(57)【要約】【課題】  クリーンルームの適当な層流が確保されるように、クリーンルームに存在する複数個の空気清浄器の風量を制御することによって、クリーンルームのランニングコストを低減させることが可能なクリーンルームの風量制御システムを提供する。【解決手段】  1個又は複数個の生産装置と、複数個の空気清浄器とを備えたクリーンルームの風量制御システムであって、生産装置の稼動情報に基づいて、空気清浄器毎に風量を制御する空気清浄器制御手段を備えていることを特徴とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
1個又は複数個の生産装置と、複数個の空気清浄器とを備えたクリーンルームの風量制御システムであって、
前記生産装置の稼動情報に基づいて、前記空気清浄器毎に風量を制御する空気清浄器制御手段を備えていることを特徴とするクリーンルームの風量制御システム。
【請求項２】
前記空気清浄器制御手段は、
前記生産装置の前記稼動情報を受信する受信手段と、
前記受信手段によって受信した情報に基づいて、前記空気清浄器の風量設定情報を設定するタイミング及び前記空気清浄器の風量を制御するタイミングを判定する処理タイミング判定手段と、
前記処理タイミング判定手段によって判定された前記タイミングに基づいて、前記空気清浄器の前記風量設定情報を算出し、算出した前記風量設定情報を前記空気清浄器毎に設定する風量設定手段と、
前記風量設定手段によって設定された前記空気清浄器毎の前記風量設定情報と、前記処理タイミング判定手段によって判定された前記タイミングとに基づいて、前記空気清浄器の風量を制御する風量制御手段と、
を備えていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの風量制御システム。
【請求項３】
前記風量設定手段は、
前記生産装置の前記稼動情報に基づいて、生産時には、前記空気清浄器の風量を所定の通常風量となるように設定し、待機時には、前記空気清浄器の風量を前記通常風量よりも少ない値となるように設定することを特徴とする請求項２に記載のクリーンルームの風量制御システム。
【請求項４】
前記風量設定手段は、
前記生産装置の前記稼動情報に基づいて発塵の状況を判定し、判定した前記発塵の状況に基づいて、当該生産装置の近傍の層流を調整する前記空気清浄器の前記風量設定情報を設定することを特徴とする請求項２に記載のクリーンルームの風量制御システム。
【請求項５】
前記風量設定手段は、
前記生産装置の前記稼動情報に基づいて、当該生産装置の近傍の層流及び製品環境を調整する前記空気清浄器の前記風量設定情報を前記空気清浄器毎に算出し、算出した前記風量設定情報を前記空気清浄器毎に設定することを特徴とする請求項２に記載のクリーンルームの風量制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームの風量制御システムに関する。特に、層流式クリーンルームにおいて、生産装置の稼動状況等に合わせて、空気清浄器であるＤＣブラシレスモータをモータとして使用したＦＦＵ（Ｆａｎ  Ｆｉｌｔｅｒ  Ｕｎｉｔ）の風量をコントロールするクリーンルームの風量制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板処理装置等の生産装置と、送風機能のファンと清浄機能のフィルタを有する空気清浄器とを備えたクリーンルームにおける空調方法がいろいろと提案されている。
特許文献1の発明は、空気の清浄を行なう所定の基板処理装置内の領域である流下領域を複数個の小流下領域に区画し、区画した小流下領域毎に流下させた気流を強制排気する方法であって、複数の小流下領域間において気流を再利用する空調方法である。即ち、ある小流下領域に気流を流下させ、次に、その気流をその小流下領域の下方から別の小流下領域の上方に供給するとともに、供給する気流内の粉塵等を除去するような構成になっている。
【０００３】
特許文献２の発明は、システム天井用のＦＦＵを用いたクリーンルームであり、天井下には天井チャンバが設けられ、空調システムから供給される天井チャンバ内の清浄な空気が、ＦＦＵのＤＣモータを有する送風機によって超々高性能フィルタを通して室内にダウンフロー供給され、強制排気されるような構成となっているクリーンルームである。
また、クリーンルームにおいて、従来からシール塗布装置などステージ移動又は基板上部に設けられたヘッド部が移動するものについては、ステージ下の開口を極力拡大したり、強制排気用ファン等を設置したりしていた。
【０００４】
図８は、シール塗布装置などステージ移動又は基板上部に設けられたヘッド部が移動するような処理作業を説明する図である。
図８に示すように、ステージ下に強制排気用ファンを備え、ステージ移動又は基板上部に設けられたヘッド部の移動による巻き上がりが起こらないように強制排気していた。
【特許文献１】特開平９−２７３７８７号公報
【特許文献２】特開２００２−１１５８７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の発明では、流下領域を小流下領域に区画し、小流下領域毎に空気清浄器をＯＮ／ＯＦＦ制御することによって、流下領域の気流の流下を小流下領域毎に調整することはできたが、空気清浄器の特性としてＯＦＦからＯＮに切り替えたときに発塵が生じるため、空気清浄器を常時ＯＮ状態としておかなければならないという問題点があった。
また、特許文献２の発明では、ＤＣモータを利用したＦＦＵを使用することによって、クリーンルームに備えられている全てのＦＦＵの風量を一括して調整することはできたが、風量の最も大きいＦＦＵに合わせなければならないことから、ランニングコストがかかってしまうという問題点があった。
【０００６】
また、図８においては、移動物の大型化によって、強制排気用ファンを大型化する必要性が生じてしまい、強制排気用ファンを設置するためのスペースの拡大、強制排気用ファンによって生じる発熱量の増大等の問題点があった。また、ファン下部に制御機器等が配置されていることが多く、制御機器等からの跳ね返りによるステージ側への風の巻き込みが起こってしまうという問題点もあった。
【０００７】
また、基板の大型化に伴って、基板処理にかかわるロボットも大型化され、高速化されるようになったことから、上述した問題点と同様に、強制排気用ファンを設置するためのスペースの拡大、強制排気用ファンによって生じる発熱量の増大、制御機器等からの跳ね返りによるステージ側への風の巻き込み等の問題点があった。
本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたもので、クリーンルームの適当な層流が確保されるように、クリーンルームに存在する複数個の空気清浄器の風量を制御することによって、クリーンルームのランニングコストを低減させることが可能なクリーンルームの風量制御システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した従来の問題点を解決すべく下記の発明を提供する。
本発明の第１の態様は、1個又は複数個の生産装置と、複数個の空気清浄器とを備えたクリーンルームの風量制御システムであって、前記生産装置の稼動情報に基づいて、前記空気清浄器毎に風量を制御する空気清浄器制御手段を備えていることを特徴とするクリーンルームの風量制御システムである。
【０００９】
ここで、生産装置の稼動情報とは、予定されている生産装置の稼動計画を示す情報と、現在の生産装置の稼動状況を示す情報の少なくとも１つの情報である。例えば、予定されている生産装置の稼動計画を示す情報とは、時刻ｔ１から生産を開始し、時刻ｔ２に生産を停止するというような、生産装置の稼動計画を示す情報である。また、現在の生産装置の稼動状況を示す情報には、生産装置の装置ステータス情報及び生産装置の詳細な稼動状況を示す動作信号情報である。例えば、生産装置が停止したというような、現在の生産装置の装置ステータス情報、生産装置がａ領域からｂ領域へ移動したというような、現在の生産装置の詳細な稼動状況を示す動作信号情報のことである。また、現在の生産装置の稼動状況には、例えば、製品の温度状態や製品の乾燥状態のような製品の状態を示す製品の状態情報も含まれる。
【００１０】
このような構成であれば、空気清浄器制御手段によって、クリーンルームに備えられている複数の空気清浄器は、生産装置の稼動情報と生産装置によって生産される製品の状態情報とに基づいて、空気清浄器毎に制御される。
これにより、例えば、ＣＩＭ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）システムに連動して、生産時には所定の通常風量となるように、待機時には通常風量よりも小さい値の風量となるように、クリーンルームに備えられている複数の空気清浄器を空気清浄器毎に制御することが可能である。
【００１１】
また、機種替え、メンテナンス等の発塵を伴う作業を実施するとき、空気清浄器の風量を増加させることによって、異物の持ち込みを制限することが可能となる。即ち、作業時に、生産装置の装置ステータスを直接又はＣＩＭシステムを介して、生産装置から受け取ることにより、自動的に、その生産装置の近傍の層流を調整する空気清浄器の風量を制御することが可能である。
【００１２】
また、現在の詳細な生産装置の稼動状況に合わせて、例えば、生産装置の移動、動作等を表す動作信号を、直接又はＣＩＭシステムを介して生産装置から受け付けたとき、その受け付けた動作信号に合わせて、その生産装置の近傍の層流を確保するように空気清浄器の風量を制御することが可能である。
また、生産装置によって生産される製品の状態を検出し、検出された状態に合わせて空気清浄器の風量を制御して製品環境を整えることにより、製品歩留まりの向上を図ることが可能である。
【００１３】
また、空気清浄器毎に風量を制御することにより、クリーンルームにおいてクリーン度の異なるエリア間における差圧確保を容易にし、また低コストに実現することが可能である。更に、作業エリアのクリーン化を実施し、区別化することがなく、クリーンルームの面積の小型化、有効活用が可能となる。
また、空気清浄器を停止させることなく、風量を減少させることが可能であり、空気清浄器のＯＦＦからＯＮへの切り替えによる発塵を伴うことなくランニングコストの低減を図ることができる。
【００１４】
本発明の第２の態様は、本発明の第１の態様において、前記空気清浄器制御手段は、前記生産装置の前記稼動情報を受信する受信手段と、前記受信手段によって受信した情報に基づいて、前記空気清浄器の風量設定情報を設定するタイミング及び前記空気清浄器の風量を制御するタイミングを判定する処理タイミング判定手段と、前記処理タイミング判定手段によって判定された前記タイミングに基づいて、前記空気清浄器の前記風量設定情報を算出し、算出した前記風量設定情報を前記空気清浄器毎に設定する風量設定手段と、前記風量設定手段によって設定された前記空気清浄器毎の前記風量設定情報と、前記処理タイミング判定手段によって判定された前記タイミングとに基づいて、前記空気清浄器の風量を制御する風量制御手段と、を備えていることを特徴とするクリーンルームの風量制御システムである。
【００１５】
このような構成であれば、受信手段によって、生産装置の稼動情報及び製品の状態情報が受信され、処理タイミング判定手段によって、受信した情報に基づいて、空気清浄器の風量設定情報を設定するタイミング及び空気清浄器の風量を制御するタイミングが判定される。また、処理タイミング判定手段によって判定されたタイミングに基づいて、風量設定手段によって、空気清浄器毎の風量が設定され、風量制御手段によって、空気清浄器毎の風量が制御される。
【００１６】
これにより、例えば、ＣＩＭシステムに連動して、生産時には所定の通常風量となるように、待機時には通常風量よりも小さい値の風量となるように、クリーンルームに備えられている複数の空気清浄器を空気清浄器毎に制御することが可能である。
また、機種替え、メンテナンス等の発塵を伴う作業を実施するとき、空気清浄器の風量を増加させることによって、異物の持ち込みを制限することが可能となる。即ち、作業時に、生産装置の装置ステータスを直接又はＣＩＭシステムを介して、生産装置から受け取ることにより、自動的に、その生産装置の近傍の層流を調整する空気清浄器の風量を制御することが可能である。
【００１７】
また、現在の詳細な生産装置の稼動状況に合わせて、例えば、生産装置の移動、動作等を表す動作信号を、直接又はＣＩＭシステムを介して生産装置から受け付けたとき、その受け付けた動作信号に合わせて、その生産装置の近傍の層流を確保するように空気清浄器の風量を制御することが可能である。
また、生産装置によって生産される製品の状態を検出し、検出された状態に合わせて空気清浄器の風量を制御して製品環境を整えることにより、製品歩留まりの向上を図ることが可能である。
【００１８】
また、空気清浄器毎に風量を制御することにより、クリーンルームにおいてクリーン度の異なるエリア間における差圧確保を容易にし、また低コストに実現することが可能である。更に、作業エリアのクリーン化を実施し、区別化することがなく、クリーンルームの面積の小型化、有効活用が可能となる。
また、空気清浄器を停止させることなく、風量を減少させることが可能であり、空気清浄器のＯＦＦからＯＮへの切り替えによる発塵を伴うことなくランニングコストの低減を図ることができる。
【００１９】
本発明の第３の態様は、第２態様において、前記風量設定手段は、前記生産装置の前記稼動情報に基づいて、生産時には、前記空気清浄器の風量を所定の通常風量となるように設定し、待機時には、前記空気清浄器の風量を前記通常風量よりも少ない値となるように設定することを特徴とするクリーンルームの風量制御システムである。
これにより、例えば、ＣＩＭシステムに連動して、生産時には所定の通常風量となるように、待機時には通常風量よりも小さい値の風量となるように、クリーンルームに備えられている複数の空気清浄器を空気清浄器毎に制御することが可能である。
【００２０】
本発明の第４の態様は、第２態様において、前記風量設定手段は、前記生産装置の前記稼動情報に基づいて発塵の状況を判定し、判定した前記発塵の状況に基づいて、当該生産装置の近傍の層流を調整する前記空気清浄器の前記風量設定情報を設定することを特徴とするクリーンルームの風量制御システムである。
これにより、機種替え、メンテナンス等の発塵を伴う作業を実施するとき、空気清浄器の風量を増加させることによって、異物の持ち込みを制限することが可能となる。即ち、作業時に、生産装置の装置ステータスを直接又はＣＩＭシステムを介して、生産装置から受け取ることにより、自動的に、その生産装置の近傍の層流を調整する空気清浄器の風量を制御することが可能である。
【００２１】
本発明の第５の態様は、第２態様において、前記風量設定手段は、前記生産装置の前記稼動情報に基づいて、当該生産装置の近傍の層流及び製品環境を調整する前記空気清浄器の前記風量設定情報を前記空気清浄器毎に算出し、算出した前記風量設定情報を前記空気清浄器毎に設定することを特徴とするクリーンルームの風量制御システムである。
これにより、現在の詳細な生産装置の稼動状況に合わせて、例えば、生産装置の移動、動作等を表す動作信号を、直接又はＣＩＭシステムを介して生産装置から受け付けたとき、その受け付けた動作信号に合わせて、その生産装置の近傍の層流を確保するように空気清浄器の風量を制御することが可能である。
また、生産装置によって生産される製品の状態を検出し、検出された状態に合わせて空気清浄器の風量を制御して製品環境を整えることにより、製品歩留まりの向上を図ることが可能である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、以下の効果を奏する。
クリーンルームに備えてある複数のＦＦＵ等の空気清浄器の風量を空気清浄器毎に制御することにより、生産装置の稼動状況、製品の状態等に基づいて、クリーンルームのクリーン度を比較的最適な状態に確保することが容易であり、ランニングコストを低減させることが可能である。
また、製品の状態に合わせて空気清浄器の風量を制御して製品環境を整えることにより、製品歩留まりの向上を図ることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
この発明の一実施態様を、図面を参照しながら説明する。
図１は、クリーンルームの風量制御システムの構成図である。以下、クリーンルームとして層流式クリーンルームを例に挙げて説明する。
図１に示すように、風量制御システム１００は、基板処理装置等の生産装置１０１と、清浄な空気をクリーンルームに提供する空気清浄器であるＤＣブラシレスモータをモータとして使用した複数のＦＦＵ１０２と、各ＦＦＵ１０２の風量を個別に制御するＦＦＵコントローラ１０３と、現在のクリーンルームの環境情報や生産装置１０１によって生産される製品の状態情報を検出する各種センサ１０４とを備えている。ここで、生産装置１０１及び各種センサ１０４はそれぞれ１個しか図示されていないが、1個に限るものではない。
【００２４】
また、ＣＩＭシステム１０５は、生産装置１０１によって生産される製品の生産計画や生産管理、生産装置１０１を含めた各種設備の稼動計画や稼動管理等を統括して行なうシステムであって、複数のコンピュータがＬＡＮ等のネットワークにより接続されている。
ＦＦＵコントローラ１０３、生産装置１０１及び各種センサ１０４は、ＣＩＭシステム１０５と、ＣＩＭシステム１０５のネットワークを介して接続されている。また、ＦＦＵコントローラ１０３は、生産装置１０１及び各種センサ１０４と接続されており、生産装置１０１の装置ステータス情報、各種センサ１０４からのセンサ検出情報を受信したり、生産装置１０１の動作信号を受け付けたりする。
【００２５】
また、図示されていないが、ＦＦＵコントローラ１０３は、制御プログラムに基づいて演算及びＦＦＵコントローラ１０３全体を制御するＣＰＵと、所定領域にあらかじめＣＰＵの制御プログラム等を格納しているＲＯＭと、ＲＯＭ等から読み出された情報やＣＰＵの演算過程において必要な演算結果を格納するためのＲＡＭとを備えている。
図２は、ＦＦＵコントローラ１０３の機能ブロック図の一例である。
図２に示すように、ＦＦＵコントローラ１０３は、受信手段２０１、処理タイミング判定手段２０２、風量設定手段２０３及び風量制御手段２０４を備えている。
【００２６】
受信手段２０１は、生産装置１０１によって生産される製品の生産計画や生産装置１０１の稼動計画等の生産計画情報をＣＩＭシステム１０５の所定のコンピュータからネットワークを介して受信し、生産装置１０１の稼動状況を表す装置ステータス情報や、生産装置１０１の移動の信号、作業工程の各処理の信号等の動作信号を生産装置１０１より受信し、現在のクリーンルームの環境を表す情報（例えば、温度、湿度等）、生産装置によって生産される製品の状態情報等のセンサ検出情報を各種センサ１０４から受信する。また、受信した生産計画情報及び装置ステータス情報を装置稼動情報記憶部２１１へ、センサ検出情報を検出情報記憶部２１２へ格納する。
【００２７】
例えば、ＣＩＭシステム１０５において管理されている生産時間、待機時間等の製品の生産状況や、生産装置１０１の機種替え、メンテナンス等の発塵を伴う作業が実施されている生産装置１０１を判定するための装置ステータス情報等を受信する。また、例えば、生産装置１０１がａ領域からｂ領域へ移動した移動タイミングａ−ｂやｃ地点を通過した通過タイミングｃの生産装置１０１の位置に基づいた信号、生産装置１０１が停止した信号やｄ処理作業中の信号等の生産装置１０１の動作信号を受信する。
【００２８】
処理タイミング判定手段２０２は、受信手段２０１によって受信された情報に基づいて、ＦＦＵ１０２を制御するための風量の設定及び／又は制御を行なうタイミングを判定する。例えば、生産計画情報を受信した場合は、全てのＦＦＵ１０２の風量を設定するタイミングであり、移動タイミングａ−ｂを受信したときは、所定の制御対象となるＦＦＵ１０２に対する風量を設定するタイミングであり、通過タイミングｃを受信したときは、所定の制御対象となるＦＦＵ１０２に対する風量を制御するタイミングである等を判定する。
風量設定手段２０３は、処理タイミング判定手段２０２によって判定されたタイミングとに基づいて、制御対象となるＦＦＵ１０２を検索し、検索したＦＦＵ１０２の設定するべき風量設定情報をＦＦＵ１０２毎に算出し、算出した風量設定情報を設定情報記憶部２１３に格納する。
【００２９】
例えば、生産計画情報に基づいて、ＦＦＵ１０２の風量を生産時には所定の通常風量となるように設定し、待機時には通常風量よりも小さい値の風量となるように設定する。また、生産装置１０１が移動したときは、生産装置１０１の下部からの巻き上がりを防止するために、生産装置１０１の移動後方のＦＦＵ１０２の風量を大きい値に設定する。また、生産装置１０１の進行方向に壁があるときは、壁によって引き起こされる乱流を防止して適当な層流を保つために、壁と生産装置との間の空間の層流を調整可能なＦＦＵ１０２において、ＦＦＵ１０２の風量を大きい値に設定する。また、複数のホットプレートの上に基板を置いて配向膜を乾燥させるような工程において、複数のＦＦＵ及び複数のホットプレートの配置によって膜の乾燥状態に差が発生する場合に、装置ステータス情報、センサ検出情報等に基づいて、ＦＦＵ１０２毎に風量設定情報を算出する。
【００３０】
風量制御手段２０４は、処理タイミング判定手段２０２によって判定されたタイミングに基づいて、制御対象となるＦＦＵ１０２の風量設定情報を設定情報記憶部２１３より取り出し、取り出した風量設定情報に基づいてＦＦＵ１０２の風量を制御する。例えば、生産装置１０１が移動したときは、風量設定手段２０３によって設定された風量設定情報に基づいて、所定のＦＦＵ１０２の風量を制御する。
図３、図４及び図５を参照して、具体的なＦＦＵの風量制御の一例を説明する。
図３は、ＤＣタイプのＦＦＵを使用して、ＦＦＵの風量を制御する一例を示す図である。
【００３１】
図３に示すように、ＤＣタイプのＦＦＵは、ＯＮ／ＯＦＦの制御のほかに、風量を制御することが可能である。そこで、ＣＩＭシステム１０５と連動して、生産装置１０１によって製品を生産している生産時は、ＦＦＵ１０２の風量を所定の通常風量となるように制御し、待機時には、ＦＦＵ１０２の風量を通常風量よりも小さい値となるように制御する。また、発塵を伴う作業を行なうときは、異物の持ち込みを制限するために、ＦＦＵ１０２の風量が大きい値となるように制御する。
【００３２】
図４は、大型基板の基板処理におけるＦＦＵ１０２の風量制御の一例を示す図である。
図４に示すように、大型基板の基板処理において、シール塗布装置等のようなステージ移動又は基板上部に設けられたヘッド部が移動するものについては、ステージ側への風の巻き込みを避けるため、移動後方のＦＦＵ１０２の風量が大きな値となり、移動前方のＦＦＵ１０２の風量を小さい値なるように、ヘッド部の移動と連動して、ＦＦＵ１０２の風量を制御する。
図５（ａ）は、生産装置１０１の移動におけるＦＦＵ１０２の風量制御の一例を示す図であり、図５（ｂ）は、生産装置１０１の進行方向に壁が存在する場合におけるＦＦＵ１０２の風量制御の一例を示す図である。
【００３３】
図５（ａ）に示すように、生産装置１０１の移動による移動後方の巻き上がりを防止するために、生産装置１０１の移動に合わせて移動後方のＦＦＵ１０２の風量を増加させるように風量を制御する。
また、図５（ｂ）に示すように、生産装置１０１の進行方向に壁等が存在する場合、生産装置１０１の移動により発生する乱流や巻き上がりを防止するため、生産装置１０１の移動により発生する風量分を吸収することが可能な空間を壁の手前に設け、この空間の風量を増加させるようにＦＦＵ１０２の風量を制御し、層流を確保する。
図６及び図７は、ＦＦＵコントローラ１０３のＲＯＭに予め格納されている制御プログラムによる、風量制御処理の一例である。
【００３４】
まず、受信情報を取り出し（Ｓ６０１）、取り出した情報がどのような情報であるかを判定する（Ｓ６０２）。受信情報が、ＣＩＭシステム１０５の所定のコンピュータからの生産計画情報である場合（Ｓ６０２；「生産計画情報」）は、受信した生産計画情報を装置稼動情報記憶部２１１へ格納し（Ｓ６０３）、受信した生産計画情報に基づいて、全てのＦＦＵ１０２の風量設定情報を設定し（Ｓ６０４）、設定した風量設定情報を設定情報記憶部２１３へＦＦＵ１０２毎に格納し（Ｓ６０５）、処理を終了する。
例えば、時刻ｔ１から生産を開始し、時刻ｔ２に生産を終了するという情報を受信した場合は、時刻ｔ１の生産開始にＦＦＵ１０２の風量が所定の通常風量となり、時刻ｔ２の生産終了以降は、通常風量よりも小さい値の風量となるように、生産タイムスケジュールに合わせてＦＦＵ１０２毎に風量を調整した風量設定情報を設定する。
【００３５】
受信情報が、生産装置１０１の装置ステータス情報である場合（Ｓ６０２；「装置ステータス情報」）は、受信した装置ステータス情報を装置稼動情報記憶部２１１へ格納し（Ｓ６０６）、受信した装置ステータス情報より、ＦＦＵ１０２の制御が必要な場合であるか否かを判定する（Ｓ６０７）。ＦＦＵ１０２の制御が必要な場合（Ｓ６０７；Ｙｅｓ）は、受信したステータス情報の対象となる生産装置１０１の近傍の層流を調整する１個または複数のＦＦＵ１０２を検索する（Ｓ６０８）。次に、受信した装置ステータス情報に基づいて、検索したＦＦＵ１０２毎の風量設定情報を設定し（Ｓ６０９）、設定した風量設定情報を設定情報記憶部２１３へＦＦＵ１０２毎に格納し（Ｓ６１０）、ＦＦＵ１０２毎に風量設定情報に基づいて風量を制御し（Ｓ６１１）、処理を終了する。一方、ＦＦＵ１０２の制御が不要な場合（Ｓ６０７；Ｎｏ）は、処理を終了する。
【００３６】
例えば、受信した装置ステータス情報より対象となる生産装置１０１がメンテナンス作業中で発塵の発生を伴う作業であるか否かを判定し、発塵の発生を伴う作業である場合は、メンテナンス対象である生産装置１０１の近傍の層流を調整する複数のＦＦＵ１０２を検索し、検索したＦＦＵ１０２の風量を大きい値に設定し、設定した値に基づいて風量を制御する。
【００３７】
受信情報が、各種センサ１０４によって検出されたセンサ検出情報である場合（Ｓ６０２；「センサ検出情報」）は、受信したセンサ検出情報を検出情報記憶部２１２へ格納する（Ｓ６１２）。即ち、ＦＦＵ１０２の風量を設定するために必要なセンサ検出情報を検出情報記憶部２１２へ格納する。次に、受信したセンサ検出情報の対象となる生産装置１０１の近傍の層流を調整する１個または複数のＦＦＵ１０２を検索する（Ｓ６１３）。次に、受信したセンサ検出情報に基づいて、検索したＦＦＵ１０２毎の風量設定情報を設定し（Ｓ６１４）、設定した風量設定情報を設定情報記憶部２１３へＦＦＵ１０２毎に格納し（Ｓ６１５）、ＦＦＵ１０２毎に風量設定情報に基づいて風量を制御し（Ｓ６１６）、処理を終了する。
【００３８】
例えば、複数のホットプレートの上に基板を置いて配向膜を乾燥させるような工程において、条件出しで、プレート前にＦＦＵの風量条件を予め決定しておき、ＦＦＵ及びホットプレートの配置によって発生する膜の乾燥状態の差をなくすように、即ち、均一の乾燥状態となるように、制御対象となるＦＦＵ１０２の風量を設定し、設定した値に基づいて風量を制御する。
【００３９】
受信情報が、生産装置１０１の動作信号である場合（Ｓ６０２；「動作信号」）は、受信した生産装置１０１の動作信号を装置稼動情報記憶部２１１へ格納し（Ｓ６１７）、受信した動作信号の種類を判定する（Ｓ６１８）。例えば、生産装置１０１がａ領域からｂ領域へ移動した移動タイミングａ−ｂ、地点を通過した通過タイミングｃ等である。
判定した動作信号が、ＦＦＵ１０２の風量を設定するタイミングの動作信号である場合（Ｓ６１８；「設定」）は、動作信号に基づいた所定のＦＦＵ１０２の次回の風量設定情報を算出し（Ｓ６１９）、算出したＦＦＵ１０２の風量設定情報をＦＦＵ１０２毎に設定情報記憶部２１３へ格納し（Ｓ６２０）、処理を終了する。
【００４０】
判定した動作信号が、ＦＦＵ１０２の風量を制御するタイミングの動作信号である場合（Ｓ６１８；「制御」）は、動作信号に基づいた所定のＦＦＵ１０２の風量設定情報を設定情報記憶部２１３より取り出し（Ｓ６２１）、取り出した風量設定情報に基づいて、ＦＦＵ１０２の風量をＦＦＵ１０２毎に制御し（Ｓ６２２）、処理を終了する。
判定した動作信号が、ＦＦＵ１０２の風量を制御したのち、次回の設定するタイミングの動作信号である場合（Ｓ６１８；「制御＋設定」）は、動作信号に基づいた所定のＦＦＵ１０２の風量設定情報を設定情報記憶部２１３より取り出し（Ｓ６２３）、取り出した風量設定情報に基づいて、ＦＦＵ１０２の風量をＦＦＵ１０２毎に制御する（Ｓ６２４）。次に、ＦＦＵ１０２の次回の風量設定情報を算出し（Ｓ６２５）、算出したＦＦＵ１０２の風量設定情報をＦＦＵ１０２毎に設定情報記憶部２１３へ格納し（Ｓ６２６）、処理を終了する。
【００４１】
判定した動作信号が、ＦＦＵ１０２の風量を設定したのち、制御するタイミングの動作信号である場合（Ｓ６１８；「設定＋制御」）は、動作信号に基づいた所定のＦＦＵ１０２の風量設定情報を算出し（Ｓ６２７）、算出したＦＦＵ１０２の風量設定情報をＦＦＵ１０２毎に設定情報記憶部２１３へ格納し（Ｓ６２８）、算出した風量設定情報に基づいて、ＦＦＵ１０２の風量をＦＦＵ１０２毎に制御し（Ｓ６２９）、処理を終了する。
【００４２】
例えば、生産装置の移動に合わせて、生産装置の近傍の層流を調整するＦＦＵ１０２において、移動後方のＦＦＵ１０２の風量を増加させるような設定値を予め算出し、移動タイミングに合わせてＦＦＵ１０２の風量を制御する。また、生産装置の進行方向に壁等がある場合、生産装置の近傍の層流を調整するＦＦＵ１０２において、壁の近傍のＦＦＵ１０２の風量を増加させるような設定値を予め算出し、移動タイミングに合わせてＦＦＵ１０２の風量を制御する。
【００４３】
受信情報がその他の情報である場合（Ｓ６０２；「その他の情報」）は、対応する処理を実行し（Ｓ６３０）、処理を終了する。
上述したように、クリーンルームの風量制御システムにおいて、空気清浄器制御手段としてＦＦＵコントローラ１０３を備え、ＦＦＵコントローラ１０３に、受信手段２０１、処理タイミング判定手段２０２、風量設定手段２０３及び風量制御手段２０４を備えることにより、生産計画情報、生産装置の稼動情報、生産装置の動作信号及び／又は生産装置によって生産される製品の状態情報に基づいて、クリーンルームに備えられているＦＦＵ１０２を、ＦＦＵ１０２毎に制御することが可能である。
【００４４】
尚、上述の実施の形態において、ＦＦＵコントローラ１０３を空気清浄器制御手段として説明し、空気清浄器制御手段に備えられている受信手段、処理タイミング判定手段、風量設定手段及び風量制御手段を、ＦＦＵコントローラ１０３に全て備えている場合を説明したが、空気清浄器制御手段の機能をＦＦＵコントローラ１０３とＣＩＭシステム１０５とに分けて備えることも可能である。
【００４５】
例えば、風量設定手段をＣＩＭシステム１０５に備え、ＣＩＭシステム１０５によって設定されたＦＦＵ１０２の風量設定情報をＦＦＵコントローラ１０３が受信し、所定のタイミングにて、受信したＦＦＵ１０２の風量設定情報に基づいて、ＦＦＵ１０２の風量を制御するように構成することも可能である。
また、例えば、風量設定手段をＦＦＵコントローラ１０３とＣＩＭシステム１０５とに備え、生産装置１０１の動作信号に基づいたタイミングのときの風量設定手段はＦＦＵコントローラ１０３に備え、生産装置の生産計画情報や装置ステータス情報を受信したときの風量設定手段はＣＩＭシステム１０５に備えるように構成することも可能である。
【００４６】
また、上述の実施の形態においては、１個のＦＦＵコントローラ１０３によって、クリーンルームに備えられている全てのＦＦＵ１０２を制御するように説明しているが、１個のＦＦＵコントローラ１０３における処理の負荷を分散させるために、複数のＦＦＵコントローラ１０３によって、クリーンルームに備えられている全てのＦＦＵ１０２を制御することも可能である。
【００４７】
また、上述の実施の形態において、ＦＦＵ１０２の風量設定情報は、算出される情報として説明したが、風量設定テーブルを予め用意し、生産装置１０１の動作タイミング、各種受信情報等に基づいて、制御対象となるＦＦＵ１０２の風量設定情報を検索するように構成することも可能である。このような構成のとき、風量設定テーブルを生成及び編集する手段を備えることも可能である。
また、上述した図６及び図７に示す処理を実行する場合には、ＲＯＭに予め格納されている制御プログラムを実行する場合について説明したが、これらの各工程を実行させるプログラムを記録した情報記録媒体から、そのプログラムをＲＡＭに読み込んで実行するようにしても良い。
【００４８】
ここで、情報記録媒体とは、ＲＡＭ、ＲＯＭ等の半導体記録媒体、ＦＤ、ＨＤ等の磁気記憶型記録媒体、ＣＤ、ＣＤＶ、ＬＤ、ＤＶＤ等の光学的読取方式記録媒体、ＭＯ等の磁気記憶型／光学的読取方式記録媒体であって、電子的、磁気的、光学等の読み取り方法のいかんにかかわらず、コンピュータによって読み取り可能な情報記録媒体であれば、あらゆる情報記録媒体を含むものである。
尚、上述の実施態様は説明のためのものであり、本発明の範囲を制限するものではない。従って、当業者であればこれらの各要素もしくは全要素をこれと均等なものによって置換した実施態様を採用することが可能であるが、これらの実施態様も本発明の範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】クリーンルームの風量制御システムの構成図。
【図２】ＦＦＵコントローラ１０３の機能ブロック図の一例。
【図３】ＤＣタイプのＦＦＵを使用して、ＦＦＵの風量を制御する一例を示す図。
【図４】大型基板の基板処理におけるＦＦＵ１０２の風量制御の一例を示す図。
【図５】（ａ）は、生産装置１０１の移動におけるＦＦＵ１０２の風量制御の一例を示す図、（ｂ）は、生産装置１０１の進行方向に壁が存在する場合におけるＦＦＵ１０２の風量制御の一例を示す図。
【図６】風量制御処理の一例を示すフローチャート。
【図７】図６の続きを示すフローチャート。
【図８】シール塗布装置などステージ移動又は基板上部に設けられたヘッド部が移動するような処理作業を説明する図。
【符号の説明】
【００５０】
１００      風量制御システム
１０１      生産装置
１０２      ＦＦＵ
１０３      ＦＦＵコントローラ
１０４      各種センサ
１０５      ＣＩＭシステム
２０１      受信手段
２０２      処理タイミング判定手段
２０３      風量設定手段
２０４      風量制御手段
２１１      装置稼動情報記憶部
２１２      検出情報記憶部
２１３      設定情報記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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