(57)【要約】【課題】耐熱性に優れ、形状制御性に優れたマイクロレンズを、製造コストを増加させることなく提供する。【解決手段】透光性基板２上に、ポリシラン材料によって形成されたレンズ構造部３を設けることにより、透光性基板２を形成する材料の選択範囲を広くし、ポストベークによって耐熱性を向上させ、ドライエッチングを行うことなく写真製版工程のみでレンズ構造部３を形成することができるようにした。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性基板と、
前記透光性基板上にポリシラン材料によって形成されたレンズ構造部と、を具備するレンズ素子。
【請求項２】
前記レンズ構造部は、前記透光性基板の両面側に設けられている請求項１記載のレンズ素子。
【請求項３】
前記レンズ構造部は、シリンドリカル構造を有する請求項１または２記載のレンズ素子。
【請求項４】
前記レンズ構造部は、前記透光性基板から離反する方向へ突出する凸形状を有する請求項２記載のレンズ素子。
【請求項５】
前記レンズ構造部は、前記透光性基板の一面側では前記透光性基板から離反する方向へ突出する凸形状を有し、前記透光性基板の他面側では前記透光性基板へ向けて凹んだ凹形状を有する請求項２記載のレンズ素子。
【請求項６】
前記透光性基板は、石英によって形成されている請求項１ないし５のいずれか一に記載のレンズ素子。
【請求項７】
前記透光性基板は、光学ガラスによって形成されている請求項１ないし５のいずれか一に記載のレンズ素子。
【請求項８】
透光性基板にポリシラン材料を塗布する工程と、
ポリシラン材料が塗布された前記透光性基板をプリベークする工程と、
面積階調マスク又は濃度階調マスクを用いて露光を行いレンズ形状の潜像を得る工程と、
露光された前記透光性基板を現像する工程と、
現像された前記透光性基板をポストベークする工程と、を具備するレンズ素子の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レンズ素子およびレンズ素子の作製方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、マイクロレンズあるいはマイクロレンズアレイを作製する各種技術が知られている。
【０００３】
例えば、基板上にマイクロレンズ形状に形成した樹脂に対して異方性エッチングを施すことにより基板にマイクロレンズを転写する方法がある。このように、樹脂によってマイクロレンズ形状を形成する方法としては、例えば、フォトレジストによって形成した円形パターンを熱処理によって軟化させて表面張力を利用してレンズ形状を形成する方法（例えば、特許文献１参照）、濃度階調マスクあるいは面積階調マスクを用いて直接写真製版でフォトレジストのレンズ形状を形成する方法（例えば、特許文献２，３参照）、型を用いて基板上に樹脂によるレンズパターンを形成する方法（例えば、特許文献４参照）等がある。
【０００４】
このような方法によれば、石英、光学ガラス等各種材料を用いることができ、耐熱性、屈折率等の要求に柔軟に対応することができる。
【０００５】
また、樹脂によってマイクロレンズあるいはマイクロレンズアレイを作製する方法がある。例えば、樹脂の表面張力を用いる方法（例えば、特許文献５参照）や、スタンパ又は型を用いて樹脂製マイクロレンズを成形する方法（例えば、特許文献６参照）等がある。
【０００６】
このような方法によれば、マイクロレンズあるいはマイクロレンズアレイを安価に製造することができる。
【０００７】
また、光アシストＣＶＤ法を用いて、基板上にマイクロレンズあるいはマイクロレンズアレイを作製する方法がある（例えば、特許文献７，８参照）。
【０００８】
このような方法によれば、ＣＶＤ法で形成可能な各種材料を利用することができ、また、基板上に直接描画できるため各種形状に柔軟に対応することができる。
【０００９】
他に、ポリシラン材料を用いたゾルゲル法によって、基板上にマイクロレンズあるいはマイクロレンズアレイを作製する方法がある（例えば、特許文献９参照）。
【００１０】
このような方法によれば、耐熱性に優れたマイクロレンズを安価に製造することができる。
【００１１】
【特許文献１】
特開平０６−１９４５０２号公報
【特許文献２】
特開２００１−０９２１４７公報
【特許文献３】
特開２００１−１５８０２２公報
【特許文献４】
特開２００１−２０１６０９公報
【特許文献５】
特開２０００−００２８０２公報
【特許文献６】
特開２０００−３０１５５０公報
【特許文献７】
特許第０２６７２５９４号公報
【特許文献８】
特開平１０−２８２３０８号公報
【特許文献９】
特開２００２−０６８７５５公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１〜４に記載された技術では、異方性エッチングを行うためには高価なドライエッチング装置が必要であり、製造コストが高くなってしまうという不具合がある。
【００１３】
また、特許文献５，６に記載された技術では、樹脂製のために耐熱性に劣る、あるいは、光透過率や屈折率等の選択範囲が狭くなってしまうという不具合がある。
【００１４】
特許文献７，８に記載された技術では、マイクロレンズ作製に要するコストが高くなってしまうという不具合がある。
【００１５】
特許文献９に記載された技術では、レンズ形状のコントロールが困難であるという不具合がある。
【００１６】
本発明の目的は、耐熱性に優れ、形状制御性に優れたマイクロレンズを、製造コストを増加させることなく提供することである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明のレンズ素子は、透光性基板と、前記透光性基板上にポリシラン材料によって形成されたレンズ構造部と、を具備する。
【００１８】
したがって、レンズ構造部をポリシラン材料によって形成することにより、透光性基板を形成する材料の選択範囲を広くし、ポストベークによって耐熱性を向上させることができる。また、ドライエッチングを必要とせず、写真製版工程のみでレンズ構造部を形成することができる。これによって、レンズ構造部を高精度に作製することができ、製造コストを低減することができる。
【００１９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のレンズ素子において、前記レンズ構造部は、前記透光性基板の両面側に設けられている。
【００２０】
したがって、実用上、広範囲での使用が期待できる。
【００２１】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載のレンズ素子において、前記レンズ構造部は、シリンドリカル構造を有する。
【００２２】
したがって、シリンドリカル構造を有するレンズ構造部でも高精度かつ安価に製造することができる。
【００２３】
請求項４記載の発明は、請求項２記載のレンズ素子において、前記レンズ構造部は、前記透光性基板から離反する方向へ突出する凸形状を有する。
【００２４】
したがって、透光性基板面から両面側へ突出するタイプのレンズ構造部を有するレンズ素子において請求項２記載の発明の作用を奏することができる。
【００２５】
請求項５記載の発明は、請求項２記載のレンズ素子において、前記レンズ構造部は、前記透光性基板の一面側では前記透光性基板から離反する方向へ突出する凸形状を有し、前記透光性基板の他面側では前記透光性基板へ向けて凹んだ凹形状を有する。
【００２６】
したがって、一方向に湾曲するような形状を有するレンズ構造部を有するレンズ素子において請求項２記載の発明の作用を奏することができる。
【００２７】
請求項６記載の発明は、請求項１ないし５のいずれか一に記載のレンズ素子において、前記透光性基板は、石英によって形成されている。
【００２８】
したがって、耐熱性、透光性、安定性の点、かつ、価格面や流通面において優れている材料を用いることで、高い性能を有するレンズ素子を安価に製造することができる。
【００２９】
請求項７記載の発明は、請求項１ないし５のいずれか一に記載のレンズ素子において、前記透光性基板は、光学ガラスによって形成されている。
【００３０】
したがって、耐熱性、透光性、安定性の点、かつ、価格面や流通面において優れている材料を用いることで、高い性能を有するレンズ素子を安価に製造することができる。
【００３１】
請求項８記載の発明のレンズ素子の作製方法は、透光性基板にポリシラン材料を塗布する工程と、ポリシラン材料が塗布された前記透光性基板をプリベークする工程と、面積階調マスク又は濃度階調マスクを用いて露光を行いレンズ形状の潜像を得る工程と、露光された前記透光性基板を現像する工程と、現像された前記透光性基板をポストベークする工程と、を具備する。
【００３２】
したがって、ポリシラン材料によってレンズ形状を形成し、ポストベークを行うことで、高い耐熱性を有するレンズ素子を得ることができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
本発明の第１実施の形態について図１ないし図４を参照して説明する。
【００３４】
図１は、本発明の第１の実施の形態のレンズ素子を示す図である。本実施の形態のレンズ素子１は、透光性を有する材料によって形成された透光性基板２と、この透光性基板２の一面側に設けられたレンズ構造部としての凸レンズ部３とを備えている。
【００３５】
透光性基板２は、例えば、石英、光学ガラスを用いることが可能である。石英、光学ガラス等は、耐熱性、透光性、安定性において優れている。また、これらの材料は、価格の面や入手がし易いという点でも優れている。
【００３６】
凸レンズ部３は、ポリシラン材料によって形成された複数の凸レンズ３ａを備えている。
【００３７】
ここで、ポリシラン材料について説明する。ポリシランは、一般に、Ｓｉ−Ｓｉ結合鎖をもつ化合物の総称である。本実施の形態では、下記の化学式（１）に示す構造を有する化合物をポリシラン材料とする。なお、化学式（１）中、Ｘはアルキル基またはフェニル基である。
【００３８】
【化１】
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【００３９】
加えて、ポリシラン材料は、光が照射されると、光が照射された部分がアルカリ性液に可溶となる性質を有している。
【００４０】
また、本実施の形態のポリシラン材料としては、化学式（１）に示す直鎖構造を有する化合物以外にも、分岐鎖構造を有する化合物を用いることも可能である。
【００４１】
次に、凸レンズ部３における凸レンズ３ａの形成方法について説明する。凸レンズ部３における凸レンズ３ａの形成に際しては、まず、ポリシラン材料を有機溶剤に溶解する。以降、ポリシラン材料を有機溶剤に溶解させた溶液をポリシラン溶液とする。
【００４２】
ここで用いる有機溶剤は、一般的な有機溶剤でよい。例えば、トルエン、キシレン等を有機溶剤として用いることができる。また、例えば、特許文献２，３において開示されている各種材料を用いることも可能である。
【００４３】
次に、ポリシラン溶液を透光性基板２上に塗布して、透光性基板２上にポリシラン溶液の層を形成する（透光性基板２にポリシラン材料を塗布する工程）。ポリシラン溶液の塗布方法としては公知の各種技術を用いることが可能であるが、例えば、一般的なスピンコートが適している。
【００４４】
ポリシラン溶液を塗布した透光性基板２をプリベークする（ポリシラン材料が塗布された透光性基板２をプリベークする工程）。これにより、ポリシラン溶液中に含まれている溶剤が除去され、図２に示すように、透光性基板２上にポリシラン層３’が形成される。
【００４５】
一面側にポリシラン層３’が設けられた透光性基板２に対して、ポリシラン層３’が設けられている側からフォトマスク３１を介して露光を行う（図３参照）。この露光により、ポリシラン層３’には、図３に示すようなレンズ形状の潜像３２が形成される（レンズ形状の潜像を得る工程）。
【００４６】
露光に際して用いる光源は、通常の写真製版に用いる水銀灯でよい。
【００４７】
ここで、フォトマスク３１としては、例えば、特開２００１−０９２１４７公報や特開２００１−１５８０２２公報等に開示されている各種パターンのフォトマスク３１を用いることが可能である。フォトマスク３１におけるパターンにおける部分毎濃淡は、調整が可能であり、凸または凹のパターンを任意に形成できる。これにより、ポリシラン材料を用いた場合にも、通常のフォトレジストを用いた場合と同様に、マスクの濃淡に応じたレンズ形状の潜像を得ることができる。
【００４８】
同様に、フォトマスク３１のパターンにおける濃淡を部分毎に調整することによりレンズ形状を任意に制御することができる。フォトマスク３１のパターンにおける濃淡を部分毎に調整することにより、本実施の形態のような凸レンズ３ａ形状の他に、例えば、凹レンズ、凸状シリンドリカルレンズ、凹状シリンドリカルレンズ等の各種形状のレンズを形成することが可能である。
【００４９】
露光後の透光性基板２およびポリシラン層３１をアルカリ性液で現像する（露光された透光性基板２を現像する工程）。アルカリ性液としては、例えば、ＴＭＡＨ液等が挙げられる。これにより、図４に示すように、凸レンズ３ａが形成されたレンズ素子１を得ることができる。
【００５０】
さらに、現像後にポストベークを行う（現像された透光性基板２をポストベークする工程）。公知の技術であるためポストベークについての説明は省略するが、本実施の形態におけるポストベーク温度は、要求される耐熱性能に応じて適宜決定することが可能である。このポストベークに際しては、透光性基板２を形成する材料が耐えられる温度までポストベークを行うことができる。このように、ポストベークを行うことにより、耐熱性を向上させることができる。
【００５１】
なお、レンズ素子１の実用上の上限温度は、使用する透光性基板２の耐熱性に依存する。なお、このポストベークによって得られる耐熱温度は、ポストベーク温度とほぼ同一である。ポリシラン材料は、ベーク温度を高くするほどＳｉＯ２構造に近付く。このため、ＳｉＯ２の耐熱温度よりも高い耐熱性を有する高耐熱性材料を透光性基板として用いた場合には、ＳｉＯ２の耐熱温度が上限となる。
【００５２】
このように、本実施の形態によれば、複数の凸レンズ３ａを有する凸レンズ部３をポリシラン材料によって形成することにより、透光性基板２を形成する材料の選択範囲を広くすることができる。本実施の形態では、透光性基板２を形成する材料として、耐熱性、透光性、安定性において優れ、かつ、価格の面や入手がし易いという点で優れている石英、光学ガラスを用いることが可能であるため、性能の高い凸レンズ３ａを有するレンズ素子１を得ることができる。
【００５３】
また、本実施の形態によれば、凸レンズ３ａをポリシラン材料によって形成することにより、ポストベークによってレンズ素子１の耐熱性を向上させることができる。
【００５４】
さらに、本実施の形態によれば、凸レンズ３ａをポリシラン材料によって形成することにより、写真製版工程のみで凸レンズ部３を形成することができる。これによって、上述したように性能の高い凸レンズ部３を高精度に作製することができる。
【００５５】
加えて、ドライエッチングを必要としないため、製造コストを低減することができる。
【００５６】
次に、本発明の第２の実施の形態について図５を参照して説明する。なお、第１の実施の形態と同一部分は同一符号で示し、説明も省略する。以下、同様とする。
【００５７】
図５は、本発明の第２の実施の形態のレンズ素子を示す断面図である。本実施の形態のレンズ素子１０は、透光性基板２と、透光性基板２の一面側に設けられたレンズ構造部としての凸レンズ層１１を有している。この凸レンズ層１１は、ポリシラン材料によって形成されており、透光性基板２に積層された層部１１ａと、層部１１ａに対して透光性基板２とは反対側に突出する複数の凸レンズ部１１ｂを有する。凸レンズ層１１の作製方法については、上述した実施の形態と同様であるため詳細な説明を省略するが、本実施の形態では、露光に際してのフォトマスクのパターンにおける濃淡および露光強度を調整することにより層部１１ａおよび凸レンズ部１１ｂが形成されるようにしている。
【００５８】
次に、本発明の第３の実施の形態について図６を参照して説明する。
【００５９】
図６は、本発明の第３の実施の形態のレンズ素子を示す断面図である。本実施の形態のレンズ素子２０は、透光性基板２と、透光性基板２の一面側に設けられたレンズ構造部としての凹レンズ層２１を有している。この凹レンズ層２１は、ポリシラン材料によって形成されており、透光性基板２に積層された層部２１ａと、層部２１ａ表面より透光性基板２に向けて凹んだ形状を有する複数の凹レンズ部２１ｂを有する。凹レンズ層２１の作製方法については、上述した実施の形態と同様であるため詳細な説明を省略するが、本実施の形態では、露光に際してのフォトマスクのパターンにおける濃淡および露光強度を調整することにより層部２１ａおよび凹レンズ部２１ｂが形成されるようにしている。
【００６０】
次に、本発明の第４の実施の形態について図７を参照して説明する。
【００６１】
図７は、本発明の第４の実施の形態のレンズ素子を示す断面図である。本実施の形態のレンズ素子３０は、透光性基板２の両面側に図１と同様のレンズ構造部としての凸レンズ部３が形成されている。凸レンズ部３は、図１と同様に、それぞれが複数の凸レンズ３ａを有している。
【００６２】
透光性基板２の両面側に凸レンズ部３を形成する方法としては、例えば、上述した実施の形態のように、透光性基板２の一面側に凸レンズ３ａを形成した後、この透光性基板２の他面側に対して上述した工程と同等の工程を行う方法がある。
【００６３】
また、透光性基板２の両面側に凸レンズ部３を形成する別の方法としては、透光性基板２の両面にポリシラン材料を塗布してポリシラン層３’を形成した後、この透光性基板２の両面を同時に露光する方法がある。
【００６４】
前者の方法によれば、透光性基板２の両面を同時に露光する方法と比較して工程が２倍となるが、通常の写真製版方法でよい。
【００６５】
一方、後者の方法によれば、両面同時露光可能な専用の露光装置が必要となるが、工程が少なくて済む。
【００６６】
次に、本発明の第５の実施の形態について図８を参照して説明する。
【００６７】
図８は、本発明の第５の実施の形態のレンズ素子を示す断面図である。本実施の形態のレンズ素子４０は、透光性基板２の両面側に図５と同様のレンズ構造部としての凸レンズ層１１が形成されている。凸レンズ層１１は、図５と同様に、それぞれが、層部１１ａと複数の凸レンズ１１ｂとを有している。
【００６８】
透光性基板２の両面側に凸レンズ層１１を形成する方法としては、上述の実施の形態と同様に、透光性基板２の一面側に凸レンズ層１１を形成した後、この透光性基板２の他面側に対して上述した工程と同等の工程を行うことで凸レンズ層１１を形成する方法や、透光性基板２の両面にポリシラン材料を塗布してポリシラン層３’を形成した後、この透光性基板２の両面を同時に露光することで凸レンズ層１１を同時に形成する方法を用いることが可能である。
【００６９】
次に、本発明の第６の実施の形態について図９を参照して説明する。
【００７０】
図９は、本発明の第６の実施の形態のレンズ素子を示す断面図である。本実施の形態のレンズ素子５０は、透光性基板２の一面側では透光性基板２の表面から離反する方向へ突出するレンズ構造部としての凸レンズ部３を有しており、透光性基板２の他面側では透光性基板２へ向けて凹んだレンズ構造部としての凹レンズ層２１を有している。本実施の形態のレンズ素子５０も上述した実施の形態と同様に、透光性基板２の一面側に凸レンズ部３または凹レンズ層２１を形成した後、この透光性基板２の他面側に対して上述した工程と同等の工程を行うことで凹レンズ層２１または凸レンズ部３を形成する方法や、透光性基板２の両面にポリシラン材料を塗布してポリシラン層３’を形成した後、この透光性基板２の両面を同時に露光することで凸レンズ部３および凹レンズ層２１を同時に形成する方法を用いることが可能である。
【００７１】
次に、本発明の第７の実施の形態について図１０を参照して説明する。本実施の形態は、液晶プロジェクタ等に利用される画像表示素子への適用例を示す。
【００７２】
図１０は、本発明の第７の実施の形態の画像表示素子を示す断面図である。本実施の形態の画像表示素子６０は、図１に示す一対のレンズ素子１（１Ａ，１Ｂ）と、このレンズ素子１間に設けられた液晶シャッタ６１とを備えている。公知の技術であるため説明を省略するが、液晶シャッタ６１は、光学的に透明な一対の基板６２と、この基板間に狭持された液晶６３とを有している。なお、液晶６３は、封止部材６４によって封止されている。この液晶シャッタ６１には、図示しない電極対およびこの電極対間に電圧を印加する図示しない電圧印加手段が設けられている。液晶シャッタ６１では、電極対への電圧の印加の有無に応じて液晶の配向方向が変化する。
【００７３】
レンズ素子１は、焦点位置が互いに等しく、レンズ素子１の積層方向に沿って液晶シャッタ６１の中央部となるように配置されている。
【００７４】
このような画像表示素子６０に入射した光は、入射側に設けられたレンズ素子１Ａによって集光され、集光状態で液晶シャッタ６１に入射する。
【００７５】
液晶シャッタ６１では、電極対への電圧の印加の有無に応じて液晶６３の配向方向を変化させることにより、入射光を透過させたり遮光したりすることができる。
【００７６】
液晶シャッタ６１を透過した光は出射側に設けられたレンズ素子１Ｂによって平行光とされて外部へ出射される。
【００７７】
なお、図１０では、単一の画像表示素子６０を示したが、これに限るものではなく、図１０に示す画像表示素子６０を複数個マトリクス状に配置してもよい。
【００７８】
また、本実施の形態では、図１に示すレンズ素子１を用いた画像表示素子６０としたが、これに限るものではなく、用途に応じて上述した各種実施の形態のレンズ素子を用いることが可能である。
【００７９】
次に、本発明の第８の実施の形態について図１１を参照して説明する。本実施の形態は、液晶プロジェクタ等に利用される画像表示素子への適用例を示す。
【００８０】
図１１は、本発明の第８の実施の形態の画像表示素子を示す断面図である。本実施の形態の画像表示素子７０は、図９に示すレンズ素子９と同様のレンズ素子７１と、液晶シャッタ６１とを備えている。
【００８１】
このような画像表示素子７０に入射した光は、レンズ素子７１によって集光されるとともに、平行光とされて液晶シャッタ６１に入射する。
【００８２】
これにより、画像表示素子７０における光利用効率の向上を図ることができる。このような画像表示素子７０を、例えば、液晶プロジェクタ（図示せず）等に用いることにより、明るい表示を行うことができる。
【００８３】
次に、本発明の第９の実施の形態について図１２を参照して説明する。本実施の形態は、ＬＤからの発光信号を光ファイバにカップリングさせるために用いられるマイクロレンズ液晶プロジェクタに利用される画像表示素子への適用例を示す。
【００８４】
図１２は、本発明の第９の実施の形態のマイクロレンズ液晶プロジェクタの一部を示す概略図である。マイクロレンズ液晶プロジェクタは、アレイ状に配列された複数のＬＤ８０と、各ＬＤ８０から発光された光信号を伝達する複数本の光ファイバ８１とを備えている。ＬＤ８０と、光ファイバ８１との間には、図７に示すレンズ素子３０がそれぞれ設けられている。
【００８５】
一般的に、ＬＤ８０等をアレイ状に配列した用いる場合、通電等により特に中央部が発熱することがある。
【００８６】
これに対し、本実施の形態のように、ポリシランによって形成されたレンズ構造部を有するレンズ素子３０を用いることにより、環境温度が上昇した場合にも性能が低下することがない。これによって、耐熱性の良好なマイクロレンズ液晶プロジェクタを提供することができる。
【００８７】
次に、本発明の第１０の実施の形態について図１３を参照して説明する。本実施の形態は、楕円形発光信号を円形に整形する波形整形装置への適用例を示す。
【００８８】
図１３は、本発明の第１０の実施の形態の波形整形装置の一部を示す概略図である。図１３に示すように、波形整形装置９０は、複数のＬＤ８０と、各ＬＤ８０から出射された光の波形を整形するレンズ構造部９１ａを有するレンズ素子９１とを有している。本実施の形態のレンズ構造部９１ａには、シリンドリカルレンズが設けられている。ＬＤ８０およびレンズ素子９１の近傍には、レンズ素子９１の温度上昇を抑制するヒートシンク９２が設けられている。
【００８９】
本実施の形態によれば、図１３に示すように、ヒートシンク９２を必要とする程に温度上昇が懸念され、かつ、シリンドリカルレンズのように複雑な形状が要求される波形整形装置９０への適用であっても、環境温度の上昇に依存して波形整形性能が低下することを防止し、良好な波形整形を行うことができる。
【００９０】
【発明の効果】
請求項１記載の発明のレンズ素子によれば、レンズ構造部をポリシラン材料によって形成することにより、透光性基板を形成する材料の選択範囲を広くし、ポストベークによって耐熱性を向上させることができ、また、ドライエッチングを必要とせず、写真製版工程のみでレンズ構造部を形成することができるので、レンズ構造部を高精度に作製することができ、製造コストを低減することができる。
【００９１】
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載のレンズ素子において、実用上、広範囲での使用が期待できる。
【００９２】
請求項３記載の発明によれば、請求項１または２記載のレンズ素子において、シリンドリカル構造を有するレンズ構造部でも高精度かつ安価に製造することができる。
【００９３】
請求項４記載の発明によれば、請求項２記載のレンズ素子において、透光性基板面から両面側へ突出するタイプのレンズ構造部を有するレンズ素子において請求項２記載の発明の効果を奏することができる。
【００９４】
請求項５記載の発明によれば、請求項２記載のレンズ素子において、一方向に湾曲するような形状を有するレンズ構造部を有するレンズ素子において請求項２記載の発明の効果を奏することができる。
【００９５】
請求項６記載の発明によれば、請求項１ないし５のいずれか一に記載のレンズ素子において、耐熱性、透光性、安定性の点、かつ、価格面や流通面において優れている材料を用いることで、高い性能を有するレンズ素子を安価に製造することができる。
【００９６】
請求項７記載の発明によれば、請求項１ないし５のいずれか一に記載のレンズ素子において、耐熱性、透光性、安定性の点、かつ、価格面や流通面において優れている材料を用いることで、高い性能を有するレンズ素子を安価に製造することができる。
【００９７】
請求項８記載の発明のレンズ素子の作製方法によれば、ポリシラン材料によってレンズ形状を形成し、ポストベークを行うことで、高い耐熱性を有するレンズ素子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態のレンズ素子を示す概略図である。
【図２】その作製工程における一工程を示す説明図である。
【図３】その作製工程における一工程を示す説明図である。
【図４】その作製工程における一工程を示す説明図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態のレンズ素子を示す断面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態のレンズ素子を示す断面図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態のレンズ素子を示す断面図である。
【図８】本発明の第５の実施の形態のレンズ素子を示す断面図である。
【図９】本発明の第６の実施の形態のレンズ素子を示す断面図である。
【図１０】本発明の第７の実施の形態の画像表示素子を示す断面図である。
【図１１】本発明の第８の実施の形態の画像表示素子を示す断面図である。
【図１２】本発明の第９の実施の形態のマイクロレンズ液晶プロジェクタの一部を示す概略図である。
【図１３】本発明の第１０の実施の形態の波形整形装置の一部を示す概略図である。
【符号の説明】
１  レンズ素子
３  レンズ構造部
２  透光性基板
１０  レンズ素子
１１  レンズ構造部
２０  レンズ素子
２１  レンズ構造部
３０  レンズ素子
４０  レンズ素子
５０  レンズ素子
７１  レンズ素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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