(57)【要約】【課題】  励磁時など磁場を変動させる場合に超電導特性が損なわれず強い磁場を出すことができ、作業負担が軽く、経済的にメリットのある超電導磁石装置を提供する。【解決手段】  真空断熱容器１１内の輻射シールド１２内に超電導磁石１３を内蔵した液体ヘリウム槽１８を配置した超電導磁石装置１０とする。永久電流モード移行前の励磁時等磁場が変動する場合は、管１８ａを介して液体ヘリウム槽１８に液体ヘリウム１９を注入して補助冷却手段として超電導磁石１３を冷却するとともに、電流リード１３ａを超電導磁石１３に接続する。永久電流モード移行後は、管１８ａを介して液体ヘリウム槽１８から液体ヘリウム１９を回収して冷凍機１４のみにより超電導磁石１３の冷却を行うとともに、電流リード１３ａを超電導磁石１３から引き抜く。【選択図】図１
2005123231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空断熱容器内に輻射シールドを配置し、当該輻射シールド内に超電導磁石を収納し、当該超電導磁石を冷凍機によって冷却する超電導磁石装置であって、
前記輻射シールド内に前記超電導磁石の一部又は全部を液体ヘリウムに浸漬する液体ヘリウム槽を配置し、
永久電流モード移行前に、当該液体ヘリウム槽に液体ヘリウムを注入することにより、補助冷却手段として前記超電導磁石の冷却に用いることを特徴とする超電導磁石装置。
【請求項２】
真空断熱容器内に輻射シールドを配置し、当該輻射シールド内に超電導磁石を収納し、当該超電導磁石を冷凍機によって冷却する超電導磁石装置であって、
前記超電導磁石の一部又は全部に熱的に接触する液体ヘリウムを流入するパイプを配置し、
永久電流モード移行前に、当該パイプに液体ヘリウムを流入することにより、補助冷却手段として前記超電導磁石の冷却に用いることを特徴とする超電導磁石装置。
【請求項３】
真空断熱容器内に輻射シールドを配置し、当該輻射シールド内に超電導磁石を収納し、当該超電導磁石を冷凍機によって冷却する超電導磁石装置であって、
前記冷凍機の他に、前記超電導磁石の一部又は全部に熱的に接触する脱着可能な冷凍機を配置し、
永久電流モード移行前に、当該冷凍機を取り付けることにより、補助冷却手段として前記超電導磁石の冷却に用いることを特徴とする超電導磁石装置。
【請求項４】
永久電流モード移行後に、前記超電導磁石に接続された励磁用及び永久電流スイッチ制御用のリードを除去することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の超電導磁石装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超電導磁石装置の冷却装置に関し、特に永久電流モードで長期間運転する冷凍機冷却型の超電導磁石装置の冷却装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
NMR等の超電導磁石装置においては、超電導磁石を冷却し且つこれを超電導状態に維持する手段として、断熱容器内に超電導磁石を液体ヘリウム等の極低温冷媒に浸漬する浸漬冷却型が一般的である。この浸漬冷却型では、液体ヘリウムレベルの極低温に超電導磁石を維持するための極低温冷媒の補充作業に非常に手間がかかり、ランニングコストも極めて高いため、最近では、超電導線材の臨界温度の向上や冷凍機の冷凍能力向上に伴って、特許文献１に記載されているような断熱容器内に収容された超電導磁石を極低温冷凍機で直接冷却する冷凍機冷却型の超電導磁石装置も開発されている。
【０００３】
ところで、超電導磁石装置においては、励磁時やシム調整時など、超電導磁石の電流値を変化させて磁場を変動させる場合に、交流ロスによる発熱やリード部分の常電導抵抗によるジュール発熱等の発熱が生じる。また、電流リードやシムリードなどのリードからの熱侵入も大きい。更に、熱式永久電流スイッチを備える超電導磁石装置においては、永久電流スイッチのヒータによる発熱が生じる。これらの発熱により超電導磁石の温度が上昇すると、超電導磁石装置の超電導特性が損なわれ、強い磁場を出すことができない。従って、浸漬冷却型の超電導磁石装置では、これらの発熱を液体ヘリウムの蒸発熱で補うことにより、超電導磁石を極低温に保っている。
【０００４】
例えば、従来の冷凍機冷却型超電導磁石装置４０では、図４に示す構成により、かかる発熱を抑えている。即ち、低温生成部本体４４ａ（一段目コールドヘッド４５及び二段目コールドヘッド４６）とコンプレッサ４４ｂとを備える冷凍機４４の一段目コールドヘッド４５を輻射シールド４２に熱的に接続し、また、熱伝導体４７を介して二段目コールドヘッド４６を超電導磁石４３に熱的に接続して、超電導磁石４３を極低温に維持する。尚、超電導磁石４３には、励磁を行う酸化物系超電導材からなるリード４３ａが電流端子４３ｂに接続されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１３５３１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、浸漬冷却型の超電導装置では、発熱を液体ヘリウムの蒸発熱により補っていたため、常に液体ヘリウムを補充しなければならず、その補填作業に多大な負担がかかっていた。また、高価な液体ヘリウムを大量に使用するため、経済的に負担が大きい。冷凍機冷却型の超電導磁石装置でも、冷凍機の性能に限りがあるため、特に交流ロス等による発熱が大きい励磁時やシム調整時には、これらの発熱を補って、超電導磁石を極低温に保つことができないため、小型で高磁場を発生できる超電導磁石が実現できない。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、励磁時など磁場を変動させる場合に超電導特性が損なわれず強い磁場を出すことができ、作業負担が軽く、経済的にメリットのある冷凍機冷却型の超電導磁石装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００８】
上記課題を解決するために、第一の発明に係る超電導磁石装置は、真空断熱容器内に輻射シールドを配置し、当該輻射シールド内に超電導磁石を収納し、当該超電導磁石を冷凍機によって冷却する超電導磁石装置において、前記輻射シールド内に前記超電導磁石の一部又は全部を液体ヘリウムに浸漬する液体ヘリウム槽を配置し、永久電流モード移行前に、当該液体ヘリウム槽に液体ヘリウムを注入することにより、補助冷却手段として前記超電導磁石の冷却に用いることを特徴とする。
【０００９】
この構成によると、永久電流モード移行前の励磁時など磁場を変動させる場合に生じる発熱分を補助冷却手段により補うことができ、超電導磁石を十分低い温度に維持することができる。また、永久電流モード移行後は、発熱が小さいため、補助冷却手段を用いることなく冷凍機のみで十分低い温度を保つことができ、強い磁場を保持することができるとともに、冷凍能力の小さい冷凍機でも同等の強い磁場が得られるため、経済的なメリットが得られる。更に、使用する液体ヘリウムは補助冷却手段として液体ヘリウム槽に注入する液体ヘリウムのみであるため、液体ヘリウムの消費量を抑制し、装置を簡略化して作業負担を軽減するとともに、装置全体のコストを抑制することができる。
【００１０】
第二の発明に係る超電導磁石装置は、真空断熱容器内に輻射シールドを配置し、当該輻射シールド内に超電導磁石を収納し、当該超電導磁石を冷凍機によって冷却する超電導磁石装置において、前記超電導磁石の一部又は全部に熱的に接触する液体ヘリウムを流入するパイプを配置し、永久電流モード移行前に、当該パイプに液体ヘリウムを流入することにより、補助冷却手段として前記超電導磁石の冷却に用いることを特徴とする。
【００１１】
この構成によると、永久電流モード移行前の励磁時など磁場を変動させる場合に生じる発熱分を補助冷却手段により補うことができ、超電導磁石を十分低い温度に維持することができる。また、永久電流モード移行後は、発熱が小さいため、補助冷却手段を用いることなく冷凍機のみで十分低い温度を保つことができ、強い磁場を保持することができるとともに、冷凍能力の小さい冷凍機でも同等の強い磁場が得られるため、経済的なメリットが得られる。更に、使用する液体ヘリウムは、永久電流モード移行前の励磁時など磁場を変動させる場合に、補助冷却手段としてパイプに一時的に流入させる液体ヘリウムのみであるため、液体ヘリウムの消費量を抑制し、装置を簡略化して作業負担を軽減するとともに、装置全体のコストを抑制することができる。
【００１２】
第三の発明に係る超電導磁石装置は、真空断熱容器内に輻射シールドを配置し、当該輻射シールド内に超電導磁石を収納し、当該超電導磁石を冷凍機によって冷却する超電導磁石装置において、前記冷凍機の他に、前記超電導磁石の一部又は全部に熱的に接触する脱着可能な冷凍機を配置し、永久電流モード移行前に、当該冷凍機を取り付けることにより、補助冷却手段として前記超電導磁石の冷却に用いることを特徴とする。
【００１３】
この構成によると、永久電流モード移行前の励磁時など磁場を変動させる場合に生じる発熱分を補助冷却手段により補うことができ、超電導磁石を十分低い温度に維持することができる。また、永久電流モード移行後は、発熱が小さいため、補助冷却手段を用いることなく冷凍機のみで十分低い温度を保つことができ、強い磁場を保持することができるとともに、冷凍能力の小さい冷凍機でも同等の強い磁場が得られるため、経済的なメリットが得られる。更に、使用する液体ヘリウムがなく、作業の手間を省略するとともに、装置を簡略化して、装置全体のコストを抑制することができる。
【００１４】
また、第一から第三の発明に係る超電導磁石装置は、永久電流モード移行後に、前記超電導磁石に接続された励磁用及び永久電流スイッチ制御用のリードを除去することが好ましい。
【００１５】
この構成によると、永久電流モード移行後に、超電導磁石に接続された励磁用及び永久電流スイッチ制御用のリードを除去することにより、リード部からの伝導による熱侵入やリード部の電気抵抗による発熱を除去することができるため、更に冷凍機のみで十分低い温度を保つことができ、更に強い磁場を保持することができるとともに、更に冷凍能力の小さい冷凍機でも同等の強い磁場が得られるため、更に経済的なメリットがある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しつつ、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００１７】
まず、第一の発明についての実施形態を、図１に基づいて説明する。
図１は、第一の発明の実施形態を示す要部概略断面図である。
【００１８】
図１に示すように、超電導磁石装置１０は、内部を真空に保持されている真空断熱容器１１内に輻射シールド１２が配置され、輻射シールド１２内に超電導磁石１３を内蔵した液体ヘリウム槽１８が配置されている。尚、真空断熱容器１１、輻射シールド１２、超電導磁石１３、液体ヘリウム槽１８は２重筒構造となっており、それぞれ同心状に配置されている。
【００１９】
真空断熱容器１１は、内部が密閉空間となるように、２重筒構造の両端に蓋部が設けられている密閉構造となっている。尚、真空断熱容器１１の内筒１１ａの外部と連通している内部空間は、例えば、この超電導磁石装置１０がＮＭＲ測定装置に利用される場合、試料を測定する被験空間となる。
輻射シールド１２も、内部が密閉空間となるように、２重筒構造の両端に蓋部が設けられている密閉構造となっている。
【００２０】
液体ヘリウム槽１８の一端には管１８ａが設けられている。そして、管１８ａを介して、液体ヘリウム１９を液体ヘリウム槽１８に対して注入・回収したり、ヘリウムガスの蒸気を液体ヘリウム槽１８から大気に放出したりすることができる。即ち、永久電流モード移行前の励磁時等磁場が変動する場合は、管１８ａを介して液体ヘリウム槽１８に液体ヘリウム１９を注入することにより、補助冷却手段として超電導磁石１３を冷却する。尚、この際に蒸発したヘリウムガスは、管１８ａを介して大気に放出してもよいが、このヘリウムガスを大気に放出せずに回収し、液体ヘリウムとして再利用できるようにしてもよい。永久電流モード移行後は、管１８ａを介して液体ヘリウム槽１８から液体ヘリウム１９を回収して、冷凍機１４のみにより超電導磁石１３の冷却を行う。尚、永久電流モード移行後の液体ヘリウム１９は、上記のように回収してもよいし、そのまま大気に放出することとしてもよいが、この場合には、液体ヘリウム槽１８を高真空状態で密封し、液体ヘリウム槽１８を介しての超電導磁石装置１０内部への熱侵入を最小に抑える必要がある。
【００２１】
冷凍機１４は、本実施の形態においては二段式パルス管冷凍機を用いており、低温生成部本体１４ａとコンプレッサ１４ｂとからなる。低温生成部本体１４ａは、真空断熱容器１１に取り付けられており、一段目コールドヘッド（高温側）１５及び二段目コールドヘッド（低温側）１６を備えている。そして、低温生成部本体１４ａの一段目コールドヘッド（高温側）１５は、輻射シールド１２に熱的に接続され、輻射シールド１２を略液体窒素温度のレベルに冷却して超電導磁石１３への輻射熱の放出を抑制する構成になっている。また、低温生成部本体１４ａの二段目コールドヘッド（低温側）１６は、銅板等伝熱特性の優れた材料で形成した熱伝導体１７を介して、超電導磁石１３に熱的に接続されており、超電導磁石１３を液体ヘリウム温度レベルの極低温に維持する構成になっている。
【００２２】
また、超電導磁石１３には、励磁及び永久電流スイッチ制御を行う際に使用される電流リード１３ａが管１８ａを通って着脱式コネクタ（図示せず）により脱着可能に接続されている。即ち、電流リード１３ａは、永久電流モード移行前の励磁時等の磁場が変動する場合に超電導磁石１３に接続され、永久電流モード移行後に超電導磁石１３から引き抜かれる。
【００２３】
このように、本実施形態に係る超電導磁石装置１０では、永久電流モード移行前の励磁時など磁場を変動させる場合は、液体ヘリウム槽１８に液体ヘリウム１９を注入することにより、その際に生じる発熱分を液体ヘリウム槽１８の液体ヘリウム１９の蒸発熱により補うことができ、超電導磁石を十分低い温度に維持することができる。また、永久電流モード移行後は、発熱が小さいため、液体ヘリウム槽１８から液体ヘリウム１９を回収し、高真空状態で密封することにより、冷凍機１４のみで十分低い温度を保つことができ、強い磁場を保持することができるとともに、冷凍能力の小さい冷凍機であっても同等の強い磁場が得られるため、経済的なメリットが得られる。更に、使用する液体ヘリウムは補助冷却手段として液体ヘリウム槽１８に注入する液体ヘリウム１９のみであるため、液体ヘリウムの消費量を抑制し、超電導磁石装置１０を簡略化して作業負担を軽減するとともに、超電導磁石装置１０全体のコストを抑制することができる。
【００２４】
また、本実施形態に係る超電導磁石装置１０では、永久電流モード移行後に、超電導磁石１３に接続された励磁用及び永久電流スイッチ制御用の電流リード１３ａを除去することにより、リード部からの伝導による熱侵入を除去することができるため、更に冷凍機１４のみで十分低い温度を保つことができ、更に強い磁場を保持することができるとともに、更に冷凍能力の小さい冷凍機であっても同等の強い磁場が得られるため、更に経済的なメリットがある。
【００２５】
次に、第二の発明についての実施形態を、図２に基づいて説明する。
図２は、第二の発明の実施形態を示す要部概略断面図である。
【００２６】
図２に示すように、超電導磁石装置２０は、内部を真空に保持されている真空断熱容器２１内に輻射シールド２２が配置され、輻射シールド２２内に超電導磁石２３が配置されている。そして、パイプ２８が超電導磁石２３の上面に熱的に接触するように配置されている。尚、真空断熱容器２１、輻射シールド２２、超電導磁石２３は円筒状に形成され、それぞれ同心状に配置されている。
【００２７】
真空断熱容器２１は、内部が密閉空間となるように、２重筒構造の両端に蓋部が設けられている密閉構造となっている。尚、真空断熱容器２１の内筒２１ａの外部と連通している内部空間は、例えば、この超電導磁石装置１０がＮＭＲ測定装置に利用される場合、試料を測定する被験空間となる。
輻射シールド２２も、２重筒構造の両端に蓋部が設けられている構造となっている。
【００２８】
パイプ２８は、超電導磁石と熱的に接触する部分が、銅やアルミ等伝熱特性の優れた材料で形成され、液体ヘリウム２９を流入することができるようになっている。即ち、永久電流モード移行前の励磁時等磁場が変動する場合は、パイプ２８に液体ヘリウム２９を注入することにより、補助冷却手段として超電導磁石２３を冷却する。尚、パイプ２８は輻射シールド２２に設けられた管２１ａと接続されており、パイプ２８に流入された液体ヘリウム２９は、管２１ａから回収される。そして、永久電流モード移行後は、パイプ２８から液体ヘリウム２９を回収した後、パイプ２８内を高真空状態で密封することにより、外部からの侵入熱を最小限に抑えて、冷凍機２４のみにより超電導磁石２３の冷却を行う。尚、パイプ２８は、後述する電流リード２３ａの全部又は一部に熱的に接触させるように配置し、電流リード２３ａも同様に冷却することが好ましい。
【００２９】
尚、冷凍機２４は、第一の発明についての実施形態の冷凍機１４と同様の構成になっており、説明を省略する。
【００３０】
超電導磁石２３に接続された酸化物系超電導材からなるリード２３ｂには、励磁及び永久電流スイッチ制御を行う際に使用される電流リード２３ａが真空断熱容器２１に設けられた管２１ａを通って着脱式コネクタ等により脱着可能に接続されている。即ち、電流リード２３ａは、永久電流モード移行前の励磁時等磁場が変動する場合に超電導磁石２３に接続され、永久電流モード移行後に超電導磁石２３から引き抜かれる。
【００３１】
このように、本実施形態に係る超電導磁石装置２０では、永久電流モード移行前の励磁時など磁場を変動させる場合は、パイプ２８に液体ヘリウム２９を流入することにより、その際に生じる発熱分を液体ヘリウム２９の蒸発熱により補うことができ、超電導磁石を十分低い温度に維持することができる。また、永久電流モード移行後は、発熱が小さいため、パイプ２８から液体ヘリウム２９を回収し、パイプ２８内を高真空状態で密封することにより、冷凍機２４のみで十分低い温度を保つことができ、強い磁場を保持することができるとともに、冷凍能力の小さい冷凍機であっても同等の強い磁場が得られるため、経済的なメリットが得られる。更に、使用する液体ヘリウムは補助冷却手段としてパイプ２８に流入する液体ヘリウム２９のみであるため、液体ヘリウムの消費量を抑制し、超電導磁石装置２０を簡略化して作業負担を軽減するとともに、超電導磁石装置２０全体のコストを抑制することができる。
【００３２】
また、本実施形態に係る超電導磁石装置２０では、永久電流モード移行後に、超電導磁石２３に接続された励磁用及び永久電流スイッチ制御用の電流リード２３ａを除去することにより、リード部からの伝導による熱侵入を除去することができるため、更に冷凍機２４のみで十分低い温度を保つことができ、更に強い磁場を保持することができるとともに、更に冷凍能力の小さい冷凍機であっても同等の強い磁場が得られるため、更に経済的なメリットがある。
【００３３】
次に、第三の発明についての実施形態を、図３に基づいて説明する。
図３は、第三の発明の実施形態を示す要部概略断面図である。
【００３４】
図３に示すように、超電導磁石装置３０は、内部を真空に保持されている真空断熱容器３１内に輻射シールド３２が配置され、輻射シールド３２内に超電導磁石３３が内蔵されている。尚、真空断熱容器３１、輻射シールド３２、超電導磁石３３は円筒状に形成され、それぞれ同心状に配置されている。
【００３５】
真空断熱容器３１は、内部が密閉空間となるように、２重筒構造の両端に蓋部が設けられている密閉構造となっている。尚、真空断熱容器３１の内筒３１ａの外部と連通している内部空間は、例えば、この超電導磁石装置３０がＮＭＲ測定装置に利用される場合、試料を測定する被験空間となる。
輻射シールド３２も、２重筒構造の両端に蓋部が設けられている構造となっている。
【００３６】
尚、冷凍機３４は、第一の発明についての実施形態の冷凍機１４と同様の構成になっており、説明を省略する。
【００３７】
補助冷凍機３８には、本実施の形態においては二段式ＧＭ管冷凍機を用いているが、これに限られない。例えば、二段式パルス管冷凍機、スターリング冷凍機などを用いてもよい。低温生成部本体３８ａとコンプレッサ３８ｄとからなる。低温生成部本体３８ａは、補助冷凍機３８の形状に合わせて真空断熱容器３１に形成された溝３１ｂに脱着可能に取り付けられており、一段目コールドヘッド（高温側）３８ｂ及び二段目コールドヘッド（低温側）３８ｃを備えている。そして、低温生成部本体３８ａの一段目コールドヘッド（高温側）３８ｂは、輻射シールド３２に熱的に接続され、輻射シールド３２を略液体窒素温度のレベルに冷却して超電導磁石３３への輻射熱の放出を抑制する構成になっている。また、低温生成部本体３８ａの二段目コールドヘッド（低温側）３８ｃは、銅板等伝熱特性の優れた材料で形成した熱伝導体３７を介して、超電導磁石３３に熱的に接続されており、超電導磁石３３を液体ヘリウム温度レベルの極低温に維持する構成になっている。即ち、永久電流モード移行前の励磁時等磁場が変動する場合は、溝３１ｂに補助冷凍機３８を装着することにより、補助冷却手段として超電導磁石３３を冷却する。そして、永久電流モード移行後は、溝３１ｂから補助冷凍機３８を外して、冷凍機３４のみにより超電導磁石３３の冷却を行う。
【００３８】
また、超電導磁石３３に接続された酸化物系超電導材からなるリード３３ｂには、励磁及び永久電流スイッチ制御を行う際に使用される電流リード３３ａが真空断熱容器３１に設けられた管３１ｃを通って着脱式コネクタ等により脱着可能に接続されている。即ち、電流リード３３ａは、永久電流モード移行前の励磁時等磁場が変動する場合に超電導磁石３３に接続され、永久電流モード移行後に超電導磁石３３から引き抜かれる。
【００３９】
このように、本実施形態に係る超電導磁石装置３０では、永久電流モード移行前の励磁時など磁場を変動させる場合は、補助冷凍機３８を装着することにより、その際に生じる発熱分を補うことができ、超電導磁石を十分低い温度に維持することができる。また、永久電流モード移行後は、発熱が小さいため、補助冷凍機３８を外すことにより、冷凍機３４のみで十分低い温度を保つことができ、強い磁場を保持することができるとともに、冷凍能力の小さい冷凍機でも同等の強い磁場が得られるため、経済的なメリットが得られる。更に、使用する液体ヘリウムがなく、作業の手間を省略するとともに、超電導磁石装置３０を簡略化して、超電導磁石装置３０全体のコストを抑制することができる。
【００４０】
また、本実施形態に係る超電導磁石装置３０では、永久電流モード移行後に、超電導磁石３３に接続された励磁用及び永久電流スイッチ制御用の電流リード３３ａを除去することにより、リード部からの伝導による熱侵入を除去することができるため、更に冷凍機３４のみで十分低い温度を保つことができ、更に強い磁場を保持することができるとともに、更に冷凍能力の小さい冷凍機であっても同等の強い磁場が得られるため、更に経済的なメリットがある。
【００４１】
上述した第一から第三の発明についての実施形態においては、冷凍機１４、２４、３４として二段式パルス管冷凍機を用いているが、それに限らない。例えば、スターリング冷凍機、ＧＭ冷凍機を用いても良い。
【００４２】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいてさまざまな変更が可能なものである。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】第一の発明の実施形態を示す要部概略断面図である。
【図２】第二の発明の実施形態を示す要部概略断面図である。
【図３】第三の発明の実施形態を示す要部概略断面図である。
【図４】従来の冷凍機冷却型超電導磁石装置の構成を示す要部概略断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０、２０、３０        超電導磁石装置
１１、２１、３１        真空断熱容器
１２、２２、３２        輻射シールド
１３、２３、３３        超電導磁石
１３ａ、２３ａ、３３ａ  電流リード
１４、２４、３４        冷凍機
１８                    液体ヘリウム槽（補助冷却手段）
１９、２９              液体ヘリウム
２８                    パイプ（補助冷却手段）
３８                    補助冷凍機（補助冷却手段）
【図１】
2005123231.tif 000003
【図２】
2005123231.tif 000004
【図３】
2005123231.tif 000005
【図４】
2005123231.tif 000006