(57)【要約】  【目的】  多層透明体内の中間層の存在の有無を非接触で短時間に検査する。  【構成】  プリフォーム10の胴部11にレーザ31から斜めにレーザ光を照射し，プリフォーム10の少なくとも外周面10Ａ，バリア層19および内周面10Ｂからの光像をカメラ32により撮像する。カメラ32から出力される信号によって表わされる画像上において，少なくともバリア層19からの光像を表わす画像に基づいて，少なくともバリア層19の存在の有無の判定を含む検査を行う。  【選択図】    図３
2005049258.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多層透明体の表面に斜めにレーザ光を照射するレーザ光源，
多層透明体の少なくとも表面，中間層および裏面からの光による光像を互いに分離した状態で撮像するように配置された撮像装置，ならびに
上記撮像装置から出力される画像データ上において，少なくとも中間層からの光による光像を表わす画像データに基づいて，少なくとも中間層の存在の有無の判定を含む検査結果を表わすデータを生成する画像処理装置，
を備えた多層透明体の検査装置。
【請求項２】
多層透明体の表面に斜めにレーザ光を照射し，
多層透明体の少なくとも表面，中間層および裏面からの光による光像を互いに分離した状態で撮像するように撮像装置を配置して上記光像を撮像し，
上記撮像装置から出力される信号によって表わされる画像上において少なくとも中間層からの光像を表わす画像に基づいて，少なくとも中間層の存在の有無の判定を含む検査を行う，
多層透明体の検査方法。
【請求項３】
多層透明体の端面付近においてその表面にレーザ光を照射するレーザ光源，
多層透明体の上記端面の光像を撮像する撮像装置，ならびに
上記撮像装置から出力される上記端面の光像を表わす画像データ上において，少なくとも多層透明体の中間層からの光による光像を表わす画像データに基づいて，少なくとも中間層の存在の有無の判定を含む検査結果を表わすデータを生成する画像処理装置，
を備えた多層透明体の検査装置。
【請求項４】
多層透明体の端面付近においてその表面にレーザ光を照射し，
多層透明体の上記端面の光像を撮像装置により撮像し，
上記撮像装置から出力される信号により表わされる上記端面の光像を表わす画像上において，少なくとも多層透明体の中間層からの光による光像の画像に基づいて，少なくとも中間層の存在の有無の判定を含む検査を行う，
多層透明体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は，多層透明体の検査装置および方法に関し，特に多層透明体内の中間層の少なくとも存在の有無を検査する装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
被検査対象である多層透明体の一例として，ＰＥＴボトル（ＰＥＴ：polyethylene terephthalateポリエチレンテレフタレート）を成形するためのプリフォーム（Preform ）がある。ＰＥＴボトルはきわめて薄く成形されているので酸素や水蒸気がわずかに透過することがある。これを防止するために，プリフォーム内に中間層としてナイロン樹脂をベースとしたバリア層を設ける。プリフォームを成形する工程でその内部にバリア層を埋設し，そのプリフォームをブロー成形等により拡張してＰＥＴボトルにする。
【０００３】
検査装置はプリフォームの段階でプリフォームの所定範囲内に（所定厚さ以上の）バリア層が存在するかどうかを検査する。公知の検査装置として赤外線を用いたものがある。この装置はプリフォームの口から内部に赤外線の光源を挿入し，プリフォームの周壁面におけるナイロンバリア層による赤外線吸収度を測定するものである。しかしながら，この検査装置は，プリフォーム内に赤外線光源を挿入しなければならないこと，測定に２，３秒ないし数秒の時間がかかることから，プリフォームのサンプル検査は可能であるが，製造されるすべてのプリフォームの検査（全数検査）には適していない。
【０００４】
他の検査装置として超音波を用いたものもあるが，この方式のものは超音波ヘッドを検査すべき対象物に接触させなければならないので，上記と同様の問題点がある。
【発明の開示】
【０００５】
この発明は，多層透明体をその外部から非接触で検査できるようにすることを目的とする。
【０００６】
この発明はまた，多層透明体の検査を短時間で行なえるようにすることを目的とする。
【０００７】
この発明は，搬送途上にある多層透明体の検査を可能とすることを目的とする。
【０００８】
この発明において，検査とは検出および計測を含むものである。したがって，検査には多層透明体の中間層の存在の有無の検出のみならず，多層透明体の厚さの測定，中間層の多層透明体内における位置および厚さの測定，中間層の厚さの測定に基づく中間層の適否の判断等が含まれる。中間層は一層とは限らず，複数層でもよい。
【０００９】
またこの発明において，多層透明体とは厚さ方向に２層以上の透明体を指す。透明体とは検査に使用するレーザ光が大きく減衰することなく透過するものであれば良く，無色透明体のみならず着色透明体を含む。透明体の材料には，ガラス，合成樹脂，プラスチックなどがある。
【００１０】
また，多層透明体は，板状（平板状または曲板状）のもの，ボトル状のもの，コップ状のもの，コンテナ状のもの，箱状のもの等，いかなる形状のものでも，この発明による検査装置および検査方法は適用可能である。
【００１１】
この発明による多層透明体の第１の検査装置は，多層透明体の表面に斜めにレーザ光を照射するレーザ光源，多層透明体の少なくとも表面，中間層および裏面からの光による光像を互いに分離した状態で撮像するように配置された撮像装置，ならびに上記撮像装置から出力される画像データ上において，少なくとも中間層からの光による光像を表わす画像データに基づいて，少なくとも中間層の存在の有無の判定を含む検査結果を表わすデータを生成する画像処理装置を備えているものである。
【００１２】
この発明による多層透明体の第１の検査方法は，多層透明体の表面に斜めにレーザ光を照射し，多層透明体の少なくとも表面，中間層および裏面からの光による光像を互いに分離した状態で撮像するように撮像装置を配置して上記光像を撮像し，上記撮像装置から出力される信号によって表わされる画像上において少なくとも中間層からの光像を表わす画像に基づいて，少なくとも中間層の存在の有無の判定を含む検査を行うものである。
【００１３】
多層透明体がボトル状，コップ状，コンテナ状，箱状等の内部空間を形成するように壁面を有する形状のものである場合には（壁面は閉じていても，一部が開放されていてもよい），多層透明体の表面はその外面であり，裏面は内面に相当する。この場合には，レーザ光源および撮像装置は当然ながら，多層透明体の外側に配置される。
【００１４】
用いるレーザ光の波長は，多層透明体および中間層の材質等に応じて定めることができる。調整の容易性，危険性の排除等の観点からは可視光が好ましいが，紫外光，赤外光を用いても検査は可能である。
【００１５】
この発明によると，多層透明体の表面にレーザ光を斜めに照射する。レーザ光は多層透明体をその厚さ方向に斜めに透過する。レーザ光は，多層透明体の表面および裏面で反射する。またレーザ光は，中間層がもし存在すれば，中間層の界面で反射するか，中間層の材質によっては中間層の内部または界面で散乱するか，または中間層が発光性の物質を含む場合には発光する。いずれにしても，これらの光は多層透明体の外部に出射する。
【００１６】
レーザ光は多層透明体の表面に斜めに照射されるから，多層透明体の表面をレーザ光の照射方向とは異なる角度で（たとえば多層透明体の表面に垂直に）みた場合には，多層透明体の表面，中間層（中間層が，もし存在すれば）および裏面からの光は異なる位置に見える。撮像装置により，これらの異なる位置からの光による光像が，一画面内で，互いに識別可能（判別可能）に分離した状態で撮像される。
【００１７】
したがって，撮像装置から出力される信号によって表わされる画像には，多層透明体の表面，中間層（もし，存在すれば）および裏面からの光による輝点（光像）が現れる。これらの輝点の存在（所定の輝度レベル以上の輝点の存在），輝点のレベル，輝点間の距離等を表わすデータを画像処理により生成することにより，または上記画像を目視することにより，少なくとも中間層の存在の有無や位置を検査することができ，場合によってはその厚さ等の検出も可能である。
【００１８】
この発明によると，多層透明体を，多層透明体が内部空間を形成する形状のものであったとしても，外部から非接触で検査することが可能である。また，パルス状のレーザ光の照射と撮像（または画像データの取込み）のタイミングを同期させることにより短時間で検査が可能となる。さらに，搬送される多層透明体が検査位置に到ったタイミングで検査を行うことが可能であり，多層透明体を搬送しながら検査を行うことができ，その全数検査も可能となる。
【００１９】
多層透明体を搬送しながら検査する態様では，多層透明体を保持しながら搬送する搬送装置と，搬送される多層透明体が検査位置に至ったことを検出する検出装置が設けられる。搬送される多層透明体が検査位置に至ったことの検出に応答して，多層透明体にレーザ光源からパルス状のレーザ光が照射され，かつ撮像装置による光像の撮像，または撮像装置からの画像データの取込みが行なわれる。
【００２０】
この発明による多層透明体の第２の検査装置は，多層透明体の端面付近においてその表面にレーザ光を照射するレーザ光源，多層透明体の上記端面の光像を撮像する撮像装置，ならびに上記撮像装置から出力される上記端面の光像を表わす画像データ上において，少なくとも多層透明体の中間層からの光による光像を表わす画像データに基づいて，少なくとも中間層の存在の有無の判定を含む検査結果を表わすデータを生成する画像処理装置を備えている。
【００２１】
この発明による多層透明体の第２の検査方法は，多層透明体の端面付近においてその表面にレーザ光を照射し，多層透明体の上記端面の光像を撮像装置により撮像し，上記撮像装置から出力される信号により表わされる上記端面の光像を表わす画像上において，少なくとも多層透明体の中間層からの光による光像の画像に基づいて，少なくとも中間層の存在の有無を含む検査を行うものである。
【００２２】
第２の検査装置および方法においても，多層透明体がボトル状，コップ状，コンテナ状，箱状等の内部空間を形成するよう壁面を有する形状である場合には（壁面は一部が開放していて端面がある），多層透明体の表面はその外面であり，裏面は内面に相当する。多層透明体は外部に露出した端面を持つことが前提である。当然ながら，レーザ光源および撮像装置は多層透明体の外側に配置される。また，用いるレーザ光の波長は，多層透明体および中間層の材質等に応じて定めることができる。調整の容易性，危険性の排除等の観点からは可視光が好ましいが，紫外光，赤外光を用いても検査は可能である。
【００２３】
この発明によると，多層透明体の端面の近傍において，多層透明体の表面にレーザ光を，たとえば表面にほぼ垂直に，または表面に斜めに照射する。レーザ光は多層透明体をその厚さ方向に透過する。レーザ光は，多層透明体の表面および裏面で反射する（一部は散乱する）。またレーザ光は，中間層がもし存在すれば，中間層の界面で反射するか，中間層の材質によっては中間層の内部または界面で散乱するか，または中間層が発光性の物質を含む場合には発光する。これらの光の一部は，厚さ方向とは垂直な方向である端面方向にも伝搬する。
【００２４】
多層透明体の上記端面の光像が撮像装置により撮像される。撮像装置から出力される信号によって表わされる画像には，多層透明体の表面または裏面に沿って端面の方向に伝搬する光による端面の輪郭を表わす光像が現れ，中間層が存在する場合には，中間層からの光による光像が現れる。特に，中間層で散乱が生じるか，または発光が生じている場合には，中間層からの光による高い輝度の光像が現れる。これらの多層透明体の表面，裏面または中間層（もし存在すれば）からの光による像の画像解析処理により，または上記光像を目視することにより，少なくとも中間層の存在の有無，その位置，その厚さ等を検査することが可能となる。
【００２５】
この発明によると，多層透明体を，多層透明体が内部空間を形成する形状のものであったとしても，外部から非接触で検査することが可能である。また，パルス状のレーザ光の照射と光像（または画像データの取込み）のタイミングを同期させることにより短時間で検査が可能となる。さらに，搬送される多層透明体が検査位置に到ったタイミングで検査を行うことが可能であり，多層透明体を搬送しながら検査を行うことができ，その全数検査も可能となる。
【００２６】
多層透明体を搬送しながら検査する態様では，多層透明体を保持しながら搬送する搬送装置と，搬送される多層透明体が検査位置に至ったことを検出する検出装置が設けられる。搬送される多層透明体が検査位置に至ったことの検出に応答して，多層透明体にレーザ光源から，パルス状のレーザ光が照射され，かつ撮像装置による光像の撮像，または撮像装置からの画像データの取込みが行なわれる。
【実施例】
【００２７】
図１は被検査対象である多層透明体の一例を示すものであり，ここでは多層透明体はＰＥＴボトルのプリフォームである。
【００２８】
ＰＥＴボトルのプリフォーム10は，円筒状の胴部11と，この胴部11の上部に連続する口部13と，胴部11と口部13との間に外方に突出するように形成された鍔部12と，胴部11の底面を閉鎖する湾曲した底部14とが一体的に形成されているものである。口部13の外周面にはキャップがねじ嵌められる雄ねじが形成されるが，図示が省略されている。
【００２９】
正常なプリフォーム10においては，胴部11の全長にわたって，かつ全周囲に，胴部11内にナイロンをベースとしたバリア層（酸素バリア層，水蒸気バリア層など）（中間層）19が設けられている。バリア層19は口部13および底部14には設けられていない。一般に，プリフォーム10およびバリア層19は透明である。バリア層19は着色されることもある。
【００３０】
このプリフォーム10はＰＥＴボトルの最終製造工程に送られ，ブロー成形等により，胴部11と底部14が拡張され，ＰＥＴボトルとなる。
【００３１】
この実施例では，バリア層19が胴部11に存在すること（バリア層19が適正範囲内の厚さを持っていること），およびバリア層が口部13に存在しないことを確かめるために検査が行なわれる。
【００３２】
図２および図３は検査システム（検査機）全体の一部を示すものである。検査システムは，プリフォームの製造工程とＰＥＴボトルの最終製造工程との間に配置される。
【００３３】
プリフォーム10はスターホイール（搬送装置）20の周縁に形成された複数の保持切欠21にそれぞれその鍔部12が掛かった状態で，垂直に保持される。スターホイール20の回転に伴ってプリフォーム10は検査位置に搬送されてくる。
【００３４】
検査位置には，２種類の検査装置が配置されている。第１の検査装置は，プリフォーム10の胴部11にバリア層19が正常に存在することを確認するものであり，第２の検査装置はプリフォーム10の口部13にバリア層が存在しないことを確認するものである。
【００３５】
第１の検査装置30は，レーザ（装置）31と撮像装置（電子カメラ）32とを含む。レーザ31は，検査位置に至ったプリフォーム10の胴部11の外周面に斜め下方からレーザ光を照射する姿勢で検査位置の近傍に配置，固定されている。カメラ32は，レーザ光が照射されたプリフォーム10の胴部11から外方に（水平方向に）出射する光による光像を水平方向から撮像する姿勢で検査位置の近傍に配置，固定されている。
【００３６】
第２の検査装置40は，レーザ（装置）41と撮像装置（電子カメラ）42とを含む。レーザ41は，検査位置に至ったプリフォーム10の口部13の上端付近の位置において，口部13の外周面に，水平方向から，斜めにレーザ光を照射する姿勢で，検査位置の近傍に配置，固定されている。カメラ42は，レーザ41によりレーザ光が照射されたプリフォーム10の口部13の上端面13Ａを，検査位置において撮像するように，検査位置の真上に垂直下方に向けて配置，固定されている。
【００３７】
図４は検査装置の電気的構成を示すものであり，上記第１の検査装置30および第２の検査装置40に共用される構成（各種装置）を含む。
【００３８】
トリガ発生装置（位置検出装置）53は，スターホイール20に保持された各プリフォーム10が検査位置に至ったことを検知してトリガ信号を発生するものである。トリガ発生装置53は，たとえば，スターホイール20の回転角度位置を検出する回転トランスデューサ装置，検査位置に至ったプリフォーム10を検知する光電検出装置等により実現される。トリガ信号は，レーザ31，41を駆動する電源装置33，43，画像処理装置51および判定装置50に与えられる。
【００３９】
電源装置33，43は，入力するトリガ信号に応答して，レーザ31，41からそれぞれパルス状のレーザ光を発生するようにレーザ31，41を駆動する。レーザ31，41は，たとえば，ガリウムネオンレーザ（ダイオード）（波長 405nm），ＹＡＧレーザ（波長 532nm）等である。
【００４０】
カメラ32，42はＣＣＤ等の固体電子撮像素子を含み，その映像信号はモニタ表示装置52に与えられ，カメラ32，42によって撮像されたプリフォームの光像が表示装置52に表示される。また，カメラ32，42から出力される画像データは画像処理装置51に与えられる。
【００４１】
画像処理装置51は与えられるトリガ信号に応答して，カメラ32，42から入力する画像データを取込み，後述する画像処理を行う。トリガ信号をカメラ32，42に与え，トリガ信号に応答してプリフォームからの光像を撮像するようにしてもよい。
【００４２】
判定装置50は画像処理装置51による画像処理結果に基づいて，プリフォームが正常なものか，異常なものかを判定して，その判定結果を出力する。たとえば，判定装置50によって異常と判定されたプリフォームは，製造工程から排除され，次のＰＥＴボトル製造工程には移送されない。
【００４３】
画像処理装置51および判定装置50の一方または両方をコンピュータシステムにより実現することもできる。
【００４４】
図５は第１の検査装置30による検査の原理を示すものである。上記の通り，レーザ31からのレーザ光はプリフォーム10の胴部11の外周面に斜め下方から照射される（図５には屈折によるレーザ光の偏向までは描かれていない）。レーザ光は胴部11の外周面（表面）10Ａおよび内周面（裏面）10Ｂで反射する（正反射，乱反射を含む，以下同じ）（これらの反射光の一部，すなわち，水平方向に外部に向かう光をそれぞれＡ１，Ｂ１で示す）。また，胴部11の内部にバリア層19が存在すれば，レーザ光はバリア層19の界面で反射し，バリア層19の材質によってはバリア層19の内部で乱反射（散乱）し，また，バリア層19が発光体を含む場合には発光し，その光の一部が外方に向かう（水平方向に外方に向かう光をＣ１で示す）。
【００４５】
このようにして，レーザ光が照射されたプリフォーム10の胴部11の部分から外方に向かう光による光像がカメラ32によって撮像される。
【００４６】
図６および図７はカメラ32によって撮像された光像の例を示すものである。図６はバリア層19が存在しない場合の光像を，図７はバリア層が存在する場合の光像をそれぞれ示している。
【００４７】
上述のように，プリフォーム10の胴部11の外周面は斜め下方からレーザ光によって照射される。この結果，胴部11の各点から水平方向外方に向かう光による光像は異なる位置に現れる。
【００４８】
図６において，胴部11の外周面10Ａからの光Ａ１による光像（輝点）がａ１で，胴部11の内周面10Ｂからの光Ｂ１による光像（輝点）がｂ１でそれぞれ示されている。これらの光像ａ１とｂ１を結ぶ線ｄ１は，胴部11の内部を通過するレーザ光による光像である。
【００４９】
図７において，光像ｃ１は胴部11の内部に存在するバリア層19からの光によるものである。
【００５０】
画像処理装置51は，カメラ32から得られる画像データ上において，上記の光像ａ１，ｂ１，ｃ１，ｄ１が現れる範囲（この範囲は固定的に定めることができる）を囲むウィンドウＷ１を設定し，このウィンドウＷ１内の所定輝度を超える輝点を捜し，その画面上における位置と輝点間の距離を算出する。輝点が２つであって，それらの間の距離が，胴部11の厚さに相当する（胴部11を厚さ方向に斜めに横切ったときの外周面に沿う距離。すなわち図５のＡ１とＢ１との間の距離）所定の範囲内にあれば（または，２つの輝度間の距離が所定値以上，もしくは所定値以下であれば），バリア層なしと判定する。
【００５１】
また輝点が３つ（またはそれ以上）存在すれば，要すれば，両端の輝点が上記の胴部11の厚さに相当する所定範囲内にあることを条件に，バリア層ありと判定する。必要ならば，さらに中間の輝点が，両端の輝点から（または，いずれか一方の輝点から）所定距離以上離れていれば，バリア層が正常に存在すると判定する。中間の輝点が両端の輝点に近づきすぎる（所定距離以上離れていない）場合にはバリア層異常と判定する。これらの判定は判定装置50により行ってもよい。
【００５２】
第１の検査装置30は上記実施例では，プリフォーム10の胴部11の一点のみを検査しているが，レーザ31とカメラ32との対を複数設けて，プリフォーム10の胴部11の複数の点について検査し，各点の検査結果を総合して（たとえば，一点でもバリア層なしと判定されれば，バリア層異常とする）判定しもよい。また，プリフォーム10をスターホイール20の各保持位置で回転させ，複数の回転角度位置で検査を行うようしてもよい。
【００５３】
図８および図９は，第２の検査装置40による検査の原理を示すものである。
【００５４】
レーザ41からのレーザ光は，垂直に保持されたプリフォーム10の口部13の上端面13Ａよりも少し下の位置に，水平方向から斜めに入射する。したがって，レーザ光は，口部13を斜めに２箇所（ＸとＹで示す）で横切る。好ましくは，シリンドリカルレンズ（図示略）を用いてレーザ光を水平方向に広げる。この場合には，バリア層19からの光の範囲が広がる。もちろん，図11に示すように，レーザ41からのレーザ光を広げなくともよい。
【００５５】
レーザ光は上記の２箇所Ｘ，Ｙにおいて，口部13の外周面Ａ２，Ａ３と内周面Ｂ２，Ｂ３で反射する。また，口部13の内部にバリア層19が存在すれば，このバリア層19からの反射光，乱反射光（散乱）または発光が外部に出射する（Ｃ２で示す）。
【００５６】
図10はカメラ42が口部13の上端面13Ａを上方から撮像して得られる画像の例を示している。口部13の外周面Ａ２，Ａ３，内周面Ｂ２，Ｂ３からの反射光のうち，上方に向かう光は少ないから，その光像の輝度は比較的低い（これらの光像をａ２，ａ３，ｂ２，ｂ３で示す）。口部13の内部にバリア層19が存在したとすると，バリア層19内での散乱光や発光による光は上方にも向かうから，バリア層19からの光による光像ｃ２の輝度はかなり高い。
【００５７】
画像処理装置51は，カメラ42から得られる画像データ上において，レーザ光が通過する口部13の２箇所Ｘ，Ｙに相当する位置に，バリア層19からの光による光像を検知する範囲にウィンドウＷ２，Ｗ３を設定する。そして，このウィンドウＷ２，Ｗ３内の少なくとも一方に，所定輝度以上の光像が存在すれば，口部13にバリア層があると判定する。ウィンドウＷ２，Ｗ３内において所定面積（画素数）以上の光像の輝度が所定値未満であれば，バリア層なしと判定する。
【００５８】
第２の検査装置40においても，複数方向からレーザ光を照射してもよいし，プリフォーム10を回転させながら，複数の角度位置で検査を行ってもよい。
【００５９】
判定装置50は，第１の検査装置30と第２の検査装置40による各判定結果に基づいて，最終的に，プリフォームが正常であるか，異常であるかを判定する。たとえば，第１の検査装置30による判定結果がバリア層あり（正常なバリア層あり）であり，第２の検査装置40による判定結果がバリア層なしであれば，正常なプリフォームと判定し，上記以外の場合は異常なプリフォームと判定する。
【００６０】
上記実施例では，検査対象がプリフォームであって，プリフォームはスターホイールによって保持されて搬送されているが，板状，その他の形状の多層透明体にもこの発明は適用可能であるし，多層透明体の搬送装置にはそれに適したさまざまな装置がある。そして，多層透明体を検査位置で角度を変えて多点について検査することも可能であるのはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】プリフォームの一部断面拡大図である。
【図２】検査システム（検査機）の一部を示す平面図である。
【図３】検査システム（検査機）の一部を示す断面図である。
【図４】検査システム（検査機）の電気的構成を示すブロック図である。
【図５】第１の検査装置による検査原理を示す断面図である。
【図６】撮像された画像の例を示すもので，バリア層が存在しない場合である。
【図７】撮像された画像の例を示すもので，バリア層が存在する場合である。
【図８】第２の検査装置による検査原理を示す平面図である。
【図９】第２の検査装置による検査原理を示す断面図である。
【図１０】撮像された画像の例を示す。
【図１１】変形例を示す図８に相当する平面図である。
【符号の説明】
【００６２】
10  プリフォーム
10Ａ  外周面
10Ｂ  内周面
11  胴部
13  口部
13Ａ  上端面
31，41  レーザ
32，42  カメラ（撮像装置）
51  画像処理装置
【図１】
2005049258.tif 000003
【図２】
2005049258.tif 000004
【図３】
2005049258.tif 000005
【図４】
2005049258.tif 000006
【図５】
2005049258.tif 000007
【図６】
2005049258.tif 000008
【図７】
2005049258.tif 000009
【図８】
2005049258.tif 000010
【図９】
2005049258.tif 000011
【図１０】
2005049258.tif 000012
【図１１】
2005049258.tif 000013