(57)【要約】【課題】  脱着操作の際の発塵を防止できると共に、収納カセットに対してショックを与えることなく蓋脱着操作を行い得る収納カセットの蓋脱着装置を提供する。【解決手段】  蓋脱着装置は、収納カセットの本体部を固定する本体部固定手段２と、収納カセットの蓋の上面を押さえる押圧手段２０と、収納カセットの蓋を把持する手段であって相互に離間して配置された一対の蓋把持手段３と、蓋把持手段を昇降駆動させる昇降駆動手段４、５と、蓋把持手段の離間間隔を調整する水平駆動手段６とを備えた構成とする。蓋把持手段３は、アーム部１０と、該アーム部から内方に延ばされた爪部１１と、該爪部から上方に延ばされた返し部１２とを備えた構成とするのが好ましい。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上蓋部の両端部から下方に向けて一対の側板部が延ばされてなる蓋の該側板部がカセット本体部の側面壁に係合されることによって蓋がカセット本体部にロック状態に装着される収納カセットの蓋の脱着装置であって、
前記収納カセットの本体部を固定する本体部固定手段と、
前記収納カセットの蓋の上面を押さえる押圧手段と、
前記収納カセットの蓋の側板部を把持する手段であって相互に離間して配置された一対の蓋把持手段と、
前記一対の蓋把持手段を昇降移動させる昇降駆動手段と、
前記一対の蓋把持手段を水平移動させて蓋把持手段相互の離間間隔を調整する水平駆動手段とを備えることを特徴とする収納カセットの蓋脱着装置。
【請求項２】
上蓋部の両端部から下方に向けて一対の側板部が延ばされてなる蓋の該側板部がカセット本体部の側面壁に係合されることによって蓋がカセット本体部にロック状態に装着される収納カセットの蓋の脱着装置であって、
前記収納カセットの本体部を固定する本体部固定手段と、
前記収納カセットの蓋の上面を押さえる押圧手段と、
前記収納カセットの蓋の側板部を把持する手段であって相互に離間して配置された一対の蓋把持手段と、
前記一対の蓋把持手段を吊支すると共に、これら蓋把持手段を水平移動させて蓋把持手段相互の離間間隔を調整する水平駆動手段と、
前記水平駆動手段を昇降移動させる第２昇降駆動手段と、
前記第２昇降駆動手段を昇降移動させる第１昇降駆動手段とを備えることを特徴とする収納カセットの蓋脱着装置。
【請求項３】
前記押圧手段は、前記第２昇降駆動手段に又は前記第２昇降駆動手段に固定された部材に取付固定されている請求項２に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【請求項４】
前記蓋把持手段は、下方に延ばされたアーム部と、該アーム部の下端部から内方に向けて延ばされた爪部と、該爪部の先端部から上方に向けて延ばされた返し部とを少なくとも備えている請求項１〜３のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【請求項５】
前記昇降駆動手段はシリンダーによる駆動機構を有し、前記水平駆動手段はシリンダーによる駆動機構を有する請求項１〜４のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【請求項６】
前記押圧手段は、前記収納カセットの蓋上面の両端縁部を押さえる一対の押圧手段からなる請求項１〜５のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【請求項７】
前記押圧手段はスプリング機構部を有する請求項１〜６のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【請求項８】
前記本体部固定手段は、相互に平行状に配置された一対の固定用アーム部を備えている請求項１〜７のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【請求項９】
請求項４〜８のいずれか１項に記載の蓋脱着装置を用いて収納カセットの蓋をカセット本体部から離脱させる方法であって、
前記収納カセットを前記本体部固定手段によって固定する工程と、
前記一対の蓋把持手段を離間させた状態で前記昇降駆動手段を駆動させて前記蓋把持手段を下降させることによって該蓋把持手段を前記収納カセットの蓋の側板部の外側に配置して前記返し部の上端を前記蓋の側板部の下端よりも低い位置に配置すると共に、前記押圧手段によって蓋の上面を押さえる工程と、
前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を減少させることによって、前記返し部を、前記収納カセットの蓋の側板部よりも内方位置に配置する工程と、
前記昇降駆動手段を駆動して前記蓋把持手段を上昇させることによって前記蓋把持手段の返し部とアーム部の間の隙間に蓋の側板部の下端部を挿入係合せしめる工程と、
前記挿入係合状態で、前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を増大させることによって、前記蓋の側板部を外方に拡開して前記蓋の係合ロック状態を解除する工程と、
前記昇降駆動手段を駆動して前記蓋把持手段を上昇させることによって、前記蓋をカセット本体部から上方に向けて離脱させる工程とを包含することを特徴とする収納カセットの蓋の離脱方法。
【請求項１０】
請求項４〜８のいずれか１項に記載の蓋脱着装置を用いて収納カセットの蓋をカセット本体部から離脱させる方法であって、
前記収納カセットを前記本体部固定手段によって固定する工程と、
前記一対の蓋把持手段を離間させた状態で前記第１昇降駆動手段を駆動させて前記蓋把持手段を下降させることによって該蓋把持手段を前記収納カセットの蓋の側板部の外側に配置すると共に、前記押圧手段によって蓋の上面を押さえる工程と、
前記第２昇降駆動手段を駆動させて前記蓋把持手段をさらに下降させて前記返し部の上端を前記蓋の側板部の下端よりも低い位置に配置せしめる工程と、
前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を減少させることによって、前記返し部を、前記収納カセットの蓋の側板部よりも内方位置に配置する工程と、
前記第２昇降駆動手段を駆動して前記蓋把持手段を上昇させることによって前記蓋把持手段の返し部とアーム部の間の隙間に蓋の側板部の下端部を挿入係合せしめる工程と、
前記挿入係合状態で、前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を増大させることによって、前記蓋の側板部を外方に拡開して前記蓋の係合ロック状態を解除する工程と、
前記第１昇降駆動手段を駆動して前記蓋把持手段を上昇させることによって、前記蓋をカセット本体部から上方に向けて離脱させる工程とを包含することを特徴とする収納カセットの蓋の離脱方法。
【請求項１１】
前記離脱工程の後に、前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を減少せしめて前記蓋の側板部の拡開状態を解除する工程を有することを特徴とする請求項９または１０に記載の収納カセットの蓋の離脱方法。
【請求項１２】
請求項１１の離脱方法を経ることによって側板部が拡開解除状態にある前記蓋を前記カセット本体部に再装着させる方法であって、
前記収納カセットを前記本体部固定手段によって固定する工程と、
前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を増大させることによって、前記蓋の側板部を外方に拡開する工程と、
前記第１昇降駆動手段を駆動させて前記蓋把持手段を下降させることによって該蓋把持手段を前記収納カセットの側板部の外側に配置せしめる工程と、
前記第２昇降駆動手段を駆動させて前記蓋把持手段をさらに下降させると同時に前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を減少させることによって、前記蓋の側板部を内方に閉じつつ下降させて前記蓋を前記カセット本体部に対して係合ロック状態に装着する工程と、
前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を増大せしめて、前記蓋把持手段を前記蓋の側板部から離間させる工程とを包含することを特徴とする収納カセットの蓋の装着方法。
【請求項１３】
前記係合ロック状態に装着する工程まで、前記押圧手段による押さえ状態を維持することを特徴とする請求項１２に記載の収納カセットの蓋の装着方法。
【請求項１４】
基板の表面を研磨する研磨機と、
該研磨機の下流側に配置された洗浄乾燥機と、
該洗浄乾燥機の下流側に配置された請求項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置とを備えていることを特徴とする基板のポリッシュ装置。
【請求項１５】
基板の検査を行う検査機と、
該検査機の上流側に配置された請求項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置と、
前記検査機の下流側に配置された請求項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置とを備えていることを特徴とする基板の検査装置。
【請求項１６】
基板の表面を研磨する研磨機と、該研磨機の下流側に配置された洗浄乾燥機と、該洗浄乾燥機の下流側に配置された請求項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置とを備えた研磨システムと、
該研磨システムの下流側に配置された請求項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置と、該蓋脱着装置の下流側に配置されて基板の検査を行う検査機と、該検査機の下流側に配置された請求項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置とを備えた検査システムとを有することを特徴とする基板の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ＣＤ、ＭＤなどの記録ディスク等の基板を収納する収納カセットの蓋を発塵することなく脱着できる蓋脱着装置及び蓋の離脱方法と装着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＤ、ＭＤ、ＤＶＤ等の記録ディスク、シリコン基板、化合物半導体基板等の製造においては、製品の品質確保の観点から、各工程において基板に塵が付着しないようにすることが非常に重要である。このために各工程は、非常に高いクリーン度に維持されたクリーンルーム内で行われるが、最初の工程から最後の工程までを連続してこのようなクリーンルームにすることはコスト的に困難であることから、ある工程から次の工程に基板を搬送する際には所定枚数の基板を収納カセットに一旦密閉収容し、この状態で次の工程に搬送する方法が採用されている。これにより搬送時の周囲の雰囲気のクリーン度が低くても基板の清浄度が十分に維持されるものとなる。
【０００３】
ところで、例えば検査工程に搬送されてきた収納カセットは、基板を取り出すために、その蓋を取り外す必要がある一方、検査の終了後は、基板をカセット本体内に入れて蓋を装着して密閉する必要があるが、このような蓋の脱着は、従来は人によって行われていた。しかしながら、人は基本的に発塵するものであるし、カセット本体と蓋とを不本意に摺動接触させて発塵させることもあることから、前記蓋の脱着作業中に基板に塵が付着してしまうことがあった。また、人の手で脱着操作を行うので、やはり脱着操作が不安定になることは避けられず、蓋の脱着作業中にカセットに対してショックを与えるようなことも生じており、この場合には基板の外周部に打痕が発生する恐れもあった。
【０００４】
そこで、収納カセットの蓋の脱着を自動脱着装置によって行うことが提案されている。例えば、蓋をラックとピニオンからなるロック機構によりカセット本体に装着する一方、蓋開閉部材に一対のピンが設けられると共に該ピンを回転駆動させるモータが設けられた構成の蓋脱着装置が提案されている（特許文献１参照）。この蓋脱着装置によれば、蓋開閉部材の一対のピンをピニオンの２つの孔に嵌入した状態でモータの駆動によってピンを回転させると、この回転に伴ってピニオンが回転し、これによりラックが上下方向に移動してラックによる係合ロック状態が解除されて蓋のロック状態が解除され、こうして蓋が離脱される。
【特許文献１】特開平１１−２５１４２１号公報（段落００３５、図８、図９）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載の技術では、蓋のロック時及びその解除時のラックの上下移動の際にラックがカセット本体の溝に摺動するものとなるので、摺動による発塵が懸念される。また、ロック解除した後の蓋の移動操作の際に蓋を確実に把持する機構が設けられていないので蓋を落下させることも懸念される。
【０００６】
この発明は、かかる技術的背景に鑑みてなされたものであって、脱着時の蓋の落下を防止できるのは勿論のこと、脱着操作の際の発塵が極めて少なく基板等への塵の付着を防止できると共に、収納カセットに対してショックを与えることのない蓋脱着操作を可能ならしめる収納カセットの蓋脱着装置及び蓋の離脱方法と装着方法並びに該蓋脱着装置を用いたポリッシュ装置、検査装置、基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
【０００８】
［１］上蓋部の両端部から下方に向けて一対の側板部が延ばされてなる蓋の該側板部がカセット本体部の側面壁に係合されることによって蓋がカセット本体部にロック状態に装着される収納カセットの蓋の脱着装置であって、
前記収納カセットの本体部を固定する本体部固定手段と、
前記収納カセットの蓋の上面を押さえる押圧手段と、
前記収納カセットの蓋の側板部を把持する手段であって相互に離間して配置された一対の蓋把持手段と、
前記一対の蓋把持手段を昇降移動させる昇降駆動手段と、
前記一対の蓋把持手段を水平移動させて蓋把持手段相互の離間間隔を調整する水平駆動手段とを備えることを特徴とする収納カセットの蓋脱着装置。
【０００９】
［２］上蓋部の両端部から下方に向けて一対の側板部が延ばされてなる蓋の該側板部がカセット本体部の側面壁に係合されることによって蓋がカセット本体部にロック状態に装着される収納カセットの蓋の脱着装置であって、
前記収納カセットの本体部を固定する本体部固定手段と、
前記収納カセットの蓋の上面を押さえる押圧手段と、
前記収納カセットの蓋の側板部を把持する手段であって相互に離間して配置された一対の蓋把持手段と、
前記一対の蓋把持手段を吊支すると共に、これら蓋把持手段を水平移動させて蓋把持手段相互の離間間隔を調整する水平駆動手段と、
前記水平駆動手段を昇降移動させる第２昇降駆動手段と、
前記第２昇降駆動手段を昇降移動させる第１昇降駆動手段とを備えることを特徴とする収納カセットの蓋脱着装置。
【００１０】
［３］前記押圧手段は、前記第２昇降駆動手段に又は前記第２昇降駆動手段に固定された部材に取付固定されている前項２に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【００１１】
［４］前記蓋把持手段は、下方に延ばされたアーム部と、該アーム部の下端部から内方に向けて延ばされた爪部と、該爪部の先端部から上方に向けて延ばされた返し部とを少なくとも備えている前項１〜３のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【００１２】
［５］前記昇降駆動手段はシリンダーによる駆動機構を有し、前記水平駆動手段はシリンダーによる駆動機構を有する前項１〜４のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【００１３】
［６］前記押圧手段は、前記収納カセットの蓋上面の両端縁部を押さえる一対の押圧手段からなる前項１〜５のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【００１４】
［７］前記押圧手段はスプリング機構部を有する前項１〜６のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【００１５】
［８］前記本体部固定手段は、相互に平行状に配置された一対の固定用アーム部を備えている前項１〜７のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置。
【００１６】
［９］前項４〜８のいずれか１項に記載の蓋脱着装置を用いて収納カセットの蓋をカセット本体部から離脱させる方法であって、
前記収納カセットを前記本体部固定手段によって固定する工程と、
前記一対の蓋把持手段を離間させた状態で前記昇降駆動手段を駆動させて前記蓋把持手段を下降させることによって該蓋把持手段を前記収納カセットの蓋の側板部の外側に配置して前記返し部の上端を前記蓋の側板部の下端よりも低い位置に配置すると共に、前記押圧手段によって蓋の上面を押さえる工程と、
前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を減少させることによって、前記返し部を、前記収納カセットの蓋の側板部よりも内方位置に配置する工程と、
前記昇降駆動手段を駆動して前記蓋把持手段を上昇させることによって前記蓋把持手段の返し部とアーム部の間の隙間に蓋の側板部の下端部を挿入係合せしめる工程と、
前記挿入係合状態で、前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を増大させることによって、前記蓋の側板部を外方に拡開して前記蓋の係合ロック状態を解除する工程と、
前記昇降駆動手段を駆動して前記蓋把持手段を上昇させることによって、前記蓋をカセット本体部から上方に向けて離脱させる工程とを包含することを特徴とする収納カセットの蓋の離脱方法。
【００１７】
［１０］前項４〜８のいずれか１項に記載の蓋脱着装置を用いて収納カセットの蓋をカセット本体部から離脱させる方法であって、
前記収納カセットを前記本体部固定手段によって固定する工程と、
前記一対の蓋把持手段を離間させた状態で前記第１昇降駆動手段を駆動させて前記蓋把持手段を下降させることによって該蓋把持手段を前記収納カセットの蓋の側板部の外側に配置すると共に、前記押圧手段によって蓋の上面を押さえる工程と、
前記第２昇降駆動手段を駆動させて前記蓋把持手段をさらに下降させて前記返し部の上端を前記蓋の側板部の下端よりも低い位置に配置せしめる工程と、
前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を減少させることによって、前記返し部を、前記収納カセットの蓋の側板部よりも内方位置に配置する工程と、
前記第２昇降駆動手段を駆動して前記蓋把持手段を上昇させることによって前記蓋把持手段の返し部とアーム部の間の隙間に蓋の側板部の下端部を挿入係合せしめる工程と、
前記挿入係合状態で、前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を増大させることによって、前記蓋の側板部を外方に拡開して前記蓋の係合ロック状態を解除する工程と、
前記第１昇降駆動手段を駆動して前記蓋把持手段を上昇させることによって、前記蓋をカセット本体部から上方に向けて離脱させる工程とを包含することを特徴とする収納カセットの蓋の離脱方法。
【００１８】
［１１］前記離脱工程の後に、前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を減少せしめて前記蓋の側板部の拡開状態を解除する工程を有することを特徴とする前項９または１０に記載の収納カセットの蓋の離脱方法。
【００１９】
［１２］前項１１の離脱方法を経ることによって側板部が拡開解除状態にある前記蓋を前記カセット本体部に再装着させる方法であって、
前記収納カセットを前記本体部固定手段によって固定する工程と、
前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を増大させることによって、前記蓋の側板部を外方に拡開する工程と、
前記第１昇降駆動手段を駆動させて前記蓋把持手段を下降させることによって該蓋把持手段を前記収納カセットの側板部の外側に配置せしめる工程と、
前記第２昇降駆動手段を駆動させて前記蓋把持手段をさらに下降させると同時に前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を減少させることによって、前記蓋の側板部を内方に閉じつつ下降させて前記蓋を前記カセット本体部に対して係合ロック状態に装着する工程と、
前記水平駆動手段を駆動して前記一対の蓋把持手段の離間間隔を増大せしめて、前記蓋把持手段を前記蓋の側板部から離間させる工程とを包含することを特徴とする収納カセットの蓋の装着方法。
【００２０】
［１３］前記係合ロック状態に装着する工程まで、前記押圧手段による押さえ状態を維持することを特徴とする前項１２に記載の収納カセットの蓋の装着方法。
【００２１】
［１４］基板の表面を研磨する研磨機と、該研磨機の下流側に配置された洗浄乾燥機と、該洗浄乾燥機の下流側に配置された前項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置とを備えていることを特徴とする基板のポリッシュ装置。
【００２２】
［１５］基板の検査を行う検査機と、該検査機の上流側に配置された請求項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置と、前記検査機の下流側に配置された前項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置とを備えていることを特徴とする基板の検査装置。
【００２３】
［１６］基板の表面を研磨する研磨機と、該研磨機の下流側に配置された洗浄乾燥機と、該洗浄乾燥機の下流側に配置された前項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置とを備えた研磨システムと、該研磨システムの下流側に配置された前項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置と、該蓋脱着装置の下流側に配置されて基板の検査を行う検査機と、該検査機の下流側に配置された前項１〜８のいずれか１項に記載の収納カセットの蓋脱着装置とを備えた検査システムとを有することを特徴とする基板の処理装置。
【発明の効果】
【００２４】
［１］の発明では、収納カセットの蓋の上面を押さえる押圧手段と、蓋把持手段を昇降移動させる昇降駆動手段と、蓋把持手段の離間間隔を調整する水平駆動手段を備えており、蓋を手で着脱するのと類似の動作を常に安定して実現できるので、脱着時の蓋の落下を防止できるのは勿論のこと、脱着操作の際の発塵が極めて少なく基板等への塵の付着を防止できると共に、収納カセットに対してショックを与えることなく蓋の脱着操作を行うことができる。このようにショックを与えることなく蓋の脱着を行うことができるので、この脱着操作の際に基板の外周部に打痕が発生するようなこともない。また、脱着操作を人手ではなく機械装置によって行うので省力化も実現できる。
【００２５】
［２］の発明では、収納カセットの蓋の上面を押さえる押圧手段と、蓋把持手段を昇降移動させる昇降駆動手段と、蓋把持手段の離間間隔を調整する水平駆動手段を備えており、蓋を手で着脱するのと類似の動作を常に安定して実現できるので、脱着時の蓋の落下を防止できるのは勿論のこと、脱着操作の際の発塵が極めて少なく基板等への塵の付着を防止できると共に、収納カセットに対してショックを与えることなく蓋の脱着操作を行うことができる。このようにショックを与えることなく蓋の脱着を行うことができるので、この脱着操作の際に基板の外周部に打痕が発生するようなこともない。また、脱着操作を人手ではなく機械装置によって行うので省力化も実現できる。更に、水平駆動手段によって蓋把持手段を吊支した構成とすると共に、昇降駆動手段は、水平駆動手段を昇降移動させる第２昇降駆動手段と、該第２昇降駆動手段を昇降移動させる第１昇降駆動手段とで構成されているので、精密な脱着操作を安定状態に行うことができる利点がある。
【００２６】
［３］の発明では、第１昇降駆動手段の駆動によって押圧手段を下降移動させることで押圧手段によって蓋上面を押さえることが可能となり、このように押圧手段による蓋押さえ操作も昇降駆動手段によって行うことができるものとなり、これにより装置構成をより簡略化できるので、より小型化された省スペースの脱着装置が提供され得る。
【００２７】
［４］の発明では、蓋把持手段は、下方に延ばされたアーム部と、該アーム部の下端部から内方に向けて延ばされた爪部と、該爪部の先端部から上方に向けて延ばされた返し部とを備えているから、この蓋把持手段でもって蓋の側板部を確実に把持することができ、これにより脱着操作の際に蓋を落下させるようなことを確実に防止できる。
【００２８】
［５］の発明では、駆動手段はシリンダーによる駆動機構を有しているから、精密かつ俊敏な駆動を安定して実現することができる。
【００２９】
［６］の発明では、押圧手段は、収納カセットの蓋上面の両端縁部を押さえる一対の押圧手段からなるので、蓋把持手段による蓋の脱着操作及び蓋の側板部の拡開操作並びに拡開解除操作等を安定状態に確実に遂行させることができる。
【００３０】
［７］の発明では、押圧手段にスプリング機構部が設けられているから、蓋に当接する際のショックを十分に緩和することができるし、適度な圧力でもって安定状態に蓋を押さえることができる。
【００３１】
［８］の発明では、本体部固定手段は相互に平行状に配置された一対の固定用アーム部を備えており、簡易な構成で収納カセットの本体部をしっかりと固定できる。
【００３２】
［９］の発明では、蓋を手で離脱するのと類似の動作を脱着装置により常に安定して実現できるので、離脱操作の際の発塵が極めて少なく基板等への塵の付着を十分に防止できると共に、収納カセットに対してショックを与えることなく蓋の離脱操作を行うことができる。
【００３３】
［１０］の発明では、蓋を手で離脱するのと類似の動作を脱着装置により常に安定して実現できるので、離脱操作の際の発塵が極めて少なく基板等への塵の付着を十分に防止できると共に、収納カセットに対してショックを与えることなく蓋の離脱操作を行うことができる。また、蓋把持手段の昇降移動（主要な昇降移動）及び押圧手段による蓋の押さえつけ操作を第１昇降駆動手段で行う一方、蓋の側板部の下端部を蓋把持手段の返し部とアーム部の隙間に挿入係合せしめる把持操作等を第２昇降駆動手段で行うようにしているから、精密な脱着操作を安定状態に行うことができる。
【００３４】
［１１］の発明では、離脱工程の後に、蓋の側板部の拡開状態を解除して待機させるので、蓋の変形、特に側板部の変形を防止することができ、装着時の係合ロック状態を確実に実現できる。なお、離脱工程の後に蓋の側板部を拡開状態で待機させると蓋の側板部が変形して、装着時の係合ロック状態が不十分になることが懸念される。
【００３５】
［１２］の発明では、蓋を手で装着するのと類似の動作を脱着装置により常に安定して実現できるので、装着操作の際の発塵が極めて少なく基板等への塵の付着を十分に防止できると共に、収納カセットに対してショックを与えることなく蓋の装着操作を行うことができる。更に、第２昇降駆動手段及び水平駆動手段を同時駆動することによって蓋の側板部を内方に閉じつつ下降させて蓋をカセット本体部に装着するので、装着時のショック付与を確実に防止することができる。従って、この装着操作の際に基板の外周部に打痕が発生するようなこともない。
【００３６】
なお、先に第２昇降駆動手段だけを駆動して蓋把持手段をさらに下降させていった場合には、蓋の側板部は拡開状態のままで蓋把持手段による把持状態が解除されてしまい、これにより該側板部が拡開状態から一気に元の状態に復帰して装着されることになるが、この時に蓋の側板部がカセット本体部に強く衝突して発塵を招来するし、この衝突時の衝撃によって基板の外周部に打痕が生じる。本装着方法では、このような発塵や打痕発生を防止するために、第２昇降駆動手段及び水平駆動手段の同時駆動によって蓋の側板部を内方に閉じつつ下降させて蓋をカセット本体部に装着するようにしているものである。
【００３７】
［１３］の発明では、蓋の側板部の拡開操作及び蓋把持手段による蓋の装着を安定状態に行うことができる。
【００３８】
［１４］の発明（研磨装置）では、この発明の蓋脱着装置を備えているので、一連の研磨工程中における基板等への塵の付着を十分に防止できる。
【００３９】
［１５］の発明（検査装置）では、この発明の蓋脱着装置を備えているので、一連の検査工程中における基板等への塵の付着を十分に防止できる。
【００４０】
［１６］の発明（処理装置）では、この発明の蓋脱着装置を備えているので、一連の処理工程中における基板等への塵の付着を十分に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
この発明に係る収納カセットの蓋脱着装置（１）の一実施形態を図１に示す。図１において、（２）は本体部固定手段、（３）は蓋把持手段、（４）は第１昇降駆動手段、（５）は第２昇降駆動手段、（６）は水平駆動手段、（２０）は押圧手段である。
【００４２】
前記本体部固定手段（２）は、相互に離間して配置された一対の固定用アーム部（１９）（１９）と、これら固定用アーム部（１９）（１９）の基端部を支持すると共に固定用アーム部（１９）（１９）間の離間間隔を調整する間隔調整用シリンダー（１８）とからなる。前記間隔調整用シリンダー（１８）は、昇降駆動用シリンダー（図示しない）によって昇降移動し得るものとなされている。即ち、前記昇降駆動用シリンダー（図示しない）によって本体部固定手段（２）の昇降移動が制御されるものとなされている。
【００４３】
前記固定用アーム部（１９）の先端部には内側に突出した先端側突片（１７ａ）が設けられる一方、前記固定用アーム部（１９）の基端部には内側に突出した基端側突片（１７ｂ）が設けられている。しかして、先端側突片（１７ａ）と基端側突片（１７ｂ）の離間間隔は、後で詳述する収納カセット（９０）の側面壁（９６ｂ）の長さ（水平方向の長さ）より僅かに大きくなるように設計されている。
【００４４】
前記第１昇降駆動手段（４）は、シリンダーによる駆動機構を有し、該駆動機構によって移動体（３０）を上下移動させる。前記移動体（３０）の前面側には連結部（３１）を介して第２昇降駆動手段（５）が連結固定されている。しかして、前記第１昇降駆動手段（４）を駆動させることによって移動体（３０）及び連結部（３１）を介して前記第２昇降駆動手段（５）を昇降移動させるものとなされている。
【００４５】
前記第２昇降駆動手段（５）の底面には、平面視矩形状のベース板部（３４）が固定されている。このベース板部（３４）の四隅部には、収納カセット（９０）の蓋（９２）の上面を押さえるための押圧手段（２０）（２０）（２０）（２０）が設けられている。前記押圧手段（２０）は、ベース板部（３４）から下方に向けて垂設されたスプリング機構部（２１）と、該スプリング機構部（２１）の下端に固定された押圧先端部（２２）とからなる。本実施形態では、前記スプリング機構部（２１）は、金属製のスプリングによって構成されている。
【００４６】
なお、前記押圧先端部（２２）は、後述する蓋把持手段（３）の基端部（１３）の中央部に形成された長孔（１３ａ）に挿通配置されており、このような配置形態を採用することによって、前記蓋把持手段（３）が水平移動した状態時においても前記押圧手段（２０）と前記蓋把持手段の基端部（１３）とが接触（干渉）し合わないようにしている。
【００４７】
前記第２昇降駆動手段（５）は、シリンダーによる駆動機構を有しており、該駆動機構により、駆動軸（３２）に連結固定された前後一対の水平駆動手段（６）（６）が上下移動するものとなされている。前記水平駆動手段（６）の左右の駆動軸（３３）（３３）の先端には、それぞれ蓋把持手段（３）（３）の基端部（１３）（１３）が固定されている。前記水平駆動手段（６）は、シリンダーによる駆動機構を有しており、該駆動機構の駆動によって前記駆動軸（３３）がその軸線方向に沿って進退移動するようになされており、この駆動軸（３３）の進退移動によって該駆動軸（３３）に固定された蓋把持手段の基端部（１３）が水平移動するものとなされている。
【００４８】
前記蓋把持手段（３）は、前記基端部（１３）と、該基端部（１３）から水平方向外方に向けて延ばされた後さらに下方に曲折されてさらに下方に延ばされた略Ｌ字状のアーム部（１０）と、該アーム部（１０）の下端から内方に向けて延ばされた爪部（１１）と、該爪部（１１）の先端から上方に向けて延ばされた返し部（１２）とから構成される。この返し部（１２）とアーム部（１０）の間の隙間の大きさは、収納カセットの蓋（９２）の側板部（９４）の下端部の幅よりも僅かに大きくなるように設定されている。本実施形態では、前記返し部（１２）は、前記爪部（１１）に対してその前方側と後方側にそれぞれ１つずつ設けられている（図１参照）。即ち、これら前後一対の返し部（１２）（１２）は、相互に離間して相互間に収容空間（１４）を残した状態で配置されている。
【００４９】
前記一対の蓋把持手段（３）（３）は、いずれも前記水平駆動手段（６）の駆動によって相互に反対方向に水平移動するものとなされており、このような水平移動によって蓋把持手段（３）（３）相互の離間間隔が適宜所望の大きさに調整されるようになされている。
【００５０】
なお、上記実施形態では、一対の蓋把持手段（３）（３）が前方側と後方側のそれぞれに設けられているが、即ち一対の蓋把持手段（３）（３）が２セット配置されているが、特にこのような構成に限定されるものではなく、例えば３セット以上設けられていても良いし、或いは１セットのみ設けられた構成を採用しても良い。また、前記蓋把持手段（３）の形状も蓋を把持できる形状であれば良く、上記実施形態で採用した構成や形状に特に限定されるものではない。
【００５１】
また、上記実施形態では、前記押圧手段（２０）は、前記ベース板部（３４）の隅部に固定されているが、特にこのような配置形態に限定されるものではなく、適宜設計変更することができる。
【００５２】
更に、上記実施形態では、前記押圧手段（２０）は、前記第２昇降駆動手段（５）に固定されたベース板部（３４）に取付固定されており、前記第２昇降駆動手段（５）が上下方向に移動するのに連動して押圧手段（２０）も上下移動するように構成されているが、特にこのような構成に限定されるものではない。例えば、別の新たな専用の駆動装置によって前記押圧手段（２０）の上下移動の制御が独立して行われるように構成されていても良い。
【００５３】
また、上記実施形態では、前記本体部固定手段（２）は、相互に離間して配置された一対の固定用アーム部（１９）（１９）を備えた構成が採用されているが、特にこのような構成に限定されるものではなく、収納カセット（９０）の本体部（９１）を固定できる手段であればどのような構成であっても良い。
【００５４】
次に、前記実施形態の蓋脱着装置（１）を用いて収納カセット（９０）の蓋（９２）をカセット本体部（９１）から離脱させる方法について以下説明する。
【００５５】
離脱方法の説明の前に、まず、収納カセット（９０）の構成について図４〜６を参照しつつ説明する。図４に示すように、収納カセット（９０）は蓋（９２）とカセット本体部（９１）とからなり、カセット本体部（９１）は収納部（９６）と底板部（９７）とから構成される。
【００５６】
前記収納部（９６）は、外形が略直方体形状であり、上面及び下面が開放されると共に、長さ方向の両側面壁（９６ａ）はいずれも略Ｕ字状に上方側から切り込まれて受容切欠部（９８）が形成されている。前記側面壁（９６ａ）における受容切欠部（９８）との境界位置から外方に向けて係合用突部（９９）が略Ｕ字状に突設されている。また、前記収納部（９６）の幅方向両側面壁（９６ｂ）の内面には基板を整列状態に収容するための収納溝（１００）…が多数形成されている。この収納部（９６）の開放底面に前記底板部（９７）が外嵌状態に嵌合されることによって前記カセット本体部（９１）が構成されている。
【００５７】
前記蓋（９２）は、平面視略矩形状の上蓋部（９３）と、該上蓋部（９３）の長さ方向の両端部から下方に向けて延ばされた一対の側板部（９４）（９４）とからなる。これら側板部（９４）（９４）は、前記受容切欠部（９８）の形状に対応した形状に形成され、かつ前記受容切欠部（９８）よりもやや大きく形成されている。この側板部（９４）の中央部は、内方に窪んだ内方突出部（凹陥部）（９４ａ）が形成されており、この内方突出部（９４ａ）は前記カセット本体部（９１）の側面壁（９６ａ）の受容切欠部（９８）に適合状態に嵌まり込み得るように構成されている。また、前記蓋の側板部（９４）の下端縁部の内面から内方に向けて一対の係合突起（９５）（９５）が突設されている。前記上蓋部（９３）の内面（下面）の外周縁部には、前記内方突出部（９４ａ）形成位置を除いて嵌合溝（９３ａ）が形成されており（図５参照）、この嵌合溝（９３ａ）の溝幅は、前記カセット本体部（９１）の側面壁（９６ａ）（９６ａ）（９６ｂ）（９６ｂ）を適合状態に受容できる大きさに設定されている。また、前記上蓋部（９３）の下面の幅方向中央部には、基板を整列状態に収容するための収納溝（１０１）…が多数設けられている（図６参照）。
【００５８】
しかして、前記カセット本体部（９１）に対してその上方側に前記蓋（９２）を配置せしめた後、蓋（９２）の側板部（９４）（９４）をそれぞれ外方に拡開し、この拡開状態で蓋（９２）を下降させていくと、蓋（９２）の嵌合溝（９３ａ）にカセット本体部（９１）の側面壁（９６ａ）（９６ａ）（９６ｂ）（９６ｂ）の上側縁部がそれぞれ嵌まり込んでいく。これに合わせて前記側板部（９４）（９４）の拡開状態を緩やかに解除すると、図６に示すように、この側板部（９４）の内方突出部（９４ａ）と突起（９５）（９５）との間の空隙に前記カセット本体部（９１）の側面壁（９６ａ）の係合用突部（９９）が嵌合されると共に、前記側面壁（９６ａ）の受容切欠部（９８）に蓋（９２）の側板部（９４）の内方突出部（９４ａ）が適合状態に嵌まり込むものとなり、こうしてカセット本体部（９１）に蓋（９２）が係合ロック状態に装着されている。
【００５９】
以下、このようにして蓋（９２）が装着された収納カセット（９０）から前記蓋脱着装置（１）を用いて蓋（９２）を離脱させる方法について説明する。
【００６０】
まず、図２−１に示すように、前記蓋脱着装置（１）の直下位置に収納カセット（９０）を配置せしめ、一対の固定用アーム部（１９）（１９）を備えた本体部固定手段（２）を下降移動させた後、間隔調整用シリンダー（１８）を駆動させて固定用アーム部（１９）（１９）の離間間隔を減少せしめることによってこれら一対の固定用アーム部（１９）（１９）でカセット本体部（９１）の幅方向の両側面（９６ｂ）（９６ｂ）を挟み付けてカセット本体部（９１）を固定する。この時、カセット本体部（９１）の両側面（９６ｂ）（９６ｂ）は、いずれも固定用アーム部（１９）における先端側突片（１７ａ）と基端側突片（１７ｂ）の間の受容凹部に適合して嵌まり込んだ状態で固定用アーム部（１９）（１９）で挟み付け固定されるので、カセット本体部（９１）は前後左右方向のいずれにも全く動き得ない状態にしっかりと固定される。
【００６１】
次に、水平駆動手段（６）を駆動させることによって一対の蓋把持手段（３）（３）の離間間隔を増大させて、該離間間隔が収納カセット（９０）の長手方向（図面左右方向）の長さよりも大きくなるようにする（図２−２参照）。
【００６２】
次いで、第１昇降駆動手段（４）を駆動させることによって第２昇降駆動手段（５）を下降移動させ、これによって一対の蓋把持手段（３）（３）を下降させてこれら蓋把持手段（３）（３）を収納カセット（９０）の蓋（９２）の側板部（９４）の外側に配置せしめる（図２−３参照）。この時、ベース板部（３４）に取り付けられた押圧手段（２０）（２０）も下降移動してこれら押圧手段（２０）（２０）の先端部（２２）（２２）が蓋（９２）の上面の長さ方向両端縁部に当接して蓋（９２）を押さえる（図２−３参照）。この時、押圧手段（２０）にスプリング機構部（２１）が設けられているので、蓋（９２）に当接する際のショックを緩和することができるし、適度な圧力でもって安定状態に蓋（９２）を押さえることができる。以後、このように蓋（９２）の上面を押圧手段（２０）（２０）で押さえた状態が、蓋（９２）の再装着が完了するまで維持される。
【００６３】
次に、第２昇降駆動手段（５）を駆動させることによって一対の蓋把持手段（３）（３）をさらに下降させて、蓋把持手段の返し部（１２）の上端を蓋（９２）の側板部（９４）の下端よりも低い位置に配置せしめる（図２−４参照）。
【００６４】
しかる後、水平駆動手段（６）を駆動させることによって一対の蓋把持手段（３）（３）の離間間隔を減少させて、蓋把持手段の返し部（１２）を、蓋（９２）の側板部（９４）よりも内方の位置に配置せしめる（図２−５参照）。
【００６５】
次いで、第２昇降駆動手段（５）を駆動させることによって一対の蓋把持手段（３）（３）を上昇させて、蓋把持手段の返し部（１２）とアーム部（１０）の間の隙間に、蓋（９２）の側板部（９４）の下端部を挿入係合せしめる（図２−６参照）。この時、蓋（９２）の上面の長さ方向両端縁部を押圧手段（２０）（２０）で押さえた状態に維持しているので、挿入係合操作がスムーズに行われる。こうして蓋（９２）の側板部（９４）（９４）をそれぞれ蓋把持手段（３）（３）によってしっかりと把持させる。
【００６６】
なお、前記蓋把持状態において、蓋（９２）の側板部（９４）の係合突起（９５）（９５）は、蓋把持手段（３）の前後一対の返し部（１２）（１２）の間の収容空間（隙間）（１４）（図１参照）に納まるものとなるから、これら係合突起（９５）（９５）の存在が前記蓋把持操作に支障を及ぼすことはない。
【００６７】
次いで、前記挿入係合状態で、水平駆動手段（６）を駆動させることによって一対の蓋把持手段（３）（３）の離間間隔を増大させ、これにより蓋（９２）の側板部（９４）（９４）をそれぞれ外方に拡開する（図２−７参照）。この時、前記返し部（１２）の存在によって側板部（９４）は安定状態に拡開される。しかも、この拡開操作時に、蓋（９２）の上面の長さ方向両端縁部を押圧手段（２０）（２０）で押さえた状態を維持しているので、側板部（９４）の拡開操作をより安定状態に行うことができる。このような拡開操作によって蓋（９２）の係合ロック状態が解除される。即ち、蓋の側板部（９４）の内方突出部（９４ａ）と突起（９５）（９５）との間の隙間に嵌合されていたカセット本体部の係合用突部（９９）が該隙間から離脱すると共に、側面壁（９６ａ）の受容切欠部（９８）に適合状態に嵌まり込んでいた蓋の側板部（９４）の内方突出部（９４ａ）も外方に離脱する。
【００６８】
しかる後、第１昇降駆動手段（４）を駆動させることによって一対の蓋把持手段（３）（３）を上昇させて、蓋（９２）をカセット本体部（９１）の上方位置に完全に離脱させる（図２−８参照）。この時、蓋（９２）の上面の長さ方向両端縁部を押圧手段（２０）（２０）で押さえた状態を維持しているので、蓋（９２）の離脱操作を安定状態に行うことができる。即ち、蓋（９２）を上方へ離脱移動させる際に蓋（９２）を落下させるようなことを確実に防止することができる。
【００６９】
さらに、水平駆動手段（６）を駆動することによって前記一対の蓋把持手段（３）（３）の離間間隔を減少せしめて蓋の側板部（９４）（９４）の拡開状態を解除する（図２−９参照）。このような拡開解除状態で蓋（９２）を一対の蓋把持手段（３）（３）で把持して、そのまま次の装着の時まで待機させる。このように蓋の側板部（９４）（９４）の拡開状態を解除して待機させることによって、蓋（９２）の側板部（９４）（９４）の変形を防止することができ、これにより次の装着時に良好な係合ロック状態を確実に実現できるものとなる。
【００７０】
上記のようにして蓋（９２）がカセット本体部（９１）から離脱された（図２−９参照）後、本体部固定手段（２）の固定用アーム部（１９）（１９）によるカセット本体部（９１）の挟着固定状態が解除され、次いでカセット本体部（９１）は所定位置に移送されてカセット本体部（９１）内に収納されていた基板が取り出され、該基板は所定の処理や検査等に供された後、再度カセット本体部（９１）内に収納されるとともに、このカセット本体部（９１）は前記蓋脱着装置（１）の直下位置に配置される。次いで、基板の収納が完了した前記カセット本体部（９１）の上面に、前記待機状態の蓋（９２）を装着させる。その装着方法について以下に説明する。
【００７１】
まず、図３−１に示すように、前記蓋脱着装置（１）の直下位置に配置された収納カセット本体部（９１）の幅方向の両側面（９６ｂ）（９６ｂ）を前記同様に一対の固定用アーム部（１９）（１９）によって挟み付けてカセット本体部（９１）を固定する。
【００７２】
次に、水平駆動手段（６）を駆動させることによって一対の蓋把持手段（３）（３）の離間間隔を増大させ、これにより蓋（９２）の側板部（９４）（９４）をそれぞれ外方に拡開する（図３−２参照）。この時、蓋（９２）の上面の長さ方向両端縁部を押圧手段（２０）（２０）で押さえた状態を維持しているので、前記側板部（９４）（９４）の拡開操作を安定状態に行うことができる。
【００７３】
しかる後、第１昇降駆動手段（４）を駆動させることによって第２昇降駆動手段（５）を下降移動せしめ、これによって一対の蓋把持手段（３）（３）を下降させてこれら蓋把持手段（３）（３）を収納カセット（９０）の蓋（９２）の側板部（９４）の外側に配置せしめる（図３−３参照）と共に、上蓋部（９３）の下面の嵌合溝（９３ａ）にカセット本体部（９１）の側面壁（９６ａ）（９６ａ）（９６ｂ）（９６ｂ）の上端縁部を嵌合せしめる。この時、前記第２昇降駆動手段（５）の下降移動に連動して押圧手段（２０）（２０）も下降移動し、これによって押圧手段（２０）（２０）の押圧先端部（２２）（２２）は、蓋（９２）の上面の長さ方向両端縁部を押さえた状態を常に維持しているので、前記上蓋部（９３）の嵌合溝（９３ａ）に前記カセット本体部（９１）の側面壁（９６ａ）（９６ａ）（９６ｂ）（９６ｂ）の上端縁部をスムーズに且つ十分に嵌合せしめることができる。
【００７４】
次に、第２昇降駆動手段（５）を駆動させて蓋把持手段（３）（３）をさらに下降させると同時に水平駆動手段（６）も駆動して一対の蓋把持手段（３）（３）の離間間隔を減少させる。即ち、第２昇降駆動手段（５）及び水平駆動手段（６）を同時駆動することによって、蓋（９２）の側板部（９４）（９４）を内方に閉じつつ下降させる。こうして蓋（９２）をカセット本体部（９１）に対して係合ロック状態に装着する（図３−４参照）。即ち、蓋の側板部（９４）の内方突出部（９４ａ）と突起（９５）（９５）との間の空隙に、カセット本体部（９１）の側面壁（９６ａ）の係合用突部（９９）が嵌合されると共に、前記側面壁（９６ａ）の受容切欠部（９８）に蓋（９２）の側板部（９４）の内方突出部（９４ａ）が適合状態に嵌まり込む（図４、６参照）。前記装着操作の際には、図３−４に示すように、蓋（９２）の上面の長さ方向両端縁部を押圧手段（２０）（２０）で押さえた状態を維持しているので、蓋（９２）の装着をより安定した状態で行うことができる利点がある。
【００７５】
前記装着操作が終了した状態時において、前記蓋把持手段（３）の返し部（１２）は、図３−４に示すように、前記蓋の側板部（９４）の下端よりも低い位置にあり、このように装着完了と同時に前記蓋把持手段（３）による蓋側板部（９４）の把持状態は解除されている。
【００７６】
次に、水平駆動手段（６）を駆動させることによって一対の蓋把持手段（３）（３）の離間間隔を増大させ、これにより蓋把持手段（３）（３）を蓋の側板部（９４）（９４）から離間させる（図３−５参照）。即ち、蓋把持手段（３）（３）を蓋の側板部（９４）（９４）に対して水平方向外方位置に離間させて配置せしめる（図３−５参照）。
【００７７】
次いで、第２昇降駆動手段（５）、第１昇降駆動手段（４）を順に駆動させることによって一対の蓋把持手段（３）（３）を順次上昇移動させる（図３−６参照）。しかる後、本体部固定手段（２）の一対の固定用アーム部（１９）（１９）による固定を解除して、基板が収納された収納カセット（９０）を所定場所に搬送する。こうして前記蓋脱着装置（１）による一連の蓋離脱操作及び蓋装着操作が終了する。前記蓋離脱方法と蓋装着方法は、本発明の一実施形態に係る蓋脱着装置（１）を用いて行う蓋離脱方法・蓋装着方法の一例を示したものに過ぎず、これらに特に限定されるものではない。
【００７８】
次に、前記蓋脱着装置（１）を用いて構成された基板の処理装置（５０）の一実施形態について図７を参照しつつ説明する。
【００７９】
この基板の処理装置（５０）は、研磨システム（５１）と検査システム（５２）とから構成される。前記研磨システム（５１）は、基板の表面を研磨する研磨機（５３）と、該研磨機（５３）の下流側に配置されて洗浄と乾燥を行う洗浄乾燥機（５４）と、該洗浄乾燥機（５４）の下流側に配置された蓋脱着装置（１Ａ）とを備えている。また、前記検査システム（５２）は、前記研磨システム（５１）の下流側に配置された蓋脱着装置（１Ｂ）と、該蓋脱着装置（１Ｂ）の下流側に配置されて基板の検査を行う検査機（５５）と、該検査機（５５）の下流側に配置された蓋脱着装置（１Ｃ）とを備えている。
【００８０】
なお、前記蓋脱着装置（１Ａ）は図７の上下方向に適宜移動できるように図示しない制御手段によって制御され、前記蓋脱着装置（１Ｂ）（１Ｃ）は図７の左右方向に適宜移動できるように図示しない制御手段によって制御されている。
【００８１】
しかして、コンベア等によって搬送されてきた記録ディスク等の基板（Ｙ）は、前記研磨機（５３）によって研磨が行われた後、下流側の洗浄乾燥機（５４）内に送り込まれてここで洗浄、乾燥が行われる。一方、中が空の（基板が収納されていない）収納カセット（９０）が（ｄ１）の位置で前記蓋脱着装置（１Ａ）によって蓋（９２）が把持されて取り外され、該蓋が取り外されたカセット本体部（９１）内に前記洗浄乾燥機（５４）で処理された後の基板（Ｙ）が（ｄ２）の位置で収納され、しかる後前記蓋脱着装置（１Ａ）によって把持されていた蓋（９２）が（ｄ３）の位置でカセット本体部（９１）の上面に再装着される。なお、（ｄ１）の位置で蓋（９２）を把持した蓋脱着装置（１Ａ）は、この蓋把持状態で（ｄ３）の位置まで移動し、この（ｄ３）の位置で蓋（９２）を装着せしめた後、また（ｄ１）の位置まで戻され、この（ｄ１）の位置で次の蓋把持操作に入る。蓋脱着装置（１Ａ）は、このような動作を順次繰り返していく。こうして洗浄、乾燥が行われた後の基板（Ｙ）が中に収納された収納カセット（９０）は、次の検査工程に搬送される。
【００８２】
次の検査工程では、搬送されてきた収納カセット（９０）の蓋（９２）が、（ｅ１）の位置で蓋脱着装置（１Ｂ）によって把持されて取り外され、しかる後（ｅ２）の位置まで搬送されてここでカセット本体部（９１）内から基板（Ｙ）が取り出されて検査機（５５）内に送られ、次いで前記蓋脱着装置（１Ｂ）によって把持されていた蓋（９２）が（ｅ３）の位置でこのカセット本体部（９１）の上面に再装着された後、収納カセット（９０）は下流側にある前記蓋脱着装置（１Ｃ）の方に搬送される。なお、（ｅ１）の位置で蓋（９２）を把持した蓋脱着装置（１Ｂ）は、この蓋把持状態で（ｅ３）の位置まで移動し、この（ｅ３）の位置で蓋（９２）を装着せしめた後、また（ｅ１）の位置まで戻され、この（ｅ１）の位置で次の蓋把持操作に入る。蓋脱着装置（１Ｂ）は、このような動作を順次繰り返していく。
【００８３】
次に、前記蓋脱着装置（１Ｃ）の方に搬送されてきた収納カセット（９０）の蓋（９２）は（ｅ４）の位置で蓋脱着装置（１Ｃ）によって把持されて取り外され、該蓋が取り外されたカセット本体部（９１）内に前記検査機（５５）で検査された後の基板（Ｙ）が（ｅ５）の位置で収納され、しかる後前記蓋脱着装置（１Ｃ）によって把持されていた蓋（９２）が（ｅ６）の位置で前記カセット本体部（９１）の上面に再装着される（図７、８参照）。なお、（ｅ４）の位置で蓋（９２）を把持した蓋脱着装置（１Ｃ）は、この蓋把持状態で（ｅ６）の位置まで移動し、この（ｅ６）の位置で蓋（９２）を装着せしめた後、また（ｅ４）の位置まで戻され、この（ｅ４）の位置で次の蓋把持操作に入る。蓋脱着装置（１Ｃ）は、このような動作を順次繰り返していく。こうして、検査済みの基板（Ｙ）が中に収納された状態の収納カセット（９０）が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】この発明に係る蓋脱着装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２−１】この発明に係る蓋の離脱方法における一工程を示す概略正面図であり、収納カセット本体部を固定した状態を示す図である。
【図２−２】この発明に係る蓋の離脱方法における一工程を示す概略正面図であり、一対の蓋把持手段の離間間隔を増大させた状態を示す図である。
【図２−３】この発明に係る蓋の離脱方法における一工程を示す概略正面図であり、第１昇降駆動手段を駆動させて蓋把持手段を下降させた状態を示す図である。
【図２−４】この発明に係る蓋の離脱方法における一工程を示す概略正面図であり、さらに第２昇降駆動手段を駆動させて返し部の上端を蓋の側板部の下端よりも低い位置に配置した状態を示す図である。
【図２−５】この発明に係る蓋の離脱方法における一工程を示す概略正面図であり、蓋把持手段の返し部を蓋の側板部よりも内方位置に配置した状態を示す図である。
【図２−６】この発明に係る蓋の離脱方法における一工程を示す概略正面図であり、第２昇降駆動手段を駆動させて蓋把持手段の返し部とアーム部の間の隙間に蓋の側板部の下端部を挿入係合せしめた状態を示す図である。
【図２−７】この発明に係る蓋の離脱方法における一工程を示す概略正面図であり、蓋の側板部を外方に拡開して蓋のロック状態を解除した状態を示す図である。
【図２−８】この発明に係る蓋の離脱方法における一工程を示す概略正面図であり、第１昇降駆動手段を駆動させて蓋をカセット本体部から上方に向けて離脱させた状態を示す図である。
【図２−９】この発明に係る蓋の離脱方法における一工程を示す概略正面図であり、蓋の側板部の拡開状態を解除した待機状態を示す図である。
【図３−１】この発明に係る蓋の装着方法における一工程を示す概略正面図であり、収納カセット本体部を固定した状態を示す図である。
【図３−２】この発明に係る蓋の装着方法における一工程を示す概略正面図であり、蓋の側板部を外方に拡開した状態を示す図である。
【図３−３】この発明に係る蓋の装着方法における一工程を示す概略正面図であり、第１昇降駆動手段を駆動させて蓋把持手段を下降させた状態を示す図である。
【図３−４】この発明に係る蓋の装着方法における一工程を示す概略正面図であり、第２昇降駆動手段と水平駆動手段の同時駆動によって蓋の側板部を内方に閉じつつ下降させて蓋をカセット本体に装着した状態を示す図である。
【図３−５】この発明に係る蓋の装着方法における一工程を示す概略正面図であり、蓋把持手段を蓋の側板部から外方に向けて離間させた状態を示す図である。
【図３−６】この発明に係る蓋の装着方法における一工程を示す概略正面図であり、第２及び第１昇降駆動手段を順に駆動させて蓋把持手段を上昇させた状態を示す図である。
【図４】収納カセットを分離状態で示す斜視図である。
【図５】図４におけるＫ−Ｋ線の断面図である。
【図６】蓋がロック状態に装着された状態の収納カセットを示す縦断面図である。
【図７】基板の処理装置の一実施形態を示す概略平面図である。
【図８】検査システムの下流側の蓋脱着装置（１Ｃ）による蓋脱着操作状況を示す概略斜視図（脱着装置の蓋把持手段等の図示は省略した）である。
【符号の説明】
【００８５】
１…蓋脱着装置
２…本体部固定手段
３…蓋把持手段
４…第１昇降駆動手段
５…第２昇降駆動手段
６…水平駆動手段
１０…アーム部
１１…爪部
１２…返し部
１９…固定用アーム部
２０…押圧手段
２１…スプリング機構部
５０…基板の処理装置
５１…研磨システム
５２…検査システム
５３…研磨機
５４…洗浄乾燥機
５５…検査機
９０…収納カセット
９１…カセット本体部
９２…蓋
９３…上蓋部
９４…側板部
【図１】
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【図２−１】
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【図２−２】
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【図２−３】
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【図２−４】
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【図２−５】
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【図２−６】
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【図２−７】
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【図２−８】
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【図２−９】
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【図３−１】
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【図３−２】
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【図３−３】
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【図３−４】
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【図３−５】
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【図３−６】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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