(57)【要約】  【課題】  部品認識における認識率を向上させて、ピックアップミスによるダイの取り残しを極力防止すること。  【解決手段】  ウエハ交換後に、ＣＰＵ３５は認識カメラ１７下方に設定した開始位置、即ちダイ供給テーブル２７のウエハの中心位置を位置させ、認識カメラ１７に撮像させて認識処理装置３４に認識処理させる。ＣＰＵ３５が認識結果が不良と判定すると、１／２ピッチ分だけ、例えば下方向に前記テーブル２７を移動させて、同様に撮像及び認識処理させ、ＣＰＵ３５は認識結果が良好であればダイＤ２の中心Ｏ１の座標を求める。その後、ＣＰＵ３５は前記テーブル２７をＸ方向に１ピッチ移動させて、認識カメラ１７に撮像させ、認識結果が良好であればダイＤ３の中心Ｏ２の座標を求めた後、両中心の座標から傾きを求め、ピックアップの際にはその前に撮像して認識処理できるよう前記テーブル２７を前記傾き等を考慮して補正移動させる。  【選択図】  図４
2005079256.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理するダイピックアップ装置において、前記ウエハテーブル上のウエハ交換後に前記部品認識カメラの下方に前記ウエハのピックアップ開始位置を位置させるように前記ウエハテーブルの移動手段を制御する第１制御手段と、該第１制御手段により前記部品認識カメラの下方に前記ウエハテーブル上の前記ウエハのピックアップ開始位置が位置された状態で前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第１のダイの中心位置を算出する第１算出手段と、該第１算出手段が算出した後前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させるように前記移動手段を制御する第２制御手段と、該第２制御手段により前記部品認識カメラの下方に位置された第２のダイを前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第２のダイの中心位置を算出する第２算出手段と、前記第１算出手段及び第２算出手段により算出された各中心位置からウエハの傾きを算出する第３算出手段と、該第３算出手段により算出された前記傾きを格納する記憶手段と、前記ウエハテーブル上からピックアップすべきダイをピックアップする前に前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理できるよう前記ウエハテーブルを前記傾きを考慮して補正移動させるように前記移動手段を制御する第３制御手段とを備えたことを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項２】
部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理するダイピックアップ装置において、前記ウエハテーブル上のウエハ交換後に前記部品認識カメラの下方に前記ウエハのピックアップ開始位置を位置させるように前記ウエハテーブルの移動手段を制御する第１制御手段と、該第１制御手段により前記部品認識カメラの下方に前記ウエハテーブル上の前記ウエハのピックアップ開始位置が位置された状態で前記部品認識カメラが撮像した画像を前記認識処理装置で認識処理した結果が不良の場合に前記ウエハテーブルを１／２ピッチ分だけ四方向のうちいずれかの方向に移動させるよう前記移動手段を制御する第２制御手段と、該第２制御手段により制御されて前記ウエハテーブルを１／２ピッチ分だけ四方向のうちいずれかの方向に移動させた状態で前記部品認識カメラが撮像した画像を前記認識処理装置で認識処理した結果が良品の場合には第１のダイの中心位置を算出する第１算出手段と、該第１算出手段が算出した後前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させるように前記移動手段を制御する第３制御手段と、該第３制御手段により前記部品認識カメラの下方に位置された第２のダイを前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第２のダイの中心位置を算出する第２算出手段と、前記第１算出手段及び第２算出手段により算出された各中心位置からウエハの傾きを算出する第３算出手段と、該第３算出手段により算出された前記傾きを格納する記憶手段と、前記ウエハテーブル上からピックアップすべきダイをピックアップする前に前記部品認識カメラで撮像して認識処理装置で認識処理できるよう前記ウエハテーブルを前記傾きを考慮して補正移動させるように前記移動手段を制御する第４制御手段とを備えたことを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項３】
部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理するダイピックアップ方法において、
前記ウエハテーブル上のウエハ交換後に前記部品認識カメラの下方に前記ウエハのピックアップ開始位置を位置させるように前記ウエハテーブルの移動手段を制御し、
この制御により前記部品認識カメラの下方に前記ウエハテーブルの前記ウエハ上のピックアップ開始位置が位置された状態で前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第１のダイの中心位置を算出し、
この算出した後に前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させるように前記移動手段を制御し、
この制御により前記部品認識カメラの下方に位置された第２のダイを前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第２のダイの中心位置を算出し、
前記第１のダイ及び第２のダイの中心位置からウエハの傾きを算出し、
この算出された前記傾きを記憶手段に格納し、
前記ウエハテーブル上からピックアップすべきダイをピックアップする前に前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理できるよう前記ウエハテーブルを前記傾きを考慮して補正移動させるように前記移動手段を制御することを特徴とするダイピックアップ方法。
【請求項４】
部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理するダイピックアップ方法において、
前記ウエハテーブル上のウエハ交換後に前記部品認識カメラの下方に前記ウエハのピックアップ開始位置を位置させるように前記ウエハテーブルの移動手段を制御し、
この制御により前記部品認識カメラの下方に前記ウエハテーブルの前記ウエハ上のピックアップ開始位置が位置された状態で前記部品認識カメラが撮像した画像を前記認識処理装置で認識処理した結果が不良の場合に前記ウエハテーブルを１／２ピッチ分だけ四方向のうちいずれかの方向に移動させるよう前記移動手段を制御し、
この制御により前記ウエハテーブルを１／２ピッチ分だけ四方向のうちいずれかの方向に移動させた状態で前記部品認識カメラが撮像した画像を前記認識処理装置で認識処理した結果が良品の場合には第１のダイの中心位置を算出し、
この算出した後に前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させるように前記移動手段を制御し、
この制御により前記部品認識カメラの下方に位置された第２のダイを前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第２のダイの中心位置を算出し、
前記第１のダイ及び第２のダイの中心位置からウエハの傾きを算出し、
この算出された前記傾きを記憶手段に格納し、
前記ウエハテーブル上からピックアップすべきダイをピックアップする前に前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理できるよう前記ウエハテーブルを前記傾きを考慮して補正移動させるように前記移動手段を制御することを特徴とするダイピックアップ方法。
【請求項５】
前記ウエハのピックアップ開始位置は前記ウエハテーブルのウエハの中心位置であることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイピックアップ装置及び請求項３又は４に記載のダイピックアップ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識するダイピックアップ装置及びダイピックアップ方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のダイピックアップ装置は、例えば特開２００２−１１１２８９号公報などに開示されているように、ウエハテーブル上のダイを部品認識カメラで撮像し、ピックアップする前にダイの位置を認識処理装置で認識する技術が知られている。
【特許文献１】特開２００２−１１１２８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、ウエハの交換後では、部品認識カメラ視野とダイのサイズとの関係から複数のダイが認識範囲内に入らない場合、即ち複数のダイが完全な形で認識範囲内に収まらない場合が起こり、ウエハ上のダイが傾いている場合には、ダイの傾きを認識できなく、ダイの傾きを考慮しないままダイのピックアップを繰り返した場合にはダイが認識範囲内に入らなくなり、認識異常になることにより、部品認識における認識率が低下し、ピックアップミスによりダイの取り残しが発生することがあった。
【０００４】
そこで本発明は、部品認識における認識率を向上させて、ピックアップミスによるダイの取り残しを極力防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このため第１の発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理するダイピックアップ装置において、前記ウエハテーブル上のウエハ交換後に前記部品認識カメラの下方に前記ウエハのピックアップ開始位置を位置させるように前記ウエハテーブルの移動手段を制御する第１制御手段と、該第１制御手段により前記部品認識カメラの下方に前記ウエハテーブル上の前記ウエハのピックアップ開始位置が位置された状態で前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第１のダイの中心位置を算出する第１算出手段と、該第１算出手段が算出した後前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させるように前記移動手段を制御する第２制御手段と、該第２制御手段により前記部品認識カメラの下方に位置された第２のダイを前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第２のダイの中心位置を算出する第２算出手段と、前記第１算出手段及び第２算出手段により算出された各中心位置からウエハの傾きを算出する第３算出手段と、該第３算出手段により算出された前記傾きを格納する記憶手段と、前記ウエハテーブル上からピックアップすべきダイをピックアップする前に前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理できるよう前記ウエハテーブルを前記傾きを考慮して補正移動させるように前記移動手段を制御する第３制御手段とを備えたことを特徴とする。
【０００６】
第２の発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理するダイピックアップ装置において、前記ウエハテーブル上のウエハ交換後に前記部品認識カメラの下方に前記ウエハのピックアップ開始位置を位置させるように前記ウエハテーブルの移動手段を制御する第１制御手段と、該第１制御手段により前記部品認識カメラの下方に前記ウエハテーブル上の前記ウエハのピックアップ開始位置が位置された状態で前記部品認識カメラが撮像した画像を前記認識処理装置で認識処理した結果が不良の場合に前記ウエハテーブルを１／２ピッチ分だけ四方向のうちいずれかの方向に移動させるよう前記移動手段を制御する第２制御手段と、該第２制御手段により制御されて前記ウエハテーブルを１／２ピッチ分だけ四方向のうちいずれかの方向に移動させた状態で前記部品認識カメラが撮像した画像を前記認識処理装置で認識処理した結果が良品の場合には第１のダイの中心位置を算出する第１算出手段と、該第１算出手段が算出した後前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させるように前記移動手段を制御する第３制御手段と、該第３制御手段により前記部品認識カメラの下方に位置された第２のダイを前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第２のダイの中心位置を算出する第２算出手段と、前記第１算出手段及び第２算出手段により算出された各中心位置からウエハの傾きを算出する第３算出手段と、該第３算出手段により算出された前記傾きを格納する記憶手段と、前記ウエハテーブル上からピックアップすべきダイをピックアップする前に前記部品認識カメラで撮像して認識処理装置で認識処理できるよう前記ウエハテーブルを前記傾きを考慮して補正移動させるように前記移動手段を制御する第４制御手段とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
また第３の発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理するダイピックアップ方法において、前記ウエハテーブル上のウエハ交換後に前記部品認識カメラの下方に前記ウエハのピックアップ開始位置を位置させるように前記ウエハテーブルの移動手段を制御し、この制御により前記部品認識カメラの下方に前記ウエハテーブルの前記ウエハ上のピックアップ開始位置が位置された状態で前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第１のダイの中心位置を算出し、この算出した後に前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させるように前記移動手段を制御し、この制御により前記部品認識カメラの下方に位置された第２のダイを前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第２のダイの中心位置を算出し、前記第１のダイ及び第２のダイの中心位置からウエハの傾きを算出し、この算出された前記傾きを記憶手段に格納し、前記ウエハテーブル上からピックアップすべきダイをピックアップする前に前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理できるよう前記ウエハテーブルを前記傾きを考慮して補正移動させるように前記移動手段を制御することを特徴とする。
【０００８】
第４の発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理するダイピックアップ方法において、前記ウエハテーブル上のウエハ交換後に前記部品認識カメラの下方に前記ウエハのピックアップ開始位置を位置させるように前記ウエハテーブルの移動手段を制御し、この制御により前記部品認識カメラの下方に前記ウエハテーブルの前記ウエハ上のピックアップ開始位置が位置された状態で前記部品認識カメラが撮像した画像を前記認識処理装置で認識処理した結果が不良の場合に前記ウエハテーブルを１／２ピッチ分だけ四方向のうちいずれかの方向に移動させるよう前記移動手段を制御し、この制御により前記ウエハテーブルを１／２ピッチ分だけ四方向のうちいずれかの方向に移動させた状態で前記部品認識カメラが撮像した画像を前記認識処理装置で認識処理した結果が良品の場合には第１のダイの中心位置を算出し、この算出した後に前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させるように前記移動手段を制御し、この制御により前記部品認識カメラの下方に位置された第２のダイを前記部品認識カメラが撮像した画像に基づき第２のダイの中心位置を算出し、前記第１のダイ及び第２のダイの中心位置からウエハの傾きを算出し、
この算出された前記傾きを記憶手段に格納し、前記ウエハテーブル上からピックアップすべきダイをピックアップする前に前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理できるよう前記ウエハテーブルを前記傾きを考慮して補正移動させるように前記移動手段を制御することを特徴とする。
【０００９】
更に第５の発明は、第１乃至第４の発明に係るダイピックアップ装置及びダイピックアップ方法において、前記ウエハのピックアップ開始位置は前記ウエハテーブルのウエハの中心位置であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、ウエハ交換後、複数のダイが認識されない場合にも、ダイの傾きを求めることができ、部品認識における認識率を向上させて、ピックアップミスによるダイの取り残しを極力防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明のダイピックアップ装置としてテーピング装置に適用する実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、図１及び図２のテーピング装置の平面図及び左側面図に基づき、テーピング装置について説明する。１はテーピング装置本体で、この本体１に立設されたピンにテープ供給リール２が回転可能に係止され、当該テープ供給リール２に巻装されたテープ本体（キャリアテープとも称される。）３Ａの先端が、当該テープ本体３Ａに図示しないプーリにより適度なテンションを与えられ、搬送レール４を介して巻取りリール５に固定されている。
【００１２】
そして、図示しない回転駆動系による当該巻取りリール５の回転に合わせて順次テープ本体３Ａが所定量搬送されて（巻取りリール５に巻取られて）いく間で、テープ本体３Ａの収納溝３Ｂ内にダイＤが挿入され、更に所定位置まで搬送されて収納溝３Ｂ上面の開口部をカバーテープ供給リール６から供給されるカバーテープ３Ｃで被覆した後、前記巻取りリール５に巻取られていく。尚、上述したようにテープ本体３Ａと、これに設けられた収納溝３Ｂと、その上面に圧着されるカバーテープ（トップテープ）３Ｃとでテープ３が形成されるが、前記テープ本体３Ａはボトムテープと間隔子とで形成される。
【００１３】
そして、部品装填装置１０によるテープ本体３Ａの収納溝３Ｂ内へダイＤが挿入された後、部品検査機構７によりこのダイＤが検査され、そしてテープ圧着機構８によりテープ本体３Ａとカバーテープ３Ｃとが圧着され、前記巻取りリール５に巻き取られることとなる。
【００１４】
次に、前記部品装填装置１０について、説明する。先ず、Ｙ軸駆動モータ１１ＡによりＹ方向に移動可能なＹテーブル１１の上にはＸ軸駆動モータ１２ＡによりＸ方向に移動可能なＸテーブル１２が設けられ、該Ｘテーブル１２の上に枠体１３が固定されている。そして、前記枠体１３の水平板１４の中央部にはインデックスユニット１５が、また前後部には対向して認識カメラ１６及び認識カメラ１７が設けられている。
【００１５】
また、前記水平板１４の下面には図示しない駆動モータにより前記インデックスユニット１５を介して間欠回転（９０度間隔で）する回転盤２０が設けられ、該回転盤２０には複数個、例えば９０度間隔で４個配設された各装着ヘッド２１に吸着装填ノズル２２が配設されている。尚、前記吸着装填ノズル２２は上下軸駆動モータ１８により装着ヘッド２１が上下動可能に構成されると共に、θ軸駆動モータ１９により垂直線回りに回転可能である。
【００１６】
また、前記Ｘテーブル１２の上には後述するダイ供給テーブル（ウエハテーブル）２７の移動手段としてのＹ軸駆動モータ２４ＡによりＹ方向に移動可能なＹテーブル２４が設けられ、更に該Ｙテーブル２４の上には同じくダイ供給テーブル２７の移動手段としてのＸ軸駆動モータ２５ＡによりＸ方向に移動可能なＸテーブル２５が設けられている。そして、該Ｘテーブル２５上は支持テーブル２６を介して鉛直方向を軸として所定回転範囲でθ回転可能なダイ供給テーブル２７が設けられ、該供給テーブル２７上にはシート２８に貼付されたウエハがダイシングされて個々のダイＤに分割された状態で固定されており、このダイＤは裏面より突き上げピン２９により突き上げられながら、取出されるものである。
【００１７】
３０はθ軸駆動モータで、該θ軸駆動モータ３０の駆動軸の周囲に形成された歯車３１が前記ダイ供給テーブル２７の下部周囲に形成された歯車３２に噛み合い、該θ軸駆動モータ３０の駆動による前記駆動軸の回転により両歯車３１、３２が回転してベアリング３３を介して前記ダイ供給テーブル２７を例えば９０度、１８０度、２７０度回転させるものである。
【００１８】
図１における認識カメラ１７の下方は部品吸着（取出し）ステーションで、この図１の状態、即ち回転盤２０の回転中にダイ供給テーブル２７上の取出すべきダイＤ及びその次に取出すべきダイＤを認識カメラ１７で撮像して認識処理装置３４で当該ダイＤの位置を認識し、移動してくる吸着装填ノズル２２の直下方位置に位置するよう前記Ｙテーブル２４及びＸテーブル２５を移動させ、この部品吸着ステーションでダイ供給テーブル２７上のダイＤを下降した前記吸着装填ノズル２２が吸着して取出す構成である。
【００１９】
次にインデックスユニット１５を介する回転盤２０の９０度回転に合わせて次の認識ステーションに搬送され、更にその次の部品挿入ステーションに搬送される。この認識ステーションに認識カメラ９が配置され、前記吸着装填ノズル２２に吸着保持されているダイＤが撮像され、吸着姿勢、外観の形状、バンプの大きさや位置等が認識処理装置３４により認識される。この場合、外観の形状（欠け等）、バンプの大きさや位置が異常であれば、後述するように廃棄される。
【００２０】
次にインデックスユニット１５を介する回転盤２０の９０度回転に合わせて次の部品挿入ステーションに搬送されるが、この搬送中において、認識カメラ１６により搬送レール４上のテープ本体３Ａの３個の収納溝３Ｂを撮像する。即ち、最左の収納溝３Ｂ内にダイＤが挿入されたか否かの有無確認のためと、ひとつおいて最右の収納溝３Ｂ内には挿入されていない（空である）ことの確認及び当該最右の収納溝３Ｂの位置認識のために３個の収納溝３Ｂを同時に撮像する。
【００２１】
従って、撮像した後に認識処理装置３４により当該最右の収納溝３Ｂの位置を認識処理し、その結果に基づいて制御装置であるＣＰＵ３５が前記Ｙテーブル１１の駆動モータ１１Ａ、Ｘテーブル１２の駆動モータ１２Ａ及び前記θ軸駆動モータ１９を補正制御し、真中の収納溝３Ｂ内の適正位置に下降する吸着装填ノズル２２によりダイＤを挿入することとなる。即ち、この部品挿入ステーションでは、吸着装填ノズル２２に吸着されたダイＤを下方で待機している搬送レール４上のテープ本体３Ａの収納溝３Ｂ内に、回転盤２０のＸＹ方向の補正移動及び吸着装填ノズル２２のθ方向の補正移動により、適正な位置に挿入装填することができるものである。
【００２２】
そして、この挿入装填後に、巻取りリール５の回転に合わせて順次テープ本体３Ａが所定量搬送されて（巻取りリール５に巻取られて）いく間に、部品検査機構７が前記テープ本体３Ａの収納溝３Ｂ内に挿入された状態のチップ部品に対して部品検査（例えば、電気特性検査等）を行い、テープ圧着機構８でダイＤの検査が終了したテープ本体３Ａとカバーテープ３Ｃとを圧着させて、テーピングを完了させるものである。
【００２３】
前記部品検査機構７は、マーク認識カメラ７Ａと検査部７Ｂとから構成され、マーク認識カメラ７Ａは前記収納溝３Ｂ内に挿入された状態のダイＤを照明装置で照明した状態で撮像するマーク認識カメラで、当該収納溝３Ｂ内のダイＤに付された機種番号等のマークを認識し、検査部７Ｂは下面にプローブ針を備え、平面方向に移動可能であると共に上下動機構（図示せず）により上下動可能で、下降することにより前記収納溝３Ｂ内に挿入されたダイＤにプローブ針を接触させて、例えば電気特性などを検査する。
【００２４】
尚、最左の収納溝３Ｂ内にダイＤが挿入されたか否かの有無確認のため、前記認識カメラ１６の撮像に基づく認識処理装置３４の認識処理の結果、挿入されていないと判断された場合には、当該テーピング装置を停止するように前記ＣＰＵ３５が制御する。また、最右の収納溝３Ｂ内には既に挿入されていると判断された場合にも、当該テーピング装置を停止するように前記ＣＰＵ３５が制御する。
【００２５】
次に、図３に基づき、テーピング装置の制御ブロック図について説明する。３５はテーピング装置のチップ部品の取出し及び装填に係る動作を統括制御する制御装置としてのＣＰＵ、３６は記憶装置としてのＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）、３７はＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）である。そして、ＣＰＵ３５は前記ＲＡＭ３６に記憶されたデータに基づき、前記ＲＯＭ３７に格納されたプログラムに従い、前記テーピング装置のチップ部品の取出し及び装填に係る動作についてインターフェース３８及び駆動回路３９を介して各駆動源を統括制御する。尚、ＲＯＭ３７の代わりにハードディスクを用い、このハードディスクからＲＡＭ３６に読み込まれたプログラムに従い、ＣＰＵ３５が各駆動源を統括制御するようにしてもよい。
【００２６】
４０は操作部で、数字をキーインするテンキー４１、カーソルキー４２、モードの設定等をするＳＥＴキー４３、電子部品装着装置を教示モードにするための教示キー４４、同装置を自動運転モードにするための自動キー４５、同装置を手動運転モードにするための手動キー４６、始動キー４７、作動キー４８及び停止キー４９とを備えている。
【００２７】
また、前記各認識カメラ１６、１７により撮像された画像を認識処理装置３４が取り込むが、５０はその取り込まれた画像を表示するＣＲＴで、５１は教示の際の編集画面を表示するＣＲＴで、５２はマウスである。
【００２８】
ここで、ダイ供給テーブル２７上のウエハを作業者が交換した場合の動作について、図４のフローチャートに基づき説明する。先ず、ウエハの交換後に教示キー４４を押圧すると、ＲＡＭ３６に設定した開始位置、即ちダイ供給テーブル２７のウエハの中心位置が格納されているので、ＣＰＵ３５はＹ軸駆動モータ２４Ａ及びＸ軸駆動モータ２５Ａを制御してＹテーブル２４及びＸテーブル２５を移動させて認識カメラ１７の下方にダイ供給テーブル２７のウエハの中心を位置させると共にこの認識カメラ１７に撮像させ、認識処理装置３４がこの撮像した画像を取り込み、ＣＰＵ３５はこの画像をＣＲＴ５０に表示させ認識処理装置３４に認識処理させる（図５参照）。
【００２９】
この場合、ＣＰＵ３５が認識結果が不良と判定すると、即ち図５に示したように認識範囲Ａ内にダイが完全な形で収まっていなく、認識範囲Ａ内で完全な形でダイＤを見つけられないと、ＣＰＵ３５はＲＡＭ３６に格納された１ピッチ分の半分だけ、例えば下方向（マイナスＹ方向）にダイ供給テーブル２７を移動させて（図６参照）、再び認識カメラ１７に撮像させ、認識処理装置３４がこの撮像した画像を取り込み、ＣＰＵ３５はこの画像をＣＲＴ５０に表示させると共に認識処理装置３４に認識処理させ、ＣＰＵ３５は認識結果を判定して認識結果が良好であればダイＤ２の中心Ｏ１の座標を求める。
【００３０】
なお、この認識結果が不良であれば、１ピッチ分（もとの位置からは1／２ピッチ分）だけ、上方向（プラスＹ方向）にダイ供給テーブル２７を移動させて、前述したように撮像及び認識処理をさせる。これでも認識不良であれば、1／２ピッチ分だけ、下方向（マイナスＹ方向）及び左方向（マイナスＸ方向）にダイ供給テーブル２７を移動させ、即ちもとの位置から1／２ピッチ分だけ、左方向（マイナスＸ方向）にダイ供給テーブル２７を移動させて、前述したように撮像及び認識処理をさせるが、これでも認識不良であれば、１ピッチ分（もとの位置からは1／２ピッチ分）だけ、右方向（プラスＸ方向）にダイ供給テーブル２７を移動させて、前述したように撮像及び認識処理をさせる。
【００３１】
このように、もとの位置から１／２ピッチ分だけ四方向に移動させつつ、撮像及び認識処理を行うことによって速やかにダイを認識することができる。
【００３２】
また、ダイが認識範囲内に完全な形で収まっていなく、ダイが認識されない場合に、例えば予め設定された複数の列にまたがるピッチの数を上限としてダイが完全な形で認識されるまでダイ供給テーブル２７を１ピッチ分ずつ移動させたときには、その間に多くのダイの取り残しが発生するが、上記のように撮像及び認識処理を行うことによって、ウエハのピックアップ開始位置周辺のダイの取り残しを極力少なくすることも可能になる。
【００３３】
なお、上記のように、もとの位置から1／２ピッチ分だけ四方向に移動させつつ撮像及び認識処理した場合にも、全て認識結果が認識不良であれば、図示しない表示装置にエラー表示させるものである。
【００３４】
そして、ＣＰＵ３５は認識結果が良好の場合のダイＤ２の中心Ｏ１の座標を求めた後、ダイ供給テーブル２７をＸ方向に１ピッチ移動させて、認識カメラ１７に撮像させ、認識処理装置３４がこの撮像した画像を取り込み、この画像をＣＲＴ５０に表示させると共に認識処理させて認識結果を判定し、認識結果が良好であればダイＤ３の中心Ｏ２の座標を求める。
【００３５】
そして、複数のダイが認識カメラ１７の撮像範囲（カメラ視野）内の認識範囲内にのらない場合にも、ＣＰＵ３５はこの中心Ｏ２の座標を求めた後、両中心の座標から傾きを求めることができ、求めた傾きをＲＡＭ３６に格納する。即ち、ダイ供給テーブル２７上のウエハを作業者が交換した場合には、ウエハ（ダイ）が傾いて設置されることが多いので、その傾きを算出してＲＡＭ３６に格納し、各ピックアップの際には、ダイ供給テーブル２７上からピックアップすべきダイＤをピックアップする前に認識カメラ１７で撮像して認識処理装置３４で認識処理できるよう前記Ｙテーブル２４及びＸテーブル２５を移動させる際に、ＣＰＵ３５がＹ軸駆動モータ２４Ａ及びＸ軸駆動モータ２５Ａを前記傾き等を考慮して補正移動するように制御するものである。
【００３６】
以上説明したように、ウエハ交換した後、前述したウエハの傾きの認識処理をして、自動運転モードにするための自動キー４５及び作動を運転を開始するための始動キー４７を操作し、通常のダイＤの取出し動作について説明する。先ず、部品吸着（取出し）ステーションへの回転盤２０の移動中にダイ供給テーブル２７上のピックアップすべきダイＤ２を認識カメラ１７で撮像して認識処理装置３４により当該ダイＤ２の位置を認識する。この場合、前述したように前記ＲＡＭ３６にウエハ（ダイ）の横列の傾きが格納されているので、同じく各ダイＤの間隔や開始位置（最初にピックアップすべきダイの位置）も格納されているので、ピックアップすべきダイＤ２を認識カメラ１７で撮像できるように、予めＣＰＵ３５がこれらの情報に基づきＹ軸駆動モータ２４Ａ及びＸ軸駆動モータ２５Ａを制御してダイ供給テーブル２７を補正移動させるので、確実にダイＤの認識率の向上を図ることができると共にダイ供給テーブル２７上のダイＤの取り残しの発生を極力防止することができる。
【００３７】
そして、前記認識カメラ１７により撮像された取出すべきダイＤ２の画像とＲＡＭ３６に格納されて登録されているテンプレートとを比較して当該ダイＤ２の位置を認識処理装置３４が認識処理する。そして、この認識結果に基づき、ピックアップすべく移動してくる吸着装填ノズル２２の直下方位置に位置するよう前記Ｙテーブル２４及びＸテーブル２５を移動させ、この部品吸着ステーションでチップ部品供給テーブル２７上のダイＤ２を前記吸着装填ノズル２２が下降して吸着して取出す。
【００３８】
次に、回転盤２０の９０度回転により次の認識ステーションに搬送され、認識カメラ９が吸着装填ノズル２２に吸着保持されているダイＤ２を撮像し、吸着姿勢、外観の形状、バンプの大きさや位置等が認識処理装置３４により認識される。この場合、外観の形状（欠け等）、バンプの大きさや位置が異常であれば、回収用のトレイ（図示せず）に廃棄される。このとき、前記認識カメラ９により撮像された取出すべきダイＤ２の画像とＲＡＭ３６に格納されて登録されているテンプレートとを比較して当該ダイＤ２の位置を認識処理装置３４が認識処理する。
【００３９】
そして、更なる回転盤２０の９０度回転による搬送中において、認識カメラ１６により搬送レール４上のテープ本体３Ａの３個の収納溝３Ｂを撮像する。即ち、最左の収納溝３Ｂ内にダイＤ２が挿入されたか否かの有無確認のためと、ひとつおいて最右の収納溝３Ｂ内には挿入されていない（空である）ことの確認及び当該最右の収納溝３Ｂの位置認識のために３個の収納溝３Ｂを同時に撮像する。
【００４０】
従って、撮像した後に認識処理装置３４により当該最右の収納溝３Ｂの位置を認識処理し、その結果に基づいて図示しない制御装置が前記Ｙテーブル１１のＹ軸駆動モータ１１Ａ、Ｘテーブル１２のＸ軸駆動モータ１２Ａ及び前記θ軸駆動モータ１９を補正制御し、真中の収納溝３Ｂ内の適正位置に下降する吸着装填ノズル２２によりダイＤ２を挿入することとなる。即ち、この部品挿入ステーションでは、吸着装填ノズル２２に吸着されたダイＤ２を下方で待機している搬送レール４上のテープ本体３Ａの収納溝３Ｂ内に、部品認識カメラ９及び認識カメラ１６の撮像結果に基づき認識処理され、回転盤２０のＸＹ方向の補正移動及び吸着装填ノズル２２のθ方向の補正移動により、適正な位置に挿入装填することができるものである。
【００４１】
そして、この挿入装填後に、図示しない回転駆動系による当該巻取りリール５の回転に合わせて順次テープ本体３Ａが所定量搬送されて（巻取りリール５に巻取られて）いく間に、収納溝３Ｂ内に挿入された状態のダイＤ２に対して部品検査機構７により部品検査が行なわれる。
【００４２】
即ち、前記収納溝３Ｂ内に挿入された状態のダイＤ２を照明装置で照明した状態でマーク認識カメラ７Ａで撮像し、当該ダイＤ２に付された機種番号等のマークを認識する。また、プローブ針を備えた検査部７Ｂが平面方向及び上下方向に移動して、前記収納溝３Ｂ内に挿入されたダイＤ２にプローブ針を接触させて、例えば電気特性などを検査する。
【００４３】
そして、このようにして次々にダイＤ２は挿入され、検査終了後にテープ圧着機構８によりテープ本体３Ａとカバーテープ３Ｃとを圧着させて、テーピングを完了させ、テープ３は巻取りリール５に順次巻き取られていく。
【００４４】
尚、本発明はテーピング装置に適用したが、ダイボンダにも適用できるものである。
【００４５】
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】テーピング装置の平面図である。
【図２】テーピング装置の左側面図である。
【図３】テーピング装置の制御ブロック図である。
【図４】フローチャートを示す図である。
【図５】ＣＲＴに表示された画面を示す図である。
【図６】ＣＲＴに表示された画面を示す図である。
【符号の説明】
【００４７】
１              テーピング装置本体
１７            認識カメラ
２４Ａ          Ｙ軸駆動モータ
２５Ａ          Ｘ軸駆動モータ
２７            ダイ供給テーブル
３４            認識処理装置
３５            ＣＰＵ
３６            ＲＡＭ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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