(57)【要約】      （修正有）【課題】不良スポットの発生の減少、スポット形成位置の高精度化及び高密度化、並びにスポット形状の安定化を図ることができるマイクロアレイの製造方法を提供する。【解決手段】（Ａ）液体試料Ｓを検査担体６５上に試みに着弾させて検査スポット７５を形成し、得られた検査スポット７５の品質を検査して、不良ユニット５１を検出する工程と、（Ｂ）検出された不良ユニット５１が、爾後、吐出口４から液体試料Ｓを外部に吐出するのを停止させることによって、不良スポット７１の形成を停止させる処置をする工程と、（Ｃ）合格ユニット５２を用いて、担体６０上に、合格スポット７２を形成し、合格マイクロアレイ１０２を得る工程と、（Ｄ）得られた合格マイクロアレイ１０２の、（Ｂ）の工程における処置によって形成されることのなかった不良スポット７１に対応した位置に、本来形成されるべきであった合格スポット７２を形成させる工程とを含む。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体試料の注入口、流路、貯留室及び吐出口を有する基体と、前記基体上の前記貯留室に対応する箇所に配設された圧電／電歪素子とを備えた吐出ユニットの複数を用い、前記吐出口から外部に吐出させた前記液体試料を、担体上に着弾させて、前記担体上に前記吐出ユニットのそれぞれに対応した試料スポットを形成し、前記担体上に前記試料スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイを得るマイクロアレイの製造方法であって、
（Ａ）前記吐出口から外部に吐出させた前記液体試料を、検査用の担体（検査担体）上に試みに着弾させて、検査用の試料スポット（検査スポット）を形成し、得られた前記検査スポットの品質を検査し、不良又は合格の判定をすることによって、不良と判定された前記吐出ユニット（不良ユニット）を検出する工程と、
（Ｂ）検出された前記不良ユニットが、爾後、前記吐出口から前記液体試料を外部に吐出するのを停止させることによって、前記不良ユニットに対応した前記試料スポット（不良スポット）の形成を停止させる処置をする工程と、
（Ｃ）前記不良ユニット以外の前記吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、前記担体上に、前記合格ユニットのそれぞれに対応した前記試料スポット（合格スポット）を形成し、前記担体上に前記合格スポットを所定パターンで整列させた前記マイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得る工程と、
（Ｄ）得られた前記合格マイクロアレイの、前記（Ｂ）の工程における処置によって形成されることのなかった前記不良スポットに対応した位置に、本来形成されるべきであった前記合格スポットを形成し、前記担体上に前記合格スポットを所定パターンで整列させた前記マイクロアレイ（完成品マイクロアレイ）を得る工程と、を含むマイクロアレイの製造方法。
【請求項２】
前記（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）の一連の工程を複数回繰り返し、次いで、前記（Ｄ）の工程を行う請求項１に記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項３】
前記（Ｂ）の工程において、前記不良スポットの形成を停止させる処置が、前記不良ユニットに注入された前記液体試料を抜き取って空にする処置である請求項１又は２に記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項４】
前記液体試料を抜き取って空にした後に、さらに、前記不良ユニット内を洗浄する請求項３に記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項５】
前記（Ｂ）の工程において、前記不良スポットの形成を停止させる処置が、前記圧電／電歪素子を駆動させるための電気信号の送信を停止する処置である請求項１又は２に記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項６】
前記（Ａ）の工程における前記検査スポットを形成する際の前記検査担体と前記吐出口との間の距離を、前記（Ｃ）の工程における前記合格スポットを形成する際の前記担体と前記吐出口との間の距離よりも大に設定する請求項１〜５のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項７】
前記（Ｄ）の工程において、前記合格マイクロアレイが複数枚の場合、前記合格マイクロアレイの、前記（Ｂ）の工程における処置によって形成されることのなかった前記不良スポットに対応した位置に、本来形成されるべきであった前記合格スポットを、前記（Ｃ）の工程における前記合格スポットを形成した順番とは逆の順番で形成する請求項２〜６のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項８】
液体試料の注入口、流路、貯留室及び吐出口を有する基体と、前記基体上の前記貯留室に対応する箇所に配設された圧電／電歪素子とを備えた吐出ユニットの複数を用い、前記吐出口から外部に吐出させた前記液体試料を、担体上に着弾させて、前記担体上に前記吐出ユニットのそれぞれに対応した試料スポットを形成し、前記担体上に前記試料スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイを得るマイクロアレイの製造方法であって、
（Ａ）前記吐出口から外部に吐出させた前記液体試料を、検査用の担体（検査担体）上に試みに着弾させて、検査用の試料スポット（検査スポット）を形成し、得られた前記検査スポットの品質を検査し、不良又は合格の判定をすることによって、不良と判定された前記吐出ユニット（不良ユニット）を検出する工程と、
（Ｂ）検出された前記不良ユニットが、爾後、前記吐出口から前記液体試料を外部に吐出するのを停止させることによって、前記不良ユニットに対応した前記試料スポット（不良スポット）の形成を停止させる処置をする工程と、
（Ｃ）前記不良ユニット以外の前記吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、前記担体上に、前記合格ユニットのそれぞれに対応した前記試料スポット（合格スポット）を形成し、前記担体上に前記合格スポットが所定パターンに整列した前記マイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得る工程と、
（Ｅ）得られた前記合格マイクロアレイの前記合格スポットの品質を検査することによって、不良と判定された前記吐出ユニット（第二の不良ユニット）を検出する工程と、
（Ｆ）検出された前記第二の不良ユニットが、爾後、前記吐出口から前記液体試料を外部に吐出するのを停止させることによって、前記第二の不良ユニットに対応した前記試料スポット（第二の不良スポット）の形成を停止させる処置をする工程と、
（Ｇ）前記不良ユニット及び前記第二の不良ユニット以外の前記吐出ユニット（第二の合格ユニット）を用いて、前記担体上に、前記第二の合格ユニットのそれぞれに対応した前記試料スポット（第二の合格スポット）を形成し、前記担体上に前記第二の合格スポットが所定パターンに整列した前記マイクロアレイ（第二の合格マイクロアレイ）を得る工程と、
（Ｈ）得られた前記第二の合格マイクロアレイの、前記（Ｂ）及び前記（Ｅ）の工程における処置によって形成されることのなかった前記不良スポット及び前記第二の不良スポットに対応した位置に、本来形成されるべきであった前記合格スポット及び前記第二の合格スポットを形成し、前記担体上に前記合格スポット及び前記第二の合格スポットが所定パターンに整列した前記試料マイクロアレイ（完成品マイクロアレイ）を得る工程と、を含むマイクロアレイの製造方法。
【請求項９】
前記（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｅ）、（Ｆ）及び（Ｇ）の一連の工程を複数回繰り返し、次いで、前記（Ｈ）の工程を行う請求項８に記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項１０】
前記（Ｅ）の工程において、得られた前記合格マイクロアレイの前記合格スポットの品質を、同時期の繰り返しの際に形成された前記合格スポットのみを顕在化させて表示することが可能な表示手段を用いて、画像処理で検査するか又は目視によって検査することによって、不良又は合格の判定をし、不良と判定された前記吐出ユニット（第二の不良ユニット）を検出する請求項８又は９に記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項１１】
前記（Ｂ）及び／又は（Ｆ）の工程において、前記不良ユニット及び／又は第二の不良ユニットに対応した前記不良スポット及び／又は第二の不良スポットの形成を停止させる処置が、前記不良ユニット及び／又は第二の不良ユニットに注入された前記液体試料を抜き取って空にする処置である請求項８〜１０のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項１２】
前記液体試料を抜き取って空にした後に、前記不良ユニット及び／又は第二の不良ユニット内をさらに洗浄する請求項１１に記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項１３】
前記（Ｂ）及び／又は（Ｆ）の工程において、前記不良ユニット及び／又は第二の不良ユニットに対応した前記不良スポット及び／又は第二の不良スポットの形成を停止させる処置が、前記圧電／電歪素子を駆動させるための電気信号の送信を停止する処置である請求項８〜１０のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項１４】
前記（Ａ）の工程における前記検査スポットを形成する際の前記検査担体と前記吐出口との間の距離を、前記（Ｃ）及び／又は前記（Ｇ）の工程における前記第一及び／又は第二の合格スポットを形成する際の前記担体と前記吐出口との間の距離よりも大に設定する請求項８〜１３のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項１５】
前記（Ｈ）の工程における前記第二の合格マイクロアレイの、前記（Ｂ）及び／又は（Ｆ）の工程における処置によって形成されることのなかった前記不良スポット及び第二の不良スポットに対応した位置に、本来形成されるべきであった前記合格スポット及び第二の合格スポットを、前記（Ｇ）の工程において前記第二の合格スポットを形成した順番とは逆の順番で形成する請求項８〜１４のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれかに記載の方法を用いて製造されたマイクロアレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロアレイ（例えば、バイオチップ等）の製造方法に関する。さらに詳しくは、所定の担体（基板）上に微小体積の液体試料の液滴を着弾させて高密度に整列、固定した微小スポット（試料スポット）を形成させることによってマイクロアレイを製造する場合に、不良スポットの発生の減少、スポット形成位置の高精度化及び高密度化、並びにスポット形状の安定化を図ることができ、高精細で、解析時間の短縮化が可能なマイクロアレイを得ることができるマイクロアレイの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年における遺伝子構造の解析方法の進歩は目覚しく、ヒトの遺伝子を初めとして、多数の遺伝子構造が明らかにされてきている。このような遺伝子構造の解析には、スライドガラス等の担体（基板）上に数千から数万種類以上の異種のＤＮＡを含む溶液を微小スポットとして整列、固定させたＤＮＡマイクロアレイ（バイオチップ）が用いられている。
【０００３】
このようなマイクロアレイの製造方法としては、インクジェット方式を用いた方法が、スポッティング動作の高速化、スポット品質の均一化の点から採用され始めている。
【０００４】
このようなマイクロアレイの製造方法としては、例えば、注入口、流路、キャビティ（貯留室）及び吐出口が形成された本体（基体）と圧電／電歪素子とを備えた吐出ユニットを用い、液体試料を、注入口を経由してキャビティに導入し、吐出口に対向した位置に担体（基板）を配設し、キャビティに導入した液体試料を、吐出口から微小体積の液滴として吐出させて、担体（基板）上にスポットを形成させるとともに、この工程を、複数種の液体試料について繰り返すことによって、担体（基板）上に複数種の液体試料からなる複数種のスポットを高密度に配列したバイオチップを製造する方法が開示されている（特許文献１参照）。この方法は、一以上の吐出ユニットから構成されてなる吐出モジュールを一以上備えた吐出ヘッドを用いて、複数種の液体試料のうちの少なくとも一種の試料を、吐出ヘッドにおける吐出ユニットの注入口から、一つの吐出ユニットには一種の試料のみが配設されるようにそれぞれ注入することによって、キャビティにそれぞれ導入し、一以上の担体（基板）が固定されてなる一以上のトレーが、脱着可能に載置された移動テーブルを、担体（基板）上の所定位置に対応した吐出ユニットの吐出位置まで移動させるとともに、吐出口から、キャビティに導入した各液体試料を、担体（基板）上の所定の位置に液滴として吐出させて、担体（基板）上に、複数種の液体試料からなるスポットを高密度に配列させることによって、スポットの形成作業の高精細化及びスポットの形成作業時間の短縮化が図ることができるという優れた効果を発揮するものである。
【特許文献１】国際公開第０２／９０９８４号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、マイクロアレイの高品質化に対する要請が飛躍的に増大した現在、これまでの方法においては、スポットの形成作業中に、不良スポットが発生した場合、スポット形成装置の運転を停止し、吐出ユニットのうち、不良スポットを発生した吐出ユニット（不良ユニット）の吐出条件を再設定したり、不良ユニットに液体試料を再注入（充填）した後に、装置の運転を再開して、復旧した不良ユニットを含めた吐出可能な全吐出ユニットを用いて、スポットの形成を再開していたため、スポットの劣化が発生するということまでもが問題となるに至っている。この原因は定かではないが、例えば、吐出ユニットを長時間停止させることに起因して吐出ユニット内における液体試料が沈殿、分離、濃度変化等を起こすことや、吐出ユニットの吐出孔（ノズル）近辺での液体試料の乾燥、増粘、固体成分の析出が発生することや、各吐出ユニット間における液体試料の滞留時間が異なったものとなることから誘発される吐出条件の不一致等が考えられる。また、不良スポットを発生する不良ユニットの特定に手間が掛かり、作業効率を低下させるということまでもが問題となるに至っている。本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、不良スポットの発生の減少、スポット形成位置の高精度化及び高密度化、並びにスポット形状の安定化を図ることができ、高品質で、解析時間の短縮化が可能なマイクロアレイを得ることができるマイクロアレイの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明によれば以下のマイクロアレイの製造方法が提供される。
【０００７】
［１］液体試料の注入口、流路、貯留室及び吐出口を有する基体と、前記基体上の前記貯留室に対応する箇所に配設された圧電／電歪素子とを備えた吐出ユニットの複数を用い、前記吐出口から外部に吐出させた前記液体試料を、担体上に着弾させて、前記担体上に前記吐出ユニットのそれぞれに対応した試料スポットを形成し、前記担体上に前記試料スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイを得るマイクロアレイの製造方法であって、（Ａ）前記吐出口から外部に吐出させた前記液体試料を、検査用の担体（検査担体）上に試みに着弾させて、検査用の試料スポット（検査スポット）を形成し、得られた前記検査スポットの品質を検査し、不良又は合格の判定をすることによって、不良と判定された前記吐出ユニット（不良ユニット）を検出する工程（以下、「工程（Ａ）ということがある」）と、（Ｂ）検出された前記不良ユニットが、爾後、前記吐出口から前記液体試料を外部に吐出するのを停止させることによって、前記不良ユニットに対応した前記試料スポット（不良スポット）の形成を停止させる処置をする工程（以下、「工程（Ｂ）ということがある」）と、（Ｃ）前記不良ユニット以外の前記吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、前記担体上に、前記合格ユニットのそれぞれに対応した前記試料スポット（合格スポット）を形成し、前記担体上に前記合格スポットを所定パターンで整列させた前記マイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得る工程（以下、「工程（Ｃ）ということがある」）と、（Ｄ）得られた前記合格マイクロアレイの、前記（Ｂ）の工程における処置によって形成されることのなかった前記不良スポットに対応した位置に、本来形成されるべきであった前記合格スポットを形成し、前記担体上に前記合格スポットを所定パターンで整列させた前記マイクロアレイ（完成品マイクロアレイ）を得る工程（以下、「工程（Ｄ）ということがある」）と、を含むマイクロアレイの製造方法（以下、「（第一の発明）ということがある」）。
【０００８】
［２］前記（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）の一連の工程を複数回繰り返し、次いで、前記（Ｄ）の工程を行う前記［１］に記載のマイクロアレイの製造方法。
【０００９】
［３］前記（Ｂ）の工程において、前記不良スポットの形成を停止させる処置が、前記不良ユニットに注入された前記液体試料を抜き取って空にする処置である前記［１］又は［２］に記載のマイクロアレイの製造方法。
【００１０】
［４］前記液体試料を抜き取って空にした後に、さらに、前記不良ユニット内を洗浄する前記［３］に記載のマイクロアレイの製造方法。
【００１１】
［５］前記（Ｂ）の工程において、前記不良スポットの形成を停止させる処置が、前記圧電／電歪素子を駆動させるための電気信号の送信を停止する処置である前記［１］又は［２］に記載のマイクロアレイの製造方法。
【００１２】
［６］前記（Ａ）の工程における前記検査スポットを形成する際の前記検査担体と前記吐出口との間の距離を、前記（Ｃ）の工程における前記合格スポットを形成する際の前記担体と前記吐出口との間の距離よりも大に設定する前記［１］〜［５］のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【００１３】
［７］前記（Ｄ）の工程において、前記合格マイクロアレイが複数枚の場合、前記合格マイクロアレイの、前記（Ｂ）の工程における処置によって形成されることのなかった前記不良スポットに対応した位置に、本来形成されるべきであった前記合格スポットを、前記（Ｃ）の工程における前記合格スポットを形成した順番とは逆の順番で形成する前記［２］〜［６］のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【００１４】
［８］液体試料の注入口、流路、貯留室及び吐出口を有する基体と、前記基体上の前記貯留室に対応する箇所に配設された圧電／電歪素子とを備えた吐出ユニットの複数を用い、前記吐出口から外部に吐出させた前記液体試料を、担体上に着弾させて、前記担体上に前記吐出ユニットのそれぞれに対応した試料スポットを形成し、前記担体上に前記試料スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイを得るマイクロアレイの製造方法であって、（Ａ）前記吐出口から外部に吐出させた前記液体試料を、検査用の担体（検査担体）上に試みに着弾させて、検査用の試料スポット（検査スポット）を形成し、得られた前記検査スポットの品質を検査し、不良又は合格の判定をすることによって、不良と判定された前記吐出ユニット（不良ユニット）を検出する工程（以下、「工程（Ａ）ということがある」）と、（Ｂ）検出された前記不良ユニットが、爾後、前記吐出口から前記液体試料を外部に吐出するのを停止させることによって、前記不良ユニットに対応した前記試料スポット（不良スポット）の形成を停止させる処置をする工程（以下、「工程（Ｂ）ということがある」）と、（Ｃ）前記不良ユニット以外の前記吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、前記担体上に、前記合格ユニットのそれぞれに対応した前記試料スポット（合格スポット）を形成し、前記担体上に前記合格スポットが所定パターンに整列した前記マイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得る工程（以下、「工程（Ｃ）ということがある」）と、（Ｅ）得られた前記合格マイクロアレイの前記合格スポットの品質を検査することによって、不良と判定された前記吐出ユニット（第二の不良ユニット）を検出する工程（以下、「工程（Ｅ）ということがある」）と、（Ｆ）検出された前記第二の不良ユニットが、爾後、前記吐出口から前記液体試料を外部に吐出するのを停止させることによって、前記第二の不良ユニットに対応した前記試料スポット（第二の不良スポット）の形成を停止させる処置をする工程（以下、「工程（Ｆ）ということがある」）と、（Ｇ）前記不良ユニット及び前記第二の不良ユニット以外の前記吐出ユニット（第二の合格ユニット）を用いて、前記担体上に、前記第二の合格ユニットのそれぞれに対応した前記試料スポット（第二の合格スポット）を形成し、前記担体上に前記第二の合格スポットが所定パターンに整列した前記マイクロアレイ（第二の合格マイクロアレイ）を得る工程（以下、「工程（Ｇ）ということがある」）と、（Ｈ）得られた前記第二の合格マイクロアレイの、前記（Ｂ）及び前記（Ｅ）の工程における処置によって形成されることのなかった前記不良スポット及び前記第二の不良スポットに対応した位置に、本来形成されるべきであった前記合格スポット及び前記第二の合格スポットを形成し、前記担体上に前記合格スポット及び前記第二の合格スポットが所定パターンに整列した前記試料マイクロアレイ（完成品マイクロアレイ）を得る工程（以下、「工程（Ｈ）ということがある」）と、を含むマイクロアレイの製造方法（以下、「（第二の発明）ということがある」）。
【００１５】
［９］前記（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｅ）、（Ｆ）及び（Ｇ）の一連の工程を複数回繰り返し、次いで、前記（Ｈ）の工程を行う前記［８］に記載のマイクロアレイの製造方法。
【００１６】
［１０］前記（Ｅ）の工程において、得られた前記合格マイクロアレイの前記合格スポットの品質を、同時期の繰り返しの際に形成された前記合格スポットのみを顕在化させて表示することが可能な表示手段を用いて、画像処理で検査するか又は目視によって検査することによって、不良又は合格の判定をし、不良と判定された前記吐出ユニット（第二の不良ユニット）を検出する前記［８］又は［９］に記載のマイクロアレイの製造方法。
【００１７】
［１１］前記（Ｂ）及び／又は（Ｆ）の工程において、前記不良ユニット及び／又は第二の不良ユニットに対応した前記不良スポット及び／又は第二の不良スポットの形成を停止させる処置が、前記不良ユニット及び／又は第二の不良ユニットに注入された前記液体試料を抜き取って空にする処置である前記［８］〜［１０］のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【００１８】
［１２］前記液体試料を抜き取って空にした後に、前記不良ユニット及び／又は第二の不良ユニット内をさらに洗浄する前記［１１］に記載のマイクロアレイの製造方法。
【００１９】
［１３］前記（Ｂ）及び／又は（Ｆ）の工程において、前記不良ユニット及び／又は第二の不良ユニットに対応した前記不良スポット及び／又は第二の不良スポットの形成を停止させる処置が、前記圧電／電歪素子を駆動させるための電気信号の送信を停止する処置である前記［８］〜［１０］のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【００２０】
［１４］前記（Ａ）の工程における前記検査スポットを形成する際の前記検査担体と前記吐出口との間の距離を、前記（Ｃ）及び／又は前記（Ｇ）の工程における前記第一及び／又は第二の合格スポットを形成する際の前記担体と前記吐出口との間の距離よりも大に設定する前記［８］〜［１３］のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【００２１】
［１５］前記（Ｈ）の工程における前記第二の合格マイクロアレイの、前記（Ｂ）及び／又は（Ｆ）の工程における処置によって形成されることのなかった前記不良スポット及び第二の不良スポットに対応した位置に、本来形成されるべきであった前記合格スポット及び第二の合格スポットを、前記（Ｇ）の工程において前記第二の合格スポットを形成した順番とは逆の順番で形成する前記［８］〜［１４］のいずれかに記載のマイクロアレイの製造方法。
【００２２】
［１６］前記［１］〜［１５］のいずれかに記載の方法を用いて製造されたマイクロアレイ（以下、「（第三の発明）ということがある」）。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のマイクロアレイの製造方法によって、所定の担体（基板）上に微小体積の液滴を着弾させて高密度に整列、固定した微小スポットを形成させることによってマイクロアレイを製造する場合に、不良スポットの発生の減少、スポット形成位置の高精度化及び高密度化、並びにスポット形状の安定化を図ることができ、高精細で、解析時間の短縮化が可能なマイクロアレイを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明（第一の発明）のマイクロアレイの製造方法の実施の形態を図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００２５】
図１は、本発明（第一の発明）のマイクロアレイの製造方法の一の実施の形態（概要）を模式的に示す断面図である。図１に示すように、本実施の形態（概要）は、液体試料Ｓの注入口１、流路２、貯留室３及び吐出口４を有する基体１０と、基体１０上の貯留室３に対応する箇所に配設された圧電／電歪素子２０とを備えた吐出ユニット５０の複数を用い、吐出口４から外部に吐出させた液体試料Ｓを、担体６０（基板）上に着弾させて、担体６０上に吐出ユニット５０のそれぞれに対応した試料スポット７０を形成し、必要に応じて、この工程を、複数種の液体試料Ｓについて繰り返すことによって、担体６０上に複数種の液体試料からなる複数種の試料スポット７０を所定パターンで整列させたマイクロアレイ１００を得ることにある。
【００２６】
本実施の形態の詳細を説明する前に、本実施の形態に用いられるマイクロアレイ製造装置について説明する。図２は、本実施の形態に用いられるマイクロアレイ製造装置を模式的に示す斜視図である。図２に示すように、本実施の形態に用いられるマイクロアレイ製造装置２００は、吐出ヘッド２１０、トレー２２０、第一移動テーブル２３０、第二移動テーブル２４０及び担体高さセンサ２５０を備えている。吐出ヘッド２１０は、一以上の吐出ユニット５０（図１参照）を有する一以上の吐出モジュール（図示せず）から構成されている。吐出ヘッド２１０を構成する吐出ユニット５０（図１参照）の吐出口４に対向した位置に、一以上の担体６０としてのスライドガラスがトレー２２０上に固定されている。トレー２２０は、第一移動テーブル２３０上に脱着可能に載置されている。第一移動テーブル２３０は、ＸＹ方向に移動可能であり、担体６０上の所望の位置に、吐出ヘッド２１０を構成する吐出ユニット５０（図１参照）の吐出口４から液体試料Ｓを吐出、着弾させるように、トレー２２０（担体６０）の位置を移動させることが可能である。第一移動テーブル２３０の上方には、吐出ヘッド２１０の吐出口４と担体６０のスポット面との距離を一定に制御するため、基板高さセンサ２５０が配設されている。吐出ヘッド２１０が脱着可能に載置された第二移動テーブル２４０は、吐出ヘッド２１０をＸＹＺ方向及びＸＹ平面上を回転角θで移動させることが可能で、トレー２２０が載置された第一移動テーブル２３０と、吐出ヘッド２１０が脱着可能に載置された第二移動テーブル２４０とを用いて、担体６０と吐出口４との相対位置を調整することができる。
【００２７】
このように構成することによって、予め、吐出ヘッド２１０に各液体試料を導入し、確実に液体試料の液滴を吐出できることを確認した後、吐出ヘッド２１０を第二移動テーブル２４０に載置し、さらに、トレー２２０に複数の担体６０を固定しておき、第一移動テーブル２３０に装着することによって、スポッティングを短時間でかつ容易に行うことができる。特に、スポッティングに用いる液体試料が、大気と接触することにより、吐出開始時から急速に経時変化を生じる場合（例えば、ＤＮＡを含む溶液、蒸発し易い有機溶媒、増粘性が高く乾燥し易い有機ポリマー含有水溶液等の場合）及び大気中の水分で担体６０の表面の状態が急速に変化する場合（例えば、担体６０としてポリ−Ｌ−リジン（ＰＬＬ）コーティング基板等を用いる場合）には有効である。
【００２８】
液体試料としてＤＮＡを含む溶液を用いてＤＮＡマイクロアレイを製造する場合は、担体６０上の、わずか数ｍｍ2〜数ｃｍ2の領域に、数十〜数万のスポットを一箇所でも重なることなく整然と配置させる必要があるため特に有効である。このようなＤＮＡマイクロアレイを製造する場合、具体的には、一つの吐出ヘッド２１０に９６個の吐出口４を有するものを用い、一つのトレー２２０に１５枚の担体６０を固定させることができるものを用い、一枚の担体６０に６０４８スポットが形成されたＤＮＡマイクロアレイを１００５枚生産する場合は、第二移動テーブル２４０への吐出ヘッド２１０の脱着は、６０４８／９６＝６３回行わねばならず、トレー２２０にいたっては、第一移動テーブル２３０への脱着を（１００５／１５）×６３＝４２２１回行わねばならない。従って、吐出ヘッド２１０及びトレー２２０の載置部分の機械的精度を向上させたとしても、その状態を維持することは困難であり、上述した移動テーブルの位置制御をそれぞれ行うことによって、スポットが高精度に配列したＤＮＡマイクロアレイを製造することができる。
【００２９】
図１及び図２に示すように、このようなマイクロアレイ製造装置２００を用いて、例えば、複数種の液体試料Ｓのそれぞれを、対応する吐出ユニット５０の注入口１からそれぞれ注入することによって貯留室３にそれぞれ導入し、貯留室３に導入した一種の液体試料Ｓを、担体６０上の所定の位置に液滴として吐出させて、担体６０上に試料スポット７０を形成させるとともに、この工程を、複数種の液体試料Ｓについて繰り返すことによって、担体６０上に、短時間かつ容易に複数種の試料スポット７０を形成させることができる。
【００３０】
また、吐出ヘッド２１０を複数用い、複数種の液体試料Ｓのうちの少なくとも一種を、各吐出ヘッド２１０の各吐出ユニット５０の注入口１から、それぞれ注入することによって貯留室３に導入し、液体試料Ｓを導入した一の吐出ヘッド２１０を第二移動テーブル２４０に載置し、担体６０と一の吐出ヘッド２１０における吐出口４との相対位置を調整しながら、貯留室３に導入した液体試料Ｓを、担体６０上の所定の位置に液滴として吐出させて、担体６０上に前述した液体試料Ｓからなる試料スポット７０を形成させ、次いで、一の吐出ヘッド２１０を第二移動テーブル２４０から取り外し、前述した液体試料Ｓとは異なる他種の液体試料Ｓを導入した他の吐出ヘッド（図示せず）を第二移動テーブル２４０に載置し、担体６０と吐出口４との相対位置を、一の吐出ヘッド２１０における場合とは異なるように調整しながら、貯留室３に導入した他種の液体試料Ｓを、担体６０上の所定の位置に液滴として吐出させて、担体６０上に他種の液体試料Ｓからなる試料スポット７０を形成させるとともに、この工程を上述した吐出ヘッド２１０の数だけ繰り返してもよい。
【００３１】
また、トレー２２０を複数枚用い、複数枚のトレー２２０のうちの一のトレー２２０を第一移動テーブル２３０に載置し、一のトレー２２０に固定した担体６０と吐出口４との相対位置を調整しながら、貯留室３に導入した液体試料Ｓを、担体６０上の所定の位置に液滴として吐出させて、一の担体６０上に吐出ヘッド２１０に配設された液体試料Ｓからなる試料スポット７０を形成させ、次いで、一のトレー２２０を第一移動テーブル２３０から取り外し、他の担体（図示せず）を固定した他のトレー（図示せず）を第一移動テーブル２３０に載置し、他の基板（図示せず）と吐出口４との相対位置を調整しながら、貯留室３に導入した液体試料Ｓを、他の基板（図示せず）上の所定の位置に液滴として吐出させて、他の基板（図示せず）上に吐出ヘッド２１０に配設された液体試料Ｓからなる試料スポット７０を形成させるとともに、この工程を上述したトレー２２０の数だけ繰り返してもよい。
【００３２】
また、上述した複数の吐出ヘッド２１０を有する構成と、複数枚のトレー２２０を有する構成とを組み合わせることによって、例えば、複数の吐出ユニット５０から構成された吐出ヘッド２１０を複数用い、かつ、複数の担体６０が固定されたトレー２２０を複数枚用いることによって、液体試料Ｓの種類、担体６０の枚数を増加させることができ、多品種大量生産に対応することができる。
【００３３】
具体的には、一つのトレー２２０に保持された担体６０上に、必要なＤＮＡ等を含んだ液体試料Ｓを吐出し、その後、第一移動テーブル２３０から、このトレー２２０ごと担体６０を取り出し、新たに、試料スポット７０が形成されていないトレー２２０を第一移動テーブル２３０に載置し、液体試料Ｓを吐出する。この作業を、必要な担体６０の数を満たすトレー２２０の枚数だけ繰り返す。次いで、第二移動テーブル２４０から、吐出ヘッド２１０を取り外し、別の種類のＤＮＡ等の液体試料Ｓが入った別の吐出ヘッド（図示せず）をあらためて載置し、トレー２２０上の担体６０上への試料スポット７０の形成を繰り返す。このように構成することによって、具体的には、一万種のＤＮＡの入った試料スポットが形成されたＤＮＡマイクロアレイ１００を得ることができる。
【００３４】
図３は、本発明のマイクロアレイの製造方法の一の実施の形態を模式的に示す断面図であり、図３（ａ）は工程（Ａ）、図３（ｂ）は工程（Ｂ）〜（Ｃ）、図３（ｃ）は工程（Ｄ）をそれぞれ示す。本実施の形態は、上述の図１、２に示す内容に加えて、下記工程（Ａ）〜（Ｄ）を含むことを特徴とする。すなわち、本実施の形態は、図３（ａ）に示すように、工程（Ａ）：吐出口４から外部に吐出させた液体試料Ｓを、検査用の担体（検査担体）６５上に試みに着弾させて、検査用の試料スポット（検査スポット）７５を形成し、得られた検査スポット７５の品質を検査し、不良又は合格の判定をすることによって、不良と判定された吐出ユニット（不良ユニット）５１を検出する工程と、図３（ｂ）に示すように、工程（Ｂ）：検出された不良ユニット５１が、爾後、吐出口４から液体試料Ｓを外部に吐出するのを停止させることによって、不良ユニット５１に対応した試料スポット（不良スポット）７１（図３（ａ）参照）の形成を停止させる処置をする工程と、工程（Ｃ）：不良ユニット５１以外の吐出ユニット（合格ユニット）５２を用いて、担体６０上に、合格ユニット５２のそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）７２を形成し、担体６０上に合格スポット７２を所定パターンで整列させたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）１０２を得る工程と、図３（ｃ）に示すように、工程（Ｄ）：得られた合格マイクロアレイ１０２（図３（ｂ）参照）の、工程（Ｂ）における処置によって形成されることのなかった不良スポット７１（図３（ａ）参照）に対応した位置に、本来形成されるべきであった合格スポット７２を形成し、担体６０上に合格スポット７２を所定パターンで整列させたマイクロアレイ（完成品マイクロアレイ）１０３を得る工程と、を含む。ここで、「検査スポット７５の品質が不良と判定される場合」とは、例えば、図３（ａ）に示すように、溶液試料の吐出方向が所望の方向（図３（ａ）に示す場合、担体６５に対し垂直方向）からずれてしまい、本来スポットされる位置からずれてスポットが形成される場合、スポット自体が何らかの理由で形成されなかった場合、スポット径が著しく大きい場合又は小さい場合、サテライトとよばれる本来のスポット以外に不要な小さいスポットが散見される場合等を意味する。
【００３５】
本実施の形態においては、検査専用の検査担体上に検査スポットを形成して、その品質を検査することによって、実際の製品に不良スポットを形成することが予め防止することができるとともに、検査専用の担体を用意することができるため、不良又は合格の判定を簡便化することができ、一連の作業時間を短縮することができる。また、本実施の形態においては、不良スポットが発生するたびに対応する不良ユニットだけではなく問題のない合格ユニットを含めた装置全体の運転を停止させることをせずに、不良ユニットの吐出だけを停止させ、合格ユニットはそのまま継続使用することによって、吐出ユニットを停止させることに起因して発生する吐出ユニット内における液体試料の沈殿、分離、濃度変化等の不都合を防止することが可能となり、不良スポット（例えば、大量の枚数のマイクロアレイを製造する場合に発生するリング状スポット等）の発生の減少を図ることができるとともに、スポット形成位置の高精度化及び高密度化、並びにスポット形状の安定化を図ることができ、高精細で、解析時間の短縮化が可能なマイクロアレイを得ることができる。さらに、作業途中における不良ユニットの特定が容易となるとともに、不良ユニットの発生履歴を把握することが可能となり、作業効率を向上させることができる。さらに、不良スポットに対応した位置に合格スポットを別（後）の工程で形成することにより、最終的には、１００％合格スポットからなる高品位なマイクロアレイを確実に実現することができる。
【００３６】
本実施の形態においては、工程（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）の一連の工程を複数回繰り返し、次いで、工程（Ｄ）を行うことが好ましい。一枚の担体（基板）上に数十種以上の異なった種類の液体試料をスポットする場合は、工程（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の一連の工程を一回行うのではなく、一つの吐出ヘッドを使用する一連の工程（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を複数種のヘッドに対応して複数回実施することが適している。このようにすることで、数十種以上の異なった種類の液体試料がそれぞれことなった液物性をもっている場合でも、最低吐出ヘッド毎に最適な吐出条件で吐出することができ、スポット径や位置バラツキといったスポット品質が優れた高品位のマイクロアレイ生産が可能になる。さらに、一般的には、工程（Ｂ）により吐出停止させられた液体試料の液物性は工程（Ｃ）で形成される合格スポットに対応する液体試料の液物性と著しく異なっている場合が多く、工程（Ｄ）を独立させることにより、不良スポットに対応する液体試料の物性に合わせたスポット条件が容易に設定できることになり、より試料溶液の多様性に対応できるようになる。また、このように一連の工程を複数回繰り返す場合、繰り返し回数に比例して発生する問題は増加し、不具合の迅速な発見及び迅速な対応が困難になるが、本実施の形態の場合、繰り返し毎に工程（Ａ）及び（Ｂ）を実施することで、各吐出ヘッド単位で不具合を発見することができ、早急な対応が可能となるため、繰り返しを必要とする場合に特に有効である。
【００３７】
なお、「工程（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）の一連の工程を複数回繰り返す。」とは、上述した一つの吐出ヘッドに対応した一連の工程（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を複数回繰り返し、一枚又は複数枚の担体６０上に複数の吐出ヘッドに対応した合格スポット７２を所定パターンで整列させることを意味するが、加えて、一つのヘッドを使用する段取り内において、一枚又は複数枚のトレー（図示せず）に配設された複数枚の担体６０に、工程（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を担体毎、又は複数の担体毎に複数回繰り返して合格スポット７２を所定パターンで整列させて複数枚のマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）１０２を得る場合、及び複数枚のトレー（図示せず）にそれぞれ配設された複数枚の担体６０に、工程（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）をトレー毎、又は複数のトレー毎に複数回繰り返して合格スポット７２を所定パターンで整列させて複数枚のマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）１０２を得る場合のいずれをも含むことを意味する。このようにすることで、担体単位（最小の試料スポット単位）もしくはトレー単位又はある特定の担体枚数毎で不具合を発見することができ、アレイ生産の歩留りを向上させることができる。
【００３８】
本実施の形態においては、工程（Ｂ）において、不良スポット７１の形成を停止させる処置は、不良ユニット５１に注入された液体試料Ｓを抜き取って空にする処置であることが好ましい。このように構成することによって、装置から液体試料の漏出がないため、担体を汚染させること防止することができるとともに、圧電／電歪素子２０を駆動させるための電気信号として間違った信号が送信された場合であっても、確実に不良ユニット５１からの液体試料の吐出を停止させ、不良スポット７１の形成を防止することができる。
【００３９】
この場合、液体試料を抜き取って空にした後に、さらに、不良ユニット５１内を洗浄することが好ましい。このようにすることによって、吐出ユニット５０の流路２、貯留室３、吐出口４等内に残留した液体試料Ｓが固着して残留することを防止することができ、新たに注入された異種の液体試料Ｓとの混合による汚染の発生を防止することができる。
【００４０】
本実施の形態においては、工程（Ｂ）において、不良スポット７１の形成を停止させる処置は、圧電／電歪素子２０を駆動させるための電気信号の送信を停止する処置であってもよい。液体試料Ｓが乾燥し難く、放置後の洗浄が容易にできる場合は、このようにすることによって、簡易かつ短時間で効率的に不良ユニット５１からの液体試料の吐出を停止させ、不良スポット７１の形成を防止することができる。
【００４１】
本実施の形態においては、工程（Ａ）における検査スポット７５を形成する際の検査担体６５と吐出口４との間の距離を、工程（Ｃ）における合格スポット７２を形成する際の担体６０と吐出口４との間の距離よりも大に設定することが好ましい。このようにすることによって、吐出の方向が所望の方向からずれてスポットの位置精度が劣化することの検査の精度を向上させることができる。
【００４２】
本実施の形態においては、工程（Ｄ）において、合格マイクロアレイ１０２が複数枚の場合は、合格マイクロアレイ１０２の、工程（Ｂ）における処置によって形成されることのなかった不良スポット７１に対応した位置に、本来形成されるべきであった合格スポット７２を、工程（Ｃ）における合格スポット７２を形成した順番とは逆の順番で形成することが好ましい。「逆の順番で形成する。」とは、担体又は複数枚の担体が保持されたトレーのスポットする順番を逆にすることを意味する。一つのヘッドを使用する段取り内において、一枚又は複数枚のトレー（図示せず）に配設された複数枚の担体６０に、工程（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を担体毎に複数回す場合や、複数枚のトレー（図示せず）にそれぞれ配設された複数枚の担体６０に、工程（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）をトレー毎に複数回す場合は、工程（Ｂ）における処置によって形成されることのなかった不良スポットに対応した位置のブランク箇所は、工程（Ｃ）においてスポットされる担体やトレーの順番の遅いものほど、その数が増えている状態にある。従って、工程（Ｄ）においてその順番を逆にすることは、ブランク箇所が多い担体から順に合格スポットを形成できることになり、効率よくアレイの生産が可能になる。すなわち、最初、多くのブランク箇所に対応した複数の吐出ユニットを使用して合格スポットを形成することから開始し、順次ブランク箇所に対応し、使用する吐出ユニット数を減らして使用していくことにより、工程（Ｄ）を短時間で終了させることができる。なお、本実施の形態においては、前述のように、不良ユニット５１の発生履歴を把握することが可能であり、これを利用することによって、試料スポット（本来形成されるべきであった合格スポット５２）を短時間で効率よく形成することができる。
【００４３】
次に、本発明（第二の発明）のマイクロアレイの製造方法について説明する。本発明（第二の発明）のマイクロアレイの製造方法の一の実施の形態（概要）は、第一の発明の場合におけると同様である。すなわち、本実施の形態（概要）は、図１に示すように、液体試料Ｓの注入口１、流路２、貯留室３及び吐出口４を有する基体１０と、基体１０上の貯留室３に対応する箇所に配設された圧電／電歪素子２０とを備えた吐出ユニット５０の複数を用い、吐出口４から外部に吐出させた液体試料Ｓを、担体６０（基板）上に着弾させて、担体６０上に吐出ユニット５０のそれぞれに対応した試料スポット７０を形成し、必要に応じて、この工程を、複数種の液体試料Ｓについて繰り返すことによって、担体６０上に複数種の液体試料からなる複数種の試料スポット７０を所定パターンで整列させたマイクロアレイ１００を得ることにある。また、本実施の形態に用いられるマイクロアレイ製造装置についても、第一の発明における場合と同様に、図２に示すものを用いることができる。
【００４４】
図４は、本発明（第二の発明）のマイクロアレイの製造方法の一の実施の形態を模式的に示す断面図（図４（ｃ）は平面図）であり、図４（ａ）は工程（Ａ）、図４（ｂ）は工程（Ｂ）〜（Ｃ）、図４（ｃ）は工程（Ｅ）、図４（ｄ）は工程（Ｆ）〜（Ｇ）、図４（ｅ）は工程（Ｈ）をそれぞれ示す。本実施の形態は、上述の図１、２に示す内容に加えて、下記の工程（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｅ）、（Ｆ）、（Ｇ）及び（Ｈ）を含むことを特徴とする（工程（Ａ）〜（Ｃ）は、第一の発明の場合と同様である）。すなわち、本実施の形態は、図４（ａ）に示すように、工程（Ａ）：吐出口４から外部に吐出させた液体試料Ｓを、検査用の担体（検査担体）６５上に試みに着弾させて、検査用の試料スポット（検査スポット）７５を形成し、得られた検査スポット７５の品質を検査し、不良又は合格の判定をすることによって、不良と判定された吐出ユニット（不良ユニット）５１を検出する工程と、図４（ｂ）に示すように、工程（Ｂ）：検出された不良ユニット５１が、爾後、吐出口４から液体試料Ｓを外部に吐出するのを停止させることによって、不良ユニット５１に対応した試料スポット（不良スポット）７１（図４（ａ）参照）の形成を停止させる処置をする工程と、工程（Ｃ）：不良ユニット５１以外の吐出ユニット（合格ユニット）５２を用いて、担体６０上に、合格ユニット５２のそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）７２を形成し、担体６０上に合格スポット７２を所定パターンで整列させたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）１０２を得る工程と（ここまでは第一の発明の場合と同様である）、図４（ｃ）に示すように、工程（Ｅ）：得られた合格マイクロアレイ１０２の合格スポット７２の品質を検査することによって、不良と判定された吐出ユニット（第二の不良ユニット）５３（図４（ｄ）参照）を検出する工程と、図４（ｄ）に示すように、工程（Ｆ）：検出された第二の不良ユニット５３が、爾後、吐出口４から液体試料Ｓを外部に吐出するのを停止させることによって、第二の不良ユニット５３に対応した試料スポット（第二の不良スポット）７３（図４（ｃ）参照）の形成を停止させる処置をする工程と、工程（Ｇ）：不良ユニット５１及び第二の不良ユニット５３以外の吐出ユニット（第二の合格ユニット）５４を用いて、担体６０上に、第二の合格ユニット５４のそれぞれに対応した試料スポット（第二の合格スポット）７４を形成し、担体６０上に第二の合格スポット７４が所定パターンに整列したマイクロアレイ（第二の合格マイクロアレイ）１０４を得る工程と、図４（ｅ）に示すように、工程（Ｈ）：得られた第二の合格マイクロアレイ１０４（図４（ｄ）参照）の、工程（Ｂ）及び（Ｅ）における処置によって形成されることのなかった不良スポット７１（図４（ａ）参照）及び第二の不良スポット７３（図４（ｃ）参照）に対応した位置に、本来形成されるべきであった合格スポット７２及び第二の合格スポット７４を形成し、担体６０上に合格スポット７２及び第二の合格スポット７４が所定パターンに整列した試料マイクロアレイ（完成品マイクロアレイ）１０５を得る工程と、を含む。
【００４５】
本実施の形態においては、作製するマイクロアレイの枚数が非常に多い場合において、特に、前述の第一の発明における場合に加えて、作業途中における不良ユニットの特定が、実態に即した、より正確なものとなり、得られるマイクロアレイの品質のさらなる向上を図ることができるとともに、作業効率のさらなる向上を図ることができる。なお、工程（Ｅ）である、得られた合格マイクロアレイ１０２の合格スポット７２の品質を検査することは、担体毎に実施してもよいが、インクジェット方式を用いたマイクロアレイの製造方法の場合、通常合格となったスポットは、相当数、スポット数（担体数）を重ねる間合格スポットである場合が殆どであり、スポットする試料溶液や、吐出ユニットの性能にもよるが、合格スポット７２の品質を検査することは、複数の担体毎もしくは複数の担体を保持したトレー毎、又はそのトレーの複数のトレー毎に実施する場合が、作業効率の観点から好ましい。また、合格スポット７２の品質を検査結果が殆ど合格となるような、安定したスポットが実現される場合においては、工程（Ｅ）と、（Ｇ）不良ユニット及び第二の不良ユニット（この場合検査途中であるためまだ発生していない）以外の吐出ユニット（第二の合格ユニット）を用いて担体上に第二の合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（第二の合格スポット）を形成する工程とを平行して実施してもよい。こうすることで、全体の工程が非常に早く進むことに加え、万一、併行して実施する工程（Ｅ）で不良スポットが検出された場合、工程（Ｅ）の実施中に進んだ工程（Ｇ）で作成されたマイクロアレイのみを不良とすることで、アレイ全体を不良にすることを防ぐことができ、作製歩留りと工程時間の短縮とをリーズナブルなレベルで両立させることができる。
【００４６】
本実施の形態においては、工程（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｅ）、（Ｆ）及び（Ｇ）の一連の工程を複数回繰り返し、次いで、工程（Ｈ）を行うことが好ましい。その趣旨及び意義は、第一の発明の場合と同様である。
【００４７】
なお、上記「工程（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｅ）、（Ｆ）及び（Ｇ）の一連の工程をを複数回繰り返す。」とは、上述した一つの吐出ヘッドに対応した一連の工程（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｅ）、（Ｆ）及び（Ｇ）の工程を複数回繰り返し、複数種のヘッドに対応して、一枚又は複数枚の担体６０上に合格スポット７２、７４を所定パターンで整列させる場合を意味するが、加えて、一つのヘッドを使用する段取り内において、一枚又は複数枚のトレー（図示せず）に配設された複数枚の担体６０に、工程（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を実施した後、工程（Ｅ）、（Ｆ）及び（Ｇ）の一連の工程を担体毎、複数の担体毎、トレー（図示せず）毎、又は複数のトレー毎に複数回繰り返して合格スポット７４を所定パターンで整列させて複数枚のマイクロアレイ（第二の合格マイクロアレイ）１０４を得る場合をも意味する。この場合、複数枚のトレー毎に工程（Ｅ）、（Ｆ）及び（Ｇ）の一連の工程を複数回繰り返すことによって、ある特定の担体枚数毎で効率的に不具合を発見することができ、生産時間の短縮とアレイ生産の歩留りの向上とを両立させることができる。
【００４８】
また、複数種のヘッドに対応しなければならない場合、一つ目のヘッドに対しては工程（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｅ）、（Ｆ）及び（Ｇ）を実施した後、二つ目のヘッド以降は工程（Ｃ）、（Ｅ）、（Ｆ）及び（Ｇ）の一連の工程を繰返すことで対応してもよい。
【００４９】
このような工程運びは、複数のヘッドで吐出しなければならない試料溶液の特性に比較的バラツキが少なく、工程（Ａ）及び（Ｂ）が一つ目のヘッドで行うことで、他のヘッドに対応できる場合、例えば、試料溶液がオリゴＤＮＡを含む溶液の場合等に好適に用いられ、生産時間の短縮に効果がある。なお、この場合も、一つのヘッドを使用する段取り内においては、複数の担体、トレー等にスポットする際には、複数枚のトレー毎に工程（Ｅ）、（Ｆ）及び（Ｇ）の一連の工程を複数回繰り返すことで対応することが好ましい。
【００５０】
本実施の形態においては、図５に示すように、工程（Ｅ）において、得られた合格マイクロアレイ１０２（図４（ｂ）参照）の合格スポット７２の品質を、同時期の繰り返しの際に形成された合格スポット７２のみを顕在化させて表示することが可能な表示手段を用いて検査するとともに、目視によって検査することによって、不良又は合格の判定をし、不良スポット７３を検出して、不良と判定された吐出ユニット（図４（ｄ）に示す第二の不良ユニット５３）を検出することが好ましい。一般に、スポットが非常に高密度に配列したマイクロアレイの場合、隣り合ったスポットを隣り合った吐出ユニットで同時期にスポットすることは、吐出ユニットの高密度化配置に限界があり、難しい場合が多い。従って、同時期にスポットされるスポットは、図５に示すようにアレイ全体に離散的に配置する場合が多く、そのスポットを選択的に検査する場合は同時の広い視野を観察する必要があり、スポットの特定や個々のスポットの詳細検査に手間が掛かっていた。従って、上記のような構成とすることによって、検査の簡便化を図ることができるとともに、的確な判定をすることができる。なお、このような着目するスポットのみを顕在化させて表示することが可能な表示手段を用いて検査するとともに、目視によって検査することは、上記工程（Ｅ）だけではなく、例えば、工程（Ａ）（検査用の担体（検査担体）６５（図４（ａ）参照）上に試みに着弾させて、検査用の試料スポット（検査スポット）７５（図４（ａ）参照）を形成し、得られた検査スポットの品質を検査する工程）に採用してもよい。
【００５１】
本実施の形態においては、工程（Ｂ）及び／又は（Ｆ）において、不良ユニット５１及び／又は第二の不良ユニット５３に対応した不良スポット７１及び／又は第二の不良スポット７３の形成を停止させる処置が、不良ユニット５１及び／又は第二の不良ユニット５３に注入された液体試料Ｓを抜き取って空にする処置であることが好ましい。その趣旨及び意義は、第一の発明の場合と同様である。
【００５２】
この場合、液体試料Ｓを抜き取って空にした後に、不良ユニット５１及び／又は第二の不良ユニット５３内をさらに洗浄することが好ましい。その趣旨及び意義は、第一の発明の場合と同様である。
【００５３】
本実施の形態においては、工程（Ｂ）及び／又は（Ｆ）において、不良ユニット５１及び／又は第二の不良ユニット５３に対応した不良スポット７１及び／又は第二の不良スポット７３の形成を停止させる処置は、圧電／電歪素子２０を駆動させるための電気信号の送信を停止する処置であってもよい。その趣旨及び意義は、第一の発明の場合と同様である。
【００５４】
本実施の形態においては、工程（Ａ）における検査スポット７５を形成する際の検査担体６５と吐出口４との間の距離を、工程（Ｇ）における第二の合格スポット７４を形成する際の担体６０と吐出口４との間の距離よりも大に設定することが好ましい。その趣旨及び意義は、第一の発明の場合と同様である。
【００５５】
本実施の形態においては、工程（Ｈ）における第二の合格マイクロアレイ１０４の、工程（Ｂ）及び／又は（Ｆ）における処置によって形成されることのなかった不良スポット及び第二の不良スポット７１、７３に対応した位置に、本来形成されるべきであった合格スポット及び第二の合格スポット７２、７４を、工程（Ｇ）において第二の合格スポット１０４を形成した順番とは逆の順番で形成することが好ましい。その趣旨及び意義は、第一の発明の場合と同様である。
【００５６】
第一及び第二の発明のそれぞれの実施の形態においては、液体試料Ｓとして、ＤＮＡに限らず、ＲＮＡ、タンパク質、抗体、細胞等の様々な生体試料を用いることができ、スポット形成位置の高精度化、高密度化、スポット形状の安定化及び解析時間の短縮化等の要請が大きい溶液を用いる場合に、特に有効である。
【００５７】
また、第一及び第二の発明のそれぞれの実施の形態に用いられる吐出ユニット５０を構成する基体１０の材質としては特に制限はないが、例えば、少なくとも貯留室３の形成位置及び圧電／電歪素子２０の配設位置に対応した部位は、ジルコニアセラミックスからなるように構成することが好ましく、基体１０の全ての部位をジルコニアセラミックスからなるように構成することがさらに好ましい。ジルコニア、中でも、安定化ジルコニアと部分安定化ジルコニアは、薄板状としても機械的強度が大きいこと、靭性が高いこと、酸／アルカリ溶液に耐久性があること、及び圧電膜や電極材との反応性が小さいこと等から、本実施の形態に用いられる基体１０の材質として好ましい。この場合、ジルコニアセラミックスは、グリーンシート積層焼成法を用いて作製されたものであることが好ましい。すなわち、基体１０は、セラミック薄板（所謂グリーンシート）を積層し、その積層体を焼成することによって作製することが、複雑な中空構造であっても、容易に焼結体として形成することができることから好ましい。なお、基体１０の、吐出口４が形成された部位を、成形性及びコストの面から、樹脂からなるように構成してもよい。
【００５８】
第一及び第二の発明のそれぞれの実施の形態に用いられる圧電／電歪素子２０としては特に制限はないが、例えば、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛及びマグネシウムニオブ酸鉛からなる群から選ばれる少なくとも一種の鉛化合物を主成分として含有する圧電／電歪膜から構成されることが好ましい。すなわち、このような圧電／電歪膜は、高い電機機械結合係数と圧電定数とを有し、圧電膜の焼結時における基体１０（ジルコニアセラミックス）との反応性が小さく、安定した組成のものが得られる点から好ましい。
【００５９】
本発明（第三の発明）のマイクロアレイは、上述の、いずれかに記載の方法を用いて製造され、スポット形成位置が高精度かつ高密度で、スポット形状が安定しており、これを用いて被検体を解析する場合に、解析時間の短縮化を図ることができるという優れた特性を有している。
【実施例】
【００６０】
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００６１】
（実施例１）
第一の発明を、下記条件（Ａ）及び下記手順（１）〜（５）で実施した。
【００６２】
［条件（Ａ）］
吐出孔数（１ヘッド当りの吐出孔数）：９６個
液体試料の種類：９６種
液体試料：ｃ−ＤＮＡをリン酸バッファー１０ｍＭで溶解した溶液（ｃ−ＤＮＡの濃度は０．１μｇ／μＬ）
担体：ポリ−Ｌ−リジン（ＰＬＬ）コーティングしたスライドガラス、サイズ７６ｍｍ×２６ｍｍ×１ｍｍ（厚み）
スポットパターン：１２列×８行の０．３ｍｍピッチ、スポット径１２０μｍ
製作枚数：４００枚
トレー数：２０枚（１枚のトレーに担体２０枚セットしたものを２０枚使用）
【００６３】
［手順（１）〜（５）］
（１）：最初のトレー上の担体と、次のトレー上の担体とにスポットする前に、工程（Ａ）（吐出口から外部に吐出させた液体試料を、検査用の担体（検査担体）上に試みに着弾させて、検査用の試料スポット（検査スポット）を形成し、得られた検査スポットの品質を検査し、不良又は合格の判定をすることによって、不良と判定された吐出ユニット（不良ユニット）を検出する工程）を実施した。品質の検査は、検査用担体に試みにスポットしたスポットに対し、スポットが形成されないことはないか、スポットがいびつな形状ではないか、スポット径が設計値から１０％以上ずれていないか、サテライトと呼ばれる本スポット以外の不要なスポットが発生していないかという項目を実施した。なお、最初のトレー上の担体にスポットする前の工程（Ａ）には、上記品質の検査に加え、担体と吐出口のとの間の距離を通常の工程（工程（Ｃ）（不良ユニット以外の吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、担体上に、合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）を形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得る工程））の距離０．４ｍｍの１０倍である４ｍｍにして試みのスポットをして、スポット着弾位置が設計の場所から０．２ｍｍ以上ずれていないかという検査項目を追加した。
【００６４】
（２）：上記（１）で不良と検出されたユニットに対し、工程（Ｂ）（吐出口から液体試料を外部に吐出するのを停止させることによって、不良ユニットに対応した試料スポット（不良スポット）の形成を停止させる処置をする工程）を実施した。不良スポットの形成を停止させる処置は、対象ユニットの注入口からピペット等を差込み、液を吸引して液体試料を抜き取って空にする処置を行うことで簡便に行った。次いで、注入口から純水２００μｌをマイクロピペットに注入後、吐出口から真空吸引することを繰返すことで、不良ユニットの洗浄を行った。
【００６５】
（３）：工程（Ｃ）（不良ユニット以外の吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、トレー上に担持された２０枚の担体上に、合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）を形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させた一部のスポットが形成されたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得る工程）を実施した。
【００６６】
（４）：上記工程（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を２０枚のトレーに対して、トレーＮｏ．１，２，３…２０の順で、実施した。
【００６７】
（５）：２０枚のトレー、４００枚の担体全てに合格スポットを形成した後、工程（Ｄ）（工程（Ｂ）における処置によって形成されることのなかった不良スポットに対応した位置に、本来形成されるべきであった合格スポットを形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイ（完成品マイクロアレイ）を得る工程）を実施した。すなわち、上記（４）でスポットが形成されなかった箇所に対応する位置に合格するスポットを形成した。なお、合格スポットを形成する処置を行うトレーの順番は、上記（４）とは逆のトレーＮｏ．２０，１９，１８…１で行った。
【００６８】
（実施例２）
実施例１における上記（２）において、「対象ユニットの注入口からピペット等を差込み、液を吸引して液体試料を抜き取って空にする処置を行うことで、不良スポットの形成を停止させる処置を行い、次いで、注入口から純水２００μｌをマイクロピペットに注入後、吐出口から真空吸引することを繰返すことで、不良ユニットの洗浄を行う。」ことの代わりに、不良と判定されたスポットに対応する不良ユニットの圧電／電歪素子を駆動させるための電気信号を停止する処置を行い、不良ユニットに対応した試料スポット（不良スポット）の形成を停止させる処置を行った。なお、上記以外は実施例１と同様にした。
【００６９】
（比較例１）
比較例１を、上記条件（Ａ）及び下記手順（１）〜（９）で実施した。
【００７０】
［手順（１）〜（９）］
（１）：最初に吐出ヘッドから吐出される吐出滴の吐出の有無、吐出方向の良否（垂直方向に対し、±３ｄｅｇ以内）を、拡大カメラを用い検査後、不良ユニットについて、圧電／電歪素子への駆動信号を調整し改善を試みた。駆動信号の調整は電圧値、所定電圧値までの上昇時間、所定電圧値キープ時間、電圧立ち下げ時間等の変更で行った。
【００７１】
（２）：上記（１）でうまくいかない場合は、対象ユニットについて試料溶液を一度ユニットから抜き取り（注入口からピペット等を差込み液を吸引し）再度試料溶液を注入して吐出滴を確認した。
【００７２】
（３）：全ての吐出孔から全ての吐出滴が吐出されることが確認されるまで、上記（１）、（２）を繰返した。
【００７３】
（４）：全ての吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、Ｎｏ．１トレー上に担持された２０枚の担体上に、合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）を形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得ることを実施した。
【００７４】
（５）：次のトレーに移る前に、直前に形成したトレー上の担体を抜き取り、スポットを検査、不良と判断される場合は、対象ユニットの圧電／電歪素子への駆動信号を再度調整した。
【００７５】
（６）：駆動信号の再調整でうまくいかなかった場合は、対象ユニットについて試料溶液を一度ユニットから抜き取り（注入口からピペット等を差込み、液を吸引）再度試料溶液を注入して吐出滴を確認した。
【００７６】
（７）：全ての吐出孔から全ての吐出滴が吐出されることが確認されるまで、上記（５）、（６）を繰返した。
【００７７】
（８）：全ての吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、Ｎｏ．２トレー上に担持された２０枚の担体上に、合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）を形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得ることを実施した。
【００７８】
（９）：上記（５）、（６）、（７）、（８）を２０枚のトレーに対して、トレーＮｏ．１，２，３…２０の順で、実施した。
【００７９】
（評価）実施例１、２及び比較例１のいずれの場合においても、全てのスポット形成後、加湿処理（担体ごと−２０℃に冷却後、２２．５℃―湿度２６％雰囲気下へ放置）、ベーク処理（８０℃で１時間ベーキング）、ブロッキング処理（担体ごと滅菌精製水で３回洗浄後、沸騰水に３分浸漬後、エタノールに１分浸漬）を行い、蛍光標識されたｃ−ＤＮＡでハイブリタイゼーションを行い、スポットの蛍光評価を行った。具体的には、スポットの周辺部と中央部で大きく蛍光値が異なる不良（リング不良）の数をスポット品質の一例として測定した。今回は中央に対する周辺部で蛍光量の比率が１０／１以上をリング不良とした。また、スポット位置精度については、設計値に対するスポットの位置ずれを顕微鏡による測定で評価し、スポット径に対し、１／３（４０μｍ）以上ずれているスポットは不良と判定した。
【００８０】
（結果）評価結果を表１に示す。
【００８１】
【表１】
2005351778.tif 000003
【００８２】
（注１）：スポット停止がなくなるまで、信号調整、ユニット交換を繰返した。
【００８３】
なお、実施例２においては、スポット形成工程におけるスポット停止処理の際、ユニットの洗浄に、通常の３倍の洗浄液と５倍の時間とを要した。
【００８４】
以上より、実施例１、２の場合が、リング不良の低減、位置精度向上に有効であると確認することができた。
【００８５】
（実施例３）
第二の発明を、下記条件（Ｂ）及び下記手順（１）〜（１３）で実施した。
【００８６】
［条件（Ｂ）］
吐出孔数（１ヘッド当りの吐出孔数）：９６個
液体試料の種類：９６０種
液体試料：ｃ−ＤＮＡをＴＥバッファー２５ｍＭで溶解（ｃ−ＤＮＡの濃度は０．２μｇ／μＬ）
担体：ポリ−Ｌ−リジン（ＰＬＬ）コーティングしたスライドガラス、サイズ７６ｍｍ×２６ｍｍ×１ｍｍ（厚み）
スポットパターン：１２列×８行の０．３ｍｍピッチ、スポット径１２０μｍ
製作枚数：８００枚
トレー数：４０枚（１枚のトレーに担体２０枚セットしたものを４０枚使用）
【００８７】
［手順（１）〜（１３）］
（１）：９６０種のｃ−ＤＮＡのうち、最初の９６種が入った一つ目のヘッドに対し、工程（Ａ）（吐出口から外部に吐出させた液体試料を、検査用の担体（検査担体）上に試みに着弾させて、検査用の試料スポット（検査スポット）を形成し、得られた検査スポットの品質を検査し、不良又は合格の判定をすることによって、不良と判定された吐出ユニット（不良ユニット）を検出する工程）を実施した。品質の検査は、検査用担体に試みにスポットしたスポットに対し、スポットが形成されないことはないか、スポットがいびつな形状ではないか、スポット径が設計値から１０％以上ずれていないか、サテライトと呼ばれる本スポット以外の不要なスポットが発生していないかという項目に加え、担体と吐出口のとの間の距離を通常の工程（工程（Ｃ）（不良ユニット以外の吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、担体上に、合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）を形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得る工程））の距離０．４ｍｍの１０倍である４ｍｍにして試みのスポットをして、スポット着弾位置が設計の場所から０．２ｍｍ以上ずれていないかという検査項目を追加、実施した。
【００８８】
（２）：上記（１）で不良と検出されたユニットに対し、工程（Ｂ）（吐出口から液体試料を外部に吐出するのを停止させることによって、不良ユニットに対応した試料スポット（不良スポット）の形成を停止させる処置をする工程）を実施した。不良スポットの形成を停止させる処置は、対象ユニットの注入口からピペット等を差込み、液を吸引して液体試料を抜き取って空にする処置を行うことで簡便に行った。次いで、注入口から純水２００μｌをマイクロピペットに注入後、吐出口から真空吸引することを繰返すことで、不良ユニットの洗浄を行った。
【００８９】
（３）：工程（Ｃ）：不良ユニット以外の吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、トレー上に担持された２０枚の担体上に、合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）を形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させた一部のスポットが形成されたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得ることを、トレー５枚分（２０枚×５＝１００枚分）に実施した。
【００９０】
（４）：上記（３）において、上記（２）で液抜きを実施しなかった、第一の合格スポットを形成後、最後にスポットを形成した５枚目のトレーについて、工程（Ｅ）（得られた合格マイクロアレイの合格スポットの品質を検査することによって、不良と判定された吐出ユニット（第二の不良ユニット）を検出する工程）を実施した。第一の合格スポットの品質の検査は、１回のヘッドで吐出したスポットのみを顕在化させて表示することが可能な検査装置を用い検査を行い、スポットが形成されないことはないか、スポットがいびつな形状ないか、スポット径が設計値から１０％以上ずれていないか、サテライトと呼ばれる本スポット以外の不用なスポットが発生していないかという項目について、コンピュータとＣＣＤを用いた画像処理、判断回路を使用し機械にて判断させるとともに、作業者の目視による検査とを重ねて行った。
【００９１】
（５）：上記（４）で不良と検出されたユニットに対し、工程（Ｆ）（検出された第二の不良ユニットが、吐出口から液体試料を外部に吐出するのを停止させることによって、第二の不良ユニットに対応した試料スポット（第二の不良スポット）の形成を停止させる処置をする工程）を実施した。不良スポットの形成を停止させる処置は、対象ユニットの注入口からピペット等を差込み、液を吸引して液体試料を抜き取って空にする処置を行うことで簡便に行った。次いで、注入口から純水２００μｌをマイクロピペットに注入後、吐出口から真空吸引することを繰返すことで、不良ユニットの洗浄を行った。
【００９２】
（６）：次のトレー５枚分（２０枚×トレー５枚＝１００枚）に工程（Ｇ）（不良ユニット及び第二の不良ユニット以外の吐出ユニット（第二の合格ユニット）を用いて、担体上に、第二の合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（第二の合格スポット）を形成し、担体上に第二の合格スポットが所定パターンに整列した一部のスポットが形成されたマイクロアレイ（第二の合格マイクロアレイ）を得る工程）を実施した。
【００９３】
（７）：工程（Ｇ）において、工程（Ｆ）で液抜きを実施しなかった、第二の合格スポットを形成後、最後にスポットを形成した５枚目のトレーについて、工程（Ｅ）（得られた合格マイクロアレイの合格スポットの品質を検査することによって、不良と判定された吐出ユニット（第二の不良ユニット）を追加検出する工程）を実施した。第二の合格スポットの品質の検査は、１回のヘッドで吐出したスポットのみを顕在化させて表示することが可能な検査装置を用い検査を行い、スポットが形成されないことはないか、スポットがいびつな形状ではないか、スポット径が設計値から１０％以上ずれていないか、サテライトと呼ばれる本スポット以外の不用なスポットが発生していないかという項目について、コンピュータとＣＣＤを用いた画像処理、判断回路を使用し機械にて判断させるとともに、作業者の目視による検査とを重ねて行った。
【００９４】
（８）：工程（Ｅ）において、不良と検出されたユニットに対し、工程（Ｆ）（追加検出された第二の不良ユニットが、吐出口から液体試料を外部に吐出するのを停止させることによって、第二の不良ユニットに対応した試料スポット（第二の不良スポット）の形成を停止させる処置をする工程）を実施した。不良スポットの形成を停止させる処置は、対象ユニットの注入口からピペット等を差込み、液を吸引して液体試料を抜き取って空にする処置を行うことで簡便に行った。次いで、注入口から純水２００μｌをマイクロピペットに注入後、吐出口から真空吸引することを繰返すことで、不良ユニットの洗浄を行った。
【００９５】
（９）：次のトレー５枚分（２０枚×トレー５枚＝１００枚）に工程（Ｇ）（不良ユニット及び追加されたユニットを含む第二の不良ユニット以外の吐出ユニット（第二の合格ユニット）を用いて、担体上に、第二の合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（第二の合格スポット）を形成し、担体上に第二の合格スポットが所定パターンに整列した一部のスポットが形成されたマイクロアレイ（第二の合格マイクロアレイ）を得る工程）を実施した。
【００９６】
（１０）：上記（７）、（８）、（９）の繰り返しを更に５回行うことで、合計４０トレー分に担持された合計８００枚の担体上に合格スポットを形成した。
【００９７】
（１１）：次の９６種のｃ−ＤＮＡが入ったヘッドにて、上記（１）〜（１０）を実施し、合計１９２種のｃ−ＤＮＡに対し、８００枚の担体上への合格スポット形成を実施した。
【００９８】
（１２）：９６０種のｃ−ＤＮＡに対し、残り８ヘッド分について、上記（１）〜（１０）を実施し、合計９６０種のｃ−ＤＮＡの８００枚の担体上への合格スポット形成を実施した。
【００９９】
（１３）：４０枚のトレー、８００枚の担体全てに合格スポットを形成した後、工程（Ｈ）（得られた第二の合格マイクロアレイの、工程（Ｂ）及び（Ｅ）における処置によって形成されることのなかった不良スポット及び第二の不良スポットに対応した位置に、本来形成されるべきであった合格スポット及び第二の合格スポットを形成し、担体上に合格スポット及び第二の合格スポットが所定パターンに整列した試料マイクロアレイ（完成品マイクロアレイ）を得る工程）を実施した。すなわち、上記（３）、（６）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）でスポットが形成されなかった箇所に対応する位置に合格するスポットを形成した。なお、合格スポットを形成する処置を行うトレーの順番は、上記（３）、（６）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）とは逆で行った。
【０１００】
（実施例４）
実施例３における上記（２）、（５）、（８）、（１０）、（１１）、（１２）において、「対象ユニットの注入口からピペット等を差込み、液を吸引して液体試料を抜き取って空にする処置を行うことで、不良スポットの形成を停止させる処置を行い、次いで、注入口から純水２００μｌをマイクロピペットに注入後、吐出口から真空吸引することを繰返すことで、不良ユニットの洗浄を行う。」ことの代わりに、不良と判定されたスポットに対応する不良ユニットの圧電／電歪素子を駆動させるための電気信号を停止する処置を行い、不良ユニットに対応した試料スポット（不良スポット）の形成を停止させる処置を行った。なお、上記以外は実施例３と同様にした。
【０１０１】
（実施例５）
第一の発明を、上記条件（Ｂ）及び下記手順（１）〜（６）で実施した。
【０１０２】
［手順（１）〜（６）］
（１）：９６０種のｃ−ＤＮＡのうち、最初の９６種が入った一つ目のヘッドに対し、工程（Ａ）（吐出口から外部に吐出させた液体試料を、検査用の担体（検査担体）上に試みに着弾させて、検査用の試料スポット（検査スポット）を形成し、得られた検査スポットの品質を検査し、不良又は合格の判定をすることによって、不良と判定された吐出ユニット（不良ユニット）を検出する工程）を実施した。品質の検査は、検査用担体に試みにスポットしたスポットに対し、スポットが形成されないことはないか、スポットがいびつな形状ではないか、スポット径が設計値から１０％以上ずれていないか、サテライトと呼ばれる本スポット以外の不要なスポットが発生していないかという項目に加え、担体と吐出口のとの間の距離を通常の工程（工程（Ｃ）（不良ユニット以外の吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、担体上に、合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）を形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得る工程））の距離０．４ｍｍの１０倍である４ｍｍにして試みのスポットをして、スポット着弾位置が設計の場所から０．２ｍｍ以上ずれていないかという検査項目を追加、実施した。なお、検査スポットの品質の検査は、１回のヘッドで吐出したスポットのみを顕在化させて表示することが可能な検査装置を用い検査を行い、上記項目につき、コンピュータとＣＣＤを用いた画像処理、判断回路を使用し機械にて判断させるとともに、作業者の目視による検査とを重ねて行った。
【０１０３】
（２）：上記（１）で不良と検出されたユニットに対し、工程（Ｂ）（吐出口から液体試料を外部に吐出するのを停止させることによって、不良ユニットに対応した試料スポット（不良スポット）の形成を停止させる処置をする工程）を実施した。不良スポットの形成を停止させる処置は、対象ユニットの注入口からピペット等を差込み、液を吸引して液体試料を抜き取って空にする処置を行うことで簡便に行った。次いで、注入口から純水２００μｌをマイクロピペットに注入後、吐出口から真空吸引することを繰返すことで、不良ユニットの洗浄を行った。
【０１０４】
（３）：工程（Ｃ）（不良ユニット以外の吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、トレー上に担持された２０枚の担体上に、合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）を形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させた一部のスポットが形成されたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得る工程）を実施した。
【０１０５】
（４）：工程（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を４０枚のトレーに対して、トレーＮｏ．１，２，３…４０の順で、実施した。
【０１０６】
（５）：９６０種のｃ−ＤＮＡに対し、残り９ヘッド分について、上記（１）〜（４）を実施し、合計９６０種のｃ−ＤＮＡのトレー４０枚、８００枚の担体上への合格スポット形成を実施した。ただし、工程（Ａ）のうち、担体と吐出口のとの間の距離を通常の工程（工程（Ｃ）（不良ユニット以外の吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、担体上に、合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）を形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得る工程））の距離０．４ｍｍの１０倍である４ｍｍにして試みのスポットをして、スポット着弾位置が設計の場所から０．２ｍｍ以上ずれていないかという検査項目は、実施しなかった。
【０１０７】
（６）：４０枚のトレー、８００枚の担体全てに合格スポットを形成した後、工程（Ｄ）（工程（Ｂ）における処置によって形成されることのなかった不良スポットに対応した位置に、本来形成されるべきであった合格スポットを形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイ（完成品マイクロアレイ）を得る工程）を実施した。すなわち、上記（３）、（４）、（５）でスポットが形成されなかった箇所に対応する位置に合格するスポットを形成した。なお、合格スポットを形成する処置を行うトレーの順番は、上記（３）、（４）、（５）とは逆のトレーＮｏ．４０、３９、３８…１で行った。
【０１０８】
（比較例２）
比較例２を、上記条件（Ｂ）及び下記手順（１）〜（１０）で実施した。
【０１０９】
［手順（１）〜（１０）］
（１）：最初に吐出ヘッドから吐出される吐出滴の吐出の有無、吐出方向の良否（垂直方向に対し、±３ｄｅｇ以内）を拡大カメラを用い検査後、不良ユニットについて、圧電／電歪素子への駆動信号を調整し改善を試みた。駆動信号の調整は電圧値、所定電圧値までの上昇時間、所定電圧値キープ時間、電圧立ち下げ時間等の変更で行った。
【０１１０】
（２）：上記（１）でうまくいかない場合は、対象ユニットについて試料溶液を一度ユニットから抜き取り（注入口からピペット等を差込み、液を吸引）再度試料溶液を注入して吐出滴を確認した。
【０１１１】
（３）：全ての吐出孔から全ての吐出滴が吐出されることが確認されるまで、上記（１）、（２）を繰返した。
【０１１２】
（４）：全ての吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、Ｎｏ．１トレー上に担持された２０枚の担体上に、合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）を形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得ることを実施した。
【０１１３】
（５）：次のトレーに移る前に、直前に形成したトレー上の担体を抜き取り、スポットを検査、不良と判断される場合は、対象ユニットの圧電／電歪素子への駆動信号を再度調整した。
【０１１４】
（６）：駆動信号の再調整でうまくいかなかった場合は、対象ユニットについて試料溶液を一度ユニットから抜き取り（注入口からピペット等を差込み、液を吸引）再度試料溶液を注入して吐出滴を確認した。
【０１１５】
（７）：全ての吐出孔から全ての吐出滴が吐出されることが確認されるまで、上記（５）、（６）を繰返した。
【０１１６】
（８）：全ての吐出ユニット（合格ユニット）を用いて、Ｎｏ．２トレー上に担持された２０枚の担体上に、合格ユニットのそれぞれに対応した試料スポット（合格スポット）を形成し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイ（合格マイクロアレイ）を得ることを実施した。
【０１１７】
（９）：上記（５）、（６）、（７）、（８）を４０枚のトレーに対して、トレーＮｏ．１，２，３…４０の順で、実施した。
【０１１８】
（１０）：９６０種のｃ−ＤＮＡに対し、残り９ヘッド分について、上記（１）〜（９）を実施し、合計９６０種のｃ−ＤＮＡのトレー４０枚、８００枚の担体上への合格スポット形成を実施し、担体上に合格スポットを所定パターンで整列させたマイクロアレイ（完成品マイクロアレイ）を得ることを実施した。
【０１１９】
（評価）実施例３、４、５及び比較例２のいずれの場合においても、全てのスポット形成後、加湿処理（担体ごと−２０℃に冷却後、２２．５℃―湿度２６％雰囲気下へ放置）、ベーク処理（８０℃で１時間ベーキング）、ブロッキング処理（担体ごと滅菌精製水で３回洗浄後、沸騰水に３分浸漬後、エタノールに１分浸漬）を行い、蛍光標識されたｃ−ＤＮＡでハイブリタイゼーションを行い、スポットの蛍光評価を行った。具体的には、スポットの周辺部と中央部で大きく蛍光値が異なる不良（リング不良）の数をスポット品質の一例として測定した。今回は中央に対する周辺部で蛍光量の比率が１０／１以上をリング不良とした。また、スポット位置精度については、設計値に対するスポットの位置ずれを顕微鏡による測定で評価し、スポット径に対し、１／３（４０μｍ）以上ずれているスポットは不良と判定した。
【０１２０】
（結果）評価結果を表２に示す。
【０１２１】
【表２】
2005351778.tif 000004
【０１２２】
（注２）：スポット停止がなくなるまで、信号調整、ユニット交換を繰返した。
【０１２３】
なお、実施例４においては、スポット形成工程におけるスポット停止処理の際、ユニットの洗浄に、通常の３倍の洗浄液と５倍の時間とを要した。
【０１２４】
以上より、実施例３、４、５の場合が、実施時間を抑えつつ、リング不良の低減、位置精度向上に有効、特にリング不良の低減には有効であると確認することができた。なお、実施例５は、第一の発明の実施例であるが、検査がトレー毎であることから実施時間は第二の発明の実施例である実施例３、４に比べ長くなり、不良リング数は増加する結果となったが、検査の頻度が上昇することによりスポット位置ずれ不良数が、実施例３、４に比べ少ない結果となった。
【産業上の利用可能性】
【０１２５】
本発明のマイクロアレイの製造方法は、研究、創薬、診断、医療の分野で、例えば、遺伝子構造の解析、遺伝子発現の検出、遺伝子機能の研究等に有効に利用される。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】本発明（第一の発明）のマイクロアレイの製造方法の一の実施の形態（概要）を模式的に示す断面図である。
【図２】第一及び第二の発明のそれぞれの実施の形態に用いられるマイクロアレイ製造装置を模式的に示す斜視図である。
【図３】本発明（第一の発明）のマイクロアレイの製造方法の一の実施の形態を模式的に示す断面図であり、図３（ａ）は工程（Ａ）、図３（ｂ）は工程（Ｂ）〜（Ｃ）、図３（ｃ）は工程（Ｄ）をそれぞれ示す。
【図４】本発明（第二の発明）のマイクロアレイの製造方法の一の実施の形態を模式的に示す断面図（図４（ｃ）は平面図）であり、図４（ａ）は工程（Ａ）、図４（ｂ）は工程（Ｂ）〜（Ｃ）、図４（ｃ）は工程（Ｅ）、図４（ｄ）は工程（Ｆ）〜（Ｇ）、図４（ｅ）は工程（Ｈ）をそれぞれ示す。
【図５】本発明のマイクロアレイの製造方法の一の実施の形態における工程（Ｅ）において、得られた合格マイクロアレイの合格スポット及び第二の合格スポットの品質を、同時期の繰り返しの際に形成された合格スポット及び第二の合格スポットのみを顕在化させて表示することが可能な表示手段を用いて検査するとともに、目視によって検査することによって、不良又は合格の判定をし、不良と判定された吐出ユニットを検出することを模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
【０１２７】
１…注入口、２…流路、３…貯留室、４…吐出口、１０…基体、２０…圧電／電歪素子、５０…吐出ユニット、５１…不良ユニット、５２…合格ユニット、５３…第二の不良ユニット、５４…第二の合格ユニット、６０…担体、６５…検査担体、７０…試料スポット、７１…不良スポット、７２…合格スポット、７３…第二の不良スポット、７４…第二の合格スポット、７５…検査スポット、１００…マイクロアレイ、１０２…合格マイクロアレイ、１０３…完成品マイクロアレイ、１０４…第二の合格マイクロアレイ、１０５…完成品マイクロアレイ、２００…マイクロアレイ製造装置、２１０…吐出ヘッド、２２０…トレー、２３０…第一移動テーブル、２４０…第二移動テーブル、２５０…基板高さセンサ、Ｓ…液体試料。
【図１】
2005351778.tif 000005
【図２】
2005351778.tif 000006
【図３】
2005351778.tif 000007
【図４】
2005351778.tif 000008
【図５】
2005351778.tif 000009