(57)【要約】【課題】脱脂洗浄や乾燥工程を経ることなく簡易かつ低コストの設備で精度よく工作物の外観検査を行える検査方法を提供する。【解決手段】工作物Ｗの検査面に光を照射しその反射光を受光手段で受光してその光量から検査面の良否を検査する方法であって、研削加工後の工作物Ｗを灯油を混合した防錆油Ｌで洗浄し、上記検査面に、傷のない良品面１０からの厚さが均一な液体層Ｓを形成させ、この液体層Ｓを介して光源からの光を検査面に照射し、その際の反射光を受光手段で受光する。液体層Ｓには、光源からの光の透過率が低い液体（たとえば灯油を混合した防錆油Ｌ）を用い、良品面１０、凹傷１１、凸傷１２のそれぞれで反射する反射光の光量差を強調する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から工作物の検査面に光を照射するとともにその反射光を受光手段で受光してその光量から検査面の良否を検査する方法であって、
前記検査面に、良品面からの厚さが均一な液体層を形成させ、
この液体層を介して、前記光源からの光を検査面に照射して、その際に受光手段で受光される光量の強弱により検査面の状態を検査する
ことを特徴とする工作物の外観検査方法。
【請求項２】
光源から工作物の検査面に光を照射するとともにその反射光を受光手段で受光してその光量から検査面の良否を検査する方法であって、
前記検査面を液体中に浸漬し、
前記光源および受光手段を前記検査面の良品面から一定の距離に配置させて前記光源からの光を検査面に照射し、その際に受光手段で受光される光量の強弱により検査面の状態を検査する
ことを特徴とする工作物の外観検査方法。
【請求項３】
前記光源と前記受光手段とで光学ユニットを形成し、前記受光手段で反射光を受光する際に、この光学ユニットまたは前記工作物の検査面のいずれか一方または双方を移動させながら検査面の状態を検査する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の工作物の外観検査方法。
【請求項４】
前記光源から照射される光の波長が、前記液体に対して透過率が低くなるように、前記光源および前記液体の双方または一方が選択されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の工作物の外観検査方法。
【請求項５】
前記光源、液体、受光手段の組み合わせが、下記の条件を満たすように選択されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の工作物の外観検査方法。
記
（１）  前記光源から照射される光の波長が、前記液体に対する透過率が低い波長であること
（２）  前記光源から照射される光の波長が、前記受光手段における受光感度の高い波長であること
【請求項６】
前記液体として防錆剤を用いることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の工作物の外観検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作物の外観検査装置に関し、より詳細には、円筒コロ等の工作物における外観の傷を低コストで確実に検査する検査技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、軸受部品に用いられる円筒コロのような工作物は、その表面に傷があると寿命を損なうので、外径部の削り込みを行う研削加工（仕上げ加工）が終了した後に、工作物表面の傷の有無について検査（外観検査）を行っている。
【０００３】
図５は、かかる外観検査を行う外観検査装置の一例を示している。図示の検査装置は、並行配置された二本の回転ドラムａ，ａの上に、脱脂洗浄後に乾燥された工作物（円筒コロ）Ｗを載置し、その状態で工作物圧子ｂを用いて工作物Ｗの暴れを防止しながら上記回転ドラムａ，ａを矢符に示すように回転させ、ハロゲンランプやレーザー光等の光源ｃで工作物外周面の軸方向に沿う線状領域Ｗａを照射し、この反射光をラインセンサカメラｄで検出し、これを一定の基準レベルと比較することにより暗く写る傷を判定し、一回転させることにより工作物外周面（表面全体）の傷の有無を判定している。
【０００４】
また、この他にも円筒状工作物の傷の有無を光学的に検査する装置として、たとえば、長尺物の工作物の場合、該工作物を回転させながら蛍光灯で照射し、数台並べたラインセンサカメラで、その反射光量を電圧に変換して、検査選別を行うものや（たとえば特許文献１参照）、細長い針状型の工作物に対して、照明手段としてレーザー光を用いて、同様の光電変換処理にて検査選別を行うもの（たとえば特許文献２参照）が提案されている。さらには、太く短い工作物に対して、光源としてハロゲンランプを用いて同様の処理を行う装置も提案されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−１０１１３４号公報
【特許文献２】特開昭６０−７３４０９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このように工作物表面の傷の有無を光学的に検査する従来の外観検査装置は、いずれも検査時に検査対象となる検査面（工作物の表面）を清浄に保っておく必要がある。そのため、従来においては、仕上げ加工後に脱脂洗浄工程や乾燥工程を施すなどして工作物表面に付着した不要な油分やゴミ等を取り除く工程が必要となり、外観検査前に多くの作業工程が必要であった。
【０００７】
しかも、精度の良い外観検査を行うためには、上記脱脂洗浄工程や乾燥工程を行うための設備として脱脂洗浄能力や乾燥能力の高い設備を導入する必要があるが、その場合、設備が割高となり採算が合わなくなることから、実際には、その多くが外観検査装置の導入を諦めて作業者の目視検査に頼っているのが現状である。そのため、外観検査装置の導入を諦めた場合には、人の目視により外観検査が行われるので、製品群内の相対判定、あるいは個人差による判定基準の不明確、相違等の不具合が生じ、工作物表面の傷の見落とし等が発生するという問題を生じていた。
【０００８】
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、脱脂洗浄や乾燥工程を経ることなく簡易かつ低コストの設備で精度よく工作物の外観検査を行える検査方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る工作物の外観検査方法は、光源から工作物の検査面に光を照射するとともにその反射光を受光手段で受光してその光量から検査面の良否を検査する方法であって、上記検査面に、良品面からの厚さが均一な液体層を形成させ、この液体層を介して、上記光源からの光を検査面に照射して、その際に受光手段で受光される光量の強弱により検査面の状態を検査することを特徴とする。
【００１０】
すなわち、本発明の外観検査方法によれば、光源から照射される光は、検査面の良品面から厚さが均一な液体層を通過して検査面で反射して受光手段に受光されるので、傷のない良品面での反射光の光量を１００パーセントとすると、この良品面の光量との比較において、良品面から突出した凸状の傷の部分では液体層の厚みが良品面の場合に比べて薄くなり、液体層を通過する光の通過距離が短くなって反射光の光量が増大する。これとは反対に、良品面から陥没する凹状の傷の部分では液体層の厚み良品面のそれより厚くなり、液体層を通過する光の通過距離も長くなって反射光の光量が減少する。そのため、本発明によれば、反射光の光量の強弱を検出することにより、工作物表面の傷の状態（凹凸のいずれの傷であるか）を含めた傷の有無を容易に判別することができる。
【００１１】
また、本発明は他の実施態様として、光源から工作物の検査面に光を照射するとともにその反射光を受光手段で受光してその光量から検査面の良否を検査する方法であって、上記検査面を液体に浸漬し、上記光源および受光手段を上記検査面の良品面から一定の距離に配置させて上記光源からの光を検査面に照射し、その際に受光手段で受光される光量の強弱により検査面の状態を検査することを特徴とする。
【００１２】
この場合、液体に浸漬された工作物の良品面から一定の距離に上記光源と受光手段とが配置されるので、上述した場合と同様に、傷のない良品面での反射光の光量を１００パーセントとすると、この良品面の光量との比較において、凸状の傷の部分では反射光の光量が増大する一方で、凹状の傷の部分では反射光の光量が減少するので、この場合にも、工作物表面の傷の状態（凹凸のいずれの傷であるか）を含めた傷の有無を容易に判別することができる。
【００１３】
そして、本発明は、工作物の外観検査にあたり、上記光源と上記受光手段とで光学ユニットを形成し、上記受光手段で反射光を受光する際に、この光学ユニットまたは上記工作物の検査面のいずれか一方または双方を移動させながら検査面の状態を検査することにより、工作物表面を全面にわたって検査することができる。
【００１４】
さらに、上記光源および液体の選定にあたり、上記光源から照射される光の波長が、上記液体に対して透過率が低くなるように、上記光源および上記液体の双方または一方を選択することにより、良品面と傷のある部分との反射光の光量差のコントラストを強調することができる。
【００１５】
また、上記光源、液体、受光手段の組み合わせとして、（１）  上記光源から照射される光の波長が、上記液体に対する透過率が低い波長であること、（２）  上記光源から照射される光の波長が、上記受光手段における受光感度の高い波長であること、の条件を満たすように選択することにより、受光手段での受光感度が向上し、その結果、反射光のコントラストをより強調することができる。
【００１６】
そして、好ましくは、上記液体として防錆剤を用いることにより、通常は外観検査後に行われる防錆処理工程を外観検査の工程に取り込むことができ、検査から出荷までの工程数を減らし作業を簡略化できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本発明に係る外観検査方法を工作物（本実施形態では円筒コロ）Ｗの外観検査装置に適用した一例を示している。図示の外観検査装置は、所定間隔で並行配置された二本の回転ドラム１，１と、上記回転ドラム１，１の回転による工作物Ｗの暴れを防止する工作物圧子として機能する工作物用ブレード２と、工作物の表面（検査面）に防錆油（液体）Ｌを供給する液体ノズル３と、工作物表面の検査部位Ｗａに所定の波長の光を照射する照明装置（光源）４と、該検査部位で反射した反射光を受光する受光装置（受光手段）５とを主要部として構成される。
【００１９】
具体的には、上記回転ドラム１，１は、図示しない搬送装置により搬入される工作物Ｗを、該回転ドラム１，１の上に回転可能に支持するための円筒状の部材であって、その軸１ａが図外の駆動機構と連動して図中の矢符で示す方向に回転駆動可能に構成されている。
【００２０】
そして、この回転ドラム１，１に臨む所定位置には、上記液体ノズル３とドラム用ブレード６とが配設されている。液体ノズル３は、回転駆動する回転ドラム１に防錆油Ｌを吹き付けるためのノズルであって、本実施形態では各ドラム１，１のそれぞれ対向して一対の液体ノズル３，３が設けられている。そして、この液体ノズル３から後述する防錆油Ｌを回転ドラム１の外周面に吹き付けることにより、ドラム１の回転に伴って防錆油Ｌが上記工作物Ｗの表面に供給される。
【００２１】
また、ドラム用ブレード６は、上記液体ノズル３によって回転ドラム１の外周面に吹き付けられた防錆油Ｌを該回転ドラム１の外周全体に均し広げるとともに、回転ドラム１の表面に付着したゴミ等を余分な防錆油Ｌとともに掻き取る作用を果たすものであって、図示のように、上記液体ノズル３に対して回転ドラム１の回転方向下流側に配設される。
【００２２】
このドラム用ブレード６は、回転ドラム１の軸方向の幅寸法とほぼ同寸（少なくとも、後述する検査位置にある工作物Ｗの検査面の軸方向全長を超える寸法）の板状の部材からなり、回転ドラム１を傷つけないように少なくとも回転ドラム１と対向する面が弾性を有する部材等（たとえば樹脂材料）で形成される。
【００２３】
一方、工作物用ブレード２は、上記工作物Ｗに臨む所定の位置に配置されて、上述した工作物圧子として機能する他、回転ドラム１，１を介して工作物表面に供給される防錆油Ｌを工作物表面に均し広げて、防錆油Ｌが工作物表面に均一に付着するように防錆油Ｌを均す手段として機能するものであって、図示のように、光源４および受光装置５に対して工作物Ｗの回転方向（図中工作物Ｗに矢符で示した方向）の上流側に配設される。
【００２４】
具体的には、この工作物用ブレード２も上記ドラム用ブレード６と同様に、上記回転ドラム１の軸方向の幅寸法とほぼ同寸（少なくとも、後述する検査位置にある工作物Ｗの検査面の軸方向全長を超える寸法）の板状の部材で構成されるとともに、工作物Ｗを傷つけないように少なくとも工作物Ｗとの対向面２ａが弾性を有する部材等（たとえば樹脂材料）で形成される。
【００２５】
なお、図示例ではこの工作物用ブレード２における上記対向面（下端面）２ａが工作物Ｗの外周面の形状に対応する円弧状に形成された場合を示したが、上述した工作物用ブレード２の機能を果たす形状であれば、たとえばブレード２の下端をエッジ状に形成することも可能である。
【００２６】
上記照明装置４は、検査する工作物Ｗの軸線に沿って外観検査を行う線状の検査領域（検査面）Ｗａを照射する。この光源には、防錆油Ｌに対して透過率の低い波長の光を出す単色光源が使用される。具体的には、本発明に係る外観検査装置では、後述するように、防錆油Ｌからなる液体層を介して工作物表面に光を照射してその反射光を受光するので、防錆油Ｌに対して透過率の低い波長の光を出す単色光源が採用される。また、後述する受光装置５との関係では、上記光源は受光装置５での受光感度が高い波長の光源が選択される。
【００２７】
なお、これらの条件は、いずれも受光装置５において、傷のない良品面での反射光と傷のある部分での反射光の光量差のコントラストを強調するためのもので、したがって照明装置４の光源は、これらの条件をできるだけ満たすように、使用する防錆油Ｌの種類や、受光装置５の種別、さらには工作物Ｗの材質、表面の状態等に応じて適宜選択される。
【００２８】
ここで、本願出願人が上記防錆油Ｌとして灯油を混合した防錆油を用いて行った実験の結果を紹介する。この実験では、光源として、青色で発光するＬＥＤ（６ｍＷのもの）と、緑色に発光するＬＥＤ（４ｍＷのもの）の２種類の光源を用意した。受光装置５との関係では、図２に示すように（図２では符号Ａ，Ｂで示す２種類の受光装置についての受光感度を示している）、緑色のＬＥＤの方が受光感度は高いが、発光によって得られる光の出力（光量）を考慮すると、この場合、青色のＬＥＤの方が受光装置５では明るく写ることが判明した。
【００２９】
また、使用した防錆油Ｌに対する透過率は、図３に示すように、緑色のＬＥＤより青色ＬＥＤの方が低く、後述する外観検査を行った場合、青色のＬＥＤを用いた方が受光装置５で高いコントラストが得られることが判明した。
【００３０】
これらの結果を上記条件に照らして総合的に判断すると、灯油を混合した防錆油Ｌにおいては、緑色の光源よりも青色の光源の方が本発明の実施には適しており、本発明では上記照明装置４の光源として青色のＬＥＤを使用することとした。
【００３１】
そして、本実施形態では、工作物Ｗの軸方向全体を照明できるように、上記照明装置４の具体的な構造は、たとえば、図示のように、ケース内に収納されたプリント基板４１に青色ＬＥＤ４２を直線的に配列し、その前側に集光レンズ４３を配置したものが用いられている。これにより青色ＬＥＤ４２から照射された光が工作物外周面の線状の検査領域Ｗａに照射される（図中二点鎖線参照）。
【００３２】
一方、上記受光装置５は、線状のセンサ手段であるラインセンサカメラで構成され、上記照明装置４によって照射された工作物Ｗの線状の検査領域Ｗａから反射する光（反射光）を検出する。工作物Ｗの軸方向が長い場合には複数台のラインセンサカメラを工作物表面に対向して直列配置する。また、上記照明装置４とこの受光装置５とは、後述する外観検査時において両者の相対的な位置関係が固定されて一つの光学ユニットを形成する。
【００３３】
なお、図中の符号７で示すのは、上記線状のセンサ手段からの検出信号を電気的に処理する信号処理部７ａと、この信号処理部７ａで得られた処理値を予め設定された値（所定のしきい値）と比較して、工作物表面の傷の有無を判別する判別部７ｂとを備えた判別装置である。
【００３４】
また、符号８で示すのは外観検査装置の制御部で、この制御部８では、工作物Ｗの回転速度とラインセンサカメラの撮影間隔の同期を取る等、外観検査装置の全体の動作制御が行われる。
【００３５】
しかして、このように構成された外観検査装置の動作について説明する。
【００３６】
最終仕上げ加工として研削機による研削加工が施された工作物Ｗは、外観検査装置への搬入に先立ち、表面に付着した研削油や研削かすを除去する洗浄工程が施される。この洗浄工程は、工作物表面にエアを吹き付けて付着している研削油等を吹き飛ばす工程と、灯油を混合した防錆油Ｌで残留する研削油や研削かすを流しとる工程とからなる。
【００３７】
そして、防錆油Ｌによる洗浄工程が完了した工作物Ｗは、図外の搬送装置により回転ドラム１，１上の所定の検査位置に載置され、工作物用ブレード２によって回転ドラム１，１側に押さえられ、回転ドラム１，１の回転駆動によって回転させられる。
【００３８】
工作物Ｗが回転すると、これに同期して、液体ノズル３，３が回転ドラム１，１のそれぞれに防錆油Ｌの吹き付けを開始し、回転ドラム１，１に吹き付けられた防錆油Ｌがドラムの回転に伴って工作物Ｗに供給される。その際、回転ドラム１，１に取り付けられたドラム用ブレード６，６が防錆油Ｌを回転ドラム１，１の外周面に均し広げてムラが出来ないように回転ドラム１，１に防錆油Ｌを均等に付着させる。また、このドラム用ブレード６，６は、上述したように、回転ドラム１，１に付着する防錆油Ｌを掻き取る作用を持つので、回転ドラム上に付着したゴミ等の汚れが除去され、工作物Ｗにゴミ等で汚れていない防錆油Ｌが供給される。
【００３９】
このようにして回転ドラム１，１に付着した防錆油Ｌは、ドラム１の回転に伴って工作物Ｗにスムーズに移り、工作物Ｗの外周面の全面に付着する。その際、上記工作物用ブレード２は、上記ドラム用ブレード６，６と同様の作用により、防錆油Ｌを工作物Ｗの表面に均一に均し広げて、工作物Ｗの表面に防錆油Ｌかららなる液体層Ｓをムラなく均一に形成させる。
【００４０】
ここで、このように形成された液体層Ｓの状態を図４に示す。図４は、この液体層Ｓの状態を模式的に示したものであり、図中符号１０は傷のない工作物表面（良品面）を示し、符号１１は良品面１０から陥没する凹状の傷（凹傷）を示し、さらに符号１２は良品面１０から突出する凸状の傷（凸傷）を示している。このように、工作物用ブレード２によって均し広げられた防錆油Ｌは、工作物表面の傷の有無に関わりなく、良品面１０からみると厚さが均一な液体層Ｓを形成する。つまり、上記工作物用ブレード２がこのような液体層Ｓを形成させる作用を果たしている。
【００４１】
そして、このような液体層Ｓが形成された工作物表面の検査領域Ｗａに対して、上記照明装置４からの光を照射すると、その反射光は、図示のように、傷のない良品面１０では図中の符号（１）の矢符で示すように反射し、また、凹傷１１の部分では符号（２）の矢符で示すように反射し、さらに凸傷１２の部分では符号（３）の矢符で示すように反射する。
【００４２】
つまり、良品面１０での反射光に対して、凹傷１１の部分に照射された光は液体層Ｓの通過距離が長くなり、反対に凸傷１２の部分に照射された光は液体層Ｓの通過距離が短くなる。そのため、良品面１０で反射して受光装置５に受光された反射光の光量を１００パーセントとすると、凹傷１１での反射光の光量は良品面のそれに比べ減少し、反対に、凸傷１２での反射光の光量は良品面のそれに比べて増大する。
【００４３】
そして、その際、本発明では、上記照明装置４の光源として防錆油Ｌに対する透過率が低い光源を採用しているので、これらの光量差（つまり反射光の光量の強弱）は防錆油Ｌに対する透過率が高い光源を採用した場合に比べ強調される。つまり、光量差のコントラストが強調された状態で、受光装置５に反射光が受光される。
【００４４】
したがって、上記受光装置５ではこのようにコントラストが強調された反射光が受光検出され、その検出信号が上記判別装置７で電気的に処理（上述したしきい値との比較処理）されるので、工作物表面の傷の有無を正確かつ確実に判別することができる。しかも、この場合、光量差のコントラストが強調されているので、工作物表面の傷が凹傷１１であるのか、それとも凸傷１２であるかまでも容易に判別することができる。
【００４５】
なお、以上に述べた傷の判定は、工作物Ｗを回転させながら工作物Ｗの外周全体に対して行われる。つまり、上記制御部８により工作物Ｗの回転速度と、ラインセンサカメラの撮影間隔との同期が取られ、工作物表面を所定の解像度で検出が行われる。
【００４６】
このように、本発明によれば、工作物の外観検査を光学的手法で行うに際し、検査対象となる検査面に、傷のない良品面からみて厚さが均一な液体層を形成させ、その状態で検査面に光源からの光を照射してその反射光の光量の強弱から外観検査を行うので、従来のように、脱脂洗浄能力や乾燥能力の高い設備を導入することなく精度の高い外観検査を行うことができる。
【００４７】
また、液体層を形成する液体として灯油を混合した防錆油を用いることにより、外観検査に先立って行われる洗浄工程で洗浄しきれずに残留する研削液を灯油によって吸収除去でき、検査面を清浄な状態に保つことができるとともに、外観検査後に従来行われていた防錆処理工程を省略することができる。
【００４８】
なお、上述した実施形態はあくまでも本発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこれに限定されることなくその範囲内で種々の設計変更が可能である。
【００４９】
たとえば、上述した実施形態では、工作物Ｗとして円筒コロを用いたので、外観検査にあたり工作物Ｗを回転させる、つまり、光学ユニットに対して工作物Ｗの位置を移動させながら外観検査を行う場合を示したが、外観検査時に光学ユニット側の位置を移動させるように構成することも可能である。要は、外観検査時に光学ユニットまたは工作物の検査面のいずれか一方または双方を移動させて両者の位置を相対的に移動させながら外観検査を行うものであれば他の態様を採用することも可能である。
【００５０】
また、上述した実施形態では、工作物Ｗの表面に形成する液体層Ｓとして、灯油が混合された防錆油Ｌを用いたが、光源から照射される光の透過率が低い液体であれば、上記防錆油Ｌ以外の他の液体を用いることも可能である。
【００５１】
さらに、上述した実施形態では、工作物表面に液体層Ｓを形成させて外観検査を行う場合を示したが、工作物Ｗの検査面と光学ユニットとの間に光源からの光の透過率が低い液体が介在していればよいので、たとえば、工作物Ｗの検査面を液体に浸漬し、光学ユニットを当該検査面の良品面から一定の距離に配置させ、その状態で光源からの光を検査面に照射し、その際の反射光を受光装置で受光し、上記実施形態と同様の手法により検査面の状態を検査することも可能である。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明に係る工作物の外観検査方法によれば、光源から工作物の検査面に光を照射するとともにその反射光を受光手段で受光してその光量から検査面の良否を検査するにあたり、上記検査面に、良品面からの厚さが均一な液体層を形成させ、この液体層を介して、上記光源からの光を検査面に照射して、その際に受光手段で受光される光量の強弱によって検査面の状態を検査するので、従来のように、外観検査に先立って、高い能力の脱脂洗浄設備や乾燥設備を必要とすることなく精度の高い外観検査を行うことができる。
【００５３】
また、外観検査に際して、工作物の検査面を液体に浸漬し、光源および受光手段を上記検査面の良品面から一定の距離に配置させて上記光源からの光を検査面に照射し、その際に受光手段で受光される光量の強弱により検査面の状態を検査することによっても、同じように、高い能力の脱脂洗浄設備や乾燥設備を必要とすることなく精度の高い外観検査を行うことができる。
【００５４】
さらに、上記光源と上記受光手段とで光学ユニットを形成し、上記受光手段で反射光を受光する際に、この光学ユニットまたは上記工作物の検査面のいずれか一方または双方を移動させながら検査面の状態を検査することにより、工作物表面を全面にわたって検査することができる。
【００５５】
また、上記光源および液体の選定にあたり、上記光源から照射される光の波長が、上記液体に対して透過率が低くなるように、上記光源および上記液体の双方または一方を選択することにより、良品面と傷のある部分との反射光の光量差のコントラストを強調することができ、工作物表面の状態を正確に検査することができる。また、上記光源、液体、受光手段の組み合わせとして、（１）  上記光源から照射される光の波長が、上記液体に対する透過率が低い波長であること  （２）  上記光源から照射される光の波長が、上記受光手段における受光感度の高い波長であること、の条件を満たす選択を行うことにより、受光手段での受光感度が向上し、その結果、より正確に外観検査を行うことができる。
【００５６】
そして、上記液体として防錆剤を用いることにより、通常外観検査後に行われる防錆処理工程を外観検査の工程に取り込むことができ、検査から出荷までの工程数を減らし作業を簡略化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の外観検査方法を適用した外観検査装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】光源と受光装置の関係を示す説明図であり、横軸に光源から照射される光の波長を、縦軸に受光装置の受信感度を示したグラフである。
【図３】灯油を混合した防錆油における光の透過率を示す説明図であり、横軸に光の波長を、縦軸に透過率を示すグラフである。
【図４】工作物の表面に形成された液体層の状態を模式的に示す説明図である。
【図５】従来の外観検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１      回転ドラム
２      工作物用ブレード
３      液体ノズル
４      照明装置（光源）
５      受光装置（受光手段）
６      ドラム用ブレード
７      判別装置
７ａ    信号処理部
７ｂ    判別部
８      制御部
１０    良品面
１１    凹傷
１２    凸傷
Ｌ      防錆油（液体）
Ｓ      液体層
Ｗ      工作物
【図１】
2005049150.tif 000003
【図２】
2005049150.tif 000004
【図３】
2005049150.tif 000005
【図４】
2005049150.tif 000006
【図５】
2005049150.tif 000007