(57)【要約】【課題】  槽容器内において吸着剤を収容することが可能な収容可能容積の占める割合をより大きく確保することが可能で、かつ、全体構造が比較的簡単なガス分離用吸着槽を提供する。【解決手段】  本発明のガス分離用吸着槽Ｘ１は、複数のガス通過口１３，１６および筒状胴１１を有する槽容器１０と、槽容器１０の容器内空間を仕切り、ガス通過口１３を介して上記容器内空間に導入されたガスが通過可能で且つ吸着剤３０が収容可能な構成を有する収容部２０と、収容部２０に収容される吸着剤３０とを備え、収容部２０には、吸着剤３０が上記ガスの流れ方向に対する横切り方向の断面全体を満たすように圧密状態で収容されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガス通過口を有する槽容器と、上記槽容器の容器内空間を仕切り、上記ガス通過口を介して上記容器内空間に導入されたガスが通過可能で且つ吸着剤が収容可能な構成を有する収容部と、上記収容部に収容される吸着剤とを備え、
上記収容部には、上記吸着剤が上記ガスの流れ方向に対する横切り方向の断面全体を満たすように圧密状態で収容されていることを特徴とする、ガス分離用吸着槽。
【請求項２】
上記収容部は、上記槽容器内に複数設けられている、請求項１に記載のガス分離用吸着槽。
【請求項３】
上記収容部は、ガス透過性を有する第１仕切部材と、ガス透過性を有する第２仕切部材と、上記第１仕切部材および／または上記第２仕切部材を動かすことによって当該収容部における上記横切り方向の断面積を変化させずに容積を調整するための容積調整機構とを有する、請求項１または２に記載のガス分離用吸着槽。
【請求項４】
上記収容部は、ガス透過性を有し、かつ、上記吸着剤を収容するための袋状収容具をさらに有する、請求項３に記載のガス分離用吸着槽。
【請求項５】
上記袋状収容具は、金網を主体として構成されている、請求項４に記載のガス分離用吸着槽。
【請求項６】
上記容積調整機構は、上記第１仕切部材と上記第２仕切部材とを連結するための連結用ロッドを有し、当該連結用ロッドに沿って上記第１仕切部材および／または上記第２仕切部材を近接する方向に移動させることにより上記吸着剤を締付ける締付手段を備える、請求項３から５のいずれか１つに記載のガス分離用吸着槽。
【請求項７】
上記容積調整機構は、上記第１仕切部材および／または上記第２仕切部材の下端部を支持するための支持体と、上記第１仕切部材および／または上記第２仕切部材の上端部を上記近接方向に押圧するための押圧手段とをさらに備えている、請求項３から５のいずれか１つに記載のガス分離用吸着槽。
【請求項８】
上記第１仕切部材は、上記槽容器に固定されている、請求項３から７のいずれか１つに記載のガス分離用吸着槽。
【請求項９】
上記収容部は、上記吸着剤を圧密状態で収容したまま、上記槽容器の内部に嵌脱することが可能な構成を有する、請求項１から５のいずれか１つに記載のガス分離用吸着槽。
【請求項１０】
上記槽容器は、２以上の分割体からなり、
上記収容部は、上記吸着剤を圧密状態で収容したまま、１の分割体と他の分割体との間に介設することが可能な構成を有する、請求項１から５のいずれか１つに記載のガス分離用吸着槽。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力変動吸着法（以下、「ＰＳＡ法」と称する）または熱変動吸着法（以下、「ＴＳＡ法」と称する）などにより原料ガスから目的ガスを分離するのに使用されるガス分離用吸着槽に関する。
【背景技術】
【０００２】
混合ガス中に含まれる、例えば窒素、酸素、水素、炭酸ガスおよびメタンなどのガスを除去、精製または濃縮する手法としては、ＰＳＡ法やＴＳＡ法が採用される場合が多い。ＰＳＡ法やＴＳＡ法においては、固定床の吸着槽が使用される。
【０００３】
図１３は、従来の吸着槽Ｘの断面図である。吸着槽Ｘは、円筒胴を有する槽容器１と、ロストル２と、吸着部３と、重りボール４とを備え、円筒竪型吸着槽として構成されたものである。槽容器１は、その下端に原料ガス導入用のノズル５を有し、その上端に非吸着ガス導出用のノズル６を有する。
【０００４】
ロストル２は、槽容器１の内部の下方に所定の空間を形成するように配設されている。ロストル２の上表面には、ガスが通過可能なスクリーン（図示せず）が設けられている。吸着部３は、所定量の吸着剤をロストル２上に堆積することによって形成されたものである。吸着剤は、吸着目的のガス種に応じて選択される。吸着部３の上には金網（図示せず）が配設されており、この金網の上に重りボール４が堆積されている。重りボール４は、吸着部３に対して下方に荷重を負荷するためのものである。
【０００５】
ＰＳＡ法やＴＳＡ法においては、所定の圧力条件や温度条件において、まず、ノズル５を介して原料ガスが吸着槽Ｘに導入される。この原料ガスは、槽容器１の内部において、ロストル２を通過した後に吸着部３を通過する。吸着部３の通過過程において、原料ガス中の、吸着部３の吸着剤に対して吸着性を示すガスは、吸着部３にて吸着される。非吸着ガスは、吸着部３を通過した後、重りボール４の堆積層を通過して、ノズル６を介して吸着槽Ｘから排出される。このような吸着工程を終えた吸着槽Ｘは続いて再生される。具体的には、吸着工程とは異なる圧力条件や温度条件にて吸着部３から吸着ガスを脱着させ、例えばノズル５を介して、当該脱着ガスを吸着槽Ｘの外部に排出させる。
【０００６】
一方、近年のＰＳＡ法やＴＳＡ法においては、処理速度の高速化に対する要求が高まっている。しかし、上述したような従来の吸着槽Ｘでは、吸着槽Ｘ内に生じる圧力損失が大きくなり、処理速度が高速化するほど、この傾向は顕著となる。したがって、従来の吸着槽Ｘでは、処理時間を短縮するために処理速度を高速化しても圧力損失が著しく増大するため、かえって処理効率が悪化してしまう可能性がある。
【０００７】
そこで、上述したような従来の吸着槽Ｘにおける不具合を回避することが可能な構成を有する吸着槽が開発されている。具体的には、円筒胴を有する槽容器と、上記槽容器の内部空間を仕切るように設けられ、周面に貫通する孔が複数形成されるとともに、当該周面がテーパ状をなす仕切外筒と、上記槽容器の内部空間を仕切るように設けられ、周面に貫通する孔が複数形成されるとともに、当該周面がテーパ状をなす仕切内筒と、上記仕切外筒と上記仕切内筒との間に収容される吸着剤と、上記仕切外筒と上記仕切内筒との間に上記吸着剤を収容するための収容部を形成するための床板および天板とを有する吸着槽が公知となっている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００８】
しかしながら、特許文献１に開示されている吸着槽においては、ガス流れや吸着槽自体の振動などにより、吸着剤の圧密化が徐々に進行すると収容部の上方に隙間が発生する可能性がある。この隙間の部分は、収容部における吸着剤の収容部分に比べて抵抗が小さい。そのため、特許文献１に開示されている吸着槽では、当該吸着槽に供給される原料ガスが、抵抗が比較的大きい吸着剤の収容部分を充分に通過せずに、収容部上方の隙間を迂回してしまう可能性がある。
【０００９】
そこで、上述したような特許文献１に開示されている吸着槽における不具合を回避することが可能な構成を有する吸着槽が開発されている。具体的には、槽容器内に形成される収容部の天井壁を柔軟な膜材により構成し、当該膜材により吸着剤の収容部分の上方に生じる隙間を塞ぐことが可能な構成を有する吸着槽が公知となっている（例えば、特許文献２参照。）。
【００１０】
しかしながら、特許文献２に開示されている吸着槽においては、膜材を利用した閉塞機構を設けた分、槽容器内における吸着剤を収容することが可能な収容可能容積の占める割合が減少してしまう。つまり、吸着槽の処理能力（吸着容量）が減少してしまう。また、閉塞機構には、膜材を吸着剤の収容部分の頂部に圧接するためのポンプやボンベガスなどが必要である。したがって、吸着槽の全体構造が比較的複雑になるとともに、製造コストも上昇し易い。
【特許文献１】特開平８−２１５５３１号公報
【特許文献２】特開平５−１４６６２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであり、槽容器内において吸着剤を収容することが可能な収容可能容積の占める割合をより大きく確保することが可能で、かつ、全体構造が比較的簡単なガス分離用吸着槽を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明によれば、複数のガス通過口を有する槽容器と、上記槽容器の容器内空間を仕切り、上記ガス通過口を介して上記容器内空間に導入されたガスが通過可能で且つ吸着剤が収容可能な構成を有する収容部と、上記収容部に収容される吸着剤とを備え、上記収容部には、上記吸着剤が上記ガスの流れ方向に対する横切り方向の断面全体を満たすように圧密状態で収容されていることを特徴とするガス分離用吸着槽が提供される。
【００１３】
このような構成によると、吸着剤は、収容部への初期収容の段階で圧密状態で収容されている。そのため、収容部をガスが通過したり吸着槽自体に機械振動などが生じても、吸着剤の圧密化は、初期収容の段階以上には進行し難いので、例えば膜材によって収容部の上方に生じる隙間を塞ぐための閉塞機構を設けなくても、収容部の上方には隙間が生じ難くなる。したがって、上述のような閉塞機構を設けなくてすむ分の空間を吸着剤で満たすことが可能となるので、槽容器内において吸着剤を収容することが可能な収容可能容積の占める割合をより大きく確保することが可能となる。つまり、吸着槽の処理能力（吸着容量）をより大きくすることが可能となる。さらに、上述のような閉塞機構を設けなくてすむ分、吸着槽の全体構造は比較的簡単になり、製造コストも低減することが可能となる。
【００１４】
好ましくは、収容部は、上記槽容器内に複数設けられている。このような構成によると、例えば収容部を２つ設ける場合、これらの収容部の間に原料ガスを供給するためのガス通過口を設けることによって、吸着槽を２分割することになる。したがって、収容部を１つしか設けていない同サイズの吸着槽と比較して原料ガスの処理を行う面積を２倍確保したのと同様の効果が得られるとともに、吸着槽自体の径を大きくしたのではないため、大きい径を有する吸着槽に生じ易いガスの偏流も防ぐことができる。このことは、収容部を３つ以上設けた場合も同様である。また、収容部を複数にすると、吸着槽を大型化したり吸着容量を減らしたりすることなく収容部１つあたりにおける吸着剤の充填高さ（ガスの流れ方向における吸着剤層の厚み）を小さくすることが可能となる。これにより、ガスが収容部を通過する際の流れ抵抗は、低減することが可能となる。
【００１５】
本発明の実施形態によれば、収容部は、ガス透過性を有する第１仕切部材と、ガス透過性を有する第２仕切部材と、上記第１仕切部材および／または上記第２仕切部材を動かすことによって当該収容部における上記横切り方向の断面積を変化させずに容積を調整するための容積調整機構とを有する。
【００１６】
好ましくは、収容部は、ガス透過性を有し、かつ、上記吸着剤を収容するための袋状収容具をさらに有する。このような構成によると、吸着剤が袋状収容具内に収容されるため、当該吸着剤が槽容器内における収容部外に移動することをより確実に防ぐことが可能になる。なお、袋状収容具は、金網を主体として構成されているものが好ましい。
【００１７】
好ましくは、容積調整機構は、上記第１仕切部材と上記第２仕切部材とを連結するための連結用ロッドを有し、当該連結用ロッドに沿って上記第１仕切部材および／または上記第２仕切部材を近接する方向に移動させることにより上記吸着剤を締付ける締付手段を備える。
【００１８】
好ましくは、容積調整機構は、上記第１仕切部材および／または上記第２仕切部材の下端部を支持するための支持体と、上記第１仕切部材および／または上記第２仕切部材の上端部を上記近接方向に押圧するための押圧手段とをさらに備えている。このような構成によると、収容部の上方に収容されている吸着剤を主体的に押圧することが可能となる。吸着剤は、収容部の下方ほど自重により圧密化が進んでいるので、仕切部材によって吸着剤全体を均等に押圧するのに比べて、圧密化の程度が低い収容部の上方に収容されている吸着剤を主体的に押圧する方が収容部内の吸着剤を均等に圧密状態にする上でより合理的である。また、仕切部材の上端部を押圧するだけでよいので、容積調整に要する時間も比較的短くなり、より効率的である。
【００１９】
好ましくは、第１仕切部材は、上記槽容器に固定されている。このような構成によると、容積調整機構によって第２仕切部材のみを可動させることにより収容部の容積を調整することが可能となり、吸着槽の全体構造がより簡単になる。したがって、吸着槽の製造コストをより低減することが可能となる。
【００２０】
本発明の別の実施形態によれば、収容部は、上記吸着剤を圧密状態で収容したまま、上記槽容器の内部に嵌脱することが可能な構成を有する。このような構成によると、槽容器内に容積調整機構などの収容部の容積を調整するための構成を設ける必要がなくなる。また、収容部における吸着剤の圧密化は、収容部を吸着槽に組み込む前に予め行うことが可能となる。そのため、例えば吸着槽内に作業者が入って圧密化の作業を行う必要がなくなるのに加えて、吸着槽内では使用できない加圧装置を利用して圧密化を行うことが可能なるなど圧密化の作業性が向上する。
【００２１】
本発明のさらに別の実施形態によれば、槽容器は、２以上の分割体からなり、上記収容部は、上記吸着剤を圧密状態で収容したまま、１の分割体と他の分割体との間に介設することが可能な構成を有する。このような構成によると、本発明の別の実施形態において示したものと同様の効果を奏する。
【００２２】
本発明のその他の利点および特徴については、以下に行う発明の実施形態の説明から、より明らかとなるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の第１の実施形態に係る吸着槽Ｘ１について、図１〜図５を参照しつつ具体的に説明する。図１は、吸着槽Ｘ１の断面図である。図２および図３は、各々、図１に示す吸着槽Ｘ１の要部拡大図である。図４は、図１に示す吸着槽Ｘ１の線IV−IVに沿った断面図である。図５は、図４に示す吸着槽Ｘ１の要部拡大図である。
【００２４】
吸着槽Ｘ１は、ＰＳＡ法やＴＳＡ法に使用するための円筒横型吸着槽として構成されたものであり、図１に示すように、槽容器１０と、２つの収容部２０と、吸着剤３０とを備える。
【００２５】
槽容器１０は、円筒状の胴部１１と、槽外部に膨らむように湾曲している２つの側部１２とからなる。胴部１１には、槽容器１０内に原料ガスを導入するためのノズル１３と、２つの収容部２０の各々に吸着剤３０を充填するための２つの充填口１４とが設けられている。各充填口１４は、蓋体１５により閉塞可能とされている。各側部１２には、各々に槽容器１０外に非吸着ガスを導出するためのノズル１６が設けられている。なお、ノズル１３とノズル１６の役割を置き換えて、ノズル１３を非吸着ガス導出口、ノズル１６を原料ガス導入口とすることも可能である。
【００２６】
各収容部２０は、ノズル１３（もしくは、ノズル１６）を介して、槽容器１０の容器内空間に導入されたガスが通過可能で、かつ、吸着剤３０が収容可能な収容空間２０ａを構成するものであり、図１〜図３に示すように、１対の仕切板２１，２２と、ステー２３と、固定用ナット２４と、袋状金網２５とを有している。また、各収容部２０は、槽容器１０の容器内空間を仕切るものでもあり、空間部４０と、２つの空間部４１とに区分している。空間部４０には、ノズル１３が直接に開口しており、当該ノズル１３を介してガスが出入り可能である。同様に、各空間部４１には、ノズル１６が直接に開口しており、当該ノズル１６を介してガスが出入可能である。
【００２７】
仕切板２１，２２は、ガスの通過を許容する小径の通気用貫通孔２１０，２２０と、後述するステー２３が挿通可能な径の連結用貫通孔（図示せず）を有する多孔板である。仕切板２１は、図２によく表れているように、収容空間２０ａを空間部４１に対して仕切るように槽容器１０の内部に立設されており、胴部１１の軸方向（矢印ＡＢ方向）に延びるように槽容器１０の内壁１０ａに固定されたガイド２６に対して摺動可能に係合している。また、仕切板２１には、当該仕切板２１を補強するためのリブ２７が取りつけられている。仕切板２１に対するリブ２７の配設パターンとしては、仕切板２１の全体を偏りなく補強できるものであればよく、例えば図４に示すようなパターンが挙げられる。リブ２７は、図５に示すように、ガイド２６の設置位置に対応する位置にＶ字型の溝部２７０が形成されており、この溝部２７０においてガイド２６に係合している。これにより、仕切板２１の矢印ＣＤ方向（胴部１１の周方向）への回転が抑制される。仕切板２２は、図３によく表れているように、収容空間２０ａを空間部４０に対して仕切るように槽容器１０の内部に立設されており、例えば槽容器１０の内壁１０ａに設けられたストッパ２８に対して溶接（図３において、塗りつぶした部分が溶接部）などの手段を用いることにより固定されている。なお、通気用貫通孔２１０，２２０の径は、例えば３〜５ｍｍである。
【００２８】
ステー２３は、図１〜図３に示すように、仕切板２１，２２の各々に設けられた連結用貫通孔に挿通することによって、仕切板２１と仕切板２２とを連結するためのものであり、両端部には固定用ナット２４が係合可能な係合ネジ溝（図示せず）が設けられている。なお、ステー２３の配置数および配置場所は、必要に応じて任意に定めればよいが、図４に示すように、リブ２７上に配置するのが強度面で好ましい。
【００２９】
固定用ナット２４は、図１〜図３に示すように、ステー２３における係合ネジ溝に対して任意の位置で係合可能で、かつ、当該係合ネジ溝に係合した状態において仕切板２１，２２を支持することが可能な構成を有している。固定用ナット２４のステー２３に対する係合位置を変化させると、当該固定用ナット２４によって支持される仕切板２１，２２の位置も変化するので、収容空間２０ａの容積調整が可能となる。つまり、本実施形態において固定用ナット２４は、ステー２３とともに容積調整機構を構成する。固定用ナット２４は、ステー２３と連結用貫通孔との間を介して吸着剤３０が空間部４０，４１に移動するのを防止する役割も果たす。
【００３０】
袋状金網２５は、ガスの通過を許容し且つ吸着剤３０の通過を阻むようなメッシュ（例えば、メッシュ径０．５〜１ｍｍ）を有する金網を用いて、充填口１４を介して吸着剤３０が収容可能で且つ仕切板２１の移動に伴い吸着剤３０を収容することが可能な収容可能容積を調整することができるように構成されたものである。また、袋状金網２５には、ステー２３が貫通するための貫通孔（図示せず）が所定の位置に設けられている。
【００３１】
吸着剤３０は、吸着目的のガス種に応じて適宜選択される。吸着剤３０の粒径は、例えば１〜３ｍｍである。
【００３２】
このような構成を有する吸着槽Ｘ１において、収容部２０に吸着剤３０を圧密充填する方法について説明する。
【００３３】
まず、充填口１４を介して袋状金網２５内に吸着剤３０を所定量充填し、充填後、蓋体１５により充填口１４を閉塞する。次に、ステー２３に沿って仕切板２１を全体的に矢印Ｂ方向へ移動させることにより、袋状金網２５内の吸着剤３０を圧密化し、所定の圧密状態に達した位置で固定用ナット２４により仕切板２１を固定する。
【００３４】
以上のような構成を有する吸着槽Ｘ１においては、吸着剤３０は、収容部２０への初期収容の段階で圧密状態で収容されている。そのため、収容部２０をガスが通過したり吸着槽Ｘ１自体に機械振動などが生じても、吸着剤３０の圧密化は、初期収容の段階以上には進行し難いので、例えば膜材によって収容部の上方に生じる隙間を塞ぐための閉塞機構を設けなくても、収容部の上方には隙間が生じ難くなる。したがって、従来のような膜材を利用した閉塞機構を収容部２０に設けなくてすむ分の空間を吸着剤３０で満たすことが可能となるので、槽容器１０内において吸着剤３０を収容することが可能な収容可能容積の占める割合をより大きく確保することが可能となる。つまり、吸着槽Ｘ１の処理能力（吸着容量）をより大きくすることが可能となる。また、従来のような膜材を利用した閉塞機構などを設けなくてすむ分、吸着槽Ｘ１の全体構造が比較的簡単になり、製造コストも低減することが可能となる。
【００３５】
吸着槽Ｘ１は、収容部２０を２つ設けることにより、当該吸着槽Ｘ１を２分割することになる。したがって、収容部を１つしか設けていない同サイズの吸着槽と比較して原料ガスの処理を行う面積を２倍確保したのと同様の効果が得られるとともに、吸着槽Ｘ１自体の径を大きくしたのではないため、大きい径を有する吸着槽に生じ易いガスの偏流も防ぐことができる。また、収容部２０を２つにすると、吸着槽Ｘ１を大型化したり吸着容量を減らしたりすることなく収容部１つあたりにおける吸着剤３０の充填高さ（ガスの流れ方向における吸着剤層の厚み）を小さくすることが可能となる。これにより、ガスが収容部２０を通過する際の流れ抵抗は、低減することが可能となる。さらに、吸着槽Ｘ１は筒状横型であるため設置面積は大きいが、高さ制限が厳しい施設内において、より大きい処理能力を確保するのに有利である。
【００３６】
本発明の第２の実施形態に係る吸着槽Ｘ２について、図６〜図１０を参照しつつ具体的に説明する。図６は、吸着槽Ｘ２の断面図である。図７および図８は、各々、図６に示す吸着槽Ｘ２の要部拡大図である。図９は、図６に示す吸着槽Ｘ２の線IX−IXに沿った断面図である。図１０は、図９に示す吸着槽Ｘ２の要部拡大図である。図６〜図１０において、先に説明した吸着槽Ｘ１と同一または同種の部材または要素については、同一の符号を付している。
【００３７】
仕切板２１’は、通気用貫通孔２１０を有する多孔板であり、図７および図８によく表れているように、収容空間２０ａを空間部４１に対して仕切るように槽容器１０の内部に立設されている。また、仕切板２１’には、リブ２７が取りつけられており、溝部２７０においてガイド２６に係合している。仕切板２１’に対するリブ２７の配設パターンとしては、仕切板２１’の全体を偏りなく補強できるものであればよく、例えば図９に示すようなものが挙げられる。
【００３８】
押圧装置２４’は、図７に示すように、リブ２７を介して仕切板２１’の上端部を矢印Ｂ方向へ押圧するためのものであり、支持ビーム２４０と、支持ビーム２４０に支持されている押さえボルト２４１とを有している。支持ビーム２４０は、押さえボルト２４１が挿通可能な貫通孔（図示せず）を有しており、図９に示すように、両端部において槽容器１０に固定されている。押さえボルト２４１は、支持ビーム２４０の貫通孔において任意の位置で係止可能な構成を有している。押さえボルト２４１の、支持ビーム２４０の貫通孔に対する係止位置を変化させると、当該押さえボルト２４１によって上端部が支持される仕切板２１’の位置も変化するので、収容空間２０ａの容積調整が可能となる。つまり、本実施形態において押圧装置２４’は、容積調整機構を構成する。
【００３９】
ストッパ２９は、図８〜図１０に示すように、リブ２７の下端部を支持することによって、リブ２７および仕切板２１’の下端部が矢印Ａ方向に移動するのを制限するものであり、槽容器１０の内壁面１０ａに固定されている。ストッパ２９には、ガイド２６が挿通可能な貫通孔２９０が設けられている。
【００４０】
以上のような構成を有する吸着槽Ｘ２においては、収容部２０の上方に収容されている吸着剤３０を主体的に押圧することが可能となる。吸着剤３０は、収容部２０の下方ほど自重により圧密化が進んでいるので、例えば仕切板によって吸着剤全体を均等に押圧するのに比べて、圧密化の程度が低い収容部２０の上方に収容されている吸着剤３０を主体的に押圧する方が収容空間２０ａに存する吸着剤３０を均等に圧密状態にする上でより合理的である。また、仕切板２１’の上端部を押圧するだけでよいので、容積調整に要する時間も比較的短くなり、より効率的である。
【００４１】
本発明の第３の実施形態に係る吸着槽Ｘ３について、図１１〜図１２を参照しつつ具体的に説明する。図１１は、吸着槽Ｘ３の断面図である。図１２は、図１１に示す吸着槽Ｘ３の要部拡大図である。図１１〜図１２において、先に説明した吸着槽Ｘ１と同一または同種の部材または要素については、同一の符号を付している。
【００４２】
槽容器１０は、図１１に示すように、円筒状の胴部１１”と、槽外部に膨らむように湾曲している２つの側部１２”とからなる。胴部１１”には、ノズル１３と、収容部２０に連結するための連結用ボルト５０が挿通可能なボルト孔（図示せず）を有するフランジ１１０とが設けられている。各側部１２”には、各々に、ノズル１６と、収容部２０に連結するための連結用ボルト５０が挿通可能なボルト孔（図示せず）を有するフランジ１２０とが設けられている。
【００４３】
各収容部２０は、円筒状胴部１１”と側部１２”との間に介設することによって槽容器１０の容器内空間を仕切るものであり、当該容器内空間を空間部４０と、２つの空間部４１とに区分している。
【００４４】
各収容部２０は、吸着剤３０を圧密状態で収容するための収容空間２０ａを構成するものであり、図１２に示すように、蓋体２１”と、収容容器２２”と、ステー２３と、固定用ナット２４と、板状金網２５”とを有している。蓋体２１”は、通気用貫通孔２１０と、フランジ２１１とを有しており、収容容器２２”に収容される吸着剤３０を押圧しつつ嵌合することができるように構成されている。フランジ２１１には、ステー２３が挿通可能な径の連結用貫通孔（図示せず）と、連結用ボルト５０が係合可能な係合ネジ溝を有するボルト孔（図示せず）とが設けられている。収容容器２２”は、通気用貫通孔２２０と、フランジ２２１とを有している。フランジ２２１には、ステー２３が挿通可能な径の連結用貫通孔（図示せず）と、連結用ボルト５０が係合可能な係合ネジ溝を有するボルト孔（図示せず）とが設けられている。蓋体２１”と収容容器２２”との間には、この間を介して収容空間２０ａに存する吸着剤３０が移動するのを防止すべく図示しないシール構造が設けられている。本実施形態においては、第１の実施形態と同様、固定用ナット２４がステー２３とともに容積調整機構を構成する。なお、連結用貫通孔の一方にネジ溝を形成し、ステー２３および固定用ナット２４に代えてボルトによって蓋体２１”と収容容器２２”とを連結するようにしてもよいし、ステー２３および固定用ナット２４を用いずに溶接によって蓋体２１”と収容容器２２”とを固定してもよい。
【００４５】
板状金網２５”は、図１２に示すように、ガスの通過を許容し且つ吸着剤３０の通過を阻むようなメッシュ（例えば、０．５〜１ｍｍ）を有する金網であり、吸着剤３０が通気用貫通孔２１０，２２０を介して空間部４１，４０に移動しないように設けられている。なお、板状金網２５”は、袋状金網２５と同様の構成を有するものに変更してもよく、この場合は上述のシール構造を設けなくてもよい。
【００４６】
以上のような構成を有する吸着槽Ｘ３においては、槽容器１０内に容積調整機構などの収容部２０の容積を調整するための構成を設ける必要がなくなる。また、収容部２０における吸着剤３０の圧密化は、収容部２０を吸着槽Ｘ３に組み込む前に予め行うことが可能となる。そのため、例えば吸着槽内に作業者が入って圧密化の作業を行う必要がなくなるのに加えて、吸着槽内では使用できない加圧装置を利用して圧密化を行うことが可能なるなど圧密化の作業性が向上する。
【００４７】
以上、本発明の具体的な実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の思想から逸脱しない範囲内で種々な変更が可能である。例えば、上記第１および第２の実施形態において、仕切板２２は、ストッパ２８に対して溶接などの手段を用いて固定されているが、これを仕切板２１側と同様にして移動可能な構成にしてもよい。また、上記第３の実施形態において、収容部２０は、胴部１１”と側部１２”との間に介設されているが、収容部２０を胴部１１”内に嵌脱可能な構成にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る吸着槽を示す断面図である。
【図２】図１に示す吸着槽の要部拡大図である。
【図３】図１に示す吸着槽の要部拡大図である。
【図４】図１の線IV-IVに沿った断面図である。
【図５】図４に示す吸着槽の要部拡大図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る吸着槽を示す断面図である。
【図７】図６に示す吸着槽の要部拡大図である。
【図８】図６に示す吸着槽の要部拡大図である。
【図９】図６の線IX-IXに沿った断面図である。
【図１０】図９に示す吸着槽の要部拡大図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係る吸着槽を示す断面図である。
【図１２】図１１に示す吸着槽の要部拡大図である。
【図１３】従来の吸着槽を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
Ｘ１〜Ｘ３        吸着槽
１０        槽容器
１１        胴部（筒状胴）
１１”      胴部（分割体）
１２        側部
１２”      側部（分割体）
１３，１６        ノズル（ガス通過口）
２０        収容部
２１，２２        仕切板（仕切部材）
２３        ステー（連結用ロッド）
２４        固定ナット（支持部材）
２４’      押圧装置（押圧手段）
２５        袋状金網（袋状収容具）
２６        ガイド
２７        リブ（補強部材）
２８        ストッパ
２９        ストッパ（支持体）
３０        吸着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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