(57)【要約】      （修正有）【課題】微細かつ高密度な実装回路基板及び電子部品の実装を安価かつ安定的に行える回路基板及びその製造方法とその電子部品の実装方法を提供する。【解決手段】第一の導電層３と第二の導電層１の間にエッチングストッパー層となる異種金属を有する金属箔２を用意する。そして、第一の導電層３にエッチングにより回路配線パターン５を形成し、接着性絶縁樹脂をその回路配線パターン側に接着し、前記第二の導電層１をエッチングすることにより突起７を形成し、その後前記エッチングストッパーとなる異種金属層を除去する。このような回路基板に電子部品を実装するには、先ず回路基板表面に半田が溶融する温度においても溶融しない金属突起を電子部品接続パッド近傍に形成した回路基板を準備し、電子部品をその接続パッドにフェイスダウン実装する際に前記金属突起で回路基板と電子部品の間に前記金属突起の高さに等しい間隙を形成して行う。【選択図】図１
2005268594.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板の製造方法において、第一の導電層と第二の導電層の間にエッチングストッパー層となる異種金属を有する金属箔を用意し、前記第一の導電層にエッチングにより回路配線パターンを形成し、接着性絶縁樹脂を前記回路配線パターン側に接着し、前記第二の導電層をエッチングすることにより突起を形成し、その後前記エッチングストッパーとなる異種金属層を除去することを特徴とする回路基板の製造方法。
【請求項２】
回路基板表面に半田が溶融する温度においても溶融しない金属突起を電子部品接続パッド近傍に形成した回路基板を準備し、電子部品を前記接続パッドにフェイスダウン実装する際に前記金属突起で前記回路基板と前記電子部品の間に前記金属突起の高さに等しい隙間を形成することを特徴とする電子部品の実装方法。
【請求項３】
回路基板において、回路基板表面の電子部品実装部に電子部品接続パッドよりも高い金属突起を前記電子部品接続パッド近傍に有することを特徴とする回路基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板の構造とその製造方法及び電子部品の実装方法に関し、特には、半導体装置を実装する回路基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話等の小型電子機器に向け、電子機器に搭載される実装基板の微細化、高密度化の要求が高まっている。それに伴い、ICチップ等のチップ部品の基板への実装方法もより高密度化が可能な方法へ移行しつつある。従来のフェイスアップで実装を行うワイヤーボンディングでは部品実装に要する面積が大きいため、より高密度に実装するためフェイスダウンで実装可能なフリップチップ実装が高密度実装基板の実装方法の主流となりつつある。
【０００３】
また、フリップチップ実装に際しては半田バンプをICチップ側に形成し、基板へフリップチップボンダーで実装した後、リフローにより半田を溶融し、接続を得る。このときの半田バンプの高さでICチップと接続パッドの隙間の量、すなわちICチップの高さを制御している。ICチップの高さを制御する理由を以下に示す。ICチップと実装基板は線熱膨張係数が異なるので、このストレスが半田に加わり、実装基板側の接続パッドから剥がれるのを防止するために、ICチップと実装基板の間にアンダーフィルと呼ばれる熱硬化性樹脂を注入する工程が必要である。この熱硬化樹脂は毛管現象を利用しているため、ICチップの高さを制御する必要がある。特に、近年普及してきている鉛フリー半田はリフロー温度も共晶半田に比べ高いため、ICチップの高さの制御が困難になってきている。
【０００４】
特許文献１によれば、最近では素子の多ピン化のために、半田バンプや実装基板の接続パッドのピッチはどんどん狭くなり、高さも低くなっている。このためICチップと接続パッドの距離も狭くなり、熱硬化樹脂の注入が困難、場合によっては不可能となるという問題があり、ICチップと実装基板の間の接続信頼性が確保できない場合があった。この問題に対して、特許文献１ではチップ側にリフローで溶融しない金属のバンプをめっきで形成することが記されている。
【０００５】
また、特許文献２には基板側の接続パッド側にリフローで溶融しない金属のバンプをめっきで形成することが記されている。しかしながら、これらの方法はいずれも工数が多く、煩雑であることと、ICチップまたは基板の接続パッド上にめっきをつけるため、ICチップのバンプおよび接続パッドのピッチの微細化が困難であった。
【０００６】
さらに、特許文献３には基板側の接続パッド側にリフローで溶融しない金属のバンプをエッチングで形成することが記されているが、ICチップの高さを確保するためには金属バンプの高さ、すなわち出発材料の厚さが厚くなることから、バンプを狭ピッチで形成することは困難であり、基板の接続パッドの微細化には対応できない方法であった。
【０００７】
図５は、従来の回路基板の製造方法および回路基板に対するチップ実装方法を示す工程図であって、先ず、同図（１）に示す様に、絶縁ベース材１２の片面に銅箔層１３を有する、所謂、片面銅張積層板１４を用意する。
【０００８】
次に、同図（２）に示す様に、この片面型銅張積層板１４の銅箔層１３に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路配線パターン５を形成し、必要に応じソルダーレジスト層を設けるか、或いはNiやAuを表面処理層として無電解めっき等の手法で形成し、金型による打ち抜き等により外形加工を行い、回路基板１５を得る。
次に、同図（３）に示す様に、半田バンプ９を有するICチップ１０を用意し、フリップチップボンダーを用いて、前記回路基板上にフェイスダウン実装する。その後、リフローを行い、前記ICチップ１０の半田バンプ９を溶融させ、ICチップ１０と回路基板１５の接続を得る。
次に、同図（４）に示す様に、アンダーフィルとして熱硬化樹脂１１をICチップ１０と回路基板１５の間に注入することで回路基板１５にICチップ１０がフェースダウン実装される。
【特許文献１】特開２００１−２８４３８０号公報
【特許文献２】特開平５−７４７７８号公報
【特許文献３】特開２００１−５３１８９号公報
【特許文献４】特開２００３−１２９２５９  号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ICチップ等の電子部品と接続パッドの距離も狭くなり、熱硬化樹脂の注入が困難、場合によっては不可能となるという問題があり、ICチップ等の電子部品と実装基板の間の接続信頼性が確保できない場合がある。
【００１０】
この問題に対して、特許文献１ではICチップ側にリフローで溶融しない金属のバンプをめっきで形成することが記されている。また、特許文献２には基板側の接続パッド側にリフローで溶融しない金属のバンプをめっきで形成することが記されている。しかしながら、これらの方法はいずれも工数が多く、煩雑であることと、ICチップまたは基板の接続パッド上にめっきをつけるため、ICチップのバンプおよび接続パッドのピッチの微細化が困難であった。
【００１１】
さらに、特許文献３には基板側の接続パッド側にリフローで溶融しない金属のバンプをエッチングで形成することが記されているが、ICチップの高さを確保するためには金属バンプの高さ、すなわち出発材料の厚さが厚くなることから、バンプを狭ピッチで形成することは困難であり、基板の接続パッドの微細化には対応できない方法であった。
【００１２】
すなわち、発明が解決しようとする課題は、ICチップ等の電子部品実装後に適性なICチップ等の電子部品の高さを確保することと、接続パッドの微細化を両立することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するための第一の発明によれば、回路基板の製造方法において、第一の導電層と第二の導電層の間にエッチングストッパー層となる異種金属を有する金属箔を用意し、前記第一の導電層にエッチングにより回路配線パターンを形成し、接着性絶縁樹脂を前記回路配線パターン側に接着し、前記第二の導電層をエッチングすることで突起を形成し、その後前記エッチングストッパーとなる異種金属層を除去することを特徴とする回路基板の製造方法が採用される。
【００１４】
上記課題を解決するための第二の発明によれば、回路基板表面に半田が溶融する温度においても溶融しない金属突起を電子部品接続パッド近傍に形成した回路基板を準備し、電子部品を前記接続パッドにフェイスダウン実装する際に前記金属突起で前記回路基板と前記電子部品の間に前記金属突起の高さに等しい隙間を形成することを特徴とする電子部品の実装方法が採用される。
【００１５】
上記課題を解決するための第三の発明によれば、回路基板において、回路基板表面の電子部品実装部に電子部品接続パッドよりも高い金属突起を前記電子部品接続パッド近傍に有することを特徴とする回路基板の構造が採用される。
【発明の効果】
【００１６】
これらの特徴により、本発明は次のような効果を奏する。本発明による回路基板は第一の導電層と第二の導電層の間にエッチングストッパー層となる異種金属を有する金属箔を用意し、前記第一の導電層にエッチングにより回路パターンを形成し、接着性絶縁樹脂を回路パターン側に接着し、前記第二の導電層をエッチングすることで突起を形成し、その後前記エッチングストッパーとなる異種金属層を除去することで製造され、電子部品を接続パッドにフェイスダウン実装する際に前記金属突起で前記回路基板と前記チップの間に金属突起の高さに等しい隙間を形成することで実装されるからリフロープロファイルに影響されることなく、電子部品の高さを一定にすることができるばかりか、前記金属突起によりICチップ駆動時に発生する熱を効果的に基板側へ移動させることも可能である。
【００１７】
さらに接続パッド上にめっきを厚付けする必要がないため接続パッドの狭ピッチ化に対応できるばかりか、接続パッドを絶縁ベース材に埋め込む構造になるため、基板の薄型化も計れる。このため、微細かつ高密度な実装回路基板および安価にかつ安定的に提供することおよび電子部品の実装を安価にかつ安定的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図示の実施例を参照しながら本発明をさらに説明する。図１は、本発明の回路基板の製造方法を示す工程図であって、先ず、同図（１）に示す様に、特許文献３、４に記載されている銅箔１（例えば厚さ50μm）/ニッケル箔２（例えば厚さ２μm）/銅箔３（例えば厚さ１0μm）の3層構造を有する金属基材４を用意する。このときのニッケル箔２は銅エッチングの際のエッチングストッパーであり、ニッケル箔に限定するものではない。銅箔１は実装後のチップ高さを確保するためのものであり、厚さは50μm程度が好適である。
【００１９】
次に、同図（２）に示す様に、この金属基材４の一方面の銅箔層３に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路配線パターン５を形成する。このときのエッチング液としては特許文献４に記載の選択性を有するエッチング液を用いる。
【００２０】
次に、同図（３）に示す様に、回路配線パターン５に対し絶縁層６を形成する。絶縁層６の形成手法としてはキャスト、ラミネート、コーティング等が適用可能で、絶縁樹脂の種類、形態（ワニス、フィルム）によって最適な手法を選択する。ここでは熱硬化性のポリイミドフィルムをラミネートにより熱圧着した。
【００２１】
次に、同図（４）に示す様に、金属基材４の一方面の銅箔層１に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、チップの高さを一定にする金属突起７を形成する。このとき回路配線パターン５はニッケル箔２および絶縁層６によって保護されている。
【００２２】
次に、同図（５）に示す様に、ニッケル箔２を選択エッチングにより除去し、必要に応じソルダーレジスト層を設けたり、NiやAuを表面処理層として無電解めっき等の手法で形成し、金型による打ち抜き等により外形加工を行い、回路基板８を得る。尚、図には示さないが、定法によりビアホール接続等で両面基板とすることも可能である。
【００２３】
図２は、本発明の電子部品の実装方法を示す工程図であって、先ず、同図（１）に示す様に、半田バンプ９を有するICチップ１０を用意し、フリップチップボンダーを用いて、図１に示した工程で製造した回路基板８上にフェイスダウン実装する。その後、リフローを行い、前記ICチップ１０の半田バンプ９を溶融させ、ICチップ１０と回路基板８の接続を得る。このとき回路基板８上の金属突起７によりICチップの高さは規定される。
【００２４】
次に、同図（２）に示す様に、アンダーフィルとして熱硬化樹脂１１をICチップ１０と回路基板８の間に注入することにより回路基板８にICチップ１０がフェースダウン実装される。
【００２５】
図３は、本発明の回路基板の構造を示す概念的断面構成図であって、ICチップの高さを規定する金属突起７を有する回路基板８であって、回路配線パターン５が絶縁層６に埋め込まれた構造を有している。そして、図４のように、この回路基板８に対して、ICチップ１０をフェースダウン実装した際のICチップ１０の回路基板８からの高さは金属突起７によって規定される。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の回路基板の製造方法を示す工程図。
【図２】本発明の電子部品の実装方法を示す工程図。
【図３】本発明の回路基板の構造を示す概念的断面構成図。
【図４】本発明の回路基板にICチップを実装した状態の概念的断面構成図。
【図５】従来の手法による回路基板の製造方法および電子部品の実装方法を説明する図。
【符号の説明】
【００２７】
１    銅箔
２    ニッケル箔
３    銅箔
４    金属基材
５    回路配線パターン
６    絶縁層
７    金属突起
８    本発明による回路基板
９    半田バンプ
１０  ICチップ
１１  熱硬化樹脂
１２  絶縁ベース材
１３  銅箔層
１４  片面型銅張積層板
１５  従来工法による回路基板
【図１】
2005268594.tif 000003
【図２】
2005268594.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005268594.tif 000006
【図５】
2005268594.tif 000007