(57)【要約】【課題】各種特性（特に、温度特性）に優れる弾性表面波素子、および、かかる弾性表面波素子を備える電子機器を提供すること。【解決手段】弾性表面波素子１は、基板２としてオイラー角が（０、θ、ψ）で表される水晶回転Ｙ板を有し、この基板２上に設けられたＩＤＴ３および反射器４、５を有している。ＩＤＴ３は、Ａｌを主成分として構成され、弾性表面波の伝搬方向と水晶回転Ｙ板のＸ軸とのなす角度ψが９０±１０゜となるように配置されており、ＩＤＴ３の規格化膜厚Ｈ／λと、カット角θとを次の関係Ａを満足するように設定した。  ［関係Ａ］  θｍｉｎ≦θ≦θｍａｘ（ただし、θ＝１２９〜１４４゜）  θｍｉｎ＝８５７．０６（Ｈ／λ）２＋２３．６５６（Ｈ／λ）＋１２３．６８  θｍａｘ＝２５０２．４（Ｈ／λ）２＋７３．１（Ｈ／λ）＋１２１．７【選択図】図１
2005160037.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オイラー角が（０、θ、ψ）で表される水晶回転Ｙ板と、
該水晶回転Ｙ板上に設けられ、電気信号を前記水晶回転Ｙ板の表面付近を伝搬する弾性表面波に変換する機能および／または前記水晶回転Ｙ板の表面付近を伝播する弾性表面波を電気信号に変換する機能を有する櫛歯電極とを有し、
前記櫛歯電極は、Ａｌを主成分として構成され、前記弾性表面波の伝搬方向と前記水晶回転Ｙ板のＸ軸とのなす角度ψが９０±１０゜となるように配置されており、
前記櫛歯電極の規格化膜厚Ｈ／λ（Ｈは櫛歯電極の平均厚さを示し、λは弾性表面波の波長を示す。）と、カット角θとを以下に示す関係Ａを満足するように設定したことを特徴とする弾性表面波素子。
［関係Ａ］
θｍｉｎ≦θ≦θｍａｘ（ただし、θ＝１２９〜１４４゜）
θｍｉｎ＝８５７．０６（Ｈ／λ）２＋２３．６５６（Ｈ／λ）＋１２３．６８
θｍａｘ＝２５０２．４（Ｈ／λ）２＋７３．１（Ｈ／λ）＋１２１．７
【請求項２】
前記規格化膜厚Ｈ／λは、０．０３〜０．１４である請求項１に記載の弾性表面波素子。
【請求項３】
前記弾性表面波は、横波弾性表面波を主成分とするものである請求項１または２に記載の弾性表面波素子。
【請求項４】
前記角度ψは、９０±２゜である請求項１ないし３のいずれかに記載の弾性表面波素子。
【請求項５】
前記櫛歯電極を介して設けられた一対の反射器を有し、
該各反射器は、いずれも、Ａｌを主成分として構成され、前記弾性表面波の伝搬方向と前記水晶回転Ｙ板のＸ軸とのなす角度ψが９０±１０゜となるように配置されており、
前記各反射器の規格化膜厚とカット角θとが前記関係Ａを満足するように設定されている請求項１ないし４のいずれかに記載の弾性表面波素子。
【請求項６】
少なくとも前記櫛歯電極の上面に設けられた絶縁保護膜を有する請求項１ないし５のいずれかに記載の弾性表面波素子。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の弾性表面波素子を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波素子および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
伝搬媒体の表面付近に、エネルギーを集中させて伝搬する波は、弾性表面波（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ：ＳＡＷ）として知られている。
弾性表面波素子は、このような弾性表面波を利用する素子であり、携帯電話等の通信機器用のバンドパスフィルター、基準クロックとしての共振子、信号処理用遅延素子（特に、フーリエ変換機能素子）、圧力センサーや温度センサーのような各種センサー、光偏向器等へ応用されている。
【０００３】
例えば、フィルターや共振子として使用する弾性表面波素子は、弾性表面波の伝搬媒体としての圧電基体と、この圧電基体上に配置され、圧電基体に弾性表面波を励振させる電圧を印加する入力用と、圧電基体を伝搬する弾性表面波を検出し、電気信号に変換して出力する出力用との一対の櫛歯電極（Ｉｎｔｅｒ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ：ＩＤＴ）と、ＩＤＴの両側部に配置された一対の反射器とを備えている。
【０００４】
このような弾性表面波素子では、入力用のＩＤＴに交流電力（電気信号）が供給されると、この交流電力による電場によって圧電基体にひずみが生じる。このとき、この電場を生じる電極が櫛歯形状であることにより圧電基体に疎密が生じ、これにより弾性表面波が発生する。
この弾性表面波はＩＤＴの両側に伝搬し、反射器によって反射され、反射器の間で共振が生じる。そして、この弾性表面波のエネルギーは出力用ＩＤＴによって電気的エネルギーに変換され、出力される。
【０００５】
ところで、弾性表面波素子に要求される特性としては、温度変化に対する周波数変動が小さいこと（温度特性が良好であること）、電気機械結合係数ｋ２が大きいこと、また反射器を使用する場合には弾性表面波の反射係数が大きいこと等がある。
このうち、温度特性は、特に、共振子や狭帯域フィルターとして用いられる弾性表面波素子において重要となる。
温度特性に優れた弾性表面波素子としては、ＳＴカット０゜Ｘ軸伝搬の水晶基板上に、ＩＤＴや反射器を形成し、ＩＤＴの励振により生成するレイリー波を用いるようにしたものがある。
【０００６】
しかしながら、レイリー波は反射器に対する反射係数が小さいため、十分な反射量を得るには反射器の本数を多く必要とし、その結果寸法が大きくなり、弾性表面波素子の小型化に不利になる。また、レイリー波は、電気機械結合係数ｋ２が小さく、電気信号と弾性表面波との変換に際する損失が大きいという問題がある。
また、ＳＨ波（Share Horizontal wave）を使用する弾性表面波素子として、ＳＴカット９０゜Ｘ軸伝搬の水晶基板上に、ＩＤＴや反射器を形成したものが提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３参照。）。
【０００７】
しかしながら、この弾性表面波素子は、重い金属膜を櫛歯電極として使用することから、反射係数、電気機械結合係数ｋ２には優れるが、電極膜厚の変動に対する周波数変動が大きいという欠点がある。
また水晶基板上においてはＳＨ波の一種としてＳＴＷ（Surface Transversal Wave：横波弾性表面波）というのが知られているが（例えば、特許文献４）、この場合、カット角としてθが１２８．４近傍を用いており２次温度係数がＳＴカットのレイリー波よりも悪いという欠点がある。
【０００８】
【特許文献１】特公昭６１−４５８９２号公報
【特許文献２】特開平１０−２３３６４５号公報
【特許文献３】特開２０００−３２３９５６号公報
【特許文献４】ＵＳ  Pat.４９６５４７９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、各種特性（特に、温度特性）に優れる弾性表面波素子、および、かかる弾性表面波素子を備える電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の弾性表面波素子は、オイラー角が（０、θ、ψ）で表される水晶回転Ｙ板と、
該水晶回転Ｙ板上に設けられ、電気信号を前記水晶回転Ｙ板の表面付近を伝搬する弾性表面波に変換する機能および／または前記水晶回転Ｙ板の表面付近を伝播する弾性表面波を電気信号に変換する機能を有する櫛歯電極とを有し、
前記櫛歯電極は、Ａｌを主成分として構成され、前記弾性表面波の伝搬方向と前記水晶回転Ｙ板のＸ軸とのなす角度ψが９０±１０゜となるように配置されており、
前記櫛歯電極の規格化膜厚Ｈ／λ（Ｈは櫛歯電極の平均厚さを示し、λは弾性表面波の波長を示す。）と、カット角θとを以下に示す関係Ａを満足するように設定したことを特徴とする。
［関係Ａ］
θｍｉｎ≦θ≦θｍａｘ（ただし、θ＝１２９〜１４４゜）
θｍｉｎ＝８５７．０６（Ｈ／λ）２＋２３．６５６（Ｈ／λ）＋１２３．６８
θｍａｘ＝２５０２．４（Ｈ／λ）２＋７３．１（Ｈ／λ）＋１２１．７
これにより、各種特性（特に、温度特性）に優れる弾性表面波素子が得られる。
【００１１】
本発明の弾性表面波素子では、前記規格化膜厚Ｈ／λは、０．０３〜０．１４であることが好ましい。
これにより、温度特性がより改善され、また、電気機械結合係数ｋ２が大きくなり、電気機械変換に際するエネルギー損失を小さく抑えることができる。
本発明の弾性表面波素子では、前記弾性表面波は、横波弾性表面波を主成分とするものであることが好ましい。
横波弾性表面波は、音速が速いため、弾性表面波として横波弾性表面波を主成分とするものを利用することにより、弾性表面波素子の高周波化を図ることができる。
【００１２】
本発明の弾性表面波素子では、前記角度ψは、９０±２゜であることが好ましい。
これにより、弾性表面波としてＳＴＷを効率よく利用することができるようになる。
本発明の弾性表面波素子では、前記櫛歯電極を介して設けられた一対の反射器を有し、
該各反射器は、いずれも、Ａｌを主成分として構成され、前記弾性表面波の伝搬方向と前記水晶回転Ｙ板のＸ軸とのなす角度ψが９０±１０゜となるように配置されており、
前記各反射器の規格化膜厚とカット角θとが前記関係Ａを満足するように設定されていることが好ましい。
これにより、各種特性（特に、温度特性）がより向上する。
【００１３】
本発明の弾性表面波素子では、少なくとも前記櫛歯電極の上面に設けられた絶縁保護膜を有することが好ましい。
これにより、櫛歯電極の表面に異物が付着するのを防止し、異物を介したショートを防ぐことができる。
本発明の電子機器は、本発明の弾性表面波素子を備えることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する電子機器が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の弾性表面波素子および電子機器の好適な実施形態について説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の弾性表面波素子の第１実施形態を模式的に示す斜視図、図２は、図１に示す弾性表面波素子の断面図である。なお、以下の説明では、図２中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００１５】
図１および図２に示す弾性表面波素子１は、基板２と、基板２上に設けられたＩＤＴ３と、ＩＤＴ３の両側部に配置された一対の反射器４、５と、ＩＤＴ３および反射器４、５の上面に設けられた絶縁保護膜６とを有している。
本発明では、基板２として水晶回転Ｙ板を用いる。これにより、弾性表面波素子１において、電気機械結合係数ｋ２の大きい弾性表面波が励振されるようになる。
本発明では、この水晶回転Ｙ板におけるオイラー角（０、θ、ψ）の角度ψ、カット角θ、カット角θとＩＤＴ３の規格化膜厚Ｈ／λ（Ｈは櫛歯電極の平均厚さを示し、λは弾性表面波の波長を示す。）との関係、およびＩＤＴ３の構成材料について規定した。なお、これらについては後に詳述する。
【００１６】
基板２の厚さ（平均）は、特に限定されないが、０．０５〜１ｍｍ程度であるのが好ましく、０．１〜０．８ｍｍ程度であるのがより好ましい。
弾性表面波素子１は、いわゆる１ポート型と呼ばれるタイプの素子であり、基板２に電圧を印加して、基板２に弾性表面波を励振させる機能を有する電極３ａ、３ｂを有している。また、本実施形態では、各電極３ａ、３ｂは、それぞれ、弾性表面波を電気信号に変換する機能も有する。
また、各反射器４、５は、基板２に伝搬する弾性表面波を反射して、反射器４と反射器５との間に封じ込める機能を有する。
【００１７】
ＩＤＴ３（各電極３ａ、３ｂ）に駆動電圧が入力されると、基板２の表面付近において弾性表面波が励振され、共振による特定周波数の電気信号がＩＤＴ３（各電極３ａ、３ｂ）より出力される。
各電極３ａ、３ｂは、それぞれ、所定間隔で並設された複数の電極指３１を有し、全体として櫛歯状をなしている。
【００１８】
また、各反射器４、５は、それぞれ、所定間隔で並設された複数の反射体４１、５１を有し、全体としてすだれ状をなしている。これにより、各反射器４、５は、それぞれ、弾性表面波を効率よく反射し得るように構成されている。
これらの電極指３１および反射体４１、５１の幅、間隔、ピッチ、厚さ等を調整することにより、弾性表面波素子１において励振される弾性表面波の発振周波数等の特性を所望のものに設定することができる。
また、各反射器４、５の構成は、互いに同じであっても異なっていてもよいが、ほぼ同じ構成とするのが好ましい。これにより、反射器４と反射器５との間に、より確実に弾性表面波を封じ込めることができ、その結果、弾性表面波をより大きく共振させることができる。
【００１９】
ＩＤＴ３と各反射器４、５との離間距離ｇは、基板２において励振される弾性表面波の波長λの０．０５〜０．４倍程度あるいはその値に波長の整数倍を足した値であるのが好ましく、０．２〜０．３倍程度あるいはその値に波長の整数倍を足した値であるのがより好ましい。これにより、ＩＤＴ３での弾性表面波の位相と、各反射器４、５での弾性表面波の位相とのズレを小さくすることができ、その結果、反射器４、５による弾性表面波の共振がより効率よく行われるようになる。
【００２０】
絶縁保護膜６は、ＩＤＴ３および反射器４、５の表面に異物が付着するのを防止し、異物を介した電極指３１間のショートを防ぐものである。
本実施形態では、絶縁保護膜６は、図２に示すようにＩＤＴ３および反射器４、５の上面に、これらのパターンに対応して形成されており、ＩＤＴ３および反射器４、５の側面は露出している。これにより、弾性表面波が基板２を伝搬する際のエネルギー損失を小さく抑えることができる。
【００２１】
この絶縁保護膜６の構成材料は、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムのうちの少なくとも１種を主材料とするものを用いるのが好ましい。かかる材料で絶縁保護膜６を構成することにより、絶縁保護膜６を容易に形成することができるとともに、絶縁保護膜６を絶縁性に優れるものとすることもできる。
また、この絶縁保護膜６を設け、その構成材料や厚さ（膜厚）等を適宜設定することにより、温度特性（温度変化に伴う周波数変動）を補正（改善）することもできる。
【００２２】
このような絶縁保護膜６の厚さ（平均）は、特に限定されないが、１０〜１５００ｎｍ程度であるのが好ましく、３０〜４００ｎｍ程度であるのがより好ましい。絶縁保護膜６の厚さを前記範囲とすることにより、質量の増大に伴う弾性表面波の発振周波数の低下を防止または抑制しつつ、十分な絶縁性が発揮される。また、温度特性（周波数温度特性）を良好なもの（小さいもの）とすることができる。
【００２３】
次に、基板２に用いられる水晶回転Ｙ板におけるオイラー角（０、θ、ψ）の角度ψ、カット角θ、カット角θとＩＤＴ３の規格化膜厚Ｈ／λ（Ｈは櫛歯電極の平均厚さを示し、λは弾性表面波の波長を示す。）との関係、およびＩＤＴ３の構成材料について、それぞれ説明する。
オイラー角（φ，θ，ψ）の一般的な定義は次のようになっている。デバイス座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）をＺ軸の周りにφだけ回転し、次にφ回転後の新しいＹ’軸の周りにデバイスをθだけ回転し、最後にθ回転後の新しいＺ’’軸の周りにψだけ回転する。
このうち、角度ψは、９０±１０゜に設定される。すなわち、弾性表面波素子１において、ＩＤＴ３は、このＩＤＴ３により水晶回転Ｙ板の表面付近に励振される弾性表面波の伝播方向（電極指３１の長手方向に対してほぼ直交する方向）が、水晶回転Ｙ板のＸ軸に対して９０±１０゜となるように配置される。
【００２４】
図３には、角度ψと各種弾性表面波の電気機械結合係数ｋ２との関係を示す。
図３に示すように、レイリー波は、角度ψが大きくなるのにしたがって減少し、９０゜でほぼ０になる。一方、横波弾性表面波（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｔｒａｎｓｖｅｒｓａｌ  Ｗａｖｅ：ＳＴＷ）は、角度ψが８０゜〜１００゜の範囲に大きなピークを有している。
このため、角度ψを９０±１０゜とすることにより、ＩＤＴ３によりＳＴＷを主成分とする弾性表面波が効率よく励振される。ＳＴＷは、音速が速いため、弾性表面波としてＳＴＷを主成分とするものを利用することにより、弾性表面波素子１の高周波化を図ることができる。
【００２５】
特に、角度ψは、９０±２゜に設定するのが好ましい。これにより、弾性表面波としてＳＴＷを効率よく利用することができるようになる。また、弾性表面波として、電気機械結合係数ｋ２の特に大きいＳＴＷが励振するようになり、電気信号と弾性表面波との変換に際する損失が小さく抑えられる。
また、ＳＴＷは、各反射器４、５での反射係数が大きいことから、反射体４１、５１の本数が少なく抑えられ、弾性表面波素子１の小型化を図ることができる。
一方、カット角θは、１２９〜１４４゜に設定される。
【００２６】
図４には、水晶回転Ｙ板のカット角θと２次温度係数との関係を示す。ここで、２次温度係数とは、温度変化に対する周波数の２次の変動量を示す特性値であり、櫛歯電極膜の膜厚を最適値に設定し、１次の温度係数が０近傍になった際に現れる温度特性である。この値が０に近い程、より良好な温度特性が得られることを意味する。
図４に示すように、２次温度係数は、水晶回転Ｙ板のカット角θに依存して変化し、カット角θが１２７°から１３７°に上昇するに従い小さくなってくることが分かる。ゆえにより大きなθを用いれば良い温度特性が得られるが、実際には関係式Ａに従い、Ａｌの膜厚が増大するため、Ａｌのエッチングや成膜時の厚みばらつき、Ａｌの成膜時間の増大などカット角を単純に増加するのには限界がある。ゆえに、水晶回転Ｙ板のカット角θを１２９〜１４４゜の範囲に設定することにより、２次温度係数を０に近づけることができる。その結果、弾性表面波素子１は、温度特性が良好なものとなる。
特に、カット角θは、１３３〜１３９°に設定するのが好ましい。これにより、前述した効果がより顕著に発揮される。
【００２７】
さらに、カット角θは、ＩＤＴ３の規格化膜厚Ｈ／λとの間において、下記の関係Ａを満足するように設定される。
［関係Ａ］
θｍｉｎ≦θ≦θｍａｘ
θｍｉｎ＝８５７．０６（Ｈ／λ）２＋２３．６５６（Ｈ／λ）＋１２３．６８
θｍａｘ＝２５０２．４（Ｈ／λ）２＋７３．１（Ｈ／λ）＋１２１．７
【００２８】
図５には、ＩＤＴの規格化膜厚Ｈ／λと水晶回転Ｙ板のカット角θとの関係を示す。
前記関係Ａを満足する範囲は、図５において領域Ｘで示される範囲である。本発明者は、鋭意検討を重ねた結果、カット角θとＩＤＴ３の規格化膜厚Ｈ／λとを、領域Ｘ内の関係を満足する値に設定することにより、弾性表面波素子１は、温度特性が特に良好なものとなることを見出した。
【００２９】
特に、カット角θは、下記の関係Ａ′を満足するように、すなわち、図５において領域Ｙで示される範囲に設定するのが常温付近で頂点温度を得るためには好ましく、これにより、弾性表面波素子１は、温度特性がさらに優れたものとなる。
［関係Ａ′］
θｍｉｎ′≦θ≦θｍａｘ′
θｍｉｎ′＝８５７．０６（Ｈ／λ）２＋４０．７９７（Ｈ／λ）＋１２４．４
θｍａｘ′＝１１９３．６（Ｈ／λ）２＋６５．５８７（Ｈ／λ）＋１２４．４
【００３０】
ＩＤＴ３は、Ａｌを主成分として構成される。Ａｌは、電気抵抗が小さいため、Ａｌを主成分としてＩＤＴ３を構成することにより、エネルギー損失が小さくなる。このため、弾性表面波素子１では、弾性表面波の共振がより鋭くなる。
また、Ａｌは比重が小さいので、例えばタンタル、タングステン、金等の比重の大きい金属を使用するのに比べて、ＩＤＴ３の膜厚に依存した音速変化が小さく抑えられる。したがって、中心周波数のばらつきを抑えることができる。
さらに、ＩＤＴ３をＡｌを主成分として構成することにより、ＩＤＴ３の膜厚の制御が容易となるので、精度の高い弾性表面波素子１を得ることができる。
【００３１】
このＩＤＴ３は、Ａｌ単独で構成されていてもよく、Ｃｕ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｓｃ等の金属元素が添加されていてもよい。これら金属元素を添加することにより、ＩＤＴ３のマイグレーション耐性を改善することができる。
また、ＩＤＴ３はＡｌを主成分とする電極層の上面または下面の少なくとも一方の面側に、バリアメタルとなる電極層が設けられた多層構成とされていてもよい。
【００３２】
このようなＩＤＴ３の規格化膜厚Ｈ／λは、水晶回転Ｙ板のカット角θによっても異なるが、０．０３〜０．１４程度であるのが好ましく、０．０５５〜０．１２５程度であるのがより好ましい。ＩＤＴ３の規格化膜厚Ｈ／λを前記範囲とすることにより、温度特性がより改善され、また、電気機械結合係数ｋ２が大きくなり、電気機械変換に際するエネルギー損失を小さく抑えることができる。
また、ＩＤＴ３の規格化膜厚Ｈ／λを前記範囲とすることにより、ＩＤＴ３のマスローディング効果が好適に発揮され、ＳＴＷを水晶回転Ｙ板の表面付近に閉じ込めることが可能となる。その結果、弾性表面波素子１では、ＳＴＷが良好に励振されるようになる。
【００３３】
なお、各反射器４、５についても、それぞれ、ＩＤＴ３と同様の構成とするのが好ましい。すなわち、各反射器４、５は、いずれも、ＩＤＴ３と同様の構成材料で構成すること、および、規格化膜厚とカット角θとが前記条件Ａを満足することが好ましい。これにより、弾性表面波素子１の各種特性をより向上させることができる。また、これにより、各反射器４、５をＩＤＴ３と同時に形成することができるので、弾性表面波素子１の製造プロセスの簡易化を図ることもできる。
【００３４】
また、各反射器４、５の規格化膜厚Ｈ／λは、ＩＤＴ３と同様に、それぞれ、０．０３〜０．１４程度であるのが好ましく、０．０５５〜０．１２５程度であるのがより好ましい。各反射器４、５の規格化膜厚Ｈ／λを前記範囲とすることにより、弾性表面波の反射率を十分に大きくすることができる。このため、反射体４１、５１の数を少なくすることができ、弾性表面波素子１の小型化を図ることができる。
なお、各反射器４、５の規格化膜厚は、必要に応じて、ＩＤＴ３と異なるように設定するようにしてもよい。
以上説明したような弾性表面波素子１は、基板２として水晶回転Ｙ板を用い、そのオイラー角（０、θ、ψ）の角度ψ、カット角θ、カット角θとＩＤＴ３の規格化膜厚Ｈ／λとの関係、およびＩＤＴ３の構成材料を、それぞれ設定（規定）したことによる相乗効果により、各種特性（特に、温度特性）が良好なものとなる。
【００３５】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の弾性表面波素子の第２実施形態について説明する。
図６は、本発明の弾性表面波素子の第２実施形態を示す斜視図、図７は、図６に示す弾性表面波素子の断面図である。なお、以下の説明では、図７中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００３６】
以下、第２実施形態の弾性表面波素子について、前記第１実施形態の弾性表面波素子１との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第２実施形態の弾性表面波素子７は、弾性表面波を励振させる機能と弾性表面波を電気信号に変換する機能を兼ねるＩＤＴ３の代わりに、入力用のＩＤＴ８および出力用のＩＤＴ９がそれぞれ設けられている以外は、前記第１実施形態の弾性表面波素子１と同様である。
【００３７】
ＩＤＴ（入力側電極）８は、基板２に電圧を印加して、基板２の表面付近に弾性表面波を励振させる機能を有するものであり、一方、ＩＤＴ（出力側電極）９は、基板２の表面付近を伝搬する弾性表面波を検出し、弾性表面波を電気信号に変換して外部に出力する機能を有するものである。
したがって、ＩＤＴ８に駆動電圧が入力されると、基板２において弾性表面波が励振され、共振による特定周波数の電気信号がＩＤＴ９より出力される。
【００３８】
各ＩＤＴ８、９は、それぞれ、所定間隔で並設された複数の電極指８１、９１を有する櫛歯形状をなしており、各ＩＤＴ８、９の電極指８１、９１の幅、間隔、ピッチ、厚さ等を調整することにより、弾性表面波の発振周波数等の特性を所望のものに設定することができる。
この第２実施形態の弾性表面波素子７においても、基板２として水晶回転Ｙ板を用い、そのオイラー角（０、θ、ψ）の角度ψ、カット角θ、カット角θとＩＤＴ８、９の規格化膜厚Ｈ／λとの関係、およびＩＤＴ８、９の構成材料を、それぞれ設定（規定）したことによる相乗効果により、例えば狭帯域フィルターとしての優れた性能が得られるとともに、エネルギー損失が小さく抑えられる。
上述したような弾性表面波素子１、７は、各種の電子機器に適用することができ、得られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
【００３９】
次に、本発明の弾性表面波素子を備える電子機器について、図８〜図１０に示す実施形態に基づき、詳細に説明する。
図８は、本発明の弾性表面波素子を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピュータ１１００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する弾性表面波素子１（または７）やアンテナ１１０１が内蔵されている。
【００４０】
図９は、本発明の弾性表面波素子を備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ１２０１、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、フィルター、共振器等として機能する弾性表面波素子１（または７）が内蔵されている。
【００４１】
図１０は、本発明の弾性表面波素子を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００４２】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリ１３０８に転送・格納される。
【００４３】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、フィルター、共振器等として機能する弾性表面波素子１（または７）が内蔵されている。
【００４４】
なお、本発明の弾性表面波素子を備える電子機器は、図８のパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、図９の携帯電話機、図１０のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ等に適用することができる。
【００４５】
以上、本発明の弾性表面波素子および電子機器について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。
例えば、本発明の弾性表面波素子は、用途に応じて反射器、櫛歯電極の数を変更してもよく、また反射器を省略することもできる。
また、前記実施形態では、絶縁保護膜が櫛歯電極および反射器の上面に設けられていたが、絶縁保護膜は、少なくとも櫛歯電極の上面に設けられていればよい。また、絶縁保護膜は、水晶回転Ｙ板の全面を覆うように設けられていてもよい。
また、本発明の弾性表面波素子には、各種機能を有する半導体素子が複合化されていてもよい。
【実施例】
【００４６】
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
１．弾性表面波素子の作製
（実施例１）
まず、基板として、平均厚さ：０．４ｍｍの水晶回転Ｙ板を用意した。この水晶回転Ｙ板のオイラー角は（０、１３３、９０）である。
この水晶回転Ｙ板上に、真空蒸着法やスパッタリング法によりアルミニウムを被着させ、導電性材料層を形成した。
【００４７】
次に、この導電性材料層上に、ＣＶＤ法やスパッタリング法により酸化珪素（ＳｉＯ２）を被着させ、平均厚さ：４０ｎｍの酸化珪素層（絶縁性材料層）を形成した。
続いて、酸化珪素層上に、フォトリソグラフィー法により、ＩＤＴ（櫛歯電極）および反射器に対応する形状のレジスト層を形成した。
そして、このレジスト層をマスクとして用いてドライエッチング法により、不要な導電性材料層および酸化珪素層を除去した。これにより、ＩＤＴ、反射器および絶縁保護層を形成し、図１および図２に示す弾性表面波素子を得た。
【００４８】
なお、ＩＤＴおよび反射器の規格化膜厚Ｈ／λは、０．０７である。
また、ＩＤＴと各反射器との離間距離ｇをそれぞれ弾性表面波の波長の０．２５倍とした。
（比較例１〜３）
水晶回転Ｙ板として、表１に示すオイラー角のものを用い、ＩＤＴおよび反射器の規格化膜厚Ｈ／λを表１に示すように変更した以外は、実施例１と同様にして、図１および図２に示す弾性表面波素子を得た。
【００４９】
【表１】
2005160037.tif 000003
【００５０】
２．評価
実施例１および各比較例の弾性表面波素子について、それぞれ、温度変化に対する周波数変動を調べた。
その結果を、前記表１に示す。表１には、各温度（℃）における、基準周波数に対する周波数偏差（ｐｐｍ）を示す。
【００５１】
表１から明らかなように、実施例１の弾性表面波素子（本発明の弾性表面波素子）は、温度変化に対する周波数変動が小さいものであった。
これに対して、各比較例の弾性表面波素子は、いずれも、温度変化に対する周波数変動が大きいものであった。
また、実施例１の弾性表面波素子では、各比較例の弾性表面波素子に比べて、鋭い共振が得られた。代表的に、図１１には、実施例１の弾性表面波素子のインピーダンス特性を、図１２には、比較例１の弾性表面波素子のインピーダンス特性を示す。
なお、前記実施例１および比較例１〜３と同様にして図６および図７に示す弾性表面波素子を作製し、これらについて、それぞれ、温度の変化に対する周波数変動を調べた結果、前記とほぼ同様の結果が得られた。また、実施例（本発明）の弾性表面波素子は、エネルギー損失の少ないものであった。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の弾性表面波素子の第１実施形態を模式的に示す斜視図である。
【図２】図１に示す弾性表面波素子の断面図である。
【図３】角度ψと各種弾性表面波の電気機械結合係数ｋ２との関係を示すグラフである。
【図４】水晶回転Ｙ板のカット角θと２次温度係数との関係を示すグラフである。
【図５】ＩＤＴの規格化膜厚Ｈ／λと水晶回転Ｙ板のカット角θとの関係を示すグラフである。
【図６】本発明の弾性表面波素子の第２実施形態を示す斜視図である。
【図７】図６に示す弾性表面波素子の断面図である。
【図８】本発明の弾性表面波素子を備える電子機器（ノート型パーソナルコンピュータ）である。
【図９】本発明の弾性表面波素子を備える電子機器（携帯電話機）である。
【図１０】本発明の弾性表面波素子を備える電子機器（ディジタルスチルカメラ）である。
【図１１】実施例１の弾性表面波素子のインピーダンス特性を示すグラフである。
【図１２】比較例１の弾性表面波素子のインピーダンス特性を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５３】
１、７‥‥弾性表面波素子  ２‥‥基板  ３‥‥ＩＤＴ  ３ａ、３ｂ‥‥電極（櫛歯電極）  ３１‥‥電極指  ４、５‥‥反射器  ４１、５１‥‥反射体  ６‥‥絶縁保護膜  ８‥‥ＩＤＴ（入力側電極）  ８１‥‥電極指  ９‥‥ＩＤＴ（出力側電極）  ９１‥‥電極指  １１００‥‥パーソナルコンピュータ  １１０１‥‥アンテナ  １１０２‥‥キーボード  １１０４‥‥本体部  １１０６‥‥表示ユニット  １２００‥‥携帯電話機  １２０１‥‥アンテナ  １２０２‥‥操作ボタン  １２０４‥‥受話口  １２０６‥‥送話口  １３００‥‥ディジタルスチルカメラ  １３０２‥‥ケース（ボディー）  １３０４‥‥受光ユニット  １３０６‥‥シャッタボタン  １３０８‥‥メモリ  １３１２‥‥ビデオ信号出力端子  １３１４‥‥データ通信用の入出力端子  １４３０‥‥テレビモニタ  １４４０‥‥パーソナルコンピュータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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