(57)【要約】【課題】  基板検査装置において基板を撮像する撮像装置の移動によってもがたつきを生じないようにする。【解決手段】  基台１０を３つの支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６によって床面に支持する構成とする。支持脚は、基板Ｐの搬送方向に互いに離間して配置される一対の後側支持脚７５Ａ，７５Ｂと、基板Ｐの搬送方向と直交する方向に見て両後側支持脚７５Ａ，７５Ｂ間に配置される前側支持脚７６とからなる。テーブル５０は、前側支持脚７６を通り且つ基板Ｐの搬送方向と直交する方向に延びる直線８０上を移動する。撮像装置６５は、前側支持脚７６よりも後側支持脚７５Ａ，７５Ｂに近い位置を基板Ｐの搬送方向に移動する。【選択図】      図５
2005210021.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台に、搬入された基板を載置するためのテーブルと、この基板を撮像するための撮像装置を上記基台に対して移動させる駆動装置とが設けられた基板検査装置であって、
上記基台は、三角形状に配置された３つの支持脚によって床面に支持されており、
上記支持脚は、上記基板の搬送方向に互いに離間して配置される一対の第１支持脚と、上記基板の搬送方向に直交する方向に見て上記両第１支持脚間に配置される１つの第２支持脚とからなり、
上記テーブルは、上記第２支持脚を通り且つ上記基板の搬送方向と直交する方向に延びる直線上を上記基台に対して移動可能に構成され、
上記撮像装置は、上記第２支持脚よりも第１支持脚に近い位置を上記基板の搬送方向に移動するように配置されていることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
上記直線方向における第１支持脚と第２支持脚との距離は、第１支持脚間の距離よりも長く設定されていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
上記駆動装置は、上記撮像装置が、上方から見たときに上記３つの支持脚によって形成される三角形の重心位置を通過するように配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板等の検査に適用される基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、基板検査装置として下記特許文献１に開示されているように、架台の上にプリント基板を搬送するレールを配置するとともにこのレールと平行な方向にセンサヘッドを移動させてプリント基板の検査を行うようにしたものが知られている。具体的に、この検査装置では、アングル材を用いて立方体形状に組むことにより架台が構成され、この架台は、その四隅に設けられた高さ調整自在なボルトを有する足形支持体によって支持されている。一方、架台には防振ゴム等の振動吸収体を有する振動防止部材を介在させて上記レールと直交する方向に延びるように設けられた支持体が締結されており、この支持体は、上記センサヘッドをレールと平行な方向に移動させる走査移動手段をその両端で支持している。
【特許文献１】特開２００１−１５３６４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記基板検査装置は、架台を四隅の足形支持体によって支持する構造であるので、以下のような問題点があった。
【０００４】
すなわち、足形支持体のボルトによって同検査装置の設置位置で高さ調整を行う必要があるが、この設置位置での調整作業は設置スペース等の関係で煩雑な作業となっている。
【０００５】
また、高さ調整が完璧でないと、架台を構成するフレームが歪むこととなるが、このようにフレームが歪んだとしても設置床に対するフレームのがたつきを除去するのは困難である。つまり、３個所の足形支持体が設置床に当接した状態となるために、１個所の足形支持体と設置床との間に隙間ができてしまう。この場合において、走査移動手段が稼動してセンサヘッドが移動し、これにより起振力が作用すると、隙間のある足形支持体とこの対角の足形支持体とが交互に設置床に衝突するローリングが発生してしまう。このように、設置床への足形支持体の衝突による衝撃を受けると、架台と支持体との間に振動防止部材を介在させているとしても、センサヘッドによるプリント基板の検査位置に微妙なずれが生ずる虞がある。
【０００６】
さらに、振動防止部材を配設する必要があるので、その分部品点数が増加し、コスト上昇の要因となっている。
【０００７】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、基板検査装置において基板を撮像する撮像装置の移動によってもがたつきを生じないようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するため、本発明は、基台に、搬入された基板を載置するためのテーブルと、この基板を撮像するための撮像装置を上記基台に対して移動させる駆動装置とが設けられた基板検査装置であって、上記基台は、三角形状に配置された３つの支持脚によって床面に支持されており、上記支持脚は、上記基板の搬送方向に互いに離間して配置される一対の第１支持脚と、上記基板の搬送方向に直交する方向に見て上記両第１支持脚間に配置される１つの第２支持脚とからなり、上記テーブルは、上記第２支持脚を通り且つ上記基板の搬送方向と直交する方向に延びる直線上を上記基台に対して移動可能に構成され、上記撮像装置は、上記第２支持脚よりも第１支持脚に近い位置を上記基板の搬送方向に移動するように配置されているものである。
【０００９】
この基板検査装置によると、基台を３個所で支持するようにしているので、床面の平面度によらず基台にがたつきが発生するのを阻止することができる。そして、テーブルが上記直線線上を移動する構成とするとともに撮像装置が上記第２支持脚よりも第１支持脚に近い位置を基板の搬送方向即ち両第１支持脚を結ぶ方向に移動する構成としているので、基台を３個所で支持する構成でありながらテーブル及び撮像装置の移動によっても基台を安定して支持することができる。
【００１０】
また、上記基板検査装置において、上記直線方向における第１支持脚と第２支持脚との距離は、第１支持脚間の距離よりも長く設定されているのが好ましい。
【００１１】
この構成によると、上記直線方向における第１支持脚と第２支持脚との距離が第１支持脚間の距離よりも長くなるようにしているので、３つの支持脚で基台を安定して支持しつつテーブル及び撮像装置を上記方向にそれぞれ移動可能に配置することができる。
【００１２】
また、上記基板検査装置において、上記駆動装置は、上記撮像装置が、上方から見たときに上記３つの支持脚によって形成される三角形の重心位置を通過するように配置されているのが好ましい。
【００１３】
この構成によると、撮像装置が支持脚によって形成される三角形の重心位置の上方を通過するように駆動装置が配置されているので、より安定した基台の支持構造を実現することができる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明に係る基板検査装置によれば、基台を３個所で支持する構成とし、テーブルが第２支持脚を通り且つ両第１支持脚を結ぶ方向と直交する方向に延びる直線上を移動可能に構成するとともに駆動装置をテーブルよりも第１支持脚寄りに配置して撮像装置が両第１支持脚を結ぶ方向に移動する構成としているので、基台のがたつきを防止し且つテーブル及び撮像装置の移動によっても基台を安定して支持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】
図１から図３はそれぞれ本実施形態に係る基板検査装置の外観を示している。図１は同検査装置の正面図であり、また図２は同検査装置の側面図であり、また図３は同検査装置の上面図である。検査装置本体１は、基台１０（図４及び図５参照）の前面、上面、後面及び左右側面にそれぞれカバー５，６，７，８，９が被せられており、全体として略直方体形状に構成されるとともに、その上面における前部が傾斜した構成とされている。
【００１７】
上面カバー５には図２に示すように開閉蓋５ａが設けられており、この開閉蓋５ａを開放することにより、検査対象としての例えばプリント基板の検査作業領域が露出するようになっている。また、前面カバー６の前側には、この検査装置本体１による基板検査処理の操作を行うためのキーボード等からなる入力装置３が配置されている。この入力装置３は、前面カバー６から前方に向かって延出するアーム６ａ上に設置されている。一方、左右の側面カバー８，９には、矩形状の開口部８ａ，９ａがそれぞれ対応する位置に形成されている。このうち装置右側（図１における左側）の側面カバー８に設けられた開口部８ａは、プリント基板を上記検査作業領域へ搬送する搬入部を挿通するためのものであり、装置左側（図１における右側）の側面カバー９に設けられた開口部（図示省略）は、プリント基板を上記検査作業領域から外部へ搬送する搬出部を挿通するためのものである。これら搬入部及び搬出部の詳細については後述する。
【００１８】
検査装置本体１の基台１０は、図４及び図５に示すように、略直方体形状に形成されるとともにその内部が中空状に形成されている。この基台１０上には基板搬送装置２が設けられ、プリント基板Ｐ（以下、基板Ｐという）がこの基板搬送装置２の後記コンベアに沿って搬送されるようになっている。なお、当実施形態では、上記コンベアによる基板Ｐの搬送方向（図５で左右方向）をＸ軸方向、水平面上でＸ軸と直交する方向（図５で上下方向）をＹ軸方向という。そして、以下の説明では、図５において、その下側を装置前側、上側を装置後側、左側を装置右側、右側を装置左側として説明を行うことにする。
【００１９】
基板Ｐは基板搬送装置２のコンベアに沿って装置右側から検査装置本体１に搬入され、基台１０の略中央に設けられた検査作業領域において検査処理に供された後、装置左側から次工程に搬出される（同図中の白抜き矢印方向）。基板搬送装置２のコンベアは、互いに平行な一対のベルトコンベアから構成されている。
【００２０】
基板搬送装置２は、それぞれ一対のベルトコンベアを備えたＸ軸方向に並ぶ３つの構成部分、具体的には、装置右側（基板Ｐの搬送方向上流側）から順に、ベルトコンベア２０Ａ，２１Ａを備えた搬入部２Ａ、ベルトコンベア２０Ｂ，２１Ｂを備えた可動部２Ｂおよびベルトコンベア２０Ｃ，２１Ｃを備えた搬出部２Ｃの３つの構成部分を有しており、これら各部２Ａ〜２Ｃの各コンベア２０Ａ，２１Ａ‥（コンベア２０Ａ，２１Ａ等と略す）等により基板Ｐの両端（Ｙ軸方向両端）を支持した状態で該基板Ｐを搬送するようになっている。
【００２１】
搬入部２Ａにおいては、前側のコンベア２０Ａが基台１０上に固定的に設けられる一方、後側のコンベア２１Ａが図略のモータでＹ軸方向に移動可能に設けられている。つまり、前側のコンベア２０Ａに対して後側のコンベア２１Ａを移動させることにより基板Ｐのサイズに対応できるようになっている。
【００２２】
コンベア２０Ａ，２１Ａには、図４に示すように駆動プーリ２３、従動プーリ２２が所定の配列で設けられており、基板Ｐを搬送するための搬送ベルト２４がこれらプーリ２２，２３に亘って装着されている。駆動プーリ２３は、後述のテーブル５０に固定された駆動用モータ３７によってベルト、伝動シャフト３５等を介して駆動されるようになっている。
【００２３】
一方、搬出部２Ｃは、搬入部２Ａとほぼ同様に構成されている。すなわち、搬出部２Ｃは、後側のコンベア２１ＣがＹ軸方向に移動可能に設けられるとともに、コンベア２０Ｃ，２１Ｃは所定の位置に配置された駆動プーリ２３、従動プーリ２２に搬送ベルト２４が巻き掛けられた構成とされ、駆動プーリ２３が図示省略したベルトを介して上記駆動用モータ３７に連結されていて、搬入部２Ａのコンベア２０Ａ，２１Ａと連動して駆動されるようになっている。
【００２４】
可動部２Ｂは、上記検査作業領域内に配置され、かつＹ軸方向に基板Ｐを移動させ得るように構成されている。
【００２５】
以下、具体的に説明する。可動部２Ｂは、基板Ｐを載置するためのテーブル５０を有している。このテーブル５０は、基台１０の台面１０ａ上に固定されたＹ軸方向に延びる一対のガイドレール５３に沿って移動可能とされている。
【００２６】
テーブル５０には、基台１０上に回転可能に支持されたＹ軸方向に延びるボールねじ軸５５（図５参照）が螺合装着されている。このボールねじ軸５５は基台１０に固定されるモータ５４の出力軸に連結されており、従って、このモータ５４によりボールねじ軸５５が回転駆動されると、テーブル５０がガイドレール５３に沿ってＹ軸方向に移動するようになっている。
【００２７】
このテーブル５０上に一対のコンベア２０Ｂ，２１Ｂが設けられ、そのうちの一方のコンベア２０Ｂはテーブル５０に対して固定され、他方のコンベア２１Ｂはテーブル５０に対しガイドシャフト５７を介してＹ軸方向に移動可能に支持されている。そして、図外のモータで駆動されて後側のコンベア２１Ｂが移動することにより、コンベア２０Ｂ，２１Ｂの間隔が変化して、基板Ｐのサイズ変更に対応し得るようになっている。
【００２８】
可動部２Ｂの各コンベア２０Ｂ，２１Ｂには、図示省略しているが駆動プーリと複数の従動プーリが所定の配列で設けられており、基板Ｐを搬送するための搬送ベルトがこれらプーリに亘って装着されている。各コンベア２０Ｂ，２１Ｂの駆動プーリは、伝動シャフト（図示省略）等を介し、上記駆動用モータ３７により駆動されるようになっている。また、各コンベア２０Ｂ，２１Ｂは、テーブル５０が装置前端に位置付けられたときにこの駆動用モータ３７と連動して駆動するようになっている。なお、駆動用モータ３７は正逆回転可能なモータによって構成されており、このモータ３７の回転方向を反転させることで基板Ｐの搬送方向を反転させることができるようになっている。これにより、例えば基板検査装置の配置の関係上、装置左側から装置右側へと基板Ｐを搬送する必要が生ずる場合にも対処可能となっている。
【００２９】
基台１０の台面１０ａには門型の支持台６０が立設されている。この支持台６０は基台１０の前後方向（図５における上下方向）における中央部に対してやや後寄りの位置に設けられており、この支持台６０は左右方向（図５における左右方向）の両端部からそれぞれ起立する脚柱部６１と、この脚柱部６１の上端部同士を橋渡す梁部６２とからなる。
【００３０】
支持台６０には、基板Ｐを撮像するための撮像装置６５と、この撮像装置６５を支持台６０に沿って移動するための駆動装置６６とが設けられている。この駆動装置６６は、支持台６０の梁部６２上に設置されたモータ６８と、このモータ６８の出力軸に連結され且つ左右方向に延びるボールねじ軸６９と、このボールねじ軸６９と平行に梁部６２上に設置された一対のガイドレール７０とを有する。モータ６８は、梁部６２の端部に配置されており、本実施形態では基台１０の左端部に配置されている。そして、ボールねじ軸６９は、このモータ６８の右端部から基台１０の右端部に亘って配置されている。
【００３１】
一方、撮像装置６５は、上記ボールねじ軸６９に螺合装着された支持フレーム７１と、この支持フレーム７１に装着されたカメラ装着部７２とを備えている。このカメラ装着部７２には、基板Ｐを撮像するためのカメラが固定されている。支持フレーム７１は、モータ６８が駆動することにより、上記ガイドレール７０に沿ってＸ軸方向に走行する。この支持フレーム７１の走行範囲は、ボールねじ軸６９の配置されている範囲であり、上記検査作業領域のほぼ全範囲となっている。
【００３２】
基台１０は設置床面Ｆに対して３つの支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６によって支持されている。この支持脚は、Ｘ軸方向に互いに離間して配置される一対の第１支持脚としての後側支持脚７５Ａ，７５Ｂと、第２支持脚としての１つの前側支持脚７６とからなる。後側支持脚７５Ａ，７５Ｂは、基台１０の後側に配置されるものであり、前側支持脚７６は基台１０の前側で配置されるものである。換言すると、後側支持脚７５Ａ，７５Ｂと前側支持脚７６とは、基台１０の前後方向にずれた位置に配置されている。
【００３３】
各後側支持脚７５Ａ，７５Ｂは、基台１０の後端部における左右両端部近傍にそれぞれ配置されている。一方、前側支持脚７６は、基台１０の前端部においてＹ軸方向に見て両後側支持脚７５Ａ，７５Ｂ間に配置されている。そして、本実施形態では、前側支持脚７６は、Ｙ軸方向に見て両後側支持脚７５Ａ，７５Ｂ間の中央部に位置している。つまり、これら支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６は、両後側支持脚７５Ａ，７５Ｂを結ぶ線に対して直交する方向、即ちＹ軸方向に延び、かつ、前側支持脚７６を通る直線８０が、後側支持脚７５Ａ，７５Ｂ間の中央部を通るような配置となっている。したがって、これら支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６は、図５に示すように、上方から見て二等辺三角形を形成するような配置となっている。
【００３４】
ここで、これら支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６とテーブル５０と支持台６０との位置関係について図５を参照しながら説明する。支持台６０は、撮像装置６５が前側支持脚７６よりも後側支持脚７５Ａ，７５Ｂに近い位置をＸ軸方向に移動するように配置されている。具体的に、支持台６０は、撮像装置６５が、上方から見たときに３つの支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６によって構成される二等辺三角形の重心Ｇ位置を通るように配置されていて、撮像装置６５は、上記直線８０上において前側支持脚７６よりも両後側支持脚７５Ａ，７５Ｂを結ぶ直線と当該直線８０との交点に近い位置を通過する。
【００３５】
これに対し、テーブル５０は、その中央部若しくは一部が上記直線８０上をＹ軸方向に移動するように配置されている。このテーブル５０は、前側のコンベア２０Ｂが前側支持脚７６よりも後方に位置し且つ後側のコンベア２１Ｂが後側支持脚７５Ａ，７５Ｂよりも前方に位置するような範囲内を移動可能となっている。したがって、テーブル５０は、その中央部若しくは一部が前側支持脚７６と両後側支持脚７５Ａ，７５Ｂ間の中央部との間に位置することとなる。
【００３６】
装置左側に配置された後側支持脚７５Ｂは、図６に示すように、基台１０の底部１０ｂに接続される本体部７７と、この本体部７７の下端部に接続される皿状に形成された脚部７８とを有する。本体部７７は、ボルト７７ａと、このボルト７７ａに螺合されるナット７７ｂとからなる。ボルト７７ａは、その上端部から所定範囲に亘ってねじ部７７ｃが形成される一方、下端部７７ｄは球面状に形成されている。一方、基台１０の底部１０ｂには上下方向に貫通するねじ孔１０ｄが形成されたフランジ部１０ｃが設けられており、上記ボルト７７ａは、このフランジ部１０ｃのねじ孔１０ｄとナット７７ｂとに螺合されることにより、基台１０の底部１０ｂからの突出高さが所定高さとなるように位置決めされている。
【００３７】
一方、脚部７８は、皿を伏せた状態に配置される一方、その上面における中央部には、上記ボルト７７ａの下端部７７ｄに対応する球面状に形成された球面凹部７８ａが設けられている。また、脚部７８の中央部には、上端部が球面凹部７８ａの中央部に開口するように貫通孔７８ｂが形成されている。この貫通孔７８ｂは下側ほど拡径したテーパ状に形成されている。そして、ボルト７７ａの下端部７７ｄと脚部７８の球面凹部７８ａとを当接させて脚部７８の貫通孔７８ｂに締結具７９を挿通し、この締結具７９の先端部をボルト７７ａの下端部７７ｄに螺合している。このとき、脚部７８の貫通孔７８ｂが下側ほど拡径したテーパ状に形成されることで、脚部７８はボルト７７ａの下端部７７ｄを中心として揺動可能となっている。
【００３８】
図６は装置左側に配置された後側支持脚７５Ｂの構成を示しているが、装置右側に配置された後側支持脚７５Ａ及び前側支持脚７６の構成も同一の構成となっている。したがって、各支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６は、これら各支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６が設置される床面Ｆが平面となっていない場合でも、この床面Ｆの傾きに応じて脚部７８が揺動することにより床面Ｆの傾きを吸収する構成となっている。
【００３９】
基板検査作業に際しては、まず基板搬送装置２の作動により基板Ｐが搬入部２Ａから可動部２Ｂへと搬送され、この基板Ｐは基板搬送装置２の可動部２Ｂにおける所定位置に位置決め固定される。このとき、基板搬送装置２のテーブル５０は、ホームポジション、すなわち可動部２Ｂのコンベア２０Ｂ，２１Ｂと、搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃのコンベア２０Ａ，２１Ａ等とが横並びとなる位置にセットされており、これにより可動部２Ｂに対して基板Ｐの搬送が可能となっている。
【００４０】
そして、基板Ｐがテーブル５０に位置決め固定された状態で、モータ５４，６８等が制御されることにより、基板Ｐが固定されているテーブル５０がＹ軸方向に移動し、かつ撮像装置６５がＸ軸方向に移動する。これにより、基板Ｐに装着された各部品の撮像が行われ、撮像結果に基づいた基板Ｐの検査が行われる。そして、検査が完了すると、テーブル５０がホームポジションにリセットされ、基板Ｐが搬出部２Ｃを介して次工程へと搬出される。
【００４１】
以上説明したように、本実施形態に係る基板検査装置によれば、基台１０を３個所の支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６で支持するようにしているので、設置床面Ｆの平面度によらず基台１０にがたつきが発生するのを阻止することができる。そして、テーブル５０が上記直線８０上を移動する構成とするとともに、撮像装置６５が前側支持脚７６よりも後側支持脚７５Ａ，７５Ｂに近い位置を基板Ｐの搬送方向即ち両後側支持脚７５Ａ，７５Ｂを結ぶ方向に移動する構成としているので、基台１０を３個所で支持する構成でありながらテーブル５０及び撮像装置６５の移動によっても基台１０を安定して支持することができる。
【００４２】
また、本実施形態では、Ｙ軸方向における後側支持脚７５Ａ，７５Ｂと前側支持脚７６との距離が後側支持脚７５Ａ，７５Ｂ間の距離よりも長くなるように設定しているので、３つの支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６で基台１０を安定して支持しつつテーブル５０及び撮像装置６５を移動可能に配置することができる。
【００４３】
また、本実施形態では、撮像装置６５が支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６によって形成される三角形の重心Ｇ位置の上方を通過するように駆動装置６６が配置されているので、より安定した基台１０の支持構造を実現できている。
【００４４】
尚、本実施形態では、上記直線８０が両後側支持脚７５Ａ，７５Ｂ間の中央部を通るような位置関係に支持脚７５Ａ，７５Ｂ，７６を配置する構成としたが、これに限られるものではなく、前側支持脚７６がＹ軸方向に見て両後側支持脚７５Ａ，７５Ｂ間に配置される構成であればよい。
【００４５】
また、本実施形態では、基台１０を１つの前側支持脚７６と一対の後側支持脚７５Ａ，７５Ｂとよって支持する構成としたが、これに代え、基台１０を一対の前側支持脚と、１つの後側支持脚とによって支持する構成としてもよい。この場合、撮像装置６５は、後側支持脚よりも前側支持脚に近い位置を移動する構成とすることが必要となる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施形態に係る基板検査装置の正面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板検査装置の側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る基板検査装置の平面図である。
【図４】上記基板検査装置の基台の全体構成を示す正面図（一部断面図）である。
【図５】上記基板検査装置の基台の全体構成を示す平面図である。
【図６】装置左側に配置された後側支持脚の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０    基台
５０    テーブル
６５    撮像装置
６６    駆動装置
７５Ａ  後側支持脚（第１支持脚）
７５Ｂ  後側支持脚（第１支持脚）
７６    前側支持脚（第２支持脚）
８０    直線
【図１】
2005210021.tif 000003
【図２】
2005210021.tif 000004
【図３】
2005210021.tif 000005
【図４】
2005210021.tif 000006
【図５】
2005210021.tif 000007
【図６】
2005210021.tif 000008