(57)【要約】 【課題】  搬送台車と製造装置間で通信異常が検出された時、光通信装置に記録されている通信記録データを光通信により安全かつ速やかに読み出す方法。【解決手段】  製造装置の光通信装置を上方に、搬送台車の光通信装置を下方に配置する構成とすることにより、携帯式読取り装置を製造装置の光通信装置の下方より光軸合せすることで、データ読み出しを可能にした。また、光軸合せにレーザマーカーを適用し光軸合せ作業を容易にすること、携帯式読取り装置を伸縮自在な棒の先端に取付け、磁石を用い製造装置側光通信装置との位置決めが自律的に実行される構成とした。【選択図】    図1
2005142390.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井など上部より懸垂された軌道を走行し、荷物を搬送する搬送台車システムの軌道に近接して配置された製造装置（保管装置および搬送物を一時的に置く仮置台を含む）の光通信装置または搬送台車の光通信装置に対向させ、光軸を上方に向け、手や保持具で保持して前記製造装置または前記搬送台車の光通信装置と光通信を行う携帯式光通信装置であって、前記光通信により前記軌道を走行する搬送台車と前記製造装置間の光通信データ記録を読出制御装置に読み込む自動搬送システム用携帯式光通信装置および該携帯式光通信装置を用いた自動搬送システム。
【請求項２】
表面に光通信に必要な投光素子と受光素子が実装された請求項１に記載の携帯式光通信装置であって、前記投光素子と受光素子の実装される面と同一表面に発光素子が実装され、該発光素子が発する光を製造装置（保管装置および搬送物を一時的に置く仮置台を含む）の光通信装置または前記搬送台車の光通信装置の通信素子が実装された面に照射することで、前記携帯式光通信装置と前記製造装置または前記搬送台車光通信装置の光通信の光軸が一致し、正常な光通信が可能になることの保証された自動搬送システム用携帯式光通信装置。
【請求項３】
請求項１ないし２に記載の携帯式光通信装置であって、携帯式光通信装置と、製造装置（保管装置および搬送物を一時的に置く仮置台を含む）または前記搬送台車の光通信装置との間の光通信経路にミラーまたはハーフミラーを設け光通信の光軸を変化させた自動搬送システム用携帯式光通信装置。
【請求項４】
複数段に折りたたみと引伸ばし可能な伸縮棒の先端に取付けられた略コの字形に成形された磁石手段の内側に挟まれ支持された請求項１に記載の携帯式光通信装置で、
前記伸縮棒一体型携帯式光通信装置と同一幅略コの字の磁石手段に挟み込まれ支持された製造装置（搬送物を一時的に置く仮置台、保管装置を含む）または前記搬送台車の光通信装置と、前記伸縮棒一体型携帯式光通信装置が励磁状態で互いに磁気吸引結合し、光通信に必要な光軸合わせ、および適正光通信距離が確保できる伸縮棒一体型自動搬送システム用携帯式光通信装置。
【請求項５】
請求項４記載の製造装置または搬送台車の何れかの光通信装置が支持される略コの字の磁石手段と、携帯式光通信装置が支持される略コの字磁石手段の組合せが、一方のみが電磁石で他は磁性材料の場合、一方のみが永久磁石で他は磁性材料の場合、両方電磁石の場合、両方永久磁石の場合、一方電磁石で他は永久磁石の場合のいずれか一つである伸縮棒一体型自動搬送システム用携帯式光通信装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
無人搬送台車を用い基板を搬送する半導体、FPD(Flat Panel
Display:液晶表示器、プラズマ表示器、ＥＬ表示器など)やディスクなど電子基板の製造に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネル製造、プラズマディスプレー表示パネル製造、半導体製造、ディスク製造など電子基板製造工場における無人搬送システムにおいては、製造装置（搬送物を一時的に置く仮置台、バッファ、ストッカなども含まれるものとして以後扱う）の基板移載ポートにおける移載作業を確実に行うため、搬送台車と製造装置は通信によって互いの動作を確認しながら確実に移載動作を実行する。
【０００３】
通常この搬送台車と製造装置間の通信には規格として標準化された局所的光通信装置が用いられる。即ちSEMI(Semiconductor   Equipment   Materials  International)は、この通信規格としてＥ２３（２００mmウエハより以前の時代）と、Ｅ８４（３００mmウエハ時代）を定めている。
３００0ｍｍウエハによる半導体製造を例に取ると、1つの工場には装置が４００から５００台、移載するロードポートは１０００ヶ所に及び、しかも各装置のメーカは異なる。
【０００４】
搬送台車に搭載されている台車コントローラと、製造装置に搭載されている製造装置コントローラ間の通信はＳＥＭＩ通信規格に準拠して光通信にてなされる。通信原理に光りを用いているので、電磁界ノイズに強いとは言えるが、強い外乱光、電磁界ノイズなどに対してはエラー信号を発生する場合もあり、また、信号タイミングや、手順でミスを発生する可能性も否定できない。
【０００５】
如何なる場合もエラーを発生すると、搬送システムは異常として検出し、搬送を停止させる。搬送が自動化されている製造ラインでの搬送停止は生産停止を意味する。生産工場において生産停止はあってはならない最悪の事態ではあるが、一旦生産停止に陥ってしまった場合、如何に早く正常生産に復帰させ得るかが重要になる。
【０００６】
生産復帰の施策を実行するため、手順としてまず通信異常の原因調査実施される。通信装置の通信異常原因を調査するためのツールとして、過去一定期間の通信入出力過程の通信記録データを全て記録保存する光通信装置が開発されている（特許文献１）。この光通信装置に記録されたデータは、これと対になっている専用のデータ読取り用光通信装置を用い容易読み出すことが可能である。具体的なデータ読み出し作業は、データ読取り光通信装置を光通信装置に対向させ光軸を合わせデータ読取り信号を与えることで容易に実行される。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−２９９３６５
【０００８】
光通信装置に記録されたデータ読み出し方法の具体例としてOHT(Over head Hoist Transport)の場合について図１２、図１３を用い説明する。
【０００９】
図１２はＯＨＴ搬送システム装置である。ＯＨＴ搬送台車１はシステムコントローラ８の指令を受けて天井４から軌道懸垂部材３５により懸垂されたＯＨＴ軌道３上を走行する。ＯＨＴ搬送台車１は製造装置５のロードポート６にアクセスし、ＯＨＴグリッパ２で把持しているＦＯＵＰ７をロードポート６に載置する状況にある。ロードポート６へのＦＯＵＰ７の載置の過程で、ＯＨＴ搬送台車１と製造装置５との通信は、ＯＨＴ搬送台車１のＯＨＴ搬送台車光通信装置１２と製造装置地上光通信装置１１とで実行される。
【００１０】
現在実用化されている光通信装置の通信距離は３００mmが限界であり、ＯＨＴ搬送台車光通信装置１２と製造装置地上通光信装置１１の距離は３００mm以内に保持する必要がある。また、製造装置地上光通信装置１１は通信装置接続ケーブル１３で製造装置５の製造装置コントローラに接続されている。一方図１３は搬送台車と製造装置間で通信異常が検出され、搬送が停止した場合の対処方法を示している。作業者３０は製造装置地上光通信装置１１と携帯光通信装置１５との通信により通信入出力過程のデータを読出制御装置１７に吸い上げるため、これと携帯光通信装置ケーブル３６により接続されている携帯光通信装置１５を手に持ち、製造装置地上光通信装置１１の３００ｍｍ以内に接近対向させ光軸を一致させデータ読取り信号を送る。
【００１１】
これにより、製造装置地上光通信装置１１に記録された製造装置５のコントローラとＯＨＴ搬送台車１間の通信記録データは、製造装置地上光通信装置１１と携帯光通信装置１５間を光通信で、携帯光通信装置１５と読出制御装置１７間は携帯光通信装置ケーブル３６を介して読出制御装置１７に読み込まれる。通信異常の原因は読出制御装置１７の通信入出力過程のデータを詳細分析することで解明可能になる。
【００１２】
図１４はＯＨＳ(Over Head Shuttle)搬送システムの場合である。ＯＨＳ搬送台車１０はシステムコントローラ８の指令を受けて天井４から軌道懸垂部材３５により懸垂されたＯＨＳ軌道９上を走行する。ＯＨＳ搬送台車１０と製造装置５間のＦＯＵＰ７の移載は製造装置５の上部に設置された移載ロボット１９により実施される。製造装置５とＯＨＳ搬送台車１０間のＦＯＵＰ７の移載過程で、移載動作に伴いＯＨＳ搬送台車１０と製造装置５は製造装置地上光通信装置１１とＯＨＳ台車光通信装置１８間で光通信を実行する。この場合も製造装置地上光通信装置１１とＯＨＳ台車光通信装置１８間の距離は３００mm以内に保持されている。
【００１３】
一方図１５は搬送台車と製造装置間で通信異常が検出され、搬送が停止した場合の対処方法を示している。作業者３０は製造装置地上光通信装置１１と携帯光通信装置１５との通信により通信入出力過程のデータを読出制御装置１７に吸い上げるため、これと携帯光通信装置ケーブル３６により接続されている携帯光通信装置１５を手に持ち、梯子台３１を用い製造装置地上通光信装置１１の３００mm以内に接近対向させ、光軸を一致させデータ読取り信号を送る。
【００１４】
これにより、製造装置地上光通信装置１１に記録された製造装置５のコントローラとＯＨＳ搬送台車１０間の通信記録データは、製造装置地上光通信装置１１と携帯光通信装置１５間を光通信で、携帯光通信装置１５と読出制御装置１７間は携帯光通信装置ケーブル３６を介して読出制御装置１７に読み込まれる。通信異常の原因は読出制御装置１７の通信入出力過程のデータを詳細分析することで解明可能になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
図１３、図１５に示した様に製造装置地上光通信装置１１に記録されている搬送台車と製造装置間の通信記録データを読出制御装置17に取り込もうとすると、携帯光通信装置１５を手に持ち梯子台３１を用い携帯光通信装置１５を製造装置地上光通信装置１１に近接させ光軸合わせしなければならない。梯子を用いる作業は煩雑であるばかりでなく、極度のクリーン度が要求されるクリーンルームにあって、梯子を用いる作業は著しく汚染の伴う作業であり、製品品質、歩留まり確保の観点からは避けねばならない行為であり、梯子を使用しない通信入出力データ読出制御装置１７への取り込み方法の発明が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
請求項1に記載の携帯光通信装置は、天井など上部より懸垂された軌道を走行し荷物を搬送する搬送台車システムの軌道に近接して配置されている製造装置（保管装置および搬送物を一時的に置く仮置台を含む）または前記搬送台車の光通信装置と光通信するための装置である。
【００１７】
前記製造装置または前記搬送台車の光通信装置は光軸を下方に向けて固定支持されているため、作業者が前記携帯光通信装置を天井方向（垂直方向上向き）に向けて手に持ち、通信素子実装面を前記製造装置または前記搬送台車の光通信装置の通信素子実装面に対向させることにより光軸合せし、通信開始の信号を送信することにより、搬送台車と製造装置間の通信記録データを携帯光通信装置を介して読出制御装置に読み込むことが可能になる。これにより簡単な作業台を使用することはあっても、少なくとも梯子は使用しないで、読出制御装置へのデータ読み込みが可能になる。本発明によりデータ読み込み作業が安全かつ速やかになるだけでなく、クリーンルームの汚損も防止できる。
【００１８】
請求項２に記載の携帯光通信装置は通信素子が実装されている面と同一面にレーザやＬＥＤなどの発光素子が実装され、該発光素子から発する光が通信相手である前記製造装置または前記搬送台車光通信装置の通信素子の実装される面に照射されることにより、前記光通信装置と光軸の一致することが保証されるため、作業者によるバラツキのない確実な光通信動作が容易に実施できる。
【００１９】
請求項３に記載の光通信装置は、光通信を行う携帯光通信装置と、製造装置の光通信装置との間にミラーまたはハーフミラーを設けることで、光通信の光軸経路を折り曲げることが可能で、製造装置あるいは、搬送台車の光通信装置が水平方向に設置された場合にも対応でき、複雑な形状の光路しか確保できない装置にも適用可能で、装置設計の自由度が増す。
【００２０】
請求項４に記載の携帯光通信装置は、複数段に折りたたまれた伸縮棒の先端に取り付けられた略コの字型に成形された磁石手段の内側に挟まれ支持されている。また、製造装置（搬送物を一時的に置く仮置台、保管装置を含む）或いは搬送台車に搭載される光通信装置も前記伸縮棒一体型携帯式光通信装置と同一幅略コの字の磁石手段に挟み込まれ支持されている。従って、両者の磁石手段は励磁状態で互いに吸引結合し、光通信に必要な光軸合わせと、適正光通信距離の確保が容易に実現できる。
【００２１】
請求項５に記載の製造装置または搬送台車の光通信装置を支持する磁石手段と、携帯式光通信装置を支持する磁石手段の組合せは、次の５つのうち何れであってもよい。
（１）  一方のみが電磁石で他は磁性材料の場合
（２）       
一方のみが永久磁石で他は磁性材料の場合
（３）       
両方電磁石の場合
（４）       
両方永久磁石の場合
（５）       
一方電磁石で他は永久磁石の場合
【００２２】
製造装置の光通信装置側の略コの字状の永久磁石磁もしくは磁性材料と、携帯光通信装置側の略コの字型に成形された磁性材の外形幅寸法は同一であり、前記永久磁石と前記電磁石は、磁力により吸着一体化することで両者の間隔と光軸は一義的に決まり、安定した光通信が実行される。また、伸縮自在な伸縮棒の先端に携帯光通信装置が取り付けられているので、作業台は全く不要となり、データ読み込み作業が簡単でしかも、クリーンルームの汚損も皆無となる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明は製造装置側光通信装置の通信面を下向きとすることで、作業者が手に持ち操作する携帯光通信装置は上方に向けるだけで光軸合せが可能になり、梯子を使わなくても簡単な作業台を使用するだけでデータ読み込み作業が実施できるようになり、データ読み込み作業が安全かつ速やかになるだけでなく、クリーンルームの汚損も防止できる。
【００２４】
また、レーザマーカ機能付の携帯光通信装置を使用することで、光軸合せを目視確認しながら実行できるので、データ読み込み作業は一層容易で確実になる。
なお、請求項３に記載の複数段に折りたたまれた伸縮棒の先端に取り付けられた携帯光通信装置を用いれば、作業台は一切必要なく、データ読み込み作業は簡単でしかもクリーンルーム汚損も皆無である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
クリーンルーム汚損原因となり、しかも煩雑な作業となる梯子を用いたデータ読み込み作業を不要にするため、製造装置側光通信装置の通信面を下向きとする方法と、レーザマーカを用い光軸合せを行う方法を実現した。また、別法として携帯光通信装置を伸縮棒の先端に取り付ける方法も実現した。
【実施例１】
【００２６】
本発明による第１の実施例を図1ないし図３に示す。
図２はＯＨＴ搬送システム装置であり背景技術で述べた図１２の従来技術に対応する。従来技術との相違点は製造装置地上光通信装置１１とＯＨＴ搬送台車通信装置１２の光軸設定方法の違いである。即ち従来技術では製造装置地上光通信装置１１とＯＨＴ搬送台車光通信装置１２の光軸は水平方向であるが、図２は垂直方向である。また、搬送台車と製造装置間の通信記録データは製造装置地上光通信装置の記憶部に格納されており、携帯通信装置がアクセスする相手は製造装置地上光通信装置１１となる。
またＯＨＴ搬送台車通信装置１２と製造装置地上光通信装置１１間の距離は図１２同様３００mm以内に設定されている。
【００２７】
ＯＨＴ軌道３を走行して製造装置５に到着したＯＨＴ搬送台車１は位置決め調整機構を働かせてロードポート６に正確に位置合せし、ＯＨＴグリッパ２で把持しているＦＯＵＰ７を製造装置５のロードポート６上に載置する。この間、ＯＨＴ搬送台車１のコントローラと製造装置５のコントローラは、ＯＨＴ搬送台車光通信装置１２と、製造装置地上光通信装置１１の間で光通信により、例えば下記のようなの情報交換がなされる。
【００２８】
（１）ＯＨＴ搬送台車1がロードポート６に停止した
（２）ＯＨＴ搬送台車1がグリッパ２をロードポート６に位置合わせした
（３）ＯＨＴ搬送台車1がロードポート６上にＦＯＵＰ７を載置した
（４）製造装置5がロードポート６上に載置されたＦＯＵＰ７を確認した
（５）ＯＨＴ搬送台車1がロードポート６を離れた
【００２９】
すなわち、製造装置５とＯＨＴ搬送台車１は、各作業段階毎に各段階での作業が確実に実施されていることを確認しながら次ぎの作業ステップを進めている。図1は搬送台車と製造装置間で通信異常が検出され、搬送が停止した場合の対処方法を示している。
【００３０】
図３は作業者３０が手にしているレーザ発光素子付携帯光通信装置１４の詳細図である。図Ａはレーザ発光素子付携帯光通信装置の側面図であり、図Ｂは図Ａの上面図である。図Ｃは製造装置地上光通信装置の側面図であり、図Ｄは図Ｃの下面図である。レーザ発光素子付携帯光通信装置１４には光通信に必要な光通信素子２０が実装されており、光通信素子２０はさらに投光素子２１と受光素子２２から構成される。
【００３１】
また、レーザ発光素子付携帯光通信装置１４に対向して光通信を行う製造装置地上光通信装置１１の光通信素子２０も投光素子２１と受光素子２２とから構成されている。
【００３２】
一方赤外レーザ発光素子１６はレーザ発光素子付携帯光通信装置１４の光通信素子２０と同一面に実装されており、レーザ発光素子１６をオンまたはオフさせるレーザ発光素子スイッチ２５はレーザ発光素子１６と異なる面に実装されている。作業者３０はレーザ発光素子付携帯光通信装置１４を手に持ち、赤外レーザ発光素子１６の実装されている面を上方に向け、製造装置地上光通信装置１１に対向させる。
【００３３】
次いでレーザ発光素子をＯＮにして、レーザマーク（レーザ光スポット）が製造装置地上光通信装置１１の表面に照射されるのを確認する。この時、レーザマークが製造装置地上光通信装置１１上に実装された投光素子と受光素子を照射しないよう注意する。
【００３４】
なお、投光素子と受光素子表面にレーザマークに用いるレーザ光のみをカットし、通信光を透過させる光学フィルターを設けることも可能である。製造装置地上光通信装置１１にレーザマークが照射されたことを確認することで、光通信に必要な光軸一致が成される。
【００３５】
次いで作業者は、製造装置地上光通信装置11と、レーザ発光素子付携帯光通信装置１４に光通信を開始させるためデータ読取り信号を送る。これにより、製造装置地上光通信装置１１はＯＨＴ搬送台車光通信装置１２との間で過去の一定期間に実行した光通信記録データを全てレーザ発光素子付携帯光通信装置１４に光通信により送信する。レーザ発光素子付携帯光通信装置１４はＯＨＴ搬送台車光通信装置１２から受けたデータを全て携帯光通信装置ケーブル３６で接続された読出制御装置１７に記憶させる。読出し制御装置１７に格納されたデータは通信異常原因究明のために分析される。
【００３６】
クリーンルーム内で梯子を使用する作業は、煩雑であるだけでなく、クリーンエアの吹き出す天井に近い高所位置での発塵を伴う作業になるため、クリーンルームの気流を乱し、かつ作業に伴い発生する塵埃をクリーンルーム全体に拡散させることになる。クリーンルーム内に拡散した塵埃は製品の歩留まり、製品の信頼性を低下させる原因となるため、梯子の使用は避けなければならない作業である。本発明によれば、作業者は梯子を使用する必要はなく、作業は簡単でしかもクリーンルームが汚損を受けることもない。なお、図1で使用したレーザ発光素子付携帯光通信装置１４はレーザ発光素子を実装していたが、レーザ発光素子は必ずしも必要ではなく、レーザ発光素子付携帯光通信装置１４と製造装置地上光通信装置１１の光軸を一致させれば、レーザ発光素子は無しとしても問題はない。
【００３７】
また、レーザ発光素子付携帯光通信装置１４は必ずしも作業者が手に持つ必要はなく、保持治具に取付け固定するなど、作業者が手に持つ以外の何らかの支持手段で支持する方法も有効である。
【００３８】
一方、製造装置地上光通信装置１１とレーザ発光素子付携帯光通信装置１４間の通信可能距離は３００ｍｍ以内となっている。作業者が手に持っただけではレーザ発光素子付携帯光通信装置１４を製造装置地上光通信装置１１の３００ｍｍ以内に近接できない場合、作業者は簡単な作業台に乗り、３００ｍｍ以内に近接させ前記データの読込み作業を実施する。
【００３９】
なお、通信可能距離３００ｍｍ以上の光通信装置が実用化された場合、作業台を用いなくても容易に前記データの読込み作業が実施できる。
【００４０】
また、図1では光通信の光軸合せに用いる発光素子として、レーザ発光素子を用いたが、ＬＥＤの使用も可能である。ただし、ＬＥＤを使用する場合、光の拡散を避けるため、必要に応じ集光用レンズを併用する。
【実施例２】
【００４１】
本発明による第２の実施例を図４、図５に示す。
第２の実施例は基本的には図１、図２に示した第１の実施例と同じであり、相違点のみ説明を行う。
【００４２】
第１の実施例に於いて、搬送台車と製造装置間の通信記録データは、製造装置地上光通信装置５の製造装置地上光通信装置１１の記憶部に格納されていた。しかし第２の実施例では前記通信記録データはＯＨＴ搬送台車通信装置１２の記憶部に格納されている。
従って、製造装置および、搬送台車に設置される光通信装置の垂直方向の位置関係はＯＨＴ搬送台車通信装置１２が上方に、製造装置地上光通信装置１１が下方となる。
【００４３】
搬送台車と製造装置間の光通信は図５に示すように、製造装置地上光通信装置１１とＯＨＴ搬送台車通信装置１２間でなされる。なお図５におけるＯＨＴ搬送台車通信装置１２と製造装置地上光通信装置１１間の距離は図１２同様３００mm以内に設定されている。
図４はレーザ発光素子付携帯光通信装置１４による搬送台車と製造装置間の通信記録データ吸い上げの方法を示しているが、通信記録データはＯＨＴ搬送台車通信装置１２の記憶部に格納されており、携帯通信装置がアクセスする相手はＯＨＴ搬送台車通信装置１２となる。
【００４４】
なお、ＯＨＴ搬送台車通信装置１２から通信記録データを吸い上げる図４の方法では、複数台のＯＨＴ搬送台車通信装置１２が近接して停止している場合、ＯＨＴ搬送台車１-aだけと通信すべきところ、ＯＨＴ搬送台車通信装置１２から発せられる通信光の拡散により隣接するＯＨＴ搬送台車１−ｂにも到達する恐れがある。本実施例のレーザ発光素子付携帯光通信装置１４では隣接搬送台車間の距離Pが1ｍ以上であれば、混信の起こらない仕様としている。従って、通信距離Hが大きくなる場合は必要に応じ、光通信素子２０の投光素子２１の上面にレンズを設け、集光することで通信光の拡散を防止している。
【実施例３】
【００４５】
図８に搬送台車と製造装置間で通信異常が検出され、搬送が停止した場合の第３の実施例を示す。作業者３０が手にしているレーザ発光素子付携帯光通信装置１４は図３に示すもので、実施例１で詳細説明した通りである。作業者３０はレーザ発光素子付携帯光通信装置１４を手に持ち、レーザ光をミラー２７の中心に照射する。レーザ発光素子付携帯光通信装置１４から発せられたレーザ光はミラー２７で反射して製造装置地上光通信装置１１に到達する。
【００４６】
この操作によりレーザ発光素子付携帯光通信装置１４と製造装置地上光通信装置１１との光通信を実行するために必要な光軸合わせが実行される。しかし、この時、レーザマークがＯＨＳ台車光通信装置１８上に実装された光通信素子２０に照射されないよう注意を払う必要がある。
【００４７】
次いで作業者は、製造装置地上光通信装置１１とレーザ発光素子付携帯光通信装置１４に光通信を開始させるためデータ読取り信号を送る。これにより、製造装置地上光通信装置１１に記録された製造装置５のコントローラとＯＨＴ搬送台車間の通信記録データは、製造装置地上光通信装置１１からレーザ発光素子付携帯光通信装置１４に光通信で伝送される。
【００４８】
レーザ発光素子付携帯光通信装置１４と読出制御装置１７間は携帯光通信装置ケーブル３６で接続されており、レーザ発光素子付携帯光通信装置１４は製造装置地上光通信装置１１より受けたデータ全てを携帯光通信装置ケーブル３６で接続された読出制御装置１７に記憶させる。読出制御装置１７に格納されたデータは通信異常原因究明のために分析される。
【００４９】
本発明によれば図１に示した実施例１に比べ、ミラーで光軸を自由に変更できるので装置設計の自由度が増す。また本発明により作業者は梯子を使用する必要がなく、クリーンルームが汚損を受けることもなく実施例１で述べたと同一の効果が得られる。
【００５０】
なお、本実施例の場合も実施例１の場合同様製造装置地上光通信装置１１と、レーザ発光素子付携帯光通信装置１４と間の通信可能距離は３００ｍｍ以内となっている。作業者が手に持っただけではレーザ発光素子付携帯光通信装置１４を製造装置地上光通信装置１１の３００ｍｍ以内に近接できない場合、作業者は簡単な作業台に乗り、３００ｍｍ以内に近接させ前記データの読込みを実施する必要がある。なお、通信可能距離３００ｍｍ以上の光通信装置が実用化された段階では、作業台を用いなくても容易に前記データの読込み作業が実施できる。
【実施例４】
【００５１】
第４の実施例を図９に示す。第４の実施例は第３の実施例の変形で、第３の実施例におけるミラーに置き換えてハーフミラー２３を用いる。ハーフミラーであるためミラーの設置位置は第３の実施例とは異なる。レーザ発光素子付携帯光通信装置１４と通信する通信光はハーフミラー２３で反射させるが、ＯＨＳ台車と通信する通信光はハーフミラー２３を透過させる。データの読込み作業方法と効果は第３の実施例と同じである。
【実施例５】
【００５２】
第５の実施例を図１０に示す。第１ないし第４の実施例との違いは第５の実施例では作業者がレーザ発光素子付携帯光通信装置14に替えて伸縮棒一体型携帯光通信装置３７を使用する点にある。伸縮棒一体型携帯光通信装置３７の詳細について図１１を用い説明する。伸縮棒一体型携帯光通信装置３７を構成する主要部材は折りたたみ式伸張バー33、コの字形磁性部材28、電磁石励磁コイル29、光通信機38、電磁石励磁スイッチ34である。折りたたみ式伸縮バー33は複数段に折りたたみと伸長が可能であり、先端にコの字形磁性部材28が一体に取付けられている。
【００５３】
また、コの字形磁性部材には光通信機38が固定支持されており、光通信機38の携帯光通信装置ケーブル３６は折りたたみ式伸縮バー33内に収納され、他端は読出制御装置17に接続される。またコの字形磁性部材２８の中央部には電磁石励磁コイル29が巻回され、電磁石励磁コイルリード線32は折りたたみ式伸縮バー33内に納められ電磁石励磁スイッチ34を介してコイル励磁電源に接続されている。コの字形磁性部材は電磁石励磁スイッチ34をONにすることで磁化され電磁石として作用する。
【００５４】
一方製造装置地上光通信装置１１は図示したようにコの字形永久磁石材料２６の内側に保持されている。永久磁石２６とコの字形磁性部材２８の幅寸法Wは同一であるので、伸縮棒一体型携帯光通信装置３７の電磁石励磁スイッチ３４をONにして製造装置地上光通信装置１１を支持している永久磁石２６に近接させれば、双方の異なる極性の磁極が電磁力で吸引し合い、接合一体化する。一体化した時点で製造装置地上光通信装置１１と光通信機３８の間隔は、自律的に寸法Ｌとなる。寸法Ｌを光通信に必要な規定の範囲内とすることで、光軸および通信距離は適正条件に設定される。
【００５５】
搬送台車と製造装置間に通信異常が検出され、搬送が停止した場合、作業者３０は伸長棒一体型携帯光通信装置３７を携行し、停止した製造装の直下に行き、折りたたみ式伸縮バー３３を高さに合わせ伸長させ、電磁石励磁スイッチ３４をONにする。
【００５６】
次いで、伸縮棒一体型携帯光通信装置３７先端のコの字形磁性部材２８を製造装置地上光通信装置１１を保持している永久磁石材料２６に接近させ、電磁力で接合一体化させる。次いで作業者は、製造装置地上光通信装置１１と光通信装置３８間の光通信を開始させるため、データ読取り信号を送る。
【００５７】
これにより、製造装置地上光通信装置１１に記録された製造装置５のコントローラとＯＨＳ搬送台車間の通信記録データは、製造装置地上光通信装置１１から光通信装置３８に光通信で伝送される。光通信装置３８と読出制御装置１７間は携帯光通信装置ケーブル３６で接続されており、光通信装置３８は製造装置地上光通信装置１１より受けたデータ全てを携帯光通信装置ケーブル３６で接続された読出制御装置１７に記憶させる。読出制御装置１７に格納されたデータは通信異常原因究明のために分析される。
【００５８】
本発明によれば、光通信装置の通信可能距離が短く制限されている場合であっても光通信装置間の距離の確保と光軸合わせが自律的に設定され、データ取込み作業も容易で、しかも発塵原因となる作業は一切伴わない。
【００５９】
なお本発明では製造装置地上光通信装置１１の通信の光軸が水平方向であるため、これに合わせ、伸縮棒一体型携帯光通信装置３７の先端部に取り付けられた光通信装置３８の取付け方向を折りたたみ式伸縮バー３３に直交する方向としたが、製造装置地上光通信装置１１の通信光軸が下方に設定されている場合、光通信機３８の取付け方向は折りたたみ式伸縮バー３３の軸方向に一致させればよい。
【００６０】
また、永久磁石材料２６とコの字形磁性部材２８の関係についても、最終的に磁力により接着結合されればよいので次ぎの５通りの組合せが可能であり、これら全てが本発明の範疇に含まれる。
（１）一方のみが電磁石で他は磁性材料
（２）一方のみが永久磁石で他は磁性材料 
（３）両方電磁石
（４）両方永久磁石 
（５）一方電磁石で他は永久磁石
【産業上の利用可能性】
【００６１】
光通信により制御を行っているシステムにおいて、システムを構成する装置間のトラブルの調査をする上で、通信の入出力記録データが必要になるようなケースにおいて、システムとは無関係な第３の記憶装置に光通信手段により入出力記録データを取込み、オフラインにて取込んだデータの分析調査を行う用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】製造装置からの光通信によるデータ読取り作業
【図２】ＯＨＴ搬送システムに於ける光通信
【図３】レーザ発光素子付携帯光通信装置
【図４】ＯＨＴ搬送台車からの光通信によるデータ読取り作業
【図５】ＯＨＴ搬送システムに於ける光通信
【図６】製造装置からの光通信によるデータ読取り作業
【図７】ＯＨＳ搬送システムに於ける光通信
【図８】ミラー使用ＯＨＳ光通信によるデータ読取り作業
【図９】ハーフミラー使用ＯＨＳ光通信によるデータ読取り作業
【図１０】伸縮棒一体型携帯光通信装置使用データ読取り作業
【図１１】伸縮棒一体型携帯光通信装置
【図１２】従来技術によるＯＨＴ搬送システムに於ける光通信
【図１３】従来技術によるＯＨＴ光通信によるデータ読取り作業
【図１４】従来技術によるＯＨＳ搬送システムに於ける光通信
【図１５】従来技術によるＯＨＳ光通信によるデータ読取り作業
【符号の説明】
【００６３】
1．ＯＨＴ搬送台車
５．製造装置
６．ロードポート
７．FOUP
１０．OHS搬送台車
１１．製造装置地上光通信装置
１２．ＯＨＴ搬送台車光通信装置
１３．通信装置接続ケーブル
１４．レーザ発光素子付携帯光通信装置
１６．赤外レーザ発光素子
１７．読出制御装置
１８．ＯＨＳ搬送台車光通信装置
２５．レーザ発光素子スイッチ
２６．永久磁石材料
２８．コの字形磁性部材
３０．作業者
３１．梯子台
３７．伸縮棒一体型携帯光通信装置
３８．光通信装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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