(57)【要約】【課題】固体レーザ媒質の励起効率を向上させる共に固体レーザの出力を安定させる。【解決手段】励起用レーザ光を発振するレーザダイオード１と、励起用レーザ光で励起されてレーザ光を出力する固体レーザ媒質４とを具備し、レーザダイオード１は、駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかなレーザダイオードが選別されて用いられている。【効果】固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかなレーザダイオードと、前記レーザダイオードにより励起される固体レーザ媒質とを具備したことを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザ。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザダイオード励起固体レーザにおいて、前記レーザダイオードは、異なる駆動電流に対してニアフィールドパターンをそれぞれ測定し、前記各ニアフィールドパターンを規格化し、ある駆動電流値での前記規格化したニアフィールドパターンとステップ電流値Ｉｓだけ駆動電流値を増加させたときの前記規格化したニアフィールドパターンの差分面積Ｄ［％］の変化を下限駆動電流値から上限駆動電流値まで求め、ある駆動電流値での差分面積Ｄ［％］がステップ電流値Ｉｓだけ大きい駆動電流値での差分面積Ｄａ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きく且つステップ電流値Ｉｓだけ小さい駆動電流値での差分面積Ｄｂ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きいものでないレーザダイオードであることを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザ。
【請求項３】
請求項１に記載のレーザダイオード励起固体レーザにおいて、前記レーザダイオードは、異なる駆動電流に対してニアフィールドパターンをそれぞれ測定し、前記ニアフィールドパターンを移動平均し、前記各移動平均したニアフィールドパターンを規格化し、ある駆動電流値での前記規格化したニアフィールドパターンとステップ電流値Ｉｓだけ駆動電流値を増加させたときの前記規格化したニアフィールドパターンの差分面積Ｄ［％］の変化を下限駆動電流値から上限駆動電流値まで求め、ある駆動電流値での差分面積Ｄ［％］がステップ電流値Ｉｓだけ大きい駆動電流値での差分面積Ｄａ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きく且つステップ電流値Ｉｓだけ小さい駆動電流値での差分面積Ｄｂ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きいものでないレーザダイオードであることを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザ。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載のレーザダイオード励起固体レーザにおいて、前記ニアフィールドパターンは、ニアフィールドパターン像の狭い方向について積算して１次元化したニアフィールドパターンであることを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザ。
【請求項５】
請求項２から請求項４のいずれかに記載のレーザダイオード励起固体レーザにおいて、前記ステップ電流値Ｉｓ＝５０［ｍＡ］であり、前記不適格基準Ｋ＝２［％］であることを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザ。
【請求項６】
請求項２から請求項５のいずれかに記載のレーザダイオード励起固体レーザにおいて、前記下限駆動電流値は固定レーザ励起に使用する可能性のある最小駆動電流値であり、前記上限駆動電流値は固定レーザ励起に使用する可能性のある最大駆動電流値であることを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザ。
【請求項７】
レーザダイオードを異なる駆動電流で駆動しうるレーザダイオード駆動手段と、前記レーザダイオードの出力光のニアフィールドパターンを測定するためのセンサ手段と、前記センサ手段に前記ニアフィールドパターンを投影するためのレンズ手段と、前記センサ手段に入射する光量を調整するための光量調整手段と、前記レーザダイオードを異なる駆動電流で駆動してニアフィールドパターンを測定し駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかか否かを判定する判定手段とを具備したことを特徴とするレーザダイオード選別装置。
【請求項８】
請求項７に記載のレーザダイオード選別装置において、前記判定手段は、異なる駆動電流に対してニアフィールドパターンをそれぞれ測定し、前記ニアフィールドパターンを移動平均し、前記各移動平均したニアフィールドパターンを規格化し、ある駆動電流値での前記規格化したニアフィールドパターンとステップ電流値Ｉｓだけ駆動電流値を増加させたときの前記規格化したニアフィールドパターンの差分面積Ｄ［％］の変化を下限駆動電流値から上限駆動電流値まで求め、ある駆動電流値での差分面積Ｄ［％］がステップ電流値Ｉｓだけ大きい駆動電流値での差分面積Ｄａ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きく且つステップ電流値Ｉｓだけ小さい駆動電流値での差分面積Ｄｂ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きいものでないレーザダイオードを、駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかであると判定することを特徴とするレーザダイオード選別装置。
【請求項９】
請求項８に記載のレーザダイオード選別装置において、前記ニアフィールドパターンは、ニアフィールドパターン像の狭い方向について積算して１次元化したニアフィールドパターンであることを特徴とするレーザダイオード選別装置。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載のレーザダイオード選別装置において、前記ステップ電流値Ｉｓ＝５０［ｍＡ］であり、前記不適格基準Ｋ＝２［％］であることを特徴とするレーザダイオード選別装置。
【請求項１１】
請求項８から請求項１０のいずれかに記載のレーザダイオード選別装置において、前記下限駆動電流値は固定レーザ励起に使用する可能性のある最小駆動電流値であり、前記上限駆動電流値は固定レーザ励起に使用する可能性のある最大駆動電流値であることを特徴とするレーザダイオード選別装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザダイオード励起固体レーザおよびレーザダイオード選別装置に関し、さらに詳しくは、固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られるレーザダイオード励起固体レーザおよびレーザダイオード選別装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザダイオードから出力したレーザ光によりＮｄ：ＹＡＧ等の固体レーザ媒質を励起するレーザダイオード励起固体レーザでは、固体レーザ媒質の吸収スペクトルの中心波長（吸収スペクトルの最大値を与える波長）に発振スペクトルの中心波長（発振スペクトルの最大値を与える波長）が合ったレーザダイオードを選別したり（例えば、特許文献１参照。）、レーザダイオードの発振スペクトルの中心波長が固体レーザ媒質の吸収スペクトルの中心波長に合うようにレーザダイオードの温度調整を行ったりしている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−７６５００号公報
【特許文献２】特開２０００−３５３８４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、発振スペクトルの中心波長によるレーザダイオードの選別や，レーザダイオードの温度調整を行っても、固体レーザ媒質の励起効率が低かったり、安定した固体レーザの出力が得られない場合があった。
そこで、本発明の目的は、固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られるレーザダイオード励起固体レーザおよびレーザダイオード選別装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１の観点では、本発明は、駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかなレーザダイオードと、前記レーザダイオードにより励起される固体レーザ媒質とを具備したことを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザを提供する。
本発明者らが鋭意研究したところ、固体レーザ媒質の励起効率が低かったり，安定した固体レーザの出力が得られないレーザダイオード励起固体レーザでは、駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかでないことが判った。
そこで、上記第１の観点によるレーザダイオード励起固体レーザでは、駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかでないレーザダイオードを用いず、駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかなレーザダイオードのみを選別して用いることとした。この結果、固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られる。
【０００６】
第２の観点では、本発明は、上記構成のレーザダイオード励起固体レーザにおいて、前記レーザダイオードは、異なる駆動電流に対してニアフィールドパターンをそれぞれ測定し、前記各ニアフィールドパターンを規格化し、ある駆動電流値での前記規格化したニアフィールドパターンとステップ電流値Ｉｓだけ駆動電流値を増加させたときの前記規格化したニアフィールドパターンの差分面積Ｄ［％］の変化を下限駆動電流値から上限駆動電流値まで求め、ある駆動電流値での差分面積Ｄ［％］がステップ電流値Ｉｓだけ大きい駆動電流値での差分面積Ｄａ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きく且つステップ電流値Ｉｓだけ小さい駆動電流値での差分面積Ｄｂ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きいものでないレーザダイオードであることを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザを提供する。
本発明者らが鋭意研究したところ、駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかなレーザダイオードを用いることにより、固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られた。そして、上記第２の観点によるレーザダイオード励起固体レーザのように、異なる駆動電流に対してニアフィールドパターンをそれぞれ測定し、前記各ニアフィールドパターンを規格化し、ある駆動電流値での前記規格化したニアフィールドパターンとステップ電流値Ｉｓだけ駆動電流値を増加させたときの前記規格化したニアフィールドパターンの差分面積Ｄ［％］の変化を下限駆動電流値から上限駆動電流値まで求め、ある駆動電流値での差分面積Ｄ［％］がステップ電流値Ｉｓだけ大きい駆動電流値での差分面積Ｄａ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きく且つステップ電流値Ｉｓだけ小さい駆動電流値での差分面積Ｄｂ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きいものでないレーザダイオードを用いることで、高い確率で、固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られた。
【０００７】
上記構成において、規格化は、レーザダイオードの出力またはニアフィールドパターンの面積でニアフィールドパターンの値を除算して行うことが出来る。
【０００８】
上記構成において、ステップ電流値Ｉｓと不適格基準Ｋ［％］は、経験的に決めることが出来る。例えばステップ電流値Ｉｓ＝５０［ｍＡ］と不適格基準Ｋ＝２［％］である。
【０００９】
第３の観点では、本発明は、上記構成のレーザダイオード励起固体レーザにおいて、前記レーザダイオードは、異なる駆動電流に対してニアフィールドパターンをそれぞれ測定し、前記ニアフィールドパターンを移動平均し、前記各移動平均したニアフィールドパターンを規格化し、ある駆動電流値での前記規格化したニアフィールドパターンとステップ電流値Ｉｓだけ駆動電流値を増加させたときの前記規格化したニアフィールドパターンの差分面積Ｄ［％］の変化を下限駆動電流値から上限駆動電流値まで求め、ある駆動電流値での差分面積Ｄ［％］がステップ電流値Ｉｓだけ大きい駆動電流値での差分面積Ｄａ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きく且つステップ電流値Ｉｓだけ小さい駆動電流値での差分面積Ｄｂ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きいものでないレーザダイオードであることを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザを提供する。
上記第３の観点によるレーザダイオード励起固体レーザは、前記第２の観点によるレーザダイオード励起固体レーザと同様であるが、測定したニアフィールドパターンを移動平均するため、測定上の誤差の影響等を抑制できる。
【００１０】
第４の観点では、本発明は、上記構成のレーザダイオード励起固体レーザにおいて、前記ニアフィールドパターンは、ニアフィールドパターン像の狭い方向について積算して１次元化したニアフィールドパターンであることを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザを提供する。
ニアフィールドパターンは、長円形の２次元な広がりを持っている。上記第４の観点によるレーザダイオード励起固体レーザでは、ニアフィールドパターン像の狭い方向については積算し、広い方向について１次元化するため、処理を簡単化できる。
【００１１】
第５の観点では、本発明は、上記構成のレーザダイオード励起固体レーザにおいて、前記ステップ電流値Ｉｓ＝５０［ｍＡ］であり、前記不適格基準Ｋ＝２［％］であることを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザを提供する。
ステップ電流値Ｉｓと不適格基準Ｋ［％］は経験的に決めることが出来るが、上記第５の観点によるレーザダイオード励起固体レーザでは、ステップ電流値Ｉｓ＝５０［ｍＡ］かつ不適格基準Ｋ＝２［％］とすることにより、高い確率で、固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られる。
【００１２】
第６の観点では、本発明は、上記構成のレーザダイオード励起固体レーザにおいて、前記下限駆動電流値は固定レーザ励起に使用する可能性のある最小駆動電流値であり、前記上限駆動電流値は固定レーザ励起に使用する可能性のある最大駆動電流値であることを特徴とするレーザダイオード励起固体レーザを提供する。
上記第６の観点によるレーザダイオード励起固体レーザでは、実際に使用する可能性のある駆動電流範囲について測定を行うため、必要十分な作業量で済む。
【００１３】
第７の観点では、本発明は、レーザダイオードを異なる駆動電流で駆動しうるレーザダイオード駆動手段と、前記レーザダイオードの出力光のニアフィールドパターンを測定するためのセンサ手段と、前記センサ手段に前記ニアフィールドパターンを投影するためのレンズ手段と、前記センサ手段に入射する光量を調整するための光量調整手段と、前記レーザダイオードを異なる駆動電流で駆動してニアフィールドパターンを測定し駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかか否かを判定する判定手段とを具備したことを特徴とするレーザダイオード選別装置を提供する。
上記第７の観点によるレーザダイオード選別装置では、レーザダイオード励起固体レーザに使用したときに固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られるようなレーザダイオードを好適に選別することが出来る。
【００１４】
第８の観点では、本発明は、上記構成のレーザダイオード選別装置において、前記判定手段は、異なる駆動電流に対してニアフィールドパターンをそれぞれ測定し、前記ニアフィールドパターンを移動平均し、前記各移動平均したニアフィールドパターンを規格化し、ある駆動電流値での前記規格化したニアフィールドパターンとステップ電流値Ｉｓだけ駆動電流値を増加させたときの前記規格化したニアフィールドパターンの差分面積Ｄ［％］の変化を下限駆動電流値から上限駆動電流値まで求め、ある駆動電流値での差分面積Ｄ［％］がステップ電流値Ｉｓだけ大きい駆動電流値での差分面積Ｄａ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きく且つステップ電流値Ｉｓだけ小さい駆動電流値での差分面積Ｄｂ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きいものでないレーザダイオードを、駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかであると判定することを特徴とするレーザダイオード選別装置を提供する。
上記第８の観点によるレーザダイオード選別装置では、レーザダイオード励起固体レーザに使用したときに固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られるようなレーザダイオードを好適に選別することが出来る。
上記構成において、規格化は、レーザダイオードの出力またはニアフィールドパターンの面積でニアフィールドパターンの値を除算して行うことが出来る。
上記構成において、ステップ電流値Ｉｓと不適格基準Ｋ［％］は、経験的に決めることが出来る。例えばステップ電流値Ｉｓ＝５０［ｍＡ］と不適格基準Ｋ＝２［％］である。
【００１５】
第９の観点では、本発明は、上記構成のレーザダイオード選別装置において、前記ニアフィールドパターンは、ニアフィールドパターン像の狭い方向について積算して１次元化したニアフィールドパターンであることを特徴とするレーザダイオード選別装置を提供する。
ニアフィールドパターン像は、長円形の２次元な広がりを持っている。上記第９の観点によるレーザダイオード選別装置では、ニアフィールドパターン像の狭い方向については積算し、広い方向について１次元化するため、処理を簡単化できる。
【００１６】
第１０の観点では、本発明は、上記構成のレーザダイオード選別装置において、前記ステップ電流値Ｉｓ＝５０［ｍＡ］であり、前記不適格基準Ｋ＝２［％］であることを特徴とするレーザダイオード選別装置を提供する。
ステップ電流値Ｉｓと不適格基準Ｋ［％］は経験的に決めることが出来るが、上記第１０の観点によるレーザダイオード選別装置では、ステップ電流値Ｉｓ＝５０［ｍＡ］かつ不適格基準Ｋ＝２［％］とすることにより、高い確率で、固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られるようなレーザダイオードを選別できる。
【００１７】
第１１の観点では、本発明は、上記構成のレーザダイオード選別装置において、前記下限駆動電流値は固定レーザ励起に使用する可能性のある最小駆動電流値であり、前記上限駆動電流値は固定レーザ励起に使用する可能性のある最大駆動電流値であることを特徴とするレーザダイオード選別装置を提供する。
上記第１１の観点によるレーザダイオード選別装置では、実際に使用する可能性のある駆動電流範囲について測定を行うため、必要十分な作業で済む。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のレーザダイオード励起固体レーザによれば、固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られる。また、本発明のレーザダイオード選別装置によれば、レーザダイオード励起固体レーザに使用したときに固体レーザ媒質の励起効率を向上させることが出来ると共に安定した固体レーザの出力が得られるようなレーザダイオードを好適に選別することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００２０】
図１は、実施例１に係るレーザダイオード励起固体レーザ１００の要部を示す構成説明図である。
このレーザダイオード励起固体レーザ１００は、励起用レーザ光を出力するレーザダイオード１と、励起用レーザ光を平行ビームにするコリメート・レンズ２と、励起用レーザ光を集光する集光レンズ３と、集光された励起用レーザ光で励起されレーザ光を出力する固体レーザ媒質４と、固体レーザ媒質４と共に共振器６を構成するミラー５と、出力されたレーザ光の一部を取り出すスプリッタ７と、レーザダイオード１に駆動電流を供給すると共にスプリッタ７で取り出したレーザ光の強度を一定に保つべく駆動電流を制御するＡＰＣ（Auto Power Controll）回路８とを具備している。
【００２１】
レーザダイオード１は、その駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかなものが選別されて用いられている。
具体的には、異なる駆動電流に対してニアフィールドパターンをそれぞれ測定し、前記各ニアフィールドパターンを移動平均し、前記各移動平均した各ニアフィールドパターンを規格化し、ある駆動電流値での前記規格化したニアフィールドパターンとステップ電流値Ｉｓだけ駆動電流値を増加させたときの前記規格化したニアフィールドパターンの差分面積Ｄ［％］の変化を下限駆動電流値から上限駆動電流値まで求め、ある駆動電流値での差分面積Ｄ［％］がステップ電流値Ｉｓだけ大きい駆動電流値での差分面積Ｄａ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きく且つステップ電流値Ｉｓだけ小さい駆動電流値での差分面積Ｄｂ［％］より不適格基準Ｋ［％］以上大きいものでないレーザダイオードが選別されて用いられている。
【００２２】
固体レーザ媒質３は、例えばＮｄ：ＹＡＧやＮｄ：ＹＶＯ４である。
【００２３】
図２は、実施例１に係るレーザダイオード選別装置２００の要部を示す構成説明図である。
このレーザダイオード選別装置２００は、選別対象のレーザダイオード１ｘに駆動電流を供給するレーザダイオード駆動回路１１と、レーザダイオード１ｘのニアフィールドパターンを測定するためのＣＣＤカメラ２４と、ＣＣＤカメラ２４の位置を調整するためのＣＣＤカメラ移動機構２５と、ＣＣＤカメラ２４にニアフィールドパターンを投影するためのレンズ２２と、レンズ２２の位置を調整するためのレンズ移動機構２３と、ＣＣＤカメラ移動機構２５およびレンズ移動機構２３を統合的に制御する移動制御装置２６と、ＣＣＤカメラ２４に入射する光量を調整するためのフィルタ２１と、レーザダイオード駆動回路１１を制御してレーザダイオード１ｘを異なる駆動電流Ｉで駆動して各ニアフィールドパターンを測定し駆動電流Ｉの変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかか否かを判定するコンピュータ２６とを具備している。
【００２４】
図３は、レーザダイオード選別手順を示すフロー図である。
ステップＳ１では、選別対象のレーザダイオード１ｘを上限駆動電流値Ｉmaxで駆動する。上限駆動電流値Ｉmaxは、固定レーザ励起に使用する可能性のある最大駆動電流値であり、例えば１０００［ｍＡ］である。
ステップＳ２では、レンズ２２とＣＣＤカメラ２４を移動し、ニアフィールドパターンの拡大率とフォーカスを調整する。このとき、レーザダイオード１ｘの位置にかかわらず、ニアフィールドパターンの拡大率を一定にするために、レンズ２２とＣＣＤカメラ２４を一定の関係で連動して移動させる。また、フォーカスは、ＣＣＤカメラ２４で得られる輝度が極大となり、ニアフィールドパターンの幅が規定以上となるように調整する。そして、ＣＣＤカメラ２４が飽和しないように、フィルタ２１で光量を調整する。
ステップＳ３では、ステップ数カウンタｊ＝０に初期化する。
【００２５】
ステップＳ４では、下限駆動電流値をＩminとし、ステップ電流値をＩｓとするとき、駆動電流Ｉ＝Ｉmin＋ｊ×Ｉｓで選別対象のレーザダイオード１ｘを駆動する。上限駆動電流Ｉmaxは、固定レーザ励起に使用する可能性のある最小駆動電流値であり、例えば５００［ｍＡ］である。ステップ電流値Ｉｓは、例えば５０［ｍＡ］である。
【００２６】
ステップＳ５では、ＣＣＤカメラ２４からニアフィールドパターンのデータをコンピュータ２６に取り込む。
ステップＳ６では、図４に示すような長円形のニアフィールドパターン像Ｇの狭い方向は積算し、図５に示すような広い方向のみの１次元のニアフィールドパターンＮＦＰとする。
ステップＳ７では、ニアフィールドパターンＮＦＰを移動平均し、測定上の誤差の影響等を抑制する。
ステップＳ８では。レーザダイオード１ｘの出力またはニアフィールドパターンＮＦＰの面積でニアフィールドパターンＮＦＰの強度値を除算して、図６に示すような規格化したニアフィールドパターンＮｊを得て、記憶する。
【００２７】
ステップＳ９では、図７に示すように、今回記憶したニアフィールドパターンＮｊと前回記憶したニアフィールドパターンＮｊ−１の差分の面積（斜線部分の面積）を求め、それを１００倍して差分面積Ｄｊ［％］を得て、記憶する。なお、前回記憶したニアフィールドパターンＮｊ−１がなければ本ステップをスキップする。
ステップＳ１０では、前回記憶した差分面積Ｄｊ−１から前々回記憶した差分面積Ｄｊ−２を引いた差Ｄｊ−１−Ｄｊ−２が２以上であり且つ前回記憶した差分面積Ｄｊ−１から今回記憶した差分面積Ｄｊ［％］を引いた差Ｄｊ−１−Ｄｊが２以上であればステップＳ１４へ進み、そうでなければステップＳ１１へ進む。
【００２８】
ステップＳ１１では、駆動電流Ｉ≧ＩmaxでなければステップＳ１２へ進み、Ｉ≧ＩmaxならステップＳ１３へ進む。
ステップＳ１２では、ステップ数カウンタｊを１だけインクリメントする。そして、ステップＳ４に戻る。
【００２９】
ステップＳ１３では、測定対象のレーザダイオード１ｘは、駆動電流Ｉの変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかなものであると判定する。そして、処理を終了する。
例えば、図８に示すように差分面積Ｄｊ［％］が変化したなら、ステップＳ１３で「測定対象のレーザダイオード１ｘは、駆動電流Ｉの変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかなものである」と判定する。
【００３０】
ステップＳ１４では、測定対象のレーザダイオード１ｘは、駆動電流Ｉの変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかなものでないと判定する。そして、処理を終了する。
例えば、図９に示すように差分面積Ｄｊ［％］が変化したなら、ステップＳ１４で「測定対象のレーザダイオード１ｘは、駆動電流Ｉの変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかなものでない」と判定する。
【００３１】
図１０は、固体レーザ媒質４の励起効率が低かったり、安定した固体レーザの出力が得られなかったレーザダイオード励起固体レーザに用いられていたレーザダイオード（不合格品）の差分面積Ｄｊ［％］を測定し、Ｂ≦Ｄｊ−１−Ｄｊ−２＜Ｂ＋１且つＢ≦Ｄｊ−１−Ｄｊ＜Ｂ＋１を満たす評価値Ｂを求めて、各評価値Ｂの例数を調べた結果である。
不適格基準Ｋ［％］＝２とすれば、図１０の結果から、不合格品のレーザダイオードの過半数を除去できることが判る（一部は残ってしまう）。
【００３２】
図１１は、固体レーザ媒質４の励起効率が高く、安定した固体レーザの出力が得られたレーザダイオード励起固体レーザに用いられていたレーザダイオード（合格品）の差分面積Ｄｊ［％］を測定し、Ｂ≦Ｄｊ−１−Ｄｊ−２＜Ｂ＋１且つＢ≦Ｄｊ−１−Ｄｊ＜Ｂ＋１を満たす評価値Ｂを求めて、各評価値Ｂの例数を調べた結果である。
不適格基準Ｋ［％］＝２とすれば、図１１の結果から、合格品のレーザダイオードの大部分を残すことが出来ると判る（極く一部は除去されてしまう）。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明のレーザダイオード励起固体レーザは、バイオエンジニアリング分野や計測分野で利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施例１に係るレーザダイオード励起固体レーザの要部を示す構成説明図である。
【図２】実施例１に係るレーザダイオード選別装置の要部を示す構成説明図である。
【図３】実施例１に係るレーザダイオード選別手順を示すフロー図である。
【図４】ニアフィールドパターン像を示す模式図である。
【図５】１次元化したニアフィールドパターンを示す説明図である。
【図６】規格化したニアフィールドパターンを示す説明図である。
【図７】差分面積の説明図である。
【図８】駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかなレーザダイオードの差分面積の変化を示す説明図である。
【図９】駆動電流の変化に対するニアフィールドパターンの変化が滑らかでないレーザダイオードの差分面積の変化を示す説明図である。
【図１０】合格品のレーザダイオードの評価値Ｂの分布を示す説明図である。
【図１１】不合格品のレーザダイオードの評価値Ｂの分布を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１，１ｘ            レーザダイオード
２                  コリメート・レンズ
３                  集光レンズ
４                  固体レーザ媒質
５                  ミラー
６                  共振器
７                  スプリッタ
８                  ＡＰＣ回路
１１                レーザダイオード駆動回路
２１                フィルタ
２２                レンズ
２３                レンズ移動機構
２４                ＣＣＤカメラ
２５                ＣＣＤカメラ移動機構
２６                移動制御装置
２７                コンピュータ
１００              レーザダイオード励起固体レーザ
２００              レーザダイオード選別装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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