(57)【要約】      （修正有）【課題】スピンドル装置に組み込んだ回転角度検出器の誤差を、正確にかつ容易に測定できるモータの回転速度制御装置、およびそれによって回転制御される高精度の静圧気体軸受スピンドル装置を提供する。【解決手段】回転角度検出器３０は、複数の検出マークを円周方向等間隔に設けたマーク板２１を回転軸１に取付け、固定部４に取付けた検出部２４によってモータ２９の１回転中に複数の回転角度検出信号を等回転角度間隔で出力する。基準信号発生器３４は一定周期の基準信号を発生する。フィードバック制御演算器３５は、回転角度検出信号と基準信号から演算によってモータ駆動電流指令信号を発生する。回転速度制御装置３２は、さらに、回転角度検出信号によらない一定の定電流駆動信号を発生する定電流駆動信号発生器３７と、電源部３６への指令信号を、前記モータ駆動電流指令信号と、前記定電流駆動信号との間で切替える切換スイッチ３８を有する。【選択図】図１
2005160276.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部に対して回転自在に支持された回転軸に、モータのロータを一体に取付けたスピンドル装置の回転速度を制御する回転速度制御装置において、
複数の検出マークを円周方向等間隔に設けたマーク板を回転軸に取付け、固定部に取付けた検出部によってモータの１回転中に複数の回転角度検出信号を等回転角度間隔で出力する回転角度検出器と、一定周期の基準信号を発生する基準信号発生器と、回転角度検出信号と基準信号から演算によってモータ駆動電流指令信号を発生するフィードバック制御演算器と、モータ駆動電流指令信号によって決まる電流値と回転角度検出信号によって決まる位相を持った正弦波電流をモータに供給する電源部とを備え、さらに、回転角度検出信号によらない一定の定電流駆動信号を発生する定電流駆動信号発生器と、前記電源部への指令信号を、前記モータ駆動電流指令信号と、前記定電流駆動信号との間で切替える切換スイッチを有することを特徴とするモータの回転速度制御装置。
【請求項２】
前記定電流駆動信号発生器の信号を所望の値に調整する駆動電流調整器を有する請求項１記載のモータの回転速度制御装置。
【請求項３】
永久磁石型同期モータのロータを一体に取付けた回転軸を、静圧気体軸受で支持したスピンドル装置であって、上記モータの回転速度を制御する装置として、請求項１または請求項２記載のモータの回転速度制御装置を備えることを特徴とするスピンドル装置。
【請求項４】
請求項３記載のスピンドル装置であって、前記回転角度検出器が、原点信号付インクリメンタル型ロータリーエンコーダであり、そのマーク板が、回転軸に対して半径方向の位置を調整可能に取付けられているスピンドル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、モータの回転速度制御装置およびこれを用いたスピンドル装置に関し、特に、精密加工機や精密検査装置などのスピンドルに用いられるモータの回転速度を制御する回転速度制御装置およびこれを用いた静圧気体軸受スピンドル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回転角度検出センサの出力をフィードバックすることにより、回転速度を制御する制御装置、およびその制御装置を用いた静圧気体軸受スピンドルが提案されている（特許文献１）。同文献には、回転速度センサをスピンドルに組み込んだ状態で測定した、回転速度むらを検出する制御装置の構成が示されている。
【０００３】
同文献の開示内容を、本願発明との比較のために説明する。精密加工機や精密検査装置などのスピンドルは高精度の回転速度制御が要求される。スピンドルの制御には従来からＰＬＬ制御回路が用いられている。図４はそのようなＰＬＬ制御回路の一例を示すブロック図であり、図５は各部の波形図である。図４において、モータ５８の回転軸には回転角度検出センサ５９が取付けられており、この回転角度検出センサ５９から回転軸の１回転内に等間隔角度で複数の角度検出信号ｂが図５（ｂ）に示すような波形で出力され、位相比較器５１に与えられる。位相比較器５１には図５（ａ）に示す基準信号ａが入力されており、位相比較器５１は２つの入力信号の位相差に応じた図５（ｃ）に示す位相差信号ｃを出力する。この位相差信号ｃはローパスフィルタ６０に与えられて低周波成分が取出され、図５（ｆ）に示す偏差信号ｆとして補償回路５３に与えられる。補償回路５３は、図５（ｇ）に示す出力信号ｇを電流指令値としてモータ駆動回路５４に入力し、モータ駆動回路５４がモータ５８を駆動することでスピンドルの回転が制御される。補償回路５３を比例要素と微分要素で構成した場合には、機械損に応じたモータ５８のトルクを発生する位相差を保つように制御される。
【０００４】
上記の位相差が基準信号の１周期以内であれば、スピンドルは基準信号周波数を１回転中に出力される回転角度検出センサ５９の検出信号数で割った周波数で回転する。また、その回転周期の変動は、基準信号の±１周期以内になる。したがって、摩擦などの回転に対する抵抗がほぼ０になる静圧気体軸受支持のスピンドルとブラシレスＡＣサーボモータと非接触の回転角度検出センサの組合せで、水晶発振器などを利用して周波数精度と安定度の高い基準信号を作り、ＰＬＬ制御を使用すれば、回転数の変動も小さくなり、高精度な回転数制御が可能となる。
【０００５】
しかし、回転角度を検出するセンサとして図６に示すような目盛ディスク６１と走査ユニット６２とに分離された組込型の光学式ロータリエンコーダなどが使用される。目盛ディスク６１には目盛格子６３が形成されており、軸に対して隙間ばめでセットボルトで固定される。このため、ロータリエンコーダの目盛格子中心と回転中心とが一致しないので、走査ユニット６２が目盛格子６３を走査したとき、目盛格子６３の間隔が大きくなったり小さくなったりして、ロータリエンコーダの出力信号は、偏心による誤差と目盛りピッチ誤差を含むことになる。モータ５８はこれらの誤差を含んだ出力信号によって制御されるので、回転速度むらを生じる。
【０００６】
この対策として、誤差補正をすることで偏差信号の誤差成分を除去し、速度むらを低減する方法がある。図７はその方法を用いた従来例のブロック図を、図８はその従来例の各部の波形図をそれぞれ示す。図７において、図４に示したローパスフィルタ６０に代えて偏差検出回路５２とメモリ５５と読み出し回路５６と減算器５７とが設けられる。偏差検出回路５２は位相差信号を角度に比例した偏差信号に変換するものであり、メモリ５５は回転同期成分を補正するテーブルを格納する。読み出し回路５６は回転位置に応じたメモリ５５の値を読み出す。減算器５７は偏差信号からメモリデータを減算する。
【０００７】
次に、図７に示したモータの回転速度制御装置の動作について説明する。位相比較器５１は図８（ｂ）に示す角度検出信号ｂと、図８（ａ）に示す矩形波で入力される基準信号ａとを比較し、両者の位相差を両信号の立上がりエッジ間の時間に等しい幅のパルスとして、図８（ｃ）に示す位相差信号ｃを出力する。一定の誤差補正信号を使用するために、図７に示した装置では、回転数が変化しても出力の位相が変化しない偏差検出回路５２を用いている。メモリ５５には、偏差信号の回転同期成分から推定した補正テーブルの値が回転位置に応じた番地に格納されている。読み出し回路５６は回転角度検出センサ５９の原点信号を基準に角度検出信号の出力数を計数することで回転角度を検出し、それに対応した番地のメモリデータをメモリ５５から読み出し、回転角度に対応した図８（ｄ）に示す補正値ｄを出力する。
【０００８】
減算器５７はその補正値ｄを図８（ｈ）に示す補正前偏差信号ｈから減算することで、回転角度検出センサ５９の誤差成分を補正除去した図８（ｉ）に示す補正後偏差信号ｉを出力する。補正後偏差信号ｉは補償回路５３に入力され、補償回路５３の出力である図８（ｇ）に示す電流指令値ｇにおける回転角度検出センサ５９の誤差による変動成分が補正除去できる。この電流指令値ｇをモータ駆動回路５４に入力してモータ５８を駆動することにより、モータ電流に回転角度検出センサ５９の誤差による変動成分がなくなるので、１回転中の角速度の変動が小さくなり、より高精度な回転速度制御を実現できる。
【０００９】
メモリ５５に記憶される補正テーブルは、補正しない状態で現れる偏差信号の回転同期成分を周期関数で近似し、その振幅，オフセット，位相などを変えてテーブルを作り、補正した状態での電流指令値ｇの回転同期成分が最小となるものが選ばれる。これは、補正しない状態での偏差信号の回転同期成分を近似したものをそのまま補正テーブルとすると、制御ループ内の他の要素の影響で、振幅，オフセット，位相などが純粋な偏心成分によるものと変化している可能性があるので、必ずしも最適値とはならないからである。他の補正テーブルの作成方法としては、組込んだ状態での回転角度検出センサ５９の誤差を測定して決定するなどの方法が考えられる。
【００１０】
なお、静圧気体軸受スピンドル装置に内蔵する回転角度検出センサにおけるパルス円板の取付構造として、回転軸と別体に円板取付部品を設け、この円板取付部品をボルトで回転軸に取付けることにより、回転軸の回転中心をパルス円板の格子縞の中心を組立時の調整で一致させるようにしたものが知られている（例えば特許文献２）。
【特許文献１】特開２００２−７８３７４号公報
【特許文献２】特開平１０−２３９１０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記特許文献１に開示された図７のモータの回転速度制御装置では、誤差測定方法については何ら示されていない。
スピンドル装置に組み込んだ回転角度検出センサの誤差を測定する方法の一例として、例えばスピンドル装置の回転軸に、組み込んだ第１の回転角度検出センサよりも高精度かつ高分解能の第２の回転角度検出センサを取付け、第１の回転角度検出センサの出力信号を第２の回転角度検出センサによって検出する方法が考えられる。
【００１２】
しかし、上記した方法では第２の回転角度検出センサを取付ける際に、測定誤差を小さくするために、取付け精度を非常に良くする必要がある。このため、多大の調整工数と、場合によっては特殊な治具を要するという問題がある。さらに、高精度の回転角度検出センサは一般に高価であることから、多くの台数を準備することは困難である。以上の理由により、上記の方法はスピンドル装置が製造・使用される現場で実施することは困難である。
【００１３】
この他に、高精度の回転角度検出センサを使用しない誤差測定方法として、スピンドル装置に慣性モーメントの大きい円板を搭載し、モータに一定の電流を供給した状態で、組み込んだ回転角度検出センサの出力を測定する方法がある。振動の少ない環境であれば、回転軸に作用する力はモータの回転駆動力と軸受の摩擦力および風損であり、静圧気体軸受の摩擦力は非常に小さくその変動も小さいので、搭載した円板を含む回転体の慣性モーメントが十分に大きく、モータへ供給する電流が一定であれば、回転軸が１回転する程度の短い時間では、回転軸の回転速度の変動は非常に小さい。したがって、回転角度検出センサの出力信号のパルス間隔と、回転軸が１回転する時間を測定すれば、回転角度検出信号の誤差を測定することができる。従来の回転制御装置から出力されるモータ駆動電流は、回転角度検出センサの検出信号によってクローズドループ制御されており、回転速度検出センサの誤差の影響を受ける。このため、従来の回転制御装置では、一定のモータ駆動電流を発生させることはできない。このため、オープンループ制御によって一定のモータ駆動電流を発生させる誤差測定制御装置を別途用意し、誤差測定のたびにモータおよび回転角度検出センサに接続した調整を行う必要があり、費用と工数を要する。
【００１４】
この発明の目的は、スピンドル装置に組み込んだ回転角度検出器の誤差を、正確にかつ容易に測定できるモータの回転速度制御装置、およびそれによって回転制御される高精度の静圧気体軸受スピンドル装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この発明のモータの回転速度制御装置（３２）は、固定部（４）に対して回転自在に支持された回転軸（１）に、モータ（２９）を一体に取付けたスピンドル装置（３１）の回転速度を制御する回転速度制御装置である。この回転速度制御装置（３２）は、複数の検出マークを円周方向等間隔に設けたマーク板（２１）を回転軸（１）に取付け、固定部（４）に取付けた検出部（２４）によってモータ（２９）の１回転中に複数の回転角度検出信号を等回転角度間隔で出力する回転角度検出器（３０）と、一定周期の基準信号を発生する基準信号発生器（３４）と、回転角度検出信号と基準信号から演算によってモータ駆動電流指令信号を発生するフィードバック制御演算器（３５）と、モータ駆動電流指令信号によって決まる電流値と回転角度検出信号によって決まる位相を持った正弦波電流をモータに供給する電源部（３６）を備える。この構成において、さらに、回転角度検出信号によらない一定の定電流駆動信号を発生する定電流駆動信号発生器（３７）と、前記電源部（３６）への指令信号を、前記モータ駆動電流指令信号と、前記定電流駆動信号との間で切替える切換スイッチ（３８）を有することを特徴とする。
【００１６】
この構成によると、前記切換スイッチ（３８）によってモータ（２９）の通常のフィードバック制御と定電流駆動を切り替えることができる。例えばスピンドル装置（３１）の回転軸（１）に慣性モーメントの大きな円板（４８）を取付け、モータ（２９）を定電流で駆動することによって、回転角度検出器（３０）の誤差を容易に測定することができる。
切換スイッチ（３８）の切換えにより、一定電流でモータ（２９）を駆動することができるので、回転角度検出器（３０）をスピンドル装置（３１）の回転軸（１）に組付けた状態で、誤差測定を容易に行うことができる。
また、通常の回転速度制御装置に、定電流駆動信号発生器（３７）と切換スイッチ（３８）を追加するだけであるため、構成が簡単で、安価に製造できる。
さらに、誤差を測定するスピンドル装置（３１）に対して、調整を完了した回転速度制御装置（３２）を使用して誤差調整が可能であり、別の誤差測定用回転速度制御装置や、誤差測定用高精度検出器が不要である。
【００１７】
この発明において、前記定電流駆動信号発生器（３７）の信号を所望の値に調整する駆動電流調整器（４０）を有するものとしても良い。
駆動電流調整手段（４０）を設けることにより、誤差測定に適した回転速度で回転軸（１）を回転駆動することが可能である。例えば、定電流駆動の場合に、モータ駆動電流が小さいことにより回転速度が低すぎてモータ（２９）のコギングトルクの影響で回転速度に変動が生じたり、回転速度が高すぎて周囲の気流が乱れて風損の変動を生じ回転速度が変動するといったことのないように、定電流駆動信号発生器（３７）からの定電流駆動信号を適正な値に調整できる。
【００１８】
この発明のスピンドル装置（３１）は、永久磁石型同期モータ（２９）を一体に取付けた回転軸（１）を、静圧気体軸受（２９）で支持したスピンドル装置であって、上記モータ（２９）の回転速度を制御する装置として、この発明の上記いずれかの構成のモータの回転速度制御装置（３２）を備えることを特徴とする。
この構成によると、定電流駆動の場合の回転速度の変動が小さいので、回転角度検出器（３０）の誤差を正確に測定できる。
【００１９】
この発明のスピンドル装置（３１）において、前記回転角度検出器（３０）が、原点信号付インクリメンタル型ロータリーエンコーダであって、そのマーク板（２１）が、回転軸（１）に対して半径方向の位置を調整可能に取付けられたものであっても良い。
この構成によると、得られた誤差データと原点信号の位相関係によって回転軸（１）の回転中心に対するマーク板（２１）の偏心方向がわかるので、回転速度制御装置によって得られる回転角度検出器（３０）の誤差測定結果に基づいてマーク板（２１）と回転軸（１）の偏心誤差を調整し、回転速度むらを低減することができる。
【発明の効果】
【００２０】
この発明のモータの回転速度制御装置は、固定部に対して回転自在に支持された回転軸に、モータのロータを一体に取付けたスピンドル装置の回転速度を制御する回転速度制御装置であって、複数の検出マークを円周方向等間隔に設けたマーク板を回転軸に取付け、固定部に取付けた検出部によってモータの１回転中に複数の回転角度検出信号を等回転角度間隔で出力する回転角度検出器と、一定周期の基準信号を発生する基準信号発生器と、回転角度検出信号と基準信号から演算によってモータ駆動電流指令信号を発生するフィードバック制御演算器と、モータ駆動電流指令信号によって決まる電流値と回転角度検出信号によって決まる位相を持った正弦波電流をモータに供給する電源部からなり、さらに、回転角度信号によらない一定の定電流駆動信号を発生する定電流駆動信号発生器と、前記電源部への指令信号を、前記モータ駆動電流指令信号と、前記定電流駆動信号との間で切替える切換スイッチを有するものとしたため、スピンドル装置に組み込んだ回転角度検出器の誤差を、正確にかつ容易に測定することができる。
【００２１】
この発明のスピンドル装置は、永久磁石型同期モータを一体に取付けた回転軸を、静圧気体軸受で支持したスピンドル装置であって、この発明のモータの回転速度制御装置によって回転速度が制御されるものとしたため、回転速度制御装置による定電流駆動の場合の回転速度の変動が小さく、回転角度検出器の誤差を正確に測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
この発明の一実施形態を図面と共に説明する。図１はこの実施形態のモータの回転速度制御装置およびこの回転速度制御装置が搭載されたスピンドル装置の概略図を示し、図３はそのスピンドル装置の拡大断面図を示す。図３において、スピンドル装置３１は、固定部であるハウジング４に対して回転自在に支持された回転軸１に、モータ２９のロータ１９を一体に取付けたものである。
【００２３】
このスピンドル装置３１は、ＡＣサーボモータによるダイレクトドライブ型静圧気体軸受スピンドル装置であって、回転軸１は、次のラジアル軸受部７，８およびスラスト軸受部９，１０を有する静圧気体軸受２８により、ハウジング４に対して非接触で回転自在に支持されている。すなわち、ハウジング４には軸受スリーブ５，６が固定され、回転軸１は、軸受スリーブ５，６に設けたラジアル軸受部７，８、および回転軸１に一体に設けたスラスト板２，３と向き合う形で軸受スリーブ５，６に設けられた一対のスラスト軸受部９，１０によって、微小な軸受隙間を介して、ハウジング４に対して非接触で支持される。
【００２４】
ラジアル軸受部７，８の内径側の軸受面には、複数の微細な絞り穴１１，１２が周方向に等間隔に配置されている。また、スラスト軸受部９，１０には、円周上１列に微細な絞り穴１３，１４が設けてある。静剛性を上げる目的で、ラジアル軸受部７，８およびスラスト軸受部９，１０には、絞り穴をつなぐ円周溝を設ける場合がある。軸受給気口１５から圧縮空気を供給すると、圧縮空気はハウジング４に設けた給気通路１６を経由して、絞り穴１１，１２，１３，１４からラジアル軸受部７，８およびスラスト軸受部９，１０の軸受隙間に流入し、軸受隙間内の空気の圧力によって主軸１の自重や外部負荷に釣り合う軸受反力を生じる。軸受２８から流出する空気は、軸受端部から直接、または排気通路１７，１８を通って、スピンドル装置３１の外部に排出される。
回転軸１には同期型ＡＣサーボモータからなるモータ２９の永久磁石からなるモータロータ１９が一体に取り付けられ、モータステータ２０との相互作用により回転力を発生する。
【００２５】
回転角を検出する回転角度検出器３０は、マーク板２１と検出部２４とからなるインクリメンタル型ロータリエンコーダとされている。回転角度検出器３０のマーク板２１は、従来例で説明したように、検出マークとして明暗の格子縞（図６に示す従来例における目盛格子６３と同等のもの）を円周方向に沿って等間隔かつ放射状に設けた円板であり、回転軸１の一端に取付けられる。回転角度検出器３０の検出部２４は、光源，インデックススケール，および受光素子からなり、ハウジング４に取付けられている。回転軸１と一体に回転するマーク板２１の検出マークを検出部２４で検出して回転角度検出信号を発生することにより、回転軸１の回転角を測定し、モータ２９のフィードバック制御演算器３５（図１）へフィードバックされる。また、マーク板２１には円周上の１点に原点マークが設けてあり、検出部２４はこの原点マークを検出することによって、回転軸１の１回転に１回、一定の回転位置で原点信号を発生する。
【００２６】
マーク板２１は、ボス部２２を介して、止めねじ２３で軸状のマーク板取付け軸２５に固定される。マーク板取付け軸２５は、軸部２５ａおよびその基端で広がる座部２５ｂからなり、中心部の取付孔２５ｃを貫通するボルト２６で回転軸１に固定される。ボルト２６は、回転軸１の端面の中心に設けられたねじ孔に螺合される。マーク板取付け軸２５の取付孔２５ｃは、ボルト２６が軸心調整用の遊びを持って嵌合する内径に形成してある。      
【００２７】
マーク板取付け軸２５は、ボルト２６を緩めた状態でマーク板２１の中心と回転軸１の中心を一致させてから、ボルト２６を締めて回転軸１に対して固定する。マーク板２１と回転軸１の中心を一致させるには、例えば、静圧気体軸受２８を給気した状態で回転軸１を回しながら、検出マーク（格子縞）の基準円の振れを測定し、基準円の振れが小さくなるように、マーク板取付け軸２５を半径方向に移動させる等の方法で行うことができる。ボルト２６の頭部とマーク板取付け軸２５との間にワッシャ２７を介在させたり、回転軸１とマーク板取付け軸２５の合わせ面の少なくとも一方に潤滑性の良い被膜（図示せず）を設けると、マーク板取付け軸２５の半径方向の移動が容易になるので、精度良く芯出しを行うことができる。
このようにして、回転軸１の回転中心とマーク板２１の検出マーク（格子縞）の中心を一致させることによって、１回転に１回の回転速度変動を無くし、静圧気体軸受スピンドル装置３１の回転速度むらを低減することができる。
【００２８】
図１において、モータ２９の回転速度を制御する回転速度制御装置３２は、上記した回転角度検出器３０のほかに、一定周期の基準信号を発生する基準信号発生器３４と、フィードバック制御演算器３５と、電源部３６と、定電流駆動信号発生器３７と、切換スイッチ３９と、パルス周期測定器３９とを備える。
フィードバック制御演算器３５は、基準信号発生器３４で発生する一定周期の基準信号と、回転角度検出信号とを比較し、これらの差に比例する偏差信号に補償演算を加えたモータ駆動電流指令信号を発生する。
電源部３６は、モータ駆動電流指令信号によって決まる電流値と回転角度検出信号によって決まる位相を持った正弦波電流をモータステータ２０に供給する。モータステータ２０の界磁コイルによって発生する磁界とモータロータ１９の相互作用によって回転トルクが発生し、回転軸１を回転させる。
【００２９】
定電流駆動信号発生器３７は、回転角度検出信号によらない一定の定電流駆動信号を発生する。その定電流駆動信号は駆動電流調整器４０により所望の値に調整可能とされている。
切換スイッチ３８は、電源部３６への指令信号を、前記モータ駆動電流指令信号と、前記定電流駆動信号との間で切替えるためのスイッチである。電源部３６への入力信号は、切換スイッチ３８によって、フィードバック制御演算器３５からのモータ駆動電流指令信号と、定電流駆動信号発生器３７から出力される定電流駆動信号のいずれかに切り替えることができる。定電流駆動信号発生器３７から出力される定電流駆動信号によって、電源部３６から一定のモータ駆動電流が供給され、モータ２９は一定のトルクを発生する。
【００３０】
図２は上記フィードバック制御演算器３５の構成を示すブロック図である。このフィードバック制御演算器３５は、演算部４１と、上記した回転角度検出器３０の誤差データを記憶するメモリ４２と、このメモリ４２から誤差補正用のデータを読み出す読み出し回路４３とを備える。演算部４１は例えば、図７に示す例と同様に、位相比較器４４、偏差検出回路４５、減算器４６、および補償回路４７からなる。これらの動作は、図７と共に説明した従来例の場合と同様でありここでは説明を省略する。
【００３１】
上記構成の動作を説明す。回転角度検出器３０の誤差を測定する場合には、スピンドル装置の回転軸１に、大きな慣性モーメントを持つ慣性増大用の、または他の目的と兼用の円板４８を固定し、切換スイッチ３８を介して電源部３６に定電流駆動信号を入力する。これによって、モータ２９は一定のトルクを発生し、円板４８を固定した回転軸転１は一定の速度で回転する。この時の回転速度は、静圧気体軸受２８の軸受隙間内の空気が剪断を受けることによる摩擦抵抗および円板４８等が周囲の空気を引きずって回転することによる風損と、モータ２９で発生するトルクの釣合いによって決まる。モータ駆動電流が小さく、回転速度が低すぎるとモータ２９のコギングトルクの影響によって回転速度に変動が生じ、回転速度が高すぎると周囲の気流が乱れて風損の変動を生じ回転速度変動の原因となる。したがって、この実施形態では、定電流駆動信号発生器３７の信号レベルが駆動電流調整器４０で調節される。
【００３２】
このように、回転軸１に慣性モーメントの大きい円板４８を取付けているので、多少の外乱があっても短時間内での回転速度の変動は非常に小さく、回転軸１が１回転する間は回転速度はほぼ一定と見なせる。したがって、原点信号を参照して１回転分の回転角度検出器３０の回転角度検出信号を、タイムインターバルアナライザ等のパルス周期測定器３９に入力することによって、１回転内の回転角度検出信号の周期変動を測定することで、その測定結果が回転角度検出器３０の誤差をあらわすことになる。この誤差データは、フィードバック制御演算器３５のメモリ４２に記憶される。具体的には、各回転位置の誤差データが上記偏差検出回路４５からの偏差信号を補正する補正データとしてテーブル化してメモリ４２に記憶される。
【００３３】
メモリ４２に補正データを記憶させたあとは、フィードバック制御演算器３５からのモータ駆動電流指令信号が電源部３６に入力されるように切換スイッチ３８を切り替える。これにより、回転角度検出器３０の回転角度検出信号を帰還信号とする回転速度制御が可能となる。この回転速度制御において、フィードバック制御演算器３５のメモリ４２に記憶されている補正データが読み出し回路４３から読み出され、この補正データ分だけ減算器４６が偏差検出回路４５からの偏差信号を減算することで、回転角度検出器３０の誤差による変動成分が補正除去される。詳細は従来例の場合と同様であり、ここではそれらの説明を省略する。
【００３４】
このように、回転速度制御装置３２に、定電流駆動信号発生器３７および切換スイッチ３８を内蔵することによって、円板４８を静圧気体軸受スピンドル装置３１に取付けるだけで、回転角度検出器３０の誤差を正確かつ容易に測定できる。この誤差のデータを利用して、図７の従来例に見られるような誤差補正制御を行うことができる。つまり、１台の回転速度制御装置３２で誤差測定と誤差補正制御を行うことができる。
【００３５】
また、得られた誤差データと原点信号の位相関係によって回転軸１の回転中心に対するマーク板２１の偏心方向がわかるので、図３に示すような、マーク板２１を取付けるマーク板取付け軸２５を実施形態のように回転軸１と別の部品とし、ボルト２６によって固定する構造の静圧気体軸受スピンドル装置３１と組み合わせることで、誤差測定結果に基づいてマーク板２１と回転軸１の位置調整を行い、回転角度検出信号の精度を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】この発明の一実施形態にかかるモータの回転速度制御装置、およびこの制御装置が搭載されたスピンドル装置を示す概略図である。
【図２】前記回転速度制御装置における一部の詳細を示すブロック図である。
【図３】前記スピンドル装置を示す断面図である。
【図４】モータの回転速度制御装置の従来例を示すブロック図である。
【図５】同制御装置における各部の出力波形を示す波形図である。
【図６】同制御装置における回転角度検出センサのマーク板の偏心の影響を示す説明図である。
【図７】モータの回転速度制御装置の他の従来例を示すブロック図である。
【図８】同制御装置における各部の出力波形を示す波形図である。
【符号の説明】
【００３７】
１…回転軸
４…ハウジング（固定部）
２１…マーク板
２４…検出部
２８…静圧気体軸受
２９…モータ
３０…回転角度検出器
３１…スピンドル装置
３２…回転速度制御装置
３４…基準信号発生器
３５…フィードバック制御演算器
３６…電源部
３７…定電流駆動信号発生器
３８…切換スイッチ
４０…駆動電流調整器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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