(57)【要約】【課題】段差・凹凸を有する被印刷面に対しても、高精度かつ高密度な印刷パターンを形成可能であるとともに実用性の高いスクリーン印刷版を提供する。【解決手段】メッシュ状の支持膜２と、支持膜２の一方の膜面側に配設される、複数の開口部３が所定のパターンで形成された乳剤からなる乳剤膜１０とを備えたスクリーン印刷版１である。乳剤膜１０が、支持膜２の側に配設される第一の乳剤層１１と、支持膜の側と反対の側に配設される第二の乳剤層１２とを含む積層構造を有してなり、かつ、前記第一の乳剤層１１の硬度が、第二の乳剤層１２の硬度よりも高いものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッシュ状の支持膜と、前記支持膜の一方の膜面側に配設される、複数の開口部が所定のパターンで形成された乳剤からなる乳剤膜とを備えたスクリーン印刷版であって、
前記乳剤膜が、前記支持膜の側に配設される第一の乳剤層と、前記支持膜の側と反対の側に配設される第二の乳剤層とを含む積層構造を有してなり、かつ、前記第一の乳剤層の硬度が、第二の乳剤層の硬度よりも高いスクリーン印刷版。
【請求項２】
前記第一の乳剤層の硬度が、最大圧縮率に換算して２０〜５０％であり、前記第二の乳剤層の硬度が、最大圧縮率に換算して５０〜８０％である請求項１に記載のスクリーン印刷版。
【請求項３】
前記第二の乳剤層が、撥油性を有する層である請求項１又は２に記載のスクリーン印刷版。
【請求項４】
前記第二の乳剤層と水との接触角が、７０°以下である請求項３に記載のスクリーン印刷版。
【請求項５】
前記第二の乳剤層の表面上に撥油性膜が形成されてなる請求項１又は２に記載のスクリーン印刷版。
【請求項６】
前記撥油性膜と水との接触角が、７０°以下である請求項５に記載のスクリーン印刷版。
【請求項７】
メッシュ状の支持膜と、前記支持膜の一方の膜面側に配設される、複数の開口部が所定のパターンで形成された乳剤からなる乳剤膜とを備えたスクリーン印刷版を使用し、被印刷体の表面に、前記スクリーン印刷版の前記乳剤膜を配設した状態でスクリーン印刷することにより、前記被印刷体の表面上に二層以上の印刷膜を積層することを含む複層膜体の製造方法であって、
前記スクリーン印刷版として、前記乳剤膜が、前記支持膜の側に配設される第一の乳剤層と、前記支持膜の側と反対の側に配設される第二の乳剤層とを含む積層構造を有してなり、かつ、前記第一の乳剤層の硬度が、第二の乳剤層の硬度よりも高いものを使用する複層膜体の製造方法。
【請求項８】
前記第一の乳剤層の硬度が、最大圧縮率に換算して２０〜５０％であり、前記第二の乳剤層の硬度が、最大圧縮率に換算して５０〜８０％である請求項７に記載の複層膜体の製造方法。
【請求項９】
前記第二の乳剤層が、撥油性を有する層である請求項７又は８に記載の複層膜体の製造方法。
【請求項１０】
前記第二の乳剤層と水との接触角が、前記被印刷体の前記表面と水との接触角よりも１０％以上小さい請求項９に記載の複層膜体の製造方法。
【請求項１１】
前記スクリーン印刷版として、前記第二の乳剤層の表面上に撥油性膜が形成されてなるものを使用し、前記被印刷体の前記表面に、前記撥油性膜を介在させた状態で前記乳剤膜を配設する請求項７又は８に記載の複層膜体の製造方法。
【請求項１２】
前記撥油性膜と水との接触角が、前記被印刷体の前記表面と水との接触角よりも１０％以上小さい請求項１１に記載の複層膜体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷版、及びそれを用いた複層膜体の製造方法に関し、更に詳しくは、段差・凹凸を有する被印刷面に対しても、高精度かつ高密度な印刷パターンを形成可能であるとともに実用性の高いスクリーン印刷版、及びこのスクリーン印刷版を用いた、印刷によりパターン形成された複層の膜が、高精度かつ高密度に積層されてなる複層膜体を得ることができる、複層膜体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷用の製版（スクリーン印刷版）を使用して、被印刷体の表面上にインクやペースト等からなる印刷膜を形成するスクリーン印刷は、微細パターンの形成が可能であり、また、優れた量産性を有することから幅広い産業分野で利用されている。
【０００３】
図２に示すように、スクリーン印刷に用いられる一般的なスクリーン印刷版１は、適当な版枠内に張られた紗２ａ，２ｂ等により構成されたメッシュ状の支持膜２と、樹脂系の乳剤により膜状に形成された、その膜厚方向に貫通する複数の開口部３が所定の配列パターンで形成された乳剤膜１０とを備え、この乳剤膜１０が、支持膜２の一方の膜面側に配設されることによって構成されている。印刷に際しては、先ずこのスクリーン印刷版１の乳剤膜１０を被印刷体５の表面（被印刷面４）に配設するとともに、支持膜２上に所定のインクやペースト等を載せる。次いで、支持膜２上でスキージ等を摺動させて開口部３からペースト等を押し出せば、被印刷体５の被印刷面４に、開口部３の配列パターンに対応した印刷パターンを形成することができる。
【０００４】
例えば、電子部品製造の分野では、高精度、及び優れた量産性の面から、上述したようなスクリーン印刷が取り入れられており、この分野においては、部品サイズの微小化という近年の技術の流れに伴い、より微細な印刷パターンを、更に高精度かつ高密度に形成したいとする要請が高まりつつある。即ち、微細な印刷パターンが精度よく形成された状態を、一般的にはファインラインというが、このファインラインを実現する技術は、部品サイズの微小化にとって欠かせない技術であるといえる。
【０００５】
しかし、通常のスクリーン印刷方法によれば、使用するインクやペーストの粘度、印刷の繰り返し回数、或いは被印刷面の凹凸度合いにも左右されるが、形成される印刷パターンが所望とするパターンからずれる、いわゆる「にじみ」を生ずる場合があり、ファインラインの実現は容易に達成することはできない。従って、ファインラインを実現するためにこのような「にじみ」を防止すべく、使用するペーストのレオロジーを改善したり、スクリーン印刷版の構成要素となる乳剤に撥水性等の機能を付与したりする試みがなされている。
【０００６】
具体的には、被印刷体が、平滑な印刷面を有する基板である場合には、スクリーン印刷版の乳剤膜１０（図２参照）を構成する乳剤に、フッ素系、シリコーン系等の樹脂を混ぜることにより、乳剤膜１０に撥油性、撥水性を付与する方法が開示されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００７】
しかし、特許文献１，２において開示された方法によると、スクリーン印刷版を製造するにあたって開口部の配列パターンの解像度が低下してしまう場合があり、ファインラインを実現することが困難であるという問題があった。また、これらの方法は、被印刷面が凹凸のない平坦な面である場合には効果的であるが、例えば、被印刷面に段差又は凹凸がある場合には必ずしも効果的であるとはいえない。更に、同一の被印刷体に対して繰り返し印刷を行うことにより複層膜体を製造する場合には、にじみが生じ易くなるという問題があった。また、連続して印刷を繰り返し行う場合には、乳剤膜と被印刷体との間にペースト等が付着する場合があり、印刷の繰り返し数を重ねるに従ってにじみの量、範囲が拡大するという問題があった。特に、同一の被印刷体に対して繰り返し印刷を行うことによって複層膜体を製造する場合には、にじみの量、範囲が更に拡大し易いという問題があった。
【０００８】
一方、乳剤膜を、その開口部の開口面積の異なる二層の乳剤層により構成したスクリーン印刷版が開示されている（例えば、特許文献３参照）。このスクリーン印刷版を用いれば、被印刷面におけるある程度の段差を吸収し得るが、段差や凹凸の大きさ・形状等に応じてそれぞれの乳剤層の開口部の開口面積を調整しなければならないため、必ずしも実用的であるとはいえない。
【特許文献１】特許第３０９８７５３号公報
【特許文献２】特開平２−１４４５３７号公報
【特許文献３】特開平６−１４３８５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、このような従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、段差・凹凸を有する被印刷面に対しても、高精度かつ高密度な印刷パターンを形成可能であるとともに実用性の高いスクリーン印刷版、及び印刷によりパターン形成された複層の膜が、高精度かつ高密度に積層されてなる複層膜体を得ることができる、複層膜体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、乳剤膜を、それぞれ硬度の異なる乳剤層を複数積層した複層構造とすることにより被印刷面の段差や凹凸に乳剤膜を適切に当接させ、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。即ち、本発明によれば、以下に示すスクリーン印刷版、及びそれを用いた複層膜体の製造方法が提供される。
【００１１】
［１］メッシュ状の支持膜と、前記支持膜の一方の膜面側に配設される、複数の開口部が所定のパターンで形成された乳剤からなる乳剤膜とを備えたスクリーン印刷版であって、前記乳剤膜が、前記支持膜の側に配設される第一の乳剤層と、前記支持膜の側と反対の側に配設される第二の乳剤層とを含む積層構造を有してなり、かつ、前記第一の乳剤層の硬度が、第二の乳剤層の硬度よりも高いスクリーン印刷版。
【００１２】
［２］前記第一の乳剤層の硬度が、最大圧縮率に換算して２０〜５０％であり、前記第二の乳剤層の硬度が、最大圧縮率に換算して５０〜８０％である前記［１］に記載のスクリーン印刷版。
【００１３】
［３］前記第二の乳剤層が、撥油性を有する層である前記［１］又は［２］に記載のスクリーン印刷版。
【００１４】
［４］前記第二の乳剤層と水との接触角が、７０°以下である前記［３］に記載のスクリーン印刷版。
【００１５】
［５］前記第二の乳剤層の表面上に撥油性膜が形成されてなる前記［１］又は［２］に記載のスクリーン印刷版。
【００１６】
［６］前記撥油性膜と水との接触角が、７０°以下である前記［５］に記載のスクリーン印刷版。
【００１７】
［７］メッシュ状の支持膜と、前記支持膜の一方の膜面側に配設される、複数の開口部が所定のパターンで形成された乳剤からなる乳剤膜とを備えたスクリーン印刷版を使用し、被印刷体の表面に、前記スクリーン印刷版の前記乳剤膜を配設した状態でスクリーン印刷することにより、前記被印刷体の表面上に二層以上の印刷膜を積層することを含む複層膜体の製造方法であって、前記スクリーン印刷版として、前記乳剤膜が、前記支持膜の側に配設される第一の乳剤層と、前記支持膜の側と反対の側に配設される第二の乳剤層とを含む積層構造を有してなり、かつ、前記第一の乳剤層の硬度が、第二の乳剤層の硬度よりも高いものを使用する複層膜体の製造方法。
【００１８】
［８］前記第一の乳剤層の硬度が、最大圧縮率に換算して２０〜５０％であり、前記第二の乳剤層の硬度が、最大圧縮率に換算して５０〜８０％である前記［７］に記載の複層膜体の製造方法。
【００１９】
［９］前記第二の乳剤層が、撥油性を有する層である前記［７］又は［８］に記載の複層膜体の製造方法。
【００２０】
［１０］前記第二の乳剤層と水との接触角が、前記被印刷体の前記表面と水との接触角よりも１０％以上小さい前記［９］に記載の複層膜体の製造方法。
【００２１】
［１１］前記スクリーン印刷版として、前記第二の乳剤層の表面上に撥油性膜が形成されてなるものを使用し、前記被印刷体の前記表面に、前記撥油性膜を介在させた状態で前記乳剤膜を配設する前記［７］又は［８］に記載の複層膜体の製造方法。
【００２２】
［１２］前記撥油性膜と水との接触角が、前記被印刷体の前記表面と水との接触角よりも１０％以上小さい前記［１１］に記載の複層膜体の製造方法。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のスクリーン印刷版は、段差・凹凸を有する被印刷面に対しても、高精度かつ高密度な印刷パターンを形成可能であるという効果を奏するものであり、かつ極めて実用性の高いものである。
【００２４】
また、本発明の複層膜体製造方法は、印刷によりパターン形成された複層の膜が、高精度かつ高密度に積層されてなる複層膜体を得ることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の最良の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、適宜、設計の変更、改良等が加えられることが理解されるべきである。
【００２６】
図１は、本発明のスクリーン印刷版の一実施形態を示す模式図である。本実施形態のスクリーン印刷版１は、適当な版枠（図示せず）内に張られた紗２ａ，２ｂにより構成されたメッシュ状の支持膜２と、乳剤により膜状に形成された、その膜厚方向に貫通する複数の開口部３が所定の配列パターンで形成された乳剤膜１０とを備えており、この乳剤膜１０が、支持膜２の一方の膜面側に配設されることによって構成されている。この乳剤膜１０は、複数の層（第一の乳剤層１１、第二の乳剤層１２）が積層された積層構造を有するものであり、支持膜２の側に配設される第一の乳剤層１１の硬度が、支持膜２の側と反対の側、即ち被印刷体５の側に配設される第二の乳剤層１２の硬度よりも高いものである。
【００２７】
このスクリーン印刷版１を使用して複層膜体を製造するに際しては、図３に示すように、被印刷体５の表面、即ち被印刷面４に、スクリーン印刷版１の乳剤膜１０を配設する。このとき、乳剤膜１０を構成する層のうちの第二の乳剤層１２が、被印刷面４上に位置する（又は当接する）状態となる。この状態で、支持膜２上に適当なペースト２１を載せ、支持膜２上でスキージ２０を摺動させ、支持膜２、及び開口部３を通じてペースト２１を被印刷面４上に押し出すこと、即ちスクリーン印刷することにより、被印刷体５の表面上に印刷膜を形成することができる。これら一連の操作を、必要に応じて用いるペースト２１を代えて複数回繰り返すことにより、被印刷体５の表面上に二層以上の印刷層が積層された複層膜体を製造することができる。
【００２８】
ここで、硬度の高い乳剤層のみからなる乳剤膜を備えたスクリーン印刷版を用いた場合を想定すると、被印刷面の段差又は凹凸形状を吸収することが困難となってこれらの形状に上手くフィットし難くなるため、被印刷面と乳剤膜との間に生じた隙間からペースト等が漏れ出してにじみが生ずるものと考えられる。一方、硬度の低い乳剤層のみからなる乳剤膜を備えたスクリーン印刷版を用いた場合を想定すると、スキージの摺動による印圧を加えた際に、この印圧は支持膜から乳剤膜へと伝わるが、メッシュ状の支持膜と乳剤膜とは点接触した状態であるために印圧が被印刷面へと十分に伝達されず、被印刷面と乳剤膜との間に生じた隙間からペースト等が漏れ出してにじみが生ずるものと考えられる。
【００２９】
これに対して、図１、図３に示すように、本実施形態のスクリーン印刷版１は、乳剤膜１０を構成する複数の層（図１、図３においては二層）のうち、より硬度の高い（硬い）第一の乳剤層１１が支持膜２に接するように配設され、より硬度の低い（軟らかい）第二の乳剤層１２が被印刷面４の側に位置するように配設されている。即ち、印刷するに際しては、被印刷面４にはより軟らかい第二の乳剤層１２が当接するため、被印刷面４に段差又は凹凸形状があってもこれらの形状に上手くフィットし、被印刷面４と乳剤膜１０との間（図３におけるＡ部）のシール性が向上してにじみの発生を効果的に抑止することができる。
【００３０】
また、支持膜２にはより硬い第一の乳剤層１１が当接するため、支持膜２に対してスキージ２０の摺動による印圧を加えた際に、この印圧が支持膜２から乳剤膜１０の全体へと十分に伝達され、被印刷面４と乳剤膜１０との間（図３におけるＡ部）のシール性が向上してにじみの発生を効果的に抑止することができる。特に、本実施形態のスクリーン印刷版１は、この乳剤膜１０が、硬度の異なる第一の乳剤層１１と、第二の乳剤層１２との組み合わせにより構成されているため、このスクリーン印刷版１を使用すれば、段差・凹凸を有する被印刷面４に対しても高精度かつ高密度な印刷パターンを形成することができ、複層の印刷膜が高精度かつ高密度に積層されてなる複層膜体を製造することができる。
【００３１】
本実施形態のスクリーン印刷版１においては、第一の乳剤層の硬度が最大圧縮率に換算して２０〜５０％であり、第二の乳剤層の硬度が最大圧縮率に換算して５０〜８０％であることが好ましく、また、第一の乳剤層の硬度が最大圧縮率に換算して３０〜５０％であり、第二の乳剤層の硬度が最大圧縮率に換算して５０〜７０％であることが更に好ましい。第一の乳剤層の最大圧縮率が２０％未満であると、露光方法による開口部の配列パターン形成は可能であるが、その解像度が低下する場合があるために好ましくない。なお、乳剤層に代えて金属メッキ層等によってこの硬さにすることは可能ではあるが、金属メッキ層等を採用すると、露光方法による開口部の配列パターン形成ができないため、量産性の低下や配列パターンの解像度低下等を生ずる場合がある。
【００３２】
また、第一の乳剤層の最大圧縮率が５０％超であると軟らかすぎるために、支持膜から受けた印圧を被印刷面へと十分に伝達することができなくなる傾向にある。一方、第二の乳剤層の最大圧縮率が５０％未満であると硬すぎるために、被印刷面と乳剤膜との間のシール性が十分に確保されなくなる傾向にある。また、第二の乳剤層の最大圧縮率が８０％超であると軟らかすぎるために、一回の印刷を終了した後に元の状態へと回復する回復率が低下する場合があり、繰り返しの印刷が困難になる傾向にある。
【００３３】
なお、本明細書にいう「最大圧縮率」とは、第一及び第二の乳剤層の硬度を示す物性値であって、試料の厚み方向に対して一般的な印圧に相当する所定の荷重（最大荷重）を負荷した場合における圧縮変位量の、初期厚みに対する割合（％）をいい、以下に示す測定方法に従って測定される値をいう。即ち、最大圧縮率を測定するには、先ず、図４に示すような圧縮試験治具３０を用意し、ＳＵＳ製の試料台３１上に、縦０．７５ｃｍ×横０．７５ｃｍ×厚み１００±２０μｍのサイズに加工した試料片３２を載置する。次いで、熱機械分析装置（ＴＭＡ）を使用し、図１１に示す荷重プログラム（最大荷重：５ｋＰａ）に従って、その先端に研磨された圧縮面３３を有するアルミナ製の支持棒３４（φ１．７５ｃｍ）により試料片３２に荷重を負荷し、１μｍまで測定可能な測定器（マイクロメータ、マグネスケール、又はＴＭＡに組み込まれた変位センサ等の検出器）で最大荷重負荷時における圧縮変位量を測定する。なお、負荷する荷重の最大値である最大荷重は、印刷時に乳剤膜に負荷される圧力（印圧）と同等の荷重である。このときの測定値の、試料片３２の初期厚みに対する割合を最大圧縮率（％）として測定・算出することができる。
【００３４】
第二の乳剤層１２の回復率は、６０％以上であることが好ましく、７０％以上であることが更に好ましい。回復率がこの数値範囲であると、繰り返しの印刷を行った場合であっても安定した印刷パターンとすることができる。回復率が６０％未満であると、次に印刷する際に５０％以上の圧縮率を確保できない、パターン形状を維持できない、等の不具合が起きてにじみが発生する場合がある。また、回復率が６０％以上になるまでの間、印刷を待機する必要があり、印刷効率の観点からは回復するまでの時間は短い方が好ましい。実用的観点からすると、回復するまでの時間は１０〜２０秒程度に設定されることが望ましい。
【００３５】
なお、本明細書にいう「回復率」とは、試料の厚み方向に対して一般的な印圧に相当する所定の荷重（最大荷重）を負荷及び開放した場合に、開放後、所定時間経過時における厚みの、初期厚みに対する割合（％）をいい、以下に示す測定方法に従って測定される値をいう。回復率を測定するには、上述した最大圧縮率の測定方法を利用する。即ち、図４に示すような圧縮試験治具３０を使用して試料片３２に対して、図１２に示す荷重プログラム（最大荷重：５ｋＰａ（図１２における矢印（ａ）））に従って荷重を負荷し、荷重の開放後、次の印刷が開始するまでの時間に相当する時間を経た後における試料片３２の厚み（図１２における矢印（ｂ））を測定する。このときの測定値の、試料片３２の初期厚みに対する割合を回復率（％）として測定・算出することができる。
【００３６】
本実施形態のスクリーン印刷版１においては、第二の乳剤層１２が、撥油性を有する層であること、又は第二の乳剤層１２の表面上に撥油性膜（図示せず）が形成されてなることが好ましい。ここで、本発明にいう「撥油性」とは、その字句通り油をはじく性質、即ち有機溶剤等に対する親和性が低いことをいい、具体的には、印刷対象となる被印刷面４に比して有機溶剤等に対する親和性が低いことをいう。従って、特に焼成済み又は未焼成のセラミックスに対して有機溶剤を含むインキやペーストを使用して印刷を行う場合に、繰り返し印刷を行っても、このようなペーストとの親和性が低いスクリーン印刷版の側にはペーストが残存付着し難く、連続印刷に伴うファインラインの低下を抑制することができる。
【００３７】
なお、本実施形態のスクリーン印刷版１においては、第二の乳剤層１２と水との接触角が７０°以下であることが好ましく、６０°以下であることが更に好ましく、５０°以下であることが特に好ましい。７０°超であると、有機溶剤等に対する親和性が高いためにスクリーン印刷版の側にペーストが残存付着し易くなる傾向にある。なお、接触角の下限値については特に限定されないが、接触角が３０°未満になると、水現像時の解像度が低下する傾向にある。なお、複層膜体を製造するに際しては、図３に示すように被印刷面４にスクリーン印刷版１の乳剤膜１０（第二の乳剤層１２）を配設するが、この際には、第二の乳剤層と水との接触角が、被印刷体の表面（被印刷面４）と水との接触角よりも１０％以上小さいことが好ましく、１５％以上小さいことが更に好ましく、２０％以上小さいことが特に好ましい。１０％未満小さい場合では、スクリーン印刷版の側にペーストが残存付着し易くなる傾向にある。なお、実質的な効果発現の面からは０％以下小さければよいが、連続印刷するに際して実用上の効果が発揮されるためには、１０％以上小さいことが好ましい。
【００３８】
一方、第二の乳剤層の表面上に撥油性膜（図示せず）が形成された場合には、この撥油性膜と水との接触角が７０°以下であることが好ましく、６０°以下であることが更に好ましく、５０°以下であることが特に好ましい。７０°超であると、有機溶剤等に対する親和性が高いためにスクリーン印刷版の側にペーストが残存付着し易くなる傾向にある。なお、接触角の下限値については特に限定されないが、実質的な効果発現の面からは３０°以上であることが好ましい。また、複層膜体を製造するに際しては、図３に示すように被印刷面４にスクリーン印刷版１の乳剤膜１０（第二の乳剤層）を、撥油性膜（図示せず）を介在させた状態で配設するが、この際には、その撥油性膜と水との接触角が、被印刷体の表面（被印刷面４）と水との接触角よりも１０％以上小さいことが好ましく、１５％以上小さいことが更に好ましく、２０％以上小さいことが特に好ましい。１０％未満小さい場合では、スクリーン印刷版の側にペーストが残存付着し易くなる傾向にある。なお、実質的な効果発現の面からは０％以下小さければよい。
【００３９】
本明細書にいう「接触角」とは、ＪＩＳ  Ｒ３２５７に従って、静滴法により測定される値をいう。即ち、図５に示すように、縦２ｃｍ×横１ｃｍ×厚み１００μｍのサイズに加工した試料片４２を用意し、室温（２５±５℃）、５０±１０％ＲＨの条件下、１〜４μｌの水滴４３を試料片４２の上に載置する。その後、１分以内に、光学読取り装置を使用し、その視野内の水滴４３像に線ＡＢを引き、線ＡＢと、試験片４２の表面とのなす角度（θ／２（°））を直読する。この角度（θ／２（°））を２倍した値を接触角θ（°）として測定・算出することができる。
【００４０】
本実施形態のスクリーン印刷版１の第一の乳剤層１１の厚みは、その硬度（最大圧縮率）等の条件を勘案して決定すればよい。例えば、第一の乳剤層１１の硬度が高い（最大圧縮率：３０％）場合にはより薄く、硬度が低い（最大圧縮率：５０％）場合にはより厚くすることが好ましい。より具体的には、第一の乳剤層１１の最大圧縮率が２０％である場合には、２μｍ以上の厚みであることが好ましい。
【００４１】
また、第二の乳剤層１２の厚みは、被印刷面４の段差の有無、及び段差がある場合におけるその大きさ（Ｒｍａｘ）等の条件を勘案して決定すればよい。具体的には、段差のＲｍａｘ（μｍ）に対して、−２〜＋１５μｍの厚みであることが好ましい。段差のＲｍａｘ（μｍ）に対して−２μｍ未満の厚みであると段差を十分に吸収しきれず、にじみを生じ易くなる傾向にある。一方、段差のＲｍａｘ（μｍ）に対して＋１５μｍ超の厚みであると、第二の乳剤層１２、ひいては乳剤膜１０全体が厚くなりすぎであり、ペーストの吐出量に伴って吐出力も大きくなって、やはりにじみを生じ易くなる傾向にある。
【００４２】
次に、本発明の実施形態であるスクリーン印刷版１（図１参照）の製造例について説明する。本実施形態のスクリーン印刷版１製造するにあたっては、先ず、アルミニウムをはじめとする適度な加工性と強度とを具備した材質からなる版枠を用意する。この版枠に、シルク、テトロン、ポリエステル等の有機繊維材料、又はステンレス、スチール等の金属材料からなるスクリーン用の紗２ａ，２ｂを均一なテンションを負荷しつつ張り付けて、メッシュ状の支持体２（スクリーン）を作製する。この支持体２上に、感光性樹脂膜材料（乳剤）を塗布するとともにこれを乾燥して、所定の厚みの感光膜を形成する。なお、予めシート状に成形した感光性樹脂膜材料をスクリーンに貼り付けて感光膜としてもよい。
【００４３】
この感光膜にポジフィルム等を密着させ、紫外光露光、及び現像を行い、複数の開口部３の配列パターンに対応する印刷用の抜き画像を支持膜２上に形成する。即ち、抜き画像の部分のみポジフィルムによって紫外線が遮断され、抜き画像の部分以外の部分は紫外線により硬化するので、現像によって抜き画像の部分のみエッチングされ、所望とする配列パターンの開口部３が形成された乳剤膜１０とすることができる。
【００４４】
ここで、本実施形態のスクリーン印刷版１は、乳剤膜１０が第一の乳剤層１１と、第二の乳剤層１２との積層構造を有してなるものである。従って、このような積層構造とするためには、感光性樹脂膜材料を塗布するとともにこれを乾燥して、所定の厚みの感光膜を形成するサイクルを複数回繰り返せばよい。或いは、予めシート状に成形した感光性樹脂膜材料をスクリーンに貼り付けて感光膜とするサイクルを複数回繰り返してもよい。その後は、少なくとも一回の紫外光露光、及び現像によって、所望とする配列パターンの開口部３が形成された乳剤膜１０とすることができる。本実施形態のスクリーン印刷版１の乳剤膜１０は、二層の乳剤層により形成された状態を示しているが、乳剤膜は、三層以上であってもよい。但し、製造の手間やコスト等を考慮すると、二層の乳剤層により乳剤膜を形成することが好ましい。
【００４５】
なお、本実施形態のスクリーン印刷版１の如く、二層の乳剤層により乳剤膜１０を形成せず、例えば、第一の乳剤層１１に代えて金属材料からなる層を形成しようとする場合には上述の紫外線露光を採用することができず、レーザー加工によって開口部を形成する必要があり、第二の乳剤層と同時に開口部を形成することができないために製造工程上の手間がかかるとともに、解像度が低下する場合がある。
【００４６】
第二の乳剤層を撥油性を有する層とするためには、撥油性（親水性）の高分子を主成分とし、その成分比率を大きくした感光性樹脂膜材料を用いればよい。なお、撥油性、撥水性を付与すべくフッ素系、シリコーン系の乳剤を用いた場合には、接触角を大きくすることができるが、これらの乳剤は現像液に溶解し難い場合があるため、解像度が低下する傾向にある。
【００４７】
また、第二の乳剤層の表面上に撥油性膜を形成するには、撥油性（親水性）の高分子を主成分とし、その成分比率を大きくした感光性樹脂膜材料で第二の乳剤層の表面をコーティングすればよい。
【実施例】
【００４８】
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００４９】
（実施例１〜５、比較例１，２）
第一の乳剤層、第二の乳剤層、及び撥油性膜のそれぞれの最大圧縮率、並びに被印刷面と当接する面（印刷面）の接触角が、表１に示す値であるスクリーン印刷版（実施例１〜５、比較例１，２）を製造した。
【００５０】
製造したこれらのスクリーン印刷版を使用し、図６（ａ）、図６（ｂ）に示すような段差を有する被印刷面４（接触角＝８９°）を持った被印刷体５に対して印刷を行った。なお、印刷条件、スクリーン印刷版の仕様、及び被印刷面の状態を表２に示す。ここで、被印刷面の状態を表す段差とは、被印刷面における最高点と最低点との差にて定義される最大高さ（Ｒｍａｘ）をいい、表面粗さとは、ＪＩＳ  Ｂ０６０１に定める中心線平均粗さ（Ｒａ）をいう。
【００５１】
更に、実施例１のスクリーン印刷版を用いた、印刷開始前の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真を図９（ａ）に、印刷直後の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真を図９（ｂ）に、及び版離れ直後の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真を図９（ｃ）に、それぞれ示す。また、比較例２のスクリーン印刷版を用いた、印刷開始前の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真を図１０（ａ）に、印刷直後の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真を図１０（ｂ）に、及び版離れ直後の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真を図１０（ｃ）に、それぞれ示す。
【００５２】
（印刷評価）
まったくにじまなかった場合（パターン幅バラツキ≦２μ）を◎、ほとんどにじみが観察されなかった場合（２μ＜パターン幅バラツキ≦５μ）を○、にじみが観察された場合（５μ＜パターン幅バラツキ≦１０μ）を△、大きなにじみが観察された場合（パターン幅バラツキ＞１０μ）を×と評価した。評価結果を表１に示す。なお、パターン幅バラツキとは、図８に示すように、１００μｍ幅の印刷パターン５０を長手方向に５０μｍ間隔で１０点測定した場合における、印刷パターン５０の片側のバラツキ幅５１によって表される値をいう。
【００５３】
（連続印刷評価）
１００回の印刷を行い、まったくにじまなかった場合（パターン幅バラツキ≦２μ）を◎、ほとんどにじみが観察されなかった場合（２μ＜パターン幅バラツキ≦５μ）を○、にじみが観察された場合（５μ＜パターン幅バラツキ≦１０μ）を△、大きなにじみが観察された場合（パターン幅バラツキ＞１０μ）を×と評価した。評価結果を表１に示す。
【００５４】
【表１】
2005199604.tif 000003
【００５５】
【表２】
2005199604.tif 000004
【００５６】
（実施例６〜１０、比較例３，４）
第一の乳剤層、第二の乳剤層、及び撥油性膜のそれぞれの最大圧縮率、並びに被印刷面と当接する面（印刷面）の接触角が、表３に示す値であるスクリーン印刷版（実施例６〜１０、比較例３，４）を製造した。
【００５７】
製造したこれらのスクリーン印刷版を使用し、図７（ａ）、図７（ｂ）に示すような段差を有する被印刷面４（接触角＝７０°）を持った被印刷体５に対して印刷を行った。なお、印刷条件、スクリーン印刷版の仕様、及び被印刷面の状態を表４に示す。また、前述の実施例１〜５、比較例１，２の場合と同様にして、印刷評価、及び連続印刷評価を行った。評価結果を表３に示す。
【００５８】
【表３】
2005199604.tif 000005
【００５９】
【表４】
2005199604.tif 000006
【００６０】
（結果）
表１に示すように、比較例１，２ではにじみが大きく、印刷評価結果が良好ではなかった。比較例１については、乳剤膜（第一の乳剤層）が硬すぎであるためと考えられる。また、比較例２については図１０（ａ）〜図１０（ｃ）に示すように、乳剤膜（第一の乳剤層）が軟らかすぎであるために印圧が被印刷面に十分に伝達されず、ペーストが漏れ出したためであると考えられる。これに対して、実施例１〜５では、にじみの発生が効果的に抑止されており（図９（ａ）〜図９（ｃ）参照）、良好な印刷評価結果を示した。更に、印刷面の接触角が７０°以下である（撥油性膜（又は第二の乳剤層）の接触角が、被印刷面の接触角よりも１０％以上小さい）実施例３，４では、連続印刷評価の結果も良好であり、優れた連続印刷性を有するスクリーン印刷版であることが判明した。
【００６１】
また、表３に示すように、比較例３，４ではにじみが大きく、印刷評価結果が良好ではなかった。比較例３については、乳剤膜（第一の乳剤層）が硬すぎであるためと考えられる。また、比較例４については、乳剤膜（第一の乳剤層）が軟らかすぎであるために印圧が被印刷面に十分に伝達されず、ペーストが漏れ出したためであると考えられる。これに対して、実施例６〜１０では、にじみの発生が効果的に抑止されており、良好な印刷評価結果を示した。更に、印刷面の接触角が７０°以下である（撥油性膜（又は第二の乳剤層）の接触角が、被印刷面の接触角よりも１０％以上小さい）実施例８〜１０では、連続印刷評価の結果も良好であり、優れた連続印刷性を有するスクリーン印刷版であることが判明した。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明のスクリーン印刷版を用いれば、複層の膜が、高精度かつ高密度に積層されてなる複層膜体を得ることができる。従って、本発明のスクリーン印刷版は、高い精度等とともに量産性をも要求される、多層型の圧電／電歪素子をはじめとする電子部品の製造分野において好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明のスクリーン印刷版の一実施形態を示す模式図である。
【図２】従来のスクリーン印刷版の一実施形態を示す模式図である。
【図３】本発明のスクリーン印刷版を使用したスクリーン印刷の一例を示す模式図である。
【図４】圧縮試験方法を説明する模式図である。
【図５】接触角測定方法を説明する模式図である。
【図６（ａ）】実施例１〜５、比較例１，２で用いた被印刷体の形状を説明する上面図である。
【図６（ｂ）】実施例１〜５、比較例１，２で用いた被印刷体の形状を説明する、正面から見た断面図である。
【図７（ａ）】実施例６〜１０、比較例３，４で用いた被印刷体の形状を説明する上面図である。
【図７（ｂ）】実施例６〜１０、比較例３，４で用いた被印刷体の形状を説明する、正面から見た断面図である。
【図８】パターン幅バラツキの測定方法を示す模式図である。
【図９（ａ）】実施例１のスクリーン印刷版を用いた、印刷開始前の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真である。
【図９（ｂ）】実施例１のスクリーン印刷版を用いた、印刷直後の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真である。
【図９（ｃ）】実施例１のスクリーン印刷版を用いた、版離れ直後の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真である。
【図１０（ａ）】比較例２のスクリーン印刷版を用いた、印刷開始前の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真である。
【図１０（ｂ）】比較例２のスクリーン印刷版を用いた、印刷直後の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真である。
【図１０（ｃ）】比較例２のスクリーン印刷版を用いた、版離れ直後の状態を印刷膜面側から観察した顕微鏡写真である。
【図１１】圧縮試験方法における荷重プログラムを示すグラフである。
【図１２】最大圧縮率及び回復率の測定例を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６４】
１…スクリーン印刷版、２…支持膜、２ａ，２ｂ…紗、３…開口部、４…被印刷面、５…被印刷体、１０…乳剤膜、１１…第一の乳剤層、１２…第二の乳剤層、２０…スキージ、２１…ペースト、３０…圧縮試験治具、３１…試料台、３２，４２…試料片、３３…圧縮面、３４…支持棒、４０…印刷膜、４３…水滴、５０…印刷パターン、５１…バラツキ幅。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2005199604.tif 000010
【図５】
2005199604.tif 000011
【図６（ａ）】
2005199604.tif 000012
【図６（ｂ）】
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【図７（ａ）】
2005199604.tif 000014
【図７（ｂ）】
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【図８】
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【図１１】
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【図１２】
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【図９（ａ）】
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【図９（ｂ）】
2005199604.tif 000020
【図９（ｃ）】
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【図１０（ａ）】
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【図１０（ｂ）】
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【図１０（ｃ）】
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