(57)【要約】【課題】摩擦ロスが少なく、モータ効率のよい回転体の駆動源である振動波モータを提供すること。【解決手段】本振動波モータ４０は、回転方向に一体化されたロータ１６，１７と環状のステータ１５と、直方体の積層圧電体，支持軸４６，駆動子４４，４５をもつ振動子４１とを有してなり、支持軸４６は、ステータ１５外周にラジアル方向に沿った状態で取り付けられ、駆動子４４，４５は、ステータ軸方向両側面に配置されるロータ１６，１７とバネ付勢力で当接し、挟持されている。振動子４１が駆動され、駆動子４４，４５にて屈曲定在波振動，縦振動の合成による楕円運動が励起されると、ロータ１６，１７がステータ１５に対して相対的に回転駆動される。駆動子４４，４５は、一体化されたロータ１６，１７で挟持されていることから摩擦による損失が少なく、変換効率のよい振動波モータが提供できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
屈曲定在波振動と縦振動との合成による楕円運動を励起させる、少なくとも１つの振動子と、
上記振動子を保持する支持部材と、
上記支持部材に対して相対的に軸周りに回動自在であって、軸方向における上記振動子の両端部のうち一端と接触可能に配置された第一の回転体と、
上記第一の回転体と一体的に回動するように支持されていて、上記支持部材に対して相対的に軸周りに回動自在であって、軸方向における上記振動子の両端部のうち他端と接触可能に配置された第二の回転体と、
上記第一の回転体及び上記第二の回転体を上記振動子に常時当接させるように軸方向に付勢する付勢手段と、
を具備することを特徴とする振動波モータ。
【請求項２】
上記振動子は、円周方向及び径方向の位置を規制されるようにして上記支持部材に取り付け支持されていることを特徴とする請求項１記載の振動波モータ。
【請求項３】
上記振動子は、上記第一及び第二の回転体の回転中心軸に対して略垂直方向の軸周りに回動自在に、上記支持部材上にて支持されていることを特徴とする請求項１記載の振動波モータ。
【請求項４】
上記振動子は、上記第一及び第二の回転体の円周方向に略均等の間隔となるように複数配置されていることを特徴とする請求項１記載の振動波モータ。
【請求項５】
上記振動子は、上記第一及び第二の回転体の円周方向に略１２０°間隔で３個配置されていることを特徴とする請求項４記載の振動波モータ。
【請求項６】
上記付勢手段は、上記第一及び第二の回転体と常に一体的に回動するように設けられていることを特徴とする請求項１記載の振動波モータ。
【請求項７】
上記振動子は、軸方向に所定寸法の長さを有して形成されていて、上記回転体の円周方向に少なくとも１つ配置されており、
さらに、上記振動子の上記所定寸法と長さ寸法とが略同一であって、上記第一の回転体及び上記第二の回転体に常時接触するように挟持されて上記支持部材上に配置されていて、上記回転体の円周方向に少なくとも１つ配置されたスペーサ部材を有し、
上記振動子及び上記スペーサ部材は、上記第一及び第二の回転体の円周方向に略均等の間隔となるように配置されていることを特徴とする請求項１記載の振動波モータ。
【請求項８】
上記スペーサ部材は、上記第一及び第二の回転体の軸方向に沿って複数個重ねるように配置されて構成されるボール状又はローラ状の転動体であることを特徴とする請求項７記載の振動波モータ。
【請求項９】
上記振動子は、上記支持部材に対して、屈曲定在波振動と縦振動との合成振動の中立点である節の部分でのみ固定支持されていることを特徴とする請求項１記載の振動波モータ。
【請求項１０】
屈曲定在波振動と縦振動との合成による楕円運動を励起させる、少なくとも１つの振動子と、
上記振動子を保持する支持部材と、
上記支持部材に対して相対的に軸周りに回動自在であって、軸方向における上記振動子の両端部のうち一端と接触可能に配置された第一の回転体と、
上記第一の回転体と常に一体的に上記支持部材に対して相対的に軸周りに回動するように、且つ上記第一の回転体に対して軸方向に移動自在に上記第一の回転体に支持されていて、軸方向における上記振動子の両端部のうち他端と接触可能に配置された第二の回転体と、
上記第一及び第二の回転体と常に一体的に回動するように支持されていて、上記第一の回転体及び上記第二の回転体を上記振動子に常時当接させるように上記第二の回転体を軸方向に付勢する付勢部材と、
を具備することを特徴とする振動波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、屈曲定在波振動と縦振動との合成による楕円運動を励起させる振動子を利用する振動波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動子を利用した振動波モータに関して特許文献１、あるいは、特許文献２に記載の超音波モータ（振動波モータ）は、屈曲定在波振動と縦振動との合成による楕円運動を励起させる圧電素子よりなる振動子を弾性体に付勢接触させて被駆動体を相対移動させるリニアタイプの超音波モータである。このようなリニアタイプの超音波モータでは、保持トルクの確保が困難であり、停止位置の分解能の向上が難しいなどの問題があった。
【０００３】
そこで、回転体を駆動する超音波モータとして特許文献３に提案された振動モータ（振動波モータ）は、進行波を利用した円環型超音波モータであり、レンズ鏡筒に適用されるものである。上記レンズ鏡筒は、円筒部を有する固定筒と、ステータと回転体である距離環からなる超音波モータ（振動波モータ）と、上記距離環によって進退駆動される可動レンズ部とを有している。
【特許文献１】特許文献１は、特許公報第２８７１７６８号である。
【特許文献２】特許文献２は、特許公開公報平８−１８２３６５号である。
【特許文献３】特許文献３は、特許公告公報平７−４８０８７号である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した特許文献３に記載されている進行波を利用した円環型超音波モータの場合、振動子を形成する圧電体が円環状のものとなり、モータサイズが異なると圧電体の配置形状が異なってくる。また、進行波を利用することから振動の節（中立点）がなく、振動に影響を与えないような安定した押圧構造が得られにくく、モータの効率低下が生じる可能性があった。さらに、上記従来の円環型超音波モータは、振動子の一側面の振動のみを駆動力として利用しており、効率のよい実装形態とはいえない。さらに、付勢力の反力を受ける面における摩擦ロスが避けられず、その点も効率を低下させる要因となっている。
【０００５】
本発明は、上述の問題を解決するためになされたものであり、摩擦ロスが少なく、モータ効率がよく、回転体の駆動源として好適な構造を有する振動波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１記載の振動波モータは、屈曲定在波振動と縦振動との合成による楕円運動を励起させる、少なくとも１つの振動子と、上記振動子を保持する支持部材と、上記支持部材に対して相対的に軸周りに回動自在であって、軸方向における上記振動子の両端部のうち一端と接触可能に配置された第一の回転体と、上記第一の回転体と一体的に回動するように支持されていて、上記支持部材に対して相対的に軸周りに回動自在であって、軸方向における上記振動子の両端部のうち他端と接触可能に配置された第二の回転体と、上記第一の回転体及び上記第二の回転体を上記振動子に常時当接させるように軸方向に付勢する付勢手段とを具備する。
【０００７】
本発明の請求項２記載の振動波モータは、請求項１記載の振動波モータにおいて、上記振動子は、円周方向及び径方向の位置を規制されるようにして上記支持部材に取り付け支持されている。
【０００８】
本発明の請求項３記載の振動波モータは、請求項１記載の振動波モータにおいて、上記振動子は、上記第一及び第二の回転体の回転中心軸に対して略垂直方向の軸周りに回動自在に、上記支持部材上にて支持されている。
【０００９】
本発明の請求項４記載の振動波モータは、請求項１記載の振動波モータにおいて、上記振動子は、上記第一及び第二の回転体の円周方向に略均等の間隔となるように複数配置されている。
【００１０】
本発明の請求項５記載の振動波モータは、請求項４記載の振動波モータにおいて、上記振動子は、上記第一及び第二の回転体の円周方向に略１２０°間隔で３個配置されている。
【００１１】
本発明の請求項６記載の振動波モータは、請求項１記載の振動波モータにおいて、上記付勢手段は、上記第一及び第二の回転体と常に一体的に回動するように設けられている。
【００１２】
本発明の請求項７記載の振動波モータは、請求項１記載の振動波モータにおいて、上記振動子は軸方向に所定寸法の長さを有して形成されていて、上記回転体の円周方向に少なくとも１つ配置されており、さらに、上記振動子の上記所定寸法と長さ寸法とが略同一であって、上記第一の回転体及び上記第二の回転体に常時接触するように挟持されて上記支持部材上に配置されていて、上記回転体の円周方向に少なくとも１つ配置されたスペーサ部材を有し、上記振動子及び上記スペーサ部材は、上記第一及び第二の回転体の円周方向に略均等の間隔となるように配置されている。
【００１３】
本発明の請求項８記載の振動波モータは、請求項７記載の振動波モータにおいて、上記スペーサ部材は、上記第一及び第二の回転体の軸方向に沿って複数個重ねるように配置されて構成されるボール状又はローラ状の転動体である。
【００１４】
本発明の請求項９記載の振動波モータは、請求項１記載の振動波モータにおいて、上記振動子は、上記支持部材に対して、屈曲定在波振動と縦振動との合成振動の中立点である節の部分でのみ固定支持されている。
【００１５】
本発明の請求項１０記載の振動波モータは、屈曲定在波振動と縦振動との合成による楕円運動を励起させる、少なくとも１つの振動子と、上記振動子を保持する支持部材と、上記支持部材に対して相対的に軸周りに回動自在であって、軸方向における上記振動子の両端部のうち一端と接触可能に配置された第一の回転体と、上記第一の回転体と常に一体的に上記支持部材に対して相対的に軸周りに回動するように、且つ上記第一の回転体に対して軸方向に移動自在に上記第一の回転体に支持されていて、軸方向における上記振動子の両端部のうち他端と接触可能に配置された第二の回転体と、上記第一及び第二の回転体と常に一体的に回動するように支持されていて、上記第一の回転体及び上記第二の回転体を上記振動子に常時当接させるように上記第二の回転体を軸方向に付勢する付勢部材とを具備する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、摩擦ロスが少なく、モータ効率のよい回転体の駆動源として好適な構造を有する振動波モータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図を用いて本発明の実施形態について説明する。 
図１は、本発明の一実施形態である振動波モータが組み込まれたレンズ鏡筒の光軸を含む縦断面図である。図２は、上記振動波モータの分解斜視図である。図３は、上記振動波モータにおける振動子とステータの分解斜視図である。図４は、上記振動子のステータへの取り付け状態を示す分解斜視図である。図５は、図２のＡ−Ａ部分断面図であって、振動子まわりを示す。図６は、図２のＢ−Ｂ断面図であって、ローラ部まわりの断面を示す。図７は、図２のＣ−Ｃ断面図であって、連結ピンまわりの断面を示す。図８は、図６のＧ矢視図であって、ローラ部の接触状態を示す。
【００１８】
なお、以下の説明において、第一〜四群レンズからなる撮影レンズ光軸を光軸Ｏとし、光軸Ｏと平行な方向をＺ方向とし、その被写体側を＋，結像側を−とする。光軸Ｏに対するラジアル方向をＲ方向とし、光軸Ｏの周方向に対する接線方向をＴ方向とする。なお、光軸Ｏは、後述するステータ，ロータ等の回転軸心と略一致する。
【００１９】
本実施形態のレンズ鏡筒１は、図１に示すように固定枠２と、固定枠２の外周部に支持されるカム環３と、カム環３の外周に嵌入さるズーム環４と、第一群レンズ３５を保持する第一群レンズ枠５と、第一群レンズ枠５の後方にあって、第二群レンズ３６を保持する第二群レンズ枠６と、第二群レンズ枠６の後方にあって、第三群レンズ３７を保持する第三群レンズ枠７と、第三群レンズ枠７の後方にあって、フォーカスレンズである第四群レンズ３８を保持する第四群レンズ枠８と、駆動源としての振動波モータ部（振動波モータ）４０とを有してなる。
【００２０】
固定枠２は、環状枠部材であって、その環状部に円周ガイド溝２ｃと、Ｚ方向に沿った直進ガイド溝２ａと、Ｚ方向に対して斜行するカム溝２ｂとを有し、さらに、後端部に振動波モータのロータ嵌合用の摺動外周部２ｄ，Ｚ方向に沿った連結溝２ｅ，フォーカス駆動アーム挿通用切り欠き２ｆが設けられる。そして、固定枠２は、後端面部にてエンドプレート３１およびマウント３３とビス５５によって一体化される。エンドプレート３１には、外枠３２が固着されている。
【００２１】
カム環３は、環状枠部材であって、固定枠２の外周に回動自在に嵌入し、さらに、内周側突部３ｃが固定枠２の円周ガイド溝２ｃに嵌入して支持されており、固定枠２に対してＺ方向には規制された状態で回動自在に支持される。円環部には、Ｚ方向に対して斜行する２つのカム溝３ａ，３ｂが設けられる。
【００２２】
ズーム環４は、環状枠部材であって、カム環３の外周に嵌入し、Ｚ方向，Ｔ方向ともに一体化されている。ズーム環４の外周部には操作用ゴムリング４ａが固着されている。
【００２３】
第一群レンズ枠５は、固定枠２の前端部に固着して支持される。
【００２４】
第二，三群レンズ枠６，７は、固定枠２の内周に嵌入して支持され、外周にそれぞれカムフォロア１１，１２が固着されている。カムフォロア１１，１２は、固定枠２の直進ガイド溝２ａを直進ガイドされる状態で挿通し、カム環３のカム溝３ａ，３ｂに摺動自在に嵌入する。従って、ズーム環４のズーム回動操作によってカム環３が回動駆動されると、カム溝３ａ，３ｂによってカムフォロア１１，１２を介して第二，三群レンズ枠６，７は、光軸Ｏに沿って進退し、各ズーム位置に移動する。
【００２５】
第四群レンズ枠８は、固定枠２の内周に嵌入して支持され、外周にカムフォロア１３が固着されている。カムフォロア１３は、固定枠２のカム溝２ｂに対して摺動自在に嵌入する。この第四群レンズ枠８には、Ｚ方向に沿ったガイド溝８ａが設けられており、該ガイド溝８ａには振動波モータ部４０側のロータ１６に固着されるフォーカス駆動アーム９の先端部が摺動自在に嵌入する。従って、フォーカス駆動時に振動波モータ部４０のロータ１６が回動駆動されると、フォーカス駆動アーム９を介して第四群レンズ枠８が固定枠２に対して相対的に回動駆動される。その回動によってカムフォロア１３がカム溝２ｂ上を摺動移動するので、第四群レンズ枠８は、回転しながら光軸Ｏ方向のフォーカス位置に移動する。
【００２６】
振動波モータ部４０は、第四群レンズ枠８をフォーカス進退駆動する超音波モータからなるアクチュエータであって、図１，２に示すように支持部材であるステータ１５と、第一の回転体であるロータ１６と、第二の回転体であるロータ１７と、屈曲定在波振動と縦振動との合成による楕円運動を励起させる振動子４１と、スペーサ部材であって、ローラ状の転動体である一対のローラ２３と、３対のベアリング用ボール２１と、付勢手段（付勢部材）である付勢用板バネ２０と、バネ押さえ板１８と、バネ力量調節用スペーサ板１９と、センサ支持板２７，磁気センサ２８からなる磁気センサ部等を有してなる。
【００２７】
ロータ１６は、耐摩耗性のよい材料で形成される円環状部材であって、円環部１６ａと、＋Ｚ側フランジ部１６ｂとを有している。円環部１６ａには、周方向に沿った２つの逃げ溝１６ｃと、−Ｚ側からの２つの切り欠き１６ｄとが設けられ、−Ｚ側端面にビス穴１６ｅと、フランジ部外周の所定位置に磁気エンコーダ用磁気皮膜部１６ｆと、＋Ｚ側端面に駆動アーム固着用のビス穴等が設けられる。
【００２８】
ロータ１７は、耐摩耗性のよい材料で形成されるリング形状部材であって、内周側に突出する２つの突起部１７ａが設けられる。
【００２９】
付勢用板バネ２０は、バネ板材料で形成され、リング形状を有し、切り起こしによって形成される軸方向に弾性変形可能な３つの弾性変形部２０ａと、内周側に突出する２つの突起部２０ｂとが設けられる。
【００３０】
バネ押さえ板１８は、リング形状を有し、ビス挿通穴１８ａを有している。
【００３１】
ステータ１５は、図２，３に示すように円環形状の部材であって、外周部の２箇所に振動子取り付け用凹部１５ａと、該凹部中央にＲ方向に貫通し、Ｚ方向に僅かな長穴である貫通長穴１５ｂと、Ｚ方向に沿ったローラ挿入用貫通溝１５ｄと、該貫通溝１５ｄの両端から切り欠かれた切り欠き１５ｅと、Ｚ方向方向に沿った内周側に開口する３つのボールガイド溝１５ｃとが設けられる。
【００３２】
一対のローラ２３は、図２，８に示すように該ローラの軸部２３ａをステータ１５の切り欠き１５ｅに回転自在に嵌入する状態でローラ挿入用貫通溝１５ｄに挿入される。その挿入状態で両ローラが内側で互いに当接し、両ローラ外径部は、ステータ１５のＺ方向両端面からに僅かに突出する。また、両ローラ２３はともにＺ方向に移動自在である。なお、ローラ２３は、一対に限らず偶数個で構成してもよい。このように上記ローラを一対、または、偶数個で構成するのは、該ローラが後述するように回転するロータ１６，１７に当接したとき、転がり接触状態を保たせるためである。
【００３３】
３対のボール２１は、図３に示すようにそれぞれリテーナ２２を介在した状態でボールガイド溝１５ｃに嵌入される。そのボール外径は、ステータ１５の内周側に極めて僅かに突出し、ステータ１５をロータ１６の外周部に嵌入させたとき、ボール２１を介在した状態でロータ１６とステータ１５が相対回動する。
【００３４】
上記磁気センサ部のセンサ支持板２７は、ステータ１５の外周部にビスによって固着される。上記取り付け状態で磁気センサ２８は、ロータ側の磁気皮膜部１６ｆに摺接し、ロータ１６の回転角を検出する。
【００３５】
２つの振動子４１は、振動波モータ部４０の駆動部を形成するものであって、図４に示すように積層圧電体４２，駆動子４４，４５，支持軸４６等を有している。
【００３６】
支持軸４６は、図５に示すように貫通軸部と、フランジ部４６ａと、フランジ側端部にネジ部４６ｂとを有しており、上記貫通軸部を積層圧電体４２の振動の節（中立位置）となる位置で積層方向に貫通させて接着固定する。
【００３７】
駆動子４４と駆動子４５とは、図４に示すように支持軸４６と直交する方向の積層圧電体４２のＺ方向の両側端面上の長手方向（Ｔ方向）に沿って配置され、それぞれが一対の突起で構成される。また、駆動子４４と駆動子４５とは、ステータ装着状態でステータ１５の端面（Ｚ方向）より僅かに突出する。そして、駆動子４４，４５間の寸法（Ｚ方向寸法）は、２つのローラ２３の径の合計寸法と同一とする。
【００３８】
２つの振動子４１のステータ１５への取り付けは、まず、振動子４１をステータ１５の振動子取り付け用凹部１５ａに外周側から挿入し、支持軸４６のネジ部４６ｂを貫通長穴１５ｂに挿入する。ナット２５を内周側から支持軸４６のネジ部４６ｂに螺着して貫通長穴１５ｂを支持軸４６のフランジ部４６ａとナット２５のフランジ部２５ａとで挟持した状態でネジ部４６ｂを接着固定する。ステータ１５へ取り付けられた振動子４１は、Ｒ方向に沿っている支持軸４６まわりには回転自在に支持され、ステータ１５に対してＺ方向に僅かに移動可能である。しかし、Ｔ方向，Ｒ方向には位置規制された状態で支持される。そして、ステータ１５の周方向については、図３に示すように軸心に対する角度１２０°で３等分割された位置に上記２つの振動子４１と上記一対のローラ２３とがそれぞれ配置される。
【００３９】
なお、上記振動子４１のさらなる詳細な構成および作用は、後で説明する。
【００４０】
上述のように振動子４１，ローラ２３，ベアリング用ボール２１等が組み込まれたステータ１５は、ロータ１６の外周部に−Ｚ側から嵌入される。そして、ロータ１６に対してステータ１５の−Ｚ端面側からロータ１７，付勢用板バネ２０をそれらの突起部１７ａ，２０ｂをロータ１６の切り欠き１６ｄに嵌入させた回転規制状態で嵌入する。さらに、必要に応じた厚みのバネ力量調節用スペーサ板１９を挿入し、その背面側に押さえ板１８を当て付け、ビス挿通穴１８ａを挿通させたビス１０をロータ１６のビス穴１６ｅに螺着して固定する。この固定によりローラ１６と１７とは、ステータ１５を挟持した状態でＺ方向に僅かにスライド可能で、かつ、相対回転規制の状態で連結される。
【００４１】
上述のようにして組み立てられた振動波モータ部４０においては、ロータ１６は、ロータ１７と一体の状態でステータ１５の内周部に対してボール２１を介して接触し、相対回転可能な状態に支持される。また、ロータ１７は、付勢用板バネ２０の付勢力Ｆ0 を受けて＋Ｚ方向のステータ１５側に付勢され、かつ、ロータ１６に対して一体回転する状態で、かつ、Ｚ方向には相対移動可能に支持される（図８）。
【００４２】
図５，６の上記振動子４１およびローラ２３の挟持状態の断面が示すように振動子４１の駆動子４４，４５と一対のローラ２３の外径は、一体のロータ１６，１７によってＺ方向で挟持される。そして、２つの振動子４１と１組のローラ２３とは、図３に示すようにステータ１５の周方向３等分位置に配置され、それぞれＺ方向に僅かに移動自在に支持されることから、振動子４１の駆動子４４，４５と一対のローラ２３とは、一体化されたロータ１７と１６によって略均等なＺ方向の付勢力Ｆ0 を受けて挟持されることになる。
【００４３】
上述した構成の振動波モータ部４０は、固定枠２の後方部の摺動外周部２ｄにロータ１６の内周部を回転自在に嵌入させてレンズ鏡筒１に組み込まれる。その組み込み時、ロータ１６の逃げ溝を挿通させて、ステータ１５の内周部に螺着されている（図７）連結ピン１４を固定枠２の連結溝２ｅに−Ｚ側から嵌入させる。連結ピン１４によってステータ１５は、固定枠２と回転方向で一体の状態に支持される。また、ロータ１６，１７は、固定枠２の摺動外周部２ｄ上を回動可能に支持される。但し、ロータ１６のＺ方向の位置は、押さえ板１８とロータ１６とが固定枠２の後方段部とエンドプレート３１との間で挟持された状態でＺ方向位置が規制される。また、フォーカス駆動アーム９は、ロータ１６の＋Ｚ側端面にビス５３によって固着した状態で取り付けられ、該駆動アーム９の先端部は、第四群レンズ枠８のガイド溝８ａに摺動自在に嵌入される。
【００４４】
上記振動波モータ部４０のレンズ鏡筒１への組み付け状態において、振動子４１が駆動され、楕円振動が励起されると、駆動子４４，４５が当接しているロータ１６，１７は、ステータ１５（固定枠２）に対して回動駆動され、フォーカス駆動アーム９を介して第四群レンズ枠８が回動される。その回動により第四群レンズ枠８は、固定枠２のカム溝２ｂに沿って駆動され、光軸Ｏ方向のフォーカス位置に移動する。
【００４５】
ここで、振動子４１の構成および作用について、図９〜１５を用いて説明する。 
図９は、上記振動子にフレキシブルプリント基板４８を固着した状態を支持軸方向からみた図である。図１０は、図９のＤ矢視図である。図１１は、図９の振動子からフレキシブルプリント基板４８を外した状態を支持軸方向から見た図である。図１２は、図１１のＥ矢視図である。図１３は、図１１のＦ矢視図である。図１４は、上記振動子を構成する圧電素子部と絶縁板の焼き付け処理前の分解斜視図である。図１５は、上記振動子の屈曲定在波振動と縦振動との合成振動状態を拡大して示した図であって、振動子が図１５（Ａ）の屈曲状態から図１５（Ｂ）の伸張状態、図１５（Ｃ）の屈曲状態、図１５（Ｄ）の収縮状態の順に変形する様子を示している。
【００４６】
上記振動波モータ部４０を構成する振動子４１は、図１１，１４等に示すように複数の２種類の圧電シート４２Ｘ，４２Ｙと２枚の絶縁板４３Ａ，４３Ｂからなる積層圧電体４２と、導電性銀ペーストからなる電極４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄ，４７ａ′，４７ｂ′と、１本の支持軸４６と、一対の駆動子４４と、一対の駆動子４５とを有してなる。
【００４７】
２種類の圧電シート４２Ｘ，４２Ｙは、それぞれ厚さ１００μｍ程度の矩形の圧電素子からなる。圧電シート４２Ｘには、その前面に厚さ１０μｍ程度の銀−パラジウム合金が塗布された第一内部電極４２Ｘａ，４２Ｘｃ，４２Ｘｃ′，４２Ｘａ′が絶縁された４つの領域に分割されて配置されている。圧電素子の長手方向（Ｔ方向）の端面位置まで上記各内部電極の上側端部は伸びている（図１４）。
【００４８】
一方、圧電シート４２Ｙには、その前面に厚さ１０μｍ程度の銀−パラジウム合金が塗布された第二内部電極４２Ｙｂ，４２Ｙｄ，４２Ｙｄ′，４２Ｙｂ′が絶縁された４つの領域に分割されて配置されている。圧電素子の長手方向（Ｔ方向）の端面位置まで上記内部電極の下側端部は伸びている（図１４）。
【００４９】
互いに隣接する上記圧電シート４２Ｘ，４２Ｙ同士の第一内部電極４２Ｘａ，４２Ｘｃ，４２Ｘｃ′，４２Ｘａ′と第二内部電極４２Ｙｂ，４２Ｙｄ，４２Ｙｄ′，４２Ｙｂ′とは形状が同じで、電極端部が上下が逆になり、積層されたときに矩形電極面が互いに重なる位置に配置されている。このような内部電極が施された２種類の圧電シート４２Ｘ，４２Ｙを交互に４０層程度積層される。
【００５０】
図１４に示すように積層された圧電素子の左側端面には、第一内部電極４２Ｘａ，４２Ｘｃおよび第二内部電極４２Ｙｂ，４２Ｙｄの端部が積層状態で露呈した内部電極露呈部が形成されている（図示せず）。積層された圧電素子の右側端面には、第一内部電極４２Ｘｃ′，４２Ｘａ′および第二内部電極４２Ｙｄ′，４２Ｙｂ′の端部が積層状態で端面に露呈し、内部電極露呈部が形成される（図示せず）。さらに、上記内部電極露呈部上にそれぞれ導電性銀ペーストからなる各４つの独立した外部電極が両側面部に形成され、該内部電極と導通するようになっている（図１２）。
【００５１】
上記積層された圧電素子の前後面に圧電シート４２Ｘ，４２Ｙと同じ矩形形状の絶縁板４３Ａ，４３Ｂが配され、積層圧電体４２が形成される。前面側の絶縁板４３Ａの表面には図１１に示される導電銀ペーストからなる電極４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄ，４７ａ′，４７ｂ′が形成される。
【００５２】
上記絶縁板４３Ａ上の電極４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄ，４７ａ′，４７ｂ′は、上記各積層された圧電シート毎の両側に露呈した積層状態の両側面内部電極にそれぞれにより電気接続される。すなわち、電極４７ａには、第一内部電極４２Ｘａが電気接続される。電極４７ｂは、第二内部電極４２Ｙｂと電気接続される。電極４７ｃには、第一内部電極４２Ｘｃおよび第一内部電極４２Ｘｃ′が電気接続される。電極４７ｄには、第二内部電極４２Ｙｄおよび第二内部電極４２Ｙｄ′が電気接続される。電極４７ａ′には、第一内部電極４２Ｘａ′が電気接続される。電極４７ｂ′には、第二内部電極４２Ｙｂ′が電気接続される。
【００５３】
上記電極接続状態の積層された圧電シート４２Ｘ，４２Ｙに絶縁板４３Ａ，４３Ｂを重ねた状態の積層圧電体４２を焼き付け処理し、上記各電極を利用して分極を行うと振動子４１となる。
【００５４】
振動子４１（積層圧電体４２）の＋Ｚ側（積層方向と直交する方向）端面上の振動中立点と両端との両中間位置（屈曲定在波振動の腹位置）に一対の駆動子４４が接着固着される。また、−Ｚ側（積層方向と直交する方向）端面上のＴ方向両端位置に一対の駆動子４５が接着固着される。なお、該駆動子４４，４５は、共に高分子材料にアルミナを分散して形成されている。
【００５５】
さらに、振動子４１の略中央部、すなわち、振動子の振動中立点である節となる位置には積層方向（Ｒ方向）に貫通穴が穿設されており、該貫通穴には、ステンレス材等よりなる支持軸４６の貫通軸部がＲ方向に貫通して接着固定される（図１２）。
【００５６】
振動子４１の絶縁板４３Ａに設けられた各電極４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄ，４７ａ′，４７ｂ′上には、接続パターンを有する接続フレキシブルケーブル（以下、ＦＰＣと記載）４８が各電極と電気接続された状態で装着される。上記接続パターンには、駆動電圧印加用のリード線４９が接続される（図９）。リード線４９は、振動子駆動回路に接続される。
【００５７】
なお、上記振動子駆動回路は、発振回路部，移相回路部，駆動回路部等を有してなり、上記駆動回路部を介して位相制御された駆動電圧を振動子４１に印加する。
【００５８】
駆動電圧が印加された振動子４１は、図１５（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）に示す屈曲定在波振動と縦振動が合成された振動が生じ、駆動子４４，４５の先端に位相のずれた楕円振動（図９の軌跡Ｅ1 ，Ｅ2 ，Ｅ3 ，Ｅ4 ）を発生させる。駆動子４４，４５の先端には被駆動体であるロータ１７，１６が押圧されているので、楕円振動の回転方向に駆動子４４，４５を介してロータ１７，１６が一体の状態でステータ１５に対して相対回転駆動される。
【００５９】
上述した構成を有する本実施形態のレンズ鏡筒１において、フォーカシング駆動を行う場合、振動子４１が振動子駆動回路により駆動され、駆動子４４，４５が楕円軌跡に沿って振動駆動されると、ロータ１７，１６が一体の状態でステータ１５，固定枠２に対して何れかの方向に回動駆動される。上記ロータの回動により駆動アーム９を介して第四群レンズ枠８が回動駆動され、固定枠２のカム溝２ｂに沿って光軸Ｏ方向のフォーカス位置に移動する。
【００６０】
上述したように本実施形態のレンズ鏡筒１に組み込まれた振動波モータ４０によれば、摩擦ロスが少なく、モータ効率がよい回転体の駆動源として好適な構造を有する振動波モータが得られる。すなわち、上述した振動波モータ４０では、ステータ１５の周方向３等分位置に２つの振動子４１と一対のローラ２３が配置されており、それらが一体化されたロータ１６と１７により付勢力Ｆ0 を受けて挟持されている。従って、ロータ１６，１７がアンバランスな力を受けないような状態で、かつ、上記付勢力Ｆ0 による摩擦損失が発生しにくい状態で該ロータの駆動が行われる。
【００６１】
なお、上述した実施形態では、ステータ１５に対して２つの振動子４１とスペーサ部材としての一対のローラ２３とを周方向３等分位置に配置する構成を採用したが、これに限らず、複数等分された位置の少なくとも１箇所に振動子を配置し、他の箇所にローラを配置した構成を採用してもよく、また、すべての箇所に振動子を配置するように構成してもよい。
【００６２】
また、上述した実施形態の振動子４１は、直方体形状のものであったがステータ１５の周方向に沿った円弧形状の振動子を適用することも可能である。
【００６３】
また、上述した実施形態では、スペーサ部材として一対のローラ２３を適用したが、これに限らず、一対のボールを適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明による振動波モータは、摩擦ロスが少なく、モータ効率がよい回転体の駆動源として利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の一実施形態である振動波モータが組み込まれたレンズ鏡筒の光軸を含む縦断面図である。
【図２】図１のレンズ鏡筒に組み込まれる振動波モータの分解斜視図である。
【図３】図２の振動波モータにおける振動子とステータとの分解斜視図である。
【図４】図２の振動波モータにおける振動子のステータへの取り付け状態を示す分解斜視図である。
【図５】図２のＡ−Ａ部分断面図であって、上記振動子まわりを示す。
【図６】図２のＢ−Ｂ断面図であって、ローラ部まわりの断面を示す。
【図７】図２のＣ−Ｃ断面図であって、連結ピンまわりの断面を示す。
【図８】図６のＧ矢視図であって、上記ローラ部の接触状態を示す。
【図９】図３の振動子にフレキシブルプリント基板を固着した状態を支持軸方向からみた図である。
【図１０】図９のＤ矢視図である。
【図１１】図９の振動子からフレキシブルプリント基板を外した状態を支持軸方向から見た図である。
【図１２】図１１のＥ矢視図である。
【図１３】図１２のＦ矢視図である。
【図１４】図１１の振動子を構成する圧電素子部と絶縁板の焼き付け処理前の分解斜視図である。
【図１５】図１１の振動子の屈曲定在波振動と縦振動との合成振動状態を拡大して示した図であって、振動子が図１５（Ａ）の屈曲状態から図１５（Ｂ）の伸張状態、図１５（Ｃ）の屈曲状態、図１５（Ｄ）の収縮状態の順に変形する様子を示している。
【符号の説明】
【００６６】
１５  …ステータ（支持部材）
１６  …ロータ（第一の回転体）
１７  …ロータ（第二の回転体）
２０  …付勢用板バネ（付勢手段，付勢部材）
２３  …ローラ（スペーサ部材，転動体）
４０  …振動波モータ
４１  …振動子
Ｏ…光軸（回転中心軸）
代理人      弁理士    伊  藤    進
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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