(57)【要約】【課題】  球面レンズ等の被検レンズの表面状態を検査するための干渉計装置において、被検レンズを安定的に保持でき、しかも小型でコンパクトな構成によって、様々なサイズの被検レンズを測定できるようにする。【解決手段】  レンズマウント２０は、上端面に３箇所の鋼球２３を設けたレンズ載置筒２１と４本の外周規制ロッド２６を設けた台座部２２とからなり、被検レンズ７が鋼球２３上を滑動すると、相隣接する２本の外周規制ロッド２６と当接して安定するようになり、この状態でも、被検レンズ７の外周縁部は台座部２２に対して非接触状態に保持される。【選択図】  図３
2005127914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源から照射されるレーザ光を基準レンズで一部反射させ、この基準レンズからの透過光を被検レンズの被検面で反射させて、これら両反射光間に生じる干渉縞を観察手段により観察する干渉計装置において、
前記基準レンズの光軸延長線位置に配置され、前記被検レンズが着脱可能にセットされるレンズマウントを備え、
このレンズマウントは、前記被検レンズの被検面またはその反対側の面が当接するレンズ支持部材を先端面に設けた筒状のレンズ載置部と、
このレンズ載置部の下部位置に設けられ、少なくとも前記レンズ支持部の内径と同じかそれより大きい内径を有する円環状部材からなる台座部と、
この台座部に立設した少なくとも３本の外周規制ロッドとを有し、
前記各外周規制ロッドは、前記被検レンズの範囲内に全てのレンズ支持部が位置している状態で、この被検レンズの外周部が少なくとも相隣接する２本の外周規制ロッドと当接可能であり、しかもこの状態では前記台座部表面に対して非接触状態に保持される位置に配置される
構成としたことを特徴とする干渉計装置の被検レンズ載置台。
【請求項２】
前記各外周規制ロッドの前記被検レンズへの当接部を結ぶ円は前記基準レンズの光軸中心線を中心とする同心円を形成するものであり、かつ前記各外周規制ロッドは半径方向に向けて位置調整可能としたことを特徴とする請求項１記載の干渉計装置の被検レンズ載置台。
【請求項３】
前記各外周規制ロッドは、前記被検レンズが接離する周胴部は弾性部材で形成される構成としたことを特徴とする請求項１記載の干渉計装置の被検レンズ載置台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ干渉計を用いて球面レンズ等の表面状態を検査するための干渉計装置に関し、特に被検レンズを安定した状態に保持して、その被検面の測定・検査できるようにした干渉計装置の被検レンズ載置台に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レンズの仕上げ精度の検査等、被検レンズの表面状態を測定するために干渉計装置が用いられる。干渉計装置の基本構成としては、可干渉光を出射するレーザ光源と、このレーザ光源から出射した光を所定の径の平行光束にするためのコリメータレンズと、被検レンズの被検面の基準形状を有する基準レンズとを含むものである。基準レンズはコリメータレンズからの平行光束が入射される側とは反対側の面、つまり被検レンズと向き合った面が基準面であり、その表面形状は被検レンズの被検面と同一または相似形状となっている。そして、レーザ光源からのレーザ光はこの基準レンズの基準面で一部が反射してコリメータレンズに戻ることになる。また、基準面を透過したレーザ光は被検レンズの被検面で一部が反射して基準レンズを透過してコリメータレンズに戻ることから、これら両反射波面を重ね合わせることにより両波面間における干渉情報が得られ、この干渉情報に基づいて被検レンズの仕上げ面精度等の測定・検査が行なわれる。従って、コリメータレンズからの戻り光をビームスプリッタで入射光から分離して、カメラ等を用いた観察手段に取り込まれるように構成している。
【０００３】
ここで、被検レンズが球面レンズである限り、その曲率が基準レンズの曲率と一致することは検査・測定のための必須条件ではない。即ち、基準レンズの曲率中心位置と被検レンズの曲率中心位置とが正確に一致しておれば、被検レンズの曲率半径が基準レンズの曲率半径より大きい場合でも、また小さい場合でも測定を行うことができる。従って、種々の被検レンズを測定するためには、基準レンズ若しくは被検レンズを光軸方向に移動可能な構成として、これらのレンズ間間隔を調整することによって、基準レンズと被検レンズとの曲率中心位置を一致させることができる。
【０００４】
このために、レーザ光源から基準レンズまでと、基準レンズから観察手段までとの光路を構成する各部材を一体に組み込んで干渉計本体として構成し、この干渉計本体を光軸方向に移動させることによって、単一の基準レンズを用いて曲率半径の異なる被検レンズを測定する際に、基準レンズと被検レンズとの間隔を調整する構成したものは、例えば特許文献１に開示されている。また、被検レンズはレンズマウントにセットされるようになっており、このレンズマウントは１２０°の位相をもって配置した球面形状のレンズ支持部材を備えており、被検レンズは、そのレンズ面をこれらレンズ支持部材により３点で支持するようにしている。
【特許文献１】特開平６−３２１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、基準レンズと被検レンズとの曲率中心位置を一致させる必要があるのは当然として、被検レンズの被検面の全面を測定するには、被検レンズがセットされるレンズマウントの大きさと、基準レンズと被検レンズとの有効口径の関係についても配慮を必要とする。即ち、被検レンズの外径寸法がレンズマウントに設けたレンズ支持部材より大きい場合、及び基準レンズからの有効測定光束径より被検レンズの有効口径の方が大きい場合には、被検レンズの光軸中心から限定された範囲については測定することができるが、周辺部は測定できなくなる。従って、干渉計装置により様々な有効口径の被検レンズにおける被検面全体を測定しようとする場合には、基準レンズ及びレンズマウントを交換しなければならない場合も生じることになる。そして、被検レンズの外径寸法が大きい場合には、レンズマウントを大型にし、基準レンズも明るいものを用いる必要があり、全体として干渉計装置が大型化するという問題点がある。また、大型で厚みがあり、しかも曲率半径の小さい被検レンズを測定する場合等には、被検レンズをレンズマウントにセットするときに、基準レンズの光軸中心線に対してほぼ一致する位置に配置されないと、重力バランスの問題から、被検レンズの安定性が失われて、レンズ支持部材上を滑動してレンズ支持部材から脱落してしまうという問題点もある。
【０００６】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、被検レンズを安定的に保持でき、しかも小型でコンパクトな構成によって、様々なサイズの被検レンズを測定できるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本発明は、レーザ光源から照射されるレーザ光を基準レンズで一部反射させ、この基準レンズからの透過光を被検レンズの被検面で反射させて、これら両反射光間に生じる干渉縞を観察手段により観察する干渉計装置であって、前記基準レンズの光軸延長線位置に配置され、前記被検レンズが着脱可能にセットされるレンズマウントを備え、  このレンズマウントは、前記被検レンズの被検面またはその反対側の面に当接するレンズ支持部材を先端面に設けた筒状のレンズ載置部と、このレンズ載置部の下部位置に設けられ、少なくとも前記レンズ支持部の内径と同じかそれより大きい内径を有する円環状部材からなる台座部と、この台座部に立設した少なくとも３本の外周規制ロッドとを有し、前記各外周規制ロッドは、前記被検レンズの範囲内に全てのレンズ支持部が位置している状態で、この被検レンズの外周部が少なくとも相隣接する２本の外周規制ロッドと当接可能であり、しかもこの状態では前記台座部表面に対して非接触状態に保持される位置に配置される構成としたことをその特徴とするものである。
【０００８】
ここで、レンズマウントは、被検レンズが載置されるものであるから、それと基準レンズとの間で光軸及びレンズ間間隔の調整を行える構成となっていなければならない。これらの調整機構は、基準レンズ側に持たせても良く、被検レンズ側に持たせるようにすることもできる。また、光軸調整機構とレンズ間間隔調整機構とを別個の構成となし、それらの一方を基準レンズ側に、他方を被検レンズ側に持たせるようにすることもできる。さらに、光軸調整を行う場合、光軸と直交する面でのＸＹ方向と傾き方向との調整を行う必要があるが、これらの各調整部についても、いずれの側に持たせることもできる。
【０００９】
レンズマウントには、前述した調整機構を備えるか否かはともかくとして、少なくともレンズ支持部材を装着したレンズ載置部と外周規制ロッドを設けた台座部と備える構成とする。従って、光軸及びレンズ間間隔の調整を行っても、レンズ支持部材と外周規制ロッドとの位置関係は一定に保持される。特に、凹レンズにおける凹球面部を被検面として、この被検面を下方に向けるようにして測定を行う場合、レンズ支持部材に被検レンズをセットすると、その重心位置がレンズ支持部材の上方に位置することになり、しかもレンズ支持部材への当接部は傾斜する曲面形状となっている。従って、被検レンズをレンズマウントにセットする際に、被検レンズを正確にセンタリングしなければ、レンズ支持部材から滑落する可能性がある。しかしながら、本発明においては、セットされた被検レンズがレンズ支持部材上を滑動しても、外周規制ロッドに当接した位置で停止することになり、台座部上に滑落するようなことはない。従って、被検レンズの滑落による損傷や欠け等といった事故の発生を確実に防止できる。このときにおいて、被検レンズは、実質的に相隣接する２本の外周規制ロッドにより支承されることになり、被検レンズは３個のレンズ支持部材に当接している状態で安定的に保持される。そして、このレンズ支持部材の内部領域での曲率中心位置は基準レンズの曲率中心位置と一致する状態に保持される。
【００１０】
被検レンズが当接するのは相隣接する２本の外周規制ロッドであるから、相隣接する２本の外周規制ロッド間の間隔は、被検レンズの直径より狭くなっていなければならない。従って、外周規制ロッドの数は少なくとも３本設ける。被検レンズの安定を図るという意味では３本の外周規制ロッドを設けるのが望ましいが、被検レンズの滑動時における移動量が大きくなってしまう。また、外周規制ロッドの数を多くすると、２本の外周規制ロッドによる被検レンズへの当接部の間隔が短くなるので、被検レンズの安定性が悪くなる。以上のことから、外周規制ロッドは４本若しくは３本とするのが望ましい。そして、外周規制ロッドは、少なくとも被検レンズが当接する部位を弾性部材で形成する。例えば、外周規制ロッド全体をゴムや軟性の樹脂等からなる弾性部材で形成するか、硬質部材で形成した外周規制ロッドの周囲にゴム等の弾性部材を巻き付ける等の構成とする。
【００１１】
レンズマウントにセットされている被検レンズは、外周規制ロッドに当接する位置までずらすことができ、２本の外周規制ロッドに被検レンズを支持させたときには、その周辺部分が基準レンズと対面することになる。従って、基準レンズを通過した光束が被検レンズに照射される際に、この被検レンズの被検面における一部分のみに限定されるような有効測定光束径の小さい基準レンズを用いても、被検レンズをセンタリングした位置、つまりその光軸中心が基準レンズの光軸中心と一致させた位置で測定した後、２本の外周規制ロッドに当接する位置にずらせて被検レンズを測定することによって、被検レンズの周辺部分の測定を行うことができる。さらに、この状態で回転方向に位置をずらせながら測定する等により被検レンズの被検面全体を測定することができる。
【００１２】
レンズ支持部材は測定される最小径の被検レンズに規制される。つまり、最小径の被検レンズであっても、確実にレンズ支持部材と当接可能になっていなければならない。一方、外周規制ロッドは実際に測定される被検レンズの外径寸法に応じて位置を変化させなければならない。従って、異なる有効口径の被検レンズを測定する場合には、各外周規制ロッドは基準レンズの光軸中心に対して同心円を形成することを条件として、半径方向に向けて位置調整可能とする。そして、最大限、被検レンズを３個のレンズ支持部材に当接させた状態で、相隣接する位置に設けた２箇所の外周規制ロッドが被検レンズの外周縁に当接可能な位置、若しくはそれより内側に位置するように、各外周規制ロッドの位置調整を行う。その結果、被検レンズは、その外周縁部を台座部等とは接触せず、しかもその曲率中心位置が基準レンズの曲率中心位置と一致した状態が保たれて、その状態で被検レンズの少なくとも一部分の測定が可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように構成した本発明によれば、レンズマウントに被検レンズをセットしたときに、センタリングされた位置でも、ずれた位置でも安定的に保持できるので、その被検面全体の形状を測定できるようになる等といった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。まず、図１に干渉計装置の全体構成を示す。同図において、１はレーザ光源を示し、このレーザ光源１から出射されるレーザ光はそのビーム径を拡大させるためのビーム整形レンズ２に入射されて、このビーム整形レンズ２により一度集光させた後に所定のビーム径となるまで発散させるようにしている。そして、このビーム整形レンズ２の集光位置には絞り３が配設されており、この絞り３を通過した光は発散しながらビームスプリッタ４に入射されて、このビームスプリッタ４で反射することによって光路が９０°曲げられる。そして、ビームスプリッタ４での反射光はコリメータレンズ５によって平行光束化される。
【００１５】
６は基準レンズ、７は被検レンズであり、基準レンズ６はその入射面６ａ側は反射防止コーティングが施されており、その反対面は基準面６ｂとなっている。被検レンズ７は、その被検面７ａの表面状態が測定されるものであって、基準レンズ６の基準面６ｂと被検レンズ７の被検面７ａとは対向配設される。そして、コリメータレンズ５により平行光束化されたレーザ光は基準レンズ６の基準面６ｂで一部が反射し、この基準レンズ６を透過した光は被検レンズ７の被検面７ａでも一部反射することになる。その結果、基準面６ｂでの反射光と被検面７ａでの反射光との間で干渉作用が生じる。このように干渉情報を有する反射光はコリメータレンズ５を再度透過し、ビームスプリッタ４では透過することによって、入射光から分離される。そして、干渉縞画像結像用レンズ８を介して撮像手段９に取り込まれるようになる。従って、撮像手段９からの干渉縞情報をモニタに映し出すことにより、例えば干渉縞の本数等に基づいて被検レンズ７の被検面７ａの表面状態が測定される。
【００１６】
干渉計装置は概略以上のように構成されるものであり、本実施の形態においては、レーザ光源１，ビーム整形レンズ２，絞り３，ビームスプリッタ４，コリメータレンズ５，干渉縞画像結像用レンズ８及び撮像手段９は、干渉計本体ユニット１０として、本体ケーシング１１の内部に設けられている。この本体ケーシング１１の天板部１１ａには基準レンズ６が装着されている基準レンズユニット１２と、被検レンズ７が着脱可能にセットされる被検レンズ装着ユニット１３とが設置されている。そして、天板部１１ａには導光用の開口１４が形成されている。なお、基準レンズユニット１２は干渉計本体ユニット１０と一体に形成することもできる。
【００１７】
ここで、基準レンズ６と被検レンズ７との間で光軸調整を行う必要がある。つまり、図１に光軸中心線Ｃで示したように、基準レンズ６の光軸中心線と被検レンズ７の光軸中心線とが完全に一致し、光軸中心線と直交する方向にずれが生じず、また相互の光軸中心線間に傾きが生じないように、調整されなければならない。このために、基準レンズユニット１２と被検レンズ装着ユニット１３との少なくとも一方に光軸調整機構を備えていなければならないが、例えば基準レンズユニット１２にこの光軸調整機構を持たせることができる。また、基準レンズ６の曲率中心位置と被検レンズ７の曲率中心位置とが、光軸調整機構により一致するように調整された光軸中心線Ｃ上で同じ位置Ｏに配置されていなければならず、従って基準レンズユニット１２と被検レンズ装着ユニット１３との間の間隔を調整する必要がある。また、曲率半径が異なる被検レンズ７を測定する場合には、改めて基準レンズ６と被検レンズ７との間の間隔調整を行う必要がある。この間隔調整機構は、図１に符号１５で示したように、例えば被検レンズ装着ユニット１３側に設けることができる。
【００１８】
なお、本実施の形態では、基準レンズ６を干渉計本体ユニット１０に対して独立の構成としたが、干渉計本体ユニット側にレンズホルダを装着して、このレンズホルダに基準レンズを装着する構成としても良い。また、基準レンズ６の光軸をＸＹ軸方向及び傾き方向に調整可能としたが、例えば被検レンズ装着ユニット１３を構成する固定フレーム側、例えば固定フレームと間隔調整手段との間にいずれかの調整機構或いは全ての光軸調整機構を設けるように構成することもできる。
【００１９】
次に、図２及び図３に被検レンズ装着ユニット１３におけるレンズマウント２０の構成を示す。ここで、被検レンズ装着ユニット１３は、前述したように、間隔調整機構１５を含むものであるから、このレンズマウント２０は、間隔調整機構１５の上部に螺合する等により固定されるようになっている。
【００２０】
レンズマウント２０は、レンズ載置筒２１と台座部２２とを一体に形成したものであり、レンズ載置筒２１は所定の厚みを有する円筒状の部材からなり、その上端面には、被検レンズ７の被検面７ａに当接するレンズ支持部材としての鋼球２３が１２０°の間隔となるようにして３箇所装着されている。このように、被検レンズ７を鋼球２３に当接させるようにしてセットすることによって、被検レンズ７を常に一定した位置で３点支持でき測定の再現性が高まるとともに被検レンズ７の着脱時に傷が付かないように着脱できる。台座部２２は円環状の部材であり、被検レンズ装着ユニット１３を構成する間隔調整機構１５に固定されるために、ねじ筒２４が下方に延在されている。従って、このレンズマウント２０の内部は中空となって、基準レンズ６から発散する光を通過させる導光路２５が形成される。
【００２１】
台座部２２の外径はレンズ載置筒２１の外径より大きくなっており、その上面には、それぞれ９０°の位置関係となるように、４本の外周規制ロッド２６が立設されている。外周規制ロッド２６は、金属またはプラスチック等のように硬質の部材からなるロッド２７と、このロッド２７の下端部が固着されるねじ座２８とから構成され、ねじ座２８はロッド２７の立設位置の左右両側において、止めねじにより台座部２２の上面に着脱可能に固定されるようになっている。また、ロッド２７はそのねじ座２８への連結部から所定の高さまでは鉛直方向に延在された鉛直部２７ａとなり、先端側は半径方向外向きに傾斜した傾斜部２７ｂとなっている。そして、鉛直部２７ａの外周部にはゴム，軟性樹脂等からなる弾性部材からなる緩衝用チューブ２９が止着されている。従って、傾斜部２７ｂは被検レンズ７をセットする際における呼び込み部として機能し、また緩衝用チューブ２９は被検レンズ７の外周縁部が衝突したときに、緩衝作用を発揮し、割れや欠け等が発生しないように保護するためのものである。
【００２２】
外周規制ロッド２６を構成するねじ座２８は台座部２２に固定されるが、このために台座部２２にはねじ孔３０が設けられている。ねじ孔３０は、台座部２２の半径方向に所定のピッチ間隔をもって複数箇所設けられている。これによって、外周規制ロッド２６はレンズマウント２０の中心位置（光軸中心線Ｃが通る位置）から半径方向に位置を変えて取り付けることができるようになっている。このように、４箇所設けられている外周規制ロッド２６は、それぞれ固定位置を変えることができるが、位置調整を行ったとしても、被検レンズ７の外形が円形の場合は全て中心位置を中心とした同心円を形成する位置関係となるように調整される。
【００２３】
ここで、レンズ載置筒２１に被検レンズ７をセットしたときに、この被検レンズ７の光軸中心位置がレンズマウント２０の中心位置と一致しておれば、レンズ載置筒２１に設けた３つの鋼球２３のみによって安定的に支持されることになる。ただし、被検レンズ７の光軸中心位置がレンズマウント２０の中心位置からずれると、球面形状となった被検レンズ７の被検面７ａは鋼球２３に対してずれを増進する方向に滑動しようとする。この滑動の結果、被検レンズ７は外周規制ロッド２６と当接することになるが、相隣接する２本の外周規制ロッド２６と当接すると、その位置で安定する。そして、この状態でも、被検レンズ７の外周縁部は台座部２２に対して非接触状態に保持されなければならない。従って、台座部２２の上面からレンズ載置筒２１に装着した鋼球２３の頂部までの高さ寸法はこの点を勘案して設定されることになる。
【００２４】
本実施の形態は以上のように構成されるものであり、被検レンズ７の被検面７ａの表面状態を測定するに当っては、レンズマウント２０上に被検レンズ７をセットして、レーザ光源１からのレーザ光は基準レンズ６を介して被検レンズ７に照射される。レーザ光は一部が基準レンズ６の基準面６ｂで反射すると共に、被検レンズ７の被検面７ａでも反射して、これら２つの反射波面が干渉することになり、この干渉情報は撮像手段９により撮像される。この干渉縞情報に基づいて被検レンズ７の加工精度等を測定・検査することができる。
【００２５】
ここで、被検レンズ７における測定可能な範囲は、図４に示したように、レンズマウント２０におけるレンズ載置筒２１における導光路２５の投影部分を超えることはない。即ち、基準レンズ６を透過して、その曲率中心位置まで収束し、かつこの曲率中心位置Ｏから発散する光束断面がこの導光路２５の内径より大きくなると、光はレンズ載置筒２１の内面に反射することになるので、被検面７ａの測定を行えなくなる。そして、基準レンズ６の有効測定光束径が小さい場合、この導光路２５の内径よりさらに小さい光束（図４に斜線で示した範囲）が被検レンズ７に照射されることになる。
【００２６】
今、図４に示したように、小径の被検レンズ７Ｓと、それより大きなサイズの被検レンズ７Ｌとを測定する場合において、同図に斜線で示した範囲が測定可能範囲とする。この場合、被検レンズ７Ｓでは、その有効径のほぼ全面が測定可能であるものの、被検レンズ７Ｌについては、その光軸中心から極めて狭い範囲しか測定できない。そこで、このような大径の被検レンズ７Ｌであっても、その光軸中心部分だけでなく、周辺部分の表面形状を測定することができる。
【００２７】
ここで、被検レンズ７Ｌはレンズ支持部材を構成する３箇所の鋼球２３に対してセンタリングされた状態では、これら鋼球２３により安定的に保持されるが、これら鋼球２３より外側の位置に外周規制ロッド２６が４箇所設けられており、これら相隣接する２本の外周規制ロッド２６の間隔は被検レンズ７Ｌの直径寸法より狭くなっている。従って、図５に示したように、被検レンズ７Ｌを、その光軸中心線が基準レンズ６の光軸中心線と一致する状態にしてその被検面における領域Ｍ１についての測定を行うことができる。その後に、図６に示したように、この被検レンズ７Ｌを前後乃至左右方向に位置をずらすと、この被検レンズ７Ｌの外周縁部は２本の外周規制ロッド２６と当接する。このときには、被検レンズ７Ｌはなお３箇所の鋼球２３に当接した状態に保持される。その結果、被検レンズ７Ｌの自重はほぼ２本の外周規制ロッド２６に受承され、しかも３箇所の鋼球２３によって所定の位置に安定的に保持される。このときに、被検レンズ７Ｌのうち、鋼球２３により囲まれた円形の領域M２を１つのレンズであると想定することができ、図６に示したように、その光軸中心線が基準レンズ６の光軸中心線と一致した状態に保たれる。従って、被検レンズ７Ｌの周辺部の測定を行うことができる。そして、外周規制ロッド２６に外周縁部を当接させた被検レンズ７Ｌを回転させると、他の領域の測定も可能になり、全体として被検レンズ７Ｌの被検面を隈なく測定することができる。
【００２８】
また、外周規制ロッド２６は、被検レンズ７Ｌの滑落防止機能を発揮する。即ち、被検レンズ７Ｌを３点で支持する場合、被検レンズ７Ｌの中心、つまり光軸中心位置が３箇所設けた鋼球２３を結ぶ円の中心に位置しておれば、その位置で安定するが、その光軸中心位置が鋼球２３を結ぶ円の中心からずれると、被検レンズ７Ｌの重量バランスが崩れて、ずれた方向に向けて滑動することになる。しかしながら、被検レンズ７Ｌは外周規制ロッド２６と当接し、２本の外周規制ロッド２６に挟まれた位置まで滑動すると、その位置で停止し、それ以上滑動することはない。そして、このときには、なお３点の鋼球２３と当接した状態に保持され、かつ台座部２２の表面に接触することはない。従って、被検レンズ７Ｌが台座部２２に衝突して、割れや欠け等の損傷が発生することはない。また、外周規制ロッド２６のロッド２７には緩衝用チューブ２９が装着されているので、被検レンズ７Ｌの外周縁部が衝突しても、緩衝用チューブ２９による緩衝作用により保護されて、損傷を来たすおそれはない。
【００２９】
このように、外周規制ロッド２６を被検レンズ７Ｌの滑落防止用として用いる場合には、４本の外周規制ロッド２６により形成される円は鋼球２３を結ぶ円と同心円となっているが、この外周規制ロッド２６を結ぶ円は被検レンズ７Ｌの外径よりあまり寸法を大きくしない方が被検レンズ７Ｌの滑動量を少なくするために望ましい。そして、外周規制ロッド２６のロッド２７の先端部は外向きに傾斜した傾斜部２７ｂとなっているので、この傾斜部２７ｂが被検レンズ７Ｌの呼び込み部として機能するので、被検レンズ７Ｌのレンズマウント２０への着脱が格別困難とはならない。
【００３０】
外周規制ロッド２６の位置は、測定される被検レンズの外径寸法等に応じて変更可能となっている。従って、被検レンズのうちのどの領域を測定するかによって、またどのような機能を持たせるか、つまり被検レンズの周辺部を測定するのか、滑落防止のみを図るのか等によって、ねじ座２８を台座部２２から分離して、台座部２２の半径方向に形成したねじ孔３０のいずれかに止着して、所望の位置に配置することによって、目的に適った位置に外周規制ロッド２６を配置することができる。例えば、被検レンズの周辺部の測定を目的とする場合には、３箇所の鋼球２３と当接し、かつ２本の外周規制ロッド２６に当接した状態では、被検レンズの有効口径の外周部が基準レンズ６から照射される領域内に位置するようにする。また、被検レンズの脱落防止のみを目的とする場合には、例えば、図５に二点鎖線で示したように、被検レンズの着脱に支障をきたさない範囲で外周規制ロッド２６の間隔をある程度短くする。ただし、いずれにしろ、被検レンズ７の外形が円形の場合は、４本設けた外周規制ロッド２６を結ぶ円は鋼球２３を結ぶ円と同心円を形成するようにしなければならない。
【００３１】
前述した実施の形態では、外周規制ロッドの位置を段階的に変化させるように構成したが、図７乃至図９に示したように、連続的に位置を調整するように構成することもできる。
【００３２】
これらの図において、レンズマウント５０は、レンズ載置筒５１と台座部５２とから構成され、レンズ載置筒５１の上端面には３箇所にわたってレンズ支持部材としての鋼球５３が装着されており、これら３点の鋼球５３により被検レンズが支持されるようになっている。台座部５２は、ベース部材５４とカバー部材５５とから構成され、これらベース部材５４とカバー部材５５とは止めねじ５６により組立状態に固定されるようになっている。ベース部材５４の内側には回動リング５７が回動可能に装着されている。そして、この回動リング５７の上面には、それぞれ１２０°の位置関係となるように３つのレバー５８が装着されている。レバー５８は概略Ｌ字形状となったもので、その曲折部の位置には止着ピン５９が設けられ、この止着ピン５９は回動リング５７に回動自在に装着されている。また、レバー５８の短辺側の端部には、カムフォロア６０が連結して設けられており、このカムフォロア６０はベース部材５４に形成した溝カム６１に係合している。また、レバー５８の長辺側の端部には、外周規制ロッド６２が立設されている。外周規制ロッド６２は、台座部５２から所定の高さ位置まで立ち上がるロッド状のものであり、外周面にはゴム等の緩衝部材が装着されている。
【００３３】
これによって、止めねじ５６を緩めて、台座部５２を構成するベース部材５４とカバー部材５５との間に配置した回動リング５７を図７に矢印で示したように所定量往復回動させることによって、レバー５８は止着ピン５９を中心として、溝カム６１にカムフォロア６０がガイドされて、その長辺部に立設した外周規制ロッド６２が同図に矢印で示した方向に回動変位する。そして、これら外周規制ロッド６２が目的とする位置となったときに、止めねじ５６を締め付けることによって、カバー部材５５がレバー５８に圧接されて、レバー５８が固定されることになる。これによって、３箇所設けた外周規制ロッド６２を結ぶ円が、レンズ支持部材を構成する３箇所の鋼球５３を結ぶ円と同心円を保った状態で、連続的に拡縮することになる。そして、回動リング５７を回動操作するために、図９に示したように、ベース部材５４の周胴部には、所定角度分の長孔６３が形成されており、この長孔６３内には、先端が回動リング５７に螺挿した操作部材６４が設けられている。従って、この操作部材６４を回動操作することによって、３箇所設けた外周規制ロッド６２を結ぶ円の直径を連続的に変化させることができる。
【００３４】
このように構成することによって、操作部材６４を操作するだけで、外周規制ロッド６２を被検レンズの外径等に応じて最適位置となるように容易に配置することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の一形態を示すものであって、干渉計装置の光学構成の全体構成を示す説明図である。
【図２】レンズマウントの平面図である。
【図３】図２のＸ−Ｘ断面図である。
【図４】干渉計装置により測定される被検レンズと、その測定範囲とを示す説明図である。
【図５】外径の大きな被検レンズを測定するに当って、その光軸中心部を含む部位の測定を行っている状態を示す説明図である。
【図６】外径の大きな被検レンズを測定するに当って、その周辺部の測定を行っている状態を示す説明図である。
【図７】レンズマウントの他の構成例を示す平面図である。
【図８】図７のＹ−Ｙ断面図である。
【図９】図７の側面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  レーザ光源
６  基準レンズ
７，７L，７S  被検レンズ
１０  干渉計本体ユニット
１１  本体ケーシング
１１ａ  天板部
１２  基準レンズユニット
１３  被検レンズ装着ユニット
１４  開口
２０，５０  レンズマウント
２１，５１  レンズ載置筒
２２，５２  台座部
２３，５３  鋼球
２６，６２  外周規制ロッド
２８  ねじ座
２９  緩衝用チューブ
５４  ベース部材
５５  カバー部材
５８  レバー
５９  止着ピン
６０  カムフォロア
６１  溝カム
６３  長孔
６４  操作部材
【図１】
2005127914.tif 000003
【図２】
2005127914.tif 000004
【図３】
2005127914.tif 000005
【図４】
2005127914.tif 000006
【図５】
2005127914.tif 000007
【図６】
2005127914.tif 000008
【図７】
2005127914.tif 000009
【図８】
2005127914.tif 000010
【図９】
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