(57)【要約】【課題】  ラインセンサの光軸調節を高精度に、かつ、容易に行う。【解決手段】  図示のような指標パターンをもった光軸調整用指標表示体を用意し、ラインセンサの線状視野ＦをＺ方向調整用指標Ｉｚ１〜Ｉｚ３の位置にもってゆき、各線分に対応する出力信号がそれぞれ弁別できるように焦点調整する。線状視野Ｆを下方へ移動させ、Ｘ方向調整用指標Ｉｘ１，Ｉｘ２に対応する出力信号が左右均等位置にくるようにＸ軸方向に平行移動し、更に、Ｙ方向調整用指標Ｉｙに対応する出力信号が中心位置にくるようにＹ軸方向に平行移動する。最後に、θ方向調整用指標Ｉθ１，Ｉθ２に対応する出力信号が所定の区間幅をもった信号として現れるように、線状視野Ｆを回転する。【選択図】  図８
2005127723.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＸＹＺ三次元座標系におけるＸＹ平面上に形成される線状視野が、その中心位置が所定の基準点Ｐの位置に重なり、その長手方向がＸ軸方向を向くように、ラインセンサの光軸を調整するために用いる光軸調整用指標表示体であって、
基準点Ｐからの距離が等しく、Ｙ軸に平行な一対の線分からなるＸ方向調整用指標と、
Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜した線分からなり、前記Ｘ方向調整用指標に対して特定の関係をもつ位置に配置されたＹ方向調整用指標と、
長手方向がＸ軸に平行になるように配置され、必要とされる調整精度に応じた幅をもった帯状領域からなるθ方向調整用指標と、
を有することを特徴とするラインセンサの光軸調整用指標表示体。
【請求項２】
請求項１に記載の表示体を用いた光軸調整方法であって、
Ｘ方向調整用指標を構成する一対の線分に対応する一対のラインセンサ出力信号の位置の中心点Ｍが、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＸ軸方向に平行移動させるＸ方向調整段階と、
Ｙ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置が、Ｘ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置に対して特定の関係をもつ位置にくるように、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させるＹ方向調整段階と、
θ方向調整用指標に対応する、所定の区間幅をもったラインセンサ出力信号が得られるように、ラインセンサを回転させる回転調整段階と、
を有することを特徴とするラインセンサの光軸調整方法。
【請求項３】
ＸＹＺ三次元座標系におけるＸＹ平面上に形成される線状視野が、その中心位置が所定の基準点Ｐの位置に重なり、その長手方向がＸ軸方向を向くように、ラインセンサの光軸を調整するために用いる光軸調整用指標表示体であって、
基準点Ｐからの距離が等しく、Ｙ軸に平行な一対の線分からなるＸ方向調整用指標と、
Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜した線分からなり、前記基準点Ｐを通る位置に配置されたＹ方向調整用指標と、
長手方向がＸ軸に平行になるように配置され、必要とされる調整精度に応じた幅をもった帯状領域からなるθ方向調整用指標と、
を有することを特徴とするラインセンサの光軸調整用指標表示体。
【請求項４】
請求項３に記載の表示体を用いた光軸調整方法であって、
Ｘ方向調整用指標を構成する一対の線分に対応する一対のラインセンサ出力信号の位置の中心点Ｍが、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＸ軸方向に平行移動させるＸ方向調整段階と、
Ｙ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置が、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させるＹ方向調整段階と、
θ方向調整用指標に対応する、所定の区間幅をもったラインセンサ出力信号が得られるように、ラインセンサを回転させる回転調整段階と、
を有することを特徴とするラインセンサの光軸調整方法。
【請求項５】
ＸＹＺ三次元座標系におけるＸＹ平面上に形成される線状視野が、その中心位置が所定の基準点Ｐの位置に重なり、その長手方向がＸ軸方向を向くように、ラインセンサの光軸を調整するために用いる光軸調整用指標表示体であって、
基準点Ｐからの距離が等しく、Ｙ軸に平行な一対の線分からなるＸ方向調整用指標と、
前記基準点Ｐから前記Ｘ方向調整用指標を構成する各線分に下ろした垂線の足をそれぞれ通り、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜し、互いに平行な一対の線分からなるＹ方向調整用指標と、
長手方向がＸ軸に平行になるように配置され、必要とされる調整精度に応じた幅をもった帯状領域からなるθ方向調整用指標と、
を有することを特徴とするラインセンサの光軸調整用指標表示体。
【請求項６】
請求項５に記載の表示体を用いた光軸調整方法であって、
Ｘ方向調整用指標を構成する一対の線分に対応する一対のラインセンサ出力信号の位置の中心点Ｍが、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＸ軸方向に平行移動させるＸ方向調整段階と、
Ｘ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置を基準にしたときの、Ｙ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置が、一方では右方向に距離ｄだけ隔たり、他方では左方向に距離ｄだけ隔たった状態になるように、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させるＹ方向調整段階と、
θ方向調整用指標に対応する、所定の区間幅をもったラインセンサ出力信号が得られるように、ラインセンサを回転させる回転調整段階と、
を有することを特徴とするラインセンサの光軸調整方法。
【請求項７】
請求項１、３、５のいずれかに記載の表示体において、
複数通りの精度のいずれかを選択して調整を行うことができるように、幅が異なる複数のθ方向調整用指標を設けたことを特徴とするラインセンサの光軸調整用指標表示体。
【請求項８】
請求項１、３、５のいずれかに記載の表示体において、
θ方向調整用指標を、長手方向に伸びる中心軸が、基準点Ｐを通りＸ軸に平行な基準線上にくるように配置したことを特徴とするラインセンサの光軸調整用指標表示体。
【請求項９】
請求項８に記載の表示体において、
θ方向調整用指標を、基準点Ｐからの距離が等しくなるように配置された同一サイズの一対の帯状領域によって構成したことを特徴とするラインセンサの光軸調整用指標表示体。
【請求項１０】
請求項９に記載の表示体において、
複数通りの精度のいずれかを選択して調整を行うことができるように、幅が異なる複数組のθ方向調整用指標を設け、個々の組ごとに基準点Ｐからの距離を変えて配置したことを特徴とするラインセンサの光軸調整用指標表示体。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載の表示体を用いた光軸調整方法であって、
Ｘ方向調整用指標を構成する一対の線分に対応する一対のラインセンサ出力信号の位置の中心点Ｍが、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＸ軸方向に平行移動させるＸ方向調整段階と、
Ｙ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置が、Ｘ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置に対して特定の関係をもつ位置にくるように、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させるＹ方向調整段階と、
前記Ｙ方向調整段階において、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させている過程において検出されるθ方向調整用指標が、基準点Ｐより右側の指標か左側の指標かに基づいて、調整を行うべき回転方向を認識する回転方向認識段階と、
θ方向調整用指標に対応する、所定の区間幅をもったラインセンサ出力信号が得られるように、ラインセンサを回転させる回転調整段階と、
を有することを特徴とするラインセンサの光軸調整方法。
【請求項１２】
請求項１、３、５、７、８、９、１０のいずれかに記載の表示体において、
Ｙ軸に平行な線分を、Ｘ軸方向に所定間隔をおいて複数並べて配置してなるＺ方向調整用指標を、ラインセンサ用の光学系の焦点調整を行うための指標として更に設けたことを特徴とするラインセンサの光軸調整用指標表示体。
【請求項１３】
請求項１２に記載の表示体を用いた光軸調整方法であって、
Ｚ方向調整用指標を構成する各線分に対応するラインセンサ出力信号が、隣接する信号と重ならないで弁別して検出できるように、ラインセンサ用の光学系をＺ軸方向に移動させる焦点調整段階を有することを特徴とするラインセンサの光軸調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査計測装置など、ラインセンサカメラを使用した画像処理機能を有する装置において、ラインセンサの光軸調整を行うための指標表示体およびこれを用いた光軸調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ラインセンサカメラは、一次元画像を撮像する様々な用途に利用されており、また、搬送装置と組み合わせることにより、二次元画像を撮像する用途にも利用されている。たとえば、種々の製品の製造ラインにおける検査工程では、検査対象物の表面をラインセンサカメラで撮像し、得られた画像に基づいて当該検査対象物の良否判定を行う検査装置が利用されている。
【０００３】
このようなラインセンサを組み込んだ装置を利用する上では、準備段階として、光軸調整が必要になる。ラインセンサは、微小な受光素子を一次元配列させてなる装置であるため、一度に取り込める画像は、撮像対象物上に形成された線状視野上の一次元画像になる。したがって、予め、ラインセンサの光軸を調整して、撮像対象物上に形成される線状視野の位置および向きを正しく設定しておかないと、所望の領域についての画像データを得ることができなくなる。
【０００４】
一般に、ラインセンサカメラの光軸調整を行う場合、実際の撮像対象物もしくはこれと同等のダミー対象物を、実際に撮像を行う際の照明環境においた状態で、カメラからの出力信号をモニタし、カメラの位置や角度を調整する作業が行われる。また、必要に応じて、光軸調整用の指標パターンを用意し、この指標パターンを撮像したときに得られる出力信号に基づいて、カメラの位置や角度を調整する作業を行う方法もとられている。たとえば、下記の特許文献１には、光軸調整用の指標パターンが描かれたシートを用いて、カメラの光軸調整を行う方法が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−１７４８４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の光軸調整作業は、基本的に試行錯誤でカメラの位置や角度を調整することによって行われており、モニタした出力信号がどのような状態になったときに最適な調整状態と判断するかという基準は明確でなく、事実上、熟練者の経験と主観的判断に委ねられている。実際、モニタした出力信号から、光軸がずれていることが判明しても、カメラをどのような方向へ移動させれば、そのようなずれが解消するのかを直感的に把握することは困難である。特に、光軸調整は、カメラの縦横の位置だけではなく、カメラを回転させる方向についても行う必要があり、直感に頼る調整作業はかなり熟練を要する作業になる。また、複数のカメラを用いる必要がある場合には、カメラ相互間の相対的なずれも考慮した調整作業が必要になり、極めて高度な技術が必要になる。
【０００６】
一方、前掲の特許文献１に記載された光軸調整用の指標パターンを用いた方法などを利用すれば、カメラの移動方向などについてのある程度の指針を得ることは可能であるが、十分な精度をもった光軸調節を行うことは困難である。
【０００７】
そこで本発明は、ラインセンサの光軸調節を高精度に、かつ、容易に行うことが可能なラインセンサの光軸調整方法を提供することを目的とし、また、当該方法の実施に適した光軸調整用指標表示体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
(1)   本発明の第１の態様は、ＸＹＺ三次元座標系におけるＸＹ平面上に形成される線状視野が、その中心位置が所定の基準点Ｐの位置に重なり、その長手方向がＸ軸方向を向くように、ラインセンサの光軸を調整するために用いる光軸調整用指標表示体に、
基準点Ｐからの距離が等しく、Ｙ軸に平行な一対の線分からなるＸ方向調整用指標と、
Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜した線分からなり、Ｘ方向調整用指標に対して特定の関係をもつ位置に配置されたＹ方向調整用指標と、
長手方向がＸ軸に平行になるように配置され、必要とされる調整精度に応じた幅をもった帯状領域からなるθ方向調整用指標と、
を設けるようにしたものである。
【０００９】
(2)   本発明の第２の態様は、上述の第１の態様に係る光軸調整用指標表示体を用いてラインセンサの光軸調整を行う方法において、
Ｘ方向調整用指標を構成する一対の線分に対応する一対のラインセンサ出力信号の位置の中心点Ｍが、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＸ軸方向に平行移動させるＸ方向調整段階と、
Ｙ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置が、Ｘ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置に対して特定の関係をもつ位置にくるように、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させるＹ方向調整段階と、
θ方向調整用指標に対応する、所定の区間幅をもったラインセンサ出力信号が得られるように、ラインセンサを回転させる回転調整段階と、
を行うようにしたものである。
【００１０】
(3)   本発明の第３の態様は、ＸＹＺ三次元座標系におけるＸＹ平面上に形成される線状視野が、その中心位置が所定の基準点Ｐの位置に重なり、その長手方向がＸ軸方向を向くように、ラインセンサの光軸を調整するために用いる光軸調整用指標表示体に、
基準点Ｐからの距離が等しく、Ｙ軸に平行な一対の線分からなるＸ方向調整用指標と、
Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜した線分からなり、基準点Ｐを通る位置に配置されたＹ方向調整用指標と、
長手方向がＸ軸に平行になるように配置され、必要とされる調整精度に応じた幅をもった帯状領域からなるθ方向調整用指標と、
を設けるようにしたものである。
【００１１】
(4)   本発明の第４の態様は、上述の第３の態様に係る光軸調整用指標表示体を用いてラインセンサの光軸調整を行う方法において、
Ｘ方向調整用指標を構成する一対の線分に対応する一対のラインセンサ出力信号の位置の中心点Ｍが、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＸ軸方向に平行移動させるＸ方向調整段階と、
Ｙ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置が、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させるＹ方向調整段階と、
θ方向調整用指標に対応する、所定の区間幅をもったラインセンサ出力信号が得られるように、ラインセンサを回転させる回転調整段階と、
を行うようにしたものである。
【００１２】
(5)   本発明の第５の態様は、ＸＹＺ三次元座標系におけるＸＹ平面上に形成される線状視野が、その中心位置が所定の基準点Ｐの位置に重なり、その長手方向がＸ軸方向を向くように、ラインセンサの光軸を調整するために用いる光軸調整用指標表示体に、
基準点Ｐからの距離が等しく、Ｙ軸に平行な一対の線分からなるＸ方向調整用指標と、
基準点ＰからＸ方向調整用指標を構成する各線分に下ろした垂線の足をそれぞれ通り、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜し、互いに平行な一対の線分からなるＹ方向調整用指標と、
長手方向がＸ軸に平行になるように配置され、必要とされる調整精度に応じた幅をもった帯状領域からなるθ方向調整用指標と、
を設けるようにしたものである。
【００１３】
(6)   本発明の第６の態様は、上述の第５の態様に係る光軸調整用指標表示体を用いてラインセンサの光軸調整を行う方法において、
Ｘ方向調整用指標を構成する一対の線分に対応する一対のラインセンサ出力信号の位置の中心点Ｍが、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＸ軸方向に平行移動させるＸ方向調整段階と、
Ｘ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置を基準にしたときの、Ｙ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置が、一方では右方向に距離ｄだけ隔たり、他方では左方向に距離ｄだけ隔たった状態になるように、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させるＹ方向調整段階と、
θ方向調整用指標に対応する、所定の区間幅をもったラインセンサ出力信号が得られるように、ラインセンサを回転させる回転調整段階と、
を行うようにしたものである。
【００１４】
(7)   本発明の第７の態様は、上述の第１、３、５の態様に係るラインセンサの光軸調整用指標表示体において、
複数通りの精度のいずれかを選択して調整を行うことができるように、幅が異なる複数のθ方向調整用指標を設けるようにしたものである。
【００１５】
(8)   本発明の第８の態様は、上述の第１、３、５の態様に係るラインセンサの光軸調整用指標表示体において、
θ方向調整用指標を、長手方向に伸びる中心軸が、基準点Ｐを通りＸ軸に平行な基準線上にくるように配置したものである。
【００１６】
(9)   本発明の第９の態様は、上述の第８の態様に係るラインセンサの光軸調整用指標表示体において、
θ方向調整用指標を、基準点Ｐからの距離が等しくなるように配置された同一サイズの一対の帯状領域によって構成したものである。
【００１７】
(10)  本発明の第１０の態様は、上述の第９の態様に係るラインセンサの光軸調整用指標表示体において、
複数通りの精度のいずれかを選択して調整を行うことができるように、幅が異なる複数組のθ方向調整用指標を設け、個々の組ごとに基準点Ｐからの距離を変えて配置したものである。
【００１８】
(11)  本発明の第１１の態様は、上述の第９または第１０の態様に係る光軸調整用指標表示体を用いてラインセンサの光軸調整を行う方法において、
Ｘ方向調整用指標を構成する一対の線分に対応する一対のラインセンサ出力信号の位置の中心点Ｍが、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＸ軸方向に平行移動させるＸ方向調整段階と、
Ｙ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置が、Ｘ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置に対して特定の関係をもつ位置にくるように、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させるＹ方向調整段階と、
このＹ方向調整段階において、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させている過程において検出されるθ方向調整用指標が、基準点Ｐより右側の指標か左側の指標かに基づいて、調整を行うべき回転方向を認識する回転方向認識段階と、
θ方向調整用指標に対応する、所定の区間幅をもったラインセンサ出力信号が得られるように、ラインセンサを回転させる回転調整段階と、
を行うようにしたものである。
【００１９】
(12)  本発明の第１２の態様は、上述の第１、３、５、７、８、９、１０の態様に係るラインセンサの光軸調整用指標表示体において、
Ｙ軸に平行な線分を、Ｘ軸方向に所定間隔をおいて複数並べて配置してなるＺ方向調整用指標を、ラインセンサ用の光学系の焦点調整を行うための指標として更に設けるようにしたものである。
【００２０】
(13)  本発明の第１３の態様は、上述の第１２の態様に係る光軸調整用指標表示体を用いてラインセンサの光軸調整を行う方法において、
Ｚ方向調整用指標を構成する各線分に対応するラインセンサ出力信号が、隣接する信号と重ならないで弁別して検出できるように、ラインセンサ用の光学系をＺ軸方向に移動させる焦点調整段階を行うようにしたものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、特定の幾何学的配置をもった複数の指標を有する光軸調整用指標表示体を用い、ラインセンサの出力信号に基づく客観的な調整作業を行うことができるので、ラインセンサの光軸調節を高精度に、かつ、容易に行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を図示する実施形態に基づいて説明する。
【００２３】
＜＜＜  第１章：ラインセンサの光軸調整  ＞＞＞
図１は、検査対象物１０の上面を、ラインセンサカメラ２０で撮像して二次元画像として入力し、この二次元画像に基づいて、検査対象物１０の良否検査を行う一般的な検査装置の主要部を示す斜視図である。図示の例では、検査対象物１０として基板状部材が用いられており、その上面の所定領域が、ラインセンサカメラ２０によって撮像されることになる。ここでは説明の便宜上、図示のとおり、検査対象物１０の上面にＸＹ平面をとり、これに対して垂直な方向にＺ軸をとり、ＸＹＺ三次元座標系を定義する。
【００２４】
ラインセンサカメラ２０内には、ラインセンサ２１およびレンズなどの光学系２２が組み込まれている。前述したとおり、ラインセンサ２１は、微小な受光素子を一次元配列させてなる装置であり、一度に取り込める画像は、図に一点鎖線で示す一次元的な視野の範囲内、すなわち、検査対象物１０上に形成された線状視野Ｆ上の一次元画像になる。したがって、検査対象物１０の上面の画像を二次元画像として取り込むためには、図１において、何らかの搬送手段を用いて、検査対象物１０をＹ軸負方向に移動させるか、ラインセンサカメラ２０をＹ軸正方向に移動させながら、多数の一次元画像を連続的に取り込む必要がある。
【００２５】
図２は、図１に示す検査装置における検査対象物１０と線状視野Ｆとの関係を示す上面図である。検査対象物１０もしくはラインセンサカメラ２０をＹ軸に沿って移動させることにより、線状視野Ｆによって検査対象物１０の上面を走査することができ、検査対象物１０の上面を二次元画像として取り込むことができる。しかしながら、予め、ラインセンサの光軸を調整して、検査対象物１０上に形成される線状視野Ｆの位置および向きを正しく設定しておかないと、所望の領域についての正しい撮像を行うことができない。ここで、線状視野Ｆの位置は、ＸＹ平面上の二次元座標で指定することができ、その向きは、Ｘ軸もしくはＹ軸に対する角度で指定することができる。具体的には、図示の例のように、「線状視野Ｆの中心位置が所定の基準点Ｐ（座標値Ｐ（ｘ，ｙ））の位置に重なるようにし、その長手方向がＸ軸方向を向くようにする」というように指定すれば、線状視野Ｆの正しい位置および向きを設定することができる。
【００２６】
＜＜＜  第２章：本発明の光軸調整用指標表示体  ＞＞＞
本発明は、このように、ＸＹＺ三次元座標系におけるＸＹ平面上に形成されるラインセンサの線状視野Ｆが、「その中心位置が所定の基準点Ｐの位置に重なり、その長手方向がＸ軸方向を向く」という条件を満たすように、ラインセンサの光軸を調整する方法を提案するものであり、また、この方法に適した光軸調整用指標表示体の構成を提案するものである。
【００２７】
図３は、本発明に係る光軸調整用指標表示体３０の一例を示す上面図である。この表示体３０は、図示のとおり、特有の幾何学的な配置をもった指標を有しており、検査対象物１０と全く同一サイズ、同一形状をもった基板から構成されている。本発明に用いる光軸調整用指標表示体３０は、必ずしも検査対象物１０と同一サイズ、同一形状となるように作成する必要はないが、実用上は、同一サイズ、同一形状とするのが好ましい。これは、検査対象物１０を固定したり、搬送したりするための機構をそのまま利用して、表示体３０を固定したり、搬送したりすることができるためであり、また、表示体３０上に形成する指標位置を決定することも容易になるからである。
【００２８】
たとえば、図２に示すように、線状視野Ｆの中心位置が、検査対象物１０上の基準点Ｐの位置にくるようにし、線状視野Ｆの長手方向が検査対象物１０の短辺の方向（Ｘ軸方向）を向く、という条件を満たすような光軸調整が必要な場合であれば、図３に示すように、この検査対象物１０と同一サイズ、同一形状の表示体３０を用意し、検査対象物１０上の基準点Ｐと同一位置に基準点Ｐを定義し、その短辺方向（Ｘ軸方向）を基準方向とする指標を形成すればよい。なお、実用上は、表示体３０と検査対象物１０とは、反射率、散乱度、透過率（透過照明下で検査を行う場合）などの物理的性質の近い材質で製作するのが好ましく、できれば、表示体３０の材質を検査対象物１０の材質と全く同じ材質にするのがよい。また、検査対象物１０上に位置合わせマークが設けられている場合には、表示体３０上にも同様の位置合わせマークを設けておくようにし、検査対象物１０と同様の方法により、表示体３０の位置合わせが可能になるようにしておくのが好ましい。
【００２９】
図４は、図３に示す表示体３０上の指標パターンの拡大図である。この指標パターンは、「×」印を付して示した基準点Ｐの位置を基準位置とし、Ｘ軸方向を基準方向とする指標パターンであり、線状視野Ｆの中心を基準点Ｐの上に重ね、線状視野Ｆの長手方向をＸ軸方向とする光軸調節を行う機能を有している。なお、図において基準点Ｐ上に示した「×」印は、説明の便宜のためのものであり、実際には、この「×」印は描かれていない。
【００３０】
図４に示す指標パターンは、大まかに分類して、４種類の指標によって構成されている。第１の指標は、ラインセンサ用光学系２２についての焦点調整を行うためのＺ方向調整用指標である。図示の例では、Ｚ方向調整用指標として、３組の指標Ｉｚ１，Ｉｚ２，Ｉｚ３が設けられている。いずれの指標も、Ｙ軸に平行な線分３本を、Ｘ軸方向に所定間隔をおいて並べて配置することにより構成されている。このＺ方向調整用指標Ｉｚ１，Ｉｚ２，Ｉｚ３は、その他の指標と重ならないように配置するようにする。図示の例では、Ｚ方向調整用指標Ｉｚ１，Ｉｚ２，Ｉｚ３は、他の指標より上方に若干離れて配置されている。Ｚ方向調整用指標は、最低１組を設けておけばよいが、実用上は、図示のとおり、視野の中央および左右の合計３カ所に設けるのが好ましい。
【００３１】
第２の指標は、線状視野ＦについてのＸ方向の位置調整を行うためのＸ方向調整用指標である。図示の例では、Ｙ軸に平行な一対の線分Ｉｘ１，Ｉｘ２が、Ｘ方向調整用指標として配置されている。ここで重要な点は、線分Ｉｘ１，Ｉｘ２が、基準点Ｐからの距離が等しくなるような位置に配置されている点である。別言すれば、基準点Ｐは、線分Ｉｘ１，Ｉｘ２から等距離の点になっている。また、この例では、線分Ｉｘ１，Ｉｘ２はいずれも、基準点Ｐを通りＸ軸に平行な線（図示されていない。以下、基準線と呼ぶ。）によって二等分されるような位置に配置されており、線分Ｉｘ１，Ｉｘ２は同一の長さをもった線分になっているが、これは必須の要件ではない。
【００３２】
第３の指標は、線状視野ＦについてのＹ方向の位置調整を行うためのＹ方向調整用指標である。図示の例では、基準点Ｐを通る斜めの線分Ｉｙが、Ｙ方向調整用指標として配置されており、その左端は線分Ｉｘ１の下端に接続し、その右端は線分Ｉｘ２の上端に接続している。その結果、線分Ｉｘ１，Ｉｙ，Ｉｘ２の３本によって、「Ｚ」字型の指標が形成されている。
【００３３】
第４の指標は、線状視野Ｆについての回転方向の位置調整を行うためのθ方向調整用指標である。図示の例では、所定幅をもった一対の帯状矩形Ｉθ１，Ｉθ２が、θ方向調整用指標として配置されている。その幅方向（Ｙ軸方向）の中心は、上述した基準線（基準点Ｐを通りＸ軸に平行な線）に一致する。なお、ここでは、図示の便宜上、帯状矩形Ｉθ１，Ｉθ２の内部にハッチング処理を施して示すことにするが、実際には、このようなハッチングが施されているわけではなく、帯状矩形Ｉθ１，Ｉθ２は、全体が黒色に塗り潰された細長い矩形領域によって構成されている。θ方向調整用指標として機能する帯状矩形Ｉθ１，Ｉθ２の幅は、後述するとおり、必要とされる調整精度に応じた寸法に設定される。低い精度での位置合わせができれば十分な場合には、それなりに幅の広い帯状矩形が用いられ、高い精度での位置合わせが必要な場合には、それなりに幅の狭い帯状矩形が用いられる。また、θ方向調整用指標は、必ずしも矩形である必要はなく、帯状領域であれば足りる。
【００３４】
このような４種類の指標の各機能については後に詳述する。なお、これら各指標は、ラインセンサで読み取ったときに、それぞれの形状に応じた出力信号が得られるのであれば、どのような方法で形成してもかまわない。一般的には、基板状の表示体３０の上面に印刷により形成するのが最も簡単であるが、もちろん、各指標の形成方法は印刷に限定されるものではなく、たとえば、エンボス加工などによって指標パターンを形成するようにしてもかまわない。また、ここでは、説明の便宜上、白地に黒色で指標パターンを示しているが、逆に、黒字に白色の指標パターンを形成するようにしてもよい。特に、表示体３０の下面から照明を当てて、上方への透過光を観察する場合には、黒字に白色の指標パターンを形成しておけば、輝度の高い部分として各指標を認識することができる。もちろん、白黒以外の着色部分として指標パターンを形成することも可能である。
【００３５】
なお、１つの検査対象物の上面を、複数台のラインセンサカメラによって分担して撮像する場合には、各カメラに内蔵されたラインセンサの光軸調整を統合して行うことができるように、図４に示す指標パターンを複数個並べて配置した表示体を用いるようにすればよい。図５は、複数の指標パターンを有する光軸調整用指標表示体４０を用いて、複数のラインセンサカメラ２０Ａ，２０Ｂについての光軸調整を行っている状態を示す斜視図であり、図６は、このような光軸調整用指標表示体４０の上面図である。
【００３６】
図６に示すように、この表示体４０上には、Ｘ軸方向に並んで２組の指標パターンが配置されている。左側の指標パターンはラインセンサカメラ２０Ａについての光軸調整に用いられ、右の指標パターンはラインセンサカメラ２０Ｂについての光軸調整に用いられる。いずれも、その基準線はＸ軸方向に平行となっており、各ラインセンサの線状視野Ｆの長手方向がＸ軸方向を向くような調整機能をもっている。一方、左側の指標パターンの基準点はＰ１，右側の指標パターンの基準点はＰ２となっており、各ラインセンサの線状視野Ｆが、互いに隣接して左右に並ぶような位置調整がなされることになる。２台のラインセンサカメラ２０Ａ，２０Ｂの視野がオーバーラップするような場合には、左右の指標パターンの境界が互いに接するようにしてもかまわない。
【００３７】
＜＜＜  第３章：本発明に係る光軸調整方法  ＞＞＞
図７は、図４に示す指標パターンを用いた本発明に係るラインセンサの光軸調整方法の手順の一例を示す流れ図である。この手順は、流れ図に示すとおり、Ｚ方向調整用指標Ｉｚ１〜Ｉｚ３を用いた焦点調整段階（ステップＳ１）、Ｘ方向調整用指標Ｉｘ１，Ｉｘ２を用いたＸ軸方向への平行移動段階（ステップＳ２）、Ｙ方向調整用指標Ｉｙを用いたＹ軸方向への平行移動段階（ステップＳ３）、θ方向調整用指標Ｉθ１，Ｉθ２を用いた回転位置の調整段階（ステップＳ４）によって構成される。以下、これら各段階における調整作業の内容を順に説明する。なお、ステップＳ３では、Ｙ軸方向への平行移動とともに、θ方向調整用指標Ｉθ１，Ｉθ２を用いた回転方向の認識作業も行われるが、これについても後に説明を行う。
【００３８】
まず、ステップＳ１において行われる焦点調整段階の作業を説明する。いま、図１に示す検査装置において、検査対象物１０の代わりに、図３に示す光軸調整用指標表示体３０をセットした結果、表示体３０上の指標パターンに対して、図８に示すような位置に線状視野Ｆがあったとする。ラインセンサカメラ２０の焦点調整を行うには、この図８に示すように、Ｚ方向調整用指標Ｉｚ１〜Ｉｚ３の上に線状視野Ｆをもってくる必要があるが、正確な位置合わせは必要なく、指標Ｉｚ１〜Ｉｚ３を構成する個々の線分のどこかを線状視野Ｆが横切るように、ラインセンサカメラ２０の大まかな位置を調整すればよい。
【００３９】
ラインセンサの線状視野Ｆが、このような位置に置かれると、ラインセンサの出力信号は、たとえば、図９や図１０のグラフに示すようなものになる。ここで、図９は、ラインセンサの焦点調整が不適切な場合の出力信号波形を示すグラフであり、図１０は、ラインセンサの焦点調節が適切な場合の出力信号波形を示すグラフである。いずれのグラフも、横軸は、ラインセンサの検出位置を示しており、縦軸は、ラインセンサの出力信号強度を示している（以下のグラフも同様）。なお、ここでは説明の便宜上、ラインセンサによる白地部分の出力信号強度を低レベル、黒色で示す（θ方向調整用指標についてはハッチング領域で示す）指標部分の出力信号強度を高レベルで示しているが、もちろん、信号処理の方法によっては、逆の場合もありうる。
【００４０】
図９のグラフと図１０のグラフとを比較すると、いずれも３本の線分からなるパターンに基づく検出波形が見られるが、図９のグラフでは、３本の線分について、隣接する信号が重なりを生じており、十分な弁別が行われていない。このように、隣接する信号が重なりを生じている場合には、焦点調整が不適切であると判断することができる。これに対して、図１０のグラフでは、３本の線分について、隣接する信号がそれぞれ重ならないで弁別して検出できる状態になっている。このような場合には、焦点調整が適切であると判断することができる。したがって、オペレータは、ラインセンサ出力信号をモニタしながら、ラインセンサカメラ２０内の光学系２２をＺ軸方向に移動させる焦点調整作業を行い、図１０のグラフに示すような弁別可能な出力信号が得られたところで、作業を中止すればよい。
【００４１】
なお、焦点調節が適切な場合に、図１０のグラフに示すような弁別可能な出力信号が得られるようにするためには、Ｚ方向調整用指標を構成する３本の線分の相互間隔を、ラインセンサ２〜３画素分の寸法値に光学系の倍率を乗じた寸法値程度に設定するのが好ましい。
【００４２】
続いて、ステップＳ２において行われるＸ軸方向への平行移動段階の作業を説明する。このステップＳ２の段階は、前述したとおり、Ｘ方向調整用指標Ｉｘ１，Ｉｘ２を用いて実行される。そこで、まず、図８に示す位置にある線状視野Ｆが、Ｘ方向調整用指標Ｉｘ１，Ｉｘ２に交差する位置まで移動するように、ラインセンサカメラ２０を移動させる。もちろん、このときも正確な位置合わせは必要なく、指標Ｉｘ１，Ｉｘ２を構成する個々の線分のどこかを線状視野Ｆが横切るように、ラインセンサカメラ２０の大まかな位置を徐々に移動させてゆき、線状視野Ｆが図における下方に徐々に移動するようにすればよい。別言すれば、Ｘ方向調整用指標Ｉｘ１，Ｉｘ２は、このような大まかな位置調整によって、線状視野Ｆによって横切らせることが可能な位置に配置しておく必要がある。
【００４３】
図１１の上段は、ラインセンサの線状視野Ｆが、指標Ｉｘ１，Ｉｘ２を構成する個々の線分を横切る位置に置かれた状態を示す平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。なお、線状視野Ｆ上に「×」印で示す点Ｑは、ラインセンサの検出範囲の中心位置を便宜的に示す点である。また、図１１以降の図では、便宜上、Ｚ方向調整用指標Ｉｚ１〜Ｉｚ３の図示は省略することにする。
【００４４】
図１１の上段に示す状態において、線状視野Ｆは、３本の線分と交際している。すなわち、左側から順に、線分Ｉｘ１，Ｉｙ，Ｉｘ２である。したがって、ラインセンサの出力信号を示すグラフ上には、図１１の下段に示すとおり、これら３本の線分に対応する出力信号Ｉｘ１，Ｉｙ，Ｉｘ２が得られる。
【００４５】
ここで、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑと、出力信号Ｉｘ１，Ｉｘ２が得られた位置との距離に着目すると、一方はＬ１，他方はＬ２であり、Ｌ１＜Ｌ２となっている。これは、図１１上段の状態では、Ｘ方向に関しては、線状視野Ｆが若干左方向にずれており、線分Ｉｘ１の方が、線分Ｉｘ２よりも、中心位置Ｑに近くなっているためである。別言すれば、図１１下段のグラフに注目すると、線分Ｉｘ１に対応する信号位置と線分Ｉｘ２に対応する信号位置との中心点Ｍ（この中心点Ｍから、信号Ｉｘ１，Ｉｘ２までの距離は、図示のとおり同一の値Ｌである）は、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑよりも若干右側にずれている。
【００４６】
そこで、中心点Ｍが中心位置Ｑに一致するように、線状視野Ｆを右方に移動させる調整作業を行えばよい。要するに、Ｘ方向調整用指標を構成する一対の線分Ｉｘ１，Ｉｘ２に対応する一対のラインセンサ出力信号の位置の中心点Ｍが、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＸ軸方向に平行移動させる作業を行えばよい。図１２の上段は、このような平行移動作業を完了した状態を示す平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。この状態では、Ｌ１＝Ｌ２＝Ｌとなっており、信号Ｉｘ１，Ｉｘ２の中心点Ｍがラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致している。これは、図１２の上段に示す図において、点ＱのＸ座標値が基準点ＰのＸ座標値に一致したことを意味しており、Ｘ方向に関する光軸調整が完了したことを意味する。なお、図１１の下段および図１２の下段のグラフには、線分Ｉｙに対応する出力信号Ｉｙも表示されているが、この出力信号Ｉｙは後のステップＳ３で利用される信号である。
【００４７】
図１１に示す状態から、図１２に示す状態にもってゆくには、オペレータは、モニタを監視しながら、ラインセンサカメラ２０をＸ軸正方向に徐々に平行移動させてゆき、モニタ上で点Ｑと点Ｍとの一致が確認できた段階で、移動操作を中止すればよい。もちろん、点Ｑが点Ｍに対して右方向にずれていた場合には、ラインセンサカメラ２０をＸ軸負方向に平行移動させる調整を行うことになる。なお、オペレータによる一致確認の作業を容易にするためには、モニタ上で、点Ｑの位置および点Ｍの位置を何らかの形で自動表示させる機能をもたせておくとよい。
【００４８】
次に、ステップＳ３において行われるＹ軸方向への平行移動段階の作業を説明する。このステップＳ３の段階は、前述したとおり、Ｙ方向調整用指標Ｉｙを用いて実行される。上述のように、ステップＳ２が完了すると、図１２の上段に示す状態になり、モニタ上には、図１２の下段に示すようなグラフが表示されている。ここで、Ｙ方向調整用指標である線分Ｉｙに対応する出力信号Ｉｙの位置に注目すると、中心位置Ｑより右方向にずれていることがわかる。このずれは、図１２の上段において、点Ｑと点ＰとのＹ方向に関するずれに対応するものである。ここで、線状視野Ｆを図の下方へ、すなわち、Ｙ軸負方向に徐々に平行移動させてゆくと、Ｙ方向調整用指標Ｉｙが斜めに配置されている線分であるため、図１２の下段のグラフにおける出力信号Ｉｙの位置は、徐々に左方向へと移動してゆくことが理解できよう。
【００４９】
図１３の上段は、このようなＹ軸方向への平行移動により、点Ｑが基準点Ｐの位置まで到達した状態を示す平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。このグラフを見ると、出力信号Ｉｙの位置が中心位置Ｑに一致していることがわかる。逆言すれば、モニタ上で、出力信号Ｉｙの位置が中心位置Ｑに一致した場合、図１３の上段に示す図において、点Ｑが基準点Ｐに一致したことを意味しており、Ｙ方向に関する光軸調整が完了したことを意味する。
【００５０】
図１２に示す状態から、図１３に示す状態にもってゆくには、オペレータは、モニタを監視しながら、ラインセンサカメラ２０をＹ軸負方向に徐々に平行移動させてゆき、モニタ上で出力信号Ｉｙの位置が中心位置Ｑに一致したことが確認できた段階で、移動操作を中止すればよい。
【００５１】
もちろん、このＹ軸方向への平行移動段階における移動方向は、出力信号Ｉｙの位置と中心位置Ｑとの相対的な関係によって異なる。たとえば、図１４の上段は、線状視野Ｆが基準点Ｐの下方に位置していた場合の平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。図示のとおり、出力信号Ｉｙの位置は、中心位置Ｑの左側にずれている。この場合、線状視野Ｆを図の上方、すなわち、Ｙ軸正方向へと平行移動することにより、出力信号Ｉｙの位置を中心位置Ｑへと近づけることができる。
【００５２】
要するに、いずれの場合も、Ｙ方向調整用指標を構成する線分Ｉｙに対応するラインセンサ出力信号の位置Ｉｙが、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑに一致するように、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させるという点に変わりはないが、図１２の下段のように、出力信号Ｉｙの位置が中心位置Ｑよりも右側にずれていた場合には、Ｙ軸負方向（図の下方）へと平行移動を行い、図１４の下段のように、出力信号Ｉｙの位置が中心位置Ｑよりも左側にずれていた場合には、Ｙ軸正方向（図の上方）へと平行移動を行えばよい。もっとも、これは、Ｙ方向調整用指標を構成する線分Ｉｙが、図示の例のように、右上から左下へ向かう斜め線分の場合の取り扱いであり、線分Ｉｙが、逆に、右下から左上へ向かう斜め線分の場合は、逆の取り扱いを行うことになる。
【００５３】
ところで、図７の流れ図のステップＳ３には、指標Ｉｙを用いたＹ軸方向への平行移動段階が行われるとともに、指標Ｉθ１，Ｉθ２を用いた回転方向の認識段階が行われる旨が記載されている。そこで、続いて、この回転方向の認識段階の手順を説明する。既に述べたとおり、指標Ｉｙを用いたＹ軸方向への平行移動段階では、図１２の上段に示す状態から、線状視野Ｆを徐々に下方へと平行移動させてゆき、最終的に図１３の上段に示す状態までもってくることになる。ところが、その途中の段階において、図１５の上段に示す状態を経ることになる。この図１５の上段に示す段階は、点Ｑが徐々に基準点Ｐに近づいてはいるが、まだ完全には一致しない状態である。
【００５４】
この状態では、図１５の下段のグラフに示すように、θ方向調整用指標Ｉθ２に対応する出力信号Ｉθ２が出現することがわかる（出力信号Ｉｘ２は、出力信号Ｉθ２の内部に呑み込まれた状態となっている）。これは、図１５の上段に示されているように、線状視野Ｆの右端近傍が、θ方向調整用指標Ｉθ２を構成する帯状矩形に重なりを生じているためである。もっとも、両者の重なりは完全ではないため、出力信号Ｉθ２の区間幅は、指標Ｉθ２の全長に対応する区間よりも若干短くなっている。また、出力信号Ｉθ２の内側のショルダー部分がカーブを描くようになまっているが、これは指標Ｉθ２の輪郭近傍において、ラインセンサを構成する受光素子の一部分のみが指標の検出を行っているためである。図１３の上段に示す状態になると、この出力信号Ｉθ２は消失しているので、モニタを監視しているオペレータは、Ｙ軸方向への平行移動を行っている途中の段階で、出力信号Ｉθ２を目にすることになる。
【００５５】
一方、線状視野Ｆの傾斜が逆向きであった場合を考えてみよう。すなわち、図１５の上段の例では、線状視野Ｆが左上がりの状態に傾斜しているが、図１６の上段の例のように、線状視野Ｆが右上がりの状態に傾斜している場合はどうであろうか。この場合も、Ｙ軸方向への平行移動段階において、点Ｑを基準点Ｐに一致させるため、線状視野Ｆを図の下方へと徐々に平行移動させる作業が行われることになるが、その途中で、線状視野Ｆの左端近傍が、指標Ｉθ１を構成する帯状矩形に重なりを生じることになるので、図１６の下段のグラフに示されているとおり、指標Ｉθ１に対応する出力信号Ｉθ１が出現する（出力信号Ｉｘ１は、出力信号Ｉθ１の内部に呑み込まれた状態となっている）。
【００５６】
このθ方向調整用指標Ｉθ１，Ｉθ２に対応する出力信号Ｉθ１，Ｉθ２は、これまで述べてきた出力信号とは明瞭に区別しうる特徴を有している。すなわち、これまで述べてきた出力信号Ｉｘ１，Ｉｘ２，Ｉｙは、いずれも線分からなる指標についての出力信号であるから、グラフ上は１本のバーとして示されているのに対し、出力信号Ｉθ１，Ｉθ２は、帯状矩形からなる指標についての出力信号であり、かつ、帯状矩形の長手方向（Ｘ軸方向）が、線状視野Ｆの長手方向（ほぼＸ軸に沿った方向）に近いため、ある程度の区間幅をもった信号（図のグラフでは、ハッチングを施して示す）として現れることになる。ここでは、このように区間幅をもった出力信号を、広域出力信号と呼ぶことにする。
【００５７】
図１５の下段および図１６の下段に示す広域出力信号Ｉθ１，Ｉθ２は、図１３の上段に示すように、点Ｑが基準点Ｐに重なった状態では消滅する場合もあるし、線状視野Ｆの傾斜角度によっては、消えずに残っている場合もある。指標Ｉθ１と指標Ｉθ２とは、基準点Ｐに関して対称となっているため、点Ｑが基準点Ｐに重なった状態では、広域出力信号Ｉθ１が現れている場合には、必ず広域出力信号Ｉθ２も現れている状態になる。
【００５８】
ここで重要な点は、線状視野ＦがＸ軸に平行になっていない限り、Ｙ軸方向への平行移動段階において、広域出力信号は、Ｉθ１（左）かＩθ２（右）かのいずれか一方が必ず先に出現する、という点である。そのため、「Ｙ軸に沿った平行移動の方向は正負どちらだったか」という事項と、「先に出現した広域出力信号は左右どちらだったか」という事項とに基づいて、後に行う回転調整段階において、「線状視野Ｆをどちら方向に回転させればよいか」という事項を決定することができる。
【００５９】
たとえば、図１５の上段に示すように、線状視野Ｆが左上がりの状態に傾斜している場合に、この線状視野ＦをＹ軸負方向に移動させて点Ｑを点Ｐの位置へ一致させるようにしたとすると、先に出現する広域出力信号は、Ｉθ２（右）ということになる（その後、Ｉθ１（左）が出現するかどうかは、線状視野Ｆの傾斜の度合いによる）。この場合、線状視野Ｆは左上がりの状態なので、後に行う回転調整段階では、反時計回りの方向（ここでは、＋θ方向と呼ぶことにする）に回転させる必要がある。結局、線状視野ＦをＹ軸負方向に移動させたときに、広域出力信号Ｉθ２（右）が先に出現した場合には、回転調整段階での回転方向は＋θであると認識することができる。
【００６０】
同様に、図１６の上段に示すように、線状視野Ｆが右上がりの状態に傾斜している場合に、この線状視野ＦをＹ軸負方向に移動させて点Ｑを点Ｐの位置へ一致させるようにしたとすると、先に出現する広域出力信号は、Ｉθ１（左）ということになる（その後、Ｉθ２（右）が出現するかどうかは、線状視野Ｆの傾斜の度合いによる）。この場合、線状視野Ｆは右上がりの状態なので、後に行う回転調整段階では、時計回りの方向（ここでは、−θ方向と呼ぶことにする）に回転させる必要がある。結局、線状視野ＦをＹ軸負方向に移動させたときに、広域出力信号Ｉθ１（左）が先に出現した場合には、回転調整段階での回転方向は−θであると認識することができる。
【００６１】
一方、Ｙ軸に沿った移動方向が逆転すると、上述の論理も逆転する。たとえば、図１７の上段に示すように、線状視野Ｆが左上がりの状態に傾斜している場合に、この線状視野ＦをＹ軸正方向に移動させて点Ｑを点Ｐの位置へ一致させるようにしたとすると、先に出現する広域出力信号は、Ｉθ１（左）ということになる（その後、Ｉθ２（右）が出現するかどうかは、線状視野Ｆの傾斜の度合いによる）。この場合、線状視野Ｆは左上がりの状態なので、後に行う回転調整段階では、反時計回りの方向（＋θ方向）に回転させる必要がある。結局、線状視野ＦをＹ軸正方向に移動させたときに、広域出力信号Ｉθ１（左）が先に出現した場合には、回転調整段階での回転方向は＋θであると認識することができる。
【００６２】
図１８は、上述したθ方向調整用指標を利用した回転方向の認識の論理をまとめたチャートである。オペレータは、ステップＳ３のＹ軸方向への平行移動段階の作業を行いながらモニタを監視し、左右いずれの広域出力信号が先に出現するかを確認すれば、この図１８のチャートに従って、後のステップＳ４で行う回転調整段階における回転方向を認識することができる。要するに、このステップＳ３における回転方向認識段階の作業は、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させている過程において検出されるθ方向調整用指標が、基準点Ｐより右側の指標か左側の指標かに基づいて、調整を行うべき回転方向を認識する作業ということができる。
【００６３】
最後に、ステップＳ４において行われる回転調整段階の作業を説明する。このステップＳ４の段階は、前述したとおり、θ方向調整用指標Ｉθ１，Ｉθ２を用いて実行される。上述のように、ステップＳ３が完了すると、図１３の上段に示す状態になり、モニタ上には、図１３の下段に示すようなグラフが表示されている。しかも、ステップＳ３で行われた回転方向認識段階の結果により、線状視野Ｆを＋θ方向へ回転させるべきことも認識されている。そこで、オペレータは、モニタを監視しながら、ラインセンサカメラ２０を＋θ方向へ徐々に回転させる作業を行う。ラインセンサカメラ２０は、図１に示すとおり、ラインセンサの検出範囲の中心位置Ｑを通りＺ軸に平行な回転軸について回転させることになる。
【００６４】
すると、やがて図１９の上段に示すように、線状視野Ｆの一部が、θ方向調整用指標Ｉθ１，Ｉθ２を構成する帯状矩形の一部に重なるようになり、図１９の下段に示すように、ある程度の区間幅をもった広域出力信号Ｉθ１，Ｉθ２が現れる。点Ｑが基準点Ｐ上に正確に位置していれば、広域出力信号Ｉθ１，Ｉθ２は、点Ｑについて対称のグラフとして現れる。なお、もともと線状視野Ｆの傾斜角度が小さかった場合には、ステップＳ３のＹ軸方向への平行移動段階が完了した時点で、既に、図１９に示す状態が得られていることもありうる。
【００６５】
線状視野Ｆを＋θ方向に回転させる作業を更に進めてゆくと、やがて図２０の上段に示すように、線状視野Ｆが、θ方向調整用指標Ｉθ１，Ｉθ２を構成する帯状矩形の中心部に重なるようになり、図２０の下段に示すように、θ方向調整用指標Ｉθ１，Ｉθ２の全長に対応する区間幅をもった広域出力信号Ｉθ１，Ｉθ２が現れるようになる。この時点で、線状視野ＦはＸ軸に完全に平行な状態になっており、回転調整段階の作業は完了となる。
【００６６】
図１３に示す状態から、図１９に示す状態を経て、図２０に示す状態にもってゆくには、オペレータは、モニタを監視しながら、ラインセンサカメラ２０を＋θ方向に徐々に回転させてゆき、モニタ上で指標Ｉθ１，Ｉθ２の全長に対応する区間幅をもった広域出力信号Ｉθ１，Ｉθ２が現れた段階で、回転操作を中止すればよい。もっとも、実用上は、必ずしも図２０に示す状態までもってゆく必要はなく、たとえば、図１９に示す段階で回転操作を中止して、回転調整段階の作業を完了としてもかまわない。図１９に示す段階では、線状視野Ｆは、完全にはＸ軸に平行になっていないが、実際の用途から要求される調整精度が、この程度の誤差を許容する場合には、図１９に示す段階に至った時点で、回転調整段階完了として問題はない。
【００６７】
もちろん、図１９に示す状態から図２０に示す状態へ移行する途中の段階を、回転調整段階完了とすることも可能である。図１９に示す状態から図２０に示す状態へ移行してゆくと、広域出力信号Ｉθ１，Ｉθ２の区間幅は徐々に広がってゆくことになる。そこで、実用上は、この広域出力信号の区間幅に所定のしきい値を設けておき、このしきい値を越えた区間幅をもった広域出力信号が得られた段階で、回転調整段階完了とすればよい。要するに、θ方向調整用指標Ｉθ１，Ｉθ２に対応する、所定の区間幅（しきい値に達する区間幅）をもったラインセンサ出力信号が得られるように、ラインセンサを回転させる作業を行えばよい。
【００６８】
＜＜＜  第４章：種々の変形例  ＞＞＞
ここでは、本発明のいくつかの変形例を述べる。図２１は、本発明に係る光軸調整用指標表示体に形成する指標パターンの変形例を示す平面図である。図４に示す指標パターンとの相違は、θ方向調整用指標の構成だけである。すなわち、この変形例に係る指標パターンの場合、θ方向調整用指標は、幅が広い一対の帯状矩形Ｉθ１ａ，Ｉθ２ａと、幅が中位の一対の帯状矩形Ｉθ１ｂ，Ｉθ２ｂと、幅の狭い一対の帯状矩形Ｉθ１ｃ，Ｉθ２ｃ（実際にはほぼ線分であるが、その機能上、ここでは帯状矩形と呼ぶことにする）と、によって構成されている。このように、幅が異なる複数のθ方向調整用指標を設けたのは、複数通りの精度のいずれかを選択して、回転調整を行うことができるようにするための配慮である。
【００６９】
この例では、幅が広い組、中位の組、狭い組、の３組のθ方向調整用指標を設けており、３通りの精度を選択して回転調整を行うことができるようにしている。ここで、個々の組を構成する一対の帯状矩形は、同一サイズの帯状矩形であり、基準点Ｐからの距離が等しくなるように対称に配置されている。たとえば、幅が広い一対の帯状矩形Ｉθ１ａ，Ｉθ２ａは、全く同一のサイズであり、図示のとおり、基準点Ｐから同じ距離の位置に対称になるように配置されている。また、この３組のθ方向調整用指標を構成する帯状矩形は、いずれも基準線（基準点Ｐを通り、Ｘ軸に平行な直線）が幅方向の中心になるような位置に配置されている。もちろん、個々の組ごとに基準点Ｐからの距離は変えて配置されており、幅の狭い帯状矩形Ｉθ１ｃ，Ｉθ２ｃが基準点Ｐに最も近い位置に配置され、幅が中位の帯状矩形Ｉθ１ｂ，Ｉθ２ｂはその外側に隣接配置され、幅が広い帯状矩形Ｉθ１ａ，Ｉθ２ａは更にその外側に隣接配置されている。もちろん、各組の帯状矩形は、必ずしも互いに接触するように隣接配置する必要はなく、相互間に空隙を設けてもかまわない。
【００７０】
さて、続いて、この図２１に示す変形例を用いた回転調整作業のメリットを説明しよう。いま、図２２の上段に示すように、若干傾斜した線状視野Ｆが、この指標パターン上に重なっていたとしよう。この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフは、図２２の下段に示すようになる。図示のとおり、ある程度の区間幅をもった広域出力信号Ｉθ１ａ，Ｉθ２ａが得られている。この信号は、幅が広い一対の帯状矩形Ｉθ１ａ，Ｉθ２ａと線状視野Ｆとの重なりにより得られたものであり、帯状矩形Ｉθ１ａ，Ｉθ２ａのみをθ方向調整用指標として利用した結果である。
【００７１】
この図２２の上段に示す状態から、更に、線状視野Ｆを＋θ方向に回転させてゆくと、図２３の上段に示す状態が得られ、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフは、図２３の下段に示すようになる。図示のとおり、更に広い区間幅をもった広域出力信号Ｉθ１ａ＆Ｉθ１ｂ，Ｉθ２ｂ＆Ｉθ２ａが得られている。この信号は、幅が広い一対の帯状矩形Ｉθ１ａ，Ｉθ２ａおよび幅が中位の一対の帯状矩形Ｉθ１ｂ，Ｉθ２ｂと、線状視野Ｆとの重なりにより得られたものであり、帯状矩形Ｉθ１ａ，Ｉθ１ｂ，Ｉθ２ｂ，Ｉθ２ａをθ方向調整用指標として利用した結果である。
【００７２】
この図２３の上段に示す状態から、更に、線状視野Ｆを＋θ方向に回転させてゆくと、最終的には、図２４の上段に示す状態が得られ、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフは、図２４の下段に示すようになる。図示のとおり、ほぼ全域にわたる区間幅をもった広域出力信号Ｉθ１ａ＆Ｉθ１ｂ＆ＩθＩｃ＆Ｉθ２ｃ＆Ｉθ２ｂ＆Ｉθ２ａが得られている。この信号は、３組すべてのθ方向調整用指標と、線状視野Ｆとの重なりにより得られたものであり、帯状矩形Ｉθ１ａ，Ｉθ１ｂ，Ｉθ１ｃ，Ｉθ２ｃ，Ｉθ２ｂ，Ｉθ２ａをθ方向調整用指標として利用した結果である。
【００７３】
結局、この図２１に示す変形例に係る指標パターンを利用すれば、回転調整作業をどの時点で完了させるかを選択することにより、複数通りの精度のいずれかを選択して、回転調整を行うことができるようになる。粗い精度での調整で十分である場合には、図２２の下段に示すように、広域出力信号Ｉθ１ａ，Ｉθ２ａに対応する区間幅が得られた段階で作業を中止すればよいし、中程度の精度での調整を行う場合には、図２３の下段に示すように、広域出力信号Ｉθ１ａ＆Ｉθ１ｂ，Ｉθ２ｂ＆Ｉθ２ａに対応する区間幅が得られた段階で作業を中止すればよいし、非常に厳密な精度での調整を行う場合には、図２４の下段に示すように、ほぼ全区間にわたる広域出力信号に対応する区間幅が得られるまで、作業を続ければよい。
【００７４】
一方、図２５は、焦点調整を行うためのＺ方向調整用指標のバリエーションを示す平面図である。図４に示す３組のＺ方向調整用指標Ｉｚ１〜Ｉｚ３に対して、図２５に示すＺ方向調整用指標Ｉｚ１１は、Ｙ軸に平行な多数の線分をＸ軸に沿って等間隔で配置してなるものである。焦点調整段階では、Ｚ方向調整用指標を構成する各線分に対応するラインセンサ出力信号が、隣接する信号と重ならないで弁別して検出できるように、ラインセンサ用の光学系をＺ軸方向に移動させることができればよいので、図２５に示すようなＺ方向調整用指標Ｉｚ１１を用いても問題はない。要するに、焦点調整に用いるＺ方向調整用指標は、Ｙ軸に平行な線分を、Ｘ軸方向に所定間隔をおいて複数並べて配置してなる構成であればよい。
【００７５】
図２６は、Ｙ方向調整用指標の変形例である。ここで、Ｘ方向調整用指標Ｉｘ１１，Ｉｘ１２は、図４に示すＸ方向調整用指標Ｉｘ１，Ｉｘ２と同様に、Ｙ軸に平行な一対の線分であり変わりはない。ところが、Ｙ方向調整用指標Ｉｙ１１，Ｉｙ１２は、図４に示すＹ方向調整用指標Ｉｙとは構成が異なっている。図４に示すＹ方向調整用指標Ｉｙは、基準点Ｐを通る傾斜した１本の線分であるのに対して、Ｙ方向調整用指標Ｉｙ１１，Ｉｙ１２は合計２本の線分であり、それぞれＸ方向調整用指標Ｉｘ１１，Ｉｘ１２と交差するように配置されている。ここで、線分Ｉｙ１１，Ｉｙ１２は互いに平行となっており、図に破線で示す基準線Ｒ（基準点Ｐを通り、Ｘ軸に平行な直線）と線分Ｉｘ１１，Ｉｘ１２との交点位置において、線分Ｉｙ１１，Ｉｙ１２も線分Ｉｘ１１，Ｉｘ１２に交差している。別言すれば、Ｙ方向調整用指標Ｉｙ１１，Ｉｙ１２は、基準点ＰからＸ方向調整用指標を構成する各線分Ｉｘ１１，Ｉｘ１２に下ろした垂線の足をそれぞれ通り、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜し、互いに平行な一対の線分ということになる。
【００７６】
このような線分Ｉｙ１１，Ｉｙ１２をＹ方向調整用指標として用いた場合、Ｙ軸方向への平行移動をどのような基準で行えばよいかを考えてみよう。図２７は、図２６に示すＹ方向調整用指標を用いてＹ軸方向への平行移動作業が完了した状態を示す平面図である。図示のとおり、線状視野Ｆは、その中心位置Ｑが基準点Ｐに一致した状態まで平行移動されている。この状態におけるラインセンサの出力信号Ｉｘ１１，Ｉｘ１２，Ｉｙ１１，Ｉｙ１２を考えてみると、信号Ｉｙ１１は信号Ｉｘ１１の右方向に所定距離ｄだけ離れて現れ、信号Ｉｙ１２は信号Ｉｘ１２の左方向に所定距離ｄだけ離れて現れることになる。
【００７７】
したがって、このようなＹ方向調整用指標Ｉｙ１１，Ｉｙ１２を用いた場合、Ｘ方向調整用指標を構成する線分Ｉｘ１１，Ｉｘ１２に対応するラインセンサ出力信号の位置を基準にしたときの、Ｙ方向調整用指標を構成する線分Ｉｙ１１，Ｉｙ１２に対応するラインセンサ出力信号の位置が、一方では右方向に距離ｄだけ隔たり、他方では左方向に距離ｄだけ隔たった状態になるように、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させれば、点Ｑを点Ｐの位置へ一致させるようなＹ軸方向への平行移動が可能になることがわかる。
【００７８】
このように、本発明におけるＹ方向調整用指標は、必ずしも基準点Ｐを通る傾斜線分で構成する必要はなく、Ｘ方向調整用指標（Ｙ軸に平行な一対の線分）に対して特定の関係をもつ位置に配置された傾斜線分により構成しておけばよく、Ｙ方向調整段階では、Ｙ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置が、Ｘ方向調整用指標を構成する線分に対応するラインセンサ出力信号の位置に対して特定の関係をもつ位置にくるように、ラインセンサをＹ軸方向に平行移動させるようにすればよい。
【００７９】
図２８は、図２６に示す指標パターンの更なる変形例を示す平面図である。この変形例では、同一サイズ、同一形状の一対の直角三角形Ｔ１，Ｔ２によって、Ｘ方向調整用指標およびＹ方向調整用指標が構成されている。すなわち、直角三角形Ｔ１，Ｔ２の底辺はいずれもＸ軸に平行な向きに配置されており、直角三角形Ｔ１，Ｔ２の外側に位置する辺が、それぞれＸ方向調整用指標を構成する線分Ｉｘ２１，Ｉｘ２２として機能し、直角三角形Ｔ１，Ｔ２の斜辺が、それぞれＹ方向調整用指標を構成する線分Ｉｙ２１，Ｉｙ２２として機能することになる。したがって、基本的な原理は、図２６に示す変形例と同様である。
【００８０】
このように、本発明において指標を形成する「線分」は、必ずしも独立した図形としての「線分」によって構成する必要はなく、三角形や四角形などの一般平面図形の一辺として構成することも可能である。ただし、平面図形の一辺として指標を形成する「線分」を構成した場合、対応するラインセンサ出力信号の位置を、所定の幅をもった区間の境界位置として認識する必要がある。
【００８１】
図２９は、θ方向調整用指標の変形例を示す平面図である。本発明に用いるθ方向調整用指標は、長手方向がＸ軸に平行になるように配置され、必要とされる調整精度に応じた幅をもった帯状矩形によって構成することが可能であり、この図２９に示すような３本の帯状矩形Ｉθａ，Ｉθｂ，Ｉθｃ（いずれも、長手方向がＸ軸に平行）によっても構成することができる。このように、幅が異なる複数のθ方向調整用指標を設けておくと、複数通りの精度のいずれかを選択して調整を行うことができるようになることは、既に述べたとおりである。各帯状矩形Ｉθａ，Ｉθｂ，Ｉθｃは、必ずしも基準線上に配置する必要はない。また、θ方向調整用指標は、帯状領域をなす形状であれば必ずしも矩形である必要もない。
【００８２】
たとえば、図３０は、図２５に示すＺ方向調整用指標Ｉｚ１１、図２６に示すＸ方向調整用指標Ｉｘ１１，Ｉｘ１２およびＹ方向調整用指標Ｉｙ１１，Ｉｙ１２、図２９に示すθ方向調整用指標Ｉθａ，Ｉθｂ，Ｉθｃを適宜組み合わせてなる指標パターンである。この指標パターンのうち、指標Ｉｚ１１を用いた焦点調整、指標Ｉｘ１１，Ｉｘ１２を用いたＸ方向位置調整、指標Ｉｙ１１，Ｉｙ１２を用いたＹ方向位置調整については、既に述べたとおりである。
【００８３】
また、指標Ｉθａを用いた回転位置調整（粗い精度による調整）は、次のようにして行うことができる。すなわち、線状視野Ｆの中心位置Ｑが基準点Ｐに一致するように、Ｘ方向およびＹ方向の平行移動を行った後、ラインセンサを所定方向に回転させる作業を行えば、やがて、線状視野Ｆが指標Ｉθａを構成する帯状矩形に完全に重なるようになり、ほぼ全域にわたった広域出力信号が得られるので、その時点で回転作業を中止すればよい。
【００８４】
一方、回転位置調整を指標Ｉθｂを用いて中位の精度で行いたい場合は、次のようにして行うことができる。まず、指標Ｉθｂに対応する出力信号が得られるまで、線状視野Ｆを図の下方へと平行移動させる。図７の流れ図の手順のように、Ｙ方向の位置調整を先に完了していた場合、この平行移動により、せっかく点Ｑが基準点Ｐに一致した状態になっていたのに、点Ｑは、基準点Ｐから下方へと離れてしまうことになるが、Ｙ方向の位置合わせは後に再度行うようにすれば問題はない。そして、指標Ｉθｂに対応する出力信号が得られたら、当該出力信号が中央位置Ｑについて左右対称になるまで、Ｙ方向への平行移動を続ける。その結果、点Ｑは、指標Ｉθｂの中心位置に重なることになる。この状態で、ラインセンサを所定方向に回転させる作業を行えば、やがて、線状視野Ｆが指標Ｉθｂを構成する帯状矩形に完全に重なるようになり、ほぼ全域にわたった広域出力信号が得られるので、その時点で回転作業を中止すればよい。その後、Ｙ方向の位置合わせを再度行い、上方へと平行移動し、点Ｑが基準点Ｐに一致するようにすればよい。
【００８５】
回転位置調整を指標Ｉθｃを用いて厳密な精度で行いたい場合も全く同様であり、線状視野Ｆが指標Ｉθｃと交差するように、Ｙ方向に平行移動した後、回転作業を行って、厳密な精度での回転位置調整を行い、再び、点Ｑが基準点Ｐに一致するようにＹ方向に平行移動して戻せばよい。
【００８６】
このように、θ方向調整用指標は、必ずしも基準線Ｒ上に配置する必要はない。しかしながら、実用上は、点Ｑが基準点Ｐに一致した状態で回転位置調整を行えるように、これまで述べた実施形態のような配置、すなわち、θ方向調整用指標を構成する帯状矩形の長手方向に伸びる中心軸が、基準点Ｐを通りＸ軸に平行な基準線上にくるような配置にするのが好ましい。
【００８７】
また、１つのθ方向調整用指標は、図２９に示すように、細長い１本の帯状矩形によって構成することも可能であるが、実用上は、これまで述べた実施形態のように、基準点Ｐからの距離が等しくなるように配置された同一サイズの一対の帯状矩形によって構成するのが好ましい。特に、Ｙ方向調整用指標として、基準点Ｐを通る斜めの線分を用いる場合には、基準点Ｐの付近に幅の広い帯状矩形が重なっていると、Ｙ方向の調整判断処理（図１３の下段のグラフのように、信号Ｉｙの位置が点Ｑの位置に一致した旨の判断処理）を阻害する要因になるので、幅の広い帯状矩形については、基準点Ｐから離れた位置に配置するようにするのが好ましい。
【００８８】
以上の説明では、ラインセンサの焦点調整、Ｘ軸方向の位置調整、Ｙ軸方向の位置調整、回転位置調整を、オペレータがモニタ上に表示されたラインセンサの信号出力波形を監視しながら、手作業で行う例を述べたが、このオペレータによる判断をコンピュータに実行させるようにすれば、コンピュータによる自動調整処理を行うことが可能になる。具体的には、ラインセンサの信号をコンピュータに取り込み、コンピュータ上での画像解析処理に基づき、これまで説明した判断処理を自動的に実行させればよい。ラインセンサの焦点調整や位置制御を行うためのシーケンサをコンピュータで制御する構成にしておけば、コンピュータによる自動光軸調整が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】ラインセンサカメラを用いた一般的な検査装置の基本構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す検査装置における検査対象物１０と線状視野Ｆとの関係を示す上面図である。
【図３】本発明に係る光軸調整用指標表示体３０の一例を示す上面図である。
【図４】図３に示す表示体３０上の指標パターンの拡大図である。
【図５】複数の指標パターンを有する光軸調整用指標表示体４０を用いて、複数のラインセンサカメラ２０Ａ，２０Ｂについての光軸調整を行っている状態を示す斜視図である。
【図６】図５に示す光軸調整用指標表示体４０の上面図である。
【図７】図４に示す指標パターンを用いた本発明に係るラインセンサの光軸調整方法の手順の一例を示す流れ図である。
【図８】Ｚ方向調整用指標Ｉｚ１〜Ｉｚ３を用いて、ラインセンサの焦点調節を行っている状態を示す平面図である。
【図９】図８に示す状態において、ラインセンサの焦点調整が不適切な場合の出力信号波形を示すグラフである。
【図１０】図８に示す状態において、ラインセンサの焦点調整が適切な場合の出力信号波形を示すグラフである。
【図１１】上段は、ラインセンサの線状視野Ｆが、指標Ｉｘ１，Ｉｘ２を構成する個々の線分を横切る位置に置かれた状態を示す平面図であり、下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図１２】上段は、図１１の上段の状態から、Ｘ軸方向（右方向）への平行移動作業を完了した状態を示す平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図１３】上段は、図１２の上段の状態から、Ｙ軸方向（下方向）への平行移動作業を完了した状態を示す平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図１４】上段は、線状視野Ｆが基準点Ｐの下方に位置していた場合の平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図１５】上段は、図１２の上段に示す状態から図１３の上段に示す状態へ移行する途中の段階の平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図１６】上段は、図１５の上段に示す状態とは線状視野Ｆの傾斜方向が逆であった場合の平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図１７】上段は、図１５の上段に示す状態とは平行移動の方向が逆であった場合の平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図１８】θ方向調整用指標を利用した回転方向の認識の論理をまとめたチャートである。
【図１９】上段は、図１３の上段に示す状態からラインセンサを徐々に回転させてゆく途中の段階の平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図２０】上段は、図１９の上段に示す状態からラインセンサを更にに回転させ、光軸調節を完了した状態を示す平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図２１】本発明に係る光軸調整用指標表示体に形成する指標パターンの変形例を示す平面図である。
【図２２】上段は、図２１に示す指標パターンを用いて、粗い精度の回転調整を完了した段階の平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図２３】上段は、図２１に示す指標パターンを用いて、中位の精度の回転調整を完了した段階の平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図２４】上段は、図２１に示す指標パターンを用いて、厳密な精度の回転調整を完了した段階の平面図であり、同図の下段は、この状態におけるラインセンサの出力信号を示すグラフである。
【図２５】焦点調整を行うためのＺ方向調整用指標のバリエーションを示す平面図である。
【図２６】Ｙ方向調整用指標の変形例を示す平面図である。
【図２７】図２６に示すＹ方向調整用指標を用いてＹ軸方向への平行移動作業が完了した状態を示す平面図である。
【図２８】図２６に示す指標パターンの更なる変形例を示す平面図である。
【図２９】θ方向調整用指標の変形例を示す平面図である。
【図３０】本発明に用いる別な変形例に係る指標パターンを示す平面図である。
【符号の説明】
【００９０】
１０…検査対象物
２０，２０Ａ，２０Ｂ…ラインセンサカメラ
２１…ラインセンサ
２２…光学系
３０…光軸調整用指標表示体
４０…光軸調整用指標表示体
Ｆ…ラインセンサの線状視野
Ｉｘ１，Ｉｘ２…Ｘ方向調整用指標／出力信号
Ｉｘ１１，Ｉｘ１２，Ｉｘ２１，Ｉｘ２２…Ｘ方向調整用指標
Ｉｙ…Ｙ方向調整用指標／出力信号
Ｉｙ１１，Ｉｙ１２，Ｉｙ２１，Ｉｙ２２…Ｙ方向調整用指標
Ｉｚ１，Ｉｚ２，Ｉｚ３，Ｉｚ１１…Ｚ方向調整用指標
Ｉθ１，Ｉθ２…θ方向調整用指標／広域出力信号
Ｉθ１ａ，Ｉθ１ｂ，Ｉθ１ｃ，Ｉθ２ａ，Ｉθ２ｂ，Ｉθ２ｃ…θ方向調整用指標／広域出力信号
Ｉθａ，Ｉθｂ，Ｉθｃ…θ方向調整用指標
Ｌ，Ｌ１，Ｌ２…２点間の距離
Ｍ…中点
Ｐ，Ｐ１，Ｐ２…位置合わせの基準点
Ｑ…ラインセンサの検出範囲の中心位置
Ｒ…基準線
Ｓ１〜Ｓ４…流れ図の各ステップ
Ｔ１，Ｔ２…直角三角形
Ｘ，Ｙ，Ｚ…三次元座標系の各座標軸
＋θ，−θ…回転方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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