(57)【要約】【課題】容積変更体が破損した場合でも、潤滑剤がポンプ室内へと流入することを抑制できるポンプを提供すること。【解決手段】ポンプの装置ケース１０内には、ポンプ室１５を区画するダイヤフラム１４が収容されている。ダイヤフラム１４には駆動体２４が連結されている。駆動体２４は、装置ケース１０に設けられたシリンダ１２ａによって摺動可能に支持されている。ポンプは、駆動体２４が往復運動してダイヤフラム１４が変形することで、ポンプ室１５の容積が変更されてポンプ作用を奏する。装置ケース１０と駆動体２４との間には、駆動体２４とシリンダ１２ａとの摺動領域Ｓからダイヤフラム１４への潤滑剤の流動を遮断するシール部材５０が設けられている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置ケース内にはポンプ室を区画する容積変更体が収容され、該容積変更体には駆動体が連結され、該駆動体は前記装置ケースに設けられた支持部によって摺動可能に支持されており、該駆動体が往復運動して前記容積変更体が変形することで、前記ポンプ室の容積が変更されてポンプ作用を奏するポンプにおいて、
前記装置ケースと前記駆動体との間に、前記駆動体と前記支持部との摺動領域から前記容積変更体への潤滑剤の流動を遮断するシール部材を設けたことを特徴とするポンプ。
【請求項２】
前記シール部材は固定端と可動端とを備え、該シール部材は前記可動端が前記固定端に対して変位する変形が可能であって、該シール部材は、前記固定端が前記装置ケースに固定されているとともに、前記可動端が前記駆動体に固定されている請求項１に記載のポンプ。
【請求項３】
前記駆動体は、前記支持部によって摺動可能に支持されたピストンと、該ピストンに接合固定され該ピストンを前記容積変更体に連結する連結部材とを備え、前記シール部材の前記可動端は、前記ピストンと前記連結部材との接合部分で狭持固定されている請求項２に記載のポンプ。
【請求項４】
前記容積変更体及び前記シール部材は前記駆動体の往復運動によって弾性変形し、前記シール部材の弾性係数は前記容積変更体の弾性係数よりも低く設定されている請求項２又は３に記載のポンプ。
【請求項５】
前記シール部材はダイヤフラム又はベローズよりなっている請求項２〜４のいずれか一項に記載のポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラム等の容積変更体の変形によってポンプ作用を奏するポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造装置等が設置されたクリーンルームにはポンプが備えられている。そして、ポンプは、そのポンプ作用によって、クリーンルーム内から空気を吸い出してフィルタを通過させ、この濾過した空気をクリーンルーム内へと戻す。この種のポンプとしては、例えば特許文献１に開示されたようなダイヤフラム型ポンプを挙げることができる。ダイヤフラム型ポンプとしては、例えば図４に示すような従来技術が存在する。
【０００３】
この従来技術のダイヤフラム型ポンプは、ポンプ室１０１を区画するダイヤフラム１０２が装置ケース１０３内に収容され、ダイヤフラム１０２にはピストン１０４が連結され、ピストン１０４は装置ケース１０３に設けられたシリンダ１０３ａによって摺動可能に支持されている。このように構成されたダイヤフラム型ポンプは、ピストン１０４が往復運動してダイヤフラム１０２が変形（変位）することで、ポンプ室１０１の容積が変更されてポンプ作用（ポンプ室１０１内への空気の吸入及びポンプ室１０１内からの空気の吐出）を奏する。
【特許文献１】実開平７−１４１７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来技術のダイヤフラム型ポンプにおいては、ダイヤフラム１０２を境界としたポンプ室１０１と反対側の空間が、ピストン１０４とシリンダ１０３ａとの摺動領域Ｓに対して常時連通されている。したがって、ピストン１０４とシリンダ１０３ａとの摺動領域Ｓから排出された潤滑剤（例えばグリスや潤滑油）は、ダイヤフラム１０２にまで容易に到達し得ることとなる。よって、ダイヤフラム１０２が劣化等によって破損すると、この破損部分を介して潤滑剤がポンプ室１０１内へと流れ込むことがあり、ポンプ室１０１内へと流れ込んだ潤滑剤は、やがてはクリーンルーム内へと送られてしまう問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、容積変更体が破損した場合でも、潤滑剤がポンプ室内へと流入することを抑制できるポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために請求項１に記載の発明のポンプは、装置ケースと駆動体との間に、前記駆動体と前記装置ケースの支持部との摺動領域から容積変更体への潤滑剤の流動を遮断するシール部材を設けた。つまり、該シール部材は、前記容積変更体を境界としたポンプ室と反対側の空間を前記摺動領域に連通させないように配置されている。したがって、前記摺動領域外へと排出された前記潤滑剤が前記容積変更体にまで到達することを抑制できる。よって、前記容積変更体が破損した場合でも（変形によって前記ポンプ室の容積を変更する前記容積変更体には過大な負荷がかかり、該容積変更体は破損し易い）、前記潤滑剤が前記ポンプ室内へと流入することを抑制できる。
【０００７】
請求項２の発明は請求項１において、前記シール部材は固定端と可動端とを備え、該シール部材は前記可動端が前記固定端に対して変位する変形が可能である。そして、前記シール部材は、前記固定端が前記装置ケースに固定されているとともに、前記可動端が前記駆動体に固定されている。したがって、例えば前記シール部材として、前記装置ケース及び前記駆動体のうちの一方に保持され他方に対して摺動するもの（例えばＯリング）を採用した場合と比較して、該摺動部分における潤滑剤の漏れを危惧する必要がないため（一般的に摺動シールは漏れ易い）、前記摺動領域から前記容積変更体への潤滑剤の流動を確実に遮断することができる。
【０００８】
請求項３の発明は請求項２において、前記駆動体は、前記支持部によって摺動可能に支持されたピストンと、該ピストンに接合固定され該ピストンを前記容積変更体に連結する連結部材とを備えている。前記シール部材の前記可動端は、前記ピストンと前記連結部材との接合部分で狭持固定されている。したがって、前記ピストンと前記連結部材との接合固定と同時に、前記シール部材の前記可動端を前記駆動体に固定することができ、例えば前記シール部材の前記可動端を専用の固定手段で前記駆動体に固定する場合と比較して、前記ポンプの組立が容易となる。
【０００９】
請求項４の発明は請求項２又は３において、前記容積変更体及び前記シール部材は、前記駆動体の往復運動によって弾性変形する。そして、前記シール部材の弾性係数は前記容積変更体の弾性係数よりも低く設定されている。したがって、前記駆動体が往復運動する際において、前記シール部材に過大な負荷が作用することを抑制でき、例えば前記容積変更体よりも先に前記シール部材が破損することを確実に抑制できる。
【００１０】
請求項５の発明は請求項２〜４のいずれか一項において、前記シール部材の好適な一態様について言及するものである。すなわち、前記シール部材はダイヤフラム（平板状の可撓体）又はベローズ（蛇腹状の伸縮体）よりなっている。
【発明の効果】
【００１１】
上記構成の本発明によれば、容積変更体が破損した場合でも、潤滑剤がポンプ室内へと流入することを抑制でき、例えば潤滑剤が流体の供給先に送られてしまうことを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
○第１実施形態
以下、本発明を、半導体製造装置等が設置されたクリーンルームに備えられるダイヤフラム型ポンプに具体化した第１実施形態について説明する。
【００１３】
まず、ダイヤフラム型ポンプの概要について説明する。
図１はダイヤフラム型ポンプ（以下、単に「ポンプ」と表記する）の縦断面を示す。図１に示すようにポンプは、装置ケース１０と、装置ケース１０に支持されたダイヤフラム（容積変更体）１４と、例えば電動モータよりなる駆動源３０と、ダイヤフラム１４を駆動源３０に連結する動力伝達機構（例えば回転運動を往復運動に変換して伝達する機構）３１とを備えている。動力伝達機構３１は駆動体２４を備え、この駆動体２４は装置ケース１０に支持されているとともにダイヤフラム１４に連結されている。
【００１４】
駆動源３０の駆動によって、動力伝達機構３１の駆動体２４が往復運動してダイヤフラム１４が変形（変位）することで、ポンプはポンプ作用を奏することとなる。このポンプ作用によって、図示しないクリーンルーム内から空気（流体）が吸い出され、この吸い出された空気は図示しないフィルタを通過し、この濾過した空気はクリーンルーム内へと戻される。
【００１５】
次に、ポンプを構成する各要素の詳細について説明する。
装置ケース１０は、第１ブロック１１と、第１ブロック１１に接合固定された第２ブロック１２と、第１ブロック１１及び第２ブロック１２が収容された本体ケース１３とを備えている。本体ケース１３は、一端部（図面では上方側の端部）に蓋１３ａを有する筒状をなしており、第１ブロック１１及び第２ブロック１２は、第１ブロック１１が蓋１３ａ側に位置するようにして、本体ケース１３内に配置されている。
【００１６】
ダイヤフラム１４は、金属製でかつ円板状をなしており、周知のように可撓性及び弾性を有している。ダイヤフラム１４の外周部は、第１ブロック１１の外周部と第２ブロック１２の外周部との接合部分において円環状領域で狭持されることにより、装置ケース１０に固定されている。第１ブロック１１において第２ブロック１２側の端面の中央部には、概略すり鉢状の凹部１１ａが設けられている。凹部１１ａの開口はダイヤフラム１４によって閉塞されており、この閉塞された凹部１１ａの内空間はポンプ室１５をなしている。
【００１７】
装置ケース１０の本体ケース１３（蓋１３ａ）には、図示しない外部の低圧側配管が接続される吸入通路１７、及び図示しない外部の高圧側配管が接続される吐出通路１８が、それぞれ設けられている。第１ブロック１１には、ポンプ室１５と吸入通路１７とを接続する吸入ポート２５、及びポンプ室１５と吐出通路１８とを接続する吐出ポート２６が、それぞれ形成されている。第１ブロック１１と本体ケース１３（蓋１３ａ）の間において、吸入ポート２５と吸入通路１７との境界には、リード弁よりなる吸入弁２１が配設されている。第１ブロック１１と本体ケース１３（蓋１３ａ）の間において、吐出ポート２６と吐出通路１８との境界には、リード弁よりなる吐出弁２２が配設されている。
【００１８】
第２ブロック１２の中央部には、支持部としてのシリンダ（円筒内面）１２ａが設けられている。第２ブロック１２において第１ブロック１１側の端面の中央部には、横断面円形をなす凹部１２ｂが、シリンダ１２ａの端部に連接して設けられている。
【００１９】
駆動体２４は、駆動源３０に連結されたロッド４１と、ロッド４１の一端部（図面では上方側の端部）に連結されたピストン４０と、ピストン４０をダイヤフラム１４の中央部に連結する連結部４６とを備えている。ピストン４０は、第２ブロック１２のシリンダ１２ａ内に挿入され、シリンダ１２ａによって摺動可能に支持されている。連結部４６は、ポンプ室１５内に配置された円板状の第１支持部材４７と、ポンプ室１５外に配置されピストン４０の端面４０ａに接合固定された円板状の第２支持部材（連結部材）４８とを備えている。ダイヤフラム１４の中央部は、第１支持部材４７と第２支持部材４８との接合部分で狭持固定されている。
【００２０】
ピストン４０は、駆動源３０の駆動によって自身の軸線に沿う方向（図面では上下方向）へと、外周面４０ｂをシリンダ１２ａに接触させつつ往復運動する。ピストン４０の往復運動によってダイヤフラム１４が変形（変位）することで、ポンプ室１５の容積が変更される。ポンプ室１５の容積は、具体的には次のように変更される。
【００２１】
例えば、ピストン４０がポンプ室１５から離間する方向（図面では下方）へと移動すると、ダイヤフラム１４がポンプ室１５と反対側へ向かって変形してポンプ室１５の容積が増大する。ポンプ室１５の容積が増大してゆく吸入行程にあっては、吸入弁２１を押し退けて吸入通路１７からポンプ室１５内へと空気が吸入される。逆に、ピストン４０がポンプ室１５側（図面では上方）へと移動すると、ダイヤフラム１４がポンプ室１５側に向かって変形してポンプ室１５の容積が減少する。ポンプ室１５の容積が減少してゆく吐出行程にあっては、ポンプ室１５内の空気が吐出弁２２を押し退けて吐出通路１８へと吐出される。
【００２２】
さて、ピストン４０とシリンダ１２ａとの摺動領域Ｓには、両者間の接触摺動性を良好とするためにつまりポンプの機械的損失を軽減するために、グリスや潤滑油等、ポンプの運転状態では流動性を有する潤滑剤が介在（供給）されている。この潤滑剤は、ピストン４０の往復運動によって、例えば摺動領域Ｓからダイヤフラム１４側へと排出される場合がある。本実施形態においては、この摺動領域Ｓからダイヤフラム１４側へと排出された潤滑剤がダイヤフラム１４にまで到達しないように、装置ケース１０と駆動体２４との間にシール部材５０が設けられている。以下、このシール部材５０について説明する。
【００２３】
シール部材５０は、第２ブロック１２の凹部１２ｂ内に収容されている。シール部材５０は、ゴム製でかつ円板状をなすダイヤフラムよりなっている。つまり、シール部材５０は平板状の可撓体（弾性体）よりなっている。シール部材５０の中央部には透孔５０ａが貫通形成されている。シール部材５０の透孔５０ａには駆動体２４が挿通されている。
【００２４】
第２ブロック１２の凹部１２ｂ内には、円環状をなす押え板５１が収容されている。押え板５１は、図示しないボルト等の固定手段によって、第２ブロック１２（詳しくは凹部１２ｂの内底面の外周部）に接合固定されている。シール部材５０においてその固定端たる外周縁部５０ｃは、第２ブロック１２と押え板５１との接合部分において円環状領域で狭持されることにより、第２ブロック１２につまり装置ケース１０に固定されている。したがって、摺動領域Ｓからダイヤフラム１４側へと排出された潤滑剤が、シール部材５０の一方の表面（図では下面。ダイヤフラム１４と反対の表面）側から他方の表面（図では上面。ダイヤフラム１４側の表面）側へと、外周縁部５０ｃを経由して流動することが抑制される。
【００２５】
シール部材５０においてその可動端たる内周縁部５０ｂは、ピストン４０の端面４０ａと第２支持部材４８との接合部分において円環状領域で狭持されることにより、駆動体２４に固定されている。したがって、摺動領域Ｓからダイヤフラム１４側へと排出された潤滑剤が、シール部材５０の一方の表面（図では下面。ダイヤフラム１４と反対の表面）側から他方の表面（図では上面。ダイヤフラム１４側の表面）側へと、内周縁部５０ｂを経由して流動することが抑制される。
【００２６】
前記したように、外周縁部５０ｃが装置ケース１０に固定されてなおかつ内周縁部５０ｂが駆動体２４に固定されたシール部材５０は、ピストン４０の往復運動に応じて、内周縁部５０ｂが外周縁部５０ｃに対してピストン４０の軸線に沿う方向（図面では上下方向）へ変位する弾性変形を行う。つまり、シール部材５０は、その変形が可能であること言い換えればダイヤフラムよりなることで、外周縁部５０ｃが装置ケース１０に固定されてなおかつ内周縁部５０ｂが駆動体２４に固定されていても、摺動領域Ｓからダイヤフラム１４への潤滑剤の流動を遮断する作用を奏する。なお、シール部材５０の弾性係数はダイヤフラム１４の弾性係数よりも低く設定されている。
【００２７】
上記構成の本実施形態においては次のような効果を奏する。
（１）装置ケース１０と駆動体２４との間に、ピストン４０とシリンダ１２ａとの摺動領域Ｓからダイヤフラム（容積変更体）１４への潤滑剤の流動を遮断するシール部材５０を設けた。つまり、シール部材５０は、ダイヤフラム（容積変更体）１４を境界としたポンプ室１５と反対側の空間を、摺動領域Ｓに連通させないように配置されている。したがって、ダイヤフラム（容積変更体）１４が破損した場合でも、潤滑剤がポンプ室１５内へと流入することを抑制でき、例えば空気（流体）の供給先つまりクリーンルーム内に潤滑剤が送られてしまうことを防止できる。
【００２８】
（２）シール部材５０は、内周縁部（可動端）５０ｂが外周縁部（固定端）５０ｃに対して変位する変形が可能である。また、シール部材５０は、外周縁部（固定端）５０ｃが装置ケース１０に固定されているとともに、内周縁部（可動端）５０ｂが駆動体２４に固定されている。したがって、例えばシール部材として、装置ケース１０及び駆動体２４のうちの一方に保持され他方に対して摺動するもの（例えばＯリング）を採用した場合と比較して、該摺動部分における潤滑剤の漏れを危惧する必要がないため、摺動領域Ｓからダイヤフラム（容積変更体）１４への潤滑剤の流動を確実に遮断することができる。
【００２９】
（３）シール部材５０の内周縁部（可動端）５０ｂは、ピストン４０と第２支持部材（連結部材）４８との接合部分で狭持固定されている。したがって、ピストン４０と第２支持部材（連結部材）４８との接合固定と同時に、シール部材５０の内周縁部（可動端）５０ｂを駆動体２４に固定することができ、例えばシール部材５０の内周縁部（可動端）５０ｂを専用の固定手段で駆動体２４に固定する場合と比較して、ポンプの組立が容易となる。
【００３０】
（４）シール部材５０の弾性係数はダイヤフラム（容積変更体）１４の弾性係数よりも低く設定されている。したがって、ポンプがポンプ作用を奏する際つまり駆動体２４が往復運動する際において、シール部材５０に過大な負荷が作用することを抑制でき、例えばダイヤフラム（容積変更体）１４よりも先にシール部材５０が破損することを確実に抑制できて、シール部材５０の耐久性を高めることができる。なお、シール部材５０の耐久性が高いことは、シール部材５０がポンプ室１５外に配置されシール部材５０にポンプ室１５の内圧（高圧）が作用されないことも、一因となっている。
【００３１】
（５）ダイヤフラムよりなるシール部材５０は、ダイヤフラム（容積変更体）１４が破損した場合にバックアップするための容積変更体（第２の容積変更体）として把握することができる。つまり、ポンプは、シール部材５０を備えることで、ダイヤフラム（容積変更体）１４が破損した後においても、有効なポンプ作用を継続することができる。（５−１）
この有効なポンプ作用を継続するうえで、前記したようにシール部材５０の内周縁部５０ｂをピストン４０と第２支持部材４８との接合部分に固定すること、つまりシール部材５０をダイヤフラム１４の近くに配置することは、ダイヤフラム１４の破損後においてもポンプ室１５の最小容積を小さくすることにつながり、特に有効であると言える。（５−２）
○第２実施形態
図２には上記第１実施形態の変更例たる第２実施形態に係るポンプを示す。なお、以下においては第１実施形態に係るポンプとの相違点についてのみ説明し、第１実施形態に係るポンプの部材と同一、同等又は類似の部材には同じ番号を付し、説明を省略する。
【００３２】
第２実施形態に係るポンプは、第１実施形態に係るポンプにおいて、シール部材５０及び押え板５１が削除されているとともに、ゴム製のベローズよりなるシール部材６０が備えられている。つまり、シール部材６０は、概略円筒状をなす蛇腹状の伸縮体よりなっている。シール部材６０は、第２ブロック１２の凹部１２ｂ内において、シリンダ１２ａの開口を取り囲む位置に配置されている。
【００３３】
シール部材６０は、その固定端たる第１端部（図面下方側の端部。ダイヤフラム１４と反対側の端部）６０ａが、第２ブロック１２（詳しくは凹部１２ｂの内底面）に対してつまり装置ケース１０に対して、図示しない固定手段（例えば接着剤）によって円環状領域で接合固定されている。したがって、摺動領域Ｓからダイヤフラム１４側（シール部材６０の内空間）へと排出された潤滑剤が、シール部材６０の内周面側から外周面側へと、第１端部６０ａを経由して流動することが抑制される。
【００３４】
シール部材６０は、その可動端たる第２端部（図面上方側の端部。ダイヤフラム１４側の端部）６０ｂが、第１支持部材４７の第２ブロック１２側の端面に対してつまり駆動体２４に対して、図示しない固定手段（例えば接着剤）によって円環状領域で接合固定されている。したがって、摺動領域Ｓからダイヤフラム１４側（シール部材６０の内空間）へと排出された潤滑剤が、シール部材６０の内周面側から外周面側へと、第２端部６０ｂを経由して流動することが抑制される。
【００３５】
前記したように、第１端部６０ａが装置ケース１０に固定されてなおかつ第２端部６０ｂが駆動体２４に固定されたシール部材６０は、ピストン４０の往復運動に応じて、第２端部６０ｂが第１端部６０ａに対してピストン４０の軸線に沿う方向（図面では上下方向）に変位する弾性変形を行う。つまり、シール部材６０は、その変形が可能であること言い換えればベローズよりなることで、第１端部６０ａを装置ケース１０に固定してなおかつ第２端部６０ｂを駆動体２４に固定しても、摺動領域Ｓからダイヤフラム１４への潤滑剤の流動を遮断する作用を奏する。なお、シール部材６０の弾性係数はダイヤフラム１４の弾性係数よりも低く設定されている。
【００３６】
上記構成を備えた本実施形態に係るポンプは、第１実施形態に係るポンプにおける上記（１）及び（２）並びに（４）記載の効果と同様な効果を奏する。その他にも、下記（６）に記す効果も奏する。
【００３７】
（６）ベローズよりなるシール部材６０は、ダイヤフラム（容積変更体）１４が破損した場合にバックアップする容積変更体（第２の容積変更体）として把握することができる。つまり、ポンプは、シール部材６０を備えることで、ダイヤフラム（容積変更体）１４が破損した後においても、有効なポンプ作用を継続することができる。
【００３８】
○第３実施形態
図３には上記第１実施形態の変更例たる第３実施形態に係るポンプを示す。なお、以下においては第１実施形態に係るポンプとの相違点についてのみ説明し、第１実施形態に係るポンプの部材と同一、同等又は類似の部材には同じ番号を付し、説明を省略する。
【００３９】
第３実施形態に係るポンプは、第１実施形態に係るポンプにおいて、駆動体２４が削除されている。装置ケース１０内には、ダイヤフラム１４を境界としてポンプ室１５と反対側に収容室６５が区画されている。収容室６５内には、駆動源３０により回転駆動される回転軸６９の一部が突出配置されている。この突出部（カム部）７０には、カム溝７０ａが外周面を一周するように形成されている。カム溝７０ａは、回転軸６９の中心軸線に対して傾けてある。支持部としてのカム部７０には、駆動体７１が相対回転可能でかつスライド可能に嵌合されている。なお、駆動体７１及び回転軸６９は、動力伝達機構３１の一部を構成する。
【００４０】
駆動体７１は、カム部７０の外周面に相対回転可能でかつスライド可能に嵌合された円筒状の軸受け７２と、軸受け７２に嵌合して止着された筒状のガイド体７３とを有する。ガイド体７３は、ダイヤフラム１４の中央部に止着（連結）されている。ガイド体７３内にはカム室７３ａが区画されている。カム室７３ａ内においてガイド体７３には、ローラ７４がラジアルベアリング７５を介して回転可能に支持されている。ローラ７４の一部は、軸受け７２に形成された挿入口７２ａを介してカム溝７０ａ内に入り込んでいる。
【００４１】
したがって、回転軸６９が回転すると、ローラ７４の外周面とカム溝７０ａとの係合によって、ローラ７４がつまりはローラ７４を支持する駆動体７１が、回転軸６９の中心軸線に沿う方向（図面では上下方向）へ往復運動する。よって、ダイヤフラム１４が変形してポンプ室１５の容積が変更され、ポンプがポンプ作用を奏することとなる。
【００４２】
さて、シール部材５０は、収容室６５内において駆動体７１の外側に配置されている。シール部材５０の外周縁部５０ｃは、装置ケース１０に対して、図示しない固定手段（例えば接着剤や、ボルトと押え板の組み合わせ）によって円環状領域で接合固定されている。シール部材５０の内周縁部５０ｂは、駆動体７１の外面に対して、図示しない固定手段（例えば接着剤や、ボルトと押え板の組み合わせ）によって円環状領域で接合固定されている。
【００４３】
したがって、駆動体７１とカム部７０との摺動領域、詳しくはローラ７４とカム溝７０ａとの摺動領域Ｓ１や軸受け７２とカム部７０の外周面との摺動領域Ｓ２等から、ダイヤフラム１４側へとつまり駆動体７１外へと排出された潤滑剤が、シール部材５０の一方の表面（図では下面。ダイヤフラム１４と反対の表面）側から他方の表面（図では上面。ダイヤフラム１４側の表面）側へと、外周縁部５０ｃ及び内周縁部５０ｂを経由して流動することが抑制される。
【００４４】
上記構成を備えた本実施形態に係るポンプは、第１実施形態に係るポンプにおける上記（１）、（２）、（４）及び（５−１）記載の効果と同様な効果を奏する。
なお、上記第１〜第３実施形態に係るポンプは、本発明の一実施形態を示すものにすぎず、それぞれ、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で変形することが可能である。例えば、以下に記すように変形することも可能であり、また、各変形例を、互いに矛盾しない範囲内で適宜組み合わせて実施することも可能である。
【００４５】
○シール部材を合成樹脂製又は金属製とすること。
○シール部材として、Ｏリング又はリップシール等の摺動タイプのシール部材を用いること。この摺動タイプのシール部材は、装置ケース及び駆動体のうちの一方に保持され他方に摺動することにより、摺動領域の潤滑剤が容積変更体側へ流動することを遮断する。
【００４６】
○シール部材の弾性係数を、容積変更体の弾性係数と同じかそれ以上に設定すること。
○ダイヤフラム型以外のポンプに、つまり例えばベローズを容積変更体として用いたポンプに本発明を具体化すること。
【００４７】
○空気以外の気体を圧送するためのポンプに本発明を具体化すること。或いは、オイルや水等の液体を圧送するためのポンプに本発明を具体化すること。
上記各実施形態及び変形例から把握できる技術的思想について記載する。
【００４８】
（１）ダイヤフラム又はベローズよりなる第１の容積変更体を備え、該第１の容積変更体の変形によってポンプ作用を奏するポンプにおいて、前記第１の容積変更体が破損した場合のバックアップとして、ダイヤフラム又はベローズよりなる第２の容積変更体を備えたことを特徴とするポンプ。このようにすれば、第１の容積変更体が破損された後においてもポンプ作用を継続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】第１実施形態のダイヤフラム型ポンプを示す縦断面図。
【図２】第２実施形態のダイヤフラム型ポンプを示す縦断面図。
【図３】第３実施形態のダイヤフラム型ポンプを示す縦断面図。
【図４】従来のダイヤフラム型ポンプを示す縦断面図。
【符号の説明】
【００５０】
１０…装置ケース、１２ａ…支持部としてのシリンダ、１４…容積変更体としてのダイヤフラム、１５…ポンプ室、２４…駆動体、４０…ピストン、４８…連結部材としての第２支持部材、５０…シール部材（ｂ…可動端としての内周縁部、ｃ…固定端としての外周縁部）、６０…シール部材（ａ…固定端としての第１端部、ｂ…可動端としての第２端部）、７０…支持部としてのカム部、７１…駆動体、Ｓ，Ｓ１，Ｓ２…摺動領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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