ持ち上げることで、前記上方空間部１０４を開状態とし、前記空気清浄化装置１１２０および被覆部材１２１を前記開口１１１に沿って移動操作可能とされている。
【００４８】
次に、このように構成された本実施形態のクリーンカプセル１００の作用について説明する。
【００４９】
前記クリーンスペース１０２内から排気されて前記空気循環経路１０５の側方空間部１０３に回収された空気を前記空気冷却装置１１５を通過させることにより冷却し、前記空気循環経路１０５の前記上方空間部１０４へ流通させる。そして、前記空気清浄化装置１においては、前記吸込用空間１４部に至った前記処理対象となる空気としての回収空気を前記シロッコファン８のモータを駆動させることにより吸引して、前記ファンケース５内に取り込み、流れ方向を円周方向に変換して、前記送風ダクト９により前記第１連通口７へ案内する。そして、前記チャンバ３において、前記第１連通口７を通過する時点で主として動圧として供給された前記処理対象となる空気を静圧として作用する空気に変換し、そこから前記第２連通口１０から排出し、前記フィルタケース１２内のＨＥＰＡフィルタ１３を通過させて、前記排出口１１から前記クリーンスペース１０２に再供給する。
【００５０】
このとき、本実施形態のクリーンカプセル１００によれば、図２に示すように、前記空気清浄化装置１が前記第１スライドレール１１２の背面側端部に位置したときには、前記ファン部２は前記空気循環経路を構成する側方空間部１０３の上方に前記吸入口６を位置させ、前記吸込用空間１４を前記側方空間部１０３の下流部分に確保し、当該空気循環経路の上流から流れてくる回収空気をその吸入口６に受けるようにして吸入することができる。また、前記上方隔壁１０９は円弧状に形成されているので、図３に示すように、前記空気清浄化装置１が前記第１スライドレール１１２の正面側端部に位置したときには、前記ファン部２は前記空気循環経路を構成する上方空間部１０４内において、前記吸入口６を当該空気循環経路の上流方向に指向させるようにして位置し、当該空気循環経路の上流から流れてくる回収空気をその吸入口６に受けるようにして吸入することができる。
【００５１】
このように、本実施形態のクリーンカプセル１００によれば、前記空気清浄化装置１の配設や駆動に要する総高さ寸法（実質高さ）が抑えて構成されているので、当該空気清浄化装置１を配設する前記上方空間部１０４の高さ寸法も抑えることが可能となる。よって、クリーンカプセル１００自体の小型化を実現することができる。
【００５２】
また、空気清浄化装置１の前記空気の流通経路におけるファンケース５とフィルタケース１２との間に配設されたチャンバ３により、動圧として供給される空気を前記ＨＥＰＡフィルタ１３に対して均等に静圧を作用させる空気とすることができる。よって、前記空気清浄化装置１の排出口１１から前記クリーンスペース１０２内に排出される空気のムラをなくし、前記ＨＥＰＡフィルタ１３の全面において均等な風速を得ることができるものとなる。
【００５３】
なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の空気清浄化装置の実施形態における要部断面図
【図２】本発明のクリーンカプセルの実施形態における使用態様を示す要部断面図
【図３】本発明のクリーンカプセルの実施形態における別の使用態様を示す要部断面図
【図４】従来の空気清浄化装置の要部断面図
【図５】従来の空気清浄化装置の要部平面図
【符号の説明】
【００５５】
１  空気清浄化装置
２  ファン部
３  チャンバ
４  フィルタ部
５  ファンケース
６  吸入口
７  第１連通口
８  シロッコファン
９  送風ダクト
１０  第２連通口
１１  排出口
１２  フィルタケース
１３  ＨＥＰＡフィルタ
１４  吸込用空間
２１  本体ケース
２２  通気口
１００  クリーンカプセル
１０１  カプセルケース
１０２  クリーンスペース
１０３  側方空間部
１０４  上方空間部
１０５  空気循環経路
１０６  後方隔壁
１０７  小孔
１０８  排出口
１０９  上方隔壁
１１１  開口
１１２  第１スライドレール
１１３  第２スライドレール
１１４  切欠き開口部
１１５  空気冷却装置
１２１  被覆部材
１２２  本体ケース
１２３  取入口
１２４  排出口
１２５  外向きフランジ
１３０  蓋体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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