(57)【要約】【課題】少量のサンプルで可能な弾性表面波による液体測定方法を提供する。【解決手段】表面中に少なくとも球面の一部で形成されていて円環状に連続している領域を有している基材と、上記基材の上記表面に設けられた上記表面に弾性表面波を上記表面領域に沿い上記連続する方向と交差する方向に拡散せずに上記連続する方向に発生させる弾性表面波発生器とを備えている弾性表面波素子を、それと嵌合する容器に収め、隙間に被測定液体を注入し、被測定液体から取出後、前記弾性表面波発生器により弾性表面波を励起し、前記励起された弾性表面波の速度を測定することを特徴とする弾性表面波による液体測定方法を提供する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面中に少なくとも球面の一部で形成されていて円環状に連続している領域を有している基材と、上記基材の上記表面に設けられた上記表面に弾性表面波を上記表面領域に沿い上記連続する方向に発生させる弾性表面波発生器とを備えている弾性表面波素子を、それと嵌合する容器に収め、容器と弾性表面波素子の円環状に連続している領域との隙間に被測定液体を注入し、被測定液体から取出すか被測定液体を取り除いた後、前記弾性表面波発生器により弾性表面波を励起し、前記励起された弾性表面波の速度を測定することを特徴とする弾性表面波による液体測定方法。
【請求項２】
請求項１の表面中に少なくとも球面の一部で形成されていて円環状に連続している領域を有している基材が、球形から両極を欠落させた形状の球状弾性表面波素子を極部分で複数個連結した形状であることを特徴とする弾性表面波による液体測定方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の基材のすくなくとも円環状に連続している領域が圧電材料であることを特徴とする弾性表面波による液体測定方法。
【請求項４】
前記円環状に連続している領域にすだれ状電極が形成されている事を特徴とする請求項３記載の弾性表面波による液体測定方法。
【請求項５】
前記両極を欠落させた両極部分表面が被測定液体反発性処理が施されている事を特徴とする請求項２乃至４何れか記載の弾性表面波による液体測定方法。
【請求項６】
前記両極を欠落させた両極部分表面が密着され、かつ被測定液体反発性処理が施されている事を特徴とする請求項５記載の弾性表面波による液体測定方法。
【請求項７】
前記球形から両極を欠落させた形状の球状弾性表面波素子を極部分で複数個連結した形状で薬液あるいはガス処理を行う事を特徴とする請求項２乃至６何れか記載の弾性表面波による液体測定方法。
【請求項８】
前記薬液あるいはガス処理を前記嵌合する容器内で行うと共に、容器は円筒形で且つその円筒直径は前記球形の直径より１ｍｍより大きくないことを特徴とする請求項７記載の弾性表面波による液体測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は弾性表面波素子に関係しており、より詳細には、少なくとも球面の一部で形成されていて円環状に連続している外表面を有した基材の上記外表面に設けられている弾性表面波発生手段が上記外表面が連続している方向に向かう弾性表面波を発生させる、球状弾性表面波素子に関係している。
【背景技術】
【０００２】
基材上に弾性表面波を発生させるとともに基材上に発生された弾性表面波を受信するものとして弾性表面波素子は従来から良く知られている。従来の弾性表面波素子では圧電体上に１対のすだれ状電極が設けられていて、一方のすだれ状電極に高周波電圧を供給することにより一方のすだれ状電極の並んでいる方向に弾性表面波を発生させ、他方のすだれ状電極が一方のすだれ状電極から発生される弾性表面波の移動方向に配置されていて上記弾性表面波を受け取る。弾性表面波素子は、遅延線，発信機の為の発振素子及び共振素子，周波数を選択する為のフィルター，化学センサー，バイオセンサー，またはリモートタグ等に使用されている。
【０００３】
そして弾性表面波素子において共振周波数の精度を高める為には、１対のすだれ状電極相互間を弾性表面波が伝搬する際の伝搬損失を出来る限り小さくすることが望まれていたが、通常の弾性表面波素子は１対のすだれ状電極が設けられている圧電体の表面及び基材の表面が平坦であるので、一方のすだれ状電極から発生された弾性表面波は他方のすだれ状電極に向かい伝搬する間に上記表面上で伝搬方向と直交する方向に拡散し弱まってしまう。
【０００４】
この現象は伝搬する距離が長くなると顕著である。この為に弾性表面波の伝搬損失を小さくすることが出来ず、ひいては弾性表面波素子における性能を高めることに限界があったので、従来の弾性表面波素子に比べ遥かに性能を高めることが出来るばかりでなく、コンパクトでもある球状弾性表面波素子を提供する為に、特許文献１の様な球状弾性表面波素子が提案されている。
【０００５】
それは、少なくとも球面の一部で形成されていて円環状に連続している外表面を有した基材と、上記基材の外表面に設けられ、上記基材の外表面の連続する方向に向かう弾性表面波を発生する弾性表面波発生手段とを備えており、弾性表面波発生手段が上記外表面に沿い上記連続する方向と交差する方向に拡散せずに上記連続する方向にのみ向かうよう弾性表面波を発生させる球状弾性表面波素子である。
【特許文献１】国際公開  ＷＯ  ０１／４５２５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、用途として弾性表面波はその伝搬する材料表面に、物質が付着したりあるいは表面に形成した材料が化学的な反応を起して弾性物性が変化すると、その周回する速度を変化させることを用いてセンサーとして利用される場合があるが、その場合、基材表面に特定の抗体を結合させておき、被分析蛋白質が溶解している溶液をその表面に結合させると、抗体特有の蛋白質が溶液中に存在すると抗体分子に蛋白質が結合する。この現象を球状弾性表面波素子に応用すると、様々な抗体を付着した素子を用意しておき、そのすべてにサンプル溶液を接触させ、リンス乾燥後に球状弾性表面波素子の、表面を周回する弾
性表面波の周回速度の変化を測定すると蛋白質が付着した素子だけが周回速度を遅くする事からサンプル溶液の中の特定の蛋白質を検出できる。
【０００７】
このような医療や生化学において測定に用いることが出来るサンプルは、生体内から採取を行い、処理して準備される為に非常に量が少ない。一方球状弾性表面波素子の受感部は円環状に連続している領域３１である弾性表面波が周回する部分だけなので、其れ以外の領域にサンプルを接触させても無駄になるばかりか、たとえ表面に抗体が存在しないとしても多少は付着するために被検出対象である物質が減少してしまう。球状弾性表面波素子を円筒形の容器を使って浸漬する場合も図９に示すように被測定液体が多く必要となる空間３２が発生し、多くのサンプル溶液が必要になるのは明らかである。
【０００８】
一方、図１０に示すように底面の丸い容器を使って浸漬することも出来が、蛋白質の解析のように数十数千種類の抗体に対して浸漬しなくてはならない場合にこのような容器に対してその回数、異なる球状弾性表面波素子を浸漬して出力を見ることは非常な時間とサンプル量を必要とする。
【０００９】
以上、述べたように球状弾性表面波素子を用いて抗原抗体反応を用いた薬液処理のような測定を行う場合に、素子の表面において実際に必要な薬液量は球状弾性表面波素子の弾性表面波が周回する経路上だけでもよいのにもかかわらず、実際は非常に多くのサンプル量と手間を必要とする事がわかる。
【００１０】
また、図１１に示すようなたる型の球状弾性表面波素子を用いても素子表面の面積は若干小さくはなるが被測定液体中の被検出物質が平面部分に吸着されてしまうことで、相対的に実際に測定される円環状に連続している領域に付着する被検出物質の量が減少するという問題があった。
【００１１】
なお、図１２に示すように六方充填にサンプルを配置して１度の多数の球状弾性表面波素子の表面に接触させる事も可能であるがそれでもかなりの量のサンプルが無ければその測定は困難である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明はかかる課題を解決するものであり、本願の請求項１に係る発明は、表面中に少なくとも球面の一部で形成されていて円環状に連続している領域を有している基材と、上記基材の上記表面に設けられた上記表面に弾性表面波を上記表面領域に沿い上記連続する方向に発生させる弾性表面波発生器とを備えている弾性表面波素子を、それと嵌合する容器に収め、容器と弾性表面波素子の円環状に連続している領域との隙間に被測定液体を注入し、被測定液体から取出すか被測定液体を取り除いた後、前記弾性表面波発生器により弾性表面波を励起し、前記励起された弾性表面波の速度を測定することを特徴とする弾性表面波による液体測定方法を提供するものである。
【００１３】
また、本願の請求項２に係る発明は、請求項１の表面中に少なくとも球面の一部で形成されていて円環状に連続している領域を有している基材が、球形から両極を欠落させた形状の球状弾性表面波素子を極部分で複数個連結した形状であることを特徴とする弾性表面波による液体測定方法を提供するものである。
【００１４】
また、本願の請求項３に係る発明は、請求項１または２記載の基材のすくなくとも円環状に連続している領域が圧電材料であることを特徴とする弾性表面波による液体測定方法を提供するものである。
【００１５】
また、本願の請求項４に係る発明は、前記円環状に連続している領域にすだれ状電極が
形成されている事を特徴とする請求項３記載の弾性表面波による液体測定方法を提供するものである。
【００１６】
また、本願の請求項５に係る発明は、前記両極を欠落させた両極部分表面が被測定液体反発性処理が施されている事を特徴とする請求項２乃至４何れか記載の弾性表面波による液体測定方法を提供するものである。
【００１７】
また、本願の請求項６に係る発明は、前記両極を欠落させた両極部分表面が密着され、かつ被測定液体反発性処理が施されている事を特徴とする請求項５記載の弾性表面波による液体測定方法を提供するものである。
【００１８】
また、本願の請求項７に係る発明は、前記球形から両極を欠落させた形状の球状弾性表面波素子を極部分で複数個連結した形状で薬液あるいはガス処理を行う事を特徴とする請求項２乃至６何れか記載の弾性表面波による液体測定方法を提供するものである。
【００１９】
また、本願の請求項８に係る発明は、前記薬液あるいはガス処理を前記嵌合する容器内で行うと共に、容器は円筒形で且つその円筒直径は前記球形の直径より１ｍｍより大きくないことを特徴とする請求項７記載の弾性表面波による液体測定方法を提供するものである。
【００２０】
このように構成された弾性表面波素子においては、少なくとも球面の一部で形成されていて円環状領域上に設けられている弾性表面波発生器が上記基材の外表面の連続する方向に向かうよう弾性表面波を発生させると、弾性表面波が円環状領域に沿い上記連続する方向と交差する方向に拡散せずに連続する方向にのみ向かう。この為に弾性表面波は円環状表面領域に沿い少なくとも円環状領域の円周距離を非常に多数回伝搬することが出来る。
【００２１】
上述した如く構成されたことを特徴とするこの発明に従った弾性表面波素子においては、基材が圧電材料が好ましいが、非圧電材料で形成することも出来る。この場合には、弾性表面波発生器は、基材の円環状領域に設けられた圧電材料膜と圧電材料膜の表面に設けられ圧電材料膜に電界を印加することで連続する方向に弾性表面波を発生させる振動発振器とを備える。振動発振器は、高周波電源に接続されるすだれ状電極を含んでいることが出来る。
【００２２】
基材は圧電材料で形成されていることが好ましい。この場合には、弾性表面波発生器は、基材の表面の円環状領域に設けられ基材の円環状領域に周期的な電界を印可することで連続する方向に弾性表面波を発生させる振動発振器を備えていることが出来る。
【００２３】
振動発振器は、高周波電源に接続されるすだれ状電極を含んでいることが出来る。振動発振器が高周波電源に接続されるすだれ状電極を含んでいる場合、すだれ状電極の複数の電極片の配列周期は上記基材の球面の半径の１／１０以下に設定されていることが好ましい。振動発振器が発生させる弾性表面波の波長は、基材全体の固有振動ではなく、すだれ状電極の複数の電極片の配列周期に略等しくなる。
【００２４】
振動発振器が高周波電源に接続されるすだれ状電極を含んでいる場合、すだれ状電極の複数の電極片が相互に対面する長さ（電極幅）は基材の球面の直径の半分以下で上記球面の半径の１／１００以上に設定されていることが好ましい。
【００２５】
円環状領域に配置されるすだれ状電極及びこれに付随した電気回路パターン等の上記連続する方向に対し直交する方向に沿った長さは、基材の球面の円周長さの半分以下である必要があるだけでなく、特に圧電結晶を圧電材に使用する際には長くても発生する弾性表
面波の強度はあまり大きくならないばかりか、素子を小型化することも困難にする。
【００２６】
従って、すだれ状電極の複数の電極片が相互に対面する長さ（電極幅）は上記基材の球面の直径の半分以下であることが合理的である。また、対面する長さ（電極幅）が基材の円環状領域の半径の１／１００以下になると、すだれ状電極において発生した表面弾性波は円環状領域の連続する方向に伝播しながら連続する方向と直交する方向に拡散する。そして、連続する方向と直交する方向に拡散した表面弾性波がすだれ状電極に入力されるようになると、すだれ状電極が拡散する領域に存在する障害物からの影響を受け、例えばすだれ状電極の周波数特性が悪影響を受ける可能性がある。
【００２７】
そして実際には、波長パラメータ（球面の連続する方向における周囲長さ／弾性表面波波長）が６０乃至８００であり、直交する方向においてすだれ状電極の複数の電極片が相互に対面する長さ（電極幅）はコリメート角（弾性表面波の周回経路の最大幅がもっとも小さくなる角）に近いことが好ましい。
【００２８】
すだれ状電極の複数の電極片の配列周期（発生する弾性表面波の波長に一致する）は上記球面の半径の１／１０以下であることが好ましい。また、すだれ状電極の複数の電極片の相互間の距離は上記球面の半径の１／１０以下であることが好ましい。
【００２９】
本発明において、「球面の一部で形成されていて円環状に連続している領域を含む表面を有した基材」とは、球形状をした基材を含むのは勿論のこと、球形状から上記領域以外が切り取られた樽形状や外方に凸に湾曲している周面を有する略円盤形状も含み、さらには、球形状，樽形状，または略円盤形状の空洞を含む基材も含まれる。特に樽形状にすることで、平面部を重ねれば複数の球状弾性表面波素子をその表面積を抑えた形態に組むことが可能で、被検出物質を円環状部分にのみ接触させることが出来る。
【００３０】
従って、基材は、少なくとも球面の一部で形成されていて円環状に連続している領域を有している内表面を含む空洞と、空洞内部と上記基材の外部とを連通させる溝等の開口と、を備えていることが出来る。
【００３１】
この場合、空洞は球状弾性表面波素子を連結した場合、連結空洞になり、被測定液体の流路になるのが好ましい。この場合は、被測定液体が流れ、かつ最低限の量で機能する様に、被測定液体の性質に応じて適当な大きさを選定するのが好ましい。
【発明の効果】
【００３２】
以上詳述したことから明かなように、この発明に従った球状弾性表面波素子は、従来の弾性表面波素子に比べ遥かに性能を高めることが出来るばかりでなく、被測定液体が少量の場合の測定に適したものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
図１以下を用いて本発明を詳細に説明する。図１で示すのはこの実施例で作成した連結球状弾性表面波素子を構成する一つの球状弾性表面波素子の単体である。
【００３４】
基材は直径１ｍｍの水晶球の二面をカットしたものである。水晶材料を用いて球状弾性表面波素子の水晶基材１を作成する際に、水晶のＺ軸（＝Ｃ軸）を地軸と見なした時の赤道に沿って弾性表面波３が効率良く伝播することが知られている。また、すだれ状電極２を赤道上に赤道に垂直方向にすだれ上電極の電極端子がなるように蒸着とフォトリソグラフィーを用いる事で実現出来る。この実施例に用いたすだれ状電極の形状を図１に模擬的に示す。
【００３５】
ここに使用したすだれ状電極対数は４であり、交互に配置される電荷のラインアンドスペースは約２ミクロンで、重なり幅は０．１１ｍｍである。基材は直径の１ｍｍの水晶球の極にあたる２面を研磨して厚さ０．４ｍｍに作成した。平面部分はこの素子が複数連結される場合に、その隙間にサンプル溶液が侵入するのを防ぐためにポリ弗化エチレン被膜等の形成等によって疎水性処理を平面部外周に沿って形成しても良い。或いは平面部をくり貫いたり窪ませるなどの加工を行っても良い。
【００３６】
この様に疎水加工を行うまでもなく、平面部分を密着、もしくは連結して後に薬液を投入する手順をとることによって、密着が確実になされていれば薬液の侵入を防ぎ、結果として薬液中の被検出物質の消耗を防ぐことによって同様の効果を得ることが出来る。
【００３７】
この効果とは、特に樽形状に球状弾性表面波素子を用いる場合、平面間の距離、すなわち樽の高さが小さくなればなるほど効果が大きくなり、理論的には球の表面積と、円環領域の面積の比率に逆比例して被検出物質を高い感度で検出出来ることは容易に想像される。
【００３８】
よって本発明に使用される球状弾性表面波素子の円環領域は狭い方が好ましく、大きく欠落を行った素子に有効である。好ましくは樽形状であり、その平面部分の間隔の距離、つまり高さは、円環領域の曲率半径の１．５分の１以下であると倍程度の感度向上が見込まれるから望ましい。
【００３９】
この球状弾性表面波素子を計４個作成して、内１個をタンパクＡに対する抗体の溶液に浸漬し、他１個をタンパクＢの抗体、他１個をタンパクＣの抗体に残り１個を純水に浸漬し、後リンスを行って乾燥し、図２に示すように平面部分を連結した。
【００４０】
３個の球状弾性表面波素子を図３に示す円筒形の容器に挿入して、サンプルである被測定液体５を注入した。円形の容器の直径は１．１ｍｍであり、高さは１．７ｍｍであり、図示しないが底部に薬品吸引用の空洞が空いており処理が完了したら吸引を行ってサンプル液やリンス液の回収を行う。
【００４１】
なお、この場合の容器は、図４に示す様に容器の内壁面に連結して挿入された球状弾性表面波素子をその中央に位置決めする突起を有している。球状弾性表面波素子の円環領域に満遍なく薬液が接する為に設けられている。
【００４２】
なお、容器は上記突起を除いて円筒形が好ましいが、球状弾性表面波素子の円環領域の直径に比較して０．５ｍｍよりも小さいと、円筒容器と円環領域の空間に薬液の表面張力によって自ずと容器内に薬液が侵入することから望まれる。よって、円筒容器内径と球状弾性表面波素子の直径は１ｍｍ以下の差以内に抑えられることが好ましい。
【００４３】
円筒形容器にセットされた球状弾性表面波素子は本容器内で上部より圧力約１０ｇ重を印加しながら行い、サンプル液の注入を行った。サンプル液は毛細管現象により即座に球状弾性表面波素子と円筒形容器の隙間に侵入して４個の球状弾性表面波素子の表面を処理する事が可能であった。ここで円筒形容器と表現したが底の無いパイプでも表面張力等によって液体を保持反応させることが可能でサンプルの交換も容易であり、本発明はそれを除外しない。
【００４４】
注入したサンプルの量は０．１ｃｃ以下でたりた。平面部を持たない球形の球状弾性表面波素子を一括して処理する場合はその１０倍以上のサンプルを要し、微量サンプルによる測定が容易な事を示した。特に素子と素子を平面で連結した境界から薬液が侵入しないためにサンプル中の蛋白質が弾性表面波の伝搬経路外のこれらの領域に付着して結果的に
感度の悪化をきたす事を防ぐ事が出来た。
【００４５】
このように複数の球状弾性表面波素子を連結して一括した測定を行う事の利点は使用する素子に対して同じ条件の処理を行いやすい事に加えて、次に示すように多数の球状弾性表面波素子についての測定が容易に行える点である。各球状弾性表面波素子の表面に蛋白質が付着したかどうかを、実際にすだれ状電極の電極に電極プローブ６を接触させる事によって信号を取り出し、球状弾性表面波素子駆動測定装置７により測定を行った。
【００４６】
この図では複数の素子から並行して評価を行えるように多数のプローブを用いて測定を行っているが、このように連結したままで測定を行えば、３つの素子のうちの１個について表面には抗体をつけていなかった素子からの測定結果を温度校正用に使用する事が出来る。各素子の平面部が密着してる為に温度差が殆ど無く正確な校正を行う事が可能である。
【００４７】
尚、以上記載した利点を得るためには、球状弾性表面波素子の円環領域の曲率半径以下、少なくとも半径の１．５倍以下になっていることが望ましい、水晶のような圧電結晶球を利用する球状弾性表面波素子において、あまりに大きな幅を持った帯状に弾性表面波を励起して周回させようとすると周回の効率が悪かったり、あるいは高い周波数の弾性表面波を周回させる事が出来ず表面に付着する被検出物質の影響をあまり敏感に反応する事が出来なくなる。平面部間の厚さが厚いと当然、必要サンプル量を低減する効果も小さくなる。特に、チューブあるいは筒の中に無造作に球状弾性表面波素子を複数挿入して全体を振動させる事で自然に平面部同士が対向することが困難になる。このスケールで薬液を挿入する場合、空気が内部に閉じ込められて薬液の侵入を疎外する為に図示しないが、円筒形容器の底部に空気抜きの穴か、あるいは底自体が無い管に形成してあることが望まれる。
【００４８】
また、別な変形実施形態を図５を用いて以下に示す。ここに使用したすだれ状電極２の対数は４であり、交互に配置される電荷のラインアンドスペースは約２ミクロンで、重なり幅は０．１ｍｍである。基材は直径の１ｍｍの水晶球の極にあたる２面を研磨して厚さ０．４ｍｍに作成した水晶基材１、２つの平面部には測定時に結線を行う為の電極パットを形成し電極端子８としている。図５に示した電極パットはリング形であり、図で反対側（下側）は中央に円形のパットが形成してある。平面部分はこの素子が複数連結される場合に、その隙間にサンプル溶液が侵入するのを防ぐために疎水性処理を平面部外周に沿って形成しても良い。或いは平面部をくり貫いたり窪ませるなどの加工を行っても良い。このような素子を連結する事によって薬液処理を行うが、先ほど説明した例とは測定方法が異なる。このデバイスでは薬液処理は連結して行うが、測定については１個１個の素子に分解して、夫々の素子の平面部を用いて分析装置に結線を行って測定する。
【００４９】
別な実施形態として、球状弾性表面波素子が、その表面にすだれ状電極を有していない素子或いはその使用方法を示すことも可能である。この例で使用する球状弾性表面波素子は実施例１で使用した球状弾性表面波素子と同じ基材を使用するが大きさが異なる。前もっては電極が形成されていない事が特徴である。実際に測定を行うときに基材表面に櫛型電極を接近させる事で表面に弾性表面波を励起する。
【００５０】
各球状弾性表面波素子（すだれ状電極が近接されていないがここではこのように呼ぶ）の表面について実施例と同様の処理を行なうが、実際に弾性表面波を円環領域に励起して測定する時だけが違う。
【００５１】
図６に、測定状況を示す。曲率半径が５ｍｍで開口６ｍｍの凹面窪みを形成し、その凹面上に実施例１で示したと同じ、金とクロム膜の蒸着膜から、ラインアンドスペースが１
８ミクロンで重なり幅が１．１ｍｍのすだれ状電極をフォトリソグラフィーを用いて形成した。
【００５２】
この凹面に対して、電極を持たない球状弾性表面波素子を上より設置して、凹面状に形成されたすだれ状電極に対して４５ＭＨｚ近傍のＲＦバースト信号を印加し、球状弾性表面波素子を周回する弾性表面波を励起してＺ軸の周りを周回させ、その出力の測定を、整合回路９を通して高周波発振器１０を用いてアンプ１１で増幅した上で信号解析装置１２で解析を行うことで行うことができる。素子の表面に対して、弾性表面波の素子状における波長７１μｍの４分の１以下、好ましくは十分の一以下の距離まで接近させる事が効率良く表面波を測定するためには必要であり、距離を適性に保つ為にスペーサー構造を表面に構成しなくてはならないが様々な形状が考えられ可能である。
【００５３】
また別な実施形態として、図７に示すのは球状弾性表面波素子の内部に連結した被測定液体である薬液導入路を形成した形態を示すこともできる。個々で使用した球状弾性表面波素子の直径は１０ｍｍであり厚さ（平面部間の距離）は４ｍｍである。すだれ状電極のラインアンドスペースは１７μｍであり、発振周波数は４５ＭＨｚである。この大きさの球状弾性表面波素子２１の場合は、表面張力によって液体が自然に入り込む事は出来ない為に強制的に供給される被測定液体２３である薬液を注入する機構が必要である。この為に図８に示すように内部に連結される事によってトンネルを形成するように空洞を持った球状弾性表面波素子が有効であった。
【００５４】
球状弾性表面波素子２１の平面部には小さな溝が形成されており、素子を連結しても個々から薬液や空気（泡）を抜くことが出きる。さらに、内部の連結空洞２２を利用して全ての球状弾性表面波素子２１の表面に対して容器２５内にて均一に被測定液体２４である薬液を供給し、且つ吸引することで排出する事が可能になる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
基板上にレジスト液などの各種薬液を塗布液として塗布する装置などとして利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本実施形態の弾性表面波素子に用いられる球状弾性波表面波素子の斜視図である。
【図２】本実施形態の球状弾性波表面波素子から弾性表面波素子を構成するまでの処理の状態を示す斜視図工程図である。
【図３】図２に従って本実施形態の球状弾性波表面波素子から弾性表面波素子を構成した後の処理の状態を示す斜視図工程図である。
【図４】図２の本実施形態の球状弾性波表面波素子が容器内に収まっている状態を示す平面図である。
【図５】図１とは違う本実施形態の弾性表面波素子に用いられる球状弾性波表面波素子の斜視図である。
【図６】本実施形態の球状弾性波表面波素子の測定状態を示す斜視工程図である。
【図７】別な実施形態に係る球状弾性波表面波素子を用いた場合の弾性波表面波素子の浸漬状態を示す斜視工程図である。
【図８】図７の実施形態に係る球状弾性波表面波素子を用いた場合の弾性波表面波素子の浸漬状態を示す断面図である。
【図９】従来の製造工程の一例を示す斜視図である。
【図１０】図９とは別な従来の製造工程の一例を示す斜視図である。
【図１１】図９、９とは別な従来の製造工程の一例を示す斜視図である。
【図１２】図９、９、１０とは別な従来の製造工程の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  水晶基材
２  すだれ状電極
３  弾性表面波
４  Ｚ軸
５  サンプル溶液
６  電極プローブ
７  球状弾性表面波素子駆動測定装置
８  電極端子
９  整合回路
１０  高周波発信器
１１  アンプ
１２  信号解析装置
１３  溝
２１  弾性表面波素子
２２  連結空洞
２３  供給される被測定液体
２４  被測定液体
２５  容器
３１  円環状に連続している領域
３２  被測定液体が多く必要になる空間
【図１】
2005147736.tif 000003
【図２】
2005147736.tif 000004
【図３】
2005147736.tif 000005
【図４】
2005147736.tif 000006
【図５】
2005147736.tif 000007
【図６】
2005147736.tif 000008
【図７】
2005147736.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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