(57)【要約】【課題】  ドラム缶等の容器の内面や外面に油分や汚れが付着している場合でも、短時間に漏れ検査を行うことができ、容器の生産速度に対応可能な短時間で漏れ検査を行うことができ、作業者がオゾンを吸込むおそれが少なく安全性が高く、オゾン発生に要する所用動力を低減しエネルギー効率を高めることができる容器の漏れ検査方法と装置を提供する。【解決手段】  低濃度のオゾンガスを用いて被検容器１の内外面に付着する油分または汚れを分解するオゾンクリーニング工程と、オゾンクリーニング工程後に高濃度のオゾンガスを用いて被検容器の漏れを検査する漏れ検査工程とを有する。漏れ検査工程は、被検容器内にオゾンガスを封入するオゾン封入工程Ａと、オゾンガスを封入した前記容器の外側を気密に保持しかつ外側を減圧してオゾンガスの漏れの有無を検査する漏れ検査工程Ｂと、検査後の前記容器内からオゾンガスを回収しかつ空気で置換するオゾン回収工程Ｃとからなり、工程Ａ，Ｂ，Ｃを順に連続して行い、工程Ｃで回収したオゾンガスを濃縮して工程Ａで再利用する。【選択図】      図２
2005049335.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低濃度のオゾンガスを用いて被検容器の内外面に付着する油分または汚れを分解するオゾンクリーニング工程と、該オゾンクリーニング工程後に高濃度のオゾンガスを用いて被検容器の漏れを検査する漏れ検査工程とを有する、ことを特徴とする容器の漏れ検査方法。
【請求項２】
前記漏れ検査工程は、被検容器内にオゾンガスを封入するオゾン封入工程Ａと、オゾンガスを封入した前記容器の外側を気密に保持しかつ外側を減圧してオゾンガスの漏れの有無を検査する漏れ検査工程Ｂと、検査後の前記容器内からオゾンガスを回収しかつ空気で置換するオゾン回収工程Ｃとからなり、
前記工程Ａ，Ｂ，Ｃを順に連続して行い、工程Ｃで回収したオゾンガスを濃縮して工程Ａで再利用する、ことを特徴とする請求項１に記載の容器の漏れ検査方法。
【請求項３】
オゾン封入工程Ａにおいて、被検容器内から空気を吸引しながら被検容器内にオゾンガスを供給し、
オゾン回収工程Ｃにおいて、被検容器内からオゾンガスを吸引しながら被検容器内に空気を供給する、ことを特徴とする請求項２に記載の容器の漏れ検査方法。
【請求項４】
低濃度のオゾンガスを用いて被検容器の内外面に付着する油分または汚れを分解するオゾンクリーニング装置と、高濃度のオゾンガスを用いて被検容器の漏れを検査する漏れ検査設備とを有する、ことを特徴とする容器の漏れ検査装置。
【請求項５】
前記漏れ検査設備は、オゾンガスを発生し貯蔵するオゾンガス発生設備と、被検容器内にオゾンガスを封入するオゾン封入装置と、オゾンガスを封入した前記容器の外側を気密に保持しかつ外側を減圧してオゾンガスの漏れの有無を検査する漏れ検査装置と、検査後の前記容器内からオゾンガスを回収しかつ空気で置換するオゾン回収装置とからなり、オゾン回収装置で回収したオゾンガスをオゾンガス発生設備に供給して濃縮し再利用する、ことを特徴とする請求項４に記載の容器の漏れ検査装置。
【請求項６】
前記オゾンガス発生設備は、大気を吸引する吸引ポンプと、吸引した大気からオゾンガスを発生させるオソン発生器と、発生したオゾンガスを加圧して貯蔵するオゾン供給タンクとを有し、
前記オゾン封入装置は、オゾン供給タンクから被検容器内にオゾンガスを供給するオゾン供給ラインと、被検容器内から空気を吸引する排気ポンプと、吸引した空気を中和処理して排出する中和処理器とを有し、
前記漏れ検査装置は、オゾンガスを封入した前記容器を格納する減圧チャンバーと、該チャンバー内を減圧する減圧ポンプと、チャンバー内のオゾン濃度を検出するオゾンセンサと、チャンバー内に空気を供給して常圧に戻す空気供給装置とを有し、
前記オゾン回収装置は、容器内からオゾンガスを吸引するオゾン回収ラインを有し、該オゾン回収ラインは、前記吸引ポンプの吸引口に連結されている、ことを特徴とする請求項４に記載の容器の漏れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容器の漏れ検査方法と装置に係わり、更に詳しくは、オゾンガスを用いて微少漏れを短時間に安全に検出する漏れ検査方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ドラム缶、燃料タンク等の容器の製造工程や再生工程において、容器の気密性を検査する漏れ検査が不可欠となる。かかる漏れ検査は、従来、液浸法や石鹸法によって一般に行われている。液浸法は、容器内にガスを加圧して封入し、容器を水中に浸して容器の隙間から漏れる気泡により気密性を検査するものである。また、石鹸法は、容器内ガスを加圧して封入し、容器の表面に石鹸水を塗って、容器の隙間から発生する石鹸泡がにより気密性を検査するものである。
【０００３】
しかし、かかる液浸法や石鹸法は、検査に熟練を要するため信頼性が低く、かつ検査後に容器の乾燥や洗浄を必要とする欠点があった。また、エチレン等に有臭ガスを用いて漏れを検出する場合には、センサによる検出能力が低く、例えば約１０ｐｐｍ程度以上の高濃度で検出可能となるため、大量の有臭ガスを必要とし、かつ検査に長時間を必要とする欠点があった。
【０００４】
そこで、本発明の発明者等は、オゾンガスを用いた漏れ検査システムを創案し出願している（特許文献１、未公開）。
【０００５】
特許文献１の「容器のリーク検査方法とリーク検査装置」は、図５に示すように、容器５１のリーク検査装置であって、容器を密閉状態で内部に格納する格納容器５２と、容器または格納容器の一方に連通し加圧または減圧の一方の操作をする加減圧機器５３と、容器または格納容器のうち内圧の高いほうにオゾンガスを供給するオゾンガス供給機器５４
と、容器または格納容器のうち内圧の低い側のオゾン濃度を測定するオゾン濃度検知機器５５とを備え、オゾン濃度が所定の値をこえるときに容器にリークがあると判定するものである。
【０００６】
【特許文献１】特願２００１−３８２２７７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
オゾンを検出する半導体ガスセンサは、オゾン感度が高く、１０〜２５０ｐｐｂ（０．０１〜０．２５ｐｐｍ）の希薄なオゾンを短時間（１秒前後）で検出することができる。また、オゾンは、オゾン発生器を用いて空気を原料として放電等により比較的簡単に製造することができる。従って、オゾンガスを用いた漏れ検査システムは、従来の検査法（液浸法や石鹸法）に比較して、信頼性が高く、短時間で検査でき、特別がガスを必要としない、等の特徴を有している。
【０００８】
しかし上述した漏れ検査システムにおいて、容器が同一の貫通孔を有する場合でも、その内面や外面に少量でも油分や汚れが付着していると、油分や汚れと反応してオゾンが分解されるため、漏れ検査時間が通常の数秒間から例えばその３〜４倍以上にのびることがあった。
【０００９】
また油分や汚れが付着していない場合、上述した漏れ検査システムでは、オゾン充填後の漏れ検査自体は数秒間でできるものの、その準備（オゾンの充填）と後処理（オゾンの排気）にそれぞれ１０秒間程度を必要とするため、１缶の検査に３０秒以上を必要とする。これに対して、例えばドラム缶の生産速度は、１分当たり５缶以上（１２秒以下／缶）と高速のため、現状以上の検査時間の短縮化が望まれていた。
【００１０】
また、オゾンガスは毒性を有するため、作業者がこれを吸込むと健康を害するおそれがある。従って、オゾンを用いた漏れ検査において作業者がオゾンを吸込むおそれが少ないシステムが強く望まれていた。
【００１１】
さらに、オゾンは、オゾン発生器を用いて比較的簡単に製造することができるものの、大量に消費するとオゾン発生器の所用動力が過大となり、エネルギー効率が大幅に低下する。そこで、オゾン発生に要する所用動力を低減し、エネルギー効率を高めることができるシステムが要望されていた。
【００１２】
本発明は、これらの要望を満たすために創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、ドラム缶等の容器の内面や外面に油分や汚れが付着している場合でも、短時間に漏れ検査を行うことができ、容器の生産速度に対応可能な短時間で漏れ検査を行うことができ、作業者がオゾンを吸込むおそれが少なく安全性が高く、オゾン発生に要する所用動力を低減しエネルギー効率を高めることができる容器の漏れ検査方法と装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によれば、低濃度のオゾンガスを用いて被検容器の内外面に付着する油分または汚れを分解するオゾンクリーニング工程と、該オゾンクリーニング工程後に高濃度のオゾンガスを用いて被検容器の漏れを検査する漏れ検査工程とを有する、ことを特徴とする容器の漏れ検査方法が提供される。
【００１４】
本発明の好ましい実施形態によれば、被検容器内にオゾンガスを封入するオゾン封入工程Ａと、オゾンガスを封入した前記容器の外側を気密に保持しかつ外側を減圧してオゾンガスの漏れの有無を検査する漏れ検査工程Ｂと、検査後の前記容器内からオゾンガスを回収しかつ空気で置換するオゾン回収工程Ｃとからなり、前記工程Ａ，Ｂ，Ｃを順に連続して行い、工程Ｃで回収したオゾンガスを濃縮して工程Ａで再利用する。
【００１５】
また、オゾン封入工程Ａにおいて、被検容器内から空気を吸引しながら被検容器内にオゾンガスを供給し、オゾン回収工程Ｃにおいて、被検容器内からオゾンガスを吸引しながら被検容器内に空気を供給する。
【００１６】
また本発明によれば、低濃度のオゾンガスを用いて被検容器の内外面に付着する油分または汚れを分解するオゾンクリーニング装置と、高濃度のオゾンガスを用いて被検容器の漏れを検査する漏れ検査設備とを有する、ことを特徴とする容器の漏れ検査装置が提供される。
【００１７】
本発明の好ましい実施形態によれば、オゾンガスを発生し貯蔵するオゾンガス発生設備と、被検容器内にオゾンガスを封入するオゾン封入装置と、オゾンガスを封入した前記容器の外側を気密に保持しかつ外側を減圧してオゾンガスの漏れの有無を検査する漏れ検査装置と、検査後の前記容器内からオゾンガスを回収しかつ空気で置換するオゾン回収装置とからなり、オゾン回収装置で回収したオゾンガスをオゾンガス発生設備に供給して濃縮し再利用する。
【００１８】
また、前記オゾンガス発生設備は、大気を吸引する吸引ポンプと、吸引した大気からオゾンガスを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンガスを加圧して貯蔵するオゾン供給タンクとを有し、
前記オゾン封入装置は、オゾン供給タンクから被検容器内にオゾンガスを供給するオゾン供給ラインと、被検容器内から空気を吸引する排気ポンプと、吸引した空気を中和処理して排出する中和処理器とを有し、
前記漏れ検査装置は、オゾンガスを封入した前記容器を格納する減圧チャンバーと、該チャンバー内を減圧する減圧ポンプと、チャンバー内のオゾン濃度を検出するオゾンセンサと、チャンバー内に空気を供給して常圧に戻す空気供給装置とを有し、
前記オゾン回収装置は、容器内からオゾンガスを吸引するオゾン回収ラインを有し、該オゾン回収ラインは、前記吸引ポンプの吸引口に連結されている。
【発明の効果】
【００１９】
上記本発明の方法及び装置によれば、オゾンクリーニング装置と漏れ検査設備を有し、漏れ検査工程の前に、オゾンクリーニング工程において低濃度のオゾンガスを用いて被検容器の内外面に付着する油分または汚れを分解するので、ドラム缶等の容器の内面や外面に油分や汚れが付着している場合でも、これらとオゾンが反応して予め分解するため、引き続く漏れ検査におけるオゾンの分解が少なく、油分等が付着しない場合と同様に短時間に漏れ検査を行うことができる。
【００２０】
また、本発明の方法及び装置によれば、工程Ａ，Ｂ，Ｃを順に連続して行うので、各工程で検査を流れ作業で行うことができ、ドラム缶の生産速度に対応可能な短時間（例えば１缶当たり１０秒前後）で漏れ検査を行うことができる。すなわち、ラインに適したＡ，Ｂ，Ｃの工程に分け、必要によりある工程（例えば検査工程）を複数の並列に設けることでバランスを取り、高速処理を可能にできる。
【００２１】
また、漏れ検査工程Ｂにおいて、容器の外側を気密に保持しかつ外側を減圧してオゾンガスの漏れの有無を検査するので、容器に漏れがある場合でも減圧部から外部への漏れを完全に防止することができる。
さらに、被検容器内から空気を吸引しながら被検容器内にオゾンガスを供給し、被検容器内からオゾンガスを吸引しながら被検容器内に空気を供給するので、作業者がオゾンを吸込むおそれが少なく、安全性を高めることができる。
【００２２】
また、オゾンガスを回収し、濃縮して再利用するので、オゾン発生に要する所用動力を低減しエネルギー効率を高めることができる。すなわち、一度利用したオゾンガスを回収し、オゾン分解で減量したオゾンのみをオゾン発生機を通して補い、オゾン供給タンクに圧送し、このオゾンを新しい試験体（被検容器）の検知ガスとして使い、オゾンの利用効率を上げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００２４】
図１は、本発明の漏れ検査装置の全体構成図である。この図に示すように、本発明の漏れ検査装置は、オゾンクリーニング装置１００と漏れ検査設備２００からなる。
【００２５】
この例で、オゾンクリーニング装置１００は、低濃度オゾン供給ライン５、低濃度タンク６、クリーニングガス供給ライン７、オゾンクリーニング室８、及び低濃度オゾン供給ライン９からなる。
【００２６】
低濃度オゾン供給ライン５は、漏れ検査設備２００から低濃度（例えば１０〜５０ｐｐｍ）のオゾンガスを供給する。低濃度タンク６は、供給された低濃度のオゾンガスを貯蔵する。クリーニングガス供給ライン７は、低濃度のオゾンガスをクリーニングガスとして被検容器１の内部及び外部に供給する。オゾンクリーニング室８は、オゾンガスが外部に漏れないように被検容器１を収容する。低濃度オゾン供給ライン９は、オゾンクリーニング室８から低濃度のオゾンガスを漏れ検査設備２００へ排気する。
この構成により、オゾンクリーニング装置１００により、低濃度のオゾンガスを用いて被検容器１の内外面に付着する油分または汚れを分解することができる。
【００２７】
漏れ検査設備２００は、大気から放電等によりオゾンガスを発生させるオゾンガス発生設備１０を有し、  高濃度（例えば１００〜４００ｐｐｍ）のオゾンガスを用いて被検容器１の漏れを検査する機能を有する。なお、この漏れ検査設備２００は、オゾンクリーニング装置１００と併用せずに単独で用いることもできる。
【００２８】
上述した装置を用い、本発明の容器の漏れ検査方法は、オゾンクリーニング工程Ｓ１とこれに引き続く漏れ検査工程Ｓ２を有する。
オゾンクリーニング工程Ｓ１では、低濃度のオゾンガスを用いて被検容器１の内外面に付着する油分または汚れを分解する。漏れ検査工程Ｓ２では、オゾンクリーニング工程後に高濃度のオゾンガスを用いて被検容器１の漏れを検査する。
【００２９】
上述した本発明の方法及び装置によれば、オゾンクリーニング装置１００と漏れ検査設備２００を有し、漏れ検査工程Ｓ２の前に、オゾンクリーニング工程Ｓ１において低濃度のオゾンガスを用いて被検容器１の内外面に付着する油分または汚れを分解するので、ドラム缶等の容器の内面や外面に油分や汚れが付着している場合でも、これらとオゾンが反応して予め分解するため、引き続く漏れ検査におけるオゾンの分解が少なく、油分等が付着しない場合と同様に短時間に漏れ検査を行うことができる。
【００３０】
図２は、漏れ検査設備２００の全体構成図である。この図に示すように、漏れ検査設備２００は、オゾンガス発生設備１０、オゾン封入装置２０、漏れ検査装置３０およびオゾン回収装置４０を備える。この漏れ検査は、工程Ａ，Ｂ，Ｃの順で行われる。
【００３１】
オゾンガス発生設備１０は、吸引ポンプ１２、オゾン発生器１４、加圧ポンプ１５、及びオゾン供給タンク１６を有する。
【００３２】
工程Ａにおいて、吸引ポンプ１２は、後述するオゾン回収ライン４１を介して大気を吸引する。吸引した低濃度のオゾンガスは、上述した低濃度オゾン供給ライン５を介して低濃度タンク６に供給され、残りはオゾン発生器１４に供給される。
【００３３】
オゾン発生器１４は、吸引した大気から放電等によりオゾンガスを発生させる。発生したオゾンガスは、常圧または常圧に近い低圧（例えば０．５ｋｇ／ｃｍ２ｇ程度）でオゾンタンク１３内に貯蔵する。このオゾンタンク１３内のオゾン濃度は、例えば循環ライン１７のバルブ１７ａの開閉操作とオゾン発生器１４のＯＮ／ＯＦＦにより所定の高濃度（例えば１００〜４００ｐｐｍ）に保持する。  
加圧ポンプ１５は、オゾンタンク１３からオゾンガスを吸込み所定の圧力（例えば２〜３ｋｇ／ｃｍ２ｇ程度）に加圧して、オゾン供給タンク１６に貯蔵する。オゾン供給タンク１６は、例えば１００〜４００ｐｐｍの高濃度オゾンを貯蔵する高濃度タンクである。
【００３４】
オゾン封入装置２０は、オゾン供給ライン２２、排気ポンプ２４および中和処理器２６を有する。
オゾン供給ライン２２は、一端がオゾン供給タンク１６に連結され、他端がフレキシブルチューブ２１を介して被検容器１の内部下端まで挿入可能に構成されており、中間に設けられた開閉弁２２ａを開くことにより、加圧されたオゾンガスを被検容器１内の底部から短時間（例えば５秒以内）で供給するようになっている。なおこの際、容器１の開口には漏れを防止するシール（図示せず）が取り付けられる。
【００３５】
排気ポンプ２４は、オゾン供給ライン２２とほぼ平行に設けられた排気ライン２３を介して被検容器１内の上部から空気を吸引し、被検容器１内から排出される空気およびこれと同伴されるオゾンガスの外部への拡散を防止する。なお、２３ａは排気ライン２３に設けられた開閉弁２２ａである。
オゾン供給ライン２２と排気ポンプ２４は、被検容器１内から空気を吸引しながら被検容器内にオゾンガスを供給することにより、オゾンガスの外部への漏れを防止している。オゾンガスで内部を置換した容器１は、キャップ締め込み機２でキャップ３を開口に締め込み、次の工程Ｂに送られる。
【００３６】
中和処理器２６は、触媒反応器であり、吸引した空気に含まれるオゾンガスを中和処理して酸素に戻し、大気中に排出する。なお排気ポンプ２４と中和処理器２６を結ぶ排気ライン２５には、分岐してオゾンタンク１３に連通する分岐ライン２７とこれに設けられた開閉弁２７ａが設けられ、オゾンガス封入時に漏洩するオゾンガスをオゾンタンク１３に回収するようになっている。なお、オゾン供給タンク１６に回収するために同様の分岐ラインをオゾン供給タンク１６側に設けてもよい。
また、排気ライン２５には、オゾンクリーニング室８から低濃度オゾン供給ライン９を介して低濃度のオゾンガスが供給されるようになっている。
【００３７】
漏れ検査装置３０は、減圧チャンバー３２、減圧ポンプ３４、オゾンセンサ３６および空気供給装置３８を有する。
減圧チャンバー３２は、この例では下方が開口した容器であり、検査台３１の上にオゾンガスを封入した容器１を載せ、減圧チャンバー３２を上からかぶせることにより、減圧チャンバー３２内に容器１を気密に格納する。
工程Ｂにおいて、減圧ポンプ３４は、減圧ライン３３と開閉弁３３ａを介してチャンバー内の空気を排気して内部を減圧する。排気した空気は、３方弁３５と中和処理器３９を介して大気中に排出する。
【００３８】
オゾンセンサ３６は、オゾン感度が高く、１０〜２５０ｐｐｂ（０．０１〜０．２５ｐｐｍ）の希薄なオゾンを短時間（１秒前後）で検出することができる半導体ガスセンサである。またこのオゾンセンサ３６は、検査台３１または減圧ライン３３と連通して設けられ、チャンバー内のオゾン濃度を検出する。このオゾンセンサ３６により、チャンバー３２内のオゾン濃度を検知し、減圧後一定時間（例えば５秒以内）の間に所定濃度、例えば１０〜５０ｐｐｂ（０．０１〜０．０５ｐｐｍ）以上に達した場合には漏れ有りと判断する。
【００３９】
空気供給装置３８は、空気供給弁３８ａを有し、これを開いて検査後のチャンバー３２内に大気中の空気を供給して常圧に戻す。またこの例では、バッファタンク３７を有し、減圧ポンプ３４で排気した空気を加圧状態で保持し、空気供給装置３８による供給時間を短縮するようになっている。
【００４０】
工程Ｃにおいて、先ず、キャップ取り外し機４でキャップ３を取り外し、容器１の開口を開放する。
オゾン回収装置４０は、容器１内からオゾンガスを吸引するオゾン回収ライン４１を有する。このオゾン回収ライン４１は、オゾンガス発生設備１０の吸引ポンプ１２の吸引口に連結されており、検査後の容器１内からオゾンガスを回収するようになっている。またこの回収の際、容器１の口はシールなし開放され、オゾンガスの回収に伴い空気が内部に流入して置換する。
またこの例で、オゾン回収装置４０は、オゾン回収ライン４１と排気ポンプ２４の吸込側を連通する空気回収ライン４２を有し、オゾンガス回収後の空気を排気ポンプ２４に供給し、吸引した空気に含まれるオゾンガスを中和処理器２６で中和処理して酸素に戻し、大気中に排出するようになっている。
さらに、この例では、バイパスライン４３と開閉弁４３ａを備え、吸引ポンプ１２で吸引した空気を直接中和処理器２６に供給できるようになっている。
【００４１】
次に漏れ検査設備２００における容器の漏れ検査方法を説明する。本発明の方法は上述した装置を用いて、オゾン封入工程Ａと漏れ検査工程Ｂとオゾン回収工程Ｃを順に連続して行う。
【００４２】
オゾン封入工程Ａでは、被検容器１内にオゾンガスを封入する。またこのオゾン封入工程Ａにおいて、被検容器１内から空気を吸引しながら被検容器１内にオゾンガスを供給する。
【００４３】
漏れ検査工程Ｂでは、オゾンガスを封入した容器１の外側を気密に保持し、かつ外側を減圧してオゾンガスの漏れの有無を検査する。
【００４４】
オゾン回収工程Ｃでは、検査後の容器内１からオゾンガスを回収しかつ空気で置換する。またこのオゾン回収工程Ｃにおいて、被検容器１内からオゾンガスを吸引しながら被検容器１内に空気を供給する。さらに工程Ｃで回収したオゾンガスを濃縮して工程Ａで再利用する。
【００４５】
上述した本発明の方法及び装置によれば、工程Ａ，Ｂ，Ｃを順に連続して行うので、各工程で検査を流れ作業で行うことができ、ドラム缶の生産速度に対応可能な短時間（例えば１缶当たり１０秒前後）で漏れ検査を行うことができる。すなわち、ラインに適したＡ，Ｂ，Ｃの工程に分け、必要によりある工程（例えば検査工程）を複数の並列に設けることでバランスを取り、高速処理を可能にできる。
【００４６】
また、漏れ検査工程Ｂにおいて、容器の外側を気密に保持しかつ外側を減圧してオゾンガスの漏れの有無を検査するので、容器に漏れがある場合でも減圧部から外部への漏れを完全に防止することができる。
さらに、被検容器内から空気を吸引しながら被検容器内にオゾンガスを供給し、被検容器内からオゾンガスを吸引しながら被検容器内に空気を供給するので、作業者がオゾンを吸込むおそれが少なく、安全性を高めることができる。
【００４７】
また、オゾンガスを回収し、濃縮して再利用するので、オゾン発生に要する所用動力を低減しエネルギー効率を高めることができる。すなわち、一度利用したオゾンガスを回収し、オゾン分解で減量したオゾンのみをオゾン発生機を通して補い、オゾン供給タンクに圧送し、このオゾンを新しい試験体（被検容器）の検知ガスとして使い、オゾンの利用効率を上げることができる。
【実施例１】
【００４８】
図３は、本発明による新缶の試験結果である。この例は、直径１００μｍの微細な貫通孔を有する製造したばかりの新缶を用い、オゾンクリーニングの有無によるオゾン検出特性を比較したものである。この図において横軸は検査時間（ｓｅｃ）、縦軸は検出されたオゾンセンサの出力（ｖ）である。なおオゾンセンサの出力は、０．０５Ｖが検出限界である。
この例から、漏れ検査工程Ｓ２の前に、オゾンクリーニング工程Ｓ１を行うことにより、検出限界（０．０５Ｖ）に達するまでの経過時間を、オゾンクリーニングなしの約２８０秒から、オゾンクリーニングありの約４０秒に、約１／６以下まで短縮できることがわかる。
【実施例２】
【００４９】
図４は、本発明による油付着缶の試験結果である。この例は、直径１００μｍの微細な貫通孔を有する油分が付着した油付着缶を用い、溶媒を用いて完全に洗浄した場合とオゾンクリーニングの有無とでオゾン検出特性を比較したものである。この図において横軸は検査時間（ｓｅｃ）、縦軸は検出されたオゾンセンサの出力（ｖ）である。なおオゾンセンサの出力は、０．０５Ｖが検出限界である。
この例から、漏れ検査工程Ｓ２の前に、オゾンクリーニング工程Ｓ１を行うことにより、検出限界（０．０５Ｖ）に達するまでの経過時間を、油付着缶の場合でも、オゾンクリーニングなしの検出不能（約３７０秒以上）から、オゾンクリーニングありの約１００秒まで短縮できることがわかる。なお溶媒を用いて完全に洗浄した場合に比べるとオゾンクリーニングありでも検出時間は少し長いが、溶媒を用いた洗浄は、時間と費用がかかり、かつ着火等のおそれがあることから、オゾンクリーニングの方が好ましいといえる。
なお、試験で用いた油分の付着量は未計測であるが微量であるため、油分の付着量によっては、溶媒を用いた洗浄を併用する必要がある。
【００５０】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更することができることは勿論である。例えば上述した漏れ検査設備を、オゾンクリーニング装置と併用せずに単独で用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の漏れ検査装置の全体構成図である。
【図２】漏れ検査設備２００の全体構成図である。
【図３】本発明による新缶の試験結果である。
【図４】本発明による油付着缶の試験結果である。
【図５】特許文献１の構成図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  容器、２  キャップ締め込み機、３  キャップ、４  キャップ取り外し機、
５  低濃度オゾン供給ライン、６  低濃度タンク、
７  クリーニングガス供給ライン、８  オゾンクリーニング室、９  低濃度オゾン供給ライン、
１０  オゾンガス発生設備、１２  吸引ポンプ、１３  オゾンタンク、
１４  オゾン発生器、１５  加圧ポンプ、１６  オゾン供給タンク（高濃度タンク）、
２０  オゾン封入装置、２２  オゾン供給ライン、２３  排気ライン、
２４  排気ポンプ、２５  排気ライン、２６  中和処理器、２７  分岐ライン、
３０  漏れ検査装置、３２  減圧チャンバー、３３  減圧ライン、
３４  減圧ポンプ、３５  ３方弁、３６  オゾンセンサ、
３７  バッファタンク、３８  空気供給装置、３９  中和処理器、
４０  オゾン回収装置、４１  オゾン回収ライン、
４２  空気回収ライン、４３  バイパスライン、
１００  オゾンクリーニング装置、２００  漏れ検査設備
【図１】
2005049335.tif 000003
【図２】
2005049335.tif 000004
【図３】
2005049335.tif 000005
【図４】
2005049335.tif 000006
【図５】
2005049335.tif 000007