(57)【要約】【課題】  効率的なシート材の搬送が可能で、省スペース且つ低コストで構成できるシート材搬送装置と、このシート材搬送装置を備えた画像記録装置を得る。【解決手段】  定盤２２内に上下に２つのステージ２４が配置される。上層に配置されたステージ２４は、マグネット機構４２によって往路（レール２６、２８）に引付けられ、さらにステージ駆動機構３０で駆動されて搬送される。下層に配置されたステージ２４は、ステージ移動機構９０の搬送ローラ９２（復路）で支持され、搬送ローラ９２の回転によって、上層とは逆方向に移動される。さらに、ステージ２４は、ステージ昇降機構８２による上昇とステージ昇降機構８４による降下とがなされて循環する。上層及び下層でステージ２４を循環させるので省スペースとなる。下層のステージ移動機構９０には高い搬送精度が要求されないので、低コストとなる。【選択図】        図１
2005225618.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート材を保持可能なステージと、
前記ステージをシート材の面に沿った方向の往路で往動作させる第１搬送機構と、
前記ステージをシート材の法線方向に見て往路と重なる復路で復動作させる第２搬送機構と、
前記ステージを前記往路と前記復路の少なくとも一方に対して前記法線方向に着脱可能とする着脱機構と、
を有することを特徴とするシート材搬送装置。
【請求項２】
前記第１搬送機構と前記第２搬送機構のいずれか一方の少なくとも一部が前記ステージ内に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート材搬送装置。
【請求項３】
前記着脱機構の少なくとも一部が前記ステージ内に設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のシート材搬送装置。
【請求項４】
前記ステージに対して、前記第１搬送機構と前記第２搬送機構との間での振動伝達を減衰させる減衰部材、
を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のシート材搬送装置。
【請求項５】
前記着脱機構が、磁石と、この磁石の磁力を切り替えて往路又は復路に着脱可能とする切替機構と、
を含んで構成されることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のシート材搬送装置。
【請求項６】
前記着脱機構が、往路又は復路に対して押し付けられる押し付け部材と、この押し付け部材を往路又は復路に対して接離させる接離機構と、
を含んで構成されることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のシート材搬送装置。
【請求項７】
前記ステージの前記往路又は前記復路への装着時に衝撃を緩和する緩和部材、を有することを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載のシート材搬送装置。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載のシート材搬送装置と、
画像情報に応じて光源から照射された光を、前記シート材搬送装置によって往路又は復路で搬送されるシート材に照射する露光ヘッドと、
を有することを特徴とする画像記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート材搬送装置及び画像記録装置に関し、さらに詳しくは、シート材を搬送しつつ画像記録する画像記録装置に用いられるシート材搬送装置と、このシート材搬送装置を備えた画像記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、画像記録装置の一例として、ステージ上に保持されたシート材を一定の搬送速度で搬送しつつ、シート材に光ビームで露光を行って画像を記録するものがある。
【０００３】
たとえば、特許文献１には、ステージをガイドレールに沿って移動可能とし、送りネジを回転させることで往復させるようにしたレーザー露光装置が開示されている。しかし、特許文献１のレーザー露光装置では、ステージが単に往復するため、ステージを戻している間は露光ができず、効率が悪い。
【０００４】
これに対し、複数のステージを用意し、ステージを循環させつつ、たとえば往動作において露光し復動作ではステージのみを戻すようにすると、効率的な画像記録を行うことができる。このような構成としては、たとえば、ステージを移動させるレールを２つ並べて配置し、レールを移動させてステージに抜き差しし、これら２つのレール間を載せ代える構成が挙げられる。しかし、このような構成では、横方向（ステージ移動方向と直交する方向）にステージ２枚分のスペースが必要で、大型化を招く。
【０００５】
これに対し、ステージを片持ち状に支持し、ステージの搬送と昇降（移動方向と直交する方向への移動）とを可能にする構造が考えられる。しかし、この構造では、複数のステージのそれぞれに対して独立して高精度の搬送機構が必要で、コスト高を招く。
【特許文献１】特開２０００−３３８４３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記事実を考慮し、効率的なシート材の搬送が可能で、省スペース且つ低コストで構成できるシート材搬送装置と、このシート材搬送装置を備えた画像記録装置を得ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明では、シート材を保持可能なステージと、前記ステージをシート材の面に沿った方向の往路で往動作させる第１搬送機構と、前記ステージをシート材の法線方向に見て往路と重なる復路で復動作させる第２搬送機構と、前記ステージを前記往路と前記復路の少なくとも一方に対して前記法線方向に着脱可能とする着脱機構と、を有することを特徴とする。
【０００８】
このシート材搬送装置では、シート材を保持したステージが、第１搬送機構によって往路で往動作され、第２搬送機構によって復路で復動作されて循環する。復路は、ステージをシート材の法線方向に見て往路と重なるように設けられているので、ステージ幅方向にレールなどを配置するスペースが不要で、省スペースとなる。
【０００９】
ステージは、着脱機構によって、往路と復路の少なくとも一方に対してシート材の法線方向に着脱可能とされている。ステージを確実に往路又は復路に保持させて移動させることで、高精度の移動が可能となるので、この状態でたとえばステージ上のシート材に露光などを行うことができる。しかも、ステージは、往路又は復路の少なくとも一方に保持させれば十分であり、高い精度が要求される搬送機構は、第１搬送機構と第２搬送機構のいずれか一方ですむ。したがって、低コストでこのシート材搬送装置を構成できる。ステージは、往路と復路とを循環されるので、効率的なシート材の搬送が可能となる。
【００１０】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記第１搬送機構と前記第２搬送機構のいずれか一方の少なくとも一部が前記ステージ内に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
これにより、さらに省スペースでシート材搬送装置を構成できる。
【００１２】
請求項３に記載の発明では、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記着脱機構の少なくとも一部が前記ステージ内に設けられていることを特徴とする。
【００１３】
これにより、さらに省スペースでシート材搬送装置を構成できる。
【００１４】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の発明において、前記ステージに対して、前記第１搬送機構と前記第２搬送機構との間での振動伝達を減衰させる減衰部材、を有することを特徴とする。
【００１５】
したがって、ステージの往動作時や復動作時、前記第１搬送機構と前記第２搬送機構との間での振動伝達が減衰され、より高精度でステージを移動させることが可能になる。
【００１６】
本発明の着脱機構としては、たとえば、請求項５に記載のように、磁石と、この磁石の磁力を切り替えて往路又は復路に着脱可能とする切替機構と、で構成されていてもよいし、請求項６に記載のように、往路又は復路に対して押し付けられる押し付け部材と、この押し付け部材を往路又は復路に対して接離させる接離機構と、を含んで構成されていてもよよい。押し付け部材は、往路又は復路に直接的に押し付けられてもよいし、他の部材を介して間接的に押し付けられてもよい。
【００１７】
請求項７に記載の発明では、前記ステージの前記往路又は前記復路への装着時に衝撃を緩和する緩和部材、を有することを特徴とする。
【００１８】
緩和部材で衝撃を緩和することで、他方のステージへの振動伝達を抑制し、一方のステージが装着中であっても、他方のステージでの露光を可能にする。
【００１９】
請求項８に記載の発明では、請求項１〜請求項７のいずれかに記載のシート材搬送装置と、画像情報に応じて光源から照射された光を、前記シート材搬送装置によって往路又は復路で搬送されるシート材に照射する露光ヘッドと、を有することを特徴とする。
【００２０】
この画像記録装置では、シート材搬送装置でシート材を往路又は復路で搬送しつつ、光源からシート材に光を照射して画像記録（露光）する。
【００２１】
請求項１〜請求項７のいずれかに記載のシート材搬送装置を有しているので、効率的にシート材を搬送して露光可能で、しかも省スペース且つ低コストとなる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は上記構成としたので、効率的なシート材の搬送が可能で、省スペース且つ低コストで構成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１〜図４には、本発明の第１実施形態のシート材搬送装置２０を備えた画像記録装置１２が示されている。この画像記録装置１２は、搬送部１４と記録部１６とで構成されており、感光材料であるシート材１８を所定の搬送速度で矢印Ｆ方向に搬送（走査）しつつ、その表面に光ビームによって画像を記録する。以下、単に「搬送方向」というときはシート材１８の搬送方向と同方向をいい、単に「幅方向」というときはシート材１８の幅方向（矢印Ｗ方向）と同方向をいう。
【００２４】
搬送部１４は、図２に示すように、端面が四角形の枠状とされた定盤２２を備えている。定盤２２の上板２２Ｕは、定盤２２の長手方向（搬送方向と同方向）全域に渡って開口され、開口部２２Ｋとされている。
【００２５】
定盤２２内には、シート材１８を保持する２つのステージ２４が収容されており、一方のステージ２４Ａが上層に位置しているときには、他方のステージ２４Ｂは下層に位置している。これらのステージ２４は全く同一の構成とされており、後述するように、上層での搬送方向への移動と、下層での戻り（搬送方向と逆方向への移動）とを繰り返して、定盤２２内を循環する。
【００２６】
定盤２２の上板２２Ｕ（開口部２２Ｋの両側部分）には、その下面に１本ずつレール２６、２８が取り付けられている。レール２６、２８はそれぞれ搬送方向に沿って配置されており、本発明における往路を構成している。
【００２７】
ステージ２４からは、それぞれのレール２６、２８に対応する位置に、ステージ駆動機構３０が設けられている。ステージ駆動機構３０は、搬送方向に沿って２つ（合計で１つのステージ２４あたり４つ）配置されている。図５に詳細に示すように、ステージ駆動機構３０は、駆動ローラ３８を有しており、駆動ローラ３８は、モータ３２の駆動力をモータローラ３４及びアイドルローラ３６を介して受けて回転する。図２から分かるように、駆動ローラ３８はレール２６、２８に接触しており、駆動ローラ３８の回転によって、上層に位置しているステージ２４が搬送方向に移動される。なお、アイドルローラ３６はバネ４０によって、モータローラ３４及び駆動ローラ３８の双方に接触する方向に付勢されており、不用意にすべることなく確実に駆動力を伝達できるようになっている。
【００２８】
ステージ２４にはエンコータ３９が設けられており、エンコータ３９からの信号によって、ステージ２４が一定速度で搬送されるようにモータ３２が制御される。
【００２９】
図２に示すように、一方のレール２６は駆動ローラ３８との接触面が平坦とされているが、これと平行に配置された他方のレール２８の駆動ローラ３８との接触面は、幅方向中央に向かって次第に高くなる誘い込み面２８Ｓとされている。後述するように、ステージ２４が上昇して駆動ローラ３８がレール２８に接触しさらに上昇すると、この誘い込み面２８Ｓによって幅方向に移動してステージ２４が位置決めされる。
【００３０】
ステージ２４には、ステージ駆動機構３０よりも幅方向外側に、マグネット機構４２が設けられている。マグネット機構４２は、図１から分かるように、搬送方向に沿って２つ（合計で１つのステージ２４あたり４つ）配置されている。図６に詳細に示すように、マグネット機構４２は、２つの鉄心４４と、これらの間に配置された磁石４６を備えている。磁石４６は回転台４８に固定されており、モータ５０からの駆動力がウォームギヤ５２を介して回転台４８に伝達されると、磁石４６が回転する。この回転により、磁石４６は、その極が鉄心４４に接触した位置（実線で示す）と、鉄心４４から離間した位置（二点鎖線で示す）との間を移動する。磁石４６が鉄心４４に接触した状態（マグネットオン状態）では、磁力が鉄心４４に作用するので、鉄心４４は定盤２２の上板２２Ｕに引付けられる。これにより、駆動ローラ３８がレール２６、２８に接触して、ステージ２４が往路に保持される。
【００３１】
これに対し、磁石４６が鉄心４４から離間した状態（マグネットオフ状態）では、磁力が鉄心４４に作用しないので、鉄心４４は定盤２２の上板２２Ｕに引付けられることはない。
【００３２】
ステージ２４には、ステージ駆動機構３０よりも幅方向内側に、衝撃緩衝ユニット５４が設けられている。衝撃緩衝ユニット５４もマグネット機構４２と同様に、搬送方向に沿って２つ（合計で１つのステージ２４あたり４つ）設けられている。それぞれの衝撃緩衝ユニット５４は、ステージ２４上に立設された支柱５６と、支柱５６の上端に固定された弾性体５８とで構成されている。
【００３３】
定盤２２の上板２２Ｕには、ステージ２４が上昇したときに弾性体５８が接触する位置に、案内片６０が固定されている。案内片６０には、搬送方向下流側向かうにしたがって上昇する案内面６０Ａが形成されている。ステージ２４の上昇によって、まず弾性体５８が案内面６０Ａに接触し、ステージ２４の往路への装着時の衝撃が緩和される。弾性体５８が案内面６０Ａに接触した直後は、ステージ駆動機構３０の駆動ローラ３８がレール２６、２８に接触しないが、さらにステージ２４が上昇すると、案内面６０Ａによってステージ２４は搬送方向にもわずかに移動される。この上昇途中で、駆動ローラ３８がレール２６、２８に接触するように、案内面６０Ａの位置（高さ）が決められている。
【００３４】
図１及び図２に示すように、定盤２２の下板２２Ｓには、搬送方向上流側及び下流側にそれぞれ、ステージ昇降機構８２、８４が設けられている。ステージ昇降機構８２、８４はそれぞれ、複数本（図面ではぞれぞれ２本ずつ）の支持アーム８６が下板２２Ｓから立設されて、図示しない昇降駆動源によって昇降可能とされている。支持アーム８６の上端に設けられた支持板８６Ｐで、ステージ２４を下方から支持して、昇降させることができる。
【００３５】
さらに、下板２２Ｓには、保持部材８８を介して、ステージ移動機構９０が設けられている。ステージ移動機構９０は、搬送方向に所定間隔をあけて配置された複数の搬送ローラ９２を有しており、この搬送ローラ９２が、本発明における復路を構成している。搬送ローラ９２上にはステージ２４を支持することができ、支持状態で搬送ローラ９２を回転させて、ステージ２４を搬送方向と反対方向に移動する（戻す）ことができる。なお、支持アーム８６は、最も降下したときに支持板８６Ｐが搬送ローラ９２よりも下方に位置するようになっており、搬送ローラ９２によるステージ２４の搬送に影響しないようにされている。
【００３６】
ステージ移動機構９０の上流側端部には、ストッパ９８が取り付けられており、搬送ローラ９２によるステージ２４の上流方向への不用意な移動が制限される。
【００３７】
保持部材８８には、ステージ２４のぞれぞれに対応するケーブルベア９４が設けられており、ステージ２４に、必要な電力を供給したり、制御信号を送受信したりできるようになっている。
【００３８】
図２に示すように、下板２２Ｓと保持部材８８との間には、防振ゴム９６が配置されており、下側のステージ２４が移動するときのステージ移動機構９０（保持部材８８）から、ステージ駆動機構３０、定盤２２及び上側のステージ２４への振動伝達が減衰される。
【００３９】
図７（Ｂ）には、記録部１６の構成が示されている。記録部１６は、複数の露光ヘッド６４で構成された露光ヘッドユニット６２を備えている。露光ヘッドユニット６２は、開口部２２Ｋに位置しており、往路を一定速度で搬送されるステージ２４上のシート材に対し、それぞれの露光ヘッド６４からは所定のタイミングで光ビームを照射して、シート材１８を露光することができるようになっている。
【００４０】
露光ヘッド６４は、図８に示すように、入射された光ビームを画像データに応じて各画素ごとに変調するＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）６６を備えている。ＤＭＤ６６は図６に示すように、ＳＲＡＭセル（メモリセル）６８上に、微小ミラー（マイクロミラー）７０が支柱により支持されて配置されたものであり、画素（ピクセル）を構成する多数のの微小ミラーを格子状に配列して構成されたミラーデバイスである。各ピクセルには、最上部に支柱に支えられたマイクロミラー７０が設けられており、マイクロミラー７０の表面にはアルミニウム等の反射率の高い材料（たとえば反射率９０％以上）が蒸着されている。マイクロミラー７０の直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭセル６８が配置されており、全体はモノリシック（一体型）に構成されている。
【００４１】
ＤＭＤ６６のＳＲＡＭセル６８にデジタル信号が書き込まれると、支柱に支えられたマイクロミラー７０が、対角線を中心としてＤＭＤ６６が配置された基板側に対して±α度（例えば±１０度）の範囲で傾けられる。図９（Ａ）は、マイクロミラー７０がオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、図９（Ｂ）は、マイクロミラー７０がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。従って、画像信号に応じて、ＤＭＤ６６の各ピクセルにおけるマイクロミラー７０の傾きを図５に示すように制御することによって、ＤＭＤ６６に入射された光はそれぞれのマイクロミラー７０の傾き方向へ反射される。
【００４２】
図７（Ｂ）に示すように、複数の露光ヘッド６４は、ｍ行ｎ列（たとえば図示した例では２行５列）の略マトリックス状に配列されており、これら複数の露光ヘッド６４が、シート材１８を幅方向全域で露光可能となるように配置される。
【００４３】
１つの露光ヘッド６４による露光エリア７４は、走査方向に対して傾斜しており、走査線の間隔を密にして、より高い解像度が得られるようになっている。そして、シート材１８の搬送（走査）に伴い、図７（Ａ）に示すように、シート材１８に露光ヘッド６４ごとに帯状の露光領域が隙間無く形成される。
【００４４】
記録部１６には、露光ヘッド６４の上流側に、検知センサー７２が設けられている。検知センサー７２は、たとえばシート材１８の先端や後端を検出可能とされており、検出された位置データを基に、所定のタイミングで露光ができるように、露光ヘッド６４が制御される。
【００４５】
このような構成とされた本実施形態の画像記録装置１２を使用して、シート材１８に画像を記録する場合、まず、図１に示すように、上側のステージ２４Ａを搬送方向上流側に、下側のステージ２４Ｂを搬送方向下流側に位置させる。上側のステージ２４Ａでは、マグネット機構４２がマグネットオン状態とされており、ステージ２４が定盤２２の上板２２Ｕに引付けられている。これに対し、下側のステージＢではマグネット機構４２がマグネットオフ状態とされている。なお、このとき、上側のステージ２４Ａにはシート材１８が保持されている。
【００４６】
上側のステージ２４Ａでは、駆動ローラ３８がレール２６、２８に接触しているので、モータ３２の駆動によって駆動ローラ３８を回転させて、ステージ２４Ａを下流側に搬送する。このとき、下側のステージ２４Ｂは搬送ローラ９２に支持されており、搬送ローラ９２の回転でステージ２４Ｂは上流側へと送られる。ステージ２４Ｂが上流側へ移動するときには振動が発生するが、ステージ２４Ａへの振動伝達は防振ゴム９６によって減衰される。これにより、高精度でステージ２４Ａを搬送することができる。
【００４７】
このようにして、ステージ２４Ａ、２４Ｂを同時に移動させつつ、上側のステージ２４Ａに保持されたシート材１８に対しては、記録部１６において、変調された光ビームを照射して露光し、画像記録を行う。
【００４８】
図３に示すように、シート材１８への画像記録が終了すると、上側のステージ２４Ａは搬送方向下流側に位置し、下側のステージ２４Ｂは搬送方向上流側に位置する。
【００４９】
次に、搬送方向下流側のステージ昇降機構８４を上昇させて、支持アーム８６の支持板８６Ｐとステージ２４との間にわずかな隙間が生じる程度とする。ここで、ステージ２４Ａのマグネット機構４２をマグネットオフ状態とすると、ステージ２４が上板２２Ｕに引付けられなくなるので重量によって降下するが、直ちに支持アーム８６の支持板８６Ｐに接触して支持される。
【００５０】
この状態で、図４に示すように、下流側のステージ昇降機構８４の支持アーム８６を降下させ、上流側のステージ昇降機構８２の支持アーム８６を上昇させる。下流側の支持アーム８６の支持板８６Ｐを、さらに搬送ローラ９２よりも下方まで降下させると、ステージ２４Ａは、搬送ローラ９２で支持される。
【００５１】
これに対し、上流側の支持アーム８６が上昇すると、まず、ステージ２４Ｂの衝撃緩衝ユニット５４の弾性体５８が案内片６０の案内面６０Ａに接触する。弾性体５８の弾性変形により、接触時の衝撃が緩和される。このため、ステージ２４Ａ上のシート材１８が露光中であっても、この露光に影響を与えることはなく、継続しての露光動作が可能となる。
【００５２】
ここで、マグネット機構４２をマグネットオン状態とすると、磁石４６の磁力が鉄心に作用し、ステージ２４Ｂが上板２２Ｕに引付けられてさらに上昇する。これにより、ステージ２４Ｂは搬送方向下流側にもわずかに移動し、レール２６、２８に駆動ローラ３８が接触する。レール２８では、駆動ローラ３８が誘い込み面２８Ｓに誘い込まれ、ステージ２４Ｂが幅方向に移動して位置決めされる。マグネット機構４２の磁力により、レール２６、２８に対して駆動ローラ３８が所定の接触圧で接触して、ステージ２４Ｂが往路に装着される。
【００５３】
このようにして、ステージ２４Ａ、２４Ｂの位置が完全に入れ替わる。上側に位置することとなったステージ２４Ｂにシート材１８を保持させ、以後は同様の動作を繰り返すことで、連続してシート材１８への画像記録を効率的に行うことができる。
【００５４】
以上の説明から分かるように、本実施形態のシート材搬送装置２０では、複数（２つ）のステージ２４を、保持されたシート材１８の法線方向に見て重なる２つの移動路（往路及び復路）で移動させるようにしているので、ステージ幅方向に２枚分のスペースを必要とした従来と比較して、省スペースで構成できる。
【００５５】
また、ステージ２４を、画像記録を行うときの移動路である往路（レール２６、２８）に対してマグネット機構４２の定盤２２に対する磁力（引力）により着脱可能としているので、往動作時には確実に往路にステージ２４を保持させ、高精度で往動作させることが可能となる。しかも、マグネット機構４２をマグネットオフ状態とするだけで、容易にステージ２４を往路から離脱させることができる。
【００５６】
また、往路ではステージ２４を確実に保持する一方で、画像記録を行わない復路では、ステージを戻すことができれば十分であり、高精度の保持機構や搬送機構は不要となる。本実施形態では、復路の駆動機構として搬送ローラ９２を用いることで、低コストでシート材搬送装置２０を構成している。
【００５７】
なお、本実施形態では、ステージ駆動機構３０及びマグネット機構４２をステージ２４に設けることで、より省スペースとなるようにしているが、これらは、ステージ２４の外部に設けられていてもよい。
【００５８】
上記説明では、往路でステージ２４を移動（往動作）させるときにシート材１８に画像を記録し、復路ではステージを単にステージを移動（復動作）させるのみとしたが、この逆で、往動作ではステージを単に送り、復動作でシート材１８への画像記録を行うようにしてもよい。たとえば、図１、図３及び図４において、ステージ２４の循環方向を反時計回り方向にすればよい。
【００５９】
ステージ駆動機構としては、少なくともシート材１８に画像記録を行う際にステージを確実に移動させることができれば十分であり、上記したステージ移動機構９０に限定されない。また、本発明の着脱機構としても、レール２６、２８に対する駆動ローラ３８の接触圧を確保できれば上記したマグネット機構４２に限定されず、たとえば、図１０に示すものを適用できる。
【００６０】
図１０に示す着脱機構１０２では、ステージ２４に立設された支持壁１０４の上端に、ヒンジ１０６によってアーム１０８が回動可能に取り付けられている。アーム１０８の先端には押圧ローラ１１０が取り付けられており、アーム１０８が横臥した姿勢（実線で示す）では、押圧ローラ１１０が定盤２２の上板２２Ｕに接触して駆動ローラ３８とで上板２２Ｕを挟持するが、アーム１０８が立ち上がると（二点鎖線で示す）、挟持は解除される。
【００６１】
支持壁１０４の中間にはモータ１１２によってウォームギヤ１１４が回転すると、この回転によって昇降する昇降プレート１１６が設けられている。昇降プレート１１６からはさらに押圧ピン１１８が立設されており、昇降プレート１１６が上昇すると、押圧ピン１１８がアーム１０８の中間部を押圧し、アーム１０８を立ち上げる。昇降プレート１１６とアーム１０８との間には引っ張りコイルバネ１２０が掛け渡されており、昇降プレート１１６の降下によって押圧ピン１１８がアーム１０８から離れるとアーム１０８を下方に引っ張って、押圧ローラ１１０を定盤２２の上板２２Ｕに押し付ける。これにより、押圧ローラ１１０は上板２２Ｕを介して間接的にレール２６、２８に押し付けられる。
【００６２】
したがって、この構成の着脱機構１０２では、モータ１１２を回転させてアーム１０８の姿勢を変えるだけで、レール２６、２８に対するステージ２４の脱着を行うと共に、レール２６、２８に対する駆動ローラ３８の接触圧を確保できる。
【００６３】
上記では、空間光変調素子であるＤＭＤを備えた露光ヘッド６４を挙げたが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ；Ｓｐａｃｉａｌ  Ｌｉｇｈｔ  Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、Ｇｒａｔｉｎｇ Ｌｉｇｈｔ Ｖａｌｖｅ（ＧＬＶ）を複数ならべて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。
【００６４】
上記の露光装置は、例えば、プリント配線基板（ＰＷＢ；Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｗｉｒｉｎｇ  Ｂｏａｒｄ）の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト（ＤＦＲ；Ｄｒｙ  Ｆｉｌｍ  Ｒｅｓｉｓｔ）の露光、液晶表示装置（ＬＣＤ）の製造工程におけるカラーフィルタの形成、ＴＦＴの製造工程におけるＤＦＲの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）の製造工程におけるＤＦＲの露光等の用途に好適に用いることができる。
【００６５】
また、上記の露光装置には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＧａＮ系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザ（赤外レーザ）、固体レーザが使用される。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の第１実施形態の画像記録装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】本発明の第１実施形態の画像記録装置の概略構成を示す側面図である。
【図３】本発明の第１実施形態の画像記録装置の概略構成を示す正面図である。
【図４】本発明の第１実施形態の画像記録装置の概略構成を示す正面図である。
【図５】本発明の第１実施形態の画像記録装置のステージ駆動機構を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【図６】本発明の第１実施形態の画像記録装置のマグネット機構を示す正面図である。
【図７】（Ａ）はシート材に形成される露光済み領域を示す平面図であり、（Ｂ）は各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す説明図である。
【図８】本発明の第１実施形態の露光ヘッドに係るデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）の構成を示す部分拡大図である。
【図９】（Ａ）及び（Ｂ）は本発明の第１実施形態の露光ヘッドに係るＤＭＤの動作を説明するための説明図である。
【図１０】本発明の画像記録装置に適用可能な着脱機構の別の例を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
【００６７】
１２   画像記録装置
１４   搬送部
１６   記録部
１８   シート材
２０   シート材搬送装置
２２   定盤
２４   ステージ
２６   レール
２８   レール
３０   ステージ駆動機構（第１搬送機構）
４２   マグネット機構（着脱機構）
５４   衝撃緩衝ユニット（緩和部材）
６２   露光ヘッドユニット
８２   ステージ昇降機構
８４   ステージ昇降機構
９０   ステージ移動機構（第２搬送機構）
９２   搬送ローラ
９６   防振ゴム（減衰部材）
１０２ 着脱機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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