(57)【要約】【課題】新たに多くの設備コスト及びランニングコストを要せず、しかも密閉容器とミニエンバイロメントとの間の隙間に清浄エアを誘導することができるクリーンルーム設備を提供する。【解決手段】クリーンルーム設備１０において、ミニエンバイロメント１８のロードポート２４側の側壁には清浄エア誘導手段１５を設けることにより、ミニエンバイロメント１８に設けられたファンフィルタユニット１４，１４からダウンフローされた清浄エアが清浄エア誘導手段１５に沿って流れるので、密閉容器２６，２６及びロードポート２４の間に清浄エアが吹き付けられて清浄された空間を形成することができる。【選択図】      図１
2005098593.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内に設けられると共にファンフィルタユニットが天井に搭載されたミニエンバイロメントと、該ミニエンバイロメントのロードポート上に置かれたウエハ搬送用の密閉容器との間で、ウエハの受け渡しを行うクリーンルーム設備において、
前記ファンフィルタユニットの吹出口から吹き出される清浄エアの一部を、前記ミニエンバイロメントと前記密閉容器との間に誘導する清浄エア誘導手段を設けたことを特徴するクリーンルーム設備。
【請求項２】
前記清浄エア誘導手段は、
前記ミニエンバイロメントの前記ロードポート側の側壁を、該ロードポート近傍から前記ミニエンバイロメントの天井にいくに従って内側に傾斜させることにより、前記ファンフィルタユニットの吹出口の一部を前記側壁の外側に突出させて成ることを特徴とする請求項１のクリーンルーム設備。
【請求項３】
前記清浄エア誘導手段は、
前記ファンフィルタユニットの吹出口の一部を前記ミニエンバイロメントの前記ロードポート側の側壁の外側に突出させると共に、前記突出した吹出口から前記ロードポート上方までダクトを延設して成ることを特徴とする請求項１のクリーンルーム設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はクリーンルーム設備に係り、特にクリーンルーム内に設けられると共にファンフィルタユニットが天井に搭載されたミニエンバイロメントと、該ミニエンバイロメントのロードポート上に置かれたウエハ搬送用の密閉容器との間で、ウエハの受け渡しを行うクリーンルーム設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造分野では生産性向上の面からウエハの大口径化が進み、現在では３００ｍｍ径のウエハが主流となっている。３００ｍｍ径のウエハに対応したクリーンルームとしては、特許文献１のようにウエハ搬送用の密閉容器（Front Opening Unified Pod ）やミニエンバイロメントを備えたクリーンルーム設備が多く採用されている。
【０００３】
図３は、従来における３００ｍｍ径のウエハに対応したクリーンルーム設備５０の概略構成を示した側面図である。
【０００４】
図３に示すように、クリーンルーム設備５０は天井部１２Ａに配置された複数のファンフィルタユニット１４，１４…から清浄エアがダウンフローされ、床部のグレーチング１２Ｂからエアが排気されることにより、クリーンルーム１１の清浄な雰囲気が保持される。クリーンルーム１１にはウエハに処理を行う各装置が設置された製造室１６が設けられ、その横にはミニエンバイロメント１８が配設される。ミニエンバイロメント１８は上部にファンフィルタユニット１４，１４が設けられるとともに、内部にウエハの受け渡しを行う移載機２０が設けられる。また、ミニエンバイロメント１８の一方の側壁には、オープナー２２を有するロードポート２４が設置される。
【０００５】
クリーンルーム１１では、ウエハは汚染防止のため密閉された密閉容器２６に収納される。ウエハを収納した密閉容器２６はクリーンルーム５０内を走行する搬送台車２８によって搬送されて、ロードポート２４上に載置される。ロードポート２４上に載置された密閉容器２６はオープナー２２により密閉容器２６の片側面が開放される。そして移載機２０により密閉容器２６内のウエハが搬出されて製造室１６へ受け渡される。一方、製造室１６で処理されたウエハは上述した逆の順序をたどって密閉容器２６へ格納され、搬送台車２８により密閉容器２６が搬送される。
【０００６】
これにより、クリーンルーム１１において、密閉された密閉容器２６に格納されたウエハは局所的に清浄度の高いミニエンバイロメント１８を介して製造室１６へ受け渡されるので、受け渡しによるウエハの汚染を効果的に防止することができる。
【０００７】
このような背景から、クリーンルーム１１では密閉容器２６及びミニエンバイロメント１８を介してウエハが受け渡されるため、クリーンルーム１１の清浄度をそれほど高くする必要がない。そのため、クリーンルーム設備５０に設けられたファンフィルタユニット１４，１４…の台数を減らすことができるので、必要とされる設備コスト及びランニングコストを減少させることができる。
【特許文献１】特開２００３−３１４５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、密閉容器２６とミニエンバイロメント１８との間には、通常１ｍｍ程度隙間が空いているため、密閉容器２６の側面をオープナー２２で開けた瞬間、密閉容器２６とミニエンバイロメント１８との間の隙間を介して密閉容器２６内やミニエンバイロメント１８内に、清浄度が低めのクリーンルーム１１のエアが誘引されてウエハが汚染されるという問題があった。
【０００９】
特許文献１では、ロードポート２４上方のクリーンルーム天井面に、新たにファンフィルタユニット１４を設置することで対処していたが、設備コスト及びランニングコストが増大するという問題があった。更には、クリーンルーム天井面に設けたファンフィルタユニットからロードポート２４上方に清浄エアを吹いても、密閉容器２６とミニエンバイロメント１８との間の隙間に上手く清浄エアが誘導されないという欠点がある。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、新たに多くの設備コスト及びランニングコストを要せず、しかも密閉容器とミニエンバイロメントとの間の隙間に清浄エアを誘導することができるクリーンルーム設備を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の請求項１は前記目的を達成するために、クリーンルーム内に設けられると共にファンフィルタユニットが天井に搭載されたミニエンバイロメントと、該ミニエンバイロメントのロードポート上に置かれたウエハ搬送用の密閉容器との間で、ウエハの受け渡しを行うクリーンルーム設備において、前記ファンフィルタユニットの吹出口から吹き出される清浄エアの一部を、前記ミニエンバイロメントと前記密閉容器との間に誘導する清浄エア誘導手段を設けたことを特徴する。
【００１２】
ここで、ミニエンバイロメントとは、クリーンルームに設置され、クリーンルームとは別にファンフィルタユニットを備えた局所的なクリーンルームのことである。
【００１３】
請求項１によれば、前記ファンフィルタユニットの吹出口から吹き出される清浄エアの一部を、前記ミニエンバイロメントと前記密閉容器との間に誘導する清浄エア誘導手段を設け、密閉容器とミニエンバイロメントとの間に清浄エアが上手く誘導されるようにした。
【００１４】
これにより、密閉容器とミニエンバイロメントの間に、清浄な空間を形成することができるので、密閉容器とミニエンバイロメントとの間でウエハを受け渡しする際にウエハが汚染されることがない。また、清浄エア誘導手段により誘導されるエアはミニエンバイロメントのファンフィルタユニットからダウンフローされた清浄エアの一部が使用されるため、新たに必要とされる設備コスト及びランニングコストを低減できる。
【００１５】
請求項２は請求項１において、前記ミニエンバイロメントの前記ロードポート側の側壁を、該ロードポート近傍から前記ミニエンバイロメントの天井にいくに従って内側に傾斜させることにより、前記ファンフィルタユニットの吹出口の一部を前記側壁の外側に突出させて成ることを特徴とする。
【００１６】
請求項２によれば、上記の如く清浄エア誘導手段を構成したので、ミニエンバイロメントのファンフィルタユニットの吹出口からダウンフローされる清浄エアの一部は、傾斜したミニエンバイロメントにおけるロードポート側の側壁の壁面に沿って流れてミニエンバイロメントと密閉容器の間に誘導されるので、密閉容器内のウエハやミニエンバイロメント内のウエハが汚染されるのを効果的に防止できる。
【００１７】
請求項３は請求項１において、前記清浄エア誘導手段は、前記ファンフィルタユニットの吹出口の一部を前記ミニエンバイロメントの前記ロードポート側の側壁の外側に突出させると共に、前記突出した吹出口から前記ロードポート上方までダクトを延設して成ることを特徴とする。
【００１８】
請求項３によれば、清浄エア誘導手段を上記の如く構成したので、ミニエンバイロメントのファンフィルタユニットの吹出口からダウンフローされる清浄エアの一部は、ダクトを通って密閉容器とミニエンバイロメントとの間に確実に誘導されるので、密閉容器内のウエハやミニエンバイロメント内のウエハが汚染されるのを効果的に防止できる。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように本発明に係るクリーンルーム設備によれば、新たに多くの設備コスト及びランニングコストを要せず、しかも密閉容器とミニエンバイロメントとの間に清浄エアを誘導することができる。これにより、密閉容器とミニエンバイロメントの間に、清浄な空間を形成することができるので、密閉容器とミニエンバイロメントとの間でウエハを受け渡しする際にウエハが汚染されることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下添付図面に従って本発明に係るクリーンルーム設備の好ましい実施の形態について説明する。
【００２１】
図１は、本発明の第１の実施の形態であるクリーンルーム設備１０の概略構成を示す断面斜視図であり、清浄エア誘導手段としてミニエンバイロメントの側壁を傾斜される一例である。
【００２２】
図１に示すように、クリーンルーム１１の天井部１２Ａに複数のファンフィルタユニット１４，１４…が設けられるとともに、床面にはグレーチング１２Ｂが敷設される。これにより、クリーンルーム１１には、ファンフィルタユニット１４，１４…によって天井部１２Ａのエアが除塵された清浄エアがダウンフローされ、そのダウンフローされた清浄エアはクリーンルーム１１の塵埃とともにグレーチング１２Ｂを介して床下から排出される。このクリーンルーム設備１０はミニエンバイロメント１８と密閉容器２６との間でウエハの受け渡しを行うことから、クリーンルーム１１の天井部１２Ａ全体にファンフィルタユニット１４，１４…が設けられておらず間引き設置されている。これにより、クリーンルーム１１の清浄度はクラス１００程度に維持される。
【００２３】
クリーンルーム１１に設けられた製造室１６内には、ウエハの製造装置や洗浄装置（図示せず）などが収納され、この製造室１６内でウエハに対する製造又は洗浄などの処理が行われる。製造室１６の入口にはミニエンバイロメント１８が配設される。このミニエンバイロメント１８の天井にはファンフィルタユニット１４，１４が配設され、このファンフィルタユニット１４，１４からダウンフローされる清浄エアによってミニエンバイロメント内の清浄度はクラス１程度に維持される。このミニエンバイロメント１８の内部にはウエハの移載機２０が配設される。また、ミニエンバイロメント１８のウエハ受け渡し側には、密閉容器２６を上面に載置すると共に、密閉容器２６の側面に設けられた扉を開閉するためのオープナー２２を備えたロードポート２４が配設される。
【００２４】
そして、密閉容器２６とミニエンバイロメント１８との間でウエハの受け渡しを行う場合には、ウエハを収納した密閉容器２６はクリーンルーム１１を走行する搬送台車２８によって搬送されて、ロードポート２４上に載置される。ロードポート２４上に載置された密閉容器２６はオープナー２２により密閉容器２６の片側面が開放され、移載機２０により密閉容器２６内のウエハが搬出されて製造室１６へ受け渡される。一方、製造室１６で処理されたウエハは上述した逆の順序をたどって密閉容器２６へ格納され、搬送台車２８により密閉容器２６が搬送される。
【００２５】
かかるウエハの受け渡しの際に、密閉容器２６とミニエンバイロメント１８との間の隙間を介してクリーンルーム１１のクラス１００程度の比較的清浄度の低いエアが密閉容器２６内やミニエンバイロメント１８内に侵入してウエハを汚染する。そこで、本発明ではミニエンバイロメント１８のファンフィルタユニット１４の吹出口から吹き出される清浄エアの一部を、ミニエンバイロメント１８と密閉容器２６との間の隙間に誘導する清浄エア誘導手段１５を設けた。
【００２６】
清浄エア誘導手段１５は、ミニエンバイロメント１８のロードポート２４側の側壁３０を、該ロードポート２４近傍からミニエンバイロメント１８の天井にいくに従って内側に傾斜させることにより、ミニエンバイロメント１８のファンフィルタユニット１４の吹出口の一部を側壁３０の外側に突出させるように構成されている。即ち、傾斜した側壁３０の上端がミニエンバイロメント１８に配設されたファンフィルタユニット１４，１４の吹出口をクリーンルーム１１側とミニエンバイロメント側とに仕切るように接しており、側壁３０の傾斜下端がロードポート２４近傍に位置している。
【００２７】
上記の如く構成されたクリーンルーム設備１０の清浄エア誘導手段１５によれば、ミニエンバイロメント１８のファンフィルタユニット１４の吹出口からダウンフローされる清浄エアの一部は、傾斜したミニエンバイロメント１８の側壁３０の壁面に沿って流れてミニエンバイロメント１８と密閉容器２６の間の隙間に誘導される。これにより、密閉容器２６とミニエンバイロメント１８との間の隙間に清浄度の高い空間が形成される。従って、ウエハの受け渡しのためにオープナー２２で密閉容器２６，２６の蓋を開成しても、密閉容器２６，２６内にクリーンルーム１１の比較的清浄度の低いエアが流れ込んで密閉容器２６，２６内のウエハを汚染することを防止することができる。また、設備的にはミニエンバイロメント１８の側壁３０を傾斜させ、ミニエンバイロメント１８のファンフィルタユニット１４の吹出口の一部を側壁３０の外側に突出するようにしただけなので、新たに必要とされる設備コスト及びランニングコストを大幅に低減することができる。  
【００２８】
図２は、本発明の第２の実施の形態であるクリーンルーム設備４０の概略構成を示す断面斜視図であり、ミニエンバイロメント１８に清浄エア誘導手段１５としてダクト３２を設けた一例である。尚、清浄エア誘導手段１５以外は第１の実施の形態と同様なので説明は省略する。
【００２９】
第２の実施の形態における清浄エア誘導手段１５は、ミニエンバイロメント１８のファンフィルタユニット１４の吹出口の一部をミニエンバイロメント１８のロードポート２４側の側壁３０の外側に突出させると共に、突出した吹出口からロードポート２４上方までダクト３２を延設して構成される。この場合、第１の実施の形態で説明した傾斜した側壁３０を、ダクト３２の一辺として使用し、その側壁３０に、一対の側板３１、３１と一つの上板３３からなる断面コ字形状の蓋部材を被せることでダクト３２を形成することもできる。
【００３０】
第２の実施の形態のクリーンルーム設備４０における清浄エア誘導手段１５によれば、ミニエンバイロメント１８のファンフィルタユニット１４の吹出口からダウンフローされる清浄エアの一部は、ダクト３２を通って密閉容器２６とミニエンバイロメント１８との間の隙間に確実に誘導される。更に、ダクト３２とすることで、ファンフィルタユニット１４，１４からの清浄エアの全てを効率的に、密閉容器２６とミニエンバイロメント１８との間の隙間に供給することができる。これにより、密閉容器２６，２６とミニエンバイロメント１８との間に清浄度の高い空間を確実に形成することができるので、ウエハの受け渡しの際に、密閉容器２６，２６内やミニエンバイロメント１８内のウエハが汚染されるのを確実に防止できる。
【００３１】
尚、図には示さなかったが、ダクトを構成する側壁３０、一対の側板３１、３１、上板３３のうち、上板３３を省略することもできる。この場合も、側壁３０に沿ってダウンフローする清浄エアが一対の側板３１、３１でガイドされるので、清浄エアは殆ど拡散されることなく密閉容器２６とミニエンバイロメント１８との間の隙間に誘導される。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１の実施の形態であるクリーンルーム設備の概略構成を示した断面斜視図
【図２】本発明の第２の実施の形態であるクリーンルーム設備の概略構成を示した断面斜視図
【図３】従来におけるクリーンルーム設備の概略構成を示した断面斜視図
【符号の説明】
【００３３】
１０、４０、５０…クリーンルーム設備、１１…クリーンルーム、１２Ａ…天井部、１２Ｂ…グレーチング、１４…ファンフィルタユニット、１５…清浄エア誘導手段、１６…製造室、１８…ミニエンバイロメント、２０…移載機、２２…オープナー、２４…ロードポート、２６…密閉容器、２８…搬送台車、３０…側壁、３１…側板、３２…ダクト、３３…上板
【図１】
2005098593.tif 000003
【図２】
2005098593.tif 000004
【図３】
2005098593.tif 000005