(57)【要約】【課題】  欠損等により断線しかかっている配線に対しても、連続的にかつ検査精度良く導通試験などの電気検査を実施することが可能な電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法を提供する。【解決手段】  電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の配線パターンを強制的に折り曲げる強制折り曲げ装置１８を備えた強制折り曲げ部１４と、強制折り曲げ部１４の下流側に配置され、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の配線パターンに、一対のプローブピンを接触させて、配線パターンの導通状態を検出する電気検査部１６とを備える。【選択図】  図１
2005127911.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを強制的に折り曲げる強制折り曲げ装置を備えた強制折り曲げ部と、
前記強制折り曲げ部の下流側に配置され、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンに、一対のプローブピンを接触させて、配線パターンの導通状態を検出する電気検査部と、
を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置。
【請求項２】
前記強制折り曲げ部の強制折り曲げ装置が、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの上下方向の一方側に、電子部品実装用フィルムキャリアテープの長手方向に一定間隔離間して配設された一対の第１の突出部材と、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの上下方向の他方側に、前記一対の第１の突出部材の間に位置するように配設された第２の突出部材とから構成され、
前記一対の第１の突出部材と第２の突出部材とによって、上下方向から電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを挟持することによって、配線パターンを強制的に折り曲げるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置。
【請求項３】
前記一対の第１の突出部材と第２の突出部材の少なくとも一方が、ローラであることを特徴とする請求項２に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置。
【請求項４】
前記強制折り曲げ部において、折り曲げの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を負荷する引張力負荷装置を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置。
【請求項５】
前記折り曲げ部における引張力負荷装置が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を付与するダンサーローラであることを特徴とする請求項４に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置。
【請求項６】
前記電気検査部において、電気検査の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を負荷する引張力負荷装置を備えることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置。
【請求項７】
前記電気検査部における引張力負荷装置が、
フィルムキャリアテープ支持装置と、
前記フィルムキャリアテープ支持装置に支持された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を付与するダンサーローラであることを特徴とする請求項６に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置。
【請求項８】
前記一対の第１の突出部材が、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスリット部分を挟んだ位置に対応する位置に配置されるとともに、
前記第２の突出部材が、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスリット部分に対応する位置に配置されることを特徴とする請求項２から７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置。
【請求項９】
電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを、強制折り曲げ装置によって強制的に折り曲げる強制折り曲げ工程と、
前記強制折り曲げ工程の後に、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターン
に、一対のプローブピンを接触させて、配線パターンの導通状態を検出する電気検査工程とを、
を備えることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法。
【請求項１０】
前記強制折り曲げ工程の強制折り曲げ装置が、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの上下方向の一方側に、電子部品実装用フィルムキャリアテープの長手方向に一定間隔離間して配設された一対の第１の突出部材と、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの上下方向の他方側に、前記一対の第１の突出部材の間に位置するように配設された第２の突出部材とから構成され、
前記一対の第１の突出部材と第２の突出部材とによって、上下方向から電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを挟持することによって、配線パターンを強制的に折り曲げるように構成されていることを特徴とする請求項９に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法。
【請求項１１】
前記一対の第１の突出部材と第２の突出部材の少なくとも一方が、ローラであることを特徴とする請求項１０に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法。
【請求項１２】
前記強制折り曲げ工程において、引張力負荷装置によって、折り曲げの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を負荷することを特徴とする請求項９から１１のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法。
【請求項１３】
前記折り曲げ工程における引張力負荷装置が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を付与するダンサーローラであることを特徴とする請求項１２に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法。
【請求項１４】
前記電気検査工程において、引張力負荷装置によって、電気検査の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を負荷することを特徴とする請求項９から１３のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法。
【請求項１５】
前記電気検査部における引張力負荷装置が、
フィルムキャリアテープ支持装置と、
前記フィルムキャリアテープ支持装置に支持された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を付与するダンサーローラであることを特徴とする請求項１４に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法。
【請求項１６】
前記一対の第１の突出部材が、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスリット部分を挟んだ位置に対応する位置に配置されるとともに、
前記第２の突出部材が、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスリット部分に対応する位置に配置されることを特徴とする請求項１０から１５のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ、Ｔ-ＢＧＡ(Tape Ball Grid Array)テープ、ＣＯＦ（Chip On Film）テープ、ＣＳＰ（Chip Size Package）テープ、 Ａ
ＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）テープ、２メタル（両面配線）テ
ープなど（以下、単に「電子部品実装用フィルムキャリアテープ」と言う。）の電気検査において、断線など欠損が発生しそうな配線パターンを検出するための、電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）などの電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望され、これら電子部品の実装方法として、最近ではＴＡＢテープ、ＣＯＦ（Chip On Film）フィルム、Ｔ-ＢＧＡテープおよびＡＳＩＣテープ、２メ
タル（両面配線）テープなどの電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた実装方式が採用されている。
【０００３】
特に、パーソナルコンピュータなどのように高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭小化が要望されている液晶表示素子（ＬＣＤ）を使用する電子産業においてその重要性が高まっている。
【０００４】
さらに、最近では携帯電話のディスプレーのカラー液晶化に伴って、電子部品実装用フィルムキャリアテープの需要が大幅に増大しはじめているとともに、パーソナルコンピュータに接続されるプリンターにおける印字制御の分野におけるフィルムキャリアテープの需要の増加も著しく増大し始めている。
【０００５】
このような電子部品実装用フィルムキャリアテープは、例えば、下記のような製造工程で製造されるのが一般的である。
【０００６】
すなわち、ポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム、ポリアミドフィルム、液晶ポリマーフィルムなどのような基材となる絶縁フィルムをパンチング等によって絶縁フィルムの長手方向に連続して複数の搬送用スプロケットホールを形成し、この絶縁フィルムの表面に例えば接着剤等を介して電解銅箔や圧延銅箔といった銅箔を熱圧着により粘着することにより導電層を形成する。
【０００７】
次に、この導電層上の全面又は一部分にフォトレジストを塗布し、このフォトレジストを所望のパターン形状を有するフォトマスクを介して紫外線等により露光し、露光されたフォトレジスト部分を現像液により溶解除去する。
【０００８】
次いで、フォトレジストで覆われていない導電層を、エッチング液である酸性溶液で化学的に溶解（エッチング処理）して除去し、さらに、フォトレジストをアルカリ液にて溶解除去する。これにより、絶縁フィルム上に残った導電層からなる所望の配線パターンが形成される。
【０００９】
そして、電子部品の実装時のゴミやウィスカー、マイグレーションによる短絡を防止し、配線パターン間の保護並びに絶縁のために、配線パターンをソルダーレジスト層により
覆うようにする。
【００１０】
具体的には、配線パターンのうち、ＩＣなどの電子部品に接続されるインナーリード部分と、外部端子に接続されるアウターリード部等とを除いた領域に、絶縁樹脂であるソルダーレジストを、例えば、スクリーン印刷法によりソルダーレジスト層を形成する。
【００１１】
このようにソルダーレジスト層を形成した後には、露出した各リード部分に、例えば、スズメッキ、金メッキ、スズ−鉛の共晶合金メッキなどを施すことにより、電子部品実装用フィルムキャリアテープとなる。なお、このメッキは、露出した各リード部分の酸化、変色を防止すると共に、各リード部分での接合強度を確保するために施されている。
【００１２】
その後、ボンディング装置を用いてこの電子部品実装用フィルムキャリアテープのインナーリード部に半導体が実装され、樹脂封止される。
【００１３】
ところで、このような電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造の各工程及び最終工程では、品質検査、例えば、配線パターンの品質検査等が実施されているが、従来の人による目視検査（透過光検査）と比較して、より効率的にしかも正確な検査が行える方法として、最近では、電子部品実装用フィルムキャリアテープの一方面に設けられた配線パターンに一対のプローブピンを接触させ、配線の断線、短絡、または、隣接する配線間の絶縁抵抗を電気的に検査する方法が行われている。
【００１４】
しかしながら、このような検査方法では、断線した配線については、確実に検出することができるが、欠け、線細りといった欠損等により断線しかかっている配線までは検出することができない。
【００１５】
このため、例えば、液晶表示素子（ＬＣＤ）に使用する場合のように、液晶パネルへの接続時に、電子部品実装用フィルムキャリアテープをスリット部分にて、折り曲げて使用する際に、配線が断線する等の不良が発生するという問題があった。
【００１６】
また、近年の電子部品実装用フィルムキャリアテープの薄型化が進み、配線パターンのファインピッチ化が急速に進んでいるために、電子部品実装用フィルムキャリアテープの折り曲げによる断線等の不良が増加しているという問題がある。
【００１７】
このため、特許文献１（特開２００３−７７７４号公報）では、電子部品実装用フィルムキャリアテープの不良の発生を防止できる電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査方法及び検査装置が提案されている。
【００１８】
すなわち、この特許文献１の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、図７に示したように、パターン検査部１００に、検査ステージ１０２と、一対のプローブピン１０４、１０６が固定される固定部材１０８とが設けられている。
【００１９】
これらの上下動可能な検査ステージ１０２と固定部材１０８との間に、フィルムキャリアテープ１１０が挟持されて、位置決めされるようになっている。
【００２０】
そして、フィルムキャリアテープ１１０の配線パターン１１２のアウターリード１１４、１１６のパッド部分１１４ａ、１１６ａに、一対のプローブピン１０４、１０６を接触させて、導通試験を行うようになっている。
【００２１】
また、固定部材１０８には、配線パターン１１２の電子部品が接続される部分であるインナーリード１２２の部分に対向する領域に、インナーリード１２２の配線同士を接続し
て導通させるための導通用端子１２４が固定されている。
【００２２】
さらに、検査ステージ１０２には、固定部材１０８の側に突出する凸部１２６がフィルムキャリアテープ１１０の幅方向にわたって設けられている。一方、固定部材１０８には、この凸部１２６を挟むように凹部１２８が設けられている。
【００２３】
従って、特許文献１の検査装置では、このような凸部１２６を有する検査ステージ１０２と凹部１２８を有する固定部材１０８との間に、フィルムキャリアテープ１１０を狭持することにより、アウターリード１１４、１１６のパッド部分１１４ａ、１１６ａに、一対のプローブピン１０４、１０６を接触させるとともに、インナーリード１２２の部分に導通用端子１２４を接触させて（ランディングさせて）、所定位置に曲げを付与した状態で導通試験を行うようになっている。
【００２４】
このような折り曲げを強制的に付与することにより、欠損等により断線しかかっている配線パターンを強制的に断線させることができ、導通試験によって不良を確実に検出することができるようになっている。
【特許文献１】特開２００３−７７７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２５】
このような特許文献１に開示される従来の検査装置では、上記のような導通試験が、フィルムキャリアテープ１１０に対して連続的に行われるものである。
【００２６】
しかしながら、フィルムキャリアテープ１１０に対して、折り曲げを付与することによって、フィルムキャリアテープ１１０が不均等に延びる状態は、導通試験の測定毎に微妙に異なってくるものであり、繰り返しの測定精度が低下することになる。
【００２７】
すなわち、図８に示したように、特許文献１の検査装置では、凸部１２６を有する検査ステージ１０２と凹部１２８を有する固定部材１０８との間に、フィルムキャリアテープ１１０を狭持することにより、所定位置に折り曲げを付与した状態で、フィルムキャリアテープ１１０が不均等に延びて、プローブピン１０４、１０６の接触位置（ランディング位置）がずれてしまい、アウターリード１１４、１１６のパッド部分１１４ａ、１１６ａに、プローブピン１０４、１０６が接触しない場合が生じてしまう。
【００２８】
これにより、本来正常なフィルムキャリアテープ１１０であるのに、導通試験において導通不良となり、不良品と判断されることになり、検査の精度が低下することになる。
【００２９】
本発明は、このような現状に鑑み、欠損等により断線しかかっている配線パターンに対しても、連続的にかつ検査精度良く導通試験などの電気検査を実施することが可能な電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを強制的に折り曲げる強制折り曲げ装置を備えた強制折り曲げ部と、
前記強制折り曲げ部の下流側に配置され、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンに、一対のプローブピンを接触させて、配線パターンの導通状態を検出する電気検査部と、
を備えることを特徴とする。
【００３１】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを、強制折り曲げ装置によって強制的に折り曲げる強制折り曲げ工程と、
前記強制折り曲げ工程の後に、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンに、一対のプローブピンを接触させて、配線パターンの導通状態を検出する電気検査工程とを、
を備えることを特徴とする。
【００３２】
このように構成することによって、強制折り曲げ部（折り曲げ工程）において、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターン、特に配線幅が細く断線し易い出力側のリード部分（引きまわし配線）を強制折り曲げ装置によって強制的に折り曲げることによって、欠損等により断線しかかっている配線パターンを強制的に断線させることができる。
【００３３】
そして、その後、このような折り曲げが付与されて、断線しかかっている配線パターンが強制的に断線されたフィルムキャリアテープの折り曲げが解除された状態で（元の状態に復帰した状態で）、電気検査部（電気検査工程）において、フィルムキャリアテープの配線パターンに、一対のプローブピンを接触させて、配線パターンの導通状態を検出するようになっている。
【００３４】
従って、電気検査の際には、折り曲げを付与することによって、不均等に延びたフィルムキャリアテープが、折り曲げが解除された状態で、すなわち、元の状態に復帰した状態となる。このため、プローブピンの接触位置（ランディング位置）がずれることなく、配線パターン、特に、アウターリードのパッド部分に、プローブピンを正確に接触することができる。
【００３５】
従って、本来正常なフィルムキャリアテープであるのに、導通試験において導通不良となり、不良品と判断されることがなく、検査の精度を極めて向上することができる。
【００３６】
また、本発明では、前記強制折り曲げ部の強制折り曲げ装置が、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの上下方向の一方側に、電子部品実装用フィルムキャリアテープの長手方向に一定間隔離間して配設された一対の第１の突出部材と、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの上下方向の他方側に、前記一対の第１の突出部材の間に位置するように配設された第２の突出部材とから構成され、
前記一対の第１の突出部材と第２の突出部材とによって、上下方向から電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを挟持することによって、配線パターンを強制的に折り曲げるように構成されていることを特徴とする。
【００３７】
このように構成することによって、一対の第１の突出部材と第２の突出部材とによって、上下方向から電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを挟持することによって、配線パターンを強制的に折り曲げることになり、欠損等により断線しかかっている配線パターンを確実に強制的に断線させることができ、導通試験によって不良を確実に検出することができる。
【００３８】
また、本発明では、前記一対の第１の突出部材と第２の突出部材の少なくとも一方が、ローラであることを特徴とする。
【００３９】
このように一対の第１の突出部材と第２の突出部材の少なくとも一方が、ローラであることによって、摩擦抵抗によって、過度にフィルムキャリアテープが引っ張られることがなく、絶縁フィルムおよび配線パターンを構成する導電材料（銅）に塑性変形が生じず、商品性が低下することがないとともに、元の状態に復帰して、正確な電気検査を実施することができる。
【００４０】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置は、前記強制折り曲げ部において、折り曲げの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を負荷する引張力負荷装置を備えることを特徴とする。
【００４１】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法は、前記強制折り曲げ工程において、引張力負荷装置によって、折り曲げの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を負荷することを特徴とする。
【００４２】
このように構成することによって、引張力負荷装置によって、位置決めが正確に行われるとともに、折り曲げの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力をさらに負荷することができるので、欠損等により断線しかかっている配線パターンを確実に強制的に断線させることができ、導通試験によって不良を確実に検出することができる。
【００４３】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置は、前記折り曲げ部における引張力負荷装置が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を付与するダンサーローラであることを特徴とする。
【００４４】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法は、前記折り曲げ工程における引張力負荷装置が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を付与するダンサーローラであることを特徴とする。
【００４５】
このように折り曲げ部（折り曲げ工程）における引張力負荷装置が、ダンサーローラであるので、ダンサーローラの重さを調整することによって、折り曲げの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、所定の引張力を負荷することができるので、欠損等により断線しかかっている配線パターンを確実に強制的に断線させることができ、導通試験によって不良を確実に検出することができる。
【００４６】
しかも、ダンサーローラの重さを調整することによって、折り曲げの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、所定の引張力を負荷することができるので、過度にフィルムキャリアテープが引っ張られることがなく、絶縁フィルムおよび配線パターンを構成する導電材料（銅）、ならびにソルダーレジスト層に塑性変形が生じず、商品性が低下することがないとともに、元の状態に復帰して、正確な電気検査を実施することができる。
【００４７】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置は、前記電気検査部において、電気検査の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を負荷する引張力負荷装置を備えることを特徴とする。
【００４８】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法は、前記電気検査工程において、引張力負荷装置によって、電気検査の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を負荷することを特徴とする。
【００４９】
このように構成することによって、電気検査の際に、電子部品実装用フィルムキャリア
テープに対して、所定の引張力を負荷することができるので、電気検査の際には、折り曲げ部（折り曲げ工程）において折り曲げを付与することによって、不均等に延びたフィルムキャリアテープが、元の状態に復帰した状態となる。
【００５０】
また、電気検査の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、所定の引張力を負荷するので、折り曲げ部（折り曲げ工程）において、強制的に断線させた配線同士が、電気検査の際に再び接続（接触）しないように引っ張った状態が維持される。
【００５１】
このため、プローブピンの接触位置（ランディング位置）がずれることなく、配線パターン、特に、アウターリードのパッド部分に、プローブピンを正確に接触することができ、正確な電気検査を実施することができる。
【００５２】
しかも、強制的に断線させた断線しかかっている配線が、再接触しないので、電気検査の際に、不良品が誤って電気検査に合格するおそれもない。
【００５３】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置は、前記電気検査部における引張力負荷装置が、
フィルムキャリアテープ支持装置と、
前記フィルムキャリアテープ支持装置に支持された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を付与するダンサーローラであることを特徴とする。
【００５４】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査方法は、前記電気検査部における引張力負荷装置が、
フィルムキャリアテープ支持装置と、
前記フィルムキャリアテープ支持装置に支持された電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、引張力を付与するダンサーローラであることを特徴とする。
【００５５】
このように構成することによって、フィルムキャリアテープ支持装置によって、フィルムキャリアテープを支持した状態で、ダンサーローラによって、ダンサーローラの重さによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、所定の引張力を負荷することができる。
【００５６】
これにより、電気検査の際には、折り曲げ部（折り曲げ工程）において折り曲げを付与することによって、不均等に延びたフィルムキャリアテープが、正確な位置において、元の状態に復帰した状態となる。このため、プローブピンの接触位置（ランディング位置）がずれることなく、配線パターン、特に、アウターリードのパッド部分に、プローブピンを正確に接触することができ、正確な電気検査を実施することができる。
【００５７】
また、電気検査の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、所定の引張力を負荷するので、折り曲げ部（折り曲げ工程）において、強制的に断線させた配線同士が、電気検査の際に再び接続（接触）しないように引っ張った状態が維持される。
【００５８】
従って、強制的に断線させた断線しかかっている配線が、再接触するのが防止できるので、電気検査の際に、不良品が誤って電気検査に合格するおそれもない。
【００５９】
さらに、本発明では、前記一対の第１の突出部材が、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスリット部分を挟んだ位置に対応する位置に配置されるとともに、
前記第２の突出部材が、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスリット部分に対応する位置に配置されることを特徴とする。
【００６０】
このように構成することによって、特に、液晶表示素子（ＬＣＤ）に用いられ、スリット部分において、折り曲げられた状態で使用される、例えば、ＴＡＢテープ、ＣＯＦなどにおいて、スリット部分に存在する配線パターンを強制的に折り曲げることができる。
【００６１】
従って、使用の際に折り曲げられるスリット部分の配線パターンのうち、欠損等により断線しかかっている配線パターンを確実に強制的に断線させることができ、導通試験によって不良を確実に検出することができるので、使用の際に折り曲げた際に、スリット部分の配線パターンが断線するのを防止することができる。
【００６２】
なお、電気検査の際には、上記の導通試験の他に、例えば隣接するパッド間に電位を印加して、隣接する配線間での短絡の有無を検査するショートチェックも行われるが、この際にもパッドとプローブピンの接触位置（ランディング位置）がずれることがないので、正確なショートチェック検査を実施することができる。
【発明の効果】
【００６３】
本発明によれば、強制折り曲げ部（折り曲げ工程）において、電子部品実装用フィルムキャリアテープの引きまわし領域（インナーリードとアウターリードとの間）の配線パターンを強制折り曲げ装置によって強制的に折り曲げることによって、欠損等により断線しかかっている配線を強制的に断線させることができる。
【００６４】
そして、その後、このような折り曲げが付与されて、断線しかかっている配線が強制的に断線されたフィルムキャリアテープの折り曲げが解除された状態で（元の状態に復帰した状態で）、電気検査部（電気検査工程）において、フィルムキャリアテープの配線パターンに一定の引張力を負荷して、強制的に断線された配線が再接続しないようにして、配線パターンに一対のプローブピンを接触させて、配線の導通状態を検出するようになっている。
【００６５】
従って、電気検査の際には、折り曲げを付与することによって、不均等に延びたフィルムキャリアテープが、折り曲げが解除された状態で、すなわち、元の状態に復帰した状態となる。このため、プローブピンの接触位置（ランディング位置）がずれることなく、配線パターン、特に、アウターリードのパッド部分に、プローブピンを正確に接触することができる。
【００６６】
従って、本来正常なフィルムキャリアテープであるのに、導通試験において導通不良となり、不良品と判断されることがなく、検査の精度を極めて向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６７】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
【００６８】
図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの実施例の電気検査装置の概略図である。
【００６９】
図１において、１０は、全体で電子部品実装用フィルムキャリアテープの電気検査装置（以下、単に「検査装置」と言う）を示している。
【００７０】
図１に示したように、検査装置１０は、図示しない送り出し機構のリールから、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２が、連続的に搬送されて、強制折り曲げ部１４、電気検査部１６を通過して、図示しない巻き取り機構のリールに巻き取られるように構成されている。
【００７１】
なお、この場合には、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の配線パターン面を上にして、搬送されるようになっている。
【００７２】
強制折り曲げ部１４には、強制折り曲げ装置１８が備えられており、この強制折り曲げ装置１８は、図示しない駆動機構によって上下動することによって、相互に接近、離反可能な上下一対の上方折り曲げ部材２０と下方折り曲げ部材２２とから構成されている。
【００７３】
上方折り曲げ部材２０の下端には、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の長手方向に一定間隔離間して配設された一対のローラ２４、２６から構成される第１の突出部材２８、３０が備えられている。
【００７４】
一方、下方折り曲げ部材２２の上端には、第１の突出部材２８、３０の一対のローラ２４、２６の間に位置するように配設されたローラ３２から構成される第２の突出部材３４が備えられている。
【００７５】
このように構成される強制折り曲げ部１４では、図１に示したように、強制折り曲げ部１４内に配設されたダンサーローラやバックテンションギアのようなテンション付与装置４０とドライブローラ４２の間を通過する際に、ドライブローラ４２の駆動が一時停止されて、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の送給が一時停止されて位置決めされる。
【００７６】
そして、図２に示したように、上方折り曲げ部材２０と下方折り曲げ部材２２とを相互に接近する方向に移動することによって、第１の突出部材２８、３０の一対のローラ２４、２６と、第２の突出部材３４のローラ３２とによって、上下方向から電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の配線パターン３６を挟持することによって、配線パターン３６を強制的に折り曲げ（３８）るように構成されている。
【００７７】
このように構成することによって、強制折り曲げ部１４において、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の配線パターン３６、特にもともと配線幅が細くて断線し易い出力側のインナーリードとアウターリードとの間の配線パターンを強制折り曲げ装置１８によって強制的に折り曲げることによって、欠損等により断線しかかっている配線パターンを強制的に断線させることができるようになっている。
【００７８】
なお、この場合、これらのローラ２４、２６、３２の寸法は、特に限定されるものではないが、上記の強制断線効果を考慮すれば、その直径が、約４〜１０ｍｍとするのが望ましい。
【００７９】
また、この実施例の場合には、第１の突出部材２８、３０を、一対のローラ２４、２６で構成するとともに、第２の突出部材３４をローラ３２で構成している。
【００８０】
これは、ローラで突出部材を構成することによって、摩擦抵抗によって、過度にフィルムキャリアテープ１２が引っ張られることがなく、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を構成する絶縁フィルム４４および配線パターン３６を構成する導電材料（銅）、ならびにソルダーレジスト層８０に塑性変形が生じず、商品性が低下することがないとともに、元の状態に復帰して、正確な電気検査を実施することができるからである。
【００８１】
しかしながら、このように過度にフィルムキャリアテープ１２が引っ張られることがなく、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を構成する絶縁フィルム４４および配線パターン３６を構成する導電材料（銅）に塑性変形が生じない限りは、これらの第１の突出部材２８、３０、第２の突出部材３４を、ローラの代わりに、例えば、図３に示したよ
うに、突部４６、４８、５０から構成することも可能である。さらに、これらのローラ、突部を適宜組み合わせて用いることも可能である。
【００８２】
また、この実施例では、上方折り曲げ部材２０側に、第１の突出部材２８、３０を設け、下方折り曲げ部材２２側に、第２の突出部材３４を設けたが、逆に、図６に示したように、上方折り曲げ部材２０側に、第２の突出部材３４を設け、下方折り曲げ部材２２側に、第１の突出部材２８、３０を設けることも可能である。
【００８３】
この図６に示したような構成とすることによって、欠損等により断線しかかっている配線パターンを、より確実に断線させることができる。従って、この場合には、テンション付与装置４０を省略することも可能である。
【００８４】
さらに、これらの第１の突出部材２８、３０の一対のローラ２４、２６と、第２の突出部材３４のローラ３２を設ける位置としては、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の種類に応じて、配線パターン３６、特にインナーリードとアウターリードとの間の所定の場所に位置するように配置すればよく、特に限定されるものではない。
【００８５】
また、このような、第１の突出部材２８、３０と、第２の突出部材３４との組み合わせを、複数箇所設けておくことも可能である。
【００８６】
例えば、図４は、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２として、液晶表示素子（ＬＣＤ）に用いられ、スリット部分５４において、折り曲げられた状態で使用されるＴＡＢテープを示している。なお、図４中、５２は、アウターリード、５４は、スリット、５６は、デバイスホール、５８は、インナーリード、６０は、アウターリード５２に形成されるテストパッド、６２は、スプロケットホールを示している。
【００８７】
このような電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の場合には、図４の一点鎖線で示したように、一対の第１の突出部材２８、３０が、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２のスリット部分５４を挟んだ位置に対応する位置に配置される。そして、図４の二点鎖線で示したように、第２の突出部材３４が、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２のスリット部分５４に対応する位置に配置されるのが望ましい。
【００８８】
このように構成することによって、特に、液晶表示素子（ＬＣＤ）に用いられ、スリット部分において、折り曲げられた状態で使用される、例えば、ＴＡＢテープ、ＣＯＦテープなどにおいて、スリット部分５４およびその周辺に存在する配線パターン３６を折り曲げることができる。
【００８９】
従って、使用の際に折り曲げられるスリット部分５４およびその周辺の配線パターンのうち、欠損等により断線しかかっている配線を確実に強制的に断線させることができ、導通試験によって不良を確実に検出することができるので、使用の際に折り曲げた際に、スリット部分５４およびその周辺の配線パターンが断線するのを防止することができるようになっている。
【００９０】
このように、強制折り曲げ部１４において、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の配線パターン３６、いわゆる引きまわし配線パターンを強制折り曲げ装置１８によって強制的に折り曲げることによって、欠損等により断線しかかっている配線を強制的に断線させた電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２は、案内ローラ６４を通過した後、ダンサーローラ６６、案内ローラ６８を通過して、電気検査部１６に搬送されるようになっている。
【００９１】
ところで、上記のダンサーローラ６６は、強制折り曲げ部１４において、折り曲げの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２に対して、引張力を負荷する引張力負荷装置７０として機能させることもできる。
【００９２】
すなわち、引張力負荷装置７０によって、折り曲げの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２に対して、引張力をさらに負荷することができるので、欠損等により断線しかかっている配線パターン３６を確実に強制的に断線させることができ、導通試験によって不良を確実に検出することができるようになっている。
【００９３】
一方、電気検査部１６に搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２は、折り曲げが付与されて、断線しかかっている配線パターンが強制的に断線されたフィルムキャリアテープの折り曲げが解除された状態で（元の状態に復帰した状態で）、電気検査部１６において、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の入力側および出力側の配線パターン３６に、一対のプローブピンを接触させて、配線パターン３６の導通状態を検出するようになっている。
【００９４】
また、電気検査部１６における電気検査の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２に対して、後述するように引張力負荷装置８４によって所定の引張力を負荷するので、強制折り曲げ部１４において、強制的に断線させた配線同士が、電気検査の際に再び接続（接触）しないように引っ張った状態が維持される。
【００９５】
従って、強制的に断線させた断線しかかっている配線が、再接触するのが防止できるので、電気検査部１６における電気検査の際に、不良品が誤って電気検査に合格するおそれがないようになっている。
【００９６】
すなわち、この電気検査部１６は、図１および図５に示したように、電気検査部１６に、下検査ステージ７２と、一対のプローブピン７４、７６が固定される上検査ステージ７８とが設けられている。
【００９７】
これらの下検査ステージ７２と上検査ステージ７８とは、上下動可能であって、例えば上検査ステージ７８が下降した後、下検査ステージ７２が僅かに上昇することによって、下検査ステージ７２と上検査ステージ７８との間に、フィルムキャリアテープ１２が挟持されて、固定されるようになっている。
【００９８】
そして、フィルムキャリアテープ１２の配線パターンのアウターリード５２のテストパッド部分６０に、一対のプローブピン７４、７６を接触させて、両方のプローブピン７４、７６の間に配設した測定器７１、７３によって、導通試験を行い、断線の有無をチェックするようになっている。また、このような導通試験は、配線を次々に切り替えて行うようになっている。
【００９９】
なお、配線幅が太い場合には、例えば入力側のアウターリード部には直接配線にプローブピン７４または７６をランディングすることができるので、テストパッド部分６０は省略することができる。
【０１００】
また、上検査ステージ７８には、配線パターンの電子部品が接続される部分であるインナーリード５８の部分に対向する領域に、インナーリード５８の配線同士を接続して導通させるための導通用端子８４、例えば、導電ゴム棒が固定されている。なお、この導電用端子８４は、アース８５により接地されている。
【０１０１】
従って、電気検査部１６では、下検査ステージ７２と上検査ステージ７８との間に、フ
ィルムキャリアテープ１２を狭持することにより、アウターリード５２のテストパッド部分６０に、一対のプローブピン７４、７６を接触させるとともに、インナーリード５８の部分に導通用端子８４を接触させて（ランディングさせて）、導通試験を行うようになっている。
【０１０２】
また、電気検査部１６には、電気検査の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２に対して、引張力を負荷する引張力負荷装置８４を備えている。
【０１０３】
この引張力負荷装置８４は、フィルムキャリアテープ支持装置８６と、フィルムキャリアテープ支持装置８６に支持された電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２に対して、引張力を付与する上記のダンサーローラ６６とから構成されている。
【０１０４】
この実施例の場合、フィルムキャリアテープ支持装置８６は、図示しない駆動機構によって、上下動可能で、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２のスプロケットホール６２に対して係合可能な係止部材８８から構成されている。なお、この場合、係止部材８８は、図１に示したように、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の搬送方向に傾斜して設けるのが電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を支持するためには、望ましい。
【０１０５】
なお、フィルムキャリアテープ支持装置８６は、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を支持できるものであればよく、一対の支持ローラやドライブギアなどで構成することもでき、このような係止部材８８に限定されるものではない。
【０１０６】
このように構成することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の搬送を一時停止して、フィルムキャリアテープ支持装置８６によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を支持した状態で、ダンサーローラ６６によって、ダンサーローラ６６の重さによって電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を位置決めすることができるとともに、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２に対して、所定の引張力を負荷することができる。
【０１０７】
これにより、電気検査の際には、強制折り曲げ部１４において折り曲げを付与することによって、不均等に延びた電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２が、正確な位置において、元の状態に復帰した状態となる。しかも、電気検査の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２に対して、所定の引張力を負荷するので、強制折り曲げ部１４において、強制的に断線させた配線同士が、電気検査の際に再び接続（接触）しないように引っ張った状態が維持される。
【０１０８】
このため、プローブピンの接触位置（ランディング位置）がずれることなく、配線パターン、特に、アウターリードのパッド部分に、プローブピンを正確に接触することができ、正確な電気検査を実施することができる。
【０１０９】
この場合、ダンサーローラ６６の重さによる、このような引っ張りによる不均等に延びたフィルムキャリアテープ１２を、元の状態に復帰させる効果、および強制的に断線させた配線同士が、電気検査の際に再び接続（接触）しないようにする再接続防止効果を考慮すれば、ダンサーローラ６６の重さは、好ましくは、１００〜５００ｇとするのが望ましい。これは、１００ｇより軽ければ、上記の再接続防止効果を期待できず、５００ｇを超えれば、スプロケットホール６２が変形したり、過度にフィルムキャリアテープ１２が引っ張られて、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を構成する絶縁フィルム４４および配線パターン３６を構成する導電材料（銅）に塑性変形が生じ、商品性が低下するからである。
【０１１０】
なお、この実施例では、折り曲げおよび電気検査の際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２に引っ張り力を負荷するために、ダンサーローラ６６を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば、二組の一対のローラで、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を把持して、相互に離間する方向に移動させることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２に引っ張り力を負荷するものであってもよい。
【０１１１】
このように、電気検査部１６で導通試験を行った後、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２は、案内ローラ９０、ダンサーローラ９２を介して、図示しない巻き取り機構のリールに巻き取られるように構成されている。
【実施例１】
【０１１２】
図１に示されるような本発明の検査装置１０を用いて、図４に示したように、ＬＣＤ用として使用される、幅３５ｍｍ、厚さ７５μｍのポリイミド製絶縁フィルムの表面に厚さ１２μｍの銅配線が形成されたいわゆるフレックスＴＡＢテープ１２に対して、配線パターン面を上にして、電気検査を行った。
【０１１３】
なお、強制折り曲げ部１４のローラ直径は、６ｍｍであり、ダンサーローラ６６、９２は、いずれも１００ｇの重さのものを用いた。
【実施例２】
【０１１４】
図６に示したように、上方折り曲げ部材２０側に、第２の突出部材３４を設け、下方折り曲げ部材２２側に、第１の突出部材２８、３０を設けた強制折り曲げ部１４を有する本発明の検査装置１０を用いて、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の電気検査を行った。
【０１１５】
実施例１、２とも、不良率は従来検査装置を使う電気検査方法に比較して６０％減少した。すなわち本来は正常品であるがテープ位置がずれて不良品と判断されていたものが６０％減少し、正確で信頼できる電気検査が可能となった。また、強制的に断線させた強制断線品の配線の再接続を確実に防止することができ、半導体チップ実装工程への不良流出率も従来品の不良流出率に比較して約２０％減少した。
【０１１６】
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記実施例では、電子部品を実装する前の電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２に対して適用したが、シート状フィルムを使用するＦＰＣや半導体チップ実装後の電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた半導体装置の電気検査にも使用できるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの実施例の電気検査装置の概略図である。
【図２】図２は、図１の電気検査装置の強制折り曲げ部１４における折り曲げ状態を説明する概略図である。
【図３】図３は、図１の電気検査装置の強制折り曲げ部１４の別の実施例を示す概略図である。
【図４】図４は、本発明で使用する電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の一例を示す上面図である。
【図５】図５は、図１の電気検査装置の電気検査部１６における折り曲げ状態を説明する概略図である。
【図６】図６は、図１の電気検査装置の強制折り曲げ部１４の別の実施例の折り曲げ状態を説明する概略図である。
【図７】図７は、従来の電気検査装置を説明する概略図である。
【図８】図８は、従来の電気検査装置を説明する概略図である。
【符号の説明】
【０１１８】
１０  検査装置
１２  電子部品実装用フィルムキャリアテープ
１４  強制折り曲げ部
１６  電気検査部
１８  装置
２０  上方折り曲げ部材
２２  下方折り曲げ部材
２４、２６  ローラ
２８  第１の突出部材
３２  ローラ
３４  第２の突出部材
３６  配線パターン
４０  ダンサーローラ
４２  ドライブローラ
４４  絶縁フィルム
４６、４８、５０  突部
５２  アウターリード
５４  スリット部分
５８  インナーリード
６０  テストパッド部分
６２  スプロケットホール
６４  案内ローラ
６６  ダンサーローラ
６８  案内ローラ
７０  引張力負荷装置
７２  検査ステージ
７４、７６  プローブピン
７８  固定部材
８０  ソルダーレジスト層
８４  導通用端子
８４  引張力負荷装置
８６  フィルムキャリアテープ支持装置
８８  係止部材
９０  案内ローラ
９２  ダンサーローラ
【図１】
2005127911.tif 000003
【図２】
2005127911.tif 000004
【図３】
2005127911.tif 000005
【図４】
2005127911.tif 000006
【図５】
2005127911.tif 000007
【図６】
2005127911.tif 000008
【図７】
2005127911.tif 000009
【図８】
2005127911.tif 000010