(57)【要約】    【目的】大口径で薄いウェハに対してもウェハを破損させないウェハ固定治具を提供する。    【構成】ばね４の付勢方向をウェハ１の中心より左側に片寄せ、ウェハ保持板2aの可動ピンガイド保持部22aに可動ピン受止め部222を設け、この位置をウェハ１の外周面より僅かに外側とする。可動ピン保持位置221とウェハ固定位置（図の可動ピン３の位置）との間の可動ピン３の移動時に可動ピン３の把持が外れても、可動ピン３は可動ピン受止め部222に保持されてウェハ１の外周面にはぶつからず、ウェハ1を破損しない。【選択図】        図１
2005268406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハの裏面に接触してウェハを保持するウェハ保持板と、ウェハ保持板に取り付けられて、ウェハの外周面を保持する複数の固定ピンと、固定ピンの反対側でウェハの外側からウェハの外周部に向けてばねで付勢されて、ウェハの外周部を保持する可動ピンと、可動ピンの移動部に沿って延長されたウェハ保持板の一部であって、可動ピンをウェハの外周部の外側で案内し保持する可動ピンガイド保持部と、を備えている、蒸着装置等のウェハ処理装置にウェハを装着するためのウェハ固定治具であって、
可動ピンとして、ウェハの外周面に接触してウェハを保持する形状の可動ピンを備え、
可動ピンの付勢方向が、ウェハの中心に向かう分力および可動ピンガイド保持部側へ向かう分力をもつ方向に設定され、
可動ピンガイド保持部の可動ピン移動側のウェハの外周面の僅かに外側に、可動ピン受止め部が形成されている、
ことを特徴とするウェハ固定治具。
【請求項２】
ウェハの裏面に接触してウェハを保持するウェハ保持板と、ウェハ保持板に取り付けられて、ウェハの外周面を保持する複数の固定ピンと、固定ピンの反対側でウェハの外側からウェハの外周部に向けてばねで付勢されて、ウェハの外周部を保持する可動ピンと、可動ピンの移動部に沿って延長されたウェハ保持板の一部であって、可動ピンをウェハの外周部の外側で案内し保持する可動ピンガイド保持部と、を備えている、蒸着装置等のウェハ処理装置にウェハを装着するためのウェハ固定治具であって、
可動ピンとして、ウェハの表面に平行なウェハ表面接触部およびウェハの表面に垂直な垂直部を有するＬ字形の可動ピンを備え、
可動ピンの付勢方向が、ウェハの表面に平行でウェハの中心に向かう分力およびウェハの表面に垂直でウェハの表面に向かう分力をもつ方向に設定され、
可動ピンガイド保持部が、前記ウェハ表面接触部がウェハの表面上にない状態においてはウェハ表面接触部をウェハ表面より高い位置に保つように可動ピンの下端を保持する可動ピン保持面と、ウェハ表面接触部がウェハの表面に被さった状態においては前記垂直部を挿入させてウェハ表面接触部をウェハの表面に接触させる切欠き部と、ウェハ表面接触部がウェハの表面に被さった状態で垂直部がウェハの外周面に接触しないように垂直部を保持する可動ピン受止め部と、を備えている、
ことを特徴とするウェハ固定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、蒸着装置等のウェハ処理装置においてウェハを着脱可能な手段によって装置の処理部に固定するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸着装置等のウェハ処理装置においては、処理されるウェハは、その装置に着脱可能なウェハ固定治具にセットされて処理部に取り付けられる。通常は、複数枚のウェハが同時に処理されるので、ウェハを予めセットされた複数個のウェハ固定治具がベース板に取り付けられ、このベース板が装置に取り付けられる。
図３は、このようなウェハ固定治具の従来例の構成を示す平面図である。このウェハ固定治具は、固定ピン21等を備えたウェハ保持板２と可動ピン３と可動ピン３をウェハ1の中心方向に向けて付勢するばね４とで構成されている。ウェハ保持板２はウェハ１の裏面に接触してウェハ１を保持する部材であり、その外周部には、複数の固定ピン21および可動ピンガイド保持部22が形成されている。固定ピン21は、ウェハ１の片方側の外周面を保持してウェハ１を位置決めする。可動ピンガイド保持部22は、固定ピン21とは反対の側に配置され、可動ピン３の位置をウェハ１の固定位置（図３に示した可動ピン３の位置）またはウェハ１の着脱時の可動ピン保持位置221のいずれかに決めさせる。可動ピン保持位置221は安定に可動ピン３を保持するためにＶ字型に切り込んである。可動ピン３が可動ピン保持位置221に保持されている状態において、ウェハ１が着脱され、ウェハ１を固定する際には、可動ピン３を矢印のように移動させて可動ピン３でウェハ１の外周面を保持させ、ウェハ１を固定する。
【０００３】
なお、ウェハ保持板２の固定ピン21および可動ピンガイド保持部22以外の部分は、ウェハ１の外径より幾らか小さい外径に形成されている。
このようなウェハ固定治具は、特許文献１および特許文献２等に開示されている。
【特許文献１】特開平９−63531号公報
【特許文献２】特開平８−274060号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようなウェハ固定治具を用いることでウェハを保持・固定することはできる。しかし、ウェハが大口径化し且つ薄くなってくる（例えば、直径5インチで厚さが100〜200μm）と、ウェハ保持板2上にウェハ１をセットし、可動ピン３でウェハ１を固定しようとして、可動ピン３を可動ピン保持位置221から外し固定位置まで移動させる途中で離してしまった場合には、可動ピン３がばね４の付勢力でウェハ１の外周面にぶつかりウェハ１を破損させる可能性が高くなる、という問題点をもっている。
この発明の課題は、このようなウェハ破損の可能性を低減させて、大口径で薄いウェハに対してもウェハを破損させないウェハ固定治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、ウェハの裏面に接触してウェハを保持するウェハ保持板と、ウェハ保持板に取り付けられて、ウェハの外周面を保持する複数の固定ピンと、固定ピンの反対側でウェハの外側からウェハの外周部に向けてばねで付勢されて、ウェハの外周部を保持する可動ピンと、可動ピンの移動部に沿って延長されたウェハ保持板の一部であって、可動ピンをウェハの外周部の外側で案内し保持する可動ピンガイド保持部と、を備えている、蒸着装置等のウェハ処理装置にウェハを装着するためのウェハ固定治具であって、可動ピンとして、ウェハの外周面に接触してウェハを保持する形状の可動ピンを備え、可動ピンの付勢方向が、ウェハの中心に向かう分力および可動ピンガイド保持部側へ向かう分力をもつ方向に設定され、可動ピンガイド保持部の可動ピン移動側のウェハ外周面の僅かに外側に、可動ピン受止め部が形成されている。
【０００６】
可動ピンの付勢方向が、可動ピンガイド保持部側へ向かう分力をもつ方向に設定され、可動ピンガイド保持部の可動ピン移動側のウェハ外周面の僅かに外側に、可動ピン受止め部が形成されているので、可動ピンを可動ピンガイド保持部の可動ピン保持位置から外した状態でウェハの外周部に接触させる前に可動ピンを離しても、可動ピンが可動ピン受止め部に受け止められてウェハの外周面にぶつかることが避けられる。
請求項２の発明は、ウェハの裏面に接触してウェハを保持するウェハ保持板と、ウェハ保持板に取り付けられて、ウェハの端面を保持する複数の固定ピンと、固定ピンの反対側でウェハの外側からウェハの外周部に向けてばねで付勢されて、ウェハの外周面を保持する可動ピンと、可動ピンの移動部に沿って延長されたウェハ保持板の一部であって、可動ピンをウェハの外周部の外側で案内し保持する可動ピンガイド保持部と、を備えている、蒸着装置等のウェハ処理装置にウェハを装着するためのウェハ固定治具であって、可動ピンとして、ウェハの表面に平行なウェハ表面接触部およびウェハの表面に垂直な垂直部を有するL字形の可動ピンを備え、可動ピンの付勢方向が、ウェハの表面に平行でウェハの中心に向かう分力およびウェハの表面に垂直でウェハの表面に向かう分力をもつ方向に設定され、可動ピンガイド保持部が、前記ウェハ表面接触部がウェハの表面上にない状態においてはウェハ表面接触部をウェハ表面より高い位置に保つように可動ピンの下端を保持する可動ピン保持面と、ウェハ表面接触部がウェハの表面に被さった状態においては前記垂直部を挿入させてウェハ表面接触部をウェハの表面に接触させる切欠き部と、ウェハ表面接触部がウェハの表面に被さった状態で垂直部がウェハの外周面に接触しないように垂直部を保持する可動ピン受止め部と、を備えている。
【０００７】
可動ピンがウェハ表面接触部および垂直部からなるＬ字形であり、ウェハ表面接触部がウェハの表面上にない状態では、可動ピンの下端が可動ピン保持面に保持されて、ウェハ表面接触部がウェハ表面より高い位置にあり、ウェハ表面接触部がウェハの表面に被さってきた状態では、可動ピン受止め部が垂直部を保持して、垂直部がウェハの外周面に接触することはなく、且つその状態で垂直部が切欠き部に挿入されて、ウェハ表面接触部がウェハの表面に接触しウェハを垂直に押圧する。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１の発明においては、可動ピンの付勢方向が、可動ピンガイド保持部側へ向かう分力をもつ方向に設定され、可動ピンガイド保持部の可動ピン移動側のウェハ外周部の僅かに外側に、可動ピン受止め部が形成されているので、可動ピンを可動ピンガイド保持部の可動ピン保持位置から外した状態でウェハの外周部に接触させる前に可動ピンを離しても、可動ピンが可動ピン受止め部に受け止められてウェハの外周面にぶつかることが避けられ、可動ピンがウェハの外周部を破損させることがなくなる。したがって、この発明によれば、大口径で薄いウェハに対してもウェハを破損させないウェハ固定治具を提供することができる。
請求項２の発明においては、可動ピンがウェハ表面接触部および垂直部からなるＬ字形であり、ウェハ表面接触部がウェハの表面上にない状態では、可動ピンの下端が可動ピン保持面に保持されて、ウェハ表面接触部がウェハ表面より高い位置にあり、ウェハ表面接触部がウェハの表面に被さってきた状態では、可動ピン受止め部が垂直部を保持して、垂直部がウェハの外周面に接触することはなく、且つその状態で垂直部が切欠き部に挿入されて、ウェハ表面接触部がウェハの表面に接触しウェハを垂直に押圧する。垂直部がウェハの外周面に接触しない状態で、ウェハ表面接触部がウェハの表面を垂直に押圧するので、可動ピンがウェハの外周部を破損させることがなくなる。したがって、この発明によれば、大口径で薄いウェハに対してもウェハを破損させないウェハ固定治具を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
この発明によるウェハ固定治具を実施するための最良の形態について実施例を用いて説明する。
なお、従来例と同じ機能の部分には同じ符号を用いる。
【実施例１】
【００１０】
図１は、この発明によるウェハ固定治具の実施例１の構成を示す平面図である。
この実施例は、図３に示した従来例と同じような構成であって、固定ピン21等を備えたウェハ保持板2aと可動ピン３と可動ピン３をウェハ1側に向けて付勢するばね４とで構成されている。ウェハ保持板2aはウェハ１の裏面に接触してウェハ１を保持する部材であり、その外周部には、複数の固定ピン21および可動ピンガイド保持部22aが形成されている。固定ピン21は、ウェハ１の片方側の外周面を保持してウェハ１を位置決めする。可動ピンガイド保持部22aは、固定ピン21とは反対の側に配置され、可動ピン３の位置をウェハ１の固定位置（（図１に示した可動ピン３の位置）またはウェハ１の着脱時の可動ピン保持位置221のいずれかに決めさせる。可動ピン保持位置221は安定に可動ピン３を保持するためにＶ字型に切り込んである。可動ピン３が可動ピン保持位置221に保持されている状態において、ウェハ１は着脱され、ウェハ１を固定する時には、可動ピン３を矢印のように移動させてウェハ１を固定する。ウェハ保持板2aの固定ピン21および可動ピンガイド保持部22a以外の部分は、ウェハ１の外径より幾らか小さい外径に形成されている。
【００１１】
この実施例が従来例と異なる部分は、ウェハ保持板2aの可動ピンガイド保持部22aの形状とばね４の付勢方向とである。
ばね４の付勢方向は、ウェハ１の中心方向ではなく、ウェハ１の中心より左に片寄った方向である。可動ピンガイド保持部22aの形状は、可動ピン保持位置221とウェハ１の固定位置との中間に可動ピン受止め部222を有する形状である。可動ピン受止め部222は、ウェハ１の外周面より僅かに外で、可動ピン３がウェハ１の外周面に接触することがない位置に形成されている。このため、可動ピン保持位置221とウェ１の固定位置との間を移動中の可動ピン３が把持を外れてウェハ１の方にばね４に引っ張られる時には、可動ピン受止め部222が可動ピン３を受け止め、ウェハ１の外周面に可動ピン３がぶつかることを防止する。可動ピン３を確実に可動ピン受止め部222で受け止めるために、ばね４の付勢方向がウェハ１の中心より左側に片寄せてある。
【００１２】
以上の説明から明らかなように、この実施例によれば、大口径で薄いウェハをウェハ固定治具に着脱する際にウェハを破損することが殆んどなくなる。
【実施例２】
【００１３】
図２は、この発明によるウェハ固定治具の実施例２の構成を示し、（ａ）は側断面図、（ｂ）は平面図，（ｃ）は可動ピン3aの拡大側面図である。
この実施例のウェハ固定治具は、可動ピンがウェハの表面を垂直に押圧してウェハを保持する方式のものであり、これに対応して可動ピン3aの形状、ウェハ保持板2bの可動ピンガイド保持部22bの形状およびばね４の付勢方向が実施例1とは異なっている。
可動ピン3aは、ウェハ１の表面に平行なウェハ表面接触部31およびウェハの表面に垂直な垂直部32を有するL字形であり、ウェハ１を保持する際には、ウェハ表面接触部31をばね４の付勢力のウェハ１の表面に向かう分力によってウェハ１に押し付ける。
このようなウェハ１の表面に向かう分力を必要とすることから、可動ピンの付勢方向は、図2に示したように、ばね４を傾けて配置し、ウェハの表面に平行でウェハの中心に向かう分力およびウェハの表面に垂直でウェハの表面に向かう分力をもつ方向に設定されている。
【００１４】
可動ピンガイド保持部22bは、従来例と同様の可動ピン保持位置221に加えて、可動ピン受止め部222aと可動ピン保持面223と切欠き部224とを備えている。可動ピン受止め部222aは、ウェハ表面接触部31がウェハ１の表面に被さった状態で垂直部32がウェハ１の外周面に接触しないように垂直部32を保持し、可動ピン3aの垂直部32がウェハ１の外周面にぶつかってウェハ１を破損することを防止する。可動ピン保持面223は、ウェハ表面接触部31がウェハ１の表面上にない状態においてはウェハ表面接触部31をウェハ１の表面より高い位置に保つように垂直部32の下端を保持し、可動ピン3aがウェハ１に接近してウェハ表面接触部31がウェハ１の表面に被さっていく際に、ウェハ表面接触部31の先端がウェハ１の外周面にぶつからないようにする。切欠き部224は、ウェハ表面接触部31がウェハ１の表面に被さった状態においては垂直部32を挿入させてウェハ表面接触部31をウェハ１の表面に接触させてウェハ表面接触部31でウェハ１の表面を押圧させ、ウェハ表面接触部31にウェハ１の外周部を保持させる。
【００１５】
この実施例では、可動ピン受止め部222aによって可動ピン3aがウェハ１の外周面にぶつかることを防止し、ばね４の付勢力のウェハ１の表面に向かう分力によってウェハ１の外周部をウェハ表面接触部31で表面に垂直に押圧するので、ウェハ１を破損する可能性が大幅に低くなる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】この発明によるウェハ固定治具の実施例１の構成を示す平面図
【図２】この発明によるウェハ固定治具の実施例２の構成を示し、（ａ）は側断面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は可動ピンの拡大側面図
【図３】ウェハ固定治具の従来例の構成を示す平面図
【符号の説明】
【００１７】
１  ウェハ
２、2a、2b  ウェハ保持板
21  固定ピン
22、22a、22b  可動ピンガイド保持部
221  可動ピン保持位置                222、222a  可動ピン受止め部
223  可動ピン保持面                  224  切欠き部
３、3a  可動ピン
31  ウェハ表面接触部
32  垂直部
４  ばね
【図１】
2005268406.tif 000003
【図２】
2005268406.tif 000004
【図３】
2005268406.tif 000005