(57)【要約】  【課題】本発明は、検査品に配属され、接触ピン配列を構成するピン状の接触部材を備えたコンタクトヘッドと、検査品の反対側にある接触部材の端部と接触する接触面を有する電気接続装置とを備えた特にウエハの検査のための電気検査装置に関する。  【解決手段】本発明は、すべり案内（２２）により半径方向熱膨張変位だけを許す、コンタクトヘッド（６）と接続装置（７）の相互の心合わせのための中心センタリング装置（２０）を特徴とする。  【選択図】  図２
2005328053.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査品に配属され、接触ピン配列を構成するピン状の接触部材を備えたコンタクトヘッドと、検査品の反対側にある接触部材の端部と接触する接触面を有する電気接続装置とを備えた特にウエハの検査のための電気検査装置において、すべり案内（２２）により半径方向熱膨張変位だけを許す、コンタクトヘッド（６）と接続装置（７）の相互の心合わせのための中心センタリング装置（２０）を特徴とする検査装置。
【請求項２】
中心センタリング装置（２０）がピン配列の外側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
中心センタリング装置（２０）が互いに角度をずらせて配置された少なくとも３個、特に４個のすべり案内（２２）を有することを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項４】
すべり案内（２２）がそれぞれコンタクトヘッド（６）又は接続装置（７）の突起（２３）と、半径方向にすき間を置き、周方向にすき間なしに突起（２３）を受ける接続装置（７）及び／又はコンタクトヘッド（６）のくぼみ（２７）からなることを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項５】
突起（２３）が異形ピン（２４）であることを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項６】
くぼみ（２７）が貫通孔（２８）であることを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項７】
くぼみ（２７）が細長い穴（２９）であることを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項８】
突起（２３）が接続装置（７）を貫通し、接続装置（７）を受ける支持装置（８）の中にまで延びていることを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項９】
突起（２３）が支持装置（８）の固定くぼみ（５１）の中に、全周にすき間なく保持されることを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項１０】
突起（２３）が支持装置（８）に固定されていることを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項１１】
突起（２３）がコンタクトヘッド（６）に固定されていることを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項１２】
突起（２３）が分割して形成され、接続装置（７）の区域に継目（４１）を有することを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項１３】
継目（４１）が検査平面と平行な平面にあることを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項１４】
突起（２３）又は異形ピン（２４）が外周面（２５）に案内手段、特に検査装置（１）の半径方向と平行に延び、正反対の側で相対する２つの平行かつ平坦な案内面（２６）を有することを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項１５】
くぼみ（２７）が平行なくぼみ壁面を有することを特徴とする上記請求項のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項１６】
くぼみ（２７）が平行な溝壁を有する溝又は平行な孔壁を有する貫通孔であることを特徴とする上記請求項のいずれか1つに記載の検査装置。
【請求項１７】
くぼみ（２７）即ち溝又は貫通孔が細長い穴として形成されていることを特徴とする上記請求項のいずれか1つに記載の検査装置。
【請求項１８】
くぼみ（２７）の壁面、即ち溝壁又は孔壁がそれぞれ検査装置（１）の半径方向と平行であることを特徴とする上記請求項のいずれか1つに記載の検査装置。
【請求項１９】
接続装置（７）がプリント配線板（１０）であることを特徴とする上記請求項のいずれか1つに記載の検査装置。
【請求項２０】
接触部材（９）が縦移動可能に支承されたたわみ線（１５）であることを特徴とする上記請求項のいずれか1つに記載の検査装置。
【請求項２１】
突起（２３）特に異形ピン（２４）が周縁側スロット（４８）を有し、スロット（４８）がコンタクトヘッド（６）及び／又は支持装置（８）の開口（５０）に移行し、突起（２３）の軸方向固定のための嵌合部材、特にはめ込み条片（３７）がスロット（４８）又は開口（５０）に差し込まれていることを特徴とする上記請求項のいずれか1つに記載の検査装置。
【請求項２２】
開口（５０）がくぼみ（２７）から横に出ていることを特徴とする上記請求項のいずれか1つに記載の検査装置。
【請求項２３】
スロット（４８）及び開口（５０）が半径方向に配向されていることを特徴とする上記請求項のいずれか1つに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査品に配属され、接触ピン配列を構成するピン状の接触部材を備えたコンタクトヘッドと、検査品の反対側にある接触部材の端部と接触する接触面を有する電気接続装置とを備えた特にウエハの検査のための電気検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
冒頭に挙げた種類の電気検査装置は、検査品と電気的に接触して、その性能を試験するために使用される。電気検査装置は検査品との電気的結合を行う。即ち一方では検査品の電気接続部と接触し、他方では検査システムに接続する電気接点を利用に供する。検査システムは機能検査として例えば抵抗測定、電流及び電圧測定等を行うために、検査装置を介して検査品に電気信号を送る。電気検査品は多くの場合極めて小さな電子部品であり、例えば電子部品を製造するためのウエハであるから、コンタクトヘッドのピン状の接触部材は極めて小さな寸法を有する。そこで上記の検査システムとの接続を可能にするために、検査ヘッドの接触部材は接続装置と接触する。接続装置は大きな接点間隔への変換を行い、こうして検査システムに通じる電気接続ケーブルの接続を可能にする。検査の際に様々な室温が現れることがあり、特定の温度範囲内でも機能を検査できるように、とりわけ様々な検査温度で検査を行うこともあるから、公知の電気検査装置では熱による長さ変化から位置誤差が発生するため、接触部材と接続装置の当該の接触面との間の接触が必ずしも十分に保証されない恐れがある。この位置のずれは、使用する材料の異なる熱膨張係数から生じる。構造上の理由から特定の材料を使用することが必要であるから、コンタクトヘッドと接続装置に同じ材料を選択することによって上記の問題を解決することはできない。個々の部材の温度上昇の程度が異なることも位置のずれを生じる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
そこで本発明の根底にあるのは、上記の問題が起こらない冒頭に挙げた種類の検査装置を提供する課題である。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この課題は、冒頭に挙げた種類の電気検査装置において、すべり案内により半径方向熱膨張変位だけを許す、コンタクトヘッドと接続装置の相互の心合わせのための中心センタリング装置によって解決される。垂直テストカードとも呼ばれる本発明電気検査装置は、コンタクトヘッドと接続装置の間に中心センタリング装置を有する。中心センタリング装置は、温度変動によって起こる長さ変化が上記の部材のそれぞれの中心から始まって、適当に設計されたすべり案内に基づき、半径方向にだけ現れることを保証する。コンタクトヘッドと接続装置の中心は正反対の側で相対し、特に上記の部材の中心垂直軸上にある。こうして本発明によれば、種々異なる材料に基づき温度変動によって長さ変化が生じるにしても、上記の中心センタリング装置と半径方向すべり案内の組合せによって、接触部材の端面が接続装置の当該の接触面にもはや出会わないほど大きな規模にならないから、確実な接触が保証される。本発明に基づく構成を設けなければ、上記の心合わせは保証されず、例えば周縁側にある接触部材の接触点は接続装置の当該の接触面の完全に中心にあるが、−全接触ピン配列の対角縦方向に見て−正反対の側にある接触部材の位置は長さ変化に基づき当該の接触面に対して離れており、位置誤差のため縁接触しかできないか又は接触部材の端面が当該の接触面に出会わず、そのかたわらにあって接続装置の絶縁物にささえられるため、もはや接触が生じないということが起こる。
【０００５】
本発明の別の実施形態によれば、中心センタリング装置はピン配列の外側に配置されている。この構成は、センタリング手段の接触ピン配列の区域を空けておき、接続装置とコンタクトヘッドのそれぞれの中心の周辺区域がもっぱらピン状接触部材の収容のために利用され、様々な検査品への適合のための多様性を保つようになっている。
【０００６】
中心センタリング装置が互いに角度をずらせて配置された少なくとも３個のすべり案内を有するならば好都合である。これらの３個のすべり案内を互いに１２０°ずつ角度をずらせ、又は３個のすべり案内のうち第１と第２のすべり案内が９０°の角を挟み、第２と第３のすべり案内も同じく９０°の角を挟み、第３と第１のすべり案内の角度のずれが１８０°であることが好ましい。これによってセンタリングが明確に確定される。即ち接触面（Ｘ−Ｙ面）で検査装置の中心の変位が起こらない。特に互いに９０°ずつ角度をずらせた４個のすべり案内を使用することが考えられる。
【０００７】
本発明の別の実施形態では、各すべり案内がコンタクトヘッド又は接続装置の突起と、半径方向にすき間を置き、周方向にすき間なしにこの突起を受ける接続装置及び／又はコンタクトヘッドのくぼみとからなる。従って各すべり案内はくぼみの中で一方の方向にだけ突起の変位を許す。この方向は半径方向、即ち−検査装置の中心から出発して−それぞれ半径方向外側への方向である。すき間のない上記の周方向は−検査平面と平行に−半径方向を横切るから、コンタクトヘッドと接続装置の間に回転ずれはない。検査の際に検査品と接触するために、検査品に面したピン状接触部材の端部は検査平面に対して垂直に、即ち軸方向に検査品に接近する。またこれらの２つの部材の間で電気的接触を行うために、この方向で接触部材と検査ヘッドの相互の送り運動が行われる。
【０００８】
特に突起を異形ピンとして形成することができる。ピンの横断面輪郭は円形であるか、又はくぼみの壁面と協動して半径方向案内を保証するために、円形でなく、円形と異なる形状にすることができる。
【０００９】
特にくぼみを貫通孔、とりわけ細長い穴として形成することができる。
【００１０】
本発明の別の実施形態では、突起が接続装置を貫通して、接続装置を受ける支持装置の中まで延びている。この場合突起を支持装置に固定することができる。これは突起の一方の末端区域で行われる。突起の他方の末端区域はコンタクトヘッドに固定することが好ましい。接続装置を外して、支持装置とコンタクトヘッドからなる配列を軸方向に分離するために、又は分離することができるように、接触ピンは特に分割構造になっており、接続装置の区域に継目を有する。この実施態様は、形成される半径方向案内によって突起の２つの部分が周方向にすき間なく互いに整列されるが、（検査装置の中心に関して）半径方向には異なる温度係数に基づく変位を問題なく受け入れ、電気検査装置の完全な性能を維持することを可能にする。突起の２つの部分の継目は、特に検査平面と平行な平面にある。本発明の別の実施形態では、突起又は異形ピンの外周面が正反対の側で相対する２個の平行かつ平坦な案内面を有し、案内面がそれぞれ検査装置の半径方向と平行である。「半径方向」とは、−前述のように−検査平面と平行なそれぞれの半径方向−検査装置の中心から出発して−を意味する。
【００１１】
突起が支持装置の固定くぼみの中に全周にすき間なく保持されるならば好都合である。突起が例えば上記の異形ピンであるならば、固定のためにその一方の末端区域が支持装置の固定くぼみの中に保持される。半径方向変位を許す単数個又は複数個のくぼみを備え、半径方向案内を構成する単数個又は複数個の他方の部材を受けるために、突起の自由端は当該の部材から突出している。
【００１２】
特にくぼみは平行なくぼみ壁面を有し、その間に案内手段特に突起又は異形ピンの案内面がすき間なしに、又はおおむねすき間なしに収容される。くぼみが溝又は貫通孔であるならば、当該の半径方向すべり案内を形成するために、溝は平行な溝壁を、又は貫通孔は平行な孔壁を備えている。中心に関して半径方向変位を可能にするために、くぼみ即ち溝又は貫通孔は細長い穴として形成される。
【００１３】
特にくぼみの壁面、即ち溝壁又は孔壁はそれぞれ検査装置の半径方向と平行に延びるように形成されている。同じことが当該の突起又は異形ピンの平行かつ平坦な案内面にも当てはまる。
【００１４】
接続装置はプリント配線板として形成することが好ましい。これは特に多層プリント配線板である。即ち異なる板平面に導電路を有する。導電路は一方では検査ヘッドの接触部材と電気的に相互作用する上記の接触面に通じており、他方では−例えばケーブル接続を経て−検査システムに通じる接続部に至る。
【００１５】
接触部材として特に接触ピン、例えばばね接触ピン又は−例えばウエハ検査の場合のように極めて小さな寸法では−たわみ線が使用される。接触部材はコンタクトヘッドに縦移動可能に支承される。
【００１６】
また突起、特に異形ピンが周縁側スロットを有し、このスロットがコンタクトヘッド及び／又は接続装置の開口に移行し、突起の軸方向固定のためにスロットと開口に嵌合部材特にはめ込み条片を差し込むならば好都合である。それによって突起は軸方向に固定されるが、軸方向に対して９０°の方向では、スロット又は開口内の嵌合部材の摩擦接触に基づき変位させることができる。即ち上記の熱膨張を許すために半径方向変位を行うことができる。開口はくぼみから横に出ており、スロットと開口は半径方向に配向されている。  
【００１７】
図面は実施例に基づき発明を明らかにする。
【発明を実施するための最良の形態及び発明の効果】
【００１８】
図１は電気検査装置１の横断面概略図を示す。検査品に電気的検査を行うために、検査装置１は検査品２と接触して、図示しない電気ケーブル接続により図示しない検査システムに接続することができる。ウエハとして形成された検査品２は支持体４の上にある。支持体４はチャックと呼ばれ、冷却又は加熱することができる。このようにして検査品を電気検査の際に種々の温度、例えば−５０℃ないし＋２００℃の範囲の温度にさらし、この範囲の温度で支障なく動作するかを検査することができる。
【００１９】
ウエハ３の当該の接続部との接触のために、垂直テストカード５が設けられている。この垂直テストカードが検査装置１を構成する。
【００２０】
検査装置１はコンタクトヘッド６及び接続装置７を有する。接続装置７は支持装置８にささえられる。コンタクトヘッド６は縦移動可能に支承された多数の接触部材９を備えている。接触部材９の一方の端部区域は検査品２に、他方の端部区域は接続装置７に配属されている。接続装置７は導電路を備えた多層プリント配線板１０として形成され、導電路１１はコンタクトヘッド６に対応する端部に接触面１２を有する。接触面１２はそれぞれの接触部材９に対応し、半径方向外側の端部に電気接続面１３を有する。電気接続面１３は上記の図示しないケーブル接続を介して検査システム（同じく図示せず）に接続することができる。接続装置７が変換装置をなすように、即ち極めて小さな接触面１２（例えば直径５０ないし３００μｍ）の非常に狭い間隔が導電路１１により接続面１３の大きな間隔に変換されるように構成されている。また接続面１３はそれぞれケーブル接続を行うことができるような大きさを有する。
【００２１】
検査品２を検査する時に、検査装置１は−支持装置８にささえられて−検査品２に向かって軸方向に移動し、接触部材９の端面が一方ではウエハ３に、他方では接触面１２に当接する。接触部材９はたわみ線１５として形成され、即ちたわみにより軸方向に僅かに弾性を有するように形成されているから、十分な接触が可能である。
【００２２】
コンタクトヘッド６は２枚の相互に間隔を置いた平行なセラミックプレート１６及び１７を有する。セラミックプレートはたわみ線１５を受けるためのささえ穴１８を備えている。２枚のセラミックプレート１６及び１７の平行な隔離は、スペーサ１９によって実現される。
【００２３】
コンタクトヘッド６と接続装置７の間には、従来公知の剛直な固定結合の代わりに、本発明に基づく、中心センタリング装置２０が設けられる。中心センタリング装置２０は図２で明らかなように、周方向（二重矢印２１）に互いに９０°の角間隔でずらせて配置された４個のすべり案内２２からなる。また図２は、ウエハ３が円板として形成されていることを明らかにしている。ウエハ３は図示しない集積スイッチ回路を有する。スイッチ回路を電気的に検査するために、平面図で正方形に形成されたコンタクトヘッド６の図２に図示しないたわみ線１５が、様々な位置でウエハの上に多重に降下させられ、ウエハ３の当該の区域をそれぞれ検査することができる。図２の下側に、すべり案内２２を取り出して拡大して示す。すべり案内２２は異形ピン２４の形の突起２３を有する。異形ピン２４はコンタクトヘッド６から軸方向（図１の矢印１４と逆の方向）に突出する。異形ピン２４は外周面２５に、正反対の側で相対する２個の平行かつ平坦な案内面２６を有する。また異形ピン２４の自由端は接続装置７即ちプリント配線板１０に形成されたくぼみ２７の中まで延びている。くぼみ２７はプリント配線板１０の貫通孔２８として形成することが好ましい。くぼみ２７はスロットの形状を有し、即ち細長い穴２９である。くぼみ２７は２つの互いに平行なくぼみ壁面３０を有し、これらのくぼみ壁面は異形ピン２４の案内面２６をおおむねすき間なく受けるように、相互に間隔を置いて配置されている。細長い穴２９の縦長さは異形ピン２４の対応する縦寸法より大きく形成されているから、図２の拡大図に基づきコンタクトヘッド６と接続装置７、即ちプリント配線板１０との間で、図示の二重矢印３１の方向に相対運動を行うことができる。これを横切る方向では、相対運動は不可能である。くぼみ壁面３０に沿って案内面２６を案内することによって、この運動が阻止されるからである。
【００２４】
図２で明らかなように、４個のすべり案内２２は９０°の角で交差する２本の仮想の半径３２及び３３の上にあるように配置され、半径３２及び３３は中心点３４で交わり、中心点３４は検査装置１及び検査品２の検査区域の中心をなす。接触ピン配列３６を構成するたわみ線１５が中心３５の周囲に配置されている。４個のすべり案内２２は接触ピン配列３６の半径方向外側にあり、細長い穴２９の縦方向は、その中心がそれぞれ半径３２及び３３の上にあるように配向されている。個々の異形ピン２４の案内面２６は、細長い穴２９の整列に対応して形成されている。
【００２５】
以上で明らかなように、温度の作用により材料膨張又は材料収縮が生じた場合、部品即ちコンタクトヘッド６及び接続装置７は中心センタリング装置２０に基づき、中心３５の区域が互いに固定され、半径３２及び３３の方向にだけ相対運動が起こる。これによって、部品の使用材料の熱膨張係数の相違から上記の長さ変化が生じても、プリント配線板１０に対応するたわみ線１５の正面端がもはや接触面１２に出会わないほど大きな食違いを引き起こさないことが保証される。中心センタリング装置２０に基づく心合わせは、このように大きな食違いを防止する。現れる長さ変化は、中心から始まって中心に対して対称であり、外側のたわみ線１５が当該の接触面１２の中心にあって、正反対の側の同じく外側のたわみ線１５は長さ膨張又は長さ収縮が合算されて不正接触を生じる場合に−本発明を使用しなければ−現れるずれの半分の大きさ−半径方向に見て−しかないからである。
【００２６】
図３によれば、各異形ピン４がはめ込み条片３７によってスペーサ１９のくぼみ２７の中に保持されていることが分かる。半径方向の熱膨張を許し、軸方向固定を可能にする別の固定法ももちろん可能である。また図３は図２の実施態様に対する異形ピン構造の変型を示す。この変型は、異形ピン２４を二つ割に形成したものである。即ち異形ピン２４はコンタクトヘッド６に固定された第１のピン部分３９と、支持装置８に固定された第２のピン部分４０からなる。２つのピン部分３９及び４０の間に−図３で明らかな状態で−継目４１が形成されている。継目４１は接続装置７、即ちプリント配線板１０の区域にある。２つのピン部分３９及び４０の輪郭形状は、図２の拡大部分図で明らかな輪郭形状に相当する。このことはプリント配線板１０のくぼみ２７及びコンタクトヘッド６のくぼみ２７にも同様に当てはまる。２つのくぼみ２７は貫通孔２８及び細長い穴２９として形成されている。細長い穴の方向は図３に矢印５２で示されている。これは半径方向である。ピン部分３９は横にスロット４８を備えている。スロット４８に対してコンタクトヘッド６の横開口５０がある。スロット４８と開口５０の中にはめ込み条片３７が差し込まれている。開口５０はコンタクトヘッド６の細長い穴２９から出て、半径方向（矢印５２）を有する。以上で明らかなように、個々の部材は軸方向に簡単に問題なく分解し、再び組み立てることができ、しかも図２に基づいて説明したように心合わせが行われ、さらにピンの分割に基づき一方ではコンタクトヘッド６とプリント配線板１０、他方では支持装置８とプリント配線板１０の間で、温度に原因する様々な長さ変化が処理される。ピン部分３９ははめ込み条片により案内されるから、コンタクトヘッド９の細長い穴２９の内部かつ印刷配線板１０の細長い穴２９の内部で半径方向に移動することができる。ピン部分４０は固定くぼみ５１により全周にすき間なく支持装置８に固定され、特に圧入されている。従って検査平面と平行な平面で支持装置８に対して変位することは不可能である。ところがプリント配線板１０の細長い穴２９に基づき、支持装置８とプリント配線板１０の間の半径方向相対変位は可能である。また２つのピン部分３９及び４０は互いに半径方向に相対的に移動することができる。
【００２７】
図４は検査装置の別の実施例を示す。この実施例が図１の実施例と相違するのは、プリント配線板１０が中心開口部４２を有し、電気接続線４４を一体に流し込み成形した成形ブロック４３が挿入されていることだけである。接続線４４の端面４５はたわみ線１５のための上記の接触面１２をなし、他方の端部はプリント配線板１０のコンタクトヘッド６と反対の側で支持装置８の空洞部４７の中にある導電路接続部４６に通じている。電気接続線４４と導電路接続部４６との結合は、とりわけはんだ付け又は溶接で行われる。図４の実施例も本発明に基づく中心センタリング装置２０を有することはもちろんである。但し図４には図示しない。
【００２８】
以上で明らかなように、垂直テストカード５の本発明に基づく４スロット・センタリングはコンタクトヘッド６（接触頭部）と接続装置７（接続ヘッド又はコネクタ）を互いに心合わせし、中心３５の区域でいわば相互に固定する。コネクタは通常、プリント印刷板として形成され、プリント配線板は屈曲等を避けるために、支持装置８にささえられる。この支持装置８はスチフナとも呼ばれ、とりわけ金属からなる。プリント配線板１１にコンタクトヘッド６の接触部材９が直接接触する場合は、ダイレクトアタッチ型である（図１）。接触が中間線材を介して、即ち図４で明らかな接続線４４を介して行われるならば、配線型接続ヘッド（Wired Connector）ということになる。コネクタに接触する面は大変小さい。代表的には５０μｍないし３００μｍの直径を有する。
【００２９】
検査品２の検査は室温でも、極めて高い又は低い温度でも行うことができる。ウエハの場合は通常、２００℃まで加熱し、続いて−５０℃まで冷却して、この温度範囲内で機能が保証されかを検査する。極めて高い又は極めて低いウエハ温度に基づき、検査装置１の部材が相応に熱せられ、又はそれに応じて冷却される。使用する材料の熱膨張係数は−前述のように−様々であり、この材料が試験中に様々な温度に達するから、個々の部材の相互の位置誤差、即ちスチフナ、プリント配線板、セラミックプレート１６、１７、スペーサ１９、ウエハ３及び／又は支持体４の位置のずれが生じる。この温度差によって生じる位置誤差を最小にし、接触部材とコネクタ及び／又は接触部材とウエハのあまり正確でない対応を回避し、こうして不安定な接触を生じさせないために、本発明に基づき上記の部材を中心センタリング装置２０によって相互に心合わせする。互いに固定して結合することはしない。もしそうすれば、機械的ひずみや場合によっては部材の損傷を招く恐れがある。
【００３０】
プリント配線板１１が膨張すれば、本発明に基づきプリント配線板の中心位置、即ち中心３５は変位しないで、４本の異形ピン２４によって固定され、膨張は−中心３５から半径３２及び３４に相当する４つのすべての方向で−均一に生じる。このことは他の部品、即ちコンタクトヘッド６又は支持装置８にも、これらが図３の配列に基づき中心センタリング装置２０に関連している限り、当てはまる。
【００３１】
従って本発明は個々の部品の異なる熱膨張に原因する部品相互の相対的変位を許すが、この変位は予想外に減少され、中心位置がそれぞれ維持される。
【００３２】
突起２３、即ち異形ピン２４は横ねじによって当該の部材に固定することができる。異形ピン２４は特にその縦軸を横切る周縁側スロット４８を備えることができる。このスロット４８とスペーサ（隔て材１９）の対応する開口５０は一線に並ぶ。開口５０は、異形ピン２４の末端区域が挿入されたくぼみ２７から横へ出ている。図２及び３によれば、スロット４８及び対応する開口５０にはめ込み条片３７が差し込まれている。はめ込み条片３７はスペーサに対する心合わせピン（異形ピン２４）の垂直位置を固定するが、半径方向膨張運動は妨げない。図２の矢印３１の方向は図３の矢印５２の方向に相当する。
【００３３】
特に少なくとも３個、例えば４個の心合わせピンを使用し、好ましい実施形態は相互に均一な角度で隔たる６個の心合わせピンを設ける。心合わせピンの横断面は横が偏平な円形、長方形等に形成することができる。案内板（セラミックプレート１６、１７）、スペーサ及びプリント配線板等の部品を水平方向に確実結合せずにスチフナに取り付けることができる。中心を固定するとともに所望の半径方向運動を可能にするために、案内板、スペーサ及びプリント配線板等の部品は上記の細長い穴を備えることができる。
【００３４】
図５はおおむね図３に相当する検査装置１の別の実施例を示す。従って以下では図３との相違だけに触れる。その限りで図３の説明は図５の実施例にも同様に当てはまる。違うのは、異形ピン２４が一体のピンであること、即ち継目４１がないことである。また支持装置８は接続装置７に固結され、特にねじ止めされている（図５に図示せず）。異形ピン２４は接続装置７の固定くぼみ５１の中に、全周にすき間なく固定され、従って支持装置８の中まで延びていない。その他の条件は図３と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】電気検査装置の横断面概略図を示す。
【図２】本発明にとって重要でない部材を除いた図１の検査装置の平面図を示す。
【図３】図１及び２の配列のすべり案内の区域の横断面図を示す。
【図４】別の実施例に基づく電気検査装置を示す。
【図５】別の実施例に基づくすべり案内の区域の横断面図を示す。
【符号の説明】
【００３６】
１…電気検査装置、２…検査品、３…ウエハ、４…支持体、５…垂直テストカード、６…コンタクトヘッド、７…接続装置、８…支持装置、９…接触部材、１０…プリント配線板、１１…導電路、１２…接触面、１３…電気接続面、１５…たわみ線、１６，１７…セラミックプレート、１９…スペーサ、２０…中心センタリング装置、２２…すべり案内、２３…突起、２４…異形ピン、２５…外周面、２６…平行かつ平坦な案内面、２７…くぼみ、２８…貫通孔、２９…細長い穴、３０…くぼみ壁面、３２，３３…仮想の半径、３４…中心点、３６…接触ピン配列、３７…はめ込み条片、３９…第１のピン部分、４０…第２のピン部分、４１…継目、４２…中心開口部、４３…成形ブロック、４４…電気接続線、４５…端面、４６…導電路接続部、４７…空洞部、４８…スロット、５０…開口、５１…固定くぼみ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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