(57)【要約】【課題】給粉ボックスからダイキャビティに粉末を充填し、この粉末を加圧成形して得られる成形体の密度の均一化と寸法精度を向上する。【解決手段】ダイ面上を移動する給粉ボックス４の底部に粉末１４をダイキャビティ３に投入する投入部５を設け、その投入部の投入口５ａをダイキャビティの粉末充填口３ａの形状に対応した形状にし、給粉ボックス４に粉末供給を遮断するシャッタ１５を設け、さらにこの給粉ボックス４の粉末保持容積をダイキャビティ３への粉末充填量に対して１倍以上、１．４倍以下となした。投入部５を複数の区分部５ｂに区分けし、区分部の合計容積をダイキャビティへの粉末充填後に給粉ボックス４内に残留する粉末の容積よりも大きくしてもよい。【選択図】図３
2005066645.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイ面上を移動する給粉ボックスを備え、その給粉ボックスの底部に粉末をダイキャビティに投入する投入部が設けられ、この投入部の投入口が前記ダイキャビティの粉末充填口の形状に対応した形状を有し、前記給粉ボックスが内部への粉末供給を遮断する手段を有し、かつこの給粉ボックスがダイキャビティへの粉末充填量の１倍以上、１．４倍以下の粉末保持容積を有することを特徴とする粉末成形装置。
【請求項２】
ダイ面上を移動する給粉ボックスを備え、その給粉ボックスの底部に粉末をダイキャビティに投入する投入部が設けられ、この投入部の投入口が前記ダイキャビティの粉末充填口の形状に対応した形状を有し、かつこの投入口が複数の区分部に区分けされ、前記給粉ボックスは内部への粉末供給を遮断する手段を有し、前記区分部の合計容積が前記ダイキャビティへの粉末充填後に給粉ボックス内に残留する粉末の容積よりも大きいことを特徴とする粉末成形装置。
【請求項３】
前記給粉ボックスの給粉ホース接続側に分配部を設け、その分配部と前記投入部とで粉末保持部を形成し、この粉末保持部を複数に区分けしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の粉末成形装置。
【請求項４】
前記給粉ボックスの投入部の投入口と前記ダイキャビティの粉末充填口とが対応した位置で、下パンチを下降、若しくはダイを上昇させて粉末をダイキャビティに充填することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の粉末成形装置。
【請求項５】
請求項１乃至５のいずれかに記載の粉末成形装置に使用する給粉ボックスであって、粉末をダイキャビティに投入する投入部、または粉末保持部が着脱可能に取り付けられた給粉ボックス。
【請求項６】
ダイ面上を移動する給粉ボックスから粉末をダイキャビティに充填し、その充填粉末をダイとパンチで加圧成形して成形体を製造する方法において、前記給粉ボックスに前記ダイキャビティに充填する粉末量の１倍以上、１．４倍以下の粉末が分離されて保持される工程と、その保持された粉末をダイキャビティの粉末充填口の形状に対応した形状の投入口を有する投入部からダイキャビティへ投入する工程を有することを特徴とする成形体の製造方法。
【請求項７】
ダイ面上を移動する給粉ボックスから粉末をダイキャビティに充填し、ダイとパンチで加圧成形して成形体を製造する方法において、粉末をダイキャビィに投入する前記給粉ボックスの投入部が複数の区分部に区分けされ、ダイキャビティへの粉末投入後に移動するその給粉ボックスの前記区分部の合計容積よりも粉末投入後の給粉ボックス内の粉末残留量が小さくなるように区分け部の容積管理を行なうことを特徴とする成形体の製造方法。
【請求項８】
前記給粉ボックスの投入部の投入口がダイキャビティの粉末充填口に対応した位置で、下パンチを下降させ、若しくはダイを上昇させて粉末をダイキャビティに充填することを特徴とする請求項６又は７に記載の成形体の製造方法。
【請求項９】
ｎ個の歯を有するロータ形状の成形体であって、各歯部毎に成形肌で成形体の厚みを測定したとき、ｎ個の歯の厚みの最大値と最小値の差ｔと、そのｎ個の歯の厚みの平均値Ｔｍが、ｔ／Ｔｍ≦０．００３の関係にあることを特徴とするロータ形状の成形体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、粉末成形装置および成形体の製造方法、及びそれにより製造される成形体に関する。
【背景技術】
【０００２】
焼結部品は粉末を加圧して成形体を作り、その成形体を焼結して製造される。また、成形体は、材料を混合した粉末をダイと下パンチとで形成されるダイキャビティに充填し、ダイとパンチで加圧して製造される。
【０００３】
ダイキャビティへの粉末充填においては、成形体の寸法や密度のバラツキを小さくするために粉末を均一に充填する必要がある。その均一充填のための策として、例えば下記特許文献１は、給粉ボックスの底部に多数の孔が形成された底部を設け、この給粉ボックスをダイキャビティ上に移動させ、粉末をダイキャビティに充填した後、給粉ボックスを後退させる給粉装置を提案している。
【特許文献１】実開昭６１−１６４２２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１が開示している給粉装置は、成形体全体の粉末充填量はかなり均一化されるものの、成形体の寸法や密度のバラツキにつながる下記１）〜２）の問題があり、更に改善が望まれるものであった。
１）図１に示すように、給粉時に給粉ボックス４が内部の粉末１４が偏在した状態でダイキャビティ３上に移動し、ダイキャビティ３への粉末の充填が不均一になる。
２）図２に示すように、粉末充填後においても給粉ボックス４内に残る粉末１４が、給粉ボックス４の後退時に偏在し、ダイキャビティ３に充填された粉末にかかる力が不均一になる。
【０００５】
この発明の目的は、給粉ボックスから粉末充填して作る成形体の密度の均一化と寸法精度を向上することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、この発明においては、下記（１）、（２）の粉末成形装置を提供する。
（１）ダイ面上を移動する給粉ボックスを備え、その給粉ボックスの底部に粉末をダイキャビティに投入する投入部が設けられ、その投入部の投入口がダイキャビティの粉末充填口の形状に対応した形状を有し、給粉ボックスが内部への粉末供給を遮断する手段を有し、この給粉ボックスがダイキャビティへの粉末充填量の１倍以上、１．４倍以下の粉末保持容積を有することを特徴とする粉末成形装置。
（２）ダイ面上を移動する給粉ボックスを備え、その給粉ボックスの底部に粉末をダイキャビティに投入する投入部が設けられ、この投入部の投入口が前記ダイキャビティの粉末充填口の形状に対応した形状を有し、かつこの投入口が複数の区分部に区分けされ、前記給粉ボックスは内部への粉末供給を遮断する手段を有し、前記区分部の合計容積が前記ダイキャビティへの粉末充填後に給粉ボックス内に残留する粉末の容積よりも大きいことを特徴とする粉末成形装置。
【０００７】
ここで、給粉ボックスの投入部の投入口がダイキャビティの粉末充填口の形状に対応するとは、給粉ボックスの投入口とダイキャビティの粉末充填口を重ね合わせた際に、両方の口の輪郭線の位置ずれが３ｍｍ以内に納まる形状を言う。
【０００８】
これらの粉末成形装置は、給粉ボックスの給粉ホース接続側に分配部を設け、その分配部と前記投入部とで粉末保持部を形成し、この粉末保持部を複数に区分けした構造、
或いは、給粉ボックスの投入部の投入口がダイキャビティの粉末充填口に対応した位置で、下パンチを下降、若しくはダイを上昇させながら粉末をダイキャビティに充填する構造にすると好ましい。
【０００９】
上記の分配部とは、粉末を供給する給粉ホースと投入部間に設けられ、投入部の全体にほぼ均一に粉末を案内分配する部分である。
【００１０】
なお、この発明の粉末成形装置に使用する給粉ボックスは、投入部、または粉末保持部を着脱可能に取り付けたものがよい。
【００１１】
この発明においては、下記（３）、（４）の方法も併せて提供する。
（３）ダイ面上を移動する給粉ボックスから粉末をダイキャビティに充填し、その充填粉末をダイとパンチで加圧成形して成形体を製造する方法において、前記給粉ボックスに前記ダイキャビティに充填する粉末量の１倍以上、１．４倍以下の粉末が分離されて保持される工程と、その保持された粉末をダイキャビティの粉末充填口の形状に対応した形状の投入口を有する投入部からダイキャビティへ供給する工程を有することを特徴とする成形体の製造方法。
（４）ダイ面上を移動する給粉ボックスから粉末をダイキャビティに充填し、ダイとパンチで加圧成形して成形体を製造する方法において、粉末をダイキャビィに投入する前記給粉ボックスの投入部が複数の区分部に区分けされ、ダイキャビティへの粉末投入後に移動するその給粉ボックスの前記区分部の容積よりも粉末投入後の給粉ボックス内の粉末残留量が小さくなるように区分部の容積管理を行なうことを特徴とする成形体の製造方法。
【００１２】
これらの製造方法においては、給粉ボックスの投入部の投入口がダイキャビティの粉末充填口に対応した位置で、下パンチを下降、若しくはダイを上昇させながら粉末をダイキャビティに充填すると好ましい。
【００１３】
この発明においてはさらに、ｎ個の歯を有するロータ形状の成形体であって、各歯部毎に成形肌で成形体の厚みを測定したとき、ｎ個の歯の厚みの最大値と最小値の差ｔと、そのｎ個の歯の厚みの平均値Ｔｍが、ｔ／Ｔｍ≦０．００３の関係にあるロータ形状の成形体も提供する。この成形体はこの発明の粉末成形装置と製造方法を用いて成形されるものである。
【発明の効果】
【００１４】
上記（１）の粉末成形装置は、給粉ボックスが内部に粉末がほぼ一杯に入った状態で移動するので、この給粉ボックス内での粉末の偏在が発生し難い。また、給粉ボックスの粉末保持容積をダイキャビティへの粉末充填量の１〜１．４倍に設定しているので、粉末を充填した後に給粉ボックス内に残留する粉末の量が少なく、充填後の給粉ボックス移動時の残留粉末偏在による影響を小さくすることができる。さらに、給粉ボックスの投入口の形状とダイキャビティの粉末充填口の形状が対応しているため、給粉ボックス内に保持する粉末の量を少なくしてもダイキャビティの全域に粉末をほぼ垂直に流下させて供給することができる。また、給粉ボックス内への粉末供給を遮断手段で止めることができるため、給粉ボックスに余分な粉末が入らない。
【００１５】
上記（２）の粉末成形装置は、給粉ボックスの投入部が区分けされ、その区分部の容積がダイキャビティへの粉末充填後に給粉ボックスに残留する粉末の容積よりも大きいため、ダイキャビティへの粉末充填後に給粉ボックスを移動させたときの残留粉末の偏在が各区分部毎に分散される。その結果、偏在した残留粉末がダイキャビティ内充填粉末に与える不均一な力が抑制され、成形体の密度バラツキが小さくなる。
【００１６】
上記（３）の成形体の製造方法では上記（１）の成形装置と同じ効果が得られ、また、上記（４）の成形体の製造方法では上記（２）の成形装置と同じ効果が得らる。
【００１７】
また、給粉ホースと投入部との間に給粉ボックスに供給される粉末の分配部を設けた装置は、分配部の働きによって給粉ボックスの投入部全体にほぼ均一に粉末が案内される。また、給粉ボックスの粉末保持部全体が区分けされているので、区分部毎に粉末の偏在を制限して粉末の偏在による影響を抑えることができ、ダイキャビティに対する粉末充填前後で粉末の偏在による影響を小さくすることができる。
【００１８】
さらに、給粉ボックスの投入部の投入口とダイキャビティの粉末充填口が対応した位置で下パンチを下降、若しくはダイを上昇させて粉末をダイキャビティに充填する装置及び製造方法は、粉末充填時に下パンチの下降、またはダイの上昇による吸粉がなされ、これによる粉末充填量のバラツキ抑制効果が得られる。予め下パンチを下降させ、あるいはダイを上昇させて粉末を供給すると、流入した粉末によってダイキャビティから押し出される空気の流れと粉末の流れが互いに干渉し、均一な粉末充填が阻害される。下パンチを下降、若しくはダイを上昇させることで粉末を吸入し、粉末充填を行なえばその不具合が生じない。
【００１９】
このほか、給粉ボックスとして、投入部や粉末保持部を着脱可能に取り付けたものを用いると、投入部や粉末保持部を製作する成形体の形状に合ったものと交換することができ、多品種対応が可能になる。
【００２０】
また、この発明の成形装置、製造方法で製作された成形体を焼結して得られる焼結部品は、成形体の密度がより均一となるため、焼結後の研磨代や機械加工代を小さくして高い寸法精度を確保することができる。具体的には、ｎ個の歯を有するロータ形状の成形体では、各歯部毎に成形肌で成形体の厚みを測定すると、そのｎ個の歯の厚みの最大値と最小値の差ｔと、ｎ個の歯の厚みの平均値Ｔｍが、ｔ／Ｔｍ≦０．００３の関係となる。
【００２１】
このように、この発明によれば、成形体全体の密度をより均一にすることができ、得られる成形体の寸法精度を向上することができる。したがって、その成形体を焼結して得られる焼結部品は、研磨代や機械加工代を小さくすることできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図３に、この発明の粉末成形装置のダイキャビティ部の一例を示す。この図は概念図である。粉末成形装置１は、成形体の外周を成形するダイ２、粉末を圧縮するための上パンチ１１と下パンチ１２、粉末を充填する給粉ボックス４を有している。
【００２３】
ダイ２はダイプレート１０に固定されている。このダイ２と下パンチ１２はダイキャビティ３を形成する。そのダイキャビティ３にはコアロッド１３が挿入されている。そのダイキャビティ３に給粉ボックス４から粉末１４を充填し、その粉末１４を、上パンチ１１と下パンチ１２で加圧して成形体を製造する。
【００２４】
上パンチ１１と下パンチ１２は、それぞれ図示しない上部ラム、下部ラムに取り付けられており、両者が上下から加圧運動を行う。
【００２５】
図４は給粉ボックス４の構造図の一例である。この給粉ボックス４内に給粉ホース８を通して給粉装置９から粉末１４が供給される。この給粉ボックス４には、内部への粉末供給を遮断するシャッタ１５と、敷板１６と、着脱可能な投入部５を設けている。投入部５は、給粉ボックス４の底部に設けられ、給粉ボックス４に供給された粉末１４をダイキャビティ３に投入する。給粉ボックス４の粉末保持容積は、ダイキャビティ３への粉末充填量の１倍以上、１．４倍以下としている。好ましくはその粉末保持容積をダイキャビティ３への粉末充填量の１．２倍以下とし、更に好ましくは１．１倍以下にする。このように給粉ボックス４の粉末保持量を少なくすることにより、給粉ボックス４の移動による粉末の偏在を小さくすることができる。
【００２６】
図５は給粉ボックス４の投入部５を給粉ボックスの底面側から見た図、図６はダイキャビティ３を上方（上パンチ１１）側から見た図である。このように、投入部５の投入口５ａは、ダイキャビティ３の粉末充填口３ａの形状に対応した形状になっている。図は投入口５ａと粉末充填口３ａを同一形状にしているが、対応した形状とは全く同一である必要はなく、投入口５ａと粉末充填口３ａを重ね合わせたときに２つの口５ａ、３ａの輪郭線の位置ずれが３ｍｍ以内であればよい。更に好ましくはその位置ずれを２ｍｍ以内とする。投入口５ａや粉末充填口３ａに面取りが施されている場合には面取りを施す前の形状をもとに比較する。
【００２７】
図７（ａ）及び図７（ｂ）は、給粉ボックス４に、投入部５と分配部６とからなる粉末保持部７を取り付けた給粉ボックスの構造図である。粉末保持部７を構成する投入部５や分配部６は着脱自在となしておくのが好ましい。また、図７（ｂ）に示すように、給粉ボックス４の底部に設けられた投入部５の投入口５ａを複数に区分けして区分部５ｂを設けるのも好ましい。
【００２８】
区分け用の壁５ｃは投入部５と同じ材質にすると製作が容易となる。その壁５ｃの厚みは０．３ｍｍ〜１．５ｍｍ程度にするのがよい。この壁５ｃが厚くなるにつれて対応する部分の給粉量が少なくなり、一方、壁５ｃが薄すぎると耐久性に問題がでる。また、区分部５ｂの各面積は１ｃｍ2 〜３ｃｍ2 が好ましい。さらに、区分部５ｂが小さすぎると粉末が詰まって充填にバラツキが生じ、逆に大きすぎると導入した粉末が偏在して充填密度にバラツキが生じるので、各区分部５ｂの合計容積は、ダイキャビティへの粉末充填後に給粉ボックス４内に残留する粉末の容積よりも大きくする。
【００２９】
好ましくは、分配部６も投入部５と同様に区分けする。給粉ボックス４の粉末保持部７の全体を区分けすることにより、ダイキャビティ３に粉末を供給する前の給粉ボックス４の移動による粉末の偏在が抑制される。特に給粉ボックス４の容積が１回の給粉量より大きく、粉末を保持した状態で給粉ボックス内の上部に空間が生じる場合にはその効果が大きくなる。
【００３０】
給粉を止めるシャッタ１５は、上工程即ち、給粉ホース８やその給粉ホース８を通して粉末を供給するホッパ等の給粉装置９に設けても良いが、好ましくは図４に示すように給粉ボックス４に設ける。給粉ボックス４の粉末保持容積をダイキャビティ３への充填粉末量に対して適切に設定し、この給粉ボックス４にシャッタ１５を設けることで、特別な粉末充填量の測定装置を設けずに適切な量の粉末を給粉ボックス４に充填することができる。また、給粉ボックス４の間近で給粉を遮断すれば次の給粉時間も短縮できる。さらに、図のように給粉ボックス４の壁をシャッタ１５として機能させ、そのシャッタの開閉が給粉ボックス４と給粉ホース８の相対移動でなされるようにしておくと、給粉ホース８が内部に粉末が充満して柔軟性を失っても、給粉ボックス４が給粉ホース８による移動拘束を受けずに移動できるので、ダイキャビティ３上での給粉ボックス４の位置決め、迅速な移動が可能となる。
【００３１】
また、好ましくは、各形態の装置とも、給粉ボックス４の投入口に対してその真上に給粉ホース８の接続口を設ける。これにより給粉ボックス４の投入部５に対してより均一に給粉することができる。
【００３２】
図７（ａ）、図７（ｂ）の給粉ボックス４では、投入部５の入口を分配部６の出口よりも大きくすると、分配部６の出口と投入部５の入口の接続部での粉末残りを防止できる。例えば、図７（ａ）に示すように投入部５の入口に面取り部５ｄを設けると、投入部５の大きさによる制約を受けずにその投入部５の入口を容易に分配部６の出口よりも大きくすることができる。
【００３３】
給粉ボックス４の駆動は、サーボモータによるサーボフィード、油圧シリンダなどで送りをかけて前進端の位置決めブロックに当接させるメカ式ストッパ、カムの回転運動で前進後退させるカム機構などを用いて行なうと給粉ボックス４の位置決めが容易になる。これにより給粉ボックスの投入部の投入口５ａとダイキャビティの粉末充填口３ａの位置を適切に合わせることができる。
【００３４】
また、シャッタ１５または給粉ボックス４に空気孔を設け、その空気孔から給粉ボックス４内に空気を導入すると充填時の粉末の流れがスムーズになってダイキャビティ３への粉末の充填が容易となる。
【００３５】
−実施例−
以下、より具体的な実施例について説明する。図７に示す投入部５が１１個の区分部５ａに区分けされた給粉ボックス４と、図３のようにダイプレート１０に支持されたダイ２、上パンチ１１、下パンチ１２、コアロッド１３を備えた粉末成形装置を用いて、図８に示す如き形状のオイルポンプ用ロータ（外径Ｄ＝φ８９ｍｍ、歯先部径ｄｓ＝φ６８ｍｍ、歯底部径ｄｌ＝φ８２ｍｍ、厚みＴ＝９．２ｍｍ、歯数１１枚の仕様のロータ）の成形体Ａを製作した。材料粉末は、鉄を主成分とする粉末（９６．４重量％鉄粉−２重量％銅粉−０．８重量％黒鉛粉−０．８重量％ステアリン酸）を使用した。材料粉末の充填時間は全て同じにし、成形圧は５８８Ｍｐａとした。この条件で成形体Ａを１０００個作成し、その中からランダムに３０個を取り出した。
【００３６】
−比較例−
給粉ボックス４を図９の従来品に変え、他の条件は実施例と同じにして比較用の成形体を１０００個作成し、その中からランダムに３０個を取り出した。
【００３７】
実施例の成形体３０個と比較例の成形体３０個について、研磨や機械加工をしていない成形肌で円周方向に11個の歯の厚みを測定し、各サンプル毎に測定した１１個の歯の厚みの平均値Ｔｍ、最大値Ｔmax 、最小値Ｔmin 及び最大値Ｔmax と最小値Ｔmin の差（最大差）ｔを求めた。表１に実施例の成形体の測定結果を、表２に比較例の成形体の測定結果を各々示す。
【００３８】
【表１】
2005066645.tif 000003
【００３９】
【表２】
2005066645.tif 000004
【００４０】
実施例のサンプル１〜３０の平均値Ｔｍの分散σは０．００７、最大差ｔの最大値は０．０１８ｍｍであり、最大差の平均値は０．０１２ｍｍであった。これに対して比較例のサンプル１０１〜１３０の平均値Ｔｍの分散は０．０２５、最大差ｔの最大値は０．０９１であり、最大差の平均値は０．０６１ｍｍであった。
【００４１】
ここで実施例のサンプル３０個の平均値Ｔｍの平均Ｔｍ30は９．１８１で、σ／Ｔｍ30は０．００１以下となる。これに対して、比較例のサンプル３０個の平均値Ｔｍの平均Ｔｍ30は９．２０８で、σ／Ｔｍ30は０．０２３となる。
【００４２】
図１０、図１１は実施例と比較例のサンプルの各歯の密度分布を示すグラフである。これらのグラフからわかるように、実施例では各歯の密度分布が均一化されている。特に給粉方向（給粉ボックスの移動方向）に関しては、実施例が０．１ｇ／ｃｍ3 に満たない密度差であるのに対し、比較例では０．１ｇ／ｃｍ3 以上の密度差がある。
【００４３】
表３は、実施例、比較例のサンプルをランダムにそれぞれ１００個抜き取り、その重量を測定した結果である。この表３からわかるように実施例の方がサンプル間の密度バラツキが小さい。
【００４４】
【表３】
2005066645.tif 000005
【００４５】
この実施例から証明されるように、この発明によれば成形体全体の密度を従来以上に均一にすることができ、得られる成形体の寸法精度を向上することができる。従って、その成形体を焼結して得られる焼結部品は、研磨代や機械加工代を小さくすることできる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】従来の粉末成形装置の給粉ボックス内粉末の偏在状態を示す概念図
【図２】従来の粉末成形装置の給粉ボックス内残留粉末の偏在状態を示す概念図
【図３】この発明の粉末成形装置の一例を示す模式図
【図４】図３の粉末成形装置の給粉ボックスをダイキャビティ上に移動させた図
【図５】この発明の粉末成形装置の給粉ボックスの投入口形状の一例を示す図
【図６】ダイキャビティの充填口の一例を示す図
【図７】（ａ）はこの発明の粉末成形装置の給粉ボックスの他の例を示す断面模式図、（ｂ）はその底面図
【図８】（ａ）はこの発明の方法・装置で製作する成形体の一例の概要を示す側面図、（ｂ）はその成形体の断面図
【図９】比較例で使用した給粉ボックスの断面模式図
【図１０】実施例で製作した成形体（オイルポンプ用ロータ）の各歯の密度分布を示すグラフ
【図１１】比較例で製作した成形体（オイルポンプ用ロータ）の各歯の密度分布を示すグラフ
【符号の説明】
【００４７】
１    粉末成形装置
２    ダイ
３    ダイキャビティ
３ａ  粉末充填口
４    給粉ボックス
５    投入部
５ａ  投入口
５ｂ  区分部
５ｃ  壁
５ｄ  面取り部
６    分配部
７    粉末保持部
８    給粉ホース
９    給粉装置
１０  ダイプレート
１１  上パンチ
１２  下パンチ
１３  コアロッド
１４  粉末
１５  シャッタ                                                                  １６  敷板
【図１】
2005066645.tif 000006
【図２】
2005066645.tif 000007
【図３】
2005066645.tif 000008
【図４】
2005066645.tif 000009
【図５】
2005066645.tif 000010
【図６】
2005066645.tif 000011
【図７】
2005066645.tif 000012
【図８】
2005066645.tif 000013
【図９】
2005066645.tif 000014
【図１０】
2005066645.tif 000015
【図１１】
2005066645.tif 000016