(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドの組み立て中に発生する熱膨張、または液滴吐出ヘッドを用いて記録中に発生する発熱素子からの熱によってヘッド自身が熱膨張し、記録品質が低下したり、ヘッドが破損したりすることがない液滴吐出ヘッドを提供する。【解決手段】インク流路９と、ノズル口８と、インク流路９を形成する壁面に圧力発生手段２を有する基板１と、基板１を保持するベースプレートからなる液滴吐出ヘッドにおいて、基板１またはベースプレートに発生する応力を緩和する応力緩和手段が形成されている。応力緩和手段は、四角錐状の凹部、断面三角形状の溝等の凹部４からなり、インク流路９へインクを供給する貫通溝３に沿って複数設けられる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液流路と、該液流路に連通するノズル口と、前記液流路を形成する壁面に圧力発生手段を有する基板と、該基板を保持するベースプレートからなる液滴吐出ヘッドにおいて、前記基板または前記ベースプレートに発生する応力を緩和する応力緩和手段が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記応力緩和手段は、前記基板の前記圧力発生手段を有する壁面と対向する面に形成されていることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記応力緩和手段は、前記基板をエッチングすることによって形成される凹部からなることを特徴とする請求項１または２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記凹部の深さは、前記基板の厚みの１／１５以上であることを特徴とする請求項３記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記応力緩和手段は、前記ベースプレートに形成されていることを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記基板と前記ベースプレートとの接触面積は、前記基板の面積の２／３以下であることを特徴とする請求項１〜５いずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
前記圧力発生手段は、電気熱変換素子であることを特徴とする請求項１〜６いずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７いずれかに記載の液滴吐出ヘッドが搭載されたことを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項９】
請求項１〜７いずれかに記載の液滴吐出ヘッドまたは請求項８に記載のインクカートリッジが搭載されたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置に関し、さらに詳しくは、液滴吐出ヘッドを形成する基板またはベースプレートに発生する応力を吸収する応力緩和手段が形成されている液滴吐出ヘッド及びこの液滴吐出ヘッドを搭載したインクカートリッジ及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクを液滴として画像記録を行なうインクジェット記録は、印字機構が簡単であるため、コンパクトで騒音が少ない記録装置が低コストで提供できる特徴がある。特に、特許文献１に開示されたような、圧力発生手段を搭載した基板に垂直な方向へ液滴を吐出する、いわゆるサイドシュータタイプのインクジェットヘッドは複数のノズルを１チップ内に構成できるという点で優れ多くの構成が提案されており、近年では印字速度を一層高速化するため、チップは大型化、長尺化している。
【０００３】
インクジェット記録は前記したような利点があるものの、大型化、高密度化による弊害も発生している。特許文献２に開示されたインクジェット記録ヘッドは、圧力発生手段が形成された基板に機械的あるいは化学的エッチング処理で貫通口を形成し、その貫通口は表面の圧力発生素子に通じており、貫通口を通じてインクを供給する構成である。しかしながら、このような構成では、チップの大型化、高密度化に伴いチップ内に占める貫通口の面積が増大し、チップの剛性が低下し、組み立て時のハンドリングもしくは熱ストレス等による膨張係数差等によりチップにクラックまたは変形が生じる恐れがある。特許文献３に開示されたインクジェット記録ヘッドでは、その対策として貫通口内に梁構造を形成しチップの剛性を高めるようにした構成が提案されている。
【０００４】
また、特許文献４に開示されたインクジェットヘッドでは、ベースプレートをセラミック焼成物の高熱伝導材で構成して、チップで発生した熱をベースプレート側へ逃がしてやりヘッドチップの温度上昇を抑えることが提案されている。その他、特許文献５に開示されたインクジェット記録ヘッドでは、ベースプレートを２つの材料から構成し、圧力発生素子が形成された基板と直接接合されるベースプレートには基板の熱膨張係数に近い材料を用いベースプレートにはそれよりも熱膨張係数の大きな材料を用いて放熱効果を高める構成が提案されている。
【特許文献１】特開平０６−３２０７３０号公報
【特許文献２】特開平０９−３１４８４１号公報
【特許文献３】特開平１０−１３８４７８号公報
【特許文献４】特開２０００−１９０５００号公報
【特許文献５】特開２０００−３５１２１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献３に開示されたインクジェット記録ヘッドは、ある程度のチップの剛性を高めることができるが、チップに対しさらに高密度化、長尺化の要求がなされると同様の課題を抱えることになる。特に、フルカラー記録が可能で被記録媒体の幅全域に亘って同時に記録が可能なインクジェット記録ヘッドでは、僅かな振動でも壊れやすく、さらにベース基板との少しの膨張係数の差でもチップは反ってしまい所望の記録品質が得られないという問題を抱える。この点は、圧力発生手段が電気熱変換素子で構成されているいわゆるサーマル式インクジェットヘッドの場合はより深刻である。サーマルインクジェットヘッドでは、それ自体が発熱しインクを沸騰させその気泡が成長する際の圧力を用いてインクを吐出するため、熱を蓄積しやすい。
【０００６】
このような理由で、ラインプリンタタイプのインクジェットヘッドの場合は、発生する熱は膨大で自身の発生する熱でチップが反ってしまい、記録中に突然記録品質が劣化し白スジや色ムラが生じたり、ベース基板との熱膨張係数の差によってクラックが入り、場所によってはヘッドの破損にまで至る。また、特許文献４に開示されたインクジェットヘッドでは放熱効果を高めているが、ノズルの高密度化、長尺化になると放熱が追いつかず同様の課題を抱えることになる。
【０００７】
また、特許文献５に開示されたインクジェット記録ヘッドでは、熱膨張係数の近い材料をベースプレートにすることで膨張差によるクラック等の心配はないが、ヘッドが蓄熱してしまい噴射ダウンといったことに至る場合がある。
【０００８】
本発明は、上記したような従来技術が有する問題点に鑑みてなされたもので、組み立て中の熱膨張、または記録中に発生する発熱素子からの熱によってヘッド自身が熱膨張することにより記録品質が低下すること、もしくはヘッドが破損することのない液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、前記したような課題を解決するためになされたもので、請求項１に係る発明は、液流路と、該液流路に連通するノズル口と、前記液流路を形成する壁面に圧力発生手段を有する基板と、該基板を保持するベースプレートからなる液滴吐出ヘッドにおいて、前記基板または前記ベースプレートに発生する応力を緩和する応力緩和手段が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記応力緩和手段は、前記基板の前記圧力発生手段を有する壁面と対向する面に形成されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項３に係る発明は、請求項１または２記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記応力緩和手段は、前記基板をエッチングすることによって形成される凹部からなることを特徴とする。
【００１２】
請求項４に係る発明は、請求項３記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記凹部の深さは、前記基板の厚みの１／１５以上であることを特徴とする。
【００１３】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４いずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記応力緩和手段は、前記ベースプレートに形成されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項６に係る発明は、請求項１〜５いずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記基板と前記ベースプレートとの接触面積は、前記基板の面積の２／３以下であることを特徴とする。
【００１５】
請求項７に係る発明は、請求項１〜６いずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧力発生手段は、電気熱変換素子であることを特徴とする。
【００１６】
請求項８に係る発明は、請求項１〜７いずれかに記載の液滴吐出ヘッドが搭載されたインクカートリッジであることを特徴とする。
【００１７】
請求項９に係る発明は、請求項１〜７いずれかに記載の液滴吐出ヘッドまたは請求項８に記載のインクカートリッジが搭載されたインクジェット記録装置であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１の発明は、液流路と、該液流路に連通するノズル口と、前記液流路を形成する壁面に圧力発生手段を有する基板と、該基板を保持するベースプレートからなる液滴吐出ヘッドにおいて、前記基板または前記ベースプレートに発生する応力を緩和する応力緩和手段が形成されているので、ヘッド自身の発熱もしくは外部からの熱供給による膨張差で生じる応力を緩和することができ、ヘッドの損傷もしくは記録品質の劣化を防止することが可能となる。
【００１９】
請求項２の発明は、応力緩和手段が圧力発生手段を有する基板に形成されているので、応力発生手段を基板に形成する際にプロセス上同一工程で作成することが可能となり、特別な装置が不要で、工数も削減でき安価で信頼性の高いヘッドが提供できる。
【００２０】
請求項３の発明は、応力緩和手段は圧力発生手段が形成された基板をエッチングすることで形成される凹部によって形成されるので、寸法精度がよく、微小な領域にも正確な凹構造を形成することが可能となり効果的な応力緩和構造が形成できる。
【００２１】
請求項４の発明は、凹部の深さが基板の厚みの１／１５以上であるので、より効果的な応力緩和構造が形成できる。
【００２２】
請求項５の発明は、応力緩和構造がベースプレートにも形成されているので、応力緩和を十二分に行うことが可能となる。
【００２３】
請求項６の発明は、基板とベースプレートの接着面積が基板の２／３以下であるので、応力緩和が可能となりヘッドの損傷や記録品質の低下を防止できる。
【００２４】
請求項７の発明は、圧力発生手段が電気熱変換素子であるので、自身が熱を発生し膨張しやすいが、応力緩和構造を具備しているので、応力緩和構造の効果が発揮される。
【００２５】
請求項８の発明は、請求項１〜７のいずれかに記載の応力緩和手段が形成された液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留する液体容器とを有するヘッドカートリッジであるので、信頼性が高く記録品質が高い。
【００２６】
請求項９の発明は、請求項１〜７記載のインクジェットヘッドもしくは請求項８記載のインクカートリッジを備えた記録装置であるので、熱膨張差によるヘッドの破損、記録ムラ等が発生しない高品質な記録が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明は、従来の液滴吐出ヘッドが有する問題点に鑑みてなされたもので、液滴吐出ヘッドの組み立て中の熱膨張、または液滴吐出ヘッドを用いて記録中に発生する発熱素子からの熱によってヘッド自身が熱膨張することにより記録品質が低下すること、もしくはヘッドが破損することのない液滴吐出ヘッドを提供することを目的とするものであって、そのための構成として、液流路と、該液流路に連通するノズル口と、前記液流路を形成する壁面に圧力発生手段を有する基板と、該基板を保持するベースプレートからなる液滴吐出ヘッドにおいて、前記基板または前記ベースプレートに発生する応力を緩和する応力緩和手段が形成されていることを特徴とする。
【００２８】
以下、本発明を図１〜図１４に示す実施例のインクジェットヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置に基づいて説明する。
【実施例１】
【００２９】
図１は、実施例１のインクジェットヘッドを示す斜視図、図２は、図１に示すインクジェットヘッドのＡ−Ａ線断面図、図３は、図１に示すインクジェットヘッドの裏面図である。
実施例１のインクジェットヘッドは、圧力発生手段２が形成された基板１と、ノズルプレート７に形成されたノズル口８と圧力発生手段２にインクを導くインク流路９が形成されたインク流路基板６とからなる。実施例１のインクジェットヘッドは、圧力発生手段２として電気熱変換素子を採用した例であるが、これに限るものでなく、微小なギャップを介して対向する電極間に電圧を加え、その電位差で片方の電極を変位させ、その復元力でインクを吐出する静電型インクジェットヘッド等でも同様に実現することができる。
【００３０】
実施例１のインクジェットヘッドでは、インク流路９内へインクを供給する手段として基板１に貫通溝３を形成し、この貫通溝３を通してインクを供給している。基板１は面方位＜１００＞のシリコン単結晶を用い、熱酸化膜であるＳｉＯ2やプラズマＣＶＤで形成するＳｉＮ膜等をマスク材として異方性エッチングを行って貫通溝３を形成する。エッチング液としてはＫＯＨ、ＮａＯＨ、ＴＭＡＨ等を用いるのが一般的であるが、本実施例ではＳｉＯ2をマスクとして、ＴＭＡＨ２２ｗｔ％溶液を用いて８０℃の温度で異方性エッチングを行った。異方性のウェットエッチングは、Ｓｉの結晶面＜１１１＞で極端にエッチングレートが遅くなり、面方位＜１００＞の基板を用いた場合は、図１〜図３に示すような深さ方向にテーパ角をもったエッチング形状が得られる。前記したようなエッチング特質からマスク材の形成精度で形状がほぼ決定するため、寸法制御を行いやすい。
【００３１】
基板１の裏面には複数の凹部４からなる応力緩和機構が形成されている。凹部４は、基板１をエッチングすることで、例えば四角錐状の窪みによって貫通溝３を形成するのと同時に形成することができる。複数の凹部４は、貫通溝３の長手方向に沿って貫通溝３の両側に等ピッチで設けられており、四角錐状の窪みの開口端寸法、深さ、基板１に設ける位置等は、予め計算により求めるか、または実験により決定される。
【００３２】
圧力発生手段２を有する基板１は、強度部材としてのベースプレート１０と接着剤等により接合される。
図４は、基板とベースプレートとの関係を示す図で、図４（Ａ）は基板にストレス（応力）が生じていない状態の様子を示し、図４（Ｂ）は基板にストレスが生じている状態の様子を示す。
図４（Ａ）に示すようなインクジェットヘッドにおいて、図４（Ｂ）に示すように、基板１自身の発熱もしくは外部からの熱の供給により、ベースプレート１０と基板１との膨張係数の差により、基板１に対してベースプレート１０が相対的に矢印の方向に圧縮されることになり、基板１との接触面にストレスが発生する。しかしながら、複数の凹部４により形成された柱状の構造体５が基板１の裏面に形成され、その部分が応力緩和機構として機能し、膨張差によるストレスをうまく吸収し、基板１の反り、クラックの発生が防止される。
【００３３】
図５は、基板に形成される凹部とマスクの開口幅の関係を示す図である。
ストレスを吸収する凹部４は、インクを供給するための貫通溝３の形成時にエッチングにより同様にして形成した。凹部４の深さは、エッチング時に使用するマスクｍの開口幅でほぼ決定され、マスクｍの開口幅をＷとすると、エッチングで得られる深さＨは
Ｈ＝Ｗ／√２
で表される。
【００３４】
実施例１のインクジェットヘッドにおいて、凹部４の深さＨは、基板１の厚みの１／２になるように開口幅を設定した。凹部４の深さＨは、浅すぎると応力緩和として機能しない。そこで、応力緩和として機能する深さＨについて検討した結果、基板１の厚みの１／１５から応力緩和機構としての機能を持ち始めることが分かった。そして、より効果的な値として、凹部４の深さＨを基板の１／２とした。
【００３５】
図６は、基板とベースプレートとの接合関係を示す斜視図である。
また、基板１は接着剤等によりベースプレート１０と接合されるが、その接合面積は基板１の面積の１／５になるように調整した。接合面積が１／２以上になると応力緩和機能が低下するためである。接合面積を低くする手段としては、図６に示すようにベースプレート１０上に凸部１１を設け、凸部１１でのみ基板１を接合させることでも同様の効果を得ることができる。
【００３６】
凹部４の形成手段として、実施例１のインクジェットヘッドでは、異方性ウェットエッチングを用いた例で説明したが、本発明はこれに限るものでなくサンドブラストやレーザ、ダイシング、その他機械加工やドライエッチング等でも代用可能である。
【００３７】
図７は、同様の効果が得られる異なる凹部を有する他のインクジェットヘッドの裏面図である。
図７（Ａ）に示すインクジェットヘッドは、凹部４が断面三角形状の溝であって、貫通溝３に沿って設けられ、また貫通溝３と直交する基板１の縁部にも断面三角形状の溝からなる凹部４が設けられている。
また、図７（Ｂ）に示すインクジェットヘッドは、図３に示すインクジェットヘッドに設けられる凹部４に加えて、貫通溝３と直交する基板１の縁部にも小型の凹部４が連続して設けられている。
【実施例２】
【００３８】
図８は、実施例２のインクジェットヘッドを示す斜視図である。
実施例２のインクジェットヘッドは、いわゆるサイドシュータタイプであってノズル２０と、ノズル２０と連通するインク流路２１と、インク流路２１の壁面の一部に形成された圧力発生手段２２と、各インク流路２１にインクを供給する共通液室２３と、共通液室２３にインクを供給するためのインク供給口２４が形成されている。インク供給口２４は、圧力発生手段２２が形成された基板１とは異なる基板に形成されている。
【００３９】
図９は、図８に示すインクジェットヘッドの裏面図である。
基板１にはインク供給口が形成されていないので、実施例１のインクジェットヘッドのように、インク供給口２４を避けた位置に応力緩和機構の凹部２５を形成する必要がない。したがって、基板１の裏面の全面に亘って等間隔に断面が二等辺三角形状の溝からなる凹部２５が設けられている。特に、基板１の長手方向にストレスが発生しやすいので、それを緩和する構成とすることが容易である。
【００４０】
図１０は、同様の効果が得られる異なる凹部を有する他のインクジェットヘッドの裏面図である。
図１０（Ａ）に示すインクジェットヘッドは、断面が不等辺三角形状の溝からなる凹部２５が、基板１の裏面全面に亘って等間隔に設けられている。
また、図１０（Ｂ）に示すインクジェットヘッドは、基板１の裏面全面に亘って断面が二等辺三角形状の溝からなる凹部２５が交叉して設けられている。
【実施例３】
【００４１】
図１１は、実施例３のインクジェットヘッドを一部分解して示す斜視図である。
実施例３のインクジェットヘッドでは、実施例１または２のように構成されたインクジェットヘッドにベースプレート３１を貼り合わせたものである。ベースプレート３１には複数の溝３２が適宜のピッチで切削加工により等間隔に形成されている。ベースプレート３１の材質は熱導電性のよいアルミニウムを用いた。アルミニウムはシリコンと熱膨張係数が大きく異なるが、複数の溝３２により応力緩和機能が働き、ヘッドのストレスを上手く逃がすことが可能となっている。また、上記構成を有するベースプレート３１はこれに限るものではなくアルミナ、窒化アルミニウム、アモルファスカーボン、銅、ニッケル、ＳＵＳ等の金属でも代用することができる。さらに、基板１に形成された凹部３３のパターンと同様のパターンをベースプレート３１に貼り合わせたときに対応するように形成することでより応力緩和手段がより効果的となる。このときの基板１とベースプレートの接触面積は、基板１の面積の１／２以下となっている。
【実施例４】
【００４２】
図１２は、実施例４の液体吐出ヘッドカートリッジを示す斜視図である。
実施例１〜３で説明したようなインクジェットヘッド４８と、インクジェットヘッド４８に供給する液体を保持する液体容器とが一体化され、インクカートリッジ４７が形成される。なお、この液体容器には、液体消費後に液体を再充填することによって、インクカートリッジ４７を再使用することを可能とすることができる。
【実施例５】
【００４３】
図１３は、本発明の実施例５のインクジェット記録装置を示す斜視図、図１４は、図１３のインクジェット記録装置の機構部を示す断面図である。
実施例５のインクジェット記録装置は、記録装置本体５１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ６３、キャリッジ６３に搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド６４、記録ヘッド６４へインクを供給するインクカートリッジ６５等で構成される印字機構部５２等を収納し、記録装置本体５１の下方部には前方側から多数枚の用紙５３を積載可能な給紙カセット（あるいは給紙トレイでもよい。）５４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙５３を手差しで給紙するための手差しトレイ５５を開倒することができ、給紙カセット５４あるいは手差しトレイ５５から給送される用紙５３を取り込み、印字機構部５２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ５６に排紙する。
【００４４】
印字機構部５２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド６１と従ガイドロッド６２とでキャリッジ６３を主走査方向（図１４で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ６３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する前記実施例のインクジェットヘッドからなる記録ヘッド６４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ６３には記録ヘッド６４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ６５を交換可能に装着している。記録ヘッド６４として、ここでは各色の記録ヘッドを用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００４５】
キャリッジ６３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ６７で回転駆動される駆動プーリ６８と従動プーリ６９との間にタイミングベルト７０を張装し、このタイミングベルト７０をキャリッジ６３に固定しており、主走査モータ６７の正逆回転によりキャリッジ６３が往復駆動される。
【００４６】
一方、給紙カセット５４にセットした用紙５３を記録ヘッド６４の下方側に搬送するために、給紙カセット５４から用紙５３を分離給送する給紙ローラ７１及びフリクションパッド７２と、用紙５３を案内するガイド部材７３と、給紙された用紙５３を反転させて搬送する搬送ローラ７４と、この搬送ローラ７４の周面に押し付けられる搬送コロ７５及び搬送ローラ７４からの用紙５３の送り出し角度を規定する先端コロ７６とを設けている。搬送ローラ７４は副走査モータ７７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００４７】
キャリッジ６３の主走査方向の移動範囲に対応して、搬送ローラ７４から送り出された用紙５３を記録ヘッド６４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材７９を設けている。この印写受け部材７９の用紙搬送方向下流側には、用紙５３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ８１，８２を設け、さらに用紙５３を排紙トレイ５６に送り出す排紙ローラ８３及び拍車８４と、排紙経路を形成するガイド部材８５，８６とを配設している。
【００４８】
記録時には、キャリッジ６３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド６４を駆動することにより、停止している用紙５３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙５３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または用紙５３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙５３を排紙する。この場合、記録ヘッド６４を構成する本発明に係るインクジェットヘッドは、熱膨張差によるヘッドの破損、記録ムラ等が発生せず、安定して高品質な記録が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】実施例１のインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【図２】図１に示すインクジェットヘッドのＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示すインクジェットヘッドの裏面図である。
【図４】基板とベースプレートとの関係を示す図で、図４（Ａ）は基板にストレスが生じていない状態の様子を示し、図４（Ｂ）は基板にストレスが生じている状態の様子を示す。
【図５】基板に形成される凹部とマスク材の開口幅の関係を示す図である。
【図６】基板とベースプレートとの接合関係を示す斜視図である。
【図７】異なる凹部を有する他のインクジェットヘッドの裏面図である。
【図８】実施例２のインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【図９】図８に示すインクジェットヘッドの裏面図である。
【図１０】異なる凹部を有する他のインクジェットヘッドの裏面図である。
【図１１】実施例３のインクジェットヘッドを一部分解して示す斜視図である。
【図１２】実施例４のインクカートリッジを示す斜視図である。
【図１３】実施例５のインクジェット記録装置を示す斜視図である。
【図１４】図１３のインクジェット記録装置の機構部を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１…基板、２…圧力発生手段、３…貫通溝、４…凹部、５…柱状の構造体、６…インク流路基板、７…ノズルプレート、８…ノズル口、９…インク流路、１０…ベースプレート、１１…凸部、２０…ノズル、２１…インク流路、２２…圧力発生手段、２３…共通液室、２４…インク供給口、２５…凹部、３１…ベースプレート、３２…溝、３３…凹部、４７…インクカートリッジ、４８…インクジェットヘッド、５１…記録装置本体、５２…印字機構部、５３…用紙、５４…給紙カセット、５５…手差しトレイ、５６…排紙トレイ、６１…主ガイドロッド、６２…従ガイドロッド、６３…キャリッジ、６４…記録ヘッド、６５…インクカートリッジ、６７…主走査モータ、７４…搬送ローラ、７５，８１，８２…搬送コロ、７９…印写受け部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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