(57)【要約】【課題】  支持体剥離装置において、ワークから支持体を剥離する工程の生産性を高くする。【解決手段】  ４つの粘着ロール２３のうちの１つを剥離実施位置Ｊに位置させ、位置決め部５０によりワーク４０の板面の角部４０Ｋを剥離実施位置Ｊへ向けて、このワーク４０を図中Ｘ方向へ搬送しながら、粘着ロール２３の外周面２４でワーク４０の支持体４３を押圧しつづけることにより、ワーク４０の角部４０Ｋに位置する支持体４３からこの粘着ロール２３に粘着させ剥離させて上記支持体４３を粘着ロール２３に巻き取ってワーク４０から支持体４３の全てを剥離する。その後、粘着ロール回転移送部３０により、後続の粘着ロール２３による後続のワーク４０からの支持体の剥離を実行するとともに、支持体取外し部６５により剥離を終了した粘着ロール２３から支持体４３を取り外し、支持体４３が取り外された粘着ロール２３をクリーニング部７０でクリーニングする。【選択図】          図１
2005219892.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作用膜と支持体とを積層してなる作用フィルムを前記作用膜の側を基板上に貼り付けて構成した板状積層体から、前記支持体を剥離する支持体剥離方法であって、
回転軸の周りに観覧車状にかつ自身の軸芯を中心として回転可能に配置された、外周面が粘着性を帯びた複数の粘着ロールと、該複数の粘着ロールを前記回転軸の周りに回転移送する粘着ロール回転移送手段とを用意し、
前記粘着ロール回転移送手段により前記粘着ロールのうちの１つを剥離実施位置に位置させ、前記板状積層体の板面の角部を先頭にして該板状積層体を前記剥離実施位置に位置する粘着ロールの軸芯に垂直な方向へ該粘着ロールに対して相対的に移送しながら前記粘着ロールの外周面を前記支持体に押圧しつづけることにより、前記支持体の前記角部位置から前記粘着ロールに粘着させて巻き取って前記支持体を前記板状積層体から剥離し、
その後、前記粘着ロール回転移送手段により後続の粘着ロールを前記剥離実施位置に位置させて、後続の板状積層体からの支持体の剥離を実行するとともに、
前記剥離を終了した粘着ロールから支持体を取り外し、該支持体が取り外された粘着ロールの外周面をクリーニングすることを特徴とする支持体剥離方法。
【請求項２】
作用膜と支持体とを積層してなる作用フィルムを前記作用膜の側を基板上に貼り付けて構成した板状積層体から、前記支持体を剥離する支持体剥離装置であって、
回転軸の周りに観覧車状にかつ自身の軸芯を中心として回転可能に配置された、外周面が粘着性を帯びた複数の粘着ロールと、
該複数の粘着ロールを前記回転軸の周りに回転移送する粘着ロール回転移送手段と、
前記板状積層体を、その板面の角部が剥離実施位置へ向けて先頭になるように位置決めする位置決め手段と、
前記位置決め手段により位置決めされた前記板状積層体を前記剥離実施位置に向けて搬送する搬送手段と、
前記粘着ロール回転移送手段により前記複数の粘着ロールのうちの１つを前記剥離実施位置に位置させ、前記位置決め手段により位置決めされた板状積層体を、前記搬送手段により、前記剥離実施位置に位置させた粘着ロールの軸芯に垂直な方向へ該粘着ロールに対して相対的に移送しながら、前記粘着ロールの外周面を前記支持体に押圧しつづけることにより、前記支持体を前記角部位置から前記粘着ロールの外周面に粘着させて巻き取って前記支持体を前記板状積層体から剥離させ、その後、前記粘着ロール回転移送手段により後続の粘着ロールを前記剥離実施位置に位置させて、後続の板状積層体から支持体を剥離させる剥離実施制御手段と、
前記剥離を終了した粘着ロールから前記支持体を取り外す支持体取外し手段と、
前記支持体が取り外された粘着ロールの外周面をクリーニングするクリーニング手段とを備えたことを特徴とする支持体剥離装置。
【請求項３】
前記粘着ロールの外周面が、ＴｉＯｘ（酸化チタン）を含む材料で形成されたものであることを特徴とする請求項２記載の支持体剥離装置。
【請求項４】
前記粘着ロールの外周面が、ＴｉＯｘ（酸化チタン）を含み、且つ、Ｂａ（バリウム）を含まない材料で形成されたものであることを特徴とする請求項２記載の支持体剥離装置。
【請求項５】
前記粘着ロールの外周面が、Ｃ−Ｏ又はＳｉ−Ｏの官能基を持つ炭化水素化合物を含む材料で形成されたものであることを特徴とする請求項２記載の支持体剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板上に支持体が積層された板状積層体から上記支持体を剥離する支持体剥離方法および支持体剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、レジスト膜、カラーフィルタ膜、あるいは偏光膜等の作用膜を支持体上に積層した作用フィルムが知られており、このような作用フィルムは、作用膜の側が、例えばガラス基板上に貼り付けられて板状の積層体とされた後、この板状積層体から上記支持体を剥離して、ガラス基板に作用膜のみが積層された状態で利用されている。
【０００３】
例えば、上記板状積層体を構成する作用フィルムが作用膜としてレジスト膜を積層したものである場合には、この板状積層体から支持体が剥離されてガラス基板上にレジスト膜のみが積層された状態で露光工程に投入され、また、板状積層体を構成する作用フィルムが作用膜として偏光膜を積層したものである場合には、この板状積層体から支持体が剥離されてガラス基板上に偏光膜のみが積層された状態で次の液晶製造工程に投入される。
【０００４】
ところで、上記のように基板の表面に支持体（カバーフィルム、あるいは保護フィルムともいう）が積層された板状積層体から支持体を剥離する方式として、搬送される板状積層体の支持体の側を粘着ロールの外周面で粘着し剥離して支持体をこの粘着ロールに巻き取るものが知られている。
【０００５】
上記剥離方式を利用した装置としては、複数の粘着ロールを用い、１つの粘着ロールで板状積層体から支持体を剥離している間に、すでに支持体の剥離を実施した他の粘着ロールの外周面をクリーニングしてその外周面の粘着力を回復させるようにし、複数の粘着ロールを順次メンテナンスしつつ連続的に板状積層体から支持体を剥離するもの（特許文献１参照）、あるいは、板状積層体の板面の角部を搬送方向の最下流側にして搬送し、この角部における支持体を最初に粘着ロールで粘着し剥離して、この角部からカバーフィルムを剥離することにより剥離不良を抑制するもの（特許文献２参照）が知られている。
【０００６】
また、上記剥離されて粘着ロールに巻き取られた支持体をこの粘着ロールから取り外して廃棄する装置（特許文献３参照）、あるいは、上記搬送される板状積層体や搬送用ローラの表面に付着した異物を粘着して取り除く異物除去用の粘着ゴムローラ（特許文献４参照）も知られている。
【特許文献１】特開２００１―２４０３０５号公報
【特許文献２】特開平０６−２８２０７６号公報
【特許文献３】特開平０６−２７８９３６号公報
【特許文献４】特開２００２−２２０１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記板状積層体から支持体を剥離する装置では、板状積層体を粘着ロールで押圧してこの粘着ロールに支持体を粘着させ剥離を開始した後、板状積層体から支持体の全量を剥離する前に上記粘着ロールによる板状積層体の押圧を解除し、剥離中の板状積層体から支持体を粘着した粘着ロールを引き離している。このように板状積層体から粘着ロールを引き離して剥離を実施した場合には、板状積層体から支持体が剥離される位置が変動することがあり、そのため、支持体と密着している板状積層体中の積層面が上記支持体によって引かれる方向（剥離のために引かれる方向）は変動することがある。以後、支持体を板状積層体から除いた部分を板状積層体本体部という。また、この板状積層体本体部の表面である上記積層面が支持体によって引かれる方向とこの積層面とが成す角度を剥離角度という。
【０００８】
ここで、剥離を実施する際に、上記剥離角度が小さいと、上記板状積層体本体部と支持体との間に作用するせん断力が大きくなる。また、上記剥離角度が９０度に近づくと、板状積層体本体部と支持体との間に作用する引張り力が大きくなる。そのため、上記剥離角度が所定の角度以上、あるいは所定の角度以下になったときには、その剥離角度に応じた大きなせん断力や引張り力を受けた支持体あるいは板状積層体本体部が破断することがある。また、上記剥離して巻き取る際に支持体に作用する引張り力がこの支持体の幅方向に不均一になるとこの支持体に皺が生じる。このような場合には、粘着ロールでの支持体の巻き取りに乱れが生じて支持体を剥離して巻き取る動作やこの支持体を粘着ロールから取り外す動作が実行できなくなったり、あるいは板状積層体本体部の破断によりこの板状積層体本体部が使用できなくなったりするため、板状積層体から支持体を剥離する工程の生産性が低下してしまう。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、板状積層体から支持体を剥離する工程の生産性を高めることができる支持体剥離方法および装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の支持体剥離方法は、作用膜と支持体とを積層してなる作用フィルムを作用膜の側を基板上に貼り付けて構成した板状積層体から、前記支持体を剥離する支持体剥離方法であって、回転軸の周りに観覧車状にかつ自身の軸芯を中心として回転可能に配置された、外周面が粘着性を帯びた複数の粘着ロールと、該複数の粘着ロールを前記回転軸の周りに回転移送する粘着ロール回転移送手段とを用意し、粘着ロール回転移送手段により前記粘着ロールのうちの１つを剥離実施位置に位置させ、板状積層体の板面の角部を先頭にしてこの板状積層体を剥離実施位置に位置する粘着ロールの軸芯に垂直な方向へ該粘着ロールに対して相対的に移送しながらこの粘着ロールの外周面をこの板状積層体の支持体に押圧しつづけることにより、前記支持体の角部位置から粘着ロールに粘着させて巻き取ってこの支持体を板状積層体から剥離し、その後、粘着ロール回転移送手段により後続の粘着ロールを剥離実施位置に位置させて、後続の板状積層体からの支持体の剥離を実行するとともに、前記剥離を終了した粘着ロールから支持体を取り外し、この支持体が取り外された粘着ロールの外周面をクリーニングすることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明の支持体剥離装置は、作用膜と支持体とを積層してなる作用フィルムを作用膜の側を基板上に貼り付けて構成した板状積層体から、前記支持体を剥離する支持体剥離装置であって、回転軸の周りに観覧車状にかつ自身の軸芯を中心として回転可能に配置された、外周面が粘着性を帯びた複数の粘着ロールと、該複数の粘着ロールを前記回転軸の周りに回転移送する粘着ロール回転移送手段と、板状積層体を、その板面の角部が剥離実施位置へ向けて先頭になるように位置決めする位置決め手段と、位置決め手段により位置決めされた板状積層体を剥離実施位置に向けて搬送する搬送手段と、粘着ロール回転移送手段により前記複数の粘着ロールのうちの１つを剥離実施位置に位置させ、位置決め手段により位置決めされた板状積層体を、前記搬送手段により、剥離実施位置に位置させた粘着ロールの軸芯に垂直な方向へ該粘着ロールに対して相対的に移送しながら、前記粘着ロールの外周面を板状積層体の支持体に押圧しつづけることにより、前記支持体を角部位置から粘着ロールの外周面に粘着させて巻き取ってこの支持体を板状積層体から剥離させ、その後、粘着ロール回転移送手段により後続の粘着ロールを剥離実施位置に位置させて、後続の板状積層体から支持体を剥離させる剥離実施制御手段と、剥離を終了した粘着ロールから支持体を取り外す支持体取外し手段と、支持体が取り外された粘着ロールの外周面をクリーニングするクリーニング手段とを備えたことを特徴とするものである。
【００１２】
前記「粘着ロールで板状積層体を押圧しつづける」とは、粘着ロールで、板状積層体をこの板状積層体中の搬送方向最下流側に位置する前記角部から、この板状積層体中の搬送方向最上流側に位置する部位まで常に押圧することを意味するものである。
【００１３】
前記作用膜とは、支持体から分離され他の物体に貼り付けられて使用される膜である。
【００１４】
前記粘着ロールの外周面は、ＴｉＯｘ（酸化チタン）を含む材料で形成されたものとしたり、ＴｉＯｘ（酸化チタン）を含み、且つ、Ｂａ（バリウム）を含まない材料で形成されたものとしたり、あるいは、Ｃ−Ｏ又はＳｉ−Ｏの官能基を持つ炭化水素化合物を含む材料で形成されたものとすることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の支持体剥離方法および装置によれば、板状積層体を移送しながら、粘着ロールの外周面で上記板状積層体の支持体を押圧しつづけることにより、この支持体を上記角部位置から粘着ロールの外周面に粘着させて巻き取ってこの支持体を板状積層体から剥離させるようにしたので、上記板状積層体から支持体が剥離される位置の変動を抑制でき、支持体と板状積層体本体との間に作用するせん断力や引張り力の変動を抑制できる。これとともに、上記支持体に作用する引張り力をこの支持体の幅方向により均一にすることができ上記皺の発生を防止することができる。これにより、粘着ロールで支持体を巻き取る際の巻き取りの乱れ、あるいは板状積層体本体部の破断を防止することができ、板状積層体から支持体を剥離する工程の生産性を高めることができる。
【００１６】
また、粘着ロールの外周面を、ＴｉＯｘ（酸化チタン）を含む材料で形成されたものとしたり、ＴｉＯｘ（酸化チタン）を含み、且つ、Ｂａ（バリウム）を含まない材料で形成されたものとしたり、あるいは、Ｃ−Ｏ又はＳｉ−Ｏの官能基を持つ炭化水素化合物を含む材料で形成されたものとすれば、上記支持体の剥離に繰り返し使用される粘着ロールの粘着力の低下を抑制することができ、粘着ロールのメンテナンスの頻度を少なくすることができるとともに、粘着ロールの寿命を延ばすことができるので、板状積層体から支持体を剥離する工程の生産性をさらに高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に示す実施例に基づいて説明する。図１は本発明による支持体剥離装置の全体側面図であり、図２は上記支持体剥離装置上に位置決めされた板状積層体（以下、ワークという）の状態を示す平面図である。図３は支持体が被覆されているワークの拡大断面図である。また、図４は上記支持体剥離装置の後述する粘着ロール回転移送部を図１における左側から見た図であり、図５は後述するターレット板と歯車の位置関係を示す側面図、図６は粘着ロールで支持体を剥離していく過程を示す側面図である。
【００１８】
本発明の表面層剥離装置は、作用膜４２と支持体４３とを積層してなる作用フィルム４５を作用膜４２の側を基板４１上に貼り付けて構成した板状積層体であるワーク４０から、支持体４３を剥離する支持体剥離装置であって、外周面２４が粘着材料で構成された４つの粘着ロール２３と、各粘着ロール２３のそれぞれが各軸芯２３Ｃの周りに回転可能となるようにして各粘着ロール２３を回転軸３５の周りに観覧車状に配置してなる、各粘着ロール２３を回転軸３５の周りに回転移送する粘着ロール回転移送部３０と、ワーク４０の板面の角部４０Ｋが、粘着ロール回転移送部３０により回転移送される粘着ロール２３の剥離実施位置Ｊへ向けて先頭になるように位置決めする位置決め部５０と、位置決め部５０により位置決めされたワーク４０を剥離実施位置Ｊへ向けて搬送する搬送部５５とを備えている。
【００１９】
さらに、この表面層剥離装置は、粘着ロール回転移送部３０の回転移送により複数の粘着ロール２３のうちの１つを剥離実施位置Ｊに位置させ、位置決め部５０により位置決めされたワーク４０を、搬送部５５により、剥離実施位置Ｊに位置する粘着ロール２３の軸芯２３Ｃが延びる方向（図中矢印Ｚ方向）に対して垂直な方向（図中矢印Ｘ方向）へ移送しながら、粘着ロール２３の外周面２４を、ワーク４０の支持体４３に押圧しつづけることにより、ワーク４０の角部４０Ｋに位置する支持体４３から粘着ロール２３の外周面２４に粘着させ剥離させてこの支持体４３を粘着ロール２３に巻き取ってワーク４０から支持体４３の全てを剥離させ、その後、粘着ロール回転移送部３０による回転移送により後続の粘着ロール２３を剥離実施位置Ｊに位置させて、後続のワーク４０から支持体を剥離させる剥離実施制御部６１と、剥離動作を終了した粘着ロール２３に巻き取られた支持体４３を、この粘着ロール２３から取り外す支持体取外し部６５と、支持体４３が取り外された粘着ロール２３をクリーニングするクリーニング部７０とを備えている。
【００２０】
この支持体剥離装置では、図３（ａ）に示すような、基板４１の両側に作用フィルム４５を貼り付けたワーク４０から表裏両面の支持体４３を同時に剥離することができる。また、図３（ｂ）に示すような、基板４１の片側にのみ作用フィルム４５を貼り付けたワーク４０´から支持体を剥離することもできる。なお、支持体４３は、例えばＰＥＴ樹脂製のフィルムで構成される。
【００２１】
ワーク４０が、例えば、作用膜４２としてレジスト膜を積層したプリント基板作成用のものである場合には、支持体４３を通してこのレジスト膜に対して所望のプリント配線パターンを形成するための面露光あるいはレーザ露光を施した後、上記支持体剥離装置によりこのワーク４０から上記表裏両面の支持体４３が剥離されて基板４１と作用膜４２とからなるワーク本体４６が次工程である上記レジスト膜の現像工程に投入される。
【００２２】
また、ワーク４０´が、例えば、基板４１としてガラス基板、作用膜４２としてカラーフィルタフィルムを積層した液晶パネルのカラーフィルタ作成用のものである場合には、上記支持体剥離装置によりこのワーク４０´から支持体４３が剥離された基板４１と作用膜４２とからなるワーク本体４６´が次工程である露光工程に投入される。そして、この露光工程での面露光あるいはレーザ露光により上記カラーフィルタフィルムに所定のパターンが露光されて、このカラーフィルタフィルムの所望の領域が硬化された後、さらに、このワーク本体４６´が次工程であるレジスト膜の現像工程に投入される。
【００２３】
また、ワーク４０´が、例えば、基板４１としてガラス基板、作用膜４２として偏光フィルムを積層した液晶パネルの偏光フィルタ作成用のものである場合には、上記支持体剥離装置によりこのワーク４０´から支持体４３が剥離された基板４１と作用膜４２とからなるワーク本体４６´が、そのまま、液晶パネル作成のための次工程に投入される。
【００２４】
粘着ロール２３の外周面２４に用いられる粘着ゴムの材質としては、ＴｉＯｘ（酸化チタン）、及び（又は）Ｃ−Ｏ又はＳｉ−Ｏの官能基を有する炭化水素化合物とを含み、しかもＢａ（バリウム）を含まない粘着性ゴムが好適に使用できる。この材料を用いることにより、高い粘着力を長期間にわたって維持できる。この材料は、下記表１における「材料Ａ１」又は「材料Ａ２」で示す性能を有するものがよい。
【表１】
2005219892.tif 000003
【００２５】
表１では、材料Ａ１と材料Ａ２について、粘着力、硬度、電気抵抗値をそれぞれ示している。上記粘着ゴムは、電気抵抗値が小さいため静電気を除去できる特徴も有している。
【００２６】
表２は、材料Ａ１、材料Ａ２、比較材料Ｂ１、比較材料Ｂ２の各ゴム質の解析結果と総合性能を比較したものである。
【表２】
2005219892.tif 000004
【００２７】
これによると、同じ粘着ゴム材料であっても、材料Ａ１、材料Ａ２のゴム質のように、充填剤としてＴｉＯｘを含み、且つ、可塑剤としてＣ−Ｏ又はＳｉ−Ｏの官能基を有する炭化水素化合物を含む粘着ゴムが、搬送性が良く、粘着力の自然経時の劣化が遅いので本実施形態の粘着ロールに用いて最適であることが分かる。逆に、Ｂａを含む粘着ゴムは、粘着力の自然経時劣化の点でも良くない。従って、Ｂａを含む粘着ゴムは、粘着ロールとしては不適であることが分かる。
【００２８】
従って、本実施形態の粘着ロールに適用可能な成分構成としては、以下の（Ｂ１）〜（Ｂ５）のいずれかとなる。
【００２９】
（Ｂ１）ＴｉＯｘを含む
（Ｂ２）ＴｉＯｘを含み、且つ、Ｂａを含まない
（Ｂ３）Ｃ−Ｏ又はＳｉ−Ｏの官能基を持つ単価水素化合物を含む
（Ｂ４）ＴｉＯｘを含み、且つ、Ｃ−Ｏ又はＳｉ−Ｏの官能基を持つ炭化水素化合物を含む
（Ｂ５）ＴｉＯｘを含み、且つ、Ｃ−Ｏ又はＳｉ−Ｏの官能基を持つ炭化水素化合物を含み、且つＢａを含まない
このような成分構成の粘着ゴム材料を用いた粘着ロールにより、その粘着性の経時変化を防止することができ長期に亘って良好な粘着力を維持できる。
【００３０】
位置決め部５０は、後述する搬送部５５を間に挟んでワーク４０が搬送される側に向けて突出可能な位置決めピン５１ａ、５１ｂ、および位置決めピン５１ａ、５１ｂを出入りさせる出入駆動部５２を有し、後述する搬送コンベア２１上に位置決めピン５１ａ、５１ｂを出入りさせる。位置決めピン５１ａ、５１ｂは上記搬送方向と直交する方向（図中矢印Ｚ方向）における互いに異なる位置に位置している。
【００３１】
搬送コンベア２１上に位置決めピン５１ａ、５１ｂを突出させた状態のときに、これらの位置決めピン５１ａ、５１ｂにワーク４０の側面を当て付けることにより、ワーク４０の板面の互いに隣り合う２辺４０Ｈ１、４０Ｈ２（板状積層体４０を厚さ方向から見たときに互いに隣り合う２辺）に挟まれた角部４０Ｋが上記剥離実施位置Ｊへ向けられる。すなわち、角部４０Ｋを搬送方向（図中矢印Ｘ方向）の最下流側に位置させる。
【００３２】
より具体的には、ワーク４０の角部４０Ｋを構成する辺４０Ｈ１を剥離実施位置Ｊに位置した粘着ロール２３の軸芯に対して傾斜角αとなるように位置させる。
【００３３】
なお、板材の傾斜角αは、ここでは０度より大きく４５度より小さい範囲とすることが可能である。また、位置決めピン５１ａ、５１ｂは、ワーク４０が搬送される時、ワーク４０の進行を妨げないように、出入駆動部５２により搬送台面下（この出入駆動部５２の側）に引き込まれる。出入駆動部５２が位置決めピン５１ａ、５１ｂを駆動させる駆動機構としてはソレノイド、圧力シリンダ等が利用される。そして、位置決めピン５１ａ、５１ｂが搬送台面下に引き込まれた後、ワーク４０が搬送される。なお、位置決めピン５１ａ、５１ｂの代わりに、図２に示すように、ワーク４０の進行を妨げない位置に固定した位置決めガイド５３を設けるようにしてもよい。
【００３４】
なお、ワーク４０は、ストッカー（図示は省略）から例えば吸着パット（図示は省略）で吸着されて搬送コンベア２１上に載置されるときに、上述の位置決めピン５１ａ、５１ｂに当て付けられて、ワーク４０の板面の角部４０Ｋが、剥離実施位置Ｊへ向くように位置決めされる。
【００３５】
搬送部５５は、多数のローラー２１Ｒが並べられて構成された搬送コンベア２１と多数のローラー２２Ｒが並べられて構成された払出コンベア２２とで構成されている。搬送コンベア２１はワーク４０を粘着ロール回転移送部３０に連続して供給するものであり、払出コンベア２２は、支持体４３が剥離された基板４１と作用膜４２とからなるワーク本体４６をさらに下流側に搬送するものである。
【００３６】
払出コンベア２２は、搬送コンベア２１の先端と若干の間隙を有し、かつ側面視で（図１参照）若干低レベルに位置するものである。
【００３７】
上記搬送コンベア２１および払出コンベア２２は、駆動源（図示は省略）によって回転するローラー２１Ｒ、２２Ｒの駆動によって、ワーク４０を剥離実施位置Ｊに位置する粘着ロール２３の軸芯２３Ｃに垂直な方向（図示の矢印Ｘ方向）へ搬送する。
【００３８】
後述する粘着ロール回転移送部３０は、剥離実施位置Ｊにおいて軸芯２３Ｃの回りに回転させられた粘着ロール２３でワーク４０を押圧搬送するための押圧搬送機構を備えており、この押圧搬送機構は、自転モーター３９、駆動軸１９に固設された歯車１１、粘着ロール２３の軸２３ａに固設された歯車１３、シリンダー１６、１７、シリンダー１６、１７のそれぞれのピストンロッド１６ａ、１７ａ間にそれぞれ回転自在に軸支されたバックアップロール２６、２７を有している。
【００３９】
ここで、粘着ロール２３が、バックアップロール２６、あるいは２７で押圧されながら、歯車１１、１３を介し自転モーター３９で駆動されて図示の矢印方向に回転せしめられ、搬送コンベア２１上を搬送されてきたワーク４０を押圧搬送して、このワーク４０に被覆されている支持体４３を粘着剥離し、その支持体４３を巻き取りながらワーク４０から支持体４３の全量を剥離する。
【００４０】
粘着ロール回転移送部３０は、搬送コンベア２１及び払出コンベア２２からなる搬送部５５の上下両側にそれぞれ１台ずつ合計２台配設されており、基板４１の表裏両面に支持体４３が被覆されている場合には、その支持体４３を両方同時に剥離することができるようになっているが、表裏どちらか片面にしか支持体４３が被覆されていない場合には、上側の粘着ロール回転移送部３０を作動させればよいものである。粘着ロール回転移送部３０の構成はもちろん、ワーク４０の表面と裏面に被覆されている支持体４３を剥離する動作などは上下とも全く同一なので、以下、ワーク４０の一方の側に被覆されている支持体４３を剥離する場合について、即ち上側の粘着ロール回転移送部３０について主に説明をする。
【００４１】
図４では上側の粘着ロール回転移送部３０しか図示していないが、実際は図中Ｘ方向へ搬送されるワーク４０の下方には、ワーク４０の裏面を被覆している支持体４３を剥離する同一の粘着ロール回転移送部３０が上下対称に配設されているものである。
【００４２】
図１、図４において、ターレット板４は搬送されてくるワーク４０の幅方向（図中矢印Ｚ方向）両側に対向配設された一対のターレット板であり、回転軸３５はターレット板３４をベアリング２０を介して回転自在に支持するものである。
【００４３】
回転軸３５はターレット板３４の外側に配設されている側板３７に固設され、ターレット板３４の周縁部には脚部３６が等間隔に４個突設されており、対向する各脚部３６の先端間には粘着ロール２３がそれぞれワーク４０と幅方向に接するように回転自在に軸支されている。公転モーター３８はターレット板３４を図示の矢印方向に回転させるもので、自転モーター３９は粘着ロール２３を所定の位置でのみ回転させるものであり、歯車１０は公転モーター３８の駆動軸１８に固設されており、歯車１１は自転モーター３９の駆動軸１９に固設している。
【００４４】
また、一方で、図４において左側のターレット板３４に連結している軸受１４には歯車１２が固設され、この歯車１２は公転モーター３８の駆動軸１８に固設した歯車１０と常時噛合している。また、図４において右側の他方のターレット板３４側で、脚部３６に軸支されている粘着ロール２３の各軸２３ａの端部にも歯車１３がそれぞれ固設され、これら各歯車１３は自転モーター３９の駆動軸１９に固設した歯車１１と後述するように所定の範囲で噛合するようになっている。
【００４５】
シリンダー１６、１７は、ワーク４０の幅よりやや外側に配置された、回転軸３５の真上と真下にそれぞれ固設する２基で一対のシリンダーであり、シリンダー１６、１７のそれぞれのピストンロッド１６ａ、１７ａの間に、バックアップロール２６、２７がそれぞれ回転自在に軸支されている。図４において、上側のバックアップロール２６は、各粘着ロール２３が回転軸３５の真上（図１のＹ位置）に到来したときに、シリンダー１６の作動によって上昇して、粘着ロール２３が撓まないようにその周面を下から強く押圧するものであり、下側のバックアップロール２７は、各粘着ロール２３が回転軸３５の真下（図１の剥離実施位置Ｊ）に到来したときに、シリンダー１７の作動によって下降して、粘着ロール２３が撓まないようにその周面を上から強く押圧するものである。
【００４６】
支持体取外し部６５を構成する支持体取外しロール６６は高粘着質の材料、例えば外周面に高い粘着力を有する接着剤が塗布されて成形されたものであって、上側の粘着ロール回転移送部３０においては、各粘着ロール２３に上方から接触可能になるように、回転軸３５の真上（図１の支持体取外し位置Ｈ）に配設されており、図１の反時計方向（図示の矢印方向）に、図示しない駆動部によって回転するように構成されている。したがって、各粘着ロール２３によって剥離されその周面に巻回された支持体４３は、上方から接触してくる支持体取外しロール６６によって、図示の支持体取外し位置Ｈにおいて粘着され、粘着ロール２３の周面から剥ぎ取られるものである。
【００４７】
クリーニング部７０を構成するクリーニングロール７１は、回転軸３５の真横、即ち図１の側面視で同レベルに位置し、かつ各粘着ロール２３よりもワーク４０の搬送方向上流側、すなわち、剥離実施位置Ｊの上流側に配設されて、図示しない駆動部によって、図１において時計方向に回転させられており、支持体取外しロール６６によって支持体４３が剥ぎ取られた各粘着ロール２３に水平方向から面接して、各粘着ロール２３の表面に付着したゴミなどを除去し、その粘着度を維持向上させるようになっている。
【００４８】
上記のように、公転モーター３８の駆動軸１８に固設された歯車１０と、ターレット板３４に連結された軸受１４に固設された歯車１２とは常時噛合しているので、ターレット板３４は、公転モーター３８の作動により、回転軸３５を中心に一方向に回転する。つまり、図１において、上側のターレット板３４は反時計方向に、下側のターレット板３４は時計方向にそれぞれ回転する。そして、各粘着ロール２３は、その各軸２３ａの端部に固設された歯車１３が、自転モーター３９の駆動軸１９に固設された歯車１１に、それぞれ所定の範囲で噛合するときにのみ回転するようになっており、次に、それらの回転の仕組みと各歯車の位置関係について説明する。
【００４９】
図５に示すように、自転モーター３９の駆動軸１９に固設されている歯車１１は、回転軸３５の下方に配設されており、上記剥離実施位置Ｊに位置した粘着ロール２３で支持体４３を押圧粘着しながら巻き取るときに回転させられる。
【００５０】
図６（ａ）〜（ｄ）に粘着ロール２３で支持体４３を巻き取る過程を示す。この図６（ａ）〜（ｄ）で示すように、粘着ロール２３は、歯車１１、１３を介した自転モータ３９の駆動によって図示の矢印方向に回転し、搬送コンベア２１上に搬送されてきたワーク４０の角部４０Ｋを最初に押圧し粘着剥離させてこのワーク４０に被覆されている支持体４３の剥離を開始する（図６（ａ）参照）。その後、粘着ロール２３がワーク４０を押圧搬送しながら剥離させた支持体４３を巻き取りを続け（図６（ｂ）参照）、ワーク４０の搬送方向最上流側の角部４０Ｅまで粘着ロール２３によるワーク４０の押圧搬送を行い（図６（ｃ）参照）、支持体４３をワーク４０から全量剥離する。なお、図６（ｄ）に示すように、全量剥離され粘着ロール２３に巻き取られた支持体４３の後端は下方に垂れ下がった状態となり、この支持体４３の後端の下方に垂れ下がった終端部４３Ｅが、後述するクランパ７１によって把持される。
【００５１】
このように、剥離工程中において常に粘着ロールとワークとを接触させることで、作用膜と支持体とが強く密着している作用フィルムを使用した場合であっても、安定して（スティキング等を生じることなく）支持体を作用膜から剥離することができる。
【００５２】
本発明は、以上のような構成になっており、次に、その一連の動作について更に詳細に説明する。なお、この一連の動作は上記剥離実施制御部６１によって制御されるものである。
【００５３】
ワーク４０の表面の支持体４３を剥離する上側のターレット板３４は公転モーター３８によって図１における反時計方向に回転し、裏面の支持体４３を剥離する下側のターレット板３４もそれに同期して公転モーター３８によって図１における時計方向に回転する。そして、４個の粘着ロール２３のうちの１つである粘着ロール２３がその剥離実施位置Ｊに上下共に同時に到来し、ワーク４０の先端の角部４０Ｋが搬送コンベア２１によって剥離実施位置Ｊに搬送されると、粘着ロール２３によるワーク４０の表面及び裏面に被覆されている支持体４３の剥離を開始する。上記のように、上下に配設された粘着ロール回転移送部３０は、その動作が上下対称に全く同様に行われるので、以下、上側の粘着ロール回転移送部３０の作用についてのみ説明する。
【００５４】
まず、粘着ロール２３が剥離実施位置Ｊに到来しこの位置で停止した後、上記位置決め部５０によって位置決めされたワーク４０は搬送コンベア２１で搬送されて、その先端の角部４０Ｋが剥離実施位置Ｊに到達し粘着ロール２３の周面とワーク４０の先端の角部４０Ｋが接触する。そして、その位置で一旦待機する。そして、バックアップロール２７が下降して粘着ロール２３の周面を強く押し下げるように押圧して、粘着ロール２３の外周面がワーク４０の角部４０Ｋに位置する支持体を強固に押圧する。このようなバックアップロール２７を設けると、粘着ロール２３がワーク４０の表面を押圧して支持体４３の剥離を開始するにあたり、粘着ロール２３が撓んで、その外周面に支持体４３が粘着しないのを防ぐことができる。
【００５５】
続いて、この剥離実施位置Ｊにおいて、自転モーター３９の駆動軸１９に固設した所定の位置に位置する歯車１１と、粘着ロール２３の軸２３ａに固設した歯車１３とは噛合を開始し、自転モーター３９の作動によって、粘着ロール２３が回転を始める。こうして、ワーク４０の表面の支持体４３を剥ぎ取って行き、支持体４３は全量が剥離される。
【００５６】
支持体４３の剥離が終了すると、粘着ロール２３の回転が停止する。このとき、上述したように、剥離した支持体４３の終端部４３Ｅが粘着ロール２３の周面に完全に巻き付かずにひらひら離れている状態となっている。
【００５７】
その後、ターレット板３４が回転し、粘着ロール２３が公転すると、支持体４３を巻き取った粘着ロール２３は図示の支持体取外し位置Ｈに到来する。この支持体取外し位置Ｈには高粘着質の材料で成形された支持体取外しロール６６が図示の矢印方向に回転しながら待機しているので、粘着ロール２３が支持体取外し位置Ｈに到来すると、粘着ロール２３の周面に巻回されている支持体４３と支持体取外しロール６６は互いに接触し、その支持体４３が支持体取外しロール６６に粘着されて剥ぎ取られていく。
【００５８】
このとき、上記剥離実施位置Ｊにおける場合と同様に、粘着ロール２３に巻回された支持体４３を、支持体取外し位置Ｈで回転する支持体取外しロール６６に面接させて剥ぎ取るにあたり、粘着ロール２３が撓んで支持体４３が支持体取外しロール６６に粘着しないのを防ぐために、回転軸３５に固設したシリンダー１６を作動させてバックアップロール２６を上昇させ、粘着ロール２３を下から押圧して、その周面に巻回された支持体４３を支持体取外しロール６６に強く押しつける。なお、これらバックアップロール２６、２７の上昇・下降は、上記支持体取外しロール６６による支持体４３の剥ぎ取り、および上記粘着ロール２３による支持体４３の剥離の時のみで、その目的が終了したら、どちらも元の位置に復帰するものである。
【００５９】
その後、更にターレット板３４が回転して、支持体取外しロール６６に支持体４３を剥ぎ取られた粘着ロール２３が図示のクリーニング実施位置Ｃに到来すると、そのクリーニング実施位置Ｃにはクリーニングロール７１が待機しているので、粘着ロール２３は、その外周面がクリーニングロール７１と接触する。そして、この粘着ロール２３の外周面に付着しているゴミなどがクリーニングロール７１によって除去されて、粘着ロール２３の外周面の粘着度が維持向上される。なお、支持体４３が剥離された基板４１は払出コンベア２２で、次の工程へ搬送されていく。
【００６０】
そして、ターレット板３４がさらに回転して、粘着ロール２３が、再度、剥離実施位置Ｊに到来すると、後続のワーク４０に対して上記と同様の動作を繰り返すことによって、支持体４３が逐次剥離されていくものである。
【００６１】
以上、ワーク４０の表面を被覆している支持体４３の剥離について、その動作説明をしたが、上記のように、ワーク４０の裏面を被覆している支持体４３の剥離に際しても、当然ながら、同様に、かつ同時に行われるものである。また、本実施例ではターレット板３４に４基の粘着ロール２３が配設されているが、その基数は特に限定されるものではない。
【００６２】
また、この表面層剥離装置は上記押圧搬送機構を備える場合に限らない。上記押圧搬送機構を備えていない場合には、粘着ロール回転移送部３０により粘着ロール２３を剥離実施位置に位置させ、ワーク４０を搬送部５５により移送して、このワーク４０を上記粘着ロール２３と搬送コンベア２１（払出コンベア２２）との間に通して、粘着ロール２３の外周面２４を支持体４３に押圧しつづけることにより、支持体４３を粘着ロール２３に粘着させて巻き取ってこの支持体４３をワーク４０から剥離する。なお、この場合には粘着ロール２３は駆動源によって駆動されることなく自由に回転可能な状態となっている。ここで、支持体４３が粘着ロール２３の外周面２４で押圧されるように、上記粘着ロール２３と搬送コンベア２１（払出コンベア２２）との間隔がワーク４０の厚さより狭くなるように上記剥離実施位置を定める。
【００６３】
あるいは、上下の粘着ロール回転移送部３０により上下の粘着ロール２３を剥離実施位置に位置させ、ワーク４０を搬送部５５により移送し、このワーク４０を上下の粘着ロール２３の間に通して、各粘着ロール２３の外周面２４を支持体４３に押圧しつづけることにより、支持体４３を粘着ロール２３に粘着させて巻き取ってこの支持体４３をワーク４０から剥離する。この場合には、粘着ロール２３は駆動源によって駆動されることなく自由に回転可能な状態となっている。ここで、支持体４３が粘着ロール２３の外周面２４で押圧されるように、上下の粘着ロール２３の間隔がワーク４０の厚さより狭くなるように上記剥離実施位置を定める。
【００６４】
なお、剥離動作を終了した粘着ロール２３から支持体４３を取り外す上記支持体取外し部６５の代わりに、図７に示すような、支持体取外し部７０を採用するようにしてもよい。図７は上記とは異なる構成の支持体取外し部を備えた支持体剥離装置の全体側面図である。
【００６５】
支持体取外し部７０は、剥離動作を終了した粘着ロール２３から垂れ下がる支持体４３をクランプする支持体クランパ７１と、この支持体クランパ７１を駆動するクランパ駆動部７２とを払出コンベア２２の上下両側にそれぞれ備えている。
【００６６】
支持体クランパ７１は、固定クランパ７１Ａと、この固定クランパ７１Ａに対して図中Ｚ方向に延びる軸７０Ｚの回りに回動して上記固定クランパ７１Ａとの間に支持体４３を把持する可動クランパ７１Ｂとを備えている。また、支持体クランパ７１自身も上記軸７０Ｚの回りに回転可能である。
【００６７】
固定クランパ７１Ａおよび可動クランパ７１Ｂのそれぞれは、先端が鋭くかつ湾曲を成しこの先端が上方（図中Ｙ方向）を向いており、粘着ロール２３から垂れ下がる支持体４３を把持するのに都合の良い形状を有している。
【００６８】
なお、粘着ロール２３から剥離された支持体４３は、払出コンベア２２の上下両側に配置された収納部７５内に収納されるようになっている。
【００６９】
支持体クランパ７１は、剥離実施位置Ｊから回転軸３５の回りに９０度回転した図中粘着ロール２３が位置する下方の待機位置Ｔに待機しており、クランパ駆動部７２の駆動により、上記クランプ動作および軸７０Ｚの回りの回転動作を行って剥離動作を終了した粘着ロール２３から下方に垂れ下がる支持体４３の端部４０Ｅを把持する。その後、クランパ駆動部７２の駆動により、支持体クランパ７１が支持体４３を図中矢印Ｘ方向に引っ張りながら収納部７５の上方位置にまで移送した後、可動クランパ７１Ｂを開いて支持体４３の端部４０Ｅの把持を解除し、この支持体４３を解放し収納部７５内に落下させる。
【００７０】
上記動作の繰り返しによって、連続搬送されるワーク４０から剥離されて粘着ロールに巻きつけられた支持体４３が、収納部７５内に順次収納される。
【００７１】
上記のように、本発明の支持体剥離装置によれば、様々な支持体、および種々の厚さの支持体の剥離を効率良く確実に実施することができる。
【００７２】
また、上記支持体剥離装置は多数のワークから支持体を連続剥離することができ、さらに、粘着ロールの交換が不要でこの粘着ロールのメンテナンスの頻度をも少なくすることができるので剥離工程の生産性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明による支持体剥離装置の全体側面図
【図２】支持体剥離装置上に位置決めされたワークの状態を示す平面図
【図３】支持体が被覆されているワークの拡大断面図
【図４】支持体剥離装置の粘着ロール回転移送部を図１における左側から見た図
【図５】ターレット板と歯車の位置関係を示す側面図
【図６】粘着ロールで支持体を剥離していく過程を示す側面図である。
【図７】支持体取外し部の他の構成例を示す図
【符号の説明】
【００７４】
２４    外周面
２３    粘着ロール
３０    粘着ロール回転移送部
４０    ワーク
４０Ｋ    角部
４３    支持体
５０    位置決め部
６１    剥離実施制御部
６５    支持体取外し部
７０    クリーニング部
Ｊ    剥離実施位置
【図１】
2005219892.tif 000005
【図２】
2005219892.tif 000006
【図３】
2005219892.tif 000007
【図４】
2005219892.tif 000008
【図５】
2005219892.tif 000009
【図６】
2005219892.tif 000010
【図７】
2005219892.tif 000011