(57)【要約】【課題】  光学センサーやリミットスイッチ等のセンサを蛇行検出手段として用いることなく、自動的にシート又はウェブ状物を蛇行修正しながら搬送できる搬送装置を提供する。【解決手段】  正常な搬送時には、被搬送物Ｗの搬送方向に沿った両側の端縁部上面にニップローラ５とセンシングローラ６が当接し、下面に駆動ローラ４が当接して上下方向から被搬送物を挟持する状態で且つ、駆動ローラの傾斜により搬送方向両外側に向けて被搬送物を緊張させて搬送する。搬送中に被搬送物が蛇行して搬送路Ｃの左右何れかに片寄ると、寄った側と反対側の駆動ローラユニット３のセンシングローラ６が被搬送物Ｗの端縁が脱落してセンシングローラ６が駆動ローラ４と直接接触することで、隣接するニップローラ５を伴って駆動ローラ４と同方向に向きを変えて被搬送物４の片寄りを戻すように動作する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平な搬送路の両側にそれぞれ配列され、且つ、前記搬送路を挟んでその横断方向にそれぞれ互いに対向するように複数設けられた駆動ローラユニットを備え、
これらの駆動ローラユニットはそれぞれ、シート又はウェブ状の被搬送物の搬送方向に沿った端縁部下面を支持し、搬送路の中央側に向けて横断方向からやや前方に傾斜した水平な軸線回りに回転可能に設けられた駆動ローラと、
前記駆動ローラの軸線から搬送方向後方にずれた垂直な軸線回りに回動可能で且つ上下動可能に設けられた第１の可動枠に対して水平な軸線回りに回転可能に取り付けられ、駆動ローラ外周面の搬送路中央側寄りの部分に上方から外周面を対向させて配置されたニップローラと、
前記駆動ローラの回転軸線から搬送方向後方にずれた垂直軸線回りに第１の可動枠と同期して回動可能で、且つ、第１の可動枠と独立して上下動可能に設けられた第２の可動枠に対して水平軸線回りに回転可能に取り付けられ、駆動ローラ外周面の搬送路外側寄りの部分に上方から外周面を対向させて、ニップローラと隣接して配置されているセンシングローラと、
前記ニップローラ及びセンシングローラの各外周面を個別に駆動ローラ外周面に押圧する付勢手段とを有し、
各駆動ローラは、回転駆動源によって被搬送物を協働して搬送するように、一斉に同期駆動されるように構成され、
正常な搬送時には、被搬送物の搬送方向に沿った両側の端縁部上面にニップローラとセンシングローラが当接し、下面に駆動ローラが当接して上下方向から被搬送物を挟持する状態で且つ、駆動ローラの傾斜により搬送方向両外側に向けて被搬送物を緊張させて搬送し、
搬送中に被搬送物が蛇行して搬送路左右何れかに片寄ると寄った側と反対側の駆動ローラユニットのセンシングローラから被搬送物端縁が脱落してセンシングローラが駆動ローラと直接接触することで、隣接するニップローラを伴って駆動ローラと同方向に向きを変えて被搬送物の片寄りを戻すようにしたことを特徴とするシート又はウェブ状物搬送装置。
【請求項２】
第１の可動枠と第２の可動枠は駆動ローラの回転軸線の方向に離間した２つの垂直軸線回りに回動可能に設けられ、これらの可動枠の間に両端を回動可能に連結された連動リンクを含んで構成される平行リンク機構により同期回動して、センシングローラと連動してニップローラの向きが変わるように構成されていることを特徴とする請求項１記載のシート又はウェブ状物搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状物、又は、ウェブ状物を搬送する装置に関し、特に、電子機器に用いるフレキシブル基板を搬送しながら処理液によって基板表面に配線パターンの現像やエッチングを行う工程に特に好適な搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウェブ材やシート材を搬送する場合に、搬送中に生じるこれらの被搬送物の蛇行を修正するために、例えば、特許文献１に記載されているような蛇行修正装置が提案されている。この装置は、ウェブ材の幅方向両端部付近をそれぞれ搬送方向に対して傾斜した一対の挟持ローラで挟持して搬送し、これらの一対の挟持ローラの搬送方向下流側にウェブ材の幅方向の位置を非接触で検出する透過型光センサーを配置し、ウェブ材が搬送中に蛇行を透過型光センサーが検知すると、左右何れかの一対の挟持ローラが互いに離間してウェブ材の蛇行を修正するように構成されている。
【特許文献１】特開平７−１０３３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前述したような従来の蛇行修正装置においては、被搬送物の蛇行を修正するために被搬送物の搬送位置を光学センサーで検出し、この検出信号に基づいて搬送位置の修正を行っている。
しかしながら、フレキシブル基板の表面に配線パターンの現像やエッチングを行う処理工程中でフレキシブル基板の搬送を行う搬送装置においてフレキシブル基板の搬送中の蛇行を修正する場合、フレキシブル基板が処理液中を搬送されるので、このような光学センサーは、処理液によって光が遮られ使用することができず、また、光学センサーやこれに接続されている配線が腐食性の処理液で腐食される問題がある。
【０００４】
一方、光学センサーを使用する代わりに、フレキシブル基板に接触することにより、リミットスイッチを動作させる機械的な検知レバーを用いてフレキシブル基板の蛇行を検知する方法も考えられが、この場合にも、リミットスイッチやこれに接続されている配線が処理液によって腐食される問題があり、また、検知レバーを移動する薄く柔軟なフレキシブル基板の端縁に接触させるとリミットスイッチの動作が不確実になったり、フレキシブル基板の端縁を傷つける恐れもある。
【０００５】
そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決し、光学センサーやリミットスイッチ等のセンサを蛇行検出手段として用いることなく、自動的にシート又はウェブ状物を蛇行修正しながら搬送できる搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために提供される、本発明のシート又はウェブ状物搬送装置は、水平な搬送路の両側にそれぞれ配列され、且つ、前記搬送路を挟んでその横断方向にそれぞれ互いに対向するように複数設けられた駆動ローラユニットを備え、これらの駆動ローラユニットはそれぞれ、シート又はウェブ状の被搬送物の搬送方向に沿った端縁部下面を支持し、搬送路の中央側に向けて横断方向からやや前方に傾斜した水平な軸線回りに回転可能に設けられた駆動ローラと、
前記駆動ローラの軸線から搬送方向後方にずれた垂直な軸線回りに回動可能で且つ上下動可能に設けられた第１の可動枠に対して水平な軸線回りに回転可能に取り付けられ、駆動ローラ外周面の搬送路中央側寄りの部分に上方から外周面を対向させて配置されたニップローラと、前記駆動ローラの回転軸線から搬送方向後方にずれた垂直軸線回りに第１の可動枠と同期して回動可能で、且つ、第１の可動枠と独立して上下動可能に設けられた第２の可動枠に対して水平軸線回りに回転可能に取り付けられ、駆動ローラ外周面の搬送路外側寄りの部分に上方から外周面を対向させて、ニップローラと隣接して配置されているセンシングローラと、前記ニップローラ及びセンシングローラの各外周面を個別に駆動ローラ外周面に押圧する付勢手段とを有し、各駆動ローラは、回転駆動源によって被搬送物を協働して搬送するように、一斉に同期駆動されるように構成されている。
なお、ここで、「軸線」という用語は、駆動ローラ等が回転する場合にその回転運動の中心となる仮想的な直線を意味している。
【０００７】
本発明の搬送装置においては、正常な搬送時には、被搬送物の搬送方向に沿った両側の端縁部上面にニップローラとセンシングローラが当接し、下面に駆動ローラが当接して上下方向から被搬送物を挟持する状態で且つ、駆動ローラの傾斜により搬送方向両外側に向けて被搬送物を緊張させて搬送し、搬送中に被搬送物が蛇行して搬送路左右何れかに片寄ると寄った側と反対側の駆動ローラユニットのセンシングローラから被搬送物端縁が脱落してセンシングローラが駆動ローラと直接接触することで、隣接するニップローラを伴って駆動ローラと同方向に向きを変えて被搬送物の片寄りを戻すようにしている。
【０００８】
また、本発明の搬送装置においては、第１の可動枠と第２の可動枠は駆動ローラの回転軸線方向に離間した２つの垂直軸線回りに回動可能に設けられ、これらの可動枠の間に両端を回動可能に連結された連動リンクを含んで構成される平行リンク機構により同期回動して、センシングローラと連動してニップローラの向きが変わるように構成されていることが望ましい。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の発明によれば、被搬送物を正常に搬送しているときは、被搬送物の搬送方向に沿った両側の端縁部上面にニップローラとセンシングローラが当接し、下面に駆動ローラが当接して上下方向から被搬送物を挟持する状態で且つ、駆動ローラの傾斜により搬送方向両外側に向けて被搬送物を緊張させて、薄手の被搬送物が搬送中に自重によって撓むのを防止することができる。
【００１０】
また、搬送中に被搬送物が蛇行して搬送路左右何れかに片寄ると、寄った側と反対側の駆動ローラユニットのセンシングローラから被搬送物端縁が脱落してセンシングローラが駆動ローラと直接接触することで、隣接するニップローラを伴って駆動ローラと同方向に向きを変えて被搬送物の片寄りを戻す動作を純機械的に行うことができるため、特に、フレキシブル基板を処理液を通して搬送し、その過程でフレキシブル基板に配線パターンを現像したりエッチングする工程のように、光が透過しにくく腐蝕性の処理液の中を被搬送物を搬送する場合のように、光学センサや制御手段が使用出来ない環境においても支障無く使用することができる。
【００１１】
また、請求項２記載の発明によれば、平行リンク機構を用いたことにより、簡単な構造でセンシングローラの向きの変化をニップローラに確実且つ円滑に伝達して被搬送物の蛇行を修正することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、本発明の１実施形態としてのフレキシブル基板搬送装置（以下、単に搬送装置という。）の平面図、図２は図１のＡ−Ａ線位置における横断面図を示しており、これらの図において、搬送装置１は、被搬送物であるフレキシブル基板Ｗを搬送する水平な搬送路Ｃの左右両側に一対のローラユニット支持枠２を有している。
【００１３】
左右のローラユニット支持枠２の上面には、搬送路Ｃに沿って等間隔に駆動ローラユニット３が取り付けられている。図２に示すように、これらの駆動ユニット３はそれぞれフレキシブル基板Ｗの端縁部下面に当接してこれを支持するとともに、走行駆動するための駆動ローラ４と、この駆動ローラ４の上方に対向して配置され、フレキシブル基板Ｗを駆動ローラ４との間に挟み込むニップローラ５及び一対のセンシングローラ６を有している。
【００１４】
搬送路Ｃの両側に配置されているそれぞれの駆動ローラユニット３は、駆動ローラ４の回転軸線が、搬送路Ｃの中央側に向けて、この搬送路Ｃの横断方向から搬送方向やや前方へ所定の鋭角θだけ傾くように駆動ローラユニット支持枠２に取付角度を調整されて固定されている。
【００１５】
この傾斜角度θは、後述するように、屈曲し易いフレキシブル基板Ｗが搬送中自重で弛まないように、搬送中に両外側へ引っ張り力を発生させるために設定されており、その値は被搬送物の種類に応じて適正な角度を選択する。なお、このθの値は、フレキシブル基板Ｗの場合は実用上０．１度〜５度程度の範囲が望ましい。
【００１６】
駆動ローラ４は、駆動ローラユニット３のユニット枠体７に回転可能に支持された被駆動軸８の搬送路側Ｃへ突出した端部に固定されている。一方、この被駆動軸８は、ユニット枠体７を貫通してその反対側の端部には、被駆動ねじ歯車９が固定されている。
【００１７】
この被駆動ねじ歯車９は、その下方に対向してそれぞれ配置された駆動ねじ歯車１０と噛合っていて、これらの駆動ねじ歯車１０は、搬送路Ｃ両側のローラユニット支持枠２側にそれぞれ回転可能に支持されている伝動軸１１に固定されている。
【００１８】
搬送路Ｃ両側の伝動軸１１は、図示していない駆動源によって、同期して回転駆動されるようになっており、これらの伝動軸１１が回転すると、これらに固定されている各駆動ねじ歯車１０が回転し、これらの回転が被駆動ねじ歯車９に伝達されて、各駆動ローラ４が一斉にフレキシブル基板Ｗを前進させる向きに回転駆動される。
【００１９】
図３は、駆動ローラユニット３を搬送方向前方から見た側面図、図４はその正面図、図５は、図３のＢ−Ｂ線位置における横断面を示す図であって、これらの図に示すようにニップローラ５は、駆動ローラ４外周面の搬送路Ｃ中央側寄りの部分４Ａに上方から外周面を対向させて配置されている。
【００２０】
ニップローラ５は、第１の可動枠１２に保持されているニップローラ軸１３に回転可能に取り付けられている。第１の可動枠１２は、ユニット枠体７に対して、第１の案内ロッド１４を介して、図４に示すように駆動ローラ４の回転軸線から搬送方向後方に所定距離Ｓだけずれた位置を通過する垂直軸線回りに回動可能で且つ上下動可能に取り付けられている。
【００２１】
すなわち、第１の案内ロッド１４の下端は、第１の可動枠１２の上端部に固定されており、また、この案内ロッド１４の上方部分は、ユニット枠体７を上下方向に貫通する第１の案内孔１５に摺動と回動が可能に嵌挿されている。
【００２２】
また、第１の案内ロッド１４には、付勢手段としての第１の圧縮コイルばね１６が装着されていて、その上端は、受けワッシャ１７を介してユニット枠７に保持され、また下端は、受けワッシャ１８を介して第１の可動枠１２の上端に保持されて、常時その弾発力で第１の可動枠１２を下方に付勢している。
【００２３】
一方、センシングローラ６は、駆動ローラ４外周面の搬送路Ｃの外側寄りの部分４Ｂに上方から外周面を対向させて配置されている。センシングローラ６は、本実施形態においては、２つ一組で構成されており、第２の可動枠１９に保持されているセンシングローラ軸２０に回転可能に取り付けられている。
【００２４】
本実施形態のものにおいては、駆動ローラ４外周面の搬送路Ｃの中央側寄りの部分４Ａは、フレキシブル基板Ｗに対する摩擦係数が大きい柔軟なゴム素材で形成されており、また、駆動ローラ４外周面の搬送路Ｃの外側寄りの部分４Ｂは、部分４Ａより硬質で耐摩耗性の高いナイロン素材で形成されている。また、ニップローラ５とセンシングローラ６の外周面はそれぞれ、駆動ローラ４外周面の部分４Ａと同様なゴム素材で形成されている。なお、駆動ローラ４の外周面は、全幅に亘って同一の素材で形成してもよい。
【００２５】
第２の可動枠１９は、ユニット枠体７に対して第２の案内ロッド２１を介して、前述した第１の可動枠１２と同様に駆動ローラ４の回転軸線から搬送方向後方に所定距離Ｓだけずれた位置を通過する垂直軸線回りに回動可能で且つ上下動可能に取り付けられている。
【００２６】
また、第２の案内ロッド２１の下端は、第２の可動枠１９の上端部に固定されており、この案内ロッド２１の上方部分は、ユニット枠体７を上下方向に貫通する第２の案内孔２２に摺動と回動が可能に嵌挿されている。
【００２７】
また、第２の案内ロッド２１には、付勢手段としての第２の圧縮コイルばね２３が装着されていて、その上端は、受けワッシャ２４を介してユニット枠７に保持され、また下端は、受けワッシャ２５を介して第２の可動枠１９の上端に保持されて、常時その弾発力で第２の可動枠１９を下方に付勢している。
【００２８】
図３及び図５に示すように、第１の可動枠１２と第２の可動枠１９は、連動リンク２６の両端とそれぞれ連結軸２７、２８によって相互に垂直軸線回りに回動可能に連結されている。これらの連結軸２７、２８間は、第１の案内ロッド１４と第２の案内ロッド２２間と同じ間隔だけ、駆動ローラ４の回転軸線の方向に離れており、ユニット枠体７、第１の可動枠１２、第２の可動枠１９、及び、連動リンク２６の４つの部分で平行リンク機構を構成している。
【００２９】
このような機構によって、第１の可動枠１２と第２の可動枠１９は、それぞれ第１の案内ロッド１４と第２の案内ロッド２２回りに回動するときに、ニップローラ５の回転軸線とセンシングローラ６の回転軸線を常に平行に維持するように連動する構造になっている。
【００３０】
次に、前述したように構成されている搬送装置１の動作を図６及び図７に基づいて説明する。
図６は、フレキシブル基板Ｗが搬送路Ｃを正常な搬送位置で搬送されている時の搬送状態を示す図であって、フレキシブル基板Ｗは、その両端縁部下面に駆動ローラ４が、また、上面にニップローラ５とセンシングローラ６の一部がそれぞれ当接し、上下から挟持された状態で搬送されている。
【００３１】
この状態では、フレキシブル基板Ｗは搬送路Ｃの左右何れの側にも片寄ることなく中央を搬送されている。この時、駆動ローラ４は、先に述べたように僅かに回転軸線の向きが傾斜しているため、フレキシブル基板Ｗ底面に搬送路Ｃの両側で対向する駆動ローラ４から作用する摩擦力の一部がフレキシブル基板Ｗを左右両側に引っ張り、搬送中にフレキシブル基板Ｗに撓み生じることが防止される。
【００３２】
また、このような正常な搬送時には、フレキシブル基板Ｗの両端縁部上面に当接しているニップローラ５とセンシングローラ６をそれぞれ支持している第１及び第２の可動枠１２、１９は、第１の案内ロッド１４と第２の案内ロッド１９の各垂直軸線回りに連動して回動できるようになっているため、これらのローラ５、６の回転軸線は、フレキシブル基板Ｗに作用する摩擦抵抗が最小となるように、ひとりでに搬送方向と直角な方向に向く。
【００３３】
一方、図７は、搬送路Ｃの前方から見て、フレキシブル基板Ｗが搬送路Ｃの右側に片寄ってきた場合を示している。同図に示すように、フレキシブル基板Ｗの片寄りによって、その左側の端縁が搬送路Ｃの中央側に移動してセンシングローラ６から外れると、センシングローラ６が取り付けられている第２の可動枠１９は、第２の圧縮コイルばね２３によって常に下方に押されているためフレキシブル基板Ｗの板厚分だけ下方に変位し、センシングローラ６と駆動ローラ４は外周面どうしが直接当接する。
【００３４】
なお、第１の可動枠１２に対して第２の可動枠１９の上下方向の相対変位を可能とするために、連動リンク２６の上下の面と、これらの面と対向する、第１の可動枠１２及び第２の可動枠１９の上下の面の間には若干の隙間を生じるようにしている。
【００３５】
センシングローラ６と駆動ローラ４が当接した瞬間、両者は、回転軸線の方向が異なっているため、センシングローラ６は駆動ローラ４からの摩擦力を受け、その結果、第２の可動枠１９にセンシングローラ６を駆動ローラ４の向きに合わせようとする向きの第２の案内ロッド２１回りのモーメントが作用して、第２の可動枠１９が回動する。
【００３６】
そして、第２の可動枠１９が回動すると、その動きは連動リンク２６を介して直ちに第１の可動枠１２側に伝達され、第１の可動枠１２が第２の可動枠１９と連動して向きを変える。そうすると、第１の可動枠１２に取り付けられているニップローラ５が駆動ローラ４と平行になるため、フレキシブル基板Ｗの左側の端縁を左方に引っ張る摩擦力が、搬送路Ｃの反対側（図７では右側）よりも増加して、フレキシブル基板Ｗは図６に示すような正常な搬送位置へ引き戻される。
【００３７】
なお、前述した実施形態においては、センシングローラ６を２つ用いているが、これは、駆動ローラ４の外周面とセンシングローラ６の接触によって生じる第２の可動枠１９の回動モーメントを増加するためと、センシングローラ軸２０に作用する曲げモーメントを軽減するためであって、センシングローラは１つでもよい。
【００３８】
また、前述した実施形態においては、第１の可動枠１２と第２の可動枠１９はそれぞれ第１の案内ロッド１４と第２の案内ロッド２１で構成される個別の垂直な回転軸線回りに回動し、連動リンク２６によって両者の回動変位が連動するように構成されている。
【００３９】
しかし、本発明は、前述した実施形態に限定するものではなく、第１の可動枠と第２の可動枠は、
駆動ローラの回転軸線から搬送方向後方に所定距離ずらせた一つの共通の垂直軸線回りに回動できるようにしてもよい。
【００４０】
また、ここでは、ニップローラ５が取り付けられている第１の可動枠１２とセンシングローラ６が取り付けられている第２の可動枠１９を駆動ローラ４側に付勢する付勢手段に圧縮コイルばね１６、２３を用いているが、付勢手段はこれに限定するものではなく、他の種類のばねや空気ばね、あるいは、重り等の代替手段を用いてもよい。
【００４１】
また、フレキシブル基板Ｗの非搬送時に、駆動ローラ５へニップローラ５とセンシングローラ６が、圧縮コイルばね１６、２３によって押し付けられた状態が長時間続くと、これらのローラの外周面にの当接位置が変形してしまう恐れがあるので、これらのローラ外周面の変形が素材の弾性変形の範囲にとどまるように、第１の可動枠１２と第２の可動枠１９が下方へ所定位置を超えて下降変位しないような下降量制限手段を設けることが好ましい。
【００４２】
このような下降量制限手段としては、例えば、第１及び第２の案内ロッド１４、２１の上端をユニット枠体７上面から突出させて、これらの突出した部分に止め環を取り付けて、それぞれの止め環がユニット枠体７の上面と当たる位置でこれらの案内ロッド１４、２１の下降を制限したり、より精密には、案内ロッド１４、２１の突出部分外周にねじ部を形成し、これらのねじ部に下降量制限手段としてのナットを螺合してナットの位置を回動調整することで、下降制限位置を細かく位置決めできるようにしてもよい。
【００４３】
なお、搬送装置１がエッチング処理工程に用いられ、腐食性の処理液と接触するような環境で用いられる場合には、搬送装置１を構成する各構成部品は、強度と耐食性を兼ね備えた合成樹脂材料や、チタン又はチタン合金等の金属材料を用いて製作することができる。
【００４４】
また、前述した実施形態においては、図示していない駆動源で駆動される伝動軸１１の回転を、駆動ねじ歯車１０から被駆動ねじ歯車９、被駆動軸８へ伝達してそれぞれの駆動ローラ４を一斉に同期して回転駆動しているが、各々の駆動ローラユニット３のそれぞれに、被駆動軸８を回転駆動するモータ等の駆動源を組み込んで、これらの駆動源を一斉に同期駆動するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明のシート又はウェブ状物搬送装置は、フレキシブル基板に配線パターンの現像やエッチング等の処理を行ったり、洗浄を行う工程で、特に有効に利用することができる。また、他のシート状物、例えば、薄く硬い材質の基板やガラス板のようなものや、搬送方向に連続しているウェブ状物を搬送する種々の工程においても広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明のシート又はウェブ状物搬送装置の１実施形態としてのフレキシブル基板搬送装置の平面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線位置の横断面図である。
【図３】本発明で用いられている駆動ローラユニットの搬送方向前方から見た側面図である。
【図４】本発明で用いられている駆動ローラユニットの正面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ線位置における横断面を示す図である。
【図６】被搬送物が正常な搬送位置で搬送されている時の搬送状態を示す図である。
【図７】被搬送物が正常な搬送位置から片寄った時の搬送状態を示す図である。
【符号の説明】
【００４７】
１         搬送装置
２         駆動ローラユニット支持枠
３         駆動ローラユニット
４         駆動ローラ
４Ａ、４Ｂ   部分
５         ニップローラ
６         センシングローラ
７         ユニット枠体
８         被駆動軸
９         被駆動ねじ歯車
１０          駆動ねじ歯車
１１          伝動軸
１２          第１の可動枠
１３          ニップローラ軸
１４          第１の案内ロッド
１５          第１の案内孔
１６          第１の圧縮コイルばね（付勢手段）
１７、１８      受けワッシャ
１９          第２の可動枠
２０          センシングローラ軸
２１          第２の案内ロッド
２２          第２の案内孔
２３          第２の圧縮コイルばね（付勢手段）
２４、２５      受けワッシャ
２６          連動リンク
２７、２８      連結軸
【図１】
2005225570.tif 000003
【図２】
2005225570.tif 000004
【図３】
2005225570.tif 000005
【図４】
2005225570.tif 000006
【図５】
2005225570.tif 000007
【図６】
2005225570.tif 000008
【図７】
2005225570.tif 000009