(57)【要約】【課題】  被検レンズが装着されるレンズマウントを動かさず、基準レンズのみの位置調整を行うことにより、位置調整のための動き量を小さくでき、もって調整機構の簡素化を図り、かつ正確な位置調整を可能にする。【解決手段】  干渉計本体ユニット１０を本体ケーシング１１の内部に配置し、被検レンズ装着ユニット１４はその高さ位置を調整可能にして本体ケーシング１１の天板部１１ａに装着される。基準レンズユニット１２は傾動部材２０により傾き調整可能であり、ＸＹ軸調整筒体２１によりＸＹ軸方向に位置調整可能であり、Ｚ軸調整筒体２２により高さ位置が微調整される位置調整機構２３にレンズホルダ２４を設けて、このレンズホルダ２４に基準レンズ６が装着され、基準レンズ６は干渉計本体ユニット１０に対しても、また被検レンズ７との間で光軸調整できるようにしている。【選択図】    図４
2005098719.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源から照射されるレーザ光を基準レンズで一部反射させ、この基準レンズからの透過光を被検物の被検面で反射させて、これら両反射光間に生じる干渉縞を観察手段により観察する干渉計装置において、
前記レーザ光源及び前記観察手段と、このレーザ光源からのレーザ光を平行光束とするコリメータレンズまでの光学系とを含む干渉計本体ユニットが本体ケーシング内に固定して設けられ、
前記本体ケーシングの天板部には前記干渉計本体ユニットから照射される平行光束及び前記観察手段による観察光束の通過を可能とする導光用開口が形成されて、この導光用開口の前記天板部を挟んで前記干渉計本体ユニットと反対側の位置に前記被検レンズがセットされる被検レンズ装着ユニットが前記本体ケーシングに支持されており、
前記基準レンズは前記本体ケーシングの前記導光用開口の位置に装着した位置調整手段に取り付けられており、
前記位置調整手段は前記干渉計本体ユニットから照射される平行光束の光軸に対して直交する方向及び傾き方向の位置調整が可能なものである
ことを特徴とする干渉計装置。
【請求項２】
前記位置調整手段は、前記本体ケーシングの天板部に傾き調整可能なリング状の第１のステージと、ＸＹ直交２軸方向に位置調整可能な筒状の第２のステージと、この第２のステージに対してＺ軸方向に位置調整可能な第３ステージとからなり、前記基準レンズはこの第３のステージに装着する構成としたことを特徴とする請求項１記載の干渉計装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、球面レンズ等の表面状態をレーザ干渉計を用いて検査するための干渉計装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えばレンズの仕上げ精度の検査等を行うために干渉計装置が用いられる。干渉計装置の構成としては、少なくとも可干渉光を出射するレーザ光源と、このレーザ光源から発散する光を平行光束にするためのコリメータレンズと、被検レンズの被検面の基準形状を有する基準レンズとを含むものである。基準レンズはコリメータレンズからの平行光束が入射する側とは反対側の面、即ち被検レンズと向き合った面が基準面であり、その表面形状は被検レンズの被検面と同一または相似形状となっている。そして、レーザ光源からのレーザ光はこの基準レンズの基準面で一部が反射してコリメータレンズに戻り、また基準レンズを透過したレーザ光は被検レンズの被検面で一部が反射して基準レンズを透過してコリメータレンズに戻ることから、これら両反射波面を重ね合わせることにより両波面間における干渉情報が得られ、この干渉情報に基づいて被検レンズの仕上げ面精度の測定が行なわれることになる。従って、前述した反射光はコリメータレンズからビームスプリッタに向けて戻ることになり、このビームスプリッタで入射光から分離されて、カメラ等を用いた観察手段に取り込まれるように構成している。
【０００３】
従来技術においては、以上の構成のうち、レーザ光源から基準レンズまでと、基準レンズから観察手段までとの光路を構成する各部材を一体に組み込んで干渉計本体として構成し、この干渉計本体がケーシングの内部に組み込まれる。これに対して、被検レンズは検査中に着脱されるものであるから、この被検レンズの着脱を容易にするために、ケーシングの外に設けられる。このために、ケーシングの天板部にはレーザ光が通過する導光用の開口を設けて、この天板部の開口の位置にレンズマウントを設けて、このレンズマウントに人手作業またはロボットハンドによって被検レンズを装着して、その表面精度を測定し、また測定後の被検レンズが取り出される。
【０００４】
ここで、干渉計装置により被検レンズの表面状態を正確に測定するための条件としては、レーザ光源から出射されるレーザ光と、コリメータレンズと、基準レンズと、被検レンズとの光軸が全て一致していなければならないことである。また、被検レンズが球面レンズである場合には、この被検レンズの被検面の曲率中心位置と基準レンズの基準面の曲率中心位置とが一致していることも測定のための条件となる。
【０００５】
被検レンズの装着部であるレンズマウントは、干渉計本体とは独立の部材として構成されて、ケーシングに取り付けられることから、干渉計装置として組み付ける際や、メンテナンスを行う際等においては、レンズマウントと干渉計本体との間の光軸合せを正確に行わなければならない。また、干渉計本体において、基準レンズは交換可能となっている。即ち、基準レンズが損傷した場合にはそれが交換されるが、また被検レンズの種類や大きさ、さらに測定方式等に応じて基準レンズが交換して用いられる。従って、基準レンズは、干渉計本体に設けたレンズホルダに着脱可能に装着される。
【０００６】
被検レンズが球面レンズである場合には、被検レンズの曲率が異なっていても、この被検レンズの曲率中心位置と基準レンズの曲率中心位置とを一致させれば、基準レンズを交換することなく被検レンズの測定を行うことができる。従って、異なる被検レンズの測定を行う際には、レンズマウントにセットされる被検レンズと基準レンズとの間隔を調整する必要がある。
【０００７】
要するに、干渉計装置においては、干渉計本体とこの干渉計本体に着脱可能に装着される基準レンズとの間と、基準レンズと被検レンズとの間で光軸調整を行わなければならないことになる。このために、レンズマウントに位置調整手段を設ける構成としたものは、例えば特許文献１にある通り、従来から知られている。この公知の位置調整手段は、レンズマウントをＸＹ方向、つまり干渉計本体の光軸と直交する平面内における一方向とそれと直交する方向とに位置調整可能なＸＹ位置調整機構を備えている。また、基準レンズと被検レンズとの間隔調整は、基本的にはケーシング内で干渉計本体を光軸方向に移動可能となし、この干渉計本体を移動させることにより行われる。また、干渉計本体は大型で重量物でもあるから、レンズマウントに被検レンズの高さ位置の微調整機構を備えるようにしている。
【特許文献１】特開平６−３２１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
要するに、前述した従来技術においては、具体的には説明されていないが、干渉計本体に基準レンズが取り付けられていることから、この基準レンズは干渉計本体における傾き調整機構付きのレンズホルダに装着されており、干渉計本体はケーシングに対してそこからの出射光軸方向に位置調整可能に支持されることになる。従って、干渉計本体に装着されているレンズホルダは、そこに基準レンズを取り付けたときには、基準レンズの光軸が干渉計本体から出射される光束の光軸と、その光軸と直交する平面内での位置において、計測の許容範囲内となるような精度で組み付けられていなければならない。そして、基準レンズを交換した時等には、まずレンズホルダの傾き調整機構によって基準レンズの角度調整を行い、次いで基準レンズを含む干渉計本体全体を被検レンズがセットされるレンズマウントに対して間隔調整を行うというように、２段で位置調整を行う必要がある。また、基準レンズの傾き調整及び被検レンズとの間の間隔調整が行われているにしても、これら各調整機構の許容誤差の範囲内のものであり、その上で被検レンズのＸＹ軸における位置調整を行うことから、基準レンズにおける干渉計本体の調整された位置関係によっては、レンズマウントに設けたＸＹ位置調整機構と高さ位置の微調整機構とによる可能な調整範囲内では被検レンズの正確な位置に調整できなくなるおそれがある。特に、被検レンズの曲率半径が大きいために、それと基準レンズとの間の間隔が大きくなると、その間の位置調整が著しく困難になってしまう。また、前述した従来技術において、干渉計本体に取り付けられたレンズホルダが、そこに基準レンズを取り付けたときに、基準レンズの光軸と干渉計本体から射出される光束の光軸とが、その光軸と直交する平面内の位置において概略一致するように作られている場合は良いが、そうでない場合にはレンズホルダにＸＹ２軸位置調整機構を設けて基準レンズの光軸位置を調整する必要があり、そのために装置が大型で複雑なものとなるだけでなく、基準レンズについて、前述した傾き調整と、被検レンズとの間の間隔調整との調整誤差に加えて、ＸＹ２軸位置調整機構の誤差も加わるために、被検レンズの正確な位置出しはさらに困難なものとなってしまう。
【０００９】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、被検レンズが装着されるレンズマウントを動かさず、基準レンズのみの位置調整を行うようにすることによって、位置調整のための動き量を小さくでき、もって調整機構の簡素化を図り、かつ正確な位置調整を可能にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そこで、本発明は、レーザ光源から照射されるレーザ光を基準レンズで一部反射させ、この基準レンズからの透過光を被検物の被検面で反射させて、これら両反射光間に生じる干渉縞を観察手段により観察する干渉計装置であって、前記レーザ光源及び前記観察手段と、このレーザ光源からのレーザ光を平行光束とするコリメータレンズまでの光学系とを含む干渉計本体ユニットが本体ケーシング内に固定して設けられ、前記本体ケーシングの天板部には前記干渉計本体ユニットから照射される平行光束及び前記観察手段による観察光束の通過を可能とする導光用開口が形成されて、この導光用開口の前記天板部を挟んで前記干渉計本体ユニットと反対側の位置に前記被検レンズがセットされる被検レンズ装着ユニットが前記本体ケーシングに支持されており、前記基準レンズは前記本体ケーシングの前記導光用開口の位置に装着した位置調整手段に取り付けられており、この位置調整手段は前記干渉計本体ユニットから照射される平行光束の光軸に対して直交する方向及び傾き方向の位置調整が可能なものであることをその特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように構成した本発明によれば、基準レンズを干渉計本体とは別部材として構成して、この基準レンズを干渉計本体と被検レンズ装着ユニットとの間に配置して、光軸と直交する方向及び傾き方向に位置調整可能な構成とすることによって、位置調整される部材が最小限の動きの範囲内で、干渉計を構成する全ての部材を正確に位置合わせすることができる等といった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。まず、図１に干渉計装置の全体構成を示す。同図において、１はレーザ光源を示し、このレーザ光源１から出射されるレーザ光はそのビーム径を拡大させるためのビーム整形レンズ２に入射されて、このビーム整形レンズ２により一度集光させた後に所定のビーム径となるまで発散させるようにしている。そして、このビーム整形レンズ２の集光位置には絞り３が配設されており、この絞り３を通過した光は発散しながらビームスプリッタ４に入射されて、このビームスプリッタ４で反射することによって光路が９０°曲げられる。そして、ビームスプリッタ４での反射光はコリメータレンズ５によって平行光束化される。
【００１３】
６は基準レンズ、７は被検レンズであり、基準レンズ６はその入射面６ａ側は反射防止コーティングが施されており、その反対面は基準面６ｂとなっている。被検レンズ７は、その被検面７ａの表面状態が測定されるものであって、基準レンズ６の基準面６ｂと被検レンズ７の被検面７ａとは対向配設される。そして、コリメータレンズ５により平行光束化されたレーザ光は基準レンズ６の基準面６ｂで一部が反射し、この基準レンズ６を透過した光は被検レンズ７の被検面７ａでも一部反射することになる。その結果、基準面６ｂでの反射光と被検面７ａでの反射光との間で干渉作用が生じる。このように干渉情報を有する反射光はコリメータレンズ５により集光されて、ビームスプリッタ４を透過することによって、入射光から分離される。そして、干渉縞結像用レンズ８を介して撮像手段９に取り込まれるようになっている。従って、撮像手段９からの干渉縞情報をモニタに映し出すことにより、例えば干渉縞の本数等に基づいて被検レンズ７の被検面７ａの表面状態が測定される。
【００１４】
干渉計装置は概略以上のように構成されるものであって、図２及び図３に示したように、これらの各部材のうち、レーザ光源１，ビーム整形レンズ２，絞り３，ビームスプリッタ４，コリメータレンズ５，干渉縞結像用レンズ８及び撮像手段９は、干渉計本体ユニット１０として、本体ケーシング１１の内部に設けられている。この本体ケーシング１１の天板部１１ａには開口１３が形成されている。基準レンズ６は、後述するように、そのレンズホルダ２４及び位置調整機構２３を含めて基準レンズユニット１２として、干渉計本体ユニット１０とは独立のものとして、本体ケーシング１１の天板部１１ａに円形となった導光用の開口１３を形成して、この開口１３の周囲に装着されている。さらに、後述するように、天板部１１ａの上面に立設・固定した支柱５０及び固定フレーム５１と、この固定フレーム５１に高さを調整する間隔調整手段を介して装着したレンズマウント５６とを備え、これらにより被検レンズ装着ユニット１４が構成され、この被検レンズ装着ユニット１４におけるレンズマウント５６上に被検レンズ７が着脱可能にセットされる。
【００１５】
次に、図４に基づいて基準レンズユニット１２の構成について説明する。図中において、２０は第１ステージとしての傾動部材、２１は第２ステージとしてのＸＹ軸調整筒体、２２は第３ステージとしてのＺ軸調整筒体であり、これら３つのステージにより位置調整機構２３が構成される。そして、基準レンズ６はレンズホルダ２４に装着されて、このレンズホルダ２４はＺ軸調整筒体２２に螺挿されている。そして、基準レンズ６を交換する必要が生じた場合は、レンズホルダ２４ごとＺ軸調整筒体２２から取り外すようにする。
【００１６】
位置調整機構２３を構成する傾動部材２０は、本体ケーシング１１の天板部１１ａに設けられ、円環状の開口を有する傾動リング２５ａとＸＹ軸の調整手段が装着された囲壁部材２５ｂとからなり、これら傾動リング２５ａと囲壁部材２５ｂとは連結リング２６によって連結されている。そして、傾動リング２５ａは任意の方向に傾けることにより、レンズホルダ２４に装着した基準レンズ６の光軸を所望の方向に傾けられるものである。この傾動部材２０の傾き調整を行うために、図５及び図６に示したように、傾動リング２５ａと本体ケーシング１１の天板部１１ａとの間に鋼球２７が介装されており、この鋼球２７は傾動部材２０の下面に設けた円錐状凹部２８に収容されており、この位置が傾動支点位置となる。そして、傾き調整を行う操作手段としては、一対の調整ダイアル２９が設けられ、この調整ダイアル２９は天板部１１ａに螺挿したねじ軸３０に連結されている。このねじ軸３０の先端部は鋼球３１と当接しており、鋼球３１も、傾動部材２０の下面に設けた円錐状凹部３２に収容されている。そして、これら鋼球２７及び鋼球３１，３１は同心円上に配置されており、鋼球３１は鋼球２７の配設部に対して９０°の位置関係に設けられる。従って、各調整ダイアル２９を回動させて、ねじ軸３０を天板部１１ａから出没させることにより、傾動部材２０が天板部１１ａの上面に対して所望の方向に所望の角度だけ傾けることができる。
【００１７】
傾動部材２０の囲壁部材２５ｂ内にＸＹ軸調整筒体２１が遊嵌状に嵌合されている。ＸＹ軸調整筒体２１は、その外周面は傾動部材２０における囲壁部材２５ｂの内径より小さくなっており、この径差により基準レンズ６のＸＹ軸方向、つまり基準レンズ６の光軸と直交する方向への位置調整を行えるようになる。このために、囲壁部材２５ｂにはＸ軸調整手段とＹ軸調整手段とが直交する位置に設けられている。これらの調整手段は、囲壁部材２５ｂに相対向するように設けたねじ部材３３Ｘ，３３Ｙと、プランジャ３４Ｘ，３４Ｙとから構成され、これらねじ部材３３Ｘ，３３Ｙ及びプランジャ３４Ｘ，３４Ｙは囲壁部材２５ｂを貫通するようにして設けられており、またねじ部材３３Ｘ，３３Ｙの囲壁部材２５ｂの外側に延在された部位には操作つまみ３５Ｘ，３５Ｙが連結されている。従って、操作つまみ３５Ｘ，３５Ｙを回動させて、ねじ部材３３Ｘ，３３ＹによりＸＹ軸調整筒体２１を押動すると、プランジャ３４Ｘ，３４Ｙが短縮することにより、またねじ部材３３Ｘ，３３ＹをＸＹ軸調整筒体２１から引き離す方向に作動させると、プランジャ３４Ｘ，３４ＹがＸＹ軸調整筒体２１を押動するようになるので、ＸＹ軸調整筒体２１は傾動部材２０における囲壁部材２５ｂの内部という限られた範囲内で水平方向の任意の位置に変位させることができる。
【００１８】
このように、ＸＹ軸調整筒体２１は傾動部材２０の囲壁部材２５ｂに対して水平方向に移動可能となっているが、ＸＹ軸調整筒体２１が囲壁部材２５ｂから脱落したり、傾いたりしないように保持しなければならない。このために、ＸＹ軸調整筒体２１の外周面にはフランジ部２１ａが連設されており、また囲壁部材２５ｂには段差部が設けられ、上部側の内面が大径となっており、この内面にはめねじが形成されている。そして、めねじにはストッパリング３７が螺挿されて、ＸＹ軸調整筒体２１は、そのフランジ部２１ａがストッパリング３７により上方への動きが規制されて、傾動部材２０に対して水平方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）にのみ位置調整が可能に連結されている。
【００１９】
Ｚ軸調整筒体２２はＸＹ軸調整筒体２１の上部位置に嵌合されている。このＺ軸調整筒体２２はそれに固定され、基準レンズ６を装着したレンズホルダ２４の高さ位置を微調整するためのものである。このために、Ｚ軸調整筒体２２の外周面にはねじ部３８が形成されており、このねじ部３８は操作筒３９と螺合している。操作筒３９の下端部には外向きのフランジ部４０が連設され、このフランジ部４０はホルダリング４１によって囲壁部材２５ｂの上端面との間に挟持されており、操作筒３９はＸＹ軸調整筒体２１に対して回転可能となっている。Ｚ軸調整筒体２２の側面部にはストッパねじ４２が止着されており、このストッパねじ４２の頭部はＸＹ軸調整筒体２１に形成した上下方向の長孔４３に挿入されている。従って、操作筒３９を回動させると、レンズホルダ２４を固定して設けたＺ軸調整筒体２２が上下方向に移動することになる。そして、ＸＹ軸調整筒体２１に形成した長孔４３はＺ軸調整筒体２２の上下方向のストロークを規制する機能を発揮する。
【００２０】
次に、図７に被検レンズ装着ユニット１４の構成を示す。同図から明らかなように、本体ケーシング１１の天板部１１ａには、その開口１３の位置に装着した基準レンズユニット１２の外側位置に４本の支柱５０が立設されており、この支柱５０の上端部には固定フレーム５１が固定して設けられている。この固定フレーム５１には、円形の透孔が形成されており、この透孔の内面はねじ部５１ａが形成されている。このねじ部５１ａには外周面に所定の長さ分だけヘリコイドねじ５２ａを形成したヘリコイド固定筒５２が螺挿させることによって固定的に設けられている。また固定フレーム５１には、ホルダリング５３が固定的に装着されており、このホルダリング５３の上端部には内向きのストッパ部５３ａが形成されている。ヘリコイド固定筒５２とホルダリング５３との間には、内周面にヘリコイドねじ５２ａと係合するヘリコイドねじ５４ａを形成したヘリコイド可動筒５４が嵌合させてあり、このヘリコイド可動筒５４を回動操作すると、それがヘリコイド固定筒５２に対して上下動する。そして、ヘリコイド可動筒５４を所定の高さ位置に調整したときに、その位置でヘリコイド可動筒５４を安定した状態に保持するために、これらヘリコイド固定筒５２とヘリコイド可動筒５４とにおいて、ヘリコイドねじ５２ａ，５４ａが形成されていない部位にはその間の相対回動に対する抵抗を与えるために、Ｏリング等からなる摩擦リング５５が介装されている。
【００２１】
ヘリコイド可動筒５４の先端面は平面を有する載置部５４ｂであり、また先端側の内周面にはねじ部が形成されている。そして、このヘリコイド可動筒５４の載置部５４ｂには被検レンズ７が載置されるレンズマウント５６が載置されて、そのねじ部に螺挿することによって固定される。レンズマウント５６はリング状の部材であり、その内径部には所定の高さの円環状突条５６ａが形成されており、この円環状突条５６ａの先端面には、１２０°の間隔をもって３つの鋼球５７が取り付けられている。しかも、これらの鋼球５７は円環状突条５６ａから所定の高さだけ突出しており、被検レンズ７における被検面７ａはこれら鋼球５７に当接し、レンズマウント５６に対しては非接触状態に保たれるようになっている。
【００２２】
また、ヘリコイド可動筒５４には、レンズマウント５６が直接装着されるようになっているが、被検レンズ７における被検面７ａの曲率半径によっては、図８に示したように、所定の高さを有する高さ調整リング６０が連結され、レンズマウント５６はこの高さ調整リング６０上に設置するように構成することもできる。
【００２３】
本実施の形態は以上のように構成されるものであり、被検レンズ７の被検面７ａの表面状態を測定するに当たっては、レンズマウント５６上に被検レンズ７をセットして、レーザ光源１からのレーザ光を基準レンズ６を介して被検レンズ７に照射する。レーザ光は一部が基準レンズ６の基準面６ｂで反射すると共に、被検レンズ７の被検面７ａでも反射して、これら２つの反射波面が干渉することになり、この干渉情報は撮像手段９により撮像される。
【００２４】
ところで、被検レンズ７の測定を正確に行うには、レーザ光源１から被検レンズ７までと、被検レンズ７から撮像手段９までとの光路における光軸が正確に一致していなければならない。干渉計装置は、干渉計本体ユニット１０と、基準レンズユニット１２と、被検レンズ装着ユニット１４とから構成され、干渉計本体ユニット１０は、本体ケーシング１１の内部に、また被検レンズ装着ユニット１４は天板部１１ａの上面に固定的に設けられている。従って、干渉計装置における各部の光軸調整は基準レンズユニット１２側でのみ行われる。
【００２５】
干渉計装置において、干渉計本体ユニット１０及び被検レンズ装着ユニット１４は本体ケーシング１１に組み込まれるので、当然、その組立時に厳格に位置調整するようにして組み付けられる。ただし、干渉計本体ユニット１０と被検レンズ装着ユニット１４とはそれぞれ独立に本体ケーシング１１に組み込まれることから、それら各部に多少の加工公差や組み付け誤差等の発生を防止することはできない。つまり、それぞれ許容範囲内ではあるが、干渉計本体ユニット１０と被検レンズ装着ユニット１４との間において多少の位置ずれが生じるのを防止することはできない。しかも、被検レンズ装着ユニット１４において、曲率半径の異なる被検レンズの測定を行う際には、ヘリコイド可動筒５４を操作して、レンズマウント５６の高さ位置を調整し、またＺ軸調整筒体２２のＸＹ軸調整筒体２１からの突出量を微調整しなければならない。また、必要に応じて１または複数の高さ調整リング６０がヘリコイド可動筒５４とレンズマウント５６との間に装着することになる。従って、この間にレンズマウント５６にセットされる被検レンズ７が干渉計本体ユニット１０に対して僅かに光軸のずれが生じる可能性も否定することはできない。
【００２６】
このように、被検レンズ７の光軸と干渉計本体ユニット１０の光軸との間にずれが生じる要因はあるが、これら被検レンズ７と干渉計本体ユニット１０との間には基準レンズ６が配置されており、この基準レンズ６の光軸を干渉計本体ユニット１０及び被検レンズ７に対して光軸合わせを行うことによって、干渉計本体ユニット１０と被検レンズ装着ユニット１４に装着した被検レンズ７との間の光軸のずれを補正して、被検レンズ７を正確に測定できるように調整できるようにしている。
【００２７】
今、レンズマウント５６にセットされた被検レンズ７の光軸をＡ１、干渉計本体ユニット１０の光軸をＡ２、基準レンズユニット１２に装着した基準レンズ６の光軸をＡ３とし、図９（ａ）に示したように、光軸Ａ１と光軸Ａ２とが水平方向にＰだけずれていたとする。この場合には、基準レンズ６の光軸Ａ３を光軸Ａ１と光軸Ａ２とのほぼ中間に位置するように調整する。これによって、基準レンズ６からの反射光の波面と被検レンズ７からの反射光の波面との間で正確な干渉縞情報を作り出すために必要な程度に干渉計本体ユニット１０と基準レンズ６と被検レンズ７との光軸を一致させることができるようになり、被検レンズ７の測定精度が極めて高くなる。
【００２８】
ここで、基準レンズ６の位置調整は、操作つまみ３５Ｘ，３５Ｙを適宜操作することによって、傾動部材２０における囲壁部材２５ｂ内でＸＹ軸調整筒体２１を水平方向に移動させることにより行うことができる。そして、ＸＹ軸調整筒体２１は、通常、ほぼ調芯された位置に配置されているので、それを微小移動させれば良いことから、その操作も容易になり、操作性の点からも有利である。
【００２９】
また、図９（ｂ）に示したように、干渉計本体ユニット１０の光軸Ａ２に対して被検レンズ７の光軸Ａ１が角度θ傾いている場合には、２箇所設けた調整ダイアル２９を適宜回動操作することによって、本体ケーシング１１の天板部１１ａに対して傾動部材２０を微小量傾けるように操作して、この角度θの概略半分の角度だけ基準レンズユニット１２の角度調整を行うことによって、被検レンズ７の測定を正確に行うことができるようになる。
【００３０】
通常においては、干渉計本体ユニット１０と被検レンズ装着ユニット１４にセットされる被検レンズ７との間の光軸ずれは水平方向及び傾き方向の成分を含むことから、実際には光軸合わせを行うには、位置調整機構２３の操作手段を構成する操作つまみ３５Ｘ，３５Ｙと、一対からなる調整ダイアル２９とを操作することになる。そして、干渉計本体ユニット１０と被検レンズ７とが極端に、つまり基準レンズ６により光軸のずれを吸収できない程度のずれが生じていない限り、基準レンズユニット１２の位置調整機構２３を操作することにより干渉計本体ユニット１０、基準レンズ６及び被検レンズ７の光軸を実質的に一致させることができるようになる。
【００３１】
以上のように、干渉計装置における光軸調整は、基準レンズ６を被検レンズ７に対して、また干渉計本体ユニット１０に対して行うようにしていることから、それらの光軸のずれを有効に吸収できる。これに対して、干渉計本体に基準レンズを組み込んだ場合には、極めて厳格に位置調整したとしても、干渉計本体の他の部位、つまりビーム整形用レンズ、ビームスプリッタ等と基準レンズとの間に光軸のずれ及び傾きを０にすることはできない。従って、曲率半径の大きい被検レンズを測定する場合には、この被検レンズは基準レンズからの離間距離が長くなり、その分だけ基準レンズとそれ以外の干渉計本体を構成する部品との組み付け時に生じる光軸ずれが増幅されることになるので、被検レンズの光軸調整の困難性が増すことになる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施の一形態を示すものであって、干渉計装置の光学構成の全体構成を示す説明図である。
【図２】干渉計装置の正面図である。
【図３】図２の平面図である。
【図４】基準レンズユニットの構成を示す断面図である。
【図５】位置調整機構としての傾き調整機構を示す構成説明図である。
【図６】傾き調整機構における駆動部の構成を示す断面図である。
【図７】被検レンズ装着ユニットの構成を示す断面図である。
【図８】被検レンズ装着ユニットに高さ調整リングを装着した状態を示す断面図である。
【図９】本発明による光軸調整機構の作用説明図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  レーザ光源
１０  干渉計本体ユニット
１１  本体ケーシング
１１ａ  天板部
１２  基準レンズユニット
１３  開口
１４  被検レンズ装着ユニット
２０  傾動部材
２１  ＸＹ軸調整筒体
２２  Ｚ軸調整筒体
２３  位置調整機構
２４  レンズホルダ
２５ａ  傾動リング
２５ｂ  囲壁部材
２８，３２  円錐状凹部
２９  調整ダイアル
３３  ねじ部材
３４Ｘ，３４Ｙ  プランジャ
３５Ｘ，３５Ｙ  操作つまみ
３９  操作筒
５０  支柱
５１  固定フレーム
５２  ヘリコイド固定筒
５４  ヘリコイド可動筒
５６  レンズマウント
【図１】
2005098719.tif 000003
【図２】
2005098719.tif 000004
【図３】
2005098719.tif 000005
【図４】
2005098719.tif 000006
【図５】
2005098719.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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