(57)【要約】【課題】  高信頼・低コストのプリントコイルを製造可能なプリントコイル用アートワークを提供する。【解決手段】  プリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成することを特徴とするプリントコイル用アートワーク。【選択図】                    図１
2005123228.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、
前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成することを特徴とするプリントコイル用アートワーク。
【請求項２】
前記テストクーポンは、第１測定用端子領域と、前記第１測定用端子領域から積層ずれに基づく所定の間隙を有し、第２測定用端子領域に接続するパターンとを備えることを特徴とする請求項１記載のプリントコイル用アートワーク。
【請求項３】
前記テストクーポンは、一端に第１測定用端子領域を接続し他端に第２測定用端子領域を接続し、エッチング精度に基づく所定の幅及び間隙を有する渦巻き状のコイルパターンを備えることを特徴とする請求項１記載のプリントコイル用アートワーク。
【請求項４】
前記テストクーポンは、一端に第１測定用端子領域を接続し他端に第２測定用端子領域を接続する第１パターンと、一端に第３測定用端子領域を接続し他端に第４測定用端子領域を接続し、前記第１パターンからエッチング精度に基づく所定の幅及び間隙を有する第２パターンとを備えることを特徴とする請求項１記載のプリントコイル用アートワーク。
【請求項５】
前記テストクーポンは、一端に第１測定用端子領域を接続する第１くし型パターンと、一端に第２測定用端子領域を接続し、前記第１くし型パターンからマイグレーションに基づく所定の間隙を有する第２くし型パターンとを備えることを特徴とする請求項１記載のプリントコイル用アートワーク。
【請求項６】
前記テストクーポンは、第１スルーホール領域と、前記第１スルーホール領域からマイグレーションに基づく所定の間隙を有する第２スルーホール領域と、前記第１スルーホール領域に接続する第１測定用端子領域と、前記第２スルーホール領域に接続する第２測定用端子領域とを備えることを特徴とする請求項１記載のプリントコイル用アートワーク。
【請求項７】
前記テストクーポンは、ヒートサイクル加速試験等に基づくスルーホール領域と、前記スルーホール領域に接続する第１測定用端子領域または前記スルーホール領域に接続する第２測定用端子領域とを備えることを特徴とする請求項１記載のプリントコイル用アートワーク。
【請求項８】
前記テストクーポンは、層間厚みに基づく所定の形状に形成するベタパターンと、前記ベタパターンに接続し、積層数に基づく所定の位置に形成する測定用端子領域とを備えることを特徴とする請求項１記載のプリントコイル用アートワーク。
【請求項９】
前記テストクーポンは、前記プリントコイル用アートワーク内の四隅に配置することを特徴とする請求項１記載のプリントコイル用アートワーク。
【請求項１０】
前記テストクーポンは、前記測定用端子領域を囲む複数個の前記パターンを備えることを特徴とする請求項２記載のプリントコイル用アートワーク。
【請求項１１】
前記間隙を段階的に変化する複数種類の前記テストクーポンを備えることを特徴とする請求項２または請求項１０の何れかに記載のプリントコイル用アートワーク。
【請求項１２】
前記第１パターン及び前記第２パターンは、銅箔が蜜になる領域と銅箔が疎になる領域とを備えることを特徴とする請求項４記載のプリントコイル用アートワーク。
【請求項１３】
前記テストクーポンは、前記第１くし型パターンまたは前記第１スルーホール領域に接続する第３測定用端子領域と、前記第２くし型パターンまたは前記第２スルーホール領域に接続するに接続する第４測定用端子領域とを備えることを特徴とする請求項５または請求項６の何れかに記載のプリントコイル用アートワーク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークに関し、特に、高信頼・低コストのプリントコイルを製造可能な好適なプリントコイル用アートワークに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のプリントコイル用アートワークは、プロセスの品質を管理するテストクーポンを備える。そして、一般的に、テストクーポンは、アートワークの周辺部分、即ち、枠領域に形成する。一方、アートワークの中央領域（製品領域）には、製品が形成される。
【０００３】
また、プリントコイル用アートワークは、複数のプリントコイルパターンを所定の位置に格子状に配置する。さらにまた、各層のプリントコイル用アートワークに基づきアートワーク積層板を形成し、アートワーク積層板を切断して複数個のプリントコイルを形成する。そして、アートワーク積層板は、各層をエポキシ樹脂で充填し、積層して形成する。
【０００４】
さらに、アートワーク積層板のテストクーポン領域は断面カットされる。そして、その断面は、研磨の後スケール付きの顕微鏡等を利用して目視検査する。このようにして、テストクーポンからエッチング精度が十分かどうか、めっき厚が十分であるかどうか等を確認する。
【０００５】
また、従来の多層配線版は、製品領域内に形成すると共に、テスターによる導通検査を行うテストクーポンを備えるものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２２３８４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のプリントコイル用アートワークは、テストクーポンの形成により、製品領域は圧迫され、製品の取り数は減少するという課題があった。
【０００８】
また、テストクーポンを枠領域に形成する場合では、製品領域内におけるプロセスのばらつきを確認することができないという課題があった。
【０００９】
さらに、テストクーポンを目視検査する検査方法は、検査時間が長いという課題があった。
【００１０】
本発明の目的は、以上説明した課題を解決するものであり、高信頼・低コストのプリントコイルを製造可能なプリントコイル用アートワークを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような目的を達成する本発明は、次の通りである。
(１)プリントコイルのプロセスの品質を管理するテストクーポンを備えるプリントコイル用アートワークにおいて、前記テストクーポンは、前記プリントコイルのコア穴領域に形成することを特徴とするプリントコイル用アートワーク。
【００１２】
（２）前記テストクーポンは、第１測定用端子領域と、前記第１測定用端子領域から積層ずれに基づく所定の間隙を有し、第２測定用端子領域に接続するパターンとを備えることを特徴とする（１）記載のプリントコイル用アートワーク。
【００１３】
（３）前記テストクーポンは、一端に第１測定用端子領域を接続し他端に第２測定用端子領域を接続し、エッチング精度に基づく所定の幅及び間隙を有する渦巻き状のコイルパターンを備えることを特徴とする（１）記載のプリントコイル用アートワーク。
【００１４】
（４）前記テストクーポンは、一端に第１測定用端子領域を接続し他端に第２測定用端子領域を接続する第１パターンと、一端に第３測定用端子領域を接続し他端に第４測定用端子領域を接続し、前記第１パターンからエッチング精度に基づく所定の幅及び間隙を有する第２パターンとを備えることを特徴とする（１）記載のプリントコイル用アートワーク。
【００１５】
（５）前記テストクーポンは、一端に第１測定用端子領域を接続する第１くし型パターンと、一端に第２測定用端子領域を接続し、前記第１くし型パターンからマイグレーションに基づく所定の間隙を有する第２くし型パターンとを備えることを特徴とする（１）記載のプリントコイル用アートワーク。
【００１６】
（６）前記テストクーポンは、第１スルーホール領域と、前記第１スルーホール領域からマイグレーションに基づく所定の間隙を有する第２スルーホール領域と、前記第１スルーホール領域に接続する第１測定用端子領域と、前記第２スルーホール領域に接続する第２測定用端子領域とを備えることを特徴とする（１）記載のプリントコイル用アートワーク。
【００１７】
（７）前記テストクーポンは、ヒートサイクル加速試験等に基づくスルーホール領域と、前記スルーホール領域に接続する第１測定用端子領域または前記スルーホール領域に接続する第２測定用端子領域とを備えることを特徴とする（１）記載のプリントコイル用アートワーク。
【００１８】
（８）前記テストクーポンは、層間厚みに基づく所定の形状に形成するベタパターンと、前記ベタパターンに接続し、積層数に基づく所定の位置に形成する測定用端子領域とを備えることを特徴とする（１）記載のプリントコイル用アートワーク。
【００１９】
（９）前記テストクーポンは、前記プリントコイル用アートワーク内の四隅に配置することを特徴とする（１）記載のプリントコイル用アートワーク。
【００２０】
（１０）前記テストクーポンは、前記測定用端子領域を囲む複数個の前記パターンを備えることを特徴とする（２）記載のプリントコイル用アートワーク。
【００２１】
（１１）前記間隙を段階的に変化する複数種類の前記テストクーポンを備えることを特徴とする（２）または（１０）の何れかに記載のプリントコイル用アートワーク。
【００２２】
（１２）前記第１パターン及び前記第２パターンは、銅箔が蜜になる領域と銅箔が疎になる領域とを備えることを特徴とする（４）記載のプリントコイル用アートワーク。
【００２３】
（１３）前記テストクーポンは、前記第１くし型パターンまたは前記第１スルーホール領域に接続する第３測定用端子領域と、前記第２くし型パターンまたは前記第２スルーホール領域に接続するに接続する第４測定用端子領域とを備えることを特徴とする（５）または（６）の何れかに記載のプリントコイル用アートワーク。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
本発明によれば、高信頼・低コストのプリントコイルを製造可能なプリントコイル用アートワークを提供できる。そして、高信頼・低コストのプリントコイルを提供できる。
【００２５】
また、検査の自動化・省力化・迅速化ができる。さらに、アートワークの製品領域内における品質の分布を確認できる。そして、精度の高いプロセス管理が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下に図１に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例を示す平面図である。
【００２７】
図１の実施例の特徴は、テストクーポン１３の配置にある。
【００２８】
同図において、アートワーク１０は、複数のプリントコイルパターン１１、アートワーク枠１２、テストクーポン１３、アートワーク基準穴１４、アートワーク識別バーコード１５、アートワーク識別バーコード１６を備える。
【００２９】
また、複数のプリントコイルパターン１１は所定の位置に格子状に配置する。さらに、テストクーポン１３は、プリントコイルのコア穴領域に形成する。そして、コア穴領域は、アートワークの製品領域に属する。
【００３０】
このような、テストクーポン１３は、製品領域を圧迫しない。即ち、プリントコイルパターン１１（製品）の取り数は、テストクーポン１３に左右されない。そして、テストクーポン１３に対応する領域であるコア穴領域に対応する領域は、アートワーク積層板からプリントコイルを形成する際に切り取られる。
【００３１】
よって、図１の実施例に基づくプリントコイルは、無駄になる材料が少なく、低コストになる。
【００３２】
さらに、テストクーポン１３は、アートワーク１０内の四隅に配置する。このような配置によれば、積層ずれ等を精度よく検出可能となる。そして、例えば、四隅の積層ずれが全て中心方向のときは、積層時に収縮が発生したと推測する。なお、図１の実施例とは別に、テストクーポン１３を全面に配置するようにしてもよい。
【００３３】
また、図１の実施例によれば、テストクーポン１３は、プリントコイルパターン１１に非常に近い領域に配置するため、テストクーポン１３の領域におけるプロセスの品質は、プリントコイルパターン１１の領域におけるプロセスの品質とほぼ等しくなり、高信頼のプリントコイルの製造が可能となる。さらに、低コスト化にも寄与する。
【００３４】
さらに、図１の実施例のアートワーク１０は、プリントコイルの各層毎に形成する。そして、これらのアートワーク１０に基づき各層のプリントコイルパターン等を形成し、各層を積層してアートワーク積層板を形成する。また、各層を積層した後に、スルーホール等を形成する。
【００３５】
第１に、図２を用いて積層ずれに係るテストクーポンについて説明する。図２（ａ）は、本発明の実施例の積層ずれに係るテストクーポンを示す平面図であり、図２（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板２６のテストクーポン領域の断面図である。
【００３６】
図２の実施例の特徴は、第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１と、パターン２２からパターン２５との構成にある。
【００３７】
まず、図２（ａ）において、コア穴２０の内部に形成するテストクーポンは、スルーホール領域ＴＨ１、第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ２からスルーホール領域ＴＨ５、パターン２２からパターン２５を備える。そして、この図２（ａ）のテストクーポンは、図１のテストクーポン１３に対応する。
【００３８】
また、図２（ａ）のパターン２２からパターン２５は、スルーホール領域ＴＨ１を囲むように十字形に配置する。さらに、パターン２２からパターン２５とスルーホール領域ＴＨ１との間はそれぞれ間隙ｄを有する。そして、間隙ｄは積層ずれの検出間隙ｄとなる。
【００３９】
次に、図２（ｂ）は、図２（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図２（ｂ）のアートワーク積層板２６は、最外層と内部の６層とを備え、合計８層を備える。さらに、図２（ａ）のテストクーポンの構成は、図２（ｂ）実施例の内部の６層におけるテストクーポンの構成に対応する。
【００４０】
また、図２（ｂ）の実施例の最外層は、図２（ａ）のパターン２３からパターン２５に対応する構成を有しない。また、最外層は、スルーホール領域ＴＨ１からスルーホール領域ＴＨ５に対応するランドを有する。
【００４１】
さらに、図２（ｂ）の実施例における内部の６層は、図２（ａ）のパターン２３に対応するパターン２３１からパターン２３６の構成と、図２（ａ）のパターン２５に対応するパターン２５１からパターン２５６の構成とを備える。また、内部の６層は、スルーホール領域ＴＨ１に対応するランドを有しない。
【００４２】
そして、図２（ｂ）の実施例のアートワーク積層板２６は、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からスルーホール領域ＴＨ５に、スルーホールＴＨ１からスルーホールＴＨ５を形成するステップを備える。さらに、各層を積層するステップにおいて、それぞれの層は積層ずれを有する。
【００４３】
また、図２（ｂ）において、パターン２３１及びパターン２５１の層、パターン２３５及びパターン２５５の層、パターン２３６及びパターン２５６の層は、積層ずれがゼロである。
【００４４】
さらに、パターン２３４及びパターン２５４の層は右方向への積層ずれｄ１を有する。また、パターン２３２及びパターン２５２の層も右方向への積層ずれを有する。さらに、パターン２３３及びパターン２５３の層は左方向への積層ずれｄ２を有する。そして、図２（ｂ）の積層ずれｄ１及び積層ずれｄ２は図２（ａ）の検出間隙ｄよりも小さい。
【００４５】
よって、図２（ｂ）の実施例において、積層ずれはそれぞれ検出間隙ｄより小さく、各層の積層状態はそれぞれ良好である。
【００４６】
また、図３を用いて、積層ずれが検出間隙ｄを越える場合を説明する。図３は、図２（ｂ）の断面図において、積層ずれが検出間隙ｄを越える場合の断面図である。なお、図２（ｂ）と同一の要素には同一符号を付し、説明を省略する。
【００４７】
図３（ａ）は、パターン２３３及びパターン２５３の層における右方向への積層ずれが検出間隙ｄを越える場合である。そして、図３（ａ）において、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５とは、パターン２５３を介してショートとなる。
【００４８】
図３（ｂ）は、パターン２３３及びパターン２５３の層における右方向への積層ずれが検出間隙ｄを越えると共に、パターン２３４及びパターン２５４の層における右方向への積層ずれが検出間隙ｄを越える場合である。そして、図３（ｂ）において、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５とはパターン２５３を介してショートとなると共に、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ３とはパターン２３４を介してショートとなる。
【００４９】
よって、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５との導通試験により、右方向への積層ずれを検出できる。また、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ３との導通試験により、左方向への積層ずれを検出できる。
【００５０】
さらに、前述の例とは別に、間隙ｄを段階的に変化する複数種類の図２（ａ）のテストクーポンを、図１のアートワーク上に配置し、アートワーク積層板２６を形成し、それぞれのスルーホール間の導通試験を実行すると、積層ずれの程度を段階的に精度良く検出できる。
【００５１】
第２に、図４を用いてエッチング精度に係るテストクーポンについて説明する。図４（ａ）は、本発明の実施例のエッチング精度に係るテストクーポンを示す平面図であり、図４（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板４６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。
【００５２】
図４の実施例の特徴は、コイルパターン４１の構成にある。
【００５３】
まず、図４（ａ）において、コイルパターン４１の一端に第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１を接続する。また、コイルパターン４１の他端に第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ２を接続する。さらに、コイルパターン４１は、エッチング精度に基づく所定の幅及び間隙を有する渦巻き状に形成する。そして、スルーホールＴＨ１領域はコイルパターン４１の渦巻きの中心部に配置し、スルーホール領域ＴＨ２はコイルパターン４１の渦巻きの周辺に配置する。
【００５４】
次に、図４（ｂ）は、図４（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図４（ｂ）のアートワーク積層板４６は、最外層と内部の６層とを備え、合計８層を備える。さらに、図４（ａ）のテストクーポンの構成は、図２（ｂ）実施例の内部の６層におけるテストクーポンの構成に対応する。
【００５５】
図４（ｂ）の実施例の最外層は、図４（ａ）のコイルパターン４１に対応する構成を有しない。また、最外層は、スルーホール領域ＴＨ１，ＴＨ２に対応するランドを有する。さらに、図４（ｂ）の実施例における内部の６層は、図４（ａ）のコイルパターン４１に対応するコイルパターン、例えばコイルパターン４１６を備える。
【００５６】
そして、図４（ｂ）の実施例のアートワーク積層板４６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１，ＴＨ２にスルーホールＴＨ１，ＴＨ２を形成するステップを備える。
【００５７】
このような、コイルパターン４１６等は、インダクタンスを有する。また、コイルパターン４１６のインピーダンスは、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２とのインピーダンス測定の実行により測定できる。
【００５８】
そして、プロセスがエッチング不足であるときは、形成されるコイルパターン４１６は短絡し、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２とのインピーダンスはショートとなる。また、プロセスがエッチング過剰であるときは、形成されるコイルパターン４１６は断線し、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２とのインピーダンスはオープンとなる。
【００５９】
よって、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２とのインピーダンス測定により、エッチングの程度を検出できる。
【００６０】
さらに、前述の例とは別に、コイルパターンの幅及び間隙を段階的に変化する複数種類の図４（ａ）のテストクーポンを、図１のアートワーク上に配置し、アートワーク積層板４６を形成し、それぞれのスルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２とのインピーダンス測定を実行すると、エッチングの程度を段階的に精度良く検出できる。
【００６１】
また、図４（ｂ）の実施例において、各層のパターン幅ｄ３及びパターン間隙ｄ４はそれぞれ所定の値であり、各層のエッチングはそれぞれ良好である。
【００６２】
さらに、このような図４のテストクーポンを図１のアートワーク上に広く配置し、アートワーク積層板４６を形成し、それぞれのスルーホール間におけるインピーダンスの測定を実行すると、アートワークの製品領域内におけるエッチングの状態の分布を検出できる。
【００６３】
第３に、図５を用いて他のエッチング精度に係るテストクーポンについて説明する。図５（ａ）は、本発明の実施例のエッチング精度に係るテストクーポンを示す平面図であり、図５（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板５６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。
【００６４】
図５の実施例の特徴は、パターン５１からパターン５５の構成にある。
【００６５】
まず、図５（ａ）において、パターン５１の一端は第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１に接続し、パターン５１の他端は第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ２に接続する。さらに、パターン５２の一端は第３測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ３に接続し、パターン５２の他端は第４測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ４に接続する。
【００６６】
また、パターン５３の一端は第５測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ５に接続し、パターン５３の他端は第６測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ６に接続する。そして、パターン５１からパターン５５は平行に形成する。さらにまた、パターン５４はパターン５１とパターン５２との間の一部分に形成し、パターン５５はパターン５１とパターン５３との間の一部分に形成する。
【００６７】
さらに、図５（ａ）において、中心部のパターン５４及びパターン５５に近い領域５８は、銅箔が蜜になる領域であり、外辺部のパターン５４から遠い領域５９は、銅箔が疎になる領域である。即ち、パターン５１，５２，５３は、それぞれ、銅箔が蜜になる領域５８と銅箔が疎になる領域５９とを備える。また、パターン５１からパターン５５の幅及び間隙は、エッチング精度に基づく所定の値にする。
【００６８】
次に、図５（ｂ）は、図５（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図５（ｂ）は、８層のアートワーク積層板５６の断面図である。さらに、図５（ａ）のテストクーポンの構成は、図５（ｂ）実施例の内部の６層におけるテストクーポンの構成に対応する。
【００６９】
図５（ｂ）の実施例の最外層は、図５（ａ）のパターン５１からパターン５５に対応する構成を有しない。また、最外層は、スルーホール領域ＴＨ１，ＴＨ２に対応するランドを有する。さらに、図５（ｂ）の実施例における内部の６層は、図５（ａ）のパターン５１からパターン５５に対応するパターン、例えばパターン５２６を備える。
【００７０】
そして、図５（ｂ）の実施例のアートワーク積層板５６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ６にそれぞれスルーホールＴＨ１からＴＨ６を形成するステップを備える。
【００７１】
また、プロセスがエッチング不足であるときは、パターン５１，５４，５２に基づいて形成されるパターン５２６等は短絡し、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ３との導通試験またはスルーホールＴＨ２とスルーホールＴＨ４との導通試験はショートとなる。特に、銅箔が蜜になる領域５８に対応する領域でエッチング不足になりやすい。
【００７２】
さらに、プロセスがエッチング過剰であるときは、パターン５１，５２に基づいて形成されるパターン５２６等は断線し、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２との導通試験またはスルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との導通試験はオープンとなる。特に、銅箔が疎になる領域５９に対応する領域でエッチング過剰になりやすい。
【００７３】
よって、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２との導通試験、スルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との導通試験、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ３との導通試験、スルーホールＴＨ２とスルーホールＴＨ４との導通試験により、エッチングの程度を検出できる。
【００７４】
また、図５（ａ）のテストクーポンのように銅箔が蜜になる領域５８と銅箔が疎になる領域５９とを備える構成は、精度良くエッチングの程度を検出できる。
【００７５】
同様に、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２との導通試験、スルーホールＴＨ５とスルーホールＴＨ６との導通試験、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５との導通試験、スルーホールＴＨ２とスルーホールＴＨ６との導通試験により、エッチングの程度を検出できる。即ち、図５（ａ）のテストクーポンは、複数種類の試験が可能である。
【００７６】
さらに、図５（ｂ）の実施例において、各層のパターン幅ｄ３及びパターン間隙ｄ４はそれぞれ所定の値であり、各層のエッチングはそれぞれ良好である。
【００７７】
また、このような図５のテストクーポンを図１のアートワーク上に広く配置し、アートワーク積層板５６を形成し、それぞれのスルーホール間の導通試験を実行すると、アートワークの製品領域内におけるエッチングの状態の分布を検出できる。
【００７８】
第４に、図６を用いてマイグレーションに係るテストクーポンについて説明する。図６（ａ）は、本発明の実施例のマイグレーションに係るテストクーポンを示す平面図であり、図６（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板６６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。
【００７９】
図６の実施例の特徴は、くし型パターン６１とくし型パターン６２との構成にある。
【００８０】
まず、図６（ａ）において、くし型パターン６１の一端は第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１に接続する。また、第２くし型パターン６２の一端は第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ２に接続する。さらに、第１くし型パターン６１と第２くし型パターン６２とは、マイグレーションに基づく所定の間隙を有する。
【００８１】
また、くし型パターン６１の他の一端は第３測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ３に接続する。また、第２くし型パターン６２の他の一端は第４測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ４に接続する。そして、スルーホール領域ＴＨ３及びスルーホール領域ＴＨ４は、４端子法の測定を可能にする。
【００８２】
次に、図６（ｂ）は、図６（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図６（ｂ）は、８層のアートワーク積層板６６の断面図である。さらに、図６（ａ）のテストクーポンの構成は、図６（ｂ）実施例の内部の６層におけるテストクーポンの構成に対応する。
【００８３】
図６（ｂ）の実施例の最外層は、図６（ａ）のくし型パターン６１及びくし型パターン６２に対応する構成を有しない。また、最外層は、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ４に対応するランドを有する。さらに、図６（ｂ）の実施例における内部の６層は、図６（ａ）のくし型パターン６１及びくし型パターン６２に対応するパターン、例えばパターン６１６を備える。
【００８４】
そして、図６（ｂ）の実施例のアートワーク積層板６６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ４にそれぞれスルーホールＴＨ１からＴＨ４を形成するステップを備える。
【００８５】
このような図６のテストクーポンにおいて、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ２との間にＤＣ電圧を印加し、スルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との間に絶縁抵抗計を接続する。そして、このテストクーポンは高湿高温槽に保持し、スルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との間の絶縁抵抗の経時変化をモニターする。
【００８６】
また、スルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との間の絶縁抵抗が保持されるときはプロセスの信頼性は高い。さらに、マイグレーションが発生し、スルーホールＴＨ３とスルーホールＴＨ４との間の絶縁抵抗が劣化するときはプロセスの信頼性は低い。
【００８７】
第５に、図７を用いてマイグレーションに係るテストクーポンについて説明する。図７（ａ）は、本発明の他の実施例のマイグレーションに係るテストクーポンを示す平面図であり、図７（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板７６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。
【００８８】
図７の実施例の特徴は、第１スルーホール領域ＴＨ１と、第２スルーホール領域ＴＨ２と、第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１１と、第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１２との構成にある。
【００８９】
まず、図７（ａ）において、第１スルーホール領域ＴＨ１と第２スルーホール領域ＴＨ２とはマイグレーションに基づく所定の間隙を有する。また、スルーホール領域ＴＨ１１はパターン７１を介して第１スルーホール領域ＴＨ１に接続する。さらに、スルーホール領域ＴＨ１２はパターン７２を介して第２スルーホール領域ＴＨ２に接続する。
【００９０】
また、第１スルーホール領域ＴＨ１は、パターン７３を介して、第３測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１３に接続する。また、第２スルーホール領域ＴＨ２は、パターン７４を介して、第４測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１４に接続する。そして、スルーホール領域ＴＨ１３及びスルーホール領域ＴＨ１４は、４端子法の測定を可能にする。
【００９１】
次に、図７（ｂ）は、図７（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図７（ｂ）は、８層のアートワーク積層板７６の断面図である。さらに、図７（ａ）のテストクーポンの構成は、図７（ｂ）実施例の最外層におけるテストクーポンの構成に対応する。
【００９２】
図７（ｂ）の実施例の最外層は、図７（ａ）のパターン７１からパターン７４に対応するパターン、例えばパターン７３７及びパターン７４７を有する。また、図７（ｂ）の実施例における内部の６層は、図７（ａ）のパターン７１からパターン７４に対応する構成を有しない。
【００９３】
そして、図７（ｂ）の実施例のアートワーク積層板７６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ１４にそれぞれスルーホールＴＨ１からＴＨ１４を形成するステップを備える。
【００９４】
このような図７のテストクーポンにおいて、スルーホールＴＨ１１とスルーホールＴＨ１２との間にＤＣ電圧を印加し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に絶縁抵抗計を接続する。そして、このテストクーポンは高湿高温槽に保持し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間の絶縁抵抗の経時変化をモニターする。
【００９５】
また、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間の絶縁抵抗が保持されるときはプロセスの信頼性は高い。さらに、マイグレーションが発生し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間の絶縁抵抗が劣化するときはプロセスの信頼性は低い。
【００９６】
さらにまた、図７のスルーホールＴＨ１及びスルーホールＴＨ２はガラスクロスを切断するため、図７のテストクーポンは図６のテストクーポンよりも、マイグレーションが発生しやすい。そして、図７のテストクーポンはガラスクロス経由でマイグレーションが発生しやすい。
【００９７】
第６に、図８を用いてヒートサイクル加速試験等に係るテストクーポンについて説明する。図８（ａ）は、本発明の他の実施例のヒートサイクル加速試験等に係るテストクーポンを示す平面図であり、図８（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板８６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。
【００９８】
図８の実施例の特徴は、スルーホール領域ＴＨ１と、第１測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１１または第２測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１２との構成にある。
【００９９】
まず、図８（ａ）において、スルーホール領域ＴＨ１はヒートサイクル加速試験等に基づく所定の形状を有する。また、スルーホール領域ＴＨ１１はパターン８１を介して第１スルーホール領域ＴＨ１に接続する。さらに、スルーホール領域ＴＨ１は、パターン８３を介して、第３測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１３に接続する。
【０１００】
また、前述の図８（ａ）の場合とは別に、図８（ａ）のパターン８１及びパターン８３を削除し、パターン８２及びパターン８４を追加する場合がある。このとき、スルーホール領域ＴＨ１２はパターン８２を介して第１スルーホール領域ＴＨ１に接続する。さらに、スルーホール領域ＴＨ１は、パターン８４を介して、第３測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１４に接続する。
【０１０１】
次に、図８（ｂ）は、図８（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図８（ｂ）は、８層のアートワーク積層板８６の断面図である。さらに、図８（ａ）のテストクーポンの構成は、図８（ｂ）実施例の最上層におけるテストクーポンの構成に対応する。
【０１０２】
図８（ｂ）の実施例の最上層は、図８（ａ）のパターン８１及びパターン８３に対応するパターン、例えばパターン８３７等を有する。また、図８（ｂ）の実施例における内部の６層は、図８（ａ）のパターン８１からパターン８４に対応する構成を有しない。
【０１０３】
また、図８（ｂ）の実施例の最下層は、図８（ａ）のパターン８２及びパターン８４に対応するパターン、例えばパターン８４０等を有する。
【０１０４】
そして、図８（ｂ）の実施例のアートワーク積層板８６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ１４にそれぞれスルーホールＴＨ１からＴＨ１４を形成するステップを備える。
【０１０５】
さらに、スルーホールＴＨ１１からＴＨ１４の径は、スルーホールＴＨ１の径よりも大きく形成する。このようにすると、スルーホールＴＨ１１からＴＨ１４の信頼性は、スルーホールＴＨ１の信頼性よりも高くなる。
【０１０６】
このような図８のテストクーポンにおいて、スルーホールＴＨ１１とスルーホールＴＨ１２との間に所定のＤＣ電流または所定のＡＣ電流を印加し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に電圧計を接続する。そして、このテストクーポンにヒートサイクル加速試験を実行し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧を４端子法で測定する。そしてまた、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧より、スルーホールＴＨ１の抵抗値を算出する。
【０１０７】
また、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧またはスルーホールＴＨ１の抵抗値が保持されるときはプロセスの信頼性は高い。さらに、クラック等発生し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧またはスルーホールＴＨ１の抵抗値が劣化するときはプロセスの信頼性は低い。
【０１０８】
なお、スルーホールＴＨ１は、めっきにより形成されるため、パターン８１からパターン８４等よりもクラックが発生しやすい。よって、スルーホールＴＨ１による信頼性評価は、アートワーク積層板８６（プリントコイル）の寿命を決定する。さらに、スルーホールＴＨ１の信頼性は、めっき厚みとプリント板の基板材料の熱膨張係数に依存する。
【０１０９】
そして、めっき厚みに係るスルーホールＴＨ１の信頼性は、図８のテストクーポンを図１のアートワーク上に広く配置し、アートワーク積層板８６を形成し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧またはスルーホールＴＨ１の抵抗値の測定を実行し、アートワークの製品領域内におけるスルーホールＴＨ１の信頼性の分布を検出し、評価する。
【０１１０】
また、プリント板の基板材料の熱膨張係数に係るスルーホールＴＨ１の信頼性は、図８のテストクーポンを図１のアートワーク上の一部に配置し、アートワーク積層板８６を形成し、スルーホールＴＨ１３とスルーホールＴＨ１４との間に生成する電圧またはスルーホールＴＨ１の抵抗値の測定を実行し、評価する。
【０１１１】
第７に、図９を用いて層間厚みに係るテストクーポンについて説明する。図９（ａ）は、本発明の他の実施例の層間厚みに係るテストクーポンを示す平面図であり、図９（ｂ）は、本発明の実施例に基づくアートワーク積層板９６のテストクーポン領域の断面図である。なお、図２と同等の要素には同等符号を付し、説明を省略する。
【０１１２】
図９の実施例の特徴は、ベタパターン９１と、スルーホール領域ＴＨ１との構成にある。
【０１１３】
まず、図９（ａ）において、ベタパターン９１は層間厚みに基づく所定の形状及び位置を有する。そして、ベタパターン９１はコア穴９０とほぼ同じ形に形成する。また、図９（ａ）のテストクーポンは、所定の位置に形成する測定用端子領域であるスルーホール領域ＴＨ１からＴＨ８を備える。
【０１１４】
さらに、スルーホール領域ＴＨ１はベタパターン９１に接続する。なお、アートワーク積層板（プリントコイル）の積層数に基づいて、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ８のいずれかをベタパターン９１に接続する
【０１１５】
次に、図９（ｂ）は、図９（ａ）の断面ＡＢに対応している。また、図９（ｂ）は、８層のアートワーク積層板９６の断面図である。さらに、図９（ａ）のテストクーポンの構成は、図９（ｂ）実施例の第７層におけるテストクーポンの構成に対応する。
【０１１６】
また、図９（ｂ）の実施例の第６層は、スルーホール領域ＴＨ１とベタパターン９１とに対応するベタパターン９１６を備える。さらにまた、ベタパターン９１６とスルーホールＴＨ１とは接続する。
【０１１７】
さらに、図９（ｂ）の実施例の最外層は、ベタパターン９１に対応する構成を有しない。また、最外層は、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ８に対応するランドを有する。さらに、図９（ｂ）の実施例の第１層から第５層は、ベタパターン９１に対応するベタパターン９１１から９１５を備える。また、ベタパターン９１１から９１５とスルーホールＴＨ１とは接続しない。さらに、図９（ｂ）の実施例の第３層におけるベタパターン９１３と、スルーホールＴＨ５とは接続する。
【０１１８】
そして、図９（ｂ）の実施例のアートワーク積層板９６は、各層を形成するステップ、各層を積層するステップ、スルーホール領域ＴＨ１からＴＨ８にそれぞれスルーホールＴＨ１からＴＨ８を形成するステップを備える。
【０１１９】
このような、ベタパターン９１３とベタパターン９１６とは、キャパシタンスを有する。また、このキャパシタンスは、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５とのインピーダンス測定の実行により測定できる。
【０１２０】
アートワーク積層板９６の誘電率をε、層間厚みをｄ、ベタパターン９１の面積をＳ、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５との間のキャパシタンスをＣとすると、式（１）を満足する。
ｄ＝ε・Ｓ／Ｃ    （１）
【０１２１】
したがって、スルーホールＴＨ１とスルーホールＴＨ５とのキャパシタンス測定により、層間厚みを検出できる。
【０１２２】
また、複数の層間厚みをそれぞれ検出する場合について、図１０を用いて説明する。図１０は、図９のテストクーポンを４ビットでコード化するときのアートワーク積層板の構成図である。
【０１２３】
図１０において、テストクーポン１は、スルーホールＴＨ１１とスルーホールＴＨ１２とベタパターン１０１１から１０１４とを備える。また、ベタパターン１０１１から１０１４はスルーホールＴＨ１２に接続する。
【０１２４】
また、テストクーポン２は、スルーホールＴＨ２１とスルーホールＴＨ２２とベタパターン１０２１から１０２４とを備える。また、ベタパターン１０２１、１０２２はスルーホールＴＨ２１に接続し、ベタパターン１０２３、１０２４はスルーホールＴＨ１２に接続する。
【０１２５】
さらに、テストクーポン３は、スルーホールＴＨ３１とスルーホールＴＨ３２とベタパターン１０３１から１０３４とを備える。また、ベタパターン１０３１、１０３３はスルーホールＴＨ３１に接続し、ベタパターン１０３２、１０３４はスルーホールＴＨ３２に接続する。
【０１２６】
また、テストクーポン４は、スルーホールＴＨ４１とスルーホールＴＨ４２とベタパターン１０４１から１０４４とを備える。また、ベタパターン１０４２、１０４３はスルーホールＴＨ４１に接続し、ベタパターン１０４１、１０４４はスルーホールＴＨ４２に接続する。
【０１２７】
さらに、アートワーク積層板は、ベタパターン１０１１、１０２１、１０３１、１０４１の層とベタパターン１０１２、１０２２、１０３２、１０４２の層との間の層間厚みに対応するキャパシタンスＣ１を備え、ベタパターン１０１２、１０２２、１０３２、１０４２の層とベタパターン１０１３、１０２３、１０３３、１０４３の層との間の層間厚みに対応するキャパシタンスＣ２を備え、ベタパターン１０１３、１０２３、１０３３、１０４３の層とベタパターン１０１４、１０２４、１０３４、１０４４の層との間の層間厚みに対応するキャパシタンスＣ３を備える。
【０１２８】
また、図１０のテストクーポンは、４ビットでコード化されている。４ビット中１ビットは、パリティビットとする。そして、図１０のテストクーポンに対応するコード“００００”、“００１１”、“０１０１”、“０１１０”は、それぞれの違いが２ビット以上異なる（パリティ距離が２以上）。
【０１２９】
このような、図１０のテストクーポン２において、スルーホールＴＨ２１とスルーホールＴＨ２２とのキャパシタンスはＣ１となる。また、図１０のテストクーポン３において、スルーホールＴＨ３１とスルーホールＴＨ３２とのキャパシタンスは（Ｃ１＋Ｃ２＋Ｃ３）となる。図１０のテストクーポン４において、スルーホールＴＨ４１とスルーホールＴＨ４２とのキャパシタンスは（Ｃ１＋Ｃ３）となる。
【０１３０】
そして、これらを測定し、キャパシタンスＣ１，Ｃ２，Ｃ３を算出する。さらに、それぞれの層間厚みを検出する。即ち、スルーホールＴＨ２１とスルーホールＴＨ２２とのキャパシタンスと、スルーホールＴＨ３１とスルーホールＴＨ３２とのキャパシタンスと、スルーホールＴＨ４１とスルーホールＴＨ４２とのキャパシタンスより、それぞれの層間厚みを検出できる。
【０１３１】
さらに、一つのテストクーポンに対応するスルーホールの数ａ、テストクーポンの配置数（ｂ＋１）とすると、組み合わせの数はａ（ａ−１）ｂ／２となる。そして、アートワーク積層板（プリントコイル）の積層数ｍがこの組み合わせの数以下であれば、パリティ距離が２以上となるようにコード化できると共に、層間厚みを検出できる。
【０１３２】
例えば、図１０のテストクーポンは、ａ＝２、ｂ＝４であり、組み合わせの数は３となり、３つの層間厚みを検出できる。即ち、図１０のテストクーポンは、４層のアートワーク積層板（プリントコイル）の層間厚みを検出できる。
【０１３３】
また、図９（ａ）のテストクーポンにおいて、ａ＝８、ｂ＝３とすると、組み合わせの数は５６となる。よって、図９（ａ）に相当するテストクーポンを３個アートワーク上に配置すると、５６層までの層間厚みを検出できる。
【０１３４】
さらに、このような図９及び図１０のテストクーポンを図１のアートワーク上に広く配置し、アートワーク積層板を形成し、それぞれのスルーホール間におけるキャパシタンスの測定を実行すると、アートワークの製品領域内における積層厚みの状態の分布を検出できる。
【０１３５】
以上のように、本発明は、前述の実施例に限定されることなく、その本質を逸脱しない範囲でさらに多くの変更及び変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【０１３６】
【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図２】本発明の実施例の積層ずれに係るテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。
【図３】図２（ｂ）の断面図において、積層ずれが検出間隙を越える場合の断面図である。
【図４】本発明の実施例のエッチング精度に係るテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。
【図５】本発明の実施例のエッチング精度に係る他のテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。
【図６】本発明の実施例のマイグレーションに係るテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。
【図７】本発明の実施例のマイグレーションに係る他のテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。
【図８】本発明の実施例のヒートサイクル加速試験等に係るテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。
【図９】本発明の実施例の層間厚みに係るテストクーポンを示す平面図（ａ）及びこれに基づくアートワーク積層板のテストクーポン領域の断面図（ｂ）である。
【図１０】図９のテストクーポンを４ビットでコード化するときのアートワーク積層板の構成図である。
【符号の説明】
【０１３７】
１０  アートワーク
１３  テストクーポン
２０，４０，５０，６０，７０，８０，９０  コア穴
ＴＨ１からＴＨ８，ＴＨ１１からＴＨ１４  スルーホール領域（スルーホール）
２３から２５，５１から５５  パターン
４１  コイルパターン
６１，６２  くし型パターン
９１  ベタパターン
２３１から２３６，２５１から２５６，５２６  パターン
４１６  コイルパターン
６１６  くし型パターン
２６，４６，５６，６６，７６，８６，９６  アートワーク積層板
９１１から９１６  ベタパターン
【図１】
2005123228.tif 000003
【図２】
2005123228.tif 000004
【図３】
2005123228.tif 000005
【図４】
2005123228.tif 000006
【図５】
2005123228.tif 000007
【図６】
2005123228.tif 000008
【図７】
2005123228.tif 000009
【図８】
2005123228.tif 000010
【図９】
2005123228.tif 000011
【図１０】
2005123228.tif 000012