(57)【要約】【課題】  被検査物からの反射光、又は被検査物を透過した透過光の入射位置による光量レベルの変動をなくして、検査精度を向上することができる、検査用受光装置を提供する。【解決手段】  光が照射される被検査物の線状の検査位置に対向して線状に延在する受光面２５を含み、受光面２５の延在方向に延在する棒状の導光部材２４と、導光部材２４の外周面２４ｓに沿って間隔を設けて配置され、導光部材２４に対向する面２６ａが拡散反射面である第１の拡散反射部材２６と、導光部材２４の延在方向の少なくとも一方側の端面２４ｂに対向して配置され、端面２４ｂから出射した光を検出する光検出器３０とを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光が照射される被検査物の線状の検査位置に対向して線状に延在する受光面を有し、該受光面から入射した光を検出する、検査用受光装置において、
上記受光面を含み、上記受光面の延在方向に延在する棒状の導光部材と、
上記導光部材の外周面に沿って間隔を設けて配置され、上記導光部材に対向する面が拡散反射面である第１の拡散反射部材と、
上記導光部材の延在方向の少なくとも一方側の端面に対向して配置され、該端面から出射した光を検出する光検出器とを備えたことを特徴とする、検査用受光装置。
【請求項２】
上記導光部材の上記外周面と上記第１の拡散反射部材との間に配置され、光を透過し、少なくとも上記導光部材の上記外周面に対向する面が拡散反射面である、第１の拡散透過部材を備えたことを特徴とする、請求項１に記載の検査用受光装置。
【請求項３】
上記導光部材の延在方向の他方側の端面に対向して配置され、該端面に対向する面が拡散反射面である第２の拡散反射部材を備えたことを特徴とする、請求項１又は２に記載の検査用受光装置。
【請求項４】
上記導光部材の上記他方側の端面と上記第２の拡散反射部材との間に配置され、光を透過し、少なくとも上記導光部材の上記他方側の端面に対向する面が拡散反射面である、第２の拡散透過部材を有することを特徴とする、請求項３に記載の検査用受光装置。
【請求項５】
上記導光部材の上記外周面は、少なくとも上記受光面に対向する部分が艶消し処理されることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一つに記載の検査用受光装置。
【請求項６】
上記被検査物の上記検査位置上を、光束を往復移動させる発光装置とともに用いられることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の検査用受光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は検査用受光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、紙、プラスチック、金属などの被検査物の表面に、小さなスポットに集光したレーザビームを移動させながら照射し、被検査物の表面からの反射光（又は、被検査物の内部を透過した透過光）を受光して、表面や内部の傷、ピンホールなどの欠陥を検出する表面検査装置（又は、内部欠陥検査装置）において、反射光（又は、透過光）の受光面は、レーザビームの走査方向に対応して連続的な形状に形成されている。
【０００３】
すなわち、どの照射位置からの反射光（又は、透過光）も受光面で受光し、受光した光を光検出器に導くようになっている。例えば、多数本の光ファイバの一端を受光面として所定形状に束ね、他端に光検出器を配置したり、棒状のライトガイドの外周面で反射光を受光し、ライトガイドの端面に光検出器を配置したりしている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平５−３４０７４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光ファイバを束ねた場合、光ファイバの隙間では反射光が受光されない上、光ファイバへの入射位置によっても光伝達率が異なるため、レーザビームの走査に伴って光検出信号が変動する位相ノイズが発生する。そのため、微小な欠陥を高精度で検査することは困難である。
【０００５】
ライトガイドの場合には、光ファイバを束ねた場合のような位相ノイズはないが、反射光の入射位置によって、光検出器で受光する光量レベルが変わり、検出感度に差が生じる。このような感度差は、検査精度をさらに向上する際に障害となる。
【０００６】
本発明は、かかる実情に鑑み、被検査物からの反射光、又は被検査物を透過した透過光の入射位置による光量レベルの変動をなくして、検査精度を向上することができる、検査用受光装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するため、以下のように構成した検査用受光装置を提供する。
【０００８】
検査用受光装置は、光が照射される被検査物の線状の検査位置に対向して線状に延在する受光面を有し、該受光面から入射した光を検出するタイプのものである。検査用受光装置は、上記受光面を含み、上記受光面の延在方向に延在する棒状の導光部材と、上記導光部材の外周面に沿って間隔を設けて配置され、上記導光部材に対向する面が拡散反射面である第１の拡散反射部材と、上記導光部材の延在方向の少なくとも一方側の端面に対向して配置され、該端面から出射した光を検出する光検出器とを備える。
【０００９】
上記構成において、被検査物に光が照射されると、被検査物の線状の検査位置からの反射光又は透過光の一部は、導光部材の受光面に入射する。導光部材に入射した光は、導光部材の内部で全反射を繰り返し、一方側の端面から出射すると、光検出器で検出される。導光部材に入射した光が、全反射せずに、導光部材の外周面から出射すると、第１の拡散反射部材の拡散反射面で反射される。第１の拡散反射部材の拡散反射面で様々な方向に反射された光は、導光部材の外周面から、再び導光部材に入射する。このようにして導光部材に入射した光の大部分は、導光部材の外周面に対して斜めに傾いているため、導光部材の内部で全反射を繰り返す。
【００１０】
第１の拡散反射部材の拡散反射面の反射特性を適宜に選択すれば、導光部材に入射した光が、導光部材の外周面から出射しても、効率よく導光部材に戻し、導光部材内で全反射させることができる。これにより、検査物からの光を、導光部材に入射する位置によらずに高い効率で光検出器に導き、光検出器の受光レベルを、被検査物からの光が導光部材に入射する位置によらずに略一定にすることができる。
【００１１】
したがって、導光部材への入射位置によって検査感度が変わることを防止することができる。
【００１２】
好ましくは、上記導光部材の上記外周面と上記第１の拡散反射部材との間に配置され、光を透過し、少なくとも上記導光部材の上記外周面に対向する面が拡散反射面である、第１の拡散透過部材を備える。
【００１３】
第１の拡散反射部材の拡散反射面は、どの方向から見ても同じ輝度となる理想的な均等拡散反射の状態ではなく、実際には、入射光に対して幾分かの正反射成分が現れる。第１の拡散反射部材の拡散反射面をある程度粗くすると、検査物からの反射光が導光部材に入射する位置による光検出器の検出レベルの差が生じないようにすることができる。これは、光検出器の受光レベルが検査物からの反射光入射位置により変動する主な要因と考えられる拡散反射面の法線方向の正反射成分が小さくなり、斜めに反射する成分が増えるためと思われる。
【００１４】
この場合、第１の拡散反射部材の拡散反射面の表面粗さの影響で、光検出器の検出信号にノイズが現れる。第１の拡散透過部材によって、このノイズを緩和し、検出精度を向上することができる。
【００１５】
なお、上記構成において、第１の拡散透過部材の導光部材に対向する面での正反射が大きいと、第１の反射部材の拡散透過面を設けた意味がなくなる。そのため、第１の拡散透過部材の拡散反射面は、少なくとも、導光部材の外周面に対向する面に形成する必要がある。
【００１６】
好ましくは、上記導光部材の延在方向の他方側の端面に対向して配置され、該端面に対向する面が拡散反射面である第２の拡散反射部材を備える。
【００１７】
導光部材の延在方向の他方側の端面から出射した光を導光部材側に効率よく戻すために、この端面に対向して反射率が高い鏡面を設けることが考えられる。しかし、そのような構成において、検査物からの反射光が受光面の端部付近に入射したときに、端面に対向する鏡面の影響で、光検出器の光検出信号が急に大きくなることがある。このような光検出信号のレベル変動を防止するには、導光部材の受光面の端部と導光部材の端部との間にある程度以上の距離を設ける必要があり、それだけ、受光部が大きくなる。
【００１８】
上記構成によれば、導光部材の受光面の端部と導光部材の端面との間の距離を小さくしても、光検出器の光検出信号のレベル変動が生じない。したがって、検査用受光装置を小型化することができる。
【００１９】
好ましくは、上記導光部材の上記他方側の端面と上記第２の拡散反射部材との間に配置され、光を透過し、少なくとも上記導光部材の上記他方側の端面に対向する面が拡散反射面である、第２の拡散透過部材を有する。
【００２０】
第２の拡散反射部材の拡散反射面は、どの方向から見ても同じ輝度となる理想的な均等拡散反射の状態ではなく、実際には、入射光に対して幾分かの正反射成分が現れる。第２の拡散反射部材の拡散反射面をある程度粗くすると、検査物からの反射光が導光部材に入射する位置による光検出器の受光レベルの差が生じないようにすることができる。これは、光検出信号のレベル変動の主な要因と考えられる拡散反射面の法線方向の正反射成分が小さくなり、斜めに反射する成分が増えるからと思われる。
【００２１】
この場合、第２の拡散反射部材の拡散反射面の表面粗さの影響で、光検出器の検出信号にノイズが現れる。第２の拡散透過部材によって、このノイズを緩和し、検出精度を向上することができる。
【００２２】
なお、上記構成において、第２の拡散透過部材の導光部材に対向する面での正反射が大きいと、第２の反射部材の拡散透過面を設けた意味がなくなる。そのため、第２の拡散透過部材の拡散反射面は、少なくとも、導光部材に対向する面に形成する必要がある。
【００２３】
好ましくは、上記導光部材の上記外周面は、少なくとも上記受光面に対向する部分が艶消し処理される。
【００２４】
上記構成によれば、導光部材の外周面の一部又は全部に光拡散性を持たせるための艶消し処理部分の粗さを適宜に選択することにより、表面が粗い被検査物の地合いノイズを低減することができる。
【００２５】
好ましくは、上記各構成の検査用受光装置は、上記被検査物の上記検査位置上を、光束を往復移動させる発光装置とともに用いられる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の検査用受光装置によれば、被検査物からの反射光、又は被検査物を透過した透過光の入射位置による光量レベルの変動をなくして、検査精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態として実施例を、図１〜図９を参照しながら説明する。
【００２８】
図１に示すように、受光装置１６は、発光装置１４及び制御装置１２とともに、検査システム１０で用いられる。発光装置１４が被検査物２の表面３の検査位置３ａに光束１５を照射し、検査位置３ａからの反射光１７を受光装置１６で受光し、検出する。図２に示すように、受光装置１６と発光装置１４の間に被検査物２を配置し、被検査物２を透過した透過光１７'を受光装置１６で受光するようにしてもよい。
【００２９】
被検査物２を搬送しながら検査位置３ａに光束１５を照射することにより、被検査物２に光束１５を照射する位置を変えながら、被検査物２からの反射光１７又は透過光１７'を受光装置１６で検出する。被検査物２の表面や内部に欠陥があると、反射光１７又は透過光１７'の光量が変化し、受光装置１６からの光検出信号の出力が変化することを利用して、制御装置１２は良否判定を行う。
【００３０】
発光装置１４は、例えば、レーザビームをポリゴンミラーで反射し、コリメータレンズで平行に揃え、ｆθレンズで扇状に広げて、検査位置３ａ上を往復移動（スキャン）させる。検査位置３ａは、検査目的に応じて適宜位置に設定すればよいが、例えば被検査物２の搬送経路を横断する方向に、光束１５としてレーザビームを線状にスキャンする。発光装置１４からは、往復移動するレーザビームに代えて、スリットを通して面状にした定常的な平行光を、光束１５として照射してもよい。
【００３１】
受光装置１６は、筒状の受光部２０の一端に光検出器３０を備えている。
【００３２】
受光部２０は、被検査物２の表面３の検査位置３ａに沿って平行に配置される。図３の軸直角断面図及び図４の軸方向断面図に示すように、受光部２０は、筒状の外筒２２と、円柱状のライトガイド２４と、第１の拡散反射部材２６と、第１の拡散透過部材２８とを備える。
【００３３】
外筒２２には、被検査物２の表面３の検査位置３ａに沿って延在するスリット２２ａが軸方向に形成されている。スリット２２ａは、外筒２２の内部と外部とを遮断する透明なガラス板２３で覆われている。ガラス板２３の外面には、スリット２１ａが形成されたマスクシート２１が配置されている。
【００３４】
第１の拡散反射部材２６は、外筒２２の内周面２２ｓに沿って配置される。第１の拡散透過部材２８は、第１の拡散反射部材２６に沿って内側に配置されている。第１の拡散反射部材２６の表面２６ａ（第１の拡散透過部材２８側の面）は、拡散反射面である。第１の拡散透過部材２８は、光を透過する。第１の拡散透過部材２８の内側の表面２８ａ（第１の拡散反射部材２６とは反対側の面）は、凹凸が形成され、正反射成分が少ない艶消し仕上げの拡散反射面であり、透過した光を拡散するようになっている。
【００３５】
第１の拡散透過部材２８は、第１の拡散反射部材２６側の面２８ｂについては、凹凸が形成された拡散反射面であっても、平滑な面であってもよい。第１の拡散透過部材２８は、内部に光を散乱する微粒子を含む拡散板であってもよい。
【００３６】
ライトガイド２４は、外筒２２の中空穴に、第１の拡散透過部材２８との間に隙間を設け、外筒２２と同軸に配置されている。ライトガイド２４の両側の端面２４ａ，２４ｂ及び外周面２４ｓは、後述する拡散面２７を除き、平滑に仕上げられている。ライトガイド２４の外周面２４ｓのうち、外筒２２のスリット２２ａに対向する部分は、被検査物２からの反射光１７や透過光１７'が入射する受光面２５となる。拡散面２７は、ライトガイド２４の中心軸に関して受光面２５と反対側に、受光面２５と対向して延在する。拡散面２７は、光拡散性を持たせる艶消し処理（例えば、すりガラスのように梨地状に凹凸を形成する処理）が施されている。
【００３７】
図４に示すように、ライトガイド２４の一方側の端面２４ａに対向して、第２の拡散反射部材４０が配置され、ライトガイド２４の端面２４ａと第２の拡散反射部材４０との間に第２の拡散透過部材４２が配置されている。第２の拡散反射部材４０の表面４０ａ（ライトガイド２４の端面２４ａ側の面）は、拡散反射面である。第２の拡散透過部材４２は、光を透過し、内側の表面４２ａ（ライトガイド２４の端面２４ａ側の面）は、いわゆる艶消し仕上げの拡散反射面であり、透過した光を拡散するようになっている。
【００３８】
光検出器３０は、ライトガイド２４の他方側の端面２４ｂに隣接して配置され、ライトガイド２４の端面２４ｂから出射した光を検出すると光検出信号を出力する。光検出器３０の光検出信号の出力レベルは、受光量に応じて変化する。
【００３９】
被検査物２に照射する光束１５や、受光装置１６で受光する反射光１７や透過光１７'の角度は、検査内容に応じて適宜に設定する。受光装置１６で受光する反射光１７は、被検査物２の表面３からの正反射光であっても、拡散反射光であってもよい。後者の場合には、異常部分からの乱反射光で欠陥検出が可能である。
【００４０】
制御装置１２は、検査システム１０全体の制御を統括する。制御装置１２は、被検査物２の搬送に同期して発光装置１４のレーザビームのスキャン動作を制御し、受光装置１６の光検出器３０からの光検出信号に基づいて良否判定を行う。制御装置１２は、被検査物２を搬送する搬送装置（図示せず）と通信し、被検査物２について不良判定をした位置に関する情報を出力できるようになっている。
【００４１】
次に、受光装置２０について、さらに説明する。
【００４２】
被検査物２からの反射光１７（又は透過光１７'）は、マスクシート２１のスリット２１ａ、ガラス板２３、外筒２２のスリット２２ａを通り、ライトガイド２４の受光面２５から入射し、拡散面２７に到達する。そして、拡散面２７では、反射又は出射（透過）する。拡散面２７は、反射光も透過光も拡散する。
【００４３】
ライトガイド２４に入射した光は、ライトガイド２４内で反射を繰り返しながら軸方向に進行する。そして、ライトガイド２４の端部２４ｂに達し、端部２４ｂから出射すると、光検出器３０により検出される。
【００４４】
ライトガイド２４に入射した光の全てが内部で全反射を繰り返すのではなく、一部はライトガイド２４から出射する。この出射光は、第１の拡散透過部材２８の表面２８ａや第１の拡散反射部材２６の表面２６ａで拡散反射され、再び、ライトガイド２４の外周面２４ｓからライトガイド２４に入射する。ライドガイド２４に入射せず、ライトガイド２４の外周面２４ｓで反射しても、第１の拡散透過部材２８の表面２８ａや第１の拡散反射部材２６の表面２６ａで、再び、ライトガイド２４に向けて拡散反射される。この繰り返しにより、ライトガイド２４の外周面２４ｓから出射した光を、ライトガイド２４に効率よく戻すことができる。
【００４５】
図８の比較例に示すように、ライトガイド６の外周面６ｓに対向する外筒４の内周面４ａを鏡面にすると、図９において実線１ｂで模式的に示すように、外部からの光が外筒４のスリット４ｓを通ってライトガイド６に入射する位置が、ライトガイド６の光検出器８側の端部６ｂから離れるほど、光検出器８の光検出信号の出力レベル（ゲイン）、すなわち、光検出器８での受光量が低下する。これは、ライトガイド６の中心軸に対して略垂直にライトガイド６から出射した光が、外筒４の内周面４ａでの正反射により、ほとんど角度を変えずにライトガイド６に向かうため、ライトガイド６に入射しても、ライトガイド６の内部で反射せずに再びライトガイド６から出射する成分が多く、ライトガイド６内で反射した成分であって、その進行方向はライトガイド６の中心軸に対して略直角となるため、光路長が長くなるからではないかと考えられる。
【００４６】
また、図８の比較例において、外筒４の内周面４ａの鏡面に微小な傷があると、図９において符号１ｃで模式的に示したように、光検出器８の光検出信号にノイズが発生する。そのため、外筒４の内周面４ａは高精度に鏡面仕上げを行う必要があり、製造コストが高くなる。
【００４７】
さらに、図８の比較例において、ライトガイド６の端面６ａから出射した光をライトガイド６に戻すため、外筒４の内側端面４ｂを鏡面にした場合、外筒４のスリット４ｓと外筒４の内側端面４ｂとの間の距離Ｔが小さくなると、図９において符号１ａで示したように、光検出器８の光検出信号が外筒４の内側端面４ｂ側、すなわち光検出器８とは反対側で、急に増大する。これを防止するためには、スリット４ｓと外筒４の内側端面４ｂとの間の距離Ｔをある程度以上に大きくする必要がある。そのため、外筒４を短くして小型化するには、限界がある。
【００４８】
これに対して、本発明によれば、第１の拡散反射部材２６の表面２６ａを適度な散乱面にすると、第１の拡散反射部材２６の表面２６ａで反射した光は、ライトガイド２４の中心軸に対して斜めにライトガイド２４に入射する成分が増え、ライトガイド２４に入射した後に、再び、ライトガイド２４から出射する成分が減り、ライトガイド２４内で反射する成分が増え、光検出器３０まで短い光路長で到達する成分が増える。つまり、ライトガイド２４から出射した光の大部分が、再度、ライトガイド２４に入射すると、ライトガイド２４内で反射するようになる。また、ライトガイド２４内で反射する光は、ライトガイド２４の中心軸に対して小さい角度で、すなわちライトガイド２４の中心軸と略平行に進行するので、光路長も短くなる。これにより、光検出器３０側の端部２４ｂからの距離に関係なく、光検出器３０の受光量は略一定となり、光検出信号のレベルはライトガイド２４への入射位置にかかわらず略一定となる。
【００４９】
図５は、ライトガイドの周囲に、適宜な反射率の拡散反射面を配置した場合（実線）と、鏡面を配置した場合（破線）とについて、光検出信号のレベル（ゲイン）と入射位置との関係を示している。図５から、ライトガイドの周囲に、適宜な反射率の拡散反射面を配置することにより、光検出信号のレベルは入射位置にかかわらず略一定になることが分かる。
【００５０】
ところで、光検出器３０の受光量を略一定にするためには、上記のように、第１の拡散反射部材２６の表面２６ａは、ライトガイド２４の中心軸に対して略垂直にライトガイド２４から出射した光を拡散反射し、ライトガイド２４の中心軸に対してできるだけ傾け、ライトガイド２４の中心軸に対して略平行となる方向に反射する成分を増やし、ライトガイド２４の中心軸に対して略垂直方向に正反射する成分を少なくする必要がある。そのため、第１の拡散反射部材２６の表面２６ａは、ある程度、粗くすることが好ましい。
【００５１】
しかし、光検出器３０のゲイン（受光量）が略一定となっても、第１の拡散反射部材２６の表面２６ａが粗いと、第１の拡散反射部材２６だけでは、電気信号のゲインを拡大した実際の出力波形（地合いノイズ）は、図７に示すように、第１の拡散反射部材２６の表面２６ａの粗さに起因するノイズ成分が大きくなり、検査精度を高めるには、Ｓ／Ｎ比を改善する必要がある。
【００５２】
そこで、ライトガイド２４の外周面２４ｓと第１の拡散反射部材２６との間に、第１の拡散透過部材２８を配置すると、図６に示すように、ノイズを緩和し、Ｓ／Ｎ比を改善することができる。
【００５３】
このとき、第１の拡散透過部材２８がライトガイド２４に対向する内側の表面２８ａは、拡散反射面とする必要がある。鏡面では、前述したように、入射位置による光量レベルの変動を引き起こすからである。第１の拡散透過部材２８が第１の拡散反射部材２６に対向する側の面２８ｂは、鏡面であっても、拡散反射面であっても、影響は認められない。
【００５４】
また、ライトガイド２４の端面２４ａ側に第２の拡散反射部材４０を設けることにより、ライトガイド２４の端面２４ａと、スリット２１ａ，２２ａとの間の距離Ｔが短くなっても、比較例のような光検出信号の急激な信号レベル変動が見られないようになる。この場合、ライトガイド２４の端面２４ａと第２の拡散反射部材４０との間に、第２の拡散透過部材４２を設けることにより、第１の拡散透過部材２８の場合と同様に、光検出信号のＳ／Ｎ比を改善する効果が得られる。
【００５５】
ところで、被検査物２の表面３が粗いと、地合いノイズが大きくなる。このようなときには、光拡散性を持たせるためのライトガイド２４の拡散面２７の艶消し処理を加減することにより、地合いノイズを低減することができる。すなわち、被検査物２の表面３の粗さに応じて、拡散面２７の粗さを適宜に選択することにより、地合いノイズを低減することができる。この場合、艶消し処理の面積は適宜に選択すればよく、ライトガイド２４の外周面２４ｓの一部又は全部に艶消し処理を行う。
【００５６】
次に、具体例を説明する。
【００５７】
拡散反射部材２６，４０には、ケイト紙、タント紙などのシート状の紙を用いる。第１の拡散反射部材２６は、ライトガイド２４の中心軸に垂直な正反射成分を少なくすることで光検出器３０の光検出信号のレベルが、ライトガイド２４への光入射位置にかかわらず略一定にするので、この目的が達成できるように、被検査物２からの反射光１７や透過光１７'に応じて、表面２６ａの反射率や粗さを適宜に選択する。拡散透過部材２８，４２は、表面２８ａ，４２ａに凹凸が形成された、光を透過する樹脂シートを用いる。平面状の第１の拡散透過部材２８を丸めて外筒２２内に配置し、弾力で広がろうとする第１の拡散透過部材２８が、第１の拡散反射部材２６を外筒２２の内周面２２ｓに付勢するようにする。これにより、第１の拡散反射部材２６を、第１の拡散透過部材２８と外筒２２の内周面２２ｓとの間に挟持する。
【００５８】
第１の拡散透過部材２８の表面２８ａは、第１の拡散反射部材２６の表面２６ａに比べて、肌理が細かい。つまり、第１の拡散透過部材２８の表面２８ａの粗さは、第１の拡散反射部材２６の表面２６ａの粗さよりも小さい。これにより、第１の拡散反射部材２６の表面２６ａの粗さに起因する光検出信号のノイズを、第１の拡散透過部材２８によって低減する効果を高めることができる。
【００５９】
ライトガイド２４には、アクリル系透明樹脂を用いる。拡散面２７には、ショット加工により凹凸を形成する。このとき、ショットするビーズサイズを被検査物２の表面３の粗さに応じて選択し、地合いノイズを低減した。光検出器３０には、ホトマル（光電子増倍管）を用いる。発光装置１４は、レーザビームをスキャンするタイプのものを用いる。ホトマルは、極めて高感度、高速応答であるので、レーザビームをスキャンする発光装置１４と組み合わせて用いる場合に、特に好適である。
【００６０】
以上に説明したように、光学的な構成を工夫して、被検査物２からの反射光１７、又は被検査物２を透過した透過光１７'の入射位置による光検出器３０の光検出信号（受光量）のレベル変動をなくすことにより、どの入射位置についても、等しく高精度で検査を行うことができる。さらに、光検出信号のノイズを拡散透過部材を用いて低減することにより、より一層、検査精度を向上することができる。
【００６１】
なお、本発明の検査用受光装置は、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えることができる。
【００６２】
例えば、拡散反射部材や拡散透過部材は、適宜な材料を選択すればよい。光束を被検査物に線状に照射すればよく、直線状に限らず、折れ曲がったり湾曲したりしてもよいので、受光装置のライトガイドは、これに応じて折れ曲がったり湾曲した形状にすればよい。
【００６３】
また、被検査物は、シート状や板状等に限らず、粉体や粒状物などであってもよい。この場合、例えばコンベア上に被検査物（薬品等の顆粒、粉末、塩や砂糖の結晶、砂状素材等）を薄く撒き、レーザビームを照射して反射光を受光することにより、混入した髪の毛や、色・粒径・形状が異なる異物を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】検査用受光装置を用いる検査システムの全体構成図である。（実施例）
【図２】検査用受光装置を用いる検査システムの全体構成図である。（変形例）
【図３】検査用受光装置の軸直角断面図である。（実施例）
【図４】検査用受光装置の軸方向断面図である。（実施例）
【図５】検査用受光装置の光検出信号のグラフである。（実施例、比較例）
【図６】検査用受光装置の光検出信号のグラフである。（実施例）
【図７】検査用受光装置の光検出信号のグラフである。（比較例１）
【図８】検査用受光装置の軸方向断面図である。（比較例２）
【図９】検査用受光装置の光検出信号を模式的に示すグラフである。（比較例２）
【符号の説明】
【００６５】
２  被検査物
３ａ  検査位置
１４  発光装置
１５  光束（光）
１６  受光装置（検査用受光装置）
２２  外筒
２４  ライトガイド（導光部材）
２４ｓ  外周面
２５  受光面
２６  第１の拡散反射部材
２６ａ  表面（拡散反射面）
２７  拡散面（受光面に対向する部分）
２８  第１の拡散透過部材
２８ａ  表面（拡散反射面）
３０  光検出器
４０  第２の拡散反射部材
４０ａ  表面（拡散反射面）
４２  第１の拡散透過部材
４２ａ  表面（拡散反射面）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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