(57)【要約】【課題】空気との接触によりワークにパーティクルが付着するのを防止でき、また、装置のコンパクト化が図れ、洗浄・乾燥効果の高いワーク洗浄乾燥装置を提供すること目的とする。【解決手段】洗浄液Ｌを循環させる洗浄循環管路１と、洗浄循環管路１の一部とされると共に着脱可能とされかつ上・下流端部それぞれにワーク流出防止メッシュ３，３を有してワークＷを収容し洗浄を行なう短管槽２と、洗浄を終え洗浄循環管路１から取り外された短管槽２が途中部に取付けられてエアーを送風させワークＷを短管槽２内にて乾燥させる乾燥管路と、を備えたものである。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液（Ｌ）を循環させる洗浄循環管路（１）と、該洗浄循環管路（１）の一部とされると共に着脱可能とされかつ上・下流端部それぞれにワーク流出防止メッシュ（３）（３）を有してワーク（Ｗ）を収容し洗浄を行なう短管槽（２）と、洗浄を終え上記洗浄循環管路（１）から取り外された上記短管槽（２）が途中部に取付けられてエアーを送風させ上記ワーク（Ｗ）を該短管槽（２）内にて乾燥させる乾燥管路（４）と、を備えたことを特徴とするワーク洗浄乾燥装置。
【請求項２】
上記短管槽（２）は、その軸心方向が鉛直方向となるよう取着され、上記ワーク（Ｗ）の比重が上記洗浄液（Ｌ）の比重より大きい場合は下方から上方へ向かう流れとなるよう、又は、上記ワーク（Ｗ）の比重が上記洗浄液（Ｌ）の比重より小さい場合は上方から下方へ向かう流れとなるよう、該洗浄液（Ｌ）を循環させるポンプ（Ｐ）を、上記洗浄循環管路（１）が有する請求項１記載のワーク洗浄乾燥装置。
【請求項３】
上記洗浄循環管路（１）は、上記短管槽（２）よりも上流側位置に、気泡を発生させる気泡混入器（５）を有する請求項１又は２記載のワーク洗浄乾燥装置。
【請求項４】
上記短管槽（２）は、取り外された状態で、両端部に蓋部材（６ａ）（６ｂ）を取着可能とさせるフランジ部（７ａ）（７ｂ）を有する請求項１，２又は３記載のワーク洗浄乾燥装置。
【請求項５】
ワーク（Ｗ）を収容させた両端部メッシュ状の短管槽（２）を、洗浄液（Ｌ）を循環させる洗浄循環管路（１）の一部として接続し、循環する該洗浄液（Ｌ）にて該ワーク（Ｗ）を該短管槽（２）内にて洗浄し、洗浄後、該ワーク（Ｗ）を収容した該短管槽（２）を該洗浄循環管路（１）から取り外し、該ワーク（Ｗ）を収容したままの該短管槽（２）を乾燥管路（４）に接続してエアーを送風させ該短管槽（２）内にて該ワーク（Ｗ）を乾燥させることを特徴とするワーク洗浄乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの洗浄乾燥装置及び洗浄乾燥方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のゴム製品やシール製品等のワーク（部品）の洗浄装置は、ワークを収容するメッシュ籠と、複数の上方開口状の洗浄槽とからなるものが知られている。
この洗浄装置における洗浄方法は、まず、メッシュ籠にワークを入れ、そのメッシュ籠を洗浄液の入った複数の洗浄槽に順次浸漬させて洗浄を行い、最終洗浄槽に続けて設けた乾燥槽にそのメッシュ籠を入れ、ワークを乾燥させている。
つまり、必要な洗浄作業、乾燥作業をメッシュ籠ごと移動させて行なうものである（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
しかし、従来の洗浄装置では、メッシュ籠の移動中に、せっかく洗浄したワークが空気中にさらされ、パーティクル（例えば、空気中の繊維くず）が付着するという問題がある。特に、ワークが、不純物を嫌う半導体関連のゴム製品等である場合においては、このパーティクルの付着が歩留まり悪化の原因となる。
そのため、これら洗浄槽のある洗浄作業場をクリーンルームにしなければならないが、従来の装置は、ワークの大きさに対して洗浄槽の大きさが巨大で、広い範囲をクリーンルームにする必要があり、設備費用が高くなるという問題がある。
【０００４】
さらに、従来における洗浄槽内の洗浄液はオーバーフローさせる場合や、また、洗浄液を槽内で循環させても一定場所にワークが固まりがちとなるため、洗浄液が適切にワークの間を循環することができないという問題点がある。
【特許文献１】特開平８−２２９５２１号公報（図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
解決しようとする課題は、空気との接触によりワークにパーティクルが付着してしまうという点である。さらに、装置をコンパクトにすることができず、また、設備費用が高くなるという点である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るワーク洗浄乾燥装置は、洗浄液を循環させる洗浄循環管路と、該洗浄循環管路の一部とされると共に着脱可能とされかつ上・下流端部それぞれにワーク流出防止メッシュを有してワークを収容し洗浄を行なう短管槽と、洗浄を終え上記洗浄循環管路から取り外された上記短管槽が途中部に取り付けられてエアーを送風させ上記ワークを該短管槽内にて乾燥させる乾燥管路と、を備えたものである。
また、上記短管槽は、その軸心方向が鉛直方向となるよう取着され、上記ワークの比重が上記洗浄液の比重より大きい場合は下方から上方へ向かう流れとなるよう、又は、上記ワークの比重が上記洗浄液の比重より小さい場合は上方から下方へ向かう流れとなるよう、該洗浄液を循環させるポンプを、上記洗浄循環管路が有するものである。
また、上記洗浄循環管路は、上記短管槽よりも上流側位置に、気泡を発生させる気泡混入器を有するものである。
また、上記短管槽は、取り外された状態で、両端部に蓋部材を取着可能とさせるフランジ部を有するものである。
【０００７】
本発明に係るワーク洗浄乾燥方法は、ワークを収容させた両端部メッシュ状の短管槽を、洗浄液を循環させる洗浄循環管路の一部として接続し、循環する該洗浄液にて該ワークを該短管槽内にて洗浄し、洗浄後、該ワークを収容した該短管槽を該洗浄循環管路から取り外し、該ワークを収容したままの該短管槽を乾燥管路に接続してエアーを送風させ該短管槽内にて該ワークを乾燥させる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の洗浄乾燥装置は、ワークの洗浄を洗浄液が循環する管路（パイプ）内にて行なうことにより、ワークを空気中に触れさせることがないため、パーティクルの付着の心配がない。
従って、高品質のワークを得ることができる。特に、不純物を嫌う半導体関連の製品に対して効果的である。
また、循環する（流速をもつ）洗浄液により洗浄を行なうため、ワークの洗浄が極めて効率良く行なえ、しかも、従来に比べて少ない洗浄液での洗浄が可能となり、イニシャルコスト及びランニングコストの低減が図れる。
装置全体を従来の洗浄槽と比べて小さくすることができ、省スペース化が図れる。
さらに、洗浄作業から乾燥作業へ移る際のワークの取出しや収納動作を省略でき、作業の移行が迅速に行なわれる。また、ワークの取出しや収納動作がないため、この動作によるワークへの異物の付着や傷の発生が生じない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本発明に係るワーク洗浄乾燥装置が有する洗浄循環管路１の実施の一形態を示す構成図であり、図２は、ワーク洗浄乾燥装置が有する乾燥管路４の実施の一形態を示す構成図である。そして、図３は、洗浄循環管路１の要部を示す断面図である。
この洗浄乾燥装置にて洗浄・乾燥を行なうワークＷとしては、例えば、ゴム部材やシール製品等の部品があり、半導体関連にて使用されるこのような部品においても適用される。
【００１０】
そして、本発明のワーク洗浄乾燥装置は、複数のワークＷが収容される短管槽２を一部として構成され洗浄液Ｌを循環させワークＷを短管槽２内にて洗浄液Ｌにより洗浄する洗浄循環管路１と、洗浄を終え洗浄循環管路１から取り外されたワークＷを収容する短管槽２が途中部に取り付けられてエアーを送風させワークＷを短管槽２内にて乾燥させる乾燥管路４と、を備える。
従って、この装置において、洗浄循環管路１と乾燥管路４とは隣接して配設されており、一つの短管槽２内にて、ワークＷの洗浄から乾燥までを行なうものである。
【００１１】
短管槽２は、洗浄循環管路１の一部とされると共にそこから着脱可能とされ、ワークＷを収容して洗浄を行なうものであり、その軸心方向が洗浄液Ｌの流れ方向（水流方向）となるよう接続される。短管槽２はパイプ部材にて構成され、洗浄乾燥部となる。
また、短管槽２は、上・下流端部───配管の連結部───それぞれにワーク流出防止メッシュ３，３を有し、これらメッシュ３，３の間に複数個のワークＷが収納され、メッシュ３，３間の空間部においてワークＷの洗浄（後に乾燥）を行なう。
【００１２】
この短管槽２を途中部に有する洗浄循環管路１について説明すると、洗浄循環管路１は、洗浄液Ｌを溜める密閉状のタンク８と、タンク８の底部から吸込管９を介在させて接続したポンプＰと、ポンプＰから吐出管10を介在させて接続した拡径管11と、を有し、拡径管11に短管槽２の一端側を接続している。
さらに、洗浄循環管路１は、短管槽２の他端側に接続される戻し管13を有し、戻し管13がタンク８の上部に接続され、一つの循環路を構成している。つまり、洗浄循環管路１は、タンク８とポンプＰと配管（パイプ）からなる洗浄装置である。
【００１３】
そして、電動式のポンプＰの動作により、タンク８内の洗浄液Ｌを、拡径管11へ供給し、短管槽２の軸方向一端側から他端側へ洗浄液Ｌを通過させ、洗浄液Ｌをタンク８へ帰している。つまり、洗浄循環管路１に洗浄液Ｌを循環させることで短管槽２に洗浄液Ｌを流過させ、ワークＷを洗浄している。
【００１４】
なお、吸込管９には、異物除去用（パーティクル除去用）フィルタ14を設けており、洗浄循環管路１を循環する洗浄液Ｌの異物をフィルタ14にて除去し、きれいな洗浄液Ｌを短管槽２へ供給できるようしている。さらに、洗浄液Ｌを頻繁に取り替えなくても高い洗浄効率を維持することができる。
【００１５】
短管槽２について説明すると、図１に示すように、短管槽２は軸心方向両端部にフランジ部７ａ，７ｂを有し、一端側のフランジ部７ａを拡径管11のフランジ12と接続させ、他端側のフランジ部７ｂに戻し管13のフランジ15を接続させ、夫々の間にシール材を配設し、一つの閉じた管路を構成している。
ワーク流出防止メッシュ３は、夫々、洗浄液Ｌ（及び後の乾燥用エアー）を通過させる薄い網状部材であり、短管槽２の両端部において開口部の全面を閉じるよう配設されている。
これにより、短管槽２内において複数個のワークＷをメッシュ３，３間に収納し、洗浄液Ｌ及びエアーの通過により、ワークＷが流れ出ていくのを防ぐことができる。
【００１６】
メッシュ３，３の短管槽２への取付構造について説明すると、少なくとも一方のメッシュ３は、ワークＷの収納・取出しのために、取り外しが容易となるよう構成されている。  つまり、図３に示すように、メッシュ３の外周縁を環状の板部材16の内周縁に固着し、板部材16を短管槽２の一方側のフランジ部７ａにボルトナット17にて固定させている。そして、このボルトナット17を外すことにより、メッシュ３を短管槽２から簡単に取り外すことができる。
【００１７】
また、図３においては、短管槽２の（一方側の）フランジ部７ａと板部材16とを複合フランジとし、この複合フランジを拡径管11のフランジ12にボルトナット18にて接続させ、また、短管槽２の（他方側の）フランジ部７ｂを戻し管13のフランジ15にボルトナット19にて接続させている。
そして、これらボルトナット18，19を外すことにより、短管槽２が洗浄循環管路１から取り外し可能となる。
なお、この上記複合フランジを他方側のフランジ部７ｂにおいて構成させてもよい。
【００１８】
図１においては、短管槽２が、その軸心方向が鉛直方向となるよう設置されており、ワークＷが（循環前の）洗浄液Ｌ内において沈む場合───ワークＷの比重（密度）が洗浄液Ｌの比重（密度）よりも大きい場合───洗浄液Ｌを下方から上方へ向かって流すよう（図１及び図３の状態）、洗浄循環管路１が有するポンプＰを、短管槽２に対して接続させればよい。この場合、短管槽２において洗浄液Ｌの流れ方向が下から上となる。
【００１９】
また、ワークＷが（循環前の）洗浄液Ｌ内において浮かぶ場合───ワークＷの比重が洗浄液Ｌの比重より小さい（以下の）場合───、図示省略するが、洗浄液Ｌを上方から下方へ向かって流すよう、ポンプＰを短管槽２に対して接続させればよい。この場合、短管槽２において洗浄液Ｌの流れ方向が上から下となる。
【００２０】
従って、ワークＷを流水にて動かしながら洗浄することにより、短管槽２内においてワークＷが浮き沈みによる循環が行なわれる。つまり、ワークＷを沈んだ状態又は浮いた状態にそのまま滞留させることなく自然に攪拌させることができ、ワークＷの攪拌作用により洗浄効果を高めることができる。
【００２１】
つまり、ポンプＰは、短管槽２内において、静止状態にある洗浄液Ｌ中でワークＷが沈んで下方又は浮いて上方のワーク初期存在位置となる一方側から、他方側へ向かう洗浄液Ｌの流れとなるように洗浄液Ｌを循環させている。
しかし、ワークＷの比重が洗浄液Ｌの比重より大きくても、最初ワーク表面に気泡が付着し表面張力によりワークＷは浮く場合があり、その後洗浄中に気泡が取れワークＷは沈むこととなる。そこで、この場合でも、洗浄液Ｌを下方から上方へ流し（循環させ）、ワークＷを洗浄することにより効率よく洗浄が行なえる。
【００２２】
さらに、洗浄循環管路１は、短管槽２よりも上流側位置に、気泡を発生させ洗浄液Ｌに混入させる気泡混入器（気泡発生器）５を有している。
気泡混入器５のエアレーション部20は、図１では拡径管11内部に設けられ、循環する洗浄液Ｌ内部にエアーが吐出される。なお、気泡混入器５から吐出させるエアーは、異物を含まないフレッシュエアーとしている。
これにより、洗浄液Ｌがエアーとの混流となり、短管槽２内のワークＷの動きを一層大きくすることができ、攪拌効率がさらに良くなり洗浄効果を高めることができる。
【００２３】
また、図３において、拡径管11へ接続される吐出管10は２本とされ、そのうちの一方において、吐出管10の下流端部に拡径管11へ洗浄液Ｌを噴出させるノズル33が取着されている。そして、そのノズル33に気泡混入器５が接続され、ノズル33はエアーを混入させた気泡噴射流として洗浄液Ｌを短管槽２へ向かって噴出している。
従って、吐出管10を２本同時に使用してもよく、又は、バルブの切り換えにより気泡の有・無を選択し洗浄してもよい。
【００２４】
以上のように、この洗浄乾燥装置にて行なわれる洗浄乾燥方法は、まず、ワークＷを収容させた両端部メッシュ状の短管槽２を、洗浄液Ｌを循環させる洗浄循環管路１の一部として接続し、循環する洗浄液ＬにてワークＷを短管槽２内にて洗浄する。
そして、洗浄後、ワークＷを収容した短管槽２を洗浄循環管路１から取り外し、図２に示すように、ワークＷを収容したままの短管槽２をエアーが送風される乾燥管路４に接続して短管槽２内にてワークＷに付着した水分を除去し、ワークＷを乾燥させる。
【００２５】
さらに、図４と図５の短管槽２の説明図に示すように、洗浄循環管路１から取り外された短管槽２は、その両端部（上下）のフランジ部７ａ，７ｂに、夫々、蓋部材６ａ，６ｂを取り付け、乾燥管路４へと移送される。なお、乾燥管路４への短管槽２の取り付けの際には、蓋部材６ａ，６ｂを取り外す。
つまり、短管槽２は、流路から取り外された状態で、両端部に蓋部材６ａ，６ｂを取着可能とさせるフランジ部７ａ，７ｂを有しており、しかも、このフランジ部７ａ，７ｂは、洗浄循環管路１内及び乾燥管路４内における接続用フランジとして使用されるものである。
【００２６】
さらに、乾燥管路４にてワークＷの乾燥を終えると、短管槽２を乾燥管路４から取り外し、再び、フランジ部７ａ，７ｂへ蓋部材６ａ，６ｂを取り付ける。
これによれば、乾燥管路４にて水切り乾燥後、ワークＷはビニール袋等にてクリーン包装されて出荷されるが、これ以外に、上下蓋をした短管槽２をそのまま出荷させることができ、包装を省略することが可能となる。
【００２７】
この蓋部材６ａ，６ｂを短管槽２の両開口部に取り付け蓋をすることで、短管槽２の移載の際に、短管槽２内への空気の流入がなく、異物（パーティクル）の侵入を防止でき、ワークＷの品質を保つことができる。
つまり、広い範囲（室内）をクリーン環境にする必要がなく、設備全体のコストダウンが可能となる。
【００２８】
次に、乾燥管路４について説明すると、図２の乾燥管路４は、エアーを循環させるよう構成され、短管槽２は、乾燥管路４の途中部に取り付けられ、乾燥管路４の一部とされる。つまり、短管槽２は、乾燥管路４に着脱可能とされている。
【００２９】
具体的に説明すると、乾燥管路４は、出口側部にフィルタ22を有する熱風発生供給器21と、熱風発生供給器21に接続される吹出管23と、吹出管23の出口側に接続される拡径通気管26と、を備える。そして、拡径通気管26のフランジ25に短管槽２のフランジ部７ａが接続される。
さらに、乾燥管路４は、短管槽２の反対側のフランジ部７ｂに接続されるフランジ24を有する第１排気管27と、第１排気管27に接続される水分分離器28と、水分分離器28からエアーが熱風発生供給器21へ戻される第２排気管29と、を備える。
【００３０】
また、拡径通気管26の下部及び水分分離器28の下部には、夫々、ドレンバルブ30とドレンタンク31が接続され、水分をこれにより集め、熱風発生供給器21側へ水分を送らないようしている。
さらに、第２排気管29の熱風発生供給器21近傍位置には、分岐管部32が設けられ、フレッシュエアーを乾燥管路４内へ供給している。
【００３１】
そして、熱風発生供給器21にて乾燥クリーンエアー（熱風）を短管槽２内へ送り、両メッシュ３，３間に収納されているワークＷの水分除去を行なう。なお、図２の装置では、エアーを下から上へ向かって送風しており、乾燥工程では、下方から上方へ向かってエアーを吹きつけることによりワークＷが攪拌されるため、乾燥効率が向上する。
【００３２】
洗浄循環管路１及び乾燥管路４は閉じた流路として構成されており、これらを構成する部材（パイプ部材、フランジ部材）としては、樹脂材料や、内面がフッ素樹脂コーティングされた金属材料等を用いることができるが、特に、塩化ビニル等の樹脂材料とするのが好ましい。
樹脂材料とすることにより、低コストで装置を構成させることができ、金属製のパイプ部材を用いるのとは異なり、洗浄液Ｌに金属イオンを含ませないため、特に不純物を嫌う半導体関連のシール用の製品に対しての洗浄効果が高まる。また、ワークＷを収納した状態でそのまま、短管槽２を出荷（納品）することもでき、梱包作業を省略することができる。
【００３３】
さらに、複数種類の洗浄液Ｌにより夫々の効果を発揮させる洗浄作業を行なう場合、図示省略するが、洗浄循環管路１において、短管槽２よりも上流側位置に、分岐管（多岐管）と切り換えバルブとを接続し、分岐管からの枝管に種々の洗浄液Ｌが入ったタンクを接続し、必要に応じて切り換えバルブの切り換えにより洗浄液Ｌを選択し、複数回洗浄作業を行なうよう構成すればよい。
【００３４】
また、洗浄作業（乾燥作業）が終了すると、蓋部材６ａ，６ｂを取り付けて短管槽２を次工程である乾燥工程（出荷工程）へ搬送するが、この短管槽２の搬送を、図示省略するが、直線的にアクチュエータにて、または、回転式のアーム部材にて行なえば、短管槽２を順次、次工程へ取り替えていくことができ、効率良く作業が進行する。
【００３５】
以上のように、本発明によれば、洗浄液Ｌを循環させる洗浄循環管路１と、洗浄循環管路１の一部とされると共に着脱可能とされかつ上・下流端部それぞれにワーク流出防止メッシュ３，３を有してワークＷを収容し洗浄を行なう短管槽２と、洗浄を終え洗浄循環管路１から取り外された短管槽２が途中部に取り付けられてエアーを送風させワークＷを短管槽２内にて乾燥させる乾燥管路４と、を備えるため、ワークＷを大気中に露出させる（空気中に触れさせる）ことがなく、パーティクルの付着の心配がない。
従って、高品質のワークＷを得ることができる。特に、不純物を嫌う半導体関連の製品に対して効果的である。
【００３６】
さらに、循環する（流速をもつ）洗浄液Ｌにより洗浄を行なうため、ワークＷの洗浄が極めて効率良く行なえ、しかも、従来に比べて少ない洗浄液Ｌでの洗浄が可能となり、イニシャルコスト及びランニングコストの低減が図れる。
また、装置全体を従来の洗浄槽と比べて小さくすることができ、省スペース化が図れる。
【００３７】
また、短管槽２は、その軸心方向が鉛直方向となるよう取着され、ワークＷの比重が洗浄液Ｌの比重より大きい場合は下方から上方へ向かう流れとなるよう、又は、ワークＷの比重が洗浄液Ｌの比重より小さい場合は上方から下方へ向かう流れとなるよう、洗浄液Ｌを循環させるポンプＰを、洗浄循環管路１が有することにより、ワークＷを流水にて動かしながら洗浄することで、短管槽２内においてワークＷが浮き沈みによる循環が行なわれる。
つまり、ワークＷを沈んだままの状態又は浮いたままの状態にそのまま滞留させることなく自然に攪拌させることができ、ワークＷの攪拌作用により洗浄効果を高めることができる。
【００３８】
また、洗浄循環管路１は、短管槽２よりも上流側位置に、気泡を発生させる気泡混入器５を有することにより、洗浄液Ｌがエアーとの混流となり、短管槽２内のワークＷの動きを一層大きくすることができ、攪拌効率がさらに良くなり洗浄効果を高めることができる。
【００３９】
また、短管槽２は、取り外された状態で、両端部に蓋部材６ａ，６ｂを取着可能とさせるフランジ部７ａ，７ｂを有することにより、短管槽２の移載の際に、短管槽２内への空気の流入がなく、異物（パーティクル）の侵入を防止でき、ワークＷの品質を保つことができる。
つまり、広い範囲（室内）をクリーン環境にする必要がなく、設備全体のコストダウンが可能となる。
【００４０】
さらに、ワークＷを収容させた両端部メッシュ状の短管槽２を、洗浄液Ｌを循環させる洗浄循環管路１の一部として接続し、循環する洗浄液ＬにてワークＷを短管槽２内にて洗浄し、洗浄後、ワークＷを収容した短管槽２を洗浄循環管路１から取り外し、ワークＷを収容したままの短管槽２を乾燥管路４に接続してエアーを送風させ短管槽２内にてワークＷを乾燥させるため、ワークＷを大気中に露出させる（空気中に触れさせる）ことがなく、パーティクルの付着の心配がない。
【００４１】
従って、高品質のワークＷを得ることができる。特に、不純物を嫌う半導体関連の製品に対して効果的である。
さらに、循環する（流速をもつ）洗浄液Ｌにより洗浄を行なうため、ワークＷの洗浄が極めて効率良く行なえ、しかも、従来に比べて少ない洗浄液Ｌでの洗浄が可能となり、イニシャルコスト及びランニングコストの低減が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】洗浄循環管路の実施の一形態を示す構成図である。
【図２】乾燥管路の実施の一形態を示す構成図である。
【図３】洗浄循環管路の要部を示す断面図である。
【図４】洗浄循環管路から取り外しされる短管槽の説明図である。
【図５】取り外された短管槽の説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  洗浄循環管路
２  短管槽
３  メッシュ
４  乾燥管路
５  気泡混入器
６ａ  蓋部材
６ａ  蓋部材
７ａ  フランジ部
７ａ  フランジ部
Ｌ  洗浄液
Ｐ  ポンプ
Ｗ  ワーク
【図１】
2005058965.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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