(57)【要約】【課題】  フィルターの目詰まりによる透過流量の減少を抑制することができ、長時間に渡って透過流量を安定させることができるようにする。【解決手段】  この発明の不純物除去装置は、容器１内に配置したフィルター６に流体を通過させ、流体中に混在する微粒子を除去する装置であり、容器１をフィルターを境にして入口室Ｒ１と出口室Ｒ２とに区分けし、入口室Ｒ１に、流体を流入させる流入ノズル２と、流入ノズル２と略同方向にフィルター６の孔径以上の微粒子を含まない流体を流し込む注入ノズル４，５とを配し、出口室Ｒ２にフィルター処理後の流体を流出させる流出ノズル３を配し、注入ノズル４，５からの流量で、流入ノズル２からの流体がフィルター６を透過する透過場所を制御する、ことを特徴としている。【選択図】  図１ 
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器内に配置したフィルターに流体を通過させ、流体中に混在する微粒子を除去する不純物除去装置において、
上記容器をフィルターを境にして入口室と出口室とに区分けし、
上記入口室に、流体を流入させる流入ノズルと、流入ノズルと略同方向にフィルターの孔径以上の微粒子を含まない流体を流し込む注入ノズルとを配し、
上記出口室にフィルター処理後の流体を流出させる流出ノズルを配し、
上記注入ノズルからの流量で、流入ノズルからの流体がフィルターを透過する透過場所を制御する、
ことを特徴とする不純物除去装置。
【請求項２】
上記注入ノズルを複数配した、請求項１に記載の不純物除去装置。
【請求項３】
上記注入ノズルを流入ノズルの両側に設けた、請求項１に記載の不純物除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、容器内に配置したフィルターに流体を通過させ、流体中に混在する粒子を除去する不純物除去装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図４に従来の不純物除去装置の縦断面図を示す。流体８００は、流入ノズル２００から容器１００に入り、フィルター６００の全面を透過して、流出バルブ３００から排出される。そして、フィルター６００の透過時にフィルター６００の孔径以上の微粒子が除去されている。
【０００３】
しかし、上記従来の不純物除去装置では、流入ノズル２００からの流体８００は、流入ノズル２００に対向するフィルター６００の場所に流入し、その場所で孔径以上の微粒子を堆積させ、孔径以下の微粒子を透過させていたため、使用開始時には多くの流量を処理できるものの、使用時間とともにフィルター６００が目詰まりし、フィルター６００を透過する流量は、時間の経過とともに減少し、安定した透過流量の確保が困難であるという問題点を有していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明は上記に鑑み提案されたもので、フィルターの目詰まりによる透過流量の減少を抑制することができ、長時間に渡って透過流量を安定させることができる不純物除去装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、容器内に配置したフィルターに流体を通過させ、流体中に混在する微粒子を除去する不純物除去装置において、上記容器をフィルターを境にして入口室と出口室とに区分けし、上記入口室に、流体を流入させる流入ノズルと、流入ノズルと略同方向にフィルターの孔径以上の微粒子を含まない流体を流し込む注入ノズルとを配し、上記出口室にフィルター処理後の流体を流出させる流出ノズルを配し、上記注入ノズルからの流量で、流入ノズルからの流体がフィルターを透過する透過場所を制御する、ことを特徴としている。
【０００６】
また、請求項２に記載の発明は、上記した請求項１に記載の発明の構成に加えて、上記注入ノズルを複数配した、ことを特徴としている。
【０００７】
また、請求項３に記載の発明は、上記した請求項１に記載の発明の構成に加えて、上記注入ノズルを流入ノズルの両側に設けた、ことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００８】
この発明の不純物除去装置では、注入ノズルからの流量で、流入ノズルからの流体がフィルターを透過する透過場所を制御するようにしたので、フィルターが目詰まりを起こしはじめ、透過流量が減少すると、順次透過場所を変えることができ、したがって、フィルターの目詰まりによる透過流量の減少を抑制することができる。また長時間に渡って透過流量を安定させることができる。さらに、目詰まりによる容器の急激な圧力上昇をさけることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下にこの発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１０】
図１はこの発明の第１実施例における不純物除去装置の概略構成を示す縦断面図である。図において、この発明の不純物除去装置は、立方体状の容器１内に配置した側面視矩形状のフィルター６に流体を通過させ、流体中に混在する微粒子を除去する装置であり、容器１をフィルター６を境にして入口室Ｒ１と出口室Ｒ２とに区分けしてある。このフィルター６によって、入口室Ｒ１から出口室Ｒ２に透過した流体は、フィルター６の孔径以上の微粒子を含まない流体となる。
【００１１】
入口室Ｒ１には側面視中央に流入ノズル２が設けられ、その両側に注入ノズル４，５が設けられている。流入ノズル２は、流入口２ａと拡幅部２ｂとからなり、流入口２ａから流入した流体が、拡幅部２ｂから入口室Ｒ１に流入するようになっている。
【００１２】
注入ノズル４，５はそれぞれ、注入口４ａ，５ａと拡幅部４ｂ，５ｂとからなり、拡幅部４ｂ，５ｂが入口室Ｒ１に臨んでいる。注入口４ａ，５ａから流入した流体は、拡幅部４ｂ、５ｂから入口室Ｒ１に流入し、流入ノズル２と略同方向に流れるようになっている。なお、この注入ノズル４，５には、フィルター６の孔径以上の微粒子を含まない流体を流し込んでいる。
【００１３】
また、出口室Ｒ２には側面視中央に流出バルブ３が設けられている。流出バルブ３は、流出口３ａと拡幅部３ｂとからなり、出口室Ｒ２のフィルター処理後の流体が、拡幅部３ｂを経由して流出口３ａから流出されるようになっている。
【００１４】
上記構成の不純物除去装置において、図１に示すように、２個の注入ノズル４、５から注入される流体７，９の各流量が同じ場合、流入ノズル２からの流体８がフィルター６を透過する透過場所は、フィルター６の中央部分１１となる。
【００１５】
一方、２個の注入ノズ４、５から注入される流体７，９の流量が異なり、注入ノズル４からの流体７の流量が、注入ノズル５からの流体９の流量より多い場合、図２に示すように、流入ノズル２からの流体８がフィルター６を透過する透過場所は、流量の少ない注入ノズル５側に移動し、フィルター６の下側部分１２となる。逆に、注入ノズル５からの流体９の流量が、注入ノズル４からの流体７の流量より多い場合、流入ノズル２からの流体８がフィルター６を透過する透過場所は、流量の少ない注入ノズル４側に移動し、フィルター６の上側部分となる。
【００１６】
このように、注入ノズル４，５からの流量で、流入ノズル２からの流体がフィルター６を透過する透過場所を制御するようにしたので、フィルター６が目詰まりを起こしはじめ、透過流量が減少すると、順次透過場所を変えることができ、したがって、フィルター６の目詰まりによる透過流量の減少を抑制することができる。また長時間に渡って透過流量を安定させることができる。さらに、目詰まりによる容器１の急激な圧力上昇をさけることができる。
【００１７】
図３はこの発明の第２実施例における不純物除去装置の概略構成を示す縦断面図で、図面左側はＡ１−Ａ１断面の斜視図、図面右側はＢ１−Ｂ１断面の斜視図である。図において、この発明の不純物除去装置は、円筒状の容器１内に配置した円筒状のフィルター６０に流体を通過させ、流体中に混在する微粒子を除去する装置であり、容器１をフィルター６０を境にして入口室Ｒ１と出口室Ｒ２とに区分けしてある。このフィルター６０によって、入口室Ｒ１から出口室Ｒ２に透過した流体は、フィルター６０の孔径以上の微粒子を含まない流体となる。
【００１８】
入口室Ｒ１には側面視中央に側面視ドーナツ状の流入ノズル２０が設けられ、その流入ノズル２０の内周側に側面視円形状の注入ノズル４０が、また外周側に側面視ドーナツ状の注入ノズル５０が設けられ、流入ノズル２０、注入ノズル４０，５０からの各流体が、入口室Ｒ１に流入するようになっている。なお、この注入ノズル４０，５０には、フィルター６０の孔径以上の微粒子を含まない流体を流し込んでいる。
【００１９】
また、出口室Ｒ２には側面視円形状の流出バルブ３０が設けられ、出口室Ｒ２のフィルター処理後の流体が、流出バルブ３０から流出されるようになっている。
【００２０】
上記構成の不純物除去装置において、図３に示すように、外側の注入ノズル４０からの流体７０の流量が、内側の注入ノズル５０からの流体９０の流量より多い場合、流入ノズル２０からの流体は、外側の注入ノズル４０からの流体によって、フィルター６０のより中央側に寄せられ、フィルター６０の透過場所はフィルター６０のより中央側部分１３になる。逆に、内側の注入ノズル５０からの流体９０の流量が、外側の注入ノズル４０からの流体７０の流量より多い場合、流入ノズル２０からの流体は、内側の注入ノズル５０からの流体によって、フィルター６０のより外周側に寄せられ、フィルター６０の透過場所はより外周部分になる。
【００２１】
一方、外側の注入ノズル４０からの流体７０の流量と、内側の注入ノズル５０からの流体９０の流量とが同じ場合、流入ノズル２０からの流体は、そのままフィルター６０に向けて直進し、流入ノズル２０に対向するフィルター６０の位置で透過するようになる。
【００２２】
このように、この実施例２では、上記の実施例１の場合と同様に、注入ノズル４０，５０からの流量で、流入ノズル２０からの流体がフィルター６０を透過する透過場所を制御するようにしたので、フィルター６０が目詰まりを起こしはじめ、透過流量が減少すると、順次透過場所を変えることができ、したがって、フィルター６０の目詰まりによる透過流量の減少を抑制することができる。また長時間に渡って透過流量を安定させることができる。さらに、目詰まりによる容器１の急激な圧力上昇をさけることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】この発明の第１実施例における不純物除去装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】流入流体のフィルター透過場所を移動させる原理を示す図である。
【図３】この発明の第１実施例における不純物除去装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図４】従来の不純物除去装置の概略構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１    容器
２    流入ノズル
３    流出ノズル
４    注入ノズル
５    注入ノズル
６    フィルター
７    注入ノズル４からの流体
８    流入ノズル２からの流体
９    注入ノズル５からの流体
１０    容器
１１，１２，１３    フィルター透過場所
２０    流入ノズル
３０    流出ノズル
４０    注入ノズル
５０    注入ノズル
６０    フィルター
７０    注入ノズル４０からの流体
８０    流入ノズル２０からの流体
９０    注入ノズル５０からの流体
Ｒ１    入口室
Ｒ２    出口室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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