(57)【要約】  【課題】    低周波領域（低周波ノイズ）において磁気シールド効果があり、高周波ノイズの反射にて対しては少なくとも干渉させない程度にノイズ抑制効果を有する磁気シールドシートを提供することである。  【解決手段】  鉄系金属シートまたは鉄系金属粉末と結合材とからなる導電層１の片面または両面に、磁性粉末と結合材とからなる磁性体層２が設けられた磁気シールドシートであって、ＫＥＣ法及びアドバンテスト法により測定した周波数５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚの磁気シールド効果が２０ｄＢ以上を有し、かつその磁性体層の少なくとも片面は高周波ノイズに対して抑制効果を示す。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電層の片面または両面に絶縁性を有する磁性体層が設けられた磁気シールドシートであって、ＫＥＣ法またはアドバンテスト法により測定した周波数５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚの磁気シールド効果が１５ｄＢ以上を有し、かつ高周波ノイズに対して抑制効果を示すことを特徴とする磁気シールドシート。
【請求項２】
前記導電層が鉄系金属シート、または鉄系金属粉末と結合材とからなる請求項１記載の磁気シールドシート。
【請求項３】
前記鉄系金属シートまたは鉄系金属粉末は、初期透磁率が１０以上で５，０００未満である請求項１記載の磁気シールドシート。
【請求項４】
前記磁性体層が、磁性粉末と結合材とからなる請求項１記載の磁気シールドシート。
【請求項５】
磁性粉末がフェライトおよび軟磁性金属粉から選ばれる少なくとも１種である請求項４記載の磁気シールドシート。
【請求項６】
前記フェライト及び軟磁性金属粉の平均粒子径が５０μｍ以下である請求項５記載の磁気シールドシート。
【請求項７】
軟磁性金属粉は球形またはアスペクト比２以上の偏平形状である請求項５記載の磁気シールドシート。
【請求項８】
前記磁性粉末の表面がカップリング剤処理または樹脂コーティングされていることを特徴とする請求項４〜７のいずれかに記載の磁気シールドシート。
【請求項９】
前記磁性体層は表面抵抗率（ＪＩＳ  Ｋ  ６９１１）が１０6Ω以上である請求項１〜８のいずれかに記載の磁気シールドシート。
【請求項１０】
ディスプレイのセンス部と位置指示器との間で電波または磁気をやりとりし、少なくともディスプレイのセンス部に接続された位置検出回路によって入力位置を検出する入力対応表示装置において、請求項１〜９のいずれかに記載の磁気シールドシートをディスプレイのセンス部の近傍に設けたことを特徴とする入力対応表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器等に使用される磁気シールドシートおよび入力対応表示装置に関し、より詳しくは、低周波数（５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚ）における磁気ノイズ（低周波ノイズという）に対する磁気シールド性が向上し、且つ高周波数（３０ＭＨｚ〜５ＧＨｚ）の電磁波ノイズ（高周波ノイズという。）に対する抑制効果をも有する磁気シールドシートおよび入力対応表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器は高度化する一方、小型化・軽量化も進められている。このため、電子機器内で発生する磁気ノイズ（低周波ノイズ）や電磁波ノイズ（高周波ノイズ）による干渉によって誤動作が生じるおそれがある。ここでいう誤動作は、電磁波干渉により正常な動作が遂行できないことであり、例えば磁気ノイズにより画像表示装置（ディスプレイ）に揺れが生じたり、解像度が下がったりする現象も含まれる。これを防止するために、電子機器内に磁気シールド材を設けることが提案されている。シールド材としては、パーマロイ、鉄箔等が有効であることが知られている。
【０００３】
特許文献１には、軟磁性体の金属またはその合金（パーマロイ粉末など）粉末と有機結合剤（柔軟なゴム等）との組み合わせによる遮蔽シートが電磁波や磁気を遮蔽するのに有効であると開示されている。
【０００４】
特許文献２には、アモルファス合金もしくはナノ結晶合金よりなる複数条の磁性薄帯（薄い軟磁性体）同士が、端部を部分的に重ね合わされ、かつ並行に配置され、樹脂（ＰＥＴ等）により一体化しているシールド部材が開示されている。
【０００５】
特許文献３には、偏平な軟磁性粉末等を含有した磁性層と、その片面または両面に設けられた導電層（導電板、網目状導電坂、導電性繊維）とからなり、電磁波ノイズを抑制する電磁波干渉抑制体が開示されている。
特許文献４には、磁性層間に金属蒸着層の表面に、偏平状金属粉末を含む磁性層を形成した磁気シートが開示されている。
【０００６】
これらの特許文献では、電磁波等の不要電波による誤動作を防止するために金属シールド、ゴムシートなどの磁気シールド材を用いているが、金属シールド（特に鉄系金属）は長期間使用すると錆びるという問題がある。また、軟磁性金属粉と有機結合材とから作製されるゴムシートなどの磁気シールド材は、シールド材の構成において有機結合材が連続層となるため、シールド材としての透磁率が低いので十分な磁気シールド効果（低周波ノイズシールド効果）を得るにはシート厚みが最低でも１ｍｍが必要である。１ｍｍ未満の厚みで十分な低周波シールド性を発現するためには、金属シート（例えば鉄の薄膜シート）が必要となる。
【０００７】
また、特許文献３に記載のような磁性層間に導電層があるものは、高周波領域にシールド効果があり、さらに電磁波抑制効果があるが、低周波領域では磁気シールド効果がない。この特許文献では磁性を有する金属で導電層を形成しているものの、メッシュを用いているため、低周波の磁気は少しの隙間でも回り込んで、進入していくためである。
【０００８】
さらに、特許文献５には、初期透磁率が５，０００以上の軟磁性金属箔と、磁性粉体および結合材からなる磁性粉体層とを積層した電磁波制御積層材が開示されている。
【０００９】
この特許文献５では、低周波領域の磁気シールド効果がある電磁波制御積層材の磁性体層には粒子径１００μｍ以上の磁性粒子を５０〜１００容量％含有するものを用いるため、必然的に磁性層が１００μｍ以上の層になり、軟磁性金属箔の両面に磁性層を設けると、厚さが２００μｍ以上のシールド材となる。この結果、十分な磁気シールド効果を得るためには実施例に開示してある通り、シールド層が１ｍｍ以上も必要となるため、得られるシールド材は厚さが大きいものなる。
【００１０】
一方、近時は、電子機器自体の小型化、高機能化から益々機器内にスペースがなくなるため、電子機器の設計上、シールド材にも薄さが求められる。すなわち、ノイズ抑制シートに許容される厚さは１ｍｍ以下であり、特に近年０．５ｍｍ以下の厚さを求められる。この厚さで所望の磁気シールド性を有する必要がある。薄い磁性体層でも高透磁率の金属板を用いた場合に磁気シールド性を確保することはできるが、金属面のままでは最近電子機器内で問題となる高周波数の放射電磁波に対してもシールド板として機能するため、その反射波が相互干渉の問題を引き起こすことがある。また、磁性材料は非常に高価であるため、厚みが大きくなるとコストが高くなるし、金属板の剛性から１００μｍ厚以上となると、曲げ加工も難しく、切断することも容易ではなくなり、取扱性が著しく阻害されることになる。
【００１１】
ところで、近時、手書きの文字や図形を入力するために、パネル状のディスプレイとペン状の位置指示器とを備え、この位置指示器で指定されたディスプレイ上のＸ軸およびＹ軸の２方向の位置を検出する、電波又は磁気を用いた入力対応表示装置が開発されている。この装置は、例えば（株）ワコムから商品名「ペンタブレット」として市販されている電磁誘導ペンタブレットが挙げられる。
図５は上記入力対応表示装置の概要を示すものであって、図中、２１は位置を入力するためのディスプレイ、２２は位置を指定するための位置指示器（例えばペン状指示器）、２３は位置指示器２２で指定されたディスプレイ２１上の座標値を検出する位置検出回路である。
【００１２】
この種の入力対応表示装置では、ディスプレイ２１のセンス部の近傍にシールド板を置き、外部からの不要な妨害電波や地磁気等（低周波ノイズ及び高周波ノイズ）の影響を避けるようにしている。すなわち、このディスプレイ２１は、図６に示すように厚さ約０．８ｍｍ程度の平板状のセンス部１１の上下に、厚さ約２ｍｍ程度のアクリル樹脂板、塩化ビニル樹脂板等の補強板１２,１３が設けられ、センス部１１と補強板１３との間にはシールド板１４がセンス部１１の下面に密着するように設けられ、さらにその全体が厚さ０．１ｍｍ程度のフィルム１５でラミネートされている。シールド板１４としては薄く（１ｍｍ以下）で、かつ磁気シールド性は周波数５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚの磁気シールド性が１５ｄＢ以上要求される。
【００１３】
前記シールド板１４として、特許文献６には、特定のケイ素鋼を使用することが記載されている。しかしながら、ケイ素鋼のみからなるシールド板１４では、外部からの不要な妨害電波や磁気をシールドするのは充分ではない。
【００１４】
【特許文献１】特開平１０−５６２９２号公報
【特許文献２】特開平１１−２６９８１号公報
【特許文献３】特開平７−２１２０７９号公報
【特許文献４】特開２０００−３４８９１６号公報
【特許文献５】特開２０００−４０８９３号公報
【特許文献６】特許２６０８９０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明の課題は、上記問題点を解決し、絶縁性を有し、錆びず且つ厚さが薄く、低周波領域（低周波ノイズ）において磁気シールド効果があり、高周波ノイズの反射に対しては少なくとも干渉させない程度にノイズ抑制効果を有する磁気シールドシートおよびこれを用いた入力対応表示装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の磁気シールドシートは、導電層の片面または両面に絶縁性を有する磁性体層が設けられた磁気シールドシートであって、ＫＥＣ法またはアドバンテスト法により測定した周波数５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚの磁気シールド効果が１５ｄＢ以上を有し、かつ高周波ノイズに対して抑制効果を示すことを特徴とする。
【００１７】
前記導電層は鉄系金属シート、または鉄系金属粉末と結合材とからなり、特に初期透磁率が１０以上で５，０００未満である鉄系金属シートまたは鉄系合金粉末を使用するのが好ましい。さらに好ましくは初期透磁率が５０以上で４，０００以下である。
前記磁性体層は磁性粉末と結合材とからなり、磁性粉末はフェライトおよび軟磁性金属粉から選ばれる少なくとも１種であって、偏平状あるいは繊維状でない形状、すなわち球状、塊状、及び凝集状である場合には、平均粒子径が５０μｍ以下であるのが好ましい。また本発明では、前記磁性粉末が球状、塊状または凝集状でない形状の軟磁性金属粉の場合には、その形状はアスペクト比２以上の偏平形状または繊維状であるのが好ましい。さらに結合材との親和性を向上させるために、前記磁性粉末の表面はカップリング剤処理または樹脂コーティングされているのがよい。また表面処理としては、単に金属粉の絶縁性を向上させるため、酸化皮膜形成やセラミックス被覆や樹脂の溶射や蒸着被覆（樹脂の蒸着重合法や蒸着法）を用いることができる。その結果、前記磁性体層は表面抵抗率（ＪＩＳ  Ｋ  ６９１１）が１０6Ω以上であるのが好ましい。
【００１８】
本発明の入力対応表示装置は、ディスプレイのセンス部と位置指示器との間で電波または磁気をやりとりし、少なくともディスプレイのセンス部に接続された位置検出回路によって入力を検出する入力対応表示装置において、前記した本発明の磁気シールドシートをディスプレイのセンス部の近傍に設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の磁気シールドシートは、周波数５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚ以下の低周波数（低周波ノイズ）において高い磁気シールド効果がある。しかも、本発明によれば、高周波数（３０ＭＨｚ〜５ＧＨｚ）の電磁波ノイズ（高周波ノイズ）に対しても、これを吸収するなどして電磁波ノイズを抑制する効果がある。特に、導電層と磁性体層との相乗効果により高い放射ノイズ抑制効果が得られていると推測される。
【００２０】
また、鉄またはその合金を含む導電層の片面または両面に設けた磁性体層が保護層として機能し、錆の発生が防止される。さらに、導電層に磁性体層を設けることにより、磁気シールド効果および電磁波抑制効果を低下させることなく、全体の厚さを１ｍｍ以下にまで薄くできるという効果もある。
【００２１】
本発明の磁性体層は絶縁性である。その絶縁性のレベルは表面抵抗率（ＪＩＳ  Ｋ  ６９１１）が１０6Ω以上である。より好ましくは１０10Ω以上である。絶縁性の発現は、磁性体層自身が絶縁性であってもいいし、さらに絶縁体層を別に積層するものであってもよい。前者の例としては、本発明のように導電層に絶縁性磁性体層を積層するものや、導電層にフェライトメッキのような絶縁性を持つ磁性材料を直接固着させる方法がある。後者の例としては、導電層に鉄−ニッケル等のメッキを施し、低周波数の磁気シールド性を確保した後、酸化物を被覆するものや、あるいは絶縁性ポリマーで被覆するものがある。
【００２２】
前記磁性体層が、フェライト、軟磁性金属粉などの磁性粉末と結合材とからなり、特に磁性粉末が所定の平均粒子径やアスペクト比を有するときは、高い磁気シールド効果が得られると共に、厚さも薄くできる。さらに、磁性粉末の表面をカップリング剤処理または樹脂コーティングすることで、結合材との親和性を向上することができる。
【００２３】
本発明の入力対応表示装置は、ディスプレイのセンス部の近傍に本発明の磁気シールドシートを設けているので、不要電磁波や磁気を効果的にシールドすることができ、しかもディスプレイの厚さを薄くすることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の磁気シールドシートを図面に基づいて説明する。図１（a）および（ｂ）はそれぞれ本発明の実施形態を示す断面図である。図１（a）および（ｂ）に示すように、本発明の磁気シールドシートは、導電層１の片面にのみ磁性体層２を設けるか、あるいは両面に磁性体層２を設けたものである。
【００２５】
導電層１は、鉄系金属シート、または鉄系金属粉末と結合材とからなる。鉄系金属シートには、鉄または鉄合金の金属箔が例示される。鉄合金としては、例えば、Ａｌ、Ｍｇ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｂ、Ｓｉ、Ｓｒ、Ｎｂ、Ｃｒ等から選ばれる少なくとも１種の元素を含有する鉄系合金が挙げられる。
【００２６】
これらの鉄系金属シートまたは鉄系金属粉末は、初期透磁率が５，０００未満であるのが好ましい。一般に、初期透磁率が５，０００以上ある材料は、パーマロイやスーパマロイ等に限定され、しかも適正な熱処理を施された際に到達する初透磁率の値である。これらの高透磁率は不安定であり、曲げや応力付加に応じてその磁気特性は劣化することになる。すなわち加工性を犠牲にして高透磁率を達成していることになる。
【００２７】
以上に対して、本発明では、所望の磁気シールド性が確保できれば、むしろ加工性を重視することを目的としており、そのためにあえて初期透磁率が５，０００未満の鉄系金属シートまたは鉄系金属粉末を用いるとしている。
ただし、初期透磁率が１０より低い場合は、周波数５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚ以下の低周波数において磁気シールド性を発現しないため、使用できない。
【００２８】
鉄系金属シートおよび鉄系金属粉末の具体例としては、ＳＰＣＣ（冷間圧延板および鋼帯（ＪＩＳ  Ｇ  ３１４１及びＪＩＳ  Ｇ  ３３１３））、ＳＵＹ（電磁軟鉄）、アモルファス金属箔等を挙げることができる。熱処理を付与する、しないにかかわらず使用時に測定した初期透磁率が１０以上で５，０００未満であれば使用可能である。市販品では、例えば、シルバートップＳＦ、Ｆｏｉｌ  Ｔｏｐ（東洋鋼鈑株式会社製）等が使用可能である。
【００２９】
また、導電層１が鉄系合金粉末と結合材とから構成される場合、鉄系金属粉末を結合材と混合し、これをシート状に形成すればよい。このとき、鉄系合金粉末は総量に対して約２０〜９０容量％、好ましくは４０〜８０容量％程度である。
【００３０】
鉄系金属粉末としては、上記のような鉄または鉄合金の粉末が例示される。鉄系金属粉末が偏平状あるいは繊維状でない形状、すなわち球状、塊状、及び凝集状である場合、平均粒子径が５０μｍ以下、好ましくは１〜３０μｍ、より好ましくは１〜２０μｍであるのがよい。平均粒子径が５０μｍを超えると、磁性体層の薄層化（例えば１００μｍ以下）が難しくなり、また磁性体層の表面状態が損なわれることになり易い。
鉄系金属粉が球状、塊状または凝集状でない形状の場合、その形状はアスペクト比２以上の偏平形状または繊維状であるのが好ましい。好ましいアスペクト比は２〜５００、より好ましくは１０〜１００である。偏平形状の軟磁性金属を連結しない態様で密に配向、分散させることで透磁率（特に複素比透磁率の虚部）を向上させることができるため、一般には高アスペクト比が適している。しかし、５００を超える程度に偏平化すると、軟磁性金属に割れや歪みが発生し易くなり、この結果これらを分散させたシートの透磁率は十分に高い数値は得られない。
【００３１】
結合材としては、各種の樹脂材料が使用可能であり、例えばゴム、熱可塑性エラストマー、各種プラスチックなどの高分子材料が挙げられる。前記ゴムとしては、例えば天然ゴムのほか、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレンーブタジエンゴム、エチレンープロピレンゴム、ブチルゴム、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、アクリルゴム、エピクロロヒドリンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、塩素化ポリエチレンゴム、水素添加ニトリルゴム、シリコンゴムなどの合成ゴム単独、もしくはこれらのゴムを各種変性処理にて改質したものが挙げられる。また、これらのゴムは単独で使用するほか、複数をブレンドして用いることができる。ゴムには、加硫剤のほか、加硫促進剤、老化防止剤、軟化剤、可塑剤、充填剤、着色剤などの従来からゴムの配合剤として使用されていたものを適宜配合することができる。
【００３２】
熱可塑性エラストマーとしては、例えばポリスチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系などの各種熱可塑性エラストマーが挙げられる。
【００３３】
さらに、各種プラスチックとしては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ＡＳ樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、フッ素樹脂、アクリル系樹脂、ナイロン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル、ポリスルホン、ポリウレタン、フェノール樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂などの熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂が挙げられる。
【００３４】
磁気シールド性は、シールドの内側を磁場源として磁気シールドするものを球体と仮定すると、シールド材の外側の磁場Ｈは以下の式で得られる。
【数１】
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【００３５】
上式より、シールド材の厚さが厚い程、またはシールド材の材質の透磁率が高い程、磁気シールド性が向上することがわかる。よって、シールド材の厚みが薄い場合（例えば、５０μｍ）、透磁率の高い材質を使う必要がある。
しかし、その場合でも、例えばパーマロイ等の初期透磁率が５，０００を超える材料を使わなければならないというものではなく、薄型で所望の磁気シールドを有する安価な材料を使うことができ、しかもその場合、高透磁率の材料のように加工性に制限を受けることがないということが、本発明の導電層１に関する発明を構成する。
加工性に制限を受けない事を具体的に説明すると、パーマロイ等の初期透磁率を５，０００超とするためには、高温長時間の熱処理（アニーリング）を施す必要があるが、このようにして透磁率を高めても、その透磁率は、例えば金属板を曲げたり、歪ませたりすることにより大きく低下してしまう。つまり最高透磁率を得るための熱処理を施した後は、その金属板（金属製品）に対して、ほとんど切削等の二次加工を施すことなく使用されている。
これに対して、本発明では熱処理を施さないそのままの状態の金属板を使い、そのままの透磁率を想定しているため、例えば、穴開け、切削、曲げなどの加工を行っても、透磁率としてはほとんど変化を受けない。加工による透磁率変化をほとんど受けないことから任意の二次加工を施すことが可能であり、このことを本発明では加工性に制限を受けることがないと表現している。
【００３６】
導電層１の厚さは１００μｍ以下であるのがよく、特に１０μｍ〜５０μｍが好ましい。導電層１の厚さが１０μｍ未満であるとシールド効果が低下するおそれがある。
磁気シールド効果は、ＫＥＣ法またはアドバンテスト法という公知の方法で、周波数５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚの範囲で１５ｄＢあることが必要である。好ましくは２０ｄＢ以上である。この周波数では、後述する磁性体層の単層構成では磁気シールド効果（１５ｄＢ）を得ることができず、導電層を積層することになる。
【００３７】
前記磁性体層２は、磁性粉末と結合材とからなる。磁性粉末としては、例えばフェライトおよび軟磁性金属粉から選ばれる少なくとも１種が挙げられる。
【００３８】
上記フェライトとしては特に限定されず、例えば、Ｆｅ2 Ｏ3 にＭｎＯ、ＺｎＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ、ＣｕＯ、Ｌｉ2 Ｏ等を組み合わせたフェライト；ＮｉＯ−ＭｎＯ−ＺｎＯ−Ｆｅ2 Ｏ3 、ＭｎＯ−ＺｎＯ−Ｆｅ2 Ｏ3 、ＮｉＯ−ＺｎＯ−Ｆｅ2 Ｏ3 等のスピネル型フェライト、ガーネット型フェライトなどの金属酸化物が挙げられ、さらにスピネル型（立方晶）のγ−Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 等のＦｅ原子を含む金属酸化物磁性体粒子なども使用可能である。これらのうち、本発明においては、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｚｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｓｎ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｃｒ等を含有するＦｅ酸化物を使用することが好ましく、特にＺｎ−Ｎｉ系およびＺｎ−Ｍｎ系フェライトを使用するのがより好ましい。これらは単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
【００３９】
上記フェライトは、初期透磁率４０以上であるのが良い。また、上記フェライトは、平均粒子径が５０μｍ以下であるのが好ましい。磁性体層の薄さ（１μｍ〜５００μｍ、好ましくは２０μｍ〜１００μｍ）や磁気シールドおよび吸収効果を考慮した場合、平均粒子径が１０μｍ以下で、初透磁率が４００以上であるのがより好ましい。
【００４０】
前記軟磁性金属粉としては、Ａｌ、Ｍｇ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｂ、Ｓｉ、Ｓｒ、Ｃｒ及びＮｂからなる群より選択される少なくとも１種の元素を含有する鉄系合金からなる金属粉が挙げられる。
【００４１】
軟磁性金属粉は平均粒子径が５０μｍ以下であり、球形もしくは偏平（アスペクト比２以上）形状の磁性粉末からなり、例えばカルボニル鉄、球形もしくは偏平軟磁性紛（好ましいアスペクト比は１０〜１００）等が挙げられる。
また、磁性粉末（軟磁性金属粉、フェライト）は、必要に応じて、その表面がカップリング剤処理または樹脂コーティングされているのが好ましい。これにより、前記結合材との親和性が向上する。前記カップリング剤としては、例えばシランカップリング剤、チタン系カップリング剤、アルミネート系カップリング剤等が挙げられ、その使用量は、磁性粉末に対して約０．０１〜５重量％であるのがよい。また、前記樹脂コーティングする樹脂としては、使用する結合材と同じか、あるいは使用する結合材との親和性に優れた有機重合体材料、例えば前記で例示したゴム、熱可塑性エラストマー、各種プラスチック等が挙げられる。樹脂のコーティング量は、コーティングした磁性粉末に対して約０．０１〜１０重量％であるのがよい。さらに、磁性粉末の表面は、上記カップリング剤処理や樹脂コーティングに加えて、その他の添加剤等により表面処理されていてもよい。その場合の処理量も磁性粉末に対して約０．０１〜１０重量％であるのがよい。
なお、磁性体層の薄さ（１μｍ〜５００μｍ）や、シールドおよび吸収効果を考慮し場合、磁性粉末の平均粒子径は１０μｍ以下であるのがより好ましい。
【００４２】
磁性粉末は磁性体層２の総量に対して２０〜９０容量％含有されているのが好ましく、磁性体層の薄さ（１μｍ〜５００μｍ）や、磁気シールドおよび吸収効果を考慮した場合、４０〜８０容量％がより好ましい。
【００４３】
磁性体層２の厚さは、磁気シールドや吸収効果、片面か両面かなどを考慮して適宜決定されるが、通常、１層当たり１μｍ〜５００μｍ、好ましくは２０μｍ〜１００μｍの厚さであるのがよい。
【００４４】
磁性体層２は層内に磁性体粉末の濃度差があってもよく、また磁性体層２は磁性粉末の含有量が違うシートを少なくとも２層積層したものであってもよい。さらに導電層１の両面に設けられる磁性体層２，２は、一方の層２と他方の層２とで磁性粉末の種類および／または含有量を異ならせるようにしてもよい。このように、本発明によれば、必要とされる周波数、シールドおよび吸収量により最適な磁気シールドシートの設計が可能となる。
【００４５】
磁性体層２に用いる結合材としては、導電層１の結合材として挙げた材料から使用することができる。例えば接着性や粘着性を有する材料を結合材として選択した場合、磁性体層を導電層に直接接着することができ、接着層や粘着層が不要である。
また、結合材に難燃剤を配合することにより、ＵＬ９４規格のＶ−０相当品とすることも可能であり、熱伝導性材料（窒化ホウ素、窒化アルミ、酸化マグネシウム等）を添加して熱伝導率を１〜５Ｗ／ｍ・Ｋに向上させることも可能である。
【００４６】
本発明の磁気シールドシートは、導電層１の片面または両面に磁性体層２を貼り付けることにより製造することができる。導電層１が鉄系金属粉末と結合材とからなる場合には、例えばロール、バンバリーミキサー、加圧ニーダー等を用いて、鉄系金属粉末と結合材その他の添加剤を混練して、樹脂組成物を得、ついで加圧プレス、カレンダーロール、押し出し機あるいは塗工等によりシート状に成形して導電層１を製造する。一方、磁性体層２も、同様にして磁性粉末と結合材とを混練して、樹脂組成物を得、ついでシート状に成形する。そして、導電層１の片面または両面に磁性体層２を接着剤、両面粘着シート、熱融着、塗工などにより貼り付けることにより本発明の磁気シールドシートが得られる。
【００４７】
さらに、導電層１と磁性体層２とを接着剤により貼り付ける場合、接着剤に上記磁性粉末を２０〜４０容量％程度含有させておくのが好ましい。接着剤層の厚みは１０μｍ以下であればよいが、接着性と厚みを考慮すると２〜５μｍが好ましい。
【００４８】
また、上述の方法以外に、可塑化した樹脂や溶剤に溶解又は分散した樹脂に上記鉄系金属粉末を混入した溶液又はペーストを、磁性体層２の表面に塗布し、揮発成分を除くことによって磁気シールドシート製造することもできる。あるいは、これとは逆に、可塑化した樹脂や溶剤に溶解又は分散した樹脂に磁性粉末を混入した溶液又はペーストを、導電層１の表面に塗布し、揮発成分を除くことによって磁気シールドシートを製造することもできる。揮発成分を除去し、シート厚み精度を上げるため、熱プレス法を用いても良い。
【００４９】
本発明において、磁気シールドシートがＫＥＣ法及びアドバンテスト法により測定した周波数５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚの磁気シールド効果が１５ｄＢ以上を有するようにするには、導電層１と磁性体層２との材料および厚さを調整すればよい。このとき、磁気シールドシートの厚さは１ｍｍ以下、好ましくは０．０１〜０．０８ｍｍ、より好ましくは０．０５〜０．５ｍｍの範囲内で充分である。
【００５０】
また、本発明において、高周波ノイズに対する抑制効果を有するとは、周波数と透磁率（虚部）との関係を示す同軸管のデータにおいて、１００ＭＨｚ以上、特に１００ＭＨｚ〜５ＧＨｚの周波数において、透磁率（虚部）が０．５以上、好ましくは１以上、より好ましくは３以上であることを意味する。このように高い透磁率（虚部）は、例えば磁性粉末であるフェライトや軟磁性金属粉の種類や添加量を調整することによって得られる。ここでいう同軸管のデータとは、ベクトルネットワークアナライザーを用いたＳパラメーター法による同軸管法による測定結果をいう。
【００５１】
本発明の磁気シールドシートは、これを、磁気または電磁波の発生源に対面するように配置するか、あるいは磁気または電磁波から保護すべき部位を隠蔽するように配置して使用される。これにより磁気（変動磁界もしくは静止磁界）または電磁波の発生源からの磁気や電磁波、特に、電子機器の電磁障害を引き起こしやすい１０ＭＨｚ以下の磁気を遮蔽することができる。前記磁気または電磁波の発生源としては、例えば電源回路、回路基板、ディスプレイ装置、アンテナ、ケーブル等が挙げられる。また、磁気または電磁波から保護すべき部位としては、例えば記憶媒体の磁気ヘッド信号回路等の磁気記録の読み出し書き込み部位等が挙げられる。
【００５２】
本発明の磁気シールドシートの設置例としては、例えばパソコンの電源部への設置、パソコン等の回路基板間への挿入設置、磁気ヘッドの一部若しくは全部の面又は磁気ヘッドを収容している記録装置の一部若しくは全部の面への設置、ディスプレイ装置への設置、電子機器内部のケーブルへの設置、アンテナ回路への設置等を挙げることができる。更に、補聴器のアンプ部への設置、金属探知センサーへの設置、音響機器のアンプや電源部、インバータ回路への設置、ステッピングモーターへの設置、分析機器、医療機器の検出部やセンサー部、アンプへの設置等をも挙げることができる。
更に、電子機器類の筐体外部のケーブルや電源コードに本発明の磁気シールドシートを巻き付けたり、貼りつけたりすることもできる。
【００５３】
本発明の磁気シールドシートの他の適用例としては、前記した電波又は磁気を用いた入力対応表示装置が挙げられ、特に、磁気シールドシートをディスプレイのセンス部の近傍に設けられる。このような入力対応表示装置の詳細は、例えば前記特許文献６の他、特許３２３９１９５号公報、特開昭６０−１６４２１４号公報、特開昭６１−１４１０２６号公報、特開昭６１−１５７９２７号公報、特開昭６１−２３７１２１号公報、特開平１−１５８５２２号公報、特開平７−１３６８４号公報などに記載されている。
【００５４】
本発明の磁気シールドシートは、ＫＥＣ法またはアドバンテスト法により測定した周波数５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚの磁気シールド効果が１５ｄＢ以上を有し、かつ高周波ノイズに対して抑制効果を示すことを特徴とするので、外部からの不要な妨害電波や地磁気等の磁気の影響が排除され、しかもセンス部と位置指示器との間でやりとりされる電波や磁気に対する損失が少ないため、センス部に密接して配置することができる。さらに、本発明の磁気シールドシートは厚さが１ｍｍ以下もしくは０．５ｍｍ以下と非常に薄いため、入力対応表示装置のディスプレイの厚さを一層薄くすることができる。
【００５５】
以下、実施例および比較例を挙げて本発明の電磁波シールド材料を詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【実施例１】
【００５６】
水素添加ニトリルゴム（以下、ＨＮＢＲという）３０容量％（結合材）、架橋剤（過酸化物）１容量％、Ｚｎ−Ｎｉ系フェライト（平均粒径１．８μｍ）６０容量％を混練し、ついで押し出し機によりシート状に成形して磁性体層を製造した。これを厚さ０．０５ｍｍのＳＰＣＣシート（導電層）の両面に接着剤（フェノール系樹脂）にて貼り付けることにより、厚さ１ｍｍの磁気シールドシートを得た。この磁気シールド能力を、ＫＥＣ法の磁界モードにより測定した。その結果を図２に示す。５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚの磁気シールド性は２５ｄＢ以上であった。なおこの磁性体層の表面抵抗率は、２．７×１０10Ω（ＪＩＳ  Ｋ  ６９１１）である。
【実施例２】
【００５７】
実施例１と同様な材料および製造法により得た磁性体層を厚さ０．０５ｍｍのＳＰＣＣシート（導電層）の片面に接着剤にて貼り付けて、磁気シールドシートの厚みを０．３５ｍｍにした他は、実施例１と同様にして磁気シールドシートを得た。この磁気シールド能力を、ＫＥＣ法の磁界モードにより測定した。５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚの磁気シールド性は２０ｄＢ以上であった。
【実施例３】
【００５８】
実施例１と同様な材料および製造法により得た磁性体層を厚さ０．０５ｍｍのＳＰＣＣシート（導電層）の片面に接着剤にて貼り付けて、磁気シールドシートの厚みを０．０８ｍｍにした他は、実施例１と同様にして磁気シールドシートを得た。この磁気シールド能力を、ＫＥＣ法の磁界モードにより測定した。５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚの磁気シールド性は２０ｄＢ以上であった。
【実施例４】
【００５９】
実施例１と同様にして、０．０５ｍｍのＦｏｉｌ  Ｔｏｐ（東洋鋼鈑社製）（導電層）の両面に、ＨＮＢＲ３０容量％（結合材）、架橋材１容量％、偏平軟磁性粉（三菱マテリアル社製）４０容量％からなる磁性体層を作製した他は、実施例１と同様にして磁気シールドシートを得た（厚みは０．７２ｍｍ）。この磁気シールド能力を、ＫＥＣ法の磁界モードにより測定した。その結果を図３に示す。５００ＫＨｚ〜１０ＭＨｚの磁気シールド性は３０ｄＢ以上であった。なお、この磁性体層の表面抵抗率は、４．５×１０9Ω（ＪＩＳ  Ｋ  ６９１１）である。
また、周波数と透磁率との関係を示す同軸管のデータを図４に示す。一般に、複素比透磁率（実部）の数字が大きいと、磁束を集めやすく、複素比透磁率（虚部）の数字が大きいと、磁束を熱に変換し易いと言え、ノイズ抑制（吸収）効果が大きいとされる。つまり複素比透磁率の実部及び虚部が相まって高いことで、磁束を集め熱に変換する機能に優れ、磁束の反射及び透過を抑制（この効果は広い周波数域での磁気シールド効果といえ、金属板及び磁性体層による磁気シールド効果と以下に記す高周波ノイズの抑制（吸収）効果が併存することが、本発明の特徴となる。）することができる。図４に示されるように、実施例４では、広範囲の周波数、つまり複素比透磁率（実部）（図４のμ’）は、１００ＭＨｚ〜約１ＧＨｚの周波数域では１０以上あり、その後４ＧＨｚの周波数まで複素比透磁率（実部）は２以上の数字を取る。また複素比透磁率（虚部）（図４のμ”）は、１００ＭＨｚ〜２ＧＨｚまで７以上を有し、その後５ＧＨｚまで約４以上であり、従って高周波ノイズ抑制（吸収）効果を有していることがわかる。
【００６０】
［比較例１］
厚さ０．０５ｍｍの珪素鋼シート（ＪＦＥスチール株式会社製のＮＫスーパーＥ）（導電層）のみを磁気シールドシートとして使用し、この磁気シールド能力を、ＫＥＣ法の磁界モードにより測定した。その結果を図２に併せて示す。
【００６１】
［比較例２］
導電層をステンレス鋼のメッシュ（ＳＵＳ３０４、２４メッシュ）に置き換えた他は実施例４と同様にして磁気シールドシートを得た。このものの磁気シールド能力を、ＫＥＣ法の磁界モードにより測定した。その結果を図３に併せて示す。
なお、以上の実施例および比較例では磁気シールド性をＫＥＣ法で評価したが、アドバンテスト法で評価した場合も、シールド効果としてはほぼ同じ結果が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】（a）および（ｂ）は本発明の実施形態を示す概略断面図である。
【図２】実施例１，２，３および比較例１で得た磁気シールド効果を示すグラフである。
【図３】実施例４および比較例２で得た磁気シールド効果を示すグラフである。
【図４】周波数と透磁率（実部、虚部）との関係を示す同軸管のデータを示すグラフである。
【図５】本発明が適用される入力対応表示装置の概略説明図である。
【図６】入力対応表示装置におけるディスプレイの概略断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１    導電層
２    磁性体層
【図１】
2005142551.tif 000004
【図２】
2005142551.tif 000005
【図３】
2005142551.tif 000006
【図４】
2005142551.tif 000007
【図５】
2005142551.tif 000008
【図６】
2005142551.tif 000009