(57)【要約】【課題】  低誘電率絶縁膜の比誘電率の増加を防止すると共にレジスト残渣を生じさせないレジスト除去を可能にする。【解決手段】  レジストマスク６をエッチングマスクとして、被処理基板表面の層間絶縁膜８を構成する保護絶縁膜５／ＭＳＱ膜４／シリコン酸化膜３を順次に反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）でドライエッチングし、シリコン基板１表面の拡散層２に達するヴィアホール９を形成する。そして、レジストマスク６の除去では、はじめに、このドライエッチングでレジストマスク６表面部に形成された変質層６ａを、ＮＨ３ガスのプラズマ励起で生成したプラズマガス１０によりエッチング除去する。次に、残ったレジストマスク６は水素ラジカル１１を照射してエッチング除去する【選択図】  図１
2005268312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板の加工でマスクとして用いたレジスト膜をエッチング除去するレジスト除去方法において、
前記加工で変質した前記レジスト膜の表面部をエッチング除去する工程と、
前記表面部をエッチング除去した後に残存するレジスト膜を、水素ガスを含む原料ガスのプラズマ励起により生成した水素活性種を用いてエッチング除去する工程と、
を有するレジスト除去方法。
【請求項２】
前記水素活性種は水素ラジカルであることを特徴とする請求項１に記載のレジスト除去方法。
【請求項３】
前記原料ガスは水素ガスと不活性ガスの混合ガスであることを特徴とする請求項１又は２に記載のレジスト除去方法。
【請求項４】
前記水素活性種を用いるエッチング除去において、前記被処理基板の温度を２００℃〜４００℃の範囲に設定することを特徴とする請求項１，２又は３に記載のレジスト除去方法。
【請求項５】
前記加工で変質した前記レジスト膜の表面部のエッチング除去は、アンモニア（ＮＨ３）ガス、窒素ガス、酸素ガス、四弗化炭素（ＣＦ４）ガス、水素ガスあるいはこれらの混合ガスのプラズマ励起により生成した活性種を前記表面部に照射して行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のレジスト除去方法。
【請求項６】
前記加工で変質した前記レジスト膜の表面部のエッチング除去は、有機溶剤を含む化学薬液に前記被処理基板を浸漬して行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のレジスト除去方法。
【請求項７】
前記レジスト膜の表面部は、前記被処理基板表面の比誘電率が３以下の低誘電率絶縁膜のエッチング加工によって変質したものである請求項１〜６のいずれか一項に記載のレジスト除去方法。
【請求項８】
前記レジスト膜の表面部は、前記被処理基板表面の比誘電率が３以下の低誘電率絶縁膜上にある金属膜のエッチング加工によって変質したものである請求項１〜６のいずれか一項に記載のレジスト除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レジスト除去方法及びそれを用いて製造した半導体装置に係り、詳しくは、半導体装置の製造において用いたレジスト膜マスクの除去において、低誘電率の絶縁膜材料で成る層間絶縁膜の誘電率が上昇するのを防止すると共にレジスト残りを生じさせないレジスト除去方法及びそれを用いて製造した半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体装置、特にシリコン基板上に形成する超ＬＳＩの製造においては、半導体素子の微細化と共に素子間を接続する配線の多層化が不可欠である。そして、半導体装置の動作の低電圧化、高速化などに伴い、多層配線間の層間絶縁膜の低誘電率化が必要になってくる。特に、ロジック系の半導体装置では、微細配線による抵抗上昇や配線間の寄生容量の増加が半導体装置の動作速度の低下につながるため、低誘電率の絶縁膜材料を層間絶縁膜に適用した多層配線構造が必須となる。ここで、低誘電率の絶縁膜とは二酸化シリコン膜の比誘電率４以下の絶縁膜のことをいう。
【０００３】
このような低誘電率の絶縁膜として、シロキサン骨格を有する絶縁膜あるいは有機高分子を主骨格とした絶縁膜、更にこれらを多孔質化した絶縁膜がある。上記シロキサン骨格を有する絶縁膜では、シルセスキオキサン類の絶縁膜のようなＳｉ−ＣＨ３  結合、Ｓｉ−Ｈ結合、Ｓｉ−Ｆ結合のうち少なくとも１つの結合を含むシリカ膜、あるいは炭素含有シリコン酸化膜（ＳｉＯＣ膜）が比誘電率３以下になり、有機高分子を主骨格とした絶縁膜では、有機ポリマーで成るＳｉＬＫ（登録商標）がよく知られが、全般にシロキサン骨格を有する絶縁膜よりその比誘電率は小さくなる。ここで、シルセスキオキサン類の絶縁膜としてよく知られた絶縁材料には、メチルシルセスキオキサン（ＭＳＱ：Ｍｅｔｈｙｌ  Ｓｉｌｓｅｓｑｕｉｏｘａｎｅ）、ハイドロゲンシルセスキオキサン（ＨＳＱ：Ｈｙｄｒｏｇｅｎ  Ｓｉｌｓｅｓｑｕｉｏｘａｎｅ）、メチレーテッドハイドロゲンシルセスキオキサン（ＭＨＳＱ：Ｍｅｔｈｙｌａｔｅｄ  Ｈｙｄｒｏｇｅｎ  Ｓｉｌｓｅｓｑｕｉｏｘａｎｅ）等がある。なお、上記絶縁膜を多孔質化すればその比誘電率は容易に２〜３程度にできる。
【０００４】
上記低誘電率の絶縁膜材料を層間絶縁膜に適用し半導体装置の多層配線を形成する場合に、レジスト膜マスクを用いた加工は必須である。このような加工としては、例えば、多層配線間を接続するためのヴィアホールの形成あるいは埋め込み配線（ダマシン配線あるいはデュアルダマシン配線）における絶縁膜への配線用溝の形成等がある。以下、図９を参照して上記低誘電率の絶縁膜にヴィアホールを形成する場合の工程について概略説明する。ここで、図９は半導体装置のヴィアホールを有する層間絶縁膜の形成工程順の模式的断面図である。
【０００５】
図９（ａ）に示すように、例えばｐ導電型のシリコン基板１０１の表面部にｎ導電型の拡散層１０２を形成し、シリコン基板１０１表面に例えば５０ｎｍ厚のシリコン酸化膜１０３を熱酸化で形成する。そして、シリコン酸化膜１０３に周知のスピンオン塗布法を用いて膜厚が１．５μｍ程度のＭＳＱ膜１０４を形成し、ＭＳＱ膜１０４に積層して保護絶縁膜１０５を成膜する。ここで、保護絶縁膜１０５は膜厚が５０ｎｍ程度の炭化シリコン（ＳｉＣ）膜である。このようにして、この場合には保護絶縁膜１０５／ＭＳＱ膜１０４／シリコン酸化膜１０３の積層膜が層間絶縁膜１０６を構成するようになる。そして、フォトリソグラフィ技術で保護絶縁膜１０５上の所定の領域にレジスト開口部１０７を有するレジストマスク１０８を形成する。
【０００６】
次に、図９（ｂ）に示すように、レジストマスク１０８をエッチングマスクとして層間絶縁膜１０６を反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）でドライエッチングする。はじめに保護絶縁膜１０５をＣＦ４ガスのプラズマ励起によるＲＩＥでエッチングし、続いてＭＳＱ膜１０４とシリコン酸化膜１０３とをＣ４Ｆ８ガスとＮ２ガスとＡｒガスの混合ガスのプラズマ励起によるＲＩＥでエッチングし、拡散層１０２に達するヴィアホール１０９を形成する。ここで、ＲＩＥの条件に依存するが、上記ドライエッチングにおいてレジストマスク１０８表面部は上記プラズマのイオン衝撃を受けて熱変化し変質層１０８ａが形成される。
【０００７】
続いて、図９（ｃ）に示すように、レジスト除去装置において水素（Ｈ２）と不活性ガス（Ｈｅ、Ａｒ等）の混合ガスをプラズマ励起し水素の活性種を生成し、水素の活性種のうち水素プラズマを成すプロトン及び水素分子イオンを除いたところの水素原子あるいは水素分子の水素ラジカル１１１を照射し、上記変質層１０８ａを含めたレジストマスク１０８のエッチング除去を行う。上述したレジスト除去は、後述する図５に模式的に示すようなレジスト除去装置を用いて行い、そのレジスト除去の時間は３０％程度のオーバーエッチング時間を入れて１分〜２分となる。ここで、レジスト除去時間はレジスト膜厚によって変わり、オーバーエッチング時間はレジスト膜下の下地段差によって変わる。
【０００８】
そして、図９（ｄ）に示すように、シリコン基板１０１表面に形成した拡散層１０２に達するヴィアホール１０９を保護絶縁膜１０５／ＭＳＱ膜１０４／シリコン酸化膜１０３の積層構造の層間絶縁膜１０６に形成する。このようにした後、図示しないが、ヴィアホール１０９に充填する導電体材料（ヴィアプラグ）とそれに接続する配線層を形成することになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
半導体装置の製造においてエッチングマスクに用いたレジストマスクの除去は、これまで、原料ガスの酸素（Ｏ２）ガスあるいはハロゲン化合物ガスを添加した混合ガスをプラズマ励起し、そのプラズマアッシングで行ってきた。しかし、膜組成が［ＣＨ３ＳｉＯ３／２］ｎとなるＭＳＱ膜のような有機成分を含有した低誘電率の絶縁膜を層間絶縁膜に用いる場合には、上記原料ガスを用いたプラズマアッシングでは、アッシング後に膜質が変化し、その比誘電率の増大することが生じる。これについて図１０を参照して説明する。図１０は、酸素プラズマによるアッシングでＭＳＱ膜が変質する様子を示す模式的な構造図である。上記プラズマアッシングにおいて、ＭＳＱ膜の表面に酸素イオンあるいは酸素ラジカルのような酸化力の強い活性種がプラズマ照射されると、図１０（ａ）に示したＳｉ−ＣＨ３の結合が図１０（ｂ）に示すようにＳｉ−Ｏの結合に変わる。このようにして、ＭＳＱ膜表面が組成的に変化して二酸化シリコン（ＳｉＯ２）膜が部分的に形成され、膜の比誘電率が大幅に増加する。この酸素プラズマアッシングによる膜変質は、レジストマスクのオーバーエッチング時間において顕著になり、上述した低誘電率の絶縁膜において全般に生じてくる。
【００１０】
そこで、現在では、図９（ｃ）で説明したようにプラズマによるレジスト除去の原料ガスとして酸素ガスに換えて、水素ガスあるいは不活性ガスとの混合ガスを用いることが必須になりつつある。このようなレジスト除去であると上述したようなＭＳＱ膜表面の組成的な変化は無く比誘電率の増加は完全に防止できるからである。
【００１１】
しかし、水素ガスあるいは不活性ガスとの混合ガスを用いた上述したようなレジスト除去では、図９（ｄ）に示すように、レジスト残渣１１２が層間絶縁膜１０６表面に形成され、レジストマスク１０８を除去しきれないという問題があった。このレジスト残渣１１２の発生は、図９（ｂ）で説明したような被処理基板の加工時のＲＩＥ等のドライエッチング条件に依存している。本発明者等の詳細な検討では、レジスト残渣１１２が形成され易い第１のケースは、ＲＩＥ等のドライエッチングにおいて層間絶縁膜が厚くエッチング処理の時間が長くなるために、レジストマスク１０８表面部の上記プラズマイオン衝撃を受ける時間が長くなり、レジストマスクの熱硬化が進行してしまう場合である。そして、その第２のケースは、ＲＩＥのプラズマ励起に用いる原料ガスであるハロゲン（弗素、塩素、臭素等）とレジストとの化学反応が進み、異物質がレジストマスク１０８の表面部に形成される場合である。このように変質層１０８ａには、大きく分けて熱硬化層と異物質層の２つが存在する。
【００１２】
本発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、レジストマスクのプラズマによるレジスト除去において原料ガスに水素を用いる場合に、低誘電率の絶縁膜の比誘電率の増加を防止すると共に、ＲＩＥの条件によらずレジスト残渣を生じさせないレジスト除去方法を提供することを主目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、レジスト除去方法にかかる発明は、被処理基板の加工でマスクとして用いたレジスト膜をエッチング除去するレジスト除去方法において、前記加工で変質した前記レジスト膜の表面部をエッチング除去する工程と、前記表面部をエッチング除去した後に残存するレジスト膜を、水素ガスを含む原料ガスのプラズマ励起により生成した水素活性種を用いてエッチング除去する工程と、を有している。
【００１４】
上記発明において、前記水素活性種は水素ラジカルであり、前記原料ガスは水素ガスと不活性ガスの混合ガスであることが好ましい。また、前記水素活性種を用いるエッチング除去において、前記被処理基板の温度を２００℃〜４００℃の範囲に設定することが好ましい。
【００１５】
上記発明において、前記加工で変質した前記レジスト膜の表面部のエッチング除去は、アンモニア（ＮＨ３）ガス、窒素ガス、酸素ガス、四弗化炭素（ＣＦ４）ガス、水素ガスあるいはこれらの混合ガスのプラズマ励起により生成した活性種を前記表面部に照射して行う。あるいは、前記加工で変質した前記レジスト膜の表面部のエッチング除去は、有機溶剤を含む化学薬液に前記被処理基板を浸漬して行う。
【００１６】
ここで、前記レジスト膜の表面部は、前記被処理基板表面の比誘電率が３以下の低誘電率絶縁膜のエッチング加工によって変質したものである。あるいは、前記レジスト膜の表面部は、前記被処理基板表面の比誘電率が３以下の低誘電率絶縁膜上にある金属膜のエッチング加工によって変質したものである。
【００１７】
上記レジスト除去方法を用いて製造した半導体装置の発明においては、比誘電率が３以下の前記低誘電率の絶縁膜が半導体素子間を接続する多層配線構造の層間絶縁膜となっている。あるいは、比誘電率が３以下の前記低誘電率の絶縁膜が半導体素子間を接続するダマシン配線構造の層間絶縁膜となっている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のレジスト除去方法により、半導体装置の配線構造に使用する低誘電率の層間絶縁膜が高い再現性の下に簡便にしかも高精度に形成できる。そして、水素ガスを用いたレジスト除去においてレジスト残渣の発生が皆無になり、水素ガスを用いるレジスト除去の方法が、半導体装置の製造において充分に適用できるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、図面を参照して本発明の実施の形態の幾つかを詳細に説明する。
（実施の形態１）
図１乃至３は、本発明の第１の実施の形態にかかるレジスト除去方法を適用した半導体装置の製造を示す工程別素子断面図である。図４，５は、上記レジスト除去において用いたレジスト除去装置の模式的な略断面図である。
【００２０】
ｐ導電型のシリコン基板１の表面部にｎ導電型の拡散層２を形成し、シリコン基板１表面に例えば５０ｎｍ厚のシリコン酸化膜３を熱酸化で形成する。そして、シリコン酸化膜３に周知のスピンオン塗布法を用いて膜厚が１．５μｍ程度のＭＳＱ膜４を形成し、ＭＳＱ膜４上に膜厚５０ｎｍのＳｉＣ膜を積層して保護絶縁膜５を形成し被処理基板とする。更に、フォトリソグラフィ技術で被処理基板の保護絶縁膜５上にレジストマスク６を形成する。ここで、レジストマスク６にはレジスト開口部７が形成してある（図１（ａ））。
【００２１】
次に、従来の技術で説明したように、レジストマスク６をエッチングマスクとして被処理基板表面の層間絶縁膜８を構成する保護絶縁膜５／ＭＳＱ膜４／シリコン酸化膜３を順次にＲＩＥでドライエッチングする。はじめに保護絶縁膜５をＣＦ４ガスのプラズマ励起によるＲＩＥでエッチングし、続いてＭＳＱ膜４とシリコン酸化膜３とをＣ４Ｆ８ガスとＮ２ガスとＡｒガスの混合ガスのプラズマ励起によるＲＩＥでエッチングし、拡散層２に達するヴィアホール９を形成する。上記ドライエッチングによりレジストマスク６表面部に変質層６ａが形成される（図１（ｂ））。この変質層６ａは、上述した熱硬化層と異物質層が混在したものである。
【００２２】
次に、図４に示すようなレジスト除去装置２０を用い、上記変質層６ａにプラズマ処理を施しプラズマガス１０照射することで変質層６ａの除去を行う（図１（ｃ））。このレジスト除去装置２０は、その基本構造として、表面がアルマイト処理されたアルミニウムから成る円筒形状に成形されたチャンバ２１、チャンバ２１内の底部に取り付けられた回転テーブル２２、チャンバ２１内の上部に取り付けられたプラズマ発生部２３、そしてＮＨ３ガス、Ｎ２ガス、Ｈ２ガス、ＣＦ４ガス、Ｏ２ガス及び不活性ガスのガス供給系２４と反応後の処理ガスをチャンバ２１外に排出する排気系２５を備え、プラズマ発生部２３には、ヘリコン波プラズマ源、ＥＣＲ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ  Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）プラズマ源、ＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）プラズマ源のような装置が取り付けられて、高密度プラズマ（ＨＤＰ）を発生させるようになっている。
【００２３】
このレジスト除去装置２０の回転テーブル２２上にシリコン基板１であるウエハ２６を載置し一定速度で回転させ、ガス導入口２７より原料ガスとしてＮＨ３ガスあるいはＮＨ３ガスと不活性ガスの混合ガスをプラズマ発生部２３に導入し、上述したところの高密度プラズマ発生源により上記原料ガスをプラズマ励起させ窒素及び水素の活性種を多量に生成させる。このようにして形成した活性種をチャンバ２１内に入れ、図１（ｃ）に示したようなプラズマガス１０照射でウエハ２６表面の変質層６ａを除去しレジストマスク６を残す。この変質層６ａ除去後の処理ガスはガス排出口２８から排気系２５によりチャンバ２１外に排出する。ここで、回転テーブル２２を加熱し温度制御する基板加熱系２９によりウエハ２６の温度を１００℃程度に設定する。この変質層６ａの除去時間は、従来の技術で説明したレジスト除去の時間１分〜２分に比べると短時間の１５秒程度である。
【００２４】
次に、従来の技術で説明したのと同様に、図５に示すレジスト除去装置を用いて水素ラジカル１１を照射しレジストマスク６を除去する（図１（ｄ））。このレジスト除去装置３０は、その基本構造として、表面がアルマイト処理されたアルミニウムから成る円筒形状に成形されたレジスト除去を行う処理室のチャンバ３１、チャン３１内の底部に取り付けられた回転テーブル３２、チャンバ３１内の上部に取り付けられた活性種輸送管であるガス輸送管３３、プラズマ発生部３４、そして水素あるいは不活性ガス（Ｈｅ、Ａｒ等）のガス供給系３９と反応後の処理ガスをチャンバ３１外に排出する排気系４０を備えている。
【００２５】
そして、上記プラズマ発生部３４は、例えば石英ガラスから成る放電管３５の内壁に耐プラズマ部材３６を設け、放電管３５は、この放電管３５の内部にμ波３７（例えば周波数；２．４５ＧＨｚ）を供給するための導波管３８が接続してある。また、ガス輸送管３３の内壁にも耐プラズマ部材３６を設けてもよい。ここで、耐プラズマ部材３６は水素あるいは不活性ガスのプラズマでスパッタリングされ難いサファイアで構成するのが好ましい。
【００２６】
このレジスト除去装置３０の回転テーブル３２上にシリコン基板１であるウエハ４１を載置し一定速度で回転させ、ガス導入口４２より原料ガスとして水素ガスをＨｅガスで希釈した水素混合ガスを放電管３５に導入し、マグネトロンで発生させたμ波３７を導波管３８を通して放電管３５内に供給し、上記混合ガスをプラズマ励起させ水素の活性種を生成する。ここで、水素の活性種には水素プラズマを成すプロトン及び水素分子イオン、そして水素原子あるいは水素分子の中性ラジカル（まとめて水素ラジカルという）がある。この活性種のうち水素ラジカルの寿命は長く、ガス輸送管３３を通りチャンバ３１内に導入され図１（ｄ）の水素ラジカル１１となり、回転テーブル３２上に載置したウエハ４１表面のレジストマスク６を除去する。ここで、レジストマスクマスク６の除去は３０％のオーバーエッチング時間を入れて行う。なお、水素プラズマの一部はガス輸送管３３を流れる間に水素ラジカルに変化している。そして、このレジスト除去後の処理ガスはガス排出口４３から排気系４０によりチャンバ３１外に排出される。
【００２７】
ここで、水素混合ガスのプラズマ励起はマイクロ波で行うためにプラズマ密度が高くそれに伴い水素ラジカルの密度も高くなり、レジスト除去速度が増大する。また、回転テーブル３２を加熱し温度制御する基板加熱系４４によりウエハ４１の温度を２００℃〜４００℃の範囲に設定する。このようなウエハ温度は、従来のプラズマによるレジスト除去におけるウエハ温度が通常で１５０℃程度あるいはそれ以下になるのと比べると高い温度範囲である。このように従来技術の場合より高いウエハ温度にすることでレジスト除去速度が更に増大するようになる。
【００２８】
次に、層間絶縁膜８に形成したヴィアホール９を充填するように化学気相成長（ＣＶＤ）法で導電体膜１２を堆積させる（図２（ａ））。ここで、導電体膜１２は周知のチタン系のバリアメタルとタングステン等の高融点金属あるいはそのシリサイドとの積層構造となっている。
【００２９】
そして、周知の化学機械研磨（ＣＭＰ）法を用いて、保護絶縁膜５上の不要な導電体膜１２を研磨除去する。このＣＭＰの工程で保護絶縁膜５がＣＭＰ用ストッパ膜として機能し、ＭＳＱ膜４をＣＭＰから保護する。以上のようにして、拡散層２に接続するヴィアプラグ１３を形成する（図２（ｂ））
【００３０】
次に、ヴィアプラグ１３に接続する膜厚が１μｍ程度のアルミ・銅のアルミ合金膜１４をスパッタ法で保護絶縁膜５上に成膜し、配線パターンを有するレジストマスク１５をアルミ合金膜１４表面にフォトリソグラフィ技術で形成する（図２（ｃ））。
【００３１】
次に、レジストマスク１５をエッチングマスクとしてアルミ合金膜１４をＲＩＥでドライエッチングし配線１６を形成する。ここで、アルミ合金膜１４のドライエッチングは、原料ガスがＣｌ２ガス、ＢＣｌ３ガス等の塩素を含む混合ガスをプラズマ励起して行う。このドライエッチングでは、レジストマスク１５表面部に熱硬化した塩素を含有する有機ポリマーが変形層１５ａとして形成される（図３（ａ））。ここで、変質層１５ａは、上述した異物質層が主体のものである。
【００３２】
そして、この変質層１５ａは、図１（ｃ）で説明したように、図４に示したレジスト除去装置２０を用い、１５秒程度の短時間のプラズマ処理により除去する（図３（ｂ））。ここで、この変質層１５ａの除去で用いる原料ガスは、ＣＦ４ガスとＯ２ガスの混合ガスである。この場合の変質層１５ａは、異物質層が主体であり、変質層６ａの場合よりもプラズマ除去しにくいために上記アッシングガスを用いる。また、この原料ガスであれば、ＮＨ３ガスの場合と異なりＳｉＣ膜で成る保護絶縁膜５がエッチング除去されることはない。
【００３３】
次に、図１（ｄ）で説明したのと同様に、図５に示すレジスト除去装置を用いて水素ラジカル１１を照射しレジストマスク１５を除去する。このようにして、シリコン基板１表面に形成した拡散層２と、層間絶縁膜８に設けたヴィアプラグ１３を通して接続する配線１６を形成する（図３（ｃ））。
【００３４】
この実施の形態で説明したレジスト除去の方法であると、従来の技術で説明したようなレジスト残渣は、高い再現性の下に安定的に発生しないようにすることができる。但し、このレジスト除去において、レジストマスク表面部の変質層を予め除去するためには、上述したようにＲＩＥの条件によりその膜質が変化するのでその膜質に合わせてプラズマ処理の原料ガスを変える必要がある。通常、金属膜のＲＩＥによるドライエッチングで形成される変質層が最も除去しにくいために、この場合にはアッシングガスを添加して用いるようにする。それ以外の材料膜のエッチングでは、上述したようにＮＨ３ガス、Ｎ２ガス、Ｈ２ガス、ＣＦ４ガスあるいはこれらの混合ガスを用いればよい。ここで、混合ガスとしては、ＮＨ３ガス、Ｎ２ガスあるいはＨ２ガスにそれぞれＣＦ４ガスを添加したもの、Ｎ２ガスとＨ２ガスの混合ガス、その他にＮＨ３ガスにＯ２ガスを添加したものが好ましい。
【００３５】
上述したようなレジスト除去方法であると、レジスト除去後の層間絶縁膜の比誘電率は低いままに保持することができる。例えば、図１で説明した層間絶縁膜の形成において比誘電率が２．５の多孔質のＭＳＱ膜４を用いた場合、図３（ｄ）の工程後のＭＳＱ膜４の比誘電率は若干の増加傾向にあるが、測定誤差を考慮しても比誘電率の増加率は１％以下である。この実施の形態では、層間絶縁膜８は、保護絶縁膜５／ＭＳＱ膜４／シリコン酸化膜３の積層膜である。保護絶縁膜５を構成するＳｉＣ膜の比誘電率を３．５、シリコン酸化膜の比誘電率を４とすると層間絶縁膜８はＭＳＱ膜の換算膜厚で１．６μｍ弱になり、半導体装置の製造において、配線間の寄生容量を充分に低減した配線構造が形成できることになる。
【００３６】
この実施の形態において、ＭＳＱ膜４の比誘電率がほとんど変化しないのは、レジストマスク表面部の変質層のプラズマ照射による除去は短時間であり、この間は、層間絶縁膜８はレジストマスク６に被覆されているからである。そして、残りのレジストマスク６のエッチングにおいて、ＭＳＱ膜４がオーバーエッチング時間も含め長時間の水素ラジカル照射を受けても、図６に示すように、ＭＳＱ膜４のメチル基（−ＣＨ３）がそのまま残存しＭＳＱ膜の膜質変化がほとんど生じないからである。ここで、図６は、ＸＰＳ（Ｘ−ｒａｙ  Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）の測定結果を参考にしたＭＳＱ膜の模式的な構造図である。
【００３７】
上述したように、この実施の形態の特徴は、低誘電率の絶縁膜を層間絶縁膜に用いる場合に、その加工に用いたレジストマスクの除去において、レジストマスク表面部に形成される変質層を短時間のプラズマ照射で予め除去し、水素活性種により、好ましくは水素含有のガスをリモートプラズマ生成しその中の水素ラジカルにより、残りのレジストマスクを除去するところにある。
【００３８】
この第１の実施の形態では、従来の技術で説明したレジスト残渣の発生は、高い再現性の下に安定的に無くすることができる。そして、レジスト除去後の低誘電率絶縁膜の誘電率が増加をすることもなくなる。このようにして、半導体装置の配線構造において、低誘電率を有する層間絶縁膜が高い再現性の下に簡便にしかも高精度に形成できるようになる。そして、半導体装置において比誘電率が３以下の層間絶縁膜で寄生容量が小さな配線構造が容易に形成できるようになり、高速動作する高性能な半導体装置の実用化が促進される。
【００３９】
（実施の形態２）
図７，８は、本発明の第２の実施の形態にかかるレジスト除去方法を適用した半導体装置の製造を示す工程別素子断面図である。第２の実施の形態はデュアルダマシン配線構造を形成する場合について説明する。
【００４０】
シリコン基板（不図示）上にシリコン酸化膜で成る下層絶縁膜５１を形成し、下層絶縁膜５１上にチタン系の導電体材料で第１バリア層５２、アルミ・銅合金膜による下層配線５３、第２バリア層５４を積層構造に形成する。そして、スピンオン塗布法によりＭＳＱ膜となる塗布溶液を全面に塗布し、引続いて例えば１５０℃程度の温度で焼成し、更に拡散炉の中で４００℃程度の温度の熱処理を施して、膜厚５００ｎｍ程度の第１ＭＳＱ膜５５を形成する。続いて、この第１ＭＳＱ膜５５表面に膜厚５０ｎｍの炭化シリコン膜（ＳｉＣ膜）から成る第１保護絶縁膜５６を成膜し、その一部に選択エッチングで開口部５７を形成する。そして、上記スピンオン塗布法を用いて膜厚が１μｍ程度の第２ＭＳＱ膜５８および膜厚５０ｎｍのＳｉＣ膜から成る第２保護絶縁膜５９を積層して形成し被処理基板とし、フォトリソグラフィ技術で被処理基板の第２保護絶縁膜５９上にレジストマスク６０を形成する。ここで、レジストマスク６０にはレジスト開口部６１が形成してある（図７（ａ））。
【００４１】
次に、レジストマスク６０をエッチングマスクにして、はじめに第２保護絶縁膜５９をＣＦ４ガスのプラズマ励起によるＲＩＥでエッチングし、続いて第２ＭＳＱ膜５８をＣ４Ｆ８ガスとＯ２ガスとＡｒガスの混合ガスのプラズマ励起によるＲＩＥでエッチングし、更に第１保護絶縁膜５６をエッチングストッパとして開口部５７下の第１ＭＳＱ膜５５をドライエッチングする。このようにして、第２ＭＳＱ膜５８と第２保護絶縁膜に配線溝６２を形成し、第１ＭＳＱ膜５５と第１保護絶縁膜５６にヴィアホール６３を形成する。上記ドライエッチングによりレジストマスク６０表面部に変質層６０ａが形成される（図７（ｂ））。ここで、形成される変質層６０ａは、第１の実施の形態の場合よりも少なくしかもエッチング除去され易いものになる。これは、上記ドライエッチングの原料ガスにＯ２  が添加してあるために、このドライエッチング中にレジストマスク６０表面も同時にアッシング除去されるからである。
【００４２】
次に、レジストマスク６０表面部に形成された上記変質層６０ａを化学薬液で除去する（図７（ｃ））。ここで、第２バリア層５４あるいは下層配線５３をエッチングしない化学薬液、例えばキシレン系、ケトン系、アルコール系の有機溶剤を用いるとよい。
【００４３】
このようにして、予め変質層６０ａを除去した後に、第１の実施の形態で説明した図５に示すレジスト除去装置を用いてレジストマスク６０を除去する。ここで、レジストマスク６０は主に水素ラジカル６４の照射によりエッチング除去されることになる。（図８（ａ））。
【００４４】
次に、配線溝６２およびヴィアホール６３の内壁ならびに第２保護絶縁膜５９表面に第３バリア層６５を例えば膜厚が２０ｎｍ程度の窒化タンタル（ＴａＮ）膜で形成する。そして、膜厚が１μｍ程度のＣｕ膜６６を周知のメッキ法等を用いて形成する（図８（ｂ））。
【００４５】
そして、周知のＣＭＰ法を用いて、第２保護絶縁膜５９上の不要なＣｕ膜６６および第３バリア層６５を研磨除去する。このＣＭＰの工程で、第２保護絶縁膜５９がＣＭＰ用ストッパ膜として機能し、第２ＭＳＱ膜５８をＣＭＰから保護する。以上のようにして、下層配線５３に接続するデュアルダマシン配線６７が出来上がる（図８（ｃ））。
【００４６】
上述したように、第２の実施の形態の特徴は、低誘電率の絶縁膜を層間絶縁膜に用いる場合に、その加工に用いたレジストマスクの除去において、予めレジストマスク表面部の変質層を予め化学薬液で除去し、その後に残りのレジストマスクを水素ラジカル照射で除去するところにある。
【００４７】
第２の実施の形態では、変質層の熱変化の程度が小さい場合に有効となり、この場合も従来の技術で説明したようなレジスト残渣は、高い再現性の下に安定的に発生しないようにすることができる。この実施の形態では、上述したように変質層の除去において化学薬液を用いプラズマ照射は行わない。このために、低誘電率の絶縁膜の比誘電率が２程度と小さくなった場合でも、レジストマスク除去後の層間絶縁膜の比誘電率は低いままに保持できる。例えば、図７，８で説明したデュアルダマシン配線構造における層間絶縁膜において、比誘電率が２．０の多孔質のＭＳＱ膜を用いた場合、レジストマスク除去後のその比誘電率は２．０のままである。これに対して、第１の実施の形態では、低誘電率の絶縁膜の比誘電率が２程度と小さくなると、レジストマスク除去後の比誘電率に１０％程度の増加が生じる場合がある。
【００４８】
このようにして、第２の実施の形態のレジスト除去の方法も半導体装置の製造において充分に適用できる。そして、この場合も、半導体装置において比誘電率が３以下の層間絶縁膜を用い寄生容量が小さな（デュアル）ダマシン配線構造が容易に形成できるようになり、高速動作し高性能な半導体装置の実用化が促進される。
【００４９】
以上、この発明の実施の形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。上述した実施の形態では、低誘電率の絶縁膜である有機成分を含有するシロキサン骨格の絶縁膜の代表例とし、ＭＳＱ膜をドライエッチングし配線構造に用いる層間絶縁膜を形成する場合について説明しているが、それ以外のシルセスキオキサン類の絶縁膜あるいはＳｉＯＣ膜のような無機絶縁膜を用いて半導体装置の層間絶縁膜を形成する場合にも、本発明は全く同様にして適用できるものである。そして、本発明は、有機高分子を主骨格とした低誘電率の絶縁膜を用い層間絶縁膜を形成する場合には更に効果的に適用できる。
【００５０】
また、上記実施の形態では、保護絶縁膜としてＳｉＣ膜を用いる場合について説明しているが、これに限定されるものでは全くなく、ＳｉＣ膜の代わりにＳｉＯＣ膜を用いても良い。
【００５１】
更に、本発明は、低誘電率の絶縁膜を用いた層間絶縁膜を通してシリコン基板内に不純物イオン注入をする場合に用いたレジストマスクを除去する場合にも、全く同様に適用できる。このイオン注入においても、そのドーズ量が増大するとレジストマスクの表面部に変質層が生じるからである。このような不純物イオン注入に用いるレジストマスクは、例えば一個のＭＯＳＦＥＴで構成するＲＯＭ（含む多値機能）を搭載した半導体装置の製造に頻繁に使用される。
【００５２】
更に、本発明は、シリコン基板上に半導体装置を形成する場合の他に、ＧａＡｓ基板、ＧａＮ基板のような化合物半導体基板上に半導体装置を形成する場合にも同様に適用できる。また、液晶パネル、プラズマディスプレイパネルの配線構造を形成する場合にも同様に適用できる。そして、半導体装置の実装に使用する多層配線基板のプリプレグのような絶縁素材を形成する場合にも適用できる。このように、本発明は、上記の実施の形態に限定されず、本発明の技術思想の範囲内において、実施の形態は適宜に変更されうるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる半導体装置製造でのレジスト除去方法を示す工程別素子断面図である。
【図２】図１に示す工程の続きの工程別断面図である。
【図３】図２に示す工程の続きの工程別断面図である。
【図４】レジストマスク表面部の変質層を除去するレジスト除去装置の模式的な略断面図である。
【図５】レジストマスクを除去するためのレジスト除去装置の模式的な略断面図である。
【図６】本発明の効果を説明するための低誘電率絶縁膜の構造図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態にかかる半導体装置製造でのレジスト除去方法を示す工程別素子断面図である。
【図８】図７に示す工程の続きの工程別断面図である。
【図９】従来の技術を説明する半導体装置製造でのレジスト除去方法を示す工程別素子断面図である。
【図１０】従来の技術を説明するための低誘電率絶縁膜の構造図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  シリコン基板
２  拡散層
３  シリコン酸化膜
４  ＭＳＱ膜
５  保護絶縁膜
６，１５，６０  レジストマスク
６ａ，１５ａ，６０ａ  変質層
７，６１  レジスト開口部
８  層間絶縁膜
９，６３  ヴィアホール
１０，１７  プラズマガス
１１，６４  水素ラジカル
１２  導電体膜
１３  ヴィアプラグ
１４  アルミ合金膜
１６  配線
２０，３０  レジスト除去装置
２１，３１  チャンバ
２２，３２  回転テーブル
２３，３４  プラズマ発生部
２４，３９  ガス供給系
２５，４０  排気系
２６，４１  ウエハ
２７，４２  ガス導入口
２８，４３  ガス排出口
２９，４４  基板加熱系
３３  ガス輸送管
３５  放電管
３６  耐プラズマ部材
３７  μ波
３８  導波管
５１  下層絶縁膜
５２  第１バリア層
５３  下層配線
５４  第２バリア層
５５  第１ＭＳＱ膜
５６  第１保護絶縁膜
５７  開口部
５８  第２ＭＳＱ膜
５９  第２保護絶縁膜
６２  配線溝
６５  第３バリア層
６６  Ｃｕ膜
６７  デュアルダマシン配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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