(57)【要約】【課題】ステップ状に変化する力に対する力センサの応答特性を精度良く測定できるようにした測定装置を提供する。【解決手段】可動部４をガイド軸線方向に直動自在に支持する直動軸受け３を、力センサＡを固定する治具２に、可動部４が力センサＡに対しガイド軸線方向に対向するような位置関係で取り付けて成る測定ユニット１を、ガイド軸線５ａが鉛直方向の方向成分を持ち、可動部４が力センサＡに向けて滑落可能となるように配置する。可動部４を力センサＡとの間に力が作用しない初期位置に支持する支持手段９を設けると共に、可動部４のガイド軸線方向の加速度を計測する手段１４を設ける。可動部４を初期位置から滑落させて力センサＡに当接させ、このときに計測される加速度から可動部４の慣性力を算出し、これと可動部４に作用する重力との合力を力センサＡに作用した真の力として、力センサＡの検出出力と比較する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステップ状に変化する力に対する力センサの応答特性を測定する装置であって、
ガイド部とこのガイド部の軸線方向に直動自在に支持される可動部とを有する直動軸受けを、力センサを固定する治具に、可動部が力センサに対しガイド部軸線方向に対向するような位置関係で取り付けて成る測定ユニットと、
可動部のガイド部軸線方向の慣性力を計測する手段とを備え、
測定ユニットを、ガイド部の軸線が鉛直方向の方向成分を持ち、可動部が力センサに向けて滑落可能となるように配置すると共に、可動部を力センサとの間に力が作用しない初期位置に支持する支持手段を設け、
支持手段による支持を解除して可動部を滑落させて力センサに当接させ、このときに計測手段で計測された可動部の慣性力と、可動部に作用する重力のガイド部軸線方向の成分との合力に基づいて、力センサの検出出力と比較すべき力センサに作用したステップ状に変化する力の真の値を求めることを特徴とする力センサのステップ応答特性の測定装置。
【請求項２】
前記測定ユニットを所定の水平軸線回りに傾動可能に設け、前記ガイド部の軸線の鉛直方向に対する角度を調整自在とすることを特徴とする請求項１記載の力センサのステップ応答特性の測定装置。
【請求項３】
前記支持手段は、前記可動部を前記初期位置に吊持するワイヤで構成され、このワイヤを切断することで可動部を滑落させると共に、ワイヤ切断中のワイヤの伸びによっても可動部が力センサとの間に力が働く位置まで下降しないように初期位置を設定することを特徴とする請求項１または２記載の力センサのステップ応答特性の測定装置。
【請求項４】
前記計測手段は、前記可動部の前記ガイド部軸線方向の移動速度を計測する光波干渉計と、この光波干渉計で計測された可動部の移動速度を微分して求めた加速度から前記慣性力を算出する演算手段とで構成されることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の力センサのステップ応答特性の測定装置。
【請求項５】
前記直動軸受けは、直動静圧空気軸受けであることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の力センサのステップ応答特性の測定装置。
【請求項６】
前記可動部の重心と可動部の前記力センサに対する当接点とを結ぶ直線が前記ガイド部の軸線と平行であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の力センサのステップ応答特性の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステップ波状に入力される力に対する力センサの応答特性を測定する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、静的な力(時間的に変動しないか、もしくはその変化速度が十分小さい力) に対する力センサの検出出力の校正手法(静的校正法)は確立されている。この静的校正法は、既知の一定の力(例えば、所定の質量の物体に作用する重力)を力センサに作用させ、力センサの検出出力と力センサに作用させた力の真値とを比較して、力センサの静的特性(静的な力に対する検出出力の相関関係)を測定し、その測定データに基づいて作成された校正データに従って力センサの検出出力を校正する方法である。
【０００３】
ところで、力センサに動的な力が作用した場合は、力の変化に対する検出出力の応答遅れ等の独特の現象を生じ、この動的応答特性に起因して、力センサの検出出力を静的校正法で校正しても、動的な力を正確に計測することはできない。そのため、力センサの動的応答性を正確に把握することが強く要望されている。
【０００４】
従来、動的応答特性の一つである衝撃力に対する力センサの応答特性(衝撃応答特性)を測定する装置として以下のものが知られている。この測定装置は、ガイド部とガイド部の軸線方向に直動自在に支持されるガイド部とを有する直動軸受けを、可動部が力センサに対しガイド部の軸線方向に対向すると共に、ガイド部の軸線が水平になるように配置し、可動部に外力を加えて力センサに衝突させ、このときの可動部の慣性力を計測して、この慣性力に基づいて力センサに作用した衝撃力の真の値を求め、これと力センサの検出出力との比較で力センサの衝撃応答特性を測定するものである(特許文献１参照)。尚、このものでは、可動部のガイド部軸線方向の移動速度を計測する光波干渉計を設け、この光波干渉計で計測された可動部の移動速度を時間微分して求めた加速度に基づいて可動部の慣性力(＝可動部の質量×加速度)を算出しており、この慣性力は高い精度で力センサに入力された衝撃力に一致する。
【０００５】
ところで、ロボット等の運動制御の分野においては、例えば、ハンド部で物を把持する場合、物に当接した瞬間からハンド部にステップ状に変化する力が作用するため、ステップ状に変化する力に対する力センサの応答特性(ステップ応答特性)を把握しておくことは、運動制御を高度化する上で重要である。また、ステップ応答特性の把握は、各種材料の粘弾性試験等においても重要である。このように力センサのステップ応答特性を把握しておくことは重要であるが、ステップ応答特性を測定する装置は未だ開発されていない。
【特許文献１】特許第３１７７６８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上の背景に鑑み、上記従来の衝撃応答特性の測定装置を応用して、力センサのステップ応答特性を精度良く測定できるようにした装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、ステップ状に変化する力に対する力センサの応答特性を測定する装置であって、上記課題を解決するために、ガイド部とこのガイド部の軸線方向に直動自在に支持される可動部とを有する直動軸受けを、力センサを固定する治具に、可動部が力センサに対しガイド部軸線方向に対向するような位置関係で取り付けて成る測定ユニットと、可動部のガイド部軸線方向の慣性力を計測する手段とを備え、測定ユニットを、ガイド部の軸線が鉛直方向の方向成分を持ち、可動部が力センサに向けて滑落可能となるように配置すると共に、可動部を力センサとの間に力が作用しない初期位置に支持する支持手段を設け、支持手段による支持を解除して可動部を滑落させて力センサに当接させ、このときに計測手段で計測された可動部の慣性力と、可動部に作用する重力のガイド部軸線方向の成分との合力に基づいて、力センサの検出出力と比較すべき力センサに作用したステップ状に変化する力の真の値を求めるようにしている。
【０００８】
上記の構成によれば、可動部に作用する重力のガイド部軸線方向の成分が力センサに最後まで作用する力、即ち、ステップ状に変化する力の定常力になる。尚、この力は、可動部の質量と重力加速度とガイド部軸線の鉛直方向に対する角度とから算定できる。また、力センサには、可動部のガイド部軸線方向の慣性力も作用し、可動部が力センサに当接した当初、力センサに作用する力は可動部の慣性力の影響でオーバーシュートする。本発明では、この慣性力を計測して、これと可動部に作用する重力のガイド部軸線方向の成分との合力とに基づいて力センサに作用した力の真の値を求め、これを力センサの検出出力に対する比較対象としており、そのため、オーバーシュートを含めて力センサのステップ応答特性を精度良く測定することができる。
【０００９】
ここで、ガイド部の軸線の鉛直方向に対する角度を変化させると、力センサに入力される力に占める慣性力と重力の比が変化し、ガイド部の軸線を水平に近づけるほど、重力と比較したときの慣性力の影響が大きくなる。従って、測定ユニットを所定の水平軸線回りに傾動可能に設け、ガイド部の軸線の鉛直方向に対する角度を調整自在とすることにより、力センサに入力されるステップ状に変化する力の立上りの急峻さ、オーバーシュートの大きさ等を変化させて、種々のステップ応答特性を測定することができる。
【００１０】
また、可動部をワイヤによって初期位置に吊持し、ワイヤを切断することで可動部を滑落させるようにすれば、支持手段の構成を簡素化してコストダウンを図れる。この場合、ワイヤ切断中のワイヤの伸びにより可動部が若干下降する。そして、この下降により可動部が力センサに当接すると、力センサに作用する力は可動部の慣性力と重力との合力からワイヤの張力を減算した値になり、力センサに作用する力を正確に算出できなくなる。従って、可動部から力センサに作用する力の時間履歴を完全に知るためには、ワイヤ切断中のワイヤの伸びによっても可動部が力センサとの間に力が作用する位置まで下降しないように初期位置を設定することが必要になる。
【００１１】
ところで、計測手段により計測すべき可動部のガイド部軸線方向の慣性力は、可動部の質量とガイド部軸線方向の加速度との積に等しい。この場合、計測手段の構成要素として、可動部のガイド部軸線方向の移動速度を計測する光波干渉計を設ければ、この光波干渉計で計測された可動部の移動速度を微分して、可動部のガイド部軸線方向の加速度を正確に求めることができ、ひいては、この加速度から可動部のガイド部軸線方向の慣性力を正確に算出することができる。
【００１２】
また、直動軸受けのガイド部と可動部との間に摩擦力が作用すると、力センサに作用する力は可動部の慣性力と重力との合力から摩擦力を減算した値になり、力センサに作用する力を正確に算出できなくなる。この場合、直動軸受けとして、ガイド部と可動部との間に静圧の空気層を介在させた直動静圧空気軸受けを用いれば、ガイド部と可動部との間に作用する摩擦力を極力小さくすることができ、力センサに作用する力を正確に算出できる。
【００１３】
また、可動部が力センサに当接したときに、可動部に力センサからの反力によるモーメントが作用すると、可動部がモーメントによる姿勢変化でガイド部に部分的に接触して摩擦力が大きくなるといった様々な悪影響を生じ、力センサに作用する力を正確に算出できなくなる。この場合、可動部の重心と可動部の力センサに対する当接点とを結ぶ直線がガイド部の軸線と平行になるようにしておけば、可動部にモーメントは作用せず、力センサに作用する力を正確に算出できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、ステップ状に変化する力に対する力センサＡの応答特性を測定する装置を模式的に示している。この装置は、力センサＡを固定する治具２と、直動軸受け３とで構成される測定ユニット１を備えている。治具２は上下方向に長手であって、力センサＡの固定部となる下側の台座２ａとこれに対向する上側の台座２ｂとを有し、中間に直動軸受け３が取り付けられている。
【００１５】
直動軸受け３としては、摩擦抵抗の小さい直動静圧空気軸受け、例えば、ＮＴＮ株式会社製のエアスライド(登録商標)を使用している。この直動軸受け３は、ブロック状の可動部４と、可動部４に形成した貫通穴４ａに挿通した直状のガイド部５とを有し、この貫通穴４ａの内周面とガイド部５の外周面との間に全周に亘って圧縮空気層が形成されている。これにより、可動部４は、ガイド部５の軸線(以下、ガイド軸線と記す)５ａ方向に極めて小さい摩擦抵抗で直動自在になる。ガイド部５は、図３に示すように、ガイド軸線５ａ方向両端に設けた脚片５ｂを介して治具２に固定される。この際、可動部４が力センサＡに対しガイド軸線５ａ方向に対向するように位置合せして、ガイド部５を治具２に固定する。尚、可動部４の力センサＡに対する当接部にはゴム等の緩衝材４ｂが取り付けられている。
【００１６】
測定ユニット１は、図２、図３に示す如く、測定装置のベースとなる水平出し可能な基台６に対し、治具２の下側の台座２ａの下面に設けた支軸７を介して、該軸７の軸線たる水平軸線回りに傾動自在に支持されている。そして、基台６に立設した縦板部６ａに、治具２に植設したボルト２ｃを挿通する、支軸７と同心の円弧状のガイド穴６ｂを形成し、ボルト２ｃに螺合する締具２ｄを締め込むことにより、測定ユニット１を任意の傾動位置で固定できるようにしている。これにより、ガイド軸線５ａの鉛直方向に対する角度θが調整自在となる。尚、ステッピングモータ等の駆動源により、測定ユニット１を指定された傾動位置に自動的に傾動させるようにすることも可能である。ここで、角度θが９０度にならない限り、ガイド軸線５ａは鉛直方向の方向成分を持ち、可動部４が力センサＡに向けて滑落可能となる。また、この角度θを検出するために、支軸７にエンコーダ８を連結している。尚、エンコーダ８以外の他の検出手段で角度θを検出することも勿論可能である。
【００１７】
可動部４の上側の端面にはワイヤホルダ９ａが固定され、また、治具２の上側の台座２ｂにもアジャスタ１０を介してワイヤホルダ９ｂが取り付けられている。そして、両ワイヤホルダ９ａ，９ｂ間にワイヤ９を張り渡し、可動部４を、力センサＡとの間に力が作用しないように設定した初期位置、即ち、可動部４が力センサＡに接触しない位置、もしくは、接触しても可動部４と力センサＡとの間に作用・反作用力が作用しない位置に、ワイヤ９により吊持している。初期位置は、アジャスタ１０によるワイヤホルダ９ｂの位置調整で微調節可能である。
【００１８】
ワイヤ９を手動または自動のカッター(図示せず)で切断すると、可動部４が滑落して力センサＡに当接し、力センサＡにステップ状に変化する力が作用する。そして、可動部４には、力センサＡからの反力が外力として作用する。ここで、可動部４に作用する外力Ｆと、可動部４のガイド軸線５ａ方向の慣性力Ｆ１と、可動部４に作用する重力のガイド軸線５ａ方向の成分Ｆ２との間には、次式、Ｆ＝Ｆ１＋Ｆ２が成立する。可動部４が力センサＡに当接した状態において、可動部４には、力センサＡからの反力に加えて、可動部４とガイド部５との間の摩擦力および緩衝材４ｂの慣性力(緩衝材４ｂの密度と可動部４に対する緩衝材４ｂの相対加速度の空間積分値)が外力として作用するが、摩擦力および緩衝材４ｂの慣性力は無視できるほど小さいため、慣性力Ｆ１と重力成分Ｆ２の合力と、可動部４に作用する力センサＡからの反力、即ち、力センサＡに作用する力とを等しいと看做すことができる。ここで、可動部４の質量(可動部に固定された全ての物を含む質量)をＭ、可動部４のガイド部軸線５ａ方向の加速度をａ、重力加速度をｇとして、Ｆ１＝Ｍ・ａ、Ｆ２＝Ｍ・ｇ・ｃｏｓθであり、結局、力センサＡに作用する力はＭ・ａ＋Ｍ・ｇ・ｃｏｓθに等しくなる。Ｍ，ｇ，θは既知であり、可動部４のガイド部軸線５ａ方向の加速度ａを知ることができれば、力センサＡに作用する力の真の値を算出でき、この値と力センサＡの検出出力とを比較することで、ステップ状に変化する力に対する力センサＡの応答特性(ステップ応答特性)を測定できる。尚、緩衝材４ｂの慣性力が無視できない場合には、これを計算により推定し、Ｍ・ａ＋Ｍ・ｇ・ｃｏｓθで求められる力を補正すればよい。
【００１９】
図１を参照して、測定装置は、力センサＡの検出出力の増幅および波形整形(ノイズ成分の除去)を行うシグナルコンディショナ１１と、このシグネルコンディショナ１１を介して得られる力センサＡの検出出力(アナログ信号)を高速でＡ／Ｄ変換して記憶保持するメモリ付きＡ／Ｄ変換器１２と、このＡ／Ｄ変換器１２に接続されたコンピュータ１３と、可動部４のガイド軸線５ａ方向の移動速度を計測する光波干渉計１４とを備えている。コンピュータ１３は、パーソナルコンピュータ等の汎用コンピュータでもよいが、本装置に専用的なものであってもよい。
【００２０】
光波干渉計１４は、公知のものであり、その概略について説明する。光波干渉計１４は、ゼーマンタイプのヘリウムネオンレーザ等から成る光源１５を備えており、この光源１５から出射される光ｂ１は分光器１６で測定光ｂ２と参照光ｂ３とに分光される。測定光ｂ２は、可動部４に固定したコーナ・キューブ・プリズム１７にミラー１８を介して入射され、コーナ・キューブ・プリズム１７で反転されて再度ミラー１８を介して分光器１６に入射される。ここで、ミラー１８とコーナ・キューブ・プリズム１７との間の光路の方向はガイド軸線５ａと平行なるように設定されており、測定光ｂ２は、コーナ・キューブ・プリズム１７で反転する際に、可動部４のガイド軸線５ａ方向の移動速度に応じたドップラシフト(ドップラ効果による周波数変化)を生ずる信号光ｂ２´になる。参照光ｂ３は分光器１６から第２のコーナ・キューブ・プリズム１９を経由して再度分光器１６に入射され、ここで信号光ｂ２´と合成され、信号光ｂ２´と参照光ｂ３との周波数の差分の周波数のビートを生ずる干渉光ｂ４になる。干渉光ｂ４は、分光器１６からミラー２０とグラン・トンプソン・プリズム２１とを介して光検出器２２に入射され、ここで干渉光ｂ４のビート周波数ｆbeatに応じた電気信号に変換されて周波数カウンタ２３に入力される。そして、周波数カウンタ２３によりビート周波数ｆbeatの値を表すデジタルデータが作成され、これがコンピュータ１３に送信される。また、光源１５では、内蔵する光検出器により、可動部４の静止状態に対応する基準周波数ｆrestの電気信号が作成され、この電気信号が周波数カウンタ２３に入力される。そして、周波数カウンタ２３により基準周波数ｆrestの値を表すデジタルデータが作成され、これがコンピュータ１３に送信される。ここで、可動部４のガイド軸線５ａ方向の移動速度ｖは、空気の屈折率をλairとして、ｖ＝λair・(ｆbeat−ｆrest)／２になる。
【００２１】
コンピュータ１３は、その機能的手段(プログラムによって実現される手段)として、ビート周波数ｆbeatと基準周波数ｆrestとから可動部４のガイド軸線５ａ方向の移動速度ｖを上記式により逐次算出する手段と、この移動速度ｖの時系列値を逐次微分することにより可動部４のガイド軸線５ａ方向の加速度ａを逐次算出する手段と、移動速度ｖの時系列値を逐次積分することにより可動部４のガイド軸線５ａ方向の位置ｘを逐次算出する手段と、予め記憶保持されている可動部４の質量Ｍに算出した加速度ａを乗算して可動部４のガイド軸線５ａ方向の慣性力Ｆ１を逐次算出する手段と、エンコーダ８からコンピュータ１３に送信されたガイド軸線５ａの鉛直方向に対する角度θに基づいてその余弦(ｃｏｓθ)を求め、この余弦と重力加速度ｇとを可動部４の質量Ｍに乗算して可動部４に作用する重力のガイド軸線５ａ方向の成分Ｆ２を算出する手段と、算出した慣性力Ｆ１と重力成分Ｆ２との合力(＝Ｆ１＋Ｆ２)を逐次算出する手段とを備える。また、コンピュータ１３は、算出した移動速度Ｖ、加速度ａ、位置ｘ、慣性力Ｆ１、重力成分Ｆ２、合力を時系列的にハードディスク等の記憶手段(図示せず)に記憶保持すると共に、これらのデータをディスプレイやプリンタ等の表示手段(図示せず)に適宜出力する。更に、コンピュータ１３は、前記Ａ／Ｄ変換器１２に記憶保持された力センサＡの検出出力の時系列データを読み込んで、検出出力を静的校正法(力センサＡの静的特性に従った校正手法)で校正し、校正された検出出力Ｆｓのデータを記憶手段に記憶保持すると共に、表示手段に適宜出力する。
【００２２】
尚、可動部４が力センサＡに当接したときに、可動部４に力センサＡからの反力によるモーメントが作用すると、可動部４の姿勢が変化して様々な悪影響を生ずる可能性がある。例えば、可動部４とガイド部５との間の空気層が破れて、摩擦力が大きくなったり、モーメントが空気層を介して治具２に伝達されて、光波干渉計１４の構成部品を振動させる可能性があり、力センサに作用する力を正確に算出できなくなる。そこで、本実施形態では、可動部４に付加質量体４ｃを取り付けて、可動部４の重心Ｏと可動部４の力センサＡに対する当接点(緩衝材４ｂの先端面の中心)とを結ぶ直線Ｌがガイド軸線５ａと平行になるようにし、可動部４にモーメントが作用することを防止している。
【００２３】
また、ワイヤ９の切断中にワイヤ９の伸びを生じて、可動部４が力センサＡに当接すると、力センサＡに作用する力は、慣性力Ｆ１と重力成分Ｆ２との合力からワイヤ９の張力を差し引いた値になり、力センサＡに作用する力を正確に算出できなくなる。そのため、ワイヤ９は、切断中の伸びが少ない脆い材質のものを用いることが望ましい。更に、ワイヤ９の切断中の不可避的な伸びによっても、可動部４が力センサＡに接触しないように、即ち、可動部４と力センサＡとの間にワイヤ９の切断中の伸び以上の隙間が確保されるように、可動部４の初期位置を設定することが望ましい。
【００２４】
次に、図４、図５に示されている実験結果について説明する。この実験は、半導体ひずみゲージを弾性体に貼り付けた構造の容量１０Ｎの力センサＡを上記治具２の台座２ａに固定し、ガイド軸線５ａの鉛直方向に対する角度θを０度、即ち、ガイド軸線５ａを鉛直にし、力センサＡと緩衝材４ｂとの間に０．５ｍｍの隙間が空くように設定した初期位置からステンレス製のワイヤ９を切断して可動体４を滑落させることにより行った。このときの光波干渉計１４の計測データから算出された可動体４の移動速度ｖが図４(ａ)、位置ｘが図４(ｂ)、加速度ａが図４(ｃ)、慣性力Ｆ１と重力成分Ｆ２の合力が図４(ｄ)に示されている。尚、図４の時間軸(横軸)の零点は可動部４(緩衝材４ｂ)が力センサＡに当接した瞬間の時点であり、また、ｔ１はワイヤ９の切断開始時点、ｔ２はワイヤ９の切断完了時点である。図４から明らかなように、慣性力Ｆ１と重力成分Ｆ２との合力、即ち、力センサＡに作用する力は、慣性力Ｆ１の影響によるオーバーシュートを伴うステップ状の変化を示し、重力成分Ｆ２に等しい定常力に収斂する。尚、可動部４の位置は力センサＡに作用する力が安定しても低下しているが、これは緩衝材４ｂの粘弾性の影響によるものである。
【００２５】
一方、上記実験時の力センサＡの静的校正法で校正した出力Ｆｓは図５に実線で示すようになった。尚、図５は、時間軸を図４より引き伸ばして描かれており、慣性力Ｆ１と重力成分Ｆ２との合力が丸印でプロットされている。同図から明らかなように、慣性力Ｆ１と重力成分Ｆ２との合力と力センサＡの出力Ｆｓとの間には数％の差がある。慣性力Ｆ１と重力成分Ｆ２との合力は力センサＡに作用する力の真の値に高い精度(不確かさは０．５％程度)で一致するから、この合力と力センサＡの出力との数％の差は、力センサＡの静的特性と動的特性との差異によるものと考えられる。このように、慣性力Ｆ１と重力成分Ｆ２との合力と力センサＡの出力とを比較することにより、力センサＡのステップ応答特性を測定、評価することができる。例えば、力の時間積分値の差異、瞬時値の差異の最大値、瞬時値の差異の標準偏差、応答遅れ時間の最大値、応答遅れ時間の平均値等を、最初の立上り、最初の１周期、最初の２周期、定常値に安定したとき等の様々な時間領域について計測し、これらを評価項目としてステップ応答特性を評価することができる。尚、ステップ応答特性は、力センサＡ単独ではなく、シグナルコンディショナ１１およびメモリ付きＡ／Ｄ変換器１２を含むセンシングシステム全体の応答特性として捉えるべきである。
【００２６】
ところで、力センサＡに作用する力のオーバーシュートは、緩衝材４ｂの働きである程度緩和され、また、初期位置における力センサＡと可動部４との間の隙間を小さくするほど、力センサに作用する力の変化は純粋なステップ状の形に近づく。但し、この隙間を実質的に零にしても、力センサＡ自体の弾性により、いくらかのオーバーシュートは避けられない。
【００２７】
また、ガイド軸線５ａの鉛直方向に対する角度θを変化させることにより、力センサＡに作用する力に占める慣性力Ｆ１と重力成分Ｆ２の比が変化し、角度θを大きくするほど、重力成分Ｆ２と比較したときの慣性力Ｆ１の影響が大きくなる。従って、初期位置、緩衝材４ｂのダンピング特性、可動部４の質量と共に、角度θを調整することにより、力センサＡに作用するステップ状の力の立上りの急峻さ、オーバーシュートの大きさ等を変化させることができ、種々のステップ状の力に対する力センサＡの応答特性を測定することが可能になる。
【００２８】
尚、上記実施形態では、可動部４を初期位置に支持する支持手段としてワイヤ９を用いたが、支持手段はこれに限られるものではなく、可動部４の支持の急速な解除と、解除後の可動部４との力の作用が無視できることの２つの条件が満たされるものであれば、どのような支持手段を用いても良い。例えば、支持手段として、可動部４を初期位置に吸着支持する電磁石を用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施形態の測定装置のシステム構成図。
【図２】実施形態の測定装置の機械的構造を示す正面図。
【図３】実施形態の測定装置の機械的構造を示す側面図。
【図４】実験時の光波干渉計の計測データから求めた可動部の移動速度、位置、加速度、慣性力と重力成分の合力を示すグラフ。
【図５】実験時の力センサの検出出力と、慣性力と重力成分の合力を示すグラフ。
【符号の説明】
【００３０】
Ａ…力センサ、１…測定ユニット、２…治具、３…直動軸受け、４…可動部、５…ガイド部、５ａ…ガイド部の軸線、７…測定ユニットの支軸、９…ワイヤ、１３…コンピュータ(演算手段)、１４…光波干渉計。
【図１】
2005147702.tif 000003
【図２】
2005147702.tif 000004
【図３】
2005147702.tif 000005
【図４】
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【図５】
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