(57)【要約】【課題】真空積層装置において減圧空間で膜体により加圧された中間積層品を、後工程に配設された平坦化プレス装置により加圧を行なう積層板の積層装置において、平坦化プレス装置における熱板同士の平行度、および中間積層品に対する加圧力が均一にならず、積層成形された積層板の厚さが均一にならないという問題を解決する。【解決手段】 減圧空間において膜体７により積層材Ａ１と被積層材Ａ２とを加圧し中間積層品Ａ３を成形する真空積層装置１と、真空積層装置１の後工程に配設され、中間積層品Ａ３を加圧する平坦化プレス装置２とからなる積層板の積層装置において、平坦化プレス装置２に、熱板１４が配設された固定盤１１と、熱板１５が配設され固定盤１１に相対向する可動盤１３と、熱板１４，１５間において中間積層品Ａ３を加圧する複数の加圧機構１７，２２，２４と、複数の加圧機構をニ以上に分けて別個に制御する制御機構２７とを備える。  【選択図】 図１
2005066967.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧空間において膜体により積層材と被積層材とを加圧し中間積層品を成形する真空積層装置と、
該真空積層装置の後工程に配設され、
前記中間積層品を加圧する平坦化プレス装置とからなる積層板の積層装置において、
前記平坦化プレス装置には、
熱板が配設された固定盤と、
熱板が配設され前記固定盤に相対向する可動盤と、
前記熱板間において前記中間積層品を加圧する複数の加圧機構と、
前記複数の加圧機構をニ以上に分けて別個に制御する制御機構とが備えられたことを特徴とする積層板の積層装置。
【請求項２】
減圧空間において膜体により積層材と被積層材とを加圧し中間積層品を成形する真空積層装置と、
該真空積層装置の後工程に配設され、
前記中間積層品を加圧する平坦化プレス装置とからなる積層板の積層装置において、
前記平坦化プレス装置には、
熱板が配設された固定盤と、
熱板が配設され前記固定盤に相対向する可動盤と、
前記熱板間において前記中間積層品を加圧する複数の加圧機構と、
前記複数の加圧機構を選択的に作動させる制御機構とが備えられたことを特徴とする積層板の積層装置。
【請求項３】
減圧空間において膜体により積層材と被積層材とを加圧し中間積層品を成形する真空積層装置と、
該真空積層装置の後工程に配設され、
前記中間積層品を加圧する平坦化プレス装置とからなる積層板の積層装置において、
前記平坦化プレス装置には、
熱板が配設された固定盤と、
熱板が配設され前記固定盤に相対向する可動盤と、
該可動盤における対角線の交点付近に配設される第一の加圧機構と、
前記可動盤の前記対角線の交点付近と前記可動盤の隅部との間の、加圧される中間積層品に対して平面投影視オーバーラップした位置に配設される第二の加圧機構とが備えられていることを特徴とする積層板の積層装置。
【請求項４】
前記平坦化プレス装置の第一の加圧機構は、
主シリンダの主シリンダ室に可動盤を進退させる主ラムを挿嵌し、
該主ラムにブースタシリンダを配設したブースタシリンダ機構であることを特徴とする請求項３に記載の積層板の積層装置。
【請求項５】
前記平坦化プレス装置の第二の加圧機構は、
別個に制御される四のシリンダからなることを特徴とする請求項３または請求項４に記載の積層板の積層装置。
【請求項６】
前記請求項３に記載の積層板の積層装置を用い、
加圧される中間積層品に応じて、
前記平坦化プレス装置における第一の加圧機構と第二の加圧機構の加圧力を別個に制御して中間積層品を加圧することを特徴とする積層板の積層方法。
【請求項７】
前記請求項３に記載の積層板の積層装置を用い、
前記平坦化プレス装置における第一の加圧機構により可動盤を移動させ、
前記中間積層品を熱板により挟持させた後、
第一の加圧機構と第二の加圧機構により前記中間積層品を加圧することを特徴とする積層板の積層方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空積層装置において減圧空間で膜体により加圧された中間積層品を、後工程に配設された平坦化プレス装置により加圧して積層板を成形する、積層板の積層装置および積層方法に関するものであり、特には積層板の板厚を均一化することを目的とした平坦化プレス装置を有する積層板の積層装置および積層方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空積層装置において膜体により加圧された中間積層品を、平坦化プレス装置により加圧して積層板を成形する積層装置については、特許文献１に記載されたものが知られている。しかし特許文献１に記載されたものは、平坦化プレス機２の平坦化熱盤２Ｂの下面中央に固着された油圧シリンダ２２のピストンロッド２３により、製品４’の中央部を加圧するものであるので、製品４’の中央部と周辺部との加圧力が不均一になるとともに、平坦化熱盤２Ａ，２Ｂ間の平行度が保たれにくいという問題があった。よって平坦化プレス機２によって加圧される製品４’の板厚が完全に均一にならないという問題があった。
【０００３】
また同様に真空積層装置の後工程に平坦化プレス装置を設けたものについては、特許文献２に記載されたものが知られている。特許文献２に記載されたものは、平面プレス装置９に複数のシリンダ１１が設けられ、シリンダ１１と下部プレスブロック８とが首振り可能な支持点ジョイント１０により接続されており、前記複数のシリンダ１１により積層体５の加圧を行なうものである。しかし特許文献２に記載のものは、シリンダ１１に対して下部プレスブロック８が首振り可能に取付けられており、下部プレスブロック８によって積層体５を面ならい加工するものであるので、上部プレスブロック７と下部プレスブロック８との平行度を保つことができず、積層成形される積層体５の厚さが完全に均一にならないという問題があった。また特許文献２に記載のものは、すべてのシリンダを一括して制御するものであるので、微妙な加圧力を調整することが困難であった。
【特許文献１】特開２００２−１２０１００号公報（００２４、図１）
【特許文献２】特開２００２−３６２７２号公報（００１０ないし００３９、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで本発明は、真空積層装置において減圧空間で膜体により加圧された中間積層品を、後工程に配設された平坦化プレス装置により加圧を行なう積層板の積層装置において、平坦化プレス装置における熱板同士の平行度、および中間積層品に対する加圧力が均一にならず、積層成形された積層板の厚さが均一にならないという問題を解決する積層板の積層装置および積層方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の請求項１に記載の積層板の積層装置は、減圧空間において膜体により積層材と被積層材とを加圧し中間積層品を成形する真空積層装置と、真空積層装置の後工程に配設され、中間積層品を加圧する平坦化プレス装置とからなる積層板の積層装置において、平坦化プレス装置には、熱板が配設された固定盤と、熱板が配設され固定盤に相対向する可動盤と、熱板間において中間積層品を加圧する複数の加圧機構と、複数の加圧機構をニ以上に分けて別個に制御する制御機構とが備えられていることを特徴とする。
【０００６】
本発明の請求項２に記載の積層板の積層装置は、真空積層装置とその後工程に配設され中間積層品を加圧する平坦化プレス装置とからなる積層板の積層装置において、平坦化プレス装置には、熱板が配設された固定盤と、熱板が配設され固定盤に相対向する可動盤と、熱板間において中間積層品を加圧する複数の加圧機構と、複数の加圧機構を選択的に作動させる制御機構とが備えられていることを特徴とする。
【０００７】
本発明の請求項３に記載の積層板の積層装置は、真空積層装置とその後工程に配設され中間積層品を加圧する平坦化プレス装置とからなる積層板の積層装置において、平坦化プレス装置には、熱板が配設された固定盤と、熱板が配設され固定盤に相対向する可動盤と、可動盤における対角線の交点付近に配設される第一の加圧機構と、可動盤の対角線の交点付近と前記可動盤の隅部との間の、加圧される中間積層品に対して平面投影視オーバーラップした位置に配設される第二の加圧機構とが備えられていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項４に記載の積層板の積層装置は、請求項３において、平坦化プレス装置の第一の加圧機構は、主シリンダの主シリンダ室に可動盤を進退させる主ラムを挿嵌し、主ラムにブースタシリンダを配設したブースタシリンダ機構であることを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項５に記載の積層板の積層装置は、請求項３または請求項４において、平坦化プレス装置の第二の加圧機構は、別個に制御される四のシリンダからなることを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項６に記載の積層板の積層方法は、 請求項３に記載の積層板の積層装置を用い、加圧される中間積層品に応じて、平坦化プレス装置における第一の加圧機構と第二の加圧機構の加圧力を別個に制御して中間積層品を加圧することを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項７に記載の積層板の積層方法は、 請求項３に記載の積層板の積層装置を用い、平坦化プレス装置における第一の加圧機構により可動盤を移動させ、中間積層品を熱板により挟持させた後、第一の加圧機構と第二の加圧機構により中間積層品を加圧することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、積層板の積層装置における平坦化プレス装置に複数の加圧機構を設け、前記複数の加圧機構をニ以上に分けて別個に制御機構により制御するようにしたので、中間積層品に対して加圧を行なう熱板同士の平行度を高めることができ、よって成形された積層板の厚さをより均一な状態に近づけることができる。また加圧される中間積層品に応じて加圧力の微調整をより容易に行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施形態について図１ないしは図５を参照して説明する。図１は、本発明の積層板の積層装置を示す概略図である。図２は、本発明の平坦化プレス装置における可動盤、熱板、中間積層品、および各シリンダの配置を示す平面図である。図３は、本発明の平坦化プレス装置における油圧回路を示す図である。図４は本発明の平坦化プレス装置を用いたテスト結果である。図５は従来の平坦化プレス装置を用いたテスト結果である。
【００１４】
図１に示されるように、積層板の積層装置には、真空積層装置１が配設され、その後工程側に平坦化プレス装置２が配設されている。また真空積層装置１の前工程側には、フィルム供給機構３が配設されている。そして積層材Ａ１と被積層材Ａ２とが重ねられた板状体は、前記フィルム供給機構３から供給されるキャリアフィルム４の上に載置され、真空積層装置１に搬送されるようになっている。真空積層装置１は、公知のラミネータであって、相対向する上盤５および下盤６との間には、外部と隔絶した上で図示しない減圧手段により減圧される減圧空間が形成可能となっている。また前記上盤５および下盤６には、図示しない加熱手段であるヒータが配設されている。更に前記上盤５および下盤６の少なくとも一方には、シリコンゴム等からなり、図示しないエア供給手段により膨出される膜体７が配設されている。そして前記膜体７の膨出により、前記減圧空間に搬入される積層材Ａ１と被積層材Ａ２とが重ねられた板状体が加圧され、中間積層品Ａ３に成形可能となっている。
【００１５】
真空積層装置１により成形された前記中間積層品Ａ３は、フィルム把持搬送機構８およびフィルム回収機構９によりキャリアフィルム４が引っ張られることにより、キャリアフィルム４とともに、真空積層装置１の後工程に配設された平坦化プレス装置２に搬送される。平坦化プレス装置２では、前記中間積層品Ａ３に加圧を行ない、板厚の略均一な積層板Ａ４に積層成形する。平坦化プレス装置２は、略矩形のベース盤１０と上盤である略矩形の固定盤１１の間に４本のタイバー１２が立設され、前記タイバー１２には、下盤である略矩形の可動盤１３が摺動可能に配設されている。また可動盤１３は、固定盤１１に相対向して配設され、後述する加圧機構により固定盤１１に対して近接・離間移動可能となっている。
【００１６】
固定盤１１および可動盤１３における相対向する面にはそれぞれ略矩形の熱板１４，１５が配設されている。熱板１４，１５は、詳細については図示しないが、盤に固着される側から順に、断熱板、カートリッジヒータが埋設された熱板部、クッション板、およびステンレス板からなる鏡面板からなっている。そして互いに相対向する熱板１４，１５の鏡面板間の平行度は極めて高くなるよう構成されている。また平坦化プレス装置２には、可動盤１３が上昇された際に、熱板１４，１５の間に中間積層品Ａ３が挟持されたことを検出するリミットスイッチ３５が取付けられている。
【００１７】
次に平坦化プレス装置２の加圧機構について説明する。平坦化プレス装置２には、熱板１４，１５間において中間積層品Ａ３を略均等に加圧可能な複数の加圧機構が配設されている。ベース盤１０の略中央には第一の加圧機構であるブースタシリンダ機構１６の主シリンダ１７が固着されている。ブースタシリンダ機構１６自体は公知のものであって、主シリンダ１７の内部にはピストン１８が摺動可能に配設され、ピストン１８のシリンダ側（下方）には、主シリンダ室１９が形成されている。また前記ピストン１８の反シリンダ側（上方）には、副シリンダ室２０が形成され、前記ピストン１８の反シリンダ側中央には昇降可能であって可動盤１３を進退させる主ラム２１が固着されている。主ラム２１は、主シリンダ室１９に対して摺動可能に挿嵌され、主ラム２１の反シリンダ側の端部２１ａは、可動盤１３の裏面における対角線Ｄの交点Ｐ付近に固着されるよう配設されている。そして主ラム２１の内部の軸芯部には主シリンダ室１９とは別の加圧機構であるブースタシリンダ２２が穿設されている。そしてまた主シリンダ１７の主シリンダ室１９の下方側軸芯部には、ブースタシリンダ内筒部２３が固着され、前記ブースタシリンダ内筒部２３は、前記ブースタシリンダ２２に摺動可能に内挿されている。よってブースタシリンダ２２と主シリンダ室１９とは、前記ブースタシリンダ内筒部２３によって区画されている。本実施形態では上記構成により、ブースタシリンダ２２のシリンダ内径（加圧面積）は、主シリンダ１７のピストン面積（加圧面積）の１／９程度となっている。
【００１８】
また図１、図２に示されるように、ベース盤１０におけるブースタシリンダ機構１６の周囲には、第二の加圧機構であるサブシリンダ２４が四本配設されている。サブシリンダ２４は、シリンダ部２５がベース盤１０に固着され、ロッド部２６が、可動盤１３の対角線Ｄの交点付近Ｐと前記可動盤１３の隅部Ｃ（面取されている場合を含む）との間の部分にそれぞれ固着されるよう配設されている。そして前記サブシリンダ２４のロッド部２６が固着される位置は、可動盤１３に配設された熱板１５の周辺部１５ａおよび加圧される中間積層品Ａ３と、平面投影視オーバーラップした位置である。よってサブシリンダ２４は、熱板１５に当接される中間積層品Ａ３に対して直接的に垂直方向から加圧力が及ぶよう設けられている。また本実施形態では四のサブシリンダ２４のピストン面積の合計は、主シリンダ１７のピストン面積の１／２程度となっている。そしてこのように加圧機構であるブースタシリンダ２２、主シリンダ１７、およびサブシリンダ２４は、可動盤１３の対角線Ｄの交点付近Ｐを中心に、平面視同心円状に配設されていることになる。
【００１９】
次に図３により本発明の平坦化プレス装置２における第一の加圧機構、第二の加圧機構の油圧回路について説明する。平坦化プレス装置２では、複数の加圧機構であるシリンダ１７，２２，２４をニ以上の制御系統に分けて、制御系統ごとに別個に制御する制御機構２７が配設されている。可変ポンプ２８からの管路は、ブースタシリンダ機構１６の主シリンダ１７およびブースタシリンダ２２を作動させる管路２９，３０と、サブシリンダ２４を作動させる管路３１の三系統にそれぞれ分岐されている。ブースタシリンダ機構１６の主シリンダ１７への管路２９には、可変ポンプ２８側から順に、主シリンダ１７の作動を制御する電磁比例レデューシングバルブ２９ａと、三位置四ポート一部クローズセンタ式の電磁切換バルブ２９ｂが配設されている。そして前記電磁切換バルブ２９ｂのＢポートは、主シリンダ１７の主シリンダ室１９に接続されるとともに、主シリンダ室１９の油圧を検出する圧力センサ２９ｃが配設されている。またＡポートは、主シリンダ１７の副シリンダ室２０に接続されている。更にＰポートは前記管路２９を介して可変ポンプ２８に接続され、Ｔポートは、タンク３２に接続されている。そして前記電磁切換バルブ２９ｂのソレノイド２９ｂ１，２９ｂ２それぞれ非励磁状態で、センタ位置にあるとき、Ａ，Ｂ，Ｔポートがそれぞれ接続され、Ｐポートがクローズ位置となるよう設けられている。
【００２０】
またブースタシリンダ機構１６のブースタシリンダ２２への管路３０には、可変ポンプ２８側から順に、ブースタシリンダ２２の作動を制御する電磁比例レデューシングバルブ３０ａと、ニ位置四ポート一部クローズ式の電磁切換バルブ３０ｂが配設されている。そして前記電磁切換バルブ３０ｂのＡポートは、ブースタシリンダ２２に接続され、ブースタシリンダ２２の油圧を検出する圧力センサ３０ｃが配設されており、Ｔポートはタンク３２に接続されている。そして前記電磁切換バルブ３０ｂのソレノイド３０ｂ１が非励磁状態のときに、ＡポートとＴポートが接続され、Ｐポートがクローズ位置となるよう設けられている。
【００２１】
またサブシリンダ２４への管路３１についても、可変ポンプ２８側から順に、サブシリンダ２４の作動を制御する電磁比例レデューシングバルブ３１ａと、ニ位置四ポート一部クローズ式の電磁切換バルブ３１ｂが配設されている。そして電磁切換バルブ３１ｂのＢポートはサブシリンダ２４のシリンダ側室３３に接続されるとともに、サブシリンダ２４の油圧を検出する圧力センサ３１ｃが配設されている。また電磁切換バルブ３１ｂのＡポートはロッド側室３４に接続されている。またＰポートは前記管路３１を介して可変ポンプ２８に接続され、Ｔポートはタンク３２に接続されている。そして前記電磁切換バルブ３１ｂのソレノイド３１ｂ１が非励磁状態のときに、Ａ，Ｂ，Ｔポートがそれぞれ接続され、Ｐポートがクローズ位置となるよう設けられている。なお本実施形態では、四のサブシリンダ２４は電磁切換バルブ３１ｂのＡポートからの管路３１が途中で分岐してそれぞれのサブシリンダ２４に作動油が供給されるようになっており、一の制御系統により四のサブシリンダ２４が制御される。そして積層装置における真空積層装置１および平坦化プレス装置２の各種設定値の入力は、図示しないタッチパネルからの入力により行われる。
【００２２】
なお本発明の平坦化プレス装置２については、上記に限定されず、次のようなものであってもよい。平坦化プレス装置２の熱板１４，１５の構成および加熱手段については、固定盤１１および可動盤１３が熱板１４，１５を構成するものであってもよい。更に平坦化プレス装置２の固定盤１１と可動盤１３の配置についても、上方に可動盤が配設され、下方に固定盤が配設されるものでもよく、水平方向に可動盤が移動されるものでもよい。また加圧機構は、油圧機構に限定されず、空気圧機構やサーボモータとボールネジの組合せ等からなる電動機構を用いたものや、それらを併用したものでもよい。また油圧機構を用いる場合においても、電磁比例レデューシングバルブを使用したものに限定されない。またすべての加圧機構が、制御機構により別個に制御されるものであってもよい。その場合、平坦化プレス装置２において加圧された積層板Ａ４の各部の厚さを測定し、各サブシリンダ２４の作動油圧をマニュアルにより微調整するようにしてもよい。また四のサブシリンダ２４にそれぞれサーボバルブを配設し、中間積層品Ａ３の一成形毎に応じて、可動盤１３の四隅の位置および／または四のサブシリンダ２４の圧力を検出して、それぞれのサーボバルブをクローズドループにより別個に制御して可動盤１３の平行制御を行なうようにしてもよい。
【００２３】
次に図１ないし図３により、積層品の積層装置による積層品の積層方法について説明する。本発明に用いられる積層材Ａ１としては、プリント配線基板の積層成形の場合、エポキシ樹脂フィルムが用いられる場合が多いが、フォトレジストフィルムや他の樹脂フィルムであってもよい。またＩＣカード等の積層成形の場合では、積層材としてポリエチレンテレフタレートや、塩化ビニール樹脂が用いられる。そして前記積層材Ａ１が重ねられる被積層材Ａ２としては、プリント配線基板の積層成形の場合、ガラスエポキシのコア基板表面に銅箔等のパターンが形成された凹凸を有する基板が用いられることが多いが、他の材料の基板であってもよい。そして重ねられる積層材Ａ１と被積層材Ａ２の枚数はそれぞれ１枚に限定されない。本実施形態では、積層フィルムと凹凸を有する基板とが重ねられた板状体の厚さは３ｍｍであり、積層成形された積層板Ａ４における許容される平行度の誤差は０．０３０ｍｍである。しかし積層板の積層装置では、厚さは、０．３ｍｍないしは９ｍｍ程度までの板状体の積層成形が可能である。また積層材Ａ１と被積層材Ａ２とが重ねられた板状体については、所定長さの単体の板状体ではなく、帯状に連続した板状体であってもよい。そして上記のような積層材Ａ１と被積層材Ａ２とが重ねられた板状体は、搬入位置においてキャリアフィルム４上に載置され、キャリアフィルム４の移動とともに、真空積層装置１に搬送される。なおキャリアフィルム４については、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリイミド等の樹脂フィルムからなり、キャリアフィルム４の幅は積層材Ａ１および被積層材Ａ２の幅よりも広いものが使用される。
【００２４】
真空積層装置１は、積層材Ａ１と被積層材Ａ２とが重ねられた板状体が搬入されると、上盤５に対して相対向する下盤６が上昇されて、両者の間の成形空間は外部から閉鎖され、図示しない減圧手段により減圧が開始される。同時に積層材Ａ１と被積層材Ａ２とが重ねられた板状体は図示しないヒータにより加熱される。やがて減圧空間が所定の真空度となると、エア供給手段によってシリコンゴム等の膜体７と膜体７が配設された盤の間にエアを送込まれ、膜体７により積層材Ａ１と被積層材Ａ２とが重ねられた板状体が所定時間加圧され、被積層材Ａ２に対して積層材Ａ１が貼付けられた中間積層品Ａ３が成形される。真空積層装置１では、減圧下で、前記膜体７により積層材Ａ１と被積層材Ａ２とが重ねられた板状体に加圧が行われるので、被積層材Ａ２が凹凸を有する基板であってもボイドやしわ等を発生させることなくフィルム状の積層材Ａ１を貼付け可能である。真空積層装置１の膜体７による加圧力は、０．３ＭＰａないしは１ＭＰａ程度であり、所定時間内に中間積層品Ａ３を完全に平坦な状態にすることができず、成形前の基板の凹凸が表面に残った状態の中間積層品Ａ３が積層成形される。なお本実施形態における真空積層装置１による成形時間は６０秒であるが、積層成形される積層材Ａ１または被積層材Ａ２に応じて、４０秒ないし９０秒程度の成形時間が設定される。
【００２５】
真空積層装置１による積層成形が終了すると、真空積層装置１の減圧空間は開放され、キャリアフィルム４によって中間積層品Ａ３が、真空積層装置１における加圧位置から、平坦化プレス装置２における熱板１４，１５間の略中央部の加圧位置に送られる。本実施形態において、平坦化プレス装置２の熱板１４，１５は、それぞれカートリッジヒータにより、１００℃に加熱されている。なお熱板１４，１５の温度は、加圧される中間積層品Ａ３の材料等によって相違するが、成形時には７５℃ないしは１２０℃程度に加熱されている。また例えば塩化ビニール樹脂を用いてＩＣカードの積層成形を行なう場合では、７５℃から８５℃程度に熱板１４，１５が加熱されており、加圧されるＩＣカードがガラス転移温度以下まで降温される。
【００２６】
中間積層品Ａ３が平坦化プレス装置２の加圧位置に搬入され停止されると、平坦化プレス装置２では、可動盤上昇工程（型閉工程）が開始される。可動盤上昇工程では、制御機構２７から信号が第一の加圧機構である主シリンダ１７の電磁切換バルブ２９ｂのソレノイド２９ｂ１に送られ、ソレノイド２９ｂ１が励磁されて、ＰポートとＢポートが接続され、主シリンダ１７に作動油が供給される。また同時にブースタシリンダ２２の電磁切換バルブ３０ｂも制御機構２７からの信号によりソレノイド３０ｂ１が励磁されて、ＰポートとＡポートが接続され、ブースタシリンダ２２に作動油が供給される。よって可動盤１３は、主シリンダ１７とブースタシリンダ２２が同時に作動されることにより上昇され、やがて、両熱板１４，１５の間で中間積層品Ａ３が挟持される。その際サブシリンダ２４のシリンダ側室３３は負圧となるが、差動回路によりロッド側室３４から作動油が供給されるとともに、タンク３２からも作動油が供給される。このように可動盤１３の略中央に配設されたブースタシリンダ機構１６のみを作動させて、可動盤１３を上昇させるのは、可動盤１３を高速で上昇させるためである。またサブシリンダ２４を差動回路とすることにより、可動盤１３の昇降時の速度を確保している。また、可動盤１３の上昇は、ブースタシリンダ２２のみを作動させて行なってもよい。
【００２７】
可動盤１３が上昇され、熱板１４，１５間で中間積層品Ａ３が挟持されるのと略同時にリミットスイッチ３５が作動し、その信号が制御機構２７へ送信されると次に、中間積層品加圧工程が開始される。中間積層品加圧工程では、制御機構２７から電磁切換バルブ３１ｂのソレノイド３１ｂ１に信号が送信され、電磁切換バルブ３１ｂのＰポートとＢポートが接続され、サブシリンダ２４のシリンダ側室３３にも可変ポンプ２８から作動油が供給され、サブシリンダ２４による中間積層品Ａ３に対する加圧が開始される。なおこの際に主シリンダ１７およびブースタシリンダ２２も継続して作動油が供給され主シリンダ１７およびブースタシリンダ２２によっても加圧がされる。この中間積層品加圧工程における、各シリンダ１７，２２，２４に対する制御は、圧力センサ２９ｃ，３０ｃ，３１ｃにより作動油の油圧を検出し、制御機構２７を介して電磁比例レデューシングバルブ２９ａ，３０ａ，３１ａを制御することにより行なわれる。そして電磁比例レデューシングバルブ２９ａ，３０ａ，３１ａにより、各シリンダの作動油は所定値に減圧された状態に制御される。そしてブースタシリンダ機構１６の主ラム２１、およびサブシリンダ２４のロッド部２６の位置は、いずれも熱板１５および熱板１５に当接されている中間積層品Ａ３に対して平面投影視オーバーラップした位置に配設されているので、中間積層品加圧工程においては、中間積層品Ａ３に対して垂直方向から直接的かつ略均一に加圧力を及ぼすことができる。また本発明では、可動盤１３に配設される熱板１５が、特許文献２のように中間積層品Ａ３にならって角度を変えないので、常に固定盤１１に配設される熱板１４に対する熱板１５の平行度が保たれる。本実施形態では中間積層品Ａ３に対して、１．０ＭＰａの加圧力により、加圧を行なう。なお平坦化プレス装置２における中間積層品Ａ３に対する加圧力は、０．５ＭＰａないしは３ＭＰａ程度が望ましい。そして平坦化プレス装置２において中間積層品Ａ３に加圧を行なうことにより、被積層材の凹凸が積層材によって完全に埋込まれた平坦な積層板Ａ４が得られる。
【００２８】
そして平坦化プレス装置２は、真空積層装置１の成形時間と同じ時間（本実施形態では６０秒）が経過すると、中間積層品加圧工程が終了し、可動盤下降工程（型開工程）が開始される。可動盤下降工程における各シリンダの制御については、電磁切換バルブ２９ｂのソレノイド２９ｂ２が信号により励磁されて、電磁切換バルブ２９ｂのＰポートとＡポートが接続され、可変ポンプ２８から主シリンダ１７の副シリンダ室２０に作動油が供給される。そして電磁切換バルブ２９ｂのＢポートとＴポートが接続され、主シリンダ室１９の作動油がタンク３２にドレンされる。また同時に電磁切換バルブ３０ｂのソレノイド３０ｂ１が消磁され、電磁切換バルブ３０ｂのＡポートとＴポートが接続され、ブースタシリンダ２２の作動油がタンク３２にドレンされる。更に同時に電磁切換バルブ３１ｂのソレノイド３１ｂ１が消磁され、電磁切換バルブ３１ｂのＡポート、Ｂポート、およびＴポートが接続され、シリンダ側室３３の作動油がロッド側室３４に戻されるとともにタンク３２にドレンされる。各シリンダが上記のように制御されることにより、主ラム２１およびサブシリンダ２４のロッド部２６は下降され、可動盤１３も下降される。そして平坦化プレス装置２により、加圧が完了した積層板Ａ４は、フィルム回収機構９を駆動することにより、キャリアフィルム４とともに搬出位置に送られる。なお積層板Ａ４をビルドアップ法により積層成形する場合は、積層板Ａ４に更に所定のパターンを加工したものが被積層材Ａ２となり、その表面に積層材Ａ１を重ねたものが再度、積層装置に搬入され、積層成形が繰り返される。
【００２９】
なお平坦化プレス装置２の加圧機構の制御方法については、加圧される中間積層品Ａ３の材料、面積、厚さ等に応じて変更可能である。例えば中間積層品Ａ３に対する加圧力を一定以下にしたい場合は、シリンダを選択的に作動させ、例えば主シリンダ１７による加圧を行なわず、ブースタシリンダ２２とサブシリンダ２４により加圧を行なうようにしてもよい。本発明の平坦化プレス装置２では、ブースタシリンダ機構１６のブースタシリンダ２２と主シリンダ１７は同心円状に配置されているから、いずれかのシリンダを選択的に使用しても、可動盤１３が傾いて、中間積層品Ａ３に対する加圧力が偏加圧状態になることはない。更に中間積層品Ａ３の面積が小さい場合は、サブシリンダ２４による加圧を行なわないようにしてもよい。更にまた加圧機構の制御は、１サイクル中に、各シリンダの作動圧を変化させたり、シリンダの作動を開始または停止させて、加圧力を途中で変化させるようにすることも可能である。
【００３０】
なお、図４，図５に示されるのは、平坦化プレス装置２を用いて、熱板上にハンダを載置し、熱板間で前記ハンダを加圧後にその厚さを計測するヒューズテストを行なった際のテスト結果である。図４のテスト結果は、本発明の平坦化プレス装置２のテストデータである。平坦化プレス装置２のヒューズテストでは、ブースタシリンダ機構１６の油圧を２．６ＭＰａ、サブシリンダ２４の油圧を１３ＭＰａに設定し、ブースタシリンダ機構１６の加圧力よりも四のサブシリンダ２４を合計した加圧力の方が大きくして、熱板１５上の各所に配置したハンダに対して加圧を行なった。その結果、ハンダの最大厚と最小厚とのレンジは０．０２０ｍｍに納まった。それに対して図５のテスト結果は、中央部のみに加圧シリンダを有する従来の平坦化プレス装置のテストデータである。従来の平坦化プレス装置によるヒューズテストでは、可動盤の中央部のみがシリンダにより加圧され、加圧時に可動盤および可動盤に配設される熱板の略中央部が凸状に膨出することから、ハンダの中央部における最小厚と、端部近傍における最大厚とのレンジは、０．０６６ｍｍとなった。
【００３１】
また本発明については、一々列挙はしないが、上記した実施形態のものに限定されず、当業者が本発明の趣旨を踏まえて変更を加えたものについても、適用されることは言うまでもないことである。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の積層板の積層装置を示す概略図である。
【図２】本発明の平坦化プレス装置における可動盤、熱板、中間積層品、および各シリンダの配置を示す平面図である。
【図３】本発明の平坦化プレス装置における油圧回路を示す図である。
【図４】本発明の平坦化プレス装置を用いたテスト結果である。
【図５】従来の平坦化プレス装置を用いたテスト結果である。
【符号の説明】
【００３３】
１    真空積層装置
２    平坦化プレス装置
３    フィルム供給機構
４    キャリアフィルム
５    上盤
６    下盤
７    膜体
８    フィルム把持搬送機構
９    フィルム回収機構
１０  ベース盤
１１  固定盤
１２  タイバー
１３  可動盤
１４，１５  熱板
１５ａ  周辺部
１６  ブースタシリンダ機構
１７  主シリンダ
１８  ピストン
１９  主シリンダ室
２０  副シリンダ室
２１  主ラム
２１ａ  端部
２２  ブースタシリンダ
２３  ブースタシリンダ内筒部
２４  サブシリンダ
２５  シリンダ部
２６  ロッド部
２７  制御機構
２８  可変ポンプ
２９，３０，３１  管路
２９ａ，３０ａ，３１ａ  電磁比例レデューシングバルブ
２９ｂ，３０ｂ，３１ｂ  電磁切換バルブ
２９ｃ，３０ｃ，３１ｃ  圧力センサ
２９ｂ１，２９ｂ２，３０ｂ１，３１ｂ１  ソレノイド
３２  タンク
３３  シリンダ側室
３４  ロッド側室
３５  リミットスイッチ
Ａ１  積層材
Ａ２  被積層材
Ａ３  中間積層品
Ａ４  積層板
Ｃ    隅部
Ｄ    対角線
Ｐ    交点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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