(57)【要約】【課題】  回転ステージ上に載せた被写体を回転させることなく、また、被写体のＸ線透視象を得ることなく、Ｘ線透過情報の得られる領域、ひいては現時点における被写体の位置で意図する断層象が得られるか否かを直観的に把握することのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。【解決手段】  回転ステージ３の回転軸Ｒ上に、当該回転ステージ３に保持されている被写体Ｗを撮影する光学カメラ５を配置するとともに、Ｘ線源１とＸ線検出器２および回転ステージ３のＸ線光軸Ｌ方向への位置関係並びにＸ線検出器２の受光面の大きさに係る情報を用いて、回転軸Ｒを中心とするＣＴ撮象可能な領域Ｃを算出する手段（コンピュータ１５）を備え、光学カメラ５により撮影された被写体象に重畳してＣＴ撮象可能な領域Ｃを表示器１４に表示することで、その時点における被写体Ｗの位置とＸ線透過データが得られる領域とを容易に対比できるようにする。【選択図】  図１
2005351879.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向配置されたＸ線源とＸ線検出器の間に、被写体を保持してＸ線光軸に直交する回転軸を中心として回転する回転ステージが配置されているとともに、その回転ステージを回転させつつ所定の角度ごとに取り込んだ被写体のＸ線透過データを用いて、上記回転軸に直交する平面に沿った被写体の断層像を再構成する再構成演算手段を備えたＸ線ＣＴ装置において、
上記回転ステージ上の被写体を当該回転ステージの回転軸上もしくはその近傍位置から撮影する光学カメラと、上記Ｘ線源とＸ線検出器および回転ステージのＸ線光軸方向への位置関係並びにＸ線検出器の受光面の大きさに係る情報を用いて、上記回転軸を中心とするＣＴ撮像可能な領域を算出するＣＴ撮像領域演算手段と、そのＣＴ撮像領域演算手段により算出された領域を、上記光学カメラにより撮影された被写体像に重畳して表示器に表示する表示手段を備えていることを特徴とするＸ線ＣＴ装置。
【請求項２】
上記光学カメラが、上記回転ステージに保持されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項３】
上記表示器の画面上に表示されている上記領域の大きさを画面上で変更する操作手段と、その操作手段による変更操作に連動させて、画面上での領域と実際のＣＴ撮像可能な領域とが一致するように、上記回転ステージおよび／またはＸ線検出器のＸ線光軸方向への位置を自動的に変化させる制御手段を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項４】
上記回転ステージ上に、被写体を搭載してＸ線光軸方向（ｘ方向）およびその方向に直交し、かつ、上記回転軸方向に直交する方向（ｙ方向）に移動する移動ステージが配置され、上記表示器の画面上に表示されている被写体の光学像上で回転中心を指定するか、もしくは上記表示器の画面上に表示されている上記領域を当該画面上で移動させることにより、上記光学像上で指定された回転中心もしくは移動後の上記領域の中心が、上記回転ステージの回転中心上に位置するよう、上記移動ステージを移動させる被写体位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項１、２または３に記載のＸ線ＣＴ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電子部品などの工業製品の内部欠陥や内部構造等を非破壊のもとに調査すべく、その断層像を得るための産業用のＸ線ＣＴ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
産業用のＸ線ＣＴ装置においては、一般に、図１１（Ａ）に正面図、（Ｂ）に平面図を模式的に示すように、Ｘ線源５１とＸ線検出器５２の間に、Ｘ線光軸Ｌに直交する軸Ｒの回りに回転する回転ステージ５３を配置し、その回転ステージ５３上に被写体Ｗを保持した状態でＸ線を照射しつつ、回転ステージ５３を所定の微小角度ずつ回転させるごとにＸ線検出器５２からのＸ線透過データを取り込む。そして、その取り込んだＸ線透過データを用いて、回転ステージ５３の回転軸Ｒに直交する平面に沿った被写体Ｗの断層像を再構成する（例えば特許文献１参照）。なお、回転ステージ５３は、通常、移動機構５４によってＸ線光軸Ｌの方向（ｘ軸方向）およびそれに直交するｙ，ｚ軸方向に移動させることが可能となっている。
【０００３】
このようなＸ線ＣＴ装置を用いて被写体の断層像を得るべく、Ｘ線透過データを採取する方法として、従来、図１２に模式的平面図を示すように、被写体Ｗの回転中心ＯN をほぼＸ線光軸Ｌ上に位置させる、ノーマルスキャンと称される方法と、被写体Ｗ′の回転中心ＯO をＸ線光軸Ｌに対して所定の距離だけずらせて位置させる、オフセットスキャンと称される方法が知られている（例えば前記特許文献１参照）。オフセットスキャンでは、ノーマルスキャンに比してＳＮの低下があるものの、ＣＴ撮像の視野を広くすることができ、かつ、高い分解能の断層像を得ることができるという利点がある。
【特許文献１】特開２００４−１１７０２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、以上のような従来のＸ線ＣＴ装置においては、被写体の位置決めや倍率の変更は、被写体のＸ線透視像を見ながら行うのが一般的である。すなわち、意図する断層像を得るためには、その断層像上の全ての点のＸ線透過データが必要なことは言うまでもないが、例えば被写体の所定の位置（高さ）においてその全体の断層像を得るためには、ノーマルスキャンにおいては図１２の被写体Ｗのように、写体Ｗが１回転する間に、断層像を得るべき高さにおいて被写体Ｗの全体が常にＸ線照射状態となる位置に置く必要があり、また、オフセットスキャンにおいては同じく図１２の被写体Ｗ′のように、被写体Ｗ′が１回転する間に、被写体Ｗ′内にＸ線が照射されない領域が生じないような位置に被写体Ｗ′を置く必要がある。しかしながら、Ｘ線源５１に対する回転ステージ５３並びにＸ線検出器５２のｘ軸（Ｘ線光軸Ｌ）方向への位置関係に基づく撮像倍率によっては、以上の条件を満たさない場合がある。
【０００５】
そこで、従来のＸ線ＣＴ装置においては、被写体のＸ線透過データを採取する前に、被写体を回転ステージ５３の上に載せてＸ線を照射しつつ１回転させ、刻々のＸ線透視像から上記の条件を満たした位置に被写体が置かれているか否かを確認し、条件を満たしていない場合には回転ステージ５３および／またはＸ線検出器５２のｘ軸方向位置を変更する必要があり、確認作業が面倒であるという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、回転ステージ上に載せた被写体を回転させることなく、また、被写体のＸ線透視像を得ることなく、Ｘ線透過情報の得られる領域、ひいては現時点における被写体の位置において意図する断層像が得られるか否かを直感的に把握することのできるＸ線ＣＴ装置の提供をその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明のＸ線ＣＴ装置は、互いに対向配置されたＸ線源とＸ線検出器の間に、被写体を保持してＸ線光軸に直交する回転軸を中心として回転する回転ステージが配置されているとともに、その回転ステージを回転させつつ所定の角度ごとに取り込んだ被写体のＸ線透過データを用いて、上記回転軸に直交する平面に沿った被写体の断層像を再構成する再構成演算手段を備えたＸ線ＣＴ装置において、上記回転ステージの被写体を当該回転ステージの回転軸上もしくはその近傍位置から撮影する光学カメラと、上記Ｘ線源とＸ線検出器および回転ステージのＸ線光軸方向への位置関係並びにＸ線検出器の受光面の大きさに係る情報を用いて、上記回転軸を中心とするＣＴ撮像可能な領域を算出するＣＴ撮像領域演算手段と、そのＣＴ撮像領域演算手段により算出された領域を、上記光学カメラにより撮影された被写体像に重畳して表示器に表示する表示手段を備えていることによって特徴づけられる（請求項１）。
【０００８】
ここで、本発明においては、上記光学カメラを回転ステージに保持した構成（請求項２）を採用することができる。
【０００９】
また、本発明においては、上記表示器の画面上に表示されている上記領域の大きさを変更する操作手段と、その操作手段による変更操作に連動させて、画面上での領域と実際のＣＴ撮像可能な領域とが一致するように、上記回転ステージおよび／またはＸ線検出器のＸ線光軸方向への位置を自動的に変化させる制御手段を備えた構成（請求項３）を好適に採用することができる。
【００１０】
更に、本発明においては、上記回転ステージ上に、被写体を搭載してＸ線光軸方向（ｘ方向）およびその方向に直交し、かつ、上記回転軸方向に直交する方向（ｙ方向）に移動する移動ステージが配置され、上記表示器の画面上に表示されている被写体の光学像上で回転中心を指定するか、もしくは上記表示器の画面上に表示されている上記領域を当該画面上で移動させることにより、上被写体の回転中心が上記指定された回転中心もしくは移動後の上記領域の中心に一致するよう、上記移動ステージを移動させる被写体位置決め手段を備えた構成（請求項４）を採用することができる。
【００１１】
本発明は、Ｘ線源と回転ステージおよびＸ線検出器のＸ線光軸方向への位置関係から、回転ステージの回転軸を中心としたＣＴ撮像可能な領域（円）を簡単な幾何学計算により求めることができることを利用し、その領域を回転ステージ上の被写体の光学像と重ねて表示器に表示することによって、課題を解決しようとするものである。
【００１２】
すなわち、回転ステージ上の被写体を、その回転軸上もしくはその近傍位置から光学カメラで撮影して表示器に表示するとともに、その画面上に、回転軸を中心とするＣＴ撮像可能領域を重ねて表示することにより、回転ステージ上の被写体に対してＸ線を照射してそのＸ線透視像を表示することなく、更には回転ステージを回転させることなく、意図する断層像を得るためのＸ線透過データが得られるか否か、つまり現時点における被写体の位置が適正であるか否かを直感的に把握することができる。
【００１３】
回転ステージ上の被写体をその回転軸上から撮影する光学カメラは、撮影時に回転軸上に位置していればよく、例えば装置フレーム等の任意の場所に固定して、撮影時に回転ステージをその直下に位置決めしたり、あるいは光学カメラを移動可能として撮影時に回転軸上に位置決めしてもよいが、請求項２に係る発明のように、回転ステージに保持して常に回転軸上に配置した構成を採用すれば、撮影時の回転ステージの移動や光学カメラの移動が不要となる。また、本発明においては、回転ステージの回転軸と光学カメラの光軸は完全に一致している必要はなく、光学カメラの視野との比較で、光学カメラは略回転軸上、つまり回転軸上もしくはその近傍位置にあればよい。
【００１４】
そして、上記したように表示器に表示される領域は、実際のＣＴ撮像可能領域と一致したものとなるが、請求項３に係る発明のように、その表示器の画面上に表示されている領域の大きさをオペレータにより任意に変更できるように構成するとともに、その変更操作に連動させて、画面上での領域に実際のＣＴ撮像可能領域が一致するように回転ステージおよび／またはＸ線検出器のＸ線光軸方向への位置を自動的に変化させるように構成すれば、オペレータは、例えば被写体の当初位置が適正ではなくＣＴ撮像可能領域に収まっていないことを画面上で確認したとき、画面上に表示されている領域の大きさを被写体を覆う大きさに変更操作するだけで、その操作に連動して回転ステージおよび／またはＸ線検出器が自動的に移動することになり、被写体の位置決め操作（倍率変更操作）を大幅に容易化することが可能となる。
【００１５】
また、被写体中の注目領域のＣＴ像を得ようとする場合、その注目領域を回転中心上に位置決めしてＣＴ撮像を行うことにより、注目領域を中心とした高い拡大倍率の断層像を得ることができるのであるが、請求項４に係る発明のように、表示器に表示されている被写体の光学像上で回転中心を指定し、あるいは表示器に表示されているＣＴ撮像可能領域を移動させることにより、回転ステージの上に設けられて被写体を搭載する移動ステージを自動的に移動して、光学像上で指定された回転中心あるいは移動後のＣＴ撮像可能領域の中心が、回転ステージの回転中心上に位置するように被写体を自動的に移動させる機能を設ければ、被写体上の注目領域のＣＴ撮像作業の容易化並びに確実化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、光学カメラによる被写体の画像にＣＴ撮像可能領域が重畳して表示されるので、意図するＣＴ撮像ができる位置に被写体が置かれているか否かを容易に感覚的に把握することができる。
【００１７】
また、請求項３に係る発明のように、画面上に表示されているＣＴ撮像可能領域の大きさを変更する操作に連動させて、変更後の領域に実際のＣＴ撮像可能領域が一致するように回転ステージおよび／またはＸ線検出器を自動的に移動させるように構成すれば、被写体の位置決め操作を大幅に容易化することができる。
【００１８】
更に、請求項４に係る発明のように、画面上に表示されている被写体の光学像上で回転中心を指定するか、あるいは同じく画面上に表示されているＣＴ撮像可能領域を移動させることによって、その指定された回転中心もしくは移動後のＣＴ撮像可能領域の中心が、回転テーブルの実際の回転中心上に位置するように自動的に移動ステージの位置制御を行うように構成すると、被写体中の任意の注目領域のＣＴ撮像作業についても直感的に容易に行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【００２０】
Ｘ線源１に対向してＸ線検出器２が配置されており、これらの間に被写体Ｗを搭載するための回転ステージ３が配置されている。この回転ステージ３は、Ｘ線源１からのＸ線光軸Ｌに沿ったｘ軸方向に直交するｚ軸方向の回転軸Ｒを中心として回転が与えられるとともに、ステージ駆動機構４により互いに直交するｘ，ｙ，ｚ軸方向に移動できるようになっている。
【００２１】
Ｘ線源１は高電圧発生装置１０から供給される管電圧、管電流に応じたＸ線を発生し、この高電圧発生装置１０はＸ線コントローラ１１によって制御される。また、回転ステージ３およびステージ駆動機構４は、ステージコントローラ１２から供給される駆動信号によって駆動制御される。これらのＸ線コントローラ１１およびステージコントローラ１２は、後述するＣＴ画像再構成演算装置１３の制御下に置かれている。
【００２２】
ＣＴ撮像に際しては、被写体Ｗを回転ステージ３上に載せてＸ線を照射しつつ、回転軸Ｒを中心として回転を与え、微小回転角度ごとにＸ線検出器２からのＸ線透過データをＣＴ画像再構成演算装置１３に取り込む。ＣＴ画像再構成演算装置１３では、このようにして取り込んだ３６０°分の被写体ＷのＸ線透過データを用いて、回転軸Ｒに直交するｘ−ｙ平面に沿った面でスライスした被写体Ｗの断層像を構築して、表示器１４に表示する。  
【００２３】
さて、回転ステージ３の上方には、その回転軸Ｒ上にＣＣＤカメラとレンズとからなる光学カメラ５が鉛直下方を向いた姿勢で配置されている。この光学カメラ５は、ステージ駆動機構４にコラム（図示せず）等によって結合されており、回転ステージ３のｘ，ｙ，ｚ軸方向への移動に連れて移動し、常に回転ステージ３の回転軸Ｒ上に位置するようになっている。
【００２４】
光学カメラ５からの映像信号、従って回転ステージ３とその上に置かれている被写体Ｗの映像信号は、キャプチャーボード１５ａを介してコンピュータ１５に取り込まれ、画像として表示器１４に表示される。コンピュータ１５はＣＴ画像再構成演算装置１３に接続されており、このＣＴ画像再構成演算装置１３から供給される回転ステージ３のｘ軸座標およびｙ軸座標に基づいて、回転軸Ｒを中心としたＣＴ撮像可能領域を算出し、その領域を、表示器１４の被写体Ｗの画像に重畳させて表示する。図２にその表示例を示す。この図２において符号はそれぞれに対応する像を表しており、回転ステージ３とその上の被写体Ｗの像に重畳して、ＣＴ撮像可能領域を表す円Ｃが表示されている。円Ｃの中心は回転軸Ｒと一致している。また、コンピュータ１５にはキーボードやマウス等からなる操作部１６が接続されており、この操作部１６を操作することによって、表示器１４に表示されているＣＴ撮像可能範囲を表す円Ｃの直径を任意に変更することができ、この変更によりコンピュータ１５は、後述するように、ステージ駆動機構４を自動的に移動させる。
【００２５】
以上のＣＴ撮像可能領域を表す円Ｃの大きさは、以下に示す幾何学的演算により算出することができる。図３はノーマルスキャンの場合の計算方法の説明図で、図４はオフセットスキャンの場合の計算方法の説明図である。
【００２６】
ノーマルスキャンの場合は、図３に示すように、回転ステージ３の回転軸ＲがＸ線光軸Ｌ上に位置するように配置される。この場合、Ｘ線源１（焦点、以下同）と回転軸Ｒとのｘ軸方向への距離をＡ、同じくＸ線源１とＸ線検出器２の受光面とのｘ軸方向への距離をＢ、Ｘ線検出器２のｙ軸方向への有効幅をＤとすると、ＣＴ撮像可能領域を表す円Ｃの直径Δは、
Δ＝Ｄ×Ａ／Ｂ  ・・・（１）
で表すことができる。
一方、オフセットスキャンの場合は、図４に示すように、被写体Ｗはその中心が回転軸Ｒに対してｙ方向にＹだけずれた位置に配置される。このオフセット量Ｙは、例えば、
Ｙ＝０．８×（Ｄ／２）×（Ａ／Ｂ）  ・・・（２）
となるように設定される。この場合におけるＣＴ撮像可能領域を表す円Ｃの直径Δは、
Δ＝Ｄ×Ａ／Ｂ＋２Ｙ  ・・・（３）
で表すことができる。
【００２７】
ノーマルスャキンおよびオフセットスキャンのいずれにおいても、ＣＴ撮像可能領域を表す円Ｃ内に被写体Ｗの像が収まっている場合には、ｚ軸方向任意の位置でスライスした断層像が得られることになる。従ってオペレータは、図２に例示する表示器１４の画像から、現時点における被写体Ｗの位置が意図する断層像を得るのに適正であるか否かを直感で把握することができる。
【００２８】
そして、オペレータは、被写体Ｗの像がＣＴ撮像可能領域を表す円Ｃ内に収まっておらず、被写体Ｗの完全な断層像が得られない場合や、あるいは収まっているものの円Ｃの大きさに比して被写体Ｗの像が相当に小さく、断層像の倍率が低いと判断した場合には、操作部１６を操作して画面上の円Ｃの直径を変更する。この円Ｃの直径の変更により、その時点における実際のＣＴ撮像可能領域と円Ｃで囲まれた領域が一致しなくなるが、コンピュータ１５では、円Ｃの直径の変更操作と連動して、円Ｃで囲まれている領域と実際のＣＴ撮像可能領域とが一致するように、ステージ駆動機構４を駆動して回転ステージ３を自動的にｘ軸方向に移動させる。この移動量は、前記した（１）および（２）式において、Ｂを固定（一定）として、円Ｃの直径Δに変更後の値を代入することによってＡを求めることによって算出することができる。
【００２９】
以上の実施の形態によれば、現時点における回転テーブル３の位置が被写体Ｗの意図する断層像を得るために適正であるか否かを直感的に把握することができ、しかも、表示器１４の画面上に表示されている円Ｃの直径を変更する操作を行うだけで、変更後の円Ｃと実際のＣＴ撮像可能領域とが一致するように自動的に回転テーブル３が移動するので、設定変更操作も極めて容易となる。
【００３０】
なお、以上の実施の形態においては、円Ｃの直径を変更したとき、回転ステージ３をｘ軸方向に移動させる場合の例を示したが、Ｘ線検出器２をｘ軸方向に移動させたり、あるいはこれら双方をｘ軸方向に移動させても、同等の作用効果を奏することができる。
【００３１】
また、以上の実施の形態においては、ＣＣＤカメラ５をステージ駆動機構４に固定配置することにより、ステージ駆動機構４の移動に伴ってＣＣＤカメラ５も移動し、常に回転ステージ３の回転軸Ｒの直上に位置するように構成したが、このＣＣＤカメラ５は、例えば装置フレーム等に固定してもよい。この場合、被写体Ｗの光学像の撮影時に、ステージ移動機構４を駆動して回転ステージ３の回転軸ＲをＣＣＤカメラ５の光軸上に位置決めして光学像の撮影を行い、その被写体の光学像をメモリに記憶した後、ステージ駆動機構４の駆動により回転ステージ３をＣＴ撮像可能な所要位置に位置決めする。表示器１４には、メモリに記憶している被写体像を表示すればよい。更に、ＣＣＤカメラ５をｘ，ｙ方向に移動させる機構を設けて、被写体Ｗの光学像を撮影する際に回転ステージ３の回転軸Ｒ上にＣＣＤカメラ５を移動させる構成をも採用することができる。また、更に、以上の実施の形態においては、ＣＣＤカメラ５を回転軸Ｒ上に位置させたが、ＣＣＤカメラ５の視野中心は回転軸Ｒと完全に一致する必要はなく、略一致していれば足りる。この場合、ＣＣＤカメラ５により撮影された画像上で回転軸Ｒはその画像の中心から外れることになるが、その画像上での回転軸Ｒの位置が判明していれば、その位置を中心とした円Ｃを重畳表示することによって、上記した例と全く同等の作用効果を奏することができる。
【００３２】
次に本発明の他の実施の形態について説明する。図５はその構成図であり、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【００３３】
この実施の形態の特徴は、回転ステージ３の上に、被写体Ｗを搭載してｘ，ｙ方向に移動させる移動ステージ３０を設けている点と、その移動ステージ３０を自動的に駆動するための移動ステージコントローラ３１を備えている点である。なお、この実施の形態においては、上記した特徴的構成を除く他の構成については、先の実施の形態と同等であるためその詳細な説明を省略する。
【００３４】
さて、回転ステージ３上の移動ステージ３０は、移動ステージコントローラ３１からの駆動信号によってい駆動制御される。この移動ステージコントローラ３１はコンピュータ１５の支配下にあり、コンピュータ１５では、以下に示すようにオペレータによる回転中心の指定により、移動ステージコントローラ３１を介して移動ステージ３０を自動的に移動させる。
【００３５】
すなわち、Ｘ線源１、Ｘ線検出器２、回転ステージ３並びに移動ステージ３０の配置状況が図６に模式的平面図で示す通りであったとすると、表示器１４には図７に例示するような画像が表示される。このとき、被写体Ｗの注目領域Ｖについて、現時点の設定に比してより大きな倍率のもとに断層像を得たい場合、表示器１４の画面上で注目領域Ｖを操作部１６のマウス等を用いてクリックして回転中心を指定する。この指定により、コンピュータ１５は移動ステージコントローラ３１に指令を発し、画面上で指定された位置が回転ステージ３の回転軸Ｒ上に位置するように移動ステージ３０を自動的に移動させる。この状態を図８に示す。この状態では、表示器１４の画面は図９に示す通りとなる。
【００３６】
次に、前記したＣＴ撮像可能領域を表す円Ｃの直径を変更することによって撮像倍率を自動的に変更する機能を用い、注目領域Ｖの撮像倍率を所望の大きさに変更する。この場合、円Ｃの直径を小さくすることにより、コンピュータ１５はステージコントローラ１２を介してステージ移動機構４を駆動制御し、図１０に例示するように、回転ステージ３をｘ方向にＸ線源１に近づく向きに移動させる。この状態でＣＴ撮像を行うことにより、注目領域Ｖを中心とした高倍率の断層像を得ることができ、オペレータは表示器１４の画面上でマウス等を感覚的に操作するだけで、各機構が自動的に駆動制御されて最適なセッティング状態とすることができる。
【００３７】
なお、以上の実施の形態では、注目領域Ｖを回転軸Ｒ上に位置決めするに当たり、表示器１４の画面上で回転中心を指定する例を示したが、表示器１４に表示されているＣＴ撮像可能領域を表す円Ｃを、マウス等によりグリップして移動させ、注目領域Ｖを囲む位置に位置決めしてもよく、この場合、コンピュータ１５は、移動後の円Ｃの中心と回転軸Ｒとが一致するように移動ステージ３０を移動させるべく移動ステージコントローラ３１に指令を与えることにより、上記した実施の形態と同等の作用効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるＣＴ撮象可能領域の表示例の説明図である。
【図３】本発明の実施の形態においてノーマルスキャンを採用した場合におけるＣＴ撮象可能領域を表す円Ｃの大きさの計算方法の説明図である。
【図４】本発明の実施の形態においてオフセットスキャンを採用した場合におけるＣＴ撮象可能領域を表す円Ｃの大きさの計算方法の説明図である。
【図５】本発明の他の実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図６】図５の実施の形態の作用説明図であり、Ｘ線源１、Ｘ線検出器２、回転ステージ３および移動ステージ３０の当初の配置状況を示す模式的平面図である。
【図７】図６の状態における表示器１４の表示例の説明図である。
【図８】図５の実施の形態の作用説明図であり、図７の表示器１４の画面上で回転中心を指定することによって移動ステージ３０が移動した後の各部の配置状況を示す模式的平面図である。
【図９】図８の状態における表示器１４の表示例の説明図である。
【図１０】図９の表示画面上で円Ｃの直径を変更することによってステージ移動機構４により回転テー部３が移動した後の各部の配置状況を示す模式的平面図である。
【図１１】従来の産業用のＸ線ＣＴ装置の構成例を示す模式図で（Ａ）は正面図、（Ｂ）は平面図である。
【図１２】産業用のＸ線ＣＴ装置におけるノーマルスャキンおよびオフセットスキャンによるＸ線透過データの採取方法の説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  Ｘ線源
２  Ｘ線検出器
３  回転ステージ
４  ステージ移動機構
５  ＣＣＤカメラ
１０  高電圧発生装置
１１  Ｘ線コントローラ
１２  ステージコントローラ
１３  ＣＴ画像再構成演算装置
１４  表示器
１５  コンピュータ
１６  操作部
３０  移動ステージ
３１  移動ステージコントローラ
Ｃ  ＣＴ撮象可能領域を表す円
Ｌ  Ｘ線光軸
Ｒ  回転軸
Ｗ  被写体
【図１】
2005351879.tif 000003
【図２】
2005351879.tif 000004
【図３】
2005351879.tif 000005
【図４】
2005351879.tif 000006
【図５】
2005351879.tif 000007
【図６】
2005351879.tif 000008
【図７】
2005351879.tif 000009
【図８】
2005351879.tif 000010
【図９】
2005351879.tif 000011
【図１０】
2005351879.tif 000012
【図１１】
2005351879.tif 000013
【図１２】
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