(57)【要約】【課題】内側管部、内側管部を包囲する外側管部、および内側管部と外側管部とを接続する接続部を備えているセラミック焼結体において、外側管部と内側管部との接合性を良好とし、焼成クラックや曲がり変形を抑制できるようにする。【解決手段】内側管部の成形部１３ｃ、内側管部の成形部１３ｃの焼成時収縮率よりも高い焼成時収縮率を有する外側管部の成形部１２、および一対の接続部の成形部１３ａ、１３ｂを含む組み立て体３０Ａの焼成によって、セラミック焼結体を得る。【選択図】  図３
2005144735.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内側管部、前記内側管部を包囲する外側管部、および前記内側管部と前記外側管部とを接続する少なくとも一対の接続部を備えているセラミック焼結体であって、
前記内側管部の成形部、前記内側管部の成形部の焼成時収縮率よりも高い焼成時収縮率を有する前記外側管部の成形部、および前記一対の接続部の成形部を含む組み立て体の焼成によって得られたことを特徴とする、セラミック焼結体。
【請求項２】
請求項１のセラミック焼結体の前記内側管部および前記外側管部を切断することによって得られたことを特徴とする、セラミック焼結体。
【請求項３】
前記接続部が環状をなしていることを特徴とする、請求項１または２記載のセラミック焼結体。
【請求項４】
透光性アルミナからなることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一つの請求項に記載のセラミック焼結体。
【請求項５】
内側管部、前記内側管部を包囲する外側管部、および前記内側管部と前記外側管部とを接続する少なくとも一対の接続部を備えているセラミック焼結体を製造する方法であって、
前記内側管部の成形部、前記外側管部の成形部、および前記一対の接続部の成形部を含む組み立て体を準備し、
前記外側管部の成形部の焼成時収縮率を１００％としたときの焼成時収縮率が９０〜１１０％であるセッターを準備し、
前記セッター上に前記組み立て体を載置し、この際前記セッターに前記外側管部の成形部を接触させ、
前記組み立て体を焼成することを特徴とする、セラミック焼結体の製造方法。
【請求項６】
前記外側管部の成形部の前記焼成時収縮率が、前記内側管部の成形部の焼成時収縮率よりも高いことを特徴とする、請求項５記載の方法。
【請求項７】
前記接続部が環状をなしていることを特徴とする、請求項５または６記載の方法。
【請求項８】
前記セラミック焼結体が透光性アルミナからなることを特徴とする、請求項５〜７のいずれか一つの請求項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外側管部と内側管部とを備えているセラミック焼結体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
円筒状のセラミック成形体を焼成用治具から支持ピンを用いて吊り下げることが知られている（例えば特許文献１）。この公報によれば、一つの治具から、円筒状のセラミック成形体を多数吊り下げ、焼成することが記載されている。また、２本の石英ガラス製パイプを用意し、内側パイプを外側パイプで包囲し、各パイプの上端と下端とをそれぞれ溶融させ、内側パイプと外側パイプとを接合することで二重管を製造することは知られている。
【特許文献１】特開平６−２６５２７７号公報
【発明の開示】
【０００３】
しかし、例えば透光性アルミナによって二重管を形成することは困難であった。例えば、二重管を一体成形することは不可能である。従って、外側管部の成形体と内側管部の成形体との間にリング状の接合部を挟み、一体焼結させる必要がある。しかし、このような接合部と内側管部、外側管部との接合強度は非常に低く、気密性も得られない。また、二重管の口径を大きくしたり、あるいは長さを大きくすると、二重管に焼成クラックが発生し易く、また二重管が曲がり変形しやすい。
【０００４】
本発明の課題は、内側管部、内側管部を包囲する外側管部、および内側管部と外側管部とを接続する接続部を備えているセラミック焼結体において、外側管部と内側管部との接合性を良好とし、焼成クラックや曲がり変形を抑制できるようにすることである。
【０００５】
第一の態様に係る発明は、内側管部、内側管部を包囲する外側管部、および内側管部と外側管部とを接続する少なくとも一対の接続部を備えているセラミック焼結体であって、内側管部の成形部、内側管部の成形部の焼成時収縮率よりも高い焼成時収縮率を有する外側管部の成形部、および一対の接続部の成形部を含む組み立て体の焼成によって得られたことを特徴とする。
【０００６】
本発明のセラミック焼結体は、内側管部の成形部、外側管部の成形部、および一対の接続部の成形部を含む組み立て体の焼成によって得られたものである。これと同時に、外側管部の成形部の焼成時収縮率を、内側管部の成形部の焼成時収縮率よりも高くすることによって、焼成時に外側管部から内側管部へと向かって一対の接続部を介して圧着力を生じさせ、これによって外側管部と接続部、接続部と内側管部との各接合強度を高くすることができる。これと同時に、得られた焼結体の曲がりやクラックを抑制することができる。
【０００７】
これに対して、外側管部と内側管部との各材質および密度が同じであると、両者の焼成時収縮率も同じとなるが、この場合には、外側管部と接続部、内側管部と接続部との接合部分の強度が非常に低くなり、両者の界面にクラックも生じ易い。また、外側管部と内側管部との間に一つだけの接続部を設けた場合には、外側管部と接続部、内側管部と接続部との接合強度が弱く、また焼結体が曲がり易い。本発明においては、外側管部と接続部、内側管部と接続部との接合強度が高く、クラックも抑制され、更に焼結体の曲がり変形も抑制される。
【０００８】
第二の態様に係る発明は、内側管部、内側管部を包囲する外側管部、および内側管部と外側管部とを接続する少なくとも一対の接続部を備えているセラミック焼結体を製造する方法であって、内側管部の成形部、外側管部の成形部、および一対の接続部の成形部を含む組み立て体を準備し、外側管部の成形部の焼成時収縮率を１００％としたときの焼成時収縮率が９０〜１１０％であるセッターを準備し、セッター上に組み立て体を載置し、この際セッターに外側管部の成形部を接触させ、組み立て体を焼成することを特徴とする。
【０００９】
特に焼結体の口径が大きくなり、また長さが大きくなってくると、成形体の重量も増大する。こうなると、前述したように、成形体が焼成時に曲がり変形し易く、またクラックが発生しやすい。これに対して、本発明におけるように、外側管部成形部と近接した焼成時収縮率を有するセッターを成形体の下に置き、セッターに対して外側管部成形部を接触させた状態で焼成を行うことにより、成形体の曲がり変形およびクラックを著しく低減できることを見いだした。このように、成形体と同程度の収縮をするセッターを使用し、セッター上に二重管の成形体を設置して焼成を行い、セッターをも焼結させることは知られていない。
【００１０】
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明を更に詳細に説明する。
本発明において、外側管部成形部の焼成時収縮率は以下のように定義される。
外側管部成形部の内径をａとし、焼成後の外側管部の内径をｂとしたとき、（ａ−ｂ）／ａを焼成時収縮率とする。そして、内側管部成形部の収縮率を１００％としたときの値に換算する。
内側管部成形部の焼成時収縮率は以下のように定義される。
内側管部成形部の外径をｃとし、焼成後の内側管部の外径をｄとしたとき、（ｃ−ｄ）／ｃを焼成時収縮率とし、これを１００％に換算する。
セッターの焼成時収縮率は以下のように定義される。
セッターの内径をｅとし、焼成後のセッターの内径をｆとしたとき、（ｅ−ｆ）／ｅを焼成時収縮率とする。そして、外側管部成形部の収縮率を１００％としたときの値に換算する。
【００１１】
本発明においては、内側管部成形部の焼成時収縮率を１００％としたとき、外側管部成形部の焼成時収縮率は１０４％以上とすることが好ましい。一方、外側管部成形部の焼成時収縮率が高すぎると、焼成時に接続部と内側管部、外側管部との界面付近にクラックが発生しやすく、また外側管部、内側管部の変形が大きくなり易い。そこで、外側管部の焼成時収縮率は１１０％以下とすることが好ましい。
【００１２】
また、第二の発明においては、外側管部成形部の焼成時収縮率を１００％としたとき、セッターの焼成時収縮率を９０〜１１０％とする。本発明の観点からは、セッターの焼成時収縮率は、９６％以上とすることが更に好ましく、あるいは、１０４％以下とすることが更に好ましい。
【００１３】
上記のように、外側管部成形部、内側管部成形部、セッターの各焼成時収縮率を調整する方法は特に限定されない。例えば、各成形部を成形するのに際して成形圧力を変化させることによって、各成形部の相対密度を所望値とし、これによって焼成時収縮率を調整することができる。また、各成形部内に含有されるバインダーの量を調節することによって、各焼成時収縮率を調節することができる。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態に係るセラミック焼結体１を示す縦断面図であり、図１（ｂ）は、セラミック焼結体１を上側から見た平面図である。本例では、内側管部３、外側管部２はいずれも直管状をしており、内側管部３の両端と外側管部２の両端との間にリング状の接続部６Ａ、６Ｂが形成されている。内側管部３の内側には空間４が形成されており、内側管部３と外側管部２との間にも空間５が形成されている。
【００１５】
本発明においては、内側管部とこれを包囲する外側管部以外にも管部を設けることができる。このような付加的な管部は、内側管部の内側に設けることができ、あるいは、外側管部の外側に設けることができる。また、内側管部と外側管部とを接続する接続部は少なくとも一対存在するが、３つ以上存在してもよい。
【００１６】
また、本発明は、前述のようにして得られた焼結体を切断することによって得られる焼結体を提供する。これによって、焼結体中の接続部の個数を一個とすることが可能である。例えば、図１に示す焼結体１を、その中央部分で矢印Ａのように切断すると、図２に示すセラミック焼結体７が得られる。焼結体７は、外側管部２、内側管部３およびこれらを片方の端部で接続するリング状の接続部６Ａを備えている。切断の結果、空間５には開口９が設けられている。
【００１７】
本発明においては、セラミック焼結体を構成するセラミックスは特に限定されない。例えばアルミナ、ジルコニア、チタニア、シリカ、マグネシア、フェライト、コージェライト、イットリア等の希土類元素の酸化物等の酸化物系セラミックス；チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸ジルコン酸鉛、希土類元素のマンガナイト、希土類元素のクロマイト等の複合酸化物；窒化アルミニウム、窒化珪素，サイアロン等の窒化物系セラミックス；炭化珪素、炭化ホウ素、炭化タングステン等の炭化物系セラミックスを例示できる。
【００１８】
これらの中で高純度アルミナが特に好ましい。高純度アルミナの種類は限定されない。しかし、透光性アルミナが特に好ましい。透光性アルミナとは、可視光（６００（ｎｍ））領域で全光線透過率が８０％以上のアルミナである。透光性アルミナは、特に好ましくは、純度９９．９９％の高純度アルミナに、焼結中の粒径のコントロールのための添加剤を加えて原料とし、この原料を用いて機械的プレスやコールドアイソスタティックプレス、押出技術等によって成形体を作製し、この成形体を脱脂し、脱脂体を水素雰囲気中で、１７００〜１９００℃で焼成したものである。焼成体は均一な六方晶の粒子からなる。
なお、曲がり、変形、クラック防止の目的から、例えばアルミナチューブの収縮曲線の大きい温度領域の昇温速度を緩やかにしたヒートカーブを適用することが好ましい。
【００１９】
第一の発明のセラミック焼結体は、内側管部の成形部、外側管部の成形部および一対の接続部の成形部を含む組み立て体の焼成によって得られたものである。ここで、内側管部の成形部とその成形部とは、一体成形が困難であるので別体である。接続部の成形部は、内側管部の成形部と一体成形でき、外側管部の成形部と一体成形でき、あるいは内側管部成形部、外側管部成形部の両方に対して別体とできる。
【００２０】
図３（ａ）は、本発明の一実施形態における組み立て体３０Ａの縦断面図であり、図３（ｂ）は組み立て体３０Ａの平面図である。本例においては、内側管部の成形部１２、外側管部の成形部１３ｃは、いずれも直管状をしている。外側管部の成形部１３ｃの両端内周面側には、それぞれ、リング状の接続部の成形部１３ａ、１３ｂが一体成形されており、成形部１３ｃと１３ａ、１３ｂとは組織的に連続している。内側管部成形部１２の内側には空間４が形成されており、内側管部成形部１２と外側管部成形部１３ｃとの間にも空間５が形成されている。
【００２１】
図４（ａ）は、本発明の他の実施形態における組み立て体３０Ｂの縦断面図であり、図４（ｂ）は組み立て体３０Ｂの平面図である。本例においては、外側管部の成形部１４、内側管部の成形部１５ｃは、いずれも直管状をしている。内側管部の成形部１５ｃの両端外周面側には、それぞれ、リング状の接続部の成形部１５ａ、１５ｂが一体成形されており、成形部１５ｃと１５ａ、１５ｂとは組織的に連続している。内側管部成形部１５ｃの内側には空間４が形成されており、内側管部成形部１５ｃと外側管部成形部１４との間にも空間５が形成されている。
【００２２】
図５（ａ）は、本発明の他の実施形態における組み立て体３０Ｃの縦断面図であり、図５（ｂ）は組み立て体３０Ｃの平面図である。本例においては、外側管部の成形部１６、内側管部の成形部１８は、いずれも直管状をしている。内側管部成形部１８と外側管部成形部１６との各端部の間には、それぞれ接続部の成形部１７Ａ、１７Ｂが挟まれている。成形部１７Ａ、１７Ｂは、各成形部１６、１８とは別体である。
【００２３】
図６（ａ）は、本発明の他の実施形態における組み立て体３０Ｄの縦断面図であり、図６（ｂ）は組み立て体３０Ｄの平面図である。本例においては、外側管部の成形部２６ｃ、内側管部の成形部２５ｃは、いずれも直管状をしている。外側管部の成形部２６ｃの両端内周面側には、それぞれ、円弧状の接続部成形部２６ａ、２６ｂが一体成形されており、成形部２６ｃと２６ａ、２６ｂとは組織的に連続している。円弧状成形部２６ａ、２６ｂは、それぞれ、図６（ｂ）に示すように１８０°の角度で開いている。内側管部の成形部２５ｃの両端内周面側には、それぞれ、円弧状の接続部成形部２５ａ、２５ｂが一体成形されており、成形部２５ｃと２５ａ、２５ｂとは組織的に連続している。円弧状成形部２５ａ、２５ｂは、それぞれ、図６（ｂ）に示すように１８０°の角度で開いている。
【００２４】
第二の発明においては、セッター上に成形体を載置し、この際セッターに外側管部の成形部を接触させ、成形体を焼成する。ここで、セッターの材質は、例えば前述のセラミックスであってよい。特に好ましくは、セッターが、成形体の一部を切断することによって得られた材質からなるセッターである。例えば、図７に示すように、管状成形体１９を成形する。そして、成形体１９を線２０に沿って切断する。大きい方の成形体１９ａを外側管部の成形体として使用し、残りの成形体１９ｂを適当に加工してセッターとして使用する。
【００２５】
例えば、図８に示すように、炉壁上に通常のセッター２２を設置し、セッター２２上に、第二の発明に係るセッター２１を設置する。２２ａ、２１ａは円形の空隙である。セッター２１上には、外側管部の成形部１４が載置されている。また、図９に示すように、セッター２１Ａおよび２２Ａの内径を小さくし、セッター２１Ａを外側管部成形部１４および接続部１５ｂに接触させることができる。
【００２６】
第一の発明、第二の発明においては、例えば仮焼段階では、成形体の管軸方向を水平にしてもよく（横置き）、垂直にしてもよい（縦置き）。また、焼成段階では、成形体の管軸方向を水平にしてもよく、垂直にしてもよいが、第二の発明では管軸方向を垂直にする必要がある。
【００２７】
成形体の口径が大きく、長い場合には、仮焼時は、第二の発明と同様のセッターを使用して縦置きで仮焼することが好ましい。また、本焼成時は、環状式水素炉内で、第二の発明のセッターを使用して縦置きで焼成することが好ましい。
口径が小さく、肉厚の小さい（薄い）、長い成形体を焼成する場合には、仮焼時は、横置きで焼成することが好ましい。また、本焼成時は、環状式水素炉内で仮焼体を吊るし、焼成することが好ましい。
口径が小さく、薄肉で短い成形体を焼成する場合には、仮焼、本焼成ともに、縦置き、横置きのいずれでもよい。
【００２８】
本発明によって得られた焼結体は、耐熱性が高く、高温度での使用が可能であり、また材質によっては耐薬品性に強い二重管を提供できる。また、焼結体のリークタイト性が高いため、気密部品に使用可能である。用途としては、例えば、無電極用高圧ランプ発光管、PFCガス処理用アルミナチューブ（反応管）を例示できる。
【実施例】
【００２９】
（実施例１）
図１に示すような形態の焼結体１を作製した。具体的には、純度９９．９９％の高純度アルミナ粉末をスプレードライヤーによって造粒した。この造粒粉末をコールドアイソスタティックプレス法によって成形し、成形体１２、１３を作製し、図３に示すように組み立てた。そして、組み立て体３０Ａを１０００〜１２００℃で脱脂し、脱脂体を水素雰囲気中で  １７００〜１９００℃で焼成した。
内側管部の成形部１２の焼成時収縮率は１００％であり，外側管部の成形部１３ｃの焼成時収縮率は１０４〜１１０％であった。焼成後、外側管部２と内側管部３とは強固に接合しており、界面にクラックも見られなかった。また、焼結体１の曲がり量は小さかった。
【００３０】
（実施例２）
図１に示すような形態の焼結体１を作製した。具体的には、純度９９．９９％の高純度アルミナ粉末をスプレードライヤーによって造粒した。この造粒粉末をコールドアイソスタティックプレス法によって成形し、成形体１４、１５を作製し、図４に示すように組み立てた。そして、組み立て体３０Ｂを１０００〜１２００℃で脱脂し、脱脂体を水素雰囲気中で１７００〜１９００℃で焼成した。
内側管部の成形部１５ｃの焼成時収縮率は１００％であり，外側管部の成形部１４の焼成時収縮率は１０４〜１１０％であった。焼成後、外側管部２と内側管部３とは強固に接合しており、界面にクラックも見られなかった。また、焼結体１の曲がり量は小さかった。
【００３１】
（実施例３）
図１に示すような形態の焼結体１を作製した。具体的には、純度９９．９９％の高純度アルミナ粉末をスプレードライヤーによって造粒した。この造粒粉末をコールドアイソスタティックプレス法によって成形し、成形体１６、１７Ａ、１７Ｂ、１８を作製し、図５に示すように組み立てた。そして、組み立て体３０Ｃを１０００〜１２００℃で脱脂し、脱脂体を水素雰囲気中で１７００〜１９００℃で焼成した。
内側管部の成形部１８の焼成時収縮率は１００％であり，外側管部の成形部１６の焼成時収縮率は１０４〜１１０％であった。焼成後、外側管部２と内側管部３とは強固に接合しており、界面にクラックも見られなかった。また、焼結体１の曲がり量は小さかった。
【００３２】
（比較例１）
図１に示すような形態の焼結体１を作製した。具体的には、純度９９．９９％の高純度アルミナ粉末をスプレードライヤーによって造粒した。この造粒粉末をコールドアイソスタティックプレス法によって成形し、成形体１６、１７Ａ、１７Ｂ、１８を作製し、図５に示すように組み立てた。そして、組み立て体を１０００〜１２００℃で脱脂し、脱脂体を水素雰囲気中で１７００〜１９００℃で焼成した。
内側管部の成形部１８、外側管部の成形部１６の焼成時収縮率は同一であり、１００％であった。接続部の成形体１７Ａ、１７Ｂの焼成時収縮率は低く、９０〜９６％であった。焼成後、外側管部２と内側管部３とは接合しておらず、また焼結体チューブが曲がり変形していた。
【００３３】
（比較例２）
図１に示すような形態の焼結体１を作製した。具体的には、純度９９．９％の高純度アルミナ粉末をスプレードライヤーによって造粒した。この造粒粉末をコールドアイソスタティックプレス法によって成形し、図１０に示すような形態の成形体１６、１８、１９を作製し、組み立てた。蓋状の成形体１９にはリング状溝１９ａ、１９ｂを形成し、溝１９ａ内に外側管部の成形部１６を挿入し、溝１９ｂ内に内側管部の成形部１８を挿入した。そして、組み立てた成形体を１０００〜１２００℃で脱脂し、脱脂体を水素雰囲気中で１７００〜１９００℃で焼成した。
内側管部の成形部１８、外側管部の成形部１６、蓋状の成形部１９の焼成時収縮率は同一であり、１００％であった。焼成後、外側管部２と内側管部３とは接合しておらず、また焼結体チューブの中央部分が膨らむように変形していた。
【００３４】
（比較例３）
図１に示すような形態の焼結体１を作製した。具体的には、純度９９．９％の高純度アルミナ粉末をスプレードライヤーによって造粒した。この造粒粉末をコールドアイソスタティックプレス法によって成形し、図１１（ａ）に示すような形態の成形体１８、２２を作製し、組み立てた。成形体２２は、外側管部の成形部２２ａと接続部の成形部２２ｂとを備えている。そして、組み立て体３１Ｂを１０００〜１２００℃で脱脂し、脱脂体を水素雰囲気中で１７００〜１９００℃で焼成した。
内側管部の成形部１８の焼成時収縮率は１００％であり，外側管部の成形部２２ａの焼成時収縮率は１０４〜１１０％であった。焼成後、外側管部２と内側管部３とは接合しておらず、また焼結体チューブが大きく曲がり変形していた。
【００３５】
（比較例４）
図１に示すような形態の焼結体１を作製した。具体的には、純度９９．９％の高純度アルミナ粉末をスプレードライヤーによって造粒した。この造粒粉末をコールドアイソスタティックプレス法によって成形し、図１１（ｂ）に示すような形態の成形体１６、２３を作製し、組み立てた。成形体２３は、内側管部の成形部２３ａと接続部の成形部２３ｂとを備えている。そして、組み立て体３１Ｃを１０００〜１２００℃で脱脂し、脱脂体を水素雰囲気中で１７００〜１９００℃で焼成した。
内側管部の成形部２３ａの焼成時収縮率は１００％であり、外側管部の成形部１６の焼成時収縮率は１０４〜１１０％であった。焼成後、外側管部２と内側管部３とは接合しておらず、また焼結体チューブが大きく曲がり変形していた。
【００３６】
（実施例４）
図１に示すような形態の焼結体１を作製した。具体的には、純度９９．９％の高純度アルミナ粉末をスプレードライヤーによって造粒した。この造粒粉末をコールドアイソスタティックプレス法によって成形し、図８に示すような成形体１４、１５を作製し、図８に示すように組み立てた。セッター２１は、成形体１４と同一材質の成形体から切り出した。そして、組み立て体３０Ｂを１０００〜１２００℃で脱脂し、脱脂体を水素雰囲気中で１７００〜１９００℃で焼成した。
内側管部の成形部１５ｃの焼成時収縮率は１００％であり，外側管部の成形部１４の焼成時収縮率は１０４〜１１０％であった。セッター２１Ａの焼成時収縮率は９０〜１１０％であった。焼成後、外側管部２と内側管部３とは強固に接合しており、界面にクラックも見られなかった。また、焼結体１の曲がり量は小さかった。
【００３７】
以上述べたように、本発明によれば、内側管部、内側管部を包囲する外側管部、および内側管部と外側管部とを接続する接続部を備えているセラミック焼結体において、外側管部と内側管部との接合性を良好とし、焼成クラックや曲がり変形を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】（ａ）は、本発明の実施形態に係るセラミック焼結体１を示す縦断面図であり，（ｂ）は、焼結体１の平面図である。
【図２】焼結体１の切断によって得られた焼結体７を示す縦断面図である。
【図３】（ａ）は、成形体１２と１３との組み立て体３０Ａを示す縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の組み立て体３０Ａの平面図である。
【図４】（ａ）は、成形体１４と１５との組み立て体３０Ｂを示す縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の組み立て体３０Ｂの平面図である。
【図５】（ａ）は、成形体１６、１８、１７Ａおよび１７Ｂの組み立て体３０Ｃを示す縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の組み立て体３０Ｃの平面図である。
【図６】（ａ）は、成形体２５と２６との組み立て体３０Ｄを示す縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の組み立て体３０Ｄの平面図である。
【図７】管状の成形体１９を示す断面図である。
【図８】成形体１４および１５の組み立て体３０Ｂをセッター２１上に設置した状態を示す縦断面図である。
【図９】成形体１４および１５の組み立て体３０Ｂをセッター２１Ａ上に設置した状態を示す縦断面図である。
【図１０】管状の成形体１６、１８を蓋状の成形体１９に固定した比較例の組み立て体３１Ａを示す縦断面図である。
【図１１】（ａ）、（ｂ）は、それぞれ比較例の組み立て体３１Ｂ、３１Ｃを示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  セラミック焼結体        ２  外側管部        ３  内側管部        ４、５  空間        ６Ａ、６Ｂ  接続部        ７  セラミック焼結体１の切断によって得られたセラミック焼結体        １２、１５ｃ、１８、２５ｃ  内側管部の成形部        １３ａ、１３ｂ、１５ａ、１５ｂ、１７Ａ、１７Ｂ、２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂ  接続部の成形部        １３ｃ、１４、１６、２６ｃ  外側管部の成形部        ２１、２１Ａ  第二の発明に係るセッター        ３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ  組み立て体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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