(57)【要約】【課題】ブレードに付着した付着物を確実に除去することができ、バリアリブ状物を高精度かつ高効率に形成できることが可能になること。【解決手段】ブレード洗浄装置１０は、振動洗浄機構１１とブラシ１２とを備える。振動洗浄機構１１は、ブレード５５が洗浄槽１４内に入れられたとき、超音波発振器１６によって超音波振動子１５が駆動されることで超音波振動子１５が洗浄槽１４内の洗浄液１７に超音波振動を付与し、ブレード５５に付着しているペーストやその以外の異物からなる付着物を洗浄する。ブラシ１２は、それぞれが線状体をなしており、その基部がローラ１８の周囲に植設されて先端が外方を向くようになっている。【選択図】  図３
2005066402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられたペースト膜を掻き、該ペースト膜からバリアリブ状物を形成するバリアリブ状物製造装置のブレードを洗浄液により洗浄するためのブレード洗浄装置であって、
前記ブレードの洗浄液に超音波振動を付与し、前記ブレードに付着している付着物を除去する振動洗浄手段と、
前記ブレードと接触して前記付着物を除去するブラシとを備えてなることを特徴とするブレード洗浄装置。
【請求項２】
請求項１記載のブレード洗浄装置において、
前記ブラシは、軸周りに回転するローラの表面に植設されており、各々の先端が先細形状に形成されていることを特徴とするブレード洗浄装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載のブレード洗浄装置において、
前記ブレードに対してエアを吹きかけて前記付着物を除去するエア洗浄機構を備えていることを特徴とするブレード洗浄装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか記載のブレード洗浄装置において、
前記洗浄液を貯留する洗浄槽と、該洗浄槽内の洗浄液を浄化する洗浄液浄化機構と、前記ブラシを軸周りに回転させる駆動機構と、前記ブレードを洗浄液に対して進退移動させる移動機構とを備えることを特徴とするブレード洗浄装置。
【請求項５】
請求項４記載のブレード洗浄装置において、
前記洗浄液浄化機構は、前記洗浄槽から洗浄液を取出す一方、該洗浄液を洗浄槽に戻す配管と、該配管の途中経路に設けられた濾過器とを有していることを特徴とするブレード洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ブレード洗浄装置に係り、さらに詳しくは、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）に使用される基板にバリアリブ状物を形成するバリアリブ状物製造装置において、基板上に設けられたペースト膜を掻くことで、ペースト膜からバリアリブ状物を形成するブレードを洗浄する洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＤＰに使用される基板にバリアリブ状物を製造する製造装置として、例えば、図５に示す構成のものが提案されている。
このバリアリブ状物の製造装置５１は、基台５２と、基台５２の上方に設けられ、水平方向（ＡＢ方向）に移動可能な移動ヘッド５３と、移動ヘッド５３に設けられたエアシリンダ５７と、エアシリンダ５７に支持されたブレードホルダ５４と、このブレードホルダ５４に保持されたブレード５５とを備えている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
基台５２は、その上面が水平面に形成され、この上面に基板７０が配置されている。この基板７０の表面には、セラミックペーストが膜状に塗布されてなるペースト膜７１が形成されている。このセラミックペーストは、樹脂及び溶剤に、ガラス粉末、若しくはガラス・セラミック混合粉末を混練したものである。
【０００４】
移動ヘッド５３は、基台５２の支柱５２ａに回転可能に取り付けられた一対のスクリューシャフト５６に連結されており、このスクリューシャフト５６が回転することによりＡＢ方向に移動するようになっている。移動ヘッド５３には左右一対のエアシリンダ５７が設けられており、このエアシリンダ５７のロッド５７ａの下端部にブレードホルダ５４が支持されている。
【０００５】
ブレードホルダ５４は、エアタンク５８からエア圧調整装置５９に供給された圧縮空気が所定のエア圧になるように調整された後、この調整された圧縮空気がエアシリンダ５７に供給されて、所定の速度、駆動力で垂直方向（ＣＤ方向）に移動可能とされている。このブレードホルダ５４の下部には、ブレード５５を保持するためのスリット５４ａが移動ヘッド５３の移動方向に直交する方向（ＥＦ方向）に形成されている。
【０００６】
ブレード５５は、金属、セラミック若しくは樹脂等により板状に形成され、その下端部には複数のくし歯５５ａが形成されている。また、このブレード５５は、その上端部をブレードホルダ５４のスリット５４ａに挿入することによりブレードホルダ５４に保持され、その下端部が基台５２及び基板７０の表面に対して水平になるように配置されている。
【０００７】
以上のように構成されたバリアリブ状物の製造装置５１においては、図６に示すように、ブレード５５が基台７０に対して相対的に水平方向に移動しつつ、くし歯５５ａがペースト膜７１を掻くことにより、基板７０の表面にくし歯５５ａに対応する形状のバリアリブ状物７２がブレード５５の移動方向に沿って形成される。この際、くし歯５５ａに当接する部分のペースト膜７１は、くし歯５５ａにより掻きとられ（以下、このペーストを「ペースト７３」という）、くし歯５５ａ同士の間の隙間に回り込み、この隙間を通過することになる。
従って、バリアリブ状物７２は、くし歯５５ａ同士の間の隙間に回り込んだペースト膜７３と、くし歯５５ａ間の隙間に当初から位置していたペースト膜７１とにより形成されることになる。
【０００８】
【特許文献１】
特許第３３４６３５６号公報（第６−７頁、図１−図７）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のバリアリブ状物の製造装置においては、上述したように、バリアリブ状物を形成する際、くし歯により掻かれたペースト膜の一部（ペースト）が、くし歯により掻きとられ、ブレードに付着する。この時、バリアリブ状物を形成する間隔が長期間空く場合、付着したペーストを除去せずに新たにバリアリブ状物を形成しようとすると、形成方向の始端部よりバリアリブ状物が倒れ、基板から剥離、またはバリアリブ状物同士が密着する等の乱れを生じるという問題があった。また、加工時若しくは輸送時に付着する異物を除去していない、新規なブレードを用いてバリアリブ状物を形成しようとする場合にも、上記と同様な問題があった。
【００１０】
そして、現在、ブレードに付着したペースト若しくは異物を除去する装置としては、有効、かつ適切なものが提供されていないのが実情である。
【００１１】
この発明は、このような事情を考慮してなされた装置で、その目的は、バリアリブ状物製造装置のブレードに付着したペースト若しくは異物を、短時間に、かつ確実に除去することができ、前記ブレードを用いることにより、バリアリブ状物を高精度かつ乱れなく形成することが可能となるブレード洗浄装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、基板上に設けられたペースト膜を掻き、該ペースト膜からバリアリブ状物を形成するバリアリブ状物製造装置のブレードを洗浄液により洗浄するためのブレード洗浄装置であって、前記ブレードの洗浄液に超音波振動を付与し、前記ブレードに付着している付着物を除去する振動洗浄手段と、前記ブレードと接触して前記付着物を除去するブラシとを備えてなることを特徴とする。
【００１３】
この発明に係るブレード洗浄装置によれば、洗浄液に超音波振動が付与されているので、洗浄液がブレードに付着しているペーストやそれ以外の異物を除去することができ、またブラシがブレードに接触することでブラシに付着している付着物を除去することができ、従って、洗浄液が超音波振動によってブレードの付着物を除去し、またブラシがブレードと接触して付着物を掻き取るので、ブレードの付着物を良好に除去することができ、良好な洗浄を実現することができる。
【００１４】
請求項２に係る発明は、請求項１記載のブレード洗浄装置において、前記ブラシは、軸周りに回転するローラの表面に植設されており、各々の先端が先細形状に形成されていることを特徴とする。
この発明に係るブレード洗浄装置によれば、ブラシの先端が先細形状に形成され、その先端がブレードのくし歯の隙間に確実に入り込むので、くし歯の隙間に付着している付着物を掻き取ることができ、従って、くし歯間の隙間のような隘路に存在している付着物でも良好に除去することができる。
【００１５】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２記載のブレード洗浄装置において、前記ブレードに対してエアを吹きかけて前記付着物を除去するエア洗浄機構を備えていることを特徴とする。
この発明に係るブレード洗浄装置によれば、エア洗浄機構によってエアをブレードに吹きかけるので、ブレードに残存している付着物を除去することができるばかりでなく、ブレードを乾燥させることもできる。
【００１６】
請求項４に係る発明は、請求項１から３のいずれか記載のブレード洗浄装置において、前記洗浄液を貯留する洗浄槽と、該洗浄槽内の洗浄液を浄化する洗浄液浄化機構と、前記ブラシを軸周りに回転させる駆動機構と、前記ブレードを洗浄液に対して進退移動させる移動機構とを備えることを特徴とする。
【００１７】
この発明に係るブレード洗浄装置によれば、洗浄槽と洗浄液浄化機構と駆動機構と移動機構とを備えているので、ブレードを洗浄槽に自動的に出し入れすることができ、ブレードの洗浄の自動化を実現することができる。
【００１８】
請求項５に係る発明は、請求項４記載のブレード洗浄装置において、前記洗浄液浄化機構は、前記洗浄槽から洗浄液を取出す一方、該洗浄液を洗浄槽に戻す給排配管と、該給排配管の途中経路に設けられた濾過器とを有していることを特徴とする。
【００１９】
この発明に係るブレード洗浄装置によれば、洗浄液浄化機構が給排配管と濾過器とを有し、洗浄槽内の洗浄液を浄化するので、洗浄槽内の洗浄液が洗浄を繰り返すにつれて徐々に汚染されるものの、洗浄液の洗浄効率を維持することができるので、ブレードに対する洗浄効率を良好に保つことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。図１から図４はこの発明の一実施の形態に係るブレード洗浄装置を示す図であって、図１はブレード洗浄装置を示す概略平面図、図２は同じくブレード洗浄装置を示す縦断面の正面図、図３は同じくブレード洗浄装置を示す縦断面の拡大側面図、図４はブラシを示す説明図である。
図１〜図３に示すブレード洗浄装置１０は、図５にて示したブレード５５に付着しているペースト７１、７３やそれ以外の異物からなる付着物を除去するためのものであって、大別すると、振動洗浄機構１１と、ブラシ１２とを備えている。
なお、ブレード５５は、バリアリブ状物製造装置５１に着脱可能に取り付けられてあって、基板７０上に設けられたペースト膜７１を掻くことで、該ペースト膜７１からバリアリブ状物７２を形成するようになっており（図５参照）、ペースト７３などが付着物として付着したとき、前記製造装置５１から取り外された後、ブレード洗浄装置１０にセットされて洗浄される。
【００２１】
そして、ブレード洗浄装置１０の振動洗浄機構１１は、図２及び図３に示すように、装置筐体１３内に設置された洗浄槽１４の底部にその長さ方向に沿って複数配設された超音波振動子１５と、それら各超音波振動子１５を駆動する超音波発振器１６とを備え、ブレード５５が洗浄槽１４内に入れられたとき、超音波発振器１６によって超音波振動子１５が駆動されることで、超音波振動子１５が洗浄槽１４内の洗浄液１７に超音波振動を付与し、これによって洗浄槽１４内のブレード５５に付着しているペースト７１、７３やその以外の異物からなる付着物を洗浄するようになっている。
【００２２】
この場合、洗浄槽１４内の洗浄液１７としては、通常は単に浄化された水若しくは有機溶剤でもよいが、必要によってはブレード５５に付着しているペーストや異物をより効果的に洗い落とす洗剤等を混入した水若しくは有機溶剤を使用してもよい。洗剤としては、基板７０に設けられるペースト膜７１の材質に応じて適宜選定するのが好ましい。
【００２３】
ブラシ１２は、図３に示すように、洗浄槽１４内に回転可能に支持されたローラ１８に植設されており、後述する駆動機構２０によって軸周りに回転する。このブラシ１２は、図４（ａ）及び（ｂ）に示すように細長い線状体をなしており、その基部がローラ１８の周囲に植設されて先端が外方を向くようになっている。ローラ１８は、図２に示すように、洗浄槽１４の長さ方向に沿って形成された長尺状をなしている。
【００２４】
そして、洗浄槽１４内にブレード５５が入れられたとき、ローラ１８が駆動機構２０によって駆動されることでブラシ１２が軸周りに回転し、これによって、ブラシ１２の先端部がブレード５５のくし歯５５ａ（図５参照）間の隙間に入り込んでくし歯５５ａ及びその周囲に付着している付着物を掻き落とすようになっている。
【００２５】
そのため、ブラシ１２は、ブレード５５のくし歯５５ａ間に確実に入り込めるような大きさをなしており、本例では、例えば合成樹脂によって長さ１０〜３０ｍｍ程度、太さが０．０５〜０．２０ｍｍ程度の線状体をなしていて、先端部が図４（ｂ）に示すように先端に至るに従って次第に先細となる形状に形成されている。但し、ブラシ１２の長さ及び太さは、上記数値に限られるものではなく、ブレード５５を構成するくし歯５５ａ間の隙間の長さ、及び幅などによって適宜変更することができる。また、合成樹脂製のブラシ１２としては、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリメタクリル酸メチル、プロピオン酸セルロース、ポリウレタン、ポリアミド、ＡＢＳなどであるが、それ以外のものであってもよく、要は、ブレード５５にキズなどを付けるおそれがなくて、ブレード５５に付着している付着物を除去できる線状体のブラシ１２であればよい。
【００２６】
駆動機構２０は、図１及び図３に示すように駆動源としてのモータ２１と、該モータ２１の出力軸に連結されたロッド２２ａと、これと平行に設けられたロッド２２ｂと、これら双方２２ａ、２２ｂ間に掛け回された伝達体としてのベルト２３ａと、図２に示すように、ロッド２２ｂ及びローラ１８間に掛け回されたベルト２３ｂとからなり、モータ２１によってロッド２２ａが駆動されたとき、ベルト２３ａ、ロッド２２ｂ及びベルト２３ｂを介してローラ１８が回転し、これによってブラシ１２が軸周りに回転することでブレード５５のくし歯５５ａ間の隙間に付着している付着物を掻き落とすようになっている。
なお、上記ロッド２２ａ、２２ｂ及びローラ１８は、図示しない軸受部によって回転自在に支承されている。
【００２７】
また、このブレード洗浄装置１０は、洗浄槽１４内の洗浄液を浄化する洗浄液浄化機構２４を備えている。該洗浄液浄化機構２４は、洗浄槽１４の底部に接続された取込み管（配管）２５と、該取込み管２５の先端に接続されたポンプ２６と、取込み管２５の途中位置に設けられた濾過器２７と、一端がポンプ２６の吐出部に接続されると共に、他端が洗浄槽１４における前記取込み管２５と反対側の他端部に接続された供給管（配管）２８とからなっている。そして、洗浄槽１４内の洗浄液が汚れたとき、ポンプ２６が駆動されることで洗浄槽１４内の洗浄液が取り出されて濾過器２７によって浄化され、その浄化された洗浄水が供給管２８から洗浄槽１４内に戻して循環されるようになっている。
【００２８】
この場合、ポンプ２６は、装置の運転時、常時駆動されるようにしてもよいが、それ以外として、例えば、運転中に定期的に所定時間駆動されるようにしてもよく、或いは洗浄水が予め設定された汚染度を超えたとき、それを洗浄槽１４内に設けられたセンサー（図示せず）が検出することで駆動されるようにしてもよい。
なお、図１及び図２に示すように、供給管２８の途中位置にはオーバーフロー槽２９が設けられる他、浄化槽１３内の浄化液を外部に排出させるため、ドレイン弁３０を有するドレイン管３１が設けられている。
【００２９】
更に、このブレード洗浄装置１０は、ブレード５５を洗浄槽１４に対して移動させる移動機構３３を備えている。該移動機構３３は、図２に示すようにブレード５５を着脱可能に保持する保持体３４と、この保持体３４の両端部をそれぞれ支持する第１アーム３５と、第１アーム３５と組み付けられる昇降架台３６とからなっている。
【００３０】
移動機構３３は、ブレード５５が保持体３４に装着された状態において、図示しない駆動源が昇降架台３６を駆動すると、昇降架台３６と一体的に第１アーム３５が降下することで、保持体３４及びブレード５５が洗浄槽１４の洗浄液中に沈降し、ブレード５５が図３に示すようにブラシ１２と接触するようになっている。その場合、詳細に図示していないが、ブレード５５のくし歯５５ａがブラシ１２の先端側と接触するように位置決めされる。そして、図示しない駆動源が取出し方向に昇降架台３６を取出し方向に駆動すると、昇降架台３６が図２及び図３にて示す鎖線のように第１アーム３５と一体的に上昇することで、保持体３４及びブレード５５が洗浄槽１４から上昇するようになっている。
従って、この移動機構３３は、ブレード５５を着脱可能に保持すると共に、保持したブレード５５を洗浄槽１４に対して進退移動できるように構成されている。
【００３１】
また更に、ブレード洗浄装置１０は、ブレード５５にエアを吹きかけてブレードを洗浄するエア洗浄機構３７を備えている。該エア洗浄機構３７は、図３に示すように洗浄槽１４内の上部に設置されたノズル３８と、該ノズル３８に対してエアを供給するブロアー（図示せず）とからなっている。そして、洗浄槽１４内でブレード５５が洗浄された後、移動機構３３によってブレード５５が洗浄槽１４内の洗浄液１７から上昇したとき、ノズル３８からブレード５５に向かって所定圧のエアを吹きかけることで、ブレード５５に残存している付着物を除去すると共に乾燥させるようにもなっている。この場合、移動機構３３は、ブレード５５に対しノズル３８から確実にエアを吹きかけるようにするため、上昇時、一旦停止させることが好ましいが、上昇速度を遅くさせたりしてもよい。
なお、図２及び図３において、符号３９は、装置筐体１３の底部に設けられた脚部である。
【００３２】
この実施形態のブレード洗浄装置１０は、上記のように構成されているので、次にその動作について説明する。
バリアリブ状物の製造装置１０において、ブレード５５に付着物が付着することでブレード５５を洗浄する必要が生じると、そのブレード５５を作業者が製造装置１０から取り外した後、ブレード洗浄装置１０に取り付ける。
【００３３】
即ち、作業者がブレード５５をブレード洗浄装置１０における移動機構３３の保持体３４にセットする。そして、ブレード洗浄装置１０をオンして移動機構３３を洗浄方向に駆動させることでブレード５５が洗浄槽１４の洗浄液１７中に沈降すると、振動洗浄機構１１の超音波振動子１５によって洗浄液１７に超音波振動が付与されているので、洗浄液１７がブレード５５に付着しているペースト７１，７３やそれ以外の異物を除去することができる。
【００３４】
上記洗浄時、ブレード５５がブラシ１２と接触すると共に、ブラシ１２が駆動機構２０の駆動によって回転されているので、ブラシ１２がブレード５５を洗浄、つまり、ブラシ１２がブレード５５のくし歯５５ａに接触しながら回転することで、ブレード５５に付着している付着物を除去することができる。このとき、ブラシ１２の先端が先細形状に形成され、その先端がブレード５５のくし歯５５ａの隙間に確実に入り込むので、くし歯５５ａの隙間に付着している付着物を掻き取ることができ、従って、くし歯５５ａ間の隙間のような隘路に存在している付着物でも良好に除去することができる。
【００３５】
即ち、この実施形態によれば、洗浄液１７が超音波振動によってブレード５５の付着物を除去する一方、ブラシ１２がブレード５５と接触して付着物を掻き取るので、ブレード５５の付着物を良好に除去することができる。しかも、ブレード５５が洗浄槽１４内に入れられると、洗浄液１７に超音波による洗浄と、ブラシ１２による洗浄とを同時に行われるので、付着物の除去を、短時間に、かつ確実に行うことができる。
【００３６】
このような洗浄液１７によるブレード５５の洗浄が所定時間行われた後、移動機構３３が上昇駆動され、ブレード５５が上昇して洗浄槽１４内の洗浄液１７から出ると、エア洗浄機構３７によってノズル３８から所定圧のエアがブレード５５に吹きかけられるので、ブレード５５に残存している付着物を除去することができるばかりでなく、ブレード５５を乾燥させることもできる。
【００３７】
一方、ブレード洗浄装置１０は、洗浄液１７を貯留する洗浄槽１４と、洗浄槽１４内の洗浄液１７を浄化する洗浄液浄化機構２４と、ブラシ１２を植設したローラ１８を軸周りに回転させる駆動機構２０と、ブレード５５を洗浄液１７に対して進退移動させる移動機構３３とを備えているので、ブレード５５を洗浄槽１４に自動的に出し入れすることができ、ブレード５５の洗浄を自動的に行うことができる。
【００３８】
また、このブレード洗浄装置１０は、洗浄液浄化機構２４を備え、該洗浄液浄化機構２４が洗浄槽１４から洗浄液１７を取出す一方、洗浄液１７を洗浄槽１４に戻す取込み管２５及び供給管２８からなる配管と、該配管の途中経路に設けられた濾過器２７とを有しているので、洗浄槽１４内の洗浄液１７を浄化することができる。
そのため、洗浄槽１４内の洗浄液１７が洗浄を繰り返すにつれて徐々に汚染されるものの、洗浄液浄化機構２４によって浄化されるので、洗浄液の洗浄効率を維持することができ、ブレード５５に対する洗浄効率を良好に保つことができる。
【００３９】
なお、図示実施の形態において、ブレード洗浄装置１０が振動洗浄機構１１、ブラシ１２の他、上述したように洗浄液浄化機構２４、駆動機構３３、エア洗浄機構３７がそれぞれ備えられているが、それら各機構の具体的構成は図示例に限定されるものではなく、要は、初期の機能を得ることができればよいのは勿論である。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る発明によれば、洗浄液がブレードに付着しているペーストやそれ以外の異物を除去することができ、またブラシがブレードの付着物を除去することができるように構成したので、ブレードの付着物を良好に除去することができ、良好な洗浄を実現することができる結果、ブレードの付着物を、短時間に、かつ確実に除去することができ、ブレードがバリアリブ状物を高精度かつ高効率に形成できることが可能となる効果が得られる。
【００４１】
請求項２に係る発明によれば、くし歯の隙間に付着している付着物を掻き取ることができ、従って、くし歯間の隙間のような隘路に存在している付着物でも良好に除去することができる効果が得られる。
【００４２】
請求項３に係る発明によれば、エア洗浄機構によってエアをブレードに吹きかけるので、ブレードに残存している付着物を除去することができるばかりでなく、ブレードを乾燥させることもできる効果が得られる。
【００４３】
請求項４に係る発明によれば、洗浄槽と洗浄液浄化機構と駆動機構と移動機構とを備えているので、ブレードを洗浄槽に自動的に出し入れすることができ、ブレードの洗浄の自動化を実現できる効果が得られる。
【００４４】
請求項５に係る発明によれば、洗浄槽内の洗浄液が洗浄を繰り返すにつれて徐々に汚染されるものの、洗浄液の洗浄効率を維持することができるので、ブレードに対する洗浄効率を良好に保つことができる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態に係るブレード洗浄装置を示す概略平面図である。
【図２】同じくブレード洗浄装置を示す縦断面の正面図である。
【図３】同じくブレード洗浄装置を示す縦断面の拡大側面図である。
【図４】ブラシを示す図であって、（ａ）は説明用側面図、（ｂ）は説明用拡大図である。
【図５】バリアリブ状物の製造装置の一例を示す説明用斜視図である。
【図６】図５に示すバリアリブ状物の製造装置において、基板表面に形成されたペースト膜を掻き、バリアリブ状物を形成する際のブレード及びペーストを示す拡大断面図である。
【図７】図５に示すバリアリブ状物の製造装置において、ブレードが掻き取り方向における基板の後端に至り、このブレードを基板表面から上方へ離間させた際の状態を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１０    ブレード洗浄装置
１１    振動洗浄機構
１２    ブラシ
２０    駆動機構
２４    洗浄液浄化機構
２５    取込み管（配管）
２８    供給管（配管）
２７    濾過器
３３    移動機構
３７    エア洗浄機構
５１    バリアリブ状物の製造装置
５５    ブレード
５５ａ    くし歯
【図１】
2005066402.tif 000003
【図２】
2005066402.tif 000004
【図３】
2005066402.tif 000005
【図４】
2005066402.tif 000006
【図５】
2005066402.tif 000007
【図６】
2005066402.tif 000008
【図７】
2005066402.tif 000009