(57)【要約】【課題】    クリーン域でワークに作用するにおいて、クリーンルーム全体のクリーンレベルを上げるには、ファンの容量も大きく運転維持費も嵩んでいる。【解決手段】半導体のチップや基板などからなるワークにクリーンエリアの基で作用するに際し、そのワークの上部に穴を持つ板を設け、該穴の縁を上部に折り曲げ、下部からクリーンな気体を送り込むことにより、ワーク周辺に周囲より内圧の高い五面体の局部的クリーン域を形成して外気と遮断するエリアを設けることにより、クリーンな雰囲気下でワークに作用することを可能にした。【選択図】          図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーン域でワークに作用するにおいて、ワークの上部に穴を持つ板を設け、該穴の縁を上部に折り曲げ、下部からクリーンエアーを送り込むことを特徴とする局部的クリーン域を形成するクリーン装置。
【請求項２】
請求項１の装置において、該穴を持つ板の上部を覆う板を設け、該板の周辺を該穴を持つ板の周辺に沿って下部に折り曲げ、下部からクリーンエアーを送り込むことを特徴とする局部的クリーン域を形成するクリーン装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体や基板、チップなどに作用するにあたり、クリーンな環境の基にて行うことを必要とする環境での局部的クリーン域を形成することに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、通常の空気雰囲気中また、クリーンルーム内において、局部的にクリーンレベルを上げる必要が生じたときには、上部に別途フィルタを介したファンを設け、上部からエアーを送り込む方式が一般的であった（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開  平成７−１９０４３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の様な方式では、その周辺がクリーンレベルを増すことはあっても局部的に内圧を上げて、ピンポイント的にクリーン度のクラスを上げることはできなかった。また、上部から全体を包囲する方法では、ファンの容量も大きくなり、運転維持費に関しても十分な省力化には至っていなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第一の手段は、例えば半導体のチップや基板などからなるワークにクリーンエリアの基で作用するに際し、そのワークの上部に穴を持つ板を設け、該穴の縁を上部に折り曲げ、下部からクリーンな気体を送り込むことにより、ワーク周辺に周囲より内圧の高い五面体の局部的クリーン域を形成して外気と遮断するエリアを設けることにより、クリーンな雰囲気下でワークに作用することを可能にした。
【０００６】
また、例えば、ワークの上部から検査の為、カメラで画像を撮影するなどの作用を行う為に、ワークの上部にツールを設ける必要がある場合、前記穴を持つ板を覆う板として、該穴を持つ板の縁の大きさを折り目として板の周囲を斜め下に折り曲げた帽子状板を設け、下部からクリーンな気体を送り込むことにより、ワーク周辺に周囲より内圧の高い気体が循環する局部的クリーン域を形成して外気と遮断するエリアを設けることにより、クリーンな雰囲気下でワークに作用することを可能にした。
【発明の効果】
【０００７】
本願発明によると、大気中あるいはクリーンレベルが低い環境の中で極めて局所的に内圧を高めた局部的クリーン域を得られるので、クリーン域にてワークに作用させることが必要な工程において、過大な設備を設けることなく、非常に経済性に富むクリーン域環境を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
次に、実際に局部的クリーン域１２でワークに作用する実施の形態について、チップＡの外観検査装置１を例に説明する。但し、本願発明は当該実施の形態以外にも局部的クリーン域１２で作用するあらゆる場合に適用し得ることは云うまでもない。
【０００９】
実施の形態に上げる装置は、図１に示す様に、トレイ供給されたチップＡを高速デジタル画像処理技術、学習方式の欠陥検査アルゴリズムを用いて表面可視領域内を検査し、検査結果に基づきインキング又はトレイに仕分け収納するフルオートの外観検査装置１である。トレイ搬送においては、インデックステーブル２を用い、その円周上に配置された補正ステーション５、検査ステーション４、インカーステーション３で構成される。
【００１０】
この時、上記各作用ステーションである検査ステーション４、インカーステーション３において作用させるにあたり、クリーンレベルとしてクラス１００が要求され、当該装置の様に非常に容量の大きい範囲からなるインデックステーブル２全体をクラス１００レベルに維持する為には、それ相応の大きなクリーンルーム装置を準備する必要がある。
【００１１】
しかるに、図２に示す様に、本願発明の手段を当該外観検査装置１に適用した。基本的クリーンルーム環境としてインデックステーブル２からなる装置全体をクリーンクラス１０レベルにて密封包囲した。
【００１２】
図３に示す様に、インカーステーション３にはベース９の上に位置する被処理対象のチップＡの上に本願発明の第１の方法を用いて、被検査対象のチップＡの上部に、穴を持つ板８を図示しないブラケットを用いて固定し、クリーン気体供給口７より、ウルパフィルターを通したクリーン気体を供給し、被検査対象のチップＡの上に矢印で示される様に５面体の範囲がクリーン気体による周囲より内圧の高い局部的クリーン域１２を形成しクリーンクラス１０レベルのクリーン域６内にクリーンクラス１００レベルの局部的クリーン域を形成し、環境影響を受けない中インキング作業が行うことができた。
【００１３】
図４に示す様に、検査ステーション４においては、ベース９の上に位置する被検査対象のチップＡの上部にＣＣＤカメラなど光学系機器１１を位置し、検査を行う場合、図２による五面体域を形成する局部的クリーン域１２形成方法では、作用できない。
【００１４】
しかるに、図１によるインカーステーション３工程の後、そのクリーン域６を維持したまま、インデックステーブル２の回転とともに検査ステーション４に移動し、本発明の第２の方法として、穴を持つ板８の上に、光学系機器１１を下面に配した帽子状板１０を配置し、図３と同様にクリーン気体供給口７より、ウルパフィルターを通したクリーン気体を供給し、穴を持つ板８とその穴から噴出したクリーン気体を上記帽子状板１０の下面に沿って矢印の様にクリーン気体が循環する周囲より内圧の高い局部的クリーン域１２を形成しクリーンクラス１０レベルのクリーン域６内にクリーンクラス１００レベルの局部的クリーン域を形成し、環境影響を受けない中、光学系機器１１を用いて検査を実施することができた。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本願発明の実施の形態に適用した外観検査装置の概念図。
【図２】本願発明の実施の形態に適用した外観検査装置のインデックステーブルの状態を表す図。
【図３】本願発明の第１の装置による局部的クリーン域を説明する図。
【図４】本願発明の第２の装置による局部的クリーン域を説明する図。
【符号の説明】
【００１６】
１  外観検査装置
２  インデックステーブル
３  インカーステーション
４  検査ステーション
５  補正ステーション
６  クリーン域
７  クリーン気体供給口
８  穴を持つ板
９  ベース
１０  帽子状板
１１  光学系機器
１２  局部的クリーン域
Ａ  チップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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